(57)【要約】【課題】  通常のガラス版でも精密な印刷を実施可能とする。【解決手段】  真空引き用の多数の細孔３とそれに連通する真空引き流路５を備えたステージ本体２の下部に熱媒体流路８を設け、その入口９と出口１０に、チラー等の熱媒体温度調節装置１１を接続する。ステージ本体２の上に載置したガラス版１を吸着保持した状態で、ガラス版１が印刷環境の温度や印刷装置の他の機器の温度の影響を受けて温度上昇あるいは温度低下しようとすると、熱媒体温度調節装置よりステージ本体２の熱媒体流路８に常時循環流通させてある所定温度の水により、直ちにその熱を吸収あるいは放出させることで、ガラス版１の温度を、印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持させ、これにより、ガラス版１の熱膨張や熱収縮に起因する印刷パターンやその版溝の位置ずれを１μｍ以下に抑制させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に載置するガラス版を真空吸着して保持できるようにしてあるステージ本体における所要個所に、上記ステージ本体に吸着保持するガラス版の温度を該ガラス版に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持するための温度制御手段を設けてなる構成を有することを特徴とする版吸着ステージ装置。
【請求項２】
ステージ本体に吸着保持するガラス版の温度を該ガラス版に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持するための温度制御手段を、ステージ本体の所要個所に設けた熱媒体流路と、上記熱媒体流路の入口と出口に接続して該熱媒体流路へ所定温度に調節した熱媒体を循環流通させる熱媒体温度調節装置とからなる構成とした請求項１記載の版吸着ステージ装置。
【請求項３】
ステージ本体に吸着保持するガラス版の温度を該ガラス版に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持するための温度制御手段として、熱電ユニットを用いるようにした請求項１記載の版吸着ステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷装置にて使用する平板状の版を吸着して保持させるために用いる版吸着ステージ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、金属蒸着膜のエッチング等による微細加工に代えて、導電性ペーストを印刷インクとして用いた印刷技術、たとえば、凹版オフセット印刷技術を用いて基板上に液晶ディスプレイ等の電子回路を印刷して形成する手法が提案されてきている。
【０００３】
上記液晶ディスプレイ等の電子回路を基板に形成する場合は、電極となる線幅として、たとえば、１０μｍ程度と微細なものが要求されることがある。そのため、上記基板上に電子回路を印刷により形成する場合は、紙等に文字や画像を印刷する通常のオフセット印刷に比して高い印刷精度が要求される。
【０００４】
なお、オフセット印刷装置の一種として、円筒状の金属製シリンダに施したメッキ上に印刷絵柄を刻設した版胴と、円筒状の金属性シリンダにブランケットを巻装し、上記版胴に接して版胴上に付着したインキを転写して平板状の被印刷物に印刷するオフセットロールとを具備してなるグラビアオフセット印刷装置において、上記版胴を構成するシリンダ内における該シリンダの表面近傍に、軸方向に平行な通水孔を複数設けると共に、隣接する通水孔の端部に、ヘッダに設けたＵ字形の通水孔を取り付けて、すべての通水孔が直列に接続されるようにし、該直列に接続された各通水孔に冷却水を流通させて上記版胴のシリンダの表面近傍温度を制御するための水冷構造を設けた構成とすることが従来提案されている。
【０００５】
かかる水冷構造を備えたグラビアオフセット印刷装置によれば、版胴上に印刷パターンを形成したときの温度と、実際の印刷処理を行うクリーンルームの温度が異なる場合に、温度変化に伴う版の膨張や収縮を抑えることができて、像ずれや歪み、印刷位置精度の悪化を防止して、高精度の印刷を行うことができるとされている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００６】
ところで、版と印刷対象は同じ形状としたほうが、オフセット印刷による転写（受理）と再転写（印刷）による印刷パターンの再現性が高いため、前述したような基板へ電子回路のような精密な印刷パターンの印刷を行う場合は、平板状の版を用いることが有利に働く。
【０００７】
そこで、本発明者等は、上記基板へ電子回路を印刷する場合のような精密な印刷パターンの印刷を高精度で行うための版として平板状の版を用いるようにすると共に、該平板状の版として、ガラス製の版を用いることを計画している。
【０００８】
なお、一般に、版は印刷処理に使用することで徐々に摩耗するため、定期的あるいは所要の印刷処理回数ごとに交換する必要がある。又、同じ印刷装置で重ね刷りを行う場合には、該重ね刷りを行うための複数の版を順次交換して用いる必要がある。
【０００９】
そのために、平板状の版を用いる形式の印刷装置では、版の設置個所に真空吸着ステージを設けて、版を該真空吸着ステージ上の所定個所に載置した状態で吸着させて保持させるようにすることが広く行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００６−６９０２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところが、上記特許文献１に示されたものでは、版である版胴自体の内部に水冷構造を設けるようにしてあるため、版胴の構成が複雑になり、コストが嵩む。しかも、重ね刷りを行うために複数の版を用いる場合には、該複数の版に要するコストが多大のものとなってしまう。
【００１２】
更に、本発明者等が計画しているガラス製の平板状の版の場合は、該ガラス製の版の内部に上記特許文献１に示されたような通水孔を有する水冷構造を内蔵させることは困難である。
【００１３】
なお、ガラス製の平板状の版の温度変化に伴う膨張や収縮により該版における印刷パターンや版溝の寸法精度が低下して印刷精度が低下する虞を未然に防止するための対策としては、通常のガラスに比して熱膨張率が１／１０程度と小さい石英ガラスを材料として平板状の版を製作することが考えられるが、石英ガラス製の版はコストが嵩み、更に、重ね刷りを行うために用いる複数の版を石英ガラス製とする場合は、多大なコストを要するという問題が生じてしまう。
【００１４】
そこで、本発明は、印刷装置で印刷処理に用いるガラス製の版を吸着して保持することができ、且つ上記ガラス製の版に印刷パターンを形成したときの温度と、実際の印刷処理を行うクリーンルーム内等の印刷環境の温度が異なる場合に、石英ガラスのような熱膨張率の小さいガラス製ではない通常のガラス製の版を用いても、印刷処理時に上記ガラス製の版に形成してある印刷パターンの版溝の寸法精度や位置精度を保つことができて、基板へ電子回路の精密な印刷パターンの印刷を行う場合のような精密な印刷処理を行うことが可能な版吸着ステージ装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、上記課題を解決するために、請求項１に対応して、上面に載置するガラス版を真空吸着して保持できるようにしてあるステージ本体における所要個所に、上記ステージ本体に吸着保持するガラス版の温度を該ガラス版に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持するための温度制御手段を設けてなる構成とする。
【００１６】
又、上記構成において、ステージ本体に吸着保持するガラス版の温度を該ガラス版に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持するための温度制御手段を、ステージ本体の所要個所に設けた熱媒体流路と、上記熱媒体流路の入口と出口に接続して該熱媒体流路へ所定温度に調節した熱媒体を循環流通させる熱媒体温度調節装置とからなる構成とする。
【００１７】
同様に、上記構成において、ステージ本体に吸着保持するガラス版の温度を該ガラス版に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持するための温度制御手段として、熱電ユニットを用いるようにした構成とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の版吸着ステージ装置によれば、以下のような優れた効果を発揮する。 
（１）上面に載置するガラス版を真空吸着して保持できるようにしてあるステージ本体における所要個所に、上記ステージ本体に吸着保持するガラス版の温度を該ガラス版に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持するための温度制御手段を設けてなる構成としてあるので、印刷処理に使用するガラス版をステージ本体上に吸着保持した状態で、該ガラス版に印刷装置の他の機器の温度が影響したり、該ガラス版が印刷環境の温度変化の影響を受けるとしても、上記ガラス版の温度変動を、該ガラス版に対する印刷パターン形成時の版温度を基準とする±０．１℃以下に抑えることができる。したがって、上記ガラス版として、石英ガラスのような熱膨張率の小さいガラスではない通常のガラス製のガラス版を用いる場合であっても、該ガラス版の温度変化に伴う膨張や収縮に起因する印刷パターンの位置ずれを１μｍ以下に抑えることができ、これにより、印刷処理時に上記ガラス版に形成してある印刷パターンの版溝の寸法精度や位置精度を高精度に保つことができることから、基板へ電子回路の精密な印刷パターンの印刷を行う場合のような精密な印刷処理を実施できる。 
（２）よって、上記のような精密な印刷処理を、石英ガラス製ではない通常のガラス製のガラス版を用いて行うことができるため、精密印刷を行う場合のガラス版に要するコストを大幅に低減させることが可能になる。 
（３）ステージ本体に吸着保持するガラス版の温度を該ガラス版に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持するための温度制御手段を、ステージ本体の所要個所に設けた熱媒体流路と、上記熱媒体流路の入口と出口に接続して該熱媒体流路へ所定温度に調節した熱媒体を循環流通させる熱媒体温度調節装置とからなる構成とすることにより、上記（１）の効果を有する版吸着ステージ装置の構成を容易に実現できる。 
（４）ステージ本体に吸着保持するガラス版の温度を該ガラス版に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持するための温度制御手段として、熱電ユニットを用いるようにした構成とすることによっても、上記（１）の効果を有する版吸着ステージ装置の構成を容易に実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の印刷装置の版吸着ステージ装置の実施の一形態を示す概要図である。
【図２】図１の版吸着ステージ装置におけるステージ本体を拡大して示す切断側面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ方向矢視図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ方向矢視図である。
【図５】図２のＣ−Ｃ方向矢視図である。
【図６】本発明の実施の他の形態を示す図２に対応する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための形態を図面を参照して説明する。
【００２１】
図１乃至図５は本発明の版吸着ステージ装置の実施の一形態を示すもので、以下のようにしてある。
【００２２】
すなわち、上面に平板状のガラス製の版（以下、単にガラス版という）１を載置するためのステージ本体２の内部に、版吸着面となる上面に開口する多数の真空引き用の細孔３を設けると共に、１つの引き口４から上記すべての細孔３の下端側に連通する真空引き流路５を設け、且つ上記引き口４に、ポンプ又はエジェクタ等の真空引き装置６を、真空引きライン７を介して接続する。これにより、上記ステージ本体２の上面にガラス版１を載置した状態で上記真空引き装置６を稼働させることで、上記真空引きライン７を介してステージ本体２における真空引き流路５と真空引き用の各細孔３の内部圧力を減圧させ、この減圧された各細孔３の内部圧力と外部圧力との圧力差に基づいて上記ガラス版１をステージ本体２の上面に吸着して保持できるようにする。
【００２３】
更に、上記ステージ本体２における上記真空引き流路５及び各細孔３と干渉しない所要個所、たとえば、上記真空引き流路５よりも下方となる該ステージ本体２の下部に、温度制御手段として、上記吸着保持対象とするガラス版１の平面形状にほぼ対応する領域に配置した熱媒体流路８を設けると共に、該熱媒体流路８の入口９と出口１０に、チラー等の熱媒体温度調節装置１１を、熱媒体供給ライン１２と熱媒体戻しライン１３を介してそれぞれ接続してなる構成とし、上記熱媒体温度調節装置１１より上記熱媒体供給ライン１２を通して供給される所要温度の熱媒体、たとえば、所要温度の水１４を、上記ステージ本体２に設けた熱媒体流路８に入口９側より出口１０側へ流通させることで、該所定温度の水１４によるステージ本体２の温度調節を介して、該ステージ本体２の上に吸着保持した上記ガラス版１の温度を、該ガラス版１に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持できるようにする。
【００２４】
詳述すると、上記ステージ本体２は、上記真空引き用の多数の細孔３と真空引き流路５と熱媒体流路８を容易に形成できるようにするために、たとえば、図２に示すように、所要の矩形板状としてある細孔穿設部材１５と真空引き流路形成部材１６と熱媒体流路形成部材１７とを上下に積層した３ピースの組立構造としてある。
【００２５】
上記細孔穿設部材１５は、図３に示すように、その上側に載置する吸着保持対象となるガラス版１の外形よりも一回り小さい領域に、水平面内で直交する２方向であるＸ方向及びＹ方向（後述する図４、図５でも同様）にそれぞれ所要間隔で並ぶ配置で、上記真空引き用の細孔３を上下方向に貫通させて多数穿設した構成としてある。
【００２６】
上記真空引き流路形成部材１６は、図４に示すように、その上面に、上記細孔穿設部材１５にてＸ方向又はＹ方向のいずれか一方、たとえば、Ｘ方向に沿って細孔３が配列された列の各列に個別に対応してＸ方向に延びる流路形成溝１８を設けると共に、該各Ｘ方向の流路形成溝１８の長手方向一端部同士を繋ぐようにＹ方向に延びる流路形成溝１９を設けた構成としてある。これにより、図２に示すように、上記真空引き流路形成部材１６の上面に上記細孔穿設部材１５の下面を密着させて配置することで、該真空引き流路形成部材１６の上面に設けた各流路形成溝１８，１９の両側面及び内底面と、その上方に位置する上記細孔穿設部材１５の下面で囲まれる部分に、上記細孔穿設部材１５に設けてある各細孔３の下端に連通する上記真空引き流路５を形成できるようにしてある。
【００２７】
又、図４に示すように、上記真空引き流路形成部材１６の上面における外周縁部には、Ｏリング挿入溝２０が全周に亘り設けてある。これにより、図２に示すように上記Ｏリング挿入溝２０に所要のＯリング２１を挿入配置した状態で、上記したように真空引き流路形成部材１６の上面に上記細孔穿設部材１５の下面を密着させることで、該真空引き流路形成部材１６の各流路形成溝１８，１９と細孔穿設部材１５の下面で囲まれる部分に形成させる上記真空引き流路５の気密性を、その外周を取り囲むように配置してある上記Ｏリング２１により担保できるようにしてある。
【００２８】
更に、上記真空引き流路形成部材１６は、図４に示すように、上記各流路形成溝１８，１９における所要の１個所、たとえば、Ｙ方向の流路形成溝１９の長手方向中間部に、外部と連通する引き口４を、上記Ｏリング挿入溝２０と干渉しないように設けて、真空引きライン７を接続できるようにした構成としてある。
【００２９】
上記熱媒体流路形成部材１７は、図５に示すように、その上面に、Ｘ方向に延びる熱媒体流路形成溝２２をＹ方向に所要間隔で複数配列して設けると共に、該各Ｘ方向の熱媒体流路形成溝２２の長手方向一端部同士及び他端部同士をそれぞれ繋ぐＹ方向に延びる熱媒体流路形成溝２３を設けた構成としてある。これにより、図２に示すように、上記熱媒体流路形成部材１７の上面に上記真空引き流路形成部材１６の下面を密着させて配置することで、該熱媒体流路形成部材１７の上面に設けた各熱媒体流路形成溝２２，２３の両側面及び内底面と、その上方に位置する上記真空引き流路形成部材１６の下面で囲まれる部分に、上記熱媒体流路８を形成できるようにしてある。
【００３０】
又、図５に示すように、上記熱媒体流路形成部材１７の上面における外周縁部には、Ｏリング挿入溝２４が全周に亘り設けてある。これにより、図２に示すように上記Ｏリング挿入溝２４に所要のＯリング２５を挿入配置した状態で、上記したように熱媒体流路形成部材１７の上面に上記真空引き流路形成部材１６の下面を密着させることで、該熱媒体流路形成部材１７の各熱媒体流路形成溝２２，２３と真空引き流路形成部材１６の下面で囲まれる部分に形成させる上記熱媒体流路８の水密性（気密性）を、その外周を取り囲むように配置してある上記Ｏリング２５により担保できるようにしてある。
【００３１】
更に、上記熱媒体流路形成部材１７は、図５に示すように、上記各熱媒体流路形成溝２２，２３における所要個所、たとえば、各Ｙ方向の熱媒体流路形成溝２３の長手方向の２個所ずつに、外部に連通する入口９と出口１０を、上記Ｏリング挿入溝２４と干渉しないようにそれぞれ設けて、熱媒体供給ライン１２と熱媒体戻しライン１３をそれぞれ接続できるようにした構成としてある。
【００３２】
よって、上記細孔穿設部材１５と真空引き流路形成部材１６と熱媒体流路形成部材１７を、上記各Ｏリング挿入溝２０，２４に各Ｏリング２１，２５をそれぞれ挿入配置した状態で上下方向に重ねて密着させ、この状態で図示しない固定手段により固定することで、上記多数の細孔３と真空引き流路５と熱媒体流路８を内部に備えたステージ本体２を容易に形成できるようにしてある。
【００３３】
なお、上記ステージ本体２の熱媒体流路８を流通させる所要温度の水１４により、上記ステージ本体２の上側に吸着保持するガラス版１の温度の調節を行う際には、上記熱媒体流路８を流通する所要温度の水１４と、上記ガラス版１との間で、上記ステージ本体２における上記熱媒体流路８よりも上方に位置する部分、すなわち、上記細孔穿設部材１５と真空引き流路形成部材１６を介した上下方向の熱伝導により熱交換が行われるようになる。一方、上記細孔穿設部材１５に設けてある各細孔３と、上記真空引き流路形成部材１６の各流路形成溝１８，１９の位置に形成される上記真空引き流路５は、内部が空洞であるため、熱伝導が生じない。
【００３４】
したがって、上記ステージ本体２の熱媒体流路８を流通させる所要温度の水１４により、上記ステージ本体２の上側に吸着保持するガラス版１の温度の調節を効率よく行うという観点からすると、図２に示すように、上記熱媒体流路形成部材１７に設ける各熱媒体流路形成溝２２，２３の位置と、上記真空引き流路形成部材１６に設ける各流路形成溝１８，１９の位置が、できるだけ上下に重ならない配置となるように設定して、上記各熱媒体流路形成溝２２，２３の位置に形成される上記熱媒体流路８の真上に、上記真空引き流路形成部材１６の各流路形成溝１８，１９の位置に形成される上記真空引き流路５や、上記各細孔３が位置しないようにすることが望ましい。
【００３５】
上記熱媒体温度調節装置１１は、予め、上記ステージ本体２の上側に吸着保持させたガラス版１を、実際の印刷処理を行うクリーンルーム内等の印刷環境に配置して、上記ガラス版１が該印刷環境の温度の影響を受けるようにした状態で、該熱媒体温度調節装置１１より熱媒体供給ライン１２を介して上記ステージ本体２の熱媒体流路８に入口９より出口１０へ流通させる水１４との熱交換を試験的に行わせることで、上記ガラス版１の温度が、該ガラス版１に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持され、且つ該ガラス版１の面内の温度分布に均一性が得られるように、上記ステージ本体２の熱媒体流路８へ向けて供給する水１４の温度や流量を設定して、該設定温度に温度調整された状態の恒温の水１４を、上記熱媒体流路へ順次供給できるようにしてあるものとする。
【００３６】
なお、上記ガラス版１の温度を、該ガラス版１に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持することとしたのは、ガラスの熱膨張率が、９×１０−６ｍ／Ｋ≒１０−５ｍ／Ｋであるので、ガラス製のガラス版１の温度変動に伴う膨張又は収縮による位置ずれを１μｍ以下に抑えるための条件は、以下のようになる。
１０−６ｍ（＝１μｍ）＞１０−５ｍ／Ｋ×ｘＫ
∴  ｘＫ＜１０−６ｍ÷１０−５ｍ／Ｋ＝０．１Ｋ
【００３７】
したがって、上記ガラス版１の熱膨張率から、ガラス版１に温度変動が生じるとしても、その温度変動を±０．１℃より小さく抑えれば、石英ガラスのような熱膨張率の小さいガラスではない通常のガラス版１に温度変動に伴う膨張あるいは収縮が生じても、該ガラス版１に設けてある印刷パターンの位置ずれを１μｍ以下に抑えることができるためである。
【００３８】
以上の構成としてある本発明の版吸着ステージ装置を使用する場合は、熱媒体温度調節装置１１を運転して、該熱媒体温度調節装置１１より、予め設定された所定温度の水１４を、予め設定された所定流量で熱媒体供給ライン１２を経てステージ本体２の熱媒体流路８へ入口９より供給し、該熱媒体流路８の出口１０より排出される水１４を、熱媒体戻しライン１３を通して上記熱媒体温度調節装置１１へ戻すようにし、これにより、該熱媒体温度調節装置１１と上記ステージ本体２の熱媒体流路８の間で上記所定温度の水を所定流量で循環させる。
【００３９】
次に、ステージ本体２上にガラス版１を載置した後、真空引き装置６を稼働させると、真空引きライン７を介してステージ本体２に設けてある引き口４より真空引き流路５と真空引き用の各細孔３の内部圧力が減圧され、この減圧された各細孔３の内部圧力と外部圧力との圧力差に基づいて上記ガラス版１がステージ本体２の上面に吸着して保持されるようになると共に、該保持されたガラス版１の温度が、上記熱媒体温度調節装置１１よりステージ本体２の熱媒体流路８へ循環供給されている上記所定温度の水１４により、該ガラス版１に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持される。
【００４０】
この状態で、オフセット印刷を開始させて、上記ガラス版１に対して図示しないインキング装置によりインキングを施したり、インキングされたガラス版１に図示しないブランケットロールを接触させると、該ガラス版１の温度と、接触する上記図示しないインキング装置や図示しないブランケットロールの温度との間に温度差がある場合は、その温度差の影響を受けてガラス版１の温度が変わろうとする。又、たとえば、一般に、印刷環境を保持するために使用するクリーンルームは、その内部温度を±０．３℃程度の温度変動を許容した状態で温度調節を行うようにしてあるため、上記ガラス版１の温度と、印刷環境の温度との間に温度差が生じた場合は、その温度差の影響を受けて、ガラス版１の温度が変わろうとする。
【００４１】
しかし、上記のようにしてガラス版１の温度が変わろうとすると、上記ステージ本体２の熱媒体流路８に循環流通させることでステージ本体２を介した熱伝導により該ガラス版１と熱交換できるようにしてある上記所定温度の水１４が、直ちに、上記ガラス版１の温度を上昇させる方向に作用する熱は吸収し、一方、上記ガラス版１の温度を低下させる方向に作用する熱（冷熱）はその分の熱を上記ガラス版１へ放出するようになるため、上記ガラス版１の温度が、該ガラス版１に対する印刷パターン形成時の版温度を基準とする±０．１℃の温度範囲に保持されるようになる。
【００４２】
上記のようにして、ステージ本体２の熱媒体流路８を流通する間にガラス版１の温度を上昇させる方向に作用する熱を吸収するか、あるいは、上記ガラス版１の温度を低下させる方向に作用する熱（冷熱）は相当分の熱を放出することに供された後の水１４は、上記熱媒体流路８の出口１０より熱媒体戻しライン１３を経て熱媒体温度調節装置１１へ戻され、該熱媒体温度調節装置にて、上記ガラス版１より吸収あるいはガラス版１へ放出した熱に相当する分の熱が、放出あるいは吸収された後、上記ステージ本体２の熱媒体流路８へ供給する所定温度の水１４として再利用されるようになる。
【００４３】
このように、本発明の版吸着ステージ装置によれば、印刷処理に使用するガラス版１を吸着保持することができると共に、該吸着保持したガラス版１に、印刷装置の図示しないインキング装置やブランケットロールが接触したり、印刷環境の温度変化が生じるとしても、上記ガラス版１の温度変動を、該ガラス版１に対する印刷パターン形成時の版温度を基準とする±０．１℃以下に抑えることができる。
【００４４】
このため、上記ガラス版１として、石英ガラスのような熱膨張率の小さいガラスではない通常のガラス版１を用いても、該ガラス版１の温度変化に伴う膨張や収縮に起因して生じるガラス版１の印刷パターンの位置ずれを１μｍ以下に抑えることができ、よって、印刷処理時に上記ガラス版１に形成してある印刷パターンの版溝の寸法精度や位置精度を高精度に保つことができることから、基板へ電子回路の精密な印刷パターンの印刷を行う場合のような精密な印刷処理を実施することができる。
【００４５】
したがって、上記のような基板へ電子回路の精密な印刷パターンの印刷を行う場合のような精密な印刷処理を、石英ガラス製ではない通常のガラス版１を用いて実現できるため、上記精密印刷を行う場合のガラス版１に要するコストを大幅に低減させることが可能となる。
【００４６】
次に、図６は本発明の実施の他の形態を示すもので、図１乃至図５に示した版吸着ステージ装置と同様の構成において、ステージ本体２に吸着保持するガラス版１の温度を該ガラス版１に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持するための温度制御手段を、ステージ本体２の下部に設けた熱媒体流路８と、該熱媒体流路８の入口９と出口１０に接続して上記熱媒体流路８へ所定温度の熱媒体としての水１４を循環供給する熱媒体温度調節装置１１とからなる構成とすることに代えて、ペルチェ素子等の熱電ユニット２６を用いるようにしたものである。
【００４７】
具体的には、ステージ本体２を、図２に示した如き細孔穿設部材１５と真空引き流路形成部材１６と熱媒体流路形成部材１７を上下方向に積層してなる３ピースの組立構造に代えて、図２及び図３に示したと同様の細孔穿設部材１５と、図２及び図４に示したと同様の真空引き流路形成部材１６とを上下に積層してなる２ピースの組立構造のステージ本体２ａとし、且つ該ステージ本体２ａの下端面における上記吸着保持対象となるガラス版１の平面形状とほぼ対応する領域に、上記熱電ユニット２６を取り付ける。
【００４８】
更に、上記熱電ユニット２６に、上記ステージ本体２ａの温度調節を介して、該ステージ本体２ａの上に吸着保持するガラス版１の温度を、該ガラス版１に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持できるよう制御するための図示しない制御器を接続した構成とする。
【００４９】
その他の構成は図１乃至図５に示したものと同様であり、同一のものには同一の符号が付してある。
【００５０】
以上の構成としてある本実施の形態の版吸着ステージ装置によれば、上記ステージ本体２ａの上側に吸着保持させたガラス版１を用いてオフセット印刷を行う際に、印刷装置の図示しないインキング装置やブランケットロールの温度の影響や、印刷環境の温度の影響を受けて、該ガラス版１の温度が変わろうとする際には、上記ステージ本体２ａの下端側に設けてある熱電ユニット２６が、直ちに、上記ガラス版１の温度を上昇させる方向に作用する熱は吸収し、一方、上記ガラス版１の温度を低下させる方向に作用する熱（冷熱）はその分の熱を上記ガラス版１へ放出するようになるため、上記ガラス版１の温度は、該ガラス版１に対する印刷パターン形成時の版温度を基準とする±０．１℃の温度範囲に保持されるようになる。
【００５１】
したがって、本実施の形態の版吸着ステージ装置によっても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００５２】
なお、本発明は上記実施の形態のみに限定されるものではなく、ステージ本体２，２ａ上に載置するガラス版１を吸引して保持できるようにしてあれば、ステージ本体２，２ａに設ける真空引き用の細孔３の径や数や配置、真空引き流路５の幅や配置、真空引き流路５に設ける引き口４の位置や数は適宜変更してもよい。
【００５３】
図１乃至図５の実施の形態では、熱媒体流路８を、ステージ本体２の下部に設ける構成を示したが、熱媒体流路８に流通させる所定温度の水１４とステージ本体２上に吸着保持するガラス版１とを熱交換させることで、上記ガラス版１の温度を、該ガラス版１に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持でき、且つ上記ガラス版１の面内の温度分布に均一性が得られるようにしてあれば、熱媒体流路８の配置を、ステージ本体２内に設けてある真空引き用の各細孔３や該各細孔３に繋がる真空引き流路５と干渉しない範囲で適宜変更してもよい。更に、熱媒体流路８の流路断面積や、熱媒体流路８に設ける入口９及び出口１０の数や配置を適宜変更してもよい。
【００５４】
図１乃至図５の実施の形態では、ステージ本体２に設けた熱媒体流路８を流通させてステージ本体２上に吸着保持するガラス版１と熱交換させるための熱媒体として水１４を用いる構成を示したが、油や、その他の熱媒体として使用可能な液体であれば、水１４以外のいかなる熱媒体を用いるようにしてもよい。
【００５５】
図１乃至図５の実施の形態におけるステージ本体２は、細孔穿設部材１５と真空引き流路形成部材１６と熱媒体流路形成部材１７を上下に積層してなる３ピースの組立構造として示したが、ステージ本体２に真空引き用の多数の細孔３とそれに連通する真空引き流路５、及び、熱媒体流路８を設けてあれば、ステージ本体２として、上記のような３ピースの組立構造以外のいかなる構成のものを採用してもよい。
【００５６】
同様に、図６の実施の形態におけるステージ本体２ａは、細孔穿設部材１５と真空引き流路形成部材１６を上下に積層してなる２ピースの組立構造として示したが、ステージ本体２に真空引き用の多数の細孔３とそれに連通する真空引き流路５を設けてあれば、ステージ本体２ａとして、上記のような２ピースの組立構造以外のいかなる構成のものを採用してもよい。
【００５７】
温度制御手段は、ステージ本体２，２ａ上に吸着保持するガラス版１と熱交換することで、上記ガラス版１の温度を、該ガラス版１に対する印刷パターン形成時の版温度を基準として±０．１℃の温度範囲に保持でき、且つ上記ガラス版１の面内の温度分布に均一性が得られるようにしてあれば、ステージ本体２，２ａの所要個所に設ける熱媒体流路８に熱媒体温度調節装置１１より流通させる所定温度の水１４や、熱電ユニット２６以外のいかなる形式の温度制御手段を採用するようにしてもよい。
【００５８】
更に、上記各実施の形態では、ガラス版１を吸着し保持する機構として、いずれも孔吸着形式のものを示したが、ステージ本体２，２ａの所要個所に設ける温度制御手段と、ステージ本体２，２ａ上に保持するガラス版１との間で、多孔質体を介した熱伝導や、ステージ本体における多孔質体設置個所以外の部分を介して熱伝導による熱交換を行わせることができるようにしてあれば、多孔質吸着形式の版吸着ステージ装置に適用してもよい。
【００５９】
その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。
【符号の説明】
【００６０】
１  ガラス版
２，２ａ  ステージ本体
８  熱媒体流路（温度制御手段）
９  入口
１０  出口
１１  熱媒体温度調節装置（温度制御手段）
１４  水（熱媒体）
２６  熱電ユニット（温度制御手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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