(57)【要約】【課題】測定対象体に発生する直流電圧の装置側への印加を回避しつつ、応答速度の低下および測定精度の低下を回避する。【解決手段】電流供給用プローブ６ａ，６ｂおよび第１コンデンサ４を介して交流定電流Ｉｍを測定対象体２に供給した状態で、第２コンデンサ８および電圧検出用プローブ７ａ，７ｂを介して入力した測定対象体２の両端電圧Ｖｍに基づいて測定対象体２のインピーダンスＺを測定するインピーダンス測定装置１であって、第１コンデンサ４に対して直列に接続されて、交流定電流Ｉｍの周波数において第１コンデンサ４のリアクタンスと相殺するインダクタンス値Ｌ１の第１コイル５と、第２コンデンサ８に対して直列に接続されて、交流定電流Ｉｍの周波数において第２コンデンサ８のリアクタンスと相殺するインダクタンス値Ｌ２の第２コイル９を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電流供給用プローブおよび第１コンデンサを介して交流定電流を測定対象体に供給した状態で、第２コンデンサおよび電圧検出用プローブを介して入力した当該測定対象体の両端電圧に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置であって、
前記第１コンデンサに対して直列に接続されて、前記交流定電流の周波数において当該第１コンデンサのリアクタンスと相殺するインダクタンス値のコイルを備えているインピーダンス測定装置。
【請求項２】
電流供給用プローブおよび第１コンデンサを介して交流定電流を測定対象体に供給した状態で、第２コンデンサおよび電圧検出用プローブを介して入力した当該測定対象体の両端電圧に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置であって、
前記第２コンデンサに対して直列に接続されて、前記交流定電流の周波数において当該第２コンデンサのリアクタンスと相殺するインダクタンス値のコイルを備えているインピーダンス測定装置。
【請求項３】
電流供給用プローブおよび第１コンデンサを介して交流定電流を測定対象体に供給した状態で、第２コンデンサおよび電圧検出用プローブを介して入力した当該測定対象体の両端電圧に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置であって、
前記第１コンデンサに対して直列に接続されて、前記交流定電流の周波数において当該第１コンデンサのリアクタンスと相殺するインダクタンス値の第１コイルと、
前記第２コンデンサに対して直列に接続されて、前記交流定電流の周波数において当該第２コンデンサのリアクタンスと相殺するインダクタンス値の第２コイルを備えているインピーダンス測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、いわゆる４端子法に従って測定対象体の抵抗値、キャパシタンスおよびインダクタンスを要素とするインピーダンスを測定可能に構成されているインピーダンス測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のインピーダンス測定装置として、本願出願人は下記特許文献に開示されたインピーダンス測定装置を既に提案している。図２に示すように、このインピーダンス測定装置５１は、第１の交流定電流を出力する交流定電流源３、コンデンサ４，８、差動増幅回路１０、乗算器５２、ＬＰＦ５３、第２の交流定電流を出力する交流定電流源５４，５５、飽和検出回路５６ａ〜５６ｄ、Ａ／Ｄ変換器１３、ＣＰＵ５７、および表示部１５を備えている。
【０００３】
このインピーダンス測定装置５１による測定対象体２の抵抗値を算出する動作について説明すると、交流定電流源３が、コンデンサ４およびプローブ６ａ，６ｂを介して電流値Ｉ１の測定用の交流定電流Ｉｍを測定対象体２に供給すると共に、交流定電流Ｉｍに同期した矩形波の同期信号Ｓｓｙｎを出力する。この場合、測定対象体２がバッテリーなどの電圧源である場合であっても、コンデンサ４により、測定対象体２で発生している直流電圧の交流定電流源３への印加が回避されている。
【０００４】
差動増幅回路１０は、コンデンサ８およびプローブ７ａ，７ｂを介して入力した測定対象体２の両端電圧を差動増幅することにより出力電圧Ｖ１を出力し、乗算器５２が出力電圧Ｖ１と同期信号Ｓｓｙｎとを互いに乗算することにより出力電圧Ｖ２を生成する。この際の出力電圧Ｖ２の波形は、同期信号Ｓｓｙｎの正負サイクルに応じて極性反転させられるため、出力電圧Ｖ１を全波整流した波形となる。次いで、ＬＰＦ５３が、出力電圧Ｖ２をろ波することにより、測定対象体２の実効抵抗に電圧値が比例する電圧Ｖ３を出力する。次いで、Ａ／Ｄ変換器１３が、電圧Ｖ３をデジタルデータに変換して、ＣＰＵ５７に出力する。この後、ＣＰＵ５７は、交流定電流Ｉｍの電流値Ｉ１の二乗値でディジタルデータを除算することにより測定対象体２の抵抗値を演算する。
【０００５】
なお、詳細な説明は省略するが、このインピーダンス測定装置５１は、上記した測定対象体２の抵抗値の算出の他に、交流定電流源５４，５５および各飽和検出回路５６ａ〜５６ｄを用いることにより、プローブ６ａ，６ｂの断線・未接続、およびプローブ７ａ，７ｂの断線・未接続についても検出可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−２９５３６３号公報（第３−５頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、このインピーダンス測定装置５１には、以下の解決すべき課題が存在している。すなわち、このインピーダンス測定装置５１では、測定対象体２に発生する直流電圧のインピーダンス測定装置１側への印加を回避するため、交流定電流源３から測定対象体２に対してコンデンサ４を介して交流定電流Ｉｍを供給し、また測定対象体２の両端電圧をコンデンサ８を介して差動増幅回路１０に供給する構成を採用している。しかしながら、このインピーダンス測定装置５１には、各コンデンサ４，８を介在させる構成を採用したことに起因して、コンデンサ４，８を充放電する時間が常に必要とするため、測定対象体２に流れる電流が安定するまでに要する時間および差動増幅回路１０において検出される測定対象体２の両端電圧が安定するまでに要する時間が長くなる結果、応答速度が遅くなるという課題が存在している。
【０００８】
この場合、各コンデンサ４，８の容量値を小さくすることにより、上記の充放電時間を短縮して応答速度を改善することも考えられるが、コンデンサ４の容量値を小さくしたときには、コンデンサ４のインピーダンスが増加して、その分だけ測定対象体２に印加される電圧が低下する結果、必要な電流値Ｉ１の交流定電流Ｉｍを測定対象体２に供給するためには交流定電流源３の出力電圧を上げる必要があるという解決すべき課題が存在している。また、コンデンサ８の容量値を小さくしたときにも、コンデンサ８のインピーダンスが増加するため、その分だけ差動増幅回路１０への入力電圧が低下する結果、測定精度が低下するという解決すべき課題が存在している。
【０００９】
本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、測定対象体に発生する直流電圧の装置側への印加を回避しつつ、応答速度の低下および測定精度の低下を回避し得るインピーダンス測定装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成すべく請求項１記載のインピーダンス測定装置は、電流供給用プローブおよび第１コンデンサを介して交流定電流を測定対象体に供給した状態で、第２コンデンサおよび電圧検出用プローブを介して入力した当該測定対象体の両端電圧に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置であって、前記第１コンデンサに対して直列に接続されて、前記交流定電流の周波数において当該第１コンデンサのリアクタンスと相殺するインダクタンス値のコイルを備えている。
【００１１】
また、請求項２記載のインピーダンス測定装置は、電流供給用プローブおよび第１コンデンサを介して交流定電流を測定対象体に供給した状態で、第２コンデンサおよび電圧検出用プローブを介して入力した当該測定対象体の両端電圧に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置であって、前記第２コンデンサに対して直列に接続されて、前記交流定電流の周波数において当該第２コンデンサのリアクタンスと相殺するインダクタンス値のコイルを備えている。
【００１２】
また、請求項３記載のインピーダンス測定装置は、電流供給用プローブおよび第１コンデンサを介して交流定電流を測定対象体に供給した状態で、第２コンデンサおよび電圧検出用プローブを介して入力した当該測定対象体の両端電圧に基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置であって、前記第１コンデンサに対して直列に接続されて、前記交流定電流の周波数において当該第１コンデンサのリアクタンスと相殺するインダクタンス値の第１コイルと、前記第２コンデンサに対して直列に接続されて、前記交流定電流の周波数において当該第２コンデンサのリアクタンスと相殺するインダクタンス値の第２コイルを備えている。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載の検査装置および請求項３記載の検査装置によれば、第１コンデンサの容量値を従来のコンデンサの値よりも十分に小さくして、充放電に要する時間を十分に短縮しつつ、つまり応答速度の低下を確実に回避しつつ、第１コイルの追加により、交流定電流の周波数において第１コンデンサのリアクタンスを相殺して、第１コンデンサおよび第１コイルの合成インピーダンスをゼロにすることができる。したがって、この検査装置によれば、第１コンデンサの容量値が小さい状態（つまり、第１コンデンサ単体でのインピーダンスが大きい状態）においても、交流定電流源の出力電圧の電圧値を上昇させることなく、予め決められた電流値の交流定電流を測定対象体に供給することができる。
【００１４】
請求項２記載の検査装置および請求項３記載の検査装置によれば、測定対象体に発生している両端電圧を電圧検出用プローブ、第２コンデンサおよび第２コイルを介して検出する構成において、第２コンデンサの容量値を従来のコンデンサの値よりも十分に小さくして、充放電に要する時間を十分に短縮しつつ、つまり応答速度の低下を確実に回避しつつ、第２コイルの追加により、交流定電流の周波数において第２コンデンサのリアクタンスを相殺して、第２コンデンサおよび第２コイルの合成インピーダンスを交流定電流の周波数においてゼロにすることができる。したがって、この検査装置によれば、第２コンデンサの容量値が小さい状態（つまり、第１コンデンサ単体でのインピーダンスが大きい状態）においても、第２コンデンサおよび第２コイルの直列回路での電圧降下を無視し得る状態で、両端電圧を高精度で検出することができ、これによって測定対象体のインピーダンスを高精度で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】インピーダンス測定装置１の構成を示す構成図である。
【図２】従来のインピーダンス測定装置５１の構成を示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して、インピーダンス測定装置の実施の形態について説明する。
【００１７】
図１に示すように、インピーダンス測定装置１は、測定対象体２のインピーダンスを測定する装置であって、交流定電流源３、第１コンデンサ４、第１コイル５、電流供給用プローブ６ａ，６ｂ（以下、「プローブ６ａ，６ｂ」ともいう）、電圧検出用プローブ７ａ，７ｂ（以下、「プローブ７ａ，７ｂ」ともいう）、第２コンデンサ８、第２コイル９、差動増幅回路１０、ＢＰＦ（帯域通過型フィルタ）１１、第１Ａ／Ｄ変換器１２、第２Ａ／Ｄ変換器１３、処理部１４および表示部１５を備えている。なお、インピーダンス測定装置５１における構成要素と同一の機能を有するものには同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００１８】
交流定電流源３は、周波数ｆが一定（例えば数ｋＨｚ〜数十ｋＨｚの周波数範囲内の任意の周波数（既知の周波数））で、かつ電流値Ｉ１が一定の測定用の交流定電流（正弦波電流）Ｉｍを出力すると共に、測定対象体２の各端部に接続された一対のプローブ６ａ，６ｂを介して測定対象体２に交流定電流Ｉｍを供給する。また、交流定電流源３は、交流定電流Ｉｍの電流値に比例する振幅の交流定電圧Ｖｉを出力する。第１Ａ／Ｄ変換器１２は、予め規定されたサンプリング周波数（周波数ｆの２倍以上の周波数）の内部クロック（不図示）で交流定電圧Ｖｉをサンプリングすることにより、交流定電流Ｉｍの波形を示す波形データＤｉを生成して処理部１４に出力する。
【００１９】
第１コンデンサ４は、交流定電流源３と測定対象体２との間（交流定電流源３および測定対象体２を含む交流定電流Ｉｍの供給ループＡ内）に配設されて、測定対象体２がバッテリーなどの直流電圧源である場合に、そこから出力される直流電圧が交流定電流源３に印加される事態を回避する。本例では、一例として、第１コンデンサ４は、交流定電流源３とプローブ６ａとの間に配設されている。なお、交流定電流源３とプローブ６ｂとの間に第１コンデンサ４を配設する構成を採用することもできる。また、第１コンデンサ４は、その容量値Ｃ１が充放電に要する時間を十分に短縮できるように、つまり応答速度の低下を確実に回避できるように、従来のコンデンサの値よりも十分に小さい値（例えば、０．１μＦ〜数μＦ程度）に規定されている。
【００２０】
第１コイル５は、第１コンデンサ４に対して直列接続となるように供給ループＡ内に配設されている。本例では、一例として、第１コイル５は、交流定電流源３と第１コンデンサ４との間に、第１コンデンサ４に対して直列に接続された状態で配設されている。なお、第１コイル５は、供給ループＡ内において第１コンデンサ４に対して直列の接続関係であればよいため、その配設位置は図１に示す位置に限定されない。このため、第１コンデンサ４とプローブ６ａとの間に第１コイル５を配設する構成を採用することもできるし、また交流定電流源３とプローブ６ｂとの間に第１コイル５を配設する構成を採用することもできる。また、第１コイル５は、交流定電流Ｉｍの周波数ｆにおいて第１コンデンサ４のリアクタンスと相殺するインダクタンス値Ｌ１に規定されている。具体的には、第１コイル５は、第１コンデンサ４との合成インピーダンス（直列合成インピーダンス：ωＬ１−１／ωＣ１）を交流定電流Ｉｍの周波数ｆにおいてゼロにさせるインダクタンス値Ｌ１に規定されている。なお、ω＝２πｆである。また、発明の理解を容易にするため、第１コンデンサ４および第１コイル５の各純抵抗成分はゼロであるものとする。
【００２１】
差動増幅回路１０は、交流定電流Ｉｍが流れることに起因して測定対象体２の両端間に発生する両端電圧Ｖｍを一対のプローブ７ａ，７ｂを介して検出すると共に、電圧Ｖｖに増幅して出力する。第２コンデンサ８は、測定対象体２と差動増幅回路１０との間（測定対象体２および差動増幅回路１０を含む両端電圧Ｖｍの検出ループＢ内）に配設されて、測定対象体２がバッテリーなどの直流電圧源である場合に、そこから出力される直流電圧が差動増幅回路１０に印加される事態を回避する。本例では、一例として、第２コンデンサ８は、差動増幅回路１０とプローブ７ａとの間に配設されている。なお、差動増幅回路１０とプローブ７ｂとの間に第２コンデンサ８を配設する構成を採用することもできる。また、第２コンデンサ８は、その容量値Ｃ２が充放電に要する時間を十分に短縮できるように、つまり応答速度の低下を確実に回避できるように、従来のコンデンサの値よりも十分に小さい値（例えば、０．１μＦ〜数μＦ程度）に規定されている。
【００２２】
第２コイル９は、第２コンデンサ８に対して直列接続となるように検出ループＢ内に配設されている。本例では、一例として、第２コイル９は、差動増幅回路１０と第２コンデンサ８との間に、第２コンデンサ８に対して直列に接続された状態で配設されている。なお、第２コイル９は、検出ループＢ内において第２コンデンサ８に対して直列の接続関係であればよいため、その配設位置は図１に示す位置に限定されない。このため、第２コンデンサ８とプローブ７ａとの間に第２コイル９を配設する構成を採用することもできるし、また差動増幅回路１０とプローブ７ｂとの間に第２コイル９を配設する構成を採用することもできる。また、第２コイル９は、交流定電流Ｉｍの周波数ｆにおいて第２コンデンサ８のリアクタンスと相殺するインダクタンス値Ｌ２に規定されている。具体的には、第２コイル９は、第２コンデンサ８との合成インピーダンス（直列合成インピーダンス：ωＬ２−１／ωＣ２）を交流定電流Ｉｍの周波数ｆ（両端電圧Ｖｍの周波数でもある）においてゼロにさせるインダクタンス値Ｌ２に規定されている。なお、発明の理解を容易にするため、第２コンデンサ８および第２コイル９の各純抵抗成分はゼロであるものとする。
【００２３】
ＢＰＦ１１は、電圧Ｖｖに含まれている周波数成分のうちの周波数ｆを含む狭帯域に含まれる周波数成分を選択的に通過させることにより、電圧Ｖｖ１として出力する。これにより、電圧Ｖｖに含まれている不要なノイズ成分がＢＰＦ１１によって除去される。第２Ａ／Ｄ変換器１３は、第１Ａ／Ｄ変換器１２と同じ内部クロックで電圧Ｖｖ１をサンプリングすることにより、両端電圧Ｖｍの波形を示す波形データＤｖを生成して処理部１４に出力する。処理部１４は、ＣＰＵおよび内部メモリを含んで構成されて、入力した２つの波形データＤｉ，Ｄｖに基づいて、測定対象体２のインピーダンスＺを算出するインピーダンス算出処理を実行する。また、処理部１４は、算出したインピーダンスＺを表示部１５に表示させる。表示部１５は、一例として、ディスプレイ装置で構成されて、インピーダンスＺを画面上に表示させる。なお、表示部１５を印字装置で構成して、紙面上にインピーダンスＺを表示させる構成を採用することもできる。
【００２４】
次に、このインピーダンス測定装置１の測定動作について説明する。なお、プローブ６ａ，６ｂおよびプローブ７ａ，７ｂは、予め測定対象体２に接続されているものとする。
【００２５】
作動状態において、インピーダンス測定装置１では、交流定電流源３が、測定対象体２に対する交流定電流Ｉｍを供給すると共に、交流定電圧Ｖｉを出力する。この場合、第１コンデンサ４の容量値Ｃ１が従来のコンデンサの値よりも十分に小さい値に規定されているため、交流定電流源３は、応答速度の低下を最小限に抑えた状態で、交流定電流Ｉｍを測定対象体２に供給する。また、交流定電流Ｉｍの供給ループＡ内において、上記したように、第１コンデンサ４および第１コイル５の直列回路についてのリアクタンス成分が相殺されている（つまり合成インピーダンスがゼロになっている）。このため、交流定電流源３は、第１コンデンサ４の容量値Ｃ１が小さく第１コンデンサ４単体でのインピーダンスが大きい状態であっても、出力電圧の電圧値を上昇させることなく、予め決められた電流値の交流定電流Ｉｍを測定対象体２に供給する。また、第１Ａ／Ｄ変換器１２は、この交流定電圧Ｖｉに基づいて、交流定電流Ｉｍの波形データＤｉを生成して処理部１４に出力する。
【００２６】
差動増幅回路１０は、交流定電流Ｉｍが測定対象体２に流れることによって測定対象体２に発生している両端電圧Ｖｍをプローブ７ａ，７ｂ、第２コンデンサ８および第２コイル９を介して検出し、電圧Ｖｖに増幅して出力する。この場合、第２コンデンサ８の容量値Ｃ２についても、第１コンデンサ４の容量値Ｃ１と同様にして、従来のコンデンサの値よりも十分に小さい値に規定されているため、差動増幅回路１０は、応答速度の低下を最小限に抑えた状態で、電圧Ｖｖを検出する。また、両端電圧Ｖｍの検出ループＢ内において、上記したように、第２コンデンサ８および第２コイル９の直列回路についてのリアクタンス成分が相殺されている（つまり合成インピーダンスがゼロになっている）。このため、差動増幅回路１０は、第２コンデンサ８および第２コイル９の直列回路での電圧降下を無視し得る状態で、両端電圧Ｖｍを高精度で検出する。
【００２７】
次いで、ＢＰＦ１１が、差動増幅回路１０から出力されている電圧Ｖｖを入力すると共に、この電圧Ｖｖに含まれているノイズ成分を除去して電圧Ｖｖ１として出力し、第２Ａ／Ｄ変換器１３が、この電圧Ｖｖ１をサンプリングすることにより、両端電圧Ｖｍの波形データＤｖを生成して処理部１４に出力する。
【００２８】
続いて、処理部１４は、インピーダンス算出処理を実行する。このインピーダンス算出処理では、処理部１４は、まず、第１Ａ／Ｄ変換器１２から出力される波形データＤｉおよび第２Ａ／Ｄ変換器１３から出力される波形データＤｖを入力すると共に、予め決められた時間分のデータ量（例えば、交流定電流Ｉｍの少なくとも１周期分以上）だけ内部メモリに記憶する。次いで、処理部１４は、内部メモリに記憶されている波形データＤｉおよび波形データＤｖに基づいて、波形データＤｉで表される交流定電流Ｉｍおよび波形データＤｖで表される両端電圧Ｖｍの各最大振幅を算出すると共に、一例として、波形データＤｉで表される交流定電流Ｉｍの位相を基準としたときの波形データＤｖで表される両端電圧Ｖｍの位相差（位相遅れまたは位相進み）を算出する。
【００２９】
続いて、処理部１４は、内部メモリに記憶されている波形データＤｉおよび波形データＤｖに基づいて、交流定電流Ｉｍのゼロクロス点から任意の時間を経過した所定時点における交流定電流Ｉｍおよび両端電圧Ｖｍの各瞬時値を算出し、これらの瞬時値、交流定電流Ｉｍおよび両端電圧Ｖｍの各最大振幅、並びに交流定電流Ｉｍおよび両端電圧Ｖｍの位相差に基づいて、所定時点における交流定電流Ｉｍおよび両端電圧Ｖｍの各大きさを算出する。次いで、処理部１４は、算出した両端電圧Ｖｍの大きさを交流定電流Ｉｍの大きさで除算することにより、インピーダンスＺを算出する。このようにして算出されたインピーダンスＺは、上記したように、第２コンデンサ８および第２コイル９の直列回路についての合成インピーダンスがゼロになっているため、測定対象体２のインピーダンスそのものとなる。最後に、処理部１４は、算出したインピーダンスＺを表示部１５に表示させる。これにより、インピーダンス算出処理が完了する。
【００３０】
このように、このインピーダンス測定装置１では、第１コンデンサ４に対して直列に接続されて、交流定電流Ｉｍの周波数ｆにおいて第１コンデンサ４のリアクタンスと相殺するインダクタンス値Ｌ１の第１コイル５が供給ループＡ内に配設されている。
【００３１】
したがって、このインピーダンス測定装置１によれば、第１コンデンサ４の容量値Ｃ１を従来のコンデンサの値よりも十分に小さくして、充放電に要する時間を十分に短縮しつつ、つまり応答速度の低下を確実に回避しつつ、第１コイル５の追加により、交流定電流Ｉｍの周波数ｆにおいて第１コンデンサ４のリアクタンスを相殺して、第１コンデンサ４および第１コイル５の合成インピーダンスをゼロにすることができる。この結果、第１コンデンサ４の容量値Ｃ１が小さい状態（つまり、第１コンデンサ４単体でのインピーダンスが大きい状態）においても、交流定電流源３の出力電圧の電圧値を上昇させることなく、予め決められた電流値の交流定電流Ｉｍを測定対象体２に供給することができる。
【００３２】
また、このインピーダンス測定装置１では、さらに、第２コンデンサ８に対して直列に接続されて、第２コンデンサ８との合成インピーダンスを交流定電流Ｉｍの周波数ｆにおいて第２コンデンサ８のリアクタンスと相殺するインダクタンス値Ｌ２の第２コイル９が検出ループＢ内に配設されている。
【００３３】
したがって、このインピーダンス測定装置１によれば、測定対象体２に発生している両端電圧Ｖｍをプローブ７ａ，７ｂ、第２コンデンサ８および第２コイル９を介して検出する構成において、第２コンデンサ８の容量値Ｃ２を従来のコンデンサの値よりも十分に小さくして、充放電に要する時間を十分に短縮しつつ、つまり応答速度の低下を確実に回避しつつ、第２コイル９の追加により、交流定電流Ｉｍの周波数ｆにおいて第２コンデンサ８のリアクタンスを相殺して、第２コンデンサ８および第２コイル９の合成インピーダンスを交流定電流Ｉｍの周波数ｆにおいてゼロにすることができる。この結果、第２コンデンサ８の容量値Ｃ２が小さい状態（つまり、第１コンデンサ４単体でのインピーダンスが大きい状態）においても、差動増幅回路１０が、第２コンデンサ８および第２コイル９の直列回路での電圧降下を無視し得る状態で、両端電圧Ｖｍを高精度で検出することができ、これにより、処理部１４が高精度で測定対象体２のインピーダンスＺを測定することができる。
【００３４】
なお、上記のインピーダンス測定装置１では、最も好ましい例として、第１コンデンサ４に対して第１コイル５を追加すると共に、第２コンデンサ８に対して第２コイル９を追加する構成を採用しているが、交流定電流源３の出力電圧の上昇を回避しつつ、供給ループＡ側での応答速度の低下を回避する場合には、第１コイル５のみを追加する構成を採用することができ、また、インピーダンスＺを高精度で測定しつつ、検出ループＢ側での応答速度の低下を回避する場合には、第２コイル９のみを追加する構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００３５】
１  インピーダンス測定装置
２  測定対象体
４  第１コンデンサ
５  第１コイル
６ａ，６ｂ  プローブ（電流供給用プローブ）
７ａ，７ｂ  プローブ（電圧検出用プローブ）
８  第２コンデンサ
９  第２コイル
Ｉｍ  交流定電流
Ｖｍ  両端電圧
Ｚ  インピーダンス
【図１】
2011208970.tif 000003
【図２】
2011208970.tif 000004