(57)【要約】      （修正有）【課題】インクジェットヘッドに外力が作用し、圧電アクチュエータが破壊されるのを抑制する。【解決手段】インクジェットヘッド１は、流路ユニット２と圧電アクチュエータ３とフレキシブルケーブル４を積層して接合されており、流路ユニット２の個別電極２２と接続している第１表面電極２０に対向する位置に圧力室１０が形成されており、共通電極２３と接続している第２表面電極２１に対向する位置に凹部１２が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルと、前記ノズルに連通する圧力室を有する流路ユニットと、
前記圧力室を覆って前記流路ユニットに接合された圧電アクチュエータを備えた液体吐出装置において、
前記圧電アクチュエータは、圧電シートと複数種類の電極を積層して形成されており、前記複数種類の電極のうちの少なくとも１種類の電極が前記圧電シートの一部領域に配置されていることで、前記圧電アクチュエータは、前記圧電アクチュエータの面方向において互いに厚さが異なった領域を有しており、
前記流路ユニットの前記圧電アクチュエータの厚みが厚い領域と対向する領域に前記圧力室または凹部が形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記圧力室と前記凹部は、前記流路ユニットの前記圧電アクチュエータと当接する面に形成されており、その面と直交する面における前記凹部の断面積が前記圧力室の断面積よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記圧電アクチュエータは、圧電シートと個別電極と共通電極を積層して形成され、前記圧電アクチュエータの表面に前記個別電極と接続された第１表面電極と、前記共通電極に接続された第２表面電極を有し、
前記流路ユニットの前記第１表面電極に対向する領域に前記圧力室が形成されており、前記流路ユニットの第２表面電極に対向する領域に前記凹部が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記第２表面電極と、前記第２表面電極に対向する前記凹部がそれぞれ複数設けられており、
前記流路ユニットの前記圧電アクチュエータと当接する面に、複数の前記凹部を互いに連通させる接続溝が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記第２表面電極は、前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと当接する面と反対側の面において、前記個別電極が配置された領域よりも外周側の領域に配置されており、
前記凹部は、前記流路ユニットの前記圧電アクチュエータと当接する面における、前記圧電アクチュエータが当接する領域とその領域の外側の領域にまたがって形成されており、
前記接続溝は、前記流路ユニットの前記圧電アクチュエータと当接する面における、前記圧電アクチュエータが当接する領域の外側の領域に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記圧電アクチュエータの前記第２表面電極が配置された領域は、前記共通電極と前記第２表面電極の間に複数の前記圧電シートが積層され、前記複数の圧電シートのそれぞれにスルーホールが形成されており、
前記第２表面電極は、前記スルーホールに充填された導電材料によって前記共通電極と導通しており、
前記複数の圧電シートの前記圧電シートの間には、前記それぞれのスルーホールを互いに導通させる補助電極が形成されていることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記補助電極は、前記圧電アクチュエータの外周領域全域にわたって形成されていることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液体を吐出する液体吐出装置として、例えばインクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドがある。かかるインクジェットヘッドは、流路ユニットとアクチュエータを備えており、アクチュエータが、流路ユニットに形成された圧力室内のインクに圧力を与えることで、ノズルからインクを吐出させている。
【０００３】
特許文献１に記載されたアクチュエータは、圧電シートと駆動電圧が付与される個別電極とグランド電圧に保持されるコモン電極を積層して形成された圧電アクチュエータである。この圧電アクチュエータの個別電極は、流路ユニットの圧力室に対向する位置に配置されており、コモン電極は、複数の個別電極に対向して配置されている。
【０００４】
そして、インクジェットヘッドからインクを吐出させる際には、圧電アクチュエータにフレキシブルケーブルを介して接続された制御基板から個別電極に駆動電圧が印加され、個別電極とコモン電極の間に電界を発生させることで、これらの電極に挟まれた圧電シートを圧電変形させている。この圧電変形にともない、圧力室の容積が変化し、圧力室内のインクに圧力が付与されてインクが吐出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−８０７０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この圧電アクチュエータは、上述のとおり、圧電シートと電極を積層して形成しているため、個別電極が配置されている領域は、個別電極が配置されていない領域より圧電アクチュエータの厚さが厚くなる。また、個別電極とコモン電極は、圧電アクチュエータの表面に配置された表面電極を介してフレキシブルフラットケーブルと接続されるため、表面電極が圧電アクチュエータの圧電シートと電極の積層方向と直交する表面に配置されている場合には、表面電極が配置された領域も圧電アクチュエータの厚さが厚くなる。
【０００７】
圧電アクチュエータに外力が作用すると、圧電アクチュエータの厚さが厚い領域に外力が集中することとなる。このとき、流路ユニットにおいて、圧電アクチュエータの個別電極に対向する位置には、圧力室が形成されているが、共通電極に接続された表面電極に対向する位置には、圧力室は形成されていない。そのため、圧電アクチュエータの個別電極に接続された表面電極が配置された領域は圧力室側に変形するが、共通電極に接続された表面電極が配置された領域は変形できないため、この領域に外力が集中することとなる。脆性材料である圧電シートに外力が集中すると、圧電シートにひび割れが生じ、圧電アクチュエータが破壊されるおそれがある。
【０００８】
そこで、本発明は、圧電アクチュエータに外力が作用しても、圧電アクチュエータが破壊されることがない液体吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明の液体吐出装置は、ノズルと、前記ノズルに連通する圧力室を有する流路ユニットと、前記圧力室を覆って前記流路ユニットに接合された圧電アクチュエータを備えた液体吐出装置において、前記圧電アクチュエータは、圧電シートと複数種類の電極を積層して形成されており、前記複数種類の電極のうちの少なくとも１種類の電極が前記圧電シートの一部領域に配置されていることで、前記圧電アクチュエータは、前記圧電アクチュエータの面方向において互いに厚さが異なった領域を有しており、前記流路ユニットの前記圧電アクチュエータの厚みが厚い領域と対向する領域に前記圧力室または凹部が形成されていることを特徴としている。
【００１０】
これによれば、流路ユニットの圧電アクチュエータの厚みが厚い領域と対向する領域に圧力室または凹部が形成されているため、圧電アクチュエータに外力が作用しても、圧電アクチュエータの厚みが厚い領域は、流路ユニットに向かって撓むように変形することができる。そのため、圧電アクチュエータの厚みが厚い領域に作用する外力を低減することができ、圧電アクチュエータが破壊されるのを抑制することができる。
【００１１】
第２の発明の液体吐出装置は、前記第１の発明において、前記圧力室と前記凹部は、前記流路ユニットの前記圧電アクチュエータと当接する面に形成されており、その面と直交する面における前記凹部の断面積が前記圧力室の断面積よりも小さいことを特徴としている。
【００１２】
これによれば、圧電アクチュエータと流路ユニットを接着する接着剤を毛細管現象により凹部に導くことができ、接着剤のはみ出しを抑制できる液体吐出装置を提供することができる。
【００１３】
第３の発明の液体吐出装置は、前記第１または第２の発明において、前記圧電アクチュエータは、圧電シートと個別電極と共通電極を積層して形成され、前記圧電アクチュエータの表面に前記個別電極と接続された第１表面電極と、前記共通電極に接続された第２表面電極を有し、前記流路ユニットの前記第１表面電極に対向する領域に前記圧力室が形成されており、前記流路ユニットの第２表面電極に対向する領域に前記凹部が形成されていることを特徴としている。
【００１４】
これによれば、第１表面電極と第２表面電極が配置された領域は、圧電アクチュエータの厚さが厚くなるが、流路ユニットの上記表面電極に対向する領域に圧力室または、凹部が形成されているため、圧電アクチュエータの表面電極が配置された領域が破壊されるのを抑制することができる。
【００１５】
第４の発明の液体吐出装置は、前記第３の発明において、前記第２表面電極と、前記第２表面電極に対向する前記凹部がそれぞれ複数設けられており、前記流路ユニットの前記圧電アクチュエータと当接する面に、複数の前記凹部を互いに連通させる接続溝が形成されていることを特徴としている。
【００１６】
これによれば、圧電アクチュエータと流路ユニットを接着する接着剤の分布に偏りがあり、複数の凹部のうちいずれかの凹部に接着剤が集中したとしても、凹部が接続溝によって互いに連通されているため、効果的に接着剤のはみ出しを抑制できる液体吐出装置を提供することができる。
【００１７】
第５の発明の液体吐出装置は、前記第４の発明において、前記第２表面電極は、前記圧電アクチュエータの前記流路ユニットと当接する面と反対側の面において、前記個別電極が配置された領域よりも外周側の領域に配置されており、前記凹部は、前記流路ユニットの前記圧電アクチュエータと当接する面における、前記圧電アクチュエータが当接する領域とその領域の外側の領域にまたがって形成されており、前記接続溝は、前記流路ユニットの前記圧電アクチュエータと当接する面における、前記圧電アクチュエータが当接する領域の外側の領域に形成されていることを特徴としている。
【００１８】
これによれば、圧電アクチュエータと流路ユニットを接着する接着剤を圧電アクチュエータのより外周側の凹部と接続溝で捕獲できるため、効果的に接着剤のはみ出しを抑制できる液体吐出装置を提供することができる。
【００１９】
第６の発明の液体吐出装置は、前記第３〜第５の発明のいずれかにおいて、前記圧電アクチュエータの前記第２表面電極が配置された領域は、前記共通電極と前記第２表面電極の間に複数の前記圧電シートが積層され、前記複数の圧電シートのそれぞれにスルーホールが形成されており、前記第２表面電極は、前記スルーホールに充填された導電材料によって前記共通電極と導通しており、前記複数の圧電シートの前記圧電シートの間には、前記それぞれのスルーホールを互いに導通させる補助電極が形成されていることを特徴としている。
【００２０】
これによれば、補助電極が形成されているため、この補助電極が形成された領域は圧電アクチュエータが厚くなり、流路ユニットのこの領域に対向する領域に凹部を形成する必要性が高くなる。
【００２１】
第７の発明の液体吐出装置は、前記第６の発明において、前記補助電極は、前記圧電アクチュエータの外周領域全域にわたって形成されていることを特徴としている。
【００２２】
これによれば、補助電極が圧電アクチュエータの外周領域を補強もすることにより、圧電アクチュエータの外周領域の厚さが厚くなり、流路ユニットのこの領域に対向する領域に凹部を形成する必要性が高くなるとともに、接着剤を圧電アクチュエータのより外周側で捕獲できるため、効果的に接着剤のはみ出しを抑制できる液体吐出装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る液体吐出装置は、圧電アクチュエータに外力が作用しても、圧電アクチュエータの厚みが厚い領域に外力が集中するのを低減することができ、圧電アクチュエータが破壊されるのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】（ａ）図１のＡ−Ａ’線断面図である。（ｂ）図１のＢ−Ｂ’線断面図である。
【図３】本実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。
【図４】本実施形態に係る圧電アクチュエータの分解斜視図である。
【図５】図４のＣ−Ｃ’線断面図である。
【図６】第１変形形態に係る圧電アクチュエータの分解斜視図である。
【図７】第２変形形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。
【図８】第３変形形態に係るインクジェットヘッドの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
次に、本発明の好適な実施形態について説明する。本実施形態は、液体吐出装置として、記録用紙に対してインクを噴射して画像等を記録するインクジェットプリンタのインクジェットヘッドに本発明を適用したものである。
【００２６】
図１は、本実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。図１に示すように、インクジェットヘッド１は、流路ユニット２と圧電アクチュエータ３とフレキシブルケーブル４を積層して接合し形成される。
【００２７】
流路ユニット２は、図２に示すように、金属製プレートであるキャビティプレート６、ベースプレート７、マニホールドプレート８、およびノズルプレート９が積層されて形成されている。
【００２８】
キャビティプレート６には、圧力室１０、インク供給口１１、凹部１２、および接続溝１３が圧電アクチュエータ３と当接する面に開放して形成されている。圧力室１０は、略楕円形状であり、１つのインク供給口１１に対応して列をなし、４つのインク供給口１１に対応して圧力室１０の列が４列形成されている。また、複数の圧力室１０の外側の領域には、複数の凹部１２と、これらの凹部１２を互いに連通させる接続溝１３が形成されている。この接続溝１３は、圧電アクチュエータ３が接合される領域よりも外側の領域に形成されている。凹部１２と接続溝１３は、幅および深さが圧力室１０よりも小さく、幅方向および深さ方向に平行な断面の断面積が圧力室１０の断面積よりも小さくなっている。なお、凹部１２と接続溝１３の当該断面積が圧力室１０の断面積よりも小さい形状であれば、幅と深さのいずれかが圧力室１０よりも大きくてもよい。
【００２９】
ベースプレート７には、圧力室１０の両端にそれぞれ連通する連通孔１５、１６が形成されている。
【００３０】
マニホールドプレート８には、共通液室１４と連通孔１７が形成されている。共通液室１４は、インク供給口１１に連通し、１つのインク供給口１１に対応して配置されている圧力室１０の列方向に延びて形成されており、インク供給口１１に対応して４つ形成されている。そして、共通液室１４は、連通孔１５を介して複数の圧力室１０と連通している。連通孔１７は、ベースプレート７の連通孔１６と連通しており、さらに、後述するノズル１８と連通している。
【００３１】
ノズルプレート９には、複数の圧力室１０のそれぞれに対応したノズル１８が形成されている。以上により、流路ユニット２には、インク供給口１１からノズル１８までのインク流路が形成されている。この流路ユニット２に対して、インク供給口１１に接続された図示しない外部のインクカートリッジからインクが供給される。このとき、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローの４色のインクを貯留したインクカートリッジがそれぞれのインク供給口１１に接続されてインクが供給される。なお、流路ユニット２に供給されるインクは、いかなる種類のインクであってもよく、すべて同じ種類のインクが供給されてもよい。
【００３２】
圧電アクチュエータ３は、図２〜図５に示すように、圧電材料からなる複数の圧電シート２５を積層して形成されている。各圧電シート２５の間には、個別電極２２、共通電極２３、および補助電極２４が配置されている。また、圧電アクチュエータ３の流路ユニット２と当接する面には、共通電極２３が形成されており、圧電アクチュエータ３のフレキシブルケーブル４と当接する面には、第１表面電極２０、第２表面電極２１が形成されている。この圧電アクチュエータ３の厚さ方向から見て、個別電極２２と共通電極２３が重なる領域の圧電シート２５は、その厚さ方向に分極されている。
【００３３】
第１表面電極２０は、図示しないスルーホールに充填された電極材料を介して個別電極２２と電気的に接続されている。また、第２表面電極２１は、図５に示すように、スルーホール２６に充填された電極材料を介して共通電極２３と電気的に接続されている。このとき、スルーホールを互いに隣接する圧電シート２５の同じ位置に作成すると、圧電アクチュエータ３を製造する際に、圧電シート２５同士に位置ずれが生じると、スルーホール同士が導通しなくなるおそれがある。そのため、隣接する圧電シート２５の間に補助電極２４を配置し、スルーホール同士が補助電極２４を介して導通することで、スルーホール間の電気的接続の信頼性を高めている。
【００３４】
この圧電アクチュエータ３は、第１表面電極２０と個別電極２２が配置された領域と、第２表面電極２１と補助電極２４が配置された領域の厚さがほぼ同じ厚さであり、それ以外の領域は上記領域よりも薄くなっている。
【００３５】
フレキシブルケーブル４は、樹脂製の基板上に、ドライバＩＣ３０と接続端子３１と図示しない複数の配線が配置されている。接続端子３１は、ドライバＩＣ３０に電力を供給する電源と接続するための端子である。接続端子３１からドライバＩＣ３０に向けて配線が配置されており、接続端子３１とドライバＩＣ３０が電気的に接続されている。また、ドライバＩＣ３０からフレキシブルケーブル４の接続端子３１と反対側の端部に向かって、圧電アクチュエータ３の表面電極２０、２１と接続するための配線が配置されている。
【００３６】
そして、図３に示すように、流路ユニット２と圧電アクチュエータ３とフレキシブルケーブル４が積層され接合されて、インクジェットヘッド１を形成している。このとき、流路ユニット２において、圧電アクチュエータ４の第１表面電極２０、個別電極２２と対向する位置には、圧力室１０が形成されており、圧電アクチュエータ４の第２表面電極２１、補助電極２４と対向する位置には、凹部１２が形成されている。また、フレキシブルケーブル４の複数の配線が、それぞれ表面電極２０、２１と電気的に接続されている。
【００３７】
このインクジェットヘッド１において、圧電アクチュエータ３に外力が作用すると、圧電アクチュエータ３の厚さが厚い領域に外力が集中することになるが、流路ユニット２の第１表面電極２０と個別電極２２に対向する領域には、圧力室１０が形成されており、第２表面電極２１と補助電極２４に対向する領域には、凹部１２が形成されているため、これら圧電アクチュエータ３の厚さが厚い領域が流路ユニット２に向かって撓むように変形する。そのため、外力は、圧電アクチュエータ３の表面電極２０、２１が配置された面に一様に作用することになり、圧電アクチュエータ３の厚さが厚い領域に外力が集中することを抑制することができる。
【００３８】
また、圧電アクチュエータ３の流路ユニット２と当接する面の共通電極２３は、圧電アクチュエータ３を圧電変形させるための電極としてだけでなく、圧力室１０内のインクと圧電シート２５を隔離する機能も有する。
【００３９】
次に、インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。
【００４０】
流路ユニット２は、それぞれのプレート６〜９にエッチングやレーザ加工により圧力室１０等のインク流路となる孔を形成する。その後、これらのプレート６〜９を積層し接着剤により接合して流路ユニット２を形成する。プレート６〜９の接合にあたっては、接着剤以外にも、金属拡散接合など他の接合方法を用いてもよい。
【００４１】
圧電アクチュエータ３は、圧電材料からなる複数のグリーンシート上にそれぞれ表面電極２０、２１、個別電極２２、共通電極２３、および補強電極２４のパターンを印刷により形成し、これらのグリーンシートを積層し焼成して圧電シート２５とすることで圧電アクチュエータ３を形成している。なお、表面電極２０、２１、および流路ユニット２と当接する面の共通電極２３は、グリーンシートを焼成後に圧電シート２５上に印刷により形成してもよい。また、電極を形成する方法は、印刷に限られず、スパッタ法などいかなる方法であってもよい。さらに、圧電アクチュエータ３を形成する方法は、グリーンシートを焼成することに限られず、ＡＤ法、ゾルゲル法、蒸着などいかなる方法で形成してもよい。
【００４２】
その後、流路ユニット２と圧電アクチュエータ３を接合する。まず、圧電アクチュエータ３の流路ユニット２と当接する面に接着剤を塗布し、その後、第１表面電極２０が圧力室１０に対向し、第２表面電極２１が凹部１２に対向するように、流路ユニット２と圧電アクチュエータ３を位置合わせし、互いに押圧して接合する。押圧を始めると、この圧電アクチュエータ３の厚さが厚い領域に押圧力が集中して作用するが、流路ユニット２の当該領域に対向する位置には、圧力室１０、凹部１２が形成されており、当該領域は、流路ユニット２に向かって撓むように変形する。これにより、圧電アクチュエータ３の表面電極２０、２１が形成された面が、全面に渡って一様に押圧されることとなり、圧電アクチュエータ３の厚さが厚い領域に押圧力が集中することがなく、圧電アクチュエータ３が破壊されるのを抑制することができる。
【００４３】
さらに、凹部１２と接続溝１３は、幅および深さが圧力室１０よりも小さく、幅方向および深さ方向に平行な断面の断面積が圧力室１０の断面積よりも小さくなっているため、圧電アクチュエータ３に塗布された接着剤のうち、接合に使われない余剰分は、毛細管現象により凹部１２と接続溝１３に流れこむ。すなわち、凹部１２と接続溝１３は、接着剤の逃がし溝としての機能も有する。これにより、圧力室１０内に接着剤が流れ込むことを抑制することができる。
【００４４】
さらに、圧電アクチュエータ３に塗布された接着剤が均一でなく、いずれかの凹部１２に余剰な接着剤が集中したとしても、複数の凹部１２が接続溝１３で互いに連通しているため、余剰な接着剤を確実に捕獲することができる。
【００４５】
また、仮に、余剰な接着剤が圧電アクチュエータ３の上面にまで達してしまうと、第１表面電極２０と第２表面電極２１、あるいは、複数の第１表面電極２０同士が接着剤を介して導通することとなり、圧電アクチュエータ３を破壊してしまうこととなる。しかしながら、凹部１２と接続溝１３は、流路ユニット２と圧電アクチュエータ３を接合したときに、圧電アクチュエータ３の外形よりも外側の領域にまで形成されているため、圧電アクチュエータ３の外側にはみ出た接着剤が圧電アクチュエータ３の側面に沿って上面にまで達することがなく、圧電アクチュエータ３が破壊されるのを抑制することができる。
【００４６】
その後、圧電アクチュエータ３とフレキシブルケーブル４を接合する。表面電極２０、２１上にハンダバンプを形成し、流路ユニット２に接合された圧電アクチュエータ３とフレキシブルケーブル４を重ねて加熱しながら互いに押圧することで、表面電極２０、２１とフレキシブルケーブル４の配線とを電気的に接続させるとともに、圧電アクチュエータ３とフレキシブルケーブル４を接合する。この押圧によっても、上記と同様に、表面電極２０、２１に押圧力が作用するが、流路ユニット２において、表面電極２０、２１と対向する位置には、圧力室１０、凹溝１２が形成されており、表面電極２０、２１が形成されている領域は、流路ユニット２に向かって撓むように変形する。これにより、当該領域に押圧力が集中することがなく、圧電アクチュエータ３が破壊されるのを抑制することができる。なお、ハンダバンプは、フレキシブルケーブル４の配線上に形成してもよい。
【００４７】
次に、本実施形態に種々の変更を加えた変形形態について説明する。ただし、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。なお、図７、および図８では、フレキシブルケーブル４の図示を省略している。
【００４８】
第１変形形態は、図６に示すように、第２表面電極２１と共通電極２３を導通させる図示しないスルーホール同士の電気的接続の信頼性を高めるための補助電極２４が、圧電アクチュエータ３の外周領域全域に配置されている。
【００４９】
圧電アクチュエータ３を製造する際に、複数のグリーンシートを積層し、焼成して形成しているが、複数の圧電アクチュエータ３を同時に形成するために、グリーンシートを焼成した後、圧電シート２５を切断することで、複数の圧電アクチュエータ３を形成している。このとき、圧電材料は脆性材料であるため、圧電アクチュエータ３を切り出す際に、圧電アクチュエータ３の外周領域の圧電シート２５に欠けが生じることがある。しかしながら、補助電極２４が圧電アクチュエータ３の外周領域全域に配置されているため、圧電アクチュエータ３の外周領域が延性材料である金属材料からなる補助電極２４に補強されており、圧電アクチュエータ３の外周領域の欠けを抑制することができる。
【００５０】
第２変形形態は、図７に示すように、第２表面電極２１、補助電極２４が圧電アクチュエータ３の個別電極２１が形成された領域内に配置されている。この第２変形形態においても本実施形態と同様に、複数の凹部１２を接続溝１３で互いに連通させてもよい。
【００５１】
第３変形形態は、図８に示すように、個別電極２２と共通電極２３が圧電アクチュエータ３の厚み方向から見て重ならない領域に配置されている。この場合、圧電シート２５の圧電アクチュエータ３の厚み方向から見て個別電極２２と共通電極２３の間の領域は、その厚さ方向に分極されており、本実施形態、および第１、第２変形形態と異なり、個別電極２２から共通電極２３に向かう電界方向と圧電シート２５の分極方向が平行となっていない。この圧電アクチュエータ３は、圧電アクチュエータ３の厚み方向から見て第１表面電極２０が個別電極２２と重なる領域に配置されており、第２表面電極２１が共通電極２３と重なる領域に配置されているため、圧電アクチュエータ３における当該領域の厚さが厚くなっている。
【００５２】
いずれの変形形態においても、本実施形態と同様に、流路ユニット２の圧電アクチュエータ３と当接する面において、第２表面電極２１と対向する位置に凹部１２が形成されている。そのため、圧電アクチュエータ３が押圧された際に、第２表面電極２１が配置された領域も第１表面電極２０が配置された領域と同様に、流路ユニット２側に変形することで、第２表面電極２１が配置された領域に押圧力が集中するのを抑制することができる。また、この凹部１２は、流路ユニット２と圧電アクチュエータ３を接着剤で接合する際に、接着剤の逃がし溝としても機能する。
【００５３】
また、本実施形態、および第１、第２変形形態においては、圧電アクチュエータ３の流路ユニット２と当接する面に共通電極２３が形成されていたが、これに限られず、圧力室１０内のインクと圧電シート２５を隔離するために、金属材料や樹脂材料などからなるインク隔離膜が形成されていてもよい。さらに、第３変形形態において、圧電アクチュエータ３の流路ユニット２と当接する面にインク隔離膜が形成されていてもよい。インク隔離膜は、圧電アクチュエータ３と先に接合され、その後、圧電アクチュエータ３と流路ユニット２を接合してもよく、また、流路ユニット２と先に接合され、その後、圧電アクチュエータ３と流路ユニット２を接合してもよい。
【００５４】
また、本実施形態、および第１、第２変形形態においては、圧電アクチュエータ３は、第１表面電極２０と個別電極２２が配置された領域と、第２表面電極２１と補助電極２４が配置された領域の厚さがほぼ同じ厚さであるが、これに限られず、これらの領域の厚さが異なっていてもよい。この場合、圧電アクチュエータ３の第２表面電極２１と補助電極２４が配置された領域の厚さが、第１表面電極２０、個別電極２２のいずれも配置されていない領域よりも厚ければ本発明を適用することができる。
【００５５】
さらに、第２表面電極２１が配置された領域に補助電極２４が配置されていることに限られず、補助電極２４は配置されていなくてもよい。この場合でも、圧電アクチュエータ３の第２表面電極２１が配置された領域の厚さが、第１表面電極２０、個別電極２２のいずれも配置されていない領域よりも厚ければ本発明を適用することができる。
【００５６】
また、以上においては、流路ユニット２は、金属製プレートを積層して形成されていたが、これに限られず、樹脂製プレートなどで形成されていてもよい。さらに、流路ユニット２を構成する一部のプレート（例えば、ノズルプレート９のみ）が樹脂製プレートで形成されていてもよい。また、流路ユニット２がシリコン基板等で形成されていてもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１  インクジェットヘッド
２  流路ユニット
３  圧電アクチュエータ
４  フレキシブルケーブル
１０  圧力室
１２  凹部
１３  接続溝
２０  第１表面電極
２１  第２表面電極
２２  個別電極
２３  共通電極
２４  補助電極
２５  圧電シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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