(57)【要約】【課題】電気機械変換素子の振動を効率よく被駆動部材に伝達でき、振動効率を向上させることができる超音波モータを提供すること。【解決手段】溝部１４を有する棒状弾性体１２と、棒状弾性体１２に両端を保持され、変位方向と棒状弾性体１２の長手方向との間の角度において鋭角を有した状態で正面１２ａと裏面１２ｂとに配設され、さらに棒状弾性体１２の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して棒状弾性体１２に配置される一対の積層型圧電素子１８と、棒状弾性体１２の先端部に接合されている摩擦子２６と、を具備し、一対の積層型圧電素子１８にそれぞれ位相の異なる交番電圧を印加することにより、縦振動と捻れ振動とを同時に励起し、摩擦子２６に超音波楕円運動を励起させる超音波モータ１であって、超音波モータ１は、摩擦子２６が超音波楕円運動を励起する際に、摩擦子２６近傍に発生する高い剛性と低い剛性とを均等にする均等部２４と、を具備する。【選択図】      図７
2011067001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周において全周に渡って形成される溝部を有する棒状弾性体と、
前記棒状弾性体に両端を保持され、変位方向と前記棒状弾性体の長手方向との間の角度において鋭角を有した状態で前記棒状弾性体の対向する２つの側面にそれぞれ配設され、さらに前記棒状弾性体の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して前記棒状弾性体に配置される一対の積層型圧電素子と、
前記棒状弾性体の先端部に接合されている摩擦子と、
を具備し、
一対の前記積層型圧電素子にそれぞれ位相の異なる交番電圧を印加することにより、縦振動と捻れ振動とを同時に励起し、前記摩擦子に超音波楕円運動を励起させる超音波モータであって、
前記摩擦子が超音波楕円運動を励起する際に、前記摩擦子近傍に発生する高い剛性と低い剛性とを均等にする均等部と、
を具備することを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記均等部は、切り欠き部を有することを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記均等部は、前記棒状弾性体とは異なる材質によって形成される弾性体を有することを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気機械変換素子を駆動源として被駆動部材を駆動する超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして、超音波モータが注目されている。超音波モータは、圧電素子などの振動子の振動を利用する。超音波モータは、従来の電磁型モータと比較して、ギアなしで低回転高トルクが得られる点、保持力が大きい点、高分解能である点、静粛性に富む点、磁気的ノイズを発生せず、また、磁気的ノイズの影響を受けない点等の利点を有している。
【０００３】
このような超音波モータは、電気機械変換素子（積層型圧電素子）と、電気機械変換素子を駆動源とする被駆動部材とを有している。被駆動部材は、電気機械変換素子の振動によって駆動する。
【０００４】
例えば特許文献１には、構成が単純で、低電圧駆動が可能であるとともに、共振周波数が安定して得られる超音波モータが開示されている。
【０００５】
この超音波モータは、外周の所定位置に溝を設けた角柱状弾性体と、角柱状弾性体の少なくとも対向する２つの側面に傾斜して設けた複数の積層型圧電素子と、角柱状弾性体の端面に接合した摺動用駆動子とを備え、複数の積層型圧電素子にそれぞれ位相の異なる交番電圧を印加することにより、共振縦振動と共振捩れ振動とを同時に励起し、摺動用駆動子の表面に超音波楕円振動を発生するように構成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０８−３１７６６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した積層型圧電素子は、角柱状弾性体において、所望の鋭角を有して配置されている。そのため積層型圧電素子の変形方向が積層型圧電素子の共振縦振動時の変形方向と平行ではないとき、出力箇所である摩擦子近傍や摩擦子が接合されている接合面付近に、剛性の高い部分と剛性の低い部分とが生ずる虞が生じる。剛性の高い部分では変形量が小さくなり、剛性の低い部分では変形量が大きくなる。このように剛性に差が生じると、角柱状弾性体の変形量に差（バラツキ）が生じることとなり、角柱状弾性体において不必要な振動が生じ、角柱状弾性体が不必要に変形し、その結果、摩擦子近傍や接合面付近において変形量に差が生じる為、電気機械変換素子の振動が効率よく被駆動部材に伝達されず、電気機械変換素子の振動効率が低下してしまう虞が生じる。
【０００８】
本発明は、これらの事情に鑑みてなされたものであり、電気機械変換素子の振動を効率よく被駆動部材に伝達でき、振動効率を向上させることができる超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は目的を達成するために、外周において全周に渡って形成される溝部を有する棒状弾性体と、前記棒状弾性体に両端を保持され、変位方向と前記棒状弾性体の長手方向との間の角度において鋭角を有した状態で前記棒状弾性体の対向する２つの側面にそれぞれ配設され、さらに前記棒状弾性体の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して前記棒状弾性体に配置される一対の積層型圧電素子と、前記棒状弾性体の先端部に接合されている摩擦子と、を具備し、一対の前記積層型圧電素子にそれぞれ位相の異なる交番電圧を印加することにより、縦振動と捻れ振動とを同時に励起し、前記摩擦子に超音波楕円運動を励起させる超音波モータであって、前記摩擦子が超音波楕円運動を励起する際に、前記摩擦子近傍に発生する高い剛性と低い剛性とを均等にする均等部と、を具備することを特徴とする超音波モータを提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、電気機械変換素子の振動を効率よく被駆動部材に伝達でき、振動効率を向上させることができる超音波モータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る超音波モータを構成する超音波振動子の上面図である。
【図２】図２は、超音波振動子を図１に示すα方向からみた図（正面図）である。
【図３】図３は、超音波振動子を図１に示すβ方向からみた図（背面図）である。
【図４】図４は、超音波振動子を図１に示すγ方向からみた図（右側面図）である。
【図５】図５は、超音波振動子を図１に示すδ方向から視た図（左側面図）である。
【図６】図６は、超音波振動子を図１に示すα方向から視た場合の超音波振動子の分解図である。
【図７】図７は、超音波振動子を用いた超音波モータの側面図である。
【図８】図８は、超音波振動子を用いた超音波モータの分解図である。
【図９】図９は、超音波振動する前の状態を示す一般的な超音波振動子の側面図である。
【図１０Ａ】図１０Ａは、超音波振動している状態の一般的な超音波振動子の側面図である。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、超音波振動している状態の第１の実施形態の超音波振動子の側面図である。
【図１１】図１１は、弾性体を有する超音波振動子を図１に示すα方向からみた図（正面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。  
図１乃至図１１を参照して第１の実施形態について説明する。  
超音波モータ１は、図１乃至図６に示すような超音波による振動を発生させる超音波振動子１０と、後述する摺動用駆動子２６近傍にて発生する高い剛性と低い剛性とを均等にする均等部２４と、超音波振動子１０の振動が伝達すると駆動する被駆動部材であるロータ５３と、被駆動部材（ロータ５３）と超音波振動子１０とに押圧力を与える押圧機構７０とを有している。
【００１３】
超音波振動子１０は、例えば黄銅材（Ｃ２８０１ＰのＯ材）からなる角柱形状（棒状）の基本弾性体１２と、図示しない駆動源により交番電圧が印加され励振する電気機械変換素子である積層型圧電素子１８と、基本弾性体１２の長手方向上端部に被駆動部材（ロータ５３）と対向して配置され、積層型圧電素子１８による振動を被駆動部材（ロータ５３）に伝達する摺動用駆動子２６とを有している。基本弾性体１２は、下端から例えば１１ｍｍの位置の外周において全周に渡って形成（凹設）されている深さ略１ｍｍ〜略２ｍｍの溝部１４を有している。溝部１４より下方（積層圧電素子１４と反対側）の長さ寸法を変化させ、溝部１４の相対位置を適切（所望）な位置とすることで、共振縦振動モードと共振捩れ振動との共振周波数をほぼ一致させる。
【００１４】
また基本弾性体１２は、基本弾性体１２の正面１２ａに凹部１６ａを有し、正面１２ａに対向する基本弾性体１２の裏面１２ｂに凹部１６ｂを有している。凹部１６ａ，１６ｂは、正面１２ａと裏面１２ｂとに限定される必要はなく、基本弾性体１２の対向する側面１２ｃ，１２ｄに配置されていてもよい。
【００１５】
凹部１６ａは、基本弾性体１２の高さ（長手）方向に対して所望の角度だけ傾けられた状態で正面１２ａに配設されている。凹部１６ｂも凹部１６ａと同様に、基本弾性体１２の高さ（長手）方向に対して凹部１６ａと同じ所望の角度だけ傾けられた状態で裏面１２ｂに配設されている。この場合、凹部１６ａ，１６ｂは、正対して見て逆方向に取付けられている。また凹部１６ａ，１６ｂの傾き角度は、基本弾性体１２の高さ（長手）方向と、凹部１６ａ，１６ｂの長手方向との間において、鋭角である。
【００１６】
この凹部１６ａ，１６ｂには、超音波による振動を発生させる振動本体部であり、電気機械変換素子である積層型圧電素子１８がそれぞれ挿入される。そのため凹部１６ａ，１６ｂに挿入される積層型圧電素子１８も所望の角度だけ傾けられた状態で配置される。凹部１６ａ，１６ｂに挿入される積層型圧電素子１８は、凹部１６ａ，１６ｂと同様に、正面１２ａと裏面１２ｂとにおいて、正対して見て逆方向に取付けられている。つまり積層型圧電素子１８は、基本弾性体１２の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して基本弾性体１２に配置される。
【００１７】
また積層型圧電素子１８の傾き角度は、凹部１６ａ，１６ｂと同様に、基本弾性体１２の高さ方向と、積層型圧電素子１８の長手方向との間において、鋭角である。従って、図４および図５に示すように、積層型圧電素子１８の側面は、表裏面ともに長手方向で同位置に投影されている。つまり積層型圧電素子１８は、変位方向と基本弾性体１２の長手方向との間の角度において鋭角を有した状態で基本弾性体１２の対向する２つの側面である正面１２ａと裏面１２ｂとにそれぞれ配設される。さらにこれら積層型圧電素子１８は、基本弾性体１２の長手方向において正対して見て互いに反対方向に傾斜して基本弾性体１２に配置される。
【００１８】
なお凹部１６ａに配置されている積層型圧電素子１８と、凹部１６ｂに配置されている積層型圧電素子１８とは、基本弾性体１２を挟持していることとなる。またこれら積層型圧電素子１８は、両端を基本弾性体１２（凹部１６ａ，１６ｂと保持用弾性体２０）に保持されていることとなる。
【００１９】
また、凹部１６ａに挿入される積層型圧電素子１８から出されている電気端子は、それぞれＡ端子とＧＮＤ端子とである。また、凹部１６ｂに挿入される積層型圧電素子１８から出されている電気端子は、それぞれＢ端子とＧＮＤ端子とである。
【００２０】
積層型圧電素子１８には、凹部１６ａ，１６ｂに挿入された積層型圧電素子１８を凹部１６ａ，１６ｂに固定させる保持用弾性体２０が当接する。積層型圧電素子１８が凹部１６ａ，１６ｂに挿入されると、保持用弾性体２０は、後述する突起部２８によって基本弾性体１２内部において積層型圧電素子１８に向かってガイドされ、例えば１００Ｎの圧縮力が作用した状態で積層型圧電素子１８に当接し、積層型圧電素子１８を凹部１６ａ，１６ｂに密着固定する。このとき、積層型圧電素子１８に対する保持用弾性体２０の当接面には、エポキシ系接着剤が予め塗布される。その後、保持用弾性体２０は、保持用ネジ２０ａによって基本弾性体１２に固定保持される。
【００２１】
基本弾性体１２は、互いに向かい合う側面１２ｃ，１２ｄを有している。側面１２ｃには、超音波振動子１０が振動（駆動）した（後述する摺動用駆動子２６が超音波楕円運動を励起する）際に、後述する摺動用駆動子２６近傍にて発生する高い剛性と低い剛性とを均等にする均等部２４が形成されている。この均等部２４は、摺動用駆動子２６近傍における剛性のバラツキや、剛性差が生じることを防止し、剛性を均等化し、剛性の高低差を解消する。
【００２２】
一般に剛性に差が生じると、基本弾性体１２において不必要な振動が生じることとなり、基本弾性体１２が不必要に変形してしまう。すると摺動用駆動子２６は、図９に示す状態から図１０Ａに示す状態のように、超音波モータ１の長手方向に対して傾いてしまう。つまり摺動用駆動子２６の平面方向は、超音波モータ１の長手方向に対して傾いてしまう。そのため積層型圧電素子１８の振動が被駆動部材（ロータ５３）に効率よく伝達されず、積層型圧電素子１８の振動効率が低下する。
【００２３】
均等部２４は、剛性を均等にすることで、基本弾性体１２の変形量を所望に調整し（基本弾性体１２の変形量を均等にし）、摺動用駆動子２６の平面方向を超音波モータ１の長手方向に対して略垂直に施し、積層型圧電素子１８の振動を効率よく被駆動部材（ロータ５３）に伝達させ、超音波モータ１の振動効率を向上させる。
【００２４】
本実施形態において、均等部２４は、例えば切り欠き部２４ａを有している。側面１２ｃに形成される切り欠き部２４ａは、基本弾性体１２の長手方向（超音波振動子１０の共振縦振動方向）において、基本弾性体１２の全長の略中心部分に配置されている。切り欠き部２４ａは、基本弾性体１２が傾く（湾曲した）際に内側の側面である側面１２ｃに配設される。これにより切り欠き部２４ａは、基本弾性体１２が傾く際に、内側（側面１２ｃ側）に掛かる力を抑制し、基本弾性体１２が不必要に変形してしまうことを防止する。なお切り欠き部２４ａは、側面１２ｃにおいて、図４に示すように側面１２ｃの幅方向に沿って、正面１２ａと裏面１２ｂとに接するように形成されることが好適である。切り欠き部２４ａは、積層型圧電素子１８の近傍に配置されていることが好適である。
【００２５】
基本弾性体１２の先端（上端）部には、例えば円環状のフェノール樹脂にアルミナセラミックの砥粒を分散させた砥石からなる摩擦子や複合樹脂である摺動用駆動子２６が接合されている。摺動用駆動子２６は、超音波振動子１０の上端部である。
【００２６】
基本弾性体１２の先端部の内部には、保持用弾性体２０を基本弾性体１２内部（凹部１６ａ，１６ｂに挿入された積層型圧電素子１８）にまでガイドするガイド部である突起部２８が配設されている。
【００２７】
基本弾性体１２の中心軸上には、貫通孔３０が穿設されている。この貫通孔３０の中心軸上の超音波振動子１０の縦振動の節位置には、メネジ３２が螺刻されている（図６参照）。
【００２８】
貫通孔３０には、軸５１が嵌装されている。この軸５１は、図７に示すように超音波モータ１の上端部から突出する長さを有している。
【００２９】
またこの軸５１には、オネジ５８,オネジ５９が螺刻されている。  
オネジ５８は、メネジ３２の配設位置（超音波振動子１０の縦振動の節位置）に対応するように軸５１に配設されている。オネジ５８は、メネジ３２と螺合し、その後、接着固定される。これにより軸５１は、基本弾性体１２の縦振動の節部にて接着固定される。  
オネジ５９は、超音波振動子１０の上端部から突出する軸５１の先端部に配設されている。オネジ５９は、ナット５７の配設位置に対応するように軸５１に配設されている。このオネジ５９には、ナット５７が嵌合する。
【００３０】
超音波振動子１０の上端部である摺動用駆動子２６には、摺動用駆動子２６によって駆動される円環状のロータ５３が配設される。詳細には、摺動用駆動子２６に対向するロータ５３の下面には、例えば円環状のセラミックスからなる摺動材５３ａが貼付されている。ロータ５３の断面形状と摺動材５３ａの断面形状とは同一であり、ロータ５３は摺動材５３ａを介して摺動用駆動子２６と接触し、駆動される。
【００３１】
またロータ５３の内部には、ラジアルベアリング５４が配置される。またまたロータ５３の上部には、バネ保持体５５が配設される。バネ保持体５５は、コイルバネ５６を位置決め保持している。
【００３２】
ロータ５３と摺動材５３ａとラジアルベアリング５４とバネ保持体５５とには、軸５１が挿通している。
【００３３】
ロータ５３は、コイルバネ５６によって、バネ保持体５５とラジアルベアリング５４とを介して摺動用駆動子２６に向けて回転可能に押圧固定されている。より詳細には、摺動材５３ａが摺動用駆動子２６に対して押圧固定される。
【００３４】
コイルバネ５６は、バネ保持体５５によって保持され、ナット５７によってバネ保持体５５（軸５１）からの抜けを防止されている。このナット５７は、コイルバネ５６の押圧力を調整する。
【００３５】
つまりコイルバネ５６は、軸５１を螺旋状に囲み、バネ保持体５５によって保持され、ナット５７によって軸５１から外れないように配設される。コイルバネ５６の押圧力は、ナット５７により調節される。コイルバネ５６は、コイルバネ５６の押圧力によって、バネ保持体５５とラジアルベアリング５４とを介してロータ５３を摺動用駆動子２６へと押圧する。
【００３６】
このようにナット５７とコイルバネ５６とバネ保持体５５とラジアルベアリング５４とは、ロータ５３を摺動用駆動子２６に押圧する押圧機構７０である。
【００３７】
次に本発明の動作方法について説明する。  
まず超音波振動子１０の作製方法について説明する。  
図６に示すように積層型圧電素子１８は、凹部１６ａ，１６ｂに挿入される。保持用弾性体２０は、突起部２８に沿って基本弾性体１２内部に挿入され、積層型圧電素子１８に当接する。その後、保持用弾性体２０は、圧縮力１００Ｎの力を作用される。これにより積層型圧電素子１８は、凹部１６ａ，１６ｂに密着固定される。またこの状態で保持用ネジ２０ａにより基本弾性体１２に固定される。なお保持用弾性体２０において、積層型圧電素子１８との当接面すべてにエポキシ系接着剤が塗布されている。そのため保持用弾性体２０は、積層型圧電素子１８と固着する。この後、基本弾性体１２の先端部には、摺動用駆動子２６が接合される。なお摺動用駆動子２６は接着剤等によって基本弾性体１２の先端部に接着されてもよい。これにより超音波振動子１０が形成される。
【００３８】
次に、超音波振動子１０の動作について説明する。  
超音波振動子１０は、超音波振動子１０の寸法が１次の共振縦振動、および１次の（溝部１４より下方の捩れまで考慮すると２次の）共振捩れ振動がほぼ同一周波数Ｆｒで励起できるようになっている。  
共振縦振動は、図２に示す矢印Ｚ方向の振動である。１次の共振捩れ振動は、図１に示す矢印ω方向の振動であり、共振縦振動の振動方向（矢印Ｚ方向）を捩れの軸とする振動である。この周波数近傍には、共振屈曲振動の固有振動はないような形状寸法に形成されている。
【００３９】
まず、Ａ端子に周波数Ｆｒで、振幅Ｖｒの交番電圧を印加し、Ｂ端子に同一周波数、同振幅で同位相の交番電圧を印加すると共振縦振動が励起される。共振縦振動の節位置は、基本弾性体１２の中心軸上のほぼ中央に存在する。  
つぎに、Ａ端子に周波数Ｆｒで、振幅Ｖｒの交番電圧を印加し、Ｂ端子に同一周波数、同振幅で逆位相の交番電圧を印加すると共振捩れ振動が励起される。共振捩れ振動では、基本弾性体１２の中心軸上に節位置がある。  
さらに、Ａ端子に周波数Ｆｒで、振幅Ｖｒの交番電圧を印加し、Ｂ端子に同一周波数、同振幅で位相が９０度異なった交番電圧を印加すると共振縦振動と共振捩れ振動が合成されて、摺動用駆動子２６の位置に超音波楕円振動が励起される。
【００４０】
つぎに、図７と図８とを用いて、超音波振動子１０を用いた本実施例の超音波モータ１の動作方法について説明する。図７と図８とにおいて、超音波振動子１０の貫通孔３０（図６参照）には、軸５１が嵌装される。オネジ５８は、メネジ３２に螺合した後に接着固定される。これにより軸５１は、基本弾性体１２の縦振動の節部と接着固定することとなる。
【００４１】
摺動用駆動子２６（超音波振動子１０の上端部）には、ロータ５３がラジアルベアリング５４およびバネ保持体５５を介して、コイルバネ５６により押圧固定されている。コイルバネ５６の押圧力はナット５７により調節される。ロータ５３は、摺動材５３ａを介して摺動用駆動子２６と当接する。これにより押圧機構７０が形成される。
【００４２】
先に示したように、超音波振動子１０のＡ端子とＢ端子とに、周波数Ｆｒ、振幅Ｖｒ、位相差＋９０度または−９０度の交番電圧を印加する。すると、ロータ５３が摺動用駆動子２６に対して時計回りまたは反時計回りに回転する。  
その際、一般に、例えば積層型圧電素子１８の変形方向が共振縦振動時における積層型圧電素子１８の変形方向に対して非並行方向となると、摺動用駆動子２６近傍において、剛性の高い部分と剛性の低い部分とが発生する。つまり基本弾性体１２において、剛性にバラツキが生じ、剛性に差が生じ、剛性の高低差が生じる。そして基本弾性体１２の変形量に差（バラツキ）が生じることとなり、基本弾性体１２において不必要な振動が生じ、図１０Ａに示すように基本弾性体１２が不必要に変形してしまう。これにより摺動用駆動子２６は、図１０Ａに示すように超音波モータ１の長手方向に対して傾いてしまう。つまり摺動用駆動子２６の平面方向は、超音波モータ１の長手方向に対して傾いてしまう。よって積層型圧電素子１８の振動が被駆動部材（ロータ５３）に効率よく伝達されず、積層型圧電素子１８の振動効率が低下してしまう。
【００４３】
しかしながら本実施形態において、切り欠き部２４ａが配設されているため、積層型圧電素子１８の傾き角度が鋭角であっても、摺動用駆動子２６近傍にて発生する高い剛性と低い剛性とが均等になる。つまり基本弾性体１２において、切り欠き部２４ａによって、剛性のバラツキが抑えられ、剛性に差が生じることを防止され、剛性が均等化し、剛性の高低差が解消される。これにより積層型圧電素子１８が駆動しても、図１０Ｂに示すように摺動用駆動子２６の平面方向は切り欠き部２４ａによって超音波モータ１の長手方向に対して略垂直となり、基本弾性体１２の変形量は切り欠き部２４ａによって均等化される。言い換えると、基本弾性体１２の変形量と剛性のバランスが切り欠き部２４ａによって調整される。
【００４４】
よって基本弾性体１２において、切り欠き部２４ａによって、不必要な振動が生じることが防止され、また図１０Ｂに示すように基本弾性体１２が不必要に変形することが防止され、振動励起前と振動励起後とにおける摺動用駆動子２６近傍の形状の平行性が保持される。そして積層型圧電素子１８の振動が効率よく被駆動部材（ロータ５３）に伝達され、基本弾性体１２の振動効率が向上する。
【００４５】
このように本実施形態では、切り欠き部２４ａによって、基本弾性体１２の不必要な変形を防止でき、積層型圧電素子１８の振動を効率よく被駆動部材（ロータ５３）に伝達でき、積層型圧電素子１８の振動効率を向上させることができる。
【００４６】
また本実施形態では、基本弾性体１２の不必要な変形を防止し、積層型圧電素子１８の振動を効率よく被駆動部材（ロータ）に伝達し、積層型圧電素子１８の振動効率を向上させるために、切り欠き部２４ａを配設するのみでよいため、超音波モータ１を安価にすることができる。
【００４７】
なお均等部２４は、切り欠き部２４ａの代わりに、図１１に示すように例えば基本弾性体１２とは異なる材質によって形成される弾性体２４ｂを有していてもよい。この弾性体２４ｂは、積層型圧電素子１８が駆動する際に、基本弾性体１２の伸縮を抑え、基本弾性体１２よりも硬質な材質によって形成される。弾性体２４ｂは、基本弾性体１２の長手方向において、略中心部分に配設される。弾性体２４ｂは、基本弾性体１２が傾く（湾曲した）際に外側の側面である側面１２ｄに配設される。これにより弾性体２４ｂは、基本弾性体１２が傾く際に、外側（側面１２ｄ側）における強度を強固にし、基本弾性体１２が不必要に変形してしまうことを防止する。なお弾性体２４ｂは、側面１２ｄにおいて、側面１２ｄの幅方向に沿って、正面１２ａと裏面１２ｂとに接するように形成されることが好適である。
【００４８】
これにより第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４９】
また本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。
【符号の説明】
【００５０】
１…超音波モータ、１０…超音波振動子、１２…基本弾性体、１４…溝部、１６ａ，１６ｂ…凹部、１８…積層型圧電素子、２０…保持用弾性体、２０ａ…保持用ネジ、２４…均等部、２４ａ…切り欠き部、２４ｂ…弾性体、２６…摺動用駆動子（摩擦子）、２８…突起部、３０…貫通孔、３２…メネジ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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