(57)【要約】【課題】３次元の立体カラー映像を支援する映像センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】映像センサ及びその製造方法は、基板上にカラーピクセル及び距離ピクセルを形成し、距離ピクセル上に可視光帯域の臨界長波長より長い波長の光を選択的に透過させる第１フィルタを形成し、カラーピクセル上に可視光帯域の波長の光を透過させる第２フィルタを形成する。また、第１及び第２フィルタの上部面と離隔されながら該第１及び第２フィルタと対向するように配置され、少なくとも可視光帯域及び近赤外線帯域の波長の光を透過させ、近赤外線帯域の臨界長波長より短い波長の光を透過させる遮断フィルタを形成する。【選択図】図２
2011101006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にカラーピクセル及び距離ピクセルを形成する段階と、
前記距離ピクセル上に、可視光帯域の臨界長波長より長い波長の光を選択的に透過させる第１フィルタを形成する段階と、
前記カラーピクセル上に、前記可視光帯域の波長の光を選択的に透過させる第２フィルタを形成する段階と、
前記第１及び第２フィルタ上部面と離隔されながら該第１及び第２フィルタと対向するように配置され、少なくとも可視光帯域及び近赤外線帯域の波長の光を透過させ、該近赤外線帯域の臨界長波長より短い波長の光を透過させる遮断フィルタを形成する段階と、を有することを特徴とする映像センサ製造方法。
【請求項２】
前記第１フィルタを形成する段階は、
前記基板上に、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、黄色顔料、紫色顔料からなる群より選択された少なくとも２つの顔料を混合した顔料混合物が含まれたフォトレジストをコーティングしてフィルタ膜を形成する段階と、
前記コーティングされたフィルタ膜を写真工程によってパターニングする段階と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の映像センサ製造方法。
【請求項３】
前記第１フィルタを形成する段階は、
前記基板上に、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、黄色顔料、紫色顔料からなる群より選択された少なくとも２つの顔料と、赤色染料、緑色染料、青色染料のうちの少なくとも１つの染料とを含むフォトレジストをコーティングしてフィルタ膜を形成する段階と、
前記コーティングされたフィルタ膜を写真工程によってパターニングする段階と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の映像センサ製造方法。
【請求項４】
前記第１フィルタを形成する段階は、
前記基板上に、可視光帯域の臨界長波長より長い波長の光を選択的に透過させるフィルタ膜を形成する段階と、
前記フィルタ膜上にエッチングマスクパターンを形成する段階と、
前記エッチングマスクパターンを用いて前記フィルタ膜をエッチングする段階と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の映像センサ製造方法。
【請求項５】
前記フィルタ膜は、スピンオングラス、アクリル樹脂、ポリマー樹脂、及びエポキシ樹脂からなる群より選択された少なくとも一つの物質に、カラー顔料及びカラー染料のうちの少なくとも一つを混合した物質を用いて形成することを特徴とする請求項４に記載の映像センサ製造方法。
【請求項６】
前記第１フィルタを形成する段階は、
前記基板上に、可視光帯域の臨界長波長より長い波長の光を選択的に透過させるフィルタ膜を形成する段階と、
前記フィルタ膜上部面に、インプリント用モールドパターンを接触させながら圧力を加えてフィルタ膜パターンを形成する段階と、
前記フィルタ膜パターンから前記インプリント用モールドパターンを分離させる段階と、
前記フィルタ膜パターンの間の残留物（ｒｅｓｉｄｕｅｓ）を除去する段階と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の映像センサ製造方法。
【請求項７】
前記フィルタ膜は、インプリンティングレジンに、カラー顔料及びカラー染料のうちの少なくとも一つを混合した物質を用いて形成することを特徴とする請求項６に記載の映像センサ製造方法。
【請求項８】
前記遮断フィルタを形成する段階は、
異なる屈折率を有する無機物を繰り返して蒸着させる工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の映像センサ製造方法。
【請求項９】
基板上に形成されたカラーピクセル及び距離ピクセルと、
前記距離ピクセル上に形成され、少なくとも可視光帯域の臨界長波長より長い波長の光を選択的に透過させる第１フィルタと、
前記カラーピクセル上に形成され、前記可視光帯域の波長の光を透過させる第２フィルタと、
前記第１及び第２フィルタ上部面と離隔されながら該第１及び第２フィルタと対向するように配置され、少なくとも可視光帯域及び近赤外線帯域の波長の光を透過させ、該近赤外線帯域の臨界長波長より短い波長の光を透過させる遮断フィルタと、を備えることを特徴とする映像センサ。
【請求項１０】
前記カラーピクセル及び距離ピクセルと、第１フィルタ及び第２フィルタは、一つのイメージセンサチップで具現されることを特徴とする請求項９に記載の映像センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、映像センサ及びその製造方法に関し、より詳細には、同一のチップ内で映像情報と距離情報を提供する立体カラー用の映像センサ及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的にＣＭＯＳイメージセンサは２次元のカラー映像情報を提供する。一方、３次元距離センサの場合には３次元の立体情報、即ち距離情報を提供する。３次元距離センサは光源に近赤外線を使うため、距離情報及び白黒映像情報だけを提供し、カラー映像情報は提供することができない。
【０００３】
このような理由で、同一のチップ内でカラー映像情報及び距離情報を同時に提供する立体カラー映像センサが要求されている。立体カラー映像センサを実現するためには、立体カラー映像センサのカラーピクセルセンサ部位と距離ピクセルセンサ部位にそれぞれ入射する光の波長が変わらなければならい。即ち、立体カラー映像センサを実現するために、カラーピクセルセンサ部位には可視光線だけが入射し、距離ピクセルセンサ部位には近赤外線だけが入射するようにしなければならない。しかし、同一のチップ内で領域別に異なる波長の光を入射させることは容易でない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際特許出願公開第２０００−００１９２５２号
【特許文献２】韓国特許出願公開２００２−００１７８５３号明細書
【特許文献３】国際特許出願公開第２０００−００４３８１４号
【特許文献４】特開２００８−０５８４２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、立体カラー用の映像センサを提供することにある。
【０００６】
本発明の他の目的は、この映像センサの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するためになされた本発明の一特徴による映像センサは、基板上に形成されたカラーピクセル及び距離ピクセルが備わる。前記距離ピクセル上には、少なくとも可視光帯域の臨界長波長より長い波長の光を選択的に透過させる第１フィルタが備わる。前記カラーピクセル上には、前記可視光帯域の波長の光を選択的に透過させる第２フィルタが備わる。また、前記第１及び第２フィルタ上部面と離隔されながら該第１及び第２フィルタと対向するように配置され、少なくとも可視光帯域及び近赤外線帯域の波長の光を透過させ、該近赤外線帯域の臨界長波長より短い波長の光を透過させる遮断フィルタが備わる。
【０００８】
本発明の一実施形態で、前記基板上に位置するカラーピクセル及び距離ピクセルと、第１フィルタ及び第２フィルタは、一つのイメージセンサチップで具現される。
【０００９】
本発明の一実施形態で、前記イメージセンサチップと離隔されてレンズモジュールが更に備わる。
【００１０】
本発明の一実施形態で、前記遮断フィルタは４００〜９００ｎｍの波長だけを選択的に透過させ、前記第１フィルタは８００ｎｍ以上の波長を選択的に透過させる。
【００１１】
本発明の一実施形態で、前記遮断フィルタは４００〜７００ｎｍ及び８００〜９００の波長だけを選択的に透過させ、前記第１フィルタは７００ｎｍ以上の波長を選択的に透過させる。
【００１２】
本発明の一実施形態で、前記遮断フィルタはシリコン酸化物とチタニウム酸化物が反復積層された構造を有する。
【００１３】
本発明の一実施形態で、前記第１フィルタは、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、紫色顔料、黄色顔料のうちの少なくとも２つの顔料が混合されたフォトレジストからなる。
【００１４】
本発明の一実施形態で、前記第１フィルタは、スピンオングラス、アクリル樹脂、ポリマー樹脂、及びエポキシ樹脂からなる群より選択された少なくとも一つの物質に、カラー顔料及びカラー染料のうちの少なくとも一つを混合した物質からなることができる。
【００１５】
上記目的を達成するためになされた本発明の一特徴による映像センサ製造方法は、基板上にカラーピクセル及び距離ピクセルを形成する段階と、前記距離ピクセル上に、可視光帯域の臨界長波長より長い波長の光を選択的に透過させる第１フィルタを形成する段階と、前記カラーピクセル上に、前記可視光帯域の波長の光を透過させる第２フィルタを形成する段階と、前記第１及び第２フィルタ上部面と離隔されながら該第１及び第２フィルタと対向するように配置され、少なくとも可視光帯域及び近赤外線帯域の波長の光を透過させ、該近赤外線帯域の臨界長波長より短い波長の光を透過させる遮断フィルタを形成する段階と、を有する。
【００１６】
本発明の一実施形態で、前記第１フィルタを形成する段階は、前記基板上に、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、紫色顔料、黄色顔料からなる群より選択された少なくとも２つの顔料を混合した顔料混合物が含まれたフォトレジストをコーティングしてフィルタ膜を形成する段階と、前記コーティングされたフィルタ膜を写真工程によってパターニングする段階と、を含む。
【００１７】
本発明の一実施形態で、前記第１フィルタを形成する段階は、前記基板上に、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、紫色顔料、黄色顔料からなる群より選択された少なくとも２つの顔料と、赤色染料、緑色染料、青色染料のうちの少なくとも１つの染料とを混合したフォトレジストをコーティングしてフィルタ膜を形成する段階と、前記コーティングされたフィルタ膜を写真工程によってパターニングする段階と、を含む。
【００１８】
本発明の一実施形態で、前記第１フィルタを形成する段階は、前記基板上に、可視光帯域の臨界長波長より長い波長の光を選択的に透過させるフィルタ膜を形成する段階と、前記フィルタ膜上にエッチングマスクパターンを形成する段階と、前記エッチングマスクパターンを用いて前記フィルタ膜をエッチングする段階と、を含む。
【００１９】
前記フィルタ膜は、スピンオングラス、アクリル樹脂、ポリマー樹脂、及びエポキシ樹脂からなる群より選択された少なくとも一つの物質に、カラー顔料及びカラー染料のうちの少なくとも一つを混合した物質を用いて形成することができる。
【００２０】
本発明の一実施形態で、前記第１フィルタを形成する段階は、前記基板上に、可視光帯域の臨界長波長より長い波長の光を選択的に透過させるフィルタ膜を形成する段階と、前記フィルタ膜上部面に、インプリント用モールドパターンを接触させながら圧力を加えてフィルタ膜パターンを形成する段階と、前記フィルタ膜パターンから前記インプリント用モールドパターンを分離させる段階と、前記フィルタ膜パターンの間の残留物（ｒｅｓｉｄｕｅｓ）を除去する段階と、を含む。
【００２１】
前記フィルタ膜は、インプリンティングレジンに、カラー顔料及びカラー染料のうちの少なくとも一つを混合した物質を用いて形成することができる。
【００２２】
本発明の一実施形態で、前記遮断フィルタは異なる屈折率を有する無機物を繰り返して蒸着させて形成することができる。
【００２３】
前記遮断フィルタはシリコン酸化物とチタニウム酸化物を反復積層させて形成することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明による立体カラー用の映像センサは３次元のカラー映像を提供し、この立体カラー用の映像センサは簡単な工程を通じて製造することができる。立体カラー映像センサはカメラのような映像デジタル機器に適用することによって実感できる映像を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態１による立体カラー映像センサの概略的な構成図である。
【図２】図１に示した立体カラー映像センサの断面図である。
【図３】図１に示した立体カラー映像センサに含まれるフィルタの透過特性を示す図である。
【図４】図１に示した立体カラー映像センサに含まれるイメージセンサにおけるフィルタ配置図である。
【図５】図２に示した立体カラー映像センサ映像を製造するための方法を示した断面図である。
【図６】図２に示した立体カラー映像センサ映像を製造するための方法を示した断面図である。
【図７】図２に示した立体カラー映像センサ映像を製造するための方法を示した断面図である。
【図８】図２に示した立体カラー映像センサ映像を製造するための方法を示した断面図である。
【図９】図２に示した立体カラー映像センサ映像を製造するための方法を示した断面図である。
【図１０】サンプル１の第１フィルタの分光特性を示す図である。
【図１１】サンプル２の遮断フィルタの分光特性を示す図である。
【図１２】本発明の実施形態２による立体カラー映像センサを示す断面図である。
【図１３】図１２に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示した断面図である。
【図１４】図１２に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示した断面図である。
【図１５】サンプル３の第１フィルタの分光特性を示す図である。
【図１６】本発明の実施形態３による立体カラー映像センサを示した断面図である。
【図１７】図１６に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示した断面図である。
【図１８】図１６に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示した断面図である。
【図１９】図１６に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示した断面図である。
【図２０】本発明の実施形態４による立体カラー映像センサを示した断面図である。
【図２１】図２０に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示した断面図である。
【図２２】図２０に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示した断面図である。
【図２３】図２０に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示した断面図である。
【図２４】図２０に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示した断面図である。
【図２５】図２０に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示した断面図である。
【図２６】本発明の実施形態５による立体カラー映像センサを示す断面図である。
【図２７】本発明の実施形態５による立体カラー映像センサに含まれるフィルタの透過特性を示す図である。
【図２８】サンプル６の遮断フィルタの分光特性を示す図である。
【図２９】本発明の実施形態６による立体カラー映像センサを示す断面図である。
【図３０】本発明の実施形態６による立体カラー映像センサに含まれるフィルタの透過特性を示す図である。
【図３１】映像情報と距離情報を同時に提供する立体カラー映像イメージセンサが含まれた携帯電話の外形図である。
【図３２】映像情報と距離情報を同時に提供する立体カラー映像イメージセンサを有するシステムのブロックダイアグラムである。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本明細書で説明する各図面において、構造物のサイズは本発明の明確性を期するために実際より拡大して示している。
【００２７】
本明細書で、第１、第２などの用語は多様な構成要素を説明するために使用することができるが、これらの構成要素は用語によって限定されてはならない。用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的に使用することができる。
【００２８】
本明細書で使用する用語は、単に特定の実施形態を説明するために使用するものであり、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は、文脈上明白に異なるように意味しない限り、複数の表現を含む。本明細書で、「含む」又は「有する」等の用語は、明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品、又はこれらを組み合わせたものが存在するということを指定しようとするものであって、１つ又はそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部品、又はこれらを組み合わせたものなどの存在、又は付加の可能性を、予め排除しないことと理解すべきである。
【００２９】
本明細書において、各階（膜）、領域、電極、パターン、又は構造物が対象物、基板、各階（膜）、領域、電極、又はパターンの「上に」、「上部に」、又は「下部」に形成されると言及する場合には、各階（膜）、領域、電極、パターン、又は構造物が直接、基板、各階（膜）、領域、又はパターン上に形成されたり、下に位置することを意味したり、他の層（膜）、他の領域、他の電極、他のパターン、又は他の構造物が対象物や基板上に追加的に形成されたりする。
【００３０】
本明細書で開示する本発明の実施形態に対して、特定の構造的又は機能的説明は単に本発明の実施形態を説明するための目的で例示するものであり、本発明の実施形態は、多様な形態で実施可能であって、本明細書で説明する実施形態に限定されるものではない。
【００３１】
即ち、本発明は、多様な変更を加えることができ、種々な形態を有することができるが、特定の実施形態を図面に例示して本明細書に詳細に説明したものである。これは本発明を特定の開示形態に限定しようとするものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変更、均等物、或いは代替物を含むものと理解すべきである。
【００３２】
以下、本発明の立体カラー映像センサ及びその製造方法を実施するための形態の具体例を、図面を参照しながら詳細に説明する。
＜実施形態１＞
【００３３】
図１は、本発明の実施形態１による立体カラー映像センサの概略的な構成図であり、図２は、図１に示した立体カラー映像センサの断面図である。図３は、図１に示した立体カラー映像センサに含まれるフィルタの透過特性を示す図であり、図４は、図１に示した立体カラー映像センサに含まれるイメージセンサにおけるフィルタ配置図である。
【００３４】
図１及び２を参照すると、立体カラー映像センサ１００は、カラーピクセルセンサ１１０及び距離ピクセルセンサ１２０を含み、カラーピクセルセンサ１１０及び距離ピクセルセンサ１２０上にそれぞれ異なるフィルタ（１３０、１４０ａ）が形成されているイメージセンサ１６０を含む。また、イメージセンサ１６０に含まれているフィルタ（１３０、１４０ａ）と対向しながらイメージセンサ１６０と離隔されて形成される遮断フィルタ１５０を含む。
【００３５】
先ず、イメージセンサ１６０に関して詳細に説明する。
【００３６】
イメージセンサ１６０はセンサ領域を含む基板１０２上に形成される。センサ領域内にはカラーピクセルセンサ領域及び距離ピクセルセンサ領域が混在していて、カラーピクセルセンサ領域と隣接して距離ピクセルセンサ領域が配置される。また、図示していないが、基板１０２にはセンサ領域と別途の位置にロジック回路が備わるロジック領域を含むことができる。
【００３７】
本実施形態によると、カラーピクセルセンサ領域の基板１０２にはカラーピクセルセンサ１１０が備わる。カラーピクセルセンサ１１０は可視光信号が入力されて電気信号に変換する役割をする。
【００３８】
本実施形態によるカラーピクセルセンサ１１０は、可視光が印加されて光電荷を生成する第１フォトダイオード１０４、第１フォトダイオード１０４で生成された電荷をフローティング拡散領域（ｆｌｏａｔｉｎｇ  ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ  ｒｅｇｉｏｎ）に運送するトランスファートランジスタ、フローティング拡散領域に保存されている電荷を周期的にリセット（ｒｅｓｅｔ）するリセットトランジスタ、ソースフォロアバッファー増幅器（ｓｏｕｒｃｅ  ｆｏｌｌｏｗｅｒ  ｂｕｆｆｅｒ  ａｍｐｌｉｆｉｅｒ）の役割をしてフローティング拡散領域に充電された電荷に伴う信号をバッファリング（ｂｕｆｆｅｒｉｎｇ）するドライブトランジスタ、そして、ピクセルを選択するためのスイッチの役割をする選択トランジスタを含む。即ち、カラーピクセルセンサ領域の基板１０２には、第１フォトダイオード１０４、トランスファートランジスタ、リセットトランジスタ、ドライブトランジスタ、選択トランジスタが備わり、各トランジスタを接続させる配線１０８及び各トランジスタを覆う層間絶縁膜１０６が備わる。
【００３９】
また、距離ピクセルセンサ領域の基板１０２には距離ピクセルセンサ１２０が備わる。距離ピクセルセンサ１２０は近赤外線帯域の光を入力して電気信号に変換する役割をする。近赤外線帯域の光は８００〜９００ｎｍの光である。距離ピクセルセンサの光源で使用するのに最も適した近赤外線光は８３０〜８７０ｎｍの光である。
【００４０】
本実施形態による距離ピクセルセンサ１２０は、近赤外線光が印加されて光電荷を生成する第２フォトダイオード１２２、第２フォトダイオード１２２で生成された電荷を運送し、電荷を増幅するトランジスタを含む。また、トランジスタを接続する配線及び各トランジスタを覆う層間絶縁膜１０６が備わる。
【００４１】
カラーピクセルセンサ領域及び距離ピクセルセンサ領域に形成された層間絶縁膜１０６の上部面は平坦であることが望ましい。しかし、図示していないが、層間絶縁膜１０６の上部面はカラーピクセルセンサ領域及び距離ピクセルセンサ領域で相互に段差を有することもある。また、第１及び第２フォトダイオード１０４、１２２に入射する光を増大させるために、フォトダイオードと対向する部位の層間絶縁膜１０６は高い光透過度を有することが望ましい。
【００４２】
距離ピクセルセンサ１２０上には少なくとも可視光帯域の臨界長波長より長い波長の光を選択的に透過させる第１フィルタ１４０ａが備わる。可視光帯域の波長は４００〜７００ｎｍの波長である。従って、第１フィルタ１４０ａは７００ｎｍ以上の波長の光を透過させる。第１フィルタ１４０ａは距離ピクセルセンサ１２０に形成された層間絶縁膜１０６の上部面に配置することができる。
【００４３】
具体的に、第１フィルタ１４０ａはそれぞれの距離ピクセルセンサ１２０上に配置された長波長透過パターンからなる。長波長透過パターンはイメージセンサに適用できる程度の薄い厚さを有することが望ましく、８００〜１２００ｎｍの厚さを有することが望ましい。
【００４４】
本実施形態で、長波長透過パターンは、青色、緑色、赤色、紫色、及び黄色顔料のうちの少なくとも２つのカラーの顔料が混合されたフォトレジスト物質からなる。第１フィルタ１４０ａは長波長透過パターンに含まれるカラー顔料の種類及びカラー顔料の混合程度によって選択透過率が調節される。長波長透過パターンに含まれるフォトレジストの造成は後述する。
【００４５】
また、カラーピクセルセンサ１１０上には可視光帯域の光を選択的に透過させる第２フィルタ１３０が備わる。即ち、第２フィルタ１３０は４００〜７００ｎｍの波長を有する可視光帯域の光を透過させる。また、第２フィルタはカラーピクセルセンサ１１０に含まれる層間絶縁膜１０６の上部面に配置することができる。
【００４６】
具体的に、第２フィルタ１３０は、それぞれのカラーピクセルセンサ１１０上に配置され、カラー映像を提供するためのカラーフィルタである。第２フィルタ１３０は、赤色パターン１３０ａ、緑色パターン１３０ｂ、及び青色パターン１３０ｃからなる。
【００４７】
図４に示した通り、第１及び第２フィルタ１４０ａ、１３０はイメージセンサ１６０のアクティブピクセルセンサ領域内に相互に混在しながら配置される。また、第１フィルタ１４０ａは第２フィルタ１３０と相互に隣接して配置される。図４に示した第１及び第２フィルタ１４０ａ、１３０の配列はイメージセンサ１６０全体に反復的に配置することができる。
【００４８】
第２フィルタ１３０上にはマイクロレンズ１４２が備わる。マイクロレンズ１４２は外部から入射する光を集光してイメージセンサ内に透過させる役割をする。
【００４９】
このように、立体カラー映像センサはイメージ素子及びフィルタ構造を含む。また、本実施形態の立体映像センサに含まれるイメージ素子はカラー映像を支援するためのカラーピクセルセンサ１１０と、距離を示す距離ピクセルセンサ１２０が一つのアクティブピクセル領域に具現される。
【００５０】
イメージセンサ１６０と離隔されながらイメージセンサ１６０と対向するように配置される遮断フィルタ１５０が備わる。遮断フィルタ１５０は、カラーピクセルセンサ１１０には可視光帯域の光が入射され、距離ピクセルセンサ１２０には近赤外線帯域の光が入射されるようにするために、外部光中で特定波長の光を遮断する役割をする。本実施形態で、遮断フィルタ１５０は、可視光帯域の臨界短波長よりは長く、近赤外線帯域の臨界長波長よりは短い波長の光を透過させる。即ち、遮断フィルタは４００〜９００ｎｍの光を透過させる。
【００５１】
遮断フィルタ１５０は異なる屈折率を有する膜が相互に反復積層された構造を有する。一例として、遮断フィルタ１５０はシリコン酸化物層１５０ａ及びチタニウム酸化物層１５０ｂが反復積層された構造を有する。遮断フィルタ１５０はシリコン酸化物層１５０ａ及びチタニウム酸化物層１５０ｂのそれぞれの厚さによって選択透過率が調節される。従って、遮断フィルタ１５０はユーザーの望む特定波長だけを透過させることができる。
【００５２】
遮断フィルタ１５０と対向して遮断フィルタ１５０上には、図１に示した通り、イメージセンサで光を集光するためのレンズを含むレンズモジュール１７０が備わる。遮断フィルタ１５０及びレンズモジュール１７０はそれぞれの据置フレーム１９０によって据置されてイメージセンサ１６０と離隔されて配置される。
【００５３】
上述した通り、本実施形態では、カラーピクセルセンサ１１０と距離ピクセルセンサ１２０上にそれぞれ異なる構成を有するフィルタ構造が配置される。以下では、図３を参照して、各ピクセルセンサに入射する光の波長を説明する。
【００５４】
距離ピクセルセンサ１２０の上部面と対向して、長波長透過フィルタで提供される第１フィルタ１４０ａ、及び第１フィルタ１４０ａと離隔されて配置される遮断フィルタ１５０で構成された第１フィルタ構造が配置される。従って、図３に示した通り、遮断フィルタ１５０を通じて４００〜９００ｎｍの波長を有する光が透過し、透過した光は、更に第１フィルタ１４０ａを通じて７００〜９００ｎｍの波長を有する近赤外線帯域の光だけが透過する。従って、近赤外線帯域の光が距離ピクセルセンサに入射する。
【００５５】
図３で、１５１ａは遮断フィルタの透過特性であり、１４１ａは第１フィルタの透過特性であり、１３１ａは第２フィルタの透過特性である。
【００５６】
一方、カラーピクセルセンサ１１０の上部面と対向して、カラーフィルタで提供される第２フィルタ１３０、及び第２フィルタ１３０と離隔されて配置される遮断フィルタ１５０で構成された第２フィルタ構造が配置される。
【００５７】
従って、図３に示した通り、遮断フィルタ１５０を通じて４００〜９００ｎｍの波長を有する光が透過し、透過した光は更に第２フィルタ１３０を通じて４００〜７００ｎｍの波長を有する可視光帯域の光だけが透過する。従って、可視光帯域の光がカラーピクセルセンサ１１０に入射する。
【００５８】
このように、上述したフィルタ構造を使うことによって、非常に隣接する各領域別に異なる波長の光を入射させることができる。また、フィルタ構造を使うことによって、カラーピクセルセンサ及び距離ピクセルセンサが混在して３次元のカラー映像を示す単一チップ構造の立体カラー映像センサを実現することができる。
【００５９】
図５〜図９は、図２に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示す断面図である。
【００６０】
先ず、立体カラー映像センサに含まれるイメージセンサを形成する。
【００６１】
図５を参照すると、アクティブピクセルセンサ領域を含む基板１０２が用意される。アクティブピクセルセンサ領域内にはカラーピクセルセンサ領域及び距離ピクセルセンサ領域が混在していて、カラーピクセルセンサ領域と隣接して距離ピクセルセンサ領域が配置される。
【００６２】
カラーピクセルセンサ領域の基板１０２にカラーピクセルセンサ１１０を形成する。
【００６３】
具体的に、カラーピクセルセンサ領域の基板１０２に不純物をドーピングして第１フォトダイオード１０４を形成する。基板にトランスファートランジスタ、リセットトランジスタ、ソースフォロアバッファー増幅器（ｓｏｕｒｃｅ  ｆｏｌｌｏｗｅｒ  ｂｕｆｆｅｒ  ａｍｐｌｉｆｉｅｒ）の役割をするドライブトランジスタ、そして、選択トランジスタをそれぞれ形成する。
【００６４】
第１フォトダイオード１０４、トランスファートランジスタ、リセットトランジスタ、ドライブトランジスタ、選択トランジスタを覆う層間絶縁膜１０６を形成し、層間絶縁膜１０６内に、各トランジスタと電気的に接続される配線１０８を形成する。
【００６５】
一方、距離ピクセルセンサ領域の基板１０２には距離ピクセルセンサ１２０を形成する。具体的に、基板１０２に近赤外線光が印加されて光電荷を生成する第２フォトダイオード１２２を形成する。第２フォトダイオード１２２で生成された電荷を運送し、電荷を増幅するトランジスタを形成する。また、トランジスタを覆う層間絶縁膜１０６を形成する。層間絶縁膜１０６内に各トランジスタと電気的に接続される配線１０８を形成する。
【００６６】
図示していないが、基板１０２のロジック領域にはロジック回路を形成する。
【００６７】
工程を遂行して、カラーピクセルセンサ領域の基板１０２にはカラーピクセルセンサ１１０を形成し、距離ピクセルセンサ領域の基板１０２には距離ピクセルセンサ１２０を形成する。カラーピクセルセンサ１１０及び距離ピクセルセンサ１２０は相互に隣り合って配置される。
【００６８】
図６を参照すると、層間絶縁膜１０６の上部表面に第１フィルタを形成するための第１フォトレジスト膜１８０をコーティングする。第１フィルタは少なくとも可視光帯域よりは長い波長の光を透過させる長波長フィルタである。従って、第１フォトレジスト膜は可視光帯域よりは長い波長の光を選択的に透過させる特性を有さなければならない。また、第１フォトレジスト膜は８００〜１２００ｎｍの厚さを有することが望ましい。
【００６９】
第１フォトレジスト膜１８０は、バインダー樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、添加剤、及び溶剤を含み、これに加えて赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、紫色顔料、黄色顔料のうちの少なくとも２つの顔料を混合した顔料混合物を含む。添加剤は、架橋剤、密着促進剤、分散剤、界面活性剤などを含む。第１フォトレジスト膜１８０内に含まれる顔料は有機顔料であることが望ましい。
【００７０】
具体的に、第１フォトレジスト膜は、バインダー樹脂１〜１０％、光重合性化合物１〜１０％、光重合開始剤１〜１０％、顔料混合物３〜２０％、添加剤０．１〜５％、及び溶剤４５〜８０％を含む。
【００７１】
バインダー樹脂は溶剤に溶解することができ、光又は熱の作用に対する反応性を有し、下記着色剤に対する結着樹脂の機能をしてアルカリ性現像液に溶解可能なアクリル系共重合体として、共重合体を形成する単量体の単位の中で疎水性基を有する単量体を含むと、その種類を特別に制限せずに使うことができる。
【００７２】
光重合性化合物は、光及び下記に記載する光重合開始剤の作用で重合できる化合物として、単官能性単量体、２官能性単量体、その他の多官能性単量体などが挙げられる。
【００７３】
光重合開始剤はアセトフェノン系化合物を含有することが望ましい。アセトフェノン系化合物はそれぞれ単独、又は２種以上を組み合わせて使うことができる。また、他の種類の光重合開始剤を組み合わせて使うこともできる。他の種類の光重合開始剤では、光を照射することによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル発生剤、増減剤などが挙げられる。
【００７４】
溶剤はその種類が特別に制限されず、着色感光性樹脂組成物分野で使われる各種有機溶剤を使うことができる。
【００７５】
顔料混合物に含まれる各有機顔料は、必要によって酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体などを利用した表面処理、重合体化合物などによる顔料表面のグラフト処理、硫酸微粒化法（ｒｅｆｉｎｅｍｅｎｔ）などによる微粒化処理、又は、不純物を除去するための有機溶媒及び水などによる洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法などによる除去処理などで処理することができる。
【００７６】
顔料混合物が含まれた第１フォトレジスト膜は８００ｎｍ以上の波長の光透過度が８０％以上で高い。また、第１フォトレジスト膜は可視光帯域光透過度が２０％程度で低い。
【００７７】
一方、第１フォトレジスト膜に含まれた顔料のカラー、及び顔料の混合比率及び顔料混合物の量などによって光の透過特性が多少変わる。従って、顔料混合物の造成を調節することによって、第１フォトレジスト膜の透過特性を微細調節することができる。
【００７８】
一例として、第１フォトレジスト膜１８０は、赤色顔料、緑色顔料、及び青色顔料を１：１：１で混合した顔料混合物を含むことができる。他の例として、赤色顔料、緑色顔料、及び青色顔料の混合比が異なるようにすることもできる。また他の例として、第１フォトレジスト膜１８０には、赤色顔料及び緑色顔料を１：１で混合した顔料混合物を含むことができる。
【００７９】
図７を参照すると、距離ピクセルセンサと対向する部位にだけ第１フォトレジスト膜１８０が残るように露光及び現象工程を遂行する。これで、距離ピクセルセンサと対向する部位に長波長透過パターンを形成し、これによって第１フィルタ１４０ａを形成する。この後、キュアリング工程を遂行して第１フィルタ１４０ａを硬化させる。第１フィルタ１４０ａを成す長波長透過パターンは８００〜１２００ｎｍの厚さを有することが望ましい。
【００８０】
図８を参照すると、カラーピクセルセンサ上に位置する層間絶縁膜１０６の上部表面に第２フィルタ１３０を形成する。第２フィルタは、赤色パターン１３０ａ、緑色パターン１３０ｂ、及び青色パターン１３０ｃを含むカラーフィルタである。
【００８１】
第２フィルタ１３０を形成するために、赤色の顔料を含む第２フォトレジスト膜を層間絶縁膜１０６上にコーティングする。カラーピクセルセンサと対向して、赤色波長領域の光が透過する部位に第２フォトレジスト膜が残るように写真工程を遂行する。これで、赤色波長領域の光を選択的に透過させる赤色パターン１３０ａを形成する。
【００８２】
また、緑色の顔料を含む第３フォトレジスト膜を層間絶縁膜１０６上にコーティングする。カラーピクセルセンサと対向し、緑色波長領域の光が透過する部位に第３フォトレジスト膜が残るように写真工程を遂行する。これで、緑色波長領域の光を選択的に透過させる緑色パターン１３０ｂを形成する。
【００８３】
また、青色の顔料を含む第４フォトレジスト膜を層間絶縁膜１０６上にコーティングする。第４フォトレジスト膜には青色の染料を一部含むこともできる。カラーピクセルセンサと対向し、青色波長領域の光が透過する部位に第４フォトレジスト膜が残るように写真工程を遂行する。これで、青色波長領域の光を選択的に透過させる青色パターン１３０ｃを形成する。
【００８４】
これで、赤色パターン１３０ａ、緑色パターン１３０ｂ、及び青色パターン１３０ｃを含む第２フィルタ１３０を完成する。赤色パターン１３０ａ、緑色パターン１３０ｂ、及び青色パターン１３０ｃを形成する順序はそれぞれ変更することがある。
【００８５】
また、第１及び第２フィルタ１４０ａ、１３０を形成する順序が変わってもよい。即ち、第２フィルタ１３０を先に形成した後、第１フィルタ１４０ａを形成することもできる。
【００８６】
図９を参照すると、第２フィルタ１３０上にマイクロレンズ１４２を形成する。マイクロレンズ１４２はフォトレジスト物質からなることができる。具体的に、第１及び第２フィルタ１４０ａ、１３０上にフォトレジスト膜をコーティングして露光及び現象工程を通じて第２フィルタ１３０上にレンズパターンを形成する。この後、レンズパターンを約２００°Ｃ程度の温度で熱処理してリフローすることによって突出した形状を有するマイクロレンズ１４２を形成する。
【００８７】
上記工程を遂行することによって、カラーピクセルセンサ及び距離ピクセルセンサを含むイメージセンサ１６０を完成する。
【００８８】
再び、図２を参照すると、イメージセンサ１６０と別に遮断フィルタ１５０を形成する。遮断フィルタ１５０は４００〜９００ｎｍの波長を有する光が透過する。遮断フィルタ１５０は異なる屈折率を有する物質層を異なる厚さで反復積層することで形成することができる。一例として、シリコン酸化物層１５０ａとチタニウム酸化物層１５０ｂを異なる厚さで反復積層することで形成することができる。
【００８９】
このように、遮断フィルタ１５０に含まれる各物質の屈折率、吸光計数、及び厚さの差などを調節することによって、所望する帯域波長の光を選択的に透過させる遮断フィルタを形成することができる。一例として、スペクトラムシミュレーション（ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ）システムを使い、遮断フィルタ１５０に含まれる各階層の厚さなどを決めることができる。
【００９０】
この後、イメージセンサ１６０の第１及び第２フィルタ１４０ａ、１３０と対向するように遮断フィルタ１５０を据置する。また、遮断フィルタ１５０と対向してレンズモジュール（図１参照）１７０を据置する。遮断フィルタ１５０及びレンズモジュール１７０は据置フレーム（図１参照）１９０によって据置される。
【００９１】
上記工程を通じて、立体カラー映像センサを完成する。
【００９２】
以下では、実施形態１の立体カラー映像センサに含まれる各フィルタの分光特性に関して実験したことについて記述する。特に、遮断フィルタ及び第１フィルタの分光特性に関して実験したことについて記述する。
【００９３】
≪サンプル１≫
【００９４】
実施形態１で説明した方法で、立体カラー映像センサに含まれる第１フィルタ用として使用されるサンプル１のフォトレジスト膜を製造した。
【００９５】
具体的に、テスト用ガラス基板を用意した。赤色顔料、緑色顔料、及び青色顔料が１：１：１で混合された顔料混合物を含むフォトレジストを製造した。フォトレジストは富士社６００シリーズの赤色、緑色、及び青色カラーフィルタ用フォトレジストをそれぞれ５ｇずつ入れて３０分間攪拌することによって製造した。製造されたフォトレジストをコーティングし、ベイキングすることによって９９０ｎｍの厚さを有するフォトレジスト膜を完成した。
【００９６】
≪分光特性測定≫
【００９７】
図１０は、サンプル１のフォトレジスト膜の分光特性を示す図である。
【００９８】
図１０を参照すると、サンプル１のフォトレジスト膜は８５０ｎｍ以上の波長の光透過度が９０％以上で高かった。フォトレジスト膜は７００ｎｍ以下の波長の光透過度の平均が１６％程度で示された。また、７００ｎｍの波長での光透過度が２８％で示された。従って、サンプル１のフォトレジスト膜は実施形態１による立体カラー映像センサに含まれる第１フィルタで使うのに非常に適していることがわかる。
【００９９】
≪サンプル２≫
【０１００】
実施形態１で説明した方法で、立体カラー映像センサに含まれる遮断フィルタを製造した。遮断フィルタはシリコン酸化物層とチタニウム酸化物層を反復蒸着して形成した。反復されるシリコン酸化物層及びチタニウム酸化物層の各階層の蒸着の厚さは表１に記載している。遮断フィルタは約１９３０ｎｍの厚さを有する。
【０１０１】
【表１】
2011101006.tif 000003
【０１０２】
≪分光特性測定≫
【０１０３】
図１１は、サンプル２の遮断フィルタの分光特性を示す図である。
【０１０４】
図１１に示した通り、サンプル２の遮断フィルタは４００〜８５０ｎｍの波長を有する光を９０％以上透過させた。また、９００ｎｍ以上の波長を有する光を１０％以下で透過させた。このように、サンプル２の遮断フィルタは可視光線の光の臨界短波長よりは長く、近赤外線の臨界長波長よりは短い波長の光を選択的に透過させた。従って、サンプル２の遮断フィルタは本発明の実施形態１の立体カラー映像センサに含まれる遮断フィルタで使うのに非常に適しているということがわかる。
【０１０５】
＜実施形態２＞
【０１０６】
図１２は、本発明の実施形態２による立体カラー映像センサを示す断面図である。
【０１０７】
図１２に示した通り、実施形態２の立体カラー映像センサは、遮断フィルタ１５０、第１及び第２フィルタ１４０ｂ、１３０の配置及び構成が実施形態１と同一である。また、各フィルタの光透過特性も実施形態１と同一である。但し、第１フィルタ１４０ｂを構成する長波長透過パターンの物質だけが実施形態１と差がある。
【０１０８】
本実施形態で、第１フィルタ１４０ｂを成す長波長透過パターンは、青色、緑色、赤色、紫色、黄色顔料のうちの少なくとも２つのカラーの顔料、及び青色、緑色、及び赤色染料のうちの少なくとも１つのカラーの染料が混合されたフォトレジスト物質からなる。長波長透過パターンに含まれるフォトレジスト物質の具体的な例は後述する。
【０１０９】
長波長透過パターンに、少なくとも２つのカラーの顔料だけではなく、少なくとも１つのカラーの染料が含まれることによって、可視光帯域の波長の透過率はより減少し、８５０ｎｍ以上の帯域の波長の透過率はより増加する。特に、７００ｎｍでの波長透過率が減少する。
【０１１０】
図１３及び図１４は、図１２に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示す断面図である。
【０１１１】
以下で説明する立体カラー映像センサ製造方法は、第１フィルタを形成する方法を除いては実施形態１の製造方法と同一である。従って、第１フィルタを形成する方法についてだけ説明する。
【０１１２】
図５を参照して説明した通りの工程を遂行して、カラーピクセルセンサ領域の基板にカラーピクセルセンサ１１０を形成し、距離ピクセルセンサ領域の基板に距離ピクセルセンサ１２０を形成する。カラーピクセルセンサ１１０及び距離ピクセルセンサ１２０は相互に隣り合って配置される。
【０１１３】
次に、図１３を参照すると、層間絶縁膜１０６の上部表面に第１フィルタを形成するための第１フォトレジスト膜１８０ａをコーティングする。第１フォトレジスト膜は８００〜１２００ｎｍの厚さを有することが望ましい。
【０１１４】
第１フォトレジスト膜１８０は、バインダー樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、添加剤、及び溶剤を含み、これに加えて赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、紫色顔料、黄色顔料のうちの少なくとも２つの顔料を混合した顔料混合物と、赤色染料、緑色染料、及び青色染料のうちの少なくとも１つの染料が含まれる。添加剤は、架橋剤、密着促進剤、分散剤、系面活性剤などを含む。
【０１１５】
具体的に、第１フォトレジスト膜は、バインダー樹脂１〜１０重量％、光重合性化合物１〜１０重量％、光重合開始剤１〜１０重量％、顔料混合物及び染料３〜２０重量％、添加剤０．１〜５重量％、及び溶剤４５〜８０重量％を含む。
【０１１６】
染料には、分散染料（Ｄｉｓｐｅｒｓｅ  ｄｙｅ）、アゾメタル系染料（Ａｚｏ  ｍｅｔａｌ  ｄｙｅ）、フタロシアニン染料（Ｐｈｔｈａｌｏｃｙａｎｉｎｅ  ｄｙｅ）などを使うことができる。
【０１１７】
しかし、赤色染料として分散染料を使う場合、後続する露光の際に染料が光分解されて光透過特性が変化することがある。反面、赤色染料としてアゾメタル系染料を使う場合、後続する露光工程を遂行しても光透過特性の変化が殆どない。そのため、赤色染料にはアゾメタル系染料を使うことが望ましい。
【０１１８】
また、露光後の光透過特性の変化を減少させるために、青色染料にはフタロシアニン染料を使うことが望ましい。
【０１１９】
顔料混合物及び染料が含まれた第１フォトレジスト膜は８００ｎｍ以上の波長の光透過度が８０％以上で高い。また、第１フォトレジスト膜は可視光帯域の光透過度が１０％程度で低い。しかも、第１フォトレジスト膜は優秀なパターニング特性を有する。具体的に、第１フォトレジスト膜は後続の露光工程によって２０μｍ以内の線間幅を有する微細パターンを形成することができる。
【０１２０】
一方、第１フォトレジスト膜に含まれた顔料のカラー、及び顔料の混合比率及び顔料混合水の量と、染料のカラー、及び染料の混合比率及び染料混合物の量などによって光の透過特性が多少変わる。従って、顔料混合物の造成を調節することによって、第１フォトレジスト膜の透過特性を微細調節することができる．
【０１２１】
一例として、第１フォトレジスト膜１８０ａは、赤色顔料、緑色顔料、及び青色顔料を１：１：１で混合した顔料混合物を含み、赤色染料及び青色染料を１：１で混合した染料混合物を含むことができる。これとは違い、第１フォトレジスト膜は、赤色顔料、緑色顔料、及び青色顔料のうちの２つの顔料が混合した顔料混合物を含み、顔料混合物に含まれていなかったカラーの染料混合物を含むこともできる。
【０１２２】
図１４を参照すると、距離ピクセルセンサ１２０と対向する部位にだけ第１フォトレジスト膜１８０ａが残るように露光及び現象工程を遂行する。これで、距離ピクセルセンサ１２０と対向する部位に第１フィルタ１４０ｂを形成する。この後、キュアリング工程を遂行して第１フィルタ１４０ｂを硬化させる。
【０１２３】
続いて、実施形態１の図８、９、及び図２を参照して説明した通りの工程を遂行することによって、第２フィルタ１３０を含むイメージセンサ１６０を形成する。また、イメージセンサ１６０と対向して遮断フィルタ１５０及びレンズモジュールを配置する。
【０１２４】
これで、図１２に示した立体カラー映像センサを完成する。
【０１２５】
以下では、実施形態２の立体カラー映像センサに含まれる第１フィルタの分光特性に関して実験したことについて記述する。
【０１２６】
≪サンプル３≫
【０１２７】
実施形態２で説明した方法で、立体カラー映像センサに含まれる第１フィルタ用として使用されるサンプル３のフォトレジスト膜を製造した。
【０１２８】
具体的に、テスト用ガラス基板を用意した。赤色顔料、緑色顔料、及び青色顔料が１：１：１で混合された顔料混合物と、青色及び赤色染料が１：１で混合された染料混合物を含むフォトレジストを製造した。フォトレジストは、富士社６００シリーズの赤色、緑色、及び青色カラーフィルタ用フォトレジストをそれぞれ５ｇ、アゾメタル系赤色染料のｓｏｌｖｅｎｔ  ｒｅｄ１６０  ０．３ｇ、フタロシアニン系青色染料のＣｏｐｐｅｒ  Ｐｈｔｈａｌｏｃｙａｎｉｎｅ  Ｔｅｔｒａｓｕｌｆｏｎｉｃ  Ａｃｉｄ  Ｔｅｔｒａｓｏｄｉｕｍ  Ｓａｌｔ、開始剤１ｇ、２ｍＬの溶媒に溶けている０．０８ｇの接着剤を入れて３０分間攪拌することによって製造した。製造されたフォトレジストをコーティングし、ベイキングすることによって１１１２ｎｍの厚さを有するフォトレジスト膜を完成した。
【０１２９】
≪分光特性測定≫
【０１３０】
図１５は、サンプル３のフォトレジスト膜の分光特性を示す図である。
【０１３１】
図１５を参照すると、サンプル３のフォトレジスト膜は８５０ｎｍ以上の波長の光透過度が９１％以上で高かった。フォトレジスト膜は７００ｎｍ以下の波長の光透過度の平均が６．４％程度で示された。また、７００ｎｍの波長での光透過度が２１．８％で示された。従って、サンプル３のフォトレジスト膜は実施形態２による立体カラー映像センサに含まれる第１フィルタで使うのに非常に適しているということがわかる。
【０１３２】
≪サンプル４≫
【０１３３】
立体カラー映像センサに含まれる第１フィルタ用として使用されるサンプル４のフォトレジスト膜を製造した。
【０１３４】
サンプル４のフォトレジスト膜はサンプル３のフォトレジスト膜と同じ方法で製造した。但し、サンプル４のフォトレジスト膜は８１６ｎｍで多少薄い厚さを有する。
【０１３５】
≪分光特性測定≫
【０１３６】
サンプル４のフォトレジスト膜の分光特性を測定した結果、８５０ｎｍ以上の波長の光透過度が９１％以上で高かった。第１フォトレジスト膜は７００ｎｍ以下の波長の光透過度の平均が１３．４％程度で示された。また、７００ｎｍの波長での光透過度が３１．４％で示された。従って、サンプル３の第１フォトレジスト膜は実施形態２による立体カラー映像センサに含まれる第１フィルタで使うのに非常に適しているということがわかる。
【０１３７】
＜実施形態３＞
【０１３８】
図１６は、本発明の実施形態３による立体カラー映像センサを示す断面図である。
【０１３９】
図１６に示した通り、実施形態３の立体カラー映像センサは、遮断フィルタ１５０、第１及び第２フィルタ１４０ｃ、１３０の配置及び構成が実施形態１と同一である。また、各フィルタの光透過特性も実施形態１と同一である。但し、第１フィルタ１４０ｃを構成する長波長透過パターンの物質だけが実施形態１と差がある。
【０１４０】
本実施形態で、第１フィルタ１４０ｃを成す長波長透過パターンは、スピンオングラス、アクリル樹脂、ポリマー樹脂、及びエポキシ樹脂からなる群より選択された少なくとも一つの物質に、カラー染料及びカラー顔料のうちの少なくとも一つを混合した物質からなることができる。
【０１４１】
一例として、第１フィルタ１４０ｃを成す長波長透過パターンは、スピンオングラス、アクリル樹脂、ポリマー樹脂、及びエポキシ樹脂からなる群より選択された少なくとも一つの物質に、青色、緑色、及び赤色染料のうちの少なくとも２つの染料を混合した物質からなることができる。
【０１４２】
これとは他の例として、第１フィルタ１４０ｃを成す長波長透過パターンは、スピンオングラス、アクリル樹脂、ポリマー樹脂、及びエポキシ樹脂からなる群より選択された少なくとも一つの物質に、青色、緑色、赤色、黄色及び紫色顔料のうちの少なくとも２つの顔料を混合した物質からなることができる。
【０１４３】
これとは他の例として、第１フィルタ１４０ｃを成す長波長透過パターンは、スピンオングラス、アクリル樹脂、ポリマー樹脂、及びエポキシ樹脂からなる群より選択された少なくとも一つの物質に、青色、緑色、及び赤色染料のうちの少なくとも２つの染料を混合し、青色、緑色、赤色、黄色、及び紫色顔料のうちの少なくとも一つの顔料を更に混合した物質からなることができる。
【０１４４】
図１７〜図１９は、図１６に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示す断面図である。
【０１４５】
以下で説明する立体カラー映像センサ製造方法は、第１フィルタを形成する方法を除いては実施形態１で説明した方法と同一である。従って、第１フィルタを形成する方法についてだけ説明する。
【０１４６】
図５を参照して説明した通りの工程を遂行して、カラーピクセルセンサ領域の基板にカラーピクセルセンサ１１０を形成し、距離ピクセルセンサ領域の基板に距離ピクセルセンサ１２０を形成する。カラーピクセルセンサ１１０及び距離ピクセルセンサ１２０は相互に隣り合って配置される。
【０１４７】
次に、図１７を参照すると、層間絶縁膜１０６の上部表面に第１フィルタを形成するためのフィルタ膜１８２を形成する。フィルタ膜１８２は、コーティング又はテーピング方式で形成することができる。フィルタ膜１８２で使われる物質の例としては、スピンオングラス、アクリル樹脂、ポリマー樹脂、エポキシ樹脂などが挙げられる。
【０１４８】
フィルタ膜１８２で使われる物質にはカラー染料及びカラー顔料のうちの少なくとも一つが混合される。
【０１４９】
一例として、フィルタ膜１８２には、赤色染料、緑色染料、及び青色染料のうちの少なくとも２つの染料を混合した染料混合物が含まれる。
【０１５０】
染料には、分散染料（Ｄｉｓｐｅｒｓｅ  ｄｙｅ）、アゾメタル系染料（Ａｚｏ  ｍｅｔａｌ  ｄｙｅ）、フタロシアニン系染料（Ｐｈｔｈａｌｏｃｙａｎｉｎｅ  ｄｙｅ）などを使うことができる。
【０１５１】
これとは他の例として、フィルタ膜に、赤色染料、緑色染料、及び青色染料のうちの少なくとも２つの染料を混合した染料混合物が含まれて、これに加えて赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、黄色顔料、紫色顔料のうちの少なくとも１つの顔料を含むこともできる。
【０１５２】
これとは他の例として、フィルタ膜１８２には、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、黄色顔料、紫色顔料のうちの少なくとも２つの顔料を混合した顔料混合物を含むこともできる。
【０１５３】
具体的に、フィルタ膜１８２は、赤色染料、緑色染料、及び青色染料を１：１：１で混合した染料混合物を含むことができる。染料混合物が含まれたフィルタ膜１８２は８００ｎｍ以上の波長の光透過度が８０％以上で高い。また、染料混合物が含まれたフィルタ膜１８２は可視光帯域の光透過度が１０％程度で非常に低い。
【０１５４】
染料混合物の混合比、染料混合水の量、顔料混合物の混合比、顔料混合水の量を調節することによって、フィルタ膜１８２の透過特性を調節することができる。
【０１５５】
図１８を参照すると、フィルタ膜１８２上にエッチングマスクパターン１８４を形成する。エッチングマスクパターン１８４は写真工程によって形成されたフォトレジストパターンからなることができる。エッチングマスクパターン１８４は距離ピクセルセンサと対向する部位を覆う形状を有する。エッチングマスクパターン１８４を形成するための写真工程はフォトレジストコーティング、露光、現象、及びキュアリング工程を含む。
【０１５６】
図１９を参照すると、エッチングマスクパターン１８４によって露出した部位のフィルタ膜１８２をエッチングする。これで、距離ピクセルセンサと対向する部位に第１フィルタ１４０ｃを形成する。この後、エッチングマスクパターン１８４を除去する。
【０１５７】
続いて、実施形態１の図８、９、及び図２を参照して説明した通りの工程を遂行することによって、第２フィルタ１３０を含むイメージセンサ１６０を形成する。また、イメージセンサ１６０と対向して遮断フィルタ１５０及びレンズモジュールを配置する。これで、図１６に示した立体カラー映像センサを完成する。
【０１５８】
以下では、実施形態３の立体カラー映像センサに含まれる第１フィルタの分光特性に関して実験したことについて記述する。
【０１５９】
≪サンプル５≫
【０１６０】
実施形態３で説明した方法で、立体カラー映像センサに含まれる第１フィルタ用として使用されるサンプル５のフィルタ膜を製造した。
【０１６１】
具体的に、テスト用ガラス基板を用意した。ＰＭＭＡ（Ｐｏｌｙｍｅｔｈｙｌ  ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）高分子に分散赤色染料のＤＲ１３を５ｇ、分散黄色染料のＤＹ７を１２ｇ、青色染料４０ｇを混合してフィルタ用物質を製造した。製造されたフィルタ用物質をコーティングし、ベイキングすることによって１０００ｎｍの厚さを有するサンプル５のフィルタ膜を完成した。
【０１６２】
≪分光特性測定≫
【０１６３】
サンプル５のフィルタ膜は８５０ｎｍ以上の波長の光透過度が８８．５％以上で高かった。フィルタ膜は７００ｎｍ以下の波長の光透過度の平均が０．６２％で非常に低かった。また、７００ｎｍの波長で光透過度が３．５２％で示された。従って、サンプル５のフィルタ膜は実施形態３による立体カラー映像センサに含まれる第１フィルタで使うのに非常に適しているということがわかる。
【０１６４】
＜実施形態４＞
【０１６５】
図２０は、本発明の実施形態４による立体カラー映像センサを示す断面図である。
【０１６６】
図２０に示した通り、実施形態４の立体カラー映像センサは、遮断フィルタ１５０、第１及び第２フィルタ１４０ｄ、１３０の配置及び構成が実施形態１と同一である。また、各フィルタの光透過特性も実施形態１と同一である。但し、第１フィルタ１４０ｄを構成する長波長透過パターンの物質だけが実施形態１と差がある。
【０１６７】
本実施形態で、第１フィルタ１４０ｄを成す長波長透過パターンは、インプリンティングレジンに、カラー染料及びカラー顔料のうちの少なくとも一つを混合した物質からなることができる。
【０１６８】
一例として、第１フィルタ１４０ｄを成す長波長透過パターンは、インプリンティングレジンに、青色、緑色、及び赤色染料のうちの少なくとも２つの染料を混合した物質からなることができる。
【０１６９】
これとは他の例として、第１フィルタ１４０ｄを成す長波長透過パターンは、インプリンティングレジンに、青色、緑色、及び赤色顔料のうちの少なくとも２つの顔料を混合した物質からなることができる。
【０１７０】
これとは他の例として、第１フィルタ１４０ｄを成す長波長透過パターンは、インプリンティングレジンに、青色、緑色、及び赤色染料のうちの少なくとも２つの染料を混合し、青色、緑色、及び赤色顔料のうちの少なくとも一つの顔料を更に混合した物質からなることができる。
【０１７１】
図２１〜図２５は、図２０に示した立体カラー映像センサを製造するための方法を示す断面図である。
【０１７２】
以下で説明する立体カラー映像センサ製造方法は、第１フィルタを形成する方法を除いては実施形態１で説明した方法と同一である。従って、第１フィルタを形成する方法についてだけ説明する。
【０１７３】
図５を参照して説明した工程と同じ工程を遂行して、カラーピクセルセンサ領域の基板にカラーピクセルセンサ１１０を形成し、距離ピクセルセンサ領域の基板に距離ピクセルセンサ１２０を形成する。カラーピクセルセンサ１１０及び距離ピクセルセンサ１２０は相互に隣り合って配置される。
【０１７４】
次に、図２１を参照すると、層間絶縁膜１０６の上部表面に第１フィルタを形成するためのフィルタ膜１８６を形成する。フィルタ膜１８６は、コーティング又はテーピング方式で形成することができる。フィルタ膜１８６はインプリンティングレジンからなる。
【０１７５】
フィルタ膜１８６で使われるインプリンティングレジンには、カラー染料及びカラー顔料のうちの少なくとも一つを混合することができる。
【０１７６】
一例として、インプリンティングレジンには、赤色染料、緑色染料、及び青色染料のうちの少なくとも２つの染料を混合した染料混合物が含まれる。また、選択的に、インプリンティングレジンには、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、黄色顔料、紫色顔料のうちの少なくとも１つの顔料を含むこともできる。
【０１７７】
これとは他の例として、インプリンティングレジンには、赤色顔料、緑色顔料、及び青色顔料、黄色顔料、紫色顔料のうちの少なくとも２つの顔料を混合した顔料混合物が含まれる。
【０１７８】
具体的に、フィルタ膜１８６は、赤色染料及び青色染料が１：１で混合された染料混合物を含むことができる。この場合、染料混合物が含まれたフィルタ膜は８００ｎｍ以上の波長の光透過度が８０％以上で高い。また、染料混合物が含まれたフィルタ膜は可視光帯域の光透過度が１０％程度で非常に低い。
【０１７９】
染料混合物の混合比、染料混合水の量、顔料混合物の混合比、顔料混合水の量を調節することによって、フィルタ膜１８６の透過特性を調節することができる。
【０１８０】
図２２を参照すると、フィルタ膜１８６上にインプリント用モールドパターン１８８を配置する。インプリント用モールドパターン１８８は、距離ピクセルセンサ領域に対向する部位にホーム１８７が生成されている形状を有する。
【０１８１】
図２３を参照すると、フィルタ膜１８６とインプリント用モールドパターン１８８を接触させながら圧力を加える。インプリント用モールドパターン１８８とフィルタ膜１８６が接触すると、インプリント用モールドパターン１８８のホーム１８７の内部にフィルタ膜１８６が残り、残りの部位のフィルタ膜１８６は圧力によって側傍に押されて殆ど除去される。
【０１８２】
図２４を参照すると、フィルタ膜１８６とインプリント用モールドパターン１８８を分離させる。インプリント用モールドパターン１８８を分離させると、インプリント用モールドパターン１８８のホーム１８７と接触した部位にはフィルタ膜パターン１８６ａが形成される。また、フィルタ膜パターン１８６ａの間の部位にはフィルタ膜が殆ど除去された状態になり、わずかな残余フィルタ膜Ｒだけが残る。
【０１８３】
図２５を参照すると、フィルタ膜パターン１８８ａの間に残っている残余フィルタ膜Ｒを除去して第１フィルタ１４０ｄを形成する。残余フィルタ膜Ｒの除去はエッシング工程を通じて遂行できる。
【０１８４】
続いて、実施形態１の図８、９、及び図２を参照して説明した通りの工程を遂行することによって、第２フィルタ１３０を含むイメージセンサ１６０を形成する。また、イメージセンサ１６０と対向して遮断フィルタ１５０及びレンズモジュールを配置する。これで、図２０に示した立体カラー映像センサを完成する。
【０１８５】
＜実施形態５＞
【０１８６】
図２６は、本発明の実施形態５による立体カラー映像センサを示す断面図である。
【０１８７】
図２６に示した通り、実施形態５の立体カラー映像センサは、遮断フィルタ１５２、第１及び第２フィルタ１４０ｅ、１３０の配置及び構成が実施形態１と同一である。しかし、遮断フィルタ１５２及び第１フィルタ１４０ｅの光透過特性が実施形態１と差がある。
【０１８８】
また、実施形態５による立体カラー映像センサの遮断フィルタ１５２及び第１フィルタ１４０ｅは、実施形態１〜４の遮断フィルタ及び第１フィルタを構成する物質とそれぞれ同じ物質からなることができる。しかし、遮断フィルタ１５２及び第１フィルタ１４０ｅに含まれる各物質が含まれる程度及び薄膜厚さにおいて差がある。
【０１８９】
図２７は、本発明の実施形態５による立体カラー映像センサに含まれるフィルタの透過特性を示す図である。
【０１９０】
図２７で、１５１ｂは遮断フィルタの透過特性であり、１４１ｂは第１フィルタの透過特性であり、１３１ｂは第２フィルタの透過特性である。図２７に示した通り、遮断フィルタは可視光帯域の波長及び近赤外線帯域の波長の光だけを透過させる。即ち、遮断フィルタは４００〜７００ｎｍ及び８００〜９００ｎｍの光を透過させる。
【０１９１】
図２６及び図２７を参照すると、第１フィルタ１４０ｅは近赤外線帯域の臨界短波長以上の光を透過させる。第１フィルタ１４０ｅは７００ｎｍ以上の波長を有する光を透過させる。
【０１９２】
また、第２フィルタ１３０は可視光帯域の光を透過させる。即ち、第２フィルタ１３０は４００〜７００ｎｍの波長を有する光を透過させる。
【０１９３】
この場合、遮断フィルタ１５２及び第１フィルタ１４０ｅを通過する光は８００〜９００ｎｍの波長を有する。近赤外線波長帯域の光は、距離ピクセルセンサに入射することによって、距離ピクセルセンサの光源として使われる。
【０１９４】
また、遮断フィルタ１５２及び第２フィルタ１３０を通過する光は４００〜７００ｎｍの波長を有する。可視光帯域の光は、カラーピクセルセンサ１１０に入射して、カラーピクセルセンサ１１０の光源として使われる。
【０１９５】
図２６に示した立体カラー映像センサは、実施形態１〜４の立体映像センサを形成する方法のうちのいずれか一つの方法で形成することができる。
【０１９６】
但し、第１フィルタ１４０ｅが図２７に示した通りの透過特性を有するように、混合されるカラー染料又はカラー顔料の量を調節しなければならない。また、遮断フィルタ１５２が図２７に示した通りの透過特性を有するように、シリコン酸化膜層１５２ａ及びチタニウム酸化膜層１５２ｂの各厚さ及び積層される膜の個数を調節しなければならない。
【０１９７】
以下では、実施形態５の立体カラー映像センサに含まれる遮断フィルタの分光特性に関して実験したことについて記述する。
【０１９８】
≪サンプル６≫
【０１９９】
実施形態５で説明した方法で、立体カラー映像センサに含まれるサンプル６の遮断フィルタを製造した。遮断フィルタはシリコン酸化物層とチタニウム酸化物層を反復蒸着して形成した。反復されるシリコン酸化物層及びチタニウム酸化物層の各階層の蒸着の厚さは表２に記載している。サンプル６の遮断フィルタは約２９９３ｎｍの厚さを有する。
【０２００】
≪分光特性測定≫
【０２０１】
図２８は、サンプル６の遮断フィルタの分光特性を示す図である。
【０２０２】
図２８に示した通り、サンプル６の遮断フィルタは４００〜７００ｎｍの波長を有する光と８２０〜８８０ｎｍの波長を有する光を９０％以上透過させた。また、７００〜８００ｎｍの波長及び９００ｎｍ以上の波長を有する光を殆ど透過させなかった。
【０２０３】
従って、実施形態５の立体カラー映像センサに含まれる遮断フィルタとしてサンプル６の遮断フィルタを使うことができる。
【０２０４】
【表２】
2011101006.tif 000004
2011101006.tif 000005
【０２０５】
＜実施形態６＞
【０２０６】
図２９は、本発明の実施形態６による立体カラー映像センサを示す断面図である。
【０２０７】
図２９に示した通り、実施形態６の立体カラー映像センサは、遮断フィルタ１５４、第１及び第２フィルタ１４０ｆ、１３０の配置及び構成が実施形態１と同一である。しかし、遮断フィルタ１５４及び第１フィルタ１４０ｆの光透過特性が実施形態１と差がある。
【０２０８】
また、実施形態６による立体カラー映像センサの遮断フィルタ１５４及び第１フィルタ１４０ｆは、実施形態１〜４の遮断フィルタ及び第１フィルタを構成する物質とそれぞれ同じ物質からなることができる。しかし、遮断フィルタ１５４及び第１フィルタ１４０ｆに含まれる各物質が含まれる程度及び薄膜の厚さで差がある。
【０２０９】
図３０は、本発明の実施形態６による立体カラー映像センサに含まれるフィルタの透過特性を示す図である。
【０２１０】
図３０で、１５１ｃは遮断フィルタの透過特性であり、１４１ｃは第１フィルタの透過特性であり、１３１ｃは第２フィルタの透過特性である。
【０２１１】
図示した通り、遮断フィルタ１５４は、可視光の第１帯域の波長と第１帯域の波長より長いながら近赤外線帯域の臨界長波長よりは短い波長を有し、近赤外線帯域を全部含む帯域の第２帯域の波長の光を透過させる。即ち、遮断フィルタ１５４は４００〜７００ｎｍ及び７２０〜９００ｎｍの波長の光を透過させる。
【０２１２】
第１フィルタ１４０ｆは近赤外線帯域の臨界短波長以上の光を透過させる。即ち、第１フィルタ１４０ｆは８００ｎｍ以上の波長を有する光を透過させる。
【０２１３】
また、第２フィルタ１３０は可視光帯域の光を透過させる。即ち、第２フィルタ１３０は４００〜７００ｎｍの波長を有する光を透過させる。
【０２１４】
この場合、遮断フィルタ１５４及び第１フィルタ１４０ｆを通過した光は８００〜９００ｎｍの波長を有する。近赤外線波長帯域の光は距離ピクセルセンサ１２０に入射することによって、距離ピクセルセンサ１２０の光源として使われる。
【０２１５】
また、遮断フィルタ１５４及び第２フィルタ１３０を通過した光は４００〜７００ｎｍの波長を有する。可視光帯域の光は、カラーピクセルセンサ１１０に入射し、カラーピクセルセンサ１１０の光源として使われる。
【０２１６】
図２９に示した立体カラー映像センサは、実施形態１〜４の立体映像センサを形成する方法のうちのいずれか一つの方法で形成することができる。
【０２１７】
但し、第１フィルタ１４０ｆが図３０に示した通りの透過特性を有するように、混合するカラー染料又はカラー顔料の量を調節しなければならない。また、遮断フィルタ１５４が図３０に示した通りの透過特性を有するように、シリコン酸化膜層１５４ａ及びチタニウム酸化膜層１５４ｂの各厚さ及び積層される膜の個数を調節しなければならない。
【０２１８】
図３１は、映像情報と距離情報を同時に提供する立体カラー映像イメージセンサが含まれた携帯電話の外形図である。
【０２１９】
携帯電話６００は、一般的な構成や機能は通常的に使うものと同じであるが、カメラレンズモジュール６１０に遮断フィルタが備わり、遮断フィルタと対向して、映像情報と距離情報を同時に提供するイメージセンサ６２０が内蔵されている。従って、映像情報と距離情報が同時にモニター６３０に表示される。携帯電話６００を利用すると３次元のカラー映像を収得することができる。
【０２２０】
図３２は、映像情報と距離情報を同時に提供する立体カラー映像イメージセンサを有するシステムのブロックダイアグラムである。
【０２２１】
図３２を参照すると、システムは映像情報と距離情報を同時に提供する立体映像イメージセンサ７６０を装着してサービスを提供する。一例として、システムはコンピュータシステム、カメラシステム、スキャナ、ナビゲーションシステムなどを含むことができる。システムは立体映像イメージセンサを通じて３次元のカラー映像を支援する。
【０２２２】
コンピュータシステムと同じプロセッサ基盤システム７００は、バス７５０を通じて入出力（Ｉ／Ｏ）素子７７０とコミュニケーションができるマイクロプロセッサなどと同じ中央処理装置（ＣＰＵ）７１０を含む。バス７５０を通じてフロッピー（登録商標）ディスクドライブ（ＦＤＤ）７２０及び／又はＣＤ  ＲＯＭドライブ７３０、及びポート７４０、ＲＡＭ７８０と中央処理装置は互いに接続されてデータをやりとりし、映像情報と距離情報を同時に提供する立体映像イメージセンサ７６０からデータを出力して映像イメージ距離データを再生する。
【０２２３】
ポート７４０は、ビデオカード、サウンドカード、メモリカード、ＵＳＢ素子などを接続したり、また他のシステムとデータを通信できたりするポートであってもよい。
【０２２４】
以上、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【０２２５】
上述した通り、本発明の立体カラー映像センサに含まれるフィルタ構造を通じて、隣接した各領域別に異なる波長の光がそれぞれ入射するようにすることができる。従って、本発明は、フィルタ構造物、カメラモジュールと同じ映像素子などに多様に応用することができる。
【符号の説明】
【０２２６】
１００    立体カラー映像センサ
１０２    基板
１０４    第１フォトダイオード
１０６    層間絶縁膜
１０８    配線
１１０    カラーピクセルセンサ
１２０    距離ピクセルセンサ
１２２    第２フォトダイオード
１３０    第２フィルタ
１３０ａ    赤色パターン
１３０ｂ    緑色パターン
１３０ｃ    青色パターン
１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ    第２フィルタの透過特性
１４０ａ、１４０ｂ、１４０ｃ、１４０ｄ、１４０ｅ    第１フィルタ
１４１ａ、１４１ｂ、１４１ｃ    第１フィルタの透過特性
１４２    マイクロレンズ
１５０、１５２、１５４    遮断フィルタ
１５０ａ、１５２ａ、１５４ａ    シリコン酸化物層
１５０ｂ、１５２ｂ、１５４ｂ    チタニウム酸化物層
１５１ａ、１５１ｂ、１５１ｃ    遮断フィルタの透過特性
１６０、６２０    イメージセンサ
１７０    レンズモジュール
１８０、１８０ａ    第１フォトレジスト膜
１８２、１８６    フィルタ膜
１８４    エッチングマスクパターン
１８６ａ    フィルタ膜パターン
１８７    ホーム
１８８    インプリント用モールドパターン
１９０    据置フレーム
６００    携帯電話
６１０    カメラレンズモジュール
６３０    モニター
７００    プロセッサ基盤システム
７１０    中央処理装置（ＣＰＵ）
７２０    フロッピー（登録商標）ディスクドライブ（ＦＤＤ）
７３０    ＣＤ  ＲＯＭドライブ
７４０    ポート
７５０    バス
７６０    立体映像（映像情報・距離情報）イメージセンサ
７７０    入出力（Ｉ／Ｏ）素子
７８０    ＲＡＭ
【図１】
2011101006.tif 000006
【図２】
2011101006.tif 000007
【図３】
2011101006.tif 000008
【図４】
2011101006.tif 000009
【図５】
2011101006.tif 000010
【図６】
2011101006.tif 000011
【図７】
2011101006.tif 000012
【図８】
2011101006.tif 000013
【図９】
2011101006.tif 000014
【図１０】
2011101006.tif 000015
【図１１】
2011101006.tif 000016
【図１２】
2011101006.tif 000017
【図１３】
2011101006.tif 000018
【図１４】
2011101006.tif 000019
【図１５】
2011101006.tif 000020
【図１６】
2011101006.tif 000021
【図１７】
2011101006.tif 000022
【図１８】
2011101006.tif 000023
【図１９】
2011101006.tif 000024
【図２０】
2011101006.tif 000025
【図２１】
2011101006.tif 000026
【図２２】
2011101006.tif 000027
【図２３】
2011101006.tif 000028
【図２４】
2011101006.tif 000029
【図２５】
2011101006.tif 000030
【図２６】
2011101006.tif 000031
【図２７】
2011101006.tif 000032
【図２８】
2011101006.tif 000033
【図２９】
2011101006.tif 000034
【図３０】
2011101006.tif 000035
【図３１】
2011101006.tif 000036
【図３２】
2011101006.tif 000037