(57)【要約】【課題】冷陰極放電管のさらなる長寿命化を実現することができる、長寿命で高品質な冷陰極放電管用電極の電極部およびこの電極部の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】有底筒状の形状を有する冷陰極放電管用電極の電極部１４２の内面に、電極部１４２を形成する基材１４２２より高融点の金属による第一被膜１４２４を形成し、さらに、この第一被膜１４２４の表面に、第一被膜１４２４を形成する金属の、窒化物または炭化物による第二被膜１４２６を形成することとしたものである【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有底筒状の形状を有し、ガラスバルブ内に配置され、他端部が前記ガラスバルブの外部に延出される冷陰極放電管用電極の封着線部の一端部が繋がれる、前記冷陰極放電管用電極の電極部であって、
前記有底筒状の前記電極部の内面に、前記電極部を形成する基材より高融点の金属による第一被膜を形成し、さらに、前記第一被膜の表面に、前記第一被膜を形成する前記金属の、窒化物または炭化物による第二被膜を形成したことを特徴とする電極部。
【請求項２】
前記第二被膜の表面に、前記第一被膜を形成する金属による第三被膜を形成したことを特徴とする請求項１に記載の電極部。
【請求項３】
前記電極部を形成する基材は、ニッケルまたはニッケル合金であって、前記第一被膜を形成する金属は、ニオブ、ニオブ合金、モリブデン、モリブデン合金、タングステン、タングステン合金、コバールのいずれかであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電極部。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の電極部と、
前記封着線部とを備えた冷陰極放電管用電極。
【請求項５】
請求項４に記載の冷陰極放電管用電極を備えた冷陰極放電管。
【請求項６】
請求項５に記載の冷陰極放電管を備えた液晶表示装置。
【請求項７】
有底筒状の形状を有し、ガラスバルブ内に配置され、他端部が前記ガラスバルブの外部に延出される冷陰極放電管用電極の封着線部の一端部が繋がれる、前記冷陰極放電管用電極の電極部の製造方法であって、
前記有底筒状の前記電極部の内面に、前記電極部を形成する基材より高融点の金属による第一被膜を、蒸着法によって形成する第１工程と、
前記第一被膜の表面に、前記第一被膜を形成する前記金属の、窒化物または炭化物による第二被膜を、前記蒸着法によって形成する第２工程とを含むことを特徴とする電極部の製造方法。
【請求項８】
前記蒸着法は、スパッタリング法またはイオンプレーティング法であることを特徴とする請求項７に記載の電極部の製造方法。
【請求項９】
前記蒸着法は、アンバランスドマグネトロンスパッタリング法であることを特徴とする請求項７に記載の電極部の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置のバックライトなどとして利用される冷陰極放電管が備える冷陰極放電管用電極の電極部に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置が広く普及している。液晶表示装置は、バックライトを備える。このバックライトとして、冷陰極放電管が利用されている。冷陰極放電管は、冷陰極放電管用電極を備え、これに関し、種々の技術が提案されている。例えば、導入線との高い溶接強度が得られる、例えばニッケルで有底筒状のカップ状電極部を形成し、この電極部材よりも高融点金属でスパッタリング率の低い、例えばモリブデンやニオブ、タンタル、チタン、あるいはその合金を材料とした金属被膜を、少なくともカップ状電極部の内壁面に被着させる技術が提案され、これによって、成型性に優れ、しかも溶接部の機械的強度を確保しつつ長寿命化を達成することが可能な冷陰極放電管を提供することができる、とされている。ここで、金属被膜は、スパッター法や蒸着法、ディスペンサー塗布法等の方法によって、例えば１μｍ程度の厚さで均一に被着形成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、水銀アマルガムを作りにくい材料を用い、電極の表面をその電極材料で形成できるようにして、ランプ寿命が長く、電極構造の自由度に富む冷陰極放電ランプを提供することを目的とし、例えばＮｉの薄板を筒状にプレス加工し、この筒状Ｎｉの表面に高融点金属の炭化物ＺｒＣ、ＷＣ、ＴａＣ、ＴｉＣ、ＮｂＣ、ＨｆＣまたはＭｏＣの層を、スパッタ法またはイオンプレーティング法或いは蒸着法によって形成した電極が、提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
また、表面に窒化ニオブをニオブのスパッタリングにより被膜した放電用電極部が提案され、これによれば、放電用電極部の表面に窒化ニオブが被膜されているので、放電ランプの高輝度化、長寿命化に寄与することができる、とされている。なお、窒化ニオブの他、酸化ジルコミウムにより被膜しても同様に放電ランプの高輝度化、長寿命化に寄与することができる、とされている（例えば、特許文献３参照）。
【０００５】
さらに、ニッケル、ニッケル合金、鉄、及び鉄合金から選択される１種からなる基材と、基材表面の少なくとも一部に被覆される被覆層を有し、被覆層は、タングステン又はモリブデンからなる表面層と、基材と表面層との間に存在し、亜鉛合金からなる接合層とを具えることを特徴とする冷陰極蛍光ランプ用電極が提案されている。ここで、この冷陰極蛍光ランプ用電極は、接合層を具えることで、表面層を基材に密着させることができる、とされている（例えば、特許文献４参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２５１６２６号公報
【特許文献２】特開２００５−８５４７２号公報
【特許文献３】特開２００６−１５６３１８号公報
【特許文献４】特開２００８−６００５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述のとおり、従来から、冷陰極放電管用電極の電極部を形成する基材の表面を被覆する技術が実用化されている。ここで、冷陰極放電管のさらなる長寿命化を実現することは、解決すべき重要な技術課題であり、そのためには、冷陰極放電管用電極の電極部をさらに改良することが必要であると、考えられる。
【０００８】
本発明は、冷陰極放電管のさらなる長寿命化を実現することができる、長寿命で高品質な冷陰極放電管用電極の電極部およびこの電極部の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記従来の課題に鑑みなされた本発明は、有底筒状の形状を有する冷陰極放電管用電極の電極部の内面に、この電極部を形成する基材より高融点の金属による第一被膜を形成し、さらに、この第一被膜の表面に、第一被膜を形成する金属の、窒化物または炭化物による第二被膜を形成することとしたものである。
【００１０】
本発明を反映した第１の課題解決手段は、有底筒状の形状を有し、ガラスバルブ内に配置され、他端部が前記ガラスバルブの外部に延出される冷陰極放電管用電極の封着線部の一端部が繋がれる、前記冷陰極放電管用電極の電極部であって、前記有底筒状の前記電極部の内面に、前記電極部を形成する基材より高融点の金属による第一被膜を形成し、さらに、前記第一被膜の表面に、前記第一被膜を形成する前記金属の、窒化物または炭化物による第二被膜を形成したことを特徴とする電極部である。
【００１１】
これによれば、基材と第二被膜との間に形成された第一被膜が、両者間の熱膨張率の相違に基づき発生する応力の緩衝材として機能し、第二被膜の剥離を防止することができる。
【００１２】
第２の課題解決手段は、第１の課題解決手段の電極部であって、前記第二被膜の表面に、前記第一被膜を形成する金属による第三被膜を形成したことを特徴とする。これによれば、好適な導電特性を有する電極部とすることができる。
【００１３】
第３の課題解決手段は、第１または第２の課題解決手段の電極部であって、前記電極部を形成する基材は、ニッケルまたはニッケル合金であって、前記第一被膜を形成する金属は、ニオブ、ニオブ合金、モリブデン、モリブデン合金、タングステン、タングステン合金、コバールのいずれかであることを特徴とする。これによれば、より好適な諸特性を発揮し得る電極部とすることができる。
【００１４】
第４の課題解決手段は、第１から第３の課題解決手段のいずれか１つの電極部と、前記封着線部とを備えた冷陰極放電管用電極である。これによれば、上述した機能（作用）を奏する冷陰極放電管用電極とすることができる。
【００１５】
第５の課題解決手段は、第４の冷陰極放電管用電極を備えた冷陰極放電管である。これによれば、上述した機能（作用）を奏する冷陰極放電管とすることができる。
【００１６】
第６の課題解決手段は、第５の冷陰極放電管を備えた液晶表示装置である。これによれば、上述した機能（作用）を奏する液晶表示装置とすることができる。
【００１７】
第７の課題解決手段は、有底筒状の形状を有し、ガラスバルブ内に配置され、他端部が前記ガラスバルブの外部に延出される冷陰極放電管用電極の封着線部の一端部が繋がれる、前記冷陰極放電管用電極の電極部の製造方法であって、前記有底筒状の前記電極部の内面に、前記電極部を形成する基材より高融点の金属による第一被膜を、蒸着法によって形成する第１工程と、前記第一被膜の表面に、前記第一被膜を形成する前記金属の、窒化物または炭化物による第二被膜を、前記蒸着法によって形成する第２工程とを含むことを特徴とする電極部の製造方法である。
【００１８】
これによれば、基材と第二被膜との間に形成された第一被膜が、両者間の熱膨張率の相違に基づき発生する応力の緩衝材として機能し、第二被膜の剥離を防止することが可能な電極部を製造することができる。
【００１９】
第８の課題解決手段は、第７の課題解決手段の電極部の製造方法であって、前記蒸着法は、スパッタリング法またはイオンプレーティング法であることを特徴とする。これによれば、高品質な第一被膜と第二被膜とを形成することができ、かつ第一被膜と第二被膜とを同一の手法で形成することで、電極部の製造に要する時間を短縮することができる。
【００２０】
第９の課題解決手段は、第７の課題解決手段の電極部の製造方法であって、前記蒸着法は、アンバランスドマグネトロンスパッタリング法であることを特徴とする。これによれば、有底筒状の形状を有する電極部の内面底部まで、第一被膜と第二被膜とを好適に形成することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、冷陰極放電管のさらなる長寿命化を実現することができる、長寿命で高品質な冷陰極放電管用電極の電極部およびこの電極部の製造方法を得ることができる。また、この電極部を備えた、冷陰極放電管用電極と冷陰極放電管と液晶表示装置とを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】冷陰極放電管の断面を示す図である。
【図２】パーソナルコンピュータに接続された液晶表示装置を示す図である。
【図３】冷陰極放電管用電極の電極部の断面を示す図である。
【図４】他の冷陰極放電管用電極の電極部の断面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明を反映した上記課題解決手段を実施するための実施形態について、図面を用いて以下に詳細に説明する。上記課題解決手段は、以下に記載の構成に限定されるものではなく、同一の技術的思想において種々の構成を採用することができる。例えば、以下に説明する各構成において、その材質を変更することができる。
【００２４】
（冷陰極放電管）
冷陰極放電管１００について、図１を参照して説明する。冷陰極放電管１００は、ガラスバルブ１２０と冷陰極放電用電極１４０Ａ，１４０Ｂとを備える。ガラスバルブ１２０は、例えば、硼珪酸ガラスまたはアルミノシリケードガラスによって形成されている。ガラスバルブ１２０は、筒状をなし、内面には、蛍光膜が形成されている。
【００２５】
冷陰極放電用電極１４０Ａ，１４０Ｂは、電極部１４２Ａ，１４２Ｂと封着線部１４４Ａ，１４４Ｂとを備える。具体的に、冷陰極放電用電極１４０Ａは、有底筒状をなす電極部１４２Ａの外面の底部側に、封着線部１４４Ａの一端部が繋がった形状に形成される。同様に、冷陰極放電用電極１４０Ｂは、有底筒状をなす電極部１４２Ｂの外面の底部側に封着線部１４４Ｂの一端部が繋がった形状に形成される。なお、電極部１４２Ａ，１４２Ｂおよび封着線部１４４Ａ，１４４Ｂは、ニッケル（元素記号：Ni）またはニッケル合金（以下、ニッケルおよびニッケル合金を総称して「ニッケル」という。）によって、形成される。電極部１４２Ａおよび封着線部１４４Ａと、電極部１４２Ｂおよび封着線部１４４Ｂとは、溶着などの方法によって繋げられる（接続される）。また、電極部１４２Ａおよび封着線部１４４Ａと、電極部１４２Ｂおよび封着線部１４４Ｂとを、鍛造などの加工方法によって、一体的に形成することもできる。
【００２６】
ガラスバルブ１２０の両端部には、筒状のビードガラス１６０Ａ，１６０Ｂがそれぞれ装着される。筒状をなすビードガラス１６０Ａ，１６０Ｂの内周には、冷陰極放電用電極１４０Ａ，１４０Ｂがそれぞれ取り付けられている。具体的には、ビードガラス１６０Ａの内周には、冷陰極放電用電極１４０Ａを形成する封着線部１４４Ａが貫通して取り付けられている。同様に、ビードガラス１６０Ｂの内周には、冷陰極放電用電極１４０Ｂを形成する封着線部１４４Ｂが貫通して取り付けられている。このような構造によって、ガラスバルブ１２０内は封止される。
【００２７】
冷陰極放電用電極１４０Ａ，１４０Ｂを形成する電極部１４２Ａ，１４２Ｂは、ビードガラス１６０Ａ，１６０Ｂによって、その両端部が封止されたガラスバルブ１２０内に配置される。電極部１４２Ａ，１４２Ｂは、有底筒状に形成されている。電極部１４２Ａ，１４２Ｂについての詳細は、後述する。
【００２８】
封着線部１４４Ａ，１４４Ｂの他端部（電極部１４２Ａ，１４２Ｂに繋がる側と反対側の部分）は、冷陰極放電用電極１４０Ａ，１４０Ｂが取り付けられたビードガラス１６０Ａ，１６０Ｂが、それぞれガラスバルブ１２０の両端部に装着された状態において、ガラスバルブ１２０の外部に延出された状態となる。ガラスバルブ１２０の外部に延出された封着線部１４４Ａ，１４４Ｂの各他端部には、リード線（図１で図示を省略）が接続されている。すなわち、このリード線を介して、電極部１４２Ａ，１４２Ｂに電流が流れる。
【００２９】
ガラスバルブ１２０内には、放電媒体（図１で図示を省略）が封入されている。例えば電極部１４２Ａで放電された電子が、電極部１４２Ｂに移動する際に、この放電媒体と衝突し、これによって紫外線が放射され、放射された紫外線が、ガラスバルブ１２０の内面の蛍光膜に照射されることで、冷陰極放電管１００が点灯する。ガラスバルブ１２０内に封入される放電媒体は、希ガス（キセノン（元素記号：Xe），アルゴン（元素記号：Ar））および水銀蒸気の混合ガスである。
【００３０】
冷陰極放電管１００は、例えば図２に示すパーソナルコンピュータ２００の液晶表示装置２２０のバックライトとして利用される。また、コピー機、ファクシミリ装置またはイメージスキャナなどが備える画像読取部の光源として利用することもできる。
【００３１】
（電極部）
冷陰極放電用電極１４０Ａ，１４０Ｂを形成する電極部１４２Ａ，１４２Ｂについて、図３を参照して説明する。なお、電極部１４２Ａ，１４２Ｂは、同一形状であるため、以下では、両者を区別することなく説明することとし、電極部１４２Ａ，１４２Ｂを総称して、「電極部１４２」という。また、冷陰極放電用電極１４０Ａ，１４０Ｂおよび封着線部１４４Ａ，１４４Ｂについても総称して、電極部１４２と同様に、「冷陰極放電用電極１４０」および「封着線部１４４」という。
【００３２】
図３（ａ）に示す電極部１４２は、有底筒状に形成された基材１４２２を本体部分として形成される。基材１４２２は、上述したとおり、ニッケルの基材を鍛造などの加工方法によって、有底筒状に形成される。有底筒状に形成された基材１４２２の内面には、第一被膜１４２４が形成されている。また、第一被膜１４２４の表面には、第二被膜１４２６が形成されている。さらに、第二被膜１４２６の表面には、第三被膜１４２８が形成されている。なお、第一被膜１４２４と第二被膜１４２６と第三被膜１４２８とは、第一被膜１４２４、第二被膜１４２６、第三被膜１４２８の順で順次形成される。
【００３３】
第一被膜１４２４と第二被膜１４２６と第三被膜１４２８とは、例えば物理蒸着法によって形成される。具体的に、スパッタリング法またはイオンプレーティング法によって形成される。また、アンバランスドマグネトロンスパッタリング（Unbalanced Magnetron Spattaring）法によって形成することもできる。ここで、スパッタリング法（スパッタ法）とは、真空蒸着法の一種で、比較的低い真空度で電界プラズマを発生させ、イオン化したアルゴンを加速してターゲットに衝突させて目的の原子を叩き出し、基板上に製膜する方法である。プラズマの発生方法、ターゲットの形状、基板配置、雰囲気ガスの種類によって種々のタイプがある（図解  金属材料技術用語辞典，金属材料技術研究所編，日刊工業新聞社発行，発行日：１９９４年５月２５日，２７７−２７８頁）。
【００３４】
また、インオンプレーティング法（インオンプレーティング）とは、各種金属を蒸発させ、その粒子群を残留ガス（通常アルゴン（Ar））の放電プラズマ中を通過させてイオン化し、非処理材に衝突付着させる処理で、物理蒸着（PVD）法の代表である。真空蒸着にプラズマ効果を結合させた成膜法で、残留ガス中に反応ガスを混入させることにより、金属蒸発粒子と反応させて化合物被膜もできる（同上，２５頁）。
【００３５】
さらに、アンバランスドマグネトロンスパッタリング法とは、上述したスパッタリング法の一種であって、スパッタカソードの磁場を意図的に非平衡にすることで、基板へのプラズマ照射を強化したスパッタリング方式であるとされている（http://www.kobelco.co.jp/p109/pvd/ubms.htm参照）。基材１４２２の内径（D）と深さ（H）との関係が、「H≧1.5D」である場合、アンバランスドマグネトロンスパッタリング法が好適である。すなわち、アンバランスドマグネトロンスパッタリング法は、より深い底部に対して、被膜を形成することができる。
【００３６】
第一被膜１４２４は、基材１４２２を形成するニッケルと比較し、より高融点の金属である、ニオブ（元素記号：Nb）、ニオブ合金、モリブデン（元素記号：Mo）、モリブデン合金、タングステン（元素記号：W）、タングステン合金、コバール（鉄（Fe）−ニッケル（Ni）−コバルト（Co）合金）のいずれかによって形成される。
【００３７】
第二被膜１４２６は、第一被膜１４２４を形成するニオブなどの窒化物または炭化物によって形成される。また、第三被膜１４２８は、第一被膜１４２４を形成するニオブなどによって形成される。すなわち、第一被膜１４２４および第三被膜１４２８は、同一の金属による被膜である。これに対し、第二被膜１４２６は、第一被膜１４２４および第三被膜１４２８を形成する金属の化合物による被膜である。
【００３８】
第二被膜１４２６を形成する際、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置またはアンバランスドマグネトロンスパッタリング装置内に、窒素ガスまたは炭酸ガス（例えば二酸化炭素）が、供給される。具体的には、供給バルブを開閉状態に移行し、装置と配管された気体の保存タンクから、窒素ガスなどが供給される。
【００３９】
ここで、図３（ａ）に示す電極部１４２の内面において、その表面を所定の金属の化合物としない理由は、この面の電気抵抗を考慮したものである。また、電極部１４２の内面において形成される被膜を、所定の膜厚（第一被膜１４２４と第二被膜１４２６と第三被膜１４２８との合計膜厚）を有する単一被膜としない理由は、冷陰極放電管１００の寿命を考慮したものである。
【００４０】
さらに、第一被膜１４２４および第三被膜１４２８を、第二被膜１４２６を形成する化合物を構成する金属とした理由は、各被膜のはく離を考慮したものである。すなわち、このような構成によって、第一被膜１４２４と第二被膜１４２６との熱膨張率、および第二被膜１４２６と第三被膜１４２８との熱膨張率を、略同一とすることができ、電極部１４２の温度が上昇した場合であっても、各被膜のはく離を抑制することが可能となる。
【００４１】
有底筒状をなす電極部１４２の外面の底部側には、環状の凸部１４３０が形成されている。凸部１４３０は、封着線部１４４を電極部１４２の外面の底部側に溶着するときの、位置決めとしての機能を有する。なお、組立治具などによって電極部１４２および封着線部１４４の位置決めを行った上で、両者を溶着などの方法で繋げる場合、または、ニッケルの基材から、鍛造などの加工方法によって、電極部１４２および封着線部１４４を一体とした冷陰極放電用電極１４０とする場合、凸部１４３０は、省略することができる（図３（ｂ）参照）。
【００４２】
図３（ａ）に示す電極部１４２において、第三被膜１４２８を省略した構成とすることもできる（図３（ｃ）参照）。第三被膜１４２８を省略するか否かは、各種の点を考慮し決定することができる。例えば、第二被膜１４２６の電気特性（電気抵抗）を考慮し、第三被膜１４２８を形成するか否かが決定される。上記物理蒸着法によって、ニオブなどの窒化物または炭化物を形成した場合であっても、第二被膜１４２６は、その全てが、窒化物または炭化物によって形成されるものではなく、その一部は、ニオブなどの状態で形成される。すなわち、第二被膜１４２６は、ニオブなどと、これらの窒化物または炭化物とが混在した状態となっている。そこで、第二被膜１４２６の電気特性などを考慮し、これが十分でない場合などに、第三被膜１４２８を形成した電極部１４２とすることもできる。
【００４３】
また、図３に示す電極部１４２は、図４（ａ）に示す形状とすることもできる。なお、図４の電極部は、図３の電極部１４２と、その形状が相違するのみであるから、図４では、図３の電極部１４２の各部に対応する部分について、同一の符号を付している。図４（ａ）に示す電極部１４２についての詳細は、上述のとおりであるから、その説明は省略する。なお、図３（ｂ）同様、図４の場合も、凸部１４３０を省略した構成とすることもできる（図４（ｂ）参照）。また、図３（ｃ）同様、図４の場合も、第三被膜１４２８を省略した構成とすることもできる（図４（ｃ）参照）。
【００４４】
（本実施形態の構成による有利な効果）
本実施形態では、ニッケルによる基材１４２２の表面に、ニッケルより高融点のニオブなどによる第一被膜１４２４を形成し、さらに、その表面に第一被膜１４２４を形成するニオブなどの窒化物または炭化物による第二被膜１４２６を形成した電極部１４２とした。これによれば、第一被膜１４２４が、基材１４２２と第二被膜１４２６との熱膨張率の相違に基づき発生する応力の緩衝材として機能し、第二被膜１４２６の剥離を防止することができる。換言すれば、第二被膜１４２６の剥離を防止可能な、長寿命で高品質な電極部１４２とすることができる。なお、電極部１４２によれば、冷陰極放電管用電極と、これを備えた冷陰極放電管および液晶表示装置２２０とを、長寿命化することができる。
【００４５】
（変形例）
本実施形態の構成は、次のようにすることもできる。
【００４６】
（１）上記では、第一被膜１４２４と第二被膜１４２６と第三被膜１４２８とが、物理蒸着法によって形成される場合を例に説明したが、この他、例えば化学蒸着法（CVD）によって、これら被膜を形成してもよい。
【００４７】
（２）エッチングなどにより、基材１４２２の表面粗さを増加させることで、基材１４２２の表面と第一被膜１４２４との密着性を向上させることができる。同様に、第一被膜１４２４の表面粗さを増加させることで、第一被膜１４２４の表面と第二被膜１４２６との密着性を向上させることが可能で、また、第二被膜１４２６の表面粗さを増加させることで、第二被膜１４２６の表面と第三被膜１４２８との密着性を向上させることができる。
【符号の説明】
【００４８】
１００  冷陰極放電管
１２０  ガラスバルブ
１４０Ａ，１４０Ｂ，１４０  冷陰極放電用電極
１４２Ａ，１４２Ｂ，１４２  電極部
１４２２  基材
１４２４  第一被膜
１４２６  第二被膜
１４２８  第三被膜
１４４Ａ，１４４Ｂ，１４４封着線部
１６０Ａ，１６０Ｂ  ビードガラス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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