(57)【要約】【課題】単独で３軸の角速度を測定できる簡易な構成のレートジャイロを提供する。【解決手段】流体レートジャイロ１０は、機能性流体が循環する流路１４が形成された筐体１２と、流路に設けられ、機能性流体に流れを発生させるべく電圧が印加される電極部２４と、流路に設けられ、第１の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている第１の角速度検出部２６と、流路に設けられ、第１の軸とは異なる第２の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている第２の角速度検出部２８と、流路に設けられ、第１の軸および前記第２の軸と異なる第３の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている第３の角速度検出部３０と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能性流体が循環する流路が形成された筐体と、
前記流路に設けられ、機能性流体に流れを発生させるべく電圧が印加される電極部と、
前記流路に設けられ、第１の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている第１の角速度検出部と、
前記流路に設けられ、第１の軸とは異なる第２の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている第２の角速度検出部と、
前記流路に設けられ、前記第１の軸および前記第２の軸と異なる第３の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている第３の角速度検出部と、
を備えることを特徴とする流体レートジャイロ。
【請求項２】
前記流路は、平面状に形成された循環路であり、
前記第３の角速度検出部は、前記流路が含まれる平面に対して交差する前記第３の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の流体レートジャイロ。
【請求項３】
前記流路は、正方形または長方形であることを特徴とする請求項２に記載の流体レートジャイロ。
【請求項４】
前記第１の角速度検出部、前記第２の角速度検出部および前記第３の角速度検出部は、電極部から下流に向かって、それぞれの角速度検出部に要求される角速度の検出精度が低い順に配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の流体レートジャイロ。
【請求項５】
前記第１の軸、前記第２の軸および前記第３の軸は、互いに直交していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の流体レートジャイロ。
【請求項６】
前記流路は、直交する４辺を有し、各辺に電極部、第１の角速度検出部、第２の角速度検出部および第３の角速度検出部が別々に配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の流体レートジャイロ。
【請求項７】
前記流路は、前記電極部と前記電極部を通過した機能性流体が最初に到達する角速度検出部との間の一部分が折り返されている、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の流体レートジャイロ。
【請求項８】
前記電極部と前記電極部を通過した機能性流体が最初に到達する角速度検出部との間に除電部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の流体レートジャイロ。
【請求項９】
密閉された流路に封入された機能性流体を更に備え、
前記機能性流体は、液体状の電界共役流体であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の流体レートジャイロ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体レートジャイロに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ジャイロスコープは、主に航空、宇宙分野で使用されており、光学式や機械式のものが知られている。これらの方式のジャイロスコープは、高精度ではあるものの、一般に大型で高価であるため、一般向けの機会や用途には不向きであった。
【０００３】
一方、近年、ジャイロスコープの用途は、カメラの手振れ補正やカーナビゲーションシステム、自動車の挙動制御などに広がりを見せている。そのため、小型で安価なジャイロスコープへの関心が高まっている。このような用途や要求に対して、現在は振動式ジャイロが標準的に用いられている。しかしながら、振動式ジャイロは、精度が低いという問題や、センサ内部に振動要素を有することに起因する外部振動との共振という問題がある。
【０００４】
他には、ガスレートジャイロが知られている。ガスレートジャイロは、耐振動性、耐衝撃性に優れているが、ガス流を発生するためのポンプが必要なため、小型化に限界があり、高価である。
【０００５】
また、新たな方式のジャイロとして、高電圧の印加によってジェット流を発生する電界共役流体を用いた１軸用のマイクロレートジャイロが開発されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１４５３１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、単独で３軸の角速度を測定できる安価で小型なジャイロは更なる改善の余地がある。
【０００８】
本発明は係る課題に鑑みてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、単独で３軸の角速度を測定できる簡易な構成のレートジャイロを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明のある態様の流体レートジャイロは、機能性流体が循環する流路が形成された筐体と、流路に設けられ、機能性流体に流れを発生させるべく電圧が印加される電極部と、流路に設けられ、第１の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている第１の角速度検出部と、流路に設けられ、第１の軸とは異なる第２の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている第２の角速度検出部と、流路に設けられ、第１の軸および第２の軸と異なる第３の軸まわりの筐体の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている第３の角速度検出部と、を備える。
【００１０】
この態様によると、複数の角速度検出部が循環する流路に設けられているため、３軸の角速度を薄く小型な一つのジャイロで測定することができる。また、ポンプなどの機械動作部品を用いずに流体を循環することができるため、装置構成の簡素化や小型化が可能となる。
【００１１】
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせ、本発明の表現を、方法、装置などの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のある態様の流体レートジャイロによれば、簡易な構成で３軸の角速度を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１（ａ）は、第１の実施の形態に係る流体レートジャイロの平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す流体レートジャイロのＡ−Ａ断面図である。
【図２】第１の実施の形態に係る流体レートジャイロの流路部分の透過斜視図である。
【図３】電極部の斜視図である。
【図４】電極部を構成する針電極の正面図である。
【図５】針電極の側面図である。
【図６】電極部を構成するリング電極の正面図である。
【図７】リング電極の側面図である。
【図８】角速度検出部の斜視図である。
【図９】角速度検出部の回路構成を示す図である。
【図１０】第２の実施の形態に係る流体レートジャイロの平面図である。
【図１１】図１１（ａ）は、第２の実施の形態に係る流体レートジャイロのＸ軸回りの角速度を計測した結果の一例を示す図である。図１１（ｂ）は、第２の実施の形態に係る流体レートジャイロ１１０のＹ軸回りの角速度を計測した結果の一例を示す図である。図１１（ｃ）は、第２の実施の形態に係る流体レートジャイロ１１０のＺ軸回りの角速度を計測した結果の一例を示す図である。
【図１２】電極部にかける電圧の強さと各回転軸回りの角速度の検出感度との関係を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を好適な実施の形態をもとに図面を参照しながら説明する。各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は、発明を限定するものではなく例示であって、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組合せは、必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００１５】
本発明者らは、電界共役流体を用いて多軸の回転速度を検出可能な流体レートジャイロを開発した。以下では、３軸対応の流体レートジャイロの場合について説明するが、本願発明は２軸対応の流体レートジャイロにも適用可能である。
【００１６】
（第１の実施の形態）
はじめに、本実施の形態に係る流体レートジャイロの概略構成を説明する。図１（ａ）は、第１の実施の形態に係る流体レートジャイロの平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す流体レートジャイロのＡ−Ａ断面図である。図２は、第１の実施の形態に係る流体レートジャイロの流路部分の透過斜視図である。なお、図１（ａ）は、後述する筐体のカバーを外した状態を示している。
【００１７】
本実施の形態に係る流体レートジャイロ１０は、大きさが２６ｍｍ（Ｌ１）×２６ｍｍ（Ｌ２）×１０ｍｍ（厚さ）程度の箱形の筐体１２を有している。筐体１２は、後述する機能性流体が循環する流路１４が形成された基部１６と、基部１６を覆うカバー１８とから構成されている。基部１６およびカバー１８の材質としては、該機能性流体が溶解したり膨潤を引き起こさない材質を用いる。例としては、アクリルやナイロン等の汎用プラスチックも用いることができるが、テフロン（登録商標）、ＡＢＳ、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリアミド、ＰＢＴ、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルイミド、ＰＥＥＫ、ポリアミドイミド等のエンジニアリングプラスチックが好適である。
【００１８】
基部１６には、環状溝２０が設けられており、その環状溝２０には機能性流体を封止するための封止部材としてＯリング２２が嵌め込まれている。流路１４には、後述する電極部２４と３つの角速度検出部２６，２８，３０が設けられている。電極部２４は、機能性流体に流れを発生させるべく電圧が印加できるように構成されている。また、角速度検出部２６，２８，３０のそれぞれは、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸まわりの筐体１２の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている。
【００１９】
機能性流体は、電極部２４に電圧が印加されることで流れが生じるものであれば特に限定されないが、本実施の形態では液体状の電界共役流体が用いられている。電界共役流体に好適な物質は、デカン二酸ジブチル、ジブチルアジペート、トリアセチン、ブチルセロソルブアセテート、ブチルカルビトールアセテート、３−メトキシ−３−メチルブチルアセテート（ソルフィットＡＣ）、フマル酸ジブチル（ＤＢＦ）、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＭＡ）や、特許第３１５７８０４号公報に記載された電気感応作動媒体等が挙げられる。なお、電界共役流体は、前述のような単一の物質からなる場合だけでなく、複数の物質を混合したものであってもよい。また、単独では電界共役流体として適さない物質であっても、他の物質と混合することで所望の物性が得られるものであってもよい。
【００２０】
（流路）
流路１４は、筐体の四辺に沿って平面状に形成された四角形の循環路であり、四隅の屈曲部は曲面で構成されている。また、流路１４は、筐体の四辺のそれぞれに沿った４つの直線路１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを有する。また、流路１４の断面は１．５ｍｍ（ｔ１）×１．５ｍｍ（ｔ１）の方形である。流路１４がこのように閉じた一つの循環路として構成されることで、内部に封止される機能性流体の流れが安定し、流体レートジャイロ１０の検出精度の向上に寄与する。なお、流路１４全体の大きさは、図１（ａ）に示すように、１２ｍｍ（Ｌ３）×１２ｍｍ（Ｌ４）×４ｍｍ（ｔ２）程度であり、従来のガスジャイロと比較して小型化、薄型化が図られている。
【００２１】
（電極部）
図３は、電極部の斜視図である。図４は、電極部を構成する針電極の正面図である。図５は、針電極の側面図である。図６は、電極部を構成するリング電極の正面図である。図７は、リング電極の側面図である。
【００２２】
電極部２４は、針電極３２およびリング電極３４が直線路１４ａに直列に配置されたものである。図４および図５に示すように、針電極３２は、板状の針電極支持板３６と、針電極本体３８とを有する。針電極支持板３６には、３つのスリット孔３６ａが互いに離間されて設けられている。針電極本体３８は、針電極支持板３６とは別体に設けられており、針電極支持板３６のスリット孔３６ａ間に計２つ取り付けられている。直線路１４ａの流路壁には、溝（図示せず）が設けられており、この溝に針電極支持板３６が取り付けられることで、針電極３２が直線路１４ａ内に固定される。
【００２３】
リング電極３４は、２つの円形の貫通孔４０ａが設けられたリング電極本体４０を有している。このリング電極本体４０は、直線路１４ａ内の溝にリング電極本体４０が取り付けられることで、リング電極３４が直線路１４ａ内に固定される。
【００２４】
針電極３２およびリング電極３４、具体的には針電極本体３８およびリング電極本体４０間には、高電圧の直流電圧が印加されている。例えば、特定の絶縁性液体である前述の電界共役流体に電圧を印加することにより、印加電圧に対応した絶縁性液体の移動流、すなわち流体ジェットを発生させることができる。なおこの場合、針電極本体３８とリング電極本体４０へ印加する電圧は各極性が反対であれば極性は不問である。
【００２５】
図３に示すように、針電極３２およびリング電極３４は、針電極本体３８と貫通孔４０ａとが互いに対向するように配置されている。電極部２４の軸線は、これら針電極本体３８および貫通孔４０ａを結ぶ直線である。この状態で、針電極本体３８とリング電極本体４０との間に高電圧の直流電圧が印加されることで、各スリット孔３６ａおよび貫通孔４０ａを通過する流体ジェットが発生する。この流体ジェットは、図１（ａ）に示す直線路１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄをこの順で循環する。
【００２６】
（角速度検出部）
次に、角速度検出部について説明する。なお、角速度検出部２６，２８，３０は、それぞれ同様の構成のため、以下では、角速度検出部２６について説明する。図８は、角速度検出部の斜視図である。図９は、角速度検出部の回路構成を示す図である。
【００２７】
角速度検出部２６は、図２に示す直線路１４ｃに設けられている。角速度検出部２６は、流路の断面形状と同様の形状を有する遮断部２６ａと、直線路１４ｃの側壁に取り付けられる取付部２６ｂと、を有する。遮断部２６ａは、貫通孔２６ｃが形成されている。また、遮断部２６ａは、直線路１４ｃに突出するように設けられており、貫通孔２６ｃを機能性流体が通過する。取付部２６ｂは、直線路１４ｃの軸線Ａに直交する直線上に３つの電極４２，４４，４６が固定されている。電極４２と電極４４との間には、第１ホットワイヤＨ１が取り付けられており、電極４４と電極４６との間には、第２ホットワイヤＨ２が取り付けられている。
【００２８】
図９に示すように、第１および第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２は、第１および第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２と第１および第２抵抗Ｒ１，Ｒ２とからなるブリッジ回路４８に組み込まれている。このブリッジ回路４８には、定電流源５０が接続されており、第１および第２ホットワイヤＨ１，Ｈ２が常に熱せられている。
【００２９】
このような角速度検出部２６において、軸線Ａに直交する軸回りの角速度ωが筐体１２に加えられると、コリオリの力により流体ジェットＦが偏向する。この流体ジェットＦの偏向が発生すると、流体ジェットＦによる各ホットワイヤＨ１，Ｈ２の冷却に偏りが生じ、各ホットワイヤＨ１，Ｈ２の抵抗値に変化が生じる。このとき、ブリッジ回路４８の出力電圧Ｖ１−Ｖ２に変化が生じて、角速度検出部２６の出力変化、すなわち出力電圧Ｖ１−Ｖ２の変化に基づいて角速度ωが検出される。
【００３０】
本実施の形態に係る流体レートジャイロ１０は、電極部２４において電界共役流体に電圧が印加されることで流体ジェットが発生し、筐体１２に角速度ωが加えられた際の流体ジェットの偏向により発生する角速度検出部２６の出力変化に基づいて、角速度ωを求めるので、ガス流を用いる従来構成に比べて、ジャイロ全体を小形化でき、適用範囲を広げることができる。また、圧電素子を用いる気体ポンプを採用する場合と異なり、機械的な可動部分をなくすことができ、耐久性を向上できる。さらに、気体ポンプを採用する場合に比べて、低コスト化および軽量化を実現できる。
【００３１】
また、本実施の形態に係る流体レートジャイロ１０は、複数の角速度検出部２６，２８，３０が循環する流路１４に設けられているため、多軸の角速度を一つのジャイロで測定することができる。また、ポンプなどの機械動作部品を用いずに流体を循環することができるため、装置構成の簡素化や小型化が可能となる。
【００３２】
また、角速度検出部２６，２８におけるホットワイヤは、筐体１２の厚み方向と平行に設けられているが、角速度検出部３０におけるホットワイヤは、図１（ａ）に示すように、筐体１２の厚み方向と直交する方向に設けられている。したがって、流体レートジャイロ１０は、簡易な形状の一つの循環路に配置された３つの角速度検出部２６，２８，３０により、３つの異なる軸まわりの回転運動の角速度を測定することができる。
【００３３】
また、流路１４は、平面状に形成されており、角速度検出部３０は、流路１４が含まれる平面に対して直交する軸まわりの筐体１２の回転運動に伴って生じる、機能性流体の流れの偏りに応じて出力が変化するように構成されている。これにより、装置の薄型化が可能となる。
【００３４】
なお、３つの角速度検出部２６，２８，３０は、電極部２４から下流に向かって、それぞれの角速度検出部に要求される角速度の検出精度が低い順に配置されていている。つまり、角速度検出部３０は要求される角速度の検出精度が最も低く、角速度検出部２８は要求される角速度の検出精度が最も高いものである。機能性流体である電界共役流体は、電極部２４の近傍において流れや電離状態が安定しにくい。そのため、電極部２４近傍での検出精度は相対的に低くなる傾向がある。そこで、循環する流路１４に複数の角速度検出部２６，２８，３０を配置する場合、要求される角速度の検出精度が低い、つまり、検出精度が比較的低くても影響の少ない角速度検出部３０を、電極部の下流側の最も近傍に配置する。これにより、一部の角速度検出部の検出精度の低下がジャイロ性能全体に与える影響をより小さくすることができる。
【００３５】
前述のように流路１４は、直交する直線路１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを有し、各直線路に電極部２４、角速度検出部３０、角速度検出部２６および角速度検出部２８が別々に配置されている。これにより、複数の角速度検出部の配置が容易となるとともに、流路１４の形状も簡易となる。また、一つの直線路に複数の角速度検出部を配置する場合、あるいは、一つの直線路に電極部と角速度検出部を配置する場合と比較して、上流側にある角速度検出部や電極部における機能性流体の流れの偏りがその下流側にある角速度検出部に与える影響が緩和される。
【００３６】
（第２の実施の形態）
本発明者らの検討によれば、電極部２４の下流側の最も近い位置に設けられている角速度検出部３０が、それよりも下流にある他の角速度検出部２６，２８よりも相対的に検出精度が低下していた。その原因としては、電極部２４で電圧が印加された電界共役流体がプラズマ化（電離）することで、角速度検出部のホットワイヤに印加された数ボルトの電圧がつくる電界により電界共役流体の流れが影響されるためと考えられる。そこで、本発明者らは、角速度検出部に到達する時点で電界共役流体の電離状態が解消されるような手段を考案した。
【００３７】
図１０は、第２の実施の形態に係る流体レートジャイロの平面図である。なお、以下では、第１の実施の形態と同様の構成や要素については同じ符号を付して説明を適宜省略する。
【００３８】
第２の実施の形態に係る流体レートジャイロ１１０は、第１の実施の形態に係る流体レートジャイロ１０と比較して、流路を長く取るため、直線路１４ａの一部が折り返された屈曲路１１４ａが設けられている点が大きく異なる。また、屈曲路１１４ａは、電極部２４と電極部を通過した機能性流体が最初に到達する角速度検出部３０との間に設けられている。したがって、流体レートジャイロ１１０においては、電極部２４と角速度検出部３０との間の距離が長くなるため、電極部２４で発生する機能性流体の流れが安定してから、あるいは、機能性流体の電離状態が解消してから、機能性流体が角速度検出部に到達することが可能となり、検出精度が向上する。
【００３９】
また、屈曲路１１４ａを設ける代わりに、あるいは、屈曲路１１４ａを設けることに加えて、除電部を設けてもよい。除電部は、電極部２４と角速度検出部３０との間に設けられているとよい。これにより、機能性流体の一部が電極部２４で電離されたとしても、除電部で除電されるため、電離した機能性流体が電極部２４の下流側の角速度検出部３０に到達する可能性が低減される。除電部としては、金属などの導電性の網や、導電性粒子を固めたフィルタを流路に設け接地する構成が考えられる。
【００４０】
なお、上述の各実施の形態に係る機能性流体は、液体状の電界共役流体であるため、熱による体積変化や圧力変化が少なく、環境温度の変化による検出精度の変化を少なくすることができる。また、電解共役流体は、流路を小さくすると流速が高速になる傾向があるため、ジャイロを小型化しつつ応答性を高めることができる。
【００４１】
次に、流体レートジャイロ１１０における角速度の計測結果について説明する。図１１（ａ）は、第２の実施の形態に係る流体レートジャイロ１１０のＸ軸回りの角速度を計測した結果の一例を示す図である。図１１（ｂ）は、第２の実施の形態に係る流体レートジャイロ１１０のＹ軸回りの角速度を計測した結果の一例を示す図である。図１１（ｃ）は、第２の実施の形態に係る流体レートジャイロ１１０のＺ軸回りの角速度を計測した結果の一例を示す図である（流体レートジャイロ１１０の測定結果は各図の曲線Ｓ２）。
【００４２】
各計測では、筐体の回転運度による角速度をステップ状に変化させ、その出力の変化を測定した。図１１（ａ）〜（ｃ）に示すように、流体レートジャイロ１１０の測定結果は、角速度に比例して電位も変化しており、角速度を精度良く検出することができる。なお、各図では、リファレンスとして振動式のＭＥＭＳジャイロ（ＡＵ４５２２、多摩川精機製株式会社製）の出力（各図の曲線Ｓ１）についても記載されている。計測の都合で出力信号の符号が反転しているが、両者はよく一致しており、実用上問題のない検出精度が得られていることがわかる。
【００４３】
図１２は、電極部２４にかける電圧の強さと各回転軸回りの角速度の検出感度との関係を示した図である。図に示すように、電極部にかける電圧の大きさ（ほぼジェット速度に比例）によって各軸回りの角速度の検出感度（スケールファクタ）に違いはある。しかしながら、本実施の形態に係る流体レートジャイロは、電極部２４における印加電圧を適切な値にすることで、互いに直交する３軸まわりの回転運動の角速度を十分な精度で検出できる。
【００４４】
上述の各実施の形態に係る流体レートジャイロの主な作用効果をまとめると以下のようになる。
【００４５】
（１）実施の形態に係る流体レートジャイロによれば、空間部内に封入された電界共役流体に電極部で電圧が印加されることで流体ジェットが発生し、筐体に回転運動が加えられた際の流体ジェットの偏向により発生する角速度検出部の出力変化に基づいて、角速度が求められる。そのため、圧電素子を用いる気体ポンプを採用する場合と比べて流体レートジャイロ全体が小形化され、用途や適用範囲を広げることができる。また、圧電素子を用いる気体ポンプを採用する場合と異なり、機械的な可動部分をなくすことができ、耐久性を向上できる。さらに、気体ポンプを採用する場合に比べて、低コスト化および軽量化を実現できる。
【００４６】
（２）また、実施の形態に係る流体レートジャイロは、一つの電極部により、一つの平面循環流路中に流体ジェットの流れを生じさせることができる。この流路中に、１軸の角速度が測定できる３台の角速度検出部を、流体ジェットの方向を考慮して図１（ａ）や図１０に示すように分散して配置することにより、３軸の角速度を測定することができる。
【００４７】
（３）また、実施の形態に係る流体レートジャイロは、空間３軸の角速度を計測するために３台の１軸レートジャイロを用いるものではなく、１台の３軸レートジャイロであるため、必要容積の縮減、重量の減少、封止する流体の量の低減、および価格の低減がさらに可能となる。
【００４８】
以上、本発明について、実施の形態をもとに説明した。この実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組合せにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。
【００４９】
なお、実施の形態に基づき、特定の語句を用いて本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用を示しているにすぎず、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１０  流体レートジャイロ、  １２  筐体、  １４  流路、  １６  基部、  １８  カバー、  ２０  環状溝、  ２２  Ｏリング、  ２４  電極部、  ２６  角速度検出部、  ２６ａ  遮断部、  ２６ｂ  取付部、  ２６ｃ  貫通孔、  ２８，３０  角速度検出部、  ３２  針電極、  ３４  リング電極、  ３６  針電極支持板、  ３６ａ  スリット孔、  ３７  リング電極本体、  ３８  針電極本体、  ４０  リング電極本体、  ４０ａ  貫通孔、  ４２，４４，４６  電極、  ４８  ブリッジ回路、  ５０  定電流源、  １１０  流体レートジャイロ、  １１４ａ  屈曲路。
【図１】
2011149765.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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