(57)【要約】【課題】  基板の反りの発生を防ぎ、検査ピンと検査位置との間の滑動や検査ピンと所定の検査位置との接触位置のずれを防止する。【解決手段】  検査部の検査基板７０の各面の配線の電気的特性を検査するための基板検査装置１である。それは、検査部の検査基板を挟むように配置された一対の検査治具１１，２１であって、各検査治具が、検査基板の配線上の検査点に接触させて検査基板の配線の電気的特性を検査するための複数の検査ピンを備える一対の検査治具と、検査基板を押さえる一対の基板押さえ手段１２，２２，１１７，２２７と、一対の検査治具及び一対の基板押さえ手段を移動するための一対の検査治具移動部１０，２０とを備え、一対の検査治具移動部が、一対の検査治具及び一対の基板押さえ手段を移動して検査部の検査基板の両面に当接させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査部において検査基板の上面及び下面の配線の電気的特性を検査するための基板検査装置であって、
前記検査部において前記検査基板の上面及び下面に対向するように配置された一対の検査治具であって、各検査治具が、前記検査基板の配線上の検査点に接触させて該検査基板の配線の電気的特性を検査するための複数の検査ピンを備える一対の検査治具と、
前記検査基板の前記上面及び下面を押さえる一対の基板押さえ手段と、
前記一対の検査治具及び前記一対の基板押さえ手段を移動するための一対の検査治具移動部とを備え、
前記一対の検査治具移動部が、前記一対の基板押さえ手段を前記検査基板の前記上面及び下面に当接させ、それから、該一対の検査治具移動部が、前記一対の検査治具を移動して前記検査ピンを前記検査基板の配線上の検査点に接触させる、基板検査装置。
【請求項２】
請求項１の基板検査装置において、
各基板押さえ手段が、前記検査基板と当接するプレート部を備えており、該プレート部が前記検査ピンを前記検査点に案内するための貫通孔を有していて、前記検査ピンの先端が前記プレート部の貫通孔内でわずかに引っ込んだ状態で保持される、基板検査装置。
【請求項３】
請求項２の基板検査装置において、各検査治具移動部が、さらに、検査治具前進部を備えており、各検査治具前進部が前記各検査治具移動部と各検査治具との間に設けられていて、各検査治具移動部は前記基板押さえ手段のプレート部を前記検査基板に当接させ、その状態で、各検査治具前進部は、前記検査治具を前進させて、前記プレート部の貫通孔内でわずかに引っ込んだ前記検査ピンを前記プレート部の前記貫通孔から突出させてその先端を前記検査基板の配線の検査点に当接させる、基板検査装置。
【請求項４】
請求項２の基板検査装置において、
各基板押さえ手段のプレート部は平坦である、基板検査装置。
【請求項５】
請求項２の基板検査装置において、
各基板押さえ手段のプレート部が前記検査基板の形状に対応した形状を持つ、基板検査装置。
【請求項６】
請求項１の基板検査装置において、
さらに、ダミーピンを、各検査治具において前記検査ピンが設けられていない箇所に配置しており、前記一対の検査治具移動部が、前記一対の基板押さえ手段を移動して前記検査基板の前記上面及び下面に当接させ、それから、該一対の検査治具移動部が、前記一対の検査治具を移動して前記検査ピン及び前記ダミーピンの先端を前記基板の所定の箇所に当接する、基板検査装置。
【請求項７】
請求項２の基板検査装置において、
さらに、ダミーピンを、各検査治具において前記検査ピンが設けられていない箇所に配置しており、前記検査ピン及び該ダミーピンの先端が前記プレート部の貫通孔内でわずかに引っ込んだ状態で保持され、前記一対の検査治具移動部が、前記一対の基板押さえ手段を移動して前記検査基板の前記上面及び下面に当接させ、それから、該一対の検査治具移動部が、前記一対の検査治具を移動して前記検査ピン及び前記ダミーピンを前記プレート部の貫通孔内を進行させて該検査ピン及び該ダミーピンの先端を前記基板の所定の箇所に当接する、基板検査装置。
【請求項８】
検査部において検査基板の上面又は下面の配線の電気的特性を検査するため前記配線上の検査点に当接する複数の検査ピンを保持する検査治具であって、
前記複数の検査ピンが挿通されていて、該検査ピンの先端を前記検査点まで案内する複数の貫通孔を有するガイドプレートと、
前記検査ピンの後端部を保持する固定プレートと
ダミーピンとを備え、
前記ダミーピンの後端部が、前記固定プレートの前記検査ピンの設けられていない箇所に保持されており、また、前記ダミーピンの先端が、前記ガイドプレートの前記検査ピンが挿通されていない前記貫通孔に挿通されており、
前記検査ピンの先端が前記検査基板の配線の検査点に当接する際に前記ダミーピンの先端が該検査基板に当接する、検査治具。
【請求項９】
検査部において検査基板の上面及び下面の配線の電気的特性を検査するための基板検査装置であって、
前記検査部において前記検査基板の上面及び下面に対向するように配置された一対の検査治具と、
前記一対の検査治具を移動するための一対の検査治具移動部とを備え、
各検査治具が、
前記検査基板の上面又は下面の配線上の検査点に当接する複数の検査ピンと、
複数の貫通孔を有していて、該複数の貫通孔に前記複数の検査ピンが挿通され、該複数の貫通孔によって前記検査ピンの先端を前記検査点まで案内するガイドプレートと、
前記検査ピンの後端部を保持する固定プレートと
ダミーピンとを備え、
前記ダミーピンの後端部が、前記固定プレートの前記検査ピンの設けられていない箇所に保持されており、また、前記ダミーピンの先端が、前記ガイドプレートの前記検査ピンが挿通されていない前記貫通孔に挿通されており、
さらに、前記一対の検査治具移動部によって前記一対の検査治具を前記検査基板の上面及び下面に向けて移動して、各検査治具の前記検査ピンの先端を前記検査基板の前記上面又は下面の配線の検査点に当接させるとともに各検査治具の前記ダミーピンの先端を該検査基板の該面の所定の位置に当接させ、それにより、前記一対の検査治具の前記検査ピン及び前記ダミーピンによって前記検査基板を前記上面及び下面から挟んで保持する、基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線基板に形成された配線に接触子を接触させて当該配線の電気的特性を検査する基板検査装置及び検査治具に関する。
【０００２】
なお、ここではＩＣ、コンデンサー、抵抗等の素子を既に実装した実装基板を回路基板と呼び、素子が未だ実装されていない状態の裸基板をプリント配線基板と呼ぶ。
【０００３】
また、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や半導体ウエハなどに形成される電気的配線の検査に適用できる。この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。
【背景技術】
【０００４】
図５に示すように、基板７０をワークホルダー７１Ｌ，７１Ｒによって保持し、その基板７０の表面及び裏面（又はそれぞれ「上面及び下面」という）に形成された検査対象の配線の検査点（図示せず）に、上方及び下方の検査治具７２，７４のそれぞれの検査ピン７６，７８の先端を当接させて、所定の配線の電気的特性の測定を行っている。
【０００５】
具体的には、まず、図５（Ａ）に示すように、ワークホルダー７１Ｌ，７１Ｒによって保持した基板７０を所定の検査位置に搬送して、上下の検査治具７２，７４の間に配置する。
【０００６】
次に、上方の検査治具７２を下降させると同時に下方の検査治具７４を上昇させて、それぞれの検査ピン７６，７８の先端を基板７０の上面及び下面に形成された検査対象の配線の検査点に当接させる。
【０００７】
通常、植え付け密度の大きな検査ピン７６の先端が基板７０の表面を押す合計の力は、植え付け密度の小さな検査ピン７８の先端が基板７０の表面を押す合計の力よりも大である。
【０００８】
そのため、図５（Ｂ）に示すように、上方の検査治具７２の検査ピン７６の先端が、Ｗ１の大きさの力で基板７０の表面の検査点に当接し、また、下方の検査治具７４の検査ピン７８の先端が、Ｗ２の大きさの力で基板７０の裏面の検査点に当接する場合には、Ｗ１がＷ２より大きいため、基板７０が下方に反ってしまうことになる。
【０００９】
図５（Ａ）から図５（Ｂ）に示すように、基板７０が、平坦な状態から下方に反るときには、基板７０の表面及び裏面はそれぞれＸ軸線方向に沿って収縮及び伸長するため、検査ピン７６及び７８の先端は、その収縮及び伸長によって変化する表面に沿って基板７０の表面上を概略Ｘ軸線の正又は負の方向に滑動することになる。
【００１０】
検査ピン７６に関して、その状況を図６を参照しながら簡単に説明する。図６（Ａ）は、検査ピン７６の先端が、平坦な基板７０の表面７０ａ上のＰ１の点に当接した状態を示す。図６（Ｂ）は、上方の検査治具７２のすべての検査ピン７６が基板７０に当接することによって、基板が下側に反った状態を示す。
【００１１】
図６（Ａ）の状態では基板７０の表面７０ａは平坦である。図６（Ｂ）の状態では基板７０の表面７０ａは反るとともに例えば長さＬだけ収縮する。そのため、図６（Ａ）の状態から図６（Ｂ）の状態に移行すると、基板７０の表面７０ａ上のＰ１の点は低い側（表面７０ａに沿った矢印の方向）に距離Ｌだけ移動することになる。その結果、検査ピン７６の先端が、基板７０に対し、その表面７０ａ上を点Ｐ１から距離Ｌ、例えば、１０μｍ離れた点Ｐ２まで滑動することになる。
【００１２】
そのように、検査ピン７６の先端が基板７０の表面７０ａ上を滑動すると、先端の接触位置が所定の検査点から外れてしまったり、検査ピン７６の先端と検査点との接触抵抗値が変わってしまったりして、測定抵抗値が変わってしまうことがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開平６−１６０４８３号公報  特許文献１は、回路パターンの電気的特性等を検査するために、基板の下方から検査が行われた際に、基板が反り返ってもその基板が当接することによってそれ以上の反り返りを阻止するための基板押さえを開示する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
特許文献１では、基板押さえは基板に当接していないので、上下の検査治具の検査ピンの基板に加わる力の大きさの違いによって基板が反り返ってしまうことによって生じる問題を解消することはできず、また、基板の反り返りを完全に防ぐことができず、その結果、検査ピンと検査位置との間の滑動や検査ピンと所定の検査位置との接触位置のずれを防止することもできない。
【００１５】
また、上下の検査治具の検査ピンの数に大きな違いがある場合には、上下方向から基板に加えられる力の均衡がとれないため、向かい合う力に差が生じた個所には反りやゆがみが基板に生じてしまう。
【００１６】
また、基板にもともと反りがある場合には、特許文献１の基板押さえでは、何らそれを解消したりそれに対処したりすることはできない。
【００１７】
そこで、本発明は、基板の反りの発生を防ぎ、検査ピンと検査位置との間の滑動や検査ピンと所定の検査位置との接触位置のずれを防止する検査治具を提供することを目的とする。
【００１８】
また、本発明は、基板の反りの発生を防ぎ、検査ピンと検査位置との間の滑動や検査ピンと所定の検査位置との接触位置のずれを防止する基板検査装置を提供することを目的とする。
【００１９】
また、本発明は、基板に反りがある場合にはそれを解消して、検査ピンと検査位置との間の滑動や検査ピンと所定の検査位置との接触位置のずれを防止する基板検査装置を提供することを目的とする。
【００２０】
また、本発明は、基板の反りを解消しまた反りの発生を防ぐことにより、検査ピンと検査位置との間の滑動や検査ピンと所定の検査位置との接触位置のずれを防止する基板検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記の課題を解決するために、本発明に係る基板検査装置は、検査部において検査基板の上面及び下面の配線の電気的特性を検査するためのもので、前記検査部において前記検査基板の上面及び下面に対向するように配置された一対の検査治具であって、各検査治具が、前記検査基板の配線上の検査点に接触させて該検査基板の配線の電気的特性を検査するための複数の検査ピンを備える一対の検査治具と、前記検査基板の前記上面及び下面を押さえる一対の基板押さえ手段と、前記一対の検査治具及び前記一対の基板押さえ手段を移動するための一対の検査治具移動部とを備え、前記一対の検査治具移動部が、前記一対の基板押さえ手段を前記検査基板の前記上面及び下面に当接させ、それから、該一対の検査治具移動部が、前記一対の検査治具を移動して前記検査ピンを前記検査基板の配線上の検査点に接触させることを特徴とする。
【００２２】
その基板検査装置において、各基板押さえ手段が、前記検査基板と当接するプレート部を備えており、該プレート部が前記検査ピンを前記検査点に案内するための貫通孔を有していて、前記検査ピンの先端が前記プレート部の貫通孔内でわずかに引っ込んだ状態で保持されるようにしてもよい。
【００２３】
その基板検査装置において、各検査治具移動部が、さらに、検査治具前進部を備えており、各検査治具前進部が前記各検査治具移動部と各検査治具との間に設けられていて、各検査治具移動部は前記基板押さえ手段のプレート部を前記検査基板に当接させ、その状態で、各検査治具前進部は、前記検査治具を前進させて、前記プレート部の貫通孔内でわずかに引っ込んだ前記検査ピンを前記プレート部の前記貫通孔から突出させてその先端を前記検査基板の配線の検査点に当接させるようにしてもよい。
【００２４】
その基板検査装置において、各基板押さえ手段のプレート部は平坦でもよく、検査基板の形状に対応した形状を持つようにしてもよい。
【００２５】
その基板検査装置において、さらに、ダミーピンを、各検査治具において前記検査ピンが設けられていない箇所に配置しており、前記一対の検査治具移動部が、前記一対の基板押さえ手段を移動して前記検査基板の前記上面及び下面に当接させ、それから、該一対の検査治具移動部が、前記一対の検査治具を移動して前記検査ピン及び前記ダミーピンの先端を前記基板の所定の箇所に当接するようにしてもよい。
【００２６】
その基板検査装置において、さらに、ダミーピンを、各検査治具において前記検査ピンが設けられていない箇所に配置しており、前記検査ピン及び該ダミーピンの先端が前記プレート部の貫通孔内でわずかに引っ込んだ状態で保持され、前記一対の検査治具移動部が、前記一対の基板押さえ手段を移動して前記検査基板の前記上面及び下面に当接させ、それから、該一対の検査治具移動部が、前記一対の検査治具を移動して前記検査ピン及び前記ダミーピンを前記プレート部の貫通孔内を進行させて該検査ピン及び該ダミーピンの先端を前記基板の所定の箇所に当接するようにしてもよい。
【００２７】
また、本発明に係る検査治具は、検査部において検査基板の上面又は下面の配線の電気的特性を検査するため前記配線上の検査点に当接する複数の検査ピンを保持するもので、前記複数の検査ピンが挿通されていて、該検査ピンの先端を前記検査点まで案内する複数の貫通孔を有するガイドプレートと、前記検査ピンの後端部を保持する固定プレートと
ダミーピンとを備え、前記ダミーピンの後端部が、前記固定プレートの前記検査ピンの設けられていない箇所に保持されており、また、前記ダミーピンの先端が、前記ガイドプレートの前記検査ピンが挿通されていない前記貫通孔に挿通されており、前記検査ピンの先端が前記検査基板の配線の検査点に当接する際に前記ダミーピンの先端が該検査基板に当接することを特徴とする。
【００２８】
また、本発明に係る基板検査装置は、検査部において検査基板の上面及び下面の配線の電気的特性を検査するためのもので、前記検査部において前記検査基板の上面及び下面に対向するように配置された一対の検査治具と、前記一対の検査治具を移動するための一対の検査治具移動部とを備え、各検査治具が、前記検査基板の上面又は下面の配線上の検査点に当接する複数の検査ピンと、複数の貫通孔を有していて、該複数の貫通孔に前記複数の検査ピンが挿通され、該複数の貫通孔によって前記検査ピンの先端を前記検査点まで案内するガイドプレートと、前記検査ピンの後端部を保持する固定プレートとダミーピンとを備え、前記ダミーピンの後端部が、前記固定プレートの前記検査ピンの設けられていない箇所に保持されており、また、前記ダミーピンの先端が、前記ガイドプレートの前記検査ピンが挿通されていない前記貫通孔に挿通されており、さらに、前記一対の検査治具移動部によって前記一対の検査治具を前記検査基板の上面及び下面に向けて移動して、各検査治具の前記検査ピンの先端を前記検査基板の前記上面又は下面の配線の検査点に当接させるとともに各検査治具の前記ダミーピンの先端を該検査基板の該面の所定の位置に当接させ、それにより、前記一対の検査治具の前記検査ピン及び前記ダミーピンによって前記検査基板を前記上面及び下面から挟んで保持することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によると、基板の反りの発生を防ぎ、検査ピンと検査位置との間の滑動や検査ピンと所定の検査位置との接触位置のずれを防止する検査治具を提供することができる。
【００３０】
本発明によると、基板の反りの発生を防ぎ、検査ピンと検査位置との間の滑動や検査ピンと所定の検査位置との接触位置のずれを防止する基板検査装置を提供することができる。
【００３１】
本発明によると、検査ピンを接触させる場合に生じる基板の反りに起因する検査ピンと検査位置との間の滑動や検査ピンと所定の検査位置との接触位置のずれを防止する基板検査装置を提供することができる。
【００３２】
また、本発明によると、基板の反りを解消しまた反りの発生を防ぐことにより、検査ピンと検査位置との間の滑動や検査ピンと所定の検査位置との接触位置のずれを防止する基板検査装置を提供することができる。
【００３３】
さらに、本発明によると、基板の一部の変形を防止することにより、その変形に起因する検査ピンと検査位置との間の滑動や検査ピンと所定の検査位置との接触位置のずれを防止する基板検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】図１は、本発明の一実施態様に係る基板検査装置の一部を示す側面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、図１の基板検査装置の検査治具の簡略化した拡大側面図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、図１の基板検査装置の検査治具の簡略化した拡大側面図である。
【図２Ｃ】図２Ｃは、図１の基板検査装置の検査治具の簡略化した拡大側面図である。
【図３】図３は、図１の基板検査装置における検査治具の簡略化した拡大一部断面側面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、本発明の他の実施態様に係る基板検査装置の検査治具の一部を示す簡略化した側面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、本発明の他の実施態様に係る基板検査装置の検査治具の一部を示す簡略化した側面図である。
【図５】図５（Ａ）及び図５（Ｂ）は、従来の基板検査装置の検査治具の問題点を説明するための装置の一部を簡略化して示す側面図である。
【図６】図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、従来の基板検査装置の検査治具の検査ピンと基板の検査点上の当接点との関係を説明するための簡略化した拡大側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下に、添付図面に基づいて、本発明の望ましい実施形態に係る基板検査装置及び検査治具について説明を行う。
【００３６】
なお、各添付図において、各部材の厚さ、長さ、形状、部材同士の間隔等は、理解の容易のために、適宜、拡大・縮小・変形・簡略化等を行っている。そのため、それらの寸法や相対的大きさの関係は参考までであり、それにより、本願の特許請求の範囲を限定的に解釈すべきではない。
【００３７】
［基板検査装置の概略の構成］
図１は、本発明の一実施例に係る基板検査装置１の一部を示す側面図である。その図には、第１及び第２の検査治具移動部１０，２０の移動方向や基板７０の動きの理解を容易にする観点からＸＹＺ軸による直交座標系を示す。Ｙ軸は、図１の紙面の表側から裏側に向かう方向が正方向である。他の図面においても、方向を示す場合には、各図に示すＸＹＺ軸による直交座標系に基づくものとする。
【００３８】
基板検査装置１は、検査部において基板７０を保持してＸ軸に沿って移動するためのワークホルダー７１Ｌ，７１Ｒと、検査治具１１，２１をＹＺ面内で移動するための第１及び第２の検査治具移動部１０，２０とを備える。第１及び第２の検査治具移動部１０，２０は、ＸＹ面に関して概略上下対称の位置に配置されている。
【００３９】
第１及び第２の検査治具移動部１０，２０は、それぞれ、駆動モータ１８，２８によって下降及び上昇移動（Ｚ軸に沿った移動）が行われる。
【００４０】
第１及び第２の検査治具移動部１０，２０の下方及び上方には、それぞれ、上部プレスベース１５及び下部プレスベース２５を経由して、検査治具１１，２１が取り付けられている。検査治具１１，２１には、それぞれ、下方及び上方に突出するように、基板検査ピン１６及び２６がそれぞれ取り付けられている。また、上部プレスベース１５及び下部プレスベース２５には、それぞれ、検査治具１１，２１を取り囲むように、基板押さえブロック１２，２２が固定されている。基板押さえブロックは基板押さえ手段として機能する。
【００４１】
基板押さえブロック１２，２２は、互いに向き合う側に、それぞれ、プレート部１２Ｐ，２２Ｐを備えており、プレート部１２Ｐ，２２Ｐには、それぞれ、貫通孔１２ｈ，２２ｈ、が形成されていて、基板検査ピン１６及び２６の先端がそれに挿入されている。
【００４２】
通常は、基板検査ピン１６及び２６の先端は、プレート部１２Ｐ，２２Ｐの外側の面からわずかに引っ込んだ位置に配置されており、検査時に、プレート部１２Ｐ，２２Ｐから突出して、それぞれ、基板７０の上面（「表面」ともいう）及び基板７０の下面（「裏面」ともいう）に形成されている配線の検査点と接触することができる。
【００４３】
例えば、検査ピン１６，２６の先端は、それぞれ、基板押さえブロック１２，２２の外側の面から約１００〜２００μｍ程度引っ込んでいる。
【００４４】
基板７０の上面に形成された配線の検査点の密度は、下面の配線の検査点の密度よりも大きく、例えば、上側の検査治具１１には約２０００本の基板検査ピン１６が取り付けられているのに対し、下側の検査治具２１には約１０００本の検査治具が取り付けられている。
【００４５】
基板検査ピン１６及び２６の後端部には、図示せぬ基板検査用の電流源又は電圧源が接続されていて、それによって、基板７０上の配線の電気的特性の測定を行うことができる。
【００４６】
［検査治具の動き］
図２Ａから図２Ｃは、基板の検査を行う際の検査治具１１，２１及び基板押さえブロック１２，２２がどのように機能するかを説明するための図である。
【００４７】
簡略化して述べると、最初に、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、基板押さえブロック１２，２２のプレート部１２Ｐ，２２Ｐをそれぞれ基板７０の上面及び下面に当接させて基板を押さえ込む。
【００４８】
次に、図２Ｃに示すように、基板検査ピン１６及び２６の先端をそれぞれ基板７０の上面及び下面の配線の検査点に当接させて検査ピンと検査点との電気的接触を図る。
【００４９】
より詳しく述べると、まず、第１及び第２の検査治具移動部１０，２０の駆動モータ１８，２８（図１）を駆動して、上部プレスベース１５と検査治具１１及び基板押さえブロック１２とを下降するとともに、下部プレスベース２５と検査治具２１及び基板押さえブロック２２とを上昇させる。
【００５０】
図２Ａに示すように、基板押さえブロック１２のプレート部１２Ｐが、基板７０の上面に当接すると、そのプレート部によって基板７０の上面がＷ１０の力で押される。また、図２Ｂに示すように、基板押さえブロック２２のプレート部２２Ｐが、基板７０の下面に当接すると、そのプレート部によって基板７０の下面はＷ２０の力で押される。Ｗ１０の力の大きさとＷ２０の力の大きさとは等しい。そのため、基板７０は、それらのプレートによって挟まれて、たとえ反りがあったとしてもその反りは押えこまれるため、平坦な状態に保持される。
【００５１】
次に、プレート部１２Ｐとプレート部２２Ｐとによって基板７０を上下両方向から挟み込んだ状態で、第１の検査治具移動部１０のピエゾステージ１４（検査ピン前進部）を駆動して、検査治具１１とともに検査ピン１６をΔ１０だけ下降させる。それにより、図２Ｃに示すように、検査ピン１６は、プレート部１２Ｐの貫通孔１２ｈ（図１）内を下降して、その先端が、基板７０の上面の配線の検査点（図示せず）に当接する。その際、検査ピン１６は、Ｗ１の力で基板７０に当接する。Δ１０は約１００〜２００μｍである。
【００５２】
また、プレート部１２Ｐとプレート部２２Ｐとによって基板７０を上下両方向から挟み込んだ状態で、第２の検査治具移動部２０のピエゾステージ２４（検査ピン前進部）を駆動して、検査治具２１とともに検査ピン２６をΔ２０だけ上昇させる。それにより、図２Ｃに示すように、検査ピン２６は、プレート部２２Ｐの貫通孔２２ｈ（図１）内を上昇して、先端が、基板７０の下面の配線の検査点（図示せず）に当接する。その際、検査ピン２６は、Ｗ２の力でその検査点に当接する。Δ２０は約１００〜２００μｍである。
【００５３】
この実施形態では、検査ピン１６，２６が基板７０の上面及び下面に当接する際に、基板７０は、プレート部１２Ｐとプレート部２２Ｐとによって上下両方向から挟み込まれていて平坦な状態に保持されている。そのため、検査ピン１６，２６が基板７０の上面及び下面に当接する際に、基板７０の上面及び下面が凹形状又は凸形状に変形せず伸長又は収縮しないため、検査ピン１６，２６が基板７０の上面及び下面上を滑動することがない。
【００５４】
上記のとおり、上方の検査ピン１６と下方の検査ピン２６との植え込み密度の相違により、検査ピン１６によって基板７０に加えられる力Ｗ１は、検査ピン２６によって基板７０に加えられる力Ｗ２よりも大である。
【００５５】
例えば、１本の検査ピンが１０ｇの力で基板を押す場合に、検査治具１１に検査ピン１６が２０００本植え込まれているときには、検査ピン１６は、全体で、２０ｋｇの力Ｗ１で基板を押すことになる。一方、検査治具２１に検査ピン２６が１０００本植え込まれているときには、検査ピン２６は、全体で、１０ｋｇの力Ｗ２で基板を押すことになる。このように、検査ピン１６が押す力Ｗ１は検査ピン２６が押す力Ｗ２より大である。
【００５６】
しかし、Ｗ１は、基板押さえブロック２２のプレート部２２Ｐが基板７０を押す力Ｗ２０よりかなり小さく、また、Ｗ２は、基板押さえブロック１２のプレート部１２Ｐが基板７０を押す力Ｗ１０よりかなり小さいため、Ｗ１とＷ２との力の大きさの違いによって、基板７０に反りが引き起こされることはない。言い換えると、Ｗ１とＷ２との力の大きさに違いがあっても、Ｗ１とＷ１０との和は、Ｗ２とＷ２０との和にほぼ等しい範囲内におさまる。
【００５７】
図３は、図２Ｃに示す基板検査装置１の一部拡大図であり、図３に示すように、基板押さえブロック１２，２２のプレート部１２Ｐ，２２Ｐが、それぞれ、力Ｗ１０，Ｗ２０によって基板７０を挟み込んでいる。
【００５８】
それに対し、図６を参照して上述したように、基板７０に検査ピンが当接した状態でその基板７０が反ったり変形したりすると、図６（Ａ）から図６（Ｂ）に示すように、基板７０の表面７０ａ上の点Ｐ１に当接する検査ピン７６の先端が、例えば距離Ｌだけ、基板の表面７０ａ上を点Ｐ１から点Ｐ２まで滑動することになる。その結果、検査ピン７６と基板７０の検査点との接触抵抗値が変わってしまうことがある。
【００５９】
本発明では、図３に示すように、基板押さえブロック１２，２２によって基板７０を押さえ込んで平坦を維持した状態で検査ピンを基板に接触させるため、図６で説明したような検査ピンの基板上の滑動は生じない。
【００６０】
［他の基板検査装置の概略の構成］
図４Ａは、本発明の他の実施形態に係る基板検査装置の一部を示す。その基板検査装置の一部は、上方及び下方の（Ｚ軸に沿って配置された）検査治具１１０及び２２０を備える。また、検査治具１１０は、ガイドプレート１１５の貫通孔から突出する検査ピン１１６と、この検査ピン１１６の後端部を保持する固定プレート１１８とを備える。検査治具２２０は、ガイドプレート２２５の貫通孔から突出する検査ピン２２６と、この検査ピン２２６の後端部を保持する固定プレート２２８とを備える。
【００６１】
検査治具１１０，２２０はさらにそれぞれダミーピン１１７，２２７を備える。ダミーピン１１７，２２７は、図４Ａ及び図４Ｂでは斜線を付したもので、検査ピン１１６，２２６が基板を押す際に、それらの検査ピンとともに基板を押して、検査ピンとダミーピンとの押す力を基板の全面にわたって均一に分散させるためのものである。すなわち、検査ピン及びダミーピンが基板押さえ手段として機能する。
【００６２】
検査治具１１０のダミーピン１１７は、検査ピン１１６とほぼ同じ形状であり、図４Ａに示すように、検査ピン１１６が設けられていない箇所に均一な間隔で配置されている。一方、ダミーピン２２７は、図４Ａに示すように、検査ピン２２６よりも細く、検査ピン２２６の設けられていない隙間を埋めるように配置されている。また、ダミーピン１１７及び２２７の先端は、それぞれ、検査ピン１１６及び２２６の先端と同じ高さの位置まで、ガイドプレート１１５及び２２５の貫通孔から突出している。ダミーピン１１７，２２７の端部はそれぞれ固定プレート１１８，２２８に保持されている。
【００６３】
図４Ｂは、検査治具１１０が下降して検査ピン１１６の先端が基板７０の上面に当接するとともに、検査治具２２０が上昇して検査ピン２２６の先端が基板７０の下面に当接した状態を示す。その図に示すように、検査治具１１０に設けられたダミーピン１１７の先端も検査ピン１１６の先端と同じレベルで基板７０の上面に当接しており、また、検査治具２２０のダミーピン２２７の先端も検査ピン２２６の先端と同じレベルで基板７０の下面に当接している。
【００６４】
図４Ｂに示すように、基板７０の上面には、検査ピン１１６及びダミーピン１１７の先端が均等な間隔で当接しているため、基板７０の上面の全面は、検査ピン１１６及びダミーピン１１７によって単位面積当たり同じ力で押されている。また、基板７０の下面に関しては、検査治具２２０の検査ピン２２６の設けられていない箇所には、ダミーピン２２７が設けられているため、基板７０の下面では、検査ピン２２６のない箇所にはダミーピン２２７による力が補われている。その結果、基板７０の両面は、検査ピン１１６及びダミーピン１１７によって加えられる力の和Ｗ１００と、検査ピン２２６及びダミーピン２２７によって加えられる力の和Ｗ２００とが釣り合っている。すなわち、Ｗ１００とＷ２００とは等しい。
【００６５】
図４Ａ及び図４Ｂに示す基板検査装置は、ダミーピンによって基板を押えることによって、基板に上下の両方向から加わる力のバランスを取るようにして、基板が局所的に変形したりすることを防ぐことができる。そのため、平坦な基板を押えて変形を防ぐという観点では、基板押さえブロックと検査ピン及びダミーピンによる基板押さえ手段とは同じように機能する。
【００６６】
［他の実施形態］
上記の実施形態に係る基板検査装置では、基板の反りを防ぐために、平坦なプレート部を備える基板押さえブロックやダミーピンを用いた。しかし、検査ピンの先端が基板面上を滑動することを防ぐにあたって、例えば、基板が反っていた場合に、その反りをなくすのではなく、その反りの形状を保持するように押さえ込むことができれば、それに当接する検査ピンが移動することはない。そのため、例えば、基板押さえブロックのプレート部を基板の変形した形状と一致する形状に形成するようにしてもよい。また、ダミーピンの先端の位置に高低差を設けて、基板の変形した形状にそのまま合うようにダミーピンを検査治具に取り付けてもよい。
【００６７】
また、図１、図２Ａから図２Ｄ及び図３に示す実施形態（以下、「図１の実施形態」という）に、図４Ａ及び図４Ｂに示す実施形態を組み合わせた実施形態（以下、「図４Ａの実施形態」という）を組み合わせて用いることもできる。つまり、図１の実施形態において、検査治具１１，２１の基板検査ピン１６及び２６の設けられていない箇所に、図４Ａの実施形態のようなダミーピンを設ける。それにより、基板押さえブロック１２，２２のプレート部１２Ｐ，２２Ｐの貫通孔１２ｈ，２２ｈから、基板検査ピン１６及び２６とともに、ダミーピンも突出させるようにする。
【００６８】
その実施形態によると、一対のプレート部によって基板を上下から押えることにより、基板を平坦にすることができる。また、ダミーピンによって基板の両面に均等な力を加えることにより、基板を平坦な状態に保持することができる。そのため、両方を組み合わせたこの実施形態によると、基板をより確実に平坦な状態に維持して検査ピンの滑動を防止することができる。
【００６９】
上記の図１から図３の実施形態に関しては、複数の検査ピン１６及び２６の全部の検査ピンによって検査基板の両面から対向する向きに当接した際の力が加えられた場合に、各面を押すそれぞれの全体としての力の大きさの差によって検査基板に反りが生じるという課題を解消する観点から説明した。
【００７０】
一方、検査基板の各面に注目すると、検査基板の面上では、検査ピンが当接する部分には検査ピンによる押圧力が加わるため、その当接する部分は窪み、たとえ基板が全体としては平面状態を保っていたとしても、検査基板の面の各部分は局所的に見ると変形し、その変形した部分において、検査ピンの滑動が生じることがある。そのような検査ピンの滑動によって、基板全体が変形したときと同様に、検査ピンの先端と検査点との接触抵抗値が変わってしまうことがある。また、ダミーピンを用いた場合でもその先端が当接した部分でも同様の変形が生じることがある。
【００７１】
そのような場合、図１から図３に基づいて説明した上記の実施形態の基板押さえブロック１２，２２を用いることができる。そのプレート部１２Ｐ，２２Ｐには貫通孔１２ｈ，２２ｈ、が形成されていて、基板検査ピン１６及び２６の先端がそれに挿入されている。図２Ｂに示すように、プレート部１２Ｐ，２２Ｐによって基板７０を上下両方向から挟み込むと、基板７０の両面は、貫通孔が形成された部分を除いて、プレート部１２Ｐ，２２Ｐによって平坦に維持されている。そのため、その状態で、基板検査ピン１６及び２６の先端が基板に当接しても、その部分はほとんど変形しない。このように、基板押さえブロック１２，２２は、検査基板の局所的な変形を防ぐという観点からも有効である。
【００７２】
以上、本発明に係る基板検査装置のいくつかの実施形態について説明したが、本発明はそれらの実施形態に拘束されるものではなく、当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれるものであり、また、本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められることを承知されたい。
【符号の説明】
【００７３】
１・・・基板検査装置
１０・・・第１の検査治具移動部
１１，２１，１１０，２２０・・・検査治具
１２，２２・・・基板押さえブロック
１２ｈ，２２ｈ・・・貫通孔
１４，２４・・・検査ピン前進部
１６，２６，１１６，２２６・・・検査ピン
２０・・・第２の検査治具移動部
７０・・・基板
１１７，２２７・・・ダミーピン
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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