(57)【要約】【課題】    ホログラムレーザデバイスを製造する際に、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置の調整を的確に行い、さらに生産効率を向上させることができるホログラムレーザデバイス製造装置およびホログラムレーザデバイスを提供する。【解決手段】  ホログラムレーザデバイス製造装置２は、保持搬送ユニット２２と、測定ユニット２３と、位置調整固定ユニット２５とを含む。測定ユニット２３は、ホログラム素子１３に測定用レーザ光を出射し、ホログラム素子１３によって回折された測定用レーザ光を受光して、ホログラムパターン１８の光学特性を測定する。位置調整固定ユニット２５は、測定ユニット２３によって測定された光学特性に基づいて、予め定める閾値を補正した補正閾値を算出し、この補正閾値にデバイス本体に備えられる受光素子１２の出力によって示される特性信号の値が一致するように、ホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置を調整する。【選択図】      図４
2011081877.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射する光源素子および前記光源素子から出射されたレーザ光の反射光を受光する受光素子を備えるデバイス本体に、前記レーザ光を透過しかつ反射光を回折するホログラムパターンが複数の分割領域に分割されて形成されるホログラム素子を固定する際に、前記ホログラム素子によって回折された前記反射光を前記受光素子によって受光し、受光した受光素子の出力によって示される特性信号の値が予め定める閾値に一致するように、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整するホログラムレーザデバイス製造装置であって、
前記ホログラム素子を保持する保持部と、
測定用レーザ光を出射する測定用光源素子および測定用光源素子から出射された測定用レーザ光を受光する測定用受光素子を有し、前記保持部によって保持されるホログラム素子に対して測定用光源素子から測定用レーザ光を出射し、ホログラム素子によって回折された測定用レーザ光を測定用受光素子によって受光し、受光した測定用受光素子の出力に基づいて、ホログラムパターンの光学特性を測定する測定部と、
前記測定部によって測定されたホログラムパターンの光学特性に基づいて、前記予め定める閾値を補正した補正閾値を算出し、この補正閾値に前記デバイス本体に備えられる受光素子の出力によって示される特性信号の値が一致するように、前記ホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整する位置調整部とを含むことを特徴とするホログラムレーザデバイス製造装置。
【請求項２】
前記保持部は、前記ホログラム素子をホログラムパターンが形成される一表面に垂直な向きに押圧可能であり、かつホログラムパターンが形成される領域において前記一表面に垂直な方向に開口していることを特徴とする請求項１に記載のホログラムレーザデバイス製造装置。
【請求項３】
前記測定用光源素子が出射する測定用レーザ光は、前記デバイス本体に備えられる光源素子が出射可能なレーザ光と略同一の波長であることを特徴とする請求項１または２に記載のホログラムレーザデバイス製造装置。
【請求項４】
前記測定部によって測定されたホログラム素子の光学特性に基づいて、ホログラム素子の良否判定を行う良否判定部と、
前記ホログラム素子を収納可能な収納部とをさらに含み、
前記良否判定部によってホログラム素子が不良品と判定された場合、前記保持部は、前記ホログラム素子に対する保持を解除してホログラム素子を前記収納部に収納し、前記良否判定部によってホログラム素子が良品と判定された場合、前記保持部は、前記ホログラム素子に対する保持を維持して、位置調整部がホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のホログラムレーザデバイス製造装置。
【請求項５】
前記測定部は、測定用発光素子から出射される測定用レーザ光を集光する集光レンズをさらに有し、前記集光レンズを用いて、前記ホログラム素子の分割領域に照射される測定用レーザ光の面積を、前記分割領域の面積よりも小さくすることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のホログラムレーザデバイス製造装置。
【請求項６】
前記測定部が測定するホログラム素子の光学特性は、前記分割領域に照射された測定用レーザ光の光量に対する、前記分割領域に形成されるホログラムパターンによって１次回折される測定用レーザ光の光量の割合を示す１次回折効率であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のホログラムレーザデバイス製造装置。
【請求項７】
前記測定部が測定するホログラム素子の光学特性は、前記分割領域に照射された測定用レーザ光の光量に対する、前記分割領域に形成されるホログラムパターンによって１次回折される測定用レーザ光の光量の割合を１次回折効率として、各分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率の比率を示す１次回折効率比であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のホログラムレーザデバイス製造装置。
【請求項８】
前記各分割領域に形成されるホログラムパターンは、測定用レーザ光を回折する方向がそれぞれ異なり、
前記測定部が有する測定用受光素子は、１つであり、
前記測定部は、１つの前記測定用受光素子を用いて、前記各分割領域に形成されるホログラムパターンによって回折された光を順次的に受光して、分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率比を測定することを特徴とする請求項７に記載のホログラムレーザデバイス製造装置。
【請求項９】
前記分割領域は、少なくともホログラムパターンが形成される領域を２等分する直線によって分割され、前記ホログラムパターンが形成されるホログラム素子の一表面の面方向で、かつ前記２分割する直線に垂直な方向を第１の方向とし、前記一表面の面方向で、かつ前記２分割する直線に平行な方向を第２の方向として、
前記位置調整部がホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整する方向は、第１の方向および第２の方向の少なくともいずれか１つの方向であることを特徴とする請求項７または８に記載のホログラムレーザデバイス製造装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１つに記載のホログラムレーザデバイス製造装置によって製造されたホログラムレーザデバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源素子および受光素子を含むデバイス本体にホログラム素子を固定してホログラムレーザデバイスを製造するホログラムレーザデバイス製造装置およびホログラムレーザデバイスに関し、より詳細には、光記録媒体に情報の記録、再生または消去を行う光ピックアップ装置の光源と信号処理に用いる半導体レーザデバイスであるホログラムレーザデバイスを製造する際に、デバイス本体に対するホログラム素子の固定位置を調整するホログラムレーザデバイス製造装置およびホログラムレーザデバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＤ（Compact Disk）、ＭＤ（Mini Disc）またはＤＶＤ（Digital Versatile Disk）などの情報記録媒体の情報を再生、記録または消去可能な光ピックアップ装置においては、半導体レーザデバイスが利用されている。また近年においては、１つのパッケージに光源素子としての半導体レーザ素子と、光を回折するホログラム素子と、受光素子としての信号検出用受光素子とを組み込んで構成されるホログラムレーザデバイスと呼ばれるものがある。このホログラムレーザデバイスは、半導体レーザ素子から光線を出射し、光記録媒体である光ディスクから反射して戻ってきた光線をホログラム素子によって回折して光軸から離れた場所に配置された信号検出用受光素子に導く機構を有する。
【０００３】
ホログラムレーザデバイスに搭載されるホログラム素子は、従来、ソーダガラスや石英ガラス基板に対してフォトエッチ加工技術によってパターン成型を行ったものが用いられている。特許文献１，２に記載されるように、近年では低コスト化を目的として、樹脂成型技術によってパターン成型を行ったプラスチック製のホログラム素子なども開発されている。
【０００４】
ホログラムレーザデバイス製造装置は、光源素子および受光素子などをデバイス本体として組み上げ、ホログラム素子をデバイス本体に固定してホログラムレーザデバイスを製造している。特許文献３に記載されるホログラム素子の位置決め装置は、ホログラム素子をデバイス本体に固定する際に、光源素子を実際に発光させ、光ディスクからの信号光を受光素子で受光させて、フォーカスエラー信号などの特性信号を検出する。さらにホログラム素子の位置決め装置は、受光素子によって検出されるリアルタイムな特性信号を得ながら、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置を微調整して、所望の特性信号が得られた位置で、ホログラム素子をデバイス本体に固定する。
【０００５】
特許文献４に記載されるホログラムレーザ製造装置は、製造工程の簡略化を目的として、光ディスクの代わりに反射ミラーを使用して、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整する。また、他のホログラムレーザデバイス製造装置では、量産を目的として、デバイス本体やホログラム素子の供給が自動化されている。ホログラム素子をデバイス本体に固定するための接合材としては、紫外線硬化樹脂が一般に用いられており、上記のような位置調整を完了した後、ＵＶ（Ultraviolet）照射を行ってホログラム素子をデバイス本体に固定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−１８７０１４号公報
【特許文献２】特開平１０−２５４３３５号公報
【特許文献３】特開２００２−１９０１３５号公報
【特許文献４】特開２００１−１１８２８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献３に記載のホログラム素子の位置決め装置は、ホログラム素子のホログラムパターンが形成される領域において、ホログラムパターンの光学特性が均一であるときには、光学設計において意図した位置にホログラム素子を調整することが可能である。
【０００８】
しかし、実際のホログラム素子は、ホログラムパターンの光学特性が均一ではなく、バラツキが存在するものが多い。したがって、特許文献３に記載のホログラム素子の位置決め装置は、光学設計において意図した最適位置にホログラム素子を配置することができないことが多い。これによって、ホログラムレーザデバイスは、光学配置のバランスが崩れることによって、あらゆる特性、たとえばフォーカス信号バランス、ラジアル信号バランス、ジッタ、温度特性などが悪影響を受ける。したがって、ホログラムレーザデバイスは、特性にバラツキが生じ、品質レベルが低下することになる。
【０００９】
また、ホログラム素子は、デバイス本体に固定される前に、ホログラムパターンの光学特性についての検査が行われている。ホログラムレーザデバイス製造装置は、検査した光学特性に基づいて良否判定を行い、不良品のホログラム素子を廃棄し、良品のホログラム素子のみをデバイス本体に固定して、ホログラムレーザデバイスを製造している。しかし、ホログラムレーザデバイス製造装置は、光学特性の検査を行っても、歩留まり率を高めることができず、ホログラムレーザデバイスの生産効率を向上させることができない。
【００１０】
本発明の目的は、ホログラムレーザデバイスを製造する際に、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置の調整を的確に行い、さらに生産効率を向上させることができるホログラムレーザデバイス製造装置およびホログラムレーザデバイスを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、レーザ光を出射する光源素子および前記光源素子から出射されたレーザ光の反射光を受光する受光素子を備えるデバイス本体に、前記レーザ光を透過しかつ反射光を回折するホログラムパターンが複数の分割領域に分割されて形成されるホログラム素子を固定する際に、前記ホログラム素子によって回折された前記反射光を前記受光素子によって受光し、受光した受光素子の出力によって示される特性信号の値が予め定める閾値に一致するように、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整するホログラムレーザデバイス製造装置であって、
前記ホログラム素子を保持する保持部と、
測定用レーザ光を出射する測定用光源素子および測定用光源素子から出射された測定用レーザ光を受光する測定用受光素子を有し、前記保持部によって保持されるホログラム素子に対して測定用光源素子から測定用レーザ光を出射し、ホログラム素子によって回折された測定用レーザ光を測定用受光素子によって受光し、受光した測定用受光素子の出力に基づいて、ホログラムパターンの光学特性を測定する測定部と、
前記測定部によって測定されたホログラムパターンの光学特性に基づいて、前記予め定める閾値を補正した補正閾値を算出し、この補正閾値に前記デバイス本体に備えられる受光素子の出力によって示される特性信号の値が一致するように、前記ホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整する位置調整部とを含むことを特徴とするホログラムレーザデバイス製造装置である。
【００１２】
また本発明は、前記保持部は、前記ホログラム素子をホログラムパターンが形成される一表面に垂直な向きに押圧可能であり、かつホログラムパターンが形成される領域において前記一表面に垂直な方向に開口していることを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、前記測定用光源素子が出射する測定用レーザ光は、前記デバイス本体に備えられる光源素子が出射可能なレーザ光と略同一の波長であることを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、前記測定部によって測定されたホログラム素子の光学特性に基づいて、ホログラム素子の良否判定を行う良否判定部と、
前記ホログラム素子を収納可能な収納部とをさらに含み、
前記良否判定部によってホログラム素子が不良品と判定された場合、前記保持部は、前記ホログラム素子に対する保持を解除してホログラム素子を前記収納部に収納し、前記良否判定部によってホログラム素子が良品と判定された場合、前記保持部は、前記ホログラム素子に対する保持を維持して、位置調整部がホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整することを特徴とする。
【００１５】
また本発明は、前記測定部は、測定用発光素子から出射される測定用レーザ光を集光する集光レンズをさらに有し、前記集光レンズを用いて、前記ホログラム素子の分割領域に照射される測定用レーザ光の面積を、前記分割領域の面積よりも小さくすることを特徴とする。
【００１６】
また本発明は、前記測定部が測定するホログラム素子の光学特性は、前記分割領域に照射された測定用レーザ光の光量に対する、前記分割領域に形成されるホログラムパターンによって１次回折される測定用レーザ光の光量の割合を示す１次回折効率であることを特徴とする。
【００１７】
また本発明は、前記測定部が測定するホログラム素子の光学特性は、前記分割領域に照射された測定用レーザ光の光量に対する、前記分割領域に形成されるホログラムパターンによって１次回折される測定用レーザ光の光量の割合を１次回折効率として、各分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率の比率を示す１次回折効率比であることを特徴とする。
【００１８】
また本発明は、前記各分割領域に形成されるホログラムパターンは、測定用レーザ光を回折する方向がそれぞれ異なり、
前記測定部が有する測定用受光素子は、１つであり、
前記測定部は、１つの前記測定用受光素子を用いて、前記各分割領域に形成されるホログラムパターンによって回折された光を順次的に受光して、分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率比を測定することを特徴とする。
【００１９】
また本発明は、前記分割領域は、少なくともホログラムパターンが形成される領域を２等分する直線によって分割され、前記ホログラムパターンが形成されるホログラム素子の一表面の面方向で、かつ前記２分割する直線に垂直な方向を第１の方向とし、前記一表面の面方向で、かつ前記２分割する直線に平行な方向を第２の方向として、
前記位置調整部がホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整する方向は、第１の方向および第２の方向の少なくともいずれか１つの方向であることを特徴とする。
【００２０】
また本発明は、前記ホログラムレーザデバイス製造装置によって製造されたホログラムレーザデバイスである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、ホログラムレーザデバイス製造装置は、レーザ光を出射する光源素子および光源素子から出射されたレーザ光の反射光を受光する受光素子を備えるデバイス本体に、レーザ光を透過しかつ反射光を回折するホログラムパターンが複数の分割領域に分割されて形成されるホログラム素子を固定する際に、ホログラム素子によって回折された反射光を受光素子によって受光し、受光した受光素子の出力によって示される特性信号の値が予め定める閾値に一致するように、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整する。ホログラムレーザデバイス製造装置は、保持部と、測定部と、位置調整部とを含んで構成される。保持部は、ホログラム素子を保持する。測定部は、測定用レーザ光を出射する測定用光源素子および測定用光源素子から出射された測定用レーザ光を受光する測定用受光素子を有する。測定部は、保持部によって保持されるホログラム素子に対して測定用光源素子から測定用レーザ光を出射し、ホログラム素子によって回折された測定用レーザ光を測定用受光素子によって受光し、受光した測定用受光素子の出力に基づいて、ホログラムパターンの光学特性を測定する。位置調整部は、測定部によって測定されたホログラムパターンの光学特性に基づいて、予め定める閾値を補正した補正閾値を算出し、この補正閾値にデバイス本体に備えられる受光素子の出力によって示される特性信号の値が一致するように、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整する。
【００２２】
ホログラムレーザデバイス製造装置は、光学設計で意図した位置、すなわちレーザ光の中心点とホログラム素子の中心点とが略一致する位置を目標として、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置の調整を行う。ホログラム素子の位置調整のときに用いる予め定める閾値は、ホログラムパターンの光学特性がホログラム素子の各分割領域において均一であることを前提として設定されている。
【００２３】
測定部は、ホログラム素子の光学特性を測定して、各分割領域における光学特性のバラツキを検出することができる。これによって、位置調整部は、ホログラム素子の光学特性のバラツキに基づいて、予め定める閾値を補正することができる。したがって、位置調整部は、ホログラム素子ごとに予め定める閾値を個別に補正して、ホログラム素子の光学特性に応じたホログラム素子の固定位置を割り出すことができる。
【００２４】
これによって、ホログラムレーザデバイス製造装置は、光学特性にバラツキがあるホログラム素子であっても、ホログラム素子とデバイス本体とが光学設計において意図した位置に固定されるように適切に調整することができる。したがって、ホログラムレーザデバイス製造装置は、たとえばフォーカス信号バランス、ラジアル信号バランス、ジッタなどの特性が優れた高品質のホログラムレーザデバイスを製造することができる。
【００２５】
また、ホログラムレーザデバイス製造装置は、光学特性にバラツキがあることが原因で従来では廃棄していたホログラム素子について、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置を適切に調整して高品質のホログラムレーザデバイスとして製造することができる。これによって、ホログラムレーザデバイス製造装置は、ホログラムレーザデバイスを製造するときの歩留まり率を向上させて、生産効率を向上させることができる。
【００２６】
また本発明によれば、保持部は、ホログラム素子をホログラムパターンが形成される一表面に垂直な向きに押圧可能であり、かつホログラムパターンが形成される領域において一表面に垂直な方向に開口している。
【００２７】
これによって、保持部は、測定用光源素子からの測定用レーザ光およびホログラム素子によって回折された測定用レーザ光を妨げることなく、測定部にホログラム素子の光学特性を測定させることができる。また、保持部は、ホログラム素子をデバイス本体の固定すべき位置付近に予め定める圧力で押圧することによって、ホログラム素子とデバイス本との位置を安定させ、位置調整部にホログラム素子の位置を適切に調整させることができる。
【００２８】
したがって、保持部は、ホログラム素子を保持した状態で、測定部による光学特性の測定と位置調整部による位置の調整とを順次的に行わせることができる。これによって、ホログラムレーザデバイス製造装置は、ホログラムレーザデバイスを効率よく製造することができる。
【００２９】
また本発明によれば、測定用光源素子が出射する測定用レーザ光は、デバイス本体に備えられる光源素子が出射可能なレーザ光と略同一の波長である。ホログラムパターンの光学特性は、光の波長によって変動するけれども、測定部は、デバイス本体の光源素子を用いて測定するのと同様の測定結果を正確に得ることができる。これによって、位置調整部は、測定された光学特性に基づいて補正閾値を算出し、ホログラム素子の位置調整を正確に行うことができる。
【００３０】
また本発明によれば、ホログラムレーザデバイス製造装置は、良否判定部と、収納部とをさらに含んで構成される。良否判定部は、測定部によって測定されたホログラム素子の光学特性に基づいて、ホログラム素子の良否判定を行う。収納部は、ホログラム素子を収納可能である。良否判定部によってホログラム素子が不良品と判定された場合、保持部は、ホログラム素子に対する保持を解除してホログラム素子を収納部に収納する。良否判定部によってホログラム素子が良品と判定された場合、保持部は、ホログラム素子に対する保持を維持して、位置調整部がホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整する。
【００３１】
これによって、保持部は、良否判定の結果に応じて、ホログラム素子の保持を維持または解除することによって、良品と不良品とを効率よく選別することができる。また、ホログラムレーザデバイス製造装置は、測定部によって得られたホログラム素子の光学特性の測定結果を、良否判定部によるホログラム素子の良否判定、および位置調整部による予め定める閾値の補正に利用することができる。したがって、ホログラムレーザデバイス製造装置は、測定した光学特性を有効に活用して、ホログラムレーザデバイスの生産効率を高めることができる。
【００３２】
また本発明によれば、測定部は、測定用発光素子から出射される測定用レーザ光を集光する集光レンズをさらに有する。測定部は、集光レンズを用いて、ホログラム素子の分割領域に照射される測定用レーザ光の面積を、分割領域の面積よりも小さくする。
【００３３】
これによって、測定部は、分割領域ごとに測定用レーザ光を照射して、各分割領域に形成されるホログラムパターンが回折する測定用レーザ光を、測定用受光素子に受光させることができる。したがって、測定部は、ホログラム素子の光学特性を分割領域ごとに正確に測定することができる。
【００３４】
また本発明によれば、測定部が測定するホログラム素子の光学特性は、１次回折効率である。１次回折効率は、分割領域に照射された測定用レーザ光の光量に対する、分割領域に形成されるホログラムパターンによって１次回折される測定用レーザ光の光量の割合を示す。
【００３５】
これによって、ホログラムレーザデバイス製造装置は、ホログラムレーザデバイスが光ディスクから信号を読み取るときに、光ディスクからの反射光の光量のうちホログラム素子によって１次回折されて受光素子に照射される光量の割合を知ることができる。
【００３６】
また本発明によれば、測定部が測定するホログラム素子の光学特性は、１次回折効率比である。１次回折効率比は、各分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率の比率を示す。１次回折効率は、分割領域に照射された測定用レーザ光の光量に対する、分割領域に形成されるホログラムパターンによって１次回折される測定用レーザ光の光量の割合である。
【００３７】
これによって、測定部は、各分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率の違いを数値化することができる。したがって、位置調整部は、１次回折効率比、すなわち各分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率のバラツキを示す値に基づいて、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置を適切に調整することができる。
【００３８】
また本発明によれば、各分割領域に形成されるホログラムパターンは、測定用レーザ光を回折する方向がそれぞれ異なる。測定部が有する測定用受光素子は、１つである。測定部は、１つの測定用受光素子を用いて、各分割領域に形成されるホログラムパターンによって回折された光を順次的に受光して、分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率比を測定する。
【００３９】
仮に複数の測定用受光素子を用いて各分割領域の１次回折効率を測定する場合、複数の測定用受光素子のそれぞれの受光感度を完全に同一にすることは困難であり、測定結果に誤差が生じる。測定部は、１つの測定用受光素子を用いる構成であるので、分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率比を精度よく測定することができる。
【００４０】
また、１つの測定用受光素子を用いる構成では、複数の測定用受光素子を用いる構成に比べて、部品点数を削減させることができる。これによって、ホログラムレーザデバイス製造装置およびホログラムレーザデバイスのコストを削減させることができる。
【００４１】
また本発明によれば、分割領域は、少なくともホログラムパターンが形成される領域を２等分する直線によって分割される。ホログラムパターンが形成されるホログラム素子の一表面の面方向で、かつ２分割する直線に垂直な方向を第１の方向とし、一表面の面方向で、かつ２分割する直線に平行な方向を第２の方向とする。位置調整部がホログラム素子のデバイス本体に対する位置を調整する方向は、第１の方向および第２の方向の少なくともいずれか１つの方向である。
【００４２】
ホログラム素子には、たとえばホログラムパターンが形成される領域が、１つの直線または互いに直交する２つの直線によって２分割または３分割されたものがある。各分割領域の１次回折効率が異なると、ホログラムパターン領域を分割する直線に垂直な方向で、かつホログラムパターンが形成される一表面の面方向に、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置がずれる。
【００４３】
したがって、位置調整部は、各分割領域で１次回折効率のバラツキのあるホログラム素子を、ホログラム素子のデバイス本体に対する位置のずれが予想される方向に修正することができる。これによって、位置調整部は、デバイス本体に対するホログラム素子の固定位置を、光学設計によって意図された固定位置に確実に修正することができる。
【００４４】
また本発明によれば、ホログラムレーザデバイスは、前記ホログラムレーザデバイス製造装置によって製造される。これによって、ホログラムレーザデバイスは、ホログラム素子とデバイス本体とが光学設計によって意図された位置に調整されて固定されている。したがって、ホログラムレーザデバイスは、優れた特性、たとえばフォーカス信号バランス、ラジアル信号バランス、ジッタなどを、安定して発揮することができる。また、ホログラムレーザデバイスは、生産効率の良いホログラムレーザデバイス製造装置によって製造されるので、コストを低く抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施形態に係るホログラムレーザデバイス製造装置２によって製造されるホログラムレーザデバイス１を示す正面図である。
【図２】ホログラムレーザデバイス製造装置２によって製造されるホログラムレーザデバイス１を示す平面図である。
【図３】ホログラムレーザデバイス１を製造する処理を説明するためのフローチャートである。
【図４】ホログラムレーザデバイス製造装置２の構成を示す図である。
【図５】保持搬送ユニット２２のチャッキング機構の一部を示す正面図である。
【図６】保持搬送ユニット２２のチャッキング機構の一部を示す平面図である。
【図７】測定ユニット２３の構成を示す正面図である。
【図８】測定ユニット２３の構成を示す平面図である。
【図９】測定ユニット２３によるホログラム素子１３の光学特性の測定を説明するための斜視図である。
【図１０】位置調整固定ユニット２５が行う３分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置の調整を示す斜視図である。
【図１１】３分割ホログラムパターンによって回折されたレーザ光を受光素子１２が受光している状態を示す平面図である。
【図１２】ＭＳＢの補正閾値を算出することなく３分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３の位置調整を行った第１比較例を示す平面図である。
【図１３】ＳＳＢの補正閾値を算出することなく３分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３の位置調整を行った第１比較例を示す平面図である。
【図１４】位置調整固定ユニット２５が行う２分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置の調整を示す斜視図である。
【図１５】２分割ホログラムパターンによって回折されたレーザ光を受光素子１２が受光している状態を示す平面図である。
【図１６】ＭＳＢの補正閾値を算出することなく２分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３の位置調整を行った第２比較例を示す平面図である。
【図１７】本発明の他の実施形態に係る保持搬送ユニット２２のチャッキング機構の一部を示す正面図である。
【図１８】本発明の他の実施形態に係る保持搬送ユニット２２のチャッキング機構の一部を示す平面図である。
【図１９】本発明の他の実施形態に係る測定ユニット２３によるホログラム素子１３の光学特性の測定を説明するための斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００４６】
図１は、本発明の実施形態に係るホログラムレーザデバイス製造装置２によって製造されるホログラムレーザデバイス１を示す正面図である。図２は、ホログラムレーザデバイス製造装置２によって製造されるホログラムレーザデバイス１を示す平面図である。
【００４７】
ホログラムレーザデバイス１は、光源素子１１と、受光素子１２と、ホログラム素子１３と、サブマウント１４と、ステム１５と、キャップ１６とを含んで構成される。光源素子１１からホログラム素子１３へレーザ光が出射される向きをＺ１方向とし、Ｚ１方向と逆の向きをＺ２方向とする。Ｚ１方向とＺ２方向とを併せて、単にＺ方向ともいう。Ｚ方向に垂直な向きであって、Ｚ方向に見て光源素子１１から受光素子１２へ向かう向きをＸ１方向とし、Ｘ１方向と逆の向きをＸ２方向とする。Ｘ１方向とＸ２方向とを併せて、単にＸ方向ともいう。Ｘ方向とＺ方向とに互いに垂直な方向をＹ方向とし、一方に向かう向きをＹ１方向、他方に向かう向きをＹ２方向とする。
【００４８】
ホログラム素子１３の上面、すなわちＺ１方向に臨む面には、レーザ光を回折するホログラムパターン１８が形成される。ＬＤ（Laser Diode）チップなどの光源素子１１から出射されたレーザ光は、ホログラム素子１３を透過してＺ１方向へ進む。ディスクなどによって反射されたレーザ光は、Ｚ２方向へ進み、ホログラム素子１３に照射される。ホログラムパターン１８は、Ｚ２方向から照射されたレーザ光を回折する。受光素子１２は、ホログラムパターン１８によってＸ１方向に予め定める角度に回折されたレーザ光を受光する。
【００４９】
図３は、ホログラムレーザデバイス１を製造する処理を説明するためのフローチャートである。ホログラムレーザデバイス製造装置２は、ホログラムレーザデバイス１を製造する装置である。
【００５０】
ホログラムレーザデバイス製造装置２がホログラムレーザデバイス１を製造するときに、ステップＳ０に進んで処理が開始される。ステップＳ１〜Ｓ１０の処理は、ホログラムレーザデバイス製造装置２によって行われる。ステップＳ１では、光源素子１１である半導体レーザ素子をサブマウント１４に接合する。ステップＳ２では、半導体レーザ素子が接合されているサブマウント１４を、ステム１５の所定の位置に接合する。ステップＳ３では、ステム１５に受光素子１２を搭載し、ステップＳ４では、半導体レーザ素子、受光素子１２などの各電極間をワイヤによって電気的に接続する。
【００５１】
ステップＳ５では、ステム１５の光学部品が搭載される側をキャップ１６で覆う。キャップ１６の上部には、窓が設けられている。窓は、ホログラム素子１３の接合強度および光路の妨げにならなければ、どのような形状でも構わない。ステップＳ１〜Ｓ５によって半導体レーザ素子、サブマウント１４、ステム１５、受光素子１２などが組み上げられたものを、「デバイス本体」と称す。ステップＳ６では、デバイス本体に対して、初期不良を事前に取り除くためのバーンイン検査を行う。ステップＳ７では、デバイス本体のレーザ特性検査を行う。
【００５２】
ステップＳ８では、ホログラム素子１３の光学特性が測定される。この測定結果に基づいて、ホログラム素子１３の良否が判定され、良品と判定されたホログラム素子１３を、デバイス本体に固定する。ホログラム素子１３は、デバイス本体のキャップ１６の窓の上部に固定される。デバイス本体にホログラム素子１３を固定することによって、ホログラムレーザデバイス１が完成する。ステップＳ９では、完成品のホログラムレーザデバイス１に、特性検査が行われ、ステップＳ１０では、ホログラムレーザデバイス１の外観検査が行われる。ステップＳ１１では、ホログラムレーザデバイス１が出荷されて、ステップＳ１２に進んで処理が終了する。
【００５３】
図４は、ホログラムレーザデバイス製造装置２の構成を示す図である。ホログラムレーザデバイス製造装置２によって行われる図３に示したステップＳ８での処理について説明する。デバイスの製造装置は、ホログラム素子供給ユニット２１と、保持部である保持搬送ユニット２２と、測定部および良否判定部である測定ユニット２３と、収納部である廃棄ユニット２４と、位置調整部である位置調整固定ユニット２５と、本体供給回収ユニット２６とを含んで構成される。
【００５４】
ホログラム素子供給ユニット２１は、複数のホログラム素子１３を収納可能であり、ホログラム素子１３を保持搬送ユニット２２に供給する。保持搬送ユニット２２は、ホログラム素子１３をチャッキング、すなわち保持するチャッキング機構を有する。さらに保持搬送ユニット２２は、３次元すなわちＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向の移動動作軸と、チャッキングしたホログラム素子１３のホログラムパターン１８が形成される面に垂直な回転動作軸とを有している。
【００５５】
測定ユニット２３は、保持搬送ユニット２２によって保持されるホログラム素子１３に対して測定用光源素子３６から測定用レーザ光を出射し、ホログラム素子１３によって回折された測定用レーザ光を測定用受光素子３７によって受光し、受光した測定用受光素子３７の出力に基づいて、ホログラムパターン１８の光学特性を測定する。測定ユニット２３は、測定したホログラムパターン１８の光学特性に関するデータを、位置調整固定ユニット２５に送る。
【００５６】
このホログラムパターン１８の光学特性は、ホログラム素子１３に形成されるホログラムパターン１８の１次回折効率および１次回折効率比である。また、測定ユニット２３は、ホログラム素子１３の光学特性の測定結果に基づいて、ホログラム素子１３の良否判定を行う。この良否判定は、１次回折効率および１次回折効率比の少なくともいずれか１つが、予め定める範囲内であるか否かによって行われる。
【００５７】
廃棄ユニット２４は、測定ユニット２３によって不良品と判定されたホログラム素子１３を回収するための廃棄用容器を有する。位置調整固定ユニット２５は、ホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置を調整して、ホログラム素子１３をデバイス本体に固定する。
【００５８】
本体供給回収ユニット２６は、複数のデバイス本体を収納可能であり、デバイス本体を位置調整固定ユニット２５に供給する。さらに本体供給回収ユニット２６は、位置調整固定ユニット２５によってホログラム素子１３とデバイス本体とが固定された完成品であるホログラムレーザデバイス１を回収する。
【００５９】
ホログラムレーザデバイス製造装置２において、保持搬送ユニット２２は、ホログラム素子供給ユニット２１から供給されたホログラム素子１３を、チャッキングすなわち保持して受け取る。保持搬送ユニット２２は、受取ったホログラム素子１３を測定ユニット２３へ移動させる。保持搬送ユニット２２は、測定ユニット２３によって光学特性が測定されたホログラム素子１３を、廃棄ユニット２４へ移動させる。保持搬送ユニット２２は、測定ユニット２３によって不良品と判定されたホログラム素子１３に対して、保持を解除して落下させ、廃棄ユニット２４の廃棄用容器に収納させる。保持搬送ユニット２２は、測定ユニット２３によって良品と判定されたホログラム素子１３に対する保持を維持して、位置調整固定ユニット２５へ移動させる。
【００６０】
位置調整固定ユニット２５は、測定ユニット２３によって測定されたホログラム素子１３の光学特性に基づいて、予め定める閾値を補正した補正閾値を算出する。位置調整固定ユニット２５は、算出した補正閾値にデバイス本体に備えられる受光素子１２の出力によって示される特性信号の値が一致するように、ホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置を調整する。デバイス本体は、本体供給回収ユニット２６から位置調整固定ユニット２５へ供給され、位置調整固定ユニット２５によって保持される。ホログラム素子１３は、保持搬送ユニット２２によって保持されている。位置調整固定ユニット２５は、調整した位置において、たとえば紫外線硬化型の接着材などを使用して、ホログラム素子１３をデバイス本体に固定する。
【００６１】
保持搬送ユニット２２は、位置調整固定ユニット２５によるホログラム素子１３とデバイス本体との固定が完了すると、ホログラム素子１３の保持を解除して、ホログラム素子１３を開放する。本体供給回収ユニット２６は、ホログラム素子１３とデバイス本体との固定が完了したホログラムレーザユニットを、位置調整固定ユニット２５から回収する。
【００６２】
図５は、保持搬送ユニット２２のチャッキング機構の一部を示す正面図である。図６は、保持搬送ユニット２２のチャッキング機構の一部を示す平面図である。チャッキング機構は、第１チャッキング爪３１と、第２チャッキング爪３２とを含んで構成される。
【００６３】
保持搬送ユニット２２は、ホログラム素子１３をホログラムパターン１８が形成される上面に垂直な向きであるＺ２方向に押圧可能であり、かつホログラムパターン１８が形成される領域において上面に垂直な方向であるＺ方向に開口している。
【００６４】
ホログラム素子１３の上面、すなわちＺ１方向に臨む面には、ホログラムパターン１８が形成される。ホログラムパターン１８は、たとえば直径が１．１ミリメートル（略号：「ｍｍ」）の円状に形成され、Ｘ方向の直線によって２つの領域に等分割されている。この２等分された２つの２分の１円の領域によって構成されるホログラムパターン１８を、「２分割ホログラムパターン」という。
【００６５】
第１チャッキング爪３１および第２チャッキング爪３２は、Ｙ方向すなわちホログラムパターン１８による光の回折方向と直交する方向からホログラム素子１３の側面を挟むことによって、ホログラム素子１３を保持する。第１チャッキング爪３１は、ホログラム素子１３のＺ１方向に臨む面、およびＹ２方向に臨む面を覆って当接する。第２チャッキング爪３２は、ホログラム素子１３のＹ１方向に臨む面を覆って当接する。
【００６６】
第１チャッキング爪３１および第２チャッキング爪３２は、ホログラム素子１３を保持している状態で、ホログラム素子１３をデバイス本体に対して、たとえば数十重量グラム（略号：「ｇｆ」）の圧力でＺ２方向に押圧可能である。第１チャッキング爪３１および第２チャッキング爪３２は、ホログラム素子１３の上面、すなわちホログラムパターン１８が形成される面を、均一に押圧できる形状に構成される。
【００６７】
これによって、位置調整固定ユニット２５は、前述したホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置の調整および固定を行う際、ホログラム素子１３が第１チャッキング爪３１および第２チャッキング爪３２によってデバイス本体に押圧されている状態で、安定して処理を行うことができる。
【００６８】
第１チャッキング爪３１は、ホログラム素子１３の上面を覆う部位に、チャッキング開口部３３を有する。チャッキング開口部３３は、ホログラムパターン１８の直径よりも大きな直径を有する円柱状の開口領域を形成する。開口領域は、第１チャッキング爪３１をＺ方向に貫通する孔である。チャッキング開口部３３は、チャッキング開口部３３の円柱の軸と、ホログラムパターン１８の直径の軸とが略一致する位置に形成される。
【００６９】
チャッキング開口部３３の直径の寸法は、Ｚ１方向へ進むレーザ光がホログラムパターン１８に照射されて、レーザ光の軸線に対して４５〜６０度の角度に回折された回折光が、チャッキング開口部３３によって光路を阻害しない寸法に形成される。
【００７０】
図７は、測定ユニット２３の構成を示す正面図である。図８は、測定ユニット２３の構成を示す平面図である。測定ユニット２３は、第１チャッキング爪３１および第２チャッキング爪３２によって保持されている状態のホログラム素子１３の光学特性を測定する。
【００７１】
測定ユニット２３は、測定用光源素子３６と、測定用受光素子３７と、集光レンズ３８とを含んで構成される。測定用光源素子３６は、ホログラムレーザデバイス１の光源素子１１が出射可能なレーザ光と略同一の波長の測定用レーザ光を出射する。光源素子１１が出射するレーザ光の波長は、ホログラムレーザデバイス１の用途に応じて定まる。このレーザ光の波長は、たとえばＣＤ（Compact Disk）、ＣＤ−Ｒ（Compact Disk 
Recordable）などのディスクに用いる場合、７８０〜８０５ナノメートル（略号：「ｎｍ」）であり、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）、書き込み型ＤＶＤなどのディスクに用いる場合、６４０〜６７５ｎｍである。
【００７２】
測定用受光素子３７は、ホログラムパターン１８によって回折された測定用レーザ光を受光して、受光した光量に応じた電圧を出力する。集光レンズ３８は、測定用光源素子３６から出射された測定用レーザ光を集光して、ホログラムパターン１８に照射する。集光レンズ３８によって集光されてホログラム素子に照射される測定用レーザ光を、矢符Ｌ１で示し、ホログラムパターン１８によって回折された測定用レーザ光を、矢符Ｌ２で示す。
【００７３】
図９は、測定ユニット２３によるホログラム素子１３の光学特性の測定を説明するための斜視図である。ホログラム素子１３には、３分割されたホログラムパターン１８が形成される。この３分割されたホログラムパターン１８を「３分割ホログラムパターン」という。３分割ホログラムパターンは、２分割ホログラムパターンに形成される２つの２分の１円の領域うち１つが、Ｙ方向の直線によって２等分に分割されて、２つの４分の１円の領域が形成される。
【００７４】
測定用光源素子３６は、Ｚ１方向に集光レンズ３８に対して、測定用レーザ光を出射する。集光レンズ３８は、測定用レーザ光から出射された測定用レーザ光を集光して、Ｚ１方向にホログラム素子１３に対して、測定用レーザ光を照射する。測定用光源素子３６からの測定用レーザ光は、ホログラム素子１３の下面、すなわちＺ２方向に臨む面から入射し、ホログラム素子１３の上面に形成されるホログラムパターン１８のうち２分の１円の領域に照射される。
【００７５】
集光レンズ３８は、ホログラム素子１３の分割領域に照射される測定用レーザ光の面積を、分割領域の面積よりも小さくする。ホログラムパターン１８は、たとえば直径寸法が１．１ｍｍであり、ホログラムパターン１８に照射されるレーザ光のスポットは、たとえば直径寸法が０．２ｍｍである。ホログラムパターン１８は、Ｚ１方向の軸線のレーザ光を、軸線からＸ１方向に予め定められた角度に回折する。測定用受光素子３７は、ホログラムパターン１８によって回折されたレーザ光を受光して、受光したレーザ光の光量を測定する。
【００７６】
図９に示したホログラム素子１３は、３分割ホログラムパターンが形成されるけれども、測定ユニット２３は、２分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３についても、同様に各分割領域に測定用レーザ光を照射して、測定用受光素子３７によって光量を測定することができる。
【００７７】
測定ユニット２３が測定するホログラム素子１３の光学特性は、１次回折効率である。１次回折効率は、分割領域に照射された測定用レーザ光の光量に対する、分割領域に形成されるホログラムパターン１８によって１次回折される測定用レーザ光の光量の割合を示す。
【００７８】
１次回折効率は、次のように算出される。測定ユニット２３は、測定用レーザ光源をＡＰＣ（Auto Power Control）駆動方式によって出力が一定となるように、レーザ光を出射する。ホログラム素子１３を配置する位置での測定用レーザ光の光量である入射光量を、予め測定する。この入射光量で、測定用受光素子３７より得られた１次回折光の光量を割り付けたものを、１次回折効率とする。
【００７９】
１次回折効率は、入射した光を１次回折する割合であることから、ホログラムレーザデバイス１として見た場合には、ディスクから反射されたディスク信号光を、ホログラムレーザデバイス１内の受光素子１２に落射させる効率を示すものである。したがって、この１次回折効率とデバイスのディスク信号出力強度とは正比例の関係であり、ホログラムレーザデバイス１で規定した信号の出力強度に見合わない１次回折効率を持つホログラム素子１３については、この測定によって、その良否を判定することが可能である。また、ホログラムパターン１８内の各パターン、すなわち分割された各分割領域の１次回折効率を個々に測定することによって、各々に対応するデバイス信号の範囲に対して、個別に良否判定を行うことができる。
【００８０】
本実施形態では、測定ユニット２３は、１つの集光レンズ３８を備える構成であるけれども、このような構成に限られず、他の実施形態では、集光ユニットが２つ以上の集光レンズ３８を備える構成であってもよい。
【００８１】
また、測定ユニット２３が測定するホログラム素子１３の光学特性は、各分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率の比率を示す１次回折効率比である。測定ユニット２３は、測定用レーザ光源、集光レンズ３８および測定用受光素子３７の位置を固定した状態で、ホログラム素子１３を上面に平行に移動させることによって、ホログラムパターン１８の各分割領域の１次回折効率を測定する。測定ユニット２３は、各分割領域のホログラムパターン１８について個別の１次回折効率を測定し、各ホログラムパターン１８間の１次回折効率の格差を、これの比として算出して１次回折効率比とする。
【００８２】
１次回折効率の算出は先述のとおり、１次回折光量を入射光量で割り付けたものであり、入射光量が本実施例のように同一値である場合には、１次回折効率比は、各ホログラムパターン１８の１次回折光量の比として算出できる。従って、本実施例の場合、測定用受光素子３７で得た、各パターンの１次回折の光量を互いに割り付けることで、１次回折効率比を算出する。
【００８３】
測定ユニット２３が有する測定用受光素子３７は、１つであり、測定ユニット２３は、１つの測定用受光素子３７を用いて、各分割領域に形成されるホログラムパターン１８によって回折された光を順次的に受光して、分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率比を測定する。また、各分割領域のホログラムパターン１８によって１次回折される光の回折方向は、互いに異なる。
【００８４】
測定ユニット２３がホログラム素子１３の光学特性を測定するときのホログラム素子１３の移動は、保持搬送ユニット２２によって行われる。保持搬送ユニット２２は、Ｘ方向およびＹ方向に直交した２方向の動作軸を用いて、ホログラム素子１３をホログラム素子１３の上面に平行なＸ方向およびＹ方向に移動させる。この動作軸は、ホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置を調整する際に、ホログラム素子１３を移動させる動作軸と共用させることも可能である。これによって、部品点数を削減し、コストを削減させることができる。
【００８５】
図１０は、位置調整固定ユニット２５が行う３分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置の調整を示す斜視図である。図１１は、３分割ホログラムパターンによって回折されたレーザ光を受光素子１２が受光している状態を示す平面図である。
【００８６】
位置調整固定ユニット２５は、測定ユニット２３によって測定されたホログラムパターン１８の光学特性に基づいて、予め定める閾値を補正した補正閾値を算出し、この補正閾値にデバイス本体に備えられる受光素子１２の出力によって示される特性信号の値が一致するように、ホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置を調整する。
【００８７】
ホログラム素子１３には、３分割ホログラムパターンが形成され、ホログラムパターン１８の分割領域のうち、２分の１円の領域をホログラムパターン１８ａとし、４分の１円の領域の一方をホログラムパターン１８ｂとし、４分の１円の領域の他方をホログラムパターン１８ｃとする。
【００８８】
光源素子１１から出射されたレーザ光の反射光を矢符Ｌ１１で示し、ホログラムパターン１８ａによって回折されたレーザ光を矢符Ｌ１２で示し、ホログラムパターン１８ｂによって回折されたレーザ光を矢符Ｌ１３で示し、ホログラムパターン１８ｃによって回折されたレーザ光を矢符Ｌ１４で示す。
【００８９】
ホログラムパターン１８ａ，１８ｂ，１８ｃは、レーザ光の回折方向がそれぞれ異なる。レーザ光Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４は、受光素子１２によってそれぞれ受光される。受光素子１２の受光領域４１のうち、ホログラムパターン１８ａからのレーザ光Ｌ１２を受光する領域を受光領域４１ａ，４１ｂとし、ホログラムパターン１８ｂからのレーザ光Ｌ１３を受光する領域を受光領域４１ｃとし、ホログラムパターン１８ｃからのレーザ光Ｌ１４を受光する領域を受光領域４１ｄをとする。受光領域４１ａ，４１ｂは、直線状の受光領域分割線４２によって、互いに分割される。
【００９０】
位置調整固定ユニット２５は、３分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３をデバイス本体に固定するとき、光源素子を発光させて、３つの特性信号をリアルタイムで計測しながら、これらが所望の値となるようホログラム素子１３の位置を調整している。３つの特性信号は、ＦＥＳ（Focus Error Signal）、ＭＳＢ（Main Spot 
Balance）およびＳＳＢ（Sub Spot Balance）であり、それぞれ次の式によって定義される。
ＦＥＳ＝Ｖａ−Ｖｂ
ＭＳＢ＝（Ｖａ＋Ｖｂ）÷（Ｖｃ＋Ｖｄ）
ＳＳＢ＝Ｖｃ÷Ｖｄ
【００９１】
ここで、Ｖａは、受光領域４１ａからの出力電圧値を示し、Ｖｂは、受光領域４１ｂからの出力電圧値を示し、Ｖｃは、受光領域４１ｃからの出力電圧値を示し、Ｖｄは、受光領域４１ｄからの出力電圧値を示す。
【００９２】
ＭＳＢは、各２分の１円の領域のホログラムパターン１８ａと、ホログラムパターン１８ｂ，１８ｃとによって回折されたレーザ光Ｌ１２による受光素子１２からの出力電圧比であり、ＳＳＢは、各４分の１円の領域のホログラムパターン１８ｂ，１８ｃによって回折されたレーザ光Ｌ１３，Ｌ１４による受光素子１２からの出力電圧比である。ＭＳＢおよびＳＳＢは、レーザ光に対するホログラムパターンの相対位置の指標として、ホログラム素子１３の固定時に利用される。さらにＭＳＢおよびＳＳＢは、ホログラムレーザデバイス１をピックアップに搭載する際にも、ピックアップ光学系に対するホログラムレーザデバイス１の相対位置を示す指標として、位置調整に利用される。
【００９３】
ＦＥＳについては、予め定められる閾値として零ボルト（Volt：略号「Ｖ」）を狙い値としており、ホログラムパターン１８の中心を軸として、ホログラムパターン１８が形成される上面に平行なＷ方向に回転させることで、ＰＤ_ＡおよびＰＤ_Ｂ間の分割線上にビームが落射するように、ホログラム素子１３の位置を調整している。
【００９４】
ＭＳＢおよびＳＳＢについては、予め定められる閾値として「１」を狙い値とし、ホログラム素子１３の位置を調整している。ＭＳＢであればホログラムパターン１８ａと、ホログラムパターン１８ｂ，１８ｃとの分割線に垂直なＹ方向で、ＳＳＢであればホログラムパターン１８ｂ，１８ｃとの分割線に平行なＸ方向で、ホログラム素子１３を上面に平行に移動させ、各分割領域のホログラムパターン１８に照射されるレーザ光の割合を変えることによって、ホログラム素子１３の位置を調整している。Ｘ方向とＹ方向とは、互いに直交している。
【００９５】
位置調整固定ユニット２５は、各ホログラムパターン１８の１次回折効率比に基づいて、ＭＳＢおよびＳＳＢについての予め定める閾値「１」を補正する。位置調整固定ユニット２５は、ＭＳＢの補正閾値を、ホログラムパターン１８ａの１次回折効率値と、ホログラムパターン１８ｂ，１８ｃの１次回折効率値の平均値との比率に基づいて算出する。ＭＳＢの補正閾値は、「ホログラムパターン１８ａの１次回折効率値÷｛（ホログラムパターン１８ｂの１次回折効率値＋ホログラムパターン１８ｃの１次回折効率値）÷２｝」によって算出される。
【００９６】
また位置調整固定ユニット２５は、ＳＳＢの補正閾値を、ホログラムパターン１８ｂの１次回折効率値と、ホログラムパターン１８ｃの１次回折効率値との比率に基づいて算出する。ＳＳＢの補正閾値は、「ホログラムパターン１８ｂの１次回折効率値÷ホログラムパターン１８ｃの１次回折効率値」によって算出される。
【００９７】
たとえば、ホログラムパターン１８ａの１次回折効率が「０．８」であり、ホログラムパターン１８ｂの１次回折効率が「０．４」であり、ホログラムパターン１８ｃの１次回折効率が「１．６」である場合、ＭＳＢの補正閾値は、「０．８÷｛（０．４＋１．６）÷２｝」によって、「０．８」と算出され、ＳＳＢの補正閾値は、「０．４÷１．６」によって、「０．２５」と算出される。
【００９８】
位置調整固定ユニット２５が行うホログラム素子１３の位置調整では、ＦＥＳ，ＭＳＢ，ＳＳＢの各特性信号をリアルタイムに確認し、ＦＥＳについては予め定める閾値に、ＭＳＢおよびＳＳＢについては補正閾値に近づくように繰り返し調整を行うことによって、ホログラム素子１３を最適な位置へと追い込んでデバイス本体に固定している。これによって、位置調整固定ユニット２５は、光源素子１１、受光素子１２およびホログラム素子１３を、光学設計において意図した位置に配置することができる。
【００９９】
図１２は、ＭＳＢの補正閾値を算出することなく３分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３の位置調整を行った第１比較例を示す平面図である。図１３は、ＳＳＢの補正閾値を算出することなく３分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３の位置調整を行った第１比較例を示す平面図である。
【０１００】
本第１比較例では、各ホログラムパターン１８ａ，１８ｂ，１８ｃの１次回折効率が不均一な場合に、位置調整固定ユニット２５が、ＭＳＢおよびＳＳＢの予め定める閾値「１」によってホログラム素子１３の位置を調整した結果を示す。ホログラムパターン１８ａの１次回折効率が「０．８」であり、ホログラムパターン１８ｂの１次回折効率が「０．４」であり、ホログラムパターン１８ｃの１次回折効率が「１．６」であるとする。
【０１０１】
図１２に示した第１比較例では、ホログラムパターン１８の中心Ｃ１が、レーザ光の中心Ｃ２よりもＹ２方向にズレた位置に調整されている。図１３に示した第１比確例では、ホログラムパターン１８の中心Ｃ１が、レーザ光の中心Ｃ２よりもＸ２方向にズレた位置に調整されている。これは、相対的に１次回折光効率の低いホログラムパターン１８が、１次回折光効率の高いホログラムパターン１８よりも多くのレーザ光を受光するように、ホログラム素子１３の位置が調整された結果である。
【０１０２】
ホログラムパターン１８の中心とレーザ光の中心とが異なる位置に固定されると、たとえばフォーカス信号バランス、ラジアル信号バランス、ジッタなどの特性にバラつきが生じてホログラムレーザデバイス１の品質が低下する。したがって、予め定める閾値を補正しないでホログラム素子１３の位置調整を行う場合では、ホログラムパターン１８の１次回折効率比の許容範囲を、たとえば「１±０．１」に設定し、許容範囲外のホログラム素子１３を廃棄している。
【０１０３】
これに対して、本実施形態の位置調整固定ユニット２５は、補正閾値を用いてホログラム素子１３の位置調整を行うので、ホログラムパターン１８の１次回折効率比の許容範囲を、たとえば「１±０．４」に設定することができる。これによって、ホログラムレーザデバイス製造装置２は、ホログラム素子１３の特性の許容範囲を拡大させ良品率を向上させて、コストダウンおよび生産性を向上させることができる。また、ホログラムレーザデバイス１製造装置は、受光素子１２上へのディスクからの往路光の落射位置を安定させてバラツキを低減させるので、ホログラムレーザデバイス１の特性を安定させ、品質を向上させることができる。
【０１０４】
図１４は、位置調整固定ユニット２５が行う２分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置の調整を示す斜視図である。図１５は、２分割ホログラムパターンによって回折されたレーザ光を受光素子１２が受光している状態を示す平面図である。位置調整固定ユニット２５は、図１０，図１１で説明した３分割ホログラムパターンのホログラム素子１３の位置調整と同様の位置調整を行う。図１４，図１５において、図１０，図１１で示した構成と同一の構成には、同じ参照符を付し、重複を避けるために説明を省略する。
【０１０５】
ホログラム素子１３には、２分割ホログラムパターンが形成され、ホログラムパターン１８の分割領域のうち、２分の１円の領域の一方をホログラムパターン１８ａとし、他方をホログラムパターン１８ｄとする。ホログラムパターン１８ａによって回折されたレーザ光を矢符Ｌ１２で示し、ホログラムパターン１８ｄによって回折されたレーザ光を矢符Ｌ１５で示す。ホログラムパターン１８ｄによって回折されたレーザ光Ｌ１５を受光する領域を受光領域４１ｅとする。
【０１０６】
位置調整固定ユニット２５は、ＦＥＳおよびＭＳＢの２つの特性信号を用いて、２分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３のデバイス本体に固定する位置を調整する。ＦＥＳおよびＭＳＢは、それぞれ次の式によって定義される。
ＦＥＳ＝Ｖａ−Ｖｂ
ＭＳＢ＝（Ｖａ＋Ｖｂ）÷Ｖｅ
ここで、Ｖｅは、受光領域４１ｅからの出力電圧値を示す。
【０１０７】
位置調整固定ユニット２５は、各ホログラムパターン１８の１次回折効率比に基づいて、ＭＳＢについての予め定める閾値「１」を補正する。位置調整固定ユニット２５は、ＭＳＢの補正閾値を、ホログラムパターン１８ａの１次回折効率値と、ホログラムパターン１８ｄの１次回折効率値との比率に基づいて算出する。ＭＳＢの補正閾値は、「ホログラムパターン１８ａの１次回折効率値÷ホログラムパターン１８ｄの１次回折効率値」によって算出される。
【０１０８】
たとえば、ホログラムパターン１８ａの１次回折効率が「０．８」であり、ホログラムパターン１８ｄの１次回折効率が「１．０」である場合、ＭＳＢの補正閾値は、「０．８÷１．０」によって、「０．８」と算出される。
【０１０９】
図１６は、ＭＳＢの補正閾値を算出することなく２分割ホログラムパターンが形成されるホログラム素子１３の位置調整を行った第２比較例を示す平面図である。本第２比較例では、各ホログラムパターン１８ａ，１８ｄの１次回折効率が不均一な場合に、位置調整固定ユニット２５が、ＭＳＢの予め定める閾値「１」によってホログラム素子１３の位置を調整した結果を示す。ホログラムパターン１８ａの１次回折効率が「０．８」であり、ホログラムパターン１８ｄの１次回折効率が「１．０」であるとする。
【０１１０】
図１６に示した第２比較例では、ホログラムパターン１８の中心Ｃ１が、レーザ光の中心Ｃ２よりもＹ２方向にズレた位置に調整されている。これは、相対的に１次回折光効率の低いホログラムパターン１８ａが、１次回折光効率の高いホログラムパターン１８ｄよりも多くのレーザ光を受光するように、ホログラム素子１３の位置が調整された結果である。
【０１１１】
図１７は、本発明の他の実施形態に係る保持搬送ユニット２２のチャッキング機構の一部を示す正面図である。図１８は、本発明の他の実施形態に係る保持搬送ユニット２２のチャッキング機構の一部を示す平面図である。図１７，図１８に示す他の実施の形態において、図５，図６に示した実施形態と同一の構成には同じ参照符を付し、重複を避けるために説明を省略する。
【０１１２】
チャッキング機構は、第１チャッキング爪４６と、第２チャッキング爪４７とを含んで構成される。保持搬送ユニット２２は、ホログラム素子１３をホログラムパターン１８が形成される上面に垂直な向きであるＺ２方向に押圧可能であり、かつホログラムパターン１８が形成される領域において上面に垂直な方向であるＺ方向に開口している。
【０１１３】
第１チャッキング爪４６および第２チャッキング爪４７は、Ｙ方向すなわちホログラムパターン１８による光の回折方向と直交する方向からホログラム素子１３の側面を挟むことによって、ホログラム素子１３を保持する。第１チャッキング爪４６および第２チャッキング爪４７は、ホログラム素子１３のＺ１方向に臨む面のＹ方向の端部、およびＹ２方向に臨む面を覆って当接する。
【０１１４】
第１チャッキング爪４６および第２チャッキング爪４７は、ホログラム素子１３を保持している状態で、ホログラム素子１３をデバイス本体に対して、たとえば数十ｇｆの圧力でＺ２方向に押圧可能である。第１チャッキング爪４６および第２チャッキング爪４７は、ホログラム素子１３の上面、すなわちホログラムパターン１８が形成される面のＹ方向の端部を、均一に押圧できる形状に構成される。
【０１１５】
第１チャッキング爪４６および第２チャッキング爪４７は、ホログラム素子１３を保持している状態において、ホログラム素子１３のホログラムパターン１８が形成される領域のＺ１方向およびＺ２方向に開口している。これによって、第１チャッキング爪４６および第２チャッキング爪４７は、Ｚ１方向へ進むレーザ光がホログラムパターン１８に照射されるとき、レーザ光の軸線に対して４５〜６０度の角度に回折された回折光の光路を阻害しない。
【０１１６】
図１９は、本発明の他の実施形態に係る測定ユニット２３によるホログラム素子１３の光学特性の測定を説明するための斜視図である。図１９に示す他の実施の形態において、図９に示した実施形態と同一の構成には同じ参照符を付し、重複を避けるために説明を省略する。
【０１１７】
測定ユニット２３は、集光レンズ３８とホログラム素子１３との間に、アパーチャ５１をさらに含んで構成される。アパーチャ５１は、板状に形成され、ホログラム素子１３の上面および下面に平行に設置される。アパーチャ５１には、円状のアパーチャ開口部５２が形成される。集光レンズ３８によって集光され、Ｚ１方向に向かう測定用レーザ光は、アパーチャ５１によって阻止され、アパーチャ開口部５２によって規定される開口領域からホログラム素子１３に向かう。
【０１１８】
アパーチャ５１および集光レンズ３８は、ホログラム素子１３の分割領域に照射される測定用レーザ光の面積を、分割領域の面積よりも小さくする。ホログラムパターン１８は、たとえば直径寸法が１．１ｍｍであり、ホログラムパターン１８に照射されるレーザ光のスポットは、たとえば直径寸法が０．２ｍｍである。
【０１１９】
他の実施形態では、保持したホログラム素子１３と測定用受光素子３７の位置を固定した状態で、レーザ光源、集光レンズ３８およびアパーチャ５１など含む光源ユニットをホログラム素子１３の上面に対して平行に移動させることによって、分割領域の各ホログラムパターン１８内に対して個別に測定光スポットを入射し、１次回折光の光量を測定用受光素子３７で測定している。
【０１２０】
光源ユニットの稼動は、光源ユニットに配した動作軸であって、ホログラムパターン１８が形成される上面に平行に可動する、直交した２方向の動作軸を用いて実施している。ホログラム素子１３の位置調整用動作軸の分解能は、たとえば０．１マイクロメートル（略号：「μｍ」）／パルスであり、光学測定時の動作軸は、たとえば１μｍ／パルスである。保持搬送ユニット２２の限られた寸法構成の中で、分解能の異なる２種類の動作軸を配するには、構造が複雑、かつ寸法配置が困難であるので、光源ユニット側に、分解能１μｍ／パルスの動作軸を配している。
【０１２１】
このように、ホログラムレーザデバイス製造装置２は、レーザ光を出射する光源素子１１および光源素子１１から出射されたレーザ光の反射光を受光する受光素子１２を備えるデバイス本体に、レーザ光を透過しかつ反射光を回折するホログラムパターン１８が複数の分割領域に分割されて形成されるホログラム素子１３を固定する際に、ホログラム素子１３によって回折された反射光を受光素子１２によって受光し、受光した受光素子１２の出力によって示される特性信号の値が予め定める閾値に一致するように、ホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置を調整する。ホログラムレーザデバイス製造装置２は、保持搬送ユニット２２と、測定ユニット２３と、位置調整固定ユニット２５とを含んで構成される。保持搬送ユニット２２は、ホログラム素子１３を保持する。測定ユニット２３は、測定用レーザ光を出射する測定用光源素子３６および測定用光源素子３６から出射された測定用レーザ光を受光する測定用受光素子３７を有する。測定ユニット２３は、保持搬送ユニット２２によって保持されるホログラム素子１３に対して測定用光源素子３６から測定用レーザ光を出射し、ホログラム素子１３によって回折された測定用レーザ光を測定用受光素子３７によって受光し、受光した測定用受光素子３７の出力に基づいて、ホログラムパターン１８の光学特性を測定する。位置調整固定ユニット２５は、測定ユニット２３によって測定されたホログラムパターン１８の光学特性に基づいて、予め定める閾値を補正した補正閾値を算出し、この補正閾値にデバイス本体に備えられる受光素子１２の出力によって示される特性信号の値が一致するように、ホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置を調整する。
【０１２２】
ホログラムレーザデバイス製造装置２は、光学設計で意図した位置、すなわちレーザ光の中心点とホログラム素子１３の中心点とが略一致する位置を目標として、ホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置の調整を行う。ホログラム素子１３の位置調整のときに用いる予め定める閾値は、ホログラムパターン１８の光学特性がホログラム素子１３の各分割領域において均一であることを前提として設定されている。
【０１２３】
測定ユニット２３は、ホログラム素子１３の光学特性を測定して、各分割領域における光学特性のバラツキを検出することができる。これによって、位置調整固定ユニット２５は、ホログラム素子１３の光学特性のバラツキに基づいて、予め定める閾値を補正することができる。したがって、位置調整固定ユニット２５は、ホログラム素子１３ごとに予め定める閾値を個別に補正して、ホログラム素子１３の光学特性に応じたホログラム素子１３の固定位置を割り出すことができる。
【０１２４】
これによって、ホログラムレーザデバイス製造装置２は、光学特性にバラツキがあるホログラム素子１３であっても、ホログラム素子１３とデバイス本体とが光学設計において意図した位置に固定されるように適切に調整することができる。したがって、ホログラムレーザデバイス製造装置２は、たとえばフォーカス信号バランス、ラジアル信号バランス、ジッタなどの特性が優れた高品質のホログラムレーザデバイス１を製造することができる。
【０１２５】
また、ホログラムレーザデバイス製造装置２は、光学特性にバラツキがあることが原因で従来では廃棄していたホログラム素子１３について、ホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置を適切に調整して高品質のホログラムレーザデバイス１として製造することができる。これによって、ホログラムレーザデバイス製造装置２は、ホログラムレーザデバイス１を製造するときの歩留まり率を向上させて、生産効率を向上させることができる。
【０１２６】
さらに、保持搬送ユニット２２は、ホログラム素子１３をホログラムパターン１８が形成される一表面である上面に垂直な向きに押圧可能であり、かつホログラムパターン１８が形成される領域において上面に垂直な方向に開口している。
【０１２７】
これによって、保持搬送ユニット２２は、測定用光源素子３６からの測定用レーザ光およびホログラム素子１３によって回折された測定用レーザ光を妨げることなく、測定ユニット２３にホログラム素子１３の光学特性を測定させることができる。また、保持搬送ユニット２２は、ホログラム素子１３をデバイス本体の固定すべき位置付近に予め定める圧力で押圧することによって、ホログラム素子１３とデバイス本との位置を安定させ、位置調整固定ユニット２５にホログラム素子１３の位置を適切に調整させることができる。
【０１２８】
したがって、保持搬送ユニット２２は、ホログラム素子１３を保持した状態で、測定ユニット２３による光学特性の測定と位置調整固定ユニット２５による位置の調整とを順次的に行わせることができる。これによって、ホログラムレーザデバイス製造装置２は、ホログラムレーザデバイス１を効率よく製造することができる。
【０１２９】
さらに、測定用光源素子３６が出射する測定用レーザ光は、デバイス本体に備えられる光源素子１１が出射可能なレーザ光と略同一の波長である。ホログラムパターン１８の光学特性は、光の波長によって変動するけれども、測定ユニット２３は、デバイス本体の光源素子１１を用いて測定するのと同様の測定結果を正確に得ることができる。これによって、位置調整固定ユニット２５は、測定された光学特性に基づいて補正閾値を算出し、ホログラム素子１３の位置調整を正確に行うことができる。
【０１３０】
さらに、ホログラムレーザデバイス製造装置２は、良否判定部である測定ユニット２３と、廃棄ユニット２４とをさらに含んで構成される。良否判定部は、測定ユニット２３によって測定されたホログラム素子１３の光学特性に基づいて、ホログラム素子１３の良否判定を行う。廃棄ユニット２４は、ホログラム素子１３を収納可能である。良否判定部によってホログラム素子１３が不良品と判定された場合、保持搬送ユニット２２は、ホログラム素子１３に対する保持を解除してホログラム素子１３を廃棄ユニット２４に収納する。良否判定部によってホログラム素子１３が良品と判定された場合、保持搬送ユニット２２は、ホログラム素子１３に対する保持を維持して、位置調整固定ユニット２５がホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置を調整する。
【０１３１】
これによって、保持搬送ユニット２２は、良否判定の結果に応じて、ホログラム素子１３の保持を維持または解除することによって、良品と不良品とを効率よく選別することができる。また、ホログラムレーザデバイス製造装置２は、測定ユニット２３によって得られたホログラム素子１３の光学特性の測定結果を、良否判定部によるホログラム素子１３の良否判定、および位置調整固定ユニット２５による予め定める閾値の補正に利用することができる。したがって、ホログラムレーザデバイス製造装置２は、測定した光学特性を有効に活用して、ホログラムレーザデバイス１の生産効率を高めることができる。
【０１３２】
さらに、測定ユニット２３は、測定用発光素子から出射される測定用レーザ光を集光する集光レンズ３８をさらに有する。測定ユニット２３は、集光レンズ３８を用いて、ホログラム素子１３の分割領域に照射される測定用レーザ光の面積を、分割領域の面積よりも小さくする。
【０１３３】
これによって、測定ユニット２３は、分割領域ごとに測定用レーザ光を照射して、各分割領域に形成されるホログラムパターン１８が回折する測定用レーザ光を、測定用受光素子３７に受光させることができる。したがって、測定ユニット２３は、ホログラム素子１３の光学特性を分割領域ごとに正確に測定することができる。
【０１３４】
さらに、測定ユニット２３が測定するホログラム素子１３の光学特性は、１次回折効率である。１次回折効率は、分割領域に照射された測定用レーザ光の光量に対する、分割領域に形成されるホログラムパターン１８によって１次回折される測定用レーザ光の光量の割合を示す。
【０１３５】
これによって、ホログラムレーザデバイス製造装置２は、ホログラムレーザデバイス１が光ディスクから信号を読み取るときに、光ディスクからの反射光の光量のうちホログラム素子１３によって１次回折されて受光素子１２に照射される光量の割合を知ることができる。
【０１３６】
さらに、測定ユニット２３が測定するホログラム素子１３の光学特性は、１次回折効率比である。１次回折効率比は、各分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率の比率を示す。１次回折効率は、分割領域に照射された測定用レーザ光の光量に対する、分割領域に形成されるホログラムパターン１８によって１次回折される測定用レーザ光の光量の割合である。
【０１３７】
これによって、測定ユニット２３は、各分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率の違いを数値化することができる。したがって、位置調整固定ユニット２５は、１次回折効率比、すなわち各分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率のバラツキを示す値に基づいて、ホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置を適切に調整することができる。
【０１３８】
さらに、各分割領域に形成されるホログラムパターン１８は、測定用レーザ光を回折する方向がそれぞれ異なる。測定ユニット２３が有する測定用受光素子３７は、１つである。測定ユニット２３は、１つの測定用受光素子３７を用いて、各分割領域に形成されるホログラムパターン１８によって回折された光を順次的に受光して、分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率比を測定する。
【０１３９】
仮に複数の測定用受光素子３７を用いて各分割領域の１次回折効率を測定する場合、複数の測定用受光素子３７のそれぞれの受光感度を完全に同一にすることは困難であり、測定結果に誤差が生じる。測定ユニット２３は、１つの測定用受光素子３７を用いる構成であるので、分割領域のホログラムパターン間の１次回折効率比を精度よく測定することができる。
【０１４０】
また、１つの測定用受光素子３７を用いる構成では、複数の測定用受光素子３７を用いる構成に比べて、部品点数を削減させることができる。これによって、ホログラムレーザデバイス製造装置２およびホログラムレーザデバイス１のコストを削減させることができる。
【０１４１】
さらに、分割領域は、少なくともホログラムパターン１８が形成される領域を２等分する直線によって分割される。ホログラムパターン１８が形成されるホログラム素子１３の上面の面方向で、かつ２分割する直線に垂直な方向を第１の方向とし、上面の面方向で、かつ２分割する直線に平行な方向を第２の方向とする。位置調整固定ユニット２５がホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置を調整する方向は、第１の方向および第２の方向の少なくともいずれか１つの方向である。
【０１４２】
ホログラム素子１３には、たとえばホログラムパターン１８が形成される領域が、１つの直線または互いに直交する２つの直線によって２分割または３分割されたものがある。各分割領域の１次回折効率が異なると、ホログラムパターン１８領域を分割する直線に垂直な方向で、かつホログラムパターン１８が形成される上面の面方向に、ホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置がずれる。
【０１４３】
したがって、位置調整固定ユニット２５は、各分割領域で１次回折効率のバラツキのあるホログラム素子１３を、ホログラム素子１３のデバイス本体に対する位置のずれが予想される方向に修正することができる。これによって、位置調整固定ユニット２５は、デバイス本体に対するホログラム素子１３の固定位置を、光学設計によって意図された固定位置に確実に修正することができる。
【０１４４】
さらに、ホログラムレーザデバイス１は、前記ホログラムレーザデバイス製造装置２によって製造される。これによって、ホログラムレーザデバイス１は、ホログラム素子１３とデバイス本体とが光学設計によって意図された位置に調整されて固定されている。したがって、ホログラムレーザデバイス１は、優れた特性、たとえばフォーカス信号バランス、ラジアル信号バランス、ジッタなどを、安定して発揮することができる。また、ホログラムレーザデバイス１は、生産効率の良いホログラムレーザデバイス製造装置２によって製造されるので、コストを低く抑えることができる。
【符号の説明】
【０１４５】
１  ホログラムレーザデバイス
２  ホログラムレーザデバイス製造装置
１１  光源素子
１２  受光素子
１３  ホログラム素子
１４  サブマウント
１５  ステム
１６  キャップ
１８  ホログラムパターン
２１  ホログラム素子供給ユニット
２２  保持搬送ユニット
２３  測定ユニット
２４  廃棄ユニット
２５  位置調整固定ユニット
２６  本体供給回収ユニット
３１  第１チャッキング爪
３２  第２チャッキング爪
３３  チャッキング開口部
３６  測定用光源素子
３７  測定用受光素子
３８  集光レンズ
４１  受光領域
４２  受光領域分割線
４６  第１チャッキング爪
４７  第２チャッキング爪
５１  アパーチャ
５２  アパーチャ開口部
【図１】
2011081877.tif 000003
【図２】
2011081877.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2011081877.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2011081877.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2011081877.tif 000015
【図１４】
2011081877.tif 000016
【図１５】
2011081877.tif 000017
【図１６】
2011081877.tif 000018
【図１７】
2011081877.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
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