(57)【要約】【課題】ヘッド位置決め装置において、Ｙビームに対する支持強度を経時的に維持しつつ、Ｘビームの熱膨張を吸収する。【解決手段】Ｘビーム１１の一端を支持プレート１５Ｂに固定する。Ｘビーム１１の他端と支持プレート１５Ａとを連結するスライド連結部３３は、Ｘビーム１１の他端の端部に固定された受け部材３１と、支持プレート１５Ａに固定された差し込み部材３２を備える。受け部材３１の筒状部３１ａの挿入孔３１ｃに、差し込み部材３２のピン状部３２ｂが挿入されている。ピン状部３２ｂは挿入孔３１ｃ内でＸ方向に移動可能である。Ｘビーム１１の他端の端面と支持プレート１５Ａの間には隙間が形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ方向に移動可能にヘッドを支持するＸビームと、
前記Ｘビームの両端側を前記Ｘ方向と直交するＹ方向に移動可能にそれぞれＸビーム支持部を介して支持する一対のＹビームと、
前記Ｘビームの一方の端部と前記Ｘビーム支持部とを固定連結する固定連結部と、
前記Ｘビームの他方の端部と前記Ｘビーム支持部のうちの一方に固定されてＸ方向に延びるピン状部を備える差し込み部材と、前記Ｘビームの他方の端部と前記Ｘビーム支持部のうちの他方に固定されて前記ピン状部がＸ方向に移動可能に挿入された挿入孔を有する受け部材とを備え、前記Ｘビームの他方の端部の端面と前記Ｘビーム支持部との間に隙間が形成されているスライド連結部と
を備える、ヘッド位置決め装置。
【請求項２】
前記差し込み部材及び前記受け部材のうちの一方が前記Ｘビームの他方の端部の端面に固定されている、請求項１に記載のヘッド位置決め装置。
【請求項３】
前記ＸビームはＸ方向に延びる中空部を備え、
前記受け部材が前記Ｘビームの他方の端部の端面に固定される一方、前記差し込み部材が前記Ｘビーム支持部に固定され、
前記受け部材は前記挿入孔が形成されて前記Ｘビームの前記中空部内に配置された筒状部を備える、請求項１に記載のヘッド位置決め装置。
【請求項４】
前記差し込み部材の前記ピン状部と前記受け部材の前記挿入孔のＹ方向に沿った断面形状は円形であり、
前記差し込み部材と前記受け部材のうちの一方に設けられたＸ方向に延びる回り止め部と、
前記差し込み部材と前記受け部材のうちの他方に設けられて回り止め部が挿入される回り止め孔と
を備える、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のヘッド位置決め装置。
【請求項５】
前記Ｘビームは前記ヘッドがＸ方向に移動可能に支持された第１の側部と、この第１の側部に対してＹ方向に反対側の第２の側部とを備え、
前記第２の側部に前記Ｘビームの一端側から他端側までＸ方向に延びる補強部材が固定されている、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のヘッド位置決め装置。
【請求項６】
前記補強部材は炭素繊維強化樹脂からなる請求項５に記載のヘッド位置決め装置。
【請求項７】
前記ＸビームのＹ方向に沿った断面の外形は、前記第１の側部から前記第２の側部に向けて上下方向の寸法が狭まりかつ上下対称である、請求項６に記載のヘッド位置決め装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のヘッド位置決め装置を備え、
前記ヘッドは部品を保持して基板に実装する実装ヘッドであり、
前記Ｘ方向及びＹ方向は前記基板の表面沿いの方向である、部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装、組立、検査、搬送等のためのヘッドを位置決めするヘッド位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品実装、組立、検査、搬送等のためのヘッドを位置決めするヘッド位置決め装置が知られている。例えば、部品実装装置は、部品を保持する吸着ノズルを有する実装ヘッドのための位置決め装置を備える。この実装ヘッドの位置決め装置には、基板の表面に沿うＸ方向に移動可能に実装ヘッドを支持するＸビームと、Ｘビームの両端側をそれぞれＸビーム支持部を介して支持する一対のＹビームを備えるものがある。Ｘビーム支持部がＹビーム上を移動することで、基板の表面に沿ってＸ方向と直交するＹ方向にＸビームが移動可能となる。
【０００３】
Ｘビームに支持された実装ヘッドのＸ方向の往復動等を伴う実装作業の継続により、Ｘビームの温度や部品実装装置内の温度が上昇する。Ｘビームの両端はＸビーム支持部に固定されているため、Ｘビームは熱膨張すると湾曲し、実装ヘッドの位置決め精度が低下する。
【０００４】
特許文献１には、Ｘビームの片側の端部をリニアガイドを介してＸビーム支持部に連結することが開示されている。Ｘビームの片側の端部はＸビーム支持部に対してＸ方向にスライド可能となるので、熱膨張時のＸビームの湾曲が緩和される。しかし、リニアガイドはガイドブロック内に収容されたボールがレール上を転動する構成であるので、稼動時間と共にＸビームの熱膨張・収縮による微小移動の繰り返し回数が増加することでフレッチング現象等による摩耗が進行し、ＸビームのＹビームに対する支持強度の低下は避けられない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−９４２９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、ヘッド位置決め装置において、ＸビームのＹビームに対する支持強度を経時的に維持しつつ、Ｘビームの熱膨張を吸収してヘッドの位置決め精度を向上することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明は、Ｘ方向に移動可能にヘッドを支持するＸビームと、前記Ｘビームの両端側を前記Ｘ方向と直交するＹ方向に移動可能にそれぞれＸビーム支持部を介して支持する一対のＹビームと、前記Ｘビームの一方の端部と前記Ｘビーム支持部とを固定連結する固定連結部と、前記Ｘビームの他方の端部と前記Ｘビーム支持部のうちの一方に固定されてＸ方向に延びるピン状部を備える差し込み部材と、前記Ｘビームの他方の端部と前記Ｘビーム支持部のうちの他方に固定されて前記ピン状部がＸ方向に移動可能に挿入された挿入孔を有する受け部材とを備え、前記Ｘビームの他方の端部の端面と前記Ｘビーム支持部との間に隙間が形成されているスライド連結部とを備える、ヘッド位置決め装置を提供する。
【０００８】
スライド連結部では、差し込み部材のピン状部を受け部材の挿入孔に挿入することでＸビームの端部をＸビーム支持部に連結しており、Ｘビームの端面とＸビーム支持部との間には隙間が形成されている。そのため、Ｘビームが熱膨張してＸ方向に延びると、ピン状部が挿入孔内でＸ方向に移動することにより、スライド連結部側のＸビームの端面はＸビーム支持部に向けて変位できる。つまり、Ｘビームの熱膨張によるＸ方向の延びは拘束されない。一方、Ｘビームの端面付近のＸ方向と直交する方向の変位（ＺＹ平面内の変位）は、ピン状部の外周面が挿入孔の孔壁に当接することで拘束される。その結果、Ｘビームの熱膨張を吸収してヘッドの位置決め精度を向上できる。スライド連結部のピン状部の外周面と挿入孔の孔壁とは、点接触ではなく面接触に近い線接触的な態様で互いに接触するので、稼動時間と共にＸビームの熱膨張の繰り返し回数が増加しても、微小移動の繰り返しによる摩耗に起因するＸビームのＹビームに対する支持強度の低下が生じない。
【０００９】
好ましくは、前記差し込み部材及び前記受け部材のうちの一方が前記Ｘビームの他方の端部の端面に固定されている。この構成により、Ｘビームの強度を向上できる。
【００１０】
前記ＸビームはＸ方向に延びる中空部を備え、前記受け部材が前記Ｘビームの他方の端部の端面に固定される一方、前記差し込み部材が前記Ｘビーム支持部に固定され、前記受け部材は前記挿入孔が形成されて前記Ｘビームの前記中空部内に配置された筒状部を備えることが好ましい。この構成により、挿入孔が形成された筒状部と挿入孔に挿入されたピン状部がＸビームの他方の端部の端面の外側ではなくＸビーム内の中空部に配置される。そのため、ヘッド位置決め装置のＸ方向の寸法を大型化することなく、Ｘビームの熱膨張の吸収を実現できる。
【００１１】
前記差し込み部材の前記ピン状部と前記受け部材の前記挿入孔のＹ方向に沿った断面形状は円形であり、前記差し込み部材と前記受け部材のうちの一方に設けられたＸ方向に延びる回り止め部と、前記差し込み部材と前記受け部材のうちの他方に設けられて回り止め部が挿入される回り止め孔とを備えてもよい。
【００１２】
前記Ｘビームは前記ヘッドがＸ方向に移動可能に支持された第１の側部と、この第１の側部に対してＹ方向に反対側の第２の側部とを備え、前記第２の側部に前記Ｘビームの一端側から他端側までＸ方向に延びる補強部材が固定されていてもよい。この構成により、Ｘビームの熱変形自体を抑制できるので、熱変形に起因するヘッドの位置ずれをより効果的に低減できる。
【００１３】
補強部材の材質としては、例えば金属材料と比較して十分に熱膨張率の低い炭素繊維強化樹脂（ＣＦＲＰ）が好ましい。
【００１４】
前記ＸビームのＹ方向に沿った断面の外形は、前記第１の側部から前記第２の側部に向けて上下方向の寸法が狭まりかつ上下対称であることが好ましい。この構成により、端面面積の縮小によるＸビームの軽量化を実現しつつ、Ｘビームの第１の側部に対する第２の側部の熱伸びの影響によるＸビームの反りを上下対称で上下方向の寸法が狭まった第２の側部に固定した炭素繊維強化樹脂製の補強部品で拘束することで、熱膨張応力を第２の側部に集中させると共に、Ｘビームの熱変形をより効果的に抑制できる。
【００１５】
本発明の第２の態様は、上述のヘッド位置決め装置を備え、前記ヘッドは部品を保持して基板に実装する実装ヘッドであり、前記Ｘ方向及びＹ方向は前記基板の表面沿いの方向である、部品実装装置を提供する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のヘッド位置決め装置では、差し込み部材のピン状部を受け部材の挿入孔に挿入する構成のスライド連結部でＸビームの片側の端部をＸビーム支持部に連結しているので、Ｘビームの熱膨張を吸収してヘッドの位置決め精度を向上でき、ＸビームのＹビームに対する経時的な支持強度も維持できる。また、Ｘビームのヘッドが支持された側部とは反対側の側部にＣＦＲＰ等からなる補強板を固定することで、Ｘビームの熱変形自体を抑制することで、ヘッドの位置決め精度をさらに向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係るヘッド位置決め装置を備える部品実装装置の模式的な斜視図。
【図２】ヘッド位置決め装置をＹ方向に見た図。
【図３】図２のIII−III線での断面図。
【図４】図２の部分拡大図。
【図５】図４のＶ−Ｖ線での断面図。
【図６】図４のVI−VI線での断面図。
【図７】Ｘビームの部分的な斜視図。
【図８Ａ】回り止めピン及び回り止め孔の断面形状の代案を示す模式図。
【図８Ｂ】回り止めピン及び回り止め孔の断面形状の代案を示す模式図。
【図８Ｃ】回り止めピン及び回り止め孔の断面形状の代案を示す模式図。
【図９】Ｘビームの断面形状の代案を示す断面図。
【図１０】連結機構の代案を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、添付図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１９】
図１を参照すると、部品実装装置１は、実装ヘッド２、実装ヘッド２をＸＹ方向に位置決めするヘッド位置決め装置３、基板保持テーブル４、基板搬送部５、及び部品供給部６を基台７上に備える。実装ヘッド２は、部品を吸着保持する複数の吸着ノズル８を備える。これらの吸着ノズル８はＺ方向に昇降可能であり、かつＺ方向の軸線周りに回転可能である。Ｘ方向とＹ方向は共に基板１０の表面沿いの方向（本実施形態では実質的に水平面内）であって互いに直交する。Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向に直交する方向（本実施形態では実質的に鉛直方向）である。なお、図１では図において手前側の実装ヘッドとその位置決め装置の図示を省略している。
【００２０】
基板搬送部５により搬入された基板１０が基板保持テーブル４に保持される。実装ヘッド２はヘッド位置決め装置３によりＸＹ方向に移動することで、例えば複数のカセットフィーダの集合体である部品供給部６に対して位置決めされる。個々の吸着ノズル８が降下して部品を吸着保持する。その後、ヘッド位置決め装置３による実装ヘッド２のＸＹ方向の移動により、基板１０の部品実装位置に対して個々の吸着ノズル８が位置決めされ、吸着保持された部品が実装される。実装完了後の基板１０は基板搬送部５により基板保持テーブル４から搬出される。
【００２１】
図２から図７をさらに参照して、ヘッド位置決め装置３について詳細に説明する。ヘッド位置決め装置３は、Ｘ方向に延在してＸ方向に移動可能に実装ヘッド２を支持するＸビーム１１と、Ｙ方向に延在してＸビーム１１をＹ方向に移動可能に支持する一対のＹビーム１２Ａ，１２Ｂとを備える。個々のＹビーム１２Ａ，１２Ｂは両端が基台７に固定されている。個々のＹビーム１２Ａ，１２Ｂの側面に上下２段に配置された鋼等（鉄、ステンレス）からなるガイドレール１３には、Ｙ方向に進退移動可能にガイドブロック１４が係合している。ガイドブロック１４に支持プレート（Ｘビーム支持部）１５Ａ，１５Ｂが固定されている。個々の支持プレート１５Ａ，１５Ｂには、後述するようにＸビーム１１の両端部が連結されている。支持プレート１５Ａ，１５Ｂが固定されたガイドブロック１４がガイドレール１３上を移動することで、Ｘビーム１１がＹ方向に移動する。Ｙビーム１２Ａ，１２Ｂは、支持プレート１５Ａ，１５Ｂの進退移動の駆動機構（例えば後述するものと同様のリニアモータ）を備える。
【００２２】
図６及び図７を参照すると、Ｘビーム１１は、例えばアルミニウムのような軽量金属からなる概ね引き抜き形状の梁状部材であり、両端面間を貫通する中空部１７を備える。Ｘビーム１１の外形のＹＺ平面の断面形状は、一方の側部（第１の側部）１８から他方の側部（第２の側部）１９に向けて上下方向の寸法が狭まり、かつ水平線Ｈ（図６）に対して対称である。具体的には、Ｘビーム１１の外形のＹＺ平面での断面形状は、概ね鉛直方向に延びる側部１８の上下端から水平部２０Ａ，２０Ｂと傾斜部２１Ａ，２１Ｂを介して概ね鉛直方向に延びる側部１９でつながっている。側部１８には中空部１７と連通するＸ方向に延在する細長い開口２２が形成されている。
【００２３】
Ｘビーム１１の側部１８の上下端には、鋼等（鉄系、ステンレス系）からなるガイドレール２３が配置されている。ガイドレール２３には、Ｘ方向に進退可能にガイドブロック２４が係合している。ガイドブロック２４にはキャリッジ２５が固定され、このキャリッジ２５に実装ヘッド２が搭載されている。実装ヘッド２をＸ方向に移動させるためのリニアモータは、キャリッジ２５に搭載された可動子２７とＸビーム１１に固定された固定子２８とを備える。固定子２８はＸビーム１１の側部１８に開口２２を塞ぐように配置されている。
【００２４】
Ｘビーム１１の側部１９には炭素繊維強化樹脂（ＣＦＲＰ）製の細長い板状部材からなる補強部材３０が固定されている。図７を参照すると補強部材３０は、長手方向（Ｘ方向）に間隔を隔てて配置された複数の固定箇所３０ａでＸビーム１１に固定されている。隣接する固定箇所３０ａ間の間隔ｐ１は、ガイドレール２３をＸビーム１１に対してねじ止めしている位置の間隔ｐ２以下に設定されている。
【００２５】
Ｘビーム１１の一方の端部（図２において左側の端部）は、端面を図示しないねじ等により固定することで支持プレート１５Ｂに対して連結されている（固定連結部）。支持プレート１５ＢはＸビーム１１の中空部１７の端面開口の一方を閉鎖するような構成となっている。
【００２６】
Ｘビーム１１の他方の端部（図２において右側の端部）は、受け部材３１と差し込み部材３２を備えるスライド連結部３３により、Ｘ方向に進退可能に支持プレート１５Ａに対して連結されている。
【００２７】
図４から図７を参照すると、受け部材３１は、両端開口の円筒状の筒状部３１ａと、この筒状部３１ａの一端側から外側に拡がるフランジ板部３１ｂとを備える。Ｘビーム１１の端面のねじ孔１１ａにねじ３４を螺合してフランジ板部３１ｂを取り付けることで、受け部材３１がＸビーム１１に固定されている。フランジ板部３１ｂの外形はＸビーム１１の端部の外形と対応しており、中空部１７の端面開口がフランジ板部３１ｂによって閉鎖するような構成となっている。受け部材３１の筒状部３１ａは、Ｘビーム１１の端面から挿入された中空部１７内に配置されており、筒状部３１ａが備える断面円形の挿入孔３１ｃの軸線はＸ方向に延びている。本実施形態では、筒状部３１ａに両端開口円筒状のブッシュ３５が装着されていおり、このブッシュ３５が挿入孔３１ｃの孔壁を構成している。受け部材３１の材質は例えばＳＳ４００（一般構造用圧延鋼材）である。
【００２８】
差し込み部材３２は全体として一端閉鎖の円筒状である。円筒の閉鎖端に相当する取付部３２ａはねじ３７により支持プレート１５Ａに対して固定されている。差し込み部材３２の材質は例えばＳＵＪ２（軸受鋼）である。取付部３２ａから延びる中空ピン状のピン状部３２ｂが受け部材３１の挿入孔３１ｃに対してＸ方向に移動可能に挿入されている。具体的には、ピン状部３２ｂの外形は受け部材３１の挿入孔３１ｃの孔径より例えば数ミクロンから数１０ミクロン程度だけ小さく設定しており、それによって挿入孔３１ｃ（ブッシュ３５）に対してピン状部３２ｂがＸ方向に相対的に移動可能となっている。図５を参照すると、挿入孔３１ｃの孔壁とピン状部３２ｂとの間の摩擦を低減するために、ブッシュ３５側に二硫化モリブデンを充填した円周溝３５ａを設けている。同一又は同様の摩擦低減構造をピン状部３２ｂの外周に設けてもよい。
【００２９】
図４及び図５に示すように、差し込み部材３２のピン状部３２ｂの受け部材３１の挿入孔３１ｃに対するＸ方向の相対的な移動を許容するために、Ｘビーム１１の端面に固定された差し込み部材３２のフランジ板部３１ｂと支持プレート１５Ａとの間には、隙間ｓが形成されている。
【００３０】
図３を参照すれば明らかなように、キャリッジ２５及び実装ヘッド２を含むＸビーム１１の重量は、ピン状部３２ｂ周りにＸビーム１１を回転させる方向に作用する。Ｘビーム１１の重心を図２及び図３において符号Ｇで示す。このピン状部３２ｂ周りのＸビーム１１の回転変位を防止するために、図５及び図６に示すように、Ｘビーム１１に固定されている受け部材３１のフランジ板部３１ｂにＸ方向に延びる断面円形の回り止め孔３１ｅを形成し、ねじ３８で支持プレート１５にＸ方向に延びるように固定された断面円形の回り止めピン４１を挿入している。図３に最も明瞭に示すように、回り止め孔３１ｅと回り止めピン４１は、Ｙ方向においてピン状部３２ｂに対してガイドレール２３が配置されている側部１８と反対側に位置するように配置されている。
【００３１】
Ｘビーム１１は、一方の端部が支持プレート１５Ｂに固定されているが、他方の端部は支持プレート１５Ａに固定した差し込み部材３２のピン状部３２ｂをＸビーム１１に固定した受け部材３１の挿入孔３１ｃに挿入することで支持プレート１５Ａに連結している。また、Ｘビーム１１の端面と支持プレート１５Ａとの間には隙間ｓが形成されている。そのため、実装ヘッド２の実装動作等により部品実装装置１の使用環境感度が上昇し、それに伴ってＸビーム１１が熱膨張によりＸ方向に延びると、ピン状部３２ｂが挿入孔３１ｃ内でＸ方向に移動することにより、Ｘビーム１１の端面は支持プレート１５Ｂに向けて変位できる。つまり、Ｘビーム１１の熱膨張によるＸ方向の延びは拘束されない。一方、Ｘビーム１１の端面付近のＸ方向と直交する方向の変位（ＺＹ平面内の変位）は、ピン状部３２ｂの外周面が挿入孔３１ｃの孔壁に当接することで拘束される。その結果、Ｘビーム１１の熱膨張を吸収して実装ヘッド２の位置決め精度を向上できる。
【００３２】
Ｘビーム１１の端部を支持プレート１５Ａに対してスライド可能に連結するスライド連結部３３は部品実装装置１の稼動中は常に微小な振動を受ける。仮にスライド連結部３３をリニアガイドによりＸビーム１１を支持プレート１５Ａに連結する構成であるとすると、ガイドブロック内に収容されたボール（転動体）は、Ｘビーム１１の熱膨張・収縮と振動により１回転に満たない回転を繰り返し、摩耗が進行し、Ｘビーム１１のＹビーム１２Ａ，１２Ｂに対する支持強度が低下することになる。これに対して、本実施形態のスライド連結部３３においは、ピン状部３２ｂの外周面と挿入孔３１ｃの孔壁とは、点接触ではなく面接触に近い線接触的な態様で互いに接触するので、稼動時間と共にＸビーム１１の熱膨張・収縮の繰り返し回数が増加しても、摩耗に起因するＸビーム１１のＹビーム１２Ａ，１２Ｂに対する支持強度の低下が生じない。また、円筒状の筒状部３１ａの挿入孔３１ｃにピン状部３２ｂを挿入する構成であるので、例えばアリ溝構造の場合とは異なり両者を形状が複雑な高精度品とする必要がない。
【００３３】
以上のように、本実施形態のヘッド位置決め装置３によれば、Ｘビーム１１の熱膨張を吸収してヘッドの位置決め精度を向上でき、かつＸビーム１１のＹビーム１２Ａ，１２Ｂに対する経時的な支持強度も維持できる。
【００３４】
Ｘビーム１１の左右両端の支持プレート１５Ａ，１５Ｂが共に駆動部により駆動される構成の場合、左右の支持プレート１５Ａ，１５ＢのＹ方向の位置ずれ（同期ずれ）が生じ可能性がある。本実施形態のヘッド位置決め装置３によれば、このような同期ずれか生じた場合でも、ピン状部３２ｂが挿入孔３１ｃ内でＸ方向に移動してＸビーム１１の端面がＸ方向に変位することで、Ｘビーム１１に作用する荷重を緩和できる。
【００３５】
受け部材３１の筒状部３１ａはＸビーム１１の中空部１７内に配置されており、この筒状部３１ａの挿入孔３１ｃに差し込み部材３２のピン状部３２ｂが挿入されている。つまり、スライド連結部３３を構成する受け部材３１と差し込み部材３２は、大部分が中空部１７内に収容されており、Ｘビーム１１の端面から突出している部分の寸法は非常に小さい。そのため、本実施形態のスライド連結部３３によればヘッド位置決め装置３のＸ方向の寸法を大型化することなく、Ｘビーム１１の熱膨張の吸収や同期ずれに起因する荷重の緩和を実現できる。
【００３６】
Ｘビーム１１は、中空部１７を設けていることに加え、ＹＺ平面の断面形状を一方の側部１８（ガイドレール２３が配置された側部）から他方の側部１９に向けて上下方向の寸法が狭まるテーパ形状として断面積を減少している。これらにより、Ｘビーム１１が軽量化しつつ、Ｘビーム１１の一方の側部１８に対する他方の側部１９の熱伸びの影響によるＸビーム１１の反りを上下対称で上下方向の寸法が狭まった側部１９に固定した炭素繊維強化樹脂製の補強部品３０で拘束することで、熱膨張応力を側部１９に集中させると共に、Ｘビームの熱変形をより効果的に抑制できる。
【００３７】
Ｘビーム１１の一方の端面に固定された支持プレート１５Ｂが中空部１７の一端を閉鎖している。また、Ｘビーム１１の他方の端面には受け部材３１のフランジ板部３１ｂが固定されており、このフランジ板部３１ｂが中空部１７の他端を閉鎖している。さらに、側部１８に形成された中空部１７と連通する開口２２は固定子２８により閉鎖されている。このように、中空部１７を閉鎖空間（箱構造）としているため、Ｘビーム１１は熱膨張や同期ずれに起因する荷重に対する強度が高い。
【００３８】
Ｘビーム１１のテーパ状のＹＺ断面の先端に相当する側部１９（ガイドレール２３が配置された側部１８とはＹ方向の反対側）にＣＦＲＰ製の補強部材３０を固定している。ＣＦＲＰはＸビーム１１を構成するアルミニウム等と比較して熱膨張率が大幅に低い。そのため、補強部材３０を取り付けることで、Ｘビーム１１の熱膨張自体を効果的に抑制し、実装ヘッド２の位置決め精度をさらに向上できる。特に、補強部材３０のＸビーム１１への固定箇所３０ａの間隔ｐ１をガイドレール２３をＸビーム１１に対してねじ止めしている位置の間隔ｐ２以下に設定することで、Ｘビーム１１の熱膨張をより効果的に抑制できる。
【００３９】
図２及び図３を参照すると、Ｘビーム１１の重心Ｇから支持プレート１５Ａのピン状部３２ａの基端までの距離Ｌ１と比較して、ＹＺ平面における重心Ｇから回り止めピン４１やピン状部３２ｂまでの距離Ｌ２，Ｌ３は大幅に短い。従って、Ｘビーム１１がＹ方向に移動する際にＹピン状部３２に作用するモーメントＭ１と比べると、Ｘビーム１１がＹ方向に移動する際に回り止めピン４１に作用するモーメントＭ２や回り止めピン４１に作用するＸビーム１１の自重によるモーメントＭ３は大幅に小さい。従って、回り止めピン４１は、ピン状部３２ｂと比較して要求される強度が低く、ピン状部３２ｂよりも径を小さく設定できる。
【００４０】
本発明は実施形態に限定されず、例えば以下に示すように種々の変形が可能である。
【００４１】
図８Ａから図８Ｃは回り止めピン４１と回り止め孔３１ｅの断面形状に関する代案を示す。図８Ａの例では、回り止めピン４１を円形とし、回り止め孔３１ｅを楕円孔としている。図８Ｂの例では、回り止めピン４１と回り止め孔３１ｅの孔壁の接触面積を増加するために、回り止めピン４１は円形の上下２面を平面とした形状とし、回り止め孔３１ｅを角孔としている。図８Ｃの例では回り止めピン４１と回り止め孔３１ｅの孔壁の接触面積をさらに増加するために、回り止めピン４１を矩形断面とし、回り止め孔３１ｅを角孔としている。
【００４２】
Ｘビーム１１の断面形状は実施形態のようなテーパ形状に必ずしも限定されず、例えば図９に示すように四角形状であってもよい。
【００４３】
図１０に示すように、Ｘビーム１１の端面に差し込み部材３２を固定してピン状部３２ｂを支持プレート１５Ａに向けってＸ方向に突出させ、支持プレート１５Ａに固定した受け部材３１の筒状部３１ａの挿入孔３１ｃにピン状部３２ｂを挿入してもよい。
【００４４】
本発明は、実施形態のような部品実装装置の実装ヘッドに限定されず、部品や基板の組立、検査、搬送等のための他の種類のヘッド（例えば塗布ヘッド）の位置決め装置にも適用できる。
【符号の説明】
【００４５】
１  部品実装装置
２  実装ヘッド
３  ヘッド位置決め装置
４  基板保持テーブル
５  基板搬送部
６  部品供給部
７  基台
８  吸着ノズル
１０  基板
１１  Ｘビーム
１１ａ  ねじ孔
１２Ａ，１２Ｂ  Ｙビーム
１３，２３  ガイドレール
１４，２４  ガイドブロック
１５Ａ，１５Ｂ  支持プレート
１７  中空部
１８，１９  側部
２０Ａ，２０Ｂ  水平部
２１Ａ，２１Ｂ  傾斜部
２２  開口
２５  キャリッジ
２７  可動子
２８  固定子
３０  補強部材
３０ａ  固定箇所
３１  受け部材
３１ａ  筒状部
３１ｂ  フランジ板部
３１ｃ  挿入孔
３１ｅ  回り止め孔
３２  差し込み部材
３２ａ  取付部
３２ｂ  ピン状部
３３  スライド連結部
３４，３７，３８  ねじ
３５  ブッシュ
３５ａ  円周溝
４１  回り止めピン
【図１】
2011258805.tif 000003
【図２】
2011258805.tif 000004
【図３】
2011258805.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図９】
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【図１０】
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