(57)【要約】【課題】搬送爪をリードフレームに挿入するときのカジリを防ぐことができ、且つ、リードフレームを正確に搬送することができるリードフレーム搬送装置を提供する。【解決手段】リードフレーム５０の平面を貫通する送り穴５１へ挿入される柱状の搬送爪１０と、搬送爪１０を送り穴５１に挿入し、挿入した搬送爪１０を平面と直交する柱状の内部の回転軸１８を中心に回転させ、回転後の搬送爪１０を平面と平行な搬送方向へ移動する駆動装置３０とを具備する。搬送爪１０の搬送方向の断面は、搬送方向と直交する送り穴５１の向かい合う長辺５４と長辺５５との幅５２ａよりも小さい幅１３ｅと、長辺５４と長辺５５との幅５２ａ以上の幅１４ｃとを含む。駆動装置３０は、長辺５４及び長辺５５と幅１３ｅを表す線分１３とが直交する向きで搬送爪１０を送り穴５１に挿入し、挿入した搬送爪１０が長辺５４及び長辺５５と接触するように回転させる。【選択図】図３
2011165845.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リードフレームの平面を貫通する送り穴へ挿入される柱状の搬送爪と、
前記搬送爪を前記送り穴に挿入し、挿入した前記搬送爪を前記平面と直交する前記柱状の内部の回転軸を中心に回転させ、回転後の前記搬送爪を前記平面と平行な搬送方向へ移動する駆動装置と
を具備し、
前記搬送爪の前記搬送方向の断面は、
前記搬送方向と直交する前記送り穴の向かい合う第１辺と第２辺との幅よりも小さい第１幅と、
前記第１辺と前記第２辺との幅以上の第２幅と
を含み、
前記駆動装置は、前記第１辺及び前記第２辺と前記第１幅を表す第１線分とが直交する向きで前記搬送爪を前記送り穴に挿入し、挿入した前記搬送爪が前記第１辺及び前記第２辺と接触するように回転させる
リードフレーム搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載のリードフレーム搬送装置であって、
前記断面の輪郭線は、
前記第１辺と前記第２辺との幅と同じ長さの直径を有する円の内側にあり、前記円の中心を通る前記第１線分の両端である第１点及び第２点と、
前記円の中心を通る第２線分の両端であり、前記円の円周上の第３点及び第４点と
を含み、前記第１点と前記第３点とを結ぶ第１輪郭線と、前記第２点と前記第４点とを結ぶ第２輪郭線とは、前記円の内側にあり、
前記駆動装置は、前記送り穴に挿入した前記搬送爪を、前記第１点と近接している前記第１辺へ前記第３点を近づけ、前記第２点と近接している前記第２辺へ前記第４点を近づける方向に回転させる
リードフレーム搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載のリードフレーム搬送装置であって、
前記第１点と前記第４点とを結ぶ第３輪郭線と、前記第２点と前記第３点とを結ぶ第４輪郭線とは、前記円の内側にあり、
前記第２線分は、前記第２幅を示す
リードフレーム搬送装置。
【請求項４】
請求項３に記載のリードフレーム搬送装置であって、
前記断面は、前記円の中心を対称点とする点対称である
リードフレーム搬送装置。
【請求項５】
リードフレームの平面を貫通する送り穴へ柱状の搬送爪を挿入するステップと、
挿入した前記搬送爪を前記平面と直交する前記柱状の内部の回転軸を中心に回転させるステップと、
回転後の前記搬送爪を前記平面と平行な搬送方向へ移動するステップと
を具備し、前記搬送爪の前記搬送方向の断面は、前記搬送方向と直交する前記送り穴の向かい合う第１辺と第２辺との幅よりも小さい第１幅と、前記第１辺と前記第２辺との幅以上の第２幅とを含み、
前記挿入するステップは、
前記第１辺及び前記第２辺と前記第１幅を表す第１線分とが直交する向きで、前記搬送爪を前記送り穴に挿入するステップ
を含み、
前記回転させるステップは、
挿入した前記搬送爪が前記第１辺及び前記第２辺と接触するように回転させるステップ
を含む
リードフレーム搬送方法。
【請求項６】
請求項５に記載のリードフレーム搬送方法であって、
前記断面の輪郭線は、前記第１辺と前記第２辺との幅と同じ長さの直径を有する円の内側にあり、前記円の中心を通る前記第１線分の両端である第１点及び第２点と、前記円の中心を通る第２線分の両端であり、前記円の円周上の第３点及び第４点とを含み、前記第１点と前記第３点とを結ぶ第１輪郭線と、前記第２点と前記第４点とを結ぶ第２輪郭線とは、前記円の内側にあり、
前記接触するように回転させるステップは、
前記第１点と近接している前記第１辺へ前記第３点を近づけるステップと、
前記第２点と近接している前記第２辺へ前記第４点を近づけるステップと
を含む
リードフレーム搬送方法。
【請求項７】
請求項６に記載のリードフレーム搬送方法であって、
搬送された前記リードフレームの前記平面を押下するステップと、
挿入した前記搬送爪を、前記回転軸を中心に逆方向へ回転させるステップと、
前記送り穴から前記搬送爪を抜くステップと
を更に具備し、
前記逆方向へ回転させるステップは、
前記第３点と近接している前記第１辺へ前記第１点を近づけるステップと、
前記第４点と近接している前記第２辺へ前記第２点を近づけるステップと
を含む
リードフレーム搬送方法。
【請求項８】
請求項６又は７に記載のリードフレーム搬送方法であって、
前記第１点と前記第４点とを結ぶ第３輪郭線と、前記第２点と前記第３点とを結ぶ第４輪郭線とは、前記円の内側にあり、
前記第２線分は、前記第２幅を示す
リードフレーム搬送方法。
【請求項９】
請求項８に記載のリードフレーム搬送方法であって、
前記断面は、前記円の中心を対称点とする点対称である
リードフレーム搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリードフレームの搬送装置及びリードフレームの搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイボンダーやワイヤボンダー等の半導体製造装置におけるリードフレーム搬送装置は、所定の製造工程を実行する位置へリードフレームを正確に搬送する。具体的には、リードフレーム搬送装置は、リードフレームをピッチ送りした後、ピンを挿入して位置決めを行う。その所定の位置での製造工程が終了すると、リードフレーム搬送装置は加工されたリードフレームを再びピッチ送りする。リードフレーム搬送装置が複数のリードフレームを搬送していくなかで、各リードフレームは連続加工されていく。
【０００３】
リードフレーム搬送装置に関する技術が特許文献１に開示されている。図１は、特許文献１のリードフレームの送り装置を示す模式図である。特許文献１に記載のリードフレームの送り装置は、リードフレーム２００に設けたパイロット穴２０１にフィードピン１００を挿入して、所定ピッチでリードフレーム２００を位置決めして移送する。このリードフレームの送り装置は、パイロット穴２０１よりも大径のフィードピン１００が、先端にパイロット穴２０１に入り込む先細のテーパ部を有しており、フィードピン１００をパイロット穴２０１の挿入方向に付勢して支持することを特徴としている。このようなリードフレームの送り装置は、パイロット穴２０１に余分な遊びを設けずにフィードピン１００で位置決めすることができるため、精度良くリードフレーム２００を送ることができるというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平４−２９９５４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のリードフレームの送り装置は、パイロット穴にフィードピンを挿入するとき、カジリによるバリを防止する一定の効果があると考えられる。しかし、本発明者は、特許文献１のリードフレームの送り装置には、以下のような搬送精度の問題点があることを見出した。第１に、フィードピンのテーパ部でリードフレームの送りを行なうと、リードフレーム送り方向以外の分力（水平方向から下向きの分力）がパイロット穴に加わるため、リードフレームの送りずれが生じやすいことである。第２に、パイロット穴の断面形状やフィードピンの付勢力によっては、リードフレームの送りが完了した後、フィードピンがパイロット穴から容易に抜けなくなり、その結果、リードフレームを持ち帰ることによる送りずれが生じてしまうことである。第３に、熱履歴のかかったリードフレームが反っている場合、テーパ部のパイロット穴に対する高さの位置がばらつくため、送りずれやフレームの持ち帰りが生じてしまうことである。
【０００６】
このように、リードフレーム搬送装置において、搬送爪や位置決めピンなどをリードフレームに挿入するときのカジリを防ぐこと、及び、リードフレームを正確に搬送することを両立することは大変困難であった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以下に、発明を実施するための形態で使用される符号を括弧付きで用いて、課題を解決するための手段を記載する。この符号は、特許請求の範囲の記載と発明を実施するための形態の記載との対応を明らかにするために付加されたものであり、特許請求の範囲に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【０００８】
本発明のリードフレーム搬送装置（１）は、リードフレーム（５０）の平面を貫通する送り穴（５１）へ挿入される柱状の搬送爪（１０）と、搬送爪（１０）を送り穴（５１）に挿入し、挿入した搬送爪（１０）を平面と直交する柱状の内部の回転軸（１８）を中心に回転させ、回転後の搬送爪（１０）を平面と平行な搬送方向へ移動する駆動装置（３０）とを具備する。搬送爪（１０）の搬送方向の断面は、搬送方向と直交する送り穴（５１）の向かい合う第１辺（５４）と第２辺（５５）との幅（５２ａ、５３ａ）よりも小さい第１幅（１３ｅ）と、第１辺（５４）と第２辺（５５）との幅（５２ａ、５３ａ）以上の第２幅（１４ｃ）とを含む。駆動装置（３０）は、第１辺（５４）及び第２辺（５５）と第１幅（１３ｅ）を表す第１線分（１３）とが直交する向きで搬送爪（１０）を送り穴（５１）に挿入し、挿入した搬送爪（１０）が第１辺（５４）及び第２辺（５５）と接触するように回転させる。
このようなリードフレーム搬送装置（１）は、送り穴（５１）とのクリアランス（６０）を保持したまま搬送爪（１０）を挿抜することができ、搬送爪（１０）を回転させてクリアランス（６０）をなくしてから、リードフレーム（５０）を搬送することができる。
【０００９】
本発明のリードフレーム搬送方法は、リードフレーム（５０）の平面を貫通する送り穴（５１）へ柱状の搬送爪（１０）を挿入するステップと、挿入した搬送爪（１０）を平面と直交する柱状の内部の回転軸（１８）を中心に回転させるステップと、回転後の搬送爪（１０）を平面と平行な搬送方向へ移動するステップとを具備する。搬送爪（１０）の搬送方向の断面は、搬送方向と直交する送り穴（５１）の向かい合う第１辺（５４）と第２辺（５５）との幅（５２ａ、５３ａ）よりも小さい第１幅（１３ｅ）と、第１辺（５４）と第２辺（５５）との幅（５２ａ、５３ａ）以上の第２幅（１４ｃ）とを含む。挿入するステップは、第１辺（５４）及び第２辺（５５）と第１幅（１３ｅ）を表す第１線分（１３）とが直交する向きで、搬送爪（１０）を送り穴（５１）に挿入するステップを含む。回転させるステップは、挿入した搬送爪（１０）が第１辺（５４）及び第２辺（５５）と接触するように回転させるステップを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のリードフレーム搬送装置は、搬送爪をリードフレームに挿入するときのカジリを防ぐことができ、且つ、リードフレームを正確に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、特許文献１のリードフレームの送り装置を示す模式図である。
【図２】図２は、本発明のリードフレーム搬送装置が搬送するリードフレーム５０を示す平面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態によるリードフレーム搬送装置１を示す模式図である。
【図４】図４は、図３のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態によるリードフレーム搬送装置１の搬送方法を示す図である。
【図６】図６は、図３の搬送爪１０が送り穴５１へ挿入されることを示す図である。
【図７】図７は、送り穴５１に挿入された搬送爪１０断面と、リードフレーム５０の平面とを示す図である。
【図８】図８は、回転後の搬送爪１０と、リードフレーム５０とを示す図である。
【図９】図９は、図７のリードフレーム５０がピッチ送りされたことを示す平面図である。
【図１０】図１０は、搬送爪１０が送り穴５１から引き抜かれることを示す図である。
【図１１】図１１は、本発明と異なるリードフレーム搬送装置を説明する図である。
【図１２】図１２は、図１１に示したリードフレーム搬送装置の搬送方法を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態によるリードフレーム搬送装置を説明する。
【００１３】
図２は、本発明のリードフレーム搬送装置が搬送するリードフレーム５０を示す平面図である。図２を参照すると、リードフレーム５０は板状であり、Ｘ軸方向に並んだ複数の送り穴５１を備える。送り穴５１は、リードフレーム５０の平面のＸＹ面をＺ軸方向（厚み方向）に貫通したものである。送り穴５１の平面の輪郭は、長さ５２ａの短辺５２と、長さ５３ａの短辺５３と、長さ５４ａの長辺５４と、長さ５５ａの長辺５５とで囲まれている。ここでは、短辺５２と短辺５３とが平行であり、長辺５４と長辺５５とが平行である。尚、複数の送り穴５１は並んで配置されていればよく、各送り穴５１の形状は図１に示した口形の他、短辺５２が無いコ形であってもよい。リードフレーム５０は、本発明のリードフレーム搬送装置によってＸ方向に搬送されていく。
【００１４】
図３は、本発明の実施の形態によるリードフレーム搬送装置１を示す模式図である。図３を参照すると、リードフレーム搬送装置１は、搬送爪１０と、押さえ部２０と、駆動装置３０とを具備する。尚、図３において、リードフレーム５０は図１におけるＡ−Ａ断面を示している。
【００１５】
搬送爪１０は、駆動装置３０に基づいて、上下方向（Ｚ軸と平行な方向）及び左右方向（ＸＺ面に平行な方向）へ移動させられる柱状の爪である。また、搬送爪１０は、駆動装置３０に基づいて、内部の回転軸１８を中心に回転させられる。尚、図３では、搬送爪１０の先端の一部分が示されている。
【００１６】
押さえ部２０は、駆動装置３０に基づいて、上下方向に移動させられる。押さえ部２０は、搬送爪１０がリードフレーム５０から抜かれるときに、リードフレーム５０を上から押下して固定する。リードフレーム５０がＸ方向に搬送されるときには、押さえ部２０は上に移動させられてリードフレーム５０から離れる。
【００１７】
駆動装置３０は、リードフレーム５０を搬送するために、搬送爪１０と押さえ部２０とを移動する。詳細には、駆動装置３０は、搬送爪１０を送り穴５１に挿入し、挿入した搬送爪１０をＸＹ面と直交する回転軸１８を中心に回転させる。そして、駆動装置３０は回転後の搬送爪１０を、搬送方向のＸ方向へ移動する。更に、駆動装置３０は、挿入した搬送爪１０を、回転軸１８を中心に逆方向へ回転させ、送り穴５１から搬送爪１０を引き抜く。その後、駆動装置３０は、搬送爪１０を移動して元の位置に戻す。また、駆動装置３０は、押さえ部２０を上下方向に移動して、搬送されたリードフレーム５０の平面を押下する。
【００１８】
搬送爪１０の詳細を説明する。図４は、図３のＢ−Ｂ断面図である。尚、図４では、搬送爪１０の断面の形状を説明するために、送り穴５１が示されている。図４を参照すると、搬送爪１０の断面は、幅１３ｅと、幅１４ｃとを含む。幅１３ｅは、搬送方向であるＸ方向と直交する向かい合う２つの長辺５４と長辺５５との幅（即ち、長さ５２ａ、５３ａ）よりも小さい。従って、搬送爪１０と長辺５４及び長辺５５との間には、クリアランス６０が存在する。幅１４ｃは、長辺５４と長辺５５との幅以上である。駆動装置３０は、搬送爪１０を図４に示した向きで、送り穴５１へ挿入することになる。つまり、駆動装置３０は、長辺５４及び長辺５５と、幅１３ｅを表す線分１３とが直交する向きで搬送爪１０を送り穴５１に挿入する。その後、駆動装置３０は、中心１２を通りＺ軸に平行な回転軸１８を中心として、挿入した搬送爪１０が長辺５４及び長辺５５と接触するように回転させる。このとき、搬送爪１０は、幅１４ｃが長辺５４と長辺５５との幅以上であるため、長辺５４及び長辺５５に相当する送り穴５１の内面と当たることになる。つまり、搬送爪１０は、回転によって搬送爪１０と長辺５４及び長辺５５との間のクリアランス６０が無くなるように作用する。これは、リード間隔の異なる（長さ５２ａが異なる）リードフレーム５０を搬送するときでも、搬送爪１０の交換をせずに対応することができる効果を奏する。但し、搬送爪１０が回転して長辺５４及び長辺５５と接触した２つの接触位置を結ぶ線は、搬送精度を高める観点から、搬送方向のＸ方向に平行であることが好ましい。従って、幅１４ｃは、長辺５４と長辺５５との幅（長さ５２ａ、５３ａ）と同じであることが好ましい。尚、図４では、好ましい断面形状として、幅１４ｃは長辺５４と長辺５５との幅（長さ５２ａ、５３ａ）と同じ幅で示されている。
【００１９】
更に、図４を参照して、搬送爪１０の断面の輪郭線の詳細を説明する。搬送爪１０の断面の輪郭線は、点１３ｃと、点１３ｄと、点１４ａと、点１４ｂとを含む。点１３ｃ及び点１３ｄは、長さ５２ａ（長さ５３ａ）と同じ長さの直径を有する円１９の内側にあり、円１９の中心１２を通る線分１３の両端である。点１４ａ及び点１４ｂは、中心１２を通る線分１４の両端であり、円１９の円周上にある。点１３ｃと、点１４ａと、点１３ｄと、点１４ｂとを結ぶ搬送爪１０の断面の輪郭線は円１９の内側にある。駆動装置３０は、搬送爪１０を図４に示した状態から、中心１２を通る回転軸１８を中心として、右に９０度回転させることになる。つまり、駆動装置３０は、送り穴５１に挿入した搬送爪１０を、点１３ｄと近接している長辺５４へ点１４ａを近づけ、点１３ｃと近接している長辺５５へ点１４ｂを近づける方向に回転させる。従って、点１３ｄと点１４ａとを結ぶ輪郭線と、点１３ｃと点１４ｂとを結ぶ輪郭線とは、必ず円１９の内側にある。しかし、点１３ｄと点１４ｂとを結ぶ輪郭線と、点１３ｃと点１４ａとを結ぶ輪郭線とは円１９の外側でもよい。但し、搬送爪１０の断面は、回転方向を限定しないことや、搬送爪１０の製造を容易とすることなどから、円１９の中心１２を対称点とする点対称であることが好ましい。図４では、輪郭線は楕円状に示されているが、四角形などの多角形でもよい。
【００２０】
図５は、本発明の実施の形態によるリードフレーム搬送装置１の搬送方法を示す図である。図５を参照しながら、リードフレーム搬送装置１の搬送方法を説明する。
【００２１】
ステップＡ０１：
駆動装置３０は、リードフレーム５０を固定している押さえ部２０を上昇させる。
【００２２】
ステップＡ０２：
駆動装置３０は、リードフレーム５０の平面を貫通する送り穴５１へ、柱状の搬送爪１０を挿入する。図６は、図３の搬送爪１０が送り穴５１へ挿入されることを示す図である。図６を参照すると、駆動装置３０は、長辺５４及び長辺５５と、幅１３ｅを表す線分１３とが直交する向きで、搬送爪１０を送り穴５１に挿入する。送り穴５１に挿入された搬送爪１０は、長辺５４及び長辺５５に相当する送り穴５１の内面と接触せず、クリアランス６０が存在する。
【００２３】
図７は、送り穴５１に挿入された搬送爪１０断面と、リードフレーム５０の平面とを示す図である。図７を参照すると、搬送爪１０は、送り穴５１の平面の輪郭となる短辺５２、短辺５３、長辺５４、及び長辺５５との何れにも接していない。そして、線分１３と長辺５４及び長辺５５とが直交し、線分１３と長辺５４及び長辺５５とが平行になる。このように挿入されることで、搬送爪１０とリードフレーム５０とは接触することがなく、カジリを防止することができる。
【００２４】
ステップＡ０３：
駆動装置３０は、挿入した搬送爪１０を、回転軸１８を中心に回転させる。図７を参照すると、駆動装置３０は、中心１２を通る回転軸１８を中心として右に９０度回転させる。つまり、駆動装置３０は、挿入した搬送爪１０が長辺５４及び長辺５５と接触するように回転させる。言い換えると、駆動装置３０は、線分１４の点１４ａ及び点１４ｂが、送り穴５１の長辺５４及び長辺５５と接するように回転させる。
【００２５】
図８は、回転後の搬送爪１０と、リードフレーム５０とを示す図である。図８を参照すると、線分１４の点１４ａ及び点１４ｂが、送り穴５１の長辺５４及び長辺５５と接していることが示されている。その結果、搬送爪１０と、送り穴５１との間のクリアランスがなくなっている。
【００２６】
ステップＡ０４：
駆動装置３０は、回転後の搬送爪１０を搬送方向であるＸ方向へ移動する。即ち、リードフレーム搬送装置１は、リードフレーム５０をピッチ送りする。図９は、図７のリードフレーム５０がピッチ送りされたことを示す平面図である。図９を参照すると、搬送爪１０は、搬送方向に平行な線分１４が長辺５４及び長辺５５と直交するため、リードフレーム５０との間にクリアランスが生じていない。このとき、リードフレーム搬送装置１は、リードフレーム５０に対して、上から押さえつける力をかけていないため、リードフレーム５０の送りずれを防止することができる。
【００２７】
ステップＡ０５：
駆動装置３０は、押さえ部２０を下降させ、搬送されたリードフレーム５０の平面を押下する。
【００２８】
ステップＡ０６：
駆動装置３０は、挿入した搬送爪１０を、回転軸１８を中心に逆方向へ回転させる。図９を参照すると、駆動装置３０は、回転軸１８を中心として左に９０度回転させる。つまり、駆動装置３０は、搬送爪１０が長辺５４及び長辺５５と接触しなくなるように回転させる。
【００２９】
ステップＡ０７：
駆動装置３０は、搬送爪１０を上昇させて、送り穴５１から搬送爪１０を引き抜く。図１０は、搬送爪１０が送り穴５１から引き抜かれることを示す図である。図１０を参照すると、駆動装置３０は、長辺５４及び長辺５５と、幅１３ｅを表す線分１３とが直交する向きで、搬送爪１０を送り穴５１から引き抜く。搬送爪１０と、長辺５４及び長辺５５に相当する送り穴５１の内面との間にはクリアランス６０が存在するため、リードフレーム搬送装置１は、リードフレーム５０を持ち帰ることなく搬送を完了することができる。
【００３０】
ステップＡ０８：
駆動装置３０は、搬送爪１０を元の位置へ戻す。
【００３１】
以上のように、本発明のリードフレーム搬送装置１は、リードフレーム５０に接触しない位置関係で搬送爪１０を挿入すること、搬送爪１０を回転させてクリアランス６０を無くすこと、及び、クリアランス６０が無くなった状態でリードフレーム５０を搬送することに基づいて、カジリを防ぎながら搬送精度を高めることができる。そして、本発明のリードフレーム搬送装置１は、ピッチ送りの終端で搬送爪１０を停止させ、そのまま半導体組立て動作を行うと、位置決めピンを無くすことができる。従って、本発明のリードフレーム搬送装置１は、リードフレーム５０に加わる外力を減らす効果も奏する。
【００３２】
図１１は、本発明と異なるリードフレーム搬送装置を説明する図である。尚、前述した構成と同じものには同じ符号を用いて説明する。図１１を参照すると、搬送爪７０は、送り穴５１に挿入されており、長辺５４及び長辺５５との幅（長さ５２ａ、長さ５３ａ）よりも短い幅７１を有している。搬送爪７０と送り穴５１との間には、クリアランス６１が存在する。
【００３３】
図１２は、図１１に示したリードフレーム搬送装置の搬送方法を示す図である。図１２を参照しながら、図１１に示したリードフレーム搬送装置の搬送方法を説明する。
【００３４】
図１１のリードフレーム搬送装置は、搬送爪７０と位置決めピン８０と、それらを駆動させる駆動装置とで構成されている。駆動装置は、リードフレーム５０を固定している位置決めピン８０を上昇させる（ステップＢ０１）。駆動装置は、リードフレーム５０の送り穴５１へ、搬送爪７０を挿入する（ステップＢ０２）。駆動装置は、リードフレーム５０をピッチ送りする（ステップＢ０３）。駆動装置は、位置決めピン８０を下降させる（ステップＢ０４）。駆動装置は、搬送爪７０を上昇させる（ステップＢ０５）。駆動装置は、搬送爪７０を元の位置へ移動する（ステップＢ０６）。
【００３５】
この方式によると、ステップＢ０２では、図１１に示したクリアランス６１が一定以上必要となる。しかし、ステップＢ０４ではクリアランス６１が大きいと、リードフレーム５０のカジリが発生するため、搬送精度に問題が生じてしまう。本発明のリードフレーム搬送装置１は、この問題点を解消することができる。つまり、本発明のリードフレーム搬送装置１は、搬送爪１０を回転させることで、搬送爪１０をリードフレーム５０に挿入するとき及び引き抜くときのカジリを防止しつつ、リードフレーム５０を正確に搬送することが可能となっている。しかも、本発明のリードフレーム搬送装置１は、位置決めピンを必要としない効果も奏している。
【符号の説明】
【００３６】
１      リードフレーム搬送装置
１０    搬送爪
１２    中心
１３、１４  線分
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１４ａ、１４ｂ  点
１３ｅ、１４ｃ  幅
１８    回転軸
１９    円
２０    押さえ部
３０    駆動装置
５０    リードフレーム
５１    送り穴
５２、５３    短辺
５４、５５    長辺
５２ａ〜５５ａ  長さ
６０、６１    クリアランス
７０    搬送爪
７１    幅
８０    位置決めピン
１００  フィードピン
２００  リードフレーム
２０１  パイロット穴
【図１】
2011165845.tif 000003
【図２】
2011165845.tif 000004
【図３】
2011165845.tif 000005
【図４】
2011165845.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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