(57)【要約】【課題】感度を低下させることなく小形化および低コスト化を実現し得る磁気検出センサを提供する。【解決手段】磁気検出素子１１と、交流電流Ｉｈを出力する交流電流出力部１２と、磁気検出素子１１に対して交流電流Ｉｈが供給されている状態において磁気検出素子１１から出力される電圧Ｖｄを検出する検出部１３とを備え、磁気検出素子１１は、導電性材料で形成されて交流電流Ｉｈの供給によって磁界Ｈｅを発生する帯状または線状の励磁用電極２１と、非晶質材料で形成されて励磁用電極２１の近傍にそれぞれ配置されると共に各々の端部３１が互いに電気的に接続された帯状または線状の２つの検出電極２２ａ，２２ｂとを備え、検出部１３は、励磁用電極２１に対して交流電流Ｉｈが供給されている状態において各検出電極２２ａ，２２ｂにおける各々の端部３２間の電圧Ｖｄを検出する。【選択図】図１
2011064607.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気検出素子と、励磁用電流を出力する励磁用電流出力部と、前記磁気検出素子に対して前記励磁用電流が供給されている状態において当該磁気検出素子から出力される電圧を検出する電圧検出部とを備えた磁気検出センサであって、
前記磁気検出素子は、導電性材料で形成されて前記励磁用電流の供給によって励磁用磁界を発生する帯状または線状の励磁用電極と、非晶質材料で形成されて前記励磁用電極の近傍にそれぞれ配置されると共に各々の一端部が互いに電気的に接続された帯状または線状の複数の検出電極とを備え、
前記電圧検出部は、前記励磁用電極に対して前記励磁用電流が供給されている状態において前記複数の検出電極のうちの一対における各々の他端部間の電圧を検出する磁気検出センサ。
【請求項２】
前記各検出電極は、前記励磁用電極に対して平行またはほぼ平行な状態で当該励磁用電極に対して同じ距離だけそれぞれ離間するように配置されている請求項１記載の磁気検出センサ。
【請求項３】
前記磁気検出素子は、前記検出電極を３つ以上備え、
前記各検出電極は、前記励磁用電極を取り囲むようにして配置されている請求項１または２記載の磁気検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気検出素子を備えた磁気検出センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のセンサとして、特許第３３４３８６０号公報に開示された渦電流探傷プローブが知られている。この渦電流探傷プローブは、試験体上の傷の有無を検出するためのプローブであって、同一平面上に線対称に並べて配置した一対の励磁コイルと、試験体から同じ距離だけ離隔するように配置されて差動接続された一対の検出コイルと、各検出コイルに接続されるブリッジ回路と、励磁コイルに交流電流を供給する発振器とを備えて構成されている。この渦電流探傷プローブでは、発振器からの交流電流の供給によって励磁コイルが交流磁場を発生させる。この際に、試験体上に渦電流が発生し、この渦電流によって鎖交磁束が発生する。また、この鎖交磁束によって検出コイルに電圧が発生する。この場合、試験体上に傷が存在しないときには、渦電流に外乱が作用しないため、渦電流によって発生する鎖交磁束が均一な分布となり、差動接続された各検出コイルに発生する電圧には差が生じない。このため、ブリッジ回路からは、検出コイルの電圧差に相当する信号（キズ信号）が出力されない状態に維持される。一方、試験体上に傷が存在するときには、渦電流に外乱が生じるため、渦電流によって発生する鎖交磁束が不均一な分布となって、各検出コイルに発生する電圧に差が生じ、この結果ブリッジ回路から検出コイルの電圧差に相当する信号が出力される。このように、この渦電流探傷プローブでは、ブリッジ回路から出力される信号に基づいて試験体上の傷の有無を検出することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３３４３８６０号公報（第６−７頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の渦電流探傷プローブには、以下の問題点がある。すなわち、この渦電流探傷プローブは、励磁コイルおよび検出コイルをそれぞれ一対備えているため、小形化が困難となっている。この場合、この種のセンサでは、一般的に、センサが大形になるほど、傷を検出する際の空間分解能（傷が複数存在するときにそれらを別の傷として見分ける能力）が低下する。このため、上記の渦電流探傷プローブには、小形化が困難なことに起因して、空間分解能の向上が困難であるという問題点が存在する。この場合、各コイルの巻線数を少なくすることで小形化を図る構成も考えられる。しかしながら、この構成では、巻線数を少なくする分、感度が低下するおそれがある。また、一般的に、各コイルは、数多くの工程を経て製作されるために多くの製作コストを必要とする。このため、上記の渦電流探傷プローブには、各コイルの製作コストに起因して、渦電流探傷プローブの製造コストが高騰するという問題点も存在する。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、感度を低下させることなく小形化および低コスト化を実現し得る磁気検出センサを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の磁気検出センサは、磁気検出素子と、励磁用電流を出力する励磁用電流出力部と、前記磁気検出素子に対して前記励磁用電流が供給されている状態において当該磁気検出素子から出力される電圧を検出する電圧検出部とを備えた磁気検出センサであって、前記磁気検出素子は、導電性材料で形成されて前記励磁用電流の供給によって励磁用磁界を発生する帯状または線状の励磁用電極と、非晶質材料で形成されて前記励磁用電極の近傍にそれぞれ配置されると共に各々の一端部が互いに電気的に接続された帯状または線状の複数の検出電極とを備え、前記電圧検出部は、前記励磁用電極に対して前記励磁用電流が供給されている状態において前記複数の検出電極のうちの一対における各々の他端部間の電圧を検出する。
【０００７】
また、請求項２記載の磁気検出センサは、請求項１記載の磁気検出センサにおいて、前記各検出電極は、前記励磁用電極に対して平行またはほぼ平行な状態で当該励磁用電極に対して同じ距離だけそれぞれ離間するように配置されている。
【０００８】
また、請求項３記載の磁気検出センサは、請求項１または２記載の磁気検出センサにおいて、前記検出電極を３つ以上備え、前記各検出電極は、前記励磁用電極を取り囲むようにして配置されている。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の磁気検出センサでは、導電性材料で形成されて励磁用電流の供給によって励磁用磁界を発生する帯状または線状の励磁用電極と、非晶質材料で形成されて励磁用電極の近傍にそれぞれ配置されると共に各々の一端部が互いに電気的に接続された帯状または線状の複数の検出電極とを備えて磁気検出素子が構成されている。このため、この磁気検出センサによれば、励磁用電極および各検出電極をそれぞれ小形化することができる結果、磁気検出センサを全体として十分に小形化することができる。また、この磁気検出センサによれば、励磁用電極および各検出電極が単純な帯状または線状に形成されているため、励磁用電極および検出電極としてのコイルを用いる構成と比較して、磁気検出センサの製作コストを十分に低く抑えることができる結果、磁気検出センサの製造コストを十分に低く抑えることができる。さらに、この磁気検出センサによれば、励磁用電極および各検出電極が単純な帯状または線状形成されているため、例えば、励磁用電極および各検出電極をベース部材としてのプリント基板上に直接配置して、プリント基板と磁気検出素子とを一体に形成することができ、このような構成を採用することで、磁気検出センサの製造コストをさらに低減することができる。また、この磁気検出センサによれば、各検出電極の他端部間の電圧を磁界の強度の変化として検出する構成のため、各検出電極の一端部同士を接続する導線とその一端部との間の接触抵抗や、他端部および電圧検出部を繋ぐ導線と他端部との間の接触抵抗が検出電極毎に異なっているとしても、その影響が小さいため、磁気検出センサを用いた検査の精度を十分に向上させることができる。また、この磁気検出センサによれば、非晶質材料で形成された検出電極のインダクタンスが磁界の強度（励磁用磁界の強度と励磁用磁界に起因して生じる鎖交磁界の強度とを併せた強度）の変化に伴って大きく変化し、このインダクタンスの変化が検出電極の両端部間に生じる誘導起電力の変化として現れるため、磁界の強度の変化を高感度で検出することができる。したがって、この磁気検出センサによれば、感度を低下させることなく十分な小形化および十分な低コスト化を実現することができる。
【００１０】
また、請求項２記載の磁気検出センサでは、各検出電極が、励磁用電極に対して平行またはほぼ平行な状態で励磁用電極に対して同じ距離だけそれぞれ離間するように配置されている。このため、この磁気検出センサによれば、例えば、探傷検査にこの磁気検出センサを用いたときに、検査対象体の表面に傷が存在せずに励磁用磁界によって生じる渦電流の乱れがない状態においては各検出電極に作用する磁界の強度を同程度に維持させ、検査対象体の表面に傷が存在して渦電流の乱れがある状態においては各検出電極に作用する磁界の強度を明確に異ならせることができる。このため、この磁気検出センサによれば、探傷検査にこの磁気検出センサを用いたときには、傷の有無を確実に検出することができる。また、例えば、金属探知にこの磁気検出センサを用いたときには、金属を確実に探知することができる。
【００１１】
また、請求項３記載の磁気検出センサでは、励磁用電極を取り囲むようにして配置された３つ以上の検出電極を備えて磁気検出素子が構成されている。このため、例えば、この磁気検出センサを用いて、向きの異なる２つの面に傷が存在するか否かを検査する際には、両面に向けて磁気検出素子を移動させることで、各検出電極の中から一対を組み合わせる各組み合わせの各組における各検出電極の一端部間の電圧をそれぞれ大きな値で検出することができる。このため、この磁気検出センサによれば、向きの異なる２つの面における傷の有無を一度に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】探傷装置１００の構成を示す構成図である。
【図２】磁気検出センサ１の使用方法を説明する第１の説明図である。
【図３】磁気検出センサ１の使用方法を説明する第２の説明図である。
【図４】磁気検出センサ１の特性を示す特性図である。
【図５】磁気検出素子３１１の構成を示す構成図である。
【図６】磁気検出素子３１１の構成を示す断面図である。
【図７】磁気検出素子４１１の構成を示す断面図である。
【図８】磁気検出素子５１１の構成を示す断面図である。
【図９】磁気検出素子６１１の構成を示す断面図である。
【図１０】磁気検出素子７１１の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に係る磁気検出センサの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
最初に、磁気検出センサを備えた探傷装置１００の構成について説明する。図１に示す探傷装置１００は、金属（導電体）で構成された検査対象体２０１の表面における傷Ｓ（図３参照）の有無を検査する（探傷を行う）装置であって、磁気検出センサ１、移動機構２、制御部３および表示部４を備えて構成されている。
【００１５】
磁気検出センサ１は、図１に示すように、磁気検出素子１１、交流電流出力部１２および検出部（電圧検出部）１３を備えて構成されている。磁気検出素子１１は、同図に示すように、励磁用電極２１、および２本（複数の一例）の検出電極２２ａ，２２ｂ（以下、区別しないときには「検出電極２２」ともいう）を備えて構成されている。
【００１６】
励磁用電極２１は、導電性材料としての金属（例えば、銅）によって、図１に示すように、直線的な線状（柱状）または帯状（同図では断面円形の線状の例を図示する）に形成されて、後述する交流電流Ｉｈの供給によって励磁用の磁界Ｈｅを発生する（同図参照）。また、励磁用電極２１は、一例として、直径が１０μｍ〜１５０μｍ程度で、長さが０．５ｍｍ〜１５ｍｍ程度に形成されている。
【００１７】
各検出電極２２ａ，２２ｂは、非晶質材料としてのアモルファス磁性材料（例えば、ＦｅＣｏＳｉＢ系アモルファスや、ＣｏＳｉＢ系アモルファス）によって、図１に示すように、直線的な線状（柱状）または帯状（同図では断面円形の線状の例を図示する）にそれぞれ形成されている。この場合、各検出電極２２ａ，２２ｂは、一例として、その断面積が励磁用電極２１の断面積と同程度、またはそれよりもやや小さく、その長さが励磁用電極２１の長さと同程度（この例では、長さが０．５ｍｍ〜１５ｍｍ程度）にそれぞれ形成されている。また、各検出電極２２ａ，２２ｂは、同図に示すように、導線３３を介して検出電極２２ａの一方の端部（一端部）３１と検出電極２２ｂの一方の端部（一端部）３１とが互いに電気的に接続されることにより、差動接続されている。
【００１８】
この場合、この磁気検出センサ１では、図１に示すように、各検出電極２２ａ，２２ｂが、励磁用電極２１の近傍において励磁用電極２１に対して平行（または、ほぼ平行）でかつ励磁用電極２１に対してそれぞれ同じ距離だけ離間して同一平面上に並べた状態に配置されている。
【００１９】
ここで、この磁気検出素子１１を構成する励磁用電極２１および検出電極２２ａ，２２ｂは、上記したように、直線的な線状（つまり、極めて単純な形状）にそれぞれ形成されている。このため、励磁用電極２１および検出電極２２ａ，２２ｂを小形化することが可能な結果、磁気検出素子１１を全体として十分に小形化することが可能となっている。また、この磁気検出素子１１では、励磁用電極２１および検出電極２２ａ，２２ｂが単純な線状に形成されているため、励磁用電極および検出電極としてのコイルを用いる構成と比較して、磁気検出素子１１の製作コストを十分に低く抑えることが可能な結果、磁気検出センサ１の十分な低コスト化が可能となっている。
【００２０】
交流電流出力部１２は、励磁用電流の一例としての交流電流（正弦波電流）Ｉｈ（例えば、１ＭＨｚ〜１００ＭＨｚの高周波電流）を出力可能に構成されて、を出力可能に構成されて、図１に示すように、励磁用電極２１に対して交流電流Ｉｈを供給する。
【００２１】
検出部１３は、図１に示すように、検波回路４１と増幅回路４２とを備えて構成され、励磁用電極２１に対して交流電流Ｉｈが供給されている状態において、各検出電極２２ａ，２２ｂにおける各々の端部（他端部）３２間（検出電極２２ａの端部３２と検出電極２２ｂの端部３２との間）の電圧Ｖｄを検出する。また、検出部１３では、検波回路４１が電圧Ｖｄを検波し、増幅回路４２が検波された検波信号を所定の利得で増幅して増幅電圧Ｖａを出力する。
【００２２】
移動機構２は、制御部３の制御に従い、検査対象体２０１の表面に磁気検出センサ１の磁気検出素子１１を近接させた状態でその表面に沿って磁気検出素子１１を移動させる移動処理を実行する。
【００２３】
制御部３は、磁気検出センサ１から出力される増幅電圧Ｖａに基づいて検査対象体２０１の表面における傷Ｓの有無を検査する検査処理を実行する。また、制御部３は、移動機構２を制御して移動処理を実行させる。
【００２４】
表示部４は、例えば液晶ディプレイで構成されて制御部３によって実行される検査処理の結果などを表示する。
【００２５】
次に、磁気検出センサ１の使用形態の一例として、磁気検出センサ１を備えた探傷装置１００を用いて検査対象体２０１の表面における傷Ｓの有無を検査する際の磁気検出センサ１の動作（磁気の検出原理）について、図面を参照して説明する。
【００２６】
この探傷装置１００では、開始操作がされたときに、制御部３が移動機構２を制御して、移動処理を実行させる。この移動処理では、移動機構２が、図２に示すように、検査対象体２０１の表面に磁気検出センサ１の磁気検出素子１１を近接させ、次いで、その表面に沿って、例えば、同図に示す矢印Ａの向きに磁気検出素子１１を移動させる。また、制御部３は、磁気検出センサ１の交流電流出力部１２を制御して、交流電流Ｉｈを出力させる。この際に、交流電流Ｉｈが磁気検出センサ１の励磁用電極２１に供給され、交流電流Ｉｈの供給によって励磁用電極２１の周囲に磁界（励磁用の磁界）Ｈｅが発生する。また、励磁用電極２１の周囲に発生した磁界Ｈｅによって検査対象体２０１の表面に渦電流が発生し、この渦電流によって磁界（鎖交磁界）Ｈｏが発生する。
【００２７】
また、磁界Ｈｅおよび磁界Ｈｏによって磁気検出センサ１の各検出電極２２ａ，２２ｂにおける両端部３１，３２間に誘導起電力（電位差）が生じる。次いで、検出部１３が、各検出電極２２ａ，２２ｂにおける各々の端部３２間の電圧Ｖｄ、つまり各検出電極２２ａ，２２ｂに生じる誘導起電力の差を検出する。この際に、検出部１３の検波回路４１が電圧Ｖｄの電圧を検波し、増幅回路４２が検波された検波信号を所定の利得で増幅して増幅電圧Ｖａを出力する。次いで、制御部３は、検査処理を実行する。この検査処理では、制御部３は、磁気検出センサ１（検出部１３）から出力された増幅電圧Ｖａに基づいて検査対象体２０１の表面における傷Ｓの有無を判別する。
【００２８】
この場合、図２に示すように、表面に傷Ｓが存在していないときには、上記した渦電流に乱れが生ず（または乱れが少なく）、各検出電極２２ａ，２２ｂの配設位置における磁界Ｈｏの強度には差が生じない（または、差が少ない）ため、各検出電極２２ａ，２２ｂに作用する磁界Ｈｅの強度と磁界Ｈｏの強度とを併せた強度（以下、単に「磁界の強度」ともいう）が同程度に維持される。このため、表面に傷Ｓが存在していないときには、小さな値（または０）の電圧Ｖｄが検出部１３によって検出される。
【００２９】
一方、図３に示すように、表面に傷Ｓが存在しているときには、渦電流に乱れが生じ、各検出電極２２ａ，２２ｂの配設位置における磁界Ｈｏの強度にも差が生じるため、各検出電極２２ａ，２２ｂに作用する磁界の強度が異なることとなる。このため、表面に傷Ｓが存在しているときには、大きな値の電圧Ｖｄが検出部１３によって検出される。したがって、制御部３は、増幅電圧Ｖａが予め規定された基準値以下のときには、検査対象の表面に傷Ｓが存在していないと判別し、増幅電圧Ｖａが基準値を超えたきには、表面に傷Ｓが存在していると判別する。
【００３０】
続いて、制御部３は、表示部４に表示データＤｄを出力することにより、検査処理の結果を表示部４に表示させる。
【００３１】
ここで、発明者は、非晶質材料で形成されている検出電極２２の周囲の磁界が変化したときには、その検出電極２２に交流電流を供給していない状態においても検出電極２２のインダクタンスが大きく変化することを実験等によって見出している。このため、この磁気検出センサ１では、磁界の強度の変化に伴って検出電極２２のインダクタンスが大きく変化し、このインダクタンスの変化が検出電極２２の両端部３１，３２間に生じる誘導起電力の変化として現れる。また、この磁気検出センサ１では、例えば、検出電極としてのアモルファス磁性線に交流電流を供給する従来の構成とは異なり、検出電極２２とは別体であって導電性材料によって形成された励磁用電極２１に交流電流Ｉｈを供給するため、交流電流Ｉｈの電流値を十分に大きく規定することが可能となっている。このため、この磁気検出センサ１では、十分に大きい磁界Ｈｅを発生させることができる結果、検査対象の表面における傷Ｓの存在に起因して各検出電極２２ａ，２２ｂに作用する磁界の強度の差を大きく異ならせることが可能となっている。したがって、この磁気検出センサ１を備えた探傷装置１００では、磁気検出センサ１から出力される増幅電圧Ｖａに基づき、検査対象体２０１の表面における傷Ｓの有無を正確に検出することが可能となっている。
【００３２】
なお、発明者は、磁気検出センサ１の検出能力を検証するため、次のような実験を行った。この場合、この第１実験に用いた磁気検出センサ１では、銅によって幅が２００μｍ、厚みが３５μｍで長さが５ｍｍの直線的な線状（帯状）に励磁用電極２１を形成すると共に、ＦｅＣｏＳｉＢ系アモルファスによって直径が３０μｍで長さが５ｍｍの直線的な線状に各検出電極２２ａ，２２ｂをそれぞれ形成した。また、この磁気検出センサ１では、各検出電極２２ａ，２２ｂを、励磁用電極２１に対して平行でかつ励磁用電極２１に対してそれぞれ０．５ｍｍだけ離間させて同一平面上に並べた状態に配置した。
【００３３】
この実験では、交流電流出力部１２から２０ＭＨｚの交流電流Ｉｈを出力させて励磁用電極２１に供給した。この場合、交流電流Ｉｈの電流値を１００ｍＡに規定した。次いで、幅が５０μｍ、長さが１００μｍで深さが２０μｍの微細な傷Ｓを表面に形成した実験用の銅板における表面と、検出電極２２ａ，２２ｂおよび励磁用電極２１との距離が１ｍｍとなるように、磁気検出センサ１を近接させ、次いで、銅板の表面に沿って磁気検出センサ１を１ｍｍ／秒の速度で移動させた（図３参照）。また、この際に、検出部１３から出力される増幅電圧Ｖａを１秒間隔で記録した。この結果、図４に示すように、磁界Ｈｏの変化に応じて、増幅電圧Ｖａが十分大きく変化することが明かである。したがって、この磁気検出センサ１が高感度の磁気検出センサとして機能することが理解される。
【００３４】
このように、この磁気検出センサ１では、導電性材料で形成されて交流電流Ｉｈの供給によって磁界Ｈｅを発生する線状の励磁用電極２１と、非晶質材料で形成されて励磁用電極２１の近傍において励磁用電極２１に対して平行またはほぼ平行な状態にそれぞれ配置されると共に各々の端部３１が互いに電気的に接続された線状の２つの検出電極２２ａ，２２ｂとを備えて磁気検出素子１１が構成されている。このため、この磁気検出センサ１によれば、励磁用電極２１および各検出電極２２をそれぞれ小形化することができる結果、磁気検出素子１１を全体として十分に小形化することができる。また、この磁気検出センサ１によれば、励磁用電極２１および各検出電極２２が単純な線状に形成されているため、励磁用電極および検出電極としてのコイルを用いる構成と比較して、磁気検出素子１１の製作コストを十分に低く抑えることができる結果、磁気検出センサ１の製造コストを十分に低く抑えることができる。さらに、この磁気検出センサ１によれば、励磁用電極２１および各検出電極２２が単純な線状に形成されているため、励磁用電極２１および各検出電極２２をベース部材としてのプリント基板上に直接配置して、プリント基板と磁気検出素子１１とを一体に形成することができ、このような構成を採用することで、磁気検出センサ１の製造コストをさらに低減することができる。また、この磁気検出センサ１によれば、各検出電極２２の端部３２間の電圧を磁界の強度の変化として検出する構成のため、各検出電極２２の各端部３１同士を接続する導線３３と端部３１との間の接触抵抗や、端部３２および検出部１３を繋ぐ導線と端部３２との間の接触抵抗が検出電極２２毎に異なっているとしても、その影響が小さいため、磁気検出センサ１を用いた検査の精度を十分に向上させることができる。また、この磁気検出センサ１によれば、非晶質材料で形成された検出電極２２のインダクタンスが磁界の強度の変化に伴って大きく変化し、このインダクタンスの変化が検出電極２２の両端部３１，３２間に生じる誘導起電力の変化として現れるため、磁界の強度の変化を高感度で検出することができる。したがって、この磁気検出センサ１によれば、感度を低下させることなく十分な小形化および十分な低コスト化を実現することができる。
【００３５】
また、この磁気検出センサ１によれば、励磁用電極２１に対して平行またはほぼ平行な状態で、かつ同じ距離だけ離間するように各検出電極２２ａ，２２ｂを配置したことにより、検査対象体２０１の表面に傷Ｓが存在せずに渦電流の乱れがない状態では、各検出電極２２ａ，２２ｂに作用する磁界の強度を同程度に維持させ、検査対象体２０１の表面に傷Ｓが存在して渦電流の乱れがある状態では、各検出電極２２ａ，２２ｂに作用する磁界の強度を明確に異ならせることができる。このため、この磁気検出センサ１によれば、検査対象体２０１の表面における傷Ｓの有無を確実に検出することができる。
【００３６】
なお、２本の検出電極２２を備えた磁気検出素子１１について上記したが、検出電極２２を３本以上備えた構成を採用することもできる。具体的には、図５，６に示すように、３本の検出電極２２ａ〜２２ｃを励磁用電極２１の近傍において励磁用電極２１に対して平行（または、ほぼ平行）な状態で励磁用電極２１に対してそれぞれ同じ距離だけ離間させ、かつ励磁用電極２１を取り囲むようにして配置した磁気検出素子３１１を採用することができる。なお、以下、磁気検出素子１１と同じ機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複した説明を省略する。この磁気検出素子３１１を備えた磁気検出センサ１では、検出部１３が、励磁用電極２１に対して交流電流Ｉｈが供給されている状態において、各検出電極２２ａ〜２２ｃのうちの一対（検出電極２２ａ，２２ｂ、検出電極２２ａ，２２ｃおよび検出電極２２ｂ，２２ｃの３つの組み合わせの各組）における各々の端部３２間の電圧Ｖｄを検出して、検出した各電圧Ｖｄに基づいて制御部３が傷Ｓの有無を判別する。
【００３７】
また、この磁気検出素子３１１を備えた磁気検出センサ１では、図６に示すように、向きの異なる２つの面（例えば、水平面および垂直面）を有する検査対象体２０２の表面に傷Ｓが存在するか否かを検査する際に、同図示す矢印Ｂの向き（斜め右下向き：直交する２つの面の各々に対して４５°に傾いた角度での向き）に磁気検出素子３１１を移動させる。この場合、同図に示すように、水平面と垂直面の双方に傷Ｓが存在するときには、検出電極２２ａ，２２ｂ間の電圧Ｖｄ、および検出電極２２ｂ，２２ｃ間の電圧Ｖｄがそれぞれ大きな値で検出される。このため、励磁用電極２１を取り囲むようにして３本の検出電極２２ａ〜２２ｃを配置した磁気検出素子３１１を備えた磁気検出センサ１では、向きの異なる２つの面における傷Ｓの有無を一度に検出することができる。
【００３８】
また、励磁用電極２１および各検出電極２２ａ，２２ｂを同一平面上に並べた状態に配置した例について上記したが、図７，８に示すように、励磁用電極２１と検出電極２２ａ，２２ｂとが同一平面上に並べられていない磁気検出素子４１１，５１１を採用することもできる。また、励磁用電極２１および各検出電極２２を直線的な線状に形成した例について上記したが、検出電極２２および励磁用電極２１の形状はこれに限定されない。例えば、図９に示すように、励磁用電極６２１を帯状に形成した磁気検出素子６１１を採用することもできる。また、図示はしないが、各検出電極２２を帯状に形成することもできる。
【００３９】
また、励磁用電極２１と各検出電極２２ａ，２２ｂとを互いに同じ長さ（ほぼ同じ長さ）に形成した例について上記したが、図１０に示すように、励磁用電極２１よりも検出電極２２ａ，２２ｂを短く形成した磁気検出素子７１１を採用することもできる。さらに、各検出電極２２を励磁用電極２１に対して平行（または、ほぼ平行）な状態で配置した例について上記したが、必ずしも平行である必要はなく、例えば、平面視状態において検出電極２２が励磁用電極２１に対して交差するように配置することもできる。
【００４０】
また、線状の励磁用電極２１を複数直線的に並べて電気的に接続することで１つの線状の励磁用電極２１とする構成や、帯状の励磁用電極２１を複数直線的に並べて電気的に接続することで１つの帯状の励磁用電極２１とする構成を採用することもできる。同様にして、線状の検出電極２２を複数直線的に並べて電気的に接続して１つの線状の検出電極２２とする構成や、帯状の検出電極２２を複数直線的に並べて電気的に接続して１つの帯状の検出電極２２とする構成を採用することもできる。また、線状の励磁用電極２１を複数並列的に並べて電気的に接続することで１つの帯状の励磁用電極２１とする構成や、線状の検出電極２２を複数並列的に並べて電気的に接続することで１つの帯状の検出電極２２とする構成を採用することもできる。さらに、帯状の励磁用電極２１を複数並列的に並べて電気的に接続することで１つの帯状の励磁用電極２１とする構成や、帯状の検出電極２２を複数並列的に並べて電気的に接続することで１つの帯状の検出電極２２とする構成を採用することもできる。
【００４１】
また、探傷装置１００における探傷用のセンサとして磁気検出センサ１を使用する例について上記したが、金属を探知する金属探知装置においても、磁気検出センサ１を金属探知用のセンサとして好適に使用することができる。
【００４２】
また、励磁用電流の一例として、正弦波の交流電流Ｉｈを用いる例について上記したが、正弦波に限定されず、矩形波、三角波、鋸歯状波などの各種の交流電流を用いることができる。また、交流電流に代えて、パルス電流を励磁用電流として用いることもできる。
【符号の説明】
【００４３】
１  磁気検出センサ
１１，３１１，４１１，５１１，６１１，７１１  磁気検出素子
１２  交流電流出力部
１３  検出部
２１  励磁用電極
２２ａ〜２２ｃ検出電極
３１  端部
３２  端部
Ｉｈ  交流電流
Ｖｄ  電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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