(57)【要約】【課題】簡単な構成で基板搬送面の裏側への設置が容易であり、基板の浮き上がりも防止でき、設備費もかからず、どの工程でも設置可能な情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置を提供する。【解決手段】少なくとも一方が透明な２枚の基板を対向配置した基板間を、隔壁で仕切って形成した各セル内に、表示媒体とする粒子群を配置し、粒子群を移動させて情報を表示する情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置において、隔壁を形成した基板であって、隔壁を形成した面と反対側の基板１の裏面に残留する粒子を除去するために、基板の裏面と摺動するように配置された回転ブラシ３１と、基板の浮き上がりを防止するために、基板の表面に設置された浮き上がり防止装置３２と、回転ブラシが基板裏面から除去した粒子を集塵するために、回転ブラシの少なくとも下部に配置された粒子吸引装置（３３−２、３８−２）と、から構成する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方が透明な２枚の基板を対向配置した基板間を、隔壁で仕切って形成した各セル内に、表示媒体とする粒子群を配置し、粒子群を移動させて情報を表示する情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置であって、
前記隔壁を形成した基板であって、前記隔壁を形成した面と反対側の基板の裏面に残留する粒子を除去するために、前記基板の裏面と摺動するように配置された回転ブラシと、前記基板の浮き上がりを防止するために、前記基板の表面に設置された浮き上がり防止装置と、前記回転ブラシが基板裏面から除去した粒子を集塵するために、前記回転ブラシの少なくとも下部に配置された粒子吸引装置と、から構成したことを特徴とする情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置。
【請求項２】
前記回転ブラシが、直径０．１ｍｍ〜０．１５ｍｍを有するとともに長さ１０ｍｍ以下の導電性の毛材を、チャンネル材に一定ピッチで固定してなることを特徴とする請求項１に記載の情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置。
【請求項３】
前記回転ブラシのブラシ先端を前記基板の裏面と接触させた状態を０ｍｍとしたとき、その状態からブラシ先端を基板に対して０．５ｍｍ〜１．０ｍｍ押し付けることで、前記基板の裏面に残留する粒子を除去することを特徴とする請求項１または２に記載の情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置。
【請求項４】
前記浮き上がり防止装置が浮き上がり防止ローラからなり、前記浮き上がり防止ローラが、前記背面側の基板の表面において外周から５ｍｍ〜１０ｍｍの箇所のみを押さえることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置。
【請求項５】
前記浮き上がり防止ローラが、ニトリルゴム（ＮＢＲ）またはシリコーンゴムからなることを特徴とする請求項４に記載の情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置。
【請求項６】
前記回転ブラシが、複数の搬送ローラを並べて構成される情報表示用パネルの搬送路において、一つの搬送ローラの代わりに設けられた回転ブラシローラであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも一方が透明な２枚の基板を対向配置した基板間を、隔壁で仕切って形成した各セル内に、表示媒体とする粒子群を配置し、粒子群を移動させて情報を表示する情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、少なくとも一方が透明な２枚の基板を対向配置した基板間を、隔壁で仕切って形成した各セル内に、表示媒体とする粒子群を配置し、粒子群を移動させて情報を表示する情報表示用パネルの製造において、表示媒体とする粒子群をセル内に充填配置後、セルを形成する隔壁上に残った粒子を除去することが行われている（例えば、特許文献１参照）。この方法によれば、粒子をセル内に充填する際に隔壁上に残留する粒子を好適に除去することができ、基板貼り合わせ時に隔壁上に残留する粒子により基板間隔が一定にならない問題を解消することができる。
【０００３】
近年、上述した隔壁上に残留する粒子を除去する問題に加えて、粒子をセル内に充填する際や充填後の基板搬送の際に、粒子が基板裏面に入り込み、基板裏面に粒子が貼り付くことが問題となり、基板裏面に貼り付いた粒子を除去することが検討されている。基板裏面は隔壁上と異なり平坦面であるため、上述した特許文献１に記載のあるような転写ローラを使用した複雑な粒子除去装置は必要ない。このような用途に向く、一般的なクリーニング装置として、回転ブラシローラを使用した構成の除塵装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
図５は上述した従来の回転ブラシローラを使用した構成の除塵装置の一例を基板の搬送装置と組み合わせて基板の裏面から粒子を除去する例を説明するための図である。図５に示す例において、搬送ローラ５１上で搬送される基板５２に接近した位置にて開口するエア吸引口５３を有するエア吸入室５４と、該エア吸入室５４の内部に基板５２に摺接可能として配設される回転ブラシローラ５５と、該回転ブラシローラ５５に近接乃至当接してその回転ブラシローラ５５に付着した粒子を吸引除去するノズル５６と、を備えたクリーニングヘッドユニット６１に、粒子を吸い込み除去するエアを吸入するブロワーユニット６２が連結される。そして、ブロワーユニット６２の吸引力により、エア吸入室５４内のエアがエア吸入路６３を介してブロワーユニット６２へ吸入されると共に、エア吸入口５３と基板５２との間からエア吸入室５４内に外気が吸入される。なお、５７は回転ブラシローラ５５を回転させるための回転ブラシ用モーターである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２５０１４２号公報
【特許文献２】特開平９−３１４０７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、特許文献２に記載されたような除塵装置を、本発明が対象とする情報表示用パネルの基板裏面の粒子除去に使用しようとすると、クリーニングヘッドユニットが６１が回転ブラシローラ５５、エア吸入室５４等で構成されるため、大型となり、基板搬送面の裏側（搬送ローラ５１が接触する側）への設置が極めて困難となる問題があった。また、クリーニングヘッドユニット６１を基板５２の搬送面の裏側に設置したとしても、回転ブラシローラ５５が基板５２を押し上げてしまい、基板５２を搬送しながらの粒子除去を実現することができなかった。さらに、回転ブラシローラ５５で除塵した粒子を吸い込み除去するためのブロワーユニット６２が別途必要となり、設備費が高価となる問題もあった。さらにまた、ブロワーユニット６２の設置箇所は、吸引能力の制限からクリーニングヘッドユニット６１から最大でも５ｍ程度離れたところにしか設置できないため、工程によっては設置できない場所がある問題もあった。
【０００７】
本発明の目的は上述した問題点を解消して、簡単な構成で基板搬送面の裏側への設置が容易であり、基板の浮き上がりも防止でき、設備費もかからず、どの工程でも設置可能な情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置は、少なくとも一方が透明な２枚の基板を対向配置した基板間を、隔壁で仕切って形成した各セル内に、表示媒体とする粒子群を配置し、粒子群を移動させて情報を表示する情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置において、前記隔壁を形成した基板であって、前記隔壁を形成した面と反対側の基板の裏面に残留する粒子を除去するために、前記基板の裏面と摺動するように配置された回転ブラシと、前記基板の浮き上がりを防止するために、前記基板の表面に設置された浮き上がり防止装置と、前記回転ブラシが基板裏面から除去した粒子を集塵するために、前記回転ブラシの少なくとも下部に配置された粒子吸引装置と、から構成したことを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置の好適例としては、前記回転ブラシが、直径０．１ｍｍ〜０．１５ｍｍを有するとともに長さ１０ｍｍ以下の導電性の毛材を、チャンネル材に一定ピッチで固定してなること、前記回転ブラシのブラシ先端を前記基板の裏面と接触させた状態を０ｍｍとしたとき、その状態からブラシ先端を基板に対して０．５ｍｍ〜１．０ｍｍ押し付けることで、前記基板の裏面に残留する粒子を除去すること、前記浮き上がり防止装置が浮き上がり防止ローラからなり、前記浮き上がり防止ローラが、前記基板の表面において外周から５ｍｍ〜１０ｍｍの箇所のみを押さえること、前記浮き上がり防止ローラが、ニトリルゴム（ＮＢＲ）またはシリコーンゴムからなること、前記回転ブラシが、複数の搬送ローラを並べて構成される情報表示用パネルの搬送路において、一つの搬送ローラの代わりに設けられた回転ブラシローラであること、がある。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、隔壁を形成した基板であって、隔壁を形成した面と反対側の基板の裏面に残留する粒子を除去するために、基板の裏面と摺動するように配置された回転ブラシと、基板の浮き上がりを防止するために、基板の表面に設置された浮き上がり防止装置と、回転ブラシが基板裏面から除去した粒子を集塵するために、回転ブラシの少なくとも下部に配置された粒子吸引装置と、からクリーニング装置を構成することで、浮き上がり防止装置による基板の浮き上がりを防止した状態で、回転ブラシを回転させて基板の裏面に貼り付く粒子を除去し、回転ブラシで除去した粒子を除塵装置で回転ブラシからはじき飛ばすことができ、はじき飛ばされた粒子は、回転ブラシおよび除塵装置の少なくとも下部に配置された粒子吸引装置により回収されるため簡単な構成で基板搬送面の裏側への設置が容易であり、基板の浮き上がりも防止でき、設備費もかからず、どの工程でも設置可能な情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置を得ることができる。
【００１１】
また、本発明の好適例では、回転ブラシを、複数の搬送ローラを並べて構成される情報表示用パネルの搬送路において、一つの搬送ローラの代わりに設けられた回転ブラシローラとして用いることで、情報表示用パネルの製造に用いる搬送路にクリーニング部を簡単に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の対象となる帯電粒子気体中移動型の情報表示用パネルの一例を説明するための図である。
【図２】本発明のクリーニング装置を好適に適用できる情報表示用パネルの製造方法の一例を説明するための図である。
【図３】本発明の情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置の一例を説明するための図である。
【図４】本発明の情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置の粒子除去方法の一例を説明するための図である。
【図５】従来の回転ブラシローラを使用した構成の除塵装置の一例を基板の搬送装置と組み合わせて基板の裏面から粒子を除去する例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
＜本発明のクリーニング装置によるクリーニングの対象となる情報表示用パネルについて＞
まず、本発明の対象となる情報表示用パネルの一例である帯電粒子気体中移動型情報表示用パネルの基本的な構成について説明する。この情報表示用パネルでは、対向する２枚の基板間に封入した帯電性粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体に対向電極対から電界が付与される。付与された電界方向にそって、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動方向が切り換わることにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、表示情報を書き換える時あるいは表示した情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。
【００１４】
図１（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ白色粒子群３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ黒色粒子群３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セル７において、背面側のパネル基板１に設けた電極５（ストライプ電極）と観察側の透明なパネル基板２に設けた透明電極６（ストライプ電極）とが対向直交交差して形成する画素電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色粒子群３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色粒子群３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示を白黒のドットでマトリックス表示できるようにしている。なお、図１（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。また、８は接着剤である。さらに、ここではセルと画素（ドット）とが１対１に対応する従来の情報表示用パネルの例を示している。
【００１５】
＜本発明のクリーニング装置を好適に適用できる情報表示用パネルの製造方法について＞
図２は本発明のクリーニング装置を好適に適用できる情報表示用パネルの製造方法の一例を説明するための図である。図２に示す例に従って、本発明の対象となる情報表示用パネルの製造方法の概略を説明すると、まず、下側の基板１にフォトリソ法などにより隔壁４を形成して隔壁付き下基板１を作製する。次に、下基板１上において隔壁４により形成されたセル７内に表示媒体となる粒子群（例えば、白色粒子群３Ｗ）を撒布法などにより充填配置する。次に、隔壁４上に残留する粒子を例えばクリーニングローラ１１を用いたクリーニング装置１２により除去する。次に、別に準備した上基板２を、粒子群を充填配置した下基板１上に接着剤などを介して貼り合わせて、下基板１上に上基板２を重ね合わせて、情報表示用パネル前駆体１３を作製する。最後に、情報表示用パネル前駆体１３を例えば加熱装置１４中で加熱して、隔壁４と上基板２との間の接着剤を本硬化させることで、本発明の対象となる情報表示用パネルを得ている。
【００１６】
本発明の情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置は、好適例として、図２に示す情報表示用パネルの製造方法の各工程のうち、隔壁上の粒子除去工程の後、上基板と下基板とを重ね合わせる工程の前に、下基板の裏面に貼り付いた粒子を除去するために使用されている。
【００１７】
図３は本発明の情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置の一例を説明するための図である。図３に示す例では、上述した図２に示す情報表示用パネルの製造方法の各工程のうち、隔壁上の粒子除去工程の後、上基板と下基板とを重ね合わせる工程の前において、複数の搬送ローラ２１を並べて構成される情報表示用パネルの隔壁付き下基板の搬送路に設けられているが、これは好適な一例を示すものであり、本発明のクリーニング装置の設置場所は、上述した搬送路に限られるものではない。
【００１８】
図３に示す例において、本発明のクリーニング装置は、隔壁を形成した基板１であって、隔壁を形成した面と反対側の基板１の裏面に残留する粒子を除去するために、基板１の裏面と摺動するように配置された回転ブラシ３１と、基板１の浮き上がりを防止するために、基板１の表面に設置された浮き上がり防止装置としての浮き上がり防止ローラ３２と、回転ブラシ３１で除去した粒子を集塵するために、回転ブラシ３１の少なくとも下部、ここでは、上部と下部に配置された粒子吸引装置としての、上部ＨＥＰＡフィルター３３−１と吸引装置３８−１との組み合せおよび下部ＨＥＰＡフィルター３３−２と吸引装置３８−２との組み合せ、から構成されている。
【００１９】
また、図３に示す例では、好適例として、下部ＨＥＰＡフィルター３３−２の上部に、プレフィルター３４を設けている。さらに、上述した本発明のクリーニング装置を構成する各部材を、上部ＨＥＰＡフィルター３３−１及び吸引装置３８−１以外、ケース３５内に収容してクリーニング装置を構成し、上部ＨＥＰＡフィルター３３−１及び吸引装置３８−１はケース３５の上部に設けられている。さらにまた、回転ブラシ３１は、回転ブラシ用モータ３６により、回転自在にケース３５に取り付けられている。また、粒子吸引装置としての、上部ＨＥＰＡフィルター３３−１と吸引装置３８−１との組み合せの幅および下部ＨＥＰＡフィルター３３−２と吸引装置３８−２との組み合せの幅は、回転ブラシ３１の幅方向と同程度の幅を有することが好ましい。
【００２０】
上述した構成の本発明のクリーニング装置によれば、図４に示すように、浮き上がり防止装置としての浮き上がりローラ３２による基板１の浮き上がりを防止した状態で、搬送ローラ２１による基板１の搬送方向と逆の方向に回転ブラシ３１を回転させて、基板１の裏面に貼り付く粒子３Ｗａを除去し、回転ブラシ３１で除去した粒子は、回転ブラシ３１の少なくとも下部に配置された粒子吸引装置としての下部ＨＥＰＡフィルター３３−２と吸引装置３８−２との組み合せにより回収される。そのため、簡単な構成で基板１の搬送面の裏側への設置が容易であり、基板１の浮き上がりも防止でき、設備費もかからず、どの工程でも設置可能な情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置を得ることができる。
【００２１】
次に、本発明の情報表示用パネルの製造に用いるクリーニング装置を構成する各部材の好適例について説明する。
【００２２】
まず、回転ブラシ３１が、直径０．１ｍｍ〜０．１５ｍｍを有するとともに長さ１０ｍｍ以下の導電性の毛材３１−１を、チャンネル材３１−２に一定ピッチで固定して構成することが好ましい。ここで、毛材３１−１の直径を０．１ｍｍ〜０．１５ｍｍとするのが好ましいのは、０．１ｍｍ未満であると、粒子群がスジとなって残ってしまう場合があるとともに、０．１５ｍｍを超えると、基板に対して負荷が強くなり、基板が搬送できなくなる場合があるためである。また、毛材３１−１の長さを１０ｍｍ以下とすることが好ましいのは、１０ｍｍを超えると、毛の腰が弱くなり、粒子残りが多くなる場合があるためである。なお、具体的な導電性毛材としては、角田ブラシ製の「ノンエレック」を使用することができる。また、回転ブラシ３１は基板１の幅方向と同程度の幅を有することが好ましい。
【００２３】
次に、回転ブラシ３１のブラシ先端を基板１の裏面と接触させた状態を０ｍｍとしたとき、その状態からブラシ先端を基板１に対して０．５ｍｍ〜１．０ｍｍ押し付けることで、基板１の裏面に残留する粒子を除去することが好ましい。ここで、押し付ける量が０．５ｍｍ〜１．０ｍｍであることが好ましいのは、０．５ｍｍ未満であると、粒子残りが多くなる場合があるとともに、１．０ｍｍを超えると、基板が搬送できなくなる場合があるためである。
【００２４】
次に、浮き上がり防止装置としての浮き上がり防止ローラ３２が、基板１の表面において外周から５ｍｍ〜１０ｍｍの箇所のみを押さえることが好ましい。浮き上がり防止ローラ３２が、基板１の表面において外周から５ｍｍ〜１０ｍｍの箇所のみを押さえることが好ましいのは、５ｍｍ未満であると、押さえが弱く、裏面の除塵能力が弱くなる場合があるとともに、１０ｍｍを超えると、押さえが強くなり、基板が搬送できなくなる場合があるためである。
【００２５】
次に、浮き上がり防止ローラが、ニトリルゴム（ＮＢＲ）またはシリコーンゴムからなることが好ましい。その理由は、直接接触しても、基板にキズがつかないためである。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明の対象となる情報表示用パネルは、ノートパソコン、電子手帳、ＰＤＡ(Personal Digital Assistants)と呼ばれる携帯型情報機器、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板（ホワイトボード）等の掲示板、電子卓上計算機、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、情報ボード、電子ＰＯＰ(Point Of Presence, Point Of Purchase advertising)、電子値札、電子棚札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部のほか、ＰＯＳ端末、カーナビゲーション装置、時計など様々な電子機器の表示部に好適に用いられる。他に、リライタブルペーパーとしても好適に用いられる。
【符号の説明】
【００２７】
１、２  基板
３Ｗ  白色粒子群
３Ｗａ  負帯電性白色粒子
３Ｂ  黒色粒子群
３Ｂａ  正帯電性黒色粒子
４  隔壁
５、６  ストライプ電極
７  セル
８  接着剤
１１  クリーニングローラ
１２  クリーニング装置
１３  情報表示用パネル前駆体
１４  加熱装置
２１  搬送ローラ
３１  回転ブラシ
３１−１  毛材
３１−２  チャンネル材
３２  浮き上がり防止ローラ
３３−１  上部ＨＥＰＡフィルター
３３−２  下部ＨＥＰＡフィルター
３４  プレフィルター
３５  ケース
３６  回転ブラシ用モータ
３８−１、３８−２  吸引装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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