(57)【要約】【課題】接着剤層が薄い（１０μｍ以下の、特に５μｍ以下の）場合であっても、センサ認識性が良好であるウエハ加工用テープ及びその製造方法を提供する。【解決手段】ウエハ加工用テープ１０は、長尺の離型フィルム１１と、接着剤層１２（ラベル形状接着部２２）と、粘着フィルム１３（２３ａ、２３ｂ）と、識別部１４とを備えている。識別部１４は、隣接する２つのラベル形状接着部２２のＸ方向の間隔（ラベルピッチ）Ｌで、ラベル形状接着部２２に接する面とは反対のラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上に設けられた略矩形形状である。また、識別部１４は、矩形形状の長辺の延長線がラベル形状接着部２２の略中心位置を通り、かつ、矩形形状の長辺とＹ方向とが略平行となるように設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺の離型フィルムと、
前記離型フィルム上に設けられた所定の平面形状を有する複数個の接着剤層と、
前記接着剤層をそれぞれ覆い、かつ、当該接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた複数個のラベル部を有する粘着フィルムと、
を備えるウエハ加工用テープであって、
識別部が、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と略同じ間隔となるように、前記接着剤層に接する面とは反対の前記粘着フィルムの面上、前記粘着フィルムと前記接着剤層との間、前記粘着フィルムと前記離型フィルムとの間、前記接着剤層と前記離型フィルムとの間、または、前記接着剤層に接する面とは反対の前記離型フィルムの面上の内の少なくとも１つに設けられていることを特徴とするウエハ加工用テープ。
【請求項２】
前記識別部は、前記接着剤層の外周に合わせた環状であることを特徴とする請求項１に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項３】
前記識別部は、印刷形成されてなるものであることを特徴とする請求項１または２に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項４】
前記粘着フィルムは、前記離型フィルム上に前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部を備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項５】
（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、
を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の前に、
（ｃ）前記接着剤層に接する面とは反対の前記粘着フィルムの面上に、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と略同じ間隔となるように識別部を形成する工程を備え、
前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とするウエハ加工用テープの製造方法。
【請求項６】
（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、
を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の直前に、
（ｄ）前記接着フィルムに接する前記粘着フィルムの面上に、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と略同じ間隔となるように識別部を形成する工程を備え、
前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とするウエハ加工用テープの製造方法。
【請求項７】
（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、
を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の前に実行される、前記離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の前記接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された前記接着フィルムを作製する工程において、
（ｅ）前記接着剤層に接する面とは反対の前記離型フィルムの面上に、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と略同じ間隔となるように識別部を形成する工程を備え、
前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とするウエハ加工用テープの製造方法。
【請求項８】
前記識別部は、前記接着剤層の外周に合わせた環状であることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項９】
（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、
を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の前に実行される、前記離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の前記接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された前記接着フィルムを作製する工程において、
（ｆ）所定の平面形状の前記接着剤層を形成するときに、前記接着剤層の外周に合わせた環状の識別部を、前記接着剤層の外周部に形成する工程を備え、
前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とするウエハ加工用テープの製造方法。
【請求項１０】
前記識別部は、印刷形成されてなるものであることを特徴とする請求項５乃至９のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープの製造方法。
【請求項１１】
前記工程（ｂ）の替わりに、（ｇ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる前記積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成するとともに、前記切り込みの外側に別の切り込みを形成する工程を備えていることを特徴とする請求項５乃至１０のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ加工用テープ及びその製造方法に関する。特に、粘着フィルムと該粘着フィルム上に設けられた接着剤層とを有するウエハ加工用テープ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体ウエハを個々のチップに切断分離（ダイシング）する際に半導体ウエハを固定するために、基材フィルム上に粘着剤層が設けられたウエハ加工用テープが開発されている。また、切断された半導体チップをリードフレーム、パッケージ基板等に接着するためや、スタックドパッケージにおいて半導体チップ同士を積層して接着するために、粘着剤層の上にさらに接着剤層が積層された構造を有するウエハ加工用テープ（ダイシングダイボンディングフィルム）も開発されている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
このようなウエハ加工用テープ（ダイシングダイボンディングフィルム）としては、半導体ウエハへの貼り付けや、ダイシングの際のリングフレームへの取り付け等の作業性を考慮して、プリカット加工が施されたものがある（例えば、特許文献２を参照）。
【０００４】
プリカット加工が施されたウエハ加工用テープ（ダイシングダイボンディングフィルム）の作製工程は、離型フィルムと接着剤層とからなる接着フィルムの接着剤層に所定の形状（例えば、円形）の第１切り込みを入れて、第１切り込みの外側の不要な接着剤層部分を離型フィルムから剥離して、離型フィルム上に所定の形状の接着剤層が形成された接着フィルムと、粘着剤層と基材フィルムからなる粘着フィルムとを、接着剤層と粘着剤層とが接するように貼り合わせる一次プリカット加工の工程と、粘着フィルムに接着剤層の形状を囲むような所定の形状（例えば、円形）の第２切り込みを入れて、第２切り込みの外側の不要な粘着フィルム部分を接着フィルム（離型フィルム）から剥離して巻き取り、接着フィルム（離型フィルム）上に所定の形状の粘着フィルムを形成する二次プリカット加工の工程と、を備えている。
【０００５】
上述したようなウエハ加工用テープの作製には、上述した２つの工程（一次プリカット加工工程及び二次プリカット加工工程）を連続して行うことによってウエハ加工用テープを作製する作製方法（第１の作製方法）や、接着剤層に所定の形状（例えば、円形）の第１切り込みを入れて、第１切り込みの外側の不要な接着剤層部分を離型フィルムから剥離して、離型フィルム上に所定の形状の接着剤層が形成された接着フィルムと粘着剤層と基材フィルムからなる粘着フィルムとを、接着剤層と粘着剤層とが接するように張り合わせる一次プリカット工程を行った接着フィルムをロール状に巻き取り、その後、接着剤層の位置を認識して位置合わせした後二次プリカット加工工程を行うことによってウエハ加工用テープを作製する作製方法（第２の作製方法）がある。
【０００６】
また、半導体デバイスの高速化、省電力化、小型化等に対応して、半導体装置の微細化や薄膜化が進んでいる。これに伴い、半導体チップの積層数も高積層化が進められており、半導体装置の製造に使用されるウエハ加工用テープにおいて、従来よりも薄い（１０μｍ以下の）接着剤層を有するウエハ加工用テープの需要が高まっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−３０３２７５号公報
【特許文献２】特開２００６−１１１７２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、二次プリカット加工を行う際に、上述した第１の作製方法では、一次プリカット加工された接着剤層の位置を認識することなく、予め設定された間隔で粘着フィルムに第２切り込みを入れるのに対して、上述した第２の作製方法では、一次プリカット加工された接着剤層の位置を認識した後、該接着剤層の位置に合わせて粘着フィルムに第２切り込みを入れることから、特許文献１や特許文献２に提案されているような、基材フィルムと粘着剤層と接着剤層とがこの順に積層された従来のウエハ加工用テープでは、接着剤層を薄く（１０μｍ以下に）した場合、上述した第２の作製方法では、一次プリカット加工された接着剤層の外周部分を光学センサ（例えば、反射型センサ）で認識することができないセンサ認識性の低下という問題が発生していた。そのため、基材フィルムと粘着剤層とからなる粘着フィルムのプリカット加工（二次プリカット加工）を行う際に、例えば、プリカット刃が作動しなかったりするといった生産性の低下を招いたり、接着剤層の有無や形状検査ができないという検査精度の低下を招いたりするという問題が発生していた。
【０００９】
そこで、本発明は、以上のような問題点を解決するためになされたもので、接着剤層が薄い（１０μｍ以下の、特に５μｍ以下の）場合であっても、センサ認識性が良好であり、生産性や検査精度が良好であるウエハ加工用テープ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、上記の課題に対して鋭意検討した結果、離型フィルム、接着剤層及び粘着フィルムがこの順に積層されたウエハ加工用テープにおいて、プリカットされた接着剤層の位置を特定可能な識別部を、ウエハ加工用テープの表面（接着剤層に接する面とは反対の粘着フィルムの面）上、接着剤層と粘着フィルムとの間、接着剤層と離型フィルムとの間、粘着フィルムと離型フィルムとの間、ウエハ加工用テープの裏面（接着剤層に接する面とは反対の離型フィルムの面）上の内の少なくとも１つに設けることによって、接着剤層が薄い（１０μｍ以下の、特に５μｍ以下の）場合であっても、センサ認識性、生産性や検査精度が良好であることを見出し、本発明を完成した。
【００１１】
即ち、本発明の第１の態様に係るウエハ加工用テープは、長尺の離型フィルムと、前記離型フィルム上に設けられた所定の平面形状を有する複数個の接着剤層と、前記接着剤層をそれぞれ覆い、かつ、当該接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた複数個のラベル部を有する粘着フィルムと、を備えるウエハ加工用テープであって、識別部が、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と略同じ間隔となるように、前記接着剤層に接する面とは反対の前記粘着フィルムの面上、前記粘着フィルムと前記接着剤層との間、前記粘着フィルムと前記離型フィルムとの間、前記接着剤層と前記離型フィルムとの間、または、前記接着剤層に接する面とは反対の前記離型フィルムの面上の内の少なくとも１つに設けられていることを特徴とする。
【００１２】
本発明の第２の態様に係るウエハ加工用テープは、本発明の第１の態様に係るウエハ加工用テープにおいて、前記識別部は、前記接着剤層の外周に合わせた環状であることを特徴とする。
【００１３】
本発明の第３の態様に係るウエハ加工用テープは、本発明の第１または第２の態様に係るウエハ加工用テープにおいて、前記識別部は、印刷形成されてなるものであることを特徴とする。
【００１４】
本発明の第４の態様に係るウエハ加工用テープは、本発明の第１乃至第３のいずれか１つの態様に係るウエハ加工用テープにおいて、前記粘着フィルムは、前記離型フィルム上に前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部を備えていることを特徴とする。
【００１５】
本発明の第１の態様に係るウエハ加工用テープの製造方法は、（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の前に、（ｃ）前記接着剤層に接する面とは反対の前記粘着フィルムの面上に、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と略同じ間隔となるように識別部を形成する工程を備え、前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とする。
【００１６】
本発明の第２の態様に係るウエハ加工用テープの製造方法は、（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の直前に、（ｄ）前記接着フィルムに接する前記粘着フィルムの面上に、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と略同じ間隔となるように識別部を形成する工程を備え前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とする。
【００１７】
本発明の第３の態様に係るウエハ加工用テープの製造方法は、（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の前に実行される、前記離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の前記接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された前記接着フィルムを作製する工程において、（ｅ）前記接着剤層に接する面とは反対の前記離型フィルムの面上に、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と略同じ間隔となるように識別部を形成する工程を備え、前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とする。
【００１８】
本発明の第４の態様に係るウエハ加工用テープの製造方法は、本発明の第１乃至第３のいずれか１つの態様に係るウエハ加工用テープの製造方法において、前記識別部が、前記接着剤層の外周に合わせた環状であることを特徴とする。
【００１９】
本発明の第５の態様に係るウエハ加工用テープの製造方法は、（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の前に実行される、前記離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の前記接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された前記接着フィルムを作製する工程において、（ｆ）所定の平面形状の前記接着剤層を形成するときに、前記接着剤層の外周に合わせた環状の識別部を、前記接着剤層の外周部に形成する工程を備え前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とする。
【００２０】
本発明の第６の態様に係るウエハ加工用テープの製造方法は、本発明の第１乃至第５のいずれか１つの態様に係るウエハ加工用テープの製造方法において、前記識別部が、印刷形成されてなるものであることを特徴とする。
【００２１】
本発明の第７の態様に係るウエハ加工用テープの製造方法は、本発明の第１乃至第６のいずれか１つの態様に係るウエハ加工用テープの製造方法において、前記工程（ｂ）の替わりに、（ｇ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる前記積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成するとともに、前記切り込みの外側に別の切り込みを形成する工程を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のウエハ加工用テープによれば、接着剤層が薄い（１０μｍ以下の、特に５μｍ以下の）場合であっても、センサ認識性を良好にすることができる。したがって、半導体装置の製造工程において、本発明のウエハ加工用テープを使用することにより、接着剤層が薄い（１０μｍ以下の、特に５μｍ以下の）場合であっても、半導体装置の生産性の低下や検査精度の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープ１０の概観斜視図であり、（ｂ）は、同平面図であり、（ｃ）は、同断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープの変形例であるウエハ加工用テープ１０ａの概観図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープの変形例であるウエハ加工用テープ１０ｂの概観図である。
【図４】（ａ）乃至（ｃ）は、本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープの変形例であるウエハ加工用テープ１０ｃ乃至１０ｅの平面図である。
【図５】（ａ）乃至（ｃ）は、本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープの変形例であるウエハ加工用テープ１０ｆ乃至１０ｈの平面図である。
【図６】（ａ）乃至（ｄ）は、本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープの変形例であるウエハ加工用テープ１０ｉ乃至１０ｌの断面図である。
【図７】（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープの変形例であるウエハ加工用テープ３０の概観斜視図であり、（ｂ）は、同平面図であり、（ｃ）は、同断面図である。
【図８】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープの変形例であるウエハ加工用テープ３０ａ及び３０ｂの平面図である。
【図９】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープの変形例であるウエハ加工用テープ３０ｃ及び３０ｄの断面図である。
【図１０】（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係るウエハ加工用テープ４０の平面図であり、（ｂ）は、同断面図である。
【図１１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第２の実施形態に係るウエハ加工用テープの変形例であるウエハ加工用テープ４０ａ及び４０ｂの断面図である。
【図１２】（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係るウエハ加工用テープの変形例であるウエハ加工用テープ４０ｃの平面図であり、（ｂ）は、同断面図である。
【図１３】図１のウエハ加工用テープ１０の製造方法を説明するための図である。
【図１４】図１のウエハ加工用テープ１０の製造方法を説明するための図１３に続く図である。
【図１５】図６（ａ）のウエハ加工用テープ１０ｉの製造方法を説明するための図である。
【図１６】図６（ａ）のウエハ加工用テープ１０ｉの製造方法を説明するための図１５に続く図である。
【図１７】図６（ｂ）のウエハ加工用テープ１０ｊの製造方法を説明するための図である。
【図１８】図６（ｂ）のウエハ加工用テープ１０ｊの製造方法を説明するための図１７に続く図である。
【図１９】図１０のウエハ加工用テープ４０の製造方法を説明するための図である。
【図２０】図１０のウエハ加工用テープ４０の製造方法を説明するための図１９に続く図である。
【図２１】図１１のウエハ加工用テープ４０ａの製造方法を説明するための図である。
【図２２】図１１のウエハ加工用テープ４０ａの製造方法を説明するための図２１に続く図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープ１０の概観斜視図であり、図１（ｂ）は同平面図、図１（ｃ）は同断面図である。
【００２５】
図１（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）に示すように、ウエハ加工用テープ１０は、長尺の離型フィルム１１と、接着剤層１２（２２）と、粘着フィルム１３（２３ａ、２３ｂ）と、識別部１４とを備えている。また、ウエハ加工用テープ１０は、接着剤層１２（２２）と粘着フィルム１３（２３ａ）とからなるダイシングダイボンディングフィルム２０を構成している。尚、本明細書においては、ウエハ加工用テープ１０の長手方向をＸ方向とし、短手方向をＹ方向として説明する。
【００２６】
接着剤層１２は、離型フィルム１１上に設けられ、半導体ウエハの形状に対応したラベル形状を有している。ここでは、ラベル形状の例として円形形状を挙げて説明するが、ラベル形状は円形形状に限るものではない。以降、このラベル形状の接着剤層１２をラベル形状接着部２２と呼ぶ。
【００２７】
粘着フィルム１３は、ラベル部２３ａと周辺部２３ｂとから構成される。ラベル部２３ａは、ラベル形状接着部２２を覆い、且つ、ラベル形状接着部２２の周囲で離型フィルム１１に接触するように設けられている。このラベル部２３ａは、ダイシング用リングフレームに対応する略円形形状を有する。周辺部２３ｂは、このラベル部２３ａの外側を完全に囲み、ラベル部２３ａの外周を囲む露出した離型フィルム１１がそれぞれ不連続となるように設けられている。
【００２８】
尚、図１に示したウエハ加工用テープ１０は、周辺部２３ｂが、ラベル部２３ａの外側を完全に囲み、ラベル部２３ａの外周を囲む露出した離型フィルム１１がそれぞれ不連続となるように設けられているが、図２に示すように、周辺部２３ｂが、ラベル部２３ａの外側を完全に囲まず、ラベル部２３ａと周辺部２３ｂとの間の露出した離型フィルム１１が連続するように設けられたウエハ加工用テープ１０ａであっても良い。また、図３に示すように、周辺部２３ｂが存在せず、粘着フィルム１３がラベル部２３ａのみで構成されたウエハ加工用テープ１０ｂであっても良い。
【００２９】
識別部１４は、隣接する２つのラベル形状接着部２２のＸ方向の間隔（ラベルピッチ）Ｌで、ラベル形状接着部２２に接する面とは反対のラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上に設けられた略矩形形状である。即ち、隣接する２つのラベル部２３ａの面２４ａ上に設けられた識別部１４のＸ方向の間隔（例えば、図１（ａ）に示すように、隣接する識別部１４の右側の長辺同士の間隔）は、ラベルピッチＬである。また、識別部１４は、矩形形状の長辺の延長線がラベル形状接着部２２の略中心位置を通り、かつ、矩形形状の長辺とＹ方向とが略平行となるように設けられている。また、この識別部１４は、スタンプ方式、インクジェット方式、レーザマーキング方式等によって印刷形成されてなるものである。また、識別部１４は、油性マジックによる品種識別用ライン引き等によって形成されても良い。また、矩形形状は、矩形形状の短辺の長さがより短い、線に近い形状が好ましい。
【００３０】
尚、図１（ａ）及び（ｂ）に示したようにウエハ加工用テープ１０は、識別部１４が、ラベル形状接着部２２に接する面とは反対のラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上において、矩形形状の長辺の延長線がラベル形状接着部２２の略中心位置を通り、かつ、矩形形状の長辺とＹ方向とが略平行となるように設けられているが、図４（ａ）に示すように、識別部１４が、ラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上において、矩形形状の長辺がラベル形状接着部２２の外周平面位置に概ね接する位置を通り、かつ、矩形形状の長辺とＹ方向とが略平行となるように設けられたウエハ加工用テープ１０ｃであっても良い。ここで、ラベル形状接着部２２の外周平面位置とは、ウエハ加工用テープ１０ｃの平面上部より見たときの、ラベル形状接着部２２の外周のラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上の位置のことである。
【００３１】
また、図４（ｂ）に示すように、識別部１４が、周辺部２３ｂ（粘着フィルム１３）の面２４ｂ上において、矩形形状の長辺の延長線がラベル形状接着部２２の略中心位置を通り、かつ、矩形形状の長辺とＹ方向とが略平行となるように設けられたウエハ加工用テープ１０ｄであっても良い。また、図４（ｃ）に示すように、識別部１４が、周辺部２３ｂ（粘着フィルム１３）の面２４ｂ上において、矩形形状の長辺の延長線がラベル形状接着部２２の外周平面位置に概ね接する位置を通り、かつ、矩形形状の長辺とＹ方向とが略平行となるように設けられたウエハ加工用テープ１０ｅであっても良い。
【００３２】
また、図５（ａ）に示すように、識別部１４が、ラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上において、矩形形状の長辺の延長線がラベル形状接着部２２の略中心位置を通り、かつ、矩形形状の長辺とＸ方向とが略平行となるように設けられているウエハ加工用テープ１０ｆであっても良い。また、図５（ｂ）に示すように、識別部１４が、ラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上において、矩形形状の長辺がラベル形状接着部２２の外周平面位置に概ね接する位置を通り、かつ、矩形形状の長辺とＸ方向とが略平行となるように設けられたウエハ加工用テープ１０ｇであっても良い。また、図５（ｃ）に示すように、識別部１４が、周辺部２３ｂ（粘着フィルム１３）の面２４ｂ上において、矩形形状の長辺とＸ方向とが略平行となるように設けられ、かつ、矩形形状の長辺の略中心位置とラベル形状接着部２２の略中心位置とを結んだ直線がＹ方向に対して略平行となるウエハ加工用テープ１０ｈであっても良い。
【００３３】
また、図１（ｃ）に示したようにウエハ加工用テープ１０は、識別部１４が、ラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上に設けられていたが、図６（ａ）に示すように、識別部１４が、ラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）とラベル形状接着部２２（接着剤層１２）との間に設けられたウエハ加工用テープ１０ｉであっても良い。また、図６（ｂ）に示すように、識別部１４が、ラベル形状接着部２２（接着剤層１２）に接する面とは反対の離型フィルム１１の面１１ｂ上に設けられたウエハ加工用テープ１０ｊであっても良い。また、図６（ｃ）に示すように、識別部１４が、ラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）と離型フィルム１１との間に設けられたウエハ加工用テープ１０ｋであっても良い。また、図６（ｄ）に示すように、識別部１４が、周辺部２３ｂ（粘着フィルム１３）と離型フィルム１１との間に設けられたウエハ加工用テープ１０ｌであっても良い。
【００３４】
尚、識別部１４は、上述の例に限らず、ウエハ加工用テープ１０において、プリカット加工の作業時に使用されるセンサや作業者が、識別部１４を認識して、ラベル形状接着部２２との位置合わせができる位置に設けられていれば良い。
【００３５】
また、図１（ａ）及び（ｂ）に示したようにウエハ加工用テープ１０は、識別部１４が略矩形形状であるが、プリカット加工の作業時に使用されるセンサや作業者が、識別部１４を認識して、ラベル形状接着部２２と位置合わせをして二次プリカット作業が行えるような形状（例えば、印刷形成される場合であれば、文字や図形等）であれば良い。また、その形状はより小さい方が望ましい。
【００３６】
以下、上述した本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープ１０の各構成要素について詳細に説明する。尚、上述したウエハ加工用テープ１０ａ乃至１０ｌについても、ウエハ加工用テープ１０と同様である。
【００３７】
（識別部）
識別部１４は、プリカット加工の作業時に使用されるセンサや作業者により、識別部１４が認識され、ラベル形状接着部２２との位置合わせができる位置に設けられていれば良く、また、センサや作業者により、識別部１４が認識され、ラベル形状接着部２２と位置合わせをして二次プリカット作業が行えるような形状（例えば、印刷形成される場合であれば、文字や図形等）であれば良い。例えば、図１に示したような略矩形形状である。また、その形状はより小さい方が望ましい。また、この識別部１４は、印刷形成されてなるものであることが望ましい。また、その形成方法は、スタンプ方式であっても、インクジェット方式であっても、レーザマーキング方式等であっても、識別部１４を形成し得る印刷方式であればよい。また、油性マジックによる品種識別用ライン引きによって形成されても良い。
【００３８】
（離型フィルム）
離型フィルム１１は、接着剤層１２の取り扱い性を良くする目的で用いられる。
【００３９】
離型フィルム１１としては、たとえば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ピニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン・酢酸ビニル共重合体フィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム、フッ素樹脂フィルム等が用いられる。またこれらの架橋フィルムも用いられる。さらにこれらの積層フィルムであってもよい。
【００４０】
離型フィルム１１の表面張力は、４０ｍＮ／ｍ以下であることが好ましく、３５ｍＮ／ｍ以下であることがより好ましい。このような表面張力の低い離型フィルム１１は、材質を適宜に選択して得ることが可能であり、またフィルムの表面にシリコーン樹脂等を塗布して離型処理を施すことで得ることもできる。
離型フィルム１１の膜厚は、通常は５〜３００μｍ、好ましくは１０〜２００μｍ、特に好ましくは２０〜１５０μｍ程度である。
【００４１】
（接着剤層）
接着剤層１２は、半導体ウエハ等が貼合されダイシングされた後、半導体チップをピックアップする際に、半導体チップ裏面に付着しており、チップを基板やリードフレームに固定する際の接着剤として使用されるものである。
【００４２】
接着剤層１２としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエステルイミド樹脂、フェノキシ樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、塩素化ポリプロピレン樹脂、アクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリアクリルアミド樹脂、メラミン樹脂等やその混合物を使用することができる。
【００４３】
ポリマーとして、エポキシ基含有アクリル共重合体を使用することが好ましい。このエポキシ基含有アクリル共重合体は、エポキシ基を有するグリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレートを０．５〜６質量％含む。半導体ウエハとの高い接着力を得るためには、０．５質量％以上が好ましく、６質量％以下であればゲル化を抑制できる。上記エポキシ基含有アクリル共重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）としては、−１０℃以上３０℃以下であることが好ましい。
【００４４】
官能基モノマーとして用いるグリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレートの量は０．５〜６質量％の共重合体比であるが、その残部はメチルアクリレート、メチルメタクリレートなどの炭素数１〜８のアルキル基を有するアルキルアクリレート、アルキルメタクリレート、およびスチレンやアクリロニトリルなどの混合物を用いることができる。これらの中でもエチル（メタ）アクリレート及び／又はブチル（メタ）アクリレートが特に好ましい。混合比率は、共重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）を考慮して調整することが好ましい。重合方法は特に制限が無く、例えば、パール重合、溶液重合等が挙げられ、これらの方法により共重合体が得られる。このようなエポキシ基含有アクリル共重合体としては、例えば、ＨＴＲ−８６０Ｐ−３（ナガセケムテックス株式会社製、商品名）が挙げられる。
【００４５】
アクリル系共重合体の重量平均分子量は、５万以上、特に２０万〜１００万の範囲にあるのが好ましい。分子量が低すぎるとフィルム形成が不十分となり、高すぎると他の成分との相溶性が悪くなり、結果としてフィルム形成が妨げられる。
【００４６】
熱硬化性成分としてエポキシ樹脂を用いる場合には、硬化剤として、たとえば、フェノール系樹脂を使用できる。フェノール系樹脂としては、アルキルフェノール、多価フェノール、ナフトール等のフェノール類とアルデヒド類との縮合物等が特に制限されることなく用いられる。これらのフェノール系樹脂に含まれるフェノール性水酸基は、エポキシ樹脂のエポキシ基と加熱により容易に付加反応して、耐衝撃性の高い硬化物を形成できる。
【００４７】
フェノール系樹脂には、フェノールノボラック樹脂、ｏ−クレゾールノボラック樹脂、ｐ−クレゾールノボラック樹脂、ｔ−ブチルフェノールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエンクレゾール樹脂、ポリパラビニルフェノール樹脂、ビスフェノールＡ型ノボラック樹脂、あるいはこれらの変性物等が好ましく用いられる。
【００４８】
その他、硬化剤として、熱活性型潜在性エポキシ樹脂硬化剤を使用することもできる。この硬化剤は、室温ではエポキシ樹脂と反応せず、ある温度以上の加熱により活性化し、エポキシ樹脂と反応するタイプの硬化剤である。
【００４９】
活性化方法としては、加熱による化学反応で活性種（アニオン、カチオン）を生成する方法、室温付近ではエポキシ樹脂中に安定に分散しており高温でエポキシ樹脂と相溶・溶解し、硬化反応を開始する方法、モレキュラーシーブ封入タイプの硬化剤により高温で溶出して硬化反応を開始する方法、マイクロカプセルによる方法等が存在する。
【００５０】
熱活性型潜在性エポキシ樹脂硬化剤としては、各種のオニウム塩や、二塩基酸ジヒドラジド化合物、ジシアンジアミド、アミンアダクト硬化剤、イミダゾール化合物等の高融点活性水素化合物等を挙げることができる。
【００５１】
熱硬化性成分としてエポキシ樹脂を用いる場合には、助剤として硬化促進剤等を使用することもできる。本発明に用いることができる硬化促進剤としては特に制限が無く、例えば、第三級アミン、イミダゾール類、第四級アンモニウム塩などを用いることができる。本発明において好ましく使用されるイミダゾール類としては、例えば、２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾリウムトリメリテート等が挙げられ、これらは１種又は２種以上を併用することもできる。イミダゾール類は、例えば、四国化成工業（株）から、２Ｅ４ＭＺ，２ＰＺ−ＣＮ，２ＰＺ−ＣＮＳという商品名で市販されている。
【００５２】
また、フィラーを配合してもよい。フィラーとしては、結晶シリカ、合成シリカ等のシリカや、アルミナ、ガラスバルーン等の無機フィラーがあげられる。硬化性保護膜形成層２に無機フィラーを添加することにより、硬化後の保護膜の硬度を向上させることができる。また、硬化後の保護膜の熱膨張係数をウエハの熱膨張係数に近づけることができ、これによって加工途中の半導体ウエハの反りを低減することができる。フィラーとしては合成シリカが好ましく、特に半導体装置の誤作動の要因となるα線の線源を極力除去したタイプの合成シリカが最適である。フィラーの形状としては、球形、針状、無定型タイプのものいずれも使用可能であるが、特に最密充填の可能な球形のフィラーが好ましい。
【００５３】
さらに、異種材料間の界面結合をよくするために、カップリング剤を配合することもできる。カップリング剤としてはシランカップリング剤が好ましい。シランカップリング剤としては、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。カップリング剤の配合量は、添加による効果や耐熱性およびコストから、分散相と連続相のそれぞれを形成する組成物の合計１００重量部に対し０．１〜１０重量部を添加するのが好ましい。
【００５４】
また、ワニス化の溶剤は、比較的低沸点の、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、２−エトキシエタノール、トルエン、ブチルセロソルブ、メタノール、エタノール、２−メトキシエタノールなどを用いるのが好ましい。また、塗膜性を向上するなどの目的で、高沸点溶剤を加えても良い。高沸点溶剤としては、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、メチルピロリドン、シクロヘキサノン等が挙げられる。
接着剤層１２の厚さは適宜設定してよいが、３〜１００μｍ程度が好ましい。
【００５５】
接着剤層１２の破断強度を高めるには、ポリマーを多くし、フィラーを少なくし、エポキシ樹脂（固形）を少なくすることが有効である。また、接着剤層１２の離型フィルム１１からの剥離力を下げるには、ポリマーを少なくし、エポキシ樹脂（液状）を少なくすることが有効である。
【００５６】
（粘着フィルム）
粘着フィルム１３としては、特に制限はなく、半導体ウエハをダイシングする際には半導体ウエハが剥離しないように十分な粘着力を有し、ダイシング後にチップをピックアップする際には容易に接着剤層１２から剥離できるよう低い粘着力を示すものであればよい。例えば、基材フィルムに粘着剤層を設けたものを好適に使用できる。
【００５７】
粘着フィルム１３の基材フィルムとしては、従来公知のものであれば特に制限することなく使用することができるが、後述の粘着剤層として放射線硬化性の材料を使用する場合には、放射線透過性を有するものを使用することが好ましい。
【００５８】
例えば、その材料として、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、ポリブテン−１、ポリ−４−メチルペンテン−１、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸メチル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、アイオノマーなどのα−オレフィンの単独重合体または共重合体あるいはこれらの混合物、ポリウレタン、スチレン−エチレン−ブテンもしくはペンテン系共重合体、ポリアミド−ポリオール共重合体等の熱可塑性エラストマー、およびこれらの混合物を列挙することができる。また、基材フィルムはこれらの群から選ばれる２種以上の材料が混合されたものでもよく、これらが単層又は複層化されたものでもよい。
基材フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、適宜に設定してよいが、５０〜２００μｍが好ましい。
【００５９】
粘着フィルム１３の粘着剤層に使用される樹脂としては、特に限定されるものではなく、粘着剤に使用される公知の塩素化ポリプロピレン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂等を使用することができる。
粘着剤層の樹脂には、アクリル系粘着剤、放射線重合性化合物、光重合開始剤、硬化剤等を適宜配合して粘着剤を調製することが好ましい。粘着剤層の厚さは特に限定されるものではなく適宜に設定してよいが、５〜３０μｍが好ましい。
【００６０】
放射線重合性化合物を粘着剤層に配合して放射線硬化により接着剤層１２から剥離しやすくすることができる。その放射線重合性化合物は、例えば光照射によって三次元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分子量化合物が用いられる。
具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレートや、オリゴエステルアクリレート等が適用可能である。
【００６１】
また、上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレタンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型またはポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソシアナート化合物（例えば、２，４−トリレンジイソシアナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−キシリレンジイソシアナート、１，４−キシリレンジイソシアナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナートなど）を反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレートあるいはメタクリレート（例えば、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなど）を反応させて得られる。
粘着剤層には、上記の樹脂から選ばれる２種以上が混合されたものでもよい。
【００６２】
光重合開始剤を使用する場合、例えばイソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等を使用することができる。これら光重合開始剤の配合量はアクリル系共重合体１００質量部に対して０．０１〜５質量部が好ましい。
【００６３】
上述した本発明の一実施形態に係るウエハ加工用テープ１０は、接着剤層１２が薄い（１０μｍ以下の、特に５μｍ以下の）場合であっても、識別部１４を備えることにより、識別部１４をセンサで認識し、接着剤層１２の位置を、即ち、ラベル形状接着部２２の位置を認識することができる。即ち、上述した本発明の一実施形態に係るウエハ加工用テープ１０は、接着剤層１２が薄い（１０μｍ以下の、特に５μｍ以下の）場合であっても、センサ認識性を良好にすることができる。したがって、半導体装置の製造工程において、本発明の一実施形態に係るウエハ加工用テープ１０を使用することにより接着剤層１２が薄い（１０μｍ以下の、特に５μｍ以下の）場合であっても、粘着フィルム１３のプリカット加工を行う際に、例えば、プリカット刃が作動しなかったりするといった生産性の低下や、接着剤層の有無や形状検査ができないという検査精度の低下を防止することができる。
【００６４】
次に、本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープ１０の変形例であるウエハ加工用テープ３０について、図７乃至図９を参照して説明する。
【００６５】
図７（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープ１０の変形例であるウエハ加工用テープ３０の概観斜視図であり、図７（ｂ）は同平面図であり、図７（ｃ）は同断面図である。
図７（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）に示すように、ウエハ加工用テープ３０は、長尺の離型フィルム１１と、接着剤層１２（２２）と、粘着フィルム１３（２３ａ、２３ｂ）と、識別部３４（３４ａ、３４ｂ、３４ｃ）とを備えている。また、ウエハ加工用テープ３０は、接着剤層１２（２２）と粘着フィルム１３（２３ａ）とからなるダイシングダイボンディングフィルム２０を構成している。
【００６６】
ウエハ加工用テープ３０と上述したウエハ加工用テープ１０との相違点は、識別部３４が、隣接する２つのラベル形状接着部２２のラベルピッチＬで、粘着フィルム１３側のウエハ加工用テープ３０の表面上において、矩形形状の長辺がラベル形状接着部２２の略中心位置を通り、かつ、矩形形状の長辺とＹ方向とが略平行となり、かつ、矩形形状の長辺の長さとウエハ加工用テープ１０のＹ方向の幅とが略同じとなるように設けられた略矩形形状である。
【００６７】
尚、図７では、識別部３４は、ラベル部２３ａの面２４ａ上に設けられた識別部３４ｂと周辺部２３ｂの面２４ａ上に設けられた識別部３４ａ及び識別部３４ｃからなる、露出した離型フィルム１１の面１１ａ上には形成されていない不連続な略矩形形状である。そして、隣接する２つ識別部３４のＸ方向の間隔（即ち、識別部３４ａ同士のＸ方向の間隔、識別部３４ｂ同士のＸ方向の間隔、及び識別部３４ｂ同士のＸ方向の間隔）は、隣接する２つのラベル形状接着部２２のラベルピッチＬである。
尚、ウエハ加工用テープ１０のＹ方向の端部に最も近い識別部３４ａの短辺３５ａと識別部３４ｃの短辺３５ｂを、識別部３４の矩形形状の短辺とし、短辺３５ａと短辺３５ｂの向かい合う両端同士を結んだ直線を、識別部３４の矩形形状の長辺とする。従って、矩形形状の長辺の長さとは、短辺３５ａと短辺３５ｂとの間の距離である。
【００６８】
また、図７（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）に示したようにウエハ加工用テープ３０は、ラベル部２３ａの面２４ａ上に設けられた識別部３４ｂと周辺部２３ｂの面２４ａ上に設けられた識別部３４ａ及び識別部３４ｃからなる不連続な矩形形状の識別部３４が、粘着フィルム１３側のウエハ加工用テープ３０の表面上において、矩形形状の長辺がラベル形状接着部２２の略中心位置を通り、かつ、矩形形状の長辺とＹ方向とが略平行となり、かつ、矩形形状の長辺の長さとウエハ加工用テープ１０のＹ方向の幅とが略同じとなるように設けられているが、図８（ａ）に示すように、ラベル部２３ａの面２４ａ上に設けられた識別部３４ｂと周辺部２３ｂの面２４ａ上に設けられた識別部３４ａ及び識別部３４ｃからなる不連続な矩形形状の識別部３４が、粘着フィルム１３側のウエハ加工用テープ３０ａの表面上において、矩形形状の長辺がラベル形状接着部２２の外周平面位置に概ね接する位置を通り、かつ、矩形形状の長辺とＹ方向とが略平行となり、かつ、矩形形状の長辺の長さとウエハ加工用テープ１０のＹ方向の幅とが略同じとなるように設けられたウエハ加工用テープ３０ａであっても良い。
【００６９】
また、図８（ｂ）に示すように、周辺部２３ｂの面２４ａ上に設けられた矩形形状の識別部３４が、粘着フィルム１３側のウエハ加工用テープ３０ｂの表面上（即ち、周辺部２３ｂの面２４ａ上）において、矩形形状の長辺が周辺部２３ｂの外周に概ね接する位置を通り、かつ、矩形形状の長辺とＹ方向とが略平行となり、かつ、矩形形状の長辺の長さとウエハ加工用テープ１０のＹ方向の幅とが略同じとなるように設けられたウエハ加工用テープ３０ｂであっても良い。
【００７０】
即ち、識別部３４は、上述した例に限らず、ウエハ加工用テープ３０において、プリカット加工の作業時に使用されるセンサや作業者が、識別部３４を認識して、ラベル形状接着部２２との位置合わせができる位置に設けられていれば良い。また、矩形形状は、矩形形状の短辺の長さがより短い、線に近い形状が好ましい。
【００７１】
また、図７（ｃ）に示したようにウエハ加工用テープ３０は、識別部３４が、粘着フィルム１３側のウエハ加工用テープ３０の表面上に設けられていたが、図９（ａ）に示すように、識別部３４が、ラベル部２３ａ及び周辺部２３ｂ（粘着フィルム１３）とラベル形状接着部２２（接着剤層１２）及び離型フィルム１１との間に挟まれるように設けられたウエハ加工用テープ３０ｃであっても良い。また、図９（ｂ）に示すように、識別部３４が、ラベル形状接着部２２（接着剤層１２）に接する面とは反対の離型フィルム１１の面１１ｂ上に設けられたウエハ加工用テープ３０ｄであっても良い。
【００７２】
以上のことから、上述したウエハ加工用テープ３０，３０ａ乃至３０ｄは、上述した本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープ１０と同様の効果が得られる。
【００７３】
次に、本発明の第２の実施形態に係るウエハ加工用テープ４０について、図１０乃至図１２を参照して説明する。
図１０（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係るウエハ加工用テープ４０の平面図であり、図１０（ｂ）は同断面図である。
図１０（ａ）及び（ｂ）に示すように、ウエハ加工用テープ４０は、長尺の離型フィルム１１と、接着剤層１２（２２）と、粘着フィルム１３（２３ａ、２３ｂ）と、識別部４４とを備えている。また、ウエハ加工用テープ４０は、接着剤層１２（２２）と粘着フィルム１３（２３ａ）とからなるダイシングダイボンディングフィルム２０を構成している。
【００７４】
本発明の第２の実施形態に係るウエハ加工用テープ４０と上述した本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープ１０との相違点は、識別部４４が、ラベル形状接着部２２の外周に合わせて、ラベル形状接着部２２に接する面とは反対のラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上に設けられた環状の形状で、例えば、円形リング形状である。尚、識別部４４は、プリカット加工の作業時に使用されるセンサや作業者により、ラベル形状接着部２２の外周部分を認識できる環状の形状であればよい。また、その形状は円形リングの線がより細い方が望ましい。
【００７５】
また、図１０（ｂ）に示したようにウエハ加工用テープ４０は、識別部４４が、ラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上に設けられていたが、図１１（ａ）に示すように、ラベル形状接着部２２の外周部に設けられたウエハ加工用テープ４０ａであっても良い。ここで、ラベル形状接着部２２の外周部とは、ラベル部２３ａに接するラベル形状接着部２２の面２２ａ上、ラベル形状接着部２２の側面２２ｂ、または、ラベル形状接着部２２に接する離型フィルム１１の表面１１ａ上の内の少なくとも１つのラベル形状接着部２２の外周近傍のことである。このような識別部４４は、例えば、接着剤層１２をラベル形状にプリカットしてラベル形状接着部２２を形成するときに、プリカット用の刃や金型にあらかじめ付着されたインクによりプリカット作業と同時に形成されるものである。
【００７６】
また、図１０（ｂ）に示したように、識別部４４が、ラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上に設けられていたが、図１１（ｂ）に示すように、離型フィルム１１のラベル形状接着部２２に接する面１１ａとは反対の面１１ｂ上に設けられたウエハ加工用テープ４０ｂであっても良い。
【００７７】
また、図１０（ａ）及び（ｂ）に示したようにウエハ加工用テープ４０は、識別部４４が、ラベル形状接着部２２の外周やプリカット形状に対応した形状（円形リング形状）であったが、図１２（ａ）及び（ｂ）に示すように、識別部４４が、ラベル部２３ａの外周に合わせて、ラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上に設けられた環状の形状であるウエハ加工用テープ４０ｃであっても良い。即ち、識別部４４は、ラベル部２３ａの外周やプリカット形状に対応した形状であっても良い。
【００７８】
以上のことから、上述した本発明の第２の実施形態に係るウエハ加工用テープ４０、４０ａ乃至４０ｃは、上述した本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープ１０と同様の効果が得られる。
【００７９】
次に、図１（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）に示した本発明の第１の実施形態に係るウエハ加工用テープ１０を製造するための本発明の一実施形態に係るウエハ加工用テープの製造方法について説明する。尚、以下、識別部１４が印刷形成されてなるもの場合を例に挙げて説明する。
図１３及び図１４は、本発明のウエハ加工用テープ１０を製造するための本発明の一実施形態に係るウエハ加工用テープの製造方法を説明するための図である。
【００８０】
図１３に示すように、まず、印刷機構（図示せず）を用いて、以降のステップ２乃至４によって形成されるラベル形状接着部２２のＸ方向の間隔（ラベルピッチ）Ｌ（図１（ａ）を参照）で、粘着フィルム１３の面１３ａ上に、識別部１４を印刷形成する（ステップ１：Ｓ１）。ここでは、機械的に、ラベルピッチＬで、識別部１４として粘着フィルム１３の面１３ａ上に、矩形形状の長辺とＹ方向とが略平行となるように略矩形形状を印刷する。例えば、印刷機構は、形成されるラベル形状接着部２２同士の間隔に合わせた外径を有するゴム印が設けられたドラムとスタンプ台によって構成されており、これにより、識別部１４をラベルピッチＬで粘着フィルム１３の面１３ａ上に印刷形成することができる。また、このステップ１は、所望の幅のウエハ加工用テープ１０にするための幅落としや検査を実施するスリット工程と一緒に、あるいは、印刷工程を新たに設けて実行される。
【００８１】
次に、長尺の離型フィルム１１上の全面に接着剤層１２を積層して第１積層体（接着フィルム）２５を形成する（ステップ２：Ｓ２）。次に、プリカット刃（図示せず）を用いて、長尺の離型フィルム１１上に接着剤層１２が積層された第１積層体２５に、接着剤層１２の表面１２ａから離型フィルム１１に達するまでの環状の切り込み（以下、第１切り込みと呼ぶ）２６を入れる（ステップ３：Ｓ３）。ここで、プリカット刃の替わりに金型を用いて、第１切り込み２６を形成するように打ち抜き加工を施しても良い。
【００８２】
次に、第１切り込み２６の外側の不要な接着剤層１２を離型フィルム１１から剥離して除去し、ラベル形状の接着剤層１２であるラベル形状接着部２２のみを離型フィルム１１上に残した状態にする（ステップ４：Ｓ４）。ここでは、ステップ１を、ステップ２乃至４の前に実行しているが、ステップ２乃至４の後に実行しても、ステップ２乃至４と同時に実行しても良い。
【００８３】
次に、ラベル形状接着部２２及び露出している離型フィルム１１の全面を覆うように、粘着フィルム１３を積層した第２積層体２７を形成する（ステップ５：Ｓ５）。このとき、図１（ａ）及び（ｂ）に示したように、ラベル形状接着部２２と識別部１４とは、識別部１４の矩形形状の長辺の延長線がラベル形状接着部２２の略中心を通るように目視にて位置合わせし、かつ、ラベル形状接着部２２と粘着フィルム１３の粘着剤層とが重なり合うようにして、加熱して貼り合わせる。尚、隣接する２つのラベル形状接着部２２の間隔と、隣接する２つの識別部１４の間隔は同じラベルピッチＬであるので、所望の１つの（最初の）ラベル形状接着部２２と所望の１つの（最初の）識別部１４との位置合わせを行えばよく、すべての識別部１４の位置合わせを行う必要はない。
【００８４】
次に、図１４に示すように、第２積層体２７の離型フィルム１１と粘着フィルム１３とからなる積層部２７ａに、プリカット刃（図示せず）を用いて、粘着フィルム１３の表面１３ａから離型フィルム１１に達するまでの、ラベル形状接着部２２を囲む環状の切り込み（以下、第２切り込みと呼ぶ）２８と、第２切り込み２８の外側に該第２切り込み２８を完全に囲む環状の切り込み（以下、第３切り込みと呼ぶ）２９とを入れる（ステップ６：Ｓ６）。
【００８５】
ここで、第２切り込み２８の形成と第３切り込み２９の形成は、光センサ等により識別部１４を認識させ、この光センサ等による識別部１４の認識によってプリカット刃が回転し、その結果切り込みが形成される。また、プリカット刃は、ラベル形状接着部２２の中心とラベル部２３ａの中心とが一致するようなタイミングで回転するように設定されている。
【００８６】
また、プリカット刃の替わりに金型を用いて、第２切り込み２８及び第３切り込み２９を形成するように打ち抜き加工を施しても良い。また、第２切り込み２８の形成と第３切り込み２９の形成を同時に行っているが、別々に形成しても良い。またそのとき、形成順はどちらが先であっても良い。尚、ウエハ加工用テープ１０ａ（図２参照）に示したような周辺部２３ｂがラベル部２３ａの外側を完全に囲まない形態の場合は、第３切り込み２９を、第２切り込み２８を囲まない切り込みとする。また、ウエハ加工用テープ１０ｂ（図３参照）に示したような周辺部２３ｂのない形態の場合は、第３切り込み２９を入れず、第２切り込み２８のみとする。
【００８７】
最後に、第２切り込み２８と第３切り込み２９の間の不要な粘着フィルム１３を離型フィルム１１から剥離して除去し、粘着フィルム１３からなるラベル部２３ａと周辺部２３ｂを形成する（ステップ７：Ｓ７）。これにより、ラベル形状接着部２２とラベル部２３ａとからなる、即ち、接着剤層１２と粘着フィルム１３とからなるダイシングダイボンディングフィルム２０を有するウエハ加工用テープ１０を形成する。尚、ウエハ加工用テープ１０ｂ（図３参照）に示したような周辺部２３ｂのない形態の場合は、第２切り込み２８の外側の不要な粘着フィルム１３を離型フィルム１１から剥離して除去し、粘着フィルム１３からなるラベル部２３ａのみを形成する。
【００８８】
上述したウエハ加工用テープ１０の製造方法は、ラベル形状接着部２２及び露出している離型フィルム１１の全面を覆うように、粘着フィルム１３を積層した第２積層体２７を形成する工程（ステップ５）の前に、粘着フィルム１３の面１３ａ上に識別部１４を形成する工程（ステップ１）を実行しているが、図１３及び図１４において、ステップ１を実行せずに、ラベル形状接着部２２を形成するための第１切り込み２６を入れる工程（ステップ３）において、第１切り込み２６を入れるタイミングに合わせて、ステップ１に相当する粘着フィルム１３の面１３ａ上に識別部１４を形成する工程を実行するようにしても良い。このとき、例えば、第１切り込み２６を入れるプリカット刃が設けられているドラムに、または、このドラムと同径の別のドラムに、識別部１４を形成するためのゴム印を設け、別に設けたスタンプ台とにより、ラベル形状接着部２２同士の間隔（ラベルピッチＬ）と同じ間隔で識別部１４を粘着フィルム１３の面１３ａ上に印刷形成する。
【００８９】
また、図６（ａ）に示したように、識別部１４が、ラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）とラベル形状接着部２２（接着剤層１２）との間に設けられたウエハ加工用テープ１０ｉの場合は、図１５及び図１６に示すように、粘着フィルム１３の面１３ｂ上に識別部１４を形成する工程（ステップ５ａ：Ｓ５ａ）を、第２積層体２７を形成する工程（ステップ５）の直前に設け、ステップ２、ステップ３、ステップ４、ステップ５ａ、ステップ５、ステップ６、ステップ７の順に、各工程を実行することにより、ウエハ加工用テープ１０ｉを形成する。ここで、ステップ５ａは、ステップ４とステップ５の間に設けられているが、ステップ５の前に実施されていれば良い。
尚、識別部１４は、ステップ２乃至ステップ４によって形成されるラベル形状接着部２２のラベルピッチＬで、粘着フィルム１３の面１３ｂ上に印刷形成される。
【００９０】
また、図６（ｂ）に示したように、識別部１４が、ラベル形状接着部２２（接着剤層１２）に接する面とは反対の離型フィルム１１の面１１ｂ上に設けられたウエハ加工用テープ１０ｊの場合は、図１７及び図１８に示すように、離型フィルム１１の面１１ｂ上に識別部１４を形成する工程（ステップ２ａ：Ｓ２ａ）を、第１積層体（接着フィルム）２５を形成する工程（ステップ２）の前に設け、ステップ２ａ、ステップ２、ステップ３、ステップ４、ステップ５、ステップ６、ステップ７の順に、各工程を実行することにより、ウエハ加工用テープ１０ｊを形成する。ここで、ステップ２ａは、ステップ２の前に実施されているが、ステップ２と同時であっても、ステップ２の後であってよい。
尚、識別部１４は、ステップ２乃至ステップ４によって形成されるラベル形状接着部２２のラベルピッチＬで、離型フィルム１１の面１１ｂ上に印刷形成される。
【００９１】
また、図６（ｃ）に示したように、識別部１４が、ラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）と離型フィルム１１との間に設けられたウエハ加工用テープ１０ｋの場合は、図１５及び図１６に示した作製方法と同様に、粘着フィルム１３の面１３ｂ上に識別部１４を形成する工程を実行してウエハ加工用テープ１０ｋを作製する。
【００９２】
また、図６（ｄ）に示したように、識別部１４が、周辺部２３ｂ（粘着フィルム１３）と離型フィルム１１との間に設けられたウエハ加工用テープ１０ｌの場合も、図１５及び図１６に示した作製方法と同様に、粘着フィルム１３の面１３ｂ上に識別部１４を形成する工程を実行してウエハ加工用テープ１０ｌを作製する。
【００９３】
また、図５（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）に示した本発明の第１の実施形態の変形例に係るウエハ加工用テープ１０ｆ乃至１０ｈを製造する方法も、上記のウエハ加工用テープ１０の製造方法と同様である。また、図７及び図８に示した本発明の第１の実施形態の変形例に係るウエハ加工用テープ３０、３０ａ、３０ｂを製造する方法も、上記のウエハ加工用テープ１０の製造方法と同様である。また、図９（ａ）に示した本発明の第１の実施形態の変形例に係るウエハ加工用テープ３０ｃを製造する方法も、上記のウエハ加工用テープ１０ｉの製造方法と同様である。また、図９（ｂ）に示した本発明の第１の実施形態の変形例に係るウエハ加工用テープ３０ｄを製造する方法も、上記のウエハ加工用テープ１０ｊの製造方法と同様である。
【００９４】
次に、図１０（ａ）及び（ｂ）に示した本発明の第２の実施形態に係るウエハ加工用テープ４０を製造するための本発明の一実施形態に係るウエハ加工用テープの製造方法について説明する。尚、以下、識別部４４が印刷形成されてなるもの場合を例に挙げて説明する。
図１９及び図２０は、本発明のウエハ加工用テープ４０を製造するための本発明の一実施形態に係るウエハ加工用テープの製造方法を説明するための図である。
【００９５】
図１３及び図１４に示した本発明のウエハ加工用テープ１０を製造するための本発明の一実施形態に係るウエハ加工用テープの製造方法と、図１９及び図２０に示した本発明のウエハ加工用テープ４０を製造するための本発明の一実施形態に係るウエハ加工用テープの製造方法との相違点は、ステップ１（Ｓ１）において、識別部１４に替えて、識別部４４を、ラベル形状接着部２２のラベルピッチＬで、粘着フィルム１３の面１３ａ上に印刷形成する（ステップ１：Ｓ１）ことである。この識別部４４は、ラベル形状接着部２２の外周に合わせて、ラベル形状接着部２２に接する面とは反対のラベル部２３ａ（粘着フィルム１３）の面２４ａ上に設けられた環状の形状で、例えば、円形リング形状である。
図１９及び図２０に示すように、上述したステップ１乃至ステップ７の各工程を実行することにより、ウエハ加工用テープ４０を形成する。
【００９６】
また、図１１（ａ）に示したようなウエハ加工用テープ４０ａは、図２１及び図２２に示すように、プリカット作業と同時に識別部４４を形成することができる。接着剤層１２をラベル形状にプリカットしてラベル形状接着部２２を形成するときに、プリカット用の刃や金型にあらかじめ付着されたインクによりプリカット作業と同時に形成する方法がある。
【００９７】
図１３及び図１４に示した本発明のウエハ加工用テープ１０を製造するための本発明の一実施形態に係るウエハ加工用テープの製造方法と、図２１及び図２２に示した本発明のウエハ加工用テープ４０ａを製造するための本発明の一実施形態に係るウエハ加工用テープの製造方法との相違点は、ステップ３（Ｓ３）において、プリカット刃（図示せず）を用いて、長尺の離型フィルム１１上に接着剤層１２が積層された第１積層体２５に、接着剤層１２の表面１２ａから離型フィルム１１に達するまでの環状の第１切り込み２６を入れるとともに、ラベル形状接着部２２の外周に合わせた環状の識別部４４が印刷形成する（ステップ３：Ｓ３）ことである。
【００９８】
このとき、例えば、第１切り込み２６を入れる前に、プリカット刃がスタンプ台を通過するようにしてプリカット刃にインクを付着させ、第１切り込み２６を入れるとともに第１切り込み２６にインクを付着させる。これにより、以降のステップ２において形成されるラベル形状接着部２２の外周部に、ラベル形状接着部２２の外周に合わせた環状の識別部４４が形成される。尚、このとき、識別部４４は、ラベル形状接着部２２の外周部に設けられることにより、ラベル形状接着部２２に接する離型フィルム１１の面１１ａにも、識別部４４の一部が形成される。また、プリカット刃の替わりに金型を用いて、第１切り込み２６を形成するように打ち抜き加工を施しても良い。
【００９９】
そして、図２１及び図２２に示すように、ステップ２、上述したステップ３、ステップ４、ステップ５、ステップ６、ステップ７の順に、各工程を実行することにより、ウエハ加工用テープ４０ａを形成する。
【０１００】
また、図１１（ｂ）に示したように、識別部４４が、ラベル形状接着部２２（接着剤層１２）に接する面とは反対の離型フィルム１１の面１１ｂ上に設けられたウエハ加工用テープ４０ｂの場合は、図１７及び図１８の識別部１４に替えて、識別部４４を形成することにより、ウエハ加工用テープ４０ｂを作製する。第１切り込み２６の形成の前に、第１切り込み２６の形成と同時に、または、第１切り込み２６の形成の後に、離型フィルム１１の面１１ｂ上の第１切り込み２６に対応する位置に、第１切り込み２６と同様の形状の識別部４４を印刷形成する。
【０１０１】
（実施例）
次に、本発明の実施例について説明するが、本発明は以下に示す実施例に限定されるものではない。
【０１０２】
（接着剤層１２の形成）
エポキシ樹脂としてクレゾールノボラック型エポキシ樹脂（エポキシ当量１９７、分子量１２００、軟化点７０℃）５０質量部、シランカップリング剤としてγ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン１．５質量部、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン３質量部、平均粒径１６ｎｍのシリカフィラー３０質量部からなる組成物に、シクロヘキサノンを加えて攪拌混合し、更にビーズミルを用いて９０分混練した。
【０１０３】
これにアクリル樹脂（質量平均分子量：８０万、ガラス転移温度−１７℃）１００質量部、６官能アクリレートモノマーとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート５質量部、硬化剤としてヘキサメチレンジイソシアネートのアダクト体０．５質量部、キュアゾール２ＰＺ（四国化成（株）製商品名、２−フェニルイミダゾール）２．５質量部を加え、攪拌混合し、真空脱気し、接着剤を得た。
【０１０４】
上記接着剤を離型フィルム１１上に塗布し、１１０℃で１分間加熱乾燥して、膜厚が５μｍのＢステージ状態（熱硬化性樹脂の硬化中間状態）の塗膜を形成し、離型フィルム１１上に接着剤層１２を形成し、冷蔵保管した。
【０１０５】
（粘着フィルム１３の形成）
溶媒のトルエン４００ｇ中に、ｎ−ブチルアクリレート１２８ｇ、２−エチルヘキシルアクリレート３０７ｇ、メチルメタアクリレート６７ｇ、メタクリル酸１．５ｇ、重合開始剤としてベンゾイルペルオキシドの混合液を、適宜、滴下量を調整し、反応温度および反応時間を調整し、官能基をもつ化合物（１）の溶液を得た。
【０１０６】
次にこのポリマー溶液に、放射線硬化性炭素−炭素二重結合および官能基を有する化合物（２）として、別にメタクリル酸とエチレングリコールから合成した２−ヒドロキシエチルメタクリレート２．５ｇ、重合禁止剤としてハイドロキノンを、適宜滴下量を調整して加え、反応温度および反応時間を調整して、放射線硬化性炭素−炭素二重結合を有する化合物（Ａ）の溶液を得た。続いて、化合物（Ａ）溶液中の化合物（Ａ）１００質量部に対してポリイソシアネート（Ｂ）として日本ポリウレタン社製：コロネートＬを１質量部加え、光重合開始剤として日本チバガイギー社製：イルガキュアー１８４を０．５質量部、溶媒として酢酸エチル１５０質量部を化合物（Ａ）溶液に加えて混合して、放射線硬化性の粘着剤組成物を調製した。
【０１０７】
続いて、調製した粘着剤層組成物を厚さ１００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体基材フィルムに、乾燥膜厚が２０μｍになるように塗工し、１１０℃で３分間乾燥し、粘着フィルム１３を作製した。
【０１０８】
（実施例１として用いたウエハ加工用テープの形成）
冷蔵保管していた接着剤層１２が形成された離型フィルム１１を常温に戻し、離型フィルム１１への切り込み深さが１０μｍ以下になるように調整して直径２２０ｍｍの円形プリカット加工を行った。その後、接着剤層１２の不要部分を除去し、粘着フィルム１３と室温でラミネートした。次いで、張り合わせた接着剤層１２の外側の粘着フィルム１３に対して、離型フィルム１１への切り込み深さが１０μｍ以下となるように調節して接着剤層１２と同心円状に直径２９０ｍｍの円形プリカット加工を試みた。この際、光学センサを用いて識別部を認識し、直径２２０ｍｍの円形プリカットされた接着剤層１２と位置合わせして、粘着フィルム１３を同心円状に直径２９０ｍｍの円形にプリカット加工を試みた。光学センサとしては特に限定されないが、例えば汎用のレーザセンサなどを用いることができる。こうして実施例１として用いるウエハ加工用テープの作製を試みた。
また、図１（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）に示すウエハ加工用テープ１０のように、粘着フィルム１３を製造する際に、粘着フィルム１３の面１３ａ上に印刷機構を用いて一定（２７８．６ｍｍ）間隔で、線に近い形状であって長辺の長さが１０ｍｍ程度の矩形形状の識別部を印刷形成した。
【０１０９】
（実施例２として用いたウエハ加工用テープの形成）
図７（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）に示すウエハ加工用テープ３０のように、粘着フィルム１３を製造する際に、粘着フィルム１３の面１３ａ上に印刷機構を用いて一定（２７８．６ｍｍ）間隔で、線に近い形状であって、長辺の長さと粘着フィルム１３のＹ方向の長さとが同じになるように設けられた矩形形状の識別部を印刷形成したほかは、実施例１と同じである。
【０１１０】
（実施例３として用いたウエハ加工用テープの形成）
図１０（ａ）及び（ｂ）に示すウエハ加工用テープ４０のように、粘着フィルム１３を製造する際に、粘着フィルム１３の面１３ａ上に印刷機構を用いて一定（２７８．６ｍｍ）間隔で、直径２２０ｍｍの円形リング形状の識別部を印刷形成したほかは、実施例１と同じである。
【０１１１】
（実施例４として用いたウエハ加工用テープの形成）
冷蔵保管していた接着剤層１２が形成された離型フィルム１１を常温に戻し、離型フィルム１１への切り込み深さが１０μｍ以下になるように調整して直径２２０ｍｍの円形プリカット加工を試みた。その後、接着剤層１２の不要部分を除去し、粘着フィルム１３の面１３ｂ上に印刷機構を用いて一定（２７８．６ｍｍ）間隔で、線に近い形状であって長辺の長さが１０ｍｍ程度の矩形形状の識別部を印刷形成した粘着フィルム１３と室温でラミネートした。次いで、張り合わせた接着剤層１２の外側の粘着フィルム１３に対して、離型フィルム１１への切り込み深さが１０μｍ以下となるように調節して接着剤層１２と同心円状に直径２９０ｍｍの円形プリカット加工を試みた。こうして実施例４として用いるウエハ加工用テープの作製を試みた。このウエハ加工用テープは、図６（ａ）に示すウエハ加工用テープ１０ｉに相当する。
【０１１２】
（実施例５として用いたウエハ加工用テープの形成）
冷蔵保管していた接着剤層１２が形成された離型フィルム１１を常温に戻し、離型フィルム１１への切り込み深さが１０μｍ以下になるように調整して直径２２０ｍｍの円形プリカット加工を試みた。その際、プリカット刃を着色することで、接着剤層１２の外周部に認識部を設けた。その後、接着剤層１２の不要部分を除去し、粘着フィルム１３と室温でラミネートした。次いで、張り合わせた接着剤層１２の外側の粘着フィルム１３に対して、離型フィルム１１への切り込み深さが１０μｍ以下となるように調節して接着剤層１２と同心円状に直径２９０ｍｍの円形プリカット加工を試みた。こうして実施例５として用いるウエハ加工用テープの作製を試みた。このウエハ加工用テープは、図１１（ａ）に示すウエハ加工用テープ４０ａに相当する。
【０１１３】
（実施例６として用いたウエハ加工用テープの形成）
図６（ｂ）に示すウエハ加工用テープ１０ｊのように、接着剤層１２を製造する際に、接着剤層１２に接する面とは反対の離型フィルム１１の面１１ｂ上に印刷機構を用いて一定（２７８．６ｍｍ）間隔で、線に近い形状であって長辺の長さが１０ｍｍ程度の矩形形状の識別部を印刷形成したほかは、実施例１と同じである。
【０１１４】
（実施例７として用いたウエハ加工用テープの形成）
図９（ｂ）に示すウエハ加工用テープ３０ｄのように、接着剤層１２を製造する際に、接着剤層１２に接する面とは反対の離型フィルム１１の面１１ｂ上に印刷機構を用いて一定（２７８．６ｍｍ）間隔で、線に近い形状であって、長辺の長さと粘着フィルム１３のＹ方向の長さとが同じになるように設けられた矩形形状の識別部を印刷形成したほかは、実施例１と同じである。
【０１１５】
（実施例８として用いたウエハ加工用テープの形成）
図１１（ｂ）に示すウエハ加工用テープ４０ｂのように、接着剤層１２を製造する際に、接着剤層１２に接する面とは反対の離型フィルム１１の面１１ｂ上に印刷機構を用いて一定（２７８．６ｍｍ）間隔で、直径２２０ｍｍの円形リング形状の識別部を印刷形成したほかは、実施例１と同じである。
【０１１６】
（比較例として用いたウエハ加工用テープの形成）
冷蔵保管していた接着剤層が形成された離型フィルムを常温に戻し、離型フィルムへの切り込み深さが１０μｍ以下になるように調整して直径２２０ｍｍの円形プリカット加工を試みた。その後、接着剤層の不要部分を除去し、粘着フィルムと室温でラミネートした。次いで、張り合わせた接着剤層の外側の粘着フィルムに対して、離型フィルムへの切り込み深さが１０μｍ以下となるように調節して接着剤層と同心円状に直径２９０ｍｍの円形プリカット加工を試みた。この際、光学センサを用いて、直径２２０ｍｍの円形プリカットされた接着剤層を識別し、位置を合わせて粘着フィルムを同心円状に直径２９０ｍｍの円形にプリカット加工した。光学センサとしては特に限定されないが、例えば汎用のレーザセンサなどを用いることができる。こうして比較例として用いるウエハ加工用テープの作製を試みた。
【０１１７】
作製した実施例１乃至８及び比較例のウエハ加工用テープについて、センサ認識性の評価を行い、その結果を表１に示した。
【０１１８】
【表１】
2011171545.tif 000003
【０１１９】
＜センサ認識性の評価＞
実施例１乃至８及び比較例のウエハ加工用テープを作成する際に光学センサを用いて、直径２２０ｍｍの円形プリカットされた接着剤層の外周部分を認識させる作業を、実施例１乃至８及び比較例のウエハ加工用テープにおいてそれぞれ５０回行い、二次プリカット刃が回転して、所定の位置に第２切り込みを形成できた回数の割合を調べ、センサ認識性の評価を行った。ここで、表１において、認識回数は、二次プリカット刃が回転して、所定の位置に第２切り込みを形成できた回数を示し、センサ認識性成功率は、認識作業５０回中の認識回数の割合（％）を示したものである。
【０１２０】
表１に示すように、実施例１乃至８のウエハ加工用テープは５０回すべての認識作業において、二次プリカット加工工程における第２切り込みを形成することができた。一方、比較例のウエハ加工用テープは、５０回の認識作業中５回しか、二次プリカット加工工程における第２切り込みを形成することできなかった。
表１の結果から、接着剤層１２の厚さが５μｍ以下の場合であっても、本実施例に係るウエハ加工用テープは、センサ認識性が良好であることがわかった。
【符号の説明】
【０１２１】
１０、３０、４０：ウエハ加工用テープ
１１：離型フィルム
１２：接着剤層
１３：粘着フィルム
１４、３４、４４：識別部
２０：ダイシングダイボンディングフィルム
２２：ラベル形状接着部
２３ａ：ラベル部
２３ｂ：周辺部
２５：第１積層体
２６：第１切り込み
２７：第２積層体
２８：第２切り込み
２９：第３切り込み
【図１】
2011171545.tif 000004
【図２】
2011171545.tif 000005
【図３】
2011171545.tif 000006
【図４】
2011171545.tif 000007
【図５】
2011171545.tif 000008
【図６】
2011171545.tif 000009
【図７】
2011171545.tif 000010
【図８】
2011171545.tif 000011
【図９】
2011171545.tif 000012
【図１０】
2011171545.tif 000013
【図１１】
2011171545.tif 000014
【図１２】
2011171545.tif 000015
【図１３】
2011171545.tif 000016
【図１４】
2011171545.tif 000017
【図１５】
2011171545.tif 000018
【図１６】
2011171545.tif 000019
【図１７】
2011171545.tif 000020
【図１８】
2011171545.tif 000021
【図１９】
2011171545.tif 000022
【図２０】
2011171545.tif 000023
【図２１】
2011171545.tif 000024
【図２２】
2011171545.tif 000025
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月28日(2011.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺の離型フィルムと、
前記離型フィルム上に設けられた所定の平面形状を有する複数個の接着剤層と、
前記接着剤層をそれぞれ覆い、かつ、当該接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた複数個のラベル部を有する粘着フィルムと、
を備えるウエハ加工用テープであって、
２次プリカット加工を行う前に前記接着剤層の位置を認識して当該接着剤層と位置合わせするための識別部が、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と同じ間隔となるように、前記接着剤層に接する面とは反対の前記粘着フィルムの面上、前記粘着フィルムと前記接着剤層との間、前記粘着フィルムと前記離型フィルムとの間、前記接着剤層と前記離型フィルムとの間、または、前記接着剤層に接する面とは反対の前記離型フィルムの面上の内の少なくとも１つに設けられていることを特徴とするウエハ加工用テープ。
【請求項２】
前記識別部は、前記接着剤層の外周に合わせた環状であることを特徴とする請求項１に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項３】
前記識別部は、印刷形成されてなるものであることを特徴とする請求項１または２に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項４】
前記粘着フィルムは、前記離型フィルム上に前記ラベル部の外側を囲むように設けられた周辺部を備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープ。
【請求項５】
（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、
を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の前に、
（ｃ）前記接着剤層に接する面とは反対の前記粘着フィルムの面上に、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と同じ間隔となるように識別部を形成する工程を備え、
前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とするウエハ加工用テープの製造方法。
【請求項６】
（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、
を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の直前に、
（ｄ）前記接着フィルムに接する前記粘着フィルムの面上に、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と同じ間隔となるように識別部を形成する工程を備え、
前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とするウエハ加工用テープの製造方法。
【請求項７】
（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、
を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の前に実行される、前記離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の前記接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された前記接着フィルムを作製する工程において、
（ｅ）前記接着剤層に接する面とは反対の前記離型フィルムの面上に、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と同じ間隔となるように識別部を形成する工程を備え、
前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とするウエハ加工用テープの製造方法。
【請求項８】
前記識別部は、前記接着剤層の外周に合わせた環状であることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープの製造方法。
【請求項９】
（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、
を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の前に実行される、前記離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の前記接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された前記接着フィルムを作製する工程において、
（ｆ）所定の平面形状の前記接着剤層を形成するときに、前記接着剤層の外周に合わせた環状の識別部を、前記接着剤層の外周部に形成する工程を備え、
前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とするウエハ加工用テープの製造方法。
【請求項１０】
前記識別部は、印刷形成されてなるものであることを特徴とする請求項５乃至９のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープの製造方法。
【請求項１１】
前記工程（ｂ）の替わりに、（ｇ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる前記積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成するとともに、前記切り込みの外側に別の切り込みを形成する工程を備えていることを特徴とする請求項５乃至１０のいずれか１項に記載のウエハ加工用テープの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
即ち、本発明の第１の態様に係るウエハ加工用テープは、長尺の離型フィルムと、前記離型フィルム上に設けられた所定の平面形状を有する複数個の接着剤層と、前記接着剤層をそれぞれ覆い、かつ、当該接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられた複数個のラベル部を有する粘着フィルムと、を備えるウエハ加工用テープであって、２次プリカット加工を行う前に前記接着剤層の位置を認識して当該接着剤層と位置合わせするための識別部が、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と同じ間隔となるように、前記接着剤層に接する面とは反対の前記粘着フィルムの面上、前記粘着フィルムと前記接着剤層との間、前記粘着フィルムと前記離型フィルムとの間、前記接着剤層と前記離型フィルムとの間、または、前記接着剤層に接する面とは反対の前記離型フィルムの面上の内の少なくとも１つに設けられていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第１の態様に係るウエハ加工用テープの製造方法は、（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の前に、（ｃ）前記接着剤層に接する面とは反対の前記粘着フィルムの面上に、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と同じ間隔となるように識別部を形成する工程を備え、前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の第２の態様に係るウエハ加工用テープの製造方法は、（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の直前に、（ｄ）前記接着フィルムに接する前記粘着フィルムの面上に、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と同じ間隔となるように識別部を形成する工程を備え前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とする。 
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第３の態様に係るウエハ加工用テープの製造方法は、（ａ）長尺の離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された接着フィルム上に、前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように、粘着フィルムを積層する工程と、（ｂ）前記工程（ａ）によって形成された前記接着フィルムと前記粘着フィルムとから構成される積層体において、前記離型フィルムと前記粘着フィルムとからなる積層部に、前記粘着フィルムの表面から前記離型フィルムに達するまでの、それぞれの前記接着剤層を囲む環状の切り込みを複数個形成する工程と、を備えるウエハ加工用テープの製造方法であって、
前記工程（ａ）の前に実行される、前記離型フィルム上に所定の平面形状を有する複数個の前記接着剤層が設けられ、前記離型フィルムと前記接着剤層とがこの順に積層された前記接着フィルムを作製する工程において、（ｅ）前記接着剤層に接する面とは反対の前記離型フィルムの面上に、隣接する２つの前記接着剤層の間隔と同じ間隔となるように識別部を形成する工程を備え、前記工程（ｂ）が、前記識別部を認識することにより、前記接着剤層との位置合わせをして前記接着剤層を囲む環状の切り込みを形成することを特徴とする。