(57)【要約】【課題】光出力を簡単な構成で正確に測定できる光源装置を提供すること。【解決手段】光源たる放電ランプ４の光を導光部材たる導光ロッド３０に入射して出力するとともに、前記導光ロッド３０への入射光量を光出力に応じて制御する光源装置１において、前記放電ランプ４と前記導光ロッド３０の間にハーフミラー付透明板１３を、入射した光の一部が端面４８に向かって内部を伝搬するように前記放電ランプ４の光軸に対して傾けて配置し、前記端面４８に光量センサ５０を設けて前記ハーフミラー付透明板１３の端面４８への伝搬光４９を検出し、当該伝搬光４９の光量に基づいて光出力を検出する構成とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源の光を導光部材に入射して出力するとともに、前記導光部材への入射光量を光出力に応じて制御する光源装置において、
前記光源と前記導光部材の間に透明板を、入射した光の一部が端面に向かって内部を伝搬するように前記光源の光軸に対して傾けて配置し、前記端面に光量センサを設けて前記透明板の端面への伝搬光を検出し、当該伝搬光の光量に基づいて光出力を検出することを特徴とする光源装置。
【請求項２】
略矩形の前記透明板の出射面の中心が前記光軸に位置するように配置し、前記端面の幅方向の中央部に前記光量センサを設けたことを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記光量センサが取り付けられる側の端面の厚さに対し当該端面に対向する端面の厚さが短くなるように前記透明板の入射面を出射面側に２．５度〜４度の範囲で傾斜させたことを特徴とする請求項１又は２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記透明板の出射面を前記光軸に対して４５度〜５０度の範囲で傾けて設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項５】
前記光源の光を集光し導光部材に入射する反射鏡と、前記反射鏡と前記導光部材の間に通過光量を調整する調光部材と、を有し、前記調光部材を前記反射鏡の開口面と集光点の略中心位置に配置したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の光源装置。
【請求項６】
前記透明板の出射面にハーフミラー膜を設けたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源の光を光ファイバ等の導光部材に入射する光源装置に係り、特に、出力光の検出技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、放電ランプと、当該放電ランプの光を集光させる反射鏡とを組み合わせた集光型放電ランプを内蔵し、反射鏡で集光した光を、複数本の光ファイバの素線を束ねたバンドル光ファイバに入射し、当該バンドル光ファイバを介して所望の箇所まで導光可能にした光源装置が知られている。この種の光源装置では、光出力を検出し、集光型放電ランプの光軸上に設けた調光手段の調光量を光出力の検出結果に基づいてフィードバック制御することで、集光型放電ランプの劣化や使用環境（温度など）の変化により放射光量が変動した場合でも、光出力を一定に維持するものが知られている。
【０００３】
光出力の検出には、一般に、バンドル光ファイバの束から光モニタ用の光ファイバを分離して光量センサで検出する第１の検出方式や（例えば、特許文献１参照）、バンドル光ファイバに入射する光の光軸断面内の光量分布を均一化する導光ロッドの側面に光量センサを設け当該導光ロッドの側面から取り出した光を検出する第２の検出方式（例えば、特許文献２参照）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２０６０４９号公報
【特許文献２】特開２００９−１２２４６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の第１の検出方式では、光量センサ用に光を分岐させるファイバを有した専用のバンドル光ファイバを用いる必要があり、装置コストが高くなる、という問題がある。また、従来の第２の検出方式では、導光ロッドの側面から光を取り出すための面加工が必要となり、また、面加工の仕上がり状態によって、検出光量と導光ロッドを伝搬する光量との対応関係が異なるため、光出力を正確に検出することが困難である。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、光出力を簡単かつ正確に測定できる光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は、光源の光を導光部材に入射して出力するとともに、前記導光部材への入射光量を光出力に応じて制御する光源装置において、前記光源と前記導光部材の間に透明板を、入射した光の一部が端面に向かって内部を伝搬するように前記光源の光軸に対して傾けて配置し、前記端面に光量センサを設けて前記透明板の端面への伝搬光を検出し、当該伝搬光の光量に基づいて光出力を検出することを特徴とする。
【０００７】
また本発明は、上記光源装置において、略矩形の前記透明板の出射面の中心が前記光軸に位置するように配置し、前記端面の幅方向の中央部に前記光量センサを設けたことを特徴とする。
【０００８】
また本発明は、上記光源装置において、前記光量センサが取り付けられる側の端面の厚さに対し当該端面に対向する端面の厚さが短くなるように前記透明板の入射面を出射面側に２．５度〜４度の範囲で傾斜させたことを特徴とする。
【０００９】
また本発明は、上記光源装置において、前記透明板の出射面を前記光軸に対して４５度〜５０度の範囲で傾けて設けたことを特徴とする。
【００１０】
また本発明は、上記光源装置において、前記光源の光を集光し導光部材に入射する反射鏡と、前記反射鏡と前記導光部材の間に通過光量を調整する調光部材と、を有し、前記調光部材を前記反射鏡の開口面と集光点の略中心位置に配置したことを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、上記光源装置において、前記透明板の出射面にハーフミラー膜を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、透明板を光軸に傾けて配置し、当該透明板の端面に伝搬する伝搬光を光量センサで検出する構成としたため、透明板への入射光量或いは透過光量と、伝搬光量との間の相関関係に基づいて、当該入射光量或いは透過光量が求められるから、導光部材を経て出力される光出力を簡単かつ正確に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る光源装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】ハーフミラー付透明板及び光量センサの構成を示す図である。
【図３】調光板の構成を示す図である。
【図４】ハーフミラー付透明板の出射面に対する入射面の傾斜角γと、透過光の分布、反射光の分布及び光量センサに入射する伝搬光の分布との関係を、光量センサの取付側の端面の光量分布とともに示す図である。
【図５】ハーフミラー付透明板の出射面の光軸に対する傾斜角αと、透過光の分布、反射光の分布及び光量センサに入射する伝搬光の分布との関係を、光量センサの取付側の端面の光量分布とともに示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態に係る光源装置１の構成を模式的に示す図である。この図に示すように、光源装置１は、例えば検査対象物（被照射物）の表面を撮像して画像処理により製品検査を行う際に、光ファイバの素線が多数束ねられてなるバンドル光ファイバ２を介して検査対象物に照明光を照射するために用いられるものである。具体的には、光源装置１は、光源装置本体３と、この光源装置本体３に着脱自在に接続された上記バンドル光ファイバ２とを備えている。
【００１５】
図１に示すように、光源装置本体３は、放電ランプ４及び放電ランプ４の放射光を集光する楕円反射鏡６を一体に備えた集光型放電ランプ７と、集光型放電ランプ７の発光を制御する安定器８と、光量調整部１２と、集光型放電ランプ７の光線を２つに分岐するハーフミラー付透明板１３と、分岐した光線ごとに光出射口１４とを内蔵し、さらに、ハーフミラー付透明板１３には、光出射口１４に入射する光量を検出する光量センサ５０が設けられている。なお、この他にも、光源装置本体３には、紫外線・赤外線カットフィルタなどが設けられている。
【００１６】
放電ランプ４は、水銀ランプ及びメタルハライドランプなどのショートアーク型のランプであり、楕円反射鏡６の第一焦点Ｆ１に配置され、これら放電ランプ４及び楕円反射鏡６により上記集光型放電ランプ７が構成されており、集光型放電ランプ７が放射する光は、楕円反射鏡６の第二焦点Ｆ２に集光する。この第二焦点Ｆ２は光源装置本体３内に位置し、この第二焦点Ｆ２の近傍に上記ハーフミラー付透明板１３が配置されている。
【００１７】
ハーフミラー付透明板１３は、図２に示すように、ガラスやアクリル等の透明部材から成る透明板４０の出射面４０Ｂにハーフミラー膜４２を設けた、入射面４０Ａ及び出射面４０Ｂが略正方形（少なくとも出射面４０Ｂを正面視したときに正方形）の光学素子である。すなわちハーフミラー付透明板１３の入射面４０Ａへの入射光４３はハーフミラー膜４２により、そのまま透過する透過光４４と、ハーフミラー膜４２で反射する反射光４５とに二分され、透過光４４及び反射光４５がそれぞれ光出射口１４に入射する。このハーフミラー膜４２は、出射面４０Ｂ（すなわち、ハーフミラー膜４２への入射面）が光軸Ｋに対して少なくとも４５度〜５０度の傾斜角αで設置された場合に、透過光４４及び反射光４５の光量比を約１：１とする特性を有している。このハーフミラー付透明板１３は、光軸Ｋ上の第二焦点Ｆ２から導光ロッド３０側に若干ずれた位置に配置されており、透過光４４及び反射光４５が所定の拡がり角βをもって光出射口１４に入射される。ハーフミラー付透明板１３を第二焦点Ｆ２から外れた位置に配置することで、集光による熱影響を抑えられる。このとき、ハーフミラー付透明板１３を第二焦点Ｆ２から集光型放電ランプ７側に外れた位置に配置すると、当該集光型放電ランプ７の放射光がハーフミラー付透明板１３を通過した後に集光することとなるので、導光ロッド３３までの距離が長くなり、これが２方向分あるため、装置が大型化する。そこで、ハーフミラー付透明板１３を第二焦点Ｆ２から導光ロット３０側に外れた位置に配置することで、装置の大型化を防止し、また集光による熱影響を防止できる。
【００１８】
光出射口１４には、図１に示すように、それぞれ導光ロッド３０及び当該導光ロッド３０を保持する導光ロッドホルダー３２が設けられている。
導光ロッド３０は、入射した光を、光軸Ｋの断面における光量分布を均一にしてバンドル光ファイバ２に出力する導光部材である。具体的には、導光ロッド３０は、ガラス体で形成された断面正六角形の柱状体であり、一端面の光入射端面３０ｉｎに、ハーフミラー付透明板１３の透過光４４又は反射光４５が入射され、他端面の光出射端面３０ｏｕｔからバンドル光ファイバ２に出力する。この導光ロッド３０は、ロッドインテグレータで形成されているので、導光ロッド３０に入射される光が光軸Ｋの断面内でガウシアン分布のような光量分布を有している場合でも、出力される光の光量分布は光軸Ｋの断面内でフラットな分布になるように均一化される。すなわち、光源装置１においては、照射面内で均一な光量分布の照明光が要求される場合でも、導光ロッド３０により十分に均一化されることから、光を均一化する光学系を別途に設ける必要がない。
【００１９】
導光ロッドホルダー３２は、光源装置本体３を貫通する筒部材であり、光源装置本体３に入り込んだ端部には上記導光ロッド３０が挿入され、また光源装置本体３の外に突出した端部は、バンドル光ファイバ２の入射取付具６０の接続口３４として構成されている。入射取付具６０が取り付けられることで、バンドル光ファイバ２の先端部が導光ロッド３０の光出射端面３０ｏｕｔに対向配置され、光出射端面３０ｏｕｔからの出力光がバンドル光ファイバ２の先端部に入射される。
【００２０】
光量調整部１２は、光源装置本体３の出力光量をフィードバック制御するものであり、調光板２０と、この調光板２０を回転駆動するステップモータ２２と、このステップモータ２２の回転駆動量を制御するコントローラ２４とを備えている。
調光板２０は、楕円反射鏡６から第二焦点Ｆ２に至る光軸Ｋ上であって、楕円反射鏡６（集光型放電ランプ７）の開口面たるフランジ面６Ａと第二焦点Ｆ２との間の中心位置Ｐよりもやや第二焦点Ｆ２側に配置され、その板面には、図３に示すように、調光板２０の回転量に比例するように光透過量を可変する形状、すなわち周方向に沿って開口幅が漸増する形状の開口２０Ａが形成されている。
コントローラ２４は、出射口入射光の光量が一定に維持されるように調光板２０を回転させて出力光量を可変するフィードバック制御を実行する。
ここで、調光板２０を第二焦点Ｆ２に近付けて配置するほど、調光板２０の開口２０Ａの開口幅を小さくすることができ、調光板２０自体を小さくできる。しかし、調光板２０を第二焦点Ｆ２に近付けて配置するほど、当該調光板２０に照射される入射光の面積が小さくなるので、調光板２０の開口幅の作製が難しく、かつ局所的に調光板２０の温度が高くなる為、調光板２０の変形等の問題が発生する。そこで、調光板２０を、フランジ面６Ａと第二焦点Ｆ２との間の中心位置Ｐよりもやや第二焦点Ｆ２側に配置することで、調光板２０の小型化と、作成の容易性及びランプからの熱による変形防止を可能にしている。
【００２１】
図１及び図２に示すように、ハーフミラー付透明板１３の下端部側の端面４８には光量センサ５０が設けられている。光量センサ５０は、端面４８の光量を検出し、上記コントローラ２４に出力する。詳述すると、ハーフミラー付透明板１３が光軸Ｋに対して傾けて配置されることで、ハーフミラー付透明板１３に入射した入射光４３は、図２に示すように、その一部が透明板４０の内部で多重反射し、端面４８に向かって伝搬する伝搬光４９となる。この伝搬光４９の光量は、入射光４３の光量と、透明板４０の光学特性とに依存し、当該光学特性が既知である場合には、伝搬光４９の光量に基づいて入射光４３、透過光４４、或いは反射光４５の光量が演算により求められる。
【００２２】
上記コントローラ２４は、光量センサ５０から入力された伝搬光４９の光量の検出値を透過光４４及び反射光４５の光量に換算し、これら透過光４４及び反射光４５の光量が所定の目標値に維持されるように調光板２０を制御する。かかる制御により、導光ロッド３０への入射光量が目標値に維持されることから、集光型放電ランプ７の劣化や使用環境（温度など）の変化により放射光量が変動した場合でも、光出力が常に一定に維持される。なお、この所定の目標値は、光源装置本体３に設けられた図示せぬ操作子の操作によってコントローラ２４に入力される。
【００２３】
ここで、ハーフミラー付透明板１３において、ハーフミラー膜４２を、透明板４０の出射面４０Ｂに代えて入射面４０Ａに設ける構成としてもハーフミラーの機能が得られる。しかしながら、入射面４０Ａにハーフミラー膜４２を形成した場合には、出射面４０Ｂに形成した場合に比べて伝搬光４９の光量が減ってしまうため、本実施形態では、ハーフミラー膜４２を透明板４０の出射面４０Ｂに設け、伝搬光４９の光量低下を防止している。
また、ハーフミラー付透明板１３（透明板４０）において、上記光量センサ５０を設ける端面４８の厚さＴａは、図２に示すように、光量センサ５０の検出面５１と同程度の大きさ（本実施形態ではＴａ＝約３ｍｍ）とし、透明板４０の厚さを無駄に大きくせずに、端面４８に伝搬した伝搬光４９を効率良く光量センサ５０に入射させるようにしている。
【００２４】
また、ハーフミラー付透明板１３は、図２に示すように、光軸Ｋ上の第二焦点Ｆ２或いはその近傍に、当該ハーフミラー付透明板１３の出射面４０Ｂの中心Ｏを光軸Ｋに合わせて配置されている。これにより、ハーフミラー付透明板１３への入射面積が小さくなるため、ハーフミラー付透明板１３自体を小さくできる。また、ハーフミラー付透明板１３の中心Ｏを光軸Ｋに合わせることで、後述する図４に示すように、光量センサ５０の取付側の端面４８では、伝搬光４９が端面４８の中央部（端面４８の横方向（厚さＴａに直交する方向）の幅Ｗの略中心）に集められ、この端面４８の中央部に光量センサ５０を配置することで、伝搬光４９を効率良く検出でき、また、集光型放電ランプ７と、ハーフミラー付透明板１３と、光量センサ５０の位置関係が明確になり、装置の組み立てが容易となる。
【００２５】
図４は、ハーフミラー付透明板１３の出射面４０Ｂに対する入射面４０Ａの傾斜角γと、透過光４４の分布、反射光４５の分布及び光量センサ５０に入射する伝搬光４９の分布との関係を、光量センサ５０の取付側の端面４８の光量分布とともに示す図である。なお、同図に示す分布は後述する傾斜角αを４５度に固定して測定したものである。
本実施形態では、ハーフミラー付透明板１３には、図２に示すように、入射面４０Ａが出射面４０Ｂの側に、光量センサ５０の取付側の端面４８の厚さＴａよりも当該端面４８に対向する端面５３の厚さＴｂが短くなるように傾斜角γで傾斜した形状のものが用いられている。この傾斜角γは、出射面４０Ｂに対して端面４８及び端面５３が垂直であり、出射面４０Ｂの高さ（すなわち端面４８から端面５３までの距離）をＬとした場合、次式で表される。
傾斜角γ＝Ａｒｃｔａｎ（（Ｔａ−Ｔｂ）／Ｌ）          （１）
なお、傾斜角γ＝０度のときが入射面４０Ａと出射面４０Ｂが平行な場合である。
【００２６】
傾斜角γが変化した場合、図４に示すように、反射光４５及び透過光４４の光量や分布に大きな変化は見られないものの、端面４８での伝搬光４９の分布及び光量が大きく変化する。光量センサ５０には、検出限界を下まわらない程度の微少な光量が入射すれば十分であるため、伝搬光４９の光量の変化は問題にはならないものの、伝搬光４９の分布が不均一になったり、伝搬光４９の分布が光量センサ５０の検出面５１をはみ出たりすると、光量の検出精度の低下を招く虞がある。
すなわち、傾斜角γが大きくなるほど、端面４８での伝搬光４９の分布が拡がり、傾斜角γ＝約３．６度のときが伝搬光４９の分布が検出面５１に入る限界となる。一方、傾斜角γがある程度小さくなると、例えば傾斜角γ＝約１．８度のときに示されるように、伝搬光４９の分布が乱れ検出精度の低下を招くこととなる。
そこで、本実施形態では、傾斜角γを２．５度から４度を限度とすることで、検出精度を維持することとしている。具体的には、本実施形態では、ハーフミラー付透明板１３として、Ｌ＝１６ｍｍ、Ｔａ＝３ｍｍ、Ｔｂ＝２ｍｍ、γ＝３．６度の形状寸法のものを用いることとしている。
【００２７】
図５は、ハーフミラー付透明板１３の出射面４０Ｂの光軸Ｋに対する傾斜角αと、透過光４４の分布、反射光４５の分布及び光量センサ５０に入射する伝搬光４９の分布との関係を、光量センサ５０の取付側の端面４８の光量分布とともに示す図である。なお、同図の分布は、上記傾斜角γを３．６度に固定して測定したものである。
この図に示すように、傾斜角αが変化すると、反射光及び透過光の光量や分布に大きな変化は見られない。一方、端面４８での伝搬光４９の分布においては、傾斜角αが４５度〜５０度の範囲で、端面４８の中央部に伝搬光４９が集中するものの、傾斜角αが４５度よりも小さくなると（図示例α＝４０度）、分布が乱れる傾向がある。そこで、本実施形態では、ハーフミラー付透明板１３の傾斜角αを４０度〜５０度の範囲とし、光量センサ５０に伝搬光４９を効率良く入射させ、検出精度の低下を防止することとしている。
【００２８】
このように本実施形態によれば、ハーフミラー付透明板１３を光軸Ｋに傾けて配置し、当該ハーフミラー付透明板１３の端面４８に伝搬する伝搬光４９を光量センサ５０で検出する構成としたため、ハーフミラー付透明板１３への入射光４３、透過光４４及び反射光４５の光量を伝搬光４９の光量との相関関係に基づいて演算により求められるため、導光ロッド３０を経て出力される光出力を簡単かつ正確に検出することができる。
【００２９】
また本実施形態によれば、ハーフミラー付透明板１３を出射面４０Ｂの中心Ｏが光軸Ｋに位置するように配置し、端面４８の幅Ｗ方向の中央部に光量センサ５０を設ける構成とした。この構成により、伝搬光４９を端面４８の幅Ｗ方向の中央部に集め、当該伝搬光４９を光量センサ５０に効率良く入射して検出することができる。
【００３０】
また本実施形態によれば、光量センサ５０の取付側の端面４８に対し当該端面４８に対向する端面５３の厚さＴｂが短くなるようにハーフミラー付透明板１３の入射面４０Ａを出射面４０Ｂの側に２．５度〜４度の範囲で傾斜させる構成とした。この構成により、端面４８での伝搬光４９の分布が光量センサ５０の検出面５１よりも拡がることがなく、伝搬光４９を効率良く、なおかつ精度良く検出することができる。
【００３１】
さらに本実施形態によれば、ハーフミラー付透明板１３の出射面４０Ｂを光軸Ｋに対して４５度〜５０度の範囲で傾けて設ける構成としたため、端面４８での伝搬光４９の分布の乱れを抑え、より精度良く伝搬光４９を検出することができる。
【００３２】
特に、透明板４０の出射面４０Ｂにハーフミラー膜４２を設けた構成のハーフミラー付透明板１３においては、当該ハーフミラー付透明板１３の透過光４４と反射光４５の両方の光量を１つの光量センサ５０の検出値から求めることができる。これにより、装置構成を簡略化でき、装置コストが抑えられる。
さらに、ハーフミラー付透明板１３において、入射面４０Ａを出射面４０Ｂの側に２．５度〜４度の範囲で傾斜させ、また、ハーフミラー付透明板１３の出射面４０Ｂを光軸Ｋに対して４５度〜５０度の範囲で傾けて設けた場合でも、透過光４４と反射光４５の光量比率に差ほど変化がないため、透過光４４と反射光４５の光量比率を維持しつつ、１つの光量センサ５０で効率良く、かつ正確に、これら透過光４４と反射光４５の光量を検出できる。
【００３３】
また、本実施形態によれば、調光部材たる調光板２０を、楕円反射鏡６の開口面たるフランジ面６Ａと第二焦点Ｆ２との間の略中心位置Ｐに配置することで、調光板２０の小型化と、作成の容易性及びランプからの熱による変形防止が可能になる。
【００３４】
なお、上述した実施形態は、あくまでも本発明の一態様を示すものであり、本発明の範囲内で任意に変形および応用が可能である。
例えば、光源装置１の光源として、放電ランプ４を例示したが、これに限らず、例えばＬＥＤ光源であっても良い。また、放電ランプ４の光を楕円反射鏡６で集光して導光ロッド３０に入射する構成を例示したが、これに限らず、回転放物面の反射鏡を用いて平行光化して入射しても良い。この場合、平行光を出力するように構成されたＬＥＤ光源を光源装置１の光源として用いることができる。
また、調光板２０により調光する構成を例示したが、これに限らず、放電ランプ４や上記ＬＥＤ光源自体を、電流制御やパルス制御等で調光する調光手段を設ける構成としても良い。
【００３５】
また例えば、放電ランプ４の放射光をハーフミラー付透明板１３により５０：５０に等分して出力する光源装置１を例示したが、これに限らない。すなわち、光出力の応用目的によっては、二分する比率を変えても良い。さらに、ハーフミラー付透明板１３と他のハーフミラー等の光分岐機能を有する光学素素子を設けて放射光を、適宜の光量比率でｎ分岐（ｎ≧３）して出力する構成としても良い。
またハーフミラー付透明板１３に代えて、ハーフミラー膜４２を設けていない透明板４０を配置し、集光型放電ランプ７の放射光を二分せずに出力する光源装置としてもよい。
【符号の説明】
【００３６】
１  光源装置
２  バンドル光ファイバ
３  光源装置本体
４  放電ランプ（光源）
６  楕円反射鏡（反射鏡）
７  集光型放電ランプ
Ｆ１  第一焦点
Ｆ２  第二焦点（集光点）
１２  光量調整部
１３  ハーフミラー付透明板
２０  調光板
２４  コントローラ
３０  導光ロッド（導光部材）
４０  透明板
４０Ａ  入射面
４０Ｂ  出射面
４２  ハーフミラー膜
４３  入射光
４４  透過光
４５  反射光
４８、５３  端面
４９  伝搬光
５０  光量センサ
５１  検出面
Ｋ  光軸
Ｏ  中心
Ｗ  幅
Ｔａ、Ｔｂ  厚さ
【図１】
2011203443.tif 000003
【図２】
2011203443.tif 000004
【図３】
2011203443.tif 000005
【図４】
2011203443.tif 000006
【図５】
2011203443.tif 000007