(57)【要約】【課題】砥石の偏摩耗が発生し難く、そして研磨抵抗の小さい研磨具を提供する。【解決手段】  研磨具１は、回転軸８の下端部に回転軸８に対して垂直に固定された支持板１０に、円環状の砥石装着板の２個の接続部３ａ、３ｂを図示しないボルトにより接続する。砥石装着板２は、砥石５を保持するリング状の砥石保持部４と支持板１０と接続するリング状の接続部３ａ、３ｂを持っている。また、砥石装着板２の上面に、リング状の接続部３ａ、３ｂの平均半径に合わせて円環状の超音波振動子７の平均半径を一致させてエポキシ樹脂を用いて接着する。研磨具１は、回転軸８の下端部に、例えば、ボルト９を用いて固定される。また砥石装着板２は、リング状の砥石保持部４を持つ。砥石保持部４の下面には、周溝６が形成されている。この周溝６に砥石５が嵌め合わせられて固定されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸の下端部に該回転軸に対して垂直に固定される支持板があり、円環状の砥石装着板に同心円状の２個のリング状の接続部があり、そして外周の接続部と内周の接続部のほぼ中央に砥石保持部を持ち、砥石装着板の２個の接続部と該支持板が接続され、砥石装着板の砥石保持部に連続した、または不連続の環状の砥石が装着され、そして該砥石装着板に超音波振動子が固定されていることを特徴とする研磨具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、研磨対象物の表面を研磨するために用いられ研磨具に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来より、電子部品の製造のため、サファイア基板、ガラス基板、シリコンカーバイト基板、シリコン基板、あるいはアルミナーチタンカーバイト基板などが用いられている。これらの基板の表面は、環状の砥石を備える研磨具とその駆動装置とから構成される研磨装置を用いて平滑に研磨される。【０００３】  特許文献１の研磨具は、駆動装置の回転軸の下端部に回転軸に対して垂直に固定される環状の支持板（接続板）、支持板の下方に複数個（合計で６個）の接続部材（接続部）を介して支持されている、下面に環状の砥石が装着された環状砥石装着板（環状弾性体）、および砥石装着板に固定された複数個（合計６個）の超音波振動子から構成されている。【０００４】  前記の各接続部材の幅（砥石装着板の径方向に沿う長さ）は、砥石装着板の幅と等しくされている。支持板の各ねじ孔と各接続部材のねじ孔と各接続部材のねじ孔とにボルトをねじ込むことにより、支持板と砥石装着板とが複数個の接続部材を介して互いに固定される。【０００５】  研磨具を備える研磨装置では、次のようにして研磨対象物の表面の研磨が行われる。先ず、駆動装置の回転軸を研磨具と共に回転させる。次に、各々の超音波振動子に電気エネルギー（例、交流電圧）を付与することにより、各振動子にて超音波振動を発生させる。この超音波振動は砥石装着板を介して砥石に付与されるため、砥石が超音波振動する。そして研磨具の砥石を研磨対象物に接触させることにより、研磨対象物の表面の研磨が行なわれる。【０００６】  研磨具の砥石装着板の互いに隣接する接続部材の間の部位は、接続部材に接続されている部位と比較して超音波振動し易い。したがって、各々の超音波振動子にて発生した超音波振動は、接続部材、そして支持板を介して回転軸に伝わり難く、その大部分が砥石装着板を介して砥石に付与される。このため、砥石が大きな振幅にて超音波振動する。これにより砥石と研磨対象物との摩擦抵抗が小さくなり、この摩擦により発熱が抑制され、研磨対象物の熱膨張や変質が抑制されるため、研磨対象物の表面にて研磨されると記載されている。【０００７】  特許文献２の研磨具では、環状の砥石は、駆動装置の回転軸の下端部に固定された円板部とその周縁から下方に伸びる円筒部の外周面には円環状外側溝が、そして内周面には円環状内側溝が形成されている。溝と溝との深さの合計は、円筒部の厚みよりも大きく設定される。したがって、溝と溝とは、円筒部に互いに上下に間隔をあけて形成される。【０００８】  研磨具では、超音波振動子にて発生した超音波振動が、円筒部と溝の内部の空気層との界面から形成される超音波反射面にて反射され、その大部分が円筒部の溝よりも下側の部分を介して砥石に付与される。このため、研磨対象物の表面が高精度にて研磨されると記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】  国際公開第０６／１３７４５３号パンフレット
【特許文献２】  国際公開第０８／１０８４６３号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】  特許文献１の研磨具は、砥石装着板の接続部材に接続された部位が超音波振動が相対的に他の部位に比較して小さいため、接続部材と対応する砥石装着板に装着された砥石の部位の超音波振動も小さい。このため、砥石の偏摩耗（砥石が周方向において不均一に摩耗）して、長時間の使用により研磨の精度が低下する可能性がある。【００１１】  特許文献２の研磨具では、研磨対象物の表面を高精度で研磨するために研磨対象物の研磨面に平行に超音波振動し易い。しかし、研磨面の垂直方向の超音波振動は研磨面と平行な方向に比較して小さい。研磨抵抗を小さくするためには、平行方向に比較して垂直方向の超音波振動が大きいことが望まれる。【００１２】  本発明の課題は、砥石の偏摩耗が発生し難く、そして研磨抵抗の小さい研磨具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】  本発明は、回転軸の下端部に該回転軸に対して垂直に固定される支持板があり、円環状の砥石装着板に同心円状の２個のリング状の接続部があり、そして外周の接続部と内周の接続部のほぼ中央に砥石保持部を持ち、砥石装着板の２個の接続部と該支持板が接続され、砥石装着板の砥石保持部に連続した、または不連続の環状の砥石が装着され、そして該砥石装着板に超音波振動子が固定されている研磨具とするものである。
【発明の効果】
【００１４】  本発明の研磨具は、研磨対象物と砥石の摩擦力を軽減することができるので、研磨速度を向上させることができる、また研磨対象物と砥石の発熱を低減できるため、高精度である研磨面を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の研磨具の構成例を示す断面図である。
【図２】図１に記入した切断線Ａ−Ａ線に沿って切断した研磨具の断面図である。
【図３】砥石装着板の振動モード変換を説明する概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】  本発明の研磨具の構成を、添付の図面を用いて説明する。図１は、本発明の研磨具の構成例を示す断面図であり、そして図２は、図１に記入した切断線Ａ−Ａに沿って切断した研磨具の断面図である。
【００１７】  図１及び図２に示す研磨具１は、回転軸８の下端部に回転軸８に対して垂直に固定された支持板１０に、円環状の砥石装着板の２個の接続部３ａ、３ｂを図示しないボルトにより接続する。砥石装着板２は、砥石５を保持するリング状の砥石保持部４と支持板１０と接続するリング状の接続部３ａ、３ｂを持っている。また、砥石装着板２の上面に、リング状の接続部３ａ、３ｂの平均半径に合わせて円環状の超音波振動子７の平均半径を一致させてエポキシ樹脂を用いて接着する。
【００１８】  研磨具１は、回転軸８の下端部に、例えば、ボルト９を用いて固定される。駆動装置としては、例えば、前記特許文献１あるいは特許文献２に記載された研磨装置に備えられている駆動装置を用いることができる。なお、回転軸は、水平方向に配置されてもよい。この場合、本発明の研磨具の「上側」とは支持板の側を、そして「下側」とは砥石の側を意味する。
【００１９】  支持板１０は、例えば、図示しないボルトを用いて砥石装着板の接続部３ａ、３ｂを固定する。ここで砥石装着板の接続部３ａ、３ｂは、砥石装着板２と分離してもよい。そして、砥石装着板２と接続部３ａ、３ｂをボルトで接合するか、または接着剤で接合しても良い。
【００２０】  また砥石装着板２は、リング状の砥石保持部４を持つ。リング状の砥石保持部４は砥石５に近づくに従い、リングが細くなる形状でもよい。これは、砥石５に半径方向の不要な振動を与えないためである。砥石保持部４の下面には、周溝６が形成されている。この周溝６に砥石５が嵌め合わせられて固定されている。砥石保持部４と砥石５とは、例えば、接着剤を用いて固定することもできる。なお、回転軸８と支持板１０、支持板１０と砥石装着板の接続部３ａ、３ｂ、砥石装着板の砥石保持部４と砥石５のそれぞれの固定方法に特に制限はない。
【００２１】  砥石装着板２は超音波振動の減衰の小さい材料が適しているため、砥石装着板２の材料は、例えば、アルミニウム、青銅、ステンレススチール、アルミニウム合金、及びチタン合金に代表される金属材料から形成することができる。
【００２２】  環状の砥石５としては、例えば、ダイアモンド砥粒に代表される砥粒を、金属ボンドやレジンボンドで結着して連続した環状の形状に設定された砥石（連続した環状の砥石）を用いることができる。通常、砥粒の平均粒径は、０．１〜５０μｍの範囲内に設定される。
【００２３】  環状の砥石５としては、環状に並べて配置された複数個（例えば２〜２００個）の砥石片の集合体」（不連続の環状の砥石）を用いることができる。不連続の環状の砥石は、上記の連続した環状の砥石と比較して、その作成が（特に環状の砥石の径が大きい場合に）容易である。また、研磨の際に砥石内部に生じる応力を低減するため、砥石の破損の発生が抑制される。
【００２４】  研磨具１では、１２個の円弧状の超音波振動子７が用いられ、これを組み合わせて円環状としている。超音波振動子７としては、例えば、圧電体の上面及び下面の各々に電極層を付設した構成の圧電振動子が用いられる。
【００２５】  圧電体の材料の例としては、ジルコン酸チタン酸鉛系の圧電セラミック材料が挙げられる。圧電体は、例えば、その厚み方向（図１の上下方向）に分極処理される。電極層の材料の例としては、銀、金そしてリン青銅などの金属材料が挙げられる。
【００２６】  超音波振動子７は、例えば、エポキシ樹脂を用いて砥石装着板２に固定される。砥石装着板２の上面に固定することが好ましい。これにより、研磨の際に研磨対象物の表面に供給される研削補助液（代表例、水）を介した超音波振動子７の上下面の電極層の電気的な短絡が防止される。
【００２７】  超音波振動子７は、その電極層に電源にて発生した電気的エネルギーが付設されると超音波振動を発生する。この超音波振動は砥石装着板２を介して砥石５に付与される。超音波振動子７と電源とは、例えば、ロータリートランスやスリップリングを介して互いに電気的に接続される。超音波振動子７と電源との電気的な接続方法については、前記の特許文献１及び特許文献２の各々に詳しい記載がある。
【００２８】  本発明者は、図３で示すように円環状の砥石装着板２に外周部の支持部３ａと内周部の支持部３ｂを設け、そして支持部３ａ、３ｂの端面を固定することにより、砥石５に研磨対象物の表面にほぼ垂直な振動を励起することを提案した。
【００２９】  図３の点線に示す振動モードを励起することにより、砥石５に研磨対象物の面に垂直方向の超音波振動を発生させることができる。この超音波振動により砥石５と研磨対象物との摩擦抵抗を小さくできため、砥石５と研磨対象物の摩擦による発熱が抑制され、研磨対象物の熱膨張が抑制され研磨対象物の表面が高精度に研磨できる。また砥石５も同様に発熱が抑制されるため砥石５のライフが伸びる。
【００３０】  なお、研磨具１の超音波振動子７に付与する交流電圧の周波数は、例えば、次のようにして定めることができる。有限要素法により砥石装着板の接続部３ａ、３ｂの端面を固定した条件での、砥石５が装着され、かつ超音波振動子７が固定された砥石装着板２の固有振動モードを計算する。そして所望の振動モードの固有振動数を予め計算する。
【００３１】  次に実際の砥石５が装着された砥石装着板２に固定された超音波振動子７の周波数特性を、例えば、インピーダンスアナライザを用いて測定する。そして先に有限要素法を用いて計算した所望の固有振動モードの固有振動数に近い周波数特性のピークの交流電圧の周波数を、砥石装着板２に接合した超音波振動子７に印加する。
【００３２】  そして所望の振動モードであることを確認するため、例えばレーザドプラー振動計により砥石５および砥石装着板２の超音波振動の変位量を測定する。
【００３３】  研磨具１の超音波振動子７の位置は、砥石装着板２の外周と内周の接続部のほぼ中央が望ましい。また超音波振動子７の形状は円弧状が望ましい。これを複数個並べて円環状にする。そして、隣り合う円弧状の超音波振動子の間隔は、可能な限り小さくするのがよい。望ましくは、間隔は１ｍｍ以下である。これは、全円周方向に均一な振動を付与するためである。
【符号の説明】
【００３４】  １    研磨具
２    砥石装着板
３    接続部
４    砥石保持部
５    砥石
６    周溝
７    超音波振動子
８    回転軸
９    ボルト
１０  支持板
【図１】
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【図２】
2011110693.tif 000004
【図３】
2011110693.tif 000005