(57)【要約】【課題】がたつきなどを防止して摩擦による発塵を防止することができる精密基板収納容器と、その製造方法とを提供する。【解決手段】内部に精密基板５を収納する容器本体２と、容器本体２の開口部に被せられる蓋体３とを具備し、容器本体２の底面に、精密基板５を保持するリアリテーナ４が設けられた精密基板収納容器１であって、容器本体２は、ポリカーボネート樹脂からなり、底面のリアリテーナ固定部から、複数の貫通孔を有する固定片が突設され、リアリテーナ４は、サーモプラスチックエラストマーからなり、この固定片を被覆し、貫通孔に成形樹脂が回り込んで固定片と一体化した状態でリアリテーナ固定部に設けられたものである。リアリテーナ４のＶ溝４１の溝底に支持溝４１０が設けられたものである。リテーナの載置面に、精密基板５との接触面積を減らす凸部２３１ａが設けられたものである。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面が開口し、内部に精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に被せられる蓋体とを具備し、容器本体の底面に、精密基板を保持するリアリテーナが設けられた収納容器であって、
容器本体は、ポリカーボネート樹脂からなり、底面に設けられたリアリテーナ固定部から、複数の貫通孔を有する固定片が突設されてなり、
リアリテーナは、サーモプラスチックエラストマーからなり、この固定片を被覆し、貫通孔に成形樹脂が回り込んで固定片と一体化した状態でリアリテーナ固定部に設けられてなることを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２】
上面が開口し、内部に精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に被せられる蓋体とを具備し、容器本体の底面に、精密基板を保持するリアリテーナが設けられた収納容器であって、
リアリテーナが固定される固定部から複数の貫通孔を有する固定片が突設されるとともに、この固定片と相反する位置には容器本体と溶融一体化するインサート部が形成された中芯部材を、容器本体と同素材で成形し、
この中芯部材の固定部を、リアリテーナの成形型のキャビティに露出させ、貫通孔にリアリテーナの成形樹脂を回りこませて固定片を被覆し、この固定片と一体化した状態でリアリテーナ固定部に、容器本体と異素材のリアリテーナを成形し、
中芯部材のインサート部を、容器本体の成形型のキャビティに露出させて容器本体を成形し、このインサート部を介して中芯部材と容器本体とを溶融一体化させて容器本体にリアリテーナを設けることを特徴とする精密基板収納容器の製造方法。
【請求項３】
リアリテーナの成形型のキャビティに露出させた固定部の表面積を１００とした場合、容器本体の成形型のキャビティに露出させたインサート部の表面積が１５０％以上となされた中芯部材を用いる請求項２記載の精密基板収納容器の製造方法。
【請求項４】
上面が開口し、内部に精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に被せられる蓋体とを具備し、容器本体の底面に、精密基板を等間隔で保持するリアリテーナが設けられた収納容器であって、
リアリテーナは、容器本体を横倒しにしてその内部に精密基板を収納して蓋体を固定してから容器本体を起こした状態で、蓋体からの付勢力および精密基板の自重によって精密基板を溝底側へと押し込むようになされたＶ溝を有してなり、この溝底部には、精密基板の基板面に直行する支持面から、支持角度２０〜４５度に設定され、押し込まれた精密基板の周縁を嵌合する支持溝が設けられてなることを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項５】
容器本体の両側壁面に、複数枚の精密基板を保持するリテーナが設けられ、
前記リテーナは、精密基板が載置される載置面に、精密基板との接触面積を減らす凸部が設けられた請求項１または４記載の精密基板収納容器。
【請求項６】
凸部は、容器本体の底面側から開口部側に向かって線状に凸設するようになされた請求項５記載の精密基板収納容器。
【請求項７】
凸部は、容器本体の底面側から開口部側に向かって点線状に凸設するようになされた請求項５記載の精密基板収納容器。
【請求項８】
精密基板が載置されるリテーナの載置面は、容器本体の開口部付近に、凸部最頂部と面一になる滑り止め面が形成された請求項５ないし７の何れか一に記載の精密基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶用ガラス板などの精密基板を多数枚収納し、保管、運搬等に使用する容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等の精密基板（薄板）は、その表面に超微細加工が施されることから、その保管、運搬、収納には極めて高度な清潔性が必要とされ、密封性に優れた容器本体と蓋体とからなる基板収納容器が使用されている。このような収納容器は、優れた密封性を保っていたとしても、運搬時の振動などによって精密基板が振動を受けると、精密基板と収納容器との間で摩擦による発塵が起こり、これが原因で精密基板を汚染してしまうことになってしまう。
【０００３】
そこで、従来より、容器本体や蓋体に、これら容器本体や蓋体と別に成形されたサーモプラスチックエラストマーからなるフロントリテーナおよびリアリテーナを設け、これらのフロントリテーナおよびリアリテーナを介して容器本体に収納された精密基板を保持することが行われている。
【０００４】
例えば、蓋体のフロントリテーナと対向する容器本体の底面の位置に、Ｖ型溝を有するリアリテーナを設け、このリアリテーナとフロントリテーナとの間で、この容器本体内に設けた精密基板を挟持固定する収納容器が提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
この収納容器は、精密基板を出し入れする際には容器本体を横倒しにして開口部を側面に開口させた状態で、容器本体に設けられたリテーナ上に精密基板が載置される。
【０００６】
載置後、開口部に蓋体を固定すると、図１３（ａ）に示すように、容器本体ａのリテーナｂ上に載置されていた精密基板ｃは、この蓋体ｄに設けたフロントリテーナｅが可撓変形して生じる付勢力によって容器本体ａ内へと押し込まれ、リアリテーナｆとフロントリテーナｅとの間で挟持される。
【０００７】
挟持後の収納容器は、開口部が上方に向くように容器本体ａを起こして運搬されるが、この容器本体ａを起こした際、図１３（ｂ）に示すように、精密基板ｃは、リアリテーナｆのＶ型溝ｇの溝底側へとスライドし、このＶ型溝ｇの溝底と、フロントリテーナｅとの間で挟持固定されることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】実開平６−７９１５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、上記従来の収納容器の場合、リアリテーナｆのＶ型溝ｇの傾斜面のうち、少なくとも精密基板ｃがスライド移動する側の傾斜面は、傾斜角度を緩く設定していたため、Ｖ型溝ｇの溝底とフロントリテーナｅとの間で精密基板ｃを挟持固定したとしても、Ｖ型溝ｇの溝底に精密基板ｃの位置を維持しておくことができず、経時的使用によりガタツキなどを生じることとなり、これに起因する摩擦によって発塵し、収納容器内を汚染してしまうことが懸念されるといった不都合があった。
【００１０】
そのため、Ｖ型溝ｇの傾斜角度を大きく設定してＶ型溝ｇの溝底の位置に精密基板ｃを維持しやすくすることが考えられるが、この場合、Ｖ型溝ｇの溝底までの距離、すなわち、容器本体ａを起こした際にフロントリテーナｅによって精密基板ｃを押し込む距離が長くなってしまうので、Ｖ型溝ｇの溝底にスライド移動した状態では、フロントリテーナｅによる付勢力が低下してしまうこととなり、リアリテーナｆのＶ型溝ｇの溝底と、フロントリテーナｅとによる精密基板ｃの挟持固定力が低下してしまう。また、容器本体ａを横倒しにした際と、容器本体ａを起こした際とで精密基板ｃの位置が変わり過ぎるので、ガタツキや摩擦の原因となる。
【００１１】
また、フロントリテーナｅによる付勢力を強くしてリアリテーナｆのＶ型溝ｇの溝底と、フロントリテーナｅとによる精密基板ｃの挟持固定力を確保することも考えられるが、この場合、フロントリテーナｅを今まで以上に可撓変形させて蓋体ｄを容器本体ａに固定しなければならないので、容器本体ａに対する蓋体ｄの着脱作業が難しくなる。また、経時的使用によりフロントリテーナｅによる付勢力が低下してくるので、耐久性が劣ることとなる。
【００１２】
また、上記従来の収納容器の場合、強度を確保するためにポリカーボネートによって成形されている蓋体ｄおよび容器本体ａに対して、フロントリテーナｅおよびリアリテーナｆは、サーモプラスチックエラストマーからなるため、そのままでは蓋体ｄおよび容器本体ａに固定することができない。
【００１３】
そのため、蓋体ｄおよび容器本体ａに対してフロントリテーナｅおよびリアリテーナｆを、熱溶着やかしめやインサート成形によって固定することが考えられるが、熱溶着やかしめの場合、成形時の発塵やガスの発生などによって蓋体ｄおよび容器本体ａが汚染されてしまい良好な収納容器を成形することができない。すなわち、蓋体ｄおよび容器本体ａを構成するポリカーボネートの成形温度が３００〜３３０度前後であるのに対して、フロントリテーナｅおよびリアリテーナｆを構成するサーモプラスチックエラストマーの成形温度は１８０〜２３０度前後と低温であるため、成形温度の高い蓋体ｄおよび容器本体ａを成形しておいて、成形温度の低いフロントリテーナｅ及びリアリテーナｆを熱溶着しなければならないが、蓋体ｄおよび容器本体ａに求められる清浄性が非常に高いため、フロントリテーナｅおよびリアリテーナｆの成形時の発塵やガスの発生による収納容器内の汚染を避けることができない。
【００１４】
また、インサート成形の場合、蓋体ｄおよび容器本体ａの大きさに対してフロントリテーナｅおよびリアリテーナｆが小さいので、インサート成形後の応力がフロントリテーナｅおよびリアリテーナｆに集中し、これらフロントリテーナｅおよびリアリテーナｆがひび割れてしまうため成形することができない。
【００１５】
したがって、従来の収納容器は、蓋体ｄおよび容器本体ａに対してフロントリテーナｅおよびリアリテーナｆを嵌合固定したものしか成形することができなかった。
【００１６】
このうち、蓋体ｄに設けられるフロントリテーナｅは、精密基板ｃの周縁を支持した状態で精密基板ｃの動きに追従できるように、蓋体ｄに対して弾性固定されるため、蓋体ｄに対して嵌合固定するものであっても良いが、容器本体ａに設けられるリアリテーナｆは、精密基板ｃを挟持固定した後の容器本体ａが、開口部が上方に向くように容器本体ａを起こして運搬されるため、容器本体ａと強固に固定する必要があり、嵌合固定では十分な固定強度を確保することができない。したがって、経時的使用によりガタツキなどを生じることとなり、これに起因する摩擦によって発塵し、収納容器内を汚染してしまうことが懸念される。
【００１７】
本発明は係る実情に鑑みてなされたものであって、がたつきなどを防止して摩擦による発塵を防止することができる精密基板収納容器と、その製造方法とを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題を解決するための本発明の収納容器は、上面が開口し、内部に精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に被せられる蓋体とを具備し、容器本体の底面に、精密基板を保持するリアリテーナが設けられた収納容器であって、容器本体は、ポリカーボネート樹脂からなり、底面に設けられたリアリテーナ固定部から、複数の貫通孔を有する固定片が突設されてなり、リアリテーナは、サーモプラスチックエラストマーからなり、この固定片を被覆し、貫通孔に成形樹脂が回り込んで固定片と一体化した状態でリアリテーナ固定部に設けられてなるものである。
【００１９】
また、上記課題を解決するための本発明の精密基板収納容器の製造方法は、上面が開口し、内部に精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に被せられる蓋体とを具備し、容器本体の底面に、精密基板を保持するリアリテーナが設けられた収納容器を製造する方法であって、リアリテーナが固定される固定部から複数の貫通孔を有する固定片が突設されるとともに、この固定片と相反する位置には容器本体と溶融一体化するインサート部が形成された中芯部材を、容器本体と同素材で成形し、この中芯部材の固定部を、リアリテーナの成形型のキャビティに露出させ、貫通孔にリアリテーナの成形樹脂を回り込ませて固定片を被覆し、この固定片と一体化した状態でリアリテーナ固定部に、容器本体と異素材のリアリテーナを成形し、中芯部材のインサート部を、容器本体の成形型のキャビティに露出させて容器本体を成形し、このインサート部を介して中芯部材と容器本体とを溶融一体化させて容器本体にリアリテーナを設けるものである。
【００２０】
また、上記方法において、リアリテーナの成形型のキャビティに露出させた固定部の表面積を１００とした場合、容器本体の成形型のキャビティに露出させたインサート部の表面積が１５０％以上となされた中芯部材を用いるものである。
【００２１】
さらに、上記課題を解決するための本発明の精密基板収納容器は、上面が開口し、内部に精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に被せられる蓋体とを具備し、容器本体の底面に、精密基板を等間隔で保持するリアリテーナが設けられた収納容器であって、リアリテーナは、容器本体を横倒しにしてその内部に精密基板を収納して蓋体を固定してから容器本体を起こした状態で、蓋体からの付勢力および精密基板の自重によって精密基板を溝底側へと押し込むようになされたＶ溝を有してなり、この溝底部には、精密基板の基板面に直行する支持面から、支持角度２０〜４５度に設定され、押し込まれた精密基板の周縁を嵌合する支持溝が設けられてなるものである。
【００２２】
さらに、上記課題を解決するための本発明の精密基板収納容器は、上記精密基板収納容器において、容器本体の両側壁面に、複数枚の精密基板を保持するリテーナが設けられ、前記リテーナは、精密基板が載置される載置面に、精密基板との接触面積を減らす凸部が設けられているものである。凸部は特に限定されるものではないが、例えば、容器本体の底面側から開口部側に向かって線状に凸設するように形成されたものでも良く、また、上記精密基板収納容器において、凸部は、容器本体の底面側から開口部側に向かって点線状に凸設するように形成されたものでも良く、さらに、上記精密基板収納容器において、精密基板が載置されるリテーナの載置面は、容器本体の開口部付近に、凸部最頂部と面一になる滑り止め面が形成されたものでも良い。
【発明の効果】
【００２３】
以上述べたように、本発明の精密基板収納容器によると、容器本体の底面に設けたリアリテーナ固定部から複数の貫通孔を有する固定片を突設し、この固定片を被覆して貫通孔に成形樹脂が回り込んで固定片と一体化した状態で、リアリテーナ固定部にリアリテーナを設けているので、容器本体とリアリテーナとを強固に一体化して経時的使用によるガタツキを無くし、摩擦による発塵を防止することができる結果、収納容器内部の汚染、所謂コンタミネーションの不都合を解消できる。
【００２４】
また、本発明の精密基板収納容器の製造方法によると、あらかじめ容器本体と同素材で成形した中芯部材の固定部に容器本体と異素材のリアリテーナを成形した後、この中芯部材のインサート部を容器本体と溶融一体化させることにより、容器本体に、この容器本体と異素材のリアリテーナを成形一体化することが可能となる。
【００２５】
また、本発明の精密基板収納容器によると、リアリテーナのＶ溝の溝底部には、精密基板の基板面に直行する支持面から、支持角度２０〜４５度に設定された支持溝を設けているので、容器本体を横倒しにしてその内部に精密基板を収納して蓋体を固定ししてから容器本体を起こした際に、この蓋体からの付勢力および精密基板の自重によって精密基板がＶ溝の溝底側へと押し込まれ、この支持溝に嵌まり込むこととなる。したがって、安定した固定状態が得られることとなり、経時的使用によるガタツキを無くし、摩擦による発塵を防止することができる結果、収納容器内部の汚染、所謂コンタミネーションの不都合を解消できる。
【００２６】
また、精密基板が載置されるリテーナの載置面に、精密基板との接触面積を減らす凸部を設ける構成を付加することで、精密基板は、リテーナとの摩擦が減り、この摩擦に起因する発塵を防止することができる結果、収納容器内部の汚染、所謂コンタミネーションの不都合を解消できる。
【００２７】
さらに、容器本体の開口部付近の載置面に、凸部最頂部と面一になる滑り止め面を形成する構成を付加することで、精密基板が横滑りして位置ズレすることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明に係る精密基板収納容器の全体構成の概略を示す分解斜視図である。
【図２】本発明に係る精密基板収納容器の精密基板を出し入れする状態での断面図である。
【図３】本発明に係る精密基板収納容器の精密基板を収納した状態での断面図である。
【図４】（ａ）ないし（ｅ）は、精密基板収納容器に精密基板を収納して運搬後、取り出すまでの作業工程図である。
【図５】（ａ）ないし（ｅ）は、図４（ａ）ないし（ｅ）の各工程における精密基板の状態を示す断面図である。
【図６】（ａ）は図５（ｂ）の部分省略拡大図、同図（ｂ）は図５（ｃ）の部分省略拡大図である。
【図７】（ａ）ないし（ｃ）は、本発明に係る精密基板収納容器における各種リテーナの形状を示す部分拡大図である。
【図８】（ａ）ないし（ｃ）は、本発明に係る精密基板収納容器におけるさらに他のリテーナの形状を示す部分拡大図である。
【図９】本発明に係る精密基板収納容器に用いられているリヤリテーナの部分拡大図である。
【図１０】（ａ）ないし（ｅ）は、本発明に係る精密基板収納容器に用いられているリヤリテーナを容器本体にインサート成形する際の工程図である。
【図１１】（ａ）および（ｂ）は、インサート成形に用いられる中芯部材にリヤリテーナを成形一体化した状態を示す平面図および側面図である。
【図１２】図１１（ｂ）のＩ−Ｉ線における断面図である。
【図１３】（ａ）および（ｂ）は、従来の精密基板収納容器における精密基板収納時の動作を説明する工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００３０】
図１ないし図３は精密基板収納容器（以下、単に収納容器という。）１の全体構成の概略を示し、図４は同収納容器１に精密基板５を収納し、運搬後、取り出すまでの動作を示し、図５は図４の要部を示し、図６は同図５（ｂ）、図５（ｃ）の部分省略拡大図を示している。
【００３１】
この収納容器１は、容器本体２と蓋体３とを具備し、容器本体２の底面２１にリアリテーナ４が設けられている。
【００３２】
容器本体２は、ポリカーボネート、ポリプロピレンその他のプラスチックで主として透明または半透明材料によって成形されている。この容器本体２は、図１および図３に示す縦置き状態で、４つの側壁面２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと底面２１とから構成されて上面が開口した略立方体形状の有底筒状に形成されている。この容器本体２には、開口部２０に蓋体３を設けることができるように、開口部２０から蓋体３の厚み分に相当する距離だけ入った位置に、段差が形成されて蓋体載置部２０ａが設けられている。容器本体２の対向する側壁面２２ａ，２２ｃは、蓋体載置部２０ａよりも上の開口部２０の内周立上り壁部分に、後述する蓋体３から出没する係合片３３を係合するための係合孔２０ｂが設けられている。容器本体２の底面２１には、平行する二列のリアリテーナ固定部２４が、対向する側壁面２２ａ，２２ｃ間を連絡するように設けられている。また、対向する残りの側壁面２２ｂ，２２ｄには、それぞれ開口部２０から底面２１に向かって複数の板状のリテーナ２３が設けられている。容器本体２は、これらのリテーナ２３が水平方向となり、開口部２０が側面から開口するように横倒しにした状態で、対向する側壁面２２ａ，２２ｃと平行するように、精密基板５が等間隔で複数枚収納される。各精密基板５は、容器本体２の側壁面２２ｂ，２２ｄに設けられた各リテーナ２３と、底面２１のリアリテーナ固定部２４に設けられたリアリテーナ４とによって支持される。
【００３３】
リテーナ２３は、図７（ａ）に示すように、精密基板５が載置される側の載置面２３１全体に、容器本体２の底面２１から開口部２０に向かって線状に凸となる凸部２３１ａが設けられている。この凸部２３１ａは、高さ約０．５ｍｍ、幅約０．５ｍｍとなるように凸設されている。この凸部２３１ａとしては、線状のものに限定されるものではなく、図７（ｂ）に示すように、載置面２３１全体に、直径１ｍｍ以下、高さ１ｍｍ以下、好ましくは直径０．５ｍｍ、高さ０．５ｍｍの突起を配した凸部２３１ａであってもよいし、図７（ｃ）に示すように、上記線状の凸部２３１ａと同じ箇所を点線状に凸となるように形成した凸部２３１ａであってもよい。
【００３４】
この場合、精密基板５は、凸部２３１ａ上に載置されることとなり、接触面積が減るので、リテーナ２３の載置面２３１と精密基板５との間の摩擦抵抗を減らすことができ、この摩擦に起因する発塵を防止することができる。
【００３５】
この凸部２３１ａの高さとしては、特に０．５ｍｍに限定されるものではなく、精密基板５が凸部２３１ａとのみ接触して接触面積を減らすことができる高さがあればよい。ただし、あまり高すぎると無駄であり、また、容器本体２を成形して脱型する際に支障を来たすこととなるため、１ｍｍ以下、特に０．５ｍｍ程度が好ましい。１ｍｍ以下の高さの場合、複雑な脱型構造を有する高価な金型を使用しなくても容器本体２の底面２１から開口部２０の方向に脱型する型を使用して成形することができる。
【００３６】
また、凸部２３１ａの面積についても、リテーナ３２の載置面２３１に通常載置した時の精密基板５と載置面２３１との接触面積よりも減るのであれば、特に限定されるものではないが、精密基板５をリテーナ２３に載置した際の安定性を確保した状態でできるだけ接触面積を減らしたものにすることが好ましい。具体的には、精密基板５と載置面２３１との接触面積を１００とした場合、精密基板５と凸部２３１ａとの接触面積が１０％以下、好ましくは５％以下となるように凸部２３１ａを形成することが好ましい。
【００３７】
また、凸部２３１ａは、精密基板５が載置される載置面２３１のうち、実際に精密基板５が載置される箇所のみに設けられたものであってもよい。例えば、図８は、実際に精密基板５が載置される箇所のみに凸部２３１ａを設け、載置面２３１の開口部付近は、この凸部２３１ａの最頂部と面一となるようにした平滑面２３１ｂを形成している。
【００３８】
この場合、仮に精密基板５が凸部２３１ａ上で横滑りしそうな状況があったとしても、平滑面２３１ｂで摩擦抵抗が増すので、精密基板５が横滑りして位置ズレすることを防止できる。
【００３９】
リアリテーナ４は、サーモプラスチックエラストマーによって形成されている。このリアリテーナ４は、上記した容器本体２の底面２１のリアリテーナ固定部２４にそれぞれ設けられる長尺に形成されており、その表面には、精密基板５の周縁５１を支持するＶ溝４１と、精密基板５の裏面５２を支持する支持片４２とが長手方向に沿って交互に複数個設けられている。
【００４０】
このうち、支持片４２は、容器本体２の側壁面２２ｂ，２２ｄに設けられたリテーナ２３と同ピッチで設けられており、このリテーナ２３と支持片４２とによって、精密基盤５の裏面５２を支持することができるようになされている。この支持片４２を設けるピッチとしては、８ｍｍ〜１２ｍｍとなされ、Ｖ溝４１は６ｍｍ〜８ｍｍの範囲に設けられる。
【００４１】
Ｖ溝４１は、図９に示すように、精密基板５の面に対して直行する支持面を基準にして、一方の傾斜面４１ａの傾斜角αが２．５度となされ、他方の傾斜面４１ｂの傾斜角βが２６度となされている。このＶ溝４１は、精密基板５を支持することとなる支持片４２の表面に近い側に２．５度の緩やかな傾斜角αの傾斜面４１ａが位置し、支持片４２の裏面に近い側に２６度の傾斜角βの傾斜面４１ｂが位置するように設けられる。また、一方の傾斜面４１ａの溝底部には、他方の傾斜面４１ｂと同じ２６度の傾斜角βとなるように２６度の傾斜角θの傾斜面４１ｃが形成されて支持溝４１０が形成されている。
【００４２】
このリアリテーナ４は、図３に示すように、精密基板５の周縁５１の円弧に沿うように、Ｖ溝４１、支持片４２および支持溝４１０が斜めに加工されている。
【００４３】
なお、本実施の形態において、リアリテーナ４は、支持溝４１０の傾斜面４１ｃおよび傾斜面４１ｂが２６度となされているが、このＶ溝４１に位置することとなる精密基盤５の表面５３と干渉することなく周縁５１のみを支持することができる角度であれば、特に２６度に限定されるものではなく、２０〜４５度の範囲で所望の角度に設定することができる。すなわち、一般に、精密基板５は、周縁５１が２０〜２７度にテーパー処理されて角が曲面加工されており、この周縁５１よりも内径側の表面５３に微細加工が施されている。したがって、支持溝４１０の傾斜面４１ｃおよび傾斜面４１ｂを２０〜４５度に設定しておけば、このリヤリテーナ４が精密基板５の表面５３に構築された微細加工部分と接触することなく、周縁５１のみを支持溝４１０に支持できることとなる。
【００４４】
また、本実施の形態において、リアリテーナ４は、一方の傾斜面４１ａの傾斜角αが２．５度となされているが、この傾斜面４１ａは、特に２．５度に限定されるものではなく２．５〜５度の範囲で所望の角度に設定することができる。すなわち、精密基板５は、支持片４２に支持された状態からこの傾斜面４１ａをスライド移動して最終的には支持溝４１０に支持固定されることとなるが、傾斜面４１ａが２．５度未満の傾斜角αの場合、角度が無さ過ぎて傾斜面４１ａをスライド移動できなくなる。また、傾斜角αが５度を超えると、スライド移動させて精密基板５を押し込む距離が長くなるので、後述するフロントリテーナ６の付勢力が不足することになってしまう。
【００４５】
蓋体３は、容器本体２と同様の素材によって形成されている。この蓋体３は、容器本体２の開口部２０の内側にガスケット３０を介して落とし込むことが可能な大きさに形成されている。この蓋体３上面には回動可能なカム３１が設けられており、このカム３１の回動に連動するリンク機構３２を介して蓋体３の対向する２辺の端面から係合片３３が出没するように形成されている。また、蓋体３を開口部２０の内側にガスケット３０を介して落とし込んだ状態で、蓋体３の係合片３３が出没する位置と対向する容器本体２の開口部２０内側の位置には係合孔２０ｂが設けられている。そして、この係合孔２０ｂに蓋体３の係合片３３が係合することで容器本体２に蓋体３を固定することができるように構成されている。
【００４６】
この蓋体３の内面には、サーモプラスチックエラストマーによって形成されたフロントリテーナ６が設けられている。このフロントリテーナ６は、図３に示すように、蓋体３に嵌合される嵌合部６１から延設された各アーム６２の先端に支持溝６３を設けて構成されており、嵌合部６１の部分を蓋体３の内面から突設されたリブ３４に嵌合固定することによって取り付けられる。支持溝６３は、精密基板５の周縁５１を挟持することができるように、２０〜４５度の傾斜面を有するＶ字溝から構成されている。また、アーム６２は、可撓変形可能となされており、精密基板５の周縁５１を支持溝６３で挟持した状態のまま、可撓変形可能な範囲内で、精密基板５の動きに追従できるようになされている。
【００４７】
次に、このようにして構成される収納容器１に精密基板５を収納する場合、また、運搬後、取り出す場合について説明する。
【００４８】
まず、図４（ａ）に示すように、容器本体２を横倒しにして開口部２０を側面に開口させた状態にする。
【００４９】
次いで、図５（ａ）に示すように、容器本体２のリテーナ２３の載置面２３１と、リアリテーナ４の支持片４２との上に精密基板５を載置させる。
【００５０】
載置後、図４（ｂ）および図５（ｂ）に示すように、容器本体２の開口部２０に蓋体３を固定する。
【００５１】
この固定は、蓋体３の係合片３３を容器本体２の係合孔２０ｂに係合させて行われる。この係合の際、精密基板５は、リテーナ２３の載置面２３１とリアリテーナ４の支持片４２とに支持された状態で、蓋体３に設けたフロントリテーナ６の支持溝６３に周縁５１が支持されるが、この支持溝６３は、蓋体３を固定することによってアーム６２が可撓変形するので、精密基板５を容器本体２内へと押し込む付勢力を生じることとなる。この押し込みにより、図６（ａ）に示すように、精密基板５は、フロントリテーナ６とリヤリテーナ４との間で挟持固定されることとなる。
【００５２】
精密基板５を収納した後の収納容器１は、図４（ｃ）に示すように、開口部２０が上方に向くように容器本体２を起こして運搬される。この容器本体２を起こした際、図５（ｃ）および図６（ｂ）に示すように、精密基板５は、フロントリテーナ６の付勢力と自重とにより、容器本体２の底面２１に位置する周縁５１が、リアリテーナ４のＶ溝４１の溝底側へとスライド移動し、溝底部に設けられた支持溝４１０に嵌まり込むこととなり、この支持溝４１０と、フロントリテーナ６の支持溝６３との間で嵌合挟持固定されることとなる。
【００５３】
この精密基板５がスライド移動してリテーナ２３の載置面２３１から離れる際、精密基板５は、載置面２３１と擦れて摩擦することとなるが、この載置面２３１に形成した凸部２３１ａ（図３，図７，図８参照）としか接触していないので、摩擦抵抗が減り、この摩擦に起因する載置面２３１からの発塵を防止することができる結果、収納容器１内部の汚染、所謂コンタミネーションの不都合を解消できるのである。
【００５４】
また、この精密基板５がスライド移動する際、フロントリテーナ６は、可撓変形したアーム６２の付勢力によって支持溝６３が精密基板５のスライド移動に追従するので、ガタツキや摩擦による発塵を防止することができる。また、リアリテーナ４は、支持溝４１０によって精密基盤５の周縁５１を嵌合固定するので、固定後のガタツキや摩擦による発塵を防止することができる結果、収納容器１内部の汚染、所謂コンタミネーションの不都合を解消できるのである。
【００５５】
さらに、この嵌合挟持固定後は、精密基板５の周縁５１が支持溝４１０に嵌まり込む段差の分だけフロントリテーナ６のアーム６２の可撓変形が緩和されて支持溝６３に作用する付勢力は低下することとなるが、その分精密基板５は、自重が作用した状態で支持溝４１０に嵌まり込んで嵌合状態が強化されるので、支持溝６３による付勢力が緩和された分、嵌合力が強化された嵌合挟持固定状態となる。また、アーム６２の可撓変形が緩和される分、フロントリテーナ６の耐久性が向上することとなる。
【００５６】
運搬後、収納容器１から精密基板５を取り出す場合は、図４（ｃ）に示す状態から、図４（ｄ）に示すように収納容器１を横倒しにする。この際、図５（ｄ）に示すように、リテーナ２３の載置面２３１から離れて、リアリテーナ４のＶ溝４１と、フロントリテーナ６の支持溝６３との間で嵌合挟持固定されていた精密基板５は、再度、リテーナ２３の載置面２３１と、リアリテーナ４の支持片４２との上に載置される。
【００５７】
この際、精密基板５は、載置面２３１と擦れて摩擦することとなるが、この載置面２３１に形成した凸部２３１ａ（図３，図７，図８参照）としか接触していないので、摩擦抵抗が減り、この摩擦に起因する載置面２３１からの発塵を防止することができる結果、収納容器１内部の汚染、所謂コンタミネーションの不都合を解消できるのである。
【００５８】
次いで、図４（ｅ）および図５（ｅ）に示すように、容器本体２の開口部２０から蓋体３を取外す。
【００５９】
この取外し作業は、係合孔２０ｂに係合されていた蓋体３の係合片３３の係合を解除して行う。この取外し作業の際、フロントリテーナ６のアーム６２の可撓変形が緩和されて支持溝６３に作用する付勢力が無くなり、精密基板５は、リテーナ２３の載置面２３１と、リアリテーナ４の支持片４２との所定位置上に載置され、容器本体２から取り出し作業可能な状態となる。また、この蓋体３の取外しによってフロントリテーナ６の付勢力を解除した際に、この動作に起因して精密基板５とリテーナ２３の載置面２１との間で摩擦を生じることとなるが、精密基板５は、この載置面２３１に形成した凸部２３１ａ（図３，図７，図８参照）としか接触していないので、摩擦抵抗が減り、この摩擦に起因する載置面２３１からの発塵を防止することができる結果、収納容器１内部の汚染、所謂コンタミネーションの不都合を解消できるのである。
【００６０】
また、この蓋体３を取り外す際に、精密基板５がリテーナ２３の載置面２３１から横滑りすることが懸念される場合には、図８に示すように、実際に精密基板５が載置される箇所のみに凸部２３１ａを形成し、載置面２３１の開口部付近は、この凸部２３１ａの最頂部と面一となるようにした平滑面２３１ｂを形成しておけば、平滑面２３１ｂで摩擦抵抗が増すので、精密基板５が横滑りして位置ズレすることを防止できる。
【００６１】
なお、精密基板５を収納した後の収納容器１は、開口部２０が上方に向くように容器本体２０を起こして運搬されるため、精密基板５の全荷重は、リアリテーナ４で支承することとなる。したがって、可撓変形して精密基板５に追従するように構成したフロントリテーナ６とは異なり、リアリテーナ４は、ガタツキや摩擦による発塵を防止するために、容器本体２の底面２１と強固に一体化した状態で固定しておかなければならない。
【００６２】
これを達成するために、本願発明では、リアリテーナ４は、容器本体２の底面２１にインサート成形によって一体化されている。
【００６３】
次に、このリアリテーナ４のインサート成形について述べる。
【００６４】
図１０は、インサート成形工程の概略を示し、図１１および図１２は中芯部材２５にリアリテーナ４を成形一体化した状態を示している。
【００６５】
すなわち、このリアリテーナ４のインサート成形は、中芯部材２５にリアリテーナ４を成形一体化した後、この中芯部材２５を容器本体２と成形一体化して容器本体２にリアリテーナ４を設けるものである。
【００６６】
中芯部材２５は、図１０（ａ）に示すように、基材２６の表面にリアリテーナ固定部２４が設けられ、裏面にインサート部２７が設けられて構成されている。
【００６７】
基材２６は、リアリテーナ４が固定可能な長尺の板状に形成されている。
【００６８】
リアリテーナ固定部２４は、基材２６の表面に、基材２６と略同じ長さで基材２６の約半分の幅で一段高くなるように盛り上がって形成されている。このリアリテーナ固定部２４からは、複数の貫通孔２８ａを有する固定片２８が、略長さ方向全体にわたって突設されている。
【００６９】
インサート部２７は、基材２６の裏面に、基材２６と略同じ長さで約半分の幅で突設されている。インサート部２７の両側は、容器本体２の成形時にキャビティ内に安定状態で固定できるように脚部２７ａが形成されており、中央部は、溶融した樹脂の流動を損なうことなく、キャビティ８０内に樹脂を充填させることができるように凹設部２７ｂが形成されている。このインサート部２７の形状としては、容器本体２の成形型８のキャビティ８０に安定状態で固定でき、かつ、溶融した樹脂の流動を損なうことのない形状であれば、特にその形状は限定されるものではない。
【００７０】
ただし、リアリテーナ４の成形時にキャビティ７０に露出する中芯部材２５のリアリテーナ固定部２４の表面積を１００とした場合に、容器本体２の成形時にキャビティ８０に露出する中芯部材２５のインサート部２７の表面積は、１５０％以上、好ましくは２００〜７５０％となるように設定することが好ましい。より好ましくは２００〜５００％となるように設定される。この設定が１５０％未満の場合は、中芯部材２５にリヤリテーナ４を成形しなくても、容器本体２に直接リヤリテーナ４を成形する場合とあまり変わりなくなってしまう。また、７５０％を越えると、中芯部材２５が、インサート部２７を介して容器本体２の成形時の熱の影響を大きく受けるので、中芯部材２５に成形したリヤリテーナ４がひび割れてしまうこととなる。
【００７１】
この中芯部材２５を用いたリヤリテーナ４のインサート形成は、次のようにして行われる。
【００７２】
まず、容器本体２と同素材のポリカーボネート樹脂によって中芯部材２５を成形する。
【００７３】
次に、この中芯部材２５のリアリテーナ固定部２４を、リヤリテーナ４の成形型７のキャビティ７０に露出させ、このキャビティ７０内にサーモプラスチックエラストマーの溶融樹脂を充填してリアリテーナ固定部２４にリヤリテーナ４を成形する。この際、リアリテーナ固定部２４には、複数の貫通孔２８ａを有する固定片２８が突設されているので、リヤリテーナ４は、固定片２８を被覆し、貫通孔２８ａに樹脂が回り込んで、この固定片２８と構造的に強固に一体化することとなる。
【００７４】
脱型後、中芯部材２５のインサート部２７を容器本体２の成形型８のキャビティ８０に露出させ、このキャビティ８０内にポリカーボネートの溶融樹脂を充填してインサート部２７を溶融一体化させて容器本体２を成形する。
【００７５】
この容器本体２の成形時には、リヤリテーナ４自体はキャビティ８０の外に設けられており、熱の影響を受けないので、ひび割れなどを生じない。また、このようにして成形された容器本体２は、リヤリテーナ４が強固に一体化したものとなるため、ガタツキなどを生じない。したがって、経時的使用によるガタツキを無くし、摩擦による発塵を防止することができる結果、収納容器１内部の汚染、所謂コンタミネーションの不都合を解消できるのである。
【００７６】
なお、本実施の形態において、収納容器１は、凸部２３１ａを有するリテーナ２３と、Ｖ溝４１の溝底に支持溝４１０を有するリアリテーナ４と、容器本体２の底面２１のリアリテーナ固定部２４にインサート成形したリアリテーナ４とを構成することによって収納容器１内の発塵を防止するようになされているが、これら各要素のうち、何れか一つ以上を有する収納容器１であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明に係る精密基板収納容器は、高度の清潔性が要求される半導体ウエハ、液晶ガラス基板などを収納して航空機輸送し、或いは温度差の大きい地域への移送用として使用される。
【符号の説明】
【００７８】
１  精密基板収容容器
２  容器本体
２０  開口部
２１  底面
２２ｂ  側壁面
２２ｄ  側壁面
２３  リテーナ
２３１  載置面
２３１ａ  凸部
２３１ｂ  平滑面（滑り止め面）
２４  リテーナ固定部
２５  中芯部材
２６  基材
２７  インサート部
２８  固定片
２８ａ  貫通孔
３  蓋体
４  リヤリテーナ
４１  Ｖ溝
４１０  支持溝
５  精密基板
６  フロントリテーナ
７  成形型
７０  キャビティ
８  成形型
８０  キャビティ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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