(57)【要約】【課題】流体を保存し、分配するために、制限なく、適切な結合を確保し、流体汚染の問題を回避する。【解決手段】流体保存および分配パッケージの用途に有用に使用される事前接続検証結合部と、流体分配作業にて圧力で圧縮されるライナーを組み込んだ流体保存および分配パッケージに有用に使用される空き検出システムと、キャップ付き容器からの分配コネクタの取り外しを容易にする人間工学的に強化された構造と、容器キャップの誤使用を防止するキャップ保全性保証システムと、適切な分配アセンブリと容器との結合を確保するキーコードシステムとを含み、種々のデバイス、構造および装置、さらに技術および方法を含む、流体保存および分配システムおよびプロセス。ゼロまたは略ゼロヘッドスペースの性質を達成し、オーバーパック容器内のライナーから分配される液体の可溶化効果を防止または改善する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の結合本体と、第１のキーコード構造およびインタロックを含むリングと、第２のキーコード構造を含む第２の結合本体とを備える事前接続検証結合部であって、前記リングは、第１の結合本体と協働して、前記本体が前記第２の結合本体とともに事後検証結合部内のリングに対して並進運動できるようにし、前記インタロックが、前記第１のキーコード構造と前記第２のキーコード構造との検証結合前にこのような並進運動を防止する事前接続検証結合部。
【請求項２】
前記第１の結合本体が、分配アセンブリの分配ヘッドを備える、請求項１に記載の事前接続検証結合部。
【請求項３】
前記分配ヘッドが、プローブを含む、請求項２に記載の事前接続検証結合部。
【請求項４】
前記第２の結合本体が、流体コンテナに接続される、請求項１に記載の事前接続検証結合部。
【請求項５】
前記第２の結合本体が、前記流体コンテナのキャップを備える、請求項４に記載の事前接続検証結合部。
【請求項６】
前記キャップが隔膜を備え、前記第１の結合本体が、前記第１の結合本体と前記第２の結合本体との前記事後検証結合部の前記隔膜を穿孔することができるプローブを含む、請求項５に記載の事前接続検証結合部。
【請求項７】
前記隔膜が、ゴム、セルロース材料およびポリマー材料からなるグループから選択された材料を含む、請求項６に記載の事前接続検証結合部。
【請求項８】
前記流体コンテナが、剛性オーバーパック内に可撓性ライナーを備える、請求項４に記載の事前接続検証結合部。
【請求項９】
前記可撓性ライナーが、高純度液体を保持する、請求項８に記載の事前接続検証結合部。
【請求項１０】
前記可撓性ライナーが、３次元の閉鎖ヘッドライナーである、請求項８に記載の事前接続検証結合部。
【請求項１１】
前記可撓性ライナーが、吹き込み成形した管状ポリマーフィルム材料で形成される、請求項８に記載の事前接続検証結合部。
【請求項１２】
前記可撓性ライナーが、閉鎖ヘッドライナーである、請求項８に記載の事前接続検証結合部。
【請求項１３】
前記可撓性ライナーが、未使用のポリマー材料で形成される、請求項８に記載の事前接続検証結合部。
【請求項１４】
前記可撓性ライナーが、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリブチレン、および以上のポリマーのうち１つまたは複数のモノマーを含むコポリマーからなるグループから選択された材料を含む、請求項８に記載の事前接続検証結合部。
【請求項１５】
前記可撓性ライナーが、約５ミルから約３０ミルの範囲の厚さを有する、請求項８に記載の事前接続検証結合部。
【請求項１６】
無線周波識別タグをさらに備える、請求項８に記載の事前接続検証結合部。
【請求項１７】
前記第１および第２のキーコード構造が、切り欠きおよびピン要素を備える、請求項１に記載の事前接続検証結合部。
【請求項１８】
前記第１および第２のキーコード構造が、通路と突起の要素を備える、請求項１に記載の事前接続検証結合部。
【請求項１９】
前記第１および第２のキーコード構造が、周方向に横断寸法が変化する相互に噛み合うリブを備える、請求項１に記載の事前接続検証結合部。
【請求項２０】
前記第１および第２のキーコード構造が、舌と溝の要素を含む、請求項１に記載の事前接続検証結合部。
【請求項２１】
前記第１の結合本体および前記リングが相互接続し、前記第１のキーコード構造と前記第２のキーコード構造との検証結合前に、前記第１の結合本体が付勢構造によって収縮位置に付勢され、このような検証結合の後、前記第１の結合本体に手で下方向の力を加えることによって、前記第１の結合本体が拡張位置へと下方向に並進可能で、したがって前記第１の結合本体が、前記リングを通って下方向に並進し、それに伴って前記付勢構造が圧縮される、請求項１に記載の事前接続検証結合部。
【請求項２２】
前記付勢構造が、付勢ばねを備える、請求項２１に記載の事前接続検証結合部。
【請求項２３】
前記インタロックが、電子インタロック機構、電気機械的インタロック機構、および機械的インタロック機構からなるグループから選択された機構を備える、請求項１に記載の事前接続検証結合部。
【請求項２４】
前記インタロックが、前記第１の結合本体の前記キーコード構造と前記第２の結合本体の前記キーコード構造との係合に応答するばね付勢タンブラを備える、請求項１に記載の事前接続検証結合部。
【請求項２５】
前記第１の結合本体に下方向への手の圧力が加えられると、前記ばね付勢タンブラが、前記第１の結合本体の前記キーコード構造と前記第２の結合本体の前記キーコード構造との係合に応答して、収縮し、前記第１の結合本体が前記リングを通って下方向に並進できるようにする、請求項２４に記載の事前接続検証結合部。
【請求項２６】
流体保存および分配容器と、流れ回路に接続することができる流体分配アセンブリとを備える流体保存および分配パッケージであって、前記流体保存および分配パッケージは、請求項１に記載の事前接続検証結合部を備え、前記流体分配アセンブリが前記結合本体および前記リングを備え、前記流体保存および分配容器は、自身上にキャップを有し、前記キャップが前記第２の結合本体を含む流体保存および分配パッケージ。
【請求項２７】
前記キャップが隔膜を覆い、前記流体分配アセンブリは、前記第１の結合本体と第２の結合本体が相互に十分に係合すると、前記隔膜を貫通することができるプローブを備える、請求項２６に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項２８】
前記流体保存および分配容器が、剛性オーバーパック内に可撓性ライナーを備える、請求項２７に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項２９】
前記可撓性ライナーが半導体製造用流体を封じ込めている、請求項２８に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項３０】
前記流体分配アセンブリが、分配された流体を使用位置に送出するように配置された流体流れ回路に結合する、請求項２９に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項３１】
前記流体流れ回路が、前記使用位置にて流体を使用する設備に結合する、請求項３０に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項３２】
前記流体使用設備が、半導体製造設備を備える、請求項３１に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項３３】
前記流体分配アセンブリが、流体放出導管を備える、請求項２６に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項３４】
前記流体放出導管が、流体流れ回路に接続することができる接続構造を備える、請求項３３に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項３５】
前記第１の結合本体は、前記第２の結合本体との係合を完成するために下方向に並進すると、ロック構造によって完全に係合した位置にロック可能である、請求項２６に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項３６】
前記ロック構造が、バヨネットロック構造を備える、請求項３５に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項３７】
前記ロック構造が窪みと玉の戻り止め構造を備える、請求項３５に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項３８】
第１の結合本体と、それと協働するリングとを含む事前接続検証結合部であって、それによって第２のキーコード構造を含む第２の結合本体とともに事後接続検証結合部の前記リングに対して前記本体が並進運動することができ、前記リングは第１のキーコード構造、および前記第１のキーコード構造と前記第２のキーコード構造との検証結合前にこのような並進運動を防止するインタロックを含む事前接続検証結合部。
【請求項３９】
流れ回路と結合するライナー式流体保存および分配パッケージを含み、前記パッケージ内のライナーから使用位置へと流体を送出する流体供給システムであって、前記ライナー式流体保存および分配パッケージは、前記ライナーから前記流れ回路へと圧力の媒介で流体を分配するために、前記ライナーに圧力を加えるように前記パッケージに加圧ガスを送出する加圧ガス源と結合し、さらに、前記ライナーから前記流れ回路に分配される流体の圧力を感知し、前記圧力を示すトランスジューサ出力を生成することができる圧力トランスジューサと、前記トランスジューサ出力を受信し、前記流体の圧力の変化率を測定して、前記ライナー内の流体の枯渇の開始と相関する変化率の増加を示すプロセッサ出力を提供することができるプロセッサとを含む流体供給システム。
【請求項４０】
前記加圧することが、アルゴン、ヘリウム、窒素および空気からなるグループから選択されたガスを含む、請求項３９に記載の流体供給システム。
【請求項４１】
前記ライナーが、フォトレジスト液体組成および化学機械的研磨用スラリからなるグループから選択された液体媒体を含む、請求項３９に記載の流体供給システム。
【請求項４２】
前記ライナーから前記流れ回路に分配される前記流体を濾過するように配置されたフィルタをさらに備える、請求項３９に記載の流体供給システム。
【請求項４３】
前記流れ回路内に分配ポンプをさらに備える、請求項３９に記載の流体供給システム。
【請求項４４】
前記分配ポンプが、膜ポンプ、ピストンポンプ、蠕動ポンプ、インゼクタ式ポンプ、計量流量ポンプからなるグループから選択されたポンプを備える、請求項４３に記載の流体供給システム。
【請求項４５】
前記使用位置が、半導体製造ツールを備える、請求項３９に記載の流体供給システム。
【請求項４６】
前記半導体製造ツールが、コーティングツール、エッチングツール、研磨ツール、マスキングツール、堆積ツール、揮発ツール、熱分解ツール、包装ツール、混合ツール、および緩和ツールからなるグループから選択されたツールを備える、請求項４５に記載の流体供給システム。
【請求項４７】
前記プロセッサが、前記ライナーから分配される流体の流体分配および使用を制御するように配置される、請求項３９に記載の流体供給システム。
【請求項４８】
前記プロセッサが、汎用プログラマブルコンピュータ、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラおよびプログラマブル論理制御装置からなるグループから選択される、請求項４７に記載の流体供給システム。
【請求項４９】
前記プロセッサが、さらに、前記加圧ガス源を制御して、その流れを調整することができる、請求項３９に記載の流体供給システム。
【請求項５０】
前記プロセッサが、さらに、前記加圧ガス源からの加圧ガス流量、前記使用位置での流体処理、前記流れ回路内の弁、および前記流れ回路内のポンプのうち少なくとも１つを制御することができる、請求項３９に記載の流体供給システム。
【請求項５１】
前記プロセッサが、前記プロセッサの出力を表示モニタに伝送するように配置される、請求項３９に記載の流体供給システム。
【請求項５２】
前記プロセッサが、前記加圧ガスの圧力を監視することができる、請求項３９に記載の流体供給システム。
【請求項５３】
液体媒体を封じ込めることができるライナーと、前記ライナーから圧力の媒介で液体を分配するために前記ライナーに外部からガス圧を加えることができる加圧ガス源と、前記ライナーから分配される液体媒体の圧力の変化率を監視し、前記ライナーからの液体媒体の枯渇の開始を示す勾配低下状態を出力することができるモニタとを含むライナー式流体保存および分配パッケージを備える流体供給システム。
【請求項５４】
前記モニタが、前記ライナーから分配される前記液体媒体の圧力を監視するように配置された圧力トランスジューサと、前記トランスジューサに作動状態で結合して、トランスジューサ出力信号を受信して、それを処理し、前記ライナーからの液体媒体の枯渇開始を示す前記勾配低下状態を判断し、出力するプロセッサとを含む、請求項５３に記載の流体供給システム。
【請求項５５】
流体媒体を伝達する関係で半導体製造ツールに作動状態で結合する、請求項５３に記載の流体供給システム。
【請求項５６】
前記ライナーが、フォトレジスト材料を含む、請求項５５に記載の流体供給システム。
【請求項５７】
流体を保持するライナーを含むライナー式流体保存および分配パッケージから使用位置へと前記流体を供給する方法であって、前記ライナーを漸進的に潰して、そこから流体を分配するために、前記ライナーに外部圧力を加えることと、分配作業中に前記ライナーからの流体の枯渇の開始を示す勾配低下を測定するために、時間の関数として前記分配流体の圧力を監視することとを含む方法。
【請求項５８】
前記勾配低下の測定に応答して、分配作業用に別のライナー式流体保存および分配パッケージを用意することをさらに含む、請求項５７に記載の方法。
【請求項５９】
前記使用位置への分配を継続するために、前記別のライナー式流体保存および分配パッケージへと切り換えることをさらに含む、請求項５８に記載の方法。
【請求項６０】
前記使用位置が、半導体製造ツールである、請求項５７に記載の方法。
【請求項６１】
流体の分配を実行するために圧力を受ける折りたたみ式ライナーから前記流体を供給する方法であって、時間の関数として前記分配流体の圧力を監視することと、前記ライナーからの流体の枯渇への所定の接近を示すものとして、圧力と時間の関数の勾配低下を測定することとを含む方法。
【請求項６２】
前記ライナーから分配される流体が、分配される流体の流れ回路で給送され、前記流れ回路から使用位置へと送出される、請求項６１に記載の方法。
【請求項６３】
前記給送が、計量流量ポンプによって実行され、前記使用位置が、半導体製造ツールを含む、請求項６２に記載の方法。
【請求項６４】
前記ライナーが、フォトレジストおよび化学機械的研磨用組成からなるグループから選択された流体を含む、請求項６３に記載の方法。
【請求項６５】
前記枯渇への所定の接近に到達すると、アラームが出力される、請求項６１に記載の方法。
【請求項６６】
前記枯渇への所定の接近に到達すると、別のライナーから分配を継続するために、交換作業が開始される、請求項６１に記載の方法。
【請求項６７】
前記枯渇への所定の接近に到達すると、前記ライナー内に残っている流体の在庫と調和する方法で、分配作業を終了するように前記分配作業が修正される、請求項６１に記載の方法。
【請求項６８】
その内容積に流体を保持することができる流体保存および分配容器を含む流体保存および分配システムであって、前記容器は口の開口部、前記口の開口部を密封するためにそれと係合するキャップ、および自身を通して分配するために、前記容器内の流体にアクセスするよう前記キャップと係合可能なコネクタを含む分配アセンブリとを有し、前記コネクタが、分配するために前記コネクタを所定の位置にロック状態で保持するように前記キャップと係合可能な少なくとも１つの係合部材と、前記少なくとも１つの係合部材と結合して、このような１つの係合部材が分配のために前記コネクタを所定の位置にロック状態で保持する第１の付勢位置と、前記少なくとも１つの係合部材が、前記キャップから前記コネクタが外れることを防止するために、前記キャップから係合解除される第２の解放位置との間で手動で並進可能である、手動で把持可能な部材とを含む流体保存および分配システム。
【請求項６９】
相互に対して前記コネクタの対角線で反対側に装着された２つの系統部材を備える、請求項６８に記載の流体保存および分配システム。
【請求項７０】
前記手動で把持可能な部材を手動で並進しない場合、前記手動で把持可能な部材を前記第１の付勢位置へと並進させることができる回転カム要素を含む結合アセンブリによって、前記２つの係合部材が、前記手動で把持可能な部材と結合する、請求項６９に記載の流体保存および分配システム。
【請求項７１】
前記係合部材が、クランプ部材を旋回状態で並進可能である、請求項７０に記載の流体保存および分配システム。
【請求項７２】
前記手動で把持可能な部材が、ハンドルを備える、請求項７１に記載の流体保存および分配システム。
【請求項７３】
前記ハンドルが、指の輪郭の湾曲したハンドルを備える、請求項７２に記載の流体保存および分配システム。
【請求項７４】
前記ハンドルが、前記第２の解放位置で垂直に直立し、前記第１の付勢位置では前記第２の解放位置から少なくとも９０°変位する、請求項７２に記載の流体保存および分配システム。
【請求項７５】
前記ハンドルが、前記第１の付勢位置で、前記第２の解放位置から９０°より大きく変位する、請求項７４に記載の流体保存および分配システム。
【請求項７６】
前記ハンドルが、前記第１の付勢位置で下方向に配向され、前記容器と接触する、請求項７５に記載の流体保存および分配システム。
【請求項７７】
前記手動で把持可能な部材が、ばね要素によって前記第１の付勢位置に付勢される、請求項７０に記載の流体保存および分配システム。
【請求項７８】
前記ばね要素が、ねじりばね要素を備える、請求項７７に記載の流体保存および分配システム。
【請求項７９】
前記回転カム要素は、前記手動で把持可能な部材が前記第２の解放位置にある場合に、押し出し圧力を加えるように構成された少なくとも１つの押し出しカムを備える、請求項７０に記載の流体保存および分配システム。
【請求項８０】
前記コネクタが、前記第２の解放位置で前記手動で把持可能な部材の位置を決定する制限止め機構を含む、請求項７０に記載の流体保存および分配システム。
【請求項８１】
前記制限止め機構は、前記手動で把持可能な部材が前記第２の解放位置にある場合に、前記手動で把持可能な突き当たり係合する突起を備える、請求項８０に記載の流体保存および分配システム。
【請求項８２】
前記回転カム要素は、前記手動で把持可能な部材が前記第２の解放位置にある場合に、前記容器に支承圧力を加えて、前記コネクタの係合解除を補助する押し出し構造と係合する、請求項７０に記載の流体保存および分配システム。
【請求項８３】
前記押し出し構造が前記容器と支承接触する少なくとも２つの支柱を備える、請求項８２に記載の流体保存および分配システム。
【請求項８４】
前記押し出し構造が、前記容器と支承接触する少なくとも４つの支柱を備える、請求項８２に記載の流体保存および分配システム。
【請求項８５】
前記押し出し構造が、前記容器と支承接触し、前記コネクタの対向する側に２つの支柱を含むアセンブリと、前記２つの支柱を前記コネクタの前記対向する画それぞれに結合する連結構造とを備える４つの支柱を備える、請求項８４に記載の流体保存および分配システム。
【請求項８６】
前記少なくとも１つの係合部材と結合し、前記少なくとも１つの係合部材が前記コネクタを分配するための所定の位置にロック状態で保持する第１の付勢位置と、前記少なくとも１つの係合部材が前記キャップから係合解除して、前記キャップからの前記コネクタの取り外しを防止する第２の解放位置との間を手動で並進可能である前記手動で把持可能な部材が、手動で加えられる圧迫力によって前記第１の付勢位置から第２の解放位置へと手動で押下可能な側台を備える、請求項６８に記載の流体保存および分配システム。
【請求項８７】
前記コネクタの対向する側それぞれに側台を備える、請求項８６に記載の流体保存および分配システム。
【請求項８８】
前記流体保存および分配容器が、自身内に流体を保持することができるライナーを含む、請求項６８に記載の流体保存および分配システム。
【請求項８９】
前記ライナーが、半導体製造用の高純度液体を保持する、請求項８８に記載の流体保存および分配システム。
【請求項９０】
前記回転カム要素が、心棒に装着された旋回クランプカムおよび押し出しカムを含む、請求項７０に記載の流体保存および分配システム。
【請求項９１】
ハンドルが、前記回転カム要素に結合する、請求項９０に記載の流体保存および分配システム。
【請求項９２】
前記係合部材が旋回クランプを含み、前記旋回クランプは、前記旋回クランプカムが前記ハンドルの対応する動作によって上方向に回転すると、前記旋回クランプを作動させる、請求項９１に記載の流体保存および分配システム。
【請求項９３】
前記旋回クランプカムが、このような回転の間に斜面を上昇して、前記旋回クランプを内側に押し、旋回クランプの軸の周囲にモーメントを生成して、前記旋回クランプを前記キャップとの係合から解放する、請求項９２に記載の流体保存および分配システム。
【請求項９４】
前記結合アセンブリが、前記ハンドルを前記第１の付勢位置へと落下させるトルクばねを備える、請求項９３に記載の流体保存および分配システム。
【請求項９５】
前記押し出しカムは、前記ハンドルが前記第２の解放位置として上方位置へと回転すると、前記キャップの上部分を押し出す、請求項９４に記載の流体保存および分配システム。
【請求項９６】
前記コネクタが、前記第２の解放位置として前記ハンドルを垂直位置で停止させる側面上の突起を有する、請求項９５に記載の流体保存および分配システム。
【請求項９７】
請求項６８から９６のいずれか１項に記載の流体保存および分配システムの使用を含む、流体の保存および分配方法。
【請求項９８】
円板状本体と、前記円板状本体の半径より小さい半径でそこから下方向に垂れ下がる円筒形密封壁とを備える取付具シールであって、これによって前記円板状本体は周囲フランジを形成し、前記円板状本体は、主要上面と、前記主要上面から上方向に延び、前記円板状本体の中心部分に対応する窪みを形成する環状ボスとを有する取付具シール。
【請求項９９】
前記窪みが、前記円板状本体の残りの部分を含む面から変位した面に、平面である床を有する、請求項９８に記載の取付具シール。
【請求項１００】
前記円板状本体が主要底面を有し、前記環状ボスおよび窪みが、前記円板状本体の前記底面に突起を形成する、請求項９８に記載の取付具シール。
【請求項１０１】
前記周囲フランジがテーパ状外縁部分を有する、請求項９８に記載の取付具シール。
【請求項１０２】
前記円筒形密封壁の下端部分が、内側にテーパ状の外面を有する、請求項９８に記載の取付具シール。
【請求項１０３】
取付具に配置された状態の、請求項９８に記載の取付具シール。
【請求項１０４】
前記取付具に、流体を保持することができるライナーが固定される、請求項１０３に記載の取付具シール。
【請求項１０５】
可撓性弾性材料で形成された、請求項９８に記載の取付具シール。
【請求項１０６】
前記可撓性弾性材料が、ゴムおよびポリマー材料からなるグループから選択された材料を含む、請求項１０５に記載の取付具シール。
【請求項１０７】
前記取付具と締まり嵌め状態の、請求項１０３に記載の取付具シール。
【請求項１０８】
前記取付具が、請求項９８に記載の取付具シールによって密封される、取付具を含む流体保存および分配容器。
【請求項１０９】
前記取付具シールを設置し、取り外すために手動で把持することができる引き裂きタブをさらに含む、請求項９８に記載の取付具シール。
【請求項１１０】
その首部に周方向に隔置された一連のロック用空隙を有するコンテナとロック係合することができるキャップであって、前記キャップは、円筒形側壁、およびその上端で前記円筒形側壁と接合する円形上壁を含むキャップ本体を備え、前記円筒形側壁は、前記側壁の下部分に周方向に隔置された一連の切り欠きを有し、各切り欠きは、前記切り欠きの上端に接合され、下方向に垂れ下がり、自身にかかる力がない場合は、外側に朝顔状に開く位置へと付勢される回転防止フィンガ要素を有し、前記フィンガ要素はそれぞれ、前記キャップと係合することができるコネクタが嵌合すると、その上端で前記切り欠きの前記上端に接合し、その下端で、前記ロック用空隙の１つと係合することができる半径方向内向きの耳と接合する細長い細片を備えるキャップ。
【請求項１１１】
前記フィンガ要素の下部分と前記耳とが、前記円筒形側壁の下縁部より下にある状態で、前記フィンガ要素が前記半径方向内向きの耳へと下方向に垂れ下がる、請求項１１０に記載のキャップ。
【請求項１１２】
前記ロック用空隙が、前記容器の前記首部にある状態で、前記フィンガ要素が係合から外れた位置へと付勢される、請求項１１１に記載のキャップ。
【請求項１１３】
流体を保持することができるコンテナを備える流体保存および分配パッケージであって、前記コンテナは、前記コンテナの首部に周方向に隔置された一連のロック用空隙と、前記コンテナとロック係合することができるキャップとを有し、前記キャップ本体を備えることは、円筒形側壁、およびその上端で前記円筒形側壁と接合する円形上壁を含み、前記円筒形側壁は、前記側壁の下部分に周方向に隔置された一連の切り欠きを有し、各切り欠きは、前記切り欠きの上端に接合され、下方向に垂れ下がる回転防止フィンガ要素を有し、前記フィンガ要素はそれぞれ、前記キャップと係合することができる前記コネクタが嵌合すると、その上端で前記切り欠きの前記上端に接合し、その下端で、前記ロック用空隙の１つと係合することができる半径方向内向きの耳と接合する細長い細片を備える分配パッケージ。
【請求項１１４】
前記円筒形側壁が、その内面にねじ山を有し、前記コンテナの前記首部は、前記キャップの前記ねじ山付き内面と噛み合い係合するために、その外面に相補的ねじ山を有する、請求項１１３に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１１５】
前記フィンガが前記コンテナの前記首部と前記コネクタの内面との間に挟まれ、前記耳が前記コンテナの前記首部のロック用空隙と係合した状態で、前記キャップと嵌合する分配コネクタをさらに備える、請求項１１４に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１１６】
前記コンテナが、半導体製造用の流体を保持する、請求項１１５に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１１７】
前記コンテナが、ライナー内に前記流体を保持する、請求項１１６に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１１８】
前記分配コネクタが、前記ライナー内の前記流体と接触することができるプローブを備え、前記容器から流体を分配するために、それを通って浮くように構成される、請求項１１７に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１１９】
コネクタとともにキャップが、コンテナ、前記キャップおよび前記コネクタを含む流体保存および分配パッケージの前記コンテナから外れることを防止する方法であって、前記方法は、前記コンテナの首領域にて前記コンテナにロック用空隙を設けることと、円筒形側壁、およびその上端で前記円筒形側壁と接合する円形上壁を含む前記キャップを設けることとを含み、前記円筒形側壁は、前記側壁の下部分に周方向に隔置された一連の切り欠きを有し、各切り欠きは、切り欠きの上端に接合され、下方向に垂れ下がる回転防止フィンガ要素を有し、前記フィンガ要素はそれぞれ、前記コネクタが嵌合すると、その上端で前記切り欠きの前記上端に接合し、その下端で、前記ロック用空隙の１つと係合することができる半径方向内向きの耳と接合する細長い細片を備える方法。
【請求項１２０】
流体保存および分配コンテナと係合し、自身と協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができるキャップであって、前記キャップは、その下部分に、前記流体保存および分配コンテナのロック構造と係合可能な外方向に突出する要素を有するキャップ。
【請求項１２１】
前記コンテナの相補的ねじ山と噛み合い係合するために、係合表面にねじ山を有する、請求項１２０に記載のキャップ。
【請求項１２２】
ゴムおよびポリマー材料からなるグループから選択された構成材料で形成される、請求項１２１に記載のキャップ。
【請求項１２３】
ポリエチレン、ポリプロピレンおよびポリテトラフルオロエチレンからなるグループから選択されたポリマー材料で形成される、請求項１２２に記載のキャップ。
【請求項１２４】
流体を保持することができるコンテナを備え、前記コンテナは前記コンテナの表面に口およびロック構造を含み、さらに、前記口と係合することができるキャップを備える流体保存および分配パッケージであって、前記キャップは、前記キャップと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、前記キャップは、その下部分に、前記分配コネクタが前記キャップと嵌合すると、前記ロック構造と係合可能な外方向に突出する要素を有する分配パッケージ。
【請求項１２５】
前記ロック構造が、前記キャップの回転運動を防止するために、前記キャップの前記突出要素と係合可能なラチェット構造を備える、請求項１２４に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１２６】
前記突出要素は、前記分配コネクタが前記キャップを覆うように係合していない場合、非係合位置に付勢される、請求項１２５に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１２７】
前記ロック構造が、前記コンテナの表面に直立支柱を備える、請求項１２４に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１２８】
前記キャップの下部分が通路を有し、前記突出要素が前記通路を終了させる桁を備え、それによって前記直立支柱が、前記キャップの回転を防止するために前記桁と係合可能である、請求項１２７に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１２９】
流体を保持することができるコンテナを備え、前記コンテナは前記コンテナの表面に口およびロック構造を含み、さらに、前記口と係合することができるキャップを備える流体保存および分配パッケージであって、前記キャップは、前記キャップと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、前記キャップは、その下部分に、前記分配コネクタが前記キャップと嵌合すると、前記ロック構造と係合可能な第２のロック構造を有し、前記第２のロック構造は、前記分配コネクタが前記キャップと嵌合していない場合は、前記第１のロック構造と係合不可能である。
【請求項１３０】
前記第１のロック構造が、前記コンテナの首領域に突起を備え、前記第２のロック構造が、前記キャップの下部分に切り欠きを備える、請求項１２９に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１３１】
流体を保持することができ、口を含むコンテナと、前記口と係合することができるキャップを備える流体保存および分配パッケージであって、前記キャップは、前記キャップと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、前記キャップは、前記分配コネクタが前記キャップと嵌合している場合は作動し、前記分配コネクタが前記キャップと嵌合していない場合は作動不能であるロック構造を有する分配パッケージ。
【請求項１３２】
前記ロック構造が引き裂きタブを備える、請求項１３１に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１３３】
口を含むコンテナと、流体を保持することができる前記コンテナ内のライナーと、流体が出るために前記ライナーおよび前記口に結合された開口部を含む取付具と、前記口と係合することができるキャップとを備える流体保存および分配パッケージであって、前記キャップは追加的に、前記ライナーに外部から圧力が加えられると、前記ライナーから流体を引き出すために前記キャップと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、前記分配コネクタは、ライナーに外部から圧力を加えるために、加圧ガスを前記コンテナに流入させるように前記加圧ガスと接続することができ、さらに、前記キャップと前記取付具の間に配置されて、前記コンテナ内の前記加圧ガスを密封するガスシール要素と、前記取付具にて流体が前記ライナーから逃げることを防止するプラグシールとを備える分配パッケージ。
【請求項１３４】
前記ガスシール要素が、リングシール要素を備える、請求項１３３に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１３５】
前記プラグシールが、前記キャップ上の引き裂きタブに取り付けられる、請求項１３３に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１３６】
前記キャップが、自身を通って加圧ガスを流すために加圧開口部を含む、請求項１３３に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１３７】
前記加圧開口部を密封する栓を備える、請求項１３６に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１３８】
前記分配コネクタが、挿入することによって隔膜シールを破損せずに、自身内の流体にアクセスするために前記ライナーに挿入可能なプローブを含む、請求項１３３に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１３９】
前記キャップが、自身上にポリテトラフルオロエチレンのコーティングを有する、請求項１３３に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１４０】
流体を保持することができ、第１の係合構造を含むコンテナと、前記コンテナと係合することができるキャップと、キャップ／コードリングアセンブリを形成するために前記キャップと係合可能なコードリングとを備える流体保存および分配パッケージであって、前記キャップ／コードリングアセンブリは、前記コンテナから流体を引き出すために前記キャップ／コードリングアセンブリと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、前記キャップ／コードリングアセンブリは、前記キャップ／コードリングアセンブリを前記コンテナに固定配置して、その取り外しに抗するために前記第１の係合構造と係合可能な第２の係合構造を含む分配パッケージ。
【請求項１４１】
前記コードリングが、ツールを使用して前記キャップから取り外し可能である、請求項１４０に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１４２】
前記ツールが、ねじ回しを備える、請求項１４１に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１４３】
前記キャップ／コードリングアセンブリから前記コードリングを外すと、前記キャップが前記コンテナから取り外し可能になる、請求項１４０に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１４４】
前記キャップが、前記キャップ／コードリングアセンブリから前記コードリングを外すと再使用不可能である、請求項１４３に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１４５】
前記コンテナが、前記キャップ／コードリングアセンブリに不適当な分配コネクタが設置されることを防止する誤接続干渉機構を含む、請求項１４０に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１４６】
相補的ねじ山を有するコンテナと接続するねじ山を含むキャップであって、前記キャップは、前記キャップが前記コンテナと初期係合した後、前記キャップを再使用不能にする再使用不能構造を含み、前記再使用不能構造は、前記初期係合後に前記コンテナから前記キャップを外そうとするか、外すと、前記ねじ山を変形、破壊または除去することができ、前記再使用不能構造は、ねじ山より上の区域を切断または引き裂く歯付きロックと、前記キャップを外そうとすると、前記ねじ山を引き裂くか破壊することになる構成と、戻り止めがある前記コンテナの首にねじ込まれ、それによって前記キャップを外すと高いトルクで前記ねじ山が引き剥がされる２ピースキャップと、前記キャップのねじを緩めることを防止する回転防止機能付きのねじ込みキャップと、前記キャップが、ねじを緩めることによって作動する前記ねじ山上の引き裂き区域を有し、垂直の引き裂きタブを引っ張ることによって残りのねじ山部分が除去される構成と、２ピースねじ山と、切り取り式ねじ山と、自身のねじを緩める螺旋状ねじ山と、前記キャップを外すと変形する成形ねじ山と、前記コンテナの首上の大きい形体にわたって追加的に形成され、前記キャップを前記コンテナから外すと、前記キャップねじ山が破壊される前記キャップ上のねじ山とからなるグループから選択されるキャップ。
【請求項１４７】
相補的ねじ山を有するコンテナと接続するねじ山を含むキャップであって、前記キャップは前記キャップの除去および／または再使用を防止するキャップの修正を含み、前記キャップの修正は、キャップに、所定の位置に押し込むためにツールを必要とするクリップを設け、前記キャップは、前記キャップが所定の位置に押し込まれると、素早い方法で設置または取り外し可能であることと、取り外しツールが、前記キャップを固定する所定の位置から前記ピンを引き出すことができる状態で、前記キャップを前記位置に保持するピンを設けることと、前記キャップのねじの緩みを防止するために、ねじ込みキャップに圧入ピンを設け、前記ピンは、前記キャップのねじを緩めるために、特殊なツールでしか外せないことと、ねじ込みキャップに回転防止ロックを設け、前記キャップをロック解除するために、前記コードリングを外さねばならず、前記ロックが、前記ロックを解除するために引き上げねばならないピン、または押し合わせねばならないタブを含むことと、ねじこみキャップに回転防止ロックを設け、前記キャップをロック解除するために前記コードリングを外さねばならず、前記回転防止ロックは、前記キャップの歯と前記コンテナの歯があるラチェットタイプであり、それによって特殊なツールを使用して前記キャップを外すために、高いトルクが必要であることと、把持形体を有するコードリングのトルクツールの使用が、トルクをかける場合のみであることと、前記キャップを前記コンテナに取り付けるために、前記キャップに第２のリングを設け、前記キャップを外すと、前記リングが破壊することと、前記キャップを外すために、ねじ込みキャップに引き裂きタブを設け、前記引き裂きタブを外すと前記キャップがロックしないことと、スナップで留める引き裂きリングを設け、前記スナップが前記引き裂きリングにあることと、前記コンテナから切り離すために特殊ツールを必要とするスナップ式キャップを設けることと、熱で活性化するか、濡れた状態から乾燥状態で活性化するシュリンクキャップまたはラップを設けることと、前記コンテナの首部の形体に形成されたねじなしキャップを設け、前記コンテナの形体と前記キャップとの干渉が前記キャップを所定の位置に保持し、したがって前記キャップはツールでのみ、または他の方法でこじ開けることによって除去可能であり、前記キャップを外すと、前記キャップの形成区域が剥ぎ取られ、したがって前記キャップの一部が前記コンテナに残り、特殊ツールまたは垂直の引き裂きタブで除去できることと、前記キャップが前記分配プローブとともに再び働かないように、前記キャップの除去が前記コードリングを変化させるように構築され、配置されたキャップを設けることと、前記分配プローブが外されると、前記コードリングが落ちるように、前記分配プローブを設置することによって切断されるコードリングを設けることと、前記分配プローブを外すと破壊する磁気構造を設けることと、前記キャップを外すと、前記コンテナの形体が破壊し、前記キャップの窪みにひっかかり、前記キャップを新しいコンテナで使用できないように、前記キャップの前記窪みと対合する形体を前記コンテナに製作することと、前記キャップを前記コンテナ上の所定の位置に保持し、設置されると、前記コンテナの相補的溝を下方向に滑動して、前記キャップを外すと破壊する破壊タブを、キャップに製作することと、前記キャップを外すと染料を放出するように作動する内蔵染料放出機構をキャップに製作することと、破壊されたタグを担持した空のコンテナが誤使用の証拠となるように、前記キャップを外すと破壊するセキュリティタイプのタグを前記キャップに製作することと、オペレータがキャップを切り換えることを防止する監視ソフトウェアと組み合わせて、前記パッケージに無線周波識別（ＲＦＩＤ）集積回路を設けることとからなるグループから選択されるキャップ。
【請求項１４８】
自身の間の流れ回路によって流体を使用するツールと結合することができる流体保存および分配システムであって、前記システムは、自身内のライナーから圧力の媒介で流体を分配することができるライナー式流体保存および分配パッケージを含み、前記永例回路はフィルタ、ポンプ、および分配流体の圧力を監視し、分配作業を調整することができる制御装置を作動するように構成された圧力トランスジューサを含み、前記圧力トランスジューサは、前記流体使用ツールへの流体入口で前記流れ回路に配置される流体保存および分配システム。
【請求項１４９】
前記ポンプが、分配ショットポンプを備える、請求項１４８に記載の流体保存および分配パッケージ。
【請求項１５０】
前記流体使用ツールが、自身に関連する下流のディスペンサを有する、請求項１４８に記載の流体保存および分配システム。
【請求項１５１】
流体保存および分配パッケージのライナー内でゼロまたは略ゼロヘッドスペース状態を達成する方法であって、分配は、前記ライナーに結合されたプローブの放出通路を通して前記ライナーの内容積から流体を放出するために、前記ライナーに圧力を加えて、それを漸進的に圧縮することによって実行され、前記プローブは、前記放出通路への開口部を含む先端を有するずんぐりしたプローブであり、前記ずんぐりしたプローブの前記先端は、前記ライナーから流体を放出するためにヘッドスペースガスを除去するために、前記ライナーの前記内容積の上部分に配置される方法。
【請求項１５２】
流体を分配するために圧力を受ける折りたたみ式ライナーから流体を供給する方法であって、時間の関数として前記分配流体の圧力を監視することと、前記ライナーからの流体の枯渇への所定の接近を示すものとして、圧力と時間の関数の圧力勾配低下を測定することとを含み、前記ライナーからの流体が枯渇へと前記所定の接近時点で、前記ライナーから流体をさらに分配するために、前記ライナーに圧力スパイクを与える方法。
【請求項１５３】
前記圧力スパイクを与えた後に前記ライナーから分配される流体が、前記ライナーからの流体の枯渇中に過渡的な流体供給用のリザーバへと流れる、請求項１５２に記載の方法。
【請求項１５４】
流体保存および分配容器のキャップに結合するために、コネクタ本体と、前記コネクタ本体が前記キャップ上のロック位置にある第１の位置から、自身を上方向に引っ張ることによって前記コネクタ本体が解放可能である第２の位置へと旋回自在に動作するために、前記コネクタ本体に装着されるハンドルと、コネクタ本体に装着され、前記キャップとロック係合する第１の位置と、前記キャップを解放する第２の位置との間で動作することができるクランプとを備え、前記ハンドルの端部が、前記ハンドルの前記第１の位置および前記クランプの前記第１の位置で前記クランプと係合可能であり、前記ハンドルの前記第２の位置および前記クランプの前記第２の位置で前記クランプから係合解除されるカムと結合する分配アセンブリ。
【請求項１５５】
前記ハンドルがねじりばねと結合し、前記コネクタ本体と前記ハンドルを相互接続して、前記第１の位置と第２の位置の間の前記ハンドルの前記動作を容易にする、請求項１５４に記載の分配アセンブリ。
【請求項１５６】
前記ハンドルが第２の位置へと動作した場合に、前記クランプを前記第２の位置へと並進させるために前記ハンドルと結合するホィールをさらに備える、請求項１５４に記載の分配アセンブリ。
【請求項１５７】
前記ハンドルと結合し、前記ハンドルが第２の位置へと並進した場合に、前記容器の表面と係合して、前記表面に力を加え、前記キャップからの前記コネクタヘッドの取り外しを補助することができる少なくとも１つの押し出しカムをさらに備える、請求項１５４に記載の分配アセンブリ。
【請求項１５８】
流体を使用する装置と、ライナーを圧縮して、そこから流体を分配するために、加圧ガスを与えることができるライナーを含む流体保存および分配パッケージを含む流体供給部とを含み、前記ライナーが分配作業中に自身を通って前記ライナーから流体を流すためにコネクタに結合され、さらに、前記コネクタおよび前記流体使用装置に結合する流れ回路を備え、前記ライナーが上部分に流体分配口を含み、前記コネクタが、前記流体分配口と結合するプローブを含み、前記プローブがずんぐりしたプローブを備え、それによって前記分配作業前に前記ライナーからヘッドスペースガスを通気することができ、その後、前記分配作業中に自身全体でヘッドスペースが最小限に抑えられるプロセスシステム。
【請求項１５９】
ずんぐりしたプローブを含み、キャップを含む流体保存および分配パッケージの前記キャップと結合することができるコネクタ。
【請求項１６０】
流体保存および分配パッケージのキャップと結合した状態の、請求項１５９に記載のコネクタ。
【請求項１６１】
流れ回路によってキャップ付き流体保存および分配パッケージに結合し、前記流れ回路が、前記キャップと噛み合い係合したコネクタに結合され、前記キャップおよびコネクタが請求項１に記載の事前検証結合部を備える、半導体製造ツール。
【請求項１６２】
請求項３９に記載の流体使用ツールおよび流体供給システムを含み、流体を分配する関係で、前記流れ回路によって前記流体使用ツールに作動状態で結合する半導体製造システム。
【請求項１６３】
請求項５３に記載の流体使用ツールおよび流体供給システムを含む半導体製造システム。
【請求項１６４】
請求項６８に記載の流体使用ツールおよび流体保存および分配システムを含む半導体製造システム。
【請求項１６５】
流体保存および分配容器のキャップと係合することができるコネクタであって、前記キャップが、前記キャップの誤結合および再使用を防止するために自身に結合したキーコード構造を有し、前記コネクタがずんぐりしたプローブを備えるコネクタ。
【請求項１６６】
自身上に第１のロック位置と第２の解放位置の間で動作可能なハンドルが装着される、請求項１６５に記載のコネクタ。
【請求項１６７】
流体保存および分配容器に結合することができるキャップと、前記キャップの誤結合および再使用を防止するために、前記キャップに結合するキーコード構造を備えるキャップアセンブリ。
【請求項１６８】
流体試薬を使用することを含む半導体製品の製造方法であって、前記流体試薬が、前記流体試薬を保持するライナーを含む流体保存および分配パッケージから供給され、前記ライナーが、前記流体を圧力で分配するために外部圧力を受け、前記ライナーが、前記流体の圧力分配中にゼロまたは略ゼロヘッドスペース状態に維持される方法。
【請求項１６９】
前記流体保存および分配パッケージが、流れ回路によって半導体製造ツールに結合し、前記流体の圧力分配中に、前記流れ回路内に最小限のヘッドスペースが維持される、請求項１６８に記載の方法。
【請求項１７０】
前記流体の圧力分配中に前記流れ回路内に最小限のヘッドスペースが維持される、請求項１６９に記載の方法。
【請求項１７１】
前記流体の圧力分配中に、前記ライナーがずんぐりしたプローブを含むコネクタに結合される、請求項１６８に記載の方法。
【請求項１７２】
前記流体保存および分配パッケージが、請求項２６に記載の流体保存および分配パッケージを備える、請求項１６８に記載の方法。
【請求項１７３】
前記流体保存および分配パッケージが、前記ライナーに結合したキャップを含み、前記ライナーが剛性オーバーパック内に配置され、前記キャップが、圧力で分配された流体を流すためにずんぐりしたプローブを含むコネクタと結合する、請求項１６８に記載の方法。
【請求項１７４】
前記流体保存および分配パッケージが、流体を使用する半導体製造ツールに前記ライナーから前記流体を送出するために流れ回路と結合し、圧力分配中に前記ライナーから前記流れ回路に分配された流体の圧力を感知することと、前記ライナー内の流体の枯渇開始と相関がある圧力変化率の増加を判断するために、前記流体の圧力変化率を監視することとを含む、請求項１６８に記載の方法。
【請求項１７５】
（原文に記載なし）
【請求項１７６】
（原文に記載なし）
【請求項１７７】
（原文に記載なし）
【請求項１７８】
（原文に記載なし）
【請求項１７９】
請求項５７の方法で前記製造のために流体を供給することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１８０】
前記製造に流体を供給するために、請求項６８に記載の流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１８１】
前記製造に流体を供給するために、請求項９８に記載の取付具シールを含む流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１８２】
前記製造に流体を供給するために、請求項１１０に記載のキャップを含む流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１８３】
前記製造に流体を供給するために、請求項１１３に記載の流体保存および分配パッケージを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１８４】
前記製造に流体を供給するために、請求項１２０に記載のキャップを含む流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１８５】
前記製造に流体を供給するために、請求項１２４に記載の流体保存および分配パッケージを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１８６】
前記製造に流体を供給するために、請求項１３１に記載の流体保存および分配パッケージを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１８７】
前記製造に流体を供給するために、請求項１３３に記載の流体保存および分配パッケージを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１８８】
前記製造に流体を供給するために、請求項１４０に記載の流体保存および分配パッケージを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１８９】
前記製造に流体を供給するために、請求項１４６に記載のキャップを含む流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１９０】
前記製造に流体を供給するために、請求項１４７に記載のキャップを含む流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１９１】
前記製造に流体を供給するために、請求項１４８に記載の流体保存および分配システムを使用することを含む、半導体製品の製造方法。
【請求項１９２】
請求項１に記載の事前接続検証結合部でパッケージを製作することを含む、流体保存および分配パッケージの作成方法。
【請求項１９３】
請求項３８に記載の事前接続検証結合部でパッケージを製作することを含む、流体保存および分配パッケージの作成方法。
【請求項１９４】
請求項９８に記載の取付具シールでパッケージを製作することを含む、流体保存および分配パッケージの作成方法。
【請求項１９５】
請求項１１０に記載のキャップでパッケージを製作することを含む、流体保存及び分配パッケージの作成方法。
【請求項１９６】
請求項１２０に記載のキャップでパッケージを製作することを含む、流体保存及び分配パッケージの作成方法。
【請求項１９７】
請求項１４６に記載のキャップでパッケージを製作することを含む、流体保存及び分配パッケージの作成方法。
【請求項１９８】
請求項１４７に記載のキャップでパッケージを製作することを含む、流体保存及び分配パッケージの作成方法。
【請求項１９９】
キーコードリングを含むコネクタ付きのキャップコネクタでパッケージを製作することを含む、流体保存及び分配パッケージの作成方法。
【請求項２００】
キャップの誤結合および再使用を防止するために自身に結合されたキーコード構造でパッケージを製作することを含む、流体保存及び分配パッケージの作成方法。
【請求項２０１】
流体保存および分配容器に結合したキャップからのプローブコネクタの取り外しを容易にする方法であって、前記プローブコネクタは、前記プローブコネクタを前記キャップにロック固定するクランプを有し、前記クランプが前記キャップとロック係合する下位置から、前記ハンドルが前記ハンドルを上方向に引くことによって前記クランプの解放および前記プローブコネクタの取り外しを可能にする上位置へと並進可能なハンドルを、前記プローブコネクタに製作することを含む方法。
【請求項２０２】
前記プローブコネクタが、図９〜図１７、図２８〜図３１、図３５〜図３６および図３８〜図４４のいずれか１つに関して図示し、説明したような構造を備える、請求項２０１に記載の方法。
【請求項２０３】
図９〜図１７、図２８〜図３１、図３５〜図３６および図３８〜図４４のいずれか１つに関して図示し、説明したような構造を備える分配ヘッドコネクタ。
【請求項２０４】
図４５および図４６のいずれか１つに関して図示し、説明したような構造を備える分配ヘッドコネクタ。
【請求項２０５】
本体部分を備え、前記本体部分に装着され、その上で上位置と下位置の間で旋回状態で並進可能であるハンドルを含む材料保存および分配パッケージのコネクタであって、前記コネクタは、材料保存および分配容器を閉じるために、それと結合することができ、前記コネクタは、前記容器から材料を分配する分配アセンブリを含み、さらに、前記ハンドルと作動状態で結合し、前記ハンドルが前記下位置にある場合に、前記材料保存および分配容器から前記コネクタが外れることを防止することができる圧力逃がし装置と、前記圧力逃がし装置と作動状態で結合し、前記ハンドルがこのような下位置へと旋回状態で並進した場合に、前記ハンドルを前記下位置にて維持する止め要素とを含み、前記止め要素は、前記圧力逃がし装置をして前記容器を周囲圧力に通気させ、前記ハンドルが上方向に旋回状態で並進できるようにするために、選択的に係合解除可能であり、その後に前記コネクタは、前記ハンドルが前記上位置にある場合に、前記容器から係合解除可能であり、それによって前記周囲圧力で前記コネクタを前記容器から係合解除できるようになるコネクタ。
【請求項２０６】
圧力逃がし装置が前記ハンドルの対向する各端に作動状態で結合する、請求項２０５に記載のコネクタ。
【請求項２０７】
前記ハンドルの前記対向する端部が、前記コネクタの前記本体部分に結合する心棒部分を備える、請求項２０６に記載のコネクタ。
【請求項２０８】
前記止め要素のうち２つを備え、前記心棒部分がそれぞれ、前記止め要素のうち対応する一方と係合可能なカム表面を備え、前記止め要素がそれぞれ、前記ハンドルの動作を防止するロック位置へとばねで付勢され、ロック位置から係合解除し、その後に前記ハンドルを動作可能にするために手動で押下可能であるボタンを供える、請求項２０７に記載のコネクタ。
【請求項２０９】
前記コネクタと結合した場合に、加圧ガスを容器に流すことができる加圧ガス入口アセンブリをさらに備える、請求項２０５に記載のコネクタ。
【請求項２１０】
前記圧力逃がし装置が、三方弁を備える、請求項２０５に記載のコネクタ。
【請求項２１１】
前記止め要素が、前記ハンドルと係合するロック位置と解放位置との間で手動で並進可能である滑動部材を備える、請求項２０５に記載のコネクタ。
【請求項２１２】
前記止め要素が、前記ハンドルと係合するように突起要素を拡張させるように選択的に作動可能であり、前記突起要素を収縮させて、これを前記ハンドルから係合解除させるように停止可能なシリンダを備える、請求項２０５に記載のコネクタ。
【請求項２１３】
前記突起要素が前記ハンドルの心棒部分と係合する、請求項２１２に記載のコネクタ。
【請求項２１４】
前記突起要素が、自身と結合した付勢ばねの作用によって並進する、請求項２１２に記載のコネクタ。
【請求項２１５】
材料保存および分配容器と、前記容器を閉じるためにそれと結合する、請求項２０５に記載のコネクタとを備える、材料保存および分配パッケージ。
【請求項２１６】
前記容器内にライナーをさらに備える、請求項２１５に記載の材料保存および分配パッケージ。
【請求項２１７】
前記ライナーが、化学試薬を保持する、請求項２１６に記載の材料保存および分配パッケージ。
【請求項２１８】
前記化学試薬が、フォトレジストを含む、請求項２１７に記載の材料保存および分配パッケージ。
【請求項２１９】
半導体製造ツールと結合した状態の、請求項２１７に記載の材料保存および分配パッケージ。
【請求項２２０】
前記コネクタが、さらに、前記コネクタの前記分配アセンブリを通して前記容器から材料を圧力の補助で分配するために、加圧ガス入口を備える、請求項２１５に記載の材料保存および分配パッケージ。
【請求項２２１】
材料が容器内に配置され、コネクタが前記容器に結合されて、閉じ込めパッケージを形成する材料の保存および分配方法であって、前記コネクタは、前記容器内の圧力が封じ込められる第１のロック位置と、前記容器と前記パッケージの周囲環境との圧力差がない状態で前記コネクタを前記容器から外すことができる第２の位置との間で並進可能なハンドルを含み、前記方法は、前記ハンドルが第１の位置にある間に、前記ハンドルが前記第１のロック位置から前記第２の位置へと並進できるように、前記容器を選択的に減圧することを含む方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
[0001]  本発明は、流体保存および分配システムおよびプロセスに関する。以降で開示する本発明の態様は、流体を保存し分配するための種々のデバイス、構造および装置、ならびにプロセスおよび方法に関し、適切な結合を確保し、流体汚染の問題を回避するために流体保存および分配パッケージの用途に有用に使用される事前接続検証結合部、流体保存および分配パッケージに有用に使用され、流体分配作業中に圧力で圧縮されるライナーを組み込んだ空き検出システム、キャップ付き容器から分配コネクタの取り外しを容易にするために人間工学的に強化された構造、容器キャップの誤使用を防止するキャップ保全性保証システム、および適切な分配アセンブリと容器の結合を確保するキーコード化システムを含むが、これに限定されない。
【背景技術】
【０００２】
[0002]  流体保存および分配パッケージの使用時には、パッケージは半導体製造に使用する高純度試薬などの流体を含むことができる。このような用途の流体は、多くの場合、費用がかかる性質であり、および／または誤って分配すると実際に有害である。このような理由から、例えば、流体の誤った分配で生じるような浪費による損失に対して、試薬を保護することが望ましい。また、流体の誤った分配は、製造中の半導体デバイスを傷つけるか、無駄にしてしまうこともある。さらに、半導体製造に使用される多くの化学試薬は、非常に有害な性質であり、例えば有毒、自然発火性、腐食性であるか、または他の状態で人または処理機器に曝露した場合に有害である。
【０００３】
[0003]  これらの理由から、流体保存および分配パッケージを適正かつ確実な方法で分配装置と結合することが重要である。これは、ウェーハの処理および半導体デバイスの製作の過程で多くの化学試薬パッケージが使用され、このような流体パッケージがそれぞれ、パッケージを半導体ツールまたは他の流体を使用する装置と相互接続する流れ回路に結合される多くの半導体製造作業では、特にそうである。
【０００４】
[0004]  半導体製造分野で広く使用されているパッケージの１タイプは、ライナー式流体保存および分配パッケージであり、ここでは高純度の化学試薬が可撓性のポリマーライナーに封じ込められ、ライナーが、一般に「オーバーパック」と呼ばれる剛性の外部容器内に配置される。使用時には、分配ヘッドを含む分配アセンブリがライナーに結合し、加圧ガスがオーバーパックに流入する。加圧ガスはライナーに圧縮力を加え、加えたガス圧でライナーを漸進的に潰して、ライナーから流体を分配する。種々の実施形態の分配ヘッドには、分配アセンブリがパッケージに結合され、分配作業のために適切な流れ回路に接続された場合に、ライナー内の液体中へと下方向に延びる浸漬管が構成される。ライナーは、流体で充填された後、通常はライナーの口にて隔膜シールによって大気または周囲の汚染から密封される。
【０００５】
[0005]  上述したタイプの例示的パッケージが、ＮＯＷＰＡＫ（登録商標）という商標でＡＴＭＩ，Ｉｎｃ．（コネチカット州ダンベリー）から販売されている。
【０００６】
[0006]  分配アセンブリをライナーパッケージ結合する際に、分配アセンブリおよび関連する流れ回路を適切な流体保存および分配パッケージと相互接続することが、上記理由から、非常に重要である。供給容器と分配アセンブリとのこのような結合部の本質的な問題は、不適正な結合、すなわち、誤った分配アセンブリを供給容器に接続すると、分配ヘッドの浸漬管でパッケージの密封隔膜を穿孔した場合に、汚染し、その後に誤った分配アセンブリの使用が発見されることである。これは、例えば分配アセンブリを流体パッケージの相補的接続構造に係合できないことによって、誤接続が即座に発見された場合でも、生じることがある。例えばＮＯＷＴＲＡＫ（登録商標）の商標でＡＴＭＩ，Ｉｎｃ．（米国コネチカット州ダンベリー）から販売されているタイプの容器などで、分配アセンブリと流体保存および分配容器のキャップとの誤った結合が電子的に実行されるパッケージシステムが開発されているが、電子的監視および制御に非常に費用がかかるか、実際的ではないか、またはそれ以外に実現不可能な用途では、流体送出部品のこのような誤接続を単純な機械的方法で防止することが望ましい。
【０００７】
[0007]  したがって、分配機器が不適当に選択されたパッケージからの流体で汚染される状況を回避するために、以上のタイプの流体保存および分配パッケージに適用可能な、接続の正当性を事前接続検証する結合部を提供することが、当技術分野の大きな進歩になる。
【０００８】
[0008]  上述したタイプのライナー式流体保存および分配パッケージを使用する際に重大なもう１つの問題は、上記で説明したように費用がかかる性質の流体を、分配作業の完了時にライナーに有意の量の流体が残っていない状態で効率的に使用するように、ライナーの流体内容物を可能な限り多く分配する必要があることである。
【０００９】
[0009]  ライナーパッケージを最初に充填する際に、流体は従来、パッケージのその後の保存および輸送中における流体の膨張に対応するために、例えばライナーの内容積の約５％などの名目ヘッドスペースを生成するような方法で、ライナーに装填される。これによって、ヘッドスペースはライナー内の流体の上に少量の異質のガス、例えば空気または他の周囲気体を提供する。小さい体積であるが、このヘッドスペースガスは封じ込められた流体にとって有害である。
【００１０】
[0010]  ヘッドスペースガスの主な短所は、ライナーが分配作業で外部圧力を受けると、その結果、圧縮されたヘッドスペースガスが、ヘンリーの法則に従って封じ込められた流体中で可溶化し、溶解ガスを生じることである。溶解したガスはその後、分配作業の分配トレーンに沿って分配圧力が低下するにつれて溶液から出る。このように溶解ガスが解放されると、例えば半導体製造作業で半導体製造ツールへと流れているフォトレジストなどの化学試薬の分配プロファイルが不規則で変動性になり、潜在的に深刻なウェーハの欠陥が形成され、表面上に気泡が形成されて、その後、このような気泡がはじける。それ故、ライナーに有意のヘッドスペースが存在すると、プロセスシステムでの流体の最終使用を含め、流体送出経路の範囲全体で非常に不都合な結果を伴う。
【００１１】
[0011]  この不利な効果にもかかわらず、ヘッドスペースガスは、分配作業の後段においてライナーの流体在庫の枯渇に近づいていることを判断する際の「測定流体」として有用であることから、引き続き使用されている。ヘッドスペースガスを含むライナー式パッケージから液体を分配する際に、ライナーから流体が枯渇すると、ヘッドスペースガスが分配流れ回路の吸引トレーンに引き込まれ、このようなヘッドスペースガスの混入の結果、下流の液体の流れに気泡が出現する。ヘッドスペースガスの初期気泡出現が液体流れの中で検出され、ライナー内の液体が枯渇に近づいていることの有用な指標を提供する。
【００１２】
[0012]  上述の現象は、下流のツールまたは他の使用位置に連続的に流体を供給するために、緩衝リザーバの使用と組み合わせてライナー式パッケージを使用する分配システムの「第１の気泡」検出器を設ける際に有用に利用されてきた。
【００１３】
[0013]  このようなシステムでは、「第１の気泡」空き検出器は、初期気泡を感知すると、緩衝リザーバからの過渡的な流体供給の流れを開始し、その結果、流体を使用するプロセスが中断されず、終了まで進行することができる。リザーバは、例えば５０ｍＬから２００ｍＬさらにはそれ以上の程度の体積のフォトレジスト材料を提供することができ、したがってフォトレジスト材料のライナー式パッケージが枯渇に近づくと、下流の液体に初期気泡が出現することによって示されるように、緩衝リザーバの補足的容積の栓が抜かれ、フォトレジストが適用されているウェーハのボートを終了するのに十分な流体を提供する。
【００１４】
[0014]  空き検出の「第１の気泡」感知方法は信頼性が高いことが証明されているが、ヘッドスペースガスがライナー内の液体中で可溶化し、その後に分配作業中に液体から解放されるという本質的な短所を伴う。何故なら、このようなガスの流出はライナーからの液体の枯渇を時期尚早に示し、それによりライナーからの液体を最大限に利用することができず、下流のプロセス機器の動作を妨げることがあるからである。
【００１５】
[0015]  したがって、ヘッドスペースガスを必要とせず、それと同時にライナーパッケージが空き状態に近づくことを効率的かつ確実に検出し、このような空き状態が迫っていることを十分早期に警告して、連続的な分配のために新しい流体パッケージへの切り換えに対応し、下流の流体使用位置または設備に流体を連続的に供給するために大きすぎる緩衝リザーバを必要としない、ライナー式流体保存および分配パッケージへの適用に適切な空き検出システムを提供すると、当技術分野における大きい進歩となる。
【００１６】
[0016]  上述の流体在庫管理問題とは別に、いわゆる「ドラムに袋を入れた」（ＢＩＤ）、「缶に袋を入れた」（ＢＩＣ）および「瓶に袋を入れた」（ＢＩＢ）タイプのライナー式流体保存および分配パッケージが使用され、分配アセンブリと係合している。このような目的の例示的分配アセンブリは、ＡＴＭＩ，Ｉｎｃ．（米国コネチカット州ダンベリー）から販売されているＳＭＡＲＴＰＲＯＢＥ（登録商標）コネクタであり、これは分配ヘッド（コネクタ本体）を含み、そこから浸漬管が垂れ下がり、ブレークシールと呼ばれる密封隔膜を通してライナーパッケージのキャップ口に関連する取付具内に挿入される。浸漬管は、隔膜を貫通した後、ライナー内の液体と接触し、ポンプが分配ヘッドと結合した場合に分配を実行する。隔膜シールを破壊した後、分配ヘッドをライナーのオーバーパック上に確実に配置するために、分配ヘッドに伴う旋回クランプが所定の位置にロックされる。
【００１７】
[0017]  その後に流体パッケージからＳＭＡＲＴＰＲＯＢＥ（登録商標）を外すために、使用者は旋回クランプを押下し、流体パッケージを所定の位置に保持しながら、同時にコネクタ本体に上向きの力を加えなければならない。手が小さい使用者は、通常、この分解手順に、特に旋回クランプの押下に困難を経験する。また、Ｏリングの固定シールを破壊することは非常に困難である。固定シールを破壊した後でさえ、Ｏリングがブレークシールに引っかかることが稀ではない。これらの要素が一緒になり、このようなライナー式流体保存および分配パッケージの使用の容易さに悪影響を及ぼす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
[0018]  したがって、上述の困難を回避するために、人間工学的に強化された設計のＳＭＡＲＴＰＲＯＢＥ（登録商標）タイプの分配アセンブリを提供すると、大きい進歩になる。
【００１９】
[0019]  さらに、ライナー式流体保存および分配パッケージの以前の使用に伴う短所を考察すると、コネクタが容器のキャップに係合する時に、分配アセンブリのプローブによって穿孔される、いわゆるブレークシールまたは隔膜要素では、様々な問題に遭遇する。
【００２０】
[0020]  第１に、現在使用されているブレークシールを分配プローブで破壊すると、粒子が生じ、封じ込められた化学物質中にプローブによって運ばれ、それによって封じ込められた流体の純度を損なう。第２に、現在使用されているブレークシールでは、ライナー内の化学物質の要求に一致させるために、材料を変更することができない。第３に、現在使用されているブレークシールでは、廃棄するために容器を簡単に再封することができない。第４に、現在使用されているブレークシールは、プローブが隔膜シールを穿孔しなければならず、コネクタと容器との係合に対する抵抗を生じるので、プローブコネクタアセンブリを挿入するために大きい力を必要とする。第５に、現在使用されているブレークシールのシールの保全性が、プラスチックのクリープに誘発されるシール締め付け力の低下によって損なわれることがある。
【００２１】
[0021]  これらの理由から、このような欠点を克服するブレークシール構造があれば、流体の保存および分配のためにブレークシールを装備した容器の使用および信頼性が大きく進歩する。
【００２２】
[0022]  ライナー式流体保存および分配パッケージの使用時には、クロージャキャップを通してライナー内の流体に分配プローブを挿入する。このようなパッケージでは、使用者はキャップを外すことによってコンテナを開封するように意図されていない。場合によっては、不十分な訓練または事故のせいで、プローブが設置されたままの状態で、キャップがコンテナから外されることがある。こうなると、プローブ本体からキャップを外すことが困難になり、プローブが汚染物質に曝露し、プローブ本体および取り付けられたキャップが次に別のコンテナと結合されると、その後に誤って接続される可能性がある。
【００２３】
[0023]  キャップおよびプローブの種々の特定の実施形態では、キャップおよびプローブが相互に対してキーコード化され、プローブが不適当な流体保存および分配容器に挿入されることを防止する。特定の場合、コネクタの側部で旋回クランプを押下し、コネクタを引き上げて、キャップから外せるようにし、その後にキャップを捻って容器から外すのではなく、キャップおよびプローブを同時に捻って容器から外してある。
【００２４】
[0024]  したがって、分配プローブが挿入されている場合、キャップを捻って容器から外すことができないライナー式流体保存および分配パッケージのクロージャキャップを提供すると、大きな改良点になる。
【００２５】
[0025]  現在のライナー式流体保存および分配パッケージに使用されているキャップに伴う他の欠点は、キャップの加圧開口部に関し、それを通してライナーを封じ込めた容器に加圧ガスを導入して、ライナーの外面に圧力を加え、それによってライナーに封じ込められた流体の圧力媒介の分配を達成する。このようなキャップの加圧開口部は、開封タブによって密封され、ガスを導入するために開封タブを外して、開口部を露出させると、開封タブを外すプロセスのせいで、加圧開口部に粗い縁部を生成することが多い。このような粗い縁部は、分配アセンブリの分配ノズルのＯリングシールに漏れを引き起こす。
【００２６】
[0026]  ライナー式流体保存および分配システムにキーコード化したキャップおよびプローブを使用する幾つかの場合では、使用者は、キーコードシステムを無効にするためにキャップを切り換え、このようなシステムからの流体を使用して製造した製品の損傷または破壊につながり得る出来事になることが知られている。その結果、このようなシステムのキャップは、このような切り替えを防止するロッキング機能を有するが、それでも絶対的に必要な場合にキャップを外し、新しいキャップとこれを交換できることが望ましい。このように必要になるのは、化学物質の供給業者による流体試薬のキーコード化が不適当であるか、キーコードが割り当てられていない特別化学物質およびプロセスの実験を実行するか、交換を必要とするキャップの偶発的損傷の結果であることがある。
【００２７】
[0027]  また、高純度化学試薬用のライナー式流体保存および分配パッケージが商業的に広く受け入れられている結果、種々のタイプのこのようなパッケージが普及している。流体パッケージの変種がこのように増加すると、キャップを、このようなキャップには不適切な流体保存および分配容器に誤って接続することを防止するパッケージ類を提供することも必要になる。
【課題を解決するための手段】
【００２８】
[0028]  本発明は、流体分配システムおよびプロセスに関する。
【００２９】
[0029]  本発明の１つの態様は、第１の結合本体と、第１のキーコード構造およびインタロックを含むリングと、第２のキーコード構造を含む第２の結合本体とを備える事前接続検証結合部に関し、リングは第１の結合本体と協働して、本体が第２の結合本体とともに事後検証結合部内のリングに対して並進運動できるようにし、インタロックが、第１のキーコード構造と第２のキーコード構造との検証結合前に、このような並進運動を防止する。
【００３０】
[0030]  別の態様では、本発明は、流体保存および分配容器と、流れ回路に接続することができる流体分配アセンブリとを備える流体保存および分配パッケージに関し、上記流体保存および分配パッケージは、上述したような事前接続検証結合部を備え、流体分配アセンブリは第１の結合本体およびリングを含み、流体保存および分配容器は、自身上にキャップを有し、キャップは第２の結合本体を含む。
【００３１】
[0031]  本発明のさらに別の態様は、第１の結合本体と、それと協働するリングとを含み、それによって第２のキーコード構造を含む第２の結合本体とともに事後検証結合部内のリングに対して本体が並進運動することができる事前接続検証結合部に関し、リングは、第１のキーコード構造と、第１のキーコード構造と第２のキーコード構造との検証結合前にこのような並進運動を防止するインタロックとを含む。
【００３２】
[0032]  本発明の他の態様は、流れ回路と結合するライナー式流体保存および分配パッケージを含み、上記パッケージ内のライナーから使用位置へと流体を送出する流体供給システムに関し、ライナー式流体保存および分配パッケージは、ライナーから上記流れ回路へと圧力の媒介で流体を分配するために、ライナーに圧力を加えるようにパッケージに加圧ガスを送出する加圧ガス源と結合し、さらに、ライナーから上記流れ回路に分配される流体の圧力を感知し、圧力を示すトランスジューサ出力を生成することができる圧力トランスジューサと、上記トランスジューサ出力を受信し、上記流体の圧力の変化率を測定して、ライナー内の流体の枯渇の開始と相関する変化率の増加を示すプロセッサ出力を提供することができるプロセッサとを含む。
【００３３】
[0033]  別の態様では、本発明は、液体媒体を封じ込めることができるライナーと、ライナーから圧力の媒介で液体を分配するためにライナーに外部からガス圧を加えることができる加圧ガス源と、ライナーから分配される液体媒体の圧力の変化率を監視し、ライナーからの液体媒体の枯渇の開始を示す勾配低下状態を出力することができるモニタとを含むライナー式流体保存および分配パッケージを備える流体供給システムに関する。
【００３４】
[0034]  本発明のさらに別の態様は、流体保存および分配パッケージのライナー内でゼロまたは略ゼロヘッドスペース状態を達成する方法に関し、分配は、ライナーに結合されたプローブの放出通路を通してライナーの内容積から流体を放出するために、ライナーに圧力を加えて、それを漸進的に圧縮することによって実行され、プローブは、放出通路への開口部を含む先端を有するずんぐりしたプローブであり、ずんぐりしたプローブの先端は、ライナーから流体を放出する前にヘッドスペースガスを除去するために、ライナーの内容積の上部分に配置される。
【００３５】
[0035]  本発明のさらに他の態様は、流体を保持するライナーを含むライナー式流体保存および分配パッケージから使用位置へと上記流体を供給する方法に関し、方法は、ライナーを漸進的に潰して、そこから流体を分配するために、ライナーに外部圧力を加えることと、分配作業中にライナーからの流体の枯渇の開始を示す勾配低下を測定するために、時間の関数として分配流体の圧力を監視することとを含む。
【００３６】
[0036]  他の態様では、本発明は、流体の分配を実行するために圧力を受ける折りたたみ式ライナーから流体を供給する方法に関し、このような方法は、時間の関数として分配流体の圧力を監視することと、ライナーからの流体の枯渇への所定の接近を示すものとして、圧力と時間の関数の勾配低下を測定することとを含む。
【００３７】
[0037]  他の実施形態では、本発明は、その内容積に流体を保持することができる流体保存および分配容器を含む流体保存および分配システムに関し、上記容器は口の開口部、上記口の開口部を密封するためにそれと係合するキャップ、および自身を通して分配するために、容器内の流体にアクセスするようキャップと係合可能なコネクタを含む分配アセンブリとを有し、このようなコネクタは、分配するためにコネクタを所定の位置にロック状態で保持するようにキャップと係合可能な少なくとも１つの係合部材と、少なくとも１つの係合部材と結合して、このような少なくとも１つの係合部材が分配のためにコネクタを所定の位置にロック状態で保持する第１の付勢位置（下位置）と、このような少なくとも１つの係合部材が、キャップからコネクタが外れることを防止するために、キャップから係合解除される第２の解放位置（上位置）との間で手動で並進可能である、手動で把持可能な部材とを含む。
【００３８】
[0038]  本発明の別の態様は、本発明の流体保存および分配システムを使用することを含む、流体の保存および分配方法に関する。
【００３９】
[0039]  本発明の他の態様は、円板状本体と、円板状本体の半径より小さい半径でそこから下方向に垂れ下がる円筒形密封壁とを備える取り付けシールに関し、これによって円板状本体は周囲フランジを形成し、円板状本体は、主要上面と、主要上面から上方向に延び、上記円板状本体の中心部分に対応する窪みを形成する環状ボスとを有する。
【００４０】
[0040]  別の態様では、本発明はその首部に周方向に隔置された一連のロック用空隙を有するコンテナとロック係合することができるキャップに関し、上記キャップは、円筒形側壁、およびその上端で上記円筒形側壁と接合する円形上壁を含むキャップ本体を備え、上記円筒形側壁は、上記側壁の下部分に周方向に隔置された一連の切り欠きを有し、各切り欠きは、切り欠きの上端に接合され、下方向に垂れ下がる回転防止フィンガ要素を有し、上記フィンガ要素はそれぞれ、上記キャップと係合することができるコネクタが嵌合すると、その上端で切り欠きの上端に接合し、その下端で、上記ロック用空隙の１つと係合することができる半径方向内向きの耳と接合する細長い細片を備える。
【００４１】
[0041]  本発明のさらに別の態様は、流体を保持することができるコンテナを備える流体保存および分配パッケージに関し、上記コンテナは、コンテナの首部に周方向に隔置された一連のロック用空隙と、上記コンテナとロック係合することができるキャップとを有し、上記キャップ本体を備えることは、円筒形側壁、およびその上端で上記円筒形側壁と接合する円形上壁を含み、上記円筒形側壁は、上記側壁の下部分に周方向に隔置された一連の切り欠きを有し、各切り欠きは、切り欠きの上端に接合され、下方向に垂れ下がる回転防止フィンガ要素を有し、上記フィンガ要素はそれぞれ、上記キャップと係合することができる上記コネクタが嵌合すると、その上端で切り欠きの上端に接合し、その下端で、上記ロック用空隙の１つと係合することができる半径方向内向きの耳と接合する細長い細片を備える。
【００４２】
[0042]  本発明の他の態様は、コネクタとともにキャップが、コンテナ、上記キャップおよび上記コネクタを含む流体保存および分配パッケージの上記コンテナから外れることを防止する方法に関し、上記方法は、コネクタの首領域にて上記コンテナにロック用空隙を設けることと、円筒形側壁、およびその上端で上記円筒形側壁と接合する円形上壁を含む上記キャップを設けることとを含み、上記円筒形側壁は、上記側壁の下部分に周方向に隔置された一連の切り欠きを有し、各切り欠きは、切り欠きの上端に接合され、下方向に垂れ下がる回転防止フィンガ要素を有し、上記フィンガ要素はそれぞれ、上記コネクタが嵌合すると、その上端で切り欠きの上端に接合し、その下端で、上記ロック用空隙の１つと係合することができる半径方向内向きの耳と接合する細長い細片を備える。
【００４３】
[0043]  別の態様では、本発明は、流体保存および分配コンテナと係合し、自身と協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができるキャップに関し、上記キャップは、その下部分に、流体保存および分配コンテナのロック構造と係合可能な外方向に突出する要素を有する。
【００４４】
[0044]  本発明の別の態様は、流体を保持することができるコンテナを備え、上記コンテナはコンテナの表面に口およびロック構造を含み、さらに、上記口と係合することができるキャップを備える流体保存および分配パッケージに関し、上記キャップは、キャップと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、上記キャップは、その下部分に、上記分配コネクタが上記キャップと嵌合すると、上記ロック構造と係合可能な外方向に突出する要素を有する。
【００４５】
[0045]  他の態様では、本発明は、流体を保持することができるコンテナを備え、上記コンテナはコンテナの表面に口および第１のロック構造を含み、さらに上記口と係合することができるキャップを備える流体保存および分配パッケージに関し、上記キャップは、上記キャップと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、上記キャップは、その下部分に、上記分配コネクタが上記キャップと嵌合すると、上記ロック構造と係合可能な第２のロック構造を有し、上記第２のロック構造は、上記分配コネクタが上記キャップと嵌合していない場合は、上記第１のロック構造と係合不可能である。
【００４６】
[0046]  本発明の他の態様は、流体を保持することができ、口を含むコンテナと、上記口と係合することができるキャップを備える流体保存および分配パッケージに関し、上記キャップは、キャップと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、上記キャップは、上記分配コネクタが上記キャップと嵌合している場合は作動し、上記分配コネクタが上記キャップと嵌合していない場合は作動不能であるロック構造を有する。
【００４７】
[0047]  本発明のさらに別の態様は、口を含むコンテナと、流体を保持することができる上記コンテナ内のライナーと、流体が出るために上記ライナーおよび上記口に結合された開口部を含む取付具と、上記口と係合することができるキャップとを備える流体保存および分配パッケージに関し、上記キャップは追加的に、上記ライナーに外部から圧力が加えられると、ライナーから流体を引き出すためにキャップと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、上記分配コネクタは、ライナーに外部から圧力を加えるために、加圧ガスをコンテナに流入させるように加圧ガスと接続することができ、さらに、キャップと取付具の間に配置されて、コンテナ内の加圧ガスを密封するガスシール要素と、取付具にて流体がライナーから逃げることを防止するプラグシールとを備える。
【００４８】
[0048]  別の態様では、本発明は、流体を保持することができ、第１の係合構造を含むコンテナと、上記コンテナと係合することができるキャップと、キャップ／コードリングアセンブリを形成するために上記キャップと係合可能なコードリングとを備える流体保存および分配パッケージに関し、上記キャップ／コードリングアセンブリは、コンテナから流体を引き出すためにキャップ／コードリングアセンブリと協働状態で嵌合することができる分配コネクタを含む分配アセンブリと係合することができ、キャップ／コードリングアセンブリは、キャップ／コードリングアセンブリをコンテナに固定配置して、その取り外しに抗するために上記第１の係合構造と係合可能な第２の係合構造を含む。
【００４９】
[0049]  本発明のさらに他の態様は、相補的ねじ山を有するコンテナと接続するねじ山を含むキャップに関し、上記キャップは、キャップがコンテナと初期係合した後、キャップを再使用不能にする再使用不能構造を含み、上記再使用不能構造は、上記初期係合後にコンテナからキャップを外そうとするか、または外すと、上記ねじ山を変形、破壊または除去することができ、上記再使用不能構造は、ねじ山より上の区域を切断または引き裂く歯付きロックと、キャップを外そうとすると、ねじ山を引き裂くか破壊することになる構成と、戻り止めがある容器の首にねじ込まれ、それによってキャップを外すと高いトルクでねじ山が引き剥がされる２ピースキャップと、キャップのねじを緩めることを防止する回転防止機能付きのねじ込みキャップと、キャップが、ねじを緩めることによって作動するねじ山上の引き裂き区域を有し、垂直の引き裂きタブを引っ張ることによって残りのねじ山部分が除去される構成と、２ピースねじ山と、切り取り式ねじ山と、自身のねじを緩める螺旋状ねじ山と、コンテナの首上の大きい形体にわたって追加的に形成され、キャップをコンテナから外すと、キャップねじ山が破壊されるキャップ上のねじ山とからなるグループから選択される。
【００５０】
[0050]  本発明の別の態様は、相補的ねじ山を有するコンテナと接続するねじ山を含むキャップに関し、上記キャップはキャップの除去および／または再使用を防止するキャップの修正を含み、上記キャップの修正は、キャップに、所定の位置に押し込むためにツールを必要とするクリップを設け、キャップは、クリップが所定の位置に押し込まれると、素早い方法で設置または取り外し可能であることと、取り外しツールが、キャップを固定する所定の位置からピンを引き出すことができる状態で、キャップを所定の位置に保持するピンを設けることと、キャップのねじの緩みを防止するために、ねじ込みキャップに圧入ピンを設け、ピンは、キャップのねじを緩めるために、特殊なツールでしか外せないことと、ねじ込みキャップに回転防止ロックを設け、キャップをロック解除するために、コードリングを外さねばならず、ロックが、ロックを解除するために引き上げねばならないピン、または押し合わせねばならないタブを含むことと、ねじこみキャップに回転防止ロックを設け、キャップをロック解除するためにコードリングを外さねばならず、回転防止ロックは、キャップの歯と容器の歯があるラチェットタイプであり、それによって特殊なツールを使用してキャップを外すために、高いトルクが必要であることと、把持形体を有するコードリングのトルクツールの使用が、トルクをかける場合のみであることと、キャップを容器に取り付けるために、キャップに第２のリングを設け、キャップを外すと、リングが破壊することと、キャップを外すために、スナップ式キャップに引き裂きタブを設け、引き裂きタブを外すとキャップがロックしないことと、スナップで留める引き裂きリングを設け、スナップが引き裂きリングにあることと、容器から切り離すために特殊ツールを必要とするスナップ式キャップを設けることと、熱で活性化するか、濡れた状態から乾燥状態で活性化するシュリンクキャップまたはラップを設けることと、容器の首部の形体に形成されたねじなしキャップを設け、容器の形体とキャップとの干渉がキャップを所定の位置に保持し、したがってキャップはツールでのみ、または他の方法でこじ開けることによって除去可能であり、キャップを外すと、キャップの形成区域が剥ぎ取られ、したがってキャップの一部が容器に残り、特殊ツールまたは垂直の引き裂きタブで除去できることと、キャップが分配プローブとともに再び働かないように、キャップの除去がコードリングを変化させるように構築され、配置されたキャップを設けることと、分配プローブが外されると、コードリングが落ちるように、分配プローブを設置することによって切断されるコードリングを設けることと、分配プローブを外すと破壊する磁気構造を設けることと、キャップを外すと、容器の形体が破壊し、キャップの窪みにひっかかり、キャップを新しい容器で使用できないように、キャップの窪みと対合する形体を容器に製作することと、キャップを容器上の所定の位置に保持し、設置されると、容器の相補的溝を下方向に滑動して、キャップを外すと破壊する破壊タブを、キャップに製作することと、キャップを外すと染料を放出するように作動する内蔵染料放出機構をキャップに製作することと、破壊されたタ���を担持した空の容器が誤使用の証拠となるように、キャップを外すと破壊するセキュリティタイプのタグをキャップに製作することと、オペレータがキャップを切り換えることを防止する監視ソフトウェアと組み合わせて、関連するパッケージのキャップまたは他の構成要素、例えばオーバーパック、ライナーなどに無線周波識別（ＲＦＩＤ）集積回路を設けることとからなるグループから選択される。
【００５１】
[0051]  本発明の他の態様は、自身の間の流れ回路によって流体を使用するツールと結合することができる流体保存および分配システムに関し、上記システムは、パッケージ内のライナーから圧力の媒介で流体を分配することができるライナー式流体保存および分配パッケージを含み、上記流れ回路はフィルタ、ポンプ、および分配流体の圧力を監視し、分配作業を調整することができる制御装置を作動するように構成された圧力トランスジューサを含み、上記圧力トランスジューサは、流体使用ツールへの流体入口で上記流れ回路に配置される。
【００５２】
[0052]  本発明の種々の装置、アセンブリおよびシステムに関して、以降でさらに詳細に説明するように、本発明はさらに、このような装置、アセンブリおよびシステムの本発明の態様の範囲内で、種々の構成要素、部品、サブアセンブリおよびサブシステムを含むことを理解されたい。
【００５３】
[0053]  さらに、本発明の態様の種々の実施形態を、以降ではライナー式流体保存および分配パッケージの用途で説明するが、このような態様は有用性が制限されず、他のタイプのコンテナ、容器およびパッケージ、例えばガラス瓶、金属缶、蝋引きセルロースコンテナ、デュアー瓶、アンプル、フィルムで密封したパッケージなどで実施する様々な余地がある。
【００５４】
[0054]  本発明のさらに別の態様は、流体を分配するために圧力を受ける折りたたみ式ライナーから流体を供給する方法に関し、上記方法は、時間の関数として分配流体の圧力を監視することと、ライナーからの流体の枯渇への所定の接近を示すものとして、圧力と時間の関数の圧力勾配低下を測定することとを含み、ライナーからの流体が枯渇へと上記所定の接近時点で、ライナーから流体をさらに分配するために、ライナーに圧力スパイクを与える。
【００５５】
[0055]  他の態様では、本発明は、流体保存および分配容器のキャップに結合するために、コネクタ本体と、コネクタ本体が上記キャップ上のロック位置にある第１の位置から、自身を上方向に引っ張ることによってコネクタ本体が解放可能である第２の位置へと旋回自在に動作するために、コネクタ本体に装着されるハンドルと、コネクタ本体に装着され、キャップとロック係合する第１の位置と、キャップを解放する第２の位置との間で動作することができるクランプとを備え、上記ハンドルの端部が、ハンドルの第１の位置およびクランプの第１の位置でクランプと係合可能であり、ハンドルの第２の位置およびクランプの第２の位置でクランプから係合解除されるカムと結合する分配アセンブリに関する。
【００５６】
[0056]  本発明は、別の態様で、本体部分を備え、本体部分に装着され、その上で上位置と下位置の間で旋回状態で並進可能であるハンドルを含む材料保存および分配パッケージのコネクタに関し、コネクタは、材料保存および分配容器を閉じるために、それと結合することができ、コネクタは、容器から材料を分配する分配アセンブリを含み、さらにハンドルと作動状態で結合し、ハンドルが下位置にある場合に、材料保存および分配容器からコネクタが外れることを防止することができる圧力逃がし装置と、圧力逃がし装置と作動状態で結合し、ハンドルがこのような下位置へと旋回状態で並進した場合に、ハンドルを下位置にて維持する止め要素とを含み、止め要素は、圧力逃がし装置をして容器を周囲圧力に通気させ、ハンドルが上方向に旋回状態で並進できるようにするために、選択的に係合解除可能であり、その後にコネクタは、ハンドルが上位置にある場合に、容器から係合解除可能であり、それによって上記周囲圧力でコネクタを容器から係合解除できるようになる。
【００５７】
[0057]  本発明の他の態様は、材料保存および分配容器と、以上のパラグラフで説明したように、容器を閉鎖するためにそれと結合したコネクタとを備える材料保存および分配パッケージに関する。
【００５８】
[0058]  本発明のさらに他の態様は、材料が容器内に配置され、コネクタが容器に結合されて、閉じ込めパッケージを形成する材料の保存および分配方法に関し、コネクタは、容器内の圧力が封じ込められる第１のロック位置と、容器とパッケージの周囲環境との圧力差がない状態でコネクタを容器から外すことができる第２の位置との間で並進可能なハンドルを含み、このような方法は、ハンドルが第１の位置にある間に、ハンドルが第１のロック位置から第２の位置へと並進できるように、容器を選択的に減圧することを含む。
【００５９】
[0059]  本発明の他の態様、形体および実施形態は、これに続く開示および特許請求の範囲からさらに明らかになるだろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６０】
[00117]  以下の特許および係属出願の開示は、すべての目的のために、引用によりその全体を本明細書に組み込むものとする。
【００６１】
[00118]  ２００５年４月２５日付けの、Ｇｌｅｎｎ  Ｍ．Ｔｏｍ他の「Ｚｅｒｏ  Ｈｅａｄ  Ｓｐａｃｅ／Ｍｉｎｉｍａｌ  Ｈｅａｄ  Ｓｐａｃｅ  Ｌｉｎｅｒ−Ｂａｓｅｄ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｓｔｏｒａｇｅ  ａｎｄ  Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍｓ  Ａｄａｐｔｅｄ  ｆｏｒ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ」という名称の、米国仮特許出願第６０／６７４，５７８号。
【００６２】
[00119]  ２００５年４月２５日付けの、Ｍｉｎｎａ  Ｈｏｖｉｎａ他の「Ｌｉｎｅｒ−Ｂａｓｅｄ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｓｔｏｒａｇｅ  ａｎｄ  Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍｓ  ｗｉｔｈ  Ｅｍｐｔｙ  Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ  Ｃａｐａｂｉｌｉｔｙ」という名称の、米国仮特許出願第６０／６７４，５７９号。
【００６３】
[00120]  ２００５年４月２５日付けの、Ｗｅｉｈｕａ  Ｗａｎｇ他の「Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ａｎｄ  Ｐｒｏｃｅｓｓ  ｆｏｒ  Ｓｔｏｒａｇｅ  ａｎｄ  Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ  ｏｆ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｒｅａｇｅｎｔｓ  ａｎｄ  Ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎｓ」という名称の、米国仮特許出願第６０／６７４，５７７号。
【００６４】
[00121]  ２００１年６月１３日付けの、Ｋｅｖｉｎ  Ｏ’Ｄｏｕｇｈｅｒｔｙ他の「Ｌｉｑｕｉｄ  Ｈａｎｄｌｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ  ｗｉｔｈ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ  Ｓｔｏｒａｇｅ」という名称の、米国特許出願第０９／８８０，４７２号。
【００６５】
[00122]  本発明は流体分配システムおよびプロセスに関する。種々の態様で、本発明は、適切な結合を確保して、流体汚染の問題を回避するために、流体保存および分配パッケージに有用に使用される事前接続検証結合部、さらに、流体分配作業にて圧力で圧縮されるライナー式流体保存および分配パッケージに有用に使用される空き検出システムに関する。
【００６６】
[00123]  次に図面を参照すると、図１は、本発明の事前接続検証結合部が適用可能な１つの例示的ライナー式流体保存および分配コンテナ１０の斜視図である。
【００６７】
[00124]  コンテナ１０は、ほぼ剛性のハウジング１４内に（重量で＞９９．９９％の純度を有する）高純度液体などの液体を保持することができる可撓性で弾性のライナー１２を含む。ライナー１２は任意の適切な構造を有してよく、開放頭部または閉鎖頭部構造で形成してよく、２次元ライナー構造または代替的に３次元ライナー構造として提供することができる。
【００６８】
[00125]  ライナー１２は、例えば３次元の閉鎖頭部ライナーとして形成することができる。「３次元」という用語は、ライナーに関しては管状素材から形成するライナーを意味し、ライナー構造を形成するために重ね合わせた平坦なシート素材をその重ね合わせた縁部でヒートシールすることによって形成した２次元ライナーとは異なる。管状形態のままであり、スリットまたは切断部がない管状素材、例えば管状形態のままである吹き込み成形した管状ポリマーフィルム材料を使用する際は、ライナーの側部に沿ったヒートシールおよび溶接継ぎ目は回避される。場合によっては、ライナーに応力を加えて、２次元ライナーの継ぎ目に障害を引き起こす傾向がある力および圧力に対して、ライナーの耐性を向上させることができるように、側部に溶接継ぎ目がないことが好ましい。閉鎖頭部ライナーは、密封するか、他の方法で閉じた頭部分を有するライナーであり、ライナーの頭部分に首部開口部または口の開口部が形成された開放頭部ライナーとは異なる。
【００６９】
[00126]  ライナーは任意の種々の適切な形成技術で形成することができることを理解されたい。例えば上述したように、吹き込み成形したフィルムを管状形態のままにして、ライナーを形成する。代替的に、吹き込み成形したフィルムを切断して、成分であるシートまたはウェブ形態の板またはライナーの先駆構造を生成することができる。さらに他の代替物として、フィルム材料のシートを製作して、ひだおよび他の技術を使用して３次元ライナー構造を形成し、その結果のライナー物品をオーバーパックにぴったり合わせる。したがって、種々のライナーのぴったり合う構造を使用することができ、これはライナーが配置されるオーバーパックまたは他の封じ込め容器の形状およびサイズに適合させる。
【００７０】
[00127]  特定の実施形態のライナーは、１回使用の薄膜の３次元閉鎖頭部ライナーでよく、これによってライナー１２は、使用する毎に（例えばコンテナに封じ込められた液体が枯渇した場合）外し、新しい清潔なライナーと交換して、コンテナ１０全体を再使用可能にすることができる。
【００７１】
[00128]  ライナーフィルムには、例えば、ライナーに封じ込められた液体に浸出するか、分解して、ライナーフィルム内の方が拡散率が大きく、表面に移動して可溶化するか、ライナー内の液体の汚染物質になる劣化生成物になることによって、汚染源であるか、汚染源になるような可塑剤、酸化防止剤、充填剤などの成分がないことが好ましい。
【００７２】
[00129]  ライナーは任意の適切な構成材料で形成することができ、ポリマーフィルムで形成することが好ましい。高純度流体を封じ込める用途では、ライナーは適切なフルオロポリマー材料、例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、フッ素化エチレンプロピレン（ＦＥＰ）、または過フルオロアルコキシ（ＰＦＡ）で形成することができる。代替的に、ライナーはオレフィンポリマーで形成することができる。さらに他の代替物として、ライナーは任意の適切なモノマー成分を含むコポリマーで形成することができる。ライナーフィルムは単層フィルムでよいか、または多層積層品または複合フィルム材料として形成する、例えば複数の層または成分で同時押出成形、カレンダ成形、または他の方法で、例えば１つまたは複数の中間接着層を含む多層積層品などとして製作することができる。
【００７３】
[00130]  ライナーには、未使用の（添加剤がない）ポリエチレンフィルム、未使用のポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム、または他の適切な未使用のポリマー材料、例えばポリプロピレン、ポリウレタン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリブチレンなどの実質的に純粋なフィルムを使用することが好ましい。ライナーフィルム材料の厚さは任意の適切な厚さでよく、例えば、約１．５ミル（０．００１５インチ；０．０３８１ｍｍ）から約３０ミル（０．０３０インチ；０．７６２ｍｍ）の範囲でよい。１つの実施形態では、ライナーは２０ミル（０．０２０インチ；０．５０８ｍｍ）の厚さを有する。
【００７４】
[00131]  ３次元閉鎖頭部ライナーは、任意の適切な方法で形成することができるが、ライナーを管状に吹き込み成形し、容器の上端に一体の充填開口部を形成して、これを図１に示すように口またはキャップ構造２８に接合して製造することが好ましい。したがって、ライナーは、流体を個々に導入または放出することを含む充填または分配作業のために、ライナーを適切なコネクタに結合する開口部を有することができる。ライナーの口に接合されたキャップは、手作業で取り外し可能にすることができ、ライナーの口およびキャップの特定の構造に関して、様々に構成することができる。キャップは、また、流体を導入または分配するために浸漬管と結合するように配置することができる。
【００７５】
[00132]  ライナー１２は、図１に示すようにその頂部に２つの口を含む。ライナーは、実質的に剛性のハウジングまたはオーバーパック１４内に配置され、これは図示のようにほぼ直方体形状でよく、ライナー１２を封じ込める下方の入れ物部分１６、および上方の積み重ねおよび輸送取り扱い区間１８を含む。積み重ねおよび輸送取り扱い区間１８は、対面する前および後壁２０Ａおよび２０Ｃ、および対面する側壁２０Ｂおよび２０Ｄを含む。対面する側壁２０Ｂおよび２０Ｄは、コンテナの使用時にコンテナを手で把持し、物理的に持ち上げるか、他の方法で輸送できるようにする手動取り扱い用開口部２２および２４を有する。代替的に、オーバーパックは円筒形の形態、または任意の他の適切な形状または構造でよい。
【００７６】
[00133]  ハウジング１４の下方の入れ物部分１６は、図示のようにわずかにテーパ状である。下方入れ物部分１６の４つの壁は全て、下方向に内側に向かってテーパ状になり、これによってこのようなコンテナを複数保存し、輸送する場合に、保存および輸送用のコンテナを積み重ねることができる。１つの実施形態では、ハウジング１４の下方部分１６は、１５°未満のテーパ角度、例えば約２°と１２°の間の角度を有するテーパ状壁を有することができる。
【００７７】
[00134]  ほぼ剛性のハウジング１４はオーバーパックの蓋２６も含み、これは漏れない状態でハウジング１４の壁に接合され、図示のようにライナー１２を封じ込めたハウジング１４の内部空間を制限する。
【００７８】
[00135]  ライナーは２つの剛性口を有し、これはキャップ２８に結合し、液体を分配するために浸漬管３６が自身を通過するのに対応するよう構成された主要上口を含む。浸漬管３６は、浸漬管、分配ヘッド３４、結合部３８および液体分配管４０を含む分配アセンブリの一部である。分配アセンブリは、結合部４２によって分配ヘッド３４と接合し、分配ヘッドの通路４３と連絡するガス充填管４４も含む。通路４３は、オーバーパックの蓋２６にある内容積口３０と漏れない状態で結合し、分配作業中にライナー１２に対して圧力を加えるガスの導入に対応するような構成であり、したがってライナー１２に封じ込められた液体は、中空の浸漬管３６の内部通路を通ってライナーから強制的に出され、分配アセンブリを通って液体分配管４０に至る。
【００７９】
[00136]  ライナー１２は、可撓性で潰れることができる性質であるために適切な厚さのフィルム材料で形成すると有利である。１つの実施形態では、ライナーは、定格充填容積、すなわち、ハウジング１４内に十分充填された場合に、ライナーに封じ込めることができる液体の体積の約１０％以内まで圧縮可能である。ライナーは、例えばオーバーパック内でライナーの外側にあるガス体積などの周囲環境から、ライナー内の流体にガスが浸透することを防止するために、それが使用される特定の用途にとって適切な遮断性も有していなければならない。好ましいライナー材料は、交換ユニットとして出荷中にライナーを折り曲げるか圧縮できるよう、十分に柔軟である。ライナーは、液体がライナーに封じ込められた場合に、粒子および微小な泡が形成されず、例えば半導体製造または他の高純度が重要な液体供給用途など、液体が使用される特定の最終使用用途のために、純度を効果的に維持するような組成および性質であることが好ましい。
【００８０】
[00137]  半導体製造用途では、コンテナ１０のライナー１２に封じ込められた液体が有するのは、ライナーの充填時点で、０．２５ミクロンの直径を有する７５個／ミリメートル未満の粒子でなければならず、ライナーは、液体中の全有機体成分（ＴＯＣ）が１０億分の３０未満で、カルシウム、コバルト、銅、クロム、鉄、モリブデン、マンガン、ナトリウム、ニッケルおよびタングステンなどの重要成分の金属抽出分レベルが１兆分の１０未満、フッ化水素、過酸化水素および過酸化アンモニアというライナーに封じ込める成分当たり鉄および銅抽出分レベルが１兆分の１５０未満で、半導体工業会のＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｒｏａｄｍａｐ  ｆｏｒ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ（ＳＩＡ、ＩＴＲＳ）１９９９年版に記載された規格に一致しなければならない。
【００８１】
[00138]  図１のコンテナのライナー１２は、その内部空間に図示のようなペレット４５を閉じ込め、任意選択の特徴として液体内容物の非侵襲的磁気攪拌を補助する。ペレットは、ライナー内の流体と相互作用しても無害である金属または他の材料、またはペレットが流体と適合するように不活性フィルムまたはコーティングで被覆した材料で形成することができる。磁気攪拌ペレット４５は、ラボラトリ作業で使用するような従来のタイプでよく、ライナーに液体を充填した状態で台に置くと、コンテナを攪拌し、液体を均質にして、沈殿しないようにできるように、適切な磁界発生台とともに使用することができる。液体内容物の析出または相分離を促進する状態で液体を移送した後、このような磁気攪拌機能を使用して、液体の成分を再溶解することができる。このような方法で遠隔作動可能な攪拌要素は、密封したライナーの内部に混合機を侵襲的に導入する必要がないという利点を有する。
【００８２】
[00139]  ハウジング１４のデッキ２６の口３０を、ライナーの剛性口と結合することができ、したがってライナーに２つの口を製作するか、または１つ口の構成を使用して通気可能であるようにライナーを製作することができる。
【００８３】
[00140]  ハウジング１４のデッキ２６は、ハウジングの残りの構成部品と同じで一般に剛性の材料、例えばポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、またはポリブチレンで形成することができる。
【００８４】
[00141]  コンテナ１０の他の任意選択の修正として、封じ込まれた液体および／またはその意図する用途に関する情報を提供する目的で、ライナーに無線周波識別（ＲＦＩＤ）タグ３２を設けることができる。無線周波識別タグは、無線周波トランスポンダまたは受信機を介して使用者または技術者に情報を提供するように構成することができ、使用者または技術者はこれによってコンテナ内の液体の状態、その素性、供給源、材令、意図する使用位置、およびプロセスなどを確認することができる。ＲＦＩＤ装置の代わりに、手持ち式スキャナ、受信機を装備したコンピュータなどの遠隔センサによって読み取り可能および／または送信可能である他の情報記憶装置を使用することもできる。
【００８５】
[00142]  図１のコンテナ内では、ライナー１２によって液体は温度変化による膨張および収縮が可能である。
【００８６】
[00143]  図１に示すコンテナ１０を含む分配作業では、空気または他の気体（窒素、アルゴンなど）を管４４に通して、ライナーの外面に圧力を加え、それを収縮させて、液体を浸漬管３６および分配アセンブリに通し、液体分配管４０へと押しやることができる。
【００８７】
[00144]  同様に、液体充填中にライナーが膨張するにつれ、空気が排気されるように、充填作業中に分配ヘッド３４の通路４３を通って管４４へと流れるために、ハウジング１４の内容積から口３０を通って空気を排気することができる。
【００８８】
[00145]  本発明の１つの実施形態では、流体保存および分配パッケージのライナー内にゼロまたは略ゼロヘッドスペースが維持され、ここではライナーと結合したプローブの放出通路を通ってライナーの内容積から流体を放出するために、ライナーを漸進的に圧縮するよう、それに圧力を加えて、分配を実行する。このようなパッケージを含む保存および分配システムは、放出通路への開口部を含む先端を有するずんぐりしたプローブを使用する。そのような目的で、ずんぐりしたプローブの先端は、ライナーから流体を放出するためにヘッドスペースガスを除去する前に、ライナーの内容積の上部分に配置される。
【００８９】
[00146]  本明細書では、ライナー内の流体に関して「ゼロヘッドスペース」という用語は、ライナーが全体的に液体媒体で充填され、ライナー内の液体媒体を覆うガスの体積がないことを意味する。
【００９０】
[00147]  同様に、本明細書でライナー内の流体に関して使用する「略ゼロヘッドスペース」という用語は、ライナー内の液体媒体を覆う非常に小さい体積のガスを除き、ライナーが液体媒体で実質的に完全に充填されていることを意味し、例えばガスの体積はライナー内の流体の総体積の５％未満、好ましくは流体の総体積の３％未満、より好ましくは流体の総体積の２％未満、最も好ましくは流体の総体積の１％未満である（または別の表現方法では、ライナー内の液体の体積が、ライナーの総容積の９５％を超える、好ましくはこのような総容積の９７％を超える、より好ましくは、このような総容積の９８％を超える、最も好ましくは、このような総容積の９９％を超える）。
【００９１】
[00148]  ヘッドスペースの容積が大きいほど、覆うガスが液体媒体に混入および／または可溶化する可能性が高くなる。何故なら、液体媒体は、ライナー内で飛び散り、跳ね散らされ、並進し、さらにパッケージの輸送中に周囲を囲む剛性のコンテナに対してライナーが衝突するからである。この状況の結果、液体媒体中に気泡、微小な泡、および微粒子が形成され、液体媒体を劣化させ、潜在的に意図する目的に不適切にしてしまう。この理由から、ヘッドスペースは、ライナーの内容積を液体媒体で完全に充填して、最小限に抑えることが望ましく、解消する（すなわち、ゼロまたは略ゼロヘッドスペース構造である）ことが好ましい。
【００９２】
[00149]  図２は、本発明の１つの実施形態による事前接続検証結合部の概略斜視図である。図２に示すように結合部は、剛性オーバーパック１１４内に配置されたライナー１１２を含む流体保存および分配パッケージ１００に組み込まれる。ライナー１１２は、オーバーパック１１４の円筒形上面からこのような円筒形上面の開口部を通って上方向に延びる口１６０を有する。口１６０は、口の開口部に密封隔膜１６２を含む。隔膜１６２は、ゴム、セルロースまたはポリマー材料などの任意の適切な材料で形成することができ、ライナーを効果的に密封し、その内容物を大気または周囲環境による汚染から隔離し続ける。
【００９３】
[00150]  口１６０は、中心開口部１６５を画定する円筒形のキャップ１２８が外接している。キャップ１２８の環状上面１６６はキー締め要素を特徴とし、キーコード切り欠き１６８および１７０、およびキーコードピン１７２を含む。適切なキーコード構造を提供する任意のキー締め要素を使用することができ、このような要素は、切り欠きとピンの他の順序、または代替的に、適正に係合したキャップとディスペンサを画定するために相互に協働状態で嵌合する他のタイプの噛み合い係合可能な構成要素を含むことができることを理解されたい。他の噛み合い係合可能な構成要素の例は、通路と突起の要素、周方向に横断寸法が変化する相互に噛み合うリブ、舌と溝の要素などを含む。
【００９４】
[00151]  図２のパッケージ１００では、ディスペンサ１３４が、上方の円筒形ディスペンサ本体１３８および下方の大径円筒形ディスペンサリング１４０を含むように概略的に図示されている。上部円筒形ディスペンサ本体１３８および下部円筒形ディスペンサリングは相互に接続し、したがって上部ディスペンサ本体は、付勢ばね１７７などの適切な付勢構造によって収縮位置へと付勢される。リングがキャップ１３８と係合し、その上に固定状態で配置された後、以下で説明されるように、ディスペンサ本体１２８は、ディスペンサ本体１３８に下方向の力を手で加えることによって、延長位置へと下方向に並進可能であり、したがってディスペンサ本体１３８は、周方向のディスペンサリング１４０を通って下方向に並進し、それに伴って付勢ばねが圧縮する。
【００９５】
[00152]  周方向のディスペンサリング１４０は、キャップ１２８のキー締め要素と相補的であるキーコード要素を特徴とする。ディスペンサリング１４０のキーコード要素は、キャップのキーコード切り欠き１６８と噛み合い係合可能な第１のピン１８０、キャップのキーコード切り欠き１７０と噛み合い係合可能な第２のピン１８２、およびキャップのピン１７２と噛み合い係合可能なディスペンサ連動部１７６の通路１８９を含む。
【００９６】
[00153]  ディスペンサ連動部１７６は、ピン１７２が通路１８９に入って、ピンの長さに沿ってそれと十分に係合することによって連動機構が作動するまで、リング１４０がディスペンサ本体１３８に対して動くことを防止する。連動部１７６は、例えば電子連動機構、電気機械的連動機構、機械的連動機構など、任意の適切なタイプでよい。１つの実施形態では、連動機構は、ばねで付勢されるタンブラを含み、これは収縮して、ディスペンサ本体がディスペンサリングに対してこのように下方向に並進できるように、キャップのキーコード構造との係合に応答する。
【００９７】
[00154]  連動部１７６がピンと係合すると、ディスペンサ本体１３８は、ディスペンサリング１４０に対して自由に並進可能になり、双方向の矢印Ａで示すように、ディスペンサ本体１３８に下方向の圧力を手で加えると下方向に、このような手の圧力を解放すると上方向に並進する。
【００９８】
[00155]  ディスペンサ本体１３８は、自身に関連する流体出力部Ｂを有するように概略的に図示されている。流体出力部Ｂは、プローブ１３６と流体の流れで連絡し、それによって流体をライナーからプローブおよび流体出力部Ｂを通して外部の使用位置へと、例えば流体出力部Ｂをこのような外部位置に接合する流れ回路によって送出することができる。外部位置は、例えば半導体製造ツール、または分配された流体を処理するか、処理剤として使用するか、または他の方法で使用してプロセスまたは作業を促進する他の設備など、流体を使用する設備を含む。
【００９９】
[00156]  図３に示すように、プローブ１３６は、プローブを含む分配アセンブリを伴うパッケージの全体的高さに対して、長さが短い。それ故、プローブは「ずんぐりしたプローブ」として構成され、これはここではプローブが、分配アセンブリがキャップおよび関連する容器と十分に係合した場合に、その内部の底部入口開口部をライナーの上端部分に配置するだけの長手寸法を有することを示す。例えば、プローブは、ほぼコネクタ本体の高さ寸法である長手寸法を有するか、またはコネクタ本体のこのような高さ寸法より短くてもよい。このような装置により、ライナーの上部分に存在して、その中の液体を覆うヘッドスペースガスを、液体分配の作動前にライナーから容易に通気することができ、したがって能動的なガス分配中に、容器からのガスの流出は最小限に抑えられるか、またはなくなり、下流のガスの非可溶化が同様に最小限に抑えられるか、または解消される。そのために、ライナーには図示のように、ヘッドスペースガスの除去を容易にする最上部分が構築される。
【０１００】
[00157]  したがって、化学物質がライナーから分配ネットワークを通って流れる前に、ずんぐりしたプローブによってヘッドスペースガスを除去することができる。さらに、分配前にヘッドスペースガスを除去する能力は、下流の流れ回路および最終使用施設、例えば半導体製造ツール全体で最小のヘッドスペースを達成することを容易にし、それによって供給源容器、さらにライン、下流のタンクおよびリザーバ、供給通路などでヘッドスペースガスの存在に付随する問題が最小限に抑えられるか、回避される。ヘッドスペースガスをなくし、ずんぐりしたプローブを使用して、ライナーの上端を通気することによって、液体が流れ回路および下流のプロセスネットワークの圧力低下区画で漸進的に圧力が低くなるにつれ、液体に大きいガス空隙が発生したり、液体から溶解ガスが泡だったりすることなく、ライナーから流体を圧力で分配するために最適の状態が生じる。
【０１０１】
[00158]  また、ずんぐりしたプローブは、プローブを汚染せずに誤接続の早期の検出を容易にする。何故なら、プローブを容器のキャップに係合しようとすると、ブレークシール隔膜が破壊するが、プローブは下にある液体ではなく、最初にヘッドスペース容積と接触するので、プローブが汚染されないからである。これは、以前のようにプローブの開放下端がライナーの下部分に配置される長いプローブを使用することより、明らかに有利である。
【０１０２】
[00159]  １つの実施形態では、流体出力部Ｂは、流体放出導管と下流の流れ回路との相互接続を容易にする接続構造を装備した流体放出導管によって構成される。
【０１０３】
[00160]  ライナーおよび下流のネットワークおよび流れ回路のヘッドスペースを最小限に抑えることは、当技術分野の大きな進歩である。何故なら、これまで、化学試薬ライナーは通常、空気を充填した状態で化学試薬を充填し、ライナー内の流体の温度が大きく変化するような保存および輸送中に、ライナー内の液体の膨張に対応するためにライナーに約５％のヘッドスペースガスを導入していた。流体を分配するために、ライナーの外面に圧力を加えている間にヘッドスペースガスが加圧されると、このように加圧されたヘッドスペースガスが溶液に入り、ヘッドスペースガスが分配液に混入するばかりでなく、その後には液体から流出し、ヘッドスペースガスが下流システム全体に持ち込まれる可能性があり、その結果、ポンプ、質量流量制御装置、および下流のプロセスシステムの他の構成要素と干渉する可能性があるガスのスラグとなる。
【０１０４】
[00161]  液体を封じ込めたパッケージで可能な限り最高の高さに、ヘッドスペースガスが通気する口を設けることにより、ヘッドスペースガスの完全な、またはほぼ完全な通気を達成することができ、したがって最上口がヘッドスペースガスを最初に除去し、その後にパッケージから液体を放出する働きをすることができる。
【０１０５】
[0062]  このように口の高さを可能な限り最高にすることは、幾つかの利点がある。（ｉ）広範囲のサイズのパッケージ容積にわたって、ずんぐりしたプローブを使用できるように、任意のサイズのパッケージに実施することができ、（ｉｉ）プローブとキャップの間のこの接続は、相互汚染が生じる前に、容易に検出され、（ｉｉｉ）プローブと口の設計に、１つのサイズで全部に当てはまるという方法を使用することにより、製造費を最小限に抑えることができる。
【０１０６】
[00163]  図２のシステムの分配作業では、加圧ガスをライナーの外側にあるオーバーパックの内容積に導入し、したがって加圧ガスがライナーに圧縮力を加え、漸進的に収縮させ、ライナーから流体を圧力で分配する。したがって、フォトレジストなどのライナー内の流体は、強制的にプローブ１３６およびディスペンサ本体１３８の通路（図示せず）を通過して、流体出力部Ｂに至り、そこから下流の流れ回路に渡される。
【０１０７】
[00164]  図２に示す装置によって、ディスペンサリング１４０は最初にキャップと係合し、したがってキー締め要素が相互に噛み合う。誤ったディスペンサを流体保存および分配パッケージ１００と結合しようとした誤接続のせいで、リングおよびキャップの個々のキー締め要素が相互に係合しないと、プローブ１３６と密封隔膜１６２との係合およびその穿孔が防止される。したがって、不適当な要素と接続しようとしたことが即座に検出され、ディスペンサおよびキャップのキーコード構造がない場合に生じるような、ディスペンサに閉じ込められた流体の汚染が発生しない。
【０１０８】
[00165]  流体保存および分配パッケージ１００と係合するために適切なディスペンサが選択されている場合、リング１４０とキャップ２８が係合すると、ディスペンサ連動部１７６が停止し、そうすると、ディスペンサ本体に手で圧力を加えることによって、ディスペンサ本体１３８をリング１４０に対して垂直下方向に並進させることができる。その後、ディスペンサ本体１３８は下方向に並進し、したがってプローブ１３６が隔膜１６２と係合して、それを穿孔し、それによってディスペンサ１３４は、オーバーパック１１４内のライナー１１２から流体を放出することを含む分配作業の状態になる。
【０１０９】
[00166]  ディスペンサ本体が分配位置へと下方向に並進したら、パッケージ１００から流体を分配させるためにディスペンサ本体を延長下部位置にロックするバヨネットロック構造、または窪みと玉の戻り止め構造、または他の構造装置のような適切なロック構造（図２には図示せず）によって、ディスペンサ本体を所定の位置にロックすることができる。
【０１１０】
[00167]  したがって、図２に示す流体保存および分配システムは、第２の結合部本体が第２のキーコード構造を含む状態で、本体が事後検証結合部のリングに対して並進運動できるように、第１の結合本体およびそれと協働するリングを含むものとして、本発明の事前接続検証結合部を組み込んだディスペンサ１３４およびパッケージ１００を使用し、リングは、第１のキーコード構造と第２のキーコード構造との検証結合前に、このような並進運動を防止する第１のキーコード構造および連動部を含む。「検証結合」という用語は、第１および第２のキーコード構造が相補的であり、相互に適切に填ることを示すように、第１および第２のキーコード構造が十分かつ好ましくは十分に相互に係合することを指す。
【０１１１】
[00168]  例示的実施例として、図２の流体保存および分配システムについて説明しているが、本発明の事前接続検証結合の用途はこのように制限されず、第１の結合体と第２の結合体との完全な係合によって結合部を組み立てる前に、適切に一致するように結合部材を検証することが望ましい他の実施例にも拡大し、これを包含する。したがって、第１および第２の結合体は、例えばコネクタ、噛み合い可能な取付具、係合可能なロック構造など、任意の適切なタイプでよい。
【０１１２】
[00169]  図３は、流れ回路によって半導体製造ツール２３８と相互接続するライナー式流体保存および分配パッケージ２００、および本発明の１つの実施形態による空き検出システムを含むプロセス構成２５０の概略図である。
【０１１３】
[00170]  ライナー式流体保存および分配パッケージ２００は、剛性オーバーパック２０２の内容積２０４に配置されたライナー２０６を含む。オーバーパック２０２の内容積２０４は、加圧ガス供給ライン２１０によって適切な加圧ガスの源２１２と流体連絡する。加圧ガスは、ライナー式流体保存および分配パッケージの所与の用途に必要または望ましい通り、例えばアルゴン、ヘリウム、窒素、空気などの任意の適切なタイプでよい。
【０１１４】
[00171]  ライナー２０６は、フォトレジスト液体組成、化学機械的研磨用スラリ、または他の適切な流体組成などの流体を封じ込めている。ライナーは、流体を分配する関係で下流の流体使用半導体製造ツール２３８と、分配ライン２０８を含む流れ回路によって結合する。分配ライン２０８は、プロセス設備の特定の実施態様の必要または所望に応じて、任意選択で流体処理、監視または制御ユニット２１８を含む。このようなユニット２１８には、特定の用途の必要または所望に応じて、通気ライン２１９を設けることができる。
【０１１５】
[00172]  このような実施形態のライナー２０６は、ライナーの外部周囲環境のガスに対して耐浸透性である遮断フィルムで形成することができる。例えば、ライナーは、ライナーの外面と接触しているガスから空気または他の周囲環境ガス種が侵入することを防止するために、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルムで形成することができる。さらに一般的には、「Ｚｅｒｏ  Ｈｅａｄ  Ｓｐａｃｅ／Ｍｉｎｉｍａｌ  Ｈｅａｄ  Ｓｐａｃｅ  Ｌｉｎｅｒ−Ｂａｓｅｄ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｓｔｏｒａｇｅ  ａｎｄ  Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍｓ  Ａｄａｐｔｅｄ  ｆｏｒ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ」という名称の、２００５年４月２５日付けの、同時係属米国仮特許出願第６０／６７４，５７８号に開示されている性質の多層積層品および遮断フィルムを、本発明の特定の実施形態に有利に使用することができる。その開示は引用によりその全体を本明細書に組み込むものとする。
【０１１６】
[00173]  分配作業は、供給源２１２からライン２１０を通ってライナー式パッケージの内容積２０４に加圧ガスを流して実行される。内容積では、加圧ガスがライナー２０６の外面に圧力を加え、それによって流体が強制的に分配ライン２０８に入るように、ライナーを圧縮し、潰す働きをする。
【０１１７】
[00174]  流体は分配ライン２０８からフィルタ２２０に入り、これは流体を脱気するか、液体から微粒子を除去するか、または他の方法でその後の使用のために液体の性質または品質を改善する働きをする。フィルタ２２０は、所望に応じてフィルタからガスおよび／または液体を抜くために、自身内に流れ制御弁２２４を含む通気管路２２２を含む。ライン２２２内の通気された流れは、例えばフィルタ２２０の濾過作業によって生成される濃縮水流でよい。
【０１１８】
[00175]  フィルタ２２０で濾過することによって生成された濾液は、分配ポンプ２３２の上流および下流それぞれに流量制御弁２２８および２３４を含む流体供給ライン２２６に放出される。流量制御弁２２８は自動弁アクチュエータ２３０を伴い、流量制御弁２３４は自動弁アクチュエータ２３６を伴う。
【０１１９】
[00176]  分配ポンプ２３２は、膜ポンプ、ピストンポンプ、蠕動ポンプ、インゼクタ式ポンプ、計量流量ポンプなどを含む任意の適切なタイプでよい。特定のポンプの選択は、分配される流体の性質、下流の流体使用位置または設備の要件、ポンプが関連する流れ回路での圧力低下などに依存する。
【０１２０】
[00177]  分配された流体は、流体供給線２２６から、これを使用するツール２３８に送出される。ツールは、コーティング、エッチング、研磨、マスキング、堆積、揮発、熱分解、包装、混合、緩和または他のタイプのツールを含む任意の適切なタイプでよい。
【０１２１】
[00178]  流体分配および使用作業は、図３に例示的に図示されたプロセス設備で、中央処理装置ユニット（ＣＰＵ）２４０などの制御システムを使用して、制御された方法で実行することができる。ＣＰＵは、汎用プログラマブルコンピュータ、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、プログラマブル論理制御装置などの任意の適切なタイプでよい。
【０１２２】
[00179]  図３に例示的に示した例示的プロセス設備では、ＣＰＵが、圧力感知ライン２１４によって流体分配ライン２０８に接続された圧力トランスジューサ２１６に、動作可能に結合する。圧力トランスジューサは、分配ライン２０８内で分配流体の圧力を検出し、それに応答して、感知した圧力に対応する信号を生成するのに効果的な任意の適切なタイプでよい。このような応答信号は、トランスジューサ２１６から信号伝送路２４８内をＣＰＵに送信される。
【０１２３】
[00180]  ＣＰＵ２４０は、トランスジューサ２１６からのこのような感知圧力信号に応答して、プロセス設備の構成要素を調節するように配置することができる。例えば、源２１２への信号伝送路２４６内で伝送される制御信号によって加圧ガス源２１２を、信号伝送路２６０で伝送された制御信号によって流体処理、監視または制御ユニット２１８を、信号伝送路２５２で伝送された制御信号によって弁アクチュエータ２３０を、信号伝送路２５６で伝送された制御信号によって弁アクチュエータ２３６を、および／または信号伝送路２５４で伝送された制御信号によってポンプ２３２を調節する。このような方法で、トランスジューサ２１６によって感知された分配圧力に応答して、種々の被制御システム構成要素を変調することができる。
【０１２４】
[00181]  図３の実施形態のＣＰＵ２４０は、例えば信号伝送路２４２によってＣＰＵに連結された表示モニタ２４４、または他の出力装置または出力機能またはサブシステムを含む出力装置２４４と通信するように配置される。
【０１２５】
[00182]  本発明の１つの実施形態のＣＰＵは、分配された流体の圧力、さらに加圧ガスの圧力を監視するように構成され、配置される。加圧ガスの圧力を監視するために、源２１２は、信号伝送路２４６に動作可能に結合され、源２１２内の加圧ガスの圧力と相関的な信号をＣＰＵに伝送するように配置された圧力トランスジューサを伴ってよい。したがって、信号伝送路２４６は、ＣＰＵと源２１２の間で信号を伝送することができる双方向の信号伝送路または多重回線ケーブルでよいことを理解されたい。
【０１２６】
[00183]  本発明の上述した実施形態は、可撓ライナーに圧力を加えることによってそこから流体を分配する場合、十分に潰れた位置（ライナーの流体が枯渇している状態）に近づいているライナーの漸進的な潰れは、加えた圧力に応答したライナーの摩擦に変化を伴う。特に、ライナーが潰れるにつれて、十分に潰れた位置に近づいている分配終了付近で、追加的にライナーが潰れる増分毎にライナーの摩擦が増加する。摩擦が増加すると、ライナーを潰すためにさらに多くの加圧ガスのエネルギが消費され、分配される流体の圧力が低下し始め、最初は低い変化率であるが、ライナーの空き状態に最終的に近づくにつれて、分配作業の終了時に、さらに急速（迅速）になる。
【０１２７】
[00184]  前述した比較的低い変化率で分配流体の圧力が低下すると、分配流体について時間の関数として圧力を示すプロットで容易に識別可能な変化を示す。したがって、圧力曲線の「勾配低下」は、容器が枯渇に近づいていることを早期に示し、このような勾配低下の後に、容器が枯渇（空きまたは実質的に空き）状態へと進行するにつれ、勾配が急になる。
【０１２８】
[00185]  このような圧力分配の性質に基づき、流れ回路を通して分配流体を流すためにライナー式パッケージと結合されるポンプまたは他の動力付き流体駆動装置を選択するか、別の方法で設定し、分配作業の全範囲にわたって、すなわち、最初にライナーが満杯の状態から初期の勾配低下圧力挙動に進み、最後に空きまたはほぼ空きの状態へと急勾配が低下するまで、分配できるようにする駆動圧力を提供する。
【０１２９】
[00186]  例示的な例として、ライナー式パッケージから半導体製造ツールにフォトレジストを送出する図３に示す一般的なタイプのシステムでは、動力付き流体駆動装置の圧力設定点は７ｐｓｉｇでよく、動力付き流体駆動装置は、吸引ステップが各ショットの前にある給送サイクルの一部として、連続する別個の小さい体積、すなわち、「ショット」の状態で流体を給送するように配置された計量流量ポンプでよい。分配終了状態が近づくと、分配されるショットの圧力対時間の勾配が、緩やかに低下し始める。６ｐｓｉｇの圧力では、ライナー内に５０ｍＬより多くのフォトレジストが残っている。（設定点）圧力が７ｐｓｉｇから６ｐｓｉｇに低下すると、空き状態に近づいたという初期の警告表示が提供される。次に、圧力は空き状態の約１．５ｐｓｉｇまで急速に低下し、こうなるとそれ以上の液体の給送は不可能である。このような空き状態では、１０ｍＬより非常に少ない体積の極めて少量のフォトレジスト、例えば５ｍＬのフォトレジストがパッケージに残り、パッケージに最初に供給されたフォトレジストの９９．７５％を超える全体的使用レベルになる。
【０１３０】
[00187]  したがって、分配される流体圧力のこの分配終了時変化に基づく空き検出システムおよび方法は、流体を使用するプロセスに予備流体を順次供給するための外部リザーバの必要性を最小限に抑えるか、場合によっては必要性をなくすように、ライナー内の流体の枯渇状態の開始を十分に示す。その結果、予備流体の滞留量在庫がその分だけ最小限に抑えられるか、さらにはなくなり、プロセスの全体的経済性がその分だけ改善される。
【０１３１】
[00188]  図４〜図８は、動力付き流体駆動装置が、反復サイクルにおいて吸引ステップと正の流体変位ステップとが交互して作動するショット分配ポンプである、図３に関して説明したタイプのライナー式パッケージについて、流体分配作業中の分配システムの挙動を示す圧力と時間のグラフである。圧力プロファイル、分配ショットの変動性、および最終残留液体を、試験液として脱イオン水を使用し、システムを４回運転して求めた。液体の分配率は、６０秒毎のショットで６秒間にわたって５ｍＬを分配した（すなわち、毎分５ｍＬのショット１回）。空き状態に近いライナー式パッケージの圧力崩壊のプロファイルを捕捉し、分配ショットのプロファイルを記録して、さらに最終的な空き状態で残留化学物質を測定するために試験を実行した。加圧ガスは７ｐｓｉｇの清浄な乾燥空気であった。
【０１３２】
[00189]  図４は、前述したライナー式流体保存および分配パッケージについて、秒単位の時間の関数として、ｐｓｉｇ単位のパッケージ圧力とグラム単位の分配流体重量とを示すグラフであり、容器内に最後の２５０ｍＬの液体がある分配作業中のシステムの圧力挙動を示す。このグラフでは、曲線Ａは、パッケージの圧力、曲線Ｂは、分配される流量のグラム単位の累積重量であり、このような分配流体を計量することによって測定されている。グラフで示すように、枯渇状態に近づいたという初期の警告は、分配用の水が約４０ｍＬ残っている２４００秒近辺で発生した。空き状態には約２８５０秒で到達し、ライナー内の残留液体は９ｍＬであった。
【０１３３】
[00190]  図５は、前述したライナー式流体保存および分配パッケージについて、秒単位の時間の関数として、ｐｓｉｇ単位のパッケージ圧力とグラム単位の分配流体重量とを示すグラフであり、容器内に最後の５５０ｍＬの液体がある分配作業中のシステムの圧力挙動を示す。このグラフでは、曲線Ａはパッケージの圧力、曲線Ｂは、分配される流量のグラム単位の累積重量であり、このような分配流体を計量することによって測定されている。グラフで示すように、枯渇状態の開始を示す勾配低下は、分配時間の６６００秒近辺で発生した。ライナーの完全な枯渇は、分配時間の約７２５０秒で発生した。
【０１３４】
[00191]  図６は、循環吸引ポンプの作用によって一連の連続的「ショット」で液体が分配されるライナー式流体保存および分配パッケージについて、秒単位の時間の関数として、ｐｓｉｇ単位のパッケージ圧力とグラム単位の分配流体重量とを示すグラフであり、容器内に最後の５０ｍＬの液体がある分配作業中のシステムの圧力挙動を示す。このグラフでは、曲線Ａはパッケージの圧力、曲線Ｂは、分配される流量のグラム単位の累積重量であり、このような分配流体を計量することによって測定されている。曲線Ｂの階段状プロファイルが容易に明白であり、曲線に沿ったステップのサイズの同一性は、ポンプサイクルの連続的なショット分配区画で、流体の一定の体積部分が分配されることを反映している。曲線Ａのプロファイルは、吸引サイクル中の圧力低下、および吸引ストローク後の弛緩を反映している。
【０１３５】
[00192]  図７は、循環吸引ポンプの作用によって、それぞれが１．４２ｇの液体を含む一連の連続的「ショット」で液体が分配されるライナー式流体保存および分配パッケージについて、秒単位の時間の関数として、ｐｓｉｇ単位のパッケージ圧力（曲線Ａ）とグラム単位の分配流体重量（曲線Ｂ）とを示すグラフである。グラフは、分配作業中の流体保存および分配パッケージからの最後の７分配ショットについてのデータ、さらにデータを当てはめる一次方程式を示す。曲線Ｃは、曲線Ｂのデータに当てはめた式、ｙ＝０．０２３７ｘ＋１４５．６７の線である。
【０１３６】
[00193]  図８は、循環吸引ポンプの作用によって一連の連続的「ショット」で液体が分配されるライナー式流体保存および分配パッケージについて、秒単位の時間の関数として、ｐｓｉｇ単位のパッケージ圧力とグラム単位の分配流体重量とを示すグラフであり、分配作業中の流体保存および分配パッケージからの最後の４分配ショットについてのデータ、さらにデータを当てはめる一次方程式を示す。このグラフでは、曲線Ａはパッケージの圧力、曲線Ｂは、分配される流量のグラム単位の累積重量であり、このような分配流体を計量することによって測定されている。曲線Ｃは、曲線Ｂのデータに当てはめた式、ｙ＝０．０２８６ｘ＋１６．７４６の線である。グラフは、液体分配の最後の４ショットでパッケージ圧力曲線の分配プロファイルの低下を示し、分配時間の約４２００秒で、ライナーの液体在庫の枯渇状態が開始したことを反映している。
【０１３７】
[00194]  以上から、分配中の流体について、分配時間の関数としての圧力曲線によって明らかにされる圧力勾配の低下は、時間の関数としての圧力の変化率が大幅に増加し始めるので、その後の分配のために新しい流体パッケージと交換できるようにするために、十分に早期の性質の空き検出機能を提供するか、または先行技術の「第１の気泡」空き検出方法を使用した場合に必要とされるよりも非常に小さい過渡的流体源を、連続するパッケージの配備間に提供する空き検出機能を提供する。
【０１３８】
[00195]  本発明の１つの実施形態では、ライナー式パッケージを図３に示す方法で配置することができ、ライナー内の流体圧力を検出するように配置されたトランスジューサなどの圧力モニタが、適切な措置を開始するように構成された制御システムに動作可能に結合される。例えば、制御システムは、分配流体の枯渇状態の開始を示すアラームを出力するように配置することができ、したがって流体供給パッケージの交換を適時に実行することができ、作業の連続性が確保される。代替的に、制御システムは、その後に第１の流体供給パッケージが枯渇した場合に、「ぴったりの」交換を実行できるように、流体分配を第１のパッケージから新しい第２のパッケージへと切り換える初期準備を開始するように配置することができる。さらに他の代替方法として、制御システムは、ライナー式パッケージに残っている流体の使用可能な在庫と密接に調和した方法で、流体使用プロセスを終了するように構築し、配置することができる。
【０１３９】
[00196]  本発明の空き検出システムは、多種多様な特定の形態で実施することができ、ライナーの枯渇状態開始の検出に応答して取られる様々な特定の措置により実施できることが明らかである。
【０１４０】
[00197]  本発明は、封じ込められた流体の分配作業において、下流の流体使用プロセスに接続されたライナー式流体保存および分配システムと組み合わせて、事前接続検証結合部、ならびに空き検出システムを使用する種々の形態で実践できることがさらに明らかである。
【０１４１】
[00198]  別の態様では、本発明は、流体を分配するために圧力を受けて潰れるライナーから流体を供給する方法を想定し、このような方法は、時間の関数として分配流体の圧力を監視することと、ライナーからの流体の枯渇へと所定の接近を示すものとして、圧力と時間の関数の圧力勾配低下を求めることと、ライナーからの流体の枯渇へと所定の接近時点で、ライナーから流体をさらに分配するために、ライナーに圧力スパイクを加えることとを含む。
【０１４２】
[00199]  このような方法の他の変形では、圧力スパイクを加えた後にライナーから分配される流体は、ライナーからの流体が枯渇している間に、流体の過渡的供給用リザーバに流れ、下流の流体使用装置または他の最終使用位置への流体分配の連続性を確保する。
【０１４３】
[00200]  本発明の別の態様は、流体保存および分配容器のキャップに結合するために使用されるタイプのディスペンサヘッドコネクタに関する。本発明によると、コネクタは人間工学的に向上した性質であり、先行技術のコネクタの使用時に遭遇した困難がなく、使用を容易にする。本発明は、コネクタをライナー式流体保存および分配パッケージに容易に設置し、そこから外す「押し出し」機構がある人間工学的ハンドルに関する。
【０１４４】
[00201]  人間工学的コネクタの例示的実施形態が、図９〜図１７に図示されている。
【０１４５】
[00202]  次に図９を参照すると、剛性オーバーパックの内部に配置され、例えば半導体製造用途の高純度液体などの液体を保持することができる薄膜ライナーを含む、瓶に袋を入れた（ＢＩＢ）容器３０２と係合した状態で、コネクタ３００が図示されている。コネクタ３００は、容器のキャップ３０４とロック係合した旋回クランプ３０６および３０８を含む旋回クランプアセンブリが装着された本体部分３０１を含む。旋回クランプカム３１４および３１６が旋回クランプと結合し、図示のように旋回クランプカム３１４および３１６に接続されたハンドル３１８の位置に応じて、クランプを係合および係合解除することができるようにする。
【０１４６】
[00203]  旋回クランプカム３１４および３１６はそれぞれ、関連する心棒に装着され、これもそれぞれ押し出しカム３１０および３１２に装着される。
【０１４７】
[00204]  人間工学的ハンドルおよび押し出し機構は幾つかのキー部分を含む。ハンドル３１８は指用溝付きハンドルであり、コネクタを外す場合に、使用者がこれをしっかり握ることによって、容易に把持することができる。旋回クランプカムは主要な機構であり、回転カムアセンブリとして使用され、ハンドルの対応する動作によって旋回クランプカムが上方向に回転すると、旋回クランプを作動させる。旋回クランプカムは、このような回転中に、斜面を上がって旋回クランプを内側に押し、これは旋回クランプ軸を中心にモーメントを生成して、旋回クランプをキャップ３０４から開放／ロック解除させる。
【０１４８】
[00205]  旋回クランプカムの別の主要な機構は、トルクばね（図９には図示せず）であり、これは容器３０２の内容積に加圧して、その内部のライナーに外部圧力を加える前に、ハンドルが下がり、旋回クランプをロックできることを確実にする。ハンドルを下方位置に付勢することによって、旋回クランプのロックが確保され、その後の分配作業のために容器アセンブリが漏れないことも同様に確保する。
【０１４９】
[00206]  上記旋回クランプカム３１４および３１６は、押し出しカム３１０および３１２に結合され、このような装置によって押し出しカムは、ハンドル３１８が上方位置へと回転した場合に、キャップ３０４の頂部を押し出すことができる。カムのプロファイルが徐々に変化するので、コネクタ３０１をパッケージから滑らかに係合解除することができる。トルクばねは、押し出しカムが開位置にないことも確保する。押し出しカムが閉位置にあると、コネクタを容器３０２に配置することができない。押し出しカムがキャップ３０４と干渉するからである。
【０１５０】
[00207]  コネクタの各側にある心棒は、コネクタのこのような側で旋回クランプカムと押し出しカムの両方を通過し、両方のカムが回転できる軸受けとして作用する。
【０１５１】
[00208]  コネクタ本体は、側面の突起を特徴とし、これは垂直位置でハンドルを停止し、それが任意の取付具と干渉することを防止する止め部として作用する。コネクタ本体はトルクばねも収容する。
【０１５２】
[00209]  図１０は、ハンドル３１８が下方位置にあるコネクタ３００を前面立面図で示す。図１１は、コネクタ３００を対応する背面図で示す。図１２は、ハンドル３１８が上方／ロック解除位置にあるコネクタ３００の前面斜視図を示す。図１３は、旋回クランプカム３１４と結合した押し出しカム３１０を示すコネクタ３００の下斜視図である。図示のように、押し出しカム３１０は、コネクタと容器のキャップとの結合を容易にするために、自身内に溝を有する。図１４は、ハンドル３１８が下方位置にある別の下斜視図を示し、この位置から押し出しカムは上方向に回転することができる。図１５は、ハンドル３１８の行程を垂直位置に制限するコネクタ本体３０１の外面上のハンドル止め部３２０を示す、コネクタ３００の側斜視図である。図１６は、旋回クランプ３０８および関連するトルクばね切り欠き部３２２の詳細を示すコネクタの部分の斜視図である。図１７は、円板状本体３３２、その上の斜面３２４、押し出しカムと連動するように構成された内面３３０を有する円筒形カラー３２８、およびトルクばね切り欠き部３２６を含むものとして、構造の詳細を示す旋回クランプカム３１６の斜視図である。
【０１５３】
[00210]  図９〜図１７に示すようなコネクタの構造によって、ライナー式流体保存および分配容器３０２と係合するために容易に設置および取り外し可能なコネクタが提供される。
【０１５４】
[00211]  本発明の別の態様は、取付具シールおよびそれを使用するライナー式流体保存および分配パッケージに関する。
【０１５５】
[00212]  取付具シール品が、その例示的実施形態として図１８〜図２３に図示され、図１８〜図２３は取付具シール品を示し、図２３は、ライナー式流体保存および分配パッケージのライナーの取付具に設置された状態の、このような物品を示す。
【０１５６】
[00213]  図１８は、本発明の１つの実施形態による取付具シール３５０の斜視図であり、その上部分の詳細を示す。取付具シール３５０は円板状本体３５１を有し、そこから円筒形密封壁３５５が下方向に垂れ下がる。円板状本体３５１は、本体上面から上方向に延びる環状ボス３５６を含む。
【０１５７】
[00214]  図１９は、図１８の取付具シールの斜視図であり、その底部分の詳細を示す。取付具シール３５０は円板状本体３５１および円筒形密封壁３５５を含む。取付具シールの中心床部分３５９は本体３５１と一体形成され、図１８に示すようなシールの上面の中心窪み構造、および図１９に示すようなシールの底面の対応する突起を形成する。
【０１５８】
[00215]  図２０は図１８〜図１９の取付具シールの上面図である。図示のように、シールは円板状本体３５１、および中心窪み３６０と外接する環状ボス３５６を含む。
【０１５９】
[00216]  図２１は、図２０の線Ａ−Ａに沿って切り取った取付具シールの断面図である。図示のような取付具シール３５０は、図２２の拡大詳細図で示すように、テーパ状になった外周縁部分で終了する円板状本体３５１を含む。
【０１６０】
[00217]  本体３５１は主要上面３５２および主要底面３５４を有する。円筒形密封壁３５５の下端部分は、内側にテーパ状になった外面３５７を有する。本体３５１は、本体の主要上面から上方向に突出する環状ボス３５６が外接する中心窪み３６０を含む。中心床部材３５９は、窪み内の主要上面３６２、およびこれに対応し、環状溝３５８に囲まれた取付具の底部分の突起を画定する主要底面３６４を有する。
【０１６１】
[00218]  図２２は、図２１に示すような取付具シールの外縁部分の拡大図である。図示のような外縁部分は、本体３５１の上面の下方向にテーパ状の縁部プロファイルを含み、図示のような円筒形密封壁３５５は、本体３５１と一体形成され、そこから下方向に垂れ下がる。
【０１６２】
[00219]  図２３は、図１８〜図１９の取付具シール３５０の底面図であり、本体の外周縁部分３５３および下方向に垂れ下がった円筒形密封壁３５５、中心床部材３５９、取付具シールの主要底面３５４、および環状溝３５８を示す。
【０１６３】
[00220]  図２４は、容器の取付具を密封するように配置された状態の図１８〜図１９の取付具シールを含む流体保存および分配容器の部分断面立面図である。
【０１６４】
[00221]  取付具シールＥは、図２４ではライナー（図２４では図示せず）と結合した取付具Ｈの口の開口部に載った状態で図示され、キャップＧは、個々の構造の相補的ねじ山で容器の剛性オーバーパックの上部分と係合した状態で図示されている。
【０１６５】
[00222]  図２４の取付具シール装置は、取付具Ｈに関連するライナー内の流体の効果的な密封を提供し、このような流体を流体保存および分配パッケージの外部環境からの汚染に対して保護する。図示の構造の種々のシールは、剛性オーバーパックとキャップＧの間の２次ガスシールＡ、および取付具（ライナーに対して開放している）とキャップの間の２次ガスシールＢを含む。
【０１６６】
[00223]  図示のように引き裂きタブの握りハンドルＣが存在し、取付具シールＥは、取付具シールと引き裂きタブの間のＤで全体的に表されるスナップ嵌め接続を提供するように構築される。取付具シールＥは、取付具Ｈを密封するために、その外周部分で円形フランジＦを提供する。保持器リングＩは、剛性オーバーパック容器の首部Ｊに対して取付具Ｈを保持し、位置決めする。
【０１６７】
[00224]  本発明の取付具シールは、ゴム、ポリマーまたは他の可撓性弾性材料のような任意の適切な構成材料で形成され、キャップを容器に設置した場合に、ライナーの流体内容物を効果的に密封するために、シールの下方向に垂れ下がる円筒壁が取付具の口の開口部の内部に配置される状態で取り付けられる。シールの下方向に垂れ下がった円筒壁の垂直に延びる外面は、容器の首部に配置された取付具の内面と締まり嵌めを形成し、取付具の拡大された円筒形密封領域を提供する。
【０１６８】
[00225]  下方向に延びる円筒壁の底部分は、取付具シールが取付具に容易に挿入されることを確実にするために、テーパ状になっている。取付具シールの中心部分の窪み構造によって、シールが取付具の首部と接触した場合に、シールが弓なり、またはドーム状になり、取付具に強力な密封作用を提供することができる。
【０１６９】
[00226]  取付具シールの外周フランジ部分は、ワイパ状機能を提供して、その上で生じた任意の粒子が下の流体に入ることを阻止し、シールの外縁部を支持して、それが「内側に丸まり」、シールの保全性を失うことを防止するのにも役立つ。
【０１７０】
[00227]  図２４に示すようなキャップは、取付具Ｈの口にて半径方向外側に突出したフランジと係合し、取付具の外縁部を支持して、それが拡大し、取付具シールへの密封圧力を軽減することを阻止する働きをする内部突起を有する。前述のようなキャップは、取付具シールの真上に引き裂きタブ機構を有する。取付具シールは、引き裂きタブが引き裂かれて自由になると、取付具シールが取付具から引き出され、引き裂きタブに付随したままになるように、この引き裂きタブ構造に接続されると有利である。
【０１７１】
[00228]  図２４に示す取付具シールは、現在使用されている隔膜シールに対して、以下の利点を有する。すなわち、（ｉ）取付具シールは穿孔または破壊されず、これが載せられた取付具を持ち上げることによって外され、したがって取付具シールを外す際に生じる粒子の数が、ブレークシール隔膜の穿孔で発生するより非常に少なく、（ｉｉ）取付具シールは、シールの縁部領域で外側に突出し、キャップへと延びるワイパ状構造を有して、シールの上の任意の動作によって生じる任意の粒子から、封じ込められた流体を遮蔽状態で保護し、（ｉｉｉ）プローブを設置する場合に、プローブの全長に沿って引きずられる現在使用のブレークシール隔膜とは異なり、シールが取付具から完全に外されるので、本発明のシール構成内のプローブは、どの表面とも接触せず、粒子を拾い上げて封じ込められた流体内に持ち込むことなく、設置することができ、（ｉｖ）本発明の取付具シールは別個の分離した部品であり、その構成材料は、流体保存および分配パッケージに封じ込められている特定の流体に適切であるように変更することができ、（ｖ）引き裂きタブに取り付けた状態の取付具シールは、空の、または部分的に使用した流体保存および分配パッケージに容易に再挿入して、密封することができ、（ｖｉ）本発明の取付具シールは完全に外されるので、プローブを容器内の流体に挿入するために必要な力が非常に小さく、（ｖｉｉ）シールの下方向に延びる円筒壁と取付具の内面とが広範に垂直方向で係合する結果、本発明の取付具シールは、取付具シールの密封作用に影響せずに、取付具に対して上下することができる、すなわち、シールの保全性が垂直締め付け力の緩和によって影響を受けない。
【０１７２】
[00229]  本発明の別の態様は、パッケージのクロージャとしてライナー式流体保存および分配パッケージと係合することができるキャップに関する。
【０１７３】
[00230]  図２５は、流体保存および分配パッケージのキャップ３７０の概略斜視図であり、キャップの側壁上の回転防止構造を特徴とする。図示のようなキャップ３７０は、円筒形の側壁３７４および円形上壁３７６を含むキャップ本体３７２を含む。側壁３７４は、側壁３７４の底縁部から側壁の中間部分３７８へと上方向に延び、周方向に隔置された切り欠き３８０を特徴とする。図示の実施形態のこのような切り欠きは、ほぼ長方形の形状であり、その上端が、一般に下方向に垂れ下がる回転防止フィンガ要素３８２に接続する。各フィンガ要素３８２は細長い細片部分３８４を有し、これは力がかかっていない場合は外側に朝顔状に開く位置に付勢され、その下端は半径方向内側に延びる耳要素３８６で終了する。フィンガ要素３８２は、キャップの本体と一体形成するか、別個の要素として形成し、その後にキャップの本体の切り欠き３８０内に固定することができる。
【０１７４】
[00231]  キャップ３７０は、任意の適切な構成材料の部品でよい。特定の実施形態では、キャップは、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレン、または他の適切な構成材料などのポリマー材料で適切に形成される。
【０１７５】
[00232]  図２６は、流体保存および分配容器３９０およびそれと噛み合い係合可能な関連のキャップの概略図である。図示のような容器３９０は、隔置されたロック用空隙３９４の周方向に延びる帯が形成されている首部３９２を有する。この図示の実施形態では、ロック用空隙３９４は正方形の形状で、耳３８６と協働状態で噛み合う。図示のように、キャップ本体３７２は、細長い細片部分３８４がキャップ本体から離れて下方向に垂れ下がり、ロック用空隙３９４と係合していない状態で、フィンガ要素３８２が外側に付勢されるように製作される。
【０１７６】
[00233]  図２７は流体保存および分配容器および関連するキャップ構造およびコネクタ本体構造の概略図であり、その協働的な性質を示す。
【０１７７】
[00234]  前述したような流体保存および分配容器３９０には、首部分の外面に一連のロック用空隙３９４を製作する。キャップ３７２は、コネクタ本体３９６と嵌合し、コネクタ本体の円筒壁がキャップのフィンガ要素に載って、したがって各フィンガ要素の耳３８６が、流体保存および分配容器３９０の首部の対応するロック用空隙３９４とロック係合する。
【０１７８】
[00235]  したがって、分配コネクタがキャップと係合すると、コネクタの円筒側壁がキャップ上で下方向に滑動して、フィンガ要素３８２を半径方向内側に押しやり、したがって耳３６が容器３９０の首領域の外面にあるロック用空隙と協働状態で噛み合う。この装置により、コネクタがキャップと係合している間、キャップを容器の首からねじで緩めることが防止される。
【０１７９】
[00236]  パッケージのクロージャとして、ライナー式流体保存および分配パッケージと係合することができるキャップの別の回転防止構造が、図２８に図示されている。
【０１８０】
[00237]  図２８は、容器４００の首領域４０２にある回転防止ロック構造４０４を特徴とする流体保存および分配パッケージ、および関連するキャップ４０６およびコネクタ４０８の斜視図である。図示のように、容器の首領域４０２は、ねじ山があることを特徴とし、キャップ４０６の相補的ねじ山がこれとねじ係合可能である。キャップ４０６の外面には、外方向に延びるタブ４０７があり、これはコネクタがキャップと係合すると、コネクタ４０８によってロックされる。このように係合したコネクタ本体は、タブを内側に曲げて、ロック構造を起動するよう機能する。このように起動した後、コネクタと係合した後にキャップを回転すると、タブはラチェット構造４０４の歯によってブロックされ、それによってキャップが容器から外れることを防止する。
【０１８１】
[00238]  コネクタをキャップから外すと、キャップ上の１つまたは複数のタブ要素が外側の付勢位置へと跳ね返り、ラチェット構造４０４との係合位置から外れる。
【０１８２】
[00239]  したがって、キャップ上のタブ４０７は、通常は外側に延びた位置で、ラチェット構造４０４と係合しないように付勢されるよう製作される。ラチェット構造４０４とのロック係合のために使用できるようになるのは、タブを圧迫して、半径方向内側の位置に入れた場合のみである。
【０１８３】
[00240]  図２９は、図２８の流体保存および分配容器および関連するキャップおよびコネクタ構造の斜視図であり、その詳細を示す。図２９の種々の部品および形体は、図２８のそれと対応した番号が付いている。図２９に示した位置で、キャップ４０６のタブ４０７は、キャップの回転がラチェット構造４０４によって阻止される位置へと、コネクタ４０８によって並進している。
【０１８４】
[00241]  図３０は、図２８の流体保存および分配容器のキャップ４０６の斜視図であり、通常の外側に付勢した位置にあるタブ４０７を示す。
【０１８５】
[00242]  図３１は、図３０のキャップ４０６の上面図であり、通常の外側に付勢した位置にあるタブ４０７を示す。
【０１８６】
[00243]  図３２は、図２８の流体保存および分配容器４００の斜視拡大図であり、容器の首領域４０２にある回転防止ロック構造４０４の細部を示す。首領域４０２には、図示のように、キャップの内面のねじ山と相補的なねじ山を設けることができ、それによってキャップは容器の首部と係合することができる。
【０１８７】
[00244]  図２８〜図３２の構造によって、コネクタがキャップに取り付けられている間に、容器からキャップが外れることを防止する簡単な装置が提供される。
【０１８８】
[00245]  パッケージのクロージャとして、ライナー式流体保存および分配パッケージと係合することができるキャップの別の回転防止構造が、図３３〜図３６に図示されている。この実施形態では、ロック構造は、キャップを容器の最終位置にねじ込んだ場合に、キャップの下部分の切り欠きに填る容器首領域の突起を含む。この実施形態のロック構造は、コネクタがキャップに設置されているか否かに関係ない。キャップは、キャップをロック構造から９０°の対向する側で圧迫して、キャップの断面形状を楕円形または卵形に変形するか、適切な取り外しツールを使用することによってロック解除することができる。
【０１８９】
[00246]  別の変形として、ロック構造は、タブを引き上げることによって引き裂けるように設計することができる。タブはコネクタが設置されている場合は覆われ、キャップ自体を外すためには、キャップからコネクタを外す必要がある。
【０１９０】
[00247]  図３３は、容器の首領域４１６に回転防止ロック構造４１８があることを特徴とする流体保存および分配容器４１４の斜視図である。容器４１４自体は、任意の適切な構成材料で形成することができ、好ましい実施形態では、容器はポリエチレン、ポリプロピレン、またはポリテトラフルオロエチレンなどのポリマーで形成される。回転防止ロック構造４１８は、容器の首領域で容器４１４の肩に設けられた垂直に直立する支柱で構成される。容器の首部には、前述したように、容器の使用時にキャップとの結合に対応するため、適切なねじ山または他の噛み合い係合構造を設けることができる。
【０１９１】
[00248]  図３４は、図３３の容器の首領域にある回転防止ロック構造と係合可能なキャップ４２０の斜視図である。キャップは、下端部分が、周方向に隔置された全厚さの桁要素４２４間で、このような下端部分より上のキャップの側壁部分より肉厚が薄く、それによって周方向に隔置された一連の通路４２２を画定することを特徴とする。
【０１９２】
[00249]  図３５は、図３３の流体保存および分配容器４１４の首領域にあるロック構造４１８と係合した状態の図３４のキャップ４２０の斜視図である。図示のように、桁要素４２４は、キャップの通路４２２にある支柱ロック構造４１８が存在するせいで、キャップ４２２の回転運動を阻止する。
【０１９３】
[00250]  図３６は、図３３の流体保存および分配容器の首領域にある支柱ロック構造４１８と係合した状態の図３４のキャップ４２０の立面図である。
【０１９４】
[00251]  このような装置により、キャップ４２０は、これが容器から外れないようにする安全装置として、容器４１４の首部と容易に係合し、ロック位置に固定される。
【０１９５】
[00252]  パッケージのクロージャとしてライナー式流体保存および分配パッケージと係合することができるキャップの別の回転防止構造が、図３７〜図３９に図示されている。この実施形態では、ロック構造は、キャップが容器の最終位置にねじ込まれると、キャップの下部分にある突起をブロックする、容器首領域の垂直タブ突起を含む。
【０１９６】
[00253]  図３７は、容器の首領域４３２に回転防止ロック用タブ４３４および４３６があることを特徴とする流体保存および分配容器４３０の斜視図である。容器の首部４３１には、キャップを結合するためのねじ山または他の係合構造を設けることができる。タブ４３４および４３６は、図示のように容器表面から上方向に延びる。
【０１９７】
[00254]  図３８は、キャップの突起４４２が容器の首領域の回転防止ロック用タブ４３４と係合した状態で容器４３０の首部に結合したキャップ４４０の斜視図である。この実施形態のキャップは、コネクタ４４４に覆われている。
【０１９８】
[00255]  図３９は、図３８のキャップ４４０の斜視図であり、キャップの下縁部分で相互から周方向に隔置されたロック用突起４４２を示す。
【０１９９】
[00256]  本発明の別の態様では、現在使用されているブレークシールに代わって２つのシール、すなわち、濡れていないガスシールと容易に取り外し可能な液体シールを使用する。ガスシールは、キャップとライナーの取付具の頂部の間に配置された円形リングで構成される。このシールは、剛性オーバーパックとライナーの間に適用された状態で、圧力がキャップの中心区域に漏れないように維持する。そうしないと、コネクタプローブの入口から出ることによって逃げることができる。封じ込められた流体をプローブに通して分配アセンブリから押し出すようライナーを圧縮するために、ライナーを圧迫するためのガス圧が必要である。
【０２００】
[00257]  液体シールは、液体が取付具にてライナーから逃げることを防止する単純な栓である。この栓は、以下の技術のいずれか１つで容易に外される。
【０２０１】
[00258]  第１の構造装置では、液体シールをキャップの引き裂きタブの底部に取り付ける。液体シールは、キャップの上中心にある弱化した円形区域が引っ張られ、引き裂かれて自由になると、除去される。これで、キャップを外さず、シールを破壊せずに、プローブアセンブリを容器に直接設置することができる。Ｏリングシール付きの別個の栓を設けて、キャップの加圧穴を閉じる。この栓は、小さいストラップまたは他の接続構造によって引き裂きタブに取り付けることが好ましく、このような栓は、引き裂きタブが外されると、容易に外れる。加圧穴を密封するために、このように栓を設けると、加圧穴全体を良好な密封表面で成形することができる。
【０２０２】
[00259]  第２の構成では、キャップの中心に配置された小さい栓の底部に、液体シールを取り付ける。栓がキャップから外されると、液体シールが外れる。これで、プローブアセンブリを設置することができる。また、プラグを外すと、プローブがアクセスするための穴が現れる。加圧穴は、ねじを緩められない中心栓で覆われ、ガスケットが施されているので、加圧穴全体を良好な密封表面で成形することができる。
【０２０３】
[00260]  これらの構成により、分配アセンブリのプローブは、シールを破壊したり、引き裂いたりせずに設置することができる。これによって、ブレークシールを穿孔するために現在の方法で必要な高い穿孔力が必要なくなり、ライナー内の高純度流体に入るような粒子の発生が回避される。さらに、以上の両方の構成のキャップにある加圧穴は、滑らかに成型することができ、その結果、漏れずに効果的に密封することができる。
【０２０４】
[00261]  他の実施形態では、液体シールを実現するために、ポリテトラフルオロエチレンのコーティングで被覆したポリエチレンでキャップを形成する。別の変形例では、追加の平坦なガスケットを、キャップの底部内面とガスシールガスケットの頂部との間に挟み、液体シールを生じさせる。
【０２０５】
[00262]  特定の実施形態の追加的密封構成は、ライナーの取付具の内径を密封し、液体シールを生成するために、２つのＯリングがある栓を使用することを含む。この構成では、別個の栓を使用して、加圧穴を密封することができる。別の代替物として、ポリテトラフルオロエチレンで形成した中心栓を設け、これを主要キャップにねじ込む。栓は、ライナーの取付具の頂部に端面シールを形成し、液体シールを生成する。別個の栓を設けて、加圧穴を密封することもできる。さらに別の変形として、中実のポリテトラフルオロエチレンの中心栓を設け、くさび迫め機構を追加して、中心栓を取付具の頂部に押し当て、それを所定の位置に保持することができる。ポリテトラフルオロエチレンの栓は、ライナーの取付具の頂部とともに端面シールを生じさせ、液体シールを生成する。他の装置と同様に、別個の栓を設けて、加圧穴を密封することもできる。
【０２０６】
[00263]  本発明の追加の実施形態が図４０〜図４３に示され、コネクタが取り付けられたライナー式流体保存および分配パッケージの種々のハンドルで作動するコネクタ取り外し装置を示し、コネクタハンドルは、個々の流体保存および分配パッケージからコネクタを係合解除するために、手で操作可能である。
【０２０７】
[00264]  図４０は、分配コネクタ４５４が固定された流体保存および分配容器４５２を含む流体保存および分配システム４５０の部分の斜視図である。分配コネクタ４５４は、コネクタの個々の側それぞれで１つの支柱４６０、４６１を使用する。ハンドル４５５がコネクタのハウジングに固定され、放射状カム４５６、４５７に個々の端部が結合される。ハンドル４５５が回転すると、放射状カム４０６、４０７が旋回クランプ４５８を内側に押す（旋回クランプ４５８が図示されており、システムには、図４０に示した側とは反対のコネクタ４５４の側に、追加の旋回クランプが対称で構築されている）。ハンドルを回転し続けると、ハンドルの各端部にある放射状カムが個々の支柱４６０、４６１を押す。このような支柱はそれぞればねが装填され、支柱４６０にはばね４６２が、支柱４６１にはばね４６３がある。各支柱にばねを装填すると、使用後にハンドルが確実に所定の位置に戻る。支柱は、ハンドルからのトルクを伝達し、流体保存および分配容器４５２に下方向の力を加える働きをする。個々の支柱のばねは、トルクばねとともに、ハンドルを元の方向に確実に戻す。
【０２０８】
[00265]  図４１は、コネクタ４７４が流体保存および分配容器４７２に結合された別の流体保存および分配システムの斜視図である。この実施形態は、コネクタの各側で２つの支柱を使用する。２つの支柱４７８、４７９は、図４１に示すように、システムの左側に図示され、図面で示すように、支柱の一方（支柱４８１）がシステムの右側に図示されている。
【０２０９】
[00266]  ハンドル４７６は、コネクタのハウジングに固定され、ハンドルのトルクを垂直の力に変換するために使用されるカム４８４に、個々の端部が結合されている。二重支柱片部分がカム４８４の作用で下方向に移動すると、このような部分の内側のプロファイルが斜面を上がって、直線運動で旋回クランプ４８３を圧迫する。手動で並進した後、各支柱の線形特性ばねが、トルクばねとともに、ハンドルを元の方向に戻す。
【０２１０】
[00267]  図４２は、別の実施形態による流体保存および分配システム４９０の立面図であり、ハンドル４９６のトルクを垂直の力に変換するために、連結構成が使用されている。連結部は、支柱４８５、４８６に関連する二重支柱部４８７、４８８に力を集中させ、これによって１つのトルクばねを使用して、ハンドルおよび二重支柱部を閉位置に戻すことができる。この装置は、また、個々の旋回クランプ４９１、４９３を開く直線カム、および流体保存および分配容器４９２を「押し出す」二重支柱も使用する。
【０２１１】
[00268]  図４３は、本発明の別の実施形態による流体保存および分配システムの立面図である。システム５００は、対向する各側に対応する旋回クランプ５０８に関連する側台５０５を有するコネクタ５０４が結合した流体保存および分配容器５０２を含む。各場合の側台は二重支柱５０６、５０７を含む（図４３の右手側に図示されたものの反対側の側台は、対称に構築され、配置されている）。
【０２１２】
[00269]  流体保存および分配容器５０２からコネクタ５０４を解放するには、使用者は、手のひらが個々の側台５０５に接触し、支持のためにコネクタ本体を把持した状態で、両手をコネクタ本体の個々の側に固定する。使用者は、圧迫動作で個々の側台５０５に圧力を加える。個々の支柱は、直線カムで旋回クランプ５０８を作動させ、これで４つの支柱が容器５０２を押し出す。
【０２１３】
[00270]  本発明は、別の態様で、ロック用タブがあるキャップ／コードリングアセンブリ、およびこのようなアセンブリと噛み合い係合可能な流体保存および分配容器も想定し、容器は、ロック用歯および誤接続干渉機構を特徴とする。
【０２１４】
[00271]  図４４は、このような流体保存および分配パッケージの組立分解斜視図であり、流体保存および分配パッケージが不適当な分配コネクタと係合することを防止するキーコード構造および誤接続干渉構造を特徴とする。
【０２１５】
[00272]  図４４に示すように、流体保存および分配容器５１０には、キャップＤの内面のねじ山と協働状態で係合するために、外面にねじ山Ｆを有する首部５１２を設ける。容器５１０は、分配コネクタと容器との誤接続を防止するために、首部５１２の近傍の上面にある一連のロック用歯Ｇ、および首部５１２の近傍でこのような上面にある干渉機構Ｈを特徴とする。
【０２１６】
[00273]  キャップＤはキャップ下部分のロック用タブＥを特徴とする。キャップには、相互から周方向に隔置された２つ以上の水平ロック用タブを設ける。これらのロック用タブは、キャップをねじ込むと、容器首部のロック用歯の上を滑動するが、キャップのねじを緩めようとすると、ロック用歯を掴むか、「食い込む」。キャップは、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレンなどの可撓性構成材料で作成することが好ましい。
【０２１７】
[00274]  キャップ上のロック用タブは、上部コードリングＡのリング延長部Ｃによって押し込まれるか、作動する。プラスチックキャップ／コードリングアセンブリが可撓性の性質である結果、キャップを容器の首部にねじ込むと、キャップのロック構造が容器５１０のねじ山およびロック用歯に乗り上げることができる。その後にキャップのねじを緩めると、容器のロック用タブと歯は、個々の合せ面の角度のせいで、相互に開始する。これらの２つの機構が干渉して、キャップを容器にロックする。
【０２１８】
[00275]  必要に応じて、最初にコードリングおよびそれに取り付けられた下方のタブ作動リング、コードリング延長部Ｃを外すことによって、キャップを外すことができる。ねじ回しなどの器具をコードリングＡのスロットＢに挿入すると、コードリングをこじって外すことができる。コードリングを外すと、ロック用タブを容器のロック用歯から離すことができ、その後にキャップのねじを容易に緩めることができる。コードリングはもうキャップに取り付けられていないので、別の容器に再使用することはできない。
【０２１９】
[00276]  誤接続干渉機構Ｈが、容器５１０の上面に配置され、そのような表面から上方向に突出している。この干渉機構は、プローブアセンブリを設置する場合は、スマートプローブアセンブリと接触しないが、不適当なコネクタを設置しようとすると、干渉機構がそれと干渉するように配置される。
【０２２０】
[00277]  図４４の流体保存および分配アセンブリの機構によって、キャップと容器を簡単な方法で組み付けることができるが、これを通常の手段で分解することはできない。図示の装置では、一般的なツール、すなわち、マイナスねじ回しでキャップを外すことができ、取り外すプロセスで、キャップをさらに使用することは不適切になる。容器コネクタ干渉機構は、不適当なコネクタが容器に設置されることを防止する。
【０２２１】
[00278]  図４５は、図４４に示した流体保存および分配パッケージのキャップおよびコードリングアセンブリ５１５の斜視図である。アセンブリは、キャップＤと結合したコードリングＡを含み、コードリング延長部ＣがキャップＤと外接している。
【０２２２】
[00279]  図４６は、図４４に示した流体保存および分配パッケージのキャップおよびコードリングアセンブリ５１５の底面図である。この図は、コードリング延長部Ｃによってロック用タブが押し込まれ、キャップＤがキャップ／コードリングアセンブリ内に配置されていることを示す。
【０２２３】
[00280]  図４４〜図４６に示す装置により、必要に応じてキャップを容器から外せる一方、キャップおよびキーコード構造の有害な再使用の可能性を回避することで、適正な分配コネクタの結合が達成され、不適切な分配コネクタの誤接続が回避されることを確実にする。
【０２２４】
[00281]  キャップの再使用またはその流体容器からの取り外しを防止することを目的としたねじ山の変形、破壊または除去に関する本発明の他の態様は、ねじ山より上の区域を切断するか引き裂く歯付きロック、ならびにキャップを外そうとするとねじ山を引き裂くか、破壊する装置があるねじ込みキャップと、戻り止めがある容器の首部にねじ山を付け、それによってキャップを外すと高いトルクでねじ山が剥離する２ピースキャップと、キャップが、ねじを緩めることによって作動するねじ山の上の引き裂き区域を有し、垂直引き裂きタブを引くことによって残りのねじ山区域を外すことができる構成などの、キャップのねじが緩められることを防止する回転防止機構付きのねじ込みキャップと、２ピースねじ山と、切り取り式ねじ山と、自身のねじを緩める螺旋ねじ山と、キャップが外れると変形する成形ねじ山と、化学物質供給業者の設備で容器の首部の大きい機構に追加的に形成され、キャップを容器から外すとキャップのねじ山が破壊されるキャップのねじ山とを様々に含む。
【０２２５】
[00282]  キャップの取り外しおよび／または再使用を防止するキャップの修正に関する本発明の追加の態様は、キャップに、所定の位置に押し込むためにツールを必要とするクリップを設け、キャップは、クリップが所定の位置に押し込まれると、素早い方法で設置または取り外し可能であることと、取り外しツールが、キャップを固定する所定の位置からピンを引き出すことができる状態で、キャップを所定の位置に保持するピンを設けることと、キャップのねじの緩みを防止するために、ねじ込みキャップに圧入ピンを設け、ピンは、キャップのねじを緩めるために、特殊なツールでしか外せないことと、ねじ込みキャップに回転防止ロックを設け、キャップをロック解除するために、コードリングを外さねばならず、ロックが、ロックを解除するために、引き上げねばならないピン、または押し合わせねばならないタブを含むことと、ねじこみキャップに回転防止ロックを設け、キャップをロック解除するためにコードリングを外さねばならず、回転防止ロックは、キャップの歯と容器の歯があるラチェットタイプであり、それによって特殊なツールを使用してキャップを外すために、高いトルクが必要であることと、把持形体を有するコードリングのトルクツールの使用が、「トルクをかける」場合のみである、すなわち、ツールの把持形体が、キャップのねじを緩めようとすると把持せず、したがってキャップを外すためにコードリングを外さねばならないことと、キャップを容器に取り付けるために、キャップに第２のリングを設け、キャップを外すと、リングが破壊することと、キャップを外すために、ねじ込みキャップに引き裂きタブを設け、引き裂きタブを外すとキャップがロックしないことと、スナップで留める引き裂きリングを設け、スナップが引き裂きリングにあることと、容器から切り離すために特殊ツールを必要とするスナップ式キャップを設けることと、熱で活性化するか、濡れた状態から乾燥状態で活性化するシュリンクキャップまたはラップを設けることと、化学物質供給業者の設備にて容器の首部の形体に形成されたねじなしキャップを設け、容器の形体とキャップとの干渉がキャップを所定の位置に保持し、したがってキャップはツールでのみ、または他の方法でこじ開けることによって除去可能であり、キャップを外すと、キャップの形成区域が剥ぎ取られ、したがってキャップの一部が容器に残り、特殊ツールまたは垂直の引き裂きタブで除去できることと、キャップが分配プローブとともに再び働かないように、キャップの除去がコードリングを変化させるように構築され、配置されたキャップを設けることと、分配プローブが外されると、コードリングが落ちるように、分配プローブを設置することによって切断されるコードリングを設けることと、分配プローブを外すと破壊する磁気構造を設けることと、キャップを外すと、容器の形体が破壊し、キャップの窪みにひっかかり、キャップを新しい容器で使用できないように、キャップの窪みと対合する形体を容器に製作することと、キャップを容器上の所定の位置に保持し、設置されると、容器の相補的溝を下方向に滑動して、キャップを外すと破壊する破壊タブを、キャップに製作することと、キャップを外すと染料を放出するように作動する内蔵染料放出機構をキャップに製作することと、破壊されたタグを担持した空の容器が誤使用の証拠となるように、キャップを外すと破壊するセキュリティタイプのタグをキャップに製作することと、オペレータがキャップを切り換えることを防止する監視ソフトウェアと組み合わせて、容器とキャップの両方に無線周波識別（ＲＦＩＤ）集積回路を設けることとを含む。
【０２２６】
[00283]  図４７〜図５６は、流体保存および分配パッケージからのプローブコネクタの取り外しを容易にする改良された人間工学的性質を有する、本発明の追加的な分配アセンブリプローブコネクタの実施形態を示す。現在使用されているプローブアセンブリは、コンテナからプローブアセンブリを外すために、追加的に２０〜３０ポンド（９．１〜１３．６ｋｇ）の力を加える必要があることもある。取り外し作業の人間工学はオペレータにとって不快で厄介であり、片手でコンテナを保持しながら、同時に他方の手はロック用クランプを挟み、コンテナからプローブアセンブリを持ち上げねばならない。クランプのラッチを外す行為は、ロック用クランプを十分に押下するまで、ロックが係合解除しないので、さらに困難になる。オペレータは、プローブアセンブリを外そうと努力して不成功に終わり、ロック用クランプが十分に押下されていなかったことが分かるだけ、ということが多い。図４７〜図５６のプローブアセンブリは、このような困難を最小限に抑え、人間工学的に改良されたプローブアセンブリの取り外しを提供するように設計されている。
【０２２７】
[00284]  図４７は、本発明の別の実施形態による分配アセンブリのコネクタ５５０の斜視図である。コネクタ５５０は、人間工学的に成形され、カム５５８および５６０と相互接続したハンドル５５６に結合されたコネクタ本体５５２を含む。カム５５８および５６０は、旋回クランプ５６２および５６４と共同して、ハンドルが垂直の直立位置にある場合はキャップ５５４からコネクタを外すために旋回クランプを開放し、ハンドルが図４７に示すように下位置にある場合は旋回クランプを閉状態に維持する。
【０２２８】
[00285]  この実施形態では、ハンドルはコネクタ本体内の戻りばね（図示せず）によって下方のハンドル位置に付勢される。ハンドルは２つの機能を有する。すなわち、ハンドルが上位置にある場合は、ラッチを開放状態で保持し、コネクタをそれに関連するパッケージから分離するために、手で掴み、力を加えるように人間工学的に強化されたハンドルを提供する。
【０２２９】
[00286]  ハンドルは、その旋回軸付近に２つの取り付けられたカム表面を有する。ハンドルが、コネクタのハウジングに隣接して下方向に傾斜した開始位置から垂直位置へと回転すると、カムは、コネクタをパッケージのキャップに保持している旋回クランプを停止する。ハンドルが垂直位置にある限り、旋回クランプは開放状態に保持される。ハンドルが垂直位置にある場合、これを手で引き上げ、コネクタをキャップおよび関連するコネクタから分離することができる。ハンドルが垂直位置で解放されると、カムに取り付けられたねじりばねがハンドルを開始位置に戻し、旋回クランプを再活性化する。この装置により、オペレータは、コネクタをパッケージから分離するためにコネクタに引っ張り作用を加えながら、旋回クランプを開くことに労力を無駄にせずに、パッケージからのコネクタの分離に十分集中することができる。
【０２３０】
[00287]  この実施形態の各カムは、ハンドルの旋回部に回転中心があるカムプロファイルを有し、旋回クランプの接触表面プロファイルは、ハンドルのそれと一致する。ねじりばねは、コネクタのハウジングとハンドルを相互接続し、ハンドルを望ましい下方位置に効果的に付勢する任意の適切なタイプであってもよい。この実施形態では、ハンドルカムおよび旋回カムが常に相互に接触している。
【０２３１】
[00288]  図４８は、図４７のコネクタの別の斜視図であり、同じ部品は図４７のそれに対応して番号が付けられ、ハンドル、コネクタおよび旋回クランプ要素の特徴および詳細を示す。
【０２３２】
[00289]  図４７および図４８に示した分配アセンブリコネクタの変形例では、例えばカムと旋回クランプに相補的トラックを設け、トラック内に玉軸受けを封じ込めて摩擦を最小限に抑えることによって、カムと旋回クランプの間に小さいホィールまたは玉を設けて、摩擦を減少させることができる。代替的に、同じ目的で、カムおよび旋回クランプの支承表面に摩擦を軽減するコーティングを適用することができる。このようなシステムは、戻りばねがハンドルを開始位置に効果的に戻すことを確実にする。
【０２３３】
[00290]  図４９は、本発明のさらに別の実施形態による分配アセンブリのコネクタ５６８の前面立面図である。この実施形態では、ハンドルがコネクタ本体に対して旋回運動可能であるように、人間工学的に強化されたハンドル５６９をコネクタ本体５７０に装着する。ハンドルが連結部５７２および５７４を旋回クランプ５７６および５８０に接続する。コネクタ本体５７０が、容器５８０に結合されたキャップ５８２に装着される。
【０２３４】
[00291]  図４９の装置のハンドルは、戻りばね（図示せず）および押し出し機構を伴う。この装置のハンドルは、ラッチを開き、コンテナからコネクタを分離するために手で掴み、力を加えるための人間工学的に強化された部材を提供して、コネクタの押し出し機構を作動させる連結部を提供する機能を果たす。ハンドルが旋回状態で上方に返信するか、遅延すると、連結部が旋回クランプを開位置に駆動し、さらに力および運動を押し出し機構に伝達する。
【０２３５】
[00292]  それ故、ハンドルが水平開始位置から垂直直立位置へと回転すると、ハンドルに取り付けられた連結部が垂直ラッチ連結部を回転して、旋回クランプを開放する。ラッチ連結部の頂部の押し出し機構はキャップ５８２と接触する。垂直ラッチ連結部が回転し続けると、これはキャップをそれに取り付けたコンテナとともにコネクタ本体から押し出す。
【０２３６】
[00293]  この装置は、Ｏリングシールの静止摩擦を破壊し、コネクタを上方向に動かして、Ｏリングの抵抗がなくなるまでに引かねばならない距離を減少させることによって、分離力を減少させる。この装置の旋回クランプロック解除機構によって、オペレータは旋回クランプを開く努力をせずに、コンテナからコネクタアセンブリを分離することに十分集中することができる。ハンドルは、必要な分離力を容易に加えることを促進する。ハンドルは、解放されると４０〜６０°の円弧を通って回転し、ねじりばねの作用によって「ロックオン」位置になる。
【０２３７】
[00294]  図５０は図４９のコネクタの斜視図であり、全ての部品要素には相応した番号が付いている。
【０２３８】
[00295]  図５１は、本発明のさらに別の実施形態による分配アセンブリのコネクタ６００の、ハンドル６０６が第１の位置にある側面図である。ハンドル６０６はコネクタ本体６０２に装着され、図４７および図５８に示したタイプのクランプ作動のカムと相互接続した大きい２次カム６０８と結合している。ハンドルが垂直位置へと回転すると、２次カムがコンテナの頂部と接触し、コンテナからのコネクタアセンブリの分離を補助する。
【０２３９】
[00296]  この実施形態で大きい２次押し出しカムを追加することにより、コネクタとキャップの間のＯリングシールの静止摩擦を破壊し、コネクタを上方向に並進させて、Ｏリングの抵抗がなくなるまでに引かねばならない距離を減少させることによって、分離力が減少する。ハンドルが垂直位置へと回転すると、コネクタがロック解除され、ハンドルが解放されると、ハンドル内のねじりばねが下方の開始位置へと戻る。したがって、大きい２次押し出しカムがコンテナ６０４に対して押し出し作用を提供し、コンテナをコネクタから押し出す作用をする。
【０２４０】
[00297]  図５２は、ハンドルの第２の垂直位置にある図５１のコネクタ６００の側面図である。この位置で、押し出しカム６０８はコンテナ６０４の上面に押しつけられ、コネクタをキャップおよび関連するコンテナから係合解除する押し出し作用を提供する。
【０２４１】
[00298]  図５３は、ハンドル６０６の第３の位置にある図５１のコネクタ６００の側面図である。この位置で、旋回クランプ６１０が図示されている。それ故、ハンドルが上昇して垂直位置になると、１次カムの作用によって旋回クランプがキャップから係合解除する一方、２次カムがコンテナの表面と係合して、押し出し／係合解除作用を提供する。
【０２４２】
[00299]  図５４は、本発明の他の実施形態による分配コネクタの部分の組立分解図である。この実施形態の分配コネクタは、コネクタハウジングＢに装着され、締結具ＣによってカムＦに取り付けられたハンドルＡを含む。ハンドルは、「ハンドル戻し」ねじりばねＤによって下方の係合位置へと付勢される。旋回ボルトＥがハンドルＡとカムＦを相互接続する。旋回クランプＧが、コネクタハウジングＢの各側に設けられ、流体保存および分配コンテナ上のキャップにコネクタをラッチ結合し、そこからラッチ結合解除する働きをする。
【０２４３】
[00300]  図５５は、本発明のさらに他の実施形態による分配アセンブリのコネクタ７００の単純化した空間図である。コネクタ７００は、「ハンドル戻し」ねじりばねＢおよび主要駆動連結部Ｃが結合したハンドルＡを含む。各主要駆動連結部Ｃは、垂直ラッチ連結部ｂＥによって押し出し機構Ｄに接続される。押し出し機構Ｄおよび垂直ラッチ連結部ＥはロックアームＧに接続され、これはコード化リングＨが固定されたキャップＦと係合する。
【０２４４】
[00301]  図５６は、コネクタ本体Ｉ（図５５には図示せず）が図示され、図５６の他の全ての部品および構成要素が、図５５のコネクタの同じ機構に対応して番号が付けられた、図５５のコネクタの組立斜視図である。
【０２４５】
[00302]  本発明の特徴および利点が、以下の非制限的な実施例についてさらに十分に図示されている。
【０２４６】
[00303]実施例１
[00304]  図３に関して説明したような一般的タイプのライナー式流体保存および分配システムから流体を圧力の媒介で分配する際の空き検出監視のための圧力トランスジューサの有効性を判断し、上流プロセスフィルタを有する下流ディスペンサを含む分配トレーンの一部として、フォトレジストを分配する特定のライナー式流体保存および分配パッケージの適切性を判断するために、試験を実行した。この状況で、「下流ディスペンサ」という用語は、所定の量または所定の率で流体をツールに供給するために、流体を使用するツールに伴うプロセス機器を指す。例えば、作成された下流ディスペンサは最終分配ポンプ、例えば圧縮性チューブポンプ、または流量計量装置、注入器、エゼクタ、圧縮機、ブロワ、スプレヘッド、ノズルなどを含む。
【０２４７】
[00305]  この用途の分配作業は、分配終了（ＥＯＤ）時にプラスの下流ディスペンサ吸引圧および一定の分配プロファイルを維持し、化学物質の使用率が望ましくは９９．７５％程度でありながら、プロセスフィルタを通って下流ディスペンサに入れるために必要とされるフォトレジストの流れを供給しなければならない。流体保存および分配システムに使用したライナーは、容積が４Ｌあり、化学物質の使用率が９９．７５％を超えるので、ライナー内の化学物質の残留量は１０ｍＬ未満である必要があった。
【０２４８】
[00306]  試験にはＭｙｋｒｏｌｉｓ  Ｉｍｐａｃｔ  ＰＣＭのフィルタ（０．０２μｍ）を使用して、分配処方は以下の通りである。１．５秒にわたって１ｍＬの分配、１５秒間の分配ポンプ吸引ストロークの継続、および１分間に１回、分配ショットサイクル処方のシーケンスを繰り返した。圧力での分配を実行するためにライナーに加えられた駆動圧量は、例えば約７ｐｓｉｇであった。
【０２４９】
[00307]  試験のために選択された試験粘度は１、３、１０、２０および３０センチポワズで、各粘度につき２回繰り返して試験した。試験液体として、プロピレングリコールを必要な粘度まで混合した。最後の５００ｍＬを分配する間、分配プロファイル質量とともに３つのシステム圧を記録した。分配圧力は前述のように１０ｐｓｉｇに設定され、試験は、液体圧力が１．３ｐｓｉｇになった時に終了した。このような分配圧力および終了圧力は変更することができ、分配作業は例えば、１０ｐｓｉｇの分配圧力、および４．３ｐｓｉｇの終了圧力を使用することができる。
【０２５０】
[00308]  各試験の後、ライナーを外し、液体を絞り出して測定することにより、残留化学物質を測定した。試験は、分配プロファイル質量の減衰を識別でき、分配プロファイル減衰が開始する前の実際の使用を判断できるように、コーティングツールで使用されているような値より低い圧力になるように設計された。
【０２５１】
[00309]  分配プロファイルの減衰とともに溶解ガスが放出され、微小な気泡がたつようになることが予想される下流ディスペンサのマイナスの吸引圧を防止するために、十分な駆動圧を可能にすることも、この試験の目的であった。フォトレジストの粘度、フィルタの選択および分配トレーン中の流れ回路に基づき、最適な分配プロファイルおよび利用率になるように、駆動圧および空き検出圧力が選択されるよう予想された。３つのシステム圧力をマッピングすることによって、空き検出圧力トランスジューサの最適位置を識別できると予想された。
【０２５２】
[00310]  試験装置は、４Ｌのライナー式パッケージ以外に、１５００ｇスケールまで放出する分配流れ回路を含んでいた。流れ回路内には、Ｅｎｔｅｇｒｉｓ  ＰＦＡ豆コック、Ｅｎｔｅｇｒｉｓモデル４２１０の０〜３０ｐｓｉｇのＰｄｃｒ、２００ｍＬで直径４５ｍｍのリザーバが配置され、ＳＭＣ  ＬＶＨ２０Ｌ−Ｓ０７手動ＰＦＡ弁、前述したＭｙｋｒｏｉｓ  Ｉｍｐａｃｔ  ＰＣＭフィルタ（０．０２μｍ）、Ｉｗａｋｉ  Ｔｕｂｅ−Ｐｈｒａｇｍ  ＰＤＳ−１０５ＨＢ−ＥＰＷ２の５ｍＬの分配ポンプ、Ｏｍｅｇａ  ＰＸ  ３０３−０５０Ａ５Ｖの０〜５０ｐｓｉａのＰｄｃｒ、Ｎｕｐｒｏの０．２５インチのステンレス鋼ＡＯＶ弁、およびＣＫＤの０．２５インチのＰＦＡ  ＡＯＶ弁を直列で含む通気／排水ラインに結合した。分配ラインは、０．２５インチのＰＦＡチューブ分配チューブで、０．１２５インチのＰＦＡチューブを最終弁と１５００ｇスケールの間に配備した。
【０２５３】
[00311]  試験条件の粘度まで混合した後、試験液をライナーに注入する前、および試験後に分配廃液として粘度を測定した。試験はシステムに最も負担がかかる３０センチポワズの名目粘度で開始し、試験を２回繰り返した後、再混合後に他の粘度で手順を継続した。手順は、３０センチポワズでの最初の繰り返しについて述べる以下のステップを含むものとして、手順は全運転で同じであった。
【０２５４】
[00312]  プロピレングリコールの粘度グラフを使用して、９０％のプロピレングリコールと１０％の水溶液が、約３２センチポワズの粘度を提供すると判断された。３６００ｍＬのＳｉｅｒｒａブランドのプロピレングリコール不凍剤を４００ｍＬの水と混合し、Ｃｏｌｅ−Ｐａｒｍｅｒ回転ディスク粘度計で粘度を測定した。粘度は、２３℃で２５センチポワズの記録で測定した。４００ｍＬの溶液を４Ｌのライナーに漏斗で導入した。スマートキャップをライナーと結合し、次にライナーを試験装置の分配プローブに接続した。ライナーに加圧するために、１０ｐｓｉｇの加圧空気を分配プローブに接続した。同時に、リザーバ分離装置（これによって分配中の液体からガスを分離して、通気し、ゼロまたは略ゼロヘッドスペース状態を達成することができる）を通して、同時に３５００ｍＬの液体を分配し、ＳＭＣ  ＬＶＨ  ２０Ｌ−Ｓ０７手動ＰＦＡ弁でフィルタを通気して、システム制御盤を開始した。最後の５００ｍＬの分配を記録した。試験は、Ｅｎｔｅｇｒｉｓモデル４２１０圧力トランスジューサが１．３ｐｓｉｇに到達した時に終了した。次に、ＰＦＡ豆コックを閉じ、ライナーをラインから外した。ライナーを外して、内容物を測定し、後者を切断して、残りのプロピレングリコールを除去した後、絞って除去する前および後に計量した。５００ｍＬの分配廃液の粘度を測定し、記録した（最初の運転では、２３℃で２８センチポワズと測定された）。次に、新しいライナーを試験流体で充填し、プロセスを繰り返した。
【０２５５】
[00313]  図５７は、１３：１２：００から１８：００：００の期間に２５センチポアズ／２８センチポアズの粘度の代表的な運転１について、分配された液体の圧力（曲線Ａ）、加圧ガス圧力（曲線Ｂ）、入口下流ディスペンサ圧力（曲線Ｃ）およびスケール（曲線Ｄ）で測定した累積分配液体の重量（グラム）を、時間（時刻）の関数として示した圧力（ｐｓｉｇ）のグラフである。
【０２５６】
[00314]  図８８は、１７：０２：２４から１７：４５：３６の期間に２５センチポアズ／２８センチポアズの粘度の代表的な運転１について、分配された液体の圧力（曲線Ａ）、加圧ガス圧力（曲線Ｂ）、入口下流ディスペンサ圧力（曲線Ｃ）およびスケール（曲線Ｄ）で測定した累積分配液体の重量（グラム）、および直線（スケール）曲線（曲線Ｅ）を、時間（時刻）の関数として示した圧力（ｐｓｉｇ）のグラフである。
【０２５７】
[00315]  分配プロファイル減衰の明らかな証拠が、１．３ｐｓｉｇの分配終了（ＥＯＤ）時の優に２０分前に発生する。これは、分配プロファイル減衰の結果として影響を受けるフォトレジストが２０ｍＬ、および３００ｍｍのウェーハ２０枚の量になる。ＥＯＤを拡大したグラフ（図５８）は、下流ディスペンサの圧力が、このＥＯＤ部分で大気圧より低くなることを示す。下流ディスペンサの圧力は、最終的な空き状態で−４ｐｓｉｇまで減衰した。これは、この０．０２μｍのＭｙｋｒｏｌｉｓフィルタで、この下流ディスペンサの処方にて３０センチポワズのフォトレジストを分配する場合、最適な作業のために、駆動圧力は少なくとも約１５ｐｓｉｇ程度であることが望ましいことを明らかに示す。
【０２５８】
[00316]  下流ディスペンサの圧力は、はるかに低くなり、フィルタの圧力崩壊の結果、スパイクを生じやすく、１次圧力トランスジューサをフィルタの下流に、例えば下流ディスペンサ自体の中に配置するよう示唆している。
【０２５９】
[00317]  本発明の別の態様は、コネクタが自身に関連する安全ロック用装置を有する、ライナー式パッケージなどの材料保存および分配パッケージのコネクタに関する。
【０２６０】
[00318]  コネクタが固定された材料保存および分配容器を、容器が大気圧より高い圧力で材料を封じ込めている間に分解すると、その結果、圧力が解放され、容器の内容物が容器の周囲環境へと圧力の媒介で分散されることがある。例えば、３０ポンド／平方インチ（ｐｓｉ）の圧力で液体化学試薬がライナー式パッケージに保存されている場合、コネクタを関連する容器から取り外すと、化学試薬が四方にまき散らされ、化学試薬が有毒または有害な性質である場合は、重大な危険要因になることがある。
【０２６１】
[00319]  本発明は、本発明の１つの実施形態で、容器に圧力がかかっている間は、使用者が関連する容器からコネクタを外すことを防止する安全ロック機構を有するコネクタを設けることにより、この安全性の問題に対応する。したがって、ロックおよび／または圧力逃がし作用を設けて、不注意による開放などによってコネクタが加圧されたパッケージから吹き飛ばないことを確保する。
【０２６２】
[00320]  本発明の１つの実施形態は、材料保存および分配パッケージのコネクタを提供する。コネクタは、本体部分を備え、本体部分に装着され、その上で上位置と下位置の間で旋回状態で並進可能であるハンドルを含む。コネクタは、材料保存および分配容器を閉じるために、それと結合することができ、容器から材料を分配する分配アセンブリ、およびハンドルと作動状態で結合し、ハンドルが下位置にある場合に、材料保存および分配容器からコネクタが外れることを防止することができる圧力逃がし装置を含む。止め要素が、圧力逃がし装置と作動状態で結合し、ハンドルがこのような下位置へと旋回状態で並進した場合に、ハンドルを下位置にて維持する。止め要素は、圧力逃がし装置をして容器を周囲圧力に通気させ、ハンドルが上方向に旋回状態で並進できるようにするために、選択的に係合解除可能であり、その後にコネクタは、ハンドルが上位置にある場合に、容器から係合解除可能であり、それによって周囲圧力でコネクタを容器から係合解除できるようになる。
【０２６３】
[00321]  このようなコネクタの１つの実施形態では、圧力逃がし装置は作動状態でハンドルの対向する各端に結合する。ハンドルの対向する端部は、コネクタの本体部分と結合する心棒部分を備える。
【０２６４】
[00322]  別の実施形態では、コネクタは２つの止め要素を含み、各心棒部分は、止め要素の対応する一方と係合可能なカム表面を含む。各止め要素はボタンを供え、これはばねによってロック位置へと付勢されてハンドルの動きを防止し、ロック位置からボタンを係合解除し、その後にハンドルの動きを可能にするために、手で押下することができる。
【０２６５】
[00323]  コネクタは、コネクタと結合した場合に、加圧ガスを容器に流入させることができる加圧ガス入口アセンブリを特徴とするコネクタなど、種々の適切な形態のいずれでもよい。圧力逃がし装置は三方弁、または使用時にコネクタに関連する容器を通気し、その後にコネクタのハンドルを持ち上げて、容器からコネクタを係合解除できるようにするよう作動可能な他の圧力逃がし装置を含むことができる。
【０２６６】
[00324]  １つの実施形態の止め要素は、ハンドルと係合するロック位置と解放位置との間で手作業で並進可能な滑動部材を含む。代替的に、止め要素は、ハンドルと係合するように突起要素を拡張させるように選択的に作動可能であり、突起要素を収縮させて、これをハンドルから係合解除させるように停止可能なシリンダを含むことができる。突起要素は、ハンドルの心棒部分と係合するように構成し、配置することができ、突起要素は、突起要素に結合した付勢ばねの作用によって並進することができる。
【０２６７】
[00325]  本発明の他の態様は、材料保存および分配容器、および容器を閉じるためにそれに結合した上述のようなコネクタを備える材料保存および分配パッケージに関する。
【０２６８】
[00326]  材料保存および分配パッケージは、それが使用される最終用途に適合する任意の適切なタイプであってよい。例えば、パッケージはドラムに袋を入れる（ＢＩＤ）、瓶に袋を入れる（ＢＩＢ）、または最終的に分配される材料を保持するライナーを他の方法で使用することができる。ライナーは、例えばフォトレジスト材料などの化学試薬、またはマイクロ電子デバイス製品の製造に使用するよう適合する他の材料を保持することができる。このように適合させる際に、材料保存および分配パッケージは、半導体製造ツールまたは設備、またはパッケージから分配される特定の材料に適合する他の最終使用機器またはプロセスシステムに結合することができる。
【０２６９】
[00327]  容器およびコネクタを含むパッケージは、容器内にライナーを含み、コネクタは分配される材料を同じ使用場所に送出するための流れ回路または他の輸送構造に結合する分配口を有する。コネクタは、また、液体または他の封じ込められた材料が、対応指定パッケージから分配されるにつれ、材料を封じ込めたライナーの容積が漸進的に小さくなるように、容器内のライナーに圧力を加えて、これを圧縮するために、加圧ガス源に結合するための圧力補助口を含むことができる。
【０２７０】
[00328]  したがって、本発明は、材料を保存し、分配する方法を想定し、材料は容器内に配置され、コネクタが容器に結合されて、閉じ込めパッケージを形成し、コネクタは上述したようなタイプであり、容器内に圧量を封じ込める第１のロック位置と、容器とパッケージの周囲環境との間の圧力差がない状態で、コネクタを容器から取り外すことができる第２の位置との間で並進可能なハンドルがある。方法は、ハンドルが第１のロック位置から第２の位置へと並進できるように、ハンドルが第１の位置にある間に、容器を選択的に減圧することを含む。
【０２７１】
[00329]  以上から、コネクタおよび関連する容器が種々の構造および形態を取り得ることが明らかであろう。
【０２７２】
[00330]  特定の実施形態では、コネクタは、容器の内容積に、さらに圧力源に接続された三方弁、および大気などのパッケージの周囲環境への通気口を含む。このような三方弁は通常、開状態で、これによって容器から材料を圧力で分配するために容器に加圧することができる。例えば、このような圧力分配作業は、ライナーを漸進的に圧縮して、その内容物を強制的に分配ノズルに通すために、容器内のライナーの外面に圧力を加えることを含むことができ、分配ノズルは、分配された材料を使用することができる下流設備に接続された外部流れ回路に接合される。
【０２７３】
[00331]  このような実施形態では、コネクタはボタンを使用し、これは例えばスイッチ、レバー、または他の手動で作動可能な要素の形態、または代替的に、圧力を遮断して、容器を大気または容器の他の周囲環境に通気するために押下することができる自動作動要素でもよい。
【０２７４】
[00332]  このような三方弁安全機構は、例えばコネクタの並進可能なハンドルなど、リリースレバーを通してコネクタに統合することができる。三方弁は、コネクタ本体に、例えばその周囲部分に配置することができる。リリースレバーに切り欠きを設けて、リリースレバーが下位置にある場合に、装置を開放可能にすることができる。これで、使用者は容器からコネクタを外すために、容器の通気を作動するにはボタンを押下しなければならない。ボタンは、リリースレバーの旋回を防止するよう機能し、したがってボタンを押下している場合を除き、容器に加圧すると、容器からコネクタを外すことができない。
【０２７５】
[00333]  別の実施形態では、３方圧力逃がし装置を使用して、コネクタが容器と係合し、リリースレバーが下位置へと並進している場合に、ロック位置でリリースレバーと係合する滑動部材の作用によって、リリースレバーをロックする。次に、リリースレバーが旋回して、コネクタを容器から係合解除可能にするように、滑動部を上方向に並進させ、滑動部をリリースレバーから係合解除しなければならない。これで、滑動部材が上方向に並進すると、圧力逃がし弁が作動して、容器を通気し、容器からコネクタを安全に係合解除することができる。
【０２７６】
[00334]  他の実施形態では、コネクタのロック装置としてシリンダまたは直線アクチュエータを使用することができる。１つの実施形態では、加圧状態が存在する場合に、シリンダを作動させて、拡張し、容器が減圧されているか、または周囲圧力である場合に、シリンダはばね付勢作用によって収縮する。
【０２７７】
[00335]  このようなシリンダ装置は、水平方向で、または代替的に、垂直方向でコネクタ構造に統合することができる。シリンダ装置には、リリースレバーまたは旋回クランプカムの側部へと水平に延びるように拡張可能な円筒心棒を製作することができる。円筒棒は、コネクタの後部分に配置し、容器が加圧された状態にある間、リリースレバーに下方向の力を加えて、所定の位置に保持するように拡張するように配置することもできる。このような方法により、リリースレバーは、容器の加圧状態の間は、閉位置にロックし、それによって圧力が中断するまでコネクタの係合解除を防止し、中断すると容器は、不都合な結果を生ぜずに容器からコネクタを係合解除するのに対応する低圧へと低下する。
【０２７８】
[00336]  このような安全ロック機構について、図５９〜図６７に関して以下でさらに詳細に説明する。
【０２７９】
[00337]  図５９は、本発明の１つの実施形態によるコネクタ８００の斜視図である。コネクタ８００は、分配口として開放端８０６を画定する分配取付具８０５が配置された主要上面８０４を有する主要ハウジング部分８０２を含み、分配口には、分配材料を下流の使用位置に搬送するために、管または他の流れ回路を結合することができる。
【０２８０】
[00338]  コネクタの上面８０４には、分配すべき材料を封じ込めた容器にコネクタ８００が結合している場合に、加圧ガスを容器に導入する際に使用する加圧媒体入口８０８を有する加圧導管８０６も配置される。容器は例えば、瓶に袋を入れる（ＢＩＢ）タイプでよく、加圧ガスが容器の内容積に導入され、容器の内壁とライナーの外面との間の内容積の領域に流入する。このような作用により、加圧ガスがライナーに圧縮力を加え、その中の材料が印加圧力で容器から分配されるように、ライナーを漸進的に圧縮する。
【０２８１】
[00339]  コネクタ８００は、旋回状態でハウジング８０２に固定された個々の心棒部分８１２および８１４を有するハンドル８１０の形態のリリースレバーを含む。この装置によって、ハンドル８１０が、図面に示す十分に下の位置から、ハンドルが垂直に配向され、本体部分８０２の上で上方向に延びる十分に上の位置まで旋回運動することができる。
【０２８２】
[00340]  この実施形態では、２つの３方圧力逃がし装置８１６および８２０を、コネクタの上面８０４に装着する。３方圧力逃がし装置８１６は、押下可能なボタン８１８を伴い、これは押下されると、コンテナの過剰圧力を容器の周囲環境に通気できるようにする。
【０２８３】
[00341]  同様の方法で、３方圧力逃がし装置８２０は、押下可能なボタン８２２に動作可能に結合され、これを押下すると、３方圧力逃がし装置８１６について上述したのと同じ方法で、容器から過剰圧力を通気することができる。
【０２８４】
[00342]  図６０は、図５９のコネクタ８００の側面図である。全ての部品および形体は対応した番号が付けられている。
【０２８５】
[00343]  図６１は、対応する斜視図であり、これも図５９および図６０に示した参照番号に対応してラベルが付けられている。
【０２８６】
[00344]  図５９〜図６１に示すように、ハンドル８１０が下位置にある場合、押下可能なボタン８１８および押下可能なボタン８２２は外側位置へと付勢され、これは図６０に示すように、ハンドルの各側で心棒上にあるカム要素８３０のカム表面により、ハンドル８１０の回転運動を防止する。
【０２８７】
[00345]  したがって、コネクタを材料保存および分配容器に結合し、ハンドルを下位置へと回転すると、ばねで付勢された押下可能なボタンが関連するハウジングから「飛び出し」、ハンドルを下位置にロックする。
【０２８８】
[00346]  その後、加圧した容器を減圧し、コネクタを容器から係合解除することが望ましい場合は、押下可能なボタン８１８および８２２を押下し、圧力逃がし装置８１６および８２０を作動して、過剰圧力をパッケージの周囲環境へと通気する。図示の装置の別の代替物では、このようなボタンの両方ではなく、一方のみを使用して、圧力逃がし作用を作動させる。過剰圧力が容器から通気されると、ハンドルを上方向に動かして、ロックを自動的に開放することにより、ハウジングの側部にある機械的ロック８３２を容器から係合解除することができる。図６０を参照すると、圧力逃がし装置上の押下可能なボタンの「飛び出し」作用によって、ハンドル８１０のロックが、機械的ロック８３２の作動を防止していることが分かる。何故なら、これらは、ハンドルの心棒のフランジ付き部分に覆われているからである。
【０２８９】
[00347]  その結果、コネクタが係合解除されている場合に、加圧された内容物を容器から不注意で分散させるという危険要因を回避する安全なパッケージ構成が提供される。
【０２９０】
[00348]  図６２は、本発明の別の実施形態によるコネクタ８４０の斜視図である。
【０２９１】
[00349]  コネクタ８４０は、ハンドル８４４の形態のリリースレバーが装着された本体部分８４２を含む。この実施形態のコネクタには、装置の本体８４６に結合された滑動部材８４７を含む３方圧力逃がし装置８４５が設けられる。ハンドル８４４を下げると、ハンドルが圧力逃がし装置８４５の滑動部材８４７を越えて滑動し、滑動部材が、図６３の概略斜視図で示すように、ハンドルを所定の位置にロックして、そのためハンドル８４４はその後、滑動部材８４７によって固定された状態で、持ち上げたり、上方向に回転することができない。
【０２９２】
[00350]  その後、コネクタを係合解除することが望ましい場合は、滑動部材がハンドル８４４の上に持ち上げられるように、滑動部材８４７を手動で上方向に並進させる。その後、ハンドル８４４は自由に上方向に回転することができる。何故なら、滑動部材８４７の上方向の並進によって、圧力逃がし装置８４５が作動し、過剰圧力を容器から装置の本体８４６を通して排出するからである。この方法で、コネクタが関連する容器から係合解除されている場合に、危険な過剰圧力状態が回避される。
【０２９３】
[00351]  図６４は、本発明の別の実施形態によるコネクタ８５０の斜視図であり、２つの異なるタイプのロック機構が例示的に使用されている。
【０２９４】
[00352]  図６４のコネクタ８５０は、分配口８５７を画定する分配取付具８５６、およびコネクタに関連する容器から材料が出ることを容易にするように加圧ガスを誘導することができる加圧取付具８５８を含む上面を有するハウジング８５２を含む。
【０２９５】
[00353]  コネクタ８５０は、シリンダ８６２の作用によって、または代替的または追加的にシリンダ８６０の作用によって所定の位置にロックすることができるハンドル８５４を特徴とする。
【０２９６】
[00354]  それ故、シリンダ８６２を作動して、シリンダまたはその突起部材を下方向に並進させてハンドル８５４に当て、それ以上動かないようにハンドルを所定の位置にロックすることができる。
【０２９７】
[00355]  ハンドルは、追加的または代替的に、シリンダ８６０の一部が外方向に並進することによって不動化することができ、したがってシリンダまたはその突起がハンドルの心棒と係合して、ハンドルの心棒部分によって画定された軸を中心とするハンドルの回転運動を防止する。
【０２９８】
[00356]  図６５を参照すると、全ての部品および形体は図６４と対応する番号が付けられており、ハンドル８５４は、突起要素がシリンダ８６２から延び、ハンドル８５４に当たり、それによって所定の位置にロックした結果として、シリンダ８６２によってロックされているものとして図示されている。
【０２９９】
[00357]  ハンドル８５４の心棒部分は、ロック位置にある場合、機械的ロック８６１を覆い、したがって容器からコネクタを外すために機械的ロックを押下することはできない。
【０３００】
[00358]  図６６は、図６４および図６５に示すコネクタの斜視図であり、全ての部品および要素は対応する番号が付けられている。この実施形態では、コネクタの上面にあるシリンダ８６０が突起部分を有し、これは、ハンドル８５４の心棒と係合して、これを所定の位置にロックするように並進可能である。そのために、ハンドルの心棒は、シリンダ８６０の突起部分と係合して、ハンドル８５４が動かないように保持する開口部または空隙をその内部に有することができる。
【０３０１】
[00359]  図６７は、図６４に示すような一般的タイプのコネクタ８５０の斜視図であるが、シリンダ８６２の形態の１つのロック要素しかない。このシリンダからロック用突起要素８６８が延び、これはハンドル８５４に当たって、ハンドルの表面の受け空隙８７０と係合する。
【０３０２】
[00360]  以上から、種々のハンドル不動化要素および過剰圧力逃がし装置を提供することができ、これによって容器内に存在する過剰圧力状態に安全に対応でき、したがってコネクタは、容器の内容物を周囲環境に分散またはまき散らすという結果を招かずに、容器から係合解除されることを理解することができるだろう。
【０３０３】
[00361]  本明細書では、本発明を本発明の特定の態様、形体および例示的実施形態に関して説明してきたが、本発明の有用性はそれに制限されず、本明細書の開示に基づいて本発明の当業者に想起されるような多くの他の変形、修正および代替実施形態にも拡大され、それを含むことを理解されたい。同様に、添付の特許請求の範囲にあるような本発明は、このような変形、修正および代替実施形態を全てその精神および範囲内に含むものとして、広義に解釈されたい。
【図面の簡単な説明】
【０３０４】
【図１】[0060]  本発明の事前接続検証結合部を適用可能である例示的なライナー式流体保存および分配パッケージの斜視図である。
【図２】[0061]  本発明の一実施形態による事前接続検証結合部の概略斜視図である。
【図３】[0062]  本発明の一実施形態により、流れ回路によって半導体製造ツールと相互接続されたライナー式流体保存および分配パッケージと、空き検出システムとを含むプロセス設置の概略図である。
【図４】[0063]  容器内の最後の２５０ｍＬの液体に関わる分配作業中に、ライナー式流体保存および分配パッケージのパッケージ圧力（ｐｓｉｇ）と分配される流体の重量（グラム）とを時間（秒）の関数として示すグラフである。
【図５】[0064]  容器内の最後の５５０ｍＬの液体に関わる分配作業中に、ライナー式流体保存および分配パッケージのパッケージ圧力（ｐｓｉｇ）と分配される流体の重量（グラム）とを時間（秒）の関数として示すグラフである。
【図６】[0065]  容器内の最後の５０ｍＬの液体に関わる分配作業中に、循環吸引ポンプの作用によって液体が一連の連続する「ショット」で分配されるライナー式流体保存および分配パッケージの、パッケージ圧力（ｐｓｉｇ）と分配される流体の重量（グラム）とを時間（秒）の関数として示すグラフである。
【図７】[0066]  循環式吸引ポンプの作用によって一連の連続する「ショット」で液体が分配されるライナー式流体保存および分配パッケージのパッケージ圧力（ｐｓｉｇ）と分配される流体の重量（グラム）とを時間（秒）の関数として示すグラフであり、流体保存および分配パッケージからの最後の７分配ショットのデータ、さらにデータを当てはめる一次方程式を示す。
【図８】[0067]  循環式吸引ポンプの作用によって一連の連続する「ショット」で液体が分配されるライナー式流体保存および分配パッケージのパッケージ圧力（ｐｓｉｇ）と分配される流体の圧力（ｐｓｉｇ）とを時間（秒）の関数として示すグラフであり、流体保存および分配パッケージからの最後の４分配ショットのデータ、さらにデータを当てはめる一次方程式を示す。
【図９】[0068]  瓶に袋を入れた（ＢＩＢ）流体保存および分配パッケージと係合した人間工学的コネクタの前面図である。
【図１０】[0069]  図９に示したコネクタおよびその構成部品の図である。
【図１１】[0069]  図９に示したコネクタおよびその構成部品の図である。
【図１２】[0069]  図９に示したコネクタおよびその構成部品の図である。
【図１３】[0069]  図９に示したコネクタおよびその構成部品の図である。
【図１４】[0069]  図９に示したコネクタおよびその構成部品の図である。
【図１５】[0069]  図９に示したコネクタおよびその構成部品の図である。
【図１６】[0069]  図９に示したコネクタおよびその構成部品の図である。
【図１７】[0069]  図９に示したコネクタおよびその構成部品の図である。
【図１８】[0070]  本発明の一実施形態により取付具シールの斜視図であり、その上部分の詳細を示す。
【図１９】[0071]  図１８の取付具シールの斜視図であり、その底部分の詳細を示す。
【図２０】[0072]  図１８〜図１９の取付具シールの底面図である。
【図２１】[0073]  図２０の線Ａ−Ａに沿って切り取った取付具シールの断面図である。
【図２２】[0074]  図２１に示すような取付具シールの外縁部分の拡大図である。
【図２３】[0075]  図１８〜図１９の取付具シールの底面図である。
【図２４】[0076]  容器の取付具を密封するように配置された状態の図１８〜図１９の取付具を含む流体保存および分配容器の部分断面立面図である。
【図２５】[0077]  キャップの側壁の回転防止構造を特徴とする、流体保存および分配パッケージのキャップの概略斜視図である。
【図２６】[0078]  対合状態で係合可能な流体保存および分配容器とそれに関連するキャップとの概略図である。
【図２７】[0079]  協働的性質を示す、流体保存および分配容器とそれに関連するキャップ構造とコネクタ本体構造との概略図である。
【図２８】[0080]  容器の首領域にある回転防止ロック構造を特徴とする流体保存および分配パッケージと、それに関連するキャップおよびコネクタとの斜視図である。
【図２９】[0081]  図２８の流体保存および分配容器およびそれに関連するキャップおよびコネクタ構造の斜視図であり、その詳細を示す。
【図３０】[0082]  図２８の流体保存および分配容器のキャップの斜視図である。
【図３１】[0083]  図３０のキャップの上面図である。
【図３２】[0084]  図２８の流体保存および分配容器の拡大斜視図であり、容器の首領域にある回転防止ロック構造の詳細を示す。
【図３３】[0085]  容器の首領域にある回転防止ロック構造を特徴とする流体保存および分配容器の斜視図である。
【図３４】[0086]  図３３の容器の首領域にある回転防止ロック構造と係合可能なキャップの斜視図である。
【図３５】[0087]  図３３の流体保存および分配容器の首領域にあるロック構造と係合した状態の、図３４のキャップの斜視図である。
【図３６】[0088]  図３３の流体保存および分配容器の首領域にあるロック構造と係合した状態の、図３４のキャップの立面図である。
【図３７】[0089]  容器の首領域にある回転防止ロック構造を特徴とする流体保存および分配容器の斜視図である。
【図３８】[0090]  キャップがコネクタと嵌合した状態で、図３７の容器の首領域にある回転防止ロック構造と係合したキャップの斜視図である。
【図３９】[0091]  図３８のキャップの斜視図であり、キャップのロック構造の詳細を示す。
【図４０】[0092]  自身に取り付けたコネクタを有し、流体保存および分配パッケージからコネクタを係合解除するように手動で操作可能であるコネクタハンドルが配置されたライナー式流体保存および分配パッケージの装置の図である。
【図４１】[0092]  自身に取り付けたコネクタを有し、流体保存および分配パッケージからコネクタを係合解除するように手動で操作可能であるコネクタハンドルが配置されたライナー式流体保存および分配パッケージの装置の図である。
【図４２】[0092]  自身に取り付けたコネクタを有し、流体保存および分配パッケージからコネクタを係合解除するように手動で操作可能であるコネクタハンドルが配置されたライナー式流体保存および分配パッケージの装置の図である。
【図４３】[0092]  自身に取り付けたコネクタを有し、流体保存および分配パッケージからコネクタを係合解除するように手動で操作可能であるコネクタハンドルが配置されたライナー式流体保存および分配パッケージの装置の図である。
【図４４】[0093]  流体保存および分配パッケージと不適当なキャップとの係合を防止するキーコード構造および誤接続干渉構造とを特徴とする流体保存および分配パッケージの組立分解斜視図である。
【図４５】[0094]  図４４に示す流体保存および分配パッケージのキャップおよびコードリングアセンブリの斜視図である。
【図４６】[0095]  図４４に図示された流体保存および分配パッケージのキャップおよびコードリングアセンブリの底面図である。
【図４７】[0096]  本発明の別の実施形態による分配アセンブリのコネクタの斜視図である。
【図４８】[0097]  図４７のコネクタの別の斜視図である。
【図４９】[0098]  本発明のさらに別の実施形態による分配アセンブリのコネクタの前面立面図である。
【図５０】[0099]  図４９のコネクタの斜視図である。
【図５１】[00100]  ハンドルの第１の位置における本発明のさらに別の実施形態による分配アセンブリのコネクタの側面図である。
【図５２】[00101]  ハンドルの第２の位置における図５１のコネクタの側面図である。
【図５３】[00102]  ハンドルの第３の位置における図５１のコネクタの側面図である。
【図５４】[00103]  本発明の他の実施形態による分配コネクタの部分の単純化した空間図である。
【図５５】[00104]  本発明の他の実施形態による分配アセンブリのコネクタの組立分解図である。
【図５６】[00105]  図５５のコネクタの組立斜視図である。
【図５７】[00106]  圧力分配状態で４Ｌのライナーからプロピレングリコールの水溶液を分配するために、１３：１２：００から１８：００：００の期間に２５センチポアズ／２８センチポアズの粘度の代表的な運転１について、分配された液体の圧力（曲線Ａ）、加圧ガス圧力（曲線Ｂ）、入口下流ディスペンサ圧力（曲線Ｃ）およびスケール（曲線Ｄ）で測定した累積分配液体の重量（グラム）を、時間（時刻）の関数として示した圧力（ｐｓｉｇ）のグラフである。
【図５８】[00107]  圧力分配状態で４Ｌのライナーからプロピレングリコールの水溶液を分配するために、１７：０２：２４から１７：４５：３６の期間に２５センチポアズ／２８センチポアズの粘度の代表的な運転１について、分配された液体の圧力（曲線Ａ）、加圧ガス圧力（曲線Ｂ）、入口下流ディスペンサ圧力（曲線Ｃ）およびスケール（曲線Ｄ）で測定した累積分配液体の重量（グラム）、および直線（スケール）曲線（曲線Ｅ）を、時間（時刻）の関数として示した圧力（ｐｓｉｇ）のグラフである。
【図５９】[00108]  本発明の他の実施形態によるコネクタの斜視図である。
【図６０】[00109]  図５９に示したコネクタの側面図である。
【図６１】[00110]  図５９および図６０のコネクタの斜視図である。
【図６２】[00111]  本発明の別の実施形態によるコネクタの斜視図である。
【図６３】[00112]  図６２のコネクタの概略斜視図であり、解放レバーハンドルの動作を示す。
【図６４】[00113]  ２つの別個のハンドルロック機構を特徴とする、本発明のさらに別の実施形態によるコネクタの上斜視図である。
【図６５】[00114]  図６４のコネクタの側面図である。
【図６６】[00115]  図６５〜図６５のコネクタの上斜視図である。
【図６７】[00116]  図６４および図６５に示したロック機構の１つを使用するコネクタの斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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【図５７】
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【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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【図６３】
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【図６４】
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【図６５】
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【図６６】
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【図６７】
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【手続補正書】
【提出日】平成22年12月27日(2010.12.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を封じ込めることができるライナーを含むライナー式流体保存および分配パッケージと、
前記ライナーから圧力の媒介で流体を分配するために前記ライナーに外部からガス圧を加えるように構成されたガス源と、
次の項目（ａ）および（ｂ）：
（ａ）前記ライナーから分配される流体の圧力を感知し、前記圧力を示すトランスジューサ出力を生成することができる圧力トランスジューサと、前記トランスジューサ出力を受信し、前記流体の圧力の変化率を測定することができるプロセッサ、および
（ｂ）前記ライナーから分配される流体の圧力の変化率を監視することができるモニタ、
のうちの１つと、
を備える、流体供給システム。
【請求項２】
前記ライナーから分配される流体の圧力を感知し、前記圧力を示すトランスジューサ出力を生成することができる圧力トランスジューサと、前記トランスジューサ出力を受信し、前記流体の圧力の変化率を測定することができるプロセッサとを備える、請求項１に記載の流体供給システム。
【請求項３】
前記ライナーから分配される流体の圧力の変化率を監視することができるモニタを備える、請求項１に記載の流体供給システム。
【請求項４】
前記プロセッサは、前記ライナーから分配される流体の流体分配および使用を制御するように構成される、請求項２に記載の流体供給システム。
【請求項５】
前記プロセッサは、（ｉ）前記ガス源によって供給されるガスの流量、（ｉｉ）前記ライナーから分配される流体を受け取るように構成された、流体使用装置での流体処理、（ｉｉｉ）前記ライナーと前記ライナーから分配される流体を受け取るように構成された、流体使用装置との間に結合される流れ回路内の１つまたは複数の弁、および（ｉｖ）前記ライナーと前記ライナーから分配される流体を受け取るように構成された、流体使用装置との間に結合される流れ回路内の１つまたは複数のポンプ、の少なくとも１つを制御するように構成される、請求項２に記載の流体供給システム。
【請求項６】
前記モニタは、前記ライナーからの流体の枯渇開始を示す圧力低下状態を検出することができる、請求項３に記載の流体供給システム。
【請求項７】
前記モニタは、（ｉ）前記ライナーから分配される前記流体の圧力を監視するように構成される圧力トランスジューサと、（ｉｉ）前記トランスジューサに作動状態で結合して前記圧力トランスジューサの出力信号を受信しかつ前記出力信号を処理して、前記ライナーからの液体媒体の枯渇開始を示す前記圧力低下状態を検出し、前記圧力低下状態を示す信号を出力するプロセッサとを含む、請求項６に記載の流体供給システム。
【請求項８】
前記ライナーから分配される流体を濾過するように構成されたフィルタをさらに備える、請求項１から７のいずれか一項に記載の流体供給システム。
【請求項９】
前記パッケージ内のライナーから半導体またはマイクロ電子デバイス製造のためのプロセスツールへの流体の送出のために流れ回路に結合される、請求項１から８のいずれか一項に記載の流体供給システム。
【請求項１０】
前記流れ回路内に分配ポンプをさらに備える、請求項９に記載の流体供給システム。
【請求項１１】
折りたたみ式ライナーからの流体の分配を実行するために外部圧力の印加を受ける該ライナーから使用位置へと流体を供給する方法であって、時間の関数として前記分配流体の圧力を監視することと、前記ライナーからの流体の枯渇開始を示す、圧力と時間の関数の勾配低下を測定することと、を含む方法。
【請求項１２】
前記圧力と時間の関数の勾配低下を測定することは、前記ライナーからの流体の枯渇への所定の近接を示す、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記枯渇への所定の近接に到達すると、アラームを出力することをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記枯渇への所定の近接に到達すると、別のライナーからの分配を継続するために交換作業を開始することをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記枯渇への所定の近接に到達すると、前記ライナー内に残っている流体の在庫と調和する方法で分配作業を修正することをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
前記勾配低下の測定に応答して、分配作業用に別のライナー式流体保存および分配パッケージを用意することをさらに含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１７】
前記使用位置への分配を継続するために、前記別のライナー式流体保存および分配パッケージへと切り換えることをさらに含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記ライナーから分配される流体が、前記ライナーから流体を受け取るように構成された、分配される流体の流れ回路で給送され、前記流れ回路から前記使用位置へと送出される、請求項１１から１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
前記給送は、計量流量ポンプによって実行される、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記使用位置は、半導体またはマイクロ電子デバイス製造のためのプロセスツールを含む、請求項１１から１９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２１】
流れ回路を介して、流体使用装置に結合することができる流体保存および分配システムであって、ライナー式流体保存および分配パッケージ内のライナーから圧力の媒介で流体を分配することができるライナー式流体保存および分配パッケージと、前記流体使用ツールへの流体入口で前記流れ回路内の分配流体の圧力を監視するように構成され、かつ、分配作業を調整することができる制御装置を作動するように構成された圧力トランスジューサとを含む、流体保存および分配システム。
【請求項２２】
前記流れ回路は、フィルタおよびポンプを備える、請求項２１に記載の流体保存および分配システム。
【請求項２３】
前記ポンプは、分配ショットポンプを備える、請求項２２に記載の流体保存および分配システム。
【請求項２４】
前記流体使用ツールは、前記流体保存および分配パッケージの下流に配置されるディスペンサが自身に関連する、請求項２１に記載の流体保存および分配システム。
【請求項２５】
前記流体保存および分配パッケージは、前記ライナーから前記圧力の媒介で流体を分配するために前記ライナーに圧力を加えるようにガスを送出する加圧ガス源に作動状態で結合する、請求項２１から２４のいずれか一項に記載の流体保存および分配システム。
【請求項２６】
前記流体使用装置は、半導体またはマイクロ電子デバイス製造のためのプロセスツールを備える、請求項２１から２５のいずれか一項に記載の流体保存および分配システム。
【外国語明細書】
2011068413000001.pdf