(57)【要約】【課題】加工装置の回転装置の回転角度を容易に精度よく測定することができるとともに、測定時間の短縮と作業コストの削減を可能にする回転装置の回転角度測定装置及び回転角度測定方法を提供することを目的としている。【解決手段】回転角度測定装置１は、加工装置のテーブル２の上に設けられたエンコーダ取付台３と、このエンコーダ取付台３に載置されたエンコーダ４と、エンコーダ４に取り付けられたＶブロック取付台５上に載置されたＶブロック６と、回転装置７に取り付けられたボールプランジャ取付台８に設置されたボールプランジャ９、偏芯変位計１０及び偏角変位計１１と、回転角度指令装置１２（加工機の制御装置）から回転装置７に指令された回転角度を検出する検出部１３と、エンコーダ４、偏芯変位計１０、偏角変位計１１及び検出部１３からの出力信号を処理する演算装置１４とで構成されている。【選択図】図１
2011203064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転装置を有する加工機の前記回転装置に指令された回転角度を検出する検出部と、
前記回転装置の回転角度を測定するエンコーダと、
前記回転装置及び前記エンコーダの回転軸のいずれか一方の回転軸に取り付けられたボールプランジヤと、
他方の回転軸に取り付けられ、前記ボールプランジャの先端部が当接されるＶブロックと、
前記指令された回転角度と前記エンコーダにより測定された回転角度とにより、前記回転装置の回転角度の精度を算出する演算装置と、を備えたことを特徴とする回転装置の回転角度測定装置。
【請求項２】
前記ボールプランジャの中心軸は、前記回転装置の回転軸もしくは前記エンコーダの回転軸から離れた位置にあることを特徴とする請求項１に記載の回転装置の回転角度測定装置。
【請求項３】
前記Ｖブロックの谷線が、前記エンコーダの回転軸と交差するように配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の回転装置の回転角度測定装置。
【請求項４】
前記ボールプランジャが、その中心軸と前記回転装置の回転軸とが平行を保って移動可能であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の回転装置の回転角度測定装置。
【請求項５】
前記ボールプランジャは取付台に取り付けられ、その取付台には、前記エンコーダの回転軸に対する前記回転装置の回転軸の偏芯量を検出する偏芯変位計及び前記エンコーダの回転軸に対する前記回転装置の回転軸の偏角量を検出する偏角変位計の両方もしくは一方が取り付けられ、検出された前記偏芯量及び前記偏角量の両方もしくは一方を参照して、前記回転装置の回転角度の精度を算出することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の回転装置の回転角度測定装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかにより算出された前記回転装置の回転角度の精度の測定結果から、前記回転装置の回転角度を補正することを特徴とする回転装置の回転角度測定装置。
【請求項７】
回転装置を有する加工機の制御装置により前記回転装置に回転角度が指令され、エンコーダにより前記回転装置の回転角度を測定する際に、前記回転装置及び前記エンコーダの回転軸のいずれか一方の回転軸に取り付けられたボールプランジヤに、他方の回転軸に取り付けられたＶブロックが当接されて、前記指令された回転角度と前記エンコーダにより測定された回転角度とにより前記回転装置の回転角度の精度を算出することを特徴とする回転装置の回転角度測定方法。
【請求項８】
前記ボールプランジャには、前記エンコーダの回転軸に対する前記回転装置の回転軸の偏芯量を検出する偏芯変位計及び前記エンコーダの回転軸に対する前記回転装置の回転軸の偏角量を検出する偏角変位計の両方もしくは一方が取り付けられ、検出された前記偏芯量及び前記偏角量の両方もしくは一方を参照して、前記回転装置の回転角度の精度を算出し、回転角度を補正することを特徴とする請求項７に記載の回転装置の回転角度測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削加工工具、レーザ加工ヘッド、測定ヘッド、組立マニピュレータなどを移動させる加工機やロボットなどの位置決めに用いる回転装置において、その回転移動軸の位置決め精度を評価する回転装置の回転角度測定装置及び回転角度測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
切削複合加工機や、レーザ加工機、測定・組立ロボットなどでは、被加工物等をテーブルや盤面に固定し、各軸の移動および回転により、切削、溶断、溶接、測定、組立などの作業が行われる。このような加工機などにおける位置決め装置では、各軸の移動精度は、仕様値が決められており、この仕様値を満たすよう出荷時に検査がなされる。また、この仕様値は使用期間中において保たれる必要がある。しかし、長期の使用による軸の消耗や破損等の異常、取り付け時や交換時の取り付け不良、または重量や抵抗負荷による変形等の様々な要因により移動精度に問題が発生する場合があり、この問題を検査、修正するために、各軸は、定期的または適宜、精度測定が実施される。
【０００３】
従来、回転装置の回転移動軸の回転角度を測定する方法としては、エンコーダと、エンコーダの摺動抵抗の大きさに対応する外径と長さとを有する取付シャフトと、回転角度誤差（精度）を算出する演算部とを備えた角度割り出し精度測定装置（回転角度測定装置）が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
特許文献１に記載されている角度割り出し精度測定装置においては、まず、エンコーダの回転する中心部に取付シャフトを嵌合させ、次に、取付シャフトの他端を回転装置の回転軸に同軸把持する。これにより、エンコーダの回転中心と、回転装置の回転中心とを一致させることができる。最後に、エンコーダの外周部を加工機に固定する。この測定の際に、エンコーダの回転摺動抵抗により発生する取付シャフトの変形が規定値以上とならないように、その外径と長さを調整することにより、その強度が保たれている。これにより、回転装置において実際に回転した回転角度が、エンコーダへ精密に伝達され、高い再現性と精度で測定することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２８１４６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１の角度割り出し精度測定装置においては、取付シャフトの中心軸をエンコーダの回転軸に一致させて取り付け（偏芯及び偏角のない状態）、さらに、取付シャフトの他端を、加工機の回転装置の回転軸に一致させて取り付ける必要があり、この取付調整作業には、多大の時間が必要とされるという問題点があった。また、高い測定精度が求められる場合には、高度な技術が要求されるという問題点があった。
【０００７】
また、実際には２つの回転軸の完全に一致させることは困難であり、偏芯・偏角ともにゼロにすることは難しい。この状態で回転移動させると、エンコーダの軸受け等に回転に同期した応力（変形）が作用し、測定誤差が発生する。場合によっては、軸受け等が破損するという問題点もあった。
【０００８】
本発明は、上記のような問題を解決しようとするものであり、加工機の回転装置の回転角度を容易に精度よく測定することができるとともに、測定時間の短縮と作業コストの削減を可能にする回転装置の回転角度測定装置及び回転角度測定方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の回転装置の回転角度測定装置は、回転装置を有する加工機の前記回転装置に指令された回転角度を検出する検出部と、前記回転装置の回転角度を測定するエンコーダと、前記回転装置及び前記エンコーダの回転軸のいずれか一方の回転軸に取り付けられたボールプランジヤと、他方の回転軸に取り付けられ、前記ボールプランジャの先端部が当接されるＶブロックと、前記指令された回転角度と前記エンコーダにより測定された回転角度とにより、前記回転装置の回転角度の精度を算出する演算装置と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の回転装置の回転角度測定方法は、回転装置を有する加工機の回転角度指令装置により前記回転装置に回転角度が指令され、エンコーダにより前記回転装置の回転角度を測定する際に、前記回転装置及び前記エンコーダの回転軸のいずれか一方の回転軸に取り付けられたボールプランジヤに、他方の回転軸に取り付けられたＶブロックが当接されて、前記指令された回転角度と前記エンコーダにより測定された回転角度とにより前記回転装置の回転角度の精度を算出することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る回転装置の回転角度測定装置及び回転角度測定方法によれば、回転装置と回転角度測定装置とを固定する必要がなく、このため、高度の調整技術を必要とせず、高い精度で回転角度を測定することができる。また、軸受を破損することなく測定が可能で、測定作業時間を短縮することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態１における回転装置の回転角度測定装置の構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】実施の形態１における回転装置の回転角度測定装置のＶブロックとボールプランジャの先端部の拡大斜視図である。
【図３】２つの回転軸の偏芯と偏角の関係を示す図である。
【図４】実施の形態１における回転装置の回転角度測定方法の手順を示す図である。
【図５】実施の形態１における回転装置の回転角度測定装置のＶブロックの形状を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態に係る回転装置の回転角度測定装置について図１〜図５に基づいて説明する。
【００１４】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１における回転装置の回転角度測定装置の構成を模式的に示す斜視図である。図２は、回転装置の回転角度測定装置のＶブロックとボールプランジャの先端部の拡大斜視図である。
【００１５】
図１及び図２において、回転角度測定装置１は、加工機のテーブル２の上に設けられたエンコーダ取付台３と、このエンコーダ取付台３に載置されたエンコーダ４と、エンコーダ４のＸ軸方向の角度を調整する調整ネジ３Ｘ、エンコーダ４のＹ軸方向の角度を調整する調整ネジ３Ｙ、角度調整用の支点３Ｈと、エンコーダ４の回転軸４Ｃに取り付けられた
Ｖブロック取付台５と、Ｖブロック取付台５上に載置されたＶブロック６と、回転装置７の回転軸７Ｃに取り付けられたプランジャ取付台８と、プランジャ取付台８に設置されたボールプランジャ９と、偏芯変位計１０及び偏角変位計１１と、回転角度指令装置１２（加工機の制御装置）から回転装置７に指令された回転角度を検出する検出部１３と、エンコーダ４、偏芯変位計１０、偏角変位計１１及び検出部１３からの出力信号を処理する演算装置１４とで構成されている。
【００１６】
また、エンコーダ４は、調整ネジ３Ｘと調整ネジ３Ｙとにより、Ｘ軸とＹ軸方向の角度をそれぞれ移動調整される。ボールプランジャ９は、回転装置７の回転軸７Ｃと平行に移動可能で、ボールプランジャ９の先端球面部９Ｔは、Ｖブロック６のＶ溝部６ＶにＺ軸方向に一定の圧力にて当接され、偏芯変位計１０は、Ｖブロック取付台５の偏芯測定面５Ｌで、偏角変位計１１は、Ｖブロック取付台５の偏角測定面５Ｓで、それぞれ接触している。ここで、Ｖブロック６の谷線６Ｌは、その延長線上で、エンコーダ４の回転軸４Ｃと交差するように設定されている。ボールプランジャ９が押圧され、Ｖブロック６のＶ溝部６Ｖに当接された状態で、回転装置７の回転軸７Ｃが回転すると、回転装置７の回転運動がエンコーダ４に伝達され、エンコーダ４の回転軸４Ｃが回転される。
【００１７】
ここで、エンコーダ取付台３と、エンコーダ４と、Ｖブロック取付台５及びＶブロック６とその付属部品とで構成される部分をエンコーダユニット１５と称する。また、プランジャ取付台８と、ボールプランジャ９、偏芯変位計１０及び偏角変位計１１とその付属部品とで構成される部分をボールプランジャユニット１６と称する。また、検出部１３及び演算装置１４とで構成される部分を演算処理ユニット１７と称する。
【００１８】
実際の測定は、まず、回転角度指令装置１２から回転装置７に回転角度が指令されるとともに検出部１３を介して、演算装置１４に入力される。また、エンコーダ４が測定した実回転角度の信号が入力され、この基本となる２信号（実回転角度と指令回転角度）をもとに、演算装置１４は回転装置７の回転角度の誤差を算出する。さらに、演算装置１４は偏芯変位計１０から入力される偏芯量の信号と、偏角変位計１１から入力される偏角量の信号を参照して、偏芯と偏角による誤差分が算出され、実回転角度が補正される。これにより、加工機の位置決めに用いる回転装置において、その回転移動軸の位置決め精度を評価することができる。
【００１９】
図３に、回転装置７の回転軸７Ｃとエンコーダ４の回転軸４Ｃとの偏芯と偏角の関係を示す。偏芯とは、これら２つの回転軸の平行移動的ズレを云い、図３（ａ）にその偏芯量１８を、また、偏角とは、これら２つの回転軸の角度ズレを云い、図３（ｂ）にその偏角量１９を示す。回転装置７の回転角度の測定は、図３（ｃ）に示す偏芯、偏角のない状態で実施することが望ましい。
【００２０】
次に、実施の形態１における回転角度測定装置の動作について、図１、図２及び図４の動作手順を参照して説明する。
【００２１】
[取付と調整]
まず、エンコーダユニット１５をテーブル２に設置し、エンコーダ４の回転軸４Ｃを、回転装置７の回転軸７Ｃにおおよそ一致させる（ステップＳ１）。これは、加工機（図示せず）のＸ，Ｙ方向移動装置により、テーブル２を相対移動させることにより、容易に調整が可能である。
【００２２】
次に、ボールプランジャユニット１６を加工機の回転装置７に取り付ける（ステップＳ２）。この取付は、調整を必要としないので、容易に実施可能である。
【００２３】
さらに、ボールプランジャ９の先端部９Ｔの球面がＶブロック６に押し当てられる（ステップＳ３）。これは、加工機のＺ方向移動装置により、回転装置７を移動させることにより、容易に実施可能である。
【００２４】
図２に、ボールプランジャ９とＶブロック６との当接の状態の詳細を示す。偏芯変位計１０は、Ｖブロック取付台５の側面５Ｌの位置を検出するものである。また、偏角変位計１１は、Ｖブロック取付台５の上面５Ｓの位置を検出するものである。
【００２５】
回転装置７の回転軸７Ｃの回転は、ボールプランジャ９の先端部９Ｔの球面とＶブロック６のＶ溝部６Ｖとの当接を介してエンコーダ４の回転軸４Ｃに伝達される。Ｖブロック６の谷線６Ｌは、エンコーダ４の回転軸４Ｃに向いており、また、ボールプランジャ９の先端部９Ｔは、適切な押力でＶブロック６と当接されているので、回転軸７Ｃの回転において、回転方向の位置は、ボールプランジャ９の先端部９Ｔの球面がＶブロック６のＶ溝部６Ｖの２つの斜面との接触により制限されているので、回転装置７の回転軸７Ｃの回転が正確に伝達される。なお、Ｖブロック６の谷線６Ｌは、必ずしも厳密にエンコーダ４の回転軸４Ｃに向いていなくても、回転装置７の回転軸７Ｃの回転をエンコーダ４に正確に伝達することができる。
【００２６】
なお、エンコーダ４の回転軸４Ｃと回転装置７の回転軸７Ｃとが完全に一致していれば、回転軸４Ｃと回転軸７Ｃが回転しても、Ｖブロック６とボールプランジャ９の先端部９Ｔとの当接位置は相対的な変化がない。しかし、実際には、完全な一致は難しく、僅かに残存している偏芯と偏角に起因する極僅かな移動が発生する。この場合、回転軸７Ｃの回転中にＶブロック６とボールプランジャ９の先端部９Ｔの球面の当接位置にはズレが生じる。このズレは、球面が斜面を径方向（谷線６Ｌの方向）に滑って吸収するため、回転方向には誤差は発生しない。しかし、偏芯変位計１０とＶブロック取付台５の側面５Ｌとの接触位置と、偏角変位計１１とＶブロック取付台５の上面５Ｓとの接触位置の移動によって、接触面の凸凹が、偏芯変位計１０、偏角変位計１１の測定値に誤差を生じさせる。これは、偏芯変位計１０及び偏角変位計１１が移動すると想定されるＶブロック取付台５の接触面の範囲のみを高精度に平面加工しておけばよく、簡単な対策により回避することが可能である。また、回転伝達の際に、不要な応力も発生しないので、角度誤差を生じさせる変形も発生せず、エンコーダ４等が破損する可能性も低くなる。
【００２７】
[回転軸の調整]
回転装置７の回転軸７Ｃを回転させると、偏芯変位計１０の信号から、演算装置１４で偏芯量とその方向を算出することができる。その結果に基づいて、偏芯量１８がゼロとなるＸ，Ｙ移動量が算出され、加工機のＸ，Ｙ移動装置により、テーブル２を移動させて、エンコーダ４の回転軸４Ｃと回転装置７の回転軸７Ｃとの偏芯量１８ゼロとなるように調整される（ステップＳ４）。
【００２８】
また、回転装置７の回転軸７Ｃを回転させると、偏角変位計１１の信号から、演算装置１４で偏角量１９とその方向を算出することができる。その結果に基づいて、偏角量１９がゼロとなる角度量が算出され、エンコーダ４のＸ軸方向の角度を調整する調整ネジ３Ｘと、Ｙ軸方向の角度を調整する調整ネジ３Ｙとにより、エンコーダ４の回転軸４Ｃと回転装置７の回転軸７Ｃとの偏角量１９がゼロとなるように調整される（ステップＳ５）。
なお、このステップＳ４とステップＳ５とは同時に演算処理しても良い。
【００２９】
以上のように、実施の形態１での、エンコーダ４と回転装置７との偏芯と偏角の調整は、エンコーダユニット１５とボールプランジャユニット１６を取り付けてから回転軸４Ｃと回転軸７Ｃとを一致させる調整が可能である。このことから、回転角度測定装置１の取付作業に高精度は要求されないので、調整作業は簡便である。これに対して、従来法による回転軸調整では、十分に回転軸が一致されるまで調整した後に、エンコーダを回転装置に取り付けている。調整がされていないと回転軸に無理な応力が発生して、測定誤差が大きくなったり、エンコーダを破損したりするからである。このため、従来法では、取付作業に技術と時間を要するものであった。
【００３０】
[回転角度の測定]
まず、回転角度測定開始にあたって、回転装置７の回転軸７Ｃを回転原点（ゼロ度位置）に回転させ、エンコーダ４の値をリセットする。また、偏芯変位計１０、偏角変位計１１の値もそれぞれリセットする。続いて、回転角度指令装置１２により、回転装置７の回転軸７Ｃが、予め決められた回転角度に回転される。このとき、エンコーダ４による回転角度の測定値（実回転角度）の信号と、回転角度指令装置１２から指令された回転角度（検出部１３で検出される指令回転角度）の信号と、偏芯測定用の偏芯変位計１０で検出された測定値と偏角測定用の偏角変位計１１で検出された測定値の信号とが演算装置１４に入力（記憶）される（ステップＳ６）。この測定は、予め決められた回転角度と決められた回数だけ実施される（ステップＳ７）。全測定が完了したら、次の手順に移る。
【００３１】
[測定回転角度の演算処理]
これまで記憶された回転角度指令装置１２によって指令された指令回転角度、偏芯測定用の偏芯変位計１０によって得られた測定値、偏角測定用の偏角変位計１１によって得られた測定値をもとに、回転装置７の回転軸７Ｃの偏芯量１８とその方向、偏角量１９とその方向が演算装置により算出される（ステップＳ８）。
【００３２】
ステップＳ８で算出された値をもとに、エンコーダ４による回転角度の測定値である実回転角度を補正し、補正実回転角度を求める（ステップ９）。
【００３３】
さらに、補正実回転角度と指令回転角度をもとに、回転角度の誤差を求める（ステップ１０）。以上により、実施の形態１による回転装置の回転角度測定装置による角度測定動作が終了する。この結果、仕様値以上に回転角度誤差があった場合には、必要に応じて、調整、分解修理等を実施すればよい。
【００３４】
以上、説明したように、実施の形態１に係る回転装置の回転角度測定装置及び回転角度測定方法によれば、エンコーダと回転装置が直接連結固定されていないため、取付・調整作業がきわめて容易に行うことができるだけでなく、回転装置の回転角度がエンコーダへ精密に伝達され、エンコーダ性能を十分に引き出すことができるので、高い再現性と精度での回転装置の回転角度の測定が可能である。また、回転軸が完全に一致していなくて、応力（変形）の発生を小さく抑えることができ、測定誤差の発生が少ない。さらに、誤操作によるＸ，Ｙ移動においても回転角度測定装置もしくは加工機を故障させる可能性が低い。
【００３５】
図３に、実施の形態１に使用されるＶブロック６の形状例を示す。Ｖブロック６の形状としては、図３の（ａ）に示す、一般的なＶ溝部６Ｖの２つの斜面の角度が９０度のもの、図３の（ｂ）に示す、Ｖ溝部６Ｖの底が平面６Ｂのもの、図３の（ｃ）に示す、Ｖ溝部６Ｖの２つの斜面の角度が９０度以上のもの、図３の（ｄ）に示す、Ｖ溝部６Ｖの２つの斜面の角度が９０度以下のものなどがあるが、いずれも使用することができ、ボールプランジャ９の先端部９Ｔの球面がＶブロック６のＶ溝部６Ｖの２つの斜面に当接することができればよい。当接しない部分の形状は特に規定されるものではない。
【００３６】
なお、Ｖブロック６のＶ溝部６Ｖの斜面とボールプランジャ９の先端部９Ｔの球面とが当接する両面は、回転軸の完全な一致が困難であることから、僅かではあるが回転より回転以外の相対的な移動が発生する。このため、これらの当接面には、摺動により摩耗が発
生する。この対策としては、例えば、当接面を焼き入れして硬度を高くすればよい。これにより、当接による摩耗量が低減され、長期間にわたり高精度な回転角度測定が可能となる。
【００３７】
また、Ｖブロック６を、谷線６Ｌの方向へ精密直線移動可能な直動ガイドを介して、エンコーダ取付台３に固定しても良い。この場合当然、直動方向は回転軸４Ｃへ向かう径方向である。このような構成とすれば、回転軸の完全な一致が困難であることに起因して生じる僅かな相対変位は、Ｖブロック６とボールプランジャ９の先端部９Ｔの球面とが、谷線６Ｌ方向へ摺動移動するのではなく、直動ガイドの精密移動になる。つまり、当接面は相対的に動かないので、摺動が無くなり、摩耗量が低減され、長期間にわたり高精度な回転角度測定が可能となる。
【００３８】
このように、実施の形態１における回転装置の回転角度測定装置では、エンコーダに取り付けられたＶブロックと回転装置に取り付けられたボールプランジャの先端部とを当接させ、回転装置の回転角度をエンコーダに伝達させて、回転装置の回転角度誤差を算出することにより、回転角度測定装置の取付・調整作業がきわめて容易にできるだけでなく、回転装置とエンコーダとが直接連結、固定されていないので、回転軸が完全に一致していなくても、応力（変形）の発生を小さく抑えることができ、測定誤差の発生が少なく、高い再現性と精度で回転装置の回転角度を測定可能であるという顕著な効果がある。
【００３９】
なお、実施の形態１では、エンコーダユニット１５にＶブロック６を取り付け、回転装置７にボールプランジャ９を取り付ける場合について説明したが、逆に、エンコーダユニット１５にボールプランジャ９を取り付け、回転装置７にＶブロック６を取り付けるようにしても、実施の形態１と同様の効果が期待できる。加工機の状況に応じて、取り付け位置を選択すればよく、加工機に適した構成を採ればよい。
【００４０】
また、実施の形態１では、偏芯変位計１０及び偏角変位計１１をボールプランジャユニット１６に取り付ける場合について説明したが、偏芯変位計１０及び偏角変位計１１をエンコーダユニット１５に取り付けても、実施の形態１と同様の効果が期待できる。この場合には、信号線の配線をエンコーダユニット１５に集中させることができるため、配線の作業性が改善される。
【００４１】
また、偏芯変位計１０と偏角変位計１１とを、それぞれ別にエンコーダユニット１５とボールプランジャユニット１６に分けて取り付けてもよい。適用する加工機の回転装置に適した配置構成を採ればよい。
【００４２】
また、偏芯変位計１０を複数個、または、偏角変位計１１を複数個使用して、偏芯および偏角の測定精度を高め、実回転角度の補正をより正確に行うことも可能である。要求精度に合わせて、変位計の個数を選択すればよい。
【００４３】
また、本発明の回転装置においては、単に加工機の回転装置による移動位置決め精度を評価する回転角度測定装置及び回転角度測定方法として説明したが、具体的には、加工機としては、切削加工工具、レーザ加工ヘッド、測定ヘッド、組立マニピュレータなどを移動させる加工機やロボットなどの位置決め装置で、回転装置による位置決めをするものであれば、いずれの装置においても適用可能である。
【００４４】
また、図において、同一符号は、同一または相当部分を示す。
【符号の説明】
【００４５】
１  回転角度測定装置
４  エンコーダ
４Ｃ  エンコーダの回転軸
５  Ｖブロック取付台
６  Ｖブロック
６Ｌ  Ｖブロックの谷線
７  回転装置
７Ｃ  回転装置の回転軸
８  プランジャ取付台
９  ボールプランジャ
１０  偏芯変位計
１１  偏角変位計
１３  検出部
１４  演算装置
１５  エンコーダユニット
１６  ボールプランジャユニット
１７  演算処理ユニット                                      
【図１】
2011203064.tif 000003
【図２】
2011203064.tif 000004
【図３】
2011203064.tif 000005
【図４】
2011203064.tif 000006
【図５】
2011203064.tif 000007