(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体製造装置や液晶製造装置等から排出される有毒ガス中の有害成分を除外、回収する除外装置において、被処理ガスを導水管内に導入、混合する吸気管の詰まりを防止する。【解決手段】導水管２内に吸気管１３を挿着し、該吸気管の下端１３Ｃから排出される有毒ガスＧと前記導水管内の水Ｗとを混合させる気液混合攪拌装置において、前記吸気管内に可撓性チューブ１８を挿着して該可撓性チューブの下端部１８ｃを前記吸気管の下端部に対向させるとともに、少なくとも前記吸気管の下端部側と前記可撓性チューブの下端部側とを離間させて振動間隙Ａを形成させることにより、気液混合に伴って前記可撓性チューブが振動してその下端部が吸気管内周面に衝突し、前記可撓性チューブ下端に付着した固形物が剥離され、吸気管の詰まりを防止できる。【選択図】図２
2011125816.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導水管内に吸気管を挿着し、該吸気管の下端から排出される有毒ガスと前記導水管内の水とを混合させる気液混合攪拌装置において、
前記吸気管内に可撓性チューブを挿着して該可撓性チューブの下端部を前記吸気管の下端部に対向させるとともに、
少なくとも前記吸気管の下端部側と前記可撓性チューブの下端部側とを離間させて振動間隙を形成したことを特徴とする気液混合攪拌装置。
【請求項２】
前記可撓性チューブの下端は、前記吸気管の下端と面一であることを特徴とする請求項１記載の気液混合攪拌装置。
【請求項３】
前記可撓性チューブの下端は、前記吸気管の下端より突出していることを特徴とする請求項１記載の気液混合攪拌装置。
【請求項４】
前記可撓性チューブの長さは、前記吸気管の垂直方向の長さと同一、又は、それより長いことを特徴とする請求項１、２、又は、３記載の気液混合攪拌装置。
【請求項５】
前記可撓性チューブは、前記吸気管の垂直方向の長さより短く、かつ、前記吸気管の下端部側にのみ設けられていることを特徴とする請求項１、２、又は、３記載の気液混合攪拌装置。
【請求項６】
前記振動間隙は、前記吸気管の垂直方向全長にわたって設けられていることを特徴とする請求項１記載の気液混合攪拌装置。
【請求項７】
前記可撓性チューブの下端部に、前記導水管内を流れる水が衝突する拡径部を連設したことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、又は、６記載の気液混合攪拌装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体製造装置や液晶製造装置等から排出される有毒ガスを除害、回収するための、除害装置に関するものであるが、更に述べると、導水管内に吸気管を挿着し、該吸気管の下端から排出される有毒ガスと前記導水管内の水とを混合させる、気液混合攪拌装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造ラインや液晶製造ラインから排出されるガスには、SiO2やWO3等の微細な粉体と同時に有害なガスが含まれているので、そのまま大気中に放出することができない。そのため、従来、除害装置を用いて有毒ガスの除害を行っているが、この除害装置として、次の様なものがある。（例えば、特許文献１、参照）。
【０００３】
吸気管から導入される有毒ガスを水に混入せしめて除害する装置であって，前記吸気管内を乾燥させるための気体を流入させる乾燥用管と、該気体の流入を制御する弁とを有する有毒ガスの除害装置において；前記吸気管内を洗浄させるための液体を流入させる洗浄用管と、該液体の流入を制御する弁とを有し、吸気圧力上昇時には、有毒ガスの流入を制限して前記液体を前記吸気管内に流入せしめて管内洗浄し、その後、管内乾燥手段により前記吸気管内を乾燥させて管内乾燥した後、有毒ガスを再度導入するようにした除害装置。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平２００５−２９６９１８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来例では、適宜吸気管の内周面全体を洗浄乾燥させることにより該吸気管の詰まりを防止しているが、乾燥用管や洗浄用管等の設備が必要となるとともに、洗浄及び乾燥作業に時間がかかる。
【０００６】
この発明は、上記事情に鑑み、簡単に、吸気管の詰まりを防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本件発明者は、ＷＦ６（六フッ化タングステン）やＳｉＦ４（四フッ化ケイ素）などの有害ガスは、水と反応して粉体となるため、前記水と前記ガスとが混合攪拌される場所に位置する、前記吸気管の下端部近傍には、前記粉体が付着しやすいことに注目するとともに、前記課題を解決するためには、前記吸気管の下端部を振動させればよいのではないか、と考えた。
【０００８】
そこで、どのようにすれば、前記吸気管の下端部を振動させることができるか、について検討した。除害装置は、運転中にポンプ等の駆動により振動し、僅かに吸気管が振動しているので、この吸気管内に前記吸気管より小径の可撓性チューブを挿入し、その先端部を前記吸気管に固定した。
【０００９】
そうすると、前記除害装置の振動により前記チューブが振動して該吸気管の内周面に衝突し、繰り返し該吸気管の下端部に衝撃を与えて振動させるので、前記チューブ及び吸気管に粉体が付着できないことがわかった。この発明は、前記知見に基づいてなされたものである。
【００１０】
この発明は、導水管内に吸気管を挿着し、該吸気管の下端から排出される有毒ガスと前記導水管内の水とを混合させる気液混合攪拌装置において、前記吸気管内に可撓性チューブを挿着して該可撓性チューブの下端部を前記吸気管の下端部に対向させるとともに、少なくとも前記吸気管の下端部側と前記可撓性チューブの下端部側とを離間させて振動間隙を形成したことを特徴とする。
【００１１】
この発明の前記可撓性チューブの下端は、前記吸気管の下端と面一であることを特徴とする。この発明の前記可撓性チューブの下端は、前記吸気管の下端より突出していることを特徴とする。この発明の前記可撓性チューブの長さは、前記吸気管の垂直方向の長さと同一、又は、それより長いことを特徴とする。
【００１２】
この発明の前記可撓性チューブは、前記吸気管の垂直方向の長さより短く、かつ、前記吸気管の下端部側にのみ設けられていることを特徴とする。この発明の前記振動間隙は、前記吸気管の垂直方向全長にわたって設けられていることを特徴とする。この発明の前記可撓性チューブの下端部に、前記導水管内を流れる水が衝突する拡径部を連設したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
この発明は、前記吸気管内に可撓性チューブを挿着して該可撓性チューブの下端部を前記吸気管の下端部に対向させるとともに、少なくとも前記吸気管の下端部側と前記可撓性チューブの下端部側とを離間させて振動間隙を形成したので、気液混合攪拌装置が振動すると、前記可撓性チューブが振動してその下端部が吸気管の内周面に衝突する。そのため、前記該チューブの下端部に付着する粉体は、剥離される。従って、簡単に、吸気管の詰まりを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態を示す縦断面図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】本発明の第２実施形態を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の第１実施の形態を図１、図２に基づいて説明する。
有毒ガスの除害装置の液体槽１には、処理液、例えば、水Ｗが貯溜されている。この液体槽１には、該液体槽１内の液Ｗを循環させるための循環路５が配置されている。この循環路５には、導水管２と吸気管１３を備えた気液混合攪拌装置４が設けられている。
【００１６】
前記導水管２は、Ｌ字状に形成され、その上端は前記循環路５に連結され、その下端２ａには、前記導水管２より小径の混合気液管１４が連結されている。前記液体槽１の上部には、除害されたガス（処理済ガス）を排気するための排気口１ａが突設されている。
【００１７】
前記導水管２内には、吸気管１３が挿着されているが、この吸気管１３は、例えば、直径（内径）２０mmのエンビ管である。該吸気管１３は、前記導水管２の曲がり部を突き抜けて突出しており、その上端部１３ａには、有害ガスＧの供給ラインの接続手段と、可撓性チューブ１８の上端部１８ａを固定する保持手段が設けられている。
【００１８】
前記可撓性チューブ１８は、例えば、直径（外径）１６ｍｍのテフロン（登録商標）製パイプであり、前記吸気管１３の垂直方向の長さより僅かに長く形成されている。前記吸気管１３の内周面１３ｂと前記可撓性チューブ１８の外周面１８ａとの間には、振動間隙Ａが形成されている。この振動間隙Ａは、例えば、２ｍｍであるが、その値は必要に応じて適宜選択される。
【００１９】
前記チューブ１８の下端部１８ｃは、前記吸気管１３の下端部１３ｃと対向しているが、前記チューブ１８の下端は、前記吸気管１３の下端より僅かに突出している。このチューブ１８の下端の突出量は、前記衝撃間隙Ａと同等であるが、必要に応じて適宜選択される。
【００２０】
導水管２の下端２ａ側の内周面には、吸気管１３の直径より大きな直径を有する狭路リング１９が嵌着され、該狭路リング１９には、前記吸気管１３の下端部１３ｃを保持する楕円板２０が設けられている。
【００２１】
次に、本実施形態の作動について説明する。図示しないポンプにより液体層１内の液Ｗが循環路５に送られると、前記液Ｗは前記導水管２内に流れこむとともに、楕円板２０の作用により螺旋流となる。前記可撓性チューブ１８内を流下する有害ガスＧは前記液Ｗと混合攪拌され、微細気泡状なる。この混合気液ＷＧは混合気液管１４を介して液体槽１内に戻されて、除害される。その後、除害されたガス（処理済みガス）は、排気口１ａを介して生産ライン等に送り込まれる。
【００２２】
除害装置を連続運転していると、有害ガスＧと水Ｗとの反応により発生した粉体が、前記気液混合攪拌装置４のチューブ１８の下端部１８ｃに付着し堆積しようとする。
【００２３】
しかし、前記除害装置の運転中には、ポンプ等の駆動に伴い振動が発生し、前記吸気管１３及可撓性チューブ１８が振動する。このとき、可撓性チューブ１８は、吸気管１３より柔らかくて変位しやすいため、吸気管１３に比べて大きく揺れるので、前記可撓性チューブ１８の下端部１８ｃは、振動間隙Ａ内を径方向に変位し、吸気管１３の下端部１３ｃへの衝突を繰り返す。そのため、前記チューブ中央部１８の下端部１８ｃに付着した粉体は、剥がれ落ちるので、該チューブ１８及び吸気管１３が粉体により詰まることはない。
【００２４】
本発明の第２実施の形態を図３に基づいて説明するが、図１、図２と同一図面符号はその名称も機能も同一である。この実施形態と前記第１実施形態との相違点は、可撓性チューブ１８の下端部１８ｃに、前記導水管２内を流れる水が衝突する拡径部１８ｄを連設したことである。この拡径部１８ｄは、略円錐台状に形成され、その上端の外径は前記可撓性チューブ１８の下端の外径と等しく、前記拡径部１８ｄの下端の外径は、前記吸気管１３の外径とほぼ等しく形成されている。この拡径部１８ｄの形状、大きさ等は必要に応じて適宜変更される。
【００２５】
この実施形態では、前記導水管２内を流れる水Ｗは前記可撓性チューブ１８の拡径部１８ｄに衝突するので、該チューブ１８の下端部１８ｃに衝撃力を与える。そのため、前記可撓性チューブ１８の下端部１８ｃは、前記気液混合攪拌装置４の振動のほかに、前記衝撃力も受けるので、前記可撓性チューブ１８の下端部１８ｃには、激しい振動が発生する。よって、該チューブ１８の下端部１８ｃは、第１実施形態における振動よりも強い振動を受けることになるので、粉体の付着防止効果をより一層向上させることができる。
【００２６】
この発明の実施形態は、上記に限定されるものはなく、例えば、次のようにしても良い。
イ：前記可撓性チューブ１８の下端を前記吸気管１３の下端から突出させる代わりに、両下端を面一（突出量ゼロ）に位置するようしても良い
ロ：前記可撓性チューブ１８の長さは、前記吸気管１３の垂直方向の長さより長く形成する代わりに、同一に形成しても良い。
【００２７】
ハ：前記可撓性チューブ１８は、前記吸気管１３の垂直方向の長さより短く、かつ、前記吸気管１３の下端部側にのみ、例えば、吸気管１３の垂直方向の長さの下半分の長さ、に形成し、その上端部を吸気管１３の内周面に固定しても良い。
【００２８】
二：前記振動間隙Ａは、前記吸気管１３の垂直方向の全長にわたって設ける代わりに、その下端部側のみ、例えば、吸気管１３の垂直方向の長さの下半分の長さに設け、それ以外の部分は、吸気管１３の内周面１３ｂと前記チューブ１８の外周面１８ａとを密着させて前記振動間隙Ａを省略しても良い。
【符号の説明】
【００２９】
１      液体槽
２      導水管    
４      気液混合攪拌装置
１３    吸気管
１８    可撓性チューブ
Ｗ      液
Ｇ      有害ガス
【図１】
2011125816.tif 000003
【図２】
2011125816.tif 000004
【図３】
2011125816.tif 000005