(57)【要約】【課題】パネルの流れに従った各工程を効率的に配置することによって工程のタクトタイムを著しく短縮させることができる平板ディスプレイパネルの研磨方法を提供する。【解決手段】パネルを第１のピッカーで吸着し、前記第１のピッカーが前記パネルを吸着した状態で前記パネルを整列し、前記パネルをテーブルに載置し、前記パネルの両側短辺（又は長辺）を研磨し、前記テーブルを９０゜回転させ、前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨し、前記パネルをアンローディングすることを含む平板ディスプレイパネルの研磨方法を構成する。【選択図】図５ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネルを第１のピッカーで吸着し、
前記第１のピッカーが前記パネルを吸着した状態で前記パネルを整列し、
前記パネルをテーブルに載置し、
前記パネルの両側短辺（又は長辺）を研磨し、
前記テーブルを９０゜回転させ、
前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨し、
前記パネルをアンローディングすることを含むことを特徴とする平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項２】
前記第１のピッカーが前記パネルを吸着した状態で前記パネルを整列するとき、カメラで前記パネルの整列マークを認識し、その認識結果によって前記パネル又は研磨部を微細に調整することを特徴とする、請求項１に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項３】
前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨する前に、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の一端を面取りすることがさらに付加されることを特徴とする、請求項１に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項４】
前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨した後、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りすることがさらに付加されることを特徴とする、請求項３に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項５】
前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りするとき、前記第２のピッカーが前記パネルの上部で待機していることを特徴とする、請求項４に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項６】
前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りするとき、前記第２のピッカーが前記パネルを加圧又は吸着した状態であることを特徴とする、請求項４に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項７】
前記パネルをアンローディングすると同時に、前記テーブルは、前記パネルをテーブルに載置するときのテーブルの位置に移動させることを特徴とする、請求項１に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項８】
パネルを第１のピッカーで吸着し、
前記第１のピッカーに吸着されたパネルをカメラの撮像領域に移動させ、
前記第１のピッカーを下降させ、前記パネルをテーブルに載置すると同時に、前記カメラで前記パネルの整列マークを認識し、
前記整列マークの認識結果によって前記パネル又は研磨部を微細に調整し、
前記パネルの両側短辺（又は長辺）を研磨し、
前記テーブルを９０゜回転させ、
前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨し、
前記パネルをアンローディングすることを含むことを特徴とする平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項９】
前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨する前に、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の一端を面取りすることがさらに付加されることを特徴とする、請求項８に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項１０】
前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨した後、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りすることがさらに付加されることを特徴とする、請求項９に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項１１】
前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りするとき、前記第２のピッカーが前記パネルの上部で待機していることを特徴とする、請求項１０に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項１２】
前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りするとき、前記第２のピッカーが前記パネルを加圧又は吸着した状態であることを特徴とする、請求項１０に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項１３】
前記パネルをアンローディングすると同時に、前記テーブルは、前記第１のピッカーを下降させ、前記パネルをテーブルに載置すると同時に、前記カメラで前記パネルの整列マークを認識するときのテーブルの位置に移動させることを特徴とする、請求項８に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項１４】
パネルを第１のピッカーで吸着し、
前記第１のピッカーに吸着されたパネルをカメラの撮像領域に移動させ、
前記カメラで前記パネルの整列マークを認識し、
前記第１のピッカーを下降させ、前記パネルをテーブルに載置し、前記整列マークの認識結果によって前記パネル又は研磨部を微細に調整し、
前記パネルの両側短辺（又は長辺）を研磨し、
前記テーブルを９０゜回転させ、
前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨し、
前記パネルをアンローディングすることを含むことを特徴とする平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項１５】
前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨する前に、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の一端を面取りすることがさらに付加されることを特徴とする、請求項１４に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項１６】
前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨した後、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りすることがさらに付加されることを特徴とする、請求項１５に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項１７】
前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りするとき、前記第２のピッカーが前記パネルの上部で待機していることを特徴とする、請求項１６に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項１８】
前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りするとき、前記第２のピッカーが前記パネルを加圧又は吸着した状態であることを特徴とする、請求項１６に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【請求項１９】
前記パネルをアンローディングすると同時に、前記テーブルは、前記第１のピッカーを下降させ、前記パネルをテーブルに載置し、前記整列マークの認識結果によって前記パネル又は研磨部を微細に調整するときのテーブルの位置に移動させることを特徴とする、請求項１４に記載の平板ディスプレイパネルの研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板ディスプレイパネルの研磨方法に関するもので、より詳細には、パネルの流れに従った各工程を効率的に配置することによって工程のタクトタイムを著しく短縮させることができる平板ディスプレイパネルの研磨方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、平板ディスプレイパネル又は前記パネルの素材になるベアガラス（以下、「基板」という）は、エッジ面が鋭いので、工程中に割れたりクラックなどが発生する。したがって、クラックなどを防止するためには、鋭いエッジ面を研磨する工程が必須である。
以下、図１及び図２を参照して従来の研磨装置１を説明する。
図示したように、従来の研磨装置１は、ローディングコンベヤ１０、第１のピッカー２０、カメラ３０、研磨部５０、第２のピッカー６０及びアンローディングコンベヤ７０で構成される。
以下、図３ａ〜図３ｈを参照して従来の研磨装置の作動状態を説明する。
まず、ローディングコンベヤ１０にあるパネルＳを、第１のピッカー２０で吸着してテーブル４０上に載せる（図３ａ参照）。
次に、前記カメラ３０がパネルＳの整列マークを認識するようにテーブル４０を移動させる（図３ｂ参照）。この状態で、カメラ３０がテーブル４０に載せられたパネルＳの整列マークを認識し、その認識結果によって前記パネルＳ又は研磨部５０を微細に調整して整列する。
次に、前記パネルＳの両側縁部がそれぞれ研磨部５０に接するようにテーブル４０を第１の方向（図面の右側方向）に移動させた後、研磨部５０を作動させ、パネルＳの両側短辺の一端を面取りする（図３ｃ参照）。
次に、前記研磨部５０を、前記パネルＳの両側短辺を研磨できる位置に移動させ、この状態で前記テーブル４０を第１の方向に移動させながらパネルＳの両側短辺を研磨する。そして、パネルＳの両側短辺の研磨が完了すれば、前記研磨部５０を、両側短辺の他端を面取りできるように移動させ、パネルＳの両側短辺の他端を面取りする（図３ｄ参照）。
次に、前記テーブル４０を９０゜回転させ、前記第１の方向の反対方向（図面の左側方向）に移動させて元の位置に復帰させる（図３ｅ参照）。
次に、前記研磨部５０を、前記パネルＳの両側長辺を研磨できる位置に移動させ、この状態で前記テーブル４０を第１の方向に移動させながらパネルＳの両側長辺を研磨する（図３ｆ参照）。
次に、第２のピッカー６０は、４辺の研磨と４つの縁部の面取りが完了したパネルＳを吸着する（図３ｇ参照）。
最後に、前記第２のピッカー６０は、研磨が完成したパネルＳをアンローディングコンベヤ７０に渡し、これと同時に、テーブル４０は、第２の方向に移動して元の位置に復帰し、新しいパネルを受け取る準備をする（図３ｈ参照）。
一方、図４ａ〜図４ｆは、パネルを研磨する工程を順次示した平面図である。以下、これら図面を参照して、このような作動順序でパネルを研磨する工程を説明する。
まず、研磨部５０は、研磨砥石５２、５３と、研磨砥石５２、５３を回転させるスピンドル５１とを含む。また、研磨砥石は、面取りに使用される第１の部５２と、長辺又は短辺を研磨するときに使用される第２の部５３とを含んで構成される。また、研磨部５０は、パネルの両側辺を同時に研磨できるようにパネルの両側にそれぞれ設けられる。また、各側には、上部砥石と下部砥石がそれぞれ設けられる。このようにして、合計４つの研磨部が構成される。
まず、パネルの両側短辺ｌ１の一端を研磨部の第１の部５２に接触させた状態でスピンドル５１を回転させる（図４ａ参照）。
このような方法で一対の面取り面Ｃ１、Ｃ２を形成し、前記研磨部５０の第２の部５３を、両側短辺ｌ１に接触するように移動させた状態で前記パネルを移動させ、両側短辺ｌ１を研磨する（図４ｂ参照）。
次に、前記パネルの両側短辺の他端を第１の部５２に接触させた状態でスピンドル５１を回転させる（図４ｃ参照）。
このような方法で両側短辺ｌ１が研磨され、４つの面取り面Ｃ１〜Ｃ４が形成されたパネルを９０゜回転させ、研磨開始位置に移動させる（図４ｄ参照）。
次に、前記研磨砥石の第２の部５３を、両側長辺ｌ２に接触するように移動させた状態でパネルを移動させ、両側長辺ｌ２を研磨する（図４ｅ参照）。
このような方法でパネルの４辺（２つの短辺、２つの長辺）を研磨し、４つの縁部を面取りする（図４ｆ参照）。
前記のように作動する従来の研磨装置は、テーブルにパネルを載せた状態でカメラを用いて整列する。したがって、整列は、一つのパネルに対する工程が完了し、第２のピッカーが完成したパネルを吸着した後、テーブルが元の位置に復帰し、第１のピッカーが新しいパネルをテーブルに載せた後で行う。すなわち、完成したパネルのアンローディングと研磨すべきパネルのローディングを順次行えるだけで、これら動作を同時に行うことはできないという問題がある。結局、これは、工程のタクトタイム増加をもたらす。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、上述した問題を解決するためになされたもので、その目的は、パネルの流れに従った各工程を効率的に配置することによって工程のタクトタイムを著しく短縮させることができる平板ディスプレイパネルの研磨方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
前記のような技術的課題を解決するために、本発明による平板ディスプレイパネルの研磨方法は、パネルを第１のピッカーで吸着し、前記第１のピッカーが前記パネルを吸着した状態で前記パネルを整列し、前記パネルをテーブルに載置し、前記パネルの両側短辺（又は長辺）を研磨し、前記テーブルを９０゜回転させ、前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨し、前記パネルをアンローディングすることを含む。
また、前記第１のピッカーが前記パネルを吸着した状態で前記パネルを整列するとき、カメラで前記パネルの整列マークを認識し、その認識結果によって前記パネル又は研磨部を微細に調整することが望ましい。
また、前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨する前に、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の一端を面取りすることがさらに付加されることが望ましい。
また、前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨した後、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りすることがさらに付加されることが望ましい。
また、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りするとき、前記第２のピッカーが前記パネルの上部で待機していることが望ましい。
また、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りするとき、前記第２のピッカーが前記パネルを加圧又は吸着した状態であることが望ましい。
また、前記パネルをアンローディングすると同時に、前記テーブルは、前記パネルをテーブルに載置するときのテーブルの位置に移動させることが望ましい。
本発明による他の平板ディスプレイパネルの研磨方法は、パネルを第１のピッカーで吸着し；前記第１のピッカーに吸着されたパネルをカメラの撮像領域に移動させ；前記第１のピッカーを下降させ、前記パネルをテーブルに載置すると同時に、前記カメラで前記パネルの整列マークを認識し；前記整列マークの認識結果によって前記パネル又は研磨部を微細に調整し；前記パネルの両側短辺（又は長辺）を研磨し；前記テーブルを９０゜回転させ；前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨し；前記パネルをアンローディングすることを含む。
また、前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨する前に、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の一端を面取りすることがさらに付加されることが望ましい。
また、前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨した後、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りすることがさらに付加されることが望ましい。
また、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りするとき、前記第２のピッカーが前記パネルの上部で待機していることが望ましい。
また、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りするとき、前記第２のピッカーが前記パネルを加圧又は吸着した状態であることが望ましい。
また、前記パネルをアンローディングすると同時に、前記テーブルは、前記第１のピッカーを下降させ、前記パネルをテーブルに載置すると同時に、前記カメラで前記パネルの整列マークを認識するときのテーブルの位置に移動させることが望ましい。
本発明による更に他の平板ディスプレイパネルの研磨方法は、パネルを第１のピッカーで吸着し；前記第１のピッカーに吸着されたパネルをカメラの撮像領域に移動させ；前記カメラで前記パネルの整列マークを認識し；前記第１のピッカーを下降させ、前記パネルをテーブルに載置し、前記整列マークの認識結果によって前記パネル又は研磨部を微細に調整し；前記パネルの両側短辺（又は長辺）を研磨し；前記テーブルを９０゜回転させ；前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨し；前記パネルをアンローディングすることを含む。
また、前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨する前に、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の一端を面取りすることがさらに付加されることが望ましい。
また、前記パネルの両側長辺（又は短辺）を研磨した後、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りすることがさらに付加されることが望ましい。
また、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りするとき、前記第２のピッカーが前記パネルの上部で待機していることが望ましい。
また、前記パネルの両側長辺（又は短辺）の他端を面取りするとき、前記第２のピッカーが前記パネルを加圧又は吸着した状態であることが望ましい。
また、前記パネルをアンローディングすると同時に、前記テーブルは、前記第１のピッカーを下降させ、前記パネルをテーブルに載置し、前記整列マークの認識結果によって前記パネル又は研磨部を微細に調整するときのテーブルの位置に移動させることが望ましい。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、パネルの流れに従った各工程を効率的に配置することによって工程のタクトタイムを著しく短縮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】従来の研磨装置を示す図である。
【図２】従来の研磨装置を示す図である。
【図３ａ】図１に示した研磨装置の作動状態を示す図である。
【図３ｂ】図１に示した研磨装置の作動状態を示す図である。
【図３ｃ】図１に示した研磨装置の作動状態を示す図である。
【図３ｄ】図１に示した研磨装置の作動状態を示す図である。
【図３ｅ】図１に示した研磨装置の作動状態を示す図である。
【図３ｆ】図１に示した研磨装置の作動状態を示す図である。
【図３ｇ】図１に示した研磨装置の作動状態を示す図である。
【図３ｈ】図１に示した研磨装置の作動状態を示す図である。
【図４ａ】従来の研磨方法を順次示す図である。
【図４ｂ】従来の研磨方法を順次示す図である。
【図４ｃ】従来の研磨方法を順次示す図である。
【図４ｄ】従来の研磨方法を順次示す図である。
【図４ｅ】従来の研磨方法を順次示す図である。
【図４ｆ】従来の研磨方法を順次示す図である。
【図５ａ】本発明による研磨装置の第１の実施例の作動状態を示す図である。
【図５ｂ】本発明による研磨装置の第１の実施例の作動状態を示す図である。
【図５ｃ】本発明による研磨装置の第１の実施例の作動状態を示す図である。
【図５ｄ】本発明による研磨装置の第１の実施例の作動状態を示す図である。
【図５ｅ】本発明による研磨装置の第１の実施例の作動状態を示す図である。
【図５ｆ】本発明による研磨装置の第１の実施例の作動状態を示す図である。
【図５ｇ】本発明による研磨装置の第１の実施例の作動状態を示す図である。
【図６ａ】本発明による研磨方法を順次示す図である。
【図６ｂ】本発明による研磨方法を順次示す図である。
【図６ｃ】本発明による研磨方法を順次示す図である。
【図６ｄ】本発明による研磨方法を順次示す図である。
【図６ｅ】本発明による研磨方法を順次示す図である。
【図６ｆ】本発明による研磨方法を順次示す図である。
【図６ｇ】本発明による研磨方法を順次示す図である。
【図７ａ】本発明による研磨装置の第２の実施例の作動状態を示す図である。
【図７ｂ】本発明による研磨装置の第２の実施例の作動状態を示す図である。
【図８ａ】本発明による研磨装置の第３の実施例の作動状態を示す図である。
【図８ｂ】本発明による研磨装置の第３の実施例の作動状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、添付の図面を参照して本発明による平板ディスプレイパネルの研磨方法を説明する。
図５ａ〜図５ｇを参照して、本発明による研磨装置の第１の実施例の作動状態を説明する。
本発明による研磨装置は、従来の図１に示した研磨装置と比較したとき、作動順序は異なるが、構成自体は、全体的な装備の長さが短いという点を除いてはほぼ類似している。
まず、第１のピッカー２０は、ローディングコンベヤにあるパネルＳを吸着し、カメラ３０のある位置に移動させる。この状態、すなわち、第１のピッカー２０がパネルＳを吸着した状態で前記カメラ３０でパネルＳの整列マークを認識し、その認識結果によってパネルＳを微細に調整して整列する（図５ａ参照）。
次に、第１のピッカー２０を下降させ、整列が終了したパネルＳをテーブル４０上に載せる（図５ｂ参照）。
次に、パネルＳの両側短辺を研磨部５０に接触させた状態で、前記テーブル４０を第１の方向（図面の右側方向）に移動させて両側短辺を研磨する（図５ｃ参照）。
次に、テーブル４０を９０゜回転させ、テーブル４０を前記第１の方向の反対方向（図面の左側方向）に移動させて元の位置に復帰させる（図５ｄ参照）。
次に、パネルＳの両側長辺の一端を研磨部５０に接触させた状態で研磨部５０を用いて面取りする（図５ｅ参照）。
次に、パネルＳの両側長辺を研磨部５０に接触させた状態で、前記テーブル４０を第１の方向に移動させて両側長辺を研磨する（図５ｆ参照）。また、両側長辺の研磨が完了した後、引き続いて、研磨部５０を両側長辺の他端に接触させた状態で面取りする。特に、このとき、既に第２のピッカー６０が下降し、前記パネルＳを加圧した状態又は吸着した状態で両側長辺の他端を面取りすることがより望ましい。これは、面取りするとき、下部ではテーブル４０が支持し、上部では第２のピッカー６０が支持しているので、パネルＳをより確実に固定した状態で面取りをすることができ、特に、面取りが完了すれば、完成したパネルＳを第２のピッカー６０が直ちにつかんで上昇するので、アンローディング時間が節約されるためである。
したがって、二番目の面取り工程が終了する瞬間、パネルＳは、直ちに第２のピッカー６０と共にアンローディングされ、これと同時に、テーブル４０は、元の位置に復帰し、直ちに第１のピッカー２０から新しいパネルＳ１を受け取ることができる（図５ｇ参照）。
特に、このとき、新しいパネルＳ１は、テーブル４０が移動する前に、すなわち、第１のピッカー２０が吸着した状態でカメラ３０を用いて既に整列を完了した状態である。
以下、本発明による研磨方法と比較して従来の研磨方法を再び説明する。従来は、二番目の面取り工程が完了すれば、第２のピッカー６０が移動し、完成したパネルＳを吸着してアンローディングし、その後、テーブル４０は、元の位置に復帰し、第１のピッカー２０から新しいパネルＳ１を受け取り、新しいパネルＳ１がテーブルに載せられた後、この新しいパネルＳ１をカメラ３０で撮像して整列する。したがって、本発明は、従来の研磨方法に比べて多様な工程を同時に進行できるように最適化することによって、画期的に工程のタクトタイムを短縮させることができる。
以下、図６ａ〜図６ｇを参照して本発明による研磨方法を説明する。
まず、パネルの両側短辺ｌ１を研磨砥石に接触させた状態でパネルを移動させ、両側短辺を研磨する（図６ａ及び図６ｂ参照）。
次に、パネルを９０゜回転させ、元の位置に復帰させる（図６ｃ参照）。
次に、前記パネルの両側長辺ｌ２の一端を面取りし、面取り面Ｃ２、Ｃ３を形成する（図６ｄ参照）。
次に、パネルの両側長辺ｌ２を研磨砥石に接触させた状態でパネルを移動させ、両側長辺ｌ２を研磨する（図６ｅ参照）。
次に、前記パネルの両側長辺の他端を面取りし、面取り面Ｃ１、Ｃ４を形成して完成する（図６ｆ及び図６ｇ参照）。
本発明による第２の実施例は、第１の実施例と比較してパネルのローディング及び整列工程に差がある。
より具体的に説明すれば、まず、パネルＳを吸着した第１のピッカー２０は、カメラ３０がパネルの整列マークを認識できる位置にパネルを移動させる（図７ａ参照）。
次に、第１のピッカー２０を下降させ、パネルＳがテーブル４０に載置されると同時に、カメラ３０でパネルの整列マークを認識し、その認識結果によってパネル又は研磨部を微細に調整して整列する（図７ｂ参照）。その後の工程（図５ｃ〜図５ｇ）は、第１の実施例の工程と同一である。
本発明による第３の実施例も、パネルのローディング及び整列工程で差がある点を除いては、第１の実施例と同一である。
より具体的に説明すれば、まず、パネルＳを吸着した第１のピッカー２０は、カメラ３０がパネルＳの整列マークを認識できる位置にパネルＳを移動させ、この状態で、カメラ３０でパネルＳの整列マークを認識する（図８ａ参照）。
次に、前記第１のピッカー２０を下降させ、前記パネルＳをテーブル４０に載置し、前記整列マークの認識結果によってパネル又は研磨部を微細に調整して整列する（図８ｂ参照）。その後の工程（図５ｃ〜図５ｇ）は、第１の実施例の工程と同一である。
【符号の説明】
【０００８】
２０：第１のピッカー、３０：カメラ、４０：テーブル、５０：研磨部、６０：第２のピッカー、Ｓ：パネル
【図１】
2011104763.tif 000003
【図２】
2011104763.tif 000004
【図３ａ】
2011104763.tif 000005
【図３ｂ】
2011104763.tif 000006
【図３ｃ】
2011104763.tif 000007
【図３ｄ】
2011104763.tif 000008
【図３ｅ】
2011104763.tif 000009
【図３ｆ】
2011104763.tif 000010
【図３ｇ】
2011104763.tif 000011
【図３ｈ】
2011104763.tif 000012
【図４ａ】
2011104763.tif 000013
【図４ｂ】
2011104763.tif 000014
【図４ｃ】
2011104763.tif 000015
【図４ｄ】
2011104763.tif 000016
【図４ｅ】
2011104763.tif 000017
【図４ｆ】
2011104763.tif 000018
【図５ａ】
2011104763.tif 000019
【図５ｂ】
2011104763.tif 000020
【図５ｃ】
2011104763.tif 000021
【図５ｄ】
2011104763.tif 000022
【図５ｅ】
2011104763.tif 000023
【図５ｆ】
2011104763.tif 000024
【図５ｇ】
2011104763.tif 000025
【図６ａ】
2011104763.tif 000026
【図６ｂ】
2011104763.tif 000027
【図６ｃ】
2011104763.tif 000028
【図６ｄ】
2011104763.tif 000029
【図６ｅ】
2011104763.tif 000030
【図６ｆ】
2011104763.tif 000031
【図６ｇ】
2011104763.tif 000032
【図７ａ】
2011104763.tif 000033
【図７ｂ】
2011104763.tif 000034
【図８ａ】
2011104763.tif 000035
【図８ｂ】
2011104763.tif 000036