(57)【要約】【課題】ウェーハの搬送ハンドを小型、軽量化し、さらに１つのハンドで異なるウェーハ口径でも、ウェーハの撓みや位置ずれを生じさせない最適な吸着位置を選択してウェーハを保持し、ウェーハを目的位置に搬送することができるハンドを提供する。【解決手段】ウェーハを搬送するウェーハ搬送ロボットのアームに取り付けられ、ウェーハを吸着保持するための真空吸着穴が設けられたフォークを備えるウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、フォークは、フォーク長手方向を回転軸として自転可能に設けられ、上面がウェーハを保持する保持面を構成し、各保持面には少なくとも１つの真空吸着穴が互いに異なる位置に設けられている構成とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを搬送するウェーハ搬送ロボットのアームに取り付けられ、ウェーハを吸着保持するための真空吸着穴が設けられたフォークを備えるウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、
前記フォークは、フォーク長手方向を回転軸として自転可能に設けられ、上面が前記ウェーハを保持する保持面を構成し、各保持面には少なくとも１つの真空吸着穴が互いに異なる位置に設けられていることを特徴とするウェーハ搬送ロボット用のハンド。
【請求項２】
請求項１記載のウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、前記フォークは、角柱状或いはプレート状に形成され、前記角柱体の各側面及び前記プレートの両面にそれぞれ少なくとも１つ以上の真空吸着穴が設けられていることを特徴とするウェーハ搬送ロボット用のハンド。
【請求項３】
請求項１又は２記載のウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、前記フォークを自転させるための機構部を備え、該機構部は、モータと、モータの回転を前記フォークへ伝達するベルトとを備えることを特徴とするウェーハ搬送ロボット用のハンド。
【請求項４】
請求項３記載のウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、前記機構部は、前記機構部を前記ウェーハに対して遮断するケース内に収容されていることを特徴とするウェーハ搬送ロボット用のハンド。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項記載のウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、互いに異なる面に開口する前記真空吸着穴は、前記フォーク内部で互いに連通せずに形成されて各々別の真空経路を構成し、真空経路を切り替える真空経路切替手段に接続されていることを特徴とするウェーハ搬送ロボット用のハンド。
【請求項６】
基台と、基台上に設けられ旋回自在かつ伸縮自在なアームと、そのアームの先端に設けられウェーハを保持するハンドとを備えたウェーハ搬送ロボットにおいて、請求項１乃至５のいずれか１項記載のハンドを備えたことを特徴とするウェーハ搬送ロボット。
【請求項７】
ウェーハの搬送先或いは搬送元に取り付けられる筐体と、その筐体に設けられウェーハを収納する容器と、前記容器内のウェーハを搬送先に供給するまたは前記搬送元のウェーハを前記容器に回収するウェーハ搬送ロボットと、搬送されるウェーハの位置及び向きを補正するアライナを備えたウェーハ搬送装置において、請求項６記載のウェーハ搬送ロボットを備えたことを特徴とするウェーハ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ搬送ロボット用のハンド、ウェーハ搬送ロボット及びそれを備えたウェーハ搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置や半導体検査装置等の上位装置にウェーハを供給、或いは上位装置からウェーハを回収するウェーハ搬送装置（ＥＦＥＭ：Equipment Front End Module）がある。ウェーハ搬送装置には、ウェーハ搬送ロボット、アライナ、及びウェーハ搬送ロボットとアライナを制御するコントローラが実装されている。ウェーハ搬送ロボットは、ウェーハを搬送するために、ウェーハを保持するハンドを備えている。
【０００３】
ウェーハ搬送装置では、ウェーハ搬送ロボットがハンドでウェーハ密閉容器（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）からウェーハを取出し、アライナに供給する。アライナではウェーハのＶノッチ或いはオリフラの角度補正と水平方向の位置補正（偏芯補正）を行う。ウェーハは、アライナでの角度補正と位置補正の終了後、上位装置に搬送される。また、ウェーハ搬送ロボットは上位製造装置から処理後のウェーハを取出し、ＦＯＵＰに収納することも可能である。
【０００４】
ハンドには、ウェーハを載置した時にウェーハの位置ずれを防ぐために真空吸着部を備えウェーハ裏面を吸着保持する方式や、ウェーハ側面を機械式に把持してウェーハを保持する方式がある。一般に従来のウェーハ裏面を吸着保持するハンドは、ウェーハの口径ごとに特定の大きさの専用ハンドを使用しているが、１つのハンドで異なるウェーハ口径に対応してウェーハを保持するためには、ハンドをフォーク構造にしてウェーハ口径に合わせて、フォークを平行移動させて対応してきた（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２７２５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、口径の異なるウェーハの搬送に対応するべくフォークを平行移動させる機能を備えたハンドは、フォークを平行移動させるための走行軸の長さを、搬送されるウェーハのなかで一番大きな径幅のものに合わせて長くする必要があるため、ハンド自体が大型化してしまう。そのようなハンドを用いたウェーハ搬送ロボットは、ウェーハ搬送装置内での可動範囲が大きくなってしまうため、ウェーハ搬送装置を大きくせざるを得ない。また、上述のハンドは、ハンドの質量も大きくなり、ハンド停止振動の増大やスループットに大きな影響を与えてしまう。
【０００７】
本発明の目的は、上記課題を解決すべく、ウェーハの搬送ハンドを小型かつ軽量で構成でき、かつ、１つのハンドで口径の異なるウェーハを、ウェーハの撓みや位置ずれを生じさせない最適な吸着位置で保持することができるハンド及びそれを用いたウェーハ搬送ロボット、並びにそれを備えたウェーハ搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく本発明に係るハンドは、ウェーハを搬送するウェーハ搬送ロボットのアームに取り付けられ、ウェーハを吸着保持するための真空吸着穴が設けられたフォークを備えるウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、前記フォークは、フォーク長手方向を回転軸として自転可能に設けられ、上面が前記ウェーハを保持する保持面を構成し、各保持面には少なくとも１つの真空吸着穴が互いに異なる位置に設けられていることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係るウェーハ搬送ロボット及びウェーハ搬送装置は、上記のハンドを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ハンド自体をコンパクトに質量を小さく構成し、かつ、１つのハンドで異なる径のウェーハを保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係るウェーハ搬送ロボット用ハンドの第一の実施形態の構成を示す斜視図である。
【図２】ウェーハ搬送装置の構成を示す一部透明斜視図である。
【図３】図１のフォークの平面図である。
【図４】図３の４Ａ−４Ａ線断面図である。
【図５】図１のハンドが小口径のウェーハを保持した状態の平面図と断面図である。
【図６】図１のハンドが大口径のウェーハを保持した状態の平面図と断面図である。
【図７】図１のハンドにおいて、真空吸着穴３の最適な位置とウェーハ口径との関係を説明するための図である。
【図８】本発明に係るウェーハ搬送ロボット用ハンドの第二の実施形態の構成を示し、小口径のウェーハを保持した状態の平面図と断面図である。
【図９】中口径のウェーハを保持した状態の平面図と断面図である。
【図１０】大口径のウェーハを保持した状態の平面図と断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面に基づいて説明する。
［第一の実施形態］
まず、本実施形態のハンドを有するウェーハ搬送ロボットを用いたウェーハ搬送装置について説明する。
【００１３】
図２はウェーハ搬送装置を示す一部透明斜視図である。図２に示すように、ウェーハ搬送装置１００は、筐体１０１と、筐体１０１内に供給されるウェーハ５０をクリーンな状態で収納する密閉容器であるＦＯＵＰ１０５と、ＦＯＵＰ１０５が設置されるロードポート１０２と、筐体１０１内に設けられＦＯＵＰ１０５、アライナ１０３及びウェーハ５０の搬送先である半導体製造装置や半導体製造装置（以下、「上位装置」と称する）１０８間のウェーハ５０の搬送を行うウェーハ搬送ロボット（以下、単に「搬送ロボット」と称する）１１０とを有する。筐体１０１の上部には、ファンフィルタユニット１０７が設けられ、ファンフィルタユニット１０７はクリーンエアを絶えず下方（筐体１０１内）に送り込むことにより筐体１０１内部をクリーンな環境に保持する。ウェーハ搬送装置１００は、搬送ロボット１１０の制御及び上位装置１０８との通信を行うコントローラ１０４を備える。コントローラ１０４は後述するハンド１が保持するウェーハ５０の口径に応じたバルブの切替え制御を行うと共に、ウェーハ５０の位置ずれ量、ウェーハ５０の有無やウェーハ５０の異常を検出する演算手段を有する。
【００１４】
筐体１０１内には、搬送ロボット１１０を一方向に往復移動させるための走行レール１０６が設けられ、搬送ロボット１１０は走行レール１０６上に設けられる。搬送ロボット１１０は基台１１１と基台１１１上に設けられたアーム１１２と、そのアーム１１２の先端に設けられウェーハ５０を保持するハンド１とを備える。アーム１１２は、旋回軸１１３と基台１１１内に設けられた旋回軸１１３を回転させる駆動手段とにより旋回運動可能であり、かつアーム軸１１４とアーム軸１１４を回転させる駆動手段とにより伸縮運動可能である。
【００１５】
アライナ１０３は、ウェーハ５０を回転させながら光学式センサで検出される光を基にウェーハ５０の向き（Ｖノッチやオリエンテーションフラットの位置）と偏芯量を検出し、ウェーハ５０の向きと位置を補正するものである。
【００１６】
ウェーハ搬送装置１００の動作について説明する。ウェーハ搬送装置１００では搬送ロボット１１０がハンド１でＦＯＵＰ１０５からウェーハ５０を取出し、アライナ１０３に供給する。アライナ１０３は、ウェーハ５０のＶノッチ或いはオリフラの角度補正（向きの補正）と水平方向の補正（偏芯量の補正）を行う。ウェーハ５０の向きと偏芯量の補正終了後、搬送ロボット１１０はウェーハ５０を上位装置に搬送する。搬送ロボット１１０は上位装置１０８で処理後のウェーハ５０を取出し、ＦＯＵＰ１０５に収納することもある。
【００１７】
図１は、ハンド１の構成を示す斜視図である。図１に示すように、ハンド１は、ウェーハ５０を保持する１対のフォーク２（２ａ，２ｂ）を備える。フォーク２は、フォーク２を自転させるための機構部１０に取り付けられ、機構部１０は、搬送ロボット１１０のアーム１１２の先端に取り付けられる。フォーク２は、主にアルミナなどのセラミックスや炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）など縦弾性係数の高い材料で形成された厚さ２〜３ｍｍ程度のプレート体である。１対のフォーク２ａ，２ｂは、アーム１１２に取り付けられる側からハンド１の先端側に伸びる中心線１ａに対して線対称となるよう配置される。
【００１８】
フォーク２には、ハンド１上に載置されるウェーハ５０を真空吸着保持させるための真空吸着穴３がフォーク２の一方の面（Ａ面とする）と他方の面（Ｂ面とする）の両面に設けられ、フォーク２の根元のシャフト軸８を中心軸として自転可能に機構部１０に設置されている。真空吸着穴３の開口位置について、１対のフォーク２ａ，２ｂ間では互いに同じ位置に配置され、１つのフォーク２においてＡ面とＢ面とでは互いに異なる位置に配置されている。
【００１９】
機構部１０は、フォーク２を回転させるための駆動源でありフォーク２と平行に搭載されたモータ４と、モータシャフト先端に取り付けられたモータプーリ７と、フォーク２のシャフト軸８に取り付けられたフォークプーリ６と、モータプーリ６の回転をフォークプーリ６へ伝達するベルト５とを備える。機構部１０は、１つのモータプーリ７に２つのフォークプーリ６が掛かる構成であり、モータ４の駆動により、左右のフォーク２ａ，２ｂを互いに同じ回転方向及び回転角度で自転させることができる。機構部１０の駆動により自転可能なフォーク２の上面が、ウェーハ５０を保持する保持面となる。
【００２０】
フォーク２の回転に利用するモータ４は、高分解能のエンコーダを搭載したものであり回転角の誤差は無視できるほど小さいことが望ましく、１つのモータ４で２つのフォーク２ａ，２ｂを同じ角度に同期して動作させている。機構部１０を構成する駆動源としては、モータ４の他に、圧縮空気で動作するシリンダや真空圧で動作するシリンダなど、フォーク２を任意の位置に回転させるものであれば他のものを用いてもよい。
【００２１】
機構部１０は、フォークの根元を境にしてケース９で覆われている。ケース９内は、ケース９に設置された真空排気口１１から真空吸引することにより駆動部１０から発生したゴミをケース９の外部（ウェーハ搬送装置内）に流出するのを抑えてウェーハ５０へのゴミの付着を防いでいる。
【００２２】
図３は、フォーク２の内部を説明するための平面図であり、図４は図３の４Ａ−４Ａ線断面図である。ただし、図４中、真空吸着穴３に配管１３を介して接続される電磁弁１４は、ブロックで示してある。図３及び図４に示すように、フォーク２には、フォーク２の一方の面（Ａ面）に開口する１つの真空吸着穴３ａと、他方の面（Ｂ面）に開口する２つの真空吸着穴３ｂ，３ｃが形成されている。真空吸着穴３ａ〜３ｃの周囲には、ウェーハ５０と当接する環状の凸部３１が設けられている。同じ面に開口する２つの真空吸着穴３ｂ，３ｃは、フォーク２の内部で連通し、互いに異なる面に開口する真空吸着穴３ａ，３ｂ（３ｃ）は互いに連通せず、それぞれ別の配管１３を介して電磁弁１４に接続され、それぞれ独立した真空経路を構成する。配管１３は、例えばゴム状のチューブで構成され、シャフト軸８からアーム１１２及び駆動軸１１４の内部を通り、搬送ロボット１１０外部に設けられた真空装置の電磁弁１４に接続されている。電磁弁１４の開閉は、コントローラ１０４によって制御され、電磁弁１４を開閉することにより、ウェーハ５０の真空吸着及びリリースを行う。すなわち、コントローラ１０４と電磁弁１４とで、ウェーハ５０の保持面（上面）側の真空吸着穴３を開閉する真空経路切替手段を構成する。また、真空経路（真空吸着穴３及び配管１４）は真空圧センサ（図示せず）に接続されており、コントローラ１０４が真空圧センサを監視することにより、ハンド１上にウェーハ５０が保持されているか否かの判定が可能である。
【００２３】
図５及び図６は、ハンド１がそれぞれ口径の異なるウェーハを真空保持した状態を示す図であり、図５は小口径のウェーハ５０ａを真空保持した状態を示す図、図６は大口径のウェーハ５０ｃを真空保持した状態を示す図である。
【００２４】
図５に示すように、ハンド１は、１つのフォーク２に１つの真空吸着穴３ａが開口するＡ面が上面であるとき、小口径（例えば、直径２００ｍｍ）のウェーハ５０ｂを保持する。フォークＡ面には小口径ウェーハ５０ａを保持するための最適な位置に真空吸着穴３が設置されているため、信頼性の高い小口径ウェーハ５０ａの保持が可能となる。ウェーハ５０を保持するのに最適な真空吸着穴３の位置とは、ウェーハ５０を撓ませず、かつ位置ずれを生じさせにくい位置である。具体的には、ウェーハ５０は、フォーク２と垂直な方向の中心（中心線１ｂ）よりも先側の半円領域に、フォーク２の先端が位置するように保持され、ウェーハ５０のフォーク先端よりも先側の領域の重みにより、ウェーハの撓みが生じたり、真空吸着力よりも大きい重みによりウェーハの位置ずれが生じるのを防ぐ位置である。
【００２５】
上位装置１０８あるいはユーザーの操作より、小口径ウェーハ５０ａと異なるサイズの大口径ウェーハ５０ｃ（例えば、直径４５０ｍｍ）を搬送する指令が実行されると、コントローラ１０４からモータ４へ指令がなされ、モータ４が回転駆動してフォーク２が１８０度自転し、フォーク２のＢ面がウェーハを吸着保持する保持面となる。
【００２６】
図６に示すように、１つのフォーク２のＢ面には２個の真空吸着穴３ｂ，３ｃが開口しており、それらの真空吸着穴３ｂ、３ｃは、大口径ウェーハ５０ｃを保持するための最適な位置に真空吸着穴３ｂ，３ｃが配置されているため、信頼性の高い大口径ウェーハ５０ｃの保持が可能となる。
【００２７】
図７は、フォークＢ面で小口径のウェーハ５０ａを保持した場合の状態を示す図である。図７に示すように、図７に示すように、小口径のウェーハ５０ａをフォークＢ面（真空吸着穴３ｂ，３ｃの位置が大口径ウェーハ５０ｃ用）で保持すると、真空吸着穴３ｃが小口径ウェーハ５０ａの外形から外れてしまい、真空圧力が上がらず小口径のウェーハ５０ａを吸着保持することができない。
【００２８】
また、逆に、大口径のウェーハ５０ｃをフォークＡ面（真空吸着穴の位置が小口径ウェーハ５０ａ用）で保持すると、小口径ウェーハ５０ａを保持することは可能であるが、ウェーハ搬送ロボット１１０の動作中に大口径ウェーハ５０ｃのハンド１の根元側がたわんでしまい、大口径ウェーハ５０ｃと機構部１０とが接触しゴミの発生原因となってしまう。なお、撓みを最小にするようにウェーハ搬送ロボット１１０の動作速度を制限することも可能だが、スループットに大きく影響を及ぼしてしまう。
【００２９】
つまり、フォークＡ面には小口径ウェーハ５０ａの保持に最適な真空吸着穴を設け、フォークＢ面には大口径ウェーハ５０ｃの保持に最適な真空吸着穴３を設け、ウェーハ５０の口径に合わせてフォーク２の保持面を選択し、機構部１０によりフォーク２を自転させて最適な保持面でウェーハ５０を保持することにより、スループットを落とさず、信頼性の高いウェーハ搬送を可能にしている。
【００３０】
なお、フォーク２のＢ面に開口する真空吸着穴３ｂ，３ｃについて、真空吸着穴３ｂをウェーハ吸着用とし、真空吸着穴３ｃをウェーハの支え保持のみとした場合は、図７のように、フォークＢ面（大口径ウェーハ５０ｃ用の位置）が上面になっている状態において、小口径ウェーハ５０ａと大口径ウェーハ５０ｃの両方とも保持可能となる。ただし、この場合、真空吸着穴３ｂと真空吸着穴３ｃが互いに独立した真空経路を介して電磁弁１４に接続される構成とする必要がある。
【００３１】
本ハンド１を備える搬送ロボット１１０及びウェーハ搬送装置１００の動作について説明する。ウェーハサイズ切替え指令が上位装置１０８あるいはユーザー操作により実行されると、指令が実行された時点でコントローラ１０４は、ウェーハ搬送ロボット１１０のハンド１のフォーク２上面にウェーハ５０が載置しているかどうかを判定する。ウェーハ５０の載置判定方法は、ウェーハ搬送ロボット１１０を停止させた状態で、フォーク２の上面の真空吸着穴３を空吸いさせてウェーハ５０の有無を判定する。
【００３２】
コントローラ１０４は、フォーク２上面にウェーハ５０が存在すると判定した場合、載置しているウェーハ５０の搬送シーケンスを続行させて、ＦＯＵＰ１０５に収納するまで待つか、強制的にＦＯＵＰ１０５を収納させるなど、フォーク２上のウェーハ５０の処理をどうするかという指令をユーザーに選択させる。ウェーハ５０無しの判定がなされると、コントローラ１０４は搬送ロボット１１０のアーム１１２位置などの現在位置情報を収集し、ハンド１のフォーク２を回転させても干渉など起きない安全な場所に搬送ロボット１１０が位置しているかを判定する。搬送ロボット１１０が危険な位置（フォーク２が干渉する位置）にいる判定がされた時は、ハンド１を安全位置に退避させる。フォーク２が自転可能な安全位置にあることが確認されたと判定すると、コントローラ１０４は機構部１０のモータ４に駆動指令を行い、フォーク２をウェーハ５０の径に合わせた任意の位置に回転させて指定のウェーハ５０を搬送することが可能となる。
【００３３】
本実施形態のハンドによれば、１対のフォーク２間の間隔を変えることなく、フォーク２の自転により保持面の真空吸着穴３の位置を変更する構成を備えたことにより、ハンド１を小型、軽量で構成し、かつ、口径の異なるウェーハを撓ませたり位置ずれを生じさせることなく保持することができ、スループットを落とさず、信頼性の高いウェーハ搬送を実現することができる。
【００３４】
また、本実施形態では、フォーク２を自転させる機構部１０をケース９内に収容した構成とすることにより、モータ４、ベルト５、フォークプーリ６及びシャフト軸８の摩擦等により発生する可能性があるゴミや粉塵をケース９内に留め、ハンド１とウェーハ５０の吸着面以外の接触によるゴミの発生や、ウェーハ５０の吸着力不足によるウェーハ５０の落下や破損を防ぐことができる。
［第二の実施形態］
本発明の第二の実施形態を図８〜図１０に基づいて説明する。本実施形態のウェーハ搬送ロボット用ハンド８１の基本的な構成部分は、上述した図１のハンド１とほぼ同様であるが、フォーク８２がほぼ正三角柱形状に形成され、各側面に開口する真空吸着穴が設けられた点において異なる。
【００３５】
図８〜図１０は、本実施形態のハンド８１の上面図及び断面図であり、特に、図８は小口径のウェーハ５０ａを保持したときの図、図９は中口径のウェーハ５０ｂを保持したとき図、図１０は大口径のウェーハ５０ｃを保持したときの図である。
【００３６】
図８〜図１０に示すように、本実施形態では、フォーク８２は、ほぼ正三角柱形状（断面が正三角形）に形成され、それぞれの側面にはウェーハ５０を真空吸着保持させるための真空吸着穴３が設けられている。１本のフォーク８２について、３つの側面をそれぞれＣ面、Ｄ面、Ｅ面とすると、Ｃ面には１つの真空吸着穴３ｄが形成され、Ｄ面には２つの真空吸着穴３ｅ，３ｆが形成され、Ｅ面にはＤ面とは異なる配置の２つの真空吸着穴３ｇ，３ｈが形成されている。また、各側面に開口する真空吸着穴３ｄ〜３ｈは、各側面ごとに互いに独立した真空経路を構成し、それぞれ保持対象とするウェーハ５０の口径に最適な位置に配置される。１対のフォーク８２，８２は互いに同じ構成であり、モータ４の回転によりフォーク８２，８２が回転したとき、互いに同じ真空吸着穴３が配置された面が上面になるよう構成される。
【００３７】
この構成により、図８に示すようにフォーク８２のＣ面が上面にあるとき、小口径ウェーハ５０ａを最適に保持でき、図９に示すようにフォーク８２のＤ面が上面にあるとき、中口径ウェーハ５０ｂを最適に保持でき、図１０に示すように、フォーク８２のＥ面が上面にあるとき、大口径ウェーハ５０ｃを最適に保持できる。
【００３８】
また、フォーク８２の太さについて、複数枚のウェーハ５０はＦＯＵＰ１０５内で所定間隔（例えば９ｍｍ程度）を空けて保持されているので、フォーク８２は、ウェーハ５０間の隙間に挿入可能な程度の厚さとしてウェーハ間の間隔よりも十分に細く形成されている。
【００３９】
本ハンド８１でも、上記のハンド１と同様に、上位装置１０８或いはユーザー操作により異なるサイズのウェーハを搬送する指令が実行されると、コントローラ１０４よりハンド８１のモータ４へ指令がなされ、搬送されるウェーハ口径に最適な面が上面（保持面）となるようにモータ４が駆動し、フォーク２を６０度又は１２０度自転させることによって、ウェーハ５０を撓ませたり位置ずれを生じさせることなく保持することができる。
【００４０】
以上、ウェーハ搬送ロボット用のハンドについて説明してきたが、搬送対象はウェーハのみならず、ガラス基板や薄板等を搬送する搬送ロボットのハンドにも適用することができる。また、上述の実施形態では、２種及び３種の口径のウェーハ５０を吸着保持可能なハンドについて説明したが、フォークを四角柱以上の多角柱状に形成し、各側面に真空吸着穴３を設けて４種以上の口径の異なるウェーハにも対応することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１  ハンド
２  フォーク
３  真空吸着穴
４  モータ
５  ベルト
１０  機構部
５０  ウェーハ
１００  ウェーハ搬送装置
１０４  コントローラ
１１０  ウェーハ搬送ロボット
【図１】
2011125967.tif 000003
【図２】
2011125967.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2011125967.tif 000007
【図６】
2011125967.tif 000008
【図７】
2011125967.tif 000009
【図８】
2011125967.tif 000010
【図９】
2011125967.tif 000011
【図１０】
2011125967.tif 000012