(57)【要約】【課題】変調信号を用いたバースト信号で試験可能にするとともに、かつ出力レベルを所望レベルに短時間に精度良く追い込み、その後に所望の測定ができる技術を提供する。【解決手段】信号発生部１０が、いずれの周期Ｔａでも、周期Ｔａ内のベースバンド信号のレベルの変化が同一の変化を示すベースバンド信号を生成してＲＦ信号で変調し、変調されたＲＦ信号を外部へ送る。外部の通信用デバイスからオン区間Ｔｏとオフ区間（Ｔａ―Ｔｏ）でなる周期Ｔａのバースト信号を、レベル測定部３０が受けて、そのバースト信号の各周期Ｔａのオン区間Ｔｏ内の出力レベルを測定し、判定部４０及びレベル制御部５０は、測定された出力レベルが、目標値内になるように、通信用デバイスに入力するバースト信号のレベルを制御する構成とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースバンド信号をＲＦ信号で変調した変調信号を外部へ出力し、該外部で該変調信号を周期Ｔａ内の区間Ｔｏに含むように生成されたバースト信号がＲＦ通信用デバイスに入力され、該ＲＦ通信用デバイスの出力を受けて該ＲＦ通信用デバイスの試験をするＲＦ通信用デバイス試験装置であって、
周期Ｔａを有するベースバンド信号であって、かつ該各周期Ｔａ内における時間とともに変化するレベルが何れの該周期Ｔａにおいても同一に変化する前記ベースバンド信号を生成し、該ベースバンド信号を前記ＲＦ信号で変調した前記変調信号を外部へ出力する出力する信号発生部（１０）と、
外部の前記ＲＦ通信用デバイスからの出力を受けて、該周期Ｔａに同期して、前記区間Ｔｏ内の出力レベルを測定するレベル測定部（３０）と、
該レベル測定部で測定した出力レベルと予め設定された目標値とを比較する判定部（４０）と、
該判定部が測定された出力レベルが目標値外であると判定したとき、該測定した出力レベルと該目標値との差がなくなるように、該信号発生部が出力するバースト信号のレベルを制御するレベル制御部（５０）と、を備え、
前記判定部が前記測定された出力レベルが目標値内であると判定した後に、前記試験を行うことを特徴とするＲＦ通信用デバイス試験装置。
【請求項２】
前記レベル測定部は、前記区間Ｔｏに亘って積分して前記出力レベルを測定することを特徴とする請求項１に記載のＲＦ通信用デバイス試験装置。
【請求項３】
前記レベル制御部は、前記周期Ｔａ毎に、前記信号発生部に対して前記バースト信号のレベルを制御する制御量を反映した利得制御信号を送って制御しており、前回の周期Ｔａに送った利得制御信号と、そのときの前記判定部の比較結果とを基に、前記レベル差がなくなるように前記信号発生部を制御すべき新たな制御量を推定し、該新たな制御量を反映した前記利得制御信号を前記信号発生部に送る制御量推定手段（５１）とを備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のＲＦ通信用デバイス試験装置。
【請求項４】
前記制御量推定手段は、前記ＲＦ通信用デバイスの代表的な前記制御量対前記出力レベルを示す特性情報を予め保有していて、前記判定部からの判定結果と前記レベル設定手段が前回の周期Ｔａにおける前記利得制御信号とを基に、前記特性情報を参照して、前記制御量を推定することを特徴とする請求項３に記載のＲＦ通信用デバイス試験装置。
【請求項５】
前記レベル制御部は、予め、過去の試験時において前記判定部で測定された出力レベルが目標値内であると判定したときに前記制御量推定手段が前記利得制御信号に反映した過去の制御量を管理する初期制御量管理手段（５２）を有し、前記制御量推定手段は、前記制御を開始するときに、前記信号発生部に対して該過去の制御量を反映した前記利得制御信号を送り、次の周期Ｔａでは、該過去の制御量を反映した前記利得制御信号を、前回の周期Ｔａにおける前記利得制御信号として、次の制御量を推定することを特徴とする請求項３又は４に記載のＲＦ通信用デバイス試験装置。
【請求項６】
操作部（６１）と、表示部（６２）と、を有し、  
前記判定部は、前記目標値の変化に対する前記試験の結果の分布を示す代表的な試験結果分布特性を記憶しており、該試験の開始前に、該試験結果分布特性を、該試験結果分布特性の目標値又は該試験の結果の分布のいずれかを前記操作部で指定可能に前記表示部に表示させるとともに、該試験結果分布特性上で、該目標値が指定されたときはその指定された値の目標レベル、又は、前記試験の結果が指定されたときは該代表的分布特性から該指定された該試験の結果に対応する目標値を、前記レベル測定部で測定した出力レベルと比較するために設定することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載のＲＦ通信用デバイス試験装置。
【請求項７】
前記目標値は、許容レベル範囲と該許容レベル範囲内の特定レベルとを含み、
前記判定部は、該レベル測定部で測定した出力レベルと該特定レベルとを比較し、
前記レベル制御部は、該判定部が測定された出力レベルが目標値外であると判定したときに、前記レベル測定部で測定した出力レベルと該特定レベルとの前記レベル差がなくなるように、該信号発生部が出力する前記バースト信号のレベルを制御し、前記判定部が該レベル測定部で測定した出力レベルが前記許容レベル範囲内に入ったと判定したときに、そのときの前記バースト信号のレベルを維持することを特徴とする１〜６のいずれか一つに記載のＲＦ通信用デバイス試験装置。
【請求項８】
ベースバンド信号をＲＦ信号で変調した変調信号を外部へ出力し、該外部で該変調信号を周期Ｔａ内の区間Ｔｏに含むように生成されたバースト信号がＲＦ通信用デバイスに入力され、該ＲＦ通信用デバイスの出力を受けて該ＲＦ通信用デバイスの試験をするＲＦ通信用デバイス試験方法であって、
周期Ｔａを有するベースバンド信号であって、かつ該各周期Ｔａ内における時間とともに変化するレベルが何れの該周期Ｔａにおいても同一に変化する前記ベースバンド信号を生成し、該ベースバンド信号を前記ＲＦ信号で変調した前記変調信号を外部へ出力する出力する信号発生段階と、
外部の前記ＲＦ通信用デバイスからの出力を受けて、該周期Ｔａに同期して、前記区間Ｔｏ内の出力レベルを測定するレベル測定段階と、
該レベル測定部で測定した出力レベルと予め設定された目標値とを比較する判定段階と、
該判定部が測定された出力レベルが目標値外であると判定したとき、該測定した出力レベルと該目標値との差がなくなるように、該信号発生部が出力するバースト信号のレベルを制御するレベル制御段階と、
前記判定部が前記測定された出力レベルが目標値内であると判定した後に、前記試験を行う試験段階と、を備えたことを特徴とするＲＦ通信用デバイス試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば移動体通信端末等で伝送用に利用されている、半導体でなるＲＦ通信用デバイスの試験技術に関する。特に、ＲＦ通信用デバイス、例えば増幅器は、ベースバンド信号をＲＦ信号で変調した変調信号をバースト化したバースト信号を伝送するが、本発明は、そのバースト信号を用い、ＲＦ通信用デバイスが出力するバースト信号の出力レベルを目標範囲に素早く追い込んだうえで、所望の試験ができるようにしたＲＦ通信用デバイスの試験技術に係る。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＲＦ関連の半導体デバイスの試験（評価）には、ＳＧ（信号発生装置）、スペクトラムアナライザやレベルメータ、或いはネットワークアナライザ等が用いられることが多かった。これらで扱っている信号はＣＷが基本である。しかし、近年、デジタル移動無線が増え、これらで扱う信号としてデジタル変調信号が多くなってきている。そのため、半導体デバイスの試験（評価）にあっても、デジタル変調信号を用いることが望まれている。
【０００３】
そのデジタル変調信号の一例は、一定周期をオンする時間（変調信号が存在する時間；以下、「オン区間」と言うことがある。）とオフする時間（信号が存在しない時間；以下、「オフ区間」と言うことがある。）とでなるバースト信号からなり、かつオンする時間におけるレベル（振幅）は、時間とともに変化している。このようなバースト信号を試験信号に用いたとき、「信号レベルの測定」と言ってもどの時点で、どの波形部分を測定するかで値が変化してしまうため、一般には、周期を遙かに超えた長時間のレベルを測定して、その平均化処理により、安定した測定結果を得て、評価することが多かった。
【０００４】
例えば、特許文献１に記載の技術においては、バースト信号を用いたときに、送信側と受信側で同期してレベルを測定することが記載されているが、そこに使用されているバースト信号のオン区間に存在するＲＦ信号は変調信号でなくＣＷ信号である。
【０００５】
一方、ＲＦ通信用デバイス、例えば増幅用半導体デバイスの試験項目として、通信の品質に影響する特性である、ＥＶＭ特性、隣接チャンネル漏洩電力特性、高調波歪特性、等がある。さらに、携帯型の移動体通信端末のバッテリーの寿命を左右する特性として、消費電力特性がある。
【０００６】
これらの各特性について試験するには、試験対象のＲＦ通信用デバイスの個々の個体間の差違の比較、合否判定等の評価を行うために、ＲＦ通信用デバイスを一定条件下において試験することが望まれている。又、一般に、ＲＦ通信用デバイスは、動作領域が線形領域と非線形領域とがあることは良く知られているが、個々の試験で、動作点がどの領域に属するかでも、試験の結果として得られる特性に大きな違いが出る。
【０００７】
そこで、上記、一定条件として、少なくとも試験項目毎に、動作条件として、ＲＦ通信用デバイスの出力レベルを所望のレベルに追い込み制御した状態で試験することが望まれている。しかも、制御した出力レベルのバラツキにより、試験結果のバラツキが拡大することもあるので、精度良く制御する必要があった。その一例が、消費電流特性である。動作点が線形領域から非線形領域に入るにつれ、消費電流は、急激に流れる傾向があるため、出力点レベルのバラツキ以上に消費電流特性のバラツキが拡大する傾向がある。
【０００８】
このように、ＲＦ通信用デバイスの出力レベルを所望のレベルに制御するためには、その出力レベルを測定することが不可欠であり、その測定は、上記のようにＣＷで測定する、長時間の平均値を求め測定する、等が考えられていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
特開２００６−２４２６２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
一方、今日の移動体通信端末のマーケットは、生産量が多くなり、競合も激しくなりコストも下がりつつある。そのため、メーカサイドは、デバイスのローコスト化、歩留まり率の改善、大量生産  等の課題を抱えている。  
【００１１】
これらの課題の中にあって試験器として応えるべき課題の一つが、試験時間の短縮や歩留まり率の改善である。特に、上記のように、ＲＦ通信用デバイスの出力レベルを所望レベルに精度良く追い込んで試験するが、上記のようにＣＷで試験しては、変調信号による実運用とは違ってしまう。また、実運用に近い変調信号のバースト信号で測定するにしても、長時間の平均によるレベル測定では、出力レベルを所望レベルに精度良く追い込むには、時間がかかりすぎる。
【００１２】
さらに、ユーザによっては、バースト信号を生成するのは、デバイスの都合上
ユーザサイドで行いたいと希望される場合がある。この場合、バースト信号の周期Ｔａ毎に、バースト信号のレベルが変わってしまうおそれがあり、かつレベル測定タイミングとバースト信号の周期とは非同期で測定せざるを得ない。
【００１３】
そこで、本発明は、変調信号を用いたバースト信号で試験可能にするとともに、出力レベルを所望レベルに短時間に精度良く追い込み、その後に所望の測定ができる試験装置及びその方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するため、本発明では、ベースバンド信号を生成してＲＦ信号で変調し、変調されたＲＦ信号を外部（ユーザサイド）の通信用デバイスに送る。そして、外部の通信用デバイスから送られてくる、オン区間Ｔｏとオフ区間（Ｔａ―Ｔｏ）でなる周期Ｔａのバースト信号のオン区間Ｔｏにおける出力レベルを測定する。そのとき、変調されたＲＦ信号のどの時間位置でオン区間Ｔｏが設定されてバースト化されても、周期Ｔａ毎に測定するレベルが変化しないように、周期Ｔａにおけるベースバンド信号の振幅（レベル）の変化がどの周期Ｔａでも同じになるようにする構成とした。さらに、測定された出力レベルが、目標値（目標レベル）になるように、通信用デバイスに入力するバースト信号のレベルを制御する構成とした。
【００１５】
上記目的を達成するために具体的には、請求項１に記載の発明は、ベースバンド信号をＲＦ信号で変調した変調信号を外部へ出力し、該外部で該変調信号を周期Ｔａ内の区間Ｔｏに含むように生成されたバースト信号がＲＦ通信用デバイスに入力され、該ＲＦ通信用デバイスの出力を受けて該ＲＦ通信用デバイスの試験をするＲＦ通信用デバイス試験装置であって、周期Ｔａを有するベースバンド信号であって、かつ該各周期Ｔａ内における時間とともに変化するレベルが何れの該周期Ｔａにおいても同一に変化する前記ベースバンド信号を生成し、該ベースバンド信号を前記ＲＦ信号で変調した前記変調信号を外部へ出力する出力する信号発生部（１０）と、外部の前記ＲＦ通信用デバイスからの出力を受けて、該周期Ｔａに同期して、前記区間Ｔｏ内の出力レベルを測定するレベル測定部（３０）と、該レベル測定部で測定した出力レベルと予め設定された目標値とを比較する判定部（４０）と、該判定部が測定された出力レベルが目標値外であると判定したとき、該測定した出力レベルと該目標値との差がなくなるように、該信号発生部が出力するバースト信号のレベルを制御するレベル制御部（５０）と、を備え、前記判定部が前記測定された出力レベルが目標値内であると判定した後に、前記試験を行う構成とした。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記レベル測定部は、前記区間Ｔｏに亘って積分して前記出力レベルを測定する構成とした。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、前記レベル制御部は、前記周期Ｔａ毎に、前記信号発生部に対して前記バースト信号のレベルを制御する制御量を反映した利得制御信号を送って制御しており、前回の周期Ｔａに送った利得制御信号と、そのときの前記判定部の比較結果とを基に、前記レベル差がなくなるように前記信号発生部を制御すべき新たな制御量を推定し、該新たな制御量を反映した前記利得制御信号を前記信号発生部に送る制御量推定手段（５１）とを備えた。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、前記制御量推定手段は、前記ＲＦ通信用デバイスの代表的な前記制御量対前記出力レベルを示す特性情報を予め保有していて、前記判定部からの判定結果と前記レベル設定手段が前回の周期Ｔａにおける前記利得制御信号とを基に、前記特性情報を参照して、前記制御量を推定する構成とした。
請求項５に記載の発明は、請求項３又は４に記載の発明において、前記レベル制御部は、予め、過去の試験時において前記判定部で測定された出力レベルが目標値内であると判定したときに前記制御量推定手段が前記利得制御信号に反映した過去の制御量を管理する初期制御量管理手段（５２）を有し、前記制御量推定手段は、前記制御を開始するときに、前記信号発生部に対して該過去の制御量を反映した前記利得制御信号を送り、次の周期Ｔａでは、該過去の制御量を反映した前記利得制御信号を、前回の周期Ｔａにおける前記利得制御信号として、次の制御量を推定する構成とした。
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれか一つに記載の発明において、操作部（６１）と、表示部（６２）と、を有し、前記判定部は、前記目標値の変化に対する前記試験の結果の分布を示す代表的な試験結果分布特性を記憶しており、該試験の開始前に、該試験結果分布特性を、該試験結果分布特性の目標値又は該試験の結果の分布のいずれかを前記操作部で指定可能に前記表示部に表示させるとともに、該試験結果分布特性上で、該目標値が指定されたときはその指定された値の目標レベル、又は、前記試験の結果が指定されたときは該代表的分布特性から該指定された該試験の結果に対応する目標値を、前記レベル測定部で測定した出力レベルと比較するために設定する構成とした。
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれか一つに記載の発明において、前記目標値は、許容レベル範囲と該許容レベル範囲内の特定レベルとを含み、前記判定部は、該レベル測定部で測定した出力レベルと該特定レベルとを比較し、前記レベル制御部は、該判定部が測定された出力レベルが目標値外であると判定したときに、前記レベル測定部で測定した出力レベルと該特定レベルとの前記レベル差がなくなるように、該信号発生部が出力する前記バースト信号のレベルを制御し、前記判定部が該レベル測定部で測定した出力レベルが前記許容レベル範囲内に入ったと判定したときに、そのときの前記バースト信号のレベルを維持する構成とした。
請求項８に記載の発明は、ベースバンド信号をＲＦ信号で変調した変調信号を外部へ出力し、該外部で該変調信号を周期Ｔａ内の区間Ｔｏに含むように生成されたバースト信号がＲＦ通信用デバイスに入力され、該ＲＦ通信用デバイスの出力を受けて該ＲＦ通信用デバイスの試験をするＲＦ通信用デバイス試験方法であって、周期Ｔａを有するベースバンド信号であって、かつ該各周期Ｔａ内における時間とともに変化するレベルが何れの該周期Ｔａにおいても同一に変化する前記ベースバンド信号を生成し、該ベースバンド信号を前記ＲＦ信号で変調した前記変調信号を外部へ出力する出力する信号発生段階と、外部の前記ＲＦ通信用デバイスからの出力を受けて、該周期Ｔａに同期して、前記区間Ｔｏ内の出力レベルを測定するレベル測定段階と、該レベル測定部で測定した出力レベルと予め設定された目標値とを比較する判定段階と、該判定部が測定された出力レベルが目標値外であると判定したとき、該測定した出力レベルと該目標値との差がなくなるように、該信号発生部が出力するバースト信号のレベルを制御するレベル制御段階と、前記判定部が前記測定された出力レベルが目標値内であると判定した後に、前記試験を行う試験段階と、を備えた
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、変調信号を用いたバースト信号を用いて試験できるので、実運用に近い試験が可能である。
【００１７】
また、ユーザサイドでバースト化した場合でも、各周期Ｔａ内のバースト信号の振幅が同じ変化を示すＲＦ信号をユーザサイドへ送り、ユーザ側でどのタイミングでバースト化しても、ＲＦ通信用デバイスの出力レベルを測定したとき、周期Ｔａ毎に測定するレベルは同じであるから、各周期Ｔａ毎に出力レベルを測定できる。つまり、短時間でレベル測定が可能である。
【００１８】
また、測定した出力レベルと目標値（レベル）とを比較して、その結果を帰還させて、それらが一致するように、ＲＦ通信用デバイスに入力されるバースト信号のレベルを制御する構成なので、精度良く目標値へ追い込める。また、その制御は、周期Ｔａ毎に行えるので、短時間に追い込みが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態の機能・構成を示す図である。
【図２】図１の信号発生部の詳細な機能・構成を示す図である。
【図３】主として図２の信号発生部の各信号を説明するための図である。
【図４】図１の判定部の詳細な機能・構成を示すとともに、それを説明するための図である。
【図５】図１のレベル制御部の詳細な機能・構成を示す図である。
【図６】図５の構成の動作を説明するための図である。
【図７】本発明の一連の動作フローを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図を基に、本発明に係る実施形態を説明する。図１は、試験対象であるＤＵＴ（ＲＦ通信用デバイス）８０ａを含む外部構成８０と、それを試験する試験装置１００の機能・構成を示す。
【００２１】
図１における信号発生部１０は、クロック生成手段１１、ベースバンド信号生成手段１２、ＲＦ変調手段１３、及び可変利得手段１４を備え、周期Ｔａのベースバンド信号を変調したＲＦ信号を生成する。
【００２２】
図２で、クロック生成手段１１は、ベースバンド信号生成手段１２の読出制御手段１２ｂが波形データ記憶手段１２ａからデジタルデータ（「シンボルデータ」と呼ばれる。）を読み出してベースバンドデータを形成するに必要なクロックを生成する（図３の（ａ）（ｂ）のタイミング図を参照）。
【００２３】
図１、図２のベースバンド信号生成手段１２は、読出制御手段１２ｂがクロック生成手段１１からのクロックにより波形データ記憶手段１２ａから周期Ｔａにおけるデジタルデータを読み出して、読み出したデジタルデータをＤ／Ａ変換手段１２ｃによりデジタル−アナログ変換してベースバンド信号を形成し、ＲＦ変調手段１３に送る。
【００２４】
具体的には、図２における読出制御手段１２ｂは、カウンタ（又は、タイマー）を有し、図３の（ａ）に示す、クロック生成手段１１からクロック信号を受けて、クロック信号で、波形データ記憶手段１２ａから周期Ｔａに亘って、かつ周期Ｔａ毎に繰り返しデジタルデータを読み出す。
【００２５】
そのとき、読出制御手段１２ｂは、いずれの周期Ｔａであっても、波形データ記憶手段１２ａの同じアドレスｈ〜ｈ＋ｎ−１に（ｎは、周期Ｔａを埋め尽くすデータ数、つまり、周期Ｔａの間、でデジタルデータが連続して存在するのに必要なデータ数に応じたアドレス数）アクセスしてデジタルデータを読み出す。そうすることにより、各読み出されたデジタルデータの振幅は、アドレスｈ〜ｈ＋ｎ−１（ｎ個）のデジタルデータを読み出す時間Ｔａ（周期に相当）に亘って変化するが、いずれの周期Ｔａでも同じ変化である。かつ、周期Ｔａの間はデジタルデータが連続して存在するので、周期Ｔａの変わり目でもデジタルデータが途切れることなく存在する。それは、後に、ＲＦ変調され、外部構成８０でバースト信号に変換されたとしても、各周期Ｔａで相対的に同じ振幅変化を示し、かつＲＦ信号は途切れなく存在する。
【００２６】
なお、当然ながら、波形データ記憶手段１２ａは、周期Ｔａの間に読み出されるであろうデジタルデータ数のデジタルデータを記憶している。そして、後に、バースト信号となったときは、図３（ｄ）に示すようにオン区間Ｔｏ間に相当する時間におけるデジタルデータだけが用いられることになる。
【００２７】
さらに、数値例を挙げると、周期Ｔａ＝５ｍｓや４．６１５ｍｓ（ＧＳＭ／ＥＤＧＥの場合）等である。
【００２８】
図１，図２のＲＦ変調手段１３は、ミキサ１３ａが、ベースバンド信号生成手段１２から受けたベースバンド信号を、ローカル信号生成手段１３ｂが出力するＲＦ信号で混合することで、ＲＦ変調し、変調した変調信号を可変利得手段１４へ送る。
【００２９】
可変利得手段１４は、一般には可変利得増幅器、或いは可変減衰素子（回路）をもって構成されており、ＲＦ変調手段１３から受けた変調信号の振幅（レベル）を、レベル制御部５０からの利得制御信号ｂに応じて可変して外部構成８０のバースト手段８０ｂへ送る。
【００３０】
なお、図１、２における可変利得手段１４は、ＲＦ変調手段１３とバースト手段１５の間で機能しているが、ベースバンド信号生成手段１２とＲＦ変調手段１３との間、で機能するように構成しても良い。ただし、可変利得手段１４がＲＦ変調手段１３、以降に在る場合は、ＲＦ信号に応答する周波数特性を有する必要があり、ベースバンド信号生成手段１２とＲＦ変調手段１３との間にある場合は、ベースバンド信号に応答する周波数特性があればよい。
【００３１】
外部構成８０は、バースト手段８０ｂと試験対象であるＤＵＴ８０ａを備えている。バースト手段８０ｂは、オン区間がＴｏ、オフ区間（Ｔａ―Ｔｏ）を有する周期Ｔａのバーストタイミング信号ａを受けて、ＲＦ信号をゲートすることで、周期Ｔａの中を、ＲＦ信号が存在させるためのオン区間Ｔｏと、ＲＦ信号を通過させないオフ区間（Ｔａ−Ｔｏ）とするバースト信号ｃを生成し、ＤＵＴ８０ａへ送る。ＤＵＴ８０ａは、入力されたバースト信号ｃを増幅してレベル測定部３０へ送る。
【００３２】
レベル測定部３０は、ＤＵＴ８０ａから出力されるバースト信号ｃ´の出力レベルを測定する。ＤＵＴ８０ａが増幅器である場合は、増幅されたバースト信号が出力されてくる。このとき、レベル測定部３０は、受けたバースト信号ｃ´のオン区間Ｔｏ間に存在する変調されたＲＦ信号をサンプリングしてレベルをレベル測定対象として抽出し（図３（ｄ）（ｅ）を参照）、それを積分手段で積分する、或いは平均値検波し、ＤＵＴ８０ａの出力レベル（バースト信号ｃ´のレベル）の測定値として、出力する。
【００３３】
オン区間Ｔｏ内にあるレベル測定対象信号を抽出するためには、オン区間Ｔｏの開始タイミングと終了タイミングとを基に、抽出する。そのとき、レベル測定部３０は、ＤＵＴ８０ａから受けたバースト信号と所定の閾値とを比較し、そのバースト信号が所定の閾値以上になったときを開始タイミングとし、その所定の閾値以下になったことを検出したときを終了タイミングとする。そして、その開始タイミングから終了タイミングの間のレベルを測定し、測定値として出力する。
【００３４】
レベル測定部３０が測定する測定値は、外部構成８０におけるバーストのタイミングとは非同期で測定するが、周期Ｔａに関係無く、つまりどの周期Ｔａであっても一定に取得することができる。外部構成８０でのバーストのタイミングが、ベースバンド信号等の周期Ｔａとは、図３（ｄ）（例１）のようにズレていても、或いは図３（ｅ）（例２）のようにベースバンド信号の周期Ｔａを跨ぐ形態であっても、上記説明のように、各周期Ｔａでベースバンド信号は相対的に同じ振幅変化であり、かつベースバンド信号は各周期Ｔａに途切れなく存在するので、各周期Ｔａ毎の測定値は、同じである。
【００３５】
レベル測定部３０は、後記する判定部４０が判定する時の基準である目標値が、区間Ｔｏにおける平均値に対応する値で設定されていれば、上記測定値は平均値でよい。要は、目標値と測定値は比較対象になるように単位を合わせておく。
【００３６】
判定部４０は、目標レベル管理手段４１が予め有する所望のレベル範囲である許容範囲とその許容範囲内の一点を特定レベル値とする目標値を比較手段４２へ送る。比較手段４２は、レベル測定部３０から送られてくるＤＵＴ８０ａの出力レベルの測定値と、許容範囲、及び特定レベル値と比較し、次の（i）（ii）の判定結果ｄを出力する。
（i）測定値が許容範囲に入っていなければ、特定レベル値と測定値の差分値を判定結果ｄとして出力する。
（ii）測定値が許容範囲に入っていれば、ＯＫを示す信号と、特定レベル値と測定値の差分値を判定結果ｄとして出力する。
【００３７】
目標レベル管理手段４１は、測定部２０による検査項目に対応して、許容範囲と特定レベル値を選択的に設定可能にすることもできる。さらには、その検査項目における検査結果のバラツキを考慮して、許容範囲と特定レベル値を選択的に設定できる構成とすることもできる。
【００３８】
特に、測定部２０によるＤＵＴ８０ａの検査は、ＤＵＴ８０ａの出力レベルを所望の目標値に設定することを条件に検査するので、その目標値如何により、検査結果がバラツク虞がある。その例を図４（Ｂ）に示す。図４（Ｂ）は、過去の測定例であって、試験項目Ａについて、ＤＵＴ８０ａの出力レベルを特定レベルＡＬ１、ＡＬ２、ＡＬ３のそれぞれの値にしたときの、許容範囲（ＡＷ）対試験結果のバラツキ（σ）を示す図である。一般に、特定レベルがＤＵＴ８０ａの直線領域であれば、特定レベルがＡＬ１、ＡＬ２、ＡＬ３のそれぞれの値であっても、図４（Ｂ）の特性は、一本の特性に近くなるが、特定レベルが非直線性領域にあると、それぞれ異なった特性になる可能性が大きい。図４（Ｂ）の例では、同じバラツキの範囲σＡに入れるためには、許容範囲を特定レベルＡＬに応じて、それぞれ、ＡＷ１、ＡＷ２、ＡＷ３に変える必要があることを示す。
【００３９】
そこで、目標レベル管理手段４１を次のように構成にすることがより好ましい。図４を基に、目標レベル管理手段４１の一例について説明する。
【００４０】
図４（Ａ）で、試験結果分布特性記憶部４１ａは、図４（Ｂ）示すような予め過去の検査時における許容範囲対試験結果のバラツキ（試験結果分布）の関係を示す特性（以下、「試験結果分布特性」と言う。）を記憶しておく。そして、特性表示データ生成手段４１ｃは、試験結果分布特性記憶部４１ａから試験結果分布特性を読み出し、図４（Ｂ）のようなグラフを生成して表示部６２へ表示させる。そして、試験開始時（消費電流特性の試験等の本試験前に、ＤＵＴ８０ａの出力レベルを目標値に追い込ための追込開始時；以下、「試験開始時」と言う。区別して、消費電流特性の試験等の本試験の開始を「本試験開始」と言う。）に、操作部６１から、特定レベルＡＬ、試験結果のバラツキσ、又は／及び許容範囲が設定されたときは、それらの値も表示する。そうすることにより、操作者から、例えば、特定レベルとしてＡＬ２、バラツキσＡが指定されたときは、許容範囲設定手段４１ｂが、試験結果分布特性記憶部４１ａを参照して、許容範囲ＡＷ２を求める。このとき、特性表示データ生成手段４１ｃは、表示部６２のグラフに、それらの値ＡＬ２、σＡ、ＡＷ２を識別可能に表示させる。それを見た操作者がＯＫを指示を出したことを受けた許容範囲設定手段４１ｂが、比較手段４２にＡＬ２±［ＡＷ２／２］（特定レベル±許容範囲／２）を目標値として設定する。なお、目標値の設定の仕方としては、［特定レベル±許容範囲／２］の形態（以下、この形態で説明する。）以外にも、［絶対値ＡＬＸ（＝ＡＬ２−［ＡＷ２／２］）〜絶対値ＡＬＺ（＝ＡＬ２＋［ＡＷ２／２］）（この場合、特定レベルを自動的に（ＡＬＸ＋ＡＬＺ）／２にする。）、や［絶対値ＡＬＸ〜（絶対値ＡＬＸ＋許容範囲）］の形態での設定の仕方がある。
【００４１】
なお、操作者が、目標値として、特定レベルＡＬ２、許容範囲ＡＷ２を指定したときは、許容範囲設定手段４１ｂは、試験結果分布特性記憶部４１ａを参照して、バラツキσＡを求め、特性表示データ生成手段４１ｃを通して、表示部６２のグラフに、それらの値ＡＬ２、ＡＷ２、σＡを識別可能に表示させる。操作部６１から、操作者によるＯＫ（確定）の指示がきたときに、許容範囲設定手段４１ｂは、比較手段４２にＡＬ２±［ＡＷ２／２］を目標値として設定できるようにすると、より良い。
【００４２】
上記のように図４の目標レベル管理手段４１の構成を採用することにより、操作者は、特定レベル、許容範囲、試験結果のバラツキを考慮して、目標値を設定することができる。
【００４３】
レベル制御部５０は、判定部４０からの判定結果ｄを受けて、ＤＵＴ８０ａの出力レベルの測定値が、許容範囲に入るように、可変利得手段１４にバースト信号のレベルを可変させることで、ＤＵＴ８０ａの出力レベル（バースト信号ｃ´のレベルであって、レベル測定部３０の測定値）を目標値の許容範囲へ追い込む手段である。レベル制御部５０は、可変利得手段１４に、レベルを可変させようとする制御量を反映した利得制御信号ｂを送って制御する。以下の説明では、その制御量を主として説明する。
【００４４】
レベル制御部５０は、主として、次の（イ）〜（ハ）の動作を行う構成を有する。（イ）はその追い込みの初期の制御量の設定の仕方に関し、（ロ）はその後の追い込み制御における制御量の推定の仕方に関し、（ハ）は追い込んだときの動作に関する。
【００４５】
（イ） 試験開始時の初期設定；追い込み制御の開始
試験開始時に、初期制御量管理手段５２が次のいずれかの初期値を記憶・管理し、制御量推定手段５１を介して可変利得手段１４に設定する。
（イ−１）予め、図１の初期制御量管理手段５２に試験項目に対応した初期値を記憶しておいて、試験項目に応じた初期値を設定する。
（イ−２）図５の初期制御量管理手段５２の詳細（この場合、上記（イー１）とは異なった動作をする）を基に説明する。図５の初期制御量管理手段５２のロットデータ記憶手段５２ａが、予め、試験項目毎に、過去のロットおける試験の結果として、ＤＵＴ８０ａの出力レベルの測定値が許容範囲内になったときに、制御量推定手段５１（設定手段５１ｃ）が可変利得手段１４を制御したときの制御量の平均値を記憶しておく（図６（Ｂ）を参照）。平均値は、平均値算出手段５２ｂが算出する。そして、設定手段５１ｃを介して、試験開始時に、試験項目に対応する平均値を可変利得手段１４に設定する。そのとき、全ロットの平均値でも良いし、操作部６１から該当するロットＮｏの指定を受け、その該当するロットの平均値でも良い。なお、該当するロットが例えば、５台まで試験が終了していて、６台目を試験するときは、５台目までの平均値を設定すると良い。
【００４６】
（ロ） 判定部４０による判定結果ｄが上記（i）の場合の制御；追い込み制御
レベル制御部５０の制御量推定手段５１は、判定部４０が測定値が許容範囲に入っていないと判定したとき、特定レベル値と測定値の差分値だけ判定結果ｄとして受けて、次の制御量を推定して、その推定した制御量で可変利得手段１４を制御する場合である。この場合、次の例があり、いずれかを採用できる。
（ロ−１）制御量推定手段５１のレファレンス管理手段５１ａは、予め、図６（Ａ）
に示すように試験項目に対応する制御量対ＤＵＴ８０ａの出力レベル特性の代表的な特性（以下、「代表的特性」と言う。）を記憶しておく。そして、設定手段５１ｃが試験の初期に上記（イ−２）に記載のように過去のロットの平均値（上記（イ−１）における初期値でも良い）を初期制御量として設定する。次に以下の各段階を実行する。（段階１）判定部４０が、そのときにレベル測定部３０がＤＵＴ８０ａの出力レベルを測定した初期測定値と目標値における特定レベルとのレベル差ΔＬ（図６（Ｃ）を参照）を判定結果ｄとして、設定手段５１ｃへ送る。（段階２）設定手段５１ｃは、初期制御量と初期測定値に合うように、代表的特性を移動させる（図６（Ｃ）の点線で示した推定特性）。そして、（段階３）設定手段５１ｃは、図６（Ｃ）における移動した代表的特性（推定特性）上で、上記算出されたレベル差ΔＬを打ち消すのに相当する次の制御量を決定し、これを可変利得手段１４へ送って制御する。以下、レベル測定部３０による測定値が目標値の許容範囲に入ったと判定部４０が判定するまで、上記の段階１、２、３の動作を繰り返す。
（ロ−２）上記（ロ−１）は、予め代表的特性を有して、それを基に次の制御量を推定したが、代表的特性は、多項式で表せるし、また、変曲点のない滑らかな曲線であれば３点あれば推定できることが知られている。そこで、例えば、設定手段５１ｃは、ＳＬ１、ＳＬ２、ＳＬ３の制御量で測定したときのレベル測定部３０による測定値ＭＬ１、ＭＬ２、ＭＬ３を制御量記憶手段５１ｂに記憶し、これら３つの制御量を基に、代表的特性を推定（演算）し、かつその推定した代表的特性から、目標値の特定レベルと測定値ＭＬ３とのレベル差［ＭＬ３−特定レベル］を打ち消すべき制御量ＳＬ４を推定（演算）して設定し、測定して測定値ＭＬ４を得る。測定値ＭＬ４が許容範囲にないときは、制御量ＳＬ２、ＳＬ３、ＳＬ４で測定したときの測定値ＭＬ２、ＭＬ３、ＭＬ４を基に、代表的特性を推定し、かつその推定した代表的特性から、目標値の特定レベルと測定値ＭＬ４とのレベル差［ＭＬ４−特定レベル］を打ち消すべき制御量ＳＬ５を推定して設定し、測定し、判定する。以下、判定部４０でＯＫがでるまで、繰り返す。
（ロ−３）上記（ロ−１）（ロ−２）は、いわば多項式で近似される代表的特性で、制御量を推定していたが、制御範囲が狭い範囲では、或いは狭くなるほど、直線的な近似が可能となる。その場合、上記（ロ−２）で多項式で代表的特性を近似していたのを直線で近似することもできる。つまり、上記（ロ−２）で最寄りの３つの制御量と３つの測定値で制御量を推定していたのに代えて、最寄りの２つの制御量と２つの測定値から、直線的な代表的特性を近似して、次の制御量を推定できる。
【００４７】
（ハ） 判定部４０による判定結果が上記（ii）の場合の制御；追い込み制御の終了
上記（イ）（ロ）における周期Ｔａ毎の制御及び動作により、レベル測定部３０による測定値は、図６（Ｄ）に示すように目標値へ近づき、判定部４０は、測定値が許容範囲に入り、ＯＫを示す信号と、特定レベル値と測定値の差分値を判定結果ｄとして出力する。これを受けた図５の設定手段５１ｃは、そのときに可変利得手段１４を制御していた制御量を維持し（制御量の更新を停止）、制御量記憶手段５１ｂを介してその維持している制御量をロットデータ記憶手段５２ａへ送り、該当するロットの該当する台番に記録する（図６（Ｂ）を参照）。そして、平均値算出手段５２ｂは、同一ロットで先に記録した制御量と今回記録した制御量を基に平均値を求めて、ロットデータ記憶部手段５２ａに記憶させておく。そうすることで、上記（イ−２）のように利用できる。なお、上記（イー１）に記載のように、いつも予め記憶された初期値で制御を開始する場合は、ロットデータの記憶、平均値の算出等は不要である。
さらに設定手段５１ｃは、判定部４０が、ＯＫを出したことを制御部７０へ伝える。つまり、追い込み制御が完了し、ＤＵＴ８０ａの出力レベルが目標値に維持されていることを伝える。
【００４８】
制御部７０は、そのＯＫを示す信号を受けた後に、測定部２０を制御して、所望の試験項目についてＤＵＴ８０ａの本試験を開始する。例えば試験項目として、消費電力特性、ＥＶＭ特性、隣接チャンネル漏洩電力特性、高調波歪特性、等がある。測定部２０は、これら試験項目の試験に測定機器、電流計、スペクトラムアナライザ等を有する。また、測定部２０は、上記信号発生部１０を兼ね備えた信号発生器を備え、ローカル信号生成手段１３ｂの周波数を変更できる構成であっても良い。
さらには、測定部２０は、レベル測定部３０を兼ね備えた信号解析装置であって、レベルの測定を行うとともに、ＥＶＭ特性、隣接チャンネル漏洩電力特性、高調波歪特性等を測定する構成であっても良い。
【００４９】
制御部７０は、一つの試験項目が完了したときは、レベル制御部５０に指示して、次の試験項目について、ＤＵＴ８０ａの出力レベルが目標値に入るように制御させる。試験項目が違ってもＤＵＴ８０ａの出力レベルが同一の場合は、改めて制御させる必要はなく、違った試験項目について試験する。
【００５０】
次に一連の動作を図７を基に説明する。なお、ここでは、操作者が、目標値として、特定レベルＡＬ２、許容範囲ＡＷ２を指定した例で説明する。
【００５１】
ステップＳ００；ユーザインターフェース６０は、電源オン後、消費電力特性、ＥＶＭ特性、隣接チャンネル漏洩電力特性、高調波歪特性、等の各種の試験項目について案内画面を表示部６２に表示して、ＤＵＴ８０ａについての試験をガイドする。操作者はそのガイドに従って、操作部６１により所望の試験項目を選択することで指定する。
【００５２】
ステップＳ０１；次に、目標レベル管理手段４１は、指定された試験項目に係る、予め記憶していた過去の検査時における試験結果分布特性を図４（Ｂ）のようなグラフにして表示部６２へ表示させる。そして、操作者は、操作部６１により試験結果のバラツキσを考慮した目標値；ＡＬ２±［ＡＷ２／２］（特定レベル±許容範囲／２）を設定する。なお、上記のグラフを表示してバラツキσを考慮することなく、直接に、目標値を設定することもできる。
【００５３】
ステップＳ０２；さらに、上記（イー２）に記載のように（（イー２）が採用された場合）、レベル制御部５０は、予め、過去の試験でＤＵＴ８０ａの出力レベルの測定値が許容範囲内になったときに、制御量推定手段５１（設定手段５１ｃ）が可変利得手段１４を制御したときの制御量の平均値をロット毎に記憶しておく。そして、レベル制御部５０は、初期制御量の設定として、操作者により操作部６１から該当するロットＮｏの指定を受けたとき、その該当するロットの該当する試験項目に制御量の平均値を基に、ＤＵＴ８０ａの出力レベルの測定値が、許容範囲に入るように、可変利得手段１４にバースト信号のレベルを可変制御する。つまり、上記（ロ）に記載のように追い込み制御を開始する。
【００５４】
ステップＳ１；一方で、信号発生部１０は、周期Ｔａを有するベースバンド信号であって、かつ該各周期Ｔａ内で時間とともに変化する振幅が何れの周期Ｔａにおいても同一に変化するベースバンド信号を生成し、ベースバンド信号をＲＦ信号で変調した変調信号を外部構成８０へ出力する。
【００５５】
ステップＳ２；そのとき、信号発生部１０は、可変利得手段１４により、初期時（追い込み制御の開始時）には、ＲＦ信号をレベル制御部５０からの利得制御信号ｂで示される初期制御量に応じたレベルにして外部構成８０へ出力する。その後、可変利得部１４は、ＲＦ信号のレベルを判定部４０の判定結果ｄに基づいてレベル制御部５０から指示される制御量に応じたレベルに可変して、外部構成８０へ出力する。
【００５６】
外部構成ステップ（ユーザサイドで実行される動作）；外部（ユーザサイド）で周期Ｔａ、オン区間ＴｏでＲＦ信号をゲートし（バースト化し）、そのバースト信号をＤＵＴ８０ａへ出力する。ＤＵＴ８０ａは、バースト信号を増幅して、レベル測定部３０へ送る。
【００５７】
ステップＳ３；レベル測定部３０は、ＤＵＴ８０ａが出力するバースト信号ｃ´を受けて、その出力レベルを測定する。測定値としてＤＵＴ８０ａが出力するバースト信号ｃ´のオン区間Ｔａに在る信号を積分して平均値を求める。
【００５８】
ステップＳ４；判定部４０は、レベル測定部３０が測定した出力レベルの測定値が設定された目標値内かどうか判定する。具体的には、出力レベルが、目標値；ＡＬ２±［ＡＷ２／２］の範囲内かどうか判定する。判定部４は、出力レベルが目標値の範囲外と判断したときは、判定結果としてレベル差［出力レベル−ＡＬ２］及び特定レベルＡＬ２をレベル制御部５０へ送る。測定値が目標値の範囲内と判断したときは、判定結果として「ＯＫ」とレベル差［出力レベル−ＡＬ２］をレベル制御部５０へ送る。
【００５９】
ステップＳ５；レベル制御部５０は、判定部４０による判定結果ｄとしてレベル差ΔＬ＝［出力レベル−ＡＬ２］、特定レベルＡＬ２を受けて、追い込み制御を行う。つまり、上記（ロー１）に記載の方法では、設定手段５１ｃは、上記ステップＳ０２で設定した初期制御量とレベル測定部３０が測定した出力レベルの測定値を基に、レファレンス管理手段５１ａに記憶しておいた代表的特性を移動させる（図６（Ｃ）の点線で示した推定特性）て、初期制御量と測定値が対応するようにする。さらに、設定手段５１ｃは、図６（Ｃ）における移動した代表的特性（推定特性）上で、上記レベル差ΔＬ＝［出力レベル−ＡＬ２］を打ち消すのに相当する次の制御量を決定し、これを可変利得手段１４へ送って制御する。以下、ステップＳ４で、レベル測定部３０による測定値が目標値の許容範囲に入ったと判定部４０が判定するまで、上記のステップＳ２〜ステップＳ５の追い込み制御動作を繰り返す。
【００６０】
ステップＳ６；レベル制御部５０は、上記のステップＳ２〜ステップＳ５の動作繰り返す、そして判定部４０から判定結果ｄとして「ＯＫ」とレベル差［出力レベル−ＡＬ２］を受ける。つまり、上記ステップＳ５に記載のように周期Ｔａ毎に、ステップＳ２〜ステップＳ５の追い込み制御動作を繰り返した結果、レベル測定部３０による測定値が目標値へ近づき、レベル制御部５０の設定手段５１ｃは、判定部４０から判定結果ｄとして「ＯＫ」とレベル差［出力レベル−ＡＬ２］を受ける。設定手段５１ｃは、そのときに可変利得手段１４を制御していた制御量を維持して更新を停止し、その維持している制御量及びレベル差［出力レベル−ＡＬ２］をロットデータ記憶手段５２ａに記憶させる（なお、レベル差［出力レベル−ＡＬ２］は、後に参考に利用することがあるかもしれないので、記憶する程度である）。そして、平均値算出手段５２ｂは、同一ロットで先に記録した制御量と今回記録した制御量を基に平均値を求めて、ロットデータ記憶部手段５２ａに記憶させておく。そうすることで、次の試験時の上記ステップＳ０２で初期制御量設定に利用できる。
【００６１】
そして、ＤＵＴ８０ａの出力レベルが目標値内に保持されている状態で、制御部７０は、ステップ００で選択設定された測定項目について測定部２０を制御して、指定された測定項目について本試験を実行する。
【００６２】
［信号発生部１０の変調信号の周期と外部構成８０のバーストタイミング信号ａの周期Ｔａについて］
上記構成の説明、図７における一連の動作の説明においては、信号発生部１０における変調信号を生成する周期Ｔａとバーストタイミング信号ａの周期Ｔａは同じものとして説明してきた。両者を周期Ｔａにする方法の具体的な例としては、次のi）、ii）等の方法があり、これらのいずれかの構成・動作を、例えば、図７のステップＳ１の動作に含めると良い。なお、周期Ｔａは同じであることが望ましいが、両者は時間的な同期関係に在る必要はない。
i）操作者が、外部構成８０のバーストタイミング信号ａの周期Ｔａと同じ周期Ｔａを、信号発生部１０へ設定し、信号発生部１０（特にベースバンド信号生成部１２）がクロック信号を基に周期Ｔａ／ｎ（ｎ；周期Ｔａ間にデジタルデータを読み出す数）のタイミングを生成する。
ii）試験装置１００で外部構成８０のバーストタイミング信号ａの周期Ｔａを測定して、これを信号発生部１０に、設定する（その後は、上記i）と同様の動作を行う）。この場合、図１の点線で示すようにバースト周期測定手段３１を備える必要がある。バースト周期測定手段３１は、バースト信号ｃ´のオン区間Ｔｏにおける信号を検波してその検波出力（レベル測定するときに平均検波していれば、その出力でもよい。）のタイミングを計数することで周期を測定する。全体として次のように動作する。
【００６３】
つまり、信号発生部１０には任意の初期周期Ｔｘが設定され、その信号発生部１０は、初期周期Ｔｘで変調された変調信号を外部構成８０へ出力する。変調信号は、バーストタイミング信号ａにより周期Ｔａでバースト変調され、ＤＵＴ８０からバースト信号ｃ´として、バースト周期測定手段３１へ入力される。バースト周期測定手段３１は、バースト信号ｃ´のバーストの周期Ｔａを測定し、制御部７０を介して、信号発生部１０へ通知する。信号発生部１０は、先に設定された初期周期Ｔｘに代えて、通知されたバーストの周期Ｔａで動作して、周期Ｔａの変調信号を出力する。
【００６４】
なお、図１の構成における判定部４０、レベル制御部５０、及び制御部７０は、図７における動作フローを記述したプログラムと、それを実行するＣＰＵで構成することができる。
【符号の説明】
【００６５】
１０  信号発生部、
１１  クロック生成手段、
１２  ベースバンド信号生成手段、  １２ａ  波形データ記憶手段、
１２ｂ  読出制御手段、  １２ｃ  Ｄ／Ａ変換手段、
１３  ＲＦ変調手段、  １３ａ  ミキサ、  １３ｂ  ローカル信号生成手段、
１４  可変利得手段、
２０  測定部、
３０  レベル測定部、  ３１  バースト周期測定手段、
４０  判定部、
４１  目標レベル管理手段、  ４１ａ  試験結果分布特性記憶部、
４１ｂ  許容範囲設定手段、  ４１ｃ  特性表示データ生成手段、
４２  比較手段、
５０  レベル制御部、
５１  制御量推定手段、  ５１ａ  レファレンス管理手段、  ５１ｂ  制御量記憶手段、  ５１ｃ  設定手段、
５２  初期制御量管理手段、  ５２ａ  ロットデータ記憶手段、
５２ｂ  平均値算出手段、
６０  ユーザインターフェース、
６１  操作部、  ６２  表示部、
７０  制御部、
８０  外部構成、
８０ａ  ＤＵＴ（ＲＦ通信用デバイス）、８０ｂ  バースト手段、
１００  試験装置
【図１】
2011149781.tif 000003
【図２】
2011149781.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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