(57)【要約】【課題】吸着面に画像認識用の孔を開けた多孔質フィルムを有する吸着ヘッドを用いて可撓性部材を位置決めすることにより、高精度に位置決めすることが可能な位置決め装置を提供する。【解決手段】カメラ４、吸着面に画像認識用の孔８を有する多孔質フィルム７が貼り付けられた投光性を有する吸着ヘッド５を有し、吸着ヘッド５を吸着面にＦＰＣ３を吸着した状態で貼り付けプレート１の所定位置まで搬送する。また、カメラ４で多孔質フィルムに開けられた画像認識用孔を通してＦＰＣ上の画像認識マーク６を撮像し、その画像認識用マークの画像に基づいてＦＰＣの位置ズレ量を算出し、その位置ズレ量からＦＰＣの位置決めを行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラと、
吸着面に画像認識用の孔を有する多孔質フィルムが貼り付けられた透光性を有する吸着ヘッドと、
を備え、貼り付け対象の可撓性部材を基板上に位置決め固定する可撓性部材の位置決め装置であって、
前記吸着ヘッドを前記吸着面に前記可撓性部材を吸着した状態で前記基板上の所定位置に搬送する手段と、
前記カメラを制御して前記多孔質フィルムに開けられた前記画像認識用孔を通して前記可撓性部材上の画像認識マークを撮像する手段と、
前記カメラで撮像された画像認識用マークの画像に基づいて前記可撓性部材の位置ズレ量を算出し、その位置ズレ量から前記可撓性部材の位置決めを行い、前記基板上に貼り付ける位置決め手段と、
を備えたことを特徴とする可撓性部材の位置決め装置。
【請求項２】
前記多孔質フィルムは、前記吸着ヘッドに通気性接着剤によって貼り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の可撓性部材の位置決め装置。
【請求項３】
前記吸着ヘッドには、前記可撓性部材を吸着するための真空ポンプに連結された複数の吸着口と、前記真空ポンプによって吸着する吸着口を切り替えるためのバルブが設けられ、サイズの異なる可撓性部材に応じて前記バルブによって吸着する吸着口を切り替えることによって吸着面積が設定されることを特徴とする請求項１又は２に記載の可撓性部材の位置決め装置。
【請求項４】
前記多孔質フィルムと前記可撓性部材との間に当該可撓性部材の外側部分を覆うマスクが配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の可撓性部材の位置決め装置。
【請求項５】
カメラと、
吸着面に画像認識用の孔を有する多孔質フィルムを貼り付けられた透光性を有する吸着ヘッドと、
を備え、貼り付け対象の可撓性部材を基板上に位置決め固定する可撓性部材の位置決め方法であって、
搬送手段により、前記吸着ヘッドを前記吸着面に前記可撓性部材を吸着した状態で前記基板上の所定位置に搬送する工程と、
前記カメラにより、前記多孔質フィルムに開けられた前記画像認識用孔を通して前記可撓性部材上の画像認識マークを撮像する工程と、
位置決め手段により、前記カメラで撮像された前記画像認識用マークの画像に基づいて前記可撓性部材の位置ズレ量を算出し、その位置ズレ量から前記可撓性部材の位置決めを行い、前記基板上に貼り付ける工程と、
を含むことを特徴とする可撓性部材の位置決め方法。
【請求項６】
前記可撓性部材の位置決めは、前記吸着ヘッドで前記可撓性部材を吸着した状態で前記基板上の所定位置に搬送中に行うことを特徴とする請求項５に記載の可撓性部材の位置決め方法。
【請求項７】
前記吸着ヘッドの吸着面に前記可撓性部材を吸着する場合には、前記吸着ヘッドで前記可撓性部材を押し付けた後に吸着することを特徴とする請求項５又は６に記載の可撓性部材の位置決め方法。
【請求項８】
前記可撓性部材の前記基板への貼り付けには粘着性樹脂が用いられ、前記可撓性部材を前記基板に位置決め完了後に加圧によって前記可撓性部材が前記粘着性樹脂に固定された後、吸着破壊を行うことを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の可撓性部材の位置決め方法。
【請求項９】
前記吸着ヘッドには、前記可撓性部材を吸着するための真空ポンプに連結された複数の吸着口と、前記真空ポンプによって吸着する吸着口を切り替えるためのバルブが設けられ、前記可撓性部材の吸着時にサイズの異なる可撓性部材に応じて前記バルブによって吸着する吸着口を切り替えることによって吸着面積が設定されることを特徴とする請求項５乃至８のいずれか１項に記載の可撓性部材の位置決め方法。
【請求項１０】
前記多孔質フィルムと前記可撓性部材との間に当該可撓性部材のサイズに応じたマスクが配置され、前記可撓性部材の吸着時に当該可撓性部材の外側部分を前記マスクで覆うことにより前記可撓性部材以外からの吸着を防ぐことを特徴とする請求項５乃至９のいずれか１項に記載の可撓性部材の位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＦＰＣ等の可撓性部材を基板に位置決めする可撓性部材の位置決め装置及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、可撓性を有するＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）をプレート等の基板に位置決めして貼り付ける工程において、高精度にＦＰＣを基板上に位置決めするためには、ＦＰＣを基板等のリジッドな対象に貼り付け、可撓性に起因する位置ズレを回避する必要がある。
【０００３】
近年の搭載部品サイズの縮小化に伴い高い部品搭載精度が要求されており、その実現のためＦＰＣの基板への貼り付けにも高い精度が要求される。この課題を解決するためには、画像認識による位置検出を用いた高精度位置決めが有効であるが、そのためにはＦＰＣ上の画像認識マークの正確な認識が不可欠であり、可撓性を有するＦＰＣを平面的に保持して撓みによるマーク認識精度悪化を防止した後に画像認識を実施する必要がある。このような平面的吸着を実現する方法としては、吸着面に多孔質材料を採用した平面吸着が考えられる。
【０００４】
吸着面に多孔質材料を用いた構造としては、特許文献１に記載されているように吸着プレートの吸着面に超高分子量ポリウレタンの多孔質プレートを有するもの、特許文献２に記載されているようにウエハを載置するステーブをガラス素材等の透過性を有する多孔質の平板部材で構成したものがある。
【０００５】
また、特許文献３に記載されているように画像を読み取るフィルムを載置するテーブルを透光性微細多孔質板で構成したものがある。更に、特許文献４に記載されているように多孔質材料ではないが、スポンジゴム製の基板吸着部材を用いて基板を吸着するものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１７３２５０号公報
【特許文献２】特開２００７−１１５９６１号公報
【特許文献３】特開平０５−３４４２８４号公報
【特許文献４】特開２００７−２７６０６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一般的に、高精度の部品位置決め方法では、吸着時に発生する位置ズレによる搭載精度の悪化を防ぐため、ＦＰＣの吸着後に吸着面と反対の面（以下、反対面）にあるマークを画像認識し、その結果から吸着面を決定する。つまり、吸着後にＦＰＣの反対面の認識マークを画像認識し、裏面と表面の認識マークの相対位置関係から表面の認識マークの位置を算出し、位置ズレを補正する。
【０００８】
しかしながら、この方法では、ＦＰＣの表面と反対面の認識マークの位置ズレ量が大きいため、ＦＰＣの位置決め精度が悪い。また、ＦＰＣの部品搭載面は貼り付けヘッドの吸着面に当たるため、ＦＰＣを吸着保持した状態ではＦＰＣ上面のマークを画像認識することができない。
【０００９】
本発明の目的は、吸着面に画像認識用の孔を開けた多孔質フィルムを有する吸着ヘッドを用いて可撓性部材を位置決めすることにより、高精度に位置決めすることが可能な位置決め装置及び方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、透光性を有し、吸着面に画像認識用の孔を有する多孔質フィルムが貼り付けられた吸着ヘッドに可撓性部材を吸着した後にカメラにより多孔質フィルムに開けられた画像認識用孔を通して可撓性部材上の画像認識マークを撮像する。そして、カメラで撮像された画像認識用マークの画像に基づいて可撓性部材の位置ズレ量を算出し、その位置ズレ量から可撓性部材の位置決めを行う。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、吸着ヘッドの吸着面に画像認識用の孔を有する多孔質フィルムを備えているため、吸着溝の直上のみならず多孔質フィルムの吸着面全体で可撓性部材を吸着できると共に、可撓性による吸着時の画像認識マークの撓みを防止でき、画像認識による高精度の位置決めが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係るＦＰＣ貼り付け装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る吸着ヘッドの一例を示す断面図である。
【図３】図２のカメラ及び吸着ヘッドを分解して示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に、発明を実施するための形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明に係る可撓性部材の位置決め装置の一実施形態の構成を示す斜視図である。本実施形態では、可撓性を有する可撓性部材としてＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）を位置決め固定する例を説明する。本発明は、ＦＰＣに限ることなく、可撓性を有する部材の位置決めに使用することができる。
【００１４】
図中１は位置決め（貼り付け）対象のＦＰＣである。ＦＰＣ貼り付け装置はＸＹステージ２にカメラ５及び吸着ヘッド５が取り付けられている。カメラ４と吸着ヘッド５は位置関係が既知であり（カメラ４は吸着ヘッド５に固定されている）、ＸＹステージ２のＸ方向とＹ方向の駆動により吸着ヘッド５はＦＰＣ３を吸着した状態でＸＹ（Ｚ）方向に移動する構造である。
【００１５】
貼り付けプレート（基板）１はＦＰＣ３を貼り付けるためにマジックレジン等の貼り付け機構を備えている。即ち、貼り付けプレート１の表面に粘着性樹脂のマジックレジン等が設置されており、吸着ヘッド５に吸着されたＦＰＣ３を吸着ヘッド５のアクチュエータ（シリンダやモータ等）によって加圧することで、ＦＰＣ３を貼り付けプレート１の表面に貼り付ける。
【００１６】
図２は本発明に係る吸着ヘッド５を詳細に示す断面図、図３は図２のカメラ４及び吸着ヘッド５を分解して示す分解斜視図である。吸着ヘッド５は内部に吸着溝１０を有する透光性ヘッド９の表面に多孔質フィルム７を貼り付けた構造となっている。多孔質フィルム７にはＦＰＣ３上の画像認識マーク６に対応する位置に画像認識孔８が開けられている。
【００１７】
吸着ヘッド５に対して多孔質フィルム７を貼り付ける場合には、多孔質フィルム７が通気性接着剤と一体化されているものを用いることが望ましい。即ち、吸着時のワーク保持力を確保できることに加え、多孔質フィルム７の交換も短時間で可能になるため望ましい。なお、多孔質フィルム７が通気性接着剤に一体化されていなくても多孔質フィルム７を通気性接着剤を用いて吸着ヘッド５に貼り付けても良い。
【００１８】
また、図３に示すようにＦＰＣ３のサイズに対応するマスク１１を多孔質フィルム７とＦＰＣ３との間に配置しても良い。即ち、多孔質フィルム７の裏面にＦＰＣ３のサイズに対応する開口を有するマスク１１を貼り付け、ＦＰＣ３の外側部分をマスク１１で覆う構成とすることにより、ＦＰＣ３の吸着部分以外からの吸着漏れを防ぎ、吸着圧力を適切に維持することができる。
【００１９】
更に、吸着ヘッド５に関して吸着溝１０は吸着面前面に配置することにより、吸着時のワーク保持力を確保することができる。また、不図示のバルブにより吸着溝１０の経路を切り替えることで、吸着面の一部のみを真空吸引することができ、サイズの異なるワーク（本例ではＦＰＣ）に対して多孔質フィルム７の交換等の作業を要することなく最適な吸着面積を設定することが可能となる。
【００２０】
つまり、吸着ヘッド５には、図２、図３に示すようにＦＰＣ３を吸着するための真空ポンプに連結された複数の吸着口１０が設けられている。また、真空ポンプによって吸着する吸着口１０を切り替えるための図示しないバルブが設けられている。従って、吸着ヘッド５によるＦＰＣ３の吸着時には、サイズの異なるＦＰＣ３に応じてバルブによって吸着する吸着口を切り替えることで、吸着ヘッド５の吸着面積をＦＰＣ３のサイズに応じて最適設定することが可能となる。
【００２１】
次に、ＦＰＣ３を貼り付けフレート１上に貼り付ける手順について説明する。ＦＰＣ貼り付け装置は、図示しない駆動回路によりＸＹステージ２を駆動し、互いに位置関係が既知であるカメラ４及び吸着ヘッド５を移動させてＦＰＣ３を吸着した状態で搬送し、マジックレジン等の貼り付け機構が施された貼り付けプレート１の所定位置に貼り付ける装置である。
【００２２】
吸着溝１０は図示しない真空ポンプに連結され、吸着ヘッド５は多孔質フィルム７を通してＦＰＣ３を吸着する。また、多孔質フィルム７には画像認識孔８が開けられ、吸着ヘッド５にＦＰＣ３を吸着した状態でカメラ４により透光性ヘッド９及び画像認識孔８を通して画像認識マーク６を撮像する。図示しない制御回路は撮像された画像に基づいてＸＹステージ２の制御を行い、ＦＰＣ３を貼り付けプレート１の所定位置に位置決めを行う。
【００２３】
具体的に説明すると、まず、図示しない制御回路はＸＹステージ２を制御し、吸着ヘッド５を移動させて吸着ヘッド５にＦＰＣ３を吸着させる。その際、ＦＰＣ３は図示しない仮置きに置かれているが、もし、仮置きへのＦＰＣ３の設置位置精度が悪い場合には、カメラを用いて吸着前のＦＰＣ３の位置を検出することで、画像認識孔８とＦＰＣ３の画像認識マークとの位置合わせをすることが望ましい。
【００２４】
また、吸着ヘッド５がＦＰＣ３を吸着する際には、ＦＰＣ３を押し付けた後に吸着することが吸着時におけるＦＰＣ４の撓みの発生をより抑制できるため望ましい。次いで、制御回路はＸＹステージ２を制御し、吸着ヘッド５の吸着面にＦＰＣ３を吸着した状態でＦＰＣ３を貼り付けプレート１の所定位置に搬送する。
【００２５】
次に、制御回路はカメラ４を制御し、吸着ヘッド５にＦＰＣ３を吸着した状態で透光性ヘッド９及び多孔質フィルム７に開けられた画像認識孔８を通して画像認識マーク６を撮像し、制御回路はカメラ４で撮像された画像に基づいてＸＹステージ２をＸＹ方向に制御することによりＦＰＣ３の位置決めを行う。
【００２６】
その際、カメラ４は吸着ヘッド５に対して固定されているため、カメラ４の視野中心（或いは視野中の特定の点）と吸着ヘッド５の位置関係は予め校正されている。よって、カメラ４の撮像及び画像処理によりカメラ４の視野中心と画像認識マーク６の位置関係を算出することで画像認識マーク６の位置ズレ量、つまり、ＦＰＣ３の位置ズレ量が分かる。従って、図示しない制御回路は得られた位置ズレ量に基づいてＸＹステージ２を制御し、ＦＰＣ３の位置決めを行う。この位置決め処理は、上述のＦＰＣ３の搬送中に実施することが可能であり、そうすることで全体の作業時間を短縮することが可能となる。
【００２７】
ＦＰＣ３の位置決めを終了すると、制御回路はＸＹステージ２を制御し、ＦＰＣ３を吸着した状態で吸着ヘッド５を下降させ、ＦＰＣ３を貼り付けプレート１上に載置する。次いで、上述のようなマジックレジン等の機構を用いてＦＰＣ３を貼り付けプレート１上に貼り付けて作業を終了する。
【００２８】
なお、ＦＰＣ３を貼り付けプレート１に位置決め完了後にＦＰＣ３を貼り付けプレート１に貼り付ける場合には、加圧によってマジックレジンにＦＰＣ３を完全に固定した後に吸着破壊を行うことにより、貼り付け時におけるＦＰＣ３の位置ズレを防止することができる。
【００２９】
本実施形態では、吸着ヘッド５の吸着面に画像認識孔８を有する多孔質フィルム７を貼り付けているため、多孔質フィルム７を通すことにより吸着溝１０の直上のみならず、多孔質フィルム７の吸着面全体でＦＰＣ３を吸着することが可能となる。そのため、可撓性に伴うＦＰＣ３の吸着時の画像認識マーク６の撓みを防止でき、多孔質フィルム７に開けられた画像認識孔８から画像認識マーク６を撮像することにより、高精度の位置決めが可能となる。
【００３０】
また、大部分のＦＰＣは複数の可撓性シートを貼り合わせた多層構造であり、各シートの相対位置精度はその可撓性のために低く、反対面を画像認識しても実際に部品を搭載する面（部品搭載面）の位置を高精度に決定することは難しい。本実施形態では、吸着面を吸着保持した状態で部品搭載面を画像認識して位置決めを行うため高精度の位置決めが実現可能となる。
【００３１】
即ち、上述のようにＦＰＣの裏面の認識マークと表面の認識マークの相対位置関係を正確に保つことは困難であり、ＦＰＣの裏面のマークを認識しても表面の正確な位置は分からないため、本発明は敢えて吸着ヘッドでＦＰＣを吸着後に吸着面であるＦＰＣの表面の画像認識マークを認識する。吸着前に表面の画像認識マークを認識した場合には、吸着による位置ズレを補正できないためＦＰＣの吸着後に表面の画像認識マークを認識する必要があるが、そのためには吸着ヘッドを通してＦＰＣの表面の画像認識マークを認識する必要がある。
【００３２】
また、吸着ヘッド自体はガラス等の透明な材質を用いることが可能であり、吸着時のＦＰＣの撓みを防止するために必要な多孔質材料に関して透明な多孔質材料は安価に入手できないため、高精度のＦＰＣの貼り付けが要求される場合には、本発明のようにマーク位置に併せて認識用の孔を空けることになる。
【００３３】
但し、一般の多孔質材料では孔の加工が困難（高価）であり、更に、ＦＰＣは複数の品種が存在し、品種毎にマーク位置が異なるため、各品種のマーク位置に対応した認識孔を持つ多孔質材料が必要となるが、多孔質材料自体が高価であるため品種対応コストが増大してしまう。多孔質フィルムはフィルム状で加工性が良く、一般的なブロック状の多孔質材料と比較して安価であるため、加工性の問題と多品種対応に伴うコストの問題を同時に解決することが可能となる。
【００３４】
なお、ＦＰＣを基板等に貼付後に表面に部品を搭載するため、表面を貼り付けプレートに対して正確に貼り付ける必要があるが、裏面には部品搭載を行わないため、位置精度は必要ない。
【００３５】
更に、ＦＰＣ３の品種が変更となった場合には画像認識マーク６の位置が変更されるが、その場合には吸着ヘッド５全体を作り変える必要は無く、新たな品種のＦＰＣ３の画像認識マーク６の位置に対応した画像認識孔８を有する多孔質フィルム７に張り替えることで品種対応が可能となる。
【００３６】
その際、多孔質フィルムは片面が通気性粘着材加工されているため張り替えが容易であり、また、カッターナイフ等の道具を用いることによって画像認識孔８を作製することも可能である。更に、多孔質フィルムは一般的なプレート状多孔質材料より安価であるため、ＦＰＣの品種対応をローコスト化することが可能となる。また、多孔質材料は目詰まりによる交換が必要となるが、多孔質フィルム７はこの交換コストも低減することが可能となる。
【００３７】
なお、上記実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、以下に限ることはない。
【００３８】
（付記１）カメラと、
吸着面に画像認識用の孔を有する多孔質フィルムが貼り付けられた透光性を有する吸着ヘッドと、
を備え、貼り付け対象の可撓性部材を基板上に位置決め固定する可撓性部材の位置決め装置であって、
前記吸着ヘッドを前記吸着面に前記可撓性部材を吸着した状態で前記基板上の所定位置に搬送する手段と、
前記カメラを制御して前記多孔質フィルムに開けられた前記画像認識用孔を通して前記可撓性部材上の画像認識マークを撮像する手段と、
前記カメラで撮像された画像認識用マークの画像に基づいて前記可撓性部材の位置ズレ量を算出し、その位置ズレ量から前記可撓性部材の位置決めを行い、前記基板上に貼り付ける位置決め手段と、
を備えたことを特徴とする可撓性部材の位置決め装置。
【００３９】
（付記２）前記多孔質フィルムは、前記吸着ヘッドに通気性接着剤によって貼り付けられていることを特徴とする付記１に記載の可撓性部材の位置決め装置。
【００４０】
（付記３）前記吸着ヘッドには、前記可撓性部材を吸着するための真空ポンプに連結された複数の吸着口と、前記真空ポンプによって吸着する吸着口を切り替えるためのバルブが設けられ、サイズの異なる可撓性部材に応じて前記バルブによって吸着する吸着口を切り替えることによって吸着面積が設定されることを特徴とする付記１又は２に記載の可撓性部材の位置決め装置。
【００４１】
（付記４）前記多孔質フィルムと前記可撓性部材との間に当該可撓性部材の外側部分を覆うマスクが配置されていることを特徴とする付記１乃至３のいずれか１項に記載の可撓性部材の位置決め装置。
【００４２】
（付記５）カメラと、
吸着面に画像認識用の孔を有する多孔質フィルムを貼り付けられた透光性を有する吸着ヘッドと、
を備え、貼り付け対象の可撓性部材を基板上に位置決め固定する可撓性部材の位置決め方法であって、
搬送手段により、前記吸着ヘッドを前記吸着面に前記可撓性部材を吸着した状態で前記基板上の所定位置に搬送する工程と、
前記カメラにより、前記多孔質フィルムに開けられた前記画像認識用孔を通して前記可撓性部材上の画像認識マークを撮像する工程と、
位置決め手段により、前記カメラで撮像された前記画像認識用マークの画像に基づいて前記可撓性部材の位置ズレ量を算出し、その位置ズレ量から前記可撓性部材の位置決めを行い、前記基板上に貼り付ける工程と、
を含むことを特徴とする可撓性部材の位置決め方法。
【００４３】
（付記６）前記可撓性部材の位置決めは、前記吸着ヘッドで前記可撓性部材を吸着した状態で前記基板上の所定位置に搬送中に行うことを特徴とする付記５に記載の可撓性部材の位置決め方法。
【００４４】
（付記７）前記吸着ヘッドの吸着面に前記可撓性部材を吸着する場合には、前記吸着ヘッドで前記可撓性部材を押し付けた後に吸着することを特徴とする付記５又は６に記載の可撓性部材の位置決め方法。
【００４５】
（付記８）前記可撓性部材の前記基板への貼り付けには粘着性樹脂が用いられ、前記可撓性部材を前記基板に位置決め完了後に加圧によって前記可撓性部材が前記粘着性樹脂に固定された後、吸着破壊を行うことを特徴とする付記５乃至７のいずれか１項に記載の可撓性部材の位置決め方法。
【００４６】
（付記９）前記吸着ヘッドには、前記可撓性部材を吸着するための真空ポンプに連結された複数の吸着口と、前記真空ポンプによって吸着する吸着口を切り替えるためのバルブが設けられ、前記可撓性部材の吸着時にサイズの異なる可撓性部材に応じて前記バルブによって吸着する吸着口を切り替えることによって吸着面積が設定されることを特徴とする付記５乃至８のいずれか１項に記載の可撓性部材の位置決め方法。
【００４７】
（付記１０）前記多孔質フィルムと前記可撓性部材との間に当該可撓性部材のサイズに応じたマストが配置され、前記可撓性部材の吸着時に当該可撓性部材の外側部分を前記マスクで覆うことにより前記可撓性部材以外からの吸着を防ぐことを特徴とする付記５乃至９のいずれか１項に記載の可撓性部材の位置決め方法。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明は、可撓性を有するＦＰＣ等の可撓性部材を基板等に位置決め固定する装置に好適に使用することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１  貼り付けプレート
２  ＸＹステージ
３  ＦＰＣ
４  カメラ
５  吸着ヘッド
６  画像認識マーク
７  多孔質フィルム
８  画像認識孔
９  透光性ヘッド
１０  吸着溝
１１  マスク
【図１】
2011210799.tif 000003
【図２】
2011210799.tif 000004
【図３】
2011210799.tif 000005