(57)【要約】【課題】吸着ヘッド及び吸着パッドで吸着した基板の保持状態を一定に保つことのできる基板吸着装置を提供する。【解決手段】吸着ヘッド２と、この吸着ヘッド２の先端外周部に装着された弾性変位可能な吸着パッド３とを備え、これら吸着ヘッド２及び吸着パッド３で基板１５を吸着する基板吸着装置。この基板吸着装置では、吸着パッド３の吸着面１０は、吸着ヘッド２の先端面１２より前方に突出している。バキュームにより吸着パッド３が撓むと、前記吸着ヘッド２の先端面１２に基板１５が接触する。【選択図】図３
2011165850.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バキュームされて真空状態となるエアー吸引通路を有した吸着ヘッドと、該吸着ヘッドの先端外周部に装着された弾性変位可能な吸着パッドとを備え、これら吸着ヘッド及び吸着パッドで基板を吸着する基板吸着装置であって、
前記吸着パッドの吸着面は、前記基板を吸着するに際して前記吸着ヘッドの先端面に先行して該基板に接触するように、該吸着ヘッドの先端面より前方に突出しており、且つ、バキュームにより吸着パッドが撓んで前記吸着ヘッドの先端面に前記基板が吸着される
ことを特徴とする基板吸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板吸着装置であって、
前記吸着パッドは、ゴム材料からなり、前記吸着ヘッドの先端外周部に装着されている
ことを特徴とする基板吸着装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の基板吸着装置であって、
前記吸着ヘッドに、吸着した前記基板を撮像手段で撮影した際に、該基板の背後の写り込みを防止する該基板よりも大きな背景写り込み防止部を設けた
ことを特徴とする基板吸着装置。
【請求項４】
吸着ヘッドの先端外周部に装着された弾性変位可能な吸着パッドを備えた基板吸着装置でバキュームすることにより基板を吸着する基板吸着方法であって、
前記吸着パッドが前記吸着ヘッドに先行して前記基板に接触した後、バキュームにより該吸着パッドが撓んで前記吸着ヘッドの先端面に前記基板が接触して吸着される
ことを特徴とする基板吸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を吸着パッドでバキュームして吸着する基板吸着装置及び基板吸着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）の中には、配線板に取り付けられた嵌合部やコネクタ部等を補強する目的で補強板が貼り合わせられたものがある（例えば、特許文献１に記載）。
【０００３】
補強板をフレキシブルプリント配線板に貼り合わせるには、トレイに積まれた補強板を基板吸着装置で吸着して取り出した後、フレキシブルプリント配線板が設けられたテーブルまで補強板を搬送し、該フレキシブルプリント配線板の所定位置に補強板を置いて接着固定する（例えば、特許文献２に記載）。
【０００４】
この種の基板吸着装置では、ゴム製の吸着パッドで補強板を押し付け、吸着パッドの中心に形成されたエアー吸引通路をバキュームして真空状態とすることで、前記補強板を吸着するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−９２４５８号公報
【特許文献２】特開２００７−１８９１４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ゴム製の吸着パッドを使用した場合、当該吸着パッドは方向性がなく潰れるため、吸着保持する補強板の保持状態が変化する。具体的には、基板吸着装置に対する補強板の吸着水平位置及び吸着高さ位置が一定にならない。その結果、フレキシブルプリント配線板に対する補強板の貼り合わせ精度が低下する。
【０００７】
この一方、ゴム製の吸着パッドに代えて弾性変形しない樹脂製の吸着パッドを使用した場合は、補強板をトレイから取り出して貼り合わせ位置へと搬送する搬送時や補強板の向きを変える回転時に、先端に吸着した補強板が吸着パッドから滑り易い。そのため、樹脂製の吸着パッドでは、ゴム製の吸着パッドを使用した場合と同様、フレキシブルプリント配線板に対する補強板の貼り合わせ精度の低下が避けられない。
【０００８】
そこで、本発明は、吸着した基板の保持状態を一定に保つことのできる基板吸着装置及び基板吸着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、バキュームされて真空状態となるエアー吸引通路を有した吸着ヘッドと、該吸着ヘッドの先端外周部に装着された弾性変位可能な吸着パッドとを備え、これら吸着ヘッド及び吸着パッドで基板を吸着する基板吸着装置であって、前記吸着パッドの吸着面は、前記基板を吸着するに際して前記吸着ヘッドの先端面に先行して該基板に接触するように、該吸着ヘッドの先端面より前方に突出しており、且つ、バキュームにより吸着パッドが撓んで前記吸着ヘッドの先端面に前記基板が吸着されることを特徴としている。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板吸着装置であって、前記吸着パッドは、ゴム材料からなり、前記吸着ヘッドの先端外周部に装着されている。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の基板吸着装置であって、前記吸着ヘッドに、吸着した前記基板を撮像手段で撮影した際に、該基板の背後の写り込みを防止する該基板よりも大きな背景写り込み防止部を設けたことを特徴としている。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、吸着ヘッドの先端外周部に装着された弾性変位可能な吸着パッドを備えた基板吸着装置でバキュームすることにより基板を吸着する基板吸着方法であって、前記吸着パッドが前記吸着ヘッドに先行して前記基板に接触した後、バキュームにより該吸着パッドが撓んで前記吸着ヘッドの先端面に前記基板が接触して吸着されることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の基板吸着装置によれば、弾性変位可能な吸着パッドが吸着ヘッドの先端面に先行して基板に接触した後、バキュームにより吸着パッドが撓んで吸着ヘッドの先端面に基板が吸着されることになるため、吸着ヘッドの先端外周部に装着された吸着パッドの潰れ方向がこの吸着ヘッドにより規制される。また、本発明の基板吸着装置によれば、バキュームにより吸着パッドが撓んで吸着ヘッドの先端面に基板が吸着されるため、吸着パッドと吸着ヘッドの両方で基板を吸着して保持することになり、基板の回転ずれを防止することができると共に基板の吸着高さ位置を一定にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は本実施形態の基板吸着装置の全体を示す断面図である。
【図２】図２は本実施形態の基板吸着装置の先端部分を示す要部拡大断面図である。
【図３】図３は本実施形態の基板吸着装置により基板を吸着する工程図であり、（Ａ）は基板吸着前の状態を示す断面図、（Ｂ）はトレイ上の基板に吸着パッドを接触させた状態を示す断面図である。
【図４】図４は本実施形態の基板吸着装置により基板を吸着する工程図であり、バキュームすることにより吸着ヘッドの先端面に基板を接触して吸着させた状態を示す断面図である。
【図５】図５は本実施形態の基板吸着装置により基板を吸着する工程図であり、吸着した基板をフレキシブルプリント配線板上に貼り合わせる状態を示す断面図である。
【図６】図６はゴム製の吸着パッドを備えた基板吸着装置で基板を吸着してフレキシブルプリント配線板上に貼り合わせる工程図であり、（Ａ）は基板吸着前の状態を示し、（Ｂ）は吸着パッドで基板を吸着した状態を示し、（Ｃ）は吸着した基板をフレキシブルプリント配線板に貼り付ける状態を示す。
【図７】図７は樹脂製の吸着パッドを示す断面図である。
【図８】図８はゴム製の吸着パッドと樹脂製の吸着パッドで基板を吸着して水平方向に基板を繰り返し移動させた時の吸着パッドと基板間のスリップ量を示した図である。
【図９】図９はゴム製の吸着パッドと樹脂製の吸着パッドで基板を吸着して面内方向で基板を回転させた時の吸着パッドと基板間のスリップ角度を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を適用した具体的な実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
［基板吸着装置の構造説明］
先ず、本実施形態の基板吸着装置の構造を説明する。本実施形態の基板吸着装置は、図１及び図２に示すように、バキュームされて真空状態となるエアー吸引通路１を有した吸着ヘッド２と、この吸着ヘッド２の先端外周部に装着されて弾性変位可能な吸着パッド３とを備え、これら吸着ヘッド２と吸着パッド３で基板を吸着するように構成されている。
【００１６】
吸着ヘッド２は、バキューム手段が接続される大径部４と、この大径部４よりも小さな小径部５と、吸着パッド３を装着させるパッド装着部６と、背景写り込み防止部７とからなる。この吸着ヘッド２は、吸着パッド３よりも硬度が高い樹脂から形成されている。例えば、吸着ヘッド２は、日本ポリペンコ株式会社のＭＣナイロン（商品名）を成形して形成される。
【００１７】
大径部４には、エアー吸引通路１を真空状態とするバキューム手段を接続させるネジ孔８が形成されている。ネジ孔８は、大径部４の外側からエアー吸引通路１に貫通して形成されている。小径部５は、大径部４の先端側に形成され、該大径部４よりも小さな直径とされている。パッド装着部６は、小径部５の先端に形成され、該小径部５よりも更に小さな直径とされている。このパッド装着部６には、その外周部に装着した吸着パッド３の脱落を防止する段差部９が形成されている。この段差部９に吸着パッド３が係止されることで、前記パッド装着部６からの吸着パッド３の脱落が防止される。
【００１８】
背景写り込み防止部７は、大径部４と小径部５の間に形成されている。この背景写り込み防止部７は、大径部４よりも大きく且つ後述する吸着対象物である基板よりも大きな直径とされた円盤形状として形成されている。この背景写り込み防止部７は、吸着した基板を下方から上方に向けて撮像手段で撮影した際に、基板の後ろ側に何らかの物が写り込まないようにするための機能をする。
【００１９】
吸着パッド３は、例えばＮＢＲ（ニトリルゴム）やシリコーンゴム等のゴム材料からなり、前記吸着ヘッド２の先端外周部に装着されている。ＮＢＲやシリコーンゴムであれば、充分な耐熱性があるため、後述する温められたテーブル上に基板を押し付けても充分に耐え得ることができる。この吸着パッド３は、基板に接触するスカート部３Ａと、パッド装着部６の外周囲に密着する胴体部３Ｂとからなる。スカート部３Ａは、基板吸着装置２全体を下降させて基板にその吸着面１０を押し付けた際に、それ自身の持つ弾性で撓み易いように径方向にスリット１１が形成されている。
【００２０】
また、吸着パッド３の吸着面１０は、基板を吸着するに際して前記吸着ヘッド２の先端面１２に先行して該基板に接触するように、該吸着ヘッド２の先端面１２より前方に突出している。別の見方をすると、吸着ヘッド２の先端面１２は、吸着パッド３の吸着面１０から距離Ｈだけ後退している。前記距離Ｈは、スカート部３Ａの撓み代（潰れ代）よりも短くされている。例えば、スカート部３Ａの撓み代を０．５ｃｍとした場合、前記距離Ｈはその値よりも短い０．３ｃｍ程度とされる。
【００２１】
前記距離Ｈがスカート部３Ａの撓み代よりも長いと、基板を押した時に吸着ヘッド２の先端面１２が基板に接触しなくなる。一方、吸着ヘッド２の先端面１２が吸着パッド３の吸着面１０よりも突出していると、スカート部３Ａが撓まなくなる。
【００２２】
［基板吸着方法の説明］
次に、以上のように構成された基板吸着装置を使用して基板を吸着する方法について説明する。先ず、図３（Ａ）に示すように、前記した基板吸着装置１３を所定位置にセットする。次に、この基板吸着装置１３を、図３（Ｂ）に示すように、トレイ１４の上に載せた基板１５に接近するように下降させる。
【００２３】
前記基板吸着装置１３を基板１５に接近するように下降させると、吸着パッド３が吸着ヘッド２に先行して基板１５に接触する。具体的には、吸着パッド３の吸着面１０が吸着ヘッド２の先端面１２よりも先に基板１５に接触する。そして、基板吸着装置１３によりトレイ１４に力が掛からないように、ゴム材料からなる吸着パッド３のみで基板１５を押す位置を下死点とする。前記基板１５には、例えばフレキシブルプリント配線板に取り付けられた嵌合部やコネクタ部等を補強するための補強板が使用される。本実施形態では、前記基板１５として厚み０．１ｍｍ程度の金属板を用いた。
【００２４】
次に、バキューム手段でバキュームすることによりエアー吸引通路１を真空状態とする。エアー吸引通路１内の真空度が上がると、吸着パット３のスカート部３Ａが縮み上がり、前記基板１５が上方へ持ち上げられることになる。基板１５は、最終的に吸着ヘッド２の先端面１２に接触する。その結果、基板１５は、吸着ヘッド２の先端面１２と吸着パット３の吸着面１０に接触された状態を保って、前記基板吸着装置１３に吸着保持される。
【００２５】
次に、トレイ１４から基板１５を取り出した後、基板吸着装置１３を移動させて図４で示すカメラ（撮像手段）１６の真上に基板１５を配置させる。このカメラ１６によって、吸着パッド３で基板１５を吸着した時の画像を撮影することで、吸着パッド３に対する基板１５の基準位置と傾きを調べる。吸着パッド３に対する基板１５の基準位置と傾きは、該基板１５に設けられた基準孔の位置と、該基板１５の一辺と基準線とのなす角度から求められる。これら基準孔の位置と前記なす角度を求めるには、吸着パッド３に吸着された基板１５とカメラ１６の垂直距離（焦点距離）Ｌが必要となる。そのため、前記基板１５とカメラ１６の垂直距離Ｌは、正確でなくてはならない。
【００２６】
本実施形態では、基板１５は、ゴム材料からなる吸着パッド３に吸着されていることに加えて、この吸着パッド３よりも硬度の高い樹脂からなる吸着ヘッド２の先端面１２に接触した状態にある。その結果、トレイ１４から基板１５を複数回に亘って取り出しても常に、基板吸着装置１３に対する基板１５の吸着高さが一定になることから、前記基板１５とカメラ１６との垂直距離Ｌにバラツキが無くなる。これにより、基板吸着装置１３に対する基板１５の基準位置と傾きを正確に測定することができる。
【００２７】
次に、図５に示すように、基板吸着装置１３をフレキシブルプリント配線板１７が設けられたテーブル上へ移動させ、該フレキシブルプリント配線板１７の所定部位に基板１５を位置合わせして貼り合わせる。基板１５をフレキシブルプリント配線板１７に貼り合わせるに際しては、先のカメラとは別のカメラ（図示は省略する）でフレキシブルプリント配線板１７のテーブルに対する配置状態を撮影し、その撮影して得られた画像からフレキシブルプリント配線板１７のテーブルに対する配置位置及び傾きを求める。そして、このフレキシブルプリント配線板１７の基準位置と傾きと、先の吸着パッド３で吸着した基板１５の基準位置と傾き、及び両者の位置をデータとして、基板吸着装置１３を下降させてフレキシブルプリント配線板１７の所定部位に基板１５を載せる。
【００２８】
フレキシブルプリント配線板１７の基板貼り付け部位には、ホットメルト接着剤が貼ってある。一方、テーブルは、ヒータ等で加熱されている。このため、基板１５は、半溶融状態にある接着剤によってフレキシブルプリント配線板１７に貼り付けられる。基板１５をフレキシブルプリント配線板１７に貼り付ける際には、基板１５をフレキシブルプリント配線板１７に一定の力で押し付けるようにする。その結果、基板１５は、フレキシブルプリント配線板１７の所定部位に正確に貼り付けられる。
【００２９】
この一方、本実施形態のようなゴム材料からなる吸着パッド３と、該吸着パッド３よりも硬度の高い樹脂からなる吸着ヘッド２を組み合わせた基板吸着装置１３ではなく、図６に示すゴム材料のみで形成した吸着パッド１８を有した基板吸着装置１９や図７に示す樹脂のみで形成した吸着ヘッド２０からなる基板吸着装置２１を使用した場合は、本実施形態の基板吸着装置１３のように基板１５をフレキシブルプリント配線板１７に対して正確に貼り付けることができない。
【００３０】
図６に示すゴム材料のみで形成した吸着パッド１８を有した基板吸着装置１９では、吸着パッド１８を基板１５に押し付けてバキュームした場合、吸着パッド内部の真空度が上がることでスカート部１８Ａが撓んで縮み上がり、基板１５が上方向に持ち上げられる（図６（Ａ）から図６（Ｂ）に示す状態となる）。
【００３１】
基板１５の持ち上がり量ＳＦは、バキュームによる真空度と基板重量のバランスで決定され、本実施形態のように常に一定にならない。そのため、基板１５とカメラ１６の垂直距離（焦点距離）Ｌが基板取り出し毎に変化する可能性が高い。これにより、吸着パッド１８に吸着された基板１５の位置と傾きを正確に測定することができない。また、基板１５を吸着した吸着パッド１８の下死点位置（言い換えれば、前記垂直距離Ｌ）が変化してしまうと、図６（Ｃ）に示すように基板１５を２枚重ねのままフレキシブルプリント配線板１７に貼り付けてしまう可能性がある。特に、０．１ｍｍ程度と極めて厚みの薄い金属板を基板１５とした場合は、２枚重ねのままフレキシブルプリント配線板１７に基板１５を貼り付けてしまいかねない。
【００３２】
また、ゴム材料のみで形成した吸着パッド１８では、潰れ方に方向性がないため、基板１５の吸着状態が一定とならない。そのため、基板１５を吸着する度に吸着パッド１８に対する基板１５の吸着状態が変化し、フレキシブルプリント配線板１７への貼り合わせ精度に悪影響を及ぼす。
【００３３】
これに対して、図７に示す樹脂のみで形成した吸着ヘッド２０からなる基板吸着装置２１では、基板１５をトレイ１４から取り出す際に吸着ヘッド２０で押し込むと、トレイ１４自体が変形し基板１５を吸着できずにエラーが発生する場合がある。
【００３４】
また、基板１５をトレイ１４から吸着して取り出しカメラ１６が設けられた位置まで移動させた後、再びフレキシブルプリント配線板１７が設けられたテーブルまで移動させる動作を行うが、生産性の向上を図るべく基板吸着装置の移動高速化が求められる。基板吸着装置を高速で移動させると、樹脂のみで形成した吸着ヘッド２０からなる基板吸着装置２１では、基板１５を吸着している部位でスリップが生じる。
【００３５】
例えば、基板吸着装置２１を水平方向であるＸ方向及びＹ方向にストロークを１６２ｍｍ、３００ｍｍ、５４０ｍｍとして、加速度を持った各ストロークで１０往復させた時の移動前と移動後の基板１５のずれ量（吸着パッドと基板のずれ量）を測定した結果を図８に示す。この実験では、吸着ヘッド２０の先端部２２に開口するエアー吸引通路１の直径Φを１．５ｍｍ、３．０ｍｍとした。また、図１で示す本実施形態の基板吸着装置１３を使用して同様に測定した。図８中、斜線は直径１．５ｍｍとした場合の実験データ、黒塗りは直径３．０ｍｍとした場合の実験データ、白抜きは本実施形態の実験データである。
【００３６】
この結果から分かるように、吸引通路１の直径Φを１．５ｍｍとした場合、ストローク３００ｍｍの時にＹ方向に大きくスリップする結果となった。吸引通路１の直径Φが３．０ｍｍ（図８の黒塗りで示す）では、Φ１．５ｍｍ（図８の斜線で示す）に比べてスリップする量が減っているものの無視できる範囲内ではない。これに対して、本実施形態（図８の白抜きで示す）では、Ｘ方向及びＹ方向の何れの方向においてスリップするずれ量が少なく無視できる範囲となっている。
【００３７】
図９には、基板吸着装置２１を水平面内で回転させ、その回転の角加速度を徐々に増やしながらスリップ量を測定した実験結果を示す。図９中、線Ａはエアー吸引通路１を直径３．０ｍｍとした基板吸着装置２１を使用したときの実験データ、線Ｂは本実施形態の基板吸着装置１３を使用したときの実験データである。吸引通路１の直径Φが３．０ｍｍの時は、装置の最大角加速度（約１７,０００degree/s2)に達する前にスリップしてしまう。これに対して、本実施形態の基板吸着装置１３では、装置の最大角加速度でもスリップしない。
【００３８】
以上のように、本実施形態の基板吸着装置によれば、弾性変位可能な吸着パッド３が吸着ヘッド２の先端面１２に先行して基板１５に接触した後、バキュームにより吸着パッド３が撓んで吸着ヘッド２の先端面１２に基板１５が吸着されることになるため、吸着ヘッド２の先端外周部に装着された吸着パッド３の潰れ方向がこの吸着ヘッド２により規制される。そのため、従来のように吸着パッド３の潰れ方向が定まらないことによる基板１５の吸着状態変化が無くなり、常に一定の状態で基板１５を吸着保持することができる。また、基板１５の吸着時には、吸着ヘッド２の先端面１２に基板１５が接触するため、吸着パッド３が更に潰れないことから、該基板１５の吸着状態が安定化する。これらの結果、本実施形態の基板吸着装置によれば、フレキシブルプリント配線板１７への基板１５の貼り付け精度を高めることができる。
【００３９】
また、本実施形態の基板吸着装置によれば、吸着ヘッド２の先端面１２に基板１５が接触するため、基板１５をフレキシブルプリント配線板１７に貼り付ける際には正確な下死点位置を検出することができる。これにより、基板１５を２枚重ねてフレキシブルプリント配線板１７に貼り付けることを防止できる。
【００４０】
また、本実施形態の基板吸着装置によれば、吸着パッド３のスカート部３Ａはバキュームにより基板１５を吸着することで縮み上がるものの吸着ヘッド２の先端面１２に基板１５が接触するため、常にこの吸着ヘッド２の先端面１２に基板１５が接触することになるからカメラ１６から基板１５までの垂直距離（カメラの焦点距離）Ｌを一定にすることができる。
【００４１】
また、本実施形態の基板吸着装置によれば、バキュームにより吸着パッド３が撓んで吸着ヘッド２の先端面１２に基板１５が吸着されるため、吸着パッド３と吸着ヘッド２の両方で基板１５を吸着することになり、基板１５の回転ずれを吸着パッド３で防止することができると共に、吸着ヘッド２で基板１５の吸着高さ位置を一定に保つことができる。したがって、本実施形態の基板吸着装置によれば、基板吸着装置を高速で移動させても基板１５のスリップ及び回転ずれを抑制することができる。
【００４２】
また、本実施形態の基板吸着装置によれば、吸着ヘッド２の先端面１２よりも前方に吸着パッド３のスカート部３Ａが突出しているので、基板１５をトレイ１４から取り出す際に、吸着パッド３が基板１５に接触した状態（吸着ヘッド２の先端面１２が基板１５と非接触の状態）で基板吸着装置１３の下降を停止すると、トレイ１４に負荷を与えずに基板１５を吸着して取り出すことができる。
【００４３】
また、本実施形態の基板吸着装置によれば、ゴム材料とした吸着パッド３を、吸着ヘッド２の先端外周部に装着させた構造であるので、構造自体が簡単でコスト高にならない。
【００４４】
また、本実施形態の基板吸着装置によれば、吸着した基板１５を下方から上方に向けて撮像手段で撮影した際に、基板１５よりも大きな背景写り込み防止部７を吸着ヘッド２に設けたので、この背景写り込み防止部７で基板１５の後ろ側にある背景の写り込みを防止することができ、吸着した基板１５の正確な吸着状態を知ることができる。
【００４５】
本実施形態の基板吸着方法によれば、吸着パッド３が吸着ヘッド２に先行して基板１５に接触した後にバキュームによって吸着パッド３が撓み、吸着ヘッド２の先端面１２に基板１５が接触して吸着されるため、常に基板１５の吸着保持状態を一定に保つことができ、フレキシブルプリント配線板１７への基板１５の貼り合わせ精度を高めることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、吸着パッドでバキュームすることにより基板を吸着する基板吸着装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１…エアー吸引通路
２…吸着ヘッド
３…吸着パッド
６…パッド装着部
７…背景写り込み防止部
１０…吸着面（吸着パッドの吸着面）
１２…先端面（吸着ヘッドの先端面）
１４…トレイ
１５…基板
１６…カメラ（撮像手段）
１７…フレキシブルプリント配線板
【図１】
2011165850.tif 000003
【図２】
2011165850.tif 000004
【図３】
2011165850.tif 000005
【図４】
2011165850.tif 000006
【図５】
2011165850.tif 000007
【図６】
2011165850.tif 000008
【図７】
2011165850.tif 000009
【図８】
2011165850.tif 000010
【図９】
2011165850.tif 000011