(57)【要約】【課題】従来よりも優れた磁気特性を発揮する圧粉磁心を製造することができる圧粉磁心の製造方法、およびその製造方法で得られた圧粉磁心を提供する。【解決手段】絶縁被膜を有する軟磁性金属粒子からなる軟磁性材料を用意し、その材料粉末と潤滑性を有するシリコーン樹脂とを混合する。そして、混合により得られた混合物を加圧成形後、熱処理することで圧粉磁心を製造する。加圧成形の際、潤滑性の高いシリコーン樹脂の存在により、軟磁性金属粒子の絶縁被膜同士が強く擦れあうことがないため、絶縁被膜が損傷し難い。その結果、軟磁性金属粒子同士の絶縁を良好に確保した状態で圧粉磁心が作製され、その圧粉磁心は優れた磁気特性を発揮する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
軟磁性金属粒子と、これら軟磁性金属粒子を絶縁する絶縁層とを備える圧粉磁心の製造方法であって、
表面に絶縁被膜を備える軟磁性金属粒子の集合体である軟磁性材料を用意する第１準備工程と、
μＳ１≦０．７μＳ０となるような潤滑性を有するシリコーン樹脂を用意する第２準備工程と、
前記軟磁性材料とシリコーン樹脂とを混合する混合工程と、
前記混合工程で得られた混合物を粉末成形用金型に充填し、加圧成形する加圧成形工程と、
前記加圧成形工程で得られた粉末成形体に熱処理を施して、前記シリコーン樹脂を緻密化する熱処理工程と、
を備えることを特徴とする圧粉磁心の製造方法。
ここで、
μＳ０：第１準備工程で用意する軟磁性材料の成形体を２つ用意し、両成形体のプレス面を対向させたときの両成形体の静摩擦係数
μＳ１：上記成形体を２つ用意し、第２準備工程で用意するシリコーン樹脂を介在させて両成形体のプレス面を対向させたときの両成形体の静摩擦係数
とする。
【請求項２】
前記第２準備工程で用意する前記シリコーン樹脂は粉末状であることを特徴とする請求項１に記載の圧粉磁心の製造方法。
【請求項３】
前記混合工程における前記軟磁性材料への前記シリコーン樹脂の混合割合は、前記軟磁性材料の全質量を１００としたとき、０．０５〜１．０であることを特徴とする請求項１または２に記載の圧粉磁心の製造方法。
【請求項４】
前記混合工程の混合時間は、５〜６０分であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧粉磁心の製造方法。
【請求項５】
前記熱処理工程の熱処理温度は、４００〜８００℃であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の圧粉磁心の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の圧粉磁心の製造方法により得られたことを特徴とする圧粉磁心。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軟磁性金属粒子と、これら軟磁性金属粒子を絶縁する絶縁相とを備える圧粉磁心の製造方法とその製造方法により得られた圧粉磁心に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ハイブリッド自動車などは、モータへの電力供給系統に昇圧回路を備えている。この昇圧回路の一部品として、コアにコイルを巻回した構成のリアクトルが利用されている。このようなリアクトルを交流磁場で使用した場合、コアに鉄損と呼ばれるエネルギー損失が生じる。鉄損は、概ね、ヒステリシス損と渦電流損との和で表され、特に、高周波での使用において顕著になる。
【０００３】
リアクトルのコアにおける鉄損を低減するために、圧粉磁心でできたコアを用いることがある。例えば、特許文献１には、表面にシリコーン樹脂からなる絶縁被膜を形成した軟磁性金属粒子の集合体である軟磁性材料を加圧成形して圧粉磁心を製造することが開示されている。このようにして作製された圧粉磁心では、圧粉磁心の中の軟磁性金属粒子同士が緻密に架橋したシリコーンからなる絶縁層により絶縁されているので、特に、渦電流損を低減する効果が高い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２０２９５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の製造方法により得られた圧粉磁心では、圧粉磁心の用途に応じた磁気特性を満たさないことがあった。その理由は、圧粉磁心中の軟磁性金属粒子同士の絶縁が十分に確保されなかったためと推察される。そのため、従来よりも圧粉磁心の磁気特性を向上させることができる圧粉磁心の製造方法を開発することが望まれている。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、従来よりも優れた磁気特性を発揮する圧粉磁心を製造することができる圧粉磁心の製造方法、およびその製造方法により得られた圧粉磁心を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上述した課題を解決するために従来の圧粉磁心の製造方法を再検討した。その結果、加圧成形時の圧力により軟磁性金属粒子同士が擦れあって、一部の軟磁性金属粒子において絶縁被膜が損傷することがわかった。加圧成形時に絶縁被膜が損傷すると、圧粉磁心において軟磁性金属粒子同士が接触する箇所が増加し、圧粉磁心の渦電流損が増大してしまう。このように軟磁性金属粒子の表面にある絶縁被膜が損傷するのは、絶縁被膜が潤滑性に乏しく、絶縁被膜同士の摩擦抵抗が大きいからであると推察される。これら再検討の結果得られた知見に基づいて本発明圧粉磁心の製造方法、および本発明圧粉磁心を以下に規定する。
【０００８】
（１）本発明圧粉磁心の製造方法は、軟磁性金属粒子と、これら軟磁性金属粒子を絶縁する絶縁層とを備える圧粉磁心の製造方法であって、以下の工程を有することを特徴とする。
（第１準備工程）…表面に絶縁被膜を備える軟磁性金属粒子の集合体である軟磁性材料を用意する。
（第２準備工程）…μＳ１≦０．７μＳ０となるような潤滑性を有するシリコーン樹脂を用意する。
（混合工程）…上記準備工程で用意した軟磁性材料とシリコーン樹脂とを混合する。
（加圧成形工程）…上記混合工程で得られた混合物を粉末成形用金型に充填し、加圧成形する。
（熱処理工程）…上記加圧成形工程で得られた粉末成形体に熱処理を施して、前記シリコーン樹脂を緻密化する。
ここで、上記第２準備工程におけるμＳ０とμＳ１は以下の通りである。
μＳ０：第１準備工程で用意する軟磁性材料の成形体を２つ用意し、両成形体のプレス面を対向させたときの両成形体の静摩擦係数
μＳ１：上記成形体を２つ用意し、第２準備工程で用意するシリコーン樹脂を介在させて両成形体のプレス面を対向させたときの両成形体の静摩擦係数
【０００９】
本発明圧粉磁心の製造方法によれば、軟磁性材料を加圧成形する際、軟磁性材料を構成する各軟磁性金属粒子の絶縁被膜が損傷し難い。絶縁被膜が損傷し難いのは、潤滑性の高いシリコーン樹脂の存在により、軟磁性金属粒子の絶縁被膜同士が強く擦れあうことがないからである。そのため、加圧成形体を熱処理するとき、軟磁性金属粒子同士の絶縁が良好に確保された状態でシリコーン樹脂を緻密化することができる。この緻密化したシリコーン樹脂と、軟磁性金属粒子の表面に形成されていた絶縁被膜とで、圧粉磁心における軟磁性金属粒子同士を絶縁する絶縁層が形成される。
【００１０】
（２）本発明圧粉磁心の製造方法の一形態として、第２準備工程で用意するシリコーン樹脂は粉末状であることが好ましい。
【００１１】
用意するシリコーン樹脂は、液体であっても粉末状の固体であっても良いが、特に後者が好ましい。液体のシリコーン樹脂は、軟磁性材料とシリコーン樹脂とを混合したとき、凝集して偏り易いが、粉末状のシリコーン樹脂であれば、そのような問題が生じ難いからである。
【００１２】
（３）本発明圧粉磁心の製造方法の一形態として、混合工程における軟磁性材料へのシリコーン樹脂の混合割合は、軟磁性材料の全質量を１００としたとき、０．０５〜１．０であることが好ましい。
【００１３】
上記混合割合であれば、軟磁性材料の表面に比較的均一に付着しやすく、その結果、軟磁性金属粒子の絶縁被膜が損傷し難い。
【００１４】
（４）本発明圧粉磁心の製造方法の一形態として、混合工程の混合時間は、５〜６０分であることが好ましい。
【００１５】
混合時間を５〜６０分とすることで、軟磁性材料とシリコーン樹脂とを十分に混合することができる。混合時間が５分未満だと、材料の混合が十分でなくなる虞がある。逆に、混合時間を６０分超としても、材料の混合状態が劇的に改善されるわけではないので、混合時間の上限を６０分とした。
【００１６】
（５）本発明圧粉磁心の製造方法の一形態として、熱処理工程の熱処理温度は、４００〜８００℃であることが好ましい。
【００１７】
熱処理工程は、シリコーン樹脂を緻密化するためだけでなく、加圧成形時に軟磁性金属粒子に導入された歪みや転移を除去するためのものでもある。熱処理温度が４００〜８００℃であれば、歪みや転移を十分に除去することができる。特に、熱処理温度は６５０℃以上が好ましい。
【００１８】
（６）本発明圧粉磁心は、本発明圧粉磁心の製造方法により得られたことを特徴とする。
【００１９】
本発明圧粉磁心の製造方法により得られた圧粉磁心によれば、圧粉磁心中の軟磁性金属粒子同士の絶縁が良好に確保されているため、従来よりも優れた磁気特性を発揮する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明圧粉磁心の製造方法は、軟磁性材料を加圧成形する際、潤滑性を有するシリコーン樹脂を添加しているので、軟磁性材料を構成する各軟磁性金属粒子の絶縁被膜が損傷し難い。そのため、加圧成形体に熱処理を施してシリコーン樹脂を緻密化するとき、軟磁性金属粒子同士の絶縁が良好に確保された状態でシリコーン樹脂を緻密化することができる。この本発明圧粉磁心の製造方法により得られた圧粉磁心は、高周波での使用においてエネルギー損失（特に、渦電流損）が少ない圧粉磁心となるので、例えば、この圧粉磁心をリアクトルのコアとして利用した場合、優れた磁気特性を有するコアとなる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明圧粉磁心の製造方法に係る静摩擦係数を測定するための試験機の概略模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態として、圧粉磁心を作製する過程を説明する。
【００２３】
＜圧粉磁心の作製＞
本実施形態の圧粉磁心の作製は、以下の工程Ａ〜Ｅに従って行う。これら工程Ａ〜Ｅのうち、工程Ａ〜Ｃは軟磁性材料の作製工程である。
（Ａ）表面に絶縁被膜を備える軟磁性金属粒子の集合体である軟磁性材料を用意する第１準備工程。
（Ｂ）潤滑性を有するシリコーン樹脂を用意する第２準備工程。なお、潤滑性の定義については後述する。
（Ｃ）前記軟磁性材料とシリコーン樹脂とを混合する混合工程。
（Ｄ）工程Ａ〜Ｃを経て得られた軟磁性材料を粉末成形用金型に充填し、加圧成形する加圧成形工程。
（Ｅ）工程Ｄで得られた粉末成形体に熱処理を施して、工程Ｃで形成したシリコーン樹脂被膜を緻密化する熱処理工程。
【００２４】
以下、工程Ａ〜Ｅごとに詳細に説明する。
【００２５】
（工程Ａ：第１準備工程）
第１準備工程で用意する材料粉末は、軟磁性金属粒子を集合したものである。軟磁性金属粒子としては、鉄を５０質量％以上含有するものが好ましく、例えば、純鉄（Ｆｅ）が挙げられる。その他、鉄合金、例えば、Ｆｅ−Ｓｉ系合金、Ｆｅ−Ａｌ系合金、Ｆｅ−Ｎ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｃ系合金、Ｆｅ−Ｂ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ系合金、Ｆｅ−Ｐ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金、及びＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金から選択される１種からなるものが利用できる。特に、透磁率及び磁束密度の点から、９９質量％以上がＦｅである純鉄が好ましい。例えば軟磁性金属粒子として、株式会社神戸製鋼所製のアトマイズ純鉄粉（商品名：アトメル３００ＮＨ）を利用することができる。
【００２６】
軟磁性金属粒子の平均粒径は、１μｍ以上１５０μｍ以下とすると良い。軟磁性金属粒子の平均粒径を１μｍ以上とすることによって、軟磁性材料の流動性を落とすことがなく、軟磁性材料を用いて製作された圧粉磁心の保磁力およびヒステリシス損の増加を抑制できる。逆に、軟磁性金属粒子の平均粒径を１５０μｍ以下とすることによって、１ｋＨｚ以上の高周波域において発生する渦電流損を効果的に低減できる。より好ましい軟磁性金属粒子の平均粒径は、４０μｍ以上１００μｍ以下である。この平均粒径の下限が４０μｍ以上であれば、渦電流損の低減効果が得られると共に、軟磁性材料の取り扱いが容易になる。なお、この平均粒径とは、粒径のヒストグラム中、粒径の小さい粒子からの質量の和が総質量の５０％に達する粒子の粒径、つまり５０％粒径をいう。
【００２７】
軟磁性金属粒子はその表面に絶縁被膜を有する。絶縁被膜により、圧粉磁心を作製する際、各軟磁性金属粒子同士の絶縁が確保される。絶縁被膜の厚さは、１０ｎｍ以上あれば十分である。厚さの上限は、１０００ｎｍとすると良い。
【００２８】
絶縁被膜は、絶縁性に優れるものであれば良く、特に限定されない。例えば、絶縁被膜として、リン酸塩やチタン酸塩などを好適に利用できる。特に、リン酸塩からなる絶縁被膜は変形性に優れるので、軟磁性材料を加圧して圧粉磁心を作製する際に軟磁性金属粒子が変形しても、この変形に追従して変形することができる。また、リン酸塩被膜は鉄系の軟磁性金属粒子に対する密着性が高く、金属粒子表面から脱落し難い。リン酸塩としては、リン酸鉄やリン酸マンガン、リン酸亜鉛、リン酸カルシウムなどのリン酸金属塩化合物を利用することができる。その他、絶縁被膜としてシリコーン樹脂を利用することもできる。シリコーン樹脂は耐熱性に優れるので、後述する熱処理工程で分解し難く、圧粉磁心の完成までの間、軟磁性金属粒子同士の絶縁を良好に維持することができる。絶縁被膜に用いられるシリコーン樹脂としては、例えば、ＧＥ東芝シリコーン株式会社製のＴＳＲ１１６やＸＣ９６−Ｂ０４４６などを挙げることができる。
【００２９】
（工程Ｂ：第２準備工程）
第２準備工程で用意するシリコーン樹脂は、熱により加水分解・縮重合する化合物であり、４５０℃以上の高温で緻密なシリコーンとなるものであって、かつ、潤滑性を有するものである。ここでいうシリコーン樹脂の潤滑性とは、軟磁性金属粒子同士の静摩擦係数をμＳ０、軟磁性金属粒子間にシリコーン樹脂を介在させたときの軟磁性金属粒子同士の静摩擦係数をμＳ１とすると、μＳ１≦０．７μＳ０とすることができる潤滑性のことである。ここで、極小の軟磁性金属粒子のμＳ０，μＳ１を実際に測定することは困難であるので、以下に示す試験で測定した静摩擦係数を、便宜的にμＳ０，μＳ１とみなす。
【００３０】
図１は、シリコーン樹脂の潤滑性を評価するために用いられる試験機１０であって、軟磁性金属粒子のμＳ０，μＳ１の計算に用いられる静摩擦力ＦＳ０，ＦＳ１を測定するための試験機１０の概略模式図である。この試験機１０で静摩擦係数μＳ０を算出するための静摩擦力ＦＳ０を測定するにあたり、まず、第１準備工程で用意する軟磁性材料を１０ｔｏｎ／ｃｍ２で加圧成形して成形体１，２を作製する（成形後の熱処理なし）。次いで、用意した成形体１，２のプレス面が対向するように成形体１，２を重ね合わせて台６上に載置し、成形体１の上に錘３を載せる。そして、台６をモータ５で紙面右方向に引っ張って、成形体１，２の間に水平方向の力を作用させ、成形体１が成形体２に対して動き始めてから６０ｍｍ動くまでの間、成形体１に繋がるロードセル４の加重を測定し続けておく。測定した荷重のうち、最大荷重が静摩擦力ＦＳ０（Ｎ）となるので、このＦＳ０を、成形体１によって生じる法線力（ＦＰ：成形体１と錘３の合計質量）で割り、静摩擦係数μＳ０（＝ＦＳ０／ＦＰ）を求める。詳しい試験条件は以下の通りである。
成形体１の寸法…長さ３０×幅４０ｍｍ×厚さ２０ｍｍ
成形体２の寸法…長さ３０×幅４０ｍｍ×厚さ２０ｍｍ
成形体２に対する成形体１の相対速度…１００ｍｍ／ｍｉｎ
Ｆｐ…２００ｇ≒１．９６Ｎ
【００３１】
次いで、静摩擦係数μＳ１を算出するための静摩擦力ＦＳ１を試験機１０により求めた。ＦＳ１の測定手順は、以下に示す点以外は、ＦＳ０の測定手順と同じである。また、μＳ１は、ＦＳ１／ＦＰで求めることができる。
相違点…成形体２上に、１ｍ３あたり０．５ｇのシリコーン樹脂を出来るだけ均一となるように塗布した後、成形体２に成形体１を重ね合わせた。
【００３２】
以上説明したようにμＳ０，μＳ１を求め、これらμＳ０，μＳ１を比較することで、シリコーン樹脂の潤滑性を評価することができる。
【００３３】
上記潤滑性を有するシリコーン樹脂は、必ずではないが多くの場合、フェニル基や長鎖アルキル基を備える。また、上記潤滑性を有する市販のシリコーン樹脂としては、例えば、信越化学工業株式会社製のＫＭＰ−５９０，６００，や、Ｘ−５２−１６２１などを挙げることができる。これに対して、ＧＥ東芝シリコーン株式会社製のＴＳＲ１１６やＸＣ９６−Ｂ０４４６などは、軟磁性材料におけるシリコーン樹脂に良く用いられるが、潤滑性に乏しいシリコーン樹脂の代表例である。
【００３４】
（工程Ｃ：混合工程）
混合工程は、工程Ａ，Ｂで用意した軟磁性材料とシリコーン樹脂とを混合する工程である。この混合には公知の粉体混合用ミキサーを利用できる。この混合時間は、５分〜６０分とすれば良い。実際の混合時間は、絶縁被膜を含む軟磁性金属粒子の平均粒径や、シリコーン樹脂の種類・平均粒径を考慮して、上記範囲内で適宜選択すれば良い。
【００３５】
次に、混合工程におけるシリコーン樹脂の量について述べる。シリコーン樹脂の投入量は、軟磁性材料の全体にシリコーン樹脂が行き渡るように決定すると良い。例えば、混合工程におけるシリコーン樹脂の好ましい量は、軟磁性金属粒子（絶縁被膜を含む）の平均粒径やその外周形状などにより変化する。しかし、用途が概ね限定されている圧粉磁心の作製において、使用する金属粒子の平均粒径もある程度決まった範囲に収まる。そこで、シリコーン樹脂の好ましい量は、軟磁性材料の全質量に基づいて決定すると良い。例えば、軟磁性材料の質量を１００としたとき、シリコーン樹脂の質量を０．０５〜１．０の範囲とすると良い。
【００３６】
（工程Ｄ：加圧成形工程）
加圧成形工程は、上記混合工程で得られた混合物を所定の形状に成形するために行う。代表的には、所定の形状を有する粉末成形用金型の内部に上記混合物を投入し、圧力をかけて押し固める。このときの圧力は、適宜選択することができるが、例えば、リアクトルのコアとなる圧粉磁心を製造するのであれば、約９００〜１３００ＭＰａ（好ましくは、９６０〜１２８０ＭＰａ）程度とすることが好ましい。
【００３７】
ここで、軟磁性材料に潤滑性を有するシリコーン樹脂が添加されているので、加圧成形の際に互いに接触する軟磁性金属粒子の間（即ち、金属粒子表面の絶縁被覆の間）に強い摩擦力が作用せず、各粒子に備わる絶縁被膜が剥離し難い。また、添加されたシリコーン樹脂が、加圧成形体と粉末成形用金型との間の摩擦をも低減するため、加圧成形の前に行う金型内周面への潤滑材の塗布を省略することもできる。金型への潤滑材の塗布は、通常、圧粉磁心を作製する際に行われるものであり、金型への粉末成形体の焼き付きを抑制すると共に、加圧成形体を金型から外し易くするためのものである。
【００３８】
（工程Ｅ：熱処理工程）
熱処理工程は、シリコーン樹脂を緻密化して圧粉磁心の形状を固定すると共に、加圧成形工程で軟磁性金属粒子に導入された歪みや転移などを除去するために行う。つまり、シリコーン樹脂は、圧粉磁心を製造する際のバインダーとして機能する。緻密化したシリコーン樹脂と、軟磁性金属粒子の表面に形成されていた絶縁被膜は、出来上がった圧粉磁心においては軟磁性金属粒子同士の絶縁を確保する機能を発揮する。
【００３９】
上記熱処理工程の熱処理温度は、４００℃以上、特に５５０℃以上、さらに６５０℃以上が好ましい。金属粒子の歪みなどを除去する観点から、熱処理の上限は約８００℃程度とすると良い。このような熱処理温度であれば、歪みの除去と共に、加圧時に金属粒子に導入される転移などの格子欠陥も除去できる。ここで、シリコーン樹脂は、耐熱性に優れ、熱処理により緻密化するので、熱処理温度を高温にしても、優れた絶縁性を維持することができる。また、シリコーン樹脂は、軟磁性金属粒子の表面に形成されるリン酸塩などの絶縁被膜を熱などから保護する役目も果たす。
【００４０】
以上のようにして作製された圧粉磁心は、従来の圧粉磁心と比較して優れた高周波特性を発揮することが期待されるので、ハイブリッド自動車などのリアクトル用コアとして好適に利用することができる。この圧粉磁心の高周波特性は、例えば、『鉄損』、『比抵抗』などを総合的に考慮することで評価することができる。具体的には、『鉄損』が小さく、『比抵抗』が大きいものが、優れた高周波特性を有する圧粉磁心である。これら特性値の測定方法の一例を以下に例示する。
【００４１】
『鉄損（Ｗ／ｋｇ）』を測定するには、圧粉磁心でリング状の試験片を作製し、その試験片に巻線を施した測定部材を作製する。そして、その測定部材について、ＡＣ−ＢＨカーブトレーサを用いて、特定の励起磁束密度Ｂｍ（Ｔ：テスラ）、特定の測定周波数ｆ（Ｈｚ：ヘルツ）における鉄損（Ｗ／ｋｇ）を測定する。
【００４２】
ところで鉄損は、渦電流損とヒステリシス損とに分けることができる。そのため、鉄損の周波数曲線を下記の３つの式で最小二乗法によりフィッティングし、各Ｂｍにおけるヒステリシス損係数Ｋｈ（ｍＷｓ／ｋｇ）および渦電流損係数Ｋｅ（ｍＷｓ２／ｋｇ）を算出することで、渦電流損とヒステリシス損のいずれの影響が大きいのかを評価することもできる。
（鉄損）＝（ヒステリシス損）＋（渦電流損）
（ヒステリシス損）＝（ヒステリシス損係数）×（周波数）
（渦電流損）＝（渦電流損係数）×（周波数）２
【００４３】
さらに、『比抵抗（μΩ・ｍ）』は、圧粉磁心でリング状の試験片を作製し、その試験片の電気抵抗（Ω）を四端子法によりを測定し、その結果に基づいて算出することができる。
【００４４】
なお、本発明の実施形態は、上述したものに限定されるわけではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明の圧粉磁心の製造方法は、高周波特性に優れた圧粉磁心の作製に好適に利用可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１０  試験機
１，２  成形体
３  錘
４  ロードセル
５  モータ
６  台
【図１】
2011165738.tif 000002