(57)【要約】【課題】無言停止が発生した場合であっても、、装置間通信のＩＦをシステムが監視することによって、オペレーターが異常を早期発見できる処理装置間インターフェース信号異常検知システムを提供するを提供する。【解決手段】製造工程における処理装置間のインターフェイス信号の異常を検知するシステムであって、この製造工程が、複数の前記処理装置間で基板を搬送し、それぞれの処理装置で処理を施して製造する製造工程であるシステムにおいて、製造工程の各隣り合う処理装置において、上流装置が出力するインターフェイス信号と、このインターフェイス信号に対する下流装置の認識を示す確認信号とを受信する受信手段（但し、人間を除く）と、前記インターフェイス信号と前記確認信号とを比較して、異常の有無を判断する比較手段（但し、人間を除く）と、を備えることを特徴とする処理装置間インターフェイス信号異常検知システム【選択図】図５
2011142155.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造工程における処理装置間のインターフェイス信号の異常を検知するシステムであって、この製造工程が、複数の前記処理装置間で基板を搬送し、それぞれの処理装置で処理を施して製造する製造工程であるシステムにおいて、
製造工程の各隣り合う処理装置において、上流装置が出力するインターフェイス信号と、このインターフェイス信号に対する下流装置の認識を示す確認信号とを受信する受信手段（但し、人間を除く）と、
前記インターフェイス信号と前記確認信号とを比較して、異常の有無を判断する比較手段（但し、人間を除く）と、
を備えることを特徴とする処理装置間インターフェイス信号異常検知システム。
【請求項２】
製造工程における処理装置間のインターフェイス信号の異常を検知するシステムであって、この製造工程が、複数の前記処理装置間で基板を搬送し、それぞれの処理装置で処理を施して製造する製造工程であるシステムにおいて、
製造工程の各隣り合う処理装置において、下流装置が出力するインターフェイス信号と、このインターフェイス信号に対する上流装置の認識を示す確認信号とを受信する受信手段（但し、人間を除く）と、
前記インターフェイス信号と前記確認信号とを比較して、異常の有無を判断する比較手段（但し、人間を除く）と、
を備えることを特徴とする処理装置間インターフェイス信号異常検知システム。
【請求項３】
前記インターフェイス信号と前記確認信号が予め設定された時間内に一致しなかった場合、異常があったと判断することを特徴とする請求項１又は２に記載の処理装置間インターフェイス信号異常検知システム。
【請求項４】
異常があった場合、アラームを発報するアラーム発報手段を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の処理装置間インターフェイス信号異常検知システム。
【請求項５】
異常があった場合、製造工程内の基板の搬送制御を行う搬送制御手段を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の処理装置間インターフェイス信号異常検知システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、カラー液晶表示装置に用いるカラーフィルタ製造工程で用いられている複数の処理装置間のインターフェース（以下、ＩＦ）信号の異常を検知するシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１はカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図である。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４−Ｒ、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４−Ｇ、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４−Ｂ、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法が知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程の一例を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に着色画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間（Ｃ７）ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色レジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。なお、ステップ（Ｃ７）と（Ｃ８）の間で研磨処理する工程を経る場合もある。
【０００５】
以上に示したカラーフィルタ製造工程において、処理に用いられる各装置間は装置間ネットワークで連結しており、基板の受け渡し（ハンドシェイク）は、基板受け渡しを行うお互いの装置が基板の排出と供給が可能となった時点で行う。
【０００６】
また、各装置を連結するネットワークにはホストコンピュータ（以下、システム）が接続されており、装置はネットワークとホストコンピュータを含むシステムに装置状態などのデータの出力を行う。また、システムは装置に指示を出したり、装置より受け取った情報をデータベースにて管理したりする。
【０００７】
カラーフィルタ工程において装置が停止した場合、通常、装置よりシステムにアラームを発報する。発報されたアラームはシステムが管理する。また、装置より発報されたアラームは工場内に設置してあるシステムの端末によって照会することが可能であり、オペレーターはそのアラームを確認し、アラーム内容にそった手順で装置を復旧しアラームの解除を行っている。
【０００８】
例えば、カラーフィルタ製造における着色フォトレジスト塗布工程において、着色フォトレジスト塗布に必要なレジストの残量が少なくなった場合には、塗布装置よりレジスト缶の残量が残り少ないことを通知するアラームがシステムへと連絡される。システムがそのアラームを工場内に設置してある端末に表示することで、オペレーターはアラームを確
認し、残量の少ないレジスト缶の交換を行っている。また、装置が停止した場合にも、装置が停止したことを表すアラームがシステムに連絡され、システムは工場内の各端末に装置が停止したことを表示し、オペレーターが停止した装置の復旧を行っている。このように装置のアラーム発報が装置の不具合を知る基本的な情報となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−２１８３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来、装置に異常が発生し、発生原因を検知して復旧する場合には、従来は、装置がアラームを発報し、その後システムが工場内の端末にアラームを表示するという順序でオペレーターは装置異常に気づき、異常の対処を行っている。しかし、装置停止の特殊なパターンとして装置がアラームを発報せずに停止することが起こる場合がある。このような装置がアラームを発報せずに停止する現象は、装置間での基板の受け渡しの通信時に発生しており、その原因は装置間のインターフェース通信異常である。
【００１１】
上記のような装置間のＩＦ通信異常の原因は、装置間をつなぐ通信ケーブルの断線やノイズによって下流装置が送ったＩＦ信号と上流装置の受け取ったＩＦ信号に誤差が生じて起こるもので、その結果、装置間通信が行われずに、基板受け渡しが出来なくなる。しかしながら、装置間でのＩＦ通信で整合性が取れていないことを装置自身が検知することが出来ないために、アラーム発報が出来ない。もちろんタイムアウト等の処置でアラーム発生も行えるが、これはＩＦ異常と装置が認識するまでの十分な監視時間が必要とされる。ここで言う十分な監視時間とは、通常動作で基板を受け渡す時間よりも長い時間を設定する必要があるため、通常のタクトを超えることが必須となる。これによってＩＦ異常が発生してからタイムアウトの処置を施すまで時間遅れが発生してしまう。このようにシステムにアラームが通知されず、システム端末でのアラーム確認が行えない場合には、オペレーターの対応に遅れが生じてしまうことになり、その遅れは基板滞留に繋がり、様々な異常の要因となって生産に支障を及ぼし、生産効率の低下の原因となる。
【００１２】
装置自身で異常を検知することが出来ない上記の様な場合には、第３者による異常の監視が必要となる。しかしながら、従来、装置間のＩＦ信号について上流と下流装置間で互いに整合性がとれているかの監視は行われていない。
【００１３】
また、基板の搬送に従って基板に紐付けされている情報をトラッキングして、基板と情報の流れを管理するデータトラッキングは、装置間でのデータの受け渡しの際にずれが生じることがあり、基板の流れとその基板情報には誤りが発生してしまう。それらは、どの装置で発生したかを発見するのは常に装置間で受け渡されたデータを監視しておく必要があるが、オペレータが即座にトラッキングのずれを検知することは困難である。
【００１４】
そこで本発明は以上のような問題に鑑みて、従来は異常検知までに多くの時間を必要とする無言停止が発生した場合であっても、、装置間通信のＩＦをシステムが監視することによって、オペレーターが異常を早期発見できる処理装置間インターフェース信号異常検知システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の請求項１に係る発明は、製造工程における処理装置間のインターフェイス信号の異常を検知するシステムであって、この製造工程が、複数の前記処理装置間で基板を搬送し、それぞれの処理装置で処理を施して製造する製造工程であるシステムにおいて、
製造工程の各隣り合う処理装置において、上流装置が出力するインターフェイス信号と、このインターフェイス信号に対する下流装置の認識を示す確認信号とを受信する受信手段（但し、人間を除く）と、
前記インターフェイス信号と前記確認信号とを比較して、異常の有無を判断する比較手段（但し、人間を除く）と、
を備えることを特徴とする処理装置間インターフェイス信号異常検知システムである。
【００１６】
本発明の請求項２に係る発明は、製造工程における処理装置間のインターフェイス信号の異常を検知するシステムであって、この製造工程が、複数の前記処理装置間で基板を搬送し、それぞれの処理装置で処理を施して製造する製造工程であるシステムにおいて、
製造工程の各隣り合う処理装置において、下流装置が出力するインターフェイス信号と、このインターフェイス信号に対する上流装置の認識を示す確認信号とを受信する受信手段（但し、人間を除く）と、
前記インターフェイス信号と前記確認信号とを比較して、異常の有無を判断する比較手段（但し、人間を除く）と、
を備えることを特徴とする処理装置間インターフェイス信号異常検知システム。
【００１７】
本発明の請求項３に係る発明は、前記インターフェイス信号と前記確認信号が予め設定された時間内に一致しなかった場合、異常があったと判断することを特徴とする請求項１又は２に記載の処理装置間インターフェイス信号異常検知システムである。
【００１８】
本発明の請求項４に係る発明は、異常があった場合、アラームを発報するアラーム発報手段を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の処理装置間インターフェイス信号異常検知システムである。
【００１９】
本発明の請求項５に係る発明は、異常があった場合、製造工程内の基板の搬送制御を行う搬送制御手段を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の処理装置間インターフェイス信号異常検知システムである。
【発明の効果】
【００２０】
異常の早期発見を行うことで装置無言停止による生産上のロスを軽減することが出来、また、装置無言停止時に、滞留を防ぐよう基板搬送制御を行い、無言停止起因の基板滞留を防ぎ、滞留による基板不良の発生を防ぐことが出来る。更に、システムが装置の無言停止の早期発見を行うことで、それをオペレーターに通知し、早急な対応を行うことを可能とする。その結果、無言停止による生産効率の低減を図ることが出来る。
【００２１】
また、システムは装置無言停止時に、今後滞留発生が予測される装置周りの搬送制御を行うことで、基板滞留を事前に防ぐことが可能となり、その結果、無言停止起因の滞留に伴い発生する基板の不良発生を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】カラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程のフロー図。
【図３】本発明に係る処理装置間ＩＦ異常検知システムが適用されるカラーフィルタ製造        工程に用いられる処理装置の構成レイアウトの一例を示した概略図。
【図４】ＩＦ通信の異常が無い場合のタイミングチャート図。
【図５】ＩＦ通信異常の場合の装置間のＩＦを説明する図。
【図６】本発明に係る処理装置間ＩＦ信号異常検知システムが適用されるネットワークの概要を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明に係る処理装置間ＩＦ異常検知システムを実施する形態を説明する。
【００２４】
図３は、本発明に係る処理装置間ＩＦ異常検知システムが適用されるカラーフィルタ製造工程に用いられる処理装置の構成レイアウトの一例を示した概略図である。
【００２５】
カラーフィルタは、装置Ａから装置Ｆで構成される製造工程によって製造される。装置Ｃと装置Ｄ間で無言停止が発生した場合を一例として処理装置間ＩＦ異常検知システムを説明する。
【００２６】
装置Ｃは例えば搬送装置で、装置Ｄは例えば検査装置とし，装置Ｃと装置Ｄの間で無言停止が起きたものとする。以下に装置無言停止に際して、早期に発見するための装置間インターフェース異常検知システム（以下、システム）の構築例を示す。システムはこの装置Ｃと装置Ｄの間のＩＦ通信を監視することで通信異常を察知する。
【００２７】
監視するＩＦ信号は次のようになっている。基板の受け渡しは、基板受け渡しを行う装置同士のＩＦの条件が揃った時点で、基板の受け渡しを行う。例示した搬送装置と検査装置の場合には装置間のＩＦにおいて次に説明する条件を満たした時点で基板の受け渡しが行われる。
【００２８】
図４はＩＦ通信を説明するためのタイミングチャート図で、上流装置（即ち、搬送装置）側の起動、排出要求、排出動作と、下流装置（即ち、検査装置）側の起動、受取可能のそれぞれのＯＮ、ＯＦＦのタイミングを示している。上流装置側の起動とは装置の起動を示すもので、ＯＮは装置起動中、ＯＦＦは装置停止中を示す。また、排出要求とは基板の排出要求を示すもので、ＯＮは基板排出動作要求中、ＯＦＦは基板排出要求をしていないことを示す。排出動作とは基板を下流に排出することを示すもので、ＯＮは基板排出動作中、ＯＦＦは基板排出動作停止中を示している。
【００２９】
一方、下流装置側の起動とは装置の起動を示すもので、ＯＮは装置起動中、ＯＦＦは装置停止中を示す。また、受取可能とは、基板の受け取りが可能な状態かどうかを示すもので、ＯＮは基板受け取り可能、ＯＦＦは基板受け取り不可の状態を示す。
【００３０】
図４のタイミングチャート図の説明をする。図４はＩＦ通信の異常が無い場合で、先ず図中（ａ）では下流：装置Ｄ側、即ち検査装置は、搬送装置の「起動中」信号がＯＮであり、基板が受け取れる状態であれば、「受取可能」信号をＯＮにする。図中（ｂ）で搬送装置は、検査装置の「受取可能」信号がＯＮであり、基板排出が可能となった時に、「排出動作中」をＯＮにする。図中（ｃ）で「受取可能」信号と「排出動作」信号が共にＯＮになった時点で、基板移載を開始する。基板の受け渡しが開始されたところで、搬送装置は「排出動作」を開始する。図中（ｄ）で「排出動作」がＯＦＦになった時点で搬送装置は「排出要求」をＯＦＦとし、図中（ｅ）で検査装置は「受取可能」をＯＦＦとする。
【００３１】
ＩＦの通信で異常の無い場合は、上記のような装置間の信号のやり取りで基板の受け渡しが行われる。図４で示される搬送装置が見ている検査装置側のＩＦ信号と検査装置側が見ている搬送装置側のＩＦの信号は、搬送装置（装置Ｃ）、検査装置（装置Ｄ）に限らず、各装置間の各装置で出力される。
【００３２】
しかしながら、ノイズ、断線等によって通信異常が発生した場合には、基板受け渡しを行う相手装置のＩＦ信号を見落とし、上流と下流の装置間でＩＦ信号の整合性がとれていないことがある。次に、ＩＦ通信異常の場合の装置間のＩＦについて以下に示す。
【００３３】
図５はＩＦ通信異常の場合の装置間のＩＦを説明する図である。下流装置Ｄである検査装置側が上流装置Ｃである搬送装置の「排出要求」の信号を見逃した場合（言い換えれば下流装置Ｄである検査装置側が上流装置Ｃである搬送装置の「排出要求」の信号を検知できない場合）は、タイミングチャートは図５のようになる。
【００３４】
即ち、図５中（ｆ）では、上流装置Ｃである搬送装置は、実際には「排出要求」をＯＮとしているが、ノイズ、断線等の通信異常により下流装置である検査装置が認識した搬送装置の「排出要求」信号はＯＦＦのため、搬送装置は図５中（ｇ）のように排出動作に移らない。その結果、搬送装置は停止してしまう。
【００３５】
上記の場合、各装置では通信異常を気付けないため、アラームを発報しない。この問題を解決するために本発明では、システムが各装置の出力するＩＦ信号を収集し、比較する手段によって比較することでＩＦ異常を検知する。次に詳しいシステムの動きを詳しく説明する。
【００３６】
図６は本発明に係る処理装置間ＩＦ信号異常検知システムが適用されるネットワークの概要を示す図である。各装置にあるＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）は装置間ネットワークで繋がっている。装置間ネットワークには、マスタＰＬＣが接続しており、このマスタＰＬＣに本発明に係る受信手段が内蔵されている。各装置のＰＬＣが出力しているＩＦ信号は、マスタＰＬＣの指定されたアドレスに出力される。システムはマスタＰＬＣ内の各装置の出力するＩＦ信号を収集し、データベース（以下、ＤＢ）にデータを登録する。そして、システム内に内蔵されている比較手段によってＤＢに登録されたインターフェース信号のデータを比較し、そのデータの比較を行う。
【００３７】
表１に比較を行う場合に用いるＤＢに登録されたテーブルの一例を示す。
【００３８】
【表１】
2011142155.tif 000003
【００３９】
システムは隣り合う装置間で出力するＩＦのデータを同時に収集する。同時に収集されたＩＦのデータについて隣り合う装置の出力データは同一であるか比較する。比較するデータは、各装置が出力しているＩＦ信号と下流装置よりＩ／Ｏ（入力／出力）通信で出力されているＩＦ信号とトラッキングデータの情報である。
【００４０】
表１の装置Ａは例えば搬送装置その１で、装置Ｂは搬送装置その１の下流にあるＢＭを形成するためのＢＭレジストを塗布する装置で、同様に装置Ｃは搬送装置その２で、装置Ｄは搬送装置その２の下流にあるＢＭ塗布状態を検査するための検査装置である。出力データは装置Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ自体のＩＦ信号と、各装置の下流の装置の認識を示す確認信号である上流装置のＩＦ信号であって、表１内に記してある装置Ａ自体のＩＦ信号（１−１、１−２、１−３、１−４、１−５）と基板の受け渡しを行う下流の装置Ｂが持つ上流装置ＡのＩＦ信号（１−１´、１−２´、１−３´、１−４´、１−５´）は、通常同一の信号である。システムは、「１−１」と「１−１´」、「１−２」と「１−２´」、「１−３」と「１−３´」、「１−４」と「１−４´」、「１−５」と「１−５´」が同一であるかどうかを、データを収集する度に比較を行う。また、各装置で保有しているトラッキングデータ（その装置内に存在している基板の固有データ）の比較も行うことで、どの装置間でデータの受け渡しが失敗しているかを即座に察知することが出来、トラッキング精度向上のための原因察知に役立つ。
【００４１】
表１は装置Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ自体のＩＦ信号と、各装置の下流の装置が持つ上流装置のＩ
Ｆ信号を示すものであるが、表２に示す装置Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ自体のＩＦ信号と、各装置の上流の装置が持つ下流装置のＩＦ信号を示すテーブルを用いて、インターフェース信号の比較を行なってもよい。
【００４２】
【表２】
2011142155.tif 000004
【００４３】
即ち、表２の場合は表２内に記してある装置Ｂ自体のＩＦ信号（２−１、２−２、２−３、２−４、２−５）と基板の受け渡しを行う上流の装置Ａが持つ下流装置ＢのＩＦ信号（２−１´、２−２´、２−３´、２−４´、２−５´）は、通常同一の信号である。システムは、「２−１」と「２−１´」、「２−２」と「２−２´」、「２−３」と「２−３´」、「２−４」と「２−４´」、「２−５」と「２−５´」が同一であるかどうかを、データを収集する度に比較を行う。
【００４４】
表３は収集した各装置のＩＦ信号の一例を示す。「１」はＯＮを表し、［０］はＯＦＦを表す。表３の例のように、装置Ｄが装置Ｃより受け取ったＩＦ信号と装置Ｃが出力しているＩＦ信号が同一でない場合には（装置ＣのＩＦ信号が正しく装置Ｄで認識されていない。この原因は装置Ｃに備えられているＰＬＣからの信号が断線によってマスタＰＬＣに伝わっておらず、結果として装置Ｄで装置Ｃの信号を正しく認識していない）、システムは同一でないことを検知し、その後、タイムアウト内の数値である閾値（例えば、１秒）を超えてもＩＦ信号の整合性が取れない場合には、処理装置間ＩＦ異常として対象（表３の場合は、装置Ｃと装置Ｄ）の２装置のアラームを発報する。例えば、通常のタイムアウトで３０秒を有する装置に関してもこの方法を用いれば、１秒以内で異常を察知することが出来る。更に、アラームを発報すると同時に、基板の受け渡しが通常通り行えなくなることによって発生する基板の滞留を防ぐよう、例えば上流の搬送装置を停止する等の基板搬送制御を行い、無言停止起因の基板滞留を防ぎ、滞留による基板不良の発生を防ぐ。
【００４５】
【表３】
2011142155.tif 000005
【００４６】
このようなデータ収集とデータの比較を１秒毎等、周期的に行うことによって発報までに十分な時間を要するタイムアウト前に通信ケーブルの異常を検知することが出来、その結果、異常の早期発見を行うことで装置無言停止による生産上のロスを軽減することが出来る。また、装置無言停止時に、滞留を防ぐよう基板搬送制御を行い、無言停止起因の基板滞留を防ぎ、滞留による基板不良の発生を防ぐことが出来る。更に、システムが装置の無言停止の早期発見を行うことで、それをオペレーターに通知し、早急な対応を行うことを可能とする。その結果、無言停止による生産効率の低減を図ることが出来る。
【００４７】
また、初期導入のシステムソフトのバグを容易に検知することが可能となる。
【００４８】
上記本発明に係る処理装置間ＩＦ異常検知システムを実施する形態をカラー液晶表示装置に用いるカラーフィルタ製造工程で用いられている複数の処理装置間のインターフェース信号の場合を例示したが、これに限らず広く複数の処理装置間のインターフェース信号の異常を検知する場合に適用される。
【符号の説明】
【００４９】
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス（ＢＭ）
４−Ｒ・・・レッドＲの着色画素（Ｒ画素）
４−Ｇ・・・グリーンＧの着色画素（Ｇ画素）
４−Ｂ・・・ブルーＢの着色画素（Ｂ画素）
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー（ＰＳ）
７・・・バーテイカルアライメント（ＶＡ）
【図２】
2011142155.tif 000006
【図３】
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【図４】
2011142155.tif 000008
【図５】
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【図１】
2011142155.tif 000010
【図６】
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