(57)【要約】【課題】高出力なレーザー光源装置を提供する。【解決手段】本発明のレーザー光源装置は、基板１１０と、基板１１０の基板面１１０ａに配置された一対の発光部と、一対の発光部の一方の発光部から射出された光を反射させる第１反射部と、第１反射部で反射した光を一対の発光部の他方の発光部に向けて反射させる第２反射部と、を備える。一対の発光部と第１反射部と第２反射部とを含んで共振器が構成される。第１反射部及び第２反射部の少なくとも一方の反射部は、光反射部材１４３と、基板面１１０ａに沿って接合された接合部１４１と、接合部１４１に接続され基板面１１０ａに平行な任意の１つの軸回りに光反射部材１４３を回動可能に保持する保持部１４２と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の基板面に配置された一対の発光部と、
前記一対の発光部の一方の発光部から射出された光を反射させる第１反射部と、
前記第１反射部で反射した光を前記一対の発光部の他方の発光部に向けて反射させる第２反射部と、を備え、
前記一対の発光部と前記第１反射部と前記第２反射部とを含んで共振器が構成され、
前記第１反射部及び第２反射部の少なくとも一方の反射部は、
光反射部材と、
前記基板面に沿って接合された接合部と、
前記接合部に接続され前記基板面に平行な任意の１つの軸回りに前記光反射部材を回動可能に保持する保持部と、を有していることを特徴とするレーザー光源装置。
【請求項２】
前記第１反射部及び前記第２反射部の各々が、前記光反射部材と前記接合部と前記保持部とを有していることを特徴とする請求項１に記載のレーザー光源装置。
【請求項３】
前記接合部に貫通孔が設けられており、
前記貫通孔を通して前記基板に嵌合され、頭部と軸部を有する第１嵌合部材と、
前記嵌合部材の頭部に一端を支持され、他端により前記接合部を前記基板に押圧する第１付勢部材と、を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザー光源装置。
【請求項４】
前記保持部が、
前記接合部と当接する当接部と、
前記当接部に対向して配置された対向部と、
前記当接部と前記対向部との間隔を調整する間隔調整部と、
前記当接部及び前記対向部の間隔により前記当接部となす角度が変化する角度調整部と、を有し、
前記光反射部材が、前記角度調整部に保持されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のレーザー光源装置。
【請求項５】
前記保持部が、前記当接部と前記対向部とを離間させる方向に付勢する第２付勢部材を有し、
前記間隔調整部が、頭部と軸部を有する第２嵌合部材により構成されているとともに前記接合部と嵌合されており、
前記対向部が前記第２嵌合部材の頭部に支持されていることを特徴とする請求項４に記載のレーザー光源装置。
【請求項６】
前記保持部が、
前記光反射部材と接合された角度調整軸部と、
前記角度調整軸部を支持する軸受け部と、
前記軸受け部に前記角度調整軸部を押圧する押圧部と、を有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のレーザー光源装置。
【請求項７】
複数組の前記一対の発光部を備え、
前記基板に、複数の発光部を有する第１発光素子と複数の発光部を有する第２発光素子とが接合されてなり、
前記第１発光素子における前記複数の発光部の各々が、前記第２発光素子における前記複数の発光部の各々と前記一対の発光部を構成しており、
前記複数組の一対の発光部で共通して前記第１反射部及び前記第２反射部が設けられていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のレーザー光源装置。
【請求項８】
前記第１反射部と前記第２反射部との間の光路に、入射した基本波長の光を変換波長の光に変換する波長変換素子が配置されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のレーザー光源装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のレーザー光源装置と、
前記レーザー光源装置から射出されたレーザー光により画像を示す画像光を形成する画像形成装置と、
前記画像形成装置によって形成された画像光を投射する投射装置と、を備えていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項１０】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のレーザー光源装置と、
前記レーザー光源装置によって照明された被写体を撮像する撮像装置と、を備えていることを特徴とするモニター装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー光源装置、プロジェクター、モニター装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来からプロジェクター等の光学装置の分野では、照明光源として高圧水銀ランプが多用されている。高圧水銀ランプには、高出力な光が得られるという利点があるが、色再現性に制約があること、瞬時点灯・消灯が難しいこと、寿命が短いこと等の課題もある。このような事情により、高圧水銀ランプに代えて半導体レーザー等の固体光源を用いたレーザー光源装置が期待されている。
【０００３】
前記の半導体レーザーとしては、例えば特許文献１に開示されているものが挙げられる。特許文献１の半導体レーザーは、発光部と外部共振器とを備えている。発光部は、１００％反射の当接部ブラッグミラー、部分的反射の中間ブラッグミラー、及びこれらブラッグミラーの間に設けられた活性層を有している。活性層から発せられた光は、発光部内でレーザー発振が生じない程度に共振する。中間ブラッグミラーを通った光は、外部共振器により共振してレーザー発振を生じるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００３−５２６９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の半導体レーザーによれば、内部共振器によりレーザー発振させるものよりも共振器長を長くすることができ、高出力なレーザー光が得られる。しかしながら、特許文献１のような半導体レーザーを用いて高出力なレーザー光源装置を構成するためには、改善すべき点がある。
【０００６】
特許文献１のように共振器長を内部共振器よりも長くするためには、発光部から射出された光を反射して折り返す外部ミラー（出力カプラー）を発光部から離して配置する必要がある。外部ミラーが発光部から独立しているので、外部ミラーを発光部に対して高精度に位置合せする必要がある。位置精度が不十分であると、発光部から外部ミラーに向かう光と、外部ミラーから発光部に向かう光とで光軸がずれてしまう。すると、レーザー発振が不十分になることや光の損失が大きくなることにより、高出力な光が得られなくなってしまう。
【０００７】
ところで、１つの発光部から射出される光の強度には限界があるので、複数の発光部を用いてレーザー光源装置を高出力にする手法が検討されている。しかしながら、この手法によると、以下の理由により前記の不都合が顕著になってしまう。
【０００８】
複数の発光部を有するレーザー光源装置としては、例えば共振器内に一対の発光部が配置されたものが考えられる。各々の発光部から射出される光を互いに共振させることで高出力な光が得られる。１つの発光部を用いる場合には、発光部からの光を１８０°折り返すように外部ミラーを配置すればよく、外部ミラーのどの位置に光が入射するかは重要でない。しかしながら、一対の発光部を用いる場合には、各々の発光部からの光を外部ミラーにおいて同じ位置に入射させるために、外部ミラーに高度な位置精度が必要になる。
【０００９】
また、複数組の一対の発光部がアレイ状に配置されたレーザー光源装置も考えられる。この場合に一対の発光部ごとに外部ミラーを配置すると、一対の発光部ごとに位置合わせを行う必要があるので、位置合わせの手間やコストが増大してしまう。一方、複数の一対の発光部で共通して外部ミラーを配置すると、外部ミラーの位置が発光部の配列方向によっても規制されるようになり、外部ミラーにさらに高度な位置精度が必要になる。
【００１０】
以上のように、高出力なレーザー光源装置を構成する上で外部ミラーを高度な位置精度で配置することはきわめて重要である。しかしながら、外部ミラーを高度な位置精度でしかも容易に配置する手法が知られていないため、レーザー光源装置をさらに高出力にすることが困難になっている。
【００１１】
本発明は、前記事情に鑑み成されたものであって、コストの高騰を招くことなく高出力化に対応可能なレーザー光源装置を提供することを目的の１つとする。また、高出力なレーザー光源装置を備えたプロジェクターを提供することを目的の１つとする。また、高出力なレーザー光源装置を備えたモニター装置を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のレーザー光源装置は、基板と、前記基板の基板面に配置された一対の発光部と、前記一対の発光部の一方の発光部から射出された光を反射させる第１反射部と、前記第１反射部で反射した光を前記一対の発光部の他方の発光部に向けて反射させる第２反射部と、を備え、前記一対の発光部と前記第１反射部と前記第２反射部とを含んで共振器が構成され、前記第１反射部及び第２反射部の少なくとも一方の反射部は、光反射部材と、前記基板面に沿って接合された接合部と、前記接合部に接続され前記基板面に平行な任意の１つの軸回りに前記光反射部材を回動可能に保持する保持部と、を有していることを特徴とする。
【００１３】
このようにすれば、一方の発光部から射出された光が、第１反射部と第２反射部とを経て他方の発光部に入射する。他方の発光部から射出された光が、第２反射部と第１反射部とを経て一方の発光部に入射する。このように、一対の発光部の各々から射出された光が一対の発光部の間を往復して互いに共振し、レーザー発振が生じる。これにより、１つの発光部から射出される光においてレーザー発振を発生させる場合よりも、格段に高出力なレーザー光が得られるレーザー光源装置になる。
【００１４】
また、接合部が基板面に沿わせて接合されているので、基板面に沿う２つの併進方向（例えば、Ｘ方向及びＹ方向）と、基板面の法線方向（例えば、Ｚ方向）周りの回転方向とにおいて、基板に対する接合部の位置を調整することができる。また、接合部が基板面に沿って接合されているので、基板面の法線方向（Ｚ方向）の併進方向と基板面に沿う２方向（Ｘ方向及びＹ方向）の各々周りの回転方向とにおいて、基板に対する接合部の位置が規定される。
【００１５】
保持部は接合部に接合されているので、保持部の基板に対する位置は、基板面に沿う２方向（Ｘ方向及びＹ方向）と、基板面の法線方向（Ｚ方向）周りの回転方向とにおいて接合部により調整可能である。また、基板面の法線方向（Ｚ方向）の併進方向と、基板面に沿う２方向（Ｘ方向）の各々周りの回転方向とにおいて接合部の形状により規定される。光反射部材は保持部に保持されており、保持部により基板に対する光反射部材の基板面に沿う任意の１つの軸（例えば、Ｙ方向）周りの角度を調整することができる。
【００１６】
結局のところ、光反射部材の基板に対する位置は、基板面に沿う２つの併進方向（Ｘ方向及びＹ方向）と基板面の法線方向（Ｚ方向）周りの回転方向とにおいて接合部により調整可能であり、基板面に沿う１つの方向（Ｙ方向）周りの回転方向において保持部により調整可能である。また、光反射部材の基板に対する位置は、基板面の法線方向（Ｚ方向）の併進方向と基板面に沿う１つの方向（Ｘ方向）周りの回転方向とにいて接合部の形状により規定される。
【００１７】
このように前記の構成にあっては、光反射部材の位置が、互いに独立した３方向の併進方向、及びこれら３方向の各々の軸周りの回転方向について規定されているか、もしくは調整可能になっている。したがって、一方の発光部から他方の発光部へ向かう光の光軸と、他方の発光部から一方の発光部へ向かう光の光軸とが一致するように、光反射部材の位置を調整することができる。また、接合部が基板に接合されているとともに保持部が接合部に接合されており、光反射部材が保持部に保持されているので、基板に対する光反射部材の位置ずれが防止される。一対の発光部の間で往路の光軸と復路の光軸とを一致させることができ、しかも位置ずれが防止されるので、良好にレーザー発振を生じさせることが可能になり、格段に高出力なレーザー光が得られるレーザー光源装置になる。
【００１８】
また、前記第１反射部及び前記第２反射部の各々が、前記光反射部材と前記接合部と前記保持部とを有していることが好ましい。
このようにすれば、第１反射部及び第２反射部のいずれにおいても、光反射部材の基板に対する位置が調整可能になる。したがって、第１反射部及び第２反射部のいずれで反射する光についても、その光軸を所望の方向に変化させることができる。よって、一方の発光部から他方の発光部へ向かう光の光軸と、他方の発光部から一方の発光部へ向かう光の光軸とを高精度に一致させることができる。
【００１９】
また、前記接合部に貫通孔が設けられており、前記貫通孔を通して前記基板に嵌合され、頭部と軸部を有する第１嵌合部材と、前記嵌合部材の頭部に一端を支持され、他端により前記接合部を前記基板に押圧する第１付勢部材と、を有している構成としてもよい。
このようにすれば、接合部が基板に押圧されることにより、基板面に沿って移動可能に接合される。また、接合部と基板とが接着剤等を用いることなく機械的に接合されるので、接着剤起因のガスによる悪影響をなくすことができる。例えば、接着剤の溶剤が揮発したガスが一対の発光部の間に偏在することがなくなり、この偏在部で光が屈折することによる光の損失がなくなる。
【００２０】
また、前記保持部が、前記接合部と当接する当接部と、前記当接部に対向して配置された対向部と、前記当接部と前記対向部との間隔を調整する間隔調整部と、前記当接部及び前記対向部の間隔により前記当接部となす角度が変化する角度調整部と、を有し、前記光反射部材が、前記角度調整部に保持されている構成としてもよい。
このようにすれば、当接部が接合部と当接しており接合部が基板と接合されているので、基板に対する当接部の角度が規定される。また、当接部と対向部との間隔を間隔調整部により調整することにより、間隔に応じて当接部に対する角度調整部の角度を調整することができる。したがって、角度調整部に保持された光反射部材の当接部に対する角度を調整することができ、光反射部材の基板に対する角度を調整することができる。
【００２１】
また、前記保持部が、前記当接部と前記対向部とを離間させる方向に付勢する第２付勢部材を有し、前記間隔調整部が、頭部と軸部を有する第２嵌合部材により構成されているとともに前記接合部と嵌合されており、前記対向部が前記第２嵌合部材の頭部に支持されている構成としてもよい。
このようにすれば、当接部が、対向部から離れる方向に付勢されて接合部に押圧されて接合部に接合される。したがって、接合部と保持部とが接着剤等を用いることなく機械的に接合され、接着剤起因のガスによる悪影響をなくすことができる。
【００２２】
また、前記保持部が、前記光反射部材と接合された角度調整軸部と、前記角度調整軸部を支持する軸受け部と、前記軸受け部に前記角度調整軸部を押圧する押圧部と、を有している構成としてもよい。
このようにすれば、光反射部材と接合された角度調整軸部が押圧部により軸受け部に押圧されて保持され、光反射部材が保持部に保持される。また、角度調整軸部を回転させることにより、光反射部材の基板に対する角度を調整することができる。
【００２３】
また、複数組の前記一対の発光部を備え、前記基板に、複数の発光部を有する第１発光素子と複数の発光部を有する第２発光素子とが接合されてなり、前記第１発光素子における前記複数の発光部の各々が、前記第２発光素子における前記複数の発光部の各々と前記一対の発光部を構成しており、前記複数組の一対の発光部で共通して前記第１反射部及び前記第２反射部が設けられていることが好ましい。
【００２４】
このようにすれば、複数組の一対の発光部を備えているので、一組の一対の発光部を備えているものよりも、高出力なレーザー光源装置になる。一方、第１反射部の位置と第２反射部の位置とが発光部の配列方向に規制させるため、高精度な位置合わせが必要になる。本発明によれば、互いに独立した３方向の併進方向、及びこれら３方向のそれぞれの軸周りの回転方向について、光反射部材の位置が規定されているか、もしくは調整可能になっているので、発光部の配列方向に対応させて、第１反射部及び第２反射部を配置することができる。また、複数組の一対の発光部で共通して第１反射部及び第２反射部が設けられているので、複数の第１反射部と複数の第２反射部とを配置する場合よりも部品数が少なくなり、位置合わせの手間を省くことができる。
【００２５】
また、前記第１反射部と前記第２反射部との間の光路に、入射した基本波長の光を変換波長の光に変換する波長変換素子が配置されていることが好ましい。
このようにすれば、発光部から直接得られない波長のレーザー光を取り出すことが可能になり、高出力かつ所望波長のレーザー光が得られるレーザー光源装置となる。
【００２６】
本発明のプロジェクターは、前記の本発明のレーザー光源装置と、前記レーザー光源装置から射出されたレーザー光により画像を示す画像光を形成する画像形成装置と、前記画像形成装置によって形成された画像光を投射する投射装置と、を備えていることを特徴とする。
本発明のレーザー光源装置によれば高出力なレーザー光が得られるので、高出力なレーザー光が、画像形成装置により画像を示す画像光になった後に投射装置によって投射される。したがって、高輝度の投射画像を得ることができ、ダイナミックレンジが広く高品質な投射画像が得られるプロジェクターになる。
【００２７】
本発明のモニター装置は、前記の本発明のレーザー光源装置と、前記レーザー光源装置によって照明された被写体を撮像する撮像装置と、を備えていることを特徴とする。
本発明のレーザー光源装置によれば高出力なレーザー光が得られるので、高出力なレーザー光で被写体を照明することができる。したがって、被写体で反射する光の光量が確保され、これを撮像することにより鮮明な撮像画像が得られる良好なモニター装置になる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】第１実施形態のレーザー光源装置の構成を示す斜視図である。
【図２】第１実施形態のレーザー光源装置の構成を示す平面図である。
【図３】第１実施形態のレーザー光源装置の構成を示す断面図である。
【図４】第１実施形態のレーザー光源装置の構成を示す断面図である。
【図５】第１実施形態の第１反射部、第２反射部を分解して示す斜視図である。
【図６】第１実施形態の第１反射部の保持部材を拡大して示す斜視図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）は、第１実施形態の保持部を拡大して示す側面図である。
【図８】変形例の保持部を拡大して示す側面図である。
【図９】（ａ）は、第２実施形態の斜視図、（ｂ）は保持部の側面図である。
【図１０】プロジェクターを示す概略構成図である。
【図１１】走査型プロジェクターを示す概略構成図である。
【図１２】モニター装置を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、構造の特徴的な部分を分かりやすく示すために、図面中の構造はその寸法や縮尺を実際の構造に対して異ならせて示す場合がある。
【００３０】
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態のレーザー光源装置１００の構成を示す斜視図である。図１に示すようにレーザー光源装置１００は、ベース基板（基板）１１０を基体にしている。ベース基板１１０の基板面１１０ａには、第１発光素子１２０、第２発光素子１３０、第１反射部１４０、及び第２反射部１５０が接合されている。第１発光素子１２０及び第２発光素子１３０の各々には、複数の発光部が形成されている。第１発光素子１２０に形成された１つの発光部が、第２発光素子１３０に形成された１つの発光部と１対の発光部を構成している。すなわち、レーザー光源装置１００は、複数組の一対の発光部を備えている。
【００３１】
また、第１反射部１４０と第２反射部１５０との間の光路に、波長変換素子１６０とバンドパスフィルター１７０とが配置されている。波長変換素子１６０及びバンドパスフィルター１７０は、ベース基板１１０の基板面１１０ａに接合された基台１６５上に固定されている。
【００３２】
なお、図１には図示しないものの、第１反射部１４０の第２反射部１５０と反対側には、外部に取り出されるレーザー光の光軸を調整する三角柱プリズムが配置されている（図３参照）。また、第１反射部１４０と第１発光素子１２０との間に偏光分離手段として機能するビームポラライザーが配置されている。
【００３３】
以下、図１に示したＸＹＺ直交座標系を設定し、これに基づいて部材の位置関係を説明する。このＸＹＺ直交座標系において、基板面１１０ａに平行な方向であって第１発光素子１２０と第２発光素子１３０とが並ぶ方向をＸ方向、Ｘ方向周りの回転方向をθX方向としている。基板面１１０ａに平行な方向であってＸ方向と直交する方向をＹ方向、Ｙ方向周りの回転方向をθY方向としている。基板面１１０ａの法線方向をＺ方向、Ｚ方向周りの回転方向をθZ方向としている。
【００３４】
図２はレーザー光源装置１００の概略構成を示す平面図である。
図２に示すように、第１発光素子１２０は、基板１２１と、基板１２１上に形成された複数の発光部１２２とを有している。基板１２１の平面形状は、第１発光素子１２０と第２発光素子１３０とが並ぶ方向（Ｘ方向）の直交方向（Ｙ方向）に沿う長辺を有する略長方形になっている。複数の発光部１２２は、基板１２１の長辺（Ｙ方向）に沿って配列されている。
【００３５】
第２発光素子１３０は、第１発光素子１２０と同様の構成になっており、基板１３１と複数の発光部１３２とを有している。複数の発光部１３２は、基板１３１の長辺（Ｙ方向）に沿って配列されている。発光部１２２は、発光部１２２の配列方向（Ｙ方向）の直交方向（Ｘ方向）に位置する発光部１３２と一対の発光部を構成している。
【００３６】
第１反射部１４０は、接合部１４１、保持部１４２、及び光反射部材１４３を有している（図５参照）。第２反射部１５０は、第１反射部１４０と同様の構成になっており、接合部１５１、保持部１５２、及び光反射部材１５３を有している。
【００３７】
第１反射部１４０の接合部１４１は、第１発光素子１２０の長辺方向（Ｙ方向）に長手の板状部材である。接合部１４１は、例えば平面視長方形の板状部材を母材としている。接合部１４１の長辺方向の中央には、切欠が形成されている。この切欠の内側に、第１発光素子１２０の一部が収容されている。換言すると、接合部１４１は、長辺方向（Ｙ方向）において第１発光素子１２０を挟む２つの端部を有している。２つの端部は、第１発光素子１２０の外側において長辺方向（Ｙ方向）に沿って延在する延在部と一体になっている。
【００３８】
第１反射部１４０の接合部１４１は、ネジ（第１嵌合部材）１４７とつるまきバネ（第１付勢部材）１４８とにより、ベース基板１１０と接合されている。接合部１４１は、２つの端部の各々においてベース基板１１０と接合されている。保持部１４２は、接合部１４１に接合されており、光反射部材１４３を保持している。光反射部材１４３の基板面１１０ａに対する角度は、保持部１４２により調整可能になっている。接合部１４１、接合部１４１の接合部、及び保持部１４２の詳細な構成については後述する。
【００３９】
第２反射部１５０の接合部１５１は、第１反射部１４０の接合部１４１と同様の構成になっており、第２反射部１５０の保持部１５２は、第１反射部１４０の保持部１４２と同様の構成になっている。光反射部材１５３の基板面１１０ａに対する角度は、保持部１５２により調整可能になっている。
【００４０】
図３、図４は、いずれも図２のＡ−Ａ’線矢視断面図である。図３には、第１発光素子１２０から射出される光の光軸を２点鎖線で示しており、図４には、第２発光素子１３０から射出される光の光軸を２点鎖線で示している。
【００４１】
図３に示すように、ベース基板１１０の基板面１１０ａに当接して、第１発光素子１２０と第２発光素子１３０とが設けられている。第１発光素子１２０のベース基板１１０と反対側（Ｚ方向側）には、ビームポラライザー１９０が配置されている。ビームポラライザー１９０のベース基板１１０と反対側（Ｚ方向側）には、光反射部材１４３が配置されている。第２発光素子１３０のベース基板１１０と反対側（Ｚ方向側）には、光反射部材１５３が配置されている。光反射部材１４３、１５３の間には、波長変換素子１６０及びバンドパスフィルター１７０が配置されている。波長変換素子１６０及びバンドパスフィルター１７０は、基板面１１０ａに接合された基台１６５上に接合されている。光反射部材１４３の波長変換素子１６０と反対側（Ｘ方向側）には、外部に取り出されるレーザー光の射出方向を調整する三角柱プリズム１８０が配置されている。
【００４２】
第１発光素子１２０の発光部１２２は、基板１２１上に形成された第１電極１２２ａと、第１電極１２２ａ上に形成された活性層１２２ｂとを有している。第１電極１２２ａと活性層１２２ｂとを覆って絶縁膜１２２ｃが設けられている。絶縁膜１２２ｃには、活性層１２２ｂの一部を露出させる開口が設けられており、開口内において活性層１２２ｂと導通接触する第２電極１２２ｄが設けられている。第２電極１２２ｄには活性層１２２ｂの一部を露出させる開口が設けられており、この開口内にはＤＢＲ層１２２ｅが設けられている。第１電極１２２ａは、入射光を反射させて折り返すようになっている。また、ＤＢＲ層１２２ｅは、入射光のうちの基本波長の光を透過させるとともに、基本波長以外の光を反射させて折り返すようになっている。
【００４３】
以上のような発光部１２２において、第１電極１２２ａと第２電極１２２ｄとの間に電圧を印加すると、活性層１２２ｂに光が生じる。この光は、第１電極１２２ａとＤＢＲ層１２２ｅとの間を往復して共振する。発光部１２２内で共振した光のうちの基本波長の光は、ＤＢＲ層１２２ｅを通って発光部１２２から基板面１１０ａの法線方向に射出される。ここでは、基本波長の光として波長が１０６５ｎｍの赤外光ＩＲ１１が射出される。
第２発光素子１３０の発光部１３２も発光部１２２と同様の構成になっており、第１電極１３２ａ、活性層１３２ｂ、絶縁膜１３２ｃ、第２電極１３２ｄ、及びＤＢＲ層１３２ｅを有している。
【００４４】
なお、発光部としては、内部共振のみでレーザー発振を生じるものを採用してもよい。また、活性層から発せられた光を第１電極以外の反射層で反射させるものを採用してもよい。例えば、第１電極と活性層との間にＤＢＲ層を配置しておき、このＤＢＲ層で活性層から発せられた光を反射させてもよい。
【００４５】
発光部１２２から射出された赤外光ＩＲ１１は、偏光分離素子であるビームポラライザー１９０に入射する。入射光のうちのビームポラライザー１９０に対するＳ偏光は、ビームポラライザー１９０で反射する。ビームポラライザー１９０は、赤外光ＩＲ１１が入射する面を基板面１１０ａに対して傾けて配置されている。ビームポラライザー１９０で反射した光は、発光部１２２と異なる方向に向かって進行し、ビームポラライザー１９０と発光部１２２との間から除去される。ビームポラライザー１９０への入射光のうちのビームポラライザー１９０に対するＰ偏光の赤外光ＩＲ１２は、ビームポラライザー１９０を透過して光反射部材１４３に入射する。
以下の説明では、ビームポラライザー１９０に対するＳ偏光を単にＳ偏光と称する場合があり、ビームポラライザー１９０に対するＰ偏光を単にＰ偏光と称する場合がある。
【００４６】
本実施形態の光反射部材１４３は、赤外光ＩＲ１２が入射する面１４３ａが波長選択性を有している。ここでは、面１４３ａが誘電体多層膜で構成されており、赤外光ＩＲ１２が面１４３ａで反射し、可視光が面１４３ａを透過する。詳しくは後述するが、光反射部材１４３は、面１４３ａが基板面１１０ａと略４５°の角度をなすように、保持部１４２によって保持されている。ビームポラライザー１９０から射出された赤外光ＩＲ１２は、面１４３ａで反射して光軸が略９０°折れ曲がり、波長変換素子１６０に入射する。
【００４７】
波長変換素子１６０及びバンドパスフィルター１７０は、基板面１１０ａに接合された基台１６５上に配置されている。波長変換素子１６０は、入射光のうちの少なくとも一部を略半分の波長の光に変換して２次高調波を発生させるものである。波長変換素子１６０は、例えばＰＰＬＮ（ｐｅｒｉｏｄｉｃａｌｌｙ  ｐｏｌｅｄ  ｌｉｔｈｉｕｍ  ｎｉｏｂａｔｅ）等の非線形光学結晶からなるものである。波長変換素子１６０は、分極反転軸方向が光反射部材１４３で反射した赤外光ＩＲ１２の振動方向と平行になるように配置されている。これにより、波長変換素子の偏光依存性が入射光の偏光状態と合致し、２次高調波が効率よく発生する。
【００４８】
波長変換素子１６０に入射した基本波長の光（例えば、波長が１０６５ｎｍの赤外光ＩＲ１２）は、その少なくとも一部が変換波長の光（例えば、波長が５３２．５ｎｍの緑色光Ｇ１３）に変換される。緑色光Ｇ１３、及び波長変換されなかった赤外光ＩＲ１３は、波長変換素子１６０から射出され、バンドパスフィルター１７０に入射する。
【００４９】
バンドパスフィルター１７０は、入射光のうちの所定波長帯域の光を透過させるようになっている。ここでは、赤外光ＩＲ１３の波長を中心とする波長帯域と、緑色光Ｇ１３の波長を中心とする波長帯域とを所定波長帯域としている。波長帯域の幅としては、狭帯域化させる程度に応じて適宜選択し得る。バンドパスフィルター１７０から射出された赤外光ＩＲ１３及び緑色光Ｇ１３は、第２反射部１５０の光反射部材１５３に入射する。
【００５０】
本実施形態の光反射部材１５３は、第１反射部１４０の光反射部材１４３と同様のものである。赤外光ＩＲ１３及び緑色光Ｇ１３が入射する面１５３ａは、誘電体多層膜で構成されている。光反射部材１５３は、面１５３ａが基板面１１０ａと略４５°の角度をなすように、保持部１５２により保持されている。可視光である緑色光Ｇ１３は、面１５３ａを通って外部に取り出される。赤外光ＩＲ１３は、面１５３ａで反射して光軸が略９０°折れ曲がり、第２発光素子１３０の発光部１３２に入射する。発光部１３２に入射した赤外光ＩＲ１３は、発光部１３２の第１電極１３２ａで反射して、発光部１３２で発生した赤外光とともに射出される。
【００５１】
図４に示すように、第２発光素子１３０の発光部１３２から射出された赤外光ＩＲ２１は、光反射部材１５３の面１５３ａで反射する。面１５３ａで反射した赤外光ＩＲ２１は、バンドパスフィルター１７０を経て波長変換素子１６０に入射する。波長変換素子１６０に入射した赤外光ＩＲ２１は、その少なくとも一部が緑色光Ｇ２２に変換される。緑色光Ｇ２２、及び波長変換されなかった赤外光ＩＲ２２は、波長変換素子１６０から射出され、光反射部材１４３に入射する。光反射部材１４３に入射した緑色光Ｇ２２は、面１４３ａを通って三角柱プリズム１８０に入射する。
【００５２】
三角柱プリズム１８０は、発光部１２２の配列方向（Ｙ方向）を軸方向とする柱状のものである。三角柱プリズム１８０は、軸方向に直交する断面形状が略直角二等辺三角形になっており、軸方向と平行な３つの側面１８０ａ、１８０ｂ、１８０ｃを有している。側面１８０ａと側面１８０ｂとが互いに直交しており、残りの側面１８０ｃに緑色光Ｇ２２が入射するようになっている。三角柱プリズム１８０に入射した緑色光Ｇ２２は、側面１８０ａに対応する内面で反射した後に、側面１８０ｂに対応する内面で反射される。これにより、緑色光Ｇ２２は、三角柱プリズム１８０に入射する前よりも光軸が１８０°折り曲げられる。緑色光Ｇ２２は、図３に示した緑色光Ｇ１３と同じ方向に射出され、外部に取り出される。
【００５３】
一方、光反射部材１４３に入射した赤外光ＩＲ２２は、面１４３ａで反射して光軸が９０°折れ曲がり、ビームポラライザー１９０に入射する。ビームポラライザー１９０に入射した赤外光ＩＲ２２のうちのＳ偏光は、ビームポラライザー１９０で反射して、ビームポラライザー１９０と光反射部材１４３との間から除去される。ビームポラライザー１９０に入射した赤外光ＩＲ２２のうちのＰ偏光は、ビームポラライザー１９０から射出され、第１発光素子１２０の発光部１２２に入射する。発光部１２２に入射した赤外光ＩＲ２３は、発光部１２２の第１電極１２２ａで反射して、発光部１２２で発生した赤外光とともに射出される。
【００５４】
一対の発光部１２２、１３２、第１反射部１４０、第２反射部１５０により共振器が構成されている。発光部１２２、１３２から射出された赤外光は、発光部１２２、１３２の間を往復して共振し、レーザー発振を生じる。これにより生じた赤外レーザー光は、波長変換素子１６０を通る度にその一部が緑色レーザー光に変換される。変換された緑色レーザー光は、光反射部材１４３及び三角柱プリズム１８０を経て、あるいは光反射部材１５３を経て、外部に取り出される。
【００５５】
レーザー光源装置１００は、光反射部材１４３、１５３が高度な位置精度で配置されているので、共振器内を往復する光が良好にレーザー発振を生じるようになっている。
以下、第１反射部１４０、第２反射部１５０の構成を詳しく説明する。
【００５６】
図５は、レーザー光源装置１００について、第１反射部１４０、第２反射部１５０を分解して示す斜視図である。図５に示すように、接合部１４１は、ネジ１４７及びつるまきバネ１４８によりベース基板１１０と移動可能に接合されている。
【００５７】
ネジ１４７は、軸部１４７ａと頭部１４７ｂとを有している。ベース基板１１０にはネジ穴１１０ｂが設けられており、接合部１４１には貫通孔１４１ａが設けられている。軸部１４７ａは、つるまきバネ１４８に環状に囲まれる中空部分及び貫通孔１４１ａを通して、ネジ穴１１０ｂに嵌合されている。貫通孔１４１ａの内径は、軸部１４７ａの外径に対してマージンを有している。つるまきバネ１４８は、一方の端がネジ１４７の頭部１４７ｂに当接しており、他方の端が接合部１４１と当接している。
【００５８】
つるまきバネ１４８は、ネジ１４７のネジ穴１１０ｂへの押し込み量に応じて圧縮され、その反発力により接合部１４１をベース基板１１０に押圧する。接合部１４１は、この押圧力によりベース基板１１０に機械的に接合され、基板面１１０ａの法線方向（Ｚ方向）における接合部１４１の位置が規定される。
【００５９】
また、接合部１４１とベース基板１１０との間には押圧力に応じた摩擦力が生じる。接合部１４１は、基板面１１０ａに沿う方向（Ｘ方向及びＹ方向）の併進移動と、基板面１１０ａの法線方向（Ｚ方向）周りの回転移動が、摩擦力により制限される。基板面１１０ａに沿う方向において、接合部１４１に摩擦力以上の力を加えると、前記のマージンの範囲内で接合部１４１を基板面１１０ａに沿う方向に移動させることができる。これにより、接合部１４１の位置を基板面１１０ａに沿う２つの併進方向（Ｘ方向及びＹ方向）、及び基板面１１０ａの法線方向（Ｚ方向）周りの１つの回転方向（θZ方向）において調整することができる。このように、接合部１４１が移動可能に接合されているので、接合部１４１を高度な位置精度で容易に配置することができる。
【００６０】
保持部１４２は、ネジ（第２嵌合部材）１４４、つるまきバネ（第２付勢部材）１４５、及び保持部本体１４６を有している。ネジ１４４は、接合部１４１に設けられたネジ穴１４１ｂに嵌合されている。これにより、保持部１４２が接合部１４１に接合される。保持部本体１４６は、光反射部材１４３を保持するものである。ネジ１４４は、ネジ１４７と同様のものであり、軸部１４４ａ及び頭部１４４ｂを有している。つるまきバネ１４５は、つるまきバネ１４８と同様のものである。
【００６１】
図６は、保持部本体１４６を拡大して示す斜視図である。図６に示すように保持部本体１４６は、当接部１４６ａ、対向部１４６ｂ及び角度調整部１４６ｃを有している。
当接部１４６ａは、接合部１４１と当接する部分である。当接部１４６ａには、ネジ１４４の軸部１４４ａを通す貫通孔１４６ｅが設けられている。対向部１４６ｂは、基板面１１０ａの法線方向（Ｚ方向）において、当接部１４６ａから離れて配置されている。対向部１４６ｂには、軸部１４４ａを通す貫通孔１４６ｆが設けられている。貫通孔１４６ｆは、角度調整部１４６ｃに向かう方向の寸法が軸部１４４ａの外径に対してマージンを有している。ここでは、貫通孔１４６ｆが、対向部１４６ｂにおける角度調整部１４６ｃと反対側の端まで延びた切欠になっている。
【００６２】
角度調整部１４６ｃは、当接部１４６ａと対向部１４６ｂとに連続した側部であり、当接部１４６ａに対して傾斜している。角度調整部１４６ｃには、光反射部材１４３を挟持するクリップ１４６ｄが設けられている。本実施形態のクリップ１４６ｄは、第２反射部１５０が配置される方向（Ｘ負方向）に向かって、角度調整部１４６ｃの一部がＵ字型に曲げられたものである。Ｕ字型の互いに向かい合う面の間隔は、光反射部材１４３の厚みよりも狭くなっている。向かい合う面の間に光反射部材１４３を挟持させると、向かい合う面が押し広げられ、その反発力により光反射部材１４３が保持される。
【００６３】
本実施形態の保持部本体１４６は、ステンレス鋼等からなる弾性部材を母材としている。保持部本体１４６を形成するには、例えば母材に貫通孔１４６ｅ、１４６ｆを形成する。そして、当接部１４６ａになる部分と角度調整部１４６ｃになる部分との間、及び対向部１４６ｂになる部分と角度調整部１４６ｃになる部分との間に溝を形成する。そして、溝に沿って母材を曲げ加工することにより、当接部１４６ａ、対向部１４６ｂ及び角度調整部１４６ｃが一体になった保持部本体１４６が得られる。一体型の保持部本体１４６を採用すれば、複数の部材からなるものよりも構成が簡単になる。
【００６４】
図７（ａ）、（ｂ）は、いずれも第１反射部１４０の保持部１４２の側面図である。図７（ｂ）には、図７（ａ）よりも当接部１４６ａと対向部１４６ｂとの間隔を狭くした状態を示している。
【００６５】
軸部１４４ａは、貫通孔１４６ｆ、つるまきバネ１４５に環状に囲まれる中空部分、及び貫通孔１４６ｅを通して、接合部１４１のネジ穴１４１ｂに嵌合されている。ネジ１４４の軸部１４４ａは、対向部１４６ｂを介してつるまきバネ１４５の一方の端を支持している。当接部１４６ａは、つるまきバネ１４５により対向部１４６ｂと離れる方向（Ｚ方向）に付勢される。この付勢力により当接部１４６ａが接合部１４１に押圧され、保持部１４２は接合部１４１に機械的に接合される。接合部１４１の位置精度がＸ方向、Ｙ方向、及びθZ方向において高精度になっているので、これらの方向における保持部１４２の位置も高精度になる。また、接合部１４１が基板面１１０ａに沿って配置されているので、基板面１１０ａに沿う方向周りの２つの回転方向（θX方向、及びθY方向）における保持部１４２の位置は、接合部１４１の形状により規定されて高精度になる。
【００６６】
ネジ１４４は、当接部１４６ａと対向部１４６ｂとの間隔を調整する間隔調整部として機能するようになっている。すなわち、ネジ１４４のネジ穴１４１ｂへの押し込み量を調整することにより、当接部１４６ａと対向部１４６ｂとの間隔を調整することができる。図７（ａ）において、当接部１４６ａと対向部１４６ｂとの間隔をｄ［ｍｍ］とし、接合部１４１の上面が角度調整部１４６ｃとがなす角度をθ［ｒａｄ］とする。ここでは、接合部１４１の上面と基板面１１０ａとが平行になっており、基板面１１０ａと発光部１２２の射出面とが平行になっている。したがって、角度調整部１４６ｃの表面が発光部１２２の射出面となす角度はθ［ｒａｄ］であり、発光部１２２から射出される光の光軸となす角度は（π／２−θ）［ｒａｄ］である。
【００６７】
図７（ｂ）に示すように、当接部１４６ａと対向部１４６ｂとの間隔を（ｄ−Δｄ）［ｍｍ］に狭くすると、貫通孔１４６ｆの寸法が軸部１４４ａの外径よりも大きいので、対向部１４６ｂが第２反射部１５０に近づく方向にスライドする。また、角度調整部１４６ｃが当接部１４６ａとの角を支点として傾斜する。角の部分は、前記の溝が形成された部分であり板厚が薄くなっており、当接部１４６ａ、対向部１４６ｂ、及び角度調整部１４６ｃよりも変形しやすい。したがって、当接部１４６ａ、対向部１４６ｂ、及び角度調整部１４６ｃにほとんど変形を生じることなく、角度調整部１４６ｃを傾斜させることができる。
【００６８】
角度調整部１４６ｃの基板面１１０ａ対する角度は、角度調整部１４６ｃが基板面１１０ａに近づくように変化して、（θ−Δθ）［ｒａｄ］になる。前記のように角度調整部１４６ｃにおいて傾斜面に沿う長さはほとんど変化しないので、以下の式（１）の関係式が成り立つ。
ｄ／ｃｏｓθ＝（ｄ−Δｄ）／ｃｏｓ（θ−Δθ）  ・・・（１）
式（１）において、Δθが微小角とすると以下の式（２）が得られる。
Δθ＝Δｄ／ｄ／ｔａｎθ  ・・・（２）
式（２）において、例えばθ＝π／４とすると、Δθ＝Δｄ／ｄとなる。Δｄは、ネジ１４４のピッチ、及びネジ１４４の回転角の刻みによって規定される値である。
【００６９】
例えば、マイクロメーターには、ピッチが５０μｍ程度、軸の回転角の刻みが０．１２６ｒａｄ（π／２５）程度のものがある。このマイクロメーターでは、軸の移動距離を１μｍ程度の刻みで制御可能である。Δｄの値をマイクロメーターにおける移動距離の刻みと同程度にし、ｄを１０ｍｍ程度にすると、Δθとしては、０．１ｍｒａｄ程度になる。つまり、光反射部材１４３の基板面１１０ａに対する角度を０．１ｍｒａｄ程度の精度で調整することが可能である。このように、ネジの回転角の精度（例えば、０．１２６ｒａｄ）に比べて格段に高精度（例えば、０．１ｍｒａｄ）で、光反射部材１４３の角度を制御することが可能になっている。
【００７０】
光反射部材１４３の基板面１１０ａに対する角度に許容される誤差は、０．５ｍｒａｄ程度以下であり、本実施形態の保持部１４２によれば十分な角度の精度が得られることが分かる。また、ｄの設定値を大きくすることや、ネジ１４４のピッチを小さくすること、ネジ１４４の回転角の刻みを細かくすること等により、光反射部材１４３の角度をさらに細かく調整することも可能である。
【００７１】
また、当接部１４６ａと対向部１４６ｂとの間隔を広くすると、角度調整部１４６ｃの基板面１１０ａ対する角度は、角度調整部１４６ｃが基板面１１０ａから離れるように変化する。これにより、光反射部材１４３の基板面１１０ａに対する角度を増加させるように調整することができる。このように、角度調整部１４６ｃの基板面１１０ａ対する角度を増加方向、及び減少方向のいずれにおいても調整することができる。したがって、角度調整部１４６ｃに保持された光反射部材１４３の基板面１１０ａに対する角度を調整することができ、高度な位置精度で光反射部材１４３を配置することができる。
【００７２】
以上のような構成のレーザー光源装置１００にあっては、光反射部材１４３の基板面１１０ａに対する位置が、互いに独立した３つの併進方向（Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向）、及びこれら３つの併進方向の各々周りの３つの回転方向（θX方向、θY方向、及びθZ方向）において高精度になっている。また、第２反射部１５０についても、光反射部材１５３の基板面１１０ａに対する位置が、接合部１５１及び保持部１５２により高精度になっている。したがって、第１発光素子１２０の発光部１２２から第２発光素子１３０の発光部１３２に向かう光と、発光部１３２から発光部１２２に向かう光とで光軸を高精度に一致させることができる。よって、これらの光を良好に共振させることができ、高出力なレーザー光が得ることができる。また、接合部１４１と保持部１４２とにより、光反射部材１４３を容易にかつ高精度な位置に配置することができるので、製造コストを高騰させることなく、高出力なレーザー光源装置１００にすることができる。
【００７３】
また、レーザー光源装置１００は、複数組の一対の発光部を有しているので、一組の一対の発光部を有しているものよりも高出力なレーザー光が得られる。複数組の一対の発光部を有する構成にすると、光反射部材１４３、１５３の位置が、第１発光素子１２０の発光部１２２の配列方向や、第２発光素子１３０の発光部１３２の配列方向により規制される。したがって、光反射部材１４３、１５３に高度な位置精度が要求されるが、本発明によれば３つの併進方向及び３つの回転方向において高度な位置精度にすることができるので、高出力なレーザー光が得られるレーザー光源装置を容易に構成することが可能になる。
【００７４】
また、第１実施形態では、ベース基板１１０と接合部１４１、１５１との接合や、接合部１４１、１５１と保持部１４２、１５２との接合、保持部本体１４６、１５６と光反射部材１４３、１５３との接合が機械的な接合になっているので、部材間における熱膨張の変形量の違いを緩和することができる。一般にレーザー光源装置においては、使用時の発熱が顕著であり、部材間で熱膨張による変形量が異なっている。接着剤等で接合した場合には、部材間の変形量の違いにより部材に応力が生じ、この応力により部材が歪むおそれがある。光反射部材１４３、１５３に歪みを生じると、光反射部材１４３、１５３に入射する光の一部が所望以外の方向に反射されて光の損失が増加してしまう。しかしながら、第１実施形態のレーザー光源装置１００にあっては、機械的な接合により変形量の違いを緩和することができるので、光の損失や部材の損傷が防止される。
【００７５】
なお、第１実施形態では、複数組の一対の発光部が設けられているが、１組の一対の発光部が設けられている構成としてもよい。第１発光素子１２０と第２発光素子１３０とが基板面１１０ａに当接していることにより、一対の発光部でベース基板１１０の法線方向における位置が同程度になっているが、一対の発光部で法線方向における位置が異なっていてもよい。
【００７６】
また、第１反射部と第２反射部のうちの少なくとも一方が、接合部と保持部とを有していればよい。例えば、第２反射部を第１発光素子に対して固定しておき、第２反射部で、第１発光素子と第２発光素子との間の光軸を調整するようにしてもよい。複数組の一対の発光部で共通した第１反射部、第２反射部が設けられているが、複数組の一対の発光部を２以上のグループに分割されており、グループごとに第１反射部、第２反射部が設けられている構成としてもよい。
【００７７】
また、接合部や保持部により光反射部材の位置調整を行った後に、ベース基板に接合部を接着剤により固定してもよいし、接合部に保持部を接着剤により固定してもよい。また、保持部の保持部本体に光反射部材を接着剤により固定してもよい。
【００７８】
また、第１付勢部材、第２付勢部材としては、つるまきバネに代えて板バネ等を用いてもよいし、保持部本体の一部が板バネ等として機能するものであってもよい。保持部本体の構造についても変更可能である。以下、保持部本体の変形例について説明する。
【００７９】
図８は変形例のレーザー光源装置において第１反射部の保持部を示す側面図である。変形例の保持部が前記第１実施形態と異なる点は、保持部本体がパンタグラフ状になっている点と、保持部本体を構成する当接部、対向部、角度調整部が互いに独立した部材である点である。
【００８０】
図８に示すように、変形例における第１反射部２４０の保持部２４２は、接合部１４１に当接する当接部２４６ａと、当接部２４６ａに対向する対向部２４６ｂを有している。対向部２４６ｂが当接部２４６ａに対向する対向方向（Ｚ方向）の側方において一方の側（Ｘ負方向側）には、角度調整部２４６ｃ及び接続部２４６ｅが設けられている。一方の側は、第２反射部が配置される側である。また、対向方向の側方の他方の側（Ｘ正方向側）には、接続部２４６ｆ、２４６ｇが設けられている。
【００８１】
当接部２４６ａ、対向部２４６ｂ、角度調整部２４６ｃ、及び接続部２４６ｅ〜２４６ｇはいずれも概略板状の部材であり、各々の部材は前記対向方向の一方の端が他の部材の他方の端とピン２４６ｈによりピン接合されてヒンジ構造になっている。例えば、当接部２４６ａのＸ負方向側の端は、角度調整部２４６ｃのＸ正方向側の端とピン接合されている。角度調整部２４６ｃのＸ負方向側の端は、接続部２４６ｅのＸ正方向側の端とピン接合されている。同様にして、当接部２４６ａ、角度調整部２４６ｃ、接続部２４６ｅ、対向部２４６ｂ、接続部２４６ｇ、接続部２４６ｆが、この順に連結されており、接続部２４６ｆのＸ負方向側の端は当接部２４６ａのＸ正方向側の端とピン接合されている。すなわち、変形例の保持部材は、６つの部材が連結された概略６角形の枠状（パンタグラフ状）になっている。また、ピン結合により連結されていることにより、部材間の連結部は滑節になっている。
【００８２】
当接部２４６ａと対向部２４６ｂとの間には、つるまきバネ１４５が配置されている。当接部２４６ａ及び対向部２４６ｂにはそれぞれ貫通孔が設けられている。これら貫通孔、及びつるまきバネの中空部分を通してネジ１４４の軸部１４４ａが接合部１４１と嵌合されている。ネジ１４４の頭部１４４ｂは、対向部２４６ｂを介してつるまきバネ１４５の一端を支持するようになっている。角度調整部２４６ｃは、当接部２４６ａと略４５°の角度をなす斜面になっている。角度調整部２４６ｃには、第１実施形態と同様の保持部２４６ｄが設けられており、保持部２４６に光反射部材１４３が保持されている。
【００８３】
このような構成の保持部２４２において、ネジ１４４により当接部２４６ａと対向部２４６ｂとの間隔を狭くすると、角度調整部２４６ｃが基板面１１０ａに近づく方向に回動し、光反射部材１４３の基板面１１０ａに対する角度が小さくなる。当接部２４６ａと対向部２４６ｂとの間隔を広くすると、光反射部材１４３の基板面１１０ａに対する角度が大きくなる。このように、ネジ１４４の押し込み量を変化させることにより、光反射部材１４３の基板面１１０ａに対する角度を調整することができる。
【００８４】
変形例のレーザー光源装置にあっては、当接部２４６ａと対向部２４６ｂとの間隔を変化させた際に、当接部２４６ａと角度調整部２４６ｃとの連結部や対向部２４６ｂと接続部２４６ｅとの連結部に曲げモーメントが作用しなくなる。したがって、当接部２４６ａ、対向部２４６ｂ、及び角度調整部２４６ｃに曲げモーメントによる変形が生じなくなり、この変形により光反射部材２４３の角度が変化することを考慮する必要がなくなる。よって、光反射部材２４３の角度調整が容易になる。また、対向部２４６ｂがネジ１４４の頭部１４４ｂに対して摺動しないので、対向部２４６ｂや頭部１４４ｂの磨耗が防止される。
【００８５】
なお、接続部２４６ｇに光反射部材１４３を挟持するクリップを設けて、この接続部を角度調整部にしてもよい。また、前記変形例では、対向部２４６ｂが当接部２４６ａに対向する対向方向（Ｚ方向）の側方の各々において、２つの接続部が枠状の外側に向かって凸になっているが、枠状の内側に向かって凸となるようになっていてもよい。この場合には、対向部２４６ｂのＸ負方向側の端に連結される接続部、あるいは当接部２４６ａのＸ正方向側の端の連結される接続部にクリップを設けて、これを角度調整部にすればよい。
【００８６】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態を説明する。第２実施形態が第１実施形態と異なる点は、保持部が光反射部材と接合された角度調整軸部を有しており、角度調整軸部を回転させることにより光反射部材の角度が調整可能になっている点である。
【００８７】
図９（ａ）は、第２実施形態のレーザー光源装置３００の概略構成を示す斜視図であり、図９（ｂ）は、第１反射部２４０を拡大して示す側面図である。図９において、第１実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付している。また、第１実施形態と共通の構成要素については、詳細な説明を省略することがある。
【００８８】
レーザー光源装置３００は、第１実施形態と同様にベース基板（基板）１１０を基体にしている。ベース基板１１０の基板面１１０ａには、第１発光素子１２０、第２発光素子１３０、第１反射部２４０、及び第２反射部２５０が接合されている。第１反射部２４０、第２反射部２５０の間に、波長変換素子１６０及びバンドパスフィルター１７０が配置されている。第１発光素子１２０、第２発光素子１３０、波長変換素子１６０及びバンドパスフィルター１７０については、第１実施形態と同様のものである。第１反射部２４０は、基板面１１０ａに接合された接合部３４１と、接合部３４１に接続された保持部３４２と、保持部３４２に保持された光反射部材１４３とを有している。
【００８９】
接合部３４１は、基板面１１０ａを平面視した状態の外形が第１実施形態の接合部１４１と同様の形状になっている。接合部３４１は、第１実施形態と同様にネジ１４７とつるまきバネ１４８によりベース基板１１０に、移動可能に接合されている。
【００９０】
本実施形態の保持部３４２は、光反射部材１４３を保持する枠部３４２ａと、枠部３４２ａに接続された角度調整軸部３４２ｂと、角度調整軸部３４２ｂを支持する軸受け部３４２ｃと、角度調整軸部３４２ｂを軸受け部３４２ｃに押圧する押圧部３４２ｄとを有している。
【００９１】
枠部３４２ａは、第１発光素子１２０の延在方向（Ｙ方向）に長手を有する部材である。枠部３４２ａの基板面１１０ａと反対側の開口（枠部３４２ａの内側）の寸法は、長手方向及び長手方向の直交方向において、光反射部材１４３の寸法以上になっている。また、枠部３４２ａの基板面１１０ａ側の開口の寸法は、長手方向及び長手方向の直交方向において、光反射部材１４３の寸法未満になっている。枠部３４２ａにおいて基板面１１０ａと反対側の開口から光反射部材１４３を枠部３４２ａの内側に収容すると、光反射部材１４３の周縁部は、枠部３４２ａにおける基板面１１０ａ側の部分と重なり合う。この重なり合う部分において、光反射部材１４３は枠部３４２ａと接合されている。
【００９２】
枠部３４２ａの材質としては、線膨張係数が光反射部材１４３と同程度になるものを選択するとよい。これにより、熱膨張による部材間の変形量の違いに起因して、光反射部材１４３に歪みを生じることが防止される。また、枠部３４２ａと光反射部材１４３とで線膨張係数が異なる場合には、枠部３４２ａと光反射部材１４３とをバネ等により機械的に接合する手法や、弾性接着剤等で接合する手法を用いるとよい。これにより、部材間の変形量の違いを緩和することができる。
【００９３】
枠部３４２ａにおける長手方向（Ｙ方向）の両端部には、長手方向を軸とする柱状の角度調整軸部３４２ｂが設けられている。ここでは、角度調整軸部３４２ｂが枠部３４２ａと一体に形成されている。
【００９４】
接合部３４１の長手方向（Ｙ方向）には、第１発光素子１２０を挟む両側にそれぞれ軸受け部３４２ｃが設けられている。本実施形態の軸受け部３４２ｃは、接合部３４１と一体に形成されたものであり、接合部３４１の長手方向（Ｙ方向）に延在するＶ字型の溝部を有している。接合部３４１の長手方向の直交方向（Ｘ方向）における軸受け部３４２ｃの両側の側方にそれぞれ凹部が形成されている。Ｖ字型の溝部内に角度調整軸部３４２ｂが載置されており、角度調整軸部３４２ｂの一部は溝部の外側（Ｚ正方向側）に張り出している。角度調整軸部３４２ｂは、軸受け部３４２ｃに支持されている。
【００９５】
軸受け部３４２ｃの溝部を覆って、押圧部３４２ｄが設けられている。押圧部３４２ｄは、ステンレス鋼等からなる板状の弾性部材を母材としており、一方向の両端がそれぞれ他端に向けて曲げられている。押圧部３４２ｄにおいて曲げられた両端は、それぞれ軸受け部３４２ｃの凹部に係止されている。角度調整軸部３４２ｂは、軸受け部３４２ｃの溝部の内壁と押圧部３４２ｄに挟持されており、押圧部３４２ｄにより溝部の内側壁に押圧されている。
【００９６】
以上のような構成のレーザー光源装置３００にあっては、第１実施形態と同様の理由により、接合部３４１が高度な位置精度で配置される。また、角度調整軸部３４２ｂが溝部の内壁に押圧されていることにより、角度調整軸部３４２ｂの軸周り（θY方向）の回転移動が制限される。これにより、光反射部材１４３の基板面１１０ａに対する角度が保持される。また、角度調整軸部３４２ｂに軸周りの所定値以上のトルクをかけると、角度調整軸部３４２ｂと溝部の内壁とが線接触していることにより、角度調整軸部３４２ｂが軸周りに回転する。これにより、光反射部材１４３の基板面１１０ａに対する角度を調整することができる。また、第２反射部３５０も第１反射部３４０と同様になっており、光反射部材の基板面１１０ａに対する角度を調整することができる。
【００９７】
したがって、レーザー光源装置３００においても第１実施形態と同様の理由により、高度な位置精度で光反射部材１４３を配置することができる。よって、第１発光素子１２０と第２発光素子１３０との間で良好にレーザー発振を発生させることができ、高出力な光が得られるレーザー光源装置３００になっている。
【００９８】
次に、本発明のプロジェクターの実施形態を説明する。図５は、本実施形態のプロジェクター４００を示す概略構成図である。図８に示すように、プロジェクター４００は、レーザー光源装置（光源装置）４１０Ｒ、４１０Ｇ、４１０Ｂ、透過型の液晶ライトバルブ（画像形成装置）４３０Ｒ、４３０Ｇ、４３０Ｂと、クロスダイクロイックプリズム４４０と、投射装置４５０とを備えている。レーザー光源装置４１０Ｒ、４１０Ｇ、４１０Ｂは、それぞれ赤色光、緑色光、青色光を射出し、射出された各色光は、それぞれ液晶ライトバルブ４３０Ｒ、４３０Ｇ、４３０Ｂに変調される。変調された各色光は、クロスダイクロイックプリズム４４０によって合成され、合成された光は投射装置４５０によって投射される。
【００９９】
また、本実施形態のプロジェクター４００は、レーザー光源装置４１０Ｒ、４１０Ｇ、４１０Ｂから射出されたレーザー光の照度分布を均一化する均一化光学系４２０Ｒ、４２０Ｇ、４２０Ｂを備えている。これにより、液晶ライトバルブ４３０Ｒ、４３０Ｇ、４３０Ｂが、均一な照度分布の光によって照明される。ここでは、均一化光学系４２０Ｒがホログラム４２１Ｒとフィールドレンズ４２２Ｒ等により構成されており、均一化光学系４２０Ｇ，４２０Ｂも同様の構成になっている。
【０１００】
液晶ライトバルブ４３０Ｒ、４３０Ｇ、４３０Ｂの各々により変調された色光は、クロスダイクロイックプリズム４４０に入射する。クロスダイクロイックプリズム４４０は４つの直角プリズムを貼り合わせて形成され、その内面に赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に配置されている。３つの色光は、これらの誘電体多層膜によって合成され、カラー画像を表す光になる。合成された光が投射装置４５０によりスクリーン４６０上に拡大投写されることにより、投射画像が表示されるようになっている。
【０１０１】
本実施形態のプロジェクター４００にあっては、レーザー光源装置４１０Ｒ、４１０Ｇ、４１０Ｂが本発明の光源装置により構成されているので、ダイナミックレンジが広く高品質な投射画像が得られるプロジェクターになっている。
【０１０２】
なお、画像形成装置として透過型の液晶ライトバルブを用いたが、反射型のライトバルブを用いても良いし、液晶以外の画像形成装置を用いても良い。このような画像形成装置としては、例えばデジタルミラーデバイス（ＤＭＤ）が挙げられる。投射光学系の構成は、使用される画像形成装置の種類によって適宜変更すればよい。また、色光合成手段として、クロスダイクロイックプリズムを用いることとしたが、これに限るものではない。色光合成手段としては、例えば、ダイクロイックミラーをクロス配置とし色光を合成するもの、ダイクロイックミラーを平行に配置し色光を合成するものを用いることができる。
【０１０３】
次に、本発明に係る別形態のプロジェクターについて説明する。本実施形態が前記実施形態と異なる点は、走査型プロジェクターである点である。図６は、本実施形態の走査型プロジェクターを示す概略構成図である。
本実施形態の走査型プロジェクター５００は、レーザー光源装置５１０と、集光レンズ５２０と、ＭＥＭＳミラー（画像形成装置）５３０とを備えている。レーザー光源装置５１０から射出されたレーザー光は、集光レンズ５２０によってＭＥＭＳミラー５３０に集光される。集光されたレーザー光は、ＭＥＭＳミラー５３０の駆動によってスクリーン５４０上において水平方向、垂直方向に走査される。これにより、スクリーン５４０に画像が描画（形成）されるようになっている。
【０１０４】
次に、本発明に係るモニター装置の一実施形態を説明する。図７は、本実施形態のモニター装置を示す概略構成図である。本実施形態のモニター装置６００は、装置本体６１０と光伝送部６２０とを備えており、装置本体６１０には、カメラ（撮像装置）６１１と本発明のレーザー光源装置６１２とが設けられている。光伝送部６２０には、照明用のライトガイド６２１と受光用のライトガイド６２２が設けられている。ライトガイド６２１、６２２は、多数本の光ファイバーを束ねたものであり、レーザー光を遠方に送ることができる。照明用のライトガイド６２１において、射出側になる一方の端（先端）に拡散板６２３が設けられており、他方の端はレーザー光源装置６１２と接続されている。レーザー光源装置６１２から射出されたレーザー光は、ライトガイド６２１を通じて拡散板６２３に送られ、拡散板６２３により拡散されて被写体を照射する。
【０１０５】
光伝送部６２０の先端には結像レンズ６２４が設けられており、被写体の表面で反射した光は結像レンズ６２４に入射する。結像レンズ６２４に入射した光は、受光用のライトガイド６２２を通じて装置本体６１０内に設けられたカメラ６１１に送られる。このように、レーザー光源装置６１２から射出されたレーザー光が被写体を照射し、被写体表面で反射した光をカメラ６１１で撮像することが可能になっている。
【０１０６】
本実施形態のモニター装置６００にあっては、本発明の光源装置をレーザー光源装置６１２に用いているので、高出力なレーザー光で被写体を照明することができる。したがって、被写体表面で反射する光の光量が確保され、鮮明な撮像画像が得られる良好なモニター装置になっている。
【符号の説明】
【０１０７】
１００，３００，４１０Ｒ，４１０Ｇ，４１０Ｂ，５１０，６１２・・・レーザー光源装置、１１０・・・ベース基板（基板）、１１０ａ・・・基板面、１２０・・・第１発光素子、１３０・・・第２発光素子、１２２，１３２・・・発光部、１４０，２４０，３４０・・・第１反射部、１５０，３５０・・・第２反射部、１４１，１５１，３４１・・・接合部、１４２，１５２，３４２・・・保持部、１４３，１５３・・・光反射部材、１４６ａ，２４６ａ・・・当接部、１４６ｂ，２４６ｂ・・・対向部、１４６ｃ，２４６ｃ・・・角度調整部、１４７，１５７・・・ネジ（第１嵌合部）、１４８，１５８・・・つるまきバネ（第１付勢部）、１４４，１５４・・・ネジ（第２嵌合部）、１４５，１５５・・・つるまきバネ（第２付勢部）、３４２ｂ・・・角度調整軸部、３４２ｃ・・・軸受け部、３４２ｄ・・・押圧部、１６０・・・波長変換素子、４００・・・プロジェクター、５００・・・走査型プロジェクター（プロジェクター）、６００・・・モニター装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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