(57)【要約】【課題】レーザー溶着で部材同士を接合しても、供給路の内部や、供給路同士の間の当接部での損傷を抑制できる液体供給部材を提供する。【解決手段】液体供給部材は、レーザー光２１に対して吸収性を有する吸収性部材１５と、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材１７とを有している。吸収性部材１５と透過性部材１７とがレーザー光により溶着されることで、液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路１８が形成されている。この供給路１８を形成するための複数の溝２９が、吸収性部材１５と透過性部材１７のいずれか一方または両方に設けられている。透過性部材１７の、溝２９と溝２９の間に対応する部分の少なくとも一部に、レーザー光２１の透過量を減少させる減衰領域２２が設けられている。【選択図】図４
2011104892.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材と、前記レーザー光に対して透過性を有する透過性部材とを有し、前記吸収性部材と前記透過性部材とが前記レーザー光により溶着されることで液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路が形成された液体供給部材であって、
前記吸収性部材及び前記透過性部材の少なくともいずれか一方に、前記供給路を形成するための複数の溝が設けられており、
前記透過性部材の、前記溝と前記溝の間に対応する部分の少なくとも一部に、前記レーザー光の透過量を減少させる減衰領域が設けられている、液体供給部材。
【請求項２】
前記減衰領域が、前記透過性部材の、前記吸収性部材とは反対側の面であり、前記溝の位置と、前記溝と前記溝との間の中央部の位置に設けられている、請求項１に記載の液体供給部材。
【請求項３】
前記減衰領域が、前記透過性部材の、前記吸収性部材とは反対側の面であり、前記溝の上と、前記溝の上から前記溝と前記溝との間の位置まではみ出し、かつ前記溝と前記溝との間の中央部分を除いた領域に設けられている、請求項１に記載の液体供給部材。
【請求項４】
前記供給路を形成するための溝が、前記吸収性部材の前記透過性部材と溶着される面に設けられており、前記減衰領域が、前記溝と前記溝との間の中央部の位置に設けられている、請求項１に記載の液体供給部材。
【請求項５】
前記供給路を形成するための溝が、前記透過性部材の前記吸収性部材と溶着される面に設けられており、前記減衰領域が、前記溝、前記吸収性部材の前記透過性部材と溶着される面に対向する部分に設けられている、請求項１に記載の液体供給部材。
【請求項６】
前記減衰領域として、前記レーザー光を反射させる反射膜が設けられている、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体供給部材。
【請求項７】
前記透過性部材の前記減衰領域の位置の表面粗さが、前記減衰領域ではない位置の表面粗さよりも大きくなっている、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体供給部材。
【請求項８】
前記減衰領域の位置では、前記透過性部材の前記吸収性部材と溶着される面と反対側の面が突出した段部を有する、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体供給部材。
【請求項９】
レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材と、前記レーザー光に対して透過性を有する透過性部材とを有し、前記吸収性部材と前記透過性部材とが前記レーザー光により溶着されることで液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路が形成された液体供給部材であって、
前記吸収性部材及び前記透過性部材の少なくともいずれか一方に、前記供給路を形成するための複数の溝が設けられており、
前記透過性部材の、前記溝と前記溝の間に対応する部分の一部に、レーザー光を遮断する遮断領域が設けられている、液体供給部材。
【請求項１０】
液体を吐出する吐出口と、該吐出口に液体を供給する供給路を有する液体供給部材と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記液体供給部材は、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材と、前記レーザー光に対して透過性を有する透過性部材とを有し、前記吸収性部材と前記透過性部材とが前記レーザー光により溶着されることで前記供給路が形成された前記液体供給部材であって、
前記吸収性部材と前記透過性部材のいずれか一方または両方に、前記供給路を形成するための複数の溝が設けられており、
前記透過性部材に、前記レーザー光の透過量を減少させる減衰領域が設けられている、液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材と、前記レーザー光に対して透過性を有する透過性部材とを有し、前記吸収性部材及び前記透過性部材の少なくともいずれか一方に、液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路を形成するための複数の溝が設けられた液体供給部材の製造方法であり、
前記溝を内側にして、前記吸収性部材と透過性部材とを当接する工程と、
前記透過性部材を介して前記レーザー光を照射して、前記吸収性部材と前記透過性部材との、前記当接がなされた当接部を溶解させ、前記吸収性部材と前記透過性部材とを溶着することで前記供給路を形成する工程と、
を有し、
前記供給路を形成する工程において、前記透過性部材に設けられた前記レーザー光の透過量を減少させる減衰領域を介して、前記溝と前記溝の間の少なくとも一部に前記レーザー光を照射する、液体供給部材の製造方法。
【請求項１２】
前記減衰領域を、前記透過性部材の、前記吸収性部材とは反対側の面であり、前記溝と前記溝との間の中央部の位置とに配置する、請求項１１に記載の液体供給部材の製造方法。
【請求項１３】
前記減衰領域を、前記透過性部材の、前記吸収性部材とは反対側の面であり、前記溝の上と、前記溝の上から前記溝と前記溝との間の位置まではみ出し、かつ前記溝と前記溝との間の中央部分を除いた領域に配置する、請求項１１に記載の液体供給部材の製造方法。
【請求項１４】
前記吸収性部材の前記透過性部材と溶着される面に、前記供給路を形成するための前記溝を設けて、前記減衰領域を、前記溝と前記溝との間の中央部の位置に配置する、請求項１１に記載の液体供給部材の製造方法。
【請求項１５】
前記吸収性部材の前記透過性部材と溶着される面に、前記供給路を形成するための前記溝を設けて、前記減衰領域を、前記溝の、前記吸収性部材の前記透過性部材と溶着される面に対向する部分に設ける、請求項１１に記載の液体供給部材の製造方法。
【請求項１６】
前記減衰領域に、前記レーザー光を反射させる反射膜を形成する、請求項１１から１５のいずれか１項に記載の液体供給部材の製造方法。
【請求項１７】
前記透過性部材の前記減衰領域の位置の表面粗さを、前記減衰領域ではない位置の表面粗さよりも大きくする、請求項１１から１５のいずれか１項に記載の液体供給部材の製造方法。
【請求項１８】
前記減衰領域として、前記透過性部材の前記吸収性部材と溶着される面と反対側の面に突出した段部を形成する、請求項１１から１５のいずれか１項に記載の液体供給部材の製造方法。
【請求項１９】
液体を吐出する吐出口と、該吐出口に液体を供給する供給路を有する液体供給部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記液体供給部材は、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材と、前記レーザー光に対して透過性を有する透過性部材とを有し、前記吸収性部材及び前記透過性部材の少なくともいずれか一方に、前記液体を吐出する前記吐出口に前記液体を供給する前記供給路を形成するための複数の溝が設けられており、
前記溝を内側にして、前記吸収性部材と前記透過性部材とを当接する工程と、
前記透過性部材を介して前記レーザー光を照射して、前記吸収性部材と前記透過性部材との、前記当接がなされた当接部を溶解させ、前記吸収性部材と前記透過性部材とを溶着することで前記供給路を形成する工程とを有し、
前記供給路を形成する工程において、前記透過性部材に設けられた前記レーザー光の透過量を減少させる減衰領域を介して、前記溝と前記溝の間の少なくとも一部に前記レーザー光を照射する、液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する吐出口に液体を供給する液体供給部材、液体を吐出する液体吐出ヘッド、およびそれらの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録方式に用いられる液体吐出ヘッド、具体的にはインクジェット記録ヘッドは、タンクホルダユニットと、インクを吐出するための記録素子ユニットとを有する。液体供給部材は、液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路を有しており、例えば、インクジェット記録ヘッドに用いられる。
【０００３】
タンクホルダユニットは、後述する供給路を構成するための吸収性部材を有する、インクを貯めておくタンクホルダと、供給路を吸収性部材とともに構成するための透過性部材とを有する。吸収性部材と透過性部材とが接合することで、供給路を有する液体供給部材（インク供給部材）が形成される。
【０００４】
吸収性部材と透過性部材とを接合する方法の１つとして、レーザー溶着による方法（例えば特許文献１）が知られている。一般にレーザー溶着では、レーザー光に対して吸収性を有する材料の上にレーザー光に対して透過性を有する材料を当接させ、レーザー光に対して透過性を有する材料の上方から溶着すべき部分にレーザー光を照射する。レーザー光は透過性を有する材料を透過し、吸収性を有する材料の境界面付近で発熱し溶融する。次にその熱は 熱伝導によって透過性を有する材料にも伝わって透過性を有する材料が溶融し、吸収性を有する材料と透過性を有する材料とが接合する。このような方法で接合させる方法がレーザー溶着である。
【０００５】
従来技術の一例として、特許文献１に記載のレーザー溶着法を用いた吸収性部材と透過性部材との接合方法について説明する。レーザー光に対して吸収性を有する材料で構成されたタンクホルダの吸収性部材と、レーザー光に対して透過性を有する材料で構成され、吸収性部材と当接することで供給路を形成するための溝を有している透過性部材とを用いる。吸収性部材と透過性部材とを当接させ、治具で固定し、この状態で、透過性部材側からレーザー照射器でレーザー光を照射する。すると、吸収性部材と透過性部材との当接部が溶解し接合されるので、透過性部材の溝とタンクホルダの吸収性部材とで供給路が形成される。
【０００６】
レーザー照射の方式にはスキャン方式と一括照射方式とがある。図７（ａ）に示すように、スキャン方式では、各レーザー照射器５６に１つのレーザー発振器６０がそれぞれ設けられている。レーザー照射器５６から照射されるレーザー光５９のスポット径を絞り込んで、治具５４で固定した吸収性部材５８と供給路を形成するための溝５３を有する透過性部材５２との当接部５５のみにレーザー光５９を走査し照射する方式である。つまり、タンクホルダの吸収性部材５８と透過性部材５２とが当接していない透過性部材５２の溝５３の位置にはレーザー光５９が照射されない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−０９６４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一括照射方式を用いて吸収性部材５８と透過性部材５２とを溶着する場合を想定し、図７を用いて説明する。図７（ｂ）に示すように、一括照射方式では、レーザー照射器５６に複数のレーザー発振器６０が設けられている。そして、治具５４で固定したタンクホルダの吸収性部材５８と、供給路を形成するための溝５３を有する透過性部材５２との当接部５５にレーザー光５９を照射する。さらに、吸収性部材５８と透過性部材５２とが当接していない透過性部材５２の溝５３にもレーザー光５９を照射する。つまり、当接部５５だけではなく、当接していない部分も含めてレーザー照射器５６からレーザー光５９を一括して照射する。この一括照射方式では、レーザー発振器６０と対向する位置、つまりレーザー光５９の焦点位置ではレーザー光５９の照射量が多く、レーザー光５９の光軸に垂直な方向に焦点位置から離れるにつれてレーザー光５９の照射量が少なくなる。したがって、レーザー光５９の焦点位置が当接部５５に位置するようにすることで、当接部５５においてはレーザー光５９の照射量が多く、当接部５５から離れた位置、たとえば溝５３の位置ではレーザー光５９の照射量が少なくなるようにすることができる。
【０００９】
吸収性部材５８と、溝５３が設けられた透過性部材５２とで形成される供給路は微細な形状をしているため、吸収性部材５８と透過性部材５２との当接部５５も同様に微細な形状となる。このような場合には、スキャン方式、一括照射方式ともに以下に示すような問題点がある。
【００１０】
スキャン方式の場合には、レーザー光５９をタンクホルダの吸収性部材５８と透過性部材５２とで形成される当接部５５の微細な形状に沿って走査させて両者を溶着させるために、非常に多くの時間を要するという問題点がある。当接部５５、つまり供給路を形成するための溝５３同士の間の幅は非常に狭く、微細な形状となっている。したがって、図７（ａ）に示すように、溝５３を避けて細いレーザー光５９を細かく走査して当接部５５のみに照射させる方法では、インクジェット記録ヘッドに用いられるインク供給部材の組立てに時間がかかりすぎるため量産には不向きである。
【００１１】
図７（ｂ）に示すような一括照射方式を用いた場合には、スキャン方式のように細かく走査することがないので、溶着に要する時間を短縮することが可能である。しかしながら、一括照射方式では、レーザー照射器５６のレーザー光５９を一括して照射するため、レーザー光５９の照射量を部分的に細かく可変させることが困難である。インク供給部材に多数の供給路を設けると、当接部５５、特に供給路を形成するための溝５３同士の間の当接部５５が微細な形状となり、さらには、この微細な構造をした当接部５５が密集する領域が存在することになる。つまり、溝５３同士の間の当接部５５の幅が小さく、その面積は小さい。しかし、吸収性部材５８と透過性部材５２とで形成される当接部５５のうち、溝５３に挟まれていない、最も外側の当接部５５においては、当接部５５の面積が十分大きい。このような場合、レーザー照射器５６のレーザー光５９の照射量は、最も外側の当接部５５に合わせて設定されるために、溝５３同士の間の当接部５５には面積が小さい分だけ過剰にレーザー光５９が照射されることになる。そのため、形成された供給路同士の間の当接部５５が過溶解してしまう。具体的には、供給路同士の間の当接部５５が適切に溶着されなくなるので、インク供給部材の信頼性を低下させるおそれがある。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、レーザー照射器からレーザー光を照射して部材同士を接合しても、供給路の内部や、供給路同士の間の当接部における損傷を抑制できる液体供給部材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明による液体供給部材は、レーザー光に対して吸収性を有する吸収性部材と、レーザー光に対して透過性を有する透過性部材とを有し、吸収性部材と透過性部材とがレーザー光により溶着されることで液体を吐出する吐出口に液体を供給する供給路が形成された液体供給部材であって、吸収性部材及び透過性部材の少なくともいずれか一方に、供給路を形成するための複数の溝が設けられており、透過性部材の、溝と溝の間に対応する部分の少なくとも一部に、レーザー光の透過量を減少させる減衰領域が設けられている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によると、一括照射方式でレーザー光を照射し、部材同士を接合しても、供給路の内部や供給路同士の間の当接部で損傷の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る記録ヘッドカートリッジの一実施形態を示す概略図であり、（ａ）は垂直方向の断面の概略図、（ｂ）は（ａ）の分解斜視図である。
【図２】図１の記録ヘッドカートリッジの記録素子基板の概略斜視図である。
【図３】吸収性部材が形成されているタンクホルダに透過性部材を取り付ける工程を説明する図であり、（ａ）は吸収性部材に透過性部材を接近させる工程、（ｂ）は押さえ治具で透過性部材を押さえ、レーザーを照射する工程、（ｃ）は、吸収性部材と透過性部材とが接合された工程を示している。
【図４】減衰領域の実施の形態、および吸収性部材と透過性部材との接合方法について説明する概略図であり、（ａ）〜（ｃ）は、図３の（ａ）〜（ｃ）の工程にそれぞれ対応している。
【図５】透過性部材に、供給路を形成するための溝を設けた場合の概略構成図であり、（ａ）は遮蔽部の配置の一例、（ｂ）は遮蔽部の配置の他の一例である。
【図６】減衰領域の他の実施形態について説明する概略図であり、（ａ）〜（ｃ）は、図３の（ａ）〜（ｃ）の工程にそれぞれ対応している。
【図７】従来技術の一例のレーザー照射方法を説明する概略図であり、（ａ）はスキャン方式、（ｂ）は一括照射方式である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に、添付の図面に基づき、本発明の実施の形態の詳細について説明する。なお、同一の機能を有する構成には添付図面中、同一の番号を付与し、その説明を省略することがある。
【００１７】
本発明に係る記録ヘッドカートリッジの一実施形態について説明する。図１は、本発明に係る記録ヘッドカートリッジの一実施形態の概略図であり、（ａ）は垂直方向の断面の概略図であり、（ｂ）は（ａ）の分解斜視図である。
【００１８】
記録ヘッドカートリッジ１は、インクジェット記録ヘッド２（液体吐出ヘッド）と、インクジェット記録ヘッド２に着脱自在に設けられたインクタンク３とが設けられている。
【００１９】
この記録ヘッドカートリッジ１は、インクジェット記録装置本体（不図示、以下、記録装置本体とする）に設置されているキャリッジ（不図示）の位置決め手段および電気的接点によって固定支持されるとともに、キャリッジに対して着脱可能となっている。インクジェット記録ヘッド２は、電気配線基板５と記録素子基板４とからなる記録素子ユニット６とタンクホルダユニット７で構成されている。
【００２０】
インクジェット記録ヘッド２は、記録装置本体から送られる電気信号に応じて記録素子を駆動させることにより、インクを収容するインクタンク３から供給されるインクを記録素子基板４に設けられた吐出口９（図２参照）から吐出する。記録素子としては例えば、発熱抵抗素子やピエゾ素子などが挙げられるが、ここでは発熱抵抗素子１３（図２参照）を用いたものについて説明する。
【００２１】
電気配線基板５は、記録装置本体との電気的接続を行う接続端子８と、記録素子基板４との電気的接続を行う電極端子（不図示）と、接続端子８と電極端子とを接続する配線（不図示）と、記録素子基板４を組み込むための開口部とを有している。電気配線基板５と記録素子基板４との接続は、例えば次のように行われる。記録素子基板４の電極部と電気配線基板５の電極端子に、導電性を有する熱硬化接着樹脂を塗布した後、電極部と電極端子とをヒートツールにて一括して加熱するとともに加圧して、電気的に接続する。なお、電極部と電極端子との電気接続部分は、封止剤により封止されることによりインクによる腐食や外的衝撃から保護されている。
【００２２】
タンクホルダユニット７は、後述する供給路１８（図４（ｃ）参照）を形成するための溝２９が設けられた吸収性部材１５を有している。また、タンクホルダユニット７は、インクタンク３を保持するタンクホルダ１６と、タンクホルダ１６に対して接合され、吸収性部材１５とともに供給路１８を形成する透過性部材１７とで構成される。また、吸収性部材１５と透過性部材１７とが接合されることで、供給路１８を有するインク供給部材（液体供給部材）が形成される。２つの部材１５、１７がインクタンク３と液体吐出部である記録素子基板４との間に配置され、インクタンク３に収容されているインクが吸収性部材１５と透過性部材１７とで形成される供給路１８を介して記録素子基板４に供給される。
【００２３】
本実施形態において、吸収性部材１５がタンクホルダ１６と一体となって形成されているが、それぞれを別体として形成した後、タンクホルダ１６に対して吸収性部材１５を取り付けるようにしても良い。
【００２４】
また、本実施形態では、図１（ｂ）に示すように、吸収性部材１５には供給路１８となる溝２９が形成されている。しかし、実際は、吸収性部材１５と透過性部材１７とが接合されて供給路１８が形成されるため、２つの部材１５、１７のどちらか一方または両方に、適宜、供給路１８を形成するための溝２９を設ければ良い。
【００２５】
供給路１８を形成するために、吸収性部材１５と透過性部材１７とを接合させる。このとき、レーザー光により溶着させて両者を接合させるには、一方の部材をレーザー光に対して透過性を有する材料で形成し、他方の部材をレーザー光に対して吸収性を有する材料で形成する。レーザー光に対して吸収性を有する材料上にレーザー光に対して透過性を有する材料を重ねて押さえつけ、レーザー光を照射する。すると、レーザー光が、レーザー光に対して透過性を有する材料を透過し、レーザー光に対して吸収性を有する材料の界面で発熱して溶解する。そして、この熱はレーザー光に対して透過性を有する材料に伝わり、レーザー光に対して透過性を有する材料も溶解する。レーザー光の照射を止めると、両者の溶解が止まり、透過性を有する材料と吸収性を有する材料とが接合する。
【００２６】
本発明では、レーザー光に対して透過性を有する材料で透過性部材１７を形成し、レーザー光に対して吸収性を有する材料で吸収性部材１５を形成した。なお、レーザー光に対して透過性を有する材料とは、厚さ２．０ｍｍの部材に対してレーザー光を照射した場合の透過率が３０％以上の材料を意味する。また、レーザー光に対して吸収性を有する材料とは、厚さ２．０ｍｍの部材に対してレーザー光を照射した場合の吸収率が９０％以上の材料を意味する。上述のような透過率及び吸収率の材料を用いることで、透過性を有する材料と吸収性を有する材料とのレーザー溶着が可能となる。
【００２７】
図２は、図１の記録ヘッドカートリッジ１の記録素子基板４の概略斜視図である。なお、内部構造がわかるように、一部分は内部の様子を示している。
【００２８】
記録素子基板４は、シリコン（Ｓｉ）基板１２とＳｉ基板１２上に積層された樹脂材料からなる吐出口形成部材１１とで構成されている。Ｓｉ基板１２は、厚さ０．５ｍｍ〜１．０ｍｍを有している。Ｓｉ基板１２には、異方性エッチングによりインクを供給するインク供給口１０が並列して形成されている。また、それぞれのインク供給口１０を挟んでその両側に発熱抵抗素子１３が直線状に並んでおり、かつ発熱抵抗素子１３は、一方の列の発熱抵抗素子１３同士の間に他方の列の発熱抵抗素子１３が位置するように配置されている。さらに、Ｓｉ基板１２には、金（Ａｕ）などで形成された外部との電気的接触を行うためのバンプ１４が設けられている。吐出口形成部材１１には、Ｓｉ基板１２の発熱抵抗素子１３に対応する位置にフォトリソグラフィ技術によって吐出口３が形成されている。
【００２９】
次に、図３を用いて、吸収性部材１５が形成されているタンクホルダ１６に透過性部材１７を取り付ける工程を説明する。なお、図３においては、レーザー光の透過量を減少させる減衰領域については省略している。
【００３０】
図３（ａ）に示すように、透過性部材１７と、タンクホルダ１６と一体成形されている、溝２９が設けられた吸収性部材１５とを接近させ、吸収性部材１５の溝２９が設けられた面を内側にして、両者を当接させる。なお、透過性部材１７が図３（ｂ）に示すレーザー照射器側になるようにする。次に、図３（ｂ）に示すように、図３（ａ）の工程の後、複数のレーザー発振器２８を有するレーザー照射器２０が設けられレーザー光２１（図４（ｂ）参照）が照射可能になっている押さえ治具１９で透過性部材１７を押さえる。そして、２つの部材１５、１７同士を当接させた状態で、レーザー照射器２０から一括してレーザー光２１を照射する。本発明では、供給路１８が形成される部分全体を覆うようにレーザー照射器２０を配置し、複数のレーザー発振器２８で供給路１８が形成される部分全体を照射する一括照射方式である。そして、図３（ｃ）に示すように、透過性部材１７と吸収性部材１５とが接合される。
【００３１】
この吸収性部材１５と透過性部材１７との接合方法について図４を用いてより詳細に説明する。図４は、図３（ｂ）のＡＡ’断面の概略図であり、図３の（ａ）〜（ｃ）の工程が図４の（ａ）〜（ｃ）にそれぞれ対応している。
【００３２】
図４（ａ）に示すように、吸収性部材１５の、透過性部材１７と当接する面側には、供給路１８となる溝２９が設けられている。吸収性部材１５と透過性部材１７とを接合することで、後述する供給路１８が形成される（図４（ｃ）参照）。供給路１８を形成した際に、レーザー光２１の透過性部材１７内の透過量を減少させ、吸収性部材１５の界面へ到達するレーザー光２１（図４（ｂ））の照射量を減少させるための減衰領域を設けておく。この減衰領域で供給路１８同士の間に過溶融に起因する損傷が発生することを抑制する。本実施形態では、減衰領域として遮蔽部２２を、透過性部材１７の、吸収性部材１５側の面とは反対側の面（後述する第１の面２３）であり、供給路１８を形成する溝２９同士の間の位置の中央部分に設ける。
【００３３】
透過性部材１７において、レーザー光２１が入射する側の面を第１の面２３、吸収性部材１５と当接する側の面を第２の面２４とする。第２の面２４の、吸収性部材１５とともに供給路１８を形成する領域は、第２の面２４から突出した凸形状をしている流路形成領域３０である。また、吸収性部材１５と透過性部材１７とが当接する部分を当接部２５とする（図４（ｂ）参照）。
【００３４】
遮蔽部２２は、表面が平面状となっている反射膜で構成されており、反射膜により、照射されるレーザー光２１を反射するようになっている。反射膜の屈折率や膜厚を、照射するレーザー光２１の波長に合わせることで、遮蔽部２２を通過して透過性部材１７内へ入射するレーザー光２１の照射量を減少させることができる。なお、反射膜としては、アルミニウムなどの金属のスパッタ膜が挙げられる。
【００３５】
本発明においては、透過性部材１７の第２の面２４は、流路形成領域３０だけが吸収性部材１５側に突出した凸形状をしている。このようにすることで、吸収性部材１５と透過性部材１７とを当接させた際に、流路形成領域３０に圧力が集中し、吸収性部材１５と透過性部材１７との当接部２５における密着性を向上させることができる。
【００３６】
次に、図４（ｂ）に示すように、吸収性部材１５と透過性部材１７とを当接させて、レーザー照射器２０が設けられレーザー光２１が照射可能になっている押さえ治具１９で透過性部材１７を押さえつけ、レーザー光２１を照射する。また、上述した一括照射方式の従来技術と同様に、この複数のレーザー発振器２８を有するレーザー照射器２０は、レーザー発振器２８と対向する位置、つまりレーザー光２１の焦点位置ではレーザー光２１の照射量が多くなっている。そして、レーザー光２１の光軸に垂直な方向に焦点位置から離れるにつれてレーザー光２１の照射量が少なくなる。したがって、レーザー光２１の焦点位置が当接部２５に位置するようにすることで、当接部２５においてはレーザー光２１の照射量が多く、当接部２５から離れた位置、たとえば溝２９の位置ではレーザー光２１の照射量が少なくなっている。
【００３７】
吸収性部材１５の溝２９同士の間の当接部２５へ向けて照射されるレーザー光２１の進路上に、遮蔽部２２が配置されているため、レーザー光２１の一部または全部を反射する。そのため、遮蔽部２２を通過して、透過性部材１７内へ入射するレーザー光２１の照射量を減少させることができる。
【００３８】
レーザー光２１が、当接部２５の吸収性部材１５の界面に照射されると、吸収性部材で形成された吸収性部材１５が含有している染料または顔料が発熱して樹脂が溶融し、そのとき発生した熱が透過性部材１７に伝達される。その伝達された熱により透過性部材１７も溶融し、吸収性部材１５と透過性部材１７との当接部２５が接合され、図４（ｃ）に示すように、接合部２６が形成される。このようにして、吸収性部材１５の溝２９が、流路形成領域３０の透過性部材１７によって塞がれて、供給路１８が形成される。
【００３９】
上述したように、本発明では、当接部２５において吸収性部材１５と透過性部材１７との密着性が強くなっているため、接合部２６の接合は強固なものとなる。本発明では、透過性部材１７の、吸収性部材１５側の面とは反対側の面であり、供給路１８を形成する溝２９同士の間の位置の中央部分に遮蔽部２２が設けられている。そのため、レーザー光２１は、遮蔽部２２により、照射量が減少した状態で透過性部材内に進入するので、溝２９同士の間の当接部２５におけるレーザー光２１の照射量が過剰に大きくなることはなくなる。したがって、供給路１８が密集した領域においても、溝２９同士の間の当接部２５では発生する溶解熱が過剰に大きくなることはなくなり、供給路１８を形成した際に、供給路１８同士の間に過溶融に起因する損傷を生じさせにくくすることができる。
【００４０】
また、レーザー２１を一括で照射することで、インクジェット記録ヘッドの製造時間の短縮もすることができる。
【００４１】
なお、遮蔽部２２の代わりに、レーザー光２１を全部遮断する遮断領域を設けたものでもよい。
【００４２】
次に、図５を用いて透過性部材１７に、供給路１８を形成するための溝２９を設けた場合について説明する。前述のように、吸収性部材１５に溝２９を設ける場合は、遮蔽部２２を透過性部材１７の、吸収性部材１５側の面とは反対側の面であり、供給路１８を形成する溝２９同士の間の位置の中央部に設ければよい。
【００４３】
図５（ａ）は、透過性部材１７に供給路１８を形成するための溝２９が設けられており、吸収性部材１５には溝２９が設けられていない構成における遮蔽部２２の配置の一例である。この構成の場合、溝２９が透過性部材１７に設けられているため、レーザー光２１の進路上に溝２９が設けられている位置では、溝２９が設けられている分だけ透過性部材１７が薄い。つまり、この位置においては、レーザー光２１が透過性部材１７を通過する距離が短く、レーザー光２１が透過性部材１７によって透過を妨げられる量が少ない。そのため、レーザー照射器２０から溝２９の位置に照射されるレーザー光２１の照射量は最初から少なくなっているものの、不要な溶解が生じる場合がある。そこで、遮蔽部２２を、透過性部材１７の、吸収性部材１５側の面とは反対側の面であり、供給路１８を形成する溝２９上と、この溝２９上から溝２９同士の間の位置まではみ出し、かつ溝２９同士の間の中央部分を除いた領域に配置する。このとき、溝２９同士の間の上の全てを遮蔽部２２で覆わないようにする。仮に覆ってしまうと、溝２９同士の間の当接部２５では、レーザー光２１が照射されなくなるので、吸収性部材１５と透過性部材１７とが接合されない。
【００４４】
このように遮蔽部２２を設けることで、吸収性部材１５の溝２９に対応する位置では、不要な溶解を抑制でき、溝２９同士の間の当接部２５における過溶解も抑制することができる。
【００４５】
図５（ｂ）は、透過性部材１７に供給路１８を形成するための溝２９が設けられており、吸収性部材１５には溝２９が設けられていない構成の場合の遮蔽部２２の配置の他の一例である。透過性部材１７の溝２９の、レーザー光２１が進入してくる面に遮蔽部２２を設ける。また、透過性部材１７の、吸収性部材１５側の面とは反対側の面であり、供給路１８を形成する溝２９同士の間の中央部の位置にも遮蔽部２２を配置する。
【００４６】
このように遮蔽部２２を配置することで、吸収性部材１５の溝２９に対応する位置においては不要な溶解を抑制でき、溝２９同士の間の当接部２５においては、過溶解を抑制することができる。
【００４７】
さらに、この構成では、吸収性部材１５と透過性部材１７とが接合された後は、供給路１８内に遮蔽部２２がそのまま配置されることになる。そのため、遮蔽部２２のインクに対する濡れ性を向上させることにより、供給路１８にインクを流す際に供給路１８内の流れが良好になり、気泡やごみの除去が容易になる。
【００４８】
次に、減衰領域の他の例について説明する。上述の例では減衰領域として遮蔽部２２、具体的には、アルミニウムなどをスパッタして形成される反射膜を設けた。このようにレーザー光２１の透過性部材１７内への進入を妨げる方法として、上述の例の遮蔽部２２と同じ位置に、拡散部２２’を設ける方法がある。具体的には、レーザー光２１が入射する面である第１の面２３の拡散部２２’の表面粗さを、拡散部２２’以外の部分の表面粗さより大きくすればよい。
【００４９】
レーザー光２１を照射すると、拡散部２２’では、拡散部２２’以外の部分に比べて表面粗さが大きくなっているため、レーザー光２１を拡散させ、透過性部材１７内へのレーザー光２１の進入を抑制することができる。そのため、上述したように、吸収性部材１５の溝２９に対応する位置では、不要な溶解を抑制でき、溝２９同士の間の当接部２５における過溶解も抑制することができる。レーザー光２１の透過性部材１７内への進入を妨げるために前述の反射膜を設ける場合は、透過性部材１７にスパッタリングなどにより反射膜の加工を施す必要がある。これに対し、本実施例の場合、透過性部材１７を成形する際に、透過性部材１７と拡散部２２と’を一体で成形することが可能となる。そのため、透過性部材１７に遮蔽部２２として反射膜を付加する工程を削減することができる。
【００５０】
図６を用いて、減衰領域の他の実施形態について説明する。なお、図３の（ａ）〜（ｃ）の工程が図６の（ａ）〜（ｃ）にそれぞれ対応している。また、上述の実施の形態の同様の構成については、説明を省略する。
【００５１】
図５と同様に、透過性部材１７に供給路１８を形成するための溝２９を設けてある。したがって、吸収性部材１５の溝２９に対応する位置での不要な溶解や、溝２９同士の間の当接部２５での過溶解を抑制するため、レーザー光２１を減衰させる減衰領域を設ける。
【００５２】
図６（ａ）に示すように、第１の面２３の供給路１８を形成するための溝２９の位置と、溝２９同士の間の中央部の位置とに、第１の面２３上から突出する段部２７を形成した。段部２７を形成することで、透過性部材１７に溝２９が設けられていても、段部２７の分だけ厚肉となる。また、第１の面２３の、溝２９同士の間の位置にも段部２７が設けられているため、この位置においては、他の部分に比べてさらに厚肉となっている。
【００５３】
図６（ｂ）は、レーザー照射器２０からレーザー光２１が照射された状態を示している。段部２７が設けられている分だけ、透過性部材１７が厚肉となっている。そのため、進路上に段部２７が設けられている場合には、段部２７が設けられていない場合に比べて、レーザー光２１が、透過性部材１７を通過する距離が長くなり、その分だけ透過性部材１７にレーザー光２１の透過が妨げられることになる。したがって、段部２７を通過するレーザー光２１の吸収性部材１５への照射量を減少させることができる。
【００５４】
そして、図６（ｃ）に示すように、レーザー光２１により、吸収性部材１５と透過性部材１７とが接合し、接合部２６が形成され、供給路１８が形成される。この実施形態の場合でも、レーザー光２１の吸収性部材１５への照射量が減少しているので、吸収性部材１５の、供給路１８を形成している面での不要な溶解や、供給路１８同士の間の接合部２６での過溶解を抑制することができる。
【００５５】
また、本実施形態では、上述の実施形態のようにレーザー光２１を反射したり拡散させたりしないので、レーザー光２１の反射光や拡散光でレーザー照射器２０が損傷を受ける可能性が低い。上述の図５（ａ）で説明した構成と同様の位置に段部２７を配置してもよい。また、段部２７の高さは、必要に応じて変化させればよい。
【００５６】
なお、レーザー光２１の透過性を有する材料として、透明ノリル「型番ＴＰＮ９２２１」（ＳＡＢＩＣ  Ｉｎｎｏｖａｔｉｖｅ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ社製）が挙げられる。この透明ノリルは、レーザー光を透過する性質を有しつつ、耐インク性にも優れた透明材料である。他に、透過性を有する材料として、色材を含まない透明ノリルである「型番ＴＮ３００」（ＳＡＢＩＣ  Ｉｎｎｏｖａｔｉｖｅ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ社製）を使用することも可能である。ここでノリルとは、変性ポリフェニレンエーテル（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ  Ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  ｅｔｈｅｒ）または変性ポリフェニルオキサイド（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ  Ｐｏｌｙｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  ｏｘｉｄｅ）の通称名である。ノリルは耐熱性及び強度を上げるためにポリフェニレンエーテル（ポリフェニレンオキサイド）を変性させたものであり、熱可塑性樹脂に属し、酸・アルカリに強い耐性を持つ特徴を有する。また、吸収性を有する材料としては、レーザー光を吸収する染料または顔料を含有した黒色ノリルである「型番ＳＥ１Ｘ」（ＳＡＢＩＣ  Ｉｎｎｏｖａｔｉｖｅ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ社製）が挙げられる。
【００５７】
上述の実施形態では、２つの部材１５、１７のどちらか一方に供給路１８を形成するための溝２９が設けられていた。しかし、２つの部材１５、１７の両方に溝２９を形成し、２つの部材１５、１７同士が接合されると、吸収性部材１５に設けられた溝２９と、透過性部材１７に設けられた溝２９とで供給路１８を形成されるようにしてもよい。また、供給路１８の断面は長方形に限定されず、円形などでも良い。円形の場合は、２つの部材１５、１７のそれぞれに断面が半円となるような溝２９を設け、２つの部材１５、１７を接合させることで、円形が形成されるようにすればよい。
【００５８】
以上の実施形態においては、減衰領域において、反射膜を設けたり、表面粗さを大きくしたり、透過性部材１７の厚みを厚くすることで、吸収性部材１５の、透過性部材１７との界面へ照射されるレーザー光２１の照射量を減少させる例を挙げた。しなしながら、減衰領域は上記の例のみに限られない。すなわち、減衰領域は、レーザー光２１の照射量が減少されるように構成されていればよい。
【符号の説明】
【００５９】
２  インクジェット記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
３  インクタンク
６  記録素子ユニット
１５吸収性部材
１７透過性部材
２０レーザー照射器
２１レーザー光
２２遮蔽部（減衰領域）
２２’拡散部（減衰領域）
２７段部（減衰領域）
２９溝
３０流路形成領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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