(57)【要約】【課題】液体噴射特性を向上すると共に、複数のノズル開口から液体を均一な液体噴射特性で吐出して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】振動板５５と、振動板５５側を駆動部とし、該駆動部とは反対側を非駆動部とする振動子１１を備えた振動子ユニット１０と、前記振動子１１の前記非駆動部側を固定する固定板１４と、前記固定板１４を固定するケース５８と、該ケース５８の前記振動板５５側の一部を切り欠いて、マニホールド５３に対応する領域に空間を形成したコンプライアンス空間６２と、前記ケース５８に埋設されて、前記固定板１４と接すると共に、一部が前記コンプライアンス空間６２に露出する金属材料からなる補強部材７０と、を具備する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板と、振動板側を駆動部とし、該駆動部とは反対側を非駆動部とする振動子を備えた振動子ユニットと、
前記振動子の前記非駆動部側を固定する固定板と、
前記固定板を固定する樹脂材料からなるケースと、
該ケースの前記振動板側の一部を切り欠いて、マニホールドに対応する領域に空間を形成したコンプライアンス空間と、
前記ケースに埋設されて、前記固定板と接すると共に、一部が前記コンプライアンス空間に露出する金属材料からなる補強部材と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記コンプライアンス空間の周囲では、前記ケースが前記振動板と接合されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記駆動部が、複数並設されていると共に、前記補強部材が、並設された前記駆動部に沿って連続して設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、圧電素子の変位による圧力を利用してノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。インクジェット式記録ヘッドは、ノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室に供給されたインクに圧力を付与することで、ノズル開口からインク滴を吐出させている。
【０００３】
また、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、圧電素子の一端部を振動板に固定すると共に他端部側を固定板に固定し、固定板をケースに固定することで、圧電素子を保持するようにしたものが提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００４】
また、ケースの振動板側には、振動板を変位させるための空間であるコンプライアンス空間が設けられている。このコンプライアンス空間によって、振動板の一部を流路内の圧力変動を吸収するコンプライアンス部として変位可能としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３２７４６２号公報
【特許文献２】特開２００３−１７７７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ケースには、圧電素子を収容する収容部と、コンプライアンス空間との間に振動板と接合される領域として比較的狭い領域しかなく、圧電素子を駆動すると、圧電素子が振動板を押圧する圧力が圧電素子を固定する固定板側に反発する反発力を十分に抑えることができず、圧電素子が振動板とは反対側に持ち上がって、振動板の押圧力が低下して所望の変位特性を得ることができないという問題がある。
【０００７】
また、ケースの圧電素子が保持される収容部は、貫通した孔状に設けられているため、ケースは、圧電素子の並設方向に沿ってその剛性が異なる。すなわち、圧電素子の並設方向において、ケースの中央部は、両端部側に比べて剛性が低い。このため、圧電素子を駆動した際の反発力によってケースが変形することになるが、圧電素子の並設方向において、ケースの振動板とは反対側への変形量（抑え量）にばらつきが生じ、各圧力発生室に連通する複数のノズル開口からインク滴を均一な吐出特性で吐出させることができないという問題がある。
【０００８】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、液体噴射特性を向上すると共に、複数のノズル開口から液体を均一な液体噴射特性で吐出して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の態様は、振動板と、振動板側を駆動部とし、該駆動部とは反対側を非駆動部とする振動子を備えた振動子ユニットと、前記振動子の前記非駆動部側を固定する固定板と、前記固定板を固定する樹脂材料からなるケースと、該ケースの前記振動板側の一部を切り欠いて、マニホールドに対応する領域に空間を形成したコンプライアンス空間と、前記ケースに埋設されて、前記固定板と接すると共に、一部が前記コンプライアンス空間に露出する金属材料からなる補強部材と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、補強部材によってケースの剛性が向上するため、振動子の駆動部を駆動して振動板を押圧した反発力によってケースが変形するのを抑制することができる。これにより、ケースに固定板を介して固定された振動子ユニットの移動が抑制され、振動板を所望の圧力で押圧することができ、液体噴射特性を向上することができる。
【００１１】
ここで、前記コンプライアンス空間の周囲では、前記ケースが前記振動板と接合されていることが好ましい。これによれば、補強部材と振動板とを接合することがなく、振動板に接合されるケースと補強部材との接合面の高さの違いによる振動板の破壊を抑制することができる。
【００１２】
また、前記駆動部が、複数並設されていると共に、前記補強部材が、並設された前記駆動部に沿って連続して設けられていることが好ましい。これによれば、補強部材によって駆動部の並設方向におけるケースの変形量を均一化することができ、複数のノズル開口から吐出される液体噴射特性を均一化することができる。
【００１３】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、印刷品質を向上した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る圧電素子ユニットの斜視図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る圧電素子ユニットの平面図及び断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの比較動作を示す要部断面図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの比較動作を示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの動作を示す断面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１（ａ）は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の長手方向の断面図であり、図１（ｂ）は、インクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の短手方向の要部断面図である。また、図２は、インクジェット式記録ヘッドの平面図である。
【００１６】
図１に示すように、流路形成基板５０はシリコン単結晶基板からなり、その一方面側の表層部分には、複数の隔壁５１によって画成された圧力発生室５２がその幅方向（短手方向）に並設されている。また、各圧力発生室５２の長手方向一端部側には、各圧力発生室５２に液体の一例であるインクを供給するためのマニホールド５３が液体供給路の一例であるインク供給路５４を介して連通されている。また、流路形成基板５０の圧力発生室５２の開口面側は振動板５５で封止され、他方面側にはノズル開口５６が穿設されたノズル形成部材の一例であるノズルプレート５７が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されている。
【００１７】
流路形成基板５０上に形成された振動板５５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜５５ａと、この弾性膜５５ａを支持する、例えば、金属材料等からなる支持板５５ｂとの複合板で形成されており、弾性膜５５ａ側が流路形成基板５０に接合されている。例えば、本実施形態では、弾性膜５５ａは、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、支持板５５ｂは、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。また、振動板５５の各圧力発生室５２に対向する領域内には、圧電素子１１の先端部が当接する島部５９が設けられている。すなわち、振動板５５の各圧力発生室５２の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部６０が形成され、この薄肉部６０の内側にそれぞれ島部５９が設けられている。本実施形態では、振動板５５に、島部５９を設けることで、振動板５５に他の領域（薄肉部６０）よりも厚い厚肉部が設けられている。
【００１８】
また、振動板５５のマニホールド５３に対向する領域には、薄肉部６０と同様に、支持板５５ｂがエッチングにより除去されて実質的に弾性膜５５ａのみで構成されるコンプライアンス部６１が設けられている。なお、このコンプライアンス部６１は、マニホールド５３内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部６１の弾性膜５５ａが変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド５３内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００１９】
振動板５５上には、図示しない複数の液体貯留体の一例であるインクカートリッジに接続される液体供給路の一例であるインク供給路を有するケース５８が固定されており、このケース５８には、振動子ユニットである圧電素子ユニット１０が高精度に位置決めされて固定されている。具体的には、ケース５８には厚さ方向に貫通した収容部５８ａが設けられており、この収容部５８ａの一方の内壁面に圧電素子ユニット１０が、各圧電素子１１の先端が振動板５５上の各圧力発生室５２に対応する領域に設けられた各島部５９（厚肉部）に接着剤等を介して固定されている。
【００２０】
ここで、圧電素子ユニット１０について詳細に説明する。図３は、本発明の実施形態１に係る圧電素子ユニットの斜視図であり、図４は、図３の平面図及びそのＡ−Ａ′断面図である。
【００２１】
図３及び図４に示すように、本実施形態に係る振動子ユニットである圧電素子ユニット１０は、本実施形態の振動子である複数の圧電素子１１がその幅方向に並設された列１２を有する圧電素子形成部材１３と、圧電素子形成部材１３の先端部（一端部）側が自由端１１ａとなるようにその基端部（他端部）側が固定端として接合される固定板１４とを有する。
【００２２】
圧電素子形成部材１３は、圧電材料層１５と、圧電素子１１の２つの極を構成する内部電極、すなわち、隣接する圧電素子１１と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部電極１６と、隣接する圧電素子１１と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極１７とを交互に挟んで積層することにより形成されている。
【００２３】
この圧電素子形成部材１３には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット１８が形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電素子１１の列１２が形成されている。なお、圧電素子１１の列１２の両外側には、各圧電素子１１よりも広い幅を有する位置決め部１９が設けられている。この位置決め部１９は、圧電素子ユニット１０をインクジェット式記録ヘッドＩに組み込む際に、圧電素子ユニット１０を高精度に位置決めするために設けられている。
【００２４】
ここで、各圧電素子１１の個別電極となる個別内部電極１６は、基本的には圧電素子形成部材１３の略全面に亘って設けられているが、固定板１４の端面近傍に対向する領域で先端部側と基端部側とに分離して設けられている。一方、共通電極となる共通内部電極１７も基本的に圧電素子形成部材１３の略全面に亘って設けられているが、個別内部電極１６と同様に、圧電素子１１の先端部近傍で分離されている。すなわち、圧電素子１１の固定板１４に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電素子１１を構成する個別内部電極１６及び共通内部電極１７間に電圧を印加すると、固定板１４に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。本実施形態では、上述したように圧電素子１１の固定板１４に固定された基端を固定端１１ｂと言い、圧電素子１１の振動する先端を自由端１１ａと言っている。そして、圧電素子１１の自由端１１ａの端面が、振動板５５の島部（厚肉部）５９に接着剤等を介して固定される。すなわち、本実施形態では、圧電素子１１の島部５９に接着される自由端１１ａ側を駆動部と言い、固定板１４に固定された固定端１１ｂ側を非駆動部と言う。そして、上述のように駆動部である自由端１１ａが振動板５５側となっており、非駆動部である固定端１１ｂが振動板５５とは反対側となっている。
【００２５】
また、圧電素子形成部材１３の外表面には、個別内部電極１６及び共通内部電極１７と接続される外部電極２０が形成されている。また、圧電素子形成部材１３の少なくとも圧電素子１１の列１２に対応する領域の基端部側には、外部電極２０が存在しない電極非形成部２１が存在する。
【００２６】
そして、複数のスリット１８は、この電極非形成部２１に対向する領域に達する長さで形成され、外部電極２０が、このスリット１８及び電極非形成部２１によって分離され、隣接する圧電素子１１と電気的に独立する個別外部電極２２と、隣接する圧電素子１１と電気的に共通する共通外部電極２３とを構成する。
【００２７】
具体的には、外部電極２０は、本実施形態では、各圧電素子１１に対向する部分と位置決め部１９に対向する部分とに分離され、各圧電素子１１に対向する領域の外部電極２０が、圧電素子形成部材１３の先端部で圧電素子１１の個別電極を構成する個別内部電極１６と電気的に接続される個別外部電極２２を構成している。一方、圧電素子１１の列１２の両側に設けられた位置決め部１９上の外部電極２０が、圧電素子形成部材１３の基端部側の端面で各圧電素子１１の共通電極を構成する共通内部電極１７と接続される共通外部電極２３を構成している。
【００２８】
すなわち、本実施形態の圧電素子ユニット１０では、圧電素子形成部材１３の固定板１４に接合された部分の反対側の面に、個別外部電極２２が並設されると共に、個別外部電極２２の並設方向両側で位置決め部１９に対向する領域に共通外部電極２３が存在する。これにより、圧電素子ユニット１０と後述する回路基板３０とを比較的容易に接続することができ、且つ圧電素子ユニット１０の小型化を図ることができる。
【００２９】
このような圧電素子ユニット１０は、図１に示すように、固定板１４の圧電素子形成部材１３が固定された面とは反対側の面が、ケース５８の収容部５８ａの内面に固定される。収容部５８ａには、振動板５５側が幅狭となるように段差部５８ｂが設けられており、固定板１４は、圧電素子１１が固定された面と直交する面が、段差部５８ｂの表面に当接するように固定される。
【００３０】
また、ケース５８には、コンプライアンス部６１に対向する領域に開口する凹形状を有するコンプライアンス空間６２が設けられている。このコンプライアンス空間６２によってコンプライアンス部６１は変形可能に保持される。
【００３１】
このようなケース５８は、樹脂材料によって形成されている。また、ケース５８は、成形することで、低コストで製造することができると共に、容易に量産することができる。
【００３２】
また、ケース５８には、金属材料の板状部材からなる補強部材７０が埋設されている。補強部材７０は、ケース５８よりも高い剛性を有するものであり、ケース５８に設けられた埋設孔６３に埋設されている。
【００３３】
補強部材７０が埋設される埋設孔６３は、コンプライアンス空間６２と振動板５５とは反対側の面とに亘って貫通して設けられている。また、埋設孔６３は、図１に示すように、ケース５８のコンプライアンス空間６２と収容部５８ａとの間の振動板５５と接合される領域の外側（コンプライアンス空間６２側）に設けられており、段差部５８ｂの振動板５５とは反対側で、収容部５８ａに連通するように設けられている。
【００３４】
このような埋設孔６３内に補強部材７０が埋設されている。これにより、補強部材７０の振動板５５側の端面はコンプライアンス空間６２に露出し、コンプライアンス空間６２の一部を画成している。また、補強部材７０は、埋設孔６３内に埋設されることで、段差部５８ｂの振動板５５とは反対側で、収容部５８ａ内に露出して、収容部５８ａの一部を画成している。そして、この補強部材７０の表面に圧電素子ユニット１０の固定板１４が接着剤等を介して直接固定されている。
【００３５】
なお、補強部材７０は、例えば、金型を用いてケース５８を樹脂材料で成形する際に、金型内に予め挿入しておくことで、ケース５８と一体化（一体成形）することができる。勿論、ケース５８に補強部材７０を埋設する方法は、一体成形に限定されず、ケース５８に埋設孔６３を設け、埋設孔６３内に補強部材７０を接着剤や圧入等によって埋設するようにしてもよい。
【００３６】
このようにケース５８に補強部材７０を設けることで、ケース５８の剛性を向上することができる。したがって、詳しくは後述するが、圧電素子１１を駆動した際に振動板５５を押圧する反発力によって圧電素子１１が振動板５５とは反対側に移動しようとするのを抑制して、インク吐出特性の低下を抑制することができると共に、複数のノズル開口５６からインク滴を均一なインク吐出特性で吐出させることができる。
【００３７】
また、本実施形態では、補強部材７０を単純な板状部材とすることで、補強部材７０の余分な加工が不要となって、コストを低減することができる。
【００３８】
さらに、ケース５８上には、回路基板３０の各配線３１がそれぞれ接続される複数の導電パッド３２が設けられた配線基板３３が固定されており、ケース５８の収容部５８ａは、この配線基板３３によって実質的に塞がれている。配線基板３３には、ケース５８の収容部５８ａに対向する領域にスリット状の開口部３４が形成されており、回路基板３０はこの配線基板３３の開口部３４から収容部５８ａの外側に折り曲げられて引き出されている。
【００３９】
ここで、圧電素子ユニット１０を構成する回路基板３０は、例えば、本実施形態では、圧電素子１１を駆動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載されたチップオンフィルム（ＣＯＦ）からなる。そして、回路基板３０の各配線３１は、その基端部側では、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子１１を構成する電極１６，１７に外部電極２０（個別外部電極２２及び共通外部電極２３）を介して接続されている。一方、先端部側では、各配線３１は配線基板３３の各導電パッド３２に接合されている。具体的には、配線基板３３の開口部３４から収容部５８ａの外側に引き出された回路基板３０の先端部が配線基板３３の表面に沿って折り曲げられた状態で、各配線３１は配線基板３３の各導電パッド３２に接合されている。
【００４０】
なお、このようなインクジェット式記録ヘッドＩでは、インク滴を吐出する際に、圧電素子１１及び振動板５５の変形によって各圧力発生室５２の容積を変化させて所定のノズル開口５６からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジからマニホールド５３にインクが供給されると、インク供給路５４を介して各圧力発生室５２にインクが分配される。実際には、圧電素子１１に電圧を印加することにより圧電素子１１を収縮させる。これにより、振動板５５が圧電素子１１と共に変形されて圧力発生室５２の容積が広げられ、圧力発生室５２内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口５６に至るまで内部にインクを満たした後、配線基板３３を介して供給される記録信号に従い、圧電素子１１の電極１６，１７に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子１１が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板５５も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室５２の容積が収縮して圧力発生室５２内の圧力が高まりノズル開口５６からインク滴が吐出される。
【００４１】
このように圧電素子１１の伸張によって振動板５５を押圧した際に、図５に示すように、振動板５５による反発力によって、圧電素子ユニット１０は振動板５５とは反対側に移動しようとする。このとき、図６に示すように、補強部材７０を設けていない場合には、ケース５８の剛性が低く、ケース５８が変形して圧電素子ユニット１０が振動板５５とは反対方向に浮き上がるように移動してしまう。また、ケース５８の剛性が低いと、圧電素子ユニット１０の振動板５５に固定された端面を軸として回転方向に傾いてしまう。圧電素子ユニット１０が振動板５５とは反対側に移動してしまったり、傾いてしまうと、圧電素子ユニット１０で振動板５５を所望の圧力で押圧することができず、インク吐出特性が低下してしまう。
【００４２】
また、図５に示すように、ケース５８の収容部５８ａは、貫通した孔形状を有するため、圧電素子１１の並設方向の両端部側は側壁が近いことから剛性が高く、逆に圧電素子１１の並設方向の中央部は側壁から遠いことから剛性が低い。したがって、圧電素子１１の並設方向において、ケース５８の中央部は、両端部側に比べて圧電素子ユニット１０が振動板５５とは反対側に移動しようとする力を抑える力が弱く、圧電素子ユニット１０の中央部は両端部側に比べて移動量や傾き量が大きくなる。このように圧電素子１１の並設方向において、圧電素子ユニット１０の移動量や傾き量が異なると、複数の圧電素子１１が振動板５５を押圧する押圧力にばらつきが生じ、複数のノズル開口５６から均一なインク吐出特性でインクを吐出することができない。なお、図５及び図６は、比較のため固定板に延設部を設けずに、固定板を振動板と接合していない記録ヘッドの比較動作を示す断面図であり、図７は、本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの動作を示す図である。
【００４３】
これに対して、本実施形態では、図７に示すように、ケース５８に金属材料からなる補強部材７０を設けることでケース５８の剛性を向上することができるため、圧電素子１１の駆動による反発力によってケース５８が変形するのを抑制することができる。したがって、ケース５８の変形によって圧電素子ユニット１０が振動板５５とは反対側に移動してしまったり、傾斜してしまうのを抑制して、インク吐出特性が低下するのを抑制することができる。
【００４４】
また、補強部材７０を圧電素子１１の並設方向に亘って設けることで、ケース５８の圧電素子１１の並設方向における剛性を均一化することができる。これにより、ケース５８の圧電素子１１の並設方向における変形量を均一化して、圧電素子ユニット１０の振動板５５とは反対側への移動量や傾斜量を均一化することができ、複数のノズル開口５６から均一なインク吐出特性でインクを吐出することができる。
【００４５】
また、本実施形態では、補強部材７０をコンプライアンス空間６２に露出するように設けることで、補強部材７０を最も振動板５５に近接させることができる。これにより、ケース５８を確実に補強することができる。すなわち、図６に示すように、ケース５８のコンプライアンス空間６２と収容部５８ａとの間の振動板５５に接合される領域は狭く、特にこの部分の剛性が低く、また、補強部材７０とコンプライアンス空間６２との間にケース５８の一部が存在すると、この部分の剛性が特に低いことから、ケース５８は、圧電素子ユニット１０が振動板５５とは反対側に移動（変形）するのを抑えることができず、また、ケース５８は圧電素子ユニット１０の振動板５５に固定された端面を軸とする回転方向の移動（変形）を抑えられないが、本実施形態では、図７に示すように、補強部材７０をコンプライアンス空間６２に露出するように設けることで、ケース５８のコンプライアンス空間６２と収容部５８ａとの間の振動板５５に接合される領域が狭くても、ケース５８の圧電素子ユニット１０の移動及び傾きに対する剛性を向上して、圧電素子ユニット１０の傾き（ケース５８の変形）を抑制することができる。
【００４６】
さらに、本実施形態では、補強部材７０と固定板１４とを直接固定することで、補強部材７０をケース５８のコンプライアンス空間６２と収容部５８ａとの間の振動板５５に接合される領域に近接して設けることができ、ケース５８の剛性を向上することができると共に、固定板１４を補強部材７０に直接固定することで、固定板１４によって押圧される圧力を間にケース５８等を介さずに直接補強部材７０で規制して、ケース５８の変形を低減することができる。
【００４７】
また、本実施形態では、ケース５８を樹脂材料で形成し、補強部材７０を金属材料で形成することで、製造コストを低減すると共に、所望の剛性を得られるという効果を奏するものである。
【００４８】
すなわち、ケース５８を金属材料で形成することも考えられるものの、金属材料は材料コストが高いことや、ケース５８は複雑な形状であることから加工コストが高くなってしまい、高コストとなってしまうと共に、大量生産が困難である。これに対して、本実施形態では、ケース５８を樹脂材料とすることで、材料コストや加工コストを低減して低コストとすることができると共に、大量生産が可能である。
【００４９】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態１について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、補強部材７０を圧電素子１１（駆動部）の並設方向に亘って設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、補強部材を圧電素子１１の並設方向の中央部のみに設けるようにしてもよい。
【００５０】
また、上述した実施形態１では、圧電材料層１５と電極（個別内部電極１６，共通内部電極１７）とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子１１について説明したが、圧電材料層１５と電極１６，１７とを交互に積層させて積層方向の一端部を島部５９に当接させる横振動型の圧電素子を用いるようにしてもよい。
【００５１】
なお、上述した実施形態１のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５２】
図８に示すように、インクジェット式記録装置ＩＩは、インクジェット式記録ヘッドＩを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを具備する。記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５３】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５４】
なお、上述した実施形態１においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【００５５】
また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置ＩＩを挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。
【符号の説明】
【００５６】
Ｉ  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ＩＩ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  圧電素子ユニット（振動子ユニット）、  １１  圧電素子（振動子）、  １１ａ  自由端、  １１ｂ  固定端、  １３  圧電素子形成部材、  １４  固定板、  １６  個別内部電極、  １７  共通内部電極、  １８  スリット、  １９  位置決め部、  ２２  個別外部電極、  ２３  共通外部電極、  ３０  回路基板、  ３１  配線、  ３２  導電パッド、  ３３  配線基板、  ５０  流路形成基板、  ５２  圧力発生室、  ５５  振動板、  ５６  ノズル開口、  ５８  ケース、  ５９  島部（厚肉部）、  ６０  薄肉部、  ６１  コンプライアンス部、  ６２  コンプライアンス空間、  ６３  埋設孔、  ７０  補強部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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