(57)【要約】【課題】プラズマ処理装置の電極の着脱操作を容易化する。【解決手段】プラズマ処理装置１の電極１１を装置本体２０の収容部２２に収容する。電極１１の固定を解除した状態で、摺動部３２にて電極１１を支持し、かつ摺動部３２を案内部３１に沿って水平な第１方向に摺動可能にする。電極１１とナット部４２を連結部５０にて連結し、ハンドル４４にてネジ軸４１を回し、ナット部４２及び連結部５０を介して電極１１を第１方向に移動させる。軸支持部４３にてネジ軸４１を回転可能かつ第１方向に変位不能に支持する。【選択図】図１
2011044668.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理ガスを電界印加によりプラズマ化して被処理物に接触させてプラズマ処理するプラズマ処理装置であって、
前記電界印加のための電極と、
前記電極を収容する収容部を含む装置本体と、
前記電極を前記収容部内に解除可能に位置固定する固定部と、
前記電極を、前記装置本体への位置固定を解除した状態で水平な第１方向に移動させるスライド機構と、
を備え、前記スライド機構が、
（ａ）前記装置本体に設けられ、前記第１方向へ延びて前記収容部の内部から外部へ突出する案内部と、
（ｂ）前記電極を支持して前記案内部に沿って前記第１方向に摺動可能な摺動部と、
（ｃ）軸線を前記第１方向に向けたネジ軸と、
（ｄ）前記ネジ軸に嵌合するナット部と、
（ｅ）前記ナット部を前記電極に分離可能に連結する連結部と、
（ｆ）前記装置本体に設けられ、前記ネジ軸を回転可能かつ前記第１方向に変位不能に支持する軸支持部と、
（ｇ）前記ネジ軸の端部に設けられたハンドルと、
を含むことを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
前記連結部が、前記電極と前記ナット部を平面視における所定範囲内で相対変位可能に連結していることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
処理ガスを電界印加によりプラズマ化して被処理物に接触させてプラズマ処理するプラズマ処理装置であって、
長手方向を水平に向けた前記電界印加のための電極と、
前記電極を収容する収容部を有する装置本体と、
前記電極を前記収容部内に解除可能に位置固定する固定部と、
前記電極を挟んで前記長手方向に互いに離れ、前記電極の前記装置本体への位置固定を解除した状態で、それぞれ前記電極の前記長手方向の対応する端部を前記長手方向と直交する水平な第１方向に移動させるスライド機構と、
を備え、前記一対のスライド機構の各々が、
（ａ）前記装置本体に設けられ、前記第１方向へ延びて前記収容部の内部から外部へ突出する案内部と、
（ｂ）前記電極を支持して前記案内部に沿って前記第１方向に摺動可能な摺動部と、
（ｃ）軸線を前記第１方向に向けたネジ軸と、
（ｄ）前記ネジ軸に嵌合するナット部と、
（ｅ）前記ナット部を前記電極に分離可能かつ平面視における所定範囲内で相対変位可能に連結する連結部と、
（ｆ）前記装置本体に設けられ、前記ネジ軸を回転可能かつ前記第１方向に変位不能に支持する軸支持部と、
（ｇ）前記ネジ軸の端部に設けられたハンドルと、
を含むことを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記連結部が、前記電極に接続された第１連結部材と、前記ナット部に接続され、かつ前記第１連結部材と上下に重ねられた第２連結部材と、これら第１、第２連結部材を連結する垂直な連結ピンとを含み、前記第１、第２連結部材のうち一方の前記連結ピンを挿通する挿通穴の内径が、前記連結ピンの外径より前記所定範囲に対応する大きさだけ大径であることを特徴とする請求項２又は３に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記ネジ軸の前記ナット部より前記軸支持部の側とは反対側の部分が解放されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のプラズマ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、被処理物をプラズマ処理する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
処理ガスを電界印加によりプラズマ化して被処理物に接触させ、被処理物の表面をプラズマ処理する装置は周知である（特許文献１参照）。この種のプラズマ処理装置は、電界印加のための電極を備えている。電極の種類としては、平行平板電極、ロール電極等がある。ロール電極は、軸線を水平に向けた円筒状をしており、軸線方向の両端が回転可能に支持されている。ロール電極は、連続シート状の被処理物を処理するのに適している。連続シート状の被処理物をロール電極に半周程度掛け回す。ロール電極を回転させて、連続シート状の被処理物を連続方向に搬送し、連続的に処理する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２７９４５７号公報
【特許文献２】特開２０００−２８６０３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
プラズマ処理装置の電極は、反応生成物等により汚れが付着したり放電により損耗したりしやすい。そのため、ある程度稼働する度にメンテナンスを行なう必要がある。しかし、電極が大型で重いと、収容部内に固定された位置から直接的に持ち上げて取り外すのは容易でない。特に、ロール電極は円筒状であるため困難度が大きい。そこで、電極を収容部の外部へスライドさせたうえで、持ち上げることが考えられる。一方、メンテナンス時の着脱操作だけのために、電動式や油圧式の自動スライド機構を設けることは、経済的でない。そこで、ボールネジ等のネジ軸を手動で回して電極をスライドさせることが考えられる。しかし、その際、ネジ軸を回すためのハンドルが電極と一緒に移動する不便である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、処理ガスを電界印加によりプラズマ化して被処理物に接触させてプラズマ処理する装置であって、
前記電界印加のための電極と、
前記電極を収容する収容部を含む装置本体と、
前記電極を前記収容部内に解除可能に位置固定する固定部と、
前記電極を、前記装置本体への位置固定を解除した状態で水平な第１方向に移動させるスライド機構と、
を備え、前記スライド機構が、
（ａ）前記装置本体に設けられ、前記第１方向へ延びて前記収容部の内部から外部へ突出する案内部と、
（ｂ）前記電極を支持して前記案内部に沿って前記第１方向に摺動可能な摺動部と、
（ｃ）軸線を前記第１方向に向けたネジ軸と、
（ｄ）前記ネジ軸に嵌合するナット部と、
（ｅ）前記ナット部を前記電極に分離可能に連結する連結部と、
（ｆ）前記装置本体に設けられ、前記ネジ軸を回転可能かつ前記第１方向に変位不能に支持する軸支持部と、
（ｇ）前記ネジ軸の端部に設けられたハンドルと、
を含むことを特徴とする。
【０００６】
前記電極のメンテナンス等の際には、装置本体への位置固定を解除したうえで、ハンドルを回すことにより、電極を案内部に沿ってスライドさせて収容部から外部へ出す。次に、前記連結部によるナット部と電極の連結を解除する。これにより、電極を装置本体から容易に取り外すことができる。メンテナンス後の電極や新たな電極を装置本体に組み込む際は、上記と逆の操作を行なうことで、電極を収容部内に容易に収容することができる。軸支持部にてネジ軸を回転可能かつ第１方向に変位不能に支持することで、ハンドルが第１方向に突出したり引っ込んだりするのを回避でき、ハンドルの回転操作を容易に行なうことができる。スライド機構は、手動式であるため製造コストを低廉化でき、かつ構造を簡素化できる。
【０００７】
前記連結部が、前記電極と前記ナット部を平面視における所定範囲内で相対変位（平面移動及び垂直軸線まわりの回転を含む）可能に連結していることが好ましい。これにより、スライド時に電極やネジ軸が多少斜めになっても、その傾きを吸収でき、スライド操作を継続できる。
【０００８】
前記電極が、長手方向を前記第１方向と直交する水平方向に向けて配置されていてもよい。前記スライド機構が、前記電極を挟んで前記長手方向に互いに離れて一対設けられていてもよい。
一対のスライド機構のハンドルを少しずつ交互に又は同時に操作することで、電極をスライドさせることができる。前記連結部が前記電極と前記ナット部を平面視における所定範囲内で相対変位可能に連結していることで、電極が第１方向と直交する方向に対し斜めになるのを許容できる。したがって、一対のスライド機構のハンドルを少しずつ交互に操作して、電極の長手方向の両端部を片側ごとに交互に少しずつスライドさせることができる。或いは、一対のスライド機構のハンドルを同時に操作するとき、正確に同期していなくても、電極をスライドさせることができる。
【０００９】
前記連結部が、前記電極に接続された第１連結部材と、前記ナット部に接続され、かつ前記第１連結部材と上下に重ねられた第２連結部材と、これら第１、第２連結部材を連結する垂直な連結ピンとを含み、前記第１、第２連結部材のうち一方の前記連結ピンを挿通する挿通穴の内径が、前記連結ピンの外径より前記所定範囲に対応する大きさだけ大径になっていてもよい。これにより、前記電極と前記ナット部を前記所定範囲内で相対変位可能に連結できる。
【００１０】
前記ネジ軸の前記ナット部より前記軸支持部の側とは反対側の部分が解放されていることが好ましい。
これにより、ネジ軸の軸支持部側とは反対側の端部を支持する部材を省略でき、部品点数を削減できる。ネジ軸の支持は、軸支持部の他、ナット部及び連結部にて担うことができる。さらに、ネジ軸が第１方向に対し多少斜めになるのを許容でき、電極の長手方向の両端部を交互にスライドさせやすくすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ハンドルを回すことで電極の出し入れを容易に行なうことができる。ハンドルの位置を固定でき、ハンドルの回転操作を容易化できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係るプラズマ処理装置を、ロール電極が正規の位置に固定された状態で示す側面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う、上記プラズマ処理装置の平面断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う、上記プラズマ処理装置の一側部の縦断面図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ線に沿う、上記プラズマ処理装置の一側部の平面断面図である。
【図５】上記プラズマ処理装置を、ロール電極が収容部の外部に出された状態で示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
図１及び図２は、連続シート状の被処理物９を表面処理するプラズマ処理装置１を示したものである。被処理物９の巾（図１の紙面と直交する方向の寸法）は、例えば１．５ｍ程度であるが、これに限定されるものではない。プラズマ処理装置１は、一対の電極１１，１２と、これら電極１１，１２を収容して支持する装置本体２０を備えている。
【００１４】
一対の電極１１，１２のうち電極１１が、本実施形態におけるスライド操作及び着脱操作の対象になる。電極１１は、円筒形状のロール電極にて構成されている。ロール電極１１の軸線（長手方向）は、図１の紙面と直交する左右水平方向に向けられている。ロール電極１１の外周面には樹脂やアルミナ等の固体誘電体層が被覆されている。ロール電極１１の軸長（左右方向の長さ）は、被処理物９の巾と略同じであり、例えば１．５ｍ程度であるが、これに限定されるものではなく、被処理物９の巾より大きくてもよく小さくてもよい。ロール電極１１の左右の端面には、シャフト１５がロール電極１１の中心軸に沿って突出するよう設けられている。シャフト１５が固定部１６によって装置本体２０に固定されている。固定構造の詳細は後述する。シャフト１５とロール電極１１の間には回転駆動機構（図示省略）が接続され、固定されたシャフト１５に対しロール電極１１が回転されるようになっている。
【００１５】
対向電極１２は、ロール電極１１の外周面と対向して配置されている。対向電極１２は、ロール電極１１の下側に配置されているが、ロール電極１１の上側に配置されていてもよく、ロール電極１１の前側（図１において右）又は後側（図１において左）に配置されていてもよい。対向電極１２がロール電極１１の周方向に複数並んで配置されていてもよい。対向電極１２のロール電極１１との対向面は、ロール電極１１の外周面に沿う部分円筒面状の凹曲面になっているが、平面になっていてもよい。対向電極１２が電極１１と同様に円筒状のロール電極になっていてもよい。ロール電極１１と対向電極１２の間に処理空間１３が形成されている。処理空間１３に被処理物９が通されている。被処理物９は、ロール電極１１の下側の周面に半周程度掛け回されている。ロール電極１１及びガイドロール１４の回転によって被処理物９が一方向に案内される。
【００１６】
図１に示すように、対向電極１２に電源２が接続されている。ロール電極１１は電気的に接地されている。電源２からの電圧供給により、電極１１，１２間に電界が印加され、処理空間１３が大気圧近傍の放電空間になる。ロール電極１１が電源２に接続され、対向電極１２が電気的に接地されていてもよい。
ここで、大気圧近傍とは、１．０１３×１０４〜５０．６６３×１０４Ｐａの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、１．３３３×１０４〜１０．６６４×１０４Ｐａが好ましく、９．３３１×１０４〜１０．３９７×１０４Ｐａがより好ましい。
【００１７】
処理空間１３には、処理ガス供給機構３が接続されている。処理ガス供給機構３は、処理目的に応じた処理ガスを処理空間１３に供給する。例えば、被処理物９の親水化処理を行なう場合、処理ガスはＯ２、Ｎ２等を含む。被処理物９の撥水化処理やエッチング処理を行なう場合、処理ガスはＣＦ４等のフッ素系成分を含む。この処理ガスが電極１１，１２間でプラズマ化されて被処理物９に接触する。これにより、被処理物９をプラズマ表面処理できる。
【００１８】
図１及び図２に示すように、装置本体２０は、左右一対の側壁２１を有している。各側壁２１は、垂直をなし、前後方向（第１方向）に沿うよう配置されている。これら側壁２１の間に空間状の収容部２２が形成されている。収容部２２内に電極１１，１２が位置固定されて収容されている。
【００１９】
各側壁２１には、装着穴２３が形成されている。装着穴２３は、側壁２１のほぼ中央部から前方（図１において右）へ延び、側壁２１の前端面に達して開口している。各側壁２１の前端部には袖部２４が設けられている。袖部２４は、側壁２１から前方（収容部２２の外側）へ突出している。袖部２４の上端面は、装着穴２３の下側の端面と面一になっている。
【００２０】
ロール電極１１の左右両端のシャフト１５が、装着穴２３を通して側壁２１より左右の外側に突出されている。シャフト１５の中間部にフランジ１６（固定部）が設けられている。フランジ１６は、シャフト１５と直交する円板形状になっている。フランジ１６が、側壁２１の外側面に添えられ、複数のボルト１７にて側壁２１に分離可能に固定されている。これにより、ロール電極１１の左右の両端部が、一対の側壁２１に位置固定を解除可能に連結されて支持されている。フランジ１６と側壁２１の外側面との間には、ロール電極１１の軸線が左右方向に対し多少斜めになるのを許容するクリアランスが形成されている。
【００２１】
図１及び図２に示すように、更に、プラズマ処理装置１は、ロール電極１１をメンテナンス等の際に着脱するために、該ロール電極１１を前後（第１方向）に移動させるスライド機構３０を備えている。スライド機構３０は、ロール電極１１を挟んでプラズマ処理装置１の左右両側に離れて一対設けられている。これら左右のスライド機構３０は、左右が反転している点を除いて実質的に同じ構造になっている。
【００２２】
各スライド機構３０は、装置本体２０に設けられた案内部３１と、摺動部３２と、ボールネジ機構４０と、ロール電極１１とボールネジ機構４０とを連結する連結部５０を含む。
【００２３】
案内部３１は、側壁２１の装着穴２３の上下の縁部分、及び袖部２４の上側の縁部分によって構成されている。案内部３１は、前後方向（第１方向）に延びて収容部２２の内部から外部へ突出している。案内部３１の表面には滑面化処理が施されている。滑面化処理として、例えば、図３に示すように、案内部３１を構成する装着穴２３の上下縁面及び袖部２４の上縁面に低摩擦の被覆層３３が設けられている。被覆層３３は、焼結金属やフッ素樹脂等にて構成されている。滑面化処理として、案内部３１の表面にグリースを塗布してもよい。
【００２４】
図１に示すように、摺動部３２は、四角形の板状になっている。図２に示すように、摺動部３２は、フランジ１６のロール電極１１を向く内側面に重ねられている。図３に示すように、摺動部３２は、シャフト１５と直交し、シャフト１５の中間部に固定されている。摺動部３２が装着穴２３に嵌め込まれている。図３に示すように、摺動部３２の下端面及び上端面には、被覆層３３と同様の被覆層３４が設けられ、案内部３１と同様の滑面化処理が施されている。
【００２５】
フランジ１６の側壁２１への連結を解除した状態では、摺動部３２が、ロール電極１１を支持し、かつ案内部３１に沿って前後に摺動可能になっている。ひいては、ロール電極１１が、図１に示す収容部２２内の正規の位置（以下「処理位置」と称す）と、図５に示す着脱位置との間を前後に移動可能になっている。図１及び図２に示すように、処理位置では、摺動部３２が装着穴２３の垂直な後端面に突き当たっている。この処理位置において、フランジ１６が側壁２１に固定されている。さらに、処理位置において、ロール電極１１が対向電極１２と対向し、両電極１１，１２間に処理空間１３が形成される。図５に示すように、着脱位置では、摺動部３２ひいてはロール電極１１が、収容部２２の外部へ出され、袖部２４上に配置される。
【００２６】
図１に示すように、ボールネジ機構４０は、ネジ軸４１とナット部４２を含む。ネジ軸４１は、各側壁２１の外側面に沿い、軸線を前後（第１方向）に向けて延びている。ネジ軸４１の前端部（一端部）にハンドル４４が設けられている。左右のスライド機構３０のハンドル４４は、例えば１．５ｍ以上離れている。ネジ軸４１にナット部４２が嵌合している。図示は省略するが、ネジ軸４１の外周の雄ネジ４１ａとナット部４２の内周の雌ネジとの間に複数のボールが転動可能に収容されている。
なお、ハンドル４４は、ネジ軸４１に直結されていなくてもよく、ギアを介してネジ軸４１の端部を回すように間接的にこれらが連結されていてもよい。また、ハンドル４４からネジ軸４１に回転力が与えられる箇所は、ネジ軸４１の終端に限られず、ネジ軸４１の端寄りの部分であればよい。
【００２７】
図１及び図２に示すように、袖部２４の前端部に軸支持部４３が設けられている。ネジ軸４１の前端近傍の部分が、軸支持部４３に支持されている。軸支持部４３は、ベアリング（図示省略）を含む。このベアリングの内輪がネジ軸４１に相対移動不能に嵌合している。これにより、軸支持部４３が、ネジ軸４１の回転を許容するとともに、ネジ軸４１の前後方向への変位を拘束している。軸支持部４３は、ネジ軸４１の雄ネジ４１ａにネジ結合されていない。ネジ軸４１は、軸支持部４３より前方に少し突出されている。軸支持部４３の少し前方に上記ハンドル４４が配置されている。
【００２８】
図１及び図２に示すように、ボールネジ機構４０のナット部４２とロール電極１１のフランジ１６が連結部５０にて連結されている。図３及び図４に示すように、連結部５０は、第１連結部材５１と、第２連結部材５２を含む。第１連結部材５１は、断面コ字状をなし、フランジ１６の外側面にボルト締めや溶接にて固定されている。第２連結部材５２は、板状をなしている。第１連結部材５１の中央の凹部に第２連結部材５２が嵌め込まれている。第１連結部材５１と第２連結部材５２が連結ピン５３で連結されている。第２連結部材５２には、連結ピン５３を挿通する挿通穴５４が形成されている。挿通穴５４の内径Ｄ５４は、連結ピン５３における挿通穴５４内に配置された部分の外径Ｄ５３より少し又は十分に大径になっている。例えば、連結ピン５３の外径がＤ５３＝１２ｍｍ程度に対し、挿通穴５４の内径はＤ５４＝１４ｍｍ程度である。したがって、連結ピン５３は挿通穴５４内で相対変位（平面移動及び回転）可能になっている。第１連結部材５１と第２連結部材５２は、連結ピン５３が挿通穴５４内で変位できる範囲内で相対変位可能になっている。
なお、挿通穴５４の形状は、楕円のような長穴であってもよい。
【００２９】
第２連結部材５２は、第１連結部材５１より前側（図２において右）に突出されている。第２連結部材５２の上記突出部分が、複数の連結ボルト５５を介してナット部４２に分離可能に連結されている。ひいては、ロール電極１１とナット部４２が、連結部５０を介して連結解除可能に連結されている。しかも、フランジ１６の側壁２１への連結を解除した状態では、連結ピン５３が挿通穴５４内を移動できる範囲（所定範囲）内で、ロール電極１１とナット部４２が平面視で相対変位可能になっている。
【００３０】
上記構成のプラズマ処理装置１において、ロール電極１１のメンテナンスの際は、ボルト１７を外し、フランジ１６の側壁２１への連結を解除する。ひいては、ロール電極１１の処理位置への固定状態を解除する。また、ロール電極１１の前後スライドの障害になる部材がある場合には、その障害となる部材を退避させる。例えば、対向電極１２が引っ掛かる場合、対向電極１２を下降させる。或いは、対向電極１２を取り外す。そして、ハンドル４４を回す。これにより、ネジ軸４１が該ネジ軸４１の軸線周りに回転し、ナット部４２がネジ軸４１の軸線に沿って前方へ移動する。ひいては、ナット部４２に連結されたロール電極１１が前方へ移動する。軸支持部４３によってネジ軸４１の前後動が拘束されているから、ロール電極１１が前方へ移動しても、ネジ軸４１の前後方向の位置は変わらない。したがって、ハンドル４４の位置が前方へ移動することはない、よって、ハンドル４４の回転操作を容易に行なうことができる。
【００３１】
左右のハンドル４４は１．５ｍ以上離れているため、１人の作業者が左右のハンドル４４を同時に操作するのは困難である。そこで、左右のハンドル４４を少しずつ交互に回す。ロール電極１１は、ハンドル４４を回した側の端部だけが前方へ移動し、平面視で左右方向に対し斜めになる。連結部５０が、連結ピン５３とそれより大径の挿通穴５４との係合機構を含み、ロール電極１１とナット部４２の平面視での相対変位を所定範囲内で許容することで、ロール電極１１が斜めになるのを許容できる。更に、ネジ軸４１のナット部４２より後端側（軸支持部４３側とは反対側）が解放されているため、ネジ軸４１が前後方向（第１方向）に対し少し斜めになるのを許容できる。これにより、ロール電極１１をより大きく斜めにできる。したがって、１回のハンドル４４の操作でロール電極１１の端部をより大きく前進させることができる。
【００３２】
左右のハンドル４４を交互に回すことで、ロール電極１１の左右の端部を交互に前進させる。これにより、作業者が１人でもロール電極１１を前進させることができる。作業者が２人の場合は、これら２人の作業者により左右のハンドル４４を同時に回す。このとき、ハンドル４４を回す速度が多少異なっていても、連結部５０がロール電極１１とナット部４２の平面視での相対変位を所定範囲内で許容することで、ロール電極１１の左右の端部の前進速度の違いを吸収できる。
【００３３】
このようにして、ロール電極１１を収容部２２から前方の外部へ出す。そして、図５に示すように、ロール電極１１を袖部２４上の着脱位置まで移動させる。この着脱位置において、連結ボルト５５を外して、ナット部４２と第２連結部材５２の連結を解除する。ひいては、ボールネジ機構４０とロール電極１１の連結を解除する。ネジ軸４１は、軸支持部４３だけで片持ちされた状態になる。そして、ロール電極１１を図示しないリフト機等で持ち上げ、プラズマ処理装置１から取り外し、洗浄や補修等のメンテナンスを行なう。
【００３４】
メンテナンス後のロール電極１１や新たなロール電極１１をプラズマ処理装置１にセットする際は、上記と逆の操作を行なう。すなわち、図５に示すように、セットすべきロール電極１１を袖部２４上の着脱位置に載せる。次に、連結ボルト５５によって第２連結部材５２とナット部４２を連結する。次に、左右のハンドル４４を少しずつ交互に、かつ上述の取り出し時とは逆方向に回し、ロール電極１１を左右の端部を少しずつ交互に収容部２２に向けて後方へ移動させる。或いは、２人の作業者によって左右のハンドル４４を略同時に回してもよく、この場合、左右の回転操作を正確に同期させる必要はない。ロール電極１１が後方へ移動しても、ネジ軸４１の前後方向の位置は変わらず、ハンドル４４が後方へ引っ込むことはない、したがって、ハンドル４４の回転操作を容易に行なうことができる。ロール電極１１を図１及び図２に示す処理位置まで移動させた後、ボルト１７によってフランジ１６を側壁２１に固定する。
【００３５】
スライド機構３０は、手動式であるため製造コストを低廉化でき、かつ構造を簡素化できる。
ネジ軸４１の後側（軸支持部４３側とは反対側）の端部を支持する部材を省略できるため、部品点数を削減でき、製造コストを一層低廉化できる。
ナット部４２が連結部５０に連結されている状態では、ネジ軸４１を、軸支持部４３の他、ナット部４２及び連結部５０を介して電極１１又は装置本体２０にて支持することができる。
【００３６】
本発明は、上記実施形態に限定されず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の改変をなすことができる。
例えば、電極は、ロール電極に限られず、平板状の電極であってもよい。
左右のスライド機構のネジ軸どうしを連動機構を介して接続し、一方のスライド機構のハンドルを操作すれば、他方のネジ軸も連動して回転するようにしてもよい。
プラズマ処理装置全体でボールネジ機構４０が１つだけであってもよい。左右のスライド機構のうち一方は、案内部と摺動部だけで構成されていてもよい。プラズマ処理装置全体でスライド機構３０が１つだけであってもよい。
ハンドル４４が、ネジ軸４１の後端部（電極１１の取り出し方向とは反対側）に設けられていてもよい。
軸支持部４３が、ネジ軸４１の後端部（電極１１の取り出し方向とは反対側）に設けられていてもよい。
軸支持部４３が、ネジ軸４１におけるハンドル４４の設けられた側の端部とは反対側の端部に設けられていてもよい。
連結ピン５３を外すことで、ボールネジ機構４０と電極１１の連結を解除してもよい。
着脱位置で電極１１を連結部５０から分離して装置本体２０から取り外せるようにし、電極１１の取り外し後も連結部５０が袖部２４上に残置されてネジ軸４１を支持するようにしてもよい。
連結部５０とナット部４２の連結機構は、連結解除可能であればよく、ボルト５５に限られず、フックとフック係止部、或いは係合凸部と係合凹部にて構成されていてもよい。
本発明は、大気圧近傍下でのプラズマ処理に限られず、減圧下でのプラズマ処理にも適用できる。
本発明は、洗浄、表面改質（親水化、撥水化等）、成膜、エッチング、アッシング等の種々の表面処理に適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、例えば液晶表示装置の偏光フィルムの製造や半導体装置の製造に適用できる。
【符号の説明】
【００３８】
１      プラズマ処理装置
２      電源
３      処理ガス供給機構
９      被処理物
１１    ロール電極
１２    対向電極
１３    処理空間
１４    ガイドロール
１５    シャフト
１６    フランジ（固定部）
１７    ボルト
２０    装置本体
２１    側壁
２２    収容部
２３    装着穴
２４    袖部
３０    スライド機構
３１    案内部
３２    摺動部
３３    被覆層
３４    被覆層
４０    ボールネジ機構
４１    ネジ軸（ボールネジ）
４１ａ  雄ネジ
４２    ナット部
４３    軸支持部
４４    ハンドル
５０    連結部
５１    第１連結部材
５２    第２連結部材
５３    連結ピン
５４    挿通穴
５５    連結ボルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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