(57)【要約】      （修正有）【課題】レシピ編集時に制御用バルブと連動動作する自動開閉バルブの連動動作を表示することで、レシピを実行することなくバルブの連動動作を確認できる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板を処理する処理室へガスを供給するガス配管路に設けられたバルブの状態を表示する表示部５と、該表示部より送信される開閉信号からどのバルブの情報かを判別する判別手段とレシピ等の編集データを格納する第１の格納手段と各バルブのバルブ開閉状態に応じた点灯状態を規定したデータを格納する第２の格納手段とを有する操作部３４とを具備し、前記判別手段は前記開閉信号を前記第１の格納手段に格納すると共に、前記開閉信号から取得したバルブの開閉状態に応じた点灯状態を前記第２の格納手段より取得し、前記点灯状態を前記制御部に送信し、該制御部は前記点灯状態からバルブ点灯パターンを表示データに設定し、該表示データを前記表示部に送信して表示させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する為のレシピに従いバルブの開閉等を行ってプロセス制御を行う制御部と、基板を処理する処理室へガスを供給するガス配管路に設けられたバルブの状態を表示する表示部と、該表示部より送信される開閉信号からどのバルブの情報かを判別する判別手段とレシピ等の編集データを格納する第１の格納手段と各バルブのバルブ開閉状態に応じた点灯状態を規定したデータを格納する第２の格納手段とを有する操作部とを具備し、前記判別手段は前記開閉信号を前記第１の格納手段に格納すると共に、前記開閉信号から取得したバルブの開閉状態に応じた点灯状態を前記第２の格納手段より取得し、前記点灯状態を前記制御部に送信し、該制御部は前記点灯状態からバルブ点灯パターンを表示データに設定し、該表示データを前記表示部に送信して表示させることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ等の基板に酸化処理、拡散処理、薄膜の生成等の処理を行う基板処理装置、特に制御用バルブと連動して開閉する自動開閉バルブの開閉状態を表示する機能を有する基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置に於けるコントローラは、ガス流量、温度、圧力制御等のプロセス制御を行うコントローラ（ＰＭＣ）と、ポッド、ウェーハ、ボート等の搬送制御を行うコントローラと、２つのコントローラを統括制御するメインコントローラとで構成されている。
【０００３】
メインコントローラは表示部（ＧＰＰ）と操作部（ＯＵ）を有し、表示部はバルブ、ガス、ヒータの状態及び、ポッド、シリンダや駆動軸といった可動部と、これらの動作を検出するセンサの状態をモニタ表示し、操作部は表示部を介してプロセス制御や搬送制御を行う為に必要なパラメータを編集するヒューマンインターフェースを司る機能を有している。
【０００４】
表示部のモニタ表示機能の中に、レシピ実行時に変化するバルブの状態をモニタするバルブ表示機能があり、バルブ表示機能はレシピの実行により制御用バルブを切替えた際に、制御用バルブと連動してＯＮ／ＯＦＦする自動開閉バルブの状態を表示することができる。
【０００５】
制御用バルブはレシピでＯＮ／ＯＦＦ設定が可能であり、レシピ実行時には設定に従い、ＰＭＣがバルブのＯＮ／ＯＦＦを制御するシーケンサに指示を送ることで、バルブのＯＮ／ＯＦＦが制御される様になっている。又、自動開閉バルブはレシピでバルブのＯＮ／ＯＦＦ設定ができず、シーケンサがセンサや制御用バルブと連動してＯＮ／ＯＦＦするバルブであり、制御用バルブと自動開閉バルブを合わせて連動バルブと称している。
【０００６】
図１０に於いて、従来のバルブ表示機能の概略の構成及びバルブ表示機能について説明する。
【０００７】
先ず、ＰＭＣ１からの指示により、シーケンサ２が制御用バルブと自動開閉バルブの連動動作を行い、制御用バルブと自動開閉バルブの状態をバルブモニタ３として前記ＰＭＣ１に送信する。該ＰＭＣ１は前記バルブモニタ３からＬＥＤ表示要求データ４を作製し、該ＬＥＤ表示要求データ４をバルブの状態を表示するガスパターンパネル（ＧＰＰ）５に送信し、該ＧＰＰ５は前記ＬＥＤ表示要求データ４に従ってＬＥＤ表示を行っている。
【０００８】
然し乍ら、レシピ編集時に制御用バルブのＯＮ／ＯＦＦ設定を変更しても、実際にバルブの状態が変更されることはなく、前記シーケンサ２に変更指示が送信されることがない為、レシピ編集では制御用バルブと自動開閉バルブとの連動を表示することができない。
【０００９】
従って、レシピ編集時の設定内容と、実際にレシピを実行した際の自動開閉バルブの状態が食違うことから、レシピ編集時に設定した制御用バルブのＯＮ／ＯＦＦにより連動する自動開閉バルブの実際の連動動作は、レシピを実行しなければ確認できないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００６−９３４９４号公報
【特許文献２】特開２００９−９４４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は斯かる実情に鑑み、レシピ編集時に制御用バルブと連動動作する自動開閉バルブの連動動作を表示することで、レシピを実行することなくバルブの連動動作を確認できる基板処理装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、基板を処理する為のレシピに従いバルブの開閉等を行ってプロセス制御を行う制御部と、基板を処理する処理室へガスを供給するガス配管路に設けられたバルブの状態を表示する表示部と、該表示部より送信される開閉信号からどのバルブの情報かを判別する判別手段とレシピ等の編集データを格納する第１の格納手段と各バルブのバルブ開閉状態に応じた点灯状態を規定したデータを格納する第２の格納手段とを有する操作部とを具備し、前記判別手段は前記開閉信号を前記第１の格納手段に格納すると共に、前記開閉信号から取得したバルブの開閉状態に応じた点灯状態を前記第２の格納手段より取得し、前記点灯状態を前記制御部に送信し、該制御部は前記点灯状態からバルブ点灯パターンを表示データに設定し、該表示データを前記表示部に送信して表示させる基板処理装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、基板を処理する為のレシピに従いバルブの開閉等を行ってプロセス制御を行う制御部と、基板を処理する処理室へガスを供給するガス配管路に設けられたバルブの状態を表示する表示部と、該表示部より送信される開閉信号からどのバルブの情報かを判別する判別手段とレシピ等の編集データを格納する第１の格納手段と各バルブのバルブ開閉状態に応じた点灯状態を規定したデータを格納する第２の格納手段とを有する操作部とを具備し、前記判別手段は前記開閉信号を前記第１の格納手段に格納すると共に、前記開閉信号から取得したバルブの開閉状態に応じた点灯状態を前記第２の格納手段より取得し、前記点灯状態を前記制御部に送信し、該制御部は前記点灯状態からバルブ点灯パターンを表示データに設定し、該表示データを前記表示部に送信して表示させるので、実際にレシピを実行することなく開閉信号送信後のバルブの状態を確認でき、誤ったレシピを実行することによる処理の失敗や、レシピ作成に要する時間や労力を軽減することができるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に於ける基板処理装置の概略縦断面図である。
【図２】本発明の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の制御装置の構成を示すブロック図である。
【図４】レシピ編集時に於けるバルブ表示機能の手順を示す説明図である。
【図５】レシピ編集バッファを示す構成図である。
【図６】ＬＥＤ表示要求データを示す構成図である。
【図７】連動バルブ表示情報を示す構成図である。
【図８】レシピ編集時に於けるバルブ表示機能のイメージ図であり、（Ａ）は同期して点灯する自動開閉バルブを示し、（Ｂ）は同期して消灯する自動開閉バルブを示し、（Ｃ）は反転して消灯する自動開閉バルブを示し、（Ｄ）は反転して点灯する自動開閉バルブを示している。
【図９】自動開閉バルブのＯＮ／ＯＦＦ状態を設定する処理のフローチャートである。
【図１０】従来のバルブ表示機能を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。
【００１６】
先ず、図１、図２に於いて、本発明が実施される基板処理装置について概略を説明する。尚、図２中、図１０と同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。
【００１７】
図１中、６は基板処理装置、７は筐体を示している。前記基板処理装置６へのウェーハ８の搬入搬出は、ウェーハ８が基板搬送容器に収納された状態で行われる。基板搬送容器として、例えばポッド９が用いられ、該ポッド９にはウェーハ８が所定枚数、例えば２５枚が収納される。前記ポッド９は、開閉可能な蓋を具備する密閉容器であり、該ポッド９へのウェーハ８の装填、払出しは、前記蓋を開いて実行される。
【００１８】
前記基板処理装置６の前面（紙面では左）には基板授受装置１１が設けられ、前記ポッド９は外部搬送装置（図示せず）により前記基板授受装置１１に対して搬入搬出が行われる。
【００１９】
前記筐体７の前記基板授受装置１１に対峙する部分にはポッド搬入出口１２が設けられ、該ポッド搬入出口１２を開閉するフロントシャッタ１３が設けられており、前記ポッド９は前記フロントシャッタ１３を通して前記筐体７内部に搬入搬出される様になっている。
【００２０】
前記筐体７内の前部には、ポッド搬送装置１４が設けられ、該ポッド搬送装置１４は前記ポッド９を保持可能なポッド移載アーム１５を具備している。又、該ポッド移載アーム１５は昇降、横行（紙面に対して垂直な方向）、進退（紙面の左右方向）可能であり、昇降、横行、進退の協働により前記ポッド９を任意な位置に搬送可能となっている。
【００２１】
前記ポッド搬送装置１４に対向し、前記筐体７内の上部にはポッド格納部１６が設けられている。該ポッド格納部１６には間欠回転可能な複数のポッド収納棚１７を有し、各ポッド収納棚１７毎に複数の前記ポッド９を格納可能となっている。
【００２２】
前記筐体７内の後方下部には、サブ筐体１８が設けられ、該サブ筐体１８は移載室１９を画成する。
【００２３】
前記サブ筐体１８の前壁２１には上下２段にポッドオープナ２２，２２が設けられる。該ポッドオープナ２２はそれぞれ載置台２３、蓋着脱機構２４を具備し、前記載置台２３上に前記ポッド９が載置され、前記前壁２１に密着され、前記蓋着脱機構２４によって蓋が開閉される様になっている。前記ポッド９の蓋が開放された状態では、該ポッド９の内部と前記移載室１９が連通状態となる。
【００２４】
前記筐体７内の後部、前記サブ筐体１８の上側には処理炉２５が立設される。該処理炉２５は処理室を気密に画成する反応管、該反応管の周囲に設けられたヒータを具備し、又、前記反応管にはガス供給ライン、排気ラインが連通されており、処理室を加熱すると共に所定の処理圧に維持して、処理ガスの給排を行う様になっている。
【００２５】
前記処理室は、下端に前記移載室１９に連通する炉口部を有し、該炉口部は炉口シャッタ２６によって開閉される。
【００２６】
前記移載室１９には、前記処理炉２５の下方にボートエレベータ２７が設けられ、該ボートエレベータ２７は前記炉口部を気密に閉塞可能なシールキャップ２８を有し、該シールキャップ２８にボート２９が載置可能であり、前記ボートエレベータ２７は前記シールキャップ２８を昇降させることで、前記ボート２９を前記処理室に装脱可能となっている。又、前記ボート２９を前記処理室に装入した状態では、前記シールキャップ２８が前記炉口部を気密に閉塞する。
【００２７】
前記移載室１９には前記ポッドオープナ２２と前記ボートエレベータ２７との間に基板移載機３１が設けられ、該基板移載機３１にはウェーハ８を保持する複数の基板保持プレート（ツイーザ）３２を具備している。該ツイーザ３２は、例えば上下に等間隔で５枚配置され、上下の間隔（ピッチ）は前記ポッド９のウェーハ収納ピッチ、ボート２９のウェーハ保持ピッチと同一となっている。
【００２８】
前記基板移載機３１は、前記ツイーザ３２を水平方向に進退可能であり、又昇降可能、垂直軸心中心に回転可能とする構成を具備し、進退、回転、昇降の協働によって前記ツイーザ３２にウェーハ８を保持し、所定の位置に移載可能となっている。
【００２９】
前記基板処理装置６は、例えば前記基板処理装置６の前面に配置される制御装置３３を具備し、該制御装置３３はプロセス制御部であるＰＭＣ１、図示しない機構制御部、及び前記ＰＭＣ１と機構制御部を統括する統括制御コントローラ３０を具備し、又該統括制御コントローラ３０は表示部であるＧＰＰ５及び操作部であるＯＵ３４（後述）を具備している。
【００３０】
機構制御部は前記ポッド搬送装置１４、前記ポッド格納部１６、前記蓋着脱機構２４、前記ボートエレベータ２７、前記基板移載機３１等の駆動機構を制御し、又前記ＰＭＣ１は前記処理炉２５の加熱状態を制御し、更に該処理炉２５内に供給されるガスの流量及び該処理炉２５内の圧力を制御する機能を有している。
【００３１】
基板処理装置６が具備する１つの処理室３５に対してＮ2 ガス及びプロセスガス（薄膜の生成、或はエッチング等の基板処理に使用されるガス）を供給する複数系統のガス配管３６Ａ〜３６Ｃ、及び排気系３７が接続され、前記ガス配管３６Ａ〜３６Ｃにはそれぞれ供給ガス遮断用のハンドバルブ３８Ａ〜３８Ｃ、圧力調整用のレギュレータ３９Ａ〜３９Ｃ、圧力計（ＰＴ）４１Ａ〜４１Ｃ、ガス供給用電磁バルブ４２Ａ〜４２Ｃ、流量制御器（ＭＦＣ）４４Ａ〜４４Ｃ、インターロック用電磁バルブ４５Ａ〜４５Ｃが設けられ、前記排気系には真空ポンプ４８が設けられている。
【００３２】
又、プロセスガスを供給する前記ガス配管３６Ｂ、前記ガス配管３６Ｃはそれぞれ前記ガス供給用電磁バルブ４２Ｂ，４２Ｃの下流側で２股に分れ、一方は前記流量制御器４４Ｂ，４４Ｃに接続され、他方には置換用電磁バルブ４３Ａ，４３Ｂ及び逆止弁４６Ａ，４６Ｂが設けられると共に前記ガス配管３６Ａに接続されている。更に前記ガス配管３６Ｂ、前記ガス配管３６Ｃは、前記流量制御器４４Ｂ，４４Ｃの下流側で２股に分れ、一方は前記処理室に接続され、他方にはインターロック用電磁バルブ４５Ｄ，４５Ｅ及び逆止弁４７Ａ，４７Ｂが設けられると共に前記排気系４８に接続されている。
【００３３】
図３は前記制御装置３３の概略構成を表すブロック図であり、前記ＰＭＣ１はＣＰＵ４９、入出力部５１、記憶部５２を具備し、該記憶部５２には判断プログラム５３、制御プログラム５４、設定プログラム５５及びデータ格納領域５６が格納されている。又、前記ＯＵ３４はＣＰＵ５７、入出力部５８、記憶部５９を具備し、該記憶部５９には判別プログラム６１、設定プログラム６２、データ格納領域６３が格納されている。又、前記ＣＰＵ５７と前記判別プログラム６１等は判別手段を構成している。更に、前記データ格納領域６３は第１の格納手段であるレシピ編集バッファ保存部６４、第２の格納手段であるＬＥＤ表示要求データ保存部６５及び第３の格納手段である連動バルブ表示情報データ保存部６６を有し、前記レシピ編集バッファ保存部６４、前記ＬＥＤ表示要求データ保存部６５及び前記連動バルブ表示情報データ保存部６６には、それぞれレシピ編集バッファ６７（図５参照）、ＬＥＤ表示要求データ６８（図６参照）、連動バルブ表示情報データ６９（図７参照）が格納されている。
【００３４】
前記レシピ編集バッファ６７はレシピの編集中の編集データが格納されるものであり、温度情報、流量情報、圧力情報、バルブの開閉状態を示すバルブ情報７１等のデータを有し、更に該バルブ情報７１はレシピにて制御可能な制御用バルブ（図示ではＮｏ．１〜Ｎｏ．１２８）のそれぞれに対して、ＯＮ／ＯＦＦ状態（ＯＦＦ：０、ＯＮ：１）が設定されている。
【００３５】
又、前記ＬＥＤ表示要求データ６８はバルブの点灯状態を示すデータであり、制御用バルブの点灯状態を示す制御用バルブＬＥＤ点灯要求データ７２と、自動開閉バルブのＬＥＤ点灯状態を示す自動開閉バルブＬＥＤ点灯要求データ７３から構成されている。前記制御用バルブＬＥＤ点灯要求データ７２には、レシピにて制御可能な全制御用バルブ（図示ではＮｏ．１〜Ｎｏ．１２８）に対するＯＮ／ＯＦＦ状態が設定され、前記自動開閉バルブＬＥＤ点灯要求データ７３には、制御用バルブと連動して開閉する全自動開閉バルブ（図示ではＮｏ．１〜Ｎｏ．６４）に対するＯＮ／ＯＦＦ状態が設定されている。
【００３６】
又、前記連動バルブ表示情報データ６９は、自動開閉バルブのそれぞれに対して、どの番号の制御用バルブと連動動作するのか、及び連動動作する制御用バルブに対して同期して動作するのか、或は反転して動作するのかという２つの連動動作種別（同期：０、反転：１）が設定されている。
【００３７】
前記ＰＭＣ１及び前記ＯＵ３４は電気的に接続され、該ＯＵ３４と前記ＧＰＰ５も電気的に接続されており、前記ＰＭＣ１には前記圧力計４１、前記ガス供給用電磁バルブ４２、前記置換用電磁バルブ４３、前記流量制御器４４、前記インターロック用電磁バルブ４５、前記真空ポンプ４８等の全ての機器が入出力ポートを介して接続されている。
【００３８】
前記ＰＭＣ１から前記ＯＵ３４を介して前記ＧＰＰ５に、ウェーハ処理の状態、前記圧力計４１、前記流量制御器４４の流量検出状態に関する情報が送られる。又、前記ＰＭＣ１から前記ＧＰＰ５に対して、前記ガス供給用電磁バルブ４２、前記置換用電磁バルブ４３、前記インターロック用電磁バルブ４５等の作動状態に関する情報が信号（ビットデータ）として送られ、前記ＧＰＰ５はバルブの状態検出手段として作用する。前記ガス供給用電磁バルブ４２の開閉や前記流量制御器４４による流量制御は、前記制御プログラム５４により前記ＰＭＣ１又は前記ＧＰＰ５から前記ＰＭＣ１を介して行われる。
【００３９】
尚、上記では、各バルブの状態を、前記ＧＰＰ５に対してそれぞれのバルブから送られてきた信号によって検出しているが、各バルブにバルブの開閉を検出するセンサを直接取付け、該センサをバルブの状態検出手段としてもよい。
【００４０】
又、前記ＧＰＰ５は各バルブの状態を表示するバルブ表示機能を有し、該バルブ表示機能が、開状態ではバルブのＬＥＤを点灯させ、閉状態ではバルブのＬＥＤを消灯させることで、各バルブの開閉状態が分る様になっている。
【００４１】
次に、図４〜図７に於いて、レシピ編集時に於ける制御用バルブと、該制御用バルブと連動動作する自動開閉バルブの表示について説明する。尚、以下では制御用バルブが１２８個、自動開閉バルブが６４個であるものとする。
【００４２】
図４は連動バルブ表示に於けるシステム構成を示しており、レシピ編集時に制御用バルブの設定を行う際には、先ず設定を変更したい制御用バルブを前記ＧＰＰ５上にて押下する。該ＧＰＰ５上で制御用バルブが押下されると、全制御用バルブのＬＥＤ点灯状態を示すビットデータ（バルブ押下データ）が前記ＰＭＣ１に送信される。
【００４３】
該ＰＭＣ１では、前記ＧＰＰ５から受信したビットデータが前記データ格納領域５６に格納され、前記判断プログラム５３によって制御用バルブの押下前と押下後の変化が判断され、変化したバルブの番号及びキーコードと認識する為のコードである電文コードを併せたものがキーコード５０として前記ＯＵ３４に送信される。
【００４４】
前記ＰＭＣ１からのキーコード５０が前記ＯＵ３４に受信されると、前記判別プログラム６１によりキーコードがＮｏ．１〜Ｎｏ．１２８のどの制御用バルブの情報であるかが判別される。制御用バルブの判別後、前記設定プログラム６２により判別された番号の制御用バルブのＯＮ／ＯＦＦ状態は、ＯＦＦであればＯＮに、ＯＮであればＯＦＦに変更される。
【００４５】
ＯＮ／ＯＦＦ状態の変更は、前記レシピ編集バッファ６７のバルブ情報７１に設定され、設定された前記レシピ編集バッファ６７が前記レシピ編集バッファ保存部６４に保存されると共に、前記制御用バルブＬＥＤ点灯要求データ７２に対しても、前記判別プログラム６１により判別された番号の制御用バルブのＯＮ／ＯＦＦ状態が設定され、設定された前記ＬＥＤ表示要求データ６８が前記ＬＥＤ表示要求データ保存部６５に保存される。
【００４６】
この時、自動開閉バルブには、前記連動バルブ表示情報データ６９により、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．６４のそれぞれについて制御用バルブと同じ動作をする場合と反転動作をする場合の２つの連動動作が定義されており、該定義によりどの自動開閉バルブが判別された番号の制御用バルブと連動動作するかが設定され、設定された前記連動バルブ表示情報データ６９が前記連動バルブ表示情報データ保存部６６に保存されている。
【００４７】
該連動バルブ表示情報データ保存部６６に保存された前記連動バルブ表示情報データ６９に基づき、前記自動開閉バルブＬＥＤ点灯要求データ７３に対しても自動開閉バルブそれぞれのＯＮ／ＯＦＦ状態が設定され、設定された前記ＬＥＤ表示要求データ６８が前記ＬＥＤ表示要求データ保存部６５に保存される。
【００４８】
該設定がＬＥＤ表示要求データ保存部６５に保存された後、前記制御用バルブＬＥＤ点灯要求データ７２と前記自動開閉バルブＬＥＤ点灯要求データ７３を併せた前記ＬＥＤ表示要求データ６８が前記ＰＭＣ１に送信される。尚、前記連動バルブ表示情報データ６９は、前記ＯＵ３４で設定内容を変更することができ、変更内容をパラメータファイルとして前記データ格納領域６３に格納し、保存することができる。
【００４９】
前記ＯＵ３４からの前記ＬＥＤ表示要求データ６８が前記ＰＭＣ１に受信されると、前記設定プログラム５５によりＬＥＤ点灯パターンがＬＥＤ表示データ７４に設定され、該ＬＥＤ表示データ７４が前記ＧＰＰ５に送信される。
【００５０】
前記ＧＰＰ５が、前記ＬＥＤ表示データ７４のＬＥＤ点灯パターンに従ってＬＥＤを点灯させることで、レシピを実行することなくレシピ編集時に制御用バルブと自動開閉バルブの連動動作表示が可能となる。
【００５１】
図８（Ａ）〜（Ｄ）は、前記ＧＰＰ５上に於ける制御用バルブと自動開閉バルブの連動表示を示すイメージ図である。
【００５２】
図８（Ａ）は、制御用バルブ７５の点灯と同期して連動し、自動開閉バルブ７６Ａ〜７６ＤもＬＥＤの点灯表示される場合を示し、図８（Ｂ）は、前記制御用バルブ７５の消灯と同期して連動し、前記自動開閉バルブ７６Ａ〜７６ＤのＬＥＤが消灯表示される場合を示し、図８（Ｃ）は、前記制御用バルブ７５の点灯と反転して連動し、前記自動開閉バルブ７６Ａ〜７６ＤのＬＥＤが消灯表示される場合を示し、図８（Ｄ）は、前記制御用バルブ７５の消灯と反転して連動し、前記自動開閉バルブ７６Ａ〜７６ＤのＬＥＤが点灯表示される場合を示しており、前記制御用バルブ７５と前記自動開閉バルブ７６Ａ〜７６Ｄの連動表示は上記の４パターンの何れかとなる。
【００５３】
次に、図９のフローチャートを用いて、前記自動開閉バルブＬＥＤ点灯要求データ７３に対する、制御用バルブと連動表示する自動開閉バルブのＯＮ／ＯＦＦ状態の設定について説明する。尚、自動開閉バルブの番号はＮｏ．１〜Ｎｏ．６４の６４個であるが、処理上では０〜６３として扱うものとする。
【００５４】
ＳＴＥＰ：０１  判別プログラムにより判別された制御用バルブのＯＮ／ＯＦＦ設定が変更された後、先ず自動開閉バルブのバルブ番号を０に初期化する。
【００５５】
ＳＴＥＰ：０２  次に、自動開閉バルブの番号が６４よりも小さいかどうかが判断される。
【００５６】
ＳＴＥＰ：０３  自動開閉バルブの番号が６４よりも小さいと判断された場合、例えば自動開閉バルブの番号が０であれば、前記連動バルブ表示情報データ保存部６６よりバルブ番号が０、即ちＮｏ．１の箇所から連動動作する制御用バルブ番号を取得する。
【００５７】
ＳＴＥＰ：０４  次に、取得した制御用バルブ番号が０よりも大きいかどうか、即ち連動動作する制御用バルブが存在するかどうかが判断される。
【００５８】
ＳＴＥＰ：０５  制御用バルブ番号が０よりも大きいと判断された場合には、前記レシピ編集バッファ６７より取得した番号の制御用バルブの設定値、即ちＯＦＦであれば０、ＯＮであれば１が取得される。
【００５９】
ＳＴＥＰ：０６  制御用バルブの設定値取得後、前記連動バルブ表示情報データ６９より、自動開閉バルブ番号Ｎｏ．１の箇所から連動動作種別、即ち同期であれば０、反転であれば１が取得される。
【００６０】
ＳＴＥＰ：０７  次に取得した連動動作種別が同期か反転かが判断される。
【００６１】
ＳＴＥＰ：０８  ＳＴＥＰ：０６で取得された連動動作種別が同期であれば、前記ＬＥＤ表示要求データ６８の前記自動開閉バルブＬＥＤ点灯要求データ７３に制御用バルブと同じ値、即ち制御用バルブがＯＦＦであれば０、ＯＮであれば１が設定される。
【００６２】
ＳＴＥＰ：０９  ＳＴＥＰ：０６で取得された連動動作種別が反転であれば、前記ＬＥＤ表示要求データ６８の前記自動開閉バルブＬＥＤ点灯要求データ７３に制御用バルブとは異なった値、即ち制御用バルブがＯＦＦであれば１、ＯＮであれば０が設定される。
【００６３】
ＳＴＥＰ：１０  自動開閉バルブのＯＮ／ＯＦＦ状態設定後、若しくはＳＴＥＰ：０４で制御用バルブの番号が０であった場合には、自動開閉バルブのバルブ番号に１を加え、再びＳＴＥＰ：０１から処理が行われる。
【００６４】
ＳＴＥＰ：１１  上記ＳＴＥＰ：０１〜ＳＴＥＰ：１０迄の処理を、全ての自動開閉バルブに対して、即ち自動開閉バルブ番号０〜６３迄行った後、自動開閉バルブ番号が６４となった時にＳＴＥＰ：０２で自動開閉バルブ番号が６４よりも小さくないと判断され、自動開閉バルブ番号０〜６３迄のＯＮ／ＯＦＦ状態が設定された前記自動開閉バルブＬＥＤ点灯要求データ７３が前記ＬＥＤ表示要求データ保存部６５に保存され、前記制御用バルブＬＥＤ点灯要求データ７２と併せて前記ＬＥＤ表示要求データ６８として前記ＰＭＣ１に送信され、処理が完了する。
【００６５】
上述の様に、前記制御用バルブ７５と連動表示する前記自動開閉バルブ７６のＯＮ／ＯＦＦ状態を設定し、前記ＧＰＰ５上への前記制御用バルブ７５及び該制御用バルブ７５と連動動作する前記自動開閉バルブ７６を表示可能としたことで、実際にレシピを実行して基板処理を行うことなく連動動作が確認でき、レシピ編集時に実際のバルブの状態変化を予想しつつレシピを作成することができるので、誤ったレシピによる基板処理の失敗を防止することができ、又レシピ作成に掛る時間や労力を軽減することができる。
【００６６】
尚、本発明の基板処理装置は、半導体製造装置だけではなく、ＬＣＤ装置の様なガラス基板を処理する装置にも適用でき、縦型基板処理装置だけではなく、枚葉式の基板処理装置や横型の処理炉を有する基板処理装置にも適用できる。更に、露光装置やリソグラフィ装置、塗布装置等の他の基板処理装置に対しても同様に適用できるのは言う迄もない。
【００６７】
又、本発明は処理炉内の処理には何等関係なく、ＣＶＤ処理の他にも、例えば酸化、拡散、アニール等の処理に対しても適用可能である。
【００６８】
（付記）
又、本発明は以下の実施の態様を含む。
【００６９】
（付記１）基板を処理する為のレシピに従いバルブの開閉等を行ってプロセス制御を行う制御部と、基板を処理する処理室へガスを供給するガス配管路に設けられたバルブの状態を表示する表示部と、該表示部より送信される開閉信号からどのバルブの情報かを判別する判別手段とレシピ等の編集データを格納する第１の格納手段と各バルブのバルブ開閉状態に応じた点灯状態を規定したデータを格納する第２の格納手段とを有する操作部とを具備し、前記判別手段は前記開閉信号を前記第１の格納手段に格納すると共に、前記開閉信号から取得したバルブの開閉状態に応じた点灯状態を前記第２の格納手段より取得し、前記点灯状態を前記制御部に送信し、該制御部は前記点灯状態からバルブ点灯パターンを表示データに設定し、該表示データを前記表示部に送信して表示させることを特徴とする基板処理装置。
【００７０】
（付記２）前記第１の格納手段には制御用バルブに関するデータが格納され、前記第２の格納手段には前記制御用バルブ及び該制御用バルブと連動して開閉する自動開閉バルブに関するデータが格納される付記１の基板処理装置。
【００７１】
（付記３）前記自動開閉バルブの動作を定義するバルブ連動表示情報を格納する第３の格納手段を更に具備し、前記バルブ連動表示情報によって前記自動開閉バルブが前記制御用バルブと同じ動作をするか反対の動作をするかが設定される付記２の基板処理装置。
【００７２】
（付記４）バルブの開閉を表示する表示部から開閉信号を送信する工程と、該開閉信号からどのバルブの情報かを判別手段により判別する工程と、予めバルブの点灯状態を示すデータが格納された格納手段より前記開閉信号から取得したバルブの開閉状態を示すデータに応じて変更されたバルブの点灯状態を示すデータを取得して制御部に送信する工程と、該制御部が前記点灯状態を示すデータからバルブ点灯パターンを示すデータを設定して前記表示部に送信する工程と、該表示部が前記バルブ点灯パターンを示すデータに従ってバルブの開閉を表示する工程とを具備することを特徴とする基板処理装置の表示方法。
【符号の説明】
【００７３】
１              ＰＭＣ
５              ＧＰＰ
６              基板処理装置
３３            制御装置
３４            ＯＵ
５０            キーコード
６１            判別プログラム
６４            レシピ編集バッファ保存部
６５            ＬＥＤ表示要求データ保存部
６６            連動バルブ表示情報データ保存部
６７            レシピ編集バッファ
６８            ＬＥＤ表示要求データ
６９            連動バルブ表示情報データ
７２            制御用バルブＬＥＤ点灯要求データ
７３            自動開閉バルブＬＥＤ点灯要求データ
７４            ＬＥＤ表示データ
７５            制御用バルブ
７６            自動開閉バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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