(57)【要約】【課題】複数の着弾領域への各着弾量を精度良く均一化することができる。【解決手段】ワークＷ上に画成された複数の着弾領域の各着弾領域に対し、１以上の吐出ノズル２１により液滴を吐出着弾させると共に、各吐出ノズル２１に対し、複数種の適正駆動電圧のうちの任意の１の適正駆動電圧を設定して、複数の着弾領域に吐出着弾する複数の吐出ノズル２１を適正駆動電圧毎にグループ化する液滴吐出ヘッド１の駆動電圧設定方法であって、グループ毎の前記適正駆動電圧を設定する適正電圧設定工程と、着弾領域毎に吐出着弾した液滴の着弾量が、前記複数の着弾領域の相互間で均一になるように、複数の吐出ノズル２１を複数のグループに割り付けるノズル割付工程と、を備えた。【選択図】図７
2011110443.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク上に画成された複数の着弾領域の各着弾領域に対し、１以上の吐出ノズルにより液滴を吐出着弾させると共に、
前記各吐出ノズルに対し、複数種の適正駆動電圧のうちの任意の１の前記適正駆動電圧を設定して、前記複数の着弾領域に吐出着弾する複数の吐出ノズルを前記適正駆動電圧毎にグループ化する液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法であって、
前記グループ毎の前記適正駆動電圧を設定する適正電圧設定工程と、
前記着弾領域毎に吐出着弾した液滴の着弾量が、前記複数の着弾領域の相互間で均一になるように、前記複数の吐出ノズルを複数の前記グループに割り付けるノズル割付工程と、を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。
【請求項２】
前記適正電圧設定工程は、
標準駆動電圧により前記複数の吐出ノズルから液滴を吐出する吐出工程と、
前記吐出工程により吐出された前記複数の吐出ノズルの各吐出量を測定する吐出量測定工程と、
測定した前記各吐出量に基づき、吐出量の大小を加味して、前記複数のグループに前記複数の吐出ノズルを割り付ける仮割付工程と、
割り付けた前記複数の吐出ノズルの各吐出量に基づいて、前記グループ毎の平均吐出量を算出する平均吐出量算出工程と、
前記グループ毎の前記平均吐出量に基づいて、前記グループ毎の前記適正駆動電圧を設定する実適正電圧設定工程と、を有し、
前記ノズル割付工程は、
前記複数の吐出ノズルを前記グループ毎の適正駆動電圧で駆動したときの前記着弾領域毎の着弾量に基づいて、当該着弾量が前記複数の着弾領域の相互間で均一化されるように、前記複数のグループに対する前記吐出ノズルの割り付けを入れ替えるノズル入替工程を有することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。
【請求項３】
前記ノズル入替工程は、
前記複数の着弾領域の着弾量を平均した平均着弾量を算出する平均着弾量算出工程と、
前記平均着弾量から最も離れた着弾量を有する着弾領域を、交換対象領域として抽出する対象領域抽出工程と、
前記交換対象領域の着弾量に対し前記平均着弾量を超えて離れた着弾量を有する着弾領域を、被交換対象領域として抽出する被対象領域抽出工程と、
前記交換対象領域の少なくとも１の吐出ノズルと前記被交換対象領域の少なくとも１の吐出ノズルとの、前記グループを交換するノズル交換工程と、を有することを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。
【請求項４】
前記ノズル割付工程では、前記着弾量の所定の均一化が達成されるまで、前記ノズル入替工程を繰り返し実施することを特徴とする請求項２または３に記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。
【請求項５】
前記ノズル割付工程は、
前記ノズル入替工程の実施回数が、所定数に達したか否かを判断する回数判断工程を、更に有し、
前記回数判断工程において、前記実施回数が前記所定数に達したと判定されるまで、前記ノズル入替工程を繰り返し実施することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。
【請求項６】
前記ノズル割付工程は、
前記複数の着弾領域の着弾量におけるバラツキ評価値が、許容範囲内であるか否かを判断するバラツキ判断工程を更に有し、
前記バラツキ判断工程において、前記バラツキ評価値が許容範囲内であると判定されるまで、前記ノズル入替工程を繰り返し実施することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。
【請求項７】
前記バラツキ評価値は、前記複数の着弾領域の着弾量における標準偏差の３倍の値であることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法。
【請求項８】
前記ワークに対し前記液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記液滴吐出ヘッドを駆動して、前記ワークに対し描画処理を実施する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドを制御する制御手段を備え、
前記制御手段は、請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法により設定した前記適正駆動電圧に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの駆動を制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成する液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルに対し、適正駆動電圧を設定する液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法および液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法として、液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルから液滴を吐出する吐出工程と、吐出した液滴の各吐出量を測定する吐出量測定工程と、各吐出ノズルの吐出量が所定の適正量に近づくように、４種の適正駆動電圧から１の適正駆動電圧を各吐出ノズルに割り付けるノズル割付工程と、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。この駆動電圧設定方法では、吐出量を基準としてノズル割り付けを行うことで、複数の吐出ノズルの各吐出量をほぼ均一化することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１７８９８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、液滴吐出ヘッドを用いる液滴吐出装置では、複数の着弾領域が画成されたワークを描画対象とし、ワークの各着弾領域に対し、対応する特定の１以上の吐出ノズルから液滴を吐出して描画処理を実施する。かかる際、各着弾領域に吐出着弾する液滴の着弾量を、複数の着弾領域の相互間で均一化することが求められている。しかしながら、上記のような方法では、吐出量個々を基準としているため、着弾領域単位では着弾量にバラツキが生じてしまい、精度良く均一化することができないという問題があった。例えば、着弾領域に対応する１以上の吐出ノズルの各吐出量が、平均吐出量よりわずかに少ない場合、１以上の吐出ノズルの吐出量を合わせた着弾量では、個々の誤差が累積し大きな誤差になってしまう。これが着弾量におけるバラツキの原因となってしまう。
【０００５】
本発明は、複数の着弾領域への各着弾量を精度良く均一化することができる液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法および液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法は、ワーク上に画成された複数の着弾領域の各着弾領域に対し、１以上の吐出ノズルにより液滴を吐出着弾させると共に、各吐出ノズルに対し、複数種の適正駆動電圧のうちの任意の１の適正駆動電圧を設定して、複数の着弾領域に吐出着弾する複数の吐出ノズルを適正駆動電圧毎にグループ化する液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法であって、グループ毎の適正駆動電圧を設定する適正電圧設定工程と、着弾領域毎に吐出着弾した液滴の着弾量が、複数の着弾領域の相互間で均一になるように、複数の吐出ノズルを複数のグループに割り付けるノズル割付工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、複数の着弾領域の各着弾量が、相互間で均一になるように、各適正駆動電圧のグループに対するノズル割り付けを行うことにより、複数の着弾領域の各着弾量を精度良く均一化することができる。なお、各着弾領域の着弾量として、各着弾領域に対応する上記１以上の吐出ノズルの平均吐出量や合計吐出量を用いることが好ましい。
【０００８】
この場合、適正電圧設定工程は、標準駆動電圧により複数の吐出ノズルから液滴を吐出する吐出工程と、吐出工程により吐出された複数の吐出ノズルの各吐出量を測定する吐出量測定工程と、測定した各吐出量に基づき、吐出量の大小を加味して、複数のグループに複数の吐出ノズルを割り付ける仮割付工程と、割り付けた複数の吐出ノズルの各吐出量に基づいて、グループ毎の平均吐出量を算出する平均吐出量算出工程と、グループ毎の平均吐出量に基づいて、グループ毎の適正駆動電圧を設定する実適正電圧設定工程と、を有し、ノズル割付工程は、複数の吐出ノズルをグループ毎の適正駆動電圧で駆動したときの着弾領域毎の着弾量に基づいて、当該着弾量が複数の着弾領域の相互間で均一化されるように、複数のグループに対する吐出ノズルの割り付けを入れ替えるノズル入替工程を有することが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、容易で且つ大まかな吐出ノズルの割り付け（仮割り付け工程）を行った後、吐出ノズルの所属グループを入れ替えて本割り付け（ノズル入替工程）を行うことにより、各着弾量を均一にするノズル割り付け（ノズル割付工程）を、容易に且つ効率良く実施することができる。
【００１０】
この場合、ノズル入替工程は、複数の着弾領域の着弾量を平均した平均着弾量を算出する平均着弾量算出工程と、平均着弾量から最も離れた着弾量を有する着弾領域を、交換対象領域として抽出する対象領域抽出工程と、交換対象領域の着弾量に対し平均着弾量を超えて離れた着弾量を有する着弾領域を、被交換対象領域として抽出する被対象領域抽出工程と、交換対象領域の少なくとも１の吐出ノズルと被交換対象領域の少なくとも１の吐出ノズルとの、グループを交換するノズル交換工程と、を有することが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、平均着弾量から最も乖離した着弾量を有する着弾領域の吐出ノズルと、当該着弾領域の着弾量から乖離した着弾量を有する着弾領域の吐出ノズルと、の所属グループを交換することで、着弾領域の着弾量を確実に均一化することができる。ゆえに、ノズル入替工程を容易に且つ効率良く実施することができる。
【００１２】
この場合、ノズル割付工程では、着弾量の所定の均一化が達成されるまで、ノズル入替工程を繰り返し実施することが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、ノズル入替工程を繰り返し行うことで、着弾量をより均一にすることができる。
【００１４】
上記の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法において、ノズル割付工程は、ノズル入替工程の実施回数が、所定数に達したか否かを判断する回数判断工程を、更に有し、回数判断工程において、実施回数が所定数に達したと判定されるまで、ノズル入替工程を繰り返し実施することが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、ノズル入替工程の実施回数が所定数に達したか否かを判断基準として、ノズル入替工程の反復動作を終了することにより、上記所定数に応じた特定の所要時間で反復動作を終了することができる。
【００１６】
上記の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法において、ノズル割付工程は、複数の着弾領域の着弾量におけるバラツキ評価値が、許容範囲内であるか否かを判断するバラツキ判断工程を更に有し、バラツキ判断工程において、バラツキ評価値が許容範囲内であると判定されるまで、ノズル入替工程を繰り返し実施することが好ましい。
【００１７】
この場合、バラツキ評価値は、複数の着弾領域の着弾量における標準偏差の３倍の値であることが好ましい。
【００１８】
これらの構成によれば、複数の着弾領域における着弾量のバラツキ評価値が許容範囲内であるか否かを判断基準として、ノズル入替工程の反復動作を終了することにより、複数の着弾領域の着弾量を、所定のバラツキ範囲内に確実に均一化することができる。
【００１９】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドを駆動して、ワークに対し描画処理を実施する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッドを制御する制御手段を備え、制御手段は、上記の液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法により設定した適正駆動電圧に基づいて、液滴吐出ヘッドの駆動を制御することを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、複数の着弾領域の各着弾量を精度良く均一化することができる液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法を用いることで、液滴吐出装置による製造品質を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図２】液滴吐出ヘッドの断面図である。
【図３】ポンプ部の部分分解斜視図である。
【図４】吐出検査装置を模式的に示した平面図である。
【図５】吐出検査装置の主制御系のブロック図である。
【図６】吐出検査装置における吐出検査動作および適正電圧設定動作を示したフローチャートである。
【図７】電圧設定パターン決定工程を示したフローチャートである。
【図８】液滴吐出装置を模式的に示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係る液滴吐出ヘッドの駆動電圧設定方法を適用した液滴吐出ヘッドの吐出検査装置について説明する。この吐出検査装置は、後述する液滴吐出装置に搭載する前の液滴吐出ヘッドの単体検査を行うものであり、１の液滴吐出ヘッドに対し、吐出の有無を判定する吐出検査をはじめ、飛行検査、飛行速度、吐出量測定等を実施する。また、検査シート上に液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して、複数の着弾ドットを形成すると共に、その各着弾ドットを撮像して、各吐出ノズルの吐出量を測定する。特に本吐出検査装置では、ワーク上の各着弾領域に対し均一に吐出着弾することができるよう、液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルに対し適切な適正駆動電圧を設定する。そこで先ず、吐出検査装置の説明に先立ち、検査対象となる液滴吐出ヘッドについて説明する。
【００２３】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出ヘッド１は、いわゆるピエゾ方式を採用したいわゆる２連のインクジェットヘッド（インクジェット方式の液滴吐出ヘッド１）であり、２連の接続針５を有する機能液導入部２と、機能液導入部２に連なる２連のヘッド基板３と、ヘッド基板３の下方に連なり機能液を吐出するヘッド本体４と、を備えている（図１（ａ）参照）。
【００２４】
機能液導入部２は、一対の接続針５を有しており、配管アダプタ（図示省略）を介して機能液供給ユニット５６（図４参照）から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド基板３には、２連のコネクタ６，６が設けられており、各コネクタ６はフレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して吐出検査装置３１の制御装置３６（図５参照）に接続されている。そして、この制御装置３６（後述するヘッドドライバー８８）から出力された駆動電圧（駆動波形）が各コネクタ６を介して各圧電素子（ピエゾ素子）１７に印加されることで、各吐出ノズル２１から機能液が吐出される。なお、当該液滴吐出ヘッド１は、機能液として特殊なインクや発光性の樹脂液を吐出し、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するのに用いられる。
【００２５】
図２および図３に示すように、ヘッド本体４は、圧電素子１７等で構成される２連のポンプ部１１と、複数の吐出ノズル２１が形成されたノズル面２５を有するノズルプレート１２と、を有している。各ポンプ部１１は、吐出ノズル２１の数に対応する圧電素子１７を収容した機構部１３と、機能液を貯留する貯留部１４と、から構成されている。貯留部１４は、圧電素子１７の数に対応し、機能液を一時的に貯めるキャビティ１５と、各キャビティ１５に供給する機能液を溜めると共に上記の機能液導入部２に連通する共通室１６と、から構成されている。機能液供給ユニット５６から供給された機能液は、機能液導入部２を介して共通室１６に流れ込む。そして、圧電素子１７に電圧を印加して変形させることで、キャビティ１５の体積変化を利用して共通室１６からキャビティ１５に機能液を導入すると共に、吐出ノズル２１から機能液を吐出する。
【００２６】
ノズルプレート１２は、キャビティ１５に貯留された機能液を吐出する吐出ノズル２１が多数形成されている。多数の吐出ノズル２１は、相互に平行、且つ半ピッチ位置ズレして列設された第１ノズル列２２ａおよび第２ノズル列２２ｂを構成しており、各ノズル列２２は、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル２１で構成されている（図１（ｂ）参照）。この場合、１８０個の吐出ノズル２１のうち、両外端に位置する各１０個の吐出ノズル２１は、無効吐出ノズル２３であり、実際の描画には使用しない。そのため、吐出検査では、無効吐出ノズル２３（計２０個）を除く有効吐出ノズル２４（計１６０個）によって吐出検査を実施する。
【００２７】
次に、図４を参照して、上記した液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査する吐出検査装置３１について説明する。吐出検査装置３１は、機台３２と、機台３２上に載置され、液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査するヘッド検査装置３３と、同様に機台３２上に載置され、液滴吐出ヘッド１の機能維持および回復を行うメンテナンス装置３４と、を有しており、これら各部はチャンバー３５内に収容されている。また、チャンバー３５外には、制御装置３６（図５参照）が備えられており、液滴吐出ヘッド１、ヘッド検査装置３３およびメンテナンス装置３４を統括的に制御する。吐出検査装置３１は、液滴吐出ヘッド１を１つずつ検査すべく、メンテナンス装置３４により液滴吐出ヘッド１の機能維持・回復を行いながら、ヘッド検査装置３３により機能液を吐出して、液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査する。
【００２８】
メンテナンス装置３４は、吐出ノズル２１における機能液の増粘や目詰まりによる吐出不良を解消する吸引装置３７と、吸引装置３７と並ぶように配設され、液滴吐出ヘッド１のノズル面２５を払拭するワイピング装置３８と、を有している。
【００２９】
吸引装置３７は、液滴吐出ヘッド１のノズル面２５に密接すると共に、Ｒ・Ｇ・Ｂ色に対応した３つのキャップ４１と、各キャップ４１を昇降させて、液滴吐出ヘッド１に対し離接するキャップ昇降機構４０（図５参照）と、吸引チューブ（図示省略）を介して３つのキャップ４１に接続されたイジェクター（図示省略）と、を有している。吸引装置３７は、各キャップ４１を液滴吐出ヘッド１のノズル面２５に密接させ、イジェクターにより吸引を行うことで、吐出ノズル２１の目詰まり等による吐出不良を解消する。
【００３０】
ワイピング装置３８は、ノズル面２５に当接するワイピングシート４２と、ワイピングシート４２を繰り出すと共に巻き取るワイプシート送り機構４３（図５参照）と、を有している。ワイピング装置３８は、ワイピングシート４２を吐出ノズル２１のノズル面２５に押し当て、吐出ノズル２１を第１Ｙ軸テーブル５２によりＹ軸方向に前後させることで、吸引処理後の液滴吐出ヘッド１のノズル面２５を払拭する。
【００３１】
ヘッド検査装置３３は、単一の液滴吐出ヘッド１を工具レスでセットするヘッドホルダ５１と、ヘッドホルダ５１を支持し、ヘッドホルダ５１を介して液滴吐出ヘッド１をＹ軸方向に移動させる第１Ｙ軸テーブル５２と、後述する検査シート７１上に形成された着弾ドットを撮像する撮像カメラ５３と、撮像カメラ５３を支持し、Ｙ軸方向に移動させる第２Ｙ軸テーブル５４と、第１Ｙ軸テーブル５２を支持し、第１Ｙ軸テーブル５２およびヘッドホルダ５１を介して液滴吐出ヘッド１をＸ軸方向に移動させると共に、第２Ｙ軸テーブル５４を支持し、第２Ｙ軸テーブル５４を介して撮像カメラ５３をＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル５５と、供給チューブ（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド１に機能液を供給する機能液供給ユニット５６と、吐出された機能液の飛行曲がりや飛行速度を検査する飛行検査ユニット５７と、吐出された機能液の吐出重量を測定する重量測定ユニット５８と、検査シート７１を有する被着弾ユニット５９と、を備えている。機能液供給ユニット５６は、Ｘ軸テーブル５５に付設され、飛行検査ユニット５７、重量測定ユニット５８および被着弾ユニット５９は、Ｘ軸テーブル５５によりＸ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１の移動軌跡の鉛直方向下方に臨むよう、機台３２上に並べて配設されている。
【００３２】
ヘッド検査装置３３により液滴吐出ヘッド１の吐出性能を検査する場合は、機能液供給ユニット５６から液滴吐出ヘッド１に機能液を供給しつつ、Ｘ軸テーブル５５および第１Ｙ軸テーブル５２により、液滴吐出ヘッド１をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させ、飛行検査ユニット５７、重量測定ユニット５８および被着弾ユニット５９にそれぞれ臨ませて、各検査および検査シート７１への検査吐出を行う。また、Ｘ軸テーブル５５および第２Ｙ軸テーブル５４により、撮像カメラ５３をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させて、被着弾ユニット５９の検査シート７１上に形成した各着弾ドットを撮像する。
【００３３】
機能液供給ユニット５６は、Ｒ・Ｇ・Ｂ色の機能液をそれぞれ貯留する３つの機能液タンク６１を有しており、各機能液タンク６１は、液滴吐出ヘッド１より上方に配設され、セットした液滴吐出ヘッド１に応じて選択的に使用される。このため、機能液は、自然水頭により各機能液タンク６１から各供給チューブを介して液滴吐出ヘッド１へ供給される。
【００３４】
飛行検査ユニット５７は、パルス光源であるパルスレーザを有する照明部６５と、照明部６５に対向して配置され、パルスレーザによるパルス光を受光する顕微鏡カメラ６６と、液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液を受ける機能液受け部６７と、を備えている。飛行速度の測定や飛行曲がりの検査を行う場合、照明部６５と顕微鏡カメラ６６を駆動させた状態で機能液を吐出する。吐出された機能液は、照明部６５と顕微鏡カメラ６６との間のパルスレーザを遮って、機能液受け部６７に着弾する。そして、飛行検査ユニット５７により高速度撮影された撮影結果に基づいて、飛行速度が計測されると共に、飛行曲がりがあるか否か、また吐出抜けがあるか否かを検査する。
【００３５】
重量測定ユニット５８は、液滴吐出ヘッド１から吐出された機能液を受ける容器６２と、容器６２内の機能液の重量を測定する電子天秤６３と、を備えている。重量測定ユニット５８により機能液の吐出重量を測定する場合は、ノズル列２２単位で数万発の機能液を吐出し、電子天秤６３によりその機能液の吐出重量を測定する。
【００３６】
被着弾ユニット５９は、液滴吐出ヘッド１からの検査吐出を受ける長尺状の検査シート７１と、検査シート７１が載置される測定ステージ７２と、検査シート７１の検査済み部分を測定ステージ７２から送り出し、かつ未使用部分を測定ステージ７２に送り込むように検査シート７１を送る検査シート送り機構７３と、を備えている。被着弾ユニット５９は、検査吐出により検査シート７１上に形成された着弾ドットが、撮像カメラ５３によって撮像されると、その撮像済み部分を検査シート送り機構７３により送り、未使用部分と差し替えることで、未使用部分にて検査吐出を受けることになる。なお、測定ステージ７２は、吸着機構（図示省略）を有し、検査シート７１を吸着セットすることが好ましい。
【００３７】
長尺状の検査シート７１は、吐出ノズル２１から吐出された機能液を吸収する材質で形成されており、例えば、フィルム材や紙等で形成されている。吐出ノズル２１から吐出された機能液が検査シート７１上に着弾すると、機能液が検査シート７１に吸収されて、円形の着弾ドットが描画（形成）される。なお、本実施形態では、検査シート７１として、機能液を吸収する材質のものを用いたが、機能液を吸収せず、立体形状（ドーム状）の着弾ドットが形成されるものを使用しても良い。
【００３８】
図５に示すように、制御装置３６は、各種ドライバーを有する駆動制御部８１と、各部に接続され、吐出検査装置３１全体の統括制御を行う統括制御部８２と、を備えている。駆動制御部８１には、液滴吐出ドライバー８３と、カメラドライバー８４と、ＸＹ移動ドライバー８５と、ワイプシート送りドライバー８６と、キャップドライバー８７と、を備えている。カメラドライバー８４は、撮像カメラ５３を駆動して着弾ドットの撮像を行う。ＸＹ移動ドライバー８５は、Ｘ軸テーブル５５、第１Ｙ軸テーブル５２および第２Ｙ軸テーブル５４を駆動して、液滴吐出ヘッド１および撮像カメラ５３のＸＹ方向移動を行う。ワイプシート送りドライバー８６は、ワイピング装置３８のワイプシート送り機構４３を駆動して、ワイピングシート４２のシート送りを行う。キャップドライバー８７は、吸引装置３７のキャップ昇降機構４０を駆動して、キャップ４１をノズル面２５に対して離接させる。
【００３９】
液滴吐出ドライバー８３は、ノズル列２２毎に４つのヘッドドライバー８８を有し、液滴吐出ヘッド１の各吐出ノズル２１を駆動して液滴を吐出する。各ヘッドドライバー８８は、それぞれＤＡコンバーター（Ｄｉｇｉｔａｌ  ｔｏ  Ａｎａｌｏｇ  Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）（図示省略）を有し、それぞれ異なる駆動電圧（駆動波形）を出力可能に構成されている。すなわち、各ノズル列２２の各圧電素子１７に対し、各ヘッドドライバー８８からの４種の駆動電圧を選択的に入力することで、各吐出ノズル２１に各駆動電圧を選択的に印加することができる。以下、共通のヘッドドライバー８８から駆動電圧が印加される１以上の吐出ノズル２１のグループを「ＣＯＭ」と呼称し、４つのヘッドドライバー８８のＣＯＭをそれぞれ、「ＣＯＭ１」、「ＣＯＭ２」、「ＣＯＭ３」、「ＣＯＭ４」と呼称する。複数の吐出ノズル２１に対し、各ＣＯＭを割り付けて駆動することで、液滴吐出（液滴着弾）を実施する。
【００４０】
統括制御部８２には、各手段を接続するためのインタフェース９１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ９２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ９３と、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク９４と、ＲＯＭ９３やハードディスク９４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ９５と、これらを互いに接続するバス９６と、が備えられている。なお、後述する吐出量データ、着弾量データおよび評価記録データは、ハードディスク９４内に記憶される。
【００４１】
そして、統括制御部８２は、各部からの各種データを、インタフェース９１を介して入力すると共に、ハードディスク９４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ９５に演算処理させ、その処理結果を、駆動制御部８１（各種ドライバ）を介して各部に出力する。これにより、吐出検査装置３１全体が制御され、各種処理が行われる。
【００４２】
ここで図６を参照して、吐出検査装置３１における液滴吐出ヘッド１の吐出検査動作および適正電圧決定動作について説明する。図６に示すように、吐出検査装置３１では、液滴吐出ヘッド１に対する吐出検査動作（Ｓ１〜Ｓ８）を実施した後、吐出性能検査で得られたデータ（吐出量データ）に基づいて、各吐出ノズル２１の適正駆動電圧を設定する適正電圧設定動作（Ｓ９〜Ｓ１４）を実施する。まず、吐出検査動作について説明する。なお、この吐出検査動作は、液滴吐出ヘッド１が、ヘッドホルダ５１に予めセットされている状態にて行われるものとする。
【００４３】
図６に示すように、吐出検査動作において、まず、統括制御部８２は、液滴吐出ヘッド１、および液滴吐出ヘッド１に接続した供給チューブ内に機能液を充填する初期充填工程を実施する（Ｓ１）。すなわち、Ｘ軸テーブル５５により、液滴吐出ヘッド１を吸引装置３７に臨ませて、吸引装置３７により液滴吐出ヘッド１を吸引し、機能液を充填する。その後、液滴吐出ヘッド１を駆動して、ウォームアップ（液滴吐出ヘッド１の温度上昇）を実施すると共に、液滴吐出ヘッド１をワイピング装置３８に臨ませて、ワイピング装置３８によりノズル面２５を拭き取って初期充填を終了する。
【００４４】
初期充填が終了したら、トリートメントフラッシング工程を実施する（Ｓ２）。すなわち、液滴吐出ヘッド１を重量測定ユニット５８に臨ませて、予備吐出を実施する。これにより、クリーニング後に、機能液が一定量捨て吐出されるため、一定量吐出した状態から検査を行うことができる。例えば、クリーニング後の初期段階では、異常吐出が発現せず、一定量吐出すると異常吐出が発現する場合があり、トリートメントフラッシングを実施することで、このような検査不備を防止することができる。
【００４５】
次に、液滴吐出ヘッド１を飛行検査ユニット５７に臨ませて、各有効吐出ノズル２４の飛行速度の測定工程を実施する（Ｓ３）。吐出された機能液滴を、飛行検査ユニット５７により高速度撮影し、その撮影結果に基づいて、飛行速度を計測する。かかる際、飛行曲がり、吐出抜け、および異常吐出の検査も同時に行い、これらの検査により液滴吐出ヘッド１が不良と判断された場合、本動作（吐出検査動作および適正電圧設定動作）を終了する。
【００４６】
その後、再度、液滴吐出ヘッド１を重量測定ユニット５８に臨ませて、吐出重量の重量測定工程を実施する（Ｓ４）。重量測定工程では、液滴吐出ヘッド１からノズル列２２単位で重量測定ユニット５８に液滴吐出を実施し、ノズル列２２単位での吐出重量を測定する。この測定結果に基づいて、ノズル列２２単位での、基準の適正駆動電圧（標準駆動電圧）を決定する。この基準の適正駆動電圧は、検査吐出の際に用いる駆動電圧であると共に、後述するＣＯＭ毎の適正駆動電圧を決定する際に、基準となる駆動電圧である。具体的な決定方法としては、目標吐出重量（１ノズル列２２当りの目標吐出重量）を吐出するための、およその電圧値があり、各ノズル列２２において、その電圧値に前後する２つの電圧値で、重量測定を実施する。その後、当該測定結果（２つの電圧値での各吐出重量）に基づいて、電圧値と１ノズル列２２当りの吐出重量との一次関数を求め、目標吐出重量をその一次関数に代入することで、目標吐出重量に対する電圧値を算出する。ここで求めた電圧値を基準の適正駆動電圧として決定する。
【００４７】
次に、液滴吐出ヘッド１を被着弾ユニット５９に臨ませて、被着弾ユニット５９の検査シート７１に対し検査吐出を実施することで、ノズル列２２毎の着弾ドット列を形成するドット列形成工程（吐出工程）を実施する（Ｓ５）。ドット列形成工程では、検査吐出パターンに基づいて、検査シート７１上に各着弾ドット列を形成する。検査吐出パターンは、各ノズル列２２における各有効吐出ノズル２４の吐出の有無を示すデータであり、ここでは検査吐出パターンとして、各ノズル列２２において、複数の有効吐出ノズル２４の検査吐出を間引いて行う検査吐出パターンを用いる。ここでは、検査吐出する有効吐出ノズル２１を駆動吐出ノズルと呼称する。駆動吐出ノズルに対し各ヘッドドライバー８８から基準の適正駆動電圧を印加して、液滴を吐出着弾する。なお、各駆動吐出ノズルからの検査吐出は、１回を複数ショット（例えば、４ショット）で構成し、各着弾ドットを複数ショットで構成する。
【００４８】
ノズル列２２毎の着弾ドット列を形成したら、統括制御部８２は、Ｘ軸テーブル５５により、液滴吐出ヘッド１を退避しつつ、撮像カメラ５３を被着弾ユニット５９に臨ませて、各着弾ドットの面積を測定する面積測定工程を実施する（Ｓ６）。すなわち、検査シート７１上に形成された着弾ドット列の各着弾ドットをそれぞれ、撮像カメラ５３により撮像し、その撮像結果に基づいて、各着弾ドットの面積を測定する。
【００４９】
各着弾ドットの面積を測定したら、この測定結果に基づいて各駆動吐出ノズルの吐出量を算出する吐出量算出工程を実施する（Ｓ７）。具体的には、予め実験で得られた着弾ドットの面積と駆動吐出ノズルの吐出量との相関関係を表す回帰式に、各駆動吐出ノズルの面積を代入して、各駆動吐出ノズルの吐出量を算出する。これにより、基準の適正駆動電圧に対する各駆動吐出ノズルの吐出量から成る吐出量データを取得する。なお、各駆動吐出ノズルの吐出量を全体の平均値で正規化した各値を、吐出量データとして記憶する。なお、請求項にいう吐出量測定工程は、面積測定工程および吐出量算出工程により構成されている。
【００５０】
最後に、液滴吐出ヘッド１を吸引装置３７に臨ませて、キャップ４１により、液滴吐出ヘッド１をキャッピングするキャッピング工程を実施する（Ｓ８）。これにより、液滴吐出ヘッド１の保湿状態が維持され、吐出検査動作を終了する。
【００５１】
次に、適正電圧設定動作について説明する。適正電圧設定動作は、各駆動吐出ノズルの適正駆動電圧を設定するものであり、具体的には、吐出検査動作で得られた吐出量データに基づいて、ＣＯＭ毎の適正駆動電圧の設定と、各駆動吐出ノズルに対するＣＯＭの割り付けとを行い、これにより各駆動吐出ノズルの適正駆動電圧を設定するものである。すなわち、各駆動吐出ノズルに対し、複数種の適正駆動電圧のうちの任意の１の適正駆動電圧を設定することにより、複数の着弾領域に吐出着弾する複数の駆動吐出ノズルを適正駆動電圧毎にグループ化して、各駆動吐出ノズルの適正駆動電圧を設定する。適正駆動電圧とは、描画処理の際に、各駆動吐出ノズルの圧電素子１７に印加される駆動電圧である。
【００５２】
図６に示すように、適正電圧決定動作では、まず、統括制御部８２は、取得した各ノズル列２２の吐出量データに基づいて、各ノズル列２２内の複数の駆動吐出ノズルを各ＣＯＭに割り付ける仮割付工程を実施する（Ｓ９）。仮割付工程では、各駆動吐出ノズルの吐出量の大小によって、ノズル列２２毎に複数の駆動吐出ノズルを各ＣＯＭに割り付ける。例えば、１のノズル列２２の駆動吐出ノズルの数を４９個とした場合、吐出量の順位として上位１２個の駆動吐出ノズルをＣＯＭ１とし、１３番目から２４番目の駆動吐出ノズルをＣＯＭ２、２５番目から３６番目までの駆動吐出ノズルをＣＯＭ３とし、残りの駆動吐出ノズルをＣＯＭ４とする。
【００５３】
次に、統括制御部８２は、吐出量データに基づいて、ノズル列２２毎の且つＣＯＭ毎の平均吐出量を算出する平均吐出量算出工程（Ｓ１０）を実施する。すなわち、各ＣＯＭにおいて、所属する駆動吐出ノズルの合計吐出量から、当該ＣＯＭの駆動吐出ノズルの数を徐算する。これにより、ノズル列２２毎の且つ仮割付したＣＯＭ毎の平均吐出量を算出する。
【００５４】
次に、算出したＣＯＭ毎の平均吐出量に基づいて、ＣＯＭ毎の電圧比率を算出する電圧比率算出工程（実適正電圧算出工程）を実施する（Ｓ１１）。電圧比率は、各ＣＯＭ間の適正駆動電圧の比率であり、係数として各ＣＯＭの適正駆動電圧を決定するものである。電圧比率算出工程では、まず、吐出量データから、ノズル列２２毎の平均吐出量（以下、ノズル列平均吐出量）を算出する。次に、ノズル列２２毎に、各ＣＯＭの平均吐出量とノズル列平均吐出量との比率（以下、吐出量比率）をそれぞれ算出する。各ＣＯＭの吐出量比率を算出したら、これに基づいて、各ＣＯＭの電圧比率を算出する。すなわち、予め取得した吐出量比率と電圧比率との変換係数を用い、各ＣＯＭの吐出量比率から各ＣＯＭの電圧比率を算出する。なお、仮割付工程において、吐出量の大小によってノズルを割り付けたため、平均吐出量は、ＣＯＭ１が一番大きく、ＣＯＭ２、ＣＯＭ３、ＣＯＭ４の順に小さくなる値となる。そのため、電圧比率は、ＣＯＭ４が一番大きく、ＣＯＭ３、ＣＯＭ２、ＣＯＭ１の順に小さくなる値となる。また、電圧比率は、ＣＯＭ１を基準とするため、ノズル列２２単位でＣＯＭ１の電圧比率で正規化した値を用いる。なお、請求項にいう適正電圧設定工程は、吐出検査動作、平均吐出量算出工程および電圧比率算出工程により構成されている。
【００５５】
次に着弾量データを取得する着弾量データ取得工程（Ｓ１２）を実施する。液滴吐出ヘッド１は、その複数の駆動吐出ノズルを駆動して、複数の着弾領域が画成されたワークＷ（図８参照）に対し描画処理を実施するものであり、複数の駆動吐出ノズルのうち、特定の５つの駆動吐出ノズルから１の着弾領域に液滴を吐出する。すなわち、２つのノズル列２２を合わせた全駆動吐出ノズルは、複数の着弾領域に割り当てられており、１つの着弾領域に対し、５つの駆動吐出ノズルが対応している。より具体的には、１つの着弾領域に対し、両ノズル列２２を合わせた際のノズル列２２方向に隣接する５つの駆動吐出ノズルが対応し、例えば第１ノズル列２２ａの２つの駆動吐出ノズルと第２ノズル列２２ｂの３つの駆動吐出ノズルとが対応している。着弾量データは、各着弾領域に対応した５つの駆動吐出ノズルの各吐出量と、各着弾領域における５つの駆動吐出ノズルの着弾量（具体的には平均吐出量）とを記憶したデータである。
【００５６】
着弾量データ取得工程では、着弾領域毎に、対応する５つの駆動吐出ノズルの各吐出量と、当該５つの駆動吐出ノズルから吐出される着弾量と、を取得し、これらを着弾量データとして記憶する。厳密には、吐出量データから標準適正電圧に対する各吐出量を抽出し、当該各吐出量を、設定したＣＯＭ毎の電圧比率に応じた値だけ補正する。これにより、各ＣＯＭの電圧比率で成る適正駆動電圧によって吐出した際の、各吐出量を取得する。また、この各吐出量を用いて、着弾領域毎の着弾量（平均吐出量）を算出する。なお、各吐出量として、両ノズル列２２を含む全駆動吐出ノズルの平均吐出量で正規化した各値を、また各着弾量として、全着弾量の平均値で正規化した各値を、着弾量データとして取得する。
【００５７】
着弾量データを取得したら、電圧設定パターンを決定する電圧設定パターン決定工程（ノズル割付工程）（Ｓ１３）を実施する。図７に示すように、電圧設定パターンとは、駆動吐出ノズルに対するＣＯＭの割り付けと、各ＣＯＭの適正駆動電圧との組み合せたものである。電圧設定パターン決定工程では、電圧設定パターンを変更するパターン変更工程（Ｓ２１〜Ｓ２９）と、変更した電圧設定パターンを評価するパターン評価工程（Ｓ３０）とを繰り返し実施し、最も評価の高かった電圧設定パターンを本決定する。
【００５８】
パターン変更工程は、１回の実施において、対の駆動吐出ノズルのＣＯＭを交換するノズル交換と、１以上のＣＯＭの適正駆動電圧の変更するＣＯＭの適正電圧変更とのいずれか実施して電圧設定パターンを変更する。パターン変更工程では、準備工程として、まず、着弾量データにおける各着弾領域のデータを並び替えるデータ並替工程（Ｓ２１）を実施する。データ並替工程では、着弾量データ上において、各着弾領域のデータを、その着弾量で降順になるように付番し並び替える。
【００５９】
次に、複数の着弾領域から対象領域を選別する対象領域選出工程（Ｓ２２）を実施する。対象領域選出工程では、複数の着弾領域の着弾量を平均した平均着弾量を算出し（平均着弾量算出工程）、複数の着弾領域のうち、複数の着弾領域の平均着弾量から最も乖離した着弾量を有する着弾領域を対象領域（交換対象領域）として選出する（対象領域抽出工程）。
【００６０】
対象領域を選出したら、選出した対象領域に対するノズル交換の有効性を判定する第１有効性判定工程（Ｓ２３）を実施する。第１有効性判定工程では、対象領域に対応する５つの駆動吐出ノズルの中に、ノズル交換が有効な駆動吐出ノズルがあるか否かを判定する。具体的には、まず、対象領域が、最大の着弾量を有する最大対象領域であるか、最小の着弾量を有する最小対象領域であるかを判定する。最大対象領域であれば、着弾量を小さくする必要があるが、最小の適正駆動電圧を有するＣＯＭ１の駆動吐出ノズルのＣＯＭを、他のＣＯＭに変更したとしても効果は得られない。よって、対象領域が最大対象領域である場合には、５つの駆動吐出ノズルのうち、ＣＯＭ１以外の駆動吐出ノズルがあるか否かを判定する。一方、逆に対象領域が最小対象領域である場合には、同様の理由で、ＣＯＭ４以外の駆動吐出ノズルがあるか否かを判定する。最大対象領域でＣＯＭ１以外の駆動吐出ノズルが存在しない場合、もしくは最小対象領域でＣＯＭ４以外の吐出ノズルが存在しない場合（Ｓ２４：Ｎｏ）には、当該対象領域に対しノズル交換が有効でないものとして、ＣＯＭの適正電圧変更を行う適正電圧変更工程（Ｓ２９）に移行する。
【００６１】
一方、最大対象領域でＣＯＭ１以外の駆動吐出ノズルが存在する場合、もしくは最小対象領域でＣＯＭ４以外の駆動吐出ノズルが存在する場合（Ｓ２４：Ｙｅｓ）には、交換する対の駆動吐出ノズルを仮決定する交換ノズル仮決定工程（Ｓ２５）を実施する。交換ノズル仮決定工程では、まず、対象領域の５つの駆動吐出ノズルを交換候補ノズルとする。次に、各交換候補ノズルに対し、ノズル交換が有効であるか否かを判定する。具体的には、対象領域が最大対象領域である場合には、各交換候補ノズルがＣＯＭ１に属しているか否かを判定し、対象領域が最小対象領域である場合には、各交換候補ノズルがＣＯＭ４に属しているか否かを判定する。最大対象領域でＣＯＭ１に属している場合や最小対象領域でＣＯＭ４に属している場合には、当該駆動吐出ノズルを、交換候補ノズルから除外する。
【００６２】
次に各交換候補ノズルに対し、被交換ノズルをそれぞれ検出する。具体的には、交換候補ノズル毎に、対象領域の着弾量に対し最も離れた着弾量を有する着弾領域から順に複数の着弾領域（ただし、対象領域の着弾量に対し平均着弾量を超えて離れたものに限る）を走査する。走査する各着弾領域内の駆動吐出ノズルのうち、検出条件に当てはまるものを、被交換ノズルとして検出し、またその対象領域を被対象領域（被交換対象領域）として選出する（被対象領域抽出工程）。検出条件は、交換候補ノズルと同一のノズル列２２に属し且つ、対象領域が最大対象領域の場合に、交換候補ノズルのＣＯＭ番号より、属するＣＯＭのＣＯＭ番号が１つ低く（例えば、ＣＯＭ４ならＣＯＭ３）、対象領域が最小対象領域の場合に、交換候補ノズルのＣＯＭの番号より、属するＣＯＭのＣＯＭ番号が１つ高いというものである。被交換ノズルを検出した段階で走査を終了する。
【００６３】
各交換候補ノズルの被交換ノズルを検出したら、これらの各交換を評価する。具体的には、各交換候補ノズルにおいて、交換候補ノズルと被交換ノズルとのＣＯＭを交換した際の、両ノズルが所属する着弾領域の着弾量を算出し、両着弾量の差の２乗和を評価値とする。各交換候補ノズルの交換のうち、最も評価値が低い交換候補ノズルの交換を仮決定する。なお、着弾量の算出は、着弾量データ取得工程の際と同様の方法で実施する。
【００６４】
ノズル仮決定工程が終了したら、第１有効性評価工程とは別の観点から、ノズル交換の有効性を評価する第２有効性評価工程（Ｓ２６）を実施する。第２有効性評価工程では、過去、繰り返し実施されたパターン変更工程およびパターン評価工程においての最も良い評価が、前１０回の実施において得られているか否かを判定する。具体的には、後述する評価値記録データから、全ての回のバラツキ評価値のうちの最小値を抽出し、前１０回のバラツキ評価値に、当該最小値があるか否かを判定する。当該最小値がない場合（Ｓ２７：Ｎｏ）には、適正電圧変更工程（Ｓ２９）に移行する。
【００６５】
一方、前１０回のバラツキ評価値に、当該最小値がある場合（Ｓ２７：Ｙｅｓ）には、対の駆動吐出ノズルのＣＯＭを交換するノズル交換工程（Ｓ２８）を実施する。ノズル交換工程では、交換ノズル仮決定工程で仮決定した駆動吐出ノズルのＣＯＭ同士を交換して、着弾量データを更新する。このように、当該ノズル仮決定工程およびノズル交換工程により、着弾量が複数の着弾領域の相互間で均一化されるように、駆動吐出ノズルに対するＣＯＭの入れ替えが実施される（ノズル入替工程）。なお、着弾量データの更新の際の各吐出量および各着弾量の算出は、上記着弾量データ取得工程と同様の方法で実施する。
【００６６】
次に、適正電圧変更工程（Ｓ２９）について説明する。適正電圧変更工程は、上記したように、第１有効性判定工程および第２有効性判定工程において、ノズル交換が有効でないと判断された場合に、ノズル交換に代えて、ＣＯＭの適正電圧変更を行うものである。具体的には、まず、対象領域の着弾量に基づいて、電圧比率を変更（補正）する補正係数を算出する。なお、着弾領域に対する駆動吐出ノズルの数が、複数の着弾領域間に異なる場合には、この駆動吐出ノズルの数に応じた補正値で、補正係数を補正することが好ましい。
【００６７】
補正係数を算出したら、対象領域が最大対象領域か最小対象領域かを判定する。最大対象領域と判定された場合には、対象領域の駆動吐出ノズルが所属するＣＯＭを対象とし、当該各ＣＯＭの電圧比率に対し上記補正係数を乗算して、電圧比率を降下させる。一方、最小対象領域と判定された場合には、対象領域の駆動吐出ノズルが所属するＣＯＭを対象とし、当該各ＣＯＭの電圧比率に対し補正値を徐算して、電圧比率を上昇させる。これら補正した電圧比率によって、着弾量データを更新する。なお、電圧比率は、ＣＯＭ１が基準となるため、ＣＯＭ１の電圧比率を補正する場合、これに代えて他のＣＯＭを補正する。また、電圧比率は、比率であるため、対象領域の駆動吐出ノズルが所属するＣＯＭの電圧比率を補正する場合、これに代えて、対象領域の駆動吐出ノズルが所属しないＣＯＭの電圧比率を補正する構成であっても良い。
【００６８】
ノズル交換工程もしくは適正電圧変更工程が終了し、電圧設定パターン変更工程が終了したら、上記パターン評価工程（Ｓ３０）に移行する。パターン評価工程では、着弾量（平均吐出量）の標準偏差の３倍の数値を算出し、バラツキ評価値として取得する。取得したバラツキ評価値および現時点の電圧設定パターンは、パターン変更工程およびパターン評価工程（以下、反復動作）の実施回数に対応付けて、評価記録データとして記憶される。
【００６９】
評価工程が終了したら、反復動作の実施回数が所定数に達しているか否かを判断する回数判断工程（Ｓ３１）を実施する。所定数に達していないと判定された場合（Ｓ３２：Ｎｏ）には、電圧設定パターン変更工程に移行し、反復動作を再度実施する。すなわち、実施回数を基準として、着弾量の所定の均一化が達成されるまで、反復動作を繰り返し実施する。
【００７０】
一方、規定数に達していると判定された場合（Ｓ３２：Ｙｅｓ）には、電圧設定パターンを本決定するパターン本決定工程（Ｓ３３）を実施する。パターン決定工程では、評価記録データにから、バラツキ評価値が最も低い、すなわち最も評価の高い電圧設定パターンを抽出し本決定する。これにより、電圧設定パターン決定工程を終了する。このように、電圧設定パターン決定工程によって、着弾領域毎に吐出着弾した液滴の着弾量が、複数の着弾領域の相互間で均一になるように、複数の駆動吐出ノズルを複数のＣＯＭに割り付ける。
【００７１】
図６に示すように、最後に、本決定した各ＣＯＭの電圧比率から各ＣＯＭの適正駆動電圧を算出する適正電圧算出工程（Ｓ１４）を実施する。適正電圧算出工程では、ノズル列毎の各ＣＯＭの電圧比率とノズル列毎の上記基準の適正駆動電圧とを乗算して、各ＣＯＭの適正駆動電圧を算出し設定する。これによって本適正電圧設定動作を終了する。
【００７２】
以上のような構成によれば、複数の着弾領域の各着弾量が、相互間で均一になるように、各適正駆動電圧のグループに対するノズル割り付けを行うことにより、複数の着弾領域の各着弾量を精度良く均一化することができる。
【００７３】
また、容易で且つ大まかな吐出ノズルの割り付け（仮割付工程）を行った後、吐出ノズルの所属グループを入れ替えて本割り付け（ノズル仮決定工程およびノズル交換工程）を行うことにより、各着弾量を均一にするノズル割り付けを、容易に且つ効率良く実施することができる。
【００７４】
さらに、平均着弾量から最も乖離した着弾量を有する着弾領域の駆動吐出ノズルと、当該着弾領域の着弾量から乖離した着弾量を有する着弾領域との駆動吐出ノズルとの所属ＣＯＭを交換することで、着弾領域の着弾量を確実に均一化することができる。
【００７５】
またさらに、ノズル入替工程（ノズル仮決定工程およびノズル交換工程）を繰り返し行うことで、着弾量をより均一にすることができる。
【００７６】
また、反復動作の実施回数が所定数に達したか否かを判断基準として、反復動作を終了することにより、上記所定数に応じた特定の所要時間で反復動作を終了することができる。
【００７７】
なお、本実施形態においては、反復動作の実施回数を判断基準として、反復動作を終了したが、バラツキ評価値が、許容範囲内であるか否かを判断するバラツキ判断工程を有し、バラツキ判断工程において、バラツキ評価値が許容範囲内であると判定されるまで、反復動作を繰り返し実施する構成であっても良い。かかる場合、複数の着弾領域における着弾量のバラツキ評価値が許容範囲内であるか否かを判断基準として、反復動作を終了することにより、複数の着弾領域の着弾量を、所定のバラツキ範囲内に確実に均一化することができる。
【００７８】
ここで図８を参照して、上記検査後の液滴吐出ヘッド１を用いた液滴吐出装置２０１について説明する。この液滴吐出装置２０１は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した液滴吐出ヘッド１を用い、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００７９】
図８に示すように、液滴吐出装置２０１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２０２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸移動テーブル２０３と、複数本の支柱２０４を介してＸ軸移動テーブル２０３を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース２０５上に配設され、主走査方向（Ｘ軸方向）に直交した副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸移動テーブル２０６と、Ｙ軸移動テーブル２０６に移動自在に吊設され、複数個（１２個）の液滴吐出ヘッド１が個々にキャリッジに搭載された１０個のキャリッジユニット２０７と、複数個の液滴吐出ヘッド１の機能維持・機能回復処理を行うメンテナンス機構２０８と、から構成されている。さらに、液滴吐出装置２０１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバー機構２０９と、チャンバー機構２０９を貫通して、液滴吐出ヘッド１に機能液を供給する機能液供給機構２１０と、液滴吐出装置２０１の各構成要素を制御する制御コンピューター（制御手段）（図示省略）と、を備えている。
【００８０】
液滴吐出装置２０１は、Ｘ軸移動テーブル２０３およびＹ軸移動テーブル２０６の駆動と同期して液滴吐出ヘッド１を吐出駆動させることにより、機能液供給機構２１０から供給された３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。すなわち、各液滴吐出ヘッド１に対しワークＷを移動させながら、各液滴吐出ヘッド１を駆動することで、描画処理を行う。なお、かかる際、制御コンピューターは、吐出検査装置３１で設定したＣＯＭ毎の適正駆動電圧によって、各液滴吐出ヘッド１（厳密には駆動吐出ノズル）を駆動する。
【００８１】
このように、複数の着弾領域の各着弾量を精度良く均一化することができる液滴吐出ヘッド１の駆動電圧設定方法を用いることで、液滴吐出装置２０１による製造品質を向上することができる。
【００８２】
なお、本実施形態においては、液滴吐出ヘッド１を固定とし、ワークＷを移動して描画処理を実施したが、ワークＷに対し液滴吐出ヘッド１を相対的に移動して描画処理を実施するものであれば、ワークＷを固定とし、液滴吐出ヘッド１を移動して描画処理を実施するものであっても良い。
【符号の説明】
【００８３】
１：液滴吐出ヘッド、  ２１：吐出ノズル、  ２０１：液滴吐出装置、  Ｗ：ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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