(57)【要約】【課題】電磁波の発生源の発熱量を抑制しつつサンプルの全体に所定の周波数領域の電磁波を均一に照射することが可能な環境試験装置を提供する。【解決手段】試験槽３内に保持された太陽電池モジュール２に疑似太陽光を照射して加速劣化させる加速劣化試験装置１は、暗室に形成された試験槽３の上面３６であって、太陽電池モジュール２に対面する上面３６に配設された遮光構造４と、遮光構造４の一部に形成され、疑似太陽光を通過させるための投光部５と、投光部５を経て疑似太陽光を照射する面状発光体６と、面状発光体６を上面３６上のＸＹ方向に移動させるＸＹ移動機構７とを備える。投光部５は、面状発光体６の移動に伴って移動する。加速劣化試験では、面状発光体６が上面３６上をＸＹ方向に走査移動し、疑似太陽光が前記太陽電池モジュール２の全体に均一に照射される。【選択図】図１
2011258700.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部環境を調整される試験槽内に保持されたサンプルに所定の周波数領域の電磁波を照射する環境試験装置であって、
前記試験槽の一面であって前記サンプルに対面する一面に配設され、前記所定の周波数領域の電磁波を遮蔽する電磁波遮蔽構造と、
この電磁波遮蔽構造の一部に形成され、前記所定の周波数領域の電磁波を通過させるための投波部と、
前記投波部を経て前記所定の周波数領域の電磁波を照射する電磁波発生体と、
この電磁波発生体を前記一面上において移動させる移動機構と、を備え、
前記電磁波遮蔽構造の前記投波部が前記電磁波発生体の移動に伴って移動するように構成されていることを特徴とする環境試験装置。
【請求項２】
内部環境を調整される試験槽内に保持された太陽電池モジュールに疑似太陽光を照射して加速劣化させる太陽電池モジュールの加速劣化試験装置に係る環境試験装置であって、
暗室に形成された前記試験槽の一面であって、前記太陽電池モジュールに対面する一面に配設された遮光構造と、
この遮光構造の一部に形成され、前記疑似太陽光を通過させるための投光部と、
前記投光部を経て疑似太陽光を照射する面状発光体と、
この面状発光体を前記一面上のＸＹ方向に移動させるＸＹ移動機構と、を備え、
前記遮光構造の前記投光部が前記面状発光体の移動に伴って移動するように構成されていることを特徴とする環境試験装置。
【請求項３】
Ｘ方向に対向する一対の伸縮自在な第１遮光膜の間に形成されたＹ方向隙間に、Ｙ方向に対向する一対の伸縮自在な第２遮光膜を配設し、これら第１遮光膜と第２遮光膜に囲まれた前記投光部を形成し、前記第１遮光膜及び前記第２遮光膜は、前記ＸＹ移動機構に連結されて伸縮する
ことを特徴とする請求項２に記載の環境試験装置。
【請求項４】
前記太陽電池モジュールは、前記試験槽内にその受光面が上向きになるように横置きで保持される
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の環境試験装置。
【請求項５】
横置きされた太陽電池モジュールの幅方向の両端を保持する搬送装置を備え、
前記空調装置による空気流れは、前記太陽電池モジュール上面と前記遮光構造下面との間の空間を経て循環するように形成されている
ことを特徴とする請求項４に記載の環境試験装置。
【請求項６】
前記ＸＹ移動機構を駆動し、前記太陽電池モジュールに対して前記面状発光体を走査させる動作を繰り返して、太陽電池モジュールの全体に疑似太陽光を照射する制御装置を備える
ことを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載の環境試験装置。
【請求項７】
前記面状発光体は、太陽光の波長領域に含まれる特定の波長領域の電磁波を個別に発生する複数の照射源から構成され、前記複数の照射源を個別に又は組合せて電磁波を照射させる
ことを特徴とする請求項２乃至６のいずれか１項記載の環境試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の環境下でサンプルに所定の周波数領域の電磁波を照射して加速劣化試験や画像撮影を行う環境試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
環境試験装置は試験室に設置された様々な試料に、様々な環境条件（温度、湿度、圧力、振動、光、その他）を与え、試料の耐久性や信頼性を分析するものであるが、試料の大型化、複雑化が進行するにつれて環境条件を整えるためのエネルギーが次第に増加していく傾向にある。
【０００３】
例えば近年、クリーンエネルギー源として太陽電池の導入が進められているが、太陽電池モジュールが電源設備として社会的なインフラとなるためには、太陽電池モジュールが長寿命であることが必要である。そこで、太陽電池モジュールの耐久性能を評価するために、加速劣化試験が行われる。
【０００４】
太陽電池モジュールの加速劣化試験装置は、人工的に試験槽内に屋外の暴露環境を再現し、太陽電池モジュールの劣化を促進して長期耐久性を調べるものである。再現される環境条件は、太陽光に代る人工光源による疑似太陽光照射、温度及び湿度の変化、そして、降雨に代る水噴射などがある。
【０００５】
非特許文献１に開示された加速劣化試験装置は、大面積（例えば１２０cm×１５０cm）のモジュールを複数枚収容可能な試験槽、温湿度を制御する温湿度制御回路及び太陽電池モジュールの全体に疑似太陽光を照射する８灯の７．５kw水冷式キセノンランプ等を有する。加速劣化試験では、試験槽内に太陽電池モジュールが収容された状態で温湿度制御回路によって槽内が所定の温湿度に設定され、上記キセノンランプが槽外から太陽電池モジュールの全体に疑似太陽光を均一に照射し、劣化を促進する。
【０００６】
また、特許文献１に開示された太陽電池モジュールの測定装置では、ＬＥＤ（Light Emission Diode）からなるライン状光源及び太陽電池モジュールを載置するステージが暗室内に配置され、空調部が暗室内の環境を保持する。測定時は、空調部によって暗室内を標準的な環境（例えば25℃）に保持し、ライン状光源を太陽電池モジュールに密着させて局所的に光を照射して太陽電池モジュールの電流−電圧特性を測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】「最近の太陽電池関連の試験機器」、スガテクニカルニュース、スガ試験機株式会社、2009年5月、第210号、p.3
【特許文献１】特開２００４−２４７３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、非特許文献１に開示された加速劣化試験装置では、大型のランプを用いるが、ランプであるため供給されるエネルギーの大部分が熱に変換され、発光効率が低く、また、ランプが大型なため発熱量が大きかった。
【０００９】
また、大量の熱を排熱する大型の排熱設備が必要であるため、加速劣化試験装置が大型化し、その設置場所が限られていた。
【００１０】
また、上記加速劣化試験装置は、太陽電池モジュールの全体に均一に照射可能な大型ランプが高価なため製造コストが高く、また、大型のランプや排熱設備等を稼働するための消費電力が大きく、ランニングコストも高かった。
【００１１】
特許文献１に開示された測定装置では、ライン毎の欠陥検出のため、太陽電池モジュールの全体に光照射して行う加速劣化試験装置には適用できなかった。
【００１２】
また、試料内部の変化を観察する手段は、環境試験後に分析装置で試料の内部の構成材料の変化や劣化を調査する方法から、環境試験中に試料内部にどのような変化や劣化が進行していくかを調査する方法に変わりつつある。そこで、環境試験中にＸ線などによる試料内部の透過分析も望まれるが、大型の試料に対する放射線源の大きさや環境試験装置の構造上の問題で実現させることが非常に困難である。
【００１３】
そこで、この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、電磁波の発生源の発熱量を抑制しつつサンプルの全体に所定の周波数領域の電磁波を均一に照射することが可能な環境試験装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
第１の発明に係る環境試験装置は、内部環境を調整される試験槽内に保持されたサンプルに所定の周波数領域の電磁波を照射する環境試験装置であって、前記試験槽の一面であって前記サンプルに対面する一面に配設され、前記所定の周波数領域の電磁波を遮蔽する電磁波遮蔽構造と、この電磁波遮蔽構造の一部に形成され、前記所定の周波数領域の電磁波を通過させるための投波部と、前記投波部を経て前記所定の周波数領域の電磁波を照射する電磁波発生体と、この電磁波発生体を前記一面上において移動させる移動機構と、を備え、前記電磁波遮蔽構造の前記投波部が前記電磁波発生体の移動に伴って移動するように構成されていることを特徴とする。
【００１５】
この環境試験装置では、電磁波発生源が電磁波遮蔽構造の一部である投波部に対応した電磁波発生体であるため、電磁波発生源を小型化でき、その発熱量を抑制できる。また、電磁波遮蔽構造の一部である投波部から電磁波を照射することにより、電磁波の拡散を抑え、サンプルの所定部分を狙って照射することができる。その結果、任意の場所に電磁波を照射させたり、この電磁波発生体を走査移動させてサンプルに順番に万遍なく同一の電磁波発生条件のもとに電磁波を照射することが可能となる。
【００１６】
第２の発明に係る環境試験装置は、内部環境を調整される試験槽内に保持された太陽電池モジュールに疑似太陽光を照射して加速劣化させる太陽電池モジュールの加速劣化試験装置に係る環境試験装置であって、暗室に形成された前記試験槽の一面であって、前記太陽電池モジュールに対面する一面に配設された遮光構造と、この遮光構造の一部に形成され、前記疑似太陽光を通過させるための投光部と、前記投光部を経て疑似太陽光を照射する面状発光体と、この面状発光体を前記一面上のＸＹ方向に移動させるＸＹ移動機構と、を備え、前記遮光構造の前記投光部が前記面状発光体の移動に伴って移動するように構成されていることを特徴とする。ここで、「面状発光体」とは、多数のＬＥＤを面状に配設したもの、又は、ＬＥＤ光源に接続された光ファイバーを多数束ねたもの、又は、面に形成されたＬＥＤの一つ以上からなるものをいう。
【００１７】
この環境試験装置では、光源が遮光構造の一部である投光部に対応した面状発光体であるため、光源を小型化でき、その発熱量を抑制できる。また、光源が面状発光体であるため、光源を太陽電池モジュールに接近させることができる。さらに、遮光構造の投光部から照射することにより、照射光の拡散を抑え、太陽電池モジュールの受光面の所定部分を狙って照射できる。その結果、任意の場所に照射させたり、この面状発光体を走査移動させて、太陽電池モジュールに順番に万遍なく同一の発光条件のもとに疑似太陽光を照射することが可能となる。
【００１８】
第３の発明に係る環境試験装置は、第２の発明に係る環境試験装置において、Ｘ方向に対向する一対の伸縮自在な第１遮光膜の間に形成されたＹ方向隙間に、Ｙ方向に対向する一対の伸縮自在な第２遮光膜を配設し、これら第１遮光膜と第２遮光膜に囲まれた前記投光部を形成し、前記第１遮光膜及び前記第２遮光膜は、前記ＸＹ移動機構に連結されて伸縮することを特徴とする。
【００１９】
この環境試験装置では、遮光膜に囲まれた投光部を介して面状発光体を直接太陽電池モジュールに対面させることが可能となる。また、遮光膜が面状発光体を移動させるＸＹ移動機構によって伸縮するため、投光部を移動させる別個の駆動装置が不要である。従って、製造コストを抑制できる。
【００２０】
第４の発明に係る環境試験装置は、第２又は第３の発明に係る環境試験装置において、前記試験槽内にその受光面が上向きになるように横置きで保持されることを特徴とする。
【００２１】
この環境試験装置では、太陽電池モジュールの保持が安定し、ＸＹ移動機構も重力負荷を受けずに安定させることが可能となる。そのため、面状発光体を安定した状態で太陽電池モジュールにより近づけて配置することが可能となる。
【００２２】
第５の発明に係る環境試験装置は、第４の発明に係る環境試験装置において、横置きされた太陽電池モジュールの幅方向の両端を保持する搬送装置を備え、前記空調装置による空気流れは、前記太陽電池モジュール上面と前記遮光構造下面との間の空間を経て循環するように形成されていることを特徴とする。
【００２３】
この環境試験装置では、太陽電池モジュールを面状発光体に接近させたまままで太陽電池モジュールをコンベア搬送できる。また、面状発光体に接近させた場合でも、太陽電池モジュール上の調和空気の流れを確保して、試験槽内を所定の環境に保持できる。
【００２４】
第６の発明に係る環境試験装置は、第２乃至第５のいずれかの発明に係る環境試験装置において、前記ＸＹ移動機構を駆動し、前記太陽電池モジュールに対して前記面状発光体を走査させる動作を繰り返して、太陽電池モジュールの全体に疑似太陽光を照射する制御装置を備えることを特徴とする。
【００２５】
この環境試験装置では、面状発光体の走査パターンを繰り返すことで、太陽電池モジュールに順番に万遍なく同一条件のもとに疑似太陽光を照射できる。
【００２６】
第７の発明に係る環境試験装置は、第２乃至第６のいずれかの発明に係る環境試験装置において、前記面状発光体は、太陽光の波長領域に含まれる特定の波長領域の電磁波を個別に発生する複数の照射源から構成され、前記複数の照射源を個別に又は組合せて電磁波を照射させることを特徴とする。
【００２７】
一般に、太陽電池の発電効率は照射される光の波長が短いほど高く、発電効率を高めるために、例えば、発電効率が高くなる波長が異なる複数の太陽電池セルを積層した多接合型太陽電池モジュールがある。このような太陽電池モジュールでは、太陽光の波長領域内の特定の波長領域の光を照射して環境試験を行うことも有効である。そこで、この環境試験装置では、特定の波長領域の光を照射する複数の照射源を個別に又は組合せて光を照射することにより、太陽電池モジュールを構成する太陽電池セルの波長特性に応じて環境試験を行うことができる。
【発明の効果】
【００２８】
以上の説明に述べたように、本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００２９】
第１の発明では、電磁波発生源が電磁波遮蔽構造の一部である投波部に対応した電磁波発生体であるため、電磁波発生源を小型化でき、その発熱量を抑制できる。また、電磁波遮蔽構造の一部である投波部から電磁波を照射することにより、電磁波の拡散を抑え、サンプルの所定部分を狙って照射することができる。その結果、任意の場所に電磁波を照射させたり、この電磁波発生体を走査移動させてサンプルに順番に万遍なく同一の電磁波発生条件のもとに電磁波を照射することが可能となる。
【００３０】
第２の発明では、光源が遮光構造の一部である投光部に対応した面状発光体であるため、光源を小型化でき、その発熱量を抑制できる。また、光源が面状発光体であるため、光源を太陽電池モジュールに接近させることができる。さらに、遮光構造の投光部から照射することにより、照射光の拡散を抑え、太陽電池モジュールの受光面の所定部分を狙って照射できる。その結果、この面状発光体を走査移動させて、任意の場所に照射させたり、太陽電池モジュールに順番に万遍なく同一条件のもとに疑似太陽光を照射することが可能となる。
【００３１】
第３の発明では、遮光膜に囲まれた投光部を介して面状発光体を直接太陽電池モジュールに対面させることが可能となる。また、遮光膜が面状発光体を移動させるＸＹ移動機構によって伸縮するため、投光部を移動させる別個の駆動装置が不要である。従って、製造コストを抑制できる。
【００３２】
第４の発明では、太陽電池モジュールの保持が安定し、ＸＹ移動機構も重力負荷を受けずに安定させることが可能となる。そのため、面状発光体を安定した状態で太陽電池モジュールにより近づけて配置することが可能となる。
【００３３】
第５の発明では、太陽電池モジュールを面状発光体に接近させたまままで太陽電池モジュールをコンベア搬送できる。また、面状発光体に接近させた場合でも、太陽電池モジュール上の調和空気の流れを確保して、試験槽内を所定の環境に保持できる。
【００３４】
第６の発明では、面状発光体の走査パターンを繰り返すことで、太陽電池モジュールに順番に万遍なく同一条件のもとに疑似太陽光を照射できる。
【００３５】
第７の発明では、特定の波長領域の光を照射する複数の照射源を個別に又は組合せて光を照射することにより、太陽電池モジュールを構成する太陽電池セルの波長特性に応じて環境試験を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】第１実施形態に係る太陽電池モジュールの加速劣化試験装置の上面視模式図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図３】第１実施形態に係る太陽電池モジュールの加速劣化試験装置の制御装置のブロック図である。
【図４】第２実施形態に係る太陽電池モジュールの加速劣化試験装置の上面視模式図である（但し面状発光体及びＸＹ移動機構を省略）。
【図５】図４のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
【図６】第３実施形態に係る太陽電池モジュールの加速劣化試験装置の遮光構造を示す模式図である。
【図７】第４実施形態に係る太陽電池モジュールの加速劣化試験装置の遮光構造を示す模式図である。
【図８】第５実施形態に係る太陽電池モジュールの加速劣化試験装置の断面模式図である。
【図９】第６実施形態に係る環境試験装置の模式図である。
【図１０】第６実施形態に係る環境試験装置の制御装置のブロック図である。
【図１１】第７実施形態に係る環境試験装置の模式図である。
【図１２】第８実施形態に係る環境試験装置の模式図である。
【図１３】第９実施形態に係る環境試験装置の模式図である。
【図１４】第１０実施形態に係る環境試験装置の模式図である。
【図１５】第１１実施形態に係る環境試験装置の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下、図面に基づいて、本発明に係る環境試験装置の実施形態について説明する。第１〜第５実施形態では、本発明に係る環境試験装置を太陽電池モジュールの加速劣化試験装置に適用した形態について説明する。第６〜第１１実施形態では、本発明を所定環境下にある電子機器等のサンプルの内部をＸ線によって観察する環境試験装置に適用した形態について説明する。
【００３８】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る加速劣化試験装置１の上面視図であり、図２は、図１のＡ−Ａ線矢視断面図である。図３は、加速劣化試験装置１の制御装置のブロック図である。
【００３９】
［加速劣化試験装置１について］
加速劣化試験装置１は、内部環境を調整する空調装置を備える試験槽内に保持された太陽電池モジュール２に、疑似太陽光を照射して加速劣化させる太陽電池モジュールの加速劣化試験装置である。加速劣化試験装置１は、試験槽３と、試験槽３の暗室３８に形成された試験槽３の一面であって、太陽電池モジュール２（サンプル）に対面する一面に配設された遮光構造４（電磁波遮蔽構造）と、この遮光構造４の一部に形成され、疑似太陽光を通過させるための投光部５（投波部）と、投光部５を経て太陽電池モジュール２に疑似太陽光を照射する面状発光体６（電磁波発生体）と、面状発光体６を前記一面上のＸＹ方向に移動させるＸＹ移動機構７（移動機構）と、試験槽３内の環境を調節する空調装置８と、太陽電池モジュール２を搬送する搬送装置９と、加速劣化試験装置１の動作を制御する制御装置１０と、を備える。なお、加速劣化試験装置１において、「Ｘ方向」とは、搬送装置９の搬送方向をいい、「Ｙ方向」とは、当該搬送方向に直交する方向をいう。
【００４０】
太陽電池モジュール２は、複数の太陽電池セルを電気的に接続したものである。太陽電池セルとして、多結晶シリコン型、アモルファスシリコン型、ＣＩＧＳ型及び色素増感型等の各種セルが用いられる。太陽電池モジュール２は、その受光面２１が上向きになるように搬送装置９上に横置きに保持される。
【００４１】
試験槽３は、筺体３１と、太陽電池モジュール２が通過する入口３２及び出口３３と、入口３２及び出口３３を開閉するシャッター３４，３５と、を備える。筺体３１は、略直方体の断熱材で構成され、Ｘ方向に横設される。また、太陽電池モジュール２と対面する上面３６には、開口部３７が形成される。さらに、筺体３１の内壁には黒色のつや消し塗料が塗布され、後述する遮光構造４とともに暗室３８を形成する。入口３２及び出口３３は、それぞれ筺体３１のＸ方向に垂直な２つの側壁の上流側の側壁及び下流側の側壁に形成される。シャッター３４，３５は、断熱材で構成され、それぞれ入口３２及び出口３３に取り付けられ、上下に移動して入口３２及び出口３３を開閉する。
【００４２】
遮光構造４は、暗室３８が形成された試験槽３の上面３６であって、太陽電池モジュール２と対面する上面３６に取り付けられ、外部から暗室３８内に入射する光を遮る。遮光構造４は、Ｘ方向に対向する一対の伸縮自在な第１遮光膜と、Ｙ方向に対向する一対の伸縮自在な第２遮光膜と、を備える。そして、前記第１遮光膜の間に形成されたＹ方向隙間１１に前記第２遮光膜が配設され、これら第１遮光膜と第２遮光膜に囲まれた部分に投光部５が形成される。
【００４３】
すなわち、遮光構造４は、図２に示すように、Ｘ方向に対向する一対の伸縮自在な外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂと、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂを巻き取る外側巻取りローラ４２ａ，４２ｂと、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂを外側巻取りローラ４２ａ，４２ｂにガイドする外側ガイドローラ４３ａ，４３ｂと、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂよりも内側に配設されＸ方向に対向する一対の伸縮自在な内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂと、内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂを巻き取る内側巻取りローラ４５ａ，４５ｂと、内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂを内側巻取りローラ４５ａ，４５ｂにガイドする内側ガイドローラ４６ａ，４６ｂと、Ｘ方向に移動するＸ方向移動枠４７と、Ｙ方向に対向する一対の伸縮自在な外側第２遮光膜４８ａ，４８ｂ（図１参照）と、Ｙ方向に移動するＹ方向移動枠４９と、を有する。
【００４４】
外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂは、遮光性を有する略長方形状のシート部材で構成され、それぞれ幅が開口部３７の幅より大きく、長さが開口部３７より長い。外側第１遮光膜４１ａは、出口３３側に配置され、一端部が筺体３１の出口３３側上端部に固定され、他端部が外側巻取りローラ４２ａに巻き取られる。一方、外側第１遮光膜４１ｂは、入口３２側に配置され、一端部が筺体３１の入口３２側上端部に固定され、他端部が外側巻取りローラ４２ｂに巻き取られる。外側巻取りローラ４２ａ，４２ｂは、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂの幅と略同一の長さを有する棒状部材であって、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂの水平部分よりも上方においてＹ方向に延在し、回転可能に支持され、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂの前記他端部を巻き取る。外側ガイドローラ４３ａ，４３ｂは、外側巻取りローラ４２ａ，４２ｂと同じ長さを有する棒状部材であって、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂの水平部分においてＹ方向に延在し、回転可能に支持され、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂを上方の外側巻取りローラ４２ａ，４２ｂにガイドする。
【００４５】
内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂは、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂと同様に遮光性を有する略長方形状のシート部材で構成され、その幅は開口部３７の幅より小さく、その長さは開口部３７より長い。内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂは、図２に示すように、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂよりも開口部３７の厚みだけ内側に配置される。開口部３７の内壁には内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂを固定するための枠が設けられる。内側第１遮光膜４４ａは、一端部が上記枠の出口３３側部分に固定され、他端部が内側巻取りローラ４５ａに巻き取られる。一方、内側第１遮光膜４４ｂは、一端部が上記枠の入口３２側部分に固定され、他端部が内側巻取りローラ４５ｂに巻き取られる。内側巻取りローラ４５ａ，４５ｂは、内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂの幅と略同一の長さを有する棒状部材（すなわち、外側巻取りローラ４２ａ，４２ｂよりも短い棒状部材）であって、外側巻取りローラ４２ａ，４２ｂと略同じ高さ位置においてＹ方向に延在し、回転可能に支持され、内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂの前記他端部を巻き取る。内側ガイドローラ４６ａ，４６ｂは、内側巻取りローラ４５ａ，４５ｂと略同じ長さを有する棒状部材であって、内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂの水平部分においてＹ方向に延在し、回転可能に支持され、内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂを上方の内側巻取りローラ４５ａ，４５ｂにガイドする。
【００４６】
Ｘ方向移動枠４７は、略長方形状の枠部材であって、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂ及び内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂの間に形成されたＹ方向隙間１１に配置される。Ｘ方向移動枠４７は、図２に示すように、Ｘ方向の枠の内部において外側巻取りローラ４２ａ，４２ｂ、外側ガイドローラ４３ａ，４３ｂ、内側巻取りローラ４５ａ，４５ｂ及び内側ガイドローラ４６ａ，４６ｂを回転可能に支持する。従って、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂ及び内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂは、Ｘ方向移動枠４７の移動に伴って伸縮する。また、上記Ｘ方向の枠の上端部は、後述するＸＹ移動機構７のＸ方向スライダ７１に挟まっているため、Ｘ方向移動枠４７は、Ｘ方向スライダ７１の移動に追随する。つまり、外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂ及び内側第１遮光膜４４ａ，４４ｂは、Ｘ方向移動枠４７を介してＸＹ移動機構７に連結して伸縮する。
【００４７】
外側第２遮光膜４８ａ，４８ｂ（図１参照）は、遮光性を有する略長方形状のシート部材で構成され、その幅はＸ方向移動枠４７の開口の幅より大きく、その長さは当該開口より長い。外側第２遮光膜４８ａは、その一端部が当該開口の一端側上端部に固定され、他端部が外側巻取りローラ（図示せず）に巻き取られる。一方、外側第２遮光膜４８ｂは、その一端部が当該開口の他端側上端部に固定され、他端部が外側巻取りローラ（図示せず）に巻き取られる。このように、外側第２遮光膜４８ａ，４８ｂも、開口部３７においてＸ方向に伸縮する上記第１遮光膜と同様に、Ｘ方向移動枠４７の開口においてＹ方向に伸縮する。また、図示しないが、外側第２遮光膜４８ａ，４８ｂの内側には、第１遮光膜と同様に、もう一層の遮光膜が伸縮自在に配置されており、２層構造となっている。従って、Ｘ方向に伸縮する第１遮光膜による２層構造及びＹ方向に伸縮する第２遮光膜による２層構造が断熱機能を有し、暗室３８の上部において外気との熱交換が遮断されるため、暗室３８内の温度維持が容易になる。
【００４８】
Ｙ方向移動枠４９は、略正方形状の枠部材であって、外側第２遮光膜４８ａ，４８ｂ等の間に形成されたＹ方向隙間に配置される。Ｙ方向移動枠４９は、Ｙ方向の枠の内部に外側第２遮光膜４８ａ，４８ｂ等を巻き取る巻取りローラやガイドローラが回転可能に支持される。従って、外側第２遮光膜４８ａ，４８ｂ等は、Ｙ方向移動枠４９の移動に伴って伸縮する。また、上記Ｙ方向の枠の上端部は、後述するＸＹ移動機構７のＹ方向スライダ７５に挟まっているため、Ｙ方向移動枠４９は、Ｙ方向スライダ７５の移動に追随する。つまり、外側第２遮光膜４８ａ，４８ｂ等は、Ｙ方向移動枠４９を介してＸＹ移動機構７に連結して伸縮する。なお、Ｙ方向移動枠４９の開口の内壁には、黒色のつや消し塗料が塗布される。
【００４９】
投光部５は、遮光構造４の一部であるＹ方向移動枠４９の内側の開口である。すなわち、投光部５は、第１遮光膜４１ａ，４１ｂ、４４ａ，４４ｂ及び第２遮光膜４８ａ，４８ｂ等に囲まれた部分に形成される。そして、投光部５は、Ｘ方向移動枠４７及びＹ方向移動枠４９を介してＸＹ移動機構７の移動に追随する。投光部５には、図２に示すように、面状発光体６が嵌合され、面状発光体６から発する疑似太陽光を通過させる。
【００５０】
面状発光体６は、図１に示すように、太陽電池モジュール２の受光面２１よりも小さい所定の面積を有し、投光部５の内側に嵌合するように配置され、発光部が下方を向き、太陽電池モジュール２の受光面２１に疑似太陽光を照射する。ここで、「面状発光体」とは、多数のＬＥＤを面状に配設したもの、又は、ＬＥＤ光源に接続された光ファイバーを多数束ねたもの、又は、面に形成されたＬＥＤの一つ以上からなるものをいう。ＬＥＤは供給される電力を高効率で光に変換するため、面状発光体６は発光効率が高い。
【００５１】
ＸＹ移動機構７は、面状発光体６を太陽電池モジュール２と対面する上面３６上でＸＹ移動させる機構である。ＸＹ移動機構７は、Ｘ方向に移動するＸ方向スライダ７１と、Ｘ軸を回転中心とするＸ軸モータ７２と、Ｘ方向スライダ７１をガイドするガイド７３と、回転運動を並進運動に変換するＸ方向変換部７４と、Ｙ方向に移動するＹ方向スライダ７５と、Ｙ軸を回転中心とするＹ軸モータ７６と、回転運動を並進運動に変換するＹ方向変換部７７と、を備える。
【００５２】
Ｘ方向スライダ７１は、略長方形状の枠部材であって、ガイド７３に摺動可能に載置される。また、Ｘ方向スライダ７１は、図２に示すように、Ｘ方向の１対の枠にＸ方向移動枠４７が嵌合される。Ｘ軸モータ７２は、Ｘ方向を回転中心とする回転運動を発生させる。ガイド７３は、一対の棒状部材であって、試験槽３のＹ方向の外側においてＸ方向に互いに平行になるように配置される。ガイド７３には、Ｘ方向スライダ７１のＹ方向の枠が摺動可能に載置される。Ｘ方向変換部７４は、Ｘ方向スライダ７１のＹ方向の枠に取り付けられ、Ｘ軸モータ７２による回転運動をＸ方向の並進運動に変換し、Ｘ方向スライダ７１をＸ方向に摺動させる。Ｘ方向変換部７４は、例えばボールネジ及びボールナット等から構成される。
【００５３】
Ｙ方向スライダ７５は、略長方形状の枠部材であって、Ｘ方向スライダ７１のＸ方向の１対の枠に摺動可能に載置される。また、Ｙ方向スライダ７５は、Ｙ方向の１対の枠にＹ方向移動枠４９が嵌合される。Ｙ軸モータ７６は、Ｙ軸を回転中心とする回転運動を発生させる。Ｙ方向変換部７７は、Ｙ方向スライダ７５のＸ方向の枠に取り付けられ、Ｙ軸モータ７６による回転運動をＹ方向の並進運動に変換し、Ｙ方向スライダ７１をＹ方向に摺動させる。Ｙ方向変換部７７も例えばボールネジ及びボールナット等から構成される。
【００５４】
空調装置８は、圧縮機、熱交換器及びファン等を備え、調和空気を生成して暗室３８内に送り込み、暗室３８内の温湿度を調節する。図２の破線矢印は、調和空気の流れを示す。
【００５５】
搬送装置９は、太陽電池モジュール２の端を支持して搬送する２本の搬送コンベアで構成され、図１に示すように、太陽電池モジュール２の幅方向の両端を保持する。従って、暗室３８内を循環する調和空気が太陽電池モジュール２の背面（受光面２１の反対側の面）にも直接接触する。
【００５６】
制御装置１０は、図示しない電装品箱に格納され、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）及びＲＯＭ（Read Only Memory）等を備える。ＲＯＭには加速劣化試験装置１の動作を制御するためのプログラムが記録されており、ＣＰＵが当該プログラムを実行することで、ソフトウェア上の各種制御部が実現される。制御装置１０は、図３に示すように、面状発光体６の出力を制御する面状発光体制御部１０１と、ＸＹ移動機構７を制御して面状発光体６の位置を調節するＸＹ移動制御部１０２と、空調装置８を制御して暗室３８内の環境を調節する空調制御部１０３と、搬送装置９等を制御する搬送制御部１０４と、を備える。
【００５７】
面状発光体制御部１０１は、加速劣化試験を実行するために、太陽電池モジュール２に照射する疑似太陽光の強度が屋外における太陽光の強度より高くなるように面状発光体６を制御する。
【００５８】
ＸＹ移動制御部１０２は、ＸＹ移動機構７のモータ７２，７６の回転を制御してＸ方向スライダ７１及びＹ方向スライダ７５を摺動させ、太陽電池モジュール２に対して面状発光体６を走査させる動作を繰り返し、太陽電池モジュール２の全体に疑似太陽光を均一に照射させる。走査方法としては、例えば、Ｘ方向スライダ７１を固定してＹ方向スライダ７５をスライドさせ、続いてＸ方向スライダ７１を面状発光体６のＸ方向長さ分だけ移動させて固定し、Ｙ方向スライダ７５を前回のスライド方向と逆向きにスライドさせる、という動作を繰り返し、太陽電池モジュール２に順番に万遍なく疑似太陽光を照射させる方法がある。また、例えば、Ｙ方向スライダ７５を固定してＸ方向スライダ７１をスライドさせ、続いてＹ方向スライダ７５を面状発光体６のＹ方向長さ分だけ移動させて固定し、Ｘ方向スライダ７１を前回のスライド方向と逆向きにスライドさせる、という動作を繰り返し、太陽電池モジュール２に順番に万遍なく疑似太陽光を照射させる方法もある。また、面状発光体６の走査は、設定された回数又は所定の時間に達するまで繰り返し行われる。
【００５９】
空調制御部１０３は、ユーザによって設定された温湿度と、暗室３８内に設置された温湿度センサ（図示せず）の検知する温湿度と、に基づいて空調装置８に調和空気を生成させて暗室３８内に送り込ませ、暗室３８内の温湿度を設定された温湿度にする。
【００６０】
搬送制御部１０４は、シャッター３４，３５及び搬送装置９を制御する。搬送制御部１０４は、入口３２側のシャッター３４を開いた状態で搬送装置９によって太陽電池モジュール２を暗室３８内に搬入し、太陽電池モジュール２全体が入るとシャッター３４を閉じる。加速劣化試験中は両シャッターを閉じて暗室３８を密閉状態にし、加速劣化試験が終了すると、出口３３側のシャッター３５を開いて太陽電池モジュール２を暗室３８から搬出する。
【００６１】
［加速劣化試験装置１の動作について］
次に、加速劣化試験装置１の動作について説明する。
【００６２】
まず、制御装置１０は、空調装置８を制御して、暗室３８内を設定された温湿度にする。次に、制御装置１０は、搬送装置９で太陽電池モジュール２を暗室３８内に搬入し、太陽電池モジュール２が所定位置に達すると搬送装置９を停止する。制御装置１０は、面状発光体６を予め初期位置（例えば図１の符号１２で示す位置）に配置しておき、太陽電池モジュール２が所定位置に配置されると、面状発光体６の走査移動を開始する。
【００６３】
制御装置１０は、面状発光体６を符号１２で示す位置から図１において下方向に符号１３で示す位置までスライドさせ、続いて面状発光体６を左方向にスライドさせた後に上方向にスライドさせる。制御装置１０は、このスライド動作を繰り返し、符号１４で示す位置に達すると、再び符号１２の位置に戻す。
【００６４】
制御装置１０は、試験時間に達するまで上記動作を繰り返す。試験時間に達すると、制御装置１０は、面状発光体６のスライドを停止する。そして、制御装置１０は、搬送装置９を駆動して、太陽電池モジュール２を暗室３８から搬出すると共に、別の太陽電池モジュールを暗室３８内に搬入し、再び加速劣化試験を開始する。
【００６５】
（第１実施形態に係る加速劣化試験装置の特徴）
第１実施形態に係る加速劣化試験装置１には、以下の特徴がある。本実施形態の加速劣化試験装置１では、光源が遮光構造４の一部である投光部５に対応した面状発光体６であるため、光源を小型化でき、その発熱量を抑制できる。また、光源が面状発光体６であるため、光源を太陽電池モジュール２に接近させることができる。さらに、遮光構造４の投光部５から照射することにより、照射光の拡散を抑え、太陽電池モジュール２の受光面２１の所定部分を狙って照射できる。その結果、この面状発光体６を走査移動させて、太陽電池モジュール２に順番に万遍なく同一条件のもとに疑似太陽光を照射することが可能となる。
【００６６】
また、本実施形態の加速劣化試験装置１では、遮光膜４１ａ，４１ｂ、４４ａ，４４ｂ、４８ａ，４８ｂ等に囲まれた投光部５を介して面状発光体６を直接太陽電池モジュール２に対面させることが可能となる。また、遮光膜がＸＹ移動機構７の移動に伴って伸縮するため、投光部５を移動させる別個の移動機構を設ける必要がない。
【００６７】
また、本実施形態の加速劣化試験装置１では、太陽電池モジュール２は受光面２１が上向きになるように横置きで保持されるため、太陽電池モジュール２の保持が安定し、ＸＹ移動機構７も重力負荷を受けずに安定させることが可能となる。そのため、面状発光体６を安定した状態で太陽電池モジュール２にさらに近付けて配置することが可能となる。
【００６８】
また、本実施形態の加速劣化試験装置１では、太陽電池モジュール２を面状発光体６に接近させたままでコンベア搬送できる。また、面状発光体６を接近させた場合でも、太陽電池モジュール２上の調和空気の流れを確保して、所定の環境を保持できる。
【００６９】
また、本実施形態の加速劣化試験装置１では、面状発光体６の走査を繰り返すことで、太陽電池モジュール２に順番に万遍なく同一条件のもとに疑似太陽光を照射することができる。
【００７０】
（第２実施形態）
遮光構造は、第１実施形態の遮光構造４に限らず、以下に示す遮光構造でもよい。図４は、第２実施形態に係る加速劣化試験装置２００の上面視模式図である（但し面状発光体６及びＸＹ移動機構７を省略する）。図５は、図４のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
【００７１】
第２実施形態に係る加速劣化試験装置２００の遮光構造２４０、投光部２５０及びフード２６０以外の構成は、第１実施形態に係る加速劣化試験装置１の遮光構造４及び投光部５以外の構成と同一である。
【００７２】
遮光構造２４０は、Ｙ方向を長手方向とするスリットが形成されたＸ方向遮光膜２４１と、Ｘ方向を長手方向とするスリットであって前記スリットの一部と重複するスリットが形成されたＹ方向遮光膜２４５と、両スリットの重複する部分で形成される投光部２５０と、前記投光部２５０の位置が面状発光体６の位置と一致するように前記Ｘ方向遮光膜２４１とＹ方向遮光膜２４５とを巻き取る又は巻き出す駆動機構と、を備える。駆動機構は、具体的には、前記Ｘ方向遮光膜２４１の両端を巻き取る又は巻き出すＸ方向巻取りローラ２４２と、前記Ｘ方向巻取りローラ２４２を回転させるＸ方向モータ２４３と、前記Ｘ方向遮光膜２４１を前記Ｘ方向巻取りローラ２４２にガイドするガイドローラ２４４と、前記Ｙ方向遮光膜２４５の両端を巻き取る又は巻き出すＹ方向巻取りローラ２４６と、前記Ｙ方向巻取りローラ２４６を回転させるＹ方向モータ２４７等を有する。
【００７３】
Ｘ方向遮光膜２４１は、遮光性を有し、幅が開口部３７の幅より大きく、長さが開口部３７の長さ（Ｘ方向の長さ）より長いシート部材である。また、Ｘ方向遮光膜２４１は、Ｘ方向遮光膜２４１の幅方向を長手方向とする略長方形状のスリット２４８を備える。Ｘ方向遮光膜２４１は、開口部３７を覆うように配置され、Ｘ方向の一方の端部がＸ方向巻取りローラ２４２に巻き取られ、他方の端部がもう一方のＸ方向巻取りローラ２４２に巻き出される。Ｘ方向巻取りローラ２４２は、シャッター３４，３５の上方においてＹ方向に伸びて回転可能に支持される。Ｘ方向巻取りローラ２４２は、Ｘ方向遮光膜２４１のＸ方向の端部を巻き取り、又は、巻き出す。Ｘ方向モータ２４３は、制御装置１０の制御の下、２本のＸ方向巻取りローラ２４２を同一方向に回転させる。ガイドローラ２４４は、図５に示すように、Ｘ方向巻取りローラ２４２の上方においてＹ方向に伸びて回転可能に支持され、Ｘ方向遮光膜２４１を下方のＸ方向巻取りローラ２４２にガイドする。スリット２４８は、Ｘ方向巻取りローラ２４２が回転することによって、Ｘ方向（図４において左右方向）にスライドする。
【００７４】
Ｙ方向遮光膜２４５は、遮光性を有し、幅が開口部３７の長さ（Ｘ方向の長さ）より大きく、長さが開口部３７の幅より長いシート部材である。また、Ｙ方向遮光膜２４５は、Ｙ方向遮光膜２４５の幅方向を長手方向とする略長方形状のスリット２４９を備える。Ｙ方向遮光膜２４５は、上面３６とＸ方向遮光膜２４１との間に開口部３７を覆うように配置され、Ｙ方向の一方の端部がＹ方向巻取りローラ２４６に巻き取られ、他方の端部がもう一方のＹ方向巻取りローラ２４６に巻き出される。Ｙ方向巻取りローラ２４６は、筺体３１のＹ方向に配置された側壁においてＸ方向に伸びて回転可能に支持される。Ｙ方向巻取りローラ２４６は、Ｙ方向遮光膜２４５のＹ方向の端部を巻き取り、又は、巻き出す。Ｙ方向モータ２４７は、制御装置１０の制御の下、２本のＹ方向巻取りローラ２４６を同一方向に回転させる。また、２本のＹ方向巻取りローラの上方には、Ｘ方向と同様にガイドローラが回転可能に支持されており、Ｙ方向遮光膜２４５を下方のＸ方向巻取りローラ２４６にガイドする。スリット２４９は、Ｙ方向巻取りローラ２４６が回転することによって、Ｙ方向（図４において上下方向）にスライドする。
【００７５】
投光部２５０は、Ｘ方向にスライドするスリット２４８とＹ方向にスライドするスリット２４９とが重なる部分に形成される。そして、面状発光体６は、図５に示すように、投光部２５０に嵌合し、下方の太陽電池モジュール２に疑似太陽光を照射する。また、面状発光体６の周囲には、フード２６０が取り付けられる。このフード２６０により、疑似太陽光の拡散をより確実に抑制できる。
【００７６】
制御装置１０は、第１実施形態に係る制御に加えて遮光構造２４０の制御も実行する。制御装置１０は、加速劣化試験において、投光部２５０が面状発光体６の移動に追随するようにＸ方向モータ２４３及びＹ方向モータ２４７を制御する。
【００７７】
（第２実施形態に係る加速劣化試験装置の特徴）
第２実施形態に係る加速劣化試験装置２００には、以下の特徴がある。第２実施形態に係る加速劣試験装置２００では、光源が遮光構造２４０の一部である投光部２５０に対応した面状発光体６であるため、光源を小型化でき、その発熱量を抑制できる。また、光源が面状発光体６であるため、光源を太陽電池モジュール２に接近させることができる。さらに、遮光構造２４０の投光部２５０から照射することにより、照射光の拡散を抑え、太陽電池モジュール２の受光面２１の所定部分を狙って照射できる。その結果、この面状発光体６を走査移動させて、太陽電池モジュール２に順番に万遍なく同一条件のもとに疑似太陽光を照射することが可能となる。さらに、光源が面状発光体であるため、光源を太陽電池モジュールに接近させることができる。
【００７８】
また、加速劣化試験装置２００では、Ｘ方向遮光膜２４１のスリット２４８及びＹ方向遮光膜２４５のスリット２４９で形成された投光部２５０を介して面状発光体６を直接太陽電池モジュール２に対面させることが可能となる。
【００７９】
また、加速劣化試験装置２００では、太陽電池モジュール２は受光面２１が上向きになるように横置きで保持されるため、太陽電池モジュール２の保持が安定し、ＸＹ移動機構７も重力負荷を受けずに安定させることが可能となる。そのため、面状発光体６を安定した状態で太陽電池モジュール２により近付けて配置することが可能となる。
【００８０】
（第３実施形態）
また、遮光構造は、以下に示す構造でもよい。図６は、第３実施形態に係る加速劣化試験装置の遮光構造を示す図であり、（ａ）は上面視図、（ｂ）は（ａ）の矢視図である。
【００８１】
本実施形態に係る遮光構造３４０は、Ｘ方向に対向する一対の伸縮自在な第１遮光膜の間に形成されたＹ方向隙間と、Ｙ方向に対向する一対の伸縮自在な第２遮光膜と、第１遮光膜と第２遮光膜とに囲まれた部分に形成された投光部と、この投光部が面状発光体と一致するように前記第１遮光膜及び第２遮光膜を巻き取る又は巻き出す駆動装置と、を備える。
【００８２】
第１実施形態に係る遮光構造４と同様に、Ｘ方向に対向する一対の第１遮光膜及びＹ方向に対向する一対の第２遮光膜で構成されるが、遮光膜を巻き取る独自の巻取り機構を備える点で遮光構造４と異なる。遮光構造３４０は、Ｘ方向に対向する一対の遮光膜を伸縮させる構造とＹ方向に対向する一対の遮光膜を伸縮させる構造とを備えるが、両構造は幅が異なる点以外は同一の構造である。そこで、Ｘ方向の遮光構造を例に説明する。なお、図６（ｂ）では、Ｙ方向の遮光構造を図示しない。
【００８３】
遮光構造３４０は、Ｘ方向に対向する一対の遮光膜３４１ａ，３４１ｂと、この遮光膜３４１ａ，３４１ｂを巻き取る又は巻き出す駆動装置と、を備える。この駆動装置は、回転してタイミングベルト３４４をＸ方向に往復移動させる駆動プーリ３４２と、駆動プーリ３４２の回転に追随してタイミングベルト３４４をＸ方向に往復移動させる従動プーリ３４３と、Ｘ方向に往復移動するタイミングベルト３４４と、遮光膜３４１ａ，３４１ｂを巻き取る又は巻き出す巻取りローラ３４５ａ，３４５ｂと、ガイドローラ３４６ａ，３４６ｂと、巻取りローラ３４５ａ，３４５ｂを支持し且つタイミングベルト３４４の往復移動に追随するベース板３４７ａ，３４７ｂと、ベース板３４７ａ，３４７ｂを連結する連結部材３４８と、タイミングベルト３４４の途中部分をベース板３４７ｂに係止する補助ブラケット３４９と、を備える。
【００８４】
遮光膜３４１ａ，３４１ｂは、第１実施形態の外側第１遮光膜４１ａ，４１ｂと略同一の遮光膜であり、一端部が上面３６に固定され、他端部が巻取りローラ３４５ａ，３４５ｂに巻き取られる。そして、遮光膜３４１ａ，３４１ｂ間にはＹ方向隙間が形成される。駆動プーリ３４２は、Ｙ方向に延在する回転可能に支持された回転軸に取り付けられ、また、タイミングベルト３４４が巻き掛けられる。駆動プーリ３４２は、モータ駆動によって回転してタイミングベルト３４４をＸ方向に往復移動させる。従動プーリ３４３は、駆動プーリ３４２のＸ方向に対向する位置に配置され、駆動プーリ３４２の回転に追随してタイミングベルト３４４をＸ方向に往復移動させる。タイミングベルト３４４は、駆動プーリ３４２及び従動プーリ３４３に巻き掛けられ、両プーリの回転によってＸ方向に往復移動する。巻取りローラ３４５ａ，３４５ｂは、ベース板３４７ａ，３４７ｂの側板に支持され、軸部にゼンマイが入れられていて、固定された軸部に対して捩じって回転させることでそれぞれ巻取り方向のトルクを付与でき、遮光膜３４１ａ，３４１ｂを巻き取り、又は、巻き出す。ガイドローラ３４６ａ，３４６ｂは、ベース板３４７ａ，３４７ｂの側板に回転可能に支持され、遮光膜３４１ａ，３４１ｂを巻取りローラ３４５ａ，３４５ｂにガイドする。ベース板３４７ａ，３４７ｂは、Ｙ方向に延在する板状部材であって側板で巻取りローラ３４５ａ，３４５ｂ及びガイドローラ３４６ａ，３４６ｂを回転可能に支持する。また、ベース板３４７ａ，３４７ｂは、タイミングベルト３４４の往復移動に追随してＸ方向に往復移動する。連結部材３４８は、ベース板３４７ａ，３４７ｂを連結して遮光膜３４１ａ，３４１ｂ間に形成されるＹ方向隙間の幅間隔を保持する。補助ブラケット３４９は、ベース板３４７ｂに固着される。タイミングベルト３４３の途中部分は、この補助ブラケット３４９に係止される。
【００８５】
Ｙ方向隙間のスライド動作について説明する。駆動プーリ３４２がモータ駆動で回転すると、タイミングベルト３４３が往復移動を開始し、タイミングベルト３４３の途中部分と係止する補助ブラケット３４９が移動し、補助ブラケット３４９が固着されたベース板３４７ｂと、ベース板３４７ｂと連結するベース板３４７ａとが間隔を保ったままＸ方向に往復移動することで、Ｙ方向隙間がＸ方向にスライドする。
【００８６】
Ｙ方向の遮光構造においても、Ｘ方向隙間がＹ方向にスライドする。従って、Ｘ方向隙間及びＹ方向隙間によって形成される投光部３５０がＸＹ方向に移動する。
【００８７】
制御装置１０は、第１実施形態に係る制御に加えてＸＹ方向の遮光構造が有するモータの回転も制御する。すなわち、制御装置１０は、加速劣化試験において、投光部３５０が面状発光体６の移動に追随するようにＸＹ方向の遮光構造３４０が有するモータの回転を制御する。
【００８８】
（第３実施形態に係る加速劣化試験装置の特徴）
第３実施形態に係る加速劣化試験装置には、以下の特徴がある。本実施形態の加速劣化試験装置では、光源が遮光構造３４０の一部である投光部３５０に対応した面状発光体６であるため、光源を小型化でき、その発熱量を抑制できる。また、光源が面状発光体６であるため、光源を太陽電池モジュール２に接近させることができる。さらに、遮光構造３４０の投光部３５０から照射することにより、照射光の拡散を抑え、太陽電池モジュール２の受光面２１の所定部分を狙って照射できる。その結果、この面状発光体６を走査移動させて、太陽電池モジュール２に順番に万遍なく疑似太陽光を照射することが可能となる。さらに、光源が面状発光体であるため、光源を太陽電池モジュールに接近させることができる。
【００８９】
また、本実施形態の加速劣化試験装置では、Ｘ方向に対向する一対の遮光膜３４１ａ，３４１ｂで形成されたＹ方向隙間と、Ｙ方向に対向する一対の遮光膜で形成されたＸ方向隙間と、によって形成された投光部３５０を介して面状発光体６を直接太陽電池モジュール２に対面させることが可能となる。
【００９０】
また、本実施形態の加速劣化試験装置では、太陽電池モジュール２は受光面２１が上向きになるように横置きで保持されるため、太陽電池モジュール２の保持が安定し、ＸＹ移動機構７も重力負荷を受けずに安定させることが可能となる。そのため、面状発光体６を安定した状態で太陽電池モジュール２にさらに近付けて配置することが可能となる。
【００９１】
（第４実施形態）
また、遮光構造は、以下に示す構造でもよい。図７は、第４実施形態に係る加速劣化試験装置の遮光構造を示す図であり、（ａ）は上面視図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線矢視断面図である。なお、本実施形態に係る加速劣化試験装置の遮光構造以外の構成は、第１実施形態に係る加速劣化試験装置１の遮光構造４以外の構成と同一である。
【００９２】
本実施形態の遮光構造４４０は、平板状の液晶シャッターで構成され、開口部３７と略同一形状であって開口部３７の厚みよりも薄く、開口部３７に嵌合される。この液晶シャッターは、印加される電圧が制御されて、光を透過する透過領域４４１と、光を遮る遮光領域４４２と、を形成する。
【００９３】
透過領域４４１は面状発光体６と略同一形状を備え、面状発光体６の発する疑似太陽光を暗室３８へと通過させる。即ち、透過領域４４１は投光部４５０の機能を果たす。一方、遮光領域４４２は、透過領域４４１以外の領域を占め、面状発光体６の発する疑似太陽光を遮る。
【００９４】
制御装置１０は、第１実施形態に係る遮光構造４の制御に代わって遮光構造４４０の制御を実行する。制御装置１０は、加速劣化試験において、液晶シャッターに印加する電圧を制御して、面状発光体６の移動に追随するように投光部４５０を移動させる。
【００９５】
（第４実施形態に係る加速劣化試験装置の特徴）
第４実施形態に係る加速劣化試験装置には、以下の特徴がある。本実施形態の加速劣化試験装置では、投光部４５０と遮光領域４４２とを液晶シャッターというシンプルな構成で実現できる。また、液晶シャッターに印加する電圧を制御するだけで投光部４５０を移動させることができる。従って、投光部を移動させる駆動装置が不要である。
【００９６】
（第５実施形態）
太陽電池モジュール２と面状発光体６との距離を変更できる構造でもよい。図８は、第５実施形態に係る加速劣化試験装置５００の断面図である。
【００９７】
第５実施形態に係る加速劣化試験装置５００は、第２実施形態に係る加速劣化試験装置２００の構成に、調和空気の太陽電池モジュール２の上方における流路を形成するガラス５１０と、太陽電池モジュール２を昇降させる昇降機構５２０と、昇降機構５２０の太陽電池モジュール２に加える力を分散させる載置板５３０と、を追加した装置である。
【００９８】
ガラス５１０は、開口部３７と略同一形状を備えた平板状のガラスであり、開口部３７に嵌め込まれる。ガラス５１０は、面状発光体６から照射される疑似太陽光の吸収を抑えるため、より薄いほうが好ましい。昇降機構５２０は、油圧又は電動で駆動するピストン装置であり、搬送装置９の２本のコンベア間の複数個所に設置される。載置板５３０は、太陽電池モジュール２よりも大きい面積を有する平板部材であって、太陽電池モジュール２の背面側に配置される。
【００９９】
制御装置１０は、第２実施形態に係る制御に加えて昇降機構５２０の制御も実行する。制御装置１０は、加速劣化試験において、昇降機構５２０を駆動し、太陽電池モジュール２の所定の高さ位置まで持ち上げて維持する。
【０１００】
（第５実施形態に係る加速劣化試験装置の特徴）
第５実施形態に係る加速劣化試験装置には、以下の特徴がある。本実施形態の加速劣化試験装置５００では、面状発光体６を太陽電池モジュール２に近付けることができるため、疑似太陽光の拡散をより確実に抑制できると共に太陽電池モジュール２により強い疑似太陽光を照射できる。
【０１０１】
（第６実施形態）
本発明に係る環境試験装置は、電気・電子機器等の環境試験装置であってＸ線を照射してサンプルの内部の劣化状態を観察する環境試験装置にも適用できる。第６〜第１１実施形態では、Ｘ線を用いてサンプルの内部を観察する環境試験装置の形態について図面を参照して説明する。
【０１０２】
第６実施形態の環境試験装置について図９を参照して説明する。図９は、本実施形態の環境試験装置６００の模式図であって、（ａ）は（ｂ）のＥ−Ｅ線矢視側面図であり、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線矢視上面図である。
【０１０３】
［環境試験装置６００について］
本実施形態の環境試験装置６００は、所定の環境に保持された試験槽内に設置されたサンプルにＸ線を照射し、サンプルを透過したＸ線を検知して透過Ｘ線画像を得る環境試験装置である。環境試験装置６００は、内部環境を調整する空調装置６８０を備える試験槽６２０内に保持されたサンプル６１０に所定の周波数領域のＸ線を照射する環境試験装置であって、前記試験槽６２０の一面であって前記サンプル６１０に対面する一面に配設され、前記所定の周波数領域のＸ線を遮蔽するカバー６３３（Ｘ線照射部６３０の一部、Ｘ線遮蔽部）と、このカバー６３３（Ｘ線遮蔽部）の開口等で構成され前記所定の周波数領域のＸ線を通過させるための投波部６５０と、前記投波部６５０を経て前記所定の周波数領域のＸ線を照射するＸ線照射部６３０と、前記Ｘ線照射部６３０が照射するＸ線をファンビーム状に形成して前記サンプル６１０に照射するファンビーム形成部６４０と、前記Ｘ線照射部６３０を前記一面上において上下に移動させる移動装置６７０と、前記サンプル６１０を透過したＸ線を面状に配置された複数のＸ線検出器によって検知するＸ線検知部６６０と、このＸ線検知部６６０が検知したＸ線強度に基づいて前記サンプル６１０の透過Ｘ線画像を生成する制御装置６９０と、を備える。以下、各要素の詳細を説明する。
【０１０４】
サンプル６１０は、例えば電子・電気機器、成形品等の内部構造を備える製品である。
【０１０５】
試験槽６２０は、空調装置６８０によって所定の温湿度に調節された内部空間を備え、この内部空間にサンプル６１０を保持する。試験槽６２０は、試験槽本体６２１と、サンプル載置台６２２と、を備える。試験槽本体６２１は、Ｘ線遮蔽部６２３と、Ｘ線透過部６２４と、で構成される。Ｘ線遮蔽部６２３は、断熱材及びＸ線遮蔽材で構成され、内部の環境を保持すると共に、内部に入射したＸ線が外部に漏れるのを防止する。Ｘ線遮蔽材として、例えば鉛が用いられる。Ｘ線透過部６２４は、断熱材及びＸ線透過材で構成され、試験槽本体６２１の左右の側壁、すなわちＸ線照射部６３０が配置された側壁及びＸ線検知部６６０が配置された側壁に設けられる。Ｘ線透過部６２４は、Ｘ線遮蔽部６２３と共に試験槽本体６２１内の環境を保持しつつ、Ｘ線照射部６３０から照射されたＸ線を試験槽本体６２１内に透過させる。Ｘ線透過材として、例えばＰＥＥＫ（PolyEtherEtherKetone，登録商標）樹脂等が用いられる。サンプル載置台６２２は、耐放射線性を備える材質で構成され、試験槽本体６２１内の略中央部に配置される。
【０１０６】
Ｘ線照射部６３０は、所定の波長領域のＸ線を発生させるＸ線源であって、正面視して試験槽６２０の左側に配置される。Ｘ線照射部６３０は、Ｘ線を発生するＸ線管球６３１と、Ｘ線管球６３１及びファンビーム形成部６４０を支持する支持部材６３２と、Ｘ線管球６３１等を格納し、外部にＸ線が漏れるのを防止するカバー６３３と、を備える。Ｘ線管球６３１は、電子銃、加速管及びターゲット等を備え、電子銃から発生した電子を加速管で加速し、高速の電子をターゲットに衝突させ、ターゲットから発生したＸ線を試験槽６２０内のサンプル６１０に向かって照射する。Ｘ線管球６３１は、支持部材６３２を介してカバー６３３に固定される。支持部材６３２は、図９（ｂ）に示すように、カバー６３３に取り付けられ、Ｘ線管球６３１及びファンビーム形成部６４０を支持する。カバー６３３は、Ｘ線遮蔽材で構成された筺体であるが、ファンビーム形成部６４０の前方部分は、図９（ｂ）に示すように、開口６３４が設けられる。また、カバー６３３は、移動装置６７０に取り付けられ、移動装置６７０によって昇降移動する。従って、Ｘ線を発生するＸ線管球６３１もカバー６３３の移動に伴って昇降移動する。
【０１０７】
ファンビーム形成部６４０は、Ｘ線遮蔽材で構成された略長方形状の板状部材であって、略中央部に幅方向を長手方向とするスリット６４１を備える。ファンビーム形成部６４０は、カバー６３３内に配置され、スリット６４１がＸ線管球６３１のＸ線発生部と対向するように支持部材６３２で支持される。また、ファンビーム形成部６４０は、Ｘ線管球６３１から発生したＸ線をスリット６４１に通過させることでＸ線をファンビーム状に形成し、サンプル６１０にライン状のＸ線を照射する。従って、サンプル６１０には、ライン状のＸ線が上下方向に順次照射される。
【０１０８】
投波部６５０は、Ｘ線照射部６３０のカバー６３３に設けられた開口６３４と、試験槽６２０のＸ線透過部６２４と、で構成され、ファンビーム形成部６４０でファンビーム状に形成されたＸ線を通過させ、試験槽６２０内に入射させる。カバー６３３の開口６３４はＸ線照射部６３０と一体となって昇降移動し、また、Ｘ線透過部６２４はＸ線照射部６３０の走査領域全体に渡って設けられているので、投波部６５０は、Ｘ線照射部６３０に追随して昇降移動する。
【０１０９】
Ｘ線検知部６６０は、正面視して試験槽６２０の右側に配置される。Ｘ線検知部６６０は、サンプル６１０を透過したファンビーム状のＸ線を検知するＸ線センサユニット６６１と、Ｘセンサユニット６６１を格納するボックス６６２と、を備える。Ｘ線センサユニット６６１は、複数のＸ線検出器が面状に配置される。上記のとおり、Ｘ線照射部６３０はＸ線を照射しながら上方又は下方へ移動するため、Ｘ線センサユニット６６１は、上方又は下方から順次ファンビーム状の透過Ｘ線を検知し、Ｘ線強度を示す信号を制御装置６９０に送信する。
【０１１０】
移動装置６７０は、油圧、空圧又は電動によってＸ線照射部６３０を上下の方向に移動させる装置である。移動装置６７０は、図９（ｂ）に示すように、Ｘ線照射部６３０の奥側の側部に配置され、Ｘ線照射部６３０のカバー６３３が取り付けられており、このカバー６３３を移動させることでＸ線照射部６３０を昇降移動させる。サンプル６１０の透過Ｘ線画像を撮影する際には、Ｘ線管球６３１からＸ線が照射される状態で、制御装置６９０の制御の下、Ｘ線照射部６３０を一定の速度で上下の方向に移動させる。なお、Ｘ線照射部６３０を所望の高さ位置に保持することも可能である。そうすると、サンプル６１０の所望の位置の透過Ｘ線画像のみを得ることが可能となる。
【０１１１】
空調装置６８０は、試験槽６２０内の空気を吸い込む吸込口６８１と、吸い込んだ空気を加熱や冷却、加湿や除湿するための図示しない加熱器、冷却除湿器、加湿器と、空気を循環させる送風機、及び試験槽６２０に空気調和された空気を吹き出す吹出口６８２からなり、前記冷却除湿器に冷媒を供給するための冷凍機６８３が環境試験装置６００の下部に配置されている。
【０１１２】
制御装置６９０は、図示しない電装品箱に格納され、例えばＣＰＵ及びＲＯＭ等を備える。ＲＯＭには環境試験装置６００の動作を制御するためのプログラムが記録されており、ＣＰＵが当該プログラムを実行することで、ソフトウェア上の各種制御部が実現される。制御装置６９０は、図１０に示すように、Ｘ線照射部６３０を制御するＸ線照射制御部６９１と、移動装置６７０を制御する移動制御部６９２と、Ｘ線画像を生成する画像生成部６９３と、空調装置６８０を制御する空調制御部６９４と、を備える。
【０１１３】
Ｘ線照射制御部６９１は、Ｘ線照射部６３０の出力を制御するためのものである。具体的には、Ｘ線管球６３１の電子銃に印加する電圧及び加速管に印加する加速電圧等を制御して、発生させるＸ線の波長や線量等を調節する。
【０１１４】
移動制御部６９２は、移動装置６７０を制御してＸ線照射部６３０の位置を制御するためのものである。移動制御部６９２は、例えば移動装置６７０の油圧等を制御して、Ｘ線照射部６３０を昇降移動させる。
【０１１５】
画像処理制御部６９３は、Ｘ線検知部６６０から順次送信される信号を取得し、信号が示すＸ線強度に基づいてサンプル６１０の各部の透過Ｘ線画像を生成し、各部の透過Ｘ線画像を繋ぎ合わせてサンプル６１０全体の透過Ｘ線画像を生成する。
【０１１６】
空調制御部６９４は、試験槽６２０内の環境を調節するために空調装置６８０を制御するためのものである。空調制御部６９４は、ユーザが設定する温湿度と、試験槽６２０内に設置された温湿度センサ（図示せず）が検知する温湿度と、に基づいて空調装置６８０に調和空気を生成させて試験槽６２０内に送りこませ、試験槽６２０内の温湿度を調節する。
【０１１７】
［環境試験装置６００の動作について］
次に、環境試験装置６００の動作について説明する。
【０１１８】
まず、制御装置６９０は、空調装置６８０を制御して、試験槽６２０内を設定された温湿度に調節する。次に、制御装置６９０は、移動装置６７０を制御して、投波部６５０がＸ線検知部６６０のＸ線センサユニット６６１の上端と同じ高さになるようにＸ線照射部６３０を移動させる。
【０１１９】
続いて、制御装置６９０は、Ｘ線照射部６３０を制御して、設定された波長領域のＸ線の照射を開始し、Ｘ線照射部６３０を下方に移動させる。そして、制御装置６９０は、Ｘ線検知部６６０のＸ線センサユニット６６１から順次送信される信号に基づいてサンプル６１０の透過Ｘ線画像を生成する。なお、Ｘ線画像を取得する際に、Ｘ線照射部６３０を上方から下方へ移動させたが、これに限らず、下方から上方へ移動させてもよい。
【０１２０】
（第６実施形態に係る環境試験装置の特徴）
第６実施形態に係る環境試験装置６００には、以下の特徴がある。本実施形態の環境試験装置６００では、小型のＸ線管球６３１を走査してサンプル６１０全体の透過Ｘ線画像を得るため、Ｘ線発生源を小型化でき、Ｘ線発生源の発熱量を抑えることができる。また、サンプル６１０のＸ線被ばく量を抑制できる。
【０１２１】
また、本実施形態の環境試験装置６００では、Ｘ線照射部６３０を所望の高さ位置に固定して撮像することで、所望の位置の局所的な透過Ｘ線画像を得ることができる。
【０１２２】
（第７実施形態）
第６実施形態では、Ｘ線を検知するＸ線センサユニット６６１が面状であった。また、Ｘ線照射部６３０を昇降移動させる移動装置６７０を設けていた。しかし、Ｘ線センサユニットの形状及びＸ線照射部の移動手段はこれに限定されない。図１１は、第７実施形態に係る環境試験装置７００の模式図であって、（ａ）は（ｂ）のＧ−Ｇ線矢視側面図であり、（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線矢視上面図である。
【０１２３】
第７実施形態に係る環境試験装置７００の構成のうち空調装置６８０のみが第６実施形態に係る環境試験装置６００の構成と一致し、他の構成は異なる。
【０１２４】
本実施形態の環境試験装置７００は、内部環境を調整する空調装置６８０を備える試験槽７２０内に保持されたサンプル６１０に所定の周波数領域のＸ線を照射する環境試験装置であって、前記試験槽７２０の一面であって前記サンプル６１０に対面する一面に配設され、前記所定の周波数領域のＸ線を遮蔽する可動壁７２２（試験槽７２０の一部、Ｘ線遮蔽部）と、この可動壁７２２（Ｘ線遮蔽部）のスリット等で構成され前記所定の周波数領域のＸ線を通過させるための投波部７５０と、前記可動壁７２２に固定され、前記投波部７５０を経て前記所定の周波数領域のＸ線を照射するＸ線照射部７３０と、前記Ｘ線照射部７３０が照射するＸ線をファンビーム状に形成して前記サンプル６１０に照射するファンビーム形成部７４０と、前記サンプル６１０を透過したＸ線をライン状に配置された複数のＸ線検出器で検知するＸ線検知部７６０と、このＸ線検知部７６０と連結する前記可動壁７２２をスライド移動させることで前記Ｘ線照射部７３０及びＸ線検知部７６０を同期するように昇降移動させる移動機構７７０と、前記Ｘ線検知部７６０が昇降移動中に検知したＸ線強度に基づいて前記サンプル６１０の透過Ｘ線画像を生成する制御装置と、を備える。以下、各要素の詳細について説明する。
【０１２５】
試験槽７２０は、サンプル６１０と対向するＸ線照射部７３０側の側壁に開口を備える試験槽本体７２１と、前記開口を覆うように取り付けられた可動壁７２２と、サンプル６１０を保持するサンプル載置台７２３と、を備える。試験槽本体７２１は、Ｘ線遮蔽部７２４と、Ｘ線透過部７２５と、を備える。Ｘ線遮蔽部７２４は、断熱材及びＸ線遮蔽材で構成され、略筺体状であるが、上記の通りＸ線照射部７３０側の側壁に略長方形状の開口を備える。Ｘ線透過部７２５は、Ｘ線検知部７６０側の側壁の前記開口と対向する位置に設けられる。Ｘ線透過部７２５は、断熱材及びＸ線透過材で構成され、少なくともＸ線照射部７３０の走査領域の面積を備える。可動壁７２２は、断熱材及びＸ線遮蔽材で構成され、Ｘ線遮蔽部７２４の前記開口を覆っており、上下方向にスライド可能に配置される。可動壁７２２は、ファンビーム形成部７４０のスリット７４１に対応する位置にスリットを備える。
【０１２６】
Ｘ線照射部７３０は、Ｘ線管球７３１と、カバー７３２と、を備える。Ｘ線管球７３１は、Ｘ線発生部が可動壁７２２の前記スリットと同じ高さ位置になるように図示しない取付部材によってカバー７３２に固定される。カバー７３２は、Ｘ線遮蔽材で構成され、可動壁７２２に固定される。従って、Ｘ線照射部７３０は、可動壁７２２のスライド移動に伴って昇降移動する。
【０１２７】
ファンビーム形成部７４０は、Ｘ線遮蔽材で構成された略長方形状の板状部材であって、略中央部に幅方向を長手方向とするスリット７４１を備える。ファンビーム形成部７４０は、スリット７４１がＸ線管球７３１と対向するように可動壁７２２に固定される。従って、ファンビーム形成部７４０は、可動壁７２２及びＸ線照射部７３０と一体となって昇降移動する。また、ファンビーム形成部７４０は、Ｘ線照射部７３０から照射されたＸ線をスリット７４１に通過させることでファンビーム状に形成する。ファンビーム状に形成されたＸ線は、可動壁７２２の前記スリット及びＸ線遮蔽部７２４の前記開口を通過して、サンプル６１０に照射される。
【０１２８】
投波部７５０は、可動壁７２２の前記スリットと、Ｘ線遮蔽部７２４の前記開口と、で構成される。投波部７５０は、ファンビーム形成部７４０でファンビーム状に形成されたＸ線を可動壁７２２の前記スリット及びＸ線遮蔽部７２４の前記開口を介して通過させ、試験槽７２０内に入射させる。可動壁７２２の前記スリットはＸ線照射部７３０と一体となって昇降移動し、また、Ｘ線遮蔽部７２４の前記開口はＸ線照射部７３０の走査領域全体に渡って設けられているので、投波部７５０は、Ｘ線照射部７３０に追随して昇降移動する。
【０１２９】
Ｘ線検知部７６０は、正面視して試験槽７２０の右側であって、Ｘ線管球７３１と同じ高さ位置に配置される。Ｘ線検知部７６０は、複数のＸ線検出器がライン状に配置され、後述する移動機構７７０によってＸ線照射部７３０と同期して昇降移動する。
【０１３０】
移動機構７７０は、可動壁７２２をスライド移動させる駆動装置７７１と、可動壁７２２とＸ線検知部７６０とを連結する連結部材７７２と、連結部材７７２をＸ線検知部７６０に取り付けるための取付部材７７３と、を備える。駆動装置７７１は、油圧、空圧又は電動によって可動壁７２２をスライド移動させる装置であって、可動壁７２２の両端に設けられる。連結部材７７２は、一端が可動壁７２２と接続し、環境試験装置７００の背面側を通って、他端が取付部材７７３を介してＸ線検知部７６０と接続する。従って、Ｘ線照射部７３０及びＸ線検知部７６０は、連結部材７７２を介して同期して昇降移動する。
【０１３１】
冷凍機６８３は、第６実施形態に係る空調装置６８０の一部である。
【０１３２】
本実施形態の制御装置は、第６実施形態に係る制御装置６９０の移動制御部６９２を、移動装置６７０に替えて移動機構７７０を制御するようにしたものである。本実施形態の制御装置は、移動機構７７０を制御して可動壁７２２を昇降移動させ、この昇降移動中にＸ線照射部７３０にＸ線を照射させると共にＸ線検知部７６０にＸ線を検知させてサンプル６１０の透過Ｘ線画像を生成する。
【０１３３】
（第７実施形態に係る環境試験装置の特徴）
第７実施形態に係る環境試験装置７００には、以下の特徴がある。本実施形態の環境試験装置７００では、Ｘ線検知部７６０が昇降移動してサンプル６１０全体の透過Ｘ線画像を得るので、Ｘ線検知部を小型化することができる。
【０１３４】
また、本実施形態の環境試験装置７００では、Ｘ線照射部７３０を所定の高さ位置に固定して撮像することで、サンプル６１０の所望の位置の局所的なＸ線画像を得ることが可能となる。
【０１３５】
また、本実施形態の環境試験装置７００では、可動壁７２２をスライドさせるだけでＸ線照射部７３０及びＸ線検出部７６０を同期して昇降移動させることができるので、制御が容易になる。さらに、投波部７５０側にＸ線透過部が無いためＸ線の減衰が小さくなり、測定精度が向上する。
【０１３６】
（第８実施形態）
Ｘ線照射部及びＸ線検知部がそれぞれ独立した移動機構で昇降移動してもよい。図１２は、第８実施形態に係る環境試験装置８００の模式図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ線矢視側面図であり、（ｂ）は（ａ）のＨ−Ｈ線矢視上面図である。
【０１３７】
第８実施形態に係る環境試験装置８００の試験槽８２０、Ｘ線検知部８６０及び移動機構８７０以外の構成は、第７実施形態に係る環境試験装置７００の試験槽７２０、Ｘ線検知部７６０及び移動機構７７０以外の構成と同一である。
【０１３８】
すなわち、本実施形態に係る環境試験装置８００は、内部環境を調整する空調装置６８０を備える試験槽８２０内に保持されたサンプル６１０に所定の周波数領域のＸ線を照射する環境試験装置であって、前記試験槽８２０の一面であって前記サンプル６１０に対面する一面に配設され、前記所定の周波数領域のＸ線を遮蔽する第１可動壁８２２（試験槽８２０の一部、Ｘ線遮蔽部）と、この第１可動壁８２２（Ｘ線遮蔽部）のスリット等で構成され前記所定の周波数領域のＸ線を通過させるための投波部７５０と、前記第１可動壁８２２に固定され、前記投波部７５０を経て前記所定の周波数領域のＸ線を照射するＸ線照射部７３０と、前記Ｘ線照射部７３０が照射するＸ線をファンビーム状に形成して前記サンプル６１０に照射するファンビーム形成部７４０と、前記サンプル６１０を透過したＸ線をライン状に配置された複数のＸ線検出器で検知するＸ線検知部８６０と、前記Ｘ線検知部８６０が取り付けられ且つ前記Ｘ線検知部８６０の前方にスリットを備える第２可動壁８２３と、前記第１可動壁８２２及び第２可動壁８２３をそれぞれスライド移動させる駆動装置８７１，８７２を制御してＸ線照射部７３０及びＸ線検知部８６０を同期するように昇降移動させる移動機構８７０と、前記Ｘ線検知部８６０が昇降移動中に検知したＸ線強度に基づいて前記サンプル６１０の透過Ｘ線画像を生成する制御装置と、を備える。以下、各要素の詳細について説明する。
【０１３９】
試験槽８２０は、正面視して左右の側壁に開口を有する試験槽本体８２１と、試験槽本体８２１の左側壁の開口を覆うスライド可能な第１可動壁８２２と、試験槽本体８２１の右側壁の開口を覆うスライド可能な第２可動壁８２３と、サンプル載置台８２４と、を備える。試験槽本体８２１は、Ｘ線遮蔽材及び断熱材から構成され、略筺体状であり、左側壁すなわちＸ線照射部７３０側の側壁及び右側壁すなわちＸ線検知部８６０側の側壁に略長方形状の開口が設けられている。第１可動壁８２２は、第７実施形態の可動壁７２２と略同一の構成であって、連結部材と接続しない点で可動壁７２２と異なる。第２可動壁８２３は、断熱材及びＸ線遮蔽材で構成され、試験槽本体８２１の右側の開口を覆うように配置される。第２可動壁８２３の外側の面にはＸ線検知部８６０が取り付けられ、第２可動壁８２３の両端には移動機構８７０の駆動装置８７２が取り付けられる。また、第２可動壁８２３のＸ線センサユニット８６１に対応する位置には、幅方向を長手方向とするスリットが設けられる。従って、ファンビーム形成部７４０でファンビーム状に形成されたＸ線は、第１可動壁８２２のスリット及び試験槽本体８２１の左側壁の開口を通過してサンプル６１０に照射され、サンプル６１０を透過したＸ線は、右側壁の開口及び第２可動壁８２３の前記スリットを通過してＸ線センサユニット８６１に検知される。
【０１４０】
Ｘ線検知部８６０は、第２可動壁８２３の前記スリットに対応する位置に取り付けられる。Ｘ線検知部８６０は、ライン状に配置された複数のＸ線検出器を備えるＸ線センサユニット８６１と、Ｘ線センサユニット８６１をカバーするカバー８６２と、を備える。Ｘ線センサユニット８６１は、複数のＸ線検出器が水平方向にライン状に配置された装置である。Ｘ線センサユニット８６１は、カバー８６２内に固定される。カバー８６２は、Ｘ線遮蔽材で構成され、第２可動壁８２３に固定される。また、カバー８６２のＸ線センサユニット８６１の前方部分は開口となっており、サンプル６１０を透過したＸ線は阻害されることなくＸ線センサユニット８６１に検知される。
【０１４１】
移動機構８７０は、第１可動壁８２２を昇降移動させる第１駆動装置８７１と、第２可動壁８２３を第１可動壁８２２と同期するように昇降移動させる第２駆動装置８７２と、を備える。両駆動装置は、油圧、空圧又は電動により、制御装置の制御の下、各可動壁を昇降移動させる。
【０１４２】
本実施形態の制御装置は、第６実施形態に係る制御装置６９０の移動制御部６９２を、移動装置６７０に替えて移動機構８７０を制御するようにしたものである。本実施形態の制御装置は、移動機構８７０を制御して可動壁８２２，８２３を昇降移動させ、この昇降移動中にＸ線照射部７３０にＸ線を照射させると共にＸ線検知部８６０にＸ線を検知させてサンプル６１０の透過Ｘ線画像を生成する。
【０１４３】
（第８実施形態に係る環境試験装置の特徴）
第８実施形態に係る環境試験装置８００には、以下の特徴がある。本実施形態の環境試験装置８００では、Ｘ線検知部８６０を第２可動壁８２３に固定し、第２可動壁８２３のスリットを通してＸ線を検知するので、検知側にＸ線を阻害するものがなく、より鮮明なＸ線画像を得ることが可能となる。
【０１４４】
（第９実施形態）
サンプルの一部をより高解像度で撮像する構成でもよい。図１３は、第９実施形態に係る環境試験装置９００の模式図であって、（ａ）は（ｂ）のＫ−Ｋ線矢視側面図であり、（ｂ）は（ａ）のＪ−Ｊ線矢視上面視図である。
【０１４５】
第９実施形態に係る環境試験装置９００は、第７実施形態に係る環境試験装置７００のＸ線検知部７６０よりも高解像度のＸ線センサユニット９１０を追加した構成を備える。
【０１４６】
Ｘ線センサユニット９１０は、Ｘ線検知部７６０よりも高解像度のＸ線検出器であって、試験槽本体７２１内のサンプル載置台７２３とＸ線透過部７２５との間に配置される。そして、Ｘ線センサユニット９１０は、図１３（ａ）に示すように、Ｘ線検知部７６０の検知領域の下部約半分の領域をカバーするように配置される。
【０１４７】
本実施形態の制御装置は、第７実施形態に係る制御装置の画像生成部６９３を、Ｘ線検知部７６０及びＸ線センサユニット９１０を制御するものとしたものである。本実施形態の制御装置は、Ｘ線検知部７６０から送信されたＸ線強度信号と、Ｘ線センサユニット９１０から送信されたＸ線強度信号と、に基づいてサンプル６１０の透過Ｘ線画像を生成する。
【０１４８】
（第９実施形態に係る環境試験装置の特徴）
第９実施形態に係る環境試験装置９００には、以下の特徴がある。本実施形態の環境試験装置９００では、高解像度のＸ線センサユニット９１０をサンプル６１０の背部に設置することで、部分的に解像度の異なる透過Ｘ線画像を得ることが可能となり、また、測定の柔軟性及び精度を向上させることが可能となる。
【０１４９】
（第１０実施形態）
一方、Ｘ線遮蔽構造は、以下の構造であってもよい。図１４は、第１０実施形態に係る環境試験装置のファンビーム形成構造を説明するための図であって、（ａ）はＸ線照射部１０３０周辺の側面視図であり、（ｂ）は（ａ）の矢印方向から視た図である。
【０１５０】
第１０実施形態に係る環境試験装置のＸ線遮蔽構造は、ファンビーム形成構造１０４０であって、試験槽本体１０２１のＸ線通過領域１０２２を覆うように上下方向に対向する一対の伸縮自在なＸ線遮蔽膜１０４１ａ，１０４１ｂと、前記Ｘ線遮蔽膜１０４１ａ，１０４１ｂの間に形成された上下方向隙間１０４２と、を有し、前記上下方向隙間１０４２が投波部１０５０を形成し、前記Ｘ線遮蔽膜１０４１ａ，１０４１ｂは、Ｘ線照射部１０３０に連結されて伸縮する。
【０１５１】
試験槽本体１０２１は、試験槽本体１０２１のＸ線照射部１０３０側に設けられた開口からなるＸ線通過領域１０２２と、Ｘ線通過領域１０２２を覆う多層のＸ線透過膜１０２３ａ〜１０２３ｃと、を備える。Ｘ線通過領域１０２２は、サンプルに照射されるＸ線が通過する領域であって、試験槽本体１０２１に設けられた貫通穴で構成される。Ｘ線透過膜１０２３ａ〜１０２３ｃは、例えばＰＥＥＫ（登録商標）樹脂等のＸ線透過材で構成されたシート部材である。Ｘ線透過膜１０２３ａ〜１０２３ｃは、図１４（ａ）に示すように、３層構造であって、透過膜間に空気層が形成される。従って、Ｘ線透過膜１０２３ａ〜１０２３ｃは、Ｘ線を試験槽内に透過させ且つ断熱効果を発揮する。
【０１５２】
Ｘ線照射部１０３０は、Ｘ線管球１０３１と、カバー１０３２と、を備える。Ｘ線管球１０３１は、上記第６〜第７実施形態に係るＸ線管球と同一のものである。カバー１０３２も、上記第６〜第７実施形態に係るＸ線照射部のカバーと略同一のものであるが、ファンビーム形成構造１０４０の後述する上下移動枠１０４４が内部に固定される点で異なる。
【０１５３】
ファンビーム形成構造１０４０は、前記Ｘ線遮蔽膜１０４１ａ，１０４１ｂと、前記上下方向隙間１０４２と、前記Ｘ線遮蔽膜１０４１ａ，１０４１ｂを巻き取る一対の巻取ローラ１０４３ａ，１０４３ｂと、上下移動枠１０４４と、を備える。
【０１５４】
Ｘ線遮蔽膜１０４１ａ，１０４１ｂは、例えばタングステン等のＸ線遮蔽材で構成されたシート部材であり、それぞれの幅がＸ線通過領域１０２２の幅より大きく、その長さはＸ線通過領域１０２２の上下方向の長さより長い。Ｘ線遮蔽膜１０４１ａは、上側に配置され、一端部が試験槽本体１０２１に固定され、他端部が巻取りローラ１０４３ａに巻き取られる。一方、Ｘ線遮蔽膜１０４１ｂは、下側に配置され、一端部が試験槽本体１０２１に固定され、他端部が巻取りローラ１０４３ｂに巻き取られる。
【０１５５】
上下方向隙間１０４２は、上記の通り、一対のＸ線遮蔽膜１０４１ａ，１０４１ｂの間に形成された隙間であって、Ｘ線遮蔽膜１０４１ａ，１０４１ｂの伸縮に伴って、昇降移動する。
【０１５６】
巻取りローラ１０４３ａ，１０４３ｂは、Ｘ線遮蔽膜１０４１ａ，１０４１ｂの幅と略同一の長さを有する棒状部材であって、Ｘ線遮蔽膜１０４１ａ，１０４１ｂの水平部分よりも外側において奥行方向に延在し、上下移動枠１０４４に回転可能に支持され、Ｘ線遮蔽膜１０４１ａ，１０４１ｂの前記他端部を巻き取る。
【０１５７】
上下移動枠１０４４は、Ｘ線遮蔽材で構成された枠部材であって、この枠に巻取りローラ１０４３ａ，１０４３ｂが収容される。また、上下移動枠１０４４の両端は、Ｘ線照射部１０３０のボックス１０３２の両側壁に固定される。従って、Ｘ線照射部１０３０の昇降移動に伴って上下移動枠１０４４が移動してＸ線遮蔽膜１０４１ａ，１０４１ｂが伸縮することによって、上下方向隙間１０４２が昇降移動する。すなわち、投波部１０５０は、Ｘ線照射部１０３０に連結して昇降移動する。
【０１５８】
（第１０実施形態に係る環境試験装置の特徴）
第１０実施形態に係る環境試験装置には、以下の特徴がある。本実施形態の環境試験装置では、シート部材を使用するので、Ｘ線遮蔽を容易に行うことが可能となる。また、Ｘ線透過膜１０２３ａ〜１０２３ｃが多層構造なので、断熱効果を発揮し、試験槽１０２１内の環境を容易に維持できる。
【０１５９】
（第１１実施形態）
上記実施形態では、サンプルを縦置きで保持する構成であったが、横置きで保持する構成であってもよい。図１５は、第１１実施形態に係る環境試験装置１１００の模式図であって、（ａ）は（ｂ）のＭ−Ｍ線矢視正面図であり、（ｂ）は（ａ）のＬ−Ｌ線矢視側面図である。
【０１６０】
本実施形態の環境試験装置１１００は、内部環境を調整する空調装置１１８０を備える試験槽１１２０内に横置きに保持されたサンプル６１０に所定の周波数領域のＸ線を照射して透過Ｘ線画像を得る環境試験装置であって、前記試験槽１１２０の一面であって前記サンプル６１０に対面する上面に配設され、前記所定の周波数領域のＸ線を遮蔽するカバー１１３３（Ｘ線照射部１１３０の一部、Ｘ線遮蔽部）と、このカバー１１３３（Ｘ線遮蔽部）の開口等で構成され前記所定の周波数領域のＸ線を通過させるための投波部１１５０と、前記投波部１１５０を経て前記所定の周波数領域のＸ線を照射するＸ線照射部１１３０と、前記Ｘ線照射部１１３０が照射するＸ線をファンビーム状に形成して前記投波部１１５０を介して前記サンプル６１０に照射するファンビーム形成部１１４０と、前記サンプル６１０を透過したＸ線をライン状に配置された複数のＸ線検出器で検知するＸ線検知部１１６０と、前記試験槽１１２０の下部にスライド可能に配置され、前記Ｘ線検知部１１６０が取り付けられた可動壁１１２３と、前記可動壁１１２３及びＸ線照射部１１３０を連結し、前記可動壁１１２３をスライド移動させることで前記Ｘ線照射部１１３０及びＸ線検知部１１６０を同期するように移動させる移動機構１１７０と、前記Ｘ線検知部１１６０がスライド移動中に検知したＸ線強度に基づいて前記サンプル６１０の透過Ｘ線画像を形成する制御装置と、を備える。
【０１６１】
試験槽１１２０は、試験槽本体１１２１と、サンプル６１０の出し入れ時に開閉する扉１１２２と、前記可動壁１１２３と、サンプル６１０を横置きに保持するサンプル載置台１１２４と、を備える。試験槽本体１１２１及び扉１１２２は、断熱材及びＸ線遮蔽材で構成され、空調装置１１８０によって調節された環境を保持する。試験槽本体１１２１の上下側壁には開口が設けられている。可動壁１１２３は、断熱材及びＸ線遮蔽材で構成され、試験槽本体１１２１の下側壁の前記開口を覆うように配置され、スライド可能に取り付けられる。可動壁１１２３には、ファンビーム形成部１１４０の後述するスリット１１４１と対向する位置にスリットが形成されており、サンプル６１０を透過したファンビーム状のＸ線がこのスリットを通過する。サンプル載置台１１２４は、Ｘ線透過材で構成され、サンプル６１０をＸ線照射部１１３０と対向するように保持する。
【０１６２】
Ｘ線照射部１１３０は、試験槽本体１１２１の上面に配置され、Ｘ線管球１１３１と、Ｘ線管球１１３１を支持する支持部材１１３２と、Ｘ線管球１１３１等を格納し、移動機構１１７０によってスライド移動するカバー１１３３と、を備える。Ｘ線管球１１３１は、Ｘ線発生部が下方に向くように配設され、支持部材１１３２によって支持される。支持部材１１３２は、平板状部材をその略中央部を略直角に屈曲させた部材であって、直立部分及び水平部分を備え、直立部分の端部がカバー１１３３に取り付けられ、水平部分のファンビーム形成部１１４０と対向する面にＸ線管球１１３１が保持される。カバー１１３３は、Ｘ線遮蔽材で構成された筺体であるが、ファンビーム形成部１１４０と対向する部分に開口が設けられている。また、カバー１１３３は、移動機構１１７０の後述する連結部材１１７２を介して可動壁１１２３と連結し、可動壁１１２３と同期してスライド移動する。従って、Ｘ線管球１１３１もカバー１１３３と一体となってスライド移動する。
【０１６３】
ファンビーム形成部１１４０は、Ｘ線遮蔽材で構成された略長方形状の部材であって、略中央部にスリット１１４１を備える。そして、ファンビーム形成部１１４０は、スリット１１４１がＸ線管球１１３１のＸ線発生部と対向するようにボックス１１３３に取り付けられる。Ｘ線管球１１３１から発生したＸ線はスリット１１４１を通過する際にファンビーム状となってサンプル６１０に照射される。
【０１６４】
投波部１１５０は、試験槽本体１１２１の上側壁に設けられた前記開口と、カバー１１３３の前記開口と、で構成される。ファンビーム状に形成されたＸ線は、カバー１１３３の前記開口及び試験槽本体１１２１の前記開口を通過してサンプル６１０に照射される。カバー１１３３の前記開口はＸ線管球１１３１と一体となって移動し、また、試験槽本体１１２１の前記開口はＸ線照射部１１３０の走査領域に渡って設けられているので、投波部１１５０もＸ線照射部１１３０に追随して移動する。
【０１６５】
Ｘ線検知部１１６０は、可動壁１１２３の前記スリットに対応する位置に設けられる。Ｘ線検知部１１６０は、複数のＸ線検出器がライン状に配置され、サンプル６１０を透過したファンビーム状のＸ線を検知する。
【０１６６】
移動機構１１７０は、可動壁１１２３をスライド移動させる駆動装置１１７１と、可動壁１１２３とＸ線照射部１１３０を連結する連結部材１１７２と、を備える。駆動装置１１７１は、油圧、空圧又は電動により可動壁１１２３をスライド移動させる装置であって、可動壁１１２３の両端に設けられる。連結部材１１７２は、可動壁１１２３とＸ線照射部１１３０のカバー１１３３とを連結し、可動壁１１２３及びＸ線照射部１１３０を同期してスライド移動できるようにするものである。
【０１６７】
空調装置１１８０は、熱交換器、除湿ユニット及びファン等を備え、試験槽１１２０内に配置され、サンプル６１０が配置された空間を所定の環境に保持する。
【０１６８】
本実施形態の制御装置は、第７実施形態に係る制御装置と基本的に同じである。すなわち、本実施形態の制御装置は、空調装置１１８０を制御して、試験槽１１２０内を設定された温湿度に調節する。次に、この制御装置は、Ｘ線照射部１１３０を制御して、設定された波長領域のＸ線の照射を開始し、続いて移動機構１１７０を制御して、Ｘ線照射部１１３０及びＸ線検知部１１６０を同期するようにスライド移動させる。
【０１６９】
そして、この制御装置は、Ｘ線検知部１１６０から順次送信される信号に基づいてサンプル６１０の透過Ｘ線画像を生成する。
【０１７０】
（第１１実施形態に係る環境試験装置の特徴）
第１１実施形態に係る環境試験装置１１００には、以下の特徴がある。本実施形態の環境試験装置１１００では、試験槽本体１１２１が可動壁１１２３の重量を支えるので、駆動装置１１７１は水平方向の駆動力だけで可動壁１１２３をスライドさせることが可能となる。従って、消費エネルギーも削減できる。
【０１７１】
また、環境試験装置１１００では、サンプル６１０が横置きで保持されるので、サンプル６１０の保持が安定する。
【０１７２】
以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【０１７３】
上記第１〜第５実施形態では、発光源をＬＥＤからなる面状発光体として説明したが、発光源はこれに限定されず、例えば、単数のＬＥＤからなる発光源であってもよいし、小型のランプであってもよい。
【０１７４】
また、上記第１〜第５実施形態では、試験内容が加速劣化試験だけであったが、これに限定されず、例えば、電流−電圧特性を測定してもよい。測定を行う場合には、面状発光体６を所定位置に固定して疑似太陽光を照射させて測定し、測定後に面状発光体６を隣接する位置に移動させて固定し、疑似太陽光を照射させて測定する、という動作を繰り返す。
【０１７５】
また、上記第１〜第５実施形態では、面状発光体６に例えば小型のＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラを取り付けて、面状発光体６が太陽電池モジュール２を走査する際に受光面２１を撮像し、外観検査を実行してもよい。
【０１７６】
また、上記第５実施形態では、太陽電池モジュール２を面状発光体６に近付ける構成であったが、これに限定されず、面状発光体６を太陽電池モジュール２に近付ける構成であってもよい。このように構成することにより、太陽電池モジュール２に対する振動ストレスを低減することが可能となると共に、太陽電池モジュール２の昇降機構５２０が不要なためシンプルな構成で上記実施形態と同様の効果を奏することができる。
【０１７７】
また、上記第１〜第５実施形態では、太陽電池モジュール２を横置きで保持したが、これに限定されず、縦置きで保持してもよい。
【０１７８】
また、上記第１〜第５実施形態では、面状発光体６をＸ方向又はＹ方向に直線的に走査移動させたが、これに限定されず、太陽電池モジュール２の全体を均一に照射できる走査方法あるいは、太陽電池モジュール２の特定の部位のみを選択的に照射できる方法でも良い。
【０１７９】
また、上記第１〜第５実施形態では、面状発光体６を１個だけ備えたが、これに限定されず、面状発光体を複数備えてもよい。
【０１８０】
また、上記第１〜第５実施形態では、面状発光体６の形状が略正方形であったが、これに限定されず、適宜変更してもよい。また、空調装置は試験槽の外部にあってもよい。
【０１８１】
また、上記実施形態では、可視光を発生させるＬＥＤやＸ線源を用いたが、これに限らず、紫外線や赤外線など様々な波長の電磁波放射器を発光体とするか、若しくは、様々な電磁波を発生させる電磁波放射器を個別に又は組み合わせて使用してもよい。このような構成を備えることで、例えば、長波長の赤外光の照射から開始して、徐々に波長を短くしていき、最後に短波長の紫外光の照射をすることで、各波長領域における発電量の特性分布を確認することができる。また、太陽電池モジュール内の複数の太陽電池セルの特性を測定しやすい照射源を使用することが望ましいので、例えば、太陽電池セルの種類に応じた複数の照射パターンを予め設け、太陽電池セルの種類に応じて照射パターンを選択して照射してもよい。
【０１８２】
また、第６〜第１０実施形態ではＸ線照射部を上下方向に動かしたが、左右（横）方向に動かすものであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１８３】
本発明を利用すれば、電磁波発生源の発熱量を抑制しつつサンプルの全体に所定の周波数領域の電磁波を均一に照射することができる環境試験装置を提供することが可能となる。
【符号の説明】
【０１８４】
１，２００，５００  加速劣化試験装置（環境試験装置）
２  太陽電池モジュール（サンプル）
３  試験槽
４，２４０，３４０，４４０  遮光構造（電磁波遮蔽構造）
５，２５０，３５０，４５０  投光部（投波部）
６  面状発光体（電磁波発生体）
７  ＸＹ移動機構（移動機構）
８  空調装置
９  搬送装置
１０  制御装置
１１  Ｙ方向隙間
２１  受光面
３６  上面
３７  暗室
４１ａ，４１ｂ、４４ａ，４４ｂ  第１遮光膜
４８ａ，４８ｂ  第２遮光膜
１０２  ＸＹ移動制御部
【図１】
2011258700.tif 000003
【図２】
2011258700.tif 000004
【図３】
2011258700.tif 000005
【図４】
2011258700.tif 000006
【図５】
2011258700.tif 000007
【図６】
2011258700.tif 000008
【図７】
2011258700.tif 000009
【図８】
2011258700.tif 000010
【図９】
2011258700.tif 000011
【図１０】
2011258700.tif 000012
【図１１】
2011258700.tif 000013
【図１２】
2011258700.tif 000014
【図１３】
2011258700.tif 000015
【図１４】
2011258700.tif 000016
【図１５】
2011258700.tif 000017