(57)【要約】【課題】本発明は、相対的に低温工程で製造された薄膜トランジスターと、前記薄膜トランジスターを使用して相対的に低温工程で製造された表示装置と、前記表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】本発明の実施形態に係る薄膜トランジスターは、基板本体と、前記基板本体上に位置し、２０００〜８０００ｏｈｍ／ｓｑ範囲内の表面抵抗を有する多結晶シリコン膜で形成された半導体層と、前記半導体層とそれぞれ互いに接触し、３５０〜２０００ｏｈｍ範囲内の抵抗を有する金属物質で形成されたソース電極およびドレイン電極とを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板本体と、
前記基板本体上に位置し、２０００〜８０００ｏｈｍ／ｓｑ範囲内の表面抵抗を有する多結晶シリコン膜で形成された半導体層と、
前記半導体層とそれぞれ互いに接触し、３５０〜２０００ｏｈｍ範囲内の抵抗を有する金属物質で形成されたソース電極およびドレイン電極と、
を含む、薄膜トランジスター。
【請求項２】
前記ソース電極および前記ドレイン電極とそれぞれ接触された前記半導体層は不活性化された状態である、請求項１に記載の薄膜トランジスター。
【請求項３】
前記金属物質は、４．１〜４．５範囲内の仕事関数を有する、請求項２に記載の薄膜トランジスター。
【請求項４】
基板本体と、
前記基板本体上に位置し、２０００〜８０００ｏｈｍ／ｓｑ範囲内の表面抵抗を有する多結晶シリコン膜で形成された半導体層と、
前記半導体層とそれぞれ互いに接触し、３５０〜２０００ｏｈｍ範囲内の抵抗を有する金属物質で形成されたソース電極およびドレイン電極と、
を含む、表示装置。
【請求項５】
前記ソース電極および前記ドレイン電極とそれぞれ接触された前記半導体層は不活性化された状態である、請求項４に記載の表示装置。
【請求項６】
前記金属物質は、４．１〜４．５範囲内の仕事関数を有する、請求項５に記載の表示装置。
【請求項７】
前記基板本体はプラスチック素材で形成された、請求項４〜請求項６のいずれか一項に記載の表示装置。
【請求項８】
前記基板本体上に形成された有機発光素子をさらに含む、請求項７に記載の表示装置。
【請求項９】
前記基板本体上に形成された液晶層をさらに含む、請求項７に記載の表示装置。
【請求項１０】
ガラス基板を設ける段階と、
前記ガラス基板上にプラスチックを素材として基板本体を形成する段階と、
前記基板本体上に多結晶シリコン膜で半導体層を形成する半導体層段階と、
前記半導体層が不活性化された状態で前記半導体層とそれぞれ互いに接触するようにソース電極およびドレイン電極を形成する段階と、
前記ガラス基板を前記基板本体から分離する段階と、
を含む、表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記多結晶シリコン膜は、２０００〜８０００ｏｈｍ／ｓｑ範囲内の表面抵抗を有する、請求項１０に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記ソース電極および前記ドレイン電極は、３５０〜２０００ｏｈｍ範囲内の抵抗を有する金属物質で形成される、請求項１１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記金属物質は、４．１〜４．５範囲内の仕事関数を有する、請求項１２に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記半導体層は摂氏４００℃未満の温度で形成される、請求項１０に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記基板本体上に有機発光素子を形成する段階をさらに含む、請求項１０〜請求項１４のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記基板本体上に液晶層を形成する段階をさらに含む、請求項１０〜請求項１４のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜トランジスター、それを備えた表示装置およびその製造方法に関し、より詳しくは、フレキシブルな（ｆｌｅｘｉｂｌｅ）表示装置を効果的に生産することができる薄膜トランジスターの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
フレキシブルな（ｆｌｅｘｉｂｌｅ）表示装置は、一般にプラスチック基板をベース基板として使用する。しかし、プラスチック基板を使用する場合、表示装置に使用される薄膜トランジスタの製造に高温工程を使用し難いという問題点がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の実施形態は、相対的に低温工程で製造された薄膜トランジスターを提供する。
【０００４】
また、前記薄膜トランジスターを使用して相対的に低温工程で製造された表示装置を提供する。
【０００５】
また、前記表示装置の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施形態によれば、薄膜トランジスターは、基板本体と、前記基板本体上に位置し、２０００〜８０００ｏｈｍ／ｓｑ範囲内の表面抵抗を有する多結晶シリコン膜で形成された半導体層と、前記半導体層とそれぞれ互いに接触し、３５０〜２０００ｏｈｍ範囲内の抵抗を有する金属物質で形成されたソース電極およびドレイン電極とを含む。
【０００７】
前記ソース電極および前記ドレイン電極とそれぞれ接触された前記半導体層は不活性化された状態であることができる。
【０００８】
前記金属物質は、４．１〜４．５範囲内の仕事関数を有することができる。
【０００９】
また、本発明の実施形態に拠れば、表示装置は、基板本体と、前記基板本体上に位置し、２０００〜８０００ｏｈｍ／ｓｑ範囲内の表面抵抗を有する多結晶シリコン膜で形成された半導体層と、前記半導体層とそれぞれ互いに接触し、３５０〜２０００ｏｈｍ範囲内の抵抗を有する金属物質で形成されたソース電極およびドレイン電極とを含む。
【００１０】
前記ソース電極および前記ドレイン電極とそれぞれ接触された前記半導体層は不活性化された状態であることができる。
【００１１】
前記金属物質は、４．１〜４．５範囲内の仕事関数を有することができる。
【００１２】
前記表示装置において、前記基板本体はプラスチック素材で形成されることができる。
【００１３】
また、前記基板本体上に形成された有機発光素子をさらに含むことができる。
【００１４】
また、前記基板本体上に形成された液晶層をさらに含むことができる。
【００１５】
また、本発明の実施形態に拠れば、表示装置の製造方法は、ガラス基板を設ける段階と、前記ガラス基板上にプラスチックを素材として基板本体を形成する段階と、前記基板本体上に多結晶シリコン膜で半導体層を形成する半導体層段階と、前記半導体層が不活性化された状態で前記半導体層とそれぞれ互いに接触するようにソース電極およびドレイン電極を形成する段階と、前記ガラス基板を前記基板本体から分離する段階とを含む。
【００１６】
前記多結晶シリコン膜は、２０００〜８０００ｏｈｍ／ｓｑ範囲内の表面抵抗を有することができる。
【００１７】
前記ソース電極および前記ドレイン電極は、３５０〜２０００ｏｈｍ範囲内の抵抗を有する金属物質で形成されることができる。
【００１８】
前記金属物質は、４．１〜４．５範囲内の仕事関数を有することができる。
【００１９】
前記半導体層は摂氏４００℃未満の温度で形成されることができる。
【００２０】
前記表示装置の製造方法において、前記基板本体上に有機発光素子を形成する段階をさらに含むことができる。
【００２１】
前記表示装置の製造方法において、前記基板本体上に液晶層を形成する段階をさらに含むことができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の実施形態によれば、薄膜トランジスターを相対的に低温工程で製造することができる。
【００２３】
また、前記薄膜トランジスターを使用して表示装置を相対的に低温工程で製造することができる。
【００２４】
また、前記表示装置の効果的な製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る表示装置の部分断面図である。
【図２】図１の表示装置の製造方法を示したフローチャートである。
【図３】本発明の第２実施形態に係る表示装置の部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、添付した図面を参照して本発明の実施形態について本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳しく説明する。本発明は多様な異なる形態に実現されることができ、ここで説明する実施形態に限定されない。
【００２７】
また、明細書全体を通して同一または類似する構成要素については同一の参照符号を付した。そして、多くの実施形態において、第１実施形態以外の実施形態では第１実施形態と異なる構成を中心に説明する。
【００２８】
また、図面に示された各構成の大きさおよび厚さは、説明の便宜のために任意に示したものであるため、本発明が必ずしも示されたものに限定されない。図面において、多くの層および領域を明確に表現するために厚さを拡大して示した。そして、図面において、説明の便宜のために、一部の層および領域の厚さを誇張して示した。層、膜、領域、板などの部分が他の部分の「上」にあるという時、これは他の部分の「直上」にある場合のみならず、その中間にさらに他の部分がある場合も含む。
【００２９】
以下、図１を参照して本発明の第１実施形態に係る表示装置１０１を薄膜トランジスター１０の構造を中心に説明する。
【００３０】
図１に示したように、本発明の第１実施形態に係る表示装置１０１は、基板本体１１１、薄膜トランジスター１０、および有機発光素子７０を含む。つまり、本発明の第１実施形態で、表示装置１０１は有機発光表示装置である。また、表示装置１０１の製造過程にガラス基板５００を使用することができる。
【００３１】
ガラス基板５００は、プラスチック素材で形成された基板本体１１１の上に薄膜トランジスター１０および有機発光素子７０を形成する過程で安定した支持体の役割を果たす。
【００３２】
基板本体１１１は、フレキシブルな（ｆｌｅｘｉｂｌｅ）プラスチック素材で形成される。また、基板本体１１１は表示装置１０１の用途に応じて透明に形成されることができる。
【００３３】
また、基板本体１１１は５〜２００μｍ範囲内の厚さを有する。基板本体１１１が５μｍ未満の厚さを有する場合、基板本体１１１が薄膜トランジスター１０および有機発光素子７０などを効果的に支持し難い。また、基板本体１１１が５μｍ未満の厚さを有するように形成され難いという問題点もある。反面、基板本体１１１が２００μｍよりも厚く形成される場合、表示装置１０１の全体的な厚さが過度に厚くなってフレキシブルな特性が低下することがある。
【００３４】
本発明の第１実施形態に係る薄膜トランジスター１０は、半導体層１３０、ゲート電極１５５、ソース電極１７６、およびドレイン電極１７７を含む。
【００３５】
半導体層１３０は、多結晶シリコン膜で形成される。本発明の第１実施形態で、半導体層１３０に使用される多結晶シリコン膜は、２０００〜８０００ｏｈｍ／ｓｑ範囲内の表面抵抗を有する。
【００３６】
ゲート電極１５５は、半導体層１３０の一領域上に配置され、ゲート電極１５５および半導体層１３０の間にはゲート絶縁膜１４０が配置される。ゲート電極１５５は当該技術分野で従事する者に公知となった多様な導電物質で形成されることができる。ゲート絶縁膜１４０はテトラエトキシシラン（ｔｅｔｒａ  ｅｔｈｙｌ  ｏｒｔｈｏ  ｓｉｌｉｃａｔｅ、ＴＥＯＳ）、窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）、および酸化ケイ素（ＳｉＯ２）のうちの一つ以上を含んで形成される。一例として、ゲート絶縁膜１４０は、４０ｎｍの厚さを有する窒化シリコン膜および８０ｎｍの厚さを有するテトラエトキシシラン膜が順次に積層された二重膜で形成されることができる。しかし、本発明の第１実施形態で、ゲート絶縁膜１４０が前述した構成に限定されるのではない。
【００３７】
ソース電極１７６およびドレイン電極１７７はそれぞれ半導体層１３０と接触し、３５０〜２０００ｏｈｍ範囲内の抵抗を有する。また、ソース電極１７６およびドレイン電極１７７は、４．１〜４．５範囲内の仕事関数を有する金属物質で形成される。例えば、金属物質はアルミニウム（Ａｌ）、亜鉛（Ｚｎ）、およびインジウム（Ｉｎ）などを含む。
【００３８】
また、ソース電極１７６およびドレイン電極１７７は互いに離隔され、ゲート電極１５５と絶縁配置される。ソース電極１７６およびドレイン電極１７７の間には層間絶縁膜１６０が配置されることができる。層間絶縁膜１６０は、当該技術分野の従事者に公知となった多様な絶縁物質で形成されることができる。
【００３９】
また、半導体層１３０は不活性された状態で使用される。つまり、ソース電極１７６およびドレイン電極１７７は不活性化された状態の半導体層１３０と接触される。したがって、本発明の第１実施形態では、相対的に高温工程である活性化工程を省略して薄膜トランジスター１０を製造することができる。つまり、薄膜トランジスター１０は全体的に摂氏４００℃未満の温度で形成されることができる。
【００４０】
このように、ソース電極１７６およびドレイン電極１７７とそれぞれ接触される半導体層１３０を活性化しなくても、半導体層１３０が２０００〜８０００ｏｈｍ／ｓｑ範囲内の表面抵抗を有し、ソース電極１７６およびドレイン電極１７７が３５０〜２０００ｏｈｍ範囲内の抵抗を有する場合、薄膜トランジスター１０は表示装置１０１に要求される最小限の特性を確保することができる。具体的に、本発明の第１実施形態に係る場合、薄膜トランジスター１０は５０ｃｍ２／Ｖｓ以上の移動度を有することができる。また、４．１〜４．５範囲内の仕事関数を有する金属物質を使用する場合、３５０〜２０００ｏｈｍ範囲内の抵抗を有するソース電極１７６およびドレイン電極１７７を形成することができる。
【００４１】
有機発光素子７０は、薄膜トランジスター１０のドレイン電極１７７と連結される画素電極７１０、画素電極７１０の上に形成された有機発光層７２０、および有機発光層７２０の上に形成された共通電極７３０を含む。そして、画素電極７１０の一部を露出する開口部を有し、発光領域を定義する画素定義膜１９０をさらに含むことができる。画素定義膜１９０の開口部内で有機発光層７２０が光を放出することができる。
【００４２】
また、本発明の第１実施形態で、薄膜トランジスター１０および有機発光素子７０の構造は図１に示された構造に限定されるわけではない。薄膜トランジスター１０および有機発光素子７０は当該技術分野の従事者が容易に変更実施可能な範囲内で多様な構造を有することができる。
【００４３】
また、表示装置１０１は、薄膜トランジスター１０および基板本体１１１の間に配置されたバリア膜１２０をさらに含む。具体的に、バリア膜１２０は半導体層１３０および基板本体１１１の間に配置される。一例として、バリア膜１２０は窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）の単一膜、または窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）および酸化ケイ素（ＳｉＯ２）が積層された二重膜構造に形成されることができる。バリア膜１２０は不純元素または水分のように不必要な成分の浸透を防止し、表面を平坦化する役割を果たす。しかし、バリア膜１２０は必ずしも必要な構成ではなく、基板本体１１１の種類および工程条件によって省略することもできる。
【００４４】
また、表示装置１０１は、有機発光素子７０をカバーする封止部材（図示せず）をさらに含むことができる。封止部材としては、薄膜封止または封止基板などが使用されることができる。
【００４５】
また、本発明の第１実施形態で、表示装置１０１はガラス基板５００の上に形成される。薄膜トランジスター１０および有機発光素子７０が完成された後、ガラス基板５００は最終的に基板本体１１１から分離される。
【００４６】
また、基板本体１１１は、３〜１０ｐｐｍ／℃範囲内の熱膨張係数（ＣＴＥ）を有するように形成される。基板本体１１１の熱膨張係数が３ｐｐｍ／℃よりも小さいか、または１０ｐｐｍ／℃よりも大きい場合、表示装置１０１の製造過程で使用されるガラス基板５００および基板本体１１１の間の熱膨張係数の差が過度に大きくなる。ガラス基板５００は約４ｐｐｍ／℃程度の熱膨張係数を有する。このように熱膨張係数の差が大きくなると、表示装置１０１の製造過程で安定的に互いに接着されていなければならない基板本体１１１およびガラス基板５００が互いに剥離されて不良発生の原因となる。
【００４７】
このような構成によって、薄膜トランジスター１０を摂氏４００℃未満の相対的に低温工程で製造することができる。また、表示装置１０１は相対的に低温工程で製造された薄膜トランジスター１０を含むことができる。したがって、表示装置１０１にプラスチック素材に形成された基板本体１１１を安定的に使用することができる。
【００４８】
また、表示装置１０１の製造に摂氏４００℃以上の高温工程が使用されないため、製造過程中に基板本体１１１およびガラス基板５００間の剥離を効果的に抑制することができる。
【００４９】
以下、図１および図２を参照して本発明の第１実施形態に係る表示装置１０１の製造方法を説明する。
【００５０】
図１および図２に示したように、まず、ガラス基板５００を設けて、ガラス基板５００上にプラスチックを素材として基板本体１１１を形成する（Ｓ１００）。基板本体１１１はスリットコーティング（ｓｌｉｔ  ｃｏａｔｉｎｇ）方法およびスクリーンプリンティング（ｓｃｒｅｅｎ  ｐｒｉｎｔｉｎｇ）方法のうちのいずれか一つの方法で形成される。
【００５１】
ガラス基板５００は、プラスチック素材で形成された基板本体１１１の上に薄膜トランジスター１０および有機発光素子７０を形成する過程で安定した支持体の役割を果たす。
【００５２】
また、基板本体１１１は、製造環境やフレキシブルな特性を考慮して５〜２００μｍ範囲内の厚さを有するように形成される。例えば、スリットコーティング方法を通してポリイミドで約１０μｍの厚さを有する基板本体１１１を形成することができる。また、スクリーンプリンティング方法を通してポリイミドで約１０〜７０μｍ範囲内の厚さを有する基板本体１１１を形成することができる。
【００５３】
また、基板本体１１１は、ガラス基板５００の熱膨張係数（ＣＴＥ）と同一であるか、または１０ｐｐｍ／℃以下の熱膨張係数（ＣＴＥ）を有するように形成される。ガラス基板５００は約４ｐｐｍ／℃程度の熱膨張係数を有する。基板本体１１１およびガラス基板５００の熱膨張係数の差が過度に大きくなると、安定的に互いに接着されていなければならない基板本体１１１およびガラス基板５００が製造過程で剥離されることがある。しかし、本発明の第１実施形態では、表示装置１０１の製造に摂氏４００℃以上の高温工程が使用されないため、製造過程中に基板本体１１１およびガラス基板５００間の剥離を効果的に抑制することができる。
【００５４】
次に、基板本体１１１上に多結晶シリコン膜で半導体層１３０を形成する（Ｓ２００）。この時、半導体層１３０は活性化工程を経ずに形成される。また、本発明の第１実施形態で、多結晶シリコン膜は、２０００〜８０００ｏｈｍ／ｓｑ範囲内の表面抵抗を有する。
【００５５】
次に、半導体層１３０の上にゲート絶縁膜１４０を形成し、ゲート絶縁膜１４０の上にゲート電極１５５を形成する。次に、ゲート電極１５５を覆う層間絶縁膜１６０を形成する。
【００５６】
次に、不活性化された半導体層１３０とそれぞれ互いに接触するようにソース電極１７６およびドレイン電極１７７を形成する。この時、ソース電極１７６およびドレイン電極１７７は層間絶縁膜１６０およびゲート絶縁膜１４０に形成された接触孔を通して半導体層１３０とそれぞれ接触される。また、本発明の第１実施形態で、ソース電極１７６およびドレイン電極１７７は、３５０〜２０００ｏｈｍ範囲内の抵抗を有し、４．１〜４．５範囲内の仕事関数を有する金属物質で形成される。
【００５７】
次に、ソース電極１７６およびドレイン電極１７７の上に平坦化膜１８０を形成し、平坦化膜１８０の上に画素電極７１０を形成する。そして、画素電極７１０の一部を露出する開口部を有する画素定義膜１９０を画素電極７１０および平坦化膜１８０の上に形成する。
【００５８】
次に、画素電極７１０の上に有機発光層７２０および共通電極７３０を順次に形成して有機発光素子７０を完成する。
【００５９】
次に、ガラス基板５００を基板本体１１１から分離する。つまり、ガラス基板５００は表示装置１０１の最終的な構成には含まれない。
【００６０】
このような製造方法によって、薄膜トランジスター１０を摂氏４００℃未満の相対的に低温工程で製造することができる。また、表示装置１０１を全体的に低温工程で製造することができる。つまり、プラスチック素材で形成された基板本体１１１を使用して表示装置１０１を安定的に製造することができる。
【００６１】
また、表示装置１０１の製造に摂氏４００℃以上の高温工程が使用されないため、製造過程中に基板本体１１１およびガラス基板５００間の剥離を効果的に抑制することができる。
【００６２】
以下、図３を参照して本発明の第２実施形態に係る表示装置１０２を説明する。
【００６３】
図３に示したように、本発明の第２実施形態に係る表示装置１０２は、有機発光素子７０（図１に図示）の代わりに液晶層３００を含む点を除けば、第１実施形態と同一である。つまり、本発明の第２実施形態で、表示装置１０２は液晶表示装置である。
【００６４】
液晶層３００は当該技術分野の従事者に公知となった多様な液晶を含むことができる。
【００６５】
また、表示装置１０２は、液晶層３００を介して基板本体１１１と対向配置された対向基板２１１をさらに含む。対向基板２１１は、画素電極３１０と向き合うように形成された共通電極３２０を含む。また、表示装置１０２は、基板本体１１１および対向基板２１１にそれぞれ付着された偏光板（図示せず）をさらに含むことができる。
【００６６】
本発明の第２実施形態で、液晶層３００および対向基板２１１が図３に示した構造に限定されるものではない。液晶層３００および対向基板２１１は当該技術分野の従事者が容易に変更可能な範囲内で多様な構造を有することができる。
【００６７】
また、本発明の第２実施形態においても、図３に示されたガラス基板５００は最終的に基板本体１１１から分離される。
【００６８】
また、本発明の第２実施形態に係る表示装置１０２の製造方法は、有機発光素子７０（図１に図示）の代わりに液晶層３００を配置する方法を除けば、第１実施形態と同一である。
【００６９】
上述の通り、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明はこれに限定されず、次に記載する特許請求の範囲の概念および範囲を逸脱しない限り、多様な修正および変形が可能であることは本発明が属する技術分野に従事する者は容易に理解することができる。
【符号の説明】
【００７０】
７０  有機発光素子
１０１、１０２  表示装置
１１１  基板本体
１２０  バリア膜
１３０  半導体層
１４０  ゲート絶縁膜
１５５  ゲート電極
１６０  層間絶縁膜
１７６  ソース電極
１７７  ドレイン電極
１８０  平坦化膜
１９０  画素定義膜
５００  ガラス基板
７１０  画素電極
７２０  有機発光層
７３０  共通電極
【図１】
2011258907.tif 000003
【図２】
2011258907.tif 000004
【図３】
2011258907.tif 000005