(57)【要約】【課題】異なる熱履歴により異なる収縮量の液晶パネルを積層する場合でも、画素位置をほぼ一致させる液晶表示装置の製造方法の実現。【解決手段】複数の液晶パネル10B,10G,10Rを積層した液晶表示装置の製造方法であって、積層する２枚の液晶パネル10G,10Rを異なる温度にして、２枚の液晶パネル10G,10Rの画素位置をほぼ一致させた状態で、２枚の液晶パネル10G,10Rを固定する。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の液晶パネルを積層した液晶表示装置の製造方法であって、
積層する２枚の液晶パネルを異なる温度にして、前記２枚の液晶パネルの画素位置を位置決めし、
前記位置決めした前記２枚の液晶パネルを固定することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記位置決めは、前記積層する２枚の液晶パネルの一方の温度を変化させることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記位置決めは、前記積層する２枚の液晶パネルの一方を、表示面上の位置により部分的に異なる温度にすることを特徴とする請求項２に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
さらに、前記固定した前記２枚の液晶パネルと、１枚の液晶パネルとを異なる温度にして、前記２枚の液晶パネルと前記１枚の液晶パネルとの画素位置を位置決めし、
前記位置決めした前記２枚の液晶パネルと前記１枚の液晶パネルとを固定することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記液晶パネルは、青、緑または赤色の表示を行う選択反射波長の異なる反射型コレステリック液晶パネルであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電源が無くても表示保持可能で、電気的に書換えが可能な電子ペーパーの技術分野が急速に発展している。電子ペーパーは、電源を切断してもメモリ表示可能な超低消費電力と目にやさしく、疲れない反射型の表示と紙のような可撓性のあるフレキシブルで薄型の表示体の実現を目指している。電子ペーパーの電子ブック、電子新聞、電子ポスター等への応用が進められている。表示方式としては、帯電粒子を空気中や液体中で移動させる電気泳動方式、二色に色分けした帯電粒子を回転させるツイストボール方式、有機ＥＬ方式、液晶層の干渉反射を利用した双安定性のある選択反射型の液晶方式の開発が進められている。
【０００３】
このような各種方式の中で、液晶方式は、「メモリ機能」、「低電力化」、「カラー化」などの面で優位である。この場合、液晶としては、一般にコレステリック液晶が使用される。以下の説明では、コレステリック液晶を使用した反射型の液晶表示装置を例として説明するが、本発明はこれに限定されず、液晶パネルを積層した反射型液晶表示装置であれば適用可能である。
【０００４】
コレステリック液晶方式は、カラー表示においては、圧倒的に有利である。コレステリック液晶方式以外の方式は、画素ごとに３色に塗り分けたカラーフィルタを配置させなければならないため、明るさが最大でも３分割に相当した１／３になり、現実的とはいえない。これに対して、コレステリック液晶方式は、液晶の干渉で色を反射するため、積層するだけでカラー表示が可能であり、５０パーセントに近い又はそれ以上の明るさが得られるという利点がある。コレステリック液晶パネルでカラー表示を行うために、例えば選択反射の中心波長が約４８０ｎｍの青色表示用パネル、選択反射の中心波長が約５５０ｎｍの緑色表示用パネルおよび選択反射の中心波長が約６３００ｎｍの赤色表示用パネルを、画素位置を一致させて積層する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２９２８０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
各液晶パネルを製造する際に、露光工程でのばらつきや、レジストベーク処理などの熱履歴などにより、各液晶パネルで画素位置のばらつきが発生する。特に、熱履歴によるフィルムの収縮は、液晶パネル全体で発生し、液晶パネルごとに収縮量は一定でなく、ある程度バラツキを有する。各液晶パネルで画素位置のばらつきが発生すると、画素の開口幅が小さくなるため、表示の明るさが低下するという問題が発生する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
発明の一観点によれば、複数の液晶パネルを積層した液晶表示装置の製造方法であって、積層する２枚の液晶パネルを異なる温度にして、前記２枚の液晶パネルの画素位置を位置決めし、前記位置決めした前記２枚の液晶パネルを固定する液晶表示装置の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
上記の観点によれば、比較的な簡単な方法で、全面で明るく、明るさの一様な積層型液晶表示装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、実施例１の製造方法で製造する反射型カラー液晶表示装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】図２は、液晶パネルの平面図である。
【図３】図３は、液晶パネルの製造工程を示す図である。
【図４】図４は、液晶パネルの製造工程を示す図である。
【図５】図５は、３枚の液晶パネルの画素位置にずれがある場合に、従来方法で積層した場合の画素位置のずれの例を示す図である。
【図６】図６は、実施例１の製造方法における積層工程を説明する図である。
【図７】図７は、実施例１で製造する液晶表示装置のアライメントマークの例を示す図である。
【図８】図８は、実施例１における積層工程を示すフローチャートである。
【図９】図９は、実施例１における積層工程の説明図である。
【図１０】図１０は、温度調整可能なヘッドステージの側面図である。
【図１１】図１１は、図１１は、実施例２の製造方法で積層する液晶パネルのアライメントマークの配置を示す図である。
【図１２】図１２は、実施例２で使用するヘッドステージの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して具体的に説明する。
【実施例１】
【００１１】
実施例１について、図１から図１０を参照して説明する。
【００１２】
図１は、実施例１の製造方法で製造する反射型カラー液晶表示装置の概略構成を示す断面図である。実施例１の反射型カラー液晶表示装置は、画素位置をほぼ一致させて積層した、青色表示を行う液晶パネル１０Ｂと、緑色表示を行う液晶パネル１０Ｇと、赤色表示を行う液晶パネル１０Ｒと、を有する。液晶パネル１０Ｂ、１０Ｇおよび１０Ｒは、観察側からこの順に配置され、液晶パネル１０Ｒの後側の面（観察側と反対側の面）には、図示していないが、光を吸収する光吸収層が形成される。なお、３枚の液晶パネルの配置順は、この例に限定されるものではない。以下、観察側を上面、観察側と反対側を下面と称する場合がある。
【００１３】
液晶パネル１０Ｂは、対向するフィルム基板（以下、単に「対向フィルム基板」と言う）１１Ｂと１２Ｂの間に液晶１３Ｂを封止した構造を有する。対向フィルム基板１１Ｂと１２Ｂにはそれぞれ電極パターンが形成されており、電極パターンは対向フィルム基板の端部に設けられた電極に接続される。端部に設けられた電極は、表示装置の回路基板とフレキシブル基板１４Ｂおよび１５Ｂ等で接続される。
【００１４】
液晶パネル１０Ｇは、同様に、対向フィルム基板１１Ｇと１２Ｇの間に液晶１３Ｇを封止し、フレキシブル基板１４Ｇおよび１５Ｇ等で表示装置の回路基板に接続される。また、液晶パネル１０Ｒは、対向するフィルム基板１１Ｒと１２Ｒの間に液晶１３Ｒを封止し、フレキシブル基板１４Ｒおよび１５Ｒ等で表示装置の回路基板に接続される。
【００１５】
液晶パネル１０Ｂ、１０Ｇおよび１０Ｒは、類似の構成を有するが、例えば反射の中心波長がそれぞれ青色（約４８０ｎｍ）、緑色（約５５０ｎｍ）、赤色（約６３０ｎｍ）になるように、液晶材料およびカイラル材が選択される。
【００１６】
対向フィルム基板として、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムが使用される。対向フィルム基板は、熱履歴により収縮するが、室温付近の温度範囲では、温度が上昇すれば伸び、温度が低下すれば縮むという特性を有する。
【００１７】
図２は、液晶パネル１０の平面図であり、液晶パネル１０Ｂ、１０Ｇおよび１０Ｒは、図２に示す構造を有する。
【００１８】
液晶パネル１０では、対向フィルム基板１１および１２の一方のフィルム基板に、対向フィルム基板間の間隙を維持するための支持構造を樹脂で形成し、対向フィルム基板１１と１２を、例えばアクリル系の接着剤を塗布して形成されたシール材１６を介して貼り合わせる。図２に示すように、シール材１６は、フィルム基板間の周囲に設けられ、対向フィルム基板間を接着固定すると同時に、対向フィルム基板１１と１２の間に液晶を密閉するための空間を形成する。シール材１６で囲まれる領域が、表示エリア１９である。対向フィルム基板１１と１２の間には、液晶１３を空間内に注入するための液晶注入口１７が設けられている。液晶注入口１７から液晶１３を空間内に注入した後、封止用接着剤１８で液晶注入口１７を塞ぐことで液晶を空間内に密閉する。
【００１９】
図３および図４は、液晶パネル１０の製造工程を示す図であり、液晶パネル１０Ｂ、１０Ｇおよび１０Ｒは、例えば図３および図４に示した工程で製造される。
【００２０】
電極生成工程では、フィルム基板１２上に導電性透明膜の電極層２１を形成する。
【００２１】
次に、フォトリソグラフィで電極層２１をパターニングする。
【００２２】
まず、レジスト塗布工程で、電極層２１上にレジスト２２を塗布する。
【００２３】
露光工程では、フォトマスク２３に形成された電極パターンの露光を行う。露光の光源としては、例えば紫外線（ＵＶ）を用いることができる。
【００２４】
現像工程では、スプレイノズル２４から現像液２５をレジスト２２に射出して現像を行う。これにより、レジスト２２は、電極パターンに対応したパターンのレジスト２２’になる。
【００２５】
エッチング工程では、スプレイノズル２４からエッチング液２６を、電極層２１およびレジスト２２’に射出してエッチングを行う。これにより、電極層２１は、電極パターン２１’になる。
【００２６】
剥離工程では、スプレイノズル２４から剥離液２７を、電極パターン２１’およびレジスト２２’に射出してレジスト２２’の剥離を行う。
【００２７】
以上のようにして、フォトリソグラフィにより、電極パターン２１’が形成される。
【００２８】
スペーサ形成工程では、電極パターン２１’のパターン間に、スペーサ２８を形成する。スペーサ２８は、対向フィルム基板の間隙を維持するための支持構造を形成する。
【００２９】
シール塗布工程では、フィルム基板１２の周囲にシール材１６を形成する。
【００３０】
一方、フィルム基板１１についても、シール塗布工程を除く上記と同様の工程を行い、フィルム基板１１上に電極パターン３１を形成する。
【００３１】
対向フィルム基板の一方はコモン電極基板で、もう一方はセグメント電極基板であり、貼り合わせると対向フィルム基板の電極パターン２１’と３１が直交するような電極パターンが形成される。
【００３２】
図４に示すように、貼り合わせ工程では、上記のように製造した対向フィルム基板１１と１２を、全面で画素位置をほぼ一致させて貼り合わせる。
【００３３】
シール硬化工程では、紫外線（ＵＶ）を照射してシール材１６を硬化して、対向フィルム基板１１と１２を固定する。
【００３４】
液晶注入工程では、液晶注入口１７から液晶を注入する。
【００３５】
封止工程では、液晶注入口１７を封止用接着剤１８で液晶注入口１７を塞ぐ。
【００３６】
対向フィルム基板１１と１２にも収縮の差は生じるが、上記のように、電極パターンが直行するように対向フィルム基板を貼り合わせるので、少しの収縮の差は問題にならない。
【００３７】
上記の工程後、対向フィルム基板１１と１２の端部に設けられた電極に、フレキシブル基板を接続する。
【００３８】
液晶パネル１０Ｂ、１０Ｇおよび１０Ｒは、同一の電極パターンを形成するように同一の工程で製造されるが、電極パターン形成工程での熱履歴により、対向フィルム基板が収縮し、液晶パネル１０Ｂ、１０Ｇおよび１０Ｒの収縮率はある程度のばらつきを生じる。液晶パネルの収縮率に差があると、ある部分で画素位置をほぼ一致させる位置決めを行っても、他の部分では画素位置にずれが発生する。実際には、このずれに、熱履歴による収縮以外の製造ばらつき（特に露光工程のばらつき）による画素位置のバラツキを加えた分だけ画素位置にずれが発生する。
【００３９】
図５は、３枚の液晶パネルの画素位置にずれがある場合に、従来方法で積層した場合の画素位置のずれの例を示す図である。画素位置のずれは、全面でできるだけ平均化するようにアライメント（位置合わせ）が行われる。言い換えれば、全面における最大の画素位置のずれが、所定範囲内に入るようにアライメントが行われ、所定範囲に入らない画素が存在する場合には、その液晶表示装置は不良品となる。そのため、図５の（Ａ）に示すように、画面の中央付近で画素位置がほぼ一致するようにアライメントを行う。図５において、参照番号５１および５２は、液晶パネルを固定する接着剤層である。この場合の画素の開口幅Ｗは、３枚の液晶パネルのスペーサ２８Ｂ、２８Ｇおよび２８Ｒで遮られない範囲である。画面の中央付近で画素位置がほぼ一致するようにアライメントした場合、図５の（Ｂ）に示すように、液晶パネルの伸縮率の差に対応した画素位置のずれが発生する。図５の（Ｂ）に示す例では、緑色の液晶パネル１０Ｇの収縮がもっとも大きく、次に青色の液晶パネル１０Ｂの収縮が大きく、赤色の液晶パネル１０Ｒの収縮がもっとも小さい。そのため、開口幅Ｗ’は、中央の開口幅Ｗに比べて小さくなっている。
【００４０】
図６は、実施例１の製造方法における積層工程を説明する図である。図６の（Ａ）に示すように、赤色の液晶パネル１０Ｒを積層ステージ６１に保持し、緑色の液晶パネル１０Ｇを温度調整可能なヘッドステージ６２に保持する。赤色の液晶パネル１０Ｒの緑色の液晶パネル１０Ｇが積層される側の表面には、例えば可視光重合型一液性接着剤を塗布して接着剤層５２が形成される。
【００４１】
各液晶パネル１０は、四隅に、図７に示すようなアライメントマーク７１を有している。アライメントマーク７１は、スペーサ（支持構造）２７の一部をアライメントマークとしてもよい。緑色の液晶パネル１０Ｇのアライメントマークが、赤色の液晶パネル１０Ｒのアライメントマークにほぼ一致するように、ヘッドステージ６２の温度を変化させる。前述のように、液晶パネル１０の対向フィルム基板を形成するＰＥＴフィルムは、室温付近の温度範囲では、温度が上昇すれ伸び、温度が低下すれば縮むという特性を有する。そこで、図５に示したように緑色の液晶パネル１０Ｇの収縮が大きく、赤色の液晶パネル１０Ｒの収縮が小さい場合、ヘッドステージ６２の温度を上昇させて緑色の液晶パネル１０Ｇを伸ばし、２枚の液晶パネル１０Ｒと１０Ｇのアライメントマークをほぼ一致させる。もし、緑色の液晶パネル１０Ｇの収縮が小さく、赤色の液晶パネル１０Ｒの収縮が大きい場合、ヘッドステージ６２の温度を低下させて緑色の液晶パネル１０Ｇを縮ませ、２枚の液晶パネル１０Ｒと１０Ｇのアライメントマークをほぼ一致させる。その上で、４２０ｎｍ〜４５０ｎｍの可視光を接着剤層５２に部分的に照射して、接着剤層５２の一部５２’を硬化させて仮固定する。仮固定した液晶パネル１０Ｒと１０Ｇは、積層ステージ６１およびヘッドステージ６２から取り外され、可視光を全面に照射して固定される。
【００４２】
前述のように、積層する液晶パネル間の収縮量の差は、５０μｍ程度であり、液晶パネル１０Ｒと１０Ｇの間に数度、例えば±３度程度の温度差を生じさせられればよい。なお、上記の例では、緑色の液晶パネル１０Ｇの温度を調整したが、赤色の液晶パネル１０Ｒの温度を調整することも可能である。また、緑色の液晶パネル１０Ｇの温度と赤色の液晶パネル１０Ｒの温度を、それぞれ調整することも可能である。
【００４３】
次に、積層した液晶パネル１０Ｒと１０Ｇを積層ステージ６１に保持し、青色の液晶パネル１０Ｂをヘッドステージ６２に保持し、上記と同様の処理を行って３つの液晶パネル１０Ｒ、１０Ｇおよび１０Ｂを積層する。
【００４４】
３つの液晶パネル１０Ｒ、１０Ｇおよび１０Ｂのアライメントマークは、四隅でほぼ一致する。したがって、画素位置は、図６の（Ｂ）に示すように画面の中央付近でほぼ一致し、かつ図６の（Ｃ）に示すように画面の周辺部でもほぼ一致する。これにより、開口幅Ｗは、画面の中央付近および周辺部で同じであり、全面で明るく、明るさの差がない表示を実現できる。
【００４５】
なお、図６に示すように、スペーサ（支持構造）２８Ｒ、２８Ｇおよび２８Ｂの幅を異ならせてもよい。その場合、積層する３枚の液晶パネルの内、中央の液晶パネル（ここでは液晶パネル１０Ｇ）のスペーサの幅を上下の液晶パネル（ここでは液晶パネル１０Ｒおよび１０Ｂ）のスペーサの幅より狭く形成し、かつ、表示エリア内の支持構造の密度を低く（数量を少なく）形成することにより、温調で収縮させても支持構造が上下の液晶表示パネルで重なり合い、画素面積が狭くなることがなく、また、積層後のパネルの反りが抑制される。これにより、パネル内の全面で均一な画素が形成されるので、良好な表示品質が得られる。
【００４６】
図８は実施例１における積層工程を示すフローチャートであり、図９は積層工程の説明図である。図８および図９を参照して積層工程を説明する。
【００４７】
ステップＳ１１では、パネル搬送部１０１が、積層する一方のパネルＡ（ここでは液晶パネル１０Ｒ）を、塗布ステージ１０２に搬送する。
【００４８】
ステップＳ１２では、塗布ステージ１０２は、パネルＡを真空吸着などにより固定する。
【００４９】
ステップＳ１３では、パネルＡの位置および方位を検出するアライメント処理が行われる。具体的には、パネルＡのアライメントマークを光学的に検出する光学ヘッド１１３が、パネルＡの上方に移動し、パネルＡのアライメントマークを撮影する。認識部１１１は、画像処理によりパネルＡのアライメントマークを認識して、パネルＡのアライメントマークの位置を検出する。認識部１１１は、例えばコンピュータおよび画像処理ソフトウェアなどにより実現される。ここでは、アライメントマークの位置と共に、パネルＡのアライメントマーク間の距離が算出される。
【００５０】
ステップＳ１４では、塗布ヘッド１１２に設けられたノズル１１４が、パネルＡのパネルＢが積層される側の表面に、例えば可視光重合型一液性接着剤を塗布する。
【００５１】
ステップＳ１５では、パネル搬送部１０１が、パネルＡを、塗布ステージ１０２から積層ステージ１０４に搬送する。積層ステージ１０４は、パネルＡを真空吸着などにより固定する。
【００５２】
一方、ステップＳ２１では、パネル搬送部１０１が、積層する他方のパネルＢ（ここでは液晶パネル１０Ｇ）を、ヘッドステージ１１３上に搬送する。ヘッドステージ１１３は、搬送されたパネルＢを真空吸着により吸着して固定する。
【００５３】
ステップＳ２２では、光学ヘッド１０６が、パネルＢ下に移動し、パネルＢのアライメントマークを撮影する。認識部１０５は、画像処理によりパネルＢのアライメントマークを認識して、パネルＢのアライメントマークの位置を検出する。認識部１０５は、認識部１１１と共通化することが望ましい。ここでも、アライメントマークの位置と共に、パネルＢのアライメントマーク間の距離が算出される。さらに、パネルＢのアライメントマーク間の距離を、パネルＡのアライメントマーク間の距離に等しくするための倍率、およびパネルＢを算出した倍率だけ伸縮するためのパネルＢ（ヘッドステージ１１３）の温度変化量を算出する。
【００５４】
ステップＳ２３では、光学ヘッド１０６が、パネルＡを保持した積層ステージ１０４の上方に移動する。
【００５５】
ステップＳ２４では、温度制御部１１４は、ヘッドステージ１１３の温度を、ステップＳ２２で算出した温度変化量だけ変化させる。パネルＢがこの温度変化量だけ変化するまで、この状態が維持される。なお、パネルＢの温度調整後、必要に応じてパネルＢのアライメント動作を再度行い、パネルＡとパネルＢのアライメントマークがほぼ一致することを確認するようにしてもよい。
【００５６】
ステップＳ１６では、積層ステージ１０４に保持されたパネルＡのアライメントマークが、ヘッドステージ１１３に保持され温度調整されたパネルＢのアライメントマークに、ほぼ一致するように、駆動部１２１が、積層ステージ１０４の位置および回転位置を補正する。
【００５７】
ステップＳ３１では、パネルＡのアライメントマークとパネルＢのアライメントマークがほぼ一致する状態で、パネルＡにパネルＢを積層する。
【００５８】
ステップＳ３２では、部分的に４２０ｎｍ〜４５０ｎｍの可視光を照射して積層したパネルＡとパネルＢを仮固定する。
【００５９】
ステップＳ３３では、積層ステージ１０４およびヘッドステージ１１３の吸着を解除して、積層したパネルＡおよびパネルＢをステージから取り外せる状態にして、パネル搬送部１０１により硬化ステージに搬送する。
【００６０】
ステップＳ３５では、積層したパネルＡおよびパネルＢの全面に可視光を照射して、接着剤を硬化する。
【００６１】
図９の制御部１２２は、図９に示した各部を含む積層工程を実行するシステム全体を制御する。操作盤１３１は、ユーザが積層工程の各種動作を操作するのに使用される。
【００６２】
図１０は、温度調整可能なヘッドステージ１１３の側面図である。ヘッドステージ１１３は、窒化アルミニューム製の基材１４６と、基材１４６に支持された温度変化部１４３と、温度変化部１４３に支持されたなどで作られた断熱材１４２と、断熱材１４２に支持されたヘッド部１４１と、基材１４６を冷却する冷却気体噴出口１４７と、を有する。ヘッド部１４１は、図示していない真空吸着機構を有し、表面に載置された液晶パネルを吸着して固定できる。温度変化部１４３は、内部にセラミックヒータ１４２と、冷却水が循環する冷却機構１４５と、を有し、ヘッド部１４１の温度は、セラミックヒータ１４２または冷却機構１４５を駆動することにより調整できる。セラミックヒータ１４２を動作させた場合に発生する熱は、ヘッド部１４１を加熱すると共に、基材１４６も加熱するので、冷却気体噴出口１４７から冷却気体を噴出して冷却する。
【００６３】
上記のようにして、液晶パネル１０Ｒと１０Ｇを積層し固定した後、積層した液晶パネル１０Ｒと１０ＧをパネルＡとし、液晶パネル１０ＢをパネルＢとして、図８に示したフローチャートおよび図９に示した説明図にしたがって、積層処理を行う。このようにして、３枚の液晶パネル１０Ｒ、１０Ｇおよび１０Ｂを積層した積層パネルが作られる。
【００６４】
実施例１では、ヘッドステージ１１３を温度調整可能とし、積層ステージ１０４は特に温度調整可能としていないが、パネルＡとパネルＢの温度差を精密に制御するために、積層ステージ１０４も温度調整可能としてもよい。この場合、パネルＡとパネルＢの収縮の差を補正するための温度差は、積層ステージ１０４は一定温度に制御し、ヘッドステージ１１３の温度調整により温度差を実現することが望ましい。しかし、積層ステージ１０４およびヘッドステージ１１３の両方を室温から変化させて、パネルＡとパネルＢの収縮の差を補正するための温度差を得られるようにしてもよい。
【００６５】
また、積層ステージの位置および回転位置を調整して２枚の液晶パネルのアライメントマークをほぼ一致させたが、ヘッドステージまたは積層ステージとヘッドステージの両方の位置および回転位置を調整可能にして、２枚の液晶パネルの位置をそれぞれ調整してもよい。
【００６６】
実施例１では、熱履歴による液晶パネルの収縮は、パネル全面で一様に発生するとしたが、部分的に異なる形で発生する場合もある。次に説明する実施例２の製造方法によれば、熱履歴による液晶パネルの収縮が、パネルの部分で異なる場合にも、全面で画素位置をほぼ一致させることが可能になる。実施例２の製造方法は、実施例１の製造方法と、以下の点が異なり、他は同じである。
【００６７】
図１１は、実施例２の製造方法で積層する液晶パネルのアライメントマークの配置を示す図である。図１１の（Ａ）に示すように、実施例２の液晶パネルは、液晶パネルの四隅付近に設けられたアライメントマーク７１Ａ−７１Ｄに加えて、中央部分にアライメントマーク７１Ｅを有する。例えば、図１１の（Ｂ）に示すように、液晶パネルを上下左右に４等分した時に、右上の部分の熱履歴による収縮が、残りの３つの部分（左上、左下、右下）より小さいとする。このような場合、実施例１では、積層する２つの液晶パネルのアライメントマーク７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｄ、７１Ｅをほぼ一致させることはできるが、アライメントマーク７１Ｃを一致させることはできない。
【００６８】
実施例２では、ヘッドステージ１１３は、図１２に示すように、ヘッドステージ１１３を上下左右に４等分した４つの部分１５０Ａ、１５０Ｂ、１５０Ｃ、１５０Ｄの温度がそれぞれ独立に調整可能である。このため、ヘッドステージ１１３の温度変化部１４３に設けられるセラミックヒータ１４４および冷却機構１４５も、４つの部分に対応して分割して設けられている。
【００６９】
一方のパネルＡは部分的な収縮がなく全面が一様に収縮しており、他方のパネルＢは図１１の（Ｂ）のような部分的な収縮があり、パネルＡはパネルＢより全体として収縮している場合に、パネルＡとパネルＢを積層する場合について説明する。
【００７０】
図１２のヘッドステージ１１３の部分１５０Ａ、１５０Ｂおよび１５０Ｄの温度を第１の温度に設定し、部分１５０Ｃの温度を第１の温度より低い第２の温度に設定する。積層ステージ１０４は、第２の温度より高い第３の温度に設定する。第１から第３の温度は、上記のような関係を有するが、個別の値は、パネルＡの収縮量、パネルＢの４つの部分１５０Ａ、１５０Ｂ、１５０Ｃ、１５０Ｄに対応する部分の収縮量に応じて設定する。
【００７１】
このような温度調整により、パネルＢの部分１５０Ａ、１５０Ｂおよび１５０Ｄに対応する部分は収縮し、パネルＢの部分１５０Ｃに対応する部分はさらに収縮し、パネルＢの５個のアライメントマーク７１Ａ−７１Ｅは、パネルＡの５個のアライメントマーク７１Ａ−７１Ｅにほぼ一致させることができる。
【００７２】
積層ステージ１０６も同様に部分的に温度設定が変えられるようにしてもよい。さらに、温度設定が変えられる部分の個数は、任意に設定できるようにしてもよい。この場合は、温度設定が変えられる部分の個数に応じてアライメントマークの個数も増加させる必要がある。
【００７３】
以上、実施形態を説明したが、ここに記載したすべての例や条件は、発明および技術に適用する発明の概念の理解を助ける目的で記載されたものであり、特に記載された例や条件は発明の範囲を制限することを意図するものではなく、明細書のそのような例の構成は発明の利点および欠点を示すものではない。発明の実施形態を詳細に記載したが、各種の変更、置き換え、変形が発明の精神および範囲を逸脱することなく行えることが理解されるべきである。
【符号の説明】
【００７４】
１０、１０Ｂ、１０Ｇ、１０Ｒ    液晶パネル
１１、１１Ｂ、１１Ｇ、１１Ｒ    対向フィルム
１２、１２Ｂ、１２Ｇ、１２Ｒ    対向フィルム
１３Ｂ、１３Ｇ、１３Ｒ    液晶層
２８Ｂ、２８Ｇ、２８Ｒ    スペーサ（支持構造）
５１  ５２    接着剤層
６１、１０４    積層ステージ
６２、１１３    ヘッドステージ
７１、７１Ａ−７１Ｅ    アライメントマーク
【図１】
2011237515.tif 000003
【図２】
2011237515.tif 000004
【図３】
2011237515.tif 000005
【図４】
2011237515.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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