(57)【要約】      （修正有）【課題】マーキング異常の原因を推測しやすくすることができるレーザマーキング装置を提供する。【解決手段】レーザマーカ２と制御装置１５を含むコントローラ４とコンソール６とを備え、ガルバノスキャナ１３にてマーキングするレーザマーキング装置１に、レーザ出力測定手段とマーキング異常検出手段と、パターン撮像手段と出力地を含むステータス情報とを対応付けてメモリに記憶させる記憶手段とを備え、レーザ光Ｌの出力異常の検出に基づきレーザマーカ２に備えられた撮像装置１４にて撮像されたパターンの撮像画像と、少なくともレーザ光Ｌの出力値を含むステータス情報とを対応付けてマーキング異常を検出する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ発生手段から発生されマーキング対象物に出射されるレーザ光をガルバノスキャナにより２次元的に走査させ、予め設定されたパターンを前記マーキング対象物にマーキングするレーザマーキング装置であって、
前記マーキング対象物に出射される前記レーザ光の出力値を測定するためのレーザ出力測定手段と、
前記マーキング対象物のマーキング異常を検出するためのマーキング異常検出手段と、
前記マーキング異常検出手段によるマーキング異常の検出に基づき、前記マーキング対象物にマーキングされ撮像手段にて撮像された前記パターンの撮像画像と、少なくとも前記レーザ光の出力値を含むステータス情報とを対応付けてメモリに記憶させるための記憶手段と
を備えたことを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザマーキング装置において、
前記マーキング異常検出手段は、前記レーザ出力測定手段にて測定された前記レーザ光の出力値に基づいて前記マーキング異常を検出することを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項３】
請求項１に記載のレーザマーキング装置において、
前記マーキング異常検出手段は、前記マーキング対象物にマーキングされ撮像手段にて撮像された前記パターンの撮像画像に基づき前記マーキング異常を検出することを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のレーザマーキング装置において、
前記撮像手段は、前記マーキング対象物に対するマーキングが終了した後に該マーキング対象物にマーキングされたパターンを撮像することを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項５】
請求項１又は２に記載のレーザマーキング装置において、
前記マーキング異常検出手段は、前記マーキング対象物にマーキングしている状態でマーキング異常を検出し、
前記撮像手段は、前記マーキング異常検出手段によるマーキング異常の検出に基づき前記マーキング対象物を撮像することを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のレーザマーキング装置において、
前記撮像手段は、所定のタイミング毎に前記マーキング対象物を撮像し、
前記記憶手段は、前記マーキング異常検出手段によるマーキング異常の検出に基づき前記撮像手段にて撮像された撮像画像と前記ステータス情報とを対応付けて前記メモリに記憶させ、当該撮像画像よりも前に撮像した撮像画像及び後に撮像する撮像画像の少なくとも一方も前記メモリに保存させることを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項７】
請求項６に記載のレーザマーキング装置において、
前記所定のタイミングは、前記マーキング対象物へのマーキング終了のタイミングであることを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項８】
レーザ発生手段から発生されマーキング対象物に出射されるレーザ光をガルバノスキャナにより２次元的に走査させ、予め設定されたパターンを前記マーキング対象物にマーキングするレーザマーキングシステムであって、
前記マーキング対象物に出射される前記レーザ光の出力値を測定するためのレーザ出力測定手段と、
前記マーキング対象物のマーキング異常を検出するためのマーキング異常検出手段と、
前記マーキング対象物にマーキングされた前記パターンを撮像するための撮像手段と、
前記マーキング異常検出手段によるマーキング異常の検出に基づき、前記撮像手段にて撮像された前記パターンの撮像画像と、少なくとも前記レーザ光の出力値を含むステータス情報とを対応付けてメモリに記憶させるための記憶手段と
を備えたことを特徴とするレーザマーキングシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザマーキング装置及びレーザマーキングシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザマーキングシステムにおいて、マーキングされた文字・記号・図形等のパターンを撮像するための撮像手段を備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。レーザマーキングシステムでは、レーザ光源の故障、経年的な劣化、光学系の部品の配置ずれ、レンズの汚れ等によってレーザ光のワークへの照射エネルギーが低下し、所望のマーキングが行えない場合があるが、特許文献１のようなレーザマーキングシステムでは、マーキングされたパターンを撮像手段にて撮像し、そのパターンの撮像画像と理想パターンとのマッチングによる画像検査を行うことで、正常にマーキングできなかったパターン（例えば、一部が欠けたり、かすれたりしたパターン）を検出することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２２０６８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のようなレーザマーキング装置では、パターンの撮像画像に基づきマーキング異常を検出することができるが、そのマーキング異常を引き起こした原因を推測することが難しく、その点においてなお改善の余地があった。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、マーキング異常の原因を推測しやすくすることができるレーザマーキング装置及びレーザマーキングシステムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、レーザ発生手段から発生されマーキング対象物に出射されるレーザ光をガルバノスキャナにより２次元的に走査させ、予め設定されたパターンを前記マーキング対象物にマーキングするレーザマーキング装置であって、前記マーキング対象物に出射される前記レーザ光の出力値を測定するためのレーザ出力測定手段と、前記マーキング対象物のマーキング異常を検出するためのマーキング異常検出手段と、前記マーキング異常検出手段によるマーキング異常の検出に基づき、前記マーキング対象物にマーキングされ撮像手段にて撮像された前記パターンの撮像画像と、少なくとも前記レーザ光の出力値を含むステータス情報とを対応付けてメモリに記憶させるための記憶手段とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
この発明では、マーキング異常検出手段によるマーキング異常の検出に基づき、撮像手段にて撮像されたパターンの撮像画像と、少なくともレーザ光の出力値を含むステータス情報とを対応付けてメモリに記憶させる。このため、マーキング異常時のパターンの撮像画像とステータス情報とから原因を推測することが可能となり、マーキング異常の原因を推測しやすくすることができる。また、パターンが正常にマーキングされた場合には、パターンの撮像画像とステータス情報を保存しないため、保存用に使用する記憶容量を少なく抑えることができる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のレーザマーキング装置において、前記マーキング異常検出手段は、前記レーザ出力測定手段にて測定された前記レーザ光の出力値に基づいて前記マーキング異常を検出することを特徴とする。
【０００９】
この発明では、簡易な構成でマーキング異常を検出することが可能となる。
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載のレーザマーキング装置において、前記マーキング異常検出手段は、前記マーキング対象物にマーキングされ撮像手段にて撮像された前記パターンの撮像画像に基づき前記マーキング異常を検出することを特徴とする。
【００１０】
この発明では、マーキング異常を高い精度で検出することが可能となる。
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載のレーザマーキング装置において、前記撮像手段は、前記マーキング対象物に対するマーキングが終了した後に該マーキング対象物にマーキングされたパターンを撮像することを特徴とする。
【００１１】
この発明では、マーキング動作と撮像手段による撮像動作とを別々にできるため、構成を簡単にすることができる。
請求項５に記載の発明は、請求項１又は２に記載のレーザマーキング装置において、前記マーキング異常検出手段は、前記マーキング対象物にマーキングしている状態でマーキング異常を検出し、前記撮像手段は、前記マーキング異常検出手段によるマーキング異常の検出に基づき前記マーキング対象物を撮像することを特徴とする。
【００１２】
この発明では、マーキング異常が発生した時点での撮像画像及びステータス情報を保存することが可能となるため、マーキング異常の原因をより推測しやすくすることができる。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載のレーザマーキング装置において、前記撮像手段は、所定のタイミング毎に前記マーキング対象物を撮像し、前記記憶手段は、前記マーキング異常検出手段によるマーキング異常の検出に基づき前記撮像手段にて撮像された撮像画像と前記ステータス情報とを対応付けて前記メモリに記憶させ、当該撮像画像よりも前に撮像した撮像画像及び後に撮像する撮像画像の少なくとも一方も前記メモリに保存させることを特徴とする。
【００１４】
この発明では、マーキング異常の検出に基づき撮像された撮像画像及びステータス情報と、その前後の少なくとも一方の撮像画像とが保存されるため、マーキング異常の原因をより推測しやすくすることができる。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のレーザマーキング装置において、前記所定のタイミングは、前記マーキング対象物へのマーキング終了のタイミングであることを特徴とする。
【００１６】
この発明では、複数のマーキング対象物に順次マーキングする際に、あるマーキング対象物においてマーキング異常検出手段にてマーキング異常が検出されたときに、当該マーキング対象物の直前にマーキングしたマーキング対象物及び直後にマーキングするマーキング対象物の少なくとも一方の撮像画像もメモリに保存させることができる。このため、マーキング異常の原因をより推測しやすくすることができる。
【００１７】
請求項８に記載の発明は、レーザ発生手段から発生されマーキング対象物に出射されるレーザ光をガルバノスキャナにより２次元的に走査させ、予め設定されたパターンを前記マーキング対象物にマーキングするレーザマーキングシステムであって、前記マーキング対象物に出射される前記レーザ光の出力値を測定するためのレーザ出力測定手段と、前記マーキング対象物のマーキング異常を検出するためのマーキング異常検出手段と、前記マーキング対象物にマーキングされた前記パターンを撮像するための撮像手段と、前記マーキング異常検出手段によるマーキング異常の検出に基づき、前記撮像手段にて撮像された前記パターンの撮像画像と、少なくとも前記レーザ光の出力値を含むステータス情報とを対応付けてメモリに記憶させるための記憶手段とを備えたことを特徴とする。
【００１８】
この発明では、マーキング異常検出手段によるマーキング異常の検出に基づき、撮像手段にて撮像されたパターンの撮像画像と、少なくともレーザ光の出力値を含むステータス情報とを対応付けてメモリに記憶させる。このため、マーキング異常時のパターンの撮像画像とステータス情報とから原因を推測することが可能となり、マーキング異常の原因を推測しやすくすることができる。また、パターンが正常にマーキングされた場合には、パターンの撮像画像とステータス情報を保存しないため、保存用に使用する記憶容量を少なく抑えることができる。
【発明の効果】
【００１９】
従って、上記記載の発明によれば、マーキング異常の原因を推測しやすくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本実施形態におけるレーザマーキング装置の概略構成を示す斜視図。
【図２】本実施形態におけるレーザマーキング装置の概略構成を示すブロック図。
【図３】本実施形態におけるマーキング処理を説明するためのフローチャート。
【図４】別例におけるマーキング処理を説明するためのフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
図１に示すように、本実施形態のレーザマーキング装置１（レーザマーキングシステム）は、マーキング対象物としてのワークＷを搬送する搬送ラインＴＲの上方に配置されるレーザマーカ２と、レーザマーカ２にケーブル３を介して接続されたコントローラ４と、コントローラ４にケーブル５を介して接続されたコンソール６とを備えている。レーザマーキング装置１は、順次搬送される複数のワークＷの表面に文字・記号・図形等のパターンをそれぞれマーキングするものである。レーザマーカ２は、そのハウジング１０内にレーザ光源１１、ビームエキスパンダ１２、ガルバノスキャナ１３、撮像装置１４（例えばＣＣＤカメラ等）を備えている（図２参照）。コントローラ４は、図２に示すように、レーザマーキング装置１を統括的に制御するための制御装置１５と、制御装置１５に接続されたメモリ１６を備えている。
【００２２】
レーザマーカ２のレーザ光源１１は、コントローラ４の制御装置１５にてその発振が制御され、マーキング用のレーザ光Ｌを出射するようになっている。レーザ光源１１の後段に配置されたビームエキスパンダ１２は、レーザ光源１１から出射されたレーザ光Ｌのビーム径を所定の倍率で一旦拡大する。
【００２３】
ビームエキスパンダ１２の後段に配置されたガルバノスキャナ１３は、ガルバノミラー１３ａと、そのガルバノミラー１３ａを駆動するためのガルバノモータ１３ｂとを有している。ガルバノミラー１３ａは、ビームエキスパンダ１２にて径が拡大されたレーザ光Ｌを反射してその照射方向を変更するものであり、例えば対をなすＸ軸ミラーとＹ軸ミラーとで構成されている。ガルバノミラー１３ａは、制御装置１５の制御に基づくガルバノモータ１３ｂの駆動により角度制御され、予め設定された所望のパターンのデータに基づいて２次元的にレーザ光Ｌを走査する。
【００２４】
ガルバノミラー１３ａの後段に配置された収束レンズ（ｆθレンズ）１７は、レーザ光ＬをワークＷの表面において所定のスポット径となるまで収束させ、マーキングに適したエネルギー密度まで高める。これにより、ワークＷにマーキングが施されるようになっている。
【００２５】
このような構成のレーザマーカ２において、レーザ光Ｌの光軸上におけるビームエキスパンダ１２とガルバノミラー１３ａとの間には、コールドミラー２１が設けられている。コールドミラー２１は、可視光域の光を反射しレーザ光Ｌは透過させる。
【００２６】
コールドミラー２１の近傍に設けられた撮像装置１４は、その光軸がコールドミラー２１により屈曲し、コールドミラー２１の後段側（レーザ出射側）において該撮像装置１４の光軸がレーザ光Ｌの光軸と一致するように配置されている。即ち、レーザ光Ｌの出射部（収束レンズ１７部分）から取り込まれてコールドミラー２１により反射された可視光は撮像装置１４に到達し、これにより、ワークＷにマーキングされたパターンを撮像装置１４にて撮像することが可能となっている。撮像装置１４は、パターンの撮像画像のデータをコントローラ４の制御装置１５に出力する。
【００２７】
レーザ光源１１とビームエキスパンダ１２との間には、レーザ光Ｌの出力値を測定するためのレーザ出力測定部２２が設けられている。レーザ出力測定部２２は、レーザ光Ｌの光軸上におけるレーザ光源１１とビームエキスパンダ１２との間に配置されたビームスプリッター等よりなる光路分岐部２２ａと、ハウジング１０内に設けられた受光素子２２ｂとを備えている。光路分岐部２２ａは、レーザ光源１１から出射されたレーザ光Ｌの数パーセントを受光素子２２ｂに向かって反射する。そして、受光素子２２ｂには光路分岐部２２ａにて反射されたレーザ光Ｌが入射し、該受光素子２２ｂは受光結果に基づく検出信号を制御装置１５に出力する。
【００２８】
コントローラ４の制御装置１５には、コンソール６にて設定されたパターンのデータが入力され、そのパターンのデータに基づいて上記レーザマーカ２を駆動させる。コンソール６はタッチパネル機能を有する表示画面６ａを備え、ユーザーはワークＷにマーキングする所望のパターンをコンソール６にて設定することが可能であり、コンソール６は設定されたパターンのデータをコントローラ４の制御装置１５に出力する。そして、制御装置１５は、コンソール６からのパターンのデータをメモリ１６に記憶させる。
【００２９】
上記のようなレーザマーキング装置１の１つのワークＷに対するマーキング処理を図３のフローチャートに従って説明する。
コントローラ４の制御装置１５は、コンソール６から入力されたパターンのデータに基づきレーザマーカ２にてワークＷに所望のパターンをマーキングさせる（ステップＳ１１）。
【００３０】
次に、ステップＳ１２において、制御装置１５は、受光素子２２ｂからの検出信号に基づいて、マーキングの開始から終了までの間にレーザ光Ｌの出力値が予め設定された閾値を下回ったか否かを判定する。レーザ光Ｌの出力値がマーキングの間常に前記閾値以上であった場合には、レーザ光Ｌの出力値が正常、即ちマーキングが正常に行われたと判断し、そのワークＷに対するマーキング処理を終了する。
【００３１】
一方、マーキングの開始から終了までの間にレーザ光Ｌの出力値が前記閾値を下回っていた場合には、レーザ光Ｌの出力異常、即ちマーキング異常が発生したと判断し、ステップＳ１３に移行する。
【００３２】
ステップＳ１３において、制御装置１５は、マーキングされたパターンを撮像装置１４にて撮像させ、その撮像画像は制御装置１５に入力される。
その後、制御装置１５はステップＳ１４において、パターンの撮像画像と、前記閾値を下回ったときのレーザ光Ｌの出力値（ステータス情報）と、そのワークＷに対応する番号とを対応付けてメモリ１６に記憶させ、そのワークＷに対するマーキング処理を終了する。尚、ステータス情報として、レーザ光Ｌの出力値だけでなくレーザマーカ２の温度やガルバノミラー１３ａの角度位置等も保存するようにしてもよい。つまり、ステータス情報は、少なくともレーザ光Ｌの出力値を含む情報であればよい。また、このとき保存するレーザ光Ｌの出力値は、１つの値（本実施形態では、閾値を下回ったときのレーザ光Ｌの出力値）だけでなく、１つの撮像画像につき複数の値を対応付けて保存（例えばマーキング終了時の出力値等も併せて保存したり、マーキングの開始から終了までにレーザ光Ｌの出力値が前記閾値を複数回下回った場合には、その下回った全ての出力値を保存）するようにしてもよい。
【００３３】
以上のマーキング処理が終了すると、レーザマーカ２の下方（マーキング領域）に次のワークＷが搬送されてそのワークＷに対して以上のマーキング処理が行われる。これが繰り返されて所定の個数のワークＷにマーキングが行われるようになっている。
【００３４】
そして、ステップＳ１４で対応付けて保存されたパターンの撮像画像とステータス情報は、コンソール６の表示画面６ａでの所定の操作に基づき該表示画面６ａに表示されるようになっている。これにより、ユーザーは、レーザ光Ｌの出力値が異常であったと判定されたパターンの撮像画像とステータス情報とを確認することができ、その撮像画像のパターンにマーキング異常が生じている場合、該撮像画像とステータス情報とからマーキング異常の原因を推測することが可能となっている。
【００３５】
次に、本実施形態の特徴的な作用効果を記載する。
（１）本実施形態では、制御装置１５は、マーキング異常（レーザ光Ｌの出力異常）の検出に基づき撮像装置１４にて撮像されたパターンの撮像画像と、少なくともレーザ光Ｌの出力値を含むステータス情報とを対応付けてメモリ１６に記憶させる。このため、マーキング異常（レーザ光Ｌの出力値異常）の発生時のパターンの撮像画像とステータス情報とから原因を推測することが可能となり、マーキング異常の原因を推測しやすくすることができる。また、レーザ光Ｌの出力値が正常な場合には、パターンの撮像画像とステータス情報を保存しないため、保存用に使用する記憶容量を少なく抑えることができる。
【００３６】
（２）本実施形態では、制御装置１５は、レーザ出力測定部２２にて測定されたレーザ光Ｌの出力値に基づいてマーキング異常を検出するため、簡易な構成でマーキング異常を検出することが可能となる。
【００３７】
（３）本実施形態では、撮像装置１４は、ワークＷに対するマーキングが終了した後に該ワークＷにマーキングされたパターンを撮像するため、マーキング動作と撮像装置１４による撮像動作とを別々にできるため、構成を簡単にすることができる。
【００３８】
尚、本発明の実施形態は、以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、制御装置１５は、レーザ光Ｌの出力異常の検出（ステップＳ１２）に基づき、撮像画像とステータス情報を保存（ステップＳ１４）したが、特にこれに限定されるものではなく、パターンの撮像画像に基づくマーキング異常の判定に基づき、撮像画像とステータス情報を保存するようにしてもよい。
【００３９】
例えば図４のフローチャートに示すように、制御装置１５は、ステップＳ２１においてレーザマーカ２にてワークＷに所望のパターンをマーキングさせる。
次に、制御装置１５は、ステップＳ２２において、受光素子２２ｂからの検出信号に基づき測定したレーザ光の出力値を一時的にメモリ１６に記憶させる。この記憶させるレーザ光の出力値は、マーキング開始前の出力値、マーキング終了時点の出力値、マーキング途中における所定の時点の出力値、及びマーキングの開始から終了までの間での出力最低値のいずれでもよい。
【００４０】
次に、制御装置１５は、ステップＳ２３において、ワークＷにマーキングされたパターンの撮像画像と予め撮像した基本画像（正常にマーキングされたパターンの撮像画像）とを比較し、マーキングされたパターンの良否を判断する。
【００４１】
パターンが正常にマーキングされていると判定した場合には、ステップＳ２４に移行し、一時的にメモリ１６に記憶させたレーザ光の出力値を消去し、そのワークＷに対するマーキング処理を終了する。
【００４２】
一方、マーキング異常が生じたと判定した場合には、ステップＳ２５に移行し、制御装置１５は、マーキングされたパターンを撮像装置１４にて撮像させ、その撮像画像は制御装置１５に入力される。
【００４３】
その後、制御装置１５は、パターンの撮像画像と、ステップＳ２２で一時的に保存したレーザ光Ｌの出力値（ステータス情報）と、そのワークＷに対応する番号とを対応付けてメモリ１６に記憶させる（ステップＳ２６）。
【００４４】
以上のような処理を行う構成によっても、上記実施形態の（１）及び（３）と同様の作用効果を得ることができる。更に、上記構成によれば、マーキング異常を高い精度で検出することが可能となる。
【００４５】
・上記実施形態では、パターンの撮像画像とステータス情報とを対応付けて保存する対象をレーザ光Ｌの出力異常が検出されたワークＷのみとしたが、レーザ光Ｌの出力異常が検出されたワークＷの１つ前のワークＷと１つ後のワークＷの少なくとも一方も保存対象としてもよい。例えば、前後両方のワークＷも保存対象とする場合、制御装置１５は、レーザ光Ｌの出力異常の判定（ステップＳ１２）の前にパターンの撮像（ステップＳ１３）を行い、その撮像画像を一時的にメモリ１６に記憶させる。そして、制御装置１５は、あるワークＷでレーザ光の出力異常が検出されると、その１つ前にマーキングしたワークＷの撮像画像とステータス情報とを対応付けてメモリ１６に記憶させ、１つ後にマーキングするワークＷについてもマーキング終了後にその撮像画像とステータス情報とを対応付けてメモリ１６に記憶させる。また、制御装置１５は、正常にマーキングされたという判定されたワークＷが２つ連続した場合、その連続する２つのうち先にマーキングを行ったワークＷのパターンの撮像画像とステータス情報を消去する。これにより、レーザ光Ｌの出力異常が検出されたワークＷ及びその前後のワークＷのパターンに関する撮像画像とステータス情報のみが最終的に保存され、保存用の記憶容量を小さく抑えることができる。
【００４６】
このように、レーザ光Ｌの出力異常が検出されたワークＷのパターンを保存対象とするだけでなく、１つ前のワークＷと１つ後のワークＷの少なくとも一方に関しても保存対象とすることで、マーキング異常の原因をより推測しやすくすることができる。
【００４７】
・上記実施形態では、制御装置１５は、ワークＷに対するマーキングが終了した後にマーキング異常を検出し、その後、ワークＷにマーキングされたパターンを撮像装置１４にて撮像させたが、これ以外に例えば、制御装置１５はマーキングしている状態でマーキング異常を検出し、その異常検出に基づき撮像装置１４にてワークＷ（マーキング領域）を撮像させるように構成してもよい。この構成によれば、マーキング異常が発生した時点での撮像画像及びステータス情報を保存することが可能となるため、マーキング異常の原因をより推測しやすくすることができる。
【００４８】
また、制御装置１５は、撮像装置１４にて所定のタイミング毎にワークＷを撮像（１つのワークＷに対して複数撮像、若しくは１つのワークＷにつきマーキング終了後に１回撮像するタイミングで撮像）させ、マーキング異常の検出に基づき撮像装置１４にて撮像された撮像画像とステータス情報とを対応付けてメモリ１６に記憶させ、当該撮像画像よりも前に撮像した撮像画像及び後に撮像する撮像画像の少なくとも一方もメモリ１６に保存させるようにしてもよい。この構成によれば、マーキング異常が発生した時点での撮像画像及びステータス情報と、その前後の少なくとも一方の撮像画像とが保存されるため、マーキング異常の原因をより推測しやすくすることができる。尚、マーキング異常の検出に基づき撮像された撮像画像よりも前に（又は後に）撮像した撮像画像は、マーキング異常の検出に基づき撮像された撮像画像の直前（又は直後）の所定数の撮像画像としてもよく、また、マーキング異常の検出に基づき撮像された撮像画像よりも所定時間分だけ前の（又は後の）撮像画像としてもよい。また、マーキング異常の検出に基づき撮像された撮像画像とその前に（又は後に）撮像した撮像画像は、マーキング異常が検出されたワークＷとその前後のワークＷとに跨っていてもよい。
【００４９】
・上記実施形態において、制御装置１５は、マーキング異常が検出されたワークＷが連続した場合にマーキングを停止するようにしてもよい。
・上記実施形態において、制御装置１５は、メモリ１６に記憶させた撮像画像とステータス情報のデータが所定数に達した場合に、そのデータのうちの例えば古いものを消去するようにしてもよい。この構成によれば、撮像画像とステータス情報の保存用に使用する記憶容量を少なく抑えることができる。
【００５０】
・上記実施形態では、制御装置１５は、レーザ光Ｌの出力値に基づいてマーキング異常を検出したが、これ以外に例えば、マーキング中に発生する音や、ワークＷから放たれる熱（赤外線）や、ワークＷからの反射光等に基づいてマーキング異常を検出してもよい。
【００５１】
・上記実施形態では、撮像装置１４がレーザマーカ２内に設けられたが、特にこれに限定されるものではなく、例えば、レーザマーカ２の外部に撮像装置を設置し、その撮像装置とコントローラ４とをケーブル等で接続する構成としてもよい。
【００５２】
・上記実施形態において、コールドミラー２１の配置位置、及びコールドミラー２１に付随して配置される撮像装置１４の配置位置を適宜変更してもよい。上記実施形態では、コールドミラー２１はビームエキスパンダ１２とガルバノミラー１３ａとの間に配置されたが、これ以外に例えば、ガルバノミラー１３ａと収束レンズ１７との間に配置してもよい。
【００５３】
・上記実施形態では、レーザマーカ２とコントローラ４とを別体で構成したが、これに限らず一体に構成してもよい。
【符号の説明】
【００５４】
１…レーザマーキング装置、１１…レーザ発生手段としてのレーザ光源、１３…ガルバノスキャナ、１４…撮像手段としての撮像装置、１５…レーザ出力測定手段、マーキング異常検出手段（出力異常検出手段）及び記憶手段を構成する制御装置、１６…メモリ、２２…レーザ出力測定手段を構成するレーザ出力測定部、Ｌ…レーザ光、Ｗ…マーキング対象物としてのワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2011050978.tif 000005
【図４】
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