(57)【要約】【課題】撮像素子の傾きを精度よく測定可能な撮像素子の測定方法およびそれを用いた測定装置を提供することを目的としている。【解決手段】正のパワーを有する光学系１３０が配置されたレンズ鏡筒１２０と、レンズ鏡筒１２０を介して被写体の光学像が結像される撮像素子１１０とを備えた撮像装置１００に対して、撮像素子１１０の傾きを測定する傾き測定方法であって、撮像素子１１０側からの入射光によって規定される光学系１３０の焦点と、被写体側からの入射光によって規定される補助レンズ２４０の焦点を一致させるように、レンズ鏡筒１００の光軸上に補助レンズ２４０を配置し、この補助レンズ２４０を介して光学系１３０に入射させた測定光に対して、撮像素子１１０で反射する反射光の位置ずれの有無を測定する構成である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
正のパワーを有する第１光学系が配置されたレンズ鏡筒と、前記レンズ鏡筒を介して被写体の光学像が結像される撮像素子とを備えた撮像装置に対して、前記撮像素子の傾きを測定する傾き測定方法であって、
前記撮像素子側からの入射光によって規定される前記第１光学系の焦点と、
前記被写体側からの入射光によって規定される第２光学系の焦点を一致させるように、前記レンズ鏡筒の光軸上に前記第２光学系を配置し、
前記第２光学系を介して前記第１光学系に入射させた測定光に対して、前記撮像素子で反射する反射光の位置ずれの有無を測定する
傾き測定方法。
【請求項２】
前記第２光学系は、負のパワーを有する光学系とした
請求項１に記載の傾き測定方法。
【請求項３】
前記第２光学系は、正のパワーを有する光学系とした
請求項１に記載の傾き測定方法。
【請求項４】
前記反射光の位置ずれの有無に基づいて、前記撮像素子の傾斜角度を測定する
請求項１に記載の傾き測定方法。
【請求項５】
前記測定光は、光路分岐手段を介して前記第２光学系に入射させ、
前記光路分岐手段によって、前記測定光が前記光路分岐手段を介する以前の経路から前記反射光を分離して、
前記反射光の位置ずれの有無を測定する
請求項１に記載の傾き測定方法。
【請求項６】
正のパワーを有する第１光学系が配置されたレンズ鏡筒と、前記レンズ鏡筒を介して被写体の光学像が結像される撮像素子とを備えた撮像装置に対して、前記撮像素子の傾きを測定する傾き測定装置であって、
前記撮像素子側からの入射光によって規定される前記第１光学系の焦点と、
前記被写体側からの入射光によって規定される第２光学系の焦点を一致させるように、前記レンズ鏡筒の光軸上に前記第２光学系を配置し、
前記第２光学系を介して前記第１光学系に入射させた測定光に対して、前記撮像素子で反射する反射光の位置ずれの有無を測定する
傾き測定装置。
【請求項７】
前記第２光学系は、負のパワーを有する光学系とした
請求項６に記載の傾き測定装置。
【請求項８】
前記第２光学系は、正のパワーを有する光学系とした
請求項６に記載の傾き測定装置。
【請求項９】
前記反射光の位置ずれの有無に基づいて、前記撮像素子の傾斜角度を測定する
請求項６に記載の傾き測定装置。
【請求項１０】
前記測定光は、光路分岐手段を介して前記第２光学系に入射させ、
前記光路分岐手段によって、前記測定光が前記光路分岐手段を介する以前の経路から前記反射光を分離して、
前記反射光の位置ずれの有無を測定する
請求項６に記載の傾き測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像装置に用いる撮像素子の傾き測定方法およびそれを用いた撮像素子の傾き測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）やＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  ｍｅｔａｌ−ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）等の撮像素子を用いたデジタルスチルカメラやビデオムービの普及が著しい。
【０００３】
一般に、これらのデジタルスチルカメラやビデオムービ等の撮像装置は、撮像素子を配置した撮像装置本体と、この撮像装置本体に取り付けたレンズ鏡筒を有し、レンズ鏡筒を介して被写体の光学像を撮像素子に結像させる。レンズ鏡筒には、ズーム用の光学系やフォーカス用の光学系が配置されている。レンズ鏡筒は、全体として正のパワーを有する光学系になるように設計されている。
【０００４】
例えば、本体に配置した撮像素子が傾いていると、被写体の光学像は適切に撮像素子に結像されない。このため、撮像素子が傾かずに適切に配置されているかどうかを測定することが必要となる。
【０００５】
従来、物体の微小な傾きを測定するために、特許文献１に開示された傾き測定方法が用いられていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６２−１７６０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の傾き測定方法を用いた撮像素子の傾き測定では、被写体側からレーザ光をレンズ鏡筒に入射させて、撮像素子で反射した反射光の状態を測定すればよい。入射させたレーザ光の位置に対して、反射光がずれていなければ、撮像素子が傾いていないことになる。逆に、入射させたレーザ光の位置に対して、反射光がずれていれば、撮像素子が傾いていることになる。しかし、レンズ鏡筒の光学系の焦点距離が短い場合は反射光のずれが小さくなるので、レーザ光の反射光のずれの量を精度よく測定することは難しい。
【０００８】
このように上記従来の構成では、レンズ鏡筒の光学系の焦点距離が短い場合は撮像装置に配置した撮像素子の傾きを精度よく測定することができない。したがって、例えば、撮像装置の生産工程において、撮像素子が傾斜して配置された場合、被写体の光学像を撮像素子に適切に結像できず、撮像装置で撮像した画像の特性を劣化させるという問題を有する。
【０００９】
本発明は上記問題を解決し、レンズ鏡筒の光学系の焦点距離が短い場合であっても撮像素子の傾きを精度よく測定可能な撮像素子の測定方法およびそれを用いた測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために本発明の撮像素子の傾き測定方法は、正のパワーを有する第１光学系が配置されたレンズ鏡筒と、前記レンズ鏡筒を介して被写体の光学像が結像される撮像素子とを備えた撮像装置に対して、前記撮像素子の傾きを測定する傾き測定方法であって、前記撮像素子側からの入射光によって規定される前記第１光学系の焦点と、前記被写体側からの入射光によって規定される第２光学系の焦点を一致させるように、前記レンズ鏡筒の光軸上に前記第２光学系を配置し、前記第２光学系を介して前記第１光学系に入射させた測定光に対して、前記撮像素子で反射する反射光の位置ずれの有無を測定する構成である。
【００１１】
上記目的を達成するために本発明の撮像素子の傾き測定装置は、正のパワーを有する第１光学系が配置されたレンズ鏡筒と、前記レンズ鏡筒を介して被写体の光学像が結像される撮像素子とを備えた撮像装置に対して、前記撮像素子の傾きを測定する傾き測定装置であって、前記撮像素子側からの入射光によって規定される前記第１光学系の焦点と、前記被写体側からの入射光によって規定される第２光学系の焦点を一致させるように、前記レンズ鏡筒の光軸上に前記第２光学系を配置し、前記第２光学系を介して前記第１光学系に入射させた測定光に対して、前記撮像素子で反射する反射光の位置ずれの有無を測定する構成である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、撮像素子側からの入射光によって規定される第１光学系の焦点と、被写体側からの入射光によって規定される第２光学系の焦点を一致させるように、レンズ鏡筒の光軸上に第２光学系を配置するので、第２光学系を介して第１光学系に入射させた測定光は、第１光学系から平行光として出射される。
【００１３】
これは、第２光学系に平行光である測定光が入射されると、第２光学系の形状に応じて屈折して、測定光が第２光学系から出射される。出射された測定光は、焦点を基準に発散光となって第１光学系に入射される。第１光学系に入射された測定光は、第１光学系の形状に応じて屈折して、平行光となって出射される。
【００１４】
すなわち、撮像素子には、第１光学系から出射された平行光が当たるので、撮像素子で反射される反射光も平行光となる。
【００１５】
反射光は、測定光とは逆の順番で、第１光学系と第２光学系を通過し、第２光学系から平行光となって出射される。撮像素子が傾いていると、第２光学系から出射される反射光が第２光学系の光軸に対して傾くため、第２光学系から反射光が出射した後の測定光と反射光のずれの量は、第２光学系からの距離によって変化する。
【００１６】
そのため、測定光と反射光のずれの量を測定する位置を、第２光学系から適切な距離に設定すれば、レンズ鏡筒の光学系の焦点距離が短い場合であっても、測定光と反射光のずれの量を精度よく測定できる程に大きくすることができる。
【００１７】
このとき、第２光学系から出射される反射光が平行光でなければ、第２光学系からの距離によって反射光の光束径が変化してしまう。これは、測定光と反射光のずれの量を測定する位置の設定に対する制約となる。
【００１８】
しかしながら、本発明の構成では、第２光学系から出射される反射光は平行光であるので、測定光と反射光のずれの量を測定する位置と第２光学系の距離が変化しても反射光の光束径は変化しない。このため、測定光と反射光のずれの量を測定する位置は、必要な測定精度を満たすように自由に設定できる。
【００１９】
したがって、反射光の位置ずれの有無を測定しやすくなり、撮像素子の傾きを精度よく測定できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】一実施の形態の傾き測定方法における測定時の傾き撮像装置と補助レンズに凸レンズを用いた傾き測定装置との配置関係を示す概要図である。
【図２】一実施の形態の傾き測定方法における測定時の傾き撮像装置と補助レンズに凹レンズを用いた傾き測定装置との配置関係を示す概要図である。
【図３】一実施の形態の傾き測定方法における補助レンズに凸レンズを用いた傾き測定装置の検出光の光路を示す概要図である。
【図４】一実施の形態の傾き測定方法における補助レンズに凹レンズを用いた傾き測定装置の検出光の光路を示す概要図である。
【図５】一実施の形態の傾き測定方法における補助レンズに凸レンズを用いた傾き測定装置の反射光の光路を示す概要図である。
【図６】一実施の形態の傾き測定方法における補助レンズに凹レンズを用いた傾き測定装置の反射光の光路を示す概要図である。
【図７】一実施の形態の傾き測定方法における測定時の撮像装置と光路分岐手段として１／４波長板と偏光ビームスプリッタを用いた傾き測定装置との配置関係を示す概要図である。
【図８】一実施の形態の傾き測定方法における測定時の撮像装置と光路分岐手段としてハーフミラーを用いた傾き測定装置との配置関係を示す概要図である。
【図９】一実施の形態の傾き測定方法における測定時の撮像装置と一部を透過させる光路分岐手段を用いた傾き測定装置との配置関係を示す概要図である。
【図１０】一実施の形態の傾き測定方法における測定時の撮像装置と一部を反射させる光路分岐手段を用いた傾き測定装置との配置関係を示す概要図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、一実施の形態における撮像素子の傾き測定方法およびそれを用いた撮像素子の傾き測定装置について図面を参照しながら説明する。
【００２２】
＜１．被測定物の構成について＞
まず、被測定物について説明する。
【００２３】
図１および図２は、一実施の形態の傾き測定方法による測定時の撮像装置と傾き測定装置との配置関係を示す概要図である。図１における傾き測定装置では、補助レンズに凸レンズを用いており、図２における傾き測定装置では、補助レンズに凹レンズを用いている。
【００２４】
被測定物は、撮像装置１００に配置された撮像素子１１０である。本実施の形態では、この撮像素子１１０は、レンズ鏡筒１２０に配置されている。このレンズ鏡筒１２０は、被写体からの光束を取り込む正のパワーを有する光学系１３０と、この光学系１３０を介して被写体の光束が結像された光学像を撮像する撮像素子１１０とを有する。なお、撮像素子１１０がレンズ鏡筒１２０に配置されておらず、撮像装置本体１４０に配置されていてもよい。
【００２５】
＜２．傾き測定装置２００の全体構成について＞
次に、傾き測定装置２００の全体構成について説明する。
【００２６】
図１および図２において、傾き測定装置２００は、レーザ光である測定光２１０を出射するレーザ光源２２０と、出射された測定光２１０が平行光になるように屈折させるコリメートレンズ２３０と、平行光の測定光２１０を特定の焦点に集束させる補助レンズ２４０と、反射光２５０を受光する受光部２６０とを備えている。
【００２７】
この傾き測定装置２００において、レーザ光源２２０から出射された測定光２１０はコリメートレンズ２３０により平行光になり、補助レンズ２４０を通過してレンズ鏡筒１２０に入射する。レンズ鏡筒１２０に入射した測定光２１０は正のパワーを有する光学系１３０を通過して平行光となり、撮像素子１１０に入射する。撮像素子１１０に入射した測定光２１０は撮像素子１１０の面上で反射され、反射光２５０として、再び正のパワーを有する光学系１３０を通過してレンズ鏡筒１２０から出射される。
【００２８】
射出された反射光２５０は補助レンズ２４０を通過してコリメートレンズ２３０へと戻る。このとき、撮像素子１１０が傾斜していると、反射光２５０はコリメートレンズ２３０には戻らず、受光部２６０で受光される。この受光の有無によって、撮像素子１１０が傾斜しているかどうかを測定する。
【００２９】
＜３．補助レンズ２４０の配置と構成について＞
次に、補助レンズ２４０の配置と構成について説明する。
【００３０】
図１および図２において、正のパワーを有する光学系１３０を第１光学系とし、補助レンズ２４０を第２光学系とすると、撮像素子１１０側からの入射光によって規定される第１光学系の焦点と、被写体側からの入射光によって規定される第２光学系の焦点を一致させるように、レンズ鏡筒１２０の光軸上に第２光学系を配置する。
【００３１】
具体的には、例えば、図１に示すように、補助レンズ２４０に凸レンズを使用する場合、図３に示すように、補助レンズ２４０に入射する平行光が屈折されて集光する焦点と、正のパワーを有する光学系１３０の焦点を一致させる。このように配置すると、補助レンズ２４０で屈折され、焦点に集光した測定光２１０は、焦点を基準にして再び広がり（発散し）、正のパワーを有する光学系１３０から平行光が射出される。
【００３２】
また、例えば、図２に示すように、補助レンズ２４０に凹レンズを使用する場合、図４に示すように、補助レンズ２４０に入射する平行光は、補助レンズ２４０の焦点から広がる方向へと屈折される。この焦点と、正のパワーを有する光学系１３０の焦点を一致させる。このように配置すると、補助レンズ２４０で屈折されて広がった測定光２１０は、正のパワーを有する光学系１３０から平行光となって射出される。
【００３３】
受光部２６０に反射光２５０が受光されないように撮像素子１１０の角度を調整すれば、レンズ鏡筒１２０に対して撮像素子１１０が規定の位置に配置され、解像性能を向上できる。
【００３４】
＜４−１．凸レンズの機能を有する補助レンズ２４０の詳細構成について＞
次に、凸レンズの機能を有する補助レンズ２４０の詳細構成について説明する。
【００３５】
図１、図３に示すように、凸レンズの機能を有する補助レンズ２４０に入射された測定光２１０は焦点に集光し、再び広がって正のパワーを有する光学系１３０に入射される。補助レンズ２４０の焦点を正のパワーを有する光学系１３０の焦点と一致するように配置すれば、正のパワーを有する光学系１３０から出射される測定光２１０は平行光となる。そのため、被測定面である撮像素子１１０に平行光を入射できる。
【００３６】
このとき、反射光２５０については次の通りである。
【００３７】
撮像素子１１０が正常に取り付けられ、撮像素子１１０に傾きがない場合、図３に示すように、撮像素子１１０で反射された反射光２５０は、測定光２１０の入射光路を通って正のパワーを有する光学系１３０、補助レンズ２４０を通過する。そして、コリメートレンズ２３０へと戻り、受光部２６０が反射光２５０を受光しない。すなわち、入射光路に対して反射光２５０が傾いていないと測定される。この結果、撮像素子１１０が正常に取り付いていることが認識される。
【００３８】
撮像素子１１０が傾いて取り付けられ、撮像素子１１０に傾きがある場合、図５に示すように、撮像素子１１０で反射された反射光２５０は、測定光２１０の入射光路と同じにならない。つまり、入射光路とは異なる光路（入射光路に対して傾いた光路）を通って正のパワーを有する光学系１３０、補助レンズ２４０を通過する。そして、受光部２６０が反射光２５０を受光する。すなわち、入射光路に対して反射光２５０が傾いていると測定される。この結果、撮像素子１１０が正常に取り付いていない（傾いている）ことが認識される。
【００３９】
＜４−２．凹レンズの機能を有する補助レンズ２４０の詳細構成について＞
次に、凹レンズの機能を有する補助レンズ２４０の詳細構成について説明する。
【００４０】
図２、図４に示すように、凹レンズの機能を有する補助レンズ２４０に入射した測定光２１０は広がり、正のパワーを有する光学系１３０に入射される。補助レンズ２４０の焦点が正のパワーを有する光学系１３０の焦点と一致するよう配置すれば、正のパワーを有する光学系１３０から出射される測定光２１０は平行光となる。そのため、被測定面である撮像素子１１０に平行光を入射できる。
【００４１】
このとき、反射光２５０については次の通りである。
【００４２】
撮像素子１１０が正常に取り付けられ、撮像素子１１０に傾きがない場合、図４に示すように、撮像素子１１０で反射された反射光２５０は、測定光２１０の入射光路を通って正のパワーを有する光学系１３０、補助レンズ２４０を通過する。そして、コリメートレンズ２３０へと戻り、受光部２６０が反射光２５０を受光しない。すなわち、入射光路に対して反射光２５０が傾いていないと測定される。この結果、撮像素子１１０が正常に取り付いていることが認識される。
【００４３】
撮像素子１１０が傾いて取り付けられ、撮像素子１１０に傾きがある場合、図６に示すように、撮像素子１１０で反射された反射光２５０は、測定光２１０の入射光路と同じにならない。つまり、入射光路とは異なる光路（入射光路に対して傾いた光路）を通って正のパワーを有する光学系１３０、補助レンズ２４０を通過する。そして、受光部２６０が反射光２５０を受光する。すなわち、入射光路に対して反射光２５０が傾いていると測定される。この結果、撮像素子１１０が正常に取り付いていない（傾いている）ことが認識される。
【００４４】
＜５．傾き測定方法およびそれを用いた傾き測定装置２００の使用例について＞
次に、傾き測定方法およびそれを用いた傾き測定装置２００の使用例について説明する。
【００４５】
例えば、デジタルカメラやデジタルムービ等の撮像装置１００の製造において、レンズ鏡筒１２０に取り付いている撮像素子１１０の傾きが、レンズ鏡筒１２０に対して正しく取り付いているかを検査する製品検査に使用できる。また、例えば、撮像素子１１０が、レンズ鏡筒１２０に対して正しく取り付いていない場合は、傾きを測定した後、撮像素子１１０の傾きを調整すればよい。したがって、撮像装置１００の製造方法や製造工程で使用できる。
【００４６】
＜本実施の形態のまとめ＞
上記構成により、撮像素子１１０側からの入射光によって規定される第１光学系の焦点と、被写体側からの入射光によって規定される第２光学系の焦点を一致させるように、レンズ鏡筒１２０の光軸上に第２光学系を配置するので、第２光学系を介して第１光学系に入射させた測定光２１０は、第１光学系から平行光として出射される。
【００４７】
これは、第２光学系に平行光である測定光２１０が入射されると、第２光学系の形状に応じて屈折して、測定光２１０が第２光学系から出射される。出射された測定光２１０は、焦点を基準に発散光となって第１光学系に入射される。第１光学系に入射された測定光２１０は、第１光学系の形状に応じて屈折して、平行光となって出射される。
【００４８】
すなわち、撮像素子１１０には、第１光学系から出射された平行光が当たるので、撮像素子１１０で反射される反射光２５０も平行光となる。
【００４９】
反射光２５０は、測定光２１０とは逆の順番で、第１光学系と第２光学系を通過し、第２光学系から平行光となって出射される。撮像素子１１０が傾いていると、第２光学系から出射される反射光２５０が第２光学系の光軸に対して傾くため、第２光学系から反射光２５０が出射した後の測定光２１０と反射光２５０のずれの量は、第２光学系からの距離によって変化する。
【００５０】
そのため、受光部２６０を第２光学系から適切な距離に設置すれば、レンズ鏡筒の光学系の焦点距離が短い場合であっても、測定光２１０と反射光２５０のずれの量を精度よく測定できる程に大きくすることができる。
【００５１】
このとき、第２光学系から出射される反射光２５０が平行光でなければ、第２光学系からの距離によって反射光２５０の光束径が変化してしまう。これは、受光部２６０の設置位置に対する制約となる。
【００５２】
しかしながら、本発明の構成では、第２光学系から出射される反射光２５０は平行光であるので、受光部２６０と第２光学系の距離が変化しても反射光２５０の光束径は変化しない。このため、受光部２６０は、必要な測定精度を満たすように自由に設置できる。
【００５３】
したがって、反射光２５０の位置ずれの有無を測定しやすくなり、撮像素子１１０の傾きを精度よく測定できる。
【００５４】
なお、反射光２５０の位置ずれの有無を測定することによって、撮像素子１１０が傾いているかだけでなく、撮像素子１１０の傾斜角度を具体的に算出することもできる。さらに、補助レンズ２４０として用いた第２光学系は、凸レンズのように正のパワーを有する光学系１３０としたり、凹レンズのように負のパワーを有する光学系１３０としたりすることもできる。設計に応じて自由に選択すればよい。
【００５５】
（他の実施の形態）
以下、他の実施の形態における傾き測定方法およびそれを用いた傾き測定装置について説明する。他の実施の形態における傾き測定方法およびそれを用いた傾き測定装置は、上述した実施の形態の一部を改良し、光路分岐手段を用いたものである。
【００５６】
＜６．光路を分岐する機能を有する光路分岐手段３００について＞
まず、光路を分岐する機能を有する光路分岐手段３００について説明する。
【００５７】
図７〜図１０に示すように、補助レンズ２４０とコリメートレンズ２３０の間に光路を分岐する機能を有する光路分岐手段３００を配置する。この光路分岐手段３００は、測定光２１０が光路分岐手段３００を介する以前の経路から反射光２５０を分離して、反射光２５０の位置ずれの有無を測定しやすくする光学系である。光路分岐手段３００の配置によって、レーザ光源２２０と独立して受光部２６０を設けられるので、装置の配置が容易となる。
【００５８】
＜６−１．１／４波長板３１０と偏光ビームスプリッタ３２０を使用する光路分岐手段３００の構成について＞
まず、１／４波長板３１０と偏光ビームスプリッタ３２０を使用する光路分岐手段３００の構成について説明する。図７に示すように、コリメートレンズ２３０から出射された測定光２１０を偏光ビームスプリッタ３２０、および、１／４波長板３１０に通過させて補助レンズ２４０に入射させる。補助レンズ２４０から正のパワーを有する光学系１３０、撮像素子１１０へと通過した測定光２１０は、撮像素子１１０面上で反射される。この反射光２５０は、再び、１／４波長板３１０へと戻り、１／４波長板３１０を通過した反射光２５０は偏光ビームスプリッタ３２０によって受光部２６０へと導かれる。
【００５９】
＜６−２．ハーフミラー３３０を使用する光路分岐手段３００の構成について＞
次に、ハーフミラー３３０を使用する光路分岐手段３００の構成について説明する。図８に示すように、コリメートレンズ２３０から出射された測定光２１０をハーフミラー３３０に通過させて補助レンズ２４０に入射させる。補助レンズ２４０から正のパワーを有する光学系１３０、撮像素子１１０へと通過した光は撮像素子１１０面上で反射される。この反射光２５０は、再びハーフミラー３３０へと戻り、受光部２６０へと導かれる。
【００６０】
＜６−３．一部を透過させる光路分岐手段３００の構成について＞
次に、一部を透過させる光路分岐手段３００の構成について説明する。図９に示すように、コリメートレンズ２３０から出射された測定光２１０はミラー３４０の透過部３５０を通過し、補助レンズ２４０に入射する。補助レンズ２４０から正のパワーを有する光学系１３０、撮像素子１１０へと通過した測定光２１０は撮像素子１１０面上で反射される。この反射光２５０は、再びミラー３４０へと戻る。撮像素子１１０が傾いている場合、反射部３６０に入射するので受光部２６０へと導かれる。
【００６１】
＜６−４．一部を反射させる光路分岐手段３００の構成について＞
次に、一部を反射させる光路分岐手段３００の構成について説明する。図１０に示すように、コリメートレンズ２３０から出射された測定光２１０はミラー３４０の反射部３６０で反射し、反射光２５０を補助レンズ２４０へと導く。補助レンズ２４０から正のパワーを有する光学系１３０、撮像素子１１０へと通過した測定光２１０は撮像素子１１０面上で反射される。この反射光２５０は、補助レンズ２４０、ミラー３４０の透過部３５０を通過して受光部２６０へと導かれる。
【００６２】
＜他の実施の形態のまとめ＞
このような他の実施の形態においても、上述した本実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、撮像素子の傾きを精度よく測定できるので、撮像素子の傾きを測定する測定方法や傾き測定装置に適用可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１００    撮像装置
１１０    撮像素子
１２０    レンズ鏡筒
１３０    光学系
１４０    撮像装置本体
２００    傾き測定装置
２１０    測定光
２２０    レーザ光源
２３０    コリメートレンズ
２４０    補助レンズ
２５０    反射光
２６０    受光部
３００    光路分岐手段
３１０    １／４波長板
３２０    偏光ビームスプリッタ
３３０    ハーフミラー
３４０    ミラー
３５０    透過部
３６０    反射部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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