(57)【要約】【課題】導波路型光素子の一部がマウントの凸部に固定された光部品において、熱応力および機械的外力による光学特性の劣化を抑制すること。【解決手段】第２の導波路型光素子２０２には、互いに対向する第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２がマウント２１０との間に間隙を設けて固定される。マウント２１０には、第１及び第２の押さえ支持台３１１、３１２が設けられ、これらも互いに対向している。第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２の上に押さえ部材３１３が配置され、これは、第１及び第２の押さえ支持台３１１、３１２により、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２との間に間隙を設けて固定される。第２の導波路型光素子２０２並びに第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２は、周囲の部材と固定されておらず、マウント２１０に平行な方向（図３の紙面に垂直な方向）に摺動可能である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導波路型光素子の一部がマウントの凸部に固定された光部品において、
前記導波路型光素子の、前記凸部に固定されていない部分の側壁に固定された、光素子支持台と、
前記マウントに対向するように、前記光素子支持台の上に配置された押さえ部材と、
前記マウントに設けられた、前記押さえ部材を固定する押さえ支持台と
を備え、
前記光素子支持台は、前記マウント及び前記押さえ部材に対して平行な方向には摺動可能な程度に、前記マウント及び前記押さえ部材に挟まれていることを特徴とする光部品。
【請求項２】
前記押さえ支持台は、互いに対向する第１及び第２の押さえ支持台であって、前記押さえ部材の両端を固定する第１及び第２の押さえ支持台を備え、
前記光素子支持台は、前記マウントと前記押さえ部材との間に間隙を設けて挟まれており、前記マウント及び前記押さえ部材に対して平行な方向に摺動可能であることを特徴とする請求項１に記載の光部品。
【請求項３】
前記押さえ支持台と前記マウントは、一体化されており、前記導波路型光素子を収納するケースであることを特徴とする請求項１又は２に記載の光部品。
【請求項４】
前記光素子支持台は、前記光部品の振動によって前記導波路型光素子の前記凸部に固定されていない部分に発生する振動モードの振幅の腹近傍に固定されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光部品。
【請求項５】
前記光素子支持台と前記導波路型光素子との間、前記押さえ部材と前記第１及び第２の押さえ支持台との間、又は前記押さえ支持台と前記マウントとの間が、紫外線硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、又は半田の溶接によって固定されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の光部品。
【請求項６】
前記光素子支持台と、前記マウント及び前記押さえ部材との間の間隔が１μｍから１０μｍであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の光部品。
【請求項７】
前記光素子支持台と、前記マウント及び前記押さえ部材の少なくとも一方との間の前記間隙に潤滑オイルが充填されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の光部品。
【請求項８】
前記光素子支持台は、前記マウント及び前記押さえ部材との接触面積が小さくなるように面取りされていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の光部品。
【請求項９】
前記光素子支持台の材料の熱膨張係数は、前記光素子支持台が固定されている前記導波路型光素子の前記部分の熱膨張係数にほぼ等しいことを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の光部品。
【請求項１０】
前記光素子支持台は、高分子材料で構成されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の光部品。
【請求項１１】
導波路型光素子の一部がマウントの凸部に固定された光部品の作製方法であって、
前記導波路型光素子を、前記凸部に固定するステップと、
光素子支持台を、前記導波路型光素子の前記マウントに固定されていない部分に固定するステップと、
前記光素子支持台の上に、前記マウントと対向するように押さえ部材を配置するステップと、
前記押さえ部材を前記マウント上の押さえ支持台で固定するステップと
を含み、
前記光素子支持台は、前記マウント及び前記押さえ部材に対して平行な方向には摺動可能な程度に、前記マウント及び前記押さえ部材に挟まれていることを特徴とする作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光部品に関し、より詳細には、導波路型光素子を備える光部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信システムの高度化に伴い、高機能な光モジュール（光部品）の需要が高まっている。導波路型光素子は、基板上に光導波路を形成することによって様々な光波回路を実現することができ、光モジュールの構成部品として用いられている。光モジュールの更なる高機能化のために、異なる機能を有する導波路型光素子を集積化したり、レンズ・空間位相変調器等の空間光学系部品と導波路型光素子とを集積化したハイブリッド光モジュールが実現されている。具体的な光モジュールの例としては、（１）アレイ導波路格子（ＡＷＧ）と可変光減衰器（ＶＯＡ）を異なる平面光波回路（ＰＬＣ）基板上に形成した後、それらを光結合したＶ−ＡＷＧモジュール、（２）石英系ガラスとニオブ酸リチウム（ＬＮ）のように異なる材料で構成された導波路型光素子を光結合したＲＺ−ＤＱＰＳＫ（Ｒｅｔｕｒｎ  ｔｏ  Ｚｅｒｏ  Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ  Ｑｕａｄｒａｔｕｒｅ  Ｐｈａｓｅ  Ｓｈｉｆｔ  Ｋｅｙｉｎｇ）モジュール、（３）空間位相変調器であるＬＣＯＳ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｏｎ  Ｓｉｌｉｃｏｎ）とＰＬＣとを光結合したＴＯＤＣ（Ｔｕｎａｂｌｅ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ  Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｏｒ）モジュール等が挙げられる。
【０００３】
ハイブリッド光モジュールは、機械的な振動や衝撃などの外力による影響を低減するため、ＰＬＣ等の導波路型光素子をマウント上に固定して作製されるが、導波路型光素子・マウント間の熱膨張係数の差により発生する熱応力の問題がある。特許文献１には、複数のＰＬＣチップが接続された素子をマウントに固定した光モジュールにおいて、ＰＬＣチップ接続部に対する熱応力を軽減する技術が開示されている。図１（特許文献１の図１に対応）を参照して説明すると、特許文献１のハイブリッド光モジュールは、ＰＬＣチップ２とＰＬＣチップ３が突き合わせ接続（バットジョイント）されており、ＰＬＣチップ２がマウント１の凸部に直接固定されている。ＰＬＣチップ３はマウント１から浮いており、これにより、ＰＬＣチップ３とマウント１との間の熱膨張の差に起因する熱応力を抑制し、ＰＬＣチップ接続部における結合損失を低減している。ＰＬＣチップ３とマウント１との間には充填材１４が充填されており、ＰＬＣチップ３は、マウント１に設けられた保持用凸部１０の側面に塗布された弾性接着剤９ａ、９ｂによりさらに保持されている。当該構成により、ＰＬＣチップ接続部の結合損失に最も影響する方向である、基板に垂直な方向に対して機械的な振動や衝撃が加わっても、ＰＬＣチップ３が上下方向に変動しないようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１７５３６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ＰＬＣチップ３に対して機械的な振動等が加わった場合に光モジュールの光学特性を劣化させないように弾性接着剤９ａ、９ｂ及び充填材１４を最適化するのは容易でなく、さらなる改善が望まれている。
【０００６】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、導波路型光素子の一部がマウントの凸部に固定された光部品において、熱応力および機械的外力による光学特性の劣化を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的を達成するために、本発明の第１の態様は、導波路型光素子の一部がマウントの凸部に固定された光部品において、前記導波路型光素子の、前記凸部に固定されていない部分の側壁に固定された、光素子支持台と、前記マウントに対向するように、前記光素子支持台の上に配置された押さえ部材と、前記マウントに設けられた、前記押さえ部材を固定する押さえ支持台とを備え、前記光素子支持台は、前記マウント及び前記押さえ部材に対して平行な方向には摺動可能な程度に、前記マウント及び前記押さえ部材に挟まれていることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記押さえ支持台が、互いに対向する第１及び第２の押さえ支持台であって、前記押さえ部材の両端を固定する第１及び第２の押さえ支持台を備え、前記光素子支持台は、前記マウントと前記押さえ部材との間に間隙を設けて挟まれており、前記マウント及び前記押さえ部材に対して平行な方向に摺動可能であることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の第３の態様は、第１又は第２の態様において、前記押さえ支持台と前記マウントは、一体化されており、前記導波路型光素子を収納するケースであることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の第４の態様は、第１乃至第３のいずれかの態様において、前記光素子支持台が、前記光部品の振動によって前記導波路型光素子の前記凸部に固定されていない部分に発生する振動モードの振幅の腹近傍に固定されていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の第５の態様は、第１乃至第４のいずれかの態様において、前記光素子支持台と前記導波路型光素子との間、前記押さえ部材と前記第１及び第２の押さえ支持台との間、又は前記押さえ支持台と前記マウントとの間が、紫外線硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、又は半田の溶接によって固定されていることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の第６の態様は、第１乃至第５のいずれかの態様において、前記光素子支持台と、前記マウント及び前記押さえ部材との間の間隔が１μｍから１０μｍであることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の第７の態様は、第１乃至第６のいずれかの態様において、前記光素子支持台と、前記マウント及び前記押さえ部材の少なくとも一方との間の前記間隙に潤滑オイルが充填されていることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の第８の態様は、第１乃至第７のいずれかの態様において、前記光素子支持台が、前記マウント及び前記押さえ部材との接触面積が小さくなるように面取りされていることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の第９の態様は、第１乃至第８のいずれかの態様において、前記光素子支持台の材料の熱膨張係数が、前記光素子支持台が固定されている前記導波路型光素子の前記部分の熱膨張係数にほぼ等しいことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の第１０の態様は、第１乃至第９のいずれかの態様において、前記光素子支持台が、高分子材料で構成されていることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の第１１の態様は、導波路型光素子の一部がマウントの凸部に固定された光部品の作製方法であって、前記導波路型光素子を、前記凸部に固定するステップと、光素子支持台を、前記導波路型光素子の前記マウントに固定されていない部分に固定するステップと、前記光素子支持台の上に、前記マウントと対向するように押さえ部材を配置するステップと、前記押さえ部材を前記マウント上の押さえ支持台で固定するステップとを含み、前記光素子支持台は、前記マウント及び前記押さえ部材に対して平行な方向には摺動可能な程度に、前記マウント及び前記押さえ部材に挟まれていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、光素子を構成する導波路型光素子の一部をマウントの凸部に固定し、残りの部分を摺動可能に保持することにより、熱応力および機械的外力による光学特性の劣化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】従来のハイブリッド光モジュールを示す図である。
【図２】実施形態１に係る光部品を示す図である。
【図３】図２（ｂ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図４】実施形態２に係る光部品を示すである。
【図５】図４（ｂ）のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。
【図６】実施形態３に係る光部品を示す図である。
【図７】光素子支持台の断面形状を示す図である。
【図８】実施形態１の光部品の作製方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００２１】
（実施形態１）
図２に、実施形態１に係る光部品を示す。光部品２００は、ＰＬＣ等の第１の導波路型光素子２０１と、第１の導波路型光素子２０１に突き合わせ接続された第２の導波路型光素子２０２と、第１の導波路型光素子２０１が直接固定された凸部２１１を有するマウント２１０とを備える。マウント２１０には、光ファイバ保持部材２１２が作り込まれており、光ファイバ保持部材２１２と、第１の導波路型光素子２０１に接続された光ファイバ整列部材２２０とを用いて光ファイバ２３０が第１の導波路型光素子２０１に接続されている。第２の導波路型光素子２０２はマウントから浮いており、これにより、第２の導波路型光素子２０２とマウント２１０との間の熱膨張の差に起因する、導波路型光素子の接続部や、第２の導波路型光素子２０２自体に対する熱応力を抑制している。
【００２２】
本実施形態に係る光部品では、第２の導波路型光素子２０２の保持に弾性接着剤や充填材を用いていない。図２（ｂ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である図３を参照して、第２の導波路型光素子２０２の保持構造を説明する。第２の導波路型光素子２０２には、両側の側壁に互いに対向する第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２が接着、半田付け等によって固定されている。マウント２１０には、第１及び第２の押さえ支持台３１１、３１２が設けられ、これらも互いに対向している。第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２の上に押さえ部材３１３が配置され、押さえ部材３１３の両端が第１及び第２の押さえ支持台３１１、３１２に固定される。第２の導波路型光素子２０２並びに第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２は、周囲の部材（すなわち、マウント２１０、第１及び第２の押さえ支持台３１１、３１２、押さえ部材３１３）と固定されておらず、マウント２１０に平行な方向（図３の紙面に垂直な方向）に摺動可能である。
【００２３】
第２の導波路型光素子２０２は、マウント２１０から浮いていていることに加えて、充填材や弾性接着剤でマウント２１０に固定されてもいないため、第２の導波路型光素子２０２とマウント２１０との間に熱膨張の差が存在しても導波路型光素子の接続部や、第２の導波路型光素子２０２自体に対する熱応力を大幅に抑制することができる。また、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２は、マウント２１０及び押さえ支持台３１３に固定はされないが、熱応力・外力などによる第２の導波路型光素子２０２の動きを抑制できる程度にマウント２１０及び押さえ支持台３１３に近接して挟まれているため、マウント２１０に垂直な方向に対して機械的な振動や衝撃が加わっても、第２の導波路型光素子２０２が上下方向に変動して、導波路型光素子の接続部に応力がかかることはない。このように、本実施形態の光部品は、導波路型光素子の一部をマウントの凸部に固定し、残りの部分を摺動可能に保持することにより、熱応力および機械的外力による光学特性の劣化を抑制することができる。
【００２４】
本実施形態では、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２が第２の導波路型光素子２０２の側壁に固定されているため、第２の導波路型光素子２０２の導波路レイアウトや形状を大きく変更することなく、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２を第２の導波路型光素子２０２に固定することが可能となっている。
【００２５】
第２の導波路型光素子２０２の導波路レイアウトや形状に制約が無い場合は、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２を第２の導波路型光素子２０２の表面および裏面に固定することも可能である。
【００２６】
なお、導波路型光素子２０２と第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２との間、第１及び第２の押さえ支持台３１１、３１２と押さえ部材３１３との間、又は押さえ支持台３１３とマウント２１０との間は、紫外線硬化型接着剤、熱硬化型接着剤または半田等の溶接によって固定することができる。
【００２７】
また、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２と、マウント２１０または押さえ部材３１３との間隙に潤滑オイルを充填してもよい。
【００２８】
この実施形態によって、第１の導波路型光素子２０１をＰＬＣ型ＶＯＡ、第２の導波路型光素子２０２をＰＬＣ型ＡＷＧで作製し、波長チャネル毎の光出力を可変とするＶ−ＡＷＧモジュールを実現することができる。
【００２９】
また、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２を固定していない状態で、第２の導波路型光素子２０２に発生する振動モードの振幅の腹近傍に、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２を固定すると、第２の導波路型光素子２０２に発生する振幅を抑制する効果が高い。これは振動モードの共振周波数を高周波側にずらしたことに相当する。
【００３０】
また、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２を、それらが固定された第２の導波路型光素子２０２の熱膨張係数にほぼ等しい材料で作製してもよい。第２の導波路型光素子２０２がＰＬＣの場合、ＰＬＣに熱膨張係数を合わせた材料として、シリコン、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス（パイレックスガラス）などが適用できる。熱膨張係数を合わせることによって、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２と第２の導波路型光素子２０２が剥がれることを抑制することができる。
【００３１】
また、押さえ部材３１３は、マウント２１０の熱膨張係数に合わせた材料としてもよい。熱膨張係数を合わせることによって、押さえ部材３１３とマウント２１０の熱膨張係数差で発生する歪みを抑制することができる。歪みが生じると両者の距離が変化するため、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２が大きく動いたり摺動できない等して、所望の効果が得られなくなる可能性がある。
【００３２】
また、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２を、摺動性を優先した材料として、高分子材料（テフロン（登録商標）など）で作製してもよい。
【００３３】
最後に、本実施形態の光部品の作製方法を説明する（図８参照）。まず、第１の導波路型光素子２０１と第２の導波路型光素子２０２とを光結合するように突き合わせ接続する。次いで、第１の導波路型光素子２０１を、マウント２１０の凸部２１１に固定する。次に、マウント２１０から浮いている第２の導波路型光素子２０２の側壁に、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２を固定する。この際、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２はマウント２１０との間に間隙を設けて固定する。たとえば、マウント２１０から１〜１０μｍ離れた位置に固定する。ここで、１〜１０μｍ離している理由は、実験的に熱応力や機械的外力が加わった際に第１の導波路型光素子２０１と第２の導波路型光素子２０２の接続部の光学特性が劣化しないことを確認した結果である。次いで、押さえ部材３１３を、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２の上に、マウント２１０と対向するように配置する。最後に、押さえ部材３１３を、互いに対向する第１及び第２の押さえ支持台３１１、３１２に、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２との間に例えば１〜１０μｍ程度の間隙を設けて固定する。ここで、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２とマウント２１０又は押さえ部材３１３との間の間隙は、光部品２００の機械的強度と光学的特性を考慮して決まる値であり、微動ステージ又はスペーサを用いることによって制御可能である。なお、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２が、マウント２１０または押さえ部材３１３と部分的に接していたとしても、第１及び第２の光素子支持台３０１、３０２は、マウント２１０と押さえ部材３１３との間に挟まれており、マウント２１０及び押さえ部材３１３に対して平行な方向に摺動可能であれば所望の効果を得ることができる。
【００３４】
（実施形態２）
図４に、実施形態２に係る光部品を示す。光部品４００は、押さえ支持台とマウントがケースとして一体に形成されている点が実施形態１の光部品２００と大きく異なる。また、光部品４００では、導波路型光素子が３つ接続された構造となっている。
【００３５】
光部品４００は、第１の導波路型光素子４０１と、第１の導波路型光素子４０１に一端に突き合わせ接続された第２の導波路型光素子４０２と、第１の導波路型光素子４０１の他端に突き合わせ接続された第３の導波路型光素子４０３と、第１の導波路型光素子４０１が直接固定された凸部４１１を有するマウント４１０とを備える。マウント４１０は、光ファイバ保持部材４１２を備え、光ファイバ保持部材４１２と、第２の導波路型光素子４０２に接続された光ファイバ整列部材４２０とを用いて光ファイバ４３０が第２の導波路型光素子４０２に接続されている。第２の導波路型光素子４０２はマウントから浮いており、これにより、第２の導波路型光素子４０２とマウント４１０との間の熱膨張の差に起因する、導波路型光素子の接続部や、第２の導波路型光素子４０２自体に対する熱応力を抑制している。
【００３６】
図４（ｂ）のＶ−Ｖ線に沿った断面図である図５に、第２の導波路型光素子４０２の保持構造を示すが、押さえ支持台がマウントと一体化されている点を除いて、図３の構造と同一である。マウント４１０の一部が第１及び第２の押さえ支持台４１０Ａ、４１０Ｂとしての役割を果たし、これらに押さえ部材３１３が固定される。
【００３７】
第１及び第２の押さえ支持台４１０Ａ及び４１０Ｂとマウント４１０をケースとして一体化することで部品点数が削減できるため、組立工数が削減でき小型化も可能となる。更に、第１及び第２の押さえ支持台４１０Ａ及び４１０Ｂとマウント４１０が同一の材料でかつ接着剤などを介さずに構成されているため、マウント４１０に対して垂直な方向の熱膨張差を小さくすることができ、押さえ部材３１３とマウント４１０との間隙をほぼ一定に保つことができる。
【００３８】
なお、潤滑オイルを間隙に充填してもよい点等は、実施形態１と同様である。
【００３９】
また、図４の第３の導波路型光素子４０３では、第３の導波路型光素子４０３の光線方向の端面が、自由端となっており、振動モードの腹になるので、単一の光素子支持台４０４を設けて保持している。
【００４０】
光素子支持台４０４の上には、押さえ部材４０５が配置されており、押さえ部材４０５は、その３辺が、マウント４１０と一体化された３つの押さえ支持台に固定されている。つまり、本実施形態では、マウント４１０の３辺が押さえ支持台となっている。
【００４１】
本実施形態では、第３の導波路型光素子４０３に１個の光素子支持台４０４を固定しているが、導波路型光素子４０３の構造によっては、まだ振動モードの共振周波数が、使用環境の振動周波数範囲にあり、光学特性を劣化させる場合がある。その場合は、共振周波数が更に高周波側に移動するように光素子支持台を追加すれば良い。
【００４２】
すなわち、各導波路型光素子の振動モードに応じて、その導波路型光素子に固定される光素子支持台の数は変えることができる。
【００４３】
この実施形態によって、第１の導波路型光素子４０１をＬＮ基板で、第２の導波路型光素子４０２及び第３の導波路型光素子４０３を石英系ＰＬＣで作製することによって、ＲＺ−ＤＱＰＳＫモジュールを実現することができる。
【００４４】
（実施形態３）
図６に、実施形態３に係る光部品を示す。光部品６００は、実施形態１及び２のように複数の導波路型光素子を接続したものではなく、空間光学系部品である空間位相変調器と、導波路型光素子とを光結合させたものである。
【００４５】
光部品６００は、導波路型光素子６０１と、導波路型光素子６０１の一部が直接固定された凸部６１１を有するマウント６１０とを備える。マウント６１０には、光ファイバ保持部材６１２が作り込まれており、光ファイバ保持部材６１２と、導波路型光素子６０１に接続された光ファイバ整列部材６２０とを用いて光ファイバ６３０が導波路型光素子６０１に接続されている。導波路型光素子６０１の固定されていない部分はマウント６１０から浮いており、これにより、導波路型光素子６０１とマウント６１０との間の熱膨張の差に起因する導波路型光素子６０１に対する熱応力を抑制している。導波路型光素子６０１の保持構造は、図３を参照して説明したものと同一であるのでここでは説明しない。
【００４６】
導波路型光素子６０１には、光ファイバ整列部材６２０が接続されたのとは反対の端面に、第１のレンズ６４１が固定されている。導波路型光素子６０１の固定は、第１のレンズ６４１が固定される端面の近傍で行う。第１のレンズ６４１を通過した光は、マウント６１０に固定された第２のレンズ６４２を通過して、マウント６１０上のＬＣＯＳ等の空間位相変調器６５０に入射する。
【００４７】
第２のレンズ６４１、空間位相変調器６５０等の空間光学系部品を固定するマウント６１０は一般に、熱膨張係数が小さな材料（インバーなど）で作製される。
【００４８】
光素子支持台は、断面形状が四角形、面取りされた四角形等のものを適用できる（図７参照）。面取りされている場合、光素子支持台とマウント及び押さえ部材との接触面積が小さくなる。これは、実施形態１及び２に関しても同様である。
【００４９】
なお、「導波路型光素子の一部」という表現を本明細書では用いているが、これは、実施形態１及び２のように、接続された複数の導波路型光素子のうちの１つ又はいくつかという場合と、実施形態３のように、単一の導波路型光素子のうちの一部分という場合の両方を包含することに留意されたい。
【００５０】
この実施形態によって、導波路型光素子をＰＬＣ型ＡＷＧで作製することによって、ＴＯＤＣモジュールを実現することができる。
【符号の説明】
【００５１】
２００  光部品
２０１  第１の導波路型光素子
２０２  第２の導波路型光素子
２１０  マウント
２１１  凸部
２１２  光ファイバ保持部材
２２０  ファイバ整列部材
２３０  光ファイバ
３０１  第１の光素子支持台
３０２  第２の光素子支持台
３１１  第１の押さえ支持台
３１２  第２の押さえ支持台
３１３  押さえ部材
４００  光部品
４０１  第１の導波路型光素子
４０２  第２の導波路型光素子
４０３  第３の導波路型光素子
４０４  押さえ部材
４０５  押さえ支持台
４１０  マウント
４１０Ａ  第１の押さえ支持台
４１０Ｂ  第２の押さえ支持台
４１１  凸部
４１２  光ファイバ保持部材
４２０  ファイバ整列部材
４３０  光ファイバ
６００  光部品
６０１  第１の導波路型光素子
６１０  マウント
６１１  凸部
６１２  光ファイバ保持部材
６２０  ファイバ整列部材
６３０  光ファイバ
６４１  第１のレンズ
６４２  第２のレンズ
６５０  空間位相変調器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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