(57)【要約】【課題】本発明は、パネル検査装置を保持する保持機構であって、保持手段の移動に基づく衝撃を緩衝し得る保持機構を提供する。【解決手段】パネル１の検査装置２を保持する保持機構１００であって、検査装置２を保持する保持手段１０２と、検査装置２の高さ方向での位置調節を行うために保持手段１０２を移動させる移動手段１０４と、保持手段１０２の移動に基づく衝撃を緩衝する緩衝手段１０６と、検査装置２と保持手段１０２との重量和を支持するように緩衝手段１０６を制御する制御手段１０８とを備える。【選択図】図１
2011064492.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネルの検査装置を保持する保持機構であって、
前記検査装置を保持する保持手段と、
前記検査装置の高さ方向での位置調節を行うために前記保持手段を移動させる移動手段と、
前記保持手段の移動に基づく衝撃を緩衝する緩衝手段と、
前記検査装置と前記保持手段との重量和を支持するように前記緩衝手段を制御する制御手段と
を備えた保持機構。
【請求項２】
前記移動手段への電力供給停止時に、前記制御手段は、前記緩衝手段への媒体流出入によって、前記重量和に抗するように前記緩衝手段の緩衝作用を調整する、請求項１に記載の保持機構。
【請求項３】
前記緩衝手段の緩衝作用方向が前記保持手段の移動方向に沿うように、前記緩衝手段と前記移動手段とがほぼ同一の動作線上に設けられ、
前記検査装置の高さ方向を基準として、前記緩衝手段が、前記保持手段の移動空間の上方、かつ前記移動手段の上方に設けられている、請求項１又は請求項２に記載の保持機構。
【請求項４】
前記制御手段は、前記移動手段への電力供給の状況を所定周期でモニタし、前記電力供給の状況に応じて前記緩衝手段の緩衝作用を調整する、請求項１から請求項３の何れか一項に記載の保持機構。
【請求項５】
前記制御手段は、前記緩衝手段の緩衝作用の状況をリアルタイムでモニタし、前記緩衝作用の状況に応じて、フィードバック制御又はフィードフォワード制御を実行する、請求項１から請求項４の何れか一項に記載の保持機構。
【請求項６】
パネルの検査装置を保持する保持機構の駆動方法であって、
前記保持機構は、
前記検査装置を保持する保持手段と、
前記検査装置の高さ方向での位置調節を行うために前記保持手段を移動させる移動手段と、
前記保持手段の移動に基づく衝撃を緩衝する緩衝手段と、
を備え、
前記検査装置と前記保持手段との重量和を支持するように前記緩衝手段を制御する制御工程を包含する、保持機構の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パネルの検査装置を保持する保持機構、及び当該保持機構の駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パネルの大型化に伴い、パネル検査装置を保持する保持機構も大型化かつ高重量化している。このような状態で、パネルの検査の高速化を実現するためには保持機構の動作特性をより一層向上させなければならず、ガイド等の剛性強化が望まれるが、このために保持機構全体がさらに重量化する結果となっている。
【０００３】
このような保持機構においては、検査装置を保持手段で保持し、保持手段を移動手段で移動させることによってパネルを検査する。保持手段の移動方式としてブレーキ付きｂａｌｌ  ｓｃｒｅｗ方式を用いる場合、隙間旋転誤差により、垂直方向の位置精度が要求される座標入力装置に対して、精度誤差が大き過ぎる。一方、保持手段の移動方式としてリニアモータ方式を用いる場合、リニアモータは非接触で駆動するため、ボールねじの隙間のような構造的な精度誤差(バックラッシュ)が発生せず、高精度の位置決めを保障し得る。しかし、リニアモータ方式によれば、保持手段の移動時にリニアモータへの電力供給が停止すれば、リニアモータが作動しなくなり、検査装置及び保持手段が降下することがある。そのため、保持手段にウエイトをワイヤで繋ぎ、リニアモータへの電力供給停止によってもウエイトと保持手段とのバランスで検査装置及び保持手段の降下を回避していた（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２４８２７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、パネルの大型化に伴い、パネル検査装置を保持する保持機構も大型化かつ高重量化しているため、大型パネルの検査時には、次のような課題が発生している。即ち、保持手段の移動時にワイヤが滑車上を通過する際、滑車の回転による振動が発生していた。更に、保持手段の移動時にワイヤが切れ、検査装置及び保持手段が落下するおそれがあった。更に、ウエイトの移動には一定の空間が必要なため、保持機構の小型化が妨げられていた。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、保持手段の移動に基づく衝撃を緩衝し得る保持機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明に係る保持機構の特徴構成は、パネルの検査装置を保持する保持機構であって、検査装置を保持する保持手段と、検査装置の高さ方向での位置調節を行うために保持手段を移動させる移動手段と、保持手段の移動に基づく衝撃を緩衝する緩衝手段と、検査装置と保持手段との重量和を支持するように緩衝手段を制御する制御手段とを備えたところにある。
【０００８】
背景技術の項目で説明したように、従来の保持機構では、保持手段とウエイトとをワイヤで繋いでいた。その結果、ワイヤを支える滑車の回転による振動が発生し、パネルの検査結果に悪影響を与えていた。一方、本発明の保持機構によれば、ウエイトに代替して、緩衝手段を用いている。従って、保持手段の移動に基づく衝撃を緩衝することができる。更に、従来の保持機構では、保持手段の移動時にワイヤが切れ、検査装置及び保持手段が落下するおそれもあったが、本発明の保持機構によれば、ウエイトに代替し緩衝手段を用いているため、保持手段をワイヤで吊るす必要がない。更に、従来の保持機構では、保持手段の移動に伴うウエイトの移動には一定の空間が必要なため、保持機構の小型化が妨げられていたが、本発明の保持機構によれば、ウエイトを用いないため、ウエイトの移動空間の確保が不要となる。従って、パネルを検査するために必要な空間を小さく設計し得る。
【０００９】
本発明に係る保持機構は、移動手段への電力供給停止時に、制御手段は、緩衝手段への媒体流出入によって、重量和に抗するように緩衝手段の緩衝作用を調整してもよい。
【００１０】
本発明の保持機構の構成によれば、移動手段への電力供給停止時であっても、緩衝作用が重量和に抗するので、電力供給停止時に保持手段が重力方向に急激に移動するために生じる衝撃を緩和することができる。特に移動手段としてリニアモータを用いる場合は、リニアモータへの電力供給の停止に伴って保持手段が重力方向に急激に移動し易いが、その際に生じる衝撃を緩和することができる。更に、空気、油等の媒体の流出入によって緩衝手段を制御できるので、例えば、緩衝手段として既存のエアシリンダ又は油圧シリンダを利用でき、比較的安価に本発明の保持機構を実現し得る。
【００１１】
本発明に係る保持機構は、緩衝手段の緩衝作用方向が保持手段の移動方向に沿うように、緩衝手段と移動手段とがほぼ同一の動作線上に設けられ、検査装置の高さ方向を基準として、緩衝手段が、保持手段の移動空間の上方、かつ移動手段の上方に設けられてもよい。
【００１２】
本発明の保持機構の構成によれば、保持機構の移動空間の下側に空間を確保でき、その空間を他の用途に利用できる。例えば、当該空間に検査装置の制御手段や、保持機構の制御手段を設置し得る、その結果、パネルを検査するために必要な空間を小さく設計し得る。
【００１３】
本発明に係る保持機構が備える制御手段は、移動手段への電力供給の状況を所定周期でモニタし、電力供給の状況に応じて緩衝手段の緩衝作用を調整してもよい。更に、本発明に係る保持機構が備える制御手段は、緩衝手段の緩衝作用の状況に応じて、フィードバック制御又はフィードフォワード制御を実行してもよい。
【００１４】
本発明の保持機構の構成によれば、移動手段への電力供給の状況を所定周期でモニタし、又は緩衝手段の緩衝作用の状況に応じて、フィードバック制御又はフィードフォワード制御を実行するので、制御手段は、流出入速度と保持手段の移動速度とがマッチするように緩衝手段の圧力を制御し得る。なお、保持手段の上昇降下移動時の位置決めは制御手段の制御に基づくＹ軸リニアモータの駆動によってのみ実行することができる。その結果、制御手段は検査装置と保持手段との重量和を支持するように緩衝手段を制御し得、緩衝手段は保持手段に推力を与えることはない。
【００１５】
上記課題を解決するため、本発明に係る保持機構の駆動方法は、パネルの検査装置を保持する保持機構の駆動方法であって、保持機構は、検査装置を保持する保持手段と、検査装置の高さ方向での位置調節を行うために保持手段を移動させる移動手段と、保持手段の移動に基づく衝撃を緩衝する緩衝手段とを備え、検査装置と保持手段との重量和を支持するように緩衝手段を制御する制御工程を包含するところにある。
【００１６】
本発明に係る保持機構の駆動方法によれば、上記説明した本発明の保持機構と同様の作用効果を奏する。即ち、本発明の保持機構の駆動方法によれば、ウエイトに代替して、緩衝手段を用いている。従って、保持手段の移動に基づく衝撃を緩衝することができる。更に、ウエイトに代替し緩衝手段を用いているため、保持手段をワイヤで吊るす必要がない。更に、ウエイトを用いないため、ウエイトの移動空間の確保が不要となる。従って、パネルを検査するために必要な空間を小さく設計し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係る保持機構の模式図である。
【図２】制御手段を含む緩衝手段制御系の構成を示す構成概略図である。
【図３】本発明の保持機構を用いた駆動方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１から図３を参照して、本発明の保持機構に関する実施形態を説明する。本発明は、以下に説明する実施形態や図面に記載される構成に限定されることを意図せず、当該構成と均等な構成も含む。
【００１９】
図１は、本発明の実施形態に係る保持機構１００の模式図である。保持機構１００は、被検査対象であるフラットパネル１の検査装置２を保持する。保持機構１００は、検査装置２を保持する保持手段１０２と、移動手段１０４と、緩衝手段１０６と、制御手段１０８とを備える。例えば、移動手段１０４はリニアモータであり、緩衝手段１０６はエアシリンダであり、制御手段１０８はプログラマブルロジックコントローラである。また、保持手段１０２は、Ｘ軸ステージ１０２ａとＸ軸リニアモータ１０２ｂとを含む。移動手段１０４は、Ｙ軸ステージ１０４ａとＹ軸リニアモータ１０４ｂとを含む。
【００２０】
フラットパネル１は、検査装置２に対向するようにＸ軸−Ｙ軸平面内に立てかけられている。検査装置２は、例えばフラットパネル１の表示素子の欠陥の位置を検出することでフラットパネル１を検査する。検査時には、検査装置２（例えばカメラ）が移動し、フラットパネル１の表示素子の欠陥の座標を取得する。検査装置２は、Ｘ軸リニアモータ１０２ｂに保持されている。
【００２１】
Ｘ軸リニアモータ１０２ｂは、Ｘ軸ステージ１０２ａ上を移動可能にＸ軸ステージ１０２ａに載置されている。制御手段１０８が電力供給源（図示せず）を制御することによって、Ｘ軸ステージ１０２ａに含まれるコイルに電力供給源から電力が供給され、Ｘ軸リニアモータ１０２ｂはＸ軸ステージ１０２ａ上を移動する。
【００２２】
移動手段１０４は検査装置２の高さ方向での位置調節を行うために保持手段を移動させる。Ｙ軸リニアモータ１０４ｂは、Ｙ軸ステージ１０４ａ上を移動可能にＹ軸ステージ１０４ａに載置されている。制御手段１０８が電力供給源（図示せず）を制御することによって、Ｙ軸ステージ１０４ａに含まれるコイルに電力供給源から電力が供給され、Ｙ軸リニアモータ１０４ｂはＹ軸ステージ１０４ａ上を移動する。
【００２３】
緩衝手段１０６は、保持手段１０２の移動に基づく衝撃を緩衝する。緩衝手段１０６は、例えばエアシリンダである。エアシリンダが緩衝手段１０６として機能する場合、緩衝手段１０６は、シリンダと給排気口とピストンとを含む。例えば、ピストンはＸ軸ステージ１０２ａに接続されている。給排気口を閉じている場合には、保持手段１０２の上昇移動に応じてシリンダ内の圧力は下がり、保持手段１０２の降下移動に応じてシリンダ内の圧力が上がる。給排気口を開けている場合は、保持手段１０２の上昇移動、降下移動があってもシリンダ内の圧力は変化しない。
【００２４】
制御手段１０８は、給排気口に対する空気の流出入を制御することで検査装置２と保持手段１０２との重量和を支持するように、また、重量和に抗するように緩衝手段１０６の緩衝作用を調整し得る。なお、制御手段１０８の制御の詳細は図２を参照して後述する。
【００２５】
緩衝手段１０６と移動手段１０４とは、緩衝手段１０６の緩衝作用方向が保持手段１０２の移動方向に沿うように、ほぼ同一の動作線上に設けられている。緩衝手段１０６は、検査装置２の高さ方向を基準として、保持手段１０２の移動空間の上方、かつ移動手段１０４の上方に設けられている。緩衝手段１０６は、Ｙ軸ステージ１０４ａに設置されているが、緩衝手段１０６の設置場所には、コイルが設けられていないので、Ｙ軸リニアモータ１０４ｂは緩衝手段１０６の設置場所にまで移動し得ない。
【００２６】
本発明の保持機構の構成によれば、保持機構の移動空間の下側に空間を確保でき、その空間を他の用途に利用できる。例えば、当該空間に検査装置の制御手段や、保持機構の制御手段を設置し得る、その結果、パネルを検査するために必要な空間を小さく設計し得る。
【００２７】
図２は、制御手段１０８を含む緩衝手段制御系２００の構成を示す構成概略図である。例えば、プログラマブルロジックコントローラ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ：以下、「ＰＬＣ」と記す。）が制御手段１０８として機能する。ＰＬＣとは、制御装置としてシーケンス制御専用のマイクロコンピュータを利用した技術である。コンピュータや専用の入力装置を利用して、予め制御内容をプログラムによって表現し、これを逐次実行することによりシーケンス制御をおこなう。制御内容の複雑化や高度化の要請の高まりから、現在では最も多く用いられている。電気配線をプログラム上で表現し得、制御内容の変更が容易である。主に、空圧機器などと組み合わせ、高速化、省配線化を実現し得る。
【００２８】
緩衝手段制御系２００は、制御手段１０８と、Ａ／Ｄコンバータ２０２と、Ｄ／Ａコンバータ２０４と、空気源２０６と、逆止弁２０８と、電空比例弁２１０と、排気制御弁２１２と、排気用消音器２１４とを含む。
【００２９】
緩衝手段制御系２００に含まれる各構成要素が協働することによって、制御手段１０８が取得するリアルタイム圧力値に基づいて緩衝手段１０６を制御する。例えば、制御手段１０８は、Ａ／Ｄコンバータ２０２及びＤ／Ａコンバータ２０４を介して電圧・電流の入出力信号をモニタし、緩衝手段１０６の圧力設定制御及び圧力読取制御を行い、リアルタイムで緩衝手段１０６の圧力を制御する。
【００３０】
電空比例弁２１０は、例えば、ポートを３つ有する。ポートの一つは空気源２０６に繋がり、他の一つは排気制御弁２１２に繋がり、残りの他の１つは緩衝手段１０６の給排気口１０７に繋がる。出力圧力が足りない時に、空気源２０６からエアーを導入し、出力圧力が高過ぎる時に、自動的排気する（圧力調節機能）。排気用消音器２１４は、自動排気時に生じる排気音を消音する。
【００３１】
逆止弁２０８は、電空比例弁２１０から空気源２０６への空気の逆流を防止するバルブである。移動手段１０４への電源遮断時又は緊急停止時に、制御手段１０８が排気制御弁２１２を閉じるように制御することにより、緩衝手段１０６から空気が排出することを防止し得る。
【００３２】
以下、図１と図２とを参照して、緩衝手段制御系２００の機能を説明する。
【００３３】
制御手段１０８は、移動手段１０４への電力供給の状況（例えば、電力正常供給中であるか、電力供給遮断であるか、電力供給緊急停止であるか）を所定周期でモニタし、電力供給の状況に応じて緩衝手段１０６の緩衝作用を調整する。さらに、制御手段１０８は、緩衝手段１０６の緩衝作用の状況をリアルタイムでモニタし、緩衝作用の状況に応じて緩衝手段１０６を制御する。制御手段１０８が電力供給の状況及び緩衝作用の状況のうちの少なくとも一方の状況に応じて給排気口に供給される空気の流入量を制御することで、緩衝手段１０６の緩衝作用を生じ得る。このように、制御手段１０８は、流出入速度と保持手段１０２の移動速度とがマッチするように緩衝手段１０６の圧力を調整している。
【００３４】
制御手段１０８は、検査装置２と保持手段１０２との重量和（Ｗ）に相当する圧力値（第１圧力値）を算出する。第１圧力値は式１（Ｗ×重力加速度）に基づいて算出される。保持手段１０２の降下移動時には、Ｙ軸リニアモータ１０４ｂの駆動により緩衝手段１０６の圧力が増加してくる。制御手段１０８は、保持機構排気制御を行う。即ち、制御手段１０８は緩衝手段１０６の圧力値と第１圧力値とを比較し、緩衝手段１０６の圧力値が第１圧力値を超えると、排気制御弁２１２をフィードバック制御で排気制御弁２１２を開けることによって緩衝手段１０６のシリンダ内から空気を排気する。このように、制御手段１０８は、保持機構排気制御によって制御手段１０８は検査装置２と保持手段１０２との重量和（Ｗ）を支持するように緩衝手段１０６を制御し、さらに保持手段１０２の降下移動時の位置決めは制御手段１０８の制御に基づくＹ軸リニアモータ１０４ｂの駆動によってのみ実行するので、緩衝手段１０６は保持手段１０２に推力を与えることはない。なお、保持機構排気制御によって緩衝手段１０６の圧力値が第１圧力値を下回ると、排気制御弁２１２をフィードバック制御で閉じ、さらに空気源２０６と電空比例弁２１０とを制御し、緩衝手段１０６のシリンダ内に空気を流入させることで、より高精度に緩衝手段１０６を制御し得る。
【００３５】
保持手段１０２の上昇移動時には、Ｙ軸リニアモータ１０４ｂの駆動により緩衝手段１０６の圧力が減少してくる。制御手段１０８は、保持機構吸気制御を行う。即ち、制御手段１０８は緩衝手段１０６の圧力値と第１圧力値とを比較し、緩衝手段１０６の圧力値が第１圧力値を下回ると、排気制御弁２１２をフィードバック制御で閉じ、さらに空気源２０６と電空比例弁２１０とを制御し、緩衝手段１０６のシリンダ内に空気を流入させる。このように、制御手段１０８は、保持機構吸気制御によって制御手段１０８は検査装置２と保持手段１０２との重量和（Ｗ）を支持するように緩衝手段１０６を制御し、さらに保持手段１０２の上昇移動時の位置決めは制御手段１０８の制御に基づくＹ軸リニアモータ１０４ｂの駆動によってのみ実行するので、緩衝手段１０６は保持手段１０２に推力を与えることはない。なお、保持機構吸気制御によって緩衝手段１０６の圧力値が第１圧力値を超えると、排気制御弁２１２をフィードバック制御で開けることによって緩衝手段１０６のシリンダ内から空気を排気することで、より高精度に緩衝手段１０６を制御し得る。
【００３６】
電源遮断時又は緊急停止時には、制御手段１０８は排気制御弁２１２が閉じるように制御し、緩衝手段１０６からの空気の排気を阻止する。続いて制御手段１０８は、検査装置２と保持手段１０２との重量和（Ｗ）に抗する圧力値（第２圧力値）を算出し、制御手段１０８は緩衝手段１０６の圧力が第２圧力になるように空気源２０６と電空比例弁２１０とを制御する。その結果、保持手段１０２の上下移動が不可能となる。第２圧力値は、式２（Ｗ×重力加速度×ｃｏｓα＋Ｗ×保持手段１０２の移動加速度）に基づいて算出される。ここで、角度αは、鉛直方向と保持手段１０２の移動方向との間の角度を示す。
【００３７】
図３は、本発明の保持機構１００を用いた駆動方法を示すフローチャートである。以下、保持機構の駆動方法を説明する。
【００３８】
ステップ３０２：保持機構１００の電源をＯＮにする。
【００３９】
ステップ３０４：制御手段１０８は、Ｙ軸リニアモータ１０４ｂが正常に駆動するか否かチェックする。例えば、チェック周期は１００ミリＳｅｃである。Ｙ軸リニアモータ１０４ｂが正常に駆動する場合、ステップ３０８に進む。Ｙ軸リニアモータ１０４ｂが正常に駆動しない場合（異常の場合）、ステップ３０６に進む。
【００４０】
ステップ３０６：電源遮断時又は緊急停止時（Ｙ軸リニアモータ１０４ｂが正常に駆動しない場合）にはブレーキ機構が作動する。即ち、制御手段１０８は排気制御弁２１２が閉じるように制御し、緩衝手段１０６からの空気の排気を阻止する。続いて制御手段１０８は、第２圧力値を算出し、制御手段１０８は緩衝手段１０６の圧力が第２圧力になるように空気源２０６と電空比例弁２１０とを制御する。その結果、保持手段１０２の上下移動が不可能となる。電源をＯＮにする場合は、引き続いてステップ３０２に進む。
【００４１】
ステップ３０８：制御手段１０８は、保持手段１０２をＹ軸に沿って高さ方向に移動させるか否か判断する。保持手段１０２を移動させる場合、ステップ３１２に進む。保持手段１０２を移動させない場合、ステップ３１０に進む。
【００４２】
ステップ３１０：電源供給時には保持機構が作動する。即ち、制御手段１０８は空気源２０６と電空比例弁２１０とを制御して緩衝手段１０６のシリンダに第１圧力を供給する。その後、排気制御弁２１２を有効状態とすることで、保持手段１０２の上下移動が可能となる。引き続いて、制御手段１０８によってＹ軸リニアモータ１０４ｂが正常に駆動するか否かチェックするために、ステップ３０４に進む。
【００４３】
ステップ３１２：制御手段１０８は、保持手段１０２を降下移動させるか上昇移動させるかを判断する。保持手段１０２を上昇移動させる場合、ステップ３１４に進む。保持手段１０２を降下移動させる場合、ステップ３１６に進む。
【００４４】
ステップ３１４：保持手段１０２を上昇移動させる場合、制御手段１０８は保持手段１０２が上昇するようにＹ軸リニアモータ１０４ｂを制御し、さらに緩衝手段１０６が保持手段１０２に推力を与えることがないように保持機構吸気制御によって緩衝手段１０６を制御する。Ｙ軸リニアモータ１０４ｂの駆動により緩衝手段１０６の圧力が減少してくる。制御手段１０８は緩衝手段１０６の圧力値と第１圧力値とを比較し、緩衝手段１０６のシリンダ内への空気流出入を制御する。引き続いて、制御手段１０８によってＹ軸リニアモータ１０４ｂのモータが正常に駆動するか否かチェックするために、ステップ３０４に進む。
【００４５】
ステップ３１６：保持手段１０２を降下移動させる場合、制御手段１０８は保持手段１０２が降下するようにＹ軸リニアモータ１０４ｂを制御し、さらに緩衝手段１０６が保持手段１０２に推力を与えることがないように保持機構排気制御によって緩衝手段１０６を制御する。Ｙ軸リニアモータ１０４ｂの駆動により緩衝手段１０６の圧力が増加してくる。制御手段１０８は緩衝手段１０６の圧力値と第１圧力値とを比較し、緩衝手段１０６のシリンダ内への空気流出入を制御する。引き続いて、制御手段１０８によってＹ軸リニアモータ１０４ｂが正常に駆動するか否かチェックするために、ステップ３０４に進む。
【００４６】
このように、本発明の保持機構の構成によれば、移動手段への電力供給停止時であっても、緩衝作用が重量和に抗するので、電力供給停止時に保持手段が重力方向に急激に移動するために生じる衝撃を緩和することができる。特に移動手段としてリニアモータを用いる場合は、リニアモータへの電力供給の停止に伴って保持手段が重力方向に急激に移動するが、その際に生じる衝撃を緩和することができる。更に、空気、油等の媒体の流出入によって緩衝手段を制御できるので、例えば、緩衝手段として既存のエアシリンダ又は油圧シリンダを利用でき、比較的安価に本発明の保持機構を実現し得る。
【００４７】
本発明の実施形態において、被検査対象であるフラットパネル１の具体例として、例えば、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル、有機ＥＬディスプレイパネルがある。なお、検査装置２がパネルを検査し得る限りは、検査装置２の被検査対象はフラットなパネルに限定されない。さらに、制御手段１０８が検査装置２と保持手段１０２との重量和を支持するように緩衝手段１０６を制御し得る限りは、緩衝手段１０６はエアシリンダに限定されない。例えば、媒体が油の場合、油圧シリンダが緩衝手段１０６として機能する。例えば、緩衝手段１０６はパスカル作動原理のエアシリンダ又は油圧シリンダである。さらに、検査装置２と保持手段１０２との重量和を支持するように緩衝手段を制御し得る限りは、制御手段１０８はＰＬＣであることに限定されない。制御手段１０８は、例えばパーソナルコンピュータでもよい。また、ＰＬＣとパーソナルコンピュータとの通信制御により、制御手段１０８としてパーソナルコンピュータが緩衝手段を制御し得る。さらに、制御手段１０８が緩衝手段１０６の圧力値と第１圧力値とを比較する際、また、緩衝手段１０６の圧力値と第２圧力値とを比較する際の制御は、フィードバック制御に限らない。フィードフォワード制御によって、緩衝手段１０６が保持手段１０２に推力を与えることなく制御機構２００の各構成要素を制御し得る。
【００４８】
以上、図１から図３を参照して、本発明の保持機構に関する実施形態を説明した。従来の保持機構では、保持手段とウエイトとをワイヤで繋いでいたが、ワイヤを支える滑車の回転による振動が発生し、パネルの検査結果に悪影響を与えていた。本発明の保持機構によれば、ウエイトに代替して、緩衝手段を用いている。従って、保持手段の移動に基づく衝撃を緩衝することができる。更に、従来の保持機構では、保持手段の移動時にワイヤが切れ、検査装置及び保持手段が落下するおそれもあったが、本発明の保持機構によれば、ウエイトに代替し緩衝手段を用いているため保持手段をワイヤで吊るす必要がない。更に、従来の保持機構では、保持手段の移動に伴うウエイトの移動には一定の空間が必要なため、保持機構の小型化が妨げられていたが、本発明の保持機構によれば、ウエイトを用いないため、ウエイトの移動空間の確保が不要となる。従って、パネルを検査するために必要な空間を小さく設計し得る。
【００４９】
更に、本発明の保持機構の構成によれば、移動手段への電力供給の状況を所定周期でモニタし、又は緩衝手段の緩衝作用の状況に応じて、フィードバック制御又はフィードフォワード制御を実行するので、制御手段は、流出入速度と保持手段の移動速度とがマッチするように緩衝手段の圧力を制御し得る。なお、保持手段１０２の上昇降下移動時の位置決めは制御手段の制御に基づくＹ軸リニアモータの駆動によってのみ実行することができる。その結果、制御手段は検査装置と保持手段との重量和を支持するように緩衝手段を制御し得、緩衝手段は保持手段に推力を与えることはない。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明による保持機構は、パネル検査時の課題を解決するものであり、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネル、更には有機ＥＬディスプレイパネルなどのフラットパネルの製造分野で広く利用可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１      フラットパネル
２      検査装置
１００  保持機構
１０２  保持手段
１０４  移動手段
１０６  緩衝手段
１０８  制御手段
【図１】
2011064492.tif 000003
【図２】
2011064492.tif 000004
【図３】
2011064492.tif 000005