(57)【要約】【課題】  モールド樹脂とフレーム界面に剥離が生じず、結果としてモータ周辺の真空度を保つことが可能な真空用モータの固定子および真空用モータを提供する。【解決手段】  低ガス放出速度のエポキシ樹脂でコイルをモールドしている真空用回転型モータの固定子において、固定子コイルを２つ以上のコイルに分け、各々のコイルを独立して低ガス放出速度の第１のエポキシ樹脂でモールドする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
低ガス放出速度のエポキシ樹脂でコイルをモールドしている真空用回転型モータの固定子において、
固定子コイルを２つ以上のコイルに分け、各々のコイルが独立して低ガス放出速度のエポキシ樹脂でモールドされていることを特徴とする真空用回転型モータの固定子。
【請求項２】
低ガス放出速度のエポキシ樹脂でコイルをモールドしている真空用回転型モータの固定子において、
固定子コイルを２つ以上のコイルに分け、各々のコイルが独立してエポキシ樹脂でモールドされ、かつ、前記エポキシ樹脂の表面が、低ガス放出速度のエポキシ樹脂で覆われるとともに、各々のコイル間の隙間が前記低ガス放出速度のエポキシ樹脂で埋められていることを特徴とする真空用回転型モータの固定子。
【請求項３】
固定子と回転子を備える真空用回転型モータにおいて、前記固定子を、請求項１または２に記載の固定子で構成したことを特徴とする真空用回転型モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空用モータの固定子および真空用モータ、より詳しくは真空用回転型モータ固定子および真空用回転型モータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空用モータは、半導体製造装置などの真空機器に用いられており、真空排気時における所定の圧力まで到達する真空排気時間を短くするために、固定子に設けられているコイルおよびその周辺のモールド樹脂からのガス放出量を抑制する必要があるという技術課題がある。
この技術課題を解決するために、従来の真空用モータにおいては、その固定子コイルを金属性のキャンで覆っていた。しかし、金属性のキャンを設置すると、キャンで渦電流損が発生し、温度上昇につながるという課題が生じる。このために、低ガス放出速度の樹脂でコイルを覆うとしたものもある（例えば、特許文献１参照）。
以下、図を用いて、従来の真空用モータを簡単に説明する。
図３は、従来の真空用モータの側断面図、図４は、図３のＡ−Ａ断面における正断面である。なお、図４においては、後述の回転子１４およびシャフト１６を省略している。
図において、１１は絶縁被覆電線（例えばエナメル線）を多数回巻いた固定子コイルであり、フレーム１３に固定されている。また、低ガス放出速度の樹脂１２で、前記固定子コイル１１を覆うとともに、前記固定子コイル１１と前記フレーム１３の内側全面を一体に接着している。１４は回転子で、その表面にはマグネット１５が固定されるとともに、シャフト１６、軸受１７を介して、ブラケット１８に回転自由に固着されている。またブラケット１８と前記フレーム１３は機械的に固着されている。このため、図３、４に示した真空用モータは、モータとして機能するとともに、コイルが低ガス放出速度の樹脂で覆われているために、コイルからガス放出量が少なく、真空排気時間が短くなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１９３６１５号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の真空用モータは、全部のコイルを一体として覆い、かつ、フレーム全体に内接するようになっているため、モータ製造時の低ガス放出速度の樹脂１３の硬化収縮により、図４に示すように、前記樹脂１２とフレーム１３との界面を剥離させるような応力１９が発生し、結果として、前記樹脂１２とフレーム１３の界面が剥離し、前記樹脂１２とフレーム１３との界面に空隙が生じる。
前記モールド樹脂とフレーム間に空隙が生じると、モールド樹脂の実効表面積が増大するととともに、コイルがその空隙に露出する恐れがある。モールド樹脂の実効表面積が増大したり、コイルが露出したりすると、モールド樹脂やコイルからのガスの放出量が増大するため、真空排気時間が長くなる。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、モールド樹脂とフレーム界面に剥離が生じず、真空排気時間が短い真空用モータの固定子および真空用モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したものである。
請求項１に記載の発明は、低ガス放出速度のエポキシ樹脂でコイルをモールドしている真空用回転型モータの固定子において、固定子コイルを２つ以上のコイルに分け、各々のコイルが独立してモールドされていることを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、低ガス放出速度のエポキシ樹脂でコイルをモールドしている真空用回転型モータの固定子において、固定子コイルを２つ以上のコイルに分け、各々のコイルが独立してエポキシ樹脂でモールドされ、かつ、前記エポキシ樹脂の表面が、低ガス放出速度のエポキシ樹脂で覆われるとともに、各々のコイル間の隙間が前記低ガス放出速度のエポキシ樹脂で埋められていることを特徴とするものである。
また、請求項３に記載の発明は、固定子と回転子を備える真空用回転型モータにおいて、前記固定子を、請求項１または２に記載の固定子で構成したことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００６】
請求項１に記載の発明によると、モールド樹脂硬化収縮にともなうモールド樹脂とフレーム界面を剥離させるような応力を小さくことができ、前記モールド樹脂とフレーム界面との剥離を防止することができ、モールド樹脂の実効表面積が増大したり、コイルが露出したりせずガス放出量の増加を防止することができるため、真空排気時間が短い固定子とすることができる。
請求項２に記載の発明によると、モールドが分割されることにともなう前記モールド樹脂の表面積の増加を防止することができ、モールドからのガス放出量を抑制することができ、より真空排気時間が短い固定子とすることができる。
また、請求項３に記載の発明によると、固定子からのガス放出量の増加を防止することができるため、真空排気時間が短い真空用モータとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第１実施例を示す真空用モータ固定子の正断面図である。
【図２】本発明の第２実施例を示す真空用モータ固定子の正断面図である。
【図３】従来の真空用モータの側断面図である。
【図４】従来の真空用モータ固定子の正断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１は、本発明の第１実施例を示す真空用モータ固定子の正断面図である。
図において、１はコイル１１をモールドしている低ガス放出速度の第１のエポキシ樹脂であり、固定子コイルを２つ以上に分けて設けられたコイル１１を１つずつ独立してモールドするとともに、コイル１１とフレーム１３を固着している。
本実施例では、真空用モータの固定子を、以下のようにして製作する。
まず、フレーム１３の内面にコイル１１を配置し、次に各コイル１１を独立してモールドできるような形状の治具を用いて各コイル１１の周囲に低ガス放出速度の第１のエポキシ樹脂１を注形する。最後に、７０℃の空気中で２時間静置した後に、１５０℃の空気中に４時間静置することにより第１のエポキシ樹脂１を硬化させる。なお、第１のエポキシ樹脂１の成分と配合比は、表１のとおりである。
【００１０】
このような構成によれば、コイル１１を第１のエポキシ樹脂１でモールドして硬化させる際、第１のエポキシ樹脂１は高々各コイル１の周辺を覆うだけの寸法の部分に分割されているため、各部分の硬化収縮量は小さくなり、前記第１のエポキシ樹脂１とフレーム１３との界面に生じる応力を小さくすることができ、前記第１のエポキシ樹脂１とフレーム１３との剥離を防止することができる。このため、モールド樹脂の実効表面積が増大したり、コイルが露出したりせずガス放出量の増加を防止することができ、真空排気時間を短くできる。
【実施例２】
【００１１】
図２は、本発明の第２実施例を示す真空用モータ固定子の正断面図である。
前述の第１実施例は、コイル１１を第１のエポキシ樹脂１でモールドするものであるが、この第２実施例は、コイル１１は、低ガス放出速度のエポキシ樹脂でない第２のエポキシ樹脂で独立してモールドし、前記第２のエポキシ樹脂２の表面（最外層）を、低ガス放出速度の第１のエポキシ樹脂１で覆うとともに、各々のコイル１１の隙間を前記第１のエポキシ樹脂１で埋めるようにしている。
【００１２】
本実施例では、真空用モータの固定子を、以下のようにして製作する。
まず、実施例１と同様な方法で真空用モータの固定子を製作した後に、冶具を、前記固定子の内側に円筒形に配置し、第２のエポキシ樹脂２を各コイル１１の周囲に注形し、硬化させる。
次に、前記第２のエポキシ樹脂２の表面（最外層）と、各々のコイル１１間の隙間に、低ガス放出速度の第１のエポキシ樹脂１を注形し、実施例１と同じ条件で硬化させる。
【００１３】
このような構成となっているので、各コイル１１を独立してモールドしても、モールド樹脂の実効表面積、つまりエポキシ樹脂１およびエポキシ樹脂２の実効表面積の合計が小さくなり、ガス放出量の増加を防止することができ、より真空排気時間を短くできる。
【００１４】
【表１】
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【００１５】
このようにして製作した真空用モータの固定子および従来の真空用モータの固定子を、２５℃、５５％ＲＨの調湿空気中に２４時間静置した後、真空中でのガス放出速度を公知のスループット法（差圧流量法）で調べる。室温で２０時間排気した時点のガス放出速度（相対値）を表２に示す。ガス放出速度（相対値）が小さいほど、より高い真空度に適用できることを意味している。表２より明らかなように、実施例１および２の真空用モータの固定子のガス放出速度（相対値）は、いずれの場合も従来例にくらべて小さい。つまり、本実施例の真空用モータの固定子を真空用モータ、真空用機器に適用した場合、従来例にくらべて高い真空度を得ることができるといえる。また、所定の真空度に到達するまでの真空排気時間も短くなるといえる。
【００１６】
【表２】
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【符号の説明】
【００１７】
１、２、１２  低ガス放出速度のエポキシ樹脂
１１  コイル
１３  フレーム
１４  回転子
１５  マグネット
１６  シャフト
１７  軸受
１８  ブラケット
１９  応力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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