(57)【要約】【課題】雑音の小さい精度の良い電圧を出力する。【解決手段】与えられる入力データに応じた出力電圧を出力端から出力する信号発生装置であって、与えられるデータに応じた電圧を出力するＤＡ変換器と、出力端と基準電位との間に設けられたキャパシタ部と、ＤＡ変換器の電圧発生端と出力端との間を接続および切断する転送スイッチと、転送スイッチの接続および切断を繰返して入力データに応じた電圧を出力させたＤＡ変換器によりキャパシタ部をチャージしていき、キャパシタ部の電圧を入力データに応じた出力電圧に順次に近づける制御部と、を備える信号発生装置を提供する。【選択図】図１
2011130434.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
与えられる入力データに応じた出力電圧を出力端から出力する信号発生装置であって、
与えられるデータに応じた電圧を出力するＤＡ変換器と、
前記出力端と基準電位との間に設けられたキャパシタ部と、
前記ＤＡ変換器の電圧発生端と前記出力端との間を接続および切断する転送スイッチと、
前記転送スイッチの接続および切断を繰返して前記入力データに応じた電圧を出力させた前記ＤＡ変換器により前記キャパシタ部をチャージしていき、前記キャパシタ部の電圧を前記入力データに応じた出力電圧に順次に近づける制御部と、
を備える信号発生装置。
【請求項２】
前記ＤＡ変換器は、
前記電圧発生端に接続されたキャパシタアレイと、
前記キャパシタアレイの接続を切り替える切替部と、
コントローラと、
を有し、
前記コントローラは、
リフレッシュモードにおいて、前記キャパシタアレイを参照電位にチャージし、
前記リフレッシュモードの後の出力モードにおいて、前記キャパシタアレイにおける前記電圧発生端およびコモン電位の間の容量と前記電圧発生端および参照電位の間の容量との比率を与えられたデータに応じて切り替えて、与えられたデータに応じた電圧を前記電圧発生端から発生させる
請求項１に記載の信号発生装置。
【請求項３】
当該信号発生装置に対して入力データが与えられた場合、前記ＤＡ変換器は、前記リフレッシュモードと、前記入力データに応じた電圧を前記電圧発生端から発生する前記出力モードとを交互に繰返し、
前記制御部は、前記出力モードの少なくとも一部の期間において前記転送スイッチを接続する
請求項２に記載の信号発生装置。
【請求項４】
前記キャパシタ部は、前記キャパシタアレイの合計容量より大きい
請求項３に記載の信号発生装置。
【請求項５】
当該信号発生装置は、複数の前記出力端のそれぞれに対応する複数の入力データが与えられ、前記複数の出力端のそれぞれから対応する入力データに応じた電圧を出力し、
当該信号発生装置は、
前記複数の出力端のそれぞれに対応する複数の前記キャパシタ部と、
前記複数の出力端のそれぞれに対応する複数の前記転送スイッチと、
を備え、
当該信号発生装置に対して入力データが与えられた場合、前記制御部は、前記複数の出力端のうち選択された出力端に対応する転送スイッチの接続および切断を繰返して、選択された出力端に対応する前記キャパシタ部の電圧を前記入力データに応じた出力電圧に順次に近づける
請求項２から４の何れか１項に記載の信号発生装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記複数の出力端のうち選択されていない出力端に対応する前記転送スイッチを切断する
請求項５に記載の信号発生装置。
【請求項７】
当該信号発生装置は、第１モードと、前記第１モードの入力データよりも大きい分解能の入力データに応じた出力電圧を出力する第２モードとを切り替えて動作し、
前記キャパシタアレイは、第１ビットから第Ｍビットまでのそれぞれのビットに対応し、対応するビットの重みに応じた容量を有し、前記電圧発生端に接続された出力ラインに一端が接続された第１から第Ｍのビットキャパシタを含み、
前記キャパシタ部は、第（Ｍ＋１）ビットから第Ｌビットまでのそれぞれのビットに対応し、対応するビットの重みに応じた容量を有し、前記転送スイッチと前記出力端との間のラインに一端が接続された第（Ｍ＋１）から第Ｌのビットキャパシタを含み、
前記制御部は、
前記第１モードにおいて、前記第（Ｍ＋１）から第Ｌのビットキャパシタにおける前記転送スイッチと前記出力端との間のラインに接続されていない他端を基準電位に接続して、前記転送スイッチの接続および切断を繰返して与えられた入力データに応じた電圧を出力させた前記ＤＡ変換器により前記キャパシタ部をチャージしていき、前記キャパシタ部の電圧を前記入力データに応じた出力電圧に順次に近づけ、
前記第２モードにおいて、前記転送スイッチを接続し、前記ＤＡ変換器および前記キャパシタ部を１つの電荷再配分型ＤＡ変換器として機能させて、当該信号発生装置の出力端から与えられた入力データに応じた出力電圧を発生させる
請求項２から６の何れか１項に記載の信号発生装置。
【請求項８】
前記ＤＡ変換器の電圧発生端と中間ノードとの間を接続および切断する第１の前記転送スイッチと、
前記中間ノードと前記出力端との間を接続および切断する第２の前記転送スイッチと、
前記中間ノードと基準電位との間に設けられた第１の前記キャパシタ部と、
前記出力端と基準電位との間に設けられた第２の前記キャパシタ部と、
を備え、
前記制御部は、
前記出力モードの少なくとも一部の期間において前記第１の転送スイッチを接続し、
前記第１の転送スイッチが切断している少なくとも一部の期間において前記第２の転送スイッチを接続する
請求項２から６の何れか１項に記載の信号発生装置。
【請求項９】
当該信号発生装置は、与えられた入力データに応じた出力電圧の非反転電圧および反転電圧を切り替えて出力端から出力し、
第１の前記キャパシタ部と、
前記出力端と基準電位との間に設けられた第２の前記キャパシタ部と、
前記制御部の制御に応じて、前記第１のキャパシタ部の第１の端子と前記出力端、前記基準電位および前記ＤＡ変換器の電圧発生端の何れか１つとの間を接続する第１の前記転送スイッチと、
前記制御部の制御に応じて、前記第１のキャパシタ部の第２の端子と前記出力端および前記基準電位の何れか１つとの間を接続する第２の前記転送スイッチと、
を備え、
前記制御部は、
出力モードの少なくとも一部の期間において、前記第１のキャパシタ部の第１の端子と前記ＤＡ変換器の電圧発生端との間を接続し、且つ、前記第１のキャパシタ部の第２の端子と前記基準電位との間を接続し、
非反転電圧を出力させるモードにおいて、前記出力モードの少なくとも一部の期間の以外において、前記第１のキャパシタ部の第１の端子と前記出力端との間を接続し、且つ、前記第１のキャパシタ部の第２の端子と前記基準電位との間を接続し、
反転電圧を出力させるモードにおいて、前記出力モードの少なくとも一部の期間の以外において、前記第１のキャパシタ部の第１の端子と前記基準電位との間を接続し、且つ、前記第１のキャパシタ部の第２の端子と前記出力端との間を接続する
請求項２から７の何れか１項に記載の信号発生装置。
【請求項１０】
当該信号発生装置は、与えられた入力データに応じた差動の電圧を非反転側の出力端および反転側の出力端から出力し、
前記非反転側の出力端に対応する、非反転側の前記第１のキャパシタ部、非反転側の前記第２のキャパシタ部、非反転側の前記第１の転送スイッチおよび非反転側の前記第２の転送スイッチと、
前記反転側の出力端に対応する、反転側の前記第１のキャパシタ部、反転側の前記第２のキャパシタ部、反転側の前記第１の転送スイッチおよび反転側の前記第２の転送スイッチと、
を備え、
前記制御部は、非反転側の前記第１の転送スイッチおよび非反転側の前記第２の転送スイッチを非反転電圧を出力させるモードに応じて切り替え、反転側の前記第１の転送スイッチおよび反転側の前記第２の転送スイッチを反転電圧を出力させるモードに応じて切り替える
請求項９に記載の信号発生装置。
【請求項１１】
当該信号発生装置は、与えられた入力データに応じた差動の電圧を非反転側の出力端および反転側の出力端から出力し、
前記非反転側の出力端と基準電位との間に設けられた非反転側の前記第２のキャパシタ部と、
前記反転側の出力端と基準電位との間に設けられた反転側の前記第２のキャパシタ部と、
を備え、
前記制御部は、
前記出力モードの少なくとも一部の期間の以外において、非反転電圧を前記非反転側の第２のキャパシタ部にチャージする動作および反転電圧を前記反転側の第２のキャパシタ部にチャージする動作を切り替えて行い、
非反転電圧を前記非反転側の第２のキャパシタ部にチャージする場合に、前記第１のキャパシタ部の第１の端子と前記非反転側の出力端との間を接続し、且つ、前記第１のキャパシタ部の第２の端子と前記基準電位との間を接続し、
反転電圧を前記反転側の第２のキャパシタ部にチャージする場合に、前記第１のキャパシタ部の第１の端子と前記基準電位との間を接続し、且つ、前記第１のキャパシタ部の第２の端子と前記反転側の出力端との間を接続する
請求項９に記載の信号発生装置。
【請求項１２】
前記キャパシタ部をチャージする充電部を更に備え、
前記制御部は、前記ＤＡ変換器により前記キャパシタ部をチャージするのに先立ってまたは共に、前記充電部により前記キャパシタ部をチャージする
請求項２から１１の何れか１項に記載の信号発生装置。
【請求項１３】
前記制御部は、与えられた入力データおよび前サンプルにおいて与えられた入力データとの差に応じて、前記充電部によりチャージする電荷量を変更する
請求項１２に記載の信号発生装置。
【請求項１４】
入力データが与えられたことに応じて繰返される前記リフレッシュモードおよび前記出力モードのサイクルにおける初期段階において、前記ＤＡ変換器は、前記入力データに応じた出力電圧を補正した電圧を出力する
請求項２から１３の何れか１項に記載の信号発生装置。
【請求項１５】
前記ＤＡ変換器は、与えられた入力データおよび前サンプルにおいて与えられた入力データの差に応じて、初期段階のサイクルにおいて出力する出力電圧を変更する
請求項１４に記載の信号発生装置。
【請求項１６】
前記キャパシタ部は、第１容量と、前記第１容量より大きい第２容量とで切り替え可能となっており、
前記制御部は、高速動作モードにおいて前記キャパシタ部を前記第１容量に切り替え、低速動作モードにおいて前記キャパシタ部を前記第２容量に切り替える
請求項１から１５の何れか１項に記載の信号発生装置。
【請求項１７】
前記出力端から出力された出力電圧を伝搬するアナログ回路から出力される信号の電圧と前記ＤＡ変換器により出力される電圧とを比較する比較部と、
を更に備え、
前記制御部は、
前記転送スイッチが切断している状態において、前記ＤＡ変換器に比較データに応じた比較電圧を出力させて、前記比較部に前記アナログ回路から出力される信号の電圧と前記比較電圧とを比較させ、
比較結果に基づき前記アナログ回路から出力される信号の電圧を検出し、検出した電圧に基づき前記ＤＡ変換器の出力電圧を調整する
請求項１から１６の何れか１項に記載の信号発生装置。
【請求項１８】
前記出力端から出力された出力電圧を伝搬するアナログ回路から出力される信号の電圧と前記ＤＡ変換器により出力される電圧とを比較する比較部と、
を更に備え、
前記制御部は、
前記ＤＡ変換器により前記キャパシタ部に設定データに応じた設定電圧にチャージし、
前記キャパシタ部から前記設定電圧を前記アナログ回路に与え、
前記転送スイッチを切断した状態で、前記ＤＡ変換器に比較データに応じた比較電圧を出力させて、前記比較部に前記アナログ回路から出力される信号の電圧と前記比較電圧とを比較させ、前記比較部による比較結果に基づき、前記アナログ回路に前記設定電圧が与えられてから安定化するまでの前記アナログ回路から出力される信号の電圧のセットリング波形を測定する
請求項１から１６の何れか１項に記載の信号発生装置。
【請求項１９】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに与える電圧を設定する請求項１から１８の何れか１項に記載の信号発生装置と、
前記信号発生装置により設定された電圧を供給するドライブ部と、
を備える試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信号発生装置および試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電荷再配分型のＤＡ変換器が知られている。電荷再配分型のＤＡ変換器は、キャパシタをラダー状に接続したキャパシタアレイを内部に備える。
【０００３】
特許文献１  特開平５−２５２０３２号公報
特許文献２  特許第３１６６６０３号明細書
特許文献３  特開昭６２−０８２８２１号公報
特許文献４  特開昭６４−０４１０１１号公報
特許文献５  米国特許第６２７１７８４号明細書
特許文献６  米国特許第６７８１５３２号明細書
特許文献７  特開昭６２−１２５７１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電荷再配分型のＤＡ変換器は、データレートの前半期間においてキャパシタアレイに参照電圧に応じた電荷を充電する（リフレッシュモード）。そして、電荷再配分型のＤＡ変換器は、各データレートの後半期間において、入力データに応じてキャパシタアレイの接続を切り替える（出力モード）。これにより、電荷再配分型のＤＡ変換器は、入力データに応じた電圧を発生することができる。このような電荷再配分型のＤＡ変換器によれば、他の種類のＤＡ変換器と比較して消費電力を小さくすることができる。
【０００５】
ところで、電荷再配分型のＤＡ変換器は、リフレッシュモードと出力モードとのモード切替時において雑音（例えば、リフレッシュ雑音、チャージインジェクション、スイッチ駆動に起因したクロックフィードスルー）が発生する。従って、電荷再配分型のＤＡ変換器は、モード切替時において発生する雑音によって、出力電圧の精度が悪くなっていた。
【０００６】
また、電荷再配分型のＤＡ変換器をＩＣ等に組み込む場合、キャパシタアレイの全体の容量を小さくして、面積を小さくすることが好ましい。しかし、キャパシタアレイの全体の容量を小さくすると、ＫＴ／Ｃ雑音と呼ばれる熱雑音が大きくなる。従って、電荷再配分型のＤＡ変換器は、キャパシタアレイの全体の容量を小さくして小型化をするには限界があった。
【０００７】
また、電荷再配分型のＤＡ変換器は、トランジスタのゲート容量により実現した小型容量のキャパシタを備えることもできる。しかし、トランジスタのゲート容量には非線形な電圧依存性があるので、このような電荷再配分型のＤＡ変換器は、高精度化することが困難であった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、与えられる入力データに応じた出力電圧を出力端から出力する信号発生装置であって、与えられるデータに応じた電圧を出力するＤＡ変換器と、前記出力端と基準電位との間に設けられたキャパシタ部と、前記ＤＡ変換器の電圧発生端と前記出力端との間を接続および切断する転送スイッチと、前記転送スイッチの接続および切断を繰返して前記入力データに応じた電圧を出力させた前記ＤＡ変換器により前記キャパシタ部をチャージしていき、前記キャパシタ部の電圧を前記入力データに応じた出力電圧に順次に近づける制御部と、を備える信号発生装置、および、このような信号発生装置を備える試験装置を提供する。
【０００９】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る信号発生装置１０の構成を示す。
【図２】図２は、本発明の実施形態に係る信号発生装置１０の処理フローを示す。
【図３】図３は、本発明の実施形態に係る信号発生装置１０における転送スイッチ２４の切替タイミングおよび各ノードの電圧波形の一例を示す。
【図４】図４は、本発明の実施形態に係るＤＡ変換器２０の構成の一例を示す。
【図５】図５は、本発明の実施形態に係るＤＡ変換器２０の電圧発生処理のフローを示す。
【図６】図６は、−２（Ｎ−１）〜２（Ｎ−１）−１の入力データが与えられた場合の、与えられた入力データに対応して選択される参照電圧、パラメータｋおよびパラメータｄの値を示す。
【図７】図７は、リフレッシュモードにおける、本実施形態に係るＤＡ変換器２０の接続例を示す。
【図８】図８は、出力モードにおける、本実施形態に係るＤＡ変換器２０の接続例を示す。
【図９】図９は、−１２８から１２７の入力データが与えられた場合の、参照電圧、パラメータｋ、パラメータｄの値および出力電圧の一例を示す。
【図１０】図１０は、本発明の実施形態の第１変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。
【図１１】図１１は、本発明の実施形態の第２変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。
【図１２】図１２は、本発明の実施形態の第３変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。
【図１３】図１３は、本発明の実施形態の第４変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。
【図１４】図１４は、本発明の実施形態の第５変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。
【図１５】図１５は、本発明の実施形態の第６変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。
【図１６】図１６は、本発明の実施形態の第７変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。
【図１７】図１７は、本発明の実施形態の第８変形例に係る信号発生装置１０における、転送スイッチ２４の切替タイミングおよび各ノードの電圧波形の一例を示す。
【図１８】図１８は、本発明の実施形態の第９変形例に係る信号発生装置１０の構成をアナログ回路１００および対象回路２００とともに示す。
【図１９】図１９は、本発明の実施形態の第９変形例に係る信号発生装置１０の電圧波形およびタイミングチャートを示す。
【図２０】図２０は、本発明の実施形態の第１０変形例に係る信号発生装置１０の構成をアナログ回路１００および対象回路２００とともに示す。
【図２１】図２１は、本発明の実施形態の第１０変形例に係る信号発生装置１０における、各スイッチの切替タイミングおよび各ノードの電圧波形の第１例を示す。
【図２２】図２２は、本発明の実施形態の第１０変形例に係る信号発生装置１０における、各スイッチの切替タイミングおよび各ノードの電圧波形の第２例を示す。
【図２３】図２３は、本発明の実施形態に係る試験装置３００の構成を被試験デバイス４００とともに示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１２】
本実施形態に係る信号発生装置１０は、与えられる入力データに応じた出力電圧を出力端１２から出力する。信号発生装置１０は、ＤＡ変換器２０と、キャパシタ部２２と、転送スイッチ２４と、制御部２６とを備える。
【００１３】
ＤＡ変換器２０は、与えられるデータに応じた電圧を出力する。本実施形態において、ＤＡ変換器２０は、キャパシタアレイ３２を有する電荷再配分型のＤＡ変換器である。本実施形態において、ＤＡ変換器２０の内部のキャパシタアレイ３２は、当該ＤＡ変換器２０の電圧発生端３０にバッファ等を介さずに直接接続される。
【００１４】
ＤＡ変換器２０は、参照電圧に応じた電荷をキャパシタアレイ３２に蓄積する動作（リフレッシュモード）、電荷が蓄積されたキャパシタアレイ３２の接続配置を入力データに応じて切り替えて電圧発生端３０から入力データに応じた電圧を発生する動作（出力モード）を実行する。ＤＡ変換器２０は、当該信号発生装置１０に対して入力データが与えられた場合、リフレッシュモードと、入力データに応じた電圧を電圧発生端３０から発生する出力モードとを交互に繰返す。
【００１５】
キャパシタ部２２は、出力端１２と基準電位との間に設けられる。キャパシタ部２２の容量は、ＤＡ変換器２０内のキャパシタアレイ３２の合計容量より大きくてもよい。
【００１６】
転送スイッチ２４は、ＤＡ変換器２０の電圧発生端３０と出力端１２との間に設けられる。転送スイッチ２４は、制御部２６の制御に応じて、ＤＡ変換器２０の電圧発生端３０と出力端１２との間を接続および切断する。
【００１７】
制御部２６は、当該信号発生装置１０に対して入力データが与えられたことに応じて、ＤＡ変換器２０にリフレッシュモードの動作および出力モードの動作を交互に繰り返して実行させる。これにより、制御部２６は、ＤＡ変換器２０により入力データに応じた電圧を電圧発生端３０から繰り返して発生させることができる。
【００１８】
これとともに、制御部２６は、転送スイッチ２４の接続および切断の状態を繰り返して切り替える。より詳しくは、制御部２６は、出力モードの少なくとも一部の期間において転送スイッチ２４を接続する。また、制御部２６は、出力モードの少なくとも一部の期間以外において転送スイッチ２４を切断する。制御部２６は、一例として、リフレッシュモードにおいて転送スイッチ２４を切断し、出力モードにおいて転送スイッチ２４を接続する。この場合、例えば、制御部２６は、ＤＡ変換器２０のリフレッシュモードおよび出力モードに同期して転送スイッチを切り替える。
【００１９】
ここで、ＤＡ変換器２０の内部のキャパシタアレイ３２は、当該ＤＡ変換器２０の電圧発生端３０にバッファ等を介さずに直接接続される。従って、ＤＡ変換器２０が出力モードの状態において転送スイッチ２４が接続状態とされた場合、キャパシタ部２２とＤＡ変換器２０の内部のキャパシタアレイ３２との間で電荷が移動して、電圧発生端３０から発生される電圧とキャパシタ部２２の電圧（即ち、出力電圧）とが同電位となる。
【００２０】
例えば、ＤＡ変換器２０が出力モードで且つ転送スイッチ２４の切断時において電圧発生端３０から発生している電圧がキャパシタ部２２の電圧より高い状態であれば、転送スイッチ２４が接続されることにより、電圧発生端３０の電圧は下降し、キャパシタ部２２の電圧は上昇する。また、ＤＡ変換器２０が出力モードで且つ転送スイッチ２４の切断時において電圧発生端３０から発生している電圧がキャパシタ部２２の電圧より低い状態であれば、転送スイッチ２４が接続されることにより、電圧発生端３０の電圧は上昇し、キャパシタ部２２の電圧は下降する。
【００２１】
従って、制御部２６は、リフレッシュモードおよび出力モードを交互に繰り返して入力データに応じた電圧をＤＡ変換器２０から繰り返して発生させ、更に、出力モードにおいて転送スイッチ２４を接続することにより、キャパシタ部２２の電圧を徐々に上昇（または下降）させ、そして、入力データに応じた電圧とすることができる。このように、制御部２６は、転送スイッチ２４の接続および切断を繰返して入力データに応じた電圧を出力させたＤＡ変換器２０によりキャパシタ部２２をチャージしていき、キャパシタ部２２の電圧を入力データに応じた出力電圧に順次に近づけることができる。
【００２２】
図２は、本実施形態に係る信号発生装置１０の処理フローを示す。信号発生装置１０は、入力データが与えられる毎（データレート毎）に、ステップＳ１２からステップＳ１５の処理を繰り返す（Ｓ１１とＳ１６との間のループ処理）。
【００２３】
それぞれのデータレートにおいて、信号発生装置１０は、当該データレートを分割した転送サイクル毎に、電圧発生処理（Ｓ１３）および転送処理（Ｓ１４）を実行する。電圧発生処理（Ｓ１３）において、信号発生装置１０は、与えられた入力データに応じた電圧をＤＡ変換器２０から発生させる。なお、ＤＡ変換器２０による電圧発生処理については、図５において更に説明する。
【００２４】
転送処理（Ｓ１４）において、信号発生装置１０は、ＤＡ変換器２０の電圧発生端３０とキャパシタ部２２との間を接続して、ＤＡ変換器２０内の電荷をキャパシタ部２２へ転送（またはキャパシタ部２２内の電荷をＤＡ変換器２０へ転送）する。これにより、信号発生装置１０は、ＤＡ変換器２０の電圧発生端３０の電圧とキャパシタ部２２の電圧とを一致させることができる。
【００２５】
図３は、本実施形態に係る信号発生装置１０における転送スイッチ２４の切替タイミングおよび各ノードの電圧波形の一例を示す。まず、制御部２６は、転送スイッチ２４をオフとする。ＤＡ変換器２０は、転送スイッチ２４がオフの期間において、リフレッシュモードの動作を行い、続いて、入力データに応じた電圧を発生する出力モードの動作を行う。なお、ＤＡ変換器２０は、リフレッシュモードにおいてはコモン電位を発生する。
【００２６】
従って、転送スイッチ２４がオフの期間において、ＤＡ変換器２０の電圧発生端３０は、まず、コモン電位となった後、続いて、入力データに応じた電圧Ｖｘとなる。なお、図３においては、コモン電位を０ボルトとしている。
【００２７】
続いて、制御部２６は、転送スイッチ２４をオンとする。転送スイッチ２４のオンの期間において、ＤＡ変換器２０は、出力モードの動作を維持する。従って、ＤＡ変換器２０の電圧発生端３０の電圧およびキャパシタ部２２の電圧は、互いが近づくように一方の電圧が上昇し、他方の電圧が下降する。
【００２８】
そして、制御部２６は、このような転送スイッチ２４のオンおよびオフを繰り返す。転送スイッチ２４のオンおよびオフが繰り返される毎に、転送スイッチ２４のオフ時におけるＤＡ変換器２０の電圧発生端３０とキャパシタ部２２との間の電位差は徐々に小さくなる。従って、制御部２６は、キャパシタ部２２の電圧を入力データに応じた電圧Ｖｘに一致させることができる。
【００２９】
以上のような本実施形態に係る信号発生装置１０は、キャパシタ部２２から入力データに応じた電圧を発生させるので、ＤＡ変換器２０におけるリフレッシュモードおよび出力モードの切り替えにおいて発生する雑音がキャパシタ部２２によりフィルタリングされる。また、信号発生装置１０によれば、ドループによる電圧の低減を回復することもできる。従って、本実施形態に係る信号発生装置１０によれば、雑音の小さい精度の良い電圧を出力することができる。
【００３０】
さらに、本実施形態に係る信号発生装置１０は、キャパシタ部２２の容量を大きくすることにより、出力電圧に含まれるＫＴ／Ｃ雑音の影響を小さくすることができる。従って、本実施形態に係る信号発生装置１０によれば、キャパシタアレイ３２の全体の容量を小さくして小型化することができる。
【００３１】
また、さらに、本実施形態に係る信号発生装置１０は、キャパシタ部２２の容量値に非線形な電圧依存性がある場合であっても、当該キャパシタ部２２の電圧を入力データに応じた電圧に一致させることができる。従って、本実施形態に係る信号発生装置１０によれば、キャパシタ部２２の大容量化と小型化とを両立して精度の良い電圧を出力することができる。
【００３２】
図４は、本実施形態に係るＤＡ変換器２０の構成の一例を示す。図４に示されるＤＡ変換器２０は、Ｎビット（Ｎは３以上の整数）の入力データに応じた電圧を発生する。
【００３３】
ＤＡ変換器２０は、キャパシタアレイ３２と、切替部３４と、ダミー用スイッチ３６と、リフレッシュ用スイッチ３８と、コントローラ４０とを有する。キャパシタアレイ３２は、電圧発生端３０に接続される。キャパシタアレイ３２は、出力ライン５２と、ダミーキャパシタ５４と、第１から第（Ｎ−１）のビットキャパシタ５６−１〜５６−（Ｎ−１）とを含む。
【００３４】
出力ライン５２は、電圧発生端３０にバッファ等を介さずに接続される。ダミーキャパシタ５４は、一端が出力ライン５２に接続される。ダミーキャパシタ５４は、入力データの第１ビット（最小ビット）の重みに応じた容量を有する。
【００３５】
第１から第（Ｎ−１）のビットキャパシタ５６−１〜５６−（Ｎ−１）のそれぞれは、一端が出力ライン５２に接続される。第１から第（Ｎ−１）のビットキャパシタ５６−１〜５６−（Ｎ−１）のそれぞれは、入力データの第１ビットから第（Ｎ−１）ビットのそれぞれのビットに対応し、対応するビットの重みに応じた容量を有する。一例として、第１ビットがＣの容量を有するとすれば、第２ビットが２×Ｃ、第３ビットが２２×Ｃ、第（Ｎ−１）ビットが２（Ｎ−２）×Ｃの容量を有する。
【００３６】
切替部３４は、キャパシタアレイ３２の接続を切り替える。切替部３４は、第１から第（Ｎ−１）のビットスイッチ５８−１〜５８−（Ｎ−１）を含む。第１から第（Ｎ−１）のビットスイッチ５８−１〜５８−（Ｎ−１）のそれぞれは、第１から第（Ｎ−１）のビットキャパシタ５６−１〜５６−（Ｎ−１）のそれぞれに対応する。第１から第（Ｎ−１）のビットスイッチ５８−１〜５８−（Ｎ−１）のそれぞれは、対応するビットキャパシタ５６の出力ライン５２に接続されていない他端を、正側の参照電位ＶＲＥＦＰ、負側の参照電位ＶＲＥＦＮ、および、コモン電位ＶＣＭの何れかに接続する。
【００３７】
ダミー用スイッチ３６は、ダミーキャパシタ５４の出力ライン５２に接続されていない他端を、正側の参照電位ＶＲＥＦＰ、負側の参照電位ＶＲＥＦＮ、および、コモン電位ＶＣＭの何れかに接続する。リフレッシュ用スイッチ３８は、出力ライン５２における、電圧発生端３０とは逆側の端をコモン電位ＶＣＭに接続するか開放するかを切り替える。コントローラ４０は、与えられた入力データに応じて、切替部３４、ダミー用スイッチ３６およびリフレッシュ用スイッチ３８の切替を制御する。
【００３８】
ここで、正側の参照電位ＶＲＥＦＰおよび負側の参照電位ＶＲＥＦＮは、コモン電位ＶＣＭを中心に極性が逆の電圧であって、コモン電位ＶＣＭとの差が互いに同一の電圧である。なお、コモン電位ＶＣＭは、図中において▽（逆三角）のマークで示される。コモン電位ＶＣＭは、例えば、グランド電位である。このようなＤＡ変換器２０は、正側の参照電位ＶＲＥＦＰと負側の参照電位ＶＲＥＦＮとの間をＮビットの分解能で分割したアナログ電圧を発生することができる。
【００３９】
図５は、本実施形態に係るＤＡ変換器２０の電圧発生処理のフローを示す。図６は、−２（Ｎ−１）〜２（Ｎ−１）−１の入力データが与えられた場合の、与えられた入力データに対応して選択される参照電圧、パラメータｋおよびパラメータｄの値を示す。図７は、リフレッシュモードにおける、本実施形態に係るＤＡ変換器２０の接続例を示す。図８は、出力モードにおける、本実施形態に係るＤＡ変換器２０の接続例を示す。
【００４０】
まず、ステップＳ２１において、ＤＡ変換器２０のコントローラ４０は、与えられた入力データに応じて正側の参照電位ＶＲＥＦＰおよび正側の参照電位ＶＲＥＦＰの何れか一方を選択する。より詳しくは、コントローラ４０は、与えられた入力データが、データ範囲の中心値より小さければ正側の参照電位ＶＲＥＦＰ、データ範囲の中心値以上であれば負側の参照電位ＶＲＥＦＮを選択する。
【００４１】
例えば、コントローラ４０は、入力データの最上位ビット（第Ｎビット）の値に応じて、正側の参照電位ＶＲＥＦＰまたは負側の参照電位ＶＲＥＦＮを選択する。例えば、図６に示されるように、ＤＡ変換器２０に−２（Ｎ−１）〜２（Ｎ−１）−１の範囲の入力データが与えられるとする。この場合、コントローラ４０は、入力データが−２（Ｎ−１）以上−１以下の場合には正側の参照電位ＶＲＥＦＰを選択し、入力データが０以上２（Ｎ−１）−１以下の場合には負側の参照電位ＶＲＥＦＮを選択する。
【００４２】
また、コントローラ４０は、一例として、入力データに応じて、キャパシタアレイ３２の第１から第（Ｎ−１）のビットキャパシタ５６−１〜５６−（Ｎ−１）を切り替えるために用いるパラメータｋを算出する。パラメータｋは、入力データよりも１ビット分小さいＮ−１ビット数の値である。コントローラ４０は、入力データがデータ範囲の中心値から離れるほど大きくなる値を、ｋとして選択する。例えば、図６に示される場合、コントローラ４０は、入力データが−２（Ｎ−１）から−１の場合には、２Ｎ−１−１から０までをｋとして選択する。また、コントローラ４０は、入力データが０から２（Ｎ−１）−１の場合には、０から２Ｎ−１−１までをｋとして選択する。
【００４３】
また、コントローラ４０は、一例として、入力データに応じて、ダミーキャパシタ５４を切り替えるために用いるパラメータｄを選択する。パラメータｄは、１ビットの値である。コントローラ４０は、与えられた入力データが、データ範囲の中心値より小さければパラメータｄとして１を選択し、データ範囲の中心値以上であれば０を選択する。例えば、図６に示される場合、コントローラ４０は、入力データが−２（Ｎ−１）から−１の場合には１をパラメータｄとして選択し、入力データが０から２（Ｎ−１）−１の場合には０をパラメータｄとして選択する。
【００４４】
続いて、ステップＳ２２において、コントローラ４０は、リフレッシュモードを実行する。コントローラ４０は、リフレッシュモードにおいて、キャパシタアレイ３２を選択された参照電位にチャージする。
【００４５】
具体的には、図７に示されるように、コントローラ４０は、リフレッシュ用スイッチ３８を接続状態とする。そして、コントローラ４０は、切替部３４およびダミー用スイッチ３６を切り替えて、キャパシタアレイ３２が有するダミーキャパシタ５４および複数のビットキャパシタ５６の全てにおける出力ライン５２が接続されていない他端を、選択された参照電位（正側の参照電位ＶＲＥＦＰまたは負側の参照電位ＶＲＥＦＮ）に接続する。
【００４６】
続いて、ステップＳ２３において、ＤＡ変換器２０のコントローラ４０は、出力モードを実行する。コントローラ４０は、出力モードにおいて、キャパシタアレイ３２における電圧発生端３０およびコモン電位ＶＣＭの間の容量と、電圧発生端３０および参照電位の間の容量との比率を、与えられた入力データに応じて切り替えて、与えられた入力データに応じた電圧を電圧発生端３０から発生させる。
【００４７】
例えば、第１から第（Ｎ−１）のビットキャパシタ５６−１〜５６−（Ｎ−１）のそれぞれは、２進数により表されたパラメータｋの第１から第（Ｎ−１）ビットのそれぞれに一対一で対応する。コントローラ４０は、第１から第（Ｎ−１）のビットキャパシタ５６−１〜５６−（Ｎ−１）のそれぞれを、パラメータｋの対応するビットが０の場合には選択された参照電位（正側の参照電位ＶＲＥＦＰまたは負側の参照電位ＶＲＥＦＮ）に接続し、１の場合にはコモン電位ＶＣＭに接続する。さらに、コントローラ４０は、ダミーキャパシタ５４を、パラメータｄが０の場合には選択された参照電位に接続し、パラメータｄが１の場合にはコモン電位ＶＣＭに接続する。
【００４８】
これにより、図８に示されるように、コントローラ４０は、（ｋ＋ｄ）×Ｃの容量を電圧発生端３０とコモン電位ＶＣＭとの間に接続し、（２Ｎ−１−ｋ−ｄ）×Ｃの容量を電圧発生端３０と選択された参照電位（正側の参照電位ＶＲＥＦＰまたは負側の参照電位ＶＲＥＦＮ）との間に接続するように、切替部３４およびダミー用スイッチ３６を切り替える。この結果、ＤＡ変換器２０は、下記の式（１）に示されるような出力電圧ＶＤＡＣを出力することができる。
【００４９】
ＶＤＡＣ＝｛（２Ｎ−１＋ｋ＋ｄ）×ＶＣＭ−（ｋ＋ｄ）×ＶＲＥＦ｝／２Ｎ−１  …（１）
【００５０】
なお、式（１）において、ＶＲＥＦは、選択されたＶＲＥＦＰまたはＶＲＥＦＮの一方を表す。
【００５１】
図９は、−１２８から１２７の入力データが与えられ、１ＬＳＢ＝１ｍＶの場合の、参照電圧、パラメータｋ、パラメータｄの値および出力電圧の一例を示す。ＤＡ変換器２０は、図９に示されるような設定で電圧を発生することによって、−１２８から１２７の範囲の入力データが与えられたことに応じて、（ＶＣＭ−１２８ｍＶ）から（ＶＣＭ＋１２７ｍＶ）までの範囲を１ｍＶステップで変化する電圧を出力することができる。
【００５２】
以上の処理により、ＤＡ変換器２０は、与えられたＮビットの入力データに応じたアナログの電圧を発生することができる。なお、本実施形態においてＤＡ変換器２０は、図４から図９に説明した構成に限られず、他の構成および処理を行う電荷再配分型のＤＡ変換器であってよい。また、ＤＡ変換器２０に−２（Ｎ−１）〜２（Ｎ−１）−１の範囲の入力データが与えられる場合を一例として説明したが、入力データの範囲はこれに限らず、０〜２Ｎ−１、−（２Ｎ−１）〜０等の他の範囲であってもよい。
【００５３】
図１０は、本実施形態の第１変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。本変形例に係る信号発生装置１０は、図１に示された信号発生装置１０と略同一の構成および機能を採るので、図１に示された信号発生装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【００５４】
本変形例に係る信号発生装置１０は、複数の出力端１２のそれぞれに対応する複数の入力データが与えられる。そして、信号発生装置１０は、複数の出力端１２から、対応する入力データに応じた電圧を出力する。
【００５５】
本変形例に係る信号発生装置１０は、ＤＡ変換器２０と、複数のキャパシタ部２２と、複数の転送スイッチ２４と、制御部２６とを備える。複数のキャパシタ部２２のそれぞれは、複数の出力端１２のそれぞれに対応する。複数のキャパシタ部２２のそれぞれは、対応する出力端１２と基準電位との間に設けられる。
【００５６】
複数の転送スイッチ２４のそれぞれは、複数の出力端１２のそれぞれに対応する。複数のキャパシタ部２２のそれぞれは、ＤＡ変換器２０の電圧発生端３０と対応する出力端１２との間を接続および切断する。
【００５７】
制御部２６は、当該信号発生装置１０に対して入力データが与えられた場合、複数の出力端１２のうち与えられた入力データに応じた電圧を発生すべき出力端１２を選択する。制御部２６は、複数の出力端１２のうち選択されていない出力端１２に対応する転送スイッチ２４を切断する。
【００５８】
そして、制御部２６は、複数の出力端１２のうち選択された出力端１２に対応する転送スイッチ２４の接続および切断を繰返して、選択された出力端１２に対応するキャパシタ部２２の電圧を入力データに応じた出力電圧に順次に近づける。即ち、制御部２６は、図１に示された信号発生装置１０と同様に、ＤＡ変換器２０および選択された出力端１２に対応する転送スイッチ２４を制御する。これにより、制御部２６は、与えられた入力データに応じた電圧を複数の出力端１２のうちの指定された出力端１２から発生することができる。
【００５９】
なお、当該信号発生装置１０に対して複数の入力データが並列に与えられた場合には、ＤＡ変換器２０は、並列に与えられた複数の入力データをインターリーブして処理してもよい。また、ＤＡ変換器２０は、同一の入力データに応じた電圧を、複数の出力端１２から同時に出力してもよい。この場合、制御部２６は、同時に電圧を出力するべき複数の出力端１２に対応する複数の転送スイッチ２４を同期してスイッチングさせてもよい。
【００６０】
このような変形例に係る信号発生装置１０によれば、小さい回路構成により複数の電圧を並行して出力することができる。
【００６１】
図１１は、本実施形態の第２変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。本変形例に係る信号発生装置１０は、図１に示された信号発生装置１０と略同一の構成および機能を採るので、図１に示された信号発生装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【００６２】
ＤＡ変換器２０のキャパシタアレイ３２は、第１ビットから第Ｍビット（Ｍは２以上の整数）までのそれぞれのビットに対応する第１から第Ｍのビットキャパシタ５６−１〜５６−Ｍを含む。第１から第Ｍのビットキャパシタ５６−１〜５６−Ｍは、対応するビットの重みに応じた容量を有し、電圧発生端３０に接続された出力ライン５２に一端が接続される。
【００６３】
キャパシタ部２２は、第（Ｍ＋１）ビットから第Ｌビット（ＬはＭより大きい整数）までのそれぞれのビットに対応する第（Ｍ＋１）から第Ｌのビットキャパシタ５６−（Ｍ＋１）〜５６−Ｌと、第（Ｍ＋１）から第Ｌのビットスイッチ５８−（Ｍ＋１）〜５８−Ｌとを有する。第（Ｍ＋１）から第Ｌのビットキャパシタ５６−（Ｍ＋１）〜５６−Ｌのそれぞれは、対応するビットの重みに応じた容量を有し、転送スイッチ２４と出力端１２との間のラインに一端が接続される。
【００６４】
第（Ｍ＋１）から第Ｌのビットスイッチ５８−（Ｍ＋１）〜５８−Ｌのそれぞれは、第（Ｍ＋１）から第Ｌのビットキャパシタのそれぞれに対応する。第（Ｍ＋１）から第Ｌのビットスイッチ５８−（Ｍ＋１）〜５８−Ｌのそれぞれは、対応するビットキャパシタ５６における転送スイッチ２４と出力端１２との間のラインに接続されていない他端を、基準電位、正側の参照電位ＶＲＥＦＰ、負側の参照電位ＶＲＥＦＮおよびコモン電位ＶＣＭの何れかに接続する。
【００６５】
制御部２６は、例えばユーザの設定に応じて、第１モードまたは第２モードの何れかを選択して、動作制御を行う。信号発生装置１０を第１モードで動作させる場合、制御部２６は、第（Ｍ＋１）から第Ｌのビットスイッチ５８−（Ｍ＋１）〜５８−Ｌを制御して、第（Ｍ＋１）から第Ｌのビットキャパシタ５６−（Ｍ＋１）〜５６−Ｌにおける転送スイッチ２４と出力端１２との間のラインに接続されていない他端を基準電位に接続する。
【００６６】
そして、制御部２６は、転送スイッチ２４の接続および切断を繰返して与えられた入力データに応じた電圧を出力させたＤＡ変換器２０によりキャパシタ部２２をチャージしていき、キャパシタ部２２の電圧を入力データに応じた出力電圧に順次に近づける。これにより、制御部２６は、図１において説明した信号発生装置１０と同様に、出力端１２から入力データに応じたＭビット分解能の出力電圧を出力することができる。
【００６７】
信号発生装置１０を第２モードで動作させる場合、制御部２６は、転送スイッチ２４を接続した状態で維持する。そして、制御部２６は、ＤＡ変換器２０およびキャパシタ部２２を１つの電荷再配分型ＤＡ変換器として機能させて、当該信号発生装置１０の出力端１２から与えられた入力データに応じたＬビット分解能の出力電圧を発生させる。
【００６８】
このような信号発生装置１０によれば、分解能および精度等に応じて、当該信号発生装置１０を電荷再配分型ＤＡ変換器として機能させるか、高精度低分解能のＤＡ変換器として機能させるかを、ユーザに選択させることができる。
【００６９】
図１２は、本実施形態の第３変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。本変形例に係る信号発生装置１０は、図１に示された信号発生装置１０と略同一の構成および機能を採るので、図１に示された信号発生装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【００７０】
本変形例に係る信号発生装置１０は、ＤＡ変換器２０と、第１のキャパシタ部２２−１と、第１の転送スイッチ２４−１と、第２のキャパシタ部２２−２と、第２の転送スイッチ２４−２と、制御部２６とを備える。第１のキャパシタ部２２−１は、中間ノード６０と基準電位との間に設けられる。第１の転送スイッチ２４−１は、ＤＡ変換器２０の電圧発生端３０と中間ノード６０との間を接続および切断する。
【００７１】
第２のキャパシタ部２２−２は、出力端１２と基準電位との間に設けられる。第２の転送スイッチ２４−２は、中間ノード６０と出力端１２との間を接続および切断する。
【００７２】
制御部２６は、出力モードの少なくとも一部の期間において第１の転送スイッチ２４−１を接続する。また、制御部２６は、出力モードの少なくとも一部の期間以外において第１の転送スイッチ２４−１を切断する。制御部２６は、一例として、リフレッシュモードにおいて、第１の転送スイッチ２４−１を切断し、出力モードにおいて第１の転送スイッチ２４−１を接続する。
【００７３】
また、制御部２６は、第１の転送スイッチ２４−１が切断している少なくとも一部の期間において第２の転送スイッチ２４−２を接続する。また、制御部２６は、第１の転送スイッチ２４−１が切断している少なくとも一部の期間以外において第２の転送スイッチ２４−２を切断する。制御部２６は、一例として、第１の転送スイッチ２４−１が切断している状態において第２の転送スイッチ２４−２を接続し、第１の転送スイッチ２４−１が接続している状態において第２の転送スイッチ２４−２を切断する。
【００７４】
本変形例に係る信号発生装置１０においては、第１の転送スイッチ２４−１がＤＡ変換器２０の電圧発生端３０と第１のキャパシタ部２２−１との間の接続および切断を繰り返して、第１のキャパシタ部２２−１の電圧を入力データに応じた出力電圧に近づける。これと並行して、第２の転送スイッチ２４−２が第１のキャパシタ部２２−１と第２のキャパシタ部２２−２との間の接続および切断を繰り返して、第２のキャパシタ部２２−２の電圧を第１のキャパシタ部２２−１の電圧に近づける。この結果、本変形例に係る信号発生装置１０においては、第２のキャパシタ部２２−２から入力データに応じた出力電圧が出力される。
【００７５】
以上のような本実施形態に係る信号発生装置１０は、出力端１２と基準電位との間に並列に接続された２個のキャパシタ部２２により、ＤＡ変換器２０におけるリフレッシュモードおよび出力モードの切り替えにおいて発生する雑音（例えば、リフレッシュ雑音、チャージインジェクション、スイッチ駆動に起因したクロックフィードスルー）をフィルタリングする。従って、本実施形態に係る信号発生装置１０によれば、雑音がより小さく、より精度の良い電圧を出力することができる。なお、信号発生装置１０は、出力端１２と基準電位との間に並列に接続された３個以上のキャパシタ部２２を備える構成であってもよい。
【００７６】
図１３は、本実施形態の第４変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。本変形例に係る信号発生装置１０は、図１に示された信号発生装置１０と略同一の構成および機能を採るので、図１に示された信号発生装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【００７７】
本変形例に係る信号発生装置１０は、ＤＡ変換器２０から出力された電圧の反転電圧、および、ＤＡ変換器２０から出力された電圧の非反転電圧を切り替えて出力することができる。本変形例に係る信号発生装置１０は、ＤＡ変換器２０と、第１のキャパシタ部２２−１と、第２のキャパシタ部２２−２と、第１の転送スイッチ２４−１と、第２の転送スイッチ２４−２とを備える。第２のキャパシタ部２２−２は、出力端１２と基準電位との間に設けられる。
【００７８】
第１の転送スイッチ２４−１は、制御部２６の制御に応じて、第１のキャパシタ部２２−１の第１の端子６２と、出力端１２、基準電位およびＤＡ変換器２０の電圧発生端３０の何れか１つとの間を接続する。第２の転送スイッチ２４−２は、制御部２６の制御に応じて、第１のキャパシタ部２２−１の第２の端子６４と、出力端１２および基準電位の何れか１つとの間を接続する。
【００７９】
本変形例に係る信号発生装置１０において、制御部２６は、出力モードの少なくとも一部の期間において、第１の転送スイッチ２４−１を制御して第１のキャパシタ部２２−１の第１の端子６２とＤＡ変換器２０の電圧発生端３０との間を接続し、且つ、第２の転送スイッチ２４−２を制御して第１のキャパシタ部２２−１の第２の端子６４と基準電位との間を接続する。これにより、制御部２６は、ＤＡ変換器２０に蓄積された電荷を第１のキャパシタ部２２−１に転送することができる。
【００８０】
非反転電圧を出力するモードに設定されている場合、第１のキャパシタ部２２−１への電荷の転送に続いて、制御部２６は、出力モードの少なくとも一部の期間の以外において、第１の転送スイッチ２４−１を制御して第１のキャパシタ部２２−１の第１の端子６２と出力端１２との間を接続し、且つ、第２の転送スイッチ２４−２を制御して第１のキャパシタ部２２−１の第２の端子６４と基準電位との間を接続する。これにより、制御部２６は、第１のキャパシタ部２２−１に蓄積された電荷を、極性を反転させずに第２のキャパシタ部２２−２に転送することができる。従って、本変形例に係る信号発生装置１０は、第１の転送スイッチ２４−１および第２の転送スイッチ２４−２の接続および切断を繰り返すことにより、ＤＡ変換器２０から出力された電圧の非反転電圧を出力端１２から出力することができる。
【００８１】
また、反転電圧を出力するモードに設定されている場合、第１のキャパシタ部２２−１への電荷の転送に続いて、制御部２６は、出力モードの少なくとも一部の期間の以外において、第１の転送スイッチ２４−１を制御して第１のキャパシタ部２２−１の第１の端子６２と基準電位との間を接続し、且つ、第２の転送スイッチ２４−２を制御して第１のキャパシタ部２２−１の第２の端子６４と出力端１２との間を接続する。これにより、制御部２６は、第１のキャパシタ部２２−１に蓄積された電荷を、極性を反転させて第２のキャパシタ部２２−２に転送することができる。従って、本変形例に係る信号発生装置１０は、第１の転送スイッチ２４−１および第２の転送スイッチ２４−２の接続および切断を繰り返すことにより、ＤＡ変換器２０から出力された電圧の反転電圧を出力端１２から出力することができる。
【００８２】
以上のような信号発生装置１０は、入力データに応じた出力電圧の反転電圧および非反転電圧を切り替えて出力することができる。従って、このような信号発生装置１０は、ＤＡ変換器２０が片極性の参照電位のみを用いる場合であっても、両極性の参照電位を用いたＤＡ変換器２０と同様の電圧を出力することができる。さらに、このような信号発生装置１０は、図１２に示された第３変形例に係る信号発生装置１０と同様の効果も奏する。
【００８３】
図１４は、本実施形態の第５変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。本変形例に係る信号発生装置１０は、図１３に示された信号発生装置１０と略同一の構成および機能を採るので、図１３に示された信号発生装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【００８４】
本変形例に係る信号発生装置１０は、与えられた入力データに応じた差動の電圧を、非反転側の出力端１２−Ｐおよび反転側の出力端１２−Ｎから出力することができる。より詳しくは、本変形例に係る信号発生装置１０は、ＤＡ変換器２０から出力された電圧の非反転電圧を非反転側の出力端１２−Ｐから出力し、ＤＡ変換器２０から出力された電圧の反転電圧を反転側の出力端１２−Ｎから出力する。
【００８５】
信号発生装置１０は、ＤＡ変換器２０と、制御部２６とを備える。さらに、信号発生装置１０は、非反転側の出力端１２−Ｐに対応する、非反転側の第１のキャパシタ部２２−１−Ｐ、非反転側の第２のキャパシタ部２２−２−Ｐ、非反転側の第１の転送スイッチ２４−１−Ｐおよび非反転側の第２の転送スイッチ２４−２−Ｐを備える。さらに、信号発生装置１０は、反転側の出力端１２−Ｎに対応する、反転側の第１のキャパシタ部２２−１−Ｎ、反転側の第２のキャパシタ部２２−２−Ｎ、反転側の第１の転送スイッチ２４−１−Ｎおよび反転側の第２の転送スイッチ２４−２−Ｎを備える。
【００８６】
本変形例に係る信号発生装置１０において、制御部２６は、非反転側の第１の転送スイッチ２４−１−Ｐおよび非反転側の第２の転送スイッチ２４−２−Ｐを、非反転電圧を出力するモードに応じて切り替える。これにより、制御部２６は、ＤＡ変換器２０から出力された電圧の非反転電圧を非反転側の出力端１２−Ｐから出力させることができる。
【００８７】
また、制御部２６は、反転側の第１の転送スイッチ２４−１−Ｎおよび反転側の第２の転送スイッチ２４−２−Ｎを、反転電圧を出力するモードに応じて切り替える。これにより、制御部２６は、ＤＡ変換器２０から出力された電圧の反転電圧を反転側の出力端１２−Ｎから出力させることができる。
【００８８】
以上のような信号発生装置１０は、入力データに応じた差動の電圧を出力することができる。これにより、このような信号発生装置１０によれば、チャージインジェクション、スイッチ駆動に起因したクロックフィードスルー、および、第２のキャパシタ部２２−２までの伝送ラインで重畳される干渉ノイズ等の同相ノイズの影響を除去することができる。
【００８９】
なお、本変形例において、非反転側の第１の転送スイッチ２４−１−Ｐは、非反転側の第１のキャパシタ部２２−１−Ｐの第１の端子６２と、基準電位との間を接続しない構成であってもよい。また、本変形例に係る信号発生装置１０は、非反転側の第２の転送スイッチ２４−２−Ｐを備えずに、非反転側の第１のキャパシタ部２２−１−Ｐの第２の端子６４と、基準電位との間を直接接続した構成であってもよい。また、本変形例において、反転側の第１の転送スイッチ２４−１−Ｎは、反転側の第１のキャパシタ部２２−１−Ｎの第１の端子６２と、反転側の出力端１２−Ｎとの間を接続しない構成であってもよい。
【００９０】
図１５は、本実施形態の第６変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。本変形例に係る信号発生装置１０は、図１３に示された信号発生装置１０と略同一の構成および機能を採るので、図１３に示された信号発生装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【００９１】
本変形例に係る信号発生装置１０は、与えられた入力データに応じた差動の電圧を、非反転側の出力端１２−Ｐおよび反転側の出力端１２−Ｎから出力することができる。より詳しくは、本変形例に係る信号発生装置１０は、ＤＡ変換器２０から出力された電圧の非反転電圧を非反転側の出力端１２−Ｐから出力し、ＤＡ変換器２０から出力された電圧の反転電圧を反転側の出力端１２−Ｎから出力する。
【００９２】
信号発生装置１０は、ＤＡ変換器２０と、第１のキャパシタ部２２−１と、非反転側の第２のキャパシタ部２２−２−Ｐと、反転側の第２のキャパシタ部２２−２−Ｎと、第１の転送スイッチ２４−１と、第２の転送スイッチ２４−２とを備える。非反転側の第２のキャパシタ部２２−２−Ｐは、非反転側の出力端１２−Ｐと基準電位との間に設けられる。反転側の第２のキャパシタ部２２−２−Ｎは、反転側の出力端１２−Ｎと基準電位との間に設けられる。
【００９３】
第１の転送スイッチ２４−１は、制御部２６の制御に応じて、第１のキャパシタ部２２−１の第１の端子６２と、非反転側の出力端１２−Ｐ、基準電位およびＤＡ変換器２０の電圧発生端３０の何れか１つとの間を接続する。第２の転送スイッチ２４−２は、制御部２６の制御に応じて、第１のキャパシタ部２２−１の第２の端子６４と、反転側の出力端１２−Ｎおよび基準電位の何れか１つとの間を接続する。
【００９４】
本変形例に係る信号発生装置１０において、制御部２６は、出力モードの少なくとも一部の期間において、第１の転送スイッチ２４−１を制御して第１のキャパシタ部２２−１の第１の端子６２とＤＡ変換器２０の電圧発生端３０との間を接続し、且つ、第２の転送スイッチ２４−２を制御して第１のキャパシタ部２２−１の第２の端子６４と基準電位との間を接続する。これにより、制御部２６は、ＤＡ変換器２０に蓄積された電荷を第１のキャパシタ部２２−１に転送することができる。
【００９５】
さらに、信号発生装置１０において、制御部２６は、出力モードの少なくとも一部の期間の以外において、非反転電圧を非反転側の第２のキャパシタ部２２−２−Ｐにチャージする動作および反転電圧を反転側の第２のキャパシタ部２２−２−Ｎにチャージする動作を切り替えて行う。
【００９６】
制御部２６は、非反転電圧を非反転側の第２のキャパシタ部２２−２−Ｐにチャージする場合に、第１のキャパシタ部２２−１の第１の端子６２と非反転側の出力端１２−Ｐとの間を接続し、且つ、第１のキャパシタ部２２−１の第２の端子６４と基準電位との間を接続する。また、制御部２６は、反転電圧を反転側の第２のキャパシタ部２２−２−Ｎにチャージする場合に、第１のキャパシタ部２２−１の第１の端子２４−１と基準電位との間を接続し、且つ、第１のキャパシタ部２２−１の第２の端子６４と反転側の出力端２２−２−Ｎとの間を接続する。
【００９７】
以上のような信号発生装置１０は、入力データに応じた差動の電圧を出力することができる。これにより、このような信号発生装置１０によれば、チャージインジェクション、スイッチ駆動に起因したクロックフィードスルー、および、第２のキャパシタ部２２−２までの伝送ラインで重畳される干渉ノイズ等の同相ノイズの影響を除去することができる。
【００９８】
図１６は、本実施形態の第７変形例に係る信号発生装置１０の構成を示す。本変形例に係る信号発生装置１０は、図１に示された信号発生装置１０と略同一の構成および機能を採るので、図１に示された信号発生装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【００９９】
本変形例に係る信号発生装置１０は、充電部７０と、充電用スイッチ７２とを更に備える。充電部７０は、キャパシタ部２２に電荷をチャージする。充電用スイッチ７２は、充電部７０をキャパシタ部２２に接続するか否かを切り替える。
【０１００】
制御部２６は、ＤＡ変換器２０によりキャパシタ部２２をチャージするのに先立ってまたは共に、充電部７０によりキャパシタ部２２をチャージする。制御部２６は、一例として、充電用スイッチ７２を制御して、充電部７０によりキャパシタ部２２をチャージするか否かを切り替える。
【０１０１】
また、この場合において、制御部２６は、与えられた入力データおよび前サンプルにおいて与えられた入力データとの差に応じて、充電部７０によりチャージする電荷量を変更してもよい。制御部２６は、一例として、与えられた入力データおよび前サンプルにおいて与えられた入力データとの差が大きいほどチャージ時間を長くし、または、充電部７０から発生される電流をより大きくする。このような本変形例に係る信号発生装置１０によれば、キャパシタ部２２を入力データに応じた電圧にチャージするまでの時間を短くすることができる。
【０１０２】
図１７は、本実施形態の第８変形例に係る信号発生装置１０における、転送スイッチ２４の切替タイミングおよび各ノードの電圧波形の一例を示す。本変形例に係る信号発生装置１０は、図１に示された信号発生装置１０と略同一の構成を備えるので、本変形例に係る信号発生装置１０の構成の説明については省略する。
【０１０３】
ＤＡ変換器２０は、入力データが与えられたことに応じて、リフレッシュモードおよび出力モードを複数回繰り返す。さらに、制御部２６は、リフレッシュモードにおいて転送スイッチ２４を切断し、出力モードにおいて転送スイッチ２４を接続してキャパシタ部２２をチャージする。
【０１０４】
ここで、本変形例に係るＤＡ変換器２０は、入力データが与えられたことに応じて繰返されるリフレッシュモードおよび出力モードのサイクルにおける初期段階において、入力データに応じた出力電圧を補正した電圧を出力する。
【０１０５】
例えば、図１７に示されるように、ＤＡ変換器２０は、リフレッシュモードおよび出力モードの繰り返しサイクルにおける初期段階において、入力データに応じた電圧ＶＸより大きな（または入力データに応じた電圧ＶＸより小さな）電圧を出力する。そして、ＤＡ変換器２０は、繰り返しサイクルが進むに従って、出力する電圧を入力データに応じた電圧ＶＸに近づけ、繰り返しサイクルの最終段階においては、入力データに応じた電圧ＶＸを出力する。
【０１０６】
また、この場合において、制御部２６は、与えられた入力データおよび前サンプルにおいて与えられた入力データとの差に応じて、初期段階のサイクルにおいて出力する出力電圧を変更してもよい。制御部２６は、一例として、与えられた入力データおよび前サンプルにおいて与えられた入力データとの差が大きいほど、入力データに応じた電圧ＶＸとの差をより大きくするように、初期段階のサイクルにおいて出力する電圧を変更する。このような本変形例に係る信号発生装置１０によれば、キャパシタ部２２を入力データに応じた電圧にチャージするまでの時間を短くすることができる。
【０１０７】
また、本変形例に係る信号発生装置１０は、入力データに応じた電圧に達するまでの時間を短くする高速動作モードと、入力データに応じた電圧に達するまでの時間を長くする低速動作モードとが外部から設定可能であってよい。この場合、キャパシタ部２２は、第１容量と、第１容量より大きい第２容量とに切り替え可能となっている。
【０１０８】
そして、制御部２６は、高速動作モードにおいてキャパシタ部２２を第１容量に切り替え、低速動作モードにおいてキャパシタ部２２を第２容量に切り替える。これにより、このような信号発生装置１０は、高速動作モードにおいてはキャパシタ部２２を小さくして入力データに応じた電圧に達するまでの時間を短くし、低速動作モードにおいてはキャパシタ部２２を大きくして入力データに応じた電圧に達するまでの時間を長くすることができる。
【０１０９】
図１８は、本実施形態の第９変形例に係る信号発生装置１０の構成をアナログ回路１００および対象回路２００とともに示す。本変形例に係る信号発生装置１０は、図１に示された信号発生装置１０と略同一の構成および機能を採るので、図１に示された信号発生装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【０１１０】
本変形例に係る信号発生装置１０は、発生した出力電圧をアナログ回路１００を介して対象回路２００に供給する。アナログ回路１００は、出力信号を伝搬して出力信号に応じたレベルの信号を出力する回路である。アナログ回路１００は、例えば伝送線である。また、アナログ回路１００は、出力信号の高域成分を除去するローパスフィルタと、当該ローパスフィルタから出力された信号を対象回路２００へ供給するバッファアンプとを有する回路であってもよい。
【０１１１】
また、アナログ回路１００は、信号発生装置１０が形成されたチップおよび基板等に信号発生装置１０と一体的に設けられる構成であってもよい。また、信号発生装置１０は、アナログ回路１００を内部に備える構成であってもよい。
【０１１２】
本変形例に係る信号発生装置１０は、比較部８０を更に備える。比較部８０は、出力端１２から出力された出力電圧を伝搬するアナログ回路１００から出力される信号の電圧と、ＤＡ変換器２０により出力される電圧とを比較する。即ち、比較部８０は、アナログ回路１００から出力された信号の電圧と、ＤＡ変換器２０により出力される電圧との何れが大きいかを示す比較結果を出力する。比較部８０は、比較結果を制御部２６へ与える。
【０１１３】
図１９は、本実施形態の第９変形例に係る信号発生装置１０の電圧波形およびタイミングチャートを示す。第６の変形例に係る制御部２６は、入力データが与えられる毎に、サンプルモードと、サンプルモードに続くホールドモードとを実行する。
【０１１４】
まず、入力データが与えられると、制御部２６は、サンプルモードを実行する。制御部２６は、サンプルモードにおいて、転送スイッチ２４の接続および切断を繰返して入力データに応じた電圧を出力させたＤＡ変換器２０によりキャパシタ部２２をチャージしていき、キャパシタ部２２の電圧を入力データに応じた出力電圧に順次に近づける。即ち、サンプルモードにおいては、制御部２６は、図１に示された信号発生装置１０と同様に処理を実行する。これにより、制御部２６は、入力データに応じた電圧にキャパシタ部２２をチャージすることができる。
【０１１５】
続いて、ホールドモードにおいて、制御部２６は、転送スイッチ２４を切断した状態とする。制御部２６は、転送スイッチ２４が切断している状態において、ＤＡ変換器２０に入力データに代えて比較データを与える。そして、制御部２６は、比較データに応じた比較電圧を出力させて、比較部８０にアナログ回路１００から出力される信号の電圧と比較電圧とを比較させ、比較結果に基づきアナログ回路１００から出力される信号の電圧を検出する。
【０１１６】
制御部２６は、一例として、クロック毎に所定の規則に従って変化する比較データをＤＡ変換器２０に与えて、比較部８０にアナログ回路１００から出力される信号の電圧と異なる複数の比較電圧と順次に比較させる。そして、制御部２６は、複数の比較結果に基づきアナログ回路１００から出力される信号の電圧を検出する。
【０１１７】
例えば、制御部２６は、クロック毎に比較データを１ずつ増加または減少させて、所定ステップで増加または減少する比較電圧をＤＡ変換器２０から出力させる。この場合、制御部２６は、比較結果が直前のクロックから変化したことを条件として、アナログ回路１００から出力された信号の電圧を検出する。
【０１１８】
また、制御部２６は、バイナリサーチに従って変化する比較データをＤＡ変換器２０に与えてもよい。この場合、制御部２６は、直前クロックにおける比較結果および直前クロックにおける比較データに基づき、当該クロックにおける比較データを決定する。そして、制御部２６は、比較データのビット数分の比較結果を得たことを条件として、アナログ回路１００から出力された信号の電圧を判断する。
【０１１９】
そして、制御部２６は、以上のように検出されたアナログ回路１００から出力された信号の電圧に基づき、ＤＡ変換器２０の出力電圧を調整する。例えば、制御部２６は、予め定められた入力データに応じてアナログ回路１００から出力される信号の電圧が予め定められた値となるように、ＤＡ変換器２０の出力電圧を調整する。例えば、制御部２６は、ＤＡ変換器２０の出力電圧のオフセットおよびゲイン等を調整する。
【０１２０】
以上のような本変形例に係る信号発生装置１０は、入力データに応じた出力電圧を出力する信号発生動作中のバックグラウンドにおいて、別個にＡＤ変換器を備えずに、アナログ回路１００から出力される信号の電圧を検出することができる。これにより、本変形例に係る信号発生装置１０によれば、アナログ回路１００から出力される信号の電圧を、信号発生動作中において適切に調整することができる。従って、本変形例に係る信号発生装置１０によれば、例えば信号発生動作中にドリフト等によりアナログ回路１００の特性が変化した場合であっても、アナログ回路１００から出力される信号の電圧を適切な値に維持することができる。
【０１２１】
図２０は、本実施形態の第１０変形例に係る信号発生装置１０の構成をアナログ回路１００および対象回路２００とともに示す。本変形例に係る信号発生装置１０は、図１８に示された信号発生装置１０と略同一の構成および機能を採るので、図１８に示された信号発生装置１０が備える部材と略同一の構成および機能の部材に同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【０１２２】
本実施形態に係る第７の変形例に係る制御部２６は、信号発生動作に先立ってまたは信号発生動作の途中において、キャリブレーションを行う。本変形例に係る信号発生装置１０は、出力スイッチ８２と、タイマ８４とを更に備える。
【０１２３】
出力スイッチ８２は、キャパシタ部２２および転送スイッチ２４の接続点である出力端１２と、アナログ回路１００の入力端との間を接続または切断する。出力スイッチ８２は、信号発生動作中において接続状態となっている。出力スイッチ８２は、キャリブレーションにおいて、接続状態および切断状態が制御部２６により制御される。タイマ８４は、制御部２６からの指示に応じて時間を計測する。
【０１２４】
図２１は、本発明の実施形態の第１０変形例に係る信号発生装置１０における、各スイッチの切替タイミングおよび各ノードの電圧波形の第１例を示す。第７の変形例に係る制御部２６は、キャリブレーションにおいて、サンプルモードと、サンプルモードに続くホールドモードとを実行する。
【０１２５】
まず、制御部２６は、出力スイッチ８２を切断状態とする。そして、制御部２６は、転送スイッチ２４の接続および切断を繰返して、予め定められた設定データに応じた電圧を出力させたＤＡ変換器２０によりキャパシタ部２２をチャージしていき、キャパシタ部２２の電圧を設定データに応じた出力電圧に順次に近づける。
【０１２６】
即ち、サンプルモードにおいては、制御部２６は、出力スイッチ８２を切断した状態において、設定データをＤＡ変換器２０に与えて、図１に示された信号発生装置１０と同様に処理を実行する。これにより、制御部２６は、設定データに応じた設定電圧にキャパシタ部２２をチャージすることができる。
【０１２７】
続いて、制御部２６は、ホールドモードを実行する。制御部２６は、ホールドモードにおいて、転送スイッチ２４を切断した状態とし且つ出力スイッチ８２を接続した状態とする。即ち、制御部２６は、キャパシタ部２２から設定電圧をアナログ回路１００に与える。
【０１２８】
そして、制御部２６は、ホールドモードにおいて、アナログ回路１００にキャパシタ部２２から設定電圧を与えた場合における、アナログ回路１００から出力される電圧のセットリング波形（変化開始から安定化するまでの電圧波形）を、ＤＡ変換器２０および比較部８０を用いて測定する。制御部２６は、一例として、基準タイミング（アナログ回路１００に設定電圧を与えたタイミング）から所定時間を経過した１または複数の測定タイミングのそれぞれにおいて、バイナリサーチに従って変化する比較データをＤＡ変換器２０に与えて、アナログ回路１００から出力された電圧を検出する。そして、制御部２６は、１または複数の測定タイミングおよびそれぞれの測定タイミングにおいて検出した電圧に基づき、セットリング波形を推定する。
【０１２９】
制御部２６は、以上のように測定したアナログ回路１００のセットリング波形に基づき、信号発生動作時におけるＤＡ変換器２０の出力電圧を補正する。制御部２６は、一例として、以上のように測定したアナログ回路１００のセットリング波形に基づきアナログ回路１００の伝達特性を推定する。そして、制御部２６は、信号発生動作時におけるＤＡ変換器２０から出力される出力電圧を、推定された伝達特性の逆特性により補償する。
【０１３０】
以上のような本変形例に係る信号発生装置１０は、別個にＡＤ変換器等を備えずに、予め定められた設定電圧を与えた場合におけるアナログ回路１００から出力される電圧のセットリング波形を検出し、検出したセットリング波形に基づきＤＡ変換器２０から出力される信号を調整することができる。本変形例に係る信号発生装置１０によれば、アナログ回路１００で信号が減衰および劣化等をする場合であっても、アナログ回路１００から適切な電圧を出力させることができる。
【０１３１】
図２２は、本実施形態の第１０変形例に係る信号発生装置１０における、各スイッチの切替タイミングおよび各ノードの電圧波形の第２例を示す。第１０変形例に係る信号発生装置の制御部２６は、ホールドモードにおいて、アナログ回路１００から出力される電圧のセットリング波形を図２２に示されるような方法で測定する。即ち、制御部２６は、第１の比較データをＤＡ変換器２０に与えて第１の比較電圧を出力させる。そして、制御部２６は、アナログ回路１００から出力される電圧と第１の比較電圧とを比較部８０に比較させ、比較部８０による比較結果が変化する第１の変化タイミングを検出する。
【０１３２】
更に、第１の変化タイミングが検出された後、制御部２６は、第２の比較データをＤＡ変換器２０に与えて、第１の比較電圧とは異なる第２の比較電圧を出力させる。そして、制御部２６は、アナログ回路１００から出力される電圧と第２の比較電圧とを比較部８０に比較させ、比較部８０による比較結果が変化する第２の変化タイミングを検出する。
【０１３３】
このようにして、制御部２６は、アナログ回路１００から出力された信号が予め定められたそれぞれの比較電圧を越えたタイミングを検出することができる。そして、制御部２６は、予め定められた１または複数の比較電圧と、アナログ回路１００から出力された電圧が予め定められたそれぞれの比較電圧を越えたタイミングのそれぞれとに基づき、セットリング波形を測定することができる。
【０１３４】
図２３は、本実施形態に係る試験装置３００の構成を被試験デバイス（ＤＵＴ）４００とともに示す。試験装置３００は、半導体装置等の被試験デバイス４００を試験する。
【０１３５】
試験装置３００は、信号発生装置１０と、ドライブ部３１０と、試験信号出力部３２０と、判定部３３０とを備える。信号発生装置１０は、被試験デバイス４００に与える電圧を発生する。信号発生装置１０は、図１から図２２を用いて説明した本実施形態に係る信号発生装置１０と同様の構成であるので、説明を省略する。
【０１３６】
ドライブ部３１０は、信号発生装置１０により発生された電圧を被試験デバイス４００に供給する。ドライブ部３１０は、例えば電力増幅器である。
【０１３７】
なお、信号発生装置１０が図１８または図２０に示される構成である場合、ドライブ部３１０は、アナログ回路１００の一部であってよい。即ち、この場合、信号発生装置１０は、ドライブ部３１０の出力端の電圧を、比較電圧と比較する構成であってよい。
【０１３８】
試験信号出力部３２０は、被試験デバイス４００に対して試験信号を出力する。判定部３３０は、試験信号に応じた応答信号を被試験デバイス４００から受け取る。そして、判定部３３０は、受け取った応答信号に基づき被試験デバイス４００の良否を判定する。このような試験装置３００によれば、信号発生装置１０から精度の良い電圧を被試験デバイス４００に与えることができる。
【０１３９】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【０１４０】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【０１４１】
１０  信号発生装置
１２  出力端
２０  ＤＡ変換器
２２  キャパシタ部
２４  転送スイッチ
２６  制御部
３０  電圧発生端
３２  キャパシタアレイ
３４  切替部
３６  ダミー用スイッチ
３８  リフレッシュ用スイッチ
４０  コントローラ
５２  出力ライン
５４  ダミーキャパシタ
５６  ビットキャパシタ
５８  ビットスイッチ
６０  中間ノード
６２  第１の端子
６４  第２の端子
７０  充電部
７２  充電用スイッチ
８０  比較部
８２  出力スイッチ
８４  タイマ
１００  アナログ回路
２００  対象回路
３００  試験装置
３１０  ドライブ部
３２０  試験信号出力部
３３０  判定部
４００  被試験デバイス
【図１】
2011130434.tif 000003
【図２】
2011130434.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2011130434.tif 000007
【図６】
2011130434.tif 000008
【図７】
2011130434.tif 000009
【図８】
2011130434.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2011130434.tif 000012
【図１１】
2011130434.tif 000013
【図１２】
2011130434.tif 000014
【図１３】
2011130434.tif 000015
【図１４】
2011130434.tif 000016
【図１５】
2011130434.tif 000017
【図１６】
2011130434.tif 000018
【図１７】
2011130434.tif 000019
【図１８】
2011130434.tif 000020
【図１９】
2011130434.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
2011130434.tif 000023
【図２２】
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【図２３】
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