(57)【要約】【課題】光ファイバ保持部材内での光ファイバの破断を改善し、長期信頼性を有する光ファイバピグテールおよび光素子モジュールを提供する。【解決手段】光ファイバ保持部材８は、一端部側に形成された第１貫通孔２と、この第１貫通孔２と連なる第１貫通孔２より径の大きい第２貫通孔６と、第１貫通孔２と第２貫通孔６との間に両者をつなぐように形成され、第１貫通孔２から第２貫通孔６に向けて径の拡がっている光ファイバ素線導入口３とを有している。光ファイバ素線導入口３の内部には第１貫通孔と同じ内径の第３貫通孔を有する整列パッド１２を備えていて、これによって接着剤溜まりを削減し、接着剤の膨潤によって光ファイバ１１が破断し難くなる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部側に形成された第１貫通孔と、他端部側に形成された、前記第１貫通孔と連なる前記第１貫通孔より径の大きい第２貫通孔と、前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間に両者をつなぐように形成され、前記第１貫通孔から前記第２貫通孔に向けて径の拡がっている光ファイバ素線導入口とを有する光ファイバ保持部材と、
前記光ファイバ素線導入口の内側に配置され、前記第１貫通孔と同じ内径の第３貫通孔を有する整列パッドと、
前記光ファイバ保持部材の前記第２貫通孔から挿入されて、光ファイバ素線が前記第１貫通孔および前記第３貫通孔内に保持された光ファイバと
を具備したことを特徴とする光ファイバピグテール。
【請求項２】
前記整列パッドは、前記第３貫通孔に代えて、外周面から中央部にかけて形成されたスリットを有していることを特徴とする請求項１記載の光ファイバピグテール。
【請求項３】
前記光ファイバ保持部材は、前記第１貫通孔を有し前記光ファイバ素線を保持するキャピラリと、前記第２貫通孔を有し、前記キャピラリが一端部に挿入されて保持されるパイプ部とから成ることを特徴とする請求項１または２記載の光ファイバピグテール。
【請求項４】
前記一端部側の前記第１貫通孔の開口を有する端面には、前記第１貫通孔の開口を覆うように光学素子が接着されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光ファイバピグテール。
【請求項５】
前記光学素子は、光アイソレータ素子であり、該光アイソレータ素子の周囲の前記一端部側の端面に磁石が接着されていることを特徴とする請求項４記載の光ファイバピグテール。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の光ファイバピグテールと、
前記光ファイバ保持部材の一端部側が挿入される筒状の第１のホルダを備え、前記一端部側で前記光ファイバと光結合された発光素子を収納するケースと
を備えた光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信用送受信器に用いられる光モジュールに内蔵され、ＬＤ（レーザダイオード）等の発光素子やＰＤ（フォトダオード）等の受光素子との間で光の導入又は導出を行う光ファイバを保持する部分に用いられる光ファイバピグテールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光通信用の光モジュールは、益々高速、広帯域化が進んでいる。また、特に長距離系で要求される光モジュールにおいては、より高信頼性であることが要求される。そして、このような光モジュールには、たとえば特許文献１、特許文献２および特許文献３に示されるような光ファイバピグテールが用いられている。
【０００３】
図４は、このような従来の光ファイバピグテール５００を示す縦断面図である。光ファイバピグテール５００は、キャピラリ５１とパイプ５５とから成る光ファイバ保持部材５８と、光ファイバ素線５９と光ファイバ被覆６０とから成る光ファイバ６１と、を備えている。
【０００４】
キャピラリ５１は、ガラス又はジルコニアセラミックス等の材料から成り、中央に光ファイバ素線５９を挿通して保持するための第１貫通孔５２が設けられた円筒体である。
【０００５】
筒状のパイプ５５は、ステンレス合金等の金属からなり、中央に光ファイバ被覆６０を挿通して保持するための第２貫通孔５６が設けられている。また、一端部にはキャピラリ５１を圧入するための座刳り部５７が設けられている。
【０００６】
キャピラリ５１には、光ファイバ素線５９を第１貫通孔５２に導入するために、第１貫通孔５２からパイプ５５の第２貫通孔５６に向けて径が拡がるように形成された光ファイバ導素線入口５３が設けられている。そして、キャピラリ５１の光ファイバ素線導入口５３が形成された端部側がパイプ５５の座刳り部５７（キャピラリ５１を挿入するようにキャピラリ５１の長さ方向に設けられた穴）に圧入されて、光ファイバ保持部材５８が形成されている。
【０００７】
光ファイバ６１の被覆６０を除去した光ファイバ素線５９部は、光ファイバ保持部材５８の第２貫通孔５６側から挿入され、光ファイバ素線導入口５３で先端が第１貫通孔５２に案内されて、第１貫通孔５２に挿通される。光ファイバ被覆６０の端部がキャピラリ５１にほぼ当たる位置で第２貫通孔５６及び第１貫通孔５２に接着剤が注入され、１００℃以下で硬化されて、光ファイバ６１が光ファイバ保持部材５８に固定される。キャピラリ５１の端面から突き出した光ファイバ素線５９の先端は切断された後、キャピラリ端面５４と共に研磨されて光ファイバピグテール５００が作製される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平８−２２０３７４号公報
【特許文献２】特開平１１−１２５７３９号公報
【特許文献３】特開２００７−１７４９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、図４に示す従来の光ファイバピグテール５００では、光ファイバ素線導入口５３に接着剤溜まりが形成され、高温高湿試験（温度８５℃−湿度８５％の雰囲気中に２，０００時間放置）において接着剤が膨潤すると、光ファイバ素線５９に応力が加わり、光ファイバ素線５９が破断する場合があった。
【００１０】
本発明の目的は、上述の課題に鑑みて案出されたものであり、光ファイバ素線の耐高温高湿信頼性を改善した光ファイバピグテールおよび光素子モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題に鑑みて本発明の一実施形態に係る光ファイバピグテールは、一端部側に形成された第１貫通孔と、他端部側に形成され、前記第１貫通孔と連なる前記第１貫通孔より径の大きい第２貫通孔と、前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間に両者をつなぐように形成され、前記第１貫通孔から前記第２貫通孔に向けて径の拡がっている光ファイバ素線導入口とを有する光ファイバ保持部材と、前記光ファイバ素線導入口の内側に配置され、前記第１貫通孔と同じ内径の第３貫通孔を有する整列パッドと、前記光ファイバ保持部材の前記第２貫通孔から挿入されて、光ファイバ素線が前記第１貫通孔および前記第３貫通孔内に保持された光ファイバと、を具備したことを特徴とする。
【００１２】
上記光ファイバピグテールにおいて、前記整列パッドは、前記第３貫通孔に代えて、外周面から中央部にかけて形成されるスリットを有しているのが好ましい。
【００１３】
更に、前記光ファイバ保持部材は、前記第１貫通孔を有し前記光ファイバ素線を保持するキャピラリと、前記第２貫通孔を有し、前記キャピラリが一端側に挿入されて保持されるパイプ部とから成るのが好ましい。
【００１４】
加えて、前記一端部側の前記第１貫通孔の開口を有する端面には、光学素子が接着されているのが好ましい。
【００１５】
また、前記光学素子は、光アイソレータ素子であり、この光アイソレータ素子の周囲の前記一端部側の端面に磁石が接着されているのが好ましい。
【００１６】
更に、本発明の光モジュールは、上記いずれかの光ファイバピグテールと、前記光ファイバ保持部材の一端部側が挿入される筒状の第１のホルダを備え、前記一端部側で前記光ファイバと光結合された発光素子を収納するケースと、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の一実施形態に係る光ファイバピグテールによれば、光ファイバ素線導入口の内側に配置され、第１貫通孔と同じ内径の第３貫通孔を有する整列パッドを具備していることにより、光ファイバ素線導入口に形成される接着剤溜まりの体積を小さくすることができる。その結果、接着剤の膨潤によって光ファイバ素線に加わる応力を緩和することができる。
【００１８】
また、整列パッドに外周面から中央部にかけて形成されるスリットを設けておくと、整列パッドの外周面およびスリットに沿わせて光ファイバ素線を整列パッドの中央部に導くことができ、光ファイバ素線の挿通を容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】（ａ）は本発明の光ファイバピグテールの実施の形態の一例を示す縦断面図、（ｂ）は光ファイバピグテールに用いられる整列パッドの実施の形態の一例を示す拡大斜視図、（ｃ）は整列パッドの実施の形態の他の例を示す拡大斜視図である。
【図２】本発明の光ファイバピグテールの実施の形態の他の例を示す縦断面図である。
【図３】本発明の光素子モジュールの実施の形態の一例を示す縦断面図である。
【図４】従来の光ファイバピグテールの実施の形態の例を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図を用いて説明する。
【００２１】
図１は、本発明の光ファイバピグテール１００の実施の形態の一例を示すものであり、図１（ａ）は光ファイバピグテール１００の縦断面図、図１（ｂ）は図１（ａ）の光ファイバピグテール１００に用いられる整列パッド１２の拡大斜視図、（ｃ）は整列パッド１２の他の実施形態例を示す拡大斜視図である。
【００２２】
光ファイバ保持部材８は、セラミックス，ガラスまたは金属等から成り、一端面とこれに対向する他端面とを有して、一端面から他端面にかけて貫通孔が形成されている。貫通孔は、一端部側に形成された第１貫通孔２と、第１貫通孔２と連なり、第１貫通孔２より径の大きい第２貫通孔６とを有している。また、光ファイバ保持部材８の一端部に形成された第１貫通孔２とこれに連通するように第1貫通孔２の軸の延長線上に配置された第２貫通孔６との間には、径の異なる第１貫通孔２と第２貫通孔６とを連続的に接続するように第１貫通孔２から第２貫通孔６に向けて径が拡がる光ファイバ素線導入口３が形成されている。
【００２３】
この光ファイバ素線導入口３の内側には整列パッド１２が配置される。整列パッド１２は、光ファイバ保持部材８と同じ材料から成り、図１（ｂ）に示すように、中央軸方向に光ファイバ素線９が挿通される第３貫通孔１３を有している。この第３貫通孔１３は、第１貫通孔２と同軸に配置され、第１貫通孔２と同じ程度の内径を有している。整列パッド１２の外側形状は、光ファイバ素線導入口３の内周面と相似の形状に形成しておくのがよく、例えば光ファイバ素線導入口３の内側に収まる寸法の円錐形状に形成されている。そして、第３貫通孔１３が第1貫通孔２と同軸に配置されるようにしておくのがよい。
【００２４】
また、整列パッド１２には、図１（ｃ）に示すように、外周面から中央部にかけて形成された、または、上記第３貫通孔１３の内壁面から外周面に通じるスリット１４を設けるのが好ましい。スリット１４は、光ファイバ素線９より僅かに広い幅を有している。これによって、光ファイバ素線９をスリット１４内に通すのが容易になる。すなわち、光ファイバ素線９を整列パッド１２の外周面に沿って移動させ、スリット１４の位置に来たときにスリット１４内に落とし込むようにして光ファイバ素線９をスリット１４内に通せばよい。スリット１４を設けない場合は、光ファイバ素線９の先端を第３貫通孔１３の開口部位置に合わせ、次に光ファイバ素線９を第３貫通孔１３に挿通する細かい作業が必要になるが、スリット１４を設けることによりこれを容易に行なうことができる。
【００２５】
そして、光ファイバ素線９部に整列パッド１２を取り付けた光ファイバ１１を光ファイバ保持部材８の第２貫通孔６側から挿入し、光ファイバ素線９の先端が第１貫通孔２から突き出すように光ファイバ１１を光ファイバ保持部材８に挿通する。光ファイバ素線９の先端は、光ファイバ素線導入口３によって第１貫通孔２の開口に案内されるので、光ファイバ１１を第２貫通孔６および第１貫通孔２に挿通するのはそれ程難しくない。このようにして、光ファイバ１１の被覆１０が除去された光ファイバ素線部９が第１貫通孔２および第３貫通孔１３の内側に保持され、光ファイバ被覆部１０は第２貫通孔６内に保持される。整列パッド１２は光ファイバ素線導入口３に配置され、光ファイバ素線９部の光ファイバ被覆部１０端面側に配置される。
【００２６】
その後、第２貫通孔６の開口と光ファイバ１１との間の隙間から接着剤を第１貫通孔２まで流し込む。接着剤は、第２貫通孔６の開口部から注入し、第１貫通孔２側から吸引するなどの手段によって第１貫通孔２まで充填されるように注入する。その後、ヒーターや恒温槽などによって１００℃以下の高温で接着剤を硬化させる。硬化後、第１貫通孔２から飛び出した余分な光ファイバ素線９を切断して、光ファイバ保持部材８の端面４を光軸に対する垂直面に対し４°〜８°に傾斜する面に研磨して光ファイバピグテール１００を形成する。端面４の研磨角度は、光の近端反射を抑止するために設けられるものである。光軸に対する垂直面に対し０°で研磨する場合は、端面４に反射防止膜をコーティングしても良い。
【００２７】
このように、本発明の一実施形態に係る光ファイバピグテール１００では、光ファイバ素線導入口３に整列パッド１２を配置したことで、光ファイバ素線導入口３に形成される約０．１３ｍｍ３の接着剤溜まりのうち約８５％を削減することができた。これによって、温度８５℃−湿度８５％の高温高湿試験条件下等において接着剤溜まりの接着剤が膨潤し、光ファイバ素線９へ加わる応力が緩和されるため、光ファイバ１１の破断に至らず、長期信頼性を向上することができる。
【００２８】
図２は、本発明の他の実施形態に係る光ファイバピグテール２００の縦断面図である。本実施形態における光ファイバ保持部材８は、キャピラリ１とパイプ部５とが組み合わされたもので、パイプ部５の一端側に形成された座刳り部７にキャピラリ１が挿入されている。そして、キャピラリ１とパイプ部５とから成る光ファイバ保持部材８の全体的な形状は、図１（ａ）に示される光ファイバ保持部材８と同じである。したがって、図２において、図１（ａ）の光ファイバ保持部材８と共通する機能を有する部分には同じ符号を付している。
【００２９】
なお、本実施形態の光ファイバピグテール１００においては、光学素子２４がキャピラリ１の先端面に、第１貫通孔の開口を覆うように、さらに取り付けられている例を示す。光学素子２４は、例えば、光アイソレータ２６であり、図２は光アイソレータ２６が光ファイバ保持部材８の端面に取り付けられた光アイソレータ付き光ファイバピグテール２００の一実施形態を示す。
【００３０】
キャピラリ１は外径が１．４ｍｍ等の筒状で、セラミックスまたはガラスから成り、中央部軸方向に第１貫通孔２を有している。第１貫通孔２の直径は、光ファイバ素線９の直径０．１２５ｍｍより僅かに大きい０．１２５５〜０．１２６５ｍｍの内径に形成されている。第１貫通孔２の開口部のうち、キャピラリ１の光ファイバ保持部材８に挿入される側に光ファイバ素線導入口３が設けられている。光ファイバ素線導入口３の間口の大きさは、直径約１．０ｍｍで第１貫通孔２の軸方向との間の角度が約４５°で端面に向けて拡大する円錐形状を成している。この第１貫通孔２の軸方向との間の角度としては、約４５°の他、約３０°も使用される。
【００３１】
パイプ部５は、ステンレス合金等の金属から成り、中央部軸方向に第２貫通孔６を有している。第２貫通孔６の直径は、光ファイバ被覆１０の直径０．９ｍｍより僅かに大きい約１．０ｍｍ程度に形成されている。パイプ部５の一端には、キャピラリ１を圧入するための座刳り部７が第２貫通孔６と同軸に設けられている。座刳り部７は、第２貫通孔６の内径より大きな内径を有する円柱形状に形成されており、この座刳り部７にキャピラリ１の光ファイバ素線導入口３側端部が圧入されて、光ファイバ保持部材８が形成されている。
【００３２】
そして、光ファイバ保持部材８に、先端の被覆１０を除去し、光ファイバ素線９が露出された光ファイバ１１を第２貫通孔６側から挿入する。光ファイバ１１の光ファイバ素線９には、上記図１（ｃ）に示す整列パッド１２を光ファイバ保持部材８に挿入する前に予め取り付けておく。そして、光ファイバ素線９の先端がキャピラリ１の第１貫通孔２から突出するまで光ファイバ１１をパイプ部５およびキャピラリ１の内部に挿入する。最後に、図１（ａ）の光ファイバ保持部材８と同様に接着剤を注入して光ファイバ１１を固定し、光ファイバピグテール２００が完成する。
【００３３】
また、必要に応じて光ファイバピグテール２００に光学素子を取り付ける。図２において、光アイソレータ素子２４は、偏光子２１、ファラデー回転子２２、検光子２３から成る例を示している。偏光子２１と検光子２３の透過偏波面の角度は４５°となるよう予め回転調芯された後、各々接着剤によりファラデー回転子２２に貼り合わされ、その後光アイソレータ素子２４の所定の大きさに裁断されて形成されたものである。光アイソレータ素子２４の入射面および出射面は、キャピラリ８端面４の例えば傾斜角８°の面に平行に設置されるので、光軸に対して傾斜角８°の面となる。図２に示すように、光アイソレータ素子２４の側面（入射面と出射面との間の面）は、光アイソレータ素子２４を傾斜面に設置した際に、光軸に対して平行になるように形成しておくと、光アイソレータ素子２４をコンパクトに収容することができる。また、入射面と側面とが成す角度から、透過偏波面の方向を見分けることができる。
【００３４】
ファラデー回転子２２に磁界を印加する円筒型の磁石２５は、外径が一般に使用される光ファイバ保持部材８の外径の最小径である直径２ｍｍと同じかそれ以下に設定されるのが好ましい。このような磁石２５が、筒の内側に配置される光アイソレータ素子２４を取り囲むようにパイプ５の端面に接着剤により固定される。そして、光アイソレータ素子２４と磁石２５とで光アイソレータ２６が構成される。このように、光アイソレータ付き光ファイバピグテール２００は、光ファイバピグテール２００において、高温高湿試験条件下における光ファイバ破断が生じ難く、長期信頼性を改善できる。
【００３５】
図３は、本発明の光素子モジュール３００の一実施形態を示す縦断面図である。本発明の一実施形態に係る光素子モジュール３００は、ＬＤ等の発光素子３１、レンズ３２、ステム３３、電子冷却素子３４からなる光学ユニット３５と、光学ユニット３５を収容するケース３６と、光ファイバピグテール２００を保持する第１のホルダ３７と、第１のホルダに一端部側が挿入されて固定された光ファイバピグテール２００とを備えている。なお、ケース３６には、モニタ用ＰＤ（フォトダイオード）等が収納される場合もあるが、これらモニタ用ＰＤおよびその配線用リード線等は省略して示している。
【００３６】
光学ユニット３５は、発光素子３１を半田によりステム３３上に搭載固定し、発光素子３１の出射光を集光するレンズ３２をステム３３上に半田またはＹＡＧレーザにより搭載し、ステム３３を電子冷却素子３４上に半田により搭載固定することによって形成される。この光学ユニット３５は、ケース３６内に収容して半田等により固定されている。
【００３７】
また、光ファイバピグテール２００は、光ファイバ保持部材８を第１のホルダ３７に挿入して、第１のホルダ３７のフランジ部３７ａをケース３６に具備されたステンレス合金またはＦｅ−Ｎｉ合金からなる第２のホルダ３８に面合わせをする。次に、第１のホルダ３７および光ファイバピグテール２００をＸＹＺ方向に調整し、光学ユニット３５から出射された光信号が光ファイバピグテール２００の光ファイバ１１と光結合するように位置を調整した後、第１のホルダ３７のフランジ部３７ａを第２のホルダ３８に、光ファイバピグテール２００の光ファイバ保持部材８を第１のホルダ３７にＹＡＧレーザにより溶接することによって光素子モジュール３００が完成する。このような光素子モジュール３００は、光ファイバピグテール２００を備えているため、高温高湿試験条件下における光ファイバ破断が生じ難く、長期信頼性を改善できる。
【実施例】
【００３８】
図２に示す光ファイバピグテール２００を作製した。
【００３９】
外径１．４ｍｍ、長さ３ｍｍのジルコニアセラミックスから成るキャピラリ１を作製した。キャピラリ１は、中心軸位置に直径０．１２６ｍｍの第１貫通孔２と、光ファイバ素線９が導入される側の一端に間口約１．０ｍｍで第１貫通孔２の軸方向と成す角度が約４５°の円錐形状の光ファイバ素線導入口３が設けられている。
【００４０】
ステンレス合金から成るパイプ５には、外径２．０ｍｍ、長さ１０ｍｍ、中心軸方向に直径１．０ｍｍの第２貫通孔６と、キャピラリ１が圧入される一端に深さ２ｍｍ−直径１．４ｍｍの座刳り部７を設けた。そして、パイプ５の座刳り部７にキャピラリ１の光ファイバ素線導入口３側を圧入して光ファイバ保持部材８を作製した。
【００４１】
整列パッド１２は、キャピラリ１と同じジルコニアセラミックス製で、底面の外径１．０ｍｍ、頂点角度が９０°の円錐形状とし、底面の中央部から頂点に向けて直径０．１２６ｍｍの第３貫通孔１３を開け、その第３貫通孔１３から外周面にかけて第３貫通孔１３の直径と同じ幅のスリット１４を設けた。
【００４２】
光ファイバ１１は、外径０．９ｍｍ、長さ約１ｍの光ファイバ被覆１０の一端を約２０ｍｍ程、被覆除去して光ファイバ素線９部を作った。
【００４３】
整列パッド１２の底面側を光ファイバ被覆１０側に向け、光ファイバ素線９の側方からスリット１４を通して光ファイバ素線９に整列パッド１２を装着した。次に、光ファイバ保持部材８の第２貫通孔６側から光ファイバ素線９を挿通した。整列パッド１２が光ファイバ素線導入口３に嵌め込まれ、光ファイバ被覆１０が整列パッド１２に当たって止まるところで光ファイバ１１を保持した状態で、接着剤を第２貫通孔６側から注入した。同時に、キャピラリ１端面４側から吸引して光ファイバ保持部材８の第２貫通孔６から第１貫通孔１にかけて内側全域に接着剤が充填されるようにした。その後、８０℃の恒温槽に投入し、接着剤を硬化させた。
【００４４】
接着剤硬化後、キャピラリ１端面４から飛び出た余分な光ファイバ素線９を切断して、キャピラリ１端面４を８°に斜め研磨し、光ファイバピグテール１００を完成した。
【００４５】
従来の光ファイバピグテール５００と本実施例による光ファイバピグテール２００とを温度８５℃、湿度８５％の高温高湿試験機に投入し、光ファイバ保持部材８内の光ファイバ素線導入口３での光ファイバ破断発生率を確認した。光ファイバ破断は、光ファイバに光を導入して、破断があれば反射率と位置を特定できるプレシジョンリフレクトメータによって確認した。結果を表１に示す。
【００４６】
【表１】
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【００４７】
従来の光ファイバピグテール５００は、２，０００時間の８５℃−８５％高温高湿試験機投入後に光ファイバ破断が約５０％の確立で発生するのに対し、本実施例の光ファイバピグテール２００では、光ファイバ１１の破断発生率ゼロの結果を得た。光ファイバ素線導入口３に整列パッド１２を設けたことで、光ファイバ素線導入口３位置における接着剤溜まりの体積を従来より大幅に削減し、高温高湿条件下で発生する接着剤の膨潤による光ファイバ素線９への応力が緩和されたので、光ファイバ１１の破断を防止することができたものと思われる。
【符号の説明】
【００４８】
１…キャピラリ
２…第１貫通孔
３…光ファイバ素線導入口
５…パイプ
６…第２貫通孔
７…座刳り部
８…光ファイバ保持部材
９…光ファイバ素線
１０…光ファイバ被覆
１１…光ファイバ
１２…整列パッド
１３…第３貫通孔
１４…スリット
２１…偏光子
２２…ファラデー回転子
２３…検光子
２４…光アイソレータ素子
２５…磁石
２６…光アイソレータ
３１…発光素子または受光素子
３２…レンズ
３３…ステム
３４…電子冷却素子
３５…光学ユニット
３６…ケース
３７…第１のホルダ
３７ａ…フランジ部
３８…第２のホルダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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