(57)【要約】      （修正有）【課題】比較的狭いスペースにおいても、容易に移載作業を行うことを可能とする。【解決手段】搬送台車５００は、被搬送物６００を積載する積載部、及びこの下方に位置しておりステーション３００に設けられた入出庫部３１０を一の側方及び下方から囲うように収容する収容部を有し、一の側方を除く他の側方に向けて、少なくとも入出庫部及びこれに移載される被搬送物に対応する部分が開口された本体部５１０と、収容部の下方に設けられており入出庫部の下方に配置可能である走行手段５２０と、積載部の上方に設けられており、走行手段が入出庫部の下方に配置されると共に入出庫部が他の側方を介して収容部に収容された状態で、積載部に積載された被搬送物を入出庫部に移載する、又は入出庫部に載置された被搬送物を積載部に移載する移載手段５３０，５４０とを備える。【選択図】図１２
2011006244.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を搬送すると共に、ステーションから突出するように設けられており前記被搬送物を前記ステーションに入庫又は出庫する入出庫部に前記被搬送物を移載する、又は前記入出庫部から前記被搬送物を移載する搬送台車であって、
前記被搬送物を積載する空間である積載部、及び前記積載部の下方に位置しており前記入出庫部を一の側方及び下方から少なくとも部分的に囲うように収容する空間である収容部を有し、前記一の側方を除く他の側方に向けて、少なくとも前記入出庫部及び前記入出庫部に移載される前記被搬送物に対応する部分が開口された本体部と、
前記本体部における前記収容部の下方に設けられており、前記入出庫部の下方に配置可能である走行手段と、
前記本体部における前記積載部の上方に設けられており、前記走行手段が前記入出庫部の下方に配置されると共に前記入出庫部が前記他の側方を介して前記収容部に収容された状態で、前記積載部に積載された入庫すべき前記被搬送物を前記入出庫部に移載する、又は前記入出庫部から出庫された前記被搬送物を前記積載部に移載する移載手段と
を備えることを特徴とする搬送台車。
【請求項２】
前記移載手段は、
前記被搬送物を把持する把持手段と、
前記把持手段を昇降させる昇降手段と
を有することを特徴とする請求項１に記載の搬送台車。
【請求項３】
前記本体部における前記積載部の下方に設けられており、前記積載部に積載された前記被搬送物を下方側から支持することによって、前記被搬送物が前記積載部から落下することを防止する落下防止手段を更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送台車。
【請求項４】
前記落下防止手段は、前記収容部に設けられており、前記入出庫部を前記収容部に収容する際に、前記入出庫部を収容する妨げとならない位置に格納されることを特徴とする請求項３に記載の搬送台車。
【請求項５】
前記移載手段は、前記本体部に対して、水平に沿う方向で回転可能とされていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等の容器である被搬送物を、製造装置やストッカ等のステーションに搬送する搬送台車の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送台車が搬送する被搬送物として、例えば口径が３００ｍｍである半導体ウェハを複数枚収容可能なＦＯＵＰが開示されている（例えば、特許文献１参照）。こうしたＦＯＵＰに収容される半導体ウェハについて、半導体デバイスの製造コストを低減するべく、近年、大口径化が図られ、例えば口径が４５０ｍｍに促進されている。こうした半導体ウェハの大口径化に対応して、ＦＯＵＰが必然的に大型化及び大重量化すると、例えば、口径が３００ｍｍの場合に１０ｋｇであったＦＯＵＰの重量が、口径が４５０ｍｍの場合に２０ｋｇ以上となることが想定される。こうなると、作業員一人が、複数のステーションにおける複数の入出庫用ポート等の入出庫部間で、２０ｋｇ以上のＦＯＵＰを直接に持ち運ぶことは客観的に難しく思われる。
【０００３】
こうして大型化及び大重量化したＦＯＵＰを作業員に代わって搬送する、この種の搬送台車として、作業員の手動操作により制御されるＰＧＶ（Personal Guided Vehicle）が本格的に使用されつつある（例えば、特許文献２参照）。具体的には、作業員の手動操作に応じて、ＦＯＵＰを収容しているＰＧＶが製造装置やストッカにおける入出庫用ポートまで走行され、該入出庫ポートを介してストッカとの間でＦＯＵＰを移載する。即ち、ＦＯＵＰの入庫又は出庫が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１２３６７３号公報
【特許文献２】特許第４０９２７８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、典型的に、半導体製造用のクリーンルーム等の施設について、建設費用や運転費用が高額であるため、施設内にできる限り多くのステーションが設置される。このため、２つステーションにおいて、対向する２つの入出庫部間の通路幅が比較的狭い９０ｃｍ以下であると、一のＰＧＶがその通路に存在している場合に、作業員や他のＰＧＶの通行が妨げられてしまい兼ねない。即ち、移載中の搬送台車は、通路における障害物となってしまい、各種作業の効率低下を招き兼ねない旨の技術的問題点がある。
【０００６】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、比較的狭い通路或いはスペースにおいても作業や通行の妨げとなることなく、容易に移載作業を行うことが可能な搬送台車を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の搬送台車は上記課題を解決するために、被搬送物を搬送すると共に、ステーションから突出するように設けられており前記被搬送物を前記ステーションに入庫又は出庫する入出庫部に前記被搬送物を移載する、又は前記入出庫部から前記被搬送物を移載する搬送台車であって、前記被搬送物を積載する空間である積載部、及び前記積載部の下方に位置しており前記入出庫部を一の側方及び下方から少なくとも部分的に囲うように収容する空間である収容部を有し、前記一の側方を除く他の側方に向けて、少なくとも前記入出庫部及び前記入出庫部に移載される前記被搬送物に対応する部分が開口された本体部と、前記本体部における前記収容部の下方に設けられており、前記入出庫部の下方に配置可能である走行手段と、前記本体部における前記積載部の上方に設けられており、前記走行手段が前記入出庫部の下方に配置されると共に前記入出庫部が前記他の側方を介して前記収容部に収容された状態で、前記積載部に積載された入庫すべき前記被搬送物を前記入出庫部に移載する、又は前記入出庫部から出庫された前記被搬送物を前記積載部に移載する移載手段とを備える。
【０００８】
本発明の搬送台車によれば、例えば作業員が手動で操作を行うことにより、半導体ウェハ等を自動的に搬送する搬送システム上におけるステーションに対して、被搬送物が搬送され入庫される。或いは、ステーションから出庫された被搬送物が搬送台車に移載され、他のステーションに搬送される。尚、ここでの「ステーション」とは、被搬送物を保管するだけの単なる保管場所であってもよいし、被搬送物に対する各種作業を実行可能な作業ステーション、製造装置或いは処理装置、更に、入庫する箇所と出庫する箇所とが異なる被搬送物を多少の距離だけ搬送或いは移送する機能を併せ持つ装置や機構であってもよい。こうしたステーションは、被搬送物を内外で出し入れするための、ポート等の入出庫部を備える。典型的には、入出庫部は、その上面が床面から約９００ｍｍの高さに位置するように設けられている。入出庫部の上面には、移載される被搬送物を位置決めするための、ピン等の位置決め手段が設けられている。位置決め手段は、例えば２０ｍｍの高さの凸部であり、入出庫部に被搬送物が載置される際に、被搬送物の底面に設けられた凹部である被位置決め手段と嵌合可能に構成されている。このため、入出庫部から搬送台車に被搬送物が移載される際には、入出庫部側の凸部と被搬送物側の凹部との嵌合状態を解消するべく、被搬送物が少なくとも凸部の高さ分上昇されることとなる。
【０００９】
ステーションを有する搬送システムにおいては、例えば天井に敷設されたレール等の軌道上を走行する、ビークル、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）等の搬送車によって、ＦＯＵＰ等の被搬送物が搬送される。搬送車は、軌道に沿って設けられた複数のステーション間で被搬送物を搬送する。しかしながら搬送車は、例えば故障やメンテナンス等によりシステムの動作が停止している際に、被搬送物を搬送することができない。また、軌道が敷設されていない場所へは、被搬送物を搬送することができない。
【００１０】
他方で、搬送される被搬送物は、搬送する半導体ウェハ等の大口径化に伴い、大型化及び大重量化している。具体的には、例えば直径４５０ｍｍの半導体ウェハを搬送するためのＦＯＵＰは、縦５００ｍｍ×横５５０ｍｍ×高さ４００ｍｍとなり、重量は２０ｋｇ以上となってしまう。このため、作業員が１人でＦＯＵＰを抱えて自力で搬送することは極めて困難である。よって、上述したように、システムにおける搬送車が被搬送物を搬送できないような場合には、様々な不都合が生じる恐れがある。
【００１１】
しかるに本発明の搬送台車は、システムの動作に関係なく被搬送物を搬送することができる。即ち、搬送システムが停止している際でも、作業員が容易に搬送物を搬送することが可能となる。また、搬送元又は搬送先が軌道の敷設されていない場所であったとしても、被搬送物を搬送することが可能となる。
【００１２】
本発明の搬送台車は特に、被搬送物を積載する空間である積載部、及び積載部の下方に位置しており入出庫部を一の側方及び下方から少なくとも部分的に囲うように収容する空間である収容部を有し、一の側方を除く他の側方に向けて開口された本体部を備えている。尚、ここでの「側方」とは、搬送台車に対する前後左右の各方向（即ち、水平に沿う各方向）を含む概念であり、広義では上下方向を除く様々な方向を含む。この場合、例えば「一の側方」とは、入出庫部と対向する搬送台車に対する後方向（即ち、入出庫部から見て最も遠くに位置する側方）を示してもよい。これに対し、「他の側方」とは、入出庫部と対向する搬送台車に対する前左右の三方向（即ち、入出庫部から見て最も近くに位置する側方並びに左及び右の側方）を示してもよい。「下方」とは、搬送台車に対する下方向を示す。実用上、本体部は、積載すべき被搬送物を積載部に積載するべく、及び入出庫部を収容部に収容するべく、本体部内（即ち、積載部及び収容部）と本体部外とで被搬送物及び入出庫部を相通させるための開口を有している。即ち、本体部は、上述した前左右の三方向について、少なくとも入出庫部及び該入出庫部上の被搬送物に対応する部分に、開口を有していればよい。こうした開口を、積載すべき被搬送物及び入出庫部が通過し、夫々積載部及び収容部に積載又は収容されることとなる。本体部は、典型的にはコの字型とされることで、その内部に積載部及び収容部という比較的広い空間を有するように形成されている。本体部は、例えばパイプ状の骨組みが組み合わされたものであってもよいし、板状のものが組み合わされたものであってもよい。
【００１３】
本体部における収容部の下方には、例えば車輪、及び該車輪が回転可能に取り付けられた取り付け部等を備える走行手段が設けられており、作業員が押す或いは引く等の操作を行うことによって、搬送通路上を走行可能とされていると共に入出庫部の下方に配置可能とされている。即ち、走行手段の搬送通路床面からの高さは、例えば１００ｍｍ以下であり、入出庫部の底面と搬送通路床面との間の空間の高さより低くなっている。ここでの「収容部の下方」とは、収容部の直下又は該直下の周辺を含む概念であり、広義では収容部に収容されている入出庫部より下方を含む。尚、モータ等を備えることにより、電動で走行可能とされていてもよい。被搬送物が本体部における積載部に積載された状態で、搬送台車が走行させられることにより、被搬送物が搬送される。
【００１４】
本体部における積載部の上方には移載手段が設けられており、積載部に積載された入庫すべき被搬送物を入出庫部に移載する際には、走行手段が入出庫部の下方に配置され、且つ入出庫部が本体部における他の側方（即ち、開口）から収容部に収容された状態で移載動作が行われる。また、入出庫部から出庫された被搬送物を搬送台車の積載部に移載する際にも、同様に走行手段が入出庫部の下方に配置され、且つ入出庫部が本体部における他の側方を介して収容部に収容された状態で移載動作が行われる。入出庫部の収容の際には、本体部の開口から、入出庫部が本体部の内部へと収められる。尚、ここでの「収容」とは、入出庫部全体が本体部に覆われるような状態に限定されず、入出庫部が部分的に本体部によって囲われるような状態を含むものとする。本発明の搬送台車は特に、本体部における他の側方に向けて開口されている（即ち、本体部における三方向の側面が開口している）ことにより、上述した収容状態を保持しつつ、例えば、横幅が広い一の入出庫部に沿って、又は切れ目が無い複数の入出庫部間を水平一方向で往復移動可能とされている。
【００１５】
本体部における収容部に入出庫部が収容されることにより、搬送台車はステーション側に近付けられることになる。即ち、収容部が入庫部を収容する分、搬送台車が搬送通路等において占める面積を小さくすることができる。よって、被搬送物を移載する際に、搬送台車が、作業員や他の搬送台車の通行を妨げてしまうことを効果的に防止することが可能である。
【００１６】
本発明では更に、移載の際に搬送台車がステーション側に近付けられることで、被搬送物の好適な移載を実現している。例えば、仮に入出庫部を収容部に収容できない状態で移載を行う場合を考えると、移載手段には、被搬送物を移載するために昇降動作及び水平方向への動作が求められてしまう。しかるに本発明に係る搬送台車は、入出庫部を収容部に収容した状態で移載を行うことが可能とされているため、昇降動作のみで移載を行うことが可能である。即ち、搬送台車と被搬送物との互いの距離が縮められることによって、より容易に被搬送物を移載することが可能とされている。
【００１７】
以上説明したように、本発明の搬送台車によれば、本体部が入出庫部を収容する収容部を有しているため、比較的狭い通路或いはスペースにおいても作業や通行の妨げとなることなく、容易に移載作業を行うことが可能である。また、被搬送物の移載の際に、被搬送物は常時、本体部内に存在するため、移載を安定して行うことが可能である。従って、移載の際に被搬送物が本体部外に存在する場合と比較して、搬送台車本体を軽量に構成することも可能である。
【００１８】
更には、本体部が他の側方に向けての開口を有しているため、隣り合う２つの入出庫部間で被搬送物を移載する際に、２つの入出庫部に対して垂直方向に引く或いは押す等の操作を行う必要が無い。即ち、２つの入出庫部が並ぶ一方向に平行する水平一方向で往復移動することも可能であり、２つの入出庫部間の移載を短時間で効率的に行うことも可能となる。
【００１９】
本発明の搬送台車の一態様では、前記移載手段は、前記被搬送物を把持する把持手段と、前記把持手段を昇降させる昇降手段とを有する。
【００２０】
この態様によれば、移載手段には把持手段が有されており、把持手段が被搬送物を把持する又は把持している被搬送物を放すことにより移載が行われる。また移載手段には、把持手段に加えて昇降手段が有されており、被搬送物の移載が行われる際には、昇降手段によって把持手段が昇降（即ち、上下に移動）させられる。これにより、把持手段の高さを、被搬送物を移載するために適切な高さに調整することが可能となる。従って、確実に被搬送物を移載することができる。
【００２１】
本発明の搬送台車の他の態様では、前記本体部における前記積載部の下方に設けられており、前記積載部に積載された前記被搬送物を下方側から支持することによって、前記被搬送物が前記積載部から落下することを防止する落下防止手段を更に備える。
【００２２】
この態様によれば、本体部に落下防止手段が備えられており、積載部に積載された被搬送物が落下してしまうことが防止される。具体的には、落下防止手段は積載部の下方に設けられており、積載部に積載された被搬送物を下方側から支持することによって、被搬送物が積載部から落下してしまうことを防止する。尚、ここでの「支持」とは、積載された被搬送物を常時支えていることを意味するほか、落下しそうになった際に初めて支える状態となることを含む。即ち、落下防止手段は、積載部に積載された被搬送物に常に接触しているようなものであってもよいし、積載部から落下しようとする被搬送物を下方側で受け止めるようなものであってもよい。
【００２３】
落下防止手段を備えていることで、搬送中の被搬送物が落下してしまうことを防止することができるため、より好適に被搬送物を搬送することができる。特に、半導体ウェハのような衝撃に弱い精密な部材又は装置を搬送する際には、上述した効果は顕著に発揮される。
【００２４】
上述した落下防止手段を更に備える態様では、前記落下防止手段は、前記収容部に設けられており、前記入出庫部を前記収容部に収容する際に、前記入出庫部を収容する妨げとならない位置に格納されるように構成されてもよい。
【００２５】
このように構成すれば、落下防止手段が、積載部の下方に位置する収容部に設けられているため、搬送中に落下するおそれのある被搬送物を下方から支持することで、確実に落下を防止できる。また本態様では特に、落下防止手段は、入出庫部を収容部に収容する際に、入出庫部を収容する妨げとならない位置に格納される。落下防止手段は、例えばレバーやハンドル等の操作に応じて可動とされており、搬送台車を操作する作業員によって、格納された状態となる。また、収容部が収容されることを検知して、自動的に格納されるようにしてもよい。
【００２６】
落下防止手段が収容の際に格納されることにより、落下防止手段の存在によって入出庫部の収容を妨げられてしまうことを回避することができる。従って、より好適に搬送及び移載を行うことが可能となる。
【００２７】
本発明の搬送台車の他の態様では、前記移載手段は、前記本体部に対して、水平に沿う方向で回転可能とされている。
【００２８】
この態様によれば、移載手段を本体部に対して水平に沿う方向で回転させることによって、移載した被搬送物の向きを適宜変更することが可能である。即ち、搬送台車における本体部を回転させることなく、被搬送物の向きを変更することができる。
【００２９】
上述した構成では、例えば入出庫部から被搬送物を移載する際と、入出庫部に被搬送物を移載する際とで搬送台車の向きが異なっていても、被搬送物の向きを変えてしまうことなく移載を完了することができる。また、被搬送物を入出庫部から移載する際に、移載手段と被搬送物との向きが揃っていないと確実に移載できないような場合において、移載手段の向きを微調整することが可能である。即ち、より好適に移載動作を行うことが可能となる。
【００３０】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための最良の形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】搬送システムの全体構成を概略的に示す上面図である。
【図２】ステーションの具体的な構成を示す斜視図である。
【図３】第１実施形態に係る未積載時の搬送台車の構成を示す斜視図である。
【図４】第１実施形態に係る積載時の搬送台車の構成を示す斜視図である。
【図５】搬送台車における昇降部の具体的な構成を示す側面図（その１）である。
【図６】搬送台車における昇降部の具体的な構成を示す側面図（その２）である。
【図７】搬送台車における昇降部の具体的な構成を示す側面図（その３）である。
【図８】搬送台車における把持部の具体的な構成を示す部分拡大図（その１）である。
【図９】搬送台車における把持部の具体的な構成を示す部分拡大図（その２）である。
【図１０】搬送台車における把持部の具体的な構成を示す部分拡大図（その３）である。
【図１１】ＦＯＵＰを入庫する際の搬送台車及びステーションの位置関係について示す斜視図である。
【図１２】第１実施形態に係る搬送台車のＦＯＵＰ移載時の動作を示す側面図である。
【図１３】比較例に係る搬送台車のＦＯＵＰ移載時の動作を示す側面図である。
【図１４】ＦＯＵＰを出庫する際の搬送台車及びステーションの位置関係について示す斜視図である。
【図１５】第２実施形態に係る搬送台車における把持部の構成を示す斜視図である。
【図１６】第２実施形態に係る搬送台車の構成を示す斜視図である。
【図１７】第３実施形態に係る搬送台車の構成を示す側面図である。
【図１８】第３実施形態に係る搬送台車のＦＯＵＰ移載時の動作を示す側面図である。
【図１９】第４実施形態に係る搬送台車の構成を示す斜視図である。
【図２０】図２のステーションと異なるステーションの一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３３】
＜搬送システム＞
先ず、本実施形態に係る搬送台車によって搬送されるＦＯＵＰの移載先又は移載元であるステーションを含んで構成される搬送システムの構成について、図１及び図２を参照して説明する。ここに図１は、搬送システムの全体構成を概略的に示す上面図であり、図２は、ステーションの具体的な構成を示す斜視図である。
【００３４】
図１において、搬送システムは、軌道１００と、複数のビークル２００と、複数のステーション３００と、搬送通路４００とを備えて構成されている。
【００３５】
軌道１００は、例えば天井に敷設されており、アルミニウムやステンレス等の金属から構成される。尚、ここでは説明の便宜上、軌道１００の構成を比較的簡単なものとして図示しているが、実際の軌道１００は、例えばより多くの分岐箇所及び合流箇所を有するような、複雑な構成とされてもよい。
【００３６】
ビークル２００は、軌道１００に沿って夫々走行することで、半導体ウェハ等が収容されたＦＯＵＰを搬送する。即ち、ＦＯＵＰは、本発明の「被搬送物」の一例であり、半導体ウェハ等を内外に出し入れするための蓋部を有する本体部と、後述する搬送台車５００における把持部が把持可能であるフランジ部とから成る。ビークル２００は、軌道１００に吊下げられる形で取り付けられており、例えばリニアモータを動力として軌道１００上を走行する。ビークル２００の各々は、図示しないコントローラ等によって走行及び搬送等の動作が制御される。尚、ここでは説明の便宜上、軌道１００上にビークル２００ａ及びビークル２００ｂの２台しか図示していないが、典型的には、より多く（例えば数十台、或いは数百台）のビークル２００が備えられる。
【００３７】
ステーション３００は、軌道１００に沿って複数設けられている。図１におけるステーション３００は後述する入庫部３１０及び出庫部３２０に対応する２つの出入口を介して、ＦＯＵＰを出し入れすることが可能とされている。尚、ステーション３００は、主として、ＦＯＵＰに収容された半導体ウェハ等の部材に対し各種処理を施す製造装置や検査装置であり、従として、ＦＯＵＰを収容又は保管するストッカである。
【００３８】
図２において、ステーション３００は、突出するように設けられた入庫部３１０及び出庫部３２０を備えている。入庫部３１０は、例えばベルトコンベヤ等を有しており、搬送台車から移載されたＦＯＵＰをステーション３００に入庫する。この際、例えば、ステーション３００における出入口にＦＯＵＰの蓋部が当接する。すると、ステーション３００内部で駆動される移載用ロボットにより、ＦＯＵＰの蓋部が開放され、ＦＯＵＰ内部の半導体ウェハがステーション３００内部に取り込まれる。こうして、半導体ウェハに対し、ステーション３００における所定の処理が施される。出庫部３２０は、入庫部３１０と同様にベルトコンベヤ等を有しており、例えばステーション３００内部の移載用ロボットにより所定の処理済みの半導体ウェハが収容され蓋部が閉じられたＦＯＵＰを出庫する。この際に、該ＦＯＵＰを搬送台車へと移載可能な位置に移動させる。尚、ステーション３００に対し、半導体ウェハのみが出し入れされるのではなく、半導体ウェハを収容したＦＯＵＰごと出し入れされても構わない。入庫部３１０及び出庫部３２０は、図２に示すように別々に設けられなくともよい。即ち、入庫部３１０が出庫部３２０の機能を兼ねるように構成されていてもよい。また、入庫部３１０及び出庫部３２０は、１つのステーション３００に対して、夫々２つ以上設けられていてもよい。尚、入庫部３１０及び出庫部３２０は、夫々後述する搬送台車５００におけるローラが入り込み可能に、床面との間に所定の空間を隔てて設けられている。
【００３９】
尚、ここでは図示を省略しているが、ステーション３００には、上述した入庫部３１０及び出庫部３２０以外にも、ビークル２００に対してＦＯＵＰの入庫及び出庫を行う入庫部及び出庫部が備えられている。
【００４０】
図１に戻り、搬送通路４００は、搬送台車が走行するための通路であり、複数のステーション３００間に挟まれるように設けられている。搬送台車は、例えばシステムが停止しておりビークル２００が走行できない場合等において、この搬送通路４００を走行することによって、ＦＯＵＰの搬送を行う。また搬送通路４００は、上述した搬送以外にも、搬送システムのメンテナンス作業等を行う作業員の通路等としても機能する。
【００４１】
＜搬送台車＞
以下では、本実施形態に係る搬送台車について図３から図１８を参照して説明する。
【００４２】
＜第１実施形態＞
先ず、第１実施形態に係る搬送台車の構成について、図３及び図４を参照して説明する。ここに図３は、第１実施形態に係る未積載時の搬送台車の構成を示す斜視図であり、図４は、第１実施形態に係る積載時の搬送台車の構成を示す斜視図である。
【００４３】
図３において、第１実施形態に係る搬送台車５００は、本体部５１０と、ローラ５２０と、昇降部５３０と、把持部５４０とを備えて構成されている。
【００４４】
本体部５１０は、例えばアルミや鉄等の金属で構成されるフレームであり、一方向から視てコの字型の形状とされることで、その内部に比較的大きな空間を有している。本体部の内部の空間には、被搬送物であるＦＯＵＰを積載するための空間である積載部、並びにステーション３００における入庫部３１０及び出庫部３２０を収容するための空間である収容部が含まれている。本体部５１０は、入庫部３１０又は出庫部３２０と対向する側を前側方とした場合に、前後左右の四側方のうち前左右の三側方に向けて開口されている。
【００４５】
ローラ５２０は、本体部５１０の下部底面に取り付けられた４つのローラ部から成り、該４つのローラ部が取り付けられた本体部５１０の下部と共に本発明の「走行手段」の一例を構成する。ローラ５２０は、搬送通路４００ａ上を回転することで搬送台車５００を走行させることができる。尚、ここでのローラ５２０は、作業員が搬送台車５００を押す又は引く動作を行うことによって回転するように構成されているが、例えば電動モータ等によって回転されるように構成されてもよい。
【００４６】
昇降部５３０は、本発明の「昇降手段」の一例であり、後述する把持部５４０を本体部５１０に対して昇降させることが可能とされている。昇降部５３０による昇降動作によって、把持部５３０は、ＦＯＵＰを把持するための適切な高さに調整される。昇降部５３０の具体的な構成については後に詳述する。
【００４７】
把持部５４０は、本発明の「把持手段」の一例であり、ＦＯＵＰを把持することが可能とされている。把持部５４０によってＦＯＵＰが把持されることによって、搬送台車５００にＦＯＵＰが積載された状態となる。把持部５４０の具体的な構成については後に詳述する。
【００４８】
図４において、搬送台車５００に積載されたＦＯＵＰ６００は、図に示すように、把持部５４０に把持された状態で、本体部５１０の内部の空間に収容される。即ち、図中のＦＯＵＰ６００が収容されている空間が、本体部５１０における積載部であり、ＦＯＵＰ６００の下方に位置する空間が収容部である。収容部への入庫部３１０及び出庫部３２０の収容については、移載動作を説明する際に詳述する。
【００４９】
次に、上述した昇降部５３０の具体的な構成について、図５から図７を参照して説明する。ここに図５から図７は夫々、搬送台車における昇降部の具体的な構成を示す側面図である。
【００５０】
図５において、昇降部５３０は、例えば昇降ハンドル５３１ａと、昇降ピニオン５３１ｂと、昇降ラック５３１ｃとを備えて構成される。昇降の際には、作業員が昇降ハンドル５３１ａを操作することによって、昇降ピニオン５３１ｂが回転し、昇降ラック５３１ｃが上下に移動する。これによって、昇降ラック５３１ｃに取り付けられている把持部５４０が昇降させられる。
【００５１】
図６において、昇降部５３０は、昇降ハンドル５３２ａと、ベルト巻き取り部５３２ｂと、昇降ベルト５３２ｃとを備えるように構成されてもよい。この場合には、作業員が昇降ハンドル５３２ａを操作することによって、ベルト巻き取り部５３２ｂが回転し、昇降ベルト５３２ｃがベルト巻き取り部５３２ｂに巻き取られる、或いは巻き出される。これによって、昇降ベルト５３２ｃに取り付けられている把持部５４０が昇降させられる。
【００５２】
図７において、昇降部５３０は、昇降ハンドル５３３ａと、昇降駆動部５３３ｂと、昇降ベルト５３３ｃと、昇降支持部５３３ｄと、リニアガイド５３３ｅとを備えて構成されてもよい。この場合には、作業員が昇降ハンドル５３３ａを操作することによって、昇降駆動部５３３ｂが駆動される。昇降駆動部５３３ｂが駆動されることによって、昇降支持部５３３ｄは、リニアガイド５３３ｅに沿って上下に移動する。これによって、昇降ベルト５３２ｃを介して昇降支持部５３３ｄに取り付けられている把持部５４０が昇降させられる。
【００５３】
尚、ここで挙げた昇降部５３０の構成は一例に過ぎず、異なる構成を有する昇降部５３０を用いた場合でも、上述した本実施形態に係る搬送台車５００を実現することは可能である。
【００５４】
次に、上述した昇降部５３０によって駆動される把持部５４０の具体的な構成について、図８から図１０を参照して説明する。ここに図８から図１０は夫々、搬送台車における把持部の具体的な構成を示す部分拡大図である。
【００５５】
図８において、把持部５４０は、例えば回転駆動部５４１と、２つの接続板５４２ａ及び５４２ｃと、２つのグリップ部５４３ａ及び５４３ｂとを備えて構成される。ＦＯＵＰ６００を把持する際には、作業員が回転駆動部５４１に取り付けられたつまみ（図示せず）等を操作することにより、接続板５４２ａ及び５４２ｃが駆動され、それに伴ってグリップ部５４３ａ及び５４３ｂが開閉動作を行う。図８に示す構成では、回転駆動部５４１を右に回すことでグリップ部５４３ａ及び５４３ｂが開き、回転駆動部５４１を左に回すことでグリップ部５４３ａ及び５４３ｂが閉じる。
【００５６】
図９において、把持部５４０は、２つのガイド溝５４４ａ及び５４４ｂを有する回転駆動部５４１と、接続部５４５ａを有するグリップ部５４３ａ及び接続部５４５ｂを有するグリップ部５４３ｂとを備えて構成されてもよい。この場合、回転駆動部５４１に取り付けられたつまみ等が操作されることにより、接続部５４５ａ及び５４５ｂがガイド溝５４４ａ及び５４４ｂに沿って移動し、グリップ部５４３ａ及び５４３ｂが開閉動作を行う。図９に示す構成では、回転駆動部５４１を右に回すことでグリップ部５４３ａ及び５４３ｂが閉じ、回転駆動部５４１を左に回すことでグリップ部５４３ａ及び５４３ｂが開く。
【００５７】
図１０において、把持部５４０は、互いに噛合わされた４つの把持ピニオン５４６ａ、５４６ｂ、５４６ｃ及び５４６ｄと、２つのグリップ部５４７ａ及び５４７ｂとを備えて構成されてもよい。この場合、把持ピニオン５４６ａに取り付けられたつまみ等が操作されることにより、他の把持ピニオン５４６ｂ、５４６ｃ及び５４６ｄが回転し、グリップ部５４７ａ及び５４７ｂが開閉動作を行う。尚、図１０におけるグリップ部５４７ａ及び５４７ｂは、図８及び図９におけるグリップ部５４３ａ及び５４３ｂと異なり、回転運動によって開閉させられるため、形状が異なったものとなっている。図１０に示す構成では、把持ピニオン５４６ａを右に回すことでグリップ部５４７ａ及び５４７ｂが開き、把持ピニオン５４６ａを左に回すことでグリップ部５４７ａ及び５４７ｂが閉じる。
【００５８】
尚、ここで挙げた把持部５４０の構成は一例に過ぎず、異なる構成を有する把持部５４０を用いた場合でも、上述した本実施形態に係る搬送台車５００を実現することは可能である。
【００５９】
次に、第１実施形態に係る搬送台車５００のＦＯＵＰ６００を移載する際の動作について、図１１から図１４を参照して説明する。ここに図１１は、ＦＯＵＰを入庫する際の搬送台車及びステーションの位置関係について示す斜視図であり、図１２は、第１実施形態に係る搬送台車のＦＯＵＰ移載時の動作を示す側面図である。また図１３は、比較例に係る搬送台車のＦＯＵＰ移載時の動作を示す側面図であり、図１４は、ＦＯＵＰを出庫する際の搬送台車及びステーションの位置関係について示す斜視図である。尚、図１１から図１４では、説明の便宜上、図３及び図４等に示した搬送台車の詳細な部材を適宜省略して図示しており、以降の図についても同様とする。
【００６０】
図１１及び図１２において、第１実施形態に係る搬送台車５００におけるＦＯＵＰ６００の入庫時には、ローラ５２０及び本体部５１０下部が入庫部３１０下方の空間に入り込むと共に、搬送台車５００の収容部に、入庫部３１０が収容された状態となる。即ち、搬送台車５００の本体部５１０が、入庫部３１０を一側方（即ち、図１１における本体部５１０の前部）及び下方（即ち、図１１における本体部５１０の下部）から囲うような状態となる。積載されたＦＯＵＰ６００を入庫部３１０に移載する際には、図１２に示すように、昇降部５３０が駆動されることによって把持部５４０が下降し、入庫部３１０上にＦＯＵＰ６００が置かれる。尚、移載を行う際には、ローラ５２０はストッパ等によって回転しないように固定される。
【００６１】
図１３において、仮に入庫部３１０を収容できない搬送台車５００ａでＦＯＵＰ６００移載を行う場合を考えると、入庫部３１０を収容できない分、搬送台車５００ａは搬送通路４００におけるスペースを大きく占めてしまう。この結果、搬送通路４００における搬送台車５００ａを操作する作業員のスペースや、他の作業で搬送通路４００を通行しようとする作業員のスペースは極端に制限されてしまう。従って、上述したような場合には、作業効率の低下等の実践上の様々な不都合が生じてしまうおそれがある。
【００６２】
これに対し本実施形態に係る搬送台車５００は、図１１及び図１２に示したように、搬送台車５００の本体部５１０に入庫部３１０が収容されるため、搬送通路４００のスペースを十分に保つことができる。従って、比較的狭いスペースにおいても好適に移載動作を行うことが可能である。
【００６３】
また、図１３で示すような場合、搬送台車５００ａにおける把持部５４０には、昇降部５３０による昇降動作に加えて、アーム５５０による水平方向への動作が求められてしまう。これに対しても、本実施形態に係る搬送台車５００は、入庫部３１０を収容した状態でＦＯＵＰ６００を移載することが可能とされているため、昇降部５３０における昇降動作さえ可能であれば、アーム５５０による水平方向への動作は行わずともよい。よって、比較的簡易な構成でＦＯＵＰ６００の移載を安定して実現することができる。また、アーム５５０による水平方向への動作が省略される分、ＦＯＵＰ６００の移載に要する時間も短縮することが可能である。
【００６４】
図１４において、第１実施形態に係る搬送台車５００におけるＦＯＵＰ６００の出庫時には、ローラ５２０及び本体部５１０下部が入庫部３２０下方の空間に入り込むと共に、搬送台車５００の収容部に、出庫部３２０が収容された状態となる。即ち、搬送台車５００の本体部５１０が、出庫部３２０を一側方（即ち、図１４における本体部５１０の前部）及び下方（即ち、図１４における本体部５１０の下部）から囲うような状態となる。よって、図１１及び図１２で示した入庫の際と同様に、好適にＦＯＵＰ６００を移載することが可能となる。
【００６５】
以上説明したように、第１実施形態に係る搬送台車５００によれば、本体部５１０が入庫部３１０及び出庫部３２０を収容する収容部を有しているため、比較的狭い通路或いはスペースにおいても作業や通行の妨げとなることなく、容易に移載作業を行うことが可能である。また、ＦＯＵＰの移載の際に、ＦＯＵＰは常時、本体部５１０内に存在するため、移載を安定して行うことが可能である。従って、移載の際にＦＯＵＰが本体部５１０外に存在する場合と比較して、搬送台車５００本体を軽量に構成することも可能である。
【００６６】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態に係る搬送台車について、図１５及び図１６を参照して説明する。ここに図１５は、第２実施形態に係る搬送台車における把持部の構成を示す斜視図であり、図１６は、第２実施形態に係る搬送台車の構成を示す斜視図である。尚、第２実施形態は、上述の第１実施形態と比べて把持部の構成が異なり、その他の構成等については概ね同様である。このため第２実施形態では、第１実施形態と異なる部分について詳細に説明し、その他の重複する部分については適宜説明を省略する。また、図１５及び図１６では、図３及び図４等に示した第１実施形態に係る構成要素と同様の構成要素に同一の参照符合を付している。
【００６７】
図１５において、第２実施形態に係る搬送台車５００は、把持部５４０が図に示すような形状として形成されており、第１実施形態に係る把持部５４０（図８から図１０参照）のように、把持部５４０自体に駆動箇所が設けられていない。このような把持部５４０でＦＯＵＰ６００を把持する際には、把持部５４０が水平方向に（即ち、図中の矢印の方向に）スライドさせられることで、ＦＯＵＰ６００における取手部分と本体部分との隙間に、把持部５４０の一部がはめ込まれる。
【００６８】
図１６において、第２実施形態に係る搬送台車５００は、上述したように、把持部５４０自体に駆動箇所を設けなくともよいため、比較的簡単な構成で実現することが可能である。即ち、把持部５４０を昇降させる昇降部５３０が設けられていれば、確実にＦＯＵＰ６００を移載することが可能である。
【００６９】
ＦＯＵＰ６００を積載する際には、搬送台車５００がローラ５２０によって移動させられることによって、把持部５４０がＦＯＵＰ６００を把持する状態とされる。より具体的には、先ず昇降部５３０によって、ＦＯＵＰ６００と把持部５４０との互いの高さが調整された後、ローラ５２０によって搬送台車５００がＦＯＵＰ６００側に走行し、ＦＯＵＰ６００を把持する。そして、昇降部５３０によって、把持部が上昇させられることで、ＦＯＵＰ６００は搬送台車５００に積載された状態となる。尚、積載したＦＯＵＰ６００を入庫する際には、上述した動作と逆の動作が行われることで、確実にＦＯＵＰ６００をステーション３００に移載することが可能である。
【００７０】
以上説明したように、第２実施形態に係る搬送台車５００によれば、搬送台車の構成を、より簡単なものとすることができる。
【００７１】
＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態に係る搬送台車について、図１７及び図１８を参照して説明する。ここに図１７は、第３実施形態に係る搬送台車の構成を示す側面図であり、図１８は、第３実施形態に係る搬送台車のＦＯＵＰ移載時の動作を示す側面図である。尚、第３実施形態は、上述の第１及び第２実施形態と比べて落下防止部を備える点で異なり、その他の構成等については概ね同様である。このため第３実施形態では、第１及び第２実施形態と異なる部分について詳細に説明し、その他の重複する部分については適宜説明を省略する。また、図１７及び図１８では、図１１等に示した第１実施形態に係る構成要素と同様の構成要素に同一の参照符合を付している。
【００７２】
図１７において、第３実施形態に係る搬送台車５００は、上述した第１及び第２実施形態の構成に加えて、積載されたＦＯＵＰ６００の落下を防止するための落下防止部５６０を備えて構成されている。
【００７３】
落下防止部５６０は、本発明の「落下防止手段」の一例であり、本体部５１０における積載部の下方に設けられている。落下防止部５６０は、例えば板状の部材として形成されており、積載されたＦＯＵＰ６００を下方側から支持することによって落下を防止する。
【００７４】
図１８において、落下防止部５６０は、入庫部３１０又は出庫部３２０を収容部に収容する際に、収容の妨げとならない位置に格納される。具体的には、落下防止手部５４０は、例えばレバーやハンドル等の操作に応じて可動とされており、ＦＯＵＰ６００を移載する際には、図に示すように入庫部３１０と接触しないような位置に格納された状態となる。
【００７５】
落下防止部５６０が収容の際に格納されることにより、落下防止部５６０の存在によって入庫部３１０又は出庫部３２０の収容が妨げられてしまうことを回避することができる。従って、より好適に搬送及び移載を行うことが可能となる。
【００７６】
以上説明したように、第３実施形態に係る搬送台車５００によれば、落下防止部５６０を備えていることで、搬送中のＦＯＵＰ６００が落下してしまうことを防止することができる。特に、半導体ウェハのような衝撃に弱い精密な部材又は装置を搬送する際には、上述した効果は顕著に発揮される。
【００７７】
＜第４実施形態＞
次に、第４実施形態に係る搬送台車について、図１９を参照して説明する。ここに図１９は、第４実施形態に係る搬送台車の構成を示す斜視図である。尚、第４実施形態は、上述の各実施形態と比べて移載したＦＯＵＰを回転可能な点が異なり、その他の構成等については概ね同様である。このため第４実施形態では、第１から第３実施形態と異なる部分について詳細に説明し、その他の重複する部分については適宜説明を省略する。また、図１９では、図１及び図４等に示した第１実施形態に係る構成要素と同様の構成要素に同一の参照符合を付している。
【００７８】
図１９において、第４実施形態に係る搬送台車５００は、昇降部５３０及び把持部５４０を回転可能とするためのターンテーブル５７０を備えて構成されている。ターンテーブル５７０は、水平方向に沿って回転可能とされており、昇降部５３０及び把持部５４０の向き（即ち、把持部５４０に把持されたＦＯＵＰの向き）を変更することが可能である。
【００７９】
以上説明したように、第４実施形態に係る搬送台車５００によれば、ターンテーブル５７０を備えることによって、より好適にＦＯＵＰ４００の移載動作を行うことが可能である。
【００８０】
尚、上述した第１から第４実施形態の搬送台車５００は、入庫部３１０及び出庫部３２０を備えるステーション３００との間のＦＯＵＰの移載（言い換えれば、入庫及び出庫）に適応されるが、ステーションの形態はこれに限られない。
【００８１】
図２０は、図２のステーションと異なるステーションの一例を示す斜視図である。図２０において、ステーション１３００は、４つのＦＯＵＰを夫々独立して入庫又は出庫可能な、切れ目の無い４つの入出庫部１３１０ａ〜１３１０ｄを備える。こうしたステーション１３００に対し、搬送台車５００に搬送されるＦＯＵＰを入庫する際には、上述した各実施形態と同様にして、先ずローラ５２０及び本体部５１０下部が第１入出庫部１３１０ａ下方の空間に入り込むと共に、搬送台車５００の収容部に第１入出庫部１３１０ａが収容された状態となる。この後、ステーション１３００における第２入出庫部１３１０ｂ上のＦＯＵＰを出庫する際には、４つの入出庫部１３１０ａ〜１３１０ｄが並ぶ一方向に平行する水平一方向（即ち、図２０における左右方向）に本体部５１０が移動して、ローラ５２０及び本体部５１０下部が第２入出庫部１３１０ｂ下方の空間に入り込むと共に、搬送台車５００の収容部に第２入出庫部１３１０ｂが収容された状態となる。このような搬送台車５００の水平一方向への移動は、入出庫部１３１０に対向する本体部５１０が前左右の三側方に向けて開口されていることにより実現される。即ち、搬送台車５００を入出庫部１３１０に対して垂直方向に引く或いは押す等の操作を行わずに、隣り合う複数の入出庫部１３１０ａ〜１３１０ｄ間を水平一方向で往復移動可能とされている。
【００８２】
以上説明したように、本体部５１０について、前左右の三側方が開放されているため、隣り合う複数の入出庫部間でＦＯＵＰを移載する際に、隣り合う複数の入出庫部が並ぶ一方向に平行する水平一方向で往復移動することが可能であり、隣り合う複数の入出庫部との間で行うＦＯＵＰの移載を短時間で効率的に行うことが可能となる。
【００８３】
本発明は、上述した第１から第４実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送台車もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００８４】
１００…軌道、２００…ビークル、３００…ステーション、３１０…入庫部、３２０…出庫部、４００…搬送通路、５００…搬送台車、５１０…本体部、５２０…ローラ、５３０…昇降部、５３１ａ，５３２ａ，５３３ａ…昇降ハンドル、５３１ｂ…昇降ピニオン、５３１ｃ…昇降ラック、５３２ｂ…ベルト巻き取り部、５３２ｃ，５３３ｃ…昇降ベルト、５３３ｂ…昇降駆動部、５３３ｄ…昇降支持部、５３３ｅ…リニアガイド、５４０…把持部、５４１…回転駆動部、５４２…接続板、５４３、５４７…グリップ部、５４４…ガイド溝、５４５…接続部、５４６…把持ピニオン、５５０…アーム、５６０…落下防止部、５７０…ターンテーブル
【図１】
2011006244.tif 000003
【図２】
2011006244.tif 000004
【図３】
2011006244.tif 000005
【図４】
2011006244.tif 000006
【図５】
2011006244.tif 000007
【図６】
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【図７】
2011006244.tif 000009
【図８】
2011006244.tif 000010
【図９】
2011006244.tif 000011
【図１０】
2011006244.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2011006244.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
2011006244.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
2011006244.tif 000018
【図１７】
2011006244.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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