(57)【要約】【課題】連続減圧（真空）浸炭炉の有する生産性を兼ね備えつつ、多品種少量生産に対応可能な減圧（真空）浸炭炉を、高い信頼性を維持し、且つ小スペースにて実現可能なセル式減圧（真空）浸炭炉の技術の提供を課題とする。【解決手段】不活性ガスが充満し、室内気圧が低温大気圧に保たれた搬送室５と、搬送室５に隣接配置され、被処理物５０の浸炭拡散処理が行われる浸炭拡散室９と、搬送室５に隣接配置され、被処理物５０を昇温する昇温室４と、搬送室５に隣接配置され、被処理物５０を降温する降温室６とを備え、昇温室４と搬送室５と降温室６とは、被処理物５０の搬送経路の上流側から下流側に向かって順に配設され、浸炭拡散室９は、被処理物５０の搬送経路の側方に配設され、昇温室４には、第一真空パージ手段が設けられるとともに、前記降温室６には第二真空パージ手段が設けられる。【選択図】図１
2011017040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
不活性ガスが充満し、室内気圧が低温大気圧に保たれた搬送室と、
前記搬送室に隣接配置され、被処理物の浸炭拡散処理が行われる浸炭拡散室と、
前記搬送室に隣接配置され、被処理物を昇温する昇温室と、
前記搬送室に隣接配置され、被処理物を降温する降温室と、
を備えるセル式減圧浸炭炉であって、
前記昇温室と搬送室と降温室とは、前記被処理物の搬送経路の上流側から下流側に向かって順に配設され、
前記浸炭拡散室は、被処理物の搬送経路の側方に配設され、
前記昇温室には、第一真空パージ手段が設けられるとともに、前記降温室には、第二真空パージ手段が設けられる、
ことを特徴とするセル式減圧浸炭炉。
【請求項２】
前記搬送室と昇温室との間、および前記搬送室と降温室との間には、断熱機能を有する扉が各々設けられ、
前記昇温室と、降温室と、の内部には不活性ガスが充満し、かつこれら昇温室と、降温室との室内気圧は、被処理物を処理する間、大気圧に保たれる、
ことを特徴とする、請求項１に記載のセル式減圧浸炭炉。
【請求項３】
前記第一真空パージ手段は、前記昇温室の前記搬送経路における搬送方向上流側に配置され、パージ機構を有する真空パージ室によって構成され、
前記第二真空パージ手段は、前記降温室の前記搬送経路における搬送方向下流側に配置され、パージ機構を有する焼入れ室によって構成され、あるいは、前記焼入れ室の前記搬送方向下流側に配置され、パージ機構を有する真空パージ室によって構成される、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のセル式減圧浸炭炉。
【請求項４】
前記浸炭拡散室と、前記搬送室と、の間における被処理物の搬送は、前記搬送室内に設置される搬送機構によって行われる、
ことを特徴とする、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のセル式減圧浸炭炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧下において被処理物に浸炭処理を行うセル式減圧浸炭炉の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、鉄鋼材料（被処理物）に施す表面硬化法の一つとして、浸炭処理が知られている。
前記浸炭処理とは、被処理物の表面に炭素（原子）を浸入・拡散させて該表面の炭素量を増し、その後焼入れ硬化を行うことで、被処理物の靭性を確保しつつ表面の耐磨耗性を向上させる方法である。
【０００３】
浸炭処理には浸炭剤としてガスを使用するガス浸炭法が知られており、従来から一度に大量の被処理物を浸炭処理できるなどの理由から、連続ガス浸炭炉による浸炭処理が多く行われている。
【０００４】
前記連続ガス浸炭炉は大量生産に適するものの、各工程を連続して一列に並設した構成からなるため、設備全体が大型化し設備費が嵩むばかりでなく、設備全体の熱放散面積が広く、エネルギー消費が大きいという難点があった。
また、連続ガス浸炭炉の構成上、異なる熱処理条件を必要とする被処理物を連続して処理することは不可能であり、多品種の被処理物を浸炭処理するには、品種替えの度に段替えロスが発生していた。加えて、炉内（浸炭ゾーン）の雰囲気状態を浸炭ガスにて安定化させる（シーズニングする）ために長い時間がかかり、設備全体として非稼働時間が長く、効率が悪かった。
さらに、連続ガス浸炭炉による浸炭処理は、被処理物を炉内の入口から出口に向かって搬送しながら、順に各工程を通過することで行うため、炉内雰囲気の小さなバラツキが各被処理物の表面の硬さや硬化層深さのバラツキに結びつきやすく、被処理物のさらなる品質向上が望まれていた。
【０００５】
そこで、近年、ガス浸炭法においては、生産性、および品質の向上を図るべく、減圧（真空）浸炭法が広く用いられるようになっている。
前記減圧浸炭法は、減圧雰囲気下において、被処理物の表面に浸炭ガスとしての炭化水素系ガス（例えばアセチレンガス：Ｃ２Ｈ２）を直接被処理物に吹き付けて行われることから、上述した従来のガス浸炭法に比べて、同じ硬化層深さを得るために費やされる浸炭時間が短くて済むばかりか、浸炭ガス（Ｃ２Ｈ２）の使用量が少なくて済み、ガス浸炭に対してさらに生産性の向上を図ることができる。
また、減圧浸炭法では、浸炭ガス（Ｃ２Ｈ２）を被処理物に直接吹き付けるため、炉内（浸炭ゾーン）の雰囲気状態をあえて浸炭ガス（Ｃ２Ｈ２）にて安定化させる必要もなく、シーズニングにかかる時間も短くて済む。さらに、被処理物の表面の硬さや硬化層深さのバラツキも少なく、被処理物の品質向上を図ることができるのである。
【０００６】
なお、このような減圧浸炭法による浸炭処理は、主に図８に示す連続減圧（真空）浸炭炉５１を用いて行われていた。
即ち、図８に示すように、連続減圧浸炭炉５１は、主に予熱室５２と、真空昇温室５３と、浸炭室５４と、拡散室５５と、降温室５６と、油槽５７と、からなり、これら各室５２・５３・・・５７が、被処理物５０の搬送方向（図８中の矢印Ａの方向）に沿って連続的に配設されることで構成される。
そして、被処理物５０に対して減圧浸炭処理を施す際は、まず、（１）予熱室５２によって被処理物の温度を一定温度に予熱させ、（２）真空昇温室５３によって減圧された雰囲気内にて被処理物５０を昇温させ、（３）浸炭室５４によって被処理物５０の表面に浸炭ガス（Ｃ２Ｈ２）を吹き付けて該表面から炭素（原子）を浸透させ、（４）拡散室５５によって被処理物５０を所定の温度に保持して該被処理物５０に浸透した炭素（原子）を拡散させ、（５）降温室５６によって被処理物５０の温度を焼入れ温度にまで降温させた後、（６）被処理物５０を油槽５７内に投入することで焼入れ処理を行うという、一連の作業工程が行われる。
【０００７】
このような連続減圧浸炭炉５１では、被処理物５０が炉内に配設されるローラコンベアなどにより連続的に搬送されるようになっており、前記各室５２・５３・・・５７内を通過しながら順に浸炭処理が行われるようになっている。よって、複数の被処理物５０・５０・・・を連続して処理することが可能であり、生産性は高い。
【０００８】
しかし、ひとたび処理条件を設定すると、新たに別の処理条件に設定変更するには多大な時間を必要とし、多品種少量生産には不向きなものであった。
また、設備自体が大型化するため、広大な設置スペースを必要とするため、設備費が嵩むという難点があった。
【０００９】
一方、多品種少量生産にフレキシブルに対応するべく、工程毎に各々独立したセルを設けたセル方式による減圧（真空）浸炭炉も提案されている。
このようなセル方式による減圧浸炭炉については、様々なものがあり、例えば、搬走路全体を真空密閉して設備中央に配設し、工程毎に独立セル化された複数の処理室を、該搬走路に沿って配設したものや（特許文献１を参照。）、搬走路を走行する台車に真空密閉された搬送室を設け、複数のセル化された処理室間でのワーク（被処理物）の受渡しを、前記搬送室を介して行うもの（特許文献２を参照。）などが知られている。
【００１０】
ここで、このようなセル方式による減圧浸炭炉の一例について説明する。
例えば、図９（ａ）に示すセル式減圧浸炭炉６１は、中央に配設される真空搬送室６２と、工程毎に独立して設けられ前記真空搬送室６２に沿って配設される複数のセル６３・６４・・・６６と、により構成される。
前記各セル６３・６４・・・６６は、例えば加熱セル６３・６３や、浸炭セル６４・６４・・・や、ガス焼入れセル６５や、油焼入れセル６６など、それぞれ独立したセル構造に構成されており、前記油焼入れセル６６については、一側が前記真空搬送室６２と接続され、他側が被処理物の搬入・搬出を行うコンベア６７と接続されている。
そして、被処理物に対して減圧浸炭処理を施す際は、まず、コンベア６７によって搬送されてきた被処理物は、油焼入れセル６６を通過した後、真空搬送室６２内を通って何れか一方の加熱セル６３へと搬送され（図９（ａ）中の矢印１）、該加熱セル６３にて加熱された被処理物は、真空搬送室６２内を通って何れか一方の浸炭セル６４へと搬送され（図９（ａ）中の矢印２）、該浸炭セル６４にて浸炭処理が施された被処理物は、真空搬送室６２内を通ってガス焼入れセル６５へと搬送され（図９（ａ）中の矢印３）、該ガス焼入れセル６５にて焼入れ処理が施された被処理物は、真空搬送室６２内を通って再び油焼入れセル６６を通過し、コンベア６７へと送られるのである（図９（ａ）中の矢印４）。
なお、浸炭処理後に油焼入れを行う場合は、前記浸炭セル６４より搬出された被処理物は、その後油焼入れセル６６へ搬送された際に油焼入れ処理が行われる（図９（ａ）中の矢印５）。
【００１１】
このようなセル式減圧浸炭炉６１を用いれば、各セル６３・６４・・・６６に対して自由に処理条件を設定することが可能となり、多品種の被処理物に対して柔軟に対応することができる。
しかし、広大なスペースを有する真空搬送室６２の室内を一気に真空引きする必要があり、設備費が嵩むという難点があった。
また、設備のレイアウト上、各セル６３・６４・・・６６は真空搬送室６２に沿って点在するため、セルからセルへの移動時間が長くかかる。よって、浸炭セル６４と、ガス焼入れセル６５（油焼入れセル６６）との間の移動に時間がかかり、搬送中に被処理物の温度低下が発生することから、品質のバラツキが大きかった。
【００１２】
一方、セル方式による減圧浸炭炉としては、図９（ｂ）に示すセル式真空（減圧）浸炭炉７１のようなものもある。
セル式真空浸炭炉７１は、加熱工程から冷却工程までを、複数の独立するセル室７２・７２・・・によって実施可能に構成するものであり、搬送路７３と、該搬送路７３の搬送方向に沿って並設される複数のセル室７２・７２・・・とを有する。
そして、搬送路７３上には搬送装置７４を有する可動式のガス焼入れ室７５を設け、前記各セル室７２とガス焼入れ室７５との間で被処理物を移動させつつ、該被処理物に浸炭処理が施されるようになっている。
【００１３】
このようなセル式減圧浸炭炉７１を用いれば、セル化された各室７２・７２・・・と、搬送手段と、を別個に設けることができるため、生産量や被処理物の種類の数に応じてセル室７２・７２・・・を増やすだけで、多品種の被処理物に対して柔軟に対応することができる。
しかし、被処理物のガス焼入れ室７５と各セル室７２との間の移動時において、無酸化状態を維持するのは困難であり、品質のバラツキが大きかった。
また、搬送路７３に沿って、複数のセル室７２・７２・・・が並設されるため、各セル室７２・７２間の距離は、場合によっては非常に離れたものとなり、ガス焼入れ室７５の移動時間がかかり、品質のバラツキが発生することもあった。
さらに、複数のセル室７２・７２・・・を単独に制御するため、インターロックも複雑になり、設備費が嵩むという難点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開平６−１３７７６５号公報
【特許文献２】特開平６−１７４３７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、以上のような改善点に鑑みてなされたものであり、連続減圧（真空）浸炭炉の有する生産性を兼ね備えつつ、多品種少量生産に対応可能な減圧（真空）浸炭炉を、高い信頼性を維持し、且つ小スペースにて実現可能なセル式減圧（真空）浸炭炉の技術の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１７】
即ち、請求項１においては、不活性ガスが充満し、室内気圧が低温大気圧に保たれた搬送室と、前記搬送室に隣接配置され、被処理物の浸炭拡散処理が行われる浸炭拡散室と、前記搬送室に隣接配置され、被処理物を昇温する昇温室と、前記搬送室に隣接配置され、被処理物を降温する降温室と、を備えるセル式減圧浸炭炉であって、前記昇温室と搬送室と降温室とは、前記被処理物の搬送経路の上流側から下流側に向かって順に配設され、前記浸炭拡散室は、被処理物の搬送経路の側方に配設され、前記昇温室には、第一真空パージ手段が設けられるとともに、前記降温室には、第二真空パージ手段が設けられるものである。
【００１８】
請求項２においては、請求項１に記載のセル式減圧浸炭炉であって、前記搬送室と昇温室との間、および前記搬送室と降温室との間には、断熱機能を有する扉が各々設けられ、前記昇温室と、降温室と、の内部には不活性ガスが充満し、かつこれら昇温室と、降温室との室内気圧は、被処理物を処理する間、大気圧に保たれるものである。
【００１９】
請求項３においては、請求項１、または請求項２に記載のセル式減圧浸炭炉であって、前記第一真空パージ手段は、前記昇温室の前記搬送経路における搬送方向上流側に配置され、パージ機構を有する真空パージ室によって構成され、前記第二真空パージ手段は、前記降温室の前記搬送経路における搬送方向下流側に配置され、パージ機構を有する焼入れ室によって構成され、あるいは、前記焼入れ室の前記搬送方向下流側に配置され、パージ機構を有する真空パージ室によって構成されるものである。
【００２０】
請求項４においては、請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載のセル式減圧浸炭炉であって、前記浸炭拡散室と、前記搬送室と、の間における被処理物の搬送は、前記搬送室内に設置される搬送機構によって行われるものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
即ち、本発明に係るセル式減圧浸炭炉であれば、連続減圧浸炭炉の有する生産性を兼ね備えつつ、多品種少量生産に対応可能な減圧浸炭炉を、高い信頼性を維持し、且つ小スペースにて実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第一実施例に係るセル式減圧浸炭炉の全体的な構成を示した平面図。
【図２】同じく側面断面図。
【図３】同じく搬送室近傍を示した拡大平面図。
【図４】同じく浸炭処理の１サイクル中における温度と圧力の変化の割合を示した図であり、（ａ）は各室内における、経過時間と、被処理物の温度と、の関係を示した線図であり、（ｂ）は各室内における、経過時間と、該室内の圧力と、の関係を示した線図。
【図５】本発明の第二実施例に係るセル式減圧浸炭炉の全体的な構成を示した平面図。
【図６】同じく側面断面図。
【図７】同じく搬送室近傍を示した拡大平面図。
【図８】従来の連続減圧浸炭炉の全体的な構成を示した側面断面図。
【図９】従来のセル式減圧浸炭炉の全体的な構成を示した図であり、（ａ）は工程毎にセル化を行った場合の概略平面図、（ｂ）は複数のセル毎に各々加熱から冷却までの機能を具備させた場合の概略平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
次に、発明の実施の形態を説明する。
【００２４】
［セル式減圧浸炭炉１（第一実施例）の全体構成］
まず、第一実施例に係るセル式減圧（真空）浸炭炉１の全体的な構成について、図１乃至図３を用いて説明する。
なお、図１乃至図３における矢印Ａの方向は被処理物５０の搬送経路における搬送方向を示すとともに、セル式減圧浸炭炉１の前方を規定するものとして、以下説明する。
【００２５】
セル式減圧浸炭炉１は、被処理物５０の搬送経路に沿って配設される搬入室２、真空パージ室３、昇温室４、搬送室５、降温室６、焼入れ室７、および搬出室８、ならびに被処理物５０の搬送経路を避けて、搬送室５に接して配設される浸炭拡散室９と、により構成される。
即ち、図１において、被処理物５０の搬送経路の上流側から下流側に向かって、順に搬入室２と、真空パージ室３と、昇温室４と、搬送室５と、降温室６と、焼入れ室７と、搬出室８と、が互いに接して配設され、浸炭拡散室９は、前記搬送室５の左側面（被処理物５０の搬送方向の上流側から見た左側面、つまり、前記搬送方向に直交する方向の一方の側面、以下同様）に接した状態で、被処理物５０の搬送経路の側方に配設される。
【００２６】
なお、「被処理物５０」は鉄鋼材料からなり、本実施例におけるセル式減圧浸炭炉１によって表面に浸炭処理が施される機械部品などを指すものとする。
【００２７】
搬入室２は、被処理物５０をセル式減圧浸炭炉１内に搬入するために配設され、被処理物５０の搬送方向における最も上流側に配設され、該被処理物５０を搬入するための搬入口２ａが具備される。
【００２８】
真空パージ室３は、昇温室４の真空パージ手段として設けられる。
即ち、真空パージ室３は、次工程である昇温室４へ被処理物５０を搬入する際に、該昇温室４の室内に外部の空気（酸素）が流入しないように、予め該昇温室４の上流側の該空気（酸素）を排除するために備えられ、搬入室２の下流側において、該搬入室２と接して配設される。
【００２９】
真空パージ室３は十分な気密性を有した構造となっており、上流側の側面に具備される入口部３ｂを介して、搬入室２の室内と通じる一方、下流側の側面に具備される出口部３ｃを介して、昇温室４の室内と通じるようになっている。
【００３０】
また、真空パージ室３には、真空ポンプや真空弁、配管材などからなるパージ機構３ａが具備され、該パージ機構３ａによって、真空パージ室３の室内が真空引きされるようになっている。
【００３１】
昇温室４は、次工程にて行われる浸炭拡散処理に対して、被処理物５０を予め定められた温度にまで予熱するために備えられ、真空パージ室３の下流側において、該真空パージ室３と接して配設される。
【００３２】
昇温室４は断熱壁４ａにて覆われた構造からなり、上流側の側面に具備される入口部４ｂを介して、真空パージ室３の室内と通じる一方、下流側の側面に具備される出口部４ｃを介して、搬送室５の室内と通じるようになっている。
【００３３】
昇温室４には、室内に不活性ガスを供給するための、窒素ボンベや電磁弁、配管材などからなる不活性ガス供給手段（図示せず）が具備されており、該不活性ガス供給手段により室内に窒素などの不活性ガスを供給することで、昇温室４の室内雰囲気は無酸化状態に維持されるようになっている。
【００３４】
昇温室４において、被処理物５０の搬送方向に対する左右両側の壁面には、複数のヒーター１５・１５・・・が設けられ、また天井にはファン１６（図２を参照）が設けられる。
そして、ファン１６と、複数のヒーター１５・１５・・・と、が作動することで、室内の不活性ガスが熱せられるとともに攪拌され、室内の不活性ガスは、予め定められた室温へと徐々に昇温される。
【００３５】
ここで、昇温室４の室内は大気圧に保たれるようになっている。そのため、ファン１６を作動させることで容易に室内の雰囲気を対流させることができ、室内の不活性ガスを、効果的に短時間で指定の温度にまで昇温させることができる。
【００３６】
なお、本実施例においては、昇温室４の上流側に真空パージ室３を設けることとしているが、これに限定されるものではない。
即ち、セル式減圧浸炭炉１の設備費用の低減化を図るため、例えば真空パージ室３は設けないこととし、昇温室４の真空パージ手段として、真空ポンプや真空弁、配管材などからなるパージ機構を具備することとしてもよい。
つまり、昇温室４には、該昇温室４の上流側に配設される真空パージ室３、あるいは該昇温室４に直接具備されるパージ機構からなる第一真空パージ手段を設けることとしている。
【００３７】
搬送室５は、昇温室４より搬入される被処理物５０を、降温室６、あるいは浸炭拡散室９へと搬出する中継的役目として備えられ、昇温室４の下流側において、該昇温室４と接して配設される。
【００３８】
搬送室５は十分な気密性を有した構造となっており、上流側の側面に具備される入口部５ｂを介して昇温室４と通じる一方、下流側の側面に具備される出口部５ｃを介して、降温室６と通じるようになっている。
【００３９】
また、搬送室５の左側面には出入口部５ｄが具備され、該出入口部５ｄを介して、搬送室５の室内は浸炭拡散室９の室内と通じるようになっている。
【００４０】
即ち、搬送室５の左側面において、浸炭拡散室９が前記搬送室５に接して配設されるとともに、搬送室５の上流側、および下流側の側面において、前記搬送室５を間に挟み、互いに対向するようにして昇温室４、および降温室６が、各々配設されている。
【００４１】
搬送室５には、室内に不活性ガスを供給するための、窒素ボンベや電磁弁、配管材などからなる不活性ガス供給手段（図示せず）が具備されており、該不活性ガス供給手段により室内に不活性ガスを供給することで、搬送室５の室内雰囲気は無酸化状態に維持されるようになっている。
また、搬送室５には昇温室４や、降温室６や、浸炭拡散室９に設けられるヒーター１５・１５・・・などは配設されておらず、搬送室５の室内雰囲気は、これら各室４・６・９から発散される熱量によって、常温（外気温度）より多少は高温状態となるものの、前記各室４・６・９に比べれば室内温度は低温状態に保たれる。
このように、搬送室５の室内では、不活性ガスが充満し、室内気圧が低温大気圧に保たれた状態となっている。
【００４２】
搬送室５の室内には、後述する搬送手段１０が配設されており、該搬送手段１０によって昇温室４より搬入される被処理物５０は、降温室６、あるいは浸炭拡散室９へと搬出されるようになっている。
【００４３】
搬送室５の左側面には、浸炭拡散室９が設けられる。
浸炭拡散室９は、被処理物５０の表面に浸炭ガスとしての炭化水素系ガス（例えばアセチレンガス：Ｃ２Ｈ２）を吹き付ける浸炭処理と、その後被処理物５０を所定の温度に保持する拡散処理と、の両処理を行う（浸炭拡散工程）ための部屋である。
【００４４】
浸炭拡散室９は断熱壁９ａにて覆われた構造からなり、例えば右側面（被処理物５０の搬送方向の上流側から見た右側面、つまり、前記搬送方向に直交する方向の他方の側面）に設けられる出入口部９ｂを介して、搬送室５の室内と通じるようになっている。
また、浸炭拡散室９には、真空ポンプや真空弁、配管材などからなるパージ機構９ｃが具備されており、室内の床部中央には被処理物５０を保持する架台１１・１１が設けられる。
【００４５】
浸炭拡散室９において、出入口部９ｂの具備されていない壁面（例えば搬送方向の上流側から見た左側、および上流側・下流側の壁面）には、複数のヒーター１５・１５・・・が設けられる。
【００４６】
そして、ファン１６と、複数のヒーター１５・１５・・・と、が作動することで、室内の不活性ガスが熱せられ、室内の不活性ガスは、予め定められた室温へと徐々に昇温される。
【００４７】
なお、本実施例においては、搬送室５の左側面に浸炭拡散室９を隣接して配設することとしているが、これに限定されるものではない。
即ち、搬送室５の上流側、および下流側の側面において、前記搬送室５を間に挟み、互いに対向するようにして配設される昇温室４、および降温室６の妨げにならなければ、例えば、搬送室５の右側面（被処理物５０の搬送方向の上流側から見た右側面、つまり、前記搬送方向に直交する方向の他方の側面）に浸炭拡散室９を隣接して配設するなどであってもよい。
このように、浸炭拡散室９は、被処理物５０の搬送経路に沿って連続的に配置される他の各室２・３・４・５・６・７・８とは独立して、被処理物５０の搬送経路の側方に配置されるセル構造の室に構成されている。
【００４８】
降温室６は、次工程にて行われる焼入れ処理に対して、被処理物５０の表面組織を調整するために、該被処理物５０の温度を昇温させるために備えられ、搬送室５の下流側において、該該搬送室５と接して配設される。
【００４９】
このように、これら昇温室４と、搬送室５と、降温室６と、浸炭拡散室９と、の配置については、前記搬送室５を中心として、前記搬送室５の一方の対向する側面、即ち本実施例においては、被処理物５０の搬送方向に対する左右側のいずれかに、浸炭拡散室９が配設され、また、前記搬送室５の他方の対向する側面、即ち本実施例においては、被処理物５０の搬送方向に対する上下流側のいずれかに、昇温室４と降温室６とが前記搬送室５を間に挟み、互いに対向するようにして配設されるようになっている。
【００５０】
降温室６は断熱壁６ａにて覆われた構造からなり、上流側の側面に具備される入口部６ｂを介して、搬送室５の室内と通じる一方、下流側の側面に具備される出口部６ｃを介して、焼入れ室７の室内と通じるようになっている。
【００５１】
降温室６において、被処理物５０の搬送方向に対する左右両側の壁面には、複数のヒーター１５・１５・・・が設けられ、また天井にはファン１６（図２を参照）が設けられる。
【００５２】
そして、ファン１６と、複数のヒーター１５・１５・・・と、が作動することで、室内の不活性ガスが熱せられ、室内の不活性ガスは、予め定められた室温へと徐々に昇温される。
【００５３】
降温室６には、室内に不活性ガスを供給するための、窒素ボンベや電磁弁、配管材などからなる不活性ガス供給手段（図示せず）が具備されており、該不活性ガス供給手段により室内に不活性ガスを供給することで、降温室６の室内雰囲気は無酸化状態に維持されるようになっている。
【００５４】
焼入れ室７は、被処理物５０に焼入れ処理を行うために備えられるとともに、降温室６の真空パージ手段として設けられる。焼入れ室７は、降温室６の下流側において、該降温室６と接して配設される。なお、本実施例においては窒素などの不活性ガスによるガス焼入れを行うこととしているが、これに限定されるものではなく、油槽を用いた油焼入れを行うこととしてもよい。
【００５５】
焼入れ室７は十分な気密性を有した構造となっており、上流側の側面に具備される入口部７ｂを介して、降温室６の室内と通じる一方、下流側の側面に具備される出口部７ｃを介して、搬出室８の室内と通じるようになっている。
【００５６】
焼入れ室７には、真空ポンプや真空弁、配管材などからなるパージ機構７ａが具備され、該パージ機構７ａによって、焼入れ室７の室内が真空引きされるようになっている。
【００５７】
また、焼入れ室７には、室内に不活性ガスを供給するための、窒素ボンベや電磁弁、配管材などからなる不活性ガス供給手段（図示せず）が具備されており、該不活性ガス供給手段により室内に不活性ガスを供給することで、焼入れ室７の室内雰囲気は無酸化状態に維持されるようになっている。
【００５８】
なお、本実施例においては、焼入れ室７にパージ機構７ａを具備することとしているが、これに限定されるものではない。
即ち、外部からの空気（酸素）が焼入れ室７の室内へ侵入するのを確実に防止し、被処理物５０の品質の向上を図るため、例えば降温室６の真空パージ手段として、焼入れ室７と、搬出室８との間に真空パージ室を設けることとしてもよい。
つまり、降温室６には、該降温室６の下流側に設けられるパージ機構を具備した焼入れ室７、あるいは該焼入れ室７の下流側に配設される真空パージ室からなる第二真空パージ手段を設けることとしている。
【００５９】
搬出室８は、被処理物５０をセル式減圧浸炭炉１内より外部に搬出するための出口として配設され、焼入れ室７の下流側において、該焼入れ室７と接して配設される。
即ち、搬出室８は、被処理物５０の搬送方向に対して最も下流側に配設され、該被処理物５０を搬出するための搬出口８ａが具備される。
【００６０】
ここで、搬送室５と浸炭拡散室９を除く各室内２・３・４・６・７・８には、被処理物５０を次工程に搬送するための搬送装置１３・１３・・・または搬送装置１７・１７・・・が配設される。
搬送装置１３・１３・・・および搬送装置１７・１７・・・は、それぞれチェーンコンベアやベルトコンベアなど、いずれのタイプであってもよいが、室内温度がかなりの高温状態となる場合、比較的高価な耐熱仕様からなるローラコンベアなどにより構成することが必要となる。
このようなことから、本実施例におけるセル式減圧浸炭炉１では、昇温室４や、降温室６の室内には、ローラコンベアからなる搬送装置１７・１７が配設され、搬入室２や、真空パージ室３や、焼入れ室７や、搬出室８の室内には、チェーンコンベアからなる搬送装置１３・１３・・・が配設されることとしている。
従って、室内温度がかなりの高温状態となる室内（昇温室４と降温室６）を区分けすることで、ローラコンベアの数量を減らすことができ、設備費を軽減することができるのである。
【００６１】
［搬送手段１０（第一実施例）］
次に、搬送室５内部に配設される搬送手段１０の構成について、図３を用いて説明する。
搬送手段１０は主に昇降装置１０ａと、複数の搬送装置１０ｂ・１０ｂ・１０ｂと、により構成される。
昇降装置１０ａは、例えば左右方向（被処理物５０の搬送方向の上流側から見た左右方向、つまり被処理物５０の搬送方向に対して直交する方向）に延出して配設される２本のフォークを具備するリフターなどからなり、前記フォークは上下方向に昇降移動可能であるとともに、左右方向への水平移動可能な構成となっている。
【００６２】
一方、搬送装置１０ｂは、チェーンコンベアやベルトコンベアなど、いずれのタイプであってもよく、被処理物５０の搬送方向に沿って、前記フォークの上流側、および下流側と、前記フォークの間に各々一列に配設される。
つまり、昇降装置１０ａは、被処理物５０を搬送室５と浸炭拡散室９との間で搬送方向と直交する方向へ移動させるものであり、搬送装置１０ｂは、被処理物５０を搬送室５内で搬送方向に沿って搬送するものである。
【００６３】
このような構成からなる搬送手段１０によって、昇温室４より搬入された被処理物５０は浸炭拡散室９や、降温室６に搬送される。
即ち、昇温室４より搬送室５に搬入された被処理物５０は、入口部５ｂから搬送装置１０ｂ・１０ｂ・１０ｂによって下流側へと搬送され、被処理物５０が搬送室５の中央まで到達すると、搬送装置１０ｂ・１０ｂ・１０ｂは一旦停止する。
【００６４】
搬送装置１０ｂ・１０ｂ・１０ｂが停止すると、昇降装置１０ａのフォークが上昇して被処理物５０を載置し、被処理物５０を載置したフォークが浸炭拡散室９側へ移動することにより、該被処理物５０が浸炭拡散室９内へ移載される。浸炭拡散室９内へ移載された被処理物５０は、浸炭拡散室９内の架台１１・１１に受け渡される。
【００６５】
逆に、浸炭拡散室９内の被処理物５０の搬送室５への搬出は、昇降装置１０ａのフォークにより浸炭拡散室９内の架台１１・１１に載置されている被処理物５０を搬送室５まで移動して、搬送装置１０ｂ・１０ｂ・１０ｂ上に受け渡すことにより行われる。
【００６６】
このように、本実施例におけるセル式減圧浸炭炉１では、搬送室５と、浸炭拡散室９と、の間における被処理物５０の搬送については、室内温度が（周囲の昇温室４や、浸炭拡散室９や、降温室６と比べて）比較的低温に保たれる搬送室５の室内に配設される搬送手段１０によって行うこととし、室内温度が高温状態となる浸炭拡散室９の室内においては、被処理物５０の受渡しを行う架台１１・１１のみを配設することとしている。
従って、耐熱仕様からなる特別の機器群により搬送手段１０を構成することがなく比較的安価に搬送手段１０を構成することができるのである。
【００６７】
［処理方法］
次に、第一実施例に係るセル式減圧浸炭炉１に拠る、被処理物５０の処理方法について、図１、図２、および図４を用いて説明する。
なお、図４（ａ）は、各室内（真空パージ室３、昇温室４、浸炭拡散室９、降温室６、焼入れ室７）における被処理物５０の滞在時間と、被処理物５０の温度と、の関係を示し、図４（ｂ）は各室内（真空パージ室３、昇温室４、浸炭拡散室９、降温室６、焼入れ室７）における被処理物５０の滞在時間と、該室内の圧力と、の関係を示す。
【００６８】
まず、セル式減圧浸炭炉１によって被処理物５０に浸炭を行う場合、搬入口２ａを介して被処理物５０を搬入室２の室内に搬入する。この際、被処理物５０は搬入室２の室内に設置される搬送装置１３の上流側に載置されることとなる。
【００６９】
搬送装置１３に被処理物５０が載置されると真空シール扉１２が開き、被処理物５０は、搬入室２と真空パージ室３とにそれぞれ設置される両搬送装置１３・１３を乗り継ぎながら、真空パージ室３の室内中央まで搬送される。
【００７０】
被処理物５０が真空パージ室３の室内に搬送されると、真空パージ室３の入口部３ｂに設けられる真空シール扉１２と、出口部３ｃに設けられる真空断熱扉１４と、がともに閉じられる。そして、パージ機構３ａが作動し、真空パージ室３の室内が真空引きされる。
【００７１】
即ち、図４（ｂ）に示すように、真空パージ室３の室内の圧力は、通常ほぼ大気圧と同じ１０００００［Ｐａ］（１００［ｋＰａ］）であるが、真空パージ室３の室内に被処理物５０が搬送されると、パージ機構３ａによって１［Ｐａ］にまで減圧される。
なお、図４（ａ）に示すように、真空パージ室３においては、被処理物５０の温度は、未だ周囲の気温（図４（ａ）におけるＸ［℃］）と同等である。
【００７２】
このような真空引きを行うことで、真空パージ室３では、搬入室２を介して一時的に室内に流入してきた空気（酸素）を、ミストとともに室外（即ち、セル式減圧浸炭炉１の外部）に放出するようになっている。
【００７３】
真空パージ室３における真空引きが完了した後、真空パージ室３内には窒素ガスなどの不活性ガスが供給され、常圧にまで復圧される。
次に、真空断熱扉１４が開かれ、被処理物５０は、真空パージ室３と昇温室４とにそれぞれ設置される両搬送装置１３・１７を乗り継ぎながら、昇温室４の室内へと搬送される。
【００７４】
ここで、真空断熱扉１４を開けると、昇温室４の室内と、真空パージ室３の室内とが繋がり、互いの室内雰囲気が交じり合うこととなる。しかし、真空パージ室３では、前記真空断熱扉１４を開ける前に真空引きを行い、さらに室内の雰囲気を窒素にて置換しているので、昇温室４の室内に酸素を含んだ空気が混入されることは無く、昇温室４の室内は常に無酸化状態に維持されるようになっている。
【００７５】
被処理物５０が真空パージ室３より昇温室４の室内に搬送されると、入口部４ｂ（または、真空パージ室３の出口部３ｃ）に設けられる真空断熱扉１４と、出口部４ｃに設けられる断熱扉１８がともに閉じられる。
そして、予め定められた一定時間、被処理物５０は昇温室４の室内に滞在し、昇温室４の室内における壁面に設けられた複数のヒーター１５・１５・・・により、具体的にはヒーター１５・１５・・・により高温に熱せられた室内の雰囲気およびヒーター１５・１５・・・から発せられる輻射熱によって、被処理物５０は予め定められた指定温度にまで加熱される。
【００７６】
即ち、図４（ａ）に示すように、被処理物５０は、昇温室４内で９５０［℃］付近まで徐々に昇温される。
なお、図４（ｂ）に示すように、被処理物５０を加熱する際の昇温室４の室内の圧力は、不活性ガスによって、ほぼ大気圧と同じ１０００００［Ｐａ］（１００［ｋＰａ］）に保持される。
【００７７】
被処理物５０の加熱開始から一定時間が経過すると、断熱扉１８が開かれ、被処理物５０は、昇温室４と搬送室５とに設置される両搬送装置１７・１０ｂを乗り継ぎながら、搬送室５の室内へと搬送される。
そして、搬送室５の左側面に設けられる真空断熱扉１９が開かれ、昇降装置１０ａが作動し、被処理物５０は浸炭拡散室９の室内へと搬送される。
【００７８】
被処理物５０が浸炭拡散室９の室内に搬送されると、真空断熱扉１９が閉じられ、パージ機構９ｃによって、浸炭拡散室９の室内が真空引きされる。
【００７９】
そして、浸炭拡散室９の室内における壁面に設けられた複数のヒーター１５・１５・・・により、具体的にはヒーター１５・１５・・・により高温に熱せられた室内の雰囲気およびヒーター１５・１５・・・から発せられる輻射熱によって、被処理物５０は予め定められた指定温度にまで熱せられるとともに、図示せぬ噴射ノズルより浸炭ガスとしての炭化水素系ガス（例えばアセチレンガス：Ｃ２Ｈ２）が浸炭拡散室９内に一定時間噴出し、被処理物５０に対する浸炭処理が実施される。
【００８０】
即ち、図４（ｂ）に示すように、浸炭拡散室９の室内の圧力は、パージ機構９ｃによって真空引きされるとともに、噴射ノズルより噴出される浸炭ガス（Ｃ２Ｈ２）によって復圧されてＹ［Ｐａ］となり、このような減圧された条件下にて、被処理物５０の浸炭処理が開始される。
また、図４（ａ）に示すように、被処理物５０は、昇温設備が具備されていない搬送室５を通過した後に浸炭拡散室９に搬入されるため、浸炭拡散室９に搬入された直後においては若干温度が下がるものの、複数のヒーター１５・１５・・・などにより、ただちに９５０［℃］付近まで昇温される。
【００８１】
そして、噴射ノズルによる浸炭ガス（Ｃ２Ｈ２）の噴出が停止した後も、予め定められた一定時間、被処理物５０は昇温室４の室内に滞在し、これにより被処理物５０の拡散処理が実施されるようになっている。
【００８２】
その後、一定時間が経過し、被処理物５０の拡散処理が十分に行われると、真空断熱扉１９が開かれ、昇降装置１０ａが作動し、被処理物５０は搬送室５の室内へと搬送される。
そして、搬送室５の断熱扉４１が開かれ、搬送室５と降温室６とに設置される両搬送装置１０ｂ・１７を乗り継ぎながら、被処理物５０は降温室６の室内へと搬送される。
【００８３】
被処理物５０が搬送室５より降温室６の室内に搬送されると、入口部６ｂ（または、搬送室５の出口部５ｃ）に設けられる断熱扉４１と、出口部６ｃに設けられる真空断熱扉４２とがともに閉じられる。
そして、予め定められた一定時間、被処理物５０は降温室６の室内に滞在し、降温室６の室内の壁面に設けられた複数のヒーター１５・１５・・・により、具体的にはヒーター１５・１５・・・により高温に熱せられた室内の雰囲気およびヒーター１５・１５・・・から発せられる輻射熱によって、被処理物５０は予め定められた指定温度にまで熱せられる。
【００８４】
なお、降温室６の室内の温度は、昇温室４や浸炭拡散室９に比べてやや低い８００［℃］付近に維持される。従って、被処理物５０は、降温室６において、浸炭拡散室９に比べてやや低い温度に冷却される（降温される）こととなる。
【００８５】
即ち、図４（ａ）に示すように、被処理物５０は、搬送室５を介して降温室６の室内に搬送されながら、徐々に８００［℃］付近まで冷却される。
なお、図４（ｂ）に示すように、降温室６の室内の圧力は、不活性ガスによって、ほぼ大気圧と同じ１０００００［Ｐａ］（１００［ｋＰａ］）に保持される。
【００８６】
一定時間が経過すると、真空断熱扉４２が開かれ、被処理物５０は、降温室６と焼入れ室７とに設置される両搬送装置１３・１７を乗り継ぎながら、焼入れ室７の室内へと搬送される。
【００８７】
被処理物５０が降温室６より焼入れ室７の室内に搬送されると、入口部７ｂ（または、降温室６の出口部６ｃ）に設けられる真空断熱扉４２と、出口部７ｃに設けられる真空シール扉４３とがともに閉じられる。
そして、焼入れ室７の室内に設けられる不活性ガス供給手段（図示せず）が作動し、該不活性ガス供給手段より噴射される不活性ガスによって、被処理物５０の温度は徐々に冷却され、焼入れ処理が施される。
【００８８】
即ち、図４（ａ）に示すように、被処理物５０は、焼入れ室７に搬送された直後から不活性ガスによって急激に冷却され、周囲の気温（図４（ａ）におけるＸ［℃］）にまで冷却される。
また、図４（ｂ）に示すように、焼入れ室７の室内の圧力は、前記不活性ガスの噴射によって一時的に高められ、大気圧を超える１００００００［Ｐａ］（１０００［ｋＰａ］）となる。
【００８９】
その後、一定時間が経過し、不活性ガス供給手段による不活性ガスの噴射が終了すると、真空シール扉４３が開かれ、被処理物５０は、焼入れ室７と搬出室８とに設置される両搬送装置１３・１３を乗り継ぎながら、搬出室８の室内へと搬送される。
【００９０】
そして、焼入れ室７より被処理物５０が完全に搬出されると、真空シール扉４３が閉じられ、パージ機構７ａが作動し、焼入れ室７の室内が真空引きされる。
【００９１】
即ち、図４（ｂ）に示すように、焼入れ室７の室内の圧力は、大気圧を超える１００００００［Ｐａ］（１０００［ｋＰａ］）にまで一時的に高められるが、被処理物５０を搬出するべく真空シール扉４３が開かれると急激に大気圧と同じ１０００００［Ｐａ］（１００［ｋＰａ］）にまで下がり、その後、パージ機構７ａによって１［Ｐａ］にまで減圧されるのである。
【００９２】
このような真空引きを行うことで、焼入れ室７では、搬出室８を介して一時的に室内に流入してきた空気（酸素）を、ミストとともに室外（即ち、セル式減圧浸炭炉１の外部）に放出するようになっている。
【００９３】
一方、搬出室８に搬送された被処理物５０は、搬送装置１３によってそのまま搬出口８ａまで搬送され、該搬出口８ａを介して、被処理物５０はセル式減圧浸炭炉１より外部に取り出されるのである。
【００９４】
［セル式減圧浸炭炉２１（第二実施例）の全体構成］
次に、第二実施例に係るセル式減圧浸炭炉２１の全体的な構成について、図５乃至図７を用いて説明する。
なお、図５乃至図７における矢印Ａの方向は被処理物５０の搬送方向を示すとともに、セル式減圧浸炭炉２１の前方を規定するものとして、以下説明する。
また、図５乃至図７において、上述のセル式減圧浸炭炉１（第一実施例）と構造を同じくする箇所については、図１乃至図３と同じ符号を記載する。
【００９５】
セル式減圧浸炭炉２１は、主な構成を第一実施例に係るセル式減圧浸炭炉１と同じくし、搬送室２５に複数（本実施例においては２部屋）の浸炭拡散室９・９を配設する点において、前記セル式減圧浸炭炉１と異なる構成を有する。
以下、上述のセル式減圧浸炭炉１（第一実施例）と同様の構成については説明を省略し、主に搬送室２５近傍の構成について説明する。
【００９６】
搬送室２５は十分な気密性を有した構造となっており、室内において複数の被処理物５０・５０が同時に滞在できるように、被処理物５０の搬送方向に沿って延出した構成となっている。
【００９７】
搬送室２５は、上流側の側面に具備される入口部２５ｂを介して昇温室２４と通じる一方、下流側の側面に具備される出口部２５ｃを介して、降温室６と通じるようになっている。
【００９８】
また、搬送室２５の左側面（被処理物５０の搬送方向の上流側から見た左側面、つまり、前記搬送方向に直交する方向の一方の側面、以下同様）には、二個所の出入口部２５ｄ・２５ｄが具備され、これら出入口部２５ｄ・２５ｄを介して、搬送室２５の室内は浸炭拡散室９・９の室内と通じるようになっている。
【００９９】
即ち、搬送室２５の左側面において、複数の浸炭拡散室９・９が各々搬送室２５に接して並設されるとともに、搬送室２５の上流側、および下流側の側面において、前記搬送室２５を間に挟み、互いに対向するようにして昇温室２４、および降温室６が、各々配設される。
【０１００】
なお、本実施例においては、搬送室２５の左側面に浸炭拡散室９・９を配設することとしているが、これに限定されるものではない。
即ち、搬送室２５の上流側、および下流側の側面において、前記搬送室２５を間に挟み、互いに対向するようにして配設される昇温室２４、および降温室６の妨げにならなければ、例えば、搬送室２５の右側面（被処理物５０の搬送方向の上流側から見た右側面、つまり、前記搬送方向に直交する方向の他方の側面）に浸炭拡散室９・９を配設するなどであってもよい。
さらに、浸炭拡散室９・９の部屋数においても、２部屋に限定するものではなく、よりセル式減圧浸炭炉２１の設備能力の向上を図るべく、３部屋以上設けてもよい。
【０１０１】
ここで、昇温室２４は、主な構成を第一実施例に係る昇温室４と同じくし、少なくとも浸炭拡散室９・９の部屋数を上回る個数分の被処理物５０・５０・・・を、昇温室２４の室内に同時に滞在させることが可能となるように、被処理物５０の搬送方向に沿って延出して構成される。
つまり、複数の浸炭拡散室９・９に対して連続して被処理物５０・５０・・・を供給することが可能となるよう、昇温室２４は十分な被処理物５０・５０・・・のストックを維持できるようになっている。
【０１０２】
搬送室２５には、室内に不活性ガスを供給するための、窒素ボンベや電磁弁、配管材などからなる不活性ガス供給手段（図示せず）が具備されており、該不活性ガス供給手段により室内に不活性ガスを供給することで、搬送室２５の室内雰囲気は無酸化状態に維持されるようになっている。
【０１０３】
また、搬送室２５の室内には、搬送手段２２が配設されており、該搬送手段２２によって昇温室２４より搬入される被処理物５０は、降温室６、あるいは浸炭拡散室９・９へと搬出されるようになっている。
【０１０４】
［搬送手段２２（第二実施例）］
次に、搬送室２５内部に配設される搬送手段２２の構成について、図７を用いて説明する。
搬送手段２２は、主な構成を第一実施例に係る搬送手段１０と同じくし、昇降装置２２ａ・２２ａを浸炭拡散室９・９の部屋数に応じて複数配設する点において、前記搬送手段１０と異なる構成を有する。
【０１０５】
即ち、搬送手段２２は、複数（本実施例においては２基）の昇降装置２２ａ・２２ａと、複数の搬送装置２２ｂ・２２ｂ・・・と、搬送装置２２ｃと、により構成される。
そして、各昇降装置２２ａ・２２ａは、左右方向（被処理物５０の搬送方向の上流側から見た左右方向、つまり被処理物５０の搬送方向に対して直交する方向）に延出する２本のフォークを備えており、被処理物５０の搬送方向に沿って互いに並設されている。
また、各昇降装置２２ａ・２２ａにおけるフォークの左先端部は、浸炭拡散室９・９の出入口部９ｂ・９ｂの近傍に各々位置するようにして配設される。
【０１０６】
搬送室２５の室内において、入口部２５ｂと、昇降装置２２ａとの間、および出口部２５ｃと、昇降装置２２ａとの間には、それぞれローラコンベアからなる搬送装置２２ｂ・２２ｂが配設される。また、これら昇降装置２２ａ・２２ａに具備される２本のフォークの間にも、ローラコンベアからなる搬送装置２２ｂ・２２ｂが配設される。さらに、これら昇降装置２２ａ・２２ａの間にはチェーンコンベアからなる搬送装置２２ｃが配設される。
【０１０７】
なお、これら複数の搬送装置２２ｂ・２２ｂ・・・および搬送装置２２ｃは、本実施例に示すようなチェーンコンベアやローラコンベアなどに限定されず、いずれのタイプであってもよく、被処理物５０の搬送方向に沿ってこれら搬送装置２２ｂ・２２ｂ・・・および搬送装置２２ｃは、各々一列に配設される。
【０１０８】
そして、昇温室２４より搬入されてきた被処理物５０は、搬送装置２２ｂ・２２ｂ・・・および搬送装置２２ｃによって、所定の浸炭拡散室９の出入口部９ｂ近傍にまで搬送され、その後、昇降装置２２ａによって、被処理物５０は浸炭拡散室９の室内に搬送される。
また、浸炭拡散処理が完了した被処理物５０は、昇降装置２２ａによって浸炭拡散室９の室内より取り出され、搬送装置２２ｂ上に載置される。その後、被処理物５０は、該搬送装置２２ｂによって、搬送室２５の下流側に設けられる降温室６へと搬送される。
【０１０９】
このように、本実施例におけるセル式減圧浸炭炉２１では、搬送室２５と、複数の浸炭拡散室９・９と、の間における被処理物５０の搬送については、室内温度が比較的低温に保たれる搬送室２５の室内に配設される搬送手段２２によって行うこととし、室内温度が高温状態となる浸炭拡散室９・９の室内においては、被処理物５０の受渡しを行う架台１１・１１・・・のみを配設することとしている。
従って、耐熱仕様からなる特別の機器群により搬送手段２２を構成することがなく比較的安価に搬送手段２２を構成することができる。
【０１１０】
また、本実施例におけるセル式減圧浸炭炉２１においては、複数の浸炭拡散室９・９を搬送室２５に接して配設し、各浸炭拡散室９・９への被処理物５０の搬送を、複数の昇降装置２２ａ・２２ａによって各々行うこととしている。
従って、これら複数の浸炭拡散室９・９によって、複数の被処理物５０・５０に対して同時に浸炭処理を施すことが可能となり、セル式減圧浸炭炉２１の設備能力の向上を図ることが可能である。
【０１１１】
以上のように、第一、および第二実施例により具現化されるセル式減圧浸炭炉１（２１）は、不活性ガスが充満し、室内気圧が低温大気圧に保たれた搬送室５（２５）と、前記搬送室５（２５）に隣接配置され、被処理物５０の浸炭拡散処理が行われる浸炭拡散室９（９・９）と、前記搬送室５（２５）に隣接配置され、被処理物５０を昇温する昇温室４（２４）と、前記搬送室５（２５）に隣接配置され、被処理物５０を降温する降温室６とを備える。
具体的には、セル式減圧浸炭炉１（２１）は、前記搬送室５（２５）と、前記搬送室５（２５）の一方の対向する側面のいずれかにおいて、前記搬送室５（２５）に接して配設される一または複数の浸炭拡散室９（９・９）と、前記搬送室５（２５）の他方の対向する側面のいずれかにおいて、前記搬送室５（２５）を間に挟み、互いに対向するようにして配設される昇温室４（２４）、および降温室６とを備えている。
そして、前記昇温室４（２４）と搬送室５（２５）と降温室６とは、前記被処理物５０の搬送経路の上流側から下流側に向かって順に配設され、前記浸炭拡散室９（９・９）は、被処理物５０の搬送経路の側方に配設され、前記昇温室４（２４）には、第一真空パージ手段が設けられるとともに、前記降温室６には、第二真空パージ手段が設けられることとしている。
【０１１２】
このような構成とすることで、従来の連続減圧浸炭炉５１（図８を参照）の有する生産性を兼ね備えつつ、多品種少量生産に対応可能なセル式減圧浸炭炉１（２１）を、高い信頼性を維持し、且つ小スペースにて実現することができる。
【０１１３】
即ち、浸炭、および拡散処理を行う浸炭拡散室９（９・９）のみをセル化し、他の昇温室４（２４）や、搬送室５（２５）や、降温室６などについては、従来の連続減圧浸炭炉５１と同様に、被処理物５０の搬送経路に沿って一方向に配設されることとしている。
【０１１４】
従って、多品種少量生産に対応するべく、熱処理条件の設定変更については、浸炭拡散室９（９・９）のみについて行えばよく、従来の連続減圧浸炭炉５１のような段替えにかかる時間ロスも少なく、より多品種少量生産に適している。
【０１１５】
また、昇温室４（２４）には、該昇温室４（２４）の上流側に配設される真空パージ室３、あるいは該昇温室４（２４）に直接具備されるパージ機構からなる第一真空パージ手段を設けることとし、降温室６には、該降温室６の下流側に設けられるパージ機構を具備した焼入れ室７、あるいは該焼入れ室７の下流側に配設される真空パージ室からなる第二真空パージ手段を設けることとしている。
【０１１６】
従って、外部からの空気（酸素）が、昇温室４や、降温室６を介して搬送室５（２５）に侵入するのを確実に防止することが可能であり、高品質の浸炭処理を可能とする高い信頼性を維持した、セル式減圧浸炭炉１（２１）を実現することができる。
【０１１７】
さらに、セル化した浸炭拡散室９（９・９）は被処理物５０の搬送経路に沿って一方向に配設される昇温室４（２４）や、搬送室５（２５）や、降温室６を避けて、該搬送室５（２５）に接して配設されることとするため、従来の連続減圧浸炭炉５１に比べれば、その分、設備全体として小スペース化を実現することができる。
【０１１８】
また、本実施例におけるセル式減圧浸炭炉１（２１）では、前記搬送室５（２５）と昇温室４（２４）との間、および前記搬送室５（２５）と降温室６との間には、断熱機能を有する断熱扉１８・４１が各々設けられ、前記昇温室４（２４）と、降温室６と、の内部には不活性ガスが充満し、且つこれら昇温室４（２４）と、降温室６との室内気圧は、被処理物５０を処理する間、大気圧に保たれることとしている。
【０１１９】
このような構成とすることで、昇温室４（２４）と、降温室６との室内温度を比較的短時間で昇温することが可能となり、セル式減圧浸炭炉１（２１）の被処理物５０に対する生産性が向上し、経済的である。
【０１２０】
即ち、室内気圧が減圧されたままの状態では、室内に充満する気体の対流効果が望めず、該気体の温度を上昇させるには、ヒーターなどの加熱手段が発する輻射熱のみに頼らざるを得ない。
そこで、本実施例に示すように、昇温室４（２４）と、降温室６との室内気圧を、被処理物５０を処理する間、大気圧に保つことで、室内に充満する気体を加熱する際は、対流効果が発揮され、比較的短時間で前記気体を指定の温度にまで上昇させることが可能となるのである。
【０１２１】
また、本実施例におけるセル式減圧浸炭炉１（２１）では、前記第一真空パージ手段は、第一、および第二実施例（図１、および図５を参照）にて示すように、前記昇温室４（２４）の前記搬送経路における搬送方向上流側に配置され、パージ機構３ａを有する真空パージ室３によって構成され、前記第二真空パージ手段は、第一、および第二実施例にて示すように、前記降温室６の前記搬送経路における搬送方向下流側に配置され、パージ機構７ａを有する焼入れ室７によって構成され、あるいは、前記焼入れ室７の搬送方向下流側において、パージ機構を有する真空パージ室によって構成されることとしている。
【０１２２】
このような構成とすることで、昇温室４（２４）と、降温室６とは、（室内気圧を一時的に）減圧状態とする必要がなく、常に大気圧にて保持することが可能となる。従って、ファン１６を作動させることで容易に室内の雰囲気を対流させることができ、室内の不活性ガスを、効果的に短時間で指定の温度にまで昇温させることができる。
【０１２３】
また、本実施例におけるセル式減圧浸炭炉１（２１）では、前記浸炭拡散室９（９・９）と、前記搬送室５（２５）と、の間における被処理物５０の搬送は、前記搬送室５（２５）内に設置される搬送手段１０（２２）によって行われることとしている。
【０１２４】
このように、煤の発生要因である浸炭ガス（Ｃ２Ｈ２）が室内に充満する浸炭拡散室９（９・９）を避けて、搬送室５（２５）内にのみ搬送手段１０（２２）を設けることで、該搬送手段１０（２２）における保守点検の周期を延ばすことができ経済的である。
【０１２５】
また、室内の気温がかなりの高温状態となる浸炭拡散室９（９・９）を避けて、室内の気温が比較的低く保たれる搬送室５（２５）内に限って、前記搬送手段１０（２２）を設置するため、高温状態に耐え得る特殊な構成要素によって前記搬送手段１０（２２）を構築する必要もなく、経済的である。
【符号の説明】
【０１２６】
１    セル式減圧浸炭炉（第一実施例）
３    真空パージ室
３ａ    パージ機構
４    昇温室
５    搬送室
６    降温室
７    焼入れ室
７ａ    パージ機構
９    浸炭拡散室
１０    搬送手段
１８    断熱扉
２１    セル式減圧浸炭炉（第二実施例）
２２    搬送手段
２４    昇温室
２５    搬送室
４１    断熱扉
５０    被処理物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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