(57)【要約】【課題】  電極としてＡｇ薄膜を用いた場合において、発光効率の高い有機ＥＬ素子を提供する。【解決手段】  基板１０の上に、第１電極１１と有機化合物層１２と第２電極１５とを有し、第２電極１５から光が取り出される有機ＥＬ素子において、第２電極１５が、基板１０側から第１金属層１３と、第２金属層１４と、を順に有し、第２金属層１４は、Ａｇを含み、膜厚が５．０ｎｍ以上２０ｎｍ以下である金属層であり、第１金属層１３は、ＭｇとＡｇとを有し、膜厚が１．０ｎｍ以上５．０ｎｍ以下である金属層である。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上に、第１電極と、第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間に配置される発光層を有する有機化合物層と、を有し、前記第２電極から光が取り出される有機ＥＬ素子であって、
前記第２電極が、前記基板側から第１金属層と、前記第１金属層に接する第２金属層と、を順に有し、
前記第２金属層は、Ａｇを含み、膜厚が５．０ｎｍ以上２０ｎｍ以下である金属層であり、
前記第１金属層は、ＭｇとＡｇとを有し、膜厚が１．０ｎｍ以上５．０ｎｍ以下である金属層であることを特徴とする有機ＥＬ素子。
【請求項２】
前記ＭｇとＡｇとを有する金属層におけるＡｇの体積比率が、０体積％より大きく８０体積％以下であることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項３】
前記ＭｇとＡｇとを有する金属層におけるＡｇの体積比率が、５体積％以上５０体積％以下であることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項４】
前記ＭｇとＡｇとを有する金属層におけるＡｇの体積比率が、３０体積％以上５０体積％以下であることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項５】
前記ＭｇとＡｇとを有する金属層におけるＡｇの重量比率が、０．０重量％より大きく９６．０重量％以下であることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項６】
前記ＭｇとＡｇとを有する金属層におけるＡｇの重量比率が、２４．１重量％以上８５．８重量％以下であることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項７】
前記ＭｇとＡｇとを有する金属層におけるＡｇの重量比率が、７２．１重量％以上８５．８重量％以下であることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項８】
前記第１金属層の膜厚が、１．０ｎｍ以上２．０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項９】
有機ＥＬ素子を有する複数の画素と、前記画素の発光を制御する制御手段と、を有する発光装置であって、
前記有機ＥＬ素子が、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の有機ＥＬ素子であることを特徴とする発光装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の発光装置において、前記複数の画素は、赤色発光画素と緑色発光画素と青色発光画素とを含むことを特徴とする発光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電極として銀薄膜を用いた構成において、高い発光効率を有する有機ＥＬ素子とそれを用いた発光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ素子は、第１電極と第２電極とその２つの電極の間にある有機化合物層で構成され、有機化合物層内の発光層で発光した光は、第１電極または第２電極のうち一方の電極（光取り出し電極）から光が取り出される。そして、光取り出し電極として、電気伝導率、可視光域の透過率が高い金属である銀薄膜を用いることが提案されている。
【０００３】
しかし、一般的に２０ｎｍ以下の銀薄膜は、連続膜ではなく不連続な膜となり、電気導電率が小さくなるだけでなく、可視光領域の光に対して局所表面プラズモン共鳴による吸収が生じ、透過率が低下してしまう。このような銀薄膜の局所表面プラズモン共鳴による吸収を抑制するため、特許文献１には、銀以外の金属からなる下地層と銀または銀合金からなる銀薄膜層とからなる積層透明導電膜を電極として用いる有機ＥＬ素子が開示されている。さらに、その下地層の銀以外の金属は、金、アルミニウム、銅、インジウム、スズおよび亜鉛よりなる群から選択されることが好ましいことが開示されている。
【０００４】
しかし、本願発明者が鋭意検討した結果、特許文献１の積層透明導電膜の構成では、局所表面プラズモン共鳴による吸収の抑制は十分ではないことがわかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１７１６３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、銀薄膜を電極として用いた有機ＥＬ素子において、高い発光効率が得られることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
よって本発明は、基板の上に、第１電極と、第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間に配置される発光層を有する有機化合物層と、を有し、前記第２電極から光が取り出される有機ＥＬ素子において、前記第２電極が、前記基板側から第１金属層と、前記第１金属層に接する第２金属層と、を順に有し、前記第２金属層は、Ａｇを含み、膜厚が５．０ｎｍ以上２０ｎｍ以下である金属層であり、前記第１金属層は、ＭｇとＡｇとを有し、膜厚が１．０ｎｍ以上５．０ｎｍ以下である金属層であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、銀薄膜を電極として用いた有機ＥＬ素子において、高い発光効率を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の有機ＥＬ素子とそれを用いた発光装置の概略図
【図２】参考例１の透過率を示す図
【図３】参考例２の透過率を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１実施形態）
以下に図面を参照しながら本発明を説明する。図１（ａ）は本発明の有機ＥＬ素子の概略断面図を示している。本発明の有機ＥＬ素子は、基板１０上に、第１電極１１と、第２電極１５と、第１電極１１と第２電極１５との間に配置される発光層を有する有機化合物層１２とを有している。そして、図１（ａ）で示される有機ＥＬ素子は、第２電極１５側から光が取り出され、基板１０とは反対側から光が取り出される構成（いわゆるトップエミッション型）である。第２電極１５は、基板１０側から第１金属層１３と、第１金属層１３に接する第２金属層１４とを順に有している。そして、第２金属層１４は、銀（Ａｇ）を９０体積％以上含み、膜厚が５．０ｎｍ以上２０ｎｍ以下である薄膜の金属層である。そして、第２金属層１４の下地層として、ＭｇとＡｇとを有し、膜厚が１．０ｎｍ以上５．０ｎｍ以下である金属層を設ける構成である。このため、第２金属層１４を連続膜にすることができ、第２金属層１４の局所表面プラズモン吸収を抑制することができ、透過率の低下を抑制することができる。
【００１１】
なお、特に図示しないが、基板側から光が取り出される（いわゆるボトムエミッション型の）有機ＥＬ素子においても本発明は適用可能である。具体的には、有機ＥＬ素子が、基板側から第２電極、有機化合物層、第１電極の順に積層され、第２電極が基板側から第１金属層、第２金属層の順に積層される構成とすればよい。
【００１２】
本発明に用いられる第２電極１５の第２金属層１４は、好ましくはＡｇを９０体積％以上含むＡｇ薄膜からなる金属層である。Ａｇ薄膜としては、例えば、ＡｇにＰｄ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ａｕ等が微量（１０体積％未満）含まれる金属層が挙げられる。第２金属層１４の膜厚は、電気導電率、可視光領域（波長４００ｎｍ乃至７８０ｎｍ）での透過率の観点から、５．０ｎｍ以上２０ｎｍ以下であることが好ましく、さらに、８．０ｎｍ以上１２ｎｍ以下であることが好ましい。
【００１３】
本発明に用いられる第２電極１５の第１金属層１３は、２種類以上の金属を有する金属層である。２種類以上の金属を含む金属層としては、例えば、Ａｇ、Ａｕなどの金属、Ｌｉ、Ｃｓなどの第１属元素、Ｍｇ、Ｃａなどの第２属元素、Ａｌ、Ｉｎなどの第１３属元素等を有することが好ましい。より好適には、ＭｇとＡｇを有する金属層であることが好ましく、ＭｇとＡｇの原子比が１９：１乃至１：１９であることが好ましい。さらには、ＭｇとＡｇを有する金属層のＭｇとＡｇの原子比が１９：１乃至９：１であることが好ましい。なぜなら、第１金属層１３の膜厚が１０ｎｍ以下の薄膜では、Ａｇの体積比率が大きくなるほど、第２金属層１４であるＡｇ薄膜の局所表面プラズモン吸収が大きくなるためである。
【００１４】
また、第２金属層１４であるＡｇ薄膜は、不連続な膜ではなく連続膜を形成していることが好ましい。なぜなら、Ａｇ薄膜が不連続膜となり、第１金属層１３を十分に被覆できていない場合には、Ａｇ薄膜特有の局所表面プラズモン吸収が発生し、更に電気導電率も減少してしまうからである。このため、第２金属層１４の下地層となる第１金属層１３も連続膜を形成していることが好ましく、第１金属層１３がその下にある有機化合物層（トップエミッション型）、あるいは基板（ボトムエミッション型）を十分に被覆していることが好ましい。また、第１金属層１３の第２金属層１４側の界面が平坦であることが望ましい。そこで、本発明は、第１金属層１３として、２種類以上の金属を有する金属層を用いる構成である。
【００１５】
これは、異なる種類の金属原子どうしの物性が影響していると考えられる。一つは原子間の結合力に起因するものと考えられる。金属を蒸着した場合、基板を構成する原子との結合力が強い金属原子は３次元的に結合するのに対し、基板を構成する原子との結合力が弱い金属原子は２次元的（基板の面内方向）に結合していくものと考えられる。特に、結合力が異なる２種以上の金属を蒸着した場合は、結合力の強い金属が核となり、結合力の弱い金属がその核を基に２次元的に成長すると考えられることから、連続膜になりやすいと考えられる。第１金属層１３がＭｇとＡｇを有する金属層が好ましいのは、基板との結合力が弱いＭｇと結合力が強いＡｇとの組合せであるため、連続膜となりやすいと考えられる。
【００１６】
もう一つは核の大きさ、つまり原子半径に起因するものと考えられる。異なる種類の金属原子どうしが互いに原子間の隙間を埋め合うように形成されて連続膜となりやすいと考えられる。特に、２種類以上の金属のそれぞれの金属の原子半径の差が大きい方が好ましく、大きい原子半径の金属原子の隙間を小さい原子半径の金属原子が埋めると考えられる。金属原子の原子半径が大きいものとしては、ＡｇやＡｕなどが挙げられ、金属原子の原子半径が小さいものとしては、上述したＬｉやＣｓ、ＭｇやＣａ、ＡｌやＩｎなどが挙げられる。第１金属層は、ＡｇとＡｕなどの原子半径の大きいものから選ばれる金属と上述した原子半径の小さいものから選ばれる金属とを有することが好ましい。第１金属層１３がＭｇとＡｇを有する金属層が好ましいのは、ＭｇとＡｇとの原子半径の差が大きいために上記の作用が十分得られ、連続膜となりやすいためであると考えられる。また、第１金属層がＡｇを含む構成とすることで、第１金属層と第２金属層との親和性が高まり、第２金属層であるＡｇ薄膜が第１金属層中のＡｇを介して連続膜となることも考えられる。
【００１７】
第１金属層の膜厚は、第２金属層の膜厚よりも薄いことが好ましい。本発明では、第１金属層の厚さは、１．０ｎｍ以上５．０ｎｍ以下であることが好ましい。この膜厚では、有機化合物層上に本発明の第２電極１５の構成を設けた場合の第２電極１５の透過率が大きく、さらに反射率も十分大きいので、第１電極１１と第２電極１５の間での光干渉効果が大きくなり、発光効率が向上する。さらに、第１金属層の膜厚は、１．０ｎｍ以上２．０ｎｍ以下であることが好ましい。また、第１金属層の厚さが１．０ｎｍ以上５．０ｎｍ以下である場合には、白色を表示する際の視感性を考慮した視観透過率において高い数値を示す。本発明において、視感透過率とは、赤色、緑色、青色における、第１金属層（あるいは第１金属層と第２金属層の積層体）の透過率と、赤色、緑色、青色の視感度との積の和として定義される。なお、赤色、緑色、青色はそれぞれ、波長６２０ｎｍ、５２０ｎｍ、４６０ｎｍとしているが、これに限られるものではない。また、赤色、緑色、青色の視感度はそれぞれ、０．３０、０．５９、０．１１である。この視感透過率が大きいということは、赤色、緑色、青色を発する有機ＥＬ素子を有する発光装置において、光取り出しの電極が各色共通の膜厚・組成である場合に、白色を発する際の発光装置の消費電力を小さくすることができる。
【００１８】
次に、有機ＥＬ素子の他の構成要件について説明する。基板１０は、ガラスまたはプラスチックのような誘電体を用いることができる。また、基板１０は、支持基板と、その上に設けられたスイッチング素子と、その上に設けられた絶縁層とで構成されるものであってもよい。なお、スイッチング素子は例えば、ＴＦＴを用いることができ、有機ＥＬ素子を駆動するための駆動手段となる。
【００１９】
第１電極１１は、反射率の高いものが好ましく、Ａｌ、Ａｇ、Ｍｏ、Ｗ、Ｎｉ、Ｃｒ、またはそれらの合金などの金属層を、５０ｎｍ以上３００ｎｍ以下の膜厚で用いることができる。この金属層は、蒸着法、スパッタリング法などの公知の方法で形成することができる。さらに第１電極は、金属層の光取り出し側に、ＳｎＯ２、Ｉｎ２Ｏ３、ＩＴＯ等の透明酸化物導電層を積層する構成であってもよい。その透明酸化物導電層の膜厚は、５ｎｍ以上１００ｎｍ以下が好ましい。なお、透明とは、可視光領域において４０％以上の透過率を有することを言う。
【００２０】
有機化合物層１２は、少なくとも発光層を含み、必要に応じて正孔注入層、正孔輸送層、正孔ブロック層、電子注入層、電子輸送層、電子ブロック層等の機能層を有し、各機能層は適当な順に積層されて構成されている。有機化合物層に用いられる各機能層を構成する材料は、公知の材料を用いることができる。
【００２１】
また、第２電極１５上に上述した透明酸化物導電層や屈折率の高い有機化合物層、ＳｉＮなどの保護層を設けることが可能である。
【００２２】
（第２実施形態）
次に、本発明の別な実施形態について説明する。図１（ｂ）のように本発明の発光装置は、有機ＥＬ素子を有する画素１を複数有する発光装置であって、これら各画素の発光を制御するＴＦＴなどの制御手段を備えており、画素１が本発明の有機ＥＬ素子を有している。
【００２３】
さらに、この発光装置を表示装置として用いることができる。この場合には、複数の画素ユニットがマトリックス状に配列され、各画素ユニットは、発光色の異なる複数の画素、例えば、赤色発光画素、緑色発光画素及び、青色発光画素で構成されるようにするのが良い。つまり、赤色発光画素は、赤色を発光する有機ＥＬ素子を有している。
【００２４】
なお、本発明において画素とは、独立して発光の制御が可能である最小の単位を示す。そして画素ユニットとは、発光色の異なる複数の画素で構成され、各画素の混色によって所望の色の発光を可能とする最小の単位を示す。
【００２５】
本実施形態において、すべての画素が本発明の有機ＥＬ素子であってもよいし、一部の画素のみが本発明の有機ＥＬ素子でもよい。すなわち、本発明の有機ＥＬ素子と従来の有機ＥＬ素子を両方有する構成であってもよい。この場合は、両者の割合を調整することで、表示装置の発光特性を調整することができる。
【００２６】
また、このように両方有する場合には、本発明の有機ＥＬ素子と従来の有機ＥＬ素子を規則的に配列されてもよいが、本発明の有機ＥＬ素子が不規則に点在し配置されていてもよい。
【００２７】
また、赤色発光画素、緑色発光画素及び、青色発光画素を有する発光装置において、各画素が本発明の有機ＥＬ素子を有することが好ましい。
【００２８】
なお、画素には、光取り出し効率を向上させる手段を備えていてもよい。この手段は各画素それぞれに設けられていてもよいし、特定の画素にのみ設けられていてもよい。
【００２９】
本発明の発光装置は、照明やプリンタヘッド、露光装置や表示装置用のバックライト等の様々な用途に適用することができる。また、上述したように本発明の発光装置を表示装置として使用する場合には、テレビ受像機、パーソナルコンピュータのディスプレイ、撮像装置の背面表示部、携帯電話の表示部、携帯ゲーム機の表示部等が挙げられる。その他、携帯音楽再生装置の表示部、携帯情報端末（ＰＤＡ）の表示部、カーナビゲーションシステムの表示部等が挙げられる。
【実施例】
【００３０】
まず、本発明の第２電極に用いる第１金属層と第２金属層の積層体を有機化合物層に積層した構成での透過率の測定結果を示す。
【００３１】
（参考例１）
本参考例は、石英基板上に有機化合物層を形成し、その上に、第１金属層として、Ａｇ濃度が異なるＭｇとＡｇとの金属層を形成し、その上に第２金属層としてＡｇを形成する例である。
【００３２】
石英基板（縦２０ｍｍ×横２０ｍｍ×厚さ０．７ｍｍ）上に有機化合物層として下記化合物１を膜厚２０ｎｍで形成した。次に、その上に、第１金属層としてＭｇとＡｇとの金属層を形成した。この金属層としては、その金属層に対するＡｇの体積比率が０，５，１０，２０，３０，５０，８０，１００体積％となる層をそれぞれ作製した。それぞれの層は、ＭｇとＡｇの成膜速度の和が成膜速度１．０Å／ｓになって、第１金属層に対するＡｇの体積比率が０，５，１０，２０，３０，５０，８０，１００体積％となるようにＭｇとＡｇの成膜速度をそれぞれ調整されて作製された。具体的には、金属層に対するＡｇの体積比率が２０％の場合は、Ｍｇの成膜速度を０．８Å／ｓ、Ａｇの成膜速度を０．２Å／ｓで成膜した。成膜時の蒸着チャンバー内の真空度は、２×１０−５Ｐａ以上８×１０−５Ｐａ以下であった。なお、第１金属層はＡｇの濃度によらず４．０ｎｍで成膜した。次に、その上にＡｇの成膜速度を０．５Å／ｓとして、第２金属層を膜厚１０ｎｍで形成した。次に、石英上に成膜した第１金属層の大気中での酸化を防ぐため、石英基板の成膜面と封止ガラス（縦１８ｍｍ×横１８ｍｍ×厚さ０．７ｍｍ）とをエポキシ樹脂接着剤を用いて封止した。
【００３３】
【化１】
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【００３４】
（参考例２）
本参考例は、石英基板上に有機化合物層を形成し、その上に、第１金属層として、膜厚の異なるＭｇとＡｇとの金属層を形成し、その上に第２金属層としてＡｇを形成する例である。
【００３５】
石英基板上に有機化合物層として上記化合物１を膜厚２０ｎｍで形成した。次にその上に、第１金属層としてＭｇとＡｇとの金属層を、金属層に対するＡｇの体積比率を１０体積％となるように成膜した。なお、第１金属層の膜厚が０．５のものと１．０から１０ｎｍまでの１ｎｍ刻みの膜厚のものを成膜した。次にその上にＡｇの成膜速度を０．５Å／ｓとして、Ａｇ薄膜層（第２金属層）を膜厚１０ｎｍ形成した。その他の条件は参考例１と同様である。
【００３６】
（比較例１）
石英基板上に有機化合物層として上記化合物１を膜厚２０ｎｍで形成した。次にその上に、第１金属層として、成膜速度０．５Å／ｓでＡｌを、膜厚２．０ｎｍで形成した。次にその上に、Ａｇの成膜速度を０．５Å／ｓとして、Ａｇ薄膜層（第２金属層）を膜厚１０ｎｍ形成した。その他の条件は参考例１と同様である。
【００３７】
＜透過率の測定＞
参考例１，２及び比較例１の透過率を測定した。透過率の測定は、Ｕｂｅｓｔ  Ｖ−５６０（日本分光製）を用い、参考例および比較例で用いた石英基板と同じロットの石英基板と封止ガラスのみを封止したサンプルをリファレンスとして用いて行った。参考例１の透過率が図２（ａ）に、ＭｇとＡｇとの金属層の視感透過率のＡｇ濃度依存性が図２（ｂ）に示されている。なお、視感透過率は、Ａｇの濃度が１００体積％のものを１として比較している。図２（ａ）に示されるように、Ａｇ単層，Ｍｇ単層とＡｇ薄膜積層体に比べ、可視領域において、ＭｇとＡｇとの金属層とＡｇ薄膜積層体の透過率の変化量が小さく、特に、長波長側（６００ｎｍ以上）では透過率が高く維持されている。第１金属層におけるＡｇの濃度が０体積％より大きく８０体積％以下である場合には、Ａｇ単層，Ｍｇ単層とＡｇ薄膜積層体に比べて視感透過率が大きくなることがわかる。さらに、そのＡｇの濃度は、５体積％以上５０体積％以下がより好ましい。さらにそのＡｇの濃度は、３０体積％以上５０体積％以下がより好ましい。なお、Ａｇの濃度が２０体積％で視感透過率が減少しているのは誤差の範囲である。
【００３８】
なお、ここまでは体積比率を用いて比率を示したが、重量比率を用いることも可能である。具体的には、ＭｇのＡｇに対する密度比をρ、体積比率をＸ体積％、重量比率をＹ重量％とすると、重量比率Ｙは、Ｙ＝１００／（１＋ρ（１００／Ｘ−１））で表される。Ｍｇの密度は１．７４ｇ／ｃｍ３、Ａｇの密度は１０．５０ｇ／ｃｍ３なのでρは０．１６６であり、Ｘ＝８０ならＹ＝９６．０２となり、Ｘ＝５０ならＹ＝８５．７９となる。つまり、ＭｇとＡｇを含む合金層におけるＡｇの比率が０体積％より大きく８０体積％以下であるとは、ＭｇとＡｇを含む合金層におけるＡｇの比率が０．０重量％より大きく９６．０重量％以下であることをいう。さらに、ＭｇとＡｇを含む合金層におけるＡｇの比率が５体積％以上５０体積％以下であるとは、ＭｇとＡｇを含む合金層におけるＡｇの比率が２４．１重量％以上８５．８重量％以下であることをいう。ＭｇとＡｇを含む合金層におけるＡｇの比率が３０体積％以上５０体積％以下であるとは、ＭｇとＡｇを含む合金層におけるＡｇの比率が７２．１重量％以上８５．８重量％以下であることをいう。重量比率に関しては小数点１桁を有効数字とする。
【００３９】
また、第２金属層１４は、好ましくは８３．０重量％以上であり、最適には９０．０重量％である。
【００４０】
参考例２、比較例１の透過率を図３（ａ）に、ＭｇとＡｇとの金属層の視感透過率の膜厚依存性を図３（ｂ）に示した。なお、視感透過率は、ＭｇとＡｇとの金属層の膜厚が１０ｎｍのものを１として比較している。図３に示されるように、第１金属層の膜厚が１．０ｎｍ以上５．０ｎｍ以下のものが、全波長領域において高い透過率を維持することがわかる。さらに、第１金属層の膜厚が１．０ｎｍ以上２．０ｎｍ以下であれば、さらに高い透過率を示すことがわかる。さらに、第１金属層の膜厚が１．０ｎｍ以上５．０ｎｍ以下であると視感透過率が高いことがわかる。さらに、第１金属層の膜厚が１．０ｎｍ以上２．０ｎｍ以下であれば、視感透過率がより高いことがわかる。
【００４１】
また、比較例１の構成の透過率が低い原因としては、下地の膜厚２ｎｍのＡｌ層が単層膜では連続膜とならないために、Ａｇ薄膜層も連続膜にならず局所表面プラズモン吸収が十分に抑制できなかったためと考えられる。
【００４２】
次に本発明の有機ＥＬ素子について説明する。以下の構成はトップエミッション型の有機ＥＬ素子である。
【００４３】
（実施例１）
本実施例は、青色の有機ＥＬ素子の例で図１にその構成が示されている。まず、ガラス基板１０上に、アルミニウム合金（ＡｌＮｄ）を１００ｎｍの膜厚でスパッタリング法にて成膜し、ＩｎＺｎＯをスパッタリング法にて４０ｎｍの膜厚で成膜し、第１電極１１を形成した。
【００４４】
次に、有機化合物層１２を形成する。まず、下記化合物２を９０ｎｍの膜厚となるように成膜して第１正孔輸送層を形成した。次に、下記化合物３を１０ｎｍの膜厚となるように成膜して第２正孔輸送層を形成した。次に、下記化合物４と下記化合物５とをそれぞれ成膜速度０．９８Å／ｓ、０．０２Å／ｓで共蒸着し、膜厚３５ｎｍの発光層を形成した。次に、上記化合物１を膜厚６０ｎｍとなるように蒸着し、電子輸送層を形成した。次に、ＬｉＦを膜厚０．５ｎｍとなるように蒸着し、電子注入層を形成した。
【００４５】
【化２】
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【００４６】
次に、第２電極１５の第１金属層１３として、Ｍｇの成膜速度を０．９Å／ｓ、Ａｇの成膜速度を０．１Å／ｓで、ＭｇとＡｇとの金属層を膜厚２．０ｎｍで形成した。そして、その上に、第２金属層１４として、Ａｇの成膜速度を０．５Å／ｓで、Ａｇ薄膜を膜厚１０ｎｍで形成した。
【００４７】
最後に、窒素雰囲気中のグローブボックスにて、乾燥剤を入れた封止ガラス（不図示）とガラス基板の成膜面とをエポキシ樹脂接着剤を用いて封止した。
【００４８】
（比較例２）
電子注入層までの各層を、実施例１と同様にして形成した。次に、第１金属層を設けず、Ａｇを膜厚１０ｎｍ形成し、第２電極とした。そして、実施例１と同様に封止した。
【００４９】
（比較例３）
電子注入層までの各層を、実施例１と同様にして形成した。次に、第２電極の第１金属層として、Ｍｇの成膜速度を０．９Å／ｓ、Ａｇの成膜速度を０．１Å／ｓで、ＭｇとＡｇとの金属層を膜厚５．０ｎｍで形成した。次にその上に、第２金属層として、Ｍｇの成膜速度を０．８Å／ｓ、Ａｇの成膜速度を０．２Å／ｓで、主成分をＭｇとするＭｇとＡｇとの金属層を膜厚１０ｎｍ形成した。そして、実施例１と同様に封止した。
【００５０】
＜素子評価＞
上記実施例１および比較例３で作製した青色の有機ＥＬ素子について、電流効率と発光スペクトルを測定した。電流効率は、実施例１、比較例３でそれぞれ、４．２ｃｄ／Ａ、２．９ｃｄ／Ａとなっており、本発明の実施例１の有機ＥＬ素子で高い発光効率が得られた。なお、比較例２の素子は点灯しなかった。これは、第２電極が連続膜とならなかったためと考えられる。
【００５１】
（実施例２）
本実施例は、緑色の有機ＥＬ素子の例である。本実施例では、第２正孔輸送層を成膜せず、下記化合物６と下記化合物７で示される化合物とをそれぞれ成膜速度０．９８Å／ｓ、０．０２Å／ｓで共蒸着し、膜厚３０ｎｍの発光層を形成した。その他の構成、製法は実施例１と同様である。
【００５２】
【化３】
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【００５３】
（比較例４）
第２電極以外の各層を、実施例２の緑色素子を得た手順と同様にして形成した。次に、第２電極の第１金属層として、Ｍｇの成膜速度を０．９Å／ｓ、Ａｇの成膜速度を０．１Å／ｓで、ＭｇとＡｇとの金属層を膜厚５．０ｎｍで形成した。次にその上に、第２金属層として、Ｍｇの成膜速度を０．８Å／ｓ、Ａｇの成膜速度を０．２Å／ｓで、主成分をＭｇとするＭｇとＡｇとの金属層を膜厚１０ｎｍ形成した。そして、実施例１と同様に封止した。
【００５４】
＜素子評価＞
上記実施例２および比較例４で作製した青色の有機ＥＬ素子について、電流効率と発光スペクトルを測定した。電流効率は、実施例２、比較例４でそれぞれ、１９．８ｃｄ／Ａ、１３．９ｃｄ／Ａとなっており、本発明の実施例２の有機ＥＬ素子で高い発光効率が得られた。
【００５５】
（実施例３）
本実施例は、赤色の有機ＥＬ素子の例である。本実施例では、第２正孔輸送層を成膜せず、下記化合物８と下記化合物９と下記化合物１０とをそれぞれ成膜速度０．６８Å／ｓ、０．０２Å／ｓ、０．３０Å／ｓで共蒸着し、膜厚３０ｎｍの発光層を形成した。その他の構成、製法は実施例１と同様である。
【００５６】
【化４】
2011165653.tif 000006
【００５７】
（比較例５）
第２電極以外の各層を、実施例３の赤色素子を得た手順と同様にして形成した。次に、第２電極の第１金属層として、Ｍｇの成膜速度を０．９Å／ｓ、Ａｇの成膜速度を０．１Å／ｓで、ＭｇとＡｇとの金属層を膜厚５．０ｎｍで形成した。次にその上に、第２金属層として、Ｍｇの成膜速度を０．８Å／ｓ、Ａｇの成膜速度を０．２Å／ｓで、主成分をＭｇとするＭｇとＡｇとの金属層を膜厚１０ｎｍ形成した。そして、実施例１と同様に封止した。
【００５８】
＜素子評価＞
上記実施例３および比較例５で作製した赤色の有機ＥＬ素子について、電流効率と発光スペクトルを測定した。電流効率は、実施例３、比較例５でそれぞれ、１０．６ｃｄ／Ａ、８．５ｃｄ／Ａとなっており、本発明の実施例３の有機ＥＬ素子で高い発光効率が得られた。
【符号の説明】
【００５９】
１０  基板
１１  第１電極
１２  有機化合物層
１３  第１金属層
１４  第２金属層
１５  第２電極
【図１】
2011165653.tif 000007
【図２】
2011165653.tif 000008
【図３】
2011165653.tif 000009