(57)【要約】【課題】平面コイルにより発生する磁界を正確に測定することができ、ひいては、測定中にデバイスに対して実際に印加されている磁界を測定することが可能なプローブカードを提供する。【解決手段】本発明に係るプローブカード１は、プローブカード基板２の一面又は他面上の所定の一点を中心点とし、該中心点を通り該一面に垂直な軸を中心軸としたときに、プローブカード基板の一面又は他面上において中心点からの距離が同じであり、互いに９０度をなす位置にそれぞれ配された４つの平面コイルと、プローブカード基板の他面側に突出して配されたプローブピン４と、プローブカード基板の一面側において、平面コイルの厚さの中央からの高さが、平面コイルの厚さの中央とプローブピン先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサ５と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁界プローバに用いられるプローブカードであって、
プローブカード基板の一面又は他面上の所定の一点を中心点とし、該中心点を通り該一面に垂直な軸を中心軸としたときに、
前記プローブカード基板の一面又は他面上において前記中心点からの距離が同じであり、互いに９０度をなす位置にそれぞれ配された４つの平面コイルと、
前記プローブカード基板の他面側に突出して配されたプローブピンと、
前記プローブカード基板の一面側において、前記平面コイルの厚さの中央からの高さが、前記平面コイルの厚さの中央と前記プローブピン先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサと、を備えたことを特徴とするプローブカード。
【請求項２】
前記４つの平面コイルは、巻き数、巻き方向及び大きさが同じであることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
【請求項３】
前記磁気センサは、非磁性材料からなるガイドによって前記位置に支持されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブカード。
【請求項４】
プローブカード基板の一面又は他面上に配された平面コイルと、前記プローブカード基板の他面側に突出して配されたプローブピンと、前記プローブカード基板の一面側において、前記平面コイルの厚さの中央からの高さが、前記平面コイルの厚さの中央と前記プローブピン先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサと、を備えたプローブカードを用いた磁界プローバによる磁界印加方法であって、
前記磁気センサにより得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイルを駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイルにより発生する磁界を調整すること、を特徴とする磁界印加方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブカード及び磁界印加方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁性体デバイスをウエハレベルで測定するための装置として、磁界印加装置を一体型としたプローブカード（コイル一体型プローブカード）が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
このようなプローブカードを用いてデバイスの検査を行う際、コイルに印加される電流と、実際にデバイス部分に測定される磁束密度の関係が重要となる。
【０００３】
この関係は、通常、予めプローブピン先端部分と同一の高さになるように設置した磁束密度測定器（例えばガウスメーター）に対して磁界を印加しながら、磁界印加装置に流れる電流と磁界の関係を、テーブル（もしくは関数）として作成する必要があり、実際の測定中にデバイスに対して印加されている磁界を測定することができなかった。
また、そのために、デバイス（被測定物）に実際に印加されている磁界を測定して所望の磁界に設定するために、磁界印加手段の電源に対してフィードバック制御を行うこともできなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７-１４７６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、このような従来の実情に鑑みて考案されたものであり、平面コイル（磁界印加手段）により発生する磁界を正確に測定することができ、ひいては、測定中にデバイス（被測定物）に対して実際に印加されている磁界を測定することが可能なプローブカードを提供することを第一の目的とする。
また、本発明は、磁気センサにより検知された磁界の強さをもとに、平面コイルに通電する電流値を調整して、デバイス（被測定物）に所望の磁界を印加することが可能な磁界印加方法を提供することを第二の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の請求項１に記載のプローブカードは、磁界プローバに用いられるプローブカードであって、プローブカード基板の一面又は他面上の所定の一点を中心点とし、該中心点を通り該一面に垂直な軸を中心軸としたときに、前記プローブカード基板の一面又は他面上において前記中心点からの距離が同じであり、互いに９０度をなす位置にそれぞれ配された４つの平面コイルと、前記プローブカード基板の他面側に突出して配されたプローブピンと、前記プローブカード基板の一面側において、前記平面コイルの厚さの中央からの高さが、前記平面コイルの厚さの中央と前記プローブピン先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサと、を備えたことを特徴とする。
本発明の請求項２に記載のプローブカードは、請求項１において、前記４つの平面コイルは、巻き数、巻き方向及び大きさが同じであることを特徴とする。
本発明の請求項３に記載のプローブカードは、請求項１又は２において、前記磁気センサは、非磁性材料からなるガイドによって前記位置に支持されていることを特徴とする。
本発明の請求項４に記載の磁界印加方法は、プローブカード基板の一面上に配された平面コイルと、前記プローブカード基板の他面側に突出して配されたプローブピンと、前記プローブカード基板の一面側又は他面側において、前記平面コイルの厚さの中央からの高さが、前記平面コイルの厚さの中央と前記プローブピン先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサと、を備えたプローブカードを用いた磁界プローバによる磁界印加方法であって、前記磁気センサにより得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイルを駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイルにより発生する磁界を調整すること、を特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のプローブカードでは、プローブカード基板の一面側において、平面コイルの中央からの高さが、平面コイルとプローブピン先端との間の距離と同じである位置に、平面コイルにより発生した磁界を検知する磁気センサが配されているので、平面コイルにより発生する磁界を正確に測定することができる。その結果、本発明では、この磁気センサにより検知された磁界の強さをもとに、デバイス（被測定物）に印加されている磁界を測定することが可能なプローブカードを提供することができる。
また、本発明の磁界印加方法では、磁気センサにより得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイルを駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイルにより発生する磁界を調整している。これにより本発明では、磁気センサにより検知された磁界の強さをもとに、平面コイルに通電する電流値を調整してデバイス（被測定物）に所望の磁界を印加することが可能な磁界印加方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明に係るプローブカードの一構成例を模式的に示す断面図。
【図２】図１に示したプローブカードの平面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明に係るプローブカード及び磁界印加方法の一実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
図１及び図２は、本発明のプローブカードの一構成例を模式的に示す図であり、図１は図２におけるＡ−Ａ’部分の断面図、図２は平面図である。
本発明のプローブカード１は、磁界プローバに用いられるプローブカードであって、プローブカード基板２の一面２ａ又は他面２ｂ上の所定の一点を中心点αとし、該中心点αを通り該一面２ａに垂直な軸を中心軸βとしたときに、前記プローブカード基板２の一面２ａ又は他面２ｂ上において前記中心点αからの距離が同じであり、互いに９０度をなす位置にそれぞれ配された４つの平面コイル３ａ〜３ｄと、前記プローブカード基板２の他面２ｂ側に突出して配されたプローブピン４と、前記プローブカード基板２の一面２ａ側において、前記平面コイル３ａ〜３ｄの厚さの中央からの高さが、前記平面コイル３ａ〜３ｄの厚さの中央と前記プローブピン４先端との間の距離と同じであり、中心軸上の位置に配された、前記平面コイル３ａ〜３ｄにより発生した磁界を検知する磁気センサ５と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
本発明のプローブカード１では、プローブカード基板２の一面２ａ側において、平面コイル３ａ〜３ｄの中央からの高さが、平面コイル３ａ〜３ｄの中央とプローブピン４先端との間の距離と同じであり、中心軸β上の位置に、平面コイル３ａ〜３ｄにより発生した磁界を検知する磁気センサ５が配されているので、平面コイル３ａ〜３ｄにより発生する磁界を正確に測定することができる。その結果、本発明のプローブカード１では、この磁気センサ５により検知された磁界の強さをもとに、デバイスに印加されている磁界を測定することが可能となる。
【００１２】
プローブカード１は、プローブピン４と、該プローブピン４が固定されたプローブカード基板２とを有する。プローブカード基板２は、プローブピン部分の絶縁性を確保するため、プリント基板から構成される。
プローブカード１の幅は、例えば４．５インチ（１１４．３ｍｍ）である。
図２に示すように、プローブカード１の一端部には、カードエッジコネクタ７が設けられている。
【００１３】
平面コイル３ａ〜３ｄは、例えばスパイラルコイルであり、磁界印加手段である。図１に示す例では、ＸＹ方向に磁界を印加するため、２組(４つ)の平面コイル３ａ〜３ｄが配されている。例えば平面コイル３ｂ、３ｄでＸ方向の磁界、コイル３ａ，３ｃでＹ方向の磁界を形成する。両組の磁界を適宜制御することにより、角度を持った磁界や、回転磁界を形成することも可能である。
【００１４】
そして、これら４つの平面コイル３ａ〜３ｄは、プローブカード基板２の一面２ａ上の所定の一点を中心点αとしたときに、前記プローブカード基板２の一面２ａ上において前記中心点αからの距離が同じであり、互いに９０度をなす位置にそれぞれ配されている。これら４つの平面コイル３ａ〜３ｄは、巻き数、巻き方向及び大きさが同じであることが好ましい。また、４つの平面コイル３ａ〜３ｄのうち、相対向する平面コイル３ａ〜３ｄは電気的に接続されていても、接続されていなくてもよい。
【００１５】
なお、図１及び図２では、平面コイル３ａ〜３ｄがプローブカード基板２の一面２ａ上に配された場合を示しているが、平面コイル３ａ〜３ｄは他面２ｂ上に形成されていてもよい。これにより磁気センサ５を低くすることができる。また、被測定物との距離が近いので、同じ電流値でも磁界の強さを大きくすることができる。
【００１６】
磁気センサ５は、前記平面コイル３ａ〜３ｄにより発生した磁界を検知するものである。
そして、特に本発明のプローブカード１では、この磁気センサ５は、前記プローブカード基板２の一面２ａ側において、前記平面コイル３ａ〜３ｄの厚さの中央からの高さが、前記平面コイル３ａ〜３ｄの厚さの中央と前記プローブピン４先端との間の距離と同じである位置に配されている。
【００１７】
例えば図に示す例では、プローブカード１上に形成された平面コイルの中央からプローブピン４先端までの高さは、例えば２．８±０．１ｍｍである。プローブカード１上面から２．８ｍｍ上方、また、ＸＹ方向については、平面コイル３ｂの中央−平面コイル３ｄの中央軸上であり、かつ、平面コイル３ａの中央−平面コイル３ｃの中央軸上である位置、すなわち磁界印加手段（平面コイル３ａ〜３ｄ）から形成される磁界のほぼ中央の位置となるような位置に磁気センサ５を設置する。ここで図２のｈの始点は平面コイル３ａ〜３ｄの厚さの中央とする。
【００１８】
磁気センサ５を前記位置に配することにより、デバイス（被測定物）の測定中に磁界印加装置から印加される磁束密度の値を測定することが可能となった。また、磁束密度の測定値に対して、コイルを駆動する電源にフィードバックをおこない、所望の磁界を印加することが可能となった。
【００１９】
このような磁気センサ５としては、例えばＭＲセンサ、ホールセンサ、ＭＩセンサ、フラックスゲートセンサ等が使用可能である。
また、磁気センサ５は、例えばテフロン（登録商標）、プラスチック、Ａｌ等の非磁性材料からなるガイド６によって前記位置に支持されている。
また、磁気センサ５は、互いに直交する方向に２個設置してもよいし、回転軸を設けて一つの磁気センサ５を回転させてもよい。
【００２０】
以下、このようなプローブカード１を用いた磁界印加方法について説明する。
本発明の磁界印加方法は、プローブカード基板２の一面２ａ又は他面２ｂ上に配された平面コイル３と、前記プローブカード基板２の他面２ｂ側に突出して配されたプローブピン４と、前記プローブカード基板２の一面２ａ側において、前記平面コイル３の厚さの中央からの高さが、前記平面コイル３の厚さの中央と前記プローブピン４先端との間の距離と同じである位置に配された、前記平面コイル３により発生した磁界を検知する磁気センサ５と、を備えたプローブカード１を用いた磁界プローバによる磁界印加方法であって、前記磁気センサ５により得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイル３を駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイル３により発生する磁界を調整すること、を特徴とする。
【００２１】
本発明の磁界印加方法では、用いる磁界プローバにおいて磁気センサ５を前記位置に配することにより、デバイス（被測定物）の測定中に磁界印加装置から印加される磁束密度の値を測定することが可能となった。そして、磁気センサ５により得られた磁束密度の値を用いて、前記平面コイル３を駆動する電源に対してフィードバック制御を行い、前記平面コイル３により発生する磁界を調整している。これにより本発明の磁界印加方法では、磁気センサ５により検知された磁界の強さをもとに、平面コイル３に通電する電流値を調整してデバイスに所望の磁界を印加することが可能となる。
【００２２】
以上、本発明のプローブカード及び磁界印加方法について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明は、プローブカード及び磁界印加方法に広く適用可能である。
【符号の説明】
【００２４】
１  プローブカード、２  プローブカード基板、３ａ〜３ｄ  平面コイル、４  プローブピン、５  磁気センサ、６  ガイド。
【図１】
2011014634.tif 000003
【図２】
2011014634.tif 000004