(57)【要約】【課題】研磨治具、研磨フィルム、及び分析方法において、作業効率を高めること。【解決手段】研磨フィルム１０が装着される先端部３と、先端部３の外周側面３ａに嵌合する内面５ａを有し、内面５ａと外周側面３ａとの間で研磨フィルム１０を挟持する着脱自在な押さえ部材５と、外周側面３ａにおいて、押さえ部材５よりも先端寄りの位置に設けられた突起部６と、突起部６と押さえ部材５との間に挿入され、着脱自在な固定具７とを有する研磨治具による。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨フィルムが装着される先端部と、
前記先端部の外周側面に嵌合する内面を有し、該内面と該外周側面との間で前記研磨フィルムを挟持する着脱自在な押さえ部材と、
前記外周側面において、前記押さえ部材よりも先端寄りの位置に設けられた突起部と、
前記突起部と前記押さえ部材との間に挿入され、着脱自在な固定具と、
を有することを特徴とする研磨治具。
【請求項２】
前記押さえ部材と前記固定具との間に、これらを離間させる付勢力を与える弾性体を設けたことを特徴とする請求項１に記載の研磨治具。
【請求項３】
前記固定具の主面に複数の連続した段差面を形成し、複数の該段差面のいずれかを前記突起部に選択的に当接させることにより、選択した前記段差面に応じて前記固定具と前記押さえ部材との間の押圧力を可変にしたことを特徴とする請求項１に記載の研磨治具。
【請求項４】
前記押さえ部材と前記固定具の各々の当接面を楔面にし、該固定具の挿入量に応じて前記固定具と前記押さえ部材との間の押圧力を可変にしたことを特徴とする請求項１に記載の研磨治具。
【請求項５】
前記先端部は、前記研磨フィルムの研磨領域に対応する先端面を有し、
前記先端面を粗化したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の研磨治具。
【請求項６】
前記先端面は、前記研磨フィルムの長手方向に垂直な第１の方向と、前記長手方向に平行な第２の方向の両方に沿って湾曲し、
前記先端面に、前記第２の方向に沿った線状痕が形成されたことを特徴とする請求項５に記載の研磨治具。
【請求項７】
長尺状の支持基材と、
前記支持基材の一方の主面に固着された砥粒とを有し、
前記支持基材の他方の主面に、該支持基材の長手方向に沿って線状痕が形成されたことを特徴とする研磨フィルム。
【請求項８】
研磨治具の先端面に研磨フィルムを被せるステップと、
前記研磨治具の外周側面に押さえ部材を嵌合させることにより、該押さえ部材の内面と前記外周側面との間で前記研磨フィルムを挟持するステップと、
前記外周側面において前記押さえ部材よりも先端寄りの位置に設けられた突起部と前記押さえ部材との間に固定具を挿入するステップと、
前記固定具を挿入した後、前記先端面から被研磨物に研磨圧を加えつつ、該被研磨物に前記研磨フィルムを摺接させて、前記被研磨物の材料を前記研磨フィルムに採取するステップと、
分析装置を用いることにより、前記採取した前記材料を分析するステップと、
を有することを特徴とする分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨治具、研磨フィルム、及び分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
被研磨物の研磨に用いる研磨体としては、ヤスリやスチールウールのほか、研磨紙、研磨クロス、及び研磨フィルム等がある。どの研磨体を用いるかは、被研磨物の種類に応じて選択される。
【０００３】
これらのうち、研磨フィルムは、被研磨物の表面を平坦化する目的以外に、被研磨物の材料を採取する目的でも使用される。その場合、採取した材料を分析装置で分析することで、その材料に含まれる成分を定量的に把握することができる。
【０００４】
この際、作業者の負担軽減のために、材料の採取時における作業効率を高めるのが好ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３５８５８４号広報
【特許文献２】特開平１１−２０７６４０号広報
【特許文献３】特開昭６３−１８５５７９号広報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
研磨治具、研磨フィルム、及び分析方法において、作業効率を高めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以下の開示の一観点によれば、研磨フィルムが装着される先端部と、前記先端部の外周側面に嵌合する内面を有し、該内面と該外周側面との間で前記研磨フィルムを挟持する着脱自在な押さえ部材と、前記外周側面において、前記押さえ部材よりも先端寄りの位置に設けられた突起部と、前記突起部と前記押さえ部材との間に挿入され、着脱自在な固定具とを有する研磨治具が提供される。
【０００８】
また、その開示の別の観点によれば、長尺状の支持基材と、前記支持基材の一方の主面に固着された砥粒とを有し、前記支持基材の他方の主面に、該支持基材の長手方向に沿って線状痕が形成された研磨フィルムが提供される。
【０００９】
更に、その開示の他の観点によれば、研磨治具の先端面に研磨フィルムを被せるステップと、前記研磨治具の外周側面に押さえ部材を嵌合させることにより、該押さえ部材の内面と前記外周側面との間で前記研磨フィルムを挟持するステップと、前記外周側面において前記押さえ部材よりも先端寄りの位置に設けられた突起部と前記押さえ部材との間に固定具を挿入するステップと、前記固定具を挿入した後、前記先端面から被研磨物に研磨圧を加えつつ、該被研磨物に前記研磨フィルムを摺接させて、前記被研磨物の材料を前記研磨フィルムに採取するステップと、分析装置を用いることにより、前記採取した前記材料を分析するステップとを有する分析方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
以下の開示では、押さえ部材や固定具を利用して研磨治具の先端に研磨フィルムを装着するので、研磨フィルムの装着を短時間で行うことができ、当該作業の効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、第１実施形態に係る研磨治具の外観図である。
【図２】図２（ａ）は、第１実施形態に係る研磨治具の本体の正面図であり、図２（ｂ）、（ｃ）はその側面図である。
【図３】図３（ａ）は、第１実施形態に係る押さえ部材の平面図であり、図３（ｂ）はその側面図である。
【図４】図４（ａ）は、第１実施形態に係る固定具の平面図であり、図４（ｂ）はその側面図である。
【図５】図５（ａ）、（ｂ）は、第１実施形態に係る研磨治具への研磨フィルムの装着方法について示す側面図と正面図（その１）である。
【図６】図６（ａ）、（ｂ）は、第１実施形態に係る研磨治具への研磨フィルムの装着方法について示す側面図と正面図（その２）である。
【図７】図７は、研磨フィルムを挟持した状態における第１実施形態に係る研磨治具の先端部の側面図である。
【図８】図８は、研磨フィルムが装着された第１実施形態に係る研磨治具の外観図である。
【図９】図９は、第１実施形態に係る被研磨物の材料の採取方法について説明するための側面図である。
【図１０】図１０は、第１実施形態において、材料を採取した後の研磨フィルムの平面図である。
【図１１】図１１は、比較例に係る研磨治具の外観図である。
【図１２】図１２は、第２実施形態に係る研磨治具の先端部の側面図と正面図である。
【図１３】図１３（ａ）は、第３実施形態で使用する押さえ部材の平面図であり、図１３（ｂ）はその側面図である。
【図１４】図１４は、第３実施形態に係る押さえ部材を備えた研磨治具の側面図である。
【図１５】図１５（ａ）は、第４実施形態で使用する押さえ部材５の平面図であり、図１５（ｂ）はその側面図である。
【図１６】図１６は、第４実施形態に係る固定具を備えた研磨治具の側面図である。
【図１７】図１７（ａ）は、第５実施形態で使用する固定具の平面図であり、図１７（ｂ）はその側面図である。
【図１８】図１８は、第５実施形態に係る固定具を備えた研磨治具の側面図である。
【図１９】図１９（ａ）は、第６実施形態で使用する固定具の平面図であり、図１９（ｂ）はその側面図である。
【図２０】図２０（ａ）は、第６実施形態で使用する押さえ部材の平面図であり、図２０（ｂ）はその側面図である。
【図２１】図２１は、第６実施形態に係る押さえ部材と固定具とを備えた研磨治具の側面図である。
【図２２】図２２（ａ）は、第７実施形態に係る研磨治具を先端部側から見た正面図であり、図２２（ｂ）は第７実施形態に係る研磨治具で使用される研磨フィルムの拡大平面図である。
【図２３】図２３は、第７実施形態において、研磨治具の先端部に研磨フィルムを装着した状態での断面図である。
【図２４】図２４は、線状痕の高低差を大きくした場合の不都合について説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、各実施形態について添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１３】
（第１実施形態）
図１は、本実施形態に係る研磨治具の外観図である。
【００１４】
この研磨治具１は、棒状の把持部２と先端部３とを備えた本体４を有する。
【００１５】
このうち、把持部２は、研磨時に作業者が把持する部分であって、把持し易い概略円形の断面形状を有する。把持部２の側面の一部は、転がり防止のため、平面に加工されている。
【００１６】
一方、先端部３には、リング状の押さえ部材５が脱着自在な状態で嵌合される。そして、先端部３の外周側面３ａにおいて、押さえ部材５よりも先端寄りの位置には突起部６が設けられる。突起部６は、外周側面３ａに垂直な方向に先端部３を貫通する棒であってもよいし、当該側面３ａの凹部に固定されたピンであてもよい。
【００１７】
更に、その突起部６と押さえ部材５との間には、概略Ｕ字型の脱着自在な固定具７が挿入される。
【００１８】
なお、各部４〜７の材料は特に限定されないが、本実施形態では耐腐食性に優れ、また、治具の重量を利用して安定した研磨圧力を得ることが可能な比較的比重が大きいステンレスを使用する。
【００１９】
また、押さえ部材５や固定具７の脱着を容易にするために、各部４〜７の角を面取りしたり、各部４〜７同士の当接面に僅かなテーパーを付与したりするのが好ましい。
【００２０】
図２（ａ）は、上記の本体４を先端部３側から見た正面図である。
【００２１】
図２（ａ）に示されるように、先端部３には正面形状が概略矩形の先端面３ｅが設けられる。その先端面３ｅの矩形サイズは特に限定されない。本実施形態では、第１の方向D1に平行な短辺の長さL1を５．０mmとし、第１の方向D1に垂直な第２の方向D2に平行な長辺の長さL2を８．６mmとする。
【００２２】
また、先端部３の外周側面３ａは、既述の押さえ部材５の内面と嵌合する概略円形の嵌合面３ｂと、第１の平坦面３ｃと、第２の平坦面３ｄとを有する。
【００２３】
これらの平坦面のうち、第１の平坦面３ｃは、先端から見て嵌合面３ｂよりも先端部３の内側に位置するように形成される。また、第２の平坦面３ｄは、既述の先端面３ｅに連続して形成される。
【００２４】
そして、突起部６は、上記の嵌合面３ｂと第１の平坦面３ｃとの間の最大の高低差Δhよりも低い高さhをもって、第１の平坦面３ｃから突出する。
【００２５】
図２（ｂ）は、第２の平坦面３ｄに垂直な方向から見た場合の本体４の側面図である。
【００２６】
図２（ｂ）に示されるように、先端部３は、把持部２に向かって広径となるテーパー面３ｇを有する。
【００２７】
また、先端面３ｅは、第１の方向D1に沿って第１の曲率半径R1で湾曲すると共に、基準面３ｆから測った最大高さHが約４．５mmになるように形成される。
【００２８】
一方、図２（ｃ）は、第１の平坦面３ｃに垂直な方向から見た場合の本体４の側面図である。
【００２９】
図２（ｃ）に示されるように、先端面３ｅは、第２の方向D2に沿って第２の曲率半径R2で湾曲する。
【００３０】
各曲率R1、R2は特に限定されないが、本実施形態では第１の曲率半径R1を約２．５mm、第２の曲率半径R2をそれよりも長い約５．０mmとする。
【００３１】
図３（ａ）は押さえ部材５の平面図であり、図３（ｂ）はその側面図である。
【００３２】
図３（ａ）に示すように、押さえ部材５は概略リング状であって、その内面５ａは、先端部３の嵌合面３ｂ（図２（ａ）参照）と同一形状である。
【００３３】
また、図３（ｂ）に示すように、押さえ部材５は約２．０mm〜２．５mm程度の厚さT1を有する。
【００３４】
一方、図４（ａ）は固定具７の平面図であり、図４（ｂ）はその側面図である。
【００３５】
図４（ａ）に示すように、固定具７は概略Ｕ字状の平面形状を有すると共に、互いに平行な第１及び第２の内面７ａ、７ｂを有する。
【００３６】
各内面７ａ、７ｂは、先端部３の第１の平坦面３ｃ（図２（ａ）参照）に対応して平坦に形成されており、それらの間隔Wは先端面３ｅの短辺の長さL1に略等しい。
【００３７】
なお、この固定具７の厚さT2は、後述の研磨フィルムを挟持した状態で押さえ部材５を強くテーパー面３ｇに押し付けた状態で生じる、押さえ部材５と突起部６の間隔に略等しい。加工公差の設計によるが、突起部６を太さ直径φ１mmのピンとし、このピンを平坦面３ｆから１．５mmだけ離れた位置に設け、嵌合面３ｂの幅を３mm、押さえ部材５の厚さT1を２mmとした場合、厚さT2を約２．１mmとする。
【００３８】
次に、上記した研磨治具１に研磨フィルムを装着する方法について説明する。
【００３９】
図５〜図６は、研磨治具１への研磨フィルムの装着方法について示す側面図と正面図である。
【００４０】
研磨フィルムの装着にあたっては、まず、図５（ａ）に示すように、長尺状の研磨フィルム１０を用意する。
【００４１】
その研磨フィルム１０は、点線円内に示すように、可撓性を有する支持基材１１の一方の主面上に、アルミナ粒等の砥粒１３と樹脂１２とを混練してなる研磨層１４を形成してなる。砥粒１３の大きさは特に限定されないが、本実施形態では直径が約３０μmの砥粒１３を使用する。
【００４２】
また、その研磨フィルム１０の短手方向の幅Xは、約５．５mm〜６．０mm程度である。更に、支持基材１１の材料も特に限定されないが、本実施形態ではポリエステル製の樹脂フィルムを支持基材１１として使用する。
【００４３】
そして、その研磨フィルム１０の長手方向を第２の方向D2に揃えた後、先端面３ｅに研磨フィルム１０を被せる。更に、研磨フィルム１０の研磨層１４側に押さえ部材５を用意する。
【００４４】
その後、図５（ｂ）に示すように、先端部３に押さえ部材５を嵌合させることにより、先端部３の嵌合面３ｂと押さえ部材５の内面との間で研磨フィルム１０を挟持する。
【００４５】
次に、図６（ａ）の正面図に示すように、第１及び第２の内面７ａ、７ｂが先端部３の内面３ｃに平行になるように固定具７を用意する。そして、突起部６と押さえ部材５との間に、第２の方向D2に平行な方向からその固定具７を挿入する。
【００４６】
これにより、図６（ｂ）の正面図に示すように、固定具７の各内面７ａ、７ｂと先端部３の内面３ｃとが嵌合する。
【００４７】
そして、図６（ａ）の側面図に示すように、突起部６から固定具７が受ける押圧力によって押さえ部材５がテーパー面３ｇ側に押し付けられ、押さえ部材５と先端部３との間で研磨フィルム１０を強い保持力で挟持することができるようになる。
【００４８】
図７は、このように研磨フィルム１０を挟持した先端部３を、第２の方向D2に平行な方向から見た場合の側面図である。
【００４９】
また、図８は、上記の手順に従って研磨フィルム１０が装着された研磨治具１の外観図である。なお、研磨治具１から研磨フィルム１０を脱着するには、上記とは逆の手順に従えばよい。
【００５０】
このように、本実施形態に係る研磨治具１によれば、突起部６と押さえ治具５との間に固定具７を挿入するだけで簡単に研磨フィルム１０が挟持されるので、短時間で研磨治具１に研磨フィルム１０を装着することができる。
【００５１】
本願発明者が調査したところ、押さえ治具５を嵌合して固定具７を挿入するのには３秒しか要しなかった。また、固定具７と押さえ治具５を外す作業は約２秒で済み、研磨フィルム１０を極めて短時間で脱着できることも明らかとなった。
【００５２】
しかも、固定具７の挿入には高度な技量が不要なので、研磨フィルム１０の装着状態に作業者の個人差が入り込む余地が少なく、一集団内において標準化された研磨フィルムの装着方法を提供することが可能となる。
【００５３】
次に、上記のように研磨フィルム１０を装着してなる研磨治具を用いて、被研磨物の材料を採取する方法について説明する。
【００５４】
図９は、本実施形態に係る被研磨物の材料の採取方法について説明するための側面図である。
【００５５】
材料の採取にあたっては、図９に示すように、作業者が研磨治具１を把持し、先端面３ｅから被研磨物２０に研磨圧を加えつつ、被研磨物２０に研磨フィルム１０を摺接させる。
【００５６】
被研磨物２０は特に限定されない。例えば、電子部品のように基材２１の上に金属めっき膜２２を形成してなる被研磨物２０を使用し得る。基材２１は、典型的には鉄を含む。また、金属めっき膜２２は、電子部品の美感を高めるのに好適な厚さ約５μmのニッケルリンめっき膜である。
【００５７】
この場合、基材２１を研磨することなく、その表層の金属めっき膜２２の材料のみを研磨フィルム１０に採取し、当該研磨フィルム１０を蛍光Ｘ線分析装置にセットして採取した材料の組成を分析するのが好ましい。そのように分析することで、金属めっき膜２２に含まれる鉛やカドミウム等の有毒物質がRoHS(Restriction of Hazardous Substances)指令等における規制値以下であるかどうかを判断することができる。
【００５８】
ここで、本実施形態では、既述のように固定具７の押圧力により研磨治具１に研磨フィルム１０が強く挟持されるので、研磨中に研磨フィルム１０が研磨治具１からずれるのを抑制でき、効率的に研磨フィルム１０に材料を採取することができる。
【００５９】
図１０は、このように材料を採取した後の研磨フィルム１０の平面図である。
【００６０】
本実施形態では、図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示したように、先端面３ｅを第１の方向D1と第２の方向D2の両方に湾曲させたので、研磨圧力が研磨フィルム１０の一点に集中し、研磨フィルム１０の所定領域R内に均一な分布で材料２１ａを採取することができる。
【００６１】
その所定領域Rは、例えば長径が約６．０mmで短径が約４．５mmの楕円形であって、蛍光Ｘ線分析装置におけるX線の照射領域を内側に含む。そのため、Ｘ線が所定領域Rから外れて材料２１ａ以外の材料の組成を分析する可能性を低減できる。しかも、上記のように所定領域R内に材料２１ａを均一な分布で採取できるので、材料２１ａの組成を高精度に分析することができる。
【００６２】
以上説明したように、本実施形態によれば、図５〜図７に示したように、固定具７を利用して先端部３に研磨フィルム１０を装着するようにしたので、研磨フィルム１０の装着に要する時間を短くでき、かつ、確実に研磨フィルム１０を挟持できるようになる。
【００６３】
これにより、図９のように研磨フィルム１０に被研磨物２０の材料を採取するとき、作業者の作業効率を高めることができる。
【００６４】
更に、このように機械的に先端部３に研磨フィルム１０に装着することで、その装着状態に作業者の技量の個人差が入り込む余地が少なくなる。その結果、図１０のように研磨フィルム１０に採取した材料２１ａの分布に個人差が生じ難くなり、材料２１ａの分析結果に一集団内でばらつきが発生するのを抑制できる。
【００６５】
図１１は、比較例に係る研磨治具３０の外観図である。
【００６６】
この比較例では、突起部６と固定具７とを省き、粘着テープ３１を利用して押さえ部材５を先端部３に固定している。
【００６７】
この場合、押さえ治具５を嵌合した後、所定の長さに粘着テープ３１をカットしてからそれを先端部３に貼付して、押さえ治具５を固定するまで約１８秒を要する。更に、研磨後に粘着テープ３１を剥がしてそれを廃棄するのに約４秒の時間を要した。これらの合計時間は、本実施形態における研磨フィルム１０の脱着時間（約５秒）の４倍以上である。
【００６８】
しかも、粘着テープ３１による固定では、研磨フィルム１０を安定的に挟持するのが難しく、研磨途中に研磨フィルム１０が先端部３からずれ易くなる。そのため、研磨で採取した材料が研磨フィルム１０の所定領域Rから外れたり、当該所定領域R（図１０参照）に均一に材料を採取したりするのが難しいという不都合が発生する。
【００６９】
（第２実施形態）
図１２は、本実施形態に係る研磨治具１の先端部３の側面図と正面図である。なお、図１２において、第１実施形態で説明したのと同じ要素には第１実施形態におけるのと同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
【００７０】
本実施形態では、図１２に示すように、突起部６の断面形状を扁平にする。これにより、突起部６と固定具７の各々の当接面６ａ、７ｃが平坦になり、両者が面接触するようになる。
【００７１】
このような面接触の結果、突起部６を支点にして固定具７が揺動するのを規制することができ、先端部３に研磨フィルム１０を堅牢に固定することが可能となる。
【００７２】
更に、扁平形状の突起部６として、先端面の高さHの方向に撓む板バネを利用してもよい。このようにすると、先端部３、押さえ部材５、及び固定具７の間にガタがある場合でも、突起部６が撓むことによりそのガタが吸収される。これにより、先端部３、押さえ部材５、及び固定具７の各々を十分な押圧力によって互いに嵌合させることができ、各部の加工公差を緩和することができる。
【００７３】
（第３実施形態）
図１３（ａ）は、本実施形態で使用する押さえ部材５の平面図であり、図１３（ｂ）はその側面図である。また、図１４は、この押さえ部材５を備えた研磨治具１の側面図である。なお、これらの図において、第１実施形態で説明したのと同じ要素には第１実施形態と同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
【００７４】
図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施形態では押さえ部材５の主面５ｂにリング状の溝５ｃを形成し、その溝５ｃ内にゴム製のＯリング等の弾性体３５を埋め込む。
【００７５】
なお、溝５ｃの深さは弾性体３５の厚さよりも浅く、押さえ部材５の主面５ｂから弾性体３５は突出する。
【００７６】
研磨時には、図１４に示すように、押さえ部材５と固定具７との間に弾性体３５を配する。
【００７７】
これにより、弾性体３５の付勢力によって、押さえ部材５と固定具７との間にこれらを離間させるような力Fが作用する。その力Fにより、押さえ部材５と固定具７との間のガタが減少すると共に、押さえ部材５が研磨フィルム１０に強く押し付けられ、第１実施形態よりも研磨フィルム１０を安定的に保持することができるようになる。
【００７８】
（第４実施形態）
図１５（ａ）は、本実施形態で使用する押さえ部材５の平面図であり、図１５（ｂ）はその側面図である。また、図１６は、この押さえ部材５を備えた研磨治具１の側面図である。なお、これらの図において、第３実施形態で説明したのと同じ要素には第３実施形態と同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
【００７９】
本実施形態が第３実施形態と相違する点は、図１５（ａ）に示すように、押さえ部材５の内面５ａにＯリング等の弾性体３５が僅かに突出するようにした点である。
【００８０】
研磨時には、図１６に示すように、押さえ部材５とテーパー面３ｇとの間に弾性体３５を配する。
【００８１】
これにより、弾性体３５の付勢力によって、押さえ部材５とテーパー面３ｇとの間にこれらを離間させるような力Fが作用する。その力Fにより、押さえ部材５と固定具７との間のガタが減少する。更に、弾性体３５が変形することで、研磨フィルム１０がテーパー面３ｇだけでなく第２の平坦面３ｄにも強く押し付けられ、第３実施形態よりも研磨フィルム１０を安定的に保持することができるようになる。
【００８２】
（第５実施形態）
図１７（ａ）は、本実施形態で使用する固定具７の平面図であり、図１７（ｂ）はその側面図である。また、図１８は、この固定具７を備えた研磨治具１の側面図である。なお、これらの図において、第１実施形態で説明したのと同じ要素には第１実施形態と同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
【００８３】
図１７（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施形態に係る固定具７の主面７ｘには、先端７ｐに向かって固定具７の厚さが単調に減少するように、連続した複数の段差面７ｅ〜７ｇを形成する。
【００８４】
段差面の個数や隣接する段差面７ｅ〜７ｇ同士の高低差は特に限定されないが、固定部材５や先端部３等の各部の加工公差や研磨フィルム１０の厚さを考慮して、その高低差を０．０２mm〜０．０７mmとするのが好ましい。
【００８５】
研磨時には、図１８に示すように、各段差面７ｅ〜７ｇ側を突起部６に向けて、突起部６と押さえ部材５との間に固定具７を挿入する。そして、その挿入量を調節することにより、段差面７ｅ〜７ｇのいずれかを突起部６に選択的に当接させ、選択した段差面７ｅ〜７ｇに応じて固定具７と押さえ部材５との間の押圧力を可変にする。
【００８６】
これによれば、製造誤差が原因で突起部６と押さえ部材５との間隔が研磨治具１毎にばらついている場合でも、その間隔に合った段差面７ｅ〜７ｇを選択することで、固定具７と押さえ部材５との間の押圧力を十分に高めることができる。そのため、研磨治具１の製造誤差によらずに、研磨治具１に確実に研磨フィルム１０を装着することができるようになる。
【００８７】
（第６実施形態）
図１９（ａ）は、本実施形態で使用する固定具７の平面図であり、図１９（ｂ）はその側面図である。
【００８８】
また、図２０（ａ）は、その固定具７と組み合わせて使用される押さえ部材５の平面図であり、図２０（ｂ）はその側面図である。
【００８９】
更に、図２１は、これら押さえ部材５と固定具７とを備えた研磨治具１の側面図である。
【００９０】
なお、図１９〜図２１において、第１実施形態で説明したのと同じ要素には第１実施形態と同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
【００９１】
図１９に示すように、本実施形態に係る固定具７の主面は、先端７ｐに向かって固定具７の厚さが連続的に薄くなるように傾斜した楔面７ｈとされる。
【００９２】
また、図２０に示すように、その楔面７ｈに当接する押さえ部材５の当接面も楔面５ｄとする。
【００９３】
そして、研磨時には、図２１に示すように、各々の楔面５ｄ、７ｈが面接触の状態で組み合わさるように固定具７を突起部６と押さえ部材５の間に挿入する。
【００９４】
これによれば、固定具７に楔作用が生じ、先端部３への固定具７の挿入量に応じて固定具７と押さえ部材５との間の押圧力を無段階に可変とすることができ、第４実施形態と比較して押圧力の細かな調節が可能となる。なお、楔面５ｄ、７ｈは、押圧力により固定具７が滑り、押圧力を低下させないよう、押圧力に抗する面抵抗を有するよう、たとえば、適度に粗面化することが望ましい。
【００９５】
（第７実施形態）
図２２（ａ）は、本実施形態に係る研磨治具１を先端部３側から見た正面図であり、図２２（ｂ）は、この研磨治具１で使用される研磨フィルム１０の拡大平面図である。
【００９６】
なお、図２２において、第１実施形態で説明したのと同じ要素には第１実施形態と同じ符号を付し、以下ではその説明を省略する。
【００９７】
図２２（ａ）に示されるように、本実施形態では、先端部３の先端面３ｅに、第２の方向D2に沿った複数の線状痕３ｘを形成する。そのような線状痕３ｘは、例えば、先端面３ｅと不図示の研磨シート等とを第２の方向D2に沿って摺接させることで形成され得る。
【００９８】
また、図２２（ｂ）に示すように、研磨フィルム１０の支持基材１１の主面にも、その支持基材１１の長手方向に沿って線状痕１１ｘを形成する。
【００９９】
その線状痕１１ｘは、上記の線状痕３ｘを形成するのに使用した研磨シートと同程度以下の粒度の研磨シートを利用して形成され得る。
【０１００】
なお、支持基材１１の主面の全面に線状痕１１ｘを形成する必要はなく、既述の所定領域R内にのみ線状痕１１ｘを形成してもよい。
【０１０１】
図２３は、先端部３に研磨フィルム１０を装着した状態での断面図である。
【０１０２】
図２３に示すように、研磨時には各線状痕３ｘ、１１ｘ同士が適度に嵌合し、第１の方向D1に研磨フィルム１０がずれるのを抑制できる。
【０１０３】
特に、第１の方向D1は、押さえ部材５から研磨フィルム１０に付与される張力の成分が少なく、その張力だけでは研磨フィルム１０のずれを抑制するのが難しいので、このように線状痕３ｘ、１１ｘを利用してずれを防止する実益がある。
【０１０４】
なお、線状痕３ｘ、１１ｘの高低差を過剰に大きくするのは好ましくない。図２４は、線状痕３ｘ、１１ｘの高低差を大きくした場合の不都合について説明するための断面図である。
【０１０５】
図２４に示すように、線状痕３ｘ、１１ｘを大きくし過ぎると、その線状痕３ｘ、１１ｘに沿って研磨フィルム１０が撓み、研磨フィルム１０の表面に砥粒１３よりも大きな凹凸が生じてしまう。
【０１０６】
こうなると、その凹凸の凹部Aでは、研磨フィルム１０が所定の圧力を持って被研磨物に当接しなくなって被研磨物の材料が採取できなくなり、研磨フィルム１０に均一に材料を採取することができなくなってしまう。
【０１０７】
このような不都合を解消するため、線状痕３ｘが付与された先端面３ｅの表面粗さは、砥粒１３を用いた研磨フィルム１０の研磨面の表面粗さ以下にするのが好ましい。
【０１０８】
なお、上記では、第１の方向D1への研磨フィルム１０のずれを効果的に抑制するために第２の方向D2に沿って線状痕３ｘを形成したが、サンドブラスト加工等により点状の凹凸を先端面３ｅに付与してもよい。
【０１０９】
この場合、研磨フィルム１０にも点状の凹凸を付与することで、各方向D1、D2への研磨フィルム１０のずれを抑制することが可能となる。
【０１１０】
以上説明した各実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
【０１１１】
（付記１）  研磨フィルムが装着される先端部と、
前記先端部の外周側面に嵌合する内面を有し、該内面と該外周側面との間で前記研磨フィルムを挟持する着脱自在な押さえ部材と、
前記外周側面において、前記押さえ部材よりも先端寄りの位置に設けられた突起部と、
前記突起部と前記押さえ部材との間に挿入され、着脱自在な固定具と、
を有することを特徴とする研磨治具。
【０１１２】
（付記２）  前記固定具と前記突起部の各々の当接面は平坦であることを特徴とする付記１に記載の研磨治具。
【０１１３】
（付記３）  前記押さえ部材と前記固定具との間に、これらを離間させる付勢力を与える弾性体を設けたことを特徴とする付記１又は付記２に記載の研磨治具。
【０１１４】
（付記４）  前記固定具の主面に複数の連続した段差面を形成し、複数の該段差面のいずれかを前記突起部に選択的に当接させることにより、選択した前記段差面に応じて前記固定具と前記押さえ部材との間の押圧力を可変にしたことを特徴とする付記１に記載の研磨治具。
【０１１５】
（付記５）  前記押さえ部材と前記固定具の各々の当接面を楔面にし、該固定具の挿入量に応じて前記固定具と前記押さえ部材との間の押圧力を可変にしたことを特徴とする付記１に記載の研磨治具。
【０１１６】
（付記６）  前記先端部は、前記研磨フィルムの研磨領域に対応する先端面を有し、
前記先端面を粗化したことを特徴とする付記１〜５のいずれかに記載の研磨治具。
【０１１７】
（付記７）  前記先端面は、前記研磨フィルムの長手方向に垂直な第１の方向と、前記長手方向に平行な第２の方向の両方に沿って湾曲し、
前記先端面に、前記第２の方向に沿った線状痕が形成されたことを特徴とする付記６に記載の研磨治具。
【０１１８】
（付記８）  前記先端面の表面粗さは、前記研磨フィルムの研磨面の表面粗さ以下であることを特徴とする付記６又は付記７に記載の研磨治具。
【０１１９】
（付記９）  長尺状の支持基材と、
前記支持基材の一方の主面に固着された砥粒とを有し、
前記支持基材の他方の主面に、該支持基材の長手方向に沿って線状痕が形成されたことを特徴とする研磨フィルム。
【０１２０】
（付記１０）  研磨治具の先端面に研磨フィルムを被せるステップと、
前記研磨治具の外周側面に押さえ部材を嵌合させることにより、該押さえ部材の内面と前記外周側面との間で前記研磨フィルムを挟持するステップと、
前記外周側面において前記押さえ部材よりも先端寄りの位置に設けられた突起部と前記押さえ部材との間に固定具を挿入するステップと、
前記固定具を挿入した後、前記先端面から被研磨物に研磨圧を加えつつ、該被研磨物に前記研磨フィルムを摺接させて、前記被研磨物の材料を前記研磨フィルムに採取するステップと、
分析装置を用いることにより、前記採取した前記材料を分析するステップと、
を有することを特徴とする分析方法。
【符号の説明】
【０１２１】
１…研磨治具、２…把持部、３…先端部、３ａ…外周側面、３ｂ…嵌合面、３ｃ…第１の平坦面、３ｄ…第２の平坦面、３ｅ…先端面、３ｆ…基準面、３ｇ…テーパー面、３ｘ…線状痕、４…本体、５…押さえ部材、５ａ…内面、５ｂ…主面、５ｃ…溝、５ｄ…楔面、６…突起部、７…固定具、７ａ、７ｂ…第１及び第２の内面、７ｃ…当接面、７ｅ〜７ｇ…段差面、７ｈ…楔面、１０…研磨フィルム、１１…支持基材、１１ｘ…線状痕、１２…樹脂、１３…砥粒、１４…研磨層、２０…被研磨物、２１…基材、２２…金属めっき膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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