(57)【要約】      （修正有）【課題】絶縁耐性を向上しつつ、配線間の充放電を抑制する可能な４線式静電アクチュエータを提供する。【解決手段】互いに平行に等間隔で配置された少なくとも４本の線状電極１ａ〜ｄとを有する固定子１と、固定子１上に移動可能に配置された移動子２とを備え、第１番目の線状電極１ａと第３番目の線状電極１ｃへ、各々位相が反転した矩形波または正弦波信号が入力される。第２番目の線状電極１ｂと第４番目の線状電極１ｄへ、各々位相が反転した矩形波または正弦波信号が入力される。隣接する電極に入力される２つの信号は、４分の１周期だけずれている。４本の線状電極１ａ〜ｄの一側に、４本の線状電極１ａ〜ｄに直交する方向に延設するとともに第１、第２番目の線状電極１ａ、１ｂに各々接続される２本のバスライン１０１ａ、１ｄが設けられている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面と他面とを有する基板と、前記基板の一面に各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された少なくとも４本の線状電極と、を有する固定子と、
前記固定子上に配置された移動子と、を備え、  
４本の線状電極のうち、第１番目の線状電極と第３番目の線状電極へ、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力され、
第２番目の線状電極と第４番目の線状電極へ、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力され、
隣接する２つの電極に入力される２つの信号は、４分の１周期だけずれて同一強度を有し、
前記４本の線状電極の一側に、前記４本の線状電極に直交する方向に延設するとともに前記第１番目と前記第２番目の線状電極に各々接続される第１および第２のバスラインを設け、
前記４本の線状電極の他側に、前記４本の線状電極に直交する方向に延設するとともに前記第３番目と前記第４番目の線状電極に各々接続される第３および第４のバスラインを設けた
ことを特徴とする４線式静電アクチュエータ。
【請求項２】
前記第１番目の線状電極に接続される第１のバスラインは、前記基板の一面に設けられ、
前記第２番目の線状電極に接続される第２のバスラインは、前記基板の他面に設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の４線式静電アクチュエータ。
【請求項３】
前記基板に前記第２のバスラインと接続されるスルーホール配線が設けられ、
前記基板の前記一面に前記第２番目の線状電極の一側と前記スルーホール配線とを接続するパッド電極が設けられ、
前記スルーホール配線は、前記第４番目の線状電極の前記一側よりも前記第２番目の線状電極の一側に近い位置に配置されている
ことを特徴とする請求項２に記載の４線式静電アクチュエータ。
【請求項４】
前記第３番目の線状電極に接続される第３のバスラインは、前記基板の前記一面に設けられ、
前記第４番目の線状電極に接続される第４のバスラインは、前記基板の前記他面に設けられている
ことを特徴とする請求項２または３に記載の４線式静電アクチュエータ。
【請求項５】
前記第３番目の線状電極に接続される第３のバスラインは、前記基板の前記他面に設けられ、
前記第４番目の線状電極に接続される第４のバスラインは、前記基板の前記一面に設けられている
ことを特徴とする請求項２または３に記載の４線式静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、４相信号により駆動する４線（４相）式静電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電極が設けられた固定子と、フィルムなどの抵抗体が設けられた移動子と、を有する静電アクチュエータがある。このような、静電アクチュエータには、複数相の信号で駆動する方式が採用される。
【０００３】
例えば、３相以上の奇数相の信号で駆動する方式では、移動子の移動に寄与しない抵抗体の帯電が存在するため、駆動効率が悪くなる（例えば、特許文献１、２参照。）。また、例えば、６相以上の信号で駆動する方式では、駆動回路からの信号線が多く、冗長となる。
【０００４】
ここで、４相信号で駆動する従来の４線式静電アクチュエータには、全てのバスラインが対向配置されており、且つ、常に逆極性となる信号が入力されるものがある（例えば、特許文献３参照。）。
【０００５】
しかし、上記従来の４線式静電アクチュエータでは、位相が半周期ずれた信号が入力される２本のバスライン間等で、充放電量が増大し、また、絶縁耐力が低下する問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６３-９５８６０号公報
【特許文献２】特開平７-７９７２号公報
【特許文献３】特開２００１-２８８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、絶縁耐性を向上して配線間の充放電を抑制することが可能な４線式静電アクチュエータを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様に係る４線式静電アクチュエータは、
一面と他面とを有する基板と、前記基板の一面に各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された少なくとも４本の線状電極と、を有する固定子と、
前記固定子上に配置された移動子と、を備え、  
４本の線状電極のうち、第１番目の線状電極と第３番目の線状電極へ、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力され、
第２番目の線状電極と第４番目の線状電極へ、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力され、
隣接する２つの電極に入力される２つの信号は、４分の１周期だけずれて同一強度を有し、
前記４本の線状電極の一側に、前記４本の線状電極に直交する方向に延設するとともに前記第１番目と前記第２番目の線状電極に各々接続される第１および第２のバスラインを設け、
前記４本の線状電極の他側に、前記４本の線状電極に直交する方向に延設するとともに前記第３番目と前記第４番目の線状電極に各々接続される第３および第４のバスラインを設けた
ことを特徴とする４線式静電アクチュエータである。
【０００９】
また、上記４線式静電アクチュエータにおいて、
前記第１番目の線状電極に接続される第１のバスラインは、前記基板の一面に設けられ、
前記第２番目の線状電極に接続される第２のバスラインは、前記基板の他面に設けられていてもよい。
【００１０】
また、上記４線式静電アクチュエータにおいて、
前記基板に前記第２のバスラインと接続されるスルーホール配線が設けられ、
前記基板の前記一面に前記第２番目の線状電極の一側と前記スルーホール配線とを接続するパッド電極が設けられ、
前記スルーホール配線は、前記第４番目の線状電極の前記一側よりも前記第２番目の線状電極の一側に近い位置に配置されていてもよい。
【００１１】
また、上記４線式静電アクチュエータにおいて、
前記第３番目の線状電極に接続される第３のバスラインは、前記基板の前記一面に設けられ、
前記第４番目の線状電極に接続される第４のバスラインは、前記基板の前記他面に設けられてもよい。
【００１２】
また、上記４線式静電アクチュエータにおいて、
前記第３番目の線状電極に接続される第３のバスラインは、前記基板の前記他面に設けられ、
前記第４番目の線状電極に接続される第４のバスラインは、前記基板の前記一面に設けられてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る４線式静電アクチュエータにおいては、隣接する２つの電極に入力される２つの信号は、４分の１周期だけずれて同一強度を有し、４本の線状電極の一側に、４本の線状電極に直交する方向に延設するとともに第１番目と第２番目の線状電極に各々接続される第１および第２のバスラインが各々設けられ、４本の線状電極の他側に、４本の線状電極に直交する方向に延設するとともに第３番目と第４番目の線状電極に各々接続される第３および第４のバスラインが各々設けられている。
【００１４】
この場合、第１のバスラインおよび第３のバスラインから第１番目の線状電極と第３番目の線状電極に各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力され、第２のバスラインおよび第４のバスラインから第２番目の線状電極と第４番目の線状電極に各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される。
【００１５】
このように位相が互いに反転した信号を入力する第１のバスラインおよび第３のバスラインは、４本の線状電極の一側および他側に離れて各々配置され、位相が互いに反転した信号を入力する第２のバスラインおよび第４のバスラインは、４本の線状電極の一側および他側に離れて各々配置される。
【００１６】
このため、絶縁耐性を向上しつつ、配線間の充放電を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明による４線式静電アクチュエータの構成の一例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す４線式静電アクチュエータを模式的に示す上面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った４線式静電アクチュエータの断面を示す断面図である。
【図４】線状電極に印加される信号の波形の一例を示す波形図である。
【図５】図２に示す４線式静電アクチュエータの点線Ｂで囲まれる領域に対応する固定子１のレイアウトの一例を示す図である。
【図６】図５に示すレイアウトをモデル化した概略図である。
【図７】図２に示す４線式静電アクチュエータの点線Ｂで囲まれる領域に対応する固定子１のレイアウトの変形例を示す図である。
【図８】図７に示すレイアウトをモデル化した概略図である。
【図９】図６に示すモデルの変形例を示す概略図である。
【図１０】図８に示すモデルの変形例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明による４線式静電アクチュエータの実施の形態について図面に基づいて説明する。
【００１９】
図１は、本発明による４線式静電アクチュエータ１００の構成の一例を示す斜視図である。また、図２は、図１に示す４線式静電アクチュエータ１００を模式的に示す上面図である。また、図３は、図２のＡ−Ａ線に沿った４線式静電アクチュエータ１００の断面を示す断面図である。なお、簡単のため、図２おいては、カバーフィルム１０３、摺動構造膜１０４を省略している。
【００２０】
図１および図２に示すように、４線式静電アクチュエータ１００は、一面１０２ａと他面１０２ｂとを有する基板１０２と、基板１０２の一面１０２ａに各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された少なくとも４本の線状電極１ａ〜１ｄと、を有する固定子１と、固定子１上に移動自在に配置された移動子２と、を備える。
【００２１】
以下、固定子１について更に詳述する。上述のように、固定子１は、基板１０２と、基板１０２の一面１０２ａに設けられた導電性を有する少なくとも４本の線状電極１ａ〜１ｄとを備えている。４本の線状電極１ａ〜１ｄのうち、第１番目の線状電極１ａと第３番目の線状電極１ｃへ、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力され、第２番目の線状電極１ｂと第４番目の線状電極１ｄへ、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される。また、隣接する２つの電極、例えば、第１番目の線状電極１ａと第２番目の線状電極１ｂに入力される２つの信号は、４分の１周期だけずれて同一強度を有している。
【００２２】
さらに、４本の線状電極１ａ〜１ｄの一側に（図２の左側）、４本の線状電極１ａ〜１ｄに直交する方向に延設するとともに、第１番目の線状電極１ａと第２番目の線状電極１ｂに各々接続される第１のバスライン１０１ａと第２のバスライン１０１ｂが互いに平行に設けられている。さらに、４本の線状電極１ａ〜１ｄの他側に（図２の右側）、４本の線状電極１ａ〜１ｄに直交する方向に延設するとともに第３番目の線状電極１ｃと第４番目の線状電極１ｄに各々接続される第３のバスライン１ｃと第４のバスライン１ｄとが互いに平行に設けられている。
【００２３】
また、基板１０２の一面１０２ａ上に設けられた４本の線状電極１ａ〜１ｄを覆ってカバーフィルム１０３が設けられ、さらにカバーフィルム１０３を覆って摺動構造膜１０４が設けられている。
【００２４】
ところで、基板１０２は、例えば、２５μｍの厚さを有する。この基板１０２に用いられる素材としては、例えば、ポリイミド、ガラスエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＴ−Ｇ（テレフタル酸−シクロヘキサンジメタノール−エチレングリコール共重合体）、PEN（ポリエチレンナフレタート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルフイド）、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、ポリスチレン系、ＡＢＳ、ポリアクリル酸エステル、ポリエチレン、ポリウレタン等が、選択される。特にPENは高耐熱性、高強度であり好ましい。
【００２５】
また、上述のように、４本の線状電極１ａ〜１ｄは、基板１０２の一面１０２ａ上に各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で櫛歯状に繰り返し配置されているが、この線状電極１ａ〜１ｄは、例えば、配線ピッチが０．３ｍｍ以下に設定され、また、この線状電極１ａ〜１ｄは、その厚さとして、例えば、ＰＲＴ基板上に電極材としてＩＴＯ（酸化インジウムスズ）を形成する場合は、１，５００Å程度を有する（図２および図３参照）。
【００２６】
また、２本の第１、第２のバスライン１０１ａ、１０１ｂは、各々帯状をなし、上述のように線状電極１ａ〜１ｄの一側（図２の左側）に、設けられている。
【００２７】
このうち第１のバスライン１０１ａは、基板１０２の一面（上面）１０２ａに設けられ、この第１のバスライン１０１ａは、第１番目の線状電極１ａに電気的に接続されている。
【００２８】
また、第２のバスライン１０１ｂは、基板１０２の他面（下面）１０２ｂに設けられ、第２番目の線状電極１ｂに電気的に接続されている。また、基板１０２には、基板１０２を貫通し、基板１０２の他面１０２ｂに設けられた第２のバスライン１０１ｂに接続されるスルーホール配線１ｂ２が設けられている。さらに、基板１０２の一面１０２ａに、第２番目の線状電極１ｂの一側とスルーホール配線１ｂ２とを接続するパッド電極１ｂ１が設けられている。  
これにより、第２のバスライン１０１ｂは、第２番目の線状電極１ｂに電気的に接続される。
【００２９】
また、２本の第３、第４のバスライン１０１ｃ、１０１ｄは、各々帯状をなし、上述のように線状電極１ａ〜１ｄの他側（図２の右側）に、設けられている。
【００３０】
また、第３のバスライン１０１ｃは、基板１０２の一面（上面）１０２ａに設けられ、第３番目の線状電極１ｃに電気的に接続されている。
【００３１】
また、第４のバスライン１０１ｄは、基板１０２の他面（下面）１０２ｂに設けられ、第４番目の線状電極１ｄに電気的に接続されている。ここで、基板１０２には、基板１０２を貫通し、基板１０２の他面１０２ｂに設けられた第４のバスライン１０１ｄと接続されるスルーホール配線１ｄ２が設けられている。そして、基板１０２の一面（上面）１０２ａに、第４番目の線状電極１ｄの一側とスルーホール配線１ｄ２とを接続するパッド電極１ｄ１が設けられている。
【００３２】
これにより、第４のバスライン１０１ｄは、第４番目の線状電極１ｄに電気的に接続されている。
【００３３】
次に、図３により、固定子１のカバーフィルム１０３および摺動構造膜１０４について詳述する。図３に示すように、カバーフィルム１０３は、基板１０２上に４本の線状電極１ａ〜１ｄを覆うように設けられている。このカバーフィルム１０３は、例えば、１２．５μｍの厚さを有する。このカバーフィルム１０３に用いられる素材としては、例えば、ポリイミドが選択される。
【００３４】
また、摺動構造膜１０４は、カバーフィルム１０３上に設けられている。この摺動構造膜１０４は、移動子２の下面（後述のベースフィルム２ａの下面）に対して摺動性を有する。この摺動構造膜１０４は、例えば、数ｎｍの厚さを有する。この摺動構造膜１０４に用いられる素材としては、例えば、シリコンが選択される。
【００３５】
なお、線状電極（駆動電極）１ａ〜１ｄの上面から抵抗体膜２ｂの帯電面（下面）までの距離ｄは、例えば、３０μｍ以上、１５０μｍ以下に設定される。
【００３６】
次に、図１および図２により移動子２について詳述する。図１および図２に示すように、移動子２は、固定子１上に配置されている。この移動子２は、図３に示すように、ベースフィルム２ａと、抵抗体膜２ｂと、を有する。
【００３７】
ベースフィルム２ａは、固定子１に対向して接触するように配置される。このベースフィルム２ａは、例えば、２０μｍ程度の厚さを有する。
【００３８】
このベースフィルム２ａに用いられる素材としては、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＴ−Ｇ（テレフタル酸−シクロヘキサンジメタノール−エチレングリコール共重合体）、PEN（ポリエチレンナフレタート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルフイド）、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、ポリスチレン系、ＡＢＳ、ポリアクリル酸エステル、ポリエチレン、ポリウレタン等が、選択される。特にPENは高耐熱性、高強度であり好ましい。
【００３９】
抵抗体膜２ｂは、ベースフィルム２ａ上に設けられている。この抵抗体膜２ｂは、例えば、１μｍ程度の厚さを有する。また、抵抗体膜２ｂは、例えば、１０１１〜１０１３Ω／□の範囲の表面抵抗率を有する。
【００４０】
次に、図５および図６により、絶縁耐力を向上するために設けられた基板１のスルーホール配線１ｂ２、１ｄ２の位置について、説明する。
【００４１】
図５は、図２に示す４線式静電アクチュエータ１００の点線Ｂで囲まれる領域に対応する固定子１のレイアウトの一例を示す図である。なお、図５においては、簡単のため、カバーフィルム１０３、摺動構造膜１０４を省略している。また、図６は、図５に示すレイアウトをモデル化した概略図である。なお、図６においては、パッド電極は簡略化している。
【００４２】
上述のように、第１、第３のバスライン１０１ａ、１０１ｃは、基板１０２の一面（上面）に設けられている（図５、６）。さらに、第２、第４のバスライン１０１ｂ、１０１ｄは、基板１０２の他面（下面）に設けられている（図５、６）。
【００４３】
そして、図６に示すように、スルーホール配線１ｂ２は、第２番目の線状電極１ｂの一側とスルーホール配線１ｂ２との間の距離ｄｙが、第４番目の線状電極１ｄの一側とスルーホール配線１ｂ２との間の距離ｄｘよりも短くなるように、配置される。すなわち、スルーホール配線１ｂ２は、第４番目の線状電極１ｄの一側よりも第２番目の線状電極１ｂの一側に近い位置に配置されている。
【００４４】
これにより、位相が半周期ずれた（反転した）信号が入力される２本の線状電極１ｂ、１ｄ間で、充放電を抑制し、絶縁耐力を向上させることができる。すなわち、第１のバスライン１０１ａおよび第３のバスライン１０１ｃから第１番目の線状電極１ａと第３番目の線状電極１ｃに各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力され、第２のバスライン１０１ｂおよび第４のバスライン１０１ｄから第２番目の線状電極１ｂと第４番目の線状電極１ｄに各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される。このように位相が互いに反転した信号を入力する第１のバスライン１０１ａおよび第３のバスライン１０１ｃは、４本の線状電極１ａ〜１ｄの一側および他側に離れて各々配置され、位相が互いに反転した信号を入力する第２のバスライン１０１ｂおよび第４のバスライン１０１ｄは、４本の線状電極１ａ〜１ｄの一側および他側に離れて各々配置される。このため、充放電を抑制し、絶縁耐性を向上させることができる。なお、スルーホール配線１ｄ２の位置関係についても、スルーホール配線１ｂ２と同様に配置することにより、位相が半周期ずれた（反転した）信号が入力される２本の線状電極１ｂ、１ｄ間で充放電を抑制し、絶縁耐力を向上させることができる。
【００４５】
次に、このような構成を有する本実施形態の作用について説明する。
【００４６】
まず、図２に示すように、信号ａ〜ｄは、図示しない駆動回路から４線式静電アクチュエータ１００に入力される。このとき、各信号ａ〜ｄは、バスライン１０１ａ〜１０１ｄ、スルーホール配線１ｂ２、１ｄ２、および、パッド電極１ｂ１、１ｄ１を介して、線状電極１ａ〜１ｄに、それぞれ印加される。
【００４７】
ここで、図４は、線状電極１ａ〜１ｄに印加される信号ａ〜ｄの波形の一例を示す波形図である。なお、図４では、信号ａ〜ｄが矩形波の場合について示しているが、信号ａ〜ｄが正弦波である場合も同様の位相関係になる。
【００４８】
図４に示すように、隣接する線状電極１ａ、１ｂに入力される２つの信号ａ、ｂは、４分の１周期だけずれている。同様に、隣接する線状電極１ｂ、１ｃに入力される２つの信号ｂ、ｃは、４分の１周期だけずれている。同様に、隣接する線状電極１ｃ、１ｄに入力される２つの信号ｃ、ｄは、４分の１周期だけずれている。
【００４９】
この場合、各信号ａ〜ｄは、同一強度（振幅）を有する。また、各信号ａ〜ｄの振幅（電圧）の絶対値は、例えば、８００Ｖ以下に設定される。
【００５０】
これにより、第１番目の線状電極１ａと第３番目の線状電極１ｃには、各々位相が反転した（位相が半周期ずれた）信号（矩形波信号または正弦波信号）ａ、ｃが入力される。また、第２番目の線状電極１ｂと第４番目の線状電極１ｄには、各々位相が反転した（位相が半周期ずれた）信号（矩形波信号または正弦波信号）ｂ、ｄが入力される。
【００５１】
この場合、移動子２の抵抗体膜２ｂが、線状電極１ａ〜１ｄに印加される信号ａ〜ｄに応じて帯電する。そして、例えば、図４に示すように、信号ａ〜ｄの振幅が変化することにより、この移動子２の抵抗体膜２ｂと線状電極１ａ〜１ｄに蓄積された静電エネルギーに応じて、移動子２が、固定子１上を線状電極１ａ〜１ｄに垂直な方向に、移動する（図２）。
【００５２】
以上のように本実施の形態によれば、図２に示すように、第１のバスライン１０１ａおよび第３のバスライン１０１ｃから第１番目の線状電極１ａと第３番目の線状電極１ｃに各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力され、第２のバスライン１０１ｂおよび第４のバスライン１０１ｄから第２番目の線状電極１ｂと第４番目の線状電極１ｄに各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される。このように位相が互いに反転した信号を入力する第１のバスライン１０１ａおよび第３のバスライン１０１ｃは、４本の線状電極１ａ〜１ｄの一側および他側に離れて各々配置され、位相が互いに反転した信号を入力する第２のバスライン１０１ｂおよび第４のバスライン１０１ｄは、４本の線状電極１ａ〜１ｄの一側および他側に離れて各々配置される。一般に、位相が互いに反転した信号を入力するバスライン１０１ａ、１０１ｃ、或いは、バスライン１０１ｂ、１０ｄを互いに近傍して配置すると充放電して絶縁耐性が低下する問題がある。しかし、本願発明によれば、このような問題はなく、充放電を抑制し、絶縁耐性を向上させることができる。
【００５３】
なお、４本のバスライン１０１ａ〜１０１ｄのうち、位相が４分の１周期ずれた信号が入力される隣接する２本のバスライン、例えば、１０１ａ、１０１ｂは互いに接近して配置されているが、半周期分しか逆位相とならないので充放電の問題は少ないと言える。
【００５４】
次に図７乃至図８により本発明による４線式静電アクチュエータの変形例について述べる。図７および図８に示す変形例は、第３のバスライン１０１ｃと第４のバスライン１０１ｄの位置関係を逆にした点が異なるのみであり、他の構成は図１乃至図６に示す実施の形態と略同一である。すなわち、図７および図８に示すように、第１、第２のバスライン１０１ａ、１０１ｂが４本の線状電極１ａ〜１ｄの一側に（図８の左側）配置され、第３、第４のバスライン１０１ｃ、１０１ｄが４本の線状電極１ａ〜１ｄの他側に（図８の右側）に配置される。そして、例えば、第１のバスライン１０１ａと第３のバスライン１０１ｃのように、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される２本のバスライン１０１ａ、１０１ｃが４本の線状電極１ａ〜１ｄの両側に配置される。同様に、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される２本のバスライン１０１ｂ、１０１ｄが４本の線状電極１ａ〜１ｄの両側に配置される。ここで、図７は、図２に示す４線式静電アクチュエータ１００の点線Ｂで囲まれる領域に対応する固定子１のレイアウトの変形例を示す図である。なお、図７においては、簡単のため、カバーフィルム１０３、摺動構造膜１０４を省略している。また、図８は、図７に示すレイアウトをモデル化した概略図である。なお、図８においては、パッド電極は簡略化している。
【００５５】
図７に示すように、第３番目の線状電極１ｃに接続される第３のバスライン１０１ｃは、基板１０２の他面（下面）１０２ｂに設けられている。さらに、第４番目の線状電極１ｄに接続される第４のバスライン１０１ｄは、基板１０２の一面（上面）１０２ａに設けられている。そして、基板１０２（上面）１０２ａに、第３番目の線状電極１ｃの他側（図７の右側）とスルーホール配線１ｃ２とを接続するパッド電極１ｃ１が設けられている。
【００５６】
また、図８に示すように、スルーホール配線１ｂ２は、第２番目の線状電極１ｂの一側とスルーホール配線１ｂ２との間の距離ｄｙが、第４番目の線状電極１ｄの一側とスルーホール配線１ｂ２との間の距離ｄｘよりも短くなるように、配置される。すなわち、スルーホール配線１ｂ２は、第４番目の線状電極１ｄの一側よりも第２番目の線状電極１ｂの一側に近い位置に配置されている。
【００５７】
これにより、位相が半周期ずれた（反転した）信号が入力される２本の線状電極１ｂ、１ｄ間で、充放電を抑制し、絶縁耐力を向上することができる。なお、スルーホール配線１ｃ２の位置関係についても、スルーホール配線１ｂ２と同様に配置することにより、位相が半周期ずれた（反転した）信号が入力される２本の線状電極１ａ、１ｃ間で充放電を抑制し、絶縁耐力を向上させることができる。
【００５８】
次に、図９により本発明による４線式静電アクチュエータの他の変形例について説明する。図９に示す変形例は、図６に示すモデルにおいて、第２のバスライン１０１ｂと第４のバスライン１０１ｄの位置関係を逆にしたものである。図９に示す変形例において、第１、第４のバスライン１０１ａ、１０１ｄが４本の線状電極１ａ〜１ｄの一側に（図９の左側）配置され、第２、第３のバスライン１０１ｂ、１０１ｃが４本の線状電極１ａ〜１ｄの他側に（図９の右側）に配置される。そして、例えば、第１のバスライン１０１ａと第３のバスライン１０１ｃのように、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される２本のバスライン１０１ａ、１０１ｃが４本の線状電極１ａ〜１ｄの両側に配置される。同様に、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される２本のバスライン１０１ｂ、１０１ｄが４本の線状電極１ａ〜１ｄの両側に配置される。ここで、図９は、図６に示すモデルの変形例を示す概略図である。なお、図９においては、パッド電極は簡略化している。
【００５９】
図９に示すように、スルーホール配線１ｄ２は、第４番目の線状電極１ｄの一側とスルーホール配線１ｄ２との間の距離ｄｙが、第２番目の線状電極１ｂの一側とスルーホール配線１ｄ２との間の距離ｄｘよりも短くなるように、配置される。すなわち、スルーホール配線１ｄ２は、第２番目の線状電極１ｂの一側よりも第４番目の線状電極１ｄの一側に近い位置に配置されている。
【００６０】
これにより、位相が半周期ずれた（反転した）信号が入力される２本の線状電極１ｂ、１ｄ間で、充放電を抑制し、絶縁耐力を向上することができる。なお、スルーホール配線１ｂ２の位置関係についても、スルーホール配線１ｄ２と同様に配置することにより、位相が半周期ずれた（反転した）信号が入力される２本の線状電極１ｂ、１ｄ間で充放電を抑制し、絶縁耐力を向上させることができる。
【００６１】
次に、図１０により本発明による４線式静電アクチュエータの更に他の変形例について説明する。図１０に示す変形例は、図９に示すモデルにおいて、第２のバスライン１０１ｂと第３のバスライン１０１ｃの位置関係を逆にしたものである。図１０に示す変形例において、第１、第４のバスライン１０１ａ、１０１ｄが４本の線状電極１ａ〜１ｄの一側に（図１０の左側）配置され、第２、第３のバスライン１０１ｂ、１０１ｃが４本の線状電極１ａ〜１ｄの他側に（図１０の右側）に配置される。そして、例えば、第１のバスライン１０１ａと第３のバスライン１０１ｃのように、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される２本のバスライン１０１ａ、１０１ｃが４本の線状電極１ａ〜１ｄの両側に配置される。同様に、各々位相が反転した矩形波信号または正弦波信号が入力される２本のバスライン１０１ｂ、１０１ｄが４本の線状電極１ａ〜１ｄの両側に配置される。ここで、図１０は、図９に示すモデルの変形例を示す概略図である。なお、図１０においては、パッド電極は簡略化している。
【００６２】
図１０に示すように、スルーホール配線１ｄ２は、第４番目の線状電極１ｄの一側とスルーホール配線１ｄ２との間の距離ｄｙが、第２番目の線状電極１ｂの一側とスルーホール配線１ｄ２との間の距離ｄｘよりも短くなるように、配置される。すなわち、スルーホール配線１ｄ２は、第２番目の線状電極１ｂの一側よりも第４番目の線状電極１ｄの一側に近い位置に配置されている。
【００６３】
これにより、位相が半周期ずれた（反転した）信号が入力される２本の線状電極１ｂ、１ｄ間で、充放電を抑制し、絶縁耐力を向上することができる。なお、スルーホール配線１ｃ２の位置関係についても、スルーホール配線１ｄ２と同様に配置することにより、位相が半周期ずれた（反転した）信号が入力される２本の線状電極１ａ、１ｃ間で充放電を抑制し、絶縁耐力を向上させることができる。
【００６４】
以上のように、本実施例に係る４線式静電アクチュエータによれば、絶縁耐性を向上して配線間の充放電を抑制することができる。
【符号の説明】
【００６５】
１  固定子
１ａ  １番目の線状電極
１ｂ  ２番目の線状電極
１ｃ  ３番目の線状電極
１ｄ  ４番目の線状電極
１ｂ１、１ｄ１  パッド電極
１ｂ２、１ｄ２  スルーホール配線
２  移動子
２ａ  ベースフィルム
２ｂ  抵抗体膜
１００  ４線式静電アクチュエータ
１０１ａ  第１のバスライン
１０１ｂ  第２のバスライン
１０１ｃ  第３のバスライン
１０１ｄ  第４のバスライン
１０２  基板
１０３  カバーフィルム
１０４  摺動構造膜
ａ〜ｄ  信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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