(57)【要約】【課題】固定子の熱膨張による伸びを吸収するとともに、可動子が発生する推力に抗して固定子の端部を固定ベースに対し堅固に支持する。【解決手段】リニアスライダ１は、固定子１０を固定するための固定ベース３０と、固定子１０の長手方向両端部をそれぞれ支持するための２つの支持機構５０，６０とを有し、２つの支持機構５０，６０は、固定子１０の長手方向端部に固定された第１支持部７０と、固定ベース３０に固定された第２支持部８０とを有し、第１支持部７０は凸部７３を備えており、第２支持部８０は、凸部７３を軸線方向に移動可能に係合する凹部８３と、凹部８３の最奥部に設けられた突き当たり部８４と、突き当たり部８４と凸部７３との間に介在するように、凹部８３に収納配置されたばね９０とを備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空円筒形パイプの中に円柱状の永久磁石を互いに極性が同じ向きで軸方向に複数個配置した界磁からなる固定子と、
前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して平行に対向配置されるとともに複数個のリング状の電機子コイルを軸線上に配置し、周囲にヨークを有した電機子からなる可動子と、を備え、
前記界磁に対し前記電機子を前記軸線方向に走行するリニアスライダであって、
前記固定子を固定するための固定ベースと、
前記固定子の長手方向両端部をそれぞれ支持するための２つの支持機構とを有し、
前記２つの支持機構のうち少なくとも一方は、
前記固定子の長手方向端部に固定された第１支持部と、
前記固定ベースに固定された第２支持部とを有し、
前記第１支持部及び前記第２支持部のうち一方は、凸部を備えており、
前記第１支持部及び前記第２支持部のうち他方は、
前記凸部を軸線方向に移動可能に係合する凹部と、
前記凹部の最奥部に設けられた突き当たり部と、
前記突き当たり部と前記凸部との間に介在するように、前記凹部に収納配置された弾性部材と
を備えることを特徴とするリニアスライダ。
【請求項２】
前記第１支持部が、前記凸部を備えており、
前記第２支持部が、前記凹部と、前記突き当たり部と、前記弾性部材とを備えている
ことを特徴とする請求項１記載のリニアスライダ。
【請求項３】
前記弾性部材は、
予め所定の予圧を付与された状態で、前記凹部に配置されている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のリニアスライダ。
【請求項４】
前記所定の予圧が、
前記界磁に対する前記電機子の走行時に前記第１支持部に加わる推力より大きく、
前記電機子への通電に伴う前記固定子の熱膨張による膨張力より小さくなるように、
設定されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載のリニアスライダ。
【請求項５】
前記凸部は、横断面形状が略Ｔ字形の突起であり、
前記凹部は、横断面形状が略Ｔ字形の溝である
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載のリニアスライダ。
【請求項６】
前記凸部は、ありがた形状であり、
前記凹部は、あり溝形状である
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載のリニアスライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円筒形リニアモータを備えたリニアスライダに関する。
【背景技術】
【０００２】
図５は、従来のリニアスライダの構造の一例を表す斜視図である。図５において、リニアスライダ１００は、円筒形リニアモータを構成する固定子１０及び可動子２０と、固定子１０を固定するための固定ベース３０と、固定子１０の長手方向両端部をそれぞれ支持するための２つの支持機構１５０，１６０とを有している。
【０００３】
可動子２０は、固定子１０に挿入された状態で、テーブル２１が取り付けられている。このテーブル２１に、図示しない被移動体が取り付けられる。またテーブル２１は、２つのブロック２２，２２により支持され、ブロック２２，２２は、平行に配置された２つの案内レール２３，２３に軸方向へ移動可能に装着される。これにより、可動子２０はテーブル２１，２１を介してブロック２２，２２で支持され、２つの案内レール２３，２３に案内されつつ軸方向に沿った進行方向Ｄへ移動可能となる。
【０００４】
なお、上記と同様の構造を開示したものとしては、例えば特許文献１や特許文献２が知られている。
【０００５】
上記構成の従来のリニアスライダ１００において、固定子１０に備えられた界磁（図示せず）が発生する磁束と可動子２０に備えられた電機子コイル（図示せず）の通電電流の電流磁界による相互作用により、可動子２０は軸方向に推力を発生し、上記進行方向Ｄに移動する。このように、リニアスライダ１００は、油圧シリンダやエアシリンダでは必要な動力源となる油圧装置や空圧装置が不要であり、電源を備えるのみで軸方向に移動させることができるので、小型の装置に好適に使用することができる。
【０００６】
ここで、固定子１０の両端は支持機構１５０，１６０により固定されており、このため固定子１０が進行方向Ｄに動くことはない。しかしながら固定子１０の両端を固定すると、可動子２０の発熱により固定子１０の温度が上昇した場合に、固定子１０の軸方向の熱膨張が吸収されずに、固定子１０が径方向に撓んでしまう恐れがあった。
【０００７】
これに対応した従来の上記支持機構の一例として、例えば、特許文献３に記載のものがある。図６は、この従来のリニアスライダの支持機構の構造を表す分解斜視図であり、図７（ａ）及び図７（ｂ）はその縦断面図である。
【０００８】
図６及び図７（ａ）において、２つの支持機構１５０，１６０のうち一方側の支持機構１６０（あるいは支持機構１５０でもよい）が、平板状の固定片１５１と、固定片１５１に並設された平板状の可動片１５２と、可動片１５２に取り付けられ、固定子１０の外周面を挟持する一対のクランプ片１５３，１５４と、固定片１５１と可動片１５２との間を連結する板ばね１５５とを有する。
【０００９】
固定片１５１は、中央部に固定子１０を遊挿可能な開口１５７を有している。固定片５１は、図示しないボルトを用いてボルト孔１５８を介して固定ベース３０側に取り付けられる。可動片１５２は、中央部に固定子１０を遊挿可能な開口１５９を有する。板ばね１５５は、例えば、耐食性を備えたステンレスばね綱を用いて構成され、中央部には固定子１０を遊挿可能な開口１６０を有する。
【００１０】
固定片１５１と板ばね１５５との接続は、ボルト１６３ａ，１６３ｃを貫通孔１６１ａ，１６１ｃに差し込んで固定片１５１に設けた対応するねじ孔１６４ａ，１６４ｃと螺合させることにより行われる。同様に、可動片１５２と板ばね１５５との接続は、ボルト１６３ｂ，１６３ｄを貫通孔１６１ｂ，１６１ｄに差し込んで可動片１５２に設けた対応するねじ孔１６４ｂ，１６４ｄと螺合させることにより行われる。
【００１１】
下側のクランプ片１５３は、ボルト１７２ａ，１７２ｂを、可動片１５２に設けた対応するねじ孔１７３ａ，１７３ｂと螺合させることにより可動片１５２に取り付けられる。また、クランプ片１５３，１５４による固定子１０の固定は、各クランプ片１５３，１５４にそれぞれ設けられた概ね円弧状をなす溝１８１ａ，１８１ｂに固定子１０が嵌入された状態で、ボルト１８３ａ，１８３ｂをクランプ片１５３に設けた対応するねじ孔１８４ａ（図示省略），１８４ｂと螺合させることにより行われる。
【００１２】
上記構成の支持機構１６０において、可動子２０の発熱時に固定子１０が熱膨張により軸方向に伸びると、図７（ｂ）に示すように、クランプ片１５３，１５４とともに可動片１５２が固定子１０の伸長方向（矢印参照）に移動する。このとき、板ばね１５５は、ボルト１６３ａ及びボルト６３ｃにより固定子１０の伸長方向への移動が規制され、また、ボルト１６３ｂ及びボルト６３ｄにより上記伸長方向とは逆方向への移動が規制され、その弾性力に抗して固定子１０の軸方向に撓んで変形する。固定子１０の温度が低下して熱膨張が収まると、板ばね１５５の弾性力により再び図７（ａ）の状態に復帰する。
【００１３】
上記のように、板ばね１５５を、実質的に固定子１０の軸方向にのみ撓むように設けることで、熱膨張による固定子１０の軸心のずれを防止しつつ固定子１０を適切に支持することができる。このとき、熱膨張による固定子１０の伸びの許容量は、板ばね１５５の形状を変更することで適宜変更可能である。
【００１４】
なお、固定片１５１及び可動片１５２には、組み立て状態において、ボルト１６３ａ〜１６３ｄの頭部が移動可能に挿入される孔１９１ａ，１９１ｂ，１９１ｃ，１９１ｄが設けられている。これらの孔１９１ａ〜１９１ｄにボルト１６３ａ〜１６３ｄの頭部が摺動自在に挿入されることで、固定子１０の軸心のずれ（即ち、径方向のずれ）をより確実に防止して固定子１０を適切に支持可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開２００５−１６０２１３号公報
【特許文献２】国際公開ＷＯ２００８／０１３０５３号公報
【特許文献３】特開２００８−２７１６２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、上記従来のリニアスライダ１００の支持機構１６０のように、固定子１０の熱膨張分を板ばね１５５の変形により吸収する場合、リニアモータの動作時に可動子２０の推力の反作用として固定子１０にかかる推力を支持する、という支持機構１５０，１６０の本来の機能を十分果たすことができない。
【００１７】
そこで、以上の観点から、従来構造に対して、固定子の熱膨張による伸びを吸収できるとともに、可動子が発生する推力に抗して固定子の端部を固定ベースに対し堅固に支持できる支持機構の構成が要求されている。
【００１８】
本発明の目的は、固定子の熱膨張による伸びを吸収できるとともに、可動子が発生する推力に抗して固定子の端部を固定ベースに対し堅固に支持できる、支持機構を備えたリニアスライダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記目的を達成するために、本発明は、中空円筒形パイプの中に円柱状の永久磁石を互いに極性が同じ向きで軸方向に複数個配置した界磁からなる固定子と、前記永久磁石の磁石列と磁気的空隙を介して平行に対向配置されるとともに複数個のリング状の電機子コイルを軸線上に配置し、周囲にヨークを有した電機子からなる可動子と、を備え、前記界磁に対し前記電機子を前記軸線方向に走行するリニアスライダであって、前記固定子を固定するための固定ベースと、前記固定子の長手方向両端部をそれぞれ支持するための２つの支持機構とを有し、前記２つの支持機構のうち少なくとも一方は、前記固定子の長手方向端部に固定された第１支持部と、前記固定ベースに固定された第２支持部とを有し、前記第１支持部及び前記第２支持部のうち一方は、凸部を備えており、前記第１支持部及び前記第２支持部のうち他方は、前記凸部を軸線方向に移動可能に係合する凹部と、前記凹部の最奥部に設けられた突き当たり部と、前記突き当たり部と前記凸部との間に介在するように、前記凹部に収納配置された弾性部材とを備える。
【００２０】
本願発明においては、２つの支持機構が、固定子の長手方向両端部をそれぞれ支持する。それら２つのうち少なくとも一方の支持機構は、固定子の端部に固定された第１支持部と、固定ベースに固定された第２支持部とを備えている。それら第１及び第２支持部のうち一方に備えられた凸部と、他方に備えられた凹部とが係合する。この係合では、凸部と凹部は互いに軸線方向に移動可能となっている。これにより、電機子への通電により固定子が軸線方向に熱膨張し、固定子及び第１支持部の位置が当該固定子の伸び方向に変化した場合でも、第１支持部と第２支持部との間の相対的な変位を許容することができる。
【００２１】
またこのとき、凹部の最奥部に突き当たり部が設けられ、この突き当たり部と凸部との間には弾性部材が介在配置されている。これにより、凹部に凸部を係合させた状態において、凸部には、凹部内に配置された弾性部材からの押し戻し方向への付勢力が常に加わっている。この結果、上記のように凸部を凹部内において移動可能としつつも、弾性部材により加えられる付勢力を適宜に設定することによって、当該付勢力により、電機子の走行時に固定子より第１支持部に加わる推力に対抗し当該推力を受け止めることができる。この結果、上記推力に抗して固定子の端部を固定ベースに対し堅固に支持する、という支持機構の本来の機能を確実に果たすことができる。
【００２２】
好ましくは、前記第１支持部が、前記凸部を備えており、前記第２支持部が、前記凹部と、前記突き当たり部と、前記弾性部材とを備えている。
【００２３】
これにより、固定子が軸線方向に熱膨張した時には、固定子に固定された第１支持部の凸部が、固定ベースに固定された第２支持部の凹部に対してスライドすることで、相対変位を許容する。電機子の走行時には、固定子より第１支持部の凸部に加わる推力を、第２支持部の凹部に設けたばね部材の付勢力を用いて受け止めることができる。
【００２４】
また好ましくは、前記弾性部材は、予め所定の予圧を付与された状態で、前記凹部に配置されている。
【００２５】
これにより、予圧を付与されたばね部材が復帰しようとする付勢力を確実に用いて、電機子の走行時に固定子より第１支持部に加わる推力を確実に受け止めることができる。
【００２６】
また好ましくは、前記所定の予圧が、前記界磁に対する前記電機子の走行時に前記第１支持部に加わる推力より大きく、前記電機子への通電に伴う前記固定子の熱膨張による膨張力より小さくなるように、設定されている。
【００２７】
予圧を推力より大きく膨張力より小さく設定することにより、固定子の熱膨張時には凸部を凹部内にて移動させて相対変位を確実に許容し、電機子の走行時の推力発生時には凸部を凹部内で移動不可として相対変位を確実に禁止し、推力を堅固に受け止めることができる。
【００２８】
また好ましくは、前記凸部は、横断面形状が略Ｔ字形の突起であり、前記凹部は、横断面形状が略Ｔ字形の溝である。
【００２９】
これにより、互いに軸線方向にのみ移動可能な凹凸嵌合形状を容易かつ確実に実現することができる。
【００３０】
また好ましくは、前記凸部は、ありがた形状であり、前記凹部は、あり溝形状である。
【００３１】
これにより、互いに軸線方向にのみ移動可能な凹凸嵌合形状を容易かつ確実に実現することができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、固定子の熱膨張による伸びを吸収できるとともに、可動子が発生する推力に抗して固定子の端部を固定ベースに対し堅固に支持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施形態によるリニアスライダの構造を表す斜視図である。
【図２】固定子及び可動子の詳細構造を表す縦断面図である。
【図３】支持機構の詳細構造を表す拡大斜視図である。
【図４】支持機構の要部分解斜視図である。
【図５】従来のリニアスライダの構造の一例を表す斜視図である。
【図６】従来のリニアスライダの支持機構の構造を表す分解斜視図である。
【図７】従来のリニアスライダの支持機構の構造を表す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明の実施の形態を図を参照して説明する。なお、上記図５〜図７において説明した従来技術と同等の部分には同一の符号を付し、適宜、説明を省略又は簡略化する。
【００３５】
図１は、本実施形態によるリニアスライダの構造を表す斜視図であり、上記図５に対応する図である。図１において、本実施形態のリニアスライダ１では、固定子１０及び可動子２０を有している。
【００３６】
図２は、固定子１０及び可動子２０の詳細構造を表す縦断面図である。
【００３７】
図２において、固定子１０は、軸方向に伸びる非磁性体の中空円筒状のパイプ１１の内径側に円柱状のボールピース１４を間に挟むようにして、磁気装荷手段となる円柱状の永久磁石１３を互いに極性が同じ向きで軸方向に複数個挿設し、接着により各々を貼り合せて界磁１２を構成している。互いに極性が同じ向きで軸方向に挿設した永久磁石１３の間にポールピース１４を設けた目的は、永久磁石１３とポールピース１４との間に働く吸引力を利用してより強固にパイプ１１内で永久磁石１３を固定するためである。また、パイプ１１の軸方向両端には、エンドブロック１５が設けられ、各永久磁石１３間に生じる反発力を抑えるようになっている。
【００３８】
また、可動子２０は、複数個のリング状の電機子コイル２４を軸線上に配置した、電機子２５を備えている。電機子コイル２４は、上記界磁１２の永久磁石１３の磁石列と磁気的間隙を介して平行に対向配置されている。電機子２５はまた、電機子コイル２４の周囲に、磁性体からなる円筒形のヨーク２６と、ケーシング２７とを備えている。電機子コイル２４は複数個軸方向に並べられ、ヨーク２６の内側に設けられている。ケーシング２７は、ヨーク２６の外側に取り付けられている。
【００３９】
図１に戻り、また本実施形態のリニアスライダ１では、上記の支持機構１５０，１６０に代えて、新たに支持機構５０，６０を設けている。
【００４０】
図３は、支持機構６０の詳細構造を表す拡大斜視図であり、図４は、支持機構６０の要部の分解斜視図である。
【００４１】
図３、図４、及び上記図１において、支持機構６０は、固定子１０の長手方向端部を固定する第１支持部７０と、固定ベース３０に固定された第２支持部８０とを有している。
【００４２】
第１支持部７０は、固定子１０を上下から挟みつつ互いにボルト７４により固定される、上支持部７１及び下支持部７２により構成されている。詳細には、上支持部７１に設けた貫通孔（図示せず）に貫通させた４つのボルト７４を、下支持部７２の対応する４箇所に設けたねじ孔７２ａ（図４参照）にそれぞれ螺合することにより、上支持部７１と下支持部７２とが固定子１０を挟んで互いに結合される。また、下支持部７２の最下部には、凸部７３が備えられている。凸部７３は、図３及び図４に示すように、横断面形状が略逆Ｔ字状の突起形状となっている。なお、凸部７３の上記軸方向に沿った長さＬ１は、下支持部７２全体の上記軸方向に沿った長さＬ０よりも短くなっている（図４参照）。
【００４３】
第２支持部８０は、４つの貫通孔８１（図４参照）にそれぞれ貫通させたボルト８２（図３、図１参照）を、固定ベース３０の対応する４箇所に設けたねじ孔（図示せず）にそれぞれ螺合することにより、固定ベース３０に固定される。また、第２支持部８０は、凸部７３を軸線方向に移動可能に係合する凹部８３と、凹部８３の最奥部に設けられた突き当たり部８４とを備えている。凹部８３は、図４に示すように、上記凸部７３と嵌合可能な形状、すなわち、横断面形状が略逆Ｔ字状の溝となっている。また、凹部８３の上記軸方向に沿った長さＬ２は、凸部７３の上記軸方向に沿った長さＬ１と略等しくなっており、第２支持部８０全体の上記軸方向に沿った長さＬ３よりも短くなっている。このＬ２＜Ｌ３の関係により、上記突き当たり部８４分の厚みが確実に確保されている。
【００４４】
そして、凹部８３の中には、凸部７３の挿入時（図４中の矢印参照）に、突き当たり部８４と凸部７３の奥側の端面７３Ａとの間に介在するように、弾性部材としてのばね９０が収納配置されている。このとき、ばね９０は、突き当たり部８４と凸部７３の端面７３Ａとの間により圧縮されることで、予め所定の予圧が付与されるようになっている。この予圧の付与の際には、固定子１０に加わる２つの力が配慮される。すなわち、１つは、リニアモータの動作時において電機子２５への通電に伴う固定子１０の熱膨張により発生する膨張力である。もう１つは、リニアモータの動作時に可動子２０が発生する推力の反作用として固定子１０に加わる推力である。本実施形態では、ばね９０の予圧力が、上記固定子１０から第１支持部７０に加わる上記推力よりも大きく、かつ、上記固定子１０の熱膨張により固定子１０から第１支持部７０に加わる上記膨張力より小さくなるように、各部の寸法やばね定数が適宜に決定されている。
【００４５】
なお、上記は支持機構６０を例にとって詳細構造を説明したが、支持機構５０についても同様の構成となっている。
【００４６】
以上説明したように、本実施形態のリニアスライダ１においては、固定子１０の長手方向両端部をそれぞれ支持する支持機構５０，６０が、第１支持部７０と、第２支持部８０とを備えている。そして、第１支持部７０に備えられた凸部７３と、第２支持部に備えられた凹部８３とが、互いに軸線方向に移動可能に係合する。これにより、リニアモータの動作時に電機子２５への通電により固定子１０が軸線方向に熱膨張し、固定子１０及び第１支持部７０の位置が当該固定子１０の伸び方向に変化した場合でも、第１支持部７０と第２支持部８０との間の相対的な変位を許容することができる。
【００４７】
このとき、凹部８３の最奥部に設けた突き当たり部８４と凸部７３の端面７３Ａとの間にばね９０が介在配置されることで、凹部８３と凸部７３との係合状態において、凸部７３に対しばね９０からの押し戻し方向への付勢力が常に加わる。この結果、ばね９０により加えられる付勢力を適宜に設定することによって、当該付勢力により、リニアモータ動作時の電機子２５の走行の際に固定子１０より第１支持部７０に加わる推力に対抗し当該推力を受け止めることができる。この結果、上記のように凸部７３を凹部８３内において移動可能とし熱膨張を許容可能としつつも、上記推力に抗して固定子１０の端部を固定ベース３０に対し堅固に支持する、という支持機構本来の機能を確実に果たすことができる。
【００４８】
また、本実施形態では特に、ばね９０が予め所定の予圧を付与された状態で、凹部８３に配置されていることにより、予圧を付与されたばね９０が復帰しようとする付勢力を確実に用いて、リニアモータの動作時に上記第１支持部７０に加わる推力を確実に受け止めることができる。さらにその際、本実施形態では特に、当該予圧が、第１支持部７０に加わる上記推力より大きく設定され、また電機子への通電に伴う固定子１０の熱膨張による上記膨張力より小さくなるように、設定されている。予圧を上記推力より大きく上記膨張力より小さく設定することにより、固定子１０の熱膨張に対しては凸部７３を凹部８３内にて移動させて相対変位を確実に許容しつつ、推力発生時には凸部７３を凹部８３内で移動不可として相対変位を確実に禁止し上記推力を堅固に受け止めることができる。
【００４９】
また、本実施形態では特に、凸部７３と凹部８３とを、Ｔ字状の横断面形状とすることにより、互いに軸線方向にのみ移動可能な凹凸嵌合形状を容易かつ確実に実現することができる。なお、このようなＴ字状形状に限られず、例えば、凸部７３を周知のありがた形状とし、凹部８３をこれに嵌合するあり溝形状としてもよい。この場合も同様の効果を得る。
【００５０】
なお、上記においては、第１支持部７０に凸部７３を設けるとともに第２支持部８０に凹部８３を設け、これら凸部７３と凹部８３とを係合させて互いに軸線方向に移動可能としたが、これに限られない。すなわち、上記とは逆に、固定子１０を固定する第１支持部７０に凹部を設け、固定ベース３０に固定される第２支持部８０に凸部を設け、それら凸部と凹部とを係合させて互いに軸線方向に移動可能としてもよい。この場合、第１支持部７０に設けた凹部の最奥部に上記同様の突き当たり部を設け、当該突き当たり部と第２支持部８０に設けた凸部との間にばね９０を介在配置すればよい。この場合も、上記同様の効果を得る。
【００５１】
また、上記では、２つの支持機構５０，６０の両方において、凹部内でばね９０を用いて弾性的に固定子１０を支持する構造としたが、これに限られない。すなわち、２つの支持機構５０，６０のうちいずれか一方のみを凹部内でばね９０を用いた上記弾性的な支持構造とし、他方については通常通りの固定的な固定子１０の支持としても構わない。すなわち、少なくとも一方の支持機構を上記弾性的な支持構造とすれば足りるものである。
【００５２】
また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。
【００５３】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。
【符号の説明】
【００５４】
１            リニアスライダ
１０          固定子
１１          パイプ
１２          界磁
１３          永久磁石
２０          可動子
２４          電機子コイル
２５          電機子
２６          ヨーク
３０          固定ベース
５０          支持機構
６０          支持機構
７０          第１支持部
７３          凸部
８０          第２支持部
８３          凹部
８４          突き当たり部
９０          ばね（弾性部材）
【図１】
2011223700.tif 000003
【図２】
2011223700.tif 000004
【図３】
2011223700.tif 000005
【図４】
2011223700.tif 000006
【図５】
2011223700.tif 000007
【図６】
2011223700.tif 000008
【図７】
2011223700.tif 000009