(57)【要約】【課題】ロットの処理不良を防止することができるとともに、ロット間における処理を均一化することができる基板処理装置を提供する。【解決手段】薬液交換後から薬液処理部ＣＨＢ２に第２搬送機構ＷＴＲが到達した後、薬液処理部ＣＨＢ２にてロットの処理を開始した時間を計時部２７が計時し、その経過時間とオーバータイムカウントとを判断部２９が比較する。経過時間がオーバータイムカウントを超えたと判断部２９が判断すると、報知部３３がオーバータイムアラームを報知する。したがって、許容時間内にロットを薬液処理部ＣＨＢ２で処理開始できなかったことをオペレータは知ることができる。よって、ロットの処理不良を防止することができる。またオーバータイムアラームが発生しない場合には、薬液交換からロットの処理までを一定時間内に収めることができるので、ロット間における処理を均一化することができる。【選択図】図２
2011210315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一枚または複数枚の基板からなるロットを処理液で処理する基板処理装置において、
投入されたロットを受け渡す受け渡し部と、
薬液を貯留し、ロットを収容して薬液による処理を行う薬液処理部と、
純水を貯留し、ロットを収容して純水による処理を行う純水処理部と、
前記受け渡し部と、前記薬液処理部と、前記純水処理部との間でロットを搬送する搬送部と、
前記薬液処理部の薬液が交換された後、前記薬液処理部に前記搬送部が到達した後、前記薬液処理部にてロットの処理を開始するまでの許容時間をオーバータイムカウントとして予め記憶する記憶部と、
前記薬液処理部の薬液が交換された後、前記薬液処理部がロットの処理を行うことができるようになった時点からの経過時間を計時する計時部と、
前記計時部による経過時間が前記記憶部のオーバータイムカウントを超えたか否かを判断する判断部と、
前記判断部による判断の結果、経過時間がオーバータイムカウントを超える場合にはオーバータイムアラームを発生させる報知部と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記記憶部は、前記薬液処理部に搬送される搬送元から前記薬液処理部までロットを搬送した後、前記薬液処理部にてロットの処理を開始するまでに要する時間をオーバータイムカウントとして予め全て記憶し、
前記判断部は、前記薬液処理部に搬送される搬送元に応じたオーバータイムカウントと経過時間とを比較することを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置において、
前記搬送部は、前記報知部によりオーバータイムアラームの障害が除去された場合には、搬送元で待機することを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記計時部は、前記報知部によるオーバータイムアラームが発せられることなく前記搬送部が前記薬液処理部に到達した場合には、経過時間をリセットすることを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記計時部は、前記報知部によるオーバータイムアラームが発せられた後、前記薬液処理部の薬液交換が行われた場合には、経過時間をリセットすることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ用基板、プラズマディスプレイ用基板、有機ＥＬ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスプレイ用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、太陽電池用基板（以下、単に基板と称する）に対して、処理液によって洗浄やエッチングなどの処理を行う基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の装置として、薬液処理部と、純水処理部と、基板搬送部と、制御部とを備えたものが挙げられる（例えば、特許文献１参照）。薬液処理部は、薬液を貯留し、基板に対して薬液による処理を行う。純水処理部は、純水を貯留し、例えば、薬液が付着した基板に対する純水洗浄を行う。基板搬送部は、薬液処理部や純水処理部に対して基板を搬送する。このような装置では、一般的に複数個の薬液処理部と純水処理部とを備え、順次にロット（ひとまとまりの基板の呼称）を装置に投入する際に、制御部がどの処理部へ基板搬送部によりロットを搬送させるかを制御して処理効率を向上させている。
【０００３】
上記のような薬液処理部では、使用する薬液の寿命がプロセス等によって予め決められているのが一般的である。例えば、予め規定した使用回数に達したら、その薬液を廃棄して新たな薬液に交換する方式（「ライフカウント」とも呼ばれる）や、薬液を生成して予め規定した使用時間が経過したら、その薬液を廃棄して新たな薬液に交換する方式（「ライフタイム」とも呼ばれる）がある。
【０００４】
ところで、最近の微細プロセス化に伴い、薬液の品質を一定以上に維持したままでロットを処理するために、一度の使用で薬液を交換するライフカウント＝「１」というものが使われることがある。その場合には、薬液を交換した後、処理温度で一定に保つために温調が行われる。しかし、ロットが装置に投入されるまでに時間が空く場合には、薬液交換のタイミングを、ロットが装置に投入されるまで行わない手法（「節約型液交換モード」とも呼ばれる）がとられることがある。これにより温調の電力を節約することができる。
【０００５】
また、上記の装置では、薬液によるロットの処理を均一化するため、薬液が交換されてから所定時間内にロットが薬液処理部に投入されるようにしている。そのために、薬液交換は、ロットが装置に投入されてから、基板搬送部による搬送時間等を考慮して行われる。そして、薬液処理部に到達する到達予想時刻を算出し、その時間から温調を含む薬液交換に要する時間を逆算して、その時点から薬液交換を開始する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−２６１６１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、ロットが投入されてから薬液交換の予定が立てられるので、例えば、ロットの投入後に搬送系が故障（基板搬送部やシャッター等の動作不良）した場合や、薬液処理部が故障（例えば、温調不良や濃度不良など）した場合には、薬液の交換後、所定時間内でロットが薬液処理部に投入されない事態が生じ得る。所定時間内にロットが薬液処理部に搬入されない場合には、ロットを構成している基板の全てが処理不良となる。
【０００８】
そこで、故障箇所を復旧させた後、装置オペレータが操作パネルから薬液交換を意図的に指示し、薬液交換が完了した後にアラームを解除して処理を再開させることが人為的に行われる。但し、装置オペレータの熟練度によっては、薬液交換を行うことなく単にアラームを解除して処理を再開させてしまう恐れがあるので、処理にバラツキが生じる恐れがある。
【０００９】
また、ライフカウントを「１」として運用される場合、薬液交換から所定時間内にロットが薬液処理部で実際に処理されるか否かについては監視されていない。したがって、薬液処理部へロットの到着タイミングにバラツキが生じると、薬液交換後からロットが処理されるまでの時間がばらつく恐れがある。その結果、ロット間において処理に差異が生じる恐れがある。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、薬液交換後から薬液処理部への搬送部の到達時間を監視することにより、ロットの処理不良を防止することができるとともに、ロット間における処理を均一化することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、一枚または複数枚の基板からなるロットを処理液で処理する基板処理装置において、投入されたロットを受け渡す受け渡し部と、薬液を貯留し、ロットを収容して薬液による処理を行う薬液処理部と、純水を貯留し、ロットを収容して純水による処理を行う純水処理部と、前記受け渡し部と、前記薬液処理部と、前記純水処理部との間でロットを搬送する搬送部と、前記薬液処理部の薬液が交換された後、前記薬液処理部に前記搬送部が到達した後、前記薬液処理部にてロットの処理を開始するまでの許容時間をオーバータイムカウントとして予め記憶する記憶部と、前記薬液処理部の薬液が交換された後、前記薬液処理部がロットの処理を行うことができるようになった時点からの経過時間を計時する計時部と、前記計時部による経過時間が前記記憶部のオーバータイムカウントを超えたか否かを判断する判断部と、前記判断部による判断の結果、経過時間がオーバータイムカウントを超える場合にはオーバータイムアラームを発生させる報知部と、を備えていることを特徴とするものである。
【００１２】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、薬液処理部の薬液交換後、搬送部が受け渡し部や純水処理部などからロットを薬液処理部に搬送する。そのとき、薬液交換後から薬液処理部に搬送部が到達した後、薬液処理部にてロットの処理を開始するまでの時間を計時部が計時し、その経過時間とオーバータイムカウントとを判断部が比較する。経過時間がオーバータイムカウントを超えたと判断部が判断すると、報知部がオーバータイムアラームを報知する。したがって、何らかの障害により搬送部が許容時間内にロットを薬液処理部に搬送できなかったことをオペレータは知ることができる。よって、処理を停止させる等の措置をオペレータがとることができ、ロットの処理不良を防止することができる。またオーバータイムアラームが発生しない場合には、薬液交換からロットの処理までを一定時間内に収めることができるので、ロット間における処理を均一化することができる。
【００１３】
また、本発明において、前記記憶部は、前記薬液処理部に搬送される搬送元から前記薬液処理部までロットを搬送した後、前記薬液処理部にてロットの処理を開始するまでに要する時間をオーバータイムカウントとして予め全て記憶し、前記判断部は、前記薬液処理部に搬送される搬送元に応じたオーバータイムカウントと経過時間とを比較することを特徴とすることが好ましい（請求項２）。オーバータイムカウントは、受け渡し部から薬液処理部、純水処理部から薬液処理部のように、搬送部により薬液処理部へ搬送される際の搬送元に応じて異なる。そこで、薬液処理部に搬送される全ての組み合わせにおけるオーバータイムカウントを記憶部が記憶しておき、判断部が搬送元に応じたオーバータイムカウントを基準とすることにより、搬送元に応じてオーバータイムアラームの有無を適切に判断することができる。
【００１４】
また、本発明において、前記搬送部は、前記報知部によりオーバータイムアラームの障害が除去された場合には、搬送元で待機することが好ましい（請求項３）。オーバータイムカウントは、搬送元から薬液処理部への移動に要する時間である。したがって、搬送部を薬液処理部までの途中で停止させると、障害の復旧後に処理を再開すると、オーバータイムカウントと経過時間の比較が無意味となるが、搬送部が搬送元に戻って待機することで、オーバータイムカウントを適切な基準とすることができる。
【００１５】
また、本発明において、前記計時部は、前記報知部によるオーバータイムアラームが発せられることなく前記搬送部が前記薬液処理部に到達した場合には、経過時間をリセットすることが好ましい（請求項４）。オーバータイムアラームが発生しなかった場合には、計時部をリセットすることで、次の計時を適切に行うことができる。
【００１６】
また、本発明において、前記計時部は、前記報知部によるオーバータイムアラームが発せられた後、前記薬液処理部の薬液交換が行われた場合には、経過時間をリセットすることが好ましい（請求項５）。オーバータイムアラームが発せられ、薬液処理部の薬液交換が行われた後、計時部をリセットすることで、次の計時を適切に行うことができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る基板処理装置によれば、薬液交換後から薬液処理部に搬送部が到達した後、薬液処理部にてロットの処理を開始するまでの時間を計時部が計時し、その経過時間とオーバータイムカウントとを判断部が比較する。経過時間がオーバータイムカウントを超えたと判断部が判断すると、報知部がオーバータイムアラームを報知する。したがって、何らかの障害により搬送部が許容時間内にロットを薬液処理部に搬送できなかったことをオペレータは知ることができる。したがって、処理を停止させる等の措置をオペレータがとることができ、ロットの処理不良を防止することができる。またオーバータイムアラームが発生しない場合には、薬液交換からロットの投入までを一定化できるので、ロット間における処理を均一化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置のブロック図である。
【図３】動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
図１は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す平面図であり、図２は、実施例に係る基板処理装置のブロック図である。
【００２０】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理、純水洗浄処理、乾燥処理を行うための装置である。カセット１は、複数枚（例えば２５枚）を水平姿勢で収納する。例えば、このカセット１内の複数枚の基板Ｗは、処理の単位となる１ロットとして取り扱われる。但し、１枚の基板Ｗであってもカセット１に収容され、それが１ロットとして扱われることもある。未処理のロットを収納したカセット１は、投入部３に載置される。投入部３は、カセット１を載置するための載置台５を二つ備えている。投入部３に隣接する位置には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済のロットをカセット１に収納してカセット１ごと払い出す。払出部７は、投入部３と同様に、カセット１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００２１】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間で移動可能に構成された第１搬送機構ＣＴＣが配備されている。第１搬送機構ＣＴＣは、投入部３に載置されたカセット１に収納されているロットを取り出した後、第２搬送機構ＷＴＲに対してロットを搬送する。また、第１搬送機構ＣＴＣは、第２搬送機構ＷＴＲから処理済のロットを受け取った後、ロットをカセット１に収納する。第２搬送機構ＷＴＲは、基板処理装置の長手方向に移動可能である。
【００２２】
第２搬送機構ＷＴＲは、受け渡し位置ｈｐにおいて、第１搬送機構ＣＴＣとの間でロットの受け渡しを行う。受け渡し位置ｈｐは、乾燥処理部ＬＰＤよりも第１搬送機構ＣＴＣ側に位置し、第２搬送機構ＷＴＲの搬送における位置出しの基準位置となる。また、第２搬送機構ＷＴＲは、例えば、位置ｐｓ１〜ｐｓ５の５カ所の各位置に停止可能に構成されている。
【００２３】
なお、第２搬送機構ＷＴＲが本発明における「搬送部」に相当し、受け渡し位置ｈｐが本発明における「受け渡し部」に相当する。
【００２４】
上述した第２搬送機構ＷＴＲの移動方向における最も手前側（受け渡し位置ｈｐ）には、乾燥処理部ＬＰＤが配置されている。乾燥処理部ＬＰＤは、低圧のチャンバ内にロットを収容して乾燥させる。
【００２５】
第２搬送機構ＷＴＲの移動方向であって、乾燥処理部ＬＰＤに隣接し、乾燥処理部ＬＰＤを挟んだ第１搬送機構ＣＴＣの反対側には、第１処理部１９が配置されている。この第１処理部１９は、純水洗浄処理部ＯＮＢ１と薬液処理部ＣＨＢ１とを備えている。純水洗浄処理部ＯＮＢ１は、ロットに対して純水洗浄処理を行う。薬液処理部ＣＨＢ１は、ロットに対して薬液処理を行う。また、第１処理部は、副搬送機構ＬＦＳ１を備えている。この副搬送機構ＬＦＳ１は、第２搬送機構ＷＴＲとの間でロットを受け渡すとともに、純水洗浄処理部ＯＮＢ１と薬液処理部ＣＨＢ１の位置でのみ昇降可能である。
【００２６】
第１処理部に隣接した位置には、第２処理部２１が配置されている。第２処理部２１は、上述した第１処理部１９と同じ構成である。つまり、第２処理部２１は、純水洗浄処理部ＯＮＢ２と、薬液処理部ＣＨＢ２と、副搬送機構ＬＦＳ２とを備えている。
【００２７】
載置台５側には、指示部２３が付設されている。この指示部２３は、装置のオペレータによって操作される。例えば、ロットを処理するための手順を規定したレシピと、載置台５に載置したカセット１のロットとを対応づけるためにレシピ番号を指示する。また、基板処理装置において障害が発生した際、障害を取り除く処置をした後、装置による処理を再開させるための指示を行う。
【００２８】
上述したように構成された基板処理装置は、図２に示すブロック図に示すように制御部２５によって統括的に制御される。
【００２９】
制御部２５は、図示しないＣＰＵやスケジューリング部などを備えている。制御部２５は、図示しない内部メモリを備え、内部メモリは、スケジュールを作成するプログラムと、作成されたスケジュールと、スケジュールを実行する処理プログラムなどが格納されている。スケジュールを作成するプログラムは、指示部２３で指示されたレシピに基づいてロットをどのようなタイミングで各処理部に搬送するかを規定する。制御部２５は、計時部２７と判断部２９とを備えている。計時部２７は、制御部２５の制御下で、経過時間を計測する。計時部２７は、制御部２５の開始命令により、経過時間を計測し始め、リセット命令により経過時間がゼロにされる。なお、判断部２９については後述する。
【００３０】
制御部２５には、メモリ３１が接続されている。このメモリ３１は、オーバータイムカウントを予め記憶している。オーバータイムカウントとは、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２の薬液が交換された後、第２搬送機構ＷＴＲが薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２に到達し、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２でロット処理を開始するまでの経過時間の限界値をいう。換言すると、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２において薬液が交換されてから、薬液が交換された薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２が、プロセス的に許容できる品質を保つことができる経過時間の限界値である。このような許容時間としてオーバータイムカウントが設定されるのは、新たに生成された薬液でのロットの処理が１度だけに限定されている場合（ライフカウントが「１」である場合）であって、かつ、薬液が生成されてからロットを処理するまでの時間が規定されているプロセスの場合である。
【００３１】
オーバータイムカウントは、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２に第２搬送機構ＷＴＲが到達し、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２でロット処理を開始するまでの時間である。しかし、第２搬送機構ＷＴＲの搬送速度は一定であると仮定すると、搬送元が異なれば薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２へ到達するまでの時間が搬送元ごとに異なる。したがって、第２搬送機構ＷＴＲが薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２へロットを搬送する可能性がある搬送元を基準として、第２搬送機構ＷＴＲが何のトラブルもなく正常に動作する条件において、各搬送元から薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２へロットを搬送し、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２でロット処理を開始するのに要する搬送時間を予め測定しておく。または、第２搬送機構ＷＴＲの搬送速度と、搬送元から搬送先までの距離とから求められる理論的な搬送時間を求めておいてもよい。そして、搬送時間と薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２へのロット搬送後に薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２でロット処理を開始するまでの時間とを加えた時間にマージン（例えば、１０％）を加えた時間をオーバータイムカウントとして求めてメモリ３１に予め記憶させておくことが好ましい。
【００３２】
例えば、搬送元が受け渡し位置ｈｐであって、搬送先が薬液処理部ＣＨＰ１である場合のオーバータイムカウントＴ１と、搬送元が受け渡し位置ｈｐであって、搬送先が薬液処理部ＣＨＢ２である場合のオーバータイムカウントＴ２と、搬送元が純水洗浄処理部ＯＮＢ１であって、搬送先が薬液処理部ＣＨＢ１である場合のオーバータイムカウントＴ３と、搬送元が純水洗浄処理部ＯＮＢ２であって、搬送先が薬液処理部ＣＨＢ２である場合のオーバータイムカウントＴ４とを予めメモリ３１に格納しておく。
【００３３】
判断部２９は、次のような機能を有する。薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２のいずれかで薬液交換が完了すると、制御部２５の命令により、計時部２７が経過時間を計時し始める。判断部２９は、メモリ３１のオーバータイムカウントのうち、搬送元に応じたオーバータイムカウントと、経過時間とを比較する。そして、経過時間がオーバータイムカウントを超えたか否かを判断する。経過時間がオーバータイムカウントを超えた場合には、報知部３３に対して報知を行うように命令を出力する。
【００３４】
報知部３３は、例えば、発光することにより報知するランプや、音声により報知するブザーやスピーカなどがある。報知部３３は、判断部２９から命令を受けた場合に、発光や音声により、装置にオーバータイムカウントに係る異常が発生したことを報知する。
【００３５】
報知部３３による報知により、例えば装置のオペレータが装置の障害に対処し、障害が除去された場合には、制御部２５は、第２搬送機構ＷＴＲを搬送元へと戻す制御を行うとともに、計時部２７にリセット命令を出力して経過時間をゼロに戻させることが好ましい。また、オーバータイムカウントに係る異常が発生せず、正常にロットが搬送された場合であっても、制御部２５は計時部２７に対してリセット命令を出力して、次の計時に備えて経過時間をゼロに戻させることが好ましい。そして、オペレータは指示部２３を操作して、処理の再開を指示し、これを受けて制御部２５は、搬送元に戻した第２搬送機構ＷＴＲによる搬送を再開させる。
【００３６】
次に、図３を参照して、上述した構成の装置による動作について説明する。なお、図３は、動作を示すフローチャートである。
【００３７】
ここでは、ロットが薬液処理部ＣＨＢ２で薬液処理され、このロットはライフカウントが１である場合を例にとって説明する。
【００３８】
ステップＳ１，Ｓ２
オペレータがロットを投入し、指示部２３を介してレシピを指示する。すると、制御部２５は、そのレシピにより薬液処理部ＣＨＢ２による処理が行われると判断し、しかもライフカウントが１であると判断する。そこで、投入から所定時間後、薬液交換に要する時間や第１搬送機構ＣＴＣによる搬送時間、第１搬送機構ＣＴＣから第２搬送機構ＷＴＲへの受け渡しに要する時間等を考慮して、薬液処理部ＣＨＢ２に薬液交換を指示する。薬液処理部ＣＨＢ２は、その指示により薬液交換を開始する。
【００３９】
ステップＳ３
薬液交換が完了したことを受けて、制御部２５は、計時部２７に対して開始命令を出力する。計時部２７は、これを受けて経過時間を計時し始める。これと同時に、受け渡し位置ｈｐにおいてロットを搬送可能になっている第２搬送機構ＷＴＲに対して薬液処理部ＣＨＢ２への搬送を指示する。
【００４０】
ステップＳ４
判断部２９は、計時部２７からの経過時間と、メモリ３１のオーバータイムカウントＴ２とを逐次比較する。その比較の結果、経過時間がオーバータイムカウントＴ２を超える場合には、ステップＳ５へ処理を移行する。なお、経過時間がオーバータイムカウントを超える場合としては、例えば、第２搬送機構ＷＴＲの搬送系に故障が生じて、搬送が正常に行われない場合や、薬液処理部ＣＨＢ２の温調系に故障が生じて、処理温度に薬液の温度を維持できない場合や、薬液濃度が目標濃度からズレ始めた場合などが想定される。
【００４１】
ステップＳ５
判断部２９は、報知部３３へ報知を行うように命令を出力する。報知部３３は、装置のオペレータにオーバータイムアラームを知らせる。
【００４２】
ステップＳ６
制御部２５は、障害が除去されるまで今の状態を維持する。具体的には、指示部２３が操作されて、処理の再開が指示されるまで現状を維持する。
【００４３】
ステップＳ７
制御部２５は、第２搬送機構ＷＴＲを、ロットを保持させたままで搬送元である受け渡し位置ｈｐへ戻す。第２搬送機構ＷＴＲが搬送元に戻って待機することで、オーバータイムカウントＴ２を適切な基準とすることができる。
【００４４】
ステップＳ８，Ｓ９
制御部２５は、処理の再開の指示を受けて、薬液処理部ＣＨＢ２に対して薬液の交換を指示する。制御部２５は、薬液処理部ＣＨＢ２での薬液交換が終了するまで状態を維持する。薬液交換が完了すると、次のステップＳ１０へ移行する。
【００４５】
ステップＳ１０
制御部２５は、薬液交換の完了を受けて、計時部２７に対してリセット命令を出力して、経過時間をゼロにさせる。このリセット命令により、次の計時を適切に行うことができる。
【００４６】
ステップＳ１１
制御部２５は、第２搬送機構ＷＴＲに対して搬送開始を指示するとともに、計時部２７に対して開始命令を出力する。そして、上述したステップＳ４へ戻って処理を継続する。
【００４７】
ここで、ステップＳ４において経過時間がオーバータイムカウントＴ２を超えなかった場合について説明する。
【００４８】
ステップＳ１２，Ｓ１３
制御部２５は、第２搬送機構ＷＴＲがオーバータイムカウントＴ２以内に薬液処理部ＣＨＢ２へ到達した後、薬液処理部ＣＨＢ２にてロットの処理を開始したことを受けて、計時部２７へリセット命令を出力する。このリセット命令により、次の計時を適切に行うことができる。そして、ロットに対する薬液処理以降の処理を継続する。
【００４９】
上述したように、薬液交換後から薬液処理部ＣＨＢ２に第２搬送機構ＷＴＲが到達する時間を計時部２７が計時し、その経過時間とオーバータイムカウントＴ２とを判断部２９が比較する。経過時間がオーバータイムカウントＴ２を超えたと判断部２９が判断すると、報知部３３がオーバータイムアラームを報知する。したがって、何らかの障害により第２搬送機構ＷＴＲが許容時間内にロットを薬液処理部ＣＨＢ２に搬送できなかったことをオペレータは知ることができる。よって、ロットの処理不良を防止することができる。またオーバータイムアラームが発生しない場合には、薬液交換からロットの処理までを一定時間内に収めることができるので、ロット間における処理を均一化することができる。
【００５０】
また、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２に搬送される全ての組み合わせにおけるオーバータイムカウントをメモリ３１が記憶しているので、判断部２９が搬送元に応じてオーバータイムアラームの有無を適切に判断することができる。
【００５１】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００５２】
（１）上述した実施例では、図１に示すような構成の装置を例に採ったが、本発明はこのような配置の装置に限定されるものではない。
【００５３】
（２）上述した実施例では、搬送先が薬液処理部ＣＨＢ２であるのオーバータイムカウントＴ２を例にとって説明したが、搬送先が異なる場合には、メモリ３１に記憶されている、対応する搬送元と搬送先のオーバータイムカウントと経過時間とを比較すればよい。
【００５４】
（３）上述した実施例では、オーバータイムアラームが生じた場合には、第２搬送機構ＷＴＲを搬送元に戻すようにした。しかし、受け渡し位置ｈｐや、位置ｐｓ１〜ｐｓ５の他にアラーム発生時の待機位置がある場合には、必ずしも搬送元に戻さなくてもよい。その場合には、アラーム発生時の待機位置から搬送先へのオーバータイムカウントをメモリ３１に予め記憶させておき、処理の再開時にはそのオーバータイムカウントと経過時間とを比較するようにすればよい。
【符号の説明】
【００５５】
Ｗ  …  基板
１  …  カセット
３  …  投入部
５，９  …  載置台
ＣＴＣ  …  第１搬送機構
ＷＴＲ  …  第２搬送機構
ｈｐ  …  受け渡し位置
ｐｓ１〜ｐｓ５  …  位置
ＬＰＤ  …  乾燥処理部
１９  …  第１処理部
ＯＮＢ１  …  純水洗浄処理部
ＣＨＢ１  …  薬液処理部
ＬＦＳ１  …  副搬送機構
２１  …  第２処理部
ＯＮＢ２  …  純水洗浄処理部
ＣＨＢ２  …  薬液処理部
ＬＦＳ２  …  副搬送機構
２３  …  指示部
２５  …  制御部
２７  …  計時部
２９  …  判断部
３１  …  メモリ
３３  …  報知部
【図１】
2011210315.tif 000003
【図２】
2011210315.tif 000004
【図３】
2011210315.tif 000005