(57)【要約】【課題】外観不良の発生を抑制することの容易なフレキシブル金属積層体の製造方法を提供する。【解決手段】熱圧着工程では、ダブルベルトプレス装置の加圧面と積層用金属箔との間に保護用金属箔を配置した状態で、熱圧着性樹脂フィルムに積層用金属箔が熱圧着される。熱圧着工程は、保護用金属箔として、シャイニー面及びマット面の両面を有する金属箔を用いて、マット面が加圧面に接した状態で実施される。金属箔は、耐擦傷試験により選択される。耐擦傷試験では、ステンレス鋼板９１上にマット面９２ｂが接するように金属箔９２を載置し、シャイニー面９２ａに荷重を印加した状態で金属箔９２を一定方向に引っ張ることで、金属箔９２のマット面９２ｂをステンレス鋼板９１の面に擦る。保護用金属箔は、マット面９２ｂに線状をなす傷の確認される荷重が７６ｍｍ×２６ｍｍの面積当たりの荷重において５００ｇを超える金属箔９２である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱加圧成形装置を用いて熱圧着性樹脂フィルムの少なくとも片面に積層用金属箔を連続して熱圧着する熱圧着工程を備え、
前記熱圧着工程は、前記加熱加圧成形装置の加圧面と前記積層用金属箔との間にその積層用金属箔を保護する保護用金属箔を配置して前記熱圧着を行う工程であるフレキシブル金属積層体の製造方法であって、
前記熱圧着工程は、前記保護用金属箔として、シャイニー面と同シャイニー面よりも粗面となるマット面との両面を有する金属箔を用いて、前記マット面が前記加圧面に接した状態で実施され、
前記金属箔は、前記加圧面に相当する面を有する板材上に、金属箔のマット面が接するように金属箔を載置して、その金属箔のシャイニー面に荷重を印加した状態で前記金属箔を一定方向に引っ張ることで前記マット面を前記板材の面に擦る耐擦傷試験を行った際に、そのマット面に線状をなす傷の確認される荷重が７６ｍｍ×２６ｍｍの面積当たりの荷重において５００ｇを超える金属箔であることを特徴とするフレキシブル金属積層体の製造方法。
【請求項２】
前記耐擦傷試験で前記マット面に痕跡の確認される荷重が７６ｍｍ×２６ｍｍの面積当たりの荷重において２００ｇを超える金属箔を前記保護用金属箔として用いることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル金属積層体の製造方法。
【請求項３】
前記金属箔が銅箔であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフレキシブル金属積層体の製造方法。
【請求項４】
前記金属箔が電解銅箔であることを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれか一項に記載のフレキシブル金属積層体の製造方法。
【請求項５】
前記金属箔の厚さが３５μｍ未満であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のフレキシブル金属積層体の製造方法。
【請求項６】
前記熱圧着性樹脂フィルムが多層芳香族ポリイミドフィルムであることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のフレキシブル金属積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加熱加圧成形装置を用いるフレキシブル金属積層体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば電子機器に適用されるフレキシブル金属積層体は、熱圧着性樹脂フィルムに積層用金属箔を連続的に熱圧着する熱圧着工程を通じて製造される。こうした熱圧着工程では、加圧加熱成型装置が用いられる。すなわち、熱圧着工程は、加熱加圧成形装置の加圧面と積層用金属箔との間にその積層用金属箔を保護する保護用金属箔を配置して熱圧着を行う工程である（特許文献１〜３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２７００３３号公報
【特許文献２】特開２００５−２０５７３１号公報
【特許文献３】特開２００２−０６４２５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、加熱加圧成形装置を用いて熱圧着工程を実施するに際して、保護用金属箔を配置したとしても、長尺状をなすフレキシブル金属積層体を連続して製造している場合、所定の基準を超えた傷が入り込むことで外観不良となるおそれがある。特に、近年では回路のファインピッチ化が進むに伴って、フレキシブル金属積層体の外観に対する要求は厳しくなる傾向にある。このため、従来のフレキシブル金属積層体の製造方法では、そうした外観に対する要求に伴って、外観不良の頻度が高まる傾向にある。この結果、フレキシブル金属積層体の製造に際して、生産性の低下を招くことになり、ひいては産業廃棄物及びエネルギー消費の増大等を招くことになり得る。
【０００５】
この発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、外観不良の発生を抑制することの容易なフレキシブル金属積層体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために請求項１に記載の発明は、加熱加圧成形装置を用いて熱圧着性樹脂フィルムの少なくとも片面に積層用金属箔を連続して熱圧着する熱圧着工程を備え、前記熱圧着工程は、前記加熱加圧成形装置の加圧面と前記積層用金属箔との間にその積層用金属箔を保護する保護用金属箔を配置して前記熱圧着を行う工程であるフレキシブル金属積層体の製造方法であって、前記熱圧着工程は、前記保護用金属箔として、シャイニー面と同シャイニー面よりも粗面となるマット面との両面を有する金属箔を用いて、前記マット面が前記加圧面に接した状態で実施され、前記金属箔は、前記加圧面に相当する面を有する板材上に、金属箔のマット面が接するように金属箔を載置して、その金属箔のシャイニー面に荷重を印加した状態で前記金属箔を一定方向に引っ張ることで前記マット面を前記板材の面に擦る耐擦傷試験を行った際に、そのマット面に線状をなす傷の確認される荷重が７６ｍｍ×２６ｍｍの面積当たりの荷重において５００ｇを超える金属箔であることを要旨とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のフレキシブル金属積層体の製造方法において、前記耐擦傷試験で前記マット面に痕跡の確認される荷重が７６ｍｍ×２６ｍｍの面積当たりの荷重において２００ｇを超える金属箔を前記保護用金属箔として用いることを要旨とする。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のフレキシブル金属積層体の製造方法において、前記金属箔が銅箔であることを要旨とする。
請求項４に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のフレキシブル金属積層体の製造方法において、前記金属箔が電解銅箔であることを要旨とする。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のフレキシブル金属積層体の製造方法において、前記金属箔の厚さが３５μｍ未満であることを要旨とする。
【００１０】
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のフレキシブル金属積層体の製造方法において、前記熱圧着性樹脂フィルムが多層芳香族ポリイミドフィルムであることを要旨とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、外観不良の発生を抑制することの容易なフレキシブル金属積層体の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態の熱圧着工程の概略構成を示す模式図。
【図２】（ａ）は耐擦傷試験を行うための装置の概略構成を示す正面図、（ｂ）はその平面図。
【図３】耐擦傷試験において確認される傷を示す写真。
【図４】耐擦傷試験において確認される痕跡を示す写真。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明のフレキシブル金属積層体の製造方法を具体化した一実施形態について図１及び図２を参照して詳細に説明する。本実施形態のフレキシブル金属積層体は、ダブルベルトプレス装置を用いて熱圧着性樹脂フィルムの両面に積層用金属箔を連続的に熱圧着する熱圧着工程を通じて製造される。こうした熱圧着工程は、図１に示されるようにダブルベルトプレス装置７１に第１の被熱圧着体１１及び第２の被熱圧着体２１を連続して供給する繰出部８１と、ダブルベルトプレス装置７１から搬出された第１のフレキシブル金属積層体１５及び第２のフレキシブル金属積層体２５を連続して巻き取る巻取部８２とを備えた製造ラインで実施される。このように本実施形態の熱圧着工程では、各被熱圧着体１１，２１が熱圧着されることで、各フレキシブル金属積層体１５，２５を同時に製造する。
【００１４】
各被熱圧着体１１，２１は、それぞれ積層用金属箔１２，２２／熱圧着性樹脂フィルム１３，２３／積層用金属箔１４，２４から構成されることで、得られる各フレキシブル金属積層体１５，２５は、積層用金属箔１２，２２／熱圧着性樹脂フィルム１３，２３／積層用金属箔１４，２４の順に積層及び熱圧着された構成を有している。さらに、ダブルベルトプレス装置７１には、積層用金属箔１２，２４を保護する保護用金属箔１６，２６が繰出部８１から供給される。この保護用金属箔１６，２６は、多種存在する金属箔の中から耐擦傷試験を通じて選択されたものである。
【００１５】
積層用金属箔１２，１４，２２，２４、熱圧着性樹脂フィルム１３，２３及び保護用金属箔１６，２６は、それぞれ長尺状をなすとともに各別に巻き取られたロールとして繰出部８１に配置されている。すなわち、繰出部８１には、４本の積層用金属箔ロール１２Ｒ，１４Ｒ，２２Ｒ，２４Ｒ及び２本の熱圧着性樹脂フィルムロール１３Ｒ，２３Ｒが配置されるとともに、各積層用金属箔１２，１４，２２，２４及び各熱圧着性樹脂フィルム１３，２３が繰り出される。これにより、ダブルベルトプレス装置７１には第１の被熱圧着体１１及び第２の被熱圧着体２１が連続して供給される。さらに繰出部８１には、２本の保護用金属箔ロール１６Ｒ，２６Ｒが配置されることで、ダブルベルトプレス装置７１には、第１の被熱圧着体１１を保護する第１の保護用金属箔１６、及び第２の被熱圧着体２１を保護する第２の保護用金属箔２６が連続して供給される。ここで、各保護用金属箔１６，２６としては、シャイニー面１６ａ，２６ａとそのシャイニー面１６ａ，２６ａよりも粗面となるマット面１６ｂ，２６ｂとの両面を有した金属箔が用いられ、各保護用金属箔１６，２６は、シャイニー面１６ａ，２６ａの間に被熱圧着体１１，２１を挟み込む態様で供給される。
【００１６】
ダブルベルトプレス装置７１では、各被熱圧着体１１，２１及び保護用金属箔１６，２６が搬送されるとともにそれら被熱圧着体１１，２１の熱圧着が行われる。ダブルベルトプレス装置７１は、搬送方向の上流側に位置する第１搬送部７２と、同方向の下流側に位置する第２搬送部７３とを有している。第１搬送部７２には、上側第１ドラム７２ａ及び下側第１ドラム７２ｂが装着されている。第２搬送部７３には、上側第２ドラム７３ａ及び下側第２ドラム７３ｂが装着されている。上側第１ドラム７２ａ及び上側第２ドラム７３ａには、無端状の上側ベルト７４が架け渡されている。下側第１ドラム７２ｂ及び下側第２ドラム７３ｂには、無端状の下側ベルト７５が架け渡されている。そして、各第１ドラム７２ａ，７２ｂは、各第２ドラム７３ａ，７３ｂの駆動により各ベルト７４，７５を介して従動されるように構成されている。こうした各ベルト７４，７５はステンレス鋼から形成されることで、腐食が抑制されている。
【００１７】
このように装着された各ベルト７４，７５間には、各被熱圧着体１１，２１が重ね合わされた状態で供給される。また、第１の被熱圧着体１１と上側ベルト７４との間には、第１の保護用金属箔１６が供給されるとともに、第２の被熱圧着体２１と下側ベルト７５との間には、第２の保護用金属箔２６が供給される。そして、各被熱圧着体１１，２１及び各保護用金属箔１６，２６は、各ベルト７４，７５間にて同期して搬送される。
【００１８】
第１搬送部７２と第２搬送部７３との間には、上側加圧部７６及び下側加圧部７７が各ベルト７４，７５を介在させて対向するように配置されている。上側及び下側加圧部７６，７７は、加熱されるように構成されており、それら加圧部７６，７７の間を被熱圧着体１１，２１が通じる際に、各被熱圧着体１１，２１は各ベルト７４，７５及び各保護用金属箔１６，２６を介して加熱及び加圧されることで熱圧着される。このとき、第１の保護用金属箔１６は、上側ベルト７４の外周面（加圧面７４ａ）と積層用金属箔１２との接触を回避させることで、その積層用金属箔１２を加圧面７４ａから保護している。また、第２の保護用金属箔２６は、下側ベルト７５の外周面（加圧面７５ａ）と積層用金属箔２４との接触を回避させることで、その積層用金属箔２４を加圧面７５ａから保護している。なお、積層用金属箔２４のシャイニー面１６ａ，２６ａは、平滑性が高められることで光沢を有する面であり、こうしたシャイニー面１６ａ，２６ａをそれぞれ積層用金属箔１２，２４に接触させることで、積層用金属箔１２，２４の外観への影響は極力回避される。また、加圧面７４ａ，７５ａは、鏡面仕上げされることで、加圧面７４ａ，７５ａの平滑性は高められている。これにより、加圧面７４ａ，７５ａの凹凸が保護用金属箔１６，２６を介して積層用金属箔へ転写されるという不具合は極力抑制される。
【００１９】
このように熱圧着されて形成された各フレキシブル金属積層体１５，２５は、第２搬送部７３まで搬送された後に、ダブルベルトプレス装置７１から搬出される。なお、本実施形態では、加圧部７６，７７よりも下流側の領域で、各フレキシブル金属積層体１５，２５が冷却されるように構成されている。
【００２０】
巻取部８２では、ダブルベルトプレス装置７１から搬出された各フレキシブル金属積層体１５，２５が各別に巻き取られる。これにより、各フレキシブル金属積層体１５，２５は、それぞれ第１のフレキシブル金属積層体ロール１５Ｒ及び第２のフレキシブル金属積層体ロール２５Ｒとして得られる。また、ダブルベルトプレス装置７１から搬出された各保護用金属箔１７，２７は、巻取部８２において保護用金属箔回収ロール１７Ｒ，２７Ｒとして各別に巻き取られることで回収される。
【００２１】
次に、フレキシブル金属積層体１５，２５の各層の構成について説明する。
積層用金属箔１２，１４，２２，２４は、フレキシブル金属積層体１５，２５において導電層として構成される。積層用金属箔１２，１４，２２，２４としては、例えば銅箔、アルミニウム箔、及び銅とアルミニウムとの合金からなる箔等の金属箔を用いることができる。積層用金属箔１２，１４，２２，２４としては、圧延銅箔、電解銅箔及びアルミニウム箔から選ばれる少なくとも一種が好適に用いられる。
【００２２】
積層用金属箔１２，１４，２２，２４の表面粗さは、特に限定されないが、十点平均粗さ（Ｒｚ）において、好ましくは０．５〜１０μｍ、より好ましくは０．５〜７μｍである。積層用金属箔１２，１４，２２，２４の厚みは、好ましくは３〜４０μｍの範囲であり、より好ましくは３〜３５μｍの範囲であり、さらに好ましくは８〜３５μｍの範囲である。
【００２３】
熱圧着性樹脂フィルム１３，２３は、絶縁層を形成可能であって、導電層としての積層用金属箔１２，１４，２２，２４に熱圧着可能なものである。各種熱圧着性樹脂フィルムの中でも、熱圧着に際して寸法安定性が良好であり、積層用金属箔１２，１４，２２，２４に皺等の不具合が発生し難いという観点から、多層芳香族ポリイミドフィルムが好ましい。多層芳香族ポリイミドフィルムは、非圧着性の芳香族ポリイミドフィルムの両面に、熱圧着性を有するポリイミド層が形成されたものであり、例えば宇部興産株式会社製のユーピレックス（商品名）ＶＴ等の市販品を用いることができる。こうした多層芳香族ポリイミドフィルムについては、例えば上記特許文献１に記載されている。
【００２４】
なお、多層芳香族ポリイミドフィルム以外の熱圧着性樹脂フィルム１３，２３としては、例えば熱圧着性を有するとともに単層のポリイミドフィルム、単層又は多層の各種樹脂フィルムが挙げられる。樹脂フィルムとしては、例えば熱圧着性を有するポリエステルフィルム（液晶フィルムを含む）、熱圧着性を有するポリアミドフィルム（アラミドフィルムを含む）、熱圧着性を有するビニルエステルフィルム、熱圧着性を有するフッ素樹脂フィルム等が挙げられる。
【００２５】
熱圧着性樹脂フィルム１３，２３の厚さは、特に限定されないが、好ましくは５〜１５０μｍの範囲、より好ましくは６〜１００μｍの範囲、さらに好ましくは７〜５０μｍの範囲、特に好ましくは８〜２５μｍの範囲である。
【００２６】
次に、本実施形態の熱圧着工程で用いられる保護用金属箔１６，２６について説明する。
保護用金属箔１６，２６は、多種存在する金属箔の中から耐擦傷試験を通じて選択されたものである。図２（ａ）及び図２（ｂ）に示されるように、耐擦傷試験では、平坦状をなすステンレス鋼板９１に金属箔９２を載置する。ここで、金属箔９２は、平滑性が高められることで光沢を有するシャイニー面９２ａとそのシャイニー面９２ａよりも粗面となるマット面９２ｂを有したものである。この金属箔９２は、マット面９２ｂがステンレス鋼板９１の上面に接した状態で金属箔９２の表裏とステンレス鋼板９１とを合わせて載置される。
【００２７】
ステンレス鋼板９１は、上述した加圧面７４ａ，７５ａと同一材料から形成されており、鏡面仕上げされた面が上面となるように配置されている。すなわち、ステンレス鋼板９１は、加圧面７４ａ，７５ａに相当する面を有しているため、こうしたステンレス鋼板９１を用いることで上記熱圧着工程に適合した試験が行われる。
【００２８】
次に、この金属箔９２上にスライドガラス９３（７６×２６×１．２ｍｍ）を載置するとともにスライドガラス９３上に５００ｇの重り９４を載置する。これにより、金属箔９２のシャイニー面９２ａには所定の荷重が印加される。なお、図２（ａ）及び図２（ｂ）では、金属箔９２及びスライドガラス９３の厚さを誇張して示している。
【００２９】
こうして配置された金属箔９２を一定方向に引っ張ることで、金属箔９２をステンレス鋼板９１に対して一定方向に移動させる。このとき、金属箔９２においてスライドガラス９３の載置されている部位には荷重が作用しているため、その部位のマット面９２ｂはステンレス鋼板９１の上面に摺動される。次いで、ステンレス鋼板９１の上面に擦られたマット面９２ｂを目視で観察し、引っ張った方向Ｄに沿った線状をなす傷が確認されるか否かを確認する。
【００３０】
このように金属箔９２のマット面９２ｂをステンレス鋼板９１に擦る耐擦傷試験を行った際に、マット面９２ｂに線状をなす傷の確認される荷重が７６ｍｍ×２６ｍｍの面積当たりの荷重において５００ｇを超える金属箔を選別し、その金属箔を保護用金属箔１６，２６として用いる。
【００３１】
さらに、保護用金属箔１６，２６としては、金属箔９２の耐擦傷試験において、マット面９２ｂに痕跡の確認される荷重が７６ｍｍ×２６ｍｍの面積当たりの荷重において２００ｇを超える金属箔９２を用いることが好ましい。なお、金属箔９２において製膜時の方向性がある場合は、製膜時の長さ方向（ＭＤ：Machine Direction）と引っ張る方向Ｄとが平行になるようにして耐擦傷試験を行う。
【００３２】
こうして選択された保護用金属箔１６，２６は、上述した熱圧着工程においてシャイニー面１６ａ，２６ａを積層用金属箔１２，２４に接触させるとともにマット面１６ｂ，２６ｂを加圧面７４ａ，７５ａに接触させた状態に配置される。
【００３３】
ここで、近年では回路のファインピッチ化が進むに伴って、フレキシブル金属積層体の外観に対する要求は厳しくなる傾向にある。本発明者らは、こうした要求に対しては、保護用金属箔の種類に応じて外観不良が発生することを見出している。こうした外観不良は、熱圧着工程において、金属箔９２のマット面９２ｂが加圧面７４ａ，７５ａと擦れることで金属箔９２から微粉が発生し、こうした微粉を要因として発生すると推測されるものの、外観不良の抑制に適した金属箔９２を、その物性値、外観等から適切に判断することは困難である。この点、本実施形態では、上記耐擦傷試験において線状をなす傷が確認されない金属箔９２を保護用金属箔１６，２６として採用している。このため、積層用金属箔１２，２４の外観不良を抑制することのできる保護用金属箔１６，２６を客観的に判断できるようになるため、多種存在する金属箔９２の中から、そうした保護用金属箔１６，２６を選択することが容易となる。そして、こうした保護用金属箔１６，２６を上記熱圧着工程で用いることで、外観不良を発生させずに、より長尺となるフレキシブル金属積層体１５，２５を連続して製造することができるようになる。
【００３４】
耐擦傷試験に供される金属箔９２としては、例えば銅箔、アルミニウム箔、及び銅とアルミニウムとの合金からなる箔等が挙げられる。なお、本発明者らの耐擦傷試験を通じた鋭意研究の結果、これらの金属箔９２の中でも、好ましくは銅箔又はアルミニウム箔であり、より好ましくは銅箔である。銅箔としては圧延銅箔及び電解銅箔が挙げられ、好ましくは電解銅箔である。電解銅箔の具体例としては、古河電気工業株式会社製のＦ２Ｗ、ＧＴＳ、ＧＹＵ、日本電解株式会社製のＹＧＰ、イルジン素材産業社製のＩＴＰ等が挙げられる。
【００３５】
金属箔９２、すなわち保護用金属箔１６，２６の厚さは、好ましくは３５μｍ未満、より好ましくは８μｍ以上、３５μｍ未満である。保護用金属箔１６，２６の厚さが３５μｍ以上の場合、保護用金属箔１６，２６の柔軟性が低下するため、取り扱い難くなるおそれがあり、経済性の観点からも不利となるおそれがある。
【００３６】
本実施形態の製造方法により得られたフレキシブル金属積層体１５，２５は、ＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）に用いられ、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）方式、ＣＯＦ（Chip on Film）方式等の実装方式に用いられるテープにも用いることができる。フレキシブル金属積層体１５，２５の装備された製品としては、例えばカメラ、パソコン、液晶ディスプレイ、プリンタ、携帯機器等の電子機器が挙げられる。
【００３７】
以上詳述した本実施形態によれば、次のような効果が発揮される。
（１）本実施形態の製造方法では、耐擦傷試験を行った際に線状をなす傷の確認される荷重が７６ｍｍ×２６ｍｍの面積当たりの荷重において５００ｇを超える金属箔９２を保護用金属箔１６，２６として用いている。これにより、外観不良の発生を抑制することの容易なフレキシブル金属積層体１５，２５の製造方法を提供することができる。したがって、外観不良を発生させずに、より長尺となるフレキシブル金属積層体１５，２５を連続して製造することができるようになる。このため、フレキシブル金属積層体１５，２５の製造に際して、生産性の低下を抑制し、ひいては産業廃棄物及びエネルギー消費の増大等を抑制することができるようになる。
【００３８】
（２）保護用金属箔１６，２６は、耐擦傷試験でマット面９２ｂに痕跡の確認される荷重が７６ｍｍ×２６ｍｍの面積当たりの荷重において２００ｇを超える金属箔９２であることが好ましい。この場合、フレキシブル金属積層体１５，２５の外観不良をさらに抑制することが容易となる。これにより、フレキシブル金属積層体１５，２５の外観に対する要求がさらに厳しくなった場合においても、生産性の低下を抑制することができるようになる。
【００３９】
（３）耐擦傷試験に供される金属箔９２が、好ましくは銅箔、より好ましくは電解銅箔であることで、保護用金属箔１６，２６として適した機械的物性が得られ易くなる。また、多種存在する金属箔９２の中から保護用金属箔１６，２６として適したものを選択することが容易となる。
【００４０】
（４）金属箔９２の厚さが３５μｍ未満であることで、柔軟性が確保されるため、保護用金属箔１６，２６を円滑に取り扱うことができるようになる。また、フレキシブル金属積層体１５，２５の製造に用いられる保護用金属箔１６，２６の重量が削減されるため、経済性の観点からも有利である。
【００４１】
（５）熱圧着性樹脂フィルム１３，２３が多層芳香族ポリイミドフィルムであることで、積層用金属箔１２，１４，２２，２４との熱圧着に際して、その金属箔１２，１４，２２，２４に皺等の不具合が発生することを抑制することができる。
【００４２】
なお、前記実施形態を次のように変更して構成してもよい。
・前記各ベルト７４，７５、すなわち加圧面７４ａ，７５ａはステンレス鋼から形成されているが、例えば銅合金、アルミ合金等の金属材料、耐熱性樹脂により形成してもよい。但し、耐久性等の観点からステンレス鋼が好ましい。
【００４３】
・各ベルト７４，７５は、同一の材料から形成してもよいし、異なる材料から形成してもよい。
・加圧面７４ａ，７５ａは、めっき等の表面処理により形成されていてもよい。こうした場合、耐擦傷試験は、加圧面７４ａ，７５ａと同一の表面処理が施された面を有する板材を用いて実施される。このように耐擦傷試験では、加圧面７４ａ，７５ａの変更に伴って、ステンレス鋼板９１を加圧面７４ａ，７５ａに相当する面を有した板材に変更すればよい。なお、板材において加圧面７４ａ，７５ａに相当する面とは、材質及び表面状態が加圧面７４ａ，７５ａに相当する面を示し、好ましくは各ベルト７４，７５を形成する板材と同一のものが用いられる。
【００４４】
・前記実施形態では、各被熱圧着体１１，２１は、いずれも積層用金属箔１２，２２／熱圧着性樹脂フィルム１３，２３／積層用金属箔１４，２４の三層構造としているが、各被熱圧着体１１，２１の少なくとも一方を積層用金属箔／熱圧着性樹脂フィルムからなる二層構造に変更してもよい。なお、こうした二層構造の場合では、熱圧着性樹脂フィルムとして、片面のみが熱圧着性を有するものを用いればよい。
【００４５】
・各被熱圧着体１１，２１の一方をダブルベルトプレス装置７１に供給せずに、第１のフレキシブル金属積層体１５及び第２のフレキシブル金属積層体２５のいずれか一方を製造するように変更してもよい。このとき、保護用金属箔１６，２６のいずれか一方を省略することもできる。
【００４６】
・ダブルベルトプレス装置７１を用いずに、上下一対の加熱ロールで加圧するロール成形装置を加熱加圧成形装置として用いてもよい。なお、ロール成形装置は、上下一対の加熱ロールを一段階として、複数の段階からなるロール成形装置であってもよい。
【００４７】
・前記巻取部８２では、フレキシブル金属積層体１５，２５及び保護用金属箔１７，２７は各別に巻き取っているが、フレキシブル金属積層体１５，２５に保護用金属箔１７，２７を積層した状態で巻き取り、例えばフレキシブル金属積層体１５，２５の使用時に保護用金属箔１７，２７を除去してもよい。
【００４８】
上記実施形態から把握できる技術的思想について以下に記載する。
（イ）加熱加圧成形装置を用いて熱圧着性樹脂フィルムの少なくとも片面に積層用金属箔を連続して圧着する熱圧着工程を備えるフレキシブル金属積層体の製造において前記加熱加圧成形装置の加圧面と前記積層用金属箔との間に配置されることで前記積層用金属箔を保護する保護用金属箔であって、前記保護用金属箔は、シャイニー面と同シャイニー面よりも粗面となるマット面との両面を有するとともに、前記マット面は、前記保護用金属箔を前記加圧面に相当する面を有する板材上に、前記保護用金属箔のマット面が接するように載置してその保護用金属箔のシャイニー面に荷重を印加した状態で一定方向に引っ張ることで前記マット面を前記板材の面に擦る耐擦傷試験を行った際に、そのマット面に線状をなす傷の確認される荷重が７６ｍｍ×２６ｍｍの面積当たりの荷重において５００ｇを超える耐擦傷性を有する保護用金属箔。この保護用金属箔によれば、上記フレキシブル金属積層体の製造においてフレキシブル金属積層体の外観不良を抑制することが容易である。
【００４９】
（ロ）加熱加圧成形装置を用いて熱圧着性樹脂フィルムの少なくとも片面に積層用金属箔を連続して圧着する圧着工程を備えるフレキシブル金属積層体の製造において前記加熱加圧成形装置の加圧面と前記積層用金属箔との間に配置されることで前記積層用金属箔を保護する保護用金属箔の選択方法であって、前記加圧面に相当する面を有する板材上にシャイニー面と同シャイニー面よりも粗面となるマット面との両面を有する金属箔をそのマット面が接するように載置してその金属箔のシャイニー面に荷重を印加した状態で同金属箔を一定方向に引っ張ることで前記マット面を前記板材の面に擦る耐擦傷試験を行う段階を備え、前記耐擦傷試験を行った際に、そのマット面に線状をなす傷の確認される荷重が７６ｍｍ×２６ｍｍの面積当たりの荷重において５００ｇを超える金属箔を前記保護用金属箔として選択する保護用金属箔の選択方法。この保護用金属箔の選択方法によれば、多種存在する金属箔の中から、フレキシブル金属積層体の外観不良を容易に抑制することのできる保護用金属箔を選択することができる。
【００５０】
（ハ）前記加熱加圧成形装置がダブルベルトプレス装置であるフレキシブル金属積層体の製造方法。
（ニ）前記加圧面がステンレス鋼から形成されている加熱加圧成形装置を用いるフレキシブル金属積層体の製造方法。
【実施例】
【００５１】
次に、実施例及び比較例を挙げて前記実施形態をさらに具体的に説明する。
（実施例１〜６，比較例１及び２）
表１に示すように金属箔Ａ〜Ｈについて、上面を鏡面仕上げしたステンレス鋼板を用いた耐擦傷試験を実施した。金属箔Ａ〜Ｈは、いずれも電解銅箔である。この耐擦傷試験では、金属箔を引っ張る速度を１０００ｍｍ／ｍｉｎとし、図２（ａ）及び（ｂ）に距離Ｌとして示される摺動の距離を１００ｍｍとした。また、測定環境は、温度２３℃、相対湿度４０％とした。
【００５２】
表１には、荷重（図２（ａ）及び（ｂ）に示される重り９４の重量）を５００ｇとした耐擦傷試験により、マット面について図３に示される線状をなす傷ａ（幅７μｍ以上の傷）の有無を判定した結果を示している。また、表１には、荷重（図２（ａ）及び（ｂ）に示される重り９４の重量）を２００ｇ及び３００ｇとした耐擦傷試験により、マット面について図４に示される痕跡ｂの有無を確認した結果を示している。
【００５３】
【表１】
2011062915.tif 000003
【００５４】
表１に示されるように、金属箔Ａ〜Ｆでは、線状をなす傷ａは確認されなかった。こうした金属箔Ａ〜Ｆのうち、金属箔Ａ〜Ｃでは荷重２００ｇにおいて痕跡ｂが確認されなかった。特に、金属箔Ａについては、荷重３００ｇにおいても痕跡ｂが確認されなかった。これに対して、金属箔Ｇ及びＨでは線状をなす傷ａが確認された。
【００５５】
次に、各例の金属箔Ａ〜Ｈからなる金属箔ロールを保護用金属箔ロールとして用いて、図１に示されるダブルベルトプレス装置７１を用いてフレキシブル金属積層体１５，２５の製造テストを実施した。なお、ダブルベルトプレス装置７１の各ベルト７４，７５は、加圧面７４ａ，７５ａが鏡面仕上げされたステンレス鋼から形成されている。この製造テストでは、連続して得られるフレキシブル金属積層体１５，２５について、積層用金属箔１２，２４の外観を目視で観察し、明らかに外観不良が確認されたものはその時点で製造テストを終了し、外観不良が確認されないものはフレキシブル金属積層体１５，２５が１０万ｍ以上巻き取られるまで、製造テストを継続した。各フレキシブル金属積層体ロール１５Ｒ，２５Ｒについて、以下に示される基準により生産性の評価を、外観不良の限度見本と対比する外観検査により行った。その結果を表１に併記している。
【００５６】
Ａ＋：１０万ｍを超えるまで外観不良が発生していない。
Ａ：５万ｍを超えるまで外観不良が発生していない。
Ａ−：２万ｍを超えるまで外観不良が発生していない。
【００５７】
Ｂ：２万５千ｍを超えるまで外観不良が発生していない。
Ｃ：２万５千ｍに至るまでに外観不良が発生した。
表１に示されるように、比較例１及び２の結果から、金属箔Ｇ及びＨを保護用金属箔１６，２６として用いた場合、２万５千ｍに至るまでに外観不良が発生することが分かる。これに対して、実施例１〜６では、金属箔Ａ〜Ｆを保護用金属箔１６，２６として用いているため、２万ｍを超えるまで外観不良が発生しなかった。このように各実施例では、生産性が高められることが分かる。また、実施例１〜３の結果から、金属箔Ａ〜Ｃを保護用金属箔１６，２６として用いることで、５万ｍを超えるまで外観不良が発生しないことが分かる。特に、実施例１では、金属箔Ａを用いることで、１０万ｍを超えるまで外観不良が発生せず、生産性に優れることが分かる。
【符号の説明】
【００５８】
１２，１４，２２，２４…積層用金属箔、１３，２３…熱圧着性樹脂フィルム、１５…第１のフレキシブル金属積層体，２５…第２のフレキシブル金属積層体、１６，１７…第１の保護用金属箔、２６，２７…第２の保護用金属箔、１６ａ，２６ａ，９２ａ…シャイニー面、１６ｂ，２６ｂ，９２ｂ…マット面、７１…加熱加圧成形装置としてのダブルベルトプレス装置、７４ａ，７５ａ…加圧面、９１…板材としてのステンレス鋼板、９２…金属箔、ａ…線状をなす傷、ｂ…痕跡。
【図１】
2011062915.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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