(57)【要約】【課題】磁気記録媒体の表面を損傷させることなくサーボ信号を迅速、且つ、確実に記録できる磁気記録媒体の着磁装置及び磁気記録媒体の着磁方法を提供する。【解決手段】磁気記録媒体の着磁装置１０は、ディスク状の磁気記録媒体１２の両側の表面１４に接触し磁気記録媒体１２を挟むように配置されるバーニッシュ用部材１６とバーニッシュ用部材１６を介して磁気記録媒体１２を挟むように配置される一対の磁石部１８とを有し、バーニッシュ用部材１６で磁気記録媒体１２の表面１４をバーニッシュ加工しつつ表面１４に対して垂直な方向の直流磁界を一対の磁石部１８の間に形成して直流磁界を磁気記録媒体１２に印加可能である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状の磁気記録媒体の両側の表面に接触し前記磁気記録媒体を挟むように配置されるバーニッシュ用部材と前記バーニッシュ用部材を介して前記磁気記録媒体を挟むように配置される一対の磁石部とを有し、前記バーニッシュ用部材で前記磁気記録媒体の前記表面をバーニッシュ加工しつつ前記表面に対して垂直な方向の直流磁界を前記一対の磁石部の間に形成して前記直流磁界を前記磁気記録媒体に印加可能であることを特徴とする磁気記録媒体の着磁装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記バーニッシュ用部材はバーニッシュ用テープであり前記磁石部により前記磁気記録媒体の前記表面に加圧されることを特徴とする磁気記録媒体の着磁装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記一対の前記磁石部の少なくとも一方に前記磁気記録媒体から離れる方向の力を付与可能である加圧力調整機構を更に有することを特徴とする磁気記録媒体の着磁装置。
【請求項４】
基板、サーボ領域の部分が所定のサーボパターンの磁気記録要素で形成され前記基板の少なくとも一方側に形成された記録層及び前記記録層の前記磁気記録要素同士を分離するための分離要素を含むディスク状の磁気記録媒体の両側の表面に接触し前記磁気記録媒体を挟むように配置されるバーニッシュ用部材で前記磁気記録媒体の前記表面をバーニッシュ加工しつつ前記バーニッシュ用部材を介して前記磁気記録媒体を挟むように配置される一対の磁石部の間に前記磁気記録媒体の前記表面に対して垂直な方向の直流磁界を形成して前記直流磁界を前記磁気記録媒体に印加することを特徴とする磁気記録媒体の着磁方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定のサーボパターンで形成された磁気記録要素と分離要素とを有する磁気記録媒体の着磁装置及び着磁方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスク等の磁気記録媒体はデータ領域とサーボ領域とに区分けされて使用され、データ領域には所定のトラックに沿ってデータが記録される。一方、サーボ領域には所定のサーボパターンでサーボ信号が記録されサーボ信号に基づいて磁気ヘッドのトラッキング等が行われる。サーボ信号の記録にはサーボトラックライター等が用いられている。近年、磁気記録媒体は記録層を構成する磁性粒子の微細化、材料の変更、ヘッド加工の微細化等の改良により著しい面記録密度の向上が図られている。面記録密度の向上に伴って、サーボ信号の記録密度も高くなり、サーボ信号の記録に長い時間を要するという問題がある。
【０００３】
これに対し、所定のサーボパターンで形成された磁気記録要素とこれら磁気記録要素同士を分離するための分離要素とを有する磁気記録媒体が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この磁気記録媒体は全面に直流磁界が印加されることによりサーボ領域の中の磁気記録要素の部分のみが磁化されサーボ信号の記録が完了する。例えば連続膜の強磁性材料の上に樹脂層を成膜し、樹脂層をインプリントやリソグラフィによりサーボパターンに相当する凹凸パターンに加工し、凹凸パターンの樹脂層に基づいて強磁性材料をエッチングすることによりサーボパターンの磁気記録要素を形成することができる。尚、連続膜の強磁性材料と樹脂層との間に１層又は２層以上のマスク層を成膜し、樹脂層に基づいてマスク層をエッチングし、マスク層に基づいて強磁性材料をエッチングすることも提案されている。又、磁気記録要素がサーボパターンで形成された被加工体の上に非磁性材料等の非強磁性材料を成膜して磁気記録要素の間の凹部を充填し、磁気記録要素の上の余剰の非強磁性材料をドライエッチングやＣＭＰで除去して平坦化することにより磁気記録要素の間に分離要素を形成できる。尚、良好な磁気ヘッドの浮上特性が得られれば、磁気記録要素の間の凹部を充填せずに、分離要素がスペース（凹部）である構成としてもよい。又、所定の材料の連続膜における磁気記録要素又は分離要素のいずれか一方に相当する部分にイオン注入処理や反応ガスによる処理を施して磁気記録要素と分離要素とを形成することも提案されている（例えば、特許文献２、３参照）。
【０００４】
ところで磁気記録媒体は今後も一層の面記録密度の向上が期待されているが、磁気ヘッドの加工限界、磁気ヘッドの記録磁界の広がりに起因する記録対象のトラックに隣り合う他のトラックへの誤った情報の記録、再生時のクロストークなどの問題が顕在化し、従来の改良手法による面記録密度の向上は限界にきている。これに対し、一層の面記録密度の向上を実現可能である磁気記録媒体の候補として、記録層のデータ領域の部分がトラックに相当する形状の磁気記録要素で形成されたディスクリートトラックメディアや記録ビットに相当する形状の磁気記録要素で形成されたパターンドメディアが提案されている（例えば、特許文献４参照）。データ領域の磁気記録要素同士が分離要素で隔てられることにより記録対象の磁気記録要素の隣りの他の磁気記録要素への誤った磁気信号の記録や再生時のクロストークが生じにくくなり、面記録密度の向上に寄与すると期待されている。ディスクリートトラックメディアやパターンドメディアは、データ領域にトラックや記録ビットの形状の磁気記録要素を形成する工程で、サーボ領域においてサーボパターンに相当する形状の磁気記録要素を形成できるので製造上都合がよい。
【０００５】
このようなサーボパターンで形成された磁気記録要素と磁気記録要素同士を分離するための分離要素とを有する磁気記録媒体は全面に直流磁界が印加されることによりサーボ信号の記録が完了するのでサーボ信号の記録時間の大幅な短縮が期待されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１２９９５３号公報
【特許文献２】特開２００２−２８８８１３号公報
【特許文献３】特開２００２−３５９１３８号公報
【特許文献４】特開２０１０−０４００９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、直流磁界を磁気記録媒体に印加する工程において、磁気記録要素を確実に磁化させるために磁石と磁気記録媒体との間の隙間を小さくすると、磁石が磁気記録媒体の表面に接触して磁気記録媒体の表面を損傷させてしまうことがある。
【０００８】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、磁気記録媒体の表面を損傷させることなくサーボ信号を迅速、且つ、確実に記録できる磁気記録媒体の着磁装置及び磁気記録媒体の着磁方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、ディスク状の磁気記録媒体の両側の表面に接触し磁気記録媒体を挟むように配置されるバーニッシュ用部材とバーニッシュ用部材を介して磁気記録媒体を挟むように配置される一対の磁石部とを有し、バーニッシュ用部材で磁気記録媒体の表面をバーニッシュ加工しつつ表面に対して垂直な方向の直流磁界を一対の磁石部の間に形成して直流磁界を磁気記録媒体に印加可能である磁気記録媒体の着磁装置により上記目的を達成したものである。
【００１０】
又、本発明は、基板、サーボ領域の部分が所定のサーボパターンの磁気記録要素で形成され基板の少なくとも一方側に形成された記録層及び記録層の磁気記録要素同士を分離するための分離要素を含むディスク状の磁気記録媒体の両側の表面に接触し磁気記録媒体を挟むように配置されるバーニッシュ用部材で磁気記録媒体の表面をバーニッシュ加工しつつバーニッシュ用部材を介して磁気記録媒体を挟むように配置される一対の磁石部の間に磁気記録媒体の表面に対して垂直な方向の直流磁界を形成して直流磁界を磁気記録媒体に印加する磁気記録媒体の着磁方法により上記目的を達成したものである。
【００１１】
上記の磁気記録媒体の着磁装置及び着磁方法は、磁気記録媒体の両側の表面に接触するバーニッシュ用部材を介して一対の磁石部が磁気記録媒体を挟むように配置されるので、磁石部が磁気記録媒体の表面に接触して磁気記録媒体の表面を損傷させることがない。
【００１２】
又、バーニッシュ用部材は磁気記録媒体の表面に接触するが、バーニッシュ用部材は磁気記録媒体の表面をバーニッシュ加工するためのものであるので、バーニッシュ用部材も磁気記録媒体の表面を損傷させることはない。
【００１３】
更に、上記の磁気記録媒体の着磁装置及び磁気記録媒体の製造方法は、磁気記録媒体への直流磁界の印加と共に磁気記録媒体の表面のバーニッシュ加工も行うことができるので生産効率の向上に寄与する。
【００１４】
即ち、次のような本発明により、上記目的を達成することができる。
【００１５】
（１）ディスク状の磁気記録媒体の両側の表面に接触し前記磁気記録媒体を挟むように配置されるバーニッシュ用部材と前記バーニッシュ用部材を介して前記磁気記録媒体を挟むように配置される一対の磁石部とを有し、前記バーニッシュ用部材で前記磁気記録媒体の前記表面をバーニッシュ加工しつつ前記表面に対して垂直な方向の直流磁界を前記一対の磁石部の間に形成して前記直流磁界を前記磁気記録媒体に印加可能であることを特徴とする磁気記録媒体の着磁装置。
【００１６】
（２）  （１）において、前記バーニッシュ用部材はバーニッシュ用テープであり前記磁石部により前記磁気記録媒体の前記表面に加圧されることを特徴とする磁気記録媒体の着磁装置。
【００１７】
（３）  （１）又は（２）において、前記一対の前記磁石部の少なくとも一方に前記磁気記録媒体から離れる方向の力を付与可能である加圧力調整機構を更に有することを特徴とする磁気記録媒体の着磁装置。
【００１８】
（４）基板、サーボ領域の部分が所定のサーボパターンの磁気記録要素で形成され前記基板の少なくとも一方側に形成された記録層及び前記記録層の前記磁気記録要素同士を分離するための分離要素を含むディスク状の磁気記録媒体の両側の表面に接触し前記磁気記録媒体を挟むように配置されるバーニッシュ用部材で前記磁気記録媒体の前記表面をバーニッシュ加工しつつ前記バーニッシュ用部材を介して前記磁気記録媒体を挟むように配置される一対の磁石部の間に前記磁気記録媒体の前記表面に対して垂直な方向の直流磁界を形成して前記直流磁界を前記磁気記録媒体に印加することを特徴とする磁気記録媒体の着磁方法。
【００１９】
尚、本出願において「サーボ領域の部分が所定のサーボパターンの磁気記録要素で形成された記録層」とは、連続膜の強磁性材料がサーボパターンで分割され凸部である磁気記録要素同士が相互に完全に分離した記録層の他、磁気記録要素同士がサーボ領域とデータ領域との境界付近等では連続している記録層、強磁性材料が記録層の下の凹凸パターンの層の凸部の上面と凹部の底面とに分離されて形成され凸部の上面に形成された部分が磁気記録要素を構成する記録層、連続膜の強磁性材料の厚さ方向の途中まで凹部が形成されて凸部が磁気記録要素であり凹部の底部において連続した記録層、記録層の下の凹凸パターンの下の層に倣って凹凸パターンで成膜された連続膜の強磁性材料で形成され凸部が磁気記録要素である記録層、所定の材料の連続膜における磁気記録要素に相当する部分又は磁気記録要素ではない部分のいずれか一方にイオン注入処理や反応ガスによる処理が施されて磁気記録要素が所定のサーボパターンで形成された記録層も含む意義で用いることとする。
【００２０】
又、本出願において「分離要素」という用語は、磁気信号を保持する能力が磁気記録要素よりも低い領域、又は磁気信号を再生可能であるように保持する能力を実質的に有しない要素という意味で用いる。より具体的には、分離要素とは、磁気記録媒体に磁気信号を記録した状態において、その領域から発生する磁界が磁気記録要素から発生する磁界よりも小さい領域、又は、その領域から発生する磁界が実質的に存在しない要素を意味する。尚、分離要素は、非磁性材で磁気記録要素を分離する構成や磁気的な影響を無視しうる程度の材料又は磁気信号を保持する能力が記録領域よりも低い磁性材料で磁気記録要素を分離する構成でもよく、スペース（凹部）であってもよい。
【００２１】
又、本出願において「磁気記録媒体」という用語は、情報の記録、読み取りに磁気のみを用いるハードディスク、フロッピー（登録商標）ディスク、磁気テープ等に限定されず、磁気と光を併用するＭＯ（Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｏｐｔｉｃａｌ）等の光磁気記録媒体、磁気と熱を併用する熱アシスト型の記録媒体、磁気とマイクロ波を併用するマイクロ波アシスト型の記録媒体も含む意義で用いることとする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、磁気記録媒体の表面を損傷させることなく磁気記録媒体にサーボ信号を迅速、且つ、確実に記録できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る磁気記録媒体の着磁装置の概略構造を模式的に示す平面図
【図２】図１のIIから見た側面図
【図３】同着磁装置で着磁される磁気記録媒体の概略構造を拡大して模式的に示す図２のIIIから見た平面図
【図４】図３のIV部を更に拡大して模式的に示す平面図
【図５】同着磁装置による着磁工程を模式的に示す図４のV-Vに沿う断面図
【図６】同着磁装置を用いた磁気記録媒体の製造方法の概要を示すフローチャート
【図７】本発明の第２実施形態に係る磁気記録媒体の着磁装置の概略構造を模式的に示す側面図
【図８】本発明の第３実施形態に係る磁気記録媒体の着磁装置の概略構造を模式的に示す側面図
【図９】本発明の第４実施形態に係る磁気記録媒体の着磁装置の概略構造を模式的に示す平面図
【図１０】本発明の第５実施形態に係る磁気記録媒体の着磁装置の概略構造を模式的に示す側面図
【図１１】同着磁装置のバーニッシュ用部材及び磁石部を拡大して模式的に示す断面を含む側面図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２５】
図１及び２に示されるように、本発明の第１実施形態に係る磁気記録媒体の着磁装置１０は、ディスク状の磁気記録媒体１２の両側の表面１４に接触し磁気記録媒体１２を挟むように配置されるバーニッシュ用部材１６とバーニッシュ用部材１６を介して磁気記録媒体１２を挟むように配置される一対の磁石部１８とを有し、バーニッシュ用部材１６で磁気記録媒体１２の表面１４をバーニッシュ加工しつつ表面１４に対して垂直な方向の直流磁界を一対の磁石部１８の間に形成して直流磁界を磁気記録媒体１２に印加可能である。
【００２６】
バーニッシュ用部材１６は例えばポリエステル等のフィルム基材の表面にアルミナやＳｉＯ２等の研磨材を存在させたバーニッシュ用テープである。バーニッシュ用部材１６の厚さは５０〜１０００μｍ（例えば１００μｍ）である。尚、本第１実施形態ではバーニッシュ用部材１６の幅は磁気記録媒体１２における着磁及びバーニッシュの対象領域の径方向の幅よりも小さい。バーニッシュ用部材１６は複数のガイドローラ２２及び磁石部１８に案内され、図示しない駆動装置によりその長手方向に送られるようになっている。又、バーニッシュ用部材１６は、磁石部１８により磁気記録媒体１２の表面１４に加圧されるようになっている。尚、磁気記録媒体１２の両側のバーニッシュ用部材１６は１本の連続したバーニッシュ用テープでもよいし、２本の独立したバーニッシュ用テープでもよい。
【００２７】
磁石部１８は電磁石であり、例えば軟磁性の心材とこれを取巻くコイルとこれらを封入する樹脂材料とを有する構造である。磁石部１８の先端部（バーニッシュ用部材１６に接触する部分）は平面視において半円形である。磁石部１８の先端部の表面は例えばフッ素樹脂等の潤滑性を有する材料であることが好ましい。
【００２８】
磁気記録媒体の着磁装置１０は、磁石部１８に磁石部１８の引力に抗する、磁気記録媒体１２から離れる方向の力を付与可能である加圧力調整機構２３と、台座部３４と、磁気記録媒体１２を保持して回転駆動する磁気記録媒体保持部３６と、を更に有している。
【００２９】
加圧力調整機構２３は、磁石部１８を保持する磁石保持部２４と、アクチュエータ３２と、を有している。
【００３０】
磁石保持部２４は、磁石部１８を磁気記録媒体１２に近づく方向及び磁気記録媒体１２から離れる方向に移動可能に保持する基部２６と、基部２６における磁気記録媒体１２から離れる側に設置された背板部２８と、磁石部１８の基端部（磁気記録媒体１２から離れる側の端部）及び背板部２８の間に装架された引っ張りばね３０と、を有している。
【００３１】
アクチュエータ３２は、磁石保持部２４を磁気記録媒体１２に近づく方向及び磁気記録媒体１２から離れる方向に駆動可能である。
【００３２】
台座部３４は、バーニッシュ用部材１６、磁石部１８、ガイドローラ２２、磁石保持部２４及びアクチュエータ３２を支持している。台座部３４は図示しない駆動装置により上下方向に駆動されるようになっており、これによりバーニッシュ用部材１６、磁石部１８、ガイドローラ２２、磁石保持部２４及びアクチュエータ３２が一体で上下方向に移動可能である。
【００３３】
磁気記録媒体保持部３６は、先端において磁気記録媒体１２を保持する軸部３８と、軸部３８の先端に磁気記録媒体１２を係止するためのチャック部４０と、を有している。尚、図１では便宜上磁気記録媒体保持部３６を図示していない。後述する図９も同様である。軸部３８は図示しない回転駆動装置により軸心周りに回転可能である。軸部３８は筒状であり基端側から先端に空気等の流体を供給可能である。チャック部４０はゴム等の可撓性の材料で形成されており軸部３８の基端側から先端に供給される流体によって膨らむことにより軸部３８の先端に磁気記録媒体１２を係止するようになっている。
【００３４】
磁気記録媒体１２は垂直記録型のディスクリートトラックメディアであり、図３に示されるように、放射状に円周方向に所定のピッチで設定された複数の円弧形状のサーボ領域ＳＡとこれらサーボ領域ＳＡの間に設定されたデータ領域ＤＡとに区分けされている。
【００３５】
図４及び５に示されるように、磁気記録媒体１２は、基板４２と、サーボ領域ＳＡの部分が所定のサーボパターンの磁気記録要素４４で形成され基板４２の両面側に形成された記録層４６と、記録層４６の磁気記録要素４４同士を分離するための分離要素４８と、を有している。記録層４６のデータ領域ＤＡの部分はトラックの形状の磁気記録要素４４で形成されている。尚、図５では、便宜上、基板４２の両面側の磁気記録要素４４が基板４２に対して面対称的に設置されているように描かれているが、磁気記録要素４４は基板４２に対して面対称的に設置されている必要はない。例えば、基板の一方の面と他方の面とでサーボ領域ＳＡの周方向の位置（位相）が異なっていてもよく、このようなサーボ領域ＳＡの配置に対応して磁気記録要素４４が設置されていてもよい。
【００３６】
又、磁気記録媒体１２は記録層４６の上に保護層５０及び潤滑層５２を備えている。磁気記録媒体１２の表面１４は潤滑層５２の上面である。尚、潤滑層５２は保護層５０の上に部分的に形成されていてもよい。この場合、磁気記録媒体１２の表面１４は潤滑層５２の上面及び保護層５０の上面における潤滑層５２から露出する部分である。又、磁気記録媒体１２は基板４２と記録層４６との間に軟磁性層５４及び配向層５６を備えている。
【００３７】
基板４２は中心孔を有する略円板形状である。基板４２の厚さは０．５〜１．０ｍｍ（例えば０．６ｍｍ）である。基板４２の材料はガラス、Ａｌ、Ａｌ２Ｏ３等である。
【００３８】
記録層４６の厚さは５〜３０ｎｍである。記録層４６の材料（磁気記録要素４４の材料）は、例えばＣｏＣｒＰｔ合金等のＣｏＰｔ系合金、ＦｅＰｔ系合金、これらの積層体、ＣｏＣｒＰｔ等の強磁性粒子の間にＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の酸化物系材料を存在させた材料等である。データ領域ＤＡにおける磁気記録要素４４の上面の径方向の幅は１０〜１００ｎｍである。
【００３９】
分離要素４８は記録層４６の下面（基板４２側の面）まで形成されている。分離要素４８の材料は例えば、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｇＯ、ＺｒＯ２、フェライト等の酸化物、ＡｌＮ等の窒化物、ＳｉＣ等の炭化物、Ｓｉ、Ｃ（炭素）、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｔｉのような非磁性の金属、樹脂材料等である。又、分離要素４８の材料は、記録層４６の材料にイオン注入処理や反応ガスによる処理が施されて磁気特性が変質した材料（例えば、飽和磁化量を磁気記録要素４４の材料よりも小さくした材料、又は飽和磁化量が実質的に消失した材料）でもよい。尚、データ領域ＤＡにおける分離要素４８の上面の径方向の幅は１０〜１００ｎｍである。
【００４０】
保護層５０は、厚さが１〜５ｎｍである。保護層５０の材料はＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）等である。潤滑層５２は、厚さが１〜２ｎｍである。潤滑層５２の材料はＰＦＰＥ（パーフロロポリエーテル）等である。軟磁性層５４は、厚さが２０〜３００ｎｍである。軟磁性層５４の材料はＦｅ合金、Ｃｏ合金等である。配向層５６は、厚さが２〜４０ｎｍである。配向層５６の材料は非磁性のＣｏＣｒ合金、Ｔｉ、Ｒｕ、ＲｕとＴａの積層体、ＭｇＯ等である。
【００４１】
次に、磁気記録媒体の着磁装置１０を用いて磁気記録媒体１２に着磁する工程を含む磁気記録媒体１２の製造方法について図６に示されるフローチャートに沿って説明する。
【００４２】
まず、磁気記録媒体１２の製造過程の形態である被加工体の出発体を用意する（Ｓ１０２：被加工体の出発体用意工程）。被加工体の出発体は基板４２の上に、軟磁性層５４、配向層５６、（磁気記録要素４４が形成される前の連続膜の）記録層４６、マスク層（図示省略）をこの順でスパッタリング法等により成膜することにより得られる。マスク層の材料は、例えばＤＬＣのようなＣ（炭素）が主成分である材料である。
【００４３】
次に、マスク層の上にスピンコート法により樹脂材料を塗布し、更に図示しないスタンパを用いてインプリント法により樹脂材料に磁気記録要素４４のパターンに相当する凹凸パターンを転写し、凹凸パターンの樹脂層（図示省略）を形成する（Ｓ１０４：樹脂層形成工程）。インプリント法としては、紫外線等による光インプリント、熱インプリント等を用いることができる。光インプリントの場合、樹脂層の材料としては紫外線硬化性樹脂等を用いることができる。又、熱インプリントの場合、樹脂層の材料としては熱可塑性樹脂等を用いることができる。尚、凹部底部の樹脂層はアッシング等により除去する。又、樹脂材料として感光性レジスト又は電子線レジストを用い、光リソグラフィ又は電子線リソグラフィの手法で磁気記録要素４４のパターンに相当する凹凸パターンの樹脂層を形成してもよい。
【００４４】
次に、ハロゲン系ガスやＯ２ガスを用いたRIE(Reactive Ion Etching)により、凹部底部のマスク層を除去する（Ｓ１０６：マスク層加工工程）。これにより、記録層４６の上面のうちの磁気記録要素４４ではない部分が露出する。
【００４５】
次に、Ａｒガス等の希ガスを用いたIBE(Ion Beam Etching)により、凹部底部の記録層４６を下面（配向層５６と接する面）まで除去する（Ｓ１０８：記録層加工工程）。これにより、サーボ領域ＳＡにサーボパターンの磁気記録要素４４が形成される。又、同時にデータ領域ＤＡにはトラックの形状の磁気記録要素４４が形成される。次に、磁気記録要素４４上に残存するマスク層をハロゲン系ガスやＯ２ガスを用いたRIEにより除去する。尚、本出願において「IBE」という用語は、例えばイオンミリング等の、イオン化したガスを被加工体に照射して加工対象物を除去する加工方法の総称という意義で用いることとする。又、本出願では、希ガスのように加工対象物と化学的に反応しないガスを用いる場合でも、RIE装置を用いてエッチングを行う場合には「RIE」という用語を用いることとする。
【００４６】
次に、スパッタリング法又はバイアススパッタリング法により、磁気記録要素４４が形成された被加工体の上に分離要素４８の材料を成膜し、磁気記録要素４４の間の凹部に分離要素４８を形成する（Ｓ１１０：分離要素材料成膜工程）。尚、分離要素４８の材料は、磁気記録要素４４の上にも成膜される。
【００４７】
次に、Ａｒガス等の希ガスを用いたIBE又はRIEにより、分離要素４８の材料の余剰の部分を除去し、被加工体の表面を平坦化する（Ｓ１１２：平坦化工程）。尚、分離要素４８の材料の余剰の部分とは、成膜された分離要素４８の材料のうちの磁気記録要素４４の上面のレベルよりも上側（基板４２と反対側）に存在する部分という意義で用いることとする。
【００４８】
次に、ＣＶＤ法により磁気記録要素４４及び分離要素４８の上に保護層５０を形成する（Ｓ１１４：保護層形成工程）。更に、ディッピング法により保護層５０の上に潤滑層５２を形成する（Ｓ１１６：潤滑層形成工程）。これにより、前記図５に示される磁気記録媒体１２が得られる。
【００４９】
次に、磁気記録媒体の着磁装置１０を用いて磁気記録媒体１２に着磁及びバーニッシュを行う（Ｓ１１８：着磁工程）。具体的には、磁気記録媒体１２を磁気記録媒体保持部３６で保持し、バーニッシュ用部材１６及び一対の磁石部１８が磁気記録媒体１２を挟んで対向するように台座部３４の上下方向の位置を調整する。更に、一対の磁石部１８の一方の先端（表面１４に対向する側）がＮ極となり他方の先端がＳ極になるように各磁石部１８のコイルに通電する。これにより磁気記録媒体１２の表面１４に対して垂直な方向の直流磁界が一対の磁石部１８の間に形成される。一対の磁石部１８は引き合い、バーニッシュ用部材１６が磁石部１８により磁気記録媒体１２の表面１４に加圧される。尚、各磁石部１８は磁気記録媒体１２とも引き合う。加圧力（バーニッシュ用部材１６が磁気記録媒体１２の表面１４に加圧される力）は、磁石部１８の引力（一対の磁石部１８の間に作用する引力と各磁石部１８及び磁気記録媒体１２の間に作用する引力とを合計した力）から引っ張りばね３０が磁石部１８を引っ張る力を差し引いた値である。加圧力が所定の値になるようにアクチュエータ３２により背板部２８の位置を調整する。この状態で磁気記録媒体保持部３６と共に磁気記録媒体１２を回転駆動すると、図５に示されるように磁気記録媒体１２の表面１４がバーニッシュ用部材１６でバーニッシュ加工されつつ表面１４に対して垂直な方向の直流磁界が磁気記録媒体１２の全周に印加され、各磁気記録要素４４が磁気記録媒体１２の表面１４に対して垂直な方向に磁化される。尚、図５において長い矢印は磁気記録媒体１２に印加される直流磁界を模式的に示し、短い矢印は磁気記録要素４４が磁化された状態を模式的に示す。台座部３４と共にバーニッシュ用部材１６及び一対の磁石部１８を上下方向に移動させながら着磁及びバーニッシュを行うことにより磁気記録媒体１２の全面がバーニッシュ加工され、総ての磁気記録要素４４が磁気記録媒体１２の表面１４に対して垂直な方向に磁化される。これによりサーボ領域ＳＡではサーボパターンの磁気記録要素４４の部分が磁化され、磁気記録媒体１２にサーボ信号が記録される。バーニッシュ用部材１６を上下方向に移動させながらバーニッシュを行うことにより、バーニッシュされる表面の粗さのばらつきを抑制する効果が得られる。尚、バーニッシュ用部材１６をその長手方向に送りながら着磁及びバーニッシュを行ってもよい。又、バーニッシュ用部材１６が静止した状態で着磁及びバーニッシュを行い、その後バーニッシュ用部材１６をその長手方向に送るようにしてもよい。
【００５０】
磁気記録媒体の着磁装置１０は、磁気記録媒体１２の両側の表面１４に接触するバーニッシュ用部材１６を介して一対の磁石部１８が磁気記録媒体１２を挟むように配置されるので、磁石部１８が磁気記録媒体１２の表面１４に接触して磁気記録媒体１２の表面１４を損傷させることがない。
【００５１】
又、バーニッシュ用部材１６は磁気記録媒体１２の表面１４に接触するが、バーニッシュ用部材１６は磁気記録媒体１２の表面１４をバーニッシュ加工するためのものであるので、バーニッシュ用部材１６も磁気記録媒体１２の表面１４を損傷させることはない。
【００５２】
更に、磁気記録媒体の着磁装置１０は、一つの工程で磁気記録媒体１２への直流磁界の印加と共に磁気記録媒体１２の表面１４のバーニッシュ加工も行うことができるので生産効率の向上に寄与する。
【００５３】
又、磁気記録媒体の着磁装置１０は、磁石部１８に磁石部１８の引力に抗する、磁気記録媒体１２から離れる方向の力を付与可能である加圧力調整機構２３を備えているので、磁石部１８の引力が強くてもバーニッシュ用部材１６を好ましい加圧力で磁気記録媒体１２の表面１４に加圧でき、良好なバーニッシュを実現できる。
【００５４】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。前記第１実施形態ではバーニッシュ用部材１６の幅が磁気記録媒体１２における着磁及びバーニッシュの対象領域の径方向の幅よりも小さい。これに対し、図７に示されるように、本第２実施形態に係る磁気記録媒体の着磁装置６０は、磁気記録媒体１２における着磁及びバーニッシュの対象領域の径方向の幅と同等又はこれよりも大きい幅（図７における上下方向の幅）のバーニッシュ用部材６２と磁石部６４とを有している。他の構成については前記第１実施形態と同じであるので同じ構成については前記図１〜６と同一符号を用いることとし説明を省略する。
【００５５】
このように、バーニッシュ用部材６２の幅及び磁石部６４の幅が磁気記録媒体１２における着磁及びバーニッシュの対象領域の径方向の幅と同等又はこれよりも大きいので、バーニッシュ用部材６２及び磁石部６４を上下方向に移動させなくても磁気記録媒体１２の全面がバーニッシュ加工され、総ての磁気記録要素４４が磁気記録媒体１２の表面１４に対して垂直な方向に磁化される。従って、生産効率の一層の向上を図ることが可能である。
【００５６】
次に、本発明の第３実施形態について説明する。前記第１及び第２実施形態では引っ張りばね３０を有する加圧力調整機構２３が備えられている。これに対し、図８に示されるように、本第３実施形態に係る磁気記録媒体の着磁装置７０は、錘部材７２と紐部材７４と滑車部材７６とを有する加圧力調整機構７８を備えている。尚、引っ張りばね３０は備えられていない。錘部材７２は紐部材７４を介して磁石部１８の基端に連結されている。磁石部１８の磁気記録媒体１２に近づく方向又は磁気記録媒体１２から離れる方向への移動に伴って錘部材７２が上方又は下方に移動するように、滑車部材７６が紐部材７４を案内している。他の構成については前記第１及び第２実施形態と同じであるので同じ構成については前記図１〜７と同一符号を用いることとし説明を省略する。
【００５７】
このように、錘部材７２を有する加圧力調整機構７８を備えている磁気記録媒体の着磁装置７０も、磁石部１８の引力が強くてもバーニッシュ用部材１６（６２）を好ましい加圧力で磁気記録媒体１２の表面１４に加圧でき、良好なバーニッシュを実現できる。又、加圧力の調整のためのアクチュエータ３２による背板部２８の位置の調整は必要なく、加圧力の調整が容易である。
【００５８】
尚、図８は便宜上、前記第１実施形態と同じバーニッシュ用部材１６、磁石部１８等を備える構成を示しているが、前記第２実施形態と同じバーニッシュ用部材６２、磁石部６４等を備える場合も、本第３実施形態を適用可能である。
【００５９】
次に、本発明の第４実施形態について説明する。前記第１〜第３実施形態では磁石部１８（６４）が、バーニッシュ用部材１６（６２）と摺動するようになっている。これに対し、図９に示されるように、本第４実施形態に係る磁気記録媒体の着磁装置８０は、磁石部８２の先端部がバーニッシュ用部材１６を案内する磁石部ローラ８４で構成されている。磁石部ローラ８４の材料は軟磁性材である。他の構成については前記第１〜第３実施形態と同じであるので同じ構成については前記図１〜８と同一符号を用いることとし説明を省略する。
【００６０】
このように、磁気記録媒体の着磁装置８０は、磁石部８２の先端部がバーニッシュ用部材１６を案内する磁石部ローラ８４で構成されているので、バーニッシュ用部材１６（６２）を滑らかに案内することができる。
【００６１】
尚、図９は便宜上、前記第１実施形態と同じバーニッシュ用部材１６、加圧力調整機構２３等を備える構成を示しているが、前記第２実施形態と同じバーニッシュ用部材６２や前記第３実施形態と同じ加圧力調整機構７８等を備える場合も、本第４実施形態を適用可能である。
【００６２】
次に、本発明の第５実施形態について説明する。前記第１〜第４実施形態ではバーニッシュ用部材１６（６２）はバーニッシュ用テープであり、磁石部１８（６４、８２）はバーニッシュ用部材１６（６２）を加圧すると共にバーニッシュ用部材１６（６２）を案内する役割を果たしている。これに対し、図１０及び１１に示されるように、本第５実施形態に係る磁気記録媒体の着磁装置１００は、磁気記録媒体のバーニッシュ加工に用いられるバーニッシュヘッドと形状が類似した一対の着磁用ヘッド１０２を備え、各着磁用ヘッド１０２に磁石部１０４とバーニッシュ用部材１０６とが設置されている。
【００６３】
磁石部１０４は電磁石である。磁石部１０４はサスペンションアーム１０８の先端に設置されている。
【００６４】
バーニッシュ用部材１０６は、磁石部１０４における磁気記録媒体１２の表面１４に対向する側の端面に設置されている。バーニッシュ用部材１０６はバーニッシュ用パッドである。バーニッシュ用部材１０６の材料は、例えばアルミナ、チタンカーバイド、アルミナチタンカーバイド、ジルコニア等である。尚、バーニッシュ用部材１０６における磁気記録媒体１２の表面１４に対向する側の端面には所定のパターンの凹凸を形成してもよい（図示省略）。
【００６５】
サスペンションアーム１０８は、磁石部１０４に磁石部１０４の引力に抗する、磁気記録媒体１２から離れる方向の力を付与可能である加圧力調整機構を構成している。言い換えれば、サスペンションアーム１０８は、常態で（磁石部１０４に磁気による引力が作用しない状態で）磁石部１０４と磁気記録媒体１２の表面１４との間に隙間が生じるように設置されている。
【００６６】
尚、磁気記録媒体１２及び磁気記録媒体保持部３６は前記第１〜第４実施形態と同じである。
【００６７】
次に、磁気記録媒体の着磁装置１００を用いて磁気記録媒体１２に着磁する方法について説明する。尚、被加工体の出発体用意工程（Ｓ１０２）〜潤滑層形成工程（Ｓ１１６）については前記第１〜第４と同じであるのでここでは説明を省略し、磁気記録媒体の着磁装置１００を用いて磁気記録媒体１２に着磁及びバーニッシュを行う着磁工程（Ｓ１１８）についてのみ説明する。
【００６８】
まず、磁気記録媒体１２を磁気記録媒体保持部３６で保持し、一対の着磁用ヘッド１０２が磁気記録媒体１２を挟んで対向するように各サスペンションアーム１０８の位置（角度）を調整する。更に、一対の磁石部１０４の一方の先端（磁気記録媒体１２に対向する側の端部）がＮ極となり他方の先端がＳ極になるようにこれら磁石部１０４のコイルに通電する。これにより磁気記録媒体１２の表面１４に対して垂直な方向の直流磁界が一対の磁石部１０４の間に形成される。一対の磁石部１０４は引き合い、バーニッシュ用部材１０６が磁石部１０４により磁気記録媒体１２の表面１４に加圧される。尚、各磁石部１０４は磁気記録媒体１２とも引き合う。加圧力（バーニッシュ用部材１０６が磁気記録媒体１２の表面１４に加圧される力）は、磁石部１０４の引力（一対の磁石部１０４の間に作用する引力と各磁石部１０４及び磁気記録媒体１２の間に作用する引力とを合計した力）からサスペンションアーム１０８が磁石部１０４に付与する力を差し引いた値である。この状態で磁気記録媒体保持部３６により磁気記録媒体１２を回転駆動すると、図１１に示されるように磁気記録媒体１２の表面１４がバーニッシュ用部材１０６でバーニッシュ加工されつつ磁気記録媒体１２の表面１４に対して垂直な方向の直流磁界が磁気記録媒体１２の全周に印加され、各磁気記録要素４４が表面１４に対して垂直な方向に磁化される。尚、図１１において長い矢印は磁気記録媒体１２に印加される直流磁界を模式的に示し、短い矢印は磁気記録要素４４の磁化された状態を模式的に示す。サスペンションアーム１０８と共に一対のバーニッシュ用部材１０６及び磁石部１０４を磁気記録媒体１２の径方向に移動させながら着磁及びバーニッシュを行うことにより磁気記録媒体１２の全面がバーニッシュ加工され、総ての磁気記録要素４４が磁気記録媒体１２の表面１４に対して垂直な方向に磁化される。これによりサーボ領域ＳＡではサーボパターンの磁気記録要素４４の部分が磁化され、磁気記録媒体１２にサーボ信号が記録される。バーニッシュ用部材１０６を磁気記録媒体１２の径方向に移動させながらバーニッシュを行うことにより、バーニッシュされる表面の粗さのばらつきを抑制する効果が得られる。
【００６９】
磁気記録媒体の着磁装置１００も、磁気記録媒体１２の両側の表面１４に接触するバーニッシュ用部材１０６を介して一対の磁石部１０４が磁気記録媒体１２を挟むように配置されるので、磁石部１０４が磁気記録媒体１２の表面１４に接触して磁気記録媒体１２の表面１４を損傷させることがない。
【００７０】
又、バーニッシュ用部材１０６は磁気記録媒体１２の表面１４に接触するが、バーニッシュ用部材１０６は磁気記録媒体１２の表面１４をバーニッシュ加工するためのものであるので、バーニッシュ用部材１０６も磁気記録媒体１２の表面１４を損傷させることはない。
【００７１】
更に、磁気記録媒体の着磁装置１００も、一つの工程で磁気記録媒体１２への直流磁界の印加と共に磁気記録媒体１２の表面１４のバーニッシュ加工も行うことができるので生産効率の向上に寄与する。
【００７２】
又、磁気記録媒体の着磁装置１００も、磁石部１０４の引力に抗する、磁石部１８に磁気記録媒体１２から離れる方向の力を付与可能である加圧力調整機構を構成するサスペンションアーム１０８を備えているので、磁石部１０４の引力が強くてもバーニッシュ用部材１０６を好ましい加圧力で磁気記録媒体１２の表面１４に加圧でき、良好なバーニッシュを実現できる。
【００７３】
尚、前記第１〜第５実施形態において、磁石部は電磁石であるが、磁石部は永久磁石でもよい。例えばＮｄ（ネオジウム）−Ｆｅ（鉄）−Ｂ（ホウ素）系材料等の、希土類元素を含む磁性材料の永久磁石を用いることができる。
【００７４】
又、前記第１〜第３実施形態において、磁石部の先端部は半円形であるが、バーニッシュ用部材１６（６２）を滑らかに案内できれば磁石部の先端部の形状は特に限定されない。例えば、磁石部の先端部の（平面視の）形状は楕円形や２次曲線でもよい。又、磁気記録媒体の表面に平行な平坦な形状でもよい。
【００７５】
又、前記第１〜第５実施形態において、両方の磁石部に磁気記録媒体から離れる方向の力を付与可能である加圧力調整機構が備えられているが、良好なバーニッシュ加工を行うことができれば一方の磁石部のみに磁気記録媒体から離れる方向の力を付与可能である構成を採用してもよい。
【００７６】
又、前記第１〜第５実施形態において、磁石部に磁気記録媒体から離れる方向の力を付与可能である加圧力調整機構が備えられているが、磁石部の引力がバーニッシュ加工に好適な加圧力よりも小さい場合は、磁石部に磁気記録媒体に近づく方向の力を付与可能である加圧力調整機構を備えるとよい。例えば、前記第１、第２及び第４実施形態では引っ張りばねに代えて圧縮ばねを備えてもよい。又、前記第３実施形態では、錘部材の重さにより磁石部に磁気記録媒体に近づく方向の力を付与するように錘部材、紐部材及び滑車部材を設置してもよい。又、前記第５実施形態では、常態で（磁石部に磁気による引力が作用しない状態で）着磁用ヘッドが磁気記録媒体の表面に接触し、且つ、磁気記録媒体の表面に加圧されるようにサスペンションアームを設置すればよい。
【００７７】
又、磁石部の引力がバーニッシュ加工に好適な加圧力の範囲内である場合は、加圧力調整機構は省略してもよい。前記第５実施形態では、常態で（磁石部に磁気による引力が作用しない状態で）着磁用ヘッドが磁気記録媒体の表面に接触し、且つ、表面に加圧されないようにサスペンションアームを設置すればよい。
【００７８】
又、前記第１〜第５実施形態において、潤滑層形成工程（Ｓ１１６）の後で着磁工程（Ｓ１１８）を行っているが、保護層形成工程（Ｓ１１４）と潤滑層形成工程（Ｓ１１６）との間で着磁工程を行ってもよい。又、保護層形成工程（Ｓ１１４）と潤滑層形成工程（Ｓ１１６）との間、及び潤滑層形成工程（Ｓ１１６）後の両方で着磁工程を行ってもよい。
【００７９】
又、前記第１〜第５実施形態において、磁気記録媒体１２は垂直記録型のディスクリートトラックメディアであるが、垂直記録型のパターンドメディアにも本発明を適用可能である。
【００８０】
又、前記第１〜第５実施形態において、磁気記録要素はサーボ領域ＳＡにおいて所定のサーボパターンで形成され、データ領域ＤＡではトラックの形状で形成されているが、磁気記録要素がサーボ領域ＳＡにおいて所定のサーボパターンで形成され、データ領域ＤＡには分離要素が形成されておらず記録層におけるデータ領域ＤＡの部分が一定の厚さの連続膜である磁気記録媒体にも本発明を適用可能である。
【００８１】
又、前記第１〜第５実施形態において、エッチングにより磁気記録要素を形成しているが、所定の材料の連続膜における磁気記録要素又は分離要素のいずれか一方に相当する部分にイオン注入処理や反応ガスによる処理を施して飽和磁化量を有する磁気記録要素と、飽和磁化量が磁気記録要素よりも小さい又は飽和磁化量が実質的に消失した分離要素と、を形成してもよい。
【００８２】
又、前記第１〜第５実施形態において、分離要素の材料として非磁性の金属、樹脂材料、記録層の材料にイオン注入処理や反応ガスによる処理が施されて磁気特性が変質した材料等が例示されているが、磁気ヘッドの良好な浮上特性が得られれば分離要素はスペース（凹部）であってもよい。
【００８３】
又、前記第１〜第５実施形態において、磁気記録要素同士は完全に分割されているが、分離要素が記録層の厚さ方向の途中まで形成されて底部において連続した記録層を有する磁気記録媒体にも本発明を適用可能である。又、基板の片面だけに記録層等が形成された片面記録式の磁気記録媒体にも本発明を適用可能である。又、ＭＯ等の光磁気記録媒体、磁気と熱を併用する熱アシスト型の磁気記録媒体、磁気とマイクロ波を併用するマイクロ波アシスト型の磁気記録媒体にも本発明を適用可能である。
【００８４】
又、前記第１〜第５実施形態において、記録層４６の下に軟磁性層５４、配向層５６が形成されているが、記録層４６の下の層の構成は特に限定されない。例えば、軟磁性層５４と基板４２との間に下地層や反強磁性層が形成された磁気記録媒体や、配向層が省略された磁気記録媒体にも本発明を適用可能である。
【００８５】
又、前記第１〜第５実施形態において、マスク層、樹脂層を連続膜の記録層の上に形成しているが、記録層を高精度で加工できれば、マスク層、樹脂層の材料、積層数、厚さ、ドライエッチングの種類等は特に限定されない。
【００８６】
又、前記第１〜第５実施形態において、Ａｒガス等の希ガスを用いたIBE又はRIEにより、被加工体の表面を平坦化しているが、例えばＣＭＰ等の他の手法を用いて被加工体の表面を平坦化してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８７】
本発明は、例えば、ディスクリートトラックメディア、パターンドメディア等の所定のサーボパターンで形成された磁気記録要素と分離要素とを有する磁気記録媒体に利用できる。
【符号の説明】
【００８８】
１０、６０、７０、８０、１００…磁気記録媒体の着磁装置
１２…磁気記録媒体
１４…表面
１６、６２、１０６…バーニッシュ用部材
１８、６４、８２、１０４…磁石部
２３、７８…加圧力調整機構
４２…基板
４４…磁気記録要素
４６…記録層
４８…分離要素
５０…保護層
５２…潤滑層
５４…軟磁性層
５６…配向層
１０８…サスペンションアーム（加圧力調整機構）
ＤＡ…データ領域
ＳＡ…サーボ領域
Ｓ１０２…被加工体の出発体用意工程
Ｓ１０４…樹脂層形成工程
Ｓ１０６…マスク層加工工程
Ｓ１０８…記録層加工工程
Ｓ１１０…分離要素材料成膜工程
Ｓ１１２…平坦化工程
Ｓ１１４…保護層形成工程
Ｓ１１６…潤滑層形成工程
Ｓ１１８…着磁工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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