(57)【要約】【課題】基板に対し、機能液滴が各画素領域に正確に着弾しなくても、異色の機能液滴が混色することを防止することができる液滴吐出装置の描画方法を提供する。【解決手段】ワークＷと機能液滴吐出ヘッド７１とを相対的に走査し、ワークＷに機能液を吐出して描画を行なう液滴吐出装置の描画方法であって、走査方向に沿った複数の領域を描画する第１の走査と、第１の走査で描画した複数の領域の間の領域を描画する第２の走査と、を有することを特徴とする。【選択図】図２０
2011102982.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークと機能液滴吐出ヘッドとを相対的に走査し、前記ワークに機能液を吐出して描画を行なう液滴吐出装置の描画方法であって、
走査方向に沿った複数の領域を描画する第１の走査と、
前記第１の走査で描画した前記複数の領域の間の領域を描画する第２の走査と、を有することを特徴とする液滴吐出装置の描画方法。
【請求項２】
複数種類の機能液を吐出し、前記第１の走査では、機能液の種類毎に異なる領域を描画することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置の描画方法。
【請求項３】
前記第２の走査では、前記第１の走査で描画された領域に、異なる種類の機能液を吐出することを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置の描画方法。
【請求項４】
前記第２の走査は、複数回行うことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置の描画方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に対し、複数色の機能液をそれぞれ導入した色別複数の機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴を吐出して描画を行う液滴吐出装置の描画方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、カラーフィルタの製造に用いられる液滴吐出装置であって、ブラックマトリクス（複数の画素領域）の形成されたガラス基板に対し、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）３色のインク（機能液）をそれぞれ導入した色別インクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）を相対的に移動させながら、ブラックマトリクスに３色の配色パターンに基づいてインク滴を吐出・着弾させ描画を行うものが知られている。そして、このような液滴吐出装置では、ブラックマトリクスに対してインクを高精度に吐出すべく、インクジェットヘッドに対して基板を相対的に移動させるＸＹステージ（Ｘ軸テーブルおよびＹ軸テーブル）の位置ずれ量を測定し、その位置ずれを補正するようにしている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２５８４１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、液滴吐出装置による描画動作においては、上記のようにＸＹステージの位置ずれ補正を行ったとしても、ＸＹステージの移動速度ムラ、インク滴の飛行曲がり等により、ブラックマトリクスに対してインクを正確に吐出することは困難である。特に、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色のインクが同時に（同一の主走査で）吐出される場合には、隣接する画素領域間において、インク滴が正確に吐出されないことによって、相互に異なる色のインクが基板上で混じり合い、混色してしまうという問題があった。そのため、製造されたカラーフィルタの品質が損なわれていた。
【０００５】
本発明は、基板に対し、複数色の機能液滴を同時に吐出・着弾させた場合に、機能液滴が各画素領域に正確に着弾しなくても、異色の機能液滴が混色することを防止することができる液滴吐出装置の描画方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出装置の描画方法は、ワークと機能液滴吐出ヘッドとを相対的に走査し、ワークに機能液を吐出して描画を行なう液滴吐出装置の描画方法であって、走査方向に沿った複数の領域を描画する第１の走査と、第１の走査で描画した複数の領域の間の領域を描画する第２の走査と、を有することを特徴とする。
【０００７】
この場合、複数種類の機能液を吐出し、第１の走査では、機能液の種類毎に異なる領域を描画することが好ましい。
【０００８】
この場合、第２の走査では、第１の走査で描画された領域に、異なる種類の機能液を吐出することが好ましい。
【０００９】
また、第２の走査は、複数回行うことが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】ワーク（基板）を模式的に表した平面図である。
【図２】カラーフィルタにおけるＲ・Ｇ・Ｂ３色の配色パターン例を示す図である。
【図３】描画システムの平面模式図である。
【図４】液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図５】液滴吐出装置の平面図である。
【図６】液滴吐出装置の正面図である。
【図７】液滴吐出装置の側面図である。
【図８】複数のキャリッジユニットの説明図であり、キャリッジユニットのヘッドプレート廻りを示した図である。
【図９】キャリッジユニットの説明図であり、（ａ）はキャリッジユニットの外観斜視図、（ｂ）はキャリッジユニットを下側から見た図である。
【図１０】描画処理において、ワークに対し、７個のキャリッジユニットがＹ軸方向に移動する副走査を説明する図である。
【図１１】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図１２】機能液供給手段の説明図であり、（ａ）は、圧力調整弁廻りの説明図、（ｂ）は圧力調整弁の断面図である。
【図１３】メンテナンス手段の外観斜視図である。
【図１４】液滴吐出装置の制御系について説明したブロック図である。
【図１５】液滴吐出装置による描画処理において、第１回目の主走査を説明する図である。
【図１６】図１４に続く、第２回目の主走査を説明する図である。
【図１７】図１５に続く、第３回目の主走査を説明する図である。
【図１８】カラーフィルタにおけるＲ・Ｇ・Ｂ３色の配色パターンがモザイク配列である場合に、液滴吐出装置による描画処理を説明する図である。
【図１９】第２実施形態のキャリッジユニットの底面図である。
【図２０】第２実施形態の液滴吐出装置による描画処理を説明する図である。
【図２１】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図２２】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図２３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２６】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２７】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２８】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２９】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図３０】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図３１】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３２】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図３３】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３４】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３５】陰極の形成を説明する工程図である。
【図３６】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３７】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３８】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置およびその描画方法について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、液晶表示装置等のＦＰＤの製造ラインに組み込まれた描画システムに設置されており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、カラーフィルタ等の基板上にＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴による成膜部を形成するものである。そこで、まず、液滴吐出装置による機能液滴の吐出対象（描画対象）となる基板（ワーク）について簡単に説明する。
【００１２】
図１に示すように、ワークＷは、縦１５００ｍｍ×横１８００ｍｍの透明基板（ガラス基板）であり、その周縁部の左右２箇所には、液滴吐出装置１（図４参照）により位置認識される一対のワークアライメントマークＷｍ，Ｗｍがそれぞれ形成されており、その周縁部を除いた縦１３６０ｍｍ×横１６３０ｍｍの範囲には、区画壁部５０７ｂ（バンク部）により区画した複数の画素領域５０７ａがマトリクス状に配列されている。各画素領域５０７ａは、区画壁部５０７ｂで囲まれた平面視正方形の凹部となっており、後述する機能液滴吐出ヘッド７１によりＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）３色の成膜部（着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ）を形成する際に、機能液滴の着弾領域となる（図２２参照）。なお、図２（ａ）に示すように、本実施形態における複数の画素領域５０７ａの配色パターンは、マトリクスの横列においてすべて同色となるストライプ配列であるが、マトリクスの縦列・横列に並んだ任意の３つの画素領域５０７ａが、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色となるモザイク配列であってもよい（同図（ｂ）参照）。また、複数の画素領域５０７ａが千鳥をなすデルタ配列であってもよい（同図（ｃ）参照）。
【００１３】
続いて、本液滴吐出装置を備えた描画システムについて簡単に説明する。図３は、描画システムの平面模式図である。同図に示すように、描画システムＳは、３組の描画ユニットＳｕで構成されており、導入されたワークＷ（図４参照）上にＲ・Ｇ・Ｂ３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成してカラーフィルタを製造するものである。各描画ユニットＳｕは、元々、Ｒ・Ｇ・Ｂの各色にそれぞれ対応しており、順次導入されたワークＷ（基板）上に着色層を１色分ずつ形成するように設計されたものである。もっとも、後述するように、設置された各液滴吐出装置１は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液（フィルタ材料）を吐出（描画）可能に構成されているため、各描画ユニットＳｕは、ワークＷ上に３色の着色層を形成することができる。すなわち、各描画ユニットＳｕ間でワークＷを移載する必要がなく、カラーフィルタを効率よく製造することができる。
【００１４】
各描画ユニットＳｕは、着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成するための液滴吐出装置１と、液滴吐出装置１に並設され、ワークＷを搬出入するワーク搬出入装置２と、各装置に接続され、描画ユニットＳｕ全体を制御する上位コンピュータ３とを備えている。また、液滴吐出装置１は、チャンバ装置４に収容されている。チャンバ装置４は、いわゆるサーマルチャンバであり、一定の温度条件でワークＷに対する液滴吐出が行われるように、液滴吐出装置１全体を温度管理下で収容している。チャンバ装置４は、液滴吐出装置１全体を直接収容するボックス状のチャンバ本体１１と、チャンバ本体１１内の温度が一定となるように温度管理を行う空気調和機器１２と、これを制御する制御盤（図示省略）とを備えている。図示省略したが、チャンバ本体１１の右側面前方には、ワーク搬入・搬出開口となる開閉扉が形成されており、液滴吐出装置１にワークＷを導入する場合等には、開閉扉を介してチャンバ本体１１に収容された液滴吐出装置１にアクセスできるようになっている。
【００１５】
ワーク搬出入装置２は、ワークＷを移載するロボットアーム１３を備えており、このロボットアーム１３により、上記の開閉扉を介して、描画前のワークＷを描画ユニットＳｕ内に搬入してこれを液滴吐出装置１に導入すると共に、描画後のワークＷを液滴吐出装置１から回収してこれを描画ユニットＳｕ外に搬出する。また、上位コンピュータ３は、パソコン等で構成されており、装置本体１６のほか、キーボード１７、ディスプレイ１８等を備えている（図１４参照）。
【００１６】
なお、同図に示す符号５は、乾燥装置を設置するための設置スペースであり、状況に応じて、ワークＷに吐出させた機能液の機能液溶媒を気化させるための乾燥装置を描画ユニットＳｕ内に設置可能となっている。
【００１７】
次に、本発明に係る液滴吐出装置１について説明する。図４ないし図７に示すように、液滴吐出装置１は、床上に設置した大型の共通架台２８と、共通架台２８上に設置され、ワークＷ（図４参照）をセットするセットテーブル４１を有し、セットテーブル４１を介してワークＷをＸ軸方向に往復動（主走査）させるワーク移動手段２１（Ｘ軸テーブル）と、ワーク移動手段２１を跨ぐようにして配設されたヘッド移動手段２２（Ｙ軸テーブル）と、それぞれ複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド７１（図８参照）を搭載すると共に、ヘッド移動手段２２に個々に移動自在に取り付けられた複数（７個）のキャリッジユニット２３と、７個のキャリッジユニット２３に搭載された機能液滴吐出ヘッド７１に機能液をそれぞれ供給する７個の機能液供給ユニット１０１から成る機能液供給手段２４と、ヘッド移動手段２２によるキャリッジユニット２３の移動軌跡上のワーク移動手段２１から外側（図５では右側）に外れた位置に配設され、機能液滴吐出ヘッド７１を保守するメンテナンス手段２５と、セットテーブル４１に配設され、メンテナンス手段と共に機能液滴吐出ヘッド７１の機能回復に資するフラッシングユニット２６とを備えている。
【００１８】
また、図示省略したが、液滴吐出装置１は、各手段に液体（機能液および洗浄液）を供給すると共に不要となった液体を回収する液体供給回収手段や、各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段、ワークＷをセットテーブル４１に吸着セットするためのエアー吸引手段、ワークＷの位置認識を行うためのワーク認識カメラ３６、キャリッジユニット２３の位置認識を行うヘッド認識カメラ３７、上記の上位コンピュータ３に接続され液滴吐出装置１全体を統括制御するコントローラ２７（制御部１６２、図１４参照）等を備えている。
【００１９】
この液滴吐出装置１では、ワーク移動手段２１の駆動に同期して、機能液滴吐出ヘッド７１を駆動することにより、ワークＷの画素領域５０７ａにＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出・着弾させ、ワークＷに描画処理を行うと共に、ワーク交換等の非描画処理時には、ヘッド移動手段２２を駆動し、キャリッジユニット２３をメンテナンス手段２５に臨ませ、メンテナンス手段２５により、機能液滴吐出ヘッド７１のメンテナンス処理を行うようになっている。なお、上述したように、液滴吐出装置１は、チャンバ装置４内に収容されており、これらの描画処理やメンテナンス処理を含むほとんどの処理は、チャンバ装置４内で行われる。
【００２０】
そして、ワーク移動手段２１によるワークＷの移動軌跡と、ヘッド移動手段２２によるキャリッジユニット２３の移動軌跡とが交わる領域が、描画処理を行う描画エリア３１となっており、また、ヘッド移動手段２２によるキャリッジユニット２３の移動軌跡上のワーク移動手段２１から外側に外れた領域が、メンテナンス手段２５によりメンテナンス処理を行うメンテナンスエリア３２となっている。なお、メンテナンスエリア３２は、機能液滴吐出ヘッド７１を交換するための領域を兼ねている。一方、ワーク移動手段２１の一方の端部（図５では下側）は、液滴吐出装置１に対するワークＷの搬出入を行うワーク搬出入エリア３３となっており、このワーク搬出入エリア３３に臨んで、上記のワーク搬出入装置２が設置されている。
【００２１】
ワーク移動手段２１は、共通架台２８上に載置されＸ軸方向に延在する石定盤３０上に配設されており、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル４２および吸着テーブル４２を介してワークＷのθ位置を微調整（θ補正）するワークθテーブル４３を有するセットテーブル４１と、セットテーブル４１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ４４と、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル４１を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ４５，４５と、Ｘ軸リニアモータ４５に並設され、Ｘ軸エアースライダ４４の移動を案内する一対のＸ軸ガイドレール４６，４６と、セットテーブル４１の位置を把握するためのＸ軸リニアスケール（図示省略）とを備えている。そして、一対のＸ軸リニアモータ４５，４５を駆動すると、一対のＸ軸ガイドレール４６，４６をガイドにしながら、Ｘ軸エアースライダ４４をＸ軸方向に移動し、セットテーブル４１にセットされたワークＷがＸ軸方向に移動する。
【００２２】
なお、吸着テーブル４２には、ワーク搬出入エリア３３に搬入された未処理のワークＷをセットテーブル４１にセットすると共に、処理済みのワークＷをセットテーブル４１から回収するためのワーク除給手段５１が組み込まれている。ワーク除給手段５１は、セットテーブル４１に対してワークＷを載置・離間させるためのリフトアップ機構５６と、リフトアップ機構により吸着テーブル４２に載置された未処理のワークＷを、その前後端および左右端を挟み込むことで、吸着テーブル４２に対して位置決め（プリアライメント）するためのプリアライメント機構５７と、イオナイザ等で構成され、ワークＷの裏面に剥離帯電した静電気を除去するための除電手段（図示省略）とを有している。
また、Ｘ軸エアースライダ４４には、フラッシングユニット２６が支持されている。
【００２３】
一方、ヘッド移動手段２２は、Ｙ軸方向に延在する前後一対の支持スタンド２９，２９上に支持され、描画エリア３１およびメンテナンスエリア３２間を架け渡すと共に、７個のキャリッジユニット２３を、描画エリア３１とメンテナンスエリア３２との間で個々に移動させるものである。ヘッド移動手段２２は、７個のキャリッジユニット２３のブリッジプレート７５（後述する）がＹ軸方向に整列するよう、これを両持ちで支持する７組のＹ軸エアースライダ６１と、Ｙ軸方向に延在し、各組のＹ軸エアースライダ６１を介して各ブリッジプレート７５をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ６２，６２と、Ｙ軸方向に延在し、７個のブリッジプレート７５の移動を案内する一対のＹ軸ガイドレール６３，６３と、各キャリッジユニットの移動位置を検出するＹ軸リニアスケール（図示省略）とを備えている。
【００２４】
そして、一対のＹ軸リニアモータ６２，６２を駆動すると、７組のＹ軸エアースライダ６１をそれぞれ独立して移動させ、７個のキャリッジユニット２３を個別にＹ軸方向へ移動させることができる。これによれば、７個のキャリッジユニット２３に対する個々の移動を、単純な構造で且つ精度良く行うことができる。もちろん、７組のＹ軸エアースライダ６１を同時にＹ軸方向に移動させることにより、７個のキャリッジユニット２３を一体としてＹ軸方向に移動させることも可能である。
【００２５】
なお、各組のＹ軸エアースライダ６１に支持されたブリッジプレート７５上には、対応する各キャリッジユニット２３に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド７１を駆動するヘッド用電装ユニット６６と、上記の機能液供給ユニット１０１とが配設されている。７個のヘッド用電装ユニット６６は、相互に干渉することがないよう（ノイズ防止）千鳥状に配置されており、７個の機能液供給ユニット１０１は、各ヘッド用電装ユニット６６に対峙するようにして、千鳥状に配置されている。また、独立移動可能な７個のキャリッジユニット２３に対応し、各キャリッジユニット２３に接続するチューブやケーブル類を、各キャリッジユニット２３の移動に追従可能に収容した７個のＹ軸ケーブル担持体（ケーブルベア：登録商標）が、７個のヘッド用電装ユニット６６の千鳥配置に対応して、二分されて設けられている（図示省略）。もっとも、各ヘッド用電装ユニット６６を小型化すれば、千鳥に配置しなくてもよく、７個のヘッド用電装ユニット６６をワーク搬出入エリア３３側に寄せて１列に並べてもよい。この場合、７個の機能液供給ユニット１０１についても、ワーク搬出入エリア３３側の反対側に寄せて１列に並べることが可能となり、インク交換等の作業が容易となる。
【００２６】
図６に示すように、７個のキャリッジユニット２３は、ヘッド移動手段２２の７組のＹ軸エアースライダ６１によりそれぞれ支持されてＹ軸方向に並んでいる。そして、７個のキャリッジユニット２３の全（１２×７個）機能液滴吐出ヘッド７１の全ノズル９５（吐出ノズル、図９（ｂ）参照）により１の描画ラインＬ（図１０参照）が構成されている。これによれば、キャリッジユニット２３を個々にメンテナンスエリア３２に移動させることで、メンテナンス手段２５によりキャリッジユニット２３毎にメンテナンス処理をすることができると共に、キャリッジユニット２３毎に機能液滴吐出ヘッド７１の交換等を行うことができる。したがって、機能液滴吐出ヘッド７１のメンテナンス性およびの交換作業性を損なうことなく、広幅の描画ライン（長ライン）を形成する大型のヘッドユニットを構成することができる。
なお、１の描画ラインＬを形成可能であれば、７個のキャリッジユニット２３の配置は任意に設定可能である。また、当然のことながら、キャリッジユニット２３の個数や、各キャリッジユニット２３に搭載する機能液滴吐出ヘッド７１の個数も任意に設定可能である。
【００２７】
図７ないし図９に示すように、各キャリッジユニット２３は、１２個の機能液滴吐出ヘッドと、１２個の機能液滴吐出ヘッド７１を支持するヘッドプレート７２と、１２個の機能液滴吐出ヘッド７１を裏面側からヘッドプレート７２に個々に固定するための１２個のヘッド保持部材７３と、ヘッドプレート７２を支持するキャリッジ７４と、キャリッジ７４を垂設すると共に上記の各組のＹ軸エアースライダ６１により両持ちで支持されるブリッジプレート７５とを備えている。また、キャリッジ７４は、ヘッドプレート７２を介して機能液滴吐出ヘッド７１のθ位置を微調整（θ補正）するヘッドθテーブル７６を有している。
【００２８】
ヘッドプレート７２は、ステンレス等から成る平面視略平行四辺形の厚板で構成されており、１２個の機能液滴吐出ヘッド７１を位置決めすると共に、ヘッド保持部材７３により各機能液滴吐出ヘッド７１を固定するための１２個の装着開口（図示省略）が形成されている。なお、ヘッドプレート７２には、機能液供給ユニット１０１のバルブユニット１０５（後述する）も固定されている。
【００２９】
各機能液滴吐出ヘッド７１は、キャリッジ７４に搭載された状態では、後述する２本のノズル列９４，９４がＹ軸方向と平行になるようにヘッドプレート７２に位置決め固定されている。そして、１２個の機能液滴吐出ヘッド７１は、その幅方向に密に重ね合わせると共に長手方向にノズル列９４の長さ分ずつずらすことで階段状にＸ軸方向およびＹ軸方向に配設されており、複数のノズル９５がＹ軸方向において連続して、分割描画ラインＬＤ（図１０参照）を形成している。すなわち、上記の描画ラインＬは、７個の分割描画ラインＬＤがＹ軸方向に連続して、構成されている。
なお、各機能液滴吐出ヘッド７１は、後述するヘッド内流路（図示省略）の構造上、両端部に位置するノズル９５からの吐出量が中央部に位置するノズル９５からの吐出量に比べて多くなっているため、両端部のノズル９５からは機能液滴を吐出しないようにし、その他のノズル９５を吐出ノズルとすることが好ましい。この場合、１２個の機能液滴吐出ヘッド７１を、それぞれ両端部のノズル９５がＹ軸方向に重複するようにして、配設する。
【００３０】
また、ヘッドプレート７２に搭載される１２個の機能液滴吐出ヘッド７１のそれぞれ複数のノズル９５がＹ軸方向において連続して、分割描画ラインＬＤを形成可能なものであれば、ヘッドプレート７２における機能液滴吐出ヘッド７１の配置方法は任意に設定可能である。例えば、第２実施形態として後述するが、１２個の機能液滴吐出ヘッド７１を６個ずつＹ軸方向に二分すると共に、各組６個の機能液滴吐出ヘッド７１を階段状に配置することも可能である（図１９参照）。このように、複数の機能液滴吐出ヘッド７１を複数組に分割して配置すれば、Ｘ軸方向におけるヘッドプレート７２の幅を狭くすることができる。また、当然のことながら、各キャリッジユニット２３に搭載する機能液滴吐出ヘッド７１の個数も任意に設定可能である。
【００３１】
図１０は、描画処理において、ワークＷに対し、７個のキャリッジユニット２３がＹ軸方向に移動する副走査を説明する図である。同図に示すように、各キャリッジユニット２３の１２個の機能液滴吐出ヘッド７１は、同図の右側から４個単位で順に、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液をそれぞれ導入したＲ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒ、Ｇ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇ、Ｂ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂとなっている。すなわち、各キャリッジユニット２３の１２個の機能液滴吐出ヘッド７１は、各色の全（４個）機能液滴吐出ヘッド７１の複数のノズル９５により、各色の部分描画ラインＬｐが構成され、３色の部分描画ラインＬｐＲ・ＬｐＧ・ＬｐＢが図示右側からＲ・Ｇ・Ｂの順序でＹ軸方向に連なって１の分割描画ラインＬＤを構成するように配置されている。そして、７個のキャリッジユニット２３全体では、各色７本の部分描画ラインＬｐが図示右側からＲ・Ｇ・Ｂの順序でＹ軸方向に連続して、１の描画ラインＬを構成している。
【００３２】
描画ラインＬの長さは、ワークＷ上に画素領域５０７ａが形成された範囲の長辺の長さ（略１６３０ｍｍ）と比べて、部分描画ラインＬｐの長さ（９０ｍｍ）の２倍の寸法分長くなるように設定されており、略１９００ｍｍとなっている。そのため、１回の主走査により、ワークＷ全体に対して機能液滴を吐出・着弾させることができる。
【００３３】
もっとも、本実施形態では、上述したように、複数の画素領域５０７ａの配色パターンはＸ軸方向に並んだ任意の３つの画素がＲ・Ｇ・Ｂの３色となるものであるのに対し、色別複数の機能液滴吐出ヘッド７１がＹ軸方向に位置ずれして配置されているため、１回の主走査で全画素領域５０７ａに機能液滴を着弾させることはできず、少なくとも３回の主走査に分けて行う必要がある。そして、その３回の主走査のそれぞれの間には、キャリッジユニット２３を介して各機能液滴吐出ヘッド７１をＹ軸方向に部分描画ラインＬｐ分移動させる副走査を２回行うこととなる（詳細は後述する）。したがって、７個のキャリッジユニット２３は、３回に亘る主走査（およびその間の２回の副走査）の間に、Ｙ軸方向に部分描画ラインＬｐの２倍の寸法分移動する。すなわち、描画処理に際し、７個のキャリッジユニット２３の全機能液滴吐出ヘッド７１は、Ｙ軸方向において描画ラインＬを部分描画ラインＬｐの２倍（副走査の回数倍）の寸法分長くした範囲（ヘッド吐出カバー範囲Ｒｈ）をカバーすることとなる。
なお、図１０では、作図上、Ｙ軸方向において３個の機能液滴吐出ヘッド７１に１個の画素領域５０７ａが対応させているが、実際には、１個の機能液滴吐出ヘッド７１に複数の画素領域５０７ａが対応している。
【００３４】
図１１に示すように、機能液滴吐出ヘッド７１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針８２を有する機能液導入部８１と、機能液導入部８１に連なる２連のヘッド基板８３と、機能液導入部８１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体８４とを備えている。接続針８２は、後述する機能液タンク１０３に接続され、機能液滴吐出ヘッド７１のヘッド内流路に機能液を供給する。また、ヘッド本体８４は、ピエゾ素子等で構成されたキャビティ９１と、２本のノズル列９４，９４を相互に平行に形成したノズル面９３を有するノズルプレート９２とを有している。各ノズル列９４は、複数（１８０個）のノズル９５が等ピッチで並べられて構成されている。また、ヘッド基板８３には、フレキシブルフラットケーブルを介して上記のヘッド用電装ユニット６６に接続された２連のコネクタ９６，９６が設けられている。そして、キャビティ９１に駆動波形を印加して機能液滴吐出ヘッド７１を吐出駆動すると、キャビティ９１のポンプ作用により、ノズル９５から機能液滴を吐出する。
【００３５】
図４および図５に示すように、機能液供給手段２４は、７個のキャリッジユニット２３に対応する７個の機能液供給ユニット１０１で構成されている。図８および図１２に示すように、各機能液供給ユニット１０１は、機能液を貯留する複数（１２個）の機能液タンク１０３を有するタンクユニット１０２と、１２個の機能液タンク１０３および１２個の機能液滴吐出ヘッド７１をそれぞれ接続する１２本の機能液供給チューブ１０４と、１２本の機能液供給チューブ１０４に介設した１２個の圧力調整弁１０６を有するバルブユニット１０５とを備えている。各タンクユニット１０２の１２個の機能液タンク１０３は、４個単位で、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液を１種類ずつ貯留している。そして、各機能液タンク１０３の機能液が、機能液供給チューブ１０４を介して、対応する機能液滴吐出ヘッド７１に導入される。例えば、上記のＲ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒは、Ｒの機能液を貯留した機能液タンク１０３に接続されており、Ｒの機能液が導入される。
なお、各機能液タンク１０３は、機能液を真空パックした機能液パックを樹脂製のカートリッジケースに収容したカートリッジ形式とすることが好ましく、機能液は、予め脱気しておくことが好ましい。
【００３６】
図８に示すように、バルブユニット１０５は、ヘッドプレート７２に配設されており、１２個の圧力調整弁１０６と、１２個の圧力調整弁１０６を上記のヘッドプレート７２にそれぞれ固定する１２個のバルブ固定部材１０７とを有している。１２個の圧力調整弁１０６は、階段状に配設された１２個の機能液滴吐出ヘッド７１に倣って、階段状にヘッドプレート７２上に配設されている。このように、１２個の機能液滴吐出ヘッド７１の配置に倣って１２個の圧力調整弁１０６を配置することにより、機能液滴吐出ヘッド７１および圧力調整弁１０６間の機能液供給チューブ１０４の長さを同一にすることができ、１２個の機能液滴吐出ヘッドに供給される機能液の圧力を均一にすることができる。
なお、本実施形態では、各機能液タンク１０３をブリッジプレート７５上に搭載したが、ヘッドプレート７２上に搭載する構成としてもよい。これによれば、機能液タンク１０３から機能液滴吐出ヘッド７１に至る機能液供給チューブ１０４の長さをより短く構成することができ、機能液を効率的に利用することができる。
【００３７】
図１２に示すように、各圧力調整弁１０６は、機能液タンク１０３に連なる１次室１１１と、機能液滴吐出ヘッド７１に連なる２次室１１２と、１次室１１１および２次室１１２を連通する連通流路１１３とをバルブハウジング１１０内に形成したものである。２次室１１２の１の面には外部に面してダイヤフラム１１４が設けられ、連通流路１１３にはダイヤフラム１１４により開閉動作する弁体１１５が設けられている。
【００３８】
機能液タンク１０３から１次室１１１に導入された機能液は、２次室１１２を介して機能液滴吐出ヘッド７１に供給されるが、その際、チャンバ装置４内の気圧（通常は大気圧）でもって、ダイヤフラム１１４が変位する。これにより、連通流路１１３に設けられた弁体１１５が開閉動作し、２次室１１２の機能液圧力がわずかに負圧となるよう、２次室１１２内の圧力調整がなされる。このような圧力調整弁１０６を機能液タンク１０３と機能液滴吐出ヘッド７１との間に介設することにより、機能液タンク１０３および機能液滴吐出ヘッド７１間の水頭圧が過度に変動することがないため、機能液滴吐出ヘッド７１からの機能液の吐出を安定化することができる。なお、バルブユニット１０５の設置位置は、ヘッドプレート７２上に限定されるものではなく、ブリッジプレート７５上に設けることも可能である。
【００３９】
図５および図７に示すように、フラッシングユニット２６は、フラッシング動作、すなわち機能液滴吐出ヘッド７１の予備吐出（捨て吐出）で吐出された機能液滴を受けるものであり、特に、ワークＷの交換時等に行う定期フラッシングを受けるためのものである。フラッシングユニット２６は、セットテーブル４１に対してワークＷの往動（図５の下側から上側へ移動）時に先頭となる側に位置して、セットテーブル４１の長辺（Ｙ軸方向）に沿って配設され、機能液滴を直接受ける定期フラッシングボックス１２１と、上記のＸ軸エアースライダ４４に固定され、定期フラッシングボックス１２１を支持するボックス支持部材１２２とで構成されている。
【００４０】
定期フラッシングボックス１２１は、平面視長方形の箱状に形成されており、その底面には、機能液を吸収させる吸収材（図示省略）が敷設されている。定期フラッシングボックス１２１の長辺（Ｙ軸方向）は、上記のヘッド吐出カバー範囲Ｒｈに対応して形成されている。このため、定期フラッシングボックス１２１は、キャリッジユニット２３が副走査を行ってヘッド吐出カバー範囲Ｒｈ内でＹ軸方向に移動した場合にも、７個のキャリッジユニット２３に搭載された全機能液滴吐出ヘッド７１からフラッシングされた機能液を受けることができる。なお、定期フラッシングボックス１２１の短辺（Ｘ軸方向）も、７個のキャリッジユニット２３のＸ軸方向における長さに対応して形成されていることが好ましい。
【００４１】
なお、図示しないが、吸着テーブル４２の描画エリア側３１には、吐出前フラッシングボックスが設けられている。そして、ワークＷをＸ軸方向に往動すると、キャリッジユニット２３は、吐出前フラッシングボックスに臨んだ後、ワークＷに臨むことになる。そのため、ワークＷに臨む直前に吐出前フラッシングを行うことができ、ノズル詰まりを効果的に防止できる。また、吐出前フラッシングボックスの長辺（Ｙ軸方向）は、定期フラッシングボックス１２１と同様に、ヘッド吐出カバー範囲Ｒｈに対応して形成されている。
【００４２】
また、本実施形態では、ワークＷの往動時にのみ機能液滴を吐出・着弾させる構成であるが、ワークＷの復動（図５の上側から下側への移動）時にも機能液滴吐出ヘッド７１を吐出させてもよく、この場合には、吐出前フラッシングボックスを一対設け、セットテーブル４１をＸ軸方向に挟むようにこれらを配設することが好ましい。これにより、ワークＷの往復動に伴う吐出駆動の直前にフラッシングを行うことができる。
このように、フラッシング動作には、ワークＷに吐出（描画）をする直前に行われる吐出前フラッシングと、ワークＷの交換時のように、ワークＷに対する描画を一時的に停止するときに行う定期フラッシングとがある。
【００４３】
次に、図１３を参照して、メンテナンス手段２５について説明する。メンテナンス手段２５は、吸引ユニット１３１と、ワイピングユニット１３２と、ユニット昇降機構１３３とを有しており、これらは、メンテナンスエリア３２に配設されている（図５および図６参照）。
【００４４】
吸引ユニット１３１は、機能液滴吐出ヘッド７１を吸引して、機能液滴吐出ヘッド７１から機能液を強制的に排出させるものである。吸引ユニット１３１は、７個のキャリッジユニット２３に対応して、７個の分割吸引ユニット１４１を有している。そして、７個の分割吸引ユニット１４１は、７個のキャリッジユニット２３の配置に倣って、Ｙ軸方向に配列されていると共に、ユニット昇降機構１３３により、個々に昇降可能に支持されている。
【００４５】
各分割吸引ユニット１４１は、キャリッジユニット２３に対して下側から臨み、１２個の機能液滴吐出ヘッド７１のノズル面９３にそれぞれ封止させる１２個のキャップ１４３を有するキャップユニット１４２と、キャップユニット１４２を昇降自在に支持するキャップ支持部材１４５と、封止させたキャップ１４３を介して機能液滴吐出ヘッド７１に吸引力を作用させるエゼクタ（図示省略）とを備えている。
【００４６】
キャップユニット１４２は、キャリッジユニット２３に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド７１の並びに対応させて、１２個のキャップ１４３をキャップベース１４４に配設したものである。そのため、吸引ユニット１３１全体では、７個のキャリッジユニット２３に搭載された全機能液滴吐出ヘッド７１の配置パターンに倣って、１２×７個のキャップ１４３が配置されており、全機能液滴吐出ヘッド７１にそれぞれ対応するキャップ１４３を一度に封止させることが可能である。そして、キャップ１４３をノズル面９３に封止させた状態でエゼクタを駆動することにより、ノズル９５から機能液を吸引する。これにより、機能液滴吐出ヘッド７１内で増粘した機能液を除去することができる。なお、後述するように、吸引ユニット１３１により吸引がなされた機能液滴吐出ヘッド７１は、ノズル面９３に機能液が付着する場合があるため、ワイピングユニット１３２に臨み、ワイピングがなされる。
【００４７】
また、吸引ユニット１３１は、機能液滴吐出ヘッド７１の吸引に供されるだけでなく、上述したように定期フラッシングの機能液を受けるように構成されている。すなわち、吸引ユニット１３１の各キャップ１４３は、フラッシングボックスの役割を兼ねている。さらに、吸引ユニット１３１は、液滴吐出装置１の非描画処理時等に、キャップ１４３を機能液滴吐出ヘッド７１のノズル面９３に封止させることで、ノズル９５の乾燥を防止するためにも用いることが可能である。
【００４８】
ワイピングユニット１３２は、描画エリア３１と吸引ユニット１３１との間、すなわちメンテナンスエリア３２の描画エリア３１側に配置されており、機能液滴吐出ヘッド７１の吸引等により、機能液が付着して汚れたノズル面を、ワイピングシート１５１を用いて拭き取るものである。このような配置により、ワイピングユニット１３２は、吸引ユニット１３１による吸引を終えて、描画エリア３１へ個々に移動するキャリッジユニット２３に順次臨むことができ、その機能液滴吐出ヘッド７１にワイピング処理を行うことができるようになっている。
【００４９】
ワイピングユニット１３２は、ワイピングシート１５１を（その延在方向に）繰り出す図示上側の繰出しリール１５２と、繰り出されたワイピングシート２８１を巻き取る図示下側の巻取りリール１５３と、繰り出したワイピングシート１５１に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット（図示省略）と、機能液滴吐出ヘッド７１の下側から臨み、ワイピングシート１５１でノズル面９３を拭き取る拭取りユニット１５４と、これらを支持するワイピングフレーム１５５とを備えている。なお、ワイピングシート１５１に供給される洗浄液は、比較的揮発性の高い機能液の溶剤であり、機能液滴吐出ヘッド７１のノズル面９３に付着する機能液を効率的に除去できるようになっている。
【００５０】
そして、ヘッド移動手段２２を駆動して、各キャリッジユニット２３を１個ずつ順にワイピングユニット１３２に臨ませて、１２個の機能液滴吐出ヘッドのノズル面９３に洗浄液を含浸させたワイピングシート１５１を当接させた状態とし、さらに、ヘッド移動手段２２によりキャリッジユニット２３をＹ軸方向（描画エリア３１側）へ移動させることで、ワイピングシート１５１によりノズル面９３を払拭する。このようにして、各キャリッジユニット２３に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド７１を一連にワイピングする。なお、ノズル列９４の列方向（Ｙ軸方向）に合致する方向からワイピング動作を行うため、ワイピングシート１５１の同じ箇所で互いに異なる機能液を払拭することがなく、ノズル面９３において機能液が混ざり合ってしまうことがない。
【００５１】
ユニット昇降機構１３３は、吸引ユニット１３１の７個の分割吸引ユニット１４１およびワイピングユニット１３２をそれぞれ個別に昇降可能に支持する８個の分割ユニット昇降機構１５６を有している。各分割ユニット昇降機構１５６は、エアーシリンダ等で構成されており、機能液滴吐出ヘッド７１を保守する所定のメンテナンス位置（アクセス位置）と所定の退避位置との間で、７個の分割吸引ユニットおよびワイピングユニット１３２をそれぞれ昇降させるものである。そして、機能液滴吐出ヘッド７１の交換時には、各分割ユニット昇降機構１５６を駆動して、吸引ユニット１３１およびワイピングユニット１３２を下降させることで、吸引ユニット１３１およびワイピングユニット１３２上に作業領域を確保することができる。
【００５２】
このように、機能液滴吐出ヘッド７１に対し、吸引ユニット１３１による吸引処理と、ワイピングユニット１３２による払拭処理を行うことで、各キャリッジユニット２３における機能液滴吐出ヘッド７１の吐出機能を良好な状態に維持することができる。しかも、吸引ユニット１３１を７個のキャリッジユニット２３に対応させて７個の分割吸引ユニット１４１で構成することで、各分割吸引ユニット１４１の組立作業が容易となる。
【００５３】
なお、本実施形態では、図５および図６に示すように、単一のメンテナンスエリア３２にメンテナンス手段を設けているが、ヘッド移動手段２２によるキャリッジユニット２３の移動軌跡上のワーク移動手段２１（描画エリア３１）から両外側に外れた位置に一対のメンテナンスエリア３２を構成し、各メンテナンスエリア３２に、メンテナンス手段２５を備えるようにしてもよい。これによれば、７個のキャリッジユニット２３を、２群（例えば、３個と４個とに）に分けてメンテナンスすることができ、機能液滴吐出ヘッド７１の機能回復処理を速やかに行うことができる。また、機能液滴吐出ヘッド７１の交換等を行う場合に、対応するキャリッジユニット２３を一方のメンテナンス手段２５に臨ませてヘッド交換を行うと共に、その他のキャリッジユニット２３を他方のメンテナンス手段２５に臨ませて機能回復処理を行うことができ、液滴吐出装置１を稼動停止しなくてすむ。そして、このように一対のメンテナンスエリア３２を構成する場合には、各メンテナンス手段の吸引ユニット１３１を構成する分割吸引ユニット１４１の個数は、３個または４個であればよい。
【００５４】
次に、図１４を参照して、液滴吐出装置１全体の制御系について説明する。液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、上記の上位コンピュータ３と、機能液滴吐出ヘッド７１、ワーク移動手段２１、ヘッド移動手段２２、メンテナンス手段２５等を駆動する各種ドライバを有する駆動部１６１と、駆動部１６１を含め液滴吐出装置１全体を統括制御する制御部１６２（コントローラ２７）とを備えている。
【００５５】
駆動部１６１は、ワーク移動手段２１およびヘッド移動手段２２の各モータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ１７１と、機能液滴吐出ヘッド７１を吐出駆動制御するヘッドドライバ１７２と、メンテナンス手段２５の吸引ユニット１３１、ワイピングユニット１３２およびユニット昇降機構１３３を駆動制御するメンテナンス用ドライバ１７３とを備えている。
【００５６】
制御部１６２は、ＣＰＵ１８１と、ＲＯＭ１８２と、ＲＡＭ１８３と、Ｐ−ＣＯＮ１８４とを備え、これらは互いにバス１８５を介して接続されている。ＲＯＭ１８２は、ＣＰＵ１８１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００５７】
ＲＡＭ１８３は、各種レジスタ群のほか、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷおよび機能液滴吐出ヘッド７１の位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ１８４には、駆動部１６１の各種ドライバのほか、ワーク認識カメラ３６やヘッド認識カメラ３７等が接続されており、ＣＰＵ１８１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ１８４は、上位コンピュータ３からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス１８５に取り込むと共に、ＣＰＵ１８１と連動して、ＣＰＵ１８１等からバス１８５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部１６１に出力する。
【００５８】
そして、ＣＰＵ１８１は、ＲＯＭ１８２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１８４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１８３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１８４を介して駆動部１６１等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。例えば、ＣＰＵ１８１は、機能液滴吐出ヘッド７１、ワーク移動手段２１およびヘッド移動手段２２を制御して、所定の描画条件および所定の移動条件でワークＷに描画を行う。
【００５９】
ここで、液滴吐出装置１による一連の描画処理について説明する。まず、ワーク搬出入装置２を用いて、ワーク搬出入エリア３３に位置するセットテーブル４１に未処理のワークＷを導入し、これに相前後して、ヘッド移動手段２２を駆動して、７個のキャリッジユニット２３を描画エリア３１（描画ホーム位置）に移動させる。続いて、機能液滴を吐出する前の準備として、吸着テーブル４２にセットされたワークＷの位置補正が、ワーク移動手段２１によるＸ軸方向の位置補正およびワークθテーブル４３よるθ軸方向の位置補正によりなされると共に、各キャリッジユニット２３の位置補正が、ヘッド移動手段２２によるＹ軸方向の位置補正およびヘッドθテーブル７６によるθ軸方向の位置補正によりなされる。位置補正がなされると、ワークＷに形成された複数の画素領域５０７ａが、Ｘ軸方向およびＹ軸方向にマトリクス状に配列された状態となる。
【００６０】
図１５に示すように、本実施形態では、画素の配色パターンがストライプ配列であり、各色の画素列がＹ軸方向に沿って形成される。すなわち、Ｘ軸方向には、隣接する３個の画素がＲ・Ｇ・Ｂの３色となるように並ぶ。そして、上述したように、７個のキャリッジユニット２３が描画ホーム位置にあるとき、図示右端のキャリッジユニット２３の右端のＢ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂが、図示右端の画素領域５０７ａに臨んでおり、そのＹ軸方向外側（右側）に位置するＲ系機能液滴吐出ヘッド７１ＲおよびＧ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇは、画素領域５０７ａからＹ軸方向外側に外れて位置している。また、このとき、図示左端のキャリッジユニット２３の左端のＢ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂが、図示左端の画素領域５０７ａに臨んでいる（同図（ａ）参照）。
【００６１】
この状態で、液滴吐出装置１は、コントローラ２７（制御部１６２）による制御を受けながら、ワーク移動手段２１によるＸ軸方向へのワークＷのＸ軸方向への往動に同期して、複数の画素領域５０７ａに対し、ストライプ配列の配色パターンに基づいて、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を同時に吐出・着弾させる主走査を行う。ここで、Ｘ軸方向においてＲ・Ｇ・Ｂ３色の画素領域５０７ａが交互に配列されているのに対し、色別複数の部分描画ラインＬｐは、Ｙ軸方向に連続しているため、Ｘ軸方向に隣接する画素領域５０７ａ間において、相互に異なる色の機能液滴を同一の主走査で吐出・着弾させることがない。すなわち、各機能液滴吐出ヘッド７１は、Ｘ軸方向に並ぶ３個の画素領域５０７ａのうち、１個の画素領域５０７ａのみに対して機能液滴を吐出することになる（同図（ｂ）参照）。
【００６２】
第１回目の主走査（ワークＷの往動）が終わると、ワーク移動手段２１によりワークＷを復動させると共に、ヘッド移動手段２２を駆動して、７個のキャリッジユニット２３を一体としてＹ軸方向（図示左側）に部分描画ラインＬｐ分（機能液滴吐出ヘッドの４個分相当）移動させる副走査を行う。図１６に示すように、この副走査により、第１回目の主走査においてＢの機能液が着弾した画素領域５０７ａに対し、Ｇ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇが臨み、Ｒの機能液が着弾した画素領域５０７ａに対し、Ｂ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂが臨み、Ｇの機能液が着弾した画素領域５０７ａに対し、Ｒ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒが臨む。そして、第１回目の主走査時に画素領域５０７ａからＹ軸方向外側（右側）に外れて位置していたＧ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇは、図示右端の画素領域５０７ａに臨んでいるが、Ｒ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒは、画素領域５０７ａからＹ軸方向外側に外れたままである。また、第１回目の主走査時に図示左端の画素領域５０７ａに臨んでいた図示左端のキャリッジユニット２３の左端のＢ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂは、画素領域５０７ａからＹ軸方向外側（左側）に外れて位置しており、その右隣のＧ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇが図示左端の画素領域５０７ａに臨んでいる（同図（ａ）参照）。
【００６３】
この状態で、第１回目の主走査と同様にして、第２回目の主走査が行われる（同図（ｂ）参照）。ここで、第１回目の主走査において、画素領域５０７ａからＹ軸方向外側（メンテナンスエリア３２側）に外れて位置していたＧ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇは、その間画素領域５０７ａに対して機能液滴を吐出していないが、第１回目の主走査および第２回目の主走査において、ワークＷに臨む直前に吐出前フラッシングボックスに対して吐出前フラッシングを行うため、ノズル９５が乾燥することなく、第２回目の主走査において画素領域５０７ａに対し機能液滴を適切に吐出することができる。
【００６４】
なお、第１回目の主走査と第２回目の主走査との間に、図示右端のキャリッジユニット２３だけをメンテナンスエリア３２に移動させ、吸引ユニット１３１およびワイピングユニット１３２によりメンテナンス処理を行ってもよい。これによれば、仮に、第１回目の主走査で吐出駆動していないＲ系機能液滴吐出ヘッド７１ＲおよびＧ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇが、第２回目の主走査の直前に吐出前フラッシングを行うだけでは完全に機能回復できないほどにノズル９５が乾燥してしまっていても、適切に吐出機能の回復を図ることができる。そして、右端のキャリッジユニット２３の機能液滴吐出ヘッド７１がメンテナンス処理を受けている間、他のキャリッジユニット２３の機能液滴吐出ヘッド７１は、適宜、定期フラッシングボックス１２１に対してフラッシング動作を行いながら待機することが好ましい。また、右端のキャリッジユニット２３の外に、吐出パターンとの関係から吐出駆動しない機能液滴吐出ヘッド７１が存在する場合にも、その機能液滴吐出ヘッド７１が搭載されたキャリッジユニット２３（およびそれよりメンテナンスエリア３２側のキャリッジユニット２３）をメンテナンスエリア３２に移動させ、吸引ユニット１３１およびワイピングユニット１３２によりメンテナンス処理を行ってもよい。
【００６５】
第２回目の主走査が終わると、ワーク移動手段２１によりワークＷをＸ軸方向へ復動させると共に、ヘッド移動手段２２を駆動して、７個のキャリッジユニット２３を一体としてＹ軸方向（図示左側）に部分描画ラインＬｐ分（機能液滴吐出ヘッドの４個分相当）移動させる副走査を行う。図１７に示すように、この副走査により、第２回目の主走査においてＧの機能液が着弾した画素領域５０７ａに対し、Ｒ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒが臨み、Ｂの機能液が着弾した画素領域５０７ａに対し、Ｇ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇが臨み、Ｒの機能液が着弾した画素領域５０７ａに対し、Ｂ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂが臨む。そして、第２回目の主走査時に画素領域５０７ａからＹ軸方向外側（右側）に外れて位置していたＲ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒは、図示右端の画素領域５０７ａに臨んでいる。また、第２回目の主走査時に図示左端の画素領域５０７ａに臨んでいた図示左端のキャリッジユニット２３の左端のＧ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇは、画素領域５０７ａからＹ軸方向外側（左側）に外れて位置しており、その右隣のＲ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒが図示左端の画素領域５０７ａに臨んでいる（同図（ａ）参照）。
【００６６】
この状態で、第２回目の主走査と同様にして、第３回目の主走査が行われる（同図（ｂ）参照）。ここで、第２回目の主走査において、画素領域５０７ａからＹ軸方向外側（メンテナンスエリア３２側）に外れて位置していたＲ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒは、その間画素領域５０７ａに対して機能液滴を吐出していないが、第１回目の主走査ないし第３回目の主走査において、ワークＷに臨む直前に吐出前フラッシングボックスに対して吐出前フラッシングを行うため、ノズル９５が乾燥することなく、第３回目の主走査において画素領域５０７ａに対し機能液滴を適切に吐出することができる。
【００６７】
なお、この場合も、第２回目の主走査と第３回目の主走査との間に、図示右端のキャリッジユニット２３だけをメンテナンスエリア３２に移動させ、吸引ユニット１３１およびワイピングユニット１３２によりメンテナンス処理を行ってもよい。さらに、上述したように、描画エリア３１から両外側に外れた位置に一対のメンテナンスエリア３２を構成している場合には、図示左端のキャリッジユニット２３だけを図示左側のメンテナンスエリア３２に移動させ、メンテナンス処理を行ってもよい。
【００６８】
このように、Ｘ軸方向に隣接する画素領域５０７ａ間において、相互に異なる色の機能液滴を同一の主走査で吐出・着弾させることなく、ワークＷ上の全画素領域５０７ａに対する機能液滴の吐出・着弾が完了する。このため、Ｘ軸方向に隣接する画素領域５０７ａ間の区画壁部５０７ｂ上に、例えば、第１回目の主走査によりＲの機能液滴が着弾し、第２回目の主走査によりＧの機能液滴が着弾したとしても、第２回目の主走査でＧの機能液滴が着弾する時には、第１回目の主走査で着弾したＲの機能液滴がある程度乾燥した状態となっているため、両機能液滴が混ざり合ってしまうことがない。したがって、Ｘ軸方向に隣接する画素領域５０７ａ間において、異色の機能液滴が混色することを確実に防止することができる。
なお、１回の主走査において、複数回ワークＷを往復動させ各画素領域５０７ａに対し複数回機能液滴を吐出・着弾させてもよく、この場合、各往復動毎に、各キャリッジユニット２３をＹ軸方向に微小距離移動させることが好ましい。これによれば、各画素領域５０７ａの全域に隈なく機能液滴を吐出・着弾させることができる。また、図１５ないし図１７では、作図上、Ｙ軸方向において３個の機能液滴吐出ヘッド７１に１個の画素領域５０７ａが対応させているが、上述したように、実際には、１個の機能液滴吐出ヘッド７１に複数の画素領域５０７ａが対応している。
【００６９】
本実施形態では、上述したように、画素の配色パターンがストライプ配列であって、各色の画素列がＹ軸方向に沿って形成されているため、Ｙ軸方向に隣接する画素領域５０７ａに対して異色の機能液滴を着弾させることがない。しかし、画素の配色パターンがモザイク配列やデルタ配列である場合には、異色の画素がＹ軸方向に並んで形成されているため、Ｙ軸方向に隣接する異色の機能液滴吐出ヘッド７１に対応するＹ軸方向に隣接する２個の画素領域５０７ａに対して、同一の主走査で異色の機能液滴を着弾させると、隣接する画素領域間の区画壁部５０７ｂ上に、異色の機能液滴がそれぞれ着弾し、混色が生ずるおそれがある。このような場合には、２つの画素領域５０７ａへの機能液滴の吐出を相互に異なる主走査で行わせることが好ましい（特に、画素領域５０７ａに吐出する機能液量が多い場合に有効である。）。
【００７０】
図１８に示すように、例えば、画素の配色パターンがモザイク配列である場合に、Ｙ軸方向に隣接するＲ系機能液滴吐出ヘッド７１ＲおよびＧ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇに対応するＹ軸方向に隣接する２個の画素領域５０７ａに対して、第１回目の主走査では、そのＧ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇ（の一部のノズル９５）を非駆動とし、そのＲ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒを駆動として、Ｒの機能液滴を吐出させ（同図（ａ）参照）、第２回目の主走査では、そのＲ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒを非駆動とし、そのＧ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂを駆動として、Ｇの機能液滴を吐出させる（同図（ａ）参照）。これによれば、Ｙ軸方向に隣接する画素領域５０７ａ間において、相互に異なる色の機能液滴を同一の主走査で吐出・着弾させることがない。このため、Ｘ軸方向に隣接する画素領域５０７ａ間だけでなく、Ｙ軸方向に隣接する画素領域５０７ａ間においても、異色の機能液滴が混色することを確実に防止することができる。
なお、同図では、作図上、Ｙ軸方向において１個の機能液滴吐出ヘッド７１に１個の画素領域５０７ａが対応させているが、上述したように、実際には、１個の機能液滴吐出ヘッド７１に複数の画素領域５０７ａが対応している。
【００７１】
次に、図１９および図２０を参照して、液滴吐出装置の第２実施形態について説明する。第２実施形態の液滴吐出装置１は、上記の第１実施形態の液滴吐出装置１と略同様の構成であるが、第１実施形態では、各キャリッジユニット２３の１２個の機能液滴吐出ヘッド７１を１列の階段状に配置し、４個単位で、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液をそれぞれ導入したＲ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒ、Ｇ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇ、Ｂ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂとなっているのに対し（図９および図１０参照）、第２実施形態では、１２個の機能液滴吐出ヘッド７１を６個ずつＹ軸方向に二分すると共に各組６個の機能液滴吐出ヘッド７１を階段状に配置し、図１９の右側から１個単位で順に、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液をそれぞれ導入したＲ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒ、Ｇ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇ、Ｂ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂとなっている点で相違する。
【００７２】
すなわち、第２実施形態では、各キャリッジユニット２３の１２個の機能液滴吐出ヘッド７１は、各色の４個の機能液滴吐出ヘッド７１の複数のノズル９５により各色の部分描画ラインＬｐが４本構成され、３色の部分描画ラインＬｐＲ・ＬｐＧ・ＬｐＢが図示右側からこの順序でＹ軸方向に４回繰り返し連なって１の分割描画ラインＬＤを構成するように配置されている。このため、第１実施形態に比べ、各部分描画ラインＬｐの長さは短くなっている。
【００７３】
ここで、図２０を参照して、第２実施形態の液滴吐出装置１による一連の描画処理について説明する。まず、上記と同様にして、ワークＷを吸着テーブル４２にセットし、ワークＷおよび各キャリッジユニット２３の位置補正が行われる。
【００７４】
このとき、図示右端のキャリッジユニット２３の右端のＢ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂが、図示右端の画素領域５０７ａに臨んでおり、そのＹ軸方向外側（右側）に位置するＲ系機能液滴吐出ヘッド７１ＲおよびＧ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇは、画素領域５０７ａからＹ軸方向外側に外れて位置し、また、図示左端のキャリッジユニット２３の左端のＢ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂが、図示左端の画素領域５０７ａに臨んでいる。そして、この状態で第１回目の主走査が行われ、各機能液滴吐出ヘッド７１から、Ｘ軸方向に並ぶ３個の画素領域５０７ａのうち１個の画素領域５０７ａのみに対して機能液滴が吐出される（同図（ａ）参照）。
【００７５】
第１回目の主走査が終わると、第１回目の主走査においてＢの機能液が着弾した画素領域５０７ａに対し、Ｇ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇを臨ませ、Ｒの機能液が着弾した画素領域５０７ａに対し、Ｂ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂを臨ませ、Ｇの機能液が着弾した画素領域５０７ａに対し、Ｒ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒを臨ませるべく、７個のキャリッジユニット２３を一体としてＹ軸方向（図示左側）に部分描画ラインＬｐ分（機能液滴吐出ヘッドの１個分相当）移動させる副走査を行う。すなわち、第２実施形態の液滴吐出装置１では、第１実施形態に比べて各部分描画ラインＬｐの長さが短くなることで、副走査における各機能液滴吐出ヘッド７１（キャリッジユニット２３）の移動距離を短くすることができる。したがって、副走査を短時間で行うことができる。
【００７６】
そして、第１実施形態と同様に吐出前フラッシングを行った上で、第２回目の主走査が行われ、第１回目の主走査においてＢの機能液が着弾した画素領域５０７ａに隣接する画素領域５０７ａに対しＧの機能液が着弾し、Ｒの機能液が着弾した画素領域５０７ａに隣接する画素領域５０７ａに対しＢの機能液が着弾し、Ｇの機能液が着弾した画素領域５０７ａに隣接する画素領域５０７ａに対しＲの機能液が着弾する（同図（ｂ）参照）。
【００７７】
第２回目の主走査が終わると、第２回目の主走査においてＢの機能液が着弾した画素領域５０７ａに対し、Ｇ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｇを臨ませ、Ｒの機能液が着弾した画素領域５０７ａに対し、Ｂ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｂを臨ませ、Ｇの機能液が着弾した画素領域５０７ａに対し、Ｒ系機能液滴吐出ヘッド７１Ｒを臨ませるべく、７個のキャリッジユニット２３を一体としてＹ軸方向（図示左側）に部分描画ラインＬｐ分（機能液滴吐出ヘッドの１個分相当）移動させる副走査を行う。ここでも、副走査における各機能液滴吐出ヘッド７１（キャリッジユニット２３）の移動距離を短くすることができ、副走査を短時間で行うことができる。
【００７８】
そして、上記と同様に吐出前フラッシング行った上で、第３回目の主走査が行われ、第２回目の主走査においてＢの機能液が着弾した画素領域５０７ａに隣接する画素領域５０７ａに対しＧの機能液が着弾し、Ｒの機能液が着弾した画素領域５０７ａに隣接する画素領域５０７ａに対しＢの機能液が着弾し、Ｇの機能液が着弾した画素領域５０７ａに隣接する画素領域５０７ａに対しＲの機能液が着弾する（同図（ｃ）参照）。
【００７９】
以上のように、第２実施形態における描画処理についても、副走査における移動距離が異なる点を除き、第１実施形態と同様にして描画処理が行われ、Ｘ軸方向に隣接する画素領域５０７ａ間において、相互に異なる色の機能液滴を同一の主走査で吐出・着弾させることなく、ワークＷ上の全画素領域５０７ａに対する機能液滴の吐出・着弾が完了する。したがって、Ｘ軸方向に隣接する画素領域５０７ａ間において、異色の機能液滴が混色することを確実に防止することができる。
【００８０】
また、第２実施形態では、第１実施形態に比べて各部分描画ラインＬｐが短くなるため、上記のヘッド吐出カバー範囲Ｒｈ（Ｙ軸方向において描画ラインＬを部分描画ラインＬｐの２倍（副走査の回数倍）の寸法分長くした範囲）が短くなる。したがって、吐出前フラッシングボックスのＹ軸方向の長さを短くすることができ、省スペース化に寄与するものとなる。
【００８１】
なお、第２実施形態においても、第１回目の主走査と第２回目の主走査との間、および第２回目の主走査と第３回目の主走査との間に、図示右端のキャリッジユニット２３だけをメンテナンスエリア３２に移動させ、メンテナンス処理を行ってもよい。また、第２実施形態でも、ノズル列９４の列方向（Ｙ軸方向）に合致する方向からワイピング動作が行われるが、各キャリッジユニット２３において、Ｘ軸方向において同位置に配置された機能液滴吐出ヘッド７１には、同色の機能液が導入されるため（図１９および図２０参照）、ワイピングシート１５１の同じ箇所で互いに異なる機能液を払拭することがなく、ノズル面９３において機能液が混ざり合ってしまうことがない。
【００８２】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１によれば、ワークＷに対し、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を同時に吐出・着弾させた場合に、機能液滴が各画素領域５０７ａに正確に着弾しなくても、異色の機能液滴が混色することを防止することができる。
【００８３】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００８４】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図２１は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図２２は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図２２（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００８５】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図２２（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図２２（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１６により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００８６】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００８７】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図２２（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１６を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８８】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図２２（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００８９】
図２３は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図２２に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００９０】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００９１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図２３において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００９２】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９３】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００９４】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１６で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１６で行うことも可能である。
【００９５】
図２４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００９６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００９７】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９８】
図２５は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００９９】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１００】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１０１】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１０２】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１０３】
次に、図２６は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１０４】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１０５】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１０６】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１０７】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１０８】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１０９】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１１０】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１１１】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１１２】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１１３】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１１４】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１１５】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２７〜図３５を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２７に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１１６】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２８に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２９に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１１７】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１６を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１１８】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１１９】
図３０に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１６から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図３１に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１２０】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１２１】
そして次に、図３２に示すように、各色のうちのいずれか（図３２の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１２２】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図３３に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１２３】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１６を用い、図３４に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１２４】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１２５】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図３５に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１２６】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１２７】
次に、図３６は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１２８】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１２９】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１３０】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３１】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１６により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１３２】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１３３】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１６から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１３４】
次に、図３７は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１３５】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１３６】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１３７】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３８】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１３９】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３８（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１４０】
上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【符号の説明】
【０１４１】
１…液滴吐出装置  ２１…ワーク移動手段  ２２…ヘッド移動手段  ２３…キャリッジユニット  ２５…メンテナンス手段  ２６…フラッシングユニット  ２７…コントローラ  ３２…メンテナンスエリア  ６２…Ｙ軸リニアモータ  ７１…機能液滴吐出ヘッド  ９５…ノズル  １０３…機能液タンク  ５００…カラーフィルタ  ５０７ａ…画素領域  ５０７ｂ…区画壁部  Ｌ…描画ライン  Ｌｐ…部分描画ライン  Ｒｈ…ヘッド吐出カバー範囲  Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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