(57)【要約】      （修正有）【課題】インク耐食性に優れた安価なインクジェット記録装置用ニッケルフィルタを提供する。【解決手段】ニッケルフィルタ１０は、インクジェット記録装置１に用いられるニッケルフィルタ１０であって、ニッケル以外の成分を含み、且つ、コバルトの含有量が０．５重量％以下であることを特徴とする。本発明のニッケルフィルタ１０は、コバルトの含有量を０．５重量％以下としたことで、インク耐食性に優れる。また、ニッケルフィルタ１０は、貴金属を用いなくともよいため、安価である。ニッケルフィルタ１０は、電鋳法により製造されることが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット記録装置に用いられるニッケルフィルタであって、
ニッケル以外の成分を含み、且つ、コバルトの含有量が、０．５重量％以下であることを特徴とするニッケルフィルタ。
【請求項２】
電鋳法により製造される請求項１記載のニッケルフィルタ。
【請求項３】
インクジェット記録用水性インクを含むインクカートリッジであって、
ニッケルフィルタを備え、
前記ニッケルフィルタが、請求項１または２記載のニッケルフィルタであることを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項４】
前記水性インクが、着色剤、水および防錆剤を含む請求項３記載のインクカートリッジ。
【請求項５】
インク収容部およびインク吐出手段を含み、前記インク収容部に収容された水性インクを前記インク吐出手段によって吐出するインクジェット記録装置であって、
前記インク収容部および前記インク吐出手段の少なくとも一方が、ニッケルフィルタを含み、
前記ニッケルフィルタが、請求項１または２記載のニッケルフィルタであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項６】
前記水性インクが、着色剤、水および防錆剤を含む請求項５記載のインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ニッケルフィルタ、インクカートリッジおよびインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク耐食性に優れた金属として、ニッケル（Ｎｉ）が知られており、インクジェット記録装置用オリフィスプレートやフィルタとして、単一のＮｉ基板を用いること、あるいは、銅（Ｃｕ）等の基板の上にＮｉ層を電気メッキしてオリフィスプレートを形成し、このＮｉ層をインクジェットヘッドに接合することが行われている。しかし、Ｎｉを用いた場合であっても、インク耐食性が不充分なことがあった。
【０００３】
また、貴金属は、化学的に安定しており、インク耐食性に優れている。このため、インクジェットヘッドとの接合面に貴金属皮膜を形成したドロップジェネレータ（特許文献１）や、Ｎｉ−パラジウム（Ｐｄ）合金からなるオリフィスプレート（特許文献２）が提案されている。しかし、貴金属は高価な金属であるため、それだけコストが高くなるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６３−５９５０号公報
【特許文献２】特開平１１−３００９７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は、インク耐食性に優れた安価なインクジェット記録装置用Ｎｉフィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のＮｉフィルタは、インクジェット記録装置に用いられるＮｉフィルタであって、
Ｎｉ以外の成分を含み、且つ、コバルト（Ｃｏ）の含有量が、０．５重量％以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明者等は、一連の研究を重ねたところ、Ｃｏの含有量が０．５重量％以下のＮｉフィルタを用いれば、インク耐食性に優れることを見出し本発明に想到した。本発明のＮｉフィルタは、高価な貴金属を用いなくともよいため、安価である。ただし、本発明のＮｉフィルタは、貴金属を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１（ａ）は、本発明のＮｉフィルタの構成の一例を示す平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＩ−Ｉにおける断面図である。
【図２】図２は、本発明のＮｉフィルタを含むインクジェットヘッドの構成の一例を示す概略斜視図である。
【図３】図３は、本発明のインクジェット記録装置の構成の一例を示す概略斜視図である。
【図４】図４は、本発明の実施例および比較例におけるＮｉフィルタ中のＣｏ含有量とＮｉ溶出量との関係を示すグラフである。
【図５】図５は、本発明の実施例および比較例におけるＮｉフィルタ中のＣｕ含有量とＮｉ溶出量との関係を示すグラフである。
【図６】図６は、本発明の実施例および比較例におけるＮｉフィルタ中の鉄（Ｆｅ）含有量とＮｉ溶出量との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明のＮｉフィルタについて説明する。本発明のＮｉフィルタは、Ｎｉ以外の成分を含み、且つ、Ｃｏの含有量が、０．５重量％以下である。この点を除き、本発明のＮｉフィルタの形状および大きさ、製造方法等は特に制限されない。また、本発明のＮｉフィルタは、Ｃｏを含んでいても含んでいなくともよく、Ｃｏ以外の成分を含んでいても含んでいなくともよい。ただし、本発明のＮｉフィルタは、Ｃｏを含まない場合、必ずＣｏ以外の成分を含む。前記Ｃｏ以外の成分としては、例えば、不純物として含まれるＣｕ、Ｆｅ等があげられる。本発明のＮｉフィルタ中の不純物（Ｎｉ以外の成分）の含有量は、例えば、０．１重量％〜１重量％であり、好ましくは、０．２３重量％〜０．７１重量％である。本発明のＮｉフィルタ中のＣｏ、ＣｕおよびＦｅの合計含有量は、例えば、０．１重量％〜１重量％であり、好ましくは、０．１３重量％〜０．６７重量％である。
【００１０】
Ｎｉフィルタ中のＣｏの含有量を０．５重量％以下とすることで、インク耐食性が向上するメカニズムは、例えば、つぎのように推察される。Ｎｉ、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）等は、表面に不動態皮膜を形成するインク耐食性に優れた金属である。一方、Ｃｏは、表面に不動態皮膜を形成する金属ではない。このため、Ｎｉフィルタ中のＣｏの含有量を少なくすることで、Ｎｉの不動態皮膜を形成する力を弱めることがなく、インク耐食性が向上すると推察される。ただし、前記メカニズムは推察に過ぎず、本発明を何ら限定しない。なお、本発明者らは、Ｎｉフィルタ中のＣｏの含有量がインク耐食性に影響を与えるのに対し、Ｎｉフィルタ中に不純物として含まれるＣｕ、Ｆｅ等の含有量はインク耐食性に影響を与えないことを確認している。このＮｉフィルタ中のＣｏ、Ｃｕ、Ｆｅの含有量とインク耐食性との関係については、後述の実施例および比較例で実証されている。
【００１１】
本発明のＮｉフィルタは、インクジェット記録装置に用いられる。インクジェット記録装置における本発明のＮｉフィルタの配置箇所は、特に制限されない。前記配置箇所としては、例えば、インクカートリッジ等のインク収容部のインク排出口、インクジェットヘッド等のインク吐出手段の内部等があげられる。
【００１２】
図１に、本発明のＮｉフィルタの構成の一例を示す。図１（ａ）は、本例のＮｉフィルタの平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＩ−Ｉにおける断面図である。本例のＮｉフィルタは、インクジェットヘッドに適用される。図示のとおり、このＮｉフィルタ１０は、粗直方体の形状であり、フィルタ部１１と枠部１２とを有する。前記フィルタ部１１は、４つのフィルタ部１１ａ〜１１ｄから構成されている。前記各フィルタ部は、それぞれ、Ｎｉフィルタ１０の厚み方向に貫通しており、多数の小孔１３を有する。前記枠部１２は、前記４つのフィルタ部１１ａ〜１１ｄを一体に連接する実質無孔の板状の部材である。すなわち、隣接する前記各フィルタ部の間は、前記枠部１２で区画されている。前記枠部１２は、後述するように、Ｎｉフィルタ１０をキャビティユニットに接着する際の、接着しろとなる。
【００１３】
前記Ｎｉフィルタ１０の製造方法は、特に制限されず、例えば、電鋳法、エッチング法等があげられる。これらの中でも、電鋳法が好ましい。電鋳法による前記Ｎｉフィルタ１０の製造方法は、例えば、つぎのとおりである。すなわち、まず、母型上に絶縁膜で前記各フィルタ部の小孔１３に対応した突起部をパターン形成する。ついで、前記母型上の前記絶縁膜の無い部分にＮｉを所望の厚み（Ｎｉフィルタ１０の厚み寸法）まで堆積形成してＮｉ膜とし、前記絶縁膜を除去した後、前記Ｎｉ膜をＮｉフィルタ１０として前記母型から剥離する。このように、前記Ｎｉフィルタ１０を電鋳法により製造すれば、前記各フィルタ部と前記枠部１２とが同時に一体成型されるため、製造工程を簡略化することができる。
【００１４】
前記各フィルタ部の小孔１３は、円筒状に形成されている。前記小孔１３の孔径および数は、例えば、インクジェットヘッドのノズル径および数に応じて決定される。前記小孔１３の形状は、円筒状に限らず、多角形筒状とすることもできる。特に、前記小孔１３を、六角形筒状の形状として蜂の巣状に配置すれば、他の多角形筒状および円筒状のものと比べて、単位面積当たりの小孔数を多くでき、流路抵抗の増加を抑制できる。
【００１５】
図２に、図１に示したＮｉフィルタ１０を含むインクジェットヘッドの構成の一例を示す。図示のとおり、このインクジェットヘッド２０は、下面に複数列（本例では５列）に複数個のノズル（図示せず）が形成されたキャビティユニット２１と、その上面に接着剤または接着シートを介して積層された前記Ｎｉフィルタ１０およびプレート型の圧電アクチュエータ２４と、前記圧電アクチュエータ２４の上面に外部機器との電気的接合のために重ね接合されたフレキシブルフラットケーブル２５とにより構成されている。
【００１６】
前記キャビティユニット２１は、下層から順にノズルプレート、スペーサプレート、ダンパープレート、二枚のマニホールドプレート、サプライプレート、ベースプレート、およびキャビティプレートの合計８枚の扁平な板を、それぞれ、接着剤にて重ね接合して積層した構成である。前記ノズルプレートは、ポリイミド等の合成樹脂製であり、多数のインク吐出用のノズルが、長手方向（Ｙ方向、副走査方向）に沿って穿設されている。前記ノズルは、例えば、エキシマレーザの照射による孔加工により形成できる。前記ノズルプレートを除く各プレートは、厚みが５０μｍ〜１５０μｍ程度の４２％ニッケル合金鋼板製である。
【００１７】
前記キャビティプレートには、前記ノズルプレートのノズル列毎に、短手方向（Ｘ方向、主走査方向）に沿って延びる細幅の圧力室２２が前記ノズルプレートのノズルの個数に応じて厚さ方向に貫通して形成されている。
【００１８】
前記二枚のマニホールドプレートには、前記ノズルプレートのノズル列に対応して、Ｙ方向に長いインク流路が厚み方向に貫通するように形成されている（図示せず）。前記二枚のマニホールドプレートが前記サプライプレートと前記ダンパープレートとに挟まれて積層されることにより、前記インク流路が５列の共通インク室（マニホールド室）となる。
【００１９】
前記キャビティプレート、前記ベースプレートおよび前記サプライプレートのＹ方向の一端部には、上下の位置を対応させて、それぞれ、４つのインク供給口２３ａ〜２３ｄがＸ方向に沿って適宜の間隔で穿設されている。前記インク供給口２３ｄは、前記ベースプレートおよび前記サプライプレートに形成された２本のインク流路（図示せず）により、前記５つの共通インク室のうちの２つの一端部と連通している。前記インク供給口２３ａ〜２３ｃは、それぞれ、前記ベースプレートおよび前記サプライプレートに形成されたインク流路（図示せず）により、前記５つの共通インク室のうちの残り３つの一端部と連通している。前記インク供給口２３ｄには、カラーインクと比べて使用頻度の高い水性ブラックインクが供給される。前記インク供給口２３ａ〜２３ｃには、イエロー、マゼンタおよびシアンの３色の水性インクが、それぞれ１色ずつ供給される。
【００２０】
前記４つのインク供給口２３ａ〜２３ｄの上面には、これら４つを一括して覆うように、前記Ｎｉフィルタ１０が貼着されている。
【００２１】
また、前記ダンパープレートの下面側には、前記各共通インク室に対応する位置にＹ方向に長いダンパー室が下面方向のみ開放するように凹み形成されている（図示せず）。
【００２２】
前記サプライプレートには、前記各圧力室２２に対応する絞り部がＸ方向に延びる細長形状で凹溝状に形成されている（図示せず）。この各絞り部の一端は、対応する前記各共通インク室に連通している。前記各絞り部の他端は、前記ベースプレートを上下に貫通する連通孔（図示せず）を介して前記各圧力室２２の一端に連通している。
【００２３】
前記各圧力室２２の他端は、前記スペーサプレート、前記ダンパープレート、前記２枚のマニホールドプレート、前記サプライプレート、および前記ベースプレートを上下に貫通する連通路（図示せず）を介して、それぞれ、前記ノズルに連通している。
【００２４】
前記各インク供給口２３ａ〜２３ｄから前記各共通インク室内に流入した水性インクは、前記各絞り部、前記各連通孔を通って前記各圧力室２２内に分配された後、前記連通路を通って前記ノズルに至る。
【００２５】
前記圧電アクチュエータ２４は、特開平４−３４１８５３号公報等に開示された公知のものと同様に、１枚の厚さが３０μｍ程度の複数枚の圧電シートを積層した構造である。前記複数枚の圧電シートのうちの一部は、前記キャビティユニット２１の前記各圧力室２２に対応した箇所ごとに設けられた細幅の個別電極の層と、複数個の前記各圧力室２２に対応して共通に設けられたコモン電極の層とで上下が挟まれている。最上層の前記圧電シートの上面には、前記個別電極および前記コモン電極を、前記フレキシブルフラットケーブル２５に電気的に接続するための表面電極が設けられている。前記個別電極と前記コモン電極との間に高電圧を印加することで、前記両電極間に位置する圧電シートの部分が分極され、活性部が形成される。
【００２６】
つぎに、本発明のインクカートリッジについて説明する。本発明のインクカートリッジは、インクジェット記録用水性インクを含むインクカートリッジであって、Ｎｉフィルタを備え、前記Ｎｉフィルタが、本発明のＮｉフィルタであることを特徴とする。前記Ｎｉフィルタは、例えば、前記インクカートリッジのインク排出口に配置される。前記インクカートリッジの本体としては、例えば、従来公知のものを使用できる。
【００２７】
つぎに、本発明のインクジェット記録装置について説明する。本発明のインクジェット記録装置は、インク収容部およびインク吐出手段を含み、前記インク収容部に収容された水性インクを前記インク吐出手段によって吐出するインクジェット記録装置であって、前記インク収容部および前記インク吐出手段の少なくとも一方が、Ｎｉフィルタを含み、前記Ｎｉフィルタが、本発明のＮｉフィルタであることを特徴とする。これを除き、本発明のインクジェット記録装置の構成は、例えば、従来公知のインクジェット記録装置と同様であってもよい。前記インク収容部としては、例えば、インクカートリッジ等があげられる。
【００２８】
図３に、本発明のインクジェット記録装置の一例の構成を示す。図示のとおり、このインクジェット記録装置１は、４つのインクカートリッジ２と、インク吐出手段（インクジェットヘッド）３と、ヘッドユニット４と、キャリッジ５と、駆動ユニット６と、プラテンローラ７と、パージ装置８とを主要な構成部材として含む。
【００２９】
前記４つのインクカートリッジ２は、イエロー、マゼンタ、シアンおよびブラックの４色の水性インクを、それぞれ１色ずつ含む。前記インクジェットヘッド３は、記録紙等の被記録媒体Ｐに記録を行う。前記ヘッドユニット４は、前記インクジェットヘッド３を備えている。前記キャリッジ５には、前記４つのインクカートリッジ２および前記ヘッドユニット４が搭載される。前記駆動ユニット６は、前記キャリッジ５を直線方向に往復移動させる。前記駆動ユニット６としては、例えば、従来公知のものを使用できる（例えば、特開２００８−２４６８２１号公報参照）。前記プラテンローラ７は、前記キャリッジ５の往復方向に延び、前記インクジェットヘッド３と対向して配置されている。前記記録は、印字、印画、印刷等を含む。
【００３０】
前記被記録媒体Ｐは、このインクジェット記録装置１の側方又は下方に設けられた給紙カセット（図示せず）から給紙される。前記被記録媒体Ｐは、前記インクジェットヘッド３と、前記プラテンローラ７との間に導入される。すると、前記被記録媒体Ｐに、前記インクジェットヘッド３から吐出される水性インクにより所定の記録がなされる。前記被記録媒体Ｐは、その後、前記インクジェット記録装置１から排紙される。図３においては、前記被記録媒体Ｐの給紙機構及び排紙機構の図示を省略している。
【００３１】
前記パージ装置８は、前記インクジェットヘッド３の内部に溜まる気泡等を含んだ不良インクを吸引する。前記パージ装置８としては、例えば、従来公知のものを使用できる（例えば、特開２００８−２４６８２１号公報参照）。
【００３２】
前記パージ装置８の前記プラテンローラ７側の位置には、前記パージ装置８に隣接してワイパ部材１９が配設されている。前記ワイパ部材１９は、へら状に形成されており、前記キャリッジ５の移動に伴って、前記インクジェットヘッド３のノズル形成面を拭うものである。図３において、キャップ１８は、インクの乾燥を防止するため、記録が終了すると前記リセット位置に戻される前記インクジェットヘッド３の複数のノズルを覆うものである。
【００３３】
前記インクジェット記録装置において、前記４つのインクカートリッジは、複数のキャリッジに搭載されていてもよい。また、前記インクカートリッジは、前記キャリッジには搭載されず、インクジェット記録装置内に配置、固定されていてもよい。この態様においては、例えば、前記インクカートリッジと、前記キャリッジに搭載された前記ヘッドユニットとが、チューブ等により連結され、前記インクカートリッジから前記ヘッドユニットに前記インクが供給される。
【００３４】
つぎに、本発明のインクジェット記録方法について説明する。本発明のインクジェット記録方法は、インク収容部に収容された水性インクをインク吐出手段によって吐出して記録を行うインクジェット記録方法であって、前記インク収容部および前記インク吐出手段の少なくとも一方が、Ｎｉフィルタを含み、前記Ｎｉフィルタとして、本発明のＮｉフィルタを用いることを特徴とする。
【００３５】
つぎに、本発明のインクジェット記録装置用Ｎｉフィルタの腐食防止方法について説明する。本発明のインクジェット記録装置用Ｎｉフィルタの腐食防止方法は、水性インクによるインクジェット記録装置用Ｎｉフィルタの腐食防止方法であって、前記Ｎｉフィルタ中のＣｏの含有量を、０．５重量％以下にすることを特徴とする。本発明のインクジェット記録装置用Ｎｉフィルタの腐食防止方法において、前記Ｎｉフィルタが、インク収容部およびインク吐出手段の少なくとも一方に含まれることが好ましい。
【００３６】
本発明のインクジェット記録方法およびインクジェット記録装置用Ｎｉフィルタの腐食防止方法において、Ｎｉフィルタ、インク収容部およびインク吐出手段の形態等は、本発明のＮｉフィルタおよびインクジェット記録装置と同様とすることができる。
【００３７】
本発明のインクカートリッジ、インクジェット記録装置、インクジェット記録方法およびインクジェット記録装置用Ｎｉフィルタの腐食防止方法に適用される水性インクは、特に制限されず、従来公知のものを使用できる。前記水性インクは、着色剤、水および防錆剤を含むことが好ましい。前記着色剤としては、例えば、従来公知の顔料および染料等があげられる。前記水は、イオン交換水または純水であることが好ましい。前記防錆剤としては、例えば、ベンゾトリアゾール誘導体等があげられる。前記着色剤、水および防錆剤の配合量は、適宜決定すればよい。前記水性インクは、さらに、湿潤剤、浸透剤等として機能する水溶性有機溶剤を含むことが好ましい。前記水性インクのｐＨは、５〜９であることが好ましい。前記水性インクのｐＨを前記範囲とすることで、前記Ｎｉフィルタの腐食をより好適に防止できる。前記水性インクは、必要に応じて、さらに、従来公知の添加剤を含んでもよい。前記添加剤としては、例えば、界面活性剤、ｐＨ調整剤、粘度調整剤、表面張力調整剤、防黴剤等があげられる。前記粘度調整剤としては、例えば、ポリビニルアルコール、セルロース、水溶性樹脂等があげられる。前記水性インクは、例えば、着色剤、水および防錆剤と、必要に応じて他の添加成分とを、従来公知の方法で均一に混合し、フィルタ等で不溶解物を除去することにより調製できる。
【実施例】
【００３８】
つぎに、本発明の実施例について比較例と併せて説明する。なお、本発明は、下記の実施例および比較例により限定および制限されない。
【００３９】
［実施例１〜４および比較例１〜３］
Ｃｏの含有量が表１に示す値である７種のＮｉフィルタを、実施例１〜４および比較例１〜３のＮｉフィルタとして用いた。前記Ｎｉフィルタ中の構成元素の含有量は、蛍光Ｘ線分析装置（（株）島津製作所製、ＥＤＸ−９００ＨＳ）を用いて測定した。
【００４０】
実施例および比較例のＮｉフィルタを、下記方法により調製した水性インク１０ｇに浸漬させ、６０℃の恒温槽中に５日間放置した。放置後、前記水性インクから取り出した前記Ｎｉフィルタを純水で洗浄し、表面状態を目視にて観察した。前記目視観察の結果から、下記の評価基準に従って評価した。また、前記Ｎｉフィルタから前記水性インク中への各元素の溶出量を、プラズマ発光分析装置（（株）島津製作所製、ＩＣＰ１０００ＩＶ）を用いて測定した。
（水性インクの調製）
水２２重量部、グリセリン３１重量部、ジプロピレングリコール５重量部およびジプロピレングリコール−ｎ−プロピルエーテル２重量部を、１０分間撹拌混合してインク溶媒を調製した。このインク溶媒中に、ブラック顔料分散体（キャボット社製、商品名：ＣＡＢ−Ｏ−ＪＥＴ（登録商標）４００）４０重量部を投入して３０分撹拌した後に、孔径１μｍのメンブランフィルタにより濾過し、水性インクを得た。
【００４１】
浸漬評価  評価基準
Ｇ  ：Ｎｉフィルタの表面が腐食されていなかった。
ＮＧ：Ｎｉフィルタの表面が腐食されていた。
【００４２】
実施例および比較例のＮｉフィルタ中の構成元素の含有量および測定・評価結果を、表１に示す。表１において、各元素の溶出量は、Ｎｉフィルタの表面積１ｍｍ２当たりの溶出量（ｐｐｂ／ｍｍ２）で示している。
【００４３】
【表１】
2011110918.tif 000003
【００４４】
表１に示すとおり、Ｎｉフィルタ中のＣｏの含有量が０．５重量％以下である実施例１〜４では、Ｎｉ溶出量が１７ｐｐｂ／ｍｍ２以下と少なく、浸漬評価結果も良好であった。一方、Ｎｉフィルタ中のＣｏの含有量が０．５重量％を超える比較例１〜３では、Ｎｉ溶出量が７８ｐｐｍ以上と多く、浸漬評価結果も劣っていた。
【００４５】
図４〜６のグラフに、実施例および比較例におけるＮｉフィルタ中のＣｏ含有量、Ｃｕ含有量およびＦｅ含有量とＮｉ溶出量との関係を示す。図示のとおり、Ｎｉフィルタ中のＣｏ含有量とＮｉ溶出量との間には相関関係が見られたのに対し、Ｎｉフィルタ中のＣｕ含有量およびＦｅ含有量とＮｉ溶出量との間には相関関係が見られなかった。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
以上のように、本発明のＮｉフィルタは、インク耐食性に優れ安価なものである。本発明のＮｉフィルタの用途は、特に限定されず、各種のインクジェット記録に広く適用可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１          インクジェット記録装置
２          インクカートリッジ
３          インク吐出手段（インクジェットヘッド）
４          ヘッドユニット
５          キャリッジ
６          駆動ユニット
７          プラテンローラ
８          パージ装置
１０        Ｎｉフィルタ
１１        フィルタ部
１２        枠部
１３        小孔
【図１】
2011110918.tif 000004
【図２】
2011110918.tif 000005
【図３】
2011110918.tif 000006
【図４】
2011110918.tif 000007
【図５】
2011110918.tif 000008
【図６】
2011110918.tif 000009