(57)【要約】【課題】本発明の目的は、パターンファイルを行および列によって区切られた矩形領域を最小単位とするスプレッドシートとして表示および編集し、また自動的にパターンファイルの書式チェックすることで、パターンファイルの編集を容易にでき、またパターンファイルの編集ミスを低減する半導体試験装置を実現することにある。を実現することにある。【解決手段】本発明は、パターンデータに基づいて生成した試験信号を被試験対象に与えて試験を行う半導体試験装置において、行および列によって区切られた矩形領域を最小単位として構成したスプレッドシートに前記パターンデータを記述し、スプレッドシート形式のパターンファイルを作成するとともに、前記パターンファイルを編集するパターンエディタ手段を備えたことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンデータに基づいて生成した試験信号を被試験対象に与えて試験を行う半導体試験装置において、
行および列によって区切られた矩形領域を最小単位として構成したスプレッドシートに前記パターンデータを記述し、スプレッドシート形式のパターンファイルを作成するとともに、前記パターンファイルを編集するパターンエディタ手段を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記パターンエディタ手段は、前記パターンデータを、与えられた書式情報に基づいた書式に従って表示することを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記書式情報は、前記パターンデータに付加されている情報によって与えられることを特徴とする請求項２記載の半導体試験装置。
【請求項４】
前記パターンエディタ手段は、前記パターンデータを、前記書式情報に基づいて、編集可能部分と編集禁止部分とを区別して表示することを特徴とする請求項２または３記載の半導体試験装置。
【請求項５】
前記パターンエディタ手段は、前記パターンデータを、前記書式情報に基づいて、編集可能部分と編集禁止部分を色分けして表示することを特徴とする請求項４記載の半導体試験装置。
【請求項６】
前記パターンエディタ手段は、入力または編集された前記パターンデータが、前記情報に基づいた書式に違反するときにエラー表示を行うことを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載の半導体試験装置。
【請求項７】
前記エラー表示は、前記パターンデータの該当箇所に表示されることを特徴とする請求項６記載の半導体試験装置。
【請求項８】
前記エラー表示は、前記パターンデータの該当箇所に色付けして表示されることを特徴とする請求項７記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣ，ＬＳＩ等の被試験対象を試験信号によって試験する半導体試験装置に関し、試験信号を生成するためのパターンファイルの編集を容易に行うことが可能な半導体試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体試験装置の構成を、図面を用いて説明する。図３は従来の半導体試験装置の例を示した構成図である。
図３において、半導体試験装置は、記憶部１と、制御部２と、試験部３を備える。記憶部１は、制御部２と接続されている。制御部２は、試験部３と接続されている。
記憶部１はテストプログラムやパターンファイルを格納している。
テストプログラムには、半導体試験装置が被試験対象（以下、ＤＵＴ）に対して行う試験のリストが記述されている。パターファイルには、テストプログラムで用いられる試験信号パターンのリスト（パターンデータ）が記述されている。
制御部２は、エディタ手段２１と、パターンローダ２２、プログラム実行手段２３等からなり、記憶部１と接続されている。
【０００３】
制御部２のエディタ手段２１により、記憶部１に格納されているパターンファイルが編集される。パターンローダ２２は、記憶部１に格納されているパターンファイルに記述されているパターンデータを試験部３へ出力する。プログラム実行手段２３は、テストプログラムに基づいて半導体試験のためのコマンドを試験部３へ発行する。
【０００４】
試験部３は、パターンメモリ３１と、信号出力手段３２と、信号入力手段３３と、ピン３４等を備え、プログラム実行手段２３からのコマンドに基づいて試験を行う。図示はしていないが、試験部３が備えるピン３４は複数存在し、これら複数のピンは、図示しないＤＵＴの複数の信号線とそれぞれ接続されている。
信号出力手段３２および信号入力手段３３は、プログラム実行手段２３からのコマンドとパターンメモリ３１のパタンデータに基づき、ピン３４を介して試験信号をそれぞれ出力および入力する。
【０００５】
このような半導体試験装置の動作を以下に説明する。
エディタ手段２１は、汎用的なテキストエディタ（ｖｉエディタ、ｖｉｍエディタ、Ｅｍａｃｓエディタなど）である。エディタ手段２１によって、記憶部１のパターンファイルがテキスト形式で表示され、また編集される。
【０００６】
図４は、パターンファイルをエディタ手段２１で表示した例である。ピン番号、アドレス番号とともに、パターンデータ（出力値および期待値）が表示されている。行方向は、信号のタイムチャートにおけるサイクル番号（アドレス番号）を表し、列方向は、ピン番号を表す。
パターンデータのうち、出力値(またはドライブデータ)とは、ＤＵＴに対して信号を出力するための値で、出力信号をハイレベルにドライブする「１」や、出力信号をローレベルにドライブする「０」等で表現される。そして、期待値とは、ＤＵＴから入力した信号のレベルを評価するための値で、入力信号がハイレベルであるか否かを評価する「Ｈ」や、入力信号がローレベルであるか否かを評価する「Ｌ」や、入力信号を評価しない「Ｘ」等で表現される。
パターンファイルは、エディタ手段２１によって編集された後、記憶部１に再度格納される。
【０００７】
パターンローダ２２は、記憶部１に格納されているパターンファイルをパターンデータとしてパターンメモリにロードする。
【０００８】
プログラム実行手段２３は、テストプログラムに基づいてコマンドを試験部３に発行する。試験部３は、プログラム実行手段２３からのコマンドに基づいて信号出力手段３２および信号入力手段３３へ、それぞれ信号の出力および入力の指示を行い、試験を行う。
【０００９】
試験部３の信号出力手段３２は、コマンドとパターンデータのドライブデータに基づいて、ピンを介してＤＵＴに信号を出力する。
【００１０】
参考のため、図４のパターンデータのうちピン１とピン５のパターンデータによる信号のタイムチャートを図５示す。ここでは、簡単のため波形は一律ＮＲＺとする（ＮＲＺとは、パターンデータが「０」の時は「ローレベル」、「１」の時は「ハイレベル」と信号を変化させて伝送する最も基本となる符号化方法である）。また、レベルが変化するタイミング（エッジ）は各周期の先頭とする。
【００１１】
一方、信号入力手段３３は、ＤＵＴからピンを介して信号を入力し、この入力信号のレベルとパターンデータの期待値と比較を行う。
制御部２は、信号入力手段３３の比較結果に基づいてＤＵＴの良否を判断する。
【００１２】
特許文献１には、パターンデータに基づいて生成された試験信号を入出力することで、ＤＵＴの試験を行う半導体試験の構成の構成が詳細に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２０００−２９２５００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
従来の半導体試験装置に備えられたエディタ手段は、テキスト形式で表示または編集を行う。したがって、行方向（アドレス方向）に対してはコピー・貼り付け等の編集は比較的容易であるが、列方向（ピン方向）に対しては困難である。
また、ピンによって動作可能周波数が異なる場合等、例えば図４および図５で示したように、ピン１（高速ピン）の方がピン５（低速ピン）よりも、３倍高速（３倍の周波数）で動作する場合、ピン１の方がピン５よりも３倍の入出力情報（パターンデータ）が必要である。このようなケースでは、アドレスによって、ピン毎にパターンデータの表記数に違いが出てしまう（アドレス１にはピン１とピン５のデータ記述があるが、アドレス２および３にはピン１の記述のみである）。
パターンファイルの作成や編集の際に常にこのような記述ルールの注意をしなければならないのは、パターンファイルの編集者にとって非常に負担となり、また編集ミスも生じやすかった。
【００１５】
そこで本発明の目的は、パターンファイルを行および列によって区切られた矩形領域を最小単位とするスプレッドシートとして表示および編集し、また自動的にパターンファイルの書式チェックすることで、パターンファイルの編集を容易にでき、またパターンファイルの編集ミスを低減する半導体試験装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
このような課題を解決するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
パターンデータに基づいて生成した試験信号を被試験対象に与えて試験を行う半導体試験装置において、
行および列によって区切られた矩形領域を最小単位として構成したスプレッドシートに前記パターンデータを記述し、スプレッドシート形式のパターンファイルを作成するとともに、前記パターンファイルを編集するパターンエディタ手段を備えたことを特徴とする。
【００１７】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明であって、
前記パターンエディタ手段は、前記パターンデータを、与えられた書式情報に基づいた書式に従って表示することを特徴とする。
【００１８】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の発明であって、
前記書式情報は、前記パターンデータに付加されている情報によって与えられることを特徴とする。
【００１９】
請求項４記載の発明は、請求項２または３記載の発明であって、
前記パターンエディタ手段は、前記パターンデータを、前記書式情報に基づいて、編集可能部分と編集禁止部分とを区別して表示することを特徴とする。
【００２０】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の発明であって、
前記パターンエディタ手段は、前記パターンデータを、前記書式情報に基づいて、編集可能部分と編集禁止部分を色分けして表示することを特徴とする。
【００２１】
請求項６記載の発明は、請求項２〜５のいずれかに記載の発明であって、
前記パターンエディタ手段は、入力または編集された前記パターンデータが、前記情報に基づいた書式に違反するときにエラー表示を行うことを特徴とする。
【００２２】
請求項７記載の発明は、請求項６記載の発明であって、
前記エラー表示は、前記パターンデータの該当箇所に表示されることを特徴とする。
【００２３】
請求項８記載の発明は、請求項７記載の発明であって、
前記エラー表示は、前記パターンデータの該当箇所に色付けして表示されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、パターンエディタ手段によって、パターンファイルをスプレッドシート形式で表示や編集することが可能となり、また、与えられた書式情報に基づいてパターンファイルの書式をチェックする。したがって、パターンファイルの編集を容易にし、また編集ミスを軽減する半導体試験装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】図１に示す装置のパターンエディタ手段でパターンファイルを表示した例を示した図である。
【図３】従来の半導体装置の構成例を示した図である。
【図４】従来の装置のエディタ手段でパターンファイルを表示した例を示した図である。
【図５】図４に示すパターンファイルのピン１とピン５に相当するタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、記憶部１、パターンローダ２２、プログラム実行手段２３、試験部３に関しては、図３と同一構成であるので説明を省略する。
【００２７】
制御部４は、パターンエディタ手段４１と、、パターンローダ２２、プログラム実行手段２３とを有し、記憶部１と接続されている。パターンエディタ手段４１は、スプレッドシート表示手段４１１と、スプレッドシート編集手段４１２と、書式チェッカ手段４１３と、編集可能エリア表示手段４１４とを備え、記憶部１のパターンファイルを入力する。
スプレッドシート表示手段４１１は、入力したパターンファイルを書式情報に基づきスプレッド形式で表示する。
スプレッドシート編集手段４１２は、入力したパターンファイルを行および列によって区切られた矩形領域（ブロック）を最小単位として、編集可能とする。
書式チェッカ手段４１３は、パターンファイルのヘッダ等によって与えれられる書式情報により、パターンファイルが書式に従って記述されているかチェックする。
編集可能エリア表示手段４１４は、パターンファイルのヘッダ等によって与えれられる書式情報により、パターンファイルにおける編集可能部分と編集禁止部分とを、色づけ等で区分けして表示する。
ここで書式情報とは、例えばピンの動作可能速度（高速ピンや低速ピンなどの区別）や、ピンの入出力属性（出力（ドライブデータ）専用または入力（期待値）専用または入出力可能等の属性のこと）等を意味している。書式情報はパターンファイルのヘッダ等に記述してもよいし、制御部４の図示しない入力手段（キーボード、ポインティングデバイス等）からパターンエディタ手段へ与えてもよい。
【００２８】
このような、半導体試験装置の動作例を図２も加えて詳細に説明する。
パターンエディタ手段４１のスプレッドシート表示手段４１１は、記憶部１に格納されているパターンファイルを行および列によって区切られた矩形領域（ブロック）を最小単位として構成したスプレッドシート形式で表示する。その際に、書式情報に基づいて表示する。
ここで、表示例を図２に示す。図２は、図４で示したものと同一のパターンファイルをスプレッドシート表示手段４１１によりスプレッド形式で表示した図である。
スプレッドシート編集手段４１２により、スプレッド形式で表示されたパターンファイルを編集する。
編集は、複数行または複数列等を含むブロックごとに編集可能である。
【００２９】
書式チェッカ手段４１３は、記憶部１に格納されているパターンファイルを読み込み、書式情報に基づいて、書式の違反をチェックし、違反箇所を色づけ等によりエラー表示を行う。
例えば図２において、１ピンおよび５ピンの動作可能速度（高速ピンや低速ピンなどの区別）による、パターンデータの記述位置のチェック等を行う。
【００３０】
編集可能エリア表示手段４１４は、記憶部１に格納されているパターンファイルを読み込んで、書式情報に基づいて、編集可能部分と編集禁止部分とを色分け等により区別して表示する。例えば、図２のように、編集禁止部分を灰色等にして入力不可とする。
【００３１】
このように、パターンエディタ手段のスプレッドシート表示手段４１１が、入力したパターンファイルをスプレッド形式で表示するとともに、スプレッドシート編集手段４１２が、入力したパターンファイルを行および列によって区切られた矩形領域を最小単位として、編集可能とし、また書式チェッカ手段４１３が、入力したパターンファイルのヘッダ等によって与えれられる書式情報により、パターンファイルが書式に従って記述されているかチェックし、また、編集可能エリア表示手段４１４が、書式情報により、パターンファイルにおける編集可能部分と編集禁止部分とを、色づけ等で区分けして表示する。したがって、パターンファイルの編集を容易で、また編集ミスを軽減することができる半導体試験装置を実現することができる。
【００３２】
なお、またスプレッドシート編集手段４１２は、スプレッドシートにパターンデータを記述することで、スプレッドシート形式のパターンファイルを新たに作成するする構成としてもよい。
【符号の説明】
【００３３】
１  記憶部（パターンファイル）
３１  パターンメモリ（パターンデータ）
４１  パターンエディタ手段
４１１  スプレッドシート表示手段
４１２  スプレッドシート編集手段
４１３  書式チェッカ手段
４１４  編集可能エリア表示手段
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図２】
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