(57)【要約】【課題】ロットが誤って識別されないことを保証する証明機能をＡＭＨＳシステムを提供する。【解決手段】マテリアルハンドリングシステムは、コントローラと、トランスポートシステムであって、このトランスポートシステムは、トランスポートトラックセクションおよびトランスポートビークルとを含み、トランスポートビークルは、トランスポートトラックセクションに沿って移動すると共にキャリアをトランスポートするようになっているトランスポートシステムと、特定のトランスポートトラックセクションに沿って位置する識別タグリーダーであって、この識別タグリーダーは、トランスポートビークルによってトランスポートされているキャリアの識別タグを読み出すと共に、情報信号をコントローラに送るようになっている識別タグリーダーと、を備え、コントローラは、情報信号に基づき、前記キャリアのロケーションを証明するようになっている。【選択図】図４
2011223008.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コントローラと、
トランスポートシステムであって、このトランスポートシステムは、トランスポートトラックセクションおよび少なくとも１つのトランスポートビークルとを含み、前記少なくとも１つのトランスポートビークルは、前記トランスポートトラックセクションに沿って移動すると共にキャリアをトランスポートするようになっている前記トランスポートシステムと、
特定のトランスポートトラックセクションに沿って位置する少なくとも１つの識別タグリーダーであって、この少なくとも１つの識別タグリーダーは、前記少なくとも１つのトランスポートビークルによってトランスポートされているキャリアの識別タグを読み出すと共に、情報信号を前記コントローラに送るようになっている前記識別タグリーダーと、を備え、
前記コントローラは、前記情報信号に基づき、前記キャリアの少なくとも１つのロケーションを証明するようになっている、マテリアルハンドリングシステム。
【請求項２】
前記トランスポートトラックセクションは、前記異なるトランスポートトラックセクションを接合するターンテーブルを備え、前記少なくとも１つの識別タグリーダーは、前記ターンテーブル内、またはその上に実質的に位置する、請求項１に記載のマテリアルハンドリングシステム。
【請求項３】
前記少なくとも１つの識別タグリーダーは、前記特定のトランスポートトラックセクションの端部に実質的に位置する、請求項１に記載のマテリアルハンドリングシステム。
【請求項４】
前記少なくとも１つの識別タグリーダーは、前記キャリアが基板処理ステーションからトランスポートされているときに、前記識別タグを読み出すようになっている、請求項１に記載のマテリアルハンドリングシステム。
【請求項５】
自動化されたオーバーヘッドマテリアルハンドリングシステムを備える、請求項１に記載のマテリアルハンドリングシステム。
【請求項６】
前記コントローラは、誤った位置にあるキャリアの検出位置が所定の位置に一致しないときに、誤った位置にあるキャリアの回収を実行するようになっている、請求項１に記載のマテリアルハンドリングシステム。
【請求項７】
前記識別タグは、無線周波数識別タグを備える、請求項１に記載のマテリアルハンドリングシステム。
【請求項８】
コントローラと、
トランスポートシステムであって、このトランスポートシステムは、トランスポートトラックセクションおよび少なくとも１つのトランスポートビークルを含み、前記少なくとも１つのトランスポートビークルは、前記トランスポートトラックセクションに沿って移動すると共にキャリアをトランスポートするようになっている前記トランスポートシステムと、
前記少なくとも１つのトランスポートビークルと共に、１つのユニットとして前記トランスポートトラックセクションを横断するようになっている、前記コントローラと通信する識別タグリーダーであって、この識別タグリーダーは、前記少なくとも１つのトランスポートビークルによってトランスポートされているキャリアの識別タグを読み出すと共に、情報信号を前記コントローラに送るようになっている前記トランスポートトラックセクションと、を備え、
前記コントローラは、前記情報信号に基づき、前記キャリアの少なくとも１つのロケーションを証明するようになっている、マテリアルハンドリングシステム。
【請求項９】
前記識別タグリーダーは、実質的に特定のトランスポートビークルの内部またはその上に位置する、請求項８に記載のマテリアルハンドリングシステム。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの識別タグリーダーは、前記キャリアが基板処理ステーションからトランスポートされているときに前記識別タグを読み出すようになっている、請求項８に記載のマテリアルハンドリングシステム。
【請求項１１】
自動化されたオーバーヘッドマテリアルハンドリングシステムを備える、請求項８に記載のマテリアルハンドリングシステム。
【請求項１２】
前記コントローラは、誤った位置にあるキャリアの検出位置が所定の位置に一致しないときに、誤った位置にあるキャリアの回収を実行するようになっている、請求項８に記載のマテリアルハンドリングシステム。
【請求項１３】
マテリアルハンドリングシステム内のキャリアの積み荷の位置を証明する方法であって、
前記マテリアルハンドリングシステムのトランスポートビークル上でキャリアをトランスポートするステップと、
前記トランスポートビークルによってトランスポートされている前記キャリアの識別タグを読み出すステップと、
前記証明タグの読み出しに基づき、前記キャリアの積み荷が所定位置にあることを証明するステップと、を備える方法。
【請求項１４】
前記識別タグを読み出すための識別タグリーダーは、前記マテリアルハンドリングシステムのトラックセグメントに沿って位置する、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記識別タグを読み出すための識別タグリーダーは、前記マテリアルハンドリングシステムのトラックの異なるセクションを接続するターンテーブル内またはその上に実質的に位置する、請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
前記識別タグを読み出すための識別タグリーダーは、前記トランスポートビークルと共に前記マテリアルハンドリングシステムのトラックを横断するようになっている、請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
前記キャリアの前記識別タグは、前記マテリアルハンドリングシステムのトラックセグメント内で読み出されるようになっている、請求項１３に記載の方法。
【請求項１８】
前記識別タグは、基板処理ステーションから基板がトランスポートされているときに読み出されるようになっている、請求項１３に記載の方法。
【請求項１９】
誤って位置する積み荷の検出位置が所定の位置に一致しないときに、前記誤って位置する積み荷を回収するステップを更に含む、請求項１３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本実施形態は、マテリアルハンドリング（材料取り扱い）システムに関し、より詳細には、処理ファシリティ内でキャリアをトランスポート（輸送）し、識別するための自動化されたマテリアルハンドリングシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
消費者は、現在のモデルよりもサイズが小さく、安価で、より複雑で高度な電子および電気デバイスを求め続けている。従って、マイクロ電子デバイスのメーカーは、デバイスのコストを削減すると同時に、デバイスに対してより多くの能力を提供するための大きなプレッシャーを受けている。マイクロ電子デバイスを製造するのに使用される材料のコストまたはデバイスを実際に製造するのに関連するコストを低減するための潜在力は、限られている。しかしながら、製造プロセス全体の効率を高めることによって大きなコスト削減を達成できる。
【０００３】
これまで製造効率を高めるために、多くの製造ファシリティ内に、自動化されたマテリアルハンドリングシステム（ＡＭＨＳ）が設置されている。図１を参照すると、この図には従来の代表的な半導体製造ファシリティ１の斜視図が示されている。製造ファシリティ、すなわちファブファシリティ１は、ファシリティ内に所望するアレイにて配置された多数のファブベイ２を有する。これらファブベイ２は、真空処理ツール３および大気圧処理ツール４を備え、これらのツールで半導体デバイスが製造される。ファブファシリティ１は、半導体デバイスとの間で半導体材料をトランスポートするための、内部に設置されたＡＭＨＳも有する。図１に示されるファブファシリティ内の従来のマテリアルハンドリングシステムは、ストッカー５と、インターベイ（ベイ間）トランスポートシステム６と、イントラベイ（ベイ内）トランスポートシステム７とを一般に含む。この配置では、種々の処理展開部の間で半導体デバイスを保管するのに使用されるストッカーが、ファブベイ２をリンクする共通通路上のファブベイ２の開口部に隣接して位置する。この共通通路内には、インターベイトランスポートシステム６が設置されており、このトランスポートシステムは、複数のストッカー５を接続している。これによって、ストッカー５の間でインターベイトランスポートシステム６上で走行する適当なビークル（車両）により、半導体デバイスをトランスポートすることが可能となっている。図１に示されるようなイントラベイトランスポートシステム７は、所定のベイの開口部に隣接するストッカー５を、そのベイ内の処理ツール３、４にリンクする、ファブベイ内に配置されたセクション７Ａ〜７Ｂを有する。従って、イントラベイトランスポートシステムの対応するセクション７Ａ〜７Ｅ上で走行する適当なビークルにより、１つのベイのストッカー５と、そのベイ内の処理ツールとの間で半導体デバイスをトランスポートできるようになっている。これら半導体デバイスは各コンテナが１つのロットを保持するようなロット内に配置されるか、またはロットに構成された基板でよい。例えば、コンテナは、２５個の基板のロットを保持するＦＯＵＰでよい。各ＦＯＵＰには、ＦＯＵＰ内に収納された基板のロットに対するロット番号を識別するための識別タグを設けることができる。この識別タグは、バーコードタグ、無線周波数識別（ＲＦＩＤ）タグ、またはその他のタイプの識別タグとすることができる。これら識別タグは、ファブ内の所定のポイントでしか読み取りできない。例えば、これら識別タグは、人のオペレータがコンテナをＡＭＨＳシステムに積み込んだときに、ストッカー５の入力ポートで読み取りできる。また、処理ツールが識別タグを読み取りできるようになっていることが時々ある。ＡＭＨＳが処理ツールからのコンテナを入手すると、処理ツール制御システムは、ＡＭＨＳ制御システムと通信し、識別タグを処理ツールによって読み出した後に、入手しているコンテナ（またはコンテナ内に保持されているロット）の識別をＡＭＨＳへ表示できる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のようなＡＭＨＳは、ロットがＡＭＨＳ領域内にあるときに、ロットの識別を証明する能力に欠けている場合がある。上記のように識別タグは、人のオペレータがコンテナをシステム内に導入したとき、またはコンテナが処理ツールからＡＭＨＳの領域内に導入したされたときにしか読み取りできない。しかしながら、ＡＭＨＳ制御システムが不正確なロット番号でコンテナを登録するようなエラーが生じ得る。例えば、コンテナが積み込まれたときに、処理ツールがオフラインとなっていたり、またはコンテナが処理ツールで切り換えられたときに処理ツールにある識別タグリーダーがディスエーブルされることがある。更に一部の処理ツールがタグリーダーを有していない場合があり、その代わりに人がキーパッド上にロット番号をタイピングすることに依存している場合があり、この場合、結果として識別子がミスタイプされやすい。ミスが生じた場合、コンテナは誤った識別番号でＡＭＨＳ内に導入され、システム内でロットが失われることがある。このようなことが起きると、ファブファシリティの効率は、明らかに影響を受け得る。失われたロットを探すのに、マニュアルサーチを行わなければならないこともある。従って、ロットが誤って識別されないことを保証する証明機能をＡＭＨＳシステムに設けることが望まれている。更に、誤って識別されたロットを効率的に探すことのできるＡＭＨＳを提供することも望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本明細書は、コントローラと、トランスポートシステムとを備え、このトランスポートシステムは、トランスポートトラックセクションおよび少なくとも１つのトランスポートビークルとを含み、前記少なくとも１つのトランスポートビークルは、前記トランスポートトラックセクションに沿って移動すると共にキャリアをトランスポートするようになっており、特定のトランスポートトラックセクションに沿って位置する少なくとも１つの識別タグリーダーを更に備え、前記少なくとも１つの識別タグリーダーは、前記少なくとも１つのトランスポートビークルによってトランスポートされているキャリアの識別タグを読み出すと共に、情報信号を前記コントローラに送るようになっており、前記コントローラは、前記情報信号に基づき、前記キャリアの少なくとも１つのロケーションを証明するようになっている、マテリアルハンドリングシステムを提供するものである。
【０００６】
添付図面を参照し、次の記載で本実施形態の上記およびそれ以外の特徴について説明する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】従来のマテリアルハンドリングシステムを有する半導体製造ファシリティの斜視略図である。
【図２】実施形態に係わるトランスポートシステムの平面略図である。
【図３】実施形態に係わるトランスポートシステムの平面略図である。
【図４】一実施形態に係わる図３のマテリアルハンドリングシステムの一部の略図である。
【図５】一実施形態に係わるマテリアルハンドリングシステム内の材料保管部の平面略図である。
【図６】一実施形態に係わるマテリアルハンドリングシステム内の材料保管部の別の平面略図である。
【図７】一実施形態に係わる製造トラッキングシステムの略図である。
【図８】一実施形態に係わる方法のフローチャートである。
【図９】一実施形態に係わる別の製造トラッキングシステムの略図である。
【図９Ａ】一実施形態に係わるトラッキングビークルの略図である。
【図１０】一実施形態に係わる方法のフローチャートである。
【図１１】一実施形態に係わる更に別の製造トラッキングシステムの略図である。
【図１２】一実施形態に係わる方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
図２および３を参照すると、ここには自動化されたマテリアルハンドリングシステム２００、２００’の平面略図が示されている。図面に示された実施形態を参照して、開示された実施形態について説明するが、開示する実施形態は別の多くの実施形態で具現化できると理解すべきである。更に、要素または材料の適当なサイズ、形状およびタイプも使用できる。
【０００９】
本明細書に記載の実施形態は、自動化されたマテリアルハンドリングシステム（ＡＭＨＳ）における積み荷の識別を考慮したものである。例えば、一実施形態では、キャリアがリーダーを通過するようにトランスポートされるとき、またはこの逆に、リーダーがキャリアを通過するようにトランスポートされるときに、リーダーが例えば、基板キャリアの適当な識別特性を識別するように、ＡＭＨＳ全体にわたる種々のポイントに適当な識別リーダーを設けることができる。別の実施形態では、ＡＭＨＳのリーダーを移動自在としてもよい。例えば、後により詳細に説明するように、基板キャリア、トランスポートビークル、トランスポートトラックおよびトランスポートトラックを接続するターンテーブルのうちの１つ以上の内部に、またはそれらに沿って、識別リーダーを設けることができる。別の実施形態では、識別タグから識別情報を得るための任意の適当な位置に識別リーダーを設けることができる。一実施形態では、タグを無線周波数識別（ＲＦＩＤ）タグとすることができる。しかしながら、タグは任意の適当なタグまたはインデックスでよく、これらタグまたはインデックスは、識別情報を送信できたり、リーダーによって検索するために識別情報の読み出しまたは識別情報の記憶を可能にするものである。
【００１０】
本明細書では、単なる例として、半導体の処理を参照して実施形態について説明するが、これら実施形態は任意の適当なマテリアルハンドリングシステムにおける任意の適当なアイテムのトランスポートにも同じように使用できると理解すべきである。本明細書に記載するＡＭＨＳの例は、基板キャリアをトランスポートするためのオーバーヘッドホイストトランスポートシステムも含むが、これら実施形態はマニュアルでガイドされるビークルおよび自動化された車輪付ビークルを含むがこれらに限定されない任意の適当なトランスポートシステムにも同じように使用可能であることにも留意すべきである。適当なオーバーヘッドホイストトランスポートシステムの一例として、ブルックスオートメーションインコーポレーションから販売されているエアロローダーシリーズのトランスポートがある。米国特許第7,117,800号および同第7,040,238号に、適当なオーバーヘッドトランスポートの他の例が記載されており、これら米国特許のいずれも、本明細書において全体を参考例として援用する。
【００１１】
依然として図２および３を参照する。例示されたＡＭＨＳ２００、２００’は、一般にイントラベイトランスポートシステムセクション２１５と、インターベイトランスポートシステムセクション２４０と、処理ベイセクション２２０と、ベイキューセクション２３５と、トランスポートサイディングまたはシャントセクション２２５と、加工品キャリアまたはトランスポートとを含む。このＡＭＨＳは、実質的に本願で全体を参考例として援用する、２００６年１１月３日に出願された、「容量が低減されたキャリア、トランスポート、ロードポート、バッファシステム」を発明の名称とする米国特許出願第11/556,584号に記載されたものに、実質的に類似する。別の実施形態では、ＡＭＨＳは任意の適当なマテリアルハンドリングシステムでよい。
【００１２】
トランスポートシステムセクション２１５、２２０、２２５、２３５は、共に入れ子状（すなわち１つのトランスポートループが別のトランスポートループ内にあるよう）にでき、一般に処理ファシリティ内の処理ベイ２２０および関連する処理ツール２３０との間で、例えば、半導体加工品、例えば、２００ｍｍウェーハ、３００ｍｍウェーハ、４５０ｍｍウェーハ、フラットディスプレイパネルおよび同様なかかるアイテムの高速移送を可能にするように配置されている。別の実施形態では、自動化されたマテリアルハンドリングシステム内で適当な材料を輸送できる。トランスポートシステム２００は、１つのトランスポートセクションから別のトランスポートセクションへ加工品を向けなおすことも可能にする。本明細書で全体を参考例として援用する、「自動化されたマテリアルハンドリングシステム」を発明の名称とし、２００３年１１月３０日に出願された米国特許出願第10/697,528号には、インターベイブランチおよびイントラベイブランチを有する加工品を運搬するための自動化されたマテリアルハンドリングシステムの一例が記載されている。
【００１３】
図２および３に示される自動化されたマテリアルハンドリングシステム２００、２００’の代表的コンフィギュレーションは例示にすぎず、この自動化されたマテリアルハンドリングシステム２００、２００’は、処理ファシリティ内の処理ベイおよび／または処理ツールの所望するレイアウトを収納するのに適した任意のコンフィギュレーションに配置できる。図２から分かるように、イントラベイトランスポートセクション２１５は、任意の数の処理ベイ２２０の両側に位置でき、これら処理ベイによって互いに接続できる。図２のイントラベイトランスポートセクション２１５は、クロスシャント２５０によっても接続でき、このクロスシャント２５０は処理または製造（ファブ）ベイ２２０を通過させることなく、イントラベイトランスポートセクション２１５の間で加工品トランスポートの直接移動を可能にする。更に別の実施形態では、トランスポートセクション２１５は、別のイントラベイトランスポートセクション（図示せず）により互いに接続させることができる。図３に示されるような他の別の実施形態では、任意の数の処理ベイ２２０の間にイントラベイトランスポートセクション２１５を位置させ、よってベイ２２０の間に中心アイランドを形成できる。ベイ実施形態では、イントラベイトランスポートセクションは、任意の数の処理ベイ２２０のまわりの周辺部を形成し、処理ベイを囲むことができる。更に別の実施形態では、任意の数の入れ子状ループセクション、例えば、Ｎ個のシステム、例えば、イントラベイトランスポートセクション２１５の各々に直接接続するトランスポートセクションにより並列接続された、図２および３に示されるようなシステム２００または２００’を設けることができる。更に別の実施形態では、トランスポートセクション２１５、２２０を処理ツールは、任意の適当なコンフィギュレーションを有することができる。更に、入れ子状処理アレイを形成するような任意の適当なコンフィギュレーションに、任意の数のイントラベイ、インターベイシステムを共に接合できる。
【００１４】
イントラベイトランスポートセクション２１５を、任意の適当な加工品のトランスポートの移動を可能にするモジュラー式トラックシステムとすることができる。このトラックシステムの各モジュールには、イントラベイトランスポートセクション２１５の設置中にモジュールを端部から端部に共に接合できるようにする適当な嵌合手段（例えば、連結ファセット、機械的締結具）を設けることができる。設置中の取り扱いを容易にし、コンフィギュレーションをフレキシブルにするために、これらレールモジュールを任意の適当な長さ、例えば、数フィートにしたり、または任意の適当な形状、例えば、直線状または湾曲状に設けることができる。トラックシステムが、加工品トランスポートを下方からサポートしてもよいし、または別の実施形態ではトラックシステムを懸架式トラックシステムとすることができる。このトラックシステムは、加工品トランスポート部がローラー上で実質的な抵抗を受けることなく、トラックに沿って移動できるようにローラーベアリングまたは他の任意の適当なベアリング表面を有することができる。このローラーベアリングは、加工品コンテナがトラックに沿って移動するときに、方向の安定性を更に増すよう、テーパを付けたり、トラック内のカーブまたはコーナーの内側に向けてトラックに角度を付けたりしてもよい。
【００１５】
イントラベイトランスポートセクション２１５は、コンベアに基づくトランスポートシステム、ケーブルおよびプーリーまたはチェーンとスプロケットに基づくトランスポートシステム、車輪駆動システムまたは磁気誘導に基づくトランスポートシステムを含むが、これらに限定されない、任意の適当なトランスポートセクションとすることができる。トランスポートシステムを駆動するのに使用されるモータは、イントラベイトランスポートセクション２１５に沿って加工品コンテナを移動できる無制限のストロークを有する任意の適当なリニアモータとすることができる。このリニアモータは、移動部品を有しないソリッドステートのモータとすることができる。例えば、このリニアモータは、ブラシ付きまたはブラシのないＡＣまたはＤＣモータ、リニア誘導モータまたはリニアステップモータとすることができる。このリニアモータは、イントラベイトランスポートセクション２１５内に組み込んでもよいし、または加工品トランスポートもしくはコンテナ自体に組み込んでもよい。別の実施形態では、イントラベイトランスポートシステムを通して加工品トランスポートを駆動するように任意の適当なドライブ手段を組み込むことができる。更に別の実施形態では、イントラベイトランスポートシステムは、トラックのない車輪付き自律トランスポートビークル用のパスウェイとすることができる。
【００１６】
イントラベイトランスポートセクション２１５は、米国特許出願第11/556,584号に記載のような、キューセクションおよびシャントを使用することより、イントラベイトランスポートセクション２１５のパスに沿った加工品トランスポートの中断されない高速移動または流れを一般に可能にできる。例えば、インターベイトランスポートセクション２２０は、処理またはファブベイを形成でき、ベイキューセクション２３５を介し、イントラベイトランスポートセクション２１５に接続されている。ベイキューセクション２３５は、インターベイまたはイントラベイトランスポートセクション２２０、２１５の両側に位置でき、加工品コンテナがイントラベイトランスポートセクション２１５の両側に沿った材料の流れまたはインターベイトランスポートセクション２２０に沿った材料の流れを、停止またはスローダウンすることなく、加工品コンテナがインターベイトランスポートセクション２２０に進入可能にする。走行レーンの上、または走行レーンの外での選択可能なアクセスを認めるアクセスレーンおよび走行レーンを有するトランスポートシステムの一例は、本明細書で全体を参考例とする「トランスポーテーションシステム」を発明の名称とし、２００５年８月２４日に出願された米国特許出願第11/211,236号に記載されている。インターベイトランスポートセクション２２０およびベイキューセクション２３５は、イントラベイトランスポートセクション２１５のための上記システムに実質的に類似したトラックシステムを有することができる。別の実施形態では、インターベイトランスポートセクション２２０およびベイキューセクション２３５は、任意の適当なコンフィギュレーション、形状または形態にすることができ、任意の適当な態様で駆動できる。
【００１７】
インターベイトランスポートセクション２２０は、任意の数の処理ツール２３０をトランスポートシステム２００、２００’に接続するコリドー（回廊）または通路内で延長できる。これらインターベイトランスポートセクション２２０は、図２に示され、これまで記載したように２つ以上のイントラベイトランスポートセクション２１５を互いに接続することもできる。図２および３は、インターベイトランスポートセクション２２０は、楕円形状に示されているが、別の実施形態では、これらセクションは、任意の適当なコンフィギュレーションまたは形状でよく、任意の製造ファシリティのレイアウトに適合できる。インターベイトランスポートセクション２２０は、例えば、ベイキューセクション２３５に実質的に類似するトランスポートサイディングまたはシャント２２５を通して、処理ツール２３０に接続できる。加工品コンテナはシャント２２５内にある間、処理ツールステーションの位置に対応するツールインターフェースステーション（図示せず）で停止できるので、加工品および／またはコンテナ自体を適当な移送手段、例えば、機器フロントエンドモジュール、ソーターまたは他の任意の適当な移送ロボットにより、処理ツール積み込みポートまたは他の任意の適当な加工品ステージングエリアに移送できる。後述するように、一実施形態では、ＡＭＨＳは、各キャリアがインターベイまたはイントラベイトラックセグメントに進入するか、これから出る際に、キャリアの内容を決定するための識別リーダーも含むことができる。
【００１８】
異なるセクション２１５、２２０、２２５、２３５からの、またはこれらの間での加工品キャリアまたはトランスポートの切り換えは、コントローラに接続された任意の適当なガイドまたはマテリアル制御システムによって制御できる。このガイドシステムは、セクション２１５、２２０、２２５、２３５、２４０に沿って移動するトランスポートの位置決定を考慮した位置決めデバイスを含むことができる。この位置決めデバイスは、任意の適当なタイプ、例えば、連続デバイスまたは分散デバイス、例えば、光、磁気、バーコード、もしくはセクション２１５、２２０、２２５、２３５、２４０に沿って横断するように延びる基準ストリップとすることができる。分散デバイスは、コントローラがセクション２１５、２２０、２２５、２３５、２４０上のトランスポートの位置だけでなく、トランスポートの運動状態も設定できるように、トランスポート上に位置する適当な読み出しデバイスによって読み出すか、または他の方法で問い合わせることができる。これとは異なり、デバイスは位置、運動状態を識別するために、トランスポート上のセンサーアイテムを検出および／または問い合わせすることができる。この位置決めデバイスは移動するトランスポートの位置を検出できるディスクリート位置決めデバイス（例えば、レーザー距離測定デバイス、超音波距離測定デバイス、または内部ＧＰＳに類似する内部位置決めシステム、または内部リバースＧＰＳ）を単独で、または分散デバイスと組み合わせて含むこともできる。コントローラがガイドシステムからの情報とトランスポートからの位置フィードバック情報とを組み合わせ、セクション２１５、２２０、２２５、２３５、２４０に沿った、かつこれらの間の、トランスポートのトランスポートパスを設定し、維持することができる。
【００１９】
別の実施形態では、ガイドシステムは加工品トランスポート上の機械的なガイド特徴部と協働するための構造的または機械的ガイド表面を形成する溝、レール、トラックまたは他の任意の適当な構造体を含むか、または有することができる。更に別の実施形態では、セクション２１５、２２０、２２５、２３５、２４０は、加工品トランスポートのための電子的ガイドを行うプリントストリップまたは導線のような電気ライン（例えば、トランスポート上の適当なガイドシステムによって検出される適当な電磁信号を送る電気ライン）も含むことができる。本明細書で説明する識別リーダーは、誤って識別されるか、または誤った位置にある基板キャリアを、後述するようにＡＭＨＳを通して向きを直すか、またはその他の方法で処理するための任意の適当な態様で、ガイドシステムに接続できる。別の実施形態では、誤って識別されるか、または誤った位置にある基板キャリアを任意の適当な態様で、向きを直すか、または他の方法で処理することができる。
【００２０】
ＡＭＨＳは、本願で全体を参考例として援用する米国特許第6,990,721号に記載されているように、トランスポートセグメントの各々内に多数のトランスポートパスを有するように構成することもできる。後により詳細に説明するように、例えば、基板キャリアが処理ベイに進入したとき、または処理ベイから出たときの、基板キャリアの内容を識別するように、各トランスポートパスの開始点および／または終了点に識別リーダーを設けてもよい。一例として、次に図４を参照すると、各イントラベイトランスポートセグメント４２２Ａ〜４２２Ｃは、ビークルがセグメントを横断できるようにする、トランスポートビークル（図示されず）のための適当なテーブル手段によって提供される多数のトランスポートパス４２３Ａ〜４２４Ａ、４２３Ｂ〜４２４Ｂ、４２３Ｃ〜４２４Ｃを有することができる。トランスポートビークルを、任意の適当なトランスポートビークル、例えば、米国特許出願第10/697,528号に記載されているトランスポートビークルとすることができる。各セグメントのトランスポートパスは、（矢印Ｘ１、Ｘ２が示す方向に）セグメント上のトランスポートビークルの実質的に同時の双方向の走行を可能にするように配置できる。図４から分かるように、（矢印Ｘ１が示す）一方向に走行するよう、例えば、４２３Ａ、４２３Ｂ、４２３Ｃのような１つのパスをトランスポートビークルによって使用でき、（矢印Ｘ２が示す）反対方向に走行するよう、別のパス４２４Ａ、４２４Ｂ、４２４Ｃを使用できる。これら走行パスは、所定の走行方向専用としてもよいし、トランスポート積み込み条件に合うよう、トランスポートアルゴリズムに従って所望するように走行方向を切り換えてもよい。例えば、専用でないケースでは、まず最初、図４内の矢印Ｘ１が示す方向にビークルを走行させるよう、セグメント４２２Ａのトランスポートパス４２３Ａを使用することができる。このとき、パス４２４Ａは、方向Ｘ２の走行を可能にしたものとなっている。しかしながら、その後にファシリティ内に、ある数のトランスポートビークルがあり、方向ｘ２にパス４２３Ａを移動させるほうがより効率的となる位置へトランスポートビークルが向かっていると予想される場合、パス４２３Ａの走行方向を方向Ｘ２に変更することができ、この場合、パス４２４ＡはＸ１の走行に使用される状態となる。ＡＭＨＳの双方向の性質に適合するよう、各トラックセグメントの開始点および終了点に後述する識別リーダーを設けることができる。別の実施形態では、双方向のトランスポートパスに対して任意の適当な位置に識別リーダーを設けてもよい。
【００２１】
図４に示されるように、各セグメント４２２Ａ〜４２２Ｃは、このセグメントの対応する両端にジャンクションまたはターンテーブル４３０、４３２、４３４、４３６を有することができる。例えば、図４に示された実施形態では、セグメント４２２Ａは、一端部４２６Ａにジャンクション４３０を有し、他端部４２８Ａに別のジャンクション４３２を有する。セグメント４２２Ｂ、４２２Ｃは、これらセグメントの対応する反対の端部４２６Ｂ〜４２６Ｃおよび４２８Ｂ〜４２８Ｃにあるそれぞれのジャンクション４３２、４３４、４３６に類似する。各セグメント４２２Ａ〜４２２Ｃのそれぞれの走行パス４２３Ａ〜４２３Ｃ、４２４Ａ〜４２４Ｃは、トランスポートビークルがあるセグメントから別のセグメントに移ることができるように、対応する各ジャンクション４３０、４３２、４３４、４３６で実質的に交差している。例えば、ジャンクション４３０、４３２、４３４、４３６は、キャリアを処理ツール４０３にトランスポートさせるために、トランスポートビークルがイントラベイセクション４２２Ａ〜４２２Ｃからインターベイセクション４７１〜４７４へ移動できるようにする。図４から分かるように、インターベイセクション４７１〜４７４の１つ以上は、ジャンクションまたはターンテーブル４１７、４６０、４６１、４６２Ａ、４６２Ｂだけでなく、米国特許第6,990,721号に記載されているような双方向のトラックも含むことができる。より詳細に後述するように、一実施形態では、ジャンクションまたはターンテーブルのうちの１つ以上は、キャリアの内容をトラッキングするための識別リーダーを含むことができる。
【００２２】
次に図５および６を参照する。これら図には、一実施形態の特徴を含むＡＭＨＳのセクションが示されている。この実施形態では、ＡＭＨＳは保管エリア５１５Ａ、５１５Ｂ、５１５Ｃ、６２０、６２１を含むことができ、これら保管エリアは、それぞれのイントラベイまたはインターベイトランスポートセグメント５１５、５２０、５２２Ｂ、５２２Ａ、５１０、６４０、６４１の下に懸架されるように取り付けられている。図４に関してこれまで説明したように、図５のＡＭＨＳは、トランスポートセグメント５１５、５２０、５２２Ｂ、５２２Ａ、５１０、６４０、６４１の１つ以上を接合するターンテーブル５７０、５７１を含むことができる。より詳細に後述するように、モバイル識別リーダーは、例えば、保管エリア内に保管されている基板キャリアの各々の内容を識別するように、保管エリアに沿って移動するように構成できる。図５に示された実施形態における例では、保管セクション５１５Ａは、トランスポートセグメント５２２Ｂのトランスポートパス５２３の下に位置する材料保管コンパートメント５５１を有する。一実施形態では、材料保管コンパートメントは基板キャリアまたはコンテナ、例えば、フロントオープニング統一ポッド（ＦＯＵＰＳ）または他の任意の適当な基板キャリア／コンテナを保持するように構成できる。別の実施形態では、材料保管コンパートメントは、適当な材料または基板がキャリア内にあるか否かにかかわらず、任意の適当な材料または基板を保持するように構成できる。別の実施形態では、材料保管コンパートメントは、ＡＭＨＳによりアンダートラック保管エリアからコンパートメントを除くことができるように構成できる。理解できるように、アンダートラック保管システムは、ワークインプロセス（ＷＩＰ）ロットを保持するための保管容量を提供し、よって処理ツールのためのバッファを提供できるが、ストッカーによって占有されるようなファシリティのフロアスペースを占有しないという点で有利である。次の点も理解できるように、ＡＭＨＳトラックの任意の適当な部分は、例えば、米国特許第6,990,721号に記載されているように、アンダートラック保管部を有することができる。
【００２３】
依然として図６を参照し、更に図７も参照し、識別／トラッキングシステムを有するＡＭＨＳの一実施形態について説明する。ＡＭＨＳは、ビークルトラック６３１、トランスポートビークル７１０、キャリア７２０、識別リーダー７３０およびコントローラ７６０を含む。このＡＭＨＳは、統一されたＡＭＨＳでもよいし、または分離されたＡＭＨＳでもよいと理解できよう。ＡＭＨＳのトラック６３１は、例えば、図４〜６を参照してこれまで説明したトラックに実質的に類似したものでよい。別の実施形態では、ＡＭＨＳトラックは任意の適当なトラックでもよい。コントローラ７６０は、ＡＭＨＳを作動させるように構成された任意の適当なコントローラとすることができる。このコントローラ７６０は、例えば、メモリ７６５およびＡＭＨＳを作動させるための任意の適当なソフトウェアまたはハードウェア、例えば、マテリアル制御システム７７０を含むことができる。このコントローラは、任意の適当な接続部、例えば、ＡＭＨＳ通信ネットワーク７５０を通して、トランスポートビークル７１０および識別リーダー７３０に適当に接続できる。ＡＭＨＳ通信ネットワーク７５０は、イーサネット（登録商標）ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、ワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）、携帯電話ネットワーク、無線周波数ネットワークまたは他の任意の適当な短距離または長距離通信ネットワークを含むが、これらに限定されない任意の適当な有線または無線ネットワークとすることができる。
【００２４】
上記のように、トランスポートコンテナ７２０は、フロントオープニング統一ポッド（ＦＯＵＰＳ）および標準的機械式インターフェース（ＳＭＩＦ）ポッドを含むが、これらに限定されない任意の適当な積み荷を搬送するための任意の適当なトランスポートコンテナとすることができる。この実施形態の例では、ＡＭＨＳのトランスポートコンテナ７２０の各々に、例えば、ＲＦＩＤタグ７２１を装備することができる。このＲＦＩＤタグは、例えば、ＲＦＩＤリーダー７３０により、タグの読み取りを可能にするキャリアのエリア内、またはエリア上に適当に位置させることができる。理解できるように、別の実施形態では、ＲＦＩＤの代わりに、一次元または多次元バーコード、赤外線タグ、人が読み取りできるマークの光学的文字認識（ＯＣＲ）、もしくは他の任意の適当な技術を含むがこれらに限定されない任意の適当な識別技術を利用できる。
【００２５】
このＲＦＩＤタグ７２１は、受動的タグ、能動的タグまたは半受動的タグを含むが、これらに限定されない任意の適当なＲＦＩＤタグとすることができる。別の実施形態では、このＲＦＩＤタグは、位置決めシステムがＧＰＳで可能なタグの識別を読み取るためのリーダーを含む場合、（ＧＰＳシステムに類似するが、製造ファシリティ内のアイテムをトラッキングできる）製造ファシリティ位置決めシステムによってトラッキングできるＧＰＳで可能なタグに実質的に類似したものでよい。ＲＦＩＤタグ７２１は、例えば、キャリアがＷＩＰとして製造ストリーム内におかれたときに、それぞれのキャリア７２０の積み荷または内容に関連付けできる。別の実施形態では、所定の時間の任意の適当なポイントにおいて、キャリアの内容とそれぞれのＲＦＩＤタグとを関連付けてもよい。このＲＦＩＤタグとキャリアとの関連付けは、例えば、オペレータによってマニュアルで行ってもよいし、または例えば、キャリアの１つ以上のコンテント上のＲＦＩＤタグ識別子およびインデックスをセンサが読み取ることによって自動的に行ってもよい。別の実施形態では、ＲＦＩＤタグとキャリアの内容との関連付けを任意の適当な態様で設定してもよい。識別データベース内に内在させるよう、コントローラのマテリアル制御システム７７０に、内容およびタグ識別子の記述を送ることができる。この識別データベースは、例えば、コントローラ７６０のようなコントローラのメモリ７６５内に記憶できる。別の実施形態では、コントローラ７６０および／またはマテリアル制御システム７７０により遠隔的にアクセスできるリモートロケーション内に、識別データベースを記憶してもよい。別の実施形態では、コンテントの記述および関連するタグ識別子を記録のために任意の適当なロケーションへ送ってもよい。例えば、キャリアが半導体基板を含む場合、識別データベースはキャリア内の基板のサイズ、基板の数および基板がどの処理ステージを経過したかに関する任意の適当な情報を含むことができる。理解できるように、このデータベースはＡＭＨＳ内でトランスポートされている任意の適当な材料に対する任意の適当な情報を含むように構成できる。一実施形態の例では、例えば、より詳細に後述するように、キャリア７２０がＲＦＩＤリーダーを通過するときのキャリア７２０のコンテントの製造ステータスに関してデータベースを自動的に送信することができる。別の実施形態では、任意の適当な態様でデータベース内の任意の適当な情報を更新できる。
【００２６】
図６および７から理解でき、これまで記載したように、ＲＦＩＤリーダー６８０、６８１、６８２、６８３、６８４は、ＡＭＨＳのトラックに沿って位置していてもよいし、ＡＭＨＳのターンテーブルに位置していてもよい。これらＲＦＩＤリーダー６８０、６８１、６８２、６８３、６８４は、リーダーがタグを通過したとき、または逆にタグがリーダーを通過したときにタグ情報を捕捉するようになっている任意の適当なリーダーとすることができる。例えば、これらリーダー６８０、６８１、６８２、６８３、６８４は、ＲＦＩＤリーダー７３０に実質的に類似したものでよい。ＲＦＩＤリーダー７３０は、ＲＦＩＤタグ７１２からの情報を受信するための任意の適当なアンテナ７３１およびトランスポートビークル７１０、ＲＦＩＤタグ７２１および／またはキャリア７２０の存在を検出するためのセンサ７３２を含むことができる。一実施形態では、センサ７３２は、動きセンサ、近接センサおよび光センサを含むが、これらに限定されない、任意の適当なセンサとすることができる。別の実施形態では、リーダーは、ＲＦＩＤタグから情報を収集し、ＲＦＩＤタグを含む物体またはＲＦＩＤタグ自体が存在することを検出するための任意の適当なハードウェアおよび／またはソフトウェアを含むことができる。更に別の実施形態では、リーダーは、任意の適当な識別タグ、マーキングまたはインデックスから情報を収集するための光リーダーまたは他の任意の適当なリーダーとすることができる。
【００２７】
図６から分かるように、ＲＦＩＤリーダー６８０〜６８４は、ＡＭＨＳ内の任意の適当なロケーションに置くことができる。この実施形態の例では、ＲＦＩＤリーダー６８０〜６８４は、ＡＭＨＳのトラックに沿って、例えば、トラックセグメント６３０および６３１に沿って位置させることができる。一実施形態の例では、リーダー６８０〜６８４を、トラックセグメントの下方に位置させてもよいが、別の実施形態では、リーダーはトラックセグメントと任意の適当な位置関係を有することができる。この例では、キャリアがそれぞれのトラックセグメント６３０、６３１またはそれぞれの処理ツール４０３から離間するときに、各キャリア７２０から識別情報を収集するように、各トラックセグメントの端部にＲＦＩＤリーダー６８３、６８４が位置している。別の実施形態の例では、キャリアがそれぞれのトラックに進入するかまたはトラックから離間したときに識別情報を収集できるよう、異なるＡＭＨＳトラックを接続しているターンテーブル６７０〜６７２内／上および／または開始点に、ＲＦＩＤリーダー６８０〜６８２を位置させてもよい。別の実施形態では、リーダーはトラックセグメントの開始点を含むが、これに限定されないトラックセグメントの任意の適当なエリアにリーダーを位置させてもよい。
【００２８】
図８も参照する。次に実施形態に従って本明細書に記載する識別リーダーを有するＡＭＨＳの作動例について説明する。この実施形態の例では、トランスポートビークル、例えば、ビークル７１０が処理ステーション４３０のうちの１つからキャリア７２０をピックアップする（図８、ブロック８００）。ビークル７１０は、識別リーダー、例えば、リーダー６８４を通過するように、例えば、トラックセグメント６３０に沿ってキャリア７２０を搬送できる（図８、ブロック８０５）。ビークル７１０がリーダー６８４を通過する際に、ビークルセンサ７３４はビークル７１０を検出し、例えば、リーダーのアンテナ７３１を通してキャリア識別の読み取りをトリガーする（図８、ブロック８１０）。アンテナは、ＲＦＩＤタグ７２１からのキャリア７２０の識別を読み取り、タグ識別子に関する信号をコントローラ７６０へ送る（図８、ブロック８１５、８２０）。このコントローラ７６０は、リーダーが読み取った識別情報に基づき、ＡＭＨＳ内の所望するロケーション内にキャリア７２０およびその内容があるかどうかを判断する（すなわちピックアップされているキャリアが、例えば、所定の時間およびロケーションで、ビークルによってピックアップされるようなスケジュールが定められたキャリアであるかどうかを証明する）ことができる（図８、ブロック８２５）。例えば、コントローラ７６０のマテリアル制御システム７７０は、例えば、相関化データベース内のリーダーによって読み出された識別情報に対応するキャリア７２０の内部をルックアップできる。
【００２９】
所定の処理動作のために、キャリアの内容および／または識別情報が例えば、データベース内の所定の識別情報／キャリア内容と一致する場合（例えば、キャリアがピックアップされるようにスケジュールの定められたキャリアである場合）、マテリアル制御システム７７０は処理ステーションおよび保管エリアを含むがこれらに限定されない所定のロケーションにビークル７１０がキャリア７２０をトランスポートするようにすることができる（図８、ブロック８３０）。キャリアの内容および／または識別情報が所定の識別情報／キャリアの内容と一致しない場合、マテリアル制御システム７７０は、誤った位置にあるキャリア／積み荷の自動回収を行うことができる。例えば、マテリアル制御システム７７０は、ＡＭＨＳのトランスポートビークルに対してキャリア７２０をＡＭＨＳの適当な任意のエリア、例えば、再コンフィギュレーションステーションへトランスポートすることを命令でき、この再コンフィギュレーションステーションにて、キャリア７２０の内容が、再識別され、および／またはキャリアの識別子と再関連付けできる。この再コンフィギュレーションステーションは、任意の適当なステーションでよい。一実施形態では、この再コンフィギュレーションステーションは、オペレータがキャリア７２０の内容を検査し、キャリア７２０の内容とキャリアの識別とを再関連付けするようなマニュアル操作式ステーションとすることができる。別の実施形態では、再コンフィギュレーションステーションは、自動化されたステーションとすることができ、このステーションでは、例えば、適当な任意のセンサによりロボットがキャリア７２０の内容を検査し、内容とキャリアの識別とを再関連付けするようになっている。別の実施形態では、キャリアの内容は任意の適当な態様で検査／再関連付けできる。更に別の実施形態では、再コンフィギュレーションステーションにおいてキャリアの内容をＷＩＰに戻すように再導入するための任意の適当な作業を実施してもよい。例えば、不一致が発見された場合、マテリアル制御システム７７０はキャリア７２０の内容を新しい識別子を有する新しいロットとして扱い、例えば、リアルタイムの処理によりキャリアの内容に基づき、キャリアの所望する目的地を決定するか、または所定のロケーションにおいてＷＩＰ内にキャリア７２０を再挿入することにより、ロットの扱いを繰り返すことができる（図８、ブロック８３５、８４５）。別の実施形態では、誤った位置にあるキャリアおよびそれぞれの内容、すなわち積み荷が、所望する処理ステージで挿入されるよう任意の適当な態様でこれらをＷＩＰに再導入することができる。
【００３０】
次に図９を参照する。別の実施形態に従い、識別リーダーについて説明する。図５から分かるように、この識別リーダー９００は、トランスポートビークル７１０’内に組み込むことができる。このトランスポートビークル７１０’は、図７を参照してこれまで説明したトランスポートビークル７１０と実質的に類似するものでよいし、別リーダー９００の図７を参照してこれまで説明した識別リーダー７３０と実質的に類似するものでよい。例えば、識別リーダーは、アンテナ９０２と、キャリア７２０を検出し、例えば、キャリア７２０のＲタグ７２１から識別情報を読み出すためのセンサ９０１を有することができる。この例では、キャリア７２０がトランスポートされるときに識別情報を収集できるよう、トランスポートビークル内、またはそのまわりの任意の適当なロケーションに識別リーダー９００のコンポーネントを位置させることができる。例えば、図９Ａを参照すると、キャリアをトランスポートできるようにトランスポートビークルはキャリア７２０に係合または他の方法でキャリア７２０を安定化するためのアーム９３０、９３１を有することができる。一実施形態では、リーダーの電子回路９００、センサ９０１および／またはアンテナ９０２を、アーム９３０、９３１のうちの１つ以上に内蔵または実装することができる。別の実施形態では、センサ９０１および／またはアンテナ９０２は、アーム９３０、９３１の１つ以上に位置できるセンサの電子回路９００は、トランスポートビークルの電子回路内にリーダーが組み込まれるように、トランスポートビークル電子回路９４０と共に位置できる。別の実施形態では、センサ電子回路９００、アンテナ９０２および／またはセンサ９０１は、任意の適当なロケーションに別々に、または共に位置することができる。センサ９００は、任意の適当な態様でＡＭＨＳ通信ネットワーク７５０およびコントローラ７６０に適当に接続できる。例えば、この実施形態におけるセンサは、任意の適当な有線または無線通信リンク９１０により、コントローラに接続できる。例えば、通信リンク９１０は、赤外線、携帯電話、無線周波数、ＬＡＮ、ＷＡＮまたは他の任意の適当な短距離または長距離通信リンクとすることができる。
【００３１】
次に図１０を参照し、図９の識別リーダーの作動例について説明する。この実施形態の例では、トランスポートビークル７１０’は、任意の適当なロケーション、例えば、処理ステーション４０３（図６参照）からキャリア７２０をピックアップする（図１０、ブロック１０００）。キャリアセンサ９０１は、キャリア７２０を検出し、ＲＦＩＤタグ７２１から識別情報を読み出すようにアンテナ９０２をトリガーする（図１０、ブロック１０１０）。別の実施形態では、任意の適当な態様で、識別情報を読み出すように、アンテナ９０２をトリガーできる。例えば、ビークル７１０’のアーム９３０、９３１がキャリアに係合したときに、識別情報の読み出しをトリガーできる。この識別リーダー電子回路９００は、キャリア７２０から読み出された識別情報に対応する信号をコントローラ７６０に送り（図１０、ブロック１０２０）、ここでコントローラは図８のブロック８２５〜８４５に関してこれまで説明した態様と実質的に類似する態様で、キャリア７２０の識別／内容と所定のキャリアの識別／内容との間の不一致があるかどうかを判断する。
【００３２】
次に図１１を参照し、一実施形態に係わる別の識別リーダーについて説明する。この実施形態の例では、以下、本明細書で単なる例として診断キャリア１１２０と称すキャリア内に識別リーダーを組み込むことができる。この実施形態では、リーダー１１００、アンテナ１１０２およびリーダーセンサ１１０１は、図７を参照してこれまで説明したものと実質的に類似したものでよい。キャリア７２０Ａ、７２０ＢのＲＦＩＤタグ７２１Ａ、７２１Ｂを読み出すことができるように、リーダー１００は、キャリア内の適当な位置に位置できる。別の実施形態では、キャリア１１２０内に、ＲＦＩＤタグ７２１Ａ、７２１Ｂを読み出すことができる任意の適当なデバイスを挿入できる。このデバイスは、タブレットパソコンおよびパーソナルデジタルアシスタントを含むことができるが、これらだけに限定されない。これらデバイスは、キャリア７２０Ａ、７２０Ｂからの識別情報が存在することも検出し、これら情報を読み出すために、任意の適当なセンサおよびアンテナを有することができる。識別リーダー１１００は、例えば、図９を参照してこれまで説明した態様と実質的に類似した態様で、任意の適当な接続部１１４０を通してコントローラに適当に接続できる。別の実施形態では、キャリアは、診断キャリア１１２０を取り上げたときに、トランスポートビークル７１０の対応するインターフェースまたはコネクタに係合するインターフェースまたはコネクタを有することができる。この別の実施形態では、ビークル７１０と診断キャリア１１２０の間のインターフェースを通して、コントローラ７６０との通信を確立できる。更に別の実施形態では、任意の適当な態様で、診断キャリア１１２０とコントローラ７６０との間の通信を確立できる。
【００３３】
この実施形態の例では、ＷＩＰキャリア、例えば、キャリア７２０Ａ、７２０Ｂが走査されていないときには、任意の適当なオフライン位置に診断キャリア１１２０を保管してよい。別の実施形態では、この診断キャリアはオンライン位置に保管できる。この診断キャリアの保管位置は、処理ファシリティを通る作業のフローを妨害しない任意の適当な位置とすることができる。例えば、オフライン位置として、ストッカー、アンダートラック保管位置およびトラックセグメントのシャントまたはバッファが挙げられるこれらだけに限定されない。別の実施形態では、オペレータによりビークル７１０へマニュアルで診断キャリア１１２０を供給できる。更に別の実施形態では、任意の適当な位置から任意の適当な態様で、診断キャリア１１２０をトランスポートビークル７１０に供給できる。この実施形態におけるＷＩＰキャリア７２０Ａ、７２０Ｂも、任意の適当なロケーション、例えば、図６に示されるアンダートラック保管部６２０、６２１に保管することもできる。別の実施形態では、識別すべきキャリアは、例えば、処理ツールの積み込みポート内またはトランスポートビークル７１０がアクセスできる他の任意の適当なロケーションに位置することができる。
【００３４】
次に、図２を参照し、診断キャリア１１２０の作動について説明する。トランスポートビークル７１０は、適当な位置、例えば、上記オフライン位置から診断キャリア１１２０をピックアップする（図１２、ブロック１２００）。診断キャリア１１２０は、所望するＷＩＰキャリア、例えば、図６に関してこれまで説明したアンダートラック保管部内に位置できるキャリア７２０Ａ、７２０Ｂを通過するように（図１２、ブロック１２１０）、ＡＭＨＳトランスポートビークル７１０により、製造ファシリティを通過するように診断キャリアをトランスポートできる。別の実施形態では、（例えば、診断キャリア１１２０のＲＦＩＤリーダー１１００の検出距離内で）トランスポートビークルがアクセスできるＲＦＩＤタグを有する適当なＷＩＰにより、診断キャリアをトランスポートできる。この実施形態では、診断キャリア１１２０が、例えば、キャリア７２０Ａを通過する際に、リーダー１１００のキャリアセンサ１１０１は、リーダー１１０のアンテナ１１０２により、タグ７２１０の識別情報の読み取りをトリガーする（図１２、ブロック１２２０）。理解できるように、診断キャリア１１２０が、例えば、アンダートラック保管エリア内の連続する各ＷＩＰキャリアを通過する際に、センサ１１０１はそれぞれの識別情報の読み取りをトリガーする。別の実施形態では、タグリーダーは任意の適当な態様でＷＩＰキャリア７２０Ａ、７２０ＢのＲＦＩＤタグ７２１Ａ、７２１Ｂに問い合わせできる。例えば、別の一実施形態では、リーダー１１００は、センサ１１０１が問い合わせをトリガーすることなく、リーダーが通過したＲＦＩＤタグを附勢するための信号を連続的に出力するように構成できる。診断キャリア１１２０のリーダー１１００が、診断キャリア１２００がそれぞれのＷＩＰキャリアを通過する際に、診断キャリア１１２０のリーダー１１００は、ＷＩＰキャリアの識別情報を読み出す（図１２、ブロック１２３０）。この識別リーダー１１００は、リーダー１１００が読み出した識別情報に対応する信号をコントローラ７６０へ送り（図１２、ブロック１２４０）、ここで、例えば、コントローラ７６０のマテリアル制御システム７７０は、図８のブロック８２５〜８４５に関してこれまで説明したように、スキャンされたＷＩＰキャリアのロケーション（および／または積み荷）とリーダー１１００がスキャンした識別情報に対応するそれぞれのキャリアの所定のロケーションとの間に不一致があるかどうかを判断する。
【００３５】
理解できるように、リーダー１１００によって各ＷＩＰキャリアの識別情報が読み出されると、ＡＭＨＳ内のそれぞれのＷＩＰキャリアのロケーションを決定できる。例えば、診断キャリア１１２０がＷＩＰキャリア７２０Ａ、７２０Ｂのそれぞれの１つを通過する際に、診断キャリア１１２０を搬送するトランスポートビークル７１０の位置が記録され、ＷＩＰキャリア７２０Ａ、７２０Ｂのそれぞれの１つの識別データに相関化することができる。更に理解できるように、コントローラ７６０（およびこのコントローラ７６０のマテリアル制御システム７７０）は、任意の適当な態様でトランスポートビークルの位置を記録するように構成できる。例えば、一実施形態では、リーダー１００のセンサ１１０１は、センサ１１０１がＷＩＰ記録を検出するときのトランスポートビークル７１０の位置を記録するように、コントローラ７６０をトリガーできる。一実施形態では、識別リーダー１１００がリーダー１１００の読み出した識別情報に対応する信号をコントローラ７６０に送るとき、それぞれのＷＩＰキャリアの位置を記録するように構成できる。このコントローラは、トランスポートビークルがＷＩＰキャリアを通過した実際の時間とは異なる、信号受信の遅れ時間を補償するように構成できる。例えば、コントローラはビークルの速度および情報信号がコントローラに達するまでかかる時間に関する情報を使用して、トランスポートビークルの位置を決定するための適当なアルゴリズムを含むことができる。別の実施形態では、情報信号を受信したときから、トランスポートビークルの位置を記憶したときまでのタイムラグは、適当な態様で補償できる。上記のように、例えば、マテリアル制御システム７７０は、識別情報とそれぞれの各ＷＩＰキャリアに対するトランスポートビークルの記録位置とをマージすることにより、識別されたＷＩＰキャリアをそれぞれの各ＷＩＰキャリアに対する所定の位置との間に不一致があると判断できる。
【００３６】
理解できるように、この実施形態の例では、任意の適当な時間に診断キャリア１１２０は、ＡＭＨＳトラックの１つ以上のセクションを横断するようにスケジュールを定めることができる。例えば、ＡＭＨＳは、毎日適当な回数（例えば、一日に１回、一日に２回、一日に３回など）、診断キャリア１１２０をピックアップし、このキャリアが任意の適当なＷＩＰを通過するようにトランスポートするよう構成できる。別の実施形態の例では、適当な回数、診断キャリア１１２０をマニュアルでピックアップし、これをトランスポートし、ＡＭＨＳを通過できるようにＡＭＨＳを構成できる。別の実施形態では、適当な回数、ＡＭＨＳを通過するように任意の適当な数の診断キャリアをトランスポートできる。別の実施形態の例では、本明細書に記載のような不一致が見つかり、この不一致により、他のＷＩＰキャリアが所定の位置にあることが証明された場合、例えば、トラックセグメント内のＷＩＰキャリアの各々により、診断キャリア１１２０をトランスポートできる。
【００３７】
別の実施形態の例では、診断キャリア１１２０は、失われた積み荷の検出も可能にできる。例えば、ＷＩＰキャリアの間で不一致が発見され、ＡＭＨＳ内で１つのＷＩＰキャリアが失われたと判断された場合、例えば、この失われた積み荷を見つけるために、エリア６２０、６２１のようなアンダートラック保管エリアを自動的に、またはマニュアルでスキャンするように、診断キャリアを配備できる。別の実施形態では、診断キャリア１１２０は、アンダートラック保管部、積み込みポートまたは失われた積み荷の識別を可能にするよう、ＡＭＨＳにアクセスできる新の他の適当なエリアを含むが、これらに限定されない、任意の適当な保管ロケーションを診断キャリア１１２０がスキャンできる。
【００３８】
ＡＭＨＳ内またはＡＭＨＳによって取り扱われる材料または積み荷を識別できる能力を有する上記ＡＭＨＳは、迅速かつ効率的な態様で、誤った位置にあるキャリア／積み荷の識別を識別できるようにするので、この結果、積み荷が失われるのを防止できる。上記識別読み取り能力は、トランスポートビークルを含むが、これに限定されない、ＡＭＨＳの任意の適当なエリアに組み込むことができるので、トランスポートビークルはリーダーにより、キャリア内の積み荷として駆動できるか、またはＡＭＨＳのトランスポートビークルによってトランスポートできるキャリア内に組み込むことができる。更に、失われた積み荷を効率的に識別するよう、積み荷が失われた場合に、ＡＭＨＳ全体にわたって診断キャリアをトランスポートできる。コントローラのマテリアル制御システムは、ＷＩＰ内に再挿入するための所定の位置へ、誤った位置にあるキャリア／積み荷を自動的に戻すように構成できる。理解できるように、マテリアル制御システムにより、失われた積み荷／キャリアの再挿入をマニュアルで行ってもよい。
【００３９】
更に理解できるように、ＡＭＨＳ内でのトランスポート中、および／または基板カセットが、例えば、アンダートラック保管エリア内にある間に基板カセットを識別するので、処理ツールが、ツールによってインターフェースされた基板の識別を読み出すことなく、更に、キャリアが正しくないキャリアとして識別された場合にキャリアを除くことなく、更に、正しいキャリアをＡＭＨＳ内のある場所から得ることなく、処理ツールが基板を処理するため、製造回数を少なくすることが可能となる。
【００４０】
本明細書に記載の実施形態は、別々に、または組み合わせて使用できると理解すべきである。更に上記記載は実施形態の単なる説明であることも理解すべきである。当業者であれば、実施形態から逸脱することなく、種々の代替例および変更例を想到できよう。従って、実施形態は特許請求の範囲に入るかかるすべての代替例、変更例および変形例を含むものである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図９Ａ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【外国語明細書】
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