(57)【要約】【課題】自動化された半導体生産ラインにおいて、半導体製造装置を効率的に運用することができる半導体製造システムを提供する。【解決手段】予測部４６１は、複数のキャリアが半導体生産ラインに属する一の半導体製造装置５に到着した際に、当該キャリアに収容されたウェーハに対する当該半導体製造装置における処理の予想処理時間を、段取り処理に要する時間を含めて算出する。処理順序入れ替え制御部４６は、算出された予想処理時間に基づいて、複数のキャリアに収容されたウェーハの半導体製造装置５における処理が最短時間で完了する状態に複数のキャリアの処理順序を決定する。ロードポート制御部４１、ハンドラ制御部４２およびプロセス制御部４３は、決定された処理順序にしたがって、複数のキャリアに収容されたウェーハの処理を半導体製造装置５に実行させる。【選択図】図１
2011018737.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御コンピュータと、
前記制御コンピュータからの指示に応じて複数のウェーハ容器に収容されたウェーハを処理する半導体生産ラインと、
前記複数のウェーハ容器が前記半導体生産ラインに属する第１半導体製造装置に到着した際に、各ウェーハ容器に収容されたウェーハに対する当該第１半導体製造装置における処理の予想処理時間を、段取り処理に要する時間を含めて算出する第１予測部と、
算出された予想処理時間に基づいて、前記複数のウェーハ容器に収容されたウェーハの前記第１半導体製造装置における処理が最短時間で完了する状態に前記複数のウェーハ容器の処理順序を決定する第１処理順序入れ替え制御部と、
決定された処理順序にしたがって、前記複数のウェーハ容器に収容されたウェーハの処理を第１半導体製造装置に実行させる第１実行部と、
を備えることを特徴とする半導体製造システム。
【請求項２】
前記第１半導体製造装置に複数のウェーハ容器が存在する場合、
前記第１予測部は、各ウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理に要する時間を、前記第１半導体製造装置において既に処理されたウェーハに対する処理時間の履歴に基づいてウェーハ容器ごとに算出するとともに、各ウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理および当該処理の直前に実施された処理に対応して実施される、前記段取り処理に要する時間を、前記第１半導体製造装置において既に処理された段取り処理時間の履歴に基づいてウェーハ容器ごとに算出し、
前記第１処理順序入れ替え制御部は、前記制御コンピュータにより指示された各ウェーハ容器の処理順序で処理した場合の当該第１半導体製造装置における全ウェーハ容器に対する処理の総処理時間を、前記ウェーハ容器ごとに算出されたウェーハ処理に要する時間および当該処理順序にしたがって前記ウェーハ容器ごとに算出された段取り処理に要する時間の総和として算出するとともに、当該第１半導体製造装置においてウェーハが処理されている１番目のウェーハ容器の処理順序を固定した状態で、他に想定される各ウェーハ容器の処理順序で処理した場合の当該第１半導体製造装置における全ウェーハ容器に対する処理の総処理時間を、前記ウェーハ容器ごとに算出されたウェーハ処理に要する時間および当該処理順序にしたがって前記ウェーハ容器ごとに算出された段取り処理に要する時間の総和として算出し、算出した総和が最小である処理順序を前記複数のウェーハ容器の処理順序として決定する、請求項１記載の半導体製造システム。
【請求項３】
前記第１半導体製造装置と同種のウェーハ処理を行いうる第２半導体製造装置と、
前記第１予測部と同一の機能を有し、前記第２半導体製造装置における、ウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理の予想処理時間を、段取り処理に要する時間を含めて算出する第２予測部と、
前記第１処理順序入れ替え制御部と同一の機能を有し、前記第２半導体製造装置における、ウェーハ容器の処理順序を決定する第２処理順序入れ替え制御部と、
前記第２処理順序入れ替え制御部が決定した処理順序にしたがって、ウェーハ容器に収容されたウェーハの処理を第２半導体製造装置に実行させる第２実行部と、
前記第１半導体製造装置と第２半導体製造装置との間で情報を授受する通信インターフェースと、
をさらに備え、
前記第１処理順序入れ替え制御部は、決定した処理順序において最後尾のウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理の実行に要する情報を、前記通信インターフェースを通じて前記第２処理順序入れ替え制御部へ送信するとともに、前記最後尾のウェーハ容器およびその時点で前記第２半導体製造装置に存在するウェーハ容器の全てに対する処理の終了時期の算出を前記第２処理順序入れ替え制御部に要求し、前記通信インターフェースを通じて前記第２処理順序入れ替え制御部から受信した処理終了時期Ｔｂと前記決定した処理順序の処理終了時期Ｔａとに基づいて、前記最後尾のウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理を前記第２の半導体製造装置に振り替えるか否かを決定する、請求項２記載の半導体製造システム。
【請求項４】
前記第２予測部は、前記第１処理順序入れ替え制御部からの要求の際に前記第２半導体製造装置に存在するウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理に要する時間および前記最後尾のウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理に要する時間を、前記第２半導体製造装置において既に処理されたウェーハに対する処理時間の履歴に基づいてウェーハ容器ごとに算出するとともに、各ウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理および当該処理の直前に実施された処理に対応して実施される、前記段取り処理に要する時間を、前記第２半導体製造装置において既に処理された段取り処理時間の履歴に基づいてウェーハ容器ごとに算出し、
前記第２処理順序入れ替え制御部は、前記第２半導体製造装置においてウェーハが処理されている１番目のウェーハ容器の処理順序を固定した状態で、他に想定される各ウェーハ容器の処理順序で処理した場合の当該第２半導体製造装置における全ウェーハ容器に対する処理の総処理時間を、前記ウェーハ容器ごとに算出されたウェーハ処理に要する時間および当該処理順序にしたがって前記ウェーハ容器ごとに算出された段取り処理に要する時間の総和として算出し、算出した総和が最小である処理順序で処理した場合の処理終了時期Ｔｂを前記第１処理順序入れ替え制御部へ送信する、請求項３記載の半導体製造システム。
【請求項５】
前記第２処理順序入れ替え制御部は、前記処理終了時期Ｔｂとともに当該処理終了時期の予想ばらつき量ｓｂを算出して前記第１処理順序入れ替え制御部へ送信し、
前記第１処理順序入れ替え制御部は、
Ｔｂ≧Ｔａである場合と、Ｔｂ＜Ｔａであっても、Ｔａ≧Ｔｂ＋ｓｂであり、かつ前記最後尾のウェーハ容器に高い処理優先度が付与されている場合とに、前記決定した処理順序のままの処理を前記第１実行部に継続させ、
Ｔｂ＜Ｔａ＜Ｔｂ＋ｓｂである場合と、Ｔｂ＜Ｔａであり、かつ前記最後尾のウェーハ容器に高い処理優先度が付与されていない場合とに、前記第１半導体製造装置における前記最後尾のウェーハ容器の処理を取り消しと、当該最後尾のウェーハ容器の処理の前記第２半導体製造装置への振り替えを前記制御コンピュータに要求する、請求項４記載の半導体製造システム。
【請求項６】
前記予測部は、前記ウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理に要する時間を、前記半導体製造装置において既に処理されたウェーハに対する処理時間の履歴に基づく中央値により算出する、請求項１から５のいずれかに記載の半導体製造システム。
【請求項７】
前記予測部は、前記ウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理に要する時間を、前記半導体製造装置において既に処理されたウェーハに対する処理時間の履歴に基づく最小値により算出する、請求項１から５のいずれかに記載の半導体製造システム。
【請求項８】
前記予測部は、前記ウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理に要する時間を、
前記半導体製造装置において既に処理されたウェーハに対する処理時間の履歴に基づく平均値により算出する、請求項１から５のいずれかに記載の半導体製造システム。
【請求項９】
前記予測部は、前記ウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理に対応して実施される前記段取り処理に要する時間を、前記半導体製造装置において既に処理された段取り処理時間の履歴に基づく中央値により算出する、請求項１または６記載の半導体製造システム。
【請求項１０】
前記予測部は、前記ウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理に対応して実施される前記段取り処理に要する時間を、前記半導体製造装置において既に処理された段取り処理時間の履歴に基づく最小値により算出する、請求項１または７記載の半導体製造システム。
【請求項１１】
前記予測部は、前記ウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理に対応して実施される前記段取り処理に要する時間を、前記半導体製造装置において既に処理された段取り処理時間の履歴に基づく平均値により算出する、請求項１または８記載の半導体製造システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体製造システムに関し、特に、自動化された半導体生産ラインの効率化を図る技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体生産ラインの効率化を図る技術として、例えば特許文献１に開示された半導体製造装置の制御方法がある。この手法では、搬送時間、製品処理時間、段取り時間を過去の生産実績から定量的に取得し、後工程からの要求をトリガとして半導体ウェーハ処理を開始する際に、その製造装置で半導体ウェーハ処理が完了する時刻がコンピュータによって自動的に予測される。また、次にその製造装置で処理される半導体ウェーハについて、その製造装置までの搬送時間、前（外）段取り時間および前処理に必要な時間の合計時間が算出され、予測した半導体ウェーハ処理終了時刻から当該合計時間を減算することで搬送開始時刻が算出される。この搬送開始時間に次処理ウェーハの搬送を開始することで、その製造装置での半導体ウェーハ処理中に、次に処理する半導体ウェーハの搬送や段取りを完了させ、処理終了と同時に次の半導体ウェーハの処理が開始できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２９１００６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
半導体製造装置（以下、単に装置ともいう）を効率的に運用し、その運用コストを抑制するには、段取り処理の発生を最小限に抑えることが必要である。そのため、装置においては、同一処理条件のウェーハを可能な限り連続して処理することが好ましい。
【０００５】
一般的な製造実行システム（MES:manufacturing execution system）あるいはディスパッチャは、ロットの納期や処理優先度とともに、前記の処理条件の連続性を考慮して装置ごとの在庫ロットの中から装置に仕掛けるべきロットを選択し、装置に対して選択したロットの処理予約を行う。しかしながら、特に、ウェーハ容器（以下キャリアともいう。）の搬送も自動化されている半導体生産ラインにおいては、搬送台車が搬送指示を受信してからロットの受け取りまで要する時間や、ロット受け取り後に装置までの搬送に要する時間が、当該搬送台車と当該装置との位置関係のみならず、途中経路の渋滞状況等にも左右される。すなわち、キャリアの当該装置への到着を前記選択順に制御できるとは限らない。
【０００６】
また、製造実行システムあるいはディスパッチャによっては、その装置に対する在庫ロットの発生あるいは当該装置の搬入口における空きの発生をトリガとして次処理ロットを選択する。このような構成では、当該装置へのキャリア搬入順序は当該装置にとって効率的な順序になっているとは限らないという課題があった。
【０００７】
本発明は、前記従来技術の事情を鑑みて提案されたものであって、自動化された半導体生産ラインにおいて、在庫ロットの処理をより早く完了することができ、半導体製造装置を効率的に運用することができる半導体製造システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の目的を達成するために本発明による半導体製造システムは、制御コンピュータと、半導体生産ラインと、予測部と、処理順序入れ替え制御部と、実行部とを備える。半導体生産ラインは、制御コンピュータからの指示に応じて複数のウェーハ容器に収容されたウェーハを処理する。予測部は、複数のウェーハ容器が半導体生産ラインに属する一の半導体製造装置に到着した際に、各ウェーハ容器に収容されたウェーハに対する当該半導体製造装置における処理の予想処理時間を、段取り処理に要する時間を含めて算出する。処理順序入れ替え制御部は、算出された予想処理時間に基づいて、複数のウェーハ容器に収容されたウェーハの半導体製造装置における処理が最短時間で完了する状態に複数のウェーハ容器の処理順序を決定する。実行部は、決定された処理順序にしたがって、複数のウェーハ容器に収容されたウェーハの処理を半導体製造装置に実行させる。
【０００９】
この構成により、複数のウェーハ容器に収容されたウェーハに対する処理の総処理時間を短縮することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、段取り処理の発生抑制や段取り処理時間の短縮により半導体製造装置の効率的な運用を実現することができる。特に、レシピの切り替えごとに段取り処理を要する半導体製造装置や、高スループットの半導体製造装置において高い効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態における半導体製造システムの概略構成図
【図２】本発明の一実施形態における半導体製造システムに属する一の半導体製造装置での処理順序変更処理を示すフロー図
【図３】本発明の一実施形態における半導体製造システムに属する一の半導体製造装置での振り替え可否判定処理を示すフロー図
【図４】本発明の一実施形態における半導体製造システムに属する他の半導体製造装置での所要時間算出処理を示すフロー図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
【００１３】
本発明の実施形態における半導体製造システムの概略図を図１に示す。この半導体製造システムは、ＭＥＳまたはホストコンピュータである制御コンピュータ１、半導体生産ラインにおいて処理対象のウェーハ（キャリア）を搬送する複数の搬送台車２、搬送台車２を駆動する搬送コントローラ３、搬送台車２との間でウェーハ（キャリア）をやりとりし、ウェーハ処理を行う半導体製造装置５、半導体製造装置５における処理等を制御する制御部４を有する。一般に、半導体生産ラインには複数台の半導体製造装置５が含まれているが、ここでは半導体製造装置５ａと半導体製造装置５ｂのみを示している。なお、半導体製造装置５ａと半導体製造装置５ｂとは、ウェーハに対して同一の処理を実行可能な装置である。すなわち、当該処理を実施する場合、半導体製造装置５ａと半導体製造装置５ｂとから選択されたいずれかの装置において処理が実施される。また、図１では、１の搬送台車２のみを例示している。
【００１４】
制御部４は、例えば、専用の演算回路や、プロセッサとＲＡＭ（Random Access Memory）やＲＯＭ（Read Only Memory）等のメモリとを備えたハードウエア、および当該メモリに格納され、プロセッサ上で動作するソフトウエア等として実現することができる。本実施形態では、制御部４は、半導体製造装置５ごとに対応して設けられている。すなわち、半導体製造装置５ａに対応して制御部４ａが設けられ、半導体製造装置５ｂに対応して制御部４ｂが設けられている。なお、制御部４（４ａ、４ｂ）は、半導体製造装置５における、搬送台車２との間のウェーハの授受、ウェーハ搬送、ウェーハ処理等を制御するとともに、制御コンピュータ１に対し、後述する処理計画の変更を要求（指示）する。
【００１５】
特に限定されないが、本実施形態では、図１に示すように、装置部４（４ａ、４ｂ）は、ロードポート制御部４１（４１ａ、４１ｂ）、ハンドラ制御部４２（４２ａ、４２ｂ）、プロセス制御部４３（４３ａ、４３ｂ）、ＳＥＣＳ（SEMI [Semiconductor Equipment and Materials International] Equipment Communications Standard）通信制御部４４（４４ａ、４４ｂ）、対搬送装置通信制御部４５（４５ａ、４５ｂ）、処理順序入れ替え制御部４６（４６ａ、４６ｂ）、対搬送コントローラ通信Ｉ／Ｆ４７（４７ａ、４７ｂ）、対他号機通信Ｉ／Ｆ４８（４８ａ、４８ｂ）および記憶部４９（４９ａ、４９ｂ）を備える。ロードポート制御部４１、ハンドラ制御部４２およびプロセス制御部４３は、半導体製造装置５によるウェーハの処理実行を制御する。すなわち、ロードポート制御部４１は、半導体製造装置５が備えるロードポートへのキャリアの搬入出を制御する。ハンドラ制御部４２は、キャリア内のウェーハを半導体製造装置５の処理部（処理チャンバ）内への搬入出を制御する。プロセス制御部４３は、処理部でのウェーハに対する処理を制御する。ＳＥＣＳ通信制御部４４は、制御コンピュータ１との情報の授受を行う。対搬送装置通信制御部４５は、搬送台車２の接近等を検知し、ロードポート制御部４１とともに搬送台車２とロードポートとの間のキャリアの授受を制御する。処理順序入れ替え制御部４６は、予測部４６１（４６１ａ、４６１ｂ）を備え、予測部４６１が算出する各キャリアの予想処理時間（処理終了時期）に基づいて、後述の処理順序入れ替えを実行する。対搬送コントローラ通信Ｉ／Ｆ４７は搬送コントローラ３に対する通信インターフェースであり、対他号機通信Ｉ／Ｆ４８は、他の半導体製造装置５の制御部４に対する通信インターフェースである。なお、制御部４（４ａ、４ｂ）は、半導体製造装置５（５ａ、５ｂ）と別体の装置として半導体生産ラインに設けられていてもよいが、本実施形態では対応する各半導体製造装置５ａ、５ｂにそれぞれ設けられている。
【００１６】
図２、図３および図４は、本実施形態における半導体製造システムが実施する処理を示すフロー図である。図２および図３は、一の半導体製造装置５（例えば、半導体製造装置５ａ）において実行される処理順序変更処理および振り替え可否判定処理を示すフロー図であり、図４は、同一の処理を実行可能な他の半導体製造装置５（例えば半導体製造装置５ｂ）において実行される処理を示すフロー図である。本実施形態では、各半導体製造装置５ａ、５ｂに設けられた制御部４ａ、４ｂにより、これらの処理が実行される。なお、以下では、図２および図３に示す処理が半導体製造装置５ａにおいて実行され、図４に示す処理が半導体製造装置５ｂにおいて実行される事例について説明する。
【００１７】
処理順変更処理は、一の半導体製造装置５ａにおいて、少なくとも３つのウェーハ処理の発生が前提になる。ここで、ウェーハ処理とは、コントロールジョブあるいはトラッキング等であり、半導体製造装置５ａにおいて、他の処理と互いに区別されて実行される一連のプロセスを意味する。以下、３つのウェーハ処理ａ１、ウェーハ処理ａ２、ウェーハ処理ａ３が制御コンピュータ１（ＭＥＳ）の指示によってａ１、ａ２、ａ３の順に発生し、各ウェーハ処理ａ１〜ａ３は、各ウェーハ処理ａ１〜ａ３の対象となるキャリアが当該半導体製造装置５ａ（以下、装置５ａという。）のロードポート（あるいは処理待キャリアを収容するキャリア収容棚）に設置されることをトリガとして各ウェーハ処理ａ１〜ａ３が発生する事例について説明する。なお、装置５ａでは、各ウェーハ処理ａ１〜ａ３の実行前に、ウェーハ処理種に対応してそれぞれ定められた前段取り処理ｂ１、ｂ２、ｂ３が発生する。ここでは、ウェーハ処理ａ１の処理条件がレシピＲ１、ウェーハ処理ａ２の処理条件がレシピＲ２、ウェーハ処理ａ３の処理条件がレシピＲ３であるとする。この場合、前段取り処理ｂ１、ｂ２、ｂ３は、レシピＲ１、Ｒ２、Ｒ３にそれぞれ対応する処理になる。これらの前段取り処理は、処理室のセットアップ等の半導体製造装置を占有する段取り処理であり、各ウェーハ処理ａ１、ａ２、ａ３と同時に実行することができない処理を指す。ただし、前段取り処理ｂ１、ｂ２、ｂ３は、設定としてのみ発生し、実際には装置５ａにおいて何の処理も行わない場合もある。例えば、同一レシピで連続してウェーハ処理を実施する場合に処理室のセットアップが不要な装置５では、前段取り処理は不要となる場合がある。
【００１８】
また、装置５ａに設けられた制御部４ａの記憶部４９ａは、過去に実行したウェーハ処理や前段取り処理について、履歴を保持している。例えば、ウェーハ処理については、履歴として、レシピ種ごとおよび１トラッキングにおけるウェーハ枚数ごとにそれらの処理所要時間を保持している。また、これらのウェーハ処理履歴とともに、各レシピ使用時の標準時間を設定として保持している。当該標準時間は、これから使用する予定のレシピについてのウェーハ処理履歴が極めて少ない場合（例えば、１０処理以下）にウェーハ処理の履歴情報に代えて使用される。同様に、前段取り処理については、履歴として、前段取りの内容ごとおよび直前に実行されたレシピ種ごとにそれらの処理所要時間を保持している。また、記憶部４９ａは、これらの前段取り処理履歴とともに、各前段取り処理使用時の標準時間を設定として保持している。当該標準時間は、これから使用する予定のレシピについての前段取り処理履歴が極めて少ない場合（例えば、１０処理以下）に前段取り処理の履歴情報に代えて使用される。なお、前段取り処理の直前にメンテナンス等が行われ特定のウェーハ処理が実行されていなかった場合の前段取り処理所要時間も、直前に実行されたウェーハ処理がないとのレシピ種の１区分に分類して保持されている。
【００１９】
また、ここでは、装置５ａには処理実行中のキャリアおよび処理待ちのキャリアが存在しない状態であるものとして説明する。
【００２０】
図２に示すように、まず、搬送台車２により搬送されたウェーハ処理ａ１の対象キャリアが装置５ａのロードポートに設置されると、これに応じて制御コンピュータ１からの指示により装置５ａにおいてウェーハ処理ａ１が発生する（ステップＳ２０１）。ウェーハ処理ａ１の発生時、装置５ａにはウェーハ処理ａ１を行うためのレシピＲ１、処理対象ウェーハ枚数Ｎ１、納期に基づく処理優先度Ｐ１等のウェーハ処理の実行に要する情報が制御コンピュータ１から与えられている。
【００２１】
続いて、同様にして、ウェーハ処理ａ２の対象キャリアが装置５ａのロードポートに設置されると、これに応じて制御コンピュータ１からの指示により装置５ａにおいてウェーハ処理ａ２が発生する（ステップＳ２０２）。ウェーハ処理ａ２の発生時、装置５ａにはウェーハ処理ａ２を行うためのレシピＲ２、処理対象ウェーハ枚数Ｎ２、納期に基づく処理優先度Ｐ２等のウェーハ処理の実行に要する情報が制御コンピュータ１から与えられている。
【００２２】
さらに、ウェーハ処理ａ３の対象キャリアが装置５ａのロードポートに設置されると、これに応じて制御コンピュータ１からの指示により装置５ａにおいてウェーハ処理ａ３が発生する（ステップＳ２０４）。上述のウェーハ処理ａ１、ａ２と同様に、ウェーハ処理ａ３の発生時、装置５ａにはウェーハ処理ａ３を行うためのレシピＲ３、処理対象ウェーハ枚数Ｎ３、納期に基づく処理優先度Ｐ３等のウェーハ処理の実行に要する情報が制御コンピュータ１から与えられている。
【００２３】
なお、制御コンピュータ１から与えられた情報は制御部４ａの記憶部４９ａに格納される。また、図２では、ウェーハ処理ａ２が発生した後にウェーハ処理ａ１の実際の加工処理が始まる状態を示しているが（ステップＳ２０３）、これはウェーハ処理ａ１の発生からウェーハ処理ａ２の発生間隔が極短時間である場合を想定したためであり、当該状態に限定されるものではない。すなわち、ウェーハ処理ａ３の発生までにウェーハ処理ａ１の加工処理（前段取り処理ｂ１を含む）が開始されていればよく、ウェーハ処理ａ１の加工処理の開始はウェーハ処理ａ２の発生前であってもよい。なお、制御部４ａのプロセス制御部４３ａは、ウェーハ処理ａ１の加工処理が開始されたときからの経過時間ＴＬ１、すなわち前段取り処理ｂ１が開始されてからの経過時間ＴＬ１の計測を開始する（ステップＳ２０３）。
【００２４】
次に、以上の状況下において、処理順序入れ替え制御部４６ａの予測部４６１ａは、発生したウェーハ処理ａ１、ａ２、ａ３を、発生順に実行した場合の所要時間Ｔ１を以下の方法で算出する（ステップＳ２０５、２０６）。
【００２５】
まず、予測部４６１ａは、ウェーハ処理ａ１について、記憶部４９ａが保持する上述のウェーハ処理履歴から、ウェーハ処理時間の実績値に基づいて予想処理時間ＰＴ１ａを算出する（ステップＳ２０５）。特に限定されないが、ここでは、レシピＲ１により処理された処理対象ウェーハ枚数Ｎ１と同枚数の履歴情報を記憶部４９ａから抽出し、抽出された処理時間データのうち上位（長時間側）１０％および下位（短時間側）１０％のデータを除いた、修正処理時間データの中央値をウェーハ処理ａ１の予想処理時間ＰＴ１ａとして算出する。同時に、予測部４６１ａは、当該修正処理時間データの標準偏差を、予想処理時間ＰＴ１ａについての標準偏差ｓPT1aとして算出する。
【００２６】
また、予測部４６１ａは、前段取り処理ｂ１についても記憶部４９ａが保持する上述の前段取り処理履歴から、前段取り処理時間の実績値に基づいて予想処理時間ＰＴ１ｂを算出する（ステップＳ２０５）。特に限定されないが、ここでは、前段取り処理の直前にウェーハ処理が行われなかった場合の前段取り処理ｂ１の履歴情報を記憶部４９ａから抽出し、抽出された処理時間データのうち上位（長時間側）１０％および下位（短時間側）１０％のデータを除いた、修正処理時間データの中央値を前段取り処理ｂ１の予想処理時間ＰＴ１ｂとして算出する。同時に、予測部４６１ａは、当該修正処理時間データの標準偏差を、予想処理時間ＰＴ１ｂについての標準偏差ｓPT1bとして算出する。なお、前段取り処理ｂ１がウェーハ処理ａ３発生前に完了している場合はその実績値が予想処理時間ＰＴ１ｂになり、標準偏差ｓPT1b＝０になる。
【００２７】
同様に、予測部４６１ａは、記憶部４９ａが保持する上述のウェーハ処理履歴および前段取り処理履歴から、各処理時間の実績値に基づいて、ウェーハ処理ａ２の予想処理時間ＰＴ２ａおよび前段取り処理ｂ２の予想処理時間ＰＴ２ｂを算出する（ステップＳ２０５）。ここでは、ウェーハ処理ａ１および前段取り処理ｂ１に対する場合と同様の手法により予想処理時間ＰＴ２ａ、ＰＴ２ｂを算出する。すなわち、予測部４６１ａは、レシピＲ２により処理された、処理対象ウェーハ枚数Ｎ２と同枚数の履歴情報を記憶部４９ａから抽出し、抽出された処理時間データのうち上位（長時間側）１０％および下位（短時間側）１０％のデータを除いた、修正処理時間データの中央値をウェーハ処理ａ２の予想処理時間ＰＴ２ａとして算出する。同時に、当該修正処理時間データの標準偏差を、予想処理時間ＰＴ２ａについての標準偏差ｓPT2aとして算出する。また、予測部４６ａは、前段取り処理の直前にレシピＲ１が実施された場合の前段取り処理ｂ２の履歴情報を記憶部４９ａから抽出し、抽出された処理時間データのうち上位（長時間側）１０％および下位（短時間側）１０％のデータを除いた、修正処理時間データの中央値を前段取り処理ｂ２の予想処理時間ＰＴ２ｂとして算出する。同時に、当該修正処理時間データの標準偏差を、予想処理時間ＰＴ２ｂについての標準偏差ｓPT2bとして算出する。
【００２８】
同様に、予測部４６１ａは、記憶部４９ａが保持する上述のウェーハ処理履歴および前段取り処理履歴から、各処理時間の実績値に基づいて、ウェーハ処理ａ３の予想処理時間ＰＴ３ａおよび前段取り処理ｂ３の予想処理時間ＰＴ３ｂを算出する（ステップＳ２０５）。ここでは、予測部４６１ａは、レシピＲ３により処理された処理対象ウェーハ枚数Ｎ３と同枚数の履歴情報を記憶部４９ａから抽出し、抽出された処理時間データのうち上位（長時間側）１０％および下位（短時間側）１０％のデータを除いた、修正処理時間データの中央値をウェーハ処理ａ３の予想処理時間ＰＴ３ａとして算出する。同時に、当該修正処理時間データの標準偏差を、予想処理時間ＰＴ３ａについての標準偏差ｓPT3aとして算出する。また、予測部４６１ａは、前段取り処理の直前にレシピＲ２が実施された場合の前段取り処理ｂ３の履歴情報を記憶部４９ａから抽出し、抽出された処理時間データのうち上位（長時間側）１０％および下位（短時間側）１０％のデータを除いた、修正処理時間データの中央値を前段取り処理ｂ３の予想処理時間ＰＴ３ｂとして算出する。同時に、当該修正処理時間データの標準偏差を、予想処理時間ＰＴ３ｂについての標準偏差ｓPT3bとして算出する。
【００２９】
処理順序入れ替え制御部４６ａは、予測部４６１ａが以上のようにして算出した予想処理時間ＰＴ１ｂ、ＰＴ１ａ、ＰＴ２ｂ、ＰＴ２ａ、ＰＴ３ｂ、ＰＴ３ａの総和Ｓ１を算出する。そして、当該総和Ｓ１から、ウェーハ処理ａ１処理開始からの経過時間ＴＬ１を減算することで、ウェーハ処理ａ１、ａ２、ａ３の順で処理した場合の処理終了時期である所要時間Ｔ１を算出する（ステップＳ２０６）。なお、所要時間Ｔ１は、当該所要時間Ｔ１算出時から、ウェーハ処理ａ３が完了するまでに要する時間（ウェーハ処理総残所要時間）を示すことになる。また、処理順序入れ替え制御部４６ａは、以上のようにして算出した標準偏差ｓPT1b、ｓPT1a、ｓPT2b、ｓPT2a、ｓPT3b、ｓPT3aの総和ｓS1を算出する。
【００３０】
次に、処理順序入れ替え制御部４６ａは、ウェーハ処理順序を入れ替えた場合の所要時間Ｔ２を算出する（ステップＳ２０７）。本事例では、ウェーハ処理ａ１は既に開始されているため処理順を変更することなく先頭として据え置かれる。したがって、２番目に処理予定のウェーハ処理ａ２と３番目に処理予定のウェーハ処理ａ３との処理順序を入れ替えることになる。なお、上述したように、本処理順序変更処理の前提が、少なくとも３つのウェーハ処理の発生であるのは当該事由のためである。
【００３１】
本実施形態では、処理順序入れ替え制御部４６ａは、当該処理順序変更後の所要時間Ｔ２を、所要時間Ｔ１と同様の算出手法により算出する。上述のように、前段取り処理時間を、ウェーハ処理時間と別個に算出する構成では、当該処理順序変更によっても、ウェーハ処理ａ２の予想処理時間ＰＴ２ａ、標準偏差ｓPT2a並びにウェーハ処理ａ３の予想処理時間ＰＴ３ａ、標準偏差ｓPT3aは同一である。また、ウェーハ処理ａ１の処理順序に変更がないため、ウェーハ処理ａ１の予想処理時間ＰＴ１ａ、標準偏差ｓPT1a、前段取り処理ｂ１の予想処理時間ＰＴ１ｂ、標準偏差ｓPT1bも、当然同一である。そのため、本実施形態では、予測部４６１ａが、処理順序が２番目であるウェーハ処理ａ３の前段取り処理ｂ３、および処理順序が３番目であるウェーハ処理ａ２の前段取り処理ｂ２についてのみ予想処理時間を再計算する。
【００３２】
予測部４６１ａは、処理順序が２番目である前段取り処理ｂ３について、記憶部４９ａが保持する上述の前段取り処理履歴から、処理時間の実績値に基づいて予想処理時間ＰＴ４ｂを算出する。ここでは、前段取り処理の直前にレシピＲ１が実施された場合の前段取り処理ｂ３の履歴情報を記憶部４９ａから抽出し、抽出された処理時間データのうち上位（長時間側）１０％および下位（短時間側）１０％のデータを除いた、修正処理時間データの中央値を前段取り処理ｂ３の予想処理時間ＰＴ４ｂとして算出する。同時に、当該修正処理時間データの標準偏差を、予想処理時間ＰＴ４ｂについての標準偏差ｓPT4bとして算出する。
【００３３】
同様に、予測部４６１ａは、処理順序が３番目である前段取り処理ｂ２について、記憶部４９ａが保持する上述の前段取り処理履歴から、処理時間の実績値に基づいて予想処理時間ＰＴ５ｂを算出する。ここでは、前段取り処理の直前にレシピＲ３が実施された場合の前段取り処理ｂ２の履歴情報を記憶部４９ａから抽出し、抽出された処理時間データのうち上位（長時間側）１０％および下位（短時間側）１０％のデータを除いた、修正処理時間データの中央値を前段取り処理ｂ２の予想処理時間ＰＴ５ｂとして算出する。同時に、当該修正処理時間データの標準偏差を、予想処理時間ＰＴ５ｂについての標準偏差ｓPT5bとして算出する。
【００３４】
処理順序入れ替え制御部４６ａは、予測部４６１ａが以上のようにして算出した予想処理時間ＰＴ４ｂ、ＰＴ５ｂ並びに先に算出した予想処理時間ＰＴ１ｂ、ＰＴ１ａ、ＰＴ２ａ、ＰＴ３ａの総和Ｓ２を算出する。そして、当該総和Ｓ２から、上記経過時間ＴＬ１を減算することで、所要時間Ｔ２を算出する。この場合、所要時間Ｔ２は、ウェーハ処理ａ１、ａ３、ａ２の順で処理した場合に、ウェーハ処理ａ２が完了するまでに要する時間を示すことになる。また、処理順序入れ替え制御部４６ａは、以上のようにして算出した標準偏差ｓPT4b、ｓPT5b並びに先に算出した標準偏差ｓPT1b、ｓPT1a、ｓPT2a、ｓPT3aの総和ｓS2を算出する。
【００３５】
以上のようにして所要時間Ｔ１、Ｔ２を算出した処理順序入れ替え制御部４６ａは、所要時間Ｔ１、Ｔ２の大小関係を比較する（ステップＳ２０８）。そして、所要時間Ｔ１が他の処理順序の所要時間Ｔ２以下（所要時間Ｔ１が最小）である場合、制御コンピュータ１からの指示通りの処理順序を維持する（ステップＳ２０８Ｙｅｓ、Ｓ２０９）。また、他の所要時間Ｔ２の方が小さい場合、装置５ａは制御コンピュータ１からの指示に従わず、その最小の所要時間Ｔ２になる処理順序で処理を継続する（ステップＳ２０８Ｎｏ、Ｓ２１３）。すなわち、本事例では、ウェーハ処理ａ２とウェーハ処理ａ３を入れ替えた順序でウェーハ処理が継続される。以上により、総処理時間が最小となる処理順序が選択されることになる。なお、ここでは、後述の振り替え可否判定処理との関係で、総処理時間Ｓ１および総処理時間Ｓ２から経過時間ＴＬ１をそれぞれ減算した所要時間Ｔ１と所要時間Ｔ２とを比較しているが、１番目のウェーハ処理ａ１の順序を変更しないので、総処理時間Ｓ１と総処理時間Ｓ２との比較であっても、同様の結果を得ることができる。
【００３６】
さて、本実施形態では、以上のようにして処理順序入れ替え制御部４６ａが、処理順序を決定した後、処理順序が最後尾のウェーハ処理について、装置５ａと同等のウェーハ処理を行いうる他の装置５ｂへの振り替えの適否を下記の方法で検討する（ステップＳ２１０）。なお、上述の事例では、処理順序を維持した場合（ステップＳ２０９）の最後尾のウェーハ処理はウェーハ処理ａ３であり、処理順序を変更した場合（ステップＳ２１３）、最後尾のウェーハ処理はウェーハ処理ａ２である。
【００３７】
図３は、処理順序入れ替え制御部４６ａが実施する振り替え可否判定処理を示すフロー図である。まず、処理順序を維持した場合（ステップＳ２０９）について説明する。
【００３８】
処理順序入れ替え制御部４６ａは、装置５ｂにおいて、最後尾のウェーハ処理を実行した場合の所要時間Ｔｂおよび標準偏差の和ｓｂを、装置５ｂに設けられた制御部４ｂの処理順序入れ替え制御部４６ｂに問い合わせる（ステップＳ３０１）。この場合、最後尾のウェーハ処理はウェーハ処理ａ３である。また、この場合の所要時間Ｔｂおよび標準偏差の和ｓｂを、以下では、所要時間Ｔ３および標準偏差の和ｓS3という。
【００３９】
このとき、処理順序入れ替え制御部４６ａは、記憶部４９ａに格納されている、ウェーハ処理ａ３の実行に要する情報（レシピＲ３、処理対象ウェーハ枚数Ｎ３、納期に基づく処理優先度Ｐ３等）を読出し、対他号機通信Ｉ／Ｆ４８ａおよび制御部４ｂの対他号機通信Ｉ／Ｆ４８ｂを介して、処理順序入れ替え制御部４６ｂへ送信する。
【００４０】
装置５ｂの処理順序入れ替え制御部４６ｂは、当該問い合わせを受信すると、所要時間算出処理を実施し、所要時間Ｔ３および標準偏差の和ｓS3を装置５ａの処理順序入れ替え制御部４６ａへ返信する（ステップＳ３０２）。
【００４１】
図４は、処理順序入れ替え制御部４６ｂが実施する所要時間算出処理を示すフロー図である。ここでは、仮に、装置５ｂにおいて、レシピＲ１１にて処理開始されているウェーハ処理ａ１１とレシピＲ１２にて処理開始待ち中のウェーハ処理ａ１２が発生しているとする（ステップＳ４０１、Ｓ４０２）。この場合、処理順序入れ替え制御部４６ｂは、問い合わせを受けたレシピＲ３によるウェーハ処理ａ３をウェーハ処理ａ１３として追加した場合の所要時間Ｔ３および標準偏差の和ｓS3を算出する。なお、装置５ｂにおいて、ウェーハ処理ａ１１、ａ１２、ａ１３の実行に際し、それぞれ前段取り処理ｂ１１、ｂ１２、ｂ３を要するものとする。
【００４２】
処理順序入れ替え制御部４６ａからの問い合わせを受信した処理順序入れ替え制御部４６ｂは、所要時間Ｔ３および標準偏差の和ｓS3の算出前に、装置５ｂに搬入されようとしている他のキャリアの有無を確認する（ステップＳ４０４、Ｓ４０５）。このような確認は、搬送コントローラ３や搬送台車２への問い合わせにより行うことができる。
【００４３】
そして、他のキャリアが存在する場合には、処理順序入れ替え制御部４６ｂは所要時間Ｔ３＝∞、標準偏差の和ｓS3＝０を設定する（ステップＳ４０５Ｙｅｓ、Ｓ４０９）。他に搬入されようとしているキャリアが存在する場合には、当該キャリアを考慮せずに所要時間Ｔ３を算出しても無意味になるからである。また、他のキャリアが存在しない場合には、処理順序入れ替え制御部４６ｂは、制御コンピュータ１から既に指示されているウェーハ処理に関する情報を記憶部４９ｂにコピーし、これに問い合わせを受けたウェーハ処理ａ３（ウェーハ処理ａ１３）を加えた仮想的なウェーハ処理待ち行列を作成する（ステップＳ４０５Ｎｏ、Ｓ４０６）。なお、装置５ｂにおいて、制御コンピュータ１から既に指示されているウェーハ処理は停止されることなく継続されている。
【００４４】
また、本実施形態では、前段取り処理ｂ１１の予想処理時間ＰＴ１１ｂ、ウェーハ処理ａ１１の予想処理時間ＰＴ１１ａ、ウェーハ処理ａ１２の予想処理時間とＰＴ１２ａ、予想処理時間ＰＴ１１ｂの標準偏差ｓPT11b、予想処理時間ＰＴ１１ａの標準偏差ｓPT11a、予想処理時間ＰＴ１２ａの標準偏差ｓPT12aは、上記ウェーハ処理に関する情報に含まれている。なお、本実施形態では、予想処理時間ＰＴ１１ｂ、ＰＴ１１ａ、ＰＴ１２ａと、標準偏差ｓPT11b、ｓPT11a、ｓPT12aは、例えば、問い合わせを受けた処理順序入れ替え制御部４６ｂの予測部４６１ｂが算出する構成になっている。すなわち、装置５ｂに設けられた制御部４ｂの記憶部４９ｂは、装置５ｂにおいて過去に実行したウェーハ処理や前段取り処理について上述の履歴を保持しており、上述の予測部４６１ａによる予想処理時間ＰＴ１ｂ、ＰＴ１ａ、ＰＴ２ａ、標準偏差ｓPT1b、ｓPT1a、PT2aの算出と同様の手法により算出する。なお、上述のように、前段取り処理ｂ１１が処理順序入れ替え制御部４６ｂによる問い合わせ前に完了している場合は、その実績値が予想処理時間ＰＴ１１ｂになり、標準偏差ｓPT11b＝０になる。
【００４５】
同様に、予測部４６１ｂは、記憶部４９ｂが保持するウェーハ処理履歴から、ウェーハ処理ａ１３で使用するレシピＲ３により処理された、処理対象ウェーハ枚数Ｎ３と同枚数の履歴情報を抽出する。そして、抽出された処理時間データのうち上位（長時間側）１０％および下位（短時間側）１０％のデータを除いた、修正処理時間データの中央値をウェーハ処理ａ１３の予想処理時間ＰＴ１３ａとして算出する。同時に、修正処理時間データの標準偏差を、予想処理時間ＰＴ１３ａについての標準偏差ｓPT13aとして算出する。
【００４６】
さて、予測部４６１ｂは、既にウェーハ処理ａ１１が開始されているため当該ウェーハ処理ａ１１の処理順を変更することなく先頭として据え置き、２番目にウェーハ処理ａ１３を処理し、３番目にウェーハ処理ａ１２を処理した場合のウェーハ処理に要する時間を所要時間Ｔ３として算出する。ここで、問い合わせ対象のウェーハ処理ａ１３（ウェーハ処理ａ３）の処理順序を入れ替える理由は、そもそも制御コンピュータ１により有利であると判定された結果として、当該ウェーハ処理の対象となるキャリアが装置５ｂではなく装置５ａに搬入されているからである。
【００４７】
このとき、予測部４６１ｂは、記憶部４９ｂが保持する前段取り処理履歴から、前段取り処理の直前にレシピＲ１１が実施された場合の前段取り処理ｂ３の履歴情報を抽出する。そして、抽出された処理時間データのうち上位（長時間側）１０％および下位（短時間側）１０％のデータを除いた、修正処理時間データの中央値を前段取り処理ｂ３の予想処理時間ＰＴ１４ｂとして算出する。同時に、当該修正処理時間データの標準偏差を、予想処理時間ＰＴ１４ｂについての標準偏差ｓPT14bとして算出する。また、予測部４６１ｂは、記憶部４９ｂが保持する前段取り処理履歴から、前段取り処理の直前にレシピＲ３が実施された場合の前段取り処理ｂ１２の履歴情報を抽出する。そして、抽出された処理時間データのうち上位（長時間側）１０％および下位（短時間側）１０％のデータを除いた、修正処理時間データの中央値を前段取り処理ｂ１２の予想処理時間ＰＴ１５ｂとして算出する。同時に、当該修正処理時間データの標準偏差を、予想処理時間ＰＴ１５ｂについての標準偏差ｓPT15bとして算出する。
【００４８】
そして、処理順序入れ替え制御部４６ｂは、ウェーハ処理ａ１１の予想処理時間ＰＴ１１ａ、ウェーハ処理ａ１２の予想処理時間ＰＴ１２ａ、ウェーハ処理ａ１３の予想処理時間ＰＴ１３ａ、前段取り処理ｂ１１の予想処理時間ＰＴ１１ｂ、前段取り処理ｂ３の予想処理時間ＰＴ１４ｂ、前段取り処理ｂ１２の予想処理時間ＰＴ１５ｂの総和Ｓ３からウェーハ処理ａ１１の加工処理開始時（前段取り処理ｂ１１開始時）からの経過時間ＬＴ１１を減算して処理終了時期である所要時間Ｔ３を算出する（ステップＳ４０７）。また、処理順序入れ替え制御部４６ａは、以上のようにして予測部４６１ｂが算出した標準偏差ｓPT11b、ｓPT11a、ｓPT14b、ｓPT13a、ｓPT15b、ｓPT12aの総和ｓS3を算出する（ステップＳ４０７）。
【００４９】
以上のようにして、装置５ｂにおいて、ウェーハ処理ａ３を実行した場合の所要時間Ｔ３および標準偏差の和ｓS3を算出（あるいは設定）した処理順序入れ替え制御部４６ｂは、対他号機通信Ｉ／Ｆ４８ｂおよび対他号機通信Ｉ／Ｆ４８ａを介して、算出（あるいは設定）した所要時間Ｔ３および標準偏差の和ｓS3を処理順序入れ替え制御部４６ａへ送信する（ステップＳ４０８）。
【００５０】
処理順序入れ替え制御部４６ａは装置５ａでの所要時間Ｔａ（ここでは、順序変更がない場合であるため、所要時間Ｔ１）と受信した所要時間Ｔ３との大小関係を比較する（図３  ステップＳ３０３）。Ｔ１≦Ｔ３である場合には、装置５ｂへウェーハ処理ａ３を振り替えても所要時間が短縮されないため、処理順序入れ替え制御部４６ａは振り替え不可と判断して処理を終了する（ステップＳ３０３Ｙｅｓ、Ｓ３０６）。
【００５１】
一方、図３のステップＳ３０３での比較結果がＴ１＞Ｔ３である場合、処理順序入れ替え制御部４６ａは、ウェーハ処理ａ３の処理優先度Ｐ３が通常以下であるか否か、およびＴ１＞Ｔ３＋ｓS3であるか否かを判定する（図３  ステップＳ３０３Ｎｏ、Ｓ３０４）。
【００５２】
ここで、標準偏差の和ｓS3は処理時間のばらつき量であるので、所要時間Ｔ３に標準偏差の和ｓS3を加算した値は、装置５ｂにおける処理において処理時間のばらつきを考慮した場合の最も大きい所要時間（最遅終了時期）に相当する。したがって、Ｔ１＞Ｔ３＋ｓS3である場合は、所要時間Ｔ３のばらつき量ｓS3を考慮した場合でも、装置５ｂでウェーハ処理ａ３を実行する方が装置５ａでウェーハ処理ａ３を行うよりも処理終了時期が早くなることを意味する。また、Ｔ１≦Ｔ３＋ｓS3（すなわち、Ｔ３＜Ｔ１≦Ｔ３＋ｓS3）である場合は、処理時間実績値の中央値のみで判断すると、装置５ｂでウェーハ処理ａ３を実行する方が装置５ａでウェーハ処理ａ３を行うよりも処理終了時期が早くなるが、所要時間Ｔ３のばらつき量ｓS3を考慮すると、装置５ｂでウェーハ処理ａ３を実行する方が処理終了時期が遅くなる場合が生じ得ることを意味する。そのため、本実施形態では、Ｔ１≦Ｔ３＋ｓS3である場合には、ウェーハ処理ａ３の処理優先度Ｐ３を考慮して振り替えの可否を判断している。すなわち、ウェーハ処理ａ３の処理優先度Ｐ３が通常以下である場合（非優先進行）は、振り替えを行うことによる処理時間の短縮の可能性を重視し、ウェーハ処理ａ３の処理優先度Ｐ３が高い場合（優先進行）は、振り替えを行うことによる処理時間の延長の可能性を重視する。
【００５３】
すなわち、Ｔ１＞Ｔ３＋ｓS3である場合、またはウェーハ処理ａ３の処理優先度Ｐ３が通常以下である場合、処理順序入れ替え制御部４６ａは振り替え可と判断して処理を終了する（ステップＳ３０４Ｙｅｓ、Ｓ３０５）。また、Ｔ１≦Ｔ３＋ｓS3である場合、かつウェーハ処理ａ３の処理優先度Ｐ３が高い場合、処理順序入れ替え制御部４６ａは振り替え不可と判断して処理を終了する（ステップＳ３０４Ｙｅｓ、Ｓ３０６）。
【００５４】
以上のような振り替え可否判定処理の結果、処理順序入れ替え制御部４６ａが振り替え不可と判断した場合、制御部４ａのロードポート制御部４１ａ、ハンドラ制御部４２ａ、プロセス制御部４３ａは、制御コンピュータ１から指示されたとおりの処理順序、すなわちウェーハ処理ａ１、ａ２、ａ３の順でウェーハ処理を実行し、全てのウェーハ処理を完了させる（図２  ステップＳ２１０Ｎｏ、Ｓ２１４）。一方、振り替え可と判断した場合、処理順序入れ替え制御部４６ａは、以下の処理を行い、ウェーハ処理ａ３を装置５ｂへ振り替える（図２  ステップＳ２１０Ｙｅｓ）。
【００５５】
まず、処理順序入れ替え制御部４６ａは、ＳＥＣＳ通信制御部４４を通じて、ウェーハ処理ａ３について装置５ｂで処理した方が有利である旨を示す通知を制御コンピュータ１に送信する。この通知を受信した制御コンピュータ１は、装置５ａのウェーハ処理ａ３の対象となるウェーハを装置５ｂで処理するように処理計画を変更する。すなわち、装置５ａ（制御部４ａ）に対し直ちにウェーハ処理ａ３の処理予約解除指示を送信するとともに、装置５ｂ（制御部４ｂ）に対し、ウェーハ処理ａ３の対象であるウェーハの処理を予約する。同時に、搬送台車２を統括する搬送コントローラ３に当該ウェーハ処理ａ３の対象キャリアの引き取りおよび装置５ｂへの搬入を指示する。
【００５６】
当該指示を受信した装置５ａ（制御部４ａ）では、ウェーハ処理ａ３の処理予約解除が実施される。また、搬送コントローラ３は、装置５ａに時間的に最も近い空荷の搬送台車２を探索し、当該搬送台車２に、装置５ａからの当該キャリアの払い出し実行と装置５ｂへの搬入を指示する。指示を受けた搬送台車２の接近・到着を対搬送装置通信制御部４５ａが検知すると、ロードポート制御部４１ａがウェーハ処理ａ３の対象キャリアの払い出しを実施する。
【００５７】
これにより、ウェーハ処理ａ１、ａ２は装置５ａにおいて継続して実行されつつ、ウェーハ処理ａ３は装置５ｂへ振り替えられることになる（図２  ステップＳ２１１、Ｓ２１２）。その結果、ウェーハ処理ａ１〜ａ３の総処理時間を短縮することができる。すなわち、製造装置に対する在庫ロットの発生あるいは当該装置の搬入口における空きの発生をトリガとして次処理ロットを選択するＭＥＳやディスパッチャを備える半導体生産ラインにおいても半導体製造装置を効率的に運用することができる。
【００５８】
なお、本実施形態では、装置５ａと装置５ｂとの間のキャリア搬送に要する時間を考慮していない。これは、制御コンピュータ１により、一部の半導体製造装置に負荷が集中することのない処理計画が立案されており、各半導体製造装置において同等（３ウェーハ処理分）のキャリアが滞在しているのでその間にキャリアの搬送ができることを前提としているからである。キャリア搬送時間を考慮する場合には、上記所要時間Ｔ３にキャリア搬送時間が加算される。このようなキャリア搬送時間は、例えば、各半導体製造装置間の搬送に要する標準時間が記憶部４９ｂに予め登録される構成にすればよい。
【００５９】
続いて、処理順序を変更した場合（ステップＳ２１３）に、処理順序入れ替え制御部４６ａが実施する振り替え可否判定処理について、図３、図４に基づいて簡単に説明する。
【００６０】
処理順序入れ替え制御部４６ａは、装置５ｂにおいて、最後尾のウェーハ処理を実行した場合の所要時間Ｔｂおよび標準偏差の和ｓｂを、装置５ｂに設けられた制御部４ｂの処理順序入れ替え制御部４６ｂに問い合わせる（ステップＳ３０１）。処理順序を変更した場合（ステップＳ２１３）、最後尾のウェーハ処理はウェーハ処理ａ２である。また、この場合の所要時間Ｔｂおよび標準偏差の和ｓｂを、以下では、所要時間Ｔ４および標準偏差の和ｓS4という。
【００６１】
このとき、処理順序入れ替え制御部４６ａは、記憶部４９ａに格納されている、ウェーハ処理ａ２の実行に要する情報（レシピＲ２、処理対象ウェーハ枚数Ｎ２、納期に基づく処理優先度Ｐ２等）を読出し、対他号機通信Ｉ／Ｆ４８ａおよび対他号機通信Ｉ／Ｆ４８ｂを通じて、処理順序入れ替え制御部４６ｂへ送信する。
【００６２】
装置５ｂの処理順序入れ替え制御部４６ｂは、当該問い合わせを受信すると、上述の所要時間算出処理を実施し、所要時間Ｔ４および標準偏差の和ｓS4を装置５ａの処理順序入れ替え制御部４６ａへ返信する。
【００６３】
この場合、処理順序入れ替え制御部４６ｂは、ウェーハ処理ａ２を加えた仮想的なウェーハ処理待ち行列を作成し（ステップＳ４０６）、当該ウェーハ処理ａ２に応じた、ウェーハ処理および前段取り処理の予想処理時間、並びに予想処理時間の標準偏差を算出して所要時間Ｔ４および標準偏差の和ｓS4を算出する（ステップＳ４０７）。
【００６４】
以上のようにして、装置５ｂにおいて、ウェーハ処理ａ３を実行した場合の所要時間Ｔ４および標準偏差の和ｓS4を算出した処理順序入れ替え制御部４６ｂは、対他号機通信Ｉ／Ｆ４８ｂおよび対他号機通信Ｉ／Ｆ４８ａを介して、算出（あるいは設定）した所要時間Ｔ４および標準偏差の和ｓS4を処理順序入れ替え制御部４６ａへ送信する（ステップＳ４０８）。
【００６５】
処理順序入れ替え制御部４６ａは装置５ａでの所要時間Ｔａ（ここでは、順序変更がある場合であるため、所要時間Ｔ２）と受信した所要時間Ｔ４との大小関係を比較する（図３  ステップＳ３０３）。Ｔ２≦Ｔ４である場合には、装置５ｂへウェーハ処理ａ２を振り替えても所要時間が短縮されないため、処理順序入れ替え制御部４６ａは振り替え不可と判断して処理を終了する（ステップＳ３０３Ｙｅｓ、Ｓ３０６）。
【００６６】
一方、図３のステップＳ３０３での比較結果がＴ２＞Ｔ４である場合、処理順序入れ替え制御部４６ａは、ウェーハ処理ａ２の処理優先度Ｐ２が通常以下であるか否か、およびＴ２＞Ｔ４＋ｓS4であるか否かを判定する（図３  ステップＳ３０３Ｎｏ、Ｓ３０４）。
【００６７】
そして、Ｔ２＞Ｔ４＋ｓS4である場合、またはウェーハ処理ａ２の処理優先度Ｐ２が通常以下である場合（非優先進行）、処理順序入れ替え制御部４６ａは振り替え可と判断して処理を終了する（ステップＳ３０４Ｙｅｓ、Ｓ３０５）。また、Ｔ２≦Ｔ４＋ｓS4である場合、かつウェーハ処理ａ２の処理優先度Ｐ２が高い場合（優先進行）、処理順序入れ替え制御部４６ａは振り替え不可と判断して処理を終了する（ステップＳ３０４Ｙｅｓ、Ｓ３０６）。
【００６８】
以上のような振り替え可否判定処理の結果、処理順序入れ替え制御部４６ａが振り替え不可と判断した場合、制御部４ａのロードポート制御部４１ａ、ハンドラ制御部４２ａ、プロセス制御部４３ａは、処理順序入れ替え制御部４６ａ決定したとおりの処理順序、すなわちウェーハ処理ａ１、ａ３、ａ２の順でウェーハ処理を実行し、全てのウェーハ処理を完了させる（図２  ステップＳ２１０Ｎｏ、Ｓ２１４）。一方、振り替え可と判断した場合、処理順序入れ替え制御部４６ａは、上述した処理を行い、ウェーハ処理ａ２を装置５ｂへ振り替える（図２  ステップＳ２１０Ｙｅｓ）。これにより、ウェーハ処理ａ１、ａ３は装置５ａにおいて継続して実行されつつ、ウェーハ処理ａ２は装置５ｂへ振り替えられることになる（図２  ステップＳ２１１、Ｓ２１２）。その結果、ウェーハ処理ａ１〜ａ３の総処理時間を短縮することができる。
【００６９】
なお、上記実施形態における異なるコンピュータ間（装置間）での指示、問い合わせ等の電気的信号の送受は、ＩＥＥＥ８０２．３等の物理的通信手段とＨＳＭＳ（High-Speed SECS Message Services）等の論理的通信手段とを用いて行われるが、異なるコンピュータ間で解釈可能な電気的信号の送受を実現する限り、当該手段に特定されない。
【００７０】
また、上記では、各キャリアの処理所要時間（ウェーハ処理時間、前段取り処理時間）を、履歴情報に基づく中央値により算出したが、平均値あるいは最小値であってもよい。
【００７１】
以上説明したように、本発明によれば、段取り処理回数の抑制や段取り処理の短縮により半導体製造装置の効率的な運用を実現することができる。特に、レシピの切り替えごとに段取り処理を要する半導体製造装置や高スループットの半導体製造装置において、製品リードタイムの短縮、装置ランニングコストの低減を実現でき、高い効果を奏することができる。また、処理順序の入れ替え処理および他の半導体製造装置への振り替え処理が、キャリアが半導体製造装置に到達した状態で実施されるため、搬送台車経路の渋滞状況等に関わらず、半導体製造装置を効率的に運用することができる。また、これらの処理は、制御コンピュータの指示と独立して、同種のウェーハ処理を実施する半導体製造装置間で実施されるため、制御コンピュータの負荷が増大することもない。
【００７２】
なお、本発明は、以上で説明した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲において、種々の変形および応用が可能である。例えば、上記実施形態では、ロードポート制御部４１、ハンドラ制御部４２、プロセス制御部４３、ＳＥＣＳ通信制御部４４、対搬送装置通信制御部４５、処理順序入れ替え制御部４６、対搬送コントローラ通信Ｉ／Ｆ４７、対他号機通信Ｉ／Ｆ４８および記憶部４９が制御部４を構成しているが、これら各部は、例えば、半導体製造装置５内に配置されていてもよく、また、互いに通信可能な状態で生産ライン内に分散して配置されていても当然に同様の効果を得ることができる。この場合、通信インターフェース（ＳＥＣＳ通信制御部４４、対搬送装置通信制御部４５、対搬送コントローラ通信Ｉ／Ｆ４７、対他号機通信Ｉ／Ｆ４８）は他の各部の配置に応じて適宜配置することができる。また、上記では、記憶部４９が実績データを記憶する構成としたが、当該実績データを制御コンピュータ１が格納する構成とし、制御コンピュータ１に格納された実績データを用いて処理時間（ウェーハ処理時間、前段取り処理時間）を算出する構成であってもよい。
【００７３】
また、上記実施形態では、３つのウェーハ処理が発生した事例について説明したが、より多くのウェーハ処理が発生した事例においても、処理順序を入れ替える際に想定される組み合わせ数が増大するだけであり、同様に適用可能である。例えば、制御コンピュータからの指示による処理順と、想定される処理順序の組み合わせから総処理時間が最短になる処理順序を抽出し、当該処理順序について、最後尾のウェーハ処理から順に、他の半導体製造装置への振り替えの適否を判定する構成にすればよい。また、図４に示した他の半導体製造装置における所要時間算出処理においても、問い合わせ発生時点で他の半導体製造装置に３つ以上のウェーハ処理が存在している場合には、想定される処理順序の組み合わせから総処理時間が最短になる処理順序を抽出し、当該処理順序で処理した場合の処理終了時期を返信する構成にすればよい。
【００７４】
さらに、上記実施形態では、２台の半導体製造装置が存在する事例について説明したが、同一のウェーハ処理を実行する能力を有する半導体製造装置が３台以上存在する場合であっても同様に適用することができる。
【００７５】
加えて、上記実施形態では、特に好ましい形態として、処理順序入れ替え制御部が処理順序の有無を決定した後、常に、最後尾のキャリアの振り替えを検討する構成を説明したが、キャリアの振り替えの検討が行われない構成であっても、ウェーハ処理の総処理時間を短縮することができ、半導体製造装置を効率的に運用することができる。また、振り替え可否判定処理において、図３のステップＳ３０４による判定を行わずに、ステップＳ３０３の判定のみで、振り替え可否を判定する構成も採用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明は、自動化された半導体生産ラインにおいて、在庫ロットをより早く処理完了することができ、半導体製造装置を効率的に運用することができるという効果を有し、半導体製造システムとして有用である。
【符号の説明】
【００７７】
１  制御コンピュータ
２  搬送台車
３  搬送コントローラ
４、４ａ、４ｂ  制御部
５、５ａ、５ｂ  半導体製造装置
【図１】
2011018737.tif 000003
【図２】
2011018737.tif 000004
【図３】
2011018737.tif 000005
【図４】
2011018737.tif 000006