(57)【要約】【課題】被検出体の端部位置間距離の測定精度を向上できるようにする。【解決手段】各センサ１１−１及び１１−２で端部位置が検出された検出開始タイミングの差が減少する方向へ、時間的に先に端部位置を検出した一方のセンサ１１−１又は１１−２の出力値をシフトし、シフトした出力値と他方のセンサ１１−２又は１１−１の出力値とに基づいて、被検出体１００の第１及び第２の端部位置間の距離を測定する。【選択図】図４
2011141170.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出領域に位置する被検出体の第１の端部位置を検出する第１のセンサと、
検出領域に位置する前記被検出体の第２の端部位置を検出する第２のセンサと、
前記各センサで端部位置が検出された検出開始タイミングの差が減少する方向へ、時間的に先に端部位置を検出した一方の前記センサの出力値をシフトし、シフトした前記出力値と他方の前記センサの出力値とに基づいて、前記被検出体の前記第１及び第２の端部位置間の距離を測定する処理部と、
を備えた、被検出体の端部位置間距離を測定する装置。
【請求項２】
前記処理部は、
前記一方のセンサで前記端部位置が検出されてから前記他方のセンサで前記端部位置が検出されるまでの時間差を検出し、
検出した前記時間差が最小となるように、前記一方のセンサの前記出力値を時間的にシフトする、請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記処理部は、
少なくとも前記一方のセンサの前記出力値を時系列に記憶する記憶部を備え、
前記記憶部に記憶された前記一方のセンサの前記出力値の読み出しを前記検出した時間差が最小となるように遅らせる、請求項２記載の装置。
【請求項４】
前記検出開始タイミングは、対応する前記センサの出力値が所定の閾値以上の変化を示した時刻である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記処理部は、
前記測定した距離に基づいて前記被検出体の前記端部位置の欠けを検出する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
第１のセンサの検出領域に位置する被検出体の第１の端部位置を前記第１のセンサで検出する一方、第２のセンサの検出領域に位置する前記被検出体の、前記第１の端部位置とは反対側の第２の端部位置を前記第２のセンサで検出する処理と、
前記各センサで端部位置が検出された検出開始タイミングの差が減少する方向へ、時間的に先に端部位置を検出した一方の前記センサの出力値をシフトし、シフトした前記出力値と他方の前記センサの出力値とに基づいて、前記被検出体の前記第１及び第２の端部位置間の距離を求める処理と、
を有する、被検出体の端部位置間距離を測定する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、シート材や基板材等の被検出体の幅等の端部位置間距離を測定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１には、シートをエンボス加工等する際のシート幅方向の長さを検出するシート幅検出装置が記載されている。当該シート幅検出装置は、シート幅方向に対向して設けられた一対のセンサにおける投光器と受光器との間にシートの幅方向両端部をそれぞれ位置させた状態でシートを搬送する。投光器から投光される光の遮光量（受光器での受光量）がシートの搬送に伴って変化すると、当該変化に応じた各センサの段階的なオンオフ信号がセンサから出力され、シート幅検出装置は、当該出力からシート幅の基準値に対する相対値を演算して表示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−２６６２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のシート幅検出装置では、被検出体であるシートの幅方向と搬送方向との成す角度が直角からずれた状態（傾いた状態）にある等の理由で、シートの幅方向両端部が各センサ（投光器−受光器間）に異なるタイミングで進入する場合があることを想定していない。シートの幅方向両端部が各センサ（投光器−受光器間）に異なるタイミングで進入すると、正確な幅を求められない。
【０００５】
本発明の目的の一つは、シート材や基板等の被検出体の端部位置間の距離（例えば幅）を測定する際の精度向上を図ることにある。例えば、被検出体の幅方向両端部が対応するセンサに異なるタイミングで進入したとしても、正確な幅を測定できるようにすることが本発明の目的の一つである。
【０００６】
なお、前記目的に限らず、後述する発明を実施するための形態に示す各構成により導かれる作用効果であって、従来の技術によっては得られない作用効果を奏することも本発明の他の目的の一つとして位置付けることができる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る被検出体の端部位置間距離を測定する装置の一態様は、前記各センサで端部位置が検出されたタイミング（検出開始タイミング）の差が減少する方向へ、時間的に先に端部位置を検出した一方のセンサの出力値をシフトし、シフトした出力値と他方のセンサの出力値とに基づいて、前記被検出体の前記第１及び第２の端部位置間の距離を測定する処理部と、を備える。
【０００８】
ここで、前記処理部は、前記一方のセンサで端部位置が検出されてから前記他方のセンサで端部位置が検出されるまでの時間差を検出し、検出した時間差が最小となるように、前記一方のセンサの出力値を時間的にシフトする、こととしてもよい。
【０００９】
また、前記処理部は、少なくとも前記一方のセンサの出力値を時系列に記憶する記憶部を備え、前記記憶部に記憶された前記一方のセンサの出力値の読み出しを前記検出した時間差が最小となるように遅らせる、こととしてもよい。
【００１０】
さらに、前記検出開始タイミングは、対応する前記センサの出力値が所定の閾値以上の変化を示した時刻としてもよい。
【００１１】
また、前記処理部は、前記検出した距離に基づいて前記被検出体の端部位置の欠けを検出してもよい。
【００１２】
また、本発明に係る被検出体の端部位置間距離を測定する方法の一態様は、第１のセンサの検出領域に位置する被検出体の第１の端部位置を前記第１のセンサで検出する一方、第２のセンサの検出領域に位置する前記被検出体の、前記第１の端部位置とは反対側の第２の端部位置を前記第２のセンサで検出する処理と、前記各センサで端部位置が検出されたタイミング（検出開始タイミング）の差が減少する方向へ、時間的に先に端部位置を検出した一方のセンサの出力値をシフトし、シフトした出力値と他方のセンサの出力値とに基づいて、前記被検出体の前記第１及び第２の端部位置間の距離を測定する処理と、を有する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の上記一態様によれば、被検出体の端部位置間距離の測定精度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係る幅測定装置の構成を示す模式図である。
【図２】図１に例示するセンサの構成例を示す模式図である。
【図３】図１に例示する幅測定装置の動作を説明するセンサ出力タイミングチャートである。
【図４】図１に例示する幅測定装置に被検出体が傾いて進入する様子を示す模式図である。
【図５】図４に例示する状態での幅測定装置の動作を説明するセンサ出力タイミングチャートである。
【図６】図４に例示する状態での幅測定装置の動作（センサ出力シフト）を説明するタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。ただし、以下に説明する実施形態は、あくまでも例示であり、以下に明示しない種々の変形や技術の適用を排除する意図はない。即ち、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形（各実施例を組み合わせる等）して実施することができる。また、以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付して表している。図面は模式的なものであり、必ずしも実際の寸法や比率等とは一致しない。図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることがある。
【００１６】
図１は、本発明の一実施形態に係る幅測定装置の構成を示す模式図である。図１に示す幅測定装置１は、例示的に、第１のセンサ１１−１と、第２のセンサ１１−２と、コントローラ１２と、を備える。
【００１７】
各センサ１１−ｉ（ｉ＝１，２）は、それぞれ例えば図２に模式的に示すように、光学ヘッド２３を有しており、光学ヘッド２３は、例示的に、複数の受光素子を被検出体１００の幅方向に配列したラインセンサ２１と、当該ラインセンサ２１に対して被検出体１００の面方向に所定の距離だけ離間して対向配置されてラインセンサ２１に向けて光（例えば単色平行光）を投光する光源２２とを備えている。
【００１８】
センサ１１−ｉは、それぞれ光源２２からラインセンサ２１へ投光される光（以下、「検査光」ともいう。）の分布（個々の受光素子での受光量）に応じた信号を出力する。したがって、光学ヘッド２３の光源２２とラインセンサ２１とが成す空間に、シート材や基板等の被検出体１００の一部（検出対象部位）が位置していると、当該検出対象部位の面積に応じて検査光が遮光され、当該遮光量に応じた信号がラインセンサ２１から出力される。
【００１９】
光学ヘッド２３の光源２２とラインセンサ２１とが成す空間は、センサ１１−ｉの検出領域の一例であり、当該検出領域に被検出体１００の検出対象部位を位置させた状態で検査光によって被検出体１００を走査した場合に、検出対象部位に形状の変化があると、当該変化に応じて検査光が検出対象部位によって遮光される量が変化してラインセンサ２１での受光量が変化する。よって、検出対象部位の形状の変化がラインセンサ２１の出力信号に現れる。
【００２０】
センサ１１−ｉのセンシング領域（検出領域）に、被検出体１００の幅方向両端部（以下、「エッジ」ともいう。）を検出対象部位の一例として位置させることで、被検出体１００の両エッジ位置（端部位置）を検出することができる。例えば、一方のセンサ１１−１は、その検出領域に被検出体１００の幅方向の両エッジの一方（第１の端部位置）が位置するように配置し、他方のセンサ１１−２は、その検出領域に被検出体１００の幅方向の両エッジの他方（反対側）（第２の端部位置）が位置するよう配置する。これにより、各センサ１１−ｉの出力信号から被検出体１００の幅方向のエッジ間距離、つまりは幅を測定することができる。なお、対向するセンサ１１−ｉ間の距離は、被検出体１００の幅に応じて可変にしてもよい。
【００２１】
検査光による被検出体１００の走査は、センサ１１−ｉを被検出体１００のエッジに沿って移動させることで行なってもよいし、センサ１１−ｉは固定した状態でラインセンサ２１を成す各受光素子の配列方向を横断する方向に被検出体１００を移動（搬送）させることで行なってもよい。要は、検査光を被検出体１００に対して相対的に移動（走査）することが可能な構造や機構が設けられていれば足りる。以下の説明では、非限定的な一例として、図示を省略した搬送機構により被検出体１００を所定の搬送方向に移動（搬送）させて、検査光の走査を行なうものとする。
【００２２】
コントローラ１２は、処理部の一例であり、各センサ１１−ｉの出力信号（以下、「センサ出力値＃ｉ」と表記することもある。）を受けて、各センサ出力値ｉを解析することで、例えば被検出体１００の特定位置（例えばエッジ）、ひいてはエッジ間距離（幅）を求める（測定する）。かかるコントローラ１２は、例えば図１及び図２に示すように、演算処理部１２１と記憶部１２２とを備える。
【００２３】
記憶部１２２は、演算処理部１２１の制御の下、センサ１１−ｉのいずれか一方又は双方の出力信号（データ）を時系列に記憶する。記憶部１２２には、例示的に、ＲＡＭ、フラッシュメモリ、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）等の高速メモリを適用でき、書き込み及び読み出し速度が遅くても構わないなら、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）、磁気テープ装置、光ディスク装置等も適用できる。
【００２４】
演算処理部１２１は、センサ１１−ｉのいずれか一方又は双方の出力信号を記憶部１２２に時系列に記憶させる一方、当該出力信号（時系列データ）を解析して被検出体１００のエッジ位置、ひいてはエッジ間距離を測定する。演算処理部１２１は、例示的に、ＣＰＵやＭＰＵ、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）、ＡＳＩＣ（Application Specific Processor）等の演算処理能力を備えた集積回路を用いて実現される。
【００２５】
なお、図１に例示するように、コントローラ１２には、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）等の（第２の）コントローラ（あるいはシーケンサ）１３を接続してもよい。コントローラ１３は、例えば、被検出体１００の搬送方向や搬送速度（別言すれば、各センサ１１−ｉによる検査光の走査方向や走査速度）等を制御したり、センサ１１−ｉ間の距離を被検出体１００の幅方向長さに応じて調整したりすることができる。また、コントローラ１２及びコントローラ１３の一方または双方をＰＬＣによって構成してもよいことは言うまでも無い。
【００２６】
コントローラ１３による制御情報は、コントローラ１２に与えることができ、コントローラ１２は、当該制御情報を被検出体１００の幅測定に用いることができる。コントローラ１２の機能の一部又は全部は、コントローラ１３に備えてもよいし、逆に、コントローラ１３の機能の一部又は全部をコントローラ１２に備えることもできる。
【００２７】
以下、上述のごとく構成された本実施形態の幅測定装置１による測定動作について説明する。
まず、例えば図１中に示すように、矩形状の被検出体１００の幅方向両エッジを成す各辺が搬送方向（検査光の走査方向）に平行な状態、別言すれば、被検出体１００の幅を成す一辺（開始端）が各センサ１１−ｉ（光学ヘッド２３）の成す検出ライン１１０（図１参照）に平行な状態で、被検出体１００がセンサ１１−ｉ（光学ヘッド２３）に進入する場合について説明する。
【００２８】
この場合、各センサ出力値ｉは、時間的に例えば図３の（１）及び（２）に示すように変化する。なお、図３では、検査光が遮光されない状態を基準〔最小値（例えば０）〕として、遮光量が減少した場合にセンサ出力値ｉが正の方向へ増加するように表記している。コントローラ１２（演算処理部１２１）は、センサ出力値＃１及び＃２の変化を個別的に監視しており、センサ出力値＃１又は＃２が所定の閾値（第１の閾値）以上に変化（増加）した時刻ｔ０を、検出を開始した時刻（以下、「検出開始タイミング」と称する。）として認識する。すなわち、両センサ１１−ｉには、被検出体１００の開始端の幅方向両エッジが同じ検出開始タイミング（ｔ０）で進入するから、当該タイミングｔ０で検査光の遮光量が急激に変化（減少）する。
【００２９】
そして、両センサ１１−１及び１１−２の検出開始タイミングにずれが無ければ、コントローラ１２（演算処理部１２１）は、被検出体１００の開始端を成す一辺が検出ライン１１０と平行な状態で（傾かずに）進入したと判断することができる。
【００３０】
被検出体１００の搬送（検査光の走査）中に、検出対象部位（エッジ）に欠けやバリ等の幅方向の変化が無ければ、各センサ１１−ｉのセンサ出力値＃１及び＃２は、図３の（１）及び（２）に例示するようにそれぞれ一定値を示す。その後、被検出体１００の幅を成す他辺（終端）が各センサ１１−ｉを通り過ぎた時刻（ｔ１＞ｔ０）で、センサ出力値＃１及び＃２は、それぞれ最小値を示す。換言すれば、コントローラ１２（演算処理部１２１）は、センサ出力値＃１及び＃２が所定の閾値（第２の閾値）以下に変化（減少）した時刻を、１つの被検出体１００の搬送（走査）が終了した検出終了タイミングであると判断することができる。
【００３１】
コントローラ１２（演算処理部１２１）は、検出開始タイミングｔ０以降の各センサ出力値＃１及び＃２を記憶部１２２に時系列に記憶し、例えば図３の（３）に例示するように、各センサ１１−１及び１１−２の検出開始タイミングｔ０にずれが無ければ、両センサ出力値＃１及び＃２の時系列データをそのまま合成する等して被検出体１００の幅を求める。
【００３２】
あるいは、当該幅測定をコントローラ１３で行なう場合、コントローラ１２（演算処理部１２１）は、両センサ出力値＃１及び＃２を検出開始タイミングｔ０の揃った状態でそれぞれコントローラ１３へ出力する。この場合、コントローラ１２（演算処理部１２１）は、記憶部１２２へセンサ出力値＃１及び＃２を記憶せずにそのままコントローラ１３へ出力してもよい。センサ出力値ｉを基にした幅測定の実行は、例えば、１つの被検出体１００の走査が完了した後でもよいし、検出開始タイミングｔ０以降で１つの被検出体１００の走査が完了する前でもよい。
【００３３】
次に、被検出体１００の幅方向両エッジを成す各辺が搬送方向（検査光の走査方向）からずれた状態、別言すれば、被検出体１００の開始端を成す辺が例えば図４に示すようにセンサ１１−ｉ（光学ヘッド２３）の成す検出ライン１１０からずれた（傾いた）状態で、被検出体１００がセンサ１１−ｉに進入した場合について説明する。
【００３４】
この場合、両センサ１１−ｉには、被検出体１００の幅方向両エッジがそれぞれ異なる（ずれた）時刻に進入する。すなわち、両センサ１１−ｉにおいてそれぞれ検出開始タイミングが異なる状態となる。図４に示す例では、センサ１１−１に先行してセンサ１１−２へ被検出体１００の幅方向両エッジの一方が進入する。この場合、センサ１１−１の検出開始タイミング（ｔ３）よりもセンサ１１−２の検出開始タイミング（ｔ２＜ｔ３）が早いため、各センサ出力値＃１及び＃２は、例えばそれぞれ図５の（１）及び（２）に示すようになる。
【００３５】
すなわち、センサ出力値＃２は、被検出体１００の幅方向両エッジの一方がセンサ１１−２に進入した検出開始タイミングｔ２で前記第１の閾値以上の変化（増加）を示す。その後、被検出体１００の搬送（検査光の走査）が進むにつれて検査光の遮光量が被検出体１００の検出ライン１１０に対する傾きに応じて徐々に増加するため、センサ出力値＃２は、徐々に減少してゆく。そして、被検出体１００の搬送方向終端を成す辺がセンサ１１−２を通り過ぎた検出終了タイミングｔ４で、センサ出力値＃２は、前記第２の閾値以上の変化を示して最小値に至る。
【００３６】
これに対し、他方のセンサ出力値＃１は、センサ１１−２の検出開始タイミングｔ２よりも遅れた検出開始タイミングｔ３で被検出体１００の幅方向両エッジの他方が進入することにより前記第１の閾値以上の変化（増加）を示す。その後、被検出体１００の搬送（検査光の走査）が進むにつれてセンサ１１−２とは逆に検査光の遮光量が被検出体１００の検出ライン１１０に対する傾きに応じて徐々に減少するため、センサ出力値＃１は、徐々に増加してゆく。そして、被検出体１００の搬送方向終端を成す辺がセンサ１１−２を通り過ぎた検出終了タイミングｔ４（＞ｔ３）で、センサ出力値＃１は、前記第２の閾値以上の変化（減少）を示して最小値に至る。
【００３７】
ここで、例えば図５の（３）に例示するように、検出開始タイミング（ｔ２及びｔ３）のずれた両センサ出力値＃１及び＃２（時系列データ）を、コントローラ１２（演算処理部１２１）においてそのままリアルタイムに合成する等して、被検出体１００の幅測定に用いてしまうと、検出開始タイミングのずれに応じた誤差が生じて、被検出体１００の幅を正しく求めることができない。
【００３８】
そこで、コントローラ１２（演算処理部１２１）は、センサ出力値＃１及び＃２がそれぞれ前記第１の閾値以上の変化を示した検出開始タイミングが互いに異なる場合（ずれがある場合）、それぞれの検出開始タイミングｔ２及びｔ３の時間差を求め、例えば図６に模式的に示すように、当該時間差が最小（理想的には０）となるような検出開始タイミングの補正量をシフト量として求め、検出開始タイミングが早い方のセンサ出力値＃２をシフト量の分だけ時間的に遅らせて（シフトして）幅測定に用いる。図５の例であれば、検出開始タイミングの差であるｔ３−ｔ２をシフト量として、あるいはｔ３−ｔ２の値に近い値分をシフト量として求め、センサ出力値＃２をシフト量の分だけシフトさせることとなる。あるいは、当該幅測定をコントローラ１３で行なう場合、コントローラ１２（演算処理部１２１）は、検出した時間差が最小となるようにセンサ出力値＃２をセンサ出力値＃１よりも遅らせてそれぞれをコントローラ１３へ出力する。実際にシフトする手順の例については後述する。
【００３９】
なお、幅測定の誤差が許容される範囲内であれば、センサ出力値＃２のシフト（遅延）量は必ずしも検出した時間差を最小にする量でなくてもよく、誤差の許容範囲内で当該時間差が減少する方向へセンサ出力値＃２をシフトさせればよい。また、被検出体１００の検出ライン１１０に対する傾きの方向が図４に示す例とは逆方向であり、センサ１１−２よりもセンサ１１−１の検出開始タイミングが早い場合は、上記とは逆にセンサ出力値＃１をセンサ出力値＃２に対してその時間差が減少する方向へ、好ましくは最小となるように遅らせればよい。
【００４０】
検出開始タイミングｔ２及びｔ３の時間差は、例示的に、コントローラ１２（演算処理部１２１）において、センサ出力値＃１及び＃２のうち先に第１の閾値以上の変化を示したセンサ出力値＃２の検出開始タイミングｔ２でカウンタ等の計時手段（図示省略）によるカウントを開始し、その後に他方のセンサ出力値＃１が第１の閾値以上の変化を示した検出開始タイミングまでのカウント値として求めることができる。このように、センサ出力値＃１及び＃２が第１の閾値以上の変化を示す検出開始タイミングを時間差のカウント開始のトリガに用いることで、被検出体１００の幅方向両エッジが実際にセンサ１１−ｉに進入する時刻を個々に検出するセンサ等を別途設けなくても済む。
【００４１】
センサ出力値＃１または＃２をシフトして、両センサ出力値の出力開始タイミングを見かけ上一致させたうえで互いに合成（又はコントローラ１３へ出力）する処理の一例としては、先行するセンサ出力値＃２（又は＃１）の記憶部１２２からの読み出し開始時刻を、検出した時間差を最小にする時間（シフト量）だけセンサ出力値＃１（又は＃２）よりも遅らせることが挙げられる。例えば、コントローラ１２（演算処理部１２１）は、両センサ出力値＃１及び＃２を記憶部１２２に時系列に記憶しておき、シフト量だけセンサ出力値＃２がセンサ出力値＃１に遅れて出力されるように読み出し制御を行なえばよい。
【００４２】
あるいは、コントローラ１２（演算処理部１２１）は、検出開始タイミングの早い方のセンサ出力値＃２（又は＃１）のみを記憶部１２２に時系列に記憶しておき、他方のセンサ出力値＃１（又は＃２）の検出開始タイミングｔ３で記憶部１２２からセンサ出力値＃２を読み出して出力する。これにより、検出開始タイミングｔ３以降に出力されるセンサ出力値＃１（又は＃２）の先頭に揃えてセンサ出力値＃２（又は＃１）の出力を開始することができる。
【００４３】
このような動作は、被検出体１００が傾くとしても例えば図４に例示する方向にしか傾かず、センサ１１−ｉの検出開始タイミングの前後関係が逆転しないことが予め分かっているような場合に有用である。例えば、記憶部１２２の容量を削減して幅測定装置１の小型化を図ることができる。ただし、被検出体１００の傾きが図４に示す例とは逆方向にもなる可能性があり、センサ１１−ｉの検出開始タイミングの前後関係が逆転する可能性がある場合には、両センサ出力値＃ｉを記憶部１２２に記憶するのが好ましい。
【００４４】
以上のように、本実施形態の幅測定装置１によれば、被検出体１００がセンサ１１−ｉの成す検出ライン１１０に対して傾いて進入して、各センサ１１−ｉの検出開始タイミングにずれが生じても、幅測定等に用いるセンサ出力値＃ｉの検出開始タイミングのずれが最小となるように先に検出を開始したセンサ＃ｉの出力値を時間的にシフトして補正できる。したがって、タイミングずれに応じた誤差を最小に抑制して、被検出体１００の幅の測定精度を向上することができる。
【００４５】
なお、被検出体１００のエッジに欠けやバリ等があると、その部分でセンサ出力値＃１及び＃２のいずれか一方又は双方が大きく変化するから、コントローラ１２（演算処理部１２１）あるいはコントローラ１３は、当該変化を検出することで、被検出体１００のエッジの欠けやバリ等を検出結果として代替的あるいは付加的に出力することもできる。
【００４６】
また、上述した実施形態においては、センサ出力値＃ｉをシフトさせる手段の一例として記憶部１２２を例に挙げたが、レジスタ等を用いた遅延回路を用いて上述した実施形態と同等のシフト（遅延）処理を実現してもよい。
【００４７】
さらに、上述した実施形態においては、センサ１１−ｉの一例として、光学ヘッド２３（ラインセンサ２１及び光源２２）を有する光学式センサを挙げたが、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサや、フォトダイオード（ＰＤ）を用いて受光量変化を検出するセンサ（レーザセンサやファイバセンサ等）、超音波センサその他の各種センサを代替的に適用してもよい。また、被検出体１００が液晶パネルやプラズマディスプレイパネル等の透明ガラスの場合、光の回折現象を利用してエッジ検出が可能なエッジセンサをセンサ１１−ｉとして用いることができる。
【００４８】
また、上述した実施形態では、被検出体の一例として平面視において長方形状の物体を挙げたが、センサ１１−ｉによる検出開始タイミングにずれが生じるような形状の物体、例えば平面視において部分的に切り欠きや凹凸等が存在する物体等についても、上述した実施形態に基づく幅検出を適用可能であり、検出精度の向上を図ることが可能である。
【符号の説明】
【００４９】
１  幅測定装置
１１−１，１１−２  センサ
１２  コントローラ（処理部）
１３  コントローラ（ＰＬＣ等）
２１  ラインセンサ
２２  光源
２３  光学ヘッド
１００  被検出体
１１０  検出ライン
１２１  演算処理部
１２２  記憶部
【図１】
2011141170.tif 000003
【図２】
2011141170.tif 000004
【図３】
2011141170.tif 000005
【図４】
2011141170.tif 000006
【図５】
2011141170.tif 000007
【図６】
2011141170.tif 000008