(57)【要約】      （修正有）【課題】コスト高を招くことなく、搬送中のガラス基板が搬送路にある構造物などとの接触、衝突を回避することのできる基板搬送台車を提供する。【解決手段】車輪を有する支持台、垂直に設けたスタンド、ガラス基板を載置するフォーク３０−１〜３０−４、フォーク保持部４０、フォーク保持部を回転し固定する回転機構５０で構成される基板搬送台車にて、フォーク３０の先端部Ｃに基板保護部材８０−１，８０−４が設けられている。基板保護部材は軽量材料からなり、フォークへは着脱容易に設けられている。基板保護部材は確認し易い安全色である。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも複数個の車輪を有する支持台と、該支持台上に垂直に設けたスタンドと、ガラス基板を載置する複数本のフォークと、該フォークを保持するフォーク保持部と、該フォーク保持部を水平から垂直の任意角度を回転し固定する、前記スタンドに設けた回転機構とで構成される基板搬送台車において、前記フォークに基板保護部材が設けられていることを特徴とする基板搬送台車。
【請求項２】
前記基板保護部材が設けられている部位が、フォークの先端部であることを特徴とする請求項１記載の基板搬送台車。
【請求項３】
前記基板保護部材は、軽量材料からなり、フォークへは着脱容易に設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板搬送台車。
【請求項４】
前記基板保護部材は、確認し易い安全色であること特徴とする請求項１、請求項２、又は請求項３記載の基板搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、オフラインでガラス基板を搬送する際の、手動の基板搬送台車に関するものであり、特に、コスト高を招くことなく、搬送中のガラス基板が搬送路にある構造物などとの接触、衝突を回避することのできる基板搬送台車に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置などの表示装置に用いられるカラーフィルタを製造する際の、製造ラインの各工程は自動化されており、製造ラインの各工程では、搬送コンベア、搬送ロボット、基板搬送台車などでガラス基板及び工程途中のガラス基板を搬送している。
これまで、製造装置の各ユニットをインラインとして連結し、ユニット間を搬送コンベア、搬送ロボットでガラス基板の受渡しを行っていた。
【０００３】
しかしながら、近年、製造コストを削減するため、ガラス基板の大型化が進んでおり、ガラス基板の大型化に伴い製造装置も大型化が進み、製造工場として必要となる床面積が増大している。この床面積の増大に対応し、製造装置の各ユニットをインラインで連結する製造ラインを幾つかに分断したオフラインとし、その間は、基板搬送台車でガラス基板の受取り、搬送、投入を行う製造ラインへと移行している。
【０００４】
図１は、カラーフィルタの製造工場において、オフラインでガラス基板を搬送する際の、手動の基板搬送台車の一例の概略を示しす平面図である。また、図２は正面図、図３は右側面図である。図１〜図３に示す基板搬送台車は、枚葉のガラス基板を搬送する基板搬送台車である。この基板搬送台車は、手動での製造工程へのガラス基板の搬入、受取りを行うのに用いる。
【０００５】
図１〜図３に示すように、この基板搬送台車は、複数個の車輪（６０）を有する支持台（１０）、支持台（１０）上に垂直に設けられたスタンド（２０）、ガラス基板を載置する複数本のフォーク（３０）、フォーク（３０）を保持するフォーク保持部（４０）、フォーク保持部（４０）を回転させる回転機構（５０）で構成されている。回転機構（５０）はスタンド（２０）に設けられている。
フォーク（３０）上にはガラス基板（１００）が水平に載置されており、作業者は、手動で基板搬送台車を移動させてガラス基板（１００）を搬送する。図２、図３中、符号（ＦＬ）は、製造工場内の床面を表している。
【０００６】
フォーク（３０）の上面には吸着パッドが設けられており、基板搬送台車に搭載された真空吸引ユニット（図示せず）による真空吸引によって、フォーク（３０）上に載置されたガラス基板（１００）を固定するようになっている。基板搬送台車は、ガラス基板（１００）をフォーク（３０）上に固定した状態でガラス基板（１００）を水平に搬送する。また、基板搬送台車は、ガラス基板（１００）を水平に搬送するのみでなく、例えば、搬送路の近傍の構造物の状況に応じフォーク（３０）を傾斜させて、基板搬送台車上でのガラス基板（１００）の幅を狭くした状態の傾斜搬送をする。
真空吸引ユニットを設けるとコスト高になるので、吸着パッドに代わりクッション及びすべり止めのシリコーンゴムを用いてもよい。
【０００７】
図３に示すように、フォーク（３０）上で水平に固定されたガラス基板（１００）のＹ軸方向の幅は、符号（Ｗ１）で表される幅である。これに対して、図４は、回転機構（５０）を作動させてフォーク（３０）を傾斜し、基板搬送台車上でのガラス基板（１００）の幅（Ｗ２）を狭くした状態を示したものである（Ｗ２＜Ｗ１）。
製造工場内の搬送路の近傍の構造物の状況に応じ、図４に示すようにフォーク（３０）を傾斜し、基板搬送台車上でのガラス基板（１００）の幅（Ｗ２）を狭くした傾斜搬送をすることも出来るようになっている。
【０００８】
なお、回転機構（５０）は、図１〜図３に示すように、Ｙ軸とＺ軸の交点（Ｏ）を通るフォーク（３０）上面上のＸ軸を回転軸としている。この回転角（θ）は、図４に示すフォーク保持部（４０）の水平位置（Ｙ軸）から、例えば、９０°回転した垂直位置までであり、この間の任意な角度の回転によって、フォーク（３０）上のガラス基板（１００）を任意な角度に傾斜した状態に保ち搬送することができる。
【０００９】
しかし、このような基板搬送台車を用いてのガラス基板（１００）の搬送は、ガラス基板の大型化に伴い基板搬送台車を取り扱う操作性が次第に悪くなり、また、フォーク（３０）上に固定したガラス基板の端部の位置を確認する視認性が次第に悪くなり、例えば、搬送路にある構造物との接触や衝突によって、ガラス基板が破損するといった事故の可能性が高まっている。
【００１０】
図５は、搬送中のガラス基板が、搬送路における構造物に接触する一例を説明する側面図である。図５は、図１に示す基板搬送台車の左側面図であり、作業者が基板搬送台車の左側面側から図１に白太矢印で示す方向へ基板搬送台車を移動させ、ガラス基板を搬送している状態を表したものである。
【００１１】
フォーク保持部（４０）は回転機構（５０）により傾斜され、フォーク（３０）上でのガラス基板の幅（Ｗ２）は、水平状態のガラス基板の幅（Ｗ１）よりも狭い幅となっている。しかし、図１に符号（Ａ）にて示すガラス基板（１００）の一隅は、作業者の位置からは、特に、視認性が悪く、搬送路にある構造物（２００）の突出部（Ｂ）に接触、或いは衝突し易い。
【００１２】
図６は、手動の基板搬送台車の他の例の概略を示す平面図である。この基板搬送台車は、このような、ガラス基板（１００）の搬送中における搬送路での構造物などとの接触、衝突によるガラス基板の破損を防止するために、ガラス基板を収納する収納トレイにガラス基板を収納した状態でガラス基板を搬送する基板搬送台車である。また、図７は正面図、図８は右側面図である。図６〜図８に示す基板搬送台車は、枚葉のガラス基板を収納トレイに収納した状態で搬送する。
【００１３】
図６〜図８に示すように、この基板搬送台車は、複数個の車輪（６０−２）を有する支持台（１０−２）、支持台（１０−２）上のＸ軸方向の両端部（両側面）に垂直に設けられた２個のスタンド（２０−２）、収納トレイを保持する２個のトレイ保持部（７０）、トレイ保持部（７０）を回転させる２個の回転機構（５０−２）で構成されている。
枚葉のガラス基板を収納する収納トレイ（３００）は水平に保持されており、ガラス基板（１００）は収納トレイ（３００）に水平に載置、固定されている。作業者は、手動で基板搬送台車を移動させてガラス基板（１００）を搬送する。
【００１４】
基板搬送台車は、ガラス基板（１００）を収納トレイ（３００）に載置、固定した状態でガラス基板（１００）を水平に搬送する。また、基板搬送台車は、ガラス基板（１００）を水平に搬送するのみでなく、例えば、搬送路の近傍の構造物の状況に応じ収納トレイ（３００）を傾斜させて、基板搬送台車上でのガラス基板（１００）の幅を狭くした状態とした、傾斜搬送をすることも出来るようになっている。
【００１５】
確かに、このような基板搬送台車を用いることによって、ガラス基板の一隅（Ａ）の視認性は向上し、また、ガラス基板は保護され、搬送路にある構造物との接触や衝突による
ガラス基板の破損事故の可能性は軽減されたものとなる。
しかしながら、一方では、搬送路の幅や、製造装置が設置されている作業場への出入口を広く必要とするために、クリーンルームの床面積、及び出入口の面積が広いものとなり、建設コスト、及び維持費の点で難点が伴う。
【００１６】
また、例えば、クリーンルームの床面積や出入口の面積を広くせずに、この基板搬送台車で対応するとなると、この対応を施した基板搬送台車には、収納トレイ（３００）の重量が加算されるので、重厚な構造の基板搬送台車となってしまい、１台当たりの価格は高額なものとなる。
【００１７】
例えば、第１０世代のガラス基板のサイズである、２８００×３０００ｍｍ程度のガラス基板の重量は１５ｋｇ／枚程度であり、また収納トレイの重量は２０ｋｇ程度である。つまり、ガラス基板の重量に収納トレイの重量が加算された、２０〜３５ｋｇ程度の重量物を取り扱うとなると、その基板搬送台車は重厚な構造となってしまうためである。
【００１８】
また、収納トレイ（３００）でガラス基板を搬送する基板搬送台車を用いる際には、収納トレイが作業場へ持ち込まれるので、例えば、収納トレイによってクリーンルームが汚染されないように、収納トレイを清浄な状態に保つための維持費がかさむことになる。また、収納トレイを装置内に入れ込むことになるので、装置内の汚染が懸念される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１９】
【特許文献１】特開２００９−７１１１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
上述するように、カラーフィルタの製造工場において、オフラインでガラス基板を搬送する際の、手動の基板搬送台車として、図６〜図８に例示する収納トレイにガラス基板を収納して搬送する基板搬送台車は、難点が多い。
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、収納トレイを用いずに、基板搬送台車を重厚なものとせず、つまり、コスト高を招くことなく、搬送中のガラス基板が搬送路にある構造物などとの接触、衝突を回避することのできる基板搬送台車を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、少なくとも複数個の車輪を有する支持台と、該支持台上に垂直に設けたスタンドと、ガラス基板を載置する複数本のフォークと、該フォークを保持するフォーク保持部と、該フォーク保持部を水平から垂直の任意角度を回転し固定する、前記スタンドに設けた回転機構とで構成される基板搬送台車において、前記フォークに基板保護部材が設けられていることを特徴とする基板搬送台車である。
【００２２】
本発明は、上記発明による基板搬送台車において、前記基板保護部材が設けられている部位が、フォークの先端部であることを特徴とする基板搬送台車である。
【００２３】
本発明は、上記発明による基板搬送台車において、前記基板保護部材は、軽量材料からなり、フォークへは着脱容易に設けられていることを特徴とする基板搬送台車である。
【００２４】
本発明は、上記発明による基板搬送台車において、前記基板保護部材は、確認し易い安全色であること特徴とする基板搬送台車である。
【発明の効果】
【００２５】
本発明は、少なくとも複数個の車輪を有する支持台と、該支持台上に垂直に設けたスタンドと、ガラス基板を載置する複数本のフォークと、該フォークを保持するフォーク保持部と、該フォーク保持部を水平から垂直の任意角度を回転し固定する、前記スタンドに設けた回転機構とで構成される基板搬送台車において、前記フォークの先端部に基板保護部材が設けられているので、コスト高を招くことなく、搬送中のガラス基板が搬送路にある構造物などとの接触、衝突を回避することのできる基板搬送台車となる。
【００２６】
また、本発明は、基板保護部材がフォーク上のガラス基板の周囲に設けられているので、ガラス基板の先端部或いは周囲端部の位置をより確かに確認しながら、ガラス基板の搬送を行うことができる。これにより、例えば、搬送路にある構造物などとの接触、衝突をより確かに回避することのできる。
【００２７】
また、本発明は、基板保護部材は、軽量材料からなり、フォークへは着脱容易に設けられているので、フォークへの荷重の負担なく、簡便に安全なガラス基板の搬送が可能となる。
【００２８】
また、本発明は、基板保護部材は、確認し易い安全色であるので、作業者はガラス基板の先端部或いは周囲端部の位置を容易に確認しながら、ガラス基板の搬送を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】ガラス基板を搬送する手動の基板搬送台車の一例の概略を示した平面図である。
【図２】手動の基板搬送台車の一例の正面図である。
【図３】手動の基板搬送台車の一例の右側面図である。
【図４】フォークを傾斜し、基板搬送台車上でのガラス基板の幅を狭くした状態図である。
【図５】搬送中のガラス基板が、搬送路における構造物に接触する一例を説明する側面図である。
【図６】手動の基板搬送台車の他の例の概略を示す平面図である。
【図７】手動の基板搬送台車の他の例の正面図である。
【図８】手動の基板搬送台車の他の例の右側面図である。
【図９】基板搬送台車のフォークの先端部に、本発明の基板保護部材が設けられた例である。
【図１０】図９に点線で囲むガラス基板の一隅の部分を拡大した平面図である。
【図１１】図１０のＸ２−Ｘ２での断面図である。
【図１２】図１０のＹ２−Ｙ２での断面図である。
【図１３】本発明の基板搬送台車を用い、ガラス基板を搬送する一例を説明する側面図である。
【図１４】フォークに基板保護部材が設けられた基板搬送台車の他の例を示す平面図である。
【図１５】図１４に示す正面側の基板保護部材を拡大して示す平面図である。
【図１６】図１４のＸ３−Ｘ３での断面図である。
【図１７】図１４のＹ３−Ｙ３での断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下に、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
本発明は、図１〜図３に示す基板搬送台車のように、複数個の車輪を有する支持台と、支持台上に垂直に設けられたスタンドと、ガラス基板を載置する、吸着パッド又はすべり止めのシリコーンゴムを有する複数本のフォークと、フォークを保持するフォーク保持部と、フォーク保持部を回転させる回転機構とで構成されている基板搬送台車の、該フォークに基板保護部材が設けられたものである。
【００３１】
図９には、基板搬送台車のフォーク、フォーク保持部（４０）、回転機構（５０）が示されている。フォークは、基板搬送台車の正面側のフォーク（３０−１）〜後面側のフォーク（３０−４）の４本で構成されている例であり、正面側のフォーク（３０−１）〜後面側のフォーク（３０−４）は水平な状態である。フォーク上には、ガラス基板が載置、固定されている。
【００３２】
図９は、正面側のフォーク（３０−１）の先端部（Ｃ）、及び後面側のフォーク（３０−４）の先端部（Ｃ）に、本発明における正面側の基板保護部材（８０−１）、及び後面側の基板保護部材（８０−４）の各々が設けられた例である。
基板保護部材は、手動での基板搬送台車の移動中に、ガラス基板の端部の位置を確認し易くさせ、例えば、搬送路にある構造物との接触や衝突を回避させるものである。また、軽い接触の際には衝撃を緩和しガラス基板が破損するといった事故を防ぐものである。
【００３３】
図１０は、図９に点線で囲むガラス基板（１００）の一隅の部分（Ｇ）を拡大した平面図である。また、図１１は図１０のＸ２−Ｘ２での断面図、図１２は図１０のＹ２−Ｙ２での断面図である。
図１０〜図１２に示すように、正面側の基板保護部材（８０−１）は、矩形の底板（８１）と、底板（８１）の正面側の正面板（８３）と、底板（８１）の右側面側で正面寄りの右側板（８２）とが一体的に構成されたものである。底板（８１）の上面には、Ｘ軸方向に凹状の溝部（８６）が形成されている。
【００３４】
基板保護部材の材料としては、軽量の材料、例えば、発泡ポリエチレンが好ましい。基板保護部材が軽量の材料であることにより、フォークへの荷重の負担がなく、また、フォークへの基板保護部材の着脱が容易なものとなる。
正面側の基板保護部材（８０−１）を正面側のフォーク（３０−１）の下方から近ずけて、正面側のフォーク（３０−１）の先端部（Ｃ）の下部を、正面側の基板保護部材（８０−１）の溝部（８６）へ差し込んで、正面側のフォーク（３０−１）に正面側の基板保護部材（８０−１）を装着する。
【００３５】
正面側の基板保護部材（８０−１）は、正面側のフォーク（３０−１）の先端部（Ｃ）の下部を、溝部（８６）へ差し込んだ状態で正面側のフォーク（３０−１）により保持され、基板搬送台車の移動に伴いフォークと共に移動する。
溝部（８６）の幅、及び深さは、正面側のフォーク（３０−１）の移動中には脱落せず、
且つフォーク（３０−１）への着脱が容易なように調整されたものとしておく。
【００３６】
また、基板保護部材の色は、ガラス基板（１００）の先端部の位置が、作業者から確認し易い色であることが好ましい。例えば、対比色としてのクリーンルーム内壁の色が白の場合、基板保護部材の色は、一般に事故、災害を防止するための各種標識に用いられる安全色としての、赤、黄赤、黄、緑などが好適である。
【００３７】
図９に示す、後面側の基板保護部材（８０−４）の形状は、図１０に示す正面側の基板保護部材（８０−１）の、図９におけるＸ−Ｘ線での垂直面を対称とする面対称の形状のものである。
【００３８】
図１３は、本発明による基板搬送台車を用いてのガラス基板の搬送の一例を説明する側面図である。図１３は、図５と同様に、図１に示す基板搬送台車の左側面から白太矢印で示す方向へ基板搬送台車を移動させ、ガラス基板を搬送している状態を表したものである。図１３に示すように、本発明による基板搬送台車は、フォークの先端部（Ｃ）に、正面側の基板保護部材（８０−１）、及び後面側の基板保護部材（８０−４）の各々が装着されているので、作業者の位置からも視認性よく、搬送路における構造物（２００）の突出部（Ｂ）と、ガラス基板（１００）の一隅との位置関係は容易に確認することができる。従って、突出部（Ｂ）への接触を事前に回避することが可能となる。
【００３９】
図１４は、基板搬送台車のフォークに基板保護部材が設けられた基板搬送台車の他の例を示す平面図である。正面側のフォーク（３０−１）に正面側の基板保護部材（９０−１）が、後面側のフォーク（３０−４）に後面側の基板保護部材（９０−４）が、また、正面側のフォーク（３０−１）〜後面側のフォーク（３０−４）の各先端部に右側面側の右側面の基板保護部材（９０−２）が設けられた例である。
【００４０】
図１４に示すように、これら３種の基板保護部材を設けることによって、フォーク上に固定されたガラス基板（１００）の周囲端の位置は、より確認し易いものとなり、ガラス基板の搬送はより安全なものとなる。
【００４１】
図１５は、図１４に示す正面側の基板保護部材（９０−１）を拡大して示す平面図である。また、図１６は図１５のＸ３−Ｘ３での断面図、図１７は図１５のＹ３−Ｙ３での断面図である。図１５〜図１７に示すように、正面側の基板保護部材（９０−１）は、２個の矩形の底板（９１）と、両底板（９１）の正面側の正面板（９３）と、左側面側の左側板（９４）とが一体的に構成されたものである。２個の底板（９１）の上面には、各々、Ｘ軸方向に凹状の溝部（９６）が形成されている。
【００４２】
正面側の基板保護部材（９０−１）を正面側のフォーク（３０−１）の下方から近ずけて、正面側のフォーク（３０−１）の下部を、正面側の基板保護部材（９０−１）の２ケ所の溝部（９６）へ差し込んで、正面側のフォーク（３０−１）に正面側の基板保護部材（９０−１）を装着する。
【００４３】
図１４に示す、後面側の基板保護部材（９０−４）の形状は、図１５に示す正面側の基板保護部材（９０−１）と、図１４におけるＸ−Ｘ線での垂直面を対称とする面対称の形状である。
また、図１４に示す、右側面側の基板保護部材（９０−２）の形状は、例えば、前記図９に示す、正面側の基板保護部材（８０−１）及び後面側の基板保護部材（８０−４）を両端に位置させ、底板（８１）と右側板（８２）とを延長して、両基板保護部材（８０−１、８０−４）を連結させ、これらで一体的に構成される形状のものである。
【００４４】
図１４に示すように、正面側のフォーク（３０−１）の下部を、正面側の基板保護部材（９０−１）の２ケ所の溝部（９６）へ差し込んで、正面側のフォーク（３０−１）に正面側の基板保護部材（９０−１）を装着し、同様に、後面側のフォーク（３０−４）の下部を、後面側の基板保護部材（９０−４）の２ケ所の溝部（９６）へ差し込んで、後面側のフォーク（３０−４）に後面側の基板保護部材（９０−４）を装着する。
【００４５】
また、正面側のフォーク（３０−１）及び後面側のフォーク（３０−４）の先端部（Ｃ）の下部を、右側面側の基板保護部材（９０−２）の２ケ所の溝部（９６）へ差し込んで、正面側のフォーク（３０−１）及び後面側のフォーク（３０−４）に右側面側の基板保護部材（９０−２）を装着する。
【００４６】
これにより、フォーク上のガラス基板（１００）の周囲は、基板保護部材によって保護されたことになり、基板搬送台車の移動してガラス基板を搬送する際に、作業者は、より確かに、ガラス基板（１００）の先端部、及び周囲の端部の位置を認識しながらガラス基板を搬送することが可能となる。
従って、作業者は、搬送路にある構造物との接触や衝突をより確かに回避することができ、ガラス基板が破損するといった事故を未然に防ぐことができる。
【符号の説明】
【００４７】
１０、１０−２・・・支持台
２０、２０−２・・・垂直に設けられたスタンド
３０−１〜３０−４・・・正面側のフォーク〜後面側のフォーク
４０・・・フォーク保持部
５０、５０−２・・・回転機構
７０・・・トレイ保持部
８０−１、９０−１・・・本発明における正面側の基板保護部材
８０−４、９０−４・・・本発明における後面側の基板保護部材
８１、９１・・・矩形の底板
８２・・・右側板
８３、９３・・・正面板
８６、９６・・・凹状の溝部
９０−２・・・本発明における右側面の基板保護部材
９４・・・左側板
１００・・・ガラス基板
２００・・・２００
３００・・・収納トレイ
Ａ・・・ガラス基板の一隅
Ｂ・・・構造物の突出部  
Ｃ・・・フォークの先端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2011018730.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2011018730.tif 000013
【図１２】
2011018730.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2011018730.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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