(57)【要約】【課題】  キャン内部の冷媒流路の形状を工夫することで、電機子コイルで発生した熱をキャン内部の冷媒により冷却して、キャン表面の長手方向位置における温度上昇の不均一をなくし、電機子全体の冷却効率を向上させることができるキャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータを提供する。【解決手段】  キャンド・リニアモータ電機子において、キャン１０２内部の冷媒流路１０２ａの側壁の左右方向や上下方向に複数の突起１１４を設ける。【選択図】    図３
2011160632.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子の長手方向に沿って固定される電機子コイルと、
前記電機子コイルの表面に配置されたキャンと、
前記キャンの内部に構成される密閉空間内に形成される冷媒流路と、
前記キャンの両端のうち一方端側と他方端側の何れかに設けた冷媒供給口と冷媒排出口とを備えたキャンド・リニアモータ電機子において、
前記冷媒流路の側壁における流れ方向に沿って複数の突起を設けたことを特徴とするキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項２】
前記突起の位置は、前記冷媒流路の左右方向あるいは上下方向の側壁で異なることを特徴とする請求項１記載のキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項３】
前記突起の形状は、前記冷媒流路の左右方向や上下方向の側壁で異なることを特徴とする請求項１または２に記載のキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項４】
前記キャンの上下方向に貫通する支柱を設けると共に、前記支柱は冷媒の流れ方向に沿った位置に千鳥状に配列してあることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載のキャンド・リニアモータ電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されるとともに交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせて並べて配置した界磁とを備え、前記電機子と前記界磁の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記電機子と前記界磁を相対的に走行するようにしたことを特徴とするキャンド・リニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置や工作機のテーブル送りに使われると共に、温度上昇の低減が要求されるキャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置や工作機のテーブル送りに用いられると共に、温度上昇の低減が要求されるキャンド・リニアモータとして、電機子の内部空間に冷媒を流してコイルから発生した熱を吸収する構成のものが提案されている。
図８は従来のキャンド・リニアモータの正断面図である。
図において、１は電機子コイル、２は界磁ヨーク、３、３´は永久磁石、４、４´はコイル1を間に挟んで配置されたキャン、５は２枚のキャン４、４´同士を支持するフレーム、８はキャン４、４´およびフレーム５で構成された内側ジャケット、６は内側ジャケット８の内部空間、７はコイル１をフレーム５に固定しているコイル固定具、９、９´は２重キャン４、４´の外側に構成された外側ジャケット、１０は外側ジャケット９、９´の内部空間である。このように二重ジャケット構造を有するキャンド・リニアモータは、内側ジャケット８と外側ジャケット９、９´に性質の異なる二種類の冷媒を流すようになっているが、特にコイル１を覆う内側ジャケット８の内部空間６にコイル１の表面で絶縁破壊を起こさないよう不活性冷媒を流すことにより、コイル１が発生した熱を吸収し、キャン表面の温度上昇を低減している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２５２２７（第５頁、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１記載のキャンド・リニアモータは、コイルの冷却を２重ジャケット構造とすることで冷却効率を向上する対策を施しているが、内側ジャケットに流す不活性冷媒は、水よりも比熱が小さく熱回収率が悪いので、冷却効率が悪いという問題があった。
また、内側ジャケットの冷媒通路断面積は電機子の長手方向（リニアモータの進行方向）に沿って一様な断面積を有することから冷媒が一様に流れるが、内側ジャケット内の発熱密度の高い電機子コイルと対向する部位においては、内側ジャケットを流れる冷媒の一部分が加熱され、その流体内の加熱された部分は温度が上がると膨張により密度が小さくなって上昇し、そこへ周囲の低温度の流体が流入する現象が繰り返されることによって熱の伝達（熱対流現象）が起こる場合があった。つまり、一様な冷媒の流れがあると、冷媒の熱対流が小さく、電機子コイルと対向する部位で生じた発熱を抜熱しきれず、その結果、局所的に冷媒の温度上昇が集中して、キャン表面の長手方向位置において温度上昇の大きい箇所と小さい箇所が存在するという不均一性が起こるので、さらに電機子全体の冷却効率が低下するという問題があった。このような問題はキャンと巻線ホルダの間の冷媒通路ニ冷媒を流し、コイルが発生する熱を抜熱する冷却ジャケット構造を有したリニアモータでも同様である(例えば、特開２００４−３１２８７７)
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、キャン内部の冷媒流路の形状を工夫することで、電機子コイルで発生した熱をキャン内部の冷媒により冷却して、キャン表面の長手方向位置における温度上昇の不均一をなくし、電機子全体の冷却効率を向上させることができるキャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題を解決するため、本発明は次のように構成したものである。
請求項１に記載の発明は、固定子の長手方向に沿って固定される電機子コイルと、
前記電機子コイルの表面に配置されたキャンと、前記キャンの内部に構成される密閉空間内に形成される冷媒流路と、前記キャンの両端のうち一方端側と他方端側の何れかに設けた冷媒供給口と冷媒排出口とを備えたキャンド・リニアモータ電機子において、前記冷媒流路の側壁における流れ方向に沿って複数の突起を設けたことを特徴としている。
また、請求項２に記載の発明は、請求項１記載のキャンド・リニアモータにおいて、前記突起の位置は、前記冷媒流路の左右方向あるいは上下方向の側壁で異なることを特徴としている。
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のキャンド・リニアモータにおいて、前記突起の形状は、前記冷媒流路の左右方向や上下方向の側壁で異なることを特徴としている。
また、請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３の何れか一項に記載のキャンド・リニアモータにおいて、前記キャンの上下方向に貫通する支柱を設けると共に、前記支柱は冷媒の流れ方向に沿った位置に千鳥状に配列してあることを特徴としている。
また、請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の何れか１項に記載のキャンド・リニアモータ電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されるとともに交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせて並べて配置した界磁とを備え、前記電機子と前記界磁の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記電機子と前記界磁を相対的に走行するようにしたキャンド・リニアモータを特徴としている。
【発明の効果】
【０００６】
請求項１に記載の発明によると、電機子コイルが発生した熱をキャン内部の冷媒により冷却して、キャン内部の冷媒流路の突起によって冷媒流れが乱れ、冷媒の温度上昇を分散することができ、冷却効率を向上させて、温度上昇を低減できるキャンド・リニアモータ電機子を提供することができる。
また、請求項２に記載の発明によると、キャン内部の冷媒流路の突起によって冷媒流れが乱れ、さらに前記突起の位置の違いによって左右や上下の側壁の流れの内、一方と他方との冷媒流れが乱れ、冷媒の温度上昇を分散することができ、冷却効率を向上させて、温度上昇を低減できるキャンド・リニアモータ電機子を提供することができる。
また、請求項３に記載の発明によると、キャン内部の冷媒流路の突起によって冷媒流れが乱れ、さらに前記突起の形状の違いによって左右や上下の側壁の流れの内、一方と他方との冷媒流れが乱れ、冷媒の温度上昇を分散することができ、冷却効率を向上させて、温度上昇を低減できるキャンド・リニアモータ電機子を提供することができる。
また、請求項４に記載の発明によると、前記支柱によって冷媒流れが乱れ、冷媒の温度上昇を分散することができ、冷却効率を向上させて、温度上昇を低減できるキャンド・リニアモータ電機子を提供することができる。
また、請求項５に記載の発明によると、キャンド・リニアモータの電機子と永久磁石を有する界磁とを対向させて、電機子と界磁の何れか一方を固定子、他方を可動子として構成しているので、請求項１〜４の効果を有するキャンド・リニアモータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第１実施形態を示すキャンド・リニアモータの全体図
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿うキャンド・リニアモータの推力方向の断面図
【図３】図２のＢ−Ｂ線に沿うキャンド・リニアモータの固定子のギャップ方向の部分断面図
【図４】キャンド・リニアモータの熱解析対象となるキャン内部冷媒流路の流路解析モデルと、流路に対向するキャン表面の温度上昇分布の模式図であり、（ａ）は突起なし流路、（ｂ）は突起付き流路を示したもの
【図５】キャンド・リニアモータにおけるキャン内部冷媒流路の冷媒供給口からの距離に対するキャン表面の温度上昇を示しており、（ａ）はキャンド・リニアモータの熱解析対象となる突起付きのキャン内部冷媒流路の流路解析モデル、（ｂ）はキャン内部冷媒流路の突起先端位置におけるキャン表面の温度上昇分布のグラフ、（ｃ）はキャン内部冷媒流路の中心位置（固定子の幅方向の中心位置）におけるキャン表面の温度上昇分布のグラフを示したもの
【図６】本発明の第２の実施形態を示すキャンド・リニアモータの固定子のギャップ方向の部分断面図
【図７】本発明の第３の実施形態を示すキャンド・リニアモータの固定子の非推力方向の部分断面図
【図８】従来のキャンド・リニアモータの正断面図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１は、本発明の第１の実施形態を示すキャンド・リニアモータの全体図である。
図１において、固定子１００は、内部を中空とする額縁状に成形された金属製の筐体１０１と、この筐体１０１の中空部分を覆うように該筐体１０１の外形を象った板状に成形された樹脂製のキャン１０２と、キャン１０２を筐体１０１に固定するためのキャン固定用ボルト１０３と、キャン固定用ボルト１０３の通し穴を持ちキャンを均等な荷重でもって押さえるための押え板１０４と、電機子コイル１０８への電力供給のために筐体１０１に取り付けられた端子台１０５と、キャン１０２の内部冷媒流路に冷媒を供給する冷媒供給口１０６と、キャン１０２の内部冷媒流路から冷媒を排出する冷媒排出口１０７と、筐体１０１の中空内に配置された３相の電機子コイル１０８と、電機子コイル１０８を成型したモールド樹脂１０９と、モールド樹脂１０９をキャン１０２に密着して固定するためのコイル固定用ボルト１１１と、電機子コイル１０８を固定すると共に当該電機子コイル１０８と端子台１０５とを電気的に接続するようにしてなる基板１１２と、により構成されている。なお、ここでキャン１０２の材質は具体的にはカーボン繊維強化プラスティック（ＣＦＲＰ）であるが、例えば、熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂あるいは熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）を使用しても良い。また、低速送り速度や、小ストローク用途のキャンド・リニアモータは、ステンレス製のキャンを使用しても良い。
一方、可動子１２０は、固定子１００の外周を取り囲むように空隙を介して設けられると共に、固定子１００の電機子コイル１０８と対向するように永久磁石１２３を配置する構成になっており、図示しないリニアガイド等によって支持される。
【００１０】
図２は、図１のＡ−Ａ線に沿うキャンド・リニアモータの推力方向の断面図である。
図２において、筐体１０１の空洞部の形状は、電機子コイル１０８の外周を囲うように象られている。キャン１０２は、冷媒１１３が冷媒供給口１０６より供給され、冷媒排出口１０７より排出されるキャン内部冷媒流路１０２ａを内部に設けており、また、キャン１０２内部におけるコイル固定用ボルト１１１の貫通する箇所の周囲には、スペーサ１０２ｂを設け、さらにキャン内部流路１０２ａから冷媒が漏れるのを防ぐために、キャン内部流路１０２ａとスペーサ１０２ｂとの間にはＯリング１０２ｃを設けている。キャン１０２は、筐体１０１に蓋をするように筐体１０１の表裏に配置され、キャン１０２の上から筐体１０１の縁に沿って押え板１０４が敷かれ、キャン固定用ボルト１０３にて締め付けられ、キャン１０２と筐体１０１は固定される。電機子コイル１０８を成型したモールド樹脂１０９は、板状に形成された基板１１２の両面に配置されて、電機子コイル１０８を成型したモールド樹脂１０９は、コイル固定用ナット１１０とキャン１０２の上下を貫通するコイル固定用ボルト１１１とでキャン１０２に密着して固定される。なお、冷媒１１３は純水または水を使用している。純水と水は、不活性冷媒より比熱が大きく熱の吸収効率が高いので、冷却効率が向上して、キャン表面の温度上昇を低減することができる。
一方、可動子１２０は、電機子コイル１０８と磁気的空隙を介して配置された永久磁石１２３、永久磁石１２３の作る磁束を通すための磁性体で作られた界磁ヨーク１２２、それらを支持する界磁ヨーク支持部材１２１により構成されており、永久磁石１２３は、可動子の推力方向１２４に沿って（紙面と垂直）、極ピッチごとに交互に異極になるように複数配置されている。
このように構成されたキャンド・リニアモータは、図1に示すように可動子１２０と固定子１００の電気的相対位置に応じた所定の電流を電機子コイル１０８に流すと永久磁石１２３の作る磁界と作用して可動子１２０に推力が発生し、可動子１００は矢印で示す推力方向１２４に移動することとなる。また、該電機子コイル１０８に電流を流した際に銅損が発生して、発生した銅損によって発熱した電機子コイル１０８は、キャン内部冷媒流路１０２ａを流れる冷媒１１３により冷却され、キャン１０２の表面の温度上昇が低減する。
【００１１】
図３は、図２のＢ−Ｂ線に沿うキャンド・リニアモータの固定子のギャップ方向の部分断面図である。
図において、キャン１０２は、冷媒１１３が冷媒供給口１０６より供給され、冷媒排出口方向１０７ａへと流れるキャン内部冷媒流路１０２ａを内部に設けて、コイル固定用ボルト１１１の貫通する箇所にスペーサ１０２ｂを設けて、キャン内部冷媒流路１０２ａから冷媒が漏れるのを防ぐためにＯリング１０２ｃを設けている。キャン内部冷媒流路１０２ａは、キャン内部冷媒流路１０２ａの左右の側壁に複数の流れ方向に沿った左右の側壁から内側方向に突出する突起１１４を設けている。電機子コイル１０８を成型したモールド樹脂１０９は、キャン１０２の上下を貫通するコイル固定用ボルト１１１でキャン１０２に固定される。
本発明が従来技術と異なる部分は、キャン内部冷媒流路１０２ａの左右の側壁に複数の流れ方向に沿った側壁から内側方向に突出する突起１１４、すなわち、隣り合う電機子コイル１０８同士のコイルの曲率部分の形状に沿うようにキャン内部冷媒流路１０２の外壁を内側に突出させた部分である。
このように構成されたキャンド・リニアモータは、突起１１４を設けていることにより、流路の左右の側壁付近の冷媒流れ１１３ａが突起に沿って流れて、流れの方向、流速が変化して、キャン内部冷媒流路１０２ａの冷媒流れが乱れる。キャン内部冷媒流路１０２ａの冷媒流れが乱れることにより、冷媒の温度上昇が分散され、冷媒と共にキャン表面の温度上昇の大きい固定子中心での温度上昇が小さくなる。キャン表面の温度上昇の大きい固定子中心での温度上昇が小さくなるので、同じ冷媒の流量で比較した場合の冷却効率を向上させて、温度上昇を低減できるキャンド・リニアモータを提供することができる。
【００１２】
図４および図５において、第１の実施形態の効果を熱解析結果より説明する。
図４ はキャンド・リニアモータの熱解析対象となるキャン内部冷媒流路の流路解析モデルと、流路に対向するキャン表面の温度上昇分布の模式図であり、（ａ）は突起なし流路、（ｂ）は突起付き流路を示している。
図４に示す熱解析モデルとなる流路形状は、固定子１００の幅方向の半分の領域を流路としてモデル化しており、冷媒は、冷媒供給口側１０６ａから冷媒出口側１０７ａへと流れている。キャン表面の温度上昇分布は、冷媒供給口側１０６ａ付近が温度上昇０[Ｋ]の領域で同じ温度上昇値が線で結ばれる等温線として示している。等温線上の温度上昇値は、ある一定の間隔での温度上昇値を示しており、等温線の数が多いことは温度上昇の勾配が大きいことを示している。
冷媒１１３は、発熱した電機子コイル２０８の熱を吸収するので冷媒１１３の温度上昇が徐々に大きくなる。冷媒１１３の温度上昇が徐々に大きくなることにより、キャン表面の温度上昇は、冷媒供給口１０６付近が小さい領域で冷媒排出口１０７方向に沿って徐々に大きくなっていることが確認できる。
突起付き流路１１４ｂは、突起なし流路１１４ａと比べて固定子側面１００ａから固定子中心１００ｂへの等温線が少ないことから、固定子側面１００ａ付近と固定子中心１００ｂ付近との温度差はより小さく、キャン表面の温度上昇が分散されていることが確認できる。
【００１３】
また、図５はキャンド・リニアモータにおけるキャン内部冷媒流路の冷媒供給口からの距離に対するキャン表面の温度上昇を示しており、（ａ）はキャンド・リニアモータの熱解析対象となる突起付きのキャン内部冷媒流路の流路解析モデル、（ｂ）はキャン内部冷媒流路の突起先端位置（１００ｃ）におけるキャン表面の温度上昇分布のグラフ、（ｃ）はキャン内部冷媒流路の中心位置（固定子の幅方向の中心位置１００ｂ）におけるキャン表面の温度上昇分布のグラフを示している。なお、上記の突起付き流路１１４ｂにおける、突起先端および固定子先端でのキャン表面の温度上昇比較のグラフは、それぞれ突起なし流路１１４ａの温度上昇と比較したものとなっている。グラフ中のＴ［Ｋ］は、同じ温度上昇値を示している。
グラフ（ｂ）図から言えることは、突起先端１００ｃのキャン表面の温度上昇の最大値は、突起なし流路１１４ａおよび突起付き流路１１４ｂ共に約Ｔ［Ｋ］である。また、グラフ（ｂ）図と（ｃ）図を比較して言えることは、突起先端１００ｃのキャン表面の温度上昇の最大値は、固定子中心１００ｂのキャン表面の温度上昇の最大値より小さくなっていることが確認できる。それから、突起先端１００ｃ位置のキャン表面の温度上昇は、突起付き流路１１４ｂが、突起なし流路１１４ａより大きくなっていて、固定子中心１００ｂ位置ののキャン表面の温度上昇は、突起付き流路１１４ｂが、突起なし流路１１４ａより小さくなっていることが確認できる。
突起付き流路１１４ｂのキャン表面の温度上昇において、突起先端１００ｃと固定子中心１００ｂとの温度差は、突起なし流路１１４ａの場合の温度差より小さくなっていて、冷媒の温度上昇が分散され、冷媒と共にキャン表面の温度上昇の大きい固定子中心１００ｂでの温度上昇が小さくなる
つまり、第1実施形態のキャンド・リニアモータは、キャン表面の温度上昇の大きい固定子中心での温度上昇が小さくなるので、同じ冷媒の流量で比較した場合の冷却効率を向上させて、温度上昇を低減できるキャンド・リニアモータを提供することができる。
【実施例２】
【００１４】
図６は、本発明の第２の実施形態を示すキャンド・リニアモータの固定子のギャップ方向の部分断面図のである。
図において、キャン２０２は、冷媒２１３が冷媒供給口側２０６より供給され、冷媒排出口２０７へと流れるキャン内部冷媒流路２０２ａを内部に設けて、コイル固定用ボルト２１１の貫通する箇所にスペーサ２０２ｂを設けて、キャン内部冷媒流路２０２ａから冷媒が漏れるのを防ぐためにＯリング２０２ｃを設けている。キャン内部冷媒流路２０２ａは、キャン内部冷媒流路２０２ａの左右の側壁に複数の流れ方向に沿った側壁から内側方向に突出する突起２１４を設けている。突起２１４の位置および形状は、キャン内部冷媒流路２０２ａの左右の側壁で異なっている。突起２１４の形状は、流れ方向に沿って異なっていて、突出する量が大きい順に２１４ａは突起ａ、２１４ｂは突起ｂ、２１４ｃは突起ｃ、２１４ｄは突起ｄ、となっていて、冷媒排出口２０７に近いほど突出する量が大きくなっている。電機子コイル２０８を成型したモールド樹脂２０９は、キャン２０２の上下を貫通するコイル固定用ボルト２１１でキャン２０２に固定される。スペーサ２０２ｂとＯリング２０２ｃとコイル固定用ボルト２１１は、流れ方向に沿った位置に千鳥状に設けている。
本発明が従来技術と異なる部分は、キャン内部冷媒流路２０２ａの左右の側壁に複数の流れ方向に沿った側壁から内側方向に突出する突起２１４を設けていて、突起２１４の位置および形状がキャン内部冷媒流路２０２ａの左右の側壁で異なっている部分と、突起２１４の形状が流れ方向に沿って異なっている部分と、スペーサ２０２ｂとＯリング２０２ｃとコイル固定用ボルト２１１を流れ方向に沿った位置に千鳥状に設けている部分である。
このように構成されたキャンド・リニアモータは、突起２１４の位置および形状がキャン内部冷媒流路２０２ａの左右の側壁で異なっていることにより、キャン内部冷媒流路２０２ａの左右の側壁の流れ２１３ａの内、一方と他方との流れの方向、流速が変化して、キャン内部冷媒流路１０２ａの冷媒流れが乱れる。また、このように構成されたキャンド・リニアモータは、突起２１４の形状が流れ方向に沿って異なっていることにより、キャン表面の温度上昇が大きな冷媒排出口２０７付近にて徐々にキャン内部冷媒流路２０２ａの冷媒流れが乱れる。また、このように構成されたキャンド・リニアモータは、スペーサ２０２ｂとＯリング２０２ｃとコイル固定用ボルト２１１を流れ方向に沿って千鳥状に設けていることにより、キャン内部冷媒流路２０２ａの冷媒流れ２１３ｂがＯリングに沿って流れて、流れの方向、流速が変化して、キャン内部冷媒流路２０２ａの冷媒流れが乱れる。
このように構成されたキャンド・リニアモータは、キャン内部冷媒流路２０２ａの冷媒流れが乱れることにより、冷媒の温度上昇が分散され、冷媒と共にキャン表面の温度上昇の大きい固定子中心での温度上昇が小さくなる。キャン表面の温度上昇の大きい固定子中心での温度上昇が小さくなるので、同じ冷媒の流量で比較した場合の冷却効率を向上させて、温度上昇を低減できるキャンド・リニアモータを提供することができる。
【実施例３】
【００１５】
図７は、本発明の第３の実施形態を示すキャンド・リニアモータの固定子の非推力方向の部分断面図のである。
図において、キャン３０２は、冷媒３１３が冷媒供給口側３０６より供給され、冷媒排出口側３０７へと流れるキャン内部冷媒流路３０２ａを内部に設けている。キャン内部冷媒流路３０２ａは、キャン内部冷媒流路３０２ａのギャップ面および電機子コイル面の上下の側壁に複数の流れ方向に沿った側壁から内側方向に突出する突起３１４を設けている。電機子コイル３０８は、モールド樹脂３０９によってキャン３０２に密着して固定されている。
本発明が従来技術と異なる部分は、キャン内部冷媒流路３０２ａの上下の側壁に複数の流れ方向に沿った側壁から内側方向に突出する突起３１４を設けている部分である。
このように構成されたキャンド・リニアモータは、突起３１４を設けていることにより、キャン内部冷媒流路３０２ａの上下の側壁付近の冷媒流れ３１３ａが突起に沿って流れて、流れの方向、流速が変化して、キャン内部冷媒流路３０２ａの冷媒流れが乱れる。キャン内部冷媒流路３０２ａの冷媒流れが乱れることにより、冷媒の温度上昇が分散され、冷媒と共にキャン表面の温度上昇の大きい固定子中心での温度上昇が小さくなる。キャン表面の温度上昇の大きい固定子中心での温度上昇が小さくなるので、同じ冷媒の流量で比較した場合の冷却効率を向上させて、温度上昇を低減できるキャンド・リニアモータを提供することができる。
【符号の説明】
【００１６】
１  コイル
２  ヨーク
３、３´  永久磁石
４、４´  キャン
５  フレーム
６  内側ジャケットの内部空間
７  コイル固定具
８  内側ジャケット
９、９´  外側ジャケット
１０  外側ジャケットの内部空間
５０、７０、１００  固定子
５１、７１、１０１  筐体
５２、７２、１０２、２０２、３０２  キャン
５３、７３、１０３  キャン固定用ボルト
５４、７４、１０４  押え板
５５、１０５  端子台
５６、１０６  冷媒供給口
５７、１０７、２０７  冷媒排出口
５８、７８、１０８、２０８、３０８  電機子コイル
５９、７９  コイル固定枠
６０、８０  冷媒流路
６１、１２０  可動子
６２、１２１  界磁ヨーク支持部材
６３、１２２  界磁ヨーク
６４、１２３  永久磁石
７５  ボルトねじ
７６  コイル固定枠支持部材
７７  シール材
８１、１０２ｃ、２０２ｃ  Ｏリング
１００ａ  固定子側面
１００ｂ  固定子中心
１００ｃ  突起先端
１０２ａ、２０２ａ、３０２ａ  キャン内部冷媒流路
１０２ｂ、２０２ｂ  スペーサ
１０６ａ、２０６、３０６  冷媒供給口側
１０７ａ、３０７  冷媒排出口側
１０９、２０９、３０９  モールド樹脂
１１０  コイル固定用ナット
１１１、２１１  コイル固定用ボルト
１１２  基板
１１３、２１３、３１３  冷媒
１１３ａ、２１３ａ、２１３ｂ、３１３ａ  冷媒流れ
１１４、２１４、３１４  突起
１１４ａ  突起なし流路
１１４ｂ  突起付き流路
１２４  推力方向
２１４ａ  突起ａ
２１４ｂ  突起ｂ
２１４ｃ  突起ｃ
２１４ｄ  突起ｄ
【図１】
2011160632.tif 000003
【図２】
2011160632.tif 000004
【図３】
2011160632.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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