(57)【要約】【課題】画素電極と隔壁との位置ずれの問題を解決することができ、かつ工程数の減少による製造コスト削減を行うことが出来る情報表示用パネルの製造方法を提供する。【解決手段】薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を用いてアクティブ駆動する情報表示用パネルの製造方法を、ＴＦＴを形成した背面基板に、ＴＦＴの保護膜とする樹脂材料を塗布し、塗布した樹脂材料にスタンパーを押圧し、スタンパーを介して樹脂材料に熱又は紫外光を照射して樹脂材料を硬化させて、スルーホールを有する保護膜と隔壁とを一体に背面基板上に形成する保護膜及び隔壁形成工程と、隔壁間の保護膜上及びスルーホールに導電性材料を印刷することで画素電極を形成する画素電極形成工程と、表示媒体をセル内に充填した後、共通電極を設けた前面基板と隔壁とを接合して前面基板と背面基板とを貼り合わせる貼り合わせ工程と、から構成する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な視認側の前面基板と背面側の画素毎に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を形成した背面基板との間に、隔壁により互いに隔離されたセルを形成し、セル内に粒子群からなる少なくとも１種類以上の表示媒体を封入し、前面基板に設けた共通電極と背面基板のＴＦＴに対応して設けた画素電極との間に印加した電圧に応じた電界を表示媒体に付与することにより、表示媒体を移動させて情報を表示する情報表示用パネルの製造方法であって、
前記ＴＦＴを形成した背面基板に、ＴＦＴの保護膜とする樹脂材料を塗布し、塗布した樹脂材料にスタンパーを押圧し、スタンパーを介して樹脂材料に熱又は紫外光を照射して樹脂材料を硬化させて、スルーホールを有する保護膜と隔壁とを一体に背面基板上に形成する保護膜及び隔壁形成工程と、
前記隔壁間の保護膜上及びスルーホールに導電性材料を印刷することで画素電極を形成する画素電極形成工程と、
前記表示媒体をセル内に充填した後、前記共通電極を設けた前面基板と前記隔壁とを接合して前面基板と背面基板とを貼り合わせる貼り合わせ工程と、
からなることを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。
【請求項２】
前記保護層に形成したスルーホールがテーパー形状を有することを特徴とする請求項１に記載の情報表示用パネルの製造方法。
【請求項３】
前記テーパー形状のテーパー角度が３５度〜７５度であることを特徴とする請求項２に記載の情報表示用パネルの製造方法。
【請求項４】
前記樹脂材料が紫外線硬化性樹脂組成物からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の情報表示用パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明な視認側の前面基板と背面側の画素毎に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を形成した背面基板との間に、隔壁により互いに隔離されたセルを形成し、セル内に粒子群からなる少なくとも１種類以上の表示媒体を封入し、前面基板に設けた共通電極と背面基板のＴＦＴに対応して設けた画素電極との間に印加した電圧に応じた電界を表示媒体に付与することにより、表示媒体を移動させて情報を表示する情報表示用パネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、透明な表示面側のパネル基板と背面側のパネル基板との間に、隔壁により互いに隔離されたセルを形成し、セル内に粒子群からなる少なくとも１種類以上の表示媒体を封入し、パネル基板に設けた電極間に印加した電圧に応じた電界を表示媒体に付与することにより、表示媒体を移動させて情報を表示する情報表示用パネルが知られている。そして、隔壁はフォトリソグラフィーにより形成すること、および、通常はライン電極によるパッシブ駆動で情報を表示することが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上述した構成の従来の情報表示用パネルにおいて、ライン電極を用いたパッシブ駆動で情報を表示する代わりに、下部基板上に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）と画素電極とを形成し、薄膜トランジスタにより画素のＯＮ／ＯＦＦを制御するアクティブ駆動方式により、高応答速度や高コントラストが実現できるため、ＴＦＴ基板を使用したアクティブ駆動で情報を表示する情報表示用パネルの要望が高くなってきている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２０２６０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図９はＴＦＴ基板を利用したアクティブ駆動方式の情報表示用パネルの一例を説明するための図である。図９において、５１は背面側の背面基板、５２は視認側の前面基板、５３Ｗは帯電性白色粒子５３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体、５３Ｂは帯電性黒色粒子５３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体、５４は背面基板５１と前面基板５２との間に例えば格子状に設けてセルを形成するための隔壁、５５はＴＦＴ層５７を介して背面基板５１上に形成された画素電極、５６は前面基板５２に設けた共通電極である。また、ＴＦＴ層５７は、背面基板５２上にゲート電極６１およびゲート絶縁膜６２を設け、ゲート絶縁膜６２上にドレイン電極６３、ソース電極６４およびチャネル層６５を設け、さらにその上に、スルーホール６６を有する保護膜６７を形成して構成されている。画素電極５５は、保護膜６７の表面およびスルーホール６６内に設けられ、ドレイン電極６３と接続している。
【０００６】
上述した構造の情報表示用パネルは、反射型ディスプレイでありバックライトが不要なため、図９に示すように、保護膜６７上に画素電極５５を形成することで、画素面積を最大化出来るメリットがある。
【０００７】
図１０（ａ）〜（ｈ）はそれぞれ図９に示す反射型の情報表示用パネルの製造方法の一例を説明するための図である。図１０（ａ）〜（ｈ）に示す例において、図９に示す部材と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。本例では、図１０（ａ）〜（ｄ）に示す保護膜形成工程、図１０（ｅ）〜（ｆ）に示す画素電極形成工程、図１０（ｇ）〜（ｈ）に示す貼り合わせ工程により、情報表示用パネルを製造する。
【０００８】
図１０（ａ）〜（ｈ）に従って製造方法を説明すると、まず、図１０（ａ）に示すように、保護膜６７以外のＴＦＴ層５７を設けた背面基板５１を準備する。次に、図１０（ｂ）に示すように、ＴＦＴ層５７を設けた背面基板５１上に、保護膜６７を形成するためのレジスト７１を塗布する。次に、図１０（ｃ）に示すように、レジスト７１のスルーホール形成位置の上にマスク７２を設け、マスク７２を介して上方からレジスト７１を露光する。次に、図１０（ｄ）に示すように、現像して未硬化のレジスト７１を除去することで、スルーホール６６を有する保護膜６７を形成する。以上で保護膜形成工程を終了する。次に、図１０（ｅ）に示すように、同様のフォトリソプロセスを繰り返すことで、バンプ７３を形成する。次に、図１０（ｆ）に示すように、バンプ７３を利用して保護膜６７の表面およびスルーホール６６内に電極材料を印刷して設けることで、画素電極５５を形成する。以上で画素電極形成工程を終了する。次に、図１０（ｇ）に示すように、隔壁５４を設けるとともに隔壁５４により形成されたセル内に表示媒体５３Ｗ、５３Ｂを充填した前面基板５２を準備し、隔壁５４の頂上部と画素電極５５の端部の保護膜６７とを接着剤で貼り合わせることで貼り合わせ工程を終了することにより、図１０（ｈ）に示すように、情報表示用パネルを得ている。
【０００９】
上述した製造方法で製造した情報表示用パネルでは、図１０（ｇ）に示す隔壁５４と保護膜６７との貼り合わせ時の位置決めが難しく、図１１に示すように、画素電極５５と隔壁５４との位置ずれが発生する問題があった。この問題は隔壁形成時のマスク７２のアライメント精度の不足や熱・応力による基板伸縮によって生じ、結果として得られた情報表示用パネルにおけるコントラスト低下や駆動不良といった不具合を引き起こす。また、上述した製造方法では、複数回のフォトリソ工程を経るために工程数が増大し、プロセスコストが高く、より安価に製造できるプロセスの開発が必要であった。
【００１０】
本発明の目的は上述した問題点を解消して、画素電極と隔壁との位置ずれの問題を解決することができ、かつ工程数の減少による製造コスト削減を行うことが出来る情報表示用パネルの製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の情報表示用パネルの製造方法は、透明な視認側の前面基板と背面側の画素毎に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を形成した背面基板との間に、隔壁により互いに隔離されたセルを形成し、セル内に粒子群からなる少なくとも１種類以上の表示媒体を封入し、前面基板に設けた共通電極と背面基板のＴＦＴに対応して設けた画素電極との間に印加した電圧に応じた電界を表示媒体に付与することにより、表示媒体を移動させて情報を表示する情報表示用パネルの製造方法であって、
前記ＴＦＴを形成した背面基板に、ＴＦＴの保護膜とする樹脂材料を塗布し、塗布した樹脂材料にスタンパーを押圧し、スタンパーを介して樹脂材料に熱又は紫外光を照射して樹脂材料を硬化させて、スルーホールを有する保護膜と隔壁とを一体に背面基板上に形成する保護膜及び隔壁形成工程と、
前記隔壁間の保護膜上及びスルーホールに導電性材料を印刷することで画素電極を形成する画素電極形成工程と、
前記表示媒体をセル内に充填した後、前記共通電極を設けた前面基板と前記隔壁とを接合して前面基板と背面基板とを貼り合わせる貼り合わせ工程と、
からなることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の情報表示用パネルの製造方法の好適例としては、前記保護層に形成したスルーホールがテーパー形状を有すること、前記テーパー形状のテーパー角度が３５度〜７５度であること、前記樹脂材料が紫外線硬化性樹脂組成物からなること、がある。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、隔壁と保護膜とを同一の材料でスタンパーを利用したインプリント法によって形成することで、隔壁を前面基板ではなく背面基板に形成するとともに、作製した隔壁を、画素電極を印刷形成する際のバンク（堤防）として利用することができる。そのため、必要な工程数を減少させることができ、より低コストかつ高スループットでの製造が可能となる。また、隔壁の位置に合わせて画素電極が形成されるため、画素電極と隔壁の位置ずれは本質的に発生せず、精密なアライメントも不要になる。これにより、得られる情報表示用パネルのコントラスト向上や製造時のスループット向上が可能になる。
【００１４】
また、本発明の好適例として、保護層に形成したスルーホールをテーパー形状、より好ましくは、テーパー角度３０度〜７５度のテーパー形状とすることにより壁面に傾斜を持たせることで、インプリント時の残渣や気泡による導通不良を低減することができる。さらに、本発明の他の好適例として、樹脂材料を紫外線硬化性樹脂組成物から構成することで、本発明の情報表示用パネルの製造方法をより最適化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明の製造方法の対象となる情報表示用パネルの基本的な構成の一例を示す図である。
【図２】本発明の製造方法の対象となる情報表示用パネルの一例の構成を示す図である。
【図３】（ａ）〜（ｈ）はそれぞれ図２に示す本発明の情報表示用パネルの製造方法の一例を説明するための図である。
【図４】本発明の製造方法に従って製造した情報表示用パネルの画素電極と隔壁との関係を説明するための図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の実施例１、２で用いたスタンパーの形状の一例を示す図である。
【図６】本発明の実施例１および実施例２における抵抗と素子番号との関係を示すグラフである。
【図７】本発明の実施例３で用いたスタンパーの形状の一例を示す図である。
【図８】本発明の実施例３におけるテーパー角度と高抵抗箇所の個数との関係を示すグラフである。
【図９】ＴＦＴ基板を利用したアクティブ駆動方式の情報表示用パネルの一例を説明するための図である。
【図１０】（ａ）〜（ｈ）はそれぞれ図８に示す反射型の情報表示用パネルの製造方法の一例を説明するための図である。
【図１１】従来の製造方法に従って製造した情報表示用パネルの画素電極と隔壁との関係を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
＜本発明の製造方法の対象となる情報表示用パネルの基本的な構成について＞
まず、本発明の製造方法の対象となる情報表示用パネルの一例である帯電粒子電界駆動方式情報表示用パネルの基本的な構成について説明する。前記情報表示用パネルでは、対向する２枚の基板間に封入した帯電性粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体に対向対電極から電界が付与される。付与された電界方向にそって、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動方向が切り換わることにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、表示情報を書き換える時あるいは表示した情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。
【００１７】
本発明の製造方法の対象となる情報表示用パネルに適用している情報表示の原理を、図１（ａ）、（ｂ）に基づき説明する。図１（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）付き画素電極）と基板２に設けた電極６（共通電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示を白黒のドットでマトリックス表示している。なお、図１（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。また、ここではセルと画素（ドット）とが１対１に対応する例を示している。ここでは、セル空間が気体で満たされている帯電粒子気体中移動方式の表示パネルの例を説明したが、気体の代わりに、絶縁液体を用いた帯電粒子液体中移動方式（電気泳動方式）の表示パネルとすることもできる。
【００１８】
＜本発明の製造方法の対象となる情報表示用パネルの具体的な構成について＞
図２は本発明の製造方法の対象となる情報表示用パネルの一例の構成を示す図である。図２に示す例において、図１（ａ）、（ｂ）に示した部材と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。図２に示す例において、１は背面側の背面基板、２は視認側の前面基板、３Ｗは帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体、３Ｂは帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体、４は背面基板１と前面基板２との間に例えば格子状に設けてセルを形成するための隔壁、５はＴＦＴ層７を介して背面基板１上に形成された画素電極、６は前面基板２に設けた共通電極である。また、ＴＦＴ層７は、背面基板２上にゲート電極１１およびゲート絶縁膜１２を設け、ゲート絶縁膜１２上にドレイン電極１３、ソース電極１４およびチャネル層１５を設け、さらにその上に、スルーホール１６を有する保護膜１７を形成して構成されている。画素電極１５は、保護膜１７の表面およびスルーホール１６内に設けられ、ドレイン電極１３と接続している。
【００１９】
＜本発明の情報表示用パネルの製造方法について＞
本発明の情報表示用パネルの製造方法の特徴は、図２に示す構造の情報表示用パネルを製造するにあたり、（１）ＴＦＴを形成した背面基板に、ＴＦＴの保護膜とする樹脂材料を塗布し、塗布した樹脂材料にスタンパーを押圧し、スタンパーを介して樹脂材料に熱又は紫外光を照射して樹脂材料を硬化させて、スルーホールを有する保護膜と隔壁とを一体に背面基板上に形成する保護膜及び隔壁形成工程と、（２）隔壁間の保護膜上及びスルーホールに導電性材料を印刷することで画素電極を形成する画素電極形成工程と、（３）表示媒体をセル内に充填した後、共通電極を設けた前面基板と隔壁とを接合して前面基板と背面基板とを貼り合わせる貼り合わせ工程と、を実施する点にある。
【００２０】
図３（ａ）〜（ｈ）はそれぞれ図２に示す本発明の情報表示用パネルの製造方法の一例を説明するための図である。図３（ａ）〜（ｈ）に示す例において、図２に示す部材と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。本例では、図３（ａ）〜（ｅ）に示す保護膜および隔壁形成工程、図３（ｆ）に示す画素電極形成工程、図３（ｇ）〜（ｈ）に示す貼り合わせ工程により、情報表示用パネルを製造する。
【００２１】
図３（ａ）〜（ｈ）に従って本発明の情報表示用パネルの製造方法を説明すると、まず、図３（ａ）に示すように、保護膜１７以外のＴＦＴ層を設けた背面基板１を準備する。次に、図３（ｂ）に示すように、ＴＦＴ層７を設けた背面基板１上に、保護膜１７および隔壁４を形成するための光硬化型のレジスト２１を塗布する。レジスト２１の塗布厚は、保護膜１７の厚さに隔壁４の厚さを加味した厚さとする。次に、図３（ｃ）に示すように、レジスト２１にスルーホールを有する保護層と隔壁とを形成するための形状を有するスタンパー２２を押し当てて、レジスト２１をスルーホールを有する保護層と隔壁としての形状に変形させる。次に、図３（ｄ）に示すように、スタンパー２２を介して例えばＵＶ光をレジスト２１に照射してレジスト２１を硬化させる。
【００２２】
次に、図３（ｅ）に示すように、スタンパー２２を剥離することで、スルーホール１６を有する保護膜１７と隔壁４とを一体に形成する。ここで、必要に応じて、さらに隔壁及び保護膜全面を露光して隔壁４及び保護膜１７を完全に硬化させることもできる。以上で保護膜および隔壁形成工程を終了する。次に、図３（ｆ）に示すように、隔壁４をバンプとして利用することで、保護膜１７の表面およびスルーホール１６内に電極材料を印刷して設けることで、画素電極５を形成する。以上で画素電極形成工程を終了する。次に、図３（ｇ）に示すように、背面基板１の隔壁４により形成されたセル内に表示媒体３Ｗ、３Ｂを充填した後、共通電極６を有する前面基板２を準備し、隔壁４の頂上部と前面基板２の共通電極６とを接着剤で貼り合わせることで貼り合わせ工程を終了することにより、図３（ｈ）に示すように、本発明の製造対象となる情報表示用パネルを得ている。
【００２３】
上述したように、所定のスタンパーを利用してレジストを変形させて露光することで、所望の形状、ここでは、スルーホールを有する保護膜と隔壁とを一体に形成する方法は、インプリント法として公知の技術である。本発明では、例えば、本出願人による特開２００８−４４２３７号公報に記載されたインプリント法を利用することができる。
【００２４】
上述した本発明の情報表示用パネルの製造方法によれば、スルーホールを有する保護膜と隔壁とをスタンパーを利用したインプリント法により一体に形成することで、隔壁を前面基板ではなく背面基板に形成するとともに、作製した隔壁を、画素電極を印刷形成する際のバンク（堤防）として利用することができる。そのため、必要な工程数を減少させることができ、より低コストかつ高スループットでの製造が可能となる。また、隔壁の位置に合わせて画素電極が形成されるため、画素電極と隔壁の位置ずれは本質的に発生せず、精密なアライメントも不要になる。これにより、得られる情報表示用パネルのコントラスト向上や製造時のスループット向上が可能になる。具体的には、上述した本発明の製造方法で製造した情報表示用パネルでは、画素電極と隔壁とを一体に形成しているので、図４に示すように、画素電極５と隔壁４との位置合わせは良好となる。
【００２５】
本発明において、保護層及び隔壁を形成する樹脂材料としては、紫外線硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂等どのようなものを用いてもよい。特に、室温でのパターン形成ができるため、熱による基板、スタンパー間の線膨張係数差による歪みが発生しにくく、高精度のパターンが形成できる点で紫外線硬化性樹脂が好ましい。
【００２６】
紫外線硬化性樹脂組成物には、紫外線硬化性樹脂と光重合開始剤とが含まれる。紫外線効果樹脂としては、例えば、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、エポキシアクリレート、エポキシ樹脂、イミド係オリゴマー、ポリエン・チオール係オリゴマー等が挙げられる。光重合開始剤としては、光ラジカル重合開始剤及び光カチオン重合開始剤を用いることが好ましい。光重合開始剤の添加量は、一般に紫外線硬化性樹脂１００質量部に対して、０．１〜１５質量部、好ましくは、０．５〜１０質量部である。なお、上記紫外性硬化性樹脂組成物には、反応性希釈剤が添加されていてもよい。
【実施例】
【００２７】
以下、スタンパーのスルーホールを形成する部分の形状について、実施例１及び実施例２を示して比較し、その好適例を説明する。なお、実施例１では図５（ａ）に示す構造のスタンパーを、実施例２では図５（ｂ）に示す構造のスタンパーを、それぞれ用いた。
【００２８】
＜実施例１および実施例２の共通する実験条件について＞
基板には、ガラス基板上にゲート電極、ゲート絶縁膜、チャネル層、ソール・ドレイン電極を順次積層したボトムゲート・トップコンタクト型の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を作製したＴＦＴ基板を用いた。ゲート電極には酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、ゲート絶縁膜にはフッ素樹脂、チャネル層にはペンタセン、ソース・ドレイン電極には金を用いたが、これらの材料及び成膜・パターニング手法は本発明とは関連しないため、自由に選択することができる。
【００２９】
また、隔壁及び保護膜形成後の画素電極形成においては、画素電極はインクジェット法で成膜した。使用したインクは、フィラー径が数十ｎｍの銀粒子を含有したインクを用いた。インクの粘度は数ｍＰ・ｓｅｃである。ピエゾ型ノズルを持つインクジェット装置で１０ｐｌ程度の液滴を連続で滴下してスルーホールへのインク充填及び画素電極の形成を行った。尚、従来法では、この粘度の銀インクを滴下すると、インクの広がりにより正確なパターン形成は不可能である。その後前面基板を貼り合わせて、本発明に係る情報表示用パネルを得た。得られた情報表示用パネルにおいて、画素電極と隔壁とは一体であるため、画素電極と隔壁との位置ずれは一切発生しなかった。
【００３０】
＜実施例１＞
まず、上記ＴＦＴ基板上に、保護層及び隔壁材料の形成材料として東洋合成工業株式会社製のＵＶナノプリント用樹脂ＰＡＫ−０１をスピンコートした。次に、図５（ａ）に示す構造を有するスタンパー２２を押し当てて、上記材料を隔壁及び保護層としての形状に変形させた後、スタンパーを介してＵＶ光を３００ｍＪ露光して硬化させ、スタンパーを剥離して、隔壁及び保護層を形成した。次に、インクジェット法で画素電極を形成し、画素電極と下部のドレイン電極間の抵抗をテスターで測定した。その結果を図７のグラフに示す。図６の結果から、測定した５０個すべての素子で導通が得られているが、部分的に抵抗が高い素子が存在していることが分かる。
【００３１】
＜実施例２＞
スタンパー形状を図５（ｂ）に示すスタンパー２２の構造に変更し、それ以外の条件は実施例１と同様の条件で行った。画素電極とドレイン電極間の抵抗をテスターで測定した結果を図６のグラフに実施例１の結果と併せて示す。実施例１の結果に比べて高抵抗な素子の数が大幅に減少したことが分かる。
【００３２】
以上の結果から、保護層に形成したスルーホールをテーパー形状とすることにより壁面に傾斜を持たせることで、インプリント時の残渣や気泡による導通不良を低減することができることが分かった。
【００３３】
次に、スタンパーのスルーホールを形成する部分のテーパー角度の好適範囲について、以下の実施例３により説明する。
【００３４】
＜実施例３＞
図７に示すスタンパー２２において、図示のテーパー角度θを０度、１５度、４５度、６０度、７５度としたスタンパーを用い、実施例１と同様にして保護膜と隔壁とを形成し、情報表示用パネルを作製した。そして、実施例１と同様の方法で、得られた情報表示用パネルに対して、高抵抗となる接触不良箇所の個数を求めた。結果を図８に示す。図８の結果から、テーパー角度θが３０度〜７５度であると接触不良箇所がなく、好適な範囲となることが分かった。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明の情報表示用パネルの製造方法は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を用いてアクティブ駆動する情報表示用パネルにおいて、画素電極と隔壁との位置ずれの問題を解消し、かつ、工程数の減少による製造コスト削減を行うことができ、コントラストの向上やスループットの向上が必要な種々の用途に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００３６】
１、２  基板
３Ｗ  白色表示媒体
３Ｗａ  負帯電性白色粒子
３Ｂ  黒色表示媒体
３Ｂａ  正帯電性黒色粒子
４  隔壁
５、６  電極
７  ＴＦＴ層
１１  ゲート電極
１２  ゲート絶縁膜
１３  ドレイン電極
１４  ソース電極
１５  チャネル層
１６  スルーホール
１７  保護層
２１  光硬化型のレジスト
２２  スタンパー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2011237485.tif 000011
【図１０】
2011237485.tif 000012
【図１１】
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