(57)【要約】【課題】被ダイシング物を安定して固定することができ、かつ得られる複数の個片を簡単に取り外すことができるレーザーダイシング用粘着テープを提供することである。【解決手段】基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を設けてなり、該粘着剤層は、側鎖結晶性ポリマーを含有して該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下するか、感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有して該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下するレーザーダイシング用粘着テープである。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を設けてなり、該粘着剤層は、側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下することを特徴とするレーザーダイシング用粘着テープ。
【請求項２】
基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を設けてなり、該粘着剤層は、感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下することを特徴とするレーザーダイシング用粘着テープ。
【請求項３】
前記側鎖結晶性ポリマーは、前記融点未満の温度で結晶化し、かつ前記融点以上の温度で流動性を示す請求項１または２記載のレーザーダイシング用粘着テープ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のレーザーダイシング用粘着テープを用いて被ダイシング物をレーザーダイシングする方法であって、
前記粘着テープに被ダイシング物を貼着する工程と、
この被ダイシング物をレーザー光でダイシングして複数の個片を得る工程と、
前記粘着テープの温度を所定温度にして粘着力を低下させ、前記複数の個片を粘着テープから取り外す工程と、
を含むことを特徴とするレーザーダイシング方法。
【請求項５】
前記被ダイシング物が、厚さ１０〜５００μｍの板状物である請求項４記載のレーザーダイシング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被ダイシング物をレーザーダイシングする際に用いる粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
近時、ガラス基板等の被ダイシング物を複数の個片に切断・分割する方法として、レーザーダイシングが注目されている。レーザーダイシングによれば、個片の欠損を抑制することができ、切断領域の幅を小さくすることができる。レーザーダイシングは、通常、真空チャック機構を備えた台座に被ダイシング物を固定した後、前記被ダイシング物にレーザー光を照射することにより行う。
【０００３】
しかし、被ダイシング物を真空チャックで直接固定すると、レーザーダイシング中に被ダイシング物が台座から離脱したり、ズレや反り等が発生して、加工精度が低下するという問題がある。この問題は、厚さの薄いフレキシブルな板状の被ダイシング物において顕著である。
【０００４】
一方、被ダイシング物を真空チャックで直接固定するのではなく、粘着テープを介して真空チャックで固定する方法がある（例えば、特許文献１参照）。この方法によれば、被ダイシング物を真空チャックで直接固定することによる問題を解決できるとも考えられる。
【０００５】
しかし、特許文献１に記載されているような通常の粘着テープに被ダイシング物を貼着すると、以下の問題がある。すなわち、被ダイシング物をレーザーダイシングして得られる複数の個片は、前記粘着テープから取り外す必要がある。ところが、通常の粘着テープでは、個片を取り外す際の粘着力が強く、個片を簡単に取り外すことができない。また、無理に取り外そうとすると、個片に過度の力がかかり、該個片が変形するか破損してしまい、歩留りが低下する。特に、厚さの薄い板状の被ダイシング物から得られる個片は、強度が弱いため、歩留りの低下が顕著である。さらに、通常の粘着テープは、繰り返し使用することができないので、経済的ではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１１１９４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、被ダイシング物を安定して固定することができ、かつ得られる複数の個片を簡単に取り外すことができるレーザーダイシング用粘着テープを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、以下の構成からなる解決手段を見出し、本発明を完成するに至った。
（１）基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を設けてなり、該粘着剤層は、側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下することを特徴とするレーザーダイシング用粘着テープ。
（２）基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を設けてなり、該粘着剤層は、感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下することを特徴とするレーザーダイシング用粘着テープ。
（３）前記側鎖結晶性ポリマーは、前記融点未満の温度で結晶化し、かつ前記融点以上の温度で流動性を示す前記（１）または（２）記載のレーザーダイシング用粘着テープ。
（４）前記（１）〜（３）のいずれかに記載のレーザーダイシング用粘着テープを用いて被ダイシング物をレーザーダイシングする方法であって、前記粘着テープに被ダイシング物を貼着する工程と、この被ダイシング物をレーザー光でダイシングして複数の個片を得る工程と、前記粘着テープの温度を所定温度にして粘着力を低下させ、前記複数の個片を粘着テープから取り外す工程と、を含むことを特徴とするレーザーダイシング方法。
（５）前記被ダイシング物が、厚さ１０〜５００μｍの板状物である前記（４）記載のレーザーダイシング方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、被ダイシング物を粘着テープで固定するか、または粘着テープを介して真空チャック等で固定するので、従来のような被ダイシング物を真空チャック等で直接固定することによる問題がなく、レーザーダイシング中の被ダイシング物を安定して固定することができる。しかも、粘着剤層が、温度変化に対応して結晶状態と流動状態とを可逆的に起こす側鎖結晶性ポリマーを含有するので、粘着力を熱により可逆的に制御することができる。したがって、個片を取り外す際には、粘着テープの温度を所定温度にして粘着力を低下させることができ、それゆえ個片を粘着テープから簡単に取り外すことができる。また、側鎖結晶性ポリマーの相変化を利用するものであるため、繰り返し使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】（ａ）〜（ｄ）は、本発明のレーザーダイシング方法にかかる一実施形態を示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜レーザーダイシング用粘着テープ＞
（第１の実施形態）
以下、本発明のレーザーダイシング用粘着テープ（以下、「粘着テープ」と言うことがある。）にかかる第１の実施形態について説明する。本実施形態にかかる粘着テープは、基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を設けてなる。
【００１２】
前記基材フィルムとしては、例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレンエチルアクリレート共重合体、エチレンポリプロピレン共重合体、ポリ塩化ビニル等の合成樹脂フィルムが挙げられる。これらのうち、レーザーダイシング時の熱で溶融し難いものが好ましい。
【００１３】
前記基材フィルムは、単層体または複層体からなるものであってもよく、厚さは、通常、２５〜２５０μｍ程度である。基材フィルムには、粘着剤層に対する密着性を向上させるため、例えばコロナ放電処理、プラズマ処理、ブラスト処理、ケミカルエッチング処理、プライマー処理等の表面処理を施すことができる。
【００１４】
一方、前記粘着剤層は、側鎖結晶性ポリマーを含有する。該側鎖結晶性ポリマーは、融点未満の温度で結晶化しかつ融点以上の温度で流動性を示すポリマーである。すなわち、前記側鎖結晶性ポリマーは、温度変化に対応して結晶状態と流動状態とを可逆的に起こす。
【００１５】
前記粘着剤層は、前記融点未満の温度で側鎖結晶性ポリマーが結晶化した際に粘着力が低下する割合で側鎖結晶性ポリマーを含有する。つまり、前記粘着剤層は、前記側鎖結晶性ポリマーを主成分として含有する。これにより、被ダイシング物をレーザーダイシングして得られる複数の個片を取り外す際には、粘着テープを前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度に冷却すれば、前記側鎖結晶性ポリマーが結晶化することによって粘着力が低下するので、前記個片を簡単に取り外すことができる。また、粘着テープを前記側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度に加熱すれば、前記側鎖結晶性ポリマーが流動性を示すことによって粘着力が回復するので、繰り返し使用することができる。
【００１６】
前記融点とは、ある平衡プロセスにより、最初は秩序ある配列に整合されていた重合体の特定部分が無秩序状態となる温度を意味し、示差熱走査熱量計（ＤＳＣ）により１０℃／分の測定条件で測定して得られる値である。前記融点としては０℃以上、好ましくは１０〜４０℃であるのがよい。前記融点を所定の値とするには、側鎖結晶性ポリマーの組成等を変えることによって任意に行うことができる。
【００１７】
前記側鎖結晶性ポリマーの組成としては、例えば炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレート２０〜１００重量部と、炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレート０〜７０重量部と、極性モノマー０〜１０重量部とを重合させて得られる重合体等が挙げられる。
【００１８】
前記炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えばセチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、エイコシル（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレート等の炭素数１６〜２２の線状アルキル基を有する（メタ）アクリレートが挙げられ、前記炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート等が挙げられ、前記極性モノマーとしては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸等のカルボキシル基含有エチレン不飽和単量体；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート等のヒドロキシル基を有するエチレン不飽和単量体等が挙げられ、これらは１種または２種以上を混合して用いてもよい。
【００１９】
重合方法としては、特に限定されるものではなく、例えば溶液重合法、塊状重合法、懸濁重合法、乳化重合法等が採用可能である。例えば溶液重合法を採用する場合には、前記で例示したモノマーを溶剤に混合し、４０〜９０℃程度で２〜１０時間程度攪拌することによって前記モノマーを重合させることができる。
【００２０】
前記側鎖結晶性ポリマーの重量平均分子量は１００，０００以上、好ましくは４００，０００〜９００，０００であるのがよい。前記重量平均分子量があまり小さいと、個片を粘着テープから取り外す際には、粘着剤層が個片上に残る、いわゆる糊残りが多くなるおそれがある。また、前記重量平均分子量があまり大きいと、側鎖結晶性ポリマーを融点未満の温度にしても結晶化し難くなるので、粘着力が低下し難くなる。前記重量平均分子量は、側鎖結晶性ポリマーをゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）で測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。
【００２１】
基材フィルムの片面に粘着剤層を設けるには、例えば側鎖結晶性ポリマーを所定の溶剤に加えた塗布液を基材フィルムの片面に塗布して乾燥させればよい。前記塗布液には、例えば架橋剤、タッキファイヤー、可塑剤、老化防止剤、紫外線吸収剤等の各種の添加剤を添加することができる。
【００２２】
前記塗布は、一般的にナイフコーター、ロールコーター、カレンダーコーター、コンマコーター等により行うことができる。また、塗工厚みや塗布液の粘度によっては、グラビアコーター、ロッドコーター等により行うこともできる。粘着剤層の厚さとしては５〜６０μｍ、好ましくは１０〜６０μｍ、より好ましくは１０〜４０μｍであるのがよい。
【００２３】
一方、本実施形態にかかる粘着テープは、基材フィルムの他面にも粘着剤層を設けて両面粘着テープの形態で使用することもできる。他面の粘着剤層としては、特に限定されるものではなく、例えば片面の粘着剤層と同様に、前記側鎖結晶性ポリマーを含有する粘着剤層を用いることもできる。この場合には、片面の粘着剤層の組成と、他面の粘着剤層の組成とは、同じ組成であってもよく、それぞれ異なる組成であってもよい。また、他面の粘着剤層として、例えば後述する感圧性接着剤のみからなる粘着剤層を用いることもできる。基材フィルムの他面の粘着剤層は、前記した片面の粘着剤層と同様にして設けることができる。片面の粘着剤層の厚さと、他面の粘着剤層の厚さとは、同じ厚さであってもよく、それぞれ異なる厚さであってもよい。
【００２４】
（第２の実施形態）
次に、本発明にかかる粘着テープの第２の実施形態について説明する。本実施形態にかかる粘着テープは、基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を設けてなり、該粘着剤層は、感圧性接着剤と側鎖結晶性ポリマーとを含有する。
【００２５】
前記感圧性接着剤は、粘着性を有するポリマーである。前記側鎖結晶性ポリマーは、前記融点以上の温度で流動性を示した際に粘着力を低下させることができる割合で粘着剤層中に含有されている。したがって、個片を取り外す際には、粘着テープを前記融点以上の温度に加熱すれば、前記側鎖結晶性ポリマーが流動性を示すことによって前記感圧性接着剤の粘着性が阻害され、これにより粘着力が低下するので、個片を簡単に取り外すことができる。また、粘着テープを前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度に冷却すれば、前記側鎖結晶性ポリマーが結晶化することによって粘着力が回復するので、繰り返し使用することができる。
【００２６】
前記感圧性接着剤は、粘着性を有するポリマーであればよく、特に限定されるものではないが、例えば天然ゴム接着剤、合成ゴム接着剤、スチレン／ブタジエンラテックスベース接着剤、アクリル系接着剤等が挙げられる。
【００２７】
前記アクリル系接着剤を例に挙げて説明すると、該アクリル系接着剤を構成するモノマーとしては、例えば炭素数１〜１２のアルキル基を有する（メタ）アクリレート等が挙げられ、該（メタ）アクリレートとしては、例えばエチルへキシル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、ヒドロキシアルキル基を有する（メタ）アクリレート等を用いることもでき、該（メタ）アクリレートとしては、例えばヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート等が挙げられる。例示したこれらのモノマーは、１種または２種以上を混合して用いることができる。
【００２８】
重合方法としては、特に限定されるものではなく、例えば溶液重合法、塊状重合法、懸濁重合法、乳化重合法等が採用可能である。例えば溶液重合法を採用する場合には、前記で例示したモノマーを溶剤に混合し、４０〜９０℃程度で２〜１０時間程度攪拌することによって前記モノマーを重合させることができる。
【００２９】
前記モノマーを重合させて得られる重合体の重量平均分子量は、２５万〜１００万であるのがよい。前記重量平均分子量があまり小さいと、個片を取り外す際に糊残りが多くなるおそれがある。また、前記重量平均分子量があまり大きいと、粘着剤層の凝集力が高くなりすぎて粘着力が低くなるおそれがある。前記重量平均分子量は、前記重合体をＧＰＣで測定し、得られた測定値をポリスチレン換算した値である。
【００３０】
一方、前記側鎖結晶性ポリマーの融点としては３０℃以上、好ましくは３０〜７０℃であるのがよい。また、前記側鎖結晶性ポリマーの組成としては、例えば炭素数１６以上の直鎖状アルキル基を有する（メタ）アクリレート２０〜１００重量部と、炭素数１〜６のアルキル基を有する（メタ）アクリレート０〜７０重量部と、極性モノマー０〜１０重量部とを重合させて得られる重合体等が挙げられ、これらの（メタ）アクリレートおよび極性モノマーとしては、前記した第１の実施形態にかかる粘着テープにおける側鎖結晶性ポリマーで例示したのと同じ（メタ）アクリレートおよび極性モノマーが挙げられる。
【００３１】
前記側鎖結晶性ポリマーの重量平均分子量は２，０００以上、好ましくは２，０００〜２０，０００であるのがよい。前記重量平均分子量があまり小さいと、個片を取り外す際に糊残りが多くなるおそれがある。また、前記重量平均分子量があまり大きいと、側鎖結晶性ポリマーの温度を融点以上の温度にしても側鎖結晶性ポリマーが流動性を示し難くなるので、粘着力が低下し難くなる。
【００３２】
側鎖結晶性ポリマーは、固形分換算で感圧性接着剤１００重量部に対して１〜２０重量部、好ましくは１〜１０重量部の割合で含有するのがよい。これにより、前記融点以上の温度で側鎖結晶性ポリマーが流動性を示した際には、粘着テープの粘着力が低下する。これに対し、側鎖結晶性ポリマーの含有量があまり少ないと、粘着テープを側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度に加熱しても、粘着力が低下し難くなる。また、側鎖結晶性ポリマーの含有量があまり多いと、粘着力が低下して被ダイシング物を固定し難くなる。その他の構成は、前記した第１の実施形態にかかる粘着テープと同様であるので、説明を省略する。
【００３３】
＜レーザーダイシング方法＞
次に、本発明のレーザーダイシング方法にかかる一実施形態について、前記した第１の実施形態にかかるレーザーダイシング用粘着テープを用いた場合を例に挙げ、図１を参照して詳細に説明する。
【００３４】
図１（ａ）に示すように、まず、前記した第１の実施形態にかかるレーザーダイシング用粘着テープ１に、被ダイシング物１０を貼着する。粘着テープ１は、基材フィルム２の片面に粘着剤層３を設けてなる。粘着剤層３は、側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下するよう構成されている。なお、前記側鎖結晶性ポリマーの融点によっては、粘着剤層３の粘着力が発現していない場合がある。この場合には、雰囲気温度をヒータ等の加熱手段を用いて側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度にまで加熱し、粘着剤層３の粘着力を発現させればよい。
【００３５】
被ダイシング物１０は、厚さ１０〜５００μｍの板状物である。このような形状の被ダイシング物１０は、フレキシブル性を有している。被ダイシング物１０としては、例えば無アルカリガラス等のガラスからなるガラス基板；ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレンエチルアクリレート共重合体、エチレンポリプロピレン共重合体、ポリ塩化ビニル等の合成樹脂からなる樹脂基板等が挙げられる。
【００３６】
被ダイシング物１０を粘着テープ１に貼着するには、被ダイシング物１０を粘着テープ１に軽く押し付ければよい。これにより、被ダイシング物１０は、その表面平滑性が確保され、かつ適度な力で粘着テープ１に貼着固定される。
【００３７】
次に、図１（ｂ）に示すように、被ダイシング物１０を、粘着テープ１を介して台座２０上に固定する。具体的に説明すると、台座２０は、（ＳｉＯ2）ガラス、セラミック等で構成され、図示しない真空チャック機構が備えられている。この真空チャック機構で、粘着テープ１の基材フィルム２を台座２０上に吸着保持する。その結果、被ダイシング物１０が粘着テープ１を介して台座２０上に固定される。本実施形態では、被ダイシング物１０を、粘着テープ１を介して真空チャックで固定するので、従来のような被ダイシング物を真空チャックで直接固定することによる問題、すなわちレーザーダイシング中に被ダイシング物１０が台座２０から離脱したり、ズレや反り等が発生して、加工精度が低下するという問題がない。
【００３８】
次に、図１（ｃ）に示すように、被ダイシング物１０をレーザー光Ｌでダイシングして複数の個片１１を得る。このレーザーダイシングは、図示しないレーザー装置から被ダイシング物１０に吸収される波長のレーザー光Ｌを被ダイシング物１０に照射し、該レーザー光Ｌの熱エネルギーで切断部を溶融ないし蒸散させて切断することにより行う。
【００３９】
レーザー光Ｌとしては、例えばＣＯ2レーザー、ＹＡＧレーザー、Ａｒレーザー、エキシマレーザー等が挙げられる。レーザー光Ｌは、その焦点が被ダイシング物１０と粘着剤層３との界面ないし該界面近傍の被ダイシング物１０内に位置するよう照射する。
【００４０】
ダイシング中の被ダイシング物１０および個片１１は、粘着テープ１によって貼着固定されているので、これらが個片化とともに粘着テープ１から剥がれて飛散するのを抑制することができる。また、個片１１の形状は、特に限定されるものではない。したがって、レーザー光Ｌを任意に走査してダイシングを行い、所望の形状を有する個片１１を得ればよい。
【００４１】
そして、雰囲気温度あるいは台座２０温度をガス等の冷却手段を用いて前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度にまで冷却する。これにより、粘着テープ１の粘着力が低下するので、図１（ｄ）に示すように、得られた複数の個片１１を矢印Ａ方向に動かして、各個片１１を粘着テープ１から取り外すことができる。このとき、粘着テープ１の粘着力は前記した理由から十分に低下しているので、取り外し時に個片１１にかかる負荷は小さい。したがって、高い歩留りで個片１１を得ることができる。粘着テープ１は、前記と同様の操作をすることで何度も繰り返し使用することができる。
【００４２】
以上、本発明にかかるいくつかの実施形態について示したが、本発明は以上の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内において、種々の改善や変更が可能である。例えば、前記したレーザーダイシング方法にかかる一実施形態では、本発明の第１の実施形態にかかるレーザーダイシング用粘着テープを用いる場合について説明したが、この粘着テープに代えて、本発明の第２の実施形態にかかるレーザーダイシング用粘着テープを用いることもできる。
【００４３】
この場合、粘着テープに被ダイシング物を貼着してレーザーダイシングし複数の個片を得るまでの工程は、前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で行い、複数の個片を粘着テープから取り外す工程は、前記側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で行う。その他の工程は、前記した実施形態にかかるダイシング方法と同様である。
【００４４】
また、基材フィルムの片面に粘着剤層を設けた粘着テープに代えて、前記した両面粘着テープを用いてレーザーダイシングを行うこともできる。この場合には、側鎖結晶性ポリマーを含有する片面の粘着剤層が被ダイシング物側に向くよう、他面の粘着剤層を介して粘着テープを台座に貼着する。したがって、両面粘着テープを用いる場合には、真空チャックを用いずに、被ダイシング物を、粘着テープ１を介して台座上に固定することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１  レーザーダイシング用粘着テープ
２  基材フィルム
３  粘着剤層
１０  被ダイシング物
１１  個片
２０  台座
【図１】
2011044461.tif 000002