(57)【要約】【課題】製造ラインで発生した不良品を並行して修正して生産効率を向上させる。【解決手段】複数連結されると共にそれぞれ独立して動作するコンベアユニットと、不良パネルを外部へ送出するパネル送出装置と、前記不良パネルを修正可能品と修正不可能品とに振り分けて修正可能品をリペア処理のために移載する修正パネル移載装置と、前記コンベアユニットに併設されたリペア装置と、当該リペア装置でリペア処理が施されたパネルを検査するリペアパネル検査装置と、当該リペアパネル検査装置で検査したパネルを良品と不良品とに振り分けて移載する良品パネル移載装置と、良品パネルを受け取って前記コンベアユニットに戻すパネル受入装置と、これを制御する制御装置とを備えた。パネル処理方法は、前記制御装置での処理とほぼ同様の処理工程を備えた。【選択図】図１
2011237530.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数連結されると共にそれぞれ独立して動作するコンベアユニットと、
当該各コンベアユニットのいずれかに組み込まれ、前記各コンベアユニットで搬送されてきた不良パネルを外部へ送出するパネル送出装置と、
当該パネル送出装置で送出された前記不良パネルを修正可能品と修正不可能品とに振り分けて修正可能品をリペア処理のために移載する修正パネル移載装置と、
前記コンベアユニットに併設されたリペア装置と、
当該リペア装置でリペア処理が施されたパネルを検査するリペアパネル検査装置と、
当該リペアパネル検査装置で検査したパネルを良品と不良品とに振り分けて移載する良品パネル移載装置と、
前記各コンベアユニットのいずれかに組み込まれ、前記良品パネル移載装置から良品パネルを受け取って前記コンベアユニットに戻すパネル受入装置と、
これを制御する制御装置と
を備えたことを特徴とする液晶パネルの処理システム。
【請求項２】
前記制御装置が、前記各コンベアユニットを流れるパネルの中から前記不良パネルを特定し、当該不良パネルが、前記パネル送出装置が組み込まれたコンベアユニット上に位置するとき当該コンベアユニットを制御して当該不良パネルの移動を停止させることを特徴とする請求項１に記載の液晶パネルの処理システム。
【請求項３】
前記制御装置が、前記パネル送出装置を設置した前記コンベアユニットが停止中に前記不良パネルを前記コンベアユニットから送出するよう前記パネル送出装置を制御し、また前記パネル受入装置を設置した前記コンベアユニットが停止中に前記良品パネルを前記コンベアユニットに受け入れるよう前記パネル受入装置を制御することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液晶パネルの処理システム。
【請求項４】
複数連結されたコンベアユニットをそれぞれ独立して動作させてパネルを搬送するパネル搬送工程と、
前記各コンベアユニットで搬送されてきた不良パネルを外部へ送出するパネル送出工程と、
当該パネル送出工程で送出された前記不良パネルを修正可能品と修正不可能品とに振り分けて修正可能品を移載する修正パネル移載工程と、
当該修正パネル移載工程で、前記コンベアユニットに併設されたリペア装置に移載された前記修正可能品をリペアするリペア処理工程と、
当該リペア処理工程でリペア処理が施されたパネルを検査するリペアパネル検査工程と、
当該リペアパネル検査工程で検査したパネルを良品と不良品とに振り分けて移載する良品パネル移載工程と、
前記各コンベアユニットのいずれかに組み込まれ、前記良品パネル移載装置から良品パネルを受け取って前記コンベアユニットに戻すパネル受入工程とを備えたことを特徴とする液晶パネルの処理方法。
【請求項５】
前記各コンベアユニットを流れるパネルの中から不良パネルを特定し、当該不良パネルが、前記パネル送出装置が組み込まれたコンベアユニット上に位置するとき当該コンベアユニットを制御して当該不良パネルの移動を停止させることを特徴とする請求項４に記載の液晶パネルの処理方法。
【請求項６】
前記パネル送出装置を設置した前記コンベアユニットが停止中に前記不良パネルを前記コンベアユニットから送出するよう前記パネル送出装置を制御し、また前記パネル受入装置を設置した前記コンベアユニットが停止中に前記良品パネルを前記コンベアユニットに受け入れるよう前記パネル受入装置を制御することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の液晶パネルの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の検査及びリペアを行うパネル処理システム及びパネル処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの製造工程には主に、ガラス基板加工工程と、アレイ工程と、カラーフィルタ工程と、セル工程と、モジュール工程とがある。前記セル工程の最終段階では、点灯検査装置でパネルの点灯検査を行い、良品と不良品を選別している。不良品のパネルについては、欠陥の修正が可能なパネルと不可能なパネルに選別される。そして、修正が可能なパネルはレーザーリペア装置により修正が行われ、修正が不可能なパネルは不良品カセット等に保管される。
【０００３】
セル工程ラインの点灯検査後は、コンベアにより、良品パネル及び不良品パネルが入り混じった状態で最終端に搬送される。
【０００４】
そして、最終端では、ロボットなどの移載装置により、パネルがカセットに移載される。この際、パネルは、良品と不良品とに選別され、それぞれ良品カセット、不良品カセットに収納される。良品は、次工程であるモジュール工程へと流れる。不良品カセットには、修正可能品カセットと修正不可能品カセットがあり、そのうち修正可能品カセットは、リペア装置に搬送され、そのカセット内のパネルの欠陥が修正される。欠陥が修正されたパネルは、点灯検査装置で検査されて、修正の出来具合が確認され、良品となったパネルはラインに戻される。
【０００５】
このような液晶パネルの製造に関する文献として特許文献１、２がある。
【０００６】
特許文献１では、検査装置は、ゾーンに滞留するガラス基板を全数検査して当該ガラス基板の良否判定を行い、滞留により不良となってしまったガラス基板を搬出装置にて回収する。回収した不良のガラス基板は、製造ラインから離れて独立したリペア装置に搬送されて、リペア処理が施される。
【０００７】
特許文献２では、液晶パネルの製造ライン上で不良品が発生した場合、不良品の排除処理を行ってライン上に発生した不良品を完全に排除し、後工程への不良品の搬入を未然に阻止する。排除した不良品は、製造ラインから離れて独立したリペア装置に搬送されて、リペア処理が施される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−１０９６２１号公報
【特許文献２】特開平１０−３２５９５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述した各装置では、リペア装置が製造ラインとは離れて独立しているため、不良品を収納した不良品カセットのリペア装置への運搬、リペア装置による修正後のパネルの点灯検査装置への運搬が問題となる。この運搬を人手により行うと、手間がかかり、効率が悪い。この運搬を自動化する場合は、カセットの運搬装置などが必要となり、ライン構成が複雑になってしまうという問題がある。
【００１０】
本発明は、これまで製造ラインから切り離されていたリペア装置を製造ラインに組み込むことで、生産効率を向上させたパネル処理システム及びパネル処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するための本発明の液晶パネルの処理システムは、複数連結されると共にそれぞれ独立して動作するコンベアユニットと、当該各コンベアユニットのいずれかに組み込まれ、前記各コンベアユニットで搬送されてきた不良パネルを外部へ送出するパネル送出装置と、当該パネル送出装置で送出された前記不良パネルを修正可能品と修正不可能品とに振り分けて修正可能品を移載する修正パネル移載装置と、前記コンベアユニットに併設されたリペア装置と、当該リペア装置でリペア処理が施されたパネルを検査するリペアパネル検査装置と、当該リペアパネル検査装置で検査したパネルを良品と不良品とに振り分けて移載する良品パネル移載装置と、前記各コンベアユニットのいずれかに組み込まれ、前記良品パネル移載装置から良品パネルを受け取って前記コンベアユニットに戻すパネル受入装置と、これを制御する制御装置とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
前記制御装置は、前記各コンベアユニットを流れるパネルの中から前記不良パネルを特定し、当該不良パネルが、前記パネル送出装置が組み込まれたコンベアユニット上に位置するとき当該コンベアユニットを制御して当該不良パネルの移動を停止させる。また、前記制御装置は、前記パネル送出装置を設置した前記コンベアユニットが停止中に前記不良パネルを前記コンベアユニットから送出するよう前記パネル送出装置を制御し、また前記パネル受入装置を設置した前記コンベアユニットが停止中に前記良品パネルを前記コンベアユニットに受け入れるよう前記パネル受入装置を制御する。
【００１３】
また、パネル処理方法は、前記パネル処理システムの制御装置での処理とほぼ同様の処理工程を備えたものである。
【発明の効果】
【００１４】
製造ラインで発生した不良品を製造ラインに併設されたリペア装置で、製造ラインでの処理と並行して修正して製造ラインに戻すため、生産効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係るパネル処理システムを示す構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係るパネル送出装置を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係るパネル送出装置を示す平面図である。
【図４】図３のIV−IV線矢視断面図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線矢視断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係るアライメント機構を示す平面図である。
【図７】本発明の実施形態に係るリフター及びアライメント機構を示す側面図である。
【図８】本発明の実施形態のパネル処理方法に係る制御装置の処理機能を示すフローチャートである。
【図９】本発明の実施形態に係るパネル送出装置の動作を示す説明図である。
【図１０】本発明の変形例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態に係るパネル処理システム及びパネル処理方法について添付図面を参照して説明する。
【００１７】
[パネル処理システム]
本実施形態のパネル処理システムは、複数の検査対象物を連続的に処理する際に発生する不良品の処理の仕方を改良して、全体的に処理の効率化を図ったシステムである。パネル処理システムは、セル工程の一部として構成され、次のモジュール工程に接続されている。このパネル処理システムを図１に示す。このパネル処理システム１は、図示するように、コンベアユニット２と、検査装置３と、リペア装置４と、リペアパネル用カセット５と、リペア不能パネル用カセット６と、パネル送出装置７と、修正パネル移載装置８と、リペアパネル移載装置９と、リペアパネル検査装置１０と、良品パネル移載装置１１と、不良品カセット１２と、パネル受入装置１３と、制御装置１４とから構成されている。
【００１８】
コンベアユニット２は、複数連結されることで、検査対象物である液晶パネル１５を搬送するコンベアを構成するユニットである。コンベアユニット２は、図２に示すように、２枚の枠板１６と、回転ローラ１７と、駆動装置（図示せず）とから構成されている。回転ローラ１７は、回転軸１７Ａに６個の肉厚円板１７Ｂを設けて構成されている。回転ローラ１７は、複数本並列に配設され、２枚の枠板１６で回転可能に支持されている。駆動装置（図示せず）は、回転ローラ１７を回転させて、回転ローラ１７上の液晶パネル１５を搬送するようになっている。駆動装置は既存の装置を用いることができる。
【００１９】
コンベアユニット２は、それぞれ独立して動作するように構成されている。図１においては、１４個のコンベアユニット２（パネル送出装置７及びパネル受入装置１３を含めると１６個）が一列に接続され、この一列のコンベアユニット２の途中に、パネル送出装置７と、パネル受入装置１３とが組み込まれている。各コンベアユニット２は、制御装置１４にそれぞれ接続されて、個別に制御されるようになっている。即ち、各コンベアユニット２が制御装置１４で個別に制御されて、各コンベアユニット２上に載置された各液晶パネル１５の搬送が個別に制御されて、各液晶パネル１５を個別に移動させたり、停止させたりできるようになっている。
【００２０】
図１に示す検査装置３は、液晶パネル１５を検査するための装置である。本実施形態では、検査装置３は、液晶パネル１５を点灯検査する。検査装置３は、複数連結されたコンベアユニット２に併設されている。検査装置３は、要求される処理能力に応じた台数だけ設けられる。本実施形態では、２台の検査装置３がコンベアユニット２に沿って設けられている。処理能力を増やす場合は、３台以上の検査装置３がコンベアユニット２に沿って設けられる。要求される処理能力が小さい場合は、１台の検査装置３が設けられる場合もある。検査装置３としては、既存の検査装置すべてを用いることができる。この検査装置３は、各コンベアユニット２で搬送されている液晶パネル１５を取り出して検査して、検査終了後にもとに戻す。検査装置３による検査結果は制御装置１４で管理される。
【００２１】
リペア装置４は、液晶パネル１５の欠陥を修正するための装置である。リペア装置４は、レーザ光を用いて欠陥を修正する装置や、電圧を印加して欠陥を修正する装置等の、既存のリペア装置すべてを用いることができる。リペア装置４は、複数連結された前記各コンベアユニット２に併設され、検査装置３で不良と判定された液晶パネル１５をコンベアユニット２から取り出してリペア処理を施す。リペア装置４は、制御装置１４に接続され、制御装置１４で管理する欠陥の位置、程度等に基づいてリペア処理が施される。
【００２２】
リペアパネル用カセット５は、修正可能な液晶パネル１５を支持してリペア装置４に組み込まれるカセットである。リペアパネル用カセット５は、コンベアユニット２から取り出した不良の液晶パネル１５のうち修正可能品を収納して、リペア処理のためにリペア装置４に組み込まれる。
【００２３】
リペア不能パネル用カセット６は、修正不可能な液晶パネル１５を収納して保管するためのカセットである。リペア不能パネル用カセット６には、コンベアユニット２から取り出した不良の液晶パネル１５のうち修正不可能品を収納して保管する。リペア不能パネル用カセット６は、一定量の液晶パネル１５が溜まったら、外部に搬出される。
【００２４】
パネル送出装置７は、前記各コンベアユニット２で搬送されてきた液晶パネル１５のうち、検査装置３で不良と判定されたパネル（不良パネル）を外部へ送出するための装置である。パネル送出装置７は、いずれかのコンベアユニット２に一体的に組み込まれている。このパネル送出装置７は、本実施形態では、上流側から８番目のコンベアユニット２に一体的に組み込まれている。このコンベアユニット２の回転ローラ１７は、図２に示すように、仕切り板１６Ａで二分割されて、後述するＸ軸アライメント機構部３７の収納スペースを確保している。
【００２５】
パネル送出装置７は、具体的には図２〜７に示すように主に、リフター１８と、アライメント機構１９と、スライド機構２０とから構成されている。
【００２６】
リフター１８は、液晶パネル１５を持ち上げるための装置である。リフター１８（図４，５参照）は、支持ピン２２と、昇降板２３と、昇降機２４とから構成されている。
【００２７】
支持ピン２２は、液晶パネル１５を支持するための棒材である。この支持ピン２２は、液晶パネル１５を安定して支持できるように、垂直に１２本配設されている。
【００２８】
昇降板２３は、アライメント機構１９及び支持ピン２２を支持して昇降するための板材である。昇降板２３は昇降機２４に支持されている。
【００２９】
昇降機２４は、昇降板２３を支持し、この昇降板２３を介してアライメント機構１９及び支持ピン２２を昇降させるための装置である。具体的には昇降機２４は、液晶パネル１５をリペア装置４側へ送出するときに、支持ピン２２をコンベアユニット２の回転ローラ１７の間から上昇させることで不良の液晶パネル１５を捕捉するようになっている。昇降機２４は、支持板３１と、ガイド棒３２と、昇降シリンダ３３と、昇降支持板３４と、支柱３５とから構成されている。
【００３０】
支持板３１は、昇降板２３を直接支持するための板材である。支持板３１は昇降板２３に一体的に固定されている。ガイド棒３２は、支持板３１の昇降を案内するための棒材である。ガイド棒３２は、支持板３１の下側に一体的に設けられ、垂直方向に配設されている。ガイド棒３２は、支持板３１の下側の少なくとも４カ所に設けられ、支持板３１を安定して昇降させるように案内する。昇降シリンダ３３は、ガイド棒３２で支持された支持板３１及び昇降板２３を介して支持ピン２２を昇降させるための装置である。昇降シリンダ３３の昇降軸３３Ａが支持板３１に固定されている。昇降シリンダ３３は、エアシリンダ等の駆動機構を組み込んで構成され、制御装置１４で制御されている。昇降支持板３４は、昇降シリンダ３３を固定して支持すると共に、ガイド棒３２を昇降可能に支持するための板材である。昇降支持板３４は、支柱３５で支持されている。支柱３５は、装置本体側に固定されている。
【００３１】
アライメント機構１９は、液晶パネル１５の水平方向の位置決めをするための装置である。アライメント機構１９は、図３，４，６，７に示すように、Ｘ軸アライメント機構部３７と、Ｙ軸アライメント機構部３８とから構成されている。
【００３２】
Ｘ軸アライメント機構部３７は、各支持ピン２２で持ち上げた液晶パネル１５のＸ軸方向（搬送方向）の位置を調整するための機構である。Ｘ軸アライメント機構部３７は、支持板４０上に設けられた第１位置決めピン４１及び第２位置決めピン４２から構成されている。支持板４０は、Ｘ軸方向（液晶パネル１５の搬送方向）に細長い長方形板状に形成されている。
【００３３】
第１位置決めピン４１は、液晶パネル１５のＸ軸方向一方の縁部を押圧するための装置である。この第１位置決めピン４１は、当接部４４と、支柱４５と、スライド機構４６とから構成されている。当接部４４は、液晶パネル１５の縁部に直接当接する部材である。当接部４４は、弾性部材で構成されている。支柱４５は、当接部４４を一体的に支持して液晶パネル１５の縁部に当接させるための部材である。スライド機構４６は、支柱４５を介して当接部４４をＸ軸方向にスライドさせるための装置である。スライド機構４６は、スライダ４８と、ガイドレール４９と、駆動部（図示せず）とから構成されている。スライダ４８は、支柱４５に一体的に取り付けられ、ガイドレール４９にスライド可能に嵌合されている。ガイドレール４９は、支持板４０上にＸ軸方向に配設されて、スライダ４８をＸ軸方向に案内する。駆動部は、直動機構等で構成され、スライダ４８をＸ軸方向に移動させる。駆動部は、制御装置１４に接続されて、この制御装置１４で制御される。
【００３４】
第２位置決めピン４２は、液晶パネル１５のＸ軸方向他方の縁部を押圧するための装置である。第２位置決めピン４２は、第１位置決めピン４１と同様に構成されている。即ち、第２位置決めピン４２は、当接部４４と、支柱４５と、スライド機構４６とから構成され、第１位置決めピン４１と逆向きに配設されている。そして、第１位置決めピン４１の当接部４４と、第２位置決めピン４２の当接部４４とが液晶パネル１５を両側から挟んで、Ｘ軸方向の位置決めをするようになっている。
【００３５】
Ｙ軸アライメント機構部３８は、各支持ピン２２で持ち上げた液晶パネル１５のＹ軸方向の位置を調整するための機構である。Ｙ軸アライメント機構部３８は、昇降板２３上に設けられた第１位置決めピン５２及び第２位置決めピン５３から構成されている。支持板２３は、支持ピン２２、Ｘ軸アライメント機構部３７、第１位置決めピン５２及び第２位置決めピン５３を支持している。
【００３６】
第１位置決めピン５２は、液晶パネル１５のＹ軸方向一方の縁部を押圧するための装置である。この第１位置決めピン５２は、当接部５５と、支柱５６と、スライド機構５７とから構成されている。当接部５５は、液晶パネル１５の縁部に直接当接する部材である。当接部５５は、弾性部材で構成されている。支柱５６は、当接部５５を一体的に支持して液晶パネル１５の縁部に当接させるための部材である。スライド機構５７は、支柱５６を介して当接部５５をＹ軸方向にスライドさせるための装置である。スライド機構５７は、スライダ５９と、ガイドレール６０と、駆動部（図示せず）とから構成されている。スライダ５９は、支柱５６に一体的に取り付けられ、ガイドレール６０にスライド可能に嵌合されている。ガイドレール６０は、支持板２３上にＹ軸方向に平行に２本配設されて、スライダ５９をＹ軸方向に案内する。駆動部は、直動機構等で構成され、スライダ５９をＹ軸方向に移動させる。駆動部は、制御装置１４に接続されて、この制御装置１４で制御される。
【００３７】
第２位置決めピン５３は、液晶パネル１５のＹ軸方向他方の縁部を押圧するための装置である。第２位置決めピン５３は、第１位置決めピン５２と同様に構成されている。即ち、第２位置決めピン５３は、当接部５５と、支柱５６と、スライド機構５７とから構成され、第１位置決めピン５２と逆向きに配設されている。そして、第１位置決めピン５２の当接部５５と、第２位置決めピン５３の当接部５５とが液晶パネル１５を両側から挟んで、Ｙ軸方向の位置決めをするようになっている。
【００３８】
スライド機構部２０は、リフター１８で持ち上げられてアライメント機構部１９で位置決めされた液晶パネル１５をリペア装置４側に搬送するための装置である。即ち、スライド機構部２０は、リフター１８とアライメント機構部１９で持ち上げて位置決めされた液晶パネル１５を、支持してリペア装置４側にスライドして、修正パネル移載装置８の位置まで運ぶための装置である。このスライド機構部２０は、図２〜５に示すように、ハンド６２と、スライド装置６３とから構成されている。
【００３９】
ハンド６２は、液晶パネル１５を支持する部材である。ハンド６２は、３本の支持棒６５と、支持板６６とから構成されている。３本の支持棒６５は、コンベアユニット２の各回転ローラ１７の間に位置するように、一定間隔を空けて平行に配設されている。仕切り板１６Ａのうち各支持棒６５が位置する部分には、四角凹部１６Ｂ（図５参照）が設けられている。この四角凹部１６Ｂが、ハンド６２が待機状態のときに、各支持棒６５がそれぞれ嵌合する凹部である。各支持棒６５の上側面には、液晶パネル１５に直接当接して支持するパネル受け６８が設けられている。このパネル受け６８は、一定間隔を空けて複数個（本実施形態では３個）設けられている。パネル受け６８は、弾性部材で構成されて、液晶パネル１５を傷つけることなく安全に支持するようになっている。支持板６６は、３本の支持棒６５の基端部を一体的に支持する板材である。
【００４０】
スライド装置６３は、液晶パネル１５を修正パネル移載装置８側へ搬送するための装置である。スライド装置６３は、上下移動部７０と、左右移動部７１とから構成されている。上下移動部７０は、ハンド６２を支持して上下に移動させるための装置である。上下移動部７０は、上下レール板７３と、上下スライダ７４とから構成されている。上下レール板７３は、レール７５を上下方向に配設する板材である。上下スライダ７４は、ハンド６２に固定された状態でレール７５に嵌り込んで、上下に移動する部材である。上下スライダ７４及びレール７５には、直動機構等の駆動部（図示せず）が組み込まれている。これにより、上下スライダ７４がレール７５に沿って移動されて、ハンド６２が上下に移動されるようになっている。
【００４１】
左右移動部７１は、上下移動部７０を介してハンド６２を左右に移動させるための装置である。左右移動部７１は、左右レール板７７と、左右スライダ７８とから構成されている。左右レール板７７は、レール７９を左右方向に配設する板材である。左右レール板７７は、コンベアユニット２の２枚の枠板１６に架け渡して設けられている。左右レール板７７には、パネル検知センサ７７Ａが設けられている。このパネル検知センサ７７Ａは、コンベアユニット２を搬送されている液晶パネル１５を検知するためのセンサである。このパネル検知センサ７７Ａで検知する液晶パネル１５のうち、検査装置３の検査結果に基づいて制御装置１４で特定した不良パネルを検知したとき、コンベアユニット２を停止させて、液晶パネル１５の移動を停止させる。このパネル検知センサ７７Ａで検知した位置から、予め設定された移動量だけ液晶パネル１５を搬送して停止させるようになっている。この停止位置は、パネル送出装置７の支持ピン２２の直上位置である。
【００４２】
左右スライダ７８は、レール７９に嵌り込んで、左右に移動する部材である。左右スライダ７８及びレール７９には、直動機構が組み込まれて、左右スライダ７８をレール７９に沿って移動させて、ハンド６２を左右に移動させるようになっている。これにより、ハンド６２をリペア装置４側（修正パネル移載装置８側）に、枠板１６からはみ出す位置までスライドさせて、液晶パネル１５を修正パネル移載装置８の位置に搬送するようになっている。直動機構は、制御装置１４に接続されて、この制御装置１４の制御で、ハンド６２を左右に移動させるようになっている。
【００４３】
図１に示す修正パネル移載装置８は、パネル送出装置７で送出された液晶パネル１５を修正可能品と修正不可能品とに振り分けて移載するための装置である。修正パネル移載装置８は、ロボットアーム等の搬送装置で構成されている。この修正パネル移載装置８は、パネル送出装置７のハンド６２に載置された液晶パネル１５を受け取って、修正可能な液晶パネル１５をリペアパネル用カセット５に移載し、修正不可能な液晶パネル１５をリペア不能パネル用カセット６に移載するようになっている。修正パネル移載装置８は、制御装置１４に接続されている。制御装置１４は、検査装置３の検査結果に基づいて修正パネル移載装置８を制御して、修正可能な液晶パネル１５と修正不可能な液晶パネル１５とを特定して振り分けるようになっている。
【００４４】
リペアパネル移載装置９は、リペア装置４でリペア処理が施された液晶パネル１５をリペアパネル検査装置１０に移載するための装置である。リペアパネル移載装置９は、修正パネル移載装置８と同様の装置で構成されている。
【００４５】
リペアパネル検査装置１０は、リペア装置４でリペア処理が施された液晶パネル１５をリペアパネル移載装置９から受け取って検査するための装置である。リペアパネル検査装置１０は、リペア装置４によって液晶パネル１５の欠陥が修正されたか否かを検査する。
【００４６】
良品パネル移載装置１１は、リペアパネル検査装置１０で検査した液晶パネル１５を良品と不良品とに振り分けて移載するための装置である。良品パネル移載装置１１は、良品の液晶パネル１５をパネル受入装置１３に移載し、不良品の液晶パネル１５を不良品カセット１２に移載する。
【００４７】
不良品カセット１２は、リペア装置４で欠陥を修正することができなかった不良品の液晶パネル１５を保管するカセットである。不良品カセット１２は、不良品の液晶パネル１５が一定量たまると、外部へ運び出される。
【００４８】
パネル受入装置１３は、良品パネル移載装置１１から良品の液晶パネル１５を受け取ってコンベアユニット２に戻すための装置である。パネル受入装置１３は、パネル送出装置７と同じ構成で、逆方向に動作するようになっている。パネル受入装置１３は、各コンベアユニット２のいずれかであってパネル送出装置７の下流側のコンベアユニット２に一体的に組み込まれている。具体的には、パネル受入装置１３は、パネル送出装置７を含むコンベアユニット２のうち上流側から１４番目のコンベアユニット２に一体的に組み込まれている。
【００４９】
制御装置１４は、上述した各装置に接続されて、これらを制御するための装置である。この制御装置１４は、検査処理と、検査結果取込み処理と、パネル移動調整処理と、パネル送出処理と、不良パネル振り分け処理と、リペア処理と、リペアパネル移載処理と、リペア検査処理と、良品パネル振り分け処理の各処理機能を備えている。この制御装置１４での具体的な処理については後述する。
【００５０】
[パネル処理方法]
次に、本実施形態のパネル処理方法を、図８のフローチャートに基づいて説明する。
【００５１】
制御装置１４は、製造ラインにおけるセル工程の終わりに、液晶パネル１５に対して、検査処理とリペア処理を施して、モジュール工程に送る。この際に、制御装置１４はまず、検査装置３を作動させて、各コンベアユニット２で搬送されている液晶パネル１５を取り出して検査装置３で検査させて、検査終了後に液晶パネル１５をコンベアユニット２に戻す(ステップＳ１)。
【００５２】
次いで、検査装置３から検査結果を取り込んで制御装置１４内のメモリに記憶する(ステップＳ２)。
【００５３】
次いで、前記検査装置３の検査結果に基づいて、各コンベアユニット２を搬送されている複数の液晶パネル１５のうちから不良パネルを特定する。そして、パネル検知センサ７７Ａの検知により当該不良パネルがパネル送出装置７に位置するとき、このパネル送出装置７が組み込まれたコンベアユニット２を制御してこの不良パネルの移動を停止させる(ステップＳ３)。
【００５４】
次いで、停止した不良パネルをパネル送出装置７でコンベアユニット２から送出する(ステップＳ４)。具体的には、図９（ａ）のように、不良の液晶パネル１５がリフター１８の直上に位置するところでコンベアユニット２を停止して、リフター１８の昇降機２４を作動させる。これにより、図９（ｂ）のように、支持ピン２２が上昇して、液晶パネル１５を持ち上げる。次いで、図９（ｃ）のように、アライメント機構１９のＸ軸アライメント機構部３７が作動して、各当接部４４が液晶パネル１５をその両側から挟むことで、液晶パネル１５のＸ軸方向の位置決めをする。さらに、Ｙ軸アライメント機構部３８が作動して、各当接部５５が液晶パネル１５をその両側から挟むことで、液晶パネル１５のＹ軸方向の位置決めをする。
【００５５】
次いで、図９（ｄ）のように、スライド機構２０の上下移動部７０が作動してハンド６２を上昇させて、各支持棒６５の各パネル受け６８で液晶パネル１５を支持して持ち上げる。次いで、図９（ｅ）のように、左右移動部７１が作動して、ハンド６２を修正パネル移載装置８側へ移動させる。その後、ハンド６２を待機位置（図５の状態）に戻す。
【００５６】
次いで、スライド機構２０で送出された前記不良パネルを修正パネル移載装置８で振り分ける。即ち、前記検査装置３の検査結果に基づいて、修正可能品と修正不可能品とに振り分ける(ステップＳ５)。これにより、修正可能品のみをリペア装置４側であるリペアパネル用カセット５へ移載し、修正不可能品はリペア不能パネル用カセット６へ移載する。
【００５７】
次いで、次の不良パネルがあるか否かを判断する(ステップＳ６)。次の不良パネルがあるときは、ステップＳ３〜Ｓ５を繰り返す。各コンベアユニット２を搬送される液晶パネル１５のうち不良パネルが連続している場合は、連続した不良パネルをすべてリペアパネル用カセット５に取り込んでから、このリペアパネル用カセット５をリペア装置４に設置する。なお、個別に行う場合もある。この場合は、リペアパネル用カセット５に１枚の不良パネルが収納されると、リペアパネル用カセット５がリペア装置４に設置されて、リペア処理が施される。リペアパネル用カセット５は、もとの位置に戻す。この場合は、ステップＳ６の処理は行わない。
【００５８】
次いで、リペアパネル用カセット５内の、修正可能品である液晶パネル１５の欠陥をリペア装置４で修正する(ステップＳ７)。
【００５９】
次いで、リペア装置４でリペア処理が施された液晶パネル１５を、リペアパネル移載装置９でリペアパネル検査装置１０に移載する(ステップＳ８)。
【００６０】
次いで、リペアパネル移載装置９から液晶パネル１５を受け取ったリペアパネル検査装置１０は、液晶パネル１５の欠陥が修正されているか否かを検査する(ステップＳ９)。検査結果は制御装置１４に記録される。
【００６１】
次いで、リペアパネル検査装置１０で検査された修正後の液晶パネル１５のうち、欠陥を修正できなかった不良品パネルを振り分ける。良品パネル移載装置１１で、不良品パネルを不良品カセット１２に移載して保管し、良品パネルのみをパネル受入装置１３に移載してコンベアユニット２に戻す(ステップＳ１０)。
【００６２】
パネル受入装置１３では、スライド機構２０の支持棒６５で液晶パネル１５を受け取ってコンベアユニット２上に戻す。次いで、リフター１８が支持ピン２２を上昇させて、この支持ピン２２で液晶パネル１５を受け取る。必要に応じてアライメント機構１９で液晶パネル１５の位置決めをして、リフター１８で支持ピン２２を下降させて、液晶パネル１５をコンベアユニット２の回転ローラ１７上に載置する。このとき、コンベアユニット２は停止している。次いで、コンベアユニット２を作動させて、液晶パネル１５をモジュール工程へ送る。
【００６３】
このとき、液晶パネル１５が流れてくる間隔を、例えば約３０秒間に１枚とすると、この間に液晶パネル１５をコンベアユニット２に戻せば、他のコンベアユニット２を停止する必要はない。一方、各コンベアユニット２に液晶パネル１５が連続的に搬送されていて、その間隔が３０秒に満たない状態の場合は、パネル受入装置１３の上流側の１つ又は複数のコンベアユニット２を停止させて、リペア済みの液晶パネル１５を製造ラインに戻すスペースを確保する。
【００６４】
以上のように、製造ラインで発生した不良パネルを製造ラインに併設されたリペア装置４に随時取り込んで、製造ラインでの処理と並行して修正し、良品パネルのみを製造ラインに戻すため、生産効率を向上させることができる。
【００６５】
不良パネルのうち修正可能なものに自動的にリペアを施して製造ラインに戻すため、人手により不良パネルをリペア装置４へ運搬する手間が省略でき、生産効率が向上する。
【００６６】
さらに、セル工程ラインの終端には、良品パネルのみが流れていくため、終端での、良品と不良品の振り分けが不要となり、生産効率が向上する。また、次工程のモジュール工程へ直接パネルを流すことが可能となり、この点でも生産効率が向上する。
【００６７】
[変形例]
前記実施形態では、コンベアユニット２にリフター１８、アライメント機構１９及びスライド機構２０を一体的に組み込んだが、図１０に示すように、スライド機構２０のみをコンベアユニット２に組み込んでもよい。リフター１８及びアライメント機構１９は、コンベアユニット２の枠板１６の横に設置される。これにより、スライド機構２０で送出された液晶パネル１５は、リフター１８で受け取られ、アライメント機構１９で位置決めされて、修正パネル移載装置８に渡される。この場合も、前記実施形態同様の効果を奏する。
【００６８】
また、各コンベアユニット２のうちパネル送出装置７及びパネル受入装置１３の上流側に、インラインバッファ装置を設けてもよい。これにより、液晶パネル１５が連続して搬送されている場合でも、液晶パネル１５をインラインバッファ装置で一時的に保管することにより、リペア処理後の液晶パネル１５をコンベアユニット２に容易に戻すことができる。これにより、リペア処理後の液晶パネル１５をコンベアユニット２にスムーズに戻すことができる。なお、インラインバッファ装置としては、本出願人が先に提案した特開２００７−１５７８９号公報記載のインラインバッファ装置を用いることができる。
【００６９】
前記実施形態では、アライメント機構１９をＸ軸アライメント機構部３７とＹ軸アライメント機構部３８とから構成したが、これらに加えてさらにθ軸回転機構を設けてもよい。これにより、ＸＹθ軸方向を正確に位置決めすることができるようになる。
【符号の説明】
【００７０】
１：パネル処理システム、２：コンベアユニット、３：検査装置、４：リペア装置、５：リペアパネル用カセット、６：リペア不能パネル用カセット、７：パネル送出装置、８：修正パネル移載装置、９：リペアパネル移載装置、１０：リペアパネル検査装置、１１：良品パネル移載装置、１２：不良品カセット、１３：パネル受入装置、１４：制御装置、１５：液晶パネル、１６：枠板、１７：回転ローラ、１７Ａ：回転軸、１７Ｂ：肉厚円板、１８：リフター、１９：アライメント機構、２０：スライド機構、２２：支持ピン、２３：昇降板、２４：昇降機、３１：支持板、３２：ガイド棒、３３：昇降シリンダ、３４：昇降支持板、３５：支柱、３７：Ｘ軸アライメント機構部、３８：Ｙ軸アライメント機構部、４０：支持板、４１：第１位置決めピン、４２：第２位置決めピン、４４：当接部、４５：支柱、４６：スライド機構、４８：スライダ、４９：ガイドレール、５２：第１位置決めピン、５３：第２位置決めピン、５５：当接部、５６：支柱、５７：スライド機構、５９：スライダ、６０：ガイドレール、６２：ハンド、６３：スライド装置、６５：支持棒、６６：支持板、６８：パネル受け、７０：上下移動部、７１：左右移動部、７３：上下レール板、７４：上下スライダ、７５：レール、７７：左右レール板、７７Ａ：パネル検知センサ、７８：左右スライダ、７９：レール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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