(57)【要約】      （修正有）【課題】予め入力経路部の温度や周波数に依存する、検出信号の位相誤差を補正する誤差補正値を取得しておき、通常の質量流量の測定の際にはこの誤差補正値を用いて入力経路部の誤差を補正することで、補正値取得による中断がなく精度の高い質量流量の測定をリアルタイムで可能とするコリオリ質量流量計を提供する。【解決手段】被測定流体が流れる流体管１を振動させ、この流体管の上流側と下流側で生じる振動を第１及び第２の振動検出器２，３で検出し、前記第１及び第２の振動検出器の検出信号の位相差に基づき前記被測定流体の流量を算出するコリオリ質量流量計において、前記第１及び第２の振動検出器２，３から検出信号がそれぞれ入力される上流側及び下流側信号入力経路の温度を検出する温度センサ８１とこの温度センサが検出する温度に基づいて前記上流側及び下流側信号入力経路から入力される前記検出信号の位相誤差を補正する補正器７と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体が流れる流体管を振動させ、この流体管の上流側と下流側で生じる振動を第１及び第２の振動検出器でそれぞれ検出し、前記第１及び第２の振動検出器の検出信号の位相差に基づいて前記被測定流体の流量を算出するコリオリ質量流量計において、
前記前記第１及び第２の振動検出器から検出信号がそれぞれ入力される上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路の温度を検出する温度センサと、
この温度センサが検出する温度に基づいて、前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路から入力される前記検出信号の位相差誤差を補正する補正部と、
を備えることを特徴とするコリオリ質量流量計。
【請求項２】
前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路から入力される前記検出信号に基づいて、前記検出信号の位相差と、流体管の振動周波数を出力する信号処理部を有し、
前記補正部は、前記温度センサが検出する温度と前記振動周波数に基づいて、前記位相差誤差を補正することを特徴とする請求項１記載のコリオリ質量流量計。
【請求項３】
前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路の温度に対する前記位相差誤差の補正値を格納する補正テーブルを有し、
前記補正部は、前記温度センサが検出する温度をキーとして、前記補正テーブルを検索して前記補正値を取得し、この補正値に基づいて前記位相差誤差を補正することを特徴とする請求項１記載のコリオリ質量流量計。
【請求項４】
前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路の温度と、流体管の振動周波数とに対する前記位相差誤差の補正値を格納する補正テーブルを有し、
前記補正部は、前記温度センサが検出する温度と、前記信号処理部が出力する流体管の振動周波数をキーとして、前記補正テーブルを検索して前記補正値を取得し、この補正値に基づいて前記位相差誤差を補正することを特徴とする請求項２記載のコリオリ質量流量計。
【請求項５】
自身が２つの状態を選択的に取り、自身が一方の状態のときに、前記第１及び第２の振動検出器のうちいずれか一方が出力する検出信号を前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路の両方に出力し、自身が他方の状態のときに、前記第１及び第２の振動検出器の検出信号をそれぞれ前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路に出力する入力切替回路を備え、
前記入力切替回路が一方の状態のときには、前記信号処理部が、前記検出信号の位相差を前記温度センサが検出する温度における補正値として前記補正テーブルに記憶させ、前記入力切替回路が他方の状態ときには、前記補正部が、前記温度センサが検出する温度をキーとして前記補正テーブルを検索し前記補正値を取得し、この補正値に基づいて前記位相差誤差を補正することを特徴とする請求項３記載のコリオリ質量流量計。
【請求項６】
前記入力切替回路が一方の状態のときには、前記信号処理部が、前記検出信号の位相差を前記温度センサが検出する温度と前記信号処理部が出力する流体管の振動周波数とに対する前記補正値として前記補正テーブルに記憶させ、前記切替回路が他方の状態ときには、前記補正部が、前記温度センサが検出する温度と、前記信号処理部が出力する流体管の振動周波数をキーとして前記補正テーブルを検索し前記補正値を取得し、この補正値に基づいて前記位相差誤差を補正することを特徴とする請求項４記載のコリオリ質量流量計。
【請求項７】
前記補正テーブルには、予め求められた前記補正値が書き込み自在であることを特徴とする請求項３〜６のいずれかに記載のコリオリ質量流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コリオリ質量流量計に関する。更に詳しくは、質量流量の測定精度を向上させるために改善を施したコリオリ質量流量計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
コリオリ質量流量計は、両端を固定した直管型やＵ字管型等の流体管内に被測定流体を流し、流体管の中央地点に取り付けられた励振装置により流体管を振動させ、流体管の上流側と下流側の対称位置に取り付けられた振動検出部で流体管の振動を検出し、上流側と下流側の振動の位相差等を用いて被測定流体の質量流量を測定する装置である。
【０００３】
従来のコリオリ質量流量計の構成を、図面を用いて説明する。図３は従来のコリオリ質量流量計の例を示した構成図である。この図では位相差の測定部の構成を示す。
流体管１は、被測定流体を流す直管型やＵ字管型等の管である。
２つの振動検出器２と振動検出器３は、流体管のそれぞれ上流側および下流側に取り付けられ、上流側および下流側の振動をアナログの電気信号として出力する。
【０００４】
アンプ４１は、上流側に取り付けられた振動検出器２からの出力を入力する。ローパスフィルタ４２は、アンプ４１からの出力を入力し、高周波部分をカットして出力する。
入力切替回路４３は、信号処理部６からの指示により、振動検出器２と振動検出器３のいずれか一方と接続され、その入力を出力する。
アンプ４４は、入力切替回路４３の出力を入力する。ローパスフィルタ４５は、アンプ４４からの出力を入力し、高周波部分をカットして出力する。
アンプ４１とローパスフィルタ４２とにより上流側信号入力経路４６を形成し、アンプ４４とローパスフィルタ４５とにより下流側信号入力経路４７を形成する。また、上流側信号入力経路４６と下流側信号入力経路４７と入力切替回路４３は、これらが実装されるプリント基板とともに入力経路部４を形成する。
【０００５】
ＡＤ変換器５は、上流側のローパスフィルタ４２と下流側のローパスフィルタ４５の出力を入力し、アナログデジタル変換して出力する。
信号処理部６は、ＡＤ変換器５の出力を入力し、上流側のローパスフィルタ４２と下流側のローパスフィルタ４５とが出力する信号の位相差と、流体管１が振動する周波数と、
を出力する。
【０００６】
信号処理部６が出力する位相差は、入力切替回路４３が振動検出器３側に接続されているときには、振動検出器２と振動検出器３の間の位相差Ｄとして出力され、また、振動検出器２側に接続されているときには、入力経路部４における上流側信号入力経路４６と下流側信号入力経路４７の間に生じる信号の位相のズレを補正する入力回路誤差補正値Ｃとして出力される（入力経路部４は、出力に温度や周波数に対する依存特性があり、この依存特性を補正するための値が入力回路誤差補正値Ｃである）。
【０００７】
補正器７は、信号処理部６が出力する位相差Ｄおよび入力回路誤差補正値Ｃを入力し、位相差Ｄを、入力回路誤差補正値Ｃに基づいて補正し、補正済位相差Ｄ’を出力する。
図示しない制御部は、補正器７が出力する補正済位相差Ｄ’と、信号処理部６が出力する周波数Ｆとを入力し、流体管１に流れる被測定流体の質量流量を測定する。
【０００８】
このような従来のコリオリ質量流量計の動作例を、図４も追加して用いて説明する。
図３に示す従来のコリオリ質量流量計の動作のフローチャートを示した図である。動作ステップは、Ｓ１〜Ｓ６であり、補正値取得プロセスと通常測定プロセスからなる。補正値取得プロセスとは前述の入力回路誤差補正値Ｃを取得するためのプロセス、通常測定プロセスとは流体管１の質量流量を測定する本来の測定プロセスである。
【０００９】
（補正値取得プロセス）
Ｓ１：信号処理部６の指示により、入力切替回路４３が振動検出器２と接続され、補正値を取得するための回路接続となる。
Ｓ２：図示しない励振装置により加振された流体管１の振動は、振動検出器２によってアナログ電気信号として出力される。アンプ４１は、上流側に取り付けられた振動検出器２からの出力を入力する。ローパスフィルタ４２は、アンプ４１からの出力を入力し、高周波部分をカットして出力する。入力切替回路４３は、振動検出器２と接続されているので、アンプ４４は、入力切替回路４３を介して、振動検出器２の出力を入力する。ローパスフィルタ４５は、アンプ４４からの出力を入力し、高周波部分をカットして出力する。ＡＤ変換器５は、上流側のローパスフィルタ４２と下流側のローパスフィルタ４５との出力を入力し、アナログデジタル変換して出力する。
Ｓ３：信号処理部６は、ＡＤ変換器５の出力を入力し、振動検出器２の信号が上流側信号入力経路４６を経由した場合と、下流側信号入力経路４７を経由した場合との位相差を検出する。
入力切替回路４３は、振動検出器２と接続されており、上流側信号入力経路４６を経由した信号と、下流側信号入力経路４７を経由した信号とは、元は振動検出器２の出力信号であるので、上流側ローパスフィルタ４２と下流側ローパスフィルタ４５の出力信号の位相差が、この時点おける入力経路部４による誤差、つまり入力回路誤差補正値Ｃとなる。
信号処理部６は、この入力回路誤差補正値Ｃを出力し、以降この出力を保持する。
【００１０】
（通常測定プロセス）
Ｓ４：信号処理部６の指示により、入力切替回路４３は振動検出器３と接続され、通常測定を行うための通常測定回路接続となる。
Ｓ５：励振装置により加振された流体管１の振動は、振動検出器２，３によってアナログ電気信号として出力される。
アンプ４１は、振動検出器２からの出力を入力する。ローパスフィルタ４２は、アンプ４１からの出力を入力し、高周波部分をカットして出力する。
入力切替回路４３は、振動検出器３と接続されているので、アンプ４４は、入力切替回路４３を介して、振動検出器３の出力を入力する。ローパスフィルタ４５は、アンプ４４からの出力を入力し、高周波部分をカットして出力する。
ＡＤ変換器５は、上流側のローパスフィルタ４２と下流側のローパスフィルタ４５との出力を入力し、アナログデジタル変換して出力する。
信号処理部６は、ＡＤ変換器５の出力を入力し、流体管１の振動周波数Ｆと、振動検出器２,３の信号の位相差Ｄを出力する。
補正器７は、信号処理部６が出力を保持している入力回路誤差補正値Ｃと、信号処理部６が出力する振動検出器２,３の信号の位相差Ｄと、に基づいて、補正済位相差Ｄ’を出力する。
図示しない制御部は、補正器７が出力する補正済位相差Ｄ’と、信号処理部６が出力する周波数Ｆとを入力し、流体管１に流れる流体の質量流量を測定する。
Ｓ６：測定を継続する場合には、信号処理部６は、位相差Ｄを保持して出力し、（Ｓ１）に移行する。
Ｌ１：測定を終了するまで、以降このＳ１〜Ｓ６のサイクルを繰り返す。
【００１１】
補正値取得プロセスと通常測定プロセスとを交互に繰り返すサイクルにより、入力経路部４おいて温度や周波数に依存する信号の位相のズレを補正し、流体管１を流れる被測定流体の質量流量を測定することができる。
【００１２】
特許文献１には、振動検出器で、流体が流れる流体管の振動を検出し、ＡＤ変換器にてアナログデジタル変換を行い、流体の質量流量を求める従来のコリオリ質量流量計の構成が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００８−２７００２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、従来のコリオリ質量流量計では、補正値取得プロセスと通常測定プロセスとを交互に時分割して繰り返す必要があるため、リアルタイムの質量流量の測定ができなくなる期間が生じるという課題があった。
【００１５】
そこで本発明の目的は、予め信号入力経路部の温度や周波数に依存する信号の位相のズレを補正する入力回路誤差補正値として取得しておき、通常の質量流量の測定の際には、この入力回路誤差補正値を用いて、入力経路部の誤差を補正することで、通常の質量流量の測定の際に入力回路誤差補正値の取得による中断がなく、リアルタイムに精度の高い質量流量の測定を可能とするコリオリ質量流量計を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
被測定流体が流れる流体管を振動させ、この流体管の上流側と下流側で生じる振動を第１及び第２の振動検出器でそれぞれ検出し、前記第１及び第２の振動検出器の検出信号の位相差に基づいて前記被測定流体の流量を算出するコリオリ質量流量計において、
前記前記第１及び第２の振動検出器から検出信号がそれぞれ入力される上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路の温度を検出する温度センサと、
この温度センサが検出する温度に基づいて、前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路から入力される前記検出信号の位相差誤差を補正する補正部と、
を備えることを特徴とするコリオリ質量流量計。
【００１７】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明であって、
前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路から入力される前記検出信号に基づいて、前記検出信号の位相差と、流体管の振動周波数を出力する信号処理部を有し、
前記補正部は、前記温度センサが検出する温度と前記振動周波数に基づいて、前記位相差誤差を補正することを特徴とする。
【００１８】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明であって、
前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路の温度に対する前記位相差誤差の補正値を格納する補正テーブルを有し、
前記補正部は、前記温度センサが検出する温度をキーとして、前記補正テーブルを検索して前記補正値を取得し、この補正値に基づいて前記位相差誤差を補正することを特徴とする。
【００１９】
請求項４記載の発明は、請求項２記載の発明であって、
前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路の温度と、流体管の振動周波数とに対する前記位相差誤差の補正値を格納する補正テーブルを有し、
前記補正部は、前記温度センサが検出する温度と、前記信号処理部が出力する流体管の振動周波数をキーとして、前記補正テーブルを検索して前記補正値を取得し、この補正値に基づいて前記位相差誤差を補正することを特徴とする。
【００２０】
請求項５記載の発明は、請求項３記載の発明であって、
自身が２つの状態を選択的に取り、自身が一方の状態のときに、前記第１及び第２の振動検出器のうちいずれか一方が出力する検出信号を前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路の両方に出力し、自身が他方の状態のときに、前記第１及び第２の振動検出器の検出信号をそれぞれ前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路に出力する入力切替回路を備え、
前記入力切替回路が一方の状態のときには、前記信号処理部が、前記検出信号の位相差を前記温度センサが検出する温度における補正値として前記補正テーブルに記憶させ、前記入力切替回路が他方の状態ときには、前記補正部が、前記温度センサが検出する温度をキーとして前記補正テーブルを検索し前記補正値を取得し、この補正値に基づいて前記位相差誤差を補正することを特徴とする。
【００２１】
請求項６記載の発明は、請求項４記載の発明であって、
前記入力切替回路が一方の状態のときには、前記信号処理部が、前記検出信号の位相差を前記温度センサが検出する温度と前記信号処理部が出力する流体管の振動周波数とに対する前記補正値として前記補正テーブルに記憶させ、前記切替回路が他方の状態ときには、前記補正部が、前記温度センサが検出する温度と、前記信号処理部が出力する流体管の振動周波数をキーとして前記補正テーブルを検索し前記補正値を取得し、この補正値に基づいて前記位相差誤差を補正することを特徴とする。
【００２２】
請求項７記載の発明は、請求項３〜６のいずれかに記載の発明であって、
前記補正テーブルには、予め求められた前記補正値が書き込み自在であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、流体管の上流側と下流側に設置した振動検出器が、流体管の振動を検出してそれぞれ上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路に出力し、温度センサが上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路の温度を検出し、この温度に基づいて、前記上流側信号入力経路及び下流側信号入力経路から入力される前記検出信号の位相差誤差を補正するので、位相差誤差を補正する補正値取得のための中断がなく、リアルタイムに精度の高い質量流量の測定を可能とするコリオリ質量流量計を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】図１に示す装置の動作のフローチャートを示した図である。
【図３】従来のコリオリ質量流量計の例を示した構成図である。
【図４】図３に示す装置の動作のフローチャートを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、流体管１と、振動検出器２，３と、アンプ４１，４４と、ローパスフィルタ４２，４５、入力切替回路４３と、ＡＤ変換器５とは、図３と同一構成であるので説明を省略する。
アンプ４１とローパスフィルタ４２とにより上流側信号入力経路４６を形成し、アンプ４４とローパスフィルタ４５とにより下流側信号入力経路４７を形成する。また、上流側信号入力経路４６と下流側信号入力経路４７と入力切替回路４３は、これらが実装されるプリント基板とともに入力経路部８を形成する。
温度センサ８１は、入力経路部８に取り付けられ、入力経路部８の回路温度を検出しアナログ電気信号として出力する。
ＡＤ変換器９は、温度センサ８１の出力をアナログデジタル変換し出力する。信号処理部１０は、ＡＤ変換器５，９の出力を入力し、入力切替回路４３の接続状態に応じて、振動検出器２，３間の位相差Ｄまたは入力回路誤差Ｃを出力するとともに、流体管１が振動する周波数Ｆと、回路温度Ｔとを出力する。
テーブル手段１１は、信号処理部１０から出力される、入力回路誤差Ｃと、周波数Ｆと、回路温度Ｔとをパラメータとする補正テーブルを作成する。この補正テーブルは、周波数Ｆと回路温度Ｔとが入力されると、それらに組みに対応する入力回路誤差Ｃを出力する。
スイッチ１２は、信号処理部１０の指示により、信号処理部１０とテーブル手段１１とのいずれかから、入力回路誤差Ｃを入力し、出力する。
補正器１３は、信号処理部１０から位相差Ｄを、スイッチから入力回路誤差Ｃを入力し、これら位相差Ｄと入力回路誤差Ｃとに基づいて補正済位相差Ｄ’を出力する。
図示しない制御部は、補正器１３が出力する補正済位相差Ｄ’と、信号処理部１０が出力する周波数Ｆとを入力し、流体管１に流れる流体の質量流量を測定する。
【００２６】
このような、コリオリ質量流量計の動作例を、図２も追加して用いて説明する。図２は本発明によるコリオリ質量流量計の動作のフローチャートを示した図である。動作ステップは、Ｓ１１〜Ｓ１９であり、補正値取得プロセスと通常測定プロセスからなる。
【００２７】
（補正値取得プロセス）
Ｓ１１：信号処理部１０の指示により、入力切替回路４３は振動検出器２と接続され、補正値を取得するための回路接続となる。
Ｓ１２：図示しない温度調整機器により、入力経路部８の回路温度Ｔを、定められた値（初期値）に調整する。
Ｓ１３：図示しない励振装置により、流体管１が振動する周波数Ｆを、定められた値（初期値）となるよう調整する。
Ｓ１４：流体管１の振動は、振動検出器２によってアナログ電気信号として出力される。入力切替回路４３は、振動検出器２と接続されており、ローパスフィルタ４２とローパスフィルタ４５との出力信号の位相差は、回路温度Ｔおよび周波数Ｆにおける入力経路部８の経路による誤差となる。信号処理部１０は、この誤差に基づいて入力回路誤差補正値Ｃを求め、出力する。
テーブル手段１１は、信号処理部１０から出力される入力回路誤差Ｃと、周波数Ｆと、回路温度Ｔとをパラメータとする補正テーブルを作成する。テーブル手段１１は、周波数Ｆと回路温度Ｔとが入力されると、それらに対応する入力回路誤差Ｃを補正テーブルから検索し、出力する。
Ｓ１５：励振装置により、流体管１が振動する周波数Ｆを、定められた値だけ変化させる。
Ｌ１１：周波数Ｆが定められた最終値に達するまで、（Ｓ１４〜Ｓ１５）を繰り返す。
Ｓ１６：温度調節機器により、回路温度Ｔを、定められた値だけ変化させる。
Ｌ１２：回路温度Ｔが定められた最終値に達するまで、（Ｓ１４〜Ｓ１６）を繰り返す。
【００２８】
補正値取得プロセスの実行が終了した時点で、定められた回路温度Ｔと周波数Ｆに対する入力回路誤差Ｃの補正テーブルが完成する。
【００２９】
（通常測定プロセス）
Ｓ１７：信号処理部１０の指示により、入力切替回路４３を振動検出器３と接続され、通常測定を行うための通常測定回路接続となる。また、スイッチ１２はテーブル手段と接続される。
Ｓ１８：励振装置により加振された流体管１の振動は、振動検出器２，３によってアナログ電気信号として出力される。
アンプ４１は、上流側に取り付けられた振動検出器２からの出力を入力する。ローパスフィルタ４２は、アンプ４１からの出力を入力し、高周波部分をカットして出力する。
入力切替回路４３は、振動検出器３と接続されているので、アンプ４４は、入力切替回路４３を介して、振動検出器３の出力を入力する。ローパスフィルタ４５は、アンプ４４からの出力を入力し、高周波部分をカットして出力する。ＡＤ変換器５は、上流側のローパスフィルタ４２と下流側のローパスフィルタ４５との出力を入力し、アナログデジタル変換して出力する。
温度センサ８１が入力経路部８の温度をアナログ電気信号として検出し、ＡＤ変換器９によりアナログデジタル変換を行い出力する。
信号処理部１０は、ＡＤ変換器５，９の出力を入力し、振動検出器２,３の出力信号の位相差Ｄ、流体管１の振動周波数Ｆ、回路温度Ｔおよびを出力する。
テーブル手段１１は、信号処理部１０が出力する回路温度Ｔおよび周波数Ｆをキーとして自己の補正テーブルを検索し、対応する入力回路誤差補正値Ｃを出力する。
テーブル手段１１が出力する入力回路誤差補正値Ｃは、スイッチ１２へ入力される。
補正器１３は、信号処理部１０が出力する位相差Ｄと、スイッチ１２が出力する入力回路誤差補正値Ｃと、に基づいて、補正済位相差Ｄ’を出力する。
図示しない制御部は、補正器１３が出力する補正済位相差Ｄ’と、信号処理部１０が出力する周波数Ｆとを入力し、流体管に流れる流体の質量流量を測定する。
Ｓ１９：測定を継続する場合、（Ｓ１８）に移行する。
Ｌ１３：測定を終了するまで、（Ｓ１８〜Ｓ１９）のサイクルを繰り返す。
【００３０】
補正値取得プロセス（Ｓ１１〜Ｓ１６）により補正値測定をした後、以降の通常測定プロセス（Ｓ１８〜Ｓ１９）では補正値取得プロセスを介すことなく通常測定を連続して行うことができ、入力経路部８の回路温度Ｔおよび周波数Ｆに依存する誤差をリアルタイムで補正可能である。
【００３１】
このように、振動検出器２と振動検出器３が流体管１の振動を検出し、温度センサ８１が入力経路の回路温度Ｔを検出し、入力切替回路４３は自身がＯＮ状態のとき振動検出器２の電気信号を上流側信号入力経路４６と下流側信号入力経路４７の双方に入力し、信号処理部１０は、上流側信号入力経路４６と下流側信号入力経路４７が出力する電気信号に基づいて入力経路部８による誤差を補正する入力回路誤差補正値Ｃと、流体管１が振動する周波数Ｆと、を出力し、テーブル手段１１が、回路温度Ｔ、周波数Ｆをキーとして入力回路誤差補正値Ｃを検索可能な補正テーブルを作成し、また、入力切替回路４３は自身がＯＦＦ状態のとき振動検出器２と振動検出器３の電気信号をそれぞれ上流側信号入力経路４６と下流側信号入力経路４７に入力し、信号処理部１０が上流側信号入力経路４６と下流側信号入力経路４７が出力する電気信号に基づいて位相差Ｄと周波数Ｆを出力し、テーブル手段１１が回路温度Ｔと周波数Ｆをキーとして補正テーブルを検索して入力回路誤差補正値Ｃを出力し、補正器１３が位相差Ｄと入力回路誤差補正値Ｃに基づいて補正済位相差Ｄ’を出力するので、以降通常測定において、入力回路誤差補正値Ｃを取得する期間が不要となり、リアルタイムに精度の高い質量流量の測定を可能とするコリオリ質量流量計を実現することができる。
【００３２】
なお、補正テーブルは、書き込み自在であり、予め補正値入力回路誤差補正値Ｃを求め、工場出荷時等に書き込んでおいてもよい。また、テーブル手段１１は、回路温度Ｔのみをキーとして入力回路誤差補正値Ｃを検索可能な補正テーブルを作成してもよい。
【００３３】
入力切替手段は、ＯＮ状態のとき振動検出器３の電気信号を上流側信号入力経路４６と下流側信号入力経路４７の双方に入力し、ＯＦＦ状態のとき、振動検出器２と振動検出器３の電気信号をそれぞれ上流側信号入力経路４６と下流側信号入力経路４７に入力する構成でもよい。
【符号の説明】
【００３４】
２，３  振動検出器
４３  入力切替回路
４６  上流側信号入力経路
４７  下流側信号入力経路
８  入力経路部
８１  温度センサ
１０  信号処理部
１１  テーブル手段
１３  補正器
【図１】
2011174731.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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