(57)【要約】【課題】本発明は、冷却する構造が簡略化されたウエハ研磨装置を提供することを目的とする。【解決手段】  研磨パッド２が貼着された回転可能な研磨テーブル１と、被研磨体８を保持し、前記研磨テーブル１に被研磨体８を前記研磨パッド２に接触させると共に回転可能な被研磨体保持機構４と、前記被研磨体保持機構４の回転により前記研磨パッド２の露出面に対して気流Ｆを発生する羽根板を含む気流発生機構１０と、前記研磨パッド２に研磨剤２１を供給する研磨剤供給機構２０とを備えることを特徴とする研磨装置。【選択図】図１
2011062782.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨パッドが貼着された回転可能な研磨テーブルと、
被研磨体を保持し、前記研磨テーブルに前記被研磨体を前記研磨パッドに接触させると共に回転可能な被研磨体保持機構と、
前記被研磨体保持機構の回転により前記研磨パッドの露出面に対して気流を発生する羽根板を含む気流発生機構と、
前記研磨パッドに研磨剤を供給する研磨剤供給機構と
を備えることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記気流発生機構の前記羽根板は、前記被研磨体保持機構の側面に取り付けられている
ことを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項３】
前記被研磨体保持機構は、回転軸と前記回転軸の先端部に接続された研磨ヘッド本体とを備え、
前記羽根板は、前記研磨ヘッド本体の側面に取り付けられていることを特徴とする請求項２記載の研磨装置。
【請求項４】
前記気流発生機構は、前記研磨テーブル上で前記被研磨体保持機構と異なる位置に設置され、側面に前記羽根板が取り付けられた気流発生回転軸と、前記被研磨体保持機構の回転を前記気流発生回転軸に伝達する回転伝達機構とを備えることを特徴とする請求項１記載のウエハ研磨装置。
【請求項５】
前記回転伝達機構は、前記被研磨体保持機構の前記回転軸に設けられた第１のギアと
前記気流発生回転軸に設けられた第２のギアとを備え、前記第１のギアと前記第２のギアが連結されていることを特徴とする請求項４記載のウエハ研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法において被研磨体の表面を研磨するために用いる研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体ウエハの表面を平坦化する方法として、化学的機械的研磨（Chemical Mechanical Polishing；以下では「ＣＭＰ」という）が用いられている。
【０００３】
ここで用いられているＣＭＰプロセスとは、ウエハを保持した研磨ヘッド本体と研磨パッドを貼り付けたターンテーブルの両者を回転させ、アルミナやコロイダルシリカ等の砥粒を含むスラリー（研磨剤）を研磨パッドに供給しながら、ウエハ研磨面を研磨パッドに一定の力で押し付けることにより、ウエハの表面を平坦化かつ、鏡面状に研磨するものである。
【０００４】
このとき、研磨パッドの研磨層は、一般的にポリウレタン等の樹脂で形成されているため、研磨面中にウエハ研磨面と研磨パッドの研磨層との摩擦熱やウエハ研磨面を研磨するときに発生する化学反応の反応熱により研磨層の表面温度が上昇する。その結果、この表面温度上昇によりウエハの研磨レートが低下する問題が生じる。
【０００５】
上記の観点から、研磨層の温度上昇を防ぐための手法として、例えば、吹出ノズルなどの流体吹出機構から流体を吹出してウエハ研磨装置を構成する研磨パッド上にあてることにより研磨パッド表面の冷却をする方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
しかしながら、従来の冷却方法では、研磨に必要な装置（ウエハ研磨装置）とは別に流体を吹出しする流体吹出機構と流体吹出機構を制御する制御機構とこれらの機構を駆動する動力源を備えなければならず、研磨パッド表面を冷却する構造が複雑になるという問題がある。このため、研磨層の温度上昇を防止するための簡略な冷却機構が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−１８１９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従って、本発明は、冷却する構造が簡略化された研磨装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の一態様の研磨装置は、研磨パッドが貼着された回転可能な研磨テーブルと、被研磨体を保持し、前記研磨パッドに前記被研磨体を接触させると共に回転可能な被研磨体保持機構と、前記被研磨体保持機構の回転により前記研磨パッドの露出面に対して気流を発生する羽根板を含む気流発生機構と、前記研磨パッドに研磨剤を供給する研磨剤供給機構とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、冷却する構造が簡略化されたウエハ研磨装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態におけるウエハ研磨装置の概観を示す斜視図。
【図２】本発明の第１の実施形態におけるウエハ研磨装置の概観を示す側面図。
【図３】本発明の第１の実施形態におけるウエハ研磨装置の気流発生機構を説明するための上面図。
【図４】本発明の第１の実施形態におけるウエハ研磨装置の気流発生機構を説明するための側面図。
【図５】本発明の第１の実施形態におけるウエハ研磨装置の研磨時に生じる気流を示す模式図。
【図６】本発明の第２の実施形態におけるウエハ研磨装置の概観を示す側面図。
【図７】本発明の第２の実施形態におけるウエハ研磨装置の概観を示す上面図。
【図８】本発明の第３の実施形態におけるウエハ研磨装置の概観を示す側面図。
【図９】本発明の各実施形態におけるウエハ研磨装置の気流発生機構の変形例を説明するための側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００１３】
（第１の実施形態）
第１の実施形態は、本発明をウエハ研磨装置に適用したものであり、図１乃至図４を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施形態におけるウエハ研磨装置の概観を示す斜視図であり、図２はウエハ研磨装置の概観を示す側面図であり、図３はウエハ研磨装置における気流発生機構を説明するための上面図であり、図４はウエハ研磨装置の気流発生機構を説明するための側面図である。
【００１４】
図１及び図２に示すように、本実施形態のウエハ研磨装置は、研磨パッドが貼着された回転可能な研磨テーブルと、被研磨体を保持し、研磨パッドに被研磨体を接触させると共に回転可能な被研磨体保持機構と、被研磨体保持機構の回転により研磨パッドの露出面に対して気流を発生する羽根板を含む気流発生機構と、研磨パッドに研磨剤を供給する研磨剤供給機構とで主に構成されている。
【００１５】
研磨テーブル（以下、ターンテーブルという）１は、上面に研磨パッド２が貼り付けられて研磨面が形成されている。このターンテーブル１は、ターンテーブル回転軸３に接続されたモータ等の駆動機構（図示略）により矢印Ｒ１方向に回転可能に設けられている。
【００１６】
被研磨体保持機構４は、ターンテーブル１の上方に設置された研磨ヘッド本体５を備えている。研磨ヘッド本体５は、研磨ヘッド回転軸（被研磨体保持回転軸ともいう）６の下端に枢着され、被研磨体であるウエハを保持し、ウエハを研磨パッド２に押圧して接触させるためのもので、駆動機構（図示略）により上下方向に移動可能に設けられ、また研磨ヘッド回転軸６を中心として矢印Ｒ２方向に回転可能に設けられている。
【００１７】
また、研磨ヘッド本体５の下面には、図２に示すように、ウエハ８が保持される。また、研磨ヘッド本体５の下面の外周部には、図２のように、リテーナリング７が着脱可能に装着されている。このリテーナリング７は、研磨ヘッド本体５の下面からウエハ８が飛び出すのを防止するために設けられている。
【００１８】
気流発生機構１０は、研磨ヘッド本体５の回転により研磨パッド２の表面（露出面）を冷却するための気流を発生させるためのものであり、この実施形態では、複数枚、例えば１６枚の羽根板で構成されている。羽根板１０の各々は、研磨ヘッド本体５の側面（外周面）に取り付けられ、研磨ヘッド本体５の径外方向に突出した形状を有している。
【００１９】
図３及び図４は、羽根板１０を説明するためのもので、図３は研磨ヘッド本体に取り付けられた羽根板を上面から眺めた上面図で、図4は研磨ヘッド本体に取り付けられた羽根板を側面から眺めた側面図で、図４は同状態における１枚の羽根板について要部を拡大して模式的に示している。
【００２０】
羽根板１０の各々は、上面から眺めた場合、図３に示すように、矩形状で、且つ側面から眺めた場合、図４に示すように、一様な肉厚の平板形状を有している。研磨ヘッド本体５の回転中に研磨ヘッド本体５から見た羽根板１０に向う気流に対して迎角を持つようにこの羽根板１０は設けられている。
【００２１】
また、羽根板１０の各々は、図４に示すように、研磨ヘッド回転軸６の回転方向Ｒ２に対して前側を前側端面部１０ａとし、後側を後側端面部１０ｂと定めると、前側端面部１０ａの研磨ヘッド本体５の底面５ａからの高さｔａが後側端面部１０ｂの研磨ヘッド本体の底面５ａからの高さｔｂよりも高くなるように傾斜、即ち研磨ヘッド回転軸６に対して前側端面部５ａが上方となるに右肩上がりに傾斜されて取り付けられている。
【００２２】
研磨剤供給機構（以下、スラリー供給機構という）２０は、研磨パッド２とウエハ８との間に研磨剤（以下、スラリーという）２１を供給するためのもので、ノズル（以下、スラリー供給ノズルという）を有し、供給されたスラリー２１はターンテーブル１の回転により研磨パッド２とウエハ８との接触面に取り込まれる。
【００２３】
次に、上記構成のウエハ研磨装置によってウエハを研磨するときの研磨パッド表面の冷却方法について、図１、図２及び図３を用いて説明する。
【００２４】
図２に示すように、ウエハ８が保持された研磨ヘッド本体５をターンテーブル１上方の研磨位置まで移動させる。そして、研磨ヘッド回転軸６を中心に駆動機構により矢印Ｒ２方向に回転させると共に、ターンテーブル１をターンテーブル回転軸３を中心に駆動機構により矢印Ｒ１方向に回転させる。
【００２５】
次に、スラリー供給ノズル２０からスラリー２１を研磨パッド２上に供給しながら、研磨ヘッド本体５を下降させて、研磨ヘッド本体５の下面に保持されたウエハ８の被研磨面を押圧機構（図示略）で研磨パッド２に押圧接触させる。これによりウエハ８の被研磨面と研磨パッド２の相対運動で、ウエハ８の被研磨面を研磨する。この際、ウエハ８表面と研磨パッド２との摩擦熱、及びウエハ８表面とスラリー２１との化学反応熱により、研磨パッド２表面の温度が上昇する。
【００２６】
ウエハ８の研磨中、研磨ヘッド本体５の回転に伴い、研磨ヘッド本体５の側面に取り付けられている羽根板１０も同様に研磨ヘッド回転軸６を中心として回転する。
【００２７】
図５は本発明の第１の実施形態におけるウエハ研磨装置のウエハ研磨時に生じる気流を示す模式図である。図５に示すように、ウエハ８の研磨時、羽根板１０の回転により研磨ヘッド本体５から研磨パッド２の表面に向かう気流Ｆが発生する。
【００２８】
その結果、この気流Ｆにより、空気が研磨パッド２の表面に直接あたるため研磨パッド２の表面が冷却される。これは、研磨パッド２の表面と空気の熱交換、及び研磨パッド２上に存在するスリラー２１に含まれる水分の気化による気化熱によるものである。
【００２９】
上記の本実施形態のウエハ研磨装置においては、羽根板１０を研磨ヘッド本体５の側面に取り付けることにより、研磨ヘッド本体５の回転を利用して、研磨ヘッド本体５から研磨パッド２の表面に向かう気流Ｆを発生させ、研磨パッド２の表面を冷却している。従って、研磨に必要な装置とは別に冷却するための特別な流体吹出機構、制御機構、及び動力機構等を設ける必要がなく、研磨パッド２の表面を冷却する構造が簡略化されたウエハ研磨装置を提供することができる。
【００３０】
また、研磨ヘッド本体５の回転により気流Ｆが発生しているため、省電力である。
【００３１】
また、羽根板１０は、研磨ヘッド回転軸６の回転方向Ｒ２に対して羽根板１０の前側端面部１０ａの研磨ヘッド本体の底面５ａからの高さｔａが後側端面部１０ｂの研磨ヘッド本体の底面５ａからの高さｔｂよりも高くなるように傾斜（右肩上がりの傾斜）させている。そのため、研磨ヘッド本体５から研磨パッド２の表面に向かう気流Ｆを発生させることができ、研磨パッド２表面に気流Ｆによる空気を直接あてることができ、研磨パッド２の表面全体を効果的に冷却することができる。
【００３２】
本実施形態のウエハ研磨装置おいては、ウエハ８の被研磨面全面が研磨パッド２に押圧接触されているため、気流Ｆがウエハ８の被研磨面に直接当たることは無い。従って、以下のような問題が生じない。
【００３３】
即ち、ウエハ８に気流Ｆによる空気を直接あてると、ウエハ８を研磨しているスリラー２１に含まれる水分が蒸発する。これにより、ウエハ８にスラリー２１の水分が蒸発した固形物（以下、ウォーターマークという）が付着することになり、例えば、金属配線の上にウォーターマークが付着することにより金属配線の上にコンタクトを取ることができない等、ウエハに異常をきたすことになる。
【００３４】
また、ウエハ８と気流Ｆによる空気の間において生じる静電気により、ウエハ８に組み込まれた金属配線が腐食する可能性もある。
【００３５】
これに対して、本実施形態では、ウエハ８に気流Ｆによる空気が直接あたらないため、上記のような、ウォーターマークによるウエハの異常や金属配線が腐食する問題等の恐れがない。
【００３６】
また、羽根板１０を研磨ヘッド本体５の側面に複数枚設けているので、研磨パッド２の表面にあたる空気の風量が、羽根板１０が一枚の場合に比べて、増える。このため、研磨パッド２の表面をより冷却することができる。
【００３７】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について図６及び図７を参照して説明する。図６は本発明の第２の実施形態におけるウエハ研磨装置の概観を示す側面図である。また、図７は本発明の第２の実施形態におけるウエハ研磨装置の概観を示す上面図である。
【００３８】
本発明の第２の実施形態におけるウエハ研磨装置の気流発生機構は、第１の実施形態におけるウエハ研磨装置では、羽根板１０で構成されているのに対して、羽根板１０と整流体１１とで構成されている点で異なり、その他の構成部分については、同一構成を有している。従って、以下の説明においては、第１の実施形態と同様の構成部分については、同一の符号を付して詳細説明を省略し、異なる構成部分について説明する。
【００３９】
図６及び図７に示すように、本実施形態におけるウエハ研磨装置では、気流発生機構３０は、研磨ヘッド本体５の側面に取り付けられた羽根板１０と、羽根板１０の外側に配置され、研磨ヘッド本体５の側面及び羽根板１０を囲う整流体１１とで構成される。
【００４０】
この整流体１１は羽根板１０の回転により発生する気流Ｆを整流し、研磨ヘッド本体５の径外方向に気流Ｆが拡散することを防止するためのものである。
【００４１】
本実施形態では、この整流体１１は、研磨ヘッド本体５の中心から羽根板５の先端までの長さを半径とする円筒状に形成され、羽根板１０の先端部において、羽根板１０の各々を内挿するように嵌挿されて固定又は着脱可能に接続されている。
【００４２】
上記の第２の実施形態のウエハ研磨装置では、円筒状の整流体１１で羽根板１０の先端部において羽根板１０を取り囲み、羽根板１０の回転により発生する気流Ｆを整流している。これにより、研磨ヘッド本体５の径外方向に気流Ｆが拡散しないため、研磨パッド２の表面に向かう空気の風量を第１の実施形態に比べて、増加させることができる。また、研磨パッド２の表面のうち研磨ヘッド本体５の外周付近に空気をあてることができる。その結果、ウエハを研磨パッド２に接触させ研磨した直後に、接触研磨した部分を冷却することができる。これにより、研磨パッド２の表面を効率的に冷却することができる。
【００４３】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について図８を参照して説明する。図８は本発明の第３の実施形態におけるウエハ研磨装置の概観を示す側面図である。本発明の第３の実施形態におけるウエハ研磨装置の気流発生機構４０は、第１の実施形態におけるウエハ研磨装置では、羽根板１０で構成されているのに対して、回転伝達機構４１、気流発生回転軸４５、及び羽根板１０とで構成されている点で異なり、その他の構成部分については、同一構成を有している。従って、以下の説明においては、第１の実施形態と同様の構成部分については、同一符号を付して詳細説明を省略し、異なる構成部分について説明する。
【００４４】
図８に示すように、本実施形態におけるウエハ研磨装置では、回転伝達機構４１は、研磨ヘッド本体１の回転駆動を気流発生回転軸４５に伝達するためのもので、研磨ヘッド回転軸６に取り付けられた第１のギア４２と、この第１のギア４２に連結された第３のギア４３と、この第３のギア４３に連結された第２のギア４４により構成される。なお、第１のギアを研磨ヘッド本体５に取り付けてもよい。
【００４５】
気流気体発生回転軸４５は、研磨ヘッド本体５における研磨ヘッド回転軸６とは別個に設置されている。この気流発生回転軸４５は、ターンテーブル１の上方で、研磨ヘッド本体５とは異なる位置に設置されている。また、この気流発生回転軸４５は、第２のギア４４に取り付けられて研磨ヘッド回転軸６の回転、即ち研磨ヘッド本体５の回転に伴って回転される。
【００４６】
気流発生回転軸４５は、研磨ヘッド回転軸６の直径よりも小さな直径に形成することが好ましい。これは、例えば回転伝達機構４１がギアの場合には、歯数が回転軸の直径の大きさに依存するため、研磨ヘッド回転軸６に取り付けられた第１のギア４２の歯数を気流発生回転軸４５に取り付けられた第２のギア４４の歯数よりも多くし、気流発生回転軸４５の回転数を研磨ヘッド回転軸６の回転数よりも多くする。
【００４７】
羽根板１０は、気流発生回転軸４５の側面に取り付けられている。羽根板１０の形状、枚数、材料及び向きについては、第１の実施形態と同様のため、説明を省略する。
【００４８】
上記構成のウエハ研磨装置においては、ウエハの研磨時、研磨ヘッド本体５が研磨ヘッド回転軸６を中心として回転すると、研磨ヘッド回転軸６の回転により回転伝達機構４１（第１のギア４２、第３のギア４３及び第２のギア４４）を介して気流発生回転軸４５が回転する。その結果、気流発生回転軸４５の側面に取り付けられている羽根板１０も回転する。
【００４９】
これにより、図８に示すように、羽根板１０の回転によって気流発生回転軸４５から研磨パッド２の表面に向かう気流Ｆが発生する。その結果、発生した気流Ｆによる空気が研磨パッド２の表面に直接あたるため、研磨パッド２の表面が冷却される。
【００５０】
上記した第３の本実施形態のウエハ研磨装置では、研磨ヘッド回転軸６の回転が回転伝達機構４１を介して気流発生回転軸４５に伝達され、気流発生回転軸４５が回転される。その結果、気流発生回転軸４５の側面に取り付けられた羽根板１０により研磨パッド２の表面に向かう気流Ｆが発生し、研磨パッド２の表面が冷却される。従って、特別な動力機構等を設ける必要がなく、省電力で、研磨パッド２の表面を冷却する構造が簡略化されたウエハ研磨装置を提供することができる。
【００５１】
第３の実施形態のウエハ研磨装置では、気流発生回転軸４５は、ターンテーブル１の上方で、研磨ヘッド本体５とは異なる位置に設置されている。その結果、ウエハを研磨パッド２に接触させ研磨した直後にターンテーブル１の回転により露出した研磨パッド２を冷却することができる。これにより、研磨パッド２の表面を効率的に冷却することができる。
【００５２】
また、気流発生回転軸４５の直径を研磨ヘッド回転軸６の直径よりも小さくし、研磨ヘッド回転軸６の回転数よりも気流発生回転軸４５の回転数を多くしている。その結果、気流発生回転軸４５の回転数に比例して羽根板１０の回転により発生する気流Ｆの風量が大きくなるため、研磨パッド２表面の冷却効率をより向上ができる。
【００５３】
なお、上記の第３の実施形態において、第２の実施形態のように、羽根板１０の外側に配置され、気流発生回転軸４５の側面及び羽根板１０を囲う整流体１１を設けてもよい。この場合には、気流Ｆが整流体１１により整流される。その結果、研磨ヘッド本体５の径外方向に気流Ｆが拡散しないため、研磨パッド２表面に向かう空気の量を増すことができ、冷却効率をより向上させることができる。
【００５４】
また、上記第３の実施形態においては、気流発生機構４０を複数、設置してもよい。この場合、研磨ヘッド回転軸６に第１のギア４２と複数の気流発生回転軸４５の第２のギア４４の各々とを別個の第３のギア４３により連結し、研磨ヘッド回転軸６の回転により複数の気流発生回転軸４５をそれぞれ回転させるようにする。また、研磨ヘッド回転軸６に複数の第１のギア４２を設け、複数の気流発生回転軸４５の第２のギア４４の各々を複数の第３のギア４３それぞれを介して連結し、研磨ヘッド回転軸６の回転により複数の気流発生回転軸４５をそれぞれ回転させるようにする。さらに、複数の第３のギア４３を用意し、研磨ヘッド回転軸６の第１のギア４２と例えば第１の気流発生回転軸４５の第２のギア４４とを、例えば第３のギア４３ａにより連結し、第１の気流発生回転軸４５の第２のギア４４と第２の気流発生回転軸４５の第２のギア４４とを第３のギア４３ｂにより連結し、更に、第２の気流発生回転軸４５の第２のギア４４と第３の気流発生回転軸４５の第２のギア４４とを第３のギア４３ｃにより連結し、研磨ヘッド回転軸６の回転により第１の気流発生回転軸４５を回転させ、第１の気流発生回転軸４５の回転により第２の気流発生回転軸４５を回転させ、第２の気流発生回転軸４５の回転により第３の気体発生回転軸４５を回転させるようにしてもよい。
【００５５】
このように気流発生機構４０を複数設置することにより、気流発生機構が１個の場合に比べて、さらに冷却効率を向上させることができる。
【００５６】
さらに、上記第３の実施形態においては、複数の第１のギア４２と複数の第２のギア４４を連結する第３のギア４３ａ，４３ｂ，４３ｃを用いたが、それぞれを所定の長さを有する第１のピニオン、第２のピニオン、第３のピニオンに変更してもよい。
【００５７】
また、第３の実施形態においては、回転伝達機構４１は、第１乃至第３のギア４２、４４、４３を用いたが、チェーン機構やベルト機構を用いてもよい。例えば、チェーン機構の場合には、スプロケットとチェーンを、またベルト機構の場合には、プーリとベルトを用いればよい。この場合にも、上記第３の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５８】
なお、本発明は、上記した第１乃至第３の実施形態及びその変形例にのみ限定されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更が可能である。
【００５９】
例えば、第２の実施形態と第３の実施形態では、整流体１１は、羽根板１０の外側に配置され、研磨ヘッド本体５（又は、気流発生回転軸４５）の側面及び羽根板１０を囲う構造としたが、羽根板１０の先端部において隣接する羽根板１０間に配置された構造としてもよい。
【００６０】
また、各実施形態では、羽根板１０は、上面から眺めた場合、矩形状で、且つ側面から眺めた場合、一様な肉厚の平板形状を有する構造としたが、研磨ヘッド本体５、又は気流発生回転軸４５の回転により気流が生じる形状であればよく、形状は問わない。例えば、側面から眺めた場合、一様な肉厚の平板を湾曲した形状でもよく、羽根板１０の先端部をねじり下げたプロペラ形状でもかまわない。又は、図９に示すように、側面から眺めた場合、三角形状を有する構造であってもよい。
【００６１】
また、各実施形態では、羽根板１０は、研磨ヘッド本体５の側面に取り付けられているが、研磨ヘッド回転軸６やリテーナリング７の側面に取り付けてもよい。
【００６２】
また、各実施形態では、羽根板１０は、冷却効率を向上させるために複数枚、設けているが、少なくとも１枚、あればよい。羽根板１０の枚数については、ウエハ８とスラリー２１の材料の組み合わせにより研磨パッド２の表面温度の最適値が異なるため、この最適値にあわせて選択すればよい。
【００６３】
各実施形態では、羽根板１０は、研磨ヘッド本体５の側面又は気流発生回転軸４５の側面に固定しているが、研磨ヘッド本体５又は気流発生回転軸４５に対して着脱可能に取り付けてもよい。その結果、羽根板１０の枚数を変更することができるため、研磨パッド２の表面をより最適に冷却することができる。
【００６４】
さらに、第１の実施形態と第３の実施形態とを組合わせてもよい。この場合には、単独の場合に比べて、研磨パッド表面の冷却効率をより一層、向上させることができる。
【００６５】
なお、本発明は以下の付記に記載されているような構成を考えられる。
【００６６】
（付記１）
研磨パッドが貼着された回転可能な研磨テーブルと、
被研磨体を保持し、前記研磨テーブルに前記被研磨体を前記研磨パッドに接触させると共に回転可能な被研磨体保持機構と、
前記被研磨体保持機構の回転により前記研磨パッドの露出面に対して気流を発生する羽根板を含む気流発生機構と、
前記研磨パッドに研磨剤を供給する研磨剤供給機構と
を備えることを特徴とする研磨装置。
【００６７】
（付記２）
前記気流発生機構の前記羽根板は、前記被研磨体保持機構の側面に取り付けられている
ことを特徴とする付記１記載の研磨装置。
【００６８】
（付記３）
前記被研磨体保持機構は、回転軸と前記回転軸の先端部に接続された研磨ヘッド本体とを備え、
前記羽根板は、前記研磨ヘッド本体の側面に取り付けられていることを特徴とする付記２記載の研磨装置。
【００６９】
（付記４）
前記気流発生機構の前記羽根板は、前記被研磨体保持機構の回転軸に対して傾斜されて取り付けられていることを特徴とする付記２又は３記載の研磨装置。
【００７０】
（付記５）
前記羽根板は、前記被研磨体保持機構の回転方向に対して前側端面部と後側端面部を有し
前記前側端面部と前記被研磨体保持機構の底面との距離が前記後側端面部と前記被研磨体保持機構の底面との距離よりも長くなるように傾斜していることを特徴とする付記４記載のウエハ研磨装置。
【００７１】
（付記６）
前記気流発生機構は、さらに前記羽根板の径外方向の外側に配置され、前記研磨ヘッド本体の側面及び前記羽根板を囲う円筒状の整流体を備えていることを特徴とする付記１乃至付記４いずれか１項記載のウエハ研磨装置。
【００７２】
（付記７）
前記気流発生機構は、前記研磨テーブル上で前記被研磨体保持機構と異なる位置に設置され、側面に前記羽根板が取り付けられた気流発生回転軸と、前記被研磨体保持機構の回転を前記気流発生回転軸に伝達する回転伝達機構とを備えることを特徴とする付記１記載のウエハ研磨装置。
【００７３】
（付記８）
前記回転伝達機構は、前記被研磨体保持機構の前記回転軸に設けられた第１のギアと
前記気流発生回転軸に設けられた第２のギアとを備え、前記第１のギアと前記第２のギアが連結されていることを特徴とする付記７記載のウエハ研磨装置。
【００７４】
（付記９）
前記回転伝達機構は、さらに前記第１のギアと前記第２のギアとを連結する第３のギアを備え、前記第３のギアを少なくとも１個設けることを特徴とする付記８記載のウエハ研磨装置。
【００７５】
（付記１０）
前記回転伝達機構は、前記被研磨体保持機構の前記回転軸に設けられた第１のスプロケット及び前記気流発生回転軸に設けられた第２のスプロケットと、前記第１のスプロケットと前記第２のスプロケットとを連結するチェーンとを備えることを特徴とする付記７記載のウエハ研磨装置。
【００７６】
（付記１１）
前記回転伝達機構は、前記被研磨体保持機構の前記回転軸に設けられた第１のプーリ及び前記気流発生回転軸に設けられた第２のプーリと、前記第１のプーリと前記第２のプーリとを連結するベルトとを備えることを特徴とする付記７記載のウエハ研磨装置。
【００７７】
（付記１２）
前記第２のギアの回転数は、前記第１のギアの回転数より多いことを特徴とする付記８記載のウエハ研磨装置。
【００７８】
（付記１３）
前記第２のスプロケットの回転数は、前記第１のスプロケットの回転数より多いことを特徴とする付記１０記載のウエハ研磨装置。
【００７９】
（付記１４）
前記第２のプーリの回転数は、前記第１のプーリの回転数より多いことを特徴とする付記１１記載のウエハ研磨装置。
【００８０】
（付記１５）
前記気流発生機構の前記羽根板は、前記気流発生回転軸に対して傾斜されて取り付けられていることを特徴とする付記７乃至１４のいずれか１項に記載の研磨装置。
【００８１】
（付記１６）
前記羽根板は、前記気流発生回転軸の回転方向に対して前側端面部と後側端面部とを有し、前記前側端面部と前記気流発生回転軸の底面との距離は、前記後側端面部と前記気流発生回転軸の底面との距離よりも長くなるように傾斜されていることを特徴とする付記１５記載のウエハ研磨装置。
【００８２】
（付記１７）
前記気流発生機構は、さらに羽根板の外側に配置され、気流発生回転軸の側面及び羽根板を囲う円筒状の整流体を備えていることを特徴とする付記７乃至付記１６いずれか１項記載のウエハ研磨装置。
【符号の説明】
【００８３】
１…ターンテーブル
２…研磨パッド
３…ターンテーブル回転軸
４…被研磨体保持機構
５…研磨ヘッド本体
５ａ…研磨ヘッド本体の底面
６…研磨ヘッド回転軸
７…リテーナリング
８…ウエハ
１０…気流発生機構、羽根板
１０ａ…前端側端面部
１０ｂ…後端側端面部
１１…整流体
２０…スラリー供給機構
２１…スラリー
３０、４０…気流発生機構
４１…回転伝達機構
４２…第１のギア
４３、４３ａ、４３ｂ、４３ｃ…第３のギア
４４…第２のギア
４５…気流発生回転軸
Ｒ１…ターンテーブルの回転方向
Ｒ２…研磨ヘッドの回転方向
Ｆ…気流 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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