(57)【要約】【課題】導入したガスが領域間で混ざることを防止することが可能となる熱処理装置を提供する。【解決手段】ワークＷの周囲の雰囲気が領域毎で異なるように炉内が複数の領域に区画され、区画された各領域を順にワークＷが進行し当該ワークＷを熱処理する熱処理装置である。区画された複数の前記領域それぞれに処理ガスを供給するガス導入部２と、区画された複数の前記領域それぞれの雰囲気ガスを排気する排気部３と、パージガス供給部７とを備えている。パージガス供給部７は、隣り合う領域間に設けられワークＷの上方から下方に向けてパージガスを噴出する噴出口１７ａ，１７ｂを有している。【選択図】      図１
2011064425.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの周囲の雰囲気が領域毎で異なるように炉内が複数の領域に区画され、区画された各領域を順にワークが進行し当該ワークを熱処理する熱処理装置であって、
区画された複数の前記領域それぞれに処理ガスを供給するガス導入部と、
区画された複数の前記領域それぞれの雰囲気ガスを排気する排気部と、
隣り合う前記領域間に設けられ前記ワークの上方から下方に向けてパージガスを噴出する噴出口を有しているパージガス供給部と、
を備えていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】
前記ガス導入部が有し前記処理ガスを放出する導入口と、前記排気部が有し前記雰囲気ガスを吸引する排気口とは、前記ワークの進行方向に関して同じ区間に配置されている請求項１に記載の熱処理装置。
【請求項３】
前記ガス導入部による単位時間当たりの処理ガス供給量と、前記排気部による単位時間当たりの雰囲気ガス排気量とが、同等に設定されている請求項１又は２に記載の熱処理装置。
【請求項４】
前記パージガス供給部は、前記パージガスを噴出する第一の噴出口と、当該第一の噴出口よりもワークの進行方向下流側に設けられ前記パージガスを噴出する第二の噴出口と、前記第一の噴出口と前記第二の噴出口との間に設けられ前記パージガスを吸引する吸引口と、を有している請求項１〜３のいずれか一項に記載の熱処理装置。
【請求項５】
前記第一の噴出口と前記第二の噴出口とから噴出される前記パージガスの単位時間当たりのパージガス噴出量と、前記吸引口から吸引する前記パージガスの単位時間当たりのパージガス吸引量とが、同等に設定されている請求項４に記載の熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、炉内を進行させながらワークを熱処理する熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
炉内でワークを熱処理する熱処理装置として、炉内が複数の領域に区画され、区画された領域毎でワークの周囲の雰囲気（温度やガス濃度等）を異ならせた状態で、前記各領域にワークをコンベアによって順次搬送することにより、当該ワークを熱処理する装置が知られている。
このような熱処理装置として、例えば特許文献１に示しているように、炉内で区画されたある領域におけるガス濃度を検出し、目標のガス濃度となるように、当該領域の前後に設けられた排気口の開度を制御する熱処理装置がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−６０２５４号公報（図５参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の装置によれば、炉内で区画された領域のガス濃度が、目標のガス濃度となるように制御されることから、当該領域の雰囲気を安定させることができる。
また、炉内でワークを熱処理する他の熱処理装置として、次のようなものが考えられる。すなわち、図６に示しているように、区画される複数の領域Ａ１，Ａ２・・・それぞれに所定の処理ガスを供給するガス導入部９０と、区画される複数の領域Ａ１，Ａ２・・・それぞれからガスを排気する排気部９１とを備え、ワークＷの進行方向に関してガス導入部９０の前後に排気部９１，９１が設けられている装置が考えられる。
この装置によれば、ガス導入部９０によって所定の処理ガスを、例えば領域Ａ１に供給し、この領域Ａ１の前後から排気部９１によってガスを排気することができる。この構成により、排気部９１を境にして、領域毎で雰囲気が異なるように炉内を複数に区画しようとしている。
【０００５】
しかし、図６に示している装置の構成では、例えば領域Ａ１のガスが、その上流側及び下流側の排気部９１，９１によって完全に排気されずに、領域Ａ１のガスの一部が、上流側や下流側にある他の領域に流れてしまうおそれがある。この場合、例えば、領域Ａ１のガスの一部が、他の領域Ａ２のガスと混ざり、領域Ａ２が全体として目的とする雰囲気（例えばガス種、組成、流量等）とすることができない。そうすると、ワークＷに対して、領域Ａ２で所望の熱処理を行うことができない。
【０００６】
また、図６に示しているように、処理ガスを供給するガス導入部９０の導入口９０ａの前方及び後方に、ガスを排気するための排気部９１の排気口９１ａが配置されているので、必要な熱処理に応じて、例えば、一つの領域Ａ１における処理ガスの供給量を増加させると、その下流側の排気部９１による排気量を増加させる必要が生じ、この排気量の増加が原因となってその下流側の領域Ａ２の雰囲気に影響を与えてしまうおそれがある。つまり、従来の構成では、隣りの領域の影響を受けやすく、また、領域を個別に調整することができず、各領域におけるガスの導入と排気とのバランス調整、すなわち、領域毎の雰囲気の調整が難しい。
【０００７】
したがって、このような熱処理装置では、区画する領域を分離（雰囲気を分離）する性能を高めることが望まれている。
そこで、本発明は、導入した処理ガスが領域間で混ざることを防止することが可能となる熱処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するための本発明の熱処理装置は、ワークの周囲の雰囲気が領域毎で異なるように炉内が複数の領域に区画され、区画された各領域を順にワークが進行し当該ワークを熱処理する熱処理装置であって、区画される複数の前記領域それぞれに処理ガスを供給するガス導入部と、区画される複数の前記領域それぞれの雰囲気ガスを排気する排気部と、隣り合う前記領域間に設けられ前記ワークの上方から下方に向けてパージガスを噴出する噴出口を有しているパージガス供給部とを備えていることを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、パージガス供給部は、隣り合う領域間に設けられた噴出口からワークの上方から下方に向けてパージガスを噴出することにより、このパージガスによって隣り合う領域を分離して、隣り合う領域間でガスが混ざり合うことを防止することが可能となる。また、パージガスによる領域の分離は、例えばワークを載せて搬送するためのコンベアによる影響を受けずに効果的に行うことが可能となる。
そして、このようにパージガスによって分離した各領域において、ガス導入部が処理ガスを供給し、当該各領域それぞれの雰囲気ガスを排気部が排気することにより、各領域の雰囲気を所望の状態に維持することができる。
【００１０】
また、本発明の前記構成によれば、領域毎にガス導入部及び排気部が設けられていて、前記パージガスによって分離した各領域は独立した状態とすることができ、さらに、一つの領域のガス導入部及び排気部は、他の領域のガス導入部及び排気部に対して独立して作動することにより、領域毎での処理ガスの導入と雰囲気ガスの排気とのバランス調整が可能となる。したがって、例えば必要な熱処理に応じて、一つの領域で処理ガスの供給量を変更しても、この変更に応じて当該一つの領域の排気部による雰囲気ガスの排気量を調整すればよい。このように、各領域における処理ガスの導入と雰囲気ガスの排気とのバランス調整、すなわち、領域毎の雰囲気の調整は容易となることから、一つの領域で処理ガスの供給量を変更しても、隣りの領域に与える影響を抑えることができ、各領域を分離した状態が保たれる。
【００１１】
また、前記ガス導入部において前記処理ガスを放出する導入口と、前記排気部において前記雰囲気ガスを吸引する排気口とは、前記ワークの進行方向に関して同じ区間に配置されているのが好ましい。
この場合、導入口から放出された処理ガスに由来する雰囲気ガスは、ワークの進行方向に関して同じ区間で、排気口から吸引されるので、当該雰囲気ガスが隣りの領域に侵入し難くなる。
【００１２】
また、前記ガス導入部による単位時間当たりの処理ガス供給量と、前記排気部による単位時間当たりの雰囲気ガス排気量とが、同等に設定されているのが好ましい。
例えば、雰囲気ガス排気量に比べて処理ガス供給量が多すぎると、ガスが隣りの領域に流れ込みやすくなるが、この構成によれば、この流れ込みを防ぐことが可能となる。
【００１３】
また、前記パージガス供給部は、前記パージガスを噴出する第一の噴出口と、当該第一の噴出口よりもワークの進行方向下流側に設けられ前記パージガスを噴出する第二の噴出口と、前記第一の噴出口と前記第二の噴出口との間に設けられ前記パージガスを吸引する吸引口とを有しているのが好ましい。
この構成によれば、パージガスを噴出する第一の噴出口と第二の噴出口との間に吸引口が設けられているので、ワークを処理する領域に供給した処理ガスに由来する雰囲気ガスが、前記吸引口から排気されるのを防ぐことができる。
【００１４】
また、この場合において、前記第一の噴出口と前記第二の噴出口とから噴出される前記パージガスの単位時間当たりのパージガス噴出量と、前記吸引口から吸引する前記パージガスの単位時間当たりのパージガス吸引量とが、同等に設定されているのが好ましい。
この場合、第一の噴出口及び第二の噴出口から噴出したパージガスの全てを、吸引口によって吸引しようとすることができるので、処理ガスが導入される領域にパージガスが流れるのを防ぐことができ、パージガスが当該領域の処理ガスに混ざって当該領域の雰囲気に影響を与えることを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の熱処理装置によれば、パージガスによって隣り合う領域を分離する性能が高まるので、隣り合う領域間でガスが混ざり合うことを防止することが可能となり、各領域の雰囲気を所望の状態に維持することができる。このため、ワークに対して領域毎で所望の熱処理を行うことができる。
また、本発明の熱処理装置によれば、領域毎にガス導入部及び排気部が設けられていて、領域毎に雰囲気の調整が可能となることから、領域毎で理想的な雰囲気を実現することができ、隣り合う領域間での干渉が防止される。
そして、本発明は、雰囲気を領域毎に厳密に分離することが必要となる場合に特に有用となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の熱処理装置の一部を示している縦断面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ矢視の横断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視の横断面図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ矢視の横断面図である。
【図５】熱処理炉内におけるワークの進行方向の位置と、当該位置での雰囲気ガスとの関係を示している説明図である。
【図６】従来の熱処理装置の一部を示している縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の熱処理装置の一部を示している縦断面図である。この熱処理装置は、一方向に長い熱処理炉（加熱室）１を備え、この熱処理炉１内に酸素等を含む処理ガスが供給され、当該処理ガスによって炉内に形成される雰囲気中でワーク（被処理物）Ｗが熱処理される。熱処理炉１内には、メッシュベルト９ａを有するコンベア装置９が設けられていて、ワークＷはメッシュベルト９ａに載置された状態で搬送されながら、熱処理が行われる。なお、ワークＷの進行方向（以下、ワーク進行方向という）と熱処理炉１の長手方向とは同方向である。
【００１８】
図１に示している熱処理装置では、熱処理炉１の左側にワークＷの投入口（図示せず）が設けられていて、右側にワークＷの排出口（図示せず）が設けられている。ワークＷは投入口から次々と投入され、これらワークＷは熱処理炉１内で熱処理される。すなわち、この熱処理装置は連続式である。
熱処理炉１は、その内部が複数の領域Ａ０，Ａ１，Ａ２・・・に区画されていて、領域Ａ０，Ａ１，Ａ２・・・毎でワークＷの周囲の温度と処理ガスによって領域内に形成される雰囲気とが異なるように調整可能として構成されている。そして、区画された各領域を順に前記コンベア装置９によってワークＷが進行し、当該ワークＷは各領域の温度と雰囲気とに応じた熱処理が施される。
【００１９】
また、熱処理装置は、区画される複数の領域Ａ０，Ａ１，Ａ２・・・それぞれに処理ガスを供給するガス導入部２と、区画される複数の領域Ａ０，Ａ１，Ａ２・・・それぞれに存在している雰囲気ガスを外部に排気する排気部３とを更に備えている。
ガス導入部２は区画される領域毎に設けられていて、各ガス導入部２は、ワークＷを熱処理するための処理ガス源、圧力調整弁及び流量計等を有する送出装置２１と、熱処理炉１内に設置され送出装置２１から処理ガスが供給される導入管２２とを備えている。そして、この導入管２２から処理ガスが熱処理炉１内に供給される。
各ガス導入部２の送出装置２１は、他の領域に設けられている送出装置２１と独立して作動することができる。そして、複数の領域それぞれには、異なる組成や流量に設定された処理ガスが供給可能とされている。
【００２０】
図２は、図１のＩＩ−ＩＩ矢視の横断面図である。導入管２２は、熱処理炉１の横断方向に長い管状の部材であり、ワークＷの載置面（メッシュベルト９ａの上面）に対向して配置され、かつ、導入管２２の長手方向は、当該載置面に投影するとワーク進行方向に直交する方向となる。そして、導入管２２には、下方に開口し処理ガスをワークＷの上方から下方に向かって放出する導入口２３が形成されている。なお、図１に示している各ガス導入部２は、送出装置２１から分岐した複数の導入管２２を有している。すなわち、複数で一組となる導入管２２により、一つの処理ガス用管ユニット２５が構成されている。導入管２２同士は平行の配置にある。
【００２１】
前記排気部３は区画される領域毎に設けられていて、各排気部３は、各領域に存在していた雰囲気ガスを外部へと排気する際に通過させる排気管３２と、各領域に存在していた雰囲気ガスを排気管３２を通じて外部へ排気する機能を備えたエジェクター等を有する排気装置３１とを備えている。図２において、排気管３２は、各領域の幅方向両側に設置されていて、排気管３２には、各領域の幅方向中央に向かって開口し、雰囲気ガスを吸引する排気口（排気孔）３３が複数形成されている。各排気部３の排気装置３１は、他の領域に設けられている排気装置３１と独立して作動することができる。
【００２２】
そして、図１に示しているように、ガス導入部２が有している導入口２３と、排気部３が有している排気口３３とは、ワーク進行方向に関して同じ区間に配置されている。すなわち、各区間内の領域において、導入口２３はワークＷの上方に位置し、排気口３３はワークＷの側方に位置しているが、ワーク進行方向に関して、排気口３３が存在している範囲内に、導入口２３が配置されている。各領域において、一つの排気部３に対して一つのガス導入部２が設けられていて、相互で専用のガス導入部２及び排気部３の関係にある。
【００２３】
そして、熱処理炉１内を複数の領域に区画し、各領域でワークＷの周囲における処理ガスの組成や流量等による雰囲気の混合を防止するために、熱処理装置は、更に、隣り合う（雰囲気の混合を防止させる）領域間に設けられた噴出口１７ａ，１７ｂを有し、当該噴出口１７ａ，１７ｂから当該領域間にパージガスを噴出するパージガス供給部７を備えている。パージガスは例えば窒素ガスである。すなわち、パージガスは、噴出口１７ａ，１７ｂから、ワークＷの上方から下方に向かって噴出される。
【００２４】
パージガス供給部７は、パージガス源、圧力調整弁及び流量計等を有する供給装置１１と、熱処理炉１内に設置され供給装置１１からパージガスが供給される第一の供給管部１２ａと第二の供給管部１２ｂとを備えている。そして、第一の供給管部１２ａには、下方となるワークＷの載置面へパージガスを噴出する第一の噴出口１７ａが形成され、第二の供給管部１２ｂには、下方となるワークＷの載置面へパージガスを噴出する第二の噴出口１７ｂが形成されている。
【００２５】
さらに、パージガス供給部７は、前記噴出口１７ａ，１７ｂから噴出されたパージガスを吸入して外部へと排気する際に通過させる吸入管部１３と、当該パージガスを吸入管部１３を通じて外部へ排気する機能を備えたエジェクター等を有する排出装置１４とを備えている。そして、吸入管部１３には、下方に開口していて、パージガスを吸引する吸引口１８が形成されている。
各供給装置１１及び各排出装置１４は、他の領域に設けられている供給装置１１及び排出装置１４と独立して作動することができる。
【００２６】
図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視の横断面図であり、図４は、図１のＩＶ−ＩＶ矢視の横断面図である。各パージガス供給部７が備えている第一の供給管部１２ａと第二の供給管部１２ｂと吸入管部１３とは、熱処理炉１の横断方向に長い管状の部材であり、図１の実施形態では、これら管部１２ａ，１２ｂ，１３は一体として形成され、これら管部１２ａ，１２ｂ，１３によってパージガス用管ユニット１５を構成している。このパージガス用管ユニット１５は、処理ガス用の前記導入管２２と平行の配置にある。
【００２７】
図１において、前記パージガス用管ユニット１５では、第二の供給管部１２ｂの第二の噴出口１７ｂは、第一の供給管部１２ａの第一の噴出口１７ａよりもワーク進行方向下流側に設けられ、第一の噴出口１７ａと第二の噴出口１７ｂとの間に吸引口１８が設けられている。
また、第一の噴出口１７ａ、第二の噴出口１７ｂ及び吸引口１８は、高さ方向について同一レベルに設けられていて、さらに、処理ガス用の前記導入管２２の導入口２３よりも低い位置に設けられている。
【００２８】
パージガス用管ユニット１５は区画される領域間毎に設けられている。すなわち、ワーク進行方向に隣り合う前記処理ガス用管ユニット２５，２５の間に、一つのパージガス用管ユニット１５が設けられていて、パージガス用管ユニット１５は、処理ガス用管ユニット２５とワーク進行方向に関して重複しないで、異なる位置に設けられている。
なお、各処理ガス用管ユニット２５は、複数に区画する領域Ａ０，Ａ１，Ａ２・・・毎（各領域の範囲内）に設けられている。さらに、排気部３の排気管３２に形成されている排気口３３も、複数に区画する領域Ａ１，Ａ２・・・毎に設けられていて、パージガス用管ユニット１５は、排気口３３ともワーク進行方向に関して重複しないで、異なる位置に設けられている。
【００２９】
以上の構成を備えた熱処理装置によれば、図１において左側にあるパージガス供給部７の第一の供給管部１２ａの噴出口１７ａ及び第二の供給管部１２ｂの噴出口１７ｂから、パージガスをワークＷの載置面（メッシュベルト９ａの上面）に対して噴出することにより、ワーク進行方向上流側の領域Ａ０と、ワーク進行方向下流側の領域Ａ１とを分離することができ、領域Ａ１において導入管２２から導入された処理ガスに由来する雰囲気ガスが、領域Ａ０へ流れることを防止することができる。
【００３０】
さらに、図１において中央にあるパージガス供給部７の第一の供給管部１２ａの噴出口１７ａ及び第二の供給管部１２ｂの噴出口１７ｂから、パージガスをワークＷの上方から下方へと載置面に対して噴出することにより、ワーク進行方向上流側の領域Ａ１と、ワーク進行方向下流側の領域Ａ２とを分離することができ、領域Ａ１と領域Ａ２とにおいてそれぞれ導入された処理ガスが、他の領域へ流れることを防止することができ、領域Ａ１と領域Ａ２との間で雰囲気ガスが混ざり合うことを防止することができる。以下、同様に、領域Ａ２と領域Ａ３とも分離され、雰囲気ガスが混ざり合うことを防止することができる。
【００３１】
この結果、図５に示しているように、各領域Ａ０，Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・で雰囲気ガスを異ならせることができ、かつ、パージガス供給部７のパージガス用管ユニット１５の位置を境界として、雰囲気ガスを異ならせた領域に分離することができる。しかも、本発明によれば、領域間の分離性能が高いことから、各領域Ａ０，Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・それぞれで、当該領域の全域にわたって、均一な雰囲気を得ることができる。
【００３２】
このように、前記パージガス供給部７によれば、雰囲気を異ならせる領域間に設けられたパージガス用管ユニット１５の噴出口１７ａ，１７ｂから、当該領域間にパージガスを噴出することにより、このパージガスによって隣り合う領域を分離する性能が高まり、隣り合う領域間で雰囲気ガスが混ざり合うことを防止することが可能となる。
そして、このようにパージガスによって分離した領域それぞれにおいて、ガス導入部２の導入管２２から処理ガスを供給し、当該領域内の雰囲気ガスを排気部３の排気管３２から外部へと排気することにより、各領域の雰囲気ガスを所望の状態に維持することができる。この結果、ワークＷに対して領域毎で所望の雰囲気によって熱処理を行うことができ、不良品の発生を低減することが可能となる。さらに、ワークＷの種類によれば、一つの領域において熱処理して発生したバインダーが、他の領域に流出することを防止することができる。
【００３３】
また、図１の実施形態によれば、一つの領域（例えば領域Ａ１）に設置されたガス導入部２の導入管２２に形成された導入口２３と、当該一つの領域に設置された排気部３の排気管３２に形成された排気口３３とは、ワーク進行方向に関して同じ区間に配置されているので、導入口２３から放出された処理ガスは、ワーク進行方向に関して同じ区間で、排気口３３から吸引される。このため、一つの領域（領域Ａ１）に放出された処理ガスが、隣りの領域（領域Ａ０、領域Ａ２）に侵入し難くなり、領域の分離性能をさらに向上させることができる。
【００３４】
また、図６により説明したように従来の構成では、隣りの領域の影響を受けやすく、領域を個別に調整することができず、各領域における処理ガスの導入と排気とのバランス調整、すなわち、領域毎の雰囲気の調整が難しかった。
【００３５】
しかし、本発明によれば、パージガス供給部７から供給するパージガスによって分離させた各領域は独立した状態とすることができ、さらに、領域毎にガス導入部２及び排気部３が設けられているので、処理ガスの導入と雰囲気ガスの排気とのバランス調整が容易となる。なお、処理ガスの導入と雰囲気ガスの排気とのバランス調整は、前記のとおり、各ガス導入部２の送出装置２１及び各排気部３の排気装置３１を調整することによって実現される。また、各ガス導入部２の送出装置２１及び各排気部３の排気装置３１は、他の領域にある送出装置２１及び他の領域にある排気装置３１と独立して作動することから、処理ガスの導入と雰囲気ガスの排気とのバランス調整は容易である。
【００３６】
また、図１において、パージガス供給部７のパージガス用管ユニット１５において、吸引口１８の前後に、パージガスを噴出する第一の噴出口１７ａと第二の噴出口１７ｂが設けられているので、ガス導入部２が供給した処理ガスが、吸引口１８から排気されるのを防止することができる。すなわち、吸引口１８が、ワークＷを熱処理する領域の雰囲気に影響を与えることを防ぐことができる。
【００３７】
さらに、このパージガス供給部７において、供給装置１１及び排出装置１４の供給量及び排出量を調整することによって、第一の噴出口１７ａと第二の噴出口１７ｂとから噴出される（総計の）パージガスの単位時間当たりのパージガス噴出量と、吸引口１８から吸引するパージガスの単位時間当たりのパージガス吸引量とが、同等に設定されている。
この設定によれば、第一の噴出口１７ａ及び第二の噴出口１７ｂから噴出したパージガスの全てを、吸引口１８によって吸引しようとすることができるので、ガス導入部２によって処理ガスが導入される領域に、パージガスが流れるのを防ぐことができ、パージガスが当該領域の処理ガスに混ざって当該領域の雰囲気に影響を与えることを防ぐことができる。
【００３８】
また、処理ガス用のガス導入部２と排気部３とについても、送出装置２１と排気装置３１との供給量及び排出量を調整することによって、ガス導入部２による単位時間当たりの処理ガス供給量と、排気部３による単位時間当たりの雰囲気ガス排気量とが、同等に設定されている。
例えば、雰囲気ガス排気量に比べて処理ガス供給量が多すぎると、雰囲気ガスが隣りの領域に流れ込みやすくなるが、この設定によれば、この流れ込みを防ぐことが可能となる。
【００３９】
また、本発明の熱処理装置は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。例えば、ガス導入部２の導入管２２に関して、前記実施形態では複数本を備えた構成としたが、１本であってもよく、また、排気部３の排気管３２に関して、前記実施形態では、各領域の左右それぞれに一つとし、当該排気管３２から炉内へと通じる排気口３３が複数形成されている構成としたが、排気管３２を左右それぞれに複数本を設置した構成であってもよい。さらに、導入口２３は、熱処理炉１の側壁や上壁に設けられていてもよい。
また、パージガス用管ユニット１５に関して、それぞれの管部が独立した構成であってもよい。
また、コンベア装置９のベルトはメッシュでなくてもよく、さらには、コンベア装置９はベルト式以外にワイヤ式、ローラ式、ウォーキングビーム式等の他の方式によるものであってもよい。また、ワークＷの搬送は、搬送面に直接ワークＷが載った状態とする以外に、ワークＷを載せたトレーを搬送面に載せてもよい。
なお、ワークＷは、金属、半導体、セラミックス等の材質やその形態を問わず、熱処理の際にワークＷ周辺の雰囲気の管理を厳密に行う必要がある場合に、本発明を好適に使用することができる。
【符号の説明】
【００４０】
１：熱処理炉、  ２：ガス導入部、  ３：排気部、  ７：パージガス供給部、  １７ａ：第一の噴出口、  １７ｂ：第二の噴出口、  １８：吸引口、  ２３：導入口、  ３３：排気口、  Ｗ：ワーク
【図１】
2011064425.tif 000003
【図２】
2011064425.tif 000004
【図３】
2011064425.tif 000005
【図４】
2011064425.tif 000006
【図５】
2011064425.tif 000007
【図６】
2011064425.tif 000008