(57)【要約】【課題】  シーメンス法に基づくポリシリコン製造用反応炉のための給電システムを提供する。【解決手段】  給電システムは、１つの第１給電装置を備えており、少なくとも２つの交流コントローラと前記交流コントローラを制御するための１つの電圧逐次制御装置とを有する別の複数の第２給電装置を備えており、少なくとも１つの負荷を接続するための少なくとも２つの端子を有する別の複数の端子グループを備えており、各端子グループの端子のうちの第１端子は直接的に、すなわちスイッチの中間回路を持たずに別の複数の第２給電装置の１つの出力端子と接続されており、さらに前記別の複数の端子グループのそれぞれに割り当てられると共に、端子グループの端子を第１給電装置の出力端子に接続し、また前記出力端子から分離するための複数の第１開閉手段を有する別の複数の第１開閉手段グループを備えている。【選択図】  図１
2011250680.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
給電システム、とりわけシーメンス法に基づくポリシリコン製造用反応炉のための給電システムであって、
第１給電装置（１０）を備えており、
少なくとも２つの交流コントローラ（２２）と前記交流コントローラ（２２）を制御するための１つの電圧逐次制御装置（２３）とを有する第２給電装置（２０）を備えており、
少なくとも１つの負荷（４１，４２，４３，４４）を接続するための少なくとも２つの端子（３１，３２，３３，３４，３５）を有する１つの端子グループ（３０）を備えており、前記端子のうちの第１端子（３１）は直接的に、すなわちスイッチの中間回路を持たずに第２給電装置（２０）の出力端子（２４）と接続されており、さらに
前記端子グループ（３０）に割り当てられると共に、端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）を第１給電装置（１０）の出力端子（１５，１６，１７，１８，１９）に接続し、また該出力端子から分離するための開閉手段（５１，５２，５３，５４，５５）を有する１つの第１開閉手段グループ（５０）を備えている給電システムにおいて、
前記給電システムが
少なくとも２つの交流コントローラ（２２）と前記交流コントローラ（２２）を制御するための１つの電圧逐次制御装置（２３）とを有する別の複数の第２給電装置（２０）を備えており、
少なくとも１つの負荷（４１，４２，４３，４４）を接続するための少なくとも２つの端子（３１，３２，３３，３４，３５）を有する別の複数の端子グループ（３０）を備えており、各別の端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）のうちの第１端子（３１）は直接的に、すなわちスイッチの中間回路を持たずに別の複数の第２給電装置（２０）の１つの出力端子（２４）と接続されており、さらに
前記別の複数の端子グループ（３０）のそれぞれに割り当てられると共に、前記別の複数の端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）を第１給電装置（１０）の出力端子（１１，１２，１３，１４，１５）に接続し、また前記出力端子から分離するための開閉手段（５１，５２，５３，５４，５５）を有する別の複数の第１開閉手段グループ（５０）を備えている、ことを特徴とする給電システム。
【請求項２】
端子グループ（３０）の各端子（３１，３２，３３，３４，３５）は割り当てられる開閉手段グループの開閉手段（５１，５２，５３，５４，５５）を介して第１給電装置（１０）の出力端子（１１，１２，１３，１４，１５）のそれぞれに接続できることを特徴とする請求項１に記載の給電システム。
【請求項３】
各端子グループ（３０）は第２端子（３５）を有することを特徴とする請求項１または２に記載の給電システム。
【請求項４】
各端子グループ（３０）の第１端子（３１）および第２端子（３５）は第２開閉手段グループ（６０）の開閉手段（６１，６５）を介して基準電位に接続できることを特徴とする請求項３に記載の給電システム。
【請求項５】
各端子グループ（３０）は２＊ｎ＋１個の端子を有しており、ｎは自然数であることを特徴とする請求項４に記載の給電システム。
【請求項６】
２＊ｎ＋１個の端子のうちの第１端子（３１）と第２端子（３５）を含むｎ＋１個の端子からなる第１部分グループは、第２開閉手段グループ（６０）の開閉手段を介して基準電位に接続できることを特徴とする請求項５に記載の給電システム。
【請求項７】
第１給電装置は２＊ｍ＋１個の出力端子（１１，１２，１３，１４，１５）を有しており、またｍは自然数であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の給電システム。
【請求項８】
第１出力端子（１１）および第２出力端子（１５）は、第１開閉手段グループの開閉手段を介して端子グループ（３０）の第１端子（３１）および第２端子（３５）に接続できることを特徴とする請求項７に記載の給電システム。
【請求項９】
第１出力端子（１１）および第２出力端子（１５）は第１給電装置の稼働中に第１電位に位置することを特徴とする請求項８に記載の給電システム。
【請求項１０】
２＊ｍ＋１個の出力端子のうちの第１出力端子（１１）と第２出力端子（１５）を含むｐ＋１個の出力端子からなる第１部分グループは、第１給電装置の稼働中に１つの電位ないし第１電位にあり、またｐはｍ以下の自然数であることを特徴とする請求項７〜９のいずれか１項に記載の給電システム。
【請求項１１】
２＊ｍ＋１個の出力端子のうちのｐ個の出力端子からなる第２部分グループは第２電位にあることを特徴とする請求項１０に記載の給電システム。
【請求項１２】
第２給電装置（２０）の出力端子において生起できる第２給電装置（２０）の定格電圧は、第１部分グループの出力端子と第１給電装置（１０）の第２部分グループの出力端子との間で生起できる第１給電装置（１０）の定格電圧の少なくともｍ倍に相当することを特徴とする請求項１１に記載の給電システム。
【請求項１３】
給電システムは二次側に複数のタップ（７３，７４，７５，７６，７７，７８，７９）を備えた少なくとも１つの変圧器（７０）を有しており、前記二次側タップ（７３，７４，７５，７６，７７，７８，７９）の外側タップ（７９）は少なくとも１つの端子グループ（３０）の第２端子（３５）に接続しており、またその他の二次側タップ（７３，７４，７５，７６，７７，７８）は第２給電装置（２０）の入力端子に接続していることを特徴とする請求項３〜１３のいずれか１項に記載の給電システム。
【請求項１４】
端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）が端子グループ（３０）に割り当てられる第１開閉手段グループ（５０）の開閉手段（５１，５２，５３，５４，５５）を介して順次に第１給電装置（１０）の出力端子（１１，１２，１３，１４，１５）に接続され、他方でその他の端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）が第１給電装置（１０）の出力端子（１１，１２，１３，１４，１５）から分離されていることを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の給電システムの端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）に接続できる負荷（４１，４２，４３，４４，４５）を供給する方法。
【請求項１５】
端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）が端子グループ（３０）に割り当てられる第１開閉手段グループ（５０）の開閉手段（５１，５２，５３，５４，５５）を介して接続された後に、前記端子が端子グループ（３０）に割り当てられる第２給電装置（２０）によって電力を供給されることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は給電システム、とりわけシーメンス法に基づくポリシリコン製造用反応炉のための給電システムであって、
第１給電装置を備えており、
少なくとも２つの交流コントローラと前記交流コントローラを制御するための１つの電圧逐次制御装置とを有する第２給電装置を備えており、
少なくとも１つの負荷を接続するための少なくとも２つの端子を有する１つの端子グループを備えており、前記端子のうちの第１端子は直接的に、すなわちスイッチの中間回路を持たずに第２給電装置の出力端子と接続されており、さらに
前記端子グループに割り当てられると共に、第１給電装置の出力端子に接続し、また前記出力端子から分離するための開閉手段を有する第１開閉手段グループを備えている、給電システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
そのような給電システムは、特許文献１および特許文献２から公知である。これらの明細書において記載された給電システムは、シーメンス法に基づくポリシリコン製造用反応炉において、また化学的分離析出により使用される。そこに記載された給電システムの第１給電装置では、シーメンス法の析出工程の開始時にシリコン細棒に印加できる中等電圧（１〜３０ｋＶ定格電圧）が得られる。次いで、棒対の点火後に、第２給電装置が給電を引き受けることができる。第２給電装置は、複数の入力端子および複数の交流コントローラを備えている。これらの入力端子は、たとえば変圧器の二次側タップに設置できる異なる電位に接続される。この変圧器から供給される電圧は、低電圧領域（０〜３ｋＶ定格電圧）にある。第２給電装置の交流コントローラは、一方では入力端子のそれぞれと、また他方では出力端子と接続されている。交流コントローラは、サイリスタ方式コントローラである。但し、他の整流弁を備えたコントローラも使用できる。交流コントローラは、電圧逐次制御装置により制御される。この電圧逐次制御は、たとえば本出願人の以前の出願書において、また非特許文献１においても記載されている。第２給電装置により生起した電圧は低電圧である。
【０００３】
上記の刊行物は４つの負荷、つまり４つの棒対に電気エネルギーが供給される給電システムに関する。シーメンス法用反応炉は、以前では４つ以上の棒対用に設計されていた。たとえば、２４個の棒対用に設計された反応炉が公知である。２４個の棒対用の反応炉に対する給電システムは、たとえば特許文献３から公知である。しかし、この特許文献３から公知の給電システムは、析出工程の開始中に棒対に対する中等電圧の供給を行う第１給電装置を備えていない。特許文献３から公知の給電システムは、棒対に電気エネルギーを供給する複数の第２給電装置を有する。これらの棒対はグループ化されており、またこれらのグループに対して少なくとも１つの第２給電装置が割り当てられている。グループ内では、棒対は析出工程の開始時には直列に配置されるが、後には並列に配置される。直列回路における棒対への供給と並列回路における供給との切換えのために、切換え手段が設けられる。特に棒対の並列稼働と直列稼働の切換えの場合には、特許文献３から公知の給電システムは割高である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】独国特許出願公開第１０２００９０２１４０３号明細書
【特許文献２】独国実用新案第２０２００９００３３２５号明細書
【特許文献３】独国実用新案第２０２００７００１０８３号明細書
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】G.K.Dubey, S.R.Doradla, A.Joshi, R.M.K.Sinha, “Thyristorized Power Contollors”
【発明の概要】
【０００６】
ここにおいて、本発明が適用される。
本発明が対象とする技術的課題は、冒頭に述べた様式の給電システムを発展させて、多数の棒対に電気エネルギーが供給できるべく図ることにある。
【０００７】
この課題は、給電システムが
少なくとも２つの交流コントローラと前記交流コントローラを制御するための１つの電圧逐次制御装置とを有する別の複数の第２給電装置を備えており、
少なくとも１つの負荷を接続するための少なくとも２つの端子を有する別の複数の端子グループを備えており、各端子グループの端子のうちの第１端子は直接的に、すなわちスイッチの中間回路を持たずに別の第２給電装置の出力端子と接続されており、さらに
前記別の複数の端子グループのそれぞれに割り当てられると共に、前記端子グループの端子を第１給電装置の出力端子に接続し、また前記出力端子から分離するための複数の第１開閉手段を有する別の複数の第１開閉手段グループを備えている、ことにより達成される。
【０００８】
給電システムの端子グループの端子へのエネルギー供給を行うための同様に提案された本発明に基づく方法によれば、とりわけ前記給電システムに接続可能な負荷の場合、端子グループの各端子は端子グループに割り当てられる第１開閉手段グループの開閉手段を介して第１給電装置の各出力端子と順次に接続されるが、その他の端子グループの各端子は第１給電装置の出力端子から分離されている。端子グループの各端子が端子グループに割り当てられる第１開閉手段グループの開閉手段を介して接続されると、各端子には端子グループに割り当てられる第２給電装置によって電力が供給される。
【０００９】
好ましくは、端子グループの各端子は割当てられる開閉手段グループの開閉手段の１つを介して、第１給電装置の出力端子の１つに厳密に接続できる。
【００１０】
本発明の特に適合した仕様において、各端子グループは第２端子を有する。各端子グループの第１端子および第２端子は、第２開閉手段グループの開閉手段を介して基準電位に接続できる。
【００１１】
本発明に基づく給電システムの各端子グループは２＊ｎ＋１個の端子を有するが、ここでｎは自然数である。２＊ｎ＋１個の端子のうちのｎ＋１個の端子の第１部分グループ、つまり好ましくは第１端子および第２端子は、第２開閉手段グループの開閉手段を介して基準電位に接続できる。
【００１２】
本発明に基づく給電システムの第１給電装置は２＊ｍ＋１個の出力端子を有し得るが、ここでｍは自然数である。ｍおよびｎは同一数とすることができる。第１出力端子と第２出力端子は、第１開閉手段グループの開閉手段を介して端子グループの第１端子および第２端子と接続できる。第１出力端子と第２出力端子は、第１給電装置の稼働中に第１電位上に位置することができる。
【００１３】
２＊ｍ＋１個の出力端子のうちのｐ＋１個の出力端子の第１部分グループ、つまり第１出力端子および第２出力端子は、第１給電装置の稼働中に１つの電位および第１電位上に位置するが、ここでｐはｍ以下の自然数である。２＊ｍ＋１個の出力端子のうちのｐ個の出力端子の第２部分グループは第２電位上に位置できる。第２給電装置の出力端子において生起できる第２給電装置の定格電圧は、第１部分グループの出力端子と第１給電装置の第２部分グループの出力端子との間で生起できる第１給電装置の定格電圧の少なくともｍ倍を有することができる。
【００１４】
本発明に基づく給電システムは、二次側に複数のタップを備えた少なくとも１つの変圧器を有することができる。二次側タップの外側タップは、少なくとも１つの端子グループの第２端子と接続できる。その他の二次側タップは、好ましくは第２給電装置の入力端子と接続されている。有利なのは、給電システムが３つの変圧器を有しており、それらが一時側では三角結線されており、また三相電力電源の異なる外部導線に接続されていることである。これらの変圧器の二次側にはできるかぎり同等の多数の第２給電装置が接続されるので、変圧器は同等に負荷される、また電源が対称的に負荷される。
【００１５】
本発明によれば、第１給電装置は少なくとも１つの周波数変換器を有することができる。さらに、第１給電装置は少なくとも１つの変圧器を有することができる。
【００１６】
さらに詳しくは、本発明は、給電システム、とりわけシーメンス法に基づくポリシリコン製造用反応炉のための給電システムであって、
第１給電装置（１０）を備えており、
少なくとも２つの交流コントローラ（２２）と前記交流コントローラ（２２）を制御するための１つの電圧逐次制御装置（２３）とを有する第２給電装置（２０）を備えており、
少なくとも１つの負荷（４１，４２，４３，４４）を接続するための少なくとも２つの端子（３１，３２，３３，３４，３５）を有する１つの端子グループ（３０）を備えており、前記端子のうちの第１端子（３１）は直接的に、すなわちスイッチの中間回路を持たずに第２給電装置（２０）の出力端子（２４）と接続されており、さらに
前記端子グループ（３０）に割り当てられると共に、端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）を第１給電装置（１０）の出力端子（１５，１６，１７，１８，１９）に接続し、また該出力端子から分離するための開閉手段（５１，５２，５３，５４，５５）を有する１つの第１開閉手段グループ（５０）を備えている給電システムにおいて、
前記給電システムが
少なくとも２つの交流コントローラ（２２）と前記交流コントローラ（２２）を制御するための１つの電圧逐次制御装置（２３）とを有する別の複数の第２給電装置（２０）を備えており、
少なくとも１つの負荷（４１，４２，４３，４４）を接続するための少なくとも２つの端子（３１，３２，３３，３４，３５）を有する別の複数の端子グループ（３０）を備えており、各別の端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）のうちの第１端子（３１）は直接的に、すなわちスイッチの中間回路を持たずに別の複数の第２給電装置（２０）の１つの出力端子（２４）と接続されており、さらに
前記別の複数の端子グループ（３０）のそれぞれに割り当てられると共に、前記別の複数の端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）を第１給電装置（１０）の出力端子（１１，１２，１３，１４，１５）に接続し、また前記出力端子から分離するための開閉手段（５１，５２，５３，５４，５５）を有する別の複数の第１開閉手段グループ（５０）を備えている、ことを特徴とする給電システムである。
【００１７】
また本発明において、端子グループ（３０）の各端子（３１，３２，３３，３４，３５）は割り当てられる開閉手段グループの開閉手段（５１，５２，５３，５４，５５）を介して第１給電装置（１０）の出力端子（１１，１２，１３，１４，１５）のそれぞれに接続できることを特徴とする。
【００１８】
また本発明において、各端子グループ（３０）は第２端子（３５）を有することを特徴とする。
【００１９】
また本発明において、各端子グループ（３０）の第１端子（３１）および第２端子（３５）は第２開閉手段グループ（６０）の開閉手段（６１，６５）を介して基準電位に接続できることを特徴とする。
【００２０】
また本発明において、各端子グループ（３０）は２＊ｎ＋１個の端子を有しており、ｎは自然数であることを特徴とする。
【００２１】
また本発明において、２＊ｎ＋１個の端子のうちの第１端子（３１）と第２端子（３５）を含むｎ＋１個の端子からなる第１部分グループは、第２開閉手段グループ（６０）の開閉手段を介して基準電位に接続できることを特徴とする。
【００２２】
また本発明において、第１給電装置は２＊ｍ＋１個の出力端子（１１，１２，１３，１４，１５）を有しており、またｍは自然数であることを特徴とする。
【００２３】
また本発明において、第１出力端子（１１）および第２出力端子（１５）は、第１開閉手段グループの開閉手段を介して端子グループ（３０）の第１端子（３１）および第２端子（３５）に接続できることを特徴とする。
【００２４】
また本発明において、第１出力端子（１１）および第２出力端子（１５）は第１給電装置の稼働中に第１電位に位置することを特徴とする。
【００２５】
また本発明において、２＊ｍ＋１個の出力端子のうちの第１出力端子（１１）と第２出力端子（１５）を含むｐ＋１個の出力端子からなる第１部分グループは、第１給電装置の稼働中に１つの電位ないし第１電位にあり、またｐはｍ以下の自然数であることを特徴とする。
【００２６】
また本発明において、２＊ｍ＋１個の出力端子のうちのｐ個の出力端子からなる第２部分グループは第２電位にあることを特徴とする。
【００２７】
また本発明において、第２給電装置（２０）の出力端子において生起できる第２給電装置（２０）の定格電圧は、第１部分グループの出力端子と第１給電装置（１０）の第２部分グループの出力端子との間で生起できる第１給電装置（１０）の定格電圧の少なくともｍ倍に相当することを特徴とする。
【００２８】
また本発明において、給電システムは二次側に複数のタップ（７３，７４，７５，７６，７７，７８，７９）を備えた少なくとも１つの変圧器（７０）を有しており、前記二次側タップ（７３，７４，７５，７６，７７，７８，７９）の外側タップ（７９）は少なくとも１つの端子グループ（３０）の第２端子（３５）に接続しており、またその他の二次側タップ（７３，７４，７５，７６，７７，７８）は第２給電装置（２０）の入力端子に接続していることを特徴とする。
【００２９】
また本発明は、端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）が端子グループ（３０）に割り当てられる第１開閉手段グループ（５０）の開閉手段（５１，５２，５３，５４，５５）を介して順次に第１給電装置（１０）の出力端子（１１，１２，１３，１４，１５）に接続され、他方でその他の端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）が第１給電装置（１０）の出力端子（１１，１２，１３，１４，１５）から分離されていることを特徴とする、上述の給電システムの端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）に接続できる負荷（４１，４２，４３，４４，４５）を供給する方法である。
【００３０】
また本発明において、端子グループ（３０）の端子（３１，３２，３３，３４，３５）が端子グループ（３０）に割り当てられる第１開閉手段グループ（５０）の開閉手段（５１，５２，５３，５４，５５）を介して接続された後に、前記端子が端子グループ（３０）に割り当てられる第２給電装置（２０）によって電力を供給されることを特徴とする。
【００３１】
本発明に基づく給電システムに対する実施例は、図面に基づいて以下に詳しく説明される。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に基づく給電システムの回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
図１に示された給電システムは、１つの第１給電装置１０を有する。この第１給電装置１０は、３極スイッチを介して三相電源の外部導線と接続されている３つの入力端子１８を有する。第１給電装置１０内で、これらの入力端子１８は周波数変換器１６を介して変圧器１７の第１対および第２対に接続されている。各対は、１つの第１変圧器１７aおよび１７ｂを有する。変圧器１７は、それらのタップが出力端子１１，１２，１３，１４，１５に接続された二次コイルを有する。
【００３４】
第１出力端子１１および第２出力端子１５は、変圧器１７の異なる対に属する変圧器１７の二次コイルの単独タップに接続されている。第１出力端子１１は第１対の第１変圧器１７aと、また第２出力端子１５は第２対の第２変圧器１７ｂと接続されている。第３の出力端子１３は、第１対の第２変圧器１７ｂのタップおよび第２対の第１変圧器１７aのタップと接続されている。その他の出力端子１２，１４は、第１変圧器１７aのそれぞれのタップならびに第１対および第２対の第２変圧器１７ｂのタップと接続されている。これらの変圧器対の二次コイルは逆方向に巻回されているので、変圧器１７の一次コイルに等しい入力電圧が印加されると、逆方向電圧が対の両変圧器１７上に生じる。したがって、第１出力端子１１、第２出力端子１５および第３出力端子１３は等しい電位にある。その他の出力端子１２，１４も、同様に等電位にある。５つの出力端子１１，１２，１３，１４，１５に対して、４つの負荷４１，４２，４３，４４が接続されている。
【００３５】
給電システムは、さらに３つの変圧器７０を有する。これらの変圧器７０の一次コイルは三角結線されており、タップ７１，７２を介して三相電源の３つの外部導線が前記コイルに接続されている。３極スイッチにより、変圧器７０は電源から分離することができる。
【００３６】
変圧器７０の二次コイルは、タップ７３，７４，７５，７６，７７，７８を有する。これらのタップ７３〜７８は、第２給電装置２０の入力端子２１に接続されている。第２給電装置２０の入力端子２１は、変圧器７０の二次側タップ７３〜７８に接続されている。当然ながら、変圧器７０には複数の第２給電装置２０を接続することができる。実施例においては、各変圧器７０に接続された２つの第２給電装置２０が示されている。それぞれの第２給電装置２０は、出力端子２４を有する。
【００３７】
給電システムは、複数の端子グループ３０を有する。それぞれの第２給電装置２０に、端子グループ３０が割り当てられる。各端子グループ３０には、第１端子３１および第２端子３５が設けられている。各端子グループ３０の第１端子３１は、割り当てられた第２給電装置２０の出力端子２４に接続している。各端子グループ３０の第２端子３５は変圧器７０の二次側タップ７９に接続しており、また変圧器７０には端子グループ３０に割り当てられた第２給電装置２０が接続している。
【００３８】
端子グループ３０のすべての端子３１〜３５、つまり第１端子３１および第２端子３５も、第１開閉手段グループ５０の開閉手段５１〜５５を介して第１給電装置１０の出力端子１１〜１５に接続できる、あるいはこれらの開閉手段５１〜５５によって出力端子１１〜１５から分離できる。各端子グループ３０には、その際に第１開閉手段グループ５０が割り当てられる。開閉手段５１〜５５は制御可能な開閉手段である。第１開閉手段グループ５０の開閉手段５１〜５５は、中央制御装置５６により制御される。この制御装置５６は、常にただ１つの開閉手段グループ５０の開閉手段５１〜５５のみが閉鎖できるように構成されている。したがって、同時に端子グループ３０の端子３１〜３５のみが、それらに割り当てられる開閉手段５０〜５５を介して第１給電装置１０に接続することができる。第１開閉手段５１〜５５のいずれも閉じておらず、したがって端子グループ３０の端子３１〜３５のいずれも第１給電装置１０に接続していないことも可能である。
【００３９】
給電システムは複数の第２開閉手段グループ６０を有することができ、それらのうちのそれぞれ１つの第２開閉手段グループ６０が端子グループ３０に割り当てられる。各端子グループ３０の第１端子３１および第２端子３５は、第２開閉手段グループ６０の開閉手段６１，６２を介して基準電位に接続することができる。その場合には、端子グループ３０の端子３１〜３５が開閉手段５１〜５５を介して第１給電装置１０に接続されることが好ましい。
【００４０】
さらに、この給電装置または類似の給電装置を稼働させることができる方法について、以下に簡略に説明する。該方法に従えば、端子グループ３０は順次にまず第１給電装置１０に接続されるが、そのために第１給電装置１０に接続される端子グループ３０の端子３１，３２，３３，３４，３５は第１開閉手段グループ５０の開閉手段５１，５２，５３，５４，５５を介して第１給電装置１０の出力端子１１，１２，１３，１４，１５に接続されている。端子グループ３０の端子３１，３２，３３，３４，３５が第１給電装置１０に接続されていなければ、端子グループ３０に割り当てられる第１開閉手段グループ５０の開閉手段５１，５２，５３，５４，５５が開いている。端子グループ３０の端子３１，３２，３３，３４，３５が所定の時間、好ましくは負荷４１，４２，４３，４４として接続されるシリコン細棒対の点火まで第１給電装置１０に接続された後に、開閉手段５１，５２，５３，５４，５５が開かれる。続いて端子グループ３０に割り当てられる第２給電装置２０を介して、給電が行われる。
【符号の説明】
【００４１】
１０  第１給電装置
１１  第１出力端子
１２  出力端子
１３  第３出力端子
１４  出力端子
１５  第２出力端子
１６  周波数変換器
１７  変圧器
１８  入力端子
２０  第２給電装置
２１  入力端子
２２  交流コントローラ
２３  電圧逐次制御装置
２４  出力端子
３０  端子グループ
３１  第１端子
３２  端子
３３  端子
３４  端子
３５  第２端子
４１  負荷
４２  負荷
４３  負荷
４４  負荷
５０  第１開閉手段グループ
５１  開閉手段
５２  開閉手段
５３  開閉手段
５４  開閉手段
５５  開閉手段
５６  開閉手段の制御装置
６０  第２開閉手段グループ
６１  開閉手段
６５  開閉手段
７０  変圧器
７１  一次側端子
７２  一次側端子
７３  二次側端子
７４  二次側端子
７５  二次側端子
７６  二次側端子
７７  二次側端子
７８  二次側端子
７９  二次側端子
【図１】
2011250680.tif 000003