(57)【要約】【課題】低コストで製造でき、すべてのプローブの脚の並び方向が揃っている電気的接続体を提供する。【解決手段】プローブカード１０は、複数のワイヤー製のプローブ１８が絶縁性の支持板１２を上下方向に貫通した状態で固定され、プローブ１８の脚１８ａ，１８ｃはそれぞれ弾性変形可能な形状に形成されて支持板１２の上方及び下方に突出している。支持板１２は、ワイヤ径より大きな径の上板貫通穴１４ａを有する上板１４と、上板貫通穴１４ａのそれぞれと対をなしワイヤ径より大きな径の下板貫通穴１６ａを有する下板１６とが重ね合わされた状態で固定されたものである。対をなす上板貫通穴１４ａと下板貫通穴１６ａとはプローブ１８の中央付近を挟み込むように軸線がずらされており、下板１６のうち上板１４と対向する対向面には、ずらし方向に沿って延びる溝１６ｂが設けられている、【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のワイヤー製のプローブが絶縁性の支持板を上下方向に貫通した状態で固定され、前記プローブの一方の脚は弾性変形可能な形状に形成されて前記支持板の上方に突出し、前記プローブの他方の脚は弾性変形可能な形状に形成されて前記支持板の下方に突出している電気的接続体であって、
前記支持板は、ワイヤ径より大きな径の上板貫通穴を少なくとも前記プローブの数だけ有する上板と、前記上板貫通穴のそれぞれと対をなしワイヤ径より大きな径の下板貫通穴を有する下板とが重ね合わされた状態で固定されたものであり、対をなす前記上板貫通穴と前記下板貫通穴とは前記プローブを挟み込むように軸線がずらされており、前記上板と前記下板との対向面にはずらし方向に沿って延びる溝が設けられ、該溝に前記プローブの一部が入り込んでいる、
電気的接続体。
【請求項２】
前記溝の深さは、ワイヤ径の５０〜１５０％である、
請求項１に記載の電気的接続体。
【請求項３】
対をなす前記上板貫通穴と前記下板貫通穴とのずらし量は、穴径からワイヤ径を差し引いた値より大きく、ピッチに穴径を加算しワイヤ径の２倍を差し引いた値未満である、
請求項１又は２に記載の電気的接続体。
【請求項４】
（ａ）ワイヤ径より大きな径の上板貫通穴が複数形成された上板と、前記上板貫通穴のそれぞれと対をなしワイヤ径より大きな径の下板貫通穴が形成された下板とを用意するが、その際、前記上板として、前記上板と前記下板との対向面に前記上板貫通穴の開口を繋ぐように所定方向に延びる溝を有しているものを用意するか、前記下板として、前記上板と前記下板との対向面に前記下板貫通穴の開口を繋ぐように所定方向に延びる溝を有しているものを用意する工程と、
（ｂ）対をなす前記上板貫通穴と前記下板貫通穴とが連通するように前記上板と前記下板とを重ね合わせたあと、複数のプローブを前記上板貫通穴及び前記下板貫通穴に挿入し、各プローブの一方の脚が前記上板の上方に突出し、他方の脚が前記下板の下方に突出するように保持する工程と、
（ｃ）前記上板と前記下板とを前記溝の延びる方向に相対的にずらすことにより、対をなす前記上板貫通穴と前記下板貫通穴とが前記プローブを挟み込むようにすると共に前記プローブを前記溝に沿って屈曲させる工程と、
（ｄ）前記工程（ｃ）の状態で前記上板と前記下板とが相対的に移動しないように両板を固定する工程と、
を含む電気的接続体の製法。
【請求項５】
前記工程（ａ）では、前記上板又は前記下板に形成された溝の深さをワイヤ径の５０〜１５０％とする、
請求項４に記載の電気的接続体の製法。
【請求項６】
前記工程（ｃ）では、対をなす前記上板貫通穴と前記下板貫通穴とのずらし量は、穴径からワイヤ径を差し引いた値より大きく、ピッチに穴径を加算しワイヤ径の２倍を差し引いた値未満とする、
請求項４又は５に記載の電気的接続体の製法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気的接続体及びその製法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プローブカードに代表される電気的接続体は、集積回路の製造工程でウエハ上の回路が完成した段階で、ウエハを個々のチップに切り離す前に内部回路が仕様書通りに動作するか否かのウエハテストを行う際に用いる治具である。こうした電気的接続体としては、複数のプローブが絶縁性の支持板を上下方向に貫通した状態で固定され、プローブの一方の脚は弾性変形可能な形状に形成されて支持板の上方に突出し、プローブの他方の脚は弾性変形可能な形状に形成されて支持板の下方に突出したものが知られている。ウエハテストでは、ウエハ上のチップをテストするテスト装置とウエハとの間に電気的接続体を配置し、プローブの一端をチップに形成された端子に当てると共に他端をテスト装置の端子に当てた状態で、チップの端子にテストパターンに従って電圧をかけ、出力を測定して期待値と比較することでチップの良否を判定する。このような電気的接続体としては、支持板を上板部材と中間板部材と下板部材の３層構造とし、中間板部材のプローブ貫通穴を上板部材及び下板部材のプローブ貫通穴に対し水平方向に変位することで、３つの板部材が共同してプローブを把持したものが提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２３５５９１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１では、支持板が３層構造であるため、コストが高くなるという問題があった。また、中間板部材のプローブ貫通穴を上板部材及び下板部材のプローブ貫通穴に対し水平方向に変位するとプローブが変形するが、多数のプローブが存在するため、すべてのプローブが同じ方向に変形せず、プローブの脚の並び方向が揃わないことがあった。
【０００５】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、低コストで製造でき、すべてのプローブの脚の並び方向が揃っている電気的接続体を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。
【０００７】
すなわち、本発明の電気的接続体は、
複数のワイヤー製のプローブが絶縁性の支持板を上下方向に貫通した状態で固定され、前記プローブの一方の脚は弾性変形可能な形状に形成されて前記支持板の上方に突出し、前記プローブの他方の脚は弾性変形可能な形状に形成されて前記支持板の下方に突出している電気的接続体であって、
前記支持板は、ワイヤ径より大きな径の上板貫通穴を少なくとも前記プローブの数だけ有する上板と、前記上板貫通穴のそれぞれと対をなしワイヤ径より大きな径の下板貫通穴を有する下板とが重ね合わされた状態で固定されたものであり、対をなす前記上板貫通穴と前記下板貫通穴とは前記プローブを挟み込むように軸線がずらされており、前記上板と前記下板との対向面にはずらし方向に沿って延びる溝が設けられ、該溝に前記プローブの一部が入り込んでいるものである。
【０００８】
この電気的接続体では、支持板は上板と下板の２層構造であり、対をなす上板貫通穴と下板貫通穴とはプローブを挟み込むように軸線がずれた状態で固定されている。このため、支持板が３層構造の場合に比べて部品点数が少ない分、コストが低減される。また、上板と下板との対向面には、上板貫通穴の軸線と下板貫通穴の軸線のずらし方向に沿って延びる溝が形成され、その溝にプローブの一部が入り込むため、プローブの姿勢は溝によって規制される。例えば、プローブが軸回転してしまうのを溝によって阻止することができる。このため、すべてのプローブの脚の並び方向が揃うことになり、ウエハ上のチップに形成された電極に正確にプローブの先端を当てることが可能となる。
【０００９】
なお、溝は、上板のうち下板に対向する面にのみ設けられていてもよいし、下板のうち上板に対向する面にのみ設けられていてもよいし、両方の面に設けられていてもよい。
【００１０】
本発明の電気的接続体において、前記溝の深さは、ワイヤ径の５０〜１５０％とするのが好ましい。５０％未満だと、溝に沿わせてプローブを屈曲することが難しくなるし、上板とした板との隙間も大きくなりすぎるため、好ましくない。１５０％を超えると、プローブが溝内を上下に動きやすくなり、プローブの姿勢が安定しないおそれがあるため、好ましくない。なお、上板と下板の両方に溝が設けられている場合には、両溝の深さの合計がワイヤ径の５０〜１５０％とするのが好ましい。
【００１１】
本発明の電気的接続体において、対をなす前記上板貫通穴と前記下板貫通穴とのずらし量は、穴径からワイヤ径を差し引いた値より大きく、ピッチ（貫通穴同士の間隔）に穴径を加算しワイヤ径の２倍を差し引いた値未満とするのが好ましい。こうすれば、上板貫通穴と下板貫通穴との間でプローブを確実に挟み込むことができるし、隣り合うプローブ同士が接触してしまうのを防止できる。なお、隣り合うプローブ同士の接触をより確実に防止するには、ずらし量をピッチから穴径を差し引いた値以下とするのが好ましい。
【００１２】
本発明の電気的接続体の製法は、
（ａ）ワイヤ径より大きな径の上板貫通穴が複数形成された上板と、前記上板貫通穴のそれぞれと対をなしワイヤ径より大きな径の下板貫通穴が形成された下板とを用意するが、その際、前記上板として、前記上板と前記下板との対向面に前記上板貫通穴の開口を繋ぐように所定方向に延びる溝を有しているものを用意するか、前記下板として、前記上板と前記下板との対向面に前記下板貫通穴の開口を繋ぐように所定方向に延びる溝を有しているものを用意する工程と、
（ｂ）対をなす前記上板貫通穴と前記下板貫通穴とが連通するように前記上板と前記下板とを重ね合わせたあと、複数のプローブを前記上板貫通穴及び前記下板貫通穴に挿入し、各プローブの一方の脚が前記上板の上方に突出し、他方の脚が前記下板の下方に突出するように保持する工程と、
（ｃ）前記上板と前記下板とを前記溝の延びる方向に相対的にずらすことにより、対をなす前記上板貫通穴と前記下板貫通穴とが前記プローブを挟み込むようにすると共に前記プローブを前記溝に沿って屈曲させる工程と、
（ｄ）前記工程（ｃ）の状態で前記上板と前記下板とが相対的に移動しないように両板を固定する工程と、
を含むものである。
【００１３】
この電気的接続体の製法では、工程（ｃ）において、上板と下板とを溝の延びる方向に相対的にずらすことにより、対をなす上板貫通穴と下板貫通穴とがプローブを挟み込むようにすると共にプローブを溝に沿って屈曲させるため、支持板が２層構造であってもプローブを固定することができるし、プローブの姿勢を溝によって規制することができる。したがって、３層構造の支持板を用いる場合に比べて低コストで、しかも、すべてのプローブの脚の並び方向が揃った電気的接続体を製造することができる。この製法は、上述した本発明の電気的接続体を製造するのに適している。なお、工程（ａ）では、上板として溝を有するものを用意してもよいし、下板として溝を有するものを用意してもよいし、上板も下板も溝を有するものを用意してもよい。
【００１４】
本発明の電気的接続体の製法において、前記工程（ａ）では、前記上板又は前記下板に形成された溝の深さをワイヤ径の５０〜１５０％とすることが好ましい。５０％未満だと、溝に沿わせてプローブを屈曲することが難しくなるし、上板とした板との隙間も大きくなりすぎるため、好ましくない。１５０％を超えると、プローブが溝内を上下に動きやすくなり、プローブの姿勢が安定しないおそれがあるため、好ましくない。なお、上板と下板の両方に溝が設けられている場合には、両溝の深さの合計がワイヤ径の５０〜１５０％とするのが好ましい。
【００１５】
本発明の電気的接続体の製法において、前記工程（ｃ）では、対をなす前記上板貫通穴と前記下板貫通穴とのずらし量は、穴径からワイヤ径を差し引いた値より大きく、ピッチに穴径を加算しワイヤ径の２倍を差し引いた値未満とするのが好ましい。こうすれば、上板貫通穴と下板貫通穴との間でプローブを確実に挟み込むことができるし、隣り合うプローブ同士が接触してしまうのを防止できる。なお、隣り合うプローブ同士の接触をより確実に防止するには、ずらし量をピッチから穴径を差し引いた値以下とするのが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】プローブカードの正面図である。
【図２】プローブカードの平面図（部分拡大図付き）である。
【図３】図２の部分拡大図におけるＡ−Ａ断面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】ずらし量の下限を示す説明図である。
【図６】ずらし量の上限を示す説明図である。
【図７】ずらし量の好ましい上限を示す説明図である。
【図８】工程（ａ）の説明図であり、（ａ）は部分平面図、（ｂ）はＣ−Ｃ断面図である。
【図９】工程（ｂ）の説明図であり、（ａ）は部分平面図、（ｂ）はＤ−Ｄ断面図である。
【図１０】工程（ｃ）の説明図であり、（ａ）は部分平面図、（ｂ）はＥ−Ｅ断面図である。
【図１１】溝深さがワイヤ径の５０％の場合の部分断面図である。
【図１２】溝深さがワイヤ径の１５０％の場合の部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の好適な一実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１はプローブカード１０の正面図、図２はプローブカード１０の平面図（部分拡大図付き）、図３は図２の部分拡大図におけるＡ−Ａ断面図、図４は図３のＢ−Ｂ断面図である。
【００１８】
プローブカード１０は、本発明の電気的接続体の一例であり、全体の厚さが２〜２０ｍｍで電気絶縁性の支持板１２と、この支持板１２を上下方向に貫通した状態で支持板１２に支持されたワイヤ径８０〜３００μｍのワイヤからなる複数のプローブ１８とを備えている。
【００１９】
支持板１２は、上板１４と下板１６とを重ね合わせ、周囲がボルトナット２０で締結されたものである。上板１４は、電気絶縁性であり、ワイヤ径より大きな径（直径０．３〜０．５ｍｍ）の上板貫通穴１４ａをプローブ１８の数だけ有している。下板１６も、電気絶縁性であり、上板貫通穴１４ａと同径の下板貫通穴１６ａをプローブ１８の数だけ有している。但し、上板貫通穴１４ａの直径と下板貫通穴１６ａの直径とは必ずしも同じである必要はない。また、上板貫通穴１４ａのピッチ（穴同士の間隔）と下板貫通穴１６ａのピッチも同じである。更に、下板１６のうち上板１４と対向する面（つまり上面）には、所定方向に沿って溝１６ｂが形成されている。この溝１６ｂは、断面が矩形であり、深さ及び幅がワイヤ径とほぼ同じかわずかに大きい。また、溝１６ｂは、複数の下板貫通穴１６ａの開口を繋ぐように延びている。上板１４及び下板１６の材料としては、電気絶縁性の材料であれば特に限定されないが、例えばガラス繊維含有エポキシ樹脂やポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）などのエンジニアリングプラスチックのほか、各種セラミックスが挙げられる。
【００２０】
上板貫通穴１４ａと下板貫通穴１６ａとは、対をなすように設けられている。具体的には、一つのプローブ１８が挿通されている上板貫通穴１４ａと下板貫通穴１６ａとが対をなしている。そして、対をなす上板貫通穴１４ａと下板貫通穴１６ａのうち、上板貫通穴１４ａは下板貫通穴１６ａを基準としてプローブ１８の中央付近を挟み込むように軸線がずらされている。このときのずらし量は、上板貫通穴１４ａの穴径からワイヤ径を差し引いた値より大きく、ピッチ（貫通穴同士の間隔）から穴径を差し引いた値以下に設定されているが、詳しくは後述する。また、溝１６ｂは、ずらし方向に沿って延びている。このように両貫通穴１４ａ，１６ａの軸線がずらされた結果、プローブ１８は、図３において、中央付近下側が下板貫通穴１６ａの内壁右側に押しつけられると共に、中央付近の中程が溝１６ｂを水平方向に這い、中央付近上側が上板貫通穴１４ａの内壁左側に押しつけられている。
【００２１】
ここで、ずらし量について、図５〜図７を用いて詳しく説明する。図５に示すように、ずらし量Ｇが上板貫通穴１４ａの穴径ｈからワイヤ径ｗを差し引いた値の場合（つまりＧ＝ｈ−ｗ）、プローブ１８は上板貫通穴１４ａの内壁及び下板貫通穴１６ａの内壁に接触しているだけで押圧力を受けていない。したがって、この状態ではプローブ１８を上板貫通穴１４ａ及び下板貫通穴１６ａで支持することはできない。しかし、ずらし量Ｇが図５の場合より大きくなる、つまりＧ＞ｈ−ｗになると、プローブ１８は上板貫通穴１４ａ及び下板貫通穴１６ａに挟み込まれて支持される。一方、図６に示すように、ずらし量Ｇがピッチｐに穴径ｈを加算しワイヤ径ｗの２倍を差し引いた値の場合（つまりＧ＝ｐ＋ｈ−２ｗ）、隣り合うプローブ１８が接触してしまい、ウエハテストに支障が生じる。しかし、ずらし量Ｇが図６の場合より小さい、つまりＧ＜ｐ＋ｈ−２ｗになると、隣り合うプローブ１８が接触しないため、不都合が生じない。隣り合うプローブ１８の接触をより確実に防止するには、図７に示すように、ずらし量Ｇをピッチｐから穴径ｈを差し引いた値以下、つまりＧ≦ｐ−ｈとするのが好ましい。この場合、上側貫通穴１４ａは対をなさない下側貫通穴１６ａとオーバーラップすることがないため、隣り合うプローブ１８の接触をより確実に防止することができる。
【００２２】
プローブ１８は、ベリリウム銅製のワイヤーを所定長さに切断したものである。このプローブ１８の一方の脚１８ａは、支持板１２の上方に突出し、屈曲部１８ｂにて弾性変形可能となっている。また、他方の脚１８ｃは、支持板１２の下方に突出し、屈曲部１８ｄにて弾性変形可能となっている。このプローブ１８の中央付近は、上述したように上板貫通穴１４ａと下板貫通穴１６ａとによって挟み込まれており、クランク形状となっている。なお、プローブ１８に用いるワイヤーの材質は、ベリリウム銅に限定されるものではなく、例えば、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ｎｉ、Ｎｉ合金、ＰｄやＰｔなどの貴金属、Ｆｅ、Ｆｅ合金、ピアノ線などでもよい。
【００２３】
次に、このプローブカード１０の製造手順について図８〜図１０を用いて説明する。図８〜図１０は製造工程を示す説明図であり、（ａ）は部分平面図、（ｂ）は断面図（図８はＣ−Ｃ断面図、図９はＤ−Ｄ断面図、図１０はＥ−Ｅ断面図）である。まず、上板１４と下板１６とを用意する（工程（ａ），図８参照）。ここで、下板１６は、上面に溝１６ｂを有しているが、上板１４は、そのような溝を有していない。続いて、対をなす上板貫通穴１４ａと下板貫通穴１６ａとが連通するように上板１４の下面と下板１６の上面とを重ね合わせたあと、複数のプローブ１８を上板貫通穴１４ａ及び下板貫通穴１６ａに挿入する（工程（ｂ），図９参照）。このとき、各プローブ１８の一方の脚１８ａが上板１４の上方に突出し、他方の脚１８ｃが下板１６の下方に突出するように、各プローブ１８を保持する。なお、プローブ１８は、予め一方の脚１８ａが屈曲部１８ｂにて所定角度折り曲げたものを用いる。続いて、上板１４と下板１６とを面接触した状態のまま溝１６ｂの延びる方向に相対的にずらすことにより、対をなす上板貫通穴１４ａと下板貫通穴１６ａとがプローブ１８を挟み込むようにする（工程（ｃ），図１０参照）。このとき、プローブ１８の中央付近は曲げられて溝１６ｂに嵌り込む。その結果、プローブ１８の中央付近下側は下板貫通穴１６ａの内壁右側に押しつけられ、中央付近の中程が溝１６ｂを水平方向に這い、中央付近上側が上板貫通穴１４ａの内壁左側に押しつけられる。続いて、その状態で上板１４と下板１６とが相対的に移動しないように、四隅をボルトナット２０で固定する（工程（ｄ））。最後に、他方の脚１８ｃを屈曲部１８ｄで所定角度折り曲げるように加工し、プローブカード１０を完成させる。
【００２４】
以上詳述した本実施形態のプローブカード１０によれば、支持板１２は上板１４と下板１６の２層構造であるため、支持板１２が３層構造の場合に比べて部品点数が少ない分、コストが低減される。また、プローブ１８は下板１６に設けられた溝１６ｂに入り込むため、プローブ１８の姿勢は溝１６ｂによって規制される。このため、すべてのプローブ１８の脚１８ａ，１８ｃの並び方向が揃うことになり、ウエハ上のチップに形成された電極に正確にプローブ１８の先端を当てることが可能となる。
【００２５】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００２６】
例えば、上述した実施形態では、下板１６の溝１６ｂの深さは、ワイヤ径よりわずかに大きい程度としたが、ワイヤ径の５０〜１５０％の範囲で適宜設定してもよい。図１１は、溝２１６ｂの深さがワイヤ径の５０％の場合の例である。この場合、上板１４と下板１６との間に隙間ができるが、両板１４，１６が平行になるようにボルトナット２０（図１参照）で締結すればよい。なお、溝１１６ｂの深さが５０％未満だと、溝１１６ｂに沿わせてプローブ１８を変形することが難しくなるし、両板１４，１６の隙間も大きくなりすぎるため、好ましくない。また、図１２は、溝２１６ｂの深さがワイヤ径の１５０％の場合の例である。この場合、上板１４と下板１６とは面接触しており、溝２１６ｂの内部にプローブ１８が余裕をもって収納されるが、プローブ１８が溝２１６ｂの内部で上下に動くのは規制されている。この溝２１６ｂの深さがワイヤ径の１５０％を超えると、プローブ１８が溝２１６ｂの内部で上下に動きやすくなり、プローブ１８の姿勢が安定しないおそれがあるため、好ましくない。
【００２７】
上述した実施形態では、溝１６ｂは下板１６のうち上板１４に対向する面に設けたが、上板１４のうち下板１６に対向する面に設けてもよいし、両方の面に設けてもよい。なお、上板１４と下板１６の両方に溝が設けられている場合には、両溝の深さの合計がワイヤ径の５０〜１５０％とする。
【００２８】
上述した実施形態では、プローブ１８の脚１８ｃを脚１８ａと同じ方向に曲げたが、脚１８ｃを脚１８ａと反対方向に曲げてもよい。
【００２９】
上述した実施形態では、上板貫通穴１４ａ及び下板貫通穴１６ａの断面形状を円形としたが、特に円形に限定されるものではなく、例えば、楕円形としてもよいし、矩形としてもよい。また、プローブ１８の断面形状についても同様である。
【００３０】
上述した実施形態では、プローブ１８は切断したワイヤをそのまま使用したため安価であるが、ウエハ上のチップの端子との接触面積が小さいため抵抗はあまり小さいとはいえない。コストよりも抵抗を小さくすることを重要視する場合には、プローブ１８の先端を平坦面に加工するなどの工夫を加えることが好ましい。
【００３１】
上述した実施形態では、支持板１２の四隅をボルトナット２０で締結したが、対角線上の２点をボルトナットで締結してもよいし、四隅に加えて辺の中央もボルトナットで締結してもよい。また、締結具は、ボルトナットに限らず、リベットでもよい。
【００３２】
上述した実施形態では、プローブカード１０を製造する際、工程（ｂ）では予め一方の脚１８ａが屈曲部１８ｂにて所定角度折り曲げたプローブ１８を用いたが、真っ直ぐなプローブ１８を用いてもよい。その場合、最後に、両方の脚１８ａ，１８ｃをそれぞれ屈曲部１８ｂ，１８ｄで所定角度折り曲げるように加工し、プローブカード１０を完成させる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明の電気的接続体は、ウエハテストを行う際に用いる治具（プローブカード）などに利用することができる。
【符号の説明】
【００３４】
１０  プローブカード、１２  支持板、１４  上板、１４ａ  上板貫通穴、１６  下板、１６ａ  下板貫通穴、１６ｂ  溝、１８  プローブ、１８ａ，１８ｃ  脚、１８ｂ，１８ｄ  屈曲部、２０  ボルトナット、１１６ｂ  溝、２１６ｂ  溝、Ｇ  ずらし量、ｈ  穴径、ｐ  ピッチ、ｗ  ワイヤ径
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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