(57)【要約】【課題】積層型圧電素子を弾性体に固定するための冶具や装置を用いなくても、積層型圧電素子を弾性体に容易に固定できる超音波モータを提供すること。【解決手段】溝部１４を有する棒状弾性体１２と、棒状弾性体１２に両端を保持され、変位方向と棒状弾性体１２の長手方向との間の角度において鋭角を有した状態で正面１２ａと裏面１２ｂとに配設され、さらに棒状弾性体１２の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して棒状弾性体１２に配置される一対の積層型圧電素子１８と、棒状弾性体１２の先端部に接合されている摩擦子２６と、を具備し、一対の積層型圧電素子１８にそれぞれ位相の異なる交番電圧を印加することにより、縦振動と捻れ振動とを同時に励起し、摩擦子２６に超音波楕円運動を励起させる超音波モータ１であって、超音波モータ１は、積層型圧電素子１８を棒状弾性体１２に密着固定するために積層型圧電素子１８を与圧する与圧機構６０を具備する。【選択図】      図７
2011067002.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周において全周に渡って形成される溝部を有する棒状弾性体と、
前記棒状弾性体に両端を保持され、変位方向と前記棒状弾性体の長手方向との間の角度において鋭角を有した状態で前記棒状弾性体の対向する２つの側面にそれぞれ配設され、さらに前記棒状弾性体の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して前記棒状弾性体に配置される一対の積層型圧電素子と、
前記棒状弾性体の先端部に接合されている摩擦子と、
を具備し、
一対の前記積層型圧電素子にそれぞれ位相の異なる交番電圧を印加することにより、縦振動と捻れ振動とを同時に励起し、前記摩擦子に超音波楕円運動を励起させる超音波モータであって、
前記積層型圧電素子を前記棒状弾性体に密着固定するために前記積層型圧電素子を与圧する与圧機構を具備することを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記与圧機構は、前記積層型圧電素子に、前記積層型圧電素子の積層方向に対して平行に与圧することを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記与圧機構は、前記棒状弾性体の長手方向において、前記積層型圧電素子を挟んで前記前記摩擦子とは反対側に配設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の超音波モータ。
【請求項４】
前記与圧機構は、前記積層型圧電素子それぞれを個別に与圧することを特徴とする請求項１または２に記載の超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気機械変換素子を駆動源として被駆動部材を駆動する超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして、超音波モータが注目されている。超音波モータは、圧電素子などの振動子の振動を利用する。超音波モータは、従来の電磁型モータと比較して、ギアなしで低回転高トルクが得られる点、保持力が大きい点、高分解能である点、静粛性に富む点、磁気的ノイズを発生せず、また、磁気的ノイズの影響を受けない点等の利点を有している。
【０００３】
このような超音波モータは、電気機械変換素子（積層型圧電素子）と、電気機械変換素子を駆動源とする被駆動部材とを有している。被駆動部材は、電気機械変換素子の振動によって駆動する。
【０００４】
例えば特許文献１には、構成が単純で、低電圧駆動が可能であるとともに、共振周波数が安定して得られる超音波モータが開示されている。
【０００５】
この超音波モータは、外周の所定位置に溝を設けた角柱状弾性体と、角柱状弾性体の少なくとも対向する２つの側面に傾斜して設けた複数の積層型圧電素子と、角柱状弾性体の端面に接合した摺動用駆動子とを備え、複数の積層型圧電素子にそれぞれ位相の異なる交番電圧を印加することにより、共振縦振動と共振捩れ振動とを同時に励起し、摺動用駆動子の表面に超音波楕円振動を発生するように構成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０８−３１７６６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した特許文献１における超音波モータにおいて、積層型圧電素子の破損を防止し、角柱状弾性体と積層型圧電素子とを一体化して同一の振動体とし、環境変化に追従して角柱状弾性体と積層型圧電素子とを一体化するためには、積層型圧電素子に圧力をかけながら、積層型圧電素子を角柱状弾性体に固定する必要がある。
【０００８】
しかしながら、このような圧力による固定には、角柱状弾性体を固定する冶具と、積層型圧電素子を角柱状弾性体に固定するために積層型圧電素子を角柱状弾性体に押圧する保持用弾性体を保持する冶具と、保持用弾性体を角柱状弾性体に向って押圧する冶具等が必要となる。このような冶具を用いると、超音波モータの組み立ては困難となる。
【０００９】
また積層型圧電素子は傾斜して配設されているため、保持用弾性体による押圧力は積層型圧電素子に伝達されにくく、つまり押圧による固定は容易ではない。
【００１０】
本発明は、これらの事情に鑑みてなされたものであり、積層型圧電素子を弾性体に固定するための冶具や装置を用いなくても、積層型圧電素子を弾性体に容易に固定できる超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は目的を達成するために、外周において全周に渡って形成される溝部を有する棒状弾性体と、前記棒状弾性体に両端を保持され、変位方向と前記棒状弾性体の長手方向との間の角度において鋭角を有した状態で前記棒状弾性体の対向する２つの側面にそれぞれ配設され、さらに前記棒状弾性体の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して前記棒状弾性体に配置される一対の積層型圧電素子と、前記棒状弾性体の先端部に接合されている摩擦子と、を具備し、一対の前記積層型圧電素子にそれぞれ位相の異なる交番電圧を印加することにより、縦振動と捻れ振動とを同時に励起し、前記摩擦子に超音波楕円運動を励起させる超音波モータであって、前記積層型圧電素子を前記棒状弾性体に固定するために前記積層型圧電素子を与圧する与圧機構を有することを特徴とする超音波モータを提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、積層型圧電素子を弾性体に固定するための冶具や装置を用いなくても、積層型圧電素子を弾性体に容易に固定できる超音波モータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る超音波モータを構成する超音波振動子の上面図である。
【図２】図２は、超音波振動子を図１に示すα方向からみた図（正面図）である。
【図３】図３は、超音波振動子を図１に示すβ方向からみた図（背面図）である。
【図４】図４は、超音波振動子を図１に示すγ方向からみた図（右側面図）である。
【図５】図５は、超音波振動子を図１に示すδ方向から視た図（左側面図）である。
【図６】図６は、超音波振動子を図１に示すα方向から視た場合の超音波振動子の分解図である。
【図７】図７は、超音波振動子を用いた超音波モータの側面図である。
【図８】図８は、超音波振動子を用いた超音波モータの分解図である。
【図９】図９は、本発明の第２の実施形態に係る超音波振動子を図１に示すα方向から視た場合の超音波振動子の分解図である。
【図１０】図１０は、第２の実施形態に係る変形例の超音波振動子を図１に示すα方向から視た場合の超音波振動子の分解図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。  
図１乃至図８を参照して第１の実施形態について説明する。  
超音波モータ１は、図１乃至図６に示すような超音波による振動を発生させる超音波振動子１０と、超音波振動子１０の振動が伝達すると駆動する被駆動部材であるロータ５３と、後述する基本弾性体１２において、積層型圧電素子１８を基本弾性体１２に密着固定するために積層型圧電素子１８を与圧する与圧機構６０と、被駆動部材（ロータ５３）と超音波振動子１０とに押圧力を与える押圧機構７０とを有している。
【００１５】
超音波振動子１０は、例えば黄銅材（Ｃ２８０１ＰのＯ材）からなる角柱形状（棒状）の基本弾性体１２と、図示しない駆動源により交番電圧が印加され励振する電気機械変換素子である積層型圧電素子１８と、基本弾性体１２の長手方向上端部に被駆動部材（ロータ５３）と対向して配置され、積層型圧電素子１８による振動を被駆動部材（ロータ５３）に伝達する摺動用駆動子２６とを有している。基本弾性体１２は、下端から例えば１１ｍｍの位置の外周において全周に渡って形成（凹設）されている深さ略１ｍｍ〜略２ｍｍの溝部１４を有している。溝部１４より下方（積層圧電素子１４と反対側）の長さ寸法を変化させ、溝部１４の相対位置を適切（所望）な位置とすることで、共振縦振動モードと共振捩れ振動との共振周波数をほぼ一致させる。
【００１６】
また基本弾性体１２は、基本弾性体１２の正面１２ａに凹部１６ａを有し、正面１２ａに対向する基本弾性体１２の裏面１２ｂに凹部１６ｂを有している。凹部１６ａ，１６ｂは、正面１２ａと裏面１２ｂとに限定される必要はなく、基本弾性体１２の対向する側面１２ｃ，１２ｄに配置されていてもよい。
【００１７】
凹部１６ａは、基本弾性体１２の高さ（長手）方向に対して所望の角度だけ傾けられた状態で正面１２ａに配設されている。凹部１６ｂも凹部１６ａと同様に、基本弾性体１２の高さ（長手）方向に対して凹部１６ａと同じ所望の角度だけ傾けられた状態で裏面１２ｂに配設されている。この場合、凹部１６ａ，１６ｂは、正対して見て逆方向に取付けられている。また凹部１６ａ，１６ｂの傾き角度は、基本弾性体１２の高さ（長手）方向と、凹部１６ａ，１６ｂの長手方向との間において、鋭角である。
【００１８】
この凹部１６ａ，１６ｂには、超音波による振動を発生させる振動本体部であり、電気機械変換素子である積層型圧電素子１８がそれぞれ挿入される。そのため凹部１６ａ，１６ｂに挿入される積層型圧電素子１８も所望の角度だけ傾けられた状態で配置される。凹部１６ａ，１６ｂに挿入される積層型圧電素子１８は、凹部１６ａ，１６ｂと同様に、正面１２ａと裏面１２ｂとにおいて、正対して見て逆方向に取付けられている。つまり積層型圧電素子１８は、基本弾性体１２の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して基本弾性体１２に配置される。
【００１９】
また積層型圧電素子１８の傾き角度は、凹部１６ａ，１６ｂと同様に、基本弾性体１２の高さ方向と、積層型圧電素子１８の長手方向との間において、鋭角である。従って、図４および図５に示すように、積層型圧電素子１８の側面は、表裏面ともに長手方向で同位置に投影されている。つまり積層型圧電素子１８は、変位方向と基本弾性体１２の長手方向との間の角度において鋭角を有した状態で基本弾性体１２の対向する２つの側面である正面１２ａと裏面１２ｂとにそれぞれ配設される。さらにこれら積層型圧電素子１８は、基本弾性体１２の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して基本弾性体１２に配置される。
【００２０】
なお凹部１６ａに配置されている積層型圧電素子１８と、凹部１６ｂに配置されている積層型圧電素子１８とは、基本弾性体１２を挟持していることとなる。またこれら積層型圧電素子１８は、両端を基本弾性体１２（凹部１６ａ，１６ｂと保持用弾性体２０）に保持されていることとなる。
【００２１】
また、凹部１６ａに挿入される積層型圧電素子１８から出されている電気端子は、それぞれＡ端子とＧＮＤ端子とである。また、凹部１６ｂに挿入される積層型圧電素子１８から出されている電気端子は、それぞれＢ端子とＧＮＤ端子とである。
【００２２】
超音波モータ１は、基本弾性体１２において、積層型圧電素子１８を基本弾性体１２に密着固定するために積層型圧電素子１８を与圧する与圧機構６０を有している。この与圧とは、積層型圧電素子１８を基本弾性体１２に隙間無く密着固定させ、積層型圧電素子１８に大気圧よりも高い圧力をかけることである。与圧機構６０が積層型圧電素子１８を与圧し、積層型圧電素子１８が基本弾性体１２に密着固定されると、積層型圧電素子１８の振動は基本弾性体１２に伝達する。
【００２３】
与圧機構６０は、積層型圧電素子１８に、積層型圧電素子１８の積層方向（厚み方向、長手方向）に対して平行に与圧する。与圧機構６０は、基本弾性体１２の先端部の内部に配設されており、基本弾性体１２の長手方向において積層型圧電素子１８よりも後述する押圧機構７０側や摺動用駆動子２６側やロータ５３側に配設されている。与圧機構６０は、凹部１６ａに挿入される正面１２ａ側の積層型圧電素子１８と、凹部１６ｂに挿入される裏面１２ｂ側の積層型圧電素子１８とをそれぞれ個別に与圧するため、正面１２ａ側と裏面１２ｂ側との両方に配設されている。
【００２４】
与圧機構６０は、基本弾性体１２の上面１２ｆから積層型圧電素子１８の上面１８ａに向かって積層型圧電素子１８の積層方向（厚み方向、長手方向）に平行に沿って配設される溝部６４と、溝部６４に嵌合する（締め込まれる）ことで、上面１８ａ側から積層型圧電素子１８を積層方向に対して平行に与圧し、積層型圧電素子１８を基本弾性体１２に密着固定する与圧固定ネジ６２とを有している。
【００２５】
溝部６４の傾き角度は、凹部１６ａ，１６ｂの傾き角度と同じであり、基本弾性体１２の高さ（長手）方向と、溝部６４の長手方向との間において、鋭角である。また溝部６４は、基本弾性体１２の先端部の内部に配設され、基本弾性体１２の上面１２ｆに対して斜めに形成され、上面１２ｆと上面１８ａとの間にて基本弾性体１２の長手方向に対して斜めに配設されている。溝部６４は、後述する摺動用駆動子２６に対向する。
【００２６】
与圧固定ネジ６２は、溝部６４に締め込まれると、基本弾性体１２と一体となる。その際、溝部６４が積層型圧電素子１８の積層方向に対して平行に沿って配設されているため、与圧固定ネジ６２は、積層型圧電素子１８の積層方向に沿って積層型圧電素子１８を上面１８ａ側から与圧する。このとき与圧固定ネジ６２が与圧する与圧方向と、積層型圧電素子１８の積層方向とは、同一方向となる。
【００２７】
これにより積層型圧電素子１８は、凹部１６ａ，１６ｂにおいて、基本弾性体１２に密着固定され、与圧固定ネジ６２と基本弾性体１２と一体となる。よって与圧固定ネジ６２と積層型圧電素子１８と基本弾性体１２とは、同一の振動体となる。
【００２８】
上述したように与圧固定ネジ６２は、溝部６４に締め込まれと、積層型圧電素子１８を与圧する。
【００２９】
このように与圧固定ネジ６２は、積層型圧電素子１８を与圧する与圧部であり、積層型圧電素子１８を基本弾性体１２に固定する固定部である。
【００３０】
基本弾性体１２の先端部（上面１２ｆ・上端）には、例えば円環状のフェノール樹脂にアルミナセラミックの砥粒を分散させた砥石からなる摩擦子や複合樹脂である摺動用駆動子２６が接合されている。摺動用駆動子２６は、超音波振動子１０の上端部である。
【００３１】
基本弾性体１２の中心軸上には、貫通孔３０が穿設されている。この貫通孔３０の中心軸上の超音波振動子１０の縦振動の節位置には、メネジ３２が螺刻されている（図６参照）。
【００３２】
貫通孔３０には、軸５１が嵌装されている。この軸５１は、図７に示すように超音波モータ１の上端部から突出する長さを有している。
【００３３】
またこの軸５１には、オネジ５８,オネジ５９が螺刻されている。  
オネジ５８は、メネジ３２の配設位置（超音波振動子１０の縦振動の節位置）に対応するように軸５１に配設されている。オネジ５８は、メネジ３２と螺合し、その後、接着固定される。これにより軸５１は、基本弾性体１２の縦振動の節部にて接着固定される。  
オネジ５９は、超音波振動子１０の上端部から突出する軸５１の先端部に配設されている。オネジ５９は、ナット５７の配設位置に対応するように軸５１に配設されている。このオネジ５９には、ナット５７が嵌合する。
【００３４】
超音波振動子１０の上端部である摺動用駆動子２６には、摺動用駆動子２６によって駆動される円環状のロータ５３が配設される。詳細には、摺動用駆動子２６に対向するロータ５３の下面には、例えば円環状のセラミックスからなる摺動材５３ａが貼付されている。ロータ５３の断面形状と摺動材５３ａの断面形状とは同一であり、ロータ５３は摺動材５３ａを介して摺動用駆動子２６と接触し、駆動される。
【００３５】
またロータ５３の内部には、ラジアルベアリング５４が配置される。またまたロータ５３の上部には、バネ保持体５５が配設される。バネ保持体５５は、コイルバネ５６を位置決め保持している。
【００３６】
ロータ５３と摺動材５３ａとラジアルベアリング５４とバネ保持体５５とには、軸５１が挿通している。
【００３７】
ロータ５３は、コイルバネ５６によって、バネ保持体５５とラジアルベアリング５４とを介して摺動用駆動子２６に向けて回転可能に押圧固定されている。より詳細には、摺動材５３ａが摺動用駆動子２６に対して押圧固定される。
【００３８】
コイルバネ５６は、バネ保持体５５によって保持され、ナット５７によってバネ保持体５５（軸５１）からの抜けを防止されている。このナット５７は、コイルバネ５６の押圧力を調整する。
【００３９】
つまりコイルバネ５６は、軸５１を螺旋状に囲み、バネ保持体５５によって保持され、ナット５７によって軸５１から外れないように配設される。コイルバネ５６の押圧力は、ナット５７により調節される。コイルバネ５６は、コイルバネ５６の押圧力によって、バネ保持体５５とラジアルベアリング５４とを介してロータ５３を摺動用駆動子２６へと押圧する。
【００４０】
このようにナット５７とコイルバネ５６とバネ保持体５５とラジアルベアリング５４とは、ロータ５３を摺動用駆動子２６に押圧する押圧機構７０である。
【００４１】
次に本発明の動作方法について説明する。  
まず超音波振動子１０の作製方法について説明する。  
図６に示すように積層型圧電素子１８は、凹部１６ａ，１６ｂに挿入される。次に与圧固定ネジ６２が上面１２ｆ側から溝部６４に締め込まれると、与圧固定ネジ６２は基本弾性体１２と一体となる。このとき与圧方向と積層方向とは同一方向であるため、与圧固定ネジ６２は、積層型圧電素子１８の積層方向に沿って平行に積層型圧電素子１８を上面１８ａ側から与圧する。すると積層型圧電素子１８は、凹部１６ａ，１６ｂにおいて、基本弾性体１２に隙間無く密着固定される。これにより積層型圧電素子１８は与圧固定ネジ６２と基本弾性体１２と一体となり、与圧固定ネジ６２と積層型圧電素子１８と基本弾性体１２とは同一の振動体となる。この後、基本弾性体１２の先端部（上面１２ｆ）には、摺動用駆動子２６が接合される。なお摺動用駆動子２６は接着剤等によって基本弾性体１２の先端部に接着されてもよい。これにより超音波振動子１０が形成される。
【００４２】
次に、超音波振動子１０の動作について説明する。  
超音波振動子１０は、超音波振動子１０の寸法が１次の共振縦振動、および１次の（溝部１４より下方の捩れまで考慮すると２次の）共振捩れ振動がほぼ同一周波数Ｆｒで励起できるようになっている。  
共振縦振動は、図２に示す矢印Ｚ方向の振動である。１次の共振捩れ振動は、図１に示す矢印ω方向の振動であり、共振縦振動の振動方向（矢印Ｚ方向）を捩れの軸とする振動である。この周波数近傍には、共振屈曲振動の固有振動はないような形状寸法に形成されている。
【００４３】
まず、Ａ端子に周波数Ｆｒで、振幅Ｖｒの交番電圧を印加し、Ｂ端子に同一周波数、同振幅で同位相の交番電圧を印加すると共振縦振動が励起される。共振縦振動の節位置は、基本弾性体１２の中心軸上のほぼ中央に存在する。  
つぎに、Ａ端子に周波数Ｆｒで、振幅Ｖｒの交番電圧を印加し、Ｂ端子に同一周波数、同振幅で逆位相の交番電圧を印加すると共振捩れ振動が励起される。共振捩れ振動では、基本弾性体１２の中心軸上に節位置がある。  
さらに、Ａ端子に周波数Ｆｒで、振幅Ｖｒの交番電圧を印加し、Ｂ端子に同一周波数、同振幅で位相が９０度異なった交番電圧を印加すると共振縦振動と共振捩れ振動が合成されて、摺動用駆動子２６の位置に超音波楕円振動が励起される。
【００４４】
つぎに、図７と図８とを用いて、超音波振動子１０を用いた本実施例の超音波モータ１の動作方法について説明する。図７と図８とにおいて、超音波振動子１０の貫通孔３０（図６参照）には、軸５１が嵌装される。オネジ５８は、メネジ３２に螺合した後に接着固定される。これにより軸５１は、基本弾性体１２の縦振動の節部と接着固定することとなる。
【００４５】
摺動用駆動子２６（超音波振動子１０の上端部）には、ロータ５３がラジアルベアリング５４およびバネ保持体５５を介して、コイルバネ５６により押圧固定されている。コイルバネ５６の押圧力はナット５７により調節される。ロータ５３は、摺動材５３ａを介して摺動用駆動子２６と当接する。これにより押圧機構７０が形成される。
【００４６】
先に示したように、超音波振動子１０のＡ端子とＢ端子とに、周波数Ｆｒ、振幅Ｖｒ、位相差＋９０度または−９０度の交番電圧を印加する。すると、ロータ５３が摺動用駆動子２６に対して時計回りまたは反時計回りに回転する。  
このように本実施形態では、積層型圧電素子１８を基本弾性体１２に与圧機構６０により密着固定するために、基本弾性体１２を固定する冶具を用いず、積層型圧電素子を基本弾性体１２に保持させる保持用弾性体を用いず、そのため保持用弾性体を基本弾性体１２に向って押圧する冶具を用いない。本実施形態では、このような冶具を用いなくても、与圧固定ネジ６２を溝部６４に締め込むことで、積層型圧電素子１８を積層方向に沿って平行に上面１８ａから容易に与圧でき、この与圧によって積層型圧電素子１８を基本弾性体１２に容易に固定することができる。また本実施形態では、固定のために冶具や装置を用いないために、与圧によって固定できるために、超音波モータ１を容易に組み立てることができる。
【００４７】
また本実施形態では、積層型圧電素子１８を積層方向に沿って平行に与圧するために、与圧以外の外的要因を減らした状態で、積層型圧電素子１８を基本弾性体１２に固定する力を積層型圧電素子１８に直接的に伝えることができる。よって本実施形態では、効率よく与圧を積層型圧電素子１８に直接伝達でき、与圧の伝達効率を向上させることができ、固定効率を向上させることができる。つまり本実施形態では、積層型圧電素子１８が傾斜していても、積層型圧電素子１８を基本弾性体１２に固定する力を、無駄な無く積層型圧電素子１８に直接伝達することができる。
【００４８】
また本実施形態では、与圧固定ネジ６２を溝部６４に締め込むことで、積層型圧電素子１８を凹部１６ａ，１６ｂに押圧して、積層型圧電素子１８を基本弾性体１２に固定する冶具である例えば保持用弾性体が不要となるために、超音波モータ１を安価にすることができる。
【００４９】
また本実施形態では、凹部１６ａ，１６ｂに挿入される積層型圧電素子１８を与圧固定ネジ６２によってそれぞれ個別に与圧するために、積層型圧電素子１８それぞれに対する予圧を調整することができる。これにより基本弾性体１２に対する積層型圧電素子１８それぞれの固定具合を容易に調整することができ、予圧をより精密に調整することができ、与圧を微調整することができる。
【００５０】
また本実施形態では、与圧固定ネジ６２を溝部６４に締め込ませて、与圧固定ネジ６２を基本弾性体１２と一体にし、与圧固定ネジ６２によって積層型圧電素子１８を基本弾性体１２に密着固定させている。よって本実施形態では、与圧固定ネジ６２と積層型圧電素子１８と基本弾性体１２とを一体化して同一の振動体としている。よって本実施形態では、積層型圧電素子１８の振動を基本弾性体１２に無駄なく伝達させることができる。
【００５１】
次に図９乃至図１０を参照して第２の実施形態について説明する。第１の実施形態と同一の構成については第１の実施形態と同一の参照符号を付すことにより説明を省略する。  
本実施形態の与圧機構６０は、基本弾性体１２の基端部の内部に配設されており、基本弾性体１２の長手方向において、積層型圧電素子１８を挟んで押圧機構７０や摺動用駆動子２６やロータ５３とは反対側に配設されている。本実施形態の基本弾性体１２には、第１の実施形態と同様に１つの積層型圧電素子１８に対して１つの与圧機構６０が配設されている。
【００５２】
与圧機構６０は、積層型圧電素子１８に、積層型圧電素子１８の積層方向（厚み方向、長手方向）に対して平行に与圧する。
【００５３】
与圧機構６０は、積層型圧電素子１８の積層方向（厚み方向、長手方向）に平行に沿って配設され、基本弾性体１２の下面１２ｇから積層型圧電素子１８の下面１８ｂに向かって配設される溝部６４と、溝部６４に締め込まれることで、下面１８ｂ側から積層型圧電素子１８を積層方向に対して平行に与圧し、積層型圧電素子１８を基本弾性体１２に固定する与圧固定ネジ６２とを有している。
【００５４】
溝部６４は、基本弾性体１２の基端部の内部に配設され、基本弾性体１２の下面１２ｇに対して斜めに形成され、下面１２ｇと下面１８ｂとの間にて基本弾性体１２の長手方向に対して斜めに配設されている。
【００５５】
次に本発明の動作方法は、与圧固定ネジ６２が積層型圧電素子１８の積層方向に対して平行に積層型圧電素子１８を下面１８ｂ側から与圧する以外は、第１の実施形態と略同一であるため、詳細な説明については省略する。  
このように本実施形態では、与圧機構６０を押圧機構７０や摺動用駆動子２６やロータ５３とは反対側に配設している。そのため本実施形態では、押圧機構７０を組み立て、超音波モータ１を組み立て、コイルバネ５６の押圧力をナット５７によって調整した後でも、凹部１６ａ，１６ｂに挿入される積層型圧電素子１８を与圧固定ネジ６２によってそれぞれ個別に与圧でき、またその際、積層型圧電素子１８それぞれに対する予圧を与圧固定ネジ６２によって調整することができる。これにより基本弾性体１２に対する積層型圧電素子１８の固定具合を容易に調整することができる。
【００５６】
なお本実施形態の変形例として、与圧機構６０は、図９に示すように、与圧固定ネジ６２の代わりに偏心ネジ６６を用いてもよい。
【００５７】
また本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。
【符号の説明】
【００５８】
１…超音波モータ、１０…超音波振動子、１２…基本（棒状）弾性体、１２ａ…正面、１２ｂ…裏面、１２ｃ，１２ｄ…側面、１２ｆ…上面、１２ｇ…下面、１４…溝部、１６ａ，１６ｂ…凹部、１８…積層型圧電素子、１８ａ…上面、１８ｂ…下面、２６…摺動用駆動子（摩擦子）、３０…貫通孔、３２…メネジ、６０…与圧機構、６２…与圧固定ネジ、６４…溝部、７０…押圧機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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