(57)【要約】【課題】レンズアレイに成形される光硬化性の成形材料の各部を均一に硬化させる。【解決手段】光硬化性の成形材料Ｍで複数のレンズ部６が配列されたレンズアレイ１０を形成するレンズアレイ用成形型２０であって、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成されている。レンズアレイ１０は、光硬化性の成形材料Ｍに成形型２０を押し付けて成形型２０の形状を転写し、その状態で成形型２０を通して光Ｌを照射されて硬化され、製造される。【選択図】図１３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光硬化性の成形材料で複数のレンズ部が配列されたレンズアレイを形成するレンズアレイ用成形型であって、
光を透過するガラス又は樹脂材料で形成されたレンズアレイ用成形型。
【請求項２】
請求項１に記載のレンズアレイ用成形型であって、
光を透過するガラス又は樹脂材料で形成された基板と、
前記レンズ部に形成するレンズ面を反転した形状のレンズ成形面を有し、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成された複数の型部材と、を備え、
前記型部材が、前記基板上に配列されて該基板に固定されたレンズアレイ用成形型。
【請求項３】
請求項２に記載のレンズアレイ用成形型であって、
前記基板のガラス転移点が、前記型部材のガラス転移点よりも低く、
前記型部材は、前記基板を溶かして該基板に溶着されているレンズアレイ用成形型。
【請求項４】
請求項１に記載のレンズアレイ用成形型であって、
前記レンズ部に形成するレンズ面と同一の形状のレンズ形状面が複数配列された表面を有するマスターモデルの該表面の形状を、該マスターモデルよりもガラス転移点が低く、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成された型素材に転写して形成されたレンズアレイ用成形型。
【請求項５】
光硬化性の成形材料で複数のレンズ部が配列されたレンズアレイを形成するレンズアレイ用成形型の製造方法であって、
前記レンズ部に形成するレンズ面を反転した形状のレンズ成形面を有する型部材を、光を透過するガラス又は樹脂材料で作製する工程と、
光を透過するガラス又は樹脂材料で形成された基板上に前記型部材を１個又は複数個ずつ配置する工程を繰り返し、所定数の前記型部材を前記基板上に配列する工程と、
前記基板上に配列された前記型部材を前記基板に固定する工程と、
を備えるレンズアレイ用成形型の製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載のレンズアレイ用成形型の製造方法であって、
前記基板のガラス転移点が、前記型部材のガラス転移点よりも低く、
前記基板の前記ガラス転移点以上で前記型部材の前記ガラス転移点未満の温度で、前記基板と前記複数の型部材とを溶着するレンズアレイ用成形型の製造方法。
【請求項７】
光硬化性の成形材料で複数のレンズ部が配列されたレンズアレイを成形するレンズアレイ用成形型の製造方法であって、
前記レンズ部に形成するレンズ面と同一の形状のレンズ形状面が配列された表面を有するマスターモデルを作製する工程と、
前記マスターモデルよりもガラス転移点が低く、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成された型素材に前記マスターモデルの前記表面の形状を転写する工程と、
を備え、
前記型素材のガラス転移点以上で前記マスターモデルのガラス転移点未満の温度に前記型素材を加熱して、前記型素材に前記マスターモデルの前記表面の形状を転写するレンズアレイ用成形型の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載のレンズアレイ用成形型の製造方法であって、
前記マスターモデルを作製する工程は、
前記レンズ部に形成するレンズ面と同一の形状のレンズ形状曲を有するレンズ相当部材を作製する工程と、
前記レンズ相当部材を１個又は複数個ずつ基板上に配置する工程を繰り返し、所定数の前記レンズ相当部材を前記基板上に配列する工程と、
前記基板上に配列された前記レンズ相当部材を前記基板に固定する工程と、
を含むレンズアレイ用成形型の製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載のレンズアレイ用成形型の製造方法であって、
前記マスターモデルを作製する工程は、
前記レンズ部に形成するレンズ面を反転した形状のレンズ成形面を有する転写体を用い、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成された基板の表面に前記レンズ成形面の形状を転写して前記レンズ形状面を形成する工程を繰り返して、所定数の前記レンズ形状面を前記基板の表面に配列するレンズアレイ用成形型の製造方法。
【請求項１０】
複数のレンズ部が配列されたレンズアレイであって、
光硬化性の成形材料を、請求項１から４のいずれか一項に記載のレンズアレイ用成形型を用いて成形し、該成形型を通して照射された光により硬化して形成されたレンズアレイ。
【請求項１１】
請求項１０に記載のレンズアレイから一つのレンズ部を含んで分離されたレンズモジュール。
【請求項１２】
請求項１１に記載のレンズモジュールと、固体撮像素子を含むセンサモジュールと、を備え、
前記レンズ部が前記固体撮像素子の受光面に結像するように前記レンズモジュールが前記センサモジュールに組み付けられた撮像ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズアレイ用成形型、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話やＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）などの電子機器の携帯端末には、小型で薄型な撮像ユニットが搭載されている。このような撮像ユニットは、一般に、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサやＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサなどの固体撮像素子と、固体撮像素子の受光面に結像するレンズと、を備えている。
【０００３】
携帯端末の小型化・薄型化、そして携帯端末の普及により、それに搭載される撮像ユニットにも更なる小型化・薄型化が要請され、そして生産性が要求される。かかる要求に対して、複数の固体撮像素子が配列されたセンサアレイに、複数のレンズ部が同様に配列されたレンズアレイを重ね、それらを一体に組み合わせた後に、個々にレンズ部及び固体撮像素子を含むようにレンズアレイ及びセンサアレイを分断して撮像ユニットを量産する方法が知られている。
【０００４】
上記の用途に用いられるレンズアレイを成形するにあたって、以下の成形方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
（１）所定のレンズ面形状を反転した形状のレンズ成形面を有する型を用い、基板の表面に供給された樹脂に型のレンズ成形面の形状を転写し、硬化させる。
（２）上記（１）の工程を繰り返し、レンズ面形状に成形された樹脂成形部を基板の表面に配列する。
（３）同様にして、基板の裏面にもレンズ面形状に成形された樹脂成形部を配列して、マスターモデルを得る。
（４）電鋳によって、マスターモデルの表裏にそれぞれＮｉ等の金属を堆積させ、上型、及び下型を得る。
（５）上型と下型との間に光硬化性樹脂材料、又は熱硬化性樹脂材料を供給する。
（６）樹脂材料を上型と下型との間で挟み、圧縮することによって両型に倣って樹脂材料を変形させる。
（７）樹脂材料に光を照射し、又は熱を加え、樹脂材料を硬化させる。
【０００５】
上記のレンズアレイの成形方法によれば、マスターモデルの表裏面には、それぞれ所定のレンズ面形状に成形された曲面が配列される。上型には、マスターモデルの表面に配列されたレンズ面形状の曲面を反転した形状のレンズ成形面が配列され、下型には、マスターモデルの裏面に配列されたレンズ面形状の曲面を反転した形状のレンズ成形面が配列される。そして、上型及び下型の対となるレンズ成形面の間でレンズ部が成形され、これらのレンズ部は、上型及び下型のレンズ成形面を除く成形面の間で成形される基板部により相互に連結される。上記の用途に用いられるレンズアレイにあっては、全体として例えば直径が６インチ、８インチ、又は１２インチのウエハ状（円板状）をなし、そこに例えば数千個のレンズ部が配列される。かかるレンズアレイを、以下では特にウエハレベルレンズアレイと称する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第０８／１５３１０２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のレンズアレイの成形方法では、上下型は金属からなり、レンズアレイの材料に光硬化性の樹脂材料を用いた場合に、樹脂材料の一部で硬化されにくい部分が生じる。すなわち、金属製の上下型は光を透過させず、よって、上下型の側面から両型の間のキャビティに光を照射するほかなく、照射光はキャビティの中央部に達するまでに減衰してしまう。そのため、キャビティの中央部で成形される樹脂材料の硬化が不十分となる。特に、ウエハレベルレンズアレイの成形にあたっては、そのサイズが６インチ、８インチ、又は１２インチと比較的大きく、上下型の側面から両型の間のキャビティの中央部まで所定の強度の光を伝達させるのは難しい。
【０００８】
本発明は、上述した事情に鑑みなされたものであり、その目的は、レンズアレイに成形される光硬化性の成形材料の各部を均一に硬化させることのできるレンズアレイ用成形型を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
レンズ成形面が複数配列された転写面を備え、前記転写面の形状を光硬化性の成形材料に転写して、レンズ部が複数配列されたレンズアレイを成形するレンズアレイ用成形型であって、光を透過させるガラス又は樹脂材料からなるレンズアレイ用成形型。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、光を透過させるガラス又は樹脂材料で成形型を形成することで、レンズアレイに成形される光硬化性の成形材料の全面に光を均一に照射することができる。それにより、成形材料の各部を均一に硬化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態を説明するための撮像ユニットの一例を示す断面図である。
【図２】本発明の実施形態を説明するためのレンズアレイの一例を示す斜視図である。
【図３】図２のレンズアレイのＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】本発明の実施形態を説明するためのマスターモデルの一例を示す断面図である。
【図５】図４のマスターモデルのＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図６Ａ及び図６Ｂは図４に示すマスターモデルの製造過程を順次示す模式図である。
【図７】図４のマスターモデルの変形例の断面図である。
【図８】図７のマスターモデルのＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。
【図９】図７のマスターモデルの製造方法を説明するための模式図である。
【図１０】図８に示すマスターモデルの製造方法の細部を説明するための模式図である。
【図１１】本発明の実施形態を説明するための成形型の一例を示す断面図である。
【図１２】図１２Ａ、図１２Ｂ、及び図１２Ｃは、図１１の成形型の製造過程を順次示す模式図である。
【図１３】図１３Ａ、図１３Ｂ、図１３Ｃ、及び図１３Ｄは、図２のレンズアレイの製造過程を順次示す模式図である。
【図１４】本発明の実施形態を説明するための成形型の他の例を示す平面図である。
【図１５】図１４の成形型のＸＶ−ＸＶ線断面図である。
【図１６】図１６Ａ、図１６Ｂ、及び図１６Ｃは図１４の成形型の製造過程を順次示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す撮像ユニット１は、センサモジュール２と、レンズモジュール３と、を備えている。
【００１３】
センサモジュール２は、固体撮像素子４と、基板部５とを備えている。基板部５は、例えばシリコンなどの半導体材料で形成されている。固体撮像素子４は、例えばＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサなどであり、基板部５に対して周知の成膜工程、フォトリソグラフィ工程、エッチング工程、不純物添加工程、等を繰り返し、基板部５上に受光領域、絶縁膜、電極、配線、等を形成して構成されている。
【００１４】
レンズモジュール３は、レンズ部６と、フランジ部７とを備えている。レンズ部６は、その表裏に所定のレンズ面６ａ、６ｂを有している。両レンズ面６ａ、６ｂは、図示の例ではいずれも凸形状の球面とされているが、用途に応じて、凸形状の球面、凹形状の球面、非球面、又は平面の種々の組み合わせを採り得る。フランジ部７は、レンズ部６の外周から鍔状に張り出して、レンズ部６の外周を取り囲んでいる。レンズ部６、及びフランジ部７は、透光性の材料で一体に形成されている。
【００１５】
レンズモジュール３は、そのフランジ部７と基板部５との間にスペーサ９を介してセンサモジュール２に積層され、センサモジュール２に組み付けられている。スペーサ９は、レンズモジュール３のレンズ部６がセンサモジュール２の固体撮像素子４の受光面に結像するように、センサモジュール２の基板部５とレンズモジュール３のフランジ部７との間に所定の距離を置く厚みとなっている。スペーサ９と両モジュール２、３とは、例えば接着剤などを用いて接合される。
【００１６】
スペーサ９は、センサモジュール２の基板部５とレンズモジュール３のフランジ部７との間に所定の距離を置くことができる限り、その形状は特に限定されないが、固体撮像素子４の周囲を取り囲んで両モジュール２、３の間を外より隔絶する枠状の部材であることが好ましい。これによれば、両モジュール２、３の間から塵等の異物が入り、それが固体撮像素子４の受光面に付着することを防止することができる。さらに、スペーサ９を遮光性の材料で形成すれば、両モジュール２、３の間から固体撮像素子４に入射する不要な光を遮ることができる。
【００１７】
なお、図示の例では、センサモジュール２に組み付けられるレンズモジュール３が１つとなっているが、複数のレンズモジュール３が組み付けられる場合もある。その場合に、複数のレンズモジュール３は、スペーサ９と同等のスペーサを介して順次積層され、センサモジュール２に組み付けられる。また、それらのレンズ部６のレンズ面６ａ、６ｂは、レンズモジュール３毎に異なっていてもよい。
【００１８】
以上のように構成された撮像ユニット１は、例えば携帯端末等の回路基板にリフロー実装される。回路基板には撮像ユニット１が実装される位置に予めペースト状の半田が印刷されており、そこに撮像ユニット１が載置される。そして、撮像ユニット１を含む回路基板に赤外線の照射や熱風の吹付けといった加熱処理が施される。それにより半田が溶け、撮像ユニット１は回路基板に実装される。
【００１９】
上述のレンズモジュール３は、複数のレンズ部６が１次元又は２次元に配列されたレンズアレイを、個々にレンズ部６を含むように分断して得られる。また、上述のセンサモジュール２も同様に、複数の固体撮像素子が１次元又は２次元に配列されたセンサアレイを、個々に固体撮像素子を含むように分断して得られる。以下に、レンズモジュール３を得るレンズアレイについて説明する。
【００２０】
図２及び図３に示すレンズアレイ１０は、複数のレンズ部６と、これらのレンズ部６を相互に繋ぐ基板部１１とを備えている。このレンズアレイ１０は、全体として所定のサイズのウエハ状をなし、そこに複数のレンズ部６が配列されたウエハレベルレンズアレイであって、図示の例では、複数のレンズ部６は２次元に配列されている。これらのレンズ部６、及び基板部１１は、透光性の材料で一体に形成されている。
【００２１】
上述のレンズモジュール３（図１参照）は、ウエハレベルレンズアレイ１０において、隣り合うレンズ部６の間で基板部１１を切断して得られる。切断されて個々のレンズ部６に付属する基板部１１が、レンズモジュール３のフランジ部７となる。
【００２２】
次に、ウエハレベルレンズアレイ１０の製造方法の一例を説明する。以下に説明するウエハレベルレンズアレイ１０の製造方法では、まず、そのマスターモデルが製造され、このマスターモデルから成形型が製造される。そして、ウエハレベルレンズアレイ１０は、この成形型を用いて製造される。
【００２３】
図４及び図５に示すマスターモデル４０は、ウエハレベルレンズアレイ１０の表面形状に関するマスターモデルである。マスターモデル４０は、基板４１を備えている。基板４１は、例えばガラスや樹脂などのガラス転移を生じる材料（ガラス転移点Ｔｇ１）で形成されており、ウエハレベルレンズアレイ１０と同サイズのウエハ状に形成されている。基板４１の表面には、レンズ形状面４２がウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６の配列に対応して、２次元に配列されている。レンズ形状面４２は、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６の表側のレンズ面６ａと同一の形状に成形されている。
【００２４】
図６Ａ及び図６Ｂを参照して、マスターモデル４０の製造方法を説明する。レンズ形状面４２は、レンズ部６のレンズ面６ａを反転した形状のレンズ成形面６１を有する転写体６０を用いて成形されている。
【００２５】
図６Ａに示すように、ヒータ等の加熱手段６２を用いて転写体６０を基板４１のガラス転移点Ｔｇ１以上の温度に加熱する。次いで、図６Ｂに示すように、加熱された転写体６０のレンズ成形面６１を基板４１に押し当てる。基板４１におけるレンズ成形面６１との接触部分及びその周辺部分が軟化してレンズ成形面６１に倣って変形される。それにより、レンズ形状面４２が形成される。以上の工程を繰り返して、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６と同数のレンズ形状面４２を基板４１の表面に形成し、マスターモデル４０を得る。
【００２６】
ウエハレベルレンズアレイ１０の裏面形状に関するマスターモデルについても、同様にして製造される。即ち、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６に形成する裏側のレンズ面６ｂを反転した形状のレンズ成形面を有する転写体を用い、ステップ＆リピートで転写体のレンズ成形面の形状を基板に転写し、レンズ面６ｂと同一形状のレンズ形状面を基板の表面に配列して製造される。この場合、ウエハレベルレンズアレイ１０の表面形状に関するマスターモデルと、ウエハレベルレンズアレイ１０の裏面形状に関するマスターモデルとに分けられるが、基板を共用し、その表裏面にそれぞれレンズ形状面を形成して一つとすることもできる。
【００２７】
図７及び図８にマスターモデル４０の変形例を示す。
【００２８】
図７及び図８に示すマスターモデル１４０は、基板１４１と、複数のレンズ相当部材１４２とを備えている。これらのレンズ相当部材１４２は、基板１４１上に配列され、基板１４１に固定されている。図示の例では、レンズ相当部材１４２は、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６の配列に対応して、２次元に配列されている。
【００２９】
基板１４１は、ウエハレベルレンズアレイ１０と同サイズのウエハ状に形成されている。レンズ相当部材１４２は、その表面が、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６に形成する表側のレンズ面６ａと同一形状の曲面に成形されている。基板１４１及びレンズ相当部材１４２は、例えばガラスや樹脂などのガラス転移を生じる材料（ガラス転移点Ｔｇ１）で形成され、特に、レンズ相当部材１４２は、例えば、ガラスのプレス成形や樹脂の射出成形により作製される。
【００３０】
図９を参照して、マスターモデル１４０の製造方法を説明する。
【００３１】
図９に示すように、多数のレンズ相当部材１４２が予め作製され、作製されたレンズ相当部材１４２はレンズホルダ１４３に整列して収納されている。また、基板１４１には、その表面に接着剤１４４が塗布されている。接着剤としては、例えば光硬化性や熱硬化性の樹脂材料が用いられる。基板１４１上を精密に走査可能なＸＹロボット１４５を用い、レンズホルダ１４３に収納されたレンズ相当部材１４２を保持し、レンズホルダ１４３からレンズ相当部材１４２を１個ずつ取り出して基板１４１上に移送する。そして、レンズ相当部材１４２が基板１４１上の所定位置に配置されるよう位置決めし、基板１４１に対してレンズ相当部材１４２を押圧してレンズ基板１４１の表面に密着させる。ＸＹロボット１４５によるレンズ相当部材１４２の保持は、例えば吸着パッドが用いられる。
【００３２】
図９に示すように、ＸＹロボット１４５によりレンズ相当部材１４２を保持する際には、開閉駆動されるＶ字状の一対のブロック１４５ｂでレンズ相当部材４２を両側から挟み込み、ＸＹロボット１４５の保持部１４５ａとレンズ相当部材１４２との芯合わせがなされる。なお、Ｖ字状の一対のブロック１４５ｂに限らず、その他の適宜なガイド手段を用いてＸＹロボット１４５の保持部１４５ａとレンズ相当部材１４２との芯合わせを行ってもよい。
【００３３】
以上の工程を繰り返して、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６と同数のレンズ相当部材１４２を基板１４１上に配列し、接着剤１４４として紫外線硬化樹脂を用いた場合には紫外線を照射し、また接着剤１４４として熱効果性樹脂を用いた場合には加熱して接着剤１４４を硬化させ、レンズ相当部材１４２を基板１４１に接着固定する。
【００３４】
以上により、ウエハレベルレンズアレイ１０の表面形状に関するマスターモデル１４０を得る。上述のマスターモデル４０では、基板４１の表面に転写体６０のレンズ成形面６１を転写して硬化させる工程をウエハレベルレンズアレイ１０に配列されるレンズ部６の数だけ繰り返して製造されるが、これに比べて、マスターモデル１４０では、予め作製されたレンズ相当部材１４２を基板１４１上に配列して固定しており、より短時間に製造することができる。
【００３５】
また、上述のマスターモデル１４０の製造方法では、レンズホルダ１４３からレンズ相当部材１４２を１個ずつ取り出して基板１４１上に移送するものとして説明したが、ＸＹロボット１４５に複数の保持部１４５ａを備え、レンズホルダ１４３からレンズ相当部材１４２を複数個ずつ取り出して基板１４１上に配置することもできる。さらに、複数個のレンズ相当部材１４２を、基板１４１上での並びにおけるピッチで相互に連結した状態に作製しておけば、それらのレンズ相当部材１４２のいずれか一つを基板１４１上で位置決めすることで、他のレンズ相当部材１４２については自ずと基板１４１上の所定位置に配置されるので、作業効率が向上する。
【００３６】
次に、ウエハレベルレンズアレイ１０の成形型について説明する。
【００３７】
図１１に示す上型２０は、ウエハレベルレンズアレイ１０の表面形状に関するマスターモデル４０（図４参照）を用いて製造された成形型である。また、下型３０は、ウエハレベルレンズアレイ１０の裏面形状に関するマスターモデル５０を用いて製造された成形型である。マスターモデル５０は、マスターモデル４０と同様に、例えばガラスや樹脂などのガラス転移を生じる材料（ガラス転移点Ｔｇ１）で形成された基板５１を備え、その表面に、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６の裏側のレンズ面６ｂと同一の形状に成形されたレンズ形状面５２がウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６の配列に対応して、２次元に配列されている。
【００３８】
上型２０は、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成され、そのガラス転移点Ｔｇ２は、マスターモデル４０を形成する材料のガラス転移点Ｔｇ１よりも低い。かかる条件を満足するマスターモデル４０の材料と上型２０の材料との組み合わせとしては、例えばマスターモデル４０の材料をＰＢＫ４０（住田光学ガラス社製、Ｔｇ＝５０１℃）とし、上型２０の材料としてＰＳＫ１００（住田光学ガラス社製、Ｔｇ＝３９０℃）やＫ−ＰＧ３７５（住田光学ガラス社製、Ｔｇ＝３４４℃）やＫ−ＰＧ３２５（住田光学ガラス社製、Ｔｇ＝２８８℃）とすることができる。上記の組み合わせは、マスターモデル４０の材料及び上型２０の材料がいずれもガラス材料でのものであるが、上型２０の材料、又はマスターモデル４０の材料及び上型２０の材料の双方を樹脂材料とすることもできる。いずれにおいてもマスターモデル４０の材料のガラス転移点Ｔｇ１が高ければ、上型２０に用いることのできる材料の自由度が高まる。マスターモデル４０の材料を樹脂材料とする場合には、比較的ガラス転移点の高いものとして、例えばスミカエクセル（住友化学社製、Ｔｇ＝２２５℃）やＵｌｔｒａｓｏｎ（ＢＡＳＦ社製、ＴＧ＝２２０℃）などが好適に用いられる。
【００３９】
図１２Ａ〜図１２Ｃを参照して上型２０の製造方法を説明する。
【００４０】
図１２Ａに示すように、ヒータ等の加熱手段２３を用いて上型２０の型素材２０´をＴｇ２以上でＴｇ１未満の温度に加熱する。次いで、図１２Ｂに示すように、加熱されて軟化した型素材２０´をマスターモデル４０に押し当てる。それにより、型素材２０´はマスターモデル４０の表面形状に倣って変形される。そして、図１２Ｃに示すように、加熱手段２３による加熱を停止し、マスターモデル４０の表面形状に倣って変形された型素材、即ち上型２０をマスターモデル４０から離間する。
【００４１】
上型２０におけるマスターモデル４０の表面との接触面（転写面）２１には、マスターモデル４０のレンズ形状面４２を反転した形状、つまりはウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６の表側のレンズ面６ａを反転した形状のレンズ成形面２２が、ウエハレベルレンズアレイ１０におけるレンズ部６の配列に対応して、２次元に配列される。Ｔｇ２以上でＴｇ１未満の温度とすることで、マスターモデル４０の形状は保ち、上型２０の型素材のみ軟化させ、マスターモデル４０の形状を正確に上型２０の型素材に転写することができる。
【００４２】
同様に、下型３０も、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成され、そのガラス転移点Ｔｇ２は、マスターモデル５０を形成する材料のガラス転移点Ｔｇ１よりも低い。そして、下型３０は、ヒータ等の加熱手段を用いて下型３０の型素材をＴｇ２以上でＴｇ１未満の温度に加熱し、その状態でマスターモデル５０の形状を転写して製造される。下型３０の転写面３１には、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６の裏側のレンズ面６ｂを反転した形状のレンズ成形面３２が、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６の配列に対応して２次元に配列される。
【００４３】
次に、上型２０及び下型３０を用いたウエハレベルレンズアレイ１０の製造方法を説明する。
【００４４】
図１３Ａに示すように、まず、下型３０の転写面３１上に光硬化性の成形材料Ｍを供給し、成形材料Ｍを転写面３１上に行き渡らせる。成形材料Ｍの流動性が比較的低い場合には、例えば、成形材料Ｍを予熱し、流動性を高めた状態で転写面３１上に供給する。
【００４５】
成形材料Ｍとしては、モールド形状の転写適性等、成形性の観点から硬化前には適度な流動性を有していることが好ましい。具体的には常温で液体であり、粘度が１０００〜５００００ｍＰａ・ｓ程度のものが好ましい。
【００４６】
一方、硬化後にはリフロー工程を通しても熱変形しない程度の耐熱性を有していることが好ましい。該観点から、硬化物のガラス転移温度は２００℃以上であることが好ましく、２５０℃以上であることがより好ましく、３００℃以上であることが特に好ましい。樹脂組成物にこのような高い耐熱性を付与するためには、分子レベルで運動性を束縛することが必要であり、有効な手段としては、（１）単位体積あたりの架橋密度を上げる手段、（２）剛直な環構造を有する樹脂を利用する手段（例えばシクロヘキサン、ノルボルナン、テトラシクロドデカン等の脂環構造、ベンゼン、ナフタレン等の芳香環構造、９，９’-ビフェニルフルオレン等のカルド構造、スピロビインダン等のスピロ構造を有する樹脂、具体的には例えば、特開平９−１３７０４３号公報、同１０−６７９７０号公報、特開２００３−５５３１６号公報、同２００７−３３４０１８号公報、同２００７−２３８８８３号公報等に記載の樹脂）、（３）無機微粒子など高Ｔｇの物質を均一に分散させる手段（例えば特開平５−２０９０２７号公報、同１０−２９８２６５号公報等に記載）等が挙げられる。これらの手段は複数併用してもよく、流動性、収縮率、屈折率特性など他の特性を損なわない範囲で調整することが好ましい。
【００４７】
形状転写精度の観点からは硬化反応による体積収縮率が小さい樹脂組成物が好ましい。樹脂組成物の硬化収縮率としては１０％以下であることが好ましく、５％以下であることがより好ましく、３％以下であることが特に好ましい。硬化収縮率の低い樹脂組成物としては、例えば（１）高分子量の硬化剤（プレポリマ−など）を含む樹脂組成物（例えば特開２００１−１９７４０号公報、同２００４−３０２２９３号公報、同２００７−２１１２４７号公報等に記載、高分子量硬化剤の数平均分子量は２００〜１００，０００の範囲であることが好ましく、より好ましくは５００〜５０，０００の範囲であり、特に好ましくは１，０００〜２０，０００の場合である。また該硬化剤の数平均分子量／硬化反応性基の数で計算される値が、５０〜１０，０００の範囲にあることが好ましく、１００〜５，０００の範囲にあることがより好ましく、２００〜３，０００の範囲にあることが特に好ましい。）、（２）非反応性物質（有機/無機微粒子，非反応性樹脂等）を含む樹脂組成物（例えば特開平６−２９８８８３号公報、同２００１−２４７７９３号公報、同２００６−２２５４３４号公報等に記載）、（３）低収縮架橋反応性基を含む樹脂組成物（例えば、開環重合性基（例えばエポキシ基（例えば、特開２００４−２１０９３２号公報等に記載）、オキセタニル基（例えば、特開平８−１３４４０５号公報等に記載）、エピスルフィド基（例えば、特開２００２−１０５１１０号公報等に記載）、環状カーボネート基（例えば、特開平７−６２０６５号公報等に記載）等）、エン／チオール硬化基（例えば、特開２００３−２０３３４号公報等に記載）、ヒドロシリル化硬化基（例えば、特開２００５−１５６６６号公報等に記載）等）、（４）剛直骨格樹脂（フルオレン、アダマンタン、イソホロン等）を含む樹脂組成物（例えば、特開平９−１３７０４３号公報等に記載）、（５）重合性基の異なる２種類のモノマーを含み相互貫入網目構造（いわゆるＩＰＮ構造）が形成される樹脂組成物（例えば、特開２００６−１３１８６８号公報等に記載）、（６）膨張性物質を含む樹脂組成物（例えば、特開２００４−２７１９号公報、特開２００８−２３８４１７号公報等に記載）等を挙げることができ、本発明において好適に利用することができる。また上記した複数の硬化収縮低減手段を併用すること（例えば、開環重合性基を含有するプレポリマーと微粒子を含む樹脂組成物など）が物性最適化の観点からは好ましい。
【００４８】
また、高−低２種類以上のアッベ数の異なる樹脂組成物が望まれる。高アッベ数側の樹脂は、アッベ数（νｄ）が５０以上であることが好ましく、より好ましくは５５以上であり特に好ましくは６０以上である。屈折率（ｎｄ）は１．５２以上であることが好ましく、より好ましくは１．５５以上であり、特に好ましくは１．５７以上である。このような樹脂としては、脂肪族の樹脂が好ましく、特に脂環構造を有する樹脂（例えば、シクロヘキサン、ノルボルナン、アダマンタン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカン等の環構造を有する樹脂、具体的には例えば、特開平１０−１５２５５１号公報、特開２００２−２１２５００号公報、同２００３−２０３３４号公報、同２００４−２１０９３２号公報、同２００６−１９９７９０号公報、同２００７−２１４４号公報、同２００７−２８４６５０号公報、同２００８−１０５９９９号公報等に記載の樹脂）が好ましい。
【００４９】
低アッベ数側の樹脂は、アッベ数（νｄ）が３０以下であることが好ましく、より好ましくは２５以下であり特に好ましくは２０以下である。屈折率（ｎｄ）は１．６０以上であることが好ましく、より好ましくは１．６３以上であり、特に好ましくは１．６５以上である。このような樹脂としては芳香族構造を有する樹脂が好ましく、例えば９,９’−ジアリールフルオレン、ナフタレン、ベンゾチアゾール、ベンゾトリアゾール等の構造を含む樹脂（具体的には例えば、特開昭６０−３８４１１号公報、特開平１０−６７９７７号公報、特開２００２−４７３３５号公報、同２００３−２３８８８４号公報、同２００４−８３８５５号公報、同２００５−３２５３３１号公報、同２００７−２３８８８３号公報、国際公開２００６／０９５６１０号公報、特許第２５３７５４０号公報等に記載の樹脂等）が好ましい。
【００５０】
また、樹脂組成物には、屈折率を高めたり、アッベ数を調整したりするために、無機微粒子をマトリックス中に分散させることが好ましい。無機微粒子としては、例えば、酸化物微粒子、硫化物微粒子、セレン化物微粒子、テルル化物微粒子が挙げられる。より具体的には、例えば、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化ニオブ、酸化セリウム、酸化アルミニウム、酸化ランタン、酸化イットリウム、硫化亜鉛等の微粒子を挙げることができる。特に上記高アッベ数の樹脂に対しては、酸化ランタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等の微粒子を分散させることが好ましく、低アッベ数の樹脂に対しては、酸化チタン、酸化スズ、酸化ジルコニウム等の微粒子を分散させることが好ましい。無機微粒子は、単独で用いても２種以上を併用してもよい。また、複数の成分による複合物であってもよい。また、無機微粒子には光触媒活性低減、吸水率低減などの種々の目的から、異種金属をドープしたり、表面層をシリカ、アルミナ等異種金属酸化物で被覆したり、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤、有機酸（カルボン酸類、スルホン酸類、リン酸類、ホスホン酸類等）又は有機酸基を持つ分散剤などで表面修飾してもよい。無機微粒子の数平均粒子サイズは通常１ｎｍ〜１０００ｎｍ程度とすればよいが、小さすぎると物質の特性が変化する場合があり、大きすぎるとレイリー散乱の影響が顕著となるため、１ｎｍ〜１５ｎｍが好ましく、２ｎｍ〜１０ｎｍが更に好ましく、３ｎｍ〜７ｎｍが特に好ましい。また、無機微粒子の粒子サイズ分布は狭いほど望ましい。このような単分散粒子の定義の仕方はさまざまであるが、例えば、特開２００６−１６０９９２号に記載されるような数値規定範囲が好ましい粒径分布範囲に当てはまる。ここで上述の数平均１次粒子サイズとは、例えばＸ線回折（ＸＲＤ）装置あるいは透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）などで測定することができる。無機微粒子の屈折率としては、２２℃、５８９ｎｍの波長において、１．９０〜３．００であることが好ましく、１．９０〜２．７０であることが更に好ましく、２．００〜２．７０であることが特に好ましい。無機微粒子の樹脂に対する含有量は、透明性と高屈折率化の観点から、５質量％以上であることが好ましく、１０〜７０質量％が更に好ましく、３０〜６０質量％が特に好ましい。
【００５１】
樹脂組成物に微粒子を均一に分散させるためには、例えばマトリックスを形成する樹脂モノマーとの反応性を有する官能基を含む分散剤（例えば特開２００７−２３８８８４号公報実施例等に記載）、疎水性セグメント及び親水性セグメントで構成されるブロック共重合体（例えば特開２００７−２１１１６４号公報に記載）、あるいは高分子末端又は側鎖に無機微粒子と任意の化学結合を形成しうる官能基を有する樹脂（例えば特開２００７−２３８９２９号公報、特開２００７−２３８９３０号公報等に記載）等を適宜用いて微粒子を分散させることが望ましい。
【００５２】
また、樹脂組成物には、シリコーン系、フッ素系、長鎖アルキル基含有化合物等の公知の離型剤やヒンダードフェノール等の酸化防止剤等の添加剤が適宜配合されていてもよい。
【００５３】
また、樹脂組成物には、必要に応じて硬化触媒又は開始剤を配合することができる。具体的には、例えば特開２００５−９２０９９号公報（段落番号〔００６３〕〜〔００７０〕）等に記載の熱又は活性エネルギー線の作用により硬化反応（ラジカル重合あるいはイオン重合）を促進する化合物を挙げることができる。これらの硬化反応促進剤の添加量は、触媒や開始剤の種類、あるいは硬化反応性部位の違いなどによって異なり一概に規定することはできないが、一般的には硬化反応性樹脂組成物の全固形分に対して０．１〜１５質量％程度が好ましく、０．５〜５質量％程度がより好ましい。
【００５４】
また、樹脂組成物は上記成分を適宜配合して製造することができる。この際、液状の低分子モノマー（反応性希釈剤）等に他の成分を溶解することができる場合には別途溶剤を添加する必要はないが、このケースに当てはまらない場合には溶剤を用いて各構成成分を溶解することにより硬化性樹脂組成物を製造することができる。該硬化性樹脂組成物に使用できる溶剤としては、組成物が沈殿することなく、均一に溶解又は分散されるものであれば特に制限はなく適宜選択することができ、具体的には、例えば、ケトン類（例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等）、エステル類（例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル等）、エーテル類（例えば、テトラヒドロフラン、１，４−ジオキサン等）アルコール類（例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、エチレングリコール等）、芳香族炭化水素類（例えば、トルエン、キシレン等）、水等を挙げることができる。硬化性組成物が溶剤を含む場合には該組成物を基板及び／又は型の上にキャストし溶剤を乾燥させた後にモールド形状転写操作を行うことが好ましい。
【００５５】
次いで、図１３Ｂに示すように、上型２０を降下させ、上型２０の転写面２１と下型３０の転写面３１との間で成形材料Ｍを挟み、圧縮することによって両転写面２１、３１に倣って成形材料Ｍを変形させる。
【００５６】
次いで、図１３Ｃに示すように、上型２０が降下しきった後に、上型２０及び下型３０の双方を通して成形材料Ｍに光Ｌを照射し、上型２０の転写面２１と下型３０の転写面３１との間で成形材料Ｍを硬化させ、ウエハレベルレンズアレイ１０を得る。対となる上型２０のレンズ成形面２２と下型３０のレンズ成形面３２との間でレンズ部６が成形される。また、レンズ成形面２２、３２を除く上型２０の転写面２１と下型３０の転写面３１との間で基板部１１が成形される。
【００５７】
そして、図１３Ｄに示すように、ウエハレベルレンズアレイ１０を上型２０及び下型３０から離型する。
【００５８】
このように、上型２０及び下型３０をガラス又は樹脂材料で形成することで、ウエハレベルレンズアレイ１０に成形される光硬化性の成形材料Ｍの全面に光を均一に照射することができる。それにより、成形材料Ｍの各部を均一に硬化させることができる。なお、上型２０又は下型３０の少なくとも一方を通して成形材料Ｍに光を照射することができればよく、よって、上型２０又は下型３０の一方を電鋳による金属型とすることもできる。ただし、ガラス又は樹脂材料と、金属材料とでは、線膨張係数が約一桁違うので、上型２０及び下型３０は、いずれもガラス又は樹脂材料で形成されるが好ましい。また、ウエハレベルレンズアレイ１０を形成する成形材料Ｍとして上記の樹脂組成部材を用いた場合に、上型２０及び下型３０をガラス材料で形成するようにすれば、ガラスと樹脂とでは密着が比較的弱く、離型性の向上も見込める。
【００５９】
以上、マスターモデル４０、５０を用いて型２０、３０を製造し、そして型２０、３０を用いてウエハレベルレンズアレイ１０を製造する例を説明したが、マスターモデルを用いずに成形型を直接製造するようにすることもできる。以下に、ウエハレベルレンズアレイ１０の製造方法の他の例を説明する。
【００６０】
図１４及び図１５に示す成形型１２０は、ウエハレベルレンズアレイ１０の表面形状を成形する上型である。上型１２０は、基板１２１と、複数の型部材１２２とを備えている。これらの型部材１２２は、基板１２１上に配列され、基板１２１に固定されている。図示の例では、型部材１２２は、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６の配列に対応して、２次元に配列されている。
【００６１】
基板１２１は、ウエハレベルレンズアレイ１０と同サイズのウエハ状に形成されている。型部材１２２は、その表面に、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６に形成する表側のレンズ面６ａを反転した形状のレンズ成形面１２３を有している。基板１２１は、光を透過するガラス又は樹脂材料（ガラス転移点Ｔｇ３）で形成されている。また、型部材１２２は、光を透過するガラスや樹脂材料で形成され、そのガラス転移点Ｔｇ４は、基板１２１のガラス転移点Ｔｇ３よりも高い。かかる条件を満足する基板１２１の材料と型部材１２２の材料との組み合わせとしては、例えば型部材１２２の材料をＰＢＫ４０（住田光学ガラス社製、Ｔｇ＝５０１℃）とし、基板１２１の材料としてＰＳＫ１００（住田光学ガラス社製、Ｔｇ＝３９０℃）やＫ−ＰＧ３７５（住田光学ガラス社製、Ｔｇ＝３４４℃）やＫ−ＰＧ３２５（住田光学ガラス社製、Ｔｇ＝２８８℃）とすることができる。上記の組み合わせは、型部材１２２の材料及び基板１２１の材料がいずれもガラス材料でのものであるが、基板１２１の材料、又は型部材１２２の材料及び基板１２１の材料を樹脂材料とすることもできる。いずれにおいても型部材１２２の材料のガラス転移点Ｔｇ４が高ければ、基板１２１に用いることのできる材料の自由度が高まる。型部材１２２の材料を樹脂材料とする場合には、比較的ガラス転移点の高いものとして、例えばスミカエクセル（住友化学社製、Ｔｇ＝２２５℃）やＵｌｔｒａｓｏｎ（ＢＡＳＦ社製、ＴＧ＝２２０℃）などが好適に用いられる。
【００６２】
図１６Ａ、図１６Ｂ、及び図１６Ｃを参照して、上型１２０の製造方法を説明する。
【００６３】
まず、多数の型部材１２２が予め作製される。型部材１２２は、例えばガラスのプレス成形や樹脂の射出成形により作製される。すなわち、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６に形成するレンズ面６ａと同形状の金型（金属型）を用いて、ガラス又は樹脂材料をプレス又は射出成形して、金型（金属型）の形状を転写した透明な型部材１２２を形成する。そして、基板１２１上を精密に走査可能なＸＹロボットを用い、型部材１２２を１個ずつ基板１２１上に移送し、所定位置に位置決めして配置する。以上の工程を繰り返して、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６と同数のレンズ型部材１２２を基板１２１上に配列する。
【００６４】
図１６Ａは、ウエハレベルレンズアレイ１０のレンズ部６と同数の型部材１２２が基板１２１上に配列された状態を示す。型部材１２２は、金属製のリテーナ１２５によってそれぞれ保持されており、基板１２１上での位置を保たれている。ヒータ等の加熱手段１２６を用いて基板１２１を、そのガラス転移点Ｔｇ３以上で型部材１２２のガラス転移点Ｔｇ４未満の温度に加熱する。Ｔｇ３以上でＴｇ４未満の温度とすることで、型部材１２２の形状は保ち、基板１２１のみ軟化させることができる。
【００６５】
次いで、図１６Ｂに示すように、加熱され軟化した基板１２１に対して、リテーナ１２５を介して型部材１２２を一括して基板１２１に押し付け、型部材１２２を基板１２１に埋め込むようにして、基板１２１と型部材１２２とを溶着する。型部材１２２はリテーナ１２５に保持されており、基板１２１の軟化によっても、型部材１２２のピッチは一定に保たれ、また、その中心軸（レンズ部６の光軸に対応）の倒れは防止される。
【００６６】
そして、図１６Ｃに示すように、加熱手段１２６による加熱を停止し、基板１２１と型部材１２２とが接合されてなる上型１２０からリテーナ１２５を離間する。隣り合う型部材１２２の間でリテーナ１２５が位置していた箇所は凹部１２７として残るが、適宜、光を透過するガラスや樹脂材料で埋められる。なお、凹部１２７を残し、上型１２０を用いたウエハレベルレンズアレイ１０の成形時に成形材料Ｍを充填して、スペーサ９（図１参照）に相当する部材を基板部１１に一体に形成するようにしてもよい。
【００６７】
このように、マスターモデルを用いずに上型１２０を直接製造するようにすれば、マスターモデルの製造に要する手間を削減することができ、更に、マスターモデルの形状を型素材に転写する際に生じ得る誤差を無くすことができる。
【００６８】
上型１２０を用いたウエハレベルレンズアレイ１０の製造は、上述した上型２０を用いたウエハレベルレンズアレイ１０の製造と同様であるので説明は省略する。なお、上述の例では、基板１２１のガラス転移点Ｔｇ３＜型部材１２２のガラス転移点Ｔｇ４としたが、基板１２１と型部材１２２とを溶着せずに他の方法（接着等）で一体化する場合は、Ｔｇ３＜Ｔｇ４の関係にする必要はない。
【００６９】
以上、説明したように、本明細書に開示されたレンズアレイ用成形型は、光硬化性の成形材料で複数のレンズ部が配列されたレンズアレイを形成するレンズアレイ用成形型であって、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成されている。
【００７０】
また、本明細書に開示されたレンズアレイ用成形型は、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成された基板と、前記レンズ部に形成するレンズ面を反転した形状のレンズ成形面を有し、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成された複数の型部材と、を備え、前記型部材が、前記基板上に配列されて該基板に固定されている。
【００７１】
また、本明細書に開示されたレンズアレイ用成形型は、前記基板のガラス転移点が、前記型部材のガラス転移点よりも低く、前記型部材は、前記基板を溶かして該基板に溶着されている。
【００７２】
また、本明細書に開示されたレンズアレイ用成形型は、前記レンズ部に形成するレンズ面と同一の形状のレンズ形状面が複数配列された表面を有するマスターモデルの該表面の形状を、該マスターモデルよりもガラス転移点が低く、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成された型素材に転写して形成されている。
【００７３】
また、本明細書に開示されたレンズアレイ用成形型の製造方法は、光硬化性の成形材料で複数のレンズ部が配列されたレンズアレイを形成するレンズアレイ用成形型の製造方法であって、前記レンズ部に形成するレンズ面を反転した形状のレンズ成形面を有する型部材を、光を透過するガラス又は樹脂材料で作製する工程と、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成された基板上に前記型部材を１個又は複数個ずつ配置する工程を繰り返し、所定数の前記型部材を前記基板上に配列する工程と、前記基板上に配列された前記型部材を前記基板に固定する工程と、を備える。
【００７４】
また、本明細書に開示されたレンズアレイ用成形型の製造方法は、前記基板のガラス転移点が、前記型部材のガラス転移点よりも低く、前記基板の前記ガラス転移点以上で前記型部材の前記ガラス転移点未満の温度で、前記基板と前記複数の型部材とを溶着する。
【００７５】
また、本明細書に開示されたレンズアレイ用成形型の製造方法は、光硬化性の成形材料で複数のレンズ部が配列されたレンズアレイを成形するレンズアレイ用成形型の製造方法であって、前記レンズ部に形成するレンズ面と同一の形状のレンズ形状面が配列された表面を有するマスターモデルを作製する工程と、前記マスターモデルよりもガラス転移点が低く、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成された型素材に前記マスターモデルの前記表面の形状を転写する工程と、を備え、前記型素材のガラス転移点以上で前記マスターモデルのガラス転移点未満の温度に前記型素材を加熱して、前記型素材に前記マスターモデルの前記表面の形状を転写する。
【００７６】
また、本明細書に開示されたレンズアレイ用成形型の製造方法は、前記マスターモデルを作製する工程が、前記レンズ部に形成するレンズ面と同一の形状のレンズ形状曲を有するレンズ相当部材を作製する工程と、前記レンズ相当部材を１個又は複数個ずつ基板上に配置する工程を繰り返し、所定数の前記レンズ相当部材を前記基板上に配列する工程と、前記基板上に配列された前記レンズ相当部材を前記基板に固定する工程と、を含む。
【００７７】
また、本明細書に開示されたレンズアレイ用成形型の製造方法は、前記マスターモデルを作製する工程が、前記レンズ部に形成するレンズ面を反転した形状のレンズ成形面を有する転写体を用い、光を透過するガラス又は樹脂材料で形成された基板の表面に前記レンズ成形面の形状を転写して前記レンズ形状面を形成する工程を繰り返して、所定数の前記レンズ形状面を前記基板の表面に配列する。
【００７８】
また、本明細書に開示されたレンズアレイは、複数のレンズ部が配列されたレンズアレイであって、光硬化性の成形材料を、前記レンズアレイ用成形型を用いて成形し、該成形型を通して照射された光により硬化して形成されている。
【００７９】
また、本明細書に開示されたレンズモジュールは、前記レンズアレイから一つのレンズ部を含んで分離されたレンズモジュール。
【００８０】
また、本明細書に開示された撮像ユニットは、前記レンズモジュールと、固体撮像素子を含むセンサモジュールと、を備え、前記レンズ部が前記固体撮像素子の受光面に結像するように前記レンズモジュールが前記センサモジュールに組み付けられている。
【符号の説明】
【００８１】
１  撮像ユニット
２  センサモジュール
３  レンズモジュール
４  固体撮像素子
５  基板部
６  レンズ部
６ａ  レンズ面
６ｂ  レンズ面
７  フランジ部
９  スペーサ
１０  レンズアレイ
１１  基板部
２０  上型
２１  上型の転写面
２２  上型のレンズ成形面
２３  加熱手段
３０  下型
３１  下型の転写面
３２  下型のレンズ成形面
４０  マスターモデル
４１  基板
４２  レンズ形状面
５０  マスターモデル
５１  基板
５２  レンズ形状面
６０  転写体
６１  レンズ成形面
６２  加熱手段
１２０  上型
１２１  基板
１２２  型部材
１２３  レンズ成形面
１２５  リテーナ
１２６  加熱手段
１２７  凹部
１４０  マスターモデル
１４１  基板
１４２  レンズ相当部材
１４３  レンズホルダ
１４４  接着剤
１４５  ＸＹロボット
Ｍ  成形材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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