(57)【要約】【課題】液体噴射特性を向上すると共に、複数のノズル開口から液体を均一な液体噴射特性で吐出して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】振動板５５と、振動板５５側を駆動部とし、該駆動部とは反対側を非駆動部とする振動子１１を備えた振動子ユニット１０と、前記振動子１１の前記非駆動部側を固定する固定板７０と、前記固定板７０するケース５８と、該ケース５８と固定板７０との前記振動板５５側の一部を切り欠いて、マニホールド５３に対応する領域に空間を形成したコンプライアンス空間６３と、を備え、前記コンプライアンス空間６３と前記振動子ユニット１０が接合される領域との間において、前記固定板７０と前記振動板５５とが接合されている。【選択図】      図１
2011062957.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板と、振動板側を駆動部とし、該駆動部とは反対側を非駆動部とする振動子を備え
た振動子ユニットと、
前記振動子の前記非駆動部側を固定し、金属材料からなる固定板と、
前記固定板を固定するケースと、
該ケースの前記振動板側の一部を切り欠いて、マニホールドに対応する領域に空間を形
成したコンプライアンス空間と、を備え、
前記コンプライアンス空間と前記振動子ユニットが接合される領域との間において、前
記固定板と前記振動板とが接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記ケースと前記振動板とが接合されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射
ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特
に液体としてインクを吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、圧電素子の変位による圧力を利用してノズ
ル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。インクジェ
ット式記録ヘッドは、ノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振
動板を圧電素子により変形させて圧力発生室に供給されたインクに圧力を付与することで
、ノズル開口からインク滴を吐出させている。
【０００３】
また、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、圧電素子の一端部を振動板に固定
すると共に他端部側を固定板に固定し、固定板をケースに固定することで、圧電素子を保
持するようにしたものが提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００４】
また、ケースの振動板側には、振動板を変位させるための空間であるコンプライアンス
空間が設けられている。このコンプライアンス空間によって、振動板の一部を流路内の圧
力変動を吸収するコンプライアンス部として変位可能としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３２７４６２号公報
【特許文献２】特開２００３−１７７７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ケースには、圧電素子を収容する収容部と、コンプライアンス空間との
間に振動板と接合される領域として比較的狭い領域しかなく、圧電素子を駆動すると、圧
電素子が振動板を押圧する圧力が圧電素子を固定する固定板側に反発する反発力を十分に
抑えることができず、圧電素子が振動板とは反対側に持ち上がって、振動板の押圧力が低
下して所望の変位特性を得ることができないという問題がある。
【０００７】
また、ケースの圧電素子が保持される収容部は、貫通した孔状に設けられているため、
ケースは、圧電素子の並設方向に沿ってその剛性が異なる。すなわち、圧電素子の並設方
向において、ケースの中央部は、両端部側に比べて剛性が低い。このため、圧電素子を駆
動した際の反発力によってケースが変形することになるが、圧電素子の並設方向において
、ケースの振動板とは反対側への変形量（抑え量）にばらつきが生じ、各圧力発生室に連
通する複数のノズル開口からインク滴を均一な吐出特性で吐出させることができないとい
う問題がある。
【０００８】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体
を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、液体噴射特性を向上すると共に、複数のノズル開口か
ら液体を均一な液体噴射特性で吐出して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッド
及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の態様は、振動板と、振動板側を駆動部とし、該駆動部とは
反対側を非駆動部とする振動子を備えた振動子ユニットと、前記振動子の前記非駆動部側
を固定し、金属材料からなる固定板と、前記固定板を固定するケースと、該ケースの前記
振動板側の一部を切り欠いて、マニホールドに対応する領域に空間を形成したコンプライ
アンス空間と、を備え、前記コンプライアンス空間と前記振動子ユニットが接合される領
域との間において、前記固定板と前記振動板とが接合されていることを特徴とする液体噴
射ヘッドにある。
かかる態様では、固定板を振動板と接合することによって、振動子ユニットを強固に固
定することができ、振動子の駆動部を駆動して振動板を押圧した反発力によって振動子ユ
ニットが振動板とは反対側に移動したり、傾斜したりするのを抑制することができる。ま
た、固定板によってケースの剛性を向上してケースが変形するのを抑制することができる
。これにより、振動子ユニットによって振動板を所望の圧力で押圧することができ、液体
噴射特性を向上することができる。
【００１１】
ここで、前記ケースと前記振動板とが接合されていることが好ましい。これによれば、
ケースが振動板と接合されることで、固定板をさらに強固に固定できる。
【００１２】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする
液体噴射装置にある。
かかる態様では、印刷品質を向上した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る圧電素子ユニットの斜視図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る圧電素子ユニットの平面図及び断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの比較動作を示す要部断面図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの比較動作を示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの動作を示す断面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１（ａ）は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット
式記録ヘッドの圧力発生室の長手方向の断面図であり、図１（ｂ）は、インクジェット式
記録ヘッドの圧力発生室の短手方向の要部断面図である。また、図２は、インクジェット
式記録ヘッドの平面図である。
【００１５】
図１に示すように、流路形成基板５０はシリコン単結晶基板からなり、その一方面側の
表層部分には、複数の隔壁５１によって画成された圧力発生室５２がその幅方向（短手方
向）に並設されている。また、各圧力発生室５２の長手方向一端部側には、各圧力発生室
５２に液体の一例であるインクを供給するためのマニホールド５３が液体供給路の一例で
あるインク供給路５４を介して連通されている。また、流路形成基板５０の圧力発生室５
２の開口面側は振動板５５で封止され、他方面側にはノズル開口５６が穿設されたノズル
形成部材の一例であるノズルプレート５７が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されて
いる。
【００１６】
流路形成基板５０上に形成された振動板５５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材か
らなる弾性膜５５ａと、この弾性膜５５ａを支持する、例えば、金属材料等からなる支持
板５５ｂとの複合板で形成されており、弾性膜５５ａ側が流路形成基板５０に接合されて
いる。例えば、本実施形態では、弾性膜５５ａは、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェ
ニレンサルファイド）フィルムからなり、支持板５５ｂは、厚さが数十μｍ程度のステン
レス鋼板（ＳＵＳ）からなる。また、振動板５５の各圧力発生室５２に対向する領域内に
は、圧電素子１１の先端部が当接する島部５９が設けられている。すなわち、振動板５５
の各圧力発生室５２の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部６０が形
成され、この薄肉部６０の内側にそれぞれ島部５９が設けられている。本実施形態では、
振動板５５に、島部５９を設けることで、振動板５５に他の領域（薄肉部６０）よりも厚
い厚肉部が設けられている。
【００１７】
また、振動板５５のマニホールド５３に対向する領域には、薄肉部６０と同様に、支持
板５５ｂがエッチングにより除去されて実質的に弾性膜５５ａのみで構成されるコンプラ
イアンス部６１が設けられている。なお、このコンプライアンス部６１は、マニホールド
５３内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部６１の弾性膜５５ａが変形する
ことによって圧力変化を吸収し、マニホールド５３内の圧力を常に一定に保持する役割を
果たす。
【００１８】
振動板５５上には、図示しない複数の液体貯留体の一例であるインクカートリッジに接
続される液体供給路の一例であるインク供給路を有するケース５８が固定されており、こ
のケース５８には、振動子ユニットである圧電素子ユニット１０が高精度に位置決めされ
て固定されている。具体的には、ケース５８には厚さ方向に貫通した収容部５８ａが設け
られており、この収容部５８ａの一方の内面に圧電素子ユニット１０が、各圧電素子１１
の先端が振動板５５上の各圧力発生室５２に対応する領域に設けられた各島部５９（厚肉
部）に接着剤等を介して固定されている。
【００１９】
ここで、圧電素子ユニット１０について詳細に説明する。図３は、本発明の実施形態１
に係る圧電素子ユニットの斜視図であり、図４は、図３の平面図及びそのＡ−Ａ′断面図
である。
【００２０】
図３及び図４に示すように、本実施形態に係る振動子ユニットである圧電素子ユニット
１０は、本実施形態の振動子である複数の圧電素子１１がその幅方向に並設された列１２
を有する圧電素子形成部材１３と、圧電素子形成部材１３の先端部（一端部）側が自由端
１１ａとなるようにその基端部（他端部）側が固定端として接合される固定板７０とを有
する。
【００２１】
圧電素子形成部材１３は、圧電材料層１５と、圧電素子１１の２つの極を構成する内部
電極、すなわち、隣接する圧電素子１１と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部
電極１６と、隣接する圧電素子１１と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極
１７とを交互に挟んで積層することにより形成されている。
【００２２】
この圧電素子形成部材１３には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット１８
が形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電素子１１の列１２が形成されて
いる。なお、圧電素子１１の列１２の両外側には、各圧電素子１１よりも広い幅を有する
位置決め部１９が設けられている。この位置決め部１９は、圧電素子ユニット１０をイン
クジェット式記録ヘッドＩに組み込む際に、圧電素子ユニット１０を高精度に位置決めす
るために設けられている。
【００２３】
ここで、各圧電素子１１の個別電極となる個別内部電極１６は、基本的には圧電素子形
成部材１３の略全面に亘って設けられているが、固定板７０に固定された領域の近傍で先
端部側と基端部側とに分離して設けられている。一方、共通電極となる共通内部電極１７
も基本的に圧電素子形成部材１３の略全面に亘って設けられているが、個別内部電極１６
と同様に、圧電素子１１の先端部近傍で分離されている。すなわち、圧電素子１１の固定
板７０に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電素子１１を
構成する個別内部電極１６及び共通内部電極１７間に電圧を印加すると、固定板７０に接
合されていない先端部側の領域のみが振動する。本実施形態では、上述したように圧電素
子１１の固定板７０に固定された基端を固定端１１ｂと言い、圧電素子１１の振動する先
端を自由端１１ａと言っている。そして、圧電素子１１の自由端１１ａの端面が、振動板
５５の島部（厚肉部）５９に接着剤等を介して固定される。すなわち、本実施形態では、
圧電素子１１の島部５９に接着される自由端１１ａ側を駆動部と言い、固定板７０に固定
された固定端１１ｂ側を非駆動部と言う。そして、上述のように駆動部である自由端１１
ａが振動板５５側となっており、非駆動部である固定端１１ｂが振動板５５とは反対側と
なっている。
【００２４】
また、圧電素子形成部材１３の外表面には、個別内部電極１６及び共通内部電極１７と
接続される外部電極２０が形成されている。また、圧電素子形成部材１３の少なくとも圧
電素子１１の列１２に対応する領域の基端部側には、外部電極２０が存在しない電極非形
成部２１が存在する。
【００２５】
そして、複数のスリット１８は、この電極非形成部２１に対向する領域に達する長さで
形成され、外部電極２０が、このスリット１８及び電極非形成部２１によって分離され、
隣接する圧電素子１１と電気的に独立する個別外部電極２２と、隣接する圧電素子１１と
電気的に共通する共通外部電極２３とを構成する。
【００２６】
具体的には、外部電極２０は、本実施形態では、各圧電素子１１に対向する部分と位置
決め部１９に対向する部分とに分離され、各圧電素子１１に対向する領域の外部電極２０
が、圧電素子形成部材１３の先端部で圧電素子１１の個別電極を構成する個別内部電極１
６と電気的に接続される個別外部電極２２を構成している。一方、圧電素子１１の列１２
の両側に設けられた位置決め部１９上の外部電極２０が、圧電素子形成部材１３の基端部
側の端面で各圧電素子１１の共通電極を構成する共通内部電極１７と接続される共通外部
電極２３を構成している。
【００２７】
すなわち、本実施形態の圧電素子ユニット１０では、圧電素子形成部材１３の固定板７
０に接合された部分の反対側の面に、個別外部電極２２が並設されると共に、個別外部電
極２２の並設方向両側で位置決め部１９に対向する領域に共通外部電極２３が存在する。
これにより、圧電素子ユニット１０と後述する回路基板３０とを比較的容易に接続するこ
とができ、且つ圧電素子ユニット１０の小型化を図ることができる。
【００２８】
一方、固定板７０は、金属材料、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等からなり、断面が
矩形状の板形状を有し、圧電素子形成部材１３が一方面に固定される本体部７１と、本体
部７１の圧電素子形成部材１３が固定される面と交差する面から延設された延設部７２と
を有する。
【００２９】
固定板７０の本体部７１は、一方面に圧電素子形成部材１３が固定されると共に、圧電
素子形成部材１３が固定される面とは反対側の面が後述するケース５８の収容部５８ａの
内面に固定される。
【００３０】
また、延設部７２は、図１に示すように固定板７０が収容部５８ａに固定された際に、
振動板５５側となる端面から突出して設けられている。すなわち、延設部７２は、圧電素
子形成部材１３が本体部７１からの突出方向と同じ方向に突出するように延設されている
。また、延設部７２は、圧電素子形成部材１３側に切り欠き部７３が設けられるように、
圧電素子形成部材１３の本体部７１から突出した先端部と同じ突出量で設けられている。
このように、延設部７２を切り欠き部７３によって圧電素子形成部材１３と離反させるこ
とで、この延設部７２によって形成された切り欠き部７３に相対向する圧電素子形成部材
１３の先端部側が、固定板７０に固定されない自由端１１ａとなっている。
【００３１】
また、固定板７０の延設部７２には、自由端１１ａ側の先端面が振動板５５に接合され
た際に、振動板５５に設けられたコンプライアンス部６１に相対向して、後述するコンプ
ライアンス空間６３の一部を構成する第１凹部７４が設けられている。
【００３２】
このような圧電素子形成部材１３及び固定板７０からなる圧電素子ユニット１０は、図
１に示すように、固定板７０の圧電素子形成部材１３が固定された面とは反対側の面が、
ケース５８の収容部５８ａの内面に固定される。
【００３３】
ここで、ケース５８には、矩形状の開口を有し、貫通した孔形状を有する収容部５８ａ
が設けられており、収容部５８ａのマニホールド５３側の内面に固定板７０が固定されて
いる。
【００３４】
また、ケース５８と固定板７０とには、コンプライアンス部６１に対向する領域に開口
する凹形状を有する第２凹部６２が設けられている。この第２凹部６２は、固定板７０に
設けられた第１凹部７４と共に、コンプライアンス空間６３を構成している。このコンプ
ライアンス空間６３によって、振動板５５に設けられたコンプライアンス部６１は変形可
能に保持される。
【００３５】
すなわち、本実施形態のケース５８の収容部５８ａは、コンプライアンス部６１に相対
向する領域にマニホールド５３側の内面が配置される大きさで設けられており、この収容
部５８ａのコンプライアンス部６１側の内面に固定板７０の圧電素子形成部材１３とは反
対側の面が固定される。
【００３６】
また、コンプライアンス空間６３をケース５８と固定板７０とに亘って設けることで、
コンプライアンス空間６３と収容部５８ａとの間において、振動板５５と固定板７０の延
設部７２の先端面とが接合されている。
【００３７】
このように、固定板７０に延設部７２を設け、延設部７２を振動板５５に接合すること
で、圧電素子１１の駆動による振動板５５の反発力による移動を抑える耐久性を向上する
と共に、ケース５８の剛性を向上することができる。したがって、詳しくは後述するが、
圧電素子１１を駆動した際に振動板５５を押圧する反発力によって圧電素子１１が振動板
５５とは反対側に移動することや、傾斜しようとするのを抑制して、インク吐出特性の低
下を抑制することができると共に、複数のノズル開口５６からインク滴を均一なインク吐
出特性で吐出させることができる。
【００３８】
なお、ケース５８は、樹脂材料によって形成されている。また、ケース５８は、成形す
ることで、低コストで製造することができると共に、容易に量産することができる。
【００３９】
さらに、ケース５８上には、回路基板３０の各配線３１がそれぞれ接続される複数の導
電パッド３２が設けられた配線基板３３が固定されており、ケース５８の収容部５８ａは
、この配線基板３３によって実質的に塞がれている。配線基板３３には、ケース５８の収
容部５８ａに対向する領域にスリット状の開口部３４が形成されており、回路基板３０は
この配線基板３３の開口部３４から収容部５８ａの外側に折り曲げられて引き出されてい
る。
【００４０】
ここで、圧電素子ユニット１０を構成する回路基板３０は、例えば、本実施形態では、
圧電素子１１を駆動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載されたチップオンフィルム（
ＣＯＦ）からなる。そして、回路基板３０の各配線３１は、その基端部側では、例えば、
半田、異方性導電材等によって圧電素子１１を構成する電極１６，１７に外部電極２０（
個別外部電極２２及び共通外部電極２３）を介して接続されている。一方、先端部側では
、各配線３１は配線基板３３の各導電パッド３２に接合されている。具体的には、配線基
板３３の開口部３４から収容部５８ａの外側に引き出された回路基板３０の先端部が配線
基板３３の表面に沿って折り曲げられた状態で、各配線３１は配線基板３３の各導電パッ
ド３２に接合されている。
【００４１】
なお、このようなインクジェット式記録ヘッドＩでは、インク滴を吐出する際に、圧電
素子１１及び振動板５５の変形によって各圧力発生室５２の容積を変化させて所定のノズ
ル開口５６からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインク
カートリッジからマニホールド５３にインクが供給されると、インク供給路５４を介して
各圧力発生室５２にインクが分配される。実際には、圧電素子１１に電圧を印加すること
により圧電素子１１を収縮させる。これにより、振動板５５が圧電素子１１と共に変形さ
れて圧力発生室５２の容積が広げられ、圧力発生室５２内にインクが引き込まれる。そし
て、ノズル開口５６に至るまで内部にインクを満たした後、配線基板３３を介して供給さ
れる記録信号に従い、圧電素子１１の電極１６，１７に印加していた電圧を解除する。こ
れにより、圧電素子１１が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板５５も変位して元の状
態に戻る。結果として圧力発生室５２の容積が収縮して圧力発生室５２内の圧力が高まり
ノズル開口５６からインク滴が吐出される。
【００４２】
このように圧電素子１１の伸張によって振動板５５を押圧した際に、図５に示すように
、振動板５５による反発力によって、圧電素子ユニット１０は振動板５５とは反対側に移
動しようとする。このとき、図６に示すように、固定板７０に延設部７２を設けずに、固
定板７０と振動板５５とを接合していない場合には、固定板７０を含むケース５８の剛性
が低く、ケース５８が変形して圧電素子ユニット１０が振動板５５とは反対方向に浮き上
がるように移動してしまう。また、ケース５８の剛性が低いと、ケース５８のコンプライ
アンス空間６３と収容部５８ａとの間の振動板５５と接合された領域を軸として回転方向
に傾いてしまう。圧電素子ユニット１０が振動板５５とは反対側に移動したり、傾いてし
まうと、圧電素子ユニット１０で振動板５５を所望の圧力で押圧することができず、イン
ク吐出特性が低下してしまう。
【００４３】
また、図５に示すように、ケース５８の収容部５８ａは、貫通した孔形状を有するため
、圧電素子１１の並設方向の両端部側は側壁が近いことから剛性が高く、逆に圧電素子１
１の並設方向の中央部は側壁から遠いことから剛性が低い。したがって、圧電素子１１の
並設方向において、ケース５８の中央部は、両端部側に比べて圧電素子ユニット１０が振
動板５５とは反対側に移動しようとする力を抑える力が弱く、圧電素子ユニット１０の中
央部は両端部側に比べて移動量や傾き量が大きくなる。このように圧電素子１１の並設方
向において、圧電素子ユニット１０の移動量や傾き量が異なると、複数の圧電素子１１が
振動板５５を押圧する押圧力にばらつきが生じ、複数のノズル開口５６から均一なインク
吐出特性でインクを吐出することができない。なお、図５及び図６は、比較のため固定板
に延設部を設けずに、固定板を振動板と接合していない記録ヘッドの比較動作を示す断面
図であり、図７は、本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの動作を示す図である。
【００４４】
これに対して、本実施形態では、図７に示すように、固定板７０に延設部７２を設け、
延設部７２を振動板５５と接合するようにしたため、固定板７０によって圧電素子ユニッ
ト１０の移動及び傾きを抑える耐久力が向上すると共にケース５８の剛性が向上し、圧電
素子１１の駆動による反発力によって圧電素子ユニット１０が振動板５５とは反対側に移
動したり、傾斜したりするのを抑制することができる。したがって、圧電素子ユニット１
０の移動や傾斜を抑制して、インク吐出特性が低下するのを抑制することができる。
【００４５】
また、延設部７２が設けられた固定板７０は、圧電素子１１の並設方向に亘って設けら
れているため、ケース５８の圧電素子１１の並設方向における剛性を均一化するように補
強することができる。これにより、ケース５８の圧電素子１１の並設方向における変形量
を均一化して、圧電素子ユニット１０の振動板５５とは反対側への移動量や傾斜量を均一
化することができ、複数のノズル開口５６から均一なインク吐出特性でインクを吐出する
ことができる。
【００４６】
また、本実施形態では、固定板７０を、圧電素子１１の浮き上がりに最も影響がでる領
域であるコンプライアンス空間６３と収容部５８ａとの間に延設して、延設した延設部７
２を振動板５５と接合することで、圧電素子１１の振動板５５とは反対側への移動を効率
よく抑制することができる。すなわち、図６に示すように、ケース５８のコンプライアン
ス空間６３と収容部５８ａとの間の振動板５５に接合される領域は狭く、特にこの部分の
剛性が低いことから、ケース５８は、圧電素子ユニット１０が振動板５５とは反対側への
移動や傾斜を抑えることができないが、本実施形態では、図７に示すように、固定板７０
をコンプライアンス空間６３と収容部５８ａとの間で振動板５５と接合することで、この
領域の接合面積が狭くても、圧電素子ユニット１０の移動及び傾きに対する耐久力を向上
して、圧電素子ユニット１０の移動及び傾きを抑制することができる。
【００４７】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態１について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに
限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、固定板７０にコンプライア
ンス空間６３を構成する第１凹部７４を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例
えば、コンプライアンス空間６３は、ケース５８に設けられた第２凹部６２のみで構成し
てもよい。
【００４８】
また、例えば、上述した実施形態１では、圧電材料層１５と電極（個別内部電極１６，
共通内部電極１７）とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子１１に
ついて説明したが、圧電材料層１５と電極１６，１７とを交互に積層させて積層方向の一
端部を島部５９に当接させる横振動型の圧電素子を用いるようにしてもよい。
【００４９】
なお、上述した実施形態１のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と
連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式
記録装置に搭載される。図８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図であ
る。
【００５０】
図８に示すように、インクジェット式記録装置ＩＩは、インクジェット式記録ヘッドＩ
を有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを具備する。記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂ
は、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記
録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられた
キャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１
Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものと
している。
【００５１】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を
介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキ
ャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５
に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙
等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになって
いる。
【００５２】
なお、上述した実施形態１においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式
記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたもので
あり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その
他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の
記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド
、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電
極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ
る。
【００５３】
また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置ＩＩを挙げて説明したが、
上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。
【符号の説明】
【００５４】
Ｉ  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ＩＩ  インクジェット式記録
装置（液体噴射装置）、  １０  圧電素子ユニット（振動子ユニット）、  １１  圧電素
子（振動子）、  １１ａ  自由端、  １１ｂ  固定端、  １３  圧電素子形成部材、  １
６  個別内部電極、  １７  共通内部電極、  １８  スリット、  １９  位置決め部、  
２２  個別外部電極、  ２３  共通外部電極、  ３０  回路基板、  ３１  配線、  ３２
導電パッド、  ３３  配線基板、  ５０  流路形成基板、  ５２  圧力発生室、  ５５
振動板、  ５６  ノズル開口、  ５８  ケース、  ５９  島部（厚肉部）、  ６０  薄
肉部、  ６１  コンプライアンス部、  ６３  コンプライアンス空間、  ７０  固定板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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