(57)【要約】【課題】チャンバ内で第１基板に対する基板の移送及びアライン工程の実行と同時に、第２基板に対する蒸着工程を行えるようにすることで、基板の移送及びアライン工程時に消耗する有機物質材料の損失を減らして材料効率を最大化し、工程のタックタイムを最小化できる有機物蒸着装置及び蒸着方法を提供する。【解決手段】有機物蒸着装置は、内部が第１基板蒸着領域及び第２基板蒸着領域に区分されるチャンバと、前記第１又は第２基板蒸着領域内のから第１方向に移動して第１基板又は第２基板上に有機物粒子を噴射させる有機物蒸着源と、前記有機物蒸着源がそれぞれ第１又は第２基板蒸着領域に位置するように前記有機物蒸着源を第２方向に回転移動させる第２移動手段とを含んで構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部が第１基板蒸着領域及び第２基板蒸着領域に区分されるチャンバと、
前記第１又は第２基板蒸着領域内で移動して第１基板又は第２基板上に有機物粒子を噴射させる有機物蒸着源と、
前記有機物蒸着源がそれぞれ第１又は第２基板蒸着領域に位置するように前記有機物蒸着源を第１方向に回転移動させる第１移動手段と、を含むことを特徴とする有機物蒸着装置。
【請求項２】
前記有機物蒸着源を前記第１又は第２基板蒸着領域内でそれぞれ第２方向に往復移動させる第２移動手段を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の有機物蒸着装置。
【請求項３】
前記第１基板蒸着領域に位置して外部から移送された第１基板をアラインする第１基板アライン部と、
前記第２基板蒸着領域に位置して外部から移送された第２基板をアラインする第２基板アライン部と、を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の有機物蒸着装置。
【請求項４】
前記第１基板蒸着領域及び第２基板蒸着領域は、前記第１方向と交差する第２方向に隣接して配列されることを特徴とする請求項１に記載の有機物蒸着装置。
【請求項５】
前記有機物蒸着源は、線形蒸着源で実現されることを特徴とする請求項１に記載の有機物蒸着装置。
【請求項６】
前記チャンバの本体は、前記第１移動手段に隣接した第１面の長さが前記第１面に対応する第２面の長さよりも長い多角形の筒状で実現されることを特徴とする請求項１に記載の有機物蒸着装置。
【請求項７】
前記チャンバ本体の第２面は、基板の移送及び搬送が行われる面であることを特徴とする請求項６に記載の有機物蒸着装置。
【請求項８】
第１基板がチャンバ内の第１基板蒸着領域に移送され、前記移送された第１基板に対するアライン工程が行われる段階と、
前記第１基板に対するアラインが完了した後に、前記第１基板蒸着領域内で蒸着源が移動して第１基板の蒸着工程が行われる段階と、
前記第１基板の蒸着工程が行われると同時に、第２基板が前記チャンバ内の第２基板蒸着領域に移送され、前記移送された第２基板に対するアライン工程が行われる段階と、
前記第１基板に対する蒸着及び第２基板に対するアラインが完了した後に、前記蒸着源が第１方向に回転移動して第２基板蒸着領域に位置する段階と、
前記第２基板蒸着領域内で前記蒸着源が移動して第２基板の蒸着工程が行われる段階と、
が含まれることを特徴とする有機物蒸着方法。
【請求項９】
前記第２基板に対する蒸着工程が行われると同時に、他の第１基板がチャンバ内の第１基板蒸着領域に移送され、アライン工程が行われる段階を更に含むことを特徴とする請求項８に記載の有機物蒸着方法。
【請求項１０】
内部が第１基板蒸着領域、待機領域及び第２基板蒸着領域に区分されるチャンバと、
前記第１基板蒸着領域に位置して外部から移送された第１基板をアラインする第１基板アライン部と、
前記第２基板蒸着領域に位置して外部から移送された第２基板をアラインする第２基板アライン部と、
前記第１基板又は第２基板上に有機物粒子を噴射させるための少なくとも１つの有機物蒸着源と、
前記有機物蒸着源を第１方向に移動させる移送手段と、
を含んで構成されることを特徴とする有機物蒸着装置。
【請求項１１】
前記有機物蒸着源を収納する蒸着源収納部を更に含み、前記蒸着源収納部の上部外側壁には角度制限板が形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の有機物蒸着装置。
【請求項１２】
前記第１基板蒸着領域、待機領域及び第２基板蒸着領域は、前記第１方向に一列に配列されることを特徴とする請求項１０に記載の有機物蒸着装置。
【請求項１３】
第１基板又は第２基板がチャンバ内に移送された後、アライン工程が完了する前に有機物蒸着源が前記チャンバの待機領域上に位置する段階と、
前記第１基板に対するアライン工程が完了した後、前記チャンバの待機領域上に位置する有機物蒸着源が、前記第１基板が位置する第１基板蒸着領域に移動して第１基板に対する蒸着が行われる段階と、
前記第１基板に対する蒸着工程が完了した後、前記有機物蒸着源が再びチャンバの待機領域に移動される段階と、
前記第２基板に対するアライン工程が完了した後、前記チャンバの待機領域上に位置する有機物蒸着源が、前記第２基板が位置する第２基板蒸着領域に移動して第２基板に対する蒸着が行われる段階と、
を含むことを特徴とする有機物蒸着方法。
【請求項１４】
前記第１基板に対する蒸着工程を行うと同時に、前記第２基板に対するアライン工程が行われる段階、又は、前記第２基板に対する蒸着工程を行うと同時に、前記第１基板に対するアライン工程が行われる段階を更に含むことを特徴とする請求項１３に記載の有機物蒸着方法。
【請求項１５】
前記蒸着が完了した第１基板又は第２基板は外部に搬送され、他の第１基板又は第２基板がチャンバ内に移送される段階を更に含むことを特徴とする請求項１３に記載の有機物蒸着方法。
【請求項１６】
複数の有機物蒸着装置と、
前記複数の有機物蒸着装置を共通して連結するトランスファチャンバと、
前記トランスファチャンバを通じて前記有機物蒸着装置の内部に投入される基板のローディング及び／又はアンローディングを行うロードラックチャンバと、含み、
前記複数の有機物蒸着装置は、少なくとも２つの基板に対する蒸着を行い、前記少なくとも２つの基板のうちいずれか一方の基板に対する蒸着を行うと同時に、残りの基板の移送及びアラインを行う第１有機物蒸着装置を含むことを特徴とする有機物蒸着システム。
【請求項１７】
前記複数の有機物蒸着装置は、１つの基板に対して移送、アライン及び蒸着工程を順次行う第２有機物蒸着装置を含むことを特徴とする請求項１６に記載の有機物蒸着システム。
【請求項１８】
前記第１有機物蒸着装置は、
内部が第１基板蒸着領域及び第２基板蒸着領域に区分されるチャンバと、
前記第１又は第２基板蒸着領域内で移動して第１基板又は第２基板上に有機物粒子を噴射させる有機物蒸着源と、
前記有機物蒸着源がそれぞれ第１又は第２基板蒸着領域に位置するように前記有機物蒸着源を第１方向に回転移動させる第１移動手段と、
を含むことを特徴とする請求項１６に記載の有機物蒸着システム。
【請求項１９】
前記チャンバの本体は、前記第１移動手段に隣接した第１面の長さが前記第１面に対向する第２面の長さよりも長い多角形の筒状で実現されることを特徴とする請求項１８に記載の有機物蒸着システム。
【請求項２０】
前記チャンバ本体の第２面は、基板の移送及び搬送が行われる面であることを特徴とする請求項１９に記載の有機物蒸着システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は有機物蒸着装置に関し、特に、同一のチャンバ内で第１基板に対する基板の移送及びアライン工程の実行と同時に、第２基板に対する蒸着工程を行える有機物蒸着装置及び蒸着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機電界発光表示装置は自発光型表示装置であって、視野角が広く、コントラストに優れているだけでなく、応答速度が速いという長所を有していることから、次世代の表示装置として注目されている。
【０００３】
有機電界発光表示装置に備えられる有機電界発光素子は、互いに対向する第１、２電極（アノード、カソード電極）及び前記電極の間に形成された中間層で構成され、前記中間層には多様な層が備えられることができるが、これは、例えばホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層又は電子注入層などが挙げられる。
【０００４】
有機電界発光素子の場合、このような中間層は有機物で形成された有機薄膜である。
【０００５】
前記のような構成を有する有機電界発光素子を製造するにおいて、基板上に形成される前記ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層又は電子注入層などの有機薄膜又は電極は蒸着装置を用いた蒸着（ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）の方法により形成され得る。
【０００６】
前記蒸着方法は、一般に、真空チャンバ内に基板を装着した後、蒸着される物質を入れた加熱容器を加熱してその内部の蒸着される物質を蒸発又は昇華させることにより実現される。即ち、形成しようとするパターンの開口部を有するシャドウマスク（ｓｈａｄｏｗ ｍａｓｋ）を基板の前に整列し、前記基板に有機物質を蒸発又は昇華させて前記基板上に有機薄膜などを蒸着するようになる。
【０００７】
このような蒸着工程が行われるためにはチャンバ内に基板が移送される工程、前記基板上にシャドウマスクを正確に位置させるアライン工程などが先ず行われなければならないところ、従来の蒸着装置及び蒸着方法による場合、前記基板の移送及びマスクのアライン時には蒸着工程を進めることが不可能であった。即ち、前記基板の移送及びマスクのアライン工程と蒸着工程が分離されて行われることによって、タックタイムが増加するという短所がある。
【０００８】
また、従来の蒸着装置及び蒸着方法によれば、前記基板の移送及びマスクのアラインが行われている途中にも前記有機物質は蒸着源を通じて持続的に蒸発又は昇華されていなければならないので、有機物質材料が損失してしまうという短所がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、チャンバ内で第１基板に対する基板の移送及びアライン工程の実行と同時に、第２基板に対する蒸着工程を行えるようにすることで、基板の移送及びアライン工程時に消耗する有機物質材料の損失を減らして材料効率を最大化し、工程のタックタイムを最小化できる有機物蒸着装置及び蒸着方法を提供することにある。
【００１０】
本発明の他の目的は、各基板に対する蒸着を実行するために蒸着源が移動する方向と、他の基板を蒸着するために蒸着源が移動する方向とを互いに異なるように実現することにより、チャンバの大きさを最適化して空間活用を最大化することで、従来の有機物蒸着システムと比較して同一の空間内で更に多くの工程チャンバを備える有機物蒸着システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するために、本発明の実施形態に係る有機物蒸着装置は、内部が第１基板蒸着領域及び第２基板蒸着領域に区分されるチャンバと、前記第１又は第２基板蒸着領域内で移動して第１基板又は第２基板上に有機物粒子を噴射させる有機物蒸着源と、前記有機物蒸着源がそれぞれ第１又は第２基板蒸着領域に位置するように前記有機物蒸着源を第１方向に回転移動させる第１移動手段とを含む。
【００１２】
また、前記有機物蒸着源を前記第１又は第２基板蒸着領域内でそれぞれ第２方向に往復移動させる第２移動手段を更に含む。
【００１３】
更に、前記第１基板蒸着領域に位置して外部から移送された第１基板をアラインする第１基板アライン部と、前記第２基板蒸着領域に位置して外部から移送された第２基板をアラインする第２基板アライン部とを更に含む。
【００１４】
また、前記第１基板蒸着領域及び第２基板蒸着領域は、前記第１方向と交差する第２方向に隣接して配列され、前記有機物蒸着源は線形蒸着源で実現される。
【００１５】
更に、前記チャンバの本体は、前記第１移動手段に隣接した第１面の長さが前記第１面に対応する第２面の長さよりも長い多角形の筒状で実現され、前記チャンバ本体の第２面は基板の移送及び搬送が行われる面である。
【００１６】
また、本発明の実施形態に係る有機物蒸着方法は、第１基板がチャンバ内の第１基板蒸着領域に移送され、前記移送された第１基板に対するアライン工程が行われる段階と、前記第１基板に対するアラインが完了した後に、前記第１基板蒸着領域内で蒸着源が移動して第１基板の蒸着工程が行われる段階と、前記第１基板の蒸着工程が行われると同時に、第２基板が前記チャンバ内の第２基板蒸着領域に移送され、前記移送された第２基板に対するアライン工程が行われる段階と、前記第１基板に対する蒸着及び第２基板に対するアラインが完了した後に、前記蒸着源が第１方向に回転移動して第２基板蒸着領域に位置する段階と、前記第２基板蒸着領域内で前記蒸着源が移動して第２基板の蒸着工程が行われる段階とを含む。
【００１７】
更に、前記第２基板に対する蒸着工程が行われると同時に、他の第１基板がチャンバ内の第１基板蒸着領域に移送され、アライン工程が行われる段階を更に含む。
【００１８】
また、本発明の他の実施形態に係る有機物蒸着装置は、内部が第１基板蒸着領域、待機領域及び第２基板蒸着領域に区分されるチャンバと、前記第１基板蒸着領域に位置して外部から移送された第１基板をアラインする第１基板アライン部と、前記第２基板蒸着領域に位置して外部から移送された第２基板をアラインする第２基板アライン部と、前記第１基板又は第２基板上に有機物粒子を噴射させるための少なくとも１つの有機物蒸着源と、前記有機物蒸着源を第１方向に移動させる移送手段とを含んで構成される。
【００１９】
更に、前記有機物蒸着源を収納する蒸着源収納部を更に含み、前記蒸着源収納部の上部外側壁には角度制限板が形成されている。
【００２０】
また、前記第１基板蒸着領域、待機領域及び第２基板蒸着領域は、前記第１方向に一列に配列される。
【００２１】
更に、本発明の他の実施形態に係る有機物蒸着方法は、第１基板又は第２基板がチャンバ内に移送された後、アライン工程が完了する前に有機物蒸着源が前記チャンバの待機領域上に位置する段階と、前記第１基板に対するアライン工程が完了した後、前記チャンバの待機領域上に位置する有機物蒸着源が、前記第１基板が位置する第１基板蒸着領域に移動して第１基板に対する蒸着が行われる段階と、前記第１基板に対する蒸着工程が完了した後、前記有機物蒸着源が再びチャンバの待機領域に移動される段階と、前記第２基板に対するアライン工程が完了した後、前記チャンバの待機領域上に位置する有機物蒸着源が、前記第２基板が位置する第２基板蒸着領域に移動して第２基板に対する蒸着が行われる段階とを含む。
【００２２】
また、前記第１基板に対する蒸着工程を行うと同時に、前記第２基板に対するアライン工程が行われる段階、又は、前記第２基板に対する蒸着工程を行うと同時に、前記第１基板に対するアライン工程が行われる段階を更に含む。
【００２３】
更に、前記蒸着が完了した第１基板又は第２基板は外部に搬送され、他の第１基板又は第２基板がチャンバ内に移送される段階が更に含まれる。
【００２４】
また、本発明の実施形態に係る有機物蒸着システムは、複数の有機物蒸着装置と、前記複数の有機物蒸着装置を共通して連結するトランスファチャンバと、前記トランスファチャンバを通じて前記有機物蒸着装置の内部に投入される基板のローディング及び／又はアンローディングを行うロードラックチャンバとを含み、前記複数の有機物蒸着装置は、少なくとも２つの基板に対する蒸着を行い、前記少なくとも２つの基板のうちいずれか一方の基板に対する蒸着を行うと同時に、残りの基板の移送及びアラインを行う第１有機物蒸着装置を含む。
【００２５】
更に、前記複数の有機物蒸着装置は、１つの基板に対して移送、アライン及び蒸着工程を順次行う第２有機物蒸着装置を含む。
【発明の効果】
【００２６】
このような本発明によれば、同一の工程チャンバ内で第１基板に対する基板の移送及びアライン工程の実行と同時に、第２基板に対する蒸着工程を行えるようにすることで、基板の移送及びアライン工程時に消耗する有機物質材料の損失を減らして材料効率を最大化し、工程のタックタイムを最小化するという効果を奏する。
【００２７】
また、工程チャンバ内で１つの蒸着源を用いて２つの基板に対する蒸着工程の実行が可能であり、これにより、蒸着ラインの最適化が可能であるという長所がある。
【００２８】
更に、工程チャンバの大きさを最適化して空間活用を最大化することで、従来に比べて同一の空間内で更に多くの工程チャンバを備えることができ、複数の基板に対する蒸着工程を並行して進めることにより、生産性を最大化できるという長所がある。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る有機物蒸着装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図２Ａ】本発明の第１実施形態に係る有機物蒸着方法を示す図である。
【図２Ｂ】本発明の第１実施形態に係る有機物蒸着方法を示す図である。
【図２Ｃ】本発明の第１実施形態に係る有機物蒸着方法を示す図である。
【図２Ｄ】本発明の第１実施形態に係る有機物蒸着方法を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る有機物蒸着装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図４Ａ】本発明の第２実施形態に係る有機物蒸着方法を示す図である。
【図４Ｂ】本発明の第２実施形態に係る有機物蒸着方法を示す図である。
【図４Ｃ】本発明の第２実施形態に係る有機物蒸着方法を示す図である。
【図４Ｄ】本発明の第２実施形態に係る有機物蒸着方法を示す図である。
【図５】本発明の実施形態に係る有機物蒸着装置が備えられた有機物蒸着システムを概略的に示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、添付する図面を参照して本発明の実施形態を更に詳細に説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る有機物蒸着装置の構成を概略的に示す断面図である。
【００３１】
図１を参照すれば、本発明の第１実施形態に係る有機物蒸着装置は、内部が第１基板蒸着領域、待機領域及び第２基板蒸着領域に区分されるチャンバ１００と、前記第１基板蒸着領域に位置して外部から移送された第１基板１１０をアラインする第１基板アライン部２００と、前記第２基板蒸着領域に位置して外部から移送された第２基板１１０’をアラインする第２基板アライン部２１０と、前記第１基板１１０又は第２基板１１０’上に有機物粒子を噴射させるための少なくとも１つの有機物蒸着源３００と、前記有機物蒸着源３００を収納する蒸着源収納部４００と、前記蒸着源収納部を第１方向（一例として水平方向）に移動させる移動手段５００とを含んで構成される。
【００３２】
このとき、前記第１基板蒸着領域、待機領域及び第２基板蒸着領域は図示するように、第１方向に一列に配列されている。
【００３３】
ここで、前記チャンバ１００は図示していない真空ポンプによって内部が真空状態を維持するようになっている。
【００３４】
また、図１に示す実施形態の場合、前記蒸着源収納部４００には２つの有機物蒸着源３００が収納されており、前記蒸着源収納部４００の上部外側壁には角度制限板４１０が形成されており、これを通じて前記有機物蒸着源３００から噴射される有機物の放射方向を制限する。
【００３５】
更に、前記移動手段５００は前記蒸着源収納部４００を第１方向（水平方向）に移動させる役割を果たすものであって、最初に前記蒸着源収納部４００がチャンバ１００の待機領域に位置するように制御した後、前記第１基板アライン部２００により第１基板１１０のアラインが完了すれば、前記蒸着源収納部４００を第１基板蒸着領域に移動させて前記第１基板１１０の蒸着工程を行うようにする。
【００３６】
その後、第２基板アライン部２１０により第２基板１１０’のアラインが完了すれば、前記蒸着源収納部４００を第２基板蒸着領域に移動させて第２基板１１０’の蒸着工程を行うようにする。
【００３７】
即ち、第１基板１１０に対する蒸着工程が行われる間に第２基板１１０’は移送及びアライン工程が行われ、逆に、第２基板１１０’に対する蒸着工程が行われる間に第１基板１１０の移送及びアライン工程が行われるので、工程のタックタイムを大幅に短縮でき、従来に比べて基板の移送及びアライン工程時に消耗する有機物質材料の損失を減らして材料効率を最大化できるようになる。
【００３８】
このような移動手段５００は真空に維持されるチャンバ１００内で使用が可能なように工程条件に応じて有機物蒸着源３００の移動速度を調節できるように実現されることが好ましく、これはボールスクリュ（図示せず）及び前記ボールスクリュを回転させるモータ（図示せず）を備え、前記蒸着源収納部４００の案内のためのガイド（図示せず）が含まれて構成されることができる。但し、これは１つの実施形態に過ぎず、他の実施形態としてリニアモータ（図示せず）を用いて定速で駆動するように実現することもできる。
【００３９】
また、第１、２基板１１０、１１０’の前面、即ち、有機物蒸着源３００と基板との間には蒸着される有機物の形状を決定するシャドウマスク１２０が設置される。
【００４０】
従って、有機物蒸着源３００で蒸発した有機物はシャドウマスク１２０を経ながら、基板１１０、１１０’上に蒸着されて所定形状の有機膜が基板上に形成される。
【００４１】
一方、有機物蒸着源３００はチャンバ２００内部の基板１１０、１１０’上に蒸着しようとする有機物を収容し、収容された有機物を加熱して蒸発させた後、これを基板上に噴射して基板上に有機膜が形成されるようにする機能をし、前記有機物蒸着源３００は線形蒸着源又は点形蒸着源で実現されることができる。
【００４２】
但し、前記点形蒸着源の場合、大面積に有機物を蒸着し難く、大面積の蒸着のためには複数の点形蒸着源を配置しなければならないが、この場合、多数の点形蒸着源の制御が難しいという短所がある。従って、本発明の実施形態では前記有機物蒸着源３００が線形蒸着源で実現されることが好ましい。
【００４３】
図２Ａ〜図２Ｄは、本発明の第１実施形態に係る有機物蒸着方法を示す図であって、これは図１に示す有機物蒸着装置による蒸着方法を説明する。
【００４４】
まず、図２Ａに示すように、第１基板１１０又は第２基板１１０’がチャンバ１００内に移送された後、まだアライン工程が完了する前には前記有機物蒸着源３００を収納した蒸着源収納部４００はチャンバ１００の中央部分である待機領域上に位置する。
【００４５】
前記待機領域上に位置しても前記有機物蒸着源３００では持続的に有機物が噴射されているが、蒸着源収納部４００の上部外側壁に備えられた角度制限板４１０により前記有機物蒸着源３００から噴射される有機物が、アライン工程が完了していない第１基板１１０又は第２基板１１０’には蒸着されない。
【００４６】
即ち、本発明の実施形態では前記蒸着源収納部４００の上部外側壁に角度制限板４１０を備えることで、従来の蒸着装置に備えられていた遮断膜を除去できるようになる。
【００４７】
ここで、前記遮断膜は従来の蒸着装置内に備えられるものであって、基板のアライン工程が行われるとき、基板上に有機物が蒸着されるのを防止するために基板と蒸着源との間に形成されるものである。
【００４８】
その後、第１基板１１０が第１基板アライン部２００によりアラインが完了すれば、図２Ｂに示すように、チャンバ１００の待機領域上に位置していた蒸着源収納部４００は移動手段５００により第１基板１１０が位置する第１基板蒸着領域に移動するようになり、これにより、前記第１基板蒸着領域内で蒸着工程を行う。
【００４９】
但し、本発明の実施形態の場合、前記第１基板１１０に対する蒸着工程を行う途中に第２基板１１０’が移送され、前記移送された第２基板１１０’は前記第２基板アライン部２１０によりアライン工程が行われる。
【００５０】
このとき、前記基板がチャンバ１００内に移送されることは、クラスタタイプの蒸着システムにおいて、前記チャンバ１００と連結されたトランスファチャンバ（図示せず）内に備えられるロボットアーム（図示せず）により実現され、前記トランスファチャンバ及びロボットアームは図５の蒸着システムに示されている。
【００５１】
即ち、第１基板１１０に対する蒸着工程が行われると共に、第２基板１１０’に対する移送及びアライン工程が行われる。
【００５２】
次に、前記第１基板１１０に対する蒸着工程が完了すれば、前記蒸着源収納部４００は移動手段５００により、図２Ｃに示すように、再びチャンバ１００の待機領域に移動され、蒸着が完了した第１基板１１０は外部に搬送され、他の第１基板がチャンバ内に移送される。
【００５３】
このとき、前記基板の搬送は前述したトランスファチャンバ（図示せず）内に備えられたロボットアーム（図示せず）により実現される。
【００５４】
その後、第２基板１１０’に対するアラインが完了すれば、図２Ｄに示すように、チャンバ１００の待機領域上に位置していた蒸着源収納部４００は移動手段５００により第２基板１１０’が位置する第２基板蒸着領域に移動するようになり、これにより、前記第２基板蒸着領域内で蒸着工程を行う。
【００５５】
但し、本発明の実施形態の場合、前記第２基板１１０’に対する蒸着工程を行うと同時に、チャンバ１００内に新たに移送された第１基板１１０に対しては前記第１基板アライン部２００によりアライン工程が行われる。
【００５６】
その後、前記第２基板１１０’に対する蒸着工程が完了すれば、前記蒸着源収納部４００は移動手段５００により、図２Ａに示すように、再びチャンバ１００の待機領域に移動され、蒸着が完了した第２基板１１０’は外部に搬送され、他の第２基板がチャンバ内に移送される。
【００５７】
このような本発明の実施形態に係る蒸着方法によれば、同一のチャンバ内で第１基板１１０に対する基板の移送及びアライン工程の実行と同時に、第２基板１１０’に対する蒸着工程を行えるようにすることで、基板の移送及びアライン工程時に消耗する有機物質材料の損失を減らして材料効率を最大化し、工程のタックタイムを最小化できるようになる。
【００５８】
但し、図１及び図２の実施形態の場合、チャンバ１００内で各基板に対する蒸着を実行するために蒸着源３００が第１又は第２基板蒸着領域内で移動する方向と、他の基板を蒸着するために前記蒸着源３００が前記第１基板蒸着領域から第２基板蒸着領域（又は第２基板蒸着領域から第１基板蒸着領域）に移動する方向が同一であるため、空間的に前記チャンバ１００の幅、即ち、蒸着が進む方向（第１方向）に非常に大きくならなければならないという問題がある。
【００５９】
即ち、第１基板１１０に対する蒸着が完了した後、第２基板１１０’を蒸着するために蒸着源３００が移動する場合、前記蒸着の実行方向と同一に第１方向（水平方向）に移動されるため、第１基板１１０及び第２基板１１０’に対する蒸着を行うためには既存のチャンバに比べて第１方向（水平方向）に約２倍以上大きくならなければならない。
【００６０】
従って、本発明の他の実施形態では各基板に対する蒸着を実行するために蒸着源が移動する方向と、他の基板を蒸着するために蒸着源が移動する方向とを互いに異なるように実現してチャンバの大きさを最適化することで、前記のような問題を解決しようとする。
【００６１】
図３は、本発明の第２実施形態に係る有機物蒸着装置の構成を概略的に示す断面図である。
【００６２】
但し、図１に示す第１実施形態と比較してシャドウマスク及び蒸着源などは同一のものを用いるので、これについての詳細な説明は省略し、便宜上、同一の構成要素については同一の図面符号を付す。
【００６３】
図３を参照すれば、本発明の第２実施形態に係る有機物蒸着装置は、内部が第１基板蒸着領域Ａ及び第２基板蒸着領域Ｂに区分されるチャンバ１００と、前記第１基板蒸着領域に位置して外部から移送された第１基板１１０をアラインする第１基板アライン部２００と、前記第２基板蒸着領域に位置して外部から移送された第２基板１１０’をアラインする第２基板アライン部２１０と、前記第１基板１１０又は第２基板１１０’上に有機物粒子を噴射させるための少なくとも１つの有機物蒸着源３００と、前記有機物蒸着源３００を収納する蒸着源収納部４００と、前記有機物蒸着源３００がそれぞれ第１又は第２基板蒸着領域に位置するように前記有機物蒸着源を第１方向に回転移動させる第１移動手段５１０と、前記蒸着源収納部４００を前記第１又は第２基板蒸着領域内でそれぞれ第２方向に移動させる第２移動手段５２０とを含んで構成される。
【００６４】
ここで、前記チャンバ１００は図示されていない真空ポンプによって内部が真空状態を維持するようになっている。
【００６５】
また、前記チャンバ１００内に基板を移送及び搬送することは、クラスタタイプの蒸着システムにおいて、前記チャンバ１００と連結されたトランスファチャンバ（図示せず）内に備えられるロボットアーム（図示せず）により実現され、前記トランスファチャンバ及びロボットアームは図５の蒸着システムに示されている。
【００６６】
このとき、前記第１基板蒸着領域Ａ及び第２基板蒸着領域Ｂは、図示するように、第２方向に隣接して平行に配列されており、各蒸着領域Ａ、Ｂに行われる基板の蒸着は前記蒸着源３００が収納された蒸着源収納部４００が第２移動手段５２０により第２方向に往復運動されることで行われる。
【００６７】
また、第１基板蒸着領域Ａで第１基板１１０の蒸着が完了すれば、前記蒸着源収納部４００は第１移動手段５１０により第１方向に回転移動して第２基板蒸着領域Ｂに位置するようになり、その後、第２移動手段５２０により第２方向に往復運動して第２基板１１０’の蒸着を行う。
【００６８】
同様に、第２基板蒸着領域Ｂで第２基板１１０’の蒸着が完了すれば、前記蒸着源収納部４００は第１移動手段５１０により第１方向に回転移動して第１基板蒸着領域Ａに位置するようになり、その後、第２移動手段５２０により第２方向に往復運動して新しく引き込まれた第１基板１１０の蒸着を行う。
【００６９】
前記第１及び第２移動手段５１０、５２０は真空に維持されるチャンバ１００内で使用が可能なように工程条件に応じて有機物蒸着源３００の移動速度を調節できるように実現されることが好ましく、これは各基板と結束される結束部５１２、５２２と、ボールスクリュ（図示せず）及び前記ボールスクリュを回転させるモータ（図示せず）を備え、前記蒸着源収納部４００の案内のためのガイド（図示せず）が含まれて構成されることができる。但し、これは１つの実施形態に過ぎず、他の実施形態としてリニアモータ（図示せず）を用いて定速で駆動するように実現することもできる。
【００７０】
図１、２を通じて説明した実施形態の場合、チャンバ内で各基板に対する蒸着を実行するために蒸着源が移動する方向と、他の基板を蒸着するために蒸着源が移動する方向が同一であるため、空間的にチャンバの幅が、蒸着が進む方向に既存のチャンバに比べて約２倍以上大きくならなければならないという短所があるが、図３に示す実施形態の場合、各基板に対する蒸着を実行するために蒸着源が移動する方向（第２方向）と、他の基板を蒸着するために蒸着源３００が移動する方向（第１方向）とを互いに異なるように実現することで、チャンバ１００の空間を大きく拡大する必要なく同一のチャンバ内で第１基板１１０に対する基板の移送及びアライン工程の実行と同時に、第２基板１１０’に対する蒸着工程を行うことができる。
【００７１】
但し、そのために、図３に示す実施形態では前記チャンバ１００の本体が図示するように、第１移動手段５１０が第１方向に回転運動できるように第１面１０２の長さＬ１が前記第１面１０２に対応する第２面１０４の長さＬ２よりも長い多角形の筒状で実現され、これにより、前記チャンバ１００の幅が拡大するのを最小化する。
【００７２】
図３の実施形態では前記チャンバ１００の本体が四角形の筒状で示されているが、これは１つの実施形態であって、前記第１面１０２が折り曲げられて五角形の筒状で実現されることもできる。
【００７３】
このとき、前記第１面１０２は前記第１移動手段５１０に隣接した面であり、前記第２面１０４は第１面１０２と向かい合う側であって、基板の移送及び搬送が行われる面である。但し、前記第２面１０４には前記基板の移送及び搬送が実行され得るように開口部（図示せず）が備えられている。
【００７４】
以下、図４Ａ〜図４Ｄを参照して図３に示す有機物蒸着装置による蒸着方法を更に具体的に説明する。
【００７５】
図４Ａを参照すれば、まず、第１基板１１０が前記チャンバ１００本体の第２面１０４に備えられた開口部（図示せず）を通じてチャンバ１００内に移送され、第１基板アライン部２００によりアライン工程が行われ、その後、第１基板１１０に対するアラインが完了すれば、蒸着源収納部４００は前記第１基板蒸着領域Ａに位置する第２移動手段５２０により第１基板蒸着領域Ａ内で第２方向に往復移動することで、第１基板１１０の蒸着工程が行われる。
【００７６】
また、前記第１基板１１０に対する蒸着工程が行われる途中に、第２基板１１０’は前記第２面１０４に備えられた開口部（図示せず）を通じてチャンバ１００内に移送され、図４Ｂに示すように、第２基板アライン部２１０によりアライン工程が行われる。
【００７７】
このとき、前記第１基板アライン部２００及び第２基板アライン部２１０はそれぞれ第１基板蒸着領域Ａ及び第２基板蒸着領域Ｂに位置するものであって、具体的な構成は前述した図１に示す通りであるので、詳細な説明は省略する。
【００７８】
即ち、本発明の実施形態では第１基板１１０の蒸着が行われると同時に、同一のチャンバ１００内で第２基板１１０’に対する移送及びアライン工程が行われる。
【００７９】
次に、前記第１基板１１０に対する蒸着及び第２基板１１０’に対するアラインが完了すれば、図４Ｃに示すように、前記蒸着源収納部４００は第１移動手段５１０により第１方向に回転移動して第２基板蒸着領域Ｂに位置するようになる。
【００８０】
但し、これと同時に蒸着が完了した第１基板１１０は外部に搬送され、他の第１基板１１０がチャンバ１００内に移送される。
【００８１】
本発明の実施形態は、このように前記第１移動手段５１０により有機物蒸着源３００が実装された蒸着源収納部４００が前記第１基板蒸着領域Ａから第２基板蒸着領域Ｂに回転移動することで、チャンバの幅を図１、２に示す実施形態に比べて画期的に減らすことができる。
【００８２】
即ち、図示するように、本発明の実施形態の場合、前記チャンバ１００は第２移動手段が回転運動できるように、第１面１０２の長さＬ１が第２面１０４の長さＬ２よりも長い多角形筒状の本体で実現されることで、空間活用を最大化する。
【００８３】
前記蒸着源収納部４００が第２基板蒸着領域Ｂに位置した後は、図４Ｄに示すように、第２基板蒸着領域Ｂに位置する第２移動手段５２０により第２基板蒸着領域Ｂ内で第２方向に往復移動することで、第２基板１１０’の蒸着工程が行われる。
【００８４】
また、前記第２基板１１０’に対する蒸着工程が行われると同時に、チャンバ１００内に移送された他の第１基板１１０は第１基板蒸着領域Ａに位置する第１基板アライン部２００によりアライン工程が行われる。
【００８５】
即ち、本発明の実施形態では第２基板１１０’の蒸着が行われると同時に、同一のチャンバ内で第１基板１１０に対する移送及びアライン工程が行われる。
【００８６】
その後、前記第２基板１１０’に対する蒸着工程が完了すれば、図４Ａ〜図４Ｄの工程が循環して繰り返されて各基板に対する蒸着又はアラインを行う。
【００８７】
図５は、本発明の実施形態に係る有機物蒸着装置が備えられた有機物蒸着システムの一実施形態を示すブロック図である。
【００８８】
但し、図５に示す有機物蒸着システムは図３に示す有機物蒸着装置が工程チャンバで備えられるものをその例とし、図３の実施形態による場合、チャンバの本体が第１面が第２面よりも長い多角形の筒状で実現されて空間活用を最大化することにより、従来の有機物蒸着システムと比較して同一の空間内で更に多くの工程チャンバを備えることができることを特徴とする。
【００８９】
図５を参照すれば、本発明の実施形態に係る有機物蒸着システム１０は、有機物蒸着工程を行う有機物蒸着装置としての複数の工程チャンバ１００と、前記複数の工程チャンバを共通して連結するトランスファチャンバ２０と、前記トランスファチャンバを通じて前記工程チャンバの内部に投入される基板１１０、１１０'、１１０”のローディング及び／又はアンローディングを行うロードラックチャンバ３０、３２が含まれているクラスタタイプ（Ｃｌｕｓｔｅｒ  Ｔｙｐｅ）で構成される。
【００９０】
また、前記トランスファチャンバ２０の一側には前記工程チャンバ１００での蒸着工程時に用いられるシャドウマスクが備えられたシャドウマスクユニット４０が更に備えられることができる。
【００９１】
前記工程チャンバ１００は有機物蒸着装置であって、有機物の蒸着工程が行われる場所であり、少なくとも２つの基板に対する蒸着工程を行う工程チャンバ１００ａ、１００ｂと、１つの基板に対する蒸着工程を行う工程を行う工程チャンバ１００ｃ、１００ｄで構成される。
【００９２】
即ち、図５の実施形態の場合、第１及び第２工程チャンバ１００ａ、１００ｂは２つの基板に対する蒸着工程を行うものであって、１つの基板に対して蒸着工程が行われ、残りの基板に対しては前記蒸着工程が行われると同時に、移送及びアライン工程が行われるように実現される。
【００９３】
このとき、前記第１、２工程チャンバ１００ａ、１００ｂは、図３及び図４を通じて説明した有機物蒸着装置の第２実施形態で実現される。
【００９４】
また、第３及び第４工程チャンバ１００ｃ、１００ｄは、それぞれ１つの基板に対するアライン及び蒸着工程を順次行う。
【００９５】
即ち、本発明の実施形態に係るクラスタタイプの蒸着システムは、前記第１、２工程チャンバ１００ａ、１００ｂが、第１、２面が長さの異なる多角形の筒状で実現されて占める面積を既存に比べて大幅に減らすことができることにより、前記第３、４工程チャンバ１００ｃ、１００ｄが更に備えられ、既存の有機物蒸着システムに比べて蒸着収率を大幅に改善できるという長所がある。
【００９６】
このようなそれぞれの工程チャンバ１００はそれぞれ別途の有機物材料を基板上に蒸着してもよく、同一の有機物材料を基板上に蒸着してもよい。
【００９７】
一例として、図５に示す実施形態では第１工程チャンバ１００ａ及び第３工程チャンバ１００ｃで第１有機物材料を蒸着し、第２工程チャンバ１００ｂ及び第４工程チャンバ１００ｄで第２有機物材料を蒸着する。
【００９８】
これにより、第１工程チャンバ１００ａを通じて第１有機物蒸着が完了した基板は第２工程チャンバ１００ｂに移送されて第２有機物が更に蒸着され、これと同様に、第３工程チャンバ１００ｃを通じて第１有機物蒸着が完了した基板は第４工程チャンバ１００ｄに移送されて第２有機物が更に蒸着される。
【００９９】
また、前記トランスファチャンバ２０はそれぞれの側壁領域を通じて前述した工程チャンバ１００、ロードラックチャンバ３０、３２及びシャドウマスクユニット４０と連結される。このとき、前記各側壁領域には基板の出入りのための貫通部２４が設けられている。
【０１００】
即ち、前記トランスファチャンバ２０は基板の移送のための移送空間を有する本体２２と、前記本体内に設けられた一対のロボットアーム２６、２６’が含まれて構成され、これはロードラックチャンバ３０に設けられている基板を工程チャンバ１００に移送したり、工程チャンバ１００を通じて蒸着が行われた基板を他の工程チャンバ１００又はロードラックチャンバ３２に移送及び搬送させる役割を果たす。このとき、前記ロードラックチャンバは、前述したように、工程チャンバの内部に投入される基板１１０、１１０'、１１０”のローディング及び／又はアンローディングを行う役割を果たす。
【０１０１】
また、本発明の実施形態の場合、前記トランスファチャンバの本体２２内に設けられたロボットアーム２６、２６’が少なくとも２つ備えられ、これを通じて少なくとも２つの基板に対する蒸着工程を同時に行う工程チャンバ１００に対して第１基板に対する蒸着工程が行われる途中に、第２基板を前記工程チャンバ１００に移送させることができるようになる。
【０１０２】
前記構成を有する本発明の実施形態に係る有機物蒸着システムの動作を簡略に説明すれば、以下の通りである。
【０１０３】
まず、複数の基板が外部の搬送装置（図示せず）から第１ロードラックチャンバ３０に移送されれば、第１ロードラックチャンバ３０では前記移送された基板をローディングする。
【０１０４】
前記基板のローディングが完了すれば、第１ロードラックチャンバ３０のドア（図示せず）を閉鎖して前記第１ロードラックチャンバ３０を真空状態にし、その後、トランスファチャンバ２０の第１ロボットアーム２６を用いて前記基板のうち第１基板１１０がトランスファチャンバを通じて第１工程チャンバ１００ａに移送される。
【０１０５】
但し、前記第１工程チャンバ１００ａ及び第２工程チャンバ１００ｂにおける工程は図３、４を通じて説明した有機物蒸着装置の蒸着工程と同一であり、これを簡略に説明すれば、以下の通りである。
【０１０６】
第１工程チャンバ１００ａに移送された前記第１基板１１０は第１工程チャンバ１００ａ内でアラインされ、アラインが完了すれば、前記第１基板１１０に対する蒸着工程が行われる。即ち、第１基板１１０上に第１有機物が蒸着される。
【０１０７】
また、前記第１基板１１０が第１工程チャンバ１００ａに引き込まれると共に、第１ロードラックチャンバ３０内にローディングされた複数の基板のうち第２基板１１０’が第２ロボットアーム２６’により移送されて、第１基板１１０に対する蒸着工程が行われる途中に、前記第１工程チャンバ１００ａに移送される。
【０１０８】
即ち、前記第１工程チャンバ１００ａを通じて第１基板１１０に対する蒸着工程が実行されれば、これと同時に前記第１工程チャンバ１００ａでは第２基板１１０’に対する移送及びアラインも共に行われ、その後、アラインが完了すれば、第２基板１１０’に対する蒸着工程が行われる。
【０１０９】
また、前記第２基板１１０’に対するアライン工程が行われる途中に蒸着が完了した前記第１基板１１０は第１ロボットアーム２６’により第２工程チャンバ１００ｂに移送される。これにより、前記第１基板１１０は第２工程チャンバ１００ｂ内でアラインされ、アラインが完了すれば、前記第１基板１１０に対する追加の蒸着工程が行われる。即ち、第１基板１１０上に第２有機物が蒸着される。
【０１１０】
また、前記第１基板１１０が第２工程チャンバ１００ｂに引き込まれた後、第１工程チャンバ１００ａ内で蒸着が完了した第２基板１１０’は続いて第２ロボットアーム２６’により移送されて、第１基板１１０に対する蒸着工程が行われる途中に、前記第２工程チャンバ１００ｂに引き込まれる。
【０１１１】
即ち、前記第２工程チャンバ１００ｂを通じて第１基板１１０に対する蒸着工程が行われると共に、前記第２工程チャンバ１００ｂでは第２基板１１０’に対する移送及びアラインも行われる。
【０１１２】
これにより、第１基板１１０及び第２基板１１０’に対する第１、２有機物に対する蒸着工程が完了すれば、連続的に、第１基板１１０及び第２基板１１０’がそれぞれロボットアームにより第２ロードラックチャンバ３２に移送されてアンローディングされる。
【０１１３】
その後、第１又は第２ロボットアーム２６、２６’は第１ロードラックチャンバ３０にローディングされた基板のうち第３基板１１０”を、トランスファチャンバ２０を通じて第３工程チャンバ１００ｃに移送し、その後、前記第３基板１１０”は第３工程チャンバ１００ｃ内でアラインされ、アラインが完了すれば、前記第３基板１１０”に対する蒸着工程が行われる。即ち、第３基板１１０”上に第１有機物が蒸着される。
【０１１４】
また、第３基板１１０”に対する蒸着工程が完了すれば、前記ロボットアームは前記第３基板１１０”を第４工程チャンバ１００ｄに移送し、これにより、前記第３基板１１０”は第４工程チャンバ１００ｄ内でアラインされ、アラインが完了すれば、前記第３基板１１０”に対する追加の蒸着工程が行われる。即ち、第３基板１１０”上に第２有機物が蒸着される。
【０１１５】
その後、第３基板１１０”に対する第１、２有機物に対する蒸着工程が完了すれば、第３基板１１０”がそれぞれロボットアームにより第２ロードラックチャンバ３２に移送されてアンローディングされる。
【０１１６】
このとき、前記第３基板１１０”に対する蒸着工程、即ち、第３及び第４蒸着チャンバ１００ｃ、１００ｄで行われる蒸着工程は前記第１基板１１０及び第２基板１１０’に対する蒸着工程と同時に実現されることもできる。
【０１１７】
結果として、本発明の実施形態に係る有機物蒸着システム１０によれば、３枚の基板に対する蒸着工程を並行して進行することで、各工程チャンバにおける待ち時間を除去して生産性を増大又は最大化できるという長所がある。
【０１１８】
以上説明したように、本発明の最も好ましい実施の形態について説明したが、本発明は、上記記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載され、又は明細書に開示された発明の要旨に基づき、当業者において様々な変形や変更が可能であるのはもちろんであり、斯かる変形や変更が、本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
【符号の説明】
【０１１９】
１００  チャンバ
１１０  第１基板
２００  アライン部
１１０’  第２基板
２１０  アライン部
３００  有機物蒸着源
４００  蒸着源収納部
５００  移動手段
【図１】
2011068980.tif 000003
【図２Ａ】
2011068980.tif 000004
【図２Ｂ】
2011068980.tif 000005
【図２Ｃ】
2011068980.tif 000006
【図２Ｄ】
2011068980.tif 000007
【図３】
2011068980.tif 000008
【図４Ａ】
2011068980.tif 000009
【図４Ｂ】
2011068980.tif 000010
【図４Ｃ】
2011068980.tif 000011
【図４Ｄ】
2011068980.tif 000012
【図５】
2011068980.tif 000013