(57)【要約】【課題】高酸素バリア性の酸素バリアフィルムにおける欠陥を短時間で検出する。【解決手段】欠陥検出装置は密閉容器１３とフォトンカウンタ１５とを有する。密閉容器１３は、器１７と酸素バリアフィルム１８とからなる。器１７には酸化により化学発光を起こす発光物質が収められる。酸素バリアフィルム１８により器１７の開口は閉塞される。密閉容器１３内部には発光物質からなる発光体１２が形成される。密閉容器１３の上方には、発光物質からの光子を検知するフォトンカウンタ１５が設けられる。移動装置３０はフォトンカウンタ１５を移動自在にする。コントローラ３５は、フォトンカウンタ１５の位置、及びフォトンカウンタ１５が検知した光子の数を読み込む。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉容器内に設けられ、酸化反応により化学発光を起こす発光体と、
前記密閉容器の構成部材である酸素バリア体に沿って移動自在に設けられ、前記発光体からの光子数Ｍを検知する光子カウント部と、
前記光子カウント部を移動させる移動部と、
前記光子数Ｍが閾値Ｎを超えているか否かを判定する判定部と、
前記判定部が「Ｍ＞Ｎ」と判定した場合には、当該光子数Ｍを検知したときの前記光子カウント部の位置を検知する位置検知部とを有することを特徴とする酸素バリア体の欠陥検出装置。
【請求項２】
前記光子カウント部を並べてなる光子検知アレイを有することを特徴とする請求項１記載の酸素バリア体の欠陥検出装置。
【請求項３】
密閉容器内に設けられ、酸化反応により化学発光を起こす発光体と、
前記発光体からの光子数Ｍを検知する光子カウント部が並べられてなり、前記密閉容器の構成部材である酸素バリア体に近接して配された光子カウントアレイと、
前記光子数Ｍが閾値Ｎを超えているか否かを判定する判定部と、
前記判定部が「Ｍ＞Ｎ」と判定した場合には、当該光子数Ｍを検知したときの前記光子カウント部の位置を検知する位置検知部とを有することを特徴とする酸素バリア体の欠陥検出装置。
【請求項４】
前記密閉容器は、前記発光体が設けられた器とフィルム状の前記酸素バリア体とを備え、
前記発光体は前記酸素バリア体及び前記器により封止されたことを特徴とする請求項１ないし３のうちいずれか１項記載の酸素バリア体の欠陥検出装置。
【請求項５】
前記発光体には、テトラキス（ジエチルアミノ）エチレンが含まれることを特徴とする請求項１ないし４のうちいずれか１項記載の酸素バリア体の欠陥検出装置。
【請求項６】
密閉容器内に酸化反応により化学発光を起こす発光物質を設ける形成工程と、
前記形成工程を経た前記密閉容器を酸素中に曝す曝露工程とを有し、
前記曝露工程では、
前記密閉容器の構成部材である酸素バリア体に近接するように配された光子カウント部を用いて、前記発光体からの光子数Ｍを検知する光子カウント工程と、
前記光子数Ｍが閾値Ｎを超えているか否かを判定する判定工程と、
前記判定工程において「Ｍ＞Ｎ」と判定した場合には、当該光子数Ｍを検知したときの前記光子カウント部の位置を検知する位置検知工程とを有することを特徴とする酸素バリア体の欠陥検出方法。
【請求項７】
前記曝露工程では、前記酸素バリア体に沿って前記光子カウント部を移動させることを特徴とする請求項６記載の酸素バリア体の欠陥検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は酸素バリア体の欠陥検出方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
食品や薬品等は、酸化によりその品質が低下してしまう。このため、食品や薬品等の包装材として、酸素透過度の小さい（例えば、１０−２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ・ａｔｍ）程度の酸素バリア材が用いられる。そして、この酸素バリア材からなるフィルム（以下、酸素バリアフィルムと称する）や容器（以下、酸素バリア容器と称する）等が、食品や薬品等の包装として用いられる。
【０００３】
このような酸素バリア容器等において、酸素が透過しやすい部位（以下、欠陥と称する）が存在するか否かを調べる検査（以下、欠陥検査と称する）がある。欠陥検査として、酸化により変色する物質が充填された酸素バリア容器を、酸素を含有する雰囲気（例えば、大気）中に曝し、変色した物質の位置から、当該酸素バリア容器の欠陥の位置を特定する方法が特許文献１、２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭５４−１１１３９０号公報
【特許文献２】特開２００７−１０３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来、無機基板をベースにして製造されていた光デバイス及び電子デバイスを、有機フィルムをベースにして製造しようとする試みがなされている。これにより基板コストの低下、超薄型化、フレキシブル化等が可能になり、製品の大型化、ウェアラブル化等の需要トレンドへの対応が可能になる。
【０００６】
ところが、各デバイスの基材を有機フィルムに変更することにより、さまざまな技術課題が浮上する。その１つに、有機フィルムの酸素バリア性の低さが挙げられる。有機フィルムの酸素バリア性を向上するために、有機フィルムに酸素バリア性を付与した酸素バリアフィルムが必要になる。現在、各デバイスの酸素バリア性を有する保護膜として用いられているＳｉＮＸ膜の酸素透過度は１０−２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ・ａｔｍ程度であるが、今後の各デバイスの環境対応性を考慮すると、酸素バリアフィルムの酸素透過度として、１０−６〜１０−３ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ・ａｔｍ程度までの酸素バリア性が必要と考えられている。このような極めて低い酸素透過度は、基材を有機フィルムに置き換えた各デバイスの分野に限られず、有機ＥＬディスプレイに用いられる有機ＥＬ素子、太陽電池や電子ペーパ等の酸素バリア膜にも要求される。
【０００７】
しかしながら、酸素バリアフィルムの酸素透過度が低くなるに従い、欠陥検査に要する時間は長くなる。したがって、上述したような極めて低い酸素透過度の酸素バリアフィルム等について、特許文献１，２に記載の方法を用いて欠陥検査を行った場合、当該物質の変色を検知する検出器の感度が十分に高くないため、欠陥検査に要する時間が非常に長くなってしまう。例えば、直径０．２ｍｍの針を０．０５ｍｍの深さで容器に刺して形成させた欠陥の検出に２４時間要する。
【０００８】
本発明はこのような課題を解決するものであり、酸素バリア体についての欠陥検査を短時間で行うことを可能にする酸素バリア体の欠陥検出方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の酸素バリア体の欠陥検出装置は、密閉容器内に設けられ、酸化反応により化学発光を起こす発光体と、前記密閉容器の構成部材である酸素バリア体に沿って移動自在に設けられ、前記発光体からの光子数Ｍを検知する光子カウント部と、前記光子カウント部を移動させる移動部と、前記光子数Ｍが閾値Ｎを超えているか否かを判定する判定部と、前記判定部が「Ｍ＞Ｎ」と判定した場合には、当該光子数Ｍを検知したときの前記光子カウント部の位置を検知する位置検知部とを有することを特徴とする。
【００１０】
前記光子カウント部を並べてなる光子検知アレイを有することが好ましい。
【００１１】
また、本発明の酸素バリア体の欠陥検出装置は、密閉容器内に設けられ、酸化反応により化学発光を起こす発光体と、前記発光体からの光子数Ｍを検知する光子カウント部が並べられてなり、前記密閉容器の構成部材である酸素バリア体に近接して配された光子カウントアレイと、前記光子数Ｍが閾値Ｎを超えているか否かを判定する判定部と、前記判定部が「Ｍ＞Ｎ」と判定した場合には、当該光子数Ｍを検知したときの前記光子カウント部の位置を検知する位置検知部とを有することを特徴とする。
【００１２】
前記密閉容器は、前記発光体が設けられ器とフィルム状の前記酸素バリア体とを備え、前記発光体は前記酸素バリア体及び前記器により封止されたことが好ましい。また、前記発光体には、テトラキス（ジエチルアミノ）エチレンが含まれることが好ましい。
【００１３】
本発明の酸素バリア体の欠陥検出方法は、密閉容器内に酸化反応により化学発光を起こす発光物質を設ける形成工程と、前記形成工程を経た前記密閉容器を酸素中に曝す曝露工程とを有し、前記曝露工程では、前記密閉容器の構成部材である酸素バリア体に近接するように配された光子カウント部を用いて、前記発光体からの光子数Ｍを検知する光子カウント工程と、前記光子数Ｍが閾値Ｎを超えているか否かを判定する判定工程と、前記判定工程において「Ｍ＞Ｎ」と判定した場合には、当該光子数Ｍを検知したときの前記光子カウント部の位置を検知する位置検知工程とを有することを特徴とする。
【００１４】
前記曝露工程では、前記酸素バリア体に沿って前記光子カウント部を移動させることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、化学発光によって生成した光子をカウントして、酸素バリア体における欠陥の検出をするため、高い酸素バリア体の欠陥検査を高い精度で行うことができる。更に、化学発光は酸化反応から光子が生成するまでの時間が短いため、欠陥検査を短時間で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１の酸素透過量測定装置の概要を示す斜視図である。
【図２】第１の酸素透過量測定装置に設けられる密閉容器の概要を示す斜視図である。
【図３】密閉容器の概要を示す分解図である。
【図４】第１の酸素透過量測定装置の概要を示す断面図である。
【図５】第２の酸素透過量測定装置の概要を示す斜視図である。
【図６】第３の酸素透過量測定装置の概要を示す斜視図である。
【図７】第４の酸素透過量測定装置の概要を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の欠陥検出装置１０を図１に示す。欠陥検出装置１０は、発光体１２を内蔵する密閉容器１３と、密閉容器１３に近接して設けられたフォトンカウンタ１５とを有する。密閉容器１３は酸素バリア性を有する。
【００１８】
図２及び図３に示すように、密閉容器１３は、酸化反応により化学発光をおこす発光物質が配される箱状の器１７と、欠陥検査の対象である酸素バリアフィルム１８とを備える。器１７には開口１７ａを有し、開口１７ａの周縁には酸素バリアフィルム１８を支持する支持面１７ｂが設けられる。
【００１９】
酸素バリアフィルム１８は光透過性を有する。酸素バリアフィルム１８の酸素透過度は、１０−２  〜１０−６  （ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ・ａｔｍ）であることが好ましく、１０−２  〜１０−３  （ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ・ａｔｍ）であることがより好ましい。
【００２０】
器１７は、酸素バリアフィルム１８よりも低い酸素透過度を有するものを用いる。例えば、ガラスやそれと同程度の酸素透過度のもので作ることが好ましい。開口１７ａの形状や寸法等は、酸素バリアフィルム１８により閉塞可能であって、開口１７ａの閉塞により、密閉容器１３が密閉状態となり得るものであれば良い。
【００２１】
開口１７ａを塞ぐように酸素バリアフィルム１８を器１７上に配すると、図４に示すように、器１７内に配された発光物質は封止される。こうして、発光物質からなる発光体１２が密閉容器１３内に形成される。
【００２２】
器１７内に発光物質を配する方法としては、例えば、液滴を滴下後にブレードを用いて濡れ広げる方法、ブレード、ワーヤーバー、ホッパーなどを水平に固定した基板に平行に移動させて塗布する枚葉塗布装置、基板を水平に保持しながら回転させるスピン塗布装置などを用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【００２３】
また、器１７において、発光物質を封止する方法として、ＥＶＡのような封止剤を器１７の支持面１７ｂに塗布した後、酸素バリアフィルム１８を圧着する。このとき、封止剤の塗工幅は１ｃｍ以上とする。酸素バリアフィルムと発光物質との間には気体（この場合はグローブボックス内の不活性ガス）が残らないように密着させる。なお、検査領域が器の底面の一部である場合には、酸素バリアフィルムと発光物質との間の気体が残っていても、検査領域の外であれば構わない。
【００２４】
本発明の化学発光物質は、酸素との反応により光子を発する物質をあらわし、例えば、電子供与性基の置換した二重結合を有する化合物や不飽和結合を有する油脂類などが挙げられるが、強い発光を示す点で、電子供与性基の置換した二重結合を有する化合物が好ましく、特に一般式（１）で表される構造を有する化合物であることが好ましい。
【００２５】
【化１】
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【００２６】
化１に示される一般式中、Ｒ１ないしＲ８はそれぞれ独立したアルキル基をあらわし、互いに連結して環を形成しても良い。
【００２７】
Ｒ１ないしＲ８で表されるアルキル基は、炭素数１ないし１８、好ましくは炭素数１ないし８の直鎖状、分岐状、または環状のアルキル基であり、置換基として例えば、アルコキシ基（好ましくは炭素数１ないし４、例えばメトキシ、エトキシ、２−メチルプロポキシ）、アシル基（好ましくは炭素数２ないし４、例えばアセチル、ブチロイル、ピバロイル）、アシロキシ基（好ましくは炭素数２ないし４、例えばアセトキシ、ブチロイルオキシ、ピバロイルオキシ）、ハロゲン原子（例えばＦ，Ｃｌ，Ｂｒ，Ｉ）を有していても良い。Ｒ１ないしＲ８で表される環状のアルキル基は、好ましくは４ないし７員環であり特に好ましくは５もしくは６員環である。Ｒ１ないしＲ８で表されるアルキル基が互いに連結して形成される環は、４ないし８員環が好ましく特に好ましくは５もしくは６員環である。
【００２８】
化１で表される化合物のうち、特に好ましいものは、Ｒ１ないしＲ８で表されるアルキル基が互いに独立に炭素数１ないし２の無置換アルキル基である。さらにこれらの炭素数１ないし２かつ無置換のアルキル基のうちＲ２とＲ３、Ｒ６とＲ７が連結して５もしくは６員環を形成していてもよい。
【００２９】
化１で表される化合物のうち最も好ましいものは、Ｒ１ないしＲ８で表されるアルキル基がメチル基である。一般式（１）で表される化合物の具体例（化合物１〜１６）を以下に示すが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではない。
【００３０】
【表１】
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【００３１】
【化２】
2011214841.tif 000005
【００３２】
【表２】
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【００３３】
化合物１６は、化３に示す化合物である。
【００３４】
【化３】
2011214841.tif 000007
【００３５】
化１に示す化合物は、以下の非特許文献に記載の公知の方法によって合成できる。例えば化合物１ないし８は、R. L. Pruett, J. T. Barr, K. E. Rapp, C. T. Bahner, J. D. Gibson, R. H. Lafferty, Jr., J. Am. Chem. Soc., 72, 3646-3650 (1950)およびN. Wieberg and J. W. Buchler, Z. Naturforsch, 196, 5-8 (1964)の記載にしたがって合成できる。化合物９ないし１６は、H. E. Winberg, J. E. Carnahan, D. D. Coffman, M. Brown, J. Am. Chem. Soc., 87, 2055-2056 (1965)の記載に基づいて合成できる。
【００３６】
本発明の発光反応の機構をテトラキス（ジエチルアミノ）エチレン（化合物１）と酸素との反応を例として説明する。テトラキス（ジエチルアミノ）エチレン（化合物１）と酸素との反応により、化４に示すジオキセタンを経て２分子のテトラメチル尿素（化５及び化６参照）が生成する。化６に示すテトラメチル尿素は、励起状態である。化６に示すテトラメチル尿素が基底状態に遷移する際に、励起状態と基底状態のエネルギー差に対応するエネルギーを有する光子が放出される。H. E. Winberg, J. R. Downing, D. D. Coffman, J. Am. Chem. Soc., 87, 2054-2055 (1965) によれば、この反応の量子収率は３×１０−４であるから、反応に寄与した酸素分子１００００個に対し２．５ないし３．４個の割合（以下、反応割合と称する）κで光子が発生することになる。
【００３７】
【化４】
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【００３８】
【化５】
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【００３９】
【化６】
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【００４０】
図４に示すように、光子の数をカウントするフォトンカウンタ１５は、移動装置３０に取り付けられる。移動装置３０は、移動自在なホルダ３１と、ホルダ３１を所定の方向に移動させる駆動部３２とを有する。フォトンカウンタ１５はホルダ３１に取り付けられるため、フォトンカウンタ１５は移動自在となる。
【００４１】
フォトンカウンタ１５は、光子が入射可能な入射窓１５ａを備える光電子増倍管と、光電子増倍管が出力したパルス電流値から、入射窓１５ａから入射した光子の数をカウントするカウンタモジュールとを有する。密閉容器１３の外部に配されるフォトンカウンタ１５は、入射窓１５ａが酸素バリアフィルム１８と対向するように配される。光電子増倍管の量子効率Ｑｅは１〜２０％であることが好ましい。
【００４２】
コントローラ３５は、フォトンカウンタ１５から、カウンタモジュールがカウントした光子の数を読み込む。また、コントローラ３５は、駆動部３２からホルダ３１の位置を読み込む。更に、コントローラ３５は、内蔵メモリに記録されたルート情報に基づいて、駆動部３２を駆動する。コントローラ３５の制御の下、ホルダ３１は移動開始点から移動終了点までの経路上を移動する。移動開始点、移動終了点、及び移動開始点から移動終了点までの経路は、コントローラ３５の内蔵メモリに予め記録されている。
【００４３】
次に、欠陥検出装置１０を用いた酸素バリアフィルム１８の欠陥検査の手順を説明する。
【００４４】
まず、不活性ガスが塗布されたグローブボックス内に、器１７、発光物質が収納された密閉ビン、及び酸素バリアフィルム１８を入れる（図３参照）。不活性ガスとしては、希ガスのほか、窒素のように反応性の低いものを用いることができる。
【００４５】
グローブボックス内では、密閉ビンから発光物質を取り出し、器１７内へ塗布する。その後、開口１７ａが閉塞するように、酸素バリアフィルム１８を器１７に接着する。これにより、器１７内の発光物質は封止され、密閉容器１３の内部には発光体１２が形成される（図４参照）。そして、密閉容器１３を運搬用密閉型トランクケースに入れて暗室へ持っていく。
【００４６】
暗室内には酸素を含有する気体（例えば、空気）が充填されている。暗室内の温度、湿度などの環境条件は、発光物質の反応が起こるものであればよい。
【００４７】
暗室内には移動装置３０が配される。そして、ホルダ３１にはフォトンカウンタ１５が取り付けられる。暗室において、運搬用密閉型トランクケースから密閉容器１３を取り出す。このとき、暗室に配されるフォトンカウンタ１５の入射窓１５ａと酸素バリアフィルム１８とが１ｃｍ以下に接近して対向するように、密閉容器１３を配する。
【００４８】
コントローラ３５により、フォトンカウンタ１５は移動開始点にセットされる。次に、コントローラ３５は、駆動部３２からホルダ３１の位置を示すホルダ位置座標を読み込む。その後、コントローラ３５は、読み込んだホルダ位置座標が、内蔵メモリに記録された移動終了点の座標と一致するか否かを判定する。そして、コントローラ３５は、読み込んだホルダ位置座標が移動終了点の座標と一致しない場合には、内蔵メモリに記録された経路に従って、ホルダ３１を移動させる。このように、コントローラ３５は、読み込んだホルダ位置座標が移動終了点の座標と一致するまで、ホルダ３１を移動させる。こうして、移動開始点にセットされたフォトンカウンタ１５は、移動終了点までの所定の経路上を、酸素バリアフィルム１８の表面１８ｆに沿って移動する。
【００４９】
暗室内の酸素は、酸素バリアフィルム１８を透過し、密閉容器１３の内部に配された発光物質に触れるが、欠陥部分は酸素浸透の時間が速くまた浸透量も多いため、測定の初期においては欠陥のみが明るく光る。欠陥から発された光子は、フォトンカウンタ１５の入射窓１５ａへ入射する。入射窓１５ａから光子が入射されると、光電子増倍管は、その光子に応じて所定のパルス電流を出力する。
【００５０】
カウンタモジュールは、光電子増倍管が出力したパルス数と電流値を読み取る。そして、読み取ったパルス数と電流値から、入射窓１５ａへ入射した光子の数を検知する。更に、検知された光子の数と反応割合κとから、酸素バリアフィルム１８を透過した酸素分子の数Ｍ（個／秒）を算出する。
【００５１】
コントローラ３５は、フォトンカウンタ１５から酸素分子数Ｍ（個／秒）を読み込む。その後、コントローラ３５は、ホルダ位置座標及び酸素分子数Ｍとが対となった酸素量情報を内蔵メモリに記録する。次に、コントローラ３５は、酸素分子数Ｍが内蔵メモリに予め設定された閾値Ｎよりも大きいか否かを判定する。閾値Ｎは、検査対象となる酸素バリアフィルム１８に要求される酸素透過度に基づいて決めてもよい。
【００５２】
そして、「Ｍ＞Ｎ」と判定した場合には、コントローラ３５は、当該酸素分子量Ｍについての酸素量情報に欠陥データを付与した後、次の酸素量情報を内蔵メモリに記録する。一方、「Ｍ＜Ｎ」または「Ｍ＝Ｎ」と判定した場合には、コントローラ３５は、酸素量情報に欠陥データを付与せずに、次の酸素量情報を内蔵メモリに記録する。
【００５３】
酸素バリアフィルム１８に欠陥が存在する場合、その欠陥における酸素分子の数Ｍは閾値Ｎよりも大きい。したがって、コントローラ３５の内蔵メモリに記録された酸素量情報から、酸素バリアフィルム１８の欠陥の有無、及び欠陥の位置を特定することができる。このように、本発明は、酸化によって発された光子数を用いて欠陥を検出するため、従来よりも速い速度で酸素バリアフィルム１８について欠陥検査を行うことができる。
【００５４】
上記実施形態では、器１７の底面全面に発光物質を配したが、本発明はこれに限られず、検査の対象となる範囲に発光物質を配していれば、底面全面に発光物質を配さなくてもよい。
【００５５】
上記実施形態では、開口１７ａ及び支持面１７ｂを有する器１７を用いたが、本発明はこれに限られず、器１７に代えて、平板を用いても良い。平板上に発光物質を配した場合には、平板上の発光物質が配された周囲に、封止材を塗布した後、酸素バリアフィルム１８を圧着させてもよい。
【００５６】
上記実施形態では、光透過性を有する酸素バリアフィルム１８を用いたが、光透過性が低い、または光透過性を有さない酸素バリアフィルム１８を用いてもよい。この場合には、器１７の背面に近接するように設けられたフォトンカウンタ１５を用いて、光透過性を有する器１７を通して光子を検知してもよい。
【００５７】
上記実施形態では、暗室にて密閉容器１３を運搬用トランクケースから取り出したが本発明はこれに限られず、暗室において、グローブボックスの内部又は外部にフォトンカウンタ１５を配した後、グローブボックス内を大気に置換してもよい。
【００５８】
上記実施形態では、光子検知部として１つのフォトンカウンタ１５を用いたが、本発明はこれに限られず、図５及び図６に示すようなアレイ型フォトンカウンタ４０、４２を用いても良い。図５に示すアレイ型フォトンカウンタ４０は、配列された複数のフォトンカウンタ１５を有する。なお、図６のように、アレイ型フォトンカウンタ４２を構成するフォトンカウンタ１５が、酸素バリアフィルム１８全面に配列されている場合には、移動装置３０（図４参照）は省略できる。
【００５９】
また、図７に示すように、フォトンカウンタ１５と酸素バリアフィルム１８との間に、集光レンズ４５を設けても良い。焦点が入射窓１５ａに位置するように集光レンズ４５が配されることが好ましい。これにより、酸素バリアフィルム１８の欠陥について位置の特定の精度を向上させることができる。
【００６０】
なお、上記実施形態では、光電子増倍管を用いたが、本発明はこれに限られず、イメージ・インテンシファイヤ付のＣＣＤイメージセンサを用いても良い。この場合は、光子蓄積式の積分型測定になる。
【実施例】
【００６１】
図１に示す欠陥検出装置１０を用いて、酸素バリア材について欠陥検査を行った。酸素バリア材は、基材フィルム上に微細孔を有する金属板を重ねたものである。酸素バリア材のうち微細孔が設けられた部分における酸素透過度は、２０ｃｃ／ｄａｙ・ｍ２・ａｔｍであった。欠陥検出装置１０を暗室に配した後４時間経過した時点において検出された光子の数は、酸素バリア材のほとんどの部分では１０個／秒であったのに対し、所定の部分では７７個／秒であった。また、光子の数が７７個／秒と検出された部分は、微細孔が設けられた位置と一致した。したがって、本発明によれば、微細な欠陥を検出することができること、更に、このような微細な欠陥を短時間に検出することができることがわかった。
【符号の説明】
【００６２】
１０  欠陥検出装置
１２  発光体
１３  密閉容器
１５  フォトンカウンタ
１７  支持箱
１８  酸素バリアフィルム
３０  移動装置
３１  ホルダ
３２  駆動部
３５  コントローラ
４０、４２  アレイ型フォトンカウンタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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