(57)【要約】【課題】小型化を図るとともに、不要な振動モードの振動を抑制しつつ、振動腕を面内方向に効率的に屈曲振動させることができる振動片および振動デバイスを提供すること。【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に並んで設けられ、Ｘ軸方向に屈曲振動する２つの振動腕２８、２９とを有し、各振動腕２８、２９は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ直交するＺ軸方向を法線とする面であって、互いに対向する１対の主面と、Ｘ軸方向を法線とする面であって、互いに対向する１対の側面とを備え、各主面には、Ｙ軸方向に延在する溝２８２、２８３が形成され、各側面には、Ｙ軸方向に延在する凸条２８４、２８５が形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から第１の方向に延出するとともに、前記第１の方向に直交する第２の方向に並んで設けられ、前記第２の方向に屈曲振動する複数の振動腕とを有し、
前記各振動腕は、前記第１の方向および前記第２の方向の両方に直交する第３の方向を法線とする面であって、互いに対向する１対の主面と、前記第２の方向を法線とする面であって、互いに対向する１対の側面とを備え、
前記各主面には、前記第１の方向に延在する溝が形成され、
前記各側面には、前記第１の方向に延在する凸条が形成されていることを特徴とする振動片。
【請求項２】
前記振動腕の先端部には、該振動腕の基端部よりも横断面積の大きい質量部が設けられている請求項１に記載の振動片。
【請求項３】
前記質量部の前記第２の方向での幅は、該振動腕の基端部の前記第２の方向での幅と等しい請求項２に記載の振動片。
【請求項４】
前記質量部の前記第２の方向での幅は、該振動腕の基端部の前記第２の方向での幅よりも狭い請求項２に記載の振動片。
【請求項５】
前記質量部は、前記溝が形成されていない請求項２ないし４のいずれかに記載の振動片。
【請求項６】
前記各凸条の先端部は、前記質量部の基端部に接続されている請求項２ないし５のいずれかに記載の振動片。
【請求項７】
前記各凸条は、前記振動腕の前記第１の方向における前記質量部以外の部分の全域に亘って設けられている請求項６に記載の振動片。
【請求項８】
前記質量部の前記第２の方向での幅をＷ１、前記振動腕の基端部の前記第２の方向での幅をＷ２としたとき、Ｗ２／Ｗ１は、１〜１．２である請求項２ないし７のいずれかに記載の振動片。
【請求項９】
前記各凸条は、前記振動腕の前記第３の方向での中央部に設けられている請求項１ないし８のいずれかに記載の振動片。
【請求項１０】
前記各凸条の幅は、前記各凸条の高さよりも大きい請求項１ないし９のいずれかに記載の振動片。
【請求項１１】
前記各凸条の高さは、前記各凸条の幅よりも大きい請求項１ないし９のいずれかに記載の振動片。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の振動片と、
前記振動片を収納するパッケージとを備えることを特徴とする振動デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片および振動デバイスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水晶発振器等の振動デバイスとしては、複数の振動腕を備える音叉型の振動片を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、特許文献１に記載の振動片は、基部と、この基部から互いに平行となるように延出する２つの振動腕とを有し、これらが圧電体材料で構成されている。そして、各振動腕に電界を印加することにより、２つの振動腕をこれらが並ぶ方向（面内方向）にそれぞれ屈曲振動させる。
【０００３】
また、特許文献１に記載の振動片では、前述したような屈曲振動（面内振動）を励振させるための電界を振動腕に効率的に印加する目的で、振動腕の横断面がＨ字状をなしている。
しかし、特許文献１に記載の振動片では、振動腕の横断面が単なるＨ字状をなしているため、振動腕の横断面が矩形をなしている場合に比し、振動腕が捩れやすくなり、その結果、不要な振動モードの振動が大きくなると言う問題があった。
【０００４】
特に、振動腕の基端部側の幅を先端部の幅よりも狭くした場合、振動腕がより捩れやすくなり、かかる問題が顕著となる。
仮に振動腕の基部側の幅を単に広くすると、振動腕の捩り剛性は高くなるが、振動腕の面内方向での剛性も極端に高くなってしまう。そのため、前述した単なるＨ字状の横断面を有する振動腕では、その長さを短くすることできず、振動片の小型化を十分に図ることができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−５８９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、小型化を図るとともに、不要な振動モードの振動を抑制しつつ、振動腕を面内方向に効率的に屈曲振動させることができる振動片および振動デバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動片は、基部と、
前記基部から第１の方向に延出するとともに、前記第１の方向に直交する第２の方向に並んで設けられ、前記第２の方向に屈曲振動する複数の振動腕とを有し、
前記各振動腕は、前記第１の方向および前記第２の方向の両方に直交する第３の方向を法線とする面であって、互いに対向する１対の主面と、前記第２の方向を法線とする面であって、互いに対向する１対の側面とを備え、
前記各主面には、前記第１の方向に延在する溝が形成され、
前記各側面には、前記第１の方向に延在する凸条が形成されていることを特徴とする。
【０００８】
このような本発明によれば、振動腕の各主面に第１の方向に延在する溝が設けられているので、振動腕に第２の方向の電界を効率的に印加することができる。
その上で、振動腕の各側面に第１の方向に延在する凸条が設けられているので、振動腕の第２の方向での曲げ剛性を抑えつつ捩り剛性を高めることができる。そのため、振動腕を第２の方向に屈曲振動させたときに、不要な振動モードの振動を抑制することができる。また、振動腕の第２の方向での曲げ剛性を抑えられるので、振動腕の長尺化を防止し、その結果、振動片の小型化を図ることができる。
これらのようなことから、本発明の振動片は、小型化を図るとともに、不要な振動モードの振動を抑制しつつ、振動腕を面内方向に効率的に屈曲振動させることができる。
【０００９】
［適用例２］
本発明の振動片では、前記振動腕の先端部には、該振動腕の基端部よりも横断面積の大きい質量部が設けられていることが好ましい。
これにより、振動腕の先端部の質量を大きくすることができる。そのため、振動腕の短尺化を図り、その結果、振動片の小型化を図ることができる。
【００１０】
［適用例３］
本発明の振動片では、前記質量部の前記第２の方向での幅は、該振動腕の基端部の前記第２の方向での幅と等しいことが好ましい。
これにより、質量部が振動腕の幅方向の両端から突出するのを防止することができる。そのため、振動腕の捩りモーメントに寄与する質量を減らし、不要な振動モードの振動を抑制することができる。また、質量部の第２の方向での幅が振動腕の基端部の第２の方向での幅と等しいと、質量部の第２の方向での幅が振動腕の基端部の第２の方向での幅よりも狭い場合に比し、振動腕の先端部（質量部）の質量を簡単に大きくすることができる。
【００１１】
［適用例４］
本発明の振動片では、前記質量部の前記第２の方向での幅は、該振動腕の基端部の前記第２の方向での幅よりも狭いことが好ましい。
これにより、質量部が振動腕の幅方向の両端から突出するのを防止することができる。そのため、質量部の第２の方向での幅が振動腕の基端部の第２の方向での幅と等しい場合に比し、振動腕の捩りモーメントに寄与する質量を減らし、不要な振動モードの振動を抑制することができる。また、振動腕の基端部の第２の方向での幅が質量部の第２の方向での幅よりも広くなるので、振動腕の捩り剛性を高めることができる。
【００１２】
［適用例５］
本発明の振動片では、前記質量部は、前記溝が形成されていないことが好ましい。
これにより、質量部の小型化を図りつつ、質量部の質量を大きくすることができる。
［適用例６］
本発明の振動片では、前記各凸条の先端部は、前記質量部の基端部に接続されていることが好ましい。
これにより、各凸条が質量部の捩れを防止または抑制することができる。
【００１３】
［適用例７］
本発明の振動片では、前記各凸条は、前記振動腕の前記第１の方向における前記質量部以外の部分の全域に亘って設けられていることが好ましい。
これにより、振動腕の長手方向での略全域に亘って捩り剛性を高めることができる。
［適用例８］
本発明の振動片では、前記質量部の前記第２の方向での幅をＷ１、前記振動腕の基端部の前記第２の方向での幅をＷ２としたとき、Ｗ２／Ｗ１は、１〜１．２であることが好ましい。
これにより、振動腕の不要な振動モードの振動を抑制しつつ、質量部の質量を大きくすることができる。
【００１４】
［適用例９］
本発明の振動片では、前記各凸条は、前記振動腕の前記第３の方向での中央部に設けられていることが好ましい。
これにより、振動腕の第２の方向での曲げ剛性を抑えつつ捩り剛性を高めることができる。
【００１５】
［適用例１０］
本発明の振動片では、前記各凸条の幅は、前記各凸条の高さよりも大きいことが好ましい。
これにより、振動腕の第２の方向での曲げ剛性を効果的に抑えることができる。
［適用例１１］
本発明の振動片では、前記各凸条の高さは、前記各凸条の幅よりも大きいことが好ましい。
これにより、振動腕の捩り剛性を効果的に高めることができる。
［適用例１２］
本発明の振動デバイスは、本発明の振動片と、
前記振動片を収納するパッケージとを備えることを特徴とする。
これにより、小型で、信頼性に優れた振動デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動デバイスを示す断面図である。
【図２】図１に示す振動デバイスを示す上面図である。
【図３】図２中のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図２に示す振動片に備えられた振動腕を示す部分斜視図である。
【図５】図２に示す振動片の製造方法を説明するための図である。
【図６】図２に示す振動片の製造方法を説明するための図である。
【図７】図２に示す振動片の製造方法を説明するための図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片の断面図である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片の断面図である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片の断面図である。
【図１１】本発明の第５実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の振動片および振動デバイスを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動デバイスを示す断面図、図２は、図１に示す振動デバイスを示す上面図、図３は、図２中のＡ−Ａ線断面図、図４は、図２に示す振動片に備えられた振動腕を示す部分斜視図、図５〜７は、それぞれ、図２に示す振動片の製造方法を説明するための図である。
【００１８】
なお、各図１〜４では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向（第２の方向）を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向（第１の方向）をＹ軸方向、Ｚ軸に平行な方向（第３の方向）をＺ軸方向と言う。また、以下の説明では、説明の便宜上、図１中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。また、図１、２、４では、励振電極群の図示を省略している。また、図５〜７では、図２中のＡ−Ａ線断面に対応する断面において、２つの振動腕のうちの一方の振動腕に対応する部分のみを図示し、他方の振動腕に対応する部分の図示を省略している。
図１に示す振動デバイス１は、振動片２と、この振動片２を収納するパッケージ３とを有する。
【００１９】
以下、振動デバイス１を構成する各部を順次詳細に説明する。
（振動片）
まず、振動片２について説明する。
振動片２は、図２に示すような音叉型の振動片である。この振動片２は、振動基板２１と、この振動基板２１上に設けられた接続電極４１、４２とを有している。また、振動片２は、図３に示すように、振動基板２１上に設けられた励振電極群２２、２３を有している。
【００２０】
振動基板２１は、図２に示すように、基部２７と、２つ（１対）の振動腕２８、２９と、１対の腕部２５とを有している。
振動基板（圧電体基板）２１は、圧電体材料で構成されている。
例えば、かかる圧電体材料としては、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。特に、振動基板２１を構成する圧電体材料としては水晶が好ましい。水晶で振動基板２１を構成すると、振動基板２１の振動特性を優れたものとすることができる。また、エッチングにより高い寸法精度で振動基板２１を形成することができる。
このような振動基板２１において、基部２７は、Ｚ軸方向を厚さ方向とする板状をなしている。
【００２１】
そして、基部２７には、２つの振動腕２８、２９および２つの腕部２４、２５が接続されている。
２つの振動腕２８、２９は、互いに平行となるように基部２７からそれぞれ延出して設けられている。より具体的には、２つの振動腕２８、２９は、基部２７からそれぞれＹ軸方向に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられている。
この振動腕２８、２９は、それぞれ、長手形状をなし、その基部２７側の端部（基端部）が固定端となり、基部２７と反対側の端部（先端部）が自由端となる。
【００２２】
また、振動腕２８、２９は、互いに同じ幅となるように形成されている。これにより、振動腕２８、２９を互いに反対方向に（逆相で）振動させたとき、振動漏れを少なくすることができる。
振動腕２８の先端部には、振動腕２８の基端部よりも横断面積の大きい質量部２８１が設けられている。同様に、振動腕２９の先端部には、振動腕２９の基端部よりも横断面積の大きい質量部２９１が設けられている。これにより、振動腕２８、２９の先端部の質量をそれぞれ大きくすることができる。そのため、振動腕２８、２９の短尺化を図り、その結果、振動片２の小型化を図ることができる。
【００２３】
また、図３に示すように、振動腕２８の上面（主面）には、Ｙ軸方向に延在する溝２８２が形成され、振動腕２８の下面（主面）には、Ｙ軸方向に延在する溝２８３が形成されている。ここで、振動腕２８の上面および下面は、Ｚ軸方向を法線とする面であって、互いに対向している。
このように振動腕２８の各主面にＹ軸方向に延在する溝２８２、２８３が設けられているので、後述する励振電極群２２を用いて振動腕２８にＸ軸方向の電界を効率的に印加することができる。
【００２４】
特に、振動腕２８の一方の側面（図３にて左側の側面）には、Ｙ軸方向に延在する凸条２８４が形成され、振動腕２８の他方の側面（図３にて右側の側面）には、Ｙ軸方向に延在する凸条２８５が形成されている。ここで、振動腕２８の１対の側面は、Ｘ軸方向を法線とする面であって、互いに対向している。
このように振動腕２８の各側面にＹ軸方向に延在する凸条２８４、２８５が設けられているので、振動腕２８のＸ軸方向での曲げ剛性を抑えつつ、振動腕２８の中心軸線まわりの捩り剛性（以下、単に「捩り剛性」と言う）を高めることができる。そのため、振動腕２８をＸ軸方向に屈曲振動させたときに、不要な振動モードの振動を抑制することができる。また、振動腕２８のＸ軸方向での曲げ剛性を抑えられるので、振動腕２８の長尺化を防止し、その結果、振動片２の小型化を図ることができる。
【００２５】
同様に、振動腕２９の上面（主面）には、Ｙ軸方向に延在する溝２９２が形成され、振動腕２９の下面（主面）には、Ｙ軸方向に延在する溝２９３が形成されている。ここで、振動腕２９の上面および下面は、Ｚ軸方向を法線とする面であって、互いに対向している。
このように振動腕２９の各主面にＹ軸方向に延在する溝２９２、２９３が設けられているので、後述する励振電極群２３を用いて振動腕２９にＸ軸方向の電界を効率的に印加することができる。
【００２６】
特に、振動腕２９の一方の側面（図３にて左側の側面）には、Ｙ軸方向に延在する凸条２９４が形成され、振動腕２９の他方の側面（図３にて右側の側面）には、Ｙ軸方向に延在する凸条２９５が形成されている。ここで、振動腕２９の１対の側面は、Ｘ軸方向を法線とする面であって、互いに対向している。
このように振動腕２９の各側面にＹ軸方向に延在する凸条２９４、２９５が設けられているので、振動腕２９のＸ軸方向での曲げ剛性を抑えつつ捩り剛性を高めることができる。そのため、振動腕２９をＸ軸方向に屈曲振動させたときに、不要な振動モードの振動を抑制することができる。また、振動腕２９のＸ軸方向での曲げ剛性を抑えられるので、振動腕２９の長尺化を防止し、その結果、振動片２の小型化を図ることができる。
【００２７】
以下、振動腕２８の構成について詳述する。なお、振動腕２９の構成については、振動腕２８と同様であるので、その説明を省略する。
振動腕２８においては、前述したような各溝２８２、２８３が振動腕２８のＹ軸方向における質量部２８１以外の部分に、その長手方向全域に亘って設けられている。これにより、後述する励振電極群２２を用いて振動腕２８にＸ軸方向の電界を効率的に印加することができる。
【００２８】
また、質量部２８１には、前述した溝２８２、２８３が形成されていない。これにより、質量部２８１の小型化を図りつつ、質量部２８１の質量を大きくすることができる。
すなわち、溝２８２、２８３を振動腕２８に形成することにより、振動腕２８の先端部以外の部分において、溝２８２、２８３の容積に対応した量の質量を減らすことができる。その結果、振動腕２８の先端部の質量を相対的に大きくすることができる。
【００２９】
なお、溝２８２、２８３は、振動腕２８のＹ軸方向における質量部２８１以外の部分に、その長手方向での全域に亘って設けられていなくてもよい。
本実施形態では、説明の便宜上、溝２８２、２８３の横断面は、それぞれ、正方形をなしている。なお、溝２８２、２８３の横断面形状は、正方形に限定されず、例えば、台形、平行四辺形、五角形等であってもよい。例えば、水晶基板のＸ軸（電気軸）方向、Ｙ軸（機械軸）方向およびＺ軸（光軸）方向がそれぞれ各図中のＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に対応し、その水晶基板をエッチングすることにより振動基板２１を形成した場合、エッチングの異方性により、溝２８２、２８３の横断面形状は、正確には正方形や長方形にはならず、五角形のような形状となる。なお、振動基板２１の製造方法については、後に詳述する。
【００３０】
また、溝２８２、２８３の幅（平均幅）は、前述したような振動腕２８の曲げ剛性および捩り剛性を実現し得るものであれば、特に限定されないが、振動腕２８の幅に対して０．１〜０．５倍程度であるのが好ましい。かかる幅が前記下限値未満であると、溝２８２、２８３の深さが比較的深い場合、溝２８２、２８３のアスペクト比が高くなりすぎて、溝２８２、２８３の形成や後述する励振電極群２２の形成が困難となる場合がある。一方、かかる幅が前記上限値を超えると、溝２８２、２８３の側壁部が薄くなりすぎて、振動腕２８に必要な機械的強度が得られなかったり、各凸条２８４、２８５の高さが低くなりすぎて、各凸条２８４、２８５によって振動腕２８の捩り剛性を高めるのが難しかったりする。
【００３１】
また、溝２８２、２８３の深さ（平均深さ）は、前述したような振動腕２８の曲げ剛性および捩り剛性を実現し得るものであれば、特に限定されないが、振動腕２８の幅に対して０．３〜０．４５倍程度であるのが好ましい。かかる深さ前記下限値未満であると、振動腕２８の横断面形状、寸法等によっては、励振電極群２３により振動腕２８に効率的に電圧を印加するのが難しい。一方、かかる深さが前記上限値を超えると、溝２８２、２８３の幅が比較的小さい場合、溝２８２、２８３のアスペクト比が高くなりすぎて、溝２８２、２８３の形成や後述する励振電極群２２の形成が困難となる場合がある。
【００３２】
これらのような観点から、溝２８２、２８３の深さ（平均深さ）は、溝２８２、２８３の幅に対して、０．５〜１．５倍程度であるのが好ましい。
また、振動腕２８においては、前述したような各凸条２８４、２８５が振動腕２８のＹ軸方向における質量部２８１以外の部分の全域に亘って設けられている。これにより、振動腕２８の長手方向での略全域に亘って捩り剛性を高めることができる。
【００３３】
また、各凸条２８４、２８５の先端部は、質量部２８１の基端部２８１１に接続されている。これにより、各凸条２８４、２８５が質量部２８１の捩れを防止または抑制することができる。
また、各凸条２８４、２８５は、振動腕２８の厚さ方向（Ｚ軸方向）での中央部に設けられている。これにより、振動腕２８のＸ軸方向での曲げ剛性を抑えつつ捩り剛性を高めることができる。
【００３４】
本実施形態では、各凸条２８４、２８５は、振動腕２８の長手方向において各溝２８２、２８３とほぼ同じ範囲に設けられている。なお、振動腕２８の長手方向における各凸条２８４、２８５の形成範囲は、各溝２８２、２８３の形成範囲と異なっていてもよい。また、各凸条２８４、２８５の先端が前述した質量部２８１上まで及んでいてもよい。
本実施形態では、説明の便宜上、凸条２８４、２８５の横断面は、それぞれ、正方形をなしている。なお、凸条２８４、２８５の横断面形状は、正方形に限定されず、例えば、台形、平行四辺形、五角形等であってもよい。また、凸条２８４の横断面形状と凸条２８５の横断面形状とが異なっていてもよい。例えば、水晶基板のＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向がそれぞれ各図中のＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に対応し、その水晶基板をエッチングすることにより振動基板２１を形成した場合、エッチングの異方性により、凸条２８４、２８５の横断面形状は、正確には正方形や長方形にはならず、また、凸条２８４の横断面と凸条２８５の横断面とが互いに異なる形状となる。
【００３５】
また、凸条２８４、２８５の幅（平均幅）は、前述したような振動腕２８の曲げ剛性および捩り剛性を実現し得るものであれば、特に限定されないが、振動腕２８の厚さ（Ｚ軸方向での寸法）に対して０．０５〜０．３倍程度であるのが好ましい。かかる幅が前記下限値未満であると、凸条２８４、２８５の横断面形状等によっては、凸条２８４、２８５の機械的強度が不足する場合がある。一方、かかる幅が前記上限値を超えると、振動腕２８のＸ軸方向での曲げ剛性が極端に上昇する傾向を示す。
【００３６】
また、本実施形態では、凸条２８４、２８５の幅は、前述した１対の溝２８２、２８３間の距離、すなわち、各溝２８２、２８３の底壁の厚さに等しくなっている。
また、凸条２８４、２８５の高さ（平均高さ）は、それぞれ、前述したような振動腕２８の曲げ剛性および捩り剛性を実現し得るものであれば、特に限定されないが、振動腕２８の幅に対して０．０５〜０．２倍程度であるのが好ましい。かかる高さが前記下限値未満であると、凸条２８４、２８５の幅の大きさ等によっては、振動腕２８の捩り剛性を高めることが難しい。一方、かかる高さが前記上限値を超えると、振動腕２８のＸ軸方向での曲げ剛性が極端に上昇する傾向を示す。
【００３７】
これらのような観点から、凸条２８４、２８５の高さ（平均高さ）は、凸条２８４、２８５の幅に対して、０．５〜５倍程度であるのが好ましい。
また、振動腕２８のＹ軸方向における質量部２８１以外の部分の幅は、質量部２８１の幅と等しい。すなわち、質量部２８１のＸ軸方向での幅Ｗ１は、振動腕２８の基端部のＸ軸方向での幅Ｗ２と等しい。これにより、質量部２８１が振動腕２８の幅方向の両端から突出するのを防止することができる。そのため、振動腕２８の捩りモーメントに寄与する質量を減らし、不要な振動モードの振動を抑制することができる。また、質量部２８１のＸ軸方向での幅が振動腕２８の基端部のＸ軸方向での幅と等しいと、質量部２８１のＸ軸方向での幅が振動腕２８の基端部のＸ軸方向での幅よりも狭い場合に比し、振動腕２８の先端部（質量部２８１）の質量を簡単に大きくすることができる。
【００３８】
また、質量部２８１のＸ軸方向での幅をＷ１、振動腕２８の基端部のＸ軸方向での幅をＷ２としたとき、Ｗ２／Ｗ１は、１〜１．２であるのが好ましく、１〜１．１であるのがより好ましい。これにより、振動腕２８の不要な振動モードの振動を抑制しつつ、質量部２８１の質量を大きくすることができる。
これに対し、Ｗ２／Ｗ１が前記下限値未満であると、質量部２８１の幅方向での両端が振動腕２８の幅方向に突出し、その突出した部分の質量が振動腕２８の捩りモーメントに寄与するため、不要な振動モードの振動が増加する傾向を示す。一方、Ｗ２／Ｗ１が前記上限値を超えると、振動腕２８の曲げ剛性が極端に上昇する傾向を示す。
【００３９】
以上説明したような振動腕２８、２９は、励振電極群２２、２３への通電により、励振される。
図３に示すように、前述した振動腕２８上には、励振電極群２２が設けられ、また、振動腕２９上には、励振電極群２３が設けられている。
励振電極群２２は、通電により振動腕２８を屈曲振動（励振）させる機能を有する。また、励振電極群２３は、通電により振動腕２９を屈曲振動（励振）させる機能を有する。
【００４０】
このような励振電極群２２は、前述した振動腕２８の上面（より具体的には溝２８２の壁面）上に設けられた励振電極２２１と、振動腕２８の下面（より具体的には溝２８３の壁面）上に設けられた励振電極２２２と、振動腕２８の一方の側面（図３にて左側の側面）上に設けられた励振電極２２３と、振動腕２８の他方の側面（図３にて右側の側面）上に設けられた励振電極２２４とで構成されている。
【００４１】
励振電極２２１、２２２、２２３、２２４は、それぞれ、振動腕２８の基端付近から先端部付近まで延在している。また、励振電極２２１、２２２、２２３、２２４のＸ軸方向での幅が、それぞれ、Ｙ軸方向での全域に亘って一定となっている。
同様に、励振電極群２３は、前述した振動腕２９の上面上に設けられた励振電極２３１と、振動腕２９の下面上に設けられた励振電極２３２と、振動腕２９の一方の側面上に設けられた励振電極２３３と、振動腕２９の他方の側面上に設けられた励振電極２３４とで構成されている。
【００４２】
励振電極２３１、２３２、２３３、２３４は、それぞれ、振動腕２９の基端付近から先端部付近まで延在している。また、励振電極２３１、２３２、２３３、２３４のＸ軸方向での幅が、それぞれ、Ｙ軸方向での全域に亘って一定となっている。
このような励振電極２２１、２２２、２３３、２３４は、図示しない配線を介して後述する接続電極４１に電気的に接続されている。また、励振電極２２３、２２４、２３１、２３２は、図示しない配線を介して後述する接続電極４２に電気的に接続されている。
【００４３】
このような構成の振動片２においては、接続電極４１と接続電極４２との間に電圧を印加すると、励振電極２２１、２２２、２３３、２３４と、励振電極２２３、２２４、２３１、２３２が逆極性となるようにして、振動腕２８、２９にそれぞれＸ軸方向成分を含む方向の電圧が印加される。そして、圧電材料の逆圧電効果により、ある一定の周波数（共鳴周波数）で各振動腕２８、２９をＸ軸方向に屈曲振動させることができる。このとき、振動腕２８、２９は、互いに反対方向に屈曲振動される。
【００４４】
また、このように各振動腕２８、２９が屈曲振動すると、接続電極４１、４２間には、圧電材料の圧電効果により、ある一定の周波数で電圧が発生する。これらの性質を利用して、振動片２は、共鳴周波数で振動する電気信号を発生させることができる。
このような励振電極群２２、２３、接続電極４１、４２および配線（図示せず）は、それぞれ、アルミニウム、アルミニウム合金、銀、銀合金、金、金合金、クロム、クロム合金、金等の導電性に優れた金属材料により形成することができる。
【００４５】
また、これらの電極等の形成方法としては、スパッタリング法、真空蒸着法等の物理成膜法、ＣＶＤ等の化学蒸着法、インクジェット法等の各種塗布法等が挙げられる。
このような２つの振動腕２８、２９に対してＸ軸方向における両外側には、振動腕２８、２９と平行となるように、１対（２つ）の腕部（外側腕部）２４、２５が設けられている。
【００４６】
この２つの腕部２４、２５は、互いに平行となるように基部２７からそれぞれ延出して設けられている。より具体的には、２つの腕部２４、２５は、基部２７からそれぞれＹ軸方向に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられている。
このような腕部２４の下面上には、接続電極４２が設けられ、一方、腕部２５の下面上には、接続電極４１が設けられている。そして、後述するように、導電性接着剤３６ａ、３６ｂを介してマウント電極３５ａ、３５ｂに電気的に接続されるとともに、パッケージ３のベース基板３１に固定されている。
【００４７】
（パッケージ）
次に、振動片２を収容・固定するパッケージ３について説明する。
パッケージ３は、図１に示すように、板状のベース基板３１と、枠状の枠部材３２と、板状の蓋部材３３とを有している。ベース基板３１、枠部材３２および蓋部材３３は、下側から上側へこの順で積層されており、ベース基板３１と枠部材３２は、後述のセラミック材料等で形成されており、互いに一体に焼成されることで接合されている。そして、枠部材３２と蓋部材３３は、接着剤あるいはろう材等により接合されている。そして、パッケージ３は、ベース基板３１、枠部材３２および蓋部材３３で画成された内部空間Ｓに、振動片２を収納している。なお、パッケージ３内には、振動片２の他、振動片２を駆動する電子部品等を収納することもできる。
【００４８】
ベース基板３１の構成材料としては、絶縁性（非導電性）を有しているものが好ましく、例えば、各種ガラス、酸化物セラミックス、窒化物セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックス材料、ポリイミド等の各種樹脂材料などを用いることができる。
また、枠部材３２および蓋部材３３の構成材料としては、例えば、ベース基板３１と同様の構成材料、Ａｌ、Ｃｕのような各種金属材料、各種ガラス材料等を用いることができる。特に、蓋部材３３の構成材料として、ガラス材料等の光透過性を有するものを用いた場合、振動片２に予め金属被覆部（図示せず）を形成しておくと、振動片２をパッケージ３内に収容した後であっても、蓋部材３３を介して前記金属被覆部にレーザーを照射し、前記金属被覆部を除去して振動片２の質量を減少させることにより（質量削減方式により）、振動片２の周波数調整を行うことができる。
【００４９】
また、ベース基板３１の上面には、一対のマウント電極３５ａ、３５ｂが内部空間Ｓに露出するように形成されている。このマウント電極３５ａ、３５ｂの上には、それぞれ、導電性粒子を含有するエポキシ系、ポリイミド系等の導電性接着剤３６ａ、３６ｂが塗布されて（盛られて）おり、さらに、この導電性接着剤３６ａ、３６ｂ上に、前述した振動片２が載置されている。これにより、振動片２（基部２７）がマウント電極３５ａ、３５ｂ（ベース基板３１）に確実に固定される。
【００５０】
なお、この固定は、導電性接着剤３６ａが振動片２の接続電極４１に接触するとともに、導電性接着剤３６ｂが振動片２の接続電極４２に接触するように、振動片２を導電性接着剤３６ａ、３６ｂ上に載置して行う。これにより、導電性接着剤３６ａ、３６ｂを介して、振動片２がベース基板３１に固定されるとともに、接続電極４１とマウント電極３５ａが導電性接着剤３６ａを介して電気的に接続されるとともに、接続電極４２とマウント電極３５ｂが導電性接着剤３６ｂを介して電気的に接続される。
【００５１】
この導電性接着剤３６ａ、３６ｂは、Ｚ軸方向から見たときに、振動片２の重心を通りＸ軸方向に延びる線分上に位置している。これにより、振動片２をＹ軸方向における一部分にてパッケージ３に対して固定する場合であっても、振動片２をパッケージ３に対して安定的に固定することができる。
また、ベース基板３１の下面には、４つの外部端子３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄが設けられている。
【００５２】
これら４つの外部端子３４ａ〜３４ｄのうち、外部端子３４ａ、３４ｂは、それぞれ、ベース基板３１に形成されたビアホールに設けられた導体ポスト（図示せず）を介してマウント電極３５ａ、３５ｂに電気的に接続されたホット端子である。また、他の２つの外部端子３４ｃ、３４ｄは、それぞれ、パッケージ３を実装用基板に実装するときに、接合強度を高めたり、パッケージ３と実装用基板との間の距離を均一化するためのダミー端子である。
【００５３】
このようなマウント電極３５ａ、３５ｂおよび外部端子３４ａ〜３４ｄは、それぞれ、例えば、タングステンおよびニッケルメッキの下地層に、金メッキを施すことで形成することができる。
なお、マウント電極３５ａ、３５ｂと接続電極４１、４２とを例えばワイヤーボンディング技術により形成された金属ワイヤー（ボンディングワイヤー）を介して電気的に接続してもよい。この場合、導電性接着剤３６ａ、３６ｂに代えて、導電性を有しない接着剤を介して、振動片２をベース基板３１に対して固定することができる。また、パッケージ３内部に電子部品を収納した場合、ベース基板３１の下面には、必要に応じて、電子部品の特性検査や、電子部品内の各種情報（例えば、振動デバイスの温度補償情報）の書き換え（調整）を行うための書込端子が形成されていてもよい。また、パッケージ３に対する振動片２の固定位置は、前述した腕部２４、２５に限定されず、例えば、基部２７であってもよい。
【００５４】
ここで、図５ないし図７に基づいて、前述したように構成された振動デバイス１に備えられた振動片２の振動基板２１の製造方法の一例について説明する。なお、以下の説明では、説明の便宜上、振動基板２１の振動腕２８の部分の形成について説明する。また、以下の説明では、振動基板２１が水晶で構成されている場合を代表的に説明する。
振動基板２１の製造方法は、［１］振動基板２１の外形を形成する工程と、［２］溝２８２、２８３および凸条２８４、２８５を形成する工程と、［３］励振電極群２２、２３を形成する工程とを有する。
【００５５】
以下、各工程を順次詳細に説明する。
［１］
まず、図５（ａ）に示すように、振動基板２１を形成するための水晶基板１２８を用意する。
この水晶基板１２８は、その電気軸、機械軸および光軸がそれぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向となるように切り出されたものである。
【００５６】
そして、図５（ｂ）に示すように、水晶基板１２８上に、耐蝕膜１０１を形成する。
この耐蝕膜１０１は、振動基板２１の外形に対応した領域に形成される。
また、耐蝕膜１０１は、例えば、Ｃｒで構成された下地層上に、Ａｕで構成された層が積層されている。
また、耐蝕膜１０１は、例えば、スパッタ、蒸着等によりＣｒ、Ａｕを順次積層した後に、フォトリソグラフィ法により形成されたマスクを介してエッチングすることにより、振動基板２１の平面視形状（外形）と同形状に形成される。
【００５７】
次に、図５（ｃ）に示すように、耐蝕膜１０１上に、マスク１０２を形成する。
このマスク１０２は、溝２８２、２８３の壁部に対応した領域に形成される。
また、マスク１０２は、例えば、フォトリソグラフィ法を用い、フォトレジストを塗布し、露光、現像を行って形成される。
その後、耐蝕膜１０１をエッチングマスクとして用いて水晶基板１２８をウエットエッチングする。これにより、図６（ａ）に示すように、水晶基板１２８Ａを得る。
この水晶基板１２８Ａの平面視形状は、振動基板２１と平面視形状とほぼ同形状をなす。
【００５８】
［２］
次に、マスク１０２をエッチングマスクとして用いて耐蝕膜１０１をエッチングする。これにより、図６（ｂ）に示すように、耐蝕膜１０１Ａを得る。
この耐蝕膜１０１Ａの平面視形状は、マスク１０２の平面視形状とほぼ同形状をなす。
そして、マスク１０２および耐蝕膜１０１Ａをエッチングマスクとして用いて水晶基板１２８Ａをウエットエッチングする。これにより、図６（ｃ）に示すように、溝２８２、２８３および凸条２８４、２８５を有する振動腕２８が形成される。すなわち、振動基板２１が形成される。
【００５９】
かかるウエットエッチングは、ハーフエッチングとなるように、エッチング時間を管理する。これにより、振動腕２８の厚さ方向での中央部が残存し、溝２８２、２８３および凸条２８４、２８５が形成される。
その後、耐蝕膜１０１Ａおよびマスク１０２を除去して、図７（ａ）に示すように、振動腕２８の表面が露出される。
【００６０】
［３］
次に、図７（ｂ）に示すように、振動腕２８の表面に導体膜１０３を形成する。
導体膜１０３は、励振電極群２２となるものであり、励振電極群２２と同様の構成材料で構成されている。
また、導体膜１０３は、例えば、前述した耐蝕膜１０１と同様の構成および形成方法により形成される。
【００６１】
そして、図７（ｃ）に示すように、導体膜１０３をエッチングすることにより、励振電極群２２が形成される。
かかるエッチングは、例えば、フォトリソグラフィ法により前述したマスク１０２と同形状に形成されたマスクを介して行われる。
以上のようにして、溝２８２、２８３および凸条２８４、２８５を有するとともに励振電極群２２が形成された振動腕２８が形成される。
【００６２】
以上説明したような第１実施形態によれば、振動腕２８、２９の各主面にＹ軸方向に延在する溝２８２、２８３、２９２、２９３が設けられているので、振動腕２８にＸ軸方向の電界を効率的に印加することができる。
また、振動腕２８、２９の各側面にＹ軸方向に延在する凸条２８４、２８５、２９４、２９５が設けられているので、振動腕２８、２９のＸ軸方向での曲げ剛性を抑えつつ捩り剛性を高めることができる。そのため、振動腕２８、２９をＸ軸方向に屈曲振動させたときに、不要な振動モードの振動を抑制することができる。また、振動腕２８、２９のＸ軸方向での曲げ剛性を抑えられるので、振動腕２８、２９の長尺化を防止し、その結果、振動片２の小型化を図ることができる。
また、このような振動片２をパッケージ３内に収納した振動デバイス１は、小型で、信頼性に優れたものとなる。
【００６３】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第２実施形態について説明する。
図８は、本発明の第２実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片の断面図である。
以下、第２実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６４】
第２実施形態の振動デバイスは、振動腕の凸条の幅が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図８では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
本実施形態の振動デバイス１Ａは、図８に示すように、パッケージ３内に収納された振動片２Ａを有する。
【００６５】
この振動片２Ａは、振動基板２１Ａと、その表面上に形成された励振電極群２２、２３とを有している。
振動基板２１Ａは、Ｙ軸方向に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられた１対の振動腕２８Ａ、２９Ａを有している。
以下、振動腕２８Ａについて詳述する。なお、凸条２９４Ａ、２９５Ａを有する振動腕２９Ａについては、振動腕２８Ａと同様の構成であるので、その説明を省略する。
【００６６】
振動腕２８Ａの先端部には、振動腕２８Ａの基端部よりも横断面積の大きい質量部２８１が設けられている。
振動腕２８Ａの上面（主面）には、Ｙ軸方向に延在する溝２８２が形成され、振動腕２８の下面（主面）には、Ｙ軸方向に延在する溝２８３が形成されている。
また、振動腕２８Ａの一方の側面（図８にて左側の側面）には、Ｙ軸方向に延在する凸条２８４Ａが形成され、振動腕２８の他方の側面（図８にて右側の側面）には、Ｙ軸方向に延在する凸条２８５Ａが形成されている。
【００６７】
特に、本実施形態では、各凸条２８４Ａ、２８５Ａの高さは、各凸条２８４Ａ、２８５Ａの幅よりも小さい。言い換えると、各凸条２８４Ａ、２８５Ａの幅は、各凸条２８４Ａ、２８５Ａの高さよりも大きい。これにより、振動腕２８ＡのＸ軸方向での曲げ剛性を効果的に抑えることができる。
また、以上説明したような第２実施形態によっても、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００６８】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第３実施形態について説明する。
図９は、本発明の第３実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片の断面図である。
以下、第３実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６９】
第３実施形態の振動デバイスは、振動腕の溝の深さが異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図９では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
本実施形態の振動デバイス１Ｂは、図９に示すように、パッケージ３内に収納された振動片２Ｂを有する。
【００７０】
この振動片２Ｂは、振動基板２１Ｂと、その表面上に形成された励振電極群２２、２３とを有している。
振動基板２１Ｂは、Ｙ軸方向に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられた１対の振動腕２８Ｂ、２９Ｂを有している。
以下、振動腕２８Ｂについて詳述する。なお、溝２９２Ｂ、２９３Ｂを有する振動腕２９Ｂについては、振動腕２８Ｂと同様の構成であるので、その説明を省略する。
【００７１】
振動腕２８Ｂの先端部には、振動腕２８Ｂの基端部よりも横断面積の大きい質量部２８１が設けられている。
振動腕２８Ｂの上面（主面）には、Ｙ軸方向に延在する溝２８２Ｂが形成され、振動腕２８Ｂの下面（主面）には、Ｙ軸方向に延在する溝２８３Ｂが形成されている。
また、振動腕２８Ｂの一方の側面（図９にて左側の側面）には、Ｙ軸方向に延在する凸条２８４が形成され、振動腕２８Ｂの他方の側面（図９にて右側の側面）には、Ｙ軸方向に延在する凸条２８５が形成されている。
【００７２】
特に、本実施形態では、各溝２８２Ｂ、２８３Ｂの深さが、各溝２８２Ｂ、２８３Ｂの幅よりも小さくなっている。言い換えると、各溝２８２Ｂ、２８３Ｂの幅が、各溝２８２Ｂ、２８３Ｂの深さよりも大きくなっている。これにより、凸条２８４、２８５の幅は、１対の溝２８２Ｂ、２８３Ｂ間の距離、すなわち、各溝２８２Ｂ、２８３Ｂの底壁の厚さに等しくなっている。
また、以上説明したような第３実施形態によっても、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００７３】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第４実施形態について説明する。
図１０は、本発明の第４実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片の断面図である。
以下、第４実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００７４】
第４実施形態の振動デバイスは、振動腕の凸条の高さが異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１０では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
本実施形態の振動デバイス１Ｃは、図１０に示すように、パッケージ３内に収納された振動片２Ｃを有する。
【００７５】
この振動片２Ｃは、振動基板２１Ｃと、その表面上に形成された励振電極群２２、２３とを有している。
振動基板２１Ｃは、Ｙ軸方向に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられた１対の振動腕２８Ｃ、２９Ｃを有している。
以下、振動腕２８Ｃについて詳述する。なお、凸条２９４Ｃ、２９５Ｃを有する振動腕２９Ｃについては、振動腕２８Ｃと同様の構成であるので、その説明を省略する。
【００７６】
振動腕２８Ｃの先端部には、振動腕２８Ｃの基端部よりも横断面積の大きい質量部２８１が設けられている。
また、振動腕２８Ｃの上面（主面）には、Ｙ軸方向に延在する溝２８２が形成され、振動腕２８Ｃの下面（主面）には、Ｙ軸方向に延在する溝２８３が形成されている。
また、振動腕２８Ｃの一方の側面（図１０にて左側の側面）には、Ｙ軸方向に延在する凸条２８４Ｃが形成され、振動腕２８Ｃの他方の側面（図１０にて右側の側面）には、Ｙ軸方向に延在する凸条２８５Ｃが形成されている。
特に、本実施形態では、各凸条２８４Ｃ、２８５Ｃの高さは、各凸条２８４Ｃ、２８５Ｃの幅よりも大きい。言い換えると、各凸条２８４Ｃ、２８５Ｃの幅は、各凸条２８４Ｃ、２８５Ｃの高さよりも小さい。これにより、振動腕２８Ｃの捩り剛性を効果的に高めることができる。
【００７７】
また、質量部２８１のＸ軸方向での幅Ｗ１は、振動腕２８Ｃの基端部のＸ軸方向での幅Ｗ２よりも狭い。言い換えると、振動腕２８Ｃの基端部のＸ軸方向での幅Ｗ２は、質量部２８１のＸ軸方向での幅Ｗ１よりも広い。これにより、質量部２８１が振動腕２８Ｃの幅方向の両端から突出するのを防止することができる。そのため、質量部２８１のＸ軸方向での幅Ｗ１が振動腕２８Ｃの基端部のＸ軸方向での幅Ｗ２と等しい場合に比し、振動腕２８Ｃの捩りモーメントに寄与する質量を減らし、不要な振動モードの振動を抑制することができる。また、振動腕２８Ｃの基端部のＸ軸方向での幅Ｗ２が質量部２８１のＸ軸方向での幅Ｗ１よりも広くなるので、振動腕２８Ｃの捩り剛性を高めることができる。
また、以上説明したような第４実施形態によっても、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００７８】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第５実施形態について説明する。
図１１は、本発明の第５実施形態に係る振動デバイスに備えられた振動片の断面図である。
以下、第５実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００７９】
第５実施形態の振動デバイスは、振動腕の溝の数および幅が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１１では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
本実施形態の振動デバイスは、図１１に示すように、パッケージ３内に収納された振動片２Ｄを有する。
【００８０】
この振動片２Ｄは、振動基板２１Ｄと、その表面上に形成された励振電極群２２、２３とを有している。
振動基板２１Ｄは、Ｙ軸方向に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられた１対の振動腕２８Ｄ、２９Ｄを有している。
また、振動腕２８Ｄ上には、励振電極２２１Ｄ、２２２Ｄ、２２３Ｄ、２２４Ｄで構成された励振電極群２２Ｄが設けられ、また、振動腕２９Ｄ上には、励振電極２３１Ｄ、２３２Ｄ、２３３Ｄ、２３４Ｄで構成された励振電極群２３Ｄが設けられている。
以下、振動腕２８Ｄについて詳述する。なお、溝２９２１、２９２２、２９３１、２９３２および質量部２９１Ｄを有する振動腕２９Ｄについては、振動腕２８Ｄと同様の構成であるので、その説明を省略する。
【００８１】
振動腕２８Ｄの先端部には、振動腕２８Ｄの基端部よりも横断面積の大きい質量部２８１Ｄが設けられている。
また、振動腕２８Ｄの上面（主面）には、Ｙ軸方向に延在する２つの溝２８２１、２８２２が形成され、振動腕２８Ｄの下面（主面）には、Ｙ軸方向に延在する２つの溝２８３１、２８３２が形成されている。これにより、振動腕２８Ｄの幅方向での中央部には、上下にそれぞれ突出する凸条が形成されている。
【００８２】
また、振動腕２８Ｄの一方の側面（図１１にて左側の側面）には、Ｙ軸方向に延在する凸条２８４が形成され、振動腕２８Ｄの他方の側面（図１１にて右側の側面）には、Ｙ軸方向に延在する凸条２８５が形成されている。
このような振動腕２８Ｄによれば、振動腕２８Ｄの幅方向での中央部に上下にそれぞれ突出する凸条が形成されているので、振動腕２８のＸ軸方向での曲げ剛性を抑えつつ捩り剛性を効果的に高めることができる。
また、以上説明したような第５実施形態によっても、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００８３】
以上説明したような各実施形態の振動デバイスは、各種の電子機器に適用することができ、得られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。
本発明の振動デバイスを備える電子機器としては、特に限定されないが、例えば、パーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラ、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレータ等が挙げられる。
【００８４】
以上、本発明の振動片および振動デバイスを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
例えば、前述した実施形態では、振動片が２つの振動腕を有する場合を例に説明したが、これに限定されず、振動腕の数は、３以上であってもよい。
【００８５】
また、前述した実施形態では、各振動腕が圧電体材料で構成され、各振動腕上に設けた励振電極に通電することにより各振動腕を励振させる構成を例に説明したが、これに限定されず、例えば、各振動腕上に、電極層、圧電体層、電極層をこの順で積層してなる圧電素子を設け、その圧電素子の伸縮により振動腕を振動させる構成であってもよい。
また、本発明の振動デバイスは、水晶発振器（ＳＰＸＯ）、電圧制御水晶発振器（ＶＣＸＯ）、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）、恒温槽付水晶発振器（ＯＣＸＯ）等の圧電発振器の他、ジャイロセンサー等に適用される。
【符号の説明】
【００８６】
１‥‥振動デバイス  ２‥‥振動片  ２Ａ‥‥振動片  ２Ｂ‥‥振動片  ２Ｃ‥‥振動片  ２Ｄ‥‥振動片  ３‥‥パッケージ  ２１‥‥振動基板  ２１Ａ‥‥振動基板  ２１Ｂ‥‥振動基板  ２１Ｃ‥‥振動基板  ２１Ｄ‥‥振動基板  ２２‥‥励振電極群  ２２Ｄ‥‥励振電極群  ２３‥‥励振電極群  ２３Ｄ‥‥励振電極群  ２４‥‥腕部  ２５‥‥腕部  ２７‥‥基部  ２８‥‥振動腕  ２８Ａ‥‥振動腕  ２８Ｂ‥‥振動腕  ２８Ｃ‥‥振動腕  ２８Ｄ‥‥振動腕  ２９‥‥振動腕  ２９Ａ‥‥振動腕  ２９Ｂ‥‥振動腕  ２９Ｃ‥‥振動腕  ２９Ｄ‥‥振動腕  ３１‥‥ベース基板  ３２‥‥枠部材  ３３‥‥蓋部材  ３４ａ‥‥外部端子  ３４ｂ‥‥外部端子  ３４ｃ‥‥外部端子  ３４ｄ‥‥外部端子  ３５ａ‥‥マウント電極  ３５ｂ‥‥マウント電極  ３６ａ‥‥導電性接着剤  ３６ｂ‥‥導電性接着剤  ４１‥‥接続電極  ４２‥‥接続電極  １０１‥‥耐蝕膜  １０１Ａ‥‥耐蝕膜  １０２‥‥マスク  １０３‥‥導体膜  １２８‥‥水晶基板  １２８Ａ‥‥水晶基板  ２２１‥‥励振電極  ２２１Ｄ‥‥励振電極  ２２２‥‥励振電極  ２２２Ｄ‥‥励振電極  ２２３‥‥励振電極  ２２３Ｄ‥‥励振電極  ２２４‥‥励振電極  ２２４Ｄ‥‥励振電極  ２３１‥‥励振電極  ２３１Ｄ‥‥励振電極  ２３２‥‥励振電極  ２３２Ｄ‥‥励振電極  ２３３‥‥励振電極  ２３３Ｄ‥‥励振電極  ２３４‥‥励振電極  ２３４Ｄ‥‥励振電極  ２８１‥‥質量部  ２８１Ｄ‥‥質量部  ２８２‥‥溝  ２８２Ｂ‥‥溝  ２８３‥‥溝  ２８３Ｂ‥‥溝  ２８４‥‥凸条  ２８４Ａ‥‥凸条  ２８４Ｃ‥‥凸条  ２８５‥‥凸条  ２８５Ａ‥‥凸条  ２８５Ｃ‥‥凸条  ２９１‥‥質量部  ２９１‥‥質量部  ２９１Ｄ‥‥質量部  ２９２‥‥溝  ２９２Ｂ‥‥溝  ２９３‥‥溝  ２９３Ｂ‥‥溝  ２９４‥‥凸条  ２９４Ａ‥‥凸条  ２９４Ｃ‥‥凸条  ２９５‥‥凸条  ２９５Ａ‥‥凸条  ２９５Ｃ‥‥凸条  ２８１１‥‥基端部  ２８２１‥‥溝  ２８２２‥‥溝  ２８３１‥‥溝  ２８３２‥‥溝  ２９２１‥‥溝  ２９２２‥‥溝  ２９３１‥‥溝  ２９３２‥‥溝  Ｗ１‥‥幅  Ｗ２‥‥幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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