(57)【要約】【課題】断線の無い良好な配線パターンを形成することにより安価で信頼性の高い半導体容量式加速度センサ素子の製造方法を提供する。【解決手段】本発明による半導体容量式加速度センサの製造方法は、ガラス板２の接続孔３の加工をサンドブラスト法で行った上でガラス板２を半導体基板１に接合し、その後、ガラス板２の表面上に金属膜３３を形成して配線する半導体容量式加速度センサの製造方法であって、接続孔３のオーバハング部２８があるガラス板２の第２面２７とは反対側の第１面２６を半導体基板１に接合することを特徴とする。【選択図】図９
2011053220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板の接続孔の加工をサンドブラスト法で行った上で前記ガラス板を半導体基板に接合し、その後、前記ガラス板の表面上に金属膜を形成して配線する半導体容量式加速度センサの製造方法であって、
前記接続孔のオーバハング部がある前記ガラス板の第２面とは反対側の第１面を前記半導体基板に接合することを特徴とする、
半導体容量式加速度センサの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の半導体容量式加速度センサの製造方法であって、
前記第１面と前記半導体基板との接合後であり且つ前記金属膜の形成による配線の前に、前記ガラス板の前記第２面寄り側にある前記オーバハング部をウェットエッチングして前記オーバハング部の形状を鋭角から鈍角にすることを特徴とする、
半導体容量式加速度センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体容量式加速度センサの製造方法の改善に関する。例えば、本発明は、マイクロマシニング技術を用いて半導体基板を加工した上でガラスを半導体基板に接合して気密封じして成る構造の、バルク型と呼ばれる半導体容量式加速度センサの製造方法に適用可能である。
【背景技術】
【０００２】
半導体容量式加速度センサは、半導体の特性上、特にマイコンによる制御においてマイコンとの整合性が良く、小型化及び高機能化が進展している。特に、小型化による素子の低価格化及び信頼性の向上が重要な技術である。
【０００３】
図１１及び図１２は、従来のバルク型の半導体容量式加速度センサにおけるセンサ素子の製造方法を示す工程断面の模式図である。以下、図１１及び図１２に従って従来の製造方法について順次説明する。
【０００４】
工程（ａ）：
先ず、厚み400μｍ程度で、通常の半導体ウエハ製造工程で使用されるシリコンウエハと同様の形状を有する（第１）ガラス板（以下では、ガラス板のことを単にガラスとも称する）２を準備し、その両面に厚み30μｍ程度のシート状の感光性樹脂２４，２５を貼り付ける。そして、その一方の面に、通常のプリント基板製造に使用される写真製版技術を用いて、所望のパターンを、例えば直径が500μｍ程度の円形の電極配線用の接続孔を形成するためのパターン３Ａを形成する。
【０００５】
工程（ｂ）：
上記パターン３Ａを有する感光性樹脂２４をマスクとして、サンドブラスト法により、ガラス２に、当該ガラス２を貫通する接続孔３を形成する。この時に形成される接続孔３の縦断面は、ガラス２の加工の第１面２６からその反対側の第２面２７に向かって狭くなる傾斜を有しており、且つ、その反対面２７の近傍の最後に開口される部分ではその傾斜が逆になり、オーバハング部２８が発生する。これは、最後に開口される部分ではガラスの残り厚が薄い為にその部分がサンドブラスト時の圧力に耐えずに割れたり、一旦接続孔３が開口された後に感光性樹脂２５が柔らかい為にサンドの粒子が跳ね返ったり、ガラス２の第２面２７の下側に回り込んだりすることで、発生するものである。
【０００６】
工程（ｃ）：
上記と同様の方法により、ガラス２の第２面２７側に、例えば100μｍの深さの所望のパターンの凹部７を設ける。その後、有機溶剤を用いて感光性樹脂２４，２５を除去して、ガラス２を完成させる。
【０００７】
工程（ｄ）：
上記と同様の方法により、（第２）ガラス１５の一方の面側に、例えば100μｍ程度の深さの所望のパターンの凹部２９を設ける。
【０００８】
工程（ｅ）：
ガラス２と同様の形状で厚みが200μｍ程度のシリコンウエハから成る半導体基板１を準備し、通常の半導体製造で用いられる熱酸化や写真製版技術のウエハプロセス技術により、酸化膜３０及び後述する質量体８、固定電極９を溝３２で分離するためのフォトレジスト層３１のパターン（溝１４を有するパターン）を、形成する。
【０００９】
工程（ｆ）：
次に、半導体基板１の表面上に設けたフォトレジスト層３１をマスクとして（尚、フォトレジスト層３１が形成されない場合には酸化膜３０をマスクとして用いても良い）、高速の異方性ドライエッチング装置を用いることで、例えば100μｍ程度の深さで５μｍ幅にシリコンエッチングして、加速度を検出するための質量体８及びこれと容量を形成する固定電極９を分離するための溝３２を、半導体基板１内に設ける。
【００１０】
工程（ｇ）：
次に、半導体基板１の、溝３２を有する第１面１２にガラス２を所望の位置に合わせた上で両者１，２を重ねて陽極接合技術を用いて接合する。
【００１１】
工程（ｈ）：
ガラス２が接合された半導体基板１の第２面１３に前記と同様の写真製版技術およびエッチング技術を用いて所望のパターンを形成して例えば100μｍの深さにシリコンエッチングし、その後に、この状態のウエハ全体を弗酸に浸漬して質量体８の表面の部分の酸化膜３０Ａを除去して、質量体８と固定電極９とを分離する。但し、図示してはいないが、各質量体８は、シリコンのパターンを介して、複数の固定電極９の内の何れかと機械的に繋がっている。この時、同時に、接続孔３のコンタクト部分の酸化膜３５も除去される。
【００１２】
工程（ｉ）：
次に、半導体基板１の第２面１３側へ、質量体８が自由に可動できる範囲となる部分に、予め所望のパターンを有する凹部２９を設けたガラス１５を位置合わせして、両者１，１５を重ねた上で陽極接合法を用いて接合する。この時、凹部２９に対向した位置にある質量体８とガラス１５との間には十分距離があるため質量体８はガラス１５には接合されず、質量体８を支えるバネ性をもった梁（図示せず）を介してガラス１５に固定される。この状態で、質量体８は可動できる状態となっている。接合工程では、ガラス板２側および半導体基板１はアース電位に接続され、ガラス板１５側に例えば−800Ｖ程度の直流電圧が印加された状態で、400〜450℃の温度下において数時間不活性ガス中で処理される。これにより、半導体基板１内に形成された質量体８及び固定電極９は、ガラス板２，１５で挟まれ、不活性ガス雰囲気で気密封じされる。
【００１３】
工程（ｊ）：
半導体基板１をガラス２，１５で挟んだサンドイッチ構造に於けるガラス板２の表面側に、例えば３μｍの厚さにアルミ膜を蒸着し、当該アルミ膜に対して写真製版技術を用いて所望のパターンを形成し、質量体８および固定電極９からコンタクト部３５、接続孔３を経由して接続された電極配線３３が形成される。
【００１４】
この後、アルミとガラスの密着強化のための熱処理を経て、ガラス２，１５に挟まれた多数のセンサ素子を含むウエハを完成する。
【００１５】
この後は、通常の個別半導体やICと同様のダイシングにより、個々のセンサ素子のチップに分離され、ダイボンディング・ワイヤボンディング・モールド工程等の組み立て工程を経て、センサ素子が完成する。これらのセンサ素子は、容量値を電圧へ変換して増幅するためのASICなどの回路素子と外部接続あるいはモールド樹脂で覆う前に接続し一体化した状態で実用に供される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開２００３−３２２６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
図１２の工程（ｊ）に示す様に、ガラス２の接続孔３にオーバハング部２８が存在するために、オーバハング部２８の下の部分は影となり、電極配線３３を形成するためのアルミ膜が蒸着されない部分が発生する結果、コンタクト部３５から接続孔３のオーバハング部２８の影の部分３７までの間で断線する問題点があった。
【００１８】
これは、真空蒸着では蒸発源からのアルミが直線的に飛来し、蒸発源から見通せない被蒸着物の部分にはアルミが直接には届かないことによる。実際には、蒸着されたアルミは、被蒸着面に達した後にその表面で冷却されるまでに動くことと、装置内に微量に存在するガス分子と衝突し散乱されて、多少は影の部分３７へも回り込みが起こるが、従来例の構造ではオーバハング部２８の影響を回避できないため、断線の確率が極めて高い。
【００１９】
この発明は上記の様な問題点を解消するためになされたものであり、サンドブラスト法を用いても断線の無い良好な配線パターンを形成することにより安価で信頼性の高い半導体容量式加速度センサ素子を実現し得る製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
この発明の主題は、ガラス板の接続孔の加工をサンドブラスト法で行った上でガラス板を半導体基板に接合し、その後、ガラス板の表面上に金属膜を形成して配線する半導体容量式加速度センサの製造方法であって、接続孔のオーバハング部があるガラス板の第２面とは反対側の第１面を半導体基板に接合することを特徴とする。
【００２１】
以下、この発明の主題の様々な具体化を、添付図面を基に、その効果・利点と共に、詳述する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の主題によれば、接続孔のオーバハング部に於ける配線の断線発生を防止して歩留まりの向上を図ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態１に係る製造工程を示す縦断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る製造工程を示す縦断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る製造工程を示す縦断面図である。
【図４】本発明の実施の形態３に係る製造工程を示す縦断面図である。
【図５】本発明の実施の形態４に係る製造工程を示す縦断面図である。
【図６】本発明の実施の形態５に係る製造工程を示す縦断面図である。
【図７】本発明の実施の形態６に係る製造工程を示す縦断面図である。
【図８】本発明の実施の形態７に係る製造工程を示す縦断面図である。
【図９】本発明の実施の形態８に係る製造工程を示す縦断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態９に係る製造工程を示す縦断面図である。
【図１１】従来例に係る製造工程を示す縦断面図である。
【図１２】従来例に係る製造工程を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
（実施の形態１）
本実施の形態の特徴点は、第１ガラス板を半導体基板に接合する前に、当該ガラス板の接続孔のオーバハング部に金属膜を形成しておく点にある。
【００２５】
図１及び図２は、本実施の形態に係るバルク型半導体容量式加速度センサの製造方法を示す工程断面の模式図である。以下、図１及び図２を用いて本実施の形態に係る製造方法について説明する。
【００２６】
工程（ａ）：
既述した従来例と同様に400μｍ厚のウエハ状の（第１）ガラス板２にシート状の感光樹脂２４，２５を貼り付けた上で、写真製版技術を用いて接続孔３を開口するためのパターン３Ａを形成する。尚、ガラス板２には、後工程でガラス板２と接合する半導体基板１であるシリコンウエハと熱膨張が近く、且つ、陽極接合が可能な様にNaを含んだものを使用する。本実施の形態では、一例として、コーニング社製のパイレックス（登録商標）ガラスをガラス板２として用いている。
【００２７】
工程（ｂ）：
次に、従来例と同様に、ガラス板２の第１面２６に形成した感光樹脂２４をマスクとして、サンドブラスト法を用いて接続孔３を形成すべき部分のガラスに貫通穴を掘る。この際、従来例に於いて既述した通り、接続孔３の第２面２７側の部分にオーバハング部２８が同様に生じる。接続孔３の形成によるガラス２の開口により、ガラス２の第１面２６側の加工が完了する。
【００２８】
工程（ｃ）：本実施の形態の核心部の工程
次に、従来例と同様に、ガラス２の第２面２７側に、例えば100μｍの深さの所望のパターンの凹部７を設ける。この後、有機溶剤等を用いてマスクの感光性樹脂２４，２５を除去して、ガラス２を完成する。
【００２９】
その上で、ガラス２の加工後の第２面２７に金属膜３８を例えば500ｎｍの厚さに蒸着し、ガラス２の接続孔３のオーバハング部２８の位置に、写真製版技術を用いて所望の径の金属膜３８のパターンを形成する。この径に関しては、半導体基板１に将来形成される質量体８および固定電極９からコンタクト部３５、接続孔３を経由して配線３３へ接続された電極配線との、コンタクト抵抗が所望の低い抵抗値になる様な径を選択すれば良い。
【００３０】
工程（d）〜工程（f）：
これらの工程（第２ガラス１５に凹部２９を形成し、その後、半導体基板１に溝３２を形成する工程）は既述した従来例の工程（d）〜工程（f）と同一であり、説明を省略する。
【００３１】
工程（g）：
次に、従来例と同様に、半導体基板１の溝３２を有する第１面１２に、ガラス２を所望の位置に合わせた上で重ねて陽極接合技術を用いて接合する。
【００３２】
工程（ｈ）〜工程（i）：
これらの工程は既述した従来例の工程（ｈ）〜工程（i）と同一であり、説明を省略する。
【００３３】
工程（j）：
半導体基板１をガラス２，１５で挟んだサンドイッチ構造に於ける、ガラス板２の表面側に、例えば３μｍの厚さにアルミ膜を蒸着し、写真製版技術を用いてアルミ膜を所望のパターンに形成する。この金属膜のパターンのガラス板２表面側への配設により、質量体８および固定電極９からコンタクト部３５、接続孔３を経由して配線３３へ接続された電極配線が形成される。コンタクト部３５と配線３３とは、オーバハング部２８の位置に蒸着した金属膜３８により接続されている。換言すれば、従来例で示した影部分３７は金属膜３８で充填されている。
【００３４】
この後、従来例と同様に配線３３とガラス２の密着性強化の為の熱処理を経て、ガラス２，１５に挟まれた多数のセンサ素子を含むウエハの製造工程を完了する。その後の組み立て工程は従来例と同様であり、その記載を援用する。
【００３５】
＜実施の形態１の効果＞
以上の様にガラス２の接続孔３のオーバハング部２８に金属膜３８の突出部を形成することで、オーバハング部２８に於ける断線は発生せず、歩留まりの向上が図れると共に、信頼性の高い素子を製造することが出来る。
【００３６】
（実施の形態２）
本実施の形態の特徴点は、ガラスの接続孔のオーバハング部が隠れる深さまで金属を埋め込むことで、断線を防ぐ点にある。以下、図３の縦断面図を用いて、本実施の形態に係る製造工程について説明する。尚、従来例と同様の工程については、図１１及び図１２に関して既述した従来例の記載を援用する。
【００３７】
先ず、既述した従来例と同様に、図１１及び図１２に示した（ａ）〜（ｈ）の各工程を進める。
【００３８】
工程（i）：
次に、接続孔３と空間的に繋がった、半導体基板１の第１面１２に於けるコンタクト部３５に、ガラス孔３のオーバハング部２８が隠れる深さまで金属３９を埋め込む。
【００３９】
工程（j）：
金属３９の形成後、半導体基板１をガラス２，１５で挟んだサンドイッチ構造のガラス板２の表面側に、例えば３μｍの厚さにアルミ膜を蒸着し、写真製版技術を用いてこのアルミ膜を所望のパターンに形成し、質量体８および固定電極９からコンタクト部３５、接続孔３を経由して配線３３へ接続された電極配線が形成される。
【００４０】
本工程では、コンタクト部３５上の金属３９と接続孔３上の配線３３とは、接続孔３の壁面中、オーバハング部２８よりも上面側の位置で接続される為、オーバハング部２８での断線は発生しない。
【００４１】
この後、従来例と同様にアルミ膜とガラスの密着性強化の為の熱処理を経て、ガラス２，１５に挟まれた多数のセンサ素子を含むウエハの製造工程を完了する。その後の組み立て工程は従来例と同様であり、その記載を援用し、説明を省略する。
【００４２】
＜実施の形態２の効果＞
以上の様に、コンタクト部３５に、ガラス孔３のオーバハング部２８が隠れる深さまで金属層３９を埋め込むことで、オーバハング部２８に於ける断線は発生せず、歩留まりの向上が図れると共に、信頼性の高い素子を製造することが出来る。
【００４３】
（実施の形態３）
本実施の形態の製造方法の特徴点は、第１ガラスの接続孔の加工を当該ガラスの両面から行い、ガラス孔のオーバハング部を浅くすることで、断線を防ぐ点にある。以下、図４を用いて本実施の形態の製造工程について説明する。但し、既述した従来例と同様の工程については、その記載を援用して省略する。
【００４４】
先ず、従来例と同様に、図１１の工程（ａ）及び（ｂ）を行い、接続孔３を形成する。
【００４５】
その上で、ガラス２の第２面２７上の感光樹脂２５を接続孔３の第２面２７側の開口に応じた開口を有する所定のパターンに形成し、このパターン化された感光樹脂２５をマスクとして裏面の第２面２７からもサンドブラスト法を行う。この反対面側からの重畳的サンドブラストによるオーバハング部２８の制御により、オーバハング部２８をより丸く且つより浅く形成して（丸み付け）、その突出量を工程（ｂ）の後に出来る量よりも格段に小さくすることが可能となる。この後、両感光樹脂２４，２５を削除する。
【００４６】
その後は、従来例と同様に、図１１及び図１２に示す（ｃ）〜（i）の各工程を順次に進める。
【００４７】
工程（j）：
半導体基板１をガラス２，１５で挟んだサンドイッチ構造のガラス板２の表面側に、例えば３μｍの厚さにアルミ膜（金属膜）を蒸着し、写真製版技術を用いてこれを所望のパターンに形成し、質量体８および固定電極９からコンタクト部３５、接続孔３を経由して配線３３へ接続された電極配線が形成される。
【００４８】
この後、従来例と同様にアルミ膜とガラスの密着性強化の為の熱処理を経て、ガラス２，１５に挟まれた多数のセンサ素子を含むウエハの製造工程を完了する。その後の組み立て工程は従来例と同様であり、その記載を援用し省略する。
【００４９】
＜実施の形態３の効果＞
以上の様に、ガラス２の接続孔３の加工をガラス２の両面から行い、ガラス孔３のオーバハング部２８を丸くして浅くすることで、アルミ膜を薄くしても断線の発生率を抑え歩留まりの向上が図れると共に、信頼性の高い素子を製造することが出来る。
【００５０】
（実施の形態４）
本実施の形態に係る製造方法の特徴点は、接合前の研磨加工によって第１ガラスの接続孔のオーバハング部を無くすことで、断線を防止する点にある。以下、図５を用いて本実施の形態の製造方法の特徴点について説明する。尚、従来例の工程と同一工程については、既述した従来例の記載を援用する。
【００５１】
先ず、従来例と同様に、図１１の工程（ａ）及び（ｂ）を進めて、両感光性樹脂２４，２５を除去する。
【００５２】
工程（b2）：
次に、ガラス２の第２面２７に対してオーバハング部２８が無くなるまで研磨加工を行う。この際、研磨加工により新たなオーバハング部が発生しないように、研磨加工の条件を設定する。また、ガラス２の第２面２７は半導体基板１と陽極接合技術を用いて接合される面であり，この面の状態が陽極接合を阻害しないように、研磨加工後の仕上がりの条件を設定する。
【００５３】
研磨加工後は、図１１の工程（ｃ）と同様の方法により、オーバハング部の無いガラス２の第２面２７に対して、凹部７を形成する。その後は、従来例と同様に、図１１及び図１２の（ｄ）〜（i）の各工程を進める（但し、オーバハング部２８は存在しない）。
【００５４】
工程（j）：
半導体基板１をガラス２，１５で挟んだサンドイッチ構造のガラス板２の表面側に、例えば３μｍの厚さにアルミ膜（金属膜）を蒸着し、写真製版技術を用いてこれを所望のパターンに形成し、質量体８および固定電極９からコンタクト部３５、接続孔３を経由して配線３３へ接続された電極配線が形成される。
【００５５】
この後、従来例と同様に、アルミ膜とガラスの密着性強化の為の熱処理を経て、ガラス２，１５に挟まれた多数のセンサ素子を含むウエハの製造工程を完了する。その後の組み立て工程は従来例と同様であり、その記載を援用することとして説明を省略する。
【００５６】
＜実施の形態４の効果＞
以上の様に、接合前の研磨加工によって、ガラス２の接続孔３の断面形状にオーバハング部２８が存在し無いので、断線の発生が無く歩留まりの向上を図れると共に、信頼性の高い素子を製造することが出来る。
【００５７】
（実施の形態５）
本実施の形態に係る製造方法の特徴点は、半導体基板の第１面のコンタクト部に、サンドブラスト法の加工レートがガラスに対する場合とは異なる材質のストッパーを設けておいた上で、その後に半導体基板の第１面に接合した第１ガラスに対して、その第１面側からサンドブラスト法による加工を行うことでガラスの接続孔を形成し、以ってガラスの接続孔のオーバハング部の発生を無くして、断線を防止する点にある。以下、図６を用いて本実施の形態の製造工程について説明する。尚、本実施の形態においても、従来例の工程と同一工程については、その記載を援用することとして、その説明を割愛している。
【００５８】
先ず、従来例と同様に、図１１の工程（ｃ）を行って、ガラス２の第２面２７側に凹部７のみを形成し（この段階では接続孔３はガラス２に形成されてはいない）、次に図１１の工程（d）を進めてガラス１５に凹部２９を形成する。
【００５９】
工程（e）：
次に、半導体基板１の表面に設けたフォトレジスト層３１をマスクとして（フォトレジスト層３１がないときには酸化膜３０をマスクとして）、高速の異方性ドライエッチング装置を用いて、例えば100μｍ程度の深さで５μｍ幅にシリコンエッチングし、半導体基板１の第１面１２側に、加速度を検出するための質量体８及びこれと容量を形成する固定電極９を分離するための溝３２を設けると共に、固定電極９上でガラス２の接続孔３に対向すべき位置には、段差部５０を設ける。
【００６０】
工程（e2）：
固定電極９上に設けた段差部５０内に、サンドブラストに対して加工レートがガラス２の場合とは異なる（加工レートが遅い）ストッパー５１を形成する。尚、形成したストッパー５１の上面は、半導体基板１の第１面１２と同一面とする。
【００６１】
次に、従来例と同様に、図１１の工程（g）を進めて、未だ接続孔３が形成されていないガラス２を半導体基板１の第１面１２側に接合する。
【００６２】
工程（g2）：  
半導体基板１に接合されたガラス２の第１面（表面）２６上に、図１１の（ａ）に示す様な溝３Ａを有する所定のパターンを付けた感光性樹脂２４を形成した上で、感光性樹脂２４のパターンをマスクとして、第１面２６側から、サンドブラスト法により、接続孔３の半導体基板１側の開口部がストッパー５１の上面上方に位置する様に、ガラス２に接続孔３を形成する。この時、形成された接続孔３の断面は、ガラス２の加工の第１面２６から、その反対の第２面２７に向かって単調に狭くなる傾斜を有す。ただし、その反対面２７の近傍の最後に開口される部分では、サンドブラスト時の圧力に耐えずに割れたり、サンドの粒子が跳ね返ったり、第２面２７の下側に回り込んだりすることを、サンドブラストに対して加工レートが異なるストッパー５１により低減する。これにより、ガラス２の接続孔３のオーバハング部２８の発生をなくすことが出来る。
【００６３】
工程（g3）：
サンドブラスト加工後はストッパー５１を除去し、除去後の段差部５０内に金属５２を段差部５０が隠れる深さまで埋め込んで、コンタクト部３５を形成する。この場合、埋め込まれた金属５２の層の上面は、半導体基板１の第１面１２と同一面とする。
【００６４】
次に、従来例と同様に、図１２に示す（h）〜（i）の各工程を進める。
【００６５】
工程（j）：
半導体基板１をガラス２，１５で挟んだサンドイッチ構造のガラス板２の表面側に、例えば３μｍの厚さにアルミ膜（金属膜）を蒸着し、写真製版技術を用いて当該アルミ膜を所望のパターンに形成し、質量体８および固定電極９からコンタクト部３５（金属５２）、接続孔３を経由して配線３３へ接続された電極配線が形成される。
【００６６】
この後、従来例と同様にアルミ膜とガラスの密着性強化の為の熱処理を経て、ガラス２，１５に挟まれた多数のセンサ素子を含むウエハの製造工程を完了する。その後の組み立て工程は従来例と同様であり、その説明を省略する。
【００６７】
＜実施の形態５の効果＞
以上の様に、半導体基板１の段差部５０乃至はコンタクト部３５にストッパー５１を予め設けておいた上で接合後にサンドブラスト法によるガラス２の接続孔３の加工を行うので、ガラス２の接続孔３の断面形状にオーバハング部が無い為、配線の断線と言う問題点は発生せず、歩留まりの向上が図れると共に、信頼性の高い素子を製造することが出来る。
【００６８】
（実施の形態６）
本実施の形態の特徴点は、予め半導体基板の段差部ないしはコンタクト部にストッパーを設けて接合後にサンドブラスト法による加工を行うことで、ガラスの接続孔のオーバハング部を無くし断線を防止すると共に、ストッパーを導電性とすることでストッパー除去の工程を削減する点にある。以下、図７を用いて、本実施の形態の製造工程について説明する。
【００６９】
先ず、従来例と同様に図１１の（c）（凹部７のみを形成）及び（d）の各工程を進める。
【００７０】
工程（e）：
次に、半導体基板１の表面に設けたフォトレジスト層３１をマスクとして（フォトレジスト層３１がないときには酸化膜３０をマスクとして）、高速の異方性ドライエッチング装置を用いて、例えば100μｍ程度の深さで５μｍ幅にシリコンエッチングして、加速度を検出するための質量体８およびこれと容量を形成する固定電極９を分離するための溝３２を設けると共に、固定電極９上でガラス２の接続孔３に対向すべき位置に段差部５０を設ける。
【００７１】
工程（e2）：
固定電極９上に設けた段差部５０内に、サンドブラストに対して加工レートがガラス２の場合とは異なる（加工レートが遅い）導電性ストッパー５３を形成する。尚、形成した導電性ストッパー５３の上面は、半導体基板１の第１面１２と同一面とする。
【００７２】
次に、従来例と同様に、図１１に示した工程（g）を進めて、ガラス２を半導体基板１の第１面１２側と接合する。この段階では、ガラス２には接続孔３は形成されてはいない。
【００７３】
工程（g2）：
図１１の（ａ）と同様の孔３Ａを有する所定のパターンを付けた感光性樹脂２４をマスクとして、サンドブラスト法により、ガラス２に接続孔３を形成する。形成された接続孔３の第２面２７側の開口部は、コンタクト部３５を成す導電性ストッパー５３の上面と対向している。この時、形成された接続孔３の断面は、ガラス２の加工の第１面２６から、その反対の第２面２７に向かって単調に狭くなる傾斜を有す。ただし、その反対面２７の近傍の最後に開口される部分では、サンドブラスト時の圧力に耐えずに割れたり、サンドの粒子が跳ね返ったり、第２面２７の下側に回り込んだりすることを、サンドブラストに対して加工レートが異なる導電性ストッパー５３により低減する。これにより、ガラス２の接続孔３のオーバハング部２８の発生をなくすことが出来る。
【００７４】
次に、従来例と同様に、図１２に示す工程（h）及び（i）を進める。
【００７５】
工程（j）：
半導体基板１をガラス２，１５で挟んだサンドイッチ構造のガラス板２の表面側に、例えば３μｍの厚さにアルミ膜（金属膜）を蒸着し、写真製版技術を用いてこれを所望のパターンに形成することで、質量体８及び固定電極９からコンタクト部３５、導電性ストッパー５３、接続孔３を経由して配線３３へ接続された電極配線が、形成される。ここでは、導電性ストッパー５３は、除去されずに、そのままコンタクト部３５と接続孔３とを接続する。
【００７６】
この後、従来例と同様にアルミ膜とガラスの密着性強化の為の熱処理を経て、ガラス２，１５に挟まれた多数のセンサ素子を含むウエハの製造工程を完了する。その後の組み立て工程は従来例と同様であり、その記載を省略する。
【００７７】
＜実施の形態６の効果＞
以上の様に、段差部５０乃至はコンタクト部３５に導電性のストッパー５３を予め設けた上で接合後にサンドブラスト法による加工を行うことで、ガラス２の接続孔３の断面形状にオーバハング部が無いので配線の断線は発生せず、歩留まりの向上が図れると共に、信頼性の高い素子を製造することが出来る。しかも、ストッパー５３を導電性とすることでストッパー除去の工程を削減することが出来、その分、コスト低減に寄与し得る。
【００７８】
（実施の形態７）
本実施の形態に係る製造方法の特徴点は、ガラス孔３用の非貫通の穴が形成された第１ガラス２と半導体基板１との接合後の、ガラス孔３を最終的に形成するためのウェットエッチングの際に、ガラス孔３以外の部分がエッチングされない様にマスキングすることで、ガラス２の厚みを薄くせずに断線を防止する点にある。以下、図８を用いて本実施の形態に係る製造工程について説明する。但し、本実施の形態に於いても、従来例と同一工程に関しては、図１１及び図１２に於ける従来例の記載を援用することとする。
【００７９】
先ず、従来例と同様に、図１１の（a）の工程を進めて、所定のパターンを有する感光性樹脂２４及び感光性樹脂２５を形成する。
【００８０】
工程（b）：
次に、従来例と同様に、ガラス板２の第１面２６側に形成した感光樹脂２４のパターンをマスクとして、サンドブラスト法を用いて、接続孔３を本来形成すべきガラス２の部分に、非貫通の穴３Ａを掘る。この時、穴３Ａを全部開口せずに、深さを例えば350μｍとし、開口されるべき部分に50μｍ程度の厚みが残る状態でサンドブラスト加工を止める。
【００８１】
次に、従来例と同様に感光性樹脂２５を利用して図１１の工程（c）を行って、ガラス板２の第２面２７側に凹部７を形成する。この段階では、未だ、接続孔３はガラス板２には形成されてはおらず、ガラス板２は非貫通穴３Ａと凹部７とが形成された状態にある。その上で、従来例と同様に、図１１の工程（ｄ）〜工程（g）の各々を順次に進める。工程（g）の実行により、非貫通穴３Ａをその表面２６側に有するガラス板２が、溝３２が形成された半導体基板１の第１面１２側に接合される。
【００８２】
工程（g2）：
ガラスを溶解する溶液、例えばフッ酸により、接続孔３を完成させるためにガラス板２の内で開口すべき部分、即ち、非貫通穴３Ａ直下のガラス板２の部分に残った厚み、例えば５０μｍ以上に対してウェットエッチングを行い、接続孔３を開口する。この際、ガラス２の接続孔３以外の部分がエッチングされない様に、ガラス板２の第１面２６側を所定のパターン２４Ａでマスキングする。この様に、接続孔３の開口の途中までをサンドブラスト加工し、ガラス板２の第２面２７側の開口すべき部分に対してはウェットエッチングを行うことで接続孔３を開口・形成しているので、接続孔３の壁面中、ガラス板２の第２面２７寄り側の部分に、従来例の様なオーバハング部２８は発生しない。
【００８３】
次に、従来例と同様に、図１２の（h）及び（i）の各工程を進める。
【００８４】
工程（j）：
半導体基板１をガラス２，１５で挟んだサンドイッチ構造のガラス板２の表面側に、例えば３μｍの厚さにアルミ膜（金属膜）を蒸着し、写真製版技術を用いてこれを所望のパターンに形成し、質量体８および固定電極９からコンタクト部３５、接続孔３を経由して配線３３へ接続された電極配線が形成される。上記の通り、サンドブラスト法＋ウェットエッチング法と言う加工で以って接続孔３を開口・形成しているので、コンタクト部３５と接続孔３との間の断面形状にオーバハング部２８が無い為、断線は発生しない。
【００８５】
この後、従来例と同様にアルミ膜とガラスの密着性強化の為の熱処理を経て、ガラス２，１５に挟まれた多数のセンサ素子を含むウエハの製造工程を完了する。その後の組み立て工程は従来例と同様であり、その記載を省略する。
【００８６】
＜実施の形態７の効果＞
以上の様に、ウェットエッチングの際に、ガラス２の孔３以外の部分がエッチングされない様にマスキングすることで、ガラス２の厚みを薄くせずに、オーバハング部の発生を防止して断線を防止することが出来、歩留まりの向上が図れると共に、信頼性の高い素子を製造することが出来る。
【００８７】
（実施の形態８）
本実施の形態に係る製造方法の特徴点は、オーバハング部がその近傍にある第１ガラスの加工の第２面とは反対側の第１面を半導体基板と接合することで、半導体基板のコンタクト部と第１ガラスの接続孔との間のオーバハング部を無くし、断線を防止する点にある。以下、図９を用いて本実施の形態の製造工程について説明する。尚、本実施の形態の説明においても、従来例と同一工程については対応する従来例の記載を援用するに留める。
【００８８】
先ず、従来例と同様に、図１１の（a）及び（b）の各工程を進めて、ガラス２に接続孔３を開口し、両感光性樹脂２４，２５を除去する。この際、接続孔３の壁面中、ガラス２の第２面２７寄り側（近傍部分）にオーバハング部２８が発生する点は既述した通りである。
【００８９】
工程（c）：
ガラス２の第１面２６上に凹部７を形成する部分に孔を有する所定のパターン（図示せず）を形成し、この所定のパターンをマスクとして、ガラス２の加工の第１面２６側に（隣り合う接続孔３で挟まれた箇所に）、例えば100μｍの深さの所望のパターンの凹部７を設ける。その後、上記所定のパターンを除去してガラス２を完成させる。
【００９０】
次に、従来例と同様に、図１１の（d）〜（f）の各工程を進める。
【００９１】
工程（g）：
次に、半導体基板１の溝３２を有する第１面１２に、ガラス２の加工の第１面２６を所望の位置に合わせた上で重ねて陽極接合技術を用いて接合する。
【００９２】
次に、従来例と同様に、図１２に示す（h）及び（i）の両工程を進める。
【００９３】
工程（j）：
半導体基板１をガラス２，１５で挟んだサンドイッチ構造のガラス板２の表面側に、例えば３μｍの厚さにアルミ膜（金属膜）を蒸着し、写真製版技術を用いてこれを所望のパターンに形成し、質量体８および固定電極９からコンタクト部３５、接続孔３を経由して配線３３へ接続された電極配線が形成される。
【００９４】
図９に明示する通り、コンタクト部３５と接続孔３との間の断面形状にオーバハング部２８が無い為、断線は発生しない。
【００９５】
この後、従来例と同様にアルミ膜とガラスの密着性強化の為の熱処理を経て、ガラス２，１５に挟まれた多数のセンサ素子を含むウエハの製造工程を完了する。その後の組み立て工程は従来例と同様であり、その説明を省略する。
【００９６】
＜実施の形態８の効果＞
以上の様に、オーバハング部２８がその近傍に存在するガラス２の加工の第２面２７とは反対側の第１面２６を半導体基板１と接合することで、コンタクト部３５と接続孔３との間のオーバハング部をなくして断線を防止することが出来、歩留まりの向上が図れると共に、信頼性の高い素子を製造することが出来る。
【００９７】
（実施の形態９）
本実施の形態に係る製造方法の特徴点は、実施の形態８においてガラス２の表面側に位置するオーバハング部２８をウェットエッチングにより緩やかな形状とし、この部分２８での断線を防ぐ点にある。以下、図１０を用いて本実施の形態の製造工程について説明する。但し、以下の記載においても、既述した従来例及び実施の形態８と同一工程については、従来例及び実施の形態８における各記載を援用する。
【００９８】
先ず、従来例と同様に、図１１の（a）及び（b）の各工程を進める。
【００９９】
次に、実施の形態８と同様に、図９の（c）の工程を進める。
【０１００】
次に、従来例と同様に、図１１の（d）〜（f）の各工程を進める。
【０１０１】
次に、実施の形態８と同様に、図９の（g）の接合工程を進める。
【０１０２】
次に、従来例と同様に、図１２の（h）及び（i）の各工程を進める。
【０１０３】
工程（i2）：
次に、ウェットエッチングにより、オーバハング部２８の形状を鋭角から鈍角へと緩やかな形状とする。
【０１０４】
工程（j）：
半導体基板１をガラス２，１５で挟んだサンドイッチ構造のガラス板２の表面側に、例えば３μｍの厚さにアルミ膜（金属膜）を蒸着し、写真製版技術を用いてこれを所望のパターンに形成し、質量体８および固定電極９からコンタクト部３５、接続孔３を経由して配線３３へ接続された電極配線が形成される。
【０１０５】
配線３３間にあるオーバハング部２８は緩やかな鈍角の形状であり、この部分２８での断線も発生しない。
【０１０６】
この後、従来例と同様にアルミ膜とガラスの密着性強化の為の熱処理を経て、ガラス２，１５に挟まれた多数のセンサ素子を含むウエハの製造工程を完了する。その後の組み立て工程は従来例と同様であり、その記載を省略する。
【０１０７】
＜実施の形態９の効果＞
以上の様に、配線間にあるオーバハング部２８は緩やかな鈍角形状であり、オーバハング部２８に於ける配線の断線は発生せず、歩留まりの向上が図れると共に、信頼性の高い素子を製造することが出来る。
【０１０８】
（付記）
以上、本発明の実施の形態を詳細に開示し記述したが、以上の記述は本発明の適用可能な局面を例示したものであって、本発明はこれに限定されるものではない。即ち、記述した局面に対する様々な修正や変形例を、この発明の範囲から逸脱することの無い範囲内で考えることが可能である。
【符号の説明】
【０１０９】
１  半導体基板、２，１５  ガラス板、３  接続孔、８  質量体、９  固定電極、２８  オーバハング部、３３  配線、３５  コンタクト部、３８  金属膜。
【図１】
2011053220.tif 000003
【図２】
2011053220.tif 000004
【図３】
2011053220.tif 000005
【図４】
2011053220.tif 000006
【図５】
2011053220.tif 000007
【図６】
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【図７】
2011053220.tif 000009
【図８】
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【図９】
2011053220.tif 000011
【図１０】
2011053220.tif 000012
【図１１】
2011053220.tif 000013
【図１２】
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