(57)【要約】【課題】隣り合うチャンバの雰囲気の影響を遮断して、異なる雰囲気のチャンバを順次、シート基材を貫通走行させて、能率良く高品質の機能性膜を積層させる真空成膜装置を提供する。【解決手段】可撓性帯状シート基材１を、複数のチャンバＣに貫通走行させ、しかも、隣り合うチャンバＣ，Ｃ間に排気機能を有する差圧ユニットＵを介在させる。【選択図】図６
2011006737.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空度、及び／又は、雰囲気が相違する複数のチャンバ（Ｃ）を備え、連続的に供給される可撓性帯状シート基材（１）を上記複数のチャンバ（Ｃ）を貫通走行させて上記シート基材（１）に膜を成形する真空成膜装置であって、隣り合うチャンバ（Ｃ）（Ｃ）間を、排気機能を有する差圧ユニット（Ｕ）を介して連通連結したことを特徴とする真空成膜装置。
【請求項２】
上記差圧ユニット（Ｕ）は、排気減圧される真空室（10）を内部に有する金属製のブロック体（11）と、上記真空室（10）を貫通する平面スリット状パスライン（12）と、該パスライン（12）を通過する上記シート基材（１）を吸着しつつ接触する多孔ローラ（20）と、上記シート基材（１）を上記多孔ローラ（20）の反対側から部分的に押圧して挟持する押圧ローラ（22）と、を備えている請求項1記載の真空成膜装置。
【請求項３】
上記スリット状パスライン（12）は、通過する上記シート基材（１）と接触しない限度内で最小間隔寸法（Ｈ12）に設定されている請求項２記載の真空成膜装置。
【請求項４】
上記押圧ローラ（22）は、上記シート基材（１）に接触する両端側円環部（22ａ）と、上記シート基材（１）と接触しない非接触外周面部（22ｂ）と、を有し、上記シート基材（１）の成膜部（２）に接触しないように構成されている請求項２記載の真空成膜装置。
【請求項５】
上記差圧ユニット（Ｕ）は、上記シート基材（１）が上記パスライン（12）内を走行するように搬送力を付与する一対の駆動ローラ（23）（24）を内部に有する請求項２，３又は４記載の真空成膜装置。
【請求項６】
排気機能を有する差圧ユニット（Ｕ）を介在させて、真空度、及び／又は、雰囲気が相違する複数のチャンバ（Ｃ）を順次連通連結し、可撓性帯状シート基材（１）を、上記チャンバ（Ｃ）及び排気中の上記差圧ユニット（Ｕ）を交互に貫通して連続的に走行させ、上記シート基材（１）に膜を成形することを特徴とする真空成膜方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空成膜装置及び真空成膜方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、可撓性帯状シート基材の表面に、連続的に、薄膜太陽電池、有機ＥＬ等の機能性膜を積層状に形成する方法として、いわゆるロール・ツウ・ロール（Roll to Roll）方式が提案されている（例えば、特許文献１，２，３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００６／０８８０２４号
【特許文献２】特開２００９−３０７５４号公報
【特許文献３】特開平８−３２５７３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１，２では蒸着等の成膜のための一工程のみを行うに過ぎず、相違する雰囲気や真空度の複数のチャンバ内で、複数の工程を、順次、連続走行させつつ行うことは至難であった。
即ち、チャンバとチャンバの間には、単純にスリットが開口されている構成であるので、隣のチャンバからの雰囲気が混入したり、十分な真空度を達成できず、良質の機能性膜の形成が困難であった。
【０００５】
そこで、弾性筒体から成るゲートバルブを、各チャンバの入口・出口に夫々設け、複数のチャンバ内を帯状シート基材が走行して、相違する雰囲気・真空度の工程を相互の干渉なく行う方法が提案されている（特許文献２参照）。
しかしながら、薄膜太陽電池や有機ＥＬやフレキシブルデバイスには、接触が許されないから、直接に押圧してシールするゲートバルブは適用が難しい。あるいは、ゲートバルブの弾性筒体が接触する余分な部位を、シート基材に予め設ける必要があり、無駄が発生する。さらに、比較的複雑な構造のゲートバルブとアクチュエータを多く必要とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明は、真空度、及び／又は、雰囲気が相違する複数のチャンバを備え、連続的に供給される可撓性帯状シート基材を上記複数のチャンバを貫通走行させて上記シート基材に膜を成形する真空成膜装置であって、隣り合うチャンバ間を、排気機能を有する差圧ユニットを介して連通連結したものである。
また、上記差圧ユニットは、排気減圧される真空室を内部に有する金属製のブロック体と、上記真空室を貫通する平面スリット状パスラインと、該パスラインを通過する上記シート基材を吸着しつつ接触する多孔ローラと、上記シート基材を上記多孔ローラの反対側から部分的に押圧して挟持する押圧ローラと、を備えている。また、上記スリット状パスラインは、通過する上記シート基材と接触しない限度内で最小間隔寸法に設定されている。
また、上記押圧ローラは、上記シート基材に接触する両端側円環部と、上記シート基材と接触しない非接触外周面部と、を有し、上記シート基材の成膜部に接触しないように構成されている。また、上記差圧ユニットは、上記シート基材が上記パスライン内を走行するように搬送力を付与する一対の駆動ローラを内部に有する。
【０００７】
そして、本発明に係る真空成膜方法は、排気機能を有する差圧ユニットを介在させて、真空度、及び／又は、雰囲気が相違する複数のチャンバを順次連通連結し、可撓性帯状シート基材を、上記チャンバ及び排気中の上記差圧ユニットを交互に貫通して連続的に走行させ、上記シート基材に膜を成形する方法である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の真空成膜装置によれば、隣り合うチャンバの雰囲気を十分に遮断し、又は、隣り合うチャンバの真空度を各々最適値に維持しつつ連続的に可撓性帯状シート基材を貫通走行させることができる。このようにして、能率的に高い品質（高純度）の機能性膜を積層形成できる。
特に、各チャンバの雰囲気を差圧ユニットにて仕切ることで、隣り合うチャンバの雰囲気の混入を防ぎ、あるいは、チャンバの加工中に生ずる異物が隣のチャンバへ混入することを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の一形態を示す全体構成説明図である。
【図２】他の実施の形態を示す全体構成説明図である。
【図３】別の実施の形態を示す全体構成説明図である。
【図４】変形例を示す要部説明図である。
【図５】変形例を示す要部説明図である。
【図６】要部の具体的構成図である。
【図７】差圧ユニットの一例を示す断面図である。
【図８】要部の構成説明図である。
【図９】多孔ローラとその近傍の部品を例示した斜視図である。
【図１０】差圧ユニットの一例を示す一部分解状態の斜視図である。
【図１１】要部の寸法関係説明図である。
【図１２】要部の断面図である。
【図１３】要部の変形例の断面図である。
【図１４】差圧ユニットの他の例を示す断面図である。
【図１５】差圧ユニットの別の例を示す断面図である。
【図１６】差圧ユニットのさらに別の例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図示の実施の形態に基づき本発明を詳説する。
図１又は図２に於て、真空度と雰囲気が相違した、又は、いずれか一方が相違した複数のチャンバＣ1 ，Ｃ2 ，Ｃ3 ，Ｃ4 ，Ｃ5 ，Ｃ6 （以下単にチャンバＣという場合がある）を備え、さらに、相隣り合うチャンバＣ，Ｃ間を、排気機能を有する差圧ユニットＵ1 ，Ｕ2 ，Ｕ3 ，Ｕ4 ，Ｕ5 （以下単に差圧ユニットＵという場合がある）を介して連通連結し、可撓性帯状シート基材１を、送り出し用チャンバＣ1 から図４に示すように送り出して、差圧ユニットＵ1 、チャンバＣ2 、差圧ユニットＵ2 、チャンバＣ3 、差圧ユニットＵ3 、チャンバＣ4 、差圧ユニットＵ4 、チャンバＣ5 、差圧ユニットＵ5 と順次貫通して連続的に走行させ、シート基材１に機能性膜を形成し、図５に示すように成膜品収納チャンバＣ6 に送ってロール８に巻取り（図５（ａ）参照）、若しくは、折畳み（同図（ｂ））、又は、切断しつつ収容器に収容する（同図（ｃ））。
【００１１】
図４（ａ）に於て、第１チャンバＣ1 はロール６に巻設された可撓性帯状シート基材１を繰出す送り出し用チャンバである。図４（ｂ）に於て、第１チャンバＣ1 は折畳み状態に収容されたシート基材１を繰出す送り出し用チャンバである。図４（ｃ）に於て、第１チャンバＣ1 は、プラスチック押出成形機７を収容して、この押出成形機７からシート基材１を繰出す送り出し用チャンバである。
【００１２】
シート基材１は、第１差圧ユニットＵ1 を通過して、第２チャンバＣ2 へ送られるが、図１に示した第２チャンバＣ2 は、ＤＲＹ式洗浄機を内有し、10〜 100Ｐａの真空に保たれた洗浄用チャンバである。その場合には、送り出し用チャンバＣ1 は真空に保つのが望ましい。
また、図２に示した第２チャンバＣ2 は、ＷＥＴ式洗浄機を内有し、大気圧であるので、送り出し用チャンバＣ1 も大気圧のままとする。
【００１３】
図１，図２に於て、第３チャンバＣ3 は、水分除去を行うための乾燥機を内有して、真空度が例えば 100Ｐａとした乾燥チャンバであり、第２差圧ユニットＵ2 にて洗浄用チャンバＣ2 と連結されている。
第４チャンバＣ4 は、成膜機を内有し、10-2〜10-3Ｐａの高真空に保った成膜チャンバである。Ａｒ，Ｏ2 ，Ｎ2 を含む高真空雰囲気にて、シート基材１の表面に、蒸着、スパッタリング、化学気相法等の方法により、（図11に示すように）成膜部2を形成する。
第５チャンバＣ5 は、レーザー機を内有したパターニングチャンバであり、大気圧とする。
【００１４】
次に、図４に於ては、例えば有機ＥＬ封止膜成形方法の主要な工程を示し、ＩＴＯ膜成形チャンバＣ41とＡｌ2Ｏ3膜成形チャンバＣ42とＳｉＯ2 膜成形チャンバＣ43が順に並設され、差圧ユニットＵ10，Ｕ11にて連通連結され、帯状シート基材１は、差圧ユニットＵ3 ，ＩＴＯ膜成形チャンバＣ41，差圧ユニットＵ10，Ａｌ2Ｏ3膜成形チャンバＣ42，差圧ユニットＵ11，ＳｉＯ2 膜成形チャンバＣ43，差圧ユニットＵ4 と順次貫通状に送られ、帯状シート基材１の表面にスパッタリングによって複数の膜を形成する。
【００１５】
ところで、各チャンバＣ41，Ｃ42，Ｃ43の真空度及び雰囲気（但し、チャンバ内のガス流量の値を含んで雰囲気と呼ぶこととする）は、次のように相違している。（なお、ガス流量は、１atm 、０℃に於ける数値で表す。）
（ｉ）ＩＴＯ膜成形チャンバＣ41
真空度      0.2Ｐａ
ガス比     Ａｒ：Ｏ2 ＝２：１
Ｏ2 ガス流量  （１〜２）×10-2  cc/sec
（ii）Ａｌ2Ｏ3 膜成形チャンバＣ42
真空度      0.5Ｐａ
ガス比     Ａｒ：Ｏ2 ＝２：１
Ｏ2 ガス流量  （１〜3）×10-1 cc/sec
(iii)ＳｉＯ2 膜成形チャンバ膜成形チャンバＣ43
真空度      0.3Ｐａ
ガス比     Ａｒ：Ｏ2 ＝２：１
Ｏ2 ガス流量  （４〜５）×10-1 cc/sec
【００１６】
ところで、差圧ユニットＵは、上述の如く、雰囲気が相違したチャンバＣ，Ｃを連通連結した場合に、相互に影響しないように遮断し、さらに、真空度が相違した隣り合うチャンバＣ，Ｃ間の圧力を少しずつ段階的に変化させつつ両チャンバＣ，Ｃ間を連通連結して、各チャンバＣ，Ｃ間の圧力を常時安定して規定真空度に維持させる。しかも、差圧ユニットＵは、排気機能を具備しており、チャンバＣ内で発生する不純物や異物を排出除去させる作用も行う。例えば、図１，図２の第５差圧ユニットＵ5 は、レーザー機によるパターニング加工中に生成される不純物の混じったガスを排出除去する。
上述の図１，図２に於ける高真空の第４のチャンバＣ4 、及び、その上流・下流側の第３チャンバＣ3 ，第５チャンバＣ5 と、差圧ユニットＵ3 , Ｕ4 の具体的構成及び構造を、図６と図８に例示する。また、差圧ユニットＵ（Ｕ3 ，Ｕ4 ）の一例を図７と図９〜図13に示す。
【００１７】
成膜チャンバＣ4 は10-2〜10-3Ｐａと高真空であって、隣のチャンバＣ3 ，Ｃ5 との圧力差が大きい。そこで、図６に示したように、差圧ユニットＵ3 を複数個直列に連結して減圧ユニット群４を構成して高真空のチャンバＣ4 の入口側に設け、他方、出口側には、差圧ユニットＵ4 を複数個直列に連結して圧力復元ユニット群５を構成して、接続する。
チャンバＣ（Ｃ4 ）の入口側には入口フランジ３ａが突設され、出口側には出口フランジ３ｂが突設されている（図６参照）。差圧ユニットＵ（Ｕ3 ，Ｕ4 ）は、金属製のブロック体11と、このブロック体11から突設された接続フランジ14，14と、を一体に有し、さらに、ブロック体11の内部には、排気孔13にて外部に連通する２個の排気減圧用真空室10，10と、排気孔13´にて外部に連通する３個の駆動ローラ空室16，16，16と、全ての真空室10，10及び空室16，16，16を貫通し、かつ、接続フランジ14，14をも貫通して、平面スリット状パスライン12が、形成されている。 
【００１８】
真空室10は側面視断面形状が長円形であって、多孔ローラ20と押圧ローラ22が収納されている。押圧ローラ22は、走行する帯状シート基材１を介して多孔ローラ20へ押圧する作用をなす。駆動ローラ空室16は、側面視断面形状が長円形であって、外部から駆動されて回転する駆動ローラ23，24を有する。
ブロック体11は、ＳＵＳ材一体加工も可能であるが、鍛造金属（鋳鉄）を用いてもよい。内面には、Ｎｉメッキ等を施して、安価な鋳鉄でもって真空性能を維持させるのが好ましい。前記排気孔13，13´は、ブロック体11の内部の真空室10，駆動ローラ空室16と、外部とを連通して外部の排気手段によって排気して、内部を真空とし、あるいは、不純物・異物の排出を行う。
【００１９】
スリット状パスライン12は、ブロック体11内を貫通して同一平面状に形成されている。スリット状パスライン12は、通過するシート基材１と接触しない限度内でコンダクタンスＣx が極小となるように最小寸法間隔に設定されている。図11に示すように、最小寸法間隔は、パスライン12の間隔寸法（高さ寸法）Ｈ12と使用するシート基材の厚さ寸法Ｈ1 の差を１mm〜４mm程度に設定し、スリット状パスライン12の横幅寸法Ｗ12と使用するシート基材の幅Ｗ1 の差を２mm〜８mm程度に設定したものである。
パスライン12の間隔寸法（高さ寸法）Ｈ12と使用するシート基材の厚さ寸法Ｈ1 の差を１mmより小さく設定し、スリット状パスライン12の横幅寸法Ｗ12と使用するシート基材の幅Ｗ1 の差を２mmより小さく設定した場合は、スリット状パスライン12を通過するシート基材１がブロック体11に接触する虞がある。
【００２０】
また、パスライン12の間隔寸法（高さ寸法）Ｈ12と使用するシート基材の厚さ寸法Ｈ1 の差を４mmより大きく設定すると、十分な圧力勾配が得られず、最終的に真空チャンバ３の高真空状態を達成困難となる。
なお、コンダクタンスＣx とは、パスライン12の気体の通り抜けやすさを示す係数であり、気体の流量Ｑ、パスライン12両端の圧力差ΔＰとすると、Ｃx ＝Ｑ／ΔＰで表される。
【００２１】
図９は、多孔ローラ20を示す斜視図である。
多孔ローラ20は、（枢支孔を有する）取付フランジ26，27を介してブロック体11の蓋板17，17（図10参照）に取外し自在に取着されている。多孔ローラ20は、長円筒状に形成され、空洞中心部から外周面部に連通する多数の小孔21を有している。空洞中心部は、ロータリー継手28に外部から付与された負圧により排気され減圧している。多孔ローラ20は、ドリル等で穿孔して小孔21をラジアル方向に多数形成しても良いが、焼結金属等の連通気孔を有する材料を用いて製作するのが好ましい。
【００２２】
図12は、要部断面であって、押圧ローラ22は、長円筒状に形成され、両端縁にシート基材１に接触して押圧する両端側円環部22ａと、胴部にシート基材１と接触しない非接触外周面部22ｂと、を有している。
図７に示す駆動ローラ23，24は、円柱状又は長円筒状に形成されている。図12に示した押圧ローラ22の外周面形状と同様に、一方の駆動ローラ24は両端縁にシート基材１に接触して押圧する両端側円環ガイド部と、胴部にシート基材１と接触しない非接触胴部と、を有している。
【００２３】
図７と図10に示すように、同一平面状のスリット状パスライン12がブロック体11に、入口から出口にわたって貫設され、また、入口側と出口側の接続フランジ14，14の形状と寸法は、前記入口フランジ３ａ，出口フランジ３ｂと同一に形成するのが好ましい。このようにすれば、図６に示すように、チャンバＣに対して、差圧ユニットＵを（図示省略のボルト・ナット結合等によって）容易に接続可能であり、かつ、使用条件（真空度や雰囲気等）に対応して、差圧ユニットＵの増減も、容易である。
図７に示した排気孔13，13´、及び、（図外の）真空ポンプ及び配管等によって、排気機能が構成され、各差圧ユニットＵは排気機能を備えているといえる。
【００２４】
次に、図８に例示するように、高真空の成膜チャンバＣ4 を中心として、その上流側・下流側に、夫々、比較的に小さな真空度のチャンバＣ3 ，Ｃ5 が配設されている場合には、真空室10を上流側に６個、下流側に６個を、成膜チャンバＣ4 を中心として配設して、圧力勾配を小さくするのが望ましい。
つまり、減圧ユニット群４では、乾燥チャンバＣ3 の圧力Ｐ0 （例えば 100Ｐａ）から複数段階的に高真空Ｐ7 へ順次減圧するように、圧力Ｐ1 の第１真空室、圧力Ｐ2 の第２真空室、圧力Ｐ3 の第３真空室〜圧力Ｐ6 の第６真空室が列設されている。このように、各真空室10の圧力Ｐ1 〜Ｐ6 、及び、成膜チャンバＣ4 の圧力Ｐ7 との間に、Ｐ0 ＞Ｐ1 ＞Ｐ2 ＞Ｐ3 ＞Ｐ4 ＞Ｐ5 ＞Ｐ6 ＞Ｐの関係式が成り立つ。
【００２５】
圧力復元ユニット群５に於ては、上流側の高真空Ｐ7 からパターニングチャンバＣ5 の圧力Ｐ0 ´へ、順次複数段的に圧力が上昇（復元）するように、圧力Ｐ6 ´の第７真空室10〜圧力Ｐ1 ´の第12真空室10が配設され、大気圧Ｐ0 ´のパターニングチャンバＣ5 へ復元する。
【００２６】
なお、図８に於て、成膜チャンバＣ4 を中心として、その上流側と下流側の真空室10の個数を6個ずつとしたが、これを相違させて配設する場合もあり、さらに、上流側・下流側の各個数を、増減するも自由である。そして、図１，図２あるいは図３に於て、隣り合うチャンバＣ，Ｃの真空度の差が小さい場合やほとんど圧力差が無い場合には、両チャンバＣ，Ｃ間に介在させる真空室10の個数を減少させる。即ち、差圧ユニットＵの個数を減少させる。
【００２７】
さらに、隣り合うチャンバＣ，Ｃの雰囲気が余り相違しない場合や、不純物・異物を排出する必要性が低い場合にも、両チャンバＣ，Ｃ間に介在させる差圧ユニットＵの個数（真空室10の個数）を減少させ、逆に、隣り合うチャンバＣ，Ｃの雰囲気が大幅に相違したり、不純物・異物を排出する必要性があるチャンバＣに連通している場合には、両チャンバＣ，Ｃ間に介在させる差圧ユニットＵの個数（真空室10の個数）を増加させる。
なお、送り出しチャンバＣ1 から成膜品収納チャンバＣ6 の間で、圧力差も無く、雰囲気にも差がなく、不純物・異物を排出する必要性が無ければ、図１，図２等に於けるチャンバＣの1個〜２個を省略することも、可能な場合がある。
【００２８】
次に、図13は、図12に代わる他の具体例であって、押圧ローラ22が、両側の接触円環部22ａ，22ａ及び中央接触円環部22ｃを有するように構成し、２個の非接触外周面部22ｂ，22ｂを凹設しても良いことを示す。つまり、成膜部２，２が２列状に形成されるような場合に、その間の帯状部位を中央接触円環部22ｃにて（追加的に）押圧保持させる。
【００２９】
図14，図15，図16は、図７に代わる各々別の実施の形態を示す。即ち、図14に示した差圧ユニットＵは、１個の多孔ローラ20と１個の押圧ローラ22のみが、ブロック体11の内部に設けられている。図７に示した駆動ローラ23，24を省略し、ブロック体11には、１個の真空室10のみが形成される。
図15に示す差圧ユニットＵは、１個の駆動ローラ空室16、及び、１個の真空室10のみが形成され、一対の駆動ローラ23，24、及び、一対の多孔ローラ20・押圧ローラ22が、内有されている。図16では、中央の１個の真空室10と、その上流・下流側の２個の駆動ローラ空室16，16が形成され、一対の多孔ローラ20・押圧ローラ22、及び、２対の駆動ローラ23，24が、内有されている。
この図14，図15，図16に示すようなコンパクトで簡易な差圧ユニットＵとすることで、隣り合うチャンバＣ，Ｃの圧力差が小さい場合や雰囲気に差異がない場合、さらに、不純物・異物を除去する必要性が低い場合に、好適である。
【００３０】
ところで、図６，図７，図８に於て、パスライン12に沿って上流側から下流側へ、又は、下流側から上流側へ、気体が流れる状況を観察すれば、間隔寸法Ｈ12の極めて小さいパスライン12の部分と、大きな空間を形成する真空室10（及び駆動ローラ空室16）を、交互に流れるため、いわゆる「ラビリンス溝効果」によって、流体抵抗が増加して、一方のチャンバＣから他方のチャンバＣへ、流体が流れ込み難くなり、一層、上述の差圧ユニットＵの遮断の作用が増幅する利点がある。
【００３１】
図１，図２，図３の実施の形態以外の機能性膜の形成についても本発明は適用自由であるが、図３の実施の形態のように、複数の機能性膜を連続的に積層形成するに際し、異なる雰囲気（及び真空度）の複数のチャンバＣ…が差圧ユニットＵにて有効に遮断され（雰囲気が変更され）、能率的かつ安定して高品質な薄膜太陽電池や有機ＥＬ等を製造可能となり、特に、容易かつ確実に、高純度の機能性膜が積層できる。
【００３２】
以上述べたように、本発明は、真空度、及び／又は、雰囲気が相違する複数のチャンバＣを備え、連続的に供給される可撓性帯状シート基材１を上記複数のチャンバＣを貫通走行させて上記シート基材１に膜を成形する真空成膜装置であって、隣り合うチャンバＣＣ間を、排気機能を有する差圧ユニットＵを介して連通連結した構成であるので、相隣り合うチャンバＣ，Ｃ間の雰囲気，真空度が確実に遮断され、かつ、シート基材１を連続的に送ることが可能となって、各チャンバＣ内は最適の雰囲気，真空度に維持できて、良質の機能性膜の能率的な積層形成を実現できた。さらに、チャンバＣ内の不純物や異物を排気機能によって排出除去できて、チャンバＣ内を清浄に維持し、一層、高品質な機能性膜の積層形成を可能とする。
【００３３】
また、上記差圧ユニットＵは、排気減圧される真空室10を内部に有する金属製のブロック体11と、上記真空室10を貫通する平面スリット状パスライン12と、該パスライン12を通過する上記シート基材１を吸着しつつ接触する多孔ローラ20と、上記シート基材１を上記多孔ローラ20の反対側から部分的に押圧して挟持する押圧ローラ22と、を備えている構成であるので、シート基材１の送りをスムースに行うことができ、特に、機能性膜（成膜部２）に傷を付けずに確実に送ることができる（図12，図13参照）。しかも、ラビリンス溝効果が発揮されることとなり、隣り合うチャンバＣ，Ｃ間を、一層確実に、段階的な圧力変化を付与でき、かつ、雰囲気遮断効果も向上する。
【００３４】
また、上記スリット状パスライン12は、通過する上記シート基材１と接触しない限度内で最小間隔寸法Ｈ12に設定されているので、コンダクタンスＣx が極めて小さくなり、効率のよい排気減圧を行うことができる。
また、上記押圧ローラ22は、上記シート基材１に接触する両端側円環部22ａと、上記シート基材１と接触しない非接触外周面部22ｂと、を有し、上記シート基材１の成膜部２に接触しないように構成されているので、（図12，図13に示したように、）成膜部２を傷つけずに、搬送を確実に行い得る。
また、上記差圧ユニットＵは、上記シート基材１が上記パスライン12内を走行するように搬送力を付与する一対の駆動ローラ23，24を内部に有するので、スリット状パスライン12内を走行するシート基材１を正確に保持し、シート基材１にシワや撓みを発生するのを防止できる。
【００３５】
また、本発明の真空成膜方法は、排気機能を有する差圧ユニットＵを介在させて、真空度、及び／又は、雰囲気が相違する複数のチャンバＣを順次連通連結し、可撓性帯状シート基材１を、上記チャンバＣ及び排気中の上記差圧ユニットＵを交互に貫通して連続的に走行させ、上記シート基材１に膜を成形する方法であるので、隣り合ったチャンバＣ，Ｃの雰囲気が遮断されて、純度の高い最適の雰囲気に、各チャンバＣが保たれる。また、隣り合ったチャンバＣ，Ｃの間に真空度が異なったとしても、各チャンバＣが安定して所定圧力に維持できる。さらに、チャンバＣ内の不純物・異物も排出除去できて、清浄空間に保持され、高品質な機能性膜を高能率に連続的に製造できる。
【符号の説明】
【００３６】
１  帯状シート基材
２  成膜部
10  真空室
11  ブロック体
12  パスライン
20  多孔ローラ
22  押圧ローラ
22ａ  円環部
22ｂ  非接触外周面部
23，24  駆動ローラ
Ｃ  チャンバ
Ｈ12  間隔寸法
Ｕ  差圧ユニット
【図１】
2011006737.tif 000003
【図２】
2011006737.tif 000004
【図３】
2011006737.tif 000005
【図４】
2011006737.tif 000006
【図５】
2011006737.tif 000007
【図６】
2011006737.tif 000008
【図７】
2011006737.tif 000009
【図８】
2011006737.tif 000010
【図９】
2011006737.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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