(57)【要約】【課題】一連の貼合処理を迅速に行なって、貼合体の生産性を格段に向上できるワーク貼合装置を提供する。【解決手段】複数の吸着面１２ａ・１４を備えた第１回転台１および第２回転台２を、吸着面１２ａ・１４どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置する。両回転台１・２の周りに、ワーク供給および取り出しのための第１ステージＳ１と、保護紙を剥離する剥離のための第２ステージＳ２と、位置決めのための第３ステージＳ３と、貼合のための第４ステージＳ４を設ける。各ワークＷ１・Ｗ２を各ステージＳ１〜Ｓ４に順に対向させて、各ワークＷ１・Ｗ２の供給および取り出しと、各ワークＷ１・Ｗ２の保護紙４２の剥離と、両ワークＷ１・Ｗ２の位置決めと、ワークＷ１・Ｗ２どうしの貼合とを連続して行なう。【選択図】図１
2011026143.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吸着面（１２ａ・１４）を備えた第１回転台（１）および第２回転台（２）を有し、
両回転台（１・２）は、吸着面（１２ａ・１４）どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置されており、
両回転台（１・２）の周囲には、第１・第２の各ワーク（Ｗ１・Ｗ２）を各回転台（１・２）に供給し、あるいは貼合されたワーク（Ｗ３）を取り出す第１ステージ（Ｓ１）と、
各回転台（１・２）に吸着した両ワーク（Ｗ１・Ｗ２）の保護紙（４２）を剥離する剥離装置（４３）を備えた第２ステージ（Ｓ２）と、
各回転台（１・２）の吸着面（１２ａ・１４）に吸着保持した両ワーク（Ｗ１・Ｗ２）を位置決めする位置決め装置（５０）を備えた第３ステージ（Ｓ３）と、
貼合隙間を介して正対する両ワーク（Ｗ１・Ｗ２）を貼合する貼合装置（６０）を備えた第４ステージ（Ｓ４）とが設けられており、
第１回転台（１）と第２回転台（２）とは、第１駆動構造（７１）および第２駆動構造（７２）で駆動されて、貼合隙間を介して正対する貼合位置と、両回転台（１・２）が相対的に離れる回転位置との間で変位し、かつ回転位置においてそれぞれ回転変位できるように構成されており、
各回転台（１・２）の吸着面（１２ａ・１４）に吸着保持したワーク（Ｗ１・Ｗ２）を各ステージ（Ｓ１〜Ｓ４）に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なうことを特徴とするワーク貼合装置。
【請求項２】
四角箱状に形成した第１回転台（１）および第２回転台（２）の四周面のそれぞれに吸着面（１２ａ・１４）が設けられており、
両回転台（１・２）の前面側には、第１・第２の各ワーク（Ｗ１・Ｗ２）を各回転台（１・２）の吸着面（１２ａ・１４）に供給する第１供給装置（２１）および第２供給装置（２２）と、貼合体（Ｗ３）を取り出す取出装置（２３）を備えた第１ステージ（Ｓ１）が設けられており、
第１回転台（１）の上面および第２回転台（２）の下面のそれぞれに、両ワーク（Ｗ１・Ｗ２）の保護紙（４２）を剥離する剥離装置（４３）を備えた第２ステージ（Ｓ２）が設けられており、
両回転台（１・２）の後面側には、各回転台（１・２）の吸着面（１２ａ・１４）に吸着保持した両ワーク（Ｗ１・Ｗ２）を位置決めする位置決め装置（５０）を備えた第３ステージ（Ｓ３）が設けられており、
両回転台（１・２）の隣接面に、両ワーク（Ｗ１・Ｗ２）を貼合する貼合装置（６０）を備えた第４ステージ（Ｓ４）が設けられており、
各回転台（１・２）の吸着面（１２ａ・１４）に吸着保持したワーク（Ｗ１・Ｗ２）を第１・第２・第３・第４ステージ（Ｓ１〜Ｓ４）に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう、請求項１に記載のワーク貼合装置。
【請求項３】
第１ステージ（Ｓ１）における各ワーク（Ｗ１・Ｗ２）の各回転台（１・２）への供給、および貼合体（Ｗ３）の取り出しと、
第２ステージ（Ｓ２）における保護紙（４２）の剥離と、
第３ステージ（Ｓ３）におけるワーク（Ｗ１・Ｗ２）の位置決めと、
第４ステージ（Ｓ４）におけるワーク（Ｗ１・Ｗ２）どうしの貼合とを併行して行なう請求項２に記載のワーク貼合装置。
【請求項４】
第１駆動構造（７１）と第２駆動構造（７２）の駆動状態を制御する制御装置（７０）を備えており、
制御装置（７０）は、第１・第２の両駆動構造（７１・７２）が、第１駆動動作と第２駆動動作とを交互に繰り返し行なうように構成されており、
第１駆動動作において、第１回転台（１）は正転方向へ、第２回転台（２）は反転方向へ、それぞれ９０ずつ２７０度まで間欠的に回転駆動され、
第２駆動動作において、第１回転台（１）は反転方向へ、第２回転台（２）は正転方向へ、それぞれ２７０度回転駆動される請求項２または３に記載のワーク貼合装置。
【請求項５】
第１供給装置（２１）および取出装置（２３）が、第１回転台（１）の回転中心軸に沿って同行駆動されて、第１ステージ（Ｓ１）を指向する吸着面（１２ａ）と択一的に正対できるように構成してある請求項１から４のいずれかに記載のワーク貼合装置。
【請求項６】
複数の吸着面（１２ａ・１４）を備えた第１回転台（１）および第２回転台（２）が、吸着面（１２ａ・１４）どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置されており、
両回転台（１・２）の周りには、第１・第２の各ワーク（Ｗ１・Ｗ２）を各回転台（１・２）に供給し、あるいは貼合体（Ｗ３）を取り出す第１ステージ（Ｓ１）と、
各回転台（１・２）の吸着面（１２ａ・１４）に吸着した第１・第２の各ワーク（Ｗ１・Ｗ２）の保護紙（４２）を剥離する第２ステージ（Ｓ２）と、
各回転台１・２の吸着面（１２ａ・１４）に吸着した第１・第２の各ワーク（Ｗ１・Ｗ２）を位置決めする第３ステージ（Ｓ３）と、
貼合隙間を間にして正対する第１・第２の各ワーク（Ｗ１・Ｗ２）を貼合する第４ステージ（Ｓ４）とが設けられており、
両回転台（１・２）を間欠的に回転しながら、各ワーク（Ｗ１・Ｗ２）を各ステージ（Ｓ１〜Ｓ４）に順に対向させて、各ワーク（Ｗ１・Ｗ２）の供給、および取り出しと、各ワーク（Ｗ１・Ｗ２）の保護紙（４２）の剥離と、ワーク（Ｗ１・Ｗ２）の位置決めと、ワーク（Ｗ１・Ｗ２）どうしの貼合とを連続して行なうことを特徴とするワーク貼合方法。
【請求項７】
第１ステージ（Ｓ１）における各ワーク（Ｗ１・Ｗ２）の各回転台（１・２）への供給、および貼合体（Ｗ３）の取り出しと、
第２ステージ（Ｓ２）における保護紙（４２）の剥離と、
第３ステージ（Ｓ３）におけるワーク（Ｗ１・Ｗ２）の位置決めと、
第４ステージ（Ｓ４）におけるワーク（Ｗ１・Ｗ２）どうしの貼合とを併行して行なう請求項６に記載のワーク貼合方法。
【請求項８】
第１回転台（１）を駆動する第１駆動構造（７１）と、第２回転台（２）を駆動する第２駆動構造（７２）とが、第１駆動動作と第２駆動動作とを交互に繰り返し行なうように、制御装置（７０）で制御されており、
第１駆動動作において、第１回転台（１）を正転方向へ、第２回転台（２）は反転方向へ、それぞれ９０ずつ２７０度まで間欠的に回転操作し、
第２駆動動作において、第１回転台（１）を反転方向へ、第２回転台（２）は正転方向へ、それぞれ２７０度回転操作する請求項６または７に記載のワーク貼合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば平板状のワークにシート状のワークを貼合するためのワーク貼合装置とワーク貼合方法に関する。本発明のワーク貼合装置およびワーク貼合方法は、例えば液晶基板やプラズマディスプレイ基板に、偏光シート、反射防止フィルム、電磁波シールドフィルム、紫外線シールドフィルムなどの機能性シートを貼合する際に使用される。また、平板状のワークどうしを貼合し、あるいはシート状のワークどうしを貼合する際にも使用する。
【背景技術】
【０００２】
本出願人は、この種の貼合装置を先に提案している（特許文献１）。そこでは、吸着保持した機能性シートを液晶基板などの基板ガラスに貼合する。機能性シートと基板ガラスは、それぞれ調整テーブルおよび可動テーブルに吸着保持されて、僅かな隙間を介して上下に正対させてある。この状態の基板ガラスの一側縁を接着ローラーで機能性シートに押し付け、接着ローラーを基板ガラスの他側縁へ向かって移行させることにより、両者を貼合している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−０４０６１７号公報（段落番号００２８〜００３２、図８）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の貼合装置によれば、機能性シートと基板ガラスとを、気泡のかみ込みを伴なうこともなく確実に貼合でき、大サイズの液晶基板においても良好な貼合結果が得られている。さらに、機能性シートと基板ガラスとを高精度に位置決めした状態で貼合して、機能性シートが貼合された液晶基板等の生産性を向上し、生産コストの削減に大いに貢献している。しかし、機能性シートおよび基板ガラスを各テーブルに１枚ずつ載置し、その状態で機能性シートの保護紙を剥離したのち両者を貼合し、貼合後の基板ガラスを装置外へ取り出す必要があるので、一連の貼合処理に多くの時間が掛かるのを避けられなかった。
【０００５】
本発明者は、一連の貼合処理を連続して行なう貼合装置を先に提案している。そこでは、第１ワークと第２ワークを貼合位置へ搬送するコンベア装置と、貼合位置へ搬送された第１ワークを吸着保持する貼合テーブルと、貼合テーブル用の駆動構造などで貼合装置を構成している。コンベア装置の搬送面は、通気自在なシルクスクリーンで形成してあり、その内部に各ワークを吸着する真空チャンバーを配置し、真空チャンバーの内部に接着ローラーを設けている。貼合時には、貼合テーブルで吸着した第１ワークと、コンベアベルトで搬送した第２ワークとを、貼合位置において上下に正対させ、第２ワークを接着ローラーで第１ワークに押し付けて両者を貼合する。
【０００６】
上記の貼合装置によれば、一連の貼合処理を連続して行なえる。しかし、コンベア装置の搬送面を通気自在なシルクスクリーンで形成し、シルクスクリーンを大きな張力で張り渡さねばならないので、特殊な構造のチェーンを使用する必要があるなど、貼合装置の全体構造が複雑になり、コストが嵩む点に問題があった。また、両ワークを位置合わせし、あるいは貼合し終わるまでの間、コンベア装置による搬送を停止して貼合作業が終了するのを待つ必要があり、貼合処理を連続して行なえるものの、貼合体の生産性を向上するうえで限界があった。
【０００７】
本発明の目的は、一連の貼合処理をさらに迅速に行なえ、したがって一連の貼合処理に要する時間を大幅に短縮して、貼合体の生産性を格段に向上できるワーク貼合装置とワーク貼合方法を提供することにある。本発明の目的は、ワークの供給、保護紙の剥離、ワークの位置決め、ワークの貼合、貼合が完了した貼合体の取り出しの各作業を連続かつ併行して自動的に行なえ、しかも全体構造を簡素化して製造コストを削減し低コスト化できるワーク貼合装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るワーク貼合装置は、複数の吸着面１２ａ・１４を備えた第１回転台１および第２回転台２を有する。両回転台１・２は、吸着面１２ａ・１４どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置する。両回転台１・２の周囲には、第１・第２の各ワークＷ１・Ｗ２を各回転台１・２に供給し、あるいは貼合されたワークＷ３を取り出す第１ステージＳ１と、各回転台１・２に吸着した両ワークＷ１・Ｗ２の保護紙４２を剥離する剥離装置４３を備えた第２ステージＳ２と、各回転台１・２の吸着面１２ａ・１４に吸着保持した両ワークＷ１・Ｗ２を位置決めする位置決め装置５０を備えた第３ステージＳ３と、貼合隙間を介して正対する両ワークＷ１・Ｗ２を貼合する貼合装置６０を備えた第４ステージＳ４とを設ける。第１回転台１と第２回転台２とは、第１駆動構造７１および第２駆動構造７２で駆動されて、貼合隙間を介して正対する貼合位置と、両回転台１・２が相対的に離れる回転位置との間で変位し、かつ回転位置においてそれぞれ回転変位できるように構成する。各回転台１・２の吸着面１２ａ・１４に吸着保持したワークＷ１・Ｗ２を各ステージＳ１〜Ｓ４に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう。
【０００９】
四角箱状に形成した第１回転台１および第２回転台２の四周面のそれぞれに吸着面１２ａ・１４を設ける。両回転台１・２の前面側には、第１・第２の各ワークＷ１・Ｗ２を各回転台１・２の吸着面１２ａ・１４に供給する第１供給装置２１および第２供給装置２２と、貼合体Ｗ３を取り出す取出装置２３を備えた第１ステージＳ１を設ける。第１回転台１の上面および第２回転台２の下面のそれぞれに、両ワークＷ１・Ｗ２の保護紙４２を剥離する剥離装置４３を備えた第２ステージＳ２を設ける。両回転台１・２の後面側には、各回転台１・２の吸着面１２ａ・１４に吸着保持した両ワークＷ１・Ｗ２を位置決めする位置決め装置５０を備えた第３ステージＳ３を設ける。両回転台１・２の隣接面に、両ワークＷ１・Ｗ２を貼合する貼合装置６０を備えた第４ステージＳ４を設ける。各回転台１・２の吸着面１２ａ・１４に吸着保持したワークＷ１・Ｗ２を第１・第２・第３・第４ステージＳ１〜Ｓ４に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう。
【００１０】
第１ステージＳ１における各ワークＷ１・Ｗ２の各回転台１・２への供給、および貼合体Ｗ３の取り出しと、第２ステージＳ２における保護紙４２の剥離と、第３ステージＳ３におけるワークＷ１・Ｗ２の位置決めと、第４ステージＳ４におけるワークＷ１・Ｗ２どうしの貼合とを併行して行なう。
【００１１】
第１駆動構造７１と第２駆動構造７２の駆動状態を制御する制御装置７０を備えている。制御装置７０は、第１・第２の両駆動構造７１・７２が、第１駆動動作と第２駆動動作とを交互に繰り返し行なうように構成する。第１駆動動作における第１回転台１は正転方向へ、第２回転台２は反転方向へ、それぞれ９０ずつ２７０度まで間欠的に回転駆動する。第２駆動動作における第１回転台１は反転方向へ、第２回転台２は正転方向へ、それぞれ２７０度回転駆動する。
【００１２】
第１供給装置２１および取出装置２３は、第１回転台１の回転中心軸に沿って同行駆動されて、第１ステージＳ１を指向する吸着面１２ａと択一的に正対できるように構成する。
【００１３】
本発明に係るワーク貼合方法においては、複数の吸着面１２ａ・１４を備えた第１回転台１および第２回転台２を、吸着面１２ａ・１４どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置してある。両回転台１・２の周りには、第１・第２の各ワークＷ１・Ｗ２を各回転台１・２に供給し、あるいは貼合体Ｗ３を取り出す第１ステージＳ１と、各回転台１・２の吸着面１２ａ・１４に吸着した第１・第２の各ワークＷ１・Ｗ２の保護紙４２を剥離する第２ステージＳ２と、各回転台１・２の吸着面１２ａ・１４に吸着した第１・第２の各ワークＷ１・Ｗ２を位置決めする第３ステージＳ３と、貼合隙間を間にして正対する第１・第２の各ワークＷ１・Ｗ２を貼合する第４ステージＳ４とが設けてある。両回転台１・２を間欠的に回転しながら、各ワークＷ１・Ｗ２を各ステージＳ２〜Ｓ４に順に対向させて、各ワークＷ１・Ｗ２の供給、および取り出しと、各ワークＷ１・Ｗ２の保護紙４２の剥離と、ワークＷ１・Ｗ２の位置決めと、ワークＷ１・Ｗ２どうしの貼合とを連続して行なう。
【００１４】
第１ステージＳ１における各ワークＷ１・Ｗ２の各回転台１・２への供給、および貼合体Ｗ３の取り出しと、第２ステージＳ２における保護紙４２の剥離と、第３ステージＳ３におけるワークＷ１・Ｗ２の位置決めと、第４ステージＳ４におけるワークＷ１・Ｗ２どうしの貼合とを併行して行なう。
【００１５】
第１回転台１を駆動する第１駆動構造７１と、第２回転台２を駆動する第２駆動構造７２とが、第１駆動動作と第２駆動動作とを交互に繰り返し行なうように、制御装置７０で制御する。第１駆動動作においては、第１回転台１を正転方向へ、第２回転台２は反転方向へ、それぞれ９０ずつ２７０度まで間欠的に回転操作する。第２駆動動作においては、第１回転台１を反転方向へ、第２回転台２は正転方向へ、それぞれ２７０度回転操作する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明においては、第１回転台１および第２回転台２の吸着面１２ａ・１４に第１・第２の各ワークＷ１・Ｗ２を吸着保持し、両回転台１・２を間欠的に回転して各ワークＷ１・Ｗ２を各作業ステージＳ１〜Ｓ４に順に対向させ、一連の貼合作業を連続して行なうようにした。このように、複数の吸着面１２ａ・１４を備えた回転台１・２を回転しながら、ワークＷ１・Ｗ２の供給および取り出し、保護紙４２の剥離、両ワークＷ１・Ｗ２の位置決め、両ワークＷ１・Ｗ２の貼合を順に行なうようにすると、一連の貼合作業を待ち時間のない状態で連続して行なうことができる。したがって、本発明のワーク貼合装置によれば、従来のこの種の装置に比べて、一連の貼合処理に要する時間を大幅に短縮して、貼合体の生産性を格段に向上できる。また、第１・第２の回転台の周囲に各作業ステージＳ１〜Ｓ４を配置して、一連の貼合処理を順に行なえるようにするので、従来の装置に比べて、貼合装置が占める空間を小さくして、省スペースに寄与できる。特殊な構造や部品等を用いる必要もなく貼合装置を構成できるので、従来の装置に比べて装置全体の構造を簡素化してコストを削減できる。
【００１７】
第１回転台１および第２回転台２を四角箱状に形成し、その四周面のそれぞれに吸着面１２ａ・１４を設ける貼合装置によれば、両回転台１・２を各作業ステージＳ２〜Ｓ４に対応して間欠的に回転することにより、一連の貼合処理を連続して自動的に行なえるので、貼合装置の動きに無駄がなく、より短い時間で効率よく貼合処理を行なうことができる。また、４組の両ワークＷ１・Ｗ２を各処理ステージＳ２〜Ｓ４に同時に正対させて、同時進行的に貼合処理できるので、貼合体の生産性をさらに向上できる。
【００１８】
両ワークＷ１・Ｗ２の供給、保護紙４２の剥離、両ワークＷ１・Ｗ２の位置決め、両ワークＷ１・Ｗ２の貼合、貼合が完了した貼合体Ｗ３の取り出しの各作業を連続かつ併行して行なうと、一連の貼合作業に要する時間をさらに短縮して貼合体Ｗ３の生産性を向上できる。
【００１９】
各回転台１・２を駆動操作する第１駆動構造７１および第２駆動構造７２の駆動状態を制御装置７０で制御して、両駆動構造７１・７２が、第１駆動動作と第２駆動動作とを交互に繰り返し行なうようにすると、貼合装置の構造を簡素化して、その製造コストを削減できる。両回転体１・２を常に一定方向へ連続して回転する場合には、給電線、信号線、あるいは真空圧を供給する管路等がねじれてしまうため、ロータリージョイントなどを使用して、ねじれを防ぐ必要がある。しかし、第１駆動動作における両回転台１・２を互いに逆向きに、それぞれ９０ずつ２７０度まで間欠的に回転駆動し、さらに、第２駆動動作における両回転台１・２をそれぞれ２７０度復帰回転すると、給電線や管路等のねじれを伴なうこともなく、一連の貼合作業を円滑に行なえる。したがって、ロータリージョイントなどの、ねじれを防ぐための構造を省略して貼合装置の製造コストを削減できる。
【００２０】
第１供給装置２１と取出装置２３を、第１回転台１の回転中心軸に沿って同行駆動して、そのいずれか一方を吸着面１２ａに正対させるようにすると、両装置２１・２３のガイド構造および駆動構造を共用して、貼合装置の構造を簡素化し製造コストを削減できる。
【００２１】
本発明に係るワーク貼合方法によれば、両回転台１・２を間欠的に回転しながら、各ワークＷ１・Ｗ２を各作業ステージＳ２〜Ｓ４に順に対向させて、一連の貼合作業を連続して行なえるので、従来の貼合形態に比べて、貼合処理に要する時間を大幅に短縮して貼合体の生産性を向上できる。
【００２２】
上記のワーク貼合方法において、両ワークＷ１・Ｗ２の供給、保護紙４２の剥離、両ワークＷ１・Ｗ２の位置決め、両ワークＷ１・Ｗ２の貼合、貼合が完了した貼合体Ｗ３の取り出しの各作業を連続かつ併行して行なうと、一連の貼合作業に要する時間をさらに短縮して貼合体Ｗ３の生産性を向上できる。
【００２３】
上記のワーク貼合方法において、各回転台１・２を駆動操作する第１駆動構造７１および第２駆動構造７２が、第１駆動動作と第２駆動動作とを交互に繰り返し行なうように制御すると、両回転体１・２に導入される給電線、信号線、あるいは管路等のねじれを防止しながら、一連の貼合作業を円滑に行なえる。したがって、ロータリージョイントなどの、ねじれを防ぐための構造を省略して、その分だけ貼合設備に要するコストを削減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】ワーク貼合装置の概略構造を示す縦断側面図である。
【図２】ワーク貼合装置の正面図である。
【図３】ワーク貼合装置の横断平面図である。
【図４】ワーク供給構造を示す図３におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図５】第２ワークの供給構造を示す横断平面図である。
【図６】位置決め構造の概略を示す背面図である。
【図７】貼合装置の要部を示す縦断正面図である。
【図８】第１回転台および第２回転台の回転動作を示す説明図である。
【図９】第１回転台の回転時の姿勢変化を順に示す説明図である。
【図１０】第１・第２回転台の制御構造を示す説明図である。
【図１１】ワーク貼合装置の別の実施例を示す説明図である。
【図１２】ワーク貼合装置のさらに別の実施例を示す説明図である。
【図１３】ワーク貼合装置のさらに別の実施例の概略構造を示す縦断側面図である。
【図１４】図１３に係るワーク貼合装置の概略構造を示す縦断正面図である。
【図１５】図１３に係る貼合装置の要部を示す縦断正面図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例】
【００２５】
図１ないし図１０は本発明に係るワーク貼合装置の実施例を示す。なお、本発明における前後、左右、上下とは、図１から図３に示す交差矢印と、各矢印の近傍に表示した前後、左右、上下の文字表示に従うこととする。図１および図２においてワーク貼合装置は、第１・第２の回転台１・２を備えているワーク保持構造と、ワーク保持構造の周囲に設けられる第１・第２・第３・第４の各ステージＳ１〜Ｓ４と、第１ワークＷ１および第２ワークＷ２を供給する第１コンベア装置３および第２コンベア装置４と、貼合体Ｗ３を搬送する第３コンベア装置５などで構成する。図３に示すように、第１コンベア装置３および第３コンベア装置５は、ワーク保持構造の前方外面に配置し、第２コンベア装置４は第１コンベア装置３の下方に配置する。
【００２６】
第１ワークＷ１および第２ワークＷ２は、液晶基板やプラズマディスプレイ基板に代表されるガラス基板や、偏光シート、反射防止フィルム、電磁波シールドフィルム、紫外線シールドフィルムなどの機能性シートなどからなる。以下の実施例では、第１ワークＷ１が機能性シートであり、第２ワークＷ２がガラス基板である場合について説明する。第１ワークＷ１となる機能性シートの表面の粘着剤層は保護紙で覆われており、同様に第２ワークＷ２となるガラス基板の表面は保護紙で覆われている。
【００２７】
両ワークＷ１・Ｗ２の外形寸法は同じであり、例えば両ワークＷ１・Ｗ２のの対角隅部には、位置決め用の位置表示Ｍ１・Ｍ２が表示してある。図６に示すように、第１ワークＷ１には黒丸の位置表示Ｍ１が表示してあり、第２ワークＷ２には、先の位置表示Ｍ１より直径寸法が僅かに大きな丸印からなる位置表示Ｍ２が表示してある。後述するように、これらの位置表示Ｍ１・Ｍ２を位置基準にして、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の位置決めを行なう。
【００２８】
図２に示すように、ワーク保持構造は、門形のメインフレーム７と、同フレーム７で上下スライド自在に案内支持されるサブフレーム８を基本構造体にして構成する。第１回転台１は、サブフレーム８に設けた第１回転軸９で支持されて、後述する第１駆動構造７１で正逆双方向へ回転駆動される。さらに、サブフレーム８および第１回転台１は、第１駆動構造７１で貼合位置と回転位置とにスライド操作される。第２回転台２は、第１回転台１の下方に配置してあり、メインフレーム７に設けた第２回転軸１０で支持されて、後述する第２駆動構造７２で正逆双方向へ回転駆動される。貼合位置における第１回転台１と第２回転台２とは、ひとつの吸着面１２ａ・１４どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で上下に隣接配置してある。第１回転台１およびサブフレーム８を、メインフレーム７の上方の回転位置へ退避させた状態（図８参照）でのみ、第１回転台１および第２回転台２のそれぞれを回転操作できる。
【００２９】
第１回転台１は、断面が正方形状の中空箱体からなり、その四周面のそれぞれに吸着台１２を有し、各吸着台１２の内部に独立した状態の真空チャンバー１３が設けてある。各吸着台１２の外面の吸着面１２ａと真空チャンバー１３とは、一群の通口を介して連通している。各吸着台１２は、第１回転台１のフレーム構造に対してエアーパット（図示していない）を介して固定してあり、必要時にはエアーパットによる拘束を開放して位置調整することができる。各真空チャンバー１３は、図示していない弾性変形可能な管路を介して真空源に連通してあり、各真空チャンバー１３に対して独立して真空圧を作用させ、あるいは真空圧の作用を停止することができる。弾性変形可能な管路は、中空軸からなる第１回転軸９を介してメインフレーム７の外方へ導出してある。
【００３０】
第２回転台２は、断面が正方形状の中空箱体からなり、その四周面のそれぞれにシルクスクリーンで覆われた吸着面１４を有し、各吸着面１４の内部に独立した状態の真空チャンバー１５が設けてある。各真空チャンバー１５は、図示していない弾性変形可能な管路を介して真空源に連通してあり、各真空チャンバー１５に対して独立して真空圧を作用させ、あるいは真空圧の作用を停止することができる。弾性変形可能な管路は、中空軸からなる第２回転軸１０を介してメインフレーム７の外方へ導出してある。真空チャンバー１５の内部には、吸着面１４に対して接近ないし離反できる４個のバックアップテーブル１７と、各吸着面１４に保持された第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に押し付け操作する４個の接着ローラー１８が配置してある。バックアップテーブル１７は、シルクスクリーンからなる吸着面１４が、第２ワークＷ２の重みで撓み変形するの防ぐために設けてある。符号１９は、接着ローラー１８を往復操作するローラー台である。
【００３１】
第１回転台１および第２回転台２の前面側に第１ステージＳ１が設けてある。第１ステージＳ１には第１供給装置２１と、第２供給装置２２と、取出装置２３を設ける。第１供給装置２１は、第１ワークＷ１を第１コンベア装置３から受け取って、第１回転台１の前面に位置する吸着台１２の吸着面１２ａに供給する。また、第２供給装置２２は、第２ワークＷ２を第２コンベア装置４から受け取って、第２回転台２の前面に位置する吸着面１４に供給する。さらに、取出装置２３は、第１回転台１の前面に位置する吸着面１２ａから貼合体Ｗ３を受け取って、第３コンベア装置５に受け渡す。
【００３２】
図３に示すように、第１供給装置２１と取出装置２３とは、ワーク保持構造の前方外面に設けたスライド台２４に組み付けられて、同行移動可能に支持されており、両装置２１・２３のいずれか一方が、第１回転台１の前面に位置する吸着面１２ａと正対して、第１ワークＷ１の供給と、貼合体Ｗ３の取り出しとを択一的に行なえるようにしてある。スライド台２４は、第１コンベア装置３および第３コンベア装置５の上方に配置した、左右方向に長いガイドフレーム２５で左右スライド自在に案内支持してある。
【００３３】
第１供給装置２１は、スライド台２４のブラケットに設けた揺動軸２６の周りに、図示していない揺動機構で揺動操作される供給台２７と、供給台２７に設けた操作機構で往復スライド操作される吸着台２８とを備えている。吸着台２８の内部には、吸着面に臨んで真空チャンバー２９が設けてある。
【００３４】
図４に示すように、供給台２７が第１コンベア装置３の真上に位置する状態で、供給台２７を想像線で示すように吸着台２８ごと下向きに揺動し、さらに吸着台２８を下降させることにより、第１コンベア装置３上の第１ワークＷ１を吸着保持することができる。この状態の吸着台２８を上昇させ、さらに供給台２７を上向きに揺動操作することにより、第１ワークＷ１を垂直に保持できる。さらに、スライド台２４をワーク保持構造の左方へスライド操作することにより、第１ワークＷ１を第１回転台１の前面に位置する吸着面１２ａに正対させることができる。この状態で、吸着台２８を第１回転台１の側へ接近移動させることにより、第１ワークＷ１を第１回転台１の前面に位置する吸着台１２に渡すことができる。
【００３５】
第２供給装置２２は、第１コンベア装置３の下方に配置する。図５に示すように、第２供給装置２２は、第１供給装置２１と同様に、供給台３３と、供給台３３に設けた操作機構で往復スライド操作される吸着台３４などで構成してあり、供給台３３を固定フレーム３１のブラケットに設けた揺動軸３２で軸支する点が、第１供給装置２１と異なっている。供給台３３は、図示していない揺動機構で揺動操作される。吸着台３４の内部には、吸着面に臨んで真空チャンバー３５が設けてある。
【００３６】
供給台３３が第２コンベア装置４の真上に位置する状態で、供給台３３を吸着台３４ごと下向きに揺動し、さらに吸着台３４を下降させることにより、第２コンベア装置４上の第２ワークＷ２を吸着保持することができる。この状態の吸着台３４を上昇させ、さらに供給台３３を上向きに揺動操作することにより、第２ワークＷ２を垂直に保持して、第２回転台２の前面に位置する吸着面１４に正対させることができる。この状態で、吸着台３４を第２回転台２の側へ接近移動させることにより、第２ワークＷ２を第２回転台２の前面に位置する吸着面１４に渡すことができる。
【００３７】
取出装置２３は、第１供給装置２１と同様に、供給台３８と、供給台３８に設けた操作機構で往復スライド操作される吸着台３９とを備えている。吸着台３９の内部には、吸着面に臨んで真空チャンバー４０が設けてある。供給台３８はスライド台２４のブラケットに設けた揺動軸３７の周りに、図示していない揺動機構で揺動操作される。
【００３８】
図３に示すように、吸着台３９が第１回転台１の前面に位置する吸着台１２に正対する状態で、吸着台３９を第１回転台１の側へ接近移動させることにより、貼合体Ｗ３を第１回転台１の前面に位置する吸着台１２から受け取ることができる。貼合体Ｗ３を受け渡す過程で、真空チャンバー１３の真空圧は開放される。貼合体Ｗ３を吸着した状態の吸着台３９を、第１回転台１から遠ざかる向きへ移動したのち、スライド台２４をワーク保持構造の左方へスライド操作することにより、図３に想像線で示すように、供給台３８を第３コンベア装置５の真上に位置させることができる。引き続き、供給台３８を吸着台３９ごと下向きに揺動し、さらに吸着台３９を下降させることにより、貼合体Ｗ３を第３コンベア装置５に渡すことができる。
【００３９】
第１回転台１の上方および第２回転台２の下方のそれぞれに、第２ステージＳ２を設ける。第２ステージＳ２には、各回転台１・２に吸着した両ワークＷ１・Ｗ２の保護紙４２を剥離する剥離装置４３を設ける。図６に示すように、剥離装置４３はガイド体４４で左右スライド自在に案内支持されるスライド台４５と、スライド台４５に装着されて昇降変位できる昇降体４６と、昇降体４６の突端に設けられて保護紙４２の隅部分を捕捉する捕捉部４７とを備えている。
【００４０】
第１回転台１と向き合う上側の剥離装置４３のスライド台４５は、サブフレーム８に設けたガイド体４４で案内支持してあり、下側の剥離装置４３のスライド台４５は、メインフレーム７のベースに固定したガイド体４４で案内支持してある。図６に矢印で示すように、上下の昇降体４６・４６を進出操作して捕捉部４７を保護紙４２に密着させたのち、両昇降体４６・４６を僅かに後退して保護紙４２の側端縁を剥離し、その状態のままで、スライド台４５を図示していない駆動構造でガイド体４４に沿って駆動することにより、保護紙４２を剥離する。剥離された保護紙４２は、図示していない廃棄アームでメインフレーム７の外へ排出される。剥離されたのちの第１ワークＷ１の表面には粘着剤層が露出している。
【００４１】
第１回転台１および第２回転台２の後面側に第３ステージＳ３を設ける。第３ステージＳ３には、第１回転台１の後面の吸着台１２と正対する第１位置決め装置５１と、第２回転台２の後面の吸着面１４と正対する第２位置決め装置５２と、アライメントコントローラー、フォーカスコントローラー、およびモニターなどからなる位置決め装置５０を設ける。図１において、第１位置決め装置５１には、第１ワークＷ１の位置表示Ｍ１の位置を検知する２個のＣＣＤカメラ５３と、吸着台１２を上下および左右に調整操作するｕｖｗテーブル５４が設けてある。ｕｖｗテーブル５４には、吸着台１２に係合して調整操作する操作ピン５５が設けてある。第２位置決め装置５２には、第２ワークＷ２の位置表示Ｍ２の位置を検知する２個のＣＣＤカメラ５６が設けてある。
【００４２】
図６に示すように、第１・第２の位置決め装置５１・５２に設けたＣＣＤカメラ５３・５６は、位置表示のずれを画像として取り込む。アライメントコントローラーは、先の画像情報から調整移動すべき方向を決定し、同コントローラーからの出力信号に従ってｕｖｗテーブル５４が駆動される。画像の確認と、位置調整とを数回行なうことにより、第１ワークＷ１の位置表示Ｍ１を第２ワークＷ２の位置表示Ｍ２の中央に位置させて、両ワークＷ１・Ｗ２を位置ずれのない状態に調整することができる。以上のように、この実施例では第２ワークＷ２の位置表示Ｍ２を基準にして、吸着台１２に吸着した第１ワークＷ１位置表示Ｍ１のずれを調整して、両ワークＷ１・Ｗ２の位置調整を行なう。なお、両ワークＷ１・Ｗ２の位置調整は数秒で完了する。
【００４３】
第１回転台１および第２回転台２の隣接面に臨んで、両ワークＷ１・Ｗ２を貼合する貼合装置６０を備えた第４ステージＳ４を設ける。図７において貼合装置６０は、先に説明した接着ローラ１８と、接着ローラー１８を第２回転軸１０の中心軸に沿って移動操作するローラー台１９と、接着ローラ１８を押し上げ操作するエアーシリンダー（図示していない）などで構成する。
【００４４】
先に説明したように、第１回転台１が貼合位置にある状態では、第１回転台１に吸着した第１ワークＷ１と、第２回転台２に吸着した第２ワークＷ２とが、貼合隙間を介して上下に正対している。この状態で、接着ローラ１８をエアーシリンダーで押し上げ操作して、第２ワークＷ２の右端縁を接着ローラ１８で吸着面（シルクスクリーン）１４を介して第１ワークＷ１の右端縁に押し付ける。同時に真空チャンバー１５の真空圧を開放し、バックアップテーブル１７を下降操作して、接着ローラ１８の移動領域の下方に退避させる。引き続き、図７に示すようにローラー台１９を両ワークＷ１・Ｗ２の左端縁側へ移動させることにより、気泡のかみ込みを伴なうこともなく、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に貼合して、貼合体Ｗ３を第１回転台１の吸着台１２に吸着保持できる。貼合隙間は、好ましくは２ｍｍ前後とするが、両ワークＷ１・Ｗ２の形成素材の違いに応じて０．１〜５ｍｍの範囲内で選択できる。
【００４５】
吸着台１２に吸着保持された貼合体Ｗ３は、第１回転台１を回転することにより、ワーク保持構造の前面側へ移動されて、第１ステージＳ１と正対させることができる。この状態の貼合体Ｗ３を取出装置２３で取り出して、第３コンベア装置５に受け渡すことにより、貼合体Ｗ３を次の工程へ移送できる。
【００４６】
以上のように、第１回転台１においては吸着台１２に吸着保持した第１ワークＷ１を、第１・第２・第３・第４の各ステージＳ１〜Ｓ４に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう。また、第２回転台２においては吸着面１４に吸着保持した第２ワークＷ２を第１・第２・第３・第４の各ステージＳ１〜Ｓ４に順に対向させて、一連の貼合処理を連続して行なう。したがって、各ワークＷ１・Ｗ２の各回転台１・２への供給および貼合体Ｗ３の取り出しと、保護紙４２の剥離と、両ワークＷ１・Ｗ２の位置決めと、両ワークＷ１・Ｗ２の貼合とを迅速に行なって、一連の貼合処理に要する時間を大幅に短縮し貼合体Ｗ３の生産性を向上できる。
【００４７】
また、第１ステージＳ１における各ワークＷ１・Ｗ２の各回転台１・２への供給、および貼合体Ｗ３の取り出しと、第３ステージＳ３における両ワークＷ１・Ｗ２の位置決めとは併行して行なう。同時に、第２ステージＳ２における保護紙４２の剥離と、第４ステージＳ４における両ワークＷ１・Ｗ２の貼合とは併行して行なう。このように、各ステージＳ１〜Ｓ４における処理を併行して行なうと、一連の貼合処理をさらに効率よく行なって、貼合体Ｗ３の生産性をさらに向上することができる。各ワークＷ１・Ｗ２のサイズにもよるが、本発明の貼合装置は、一連の貼合処理に要するサイクルタイムを、従来の貼合装置のサイクルタイムの３分の１以下に減少できた。
【００４８】
図１において、第１回転台１を時計回転方向へ９０度ずつ回転操作して、第１・第２・第３・第４の各ステージＳ１〜Ｓ４に順に正対させるとき、第２回転台２は反時計回転方向へ９０度ずつ回転操作して、各ステージＳ１〜Ｓ４に順に正対させる。第１・第２の各回転体１・２を回転操作するのに先行して、第１回転台１は貼合位置（図８に想像線で示す位置）から回転位置（図８に実線で示す位置）へと上昇操作され、両回転体１・２が回転し終わった状態で、再び貼合位置へ下降操作される。
【００４９】
上記のように、第１回転台１および第２回転台２は、それぞれを正回転、および逆向きに反転回転することで、各ステージＳ１〜Ｓ４に順に正対させることができる。ところが、両回転体１・２を常に一定方向へ回転操作すると、給電線、信号線、あるいは真空圧を供給する管路がねじれてしまう。もちろんロータリージョイントなどを使用して、給電線、信号線、および管路のねじれを防ぐことはできるが、そうすると貼合装置の全体コストが嵩む。
【００５０】
本発明の貼合装置では、図１０に示すように、第１回転台１の第１駆動構造７１の駆動状態と、第２回転台２の第２駆動構造７２の駆動状態とを制御装置７０で制御して、給電線、信号線、および管路のねじれを防ぎながら、貼合装置の全体構造が複雑化するのを避けるようにした。詳しくは、第１・第２の両駆動構造７１・７２が、第１駆動動作と第２駆動動作とを交互に繰り返し行なうように制御装置７０を構成した。図９に示すように第１駆動動作においては、第１回転台１を正転方向へ９０ずつ２７０度まで間欠的に回転駆動し、同時に第２回転台を反転方向へ９０ずつ２７０度まで間欠的に回転駆動する。さらに、第２駆動動作においては、第１回転台１を反転方向へ２７０度回転駆動し、同時に第２回転台を正転方向へ２７０度回転駆動する。以後、第１駆動動作と第２駆動動作とを交互に繰り返し行なう。
【００５１】
図９の上段には、第１回転台１の吸着面に、４個の第１ワークＷ１（Ａ・Ｂ・Ｃ・Ｄ）が記載順に供給されて、各ステージＳ１〜Ｓ４と正対する状態を示している。また、第１番に供給した第１ワークＷ１（Ａ）が、第４ステージＳ４で貼合されたのちに、２７０度反転回転されて、その取り出しと、新たな第１ワークＷ１（Ａ）の供給とを行ない、４個の第１ワークＷ１（Ａ・Ｂ・Ｃ・Ｄ）が各ステージＳ１〜Ｓ４に順に正対する状態を、図９の中段に示している。２回目に第１回転台１を２７０度反転した状態は、１回目に第１回転台１を２７０度反転した状態と同じ状態になる。したがって、第１駆動動作と第２駆動動作とを交互に繰り返し行なうことにより、給電線、信号線、および管路のねじれを防止しながら、貼合装置の全体構造が複雑化するのを解消できる。
【００５２】
図１１は、本発明に係る貼合装置の別の実施例を示す。そこでは、第１回転台１および第２回転台２の一組の対向周面に限って吸着面１２ａ・１４を設けた。貼合時には、片方の吸着面１２ａ・１４に第１ワークＷ１および第２ワークＷ２を吸着保持し、両回転台１・２を回転操作して、両ワークＷ１・Ｗ２を第１ステージＳ１〜第４ステージＳ４に順に正対させる。
【００５３】
この場合には、第３ステージＳ３において位置決めをする間に、第１ステージＳ１と正対する両回転台１・２の吸着面１２ａ・１４に、想像線で示すように新たなワークＷ１・Ｗ２を供給できる。また、第４ステージＳ４で貼合が終わったのちに、第１回転台１を回転位置まで上昇させて回転し、貼合体Ｗ３を第１ステージＳ１に正対させることにより取出装置２３で取り出すことができる。さらに、両回転台１・２に吸着した新たなワークＷ１・Ｗ２を第２ステージＳ２と対向させることにより、保護紙４２の剥離を行なえる。以後、上記を繰り返すことにより一連の貼合処理を連続して行なえる。他は先の実施例と同じであるので、同じ部材に同じ符号を付してその説明を省略する。以下の実施例においても同じとする。
【００５４】
図１２は、本発明に係る貼合装置の別の実施例を示す。そこでは、第１回転台１および第２回転台２の断面を正三角形にして各周面に吸着面１２ａ・１４を設けた。この場合には、両回転台１・２を、それぞれ正転駆動し、あるいは反転駆動して、各吸着面１２ａ・１４に吸着した両ワークＷ１・Ｗ２を第１〜第４の各ステージＳ１〜Ｓ４に順に正対させて、一連の貼合処理を連続して行なう。なお、図１２においては、理解を容易にするために、一組の両ワークＷ１・Ｗ２のみを図示したが、実際には各回転台１・２で複数個のワークＷ１・Ｗ２を吸着保持して一連の貼合作業を行なう。
【００５５】
以上の実施例から理解できるように、本発明の第１回転台１および第２回転台２には、複数の吸着面１２ａ・１４が設けてあればよい。もちろん、各回転台１・２の断面を五角形や六角形などに形成して、各辺面に吸着面１２ａ・１４を設けることができる。
【００５６】
上記の実施例では、第２回転台２の内部に４個の接着ローラー１８を配置して、接着ローラー１８を第２回転台２と同行回転させるようにしたが、その必要はない。図１３ないし図１５に示すように、第２回転台２のみを回転駆動可能とし、その内部に１個の接着ローラー１８を配置して、第４ステージＳ４に面する第２ワークＷ２を１個の接着ローラー１８で貼合することができる。第２回転台２の内部全体は真空チャンバー８０になっており、さらに、４個のバックアップテーブル１７のそれぞれに、独立して真空状態と大気開放状態とに切り換えることができる真空チャンバー１５を設け、その開口面をシルクスクリーンで覆って吸着面１４としている。第２回転台２の内部中央には、接着ローラー１８やローラー台１９を移行案内する固定フレーム８２が設けてある。
【００５７】
第４ステージＳ４において第２ワークＷ２を貼合する場合には、真空チャンバー８０に真空圧を作用させた状態で、バックアップテーブル１７をガイド構造８１に沿って、図１５に矢印で示すように第２ワークＷ２の吸着位置から退避位置へ移動させる。同時に接着ローラー１８をエアーシリンダーで押し上げ操作して、第２ワークＷ２の右端縁を吸着面１４を介して第１ワークＷ１の右端縁に押し付ける。さらに、接着ローラー１８をバックアップテーブル１７の退避移動に追随して左端縁側へ移動させることにより、気泡のかみ込みを伴なうこともなく、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に貼合して、貼合体Ｗ３を第１回転台１の吸着台１２に吸着保持できる。なお、バックアップテーブル１７が退避位置へ移動する際には、真空チャンバー８０に作用する真空圧で第２ワークＷ２が吸着保持されるので、第２ワークＷ２が位置ずれすることはなく、両ワークＷ１・Ｗ２を正確に位置決めした状態で貼合できる。
【００５８】
第２ワークＷ２の貼合が終了したのち、接着ローラー１８およびバックアップテーブル１７を右端縁側へ復帰移動することにより、貼合体Ｗ３を第１回転台１側の吸着面１２ａで吸着保持できる。この状態の第１回転台１を回転させて貼合体Ｗ３を第１ステージＳ１に臨ませることにより、貼合体Ｗ３を取出装置２３で取り出して、第３コンベア装置５に受け渡すことができる。この場合には、第１ステージＳ１に正対する真空チャンバー１３を大気開放する。
【００５９】
上記のように、第２回転台２のみを回転駆動可能とし、第４ステージＳ４に面する第２ワークＷ２を１個の接着ローラー１８で共通して貼合すると、接着ローラー１８およびローラー台１９の配置個数を最小限化して、第２回転台２の構造を簡素化し、その分だけワーク貼合装置の全体コストを削減できる。
【００６０】
本発明に係るワークの貼合方法においては、複数の吸着面１２ａ・１４を備えた第１回転台１１および第２回転台２を、吸着面１２ａ・１４どうしが貼合隙間を間にして正対する状態で隣接配置する。両回転台１・２の周りには、第１・第２の各ワークＷ１・Ｗ２を各回転台１・２に供給し、あるいは貼合体ワークＷ３を取り出す第１ステージＳ１と、各回転台１・２の吸着面１２ａ・１４に吸着した第１・第２の各ワークＷ１・Ｗ２の保護紙４２を剥離する第２ステージＳ２と、各回転台１・２の吸着面１２ａ・１４に吸着した第１・第２の各ワークＷ１・Ｗ２を位置決めする第３ステージＳ３と、貼合隙間を間にして正対する第１・第２の各ワークＷ１・Ｗ２を貼合する第４ステージＳ４とを設ける。各ワークＷ１・Ｗ２を各ステージＳ２〜Ｓ４に順に対向させて、各ワークＷ１・Ｗ２の供給、および取り出しと、各ワークＷ１・Ｗ２の保護紙４２の剥離と、ワークＷ１・Ｗ２の位置決めと、ワークＷ１・Ｗ２どうしの貼合とを連続して行なう。
【００６１】
上記のワークの貼合方法において、第１ステージＳ１における各ワークＷ１・Ｗ２の各回転台１・２への供給、および貼合体Ｗ３の取り出しと、第２ステージＳ２における保護紙４２の剥離と、第３ステージＳ３におけるワークＷ１・Ｗ２の位置決めと、第４ステージＳ４におけるワークＷ１・Ｗ２どうしの貼合とを併行して行なう。
【００６２】
上記のワークの貼合方法において、第１回転台１を駆動する第１駆動構造７１と、第２回転台２を駆動する第２駆動構造７２とは、第１駆動動作と第２駆動動作とを交互に繰り返し行なうように制御装置７０で制御する。第１駆動動作においては、第１回転台１を正転方向へ、第２回転台２は反転方向へ、それぞれ９０ずつ２７０度まで間欠的に回転操作する。第２駆動動作において、第１回転台１を反転方向へ、第２回転台２は正転方向へ、それぞれ２７０度回転操作する。
【００６３】
上記の実施例では、各ワークＷ１・Ｗ２の供給、および貼合体Ｗ３の搬出を第１〜第３の各コンベア装置３・４・５で行なうようにしたが、その必要はない。例えば、各コンベア装置３・４・５に換えて、ストッカーに積層した状態の各ワークＷ１・Ｗ２を、供給装置で順次取り出すことができる。同様に、貼合体Ｗ３はストッカーに積層したのち、ストッカーごと搬出することができる。また、必要があれば、各ワークＷ１・Ｗ２の供給、および貼合体Ｗ３の取り出しは人手で行なってもよい。
【００６４】
上記の実施例では、第１回転台１を回転位置へ上昇させて、両回転台１・２を回転操作したが、その必要はなく、第１回転台２を回転位置まで下降させて、両２回転台１・２を回転操作してもよい。また、両回転台１・２を同時に離れる向きへ移動させて、両回転台１・２を回転操作してもよい。このときの、両回転台１・２が離れる向きは、上下や前後、あるいは斜め方向など任意の方向に設定できる。
【００６５】
本発明の貼合装置を複数台用意しておけば、各貼合装置で貼合処理を順に行なうことにより、ガラス基板の片面に複数の機能性シートを積層状に貼合し、あるいはガラス基板の表裏両面に機能性シートを貼合する場合などに、効率よく作業を行なうことができる。第１回転台１と第２回転台２とは、それぞれの回転軸９・１０の中心軸が垂直になる状態や、斜めになる状態で配置することができる。
【符号の説明】
【００６６】
１  第１回転台
２  第２回転台
１２  吸着台
１２ａ  吸着面
１４  吸着面
１８  接着ローラー
２１  第１供給装置
２２  第２供給装置
２３  取出装置
５０  位置決め装置
６０  貼合装置
７０  制御装置
７１  第１駆動構造
７２  第２駆動構造
【図１】
2011026143.tif 000003
【図２】
2011026143.tif 000004
【図３】
2011026143.tif 000005
【図４】
2011026143.tif 000006
【図５】
2011026143.tif 000007
【図６】
2011026143.tif 000008
【図７】
2011026143.tif 000009
【図８】
2011026143.tif 000010
【図９】
2011026143.tif 000011
【図１０】
2011026143.tif 000012
【図１１】
2011026143.tif 000013
【図１２】
2011026143.tif 000014
【図１３】
2011026143.tif 000015
【図１４】
2011026143.tif 000016
【図１５】
2011026143.tif 000017