(57)【要約】【課題】ねじ機構の危険速度限界を向上することができ、高速駆動や高加減速化に対応することができる送り駆動装置を提供する。【解決手段】送りねじ軸３の軸方向の両端を回転自在に支持する基台１上に固定した一対の軸受２ａ，２ｂと、送りねじ軸を回転駆動させる第１回転駆動部１０と、送りねじ軸にねじ螺合する主ナット１２と、一軸テーブル６に固定されて主ナットを回転自在に支持しているナットハウジング１３と、主ナットを回転駆動させる第２回転駆動部１５と、主ナットと一対の軸受との間の距離の半分の位置で送りねじ軸を支持し、送りねじ軸の軸線に沿って移動可能に前記基台上に設けた中間サポート部１６，１７と、第１及び第２回転駆動部を同時に駆動し、送りねじ軸及び主ナットを互いに逆方向に同一回転数で回転させる駆動制御部２３とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
送りねじ軸の軸方向の両端を回転自在に支持する基台上に固定した一対の軸受と、
前記送りねじ軸を回転駆動させる第１回転駆動部と、前記送りねじ軸にねじ螺合する主ナットと、
一軸テーブルに固定されて前記主ナットを回転自在に支持しているナットハウジングと、前記主ナットを回転駆動させる第２回転駆動部と、
前記主ナットと前記一対の軸受との間の距離のほぼ中央の位置で前記送りねじ軸を支持し、前記送りねじ軸の軸線に沿って移動可能に前記基台上に設けた中間サポート部と、
前記第１及び第２回転駆動部を駆動し、前記送りねじ軸及び前記主ナットを互いに逆方向にほぼ同一回転数で回転させる駆動制御部と、を備えていることを特徴とする送り駆動装置。
【請求項２】
前記送りねじ軸及び前記主ナットのねじ螺合は、前記送りねじ軸の外周に設けたボール溝と、前記主ナットの内周に設けたボール溝の間に複数個のボールが組み込まれて構成され、前記送りねじ軸の回転運動を前記主ナットの直線運動に変換するボールねじ機構であることを特徴とする請求項１記載の送り駆動装置。
【請求項３】
前記中間サポート部の少なくとも１つには、前記送りねじ軸外周に形成されたねじ溝を介して当該送りねじ軸の回転運動を前記中間サポート部の軸方向直線運動に変換する機構を備えていることを特徴とする請求項１又は２記載の送り駆動装置。
【請求項４】
前記送りねじ軸の回転運動を前記中間サポート部の軸方向直線運動に変換する機構として、前記送りねじ軸の外周にねじ螺合する中間ナットを備えていることを特徴とする請求項３記載の送り駆動装置。
【請求項５】
前記送りねじ軸及び前記中間ナットのねじ螺合は、前記送りねじ軸の外周に設けたボール溝と、前記中間ナットの内周に設けたボール溝の間に複数個のボールが組み込まれて構成され、前記送りねじ軸の回転運動を前記中間ナットの直線運動に変換するボールねじ機構であることを特徴とする請求項４記載の送り駆動装置。
【請求項６】
前記送りねじ軸及び前記中間ナットのねじ螺合は、前記送りねじ軸の外周に設けたねじ溝と、前記中間ナットの内周に設けたねじ溝とが係合するすべりねじ機構であることを特徴とする請求項４記載の送り駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ねじ機構を用いた送り駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は、ねじ機構を用いた送り駆動装置の一例を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線矢視図である。
この装置は、基台１の長手方向の両端に配置した軸受２ａ，２ｂに、ねじ軸３の長手方向両端が回転自在に支持され、ねじ軸３の外周にナット４が螺合している。基台１上にはテーブルガイド５ａ，５ｂが長手方向に延在して設けられおり、これらテーブルガイド５ａ，５ｂに、テーブル６に固定したテーブル取付部材６ａ，６ｂが係合している。テーブル６にはナットハウジング７が固定されており、このナットハウジング７に前述したナット４が回転不能に保持されている。そして、基台１上に固定したモータ８の回転駆動力がねじ軸３に伝達されると、ねじ軸３の回転力がナット４を介してテーブル６に直線駆動力として伝達され、テーブル６は、テーブルガイド５ａ，５ｂに支持されながら基台１の長手方向に移動するようになっている。
【０００３】
この図３の送り駆動装置は、高速で回転したねじ軸３の回転数がラジアル方向固有振動数（以下、固有振動数と称する）に近づくと、ねじ軸３が、回転振れ回り力により励振され、共振を起こして大きな振幅で激しく振動する。この共振を起こすねじ軸３の回転速度を「送りねじの危険速度」と呼ぶ。
ところで、図３とは異なるねじ機構を用いた送り駆動装置として、図示しないが、ねじ軸の両端を回転不能に基台に固定し、このねじ軸の外周に螺合したナットをテーブルに回転自在に連結し、ナットにモータの回転駆動力を伝達することで、ナットの回転がテーブルを長手方向に移動させる送り駆動装置も知られているが、この装置も、ナットの高速回転による振れ回りがねじ軸を励振し、ねじ軸が共振を起こして激しく振動する。この現象も、前述の現象と合わせて「送りねじの危険速度」と呼ばれている。
【０００４】
ねじ軸の固有振動数Ｎｃ１は、ねじ軸の材料が鋼材の場合には以下の（１）式で求められる。
Ｎｃ１＝ｆ・（ｄｒ／Ｌ１２）・１０６      ……（１）
なお、ｄｒ：ねじ軸谷径≒ねじ軸の軸径、Ｌ１：取付け間距離（軸受とナットまでの距離）、ｆ：ねじ軸の支持条件により決まる定数である。
上記（１）式から、ねじ軸の軸径ｄｒが大きくなれば固有振動数Ｎｃ１を大きくすることができるが、その分だけねじ軸の体積や重量も大きくなって大型のモータが必要となり、製造コストの面で問題がある。
【０００５】
また、危険速度は、ねじ軸の取付け間距離Ｌ１の２乗に反比例するため、取付け間距離Ｌ１は短いほど好ましい。ところが、例えば大型平面研削盤、レーザ加工機や液晶搬送装置などはテーブルを送るねじ軸が長くなり、ねじ軸の取付け間距離Ｌ１が長くなるので、危険速度が低くなり、高速な送りができなくなる。
このため、ねじ軸の中間部を支持する中間サポートを設けて取付け間距離Ｌ１を短くし、送りねじの危険速度を安全側の高い回転域にすることにより、高速送りを可能にする技術が知られている（例えば、例えば特許文献１、２）。
【０００６】
特許文献１の装置は、ナットとねじ軸の長手方向両端を回転自在に支持する一対の軸受部との間のねじ軸の外周位置に、ねじ軸のラジアル荷重を受けるすべり軸受からなる一対の中間サポートが配設され、ねじ軸の軸方向に移動可能となるように基台上に設けた一対のスライダが、一対の中間サポートにそれぞれ固着しているとともに、これら一対のスライダを同時に軸方向に移動させるスライダ駆動部とを備えた装置である。
また、特許文献２の装置は、特許文献１の装置のすべり軸受からなる一対の中間サポートに代えて、ねじ軸の外周に螺合し、回転自由に支持した一対の中間サポートナットを備え、これら一対の中間サポートにそれぞれ固着している一対のスライダを同時に軸方向に移動させるスライダ駆動部を備えた装置である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第２９２３９５１号
【特許文献２】特許第２５２６８１６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１の装置は、高速で回転するねじ軸の外周とすべり軸受からなる中間サポートとの間にすべり摩擦が発生し、ねじ軸及び中間サポートに摩耗が生じやすい。
特に、ねじ軸外周に形成されているねじ溝の肩角部が、中間サポート部に支持されながら軸方向に摺動することとなるため、角部による摩耗や摩擦が大きくなり、さらに摩耗粉が送りねじ全体の耐久性に悪影響を与える等の問題がある。
【０００９】
また、特許文献２の装置も、ねじ軸と中間サポートナット間に発生する軸力によって中間サポートナットを回転させなければならないので、ねじ軸のねじリードを大きく設定できない場合には、ねじ軸が高速回転する際に、ねじ軸及び中間サポートナットのねじに大きな摩擦や摩耗が生じやすい。
また、特許文献１，２の装置は、一対のスライダを同時に軸方向に移動させるスライダ駆動部を必要とするので、構造が複雑になるとともに、コスト高になるという問題がある。
そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、簡単な構造で且つ低コストでねじ機構の危険速度限界を向上することができ、高速駆動や高加減速化に対応することができる送り駆動装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明に係る請求項１記載の送り駆動装置は、送りねじ軸の軸方向の両端を回転自在に支持する基台上に固定した一対の軸受と、前記送りねじ軸を回転駆動させる第１回転駆動部と、前記送りねじ軸にねじ螺合する主ナットと、一軸テーブルに固定されて前記主ナットを回転自在に支持しているナットハウジングと、前記主ナットを回転駆動させる第２回転駆動部と、前記主ナットと前記一対の軸受との間の距離のほぼ中央の位置で前記送りねじ軸を支持し、前記送りねじ軸の軸線に沿って移動可能に前記基台上に設けた中間サポート部と、前記第１及び第２回転駆動部を駆動し、前記送りねじ軸及び前記主ナットを互いに逆方向にほぼ同一回転数で回転させる駆動制御部とを備えている。
【００１１】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の送り駆動装置において、前記送りねじ軸及び前記主ナットのねじ螺合は、前記送りねじ軸の外周に設けたボール溝と、前記主ナットの内周に設けたボール溝の間に複数個のボールが組み込まれて構成され、前記送りねじ軸の回転運動を前記主ナットの直線運動に変換するボールねじ機構である。
また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の送り駆動装置において、前記中間サポート部の少なくとも１つには、前記送りねじ軸外周に形成されたねじ溝を介して当該送りねじ軸の回転運動を前記中間サポート部の軸方向直線運動に変換する機構を備えていることを特徴としている。
また、請求項４記載の発明は、請求項３記載の送り駆動装置において、前記送りねじ軸の回転運動を前記中間サポート部の軸方向直線運動に変換する機構として、前記送りねじ軸の外周にねじ螺合する中間ナットを備えていることを特徴としている。
【００１２】
また、請求項５記載の発明は、請求項４記載の送り駆動装置において、前記送りねじ軸及び前記中間ナットのねじ螺合は、前記送りねじ軸の外周に設けたボール溝と、前記中間ナットの内周に設けたボール溝の間に複数個のボールが組み込まれて構成され、前記送りねじ軸の回転運動を前記中間ナットの直線運動に変換するボールねじ機構であることを特徴としている。
さらに、請求項６記載の発明は、請求項４記載の送り駆動装置において、前記送りねじ軸及び前記中間ナットのねじ螺合は、前記送りねじ軸の外周に設けたねじ溝と、前記中間ナットの内周に設けたねじ溝とが係合するすべりねじ機構であることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る送り駆動装置によれば、主ナットと一対の軸受との間の距離のほぼ中央の位置で送りねじ軸を支持し、送りねじ軸の軸線に沿って移動可能に前記基台上に設けた中間サポート部材とを備えている。また、駆動制御部は、前記第１及び第２回転駆動部を駆動して前記送りねじ軸及び前記主ナットを互いに逆方向にほぼ同一回転数で回転させるので、簡単な構造で且つ低コストで送りねじ軸の危険速度を安全側の高い回転域にすることができる。中間サポート部は、送りねじ軸を支持しながら軸方向に移動することとなるが、送りねじ軸と中間サポート部の接触部は、送りねじ軸の外周に形成されたねじ溝に沿って摺動することになるので、摩耗や摩擦が小さく長い耐久性を有することになる。また、送りねじ軸の外周に形成されたねじ溝を介して、ねじ軸の回転運動を軸方向直線運動に変換する機構を有するので、送りねじ軸の回転に伴い、中間サポート部を駆動することができ、中間サポート部の駆動に特別な駆動装置も必要としない。
また、極めて高い加減速で一軸テーブルを駆動することが可能となり、応答性が高い送り駆動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明のねじ機構を用いた送り駆動装置を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線矢視図である。
【図２】本発明のねじ機構を用いた送り駆動装置の変形例を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線矢視図である。
【図３】従来のねじ機構を用いた送り駆動装置を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための形態（以下、実施形態という。）を、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図３で示した構成と同一構成部分には、同一符号を付して説明する。
図１は、本発明に係るねじ機構を用いた送り駆動装置の一例を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線矢視図である。
【００１６】
本実施形態の装置は、例えば縦長平板形状の基台１上に、互いに幅方向に平行に離間して長手方向に延在するテーブルガイド５ａ，５ｂ（例えばリニアガイドの案内レール等）が固定されており、これらテーブルガイド５ａ，５ｂに、可動体であるテーブル６の下面に固定したテーブル取付部材６ａ，６ｂがリニガイドのスライダ９ａ，９ｂを介して係合し、テーブル６は、テーブル取付部材６ａ，６ｂがテーブルガイド５ａ，５ｂ上を摺動することで基台１の長手方向に移動自在とされている。
【００１７】
送りねじ軸３（以下、単にねじ軸３と記載する）は、テーブルガイド５ａ，５ｂと平行に配され、基台１の長手方向両端側に配置した一対の軸受２ａ，２ｂに回転自在に支持されているとともに、ねじ軸３の長手方向の例えば略中央位置にテーブル用ナット１２が螺合されている。
ねじ軸３の一端は、基台１上に固定した第１駆動モータ１０の出力軸にカップリング１１を介して固定され、駆動モータ１０を駆動することによってねじ軸３に回転が伝達される。
【００１８】
テーブル６の下面にはナットハウジング１３が固定されており、このナットハウジング１３内には軸受１４が配置されている。そして、前述したねじ軸３に螺合したテーブル用ナット１２が、ナットハウジング１３内に配置した軸受１４に嵌合されている。
テーブル用ナット１２は、中空モータからなる第２駆動モータ１５の回転部に連結されている。この第２駆動モータ１５は、軸心位置に設けた中空部（不図示）にねじ軸３を挿通しながらテーブル６の下面に固定され、テーブル用ナット１２に直接連結されて回転が伝達される。
【００１９】
一方の軸受２ａとテーブル用ナット１２との間の距離のほぼ中央の位置のねじ軸３は、第１中間サポート部１６を介して基台１に支持され、他方の軸受２ｂとテーブル用ナット１２との間の距離のほぼ中央の位置のねじ軸３は、第２中間サポート部１７を介して基台１に支持されている。
基台１上のテーブルガイド５ａ，５ｂの間には、テーブルガイド５ａ，５ｂと平行に長手方向に延在する中間ナットガイド１８が固定されている。
【００２０】
第１中間サポート部１６は、ねじ軸３に螺合している中間ナット１９と、この中間ナット１９を回転不能に固定し、中間ナットガイド１８の長手方向に移動自在に係合している中間ナットスライダ２０とで構成されている。また、第２中間サポート部１７も、ねじ軸３に螺合している中間ナット２１と、この中間ナット２１を回転不能に固定し、中間ナットガイド１８の長手方向に移動自在に係合している中間ナットスライダ２２とで構成されている。ここで、中間ナット１９，２１は、テーブル用ナット１２とねじ仕様が同一である。
ねじ軸３に回転を伝達する第1駆動モータ１０及びテーブル用ナット１２に回転を伝達する第２駆動モータ１５は、モータ制御装置２３に電気的に接続されている。このモータ制御装置２３は、第１駆動モータ１０及び第２駆動モータ１５に対して互いに逆回転方向にほぼ同一回転数の駆動制御を行なう。
【００２１】
次に、本実施形態の送り駆動装置の作用について説明する。
モータ制御装置２３が、第１駆動モータ１０及び第２駆動モータ１５に対して互いに逆回転でほぼ同一回転数の駆動制御を行なうと、ねじ軸３及びテーブル用ナット１２は、互いに逆回転方向に略同一回転数で回転する。
このとき、ねじ軸３とテーブル用ナット１２の相対回転数は、第１駆動モータ１０及び第２駆動モータ１５の回転数Ｎの和となるので、相対回転数は回転数Ｎの２倍となる。したがって、ねじ軸３のリードをＡとすれば、テーブル６の移動速度Ｖ１は、Ｖ１＝２・Ａ・Ｎとなる。
【００２２】
また、中間ナット１９，２１は、第１駆動モータ１０によって駆動されるから、中間ナット１９，２１の送り速度Ｖ２は、Ｖ２＝Ａ・Ｎとなり、テーブル６の移動速度Ｖ１の半分（Ｖ２＝Ｖ１／２）となる。また、中間ナット１９，２１の位置は、テーブル用ナット１２と一対の軸受２ａ，２ｂのほぼ中央の位置に配置されているので、テーブル６が移動しても、中間ナット１９，２１は、テーブル用ナット１２と一対の軸受２ａ，２ｂの間に位置する。そして、中間ナット１９，２１は、テーブル用ナット１２とねじ仕様が同一なので、通常のねじ送りの運動をすることにより、特別な磨耗や摩擦の増大が発生しない。
【００２３】
一方、本実施形態のねじ軸３の固有振動数Ｎｃ２は，（２）式で求められる。
Ｎｃ２＝ｆ・（ｄｒ／Ｌ２２）・１０６      ……（２）
ここで、この（２）式はねじ軸の材料が鋼材の場合であり、ｄｒ：ねじ軸谷径≒ねじ軸の軸径、Ｌ２：取付け間距離（軸受２ａ，２ｂからテーブル用ナット１２までの距離）、ｆ：ねじ軸の支持条件により決まる定数である。
【００２４】
本実施形態の送り駆動装置は、中間ナット１９，２１がテーブル用ナット１２と一対の軸受２ａ，２ｂのほぼ中央の位置に配置されているので、図２で示した従来の送り駆動装置の取付け間距離Ｌ１と、本実施形態の取付け間距離Ｌ２の関係は、
Ｌ１＝２・Ｌ２      ……（３）
となる。
したがって、従来装置のねじ軸の固有振動数Ｎｃ１と、従来装置と比較して取付け間距離が半分の値になった本実施形態のねじ軸３の固有振動数Ｎｃ２とは、
Ｎｃ２＝４・Ｎｃ１      ……（４）
の関係となる。
【００２５】
ここで、ねじ機構の危険速度の低下を引き起こす励振力は、ねじ軸３の回転振れ回りと、テーブル用ナット１２の振れ回り力によって引き起こされる。その励振周波数は、第１駆動モータ１０及び第２駆動モータ１５の回転数Ｎとなる。
危険速度は、前述した励振周波数と、ねじ軸の固有振動数が近づくことによって発生するから、余裕を持ってねじ軸３の固有振動数Ｎｃ２の８０％まで第１駆動モータ１０及び第２駆動モータ１５が回転するものとすれば、第１駆動モータ１０及び第２駆動モータ１５の回転数Ｎは、
Ｎ＝０．８・Ｎｃ２      ……（５）
となる。
【００２６】
この（５）式に前述した（４）式を代入すると、第１駆動モータ１０及び第２駆動モータ１５の回転数Ｎは、
Ｎ＝０．８・４・Ｎｃ１    ……（６）
となる。
そして、本実施形態の送り駆動装置は、ねじ軸３及びテーブル用ナット１２が互いに逆回転方向に略同一回転数で回転するので、それらの相対速度は２倍となり、実質的な送り回転数Ｎａは、第１駆動モータ１０及び第２駆動モータ１５の回転数Ｎの２倍となるので、
Ｎａ＝２・０．８・４・Ｎｃ１    ……（７）
となる。
【００２７】
このように、本実施形態の送り駆動装置は、図２で示した従来の送り駆動装置（回転数Ｎの駆動モータ８のみが駆動源）と比較して略８倍の高速の送り回転数Ｎａでテーブル６を駆動することができる。
したがって、本実施形態の送り駆動装置は、第１中間サポート部１６及び第２中間サポート部１７が、テーブル用ナット１２と一対の軸受２ａ，２ｂの間のほぼ中央の位置でねじ軸３を支持して取付け間距離Ｌ２を短く設定しているので、危険速度を安全側の高い回転域にすることができる。
【００２８】
また、第１及び中間サポート部１６，１７は、ねじ軸３に螺合する中間ナット１９，２１を使用しており、ねじ軸３との間の摩耗が十分に小さいので、耐久性及び信頼性が高い装置を提供することができる。
また、第１中間サポート部１６は、中間ナット１９を回転不能に固定している中間ナットスライダ２０が、基台１上に設けた中間ナットガイド１８の長手方向に移動自在に係合するだけで第１中間サポート部１６の駆動機構は不要である。第１中間サポート部１７も同様な構造とされているので、簡単な構造、且つ低コストでねじ機構の危険速度を向上させることができる。
【００２９】
さらに、本実施形態の装置は、ねじ軸３に回転を伝達する第1駆動モータ１０及びテーブル用ナット１２に回転を伝達する第２駆動モータ１５の両者がテーブル６を駆動し、極めて高い加減速でテーブル６を駆動することができるので、応答性が高い送り駆動装置を実現することができる。
なお、上記実施形態では、テーブル用ナット１２の内周面に形成したねじ溝と、ねじ軸３の外周に形成したねじ溝とが係合するすべりねじ構造を示したが、テーブル用ナット１２の内周に形成したボール溝とねじ軸３の外周に形成したボール溝との間にボールを転動自在に配置したボールねじ構造が望ましく、送り駆動装置が必要とする機能に合わせて必要な負荷ボール数を持つようにすればよく、予圧を与えて剛性を上げることもできる。
【００３０】
また、中間ナット１９，２１は、これらの内面にねじ溝を形成し、ねじ溝の外周に形成したねじ溝をラジアル方向に支持するためのものであるから、ボールねじでも良いし、必要な機能が満足する範囲でねじ軸３のねじ形状と合致した溝を持つ、すべりねじでもよい。また、中間ナット１９，２１をボールねじとする場合には、テーブル用ナット１２と同一仕様である必要はなく、ラジアル荷重を支えるに足る負荷容量を持てばよく、予圧などの必要もなく、わずかな隙間を持っているもので充分である。
上記実施形態では、２個の中間ナット１９，２１を配置した構造を示したが、図２に示すように、第１中間サポート部１６と第２中間サポート部１７とを連結棒３０などを用いて軸方向位置を連結すれば、中間ナットは少なくとも１つあれば良く、他方はねじ軸外径を支持するものであれば良い。
【００３１】
また、上記実施形態では、テーブルガイド５ａ，５ｂと、中間ナットガイド１８とを別に設けたが、中間ナッドガイド１８を、テーブルガイド５ａ，５ｂと併用しても良い。
さらに、上記実施形態では、テーブル６に一個のテーブル用ナット１２を固定し、テーブル用ナット１２と一対の軸受２ａ，２ｂの間のほぼ中央の位置に２個の中間ナット１９，２１を配置した構造を示したが、テーブル用ナット１２、中間ナット１９，２１の個数を増大した構造でもよい。さらにまた、上記実施形態では、第１駆動モータ１０とねじ軸３、第２駆動モータ１５とテーブル用ナット１２は直結した構造を示したが、歯車やタイミングベルトなどの回転伝達部材を介して連結する構造であってもよい。
【符号の説明】
【００３２】
１…基台、２ａ，２ｂ…軸受、３…ねじ軸（送りねじ軸）、５ａ，５ｂ…テーブルガイド、６…テーブル（一軸テーブル）、スライダ…９ａ，９ｂ、１０…第１駆動モータ（第１回転駆動部）、１２…テーブルナット（主ナット）、１３…ナットハウジング、１４…軸受、１５…第２駆動モータ（第２回転駆動部）、１６，１７…中間サポート部、１８…中間ナットガイド、１９，２１…中間ナット、２０，２２…中間ナットスライダ、２３…モータ制御装置（駆動制御部）
【図１】
2011149514.tif 000003
【図２】
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【図３】
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