(57)【要約】【課題】境界点の折り返し時に加減速の溜まりを発生させず、境界点の精度向上が実現でき、揺動制御に合った任意区間の速度変更が可能な、精度を保持しながら、加工サイクルタイムの短縮が可能な任意区間で速度変更が可能な揺動動作機能を有する数値制御装置を提供すること。【解決手段】揺動動作指令コードを解析し、上死点位置をＺU、下死点位置をＺL、揺動動作の基準速度をＦBに設定し、現在位置を取得し、ＺoldをＺに代入する（ＳＡ１００〜ＳＡ１０２）。現在位相を算出し、現在速度を算出し、位置を更新する（ＳＡ１０３〜ＳＡ１０５）。終了指令か否か判断し、終了の場合には処理を終了し、終了指令でない場合には、データ変更か否か判断し、変更する場合にはステップＳＡ１０１へ移行し、変更しない場合にはステップＳＡ１０２へ移行する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
任意の領域を往復運動する揺動軸を有する工作機械を制御する数値制御装置において、前記揺動軸が往復運動する際の下死点および上死点の位置、前記揺動軸が往復運動する際に揺動動作の最大速度となる基準速度を指定する指定手段と、
前記揺動軸の現在位置から、前記揺動軸の一往復を１周期としたときの現在の位相を算出する位相算出手段と、
前記位相算出手段によって算出された現在の位相と前記基準速度に基づいて現在の位相における前記揺動軸の速度を算出する速度算出手段と、
前記速度算出手段によって算出された速度に基づいて揺動軸を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする揺動軸を有する工作機械を制御する数値制御装置。
【請求項２】
前記揺動軸の位相の任意の区間の速度を変更する速度変更手段を有することを特徴とする請求項１に記載の揺動軸を有する工作機械を制御する数値制御装置。
【請求項３】
前記速度変更手段により変更した区間の前記揺動軸の速度と変更前の速度との差である速度差が最大加速度内にあるかどうかを判断する判断手段と、
前記判断手段による判断の結果、前記速度差が最大加速度を超える場合、速度変更率を変更する変更手段と、
を有することを特徴とする請求項２に記載の揺動軸を有する工作機械を制御する数値制御装置。
【請求項４】
前記基準速度は、前記揺動軸が下死点から上死点に移動する間の最大速度であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の揺動軸を有する工作機械を制御する数値制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は研削盤等における研削工具の揺動動作を制御する機能を有する数値制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
機械工具等を研削する研削盤等では、例えば、Ｚ軸を上下させながら、それに伴ってＸ，Ｙ軸を移動させて、ワークの側面を研削していく揺動動作が行われる。
【０００３】
特許文献１には、輪郭制御を行うための２軸以上の制御軸を制御し輪郭制御を行う数値制御装置において、前記２軸以上の制御軸を同時制御してチョッピング動作させると同時に輪郭制御する移動データを生成するチョッピング移動データ生成手段を、備えた数値制御装置の技術が開示されている。
【０００４】
特許文献２には、研削工具のチョッピング動作を制御するチョッピング制御方式において、指令された上死点と下死点とからチョッピング距離を演算するチョッピング距離演算手段と、チョッピング速度と対応するチョッピング補正値を格納した補正テーブルと、前記チョッピング距離と前記チョッピング補正値を加算してチョッピング距離指令値を計算する加算器と、を有する数値制御装置の技術が開示されている。
【０００５】
特許文献３には、切削加工においてＮＣ工作機械に予め設定した領域に対して工具の切り込み量と送り速度を変化させることにより、特定の領域のみ加工を行うことで加工時間を短縮する技術が開示されている。また、特許文献４には、設定した領域に対して送り速度・主軸回転数の比率を変化させる技術が開示されている。また、特許文献５には、パンチプレス機において、パンチ工具の経路を細区分化することで、同一の位置でも別の位置として扱い、区間ごとに速度変更を行なえるパンチ動作制御装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４２９３１３２号公報
【特許文献２】特開平４−８４７３号公報
【特許文献３】特許第３８０８１２５号公報
【特許文献４】特許第３８５６９１７号公報
【特許文献５】特許第２７４６１８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１や特許文献２に開示される揺動動作における速度制御は、指定された一定の速度で移動量を出力している。このため、境界点の折り返しにおいて加減速処理が必要となり、移動量の溜まりが発生し、境界点の精度に影響を与える。  
特許文献２には、加減速処理による溜まりとサーボモータの遅れを補正する技術が開示されているが、速度や加減速時の時定数の指定によっては、加減速時の移動量の溜まりが大きくなり、それに乗じて補正量も大きくなることで、補正が完了するまでに要する時間が長くなる。
【０００８】
また、特許文献３や特許文献４に開示される技術では、指定領域は、ビットパターンで扱われるため、移動方向の違いの判定は行われていない。揺動動作では同一の位置でも、移動方向が違えば別の位置として扱う必要があるため、特許文献３や特許文献４に開示される従来技術を揺動動作に適用することはできない。  
特許文献５に開示される技術では、ワークの板厚によって、各区間の位置が変更される。しかし、そもそも、パンチ動作制御を目的としているため、揺動動作のように連続的な制御は想定されてない。さらに、経路自体の変更も想定されていないため、揺動領域のシフトされるケースも適用できない。
【０００９】
そこで本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、境界点の折り返し時に加減速時に移動量の溜まりを発生させず境界点の精度向上が実現できる工作機械を制御する数値制御装置を提供することである。
【００１０】
また、他の目的は、何往復もする研削加工時間を削減するため、揺動制御に合った任意区間の速度変更を可能とし、加工サイクルタイムの短縮が可能な工作機械を制御する数値制御装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願の請求項１に係る発明は、任意の領域を往復運動する揺動軸を有する工作機械を制御する数値制御装置において、前記揺動軸が往復運動する際の下死点および上死点の位置、前記揺動軸が往復運動する際に揺動動作の最大速度となる基準速度を指定する指定手段と、前記揺動軸の現在位置から、前記揺動軸の一往復を１周期としたときの現在の位相を算出する位相算出手段と、前記位相算出手段によって算出された現在の位相と前記基準速度に基づいて現在の位相における前記揺動軸の速度を算出する速度算出手段と、前記速度算出手段によって算出された速度に基づいて揺動軸を制御する制御手段と、を有することを特徴とする揺動軸を有する工作機械を制御する数値制御装置である。
【００１２】
請求項２に係る発明は、前記揺動軸の位相の任意の区間の速度を変更する速度変更手段を有することを特徴とする請求項１に記載の揺動軸を有する工作機械を制御する数値制御装置である。  
請求項３に係る発明は、前記速度変更手段により変更した区間の前記揺動軸の速度と変更前の速度との差である速度差が最大加速度内にあるかどうかを判断する判断手段と、前記判断手段による判断の結果、前記速度差が最大加速度を超える場合、速度変更率を変更する変更手段と、を有することを特徴とする請求項２に記載の揺動軸を有する工作機械を制御する数値制御装置である。  
請求項４に係る発明は、前記基準速度は、前記揺動軸が下死点から上死点に移動する間の最大速度であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の揺動軸を有する工作機械を制御する数値制御装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明により、境界点の折り返し時に加減速時に移動量の溜まりを発生させず境界点の精度向上が実現できる工作機械を制御する数値制御装置を提供できる。  
また、何往復もする研削加工時間を削減でき、揺動制御に合った任意区間の速度変更が可能であり、加工サイクルタイムの短縮が可能な工作機械を制御する数値制御装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】研削盤などで用いられる揺動動作を説明するための図である。
【図２】揺動軸の位置を位相情報に基づいて管理する揺動機能を説明する図である。
【図３】加減速が正弦波形のように滑らかな速度制御ができることを説明する図である。
【図４】本発明に係る揺動動作を実行する数値制御装置のブロック図である。
【図５】従来技術に係る速度制御を説明する図である。
【図６】本発明に係る速度制御を説明する図である。
【図７】本発明に係る位相情報に基づく速度制御による揺動動作を行うアルゴリズムを示すフローチャートである。
【図８】位相情報で指定された任意区間の速度変更および角度情報を維持した状態で速度変更時のショックを低減させる手段を説明する図である。
【図９】ショックを低減できたことを説明する図である。
【図１０】研削工具が切削面に接触しない区間の速度比率を上げることで、サイクルタイムを削減することを説明する図である。
【図１１】揺動領域をシフトした場合においても、指定区間を変更することなく速度変更を行うことができることを説明する図である。
【図１２−１】位相情報で指定した区間で速度比率を変更可能な揺動動作のアルゴリズムを示すフローチャートである（その１）。
【図１２−２】位相情報で指定した区間で速度比率を変更可能な揺動動作のアルゴリズムを示すフローチャートである（その２）。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。  
図１は、研削盤などで用いられる揺動動作を説明するための図である。  
研削軸である揺動軸１はＺ軸方向に上下し、揺動動作５として示されているように研削工具２を上下させる。研削工具２は回転方向６で示す方向に回転し、Ｘ軸方向に進み、研削面４として示されるワーク３の側面を研削する。図１では、工具２は揺動動作の１周期の中で、ワーク３から離れる期間を有するように駆動されている。
【００１６】
揺動動作機能を有する数値制御装置は、研削盤などの工作機械を制御し、Ｚ軸を上下させながら、それに伴ってＸ，Ｙ軸を移動させて、ワーク３の側面を研削していく揺動動作を行わせる。Ｚ軸の動きは上下方向に一定であり、上方向の揺動領域境界点である端点を上死点、下方向の揺動領域境界点の端点を下死点という。図１では、上方向の端点を上死点ＺU1，ＺU2、下方向の端点を下死点ＺL1，ＺL2で表す。図１では、シフト地点Ｚｓで揺動領域Ａ１から揺動領域Ａ２に工具２の揺動領域を変更している。この揺動領域の変更は後述するように加工プログラムによって指定することができる。
【００１７】
図２は、揺動軸の位置を位相情報に基づいて管理する揺動機能を説明する図である。揺動軸１（図１参照）の揺動する領域を揺動領域Ａで表し、揺動動作の下方向の揺動領域境界点である端点を下死点ＺL、上方向の揺動領域境界点である端点を上死点ＺUで表す。そして、下死点ＺLの位相θLを０（２π）［ｒａｄ］、上死点ＺUの位相θUをπ［ｒａｄ］とする。図２の波形は揺動軸１（工具２）の揺動動作の１周期分を表している。  
ここで、揺動動作における位置Ｚの位相θは、下死点ＺLから上死点ＺUへの移動時は、０<θ<πであり、上死点ＺUから下死点ＺLへの移動時は、π＜θ＜２π（０）であるため、同一の位置でも揺動軸の移動方向によって別の位置７，８として扱うことができる。なお、位置Ｚと位相θは数１式，数２式の関係式で表すことができる。
【００１８】
【数１】
2011248473.tif 000003
【００１９】
【数２】
2011248473.tif 000004
【００２０】
数１式，第２式を微分することにより、数５式のような正弦波を基にした速度式が求まる。ここで、揺動動作中の最大速度となる基準速度ＦBを予め設定するか、または、揺動動作と同時に指令し、揺動動作中の速度を数５式により算出することで、加減速が正弦波形（図３参照）のように滑らかに行われる速度制御が実現できる。
【００２１】
【数３】
2011248473.tif 000005
【００２２】
【数４】
2011248473.tif 000006
【００２３】
【数５】
2011248473.tif 000007
【００２４】
数４式，数５式に替えて、数６式，数７式を用い、揺動動作の基準速度ＦBの替わりに角速度ωを設定または指令することで速度を算出してもよい。
【００２５】
【数６】
2011248473.tif 000008
【００２６】
【数７】
2011248473.tif 000009
【００２７】
ところで、加工プログラムで指令する揺動動作指令は、下記のフォーマットで指令してもよい。
Ｇ８１．１  Ｚ Ｑ ＦB ；（ ：任意の数値）
Ｇ０１      Ｘ Ｙ Ｆ ；
Ｇ８０
なお、Ｇ８１．１は揺動動作起動指令コード、Ｚは上死点（ＺU）、Ｑは揺動距離（上死点（ＺU）から下死点（ＺL）までの距離）、ＦBは揺動動作の基準速度を意味する。また、Ｇ８０は揺動動作停止指令である。Ｇ０１は直線補間指令コードであり、ＸはＸ軸の移動量、ＹはＹ軸の移動量、ＦはＸ軸およびＹ軸の合成速度である。
【００２８】
図４は、本発明に係る揺動動作を実行する数値制御装置のブロック図である。数値制御装置は、上述した加工プログラムをブロック毎に読込み、解析して実行する。数値制御部２２は、後述して説明する図７や図１２−１，図１２−２に示すフローチャートの処理を実行し、本発明に係る揺動制御の動作を実行する。
【００２９】
次に、図５と図６を用いて、従来技術に係る速度制御と本発明に係る速度制御とを対比して説明する。ここでは、揺動区間３０．０００［ｍｍ］（上死点：３０．０００［ｍｍ］、下死点：０．０００［ｍｍ］）、１往復約０．３［ｓｅｃ］の揺動動作を補正なしで行った場合を例として説明する。  
図５において、太線は実軸の移動を示し、細線は数値制御装置の数値制御部（図４参照）からサーボ制御部に出力される出力パルスの積算を示している。従来技術の速度制御の場合、図５のように、加減速（時定数０．０９［ｓｅｃ］）の遅れとサーボモータの遅れにより、約６．０３６［ｍｍ］の誤差が生じる。  
一方、本発明に係る速度制御の場合、図６のように、サーボモータの遅れのみとなり、約２．２３５［ｍｍ］の誤差である。したがって、従来技術に比較して、本発明の誤差は約１／３となる。なお、太線は実軸の移動を示し、細線は出力パルスの積算を示している。
【００３０】
誤差が少ないと必要な補正量も減少するため、補正時に必要な時間の削減も実現可能となる。また、サーボモータの遅れのみとなるため、先行フィードフォワードや学習機能のようなサーボモータの技術を組み合わせることで、先行技術による補正なしで誤差を低減することも可能となる。
【００３１】
図７は、本発明に係る位相情報に基づく速度制御による揺動動作を行うアルゴリズムを示すフローチャートである。以下、各ステップに従って説明する。なお、本フローチャートでは単位時間を１［ｍｓｅｃ］として扱う。
●［ステップＳＡ１００］揺動動作指令コードを解析する。なお、揺動動作指令コードは数値制御装置が読み込んだ加工プログラムで記述されている。
●［ステップＳＡ１０１］データを設定する。つまり、上死点位置をＺU［ｍｍ］、下死点位置をＺL［ｍｍ］、揺動動作の基準速度をＦB［ｍｍ／ｍｉｎ］に設定する。また、単位時間当たりの基準速度ｆBは、ｆB＝ＦB＊１／６００００［ｍｍ／ｍｓｅｃ］とする。
●［ステップＳＡ１０２］現在位置Ｚを取得する。つまり、ＺoldをＺに代入する。Ｚoldは前演算周期における位置、Ｚは現演算周期における現在位置を意味する。  
●［ステップＳＡ１０３］現在位相θを数８式により算出する。  
【００３２】
【数８】
2011248473.tif 000010
【００３３】
●［ステップＳＡ１０４］単位時間当たりの移動量ΔＺを、近似式ΔＺ＝ｆBｓｉｎθ［ｍｍ／ｍｓｅｃ］＊１［ｍｓｅｃ］により算出する。
●［ステップＳＡ１０５］現在位置Ｚを更新する。つまり、Ｚ＋ΔＺをＺoldとする。
●［ステップＳＡ１０６］終了指令か否か判断し、終了の場合には処理を終了し、終了指令でない場合にはステップＳＡ１０７へ移行する。  
●［ステップＳＡ１０７］データ変更か否か判断し、変更する場合にはステップＳＡ１０１へ移行し、変更しない場合にはステップＳＡ１０２へ移行する。ここで、データはＳＡ１０１で設定されるデータを意味する。
【００３４】
図８は、位相情報で指定された任意区間の速度変更を説明する図である。  
速度変更を行う任意区間の開始位相θSと終了位相θEおよび変更後の揺動動作の基準速度（角速度）ＦBを、予め設定するか、または揺動動作と同時に指令する。この任意区間および変更後の揺動動作の基準速度（角速度）ＦBの組は複数あってもよい。研削軸が、指定した区間にあるかどうかを揺動動作中、常に判定を行う。指定区間にあるときは、対応する揺動動作の基準速度（角速度）を変更する。揺動動作の基準速度（角速度）が変更されることにより、同一位相において算出される速度が変わる。
【００３５】
また、数９式のように速度比率ｋを用いて、揺動動作の基準速度（角速度）の代わり、速度比率ｋを変更してもよい。
【００３６】
【数９】
2011248473.tif 000011
【００３７】
ただし、基準速度（角速度）または速度比率を変更すると、実際の現在の位相と時間ｔで求まる現在の位相に差異が発生する。そのため、基準速度（角速度）または速度比率変更時、時間ｔの変更も行なう必要がある。ここで、数１０式，数１１式のように、数１式での現在位置Ｚと角度θの関係を用いることで、時間（制御周期）ｔに依存せずに、現在位置Ｚにより速度を求めることができる。
【００３８】
【数１０】
2011248473.tif 000012
【００３９】
【数１１】
2011248473.tif 000013
【００４０】
一方で、基準速度または速度比率を単純に変更した場合、図８に示されるように速度差が大きいと、ショックが発生する可能性がある。そのため、加減速の処理が必要となるが、基準速度または速度比率変更の前後ともに、正弦波の速度式により現在速度を算出しているため、加減速中も角度情報を維持する必要がある。ここで、最大加速度αを超えないように加速または減速させる数１２式〜数１７式のような速度比率変更の場合のアルゴリズムを用いることで、角度情報を維持しつつ、最大加速度αを超えない速度変動が可能となり、図９に示されるようにショックを低減することができる。
【００４１】
・現在の速度比率ｋtによる正弦波速度ｆtを数１２式により表す。
なお、ｆBは単位時間当たりの基準速度とする。
【００４２】
【数１２】
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【００４３】
・変更後の速度比率ｋnewによる正弦波速度ｆnewを数１３式により表す。
【００４４】
【数１３】
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【００４５】
｜ｆnew−ｆt｜＞α  かつ  θ≠０，πの場合、単位時間当たりの最大加速度αに準じて変更する。今回の速度ｆを数１４式で表す。
【００４６】
【数１４】
2011248473.tif 000016
【００４７】
次回の速度比率ｋt+1を数１５式により更新する。
【００４８】
【数１５】
2011248473.tif 000017
【００４９】
一方、｜ｆnew−ｆt｜＞α  または  θ＝０，πの場合、即変更後の速度比率ｋnewに変更する。今回の速度ｆを数１６式により表す。
【００５０】
【数１６】
2011248473.tif 000018
【００５１】
次回の速度比率ｋt+1を数１７式により更新する。
【００５２】
【数１７】
2011248473.tif 000019
【００５３】
また、最大加速度αを固定値として扱う以外に、例えば、時定数や現在の速度差に応じて変動させることで、より滑らかに加減速させることもできる。
【００５４】
ところで、前述した図１は、研削軸がＺ軸方向へ揺動動作を行いながら、Ｘ軸方向へ移動する加工例である。研削軸が研削面に接触しない区間の速度比率を上げることでサイクルタイムを削減できる。なお、図１に示される加工例では、研削軸がシフト地点ＺSに到着した時、揺動領域Ａ１から揺動領域Ａ２へのシフト指令が行われたものとする。
【００５５】
図１０は、研削工具が切削面に接触しない区間の速度比率を上げることで、サイクルタイムを削減することを説明する図である。例えば、研削面のＸ軸方向の長さが６０［ｍｍ］、研削軸のＸ軸方向速度が揺動動作１往復で約１．０［ｍｍ］進む指令であるとすると、約６０往復の揺動動作が必要である。指定区間で速度変更を行わない場合、１往復約０．４０［ｓｅｃ］の揺動動作を指令であれば、６０往復するのに、約２４．０［ｓｅｃ］かかる。ここで、指定区間（０．５π〜１．２π）の速度比率を１．５０倍にすると、１往復約０．３５［ｓｅｃ］となる。この場合、約２１．０［ｓｅｃ］で６０往復でき、サイクルタイムが３．０［ｓｅｃ］削減できる。
【００５６】
また、図１１は、シフト地点ＺSにおいて揺動領域をシフトした場合においても、指定区間を変更することなく速度変更を行うことができることを説明する図である。
【００５７】
図１２−１，図１２−２は、位相情報で指定した区間で速度比率を変更可能な揺動動作のアルゴリズムを示すフローチャートである。以下、各ステップに従って説明する。なお、本フローチャートでは単位時間を１［ｍｓｅｃ］として扱う。
●［ステップＳＢ１００］揺動動作指令コードを解析する。なお、揺動動作指令コードは数値制御装置が読み込んだ加工プログラムで記述されている。
●［ステップＳＢ１０１］ｔを０とし、ｋを１とする。ｔは時間、ｋは速度比率を意味する。  
●［ステップＳＢ１０２］データを設定する。つまり、上死点位置をＺU［ｍｍ］、下死点位置をＺL［ｍｍ］、揺動動作の基準速度をＦB［ｍｍ／ｍｉｎ］に設定する。また、単位時間当たりの基準速度ｆBは、ｆB＝ＦB＊１／６００００［ｍｍ／ｍｓｅｃ］とする。
●［ステップＳＢ１０３］ｔ＝０、または、指定区間変更か否か判断し、いずれかである場合にはステップＳＢ１０４へ移行し、いずれでもない場合にはステップＳＢ１０５へ移行する。
●［ステップＳＢ１０４］指定区間を設定し、区間速度を設定する。
●［ステップＳＢ１０５］現在位置Ｚを取得する。つまり、ＺoldをＺに代入する。Ｚoldは前演算周期における位置、Ｚは現演算周期における位置を意味する。
●［ステップＳＢ１０６］現在位相θを数８式により算出する。
【００５８】
●［ステップＳＢ１０７］単位時間当たりの移動量ΔＺを、近似式ΔＺ＝ｆBｓｉｎθ［ｍｍ／ｍｓｅｃ］＊１［ｍｓｅｃ］により算出する。
●［ステップＳＢ１０８］現在位相が指定区間内であるか否か判断し、指定区間内である場合にはステップＳＢ１０９へ移行し、指定区間内でない場合にはステップＳＢ１１３へ移行する。
●［ステップＳＢ１０９］速度比率変更後の単位時間当たりの移動量ΔＺnを算出する。
●［ステップＳＢ１１０］単位時間当たりの最大加速度α以内であるか否か判断し、以内である場合にはステップＳＢ１１１へ移行し、以内でない場合にはステップＳＢ１１２へ移行する。
●［ステップＳＢ１１１］単位時間当たりの移動量ΔＺ・速度比率の更新１を行う。つまり、ΔＺnをΔＺに、ｋnをｋに更新する。
●［ステップＳＢ１１２］単位時間当たりの移動量ΔＺ・速度比率の更新２を行う。つまり、数１８式により更新する。なお、式中の最大加速度αは、左式はα［ｍｍ／ｍｓｅｃ2］＊１2［ｍｓｅｃ2］として扱い、右式はα［ｍｍ／ｍｓｅｃ2］＊１［ｍｓｅｃ］として扱い、単位を一致させる。
【００５９】
【数１８】
2011248473.tif 000020
【００６０】
●［ステップＳＢ１１３］位置を更新する。つまり、ＺoldをＺ＋ΔＺにより更新する。
●［ステップＳＢ１１４］終了指令か否か判断し、終了指令の場合には処理を終了し、終了指令でない場合にはステップＳＢ１１５へ移行する。
●［ステップＳＢ１１５］ｔ＋１をｔとする。つまり、１単位時間進める。
●［ステップＳＢ１１６］データ変更か否か判断し、データ変更の場合にはステップＳＢ１０２へ移行し、データ変更でない場合にはステップＳＢ１０３へ移行する。
【符号の説明】
【００６１】
１  揺動軸
２  研削工具
３  ワーク
４  研削面
５  揺動動作
６  回転方向
２０  数値制御装置
２２  数値制御部
２４  サーボ制御部
２６  サーボモータ
Ａ１，Ａ２  揺動領域
ＺU，ＺU1，ＺU2上死点
ＺL，ＺL1，ＺL2下死点
Ｚｓ  シフト地点
Ｚ  現制御周期における位置
Ｚold  前制御周期における位置
ｔ  時間（制御周期）
α  最大加速度
【図１】
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【図２】
2011248473.tif 000022
【図３】
2011248473.tif 000023
【図４】
2011248473.tif 000024
【図５】
2011248473.tif 000025
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2011248473.tif 000029
【図１０】
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【図１１】
2011248473.tif 000031
【図１２−１】
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【図１２−２】
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