(57)【要約】【課題】  異常が発生した位置を特定し、短時間で異常の発生原因への対応を可能にすること。【解決手段】  装置内で発生した異常の発生を表示装置に表示して報知することが可能な電子部品製造装置は、装置内で発生した異常を検出し、異常の発生を報知するアラーム情報を出力し、アラーム情報に基づいて、異常が発生した位置を特定するための識別情報を取得し、識別情報により関連付けられている、異常が発生した位置を含む全体画像と位置の詳細を示す詳細画像とを表示装置の一つの画面に同時または連続的に表示する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置内で発生した異常の発生を表示装置に表示して報知することが可能な電子部品製造装置であって、
前記装置内で発生した異常を検出し、前記異常の発生を報知するアラーム情報を出力する検出手段と、
前記アラーム情報に基づいて、前記異常が発生した位置を特定するための識別情報を取得する取得手段と、
前記識別情報により関連付けられている、前記異常が発生した位置を含む全体画像と、前記位置の詳細を示す詳細画像と、を前記表示装置の一つの画面に同時または連続的に表示する表示制御手段と、
を備えることを特徴とする電子部品製造装置。
【請求項２】
前記識別情報により関連付けられた、前記全体画像と、前記詳細画像と、前記詳細画像の内容を補足する補足情報と、を記憶する記憶手段を更に備え、
前記表示制御手段は、前記識別情報に基づき、該当する全体画像と詳細画像とを前記記憶手段から取得し、前記一つの画面に同時または連続的に表示することを特徴とする請求項１に記載の電子部品製造装置。
【請求項３】
前記表示制御手段は、前記全体画像と前記詳細画像とが静止画像として前記記憶手段に格納されている場合に、前記全体画像と前記詳細画像とを前記一つの画面に同時に表示することを特徴とする請求項２に記載の電子部品製造装置。
【請求項４】
前記表示制御手段は、前記全体画像と前記詳細画像とが動画像として前記記憶手段に格納されている場合に、前記一つの画面において、前記全体画像から前記詳細画像に連続的に表示を切り替えることを特徴とする請求項２に記載の電子部品製造装置。
【請求項５】
前記詳細画像に対する補足情報を表示するための指示を入力するための入力装置を更に備え、
前記入力装置から前記指示が入力された場合に、前記表示制御手段は、前記識別情報に基づき、該当する補足情報を前記記憶手段から取得し前記表示装置の他の画面に表示することを特徴とする請求項２に記載の電子部品製造装置。
【請求項６】
前記記憶手段に記憶される情報には、前記異常が発生した位置を特定するための座標情報が含まれ、
前記表示制御手段は、前記座標情報に基づいて、前記異常が発生した位置を前記全体画像または前記詳細画像において認識可能に表示することを特徴とする請求項２に記載の電子部品製造装置。
【請求項７】
ネットワークを介してデータの送受信を行う通信手段を更に備え、
前記通信手段は、前記ネットワークを介して接続されたサーバの記憶手段から前記全体画像と前記詳細画像とを取得し、
前記表示制御手段は、前記通信手段により取得された前記全体画像と前記詳細画像とを前記一の画面に表示することを特徴とする請求項１に記載の電子部品製造装置。
【請求項８】
コンピュータを、
装置内で発生した異常を検出し、前記異常の発生を報知するアラーム情報を出力する検出手段と、
前記アラーム情報に基づいて、前記異常が発生した位置を特定するための識別情報を取得する取得手段と、
前記識別情報により関連付けられている、前記異常が発生した位置を含む全体画像と前記位置の詳細を示す詳細画像と、を一つの画面に同時または連続的に表示する表示制御手段として機能させることを特徴とするアラーム通知プログラム。
【請求項９】
装置内で発生した異常の発生を表示装置に表示して報知することが可能な電子部品製造装置と、管理用の情報処理装置と、前記電子部品製造装置を保守するための保守用の情報処理装置と、を有するアラーム通知システムであって、
前記電子部品製造装置は、
前記装置内で発生した異常を検出し、前記異常の発生を報知するアラーム情報を出力する検出手段と、
前記アラーム情報に基づいて、前記異常が発生した位置を特定するための識別情報を取得する取得手段と、
前記取得手段により取得された前記識別情報をネットワークを介して送信する送信手段と、を備え、
前記管理用の情報処理装置は、
前記識別情報により関連付けられた、全体画像と詳細画像とを記憶する記憶手段と、
前記識別情報に基づいて、異常が発生した位置を含む全体画像と前記位置の詳細を示す詳細画像とを前記記憶手段から取得し、前記ネットワークを介して、前記全体画像と前記詳細画像とを配信する配信手段とを、を備え、
前記電子部品製造装置は、
前記配信手段により配信された前記全体画像と前記詳細画像とを受信して、前記全体画像と前記詳細画像とを表示装置の一つの画面に同時または連続的に表示する第１の表示制御手段を更に備え、
前記保守用の情報処理装置は、
前記配信手段により配信された前記全体画像と前記詳細画像とを受信して、前記全体画像と前記詳細画像とを前記保守用の情報処理装置の表示装置の一つの画面に同時または連続的に表示する第２の表示制御装置を備えることを特徴とするアラーム通知システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、磁気抵抗素子などの電子部品を製造する電子部品製造装置、アラーム通知プログラム、及びアラーム通知システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品製造装置において故障が発生した場合には、電子部品製造装置に搭載されているＰＣ画面上に、故障が発生した構成要素名（アラーム発生モジュール名）やアラームメッセージなどが表示される。アラーム発生モジュール名やアラームメッセージの表示から、オペレータは、経験的な判断や対応するモジュールの取扱説明書の参照等により、具体的な故障の発生場所を調査し、故障の原因を特定するための作業を行っている。
【０００３】
特許文献１は、装置に異常が発生した場合の措置（対処方法）をデータベース化し、次に、同様の異常が起こったときに同じ措置ができるようにすることで、異常発生から復旧までの時間を短縮化する技術を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２４３２７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、アラーム発生モジュール名およびアラームメッセージの表示内容等に基づいて、具体的な故障の発生場所を特定し、原因を調査する作業はオペレータの経験的な判断よるところが大きく、複合的に原因が組み合わさると、原因の特定と解決に長時間を要する場合もある。特許文献１の技術を用いることもできるが、実際の装置では措置を施す箇所を特定するのにも時間がかかり、また、全ての故障原因に対応した措置方法を提供することも困難である。
【０００６】
また、復旧時間が長くなれば、結果として装置の停止時間が長くなり、装置の稼働率を低下させるという問題も生じる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の従来技術に鑑み、本発明は、経験的な判断に拠らなくても、異常が発生した位置を特定し、短時間で異常の発生原因への対応を可能にする電子部品製造技術の提供を目的とする。
【０００８】
上記の目的を達成する本発明の一つの側面にかかる電子部品製造装置は、装置内で発生した異常の発生を表示装置に表示して報知することが可能な電子部品製造装置であって、
前記装置内で発生した異常を検出し、前記異常の発生を報知するアラーム情報を出力する検出手段と、
前記アラーム情報に基づいて、前記異常が発生した位置を特定するための識別情報を取得する取得手段と、
前記識別情報により関連付けられている、前記異常が発生した位置を含む全体画像と、前記位置の詳細を示す詳細画像と、を前記表示装置の一つの画面に同時または連続的に表示する表示制御手段と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、経験的な判断に拠らなくても、異常が発生した位置の特定が容易になり、短時間で異常の発生原因への対応が可能になる。
【００１０】
あるいは、故障の発生場所を短時間で特定する事により原因調査等の工数が削減し、装置の停止時間が短縮され、電子部品製造装置の稼働率を向上させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態にかかる電子部品製造装置の概略を説明する図である。
【図２】装置搭載の機能構成を説明する図である。
【図３】アラーム通知部の概略処理フローを説明する図である。
【図４】（ａ）はアラーム情報を表示する画面の一例を示し、（ｂ）アラームＩＤとアラーム発生対応箇所ＩＤとを対応づける対応テーブルを例示的に示す図である。
【図５】アラーム発生対応箇所表示部の概略処理フローを説明する図である。
【図６】（ａ）は全体画像と詳細画像との並列表示を例示する図であり、（ｂ）第１記憶装置に記憶する画像の撮影を例示的に説明する図である。
【図７】主画面に従属する従属画面の画面遷移の例を説明する図である。
【図８】第１記憶装置に記憶されるアラーム発生対応箇所表示情報の構成を例示的に示す図である。
【図９】１つのアラーム発生対応箇所ＩＤに対して規定される構造化データを例示的に示す図である。
【図１０】動画像の表示を説明する図である。
【図１１】アラーム通知システムの概略的な構成を示す図である。
【図１２】アラーム通知システムにおける処理の流れを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成要素はあくまで例示であり、本発明の技術的範囲は、特許請求の範囲によって確定されるのであって、以下の個別の実施形態によって限定されるわけではない。
【００１３】
図１の参照により、本発明の実施形態にかかる電子部品製造装置の概略を説明する。電子部品製造装置は、搬送ロボット（不図示）が配置された搬送モジュールＴｒに、複数のプロセスモジュールＰ及びセンシングモジュールＳが接続されたクラスタ型の装置となっている。図示しないが搬送モジュールＴｒは基板搬送用のロボットを備え、各プロセスモジュールＰ及びセンシングモジュールＳとの間で基板の搬送が可能である。
【００１４】
プロセスモジュールＰは、基板に処理を施すためのモジュールであり、例えば、スパッタリング法、ＣＶＤ（Chemical  Vapor  Deposition）法などによる成膜が可能な成膜モジュールや、ドライエッチングなどが可能なエッチングモジュール、加熱や冷却が可能な温度調整モジュールなどが含まれる。本実施形態にかかる電子部品製造装置のプロセスモジュールＰは、その種類に応じ、排気ポンプ、プラズマ生成用の電源、ガス導入系などの基板処理用部材が設けられると共に、これらの基板処理用部材を制御し、基板に対し所定の処理を実行させるためのＰＬＣ（Programmable  Logic  Controller）などの制御装置と接続している。センシングモジュールＳは、変位センサなどが設けられ、搬送ロボットのエンドエフェクタの変形の検出等に利用される。
【００１５】
また、搬送モジュールＴｒは、ロードロック／アンロードロックモジュール(ＬＬ／ＵＬ)を介して基板供給室ＳＳと接続しており、ここから基板の導入が可能である。基板供給室ＳＳとロードロック／アンロードロックモジュール(ＬＬ／ＵＬ)は、不図示の隔壁によって隔てられており、基板供給室ＳＳは大気圧の環境下（大気側）にある。大気側には、装置搭載ＰＣ１００が設けられ、電子部品製造装置に故障が発生した場合のアラームを表示することにより、オペレータに異常が発生したことを報知するためのアラーム通知動作を実行する。
【００１６】
図２の参照により装置搭載ＰＣ１００の機能構成を説明する。装置搭載ＰＣ１００は、オペレータに対するアラーム表示が可能な液晶ディスプレイなどの表示装置２０１と、オペレータからの入力が可能なマウスやキーボードなどの入力装置２０２と、第１記憶装置２０３及び第２記憶装置２０４と、装置コントローラ２０５とに接続されている。
【００１７】
装置コントローラ２０５は、電子部品製造装置を構成する各モジュールを制御して、基板に対し所定の処理を実行する。また、装置コントローラ２０５は、各モジュールに設けられている各種のセンサ（不図示）から各モジュール内の状態情報を受信し、受信した状態情報を各部の制御に利用すると共に、状態情報に基づいて電子部品製造装置の異常等の発生を検知し、装置搭載ＰＣ１００に対して、発生した異常等を報知するためのアラーム情報を出力する。
【００１８】
装置搭載ＰＣ１００は、装置コントローラ２０５から出力されたアラーム情報を受信するとアラーム情報に対応した所定のアラームを表示するアラーム通知部２１１と、故障が発生した具体的な位置（アラーム発生対応箇所）を表示するアラーム発生対応箇所表示部２１２と、を備える。
【００１９】
また、装置搭載ＰＣ１００は、ネットワーク１１０１と接続するためのネットワークインタフェース２２０を備えており、ネットワーク１１０１上に接続されている外部装置や外部記憶装置との間でデータの送受信が可能である。例えば、ネットワーク１１０１上に第１記憶装置２０３や第２記憶装置２０４を接続しておき、ネットワークインタフェース２２０を介してネットワーク１１０１上の第１記憶装置２０３から全体画像と詳細画像とを取得し、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、取得された全体画像と詳細画像とを一の画面に表示することも可能である。
【００２０】
（アラーム通知部２１１の処理）
電子部品製造装置の各モジュール内で発生した異常が各モジュールに設けられている各種のセンサにより検出されると、異常の発生を報知するアラーム情報が各種のセンサから出力される。アラーム通知部２１１は、アラーム情報に基づいて、異常が発生した位置を特定するための識別情報を取得する。図３にアラーム通知部２１１の概略処理フローを示し、図４（ａ）にアラーム通知部２１１によって出力されるアラーム情報を表示する画面（以下、「アラーム情報画面」ともいう）の一例を示す。
【００２１】
ステップＳ１０１において、アラーム通知部２１１は、異常等の発生時に装置コントローラ２０５から送信されるアラーム情報を受信する。アラーム通知部２１１が受信するアラーム情報には、発生した異常の種類や位置を特定するための識別情報（アラームＩＤ）と、異常が発生したアラーム発生日時に関する情報が含まれる。アラーム情報の内容は、この例に限定されず、例えば、装置搭載ＰＣ１００が各センサの出力信号を受信し、センサの出力に基づいて、装置搭載ＰＣ１００のアラーム通知部２１１が異常発生の位置を特定するための識別情報（アラームＩＤ）を取得する構成であってもよい。
【００２２】
ステップＳ１０２において、アラーム通知部２１１は、アラーム情報画面を表示装置２０１に表示する。アラーム情報画面の表示のためにアラーム通知部２１１は、第２記憶装置２０４を参照し、アラームＩＤに対応したアラームメッセージ等をアラーム表示情報として取得し、表示装置２０１に表示する。アラーム表示情報には、図４（ａ）に示すように、例えば、異常等が発生した箇所を含むモジュール名を示したアラーム発生モジュール（例えば、「プロセスモジュールＦ」）、アラームＩＤ、アラーム発生原因としてアラームの内容を簡単に示すアラームメッセージ（例えば、「クライオトラップ過冷却」）、及び、アラーム発生日時等が含まれる。このような情報は、各アラームＩＤに対応させて第２記憶装置２０４に記憶されている。また、アラーム情報画面（図４（ａ））の一部には、アラーム発生対応箇所の表示を行うためのアラーム発生対応箇所表示ボタン４０１が表示される。アラーム情報画面に表示される情報だけでは、具体的な対処が困難な場合もある。このような場合に、オペレータがアラーム発生対応箇所表示ボタン４０１を押下すると、アラーム発生対応箇所表示部２１２の表示制御の下に、アラーム情報画面に表示されているアラーム発生モジュールにおける具体的なアラーム発生対応箇所を表示装置２０１に表示させることができる。
【００２３】
アラーム情報表示画面（図４（ａ））において、例えば、複数のアラーム発生モジュールが表示されている場合には、入力装置２０２の操作によりいずれかのアラーム発生モジュールを選択した状態にして、アラーム発生対応箇所表示ボタン４０１を押下することにより、選択されたアラーム発生モジュールにおけるアラーム発生対応箇所を表示装置２０１に表示させることができる。
【００２４】
ステップＳ１０３の処理は、入力指示待ちの待機状態となる（Ｓ１０３−Ｎｏ）。ステップＳ１０３において、アラーム発生対応箇所を表示するための指示をオペレータから取得すると（Ｓ１０３−Ｙｅｓ）、処理はステップＳ１０４に進められ、アラーム通知部２１１は、アラームＩＤをアラームの発生対応箇所を特定するための特定情報であるアラーム発生対応箇所ＩＤに変換する。アラームＩＤの変換処理は、例えば、図４（ｂ）に示すようなアラームＩＤとアラーム発生対応箇所ＩＤとの対応テーブルを用いて行うことが可能である。対応テーブルを用いることにより、アラーム発生対応箇所表示情報を独立して管理することができるため、設計変更や装置の機能追加により、新しいアラーム発生対応箇所表示情報を追加する場合など、データの変更や追加を容易に行うことが可能になる。尚、対応テーブルを使用しないで、アラーム発生対応箇所ＩＤをアラーム情報に含め装置コントローラ２０５から出力するようにしてもよい。
【００２５】
そして、ステップＳ１０５において、アラーム通知部２１１は、アラーム発生対応箇所表示部２１２に、アラーム発生対応箇所ＩＤを含むアラーム発生対応箇所の表示指令を出力する。
【００２６】
（アラーム発生対応箇所表示部２１２）
次に、図５〜図１０を参照して、本実施形態におけるアラーム発生対応箇所表示部２１２の処理を説明する。アラーム発生対応箇所表示部２１２は、アラームの発生の原因となった事象（報知対象事象）が、装置内のどこで発生したか（報知対象事象の発生対応箇所）を表示することが可能である。尚、報知対象事象の発生対応箇所としては、アラームの発生の原因となった箇所の他、例えば、アラームの発生の原因を解消するために措置をとるべき箇所（故障箇所に対する措置箇所等）であってもよい。
【００２７】
図５はアラーム発生対応箇所表示部２１２の概略処理フローを説明するフローチャートである。ステップＳ２０１において、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、アラーム通知部２１１から出力された表示指令を受信すると、表示指令に含まれているアラーム発生対応箇所ＩＤに基づき、アラーム発生箇所表示情報を第１記憶装置２０３から取得する。アラーム発生箇所表示情報には、例えば、異常等の原因となったアラーム発生箇所を含む全体的な表示を示す全体画像と、アラーム発生箇所を詳細に示す詳細画像と、が含まれる。ここで、「全体画像」とは、必ずしも装置全体を表示したものに限られず、「詳細画像」よりも装置の広範囲な部分を表示したものであればよい。
【００２８】
ステップＳ２０２において、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、先のステップＳ２０１で取得したアラーム発生箇所表示情報に基づいて、全体画像及び詳細画像を表示装置２０１の画面に表示させる。
【００２９】
図６（ａ）は、アラーム発生対応箇所表示部２１２の表示制御による全体画像６０１及び詳細画像６０２を例示的に示す図であり、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、全体画像６０１と詳細画像６０２とを並列した状態で１つの画面に同時に表示する。このように並列表示することで、オペレータは、経験的な判断によらず、異常等が発生した箇所の概要を全体画像６０１から把握し、具体的な異常等が発生した箇所を詳細画面６０２から容易に把握することが可能になる。
【００３０】
全体画像６０１は、正面方向から見た装置の実画像（静止画像または動画像）であり、アラーム発生対応箇所の概略位置に星印が明滅表示され、アラーム発生対応箇所の概略位置が認識可能に表示されている。また、詳細画像６０２は、アラーム発生対応箇所を全体画像６０１よりも詳しく示した実画像であり、具体的にはアラーム発生対応箇所を全体画像６０１よりも近接して撮影した静止画像または動画像が表示されている。
【００３１】
さらに、詳細画像６０２には、静止画像または動画像の表示と共に、アラーム発生対応箇所又はアラーム発生に関する情報、及び、これらの情報へのリンクが表示される。
【００３２】
図６（ａ）の例では、「アラーム発生対応箇所ＩＤ」、「アラーム発生対応箇所の名称」、「メッセージ」、及び、詳細画像の拡大画像など詳細画像を補足するための情報へのリンクを表示する。図６（ａ）においては、アラーム発生対応箇所の名称の表示である「マッチングボックス」の表示が詳細画像の拡大画像ページにリンクされており、マッチングボックスの表示を入力装置２０２により選択操作（クリック）することで、詳細画像６０２を拡大画像に切り替えることができる。
【００３３】
「メッセージ」は、例えば、アラームの発生原因を解消するためにオペレータを誘導するための故障の措置方法等やアラーム発生対応箇所に関する詳細な状態情報や、故障に対する措置等が表示される。メッセージ表示により、復旧に向けてオペレータの措置（対処方法）を誘導することができる。図６（ａ）の例では、「コネクタをチェック」と表示されており、マッチングボックスにおけるコネクタにアラーム発生原因があることを示している。
【００３４】
図６（ａ）の表示制御において、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、全体画像と詳細画像とをそれぞれ、静止画像として同時に、または動画像として連続的に一画面に表示することができる。ここで表示される静止画像は、例えば、図６（ｂ）のように、デジタルカメラなどの撮像装置により、種々の位置、方向から装置の各部を予め撮影したものを第１記憶装置２０３に記憶させておくことができる。あるいは、ビデオカメラなどの動画像撮像装置を用いて、装置の各部を撮影したＭＰＥＧ形式の動画像情報（映像情報）を第１記憶装置２０３に記憶させておくこともできる。また、第１記憶装置２０３に記憶される情報には、異常が発生した位置を特定するための概略位置情報（座標情報）が含まれ、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、概略位置情報（座標情報）に基づいて、異常が発生した位置を、全体画像および詳細画像のうちのいずれか一方に認識可能に表示することが可能である。アラーム発生対応箇所表示部２１２は、概略位置情報（座標情報）に基づいて、例えば、全体画像中に異常が発生した位置を示す表示（例えば、図６（ａ）の全体画像６０１中の星印）を重ね合わせて表示することも可能である。アラーム発生対応箇所表示部２１２は、このような、表示を詳細画像６０２に表示することも可能である。
【００３５】
アラーム発生対応箇所表示部２１２は、アラーム発生対応箇所ＩＤ（識別情報）により関連付けられている、異常が発生した位置を含む全体画像と、異常が発生した位置の詳細を示す詳細画像と、を表示装置２０１の一つの画面に同時または連続的に表示することが可能である。同時または連続的な表示には、例えば、全体画像と詳細画像との静止画像が並列的に表示される場合や、一つの画面において、全体画像から詳細画像に連続的に表示が切り替わるような表示が含まれる。動画像により全体画像から詳細画像を連続的に表示させる場合としては、例えば、アラーム発生対応箇所の概略位置（全体画像における発生対応箇所の位置：図１０の矢印Ａ）から詳細位置（詳細画像におけるアラーム発生対応箇所の位置：図１０の矢印Ａ'）へ最短距離でズームアップ（拡大表示）していくように表示させることが可能である。あるいは、図１０の矢印Ａの方向を示す概略位置から詳細位置へオペレータ等がアラーム発生対応箇所に近づいていく順路（図１０の矢印Ａから矢印Ｂに沿った経路′）に沿って表示させる方法が挙げられる。
【００３６】
矢印Ａ方向および矢印Ａ'方向の画像に関しては全体画像と詳細画像とをほぼ同じ方向から見た画像で、アラーム発生対応箇所に対する近接距離が変わる。矢印Ａ方向および矢印Ｂ方向の画像に関してはアングルが大きく変わるが、入り組んだ部分を表示するには適している。これは静止画についても同じことが言える。
【００３７】
（従属画面への遷移）
図７の参照により主画面（図６（ａ）の画像（全体画像６０１、詳細画像６０２））に従属する従属画面の画面遷移（画面の切り替え）の例を説明する。例えば、詳細画像６０２において、「マッチングボックス」の名称を入力装置２０２により選択操作（クリック）すると、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、詳細画像６０２にリンクした拡大画像７０１と、拡大画像７０１に関連する関連情報７０２とを示す画面に切り替える（図７（ａ））。
【００３８】
拡大表示７０１には、更に詳細な内容を表示するための誘導表示７０３、７０４が示されている。入力装置２０２により誘導表示７０３を選択操作（クリック）すると、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、誘導表示７０３にリンクしたマッチングボックスの内部画像に画面を切り替える（図７（ｃ））。
【００３９】
また、入力装置２０２により誘導表示７０４を選択操作（クリック）すると、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、誘導表示７０４にリンクしたマッチングボックスのコネクタの詳細情報、例えば、コネクタの仕様、コネクタの手配番号等、を示す画面を切り替える（図７（ｄ））。
【００４０】
入力装置２０２により関連情報７０２を選択操作（クリック）すると、拡大画像７０１（マッチングボックス）の取扱説明書の電子データが表示される（図７（ｂ））。
【００４１】
次に、図８の参照により、第１記憶装置２０３に記憶されるアラーム発生対応箇所表示情報の構成例を説明する。第１記憶装置２０３において、電子部品製造装置（「装置Ａ」ともいう。）におけるアラーム発生対応箇所表示情報は複数の階層構造により分類され格納される。第１階層には、装置Ａの主画面を構成する全体画像が格納される。全体画像：正面は、例えば、図６（ａ）の参照番号６０１で示される画像に対応するものである。全体画像として、装置正面、装置背面、装置右面、装置左面、装置下面、装置上面等の各位置から装置を見た複数種の画像が第１階層に記憶される。アラーム発生対応箇所ＩＤは、いずれかの種類の全体画像又は複数種類の全体画像に対応付けられている。アラーム発生対応箇所表示部２１２は、アラーム発生時において、アラーム発生対応箇所ＩＤに基づいて、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、該当するアラーム発生対応箇所を含む全体画像を表示する。例えば、アラーム発生対応箇所ＩＤ＝２の場合に、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、全体画像：背面を選択して表示する。
【００４２】
第２階層には、装置Ａの主画面を構成する詳細画像がアラーム発生対応箇所ＩＤと組み合わされた状態で格納される。アラーム発生対応箇所表示部２１２は、アラーム発生時において、アラーム発生対応箇所ＩＤに基づいて、該当するアラーム発生対応箇所に対応する詳細画像を表示する。アラーム発生対応箇所ＩＤに基づき、全体画像と詳細画像とが関連付けられるので、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、図６（ａ）のように、全体画像と詳細画像とを並列に表示することができる。
【００４３】
第３階層には、詳細画像または全体画像の表示内容を補足するための補足画像、または補足資料の電子データがアラーム発生対応箇所ＩＤと関連付けられた状態で格納される。アラーム発生対応箇所ＩＤとの関連づけは、例えば、アラーム発生対応箇所ＩＤ＝５の場合、「５−１」、「５−２」、「５−３」のように、ＩＤ＝５の属性を共通化することで関連付けられる。全体画像、アラーム発生対応箇所の全体画像における概略位置情報、詳細画像、さらに詳細な補足画像や補足資料がアラーム発生対応箇所ＩＤにより関連付けられ、これらへのリンク情報等も第１記憶装置２０３に格納される。
【００４４】
本実施形態の電子部品製造装置の構造は複雑であり、アラーム発生対応箇所によっては特定の位置から見た全体画像（例えば、装置正面）に示されないことがあるため、種々の位置から見た複数種の全体画像を準備し、アラーム発生対応箇所に応じて全体画像を選択表示させることで、オペレータは最適な全体画像を見ることができ、確認作業がより容易になる。
【００４５】
詳細画像にどのような全体画像を組合せるかは、特に限定されず、アラーム発生対応箇所の位置を把握しやすい全体画像を選択したり、アラーム発生対応箇所に近づくときの経路の途中位置から見た全体画像を選択してもよい。
【００４６】
装置の正面や側面方向から見た画像を用いると好適だが、これに限らず、斜め上方や下方から撮影した実画像であっても分かりやすい。また、電子部品製造装置においては、周囲がチャンバで取り囲まれ側面方向から見えない部分も存在するため、装置下面画像や上面画像なども利用できる。
【００４７】
各アラーム発生対応箇所ＩＤと、概略位置情報、詳細画像などとの対応付け情報は、本実施形態では、ＸＭＬ（Extensible Markup Language）やＨＴＭＬ（Hypertext Markup Language）などの構造化データとして記述され、第１記憶装置２０３に記憶されている。各アラーム発生対応箇所ＩＤと、概略位置情報、詳細画像などとの対応付け情報の形式は、ＸＭＬやＨＴＭＬ形式の構造化データに限定されるものではない。例えば、Java（登録商標）Scriptなどを使用するとＣ言語等の有償コンパイラー（アプリケーションソフト開発用ソフトウェア）搭載の必要はなくコストの発生は生じないので好ましい。装置搭載ＰＣ１００においても、Microsoft社のオペレーティングシステムWindows（登録商標）を搭載している場合は、"XMLパーサー(MSXML)"（登録商標）を搭載したMicrosoft社のInternet Explorer（登録商標）を搭載すればよいので、容易且つ低コストに導入可能である。
【００４８】
図９は、１つのアラーム発生対応箇所ＩＤ（図９の例では、アラーム発生対応箇所ＩＤ＝‘５’）に対して規定される構造化データを例示しており、全体画像におけるアラーム発生対応箇所の位置座標で示された概略位置情報、詳細画像データのリンク情報、主画面において同時に表示させる「メッセージ」が記述されている。例えば、ＣＡＤ情報などの設計情報と組合せることで、概略位置情報を、具体的な数値情報による座標情報として表示することも可能である。
【００４９】
アラーム発生対応箇所表示部２１２は、アラーム通知部２１１からアラームＩＤから変換されたアラーム発生対応箇所ＩＤを受信すると、受信したアラーム発生対応箇所ＩＤに対応する構造化データを読み込んで、表示装置２０１の主画面に詳細画像として表示させる。具体的には、アラーム発生対応箇所表示部２１２は、第２階層のXMLをXSL（Extensible Style sheet Language：XMLドキュメントを整形して画面に表示したり印刷したりする際のスタイルを定義するための言語）、DOM（Document Object Model：アプリケーション・プログラムなどからXML文書を操作するためのインタフェース仕様）を用いてHTMLへ変換し、第１階層の全体画像と第２階層の詳細画像とを主画面に表示する。
【００５０】
このように、各アラーム発生対応箇所ＩＤに基づく関連付けにより、各階層に種々の情報を格納することで、各アラームに応じた情報を表示する可能である。例えば、図６（ａ）に示すように、全体画像と詳細画像との並列表示（組み合わせ）により、アラームの発生箇所と発生原因を把握することができる場合に、オペレータは、この画面の情報に基づいてアラームの発生原因を解消するための措置をとることができる。また、図６（ａ）の全体画像と詳細画像との並列表示では、具体的な対応が不明な場合に、更に、その内部構造を示す図や、取扱説明書、発生原因となった部品の仕様などの補足情報を表示させることで、オペレータは、アラームの発生原因を容易に把握し、原因を解消するための措置をとることができる。
【００５１】
本実施形態に拠れば、アラームの発生箇所を特定し、短時間でアラームの発生の原因の調査が可能になる。あるいは、故障の発生場所を短時間で特定する事により原因調査等の工数が削減し、装置の停止時間が短縮され、電子部品製造装置の稼働率を向上させることが可能になる。
【００５２】
電子部品製造装置を撮影した写真または動画像等の実画像を使用することにより、新規に作画設計を行う必要が無い。また画像情報は階層的に管理することが可能であり、画像データの追加、変更を容易に行うことが可能であるため、低コスト、短納期で本実施形態の機能の実現が可能である。
【００５３】
取扱説明書・仕様書等の情報データを含める事により、それら情報の表示が装置搭載のＰＣ上で表示可能となる。また、設計図面などのＣＡＤデータとリンクすることにより、より詳細な情報を詳細画像と組み合わせて表示することも可能である。
【００５４】
（第２実施形態）
図１１、図１２の参照により、電子部品製造装置を有する電子部品製造システム（アラーム通知システム）の概略構成を説明する。図１１は、アラーム通知システムの概略的な構成を示す図であり、図１２は、アラーム通知システムにおける処理の流れを説明する図である。アラーム通知システムは、装置内で発生した異常の発生を表示装置に表示して報知することが可能な電子部品製造装置と、管理用の情報処理装置と、電子部品製造装置を保守するための保守用の情報処理装置と、を有する。電子部品製造装置に搭載される装置搭載ＰＣ１００は、インターネットなどのネットワーク１１０１を介して電子部品製造システムを管理する管理用の情報処理装置（サーバ１１０２）に接続されている。
【００５５】
電子部品製造装置は、装置内で発生した異常を検出し、異常の発生を報知するアラーム情報を出力し（Ｓ１２０１）、アラーム情報に基づいて、異常が発生した位置を特定するための識別情報を取得する（Ｓ１２０２）。そして、識別情報をネットワーク１１０１を介してサーバ１１０２に送信する（Ｓ１２０３）。
【００５６】
サーバ１１０２は、第１実施形態で説明した第１記憶装置２０３及び第２記憶装置２０４を備えている。例えば、第１記憶装置２０３には、識別情報により関連付けられた、全体画像と、詳細画像と、詳細画像の内容を補足する補足情報と、が格納されている。そして、サーバ１１０２は、装置搭載ＰＣ１００から送信された識別情報を受信すると（Ｓ１２０４）、識別情報に基づいて、該当する全体画像と詳細画像とを第１記憶装置２０３から取得し（Ｓ１２０５）、ネットワーク１１０１を介して、全体画像と詳細画像とを配信する（Ｓ１２０６）。
【００５７】
電信部品製造装置の装置搭載ＰＣ１００は、配信された全体画像と詳細画像とを受信して（Ｓ１２０７）、全体画像と詳細画像とを表示装置の一つの画面に同時または連続的に表示する（Ｓ１２０８）。
【００５８】
装置搭載ＰＣ１００は、第１記憶装置２０３及び第２記憶装置２０４の情報を装置搭載ＰＣ１００の内部に有していない場合でも、装置搭載ＰＣ１００においてアラーム情報に対応するアラーム表示情報と、アラーム発生対応箇所表示情報に基づくアラーム発生を報知するための表示を表示２０１に表示させることができる。サーバ１１０２と装置搭載ＰＣ１００との間で情報の共有が可能であり、情報の更新も迅速に反映することができる。
【００５９】
保守用の情報処理装置（保守部門ＰＣ１１０３）は、サーバ１１０２から配信された全体画像と詳細画像とを受信して（Ｓ１２０９）、全体画像と詳細画像とを保守部門ＰＣ１１０３の表示装置の一つの画面に同時または連続的に表示（第１の表示制御）することが可能である（Ｓ１２１０）。保守部門ＰＣ１１０３は、ネットワーク１１０１を介して、サーバ１１０２と装置搭載ＰＣ１００とに通信可能である。サーバ１１０２はユーザ側に設置された装置搭載ＰＣ１００からアラーム情報を受信すると、これに対応するアラーム表示情報及びアラーム発生対応箇所表示情報を保守部門ＰＣ１１０３に送信し、保守部門ＰＣ１１０３上においても、装置搭載ＰＣ１００と同じ画像情報を表示（第２の表示制御）することも可能である。これにより、電子部品製造装置において故障等が発生したとき、保守部門ＰＣ１１０３においても、装置搭載ＰＣ１００により表示制御されている情報と同じ画像情報を参照しながらユーザからの問い合わせ等に対応することができ、より迅速なトラブル解決が可能になる。
【００６０】
本実施形態に拠れば、アラームの発生箇所を特定し、短時間でアラームの発生の原因の調査が可能になる。あるいは、故障の発生場所を短時間で特定する事により原因調査等の工数が削減し、装置の停止時間が短縮され、電子部品製造装置の稼働率を向上させることが可能になる。
【００６１】
アラーム発生対応箇所の実画像及び装置関連情報（取説、部品情報等）のデータをネットワーク上のサーバ用の情報処理装置が管理する大容量ハードディスク等に保存している場合は、電子部品製造装置に搭載されている装置搭載ＰＣ１００に大容量のデータを保持しなくても、多くの情報を取得することができる。
【００６２】
（他の実施形態）
本発明の目的は、前述した実施形態の機能をコンピュータに実行させるアラーム通知プログラム、アラーム通知プログラムを記録したコンピュータ可読の記憶媒体を、システムあるいは装置に供給することによっても、達成されることは言うまでもない。また、アラーム通知システムあるいは装置搭載ＰＣ１００が記憶媒体に格納されたアラーム通知プログラムを読出し実行することによっても、達成されることは言うまでもない。
【００６３】
この場合、記憶媒体から読出されたプログラム自体が前述した実施形態の機能を実現することになり、プログラム、そのプログラムを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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