(57)【要約】【課題】本発明の目的は、静電破壊防止構造を有するマスターグラスを提供することである。【解決手段】本発明のマスターグラスは、電子素子用基板に要求される蒸着パターンに対応するように形成された第１導電性パターンと、前記第１導電性パターンをいずれも電気的に連結する第２導電性パターンと、を含む。前記電子素子用基板は、複数の有機電界発光表示パネルを製造するためのマザー基板であり、前記蒸着パターンは前記複数の有機電界発光表示パネルのそれぞれの発光部に形成される有機膜の蒸着のためのパターンに設定され、前記第１導電性パターンは前記発光部に対応する領域が開口するように前記発光部の間の領域に形成される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子素子用基板に要求される蒸着パターンに対応するように形成された第１導電性パターンと、
前記第１導電性パターンをいずれも電気的に連結する第２導電性パターンと
を含むマスターグラス。
【請求項２】
前記電子素子用基板は、複数の有機電界発光表示パネルを製造するためのマザー基板であることを特徴とする請求項１に記載のマスターグラス。
【請求項３】
前記蒸着パターンは前記複数の有機電界発光表示パネルのそれぞれの発光部に形成される有機膜の蒸着のためのパターンに設定され、
前記第１導電性パターンは前記発光部に対応する領域が開口するように前記発光部の間の領域に形成されることを特徴とする請求項２に記載のマスターグラス。
【請求項４】
前記第１導電性パターンは前記有機電界発光表示パネルに対応するセル単位に互いに連結されるように前記発光部の間に対応する領域に格子状に形成されることを特徴とする請求項３に記載のマスターグラス。
【請求項５】
前記第１導電性パターンは前記電子素子用基板の領域のうち、前記複数の有機電界発光表示パネルのそれぞれの内部に対応するセル領域内に形成され、
前記第２導電性パターンは前記セル間のデッドスペース領域に形成されて、前記セル領域内に形成された前記第１導電性パターンを電気的に連結することを特徴とする請求項２に記載のマスターグラス。
【請求項６】
前記第１導電性パターンと前記第２導電性パターンは、同じ物質で一体に形成されることを特徴とする請求項１に記載のマスターグラス。
【請求項７】
前記第１導電性パターンと前記第２導電性パターンは、同じ金属材質で形成されることを特徴とする請求項６に記載のマスターグラス。
【請求項８】
前記第２導電性パターンは、前記第１導電性パターンを取り囲むように前記マスターグラスの外郭に形成されるショートバーパターンを含むことを特徴とする請求項１に記載のマスターグラス。
【請求項９】
前記電子素子用基板は表示パネルを製造するための蒸着基板に設定され、前記第１導電性パターン及び前記第２導電性パターンは前記蒸着パターンに対応する領域を除いた残りの領域に位置して互いに電気的に連結されることを特徴とする請求項１に記載のマスターグラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は導電性パターンが形成されたマスターグラスに関し、特に、静電破壊防止構造を有するマスターグラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
有機電界発光表示装置のような多様な表示装置のパネルは、マザー基板（ｍｏｔｈｅｒ  ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）上で行われる蒸着工程などを通じて画素が形成された後、個々のパネルにスクライビングされて製造される。
【０００３】
蒸着工程は蒸着マスクを用いて蒸着装置内で行われるが、蒸着不良を事前に防止するためにはマザー基板が蒸着装置内に投入される以前に蒸着マスクの引張、蒸着装置の性能及び正常作動するか否かをモニタリングしなければならない。
【０００４】
このために、蒸着マスクの引張又は蒸着モニタリングなどのための導電性パターンが形成されたマスターグラス（ｍａｓｔｅｒ  ｇｌａｓｓ）を蒸着装置内に試験的に投入した後、蒸着工程を行って蒸着装置を検査する方法が利用され得る。
【０００５】
但し、導電性パターンが形成されたマスターグラスは静電気に弱いため、蒸着装置内で破損しやすいが、この場合、マザー基板が蒸着装置内に投入される以前に実行されなければならない事前モニタリングが円滑に行われなくなる。これにより、工程効率が低下し、不良の発生が増加する恐れがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】大韓民国特許公開第２００７−００７９５２６号
【特許文献２】大韓民国特許公開第２００７−００６８０３５号
【特許文献３】米国特許公開第２００６−０２２５４６３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、静電破壊防止構造を有するマスターグラスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的を達成するために、本発明は、電子素子用基板に要求される蒸着パターンに対応するように形成された第１導電性パターンと、前記第１導電性パターンをいずれも電気的に連結する第２導電性パターンとを含むマスターグラスを提供する。
【０００９】
ここで、前記電子素子用基板は、複数の有機電界発光表示パネルを製造するためのマザー基板に設定され得る。そして、前記蒸着パターンは前記複数の有機電界発光表示パネルのそれぞれの発光部に形成される有機膜の蒸着のためのパターンに設定され、前記第１導電性パターンは前記発光部に対応する領域が開口するように前記発光部の間の領域に形成され得る。特に、前記第１導電性パターンは前記有機電界発光表示パネルに対応するセル単位で互いに連結されるように前記発光部の間に対応する領域に格子状に形成され得る。また、前記第１導電性パターンは前記電子素子用基板の領域のうち、前記複数の有機電界発光表示パネルのそれぞれの内部に対応するセル領域内に形成され、前記第２導電性パターンは前記セル間のデッドスペース領域に形成されて、前記セル領域内に形成された前記第１導電性パターンを電気的に連結できる。
【００１０】
また、前記第１導電性パターンと前記第２導電性パターンは同じ物質で一体に形成され得る。ここで、前記第１導電性パターンと前記第２導電性パターンは、同じ金属材質で形成され得る。
【００１１】
更に、前記第２導電性パターンは、前記第１導電性パターンを取り囲むように前記マスターグラスの外郭に形成されるショートバーパターンを含むことができる。
【００１２】
また、前記電子素子用基板は表示パネルを製造するための蒸着基板に設定され、前記第１導電性パターン及び前記第２導電性パターンは前記蒸着パターンに対応する領域を除いた残りの領域に位置して互いに電気的に連結され得る。
【発明の効果】
【００１３】
このような本発明によれば、電子素子用基板に要求される蒸着パターンに対応するマスターグラスの導電性パターンがいずれも電気的に連結されるようにすることで、静電気によりマスターグラスが破損するのを防止できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】導電性パターンが形成されたマスターグラスの一例を示す平面図である。
【図２】電子素子用基板の一例を示す平面図である。
【図３】図１のＡ領域を拡大して示す平面図である。
【図４】本発明の好適な実施形態に係るマスターグラスの一例を示す平面図である。
【図５】図４のＢ領域を拡大して示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付する図面を参照して本発明の実施形態を更に詳細に説明する。
【００１６】
図１は、導電性パターンが形成されたマスターグラスの一例を示す平面図であり、図２は、電子素子用基板の一例を示す平面図である。そして、図３は、図１のＡ領域を拡大して示す平面図である。
【００１７】
まず、図１を参照すれば、マスターグラス１００は、電子素子用基板に要求される蒸着パターンに対応するように形成された第１導電性パターン１１０を含む。
【００１８】
ここで、マスターグラス１００は蒸着工程を含んで製造される電子素子用基板の蒸着工程に先立って蒸着装置内に試験的に投入されて蒸着工程が行われる基板であって、電子素子用基板に蒸着すべき蒸着パターンに対応するように製作される。
【００１９】
このために、マスターグラス１００は電子素子用基板と同一又は類似する大きさや材質の基板が選択され、第１導電性パターン１１０は蒸着パターンに対応するパターンに形成され得る。
【００２０】
電子素子用基板は表示パネルを製造するための蒸着基板などに設定され得るが、この場合、第１導電性パターン１１０はマスターグラス１００に対する試験蒸着が完了した後、実際に蒸着工程が行われるべき表示パネルの構成要素に対応するパターンに形成される。
【００２１】
例えば、電子素子用基板は有機電界発光表示パネルを製造するための基板に設定され得るが、特に複数の有機電界発光表示パネルが１つの基板上で形成されてスクライビングされる場合、電子素子用基板は図２に示すように、複数の有機電界発光表示パネル２１０を製造するためのマザー基板２００に設定され得る。
【００２２】
即ち、有機電界発光表示パネル２１０を製造する過程でマザー基板２００に対する蒸着工程に先立ってこれに対応するマスターグラス１００を試験的に投入して蒸着を行った後、蒸着済みのマスターグラス１００を顕微鏡などを通じてモニタリングしながら、蒸着装置の性能及び正常作動するか否かなどを確認できる。
【００２３】
例えば、マザー基板２００上でそれぞれの有機電界発光表示パネル２１０の発光部（Ｒ、Ｇ、Ｂ画素の発光部；２２０）に発光層などの有機膜を蒸着するに先立ち、有機膜蒸着工程を行うための蒸着装置内にマスターグラス１００を試験的に投入して蒸着工程を行うことで、蒸着装置を検査できる。
【００２４】
この場合、マスターグラス１００は、それぞれの有機電界発光表示パネルの発光部２２０に対応する領域が開口するように発光部２２０間の領域に形成された第１導電性パターン１１０を含むことができる。
【００２５】
即ち、第１導電性パターン１１０は、図３に示すように、電子素子用基板に蒸着される蒸着パターンに対応する開口部１１０ａを有し、それぞれの有機電界発光表示パネル２１０に対応するセル単位１２０には互いに連結される格子状に形成され得る。
【００２６】
即ち、１つの有機電界発光表示パネル２１０に対応する１つのセル１２０内に形成された第１導電性パターン１１０は有機電界発光表示パネルの発光部２２０に対応する格子状を有するように各発光部２２０間の領域に対応して配置され得る。
【００２７】
そして、マスターグラス１００全体的には、マザー基板２００に形成されるそれぞれの有機電界発光表示パネル２１０に対応する複数のセル１２０内に第１導電性パターン１１０が繰り返して形成され得る。
【００２８】
このようなマスターグラス１００は、蒸着装置内に試験的に投入されて蒸着工程が行われ、これにより得られた蒸着結果を通じて蒸着装置の性能及び正常作動するか否かなどを確認できる。
【００２９】
一方、マスターグラス１００は、前述した蒸着モニタリング以外にも蒸着以前の状態での第１導電性パターン１１０及び／又は蒸着以後の状態の蒸着パターンとの比較を通じた蒸着マスクの引張にも利用され得る。
【００３０】
ここで、蒸着マスクの引張は、有機電界発光表示装置の有機膜などを形成するための複数のファインメタルマスク（Ｆｉｎｅ  Ｍｅｔａｌ  Ｍａｓｋ、ＦＭＭ）をマザー基板２００に対応する大きさで組み立てる組立工程まで合わせて称することにする。
【００３１】
この場合、蒸着装置内に投入される以前状態のマスターグラス１００に形成された第１導電性パターン１１０を参照してファインメタルマスクを組み立てると共に組立結果を確認でき、ファインメタルマスクの組立効率を高めることができる。
【００３２】
また、蒸着装置内に投入されて試験蒸着が完了したマスターグラス１００もファインメタルマスクの組立てに利用され得るのはもちろんである。
【００３３】
即ち、マスターグラス１００は、蒸着マスクの引張及び蒸着モニタリングを含んで多様な用途に有用に活用され得る。
【００３４】
但し、第１導電性パターン１１０は代表的には金属材質で形成され得るが、それぞれのセル１２０内では電気的に連結されるものの、他のセル１２０とは電気的に隔離するので、静電気に弱いという短所を有する。
【００３５】
従って、本発明の更に好適な実施形態ではこれを防止するためにマスターグラス１００上の第１導電性パターン１１０をいずれも電気的に連結し、これについての詳細な説明は、図４及び図５を参照して後述する。
【００３６】
図４は、本発明の好適な実施形態に係るマスターグラスの一例を示す平面図である。そして、図５は、図４のＢ領域を拡大して示す平面図である。便宜上、図４及び図５において、図１及び図３と同一又は類似する部分は同じ符号で表記し、これについての詳細な説明は省略する。
【００３７】
図４及び図５を参照すれば、本発明の好適な実施形態に係るマスターグラス１００’は第１導電性パターン１１０をいずれも電気的に連結する第２導電性パターン１３０を含む。
【００３８】
更に具体的に、第１導電性パターン１１０は電子素子用基板の領域のうち、複数の有機電界発光表示パネルのそれぞれの内部に対応するセル１２０領域内に形成される。
【００３９】
そして、第２導電性パターン１３０はセル１２０間のデッドスペース領域に全体的に連結されるように形成されて、それぞれのセル１２０領域内に形成された第１導電性パターン１１０をいずれも電気的に連結する。
【００４０】
また、第２導電性パターン１３０は、マスターグラス１００’の外郭で第１導電性パターン１１０を取り囲むように形成されるショートバーパターン１３０ａを含むように形成されて第１導電性パターン１１０を更に安定的に連結できる。
【００４１】
ここで、説明の便宜上、第２導電性パターン１３０とショートバーパターン１３０ａを別途の符号で表記したが、実際にこれらは一体となった１つの構成要素として見なされ得る。
【００４２】
また、明確な説明のために、第１導電性パターン１１０と第２導電性パターン１３０も区分して説明したが、これらも同じ物質で一体に形成され得るのはもちろんである。例えば、第１導電性パターン１１０と第２導電性パターン１３０は同じ金属材質でマスターグラス１００’上に一体化して形成され得る。
【００４３】
前述したように、本発明によれば、マスターグラス１００’上の全ての導電性パターン１１０、１３０は電子素子用基板の蒸着パターン（一例として、図２のマザー基板２００の発光部２２０パターン）に対応する領域を除いた残りの領域に位置して互いに電気的に連結される。
【００４４】
即ち、本発明のマスターグラス１００’上に形成された導電性パターン１１０、１３０はいずれも電気的に連結されて等電位状態を維持するようになる。これにより、静電気の発生が抑制されて静電気によるマスターグラス１００’の破損を防止できる。
【００４５】
以上説明したように、本発明の最も好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載され、又は明細書に開示された発明の要旨に基づき、当業者において様々な変形や変更が可能なのはもちろんであり、斯かる変形や変更が、本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４６】
１００’：  マスターグラス、
１１０：第１導電性パターン、
１２０：セル、
１３０：第２導電性パターン、
１３０ａ：  ショートバーパターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
2011044416.tif 000005
【図５】
2011044416.tif 000006
【図４】
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