(57)【要約】【課題】陽極酸化膜の形成された金属基板を採用することにより、電子部品から発生する熱に対する放熱能力を強化させ、２つの電子部品を２段に配置することにより、全体的な構造的安定性を確保することが可能な、電子部品内蔵型プリント基板およびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の電子部品内蔵型プリント基板１００は、全面に陽極酸化膜１２０が形成された金属基板１１０、金属基板１１０に形成されたキャビティ１３０の内部に２段に配置された２つの電子部品１４０、金属基板１１０の両面に積層され、キャビティ１３０の内部に配置された電子部品１４０を埋め込ませる絶縁層１５０と、電子部品１４０の接続端子１４５に接続されるビア１６５を含み、絶縁層１５０の露出面に形成された回路層１６０とを含んでなる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
全面に陽極酸化膜が形成された金属基板と、
前記金属基板に形成されたキャビティの内部に２段に配置された２つの電子部品と、
前記金属基板の両面に積層され、前記キャビティの内部に配置された前記電子部品を埋め込ませる絶縁層と、
前記電子部品の接続端子に接続されるビアを含み、前記絶縁層の露出面に形成された回路層とを含んでなることを特徴とする電子部品内蔵型プリント基板。
【請求項２】
前記キャビティの厚さ方向を分割するように前記キャビティの内部に形成され、両面が前記２つの電子部品をそれぞれ支持する支持板をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の電子部品内蔵型プリント基板。
【請求項３】
前記支持板の両面に塗布され、前記２つの電子部品を固定する接着層をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の電子部品内蔵型プリント基板。
【請求項４】
前記支持板を貫通する少なくとも一つの開口部をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の電子部品内蔵型プリント基板。
【請求項５】
前記支持板が、前記金属基板から延長されて一体に形成されたことを特徴とする請求項２に記載の電子部品内蔵型プリント基板。
【請求項６】
前記金属基板が、２つ備えられて２段に配置され、
前記２つの金属基板を互いに接着させる接着層をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の電子部品内蔵型プリント基板。
【請求項７】
前記絶縁層および前記金属基板を貫通して前記回路層と導通しているスルーホールをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の電子部品内蔵型プリント基板。
【請求項８】
前記金属基板が、アルミニウムで形成され、前記陽極酸化膜が、アルミナで形成されたことを特徴とする請求項１に記載の電子部品内蔵型プリント基板。
【請求項９】
（Ａ）金属基板にキャビティを形成した後、陽極酸化工程によって前記金属基板の全面に陽極酸化膜を形成する段階と、
（Ｂ）前記キャビティの内部に２つの電子部品を２段に配置する段階と、
（Ｃ）前記金属基板の両面に絶縁層を積層することにより、前記キャビティの内部に配置した前記電子部品を埋め込ませる段階と、
（Ｄ）前記絶縁層の露出面に、前記電子部品の接続端子に接続されたビアを含む回路層を形成する段階とを含んでなることを特徴とする電子部品内蔵型プリント基板の製造方法。
【請求項１０】
前記（Ａ）段階で、前記金属基板の両面からエッチング工程によって前記金属基板を除去して前記キャビティを形成するとき、前記金属基板の中心を所定の厚さ残存させて前記キャビティの厚さ方向を分割する支持板を形成することを特徴とする請求項９に記載の電子部品内蔵型プリント基板の製造方法。
【請求項１１】
前記（Ｂ）段階で、前記支持板の両面に接着層を塗布して前記２つの電子部品を固定することを特徴とする請求項１０に記載の電子部品内蔵型プリント基板の製造方法。
【請求項１２】
前記（Ａ）段階で、前記支持板を形成するとき、前記支持板を貫通する少なくとも一つの開口部を形成することを特徴とする請求項１０に記載の電子部品内蔵型プリント基板の製造方法。
【請求項１３】
前記（Ｄ）段階が、前記絶縁層および前記金属基板を貫通して前記回路層と導通するスルーホールを形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の電子部品内蔵型プリント基板の製造方法。
【請求項１４】
前記（Ａ）段階で、前記金属基板が、アルミニウムで形成され、前記陽極酸化膜が、アルミナで形成されたことを特徴とする請求項９に記載の電子部品内蔵型プリント基板の製造方法。
【請求項１５】
（Ａ）２つの金属基板にキャビティを形成した後、陽極酸化工程によって前記２つの金属基板の全面に陽極酸化膜を形成する段階と、
（Ｂ）前記キャビティの内部に電子部品を配置する段階と、
（Ｃ）前記２つの金属基板の一面に絶縁層を積層することにより、前記キャビティの内部に配置した前記電子部品を埋め込ませる段階と、
（Ｄ）前記絶縁層を積層した前記２つの金属基板を接着層を用いて互いに接着させる段階と、
（Ｅ）前記絶縁層の露出面に、前記電子部品の接続端子に接続されたビアを含む回路層を形成する段階とを含んでなることを特徴とする電子部品内蔵型プリント基板の製造方法。
【請求項１６】
前記（Ｅ）段階が、前記絶縁層および前記金属基板を貫通して前記回路層と導通するスルーホールを形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１５に記載の電子部品内蔵型プリント基板の製造方法。
【請求項１７】
前記（Ａ）段階で、前記金属基板が、アルミニウムで形成され、前記陽極酸化膜が、アルミナで形成されたことを特徴とする請求項１５に記載の電子部品内蔵型プリント基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品内蔵型プリント基板およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体パッケージにおいて、プロファイル減少と多様な機能を要求する市場の傾向に伴い、プリント基板の実現の際にも多様な技術が要求される。
【０００３】
例えば、ＦＣＢＧＡ（Ｆｌｉｐ Ｃｈｉｐ Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）パッケージの製造において、ＩＣ部品の電気的導電性端子またはランドは、リフロー可能な半田バンプまたはボールを用いて基板の表面上にダイボンド領域の対応ランドに直接半田付けされる。
【０００４】
この際、電子部品または部品は、基板のトレースを含む電気的導電性経路の階層を介して電子システムの他の素子に機能的に接続され、基板トレースは、一般にシステムのＩＣなどの電子部品の間で伝送される信号を運搬する。
【０００５】
ＦＣＢＧＡの場合、基板の上端のＩＣと下端のキャパシタがそれぞれ表面実装できるが、この場合、基板の厚さだけＩＣとキャパシタとを接続する回路の経路、すなわち接続回路の長さが増加し、インピーダンス値が増加して電気的性能に良くない影響を及ぼす。
【０００６】
また、下端面の一定の面積をチップ実装のために使用するしかないため、例えば、下端の全ての面にボールアレイを所望するユーザの場合には、要求を満足させることができないなど、設計自由度が制限される。
【０００７】
これに対する解決方案として、部品を基板内に挿入して回路の経路を減らす部品内蔵技術が台頭している。
【０００８】
内蔵型ＰＣＢは、既存の基板上にパッケージ形態で実装されている能動／手動電子部品を有機基板内に内蔵することにより、余分表面積の確保による多重機能（ｍｕｌｔｉ−ｆｕｎｃｔｉｏｎｉｎｇ）、信号伝達ラインの最小化による高周波低損失／高効率技術の対応および小型化の期待を満足させることができる、一種の次世代３次元パッケージ技術を形成することができ、新しい形態の高機能パッケージトレンドを生み出すことができる。
【０００９】
図１Ａ〜図１Ｅは、従来の技術に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法を工程順に示す図である。以下、これらの図を参照して、従来の技術の問題点について説明する。
【００１０】
まず、図１Ａに示すように、電子部品１が配置できる空洞２が設けられ、両面に第１回路パターン１１が備えられた絶縁層３と、絶縁層３の一面に付着しているテープ４とを含む基板本体１０を準備する。
【００１１】
次いで、図１Ｂに示すように、電子部品１を絶縁層３の空洞２内に配置する。この際、電子部品１は、真空吸着方式のヘッダー（図示せず）を用いて空洞２内にフェイスアップ方式で配置され、テープ４によって支持される。
【００１２】
その後、図１Ｃに示すように、空洞２を含む基板本体１０に絶縁材５を積層する。電子部品１の配置された空洞２内に絶縁材５を積層することにより、電子部品１は、絶縁材５に埋め込まれる。
【００１３】
次いで、図１Ｄに示すように、テープ４を除去する。テープ４は、電子部品１が絶縁材５によって基板本体１０に固定される前まで電子部品１を支持する臨時部材なので、絶縁材５が積層された後では除去される。
【００１４】
その次、図１Ｅに示すように、絶縁材５の両面に、ビア６および第２回路パターン７を含む回路層８を形成する。この際、ビア６は、電子部品１の接続端子９と電気的に接続される。
【００１５】
ここで、従来の技術に係る電子部品内蔵型プリント基板は、絶縁素材を用いるので、電子部品から発生する熱に対する放熱能力が低下し、絶縁層を形成する絶縁素材は、相対的に価格が高いので、全体的なプリント基板の製造コストが高くなるという問題点があった。
【００１６】
また、従来の技術に係る電子部品内蔵型プリント基板は、絶縁素材と電子部品間の熱膨張係数の差によりプリント基板に大きい反り（ｗａｒｐａｇｅ）が発生するなど、構造的安定性を確保することが難しいという問題点があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
そこで、本発明は、上述した従来の技術の問題点を解決するためのもので、その目的とするところは、陽極酸化膜の形成された金属基板を採用することにより、電子部品から発生する熱に対する放熱能力を強化させ、２つの電子部品を２段に配置することにより、全体的な構造的安定性を確保することが可能な、電子部品内蔵型プリント基板およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明のある観点によれば、全面に陽極酸化膜が形成された金属基板、前記金属基板に形成されたキャビティの内部に２段に配置された２つの電子部品、前記金属基板の両面に積層され、前記キャビティの内部に配置された前記電子部品を埋め込ませる絶縁層と、前記電子部品の接続端子に接続されるビアを含み、前記絶縁層の露出面に形成された回路層とを含んでなる、電子部品内蔵型プリント基板を提供する。
【００１９】
ここで、前記キャビティの厚さ方向を分割するように前記キャビティの内部に形成され、両面が前記２つの電子部品をそれぞれ支持する支持板をさらに含むことが好ましい。
【００２０】
また、前記支持板の両面に塗布され、前記２つの電子部品を固定する接着層をさらに含むことが好ましい。
【００２１】
更に、前記支持板を貫通する少なくとも一つの開口部をさらに含むことが好ましい。
【００２２】
前記支持板は、前記金属基板から延長されて一体に形成されたことが好ましい。
【００２３】
前記金属基板は、２つ備えられて２段に配置され、前記２つの金属基板を互いに接着させる接着層をさらに含むことが好ましい。
【００２４】
また、前記絶縁層および前記金属基板を貫通して前記回路層と導通しているスルーホールをさらに含むことが好ましい。
【００２５】
前記金属基板は、アルミニウムで形成され、前記陽極酸化膜は、アルミナで形成されたことが好ましい。
【００２６】
本発明の好適な実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法は、（Ａ）金属基板にキャビティを形成した後、陽極酸化工程によって前記金属基板の全面に陽極酸化膜を形成する段階と、（Ｂ）前記キャビティの内部に２つの電子部品を２段に配置する段階と、（Ｃ）前記金属基板の両面に絶縁層を積層することにより、前記キャビティの内部に配置した前記電子部品を埋め込ませる段階と、（Ｄ）前記絶縁層の露出面に、前記電子部品の接続端子に接続されたビアを含む回路層を形成する段階とを含んでなる。
【００２７】
ここで、前記（Ａ）段階で、前記金属基板の両面からエッチング工程によって前記金属基板を除去して前記キャビティを形成するとき、前記金属基板の中心を所定の厚さ残存させて前記キャビティの厚さ方向を分割する支持板を形成することが好ましい。
【００２８】
また、前記（Ｂ）段階で、前記支持板の両面に接着層を塗布して前記２つの電子部品を固定することが好ましい。
【００２９】
更に、前記（Ａ）段階で、前記支持板を形成するとき、前記支持板を貫通する少なくとも一つの開口部を形成することが好ましい。
【００３０】
前記（Ｄ）段階は、前記絶縁層および前記金属基板を貫通して前記回路層と導通するスルーホールを形成する段階をさらに含むことが好ましい。
【００３１】
また、前記（Ａ）段階で、前記金属基板は、アルミニウムで形成され、前記陽極酸化膜は、アルミナで形成されたことが好ましい。
【００３２】
本発明の好適な他の実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法は、（Ａ）２つの金属基板にキャビティを形成した後、陽極酸化工程によって前記２つの金属基板の全面に陽極酸化膜を形成する段階と、（Ｂ）前記キャビティの内部に電子部品を配置する段階と、（Ｃ）前記２つの金属基板の一面に絶縁層を積層することにより、前記キャビティの内部に配置した前記電子部品を埋め込ませる段階と、（Ｄ）前記絶縁層を積層した前記２つの金属基板を接着層を用いて互いに接着させる段階と、（Ｅ）前記絶縁層の露出面に、前記電子部品の接続端子に接続されたビアを含む回路層を形成する段階とを含んでなる。
【００３３】
ここで、前記（Ｅ）段階は、前記絶縁層および前記金属基板を貫通して前記回路層と導通するスルーホールを形成する段階をさらに含むことが好ましい。
【００３４】
また、前記（Ａ）段階で、前記金属基板は、アルミニウムで形成され、前記陽極酸化膜は、アルミナで形成されたことが好ましい。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、従来の絶縁素材の代わりに金属基板を活用することにより、電子部品から発生する熱に対する放熱能力を強化することができ、製造コストを節減することができるという利点がある。
【００３６】
また、本発明によれば、２つの電子部品を２段に配置することにより、反り方向を相反させることができるため、基板の全体的な構造的安定性を確保することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１Ａ】従来の技術に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（１）を示す断面図である。
【図１Ｂ】従来の技術に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（２）を示す断面図である。
【図１Ｃ】従来の技術に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（３）を示す断面図である。
【図１Ｄ】従来の技術に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（４）を示す断面図である。
【図１Ｅ】従来の技術に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（５）を示す断面図である。
【図２】本発明の好適な第１実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の断面図である。
【図３】本発明の好適な第２実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の断面図である。
【図４】本発明の好適な第１実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（１）を示す断面図である。
【図５】本発明の好適な第１実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（２）を示す断面図である。
【図６】本発明の好適な第１実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（３）を示す断面図である。
【図７】本発明の好適な第１実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（４）を示す断面図である。
【図８】本発明の好適な第１実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（５）を示す断面図である。
【図９】本発明の好適な第１実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（６）を示す断面図である。
【図１０】本発明の好適な第２実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（１）を示す断面図である。
【図１１】本発明の好適な第２実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（２）を示す断面図である。
【図１２】本発明の好適な第２実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（３）を示す断面図である。
【図１３】本発明の好適な第２実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（４）を示す断面図である。
【図１４】本発明の好適な第２実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（５）を示す断面図である。
【図１５】本発明の好適な第２実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法の工程（６）を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
本発明の目的、特定の利点および新規の特徴は、添付図面に連関する以下の詳細な説明と好適な実施例からさらに明白になるであろう。
【００３９】
これに先立ち、本明細書および請求の範囲に使用された用語または単語は、通常的で辞典的な意味で解釈されてはならず、発明者が自分の発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則に基づき、本発明の技術的思想に符合する意味と概念で解釈されなければならない。
【００４０】
本発明において、各図面の構成要素に参照番号を付加するにおいて、同一の構成要素については、他の図面上に表示されても、出来る限り同一の番号を付することに留意すべきであろう。なお、本発明を説明するにおいて、関連した公知の技術に対する具体的な説明が本発明の要旨を無駄に乱すおそれがあると判断される場合、その詳細な説明は省略する。
【００４１】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施例を詳細に説明する。
【００４２】
図２は、本発明の好適な第１実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の断面図である。
【００４３】
図２に示すように、本実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板１００は、全面に陽極酸化膜１２０が形成された金属基板１１０、金属基板１１０に形成されたキャビティ１３０の内部に２段に配置された２つの電子部品１４０、金属基板１１０の両面に積層され、キャビティ１３０の内部に配置された電子部品１４０を埋め込ませる絶縁層１５０、および電子部品１４０の接続端子１４５に接続されるビア１６５を含み、絶縁層１５０の露出面に形成された回路層１６０を含む構成である。
【００４４】
前記金属基板１１０は、電子部品内蔵型プリント基板１００のコア部材の役割を果たすもので、剛性および熱伝導性に優れたアルミニウム（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、チタニウム（Ｔｉ）などを用いて形成することができる。また、金属基板１１０と回路パターンなどの短絡を防止するために、金属基板１１０の全面には陽極酸化膜１２０が形成されることが好ましい。ここで、陽極酸化膜１２０は、硫酸などの溶液で金属が陽極として作用するようにして金属表面の酸化作用を促進させることにより生成することができる。
【００４５】
このような過程を陽極酸化工程といい、例えば、金属基板１１０をアルミニウムで形成した場合、陽極酸化工程によって、金属基板１１０の全面に、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）からなる陽極酸化膜１２０を形成することができる。金属基板１１０は、熱伝導性に優れるので、基板の防熱能力を向上させることができ、相対的に剛性が高いので、基板の反りを低減させることができる。
【００４６】
一方、金属基板１１０には、電子部品１４０を配置するキャビティ１３０が形成されなければならないが、キャビティ１３０を形成する方法は、特に限定されないが、ウェットエッチング工程またはドライエッチング工程によって金属基板１１０の所定の部分を除去してキャビティ１３０を形成することが好ましい。また、キャビティ１３０の内部には、２つの電子部品１４０を安定的に支持するための支持板１７０を形成することが好ましい。
【００４７】
支持板１７０は、キャビティ１３０の厚さ方向を分割するようにキャビティ１３０の内部に形成され、両面に２つの電子部品１４０がそれぞれ配置される。ここで、支持板１７０は、エッチングによってキャビティ１３０を形成するとき、金属基板１１０を一部残存させて形成することができる。この場合、前記支持板１７０は、金属基板１１０と一体に形成される。支持板１７０と金属基板１１０とを一体に形成することにより、電子部品１４０から発生する熱は支持板１７０を介して効果的に放出できるという利点がある。
【００４８】
また、支持板１７０の両面には、接着層１８０が塗布されるため、電子部品１４０を支持板１７０に固定することが好ましく、接着層１８０を支持板１７０の両面に均一に塗布するために、支持板１７０を貫通する少なくとも一つの開口部１７５を形成することが好ましい。接着層１８０を用いて電子部品１４０を固定するので、電子部品１４０のポジショニング（ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｉｇ）工程を安定的且つ効率的に行うことができる。一方、接着層１８０の材質は、特に限定されないが、エポキシ系樹脂にＳｉＯ２をフィラー（ｆｉｌｅｒ）として添加して使用することができる。
【００４９】
前記電子部品１４０は、プリント基板に電気的に接続されて特定の機能を行う部品であって、例えば、半導体素子などの能動素子またはキャパシタなどの手動素子になれる。ここで、電子部品１４０は、絶縁層１５０の露出面に形成された回路層１６０とビア１６５を介して接続されるために、フェイスアップ（ｆａｃｅ−ｕｐ）方式で配置することが好ましい。また、電子部品１４０は、キャビティ１３０の内部に２つが２段に配置されて上下対称構造を形成するので、基板の全体的な安定性を確保することができ、双方向電気的疎通が可能であるという利点がある。
【００５０】
前記絶縁層１５０は、キャビティ１３０の内部に配置された２つの電子部品１４０を埋め込ませる役割を果たすもので、金属基板１１０の両面に半硬化状態で積層されてキャビティ１３０に充填された後、硬化する。ここで、絶縁層１５０は、プリント基板に一般に使用される絶縁素子を用いることができ、例えばＡＢＦ（Ａｊｉｎｏｍｏｔｏ  Ｂｕｉｌｄ−ｕｐ  Ｆｉｌｍ）またはプリプレグ（ｐｒｅｐｒｅｇ）などを用いることができる。
【００５１】
前記回路層１６０は、絶縁層１５０の露出面に形成され、ビア１６５を介して電子部品１４０の接続端子１４５に接続される。ここで、ビア１６５を含んだ回路層１６０は、通常のＳＡＰ（Ｓｅｍｉ−Ａｄｄｉｔｉｖｅ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）、ＭＳＡＰ（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ  Ｓｅｍｉ−Ａｄｄｉｔｉｖｅ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）またはサブトラクティブ法（Ｓｕｂｔｒａｃｔｉｖｅ）などによって形成することができる。また、絶縁層１５０および金属基板１１０を貫通して回路層１６０と導通しているスルーホール１９０を形成することにより、上下絶縁層１５０の露出面にそれぞれ形成された２つの回路層１６０を互いに接続することができる。
【００５２】
一方、本実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板１００の最外郭には、半田レジスタ層１９３を形成することが好ましいが、半田レジスト層１９３は、耐熱性被覆材料で半田付けするとき、回路層１６０に半田が塗布されないように保護する役割を果たす。また、外部回路との電気的接続のために、半田レジスト層１９３にホール１９５を加工してパッドを露出させることが好ましい。
【００５３】
本実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板１００は、金属基板１１０を活用することにより、電子部品１４０から発生する熱を効果的に放出することができ、相対的に剛性が高いので、基板の反り発生を防止することができるという利点がある。また、２つの電子部品１４０を２段に配置して全体的な構造の安定性を確保することができるという効果がある。
【００５４】
図３は、本発明の好適な第２実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の断面図である。
【００５５】
本実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板２００と前述した第１実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板１００との最も大きい差異点は、金属基板１１０の構造である。よって、本実施例では、金属基板１１０を中心に記述し、第１実施例と重複する内容を省略する。
【００５６】
本実施例に係る金属基板１１０は、２つ備えられて２段に配置される。ここで、２つの金属基板１１０には、それぞれキャビティ１３０と陽極酸化膜１２０が形成される。また、一つの金属基板１１０に一つの電子部品１４０が内蔵されるが、電子部品１４０の上下対称構造を実現するために、２つの電子部品１４０は、互いに対応する位置に配置することが好ましい。
【００５７】
一方、２段に配置された２つの金属基板１１０の間に接着層１８０が備えられることにより、２つの金属基板１１０を互いに固定させることができる。ここで、接着層１８０は、金属基板１１０の間にのみ選択的に備えられなければならないのではなく、図示の如く、キャビティ１３０と電子部品１４０との間にも備えられてもよい。
【００５８】
図４〜図９は、本発明の好適な第１実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法を工程順に示す断面図である。
【００５９】
図４〜図９に示すように、本実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板１００の製造方法は、（Ａ）金属基板１１０にキャビティ１３０を形成した後、陽極酸化工程によって前記金属基板１１０の全面に陽極酸化膜１２０を形成する段階と、（Ｂ）前記キャビティ１３０の内部に２つの電子部品１４０を２段に配置する段階と、（Ｃ）前記金属基板１１０の両面に絶縁層１５０を積層することにより、前記キャビティ１３０の内部に配置した前記電子部品１４０を埋め込ませる段階と、（Ｄ）前記絶縁層１５０の露出面に、前記電子部品１４０の接続端子１４５に接続されたビア１６５を含む回路層１６０を形成する段階とを含んでなる。
【００６０】
まず、図４に示すように、金属基板１１０にキャビティ１３０を形成する段階である。ここで、金属基板１１０は、剛性および熱伝導性に優れたアルミニウム（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、チタニウム（Ｔｉ）などを用いることができる。キャビティ１３０を形成する方法は、特に限定されないが、ウェットエッチング工程またはドライエッチング工程によって金属基板１１０の両面から金属基板１１０を除去してキャビティ１３０を形成することができる。この際、金属基板１１０の中心を所定の厚さ残存させてキャビティ１３０の厚さ方向を分割する支持板１７０を形成することができる。支持板１７０は、最終的に電子部品１４０を支持する役割を果たす。また、後述の段階で、支持板１７０の両面には接着層１８０が塗布されるが、接着層１８０を支持板１７０の両面に均一に塗布するために、支持板１７０を貫通する少なくとも一つの開口部１７５を形成することが好ましい。
【００６１】
次いで、図５に示すように、陽極酸化工程によって金属基板１１０の全面に陽極酸化膜１２０を形成する段階である。ここで、陽極酸化膜１２０は、金属基板１１０と回路パターンなどの短絡を防止する役割を果たし、陽極酸化工程によって形成する。例えば、金属基板１１０をアルミニウムで形成した場合、陽極酸化膜１２０はアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）で形成される。
【００６２】
次いで、図６に示すように、支持板１７０の両面に接着層１８０を塗布する段階である。ここで、接着層１８０は、後述の段階でキャビティ１３０の内部に配置する電子部品１４０を固定する役割を果たすもので、エポキシ樹脂にＳｉＯ２をフィラーとして添加して使用することができる。
【００６３】
その次、図７に示すように、キャビティ１３０の内部に２つの電子部品１４０を２段に配置する段階である。好ましくは、前述した段階で形成した支持板１７０の両面に２つの電子部品１４０をそれぞれ配置し、支持板１７０に塗布した接着層１８０によって支持板１７０に電子部品１４０を固定する。支持板１７０、および支持板１７０に塗布した接着層１８０を用いるので、電子部品１４０のポジショニング工程を安定的且つ効率的に行うことができる。一方、電子部品１４０は、能動素子または手動素子になれる。電子部品１４０の接続端子１４５をビア１６５を介して回路層１６０と接続させるために、電子部品１４０をフェイスアップ方式で配置することが好ましい。
【００６４】
次いで、図８に示すように、金属基板１１０の両面に絶縁層１５０を積層して電子部品１４０を埋め込ませる段階である。ここで、絶縁層１５０は、半硬化状態で金属基板１１０の両面に積層されてキャビティ１３０に充填された後、硬化する。絶縁層１５０としては、ＡＢＦ（Ａｊｉｎｏｍｏｔｏ  Ｂｕｉｌｄ−ｕｐ  Ｆｉｌｍ）またはプリプレグ（ｐｒｅｐｒｅｇ）を含む一般な絶縁素子を用いることができる。
【００６５】
その後、図９に示すように、絶縁層１５０の露出面に、ビア１６５を含む回路層１６０を形成する段階である。ここで、ビア１６５を含む回路層１６０は、通常、（Ｓｅｍｉ−Ａｄｄｉｔｉｖｅ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）、ＭＳＡＰ（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ  Ｓｅｍｉ−Ａｄｄｉｔｉｖｅ  Ｐｒｏｃｅｓｓ）またはサブトラクティブ法（Ｓｕｂｔｒａｃｔｉｖｅ）などによって形成することができる。この際、回路層１６０は、ビア１６５を介して電子部品１４０の接続端子１４５と接続される。また、上下絶縁層１５０の露出面にそれぞれ形成した２つの回路層１６０を接続するために、絶縁層１５０および金属基板１１０を貫通するスルーホール１９０を形成することができる。
【００６６】
一方、プリント基板の最外郭には、半田付けの際に回路層１６０に半田が塗布されることを防止するために、半田レジスト層１９３を形成することができ、外部回路との電気的接続のために、半田レジスト層１９３にホール１９５を加工してパッドを露出させることができる。
【００６７】
図１０〜図１５は、本発明の好適な第２実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板の製造方法を工程順に示す図である。
【００６８】
図１０〜図１５に示すように、本実施例に係る電子部品内蔵型プリント基板２００の製造方法は、（Ａ）２つの金属基板１１０にキャビティ１３０を形成した後、陽極酸化工程によって前記２つの金属基板１１０の全面に陽極酸化膜１２０を形成する段階と、（Ｂ）前記キャビティ１３０の内部に電子部品１４０を配置する段階と、（Ｃ）前記２つの金属基板１１０の一面に絶縁層１５０を積層することにより、前記キャビティ１３０の内部に配置した前記電子部品１４０を埋め込ませる段階と、（Ｄ）前記絶縁層１５０を積層した前記２つの金属基板１１０を接着層１８０を用いて互いに接着させる段階と、（Ｅ）前記絶縁層１５０の露出面に、前記電子部品１４０の接続端子１４５に接続されたビア１６５を含む回路層１６０を形成する段階とを含んでなる。
【００６９】
本実施例と前述した第１実施例との最も大きい差異点は、金属基板１１０の構造である。
【００７０】
よって、本実施例では、金属基板１１０を中心に説明し、残りの構成に対しては簡略に説明する。一方、図１０〜図１３では、一つの金属基板１１０を基準として示されているが、これは、２つの金属基板１１０が同一の工程を経るので、一つの金属基板１１０のみを図示し、残りの金属基板１１０を省略したものである。
【００７１】
まず、図１０および図１１に示すように、金属基板１１０にキャビティ１３０を形成した後、金属基板１１０の全面に陽極酸化膜１２０を形成する段階である。ここで、キャビティ１３０は、金属基板１１０をエッチング工程によって除去して貫通させて形成し、陽極酸化膜１２０は、陽極酸化工程によって金属基板１１０の全面に形成する。一方、金属基板１１０をアルミニウムで形成した場合、陽極酸化膜１２０がアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）で形成されるのは前述したとおりである。
【００７２】
その後、図１２に示すように、キャビティ１３０の内部に電子部品１４０を配置する段階である。ここで、金属基板１１０の下面には、電子部品１４０を支持するための支持テープ１９１を付着させることができ、電子部品１４０は、支持テープ１９１上にフェイスアップ方式で実装される。
【００７３】
次いで、図１３に示すように、金属基板１１０の上面に絶縁層１５０を積層して電子部品１４０を埋め込ませる段階である。絶縁層１５０をキャビティ１３０の内部に充填して絶縁層１５０で電子部品１４０を固定した後、前述した段階で付着した支持テープ１９１を除去する。
【００７４】
次いで、図１４に示すように、絶縁層１５０を積層した２つの金属基板１１０を、接着層１８０を用いて互いに接着させる段階である。ここで、接着層１８０は、電子部品１４０のみを固定する役割を果たす第１実施例とは異なり、２つの金属基板１１０全体を互いに固定する役割を果たす。但し、接着層１８０は、第１実施例と同様のエポキシ樹脂にＳｉＯ-２をフィラーとして添加して使用することができる。
【００７５】
次に、図１５に示すように、絶縁層１５０の露出面に、ビア１６５を含む回路層１６０を形成する段階である。ここで、回路層１６０は、ビア１６５を介して電子部品１４０の接続端子１４５と接続され、上下絶縁層１５０の露出面にそれぞれ形成した２つの回路層１６０を接続するために、絶縁層１５０と金属基板１１０を貫通するスルーホール１９０を形成することができる。また、プリント基板の最外郭には、半田付けの際に回路層１６０に半田が塗布されることを防止するために、半田レジスト層１９３を形成することができる。
【００７６】
以上、本発明を具体的な実施例によって詳細に説明したが、これらの実施例は、本発明を具体的に説明するためのものに過ぎない。本発明に係る電子部品内蔵型プリント基板およびその製造方法は、これらの実施例に限定されず、本発明の技術的思想内において、当該分野における通常の知識を有する者によって多様な変形および改良が可能である。
【００７７】
本発明の単純な変形ないし変更は、いずれも本発明の領域に属するものであり、本発明の具体的な保護範囲は、特許請求の範囲によって明確になるであろう。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明は、部品を基板内に挿入して回路の経路を減らす電子部品内蔵型プリント基板およびその製造方法に適用可能である。
【符号の説明】
【００７９】
１００、２００    電子部品内蔵型プリント基板
１１０    金属基板
１２０    陽極酸化膜
１３０    キャビティ
１４０    電子部品
１４５    接続端子
１５０    絶縁層
１６０    回路層
１６５    ビア
１７０    支持板
１７５    開口部
１８０    接着層
１９０    スルーホール
１９１    支持テープ
１９３    半田レジスト層
１９５    ホール
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図１Ｅ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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