(57)【要約】【課題】優れた撹拌脱泡効果を発揮するとともに、構造が簡単かつコンパクトで、ランニングコストの低減化も図ることができる撹拌・脱泡技術を提供する。【解決手段】単一の駆動モータ１１により、垂直な回転主軸６に対して所定の傾斜角度αをもって傾斜支持された撹拌槽１を、回転主軸６まわりに所定の速度をもって公転させるとともに、回転主軸６と平行に配された回転支軸２０まわりに低速度で回転させることにより、撹拌槽１内の被処理液体Ｌに与える遠心力の作用方向に対して撹拌槽１の傾斜方向を変動させる。これにより、撹拌槽１の公転により生じる遠心力が、被処理液体Ｌに対して単なる水平方向の動きに止まらず、さらに撹拌槽１の傾斜内面の傾斜方向の変動との協働作用による上下方向の動きも誘発し、被処理液体Ｌは、撹拌槽１内を上下左右方向へ流動（３次元運動）する。【選択図】図２
2011235201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理液体が充填収容された撹拌槽を水平方向に公転させることにより、撹拌槽内の被処理液体に遠心力を与えて、この被処理液体中に混入する気泡を脱泡しながら被処理液体を攪拌する攪拌・脱泡方法であって、
単一駆動源により、垂直な公転軸に対して所定の傾斜角度をもって傾斜支持された撹拌槽を、前記公転軸まわりに所定の速度をもって公転させるとともに、前記公転軸と平行に配された垂直軸まわりに低速度で回転させることにより、前記撹拌槽内の被処理液体に与える遠心力の作用方向に対して前記撹拌槽の傾斜方向を変動させる
ことを特徴とする液体の撹拌・脱泡方法。
【請求項２】
前記撹拌槽として、気密構造を備える真空容器を用いて、
前記撹拌槽内に被処理液を充填収容して密封した後、撹拌槽内を個別に真空状態として、撹拌工程を行うようにした
ことを特徴とする請求項１に記載の液体の撹拌・脱泡方法。
【請求項３】
前記撹拌槽の回転速度を、前記公転速度の−１／２０〜１／２０に設定する
ことを特徴とする請求項１に記載の液体の撹拌・脱泡方法。
【請求項４】
前記撹拌槽の傾斜角度が１０度〜４５度である
ことを特徴とする請求項１に記載の液体の撹拌・脱泡方法。
【請求項５】
前記撹拌槽の公転速度は１００〜３００回転／分である
ことを特徴とする請求項１に記載の液体の撹拌・脱泡方法。
【請求項６】
前記撹拌槽の公転速度を、撹拌工程の初期から仕上期に向けて低速から高速に変更するようにした
ことを特徴とする請求項５に記載の液体の撹拌・脱泡方法。
【請求項７】
前記撹拌工程の途中で、前記撹拌槽の公転方向を逆転させるようにした
ことを特徴とする請求項６に記載液体の撹拌・脱泡方法。
【請求項８】
被処理液体が充填収容された撹拌槽が水平方向に公転することにより、撹拌槽内の被処理液体に遠心力が与えられて、この被処理液体中に混入する気泡が脱泡されながら被処理液体が攪拌される攪拌・脱泡装置であって、
垂直な公転軸に対して、筒形容器からなる撹拌槽が所定の傾斜角度をもって傾斜支持され、
前記撹拌槽は、単一駆動源により、前記公転軸まわりに公転されるとともに、この公転軸と平行に配された垂直軸まわりに低速度で回転されて、前記撹拌槽内の被処理液体に与えられる遠心力の作用方向に対して前記撹拌槽の傾斜方向が変動する構成とされている
ことを特徴とする液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項９】
被処理液体が充填収容された撹拌槽が水平方向に公転することにより、撹拌槽内の被処理液体に遠心力が与えられて、この被処理液体中に混入する気泡が脱泡されながら被処理液体が攪拌される攪拌・脱泡装置であって、
前記撹拌槽は、気密構造を備える真空容器の形態とされ、
前記撹拌槽内を個別に真空状態とする真空手段を備えてなり、
この真空手段は、前記撹拌槽に個別にかつ着脱可能に取付け接続されて、この撹拌槽内と連通可能な真空配管を備える
ことを特徴とする液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項１０】
前記公転軸を構成する回転主軸に対して水平に取り付けられて、所定の速度をもって回転駆動される回転テーブルと、
この回転テーブル上に回転可能に支持されて前記垂直軸を構成する回転支軸に、傾斜した状態で取り付けられた前記撹拌槽と、
前記回転主軸と回転支軸とを駆動連結する遊星歯車機構と、
前記回転主軸を回転駆動する駆動モータとを備えてなり、
この駆動モータによる前記回転主軸の回転駆動により、前記撹拌槽は、前記回転主軸まわりに所定の速度をもって公転されるとともに、前記回転支軸まわりに前記公転速度よりも大幅に減速されたゆっくりした所定の回転速度で回転されて、前記撹拌槽内の被処理液体に与えられる遠心力の作用方向に対して前記撹拌槽の傾斜方向が変動する構成とされている
ことを特徴とする請求項８または９に記載の液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項１１】
前記遊星歯車機構は、前記回転主軸と同心状にかつ静止状に設けられた前記太陽歯車と、前記回転支軸に同心状にかつ一体的に設けられた前記遊星歯車と、これら太陽歯車および遊星歯車の間に噛合状態で介装されるとともに、前記回転テーブルに回転可能に支持される少なくとも一つの中間歯車とを備えてなる
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項１２】
前記太陽歯車と前記遊星歯車とが、単一の前記中間歯車を介して駆動連結されている
ことを特徴とする請求項１１に記載の液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項１３】
前記太陽歯車と前記遊星歯車とが、二つの前記中間歯車を介して駆動連結されている
ことを特徴とする請求項１１に記載の液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項１４】
前記撹拌槽の回転速度が、前記公転速度の−１／２０〜１／２０に設定されている
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項１５】
前記撹拌槽の傾斜角度が１０度〜４５度である
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項１６】
前記撹拌槽の公転速度は１００〜３００回転／分である
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項１７】
前記駆動モータを駆動制御する制御手段を備えてなり、
この制御手段は、前記撹拌槽の公転速度が撹拌工程の初期から仕上期に向けて低速から高速に変更するように、前記駆動モータを駆動制御する
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項１８】
前記制御手段は、前記撹拌工程の途中で、前記撹拌槽の公転方向を逆転させるように、前記駆動モータを駆動制御する
ことを特徴とする請求項１７に記載液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項１９】
前記真空手段は、前記撹拌槽の配設数に対応して設けられた複数本の前記真空配管を備え、これら真空配管の先端接続部には、前記撹拌槽にそれぞれ個別にかつ着脱可能に接続連通される管継手構造を備える
ことを特徴とする請求項９に記載の液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項２０】
前記撹拌槽内に取出し可能に収納固定される液体容器を備え、
この液体容器は、その天部に前記撹拌槽内に連通可能な連通穴が設けられている
ことを特徴とする請求項９に記載の液体の撹拌・脱泡装置。
【請求項２１】
前記液体容器の内周面は、多角形状断面を有する
ことを特徴とする請求項２０に記載の液体の撹拌・脱泡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体の撹拌・脱泡方法および装置に関し、さらに詳細には、複数種類の液体、液体と粉末、あるいはこれらの混合物について、その内部に混入している気泡を脱泡しながら攪拌処理する攪拌・脱泡技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数種類の液体、液体と粉末、あるいはこれらの混合物について、攪拌・脱泡する従来技術としては、これら複数種類の液体、液体と粉末、あるいはこれらの混合物（以下、被処理液体と称する。）が充填収容された撹拌槽を公転させることにより、あるいはさらにこの公転に加えて撹拌槽を自転させることにより、撹拌槽内の被処理液体に遠心力を与えて、この被処理液体中に混入している気泡を脱泡しながら被処理液体を攪拌する方法がある（例えば、特許文献１および特許文献２参照）。
【０００３】
ところが、このように大気圧下で撹拌槽を公転させることによる、さらにはこの公転に自転を加えることによる遠心力作用では、大気圧下で被処理液体中に混入した気泡までも完全に脱泡することは困難ないしは不可能であり、したがって、被処理液体にあまり高い精度の脱泡効果を要求されない場合には有効に機能する反面、高い精度の脱泡効果が要求される場合には十分に機能し得ないという問題があった。
【０００４】
この点に関して、上記撹拌槽の公転（さらには自転の併用）による遠心力作用に加えて、この遠心力作用による撹拌・脱泡を真空状態下で行うようにした方法が知られている（例えば、特許文献３参照）。
【０００５】
この真空技術を利用した攪拌・脱泡装置は、図１０に示すように、被処理液体が収容された撹拌槽ａ、ａが、回転駆動するアーム体ｂ上に自転可能に設けられるとともに、これら撹拌槽ａ、ａおよびアーム体ｂが箱状の真空チャンバｃ内に収納されてなり、この真空チャンバｃ内が、真空ポンプｄを備える真空手段ｅにより真空状態とされる構造とされている。
【０００６】
そして、真空手段ｅの真空ポンプｄにより、真空チャンバｃ内つまりは真空チャンバｃ内に設けられた撹拌槽ａ、ａ内が真空状態とされ、この真空状態下で、撹拌槽ａ、ａが、駆動モータｆによるアーム体ｂの回転動作による公転と、自転制御装置ｇによる自転とにより、撹拌槽ａ、ａ内の被処理液体に遠心力が与えられて、この被処理液体中に混入する気泡が脱泡されながら被処理液体が攪拌されることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平６−７１１１０号公報
【特許文献２】特開平７−２８９８７３号公報
【特許文献３】特許第３６２７２２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、このような真空状態下で撹拌槽ａ、ａを公転しながら自転させる方法・装置では、真空チャンバｃ内を真空状態に保つための構造が複雑かつ大掛かりとなり、装置コスト、ランニングコストの高騰を招いていた。
【０００９】
すなわち、図１０に示すように、真空チャンバｃ内には、装置の主要部である撹拌槽ａ、ａおよびアーム体ｂが装着されることから、真空チャンバｃの内容積つまり真空状態とすべき空間が大きくて、真空ポンプｄの大容量化を招いており、また、これら回転系ａ、ａ、ｂが真空チャンバｃ外部に設けられた駆動源である駆動モータｆおよび自転制御装置ｇと駆動連結されていることから、これら駆動連結部の気密性を保持するためのシール構造も複雑かつ大掛かりとなる。その結果、装置構造が大型かつ複雑で、装置コストの上昇を招くととともに、ランニングコストも上昇傾向にあった。
【００１０】
また、従来のこの種の撹拌槽の公転・自転作用を利用した撹拌・脱泡装置においては、公転用の回転駆動源と自転用の回転駆動源の双方を必要として、この点においても、装置構造の大型化、複雑化を招き、やはり装置コスト、ランニングコストの高騰を招いていた。
【００１１】
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、従来の液体の攪拌・脱泡技術と遜色のない優れた撹拌脱泡効果を発揮するとともに、構造が簡単かつコンパクトで、ランニングコストの低減化も図ることができる撹拌・脱泡方法を提供することにある。
【００１２】
また、本発明の他の目的とするところは、上記撹拌・脱泡方法を有効に実施する構成を備えた撹拌・脱泡装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明の液体の撹拌・脱泡方法は、被処理液体が充填収容された撹拌槽を水平方向に公転させることにより、撹拌槽内の被処理液体に遠心力を与えて、この被処理液体中に混入する気泡を脱泡しながら被処理液体を攪拌する攪拌・脱泡方法であって、単一の駆動源により、垂直な公転軸に対して所定の傾斜角度をもって傾斜支持された撹拌槽を、上記公転軸まわりに所定の速度をもって公転させるとともに、上記公転軸と平行に配された垂直軸まわりに低速度で回転させることにより、上記撹拌槽内の被処理液体に与える遠心力の作用方向に対して上記撹拌槽の傾斜方向を変動させることを特徴とする。
【００１４】
好適な実施態様として、以下の構成が採用される。
（１）上記撹拌槽として、気密構造を備える真空容器を用いて、前記撹拌内に被処理液を充填収容して密封した後、撹拌槽内を個別に真空状態として、撹拌工程を行うようにしたもの。
【００１５】
（２）上記撹拌槽の回転速度を、上記公転速度の−１／２０〜１／２０に設定するもの。
【００１６】
（３）上記撹拌槽の傾斜角度が１０度〜４５度であるもの。
【００１７】
（４）上記撹拌槽の公転速度は１００〜３００回転／分であるもの。
【００１８】
（５）上記撹拌槽の公転速度を、撹拌工程の初期から仕上期に向けて低速から高速に変更するようにしたもの。
【００１９】
（６）上記撹拌工程の途中で、上記撹拌槽の公転方向を逆転させるようにしたもの。
【００２０】
また、本発明の第１の液体の撹拌・脱泡装置は、上記撹拌・脱泡方法を実行するもので、被処理液体が充填収容された撹拌槽が水平方向に公転することにより、撹拌槽内の被処理液体に遠心力が与えられて、この被処理液体中に混入する気泡が脱泡されながら被処理液体が攪拌される攪拌・脱泡装置であって、垂直な公転軸に対して、筒形容器からなる撹拌槽が所定の傾斜角度をもって傾斜支持され、上記撹拌槽は、単一の駆動源により、上記公転軸まわりに公転されるとともに、この公転軸と平行に配された垂直軸まわりに低速度で回転されて、上記撹拌槽内の被処理液体に与えられる遠心力の作用方向に対して上記撹拌槽の傾斜方向が変動する構成とされていることを特徴とする。
【００２１】
さらに、本発明の第２の液体の撹拌・脱泡装置は、同じく上記撹拌・脱泡方法を実行するもので、被処理液体が充填収容された撹拌槽が水平方向に公転することにより、撹拌槽内の被処理液体に遠心力が与えられて、この被処理液体中に混入する気泡が脱泡されながら被処理液体が攪拌される攪拌・脱泡装置であって、上記撹拌槽は、気密構造を備える真空容器の形態とされ、上記撹拌槽内を個別に真空状態とする真空手段を備えてなり、この真空手段は、上記撹拌槽に個別にかつ着脱可能に取付け接続されて、この撹拌槽内と連通可能な真空配管を備えることを特徴とする。
【００２２】
上記第１および第２の液体の撹拌・脱泡装置の好適な実施態様として、以下の構成が採用される。
【００２３】
（１）上記公転軸を構成する回転主軸に対して水平に取り付けられて、所定の速度をもって回転駆動される回転テーブルと、この回転テーブル上に回転可能に支持されて上記垂直軸を構成する回転支軸に、傾斜した状態で取り付けられた上記撹拌槽と、上記回転主軸と回転支軸とを駆動連結する遊星歯車機構と、上記回転主軸を回転駆動する駆動モータとを備えてなり、この駆動モータによる上記回転主軸の回転駆動により、上記撹拌槽は、上記回転主軸まわりに所定の速度をもって公転されるとともに、上記回転支軸まわりに上記公転速度よりも大幅に減速されたゆっくりした所定の回転速度で回転されて、上記撹拌槽内の被処理液体に与えられる遠心力の作用方向に対して上記撹拌槽の傾斜方向が変動する構成とされている。
【００２４】
（２）上記遊星歯車機構は、上記回転主軸と同心状にかつ静止状に設けられた上記太陽歯車と、上記回転支軸に同心状にかつ一体的に設けられた上記遊星歯車と、これら太陽歯車および遊星歯車の間に噛合状態で介装されるとともに、上記回転テーブルに回転可能に支持される少なくとも一つの中間歯車とを備えてなる。
【００２５】
（３）上記太陽歯車と上記遊星歯車とが、単一の上記中間歯車を介して駆動連結されている。
【００２６】
（４）上記太陽歯車と上記遊星歯車とが、二つの上記中間歯車を介して駆動連結されている。
【００２７】
（５）上記撹拌槽の回転速度が、上記公転速度の−１／２０〜１／２０に設定されている。
【００２８】
（６）上記撹拌槽の傾斜角度が１０度〜４５度である。
【００２９】
（７）上記撹拌槽の公転速度は１００〜３００回転／分である。
【００３０】
（８）上記駆動モータを駆動制御する制御手段を備えてなり、この制御手段は、上記撹拌槽の公転速度が撹拌工程の初期から仕上期に向けて低速から高速に変更するように、上記駆動モータを駆動制御する。
【００３１】
（９）上記制御手段は、上記撹拌工程の途中で、上記撹拌槽の公転方向を逆転させるように、上記駆動モータを駆動制御する。
【００３２】
（１０）上記真空手段は、上記撹拌槽の配設数に対応して設けられた複数本の上記真空配管を備え、これら真空配管の先端接続部には、上記撹拌槽にそれぞれ個別にかつ着脱可能に接続連通される管継手構造を備える。
【００３３】
（１１）上記撹拌槽内に取出し可能に収納固定される液体容器を備え、この液体容器は、その天部に上記撹拌槽内に連通可能な連通穴が設けられている。
【００３４】
（１２）上記液体容器の内周面は、多角形状断面を有する。
【発明の効果】
【００３５】
本発明の撹拌・脱泡方法によれば、垂直な公転軸に対して所定の傾斜角度をもって傾斜支持された撹拌槽を、単一の駆動源により、上記公転軸まわりに所定の速度をもって公転させるとともに、上記公転軸と平行に配された垂直軸まわりに低速度で回転させることにより、上記撹拌槽内の被処理液体に与える遠心力の作用方向に対して上記撹拌槽の傾斜方向を変動させるようにしたから、撹拌槽の公転により生じる遠心力が、被処理液体に対して単なる水平方向の動きに止まらず、さらに撹拌槽の傾斜内面の傾斜方向の変動との協働作用による上下方向の動きも誘発する。
【００３６】
その結果、被処理液体は、上記撹拌槽内を上下左右方向へ流動（３次元運動）して、被処理液体中に混入している気泡が液体と有効に分離されながら（脱泡作用）、液体の撹拌が有効に行われる（攪拌作用）。
【００３７】
この場合、上記撹拌槽の回転速度を、その公転速度の−１／２０〜１／２０という低速またはゼロに設定することにより、撹拌槽の回転により生じる遠心力が、撹拌槽の公転により生じる遠心力を相殺することなく最大限度有効に発揮させて、円滑な３次元運動を確保することができる。
【００３８】
しかも、上記撹拌槽の公転と回転を単一の駆動源により行うことにより、駆動源の小型化・省力化を図り、ひいては、装置構造の小型化、簡素化を促進して、装置コスト、ランニングコストの低減化を実現することができる。
【００３９】
また、上記撹拌槽として、気密構造を備える真空容器を用いて、この撹拌槽内に被処理液を充填収容して密封した後、撹拌槽内を個別に真空状態として、撹拌工程を行うようにすることにより、大気圧下で被処理液体中に混入している気泡も完全に脱泡することができ、高い精度の脱泡効果が要求される被処理液の処理にも十分に機能を発揮し対応し得る。
【００４０】
しかも、本来真空状態にする必要がある撹拌槽内を個別に真空にする方式としたことにより、従来のように真空チャンバ内に撹拌槽（通常複数個）を含めた回転系を装着して、撹拌槽内を真空状態にする方式に比較して、真空状態とすべき空間がはるかに小さく、真空手段の真空駆動源の容量の小型化を図ることができるとともに、真空空間の気密構造も簡素化でき、この点からも、装置構造の小型化、簡素化を促進して、装置コスト、ランニングコストの低減化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態１である液体の撹拌・脱泡装置を示す正面図である。
【図２】同じく同撹拌・脱泡装置の内部構造を示す正面断面図である。
【図３】同じく同撹拌・脱泡装置の開閉蓋を取り除いて示す平面図である。
【図４】同じく同撹拌・脱泡装置の一部を切開するとともに図２のIV−IV線に沿った平面断面図である。
【図５】同撹拌・脱泡装置の撹拌槽の構造を示す一部断面正面図である。
【図６】同撹拌・脱泡装置の撹拌槽における真空配管の接続構造を拡大して示す断面図である。
【図７】同撹拌・脱泡装置の真空装置における配管仮置き部の構造を一部断面で示す正面図である。
【図８】同撹拌・脱泡装置の真空装置における液体フィルタの構造を示す正面断面図である。
【図９】同撹拌・脱泡装置の真空装置の全体構成を示すブロック線図である。
【図１０】従来の液体の撹拌・脱泡装置を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、図面全体にわたって同一の符号は同一の構成部材または要素を示している。
【００４３】
実施形態１
本発明に係る液体の撹拌・脱泡装置が図１〜図９に示されており、この撹拌・脱泡装置は、具体的には、被処理液体Ｌとして例えば塗料や印刷用インクを撹拌・脱泡するためのものである。
【００４４】
この撹拌・脱泡装置は、複数（図示の場合は４つ）の撹拌槽１、１、…、これら撹拌槽１、１、…の公転手段を構成する回転テーブル２、撹拌槽１、１、…の回転手段を構成する遊星歯車機構３、および撹拌槽１、１、…の内部を真空状態とする真空手段を構成する真空装置４を主要部として構成され、これら構成部１、２、３、４が装置ケース５内に装置されてなる。なお、装置ケース５において、５０は開閉可能な蓋、５１は装置ケース５の移動手段としての自在キャスタ、および５２は装置ケース５を水平状態に姿勢調整するためのレベルアジャスタをそれぞれ示している。
【００４５】
回転テーブル２は円盤状のもので、垂直な回転主軸６に対して水平に取り付けられて、所定の速度をもって回転駆動される。
【００４６】
図示の実施形態においては、装置ケース５の基台フレーム７の中心位置に主軸台８が設けられ、この主軸台８に、上記回転主軸６が、回転軸受９、９を介して垂直状態で回転可能に軸支されており、この回転主軸６の上端部に、上記回転テーブル２が固定金具１０により水平状態で固定的に取付け支持されている。
【００４７】
また、上記回転主軸６の下部が軸支される主軸台８には、回転駆動源としての駆動モータ１１が水平状態で取り付けられており、具体的には図示しないが、この駆動モータ１１の出力軸に、上記回転主軸６の下部が直接的に歯車連結されている。
【００４８】
そして、駆動モータ１１の回転駆動により、上記回転主軸６と共に、上記回転テーブル２が水平方向へ所定の回転速度をもって回転駆動される。
【００４９】
撹拌槽１は気密構造を備える真空容器の形態とされ、具体的には、図５に示すように、開閉可能な蓋体１ａにより密閉可能な筒形容器からなる。蓋体１ａは、施蓋時における容器本体１ｂとの嵌合部にＯリング１５が介装されて、この部位の気密性が確保されている。撹拌槽１の具体的な気密構造については、真空装置４との関係で後述する。
【００５０】
撹拌槽１は、上記回転テーブル２の外周位置に円周方向へ等間隔をもって複数個取り付けられている。図示の実施形態の撹拌槽１は、その内周面が円筒面とされた円筒容器であり、回転テーブル２上に４つ装着される配置構成とされている。
【００５１】
つまり、回転テーブル２の外周位置には、４本の回転支軸２０、２０、…が周方向へ等間隔をもって配置され、各回転支軸２０は、軸受２１、２１により垂直状態で、つまり上記回転主軸６と平行状態で回転可能に軸支され、この回転支軸２０の上端部２０ａに、上記撹拌槽１を取外し可能に収容支持する撹拌槽受け２２が傾斜状態で取付け固定されている。２３は撹拌槽１を撹拌槽受け２２に固定させるための押え金具を示しており、この押え金具２３の具体的な締付けについては、真空装置４および撹拌槽１の気密構造との関係で後述する。
【００５２】
上記撹拌槽受け２２は、図２に示すように、その底部が上記回転支軸２０の上端部２０ａに固設されるとともに、その上部が開放されて、撹拌槽１を上側から収容保持される形状とされている。そして、この撹拌槽受け２２に撹拌槽１が収容された状態において、撹拌槽１は、その軸線が上記回転主軸６の軸線に対して所定角度αだけ傾斜するように構成されている。
【００５３】
上記撹拌槽１の軸線の傾斜角度αは、具体的には１０度〜４５度、望ましくは１２度〜２０度に設定され、図示の実施形態においては、１５度の傾斜角度αとされている。
【００５４】
このように傾斜角度αが設定されるのは、傾斜角度αが１０度よりも小さい場合、および４５度よりも大きい場合、撹拌槽１の内周傾斜面と後述する撹拌槽１の公転により生じる遠心力との協働作用が確実に得られないからである。
【００５５】
遊星歯車機構３は、前述したように撹拌槽１の回転手段を構成するもので、少なくとも、上記回転主軸６と同心状に設けられた太陽歯車２５と、上記回転支軸２０に同心状に設けられた遊星歯車２６とを含んでなり、具体的には、上記太陽歯車２５、上記遊星歯車２６、およびこれら太陽歯車２５および遊星歯車２６の間に噛合状態で介装される少なくとも一つの中間歯車２７とを備えてなる。中間歯車２７の配設数は、遊星歯車２６つまり撹拌槽１の回転方向と回転速度を考慮して設定される。図示の実施形態においては、太陽歯車２５と遊星歯車２６とが単一の中間歯車２７を介して駆動連結されて、遊星歯車２６つまり撹拌槽１が公転方向（回転テーブル２の回転方向）と逆方向へ回転する構成とされている。
【００５６】
太陽歯車２５は、上記回転テーブル２の回転主軸６と同心状にかつ静止状に設けられており、具体的には、図２に示すように、軸受２８、２８を介して上記回転主軸２５に相対回転可能に軸支されるとともに、図示しない回止め手段によって、その回転運動が静止固定されている。
【００５７】
遊星歯車２６は、上記回転テーブル２に回転可能に軸支された上記回転支軸２０に同心状にかつ一体的に設けられており、具体的には、図２に示すように、回転テーブル２の下側に突出した上記回転支軸２０の下端部に、一体的に取付けられている。
【００５８】
中間歯車２７は、太陽歯車２５および遊星歯車２６の間に噛合状態で介装されるもので、具体的には、図２に示すように、上記回転テーブル２の下側において、回転テーブル２に支持固定された回転支軸２９に、軸受３０、３０を介して回転可能に軸支されるとともに、上記太陽歯車２５および遊星歯車２６にそれぞれ噛合されている。
【００５９】
すなわち、図３および図４を参照して、回転テーブル２の回転（矢符Ｘ方向）により、この回転テーブル２上に配置支持された４つの撹拌槽１、１、…も回転（公転）するところ、これら撹拌槽１、１、…の回転支軸２０、２０、…には、上記遊星歯車機構３の遊星歯車２６がそれぞれ取付け固定されている。この遊星歯車機構３において、太陽歯車２５は上述のごとく静止固定されているから、これら両歯車２０、２１に噛合連結された中間歯車２７を介して、上記遊星歯車２６は太陽歯車２５のまわりをＸ方向へ公転しながら、この公転速度よりも大幅に減速されたゆっくりした回転速度をもって公転方向と逆方向へ回転することになる。
【００６０】
この場合、上記撹拌槽１の回転速度は、遊星歯車機構３を構成する太陽歯車２５、中間歯車２７および遊星歯車２６の歯車比により決定され、公転速度の−１／２０〜０に設定され、望ましくは−１／３０〜−１／４０に設定される。上記撹拌槽１の公転速度は、遠心力が有効に働くことを考慮して、１００〜３００回転／分に設定されており、したがって、撹拌槽１の回転速度は５回転〜１５回転／分に設定される。
【００６１】
このように撹拌槽１の回転速度が設定されるのは、撹拌槽１の回転速度が公転速度の１／２０よりも大きいと、撹拌槽１の公転により被処理液体Ｌに生じる遠心力の作用効果が、撹拌槽１の回転により被処理液体Ｌに生じる遠心力の作用効果によって減小され、ないしは相殺されて十分に発揮されず、撹拌槽１内における被処理液体Ｌの活発な動きが得られず、一方、撹拌槽１の回転速度が公転速度の０〜１／２０の大きさにあると、撹拌槽１の公転により被処理液体Ｌに生じる遠心力の作用効果が十分に発揮されて、被処理液体Ｌの動きが、単なる水平方向の動きに止まらず、撹拌槽１の傾斜角度αによる傾斜内面との協働作用による上下方向の動きも誘発されるからであり（３次元運動）、この作用効果は、撹拌槽１の回転速度が公転速度の−１／３０〜−１／４０に設定されると、より大きな作用効果が得られる。
【００６２】
また、撹拌槽１が公転のみで、回転しない場合（つまり回転速度０の場合）よりも、上記のように公転速度の１／２０以下の非常にゆっくりした回転速度をもって回転する方が、撹拌槽１内の被処理液Ｌ全体に上記撹拌槽１の公転による遠心力が有効に作用して、撹拌槽１内のすべての被処理液Ｌが円滑な３次元運動を行うことができる。
【００６３】
図示の実施形態においては、撹拌槽１の回転速度は公転速度の１／３６に設定されている。
【００６４】
真空装置（真空手段）４は、撹拌槽１、１、…の内部を真空状態とするもので、具体的には、これら撹拌槽１、１、…の内部を個別に真空状態にする構成とされている。
【００６５】
この真空装置４は、図９に示すように、駆動源である真空ポンプ３５、液体フィルタ３６、マニホールド３７、接続用真空配管３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ、３８Ｄ）および真空ゲージ３９を主要部として備えてなる。
【００６６】
真空ポンプ３５は、排気口３５ａが配管４０ａを介して大気に解放されるとともに、吸気口３５ｂが配管４０ｂを介して上記液体フィルタ３６の排気口３６ａに連通されている。
【００６７】
液体フィルタ３６は、撹拌槽１から吸い上げた空気中に含まれる被処理液体Ｌを濾過除去するもので、具体的構造が図８に示されている。図示の実施形態の液体フィルタ３６は、箱型容器の形態とされた中空のフィルタ本体３６ｃの天井部に、上記排気口３６ａおよび吸気口３６ｂが設けられている。これら排気口３６ａおよび吸気口３６ｂは、それぞれ、開閉可能な弁構造を備えた継手部材１００ａからなり、これら継手部材１００ａ、１００ａの具体的な構造は、後述するように、撹拌槽１の排気口５０を構成する継手部材と同様であり、具体的に図示しないが、接続相手となる配管４０ｂ、４０ｃの端部にも、後述する継手部材１００ｂ、１００ｂが設けられている。上記排気口３６ａおよび吸気口３６ｂは、それぞれニップル４１、４２を介して、フィルタ本体３６ｃ内部に連通されている。
【００６８】
また、フィルタ本体３６ｃの天井部には、内部に濾過され貯留された被処理液体Ｌ等を排出するための排液口４３が設けられている。この排液口４３は、蓋部材４４により開閉可能に閉塞されている。４５はＯリングを示している。
【００６９】
マニホールド３７は、その排気口３７ａが配管４０ｃを介して上記液体フィルタ３６の吸気口３６ｂに連通されるとともに、配管４０ｄを介して真空ゲージ３９に連通可能とされている。配管４０ｄには電磁弁４６が設けられている。この電磁弁４６は上記真空ポンプ３５に連動して開閉され、真空ポンプ３５がＯＮ（稼働）のとき開弁されて、真空ゲージ３９により撹拌槽１の真空度が計測され、一方、真空ポンプ３５がＯＦＦ（停止）のとき閉弁される。上記排気口３７ｂは、具体的には図示しないが、開閉可能な弁構造を備えた継手部材１００ａからなり、その具体的な構造は、後述するように、撹拌槽１の排気口５０を構成する継手部材と同様である。同様に、具体的に図示しないが、接続相手となる配管４０ｃの端部にも、後述する継手部材１００ｂが設けられている。
【００７０】
また、マニホールド３７は、接続用真空配管３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ、３８Ｄ）の配設数に対応して複数（図示の場合は４つ）の吸気口３７ｂを備えこれら吸気口３７ｂ、３７ｂ、３７ｂ、３７ｂがそれぞれ接続用真空配管３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ、３８Ｄに接続されている。これら吸気口３７ｂ、３７ｂ、３７ｂ、３７ｂは、具体的には図示しないが、開閉可能な弁構造を備えた継手部材１００ａからなり、これら継手部材１００ａ、…の具体的な構造は、後述するように、撹拌槽１の排気口５０を構成する継手部材と同様である。同様に、具体的に図示しないが、接続相手となる接続用真空配管３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ、３８Ｄ）の端部にも、後述する継手部材１００ｂが設けられている。
【００７１】
接続用真空配管３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ、３８Ｄ）は、上記４つの撹拌槽１、１、１、１にそれぞれ個別にかつ着脱可能に接続連通される管継手構造を備える。
【００７２】
この管継手構造を構成する管継手（カプラー）１００は、図５に示すように、撹拌槽１の蓋体１ａに取り付けられて、撹拌槽１の排気口５０を構成する継手部材１００ａと、接続用真空配管３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ、３８Ｄ）の接続端に取り付けられる継手部材１００ｂとからなる従来周知の基本構造を備え、その具体的構造が図６に示される。
【００７３】
すなわち、この管継手１００は、雄部材としてのプラグの形態とされた継手部材１００ａと、雌部材としてのソケットの形態とされた継手部材１００ｂとからなり、これら両者１００ａ、１００ｂは、ワンタッチでの着脱が可能な構造と、非接続時は常時閉止し、接続時は常時開口する弁構造を備えている。
【００７４】
プラグ１００ａは図示のごとく雄型円筒形状とされ、その外周部に環状のロックボール係止溝１０１が設けられるとともに、内部に弁体１０２が開閉動作可能に内装されている。この弁体１０２は、弾発スプリング１０３により、弁座１０４との当接係合方向へ常時弾発付勢されて、プラグ１００ａを常態（非接続時）において閉止状態に保つ。プラグ１００ａは、ニップル１０５を介して、撹拌槽１の蓋体１ａに連通可能に接続されて、撹拌槽１の排気口５０を形成している。
【００７５】
ソケット１００ｂは、図示のごとく雌型円筒形状とされ、複数のロックボール１０６、１０６、…が径方向へ移動可能に収容保持されるとともに、外周部に、これらロックボール１０６、１０６、…の径方向移動を制御する操作スリーブ１０７が軸方向へ移動可能に設けられている。１０８は、操作スリーブ１０７を常時ソケット先端方向へ弾発付勢する弾発スプリングを示している。ソケット１００ｂとソケット１００ｂは、接続端部１０９が接続真空配管３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ、３８Ｄ）の端部に嵌入接続されている。
【００７６】
そして、ソケット１００ｂの操作スリーブ１０７を、弾発スプリング１０８の弾発付勢力に抗して、ソケット先端部から後退させることにより、ロックボール１０６、１０６、…の径方向移動が可能となり、プラグ１００ａのソケット１００ｂへの挿入が可能となる。プラグ１００ａのソケット１００ｂへの挿入により、ロックボール１０６、１０６、…がプラグ１００ａのロックボール係止溝１０１に突入係止した状態で、操作スリーブ１０７を弾発スプリング１０８の弾発付勢力によりソケット先端部へ移動させることにより、ロックボール１０６、１０６、…のロックボール係止溝１０１に対する突入係止状態がロックされ、プラグ１００ａとソケット１００ｂの接続状態が得られる（図６（ｂ）参照）。
【００７７】
一方、この接続状態から、操作スリーブ１０７を再びソケット先端部から後退させて、上記と逆の操作をすることにより、ロックボール１０６、１０６、…が上記ロックボール係止溝１０１から離脱して、プラグ１００ａとソケット１００ｂの接続状態が解除される。このように、プラグ１００ａとソケット１００ｂの着脱（接続と取外し）は、操作スリーブ１０７のワンタッチ操作で行える。
【００７８】
また、管継手１００は、図６（ａ）に示すように、プラグ１００ａとソケット１００ｂの非接続時においては、プラグ１００ａが閉止状態にあり、一方、図６（ｂ）に示すように、プラグ１００ａとソケット１００ｂの接続時においては、ソケット１００ｂの弁体１１０がプラグ１００ａの弁体１０２を弾発スプリング１０３の弾発付勢力に抗して後退させる結果、弁体１０２が弁座１０４から離脱して、プラグ１００ａを開放状態に保ち、プラグ１００ａとソケット１００ｂの連通状態が保たれる。
【００７９】
なお、管継手１００の構造は同様の機能を有する限り、図示のものに特に限定されず、一般市販のものが適宜選択採用される。図示の実施形態の管継手１００は、日東工器株式会社製のＳＰカプラ（商品名）が採用されている。
【００８０】
また、上記のように、接続用真空配管３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ、３８Ｄが、撹拌槽１内を真空状態にする時のみ撹拌槽１に接続される構造に関連して、図３に示すように、装置ケース５の上面側部には、これら接続用真空配管３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ、３８Ｄ）のソケット１００ｂ、１００ｂ、１００ｂ、１００ｂを仮置きするための仮置き部１１１と、接続用真空配管３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ、３８Ｄ）を収納する配管収納部１１２が設けられている。
【００８１】
仮置き部１１１は、図７に示すように、上記４つのソケット１００ｂ、１００ｂ、１００ｂ、１００ｂを起立状に差込み保持する保持プラグ１１１ａ、１１１ａ、１１１ａ、１１１ａが、基台１１１ｂ上に整列配置されてなる。
【００８２】
配管収納部１１２は、上記仮起き部１１１に隣接して設けられ、接続用真空配管３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ、３８Ｄ）を折り曲げ収納する収納凹部の形態とされている。
【００８３】
また、前述したように、上記真空装置４との関係で、撹拌槽１は気密構造を備え、その具体的構造が図５に示されている。
【００８４】
撹拌槽１としては、気密性に優れるとともに、液体に対する耐性に優れる材料からなるものが好ましく、例えば、構成材料としてアセタール樹脂が好適に採用され、図示の実施形態においては、「デルリン」（登録商標：米国デュポン社）が構成材料として使用されている。
【００８５】
また、上記撹拌槽１の蓋体１ａの施蓋構造は、撹拌槽１を撹拌槽受け２２に取付け固定する際の押え金具２３により共締め固定する構成とされている。
【００８６】
すなわち、図１、図３および図５に示すように、上記押え金具２３は、直線棒状の形態とされて、その両端部２３ａ、２３ｂ（図５参照）が、撹拌槽受け２２の係合凹部２２ａ、２２ｂに挿入係止する構造とされるとともに、その中央部に手動操作可能な締付けボルト５１が設けられている。この締付けボルト５１は、上記押え金具２３に、上下方向へ螺進退可能に取り付けられるとともに、その先端５１ａが撹拌槽１の蓋体１ａに設けられた受け部材５２の上面に当接係止している。
【００８７】
そして、撹拌槽１の容器本体１ｂの開口を蓋体１ａにより閉塞するとともに、押え金具２３の両端部２３ａ、２３ｂを、撹拌槽受け２２の係合凹部２２ａ、２２ｂにそれぞれ挿入係止した状態で、締付けボルト５１を締付け回転操作すると、締付けボルト５１が、押え金具２３を螺進しながら、その先端５１ａで蓋体１ａを押圧する。これにより、押え金具２３と蓋体１ａは、互いに離れる方向へ押されて共締め状態となり、蓋体１ａが容器本体１ｂに緊密に施蓋されると同時に、撹拌槽１が撹拌槽受け２２に締付け固定されることになる。
【００８８】
また、図５に二点鎖線で示すように、上記撹拌槽１内に取出し可能に収納固定される液体容器５５を備えることも可能である。このような構成とすることにより、液体容器５５は個々の被処理液体Ｌに専用の容器として使用することができ、撹拌槽１の内周面に被処理液体Ｌが直接触れることを避けることができるとともに、撹拌・脱泡処理後もそのまま被処理液体Ｌの収納容器として使用することができ、取扱い性が大幅に向上する。
【００８９】
なお、このような構成とした場合には、液体容器５５の天部に撹拌槽１内に連通可能な連通穴（図示省略）が設けられることになる。
【００９０】
さらに、この液体容器５５の内周面が多角形状断面とされることにより、撹拌槽１の公転による撹拌作用の向上を図ることができる。
【００９１】
しかして、以上のように構成された撹拌・脱泡装置において、被処理液体Ｌにあまり高い精度の脱泡効果を要求されない場合、回転テーブル２上に回転可能に設けられた撹拌槽受け２２、２２、…に、被処理液Ｌを充填収容された撹拌槽１、１、…がそれぞれ収容保持された状態で、回転テーブル２が回転駆動されると、撹拌槽１は垂直な回転主軸（公転軸）６まわりに水平方向に所定の速度をもって公転され、これにより、撹拌槽１内の被処理液Ｌに遠心力が与えられて、被処理液体Ｌ中に混入する気泡が脱泡されながら、被処理液体Ｌが攪拌される。
【００９２】
この場合、撹拌槽１は、上記回転主軸６に対して所定の傾斜角度αをもって傾斜支持されるとともに、上記回転主軸６と平行に配された回転支軸（垂直軸）２０まわりにゆっくりした所定の低速度で回転されるので、撹拌槽１の傾斜方向が上記撹拌槽１内の被処理液体Ｌに与える遠心力の作用方向に対して変動する。
【００９３】
したがって、撹拌槽１の公転により生じる遠心力は、被処理液体Ｌに対して単なる水平方向の動きに止まらず、さらに撹拌槽１の傾斜内面の傾斜方向の変動との協働作用による上下方向の動きも誘発することになり、その結果、被処理液体Ｌは、撹拌槽１内を上下左右方向へ流動（３次元運動）して、被処理液体Ｌ中に混入している気泡が液体と有効に分離されながら（脱泡作用）、液体の撹拌が有効に行われる（攪拌作用）。
【００９４】
この場合、上記撹拌槽１の回転速度が、その公転速度の−１／２０〜１／２０という低速に設定されていることにより、撹拌槽１の回転により生じる遠心力が、撹拌槽１の公転により生じる遠心力を相殺することなく最大限度有効に発揮させて、円滑な３次元運動を確保することができる。
【００９５】
しかも、上記撹拌槽１の公転と回転が単一の駆動源である駆動モータ１１により行われることにより、駆動源の小型化・省力化が図られ、ひいては、装置構造の小型化、簡素化が促進されて、装置コスト、ランニングコストの低減化を実現することができる。
【００９６】
また、被処理液体Ｌに高い精度の脱泡効果が要求される場合には、真空装置４を駆動させて、上述した撹拌工程を行う。
【００９７】
すなわち、気密構造を備える真空容器からなる各撹拌槽１内に被処理液体Ｌを充填収容して密封した後、各撹拌槽１内を個別に真空状態として、上述した撹拌工程を行う。これにより、大気圧下で被処理液体Ｌ中に混入している気泡も完全に脱泡することができ、高い精度の脱泡効果が要求される被処理液体Ｌの処理にも十分に機能を発揮し対応し得る。
【００９８】
しかも、本来真空状態にする必要がある撹拌槽１内を個別に真空にする方式であるから、図１０に示す従来装置のように、真空チャンバｃ内に撹拌槽（通常複数個）ａを含めた回転系を装着して、撹拌槽ａ内を真空状態にする方式に比較して、真空状態とすべき空間がはるかに小さく、真空装置４の真空ポンプ３５の容量の小型化を図ることができるとともに、真空空間の気密構造つまり撹拌槽１の気密構造も簡素化でき、この点からも、装置構造の小型化、簡素化を促進して、装置コスト、ランニングコストの低減化を図ることができる。
【００９９】
実施形態２
本実施形態は、実施形態１の撹拌・脱泡装置の構成を改変したものであり、本実施形態の撹拌・脱泡装置は、回転主軸６を回転駆動する駆動モータ１１を駆動制御する制御部（制御手段）２００を備えて、撹拌槽１の公転速度が可変に自動制御される構成とされている。
【０１００】
すなわち、本実施形態の駆動モータ１１は、上記制御部２００に電気的に接続されており、この制御部２００の工程プログラムに従って自動制御される。
【０１０１】
制御部２００は、具体的には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭおよびＩ／Ｏポートなどからなるマイクロコンピュータで構成され、この制御部２００には、上述した撹拌工程を実行させるための工程プログラム等が予め組み込まれるとともに、駆動モータ１１の駆動に必要な種々の情報、例えば、回転テーブル２の回転速度（撹拌槽１の公転速度）、動作時間、速度変更タイミングあるいは撹拌工程の加工時間等が、制御データとして予め、または装置ケース５に設けられた操作盤２０１のタッチパネル２０１ａ（図３参照）により適宜選択的に入力設定されており、これらのデータに従って上記駆動モータ１１が自動制御される。
【０１０２】
上記操作盤２０１は、上記タッチパネル２０１ａのほか、装置の起動および停止ボタン２０１ｂ、２０１ｃ、真空装置４のＯＮおよびＯＦＦボタン２０１ｄ、２０１ｅを備える。
【０１０３】
上記タッチパネル２０１ａは、設定部と表示部の両機能を兼備したタッチパネルディスプレイ装置の形態とされており、このタッチパネルディスプレイ装置２０１ａは、液晶画面からなるディスプレイ部が、手指によるタッチ操作により上記設定部と表示部を切替え表示する構成とされている。
【０１０４】
そして、上記タッチパネルディスプレイ装置２０１ａのディスプレイ部が上記設定部の画面を液晶表示している時は、この設定部の操作パネルを手指によりタッチ操作することにより、上記制御データを入力設定することができ、一方、上記表示部の画面を液晶表示している時は、装置の運転条件（回転テーブル２の回転速度や動作時間）、あるいは運転経過時間等の必要情報が液晶表示される。
【０１０５】
そして、駆動モータ１１の回転駆動により、上記回転主軸６と共に、上記回転テーブル１０が水平方向へ所定の回転速度をもって回転駆動される。この場合の回転テーブル１０の回転速度つまり後述する撹拌槽１の公転速度は、後述するように、制御部２００の工程プログラムに従って、撹拌工程の初期から仕上期に向けて低速から高速に変更するように自動制御される。
【０１０６】
本実施形態における具体的な工程プログラムとしては、従来装置と同様な一般的な工程パターン、つまり、撹拌槽１、１、…の公転速度が撹拌工程の開始から完了まで所定の一定値になるように、上記駆動モータ１１が駆動制御される定速工程パターンと、撹拌槽１、１、…の公転速度が撹拌工程の初期から仕上期に向けて低速から高速に変更するように上記駆動モータ１１が駆動制御される変速工程パターンとが含まれている。
【０１０７】
また、後者の変速工程パターンとしては、例えば、（１）撹拌槽１の公転速度が、撹拌工程の初期から仕上期に向けて段階的に低速から高速に変更するパターン、また（２）撹拌槽１の公転速度が、撹拌工程の初期から仕上期に向けて連続的に低速から高速に変更するパターンなどがある。
【０１０８】
さらに、（３）撹拌工程の加工時間が回転テーブル２の動作時間の合計の２倍の時間に設定されて、上記定速工程パターンまたは変速工程パターンの撹拌加工の完了後、これに続く残りの動作時間が仕上期の高速と同じ速度でまたは変更した速度で逆回転する逆転仕上期とされるパターンがある。
【０１０９】
図示の実施形態においては、（１）の工程パターンとして、撹拌工程の初期が１００ｒｐｍの低速度で１分間、中期が１５０ｒｐｍの中速度で２分間、および仕上期が１８０ｒｐｍの高速度で３分間撹拌工程を行うように設定されている。
【０１１０】
また、（２）の工程パターンとして、撹拌工程の初期の１００ｒｐｍの低速度から仕上期の１８０ｒｐｍの高速度まで連続的に増速し、この仕上期が３分間に設定されている。
【０１１１】
しかして、以上のように構成された撹拌・脱泡装置において、回転テーブル２上に自転可能に設けられた撹拌槽受け２２、２２、…に、被処理液体Ｌが充填収容された撹拌槽１がそれぞれ収容保持された状態で、操作盤２０１で所望の工程プログラムを選択した後、起動ボタン２０１ｂを起動操作することにより、制御部２００により、駆動モータ１１が自動制御されて、回転テーブル２が予め設定された工程パターンをもって回転駆動される。
【０１１２】
以上のように、本実施形態によれば、撹拌工程において、撹拌槽１の公転速度を予め設定された工程プログラムに沿って、または適宜変更するように制御されるから、被処理液Ｌの種類・特性に関わらず、最適な条件での撹拌工程が実行し得る。
その他の構成および作用は実施形態１と同様である。
【０１１３】
なお、上述した実施形態１および２はあくまでも本発明の好適な実施態様を示すものであって、本発明はこれに限定されることなく、その範囲において種々の設計変更が可能である。
【０１１４】
例えば、図示の実施形態の遊星歯車機構３においては、太陽歯車２５と遊星歯車２６とが単一の中間歯車２７を介して駆動連結されて、撹拌槽１が公転方向（回転テーブル２の回転方向）Ｘと逆方向へ自転する構成とされているところ、具体的には図示しないが、前述した公転速度と回転速度との関係を保持しつつ、上記太陽歯車２５と上記遊星歯車２６とが、二つの中間歯車２７、２７を介して駆動連結される構成とすることにより、撹拌槽１が上記公転方向Ｘと同一方向へ自転するようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１１５】
１                                        撹拌槽
２                                        回転テーブル
３                                        遊星歯車機構
４                                        真空装置（真空手段）
６                                        回転主軸（公転軸）
１１                                      駆動モータ
２０                                      回転支軸（垂直軸
２２                                      撹拌槽受け
２３                                      押え金具
２５                                      太陽歯車
２６                                      遊星歯車
２７                                      中間歯車
３５                                      真空ポンプ
３６                                      液体フィルタ
３７                                      マニホールド
３８（３８Ａ、３８Ｂ、３８Ｃ、３８Ｄ）    接続用真空配管
３９                                      真空ゲージ
Ｌ                                        被処理液体
α                                        撹拌槽の傾斜角度
１００                                    管継手
１１１                                    仮置き部
２００                                    制御部（制御手段）
【図１】
2011235201.tif 000003
【図２】
2011235201.tif 000004
【図３】
2011235201.tif 000005
【図４】
2011235201.tif 000006
【図５】
2011235201.tif 000007
【図６】
2011235201.tif 000008
【図７】
2011235201.tif 000009
【図８】
2011235201.tif 000010
【図９】
2011235201.tif 000011
【図１０】
2011235201.tif 000012