(57)【要約】【課題】簡素な構成にて、可動部を走査開始位置に迅速に戻すことが可能なビーム照射装置を提供する。【解決手段】ミラーアクチュエータ１００は、支軸１１１、１１２の周りに回動可能なミラーホルダ１１０と、ミラーホルダ１１０に装着されたミラー１１３と、ミラーホルダ１１０に配されたコイル１１４とを有する。第１ＦＰＣ１０は、コイル１１４に電気的に接続されるとともに、撓み方向にバネ性を有し、このバネ性を用いてミラーホルダ１１０を支軸１１１、１１２の周りの走査開始位置に向かって付勢するように配置されている。この付勢により、ミラーホルダ１１０は、走査終了位置から走査開始位置に迅速に戻される。【選択図】図６
2011186422.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射するレーザ光源と、
目標領域において前記レーザ光を走査させるアクチュエータと、
前記アクチュエータに駆動信号を供給する配線部と、を備え、
前記アクチュエータは、
第１の軸の周りに回動可能な第１の可動部と、
前記第１の可動部に配されるとともに前記レーザ光が入射する光学素子と、
前記第１の可動部に配された第１のコイルと、を有し、
前記配線部は、
前記第１のコイルに電気的に接続されるとともに、撓み方向にバネ性を有し、前記バネ性を用いて前記第１の可動部を前記第１の軸の周りの第１の走査開始位置に向かって付勢するように配置された配線部材を有する、
ことを特徴とするビーム照射装置。
【請求項２】
請求項１に記載のビーム照射装置において、
前記配線部材は、フレキシブルプリント基板からなっている、
ことを特徴とするビーム照射装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のビーム照射装置において、
前記アクチュエータは、
前記第１の可動部を前記第１の軸の周りに回動可能に支持するとともに前記第１の軸に垂直な第２の軸の周りに回動可能な第２の可動部と、
前記第２の可動部に配された第２のコイルと、を備え、
前記配線部材は、
前記第１の可動部が前記第１の走査開始位置に向かって前記第２の可動部から前記バネ性による付勢を受けるように、前記第２の可動部に一部が固着されている、
ことを特徴とするビーム照射装置。
【請求項４】
請求項３に記載のビーム照射装置において、
前記配線部材は、さらに、前記第２のコイルに電気的に接続されるとともに、前記バネ性を用いて前記第２の可動部を前記第２の軸の周りの第２の走査開始位置に向かって付勢するように配置されている、
ことを特徴とするビーム照射装置。
【請求項５】
請求項３または４に記載のビーム照射装置において、
前記配線部材は、前記可動部の上部と下部にそれぞれ配置され、これら２つの配線部材に、それぞれ、前記第１のコイルの端部が接続されている、
ことを特徴とするビーム照射装置。
【請求項６】
請求項３に記載のビーム照射装置において、
前記配線部は、前記配線部材とは別に、前記第２のコイルに信号を供給するための他の配線部材を備え、
前記他の配線部材は、前記第２のコイルに電気的に接続されるとともに、撓み方向にバネ性を有し、前記バネ性を用いて前記第２の可動部を前記第２の軸の周りの第２の走査開始位置に向かって付勢するように配置されている、
ことを特徴とするビーム照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、目標領域にレーザ光を照射するビーム照射装置に関し、特に、目標領域にレーザ光を照射したときの反射光をもとに目標領域の状況を検出する、いわゆるレーザレーダに搭載されるビーム照射装置に用いて好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、走行時の安全性を高めるために、レーザレーダが家庭用乗用車等に搭載されている。一般に、レーザレーダは、レーザ光を目標領域内でスキャンさせ、各スキャン位置における反射光の有無から、各スキャン位置における障害物の有無を検出する。さらに、各スキャン位置におけるレーザ光の照射タイミングから反射光の受光タイミングまでの所要時間をもとに、そのスキャン位置における障害物までの距離が検出される。
【０００３】
目標領域においてレーザ光をスキャンさせるための構成として、ミラーを２軸駆動する構成を用いることができる（特許文献１）。このスキャン機構では、レーザ光が水平方向斜めからミラーに入射する。ミラーを水平方向と鉛直方向に２軸駆動することにより、レーザ光が目標領域を走査する。ミラーの駆動には、コイルとマグネットによる電磁駆動力が用いられる。ミラーを保持する可動部にコイルが装着され、ベース側にマグネットが配される。
【０００４】
レーザ光の水平走査時には、主として、鉛直方向に平行な軸の周りにミラーが回動される。このとき、レーザ光を水平に走査させるために、水平方向に平行な軸の周りにミラーがやや回動される。１ラインの水平走査が終了すると、ミラーが次のラインの先頭近傍に対応する位置（走査開始位置）に戻される。その後、ミラーが水平方向に回動されて、次のラインに対する走査が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１４６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記構成のビーム照射装置では、１ラインの水平走査が終了した後、なるべく早く、次のラインの走査開始位置にミラーを戻す必要がある。走査開始位置にミラーを迅速に戻すための構成として、コイルに流す電流を高める方法や、コイルの巻き数を増やす方法が考えられる。しかし、コイルの巻き数を増やすと、その分、可動部の重量が増加し、可動部の駆動レスポンスが悪くなる。また、コイルの仕様によっては、印加電流を十分に高めることができない場合もある。
【０００７】
本発明は、かかる課題に鑑みて為されたものであり、簡素な構成にて、可動部を走査開始位置に迅速に戻すことが可能なビーム照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るビーム照射装置は、レーザ光を出射するレーザ光源と、目標領域において前記レーザ光を走査させるアクチュエータと、前記アクチュエータに駆動信号を供給する配線部とを備える。前記アクチュエータは、第１の軸の周りに回動可能な第１の可動部と、前記第１の可動部に配されるとともに前記レーザ光が入射する光学素子と、前記第１の可動部に配された第１のコイルとを有する。また、前記配線部は、前記第１のコイルに電
気的に接続されるとともに、撓み方向にバネ性を有する配線部材を備える。この配線部材は、前記バネ性を用いて前記第１の可動部を前記第１の軸の周りの第１の走査開始位置に向かって付勢するように配置されている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、簡素な構成にて、可動部を走査開始位置に迅速に戻すことが可能なビーム照射装置を提供することができる。
【００１０】
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態１に係るミラーアクチュエータの構成を示す図である。
【図２】実施形態１に係るビーム照射装置の光学系を示す図である。
【図３】実施形態１に係るビーム照射装置の光学系を示す図である。
【図４】実施形態１に係る第１ＦＰＣの構成および装着方法を説明する図である。
【図５】実施形態１に係る第２ＦＰＣの構成および装着方法を説明する図である。
【図６】実施形態１に係る第１ＦＰＣの作用を説明する図である。
【図７】実施形態１の変更例に係る第１ＦＰＣおよび第２ＦＰＣの構成および装着方法を説明する図である。
【図８】実施形態１の他の変更例に係る第１ＦＰＣの構成および装着方法を説明する図である。
【図９】実施形態２に係るミラーアクチュエータの構成を示す図である。
【図１０】実施形態２に係るミラーアクチュエータの組み立て過程を示す図である。
【図１１】実施形態２に係るミラーアクチュエータの組み立て過程を示す図である。
【図１２】実施形態２に係る第１ＦＰＣおよび第２ＦＰＣの構成を説明する図である。
【図１３】実施形態２に係る第１ＦＰＣおよび第２ＦＰＣの装着方法を説明する図である。
【図１４】実施形態２に係るチルトコイルの装着方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜実施形態１＞
図１に、本実施の形態に係るミラーアクチュエータ１００の構成を示す。なお、同図（ａ）はミラーアクチュエータ１００の分解斜視図、同図（ｂ）はアセンブル状態にあるミラーアクチュエータ１００の斜視図である。
【００１３】
同図（ａ）において、１１０は、ミラーホルダである。ミラーホルダ１１０には、上下に支軸１１１、１１２が設けられている。下側の支軸１１２には、受け部１１２ａが形成されている。受け部１１２ａには、透明体２００の厚みと略同じ寸法の凹部が形成されている。この凹部に、平行平板状の透明体２００の上部が装着される。さらに、ミラーホルダ１１０の前面には平板状のミラー１１３が装着され、背面にはコイル１１４が装着されている。なお、コイル１１４は、方形状に巻回されている。
【００１４】
透明体２００は、２つの平面がミラー１１３の鏡面に平行となるようにして支軸１１２に装着される。また、支軸１１１、１１２には、それぞれ、軸受１４０が装着される。
【００１５】
１２０は、支軸１１１、１１２を軸としてミラーホルダ１１０を回動可能に支持する可動枠である。可動枠１２０には、ミラーホルダ１１０を収容するための開口１２１が形成
されている。また、可動枠１２０には、ミラーホルダ１１０の支軸１１１、１１２に装着された軸受１４０と嵌合する溝１２２、１２３が形成されている。さらに、可動枠１２０の側面には、支軸１２４、１２５が形成され、背面には、コイル１２６が装着されている。支軸１２４、１２５には、それぞれ、軸受１４１が装着される。コイル１２６は、方形状に巻回されている。
【００１６】
１３０は、支軸１２４、１２５を軸として可動枠１２０を回動可能に支持する固定枠である。固定枠１３０には、可動枠１２０を収容するための凹部１３１が形成されている。また、固定枠１３０には、可動枠１２０の支軸１２４、１２５に装着された軸受と嵌合する溝１３２、１３３が形成されている。さらに、固定枠１３０の内面には、コイル１１４に磁界を印加するマグネット１３４と、コイル１２６に磁界を印加するマグネット１３５が装着されている。なお、溝１３２、１３３は、それぞれ固定枠１３０の前面から上下２つのマグネット１３５間の隙間まで延びている。
【００１７】
ミラーアクチュエータ１００をアセンブルする際には、ミラーホルダ１１０の支軸１１１、１１２に軸受１４０を装着し、これら軸受１４０を可動枠１２０の溝１２２、１２３に装着する。これにより、ミラーホルダ１１０が、可動枠１２０によって、支軸１１１、１１２の周りに回動可能に支持される。
【００１８】
このようにしてミラーホルダ１１０を可動枠１２０に装着した後、可動枠１２０の支軸１２４、１２５に軸受１４１を装着し、これら軸受１４１を固定枠１３０の溝１３２、１３３に装着するこれにより、可動枠１２０が、支軸１２４、１２５の周りに回動可能となるように、固定枠１３０に装着され、ミラーアクチュエータ１００のアセンブルが完了する。
【００１９】
ミラーホルダ１１０が可動枠１２０に対し支軸１１１、１１２を軸として回動すると、これに伴ってミラー１１３が回動する。また、可動枠１２０が固定枠１３０に対し支軸１２４、１２５を軸として回動すると、これに伴ってミラーホルダ１１０が回動し、ミラーホルダ１１０と一体的にミラー１１３が回動する。このように、ミラーホルダ１１０は、互いに垂直な支軸１１１、１１２と支軸１２４、１２５によって回動可能に支持される。また、ミラーホルダ１１０の回動に伴って、ミラー１１３が回動する。このとき、支軸１１２に装着された透明体２００も、ミラー１１３の回動に伴って回動する。
【００２０】
なお、同図（ｂ）に示すアセンブル状態において、２つのマグネット１３４は、コイル１１４に電流を印加することにより、ミラーホルダ１１０に支軸１１１、１１２を軸とする回動力が生じるよう配置および極性が調整されている。したがって、コイル１１４に電流を印加すると、コイル１１４に生じる電磁駆動力によって、ミラーホルダ１１０が、支軸１１１、１１２を軸として回動する。
【００２１】
また、同図（ｂ）に示すアセンブル状態において、２つのマグネット１３５は、コイル１２６に電流を印加することにより、可動枠１２０に支軸１２４、１２５を軸とする回動力が生じるよう配置および極性が調整されている。したがって、コイル１２６に電流を印加すると、コイル１２６に生じる電磁駆動力によって、可動枠１２０が、支軸１２４、１２５を軸として回動し、これに伴って、透明体２００が回動する。
【００２２】
図２は、ミラーアクチュエータ１００が装着された状態の光学系の構成を示す図である。
【００２３】
図２において、５００は、光学系を支持するベースである。ベース５００には、ミラーアクチュエータ１００の設置位置に開口５０３ａが形成され、この開口に透明体２００が
挿入されるようにして、ミラーアクチュエータ１００がベース５００上に装着されている。
【００２４】
ベース５００の上面には、ミラー１１３にレーザ光を導くための光学系４００が装着されている。この光学系４００は、レーザ光源４０１と、ビーム整形用のレンズ４０２からなっている。レーザ光源４０１は、ベース５００の上面に配されたレーザ光源用の回路基板４０１ａに装着されている。
【００２５】
レーザ光源４０１から出射されたレーザ光（以下、「走査レーザ光」という）は、レンズ４０２によって水平方向および鉛直方向の収束作用を受ける。レンズ４０２は、目標領域（たとえば、ビーム照射装置のビーム出射口から前方１００ｍ程度の位置に設定される）におけるビーム形状が、所定の大きさ（たとえば、縦２ｍ、横１ｍ程度の大きさ）になるよう設計されている。
【００２６】
レンズ４０２を透過した走査レーザ光は、ミラーアクチュエータ１００のミラー１１３に入射し、ミラー１１３によって目標領域に向かって反射される。ミラーアクチュエータ１００によってミラー１１３が駆動されることにより、走査レーザ光が目標領域内においてスキャンされる。
【００２７】
ミラーアクチュエータ１００は、ミラー１１３が中立位置にあるときに、レンズ４０２からの走査レーザ光がミラー１１３のミラー面に対し水平方向において４５度の入射角で入射するよう配置されている。なお、「中立位置」とは、ミラー面が鉛直方向に対し平行で、且つ、走査レーザ光がミラー面に対し水平方向において４５度の入射角で入射するときのミラー１１３の位置をいう。
【００２８】
ベース５００の上面には、回路基板４０１ａの他、ミラーアクチュエータ１００の背後に、ミラーアクチュエータ１００のコイル１１４、１２６に駆動信号を供給するための回路基板１５０が配置されている。また、ベース５００の下面には、回路基板３００が配置され、さらに、ベース５００の裏面と側面にも回路基板３０１、３０２が配置されている。
【００２９】
図３（ａ）は、ベース５００を裏面側から見たときの一部平面図である。同図（ａ）には、ベース５００の裏側のうちミラーアクチュエータ１００が装着された位置の近傍が示されている。
【００３０】
図示の如く、ベース５００の裏側周縁には、壁５０１、５０２が形成されており、壁５０１、５０２よりも中央側は、壁５０１、５０２よりも一段低い平面５０３となっている。壁５０１には、半導体レーザ３０３を装着するための開口が形成されている。この開口に半導体レーザ３０３を挿入するようにして、半導体レーザ３０３が装着された回路基板３０１が壁５０１の外側面に装着されている。他方、壁５０２の近傍には、ＰＳＤ３０８が装着された回路基板３０２が装着されている。
【００３１】
ベース５００裏側の平面５０３には、取り付け具３０７によって集光レンズ３０４と、アパーチャ３０５と、ＮＤ（ニュートラルデンシティ）フィルタ３０６が装着されている。さらに、この平面５０３には開口５０３ａが形成されており、この開口５０３ａを介して、ミラーアクチュエータ１００に装着された透明体２００がベース５００の裏側に突出している。ここで、透明体２００は、ミラーアクチュエータ１００のミラー１１３が中立位置にあるときに、２つの平面が、鉛直方向に平行で、且つ、半導体レーザ３０３の出射光軸に対し４５度傾くように位置づけられる。
【００３２】
半導体レーザ３０３から出射されたレーザ光（以下、「サーボ光」という）は、集光レンズ３０４を透過した後、アパーチャ３０５によってビーム径が絞られ、さらにＮＤフィルタ３０６によって減光される。その後、サーボ光は、透明体２００に入射し、透明体２００によって屈折作用を受ける。しかる後、透明体２００を透過したサーボ光は、ＰＳＤ３０８によって受光され、ＰＳＤ３０８から、受光位置に応じた位置検出信号が出力される。
【００３３】
図３（ｂ）は、透明体２００の回動位置がＰＳＤ３０８によって検出されることを模式的に示す図である。
【００３４】
サーボ光は、レーザ光軸に対し傾いて配置された透明体２００により屈折作用を受ける。ここで、透明体２００が破線の位置から矢印方向に回動すると、サーボ光の光路が図中の点線から実線のように変化し、光検出器３０８上におけるサーボ光の受光位置が変化する。これにより、光検出器３０８にて検出されるサーボ光の受光位置によって、透明体２００の回動位置を検出することができる。そして、透明体２００の回動位置をもって、目標領域における走査レーザ光の走査位置を検出できる。
【００３５】
本実施の形態において、回路基板１５０からコイル１１４、１２６への給電は、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）によって行われる。ＦＰＣの一端には、コネクタが配され、このコネクタが回路基板１５０側のコネクタに接続される。また、ＦＰＣとコイル１１４、１２６との接続は、半田付けによって行われる。さらに、ＦＰＣは、可動枠１２０の裏面に接着固定される。
【００３６】
図４は、コイル１１４に給電を行うための第１ＦＰＣ１０の構成と装着方法を説明するための図である。同図（ａ）は、ミラーホルダ１１０の構成の詳細を示す斜視図であり、同図（ｂ）は、第１ＦＰＣ１０の構成を示す平面図である。同図（ｃ）および（ｄ）は、第１ＦＰＣ１０の装着状態を前方右斜め上および後方の斜め上から見た斜視図である。
【００３７】
同図（ａ）を参照して、ミラーホルダ１１０の上面には２つのピン１１５が突設されている。なお、１１６は、ミラー１１３が装着される装着面である。
【００３８】
同図（ｂ）を参照して、第１ＦＰＣ１０は、装着部１１と、直線部１２、１４と、屈曲部１３とを備えている。装着部１１には、Ｚ軸方向に貫通する２つの孔１１ａが形成されている。同図（ｂ）に矢印で引き出した拡大図に示すように、孔１１ａの周りには、電極１１ｂが上面から外部に露出している。２つの孔１１ａは、ミラーホルダ１１０上面の２つのピン１１５に対応する位置に配されている。
【００３９】
第１ＦＰＣ１０は、同図Ｚ軸方向に薄い形状を有し、Ｚ軸方向に弾性をもって撓み得る。直線部１４の端部には、コネクタ（図示せず）が配され、このコネクタから２本の信号線が、それぞれ、第１ＦＰＣ１０の上面を通って、装着部１１の電極１１ｂへと至っている。第１ＦＰＣ１０の上面および下面は、絶縁材により被覆されている。２つの孔１１ａとその周りの電極１１ｂの部分は、絶縁材による被服が行われていない。
【００４０】
第１ＦＰＣ１０は、以下のような状態で、ミラーアクチュエータ１０に装着される。まず、同図（ｂ）の装着部１１の近傍に付した点線の位置で、直線部１２、１４と屈曲部１３とからなる部分がＺ軸方向に折り曲げられる。この状態で、２つの孔１１ａがピン１１５に挿入され、装着部１１がミラーホルダ１１０の上面に接着固定される。さらに、ミラーホルダ１１０の背面に装着されたコイル１１４の両端が、それぞれ、対応するピン１１５に巻き付けられる。その状態で、コイル１１４の端部と孔１１ａ周囲の電極１１ｂとが半田付けされる。こうして、第１ＦＰＣ１０がミラーホルダ１１０に装着される。このと
き、第１ＦＰＣ１０の折り曲げ部（点線位置）の根元での破損・断線を防止するために、接着剤等を塗布して補強しても良い。
【００４１】
第１ＦＰＣ１０は、さらに、直線部１２が支軸１１１の周りに回されて、可動枠１２０の背面に接着される。
【００４２】
図５（ａ）は、ミラーホルダ１１０が装着された状態の可動枠１２０を背面側から見た斜視図である。可動枠１２０の背面側には、コイル１２６を押さえるための枠状の押さえ板１２７が装着されている。第１ＦＰＣ１０は、屈曲部１３が、押さえ板１２７の右上の角部分に接着固定される。この状態で、直線部１４が下向きに曲げられ、直線部１４の端部に配されたコネクタが、図２に示す回路基板１５０のコネクタに接続される。
【００４３】
図４（ｃ）、（ｄ）は、こうして第１ＦＰＣ１０が装着されたときの第１ＦＰＣ１０の状態を示している。これらの図からは、便宜上、可動枠１２０が図示省略されている。また、コイル１１４がピン１１５に巻き付けられている状態も、図示省略されている。なお、同図（ｄ）の３１は、半田である。
【００４４】
図５（ｂ）は、コイル１２６に電流を供給するための第２ＦＰＣ２０の構成を示す平面図である。第２ＦＰＣ２０は、直線部２１、２２、２３、２５と、屈曲部２４とを備えている。直線部２１、２３には、Ｚ軸方向に貫通する２つの孔２１ａ、２３ａが形成されている。図５（ｂ）に矢印で引き出した拡大図に示すように、孔２１ａの周りには、電極２１ｂが上面から外部に露出している。同様に、孔２３ｂの周りにも電極２３ｂが配されている。
【００４５】
第２ＦＰＣ２０は、同図Ｚ軸方向に薄い形状を有し、Ｚ軸方向に弾性をもって撓み得る。直線部２５の端部には、コネクタ（図示せず）が配され、このコネクタから２本の信号線が、それぞれ、第２ＦＰＣ２０の上面を通って、電極２１ｂ、２３ｂへと至っている。第２ＦＰＣ２０の上面および下面は、絶縁材により被服されている。２つの孔２１ａ、２３ｂとその周りの電極２１ｂ、２３ｂの部分は、絶縁材による被服が除かれている。
【００４６】
同図（ａ）を参照して、押さえ板１２７には、２つの孔２１ａ、２１ｂに対応する位置に、それぞれ、ピン１２８が突設されている。２つの孔２１ａ、２３ａがピン１１２８に挿入され、直線部２１、２２、２３が押さえ板１２７の背面に接着固定される。さらに、可動枠１２０の背面に装着されたコイル１２６の両端が、それぞれ、対応するピン１２８に巻き付けられる。その状態で、コイル１２８の端部と孔２１ａ、２３ａ周囲の電極１１ｂとが半田３１により接続される。こうして、第２ＦＰＣ１０が可動枠１２０に装着される。この状態で、直線部２５が下向きに曲げられ、直線部２５の端部に配されたコネクタが、図２に示す回路基板１５０のコネクタに接続される。
【００４７】
次に、図６を参照して、第１ＦＰＣ１０の作用を説明する。
【００４８】
同図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、走査開始位置、中間位置、走査終了位置におけるミラーホルダ１１０の状態を上側（支軸１１１に沿う方向）から見たときの模式図である。また、同図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の下部には、それぞれ、目標領域における走査ライン（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３）と、ミラーホルダ１１０が走査開始位置、中間位置、走査終了位置にあるときの走査レーザ光の走査位置（図中、一点鎖線）との関係が模式的に示されている。
【００４９】
走査レーザ光が目標領域内を水平方向に走査するとき、ミラーホルダ１１０は、同図（ａ）の走査開始位置から、同図（ｂ）の中間位置を介して、同図（ｃ）の走査終了位置へ
と至るよう、支軸１１１、１１２の周りに回動する。この場合、一つの走査ラインの走査が終わると、同図（ｃ）の走査終了位置から、次の走査ラインに対する同図（ａ）の走査開始位置に、ミラーホルダ１１０を迅速に戻す必要がある。
【００５０】
通常、この復帰動作は、コイル１１４に復帰方向の駆動力を与える向きに電流を印加することによって行われる。このとき、かかる復帰動作を迅速に行うには、大きな電流をコイル１１４に流す必要がある。しかしながら、コイルの仕様によっては、印加電流を十分に高めることができない場合がある。この場合、復帰動作の速度を上げることが難しくなる。これに対し、コイル１１４の巻き数を増やして駆動力を高め、復帰速度を上げる方法も考えられる。しかし、このようにコイルの巻き数を増やすと、その分、ミラーホルダ１１０の重量が増加し、ミラーホルダ１１０の駆動レスポンスが悪くなってしまう。
【００５１】
これに対し、本実施の形態では、上記の如く、第１ＦＰＣ１０の直線部１２が支軸１１１の周りを回った状態で、第１ＦＰＣ１０の屈曲部１３が可動枠１２０に固着されている。このため、図６（ｃ）に示す走査終了位置において、ミラーホルダ１１０は、直線部１２のバネ性（弾性復帰力）によって、反時計方向に付勢される。この付勢は、ミラーホルダ１１０が同図（ｃ）の走査終了位置から同図（ａ）の走査開始位置に戻るまでの間、ミラーホルダ１１０に付与され続ける。このため、本実施の形態では、走査開始位置への復帰動作の際に、この付勢によるアシストを受けることになり、復帰動作時にコイル１１４に印加する電流をそれほど高めずとも、ミラーホルダ１１０を走査開始位置に迅速に復帰させることができる。
【００５２】
このように、本実施の形態によれば、第１ＦＰＣ１０の構成と装着状態を改良するといった極めて簡素な手法により、ミラーホルダ１１０の復帰動作を迅速に行うことができる。
【００５３】
なお、本実施の形態では、図５（ａ）に示す通り、第１ＦＰＣ１０の直線部１４と第２ＦＰＣ２０の直線部２５が、ともに下向きに曲げられているため、これら直線部１４、２５のバネ性（弾性復帰力）によって、可動枠１２０が下方向を向くように付勢される。したがって、本実施の形態では、支軸１２４、１２５の周りの可動枠１２０の走査開始位置を、可動枠１２０が下方向を向く位置に設定すれば良い。すなわち、図６の下段に示す最下の走査ラインＬ１から最上の走査ラインＬ３へと順に走査するように制御を行えば良い。こうすると、最上の走査ラインＬ３を走査した後、直線部１４、２５のバネ性（弾性復帰力）によるアシストによって、最下の走査ラインＬ１に対応する位置（支軸１２４、１２５の周りの走査開始位置）へと迅速に、可動枠１２０を復帰させることができる。
【００５４】
なお、図６の下段に示す最上の走査ラインＬ３から最下の走査ラインＬ１へと順に走査が行われる場合には、図５（ａ）の上下が反対となるように、第１ＦＰＣ１０と第２ＦＰＣ２０が装着されれば良い。図７（ｂ）は、この場合の構成を、可動枠１２０の後方から見た図である。第１ＦＰＣ１０の装着部１１は、ミラーホルダ１１０の下面に装着され、コイル１１４に半田付けされる。ミラーホルダ１１０の下面には、２つのピン１１５が突設され、これらのピン１１５に、装着部１１の孔１１ａが挿入される。なお、同図（ａ）は、図４〜６に示した実施の形態の構成を示している。
【００５５】
図７（ｂ）のように構成すると、可動枠１２０が、直線部１４、２５のバネ性（弾性復帰力）により上向きの付勢を受ける。よって、可動枠１２０を走査開始位置（図６下段の走査ラインＬ３に対応する位置）に迅速に復帰させることができる。
【００５６】
なお、実施形態１に係る構成は、上記以外に種々の変更が可能である。
【００５７】
たとえば、図７（ｃ）に示すように、第１ＦＰＣ１０の装着部１１をミラーホルダ１１０の上面と下面にそれぞれ配置するようにしても良い。この場合、それぞれの装着部１１には、孔１１ａと電極１１ｂが一つずつ配され、各孔１１ａに挿入されるピン１１５が、ミラーホルダ１１０の上面と下面にそれぞれ突設される。上面側のピン１１５には、コイル１１４の一端が巻き付けられ、下面側のピン１１５には、コイル１１４の他端が巻き付けられる。こうして、コイル１１４の両端が、対応する電極１１ｂに半田付けされる。上記実施の形態と同様、各第１ＦＰＣ１０の屈曲部１３が押さえ板１２７に接着固定される。
【００５８】
なお、図７（ｃ）の構成では、２つの第１ＦＰＣ１０が、可動枠１７０の背面に装着されたコイル１２６に対する給電にも共用される。このため、上側の第１ＦＰＣ１０には、屈曲部１３から右側のピン１２８へと延びる直線部１５が設けられている。この直線部１５には、ピン１２８に対応する位置に孔１５ａが形成され、各孔１５ａの周りに電極１５ｂが配されている。また下側の第１ＦＰＣ１０には、屈曲部１３から左側のピン１２８へと延びるＬ字部１６が設けられている。このＬ字部１６には、ピン１２８に対応する位置に孔１６ａが形成され、各孔１６ａの周りに電極１６ｂが配されている。
【００５９】
電極１５ｂは、上側の第１ＦＰＣ１０の直線部１４端部のコネクタに接続されている。電極１６ｂは、下側の第１ＦＰＣ１０の直線部１４端部のコネクタに接続されている。上記実施の形態と同様、各孔１５ａ、１６ａが対応するピン１２８に挿入される。一方のピン１２８には、コイル１２６の一端が巻き付けられ、他方のピン１２８には、コイル１２６の他端が巻き付けられる。こうして、コイル１２６の両端が、対応する電極１５ｂ、１６ｂに半田付けされる。
【００６０】
図７（ｃ）の構成では、２つの第１ＦＰＣ１０の直線部１２は、ともに、支軸１１１、１１２の周りを同図（ｃ）の左側から回ってミラーホルダ１１０の上面と下面に至っているため、ミラーホルダ１１０は、これら２つの直線部１２のバネ性（弾性復帰力）によって、同じ回動方向の付勢を受ける。よって、この構成例では、支軸１１１、１１２の周りの走査開始位置にミラーホルダ１１０が復帰する際に、上記実施の形態に比べて、略２倍のアシストを受けることになり、上記実施の形態よりもさらに迅速に、ミラーホルダ１１０を走査開始位置に戻すことができる。
【００６１】
なお、図７（ｃ）の構成では、上下の第１ＦＰＣ１０の直線部１４の曲げ方向が互いに逆であるため、これら直線部１４による可動枠１２０の付勢方向も逆になり、２つの直線部１４による付勢が互いに相殺される。よって、たとえば、可動枠１２０を下方向に付勢するには、図７（ｄ）に示す如く、下側の第１ＦＰＣ１０の直線部１４を可動枠の上側に位置づけ、この直線部１４とＬ字部１６とを、さらにＬ字部１７で連結するようにすれば良い。この場合、Ｌ字部１７が、押さえ板１２７に接着固定される。また、可動枠１２０を上方向に付勢するには、図８（ａ）に示す如く、図７（ｄ）の上下が反対となるように、２つの第１ＦＰＣ１０が装着されれば良い。
【００６２】
また、図８（ｂ）のように、図７（ｃ）の上側の第１ＦＰＣ１０と同じ構成の第１ＦＰＣ１０を下側に配置することもできる。この構成では、上側の第１ＦＰＣ１０の直線部１２は、支軸１１１の周りを図８（ｂ）の左側から回ってミラーホルダ１１０の上面に至る。これに対して、下側の第１ＦＰＣ１０の直線部１２は、支軸１１２の周りを図８（ｂ）の右側から回ってミラーホルダ１１０の下面に至る。このため、ミラーホルダ１１０は、これら２つの直線部１２のバネ性（弾性復帰力）によって、反対の回動方向の付勢を受ける。よって、この構成例では、２つの直線部１４による付勢が互いに相殺される。
【００６３】
ただし、この構成においても、図６（ｃ）の走査終了位置では、上側の第１ＦＰＣ１０
の直線部１２によるバネ性（弾性復帰力）の方が、下側の第１ＦＰＣ１０の直線部１２によるバネ性（弾性復帰力）よりも大きくなるため、ミラーホルダ１１０は、上側の第１ＦＰＣ１０の直線部１２によって、走査開始位置に向かう付勢を受ける。よって、この構成では、特に大きな駆動力が必要なミラーホルダ１１０の復帰開始時に、ミラーホルダ１１０が直線部１２によるアシストを受けるため、ミラーホルダ１１０の走査開始位置への復帰を迅速に行うことができる。
【００６４】
なお、支軸１１１、１１２の周りの走査開始位置が図６（ｂ）に示す中間位置となるようにミラーホルダ１１０が制御される場合には、図８（ｂ）は、中間位置から左右の何れに振られても、直線部１２による付勢を受けるため、ミラーホルダ１１０を走査開始位置（中間位置）に迅速に復帰させることができる。
【００６５】
図８（ｂ）の構成では、図７（ｃ）の場合と同様、上下２つの直線部１４の曲げ方向が逆であるため、これら直線部１４による付勢は互いに相殺される。よって、たとえば、下方向にミラーホルダ１１０を付勢したい場合には、下側の第１ＦＰＣ１０の構成を図８（ｃ）のように変更すれば良く、また、上方向にミラーホルダ１１０を付勢したい場合には、図８（ｃ）の上下が反対となるように、２つの第１ＦＰＣ１０が装着されれば良い。
【００６６】
＜実施形態２＞
以下、ミラーアクチュエータの構成を変更した場合の実施形態について説明する。
【００６７】
図９は、本実施の形態に係るミラーアクチュエータ６００の構成を示す分解斜視図である。
【００６８】
ミラーアクチュエータ６００は、チルトユニット６１０と、パンユニット６２０と、マグネットユニット６３０と、ヨークユニット６４０と、ミラー６５０と、透過板６６０とを備えている。
【００６９】
チルトユニット６１０は、支軸６１１と、チルトフレーム６１２と、２つのチルトコイル６１３とを備えている。支軸６１１には、両端部近傍に溝６１１ａが形成されている。これら溝６１１ａには、Ｅリング６１７ａ、６１７ｂが嵌め込まれる。
【００７０】
チルトフレーム６１２には、左右に、チルトコイル６１３を装着するためのコイル装着部６１２ａが形成されている。また、チルトフレーム６１２には、支軸６１１を嵌め込むための溝６１２ｂと、上下に並ぶ２つの孔６１２ｃが形成されている。
【００７１】
支軸６１１は、両端に軸受け６１６ａ、６１６ｂ、Ｅリング６１７ａ、６１７ｂおよびポリスライダーワッシャ６１８が取り付けられた状態で、チルトフレーム６１２に形成された溝６１２ｂに嵌め込まれ、接着固定される。さらに、チルトフレーム６１２の２つの孔６１２ｃに、それぞれ、上下から軸受け６１２ｄが嵌め込まれる。これにより、図１０（ａ）に示すように、チルトユニット１１０の組み立てが完了する。なお、図１０（ａ）には、支軸６１１に、軸受け６１６ａ、６１６ｂと、Ｅリング６１７ａ、６１７ｂと、３つのポリスライダーワッシャ６１８が装着された状態が示されている。
【００７２】
完成したチルトユニット６１０には、後述の如くして、パンユニット６２０が装着される。その後、チルトユニット６１０は、軸受け６１６ａ、６１６ｂと、Ｅリング６１７ａ、６１７ｂと、ポリスライダーワッシャ６１８と、軸固定部材６４２を用いて、後述の如く、ヨーク６４１に取り付けられる。
【００７３】
図９に戻り、パンユニット６２０は、パンフレーム６２１と、支軸６２２と、パンコイ
ル６２３を備えている。パンフレーム６２１には、凹部６２１ａを挟んで上板部６２１ｂと下板部６２１ｃが形成されている。これら上板部６２１ｂと下板部６２１ｃには、支軸６２２を通すための孔６２１ｄが上下に並ぶように形成されている。また、上板部６２１ｂと下板部６２１ｃの前面には、ミラー６５０を嵌め込むための段部６２１ｅが形成されている。
【００７４】
さらに、下板部６２１ｃからは、下方向に足部６２１ｆが形成され、この足部６２１ｆに、前後方向に貫通する開口６２１ｇが形成されている。透過板６６０は、開口６２１ｇに前後方向から嵌め込まれる。パンフレーム６２１の背面には、パンコイル６２３を装着するためのコイル装着部６２１ｈが形成されている。また、パンフレーム６２１の背面には、凹部６２１ａへと続く開口６２１ｉが形成されている。支軸６２２の上端には、バランサ６２２ｄが装着されている。
【００７５】
マグネットユニット６３０は、フレーム６３１と、２つのパンマグネット６３３と、８つのチルトマグネット６３２とを備えている。フレーム６３１は、前側に凹部６３１ａを有する形状となっている。フレーム６３１の上板部６３１ｂには、前後方向に、２つの切り欠き６３１ｃが形成され、さらに、中央に、ネジ穴６３１ｄが形成されている。８つのマグネット６３２は、フレーム６３１の左右の内側面に、上下２段に分けて装着されている。また、２つのマグネット６３３は、図示の如く、フレーム６３１の内側面に、前後方向に傾くように装着されている。
【００７６】
なお、フレーム６３１の背面上部には、後述する第１ＦＰＣ７１０と第２ＦＰＣ７２０をフレーム６３１の内側から背面側に通すためのスリット（図示せず）が形成されている。
【００７７】
ヨークユニット６４０は、ヨーク６４１と、軸固定部材６４２を備えている。ヨーク６４１は、磁性部材からなっている。ヨーク６４１には、左右に壁部６４１ａが形成され、これら壁部６４１ａの下端には、チルトユニット６１０の支軸６１１を装着するための凹部６４１ｂが形成されている。ヨーク６４１の上部には上下に貫通する２つのネジ穴６４１ｃが形成され、さらに、マグネットユニット６３３のネジ穴６３１ｄに対応する位置に、ネジ穴６４１ｄが形成されている。２つの壁部６４１ａの内側面間の距離は、支軸６１１の２つの溝６１１ａ間の距離よりも大きくなっている。
【００７８】
軸固定部材６４２は、可撓性を有する金属性の薄板部材である。軸固定部材６４２の前側には、板ばね部６４２ａ、６４２ｂが形成され、これら板ばね部６４２ａ、６４２ｂの下端には、それぞれ、チルトユニット６１０の軸受け６１６ａ、６１６ｂの脱落を規制するための受け部６４２ｃ、６４２ｄが形成されている。また、軸固定部材６４２の上板部には、ヨーク６４１側の２つのネジ穴６４１ｃに対応する位置にそれぞれ孔６４２ｅが形成され、さらに、ヨーク６４１側のネジ穴６４１ｄに対応する位置に孔６４２ｆが形成されている。
【００７９】
ミラーアクチュエータ６００の組み立て時には、上記の如くして、図１０（ａ）に示すチルトユニット６１０が組み立てられる。その後、チルトフレーム６１２がパンフレーム６２１の凹部６２１ａ内に収容される。このとき、２つの軸受け６１２ｄとパンフレーム６２１の孔６２１ｄとが上下に並ぶように、パンフレーム６２１が位置づけられる。そして、その状態で、２つの軸受け６１２ｅとパンフレーム６２１の孔６２１ｄに、支軸６２２が通され、支軸６２２がパンフレーム６２１に接着剤により固定される。これにより、図１０（ｂ）に示す構成体が形成される。この状態で、パンフレーム６２１は、支軸６２２の周りに回動可能となり、また、支軸６２２に沿って上下に僅かに移動可能となる。
【００８０】
こうしてパンユニット６２０が装着された後、パンフレーム６２１の段部６２１ｅにミラー６５０が嵌め込まれて固定される。その後、チルトユニット６１０の支軸６１１の両端に装着された軸受け６１６ａ、６１６ｂを、図９に示すヨーク６４１の凹部６４１ａ、６４１ｂに嵌め込む。そして、この状態で、軸受け６１６ａ、６１６ｂが凹部６４１ａ、６４１ｂから脱落しないように、軸固定部材６４２をヨーク６４１に装着する。すなわち、受け部６４２ｃが軸受け６１６を下から支え、且つ、受け部６４２ｄが軸受け６１６を前方から挟むようにして軸固定部材６４２をヨーク６４２に装着する。この状態で、軸固定部材６４２の２つの孔６４２ｅを介して２つのネジ６４３をヨーク６４１のネジ穴６４１ｃに螺着する。これにより、図１０（ｂ）に示す構成体がヨークユニット６４０に装着される。
【００８１】
こうして、図１１（ａ）に示す構成体が完成する。この状態で、チルトフレーム６１２は、パンフレーム６２１と一体的に、支軸６１１の周りに回動可能となり、また、支軸６１１に沿って左右に僅かに移動可能となる。
【００８２】
こうして組み立てられた図１１（ａ）の構成体は、ヨーク６４１の２つの壁部６４１ａが、それぞれ、マグネットユニット６３０側のフレーム６３１の切り欠き６３１ｃに挿入されるようにして、マグネットユニット６３０に装着される。そして、この状態で、軸固定部材６４２の孔６４２ｆを介して、ネジ６４４が、ヨーク６４１のネジ穴６４１ｄとマグネットユニット６３０のネジ穴６３１ｄに螺着される。これにより、図１１（ａ）に示す構成体が、マグネットユニット６３０に固着される。こうして、図１１（ｂ）に示すように、ミラーアクチュエータ６００の組み立てが完了する。
【００８３】
図１１（ｂ）に示す組み立て状態において、パンフレーム６２１が支軸６２２を軸として回動すると、これに伴ってミラー６５０が回動する。また、チルトフレーム６１２が支軸６１１を軸として回動すると、これに伴ってパンユニット６２０が回動し、パンユニット６２０と一体的にミラー６５０が回動する。このように、ミラー６５０は、互いに直交する支軸６１１、６２２によって回動可能に支持され、チルトコイル６１３およびパンコイル６２３への通電によって、支軸６１１、６２２の周りに回動する。このとき、パンユニット６２０に装着された透明体６６０も、ミラー６５０の回動に伴って回動する。
【００８４】
なお、バランサ６２２ｄは、図１０（ｂ）に示す構成体が、支軸６１１を軸として回動するとき、かかる回動がバランス良く行われるよう調整するためのものである。かかる回動のバランスは、バランサ６２２ｄの重さによって調整される。この他、バランサ６２２ｄが上下に変位可能であれば、上下方向の位置を微調整することにより、回動のバランスを調整可能である。
【００８５】
図１１（ｂ）に示すアセンブル状態において、８個のマグネット６３２は、チルトコイル６１３に電流を印加することにより、チルトフレーム６１２に支軸６１１を軸とする回動力が生じるよう、配置および極性が調整されている。したがって、コイル６１３に電流を印加すると、コイル６１３に生じる電磁駆動力によって、チルトフレーム６１２が、支軸６１１を軸として回動し、これに伴って、ミラー６５０と透明体６６０が回動する。
【００８６】
また、図１１（ｂ）に示すアセンブル状態において、２個のマグネット６３３は、パンコイル６２３に電流を印加することにより、パンフレーム６２１に支軸６２２を軸とする回動力が生じるよう、配置および極性が調整されている。したがって、パンコイル６２３に電流を印加すると、パンコイル６２３に生じる電磁駆動力によって、パンフレーム６２１が、支軸６２２を軸として回動し、これに伴って、ミラー６５０と透明体６６０が回動する。
【００８７】
本実施の形態では、図１２においても、パンコイル６２３とチルトコイル６１３に電流を供給するための第１ＦＰＣ３０と第２ＦＰＣ４０が、ミラーアクチュエータ６００に装着される。なお、第１ＦＰＣ３０と第２ＦＰＣ４０は、上記に説明したミラーアクチュエータ６００の組み立て時に装着される。すなわち、第１ＦＰＣ３０は、パンコイル６２３がコイル装着部６２１ｈに装着される前に、コイル装着部６２１ｈに装着される。また、第２ＦＰＣ４０は、パンユニット６２０がチルトユニット６１０に装着される前に、チルトフレーム６１２に装着される。
【００８８】
図１２は、第１ＦＰＣ３０と第２ＦＰＣ４０の構成を示す図である。同図（ａ）および（ｃ）は、それぞれ、第１ＦＰＣ３０と第２ＦＰＣ４０の斜視図、同図（ｂ）および（ｄ）は、それぞれ、第１ＦＰＣ３０と第２ＦＰＣ４０がミラーアクチュエータ６００に装着されたときの状態を示す斜視図である。
【００８９】
同図（ａ）を参照して、第１ＦＰＣ３０は、装着部３１と、屈曲部３２、３４と、直線部３３、３５とを備えている。装着部３１には、２つの孔３１ａが形成され、それぞれの孔３１ａの周りには、電極３１ｂが上面から外部に露出している。
【００９０】
第１ＦＰＣ３０は、薄い板状の形状を有し、厚み方向に弾性をもって撓み得る。直線部３５の端部には、コネクタ（図示せず）が配され、このコネクタから２本の信号線が、それぞれ、第１ＦＰＣ３０の上面を通って、装着部３１の電極３１ｂへと至っている。第１ＦＰＣ３０の上面および下面は、絶縁材により被覆されている。２つの孔３１ａとその周りの電極３１ｂの部分は、絶縁材による被服が行われていない。第１ＦＰＣ３０は、同図（ａ）の点線の位置で折り曲げられ、同図（ｂ）のような状態で、ミラーアクチュエータ６００に装着される。
【００９１】
同図（ｃ）を参照して、第２ＦＰＣ４０は、装着部４１と、直線部４２、４３とを備えている。装着部４１には、２つの孔４１ａが形成され、それぞれの孔４１ａの周りには、電極４１ｂが上面から外部に露出している。
【００９２】
第２ＦＰＣ４０は、薄い板状の形状を有し、厚み方向に弾性をもって撓み得る。直線部４３の端部には、コネクタ（図示せず）が配され、このコネクタから２本の信号線が、それぞれ、第２ＦＰＣ４０の上面を通って、装着部４１の電極４１ｂへと至っている。第２ＦＰＣ４０の上面および下面は、絶縁材により被覆されている。２つの孔４１ａとその周りの電極４１ｂの部分は、絶縁材による被服が行われていない。第２ＦＰＣ４０は、同図（ｃ）の点線の位置で折り曲げられ、同図（ｄ）のような状態で、ミラーアクチュエータ６００に装着される。
【００９３】
図１３は、第１ＦＰＣ３０と第２ＦＰＣ４０の装着方法を説明する図である。同図（ａ）および（ｂ）は、図１０（ｂ）の構成体に、第１ＦＰＣ３０と第２ＦＰＣ４０が装着された状態を正面側よび背面側から見たときの斜視図である。同図（ｃ）は、パンフレーム６２１に第１ＦＰＣ３０が装着された状態を正面側から見た斜視図、同図（ｄ）は、チルトフレーム６１２に第２ＦＰＣ４０が装着された状態を背面側から見た斜視図である。なお、図１３では、便宜上、チルトコイル６１３とパンコイル６２３が、図示省略されている。
【００９４】
同図（ｃ）に示すように、第１ＦＰＣ３０は、パンフレーム６２１の背面側から開口６２１ｉを通って、正面側に引き出されるようにして、パンフレーム６２１に装着される。同図（ｂ）に示すように、パンフレーム６２１背面のコイル装着部６２１ｈには、２つのピン６２１ｊが形成されている。これらピン６２１ｊに、第１ＦＰＣ３０の装着部３１に形成された孔３１ａが挿入され、第１ＦＰＣ３０の装着部３１と屈曲部３２が、コイル装
着部６２に接着固定される。そして、第１ＦＰＣ３０の直線部３３、３５と屈曲部３４が、コイル装着部６２１ｈの開口６２１ｉから正面側に引き出される。
【００９５】
同図（ｄ）に示すように、チルトフレーム６１２の背面には、２つのピン６１２ｈが形成されている。これらピン６１２ｈに、第２ＦＰＣ４０の装着部４１に形成された孔４１ａが挿入され、第２ＦＰＣ４０の装着部４１と直線部４２が、チルトフレーム６１２の背面６１２ｇに沿うようにして、背面６１２ｇに接着固定される。
【００９６】
同図（ｃ）に示すようにして第１ＦＰＣが装着されたパンユニット６２０は、同図（ｄ）に示すようにして第２ＦＰＣ４０が装着されたチルトフレーム６１２に、上記のようにして、取り付けられる。このとき、同図（ｃ）にハッチングを付した屈曲部３４が、チルトフレーム６１２の背面６１２ｆに沿うようにして、背面６１２ｆに接着固定される。こうして、同図（ａ）、（ｂ）に示す構成体が組み立てられる。
【００９７】
しかる後、同図（ａ）、（ｂ）の構成体に、図１１（ａ）に示すようにヨークユニット６４０が装着され、さらに、この構成体が、同図（ｂ）に示すように、マグネットユニット６３０に装着される。このとき、第１ＦＰＣ３０の直線部３５と第２ＦＰＣ４０の直線部４３が、マグネットユニット６３０のフレーム６３１の背面上部に形成されたスリット（図示せず）から、背面側に引き出される。スリットは、チルトフレーム６１２の回動時に、第１ＦＰＣ３０の直線部３５と第２ＦＰＣ４０の直線部４３が円滑に動き得る程度の隙間を有している。こうして、ミラーアクチュエータ６００の組み立てが完了する。
【００９８】
なお、図１３（ｄ）の状態において、左右のコイル装着部６１２ａに装着されたチルトコイル６１３の両端が、それぞれ、対応するピン６１２ｈに巻き付けられる。すなわち、各コイルの一端が２つのピン６１２ｈの一方に巻き付けられ、各コイルの他端が２つのピン６１２ｈの他方に巻き付けられる。その状態で、チルトコイル６１３の端部と孔４１ａ周囲の電極４１ｂとが半田付けされる。
【００９９】
また、同図（ｂ）の状態において、第１ＦＰＣ３０の装着部３１ａの上から、コイル装着部６２１ｈにパンコイル６２３が装着される。図１４は、パンコイル６２３の装着方法を説明する図である。同図（ａ）に示すように、コイル装着部６２１ｈには、パンコイル６２３を位置決めするための突起６２１ｋ、６２１ｌ、６２１ｍが形成されている。パンコイル６２３は、内周部の開口がこれら突起６２１ｋ、６２１ｌ、６２１ｍに嵌め込まれ、同図（ｂ）に示すように、コイル装着部６２１ｈに接着固定される。この状態で、パンコイル６２３の両端が、それぞれ、対応するピン６１２ｊに巻き付けられる。
【０１００】
本実施の形態においても、第１ＦＰＣ３０の直線部３３が支軸６２２の周りを回った状態で、第１ＦＰＣ３０の屈曲部３４がチルトフレーム６１２に固着されている。このため、パンフレーム６２１は、直線部３３のバネ性（弾性復帰力）によって、支軸６２２の周りに回転する力を受ける。よって、この力の向きが、走査開始位置への復帰動作をアシストする向きとなるように、ミラーアクチュエータ６００を制御することで、上記実施形態１と同様、復帰動作時にチルトコイル６２３に印加する電流をそれほど高めずとも、チルトフレーム６２１およびミラー６５０を走査開始位置に迅速に復帰させることができる。
【０１０１】
また、本実施の形態においても、図１３（ｂ）に示す通り、第１ＦＰＣ３０の直線部３５と第２ＦＰＣ４０の直線部４３が、ともに下向きに曲げられているため、これら直線部３５、４３のバネ性（弾性復帰力）によって、チルトフレーム６１２が下方向を向くように付勢される。したがって、本実施の形態においても、支軸６１１の周りの走査開始位置を、チルトフレーム６１２が下方向を向く位置に設定すると良い。こうすると、直線部３５、４３のバネ性（弾性復帰力）によるアシストによって、支軸６１１の周りの走査開始
位置へと迅速に、チルトフレーム６１２およびミラー６５０を復帰させることができる。
【０１０２】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施の形態も上記以外に種々の変更が可能である。
【０１０３】
たとえば、２つの軸の周りにミラーが回転するミラーアクチュエータの構成例を上記２つの実施の形態により示したが、本発明は、上記以外の構成のミラーアクチュエータにも適用可能である。
【０１０４】
また、上記実施の形態では、配線部材としてＦＰＣを示したが、配線部材は、ＦＰＣに限らず、ＦＦＣ（フレキシブル・フラット・ケーブル）等、撓み方向に弾性を持つ他の配線部材を用いても良い。また、ミラー以外の光学素子（たとえば、レンズ等）を変位させて走査レーザ光を走査しても良い。さらに、ミラーアクチュエータ１００は、少なくとも一つの回動軸を持つものであれば、他の構成であって良い。
【０１０５】
この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【０１０６】
１０  …  第１ＦＰＣ（配線部材）
２０  …  第２ＦＰＣ（他の配線部材）
１００  …  ミラーアクチュエータ（アクチュエータ）
１１０  …  ミラーホルダ（第１の可動部）
１１３  …  ミラー（光学素子）
１１４  …  コイル（第１のコイル）
１２０  …  可動枠（第２の可動部）
１２６  …  コイル（第２のコイル）
４０１  …  レーザ光源
３０  …  第１ＦＰＣ（配線部材）
４０  …  第２ＦＰＣ（他の配線部材）
６００  …  ミラーアクチュエータ（アクチュエータ）
６２１  …  パンフレーム（第１の可動部）
６５０  …  ミラー（光学素子）
６２３  …  パンコイル（第１のコイル）
６１２  …  チルトフレーム（第２の可動部）
６１３  …  チルトコイル（第２のコイル）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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