(57)【要約】      （修正有）【課題】マスクストッカー内でマスク受けに支持されたマスクに位置ずれが発生しても、マスクストッカーからマスクホルダへ搬送されたマスクの位置ずれを小さくする。【解決手段】複数のマスク２を収納するマスクストッカー４０に、複数のマスク受け４２によりマスク２の縁を支持してマスク２を収納する複数のマスク収納部４０ａと、複数のマスク受け４２によりマスク２の縁を支持しながら、複数のマスク位置決め装置５０ａ，５０ｂによりマスク２の位置決めを行うマスク位置決め部４０ｂとを設ける。マスク２を搭載するハンドリングアームを有するマスク搬送装置により、マスク収納部４０ａに収納されていたマスク２をマスク位置決め部４０ｂへ移動し、マスク位置決め部４０ｂで位置決めされたマスク２をマスクホルダへ搬送する。【選択図】図４
2011248217.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
複数のマスクを収納するマスクストッカーと、
マスクを搭載するハンドリングアームを有するマスク搬送装置とを備え、
前記マスクストッカーは、
複数のマスク受けを有し、該複数のマスク受けによりマスクの縁を支持してマスクを収納する複数のマスク収納部と、
複数のマスク受けと複数のマスク位置決め装置とを有し、該複数のマスク受けによりマスクの縁を支持しながら、該複数のマスク位置決め装置によりマスクの位置決めを行うマスク位置決め部とを含み、
前記マスク搬送装置は、前記マスク収納部に収納されていたマスクを、前記マスク位置決め部へ移動し、前記マスク位置決め部で位置決めされたマスクを、前記マスクホルダへ搬送することを特徴とするプロキシミティ露光装置。
【請求項２】
各マスク位置決め装置は、マスクの側面に接触する接触部材と、該接触部材をマスクの側面に押し付ける押し付け機構とを有し、前記押し付け機構により前記接触部材をマスクの側面に押し付けて、前記マスク位置決め部の前記複数のマスク受けに支持されたマスクの位置決めを行うことを特徴とする請求項１に記載のプロキシミティ露光装置。
【請求項３】
各マスク位置決め装置は、前記接触部材の移動範囲を制限するストッパーを有し、
各マスク位置決め装置の前記押し付け機構は、前記接触部材を、マスクの向かい合う二辺で異なる力でマスクの側面に押し付けることを特徴とする請求項２に記載のプロキシミティ露光装置。
【請求項４】
基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法であって、
複数のマスクを収納するマスクストッカーに、
複数のマスク受けを有し、複数のマスク受けによりマスクの縁を支持してマスクを収納する複数のマスク収納部と、
複数のマスク受けと複数のマスク位置決め装置とを有し、複数のマスク受けによりマスクの縁を支持しながら、複数のマスク位置決め装置によりマスクの位置決めを行うマスク位置決め部とを設け、
マスクを搭載するハンドリングアームを有するマスク搬送装置により、マスク収納部に収納されていたマスクをマスク位置決め部へ移動し、マスク位置決め部で位置決めされたマスクをマスクホルダへ搬送することを特徴とするプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法。
【請求項５】
各マスク位置決め装置に、マスクの側面に接触する接触部材と、接触部材をマスクの側面に押し付ける押し付け機構とを設け、押し付け機構により接触部材をマスクの側面に押し付けて、マスク位置決め部の複数のマスク受けに支持されたマスクの位置決めを行うことを特徴とする請求項４に記載のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法。
【請求項６】
各マスク位置決め装置に、接触部材の移動範囲を制限するストッパーを設け、
各マスク位置決め装置の押し付け機構が接触部材をマスクの側面に押し付ける力を、マスクの向かい合う二辺で異ならせることを特徴とする請求項５に記載のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の製造において、プロキシミティ方式を用いて基板の露光を行うプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法に係り、特に、マスクをマスク搬送装置によりマスクストッカーからマスクホルダへ搬送するプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。
【０００３】
プロキシミティ露光装置は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクホルダに保持されたマスクとチャックに支持された基板とを極めて接近させて露光を行う。マスクホルダは、露光光が通過する開口と、開口の周囲に設けられた吸着溝とを有し、吸着溝によりマスクの周辺部を真空吸着して、マスクをチャックに支持された基板に向かい合わせて保持する。
【０００４】
一般に、プロキシミティ露光装置には、使用していないマスクを収納するマスクストッカーが設けられており、マスクストッカー内には、複数のマスクが上下に並べて収納されている。マスクストッカーに収納されていたマスクは、マスク搬送装置により、マスクホルダへ搬送される。特許文献１には、マスク搬送装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−８６３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
マスクストッカー内には、マスクの縁を複数箇所で支持する複数のマスク受けが設けられている。各マスク受けは、先端がＬ字形になっており、Ｌ字形の底面の部分でマスクの下面の縁を支持し、Ｌ字形の側面の部分でマスクの横ずれによる落下を防止している。このＬ字形の側面の部分は、マスク搬送装置がマスク受けからマスクを持ち上げるときの動作のばらつきを考慮して、マスクの側面から１ｍｍ程度離して設ける必要がある。しかしながら、このＬ字形の側面の部分をマスクの側面から離して設けると、マスクストッカー内でマスク受けに支持されたマスクに位置ずれが発生する可能性がある。
【０００７】
マスクホルダには、マスクをマスク搬送装置から受け取ってマスクホルダの下面に押し当てるリフト機構と、マスクの側面を押してマスクの位置決めを行う位置決め機構とが設けられている。位置決め機構によるマスクの位置決めは、マスクに設けられた位置決め用マークを光学的に検出して行われるが、その検出範囲は、レンズ倍率の関係で数百μｍ角と狭くなっている。そのため、マスクストッカー内でマスクの位置が大きくずれると、マスクストッカーからマスクホルダへ搬送されたマスクの位置ずれが大きくなって、マスクの位置決め用マークを検出することができないという問題が発生する。その場合、マスクの位置の補正に時間が掛かり、マスクをマスクホルダへ装着する作業に多大な労力を要する結果となる。
【０００８】
本発明の課題は、マスクストッカー内でマスク受けに支持されたマスクに位置ずれが発生しても、マスクストッカーからマスクホルダへ搬送されたマスクの位置ずれを小さくすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のプロキシミティ露光装置は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、複数のマスクを収納するマスクストッカーと、マスクを搭載するハンドリングアームを有するマスク搬送装置とを備え、マスクストッカーが、複数のマスク受けを有し、複数のマスク受けによりマスクの縁を支持してマスクを収納する複数のマスク収納部と、複数のマスク受けと複数のマスク位置決め装置とを有し、複数のマスク受けによりマスクの縁を支持しながら、複数のマスク位置決め装置によりマスクの位置決めを行うマスク位置決め部とを含み、マスク搬送装置が、マスク収納部に収納されていたマスクを、マスク位置決め部へ移動し、マスク位置決め部で位置決めされたマスクを、マスクホルダへ搬送するものである。
【００１０】
また、本発明のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法であって、複数のマスクを収納するマスクストッカーに、複数のマスク受けを有し、複数のマスク受けによりマスクの縁を支持してマスクを収納する複数のマスク収納部と、複数のマスク受けと複数のマスク位置決め装置とを有し、複数のマスク受けによりマスクの縁を支持しながら、複数のマスク位置決め装置によりマスクの位置決めを行うマスク位置決め部とを設け、マスクを搭載するハンドリングアームを有するマスク搬送装置により、マスク収納部に収納されていたマスクをマスク位置決め部へ移動し、マスク位置決め部で位置決めされたマスクをマスクホルダへ搬送するものである。
【００１１】
マスクストッカーに、複数のマスク受けによりマスクの縁を支持してマスクを収納する複数のマスク収納部と、複数のマスク受けによりマスクの縁を支持しながら、複数のマスク位置決め装置によりマスクの位置決めを行うマスク位置決め部とを設け、マスク収納部に収納されていたマスクを、マスク位置決め部へ移動して、マスク位置決め部でマスクの位置決めを行い、マスク位置決め部で位置決めされたマスクをマスクホルダへ搬送するので、マスクストッカーのマスク収納部内でマスク受けに支持されたマスクに位置ずれが発生しても、マスクストッカーのマスク位置決め部からマスクホルダへ搬送されたマスクの位置ずれが小さくなる。
【００１２】
さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、各マスク位置決め装置が、マスクの側面に接触する接触部材と、接触部材をマスクの側面に押し付ける押し付け機構とを有し、押し付け機構により接触部材をマスクの側面に押し付けて、マスク位置決め部の複数のマスク受けに支持されたマスクの位置決めを行うものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法は、各マスク位置決め装置に、マスクの側面に接触する接触部材と、接触部材をマスクの側面に押し付ける押し付け機構とを設け、押し付け機構により接触部材をマスクの側面に押し付けて、マスク位置決め部の複数のマスク受けに支持されたマスクの位置決めを行うものである。マスクを搭載してＸＹ方向へ移動するステージ等の複雑な装置を用いることなく、接触部材と押し付け機構とを用いた簡単な構成で、マスク位置決め部の複数のマスク受けに支持されたマスクの位置決めが行われる。
【００１３】
さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、各マスク位置決め装置が、接触部材の移動範囲を制限するストッパーを有し、各マスク位置決め装置の押し付け機構が、接触部材を、マスクの向かい合う二辺で異なる力でマスクの側面に押し付けるものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法は、各マスク位置決め装置に、接触部材の移動範囲を制限するストッパーを設け、各マスク位置決め装置の押し付け機構が接触部材をマスクの側面に押し付ける力を、マスクの向かい合う二辺で異ならせるものである。各マスク位置決め装置の押し付け機構が接触部材をマスクの側面に押し付ける力を、マスクの向かい合う二辺で異ならせるので、押し付け機構の力が強い側の接触部材の移動範囲が、ストッパーにより一定になり、マスクの向かい合う二辺のうちの当該接触部材が接触している一辺が常に同じ位置に来る。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、マスクストッカーに、複数のマスク受けによりマスクの縁を支持してマスクを収納する複数のマスク収納部と、複数のマスク受けによりマスクの縁を支持しながら、複数のマスク位置決め装置によりマスクの位置決めを行うマスク位置決め部とを設け、マスク収納部に収納されていたマスクを、マスク位置決め部へ移動して、マスク位置決め部でマスクの位置決めを行い、マスク位置決め部で位置決めされたマスクをマスクホルダへ搬送することにより、マスクストッカーのマスク収納部内でマスク受けに支持されたマスクに位置ずれが発生しても、マスクストッカーのマスク位置決め部からマスクホルダへ搬送されたマスクの位置ずれを小さくすることができる。
【００１５】
さらに、各マスク位置決め装置に、マスクの側面に接触する接触部材と、接触部材をマスクの側面に押し付ける押し付け機構とを設け、押し付け機構により接触部材をマスクの側面に押し付けて、マスク位置決め部の複数のマスク受けに支持されたマスクの位置決めを行うことにより、マスクを搭載してＸＹ方向へ移動するステージ等の複雑な装置を用いることなく、接触部材と押し付け機構とを用いた簡単な構成で、マスク位置決め部の複数のマスク受けに支持されたマスクの位置決めを行うことができる。
【００１６】
さらに、各マスク位置決め装置に、接触部材の移動範囲を制限するストッパーを設け、各マスク位置決め装置の押し付け機構が接触部材をマスクの側面に押し付ける力を、マスクの向かい合う二辺で異ならせることにより、押し付け機構の力が強い側の接触部材の移動範囲を、ストッパーにより一定にして、マスクの向かい合う二辺のうちの当該接触部材が接触している一辺を常に同じ位置にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】チャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。
【図３】マスク搬送ロボットの上面図である。
【図４】マスクストッカーの内部の側面図である。
【図５】マスク位置決め部の上面図である。
【図６】図６（ａ）はマスク位置決め装置の上面図、図６（ｂ）は同側面図である。
【図７】マスク位置決め装置の動作を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。また、図２は、チャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。プロキシミティ露光装置は、ベース３、Ｘガイド４、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、チャック支持台９、チャック１０、マスクホルダ２０、マスク搬送ロボット３０、及びマスクストッカー４０を含んで構成されている。プロキシミティ露光装置は、これらの他に、基板をチャック１０へ搬入し、また基板をチャック１０から搬出する基板搬送ロボット、露光光を照射する照射光学系、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。
【００１９】
なお、以下に説明する実施の形態におけるＸＹ方向は例示であって、Ｘ方向とＹ方向とを入れ替えてもよい。
【００２０】
図１において、チャック１０は、基板のロード及びアンロードを行うロード／アンロード位置にある。ロード／アンロード位置において、図示しない基板搬送ロボットにより、基板がチャック１０へ搬入され、また基板がチャック１０から搬出される。チャック１０への基板のロード及びチャック１０からの基板のアンロードは、チャック１０に設けた複数の突き上げピンを用いて行われる。突き上げピンは、チャック１０の内部に収納されており、チャック１０の内部から上昇して、基板をチャック１０にロードする際、基板搬送ロボットから基板を受け取り、基板をチャック１０からアンロードする際、基板搬送ロボットへ基板を受け渡す。チャック１０は、基板の裏面を真空吸着して支持する。
【００２１】
図２において、基板１の露光を行う露光位置の上空には、マスク２を保持するマスクホルダ２０が設置されている。マスクホルダ２０には、露光光が通過する開口が設けられている。マスクホルダ２０は、開口の周囲に設けられた図示しない吸着溝により、マスク２の周辺部を真空吸着して保持する。マスクホルダ２０に保持されたマスク２の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。露光時、照射光学系からの露光光がマスク２を透過して基板１へ照射されることにより、マスク２のパターンが基板１の表面に転写され、基板１上にパターンが形成される。
【００２２】
チャック１０は、チャック支持台９を介してθステージ８に搭載されており、θステージ８の下にはＹステージ７及びＸステージ５が設けられている。Ｘステージ５は、ベース３に設けられたＸガイド４に搭載され、Ｘガイド４に沿ってＸ方向（図２の図面横方向）へ移動する。Ｙステージ７は、Ｘステージ５に設けられたＹガイド６に搭載され、Ｙガイド６に沿ってＹ方向（図２の図面奥行き方向）へ移動する。θステージ８は、Ｙステージ７に搭載され、θ方向へ回転する。チャック支持台９は、θステージ８に搭載され、チャック１０を複数箇所で支持する。
【００２３】
Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０は、ロード／アンロード位置と露光位置との間を移動される。ロード／アンロード位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、チャック１０に搭載された基板１のプリアライメントが行われる。露光位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０に搭載された基板１のＸＹ方向へのステップ移動が行われる。そして、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、マスク２と基板１との位置合わせが行われる。また、図示しないＺ−チルト機構により、マスクホルダ２０をＺ方向（図２の図面上下方向）へ移動及びチルトすることによって、マスク２と基板１とのギャップ合わせが行われる。
【００２４】
なお、本実施の形態では、マスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行っているが、チャック支持台９にＺ−チルト機構を設けて、チャック１０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行ってもよい。また、本実施の形態では、Ｘステージ５及びＹステージ７によりチャック１０をＸＹ方向へ移動することにより、マスク２と基板１との位置合わせを行っているが、マスクホルダ２０をＸＹ方向へ移動するステージを設けて、マスクホルダ２０をＸＹ方向へ移動することにより、マスク２と基板１との位置合わせを行ってもよい。
【００２５】
図１において、ベース３の奥には、マスク搬送ロボット３０及びマスクストッカー４０が設けられている。マスクストッカー４０には、複数のマスクが上下に並べて収納されている。マスク搬送ロボット３０は、マスク２をマスクストッカー４０からマスクホルダ２０へ搬送し、またマスク２をマスクホルダ２０からマスクストッカー４０へ搬送する。
【００２６】
図３は、マスク搬送ロボットの上面図である。マスク搬送ロボット３０は、マスク２を搭載する複数のハンドリングアーム３１を備えている。各ハンドリングアーム３１の上面には、複数のマスク受け３２が設けられており、各マスク受け３２は、ハンドリングアーム３１に搭載されたマスク２の下面の縁を支持する。
【００２７】
図１において、マスクホルダ２０の下面には、図示しないリフト機構と位置決め機構とが設けられている。リフト機構は、マスク搬送ロボット３０のハンドリングアーム３１からマスク２を受け取って、マスク２をマスクホルダ２０の下面に押し当てる。図１及び図２において、マスクホルダ２０の上方には、複数のカメラユニット２１が設置されている。各カメラユニット２１は、リフト機構によりマスクホルダ２０に押し当てられたマスク２の位置決め用マークの画像を取得して、画像信号を出力する。図示しない画像処理装置は、各カメラユニット２１から出力された画像信号を処理して、マスク２の位置決め用マークの位置を検出する。位置決め機構は、画像処理装置により検出されたマスク２の位置決め用マークの位置に基づき、リフト機構によりマスクホルダ２０に押し当てられたマスク２の側面を押して、マスク２を位置決めする。
【００２８】
各カメラユニット２１の撮像範囲は、レンズ倍率の関係で数百μｍ角と狭くなっている。そのため、マスクストッカー４０からマスクホルダ２０へ搬送されたマスク２の位置ずれが大きいと、各カメラユニット２１によりマスク２の位置決め用マークの画像を取得することができない。
【００２９】
図４は、マスクストッカーの内部の側面図である。マスクストッカー４０内には、マスク２を収納する複数のマスク収納部４０ａと、マスク２の位置決めを行うマスク位置決め部４０ｂと、マスクケース４３を搭載するマスクケース搭載部４０ｃとが設けられている。各マスク収納部４０ａには、プレート４１の上に、マスク２の縁を複数箇所で支持する複数のマスク受け４２が設けられている。各マスク受け４２は、先端がＬ字形になっており、Ｌ字形の底面の部分でマスク２の下面の縁を支持し、Ｌ字形の側面の部分でマスク２の横ずれによる落下を防止している。このＬ字形の側面の部分は、マスク搬送ロボット３０のハンドリングアーム３１がマスク受け４２からマスク２を持ち上げるときの動作のばらつきを考慮して、マスク２の側面から１ｍｍ程度離して設けられている。そのため、マスク収納部４０ａ内でマスク受け４２に支持されたマスク２に位置ずれが発生する可能性がある。
【００３０】
マスクケース搭載部４０ｃには、マスクケース４３を搭載するプレート４１が設けられている。マスク２を収納したマスクケース４３は、専用の台車により、マスクストッカー４０のマスクケース搭載部４０ｃへ移動される。なお、マスクストッカー４０へ移動される際、マスクケース４３の上部及び手前側には移動可能な蓋が取り付けられているが、図４では、蓋を移動した状態が示されている。マスクケース４３内には、マスク２の縁を複数箇所で支持する複数のマスク受け４２が設けられている。各マスク受け４２は、マスク収納部４０ａのものと同様である。マスクケース４３に収納されたマスク２は、マスク搬送ロボット３０のハンドリングアーム３１により、マスクストッカー４０のマスク収納部４０ａへ移送される。
【００３１】
マスク位置決め部４０ｂにも、プレート４１の上に、マスク２の縁を複数箇所で支持する複数のマスク受け４２が設けられている。さらに、マスク位置決め部４０ｂには、プレート４１の上に、複数のマスク位置決め装置５０ａ，５０ｂが設けられている。図５は、マスク位置決め部の上面図である。本実施の形態では、破線で示したマスク２の一方の長辺に面して、マスク位置決め装置５０ａが２つ設けられ、マスク２の他方の長辺に面して、マスク位置決め装置５０ｂが２つ設けられている。また、マスク２の一方の短辺に面して、マスク位置決め装置５０ａが１つ設けられ、マスク２の他方の短辺に面して、マスク位置決め装置５０ｂが１つ設けられている。しかしながら、マスク位置決め装置５０ａ，５０ｂの数及び配置は、これに限るものではない。
【００３２】
図６（ａ）はマスク位置決め装置の上面図、図６（ｂ）は同側面図である。マスク位置決め装置５０ａ，５０ｂは、固定ベース５１、マスク２の側面に接触する接触部材であるローラ５６、ローラ５６をマスク２の側面に押し付ける押し付け機構、ストッパー５７ａ，５７ｂ、遮光片５８、及び位置センサーを含んで構成されている。押し付け機構は、ガイド５２、移動ブロック５３、エアシリンダ５４、及び継手５５を含んで構成されている。
【００３３】
図６（ｂ）において、固定ベース５１の上面には、ガイド５２が設けられており、ガイド５２には、移動ブロック５３が搭載されている。固定ベース５１の側面には、エアシリンダ５４が取り付けられており、エアシリンダ５４のピストンロッドには、継手５５を介して、移動ブロック５３が接続されている。移動ブロック５３は、エアシリンダ５４の駆動により、ガイド５２に沿って図面横方向へ移動する。移動ブロック５３の上面には、ローラ５６が取り付けられている。ローラ５６の内部には、ベアリングが内蔵されており、ローラ５６は、ベアリングにより回転自在となっている。エアシリンダ５４が移動ブロック５３をマスク２の方向へ移動すると、ローラ５６は、マスク２の側面に接触して、マスク２の側面に押し付けられる。
【００３４】
図６（ａ）において、移動ブロック５３の側面には、ストッパー５７ａが設けられている。また、固定ベース５１の上面には、ストッパー５７ｂが、ストッパー５７ａに対向して設けられている。エアシリンダ５４が移動ブロック５３をマスク２の方向へ移動したとき、ストッパー５７ａは、ストッパー５７ｂと接触して、ローラ５６の移動範囲を制限する。
【００３５】
図６（ａ），（ｂ）において、移動ブロック５３の側面には、遮光片５８が取り付けられている。また、固定ベース５１の上面には、投光部５９ａと受光部５９ｂとから成る位置センサーが２つ設けられている。各位置センサーは、投光部５９ａから照射した光を受光部５９ｂで受光し、投光部５９ａから照射した光が遮光片５８で遮られることにより、移動ブロック５３の位置を検出する。
【００３６】
以下、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法について説明する。図１において、マスク２をマスクホルダ２０に装着する際、マスク搬送ロボット３０は、マスクストッカー４０のマスク収納部４０ａに収納されていたマスク２を、マスクストッカー４０のマスク位置決め部４０ｂへ移動する。マスクストッカー４０のマスク位置決め部４０ｂは、後述する様に、複数のマスク受け４２によりマスク２の縁を支持しながら、複数のマスク位置決め装置５０ａ，５０ｂによりマスク２の位置決めを行う。マスク搬送ロボット３０は、マスクストッカー４０のマスク位置決め部４０ｂで位置決めされたマスク２を、マスクホルダ２０へ搬送する。
【００３７】
マスクストッカー４０に、複数のマスク受け４２によりマスク２の縁を支持してマスク２を収納する複数のマスク収納部４０ａと、複数のマスク受け４２によりマスク２の縁を支持しながら、複数のマスク位置決め装置５０ａ，５０ｂによりマスク２の位置決めを行うマスク位置決め部４０ｂとを設け、マスク収納部４０ａに収納されていたマスク２を、マスク位置決め部４０ｂへ移動して、マスク位置決め部４０ｂでマスク２の位置決めを行い、マスク位置決め部４０ｂで位置決めされたマスク２をマスクホルダ２０へ搬送するので、マスクストッカー４０のマスク収納部４０ａ内でマスク受け４２に支持されたマスク２に位置ずれが発生しても、マスクストッカー４０のマスク位置決め部４０ｂからマスクホルダ２０へ搬送されたマスク２の位置ずれが小さくなる。
【００３８】
図７は、マスク位置決め装置の動作を説明する図である。図７（ａ）に示す様に、マスク位置決め部４０ｂのマスク受け４２は、マスク位置決め部４０ｂへ移動されたマスク２の下面の縁を支持する。マスク位置決め装置５０ａ，５０ｂは、エアシリンダ５４により移動ブロック５３をマスク２の方向へ移動して、図７（ｂ）に示す様に、ローラ５６をマスク２の側面に接触させる。そして、マスク位置決め装置５０ａ，５０ｂは、エアシリンダ５４により移動ブロック５３をマスク２の方向へさらに移動して、ローラ５６をマスク２の側面に押し付け、マスク受け４２に支持されたマスク２の位置決めを行う。マスク２を搭載してＸＹ方向へ移動するステージ等の複雑な装置を用いることなく、ローラ５６と押し付け機構とを用いた簡単な構成で、マスク位置決め部４０ｂの複数のマスク受け４２に支持されたマスク２の位置決めが行われる。
【００３９】
このとき、図５において、マスク位置決め装置５０ａの押し付け機構がローラ５６をマスク２の側面に押し付ける力と、マスク位置決め装置５０ｂの押し付け機構がローラ５６をマスク２の側面に押し付ける力とを、マスク２の向かい合う二辺で異ならせる。例えば、マスク位置決め装置５０ａのエアシリンダ５４のシリンダ径をマスク位置決め装置５０ｂのエアシリンダ５４のシリンダ径より大きくし、あるいは、マスク位置決め装置５０ａのエアシリンダ５４へ供給する圧縮エアの圧力を、マスク位置決め装置５０ｂのエアシリンダ５４へ供給する圧縮エアの圧力より高くして、マスク位置決め装置５０ａの押し付け機構がローラ５６をマスク２の側面に押し付ける力を、マスク位置決め装置５０ｂの押し付け機構がローラ５６をマスク２の側面に押し付ける力より強くする。その場合、マスク位置決め装置５０ａの移動ブロック５３がより強い力でマスク２の方向へ移動されるので、図６（ａ）において、マスク位置決め装置５０ａのストッパー５７ａがストッパー５７ｂと接触して、マスク位置決め装置５０ａのローラ５６の移動範囲が一定になり、マスク２の向かい合う二辺のうちのマスク位置決め装置５０ａのローラ５６が接触している一辺が常に同じ位置に来る。
【００４０】
仮に、ローラ５６をマスク２の側面に押し付ける力をマスク２の向かい合う二辺で同じにして、マスク２の中心位置を一定にすると、マスク２の寸法誤差が大きい場合、マスク２をマスクホルダ２０へ搬送したとき、マスク２の直交する二辺の縁が、カメラユニット２１の撮像範囲から外れる場合が出てくる。本実施の形態では、ローラ５６をマスク２の側面に押し付ける力をマスク２の向かい合う二辺で異ならせるので、マスクの寸法誤差が大きくても、マスク２をマスクホルダ２０へ搬送したとき、マスク２の直交する二辺の縁を、カメラユニット２１の撮像範囲内に位置させることができる。
【００４１】
以上説明した実施の形態によれば、マスクストッカー４０に、複数のマスク受け４２によりマスク２の縁を支持してマスク２を収納する複数のマスク収納部４０ａと、複数のマスク受け４２によりマスク２の縁を支持しながら、複数のマスク位置決め装置５０ａ，５０ｂによりマスク２の位置決めを行うマスク位置決め部４０ｂとを設け、マスク収納部４０ａに収納されていたマスク２を、マスク位置決め部４０ｂへ移動して、マスク位置決め部４０ｂでマスク２の位置決めを行い、マスク位置決め部４０ｂで位置決めされたマスク２をマスクホルダ２０へ搬送することにより、マスクストッカー４０のマスク収納部４０ａ内でマスク受け４２に支持されたマスク２に位置ずれが発生しても、マスクストッカー４０のマスク位置決め部４０ｂからマスクホルダ２０へ搬送されたマスク２の位置ずれを小さくすることができる。
【００４２】
さらに、各マスク位置決め装置５０ａ，５０ｂに、マスク２の側面に接触する接触部材と、接触部材をマスク２の側面に押し付ける押し付け機構とを設け、押し付け機構により接触部材をマスク２の側面に押し付けて、マスク位置決め部４０ｂの複数のマスク受け４２に支持されたマスク２の位置決めを行うことにより、マスク２を搭載してＸＹ方向へ移動するステージ等の複雑な装置を用いることなく、接触部材と押し付け機構とを用いた簡単な構成で、マスク位置決め部４０ｂの複数のマスク受け４２に支持されたマスク２の位置決めを行うことができる。
【００４３】
さらに、各マスク位置決め装置５０ａ，５０ｂに、接触部材の移動範囲を制限するストッパー５７ａ，５７ｂを設け、各マスク位置決め装置５０ａ，５０ｂの押し付け機構が接触部材をマスク２の側面に押し付ける力を、マスク２の向かい合う二辺で異ならせることにより、押し付け機構の力が強い側の接触部材の移動範囲を、ストッパー５７ａ，５７ｂにより一定にして、マスク２の向かい合う二辺のうちの当該接触部材が接触している一辺を常に同じ位置にすることができる。
【符号の説明】
【００４４】
１  基板
２  マスク
３  ベース
４  Ｘガイド
５  Ｘステージ
６  Ｙガイド
７  Ｙステージ
８  θステージ
９  チャック支持台
１０  チャック
２０  マスクホルダ
２１  カメラユニット
３０  マスク搬送ロボット
３１  ハンドリングアーム
３２  マスク受け
４０  マスクストッカー
４０ａ  マスク収納部
４０ｂ  マスク位置決め部
４０ｃ  マスクケース搭載部
４１  プレート
４２  マスク受け
４３  マスクケース
５０ａ，５０ｂ  マスク位置決め装置
５１  固定ベース
５２  ガイド
５３  移動ブロック
５４  エアシリンダ
５５  継手
５６  ローラ
５７ａ，５７ｂ  ストッパー
５８  遮光片
５９ａ  位置センサーの投光部
５９ｂ  位置センサーの受光部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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