(57)【要約】【課題】フォトリソグラフィー法で、ブラックマトリックス、ＲＧＢの着色画素、透明電極、フォトスペーサを製造すると、必要なフォトマスクの数が６版から７版必要であり、マザーガラスの大型化に伴ってマスクコストの負担が大きくなるという問題がある。【解決手段】基板１上に、少なくとも、相互に隙間を開けて配列する側壁形状が順テーパ状の着色画素２，３，４、透明電極層５、前記隙間の位置に、上部にフォトスペーサ７，８を備えるブラックマトリックス９、がこの順に積層されたことを特徴とするカラーフィルター基板である。【選択図】図１
2011039392.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、少なくとも、
相互に隙間を開けて配列する側壁形状が順テーパ状の着色画素、
透明電極層、
前記隙間の位置に、上部にフォトスペーサを有するブラックマトリックス、がこの順に積層されたことを特徴とするカラーフィルター基板。
【請求項２】
前記フォトスペーサを備えるブラックマトリックスが同一材料で同時に形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項３】
前記フォトスペーサは高さの異なるフォトスペーサを含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項４】
基板上に、少なくとも、
相互に隙間を開けて配列する側壁形状が順テーパ状の着色画素を形成する工程、
透明電極層を形成する工程、
前記隙間の位置に、上部にフォトスペーサを有するブラックマトリックスをマルチトーンマスクを用いて一括形成する工程、を有することを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、携帯表示端末、パソコンモニター、テレビなど幅広く用いられている液晶表示装置に使用される着色用カラーフィルター基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、ＴＦＴが形成された基板とカラーフィルタが形成された基板を対向させて平行になるように貼り合わせ、数μｍの基板間隙に液晶を封入して製造される。携帯電話、パソコンから大型テレビに至るまで、小さいものは対角５，６ｃｍから大きなものは１３０ｃｍ程度に至る様々なサイズの製品が製造されている。
【０００３】
液晶表示装置のカラー化に不可欠なカラーフィルタ基板は、赤（Ｒ）,緑（Ｇ）、青（Ｂ）の非常に微細な着色画素がフォトリソグラフィー技術を駆使して周期的に配置された基板であるが、今日では単に着色画素を形成した基板ということだけでなく、特に大型化に伴って着色以外の機能を有する部材も、感光性樹脂で製造できるものであれば、できる限り備えるようになっている。一例を挙げれば、基板間隙を保持するためのフォトスペーサ、液晶の配向を制御するための突起物、凹凸を低減するための保護膜形成等である。
【０００４】
したがって、従来からカラーフィルタ基板上にはブラックマトリックスが形成されてきたことに鑑みると、ブラックマトリックス、Ｒ、Ｇ、Ｂの着色層、液晶の配向を制御するための突起物、フォトスペーサはフォトリソグラフィー技術を使用して製造することが可能である。
【０００５】
スペーサについては、従来は有機材料又は無機材料からなる微粒子スペーサが散布されてきたが、感光性樹脂を使用して所定箇所に所定形状の突起が形成できるフォトスペーサは、異物発生が少なく表示に与える悪影響も低いことから、微粒子散布タイプに較べて有利である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−１８９９０４号公報
【特許文献２】特開２００２−２５８２６７号公報
【特許文献３】特開２００３−１２１８５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、フォトリソグラフィー技術で、ブラックマトリックス、Ｒ、Ｇ、Ｂの着色画素、フォトスペーサを製造すると、必要なフォトマスクの数が６版から７版程度必要であり、マザーガラスの大型化に伴ってマスクコストの負担が大きくなるという問題がある。
【０００８】
また、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成する従来構成では、ブラックマトリックスのガラス基板への密着性が十分でなく、パネル貼り合わせ時やパネル信頼性試験においてブラックマトリックスの剥がれが発生するという問題がある。
【０００９】
さらに、現行のブラックマトリックスから始まる製造方法では、ブラックマトリックスの形状は、基本的には露光・現像条件で決まるが、ブラックマトリックス自体の狭幅化が技術的に難しいためカラーフィルタ基板の光透過率が低いという問題があった。
そこで、本発明は、上記の問題を同時に解決する手段を提供することとした。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を達成するための請求項１に係る発明は、基板上に、少なくとも、相互に隙間を開けて配列する側壁形状が順テーパ状の着色画素、透明電極層、前記隙間の位置に、上部にフォトスペーサを有するブラックマトリックス、がこの順に積層されたことを特徴とするカラーフィルター基板としたものである。
【００１１】
請求項２に係る発明は、前記フォトスペーサを備えるブラックマトリックスが同一材料で同時に形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ基板としたものである。
【００１２】
請求項３に係る発明は、前記フォトスペーサは高さの異なるフォトスペーサを含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタ基板としたものである。
【００１３】
請求項４に係る発明は、基板上に、少なくとも、相互に隙間を開けて配列する側壁形状が順テーパ状の着色画素を形成する工程、透明電極層を形成する工程、前記隙間の位置に、上部にフォトスペーサを有するブラックマトリックスをマルチトーンマスクを用いて一括形成する工程、を有することを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法としたものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ブラックマトリックスとフォトスペーサが一括形成されるので、投入工程が削減され作製コスト削減が可能となる。
【００１５】
ガラス基板上にブラックマトリックスを形成するのではなく、基板とブラックマトリックスの間に密着力を高める透明電極層が介在する構成としたので、ブラックマトリックスの基板に対する密着力が向上する。したがって、ブラックマトリックスの剥がれがない。
【００１６】
ブラックマトリックスの側面下方の形状が露光現像条件に規定されず、下地の順テーパ状の形状により規制されて形成される逆テーパ形状を呈する結果、斜めに入射する光が遮光されず利用できるので実質的に開口率が９ポイント程度増大したのと同様となる。
【００１７】
ブラックマトリックスに着色画素が乗り上げることがないので着色画素表面が平坦となり、液晶配向に悪影響を与えることがない。
【００１８】
さらに、マルチトーンフォトマスクを用い、高さの異なるフォトスペーサーを設けることでパネルの信頼性向上に繋がる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】(a)〜(ｄ)は本発明になるカラーフィルター基板の製造工程を説明する工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に、本発明になるカラーフィルタ基板の製造方法と構成の一例を、図面を参照しながら、説明するが、本発明はここに記載の例に限定されるものではない。尚、実施例中、「部」及び「％」は「重量部」及び「重量％」をそれぞれ意味する。
【００２１】
先ず、実施例で用いたアクリル樹脂溶液及び顔料分散体の調整方法等材料面について説明する。樹脂の分子量は、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィ）により測定
したポリスチレン換算の重量平均分子量である。
【００２２】
（アクリル樹脂溶液の合成）
反応容器にシクロヘキサン３７０部を収容し、この容器に窒素ガスを注入しながら８０℃に加熱して、同温度でメタクリル酸２０．０部、メチルメタクリレート１０．０部、ｎ−ブチルメタクリレート５５．０部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１５．０部、及び２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４．０部の混合物を１時間かけて滴下し、重合反応を行った。
滴下終了後、さらに８０℃で３時間反応させた後、アゾビスイソブチル１．０部をシクロヘキサン５０部に溶解させたものを添加し、さらに８０℃で１時間反応を続けて、アクリル樹脂共重合体溶液を得た。
【００２３】
室温まで冷却した後、アクリル樹脂溶液２ｇをサンプリングして１８０℃で、２０分間加熱乾燥して不揮発成分を測定し、先に合成したアクリル樹脂溶液に不揮発が２０重量％になるようにシクロヘキサノンを添加して、アクリル樹脂溶液を調整した。得られたアクリル樹脂の重量平均分子量は４０，０００であった。
【００２４】
（顔料分散体の調整）
下記表１に示す組成の混合物を攪拌混合し、直径１ｍｍのガラスビーズを用いてサンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルターで濾過し、黒色の顔料分散体を調整した。
【００２５】
【表１】
2011039392.tif 000003
【００２６】
ここで、ＣＢ：カーボンブラック（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌａｃｋ  ７、三菱化学社製「ＭＡ１１」）、顔料分散剤：日本ルーブリゾー社製「ソルスパース２００００」、有機溶剤：シクロヘキサン、である。
【００２７】
ブラックマトリックス用顔料としては、上記カーボンブラック以外にも、酸化チタン、酸窒化チタン、四酸化鉄などの金属酸化物分や顔料、その他既知の遮光材料を用いることができる。さらには、遮光層の色調を調整するために、以下に示す顔料の中から補色の顔料を必要に応じて混合してもよい。
【００２８】
Ｒ，Ｇ，Ｂ着色用の分散体は下記に記載の顔料を適宜使用して調整した。
【００２９】
赤色フィルタセグメント（画素）を形成するための赤色着色用分散体には、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ７、９、１４、４１、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、８１：１、８１：２、８１：３、９７、１２２、１２３、１４６、１４９、１６８、１７７、１７８、１７９、１８０、１８４、１８５、１８７、１９２、２００、２０２、２０８、２１０、２１５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２８、２４０、２４６、２５４、２５５、２６４、２７２、２７９等の赤色顔料を用いることができる。赤色着色組成物には、黄色顔料、橙色顔料を併用することができる。
【００３０】
黄色顔料としてはＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １、２、３、４、５、６、１０、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２０、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、８６、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４４、１４６、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９３、１９４、１９９、２１３、２１４等が挙げられる。
【００３１】
橙色顔料としてはＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ３６、４３、５１、５５、５９、６１、７１、７３等が挙げられる。
【００３２】
緑色フィルタセグメントを形成するための緑色着色用分散体には、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７、１０、３６、３７等の緑色顔料を用いることができる。緑色着色組成物には赤色着色組成物と同様の黄色顔料を併用することができる。
【００３３】
青色フィルタセグメントを形成するための青色着色用分散体には、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４、８０等の青色顔料、好ましくはＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６を用いることができる。また、青色着色組成物には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １、１９、２３、２７、２９、３０、３２、３７、４０、４２、５０等の紫色顔料、好ましくはＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３を併用することができる。
【００３４】
また、上記有機顔料と組み合わせて、彩度と明度のバランスを取りつつ良好な塗布性、感度、現像性等を確保するために、無機顔料を組み合わせて用いることも可能である。無機顔料としては、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄（ＩＩＩ））、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉等が挙げられる。さらに、調色のため、耐熱性を低下させない範囲内で染料を含有させることができる。
【００３５】
（感光性樹脂組成物の調整）
先に調整した黒色の顔料分散体を含む、下記表２に示す処方の混合物を均一になるように攪拌混合した、１μｍのフィルタで濾過して、各ＢＭ、Ｒ,Ｇ,Ｂの感光性樹脂組成物を得た。尚、表２は黒色の感光性樹脂組成物の調整例を記載したもので、Ｒ，Ｇ，Ｂについての組成の詳細は省略した。
【００３６】
【表２】
2011039392.tif 000004
【００３７】
ここで、顔料分散体：先に調整した物、アクリル樹脂：先に調整した物、モノマー：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（東亞合成社製「アロニックスＭ−４０２」）、有機溶剤：シクロヘキサン、光重合開始剤：α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤２−（ジメチルアミノ）−２−[（４−メチルフェニル）メチル]−１−[４−（４−モルホリニル）フェニル]−１−ブタノン（チバスペシャルティケミカルズ社製「イルガキュアー３７９」、である。
【００３８】
さらに付言すれば、感光性を付与する樹脂としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等の反応性の置換基を有する線状高分子にイソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基等の反応性置換基を有する（メタ）アクリル化合物やケイヒ酸を反応させて、（メタ）アクリロイル基、スチリル基等の光架橋性基を該線状高分子に導入した樹脂を使用することができる。また、スチレン−無水マレイン酸共重合物やα−オレフィン−無水マレイン酸共重合物等の酸無水物を含む線状高分子をヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート等の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物によりハーフエステル化したものも用いられる。
【００３９】
用いることのできる重合性モノマーおよびオリゴマーとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、β−カルボキシエチル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、エステルアクリレート、メチロール化メラミンの（メタ）アクリル酸エステル、エポキシ（メタ）アクリレート、ウレタンアクリレート等の各種アクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸、スチレン、酢酸ビニル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ビニルホルムアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。これらは、単独でまたは２種類以上混合して用いることができる。
【００４０】
紫外線照射により硬化する場合には、光重合開始剤等が添加される。光重合開始剤としては、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン等のアセトフェノン系化合物、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物、チオキサントン、２−クロルチオキサントン、２−メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン等のチオキサントン系化合物、２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペロニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（ピペロニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジン等のトリアジン系化合物、１，２−オクタンジオン，１−〔４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）〕、Ｏ−（アセチル）−Ｎ−（１−フェニル−２−オキソ−２−（４’−メトキシ−ナフチル）エチリデン）ヒドロキシルアミン等のオキシムエステル系化合物、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等のホスフィン系化合物、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等のキノン系化合物、ボレート系化合物、カルバゾール系化合物、イミダゾール系化合物、チタノセン系化合物等が用いられる。これらの光重合開始剤は１種または２種以上混合して用いることができる。光重合開始剤の使用量は、着色組成物の全固形分量を基準として０．５〜５０重量％が好まし
く、より好ましくは３〜３０重量％である。
【００４１】
さらに、増感剤として、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノン等のアミン系化合物を併用することもできる。これらの増感剤は１種または２種以上混合して用いることができる。増感剤の使用量は、光重合開始剤と増感剤の合計量を基準として０．５〜６０重量％が好ましく、より好ましくは３〜４０重量％である。
【００４２】
さらに、連鎖移動剤としての働きをする多官能チオールを含有させることができる。多官能チオールは、チオール基を２個以上有する化合物であればよく、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ブタンジオールビスチオプロピオネート、１，４−ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、２、４、６−トリメルカプト−ｓ−トリアジン、２−（Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノ）−４，６−ジメルカプト−ｓ−トリアジン等が挙げられる。これらの多官能チオールは、１種または２種以上混合して用いることができる。多官能チオールの使用量は、着色組成物の全固形分量を基準として０．１〜３０重量％が好ましく、より好ましくは１〜２０重量％である。０．１質量％未満では多官能チオールの添加効果が不充分であり、３０質量％を越えると感度が高すぎて逆に解像度が低下する。
【００４３】
また、必要に応じて有機溶剤を含有することができる。有機溶剤としては、例えばシクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−ｎアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤等が挙げられ、これらを単独でもしくは混合して用いる。
【実施例１】
【００４４】
先ず、赤色の感光性樹脂をガラス基板１上に塗布、乾燥しＲ（赤色）感光性樹脂層を形成した。その後、Ｒ着色層を形成する部位を開口部（透光部）としたフォトマスクを用いてパターン露光し、現像およびポストベーク処理を施すことにより、Ｒ着色画素２を形成した。
【００４５】
次いで、同様の工程を２色分（緑色、青色）繰り返すことにより、Ｇ着色画素３およびＢ着色画素４が形成されたカラーフィルター基板を得ることができた（図１（ａ））。各色の塗布膜厚は適宜設定することができるが、分光透過率などを考慮すると、通常はプリベーク後の膜厚で通常１〜２μｍ程度である。現像液にはアルカリ性水溶液を用いる。アルカリ性水溶液の例としては、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸水素ナトリウム水溶液、または両者の混合水溶液、もしくはそれらに適当な界面活性剤などを加えたものが挙げられる。なお、感光性樹脂樹脂層の塗布方法としては、スピンコート法やスリットコート法、バーコート法などの塗布法や、インクジェット法、印刷法などを用いることができる。
【００４６】
本発明に用いられる基板１としては、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダガラスなどの市販されている無機ガラス基板、又は、ＰＥＴ、ＰＥＳ、ＰＣなどのプラスチック基板、あるいはこれらプラスチック基板上に、酸化シリコンや酸化アルミニウム、窒化シリコン、酸窒化シリコンなどの無機薄膜を表面に成膜したものを、用途に応じて使用することができる。
【００４７】
着色画素２，３，４の形状は図１に示すようにテーパ状にするのが好ましい。着色画素のテーパー長さは１〜５μm程度、厚みは０．８〜３．０μm程度、幅は、２０〜４０μm程度から適宜選択して決定する。テーパー状にすることで、図１（ｄ）に示すように、このテーパーで規定されるブラックマトリックス９の下側面によってカットされる光が減少し、斜め方向の光の透過率が向上する。なお、ブラックマトリックス９については、線幅はx方向とｙ方向で線幅が異なる場合がある。
【００４８】
次に、着色画素２，３，４上にＩＴＯをスッパタリングして透明電極層５を形成した（図１（ｂ））。透明電極層５の材料としては、可視光領域における透過率と、表面抵抗値を両立できる膜であれば特に制限はないが、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）以外に、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、アルミニウム亜鉛酸化物（ＡＺＯ）などを好適に用いることができる。また、これら透明電極層５の膜厚は、特に制限はないが、１０００〜１５００Å程度である。
【００４９】
次に、黒色の感光性樹脂組成物６を、スピンコータで透明電極層５上に塗布し、減圧乾燥を行って溶剤を乾燥除去させた（図１（ｃ））。
【００５０】
次いで、１５０μｍの間隔をあけて、２０μｍのパターンを有するマルチトーンのフォトマスクを用い、光源として超高圧水銀灯ランプを使用して２００ｍＪ／ｃｍ２で照射してパターン露光し、２．５％炭酸ナトリウム水溶液で６０秒間現像し、よく水洗した。更に、乾燥し、２３０℃で６０分間ポストベーク処理してパターンを定着させた。ブラックマトリックス単体９（フォトスペーサを載せていないブラックマトリックスは断面視図のため図示せず）の膜厚は、１．５μｍであった。ブラックマトリックス９の背に厚くフォトスペーサを形成した部位７の膜厚は３．５μｍ、薄くフォトスペーサを形成したサブスペーサ８の膜厚は２．７μｍであった（図１（ｄ））。
【００５１】
マルチトーンフォトマスクは、完全な遮光部と透過部以外に高さの異なるフォトスペーサ２つを形成するために中間の透過率を有する部位を２つ形成したものを使用した。当該部位の紫外線透過率は１０%と７%であった。
【符号の説明】
【００５２】
１、基板
２、着色画素  赤（Ｒ）
３、着色画素  緑（Ｇ）
４、着色画素  青（Ｂ）
５、透明電極
６、黒色の感光性樹脂
７、スペーサ
８、サブスペーサ
９、ブラックマトリックス
【図１】
2011039392.tif 000005