(57)【要約】【課題】光学部品の点数を少なく、構造を簡単化して、光センサーの小型化及び低コスト化を実現する。【解決手段】振動検出用光センサー１は、光源２、偏光ビームスプリッター３、対物レンズ４、波長板ユニット５、及び１個の受光素子６を備える。波長板ユニットは１／４波長板７と振動板８とが一体化され、光センサーの小型化、構造及び組立の簡単化、低コストが図れる。受光素子６は、光軸ｘ2を振動板の反射光の光軸ｘ1と平行にかつ僅かにずらして配置される。それに対応して、受光素子に入射するビームスポット形状は、その中心ｃを受光面６ａの中心Ｏから僅かにずらして離れた位置に置いて投影される。受光素子から検出される光量は、振動板の変位に対応して増減する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、光検出器と、前記光源からの出射光を測定対象物の反射面で合焦するように集光する第１光学系と、前記反射面からの反射光を前記光検出器の受光面に集光する第２光学系とを備え、
前記光検出器の前記受光面が、その光軸を前記反射光の光軸と平行にかつそれからずらして配置され、そのずれ量が、常に前記反射光のビームスポット形状の一部だけが前記受光面に入射するように決定されることを特徴とする光センサー。
【請求項２】
前記第１光学系が、前記光源からの出射光を透過又は反射させる偏光ビームスプリッターと、前記出射光を前記振動板の前記反射面に集光する対物レンズと、前記対物レンズの前記偏光ビームスプリッターとは反対側に配置される１／４波長板とからなることを特徴とする請求項１記載の光センサー。
【請求項３】
前記測定対象物としての振動板を更に備えることを特徴とする請求項１又は２記載の光センサー。
【請求項４】
前記１／４波長板が前記振動板と一体化されていることを特徴とする請求項３記載の光センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば流体の圧力や音圧、被測定面の変位、振動等を検出するための光センサーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＣＤ等の光ディスクから情報を再生したり記録するための光ピックアップにおいて、ディスク面に対する対物レンズの焦点位置を自動的に検出するために、ナイフエッジ法、非点収差法、臨界角法、フーコー法等の光学的手法が採用されている。また、これらの手法を用いて、測定対象物の位置や変位、表面粗さを測定するための様々な方法や装置が提案されている。
【０００３】
例えば、ナイフエッジ法を用いて物体の微小変位や表面粗さを測定するために、レーザービームを測定対象物にその表面で焦点を結ぶように投射し、その反射光を２分割ダイオードで受光する計測器が知られている（例えば、特許文献１を参照）。この光学系は、光路の途中にナイフエッジが配置されて、２分割ダイオードに入射する反射ビームの断面が半円になる。測定対象物の表面が焦点位置より後方にずれると、反射ビームは２分割ダイオードの下方にシフトし、前方にずれると上方にシフトするので、２分割ダイオードの信号の関数として、焦点位置に対する測定対象物表面の変位量が得られる。
【０００４】
また、非点収差法を用いて測定面の表面形状や表面粗さを測定する光学式変位センサーは、レーザー光を微小スポットとして測定面に投射し、その反射光に円柱レンズを通過させて非点収差を与え、ビームスポットの中心を４分割受光素子の中心に合わせて入射させる（例えば、特許文献２，３を参照）。測定面がレーザー光の焦点位置にあると、各受光素子の出力信号は等しいが、該焦点位置の後方又は前方にずれると、一方の対角位置にある受光素子の出力信号は他方の対角位置にある受光素子の出力信号より大きくなる。従って、各受光素子の出力信号から測定面の変位信号を算出することによって、測定面の焦点位置からの変位量が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−４９１４号公報
【特許文献２】特開平５−２３１８４８号公報
【特許文献３】特開平８−２９６６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した従来の光センサーは、いずれも光学部品の点数が多く、大型であったり、構造が複雑で高価であるという問題がある。
【０００７】
そこで本発明は、上述した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、光学部品の点数を少なくし、構造を簡単化すると共に、小型化及びコストの低減を実現し得る光センサーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の光センサーは、上記目的を達成するために、光源と、光検出器と、光源からの出射光を測定対象物の反射面で合焦するように集光する第１光学系と、反射面からの反射光を光検出器の受光面に集光する第２光学系とを備え、光検出器の受光面が、その光軸を反射光の光軸と平行にかつそれからずらして配置され、そのずれ量が、常に反射光のビームスポット形状の一部だけが受光面に入射するように決定されることを特徴とする。
【０００９】
これによって、光検出器の受光面でのビームスポット形状は、測定対象物の反射面の光軸上での位置によって変化する。従って、光検出器から検出される光量は、反射面の合焦位置からの変位に対応して増減するから、この光量の変化を検出することによって、測定対象物の反射面の変位量を求めることができる。
【００１０】
或る実施例では、第１光学系が、光源からの出射光を透過又は反射させる偏光ビームスプリッターと、出射光を測定対象物の反射面に集光する対物レンズと、該対物レンズの偏光ビームスプリッターとは反対側に配置される１／４波長板とを有する。これにより、光源からの出射光は、偏光ビームスプリッターで分離された第１の直線偏光が、対物レンズにより収束され、１／４波長板により直線偏光から円偏光に変換されて測定対象物の反射面に入射し、逆方向の円偏光となって反射され、再び１／４波長板により第２の直線偏光に変換されて光検出器に入射するように構成される。
【００１１】
別の実施例では、光センサーが測定対象物としての振動板を更に備えることによって、流体の圧力や音圧による振動を測定するために用いることができる。
【００１２】
更に別の実施例によれば、１／４波長板と振動板とが一体化されていることにより、光学部品の点数を従来よりも少なくし、振動板から光検出器までの光路長を短くし、光センサーの組立時に１／４波長板と振動板との位置合わせを省略し、それらと他の光学系とのとの位置合わせを１度で済ませることができる。従って、装置全体を小型化し、構造及び組立を簡単にし、より高精度で高信頼性の光センサーを低コストで得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（Ａ）図は本発明による光センサーの第１実施例の構成図、（Ｂ）図は受光素子上のビーム形状を示す図。
【図２】（Ａ）〜（Ｆ）図は、それぞれ異なる波長板ユニットの構造を示す断面図。
【図３】本発明による光センサーの第２実施例の構成図。
【図４】本発明による光センサーの第３実施例の構成図。
【図５】（Ａ）〜（Ｃ）図は、振動板がそれぞれ異なる位置にあるときに４分割受光素子に入射したビームスポット形状を示す図、（Ｄ）図は振動板の変位信号を示す線図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、添付図面を参照しつつ、本発明の好適な実施例を詳細に説明する。尚、添付図面において、同一又は類似の構成要素には同一又は類似の参照符号を付して示す。
【００１５】
図１（Ａ）は、本発明による光センサーの第１実施例の構成を示している。本実施例の光センサー１は、振動を検出するためのものであって、レーザーダイオードからなる光源２と、平板型の偏光ビームスプリッター３と、対物レンズ４と、波長板ユニット５と、光検出部として１個の受光素子６とを備える。波長板ユニット５は、水晶板からなる１／４波長板７と金属の振動板８とを一体に組合せたものである。１／４波長板７及び振動板８は、それぞれ補強のために片面側の周縁部が短円筒状に厚く形成され、互いに短円筒状部分を突き合わせて一体に接合されている。
【００１６】
偏光ビームスプリッター３、対物レンズ４及び波長板ユニット５は、１／４波長板７を前記対物レンズ側にして、光源２の光軸に直交する同一の光軸ｘ1上に配置される。受光素子６は、例えばフォトダイオードからなり、その光軸ｘ2が偏光ビームスプリッター３等の光軸ｘ1と平行にかつそれから僅かな距離ｄだけずらして配置される。
【００１７】
光源２は、その電源でありかつ出射するレーザー光の出力を制御する駆動回路９に接続されている。受光素子６は、その出力信号を処理して振動板８の変位信号を出力する信号処理回路１０に接続されている。信号処理回路１０は、例えば光電変換器、差動増幅器等から構成される。
【００１８】
光センサー１において、光源２から発散光として出射されたレーザー光Ｌは、偏光ビームスプリッター３によりＳ偏光の直線偏光成分が反射され、対物レンズ４により収束されて波長板ユニット５に入射する。前記波長板ユニットに入射したレーザー光Ｌは、１／４波長板７を通過する際に直線偏光から円偏光に変換されて振動板８の表面に投射され、逆方向の円偏光となって反射される。振動板８表面からの反射光は、再び１／４波長板７を通過してＰ偏光の直線偏光に変換され、対物レンズ４により収束され、偏光ビームスプリッター３を透過し、結像した後に拡散して受光素子６に入射する。
【００１９】
図１（Ｂ）は、受光素子６の受光面６ａに入射するビームスポット形状を示している。受光素子６の光軸ｘ2は、上述したように偏光ビームスプリッター３の光軸ｘ1からずらして配置されている。そのため、ビームスポット形状ｍは、その中心ｃを光軸ｘ1が通る位置に、即ち受光面６ａの中心Ｏから距離ｄだけ離れた位置に置いて投影される。
【００２０】
振動板８は、図１（Ａ）に示すように、不変位状態のとき、その反射面８ａでレーザー光Ｌが合焦するように配置される。このとき、反射面８ａからの反射光Ｒ0は、入射時と同じ光路を辿って、入射時と同じビーム断面を維持しながら偏光ビームスプリッター３に至り、これを透過して受光素子６に入射する。
【００２１】
振動板８が不変位位置Ｓ0から光軸方向手前に即ち１／４波長板７側に位置Ｓ1まで変位すると、レーザー光Ｌは焦点位置Ｓ0より手前で反射面８ａに反射される。従って、反射光Ｒ1は、入射時よりも内側の光路を辿って、入射時よりも幾分細いビーム断面で偏光ビームスプリッター３に至り、これを透過して受光素子６に入射する。反射光Ｒ1は、反射光Ｒ0よりも手前で結像するので、受光面６ａでのビームスポット形状ｍ1は、元のビームスポット形状ｍと同心にかつそれよりも大きく現れる。
【００２２】
振動板８が不変位位置Ｓ0から光軸方向後方に即ち１／４波長板７とは反対側に位置Ｓ2まで変位すると、レーザー光Ｌは焦点位置Ｓ0より後方で反射面８ａに反射される。従って、反射光Ｒ2は、入射時よりも外側の光路を辿って、入射時よりも幾分太いビーム断面で偏光ビームスプリッター３に至り、これを透過して受光素子６に入射する。反射光Ｒ2は、反射光Ｒ0よりも後方で結像するので、受光面６ａでのビームスポット形状ｍ2は、元のビームスポット形状ｍと同心にかつそれよりも小さく現れる。
【００２３】
従って、受光面６ａの中心ｃとビームスポット形状の中心Ｏとのずれである距離ｄは、振動板８の光軸上の位置に拘わらず、常にビームスポット形状の一部だけが受光面６ａに入射するように設定する。これにより、受光面６ａでのビームスポット形状は、上述したように振動板８の位置によって変化する。従って、受光素子６から検出される光量は、振動板８の変位に対応して増減し、この光量の変化を検出することによって、振動板８の変位量を求めることができる。
【００２４】
本実施例の光センサー１は、光学部品の点数が従来よりも大幅に少ない。しかも、１／４波長板７と振動板８とを一体化した波長板ユニット５を用いることによって、振動板８から受光素子６までの光路長を大幅に短くできる。更に、光センサー１の組立時に、１／４波長板７と振動板８との位置合わせを行う必要が無く、かつそれらと対物レンズ４との位置合わせが１度で済む。その結果、装置全体を小型化し、光センサー１の組立を簡単にし、より高精度で高信頼性の装置をより低コストで得ることができる。
【００２５】
図２（Ａ）〜（Ｆ）は、第１実施例とは異なる様々な構造の波長板ユニットを示している。図２（Ａ）の波長板ユニット５１は、第１実施例と同じ１／４波長板７に非金属の振動板８１を組合せたものである。振動板８１は、ガラス又は水晶等の薄板からなり、その片面側の周縁部が補強のために短円筒状に厚く形成されている。振動板８１の１／４波長板７側の片面は、金属膜を施して反射面が形成されている。振動板８１は、１／４波長板７と互いに短円筒状部分を突き合わせて一体に接合される。
【００２６】
図２（Ｂ）の波長板ユニット５２は、第１実施例と同じ１／４波長板７に薄い平板の振動板８２を組合せたものである。振動板８２は、金属板、硬質フィルムやガラス板等の非金属板で形成される。振動板８２が硬質フィルム又はガラス板等の場合、その１／４波長板７側の片面に金属膜を施して反射面が形成されている。振動板８２は、１／４波長板７とその短円筒状部分で一体に接合される。
【００２７】
図２（Ｃ）の波長板ユニット５３は、薄い平板の１／４波長板７１に第１実施例と同じ振動板８を組合せたものである。１／４波長板７１は、例えばフィルム状の樹脂材料板で形成される。１／４波長板７１は、振動板８とその短円筒状部分で一体に接合される。
【００２８】
図２（Ｄ）の波長板ユニット５４は、図３（Ｃ）の１／４波長板７１と図３（Ａ）の波長板ユニット５１とを組合せたものである。１／４波長板７１と波長板ユニット５１とは、互いに短円筒状部分を突き合わせて一体に接合される。
【００２９】
第１実施例の波長板ユニット５及び図２（Ａ）〜（Ｄ）の波長板ユニット５１〜５４は、それぞれ前記１／４波長板の両面に反射防止膜を施しておくことが好ましい。更に、１／４波長板７，７１の外面には、薄いガラス板１１を貼り合わせることができる。このガラス板１１によって、前記１／４波長板は、前記反射防止膜から受ける応力を緩和し、かつ前記振動板からの振動の影響を解消するべく補強することができる。
【００３０】
図２（Ｅ）の波長板ユニット５５は、１／４波長板７２が振動板を兼用している。１／４波長板７２は、第１実施例と同様に、水晶板からなり、その片面側の周縁部が補強のために短円筒状に厚く形成されている。１／４波長板７２の外面即ち前記短円筒状部分と反対側の片面に金属膜１２を施して、反射面が形成されている。１／４波長板７２の内面には、反射防止膜を施しておくことが好ましい。
【００３１】
図２（Ｆ）の波長板ユニット５６は、図２（Ｅ）と同様に、１／４波長板７３が振動板を兼用している。１／４波長板７３は、図２（Ｃ）と同様の樹脂材料板で形成され、その外面に金属膜１２を施して、反射面が形成されている。１／４波長板７３の内面周縁部には、金属又はガラス材料の短円筒形の補強部材１３が一体に接合されている。１／４波長板７３の内面には、反射防止膜を施しておくことが好ましい。
【００３２】
また、１／４波長板７，７２は、入力角依存性に優れたＸカット又はＹカットの水晶板で形成することが好ましい。更に、１／４波長板７，７２は、基本波（０次）モードとすることによって、優れた波長依存性が得られる。
【００３３】
図３は、本発明による振動検出用光センサーの第２実施例の構成を示している。本実施例の光センサー２１は、第１実施例と同様に配置されたレーザーダイオードからなる光源２、平板型の偏光ビームスプリッター３、対物レンズ４、波長板ユニット５、及び光検出部として１個の受光素子６に加えて、光源２と偏光ビームスプリッター３間にそれと同一光軸上に配置されたコリメートレンズ２２を更に備える。光源２には駆動回路９が接続され、受光素子６には信号処理回路１０が接続されている。波長板ユニット５に代えて、図２（Ａ）〜（Ｆ）の波長板ユニットを用いることができる。
【００３４】
光センサー２１において、光源２から出射されたレーザー光Ｌは、コリメートレンズ２２により平行光とされ、偏光ビームスプリッター３によりＳ偏光の直線偏光成分が反射され、対物レンズ４により収束されて波長板ユニット５に入射する。前記波長板ユニットに入射したレーザー光Ｌは、１／４波長板７を通過する際に直線偏光から円偏光に変換されて振動板８の表面に投射され、逆方向の円偏光となって反射される。振動板８表面からの反射光は、再び１／４波長板７を通過してＰ偏光の直線偏光に変換され、対物レンズ４により平行光とされ、偏光ビームスプリッター３を透過して受光素子６に入射する。
【００３５】
振動板８は、不変位状態のとき、その反射面８ａでレーザー光Ｌが合焦するように配置される。このとき、反射面８ａからの反射光は、入射時と同じ光路を辿って、入射時と同じビーム断面を維持して偏光ビームスプリッター３を透過し、受光素子６に入射する。受光素子６の受光面に入射するビームスポット形状は、その中心を光軸ｘ1が通る位置に、即ち前記受光面の中心から距離ｄだけ離れた位置に置いて投影される。
【００３６】
振動板８が不変位位置Ｓ0から光軸方向手前に即ち１／４波長板７側に位置Ｓ1まで変位すると、レーザー光Ｌは焦点位置Ｓ0より手前で反射面８ａに反射される。反射光Ｒは、入射時よりも内側の光路を辿って、入射時よりも幾分細いビーム断面で偏光ビームスプリッター３を透過し、受光素子６に入射する。この場合、受光素子６の前記受光面でのビームスポット形状は、元のビームスポット形状よりも小さくなる。
【００３７】
振動板８が不変位位置Ｓ0から光軸方向後方に即ち１／４波長板７とは反対側に位置Ｓ2まで変位すると、レーザー光Ｌは焦点位置Ｓ0より後方で反射面８ａに反射される。反射光Ｒは、入射時よりも外側の光路を辿って、入射時よりも幾分太いビーム断面で偏光ビームスプリッター３を透過し、受光素子６に入射する。この場合、受光素子６の前記受光面でのビームスポット形状は、元のビームスポット形状よりも大きくなる。
【００３８】
本実施例においても、このように、受光素子６の前記受光面に入射するビームスポット形状が振動板８の位置によって変化するので、受光素子６から検出される光量は、振動板８の変位に対応して増減する。従って、この光量の変化を検出することによって、振動板８の変位量を求めることができる。
【００３９】
本実施例においても、光学部品の点数が従来より大幅に少なくなる。更に、１／４波長板７と振動板８とを一体化した波長板ユニット５によって、振動板８から受光素子６までの光路長を大幅に短くでき、光センサー１の組立時に１／４波長板７と振動板８との位置合わせが不要で、それらと対物レンズ４との位置合わせが１度で済む。従って、装置全体を小型化し、構造及び組立を簡単にし、より高精度で高信頼性の光センサーをより低コストで得ることができる。
【００４０】
図４は、本発明による振動検出用光センサーの第３実施例の構成を示している。本実施例の光センサー３１は、第２実施例と同様に配置されたレーザーダイオードからなる光源２、コリメートレンズ２２、平板型の偏光ビームスプリッター３、対物レンズ４、波長板ユニット５を備え、光検出部としての４分割受光素子３２が使用され、該４分割受光素子と偏光ビームスプリッター３間に円柱レンズ３３が配置されている。４分割受光素子３２及び円柱レンズ３３は、偏光ビームスプリッター３と同一光軸上に配置されている。４分割受光素子３２は、例えば４分割フォトダイオードが用いられる。波長板ユニット５に代えて、図２（Ａ）〜（Ｆ）の波長板ユニットを用いることができる。
【００４１】
光センサー２１において、光源２から出射されたレーザー光Ｌは、コリメートレンズ２２により平行光とされ、偏光ビームスプリッター３によりＳ偏光の直線偏光成分が反射され、対物レンズ４により収束されて波長板ユニット５に入射する。前記波長板ユニットに入射したレーザー光Ｌは、１／４波長板７を通過する際に直線偏光から円偏光に変換されて振動板８の表面に投射され、逆方向の円偏光となって反射される。振動板８表面からの反射光は、再び１／４波長板７を通過してＰ偏光の直線偏光に変換され、対物レンズ４により平行光とされ、偏光ビームスプリッター３を透過し、円柱レンズ３３により収束されかつ非点収差を与えられて、４分割受光素子３２に入射する。
【００４２】
振動板８は、不変位状態のとき、その反射面８ａでレーザー光Ｌが合焦するように配置される。このとき、反射面８ａからの反射光Ｒは、入射時と同じ光路を辿って、入射時と同じビーム断面を維持して偏光ビームスプリッター３を透過し、円柱レンズ３３に収束されて結像した後、４分割受光素子３２に入射する。図５（Ａ）は、このとき前記４分割受光素子の受光面３２ａに入射したビームスポット形状Ｍ0を示している。ビームスポット形状Ｍ0は、その中心を４分割受光素子３２の中心に置いた円形である。
【００４３】
振動板８が不変位位置Ｓ0から光軸方向手前に即ち１／４波長板７側に位置Ｓ1まで変位すると、レーザー光Ｌは焦点位置Ｓ0より手前で反射面８ａに反射される。反射光Ｒは、入射時よりも内側の光路を辿って、入射時よりも幾分細いビーム断面で偏光ビームスプリッター３を透過し、円柱レンズ３３に収束されて結像した後、４分割受光素子３２に入射する。図５（Ｂ）は、このとき前記４分割受光素子の受光面３２ａに入射したビームスポット形状Ｍ1を示している。ビームスポット形状Ｍ1は、その中心を４分割受光素子３２の中心に置いた横長の楕円形になる。
【００４４】
振動板８が不変位位置Ｓ0から光軸方向後方に即ち１／４波長板７とは反対側に位置Ｓ2まで変位すると、レーザー光Ｌは焦点位置Ｓ0より後方で反射面８ａに反射される。反射光Ｒは、入射時よりも外側の光路を辿って、入射時よりも幾分太いビーム断面で偏光ビームスプリッター３を透過し、円柱レンズ３３に収束されて結像した後、４分割受光素子３２に入射する。図５（Ｃ）は、このとき前記４分割受光素子の受光面３２ａに入射したビームスポット形状Ｍ2を示している。ビームスポット形状Ｍ2は、その中心を４分割受光素子３２の中心に置いた縦長の楕円形になる。
【００４５】
４分割受光素子３２の各受光素子の出力信号を、図示するように、それらの位置からＶａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄとする。このとき、振動板８の変位信号Ｖ０は、Ｖ０＝（Ｖａ＋Ｖｄ）−（Ｖｂ＋Ｖｃ）で表される。図５（Ｄ）は、横軸に０点をレーザー光Ｌの合焦位置として振動板８の変位量をとり、縦軸に変位信号Ｖ０を表したものである。変位信号Ｖ０は、０点を挟んで＋／−両側に或る範囲が概ね直線状に変化するＳ次状曲線となる。従って、この直線状の範囲で、変位信号Ｖ０から振動板８の変位量を求めることができる。
【００４６】
本実施例においても、１／４波長板７と振動板８とを一体化した波長板ユニット５によって、光学部品の点数を従来より少なくし、振動板８から受光素子６までの光路長を大幅に短くし、光センサー１の組立時に１／４波長板７と振動板８との位置合わせが不要で、それらと対物レンズ４との位置合わせが１度で済ませることができる。従って、装置全体を小型化し、構造及び組立を簡単にし、より高精度で高信頼性の光センサーをより低コストで得ることができる。
【００４７】
上記各実施例は、振動検出用の光センサーであり、そのために振動板を備えている。しかしながら、本発明は、光センサーとは別個の測定対象物について、その位置や変位、被測定面の振動等を測定するために用いることができる。その場合には、波長板ユニットを１／４波長板単体に置き換えて振動板を省略し、レーザー光が測定対象物の被測定面で合焦するように設定すればよい。
【００４８】
また、振動板にレーザー光を集光させて投射する光学系、及び振動板からの反射光を受光素子に入射させる光学系として、上記実施例以外の様々な構成が考えられる。例えば、光源から出射して偏光ビームスプリッターを透過したレーザー光の直線偏光成分を振動板に投射し、その反射光を偏光ビームスプリッターで反射して光検出器に入射するように構成することもできる。
【００４９】
本発明は、上記実施例に限定されるものでなく、その技術的範囲内で様々な変形又は変更を加えて実施することができる。例えば、第１及び第２実施例において、同様に振動板の変位を光量の変化として検出できる限り、複数の受光素子で光検出部を構成することもできる。偏光ビームスプリッターはプリズム型のものを用いることもできる。また、光源は、レーザダイオード以外に公知の様々なものを用いることができる。
【符号の説明】
【００５０】
１，２１，３１…光センサー、２…光源、３…偏光ビームスプリッター、４…対物レンズ、５…波長板ユニット、６…受光素子、６ａ，３２ａ…受光面、７…１／４波長板、８…振動板、９…駆動回路、１０…信号処理回路、８ａ…反射面、１１…ガラス板、１２…金属膜、１３…補強部材、２２…コリメートレンズ、３２…４分割受光素子、３３…円柱レンズ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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