(57)【要約】【課題】塗布剤塗布方法において、時間経過によって粘度が変化する塗布剤の塗布量のムラを抑制するとともに作業効率を向上することができるようにする。【解決手段】塗布剤塗布方法であって、圧力を塗布剤の硬化開始時からの経過時間に応じて変化させる圧力制御データを決定する圧力決定工程（ステップＳ５、Ｓ９）と、圧力制御データに基づいて予め設定された試し塗布速度で塗布剤を試し塗布する試し塗布工程（ステップＳ６）と、試し塗布量を測定する試し塗布量測定工程（ステップＳ７）と、単位塗布長さ当たりの塗布量が予め設定された目標塗布量となる塗布速度の大きさを算出する塗布速度算出工程（ステップＳ８）と、算出された塗布速度によって被塗布体と吐出口とを相対移動させて、被塗布体に塗布剤を塗布する本塗布工程（ステップＳ１０）とを、備える方法とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
硬化開始時から粘度が変化する塗布剤を、吐出口を有する容器に収容し、前記塗布剤に圧力を加えて、前記吐出口から吐出させるとともに、被塗布体と前記吐出口とを相対移動させて、前記被塗布体上に前記塗布剤を塗布する塗布剤塗布方法であって、
前記吐出口からの前記塗布剤の吐出量が一定となるように、前記圧力を前記塗布剤の硬化開始時からの経過時間に応じて変化させる圧力制御データを決定する圧力決定工程と、
該圧力決定工程で決定された前記圧力制御データに基づいて前記塗布剤に圧力を加えるとともに、予め設定された試し塗布速度で試し塗布部材と前記吐出口とを相対移動させて前記試し塗布部材上に前記塗布剤を試し塗布する試し塗布工程と、
該試し塗布工程で試し塗布された塗布剤の試し塗布量を測定する試し塗布量測定工程と、
該試し塗布量測定工程で測定された前記試し塗布量に基づいて、単位塗布長さ当たりの塗布量が予め設定された目標塗布量となる塗布速度の大きさを算出する塗布速度算出工程と、
前記圧力決定工程で決定された前記圧力を前記塗布剤に加えるとともに、前記塗布速度算出工程において算出された前記塗布速度によって前記被塗布体と前記吐出口とを相対移動させて、前記被塗布体に前記塗布剤を塗布する本塗布工程とを、
備えることを特徴とする塗布剤塗布方法。
【請求項２】
前記試し塗布量測定工程では、
前記試し塗布量を、試し塗布された塗布剤の質量として測定する
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布剤塗布方法。
【請求項３】
前記試し塗布量測定工程では、
前記試し塗布量を、試し塗布された塗布剤の前記相対移動方向に直交する断面における断面積として測定する
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布剤塗布方法。
【請求項４】
前記試し塗布量測定工程では、
前記試し塗布量を、試し塗布された塗布剤の前記相対移動方向に直交する方向の線幅として測定する
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布剤塗布方法。
【請求項５】
硬化開始時から粘度が変化する塗布剤を収容して吐出口から吐出させる容器と、該容器内の前記塗布剤に圧力を加える圧力供給部と、被塗布体と前記吐出口とを相対移動させる相対移動機構とを有する塗布剤塗布装置であって、
前記塗布剤の硬化開始時からの経過時間を測定する経過時間測定部と、
前記吐出口からの前記塗布剤の吐出量が一定となるように、前記圧力を前記塗布剤の硬化開始時からの経過時間に応じて変化させる圧力制御データを記憶し、前記経過時間測定部によって測定された前記経過時間および前記圧力制御データに基づいて前記塗布剤に加える圧力を制御する圧力制御部と、
該圧力制御部で制御された前記圧力を前記圧力供給部を介して前記塗布剤に加えるとともに、前記相対移動機構によって、予め設定された試し塗布速度で試し塗布部材と前記吐出口とを相対移動させることにより、前記試し塗布部材上に前記塗布剤を試し塗布する試し塗布部と、
試し塗布された塗布剤の試し塗布量を測定する試し塗布量測定部と、
該試し塗布量測定部によって測定された前記試し塗布量に基づいて、単位塗布長さ当たりの塗布量が予め設定された目標塗布量となる塗布速度の大きさを算出する塗布速度算出部と、
該塗布速度算出部によって算出された前記塗布速度によって前記相対移動機構の相対移動量を制御する塗布速度制御部とを、
備えることを特徴とする塗布剤塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、硬化開始時から粘度が変化する塗布剤を塗布する塗布剤塗布方法および塗布剤塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、シリンジなどに塗布剤を収容して加圧し、シリンジに設けられた吐出口から吐出し、吐出口に対して被塗布体を相対移動することによって、塗布剤を被塗布体に塗布する塗布剤塗布方法および塗布剤塗布装置が知られている。
このような塗布剤塗布方法および塗布剤塗布装置では、塗布剤の粘度が変化すると塗布量が変化してしまう。そこで、塗布量を正確に保つために塗布剤の粘度を測定して、塗布条件を決めることが知られている。
例えば、特許文献１には、チクソトロピー性を有する塗布剤を塗布する塗布装置であって、予め撹拌されることなく静的状態に保たれることにより粘度が最大値もしくは最大値に近い状態とされた塗布剤の粘度を測定する粘度測定手段を備え、この粘度測定手段により求められた塗布剤の粘度が最大値もしくは最大値に近い粘度に基づいて、塗布剤を吐出させる塗布装置が記載されている。
この塗布装置では、シリンジに供給される塗布剤が静置された状態にあることを利用して、予め撹拌されることなく静的状態に保たれた塗布剤の粘度を粘度測定手段によって測定し、測定された粘度に基づいて吐出圧力を設定している。これにより、製造元の公表している、攪拌によって一定値まで低下した粘度値とは異なり、吐出される直前の塗布剤の実際の粘度に近い粘度を測定することができる。このため、塗布量を正確に設定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−４６９４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような従来の塗布剤塗布方法および塗布剤塗布装置には、以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術では、チクソトロピー性を有する塗布剤における静置状態の粘度を実際に測定して、塗布剤の吐出量を制御しているが、塗布剤の粘度が時間に依存して変化する場合には、吐出量が時間とともに変化するため、塗布量の誤差が発生するという問題がある。
塗布剤の粘度の時間変化に応じて塗布剤の粘度を測定することも考えられるが、粘度測定では供給塗布剤を交換するたびに粘度測定装置の洗浄、再設定が必要となるため、粘度測定に手間がかかり、塗布作業の作業効率が低下するという問題がある。
また、塗布剤塗布装置に粘度測定装置を備えなければならないため、装置構成が複雑となるという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、時間経過によって粘度が変化する塗布剤の塗布量のムラを抑制するとともに作業効率を向上することができる塗布剤塗布方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、時間経過によって粘度が変化する塗布剤の塗布量のムラを抑制するとともに迅速に塗布することができる簡素な構成の塗布剤塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、硬化開始時から粘度が変化する塗布剤を、吐出口を有する容器に収容し、前記塗布剤に圧力を加えて、前記吐出口から吐出させるとともに、被塗布体と前記吐出口とを相対移動させて、前記被塗布体上に前記塗布剤を塗布する塗布剤塗布方法であって、前記吐出口からの前記塗布剤の吐出量が一定となるように、前記圧力を前記塗布剤の硬化開始時からの経過時間に応じて変化させる圧力制御データを決定する圧力決定工程と、該圧力決定工程で決定された前記圧力制御データに基づいて前記塗布剤に圧力を加えるとともに、予め設定された試し塗布速度で試し塗布部材と前記吐出口とを相対移動させて前記試し塗布部材上に前記塗布剤を試し塗布する試し塗布工程と、該試し塗布工程で試し塗布された塗布剤の試し塗布量を測定する試し塗布量測定工程と、該試し塗布量測定工程で測定された前記試し塗布量に基づいて、単位塗布長さ当たりの塗布量が予め設定された目標塗布量となる塗布速度の大きさを算出する塗布速度算出工程と、前記圧力決定工程で決定された前記圧力を前記塗布剤に加えるとともに、前記塗布速度算出工程において算出された前記塗布速度によって前記被塗布体と前記吐出口とを相対移動させて、前記被塗布体に前記塗布剤を塗布する本塗布工程とを、備える方法とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の塗布剤塗布方法において、前記試し塗布量測定工程では、前記試し塗布量を、試し塗布された塗布剤の質量として測定する方法とする。
【０００８】
請求項３に記載の発明では、請求項１に記載の塗布剤塗布方法において、前記試し塗布量測定工程では、前記試し塗布量を、試し塗布された塗布剤の前記相対移動方向に直交する断面における断面積として測定する方法とする。
【０００９】
請求項４に記載の発明では、請求項１に記載の塗布剤塗布方法において、前記試し塗布量測定工程では、前記試し塗布量を、試し塗布された塗布剤の前記相対移動方向に直交する方向の線幅として測定する方法とする。
【００１０】
請求項５に記載の発明では、硬化開始時から粘度が変化する塗布剤を収容して吐出口から吐出させる容器と、該容器内の前記塗布剤に圧力を加える圧力供給部と、被塗布体と前記吐出口とを相対移動させる相対移動機構とを有する塗布剤塗布装置であって、前記塗布剤の硬化開始時からの経過時間を測定する経過時間測定部と、前記吐出口からの前記塗布剤の吐出量が一定となるように、前記圧力を前記塗布剤の硬化開始時からの経過時間に応じて変化させる圧力制御データを記憶し、前記経過時間測定部によって測定された前記経過時間および前記圧力制御データに基づいて前記塗布剤に加える圧力を制御する圧力制御部と、該圧力制御部で制御された前記圧力を前記圧力供給部を介して前記塗布剤に加えるとともに、前記相対移動機構によって、予め設定された試し塗布速度で試し塗布部材と前記吐出口とを相対移動させることにより、前記試し塗布部材上に前記塗布剤を試し塗布する試し塗布部と、試し塗布された塗布剤の試し塗布量を測定する試し塗布量測定部と、該試し塗布量測定部によって測定された前記試し塗布量に基づいて、単位塗布長さ当たりの塗布量が予め設定された目標塗布量となる塗布速度の大きさを算出する塗布速度算出部と、該塗布速度算出部によって算出された前記塗布速度によって前記相対移動機構の相対移動量を制御する塗布速度制御部とを、備える構成とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の塗布剤塗布方法によれば、経過時間に応じた圧力制御データによって塗布剤に加える圧力を決定することにより時間経過によって粘度が変化する塗布剤の塗布量のムラを抑制するとともに、試し塗布を行って塗布量を測定することにより単位塗布長さ当たりの塗布量が一定となるように塗布速度を設定するため、塗布剤のロット差に起因し粘度が変化する塗布剤の塗布量のムラを抑制するので、作業効率を向上することができるという効果を奏する。
本発明の塗布剤塗布装置によれば、経過時間に応じた圧力制御データによって塗布剤に加える圧力を決定するとともに、試し塗布を行って塗布量を測定することにより単位塗布長さ当たりの塗布量が一定となるように塗布速度を変更するため、時間経過によって粘度が変化する塗布剤の塗布量のムラを抑制するとともに迅速に塗布することができ、粘度測定装置を備えなくてもよいため簡素な装置となるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布装置の構成を示す模式的な斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布装置の制御ユニットの機能構成を示す機能ブロック図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布装置に記憶された圧力制御データの一例を示す模式的なグラフである。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布方法の工程フロー図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布方法における試し塗布量に対する適正な塗布速度の一例を示す模式的なグラフである。
【図６】本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布方法の原理を説明する模式的なグラフである。
【図７】本発明の第２の実施形態に係る塗布剤塗布装置の構成を示す模式的な斜視図およびそのＡ−Ａ断面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る塗布剤塗布装置の制御ユニットの機能構成を示す機能ブロック図である。
【図９】本発明の第３の実施形態に係る塗布剤塗布装置の構成を示す模式的な斜視図およびそのＢ視図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態に係る塗布剤塗布装置の制御ユニットの機能構成を示す機能ブロック図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態に係る塗布剤塗布装置の数値テーブルの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
【００１４】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布装置について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布装置の構成を示す模式的な斜視図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布装置の制御ユニットの機能構成を示す機能ブロック図である。図３は、本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布装置に記憶された圧力制御データの一例を示す模式的なグラフである。図３において、横軸は硬化開始時からの経過時間、縦軸は補正された圧力である供給圧力を表す。
【００１５】
本実施形態の塗布装置５０（塗布剤塗布装置）は、図１に示すように、例えば平板などの被塗布体上に、硬化開始時から時間経過とともに粘度が変化する塗布剤３を塗布する装置である。
塗布剤３の種類としては、例えば、２液を混合すると化学反応により硬化が進行して粘度が増大していく２液性接着剤や、水分や溶剤の揮発により硬化を開始して硬化の進行とともに粘度が増大していく乾燥型接着剤などの例を挙げることができる。
【００１６】
塗布装置５０の概略構成は、載置台１、塗布剤容器２（容器）、ＸＹＺ軸ロボット５（相対移動機構）、圧力供給部６、制御ユニット７および電子天秤８（試し塗布量測定部）を備える。
【００１７】
載置台１は、被塗布体に塗布剤３を塗布する間、被塗布体を水平に載置して位置を固定しておくものである。載置台１上には、図示しない位置決め部材が設けられており、被塗布体の水平方向の位置を適宜位置合わせできるようになっている。
本実施形態に用いる被塗布体は、本塗布を行うためのワーク１２と、試し塗布を行うための試し塗布用基板１０（試し塗布部材）とがある。試し塗布用基板１０は、塗布剤３が同じ状態で塗布されるように、少なくとも表面は、例えば塗布剤３に対する濡れ性などがワーク１２と同様となる材料で構成される。ワーク１２と同じ材質であればより好ましい。ただし、試し塗布用基板１０は、ワーク１２よりも少ない量の塗布剤３を塗布できればよいため、塗布剤３を塗布する領域の面積はワーク１２よりも小さくてよい。
本実施形態では、試し塗布用基板１０は、予め同じ質量に調整されたものを使用している。
【００１８】
塗布剤容器２は、塗布剤３を貯留する容器であり、下端部に塗布剤３を下方に吐出するためのニードル４が設けられている。ニードル４の先端には、塗布剤３を吐出させる吐出口４ａが設けられている。
塗布剤容器２の上部には、圧縮エア９を塗布剤容器２の内部に供給するエアチューブ６ｂが接続されている。
【００１９】
ＸＹＺ軸ロボット５は、塗布剤容器２を載置台１の上方に保持して塗布剤容器２を鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動させるＺ軸移動アーム５ｚと、Ｚ軸移動アーム５ｚを水平方向の一方向（Ｙ軸方向）に移動させるＹ軸移動アーム５ｙと、Ｙ軸移動アーム５ｙをＹ軸移動アーム５ｙの移動方向と直交する水平方向（Ｘ軸方向）に移動させるＸ軸移動アーム５ｘとを備える。
ＸＹＺ軸ロボット５は、制御ユニット７と電気的に接続され、制御ユニット７からの制御信号によってＺ軸移動アーム５ｚ、Ｙ軸移動アーム５ｙ、Ｘ軸移動アーム５ｘの移動量が制御されるようになっている。
これにより、塗布剤容器２に設けられた吐出口４ａは、載置台１に対して、水平面内の２軸方向および鉛直軸方向（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸方向）に移動可能に設けられている。
【００２０】
圧力供給部６は、一端が塗布剤容器２に接続されたエアチューブ６ｂの他端側に接続され、不図示の圧縮エア供給源によってエア供給口６ａから供給された圧縮エア９の圧力を調整し、この圧力調整された圧縮エア９を、エアチューブ６ｂを通して塗布剤容器２に供給するものである。
圧力供給部６の装置構成は、電磁的な制御によって圧縮エア９の供給、停止、および圧力調整を行う適宜の構成を採用することができる。圧力供給部６は、制御ユニット７に電気的に接続され、制御ユニット７からの制御信号によって、圧縮エア９の供給、停止、および圧力調整を行うことができるようになっている。
【００２１】
制御ユニット７は、図２に示すように、例えばキーボードやマウスなどからなる入力部７ｂ、ＸＹＺ軸ロボット５、圧力供給部６、および電子天秤８に電気的に接続され、入力部７ｂから入力される操作入力や情報に基づいて、塗布装置５０の動作の制御を行うものである。
入力部７ｂに入力される操作入力としては、例えば、経過時間の測定開始を指令する操作入力、塗布剤容器２のセットが終了したことを通知する操作入力、試し塗布の開始を指令する操作入力、塗布速度算出の開始を指令する操作入力、本塗布の開始を指令する操作入力、ＸＹＺ軸ロボット５を駆動してＸＹＺ軸ロボット５に固定された塗布剤容器２等を適宜の位置に移動させる操作入力などの例を挙げることができる。
また、入力される情報としては、例えば、使用する塗布剤３の種類、目標塗布量、ＸＹＺ軸ロボット５による移動方向や移動量などの情報の例を挙げることができる。
【００２２】
制御ユニット７の機能構成は、装置制御部１０５、記憶部１０３、経過時間測定部１０１、圧力制御部１０２、塗布速度算出部１０６、および塗布速度制御部１０４を備える。
【００２３】
装置制御部１０５は、塗布装置５０の動作全体を制御するものであり、入力部７ｂから入力された情報を、例えばメモリや外部記憶装置などからなる記憶部１０３に記憶させ、記憶部１０３に予め記憶された情報を圧力制御部１０２および塗布速度制御部１０４に送出できるようになっている。また、装置制御部１０５は、後述する経過時間測定部１０１で測定された経過時間を経過時間測定部１０１から取得できるようになっている。
記憶部１０３に記憶させる情報としては、圧力供給部６によって塗布剤容器２内の塗布剤３に加える圧力を塗布剤３の硬化開始時からの経過時間に応じて変化させる圧力制御データ、後述する試し塗布工程における試し塗布速度Ｖ０、試し塗布時間Ｔ０、試し塗布における目標塗布量Ｍの値、試し塗布経路に関する情報、後述する本塗布工程における塗布剤３の塗布経路に関する情報、塗布剤３の種類ごとのポットライフの値などを挙げることができる。
なお、ポットライフは塗布剤３の可使時間のことであるが、本実施形態では、１つのワーク１２を塗布の途中で塗布不可能とならないように、余裕をもった値に設定しておく。
【００２４】
圧力制御データは、本実施形態では、塗布剤３の硬化開始時からの経過時間によらず吐出口４ａからの吐出量（単位時間当たりの吐出量）が一定となるように、時間とともに変化された塗布剤容器２に供給する圧力（以下、供給圧力）を表す。
塗布剤３は硬化開始時からの経過時間が増大すると、粘度が変化する。例えば、２液性接着剤等では、経過時間の増大とともに硬化が進行して粘度が上昇する。このため、吐出口４ａからの吐出量を一定に保つためには、図３に曲線２００として示すように、供給圧力を経過時間とともに増大させる必要がある。なお、図３は、模式図のため、曲線２００を右上がりの直線状に描いているが、曲線２００の形状は直線とは限らず、曲線状に変化する場合もある
曲線２００の形状は、例えば、塗布剤３の成分や反応速度など、塗布剤３の種類に固有の要因に依存して決まるため、塗布剤３の種類に固有の関数形に従って変化する。この関数をｆと表すと、供給圧力Ｐは、経過時間ｔの関数として、Ｐ＝ｆ（ｔ）である。
【００２５】
曲線２００の形状は、塗布剤３を用いた吐出実験を行ったり、塗布剤３の粘度の時間変化を実験によって求めてこの粘度変化に基づいた数値シミュレーションを行ったりすることによって求めることができる。
例えば、実験によって求める場合、塗布剤３を一定の圧力で吐出口４ａから吐出させ、硬化開始時からの経過時間と吐出速度との関係を測定し、吐出速度の変化を相殺できるような圧力を供給圧力Ｐとして設定する。
このようにして予め求めた曲線２００の形状は、数値テーブルや実験式の係数データなどとして、記憶部１０３に記憶しておく。
これにより、原理的には吐出量を一定とすることができる。実際には、実験精度やシミュレーションの精度に応じた誤差があるため、吐出量にも、ある程度は誤差が生じるが、実験精度やシミュレーションの精度を適宜設定することにより、吐出量の変化を許容誤差範囲内に収めることができる。
なお、このような圧力制御データに基づいて、圧力供給部６の圧力制御を行っても、塗布剤３の硬化開始時の初期粘度には、製造ロットごとのバラツキがある。このため、圧力制御データを決定するために用いた塗布剤３と異なる製造ロットの塗布剤３では、吐出量の変化傾向は同様になるものの、吐出量の絶対値には、初期粘度の差に応じた一定のオフセットが生じることになる。
【００２６】
また、装置制御部１０５は、入力部７ｂに入力された操作入力を検知すると、操作入力に応じた動作や制御信号の送出を行うことができるようになっている。
例えば、装置制御部１０５が塗布剤容器２のセットが終了したことを通知する操作入力を検出すると、装置制御部１０５の内部に設けられた塗布回数をカウントする塗布回数カウンタを０に初期化する。
また、入力部７ｂから入力された塗布剤３の種類の情報に基づいて、記憶部１０３から圧力制御データを選択して圧力制御部１０２に送出する。
【００２７】
また、装置制御部１０５が試し塗布の開始を指令する操作入力を検出すると、試し塗布の動作を制御するようになっている。
すなわち、装置制御部１０５は、まず、記憶部１０３に予め記憶された試し塗布速度Ｖ０、試し塗布時間Ｔ０、試し塗布経路の情報を読み出す。本実施形態では、試し塗布速度Ｖ０、試し塗布時間Ｔ０はいずれも一定値である。また、試し塗布経路は、水平面内の一方向、例えば、Ｘ軸方向に沿う直線経路である。
次に、装置制御部１０５は、塗布速度制御部１０４に対し、塗布速度として予め設定された試し塗布速度Ｖ０を送出するとともに、塗布経路として、Ｘ軸方向に沿って長さＶ０×Ｔ０の直線経路の情報を送出する。
次に、装置制御部１０５は、圧力供給部６の動作を開始させる制御信号（以下、圧力供給部６の動作開始信号と称する）を圧力制御部１０２に送出するとともに、ＸＹＺ軸ロボット５の動作を開始させる制御信号（以下、ＸＹＺ軸ロボット５の動作開始信号と称する）を塗布速度制御部１０４に送出する。
すなわち、装置制御部１０５は、圧力制御部１０２で制御された圧力を圧力供給部１０２を介して塗布剤３に加えるとともに、ＸＹＺ軸ロボット５によって、予め設定された試し塗布速度Ｖ０で試し塗布用基板１０と吐出口４ａとを相対移動させることにより、試し塗布用基板１０上に塗布剤３を試し塗布する試し塗布部を構成している。
【００２８】
また、装置制御部１０５が塗布速度算出の開始を指令する操作入力を検出すると、装置制御部１０５は、塗布速度算出部１０６に塗布速度を算出させる制御信号（以下、塗布速度算出開始信号）を送出し、塗布速度算出部１０６から塗布速度を取得し、記憶部１０３に記憶させる。
【００２９】
また、装置制御部１０５が本塗布の開始を指令する操作入力を検出すると、装置制御部１０５は記憶部１０３に記憶された本塗布工程における塗布経路に関する情報や塗布速度を塗布速度制御部１０４に送出する。そして、圧力供給部６の動作開始信号を圧力制御部１０２に送出するとともに、塗布速度制御部１０４にＸＹＺ軸ロボット５の動作開始信号を塗布速度制御部１０４に送出する。
本塗布工程における塗布経路は、線状のパターンを組み合わせて構成されるパターンであれば、ワーク１２上で塗布剤３の塗布が必要な適宜のパターンを採用することができる。例えば、直線状、曲線状、ループ状、ジグザグ状、および渦巻き状のパターンや、線状パターンを隣接させることで形成される面状パターンなどを採用することができる。
【００３０】
経過時間測定部１０１は、経過時間を測定するタイマーなどからなり、入力部７ｂから経過時間の測定開始を指令する操作入力がなされたことを検出すると、タイマーをリセットして経過時間の測定を開始し、以後、圧力制御部１０２からの要求に基づいて、圧力制御部１０２に経過時間の測定結果を送出するものである。
また本実施形態では、測定された経過時間は、制御ユニット７に設けられた表示部７ａに経過時間を表示されるようになっている。
【００３１】
圧力制御部１０２は、装置制御部１０５からの制御信号に基づいて、圧力供給部６の動作の制御を行うものである。本実施形態では、装置制御部１０５から圧力供給部６の動作開始信号を受けると、経過時間測定部１０１からこの時点における経過時間ｔを取得し、装置制御部１０５から転送された圧力制御データを参照し、装置制御部１０５から動作を停止させる制御信号が送出されるまで、この経過時間以降の圧力制御データに基づいて、圧力供給部６に圧力の指令値を送出していく。
【００３２】
塗布速度算出部１０６は、電子天秤８と電気的に接続されており、装置制御部１０５からの制御信号に基づいて、電子天秤８における質量の測定値を取得し、この測定値に基づいて後述する本塗布工程に用いる塗布速度を算出し、装置制御部１０５に送出するものである。
【００３３】
塗布速度制御部１０４は、装置制御部１０５から、ＸＹＺ軸ロボット５の動作開始信号に基づいて、ＸＹＺ軸ロボット５の動作を制御するものである。
塗布速度制御部１０４には、ＸＹＺ軸ロボット５の動作開始信号に先立って、装置制御部１０５から塗布速度および塗布経路に関する情報が送られており、これらの塗布速度および塗布経路の情報に基づいて、ＸＹＺ軸ロボット５を動作させる指令値をＸＹＺ軸ロボット５に送出する。
【００３４】
このような制御ユニット７の装置構成は、ハードウェアのみで構成してもよいし、適宜のハードウェアと、ＣＰＵ、メモリ、入出力インターフェース、外部記憶装置などからなるコンピュータとから構成し、上記の制御機能をコンピュータで制御プログラムを実行することによって実現してもよい。
【００３５】
電子天秤８は、後述する試し塗布工程で試し塗布された試し塗布済み塗布剤１１の質量を測定するためのもので、塗布速度算出部１０６と電気的に接続され、塗布速度算出部１０６からの要求に応じて、質量の測定値を塗布速度算出部１０６に送出できるようになっている。
本実施形態では、後述する試し塗布工程において、質量が既知の試し塗布用基板１０上に塗布剤３が試し塗布され、この試し塗布済み塗布剤１１と試し塗布用基板１０とが電子天秤８上に配置されるようになっている。
このため、電子天秤８が塗布速度算出部１０６に送出する測定値は、実際の質量の測定値から試し塗布用基板１０の質量を差し引いた値を塗布速度算出部１０６に送出するように設定されている。
【００３６】
次に、塗布装置５０の動作について、塗布装置５０を用いて行う本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布方法とともに説明する。
図４は、本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布方法の工程フロー図である。図５は、本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布方法における試し塗布量に対する適正な塗布速度の一例を示す模式的なグラフである。図５において、横軸は試し塗布量、縦軸は塗布速度を表す。
【００３７】
本実施形態の塗布剤塗布方法は、塗布装置５０を用いて、図４に示す工程フローにしたがってステップＳ１〜Ｓ１１を行う塗布剤塗布方法であり、圧力決定工程（ステップＳ５、ステップＳ９）、試し塗布工程（ステップＳ６）、試し塗布量測定工程（ステップＳ７）、塗布速度算出工程（ステップＳ８）、および本塗布工程（ステップＳ１０）を備える。
なお、塗布装置５０には、ステップＳ１に先立って、これから行う塗布剤塗布作業の塗布条件に関する情報、例えば、塗布剤３の種類、目標塗布量、圧力制御データ、塗布経路に関する情報、塗布剤３のポットライフの情報などは、制御ユニット７の記憶部１０３に記憶されているものとする。
また、ＸＹＺ軸ロボット５の位置は、一定の初期位置にセットされているものとする。
【００３８】
ステップＳ１では、塗布剤３の硬化を開始させ、経過時間の測定を開始する。
例えば、塗布剤３が２液性の接着剤であれば、作業者は、２液を混合して塗布剤３の硬化を開始させ、ただちに入力部７ｂを通して経過時間の測定開始を指令する操作入力を行う。
制御ユニット７の経過時間測定部１０１では、経過時間の測定開始を指令する操作入力を検出すると、経過時間のカウントを開始し、表示部７ａに経過時間を表示する。
以上で、ステップＳ１が終了する。
【００３９】
ステップＳ２では、作業者が、塗布剤容器２に塗布剤３を収容し、塗布装置５０にセットする。すなわち、塗布剤容器２は、Ｚ軸移動アーム５ｚに取り付けられ、上端部にエアチューブ６ｂが接続される。
セットを終了した作業者は、入力部７ｂを通して、塗布剤容器２のセットが終了したことを通知する操作入力と、塗布剤３の種類の情報の入力とを行う。装置制御部１０５はこの操作入力を検出すると、塗布回数カウンタをリセットする。
以上で、ステップＳ２が終了する。
【００４０】
次に、ステップＳ３では、装置制御部１０５によって、塗布剤３がポットライフ以内かどうか判定する。すなわち、装置制御部１０５は、経過時間測定部１０１によって測定された経過時間を経過時間測定部１０１から取得し、記憶部１０３に記憶されている塗布剤３のポットライフの情報と比較する。
経過時間がポットライフ以内であれば、ステップＳ４に移行する。
経過時間がポットライフを越えていれば、塗布剤塗布を終了する。さらに塗布を継続して行う場合には、ステップＳ１からの各ステップを繰り返す。
【００４１】
次に、ステップＳ４では、装置制御部１０５は、塗布剤容器２セット後に初期化される塗布回数をカウントするカウンタを参照して、塗布剤容器２セット後の１回目の塗布かどうかを判定する。
すなわち、カウンタが０であれば、１回目の塗布と判定してステップＳ５に移行する。
また、カウンタが１以上の場合には、１回目の塗布ではないと判定してステップＳ９に移行する。
【００４２】
次に、ステップＳ５では、装置制御部１０５によって圧力決定工程を行う。本工程は、圧力制御データを決定する工程である。
装置制御部１０５は、予め入力部７ｂを通して入力された塗布に用いる塗布剤３の情報に基づいて、塗布剤３の種類に対応する圧力制御データを選択して記憶部１０３から読み出し、この圧力制御データを圧力制御部１０２に送出する（ステップＳ２０）。圧力制御部１０２はこの圧力制御データを記憶する。これにより、塗布剤３の種類に基づいて圧力制御データが決定される（ステップＳ２１）。
以上で、ステップＳ５が終了する。
この圧力決定工程が行われることにより、以後、圧力制御部１０２からは、経過時間測定部１０１から経過時間ｔと圧力制御部１０２に記憶された圧力制御データとに基づいた供給圧力Ｐ（ｔ）に対応する圧力指令値を圧力供給部６に送出するようになる。
【００４３】
ステップＳ６では、塗布装置５０によって試し塗布工程を行う。本工程は、圧力決定工程（ステップＳ５）で決定された圧力制御データに基づいて、塗布剤３に圧力Ｐ（ｔ）を加えるとともに、予め設定された試し塗布速度Ｖ０で試し塗布用基板１０（試し塗布部材）と吐出口４ａとを相対移動させて試し塗布用基板１０上に塗布剤３を試し塗布する工程である。
作業者は、載置台１上において吐出口４ａの下方となる位置に試し塗布用基板１０をセットし、入力部７ｂから試し塗布を開始させる操作入力を行う。
【００４４】
装置制御部１０５が試し塗布を開始させる操作入力を検出すると、装置制御部１０５は、記憶部１０３に記憶された試し塗布速度Ｖ０、試し塗布時間Ｔ０、試し塗布経路を読み出して、塗布速度制御部１０４に送出する。
次に、圧力制御部１０２と塗布速度制御部１０４とに、それぞれ圧力供給部６の動作開始信号とＸＹＺ軸ロボット５の動作開始信号とをそれぞれ同時に送出する。
【００４５】
これにより圧力制御部１０２は、経過時間測定部１０１から現在の経過時間の情報、例えば、図３の時刻ｔ０を取得し、時刻ｔ０から、時刻ｔ１＝ｔ０＋Ｔ０の間、圧力供給部６から図３に示す曲線２００にしたがって、Ｐ０＝ｆ（ｔ０）からＰ１＝ｆ（ｔ１）まで変化する供給圧力Ｐが塗布剤容器２に加えられる。
これと並行して、塗布速度制御部１０４は、ＸＹＺ軸ロボット５のＸ軸移動アーム５ｘを、試し塗布速度Ｖ０で試し塗布時間Ｔ０だけ駆動する制御を行う。
これによって、試し塗布用基板１０上には、塗布剤３により、Ｘ軸方向を長手方向とする長さＶ０×Ｔ０の直線状の試し塗布済み塗布剤１１が形成される。
以上で、ステップＳ６が終了する。
このように本実施形態では、装置制御部１０５および塗布速度制御部１０４は、圧力制御部１０２で制御された圧力を圧力供給部６を介して塗布剤３に加えるとともに、ＸＹＺ軸ロボット５を予め設定された試し塗布速度Ｖ０で駆動することにより、塗布剤３を試し塗布する制御を行う試し塗布制御部を構成している。
【００４６】
次に、ステップＳ７では、試し塗布量測定工程を行う。本工程は、試し塗布工程で試し塗布された試し塗布済み塗布剤１１の試し塗布量を測定する工程である。本実施形態では、試し塗布量としては、試し塗布済み塗布剤１１の質量を測定する。
作業者は、試し塗布が終了した試し塗布用基板１０を、被測定物を載置する電子天秤８の皿の上に移動する。電子天秤８では、試し塗布用基板１０と試し塗布済み塗布剤１１の質量の和が測定されるが、表示される測定値や塗布速度算出部１０６に送出される測定値は、予め設定された試し塗布用基板１０の質量を差し引いた値になっている。これにより、電子天秤８は、塗布速度算出部１０６から測定値の取得要求が発生すると試し塗布済み塗布剤１１の質量ｍの測定値を送出できる状態となる。
以上で、ステップＳ７が終了する。
【００４７】
次に、ステップＳ８では、塗布速度算出工程を行う。本工程は、試し塗布量測定工程で測定された試し塗布量に基づいて、単位塗布長さ当たりの塗布量が予め設定された目標塗布量となる塗布速度の大きさを算出する工程である。本実施形態は、試し塗布量が質量で表されることに対応して、目標塗布量Ｍも質量で表されている。
ステップＳ８は、作業者が、入力部７ｂから塗布速度算出の開始を指令する操作入力を行うことによって開始される。
塗布速度算出の開始を指令する操作入力を検出した装置制御部１０５は、記憶部１０３から、試し塗布における目標塗布量Ｍを読み出して塗布速度算出部１０６に送出し、その後、塗布速度算出部１０６に塗布速度算出開始信号を送出する。
これにより、塗布速度算出部１０６は、電子天秤８から質量ｍの測定値を取得し、この質量ｍに基づいて本塗布工程に用いる塗布速度Ｖを算出して、塗布速度Ｖを装置制御部１０５に送出する。
本実施形態では、塗布速度Ｖは、単位塗布長さ当たりの塗布量が一定となるように設定する。塗布装置５０では、吐出量が一定となるように圧力を供給しているため、単位塗布長さ当たりの塗布量は塗布速度に反比例する。したがって、塗布速度Ｖは次式（１）で求められる。
【００４８】
Ｖ＝（ｍ／Ｍ）・Ｖ０                                          ・・・（１）
【００４９】
算出された塗布速度Ｖは、装置制御部１０５に送出され、記憶部１０３に記憶される。以上でステップＳ８が終了する。
【００５０】
次に、ステップＳ９では、装置制御部１０５によって圧力決定工程を行う。本工程は、圧力制御データを決定する工程である。
装置制御部１０５は、予め入力部７ｂを通して入力された塗布に用いる塗布剤３の情報に基づいて、塗布剤３の種類に対応する圧力制御データを選択して記憶部１０３から読み出し、この圧力制御データを圧力制御部１０２に送出する（ステップＳ２０）。圧力制御部１０２はこの圧力制御データを記憶する。これにより、塗布剤３の種類に基づいて圧力制御データが決定される（ステップＳ２１）。
以上で、ステップＳ９が終了する。
この圧力決定工程が行われることにより、以後、圧力制御部１０２からは、経過時間測定部１０１から経過時間ｔと圧力制御部１０２に記憶された圧力制御データとに基づいた供給圧力Ｐ（ｔ）に対応する圧力指令値を圧力供給部６に送出するようになる。
【００５１】
次に、ステップＳ１０では、本塗布工程を行う。本工程は、ステップＳ９の圧力決定工程で決定された圧力を塗布剤３に加えるとともに、塗布速度算出工程において算出された塗布速度Ｖによって被塗布体であるワーク１２と吐出口４ａとを相対移動させて、ワーク１２に塗布剤３を塗布する工程である。
作業者は、載置台１上において吐出口４ａの下方となる位置にワーク１２をセットし、入力部７ｂから本塗布を開始させる操作入力を行う。
装置制御部１０５が本塗布を開始させる操作入力を検出すると、装置制御部１０５は、記憶部１０３に記憶された塗布経路の情報、および塗布速度Ｖを読み出して、これらを塗布速度制御部１０４に送出する。また、装置制御部１０５は、塗布回数カウンタを更新する。
次に、装置制御部１０５は、圧力制御部１０２と塗布速度制御部１０４とに、それぞれ圧力供給部６の動作開始信号とＸＹＺ軸ロボット５の動作開始信号とを送出する。
これにより、吐出口４ａがワーク１２に対して塗布経路に沿って塗布速度Ｖで相対移動され、ワーク１２上に塗布剤３が塗布されていく。このとき、圧力供給部６は圧力制御データに基づいて制御されているため、塗布剤３の吐出速度が定速度になっており、ワーク１２上には、単位塗布長さ当たりの塗布量が一定となるように塗布剤３が塗布される。また、ＸＹＺ軸ロボット５は、塗布経路の情報に基づいて動作が制御されるため、塗布剤３は、塗布経路に指定されたパターンに沿って塗布され、ワーク１２上に本塗布済み塗布剤１３のパターンが形成されていく。
以上で、ステップＳ１０が終了する。
【００５２】
次に、ステップＳ１１では、次のワーク１２に塗布するかどうかを判定する。
本ステップでは、装置制御部１０５は、表示部７ａに、例えば、「次のワークに塗布しますか（ｙ／ｎ）？」といった入力を促すプロンプトを表示して、操作入力の待ち状態となる。
作業者は、入力部７ｂに、次のワーク１２に塗布する場合には例えば「ｙ」を、塗布を終了する場合には「ｙ」以外の文字を、それぞれ入力する。
装置制御部１０５は、「ｙ」の入力を検出した場合には、ステップＳ３に移行する。また、「ｙ」以外の入力を検出した場合には、塗布剤塗布を終了する。
【００５３】
このようにして、本実施形態の塗布剤塗布方法によれば、塗布剤３がポットライフにある間、ワーク１２を変えて繰り返し塗布剤塗布を行うことができる。
その際、ステップＳ４において、塗布剤容器２のセット後の２回目以降では、塗布回数カウンタが１以上となるため、ステップＳ４によって、ステップＳ５、Ｓ６、Ｓ７、Ｓ８がスキップされる。したがって、試し塗布工程、試し塗布測定工程、塗布速度算出工程は、塗布剤３がポットライフにある間、１回だけ行われる。
【００５４】
次に、本実施形態の塗布剤塗布方法の作用について説明する。
図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布方法の原理を説明する模式的なグラフである。各図において横軸は硬化開始時からの経過時間を表し、縦軸は、図６（ａ）が粘度、図６（ｂ）が試し塗布量、（ｃ）が塗布速度を塗布速度Ｖに変えた場合の塗布量を表す。
【００５５】
塗布剤３は、硬化開始時からの経過時間に応じて粘度が上昇していく。この粘度の変化は、塗布剤３の種類に応じて決まる関数形に基づいて変化するため製造ロットが異なる塗布剤３でも同様な時間変化となる。ただし、製造ロットごとの初期粘度にはバラツキがあるため、経過時間ごとの粘度の絶対値は製造ロットによって異なる。
図６（ａ）には、種類が同じで製造ロットのみが異なる３つの塗布剤３（それぞれロットＡ、ロットＢ、ロットＣと称する）について、粘度の時間変化を模式的に示した。曲線２１１、２１２、２１３は、それぞれロットＡ、Ｂ、Ｃの粘度変化を示す。
曲線２１１、２１２、２１３は、経過時間０の初期粘度が異なるものの、粘度の時間変化は同様な単調増加曲線になっている。粘度の絶対値は、いずれの経過時間においても大きい方からロットＢ、Ａ、Ｃの順になっている。
【００５６】
これらの塗布剤３によって試し塗布工程を行うと、塗布剤３には圧力制御データに基づいて圧力が加えられるため、粘度の変化が相殺され、吐出口４ａからの吐出速度は硬化開始時からの経過時間によらず定速度となる。
この結果、試し塗布量測定工程で測定されるロットＡ、Ｂ、Ｃの試し塗布量は、図６（ｂ）に直線２２１、２２２、２２３に示すように、経過時間のよらず一定値ｍＡ、ｍＢ、ｍＣとなる。ここで、粘度が大きくなるほど、吐出量は小さくなるため、ｍＢ＜ｍＡ＜ｍＣの関係にある。
【００５７】
これら試し塗布量ｍＡ、ｍＢ、ｍＣに基づいて、塗布速度算出工程を行うと、ロットＡ、Ｂ、Ｃの塗布速度ＶＡ、ＶＢ、ＶＣが、上記式（１）に基づいてそれぞれ算出される。試し塗布速度Ｖ０をこれらの塗布速度ＶＡ、ＶＢ、ＶＣにそれぞれ変更して試し塗布時間Ｔ０だけ塗布を行うと、図６（ｃ）に直線２３０で示すように、いずれの塗布量も一定値となり、目標塗布量Ｍに一致し、単位塗布長さ当たりの塗布量が一定となる。
【００５８】
このため、本実施形態の塗布剤塗布方法によれば、時間経過によって粘度が変化する塗布剤を用いても、塗布量のムラを抑制することができる。
すなわち、硬化開始時からの経過時間に合わせて吐出量が一定となるように、圧力制御データを決定して、圧縮エア９の圧力を制御することで、経過時間に応じた塗布剤３の粘度変化による吐出量の変化を相殺して、吐出量を一定にすることができる。なお、実際には、例えば圧力制御データに含まれる誤差や、圧力供給部６の供給圧力の誤差などによって吐出速度にも誤差が生じるため、定速度という意味は、許容誤差範囲内で略定速度と見なしうることを意味する。
さらに試し塗布を行って、単位塗布長さ当たりの塗布量が一定となる塗布速度を算出することができるので、製造ロットが異なることによって初期粘度が異なる塗布剤３であっても、初期粘度の差を相殺して、製造ロット間の塗布量のバラツキをなくすことができる。
また、本方法では、圧力条件（圧力制御データ）を決めてから、塗布速度条件を決めるというステップで本塗布工程の塗布条件を決定するため、塗布条件を静定的に決めることができる。塗布剤粘度の経時変化に対応する圧力条件は経過時間から一意的に決まり、ロット間の粘度差に対応する塗布速度条件は、１回の試し塗布により決定されるので、塗布剤３の交換後、１回の試し塗布を行った後は、試し塗布すること無く本塗布工程を連続で行える。
このため、塗布剤容器２をセットした後、塗布剤容器２内の塗布剤３を使い切る間に、複数回の粘度測定を行う必要がある従来の塗布剤塗布方法に比べて作業効率を向上することができる。
また、塗布装置５０は粘度測定装置を組み込んだり併設したりする必要がないため、装置構成が簡素化される。さらに塗布剤３の粘度を測定する工程がなくなり、塗布剤３のサンプルを代えて測定する際の粘度測定装置の洗浄、再設定の各工程が不要となるため、迅速な塗布作業を行うことができる。
【００５９】
［第２の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る塗布剤塗布装置について説明する。
図７（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係る塗布剤塗布装置の構成を示す模式的な斜視図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。図８は、本発明の第２の実施形態に係る塗布剤塗布装置の制御ユニットの機能構成を示す機能ブロック図である。
【００６０】
本実施形態の塗布装置５１（塗布剤塗布装置）は、図７（ａ）に示すように、上記第１の実施形態の塗布装置５０の電子天秤８、制御ユニット７に代えて、それぞれスキャン型レーザ変位計２０（試し塗布量測定部）、制御ユニット７Ａを備える。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００６１】
スキャン型レーザ変位計２０は、被測定体に対して収束光束であるレーザ光束Ｌ（図７（ｂ）参照）を照射して、被測定体を走査することにより、被測定体の表面の形状測定を行うものであり、Ｚ軸移動アーム５ｚの側方に支持アーム２０ａを介して固定され、塗布剤容器２と同様に、ＸＹＺ軸ロボット５によって３軸方向に移動可能に設けられている。
本実施形態では、試し塗布された試し塗布済み塗布剤１１を被測定体とし、試し塗布済み塗布剤１１の短手方向（相対移動方向に直交する方向）の断面積ｓ（以下、単に、「断面積ｓ」と称する）を測定する。このため、スキャン型レーザ変位計２０は、被測定体に向かう方向およびこれと直交する方向に走査できる構成を備える。本実施形態では、Ｚ軸方向および少なくともＹ軸方向に走査できるようになっている。
また、スキャン型レーザ変位計２０は、制御ユニット７Ａに電気的に接続され、制御ユニット７Ａからの制御信号に基づいて、制御ユニット７Ａに断面積ｓの測定値を送出できるようになっている。
【００６２】
制御ユニット７Ａは、図８に示すように、上記第１の実施形態における制御ユニット７の装置制御部１０５、塗布速度算出部１０６に代えて、装置制御部１０５Ａ、塗布速度算出部１０６Ａを備えるものである。装置制御部１０５Ａ、塗布速度算出部１０６Ａは、いずれもスキャン型レーザ変位計２０と電気的に接続されている。
また、制御ユニット７Ａの記憶部１０３には、上記第１の実施形態における目標塗布量Ｍに代えて、塗布量の目標値を試し塗布済み塗布剤１１の短手方向の断面積で表した目標塗布量Ｓが記憶されている。
【００６３】
装置制御部１０５Ａは、上記第１の実施形態の装置制御部１０５の機能に加えて、さらに、試し塗布工程終了後にＸＹＺ軸ロボット５およびスキャン型レーザ変位計２０の動作を制御して、スキャン型レーザ変位計２０に試し塗布量を測定させる機能を備える。
塗布速度算出部１０６Ａは、装置制御部１０５Ａからの制御信号に基づいて、スキャン型レーザ変位計２０から断面積ｓの測定値を取得し、この断面積ｓに基づいて本塗布工程に用いる塗布速度Ｖを算出し、装置制御部１０５に送出するものである。
【００６４】
次に、塗布装置５１を用いて行う本実施形態の塗布剤塗布方法について説明する。
本実施形態の塗布剤塗布方法は、塗布装置５１を用いて、図４に示す工程フローにしたがってステップＳ１〜Ｓ１１を行う塗布剤塗布方法であり、圧力決定工程（ステップＳ５、ステップＳ９）、試し塗布工程（ステップＳ６）、試し塗布量測定工程（ステップＳ７）、塗布速度算出工程（ステップＳ８）、および本塗布工程（ステップＳ１０）を備える。
ただし、ステップＳ７、Ｓ８の具体的な動作は、上記第１の実施形態とは異なる。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００６５】
本実施形態におけるステップＳ７は、試し塗布量が試し塗布済み塗布剤１１の断面積ｓであり、目標塗布量Ｓも短手方向の断面積で表される点が異なる。
試し塗布工程が終了すると、装置制御部１０５Ａは、ＸＹＺ軸ロボット５を駆動して、スキャン型レーザ変位計２０を試し塗布用基板１０上における試し塗布済み塗布剤１１の上方に移動し、試し塗布済み塗布剤１１の断面積ｓが測定可能な位置に配置する。そして、スキャン型レーザ変位計２０に断面積の測定を開始する制御信号を送出する。
スキャン型レーザ変位計２０は、レーザ光束Ｌを走査して、断面積ｓを測定する。
例えば、Ｘ軸方向に沿って試し塗布を行う場合、図７（ｂ）に示すように、レーザ光束ＬをＹ軸方向に走査させつつ、レーザ光束Ｌの焦点位置Ｆが試し塗布済み塗布剤１１の表面に位置するＺ軸方向の位置を測定していく。このようにしてレーザ光束Ｌが試し塗布済み塗布剤１１を横断すると、Ｙ軸方向の各位置での試し塗布用基板１０の表面に対する試し塗布済み塗布剤１１の表面のＺ軸方向の突出高さが測定され、スキャン型レーザ変位計２０によってＹＺ平面内の断面積ｓが算出される。
この測定は、試し塗布済み塗布剤１１の長手方向における測定位置を１箇所に決めて測定してもよいし、長手方向（Ｘ軸方向）において測定場所を移動させて複数箇所の断面積を測定して平均値を求めてもよい。
これにより、スキャン型レーザ変位計２０は、塗布速度算出部１０６Ａから測定値の取得要求が発生すると試し塗布済み塗布剤１１の断面積ｓの測定値を送出できる状態となる。
スキャン型レーザ変位計２０は、断面積ｓの算出が終了したことを装置制御部１０５に通知する。
以上で、本実施形態におけるステップＳ７が終了する。
【００６６】
次に、本実施形態におけるステップＳ８は、試し塗布量が断面積ｓであり、これに応じて目標塗布量Ｓも短手方向の断面積で表される点が異なる。
ステップＳ８は、装置制御部１０５Ａによって自動的に開始される。スキャン型レーザ変位計２０から断面積ｓの算出が終了したことを通知された装置制御部１０５Ａは、記憶部１０３から、試し塗布における目標塗布量Ｓを読み出して塗布速度算出部１０６Ａに送出した後、塗布速度算出部１０６Ａに塗布速度算出開始信号を送出する。
塗布速度算出部１０６Ａは、スキャン型レーザ変位計２０から断面積ｓの測定値を取得し、この断面積ｓに基づいて本塗布工程に用いる塗布速度Ｖを算出し、装置制御部１０５Ａに送出する。
本塗布工程の塗布速度Ｖは、上記第１の実施形態と同様に、単位塗布長さ当たりの塗布量が一定となるように設定する。塗布装置５１では、吐出速度が定速度となるように圧力を供給しているため、単位塗布長さ当たりの塗布量は塗布速度に反比例する。したがって、塗布速度Ｖは次式（２）で求められる。
【００６７】
Ｖ＝（ｓ／Ｓ）・Ｖ０                                          ・・・（２）
【００６８】
算出された塗布速度Ｖは、装置制御部１０５Ａに送出され、記憶部１０３に記憶される。以上でステップＳ８が終了する。
【００６９】
このように、本実施形態の塗布剤塗布方法によれば、試し塗布量が試し塗布済み塗布剤１１の質量ｍから、試し塗布済み塗布剤１１の断面積ｓに変わっただけであるため、上記第１の実施形態と同様の作用効果を備える。
特に、本実施形態では、試し塗布量をスキャン型レーザ変位計２０によって、試し塗布済み塗布剤１１の短手方向の断面積ｓとして測定するため、試し塗布用基板１０を載置台１上から移動することなく試し塗布量を測定することができる。したがって、試し塗布用基板１０を電子天秤８に移動する手間を省くことができるため、作業効率をさらに向上することができる。
【００７０】
［第１変形例］
次に、本実施形態の変形例（第１変形例）に係る塗布剤塗布方法について説明する。
本変形例は、上記第２の実施形態の塗布剤塗布方法の本塗布工程において、本塗布の終了後、さらにスキャン型レーザ変位計２０によって塗布量の測定を行い、本塗布の良否を判定する検査工程を行うようにした方法である。
すなわち、ワーク１２上に本塗布済み塗布剤１３が形成されると、装置制御部１０５Ａは、ＸＹＺ軸ロボット５を駆動して、スキャン型レーザ変位計２０を、本塗布済み塗布剤１３の上方に移動し本塗布済み塗布剤１３の断面積ｓが測定可能な位置に配置する。そして装置制御部１０５Ａは、スキャン型レーザ変位計２０に対して短手方向の断面積の測定を開始する制御信号を送出する。
スキャン型レーザ変位計２０は、レーザ光束Ｌを本塗布済み塗布剤１３に走査して、本塗布済み塗布剤１３の短手方向の断面積を測定し、装置制御部１０５Ａに送出する。
装置制御部１０５Ａは、これらの測定を予め決められた塗布経路上の複数箇所で行って、本塗布済み塗布剤１３の短手方向の断面積のバラツキが、許容値以下であるかどうかを判定し、断面積の測定値や判定結果を表示部７ａに表示させる。
これによって、作業者は、本塗布済み塗布剤１３が形成されたワーク１２が良品か不良品か知ることができるため、良品のみを後工程に流すことができる。
【００７１】
［第３の実施形態］
本発明の第３の実施形態に係る塗布剤塗布装置について説明する。
図９（ａ）は、本発明の第３の実施形態に係る塗布剤塗布装置の構成を示す模式的な斜視図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）におけるＢ視図である。図１０は、本発明の第３の実施形態に係る塗布剤塗布装置の制御ユニットの機能構成を示す機能ブロック図である。図１１は、記憶部１０３に記憶された数値テーブルを示す図である。
【００７２】
本実施形態の塗布装置５２（塗布剤塗布装置）は、図９（ａ）に示すように、上記第１の実施形態の塗布装置５０の電子天秤８、制御ユニット７に代えて、それぞれカメラ３０、制御ユニット７Ｂを備える。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００７３】
カメラ３０は、試し塗布用基板１０上の試し塗布済み塗布剤１１を上方から撮影し、試し塗布済み塗布剤１１の短手方向（相対移動方向と直交する方向）の線幅ｗ（以下、単に、線幅ｗと称する）を測定するための画像データを取得するもので、Ｚ軸移動アーム５ｚの側方に支持アーム３０ａを介して固定され、塗布剤容器２と同様に、ＸＹＺ軸ロボット５によって３軸方向に移動可能に設けられている。
また、カメラ３０は、制御ユニット７Ｂに電気的に接続され、撮影した画像を画像データとして制御ユニット７Ｂに送出できるようになっている。
【００７４】
制御ユニット７Ｂは、図１０に示すように、上記第１の実施形態における制御ユニット７の装置制御部１０５、塗布速度算出部１０６に代えて、装置制御部１０５Ｂ、塗布速度算出部１０６Ｂを備え、さらに画像処理部１０７を追加したものである。装置制御部１０５Ｂ、塗布速度算出部１０６Ｂは、いずれも画像処理部１０７と電気的に接続され、画像処理部１０７は、カメラ３０と電気的に接続されている。
また、制御ユニット７Ｂの記憶部１０３には、上記第１の実施形態における目標塗布量Ｍに代えて、数値テーブルが記憶されている。数値テーブルは図１１に示すような、予め実験で得られたデータより作成されたもので、試し塗布速度Ｖ０で塗布剤を塗布した際の、試し塗布時の圧力Ｐ（ｔ）、試し塗布済み塗布剤１１の線幅ｗから目標塗布量となる塗布速度Ｖが求められるものである。
【００７５】
装置制御部１０５Ｂは、上記第１の実施形態の装置制御部１０５の機能に加えて、さらに、試し塗布工程終了後に、ＸＹＺ軸ロボット５の動作を制御してカメラ３０を試し塗布済み塗布剤１１の上方に移動させ、画像処理部１０７による画像処理を開始させる機能を備える。
塗布速度算出部１０６Ｂは、装置制御部１０５Ｂからの制御信号に基づいて、画像処理部１０７から試し塗布済み塗布剤１１の線幅ｗの測定値を取得し、この線幅ｗに基づいて本塗布工程に用いる塗布速度Ｖを算出し、装置制御部１０５Ｂに送出するものである。
画像処理部１０７は、カメラ３０から送出された画像データから、試し塗布済み塗布剤１１の画像を抽出し、試し塗布済み塗布剤１１の線幅ｗを算出するものである。
【００７６】
次に、塗布装置５２を用いて行う本実施形態の塗布剤塗布方法について説明する。
本実施形態の塗布剤塗布方法は、塗布装置５２を用いて、図４に示す工程フローにしたがってステップＳ１〜Ｓ１０を行う塗布剤塗布方法であり、圧力決定工程（ステップＳ３）、試し塗布工程（ステップＳ６）、試し塗布量測定工程（ステップＳ７）、塗布速度算出工程（ステップＳ８）、および本塗布工程（ステップＳ９）を備える。
ただし、ステップＳ７、Ｓ８の具体的な動作は、上記第１の実施形態とは異なる。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００７７】
本実施形態におけるステップＳ７は、上記第１の実施形態と同様に、試し塗布工程で試し塗布された試し塗布済み塗布剤１１の試し塗布量を測定する工程であるが、本実施形態では、試し塗布量が試し塗布済み塗布剤１１の線幅ｗである点が異なる。
試し塗布工程が終了すると、装置制御部１０５Ｂは、ＸＹＺ軸ロボット５を駆動して、カメラ３０を試し塗布用基板１０上における試し塗布済み塗布剤１１の上方に移動し、試し塗布済み塗布剤１１の線幅ｗが測定可能な位置に配置する。そして、装置制御部１０５Ｂは、画像処理部１０７に線幅の測定を開始する制御信号を送出する。
画像処理部１０７は、装置制御部１０５Ｂからの制御信号を受信すると、カメラ３０から画像データを取得する。
画像処理部１０７は、取得された画像データを、試し塗布用基板１０と試し塗布済み塗布剤１１との間の画像濃度差に基づいて予め設定された閾値によって二値化処理を行い、試し塗布済み塗布剤１１の画像を抽出する。
画像処理部１０７は、この試し塗布済み塗布剤１１の画像に画像処理を施して、線幅ｗを算出し、塗布速度算出部１０６Ｂに送出するとともに、装置制御部１０５Ｂに線幅ｗの算出が終了したことを通知する。
以上で、本実施形態におけるステップＳ７が終了する。
【００７８】
本実施形態では、カメラ３０と画像処理部１０７とは、試し塗布制御部の制御に基づいて試し塗布された試し塗布済み塗布剤１１の試し塗布量を測定する試し塗布量測定部を構成している。
【００７９】
次に、本実施形態におけるステップＳ８は、試し塗布済み塗布剤１１の線幅ｗを測定し、線幅ｗと実験から得られたデータより作成された数値テーブルから塗布速度Ｖを決定する点が異なる。
ステップＳ８は、装置制御部１０５Ｂによって自動的に開始される。画像処理部１０７から線幅ｗの算出が終了したことが通知された装置制御部１０５Ｂは、記憶部１０３から、数値テーブルを読み出して塗布速度算出部１０６Ｂに送出した後、塗布速度算出部１０６Ｂに塗布速度算出開始信号を送出する。
これにより、塗布速度算出部１０６Ｂは、試し塗布時の圧力Ｐ（ｔ）と、画像処理部１０７から送出された線幅ｗと、装置制御部１０５Ｂから送出された数値テーブルとに基づいて本塗布工程に用いる塗布速度Ｖを算出し、装置制御部１０５Ｂに送出する。
本塗布工程の塗布速度Ｖは、上記第１の実施形態と同様に、単位塗布長さ当たりの塗布量が一定となるように設定する。
数値テーブルより算出された塗布速度Ｖは、装置制御部１０５Ｂに送出され、記憶部１０３に記憶される。以上でステップＳ８が終了する。
【００８０】
このように、本実施形態の塗布剤塗布方法によれば、測定対象が試し塗布済み塗布剤１１の質量ｍから、試し塗布済み塗布剤１１の線幅ｗに変わっただけであり、上記第１の実施形態と同様の作用効果を備える。
特に、本実施形態では、試し塗布量をカメラ３０および画像処理部１０７によって、試し塗布済み塗布剤１１の短手方向の線幅ｗとして測定するため、試し塗布用基板１０を載置台１上から移動することなく試し塗布量を測定することができる。このため、試し塗布用基板１０を電子天秤８に移動する手間を省くことができるため、作業効率をさらに向上することができる。
【００８１】
［第２変形例］
次に、本実施形態の変形例（第２変形例）に係る塗布剤塗布方法について説明する。
本変形例は、上記第３の実施形態の塗布剤塗布方法の本塗布工程において、本塗布の終了後、さらに、カメラ３０および画像処理部１０７によって塗布量の測定を行い、本塗布の良否を判定する検査工程を行うようにした方法である。
すなわち、ワーク１２上に本塗布済み塗布剤１３が形成されると、装置制御部１０５Ｂは、ＸＹＺ軸ロボット５を駆動して、カメラ３０を、本塗布済み塗布剤１３の上方に移動し本塗布済み塗布剤１３の線幅ｗが測定可能な位置に配置する。そして装置制御部１０５Ｂは、画像処理部１０７に対して短手方向の線幅の測定を開始する制御信号を送出する。
画像処理部１０７は、本塗布済み塗布剤１３の線幅を測定し、装置制御部１０５Ｂに送出する。
装置制御部１０５Ｂは、これらの測定を予め決められた塗布経路上の複数箇所で行って、本塗布済み塗布剤１３の線幅のバラツキが、許容値以下であるかどうかを判定し、各測定値や判定結果を表示部７ａに表示させる。
これによって、作業者は、本塗布済み塗布剤１３が形成されたワーク１２が良品か不良品か知ることができるため、良品のみを後工程に流すことができる。
なお、本変形例では、画像判定が可能な形状の異常であれば、本塗布済み塗布剤１３の線幅の異常以外の異常の有無も併せて判定するようにしてもよい。
【００８２】
なお、上記の説明では、塗布量を表す量として、質量、相対移動方向に直交する断面における断面積、相対移動方向に直交する方向の線幅を用いた場合の例で説明したが、塗布量は、必要に応じて他の測定量で表してもよい。例えば、単位長さ当たりの体積、被塗布体からの高さなどを採用してもよい。
【００８３】
また、上記の説明では、被塗布体を載置台１上に固定して、ＸＹＺ軸ロボット５によって吐出口４ａを移動させる場合の例で説明したが、被塗布体と吐出口とは、相対移動できるようになっていればよく、相対移動機構は、吐出口を固定して被塗布体を移動させるものでもよいし、吐出口および被塗布体を移動させるものであってもよい。
【００８４】
また、上記の説明では、ポットライフを塗布剤塗布装置側で自動判定するようにした例で説明したが、経過時間測定部が測定した経過時間の表示を作業者が見て、作業者がポットライフに達したかどうか判定するようにしてもよい。
【００８５】
また、上記の説明では、圧力決定工程を、試し塗布工程の前と本塗布工程の前に２回行う場合の例で説明した。圧力決定工程は、試し塗布工程または本塗布工程を行う前であれば、どのタイミングで行ってもよいが、このように塗布の直前に行うことで、装置制御部１０５から圧力制御部１０２に送出する圧力制御データは、少なくとも試し塗布、もしくは１つのワーク１２の塗布が終了できる時間の範囲の圧力制御データを送出すればよい。したがって、圧力制御部１０２が使用する記憶領域を低減することができる。
【００８６】
また、上記の第２の実施形態の説明では、スキャン型レーザ変位計２０による短手方向の走査を、スキャン型レーザ変位計２０の走査機能を用いて行うようにした場合の例で説明したが、スキャン型レーザ変位計２０をＸＹＺ軸ロボット５によって移動させることによって、走査を行うようにしてもよい。
【００８７】
また、上記の各実施形態、各変形例に説明したすべての構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせを代えたり、削除したりして実施することができる。
【符号の説明】
【００８８】
１  載置台
２  塗布剤容器（容器）
３  塗布剤
４  ニードル
４ａ  吐出口
５  ＸＹＺ軸ロボット（相対移動機構）
６  圧力供給部
７、７Ａ、７Ｂ  制御ユニット
７ｂ  入力部
８  電子天秤（試し塗布量測定部）
１０  試し塗布用基板（試し塗布部材）
１１  試し塗布済み塗布剤
１２  ワーク（被塗布体）
１３  本塗布済み塗布剤
２０  スキャン型レーザ変位計（試し塗布量測定部）
３０  カメラ（試し塗布量測定部）
５０、５１、５２  塗布装置（塗布剤塗布装置）
１０１  経過時間測定部
１０２  圧力制御部
１０３  記憶部
１０４  塗布速度制御部
１０５、１０５Ａ、１０５Ｂ  装置制御部（試し塗布部）
１０６、１０６Ａ、１０６Ｂ  塗布速度算出部
１０７  画像処理部（試し塗布量測定部）
Ｍ、Ｓ、Ｗ  目標塗布量
Ｖ、ＶＡ、ＶＢ、ＶＣ  塗布速度
ｍ  質量（試し塗布量）
ｓ  断面積（試し塗布量）
ｔ  経過時間
ｗ  線幅（試し塗布量）
Ｔ０  試し塗布時間
Ｖ０  試し塗布速度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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