(57)【要約】【課題】ガス放電表示パネルにおける表示領域の放電空間内の不純物ガスを吸着除去する吸着材の吸着能力を向上させて、長寿命で信頼性の高いガス放電表示パネルを提供する。【解決手段】第１の基板２と第２の基板３との間に放電空間４を構成し、第１の基板２もしくは第２の基板３のいずれかに放電ガス充填のための通気孔５を有するガス放電表示パネル１において、放電空間４とは異なる吸着材設置空間７に、少なくとも銅イオン交換したＺＳＭ−５型ゼオライトからなる吸着材９を備えるとともに、吸着材９に照射可能な位置に紫外線照射装置１０を設けた。なお、吸着材９は紫外線透過可能な容器に収納する。【選択図】図１
2011165419.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板と第２の基板との間に放電空間を構成し、前記第１の基板もしくは第２の基板のいずれかに真空排気あるいは放電ガス充填のための通気孔を有するガス放電表示パネルにおいて、前記通気孔と通気可能でかつ前記放電空間とは異なる吸着材設置空間に、少なくとも銅イオン交換したＺＳＭ−５型ゼオライトからなる吸着材を備えるとともに、波長が２００〜４００ｎｍの紫外線を前記吸着材に照射可能な紫外線照射装置を設けたことを特徴とするガス放電表示パネル。
【請求項２】
紫外線を受光する少なくとも一部が紫外線透過可能な素材からなる前記吸着材設置空間内に吸着材が配設されており、かつ前記吸着材設置空間の外部に紫外線照射装置を設置し、前記吸着材設置空間を形成する部材における紫外線受光面の少なくとも一部が紫外線透過可能に構成されたことを特徴とする請求項１に記載のガス放電表示パネル。
【請求項３】
吸着材が密閉容器に収納されており、前記密閉容器を形成する部材における紫外線受光面の少なくとも一部が紫外線透過可能に構成され、かつ前記密閉容器が外部からの作用により開放可能であることを特徴とする請求項１または２に記載のガス放電表示パネル。
【請求項４】
紫外線照射装置が、少なくとも２方向以上から吸着材に照射可能であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のガス放電表示パネル。
【請求項５】
紫外線照射装置から直接吸着材に照射されない方向に照射された紫外線の少なくとも一部を、前記吸着材の方向に反射する反射部材を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のガス放電表示パネル
【請求項６】
吸着材設置空間をガス放電表示パネルの背面側に有することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のガス放電表示パネル。
【請求項７】
第１の基板と第２の基板との間に放電空間を構成し、前記第１の基板もしくは第２の基板のいずれかに放電ガスを充填する通気孔を有するガス放電表示パネルにおいて、前記通気孔と通気可能でかつ前記放電空間とは異なる吸着材設置空間に、少なくとも銅イオン交換したＺＳＭ−５型ゼオライトからなる吸着材を備えるとともに、前記吸着材設置空間の少なくとも一部が紫外線透過可能な素材からなることを特徴とするガス放電表示パネル。
【請求項８】
請求項７におけるガス放電表示パネルの吸着材に、吸着材設置空間の外から紫外線を照射することにより、前記吸着材の吸着性能を向上させることを特徴とするガス放電表示パネルの使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス放電表示パネルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイ（以下ＰＤＰと称す）は、ガス放電により発生した紫外線によって、蛍光体を励起発光させ、画面表示するディスプレイである。
【０００３】
従来、ＰＤＰはある画面表示から異なる画面表示に切り替えた場合に、前者の画面表示で点灯させたセルの作動電圧（放電開始電圧及び放電維持電圧）が上昇して点灯が不安定になること（放電ちらつき現象）が問題となっていた。また、長時間点灯を行うと、経時的に動作電圧が変動していくためにセルの放電ちらつき現象がパネルの広範囲で起こるようになる。つまり、不純物ガスの影響によってカソード膜がスパッタされる速度が速くなり、連続点灯においては数千時間でカソード膜からの２次電子放出量が低下して放電異常が起こる等の点灯経時劣化の問題が発生していた。
【０００４】
よって、画面表示が長時間にわたって安定であるためには、パネル内に封入されているガスが高純度に保つ必要がある。そのため、通常ＰＤＰ製造のガス封入工程においては、パネル内を真空排気しながら加熱し、パネル内の不純物ガスを除去した後に放電ガスを封入するという手法が採用されている。
【０００５】
このとき、不純物ガスの除去をより徹底するため、気体吸着効果を有する材料の適用によるパネル内の放電ガス純度の向上についての技術が開示されている。
【０００６】
例えば、ＰＤＰにおける表示不良（放電ガス導入時における不純ガス混入を起因とする、表示領域の局所的な汚染による悪影響）を防止または改善できる技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
上記特許文献によると、ＰＤＰは放電空間を形成する一対の基板により構成され、その少なくとも一方に、排気およびガス充填を行う通気孔などを有するＰＤＰであって、ＰＤＰ表示領域の外側の非表示領域に、放電空間に対する排気及びガス充填のための通気孔を有し、表示領域と通気孔との間に位置する非表示領域の一部に、不純ガスを吸着する性質を持つダミー蛍光体が形成された領域を有する技術が開示されている。
【０００８】
この構成により、ＰＤＰの放電空間への通気孔を通じたガス封入を行う際、そのガス中に不純ガスの混入がある場合、不純ガスはダミー蛍光体により吸着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００９−２６６２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献１に記載の上記従来の構成では、一定量の不純物ガスを吸着可能である。しかしながら、吸着可能な不純物ガスの種類等への言及はなく、また、わずかに残存する不純物ガスが、パネル内に不純物ガス濃度の勾配を発生し、この不純物ガスの勾配により、パネルの特性として駆動電圧や発光輝度の不均一という問題が発生する可能性があるため、より高純度なガス純化が望まれている。
【００１１】
また、ダミー蛍光体は、本来の機能を果たす蛍光体と同じ材料を用いる場合、工程の共通化を図るため、後者の蛍光体と同一平面上にパターン化される可能性が高く、ダミー蛍光体をもたないＰＤＰと比較して平面方向に大型化してしまう懸念がある。
【００１２】
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、ガス放電表示パネルにおける表示領域の放電空間内の不純物ガスを吸着除去する吸着材の吸着能力を向上させて、長寿命で信頼性の高いガス放電表示パネルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明は、第１の基板と第２の基板との間に放電空間を構成し、前記第１の基板もしくは第２の基板のいずれかに真空排気あるいは放電ガス充填のための通気孔を有するガス放電表示パネルにおいて、前記通気孔と通気可能でかつ前記放電空間とは異なる吸着材設置空間に、少なくとも銅イオン交換したＺＳＭ−５型ゼオライトからなる吸着材を備えるとともに、波長が２００〜４００ｎｍの紫外線を前記吸着材に照射可能な紫外線照射装置を設けたのである。
【００１４】
上記構成において、ガス放電表示パネルの真空排気あるいは放電ガス充填のための通気孔と通気可能でかつ放電空間とは異なる吸着材設置空間に配置した少なくとも銅イオン交換したＺＳＭ−５型ゼオライトからなる吸着材に、波長が２００〜４００ｎｍの紫外線を照射することにより、吸着材の吸着能力が向上するので、長寿命で信頼性の高いガス放電表示パネルとなる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、吸着材を構成する銅イオン交換したＺＳＭ−５ゼオライトの吸着能力をより一層発揮させることができ、窒素、一酸化炭素、二酸化炭素、水素、水分、酸素等の不純物ガスに対する非常に低い吸着平衡圧を発揮し、封入ガスの不純物を除去し、封入ガスを高純度化することが可能であることから、より長寿命で信頼性の高いガス放電表示パネルを得ることができる。
【００１６】
また少なくとも銅イオン交換したＺＳＭ−５型ゼオライトからなる吸着材に波長が２００〜４００ｎｍの紫外線を照射することにより、非照射時と比較してガス吸着量を増大可能とすることができ、より少量の吸着材にて同等のガス量を吸着することができる。
【００１７】
また、ＰＤＰ製造時の放電ガス封入時に紫外線照射装置を機能させ、放電ガスの封入配管の壁面等に吸着残存している可能性のある不純物ガスを可能な限り除去することで、より少量の吸着材にてより信頼性の高いガス放電表示パネルを得ることができる。
【００１８】
また、製造後は紫外線照射装置、または、不純物ガス吸着後の吸着材を取り外すことにより、製品サイズの増大が少なく、また吸着材及び紫外線照射装置を再利用することができる。
【００１９】
あるいはＰＤＰ廃棄時においても、吸着材、または、吸着材及び紫外線照射装置が、放電空間とは別の空間に設置されていることから、両者を取り出しやすく、よりリサイクルしやすい。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態１のガス放電表示パネルの模式的な断面図
【図２】本発明の実施の形態２のガス放電表示パネルの模式的な断面図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
第１の発明は、第１の基板と第２の基板との間に放電空間を構成し、前記第１の基板もしくは第２の基板のいずれかに真空排気あるいは放電ガス充填のための通気孔を有するガス放電表示パネルにおいて、前記通気孔と通気可能でかつ前記放電空間とは異なる吸着材設置空間に、少なくとも銅イオン交換したＺＳＭ−５型ゼオライトからなる吸着材を備えるとともに、波長が２００〜４００ｎｍの紫外線を前記吸着材に照射可能な紫外線照射装置を設けたことを特徴とする。
【００２２】
銅イオン交換したＺＳＭ−５型ゼオライトは、窒素吸着に対する活性が高いことで知られている。さらに、窒素以外の気体種、すなわち、酸素、水分、一酸化炭素、二酸化炭素、水素などへの吸着活性をも有している。また、銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトは紫外線照射により気体吸着量がより増大する。
【００２３】
銅イオン交換したＺＳＭ−５型ゼオライトの作製は、市販されているＺＳＭ−５型ゼオライトの銅イオン交換と、水洗と、乾燥、熱処理のプロセスを経て行う。
【００２４】
銅イオン交換は、既知の方法にて行うことが出来るが、塩化銅水溶液やアンミン酸銅水溶液など銅の可溶性塩の水溶液に浸漬する方法が一般的であり、中でもプロピオン酸銅（II）や酢酸銅（II）などカルボキシラトを含むＣｕ2+溶液を用いた方法で調整されたものは、窒素吸着活性が高い。
【００２５】
水洗は、イオン交換後に十分に行う。
【００２６】
次いで、加熱乾燥または減圧下乾燥を行い、表面付着水を除去する。
【００２７】
その後、低圧下にて適切な熱処理を行う。これは、イオン交換により導入されたＣｕ2+をＣｕ+へと還元し、窒素吸着能を発現させるために必要である。熱処理時の圧力は、１０ｍＰａ以下、好ましくは１ｍＰａ以下であり、温度はＣｕ+への還元を進行させるため、３００℃以上、好ましくは５００℃〜６００℃程度である。
【００２８】
以上のプロセスを経て、気体吸着活性を付与された銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトは、窒素、水分、酸素、一酸化炭素、二酸化炭素、水素などの気体吸着活性を有する。
【００２９】
気体吸着活性を有する銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトは大気中で取り扱うと、大気成分を吸着してしまい失活する。よって、熱処理により活性化した後は、通常、高真空下あるいは不活性ガス中で取り扱う必要がある。
【００３０】
一方、ＰＤＰは一般的に、第１の基板と第２の基板との間に放電空間を構成し、第１の基板もしくは第２の基板のいずれかに真空排気を行うあるいは放電ガスを充填する通気孔を有している。
【００３１】
ＰＤＰの製造は一般的に、ＰＤＰを加熱炉内で加熱し、同時に通気孔を通じて放電空間内部を真空排気する。これにより、水、二酸化炭素、窒素、酸素といった気体種を排出する。ＰＤＰの加熱真空排気後、ゆっくりと室温まで降温し、真空排気処理を完了する。
【００３２】
その後、同じ通気孔もしくは異なる通気孔から放電ガスを封入する。
【００３３】
このとき、放電空間から通気孔を通じて伸びた配管の一部に吸着材を収納する吸着材設置空間を作製し、吸着材設置空間内部に銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトを設置しておく。銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライト以外の吸着材、例えば水分吸着材等を併用することも可能である。
【００３４】
銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトの形状は、粉末状あるいはペレット状等、特に指定するものではない。また、銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトの通気方向あるいは全面を水分吸着材で被覆しておくことも可能である。
【００３５】
さらには、通気孔及び吸着材設置空間を、２つ以上備えることも可能である。
【００３６】
また、紫外線照射は、吸着材が設置されている空間内で行ってもよいが、好ましくは吸着材が設置されている空間の外部から照射するほうがよい。これは、ＰＤＰの製造過程において、加熱真空処理後、室温状態にて吸着材に紫外線照射を行う方が簡便であるからである。
【００３７】
銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトは、紫外線照射を行うことにより、より気体吸着量が増大する。紫外線照射の波長は、２００〜４００ｎｍが好ましい。これは、銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトの吸着量が増大する波長領域でもあり、また、工業的に容易に作製することの可能な波長領域でもあるからである。
【００３８】
紫外線照射により、吸着量が増大する気体としては特に指定するものではなく、酸素や窒素、一酸化炭素、水素、水分など低分子量の気体種の吸着が考えられる。
【００３９】
吸着材による不純物ガス吸着後、通気孔と吸着材を配設した空間との間を密閉・切断し、製品として吸着材を備えない構造とすることも可能である。一方、通気孔と吸着材を配設した空間の先を密閉・切断し、製品に吸着材を備えた構造とすることも可能である。このとき、紫外線照射装置具備の有無は任意である。
【００４０】
第２の発明は、特に第１の発明において、紫外線を受光する少なくとも一部が紫外線透過可能な素材からなる前記吸着材設置空間内に吸着材が配設されており、かつ前記吸着材設置空間の外部に紫外線照射装置を設置し、前記吸着材設置空間を形成する部材における紫外線受光面の少なくとも一部が紫外線透過可能に構成されたことを特徴とする。
【００４１】
このような構成にすることにより、吸着材が設置されている空間の外部から紫外線を照射し、効果を発現することが可能となる。また、紫外線照射後は紫外線照射装置を取り外す、あるいは別のＰＤＰのために照射することも可能である。
【００４２】
紫外線透過可能な素材とは、プラスチックやガラス、石英等、紫外線を透過するものであれば特に指定するものではなく、透過率は好ましくは３０％以上、さらに好ましくは５０％以上、さらに好ましくは７０％以上であるが、これ以下のものも使用可能である。
【００４３】
また、透過率は素材のもつ透過係数と、素材の厚みに支配されるため、素材の厚みは薄い方が好ましい。ただし、構造体として強度を保つため、ある程度の厚みは必要である。
【００４４】
また、紫外線を透過する領域以外には、金属やプラスチック等の複合材料、あるいはそれらの材料に金属、無機物、酸化物、炭素等を蒸着した材料等、紫外線を透過しにくい材料との併用も可能である。
【００４５】
第３の発明は、特に第１または第２の発明において、吸着材が密閉容器に収納されており、前記密閉容器を形成する部材における紫外線受光面の少なくとも一部が紫外線透過可能に構成され、かつ前記密閉容器が外部からの作用により開放可能であることを特徴とする。
【００４６】
銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトは大気中では不純物ガスを吸着・失活することから、不純物ガスが少ない外気状態、すなわち真空状態もしくは放電ガスで満たされた状態で銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトと外気を接触させる方が、銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトを効果的に利用できる。
【００４７】
このため、銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトを外気と接触させるのは、真空排気粗引き後以降が好ましい。これは、ＰＤＰ製造中、真空排気前の外気雰囲気中に銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトを設置しておくと外気を吸着して失活し、他の吸着材では困難である、銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトによる低圧下での不純物の吸着除去という効果を発揮できないためである。また、銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトが失活すると、紫外線照射による吸着量増大効果も小さくなる。
【００４８】
したがって、真空粗引き前までは気体を透過しにくい密閉容器に銅イオン交換ＺＳＭ−５型ゼオライトを封入した状態で吸着材設置空間に設置しておき、真空粗引き後以降、例えば放電ガス導入前あるいは最中に、密閉容器を開放させることが好ましい。
【００４９】
このとき、密閉容器内は真空状態、もしくは放電ガスと同様の構成の気体で充満させておくことが好ましい。また、密閉容器内外に圧力差が生じるため、密閉容器は圧力差に耐える構造を有することが必要である。
【００５０】
密閉容器を開放させるとは、その少なくとも一部を、密閉容器外部と連通させることである。また、密閉容器の構成部材のうち、紫外線が照射される少なくとも一部が紫外線照射可能な部材であればよい。
【００５１】
密閉空間を外部からの作用により開放するとは、物理的な力、熱、電磁力等、特に指定するものではないが、ＰＤＰに影響のない方法がよい。
【００５２】
例えば、密閉容器の一部を厚みの薄い構造にし、その薄い構造部に相対するよう、先端が鋭利な部材を設けておく。先端が鋭利な部材を電磁力により移動可能な構造とし、かつ密閉容器の外部にも電磁力等により鋭利な部材を任意に移動させられるような部材を備えておく。鋭利な部材を電磁力により移動させ、薄い構造部を貫通させるような構造にすることにより、最適なときに密閉容器を開放し、容器内と外部空間を連通させ、吸着材の吸着能力を発現させることができる。
【００５３】
また、他の方法としては、密閉容器の一部をガラス等の素材で構成し、上記同様、電磁力を用いてガラス等の素材を任意に破壊することにより、最適なときに密閉容器を開放し、容器内と外部空間を連通させ、吸着材の吸着能力を発現させることができる。
【００５４】
第４の発明は、特に第１から第３のいずれかの発明において、紫外線照射装置が、少なくとも２方向以上から吸着材に照射可能であることを特徴とする。
【００５５】
紫外線照射装置が、少なくとも２方向以上から照射するとは以下のことがある。すなわち、例えば、紫外線照射装置の紫外線照射が一平面から照射するだけでなく、二平面以上からの照射が可能であること、あるいは紫外線照射装置を２台以上備えかつ別方向への照射を行うこと、あるいは紫外線照射装置が同一平面上ではない方向、例えば吸着材を中心とする円弧方向に運動をしながら照射しながら移動する、といったことである。
【００５６】
このとき、吸着材に照射される紫外線の面積が増大するように、紫外線照射装置が２方向以上から照射することが必要である。
【００５７】
第５の発明は、特に第１から第４のいずれかの発明において、紫外線照射装置から直接吸着材に照射されない方向に照射された紫外線の少なくとも一部を、前記吸着材の方向に反射する反射部材を有することを特徴とする。
【００５８】
反射部材を有するとは以下のことがある。例えば、紫外線照射装置から直接吸着材に照射されない方向に金属板を設置する、あるいは吸着材を設置している空間や容器を金属蒸着やめっきする、といったことである。
【００５９】
第６の発明は、特に第１から第５のいずれかの発明において、吸着材設置空間をガス放電表示パネルの背面側に有することを特徴とする。
【００６０】
これにより、平面方向に製品サイズの増大が少なく、また生産効率のよいＰＤＰとすることが可能である。この理由は、例えば通気孔を側面に設けた場合、通気孔の平面図が円、楕円、正方形、長方形、その他の形状の際、その短辺、あるいは長辺、あるいは径を側面の厚み以下にする必要があり、通気孔の面積が小さくなるおそれがある、すなわち排気効率が減少するからである。
【００６１】
第７の発明は、第１の基板と第２の基板との間に放電空間を構成し、前記第１の基板もしくは第２の基板のいずれかに放電ガスを充填する通気孔を有するガス放電表示パネルにおいて、前記通気孔と通気可能でかつ前記放電空間とは異なる吸着材設置空間に、少なくとも銅イオン交換したＺＳＭ−５型ゼオライトからなる吸着材を備えるとともに、前記吸着材設置空間の少なくとも一部が紫外線透過可能な素材からなることを特徴とする。
【００６２】
このような構成にすることにより、必要に応じて銅イオン交換したＺＳＭ−５型ゼオライトに紫外線を吸着可能とすることができるのである。
【００６３】
第８の発明は、特に第７の発明におけるガス放電表示パネルの吸着材に、吸着材設置空間の外から紫外線を照射することにより、前記吸着材の吸着性能を向上させることを特徴とするガス放電表示パネルの使用方法である。
【００６４】
吸着材の吸着性能をより向上させ、より少ない吸着材量でも信頼性に優れたＰＤＰを得ることができるのである。
【００６５】
以下、本発明のガス放電表示パネルの実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって、この発明が限定されるものではない。
【００６６】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１におけるガス放電表示パネルの一例を示す模式的な断面図である。
【００６７】
図１に示すように、ガス放電表示パネル１は、第１の基板２と第２の基板３との間に放電空間４を構成する。また、第２の基板３上に通気孔５を形成し、通気孔５を通じて配管６に接続されている。また、配管６の一部が吸着材設置空間７を構成している。吸着材設置空間７の内部に密閉容器８に封入された吸着材９が備わっており、吸着材９を照射可能な位置に紫外線照射装置１０が設置されている。また、必要に応じて、紫外線反射部材１１を設けることができる。
【００６８】
吸着材９は銅イオン交換されたＺＳＭ−５型ゼオライトを含む。銅イオン交換されたＺＳＭ−５型ゼオライトの製造方法は、銅イオンを含むイオン交換溶液を用いたイオン交換工程（ＳＴＥＰ１）と、銅イオン交換されたＺＳＭ−５型ゼオライトを洗浄する洗浄工程（ＳＴＥＰ２）と、乾燥工程（ＳＴＥＰ３）と、銅イオンを還元するための熱処理工程（ＳＴＥＰ４）とからなるものである。
【００６９】
銅イオンを交換する前の原料であるＺＳＭ−５型ゼオライトは、市販の材料を使用することができるが、シリカ対アルミナ比は、２．６以上５０以下であることが望ましい。この範囲を望ましいとしたのは、シリカ対アルミナ比が５０を超えると、銅イオン交換量が少なく、すなわち気体吸着活性が減少するからであり、シリカ対アルミナ比が２．６未満のＺＳＭ−５型ゼオライトは理論的に合成が不可能であるという理由からである。
【００７０】
イオン交換工程（ＳＴＥＰ１）では、銅イオンを含む溶液として、酢酸銅、プロピオン酸銅、塩化銅など、従来の既存の化合物の水溶液を利用可能である。このとき、加温してもよい。
【００７１】
また、バッファー作用を有するイオンを含むイオン交換溶液を併用してもよく、例えば酢酸イオン、プロピオン酸イオンなど、銅イオンを含む溶液のイオン解離平衡を緩衝する作用を有するイオンが、利用可能である。
【００７２】
イオン交換回数や銅イオン溶液の濃度、バッファー溶液の濃度、イオン交換時間、温度などは、特に限定するものではないが、イオン交換率は１００％から１８０％の間が好ましい。
【００７３】
ここで示すイオン交換率とは、２つのＮａ+あたりにＣｕ2+が交換されることを前提とした計算値であり、銅がＣｕ+として交換された場合、計算上は１００％を越えて算出される。
【００７４】
次に、洗浄工程（ＳＴＥＰ２）では、蒸留水を用いて洗浄することが望ましい。また、乾燥工程（ＳＴＥＰ３）では、１００℃未満の条件で乾燥することが望ましく、室温での減圧乾燥でも良い。
【００７５】
また、熱処理工程（ＳＴＥＰ４）では、減圧下、望ましくは１０-2Ｐａ未満の条件下で、３００℃以上８００℃以下の温度で熱処理することが望ましい。熱処理時間は、銅イオン交換されたＺＳＭ−５型ゼオライトの量によるが、銅イオンを２価から１価へ還元可能な十分な時間が必要である。
【００７６】
以上のような吸着材９を、以下のように設置した。
【００７７】
吸着材９は密閉容器８に収納されており、密閉容器８は円筒形のプラスチック容器、あるいはガラス容器からなる。密閉容器８は平面部を通気孔に相対するように設置する。また、密閉容器８の内部に銅イオン交換したＺＳＭ−５ゼオライトを配設し、その上部を水分吸着材で覆う構成とする。
【００７８】
プラスチック容器の一部を厚みの薄い構造にし、その薄い構造部に相対するよう、吸着材設置空間７に先端が鋭利な部材を設けておく。密閉容器８の外側にも磁石等を設けておく。ＰＤＰ内を真空粗引き後、密閉容器８を磁力により移動させ、薄い構造部を貫通させるような構造にすることにより、容器内と外部空間を連通させ、吸着材９の吸着能力を発現させることができる。
【００７９】
さらに、上下２カ所を開通する構造にすることにより、さらに効率よくガスを吸着可能である。このとき、水分吸着材を吸着材９の上下を被覆するように設けてもよい。あるいは吸着材９の全面を覆ってもよい。
【００８０】
以上のような吸着材９を用いて行った結果を、実施例１から実施例３に示す。
【００８１】
（実施例１）
実施の形態１において、円筒形容器の曲面外部から、紫外線を照射する構成とすることにより、効率的に紫外線を照射することができる。
【００８２】
（実施例２）
実施の形態１において、紫外線照射装置を２台設け（図示せず）、異なる方向から照射可能となる構成とした。
【００８３】
実施例１と比較して、より効率的に紫外線を照射可能とした。
【００８４】
（実施例３）
実施の形態１において、円筒形容器の外部に、紫外線反射部材１１を設けた。
【００８５】
実施例１と比較して、より効率的に紫外線を照射可能とした。
【００８６】
（実施の形態２）
図２は、本発明の実施の形態２におけるガス放電表示パネルの一例を示す模式的な断面図である。なお、実施の形態１と同一構成については同一符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００８７】
図２に示すように、ガス放電表示パネル１は、第１の基板２と第２の基板３との間に放電空間４を構成する。第２の基板３上に通気孔５を形成し、通気孔５を通じて配管６に接続されている。また、配管６の一部が吸着材設置空間７を構成している。吸着材設置空間７の内部に密閉容器８に封入された吸着材９が備わっている。
【００８８】
吸着材９は、実施の形態１に記載のものと同様のものを使用した。
【００８９】
また、密閉容器８は、実施例１と同様のものとすることにより、必要なときに紫外線を照射することができる。
【００９０】
さらに、紫外線照射前後の吸着材９の吸着量を評価することにより、紫外線照射による吸着量増大効果を確認した。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
本発明は、銅イオン交換したＺＳＭ−５ゼオライトの吸着能力をより一層発揮させることができ、窒素、一酸化炭素、二酸化炭素、水素、水分、酸素等の不純物ガスに対する非常に低い吸着平衡圧を発揮し、封入ガスの不純物を除去し、封入ガスを高純度化することが可能であることから、より長寿命で信頼性の高いガス放電表示パネルを得ることができる。また紫外線を照射することにより、非照射時と比較してガス吸着量を増大可能とすることができ、より少量の吸着材にて同等のガス量を吸着することができる。そのため、ＰＤＰなど、高純度不活性ガス雰囲気を必要とするガス放電表示パネルに利用可能である。さらには、高真空や高純度ガスを使用する他の機器にも利用可能である。
【符号の説明】
【００９２】
１    ガス放電表示パネル
２    第１の基板
３    第２の基板
４    放電空間
５    通気孔
６    配管
７    吸着材設置空間
８    密閉容器
９    吸着材
１０  紫外線照射装置
１１  紫外線反射部材
【図１】
2011165419.tif 000003
【図２】
2011165419.tif 000004