(57)【要約】【課題】高速化を図ることができるダイボンダを提供する。【解決手段】チップ４ピックアップ後において、突き上げピン３１の下降を開始すると同時に（Ｓ３）、突き上げユニット２２の移動と（ＳＣ１）、ウエハホルダ１１の移動と（ＳＤ１）、吸着式移動ステージ５１の移動と（ＳＦ１）を同期して開始する。突き上げピン３１の下降が完了したら（Ｓ４）、ウエハシート３の吸着を開放し（Ｓ５）、ウエハシート開放遅延時間待機する（Ｓ６）。次チップ４のピックアップポイント１３への移動を完了したら、ウエハテーブル静止遅延時間待機した後（ＳＤ２）、ピックアップポイント１３上のチップ４画像を取得して（ＳＤ３）、チップ４の位置補正を行って（ＳＣ３，ＳＤ４，ＳＦ２）、ピックアップに備える。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハホルダに保持されたウエハシート上のチップをピックアップポイントへ移動し、該ピックアップポイントに移動された前記チップを、前記ウエハシートの裏側に設けられた突き上げユニットの突き上げピンで突き上げるとともに、ボンドヘッドでピックアップして移送するダイボンダにおいて、
前記ボンドヘッドによる前記チップのピックアップ後に、前記ウエハホルダで前記ウエハシートを移動して次チップを前記ピックアップポイントへ移動する際に前記突き上げユニットを前記ウエハシートと共に移動した後、当該突き上げユニットを前記ピックアップポイントに移動することを特徴とするダイボンダ。
【請求項２】
突き上げた前記突き上げピンを下降する際に前記ウエハシートと共に前記突き上げユニットを移動することを特徴とした請求項１記載のダイボンダ。
【請求項３】
前記ウエハホルダで前記ウエハシートを移動する際に前記突き上げユニットに対応する前記ウエハシートの対応部位の外周部を保持し前記ウエハシートと共に移動するステージを備えたことを特徴とする請求項１又は２記載のダイボンダ。
【請求項４】
前記ピックアップポイントに移動された前記チップの位置と前記ボンドヘッドの位置との誤差情報を用いて前記ウエハホルダ及び前記突き上げユニットを移動して当該チップの位置を補正する位置補正制御を行うことを特徴とした請求項１、２又は３記載のダイボンダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップをボンディングするダイボンダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図１１に示すように、チップをワークにボンディングする際には、ダイボンダ８０１が用いられている。
【０００３】
このダイボンダ８０１は、チップが貼着されたウエハリングがセットされるウエハホルダ８１１を備えており、該ウエハホルダ８１１は、ウエハホルダ駆動機構８１２によってＸＹ方向に駆動されるように構成されている。
【０００４】
前記ウエハホルダ８１１内には、突き上げユニット８２１が配設されており、該突き上げユニット８２１を構成する突き上げヘッド８２２内には、突き上げピン８２３が設けられている。該突き上げピン８２３は、ボンドヘッド８２４によるピックアップ位置に配置されており、当該突き上げピン８２３は、昇降機構８２５によって昇降されるように構成されている。
【０００５】
図１２は、このダイボンダ８０１の動作を示すフローチャートであり、当該ダイボンダ８０１の動作を図１３に示した図を用いて説明する。
【０００６】
すなわち、原点位置に設置された前記突き上げユニット８２１において、前記昇降機構８２５によって前記突き上げピン８２３による突き上げを開始し（ＳＢ１）、突き上げ上死点到達待ちを行うことによって（ＳＢ２）、前記ウエハリングのウエハシート８３１に貼着された対象チップ８３２を前記突き上げピン８２３で上昇して前記ウエハシート８３１から剥離する。
【０００７】
この状態で、前記ウエハシート８３１から剥離されたチップ８３２を前記ボンドヘッド８２４で吸着してピックアップした後、前記突き上げピン８２３の下降を開始して（ＳＢ３）、該突き上げピン８２３の下降完了待ちを行う（ＳＢ４）。
【０００８】
前記突き上げピン８２３の下降を完了したした際には、前記突き上げユニット８２１による前記ウエハシート８３１の吸着を開放し（ＳＢ５）、ウエハシート開放遅延時間待機する（ＳＢ６）。
【０００９】
そして、前記ウエハホルダ８１１を移動して次にピックアップする次チップ８３２をピックアップポイント８４１へ移動するとともに（ＳＢ７）、ウエハテーブル静止遅延時間待機した後（ＳＢ８）、前記ピックアップポイント８４１に移動されたチップ８３２の画像をカメラで撮像し（ＳＢ９）、前記ボンドヘッド８２４をチップ位置に合わせてＸＹ方向へ移動することによって位置補正を行う。
【００１０】
このとき、前記ウエハホルダ８１１は、前記突き上げユニット８２１と比較して、かなり大型のため、前記ウエハテーブル静止遅延時間として十分な待ち時間をおいてから、前記カメラによるチップ８３２の撮像を行う必要がある。そして、このチップ位置の微調整を行うことによって、前記ボンドヘッド８２４によるピックアップ準備を完了する。
【００１１】
このように、前記ウエハシート８３１に貼着された前記チップ８３２の前記突き上げピン８２３による突き上げと、突き上げられたチップ８３２の前記ボンドヘッド８２４によるピックアップと、ピックアップされたチップ８３２のボンディングポイントへの移送とを繰り返すことによって、前記チップ８３２をワークに順次ボンディングできるように構成されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、このような従来のダイボンダ８０１にあっては、生産性の向上に伴って高速化が求められており、ボンドヘッド８２４によるピックアップの高速化が進められている。
【００１３】
このため、ボンドヘッド８２４でチップ８３２をピックアップした後、次チップ８３２をピックアップするまでのサイクルタイムは短くなっているが、ウエハホルダ８１１を作動して次チップ８３２をピックアップポイント８４１へ移動してから、チップ位置が安定するまで待機した後、当該チップ位置を微調整して、ピックアップが行えるようになるまでの準備時間が長く、高速化されたボンドヘッド８２４の動作に追いつかないという問題が生じている。
【００１４】
これにより、このピックアップ準備工程がボトルネックとなり、高速化の阻害要因となっていた。
【００１５】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、高速化を図ることができるダイボンダを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記課題を解決するために本発明の請求項１のダイボンダにあっては、ウエハホルダに保持されたウエハシート上のチップをピックアップポイントへ移動し、該ピックアップポイントに移動された前記チップを、前記ウエハシートの裏側に設けられた突き上げユニットの突き上げピンで突き上げるとともに、ボンドヘッドでピックアップして移送するダイボンダにおいて、前記ボンドヘッドによる前記チップのピックアップ後に、前記ウエハホルダで前記ウエハシートを移動して次チップを前記ピックアップポイントへ移動する際に前記突き上げユニットを前記ウエハシートと共に移動した後、当該突き上げユニットを前記ピックアップポイントに移動する。
【００１７】
すなわち、突き上げピンによって突き上げられたチップをボンドヘッドでピックアップした後には、ウエハホルダによるウエハシートの移動が開始され、次チップがピックアップポイントへ移動される。この際、突き上げユニットは、前記ウエハシートと共に移動された後、前記ピックアップポイントに戻される。
【００１８】
このように、ウエハシートに刺された突き上げピンを有する前記突き上げユニットを前記ウエハシートと共に移動することによって、ピックアップ完了後において、前記ウエハシート上の次チップは、すぐに前記ピックアップポイントへ移動され、前記突き上げユニットを前記ピックアップポイントへ戻す間に、大型の前記ウエハホルダによって移動されたウエハシート上のチップ位置が安定するまでの待機時間が確保される。
【００１９】
また、請求項２のダイボンダにおいては、突き上げた前記突き上げピンを下降する際に前記ウエハシートと共に前記突き上げユニットを移動する。
【００２０】
すなわち、前記ボンドヘッドによるピックアップ後において、突き上げた突き上げピンを下降する際に、前記突き上げユニットを前記ウエハシートと共に移動することができる。これにより、前記ウエハシートと共に前記突き上げユニットを移動する間に、前記突き上げピンが下降される。
【００２１】
このため、突き上げユニットを移動してから前記突き上げピンを下降する場合と比較して、突き上げピンの下降時間を別途設けること無く、前記突き上げユニットの移動と共に前記突き上げピンの下降が同時に行われる。
【００２２】
さらに、請求項３のダイボンダでは、前記ウエハホルダで前記ウエハシートを移動する際に前記突き上げユニットに対応する前記ウエハシートの対応部位の外周部を保持し前記ウエハシートと共に移動するステージを備えている。
【００２３】
すなわち、前記ウエハシートは、突き上げユニットに対応した対応部位の外周部がステージにより保持された状態で移動される。
【００２４】
このため、ウエハホルダ移動時の振動や、突き上げユニット引き摺り時の摩擦がウエハシートに生じた場合であっても、前記ステージで包囲された前記対応部位での不用意な変形が防止される。
【００２５】
加えて、請求項４のダイボンダにあっては、前記ピックアップポイントに移動された前記チップの位置と前記ボンドヘッドの位置との誤差情報を用いて前記ウエハホルダ及び前記突き上げユニットを移動して当該チップの位置を補正する位置補正制御を行う。
【００２６】
すなわち、ピックアップポイントに移動されたチップとボンドヘッドとに位置ズレが生じた際には、その誤差情報を用いて前記ウエハホルダ及び前記突き上げユニットが移動され、その位置ズレが補正される。
【００２７】
このため、ピックアップポイントとボンディングポイント間で駆動されるボンドヘッド側に当該ボンドヘッドの位置調整を行う補正機構を設ける場合と比較して、ボンドヘッド側の機構の簡素化が図られる。
【発明の効果】
【００２８】
以上説明したように本発明の請求項１のダイボンダにあっては、ウエハシートに刺された突き上げピンを有する突き上げユニットをウエハシートと共に移動することによって、ピックアップ完了後において、前記ウエハシート上の次チップを、すぐにピックアップポイントへ移動することができる。
【００２９】
このため、高速化されたボンドヘッドがピックアップポイントにセットされる前に、次チップの前記ピックアップポイントへの移動を完了することができる。
【００３０】
そして、前記突き上げユニットを前記ピックアップポイントへ戻す間において、大型のウエハホルダによって移動された前記ウエハシート上のチップ位置が安定するまでの待機時間を確保することができる。
【００３１】
このため、前記突き上げユニットを前記ピックアップポイントへ戻す時間を前記待機時間として有効に利用することができる。
【００３２】
したがって、ボトルネックであったピックアップの準備時間を短縮することができ、高速化を図ることができる。
【００３３】
また、請求項２のダイボンダにおいては、前記ボンドヘッドによるピックアップ後において、突き上げた突き上げピンを下降する際に前記突き上げユニットを前記ウエハシートと共に移動できるので、前記ウエハシートと共に前記突き上げユニットを移動する間に前記突き上げピンを下降することができる。
【００３４】
このため、突き上げピンが完全に降下してからウエハの移動を行う場合と比較して、突き上げピンの下降時間を別途設けること無く、前記突き上げピンの下降を前記突き上げユニットの移動と同時に行うことができ、さらなる時短化を図ることができる。
【００３５】
さらに、請求項３のダイボンダでは、突き上げユニットに対応した対応部位の外周部をステージにより保持した状態で当該ウエハシートを移動することができるので、ウエハホルダ移動時の振動や、突き上げユニット引き摺り時の摩擦がウエハシートに生じた場合であっても、前記ステージで包囲された前記対応部位での不用意な変形を防止することができる。
【００３６】
これにより、前記対応部位内のチップ位置の安定化を図ることができるため、チップ位置が安定するまで待機する等の無駄な時間を削減することができ、高速化を促進することができる。
【００３７】
また、前記対応部位でのチップの位置ズレを防止することができるので、小型化傾向にあるチップの位置決め精度を高めることができ、位置ズレの補正に要する補正時間の短縮化やピックアップミス等を未然に防止することができる。
【００３８】
加えて、請求項４のダイボンダにあっては、ピックアップポイントに移動されたチップとボンドヘッドとに位置ズレが生じた際には、その誤差情報を用いて前記ウエハホルダ及び前記突き上げユニットを移動することで、その位置ズレを補正することができる。
【００３９】
このため、ピックアップポイントとボンディングポイント間で駆動されるボンドヘッド側に当該ボンドヘッドの位置調整を行う補正機構を設ける場合と比較して、ボンドヘッド側の機構を簡素化することができ、ボンドヘッド側の小型化及び軽量化を図り、かつ高速動作を可能とすることができる。
【００４０】
また、前記チップの位置ズレを補正することによって、小型化傾向にあるチップに対するピックアップ精度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施の形態を示す図である。
【図２】図１の要部の拡大図である。
【図３】図１の要部を示す説明図である。
【図４】同実施の形態の要部の動作を示す説明図である。
【図５】同実施の形態の他の要部の動作を示す説明図である。
【図６】同実施の形態の動作を示すフローチャートである。
【図７】同実施の形態の動作を示すタイミングチャートである。
【図８】同実施の形態のピックアップ動作を示す説明図である。
【図９】従来動作内の短縮部分を示す説明図である。
【図１０】同実施の形態の動作と従来との動作の違いを示すタイミングチャートである。
【図１１】従来のダイボンダを示す模式図である。
【図１２】同従来例の動作を示すフローチャートである。
【図１３】同従来例の動作を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。
【００４３】
図１及び図２は、本実施の形態にかかるダイボンダ１を示す図であり、該ダイボンダ１は、図３にも示すように、ウエハリング２に張設されたウエハシート３上のチップ４，・・・をワークにボンディングする装置である。
【００４４】
このダイボンダ１は、図１から図３に示したように、前記ウエハリング２が交換可能にセットされるウエハホルダ１１を備えており、該ウエハホルダ１１は、図１に示したように、ホルダ駆動機構１２によってＸＹ方向に駆動されるように構成されている。
【００４５】
これにより、このホルダ駆動機構１２で前記ウエハホルダ１１をＸＹ方向へ移動することによって、当該ウエハホルダ１１に保持された前記ウエハシート３上のピックアップ対象となるチップ４を予め定められたピックアップポイント１３へ移動できるように構成されている。
【００４６】
前記ウエハホルダ１１の中央穴２１には、突き上げユニット２２が配設されており、該突き上げユニット２２の外側部は、図２に示したように、突き上げヘッド２３で構成されている。該突き上げヘッド２３は、円筒状に形成されており、その天面には、前記ウエハシート３に摺接されるステージ面２４が形成されている。該ステージ面２４には、図外のバキューム穴が複数設けられており、該バキューム穴に供給された負圧によって前記ウエハシート３を前記ステージ面２４に吸着できるように構成されている。
【００４７】
この突き上げヘッド２３内には、突き上げピン３１が設けられており、該突き上げピン３１は、図外の昇降機構３２によって昇降されるように構成されている。これにより、この昇降機構によって前記突き上げピン３１を下降した際には、該突き上げピン３１の先端をステージ面２４より下側へ後退できるように構成されており、上昇時には、前記突き上げピン３１の先端部を前記ステージ面２４より突出させ、該ステージ面２４に吸着された前記ウエハシート３上のチップ４を突き上げることによって、当該チップ４を前記ウエハシート３から剥離できるように構成されている。
【００４８】
前記突き上げユニット２２は、前記昇降機構を内蔵したユニット駆動機構４１に支持されており、該ユニット駆動機構４１によって前記突き上げユニット２２をＸＹ方向へ移動できるように構成されている。
【００４９】
これにより、前記ユニット駆動機構４１で前記突き上げユニット２２を前記ウエハホルダ２に同期してＸＹ方向へ移動することにより、前記突き上げユニット２２の突き上げヘッド２３を前記ウエハホルダ２に支持された前記ウエハシート３と共にＸＹ方向へ移動できるように構成されている。
【００５０】
また、前記ピックアップポイント１３に送られたチップ４の位置を図外のカメラで取得してチップ位置を検出して画像処理することで、前記ピックアップポイント１３に移動された前記チップ４の位置と前記ボンドヘッド８１の位置との座標軸等で示される誤差情報を演算した後、この誤差情報を用いて、図４に示すように、前記ホルダ駆動機構１２で前記ウエハホルダ１１を移動するとともに、前記ユニット駆動機構４１で前記突き上げユニット２２を移動することにより、当該チップ４の位置が前記ボンドヘッド８１の位置と一致するように補正できるように構成されている。
【００５１】
前記突き上げユニット２２の上端部近傍には、図２に示したように、円形リング状の吸着式移動ステージ５１が前記突き上げユニット２２を包囲するように設けられており、該突き上げユニット２２と前記吸着式移動ステージ５１との間には、図３にも示したように、当該吸着式移動ステージ５１内を前記突き上げユニット２２が移動可能な移動領域５２が確保されている。
【００５２】
この吸着式移動ステージ５１は、天面が吸着面６１を構成しており、例えば当該吸着式移動ステージ５１に加えられた負圧を前記吸着面６１に供給することによって、当該吸着式移動ステージ５１上の前記ウエハシート３を前記吸着面６１に吸着して保持できるように構成されている。
【００５３】
この吸着式移動ステージ５１は、図２に示したように、ステージ駆動機構７１に支持されており、該ステージ駆動機構７１によって前記吸着式移動ステージ５１をＸＹＺ方向へ移動できるように構成されている。
【００５４】
これにより、ボンドヘッド８１によるピックアップポイント１３に次にピックアップするチップ４を移動する際には、図５に示したように、前記ステージ駆動機構７１によって前記吸着式移動ステージ５１を上昇するとともに前記吸着面６１に負圧を供給して前記ウエハシート３を前記吸着面６１に吸着して保持する保持段階１０１と、前記ホルダ駆動機構１２で前記ウエハホルダ１１を移動して該ウエハホルダ１１に保持されたウエハシート３上の次チップ４を前記ピックアップポイント１３へ移動すると同時に前記ウエハシート３を保持した前記吸着式移動ステージ５１を前記ステージ駆動機構７１によって移動する移動段階１０２と、前記吸着面６１への負圧の供給を遮断して該吸着面６１に吸着した前記ウエハシート３の保持状態を解放するとともに前記ステージ駆動機構７１で前記吸着式移動ステージ５１を下降するシート開放段階１０３と、前記ステージ駆動機構７１で前記吸着式移動ステージ５１を元位置に戻す復帰段階１０４とを順次行えるように構成されている。
【００５５】
また、前記ダイボンダ１は、図１に示したように、前記ウエハシート３からピックアップしたチップ４を移送してワークにボンディングする為のボンドヘッドユニット１１１を備えており、該ボンドヘッドユニット１１１には、前記ボンドヘッド８１，・・・が複数設けられている。
【００５６】
このボンドヘッドユニット１１１は、ピックアップ時にいずれかのボンドヘッド８１を前記ピックアップポイント１３へ移動できるように構成されており、当該ボンドヘッドユニット１１１は、各ボンドヘッド８１，・・・を順次前記ピックアップポイント１３にセットできるうように構成されている。前記各ボンドヘッド８１の先端には、バキューム穴が設けられており、該バキューム穴に供給される負圧によって、前記突き上げピン３１で突き上げられた前記チップ４を吸着してピックアップできるように構成されている。
【００５７】
これにより、当該ダイボンダ１は、前記ピックアップポイント１３に配置されたチップ４をいずれかのボンドヘッド８１でピックアップしてワークで移送できるように構成されており、各ボンドヘッド８１，・・・でピックアップしたチップ４を前記ワークにボンディングできるように構成されている。
【００５８】
そして、前記ボンドヘッドユニット１１１を駆動する駆動機構と、前記ホルダ駆動機構１２と、前記ユニット駆動機構４１と、前記昇降機構と、前記カメラとは、図外の制御装置に接続されており、該制御装置からの制御信号に従って動作するように構成されている。この制御装置は、例えばパソコンで構成されており、ハードディスク等の記憶装置に記憶されたプログラムに従って動作することにより、一連のボンディング動作を行えるように構成されている。
【００５９】
以上の構成にかかる本実施の形態の動作を、図６に示すフローチャートに従うとともに、図７のタイミングチャート及び図８の説明図を用いて説明する。
【００６０】
すなわち、前記制御装置が前記プログラムに従って動作を開始すると、突き上げユニットの突き上げユニット２２をピックアップポイント１３である原点位置に配置した状態で、昇降機構を作動して前記突き上げヘッド２３内の突き上げピン３１の上昇を開始し（Ｓ１）、突き上げ上死点到達待ちを行うことで（Ｓ２）、前記突き上げヘッド２３のステージ面２４にウエハシート３を吸着した状態で前記突き上げピン３１を突出させ、該突き上げピン３１で前記ウエハシート３上のチップ４を突き上げるとともに、当該チップ４を前記ウエハシート３から剥離する（図８参照）。
【００６１】
この突き上げ状態において、突き上げられた前記チップ４をボンドヘッド８１で吸着してピックアップし、ワークのボンディングポイントへ移送してボンディングを行う。
【００６２】
そして、前記昇降機構による前記突き上げピン３１の下降を開始すると同時に（Ｓ３）、前記ユニット駆動機構４１による前記突き上げユニット２２の移動と（ＳＣ１）、前記ホルダ駆動機構１２による前記ウエハホルダ１１の同方向への移動と（ＳＤ１）、前記ステージ駆動機構７１による前記吸着式移動ステージ５１の同方向への移動と（ＳＦ１）を同期して開始する。
【００６３】
これにより、前記ウエハシート３上に貼着された次にピックアップする次チップ４をピックアップポイント１３へ移動するとともに、前記ウエハシート３に前記突き上げピン３１が刺さった状態の前記突き上げユニット２２を、前記ウエハシート３と共に移動する。このとき、前記突き上げヘッド２３のステージ面２４が接した前記ウエハシート３の対応部位は、その外周部が前記吸着式移動ステージ５１で吸着され保持されており、この保持状態で前記ウエハシートと共に移動される。
【００６４】
この移動中において、前記突き上げピン３１の下降が完了した際には（Ｓ４）、前記突き上げヘッド２３への負圧の供給を遮断することで、前記ステージ面２４への前記ウエハシート３の吸着を解放するとともに（Ｓ５）、解放後において、予め定められたウエハシート開放遅延時間待機する（Ｓ６）。
【００６５】
このとき、前記突き上げユニット２２では、前記突き上げピン３１の下降完了後において、前記ユニット駆動機構４１で前記突き上げユニット２２を駆動することにより、前記突き上げピン３１が前記ピックアップポイント１３上に位置するように当該突き上げユニット２２を戻して（ＳＣ２）、次チップ４のピックアップに備える。
【００６６】
そして、前記ウエハホルダ１１において、次チップ４のピックアップポイント１３への移動を完了した際には、予め定められたウエハホルダ静止遅延時間待機した後（ＳＤ２）、ウエハホルダ１１が安定してチップ位置が定まった時点で、前記ピックアップポイント１３上に設置された前記カメラによって、前記ピックアップポイント１３に配置されたチップ４の画像を取得するとともに、取得画像を解析してチップ位置を確認することで、前記ピックアップポイント１３に移動された前記チップ４の位置と前記ボンドヘッド８１の位置との座標軸上での誤差情報を演算する（ＳＤ３）。
【００６７】
次に、この誤差情報を用いて、前記ユニット駆動機構４１による前記突き上げユニット２２の補正移動と（ＳＣ３）、前記ホルダ駆動機構１２による前記ウエハホルダ１１の補正移動と（ＳＤ４）、前記ステージ駆動機構７１による前記吸着式移動ステージ５１の補正移動と（ＳＦ２）を同期して行うことによって、前記ウエハシート３上の前記次チップ４の位置と前記ボンドヘット８１の位置とを一致させた後、前記突き上げユニット２２においては、前記突き上げヘッド２３に負圧を供給して当該突き上げヘッド２３のステージ面２４に前記ウエハシート３を吸着固定する（Ｓ７）。
【００６８】
また、前記吸着式移動ステージ５１にあっては、当該吸着式移動ステージ５１への負圧の供給を遮断して前記吸着面６１による前記ウエハシート３の吸着状態を解放し（ＳＦ３）、予め定められたウエハシート吸着開放遅延時間待機した後（ＳＦ４）、前記ステージ駆動機構７１により当該吸着式移動ステージ５１を下降するとともに（ＳＦ５）、当該吸着式移動ステージ５１を前記突き上げユニット２２位置に合わせて後退する（ＳＦ６）。
【００６９】
この後退位置において、前記ステージ駆動機構７１により前記吸着式移動ステージ５１を上昇するとともに（ＳＦ７）、該吸着式移動ステージ５１に負圧を供給することで前記吸着面６１に前記次チップ４が貼着された前記ウエハシート３の部位を吸着固定して（ＳＦ８）、当該チップ４の突き上げ及びピックアップに備える。
【００７０】
そして、前記ステップＳ１〜Ｓ７と、前記突き上げユニット２２の前記ステップＳＣ１〜ＳＤ４と、前記ウエハホルダ１１の前記ステップＳＤ１〜ＳＣ３と、前記吸着式移動ステージ５１の前記ステップＳＦ１〜ＳＦ８とを繰り返すことによって、前記ウエハシート３に貼着されたチップ４を前記ワークに順次ボンディングする。
【００７１】
このように、前記突き上げピン３１によって突き上げられたチップ４をボンドヘッド８１でピックアップした後には、前記ウエハホルダ１１によるウエハシート３の移動が開始され、次にピックアップされる次チップ４がピックアップポイント１３へ移動される（図９参照）。
【００７２】
このとき、前記突き上げユニット２２は、前記ウエハホルダ１１で移動される前記ウエハシート３と共に前記ユニット駆動機構４１で移動された後、前記ピックアップポイント１３に戻される（図７参照）。
【００７３】
このように、前記ウエハシート３に刺された前記突き上げピン３１を有する前記突き上げユニット２２を前記ウエハシート３と共に移動することによって、ピックアップ完了後において、前記ウエハシート３上の次チップ４を、すぐに前記ピックアップポイント１３へ移動することができる。
【００７４】
このため、図１０に示すように、突き上げピン３１が下降してからウエハホルダ１１の移動を開始していた従来と比較して、チップ４ピックアップ直後にウエハホルダ１１を移動することができるため、高速化された次のボンドヘッド８１がピックアップポイント１３へ移動される前に、前記次チップ４の前記ピックアップポイント１３への移動を完了することができる。
【００７５】
そして、前記突き上げユニット２２を前記ピックアップポイント１３へ戻す間において、大型のウエハホルダ１１によって移動された前記ウエハシート３上のチップ４の位置が安定するまでの待機時間を確保することができる。
【００７６】
このため、前記突き上げユニット２２を前記ピックアップポイント１３へ戻す時間を前記待機時間として有効に利用することができる。
【００７７】
したがって、ボトルネックであったピックアップの準備時間を短縮することができ、高速化を図ることができる。
【００７８】
また、本実施の形態にあっては、前記ボンドヘッド８１によるピックアップ後において、突き上げられた前記突き上げピン３１を下降する際に、前記突き上げユニット２２を前記ウエハシート３と共に移動することができる。これにより、このウエハシート３と共に前記突き上げユニット２２を移動する間に、前記突き上げピン３１を下降することができる。
【００７９】
このため、突き上げユニット２２移動後に前記突き上げピン３１を下降する場合と比較して、突き上げピン３１の下降時間を別途設けること無く、当該突き上げピン３１の下降を前記突き上げユニット２２の移動と同時に行うことができ、さらなる時短化を図ることができる。
【００８０】
一方、前記ウエハシート３は、前記突き上げユニット２２に対応した対応部位の外周部の直近部位が吸着式移動ステージ５１の吸引面６１によって保持された状態で移動される。
【００８１】
このため、前記ウエハホルダ１１を移動する際の加速度による振動や、前記突き上げヘッド２３のステージ面２４引き摺り時の摩擦が前記ウエハシート３に生じた場合であっても、前記吸着式移動ステージ５１で包囲された前記対応部位での不用意な変形や変位を防止することができる。
【００８２】
これにより、前記対応部位内でのチップ４の位置ズレを防止することができるため、チップ位置が安定するまで待機する等の無駄な時間を削減することができ、高速化を促進することができる。
【００８３】
また、前記対応部位でのチップ４の位置ズレを防止できるので、小型化傾向にあるチップ４の位置決め精度を高めることができ、位置ズレの補正に要する補正時間の短縮化やピックアップミス等を未然に防止することができる。
【００８４】
そして、本実施の形態では、前記ピックアップポイント１３に移動されたチップ４と前記ボンドヘッド８１とに位置ズレが生じた際には、その誤差情報を用いて前記ウエハホルダ１１及び前記突き上げユニット２２を移動することにより、その位置ズレを補正することができる。
【００８５】
このため、ピックアップポイントとボンディングポイント間で駆動される前記ボンドヘッド８１側に当該ボンドヘッド８１の位置調整を行う為の補正機構を設ける場合と比較して、ボンドヘッド８１側の機構を簡素化することができ、当該ボンドヘッド８１を備えたボンドヘッドユニット１１１の小型化及び軽量化を図り、かつ高速動作を可能とすることができる。
【００８６】
また、前記チップ４の位置ズレを補正することによって、小型化傾向にあるチップ４に対するピックアップ精度を向上することができる。
【符号の説明】
【００８７】
１    ダイボンダ
２    ウエハリング
３    ウエハシート
４    チップ
１１    ウエハホルダ
１２    ホルダ駆動機構
１３    ピックアップポイント
２２    突き上げユニット
３１    突き上げピン
４１    突き上げユニット駆動機構
５１    吸着式移動ステージ
７１    ステージ駆動機構
８１    ボンドヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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