(57)【要約】【課題】被駆動体の傾きを高精度に検出可能な駆動モジュール及び電子機器を提供する。【解決手段】モジュール下板８及び中間部材８０には、駆動ユニット３１を下方から見て下板バネ７の内周部分を露出させる複数の切欠き部９０，９１が形成されていることを特徴とする。【選択図】図９
2011191562.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に移動可能な被駆動体と、
前記被駆動体を内側に収容する筒状の支持体と、
前記被駆動体及び前記支持体の前記第１方向の端面に接続された接続部材と、
前記接続部材を挟んで前記被駆動体の反対側に配置され、前記被駆動体の前記第１方向に沿った移動を規制する規制部材と、を有する駆動モジュールであって、
前記規制部材には、前記規制部材の前記第１方向側から見て前記被駆動体、若しくは前記接続部材を露出させる孔部が形成されていることを特徴とする駆動モジュール。
【請求項２】
前記孔部は、前記規制部材に３ヶ所以上形成されていることを特徴とする請求項１記載の駆動モジュール。
【請求項３】
前記被駆動体の外壁面から外側に向けて突出する突起部と、
両端部が前記支持体に固定されるとともに、中間部が前記突起部に係止され、通電時の発熱により伸縮することで、前記被駆動体を前記第１方向に沿って移動させる形状記憶合金ワイヤとを有し、
前記孔部は、前記突起部及び前記第１方向を含む平面と、前記規制部材との交線上に配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の駆動モジュール。
【請求項４】
前記規制部材には、前記第１方向に沿って貫通する中央孔が形成され、
前記孔部は、前記中央孔の周囲の一部を切り欠いて形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載の駆動モジュール。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れか１項に記載の駆動モジュールを備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば光学系を駆動して焦点位置調整を行ったり、可動部材を駆動するアクチュエータとして用いたりするのに好適となる、駆動モジュール及び電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カメラ機能付き携帯電話等の小型の電子機器において、オートフォーカスやズーム等を行うために、形状記憶合金ワイヤの伸縮を利用して駆動を行う駆動モジュールが種々提案されている。
【０００３】
図１２は、従来の駆動モジュールの説明図であって、図４のＢ−Ｂ線に相当する部分における断面図である。
図１２に示すように、従来の駆動モジュールは、レンズユニット（不図示）を保持する筒状のレンズ枠（被駆動体）２００と、レンズ枠２００を内側に収容する筒状のモジュール枠（支持体）２０１と、レンズ枠２００及びモジュール枠２０１の−Ｚ方向の端面に接続され、モジュール枠２０１に対してレンズ枠２００をＺ方向に沿って移動可能に弾性保持する下板バネ２０２とを有している。また駆動モジュールは、レンズ枠２００をＺ方向に移動させる駆動手段（不図示）を備えている。さらに駆動モジュールは、レンズ枠２００及び下板バネ２０２の−Ｚ方向への移動を規制するモジュール下板２０４（規制部材）を備えている。なお、下板バネ２０２は金属材料で構成され、レンズ枠２００や、モジュール下板２０４等は樹脂材料で構成されているものが一般的である。
【０００４】
上述した駆動モジュールでは、レンズ枠２００（レンズユニット）の光軸Ｋ’が、モジュール枠２０１やモジュール下板２０４の軸線Ｍ’に対して傾いて設置されると（図１２中符号２００’）、撮像画像の片側のピントが合わない、いわゆる方ボケ等の不都合が生じる可能性がある。これを防止するために、駆動モジュールの製造段階や、駆動モジュールにレンズユニットが組み付けられた後の段階において、レンズ枠２００の傾きを測定し、この傾きが規格に収まっているか否かを検査している。
【０００５】
レンズ枠２００の傾きを測定するための方法としては、光源から出射されるレーザー光をコリメートレンズによって平行光にして測定対象物に照射し、測定対象物から正反射される反射光を受光素子で受光することで、受光素子における結像位置に基づいて測定対象物の傾きを検出する方法がある（例えば、特許文献１参照）。
また、レンズからの出射光を撮像素子上に結合させ、撮像素子上に結像した画像の強度や分布からレンズ光軸の傾斜角度を検出する方法もある（例えば、特許文献２，３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１３３２３２号公報
【特許文献２】特開平６−２４３４７８号公報
【特許文献３】特開２００１−３５９１２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ここで、特許文献１の方法を用いて駆動モジュール（レンズ枠２００）の傾きを測定するためには、モジュール下板２０４からのレンズ枠２００の露出部分（例えば、内周縁部）にレーザー光Ｌ’を照射することが考えられる。しかしながら、上述したようにレンズ枠２００は例えば黒色等の樹脂材料からなるため、レーザー光Ｌ’の反射率が低い。そのため、受光素子で受光できる反射光の光量が不足し、測定精度が低いという問題がある。
これに対して、傾き測定用に反射率の高い擬似レンズ（不図示）をレンズ枠２００に組み込み、擬似レンズからの反射光に基づいて傾きを検出する方法も考えられる。しかしながら、この方法では擬似レンズのレンズ枠２００への着脱作業が必要となり、この着脱作業時にレンズ枠２００や擬似レンズから発生する削りカスが、レンズ枠２００の内面等に付着する虞がある。この状態でその後の組付作業が行われると、組付後に削りカスがレンズユニット等に付着して電子機器のカメラによる撮影画像の品質を低下させたり、駆動モジュールの円滑な動作を妨げたりする原因となる。
【０００８】
一方、特許文献２，３の方法では、レンズユニットの組付後にレンズ光軸の傾斜角度を検出している。そのため、レンズ光軸の傾斜角度が規格外の不良品であった場合には、レンズユニットを取り外す作業が必要になり、製造効率が低下する。また、不良品をレンズユニットごと廃棄する場合には、不良品コストが増加するという問題がある。
【０００９】
さらに、上述した擬似レンズやレンズユニットを用いて測定された傾きは、レンズ枠２００に対する擬似レンズやレンズユニット自体の傾きも含まれるため、傾きの原因が擬似レンズやレンズユニットの傾きであるか、レンズ枠２００の傾きであるかを判断し難く、信頼性が低いという問題がある。
【００１０】
そこで、本発明は、上述した問題に鑑みてなされたものであり、被駆動体の傾きを高精度に検出可能な駆動モジュール及び電子機器の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明に係る駆動モジュールは、第１方向に移動可能な被駆動体と、前記被駆動体を内側に収容する筒状の支持体と、前記被駆動体及び前記支持体の前記第１方向の端面に接続された接続部材と、前記接続部材を挟んで前記被駆動体の反対側に配置され、前記被駆動体の前記第１方向に沿った移動を規制する規制部材と、を有する駆動モジュールであって、前記規制部材には、前記規制部材の前記第１方向側から見て前記被駆動体、若しくは前記接続部材を露出させる孔部が形成されていることを特徴としている。
【００１２】
このように構成することで、例えば三角測量方式のレーザー変位計等を用いて被駆動体の傾きを測定する際に、被駆動体、若しくは接続部材における孔部からの露出面を、被駆動体（接続部材）の位置の測定面とすることができる。この場合、被駆動体（接続部材）の位置に基づいて被駆動体の傾きを高精度に検出できるので、良品と不良品とを正確に判断できる。よって、方ボケ等の可能性が少ない高品質な駆動モジュールを提供できる。
しかも、上述したレーザー光の正反射を用いて測定する方法ように、被駆動体に擬似レンズ等を着脱することなく傾き等を測定できるので、削りカスの発生を抑制できる。さらに、レンズユニットを被駆動体に組み付ける前に不良品であるか否かを早期に判断できるので、製造効率の低下を抑制できるとともに、不良品をレンズユニットごと廃棄することがないので、不良品コストを削減できる。また、測定された傾きは擬似レンズやレンズユニット自体の傾きを含まないので、より精度の高い傾き測定を行うことができる。
【００１３】
また、前記孔部は、前記規制部材に３ヶ所以上形成されていることを特徴としている。
このように構成することで、各露出面の位置を測定する場合に、各露出面の位置に基づいて接続部材の面全体の傾きを測定できるので、より精度の高い傾き測定を行うことができる。
【００１４】
また、前記被駆動体の外壁面から外側に向けて突出する突起部と、両端部が前記支持体に固定されるとともに、中間部が前記突起部に係止され、通電時の発熱により伸縮することで、前記被駆動体を前記第１方向に沿って移動させる形状記憶合金ワイヤとを有し、前記孔部は、前記突起部及び前記第１方向を含む平面と、前記規制部材との交線上に配置されていることを特徴としている。
本発明の構成のように、一本の形状記憶合金ワイヤで被駆動体を駆動させる構造では、構造が簡単で制御も簡単になるが、被駆動体は片持ち支持となる。この場合、形状記憶合金ワイヤの弾性係数等にもよるが、一般的には吊り上げ側（突起部側）と、その反対側との間で傾きが大きくなり易い。
そこで、突起部及び第１方向を含む平面と、規制部材との交線上に孔部を形成することで、接続部材（被駆動体）における傾きの最大値を検出できる。これにより、接続部材（被駆動体）の傾きが規格内に収まっているか否かを正確に判断できるので、より高品質な製品を提供できる。
【００１５】
また、前記規制部材には、前記第１方向に沿って貫通する中央孔が形成され、前記孔部は、前記中央孔の周囲の一部を切り欠いて形成されていることを特徴としている。
例えば三角測量方式のレーザー変位計等により被駆動体、若しくは接続部材の位置等を測定する際に、露出面から拡散反射される反射光が孔部を囲む周壁によって遮光される可能性がある。
これに対して、本発明の構成によれば、露出面から反射される反射光が、孔部の開放部分を通過することで、レーザー変位計によって受光できる反射光の光量が増加するので、被駆動体の傾き測定をより高精度に行うことができる。
【００１６】
また、本発明の電子機器は、上記本発明の駆動モジュールを備えていることを特徴としている。
このように構成することで、被駆動体の傾きが少ない高品質な駆動モジュールを備えているため、高品質な機能を有する電子機器を提供することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る駆動モジュールによれば、被駆動体の傾きを高精度に検出できるので、良品と不良品とを正確に判断できる。よって、方ボケ等の可能性が少ない高品質な駆動モジュールを提供できる。
また、本発明に係る電子機器によれば、高品質な駆動モジュールを備えているため、高品質な機能を有する電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】駆動モジュールの外観斜視図である。
【図２】駆動モジュールの概略構成を示す分解斜視図である。
【図３】駆動ユニットの概略構成を示す分解斜視図である。
【図４】駆動ユニットの外観斜視図である。
【図５】図４におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図６】上板バネ（下板バネ）の平面図である。
【図７】モジュール下板及び中間部材の斜視図である。
【図８】中間部材及びモジュール下板を重ねた状態の平面図である。
【図９】駆動ユニットを下方から見た平面図である。
【図１０】駆動ユニットを下方から見た斜視図である。
【図１１】カメラ付き携帯電話の説明図である。
【図１２】従来の駆動ユニットを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（駆動モジュール）
以下、本発明に係る駆動モジュールの一実施形態について、図面に基づいて説明する。本実施形態では、カメラにおける撮像レンズユニットの駆動モジュールを例にして説明する。また、レンズユニットを駆動するアクチュエータの一例として、形状記憶合金ワイヤを用いた場合を例に挙げて説明する。なお以下の各図では、レンズユニットの軸方向をＺ方向と呼び、半径方向をＲ方向と呼ぶ場合がある。
【００２０】
図１は、駆動モジュール１の外観斜視図である。図２は、駆動モジュール１の概略構成を示す分解斜視図である。図１及び図２に示すように、本実施形態の駆動モジュール１は、全体として箱型に構成されている。
この駆動モジュール１は、組み立て完成後、駆動モジュール１に制御信号や電力を供給する基板上に固定されて電子機器等に取り付けられるものであり、基板上に固定されるアダプタ３０と、アダプタ３０上に配設される駆動ユニット３１と、駆動ユニット３１を覆うように配設されたカバー１１と、を備えている。
【００２１】
カバー１１は、上面１１Ｅの外縁部から下方側に、モジュール枠５を外嵌可能に覆う側壁部１１Ｄが延ばされ、下方側に矩形状の開口１１Ｃが形成された部材であり、上面１１Ｅの中央部に軸線Ｍ（図３参照）を中心とした円状の開口１１Ａが設けられている。開口１１Ａの大きさは、レンズユニット１２（図５参照）を出し入れ可能な大きさとされている。
【００２２】
図３は、駆動ユニット３１の概略構成を示す分解斜視図である。図４は、駆動ユニット３１の外観斜視図である。図５は、図４におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。なお、一部の図面では見易さのため、一部の構成部材を適宜省略して図示している。
駆動ユニット３１は、レンズユニットを保持する筒状のレンズ枠（被駆動体）４と、レンズ枠４を内側に収容する筒状のモジュール枠（支持体）５と、モジュール枠５に対してレンズ枠４をＺ方向に沿って移動可能に弾性保持するため、レンズ枠４及びモジュール枠５の＋Ｚ方向の端面に接続された上板バネ６及びＺ方向の端面に接続された下板バネ（接続部材）７とを備えている。
【００２３】
図２に戻り、駆動ユニット３１は、レンズ枠４をＺ方向に移動させる駆動手段を備えている。駆動手段として、レンズ枠４を−Ｚ方向に付勢するコイルばね３８と、コイルばね３８の付勢力に抗してレンズ枠４を＋Ｚ方向に移動させるアクチュエータとを備えている。アクチュエータとして、形状記憶合金（Ｓｈａｐｅ  Ｍｅｍｏｒｙ  Ａｌｌｏｙ、以下、ＳＭＡと略称する）ワイヤ１０と、ＳＭＡワイヤ１０をモジュール枠５に固定するワイヤ保持部材１５Ａ，１５Ｂと、ワイヤ保持部材１５Ａ，１５Ｂを介してＳＭＡワイヤ１０に給電する給電部材９（図３参照）とを備えている。なお給電部材９の端子部９Ｃは、図２及び図４では駆動ユニット３１の背面側に隠れている。
さらに駆動モジュール１は、レンズ枠４及び下板バネ７の−Ｚ方向への移動を規制するモジュール下板８（規制部材）を備えている。
【００２４】
図３〜図５に示すように、組立状態では、レンズ枠４はモジュール枠５の内方に挿入されている。また、上板バネ６及び下板バネ７は、これらレンズ枠４及びモジュール枠５の上下に配設されていると共に、レンズ枠４とモジュール枠５とを上下方向から挟持した状態で、かしめにより固定されている。そして、これらの下方側からモジュール下板８と給電部材９とがこの順に積層され、モジュール枠５の下方からかしめによりそれぞれ共に固定されている。なお、これらの積層体を上方側から覆うカバー１１が、モジュール下板８に固定されている。
【００２５】
なお、図中の符号Ｍは、レンズユニット１２の光軸に一致する駆動モジュール１の軸線であり、レンズ枠４の駆動方向を示している。以下では、分解された各構成品の説明においても、組立時の軸線Ｍとの位置関係に基づいて、位置や方向を参照する場合がある。例えば、構成品に明確な円、円筒面が存在しない場合でも、誤解の恐れのない限り、軸線Ｍに沿う方向を単に軸線方向またはＺ方向と称し、軸線Ｍを中心とする円の径方向を単に径方向またはＲ方向と称し、軸線Ｍを中心とする円の周方向を単に周方向と称する場合がある。また、上下方向は、特に断らない限り、軸線Ｍを鉛直方向に配置し、駆動モジュール１の取付面が鉛直下方となる場合の配置における上下方向を指すものとする。
【００２６】
次に、各構成品について詳細に説明する。
（レンズ枠）
本実施形態のレンズ枠４は、図３に示すように全体として筒状に形成されており、その中央には軸線Ｍに沿って貫通する筒状の収容部４Ａが形成されている。この収容部４Ａの内周面には、雌ネジが形成されている（図５参照）。そして、収容部４Ａには、上述した雌ねじに螺合する雄ネジが外周部に形成された鏡筒と、鏡筒の内側に保持された適宜のレンズ又はレンズ群と、を有するレンズユニット１２が固定されている。
【００２７】
レンズ枠４の外壁面には、周方向に略９０度の間隔をおいて、径方向外方に向けて突出する突出部４Ｃが軸線Ｍ方向に延設されている。これら各突出部４Ｃの上端部と下端部とにおける、レンズ枠４の上端面４ａ及び下端面４ｂ上には、軸線Ｍに沿う上方及び下方に向けてそれぞれ突出する上側固定ピン１３Ａ、下側固定ピン１３Ｂが、それぞれ４本ずつ設けられている。このうち、上側固定ピン１３Ａは上板バネ６を保持し、下側固定ピン１３Ｂは下板バネ７を保持するためのものである。なお、レンズ枠４は、熱かしめ又は超音波かしめが可能な熱可塑性樹脂、例えばポリカーボネート（ＰＣ）や液晶ポリマー（ＬＣＰ）樹脂等により一体成形されている。
【００２８】
上側固定ピン１３Ａ及び下側固定ピン１３Ｂの平面視の位置は、それぞれ異なっていても良いが、本実施形態では軸線Ｍに平行な同軸位置に配置されている。このため、上板バネ６、下板バネ７における、上側固定ピン１３Ａ及び下側固定ピン１３Ｂの挿通位置は、それぞれ共通化されている。また、上側固定ピン１３Ａ及び下側固定ピン１３Ｂの径方向の各中心位置は、異なっていても良いが、本実施形態では同一円周上に配置されている。このため、それぞれの中心位置は正方格子状に配置されている。
【００２９】
また、レンズ枠４の外壁面には、径方向外方に突出するようにガイド突起（突起部）４Ｄが設けられている。このガイド突起４Ｄは、隣接する突出部４Ｃ間に設けられている。ガイド突起４Ｄは、図４に示すように、その先端鍵部４Ｄ１にＳＭＡワイヤ１０を係止し、このＳＭＡワイヤ１０の収縮によりガイド突起４Ｄを上方（＋Ｚ方向）に持ち上げて移動させるためのものである。
【００３０】
（モジュール枠）
モジュール枠５は、図３に示すように、平面視の外形が全体として略矩形状に形成されているとともに、軸線Ｍに同軸に形成された貫通孔からなる収容部５Ａが中央部に形成された筒状の部材である。そして、この収容部５Ａ内にレンズ枠４が収容される。
このモジュール枠５の上部及び下部の四隅には、軸線Ｍに直交する平面からなる上端面５ａ及び下端面５ｂが形成されている。そして、上端面５ａには、上方に向けて上側固定ピン１４Ａが４本形成され、下端面５ｂには下方に向けて下側固定ピン１４Ｂが４本形成されている。このうち、上側固定ピン１４Ａは上板バネ６を保持するものであり、下側固定ピン１４Ｂは下板バネ７、モジュール下板８及び給電部材９をそれぞれ保持するためのものである。なお、モジュール枠５は、レンズ枠４と同様に、熱かしめ又は超音波かしめが可能な熱可塑性樹脂、例えばポリカーボネート（ＰＣ）、液晶ポリマー（ＬＣＰ）樹脂等により一体成形されている。
【００３１】
なお、上側固定ピン１４Ａの平面視の位置は、下側固定ピン１４Ｂの配置と異なっていても良いが、本実施形態ではそれぞれ軸線Ｍに平行な同軸位置に配置されている。このため、上板バネ６、下板バネ７における、上側固定ピン１４Ａ及び下側固定ピン１４Ｂの挿通位置は、それぞれ共通化されている。また、上端面５ａと下端面５ｂとの間の距離は、レンズ枠４の上端面４ａと下端面４ｂとの間の距離と同一距離に設定されている。
また、モジュール枠５の下端面５ｂには下方に向けて位置決めピン１４Ｆが２本形成されている。位置決めピン１４Ｆは、下板バネ７、中間部材８０、モジュール下板８及び給電部材９の位置決め孔と嵌合して、これらを位置決めするものである。
【００３２】
また、モジュール枠５の一隅の下部には切欠き５Ｂが形成されている。この切欠き５Ｂの平面視における溝幅は、レンズ枠４のガイド突起４Ｄが軸線Ｍ方向に移動可能に嵌合しうる大きさに形成されている。この切欠き５Ｂは、レンズ枠４をモジュール枠５内に下方から挿入して収容した際、レンズ枠４のガイド突起４Ｄを貫通させ、ガイド突起４Ｄの先端鍵部４Ｄ１をモジュール枠５の径方向外部に突出させるとともに、レンズ枠４の周方向の位置決めを行うためのものである。
【００３３】
（駆動手段）
図４に示すように、モジュール枠５の切欠き５Ｂに隣接する２つの側面には、ワイヤ保持部材１５（１５Ａ、１５Ｂ）が固定されている。具体的に説明すると、モジュール枠５の側面には、基準ピン３４（３４Ａ，３４Ｂ）及び回り止めピン３５（３５Ａ，３５Ｂ）が並んで形成されている。基準ピン３４は、正面視において円形状に形成されている。回り止めピン３５は、正面視において上方及び下方が略円弧状に形成され、左方及び右方が略直線状に形成されている。
ワイヤ保持部材１５は、導電性を有する金属板等で形成されている。ワイヤ保持部材１５には、モジュール枠５の基準ピン３４と嵌合する基準孔３６（３６Ａ，３６Ｂ）及び回り止めピン３５と嵌合する回り止め孔３７（３７Ａ，３７Ｂ）が形成されている。基準孔３６は正面視で円形状に形成され、回り止め孔３７は略四角形状に形成されている。
【００３４】
そして、基準孔３６を基準ピン３４に嵌合すれば、モジュール枠５に対してワイヤ保持部材１５を基準ピン３４の径方向に位置決めすることができる。さらに、回り止め孔３７を回り止めピン３５に嵌合すれば、回り止めピン３５の上端部及び下端部が回り止め孔３７の上辺及び下辺に点接触する。これにより、ワイヤ保持部材１５を基準ピン３４の周方向に位置決めすることができる。したがって、モジュール枠５に対してワイヤ保持部材１５を各方向に精度良く位置決めすることができる。なお、回り止めピン３５の左右方向は直線状に切り取られているため、基準ピン３４と回り止めピン３５との距離または基準孔３６と回り止め孔３７との距離がばらついた場合でも、回り止め孔３７を回り止めピン３５に嵌合させることができる。
【００３５】
なお、基準孔３６及び回り止め孔３７を基準ピン３４及び回り止めピン３５にそれぞれ嵌合させた後に、基準孔３６及び回り止め孔３７の頭部を熱カシメして、それぞれの頭部の外形を基準孔３６及び回り止め孔３７の外形より大きくしている。これにより、ワイヤ保持部材１５がモジュール枠５に固着されている。
ワイヤ保持部材１５は、給電部材９に接続される端子部１５ａと、ＳＭＡワイヤ１０を保持するワイヤ保持部１５ｂとを備えている。ワイヤ保持部１５ｂは、金属板を鍵状にかしめることでＳＭＡワイヤ１０の端部を保持している。
【００３６】
ＳＭＡワイヤ１０は、一対のワイヤ保持部材１５Ａ、１５Ｂによって両端部が保持されている。ＳＭＡワイヤ１０は、レンズ枠４から突出されたガイド突起４Ｄに発生力を及ぼすことで、コイルばね３８の付勢力に抗してレンズ枠４を軸線Ｍ方向に駆動させるものである。詳細に説明すると、このＳＭＡワイヤ１０は、中間部がモジュール枠５の切欠き５Ｂから突出されたレンズ枠４のガイド突起４Ｄの先端鍵部４Ｄ１に下方から係止されている。つまり、ＳＭＡワイヤ１０は、中間部がガイド突起４Ｄの先端鍵部４Ｄ１に係止された状態で、両端部がワイヤ保持部材１５Ａ、１５Ｂを介して軸線Ｍを挟んで対向するようにモジュール枠５に固定されている。また、ＳＭＡワイヤ１０は、給電部材９を介して通電された際の発熱により収縮し、発生した張力をガイド突起４Ｄに及ぼすことにより、レンズ枠４を軸線Ｍ方向に駆動させる役割を担っている。なお、コイルばね３８は、ガイド突起４Ｄから上方（＋Ｚ方向）に向けて延設されたポール部３９が挿入されることで、軸線Ｍと平行に支持されている。
【００３７】
（板バネ部材）
図３及び図４に示すように、モジュール枠５及びモジュール枠５内に挿入されたレンズ枠４のそれぞれの上部と下部には、それぞれ上板バネ６と下板バネ７とが積層されている。本実施形態において、上板バネ６及び下板バネ７は、平面視略同一形状に打ち抜かれた平板状の板バネ部材であり、例えばステンレス（ＳＵＳ）鋼板等の金属板からなる。
【００３８】
上板バネ６（下板バネ７）の形状は、平面視の外形が、モジュール枠５の上端部（下端部）と同様な略矩形状とされている。上板バネ６（下板バネ７）の中央部には、軸線Ｍと同軸でレンズ枠４の収容部４Ａより僅かに大きな円状の開口６Ｃ（７Ｃ）が形成されている。これにより上板バネ６（下板バネ７）は、全体としてリング状に形成されている。
【００３９】
図６は、上板バネ６（下板バネ７）の平面図である。
図６に示すように、上板バネ６（下板バネ７）は、モジュール枠５の上端面５ａ（下端面５ｂ）上に連結された枠状の枠体部５０と、この枠体部５０の径方向内側に配設された状態でレンズ枠４の上端面４ａ（下端面４ｂ）上に連結されたリング部５１と、枠体部５０とリング部５１とに両端部がそれぞれ接続され、両者を連結するバネ部５２と、で主に構成されている。
【００４０】
枠体部５０の隅部近傍には、モジュール枠５の隅部近傍に形成された上側固定ピン１４Ａ（下側固定ピン１４Ｂ）の配置位置に対応して、各上側固定ピン１４Ａ（下側固定ピン１４Ｂ）にそれぞれ挿通可能な４つの貫通孔６Ｂ（７Ｂ）が形成されている。また、略矩形状の枠体部５０における一方の対角線の両端部には、モジュール枠５の一対の位置決めピン１４Ｆと嵌合する一対の位置決め孔６Ｆ（７Ｆ）が形成されている。これにより、軸線Ｍに直交する平面内において、モジュール枠５に対する位置決めが可能となっている。
【００４１】
リング部５１は、その外周から半径方向外側に張り出した４つの張出部５３を備えている。各張出部５３は、リング部５１の周方向に等角度間隔で配置されている。各張出部５３には、レンズ枠４に形成された上側固定ピン１３Ａ（下側固定ピン１３Ｂ）の配置位置に対応して、各上側固定ピン１３Ａ（下側固定ピン１３Ｂ）にそれぞれ挿通可能な貫通孔６Ａ（７Ａ）が形成されている。
【００４２】
このように、貫通孔６Ｂ（７Ｂ）、位置決め孔６Ｆ（７Ｆ）及び貫通孔６Ａ（７Ａ）が、上板バネ６（下板バネ７）の中でスペースに余裕がある隅部近傍に設けられているので、駆動モジュール１の外形を小型化することができる。また、貫通孔６Ｂ（７Ｂ）、位置決め孔６Ｆ（７Ｆ）及び貫通孔６Ａ（７Ａ）が位相を異にして配置されているので、駆動モジュール１の外形を極めて小型化することができる。
【００４３】
バネ部５２は、略四分円弧状に形成され、リング部５１と枠体部５０との間に配設されている。そして、バネ部５２の一端部は張出部５３においてリング部５１に接続され、他端部は隣接する張出部５３の近傍で枠体部５０に接続されている。
【００４４】
（モジュール下板、中間部材）
図７は、モジュール下板８及び中間部材８０の斜視図である。
図７に示すように、モジュール下板８は、電気絶縁性及び遮光性を有する樹脂材料で形成されている。モジュール下板８の外形は、モジュール枠５と同様に略矩形状に形成されている。モジュール下板８の中央には、レンズユニット１２を出し入れ可能な大きさの開口部（中央孔）８８が設けられている。
モジュール下板８の四隅には、モジュール枠５の下側固定ピン１４Ｂが挿入される貫通孔８Ｃと、レンズ枠４の下側固定ピン１３Ｂとの干渉を回避する凹部８Ｂとが形成されている。また、略矩形状のモジュール下板８における一方の対角線の両端部には、モジュール枠５の一対の位置決めピン１４Ｆと嵌合する一対の位置決め孔８Ｆが形成されている。
【００４５】
中間部材８０は、平板リング状に形成されて、図３に示すように下板バネ７とモジュール下板８との間に配設されている。中間部材８０の厚さは、下板バネ７の厚さより厚く形成されている。そして、モジュール下板８の硬度より中間部材８０の硬度の方が下板バネ７の硬度に近くなるように、中間部材８０が形成されている。本実施形態では、モジュール下板８が樹脂材料で形成されているのに対して、中間部材８０及び下板バネ７はともにステンレス等の金属材料で形成されている。すなわち中間部材８０の硬度は、下板バネ７の硬度と同じであり、モジュール下板８の硬度より高くなっている。なお各部材の硬度は、日本工業規格（ＪＩＳ）Ｇ０２０２に規定されたロックウエル硬さで定義することができる。
【００４６】
図７に戻り、中間部材８０は、リング部８１と、リング部８１の外周から半径方向外側に張り出した複数の張出部８３とを備えている。リング部８１には、レンズ枠４の下側固定ピン１３Ｂとの干渉を回避する切欠き部８２が形成されている。張出部８３には、モジュール枠５の下側固定ピン１４Ｂが挿入される貫通孔８４と、モジュール枠５の位置決めピン１４Ｆが挿入される位置決め孔８５とが設けられている。
【００４７】
図５に示すように、モジュール枠５の下側固定ピン１４Ｂは、下板バネ７、中間部材８０、モジュール下板８及び給電部材９を貫通している。この下側固定ピン１４Ｂの頭部１９が熱カシメされて、下板バネ７、中間部材８０、モジュール下板８及び給電部材９がモジュール枠５に固定されている。またレンズ枠４の下側固定ピン１３Ｂは、下板バネ７を貫通した後に、頭部１８が熱カシメされている。この下側固定ピン１３Ｂの頭部１８と中間部材８０及びモジュール下板８との干渉は、中間部材８０の切欠き部８２及びモジュール下板８の凹部８Ｂによって回避されている。
【００４８】
図７に戻り、中間部材８０は、モジュール下板８の表面に形成された陥没部８９の内側に配置されている。これにより、中間部材８０を採用した場合でも、駆動モジュールの大型化を回避することができる。また陥没部８９の深さは、中間部材８０の厚さと同等か、または同等以上に形成されている。これにより、中間部材８０がモジュール下板８の内部に配置されるので、下板バネ７をモジュール下板８の表面８ａに当接させた状態で、下板バネ７、中間部材８０及びモジュール下板８をモジュール枠５に固定することができる。したがって、中間部材８０を採用した場合でも、駆動モジュール１の高さ寸法の精度を確保することができる。
【００４９】
図８は、中間部材８０及びモジュール下板８を重ねた状態の平面図である。なお図８では、下板バネ７の外形を二点鎖線で示している。
中間部材８０のリング部８１の内径８１ｕは、下板バネ７のリング部５１の内径５１ｕ及びモジュール下板８の開口部８８の内径と同等に形成されている。また中間部材８０のリング部８１の外径８１ｓは、下板バネ７のバネ部５２の外径５２ｓ以上に形成されている。これにより、駆動モジュールにＺ方向の衝撃力が作用し、下板バネ７のバネ部５２がＺ方向に変位した場合でも、バネ部５２を中間部材８０に衝突させることが可能になり、バネ部５２がモジュール下板８に衝突するのを防止することができる。したがって、下板バネ７により中間部材８０が削り取られることはほとんどないので、削りカスの発生を抑制することができる。特に本実施形態では、下板バネ７及び中間部材８０が同じ金属材料で構成されているため、下板バネ７が中間部材８０に衝突しても、下板バネ７により中間部材８０が削り取られることはない。
【００５０】
なお中間部材８０のリング部８１の外径８１ｓは、下板バネ７の枠体部５０の内径５０ｕ以上に形成されていることが望ましい。これにより、駆動モジュールにＲ方向の衝撃力が作用し、下板バネ７のバネ部５２がＲ方向に変位した場合でも、バネ部５２を中間部材８０に衝突させることが可能になり、バネ部５２がモジュール下板８に衝突するのを防止することができる。特に本実施形態では、中間部材８０の厚さが下板バネ７の厚さより厚く形成されているため、下板バネ７のリング部５１が中間部材８０に当接する可能性が大きくなり、モジュール下板８に当接する可能性が小さくなる。
【００５１】
給電部材９は、金属板からなる一対の電極９ａ、９ｂから構成されている。電極９ａ，９ｂは、いずれも、モジュール下板８の外形に沿う略Ｌ字状の配線部９Ｂと、配線部９Ｂの端部からモジュール下板８の下方に突出する端子部９Ｃと、ワイヤ保持部材１５Ａの端子部１５ａに電気的接続される導電接続部９Ｄと、を備えている。なお、ワイヤ保持部材１５Ａの端子部１５ａと導電接続部９Ｄとの電気的接続手段としては、半田付けや導電性接着剤による接着等を採用することができる。
そして、それぞれの配線部９Ｂには貫通孔９Ａが設けられている。貫通孔９Ａは、モジュール下板８の下面から下方に突出されるモジュール枠５の下側固定ピン１４Ｂのうち、モジュール下板８の外形に沿って隣り合う２つの下側固定ピン１４Ｂを、それぞれ挿通させるものである。
【００５２】
ここで、上述したモジュール下板８及び中間部材８０には、駆動ユニット３１を下方から見て下板バネ７の内周部分を露出させる複数の切欠き部（孔部）９０，９１が形成されている。具体的に、これら切欠き部９０，９１は、モジュール下板８及び中間部材８０の内周縁から外側に向かって切り欠かれたものであり、モジュール下板８の対角線に一致するように周方向に沿って４ヶ所形成されている。各切欠き部９０，９１は、Ｒ方向を径方向とした円弧状に形成された円弧部９０ａ，９１ａと、円弧部９０ａ，９１ａの周方向両側から裾野状に広がった開放部９０ｂ，９１ｂとを有する略Ｌ字状に形成されている。すなわち、切欠き部９０，９１の開放部９０ｂ，９１ｂは、モジュール下板８及び中間部材８０の内周縁の一部を切り欠いて形成され、モジュール下板８の開口部８８に向かって開放されている。この場合、開放部９０ｂ，９１ｂは、モジュール下板８の対角線を中心軸にして９０度程度に開放されている。そして、切欠き部９０，９１から露出した下板バネ７の露出面９５は、後述するレーザー変位計によってモジュール下板８の裏面（以下、基準面９８という）からの高さを測定できるようになっている。
【００５３】
（駆動モジュールの動作）
次に、駆動モジュール１の動作につき、図２を用いて説明する。
給電部材９に電力が供給されていない状態では、レンズ枠４に対してコイルばね３８からの付勢力のみが作用している。このとき、レンズ枠４の−Ｚ方向への移動は、モジュール下板８によって規制されている。
給電部材９にスタンバイ用の電力を供給すると、ＳＭＡワイヤ１０が所定温度に発熱して収縮する。これにより、レンズ枠４が＋Ｚ方向に移動し、ＳＭＡワイヤ１０の張力とコイルばね３８の付勢力とが釣り合った所定位置（スタンバイ位置）で停止する。
給電部材９に駆動用の電力を供給すると、電力量に応じてＳＭＡワイヤ１０が発熱して伸縮する。これにより、ＳＭＡワイヤ１０の張力とコイルばね３８の付勢力とが釣り合う位置まで、レンズ枠４をＺ方向に移動させることができる。
【００５４】
すなわち、給電部材９に電力を供給すると、ＳＭＡワイヤ１０に電流が流れてジュール熱が発生し、ＳＭＡワイヤ１０の温度が上昇する。そして、ＳＭＡワイヤ１０の温度が変態開始温度を超えると、ＳＭＡワイヤ１０が温度に応じた長さに収縮する。ＳＭＡワイヤ１０は、両端部がワイヤ保持部材１５Ａ、１５Ｂを介してモジュール枠５に固定され、中間部がガイド突起４Ｄに係止されているので、収縮によってガイド突起４Ｄに発生力（駆動力）を及ぼし、ガイド突起４Ｄを軸線Ｍ方向に沿って上方（図４及び図５中の矢印＋Ｚ方向）に移動させることができる。
【００５５】
またレンズ枠４が移動すると、コイルばね３８が変形し、この変形量に応じた弾性復元力がレンズ枠４に作用する。この弾性復元力がＳＭＡワイヤ１０の張力と釣りあう位置で、レンズ枠４の移動が停止する。そして、給電部材９への電力供給量を調整し、ＳＭＡワイヤ１０の発熱量を制御することで、レンズ枠４を±Ｚ方向に移動させ、所定位置で停止させることができる。
【００５６】
（傾き測定方法）
次に、駆動ユニット３１のモジュール下板８に対する下板バネ７（レンズ枠４）の傾き測定方法について説明する。
本実施形態では、レーザー変位計を用いてモジュール下板８の基準面９８から下板バネ７の各露出面９５までの高さをそれぞれ測定し、それぞれの高さと測定地点（露出面９５）間の距離とに基づいて傾きを算出する。なお、レーザー変位計は、三角測量方式により基準面（モジュール下板８の基準面９８）から対象物（下板バネ７の露出面９５）までの高さ（段差）を測定するものである。具体的に、レーザー変位計の発光素子から出射されたレーザー光を基準面９８及び露出面９５に照射すると、基準面９８及び露出面９５から拡散反射された反射光成分の一部がＣＣＤ等の検出素子１０１により受光される。すると、検出素子１０１からは、基準面９８及び露出面９５上での光スポットの位置に応じた２つの出力信号が出力され、これらの２つの出力信号に基づいて基準面９８から露出面９５までの高さを検出する。なお、本実施形態のレーザー変位計の発光素子は、帯状のレーザー光Ｌ（図９参照）を照射するラインレーザーである。そして、レーザー光Ｌの長手方向に直交する一方側にレーザー光Ｌの反射光（拡散光）を受光する検出素子１０１が配置されている。
【００５７】
本実施形態では、図９に示すように、まず駆動ユニット３１を組み付けた後、モジュール下板８の基準面９８を上方に向けた状態でレーザー変位計との位置合わせを行う。具体的には、レーザー光Ｌの長手方向を、軸線Ｍを中心とする円の接線方向と平行に合わせるとともに、レーザー光Ｌに対してレンズ枠４の内側（軸線Ｍ側）に検出素子１０１が位置するように駆動ユニット３１を位置合わせする。そして、この状態で駆動ユニット３１の上方から駆動ユニット３１に向けてレーザー光Ｌを照射する。この場合、周方向で隣接する露出面９５に照射されるようにレーザー光Ｌを照射する。すると、基準面９８及び各露出面９５から拡散反射される反射光成分の一部がレーザー変位計の検出素子１０１で受光される。これにより、基準面９８及び露出面９５上での光スポットの位置に応じた２つの出力信号が生成され、これら出力信号に基づいて基準面９８から各露出面９５までの高さを測定できる。
【００５８】
このように、本実施形態では、帯状のレーザー光Ｌを照射することで、基準面９８と露出面９５とに対して一括してレーザー光Ｌを照射できる。そのため、一回のレーザー照射で測定地点の高さを測定できる。さらに、本実施形態では、隣接する露出面９５（図９中破線Ｌ参照）に対して一括してレーザー光Ｌを照射するため、複数ヶ所（２ヶ所）の測定地点の高さを一括して測定できる。そのため、各測定地点毎に高さを測定する場合に比べて、レーザーの照射回数を低減して製造効率を向上できる。
【００５９】
ところで、レーザー変位計により露出面９５の高さを測定する際に、露出面９５から拡散反射される反射光が切欠き部９０，９１を囲む周壁によって遮光される可能性がある。
これに対して、本実施形態の切欠き部９０，９１は、モジュール下板８の開口部８８に向かって開放する開放部９０ｂ，９１ｂを有しているため、露出面９５から拡散反射される反射光の一部が開放部９０ｂ，９１ｂを通過する。これにより、切欠き部９０，９１を単なる円形の孔に形成する場合に比べて、反射光の光量を増加できる。さらに、本実施形態では、レーザー変位計の検出素子１０１がレーザー光Ｌに対してレンズ枠４の内側、すなわち開放部９０ｂ，９１ｂ側に配置されているため、開放部９０ｂ，９１ｂを通過した反射光を効率的に受光できる。これにより、レーザー変位計の検出素子１０１で受光できる反射光の光量が増加するので、基準面９８から露出面９５までの高さをより高精度に測定できる。
【００６０】
次に、駆動ユニット３１を軸線Ｍ回りに回転させ、残り２つの露出面９５にレーザー光Ｌを照射し、基準面９８から各露出面９５までの高さを測定する。
【００６１】
続いて、レーザー変位計で測定した基準面９８から各露出面９５までの高さに基づいて、下板バネ７（レンズ枠４）の傾きを算出する。具体的に、下板バネ７の傾きθは、モジュール下板８の対角線上（Ｒ方向）で対向する露出面９５の高さをそれぞれＡ，Ｂ（図９参照）、露出面９５間の距離（測定位置間の距離）をＣ（図９参照）とすると、θ＝ａｒｃｔａｎ｛（Ｂ−Ａ）／Ｃ｝により求めることができる。なお、本実施形態では、４つの露出面９５のうち、モジュール下板８の対角線上で対向する２点ずつを用いて２本の傾きθｘ，θｙを測定する。この際、下板バネ７はレンズ枠４の下面に接続されているので、下板バネ７の傾きとレンズ枠４の傾きとは同等になる。
以上により、モジュール下板８に対する下板バネ７（レンズ枠４）の傾きを測定できる。
【００６２】
そして、上述した２本の傾きθｘ，θｙからモジュール下板８に対する下板バネ７（レンズ枠４）の面全体の傾きθｚを算出する。θｚは、θｚ＝√（θｘ＾２＋θｙ＾２）により求めることができる。そして、算出した傾きが規格内に収まっているか否かを検査し、規格に収まっているもののみを製品として流通させる。
【００６３】
このように、本実施形態では、モジュール下板８及び中間部材８０に切欠き部９０，９１を形成し、駆動ユニット３１の下方から見て下板バネ７を露出させる構成とした。
この構成によれば、例えば三角測量方式のレーザー変位計等によりレンズ枠４の傾きを測定する際に、レンズ枠４に接続された下板バネ７の露出面９５を傾き測定用の測定面とすることができる。したがって、モジュール下板８の基準面９８に対する下板バネ７の露出面９５の高さ（位置）に基づいて、レンズ枠４の傾きを高精度に検出できるので、良品と不良品とを正確に判断できる。よって、方ボケ等の可能性が少ない高品質な駆動モジュール１を提供できる。
しかも、従来のレーザー光の正反射を用いて測定する方法ように、レンズ枠２００に擬似レンズやレンズユニットを組み込むことなく、傾きを測定できるので、削りカスの発生を抑制できる。さらに、レンズユニットをレンズ枠４に組付ける前に不良品であるか否かを早期に判断できるので、製造効率の低下を抑制できるとともに、不良品をレンズユニットごと廃棄することがないので、不良品コストを削減できる。また、測定された傾きは擬似レンズやレンズユニット自体の傾きを含まないので、より精度の高い傾き測定を行うことができる。
【００６４】
さらに、本実施形態では、切欠き部９０，９１を規制部材及び中間部材８０の周方向に沿って４ヶ所形成しているため、下板バネ７の周方向において２ヶ所以上の傾きθｘ，θｙを算出できる。そして、算出した複数の傾きθｘ，θｙに基づいて下板バネ７の面全体の傾きθｚを測定でき、より精度の高い傾き測定を行うことができる。
【００６５】
ところで、本実施形態のように、一本のＳＭＡワイヤ１０でレンズ枠４を駆動させる構造では、構造が簡単で制御も簡単になるが、レンズ枠４は片持ち支持となる。この場合、ＳＭＡワイヤ１０の弾性係数にもよるが、一般的には吊り上げ側（ガイド突起４Ｄが形成された側）と、その反対側との間で傾きが大きくなり易い。
これに対して、本実施形態では、レンズ枠４のガイド突起４Ｄの対角線上（ガイド突起４Ｄ及び軸線Ｍを含む平面と、モジュール下板８との交線上）に切欠き部９０，９１を形成することで、下板バネ７（レンズ枠４）における傾きの最大値を検出できる。これにより、下板バネ７（レンズ枠４）の傾きが規格内に収まっているか否かを正確に判断できるので、より信頼性の高い製品を提供できる。
【００６６】
（電子機器）
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について説明する。なお、本実施形態では、電子機器の一例として、上述した実施形態の駆動モジュール１を備えたカメラ付き携帯電話を例に挙げて説明する。図１１は、カメラ付き携帯電話２０の説明図である。なお、図１１（ａ）は、カメラ付き携帯電話２０の表側の外観斜視図である。図１１（ｂ）は、カメラ付き携帯電話２０の裏側の外観斜視図である。図１１（ｃ）は、図１１（ｂ）のＦ−Ｆ線における断面図である。
【００６７】
図１１（ａ）に示すように、本実施形態のカメラ付き携帯電話２０は、受話部２２ａと、送話部２２ｂと、操作部２２ｃと、液晶表示部２２ｄと、アンテナ部２２ｅと、不図示の制御回路部等の周知の携帯電話の電子部と、をカバー２２内外に備えている。
【００６８】
図１１（ｂ）に示すように、液晶表示部２２ｄが設けられた側の裏面側のカバー２２には、外光を透過させる窓２２Ａが設けられている。そして、図１１（ｃ）に示すように、駆動モジュール１の開口１１Ａが、カバー２２の窓２２Ａを臨み、この窓２２Ａの法線方向に軸線Ｍが沿うように駆動モジュール１が設置されている。なお駆動モジュール１は、基板２に機械的及び電気的に接続されている。基板２は、不図示の制御回路部に接続され、駆動モジュール１に電力を供給できるようになっている。
【００６９】
このように構成されているので、窓２２Ａを透過した光を駆動モジュール１の不図示のレンズユニットで集光し、撮像素子２３上に結像することができる。そして、駆動モジュール１に制御回路部から適宜の電力を供給することで、レンズユニットを軸線Ｍ方向に駆動し、焦点位置調整を行って、撮影を行うことができる。
【００７０】
特に、本実施形態のカメラ付き携帯電話２０は、レンズ枠４の傾きが少ない高品質な駆動モジュール１を備えているので、高品質な画像の撮影が可能であり、動作の信頼性に優れたカメラ付き携帯電話２０を提供することができる。
【００７１】
なお、本発明の技術範囲は上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、ＳＭＡワイヤ１０を利用してガイド突起４Ｄに発生力を及ぼすことで、レンズ枠４を軸線Ｍ方向に駆動した構成としたが、この場合に限られず、ソレノイドや圧電アクチュエータ等をアクチュエータとして利用することでレンズ枠４を駆動させても構わない。
【００７２】
また、上述した実施形態では、接続部材である上板バネ６、下板バネ７に上側固定ピン１３Ａ、１４Ａ、下側固定ピン１３Ｂ、１４Ｂを挿通させて、これら固定ピンの先端部を熱かしめする場合の例で説明したが、接続部材の固定方法は、これに限定されない。例えば、超音波かしめ等で固定しても良いし、接続部材を、レンズ枠４やモジュール枠５に接着しても良い。この場合には、大きな接着面積が確保できるので接着剤を用いても大きな強度が得られる。
また、上述した実施形態では、モジュール枠５を、全体として略矩形状の部材として説明したが、略矩形状には限定されず、多角形状であっても良い。
【００７３】
また、上述した実施形態では、駆動モジュール１をレンズユニットの焦点位置調整機構に用いる場合の例で説明したが、駆動モジュール１の用途はこれに限定されず、被駆動体を目標位置に移動させる適宜のアクチュエータとして他の部分に用いても良い。例えば、レンズユニットに代えて、ロッド部材等を螺合したり、レンズ枠４を他の形状に変えたりして、適宜のアクチュエータとして用いることができる。すなわち、被駆動体は、筒状の部材に限定されず、柱状の部材であっても良い。
【００７４】
また、上述した実施形態では、駆動モジュール１を用いた電子機器として、カメラ付き携帯電話２０の例で説明したが、電子機器の種類はこれに限定されない。例えば、デジタルカメラ、パソコン内蔵のカメラ等の光学機器に用いても良いし、情報読取記憶装置やプリンタ等の電子機器において、被駆動体を目標位置に移動させるアクチュエータとしても用いることができる。
【００７５】
また、本実施形態では、帯状のレーザー光Ｌを照射する２次元タイプのレーザー変位計を用い、複数ヶ所（２ヶ所）の測定地点の高さを一括して測定する場合について説明したが、一ヶ所毎測定しても構わない。
さらに、上述した実施形態では、帯状のレーザー光Ｌを照射する２次元タイプのレーザー変位計により傾きを測定する場合について説明したが、これに限らず、レーザー光を一点に集光させるスポットタイプのレーザー変位計を用いても構わない。ただし、本実施形態のように、２次元タイプのレーザー変位計を用いることで、レーザーを走査する等の必要なく、複数ヶ所での変位を一括して測定できるので、製造効率の向上を図ることができる。
【００７６】
また、渦電流方式や静電容量方式、超音波方式等、各種の非接触変位計を用いて傾きを測定することが可能である。
さらに、上述した実施形態では、三角測量方式のレーザー変位計を用い、一つの露出面９５で、単に基準面９８から各露出面９５までの高さを測定し、各露出面９５で測定された高さに基づいて、モジュール下板８に対する下板バネ７（レンズ枠４）の傾きを算出した。
しかしながら、これに限らず、レーザー変位計（測定装置）に対する露出面９５の絶対位置を測定してもよく、また露出面９５から正反射される反射光を受光して一つの露出面９５で傾きまで測定しても構わない。
【００７７】
また、上述した実施形態では、モジュール下板８と下板バネ７との間に中間部材８０を設ける構成について説明したが、中間部材８０を設けない構成としてもよい。
【００７８】
さらに、切欠き部９０，９１は、４つに限られることはなく、３つ以下でもよいし、５つ以上でも構わない。この場合、上述したように少なくともレンズ枠４の対角線上に切欠き部を配置することが好ましい。
また、切欠き部９０，９１を２ヶ所のみ設ける場合には、レンズ枠４の対角線上に切欠き部を配置することが好ましい。これにより、下板バネ７（レンズ枠４）における傾きの最大値を検出できる。
【００７９】
また、本実施形態では、切欠き部９０，９１がモジュール下板８の開口部８８に向けて開放された開放部９０ｂ，９１ｂを有する構成としたが、下板バネ７が露出する露出面９５を有する構成であれば、適宜設計変更が可能である。例えば、単にモジュール下板９及び中間部材８０を厚さ方向に貫通する貫通孔であっても構わない。
さらに、上述した実施形態では、下板バネ７の露出面９５を傾き測定面とした場合について説明したが、これに限らず、レンズ枠４を露出させてレンズ枠４自体を傾き測定面に設定しても構わない。また、レンズ枠４に接続された各構成品のうち、モジュール下板８に切欠き部９０，９１を形成することで、モジュール下板８から露出可能な構成品を傾き測定の測定面に設定できる。
また、傾き測定用の接続部材をレンズ枠４に別体で設け、この接続部材を切欠き部９０，９１から露出させる構成にしても構わない。
【符号の説明】
【００８０】
１…駆動モジュール  ４…レンズ枠（被駆動体）４Ｄ１…ガイド突起（突起部）  ５…モジュール枠（支持体）  ７…下板バネ（接続部材）  ８…モジュール下板（規制部材）  １０…ＳＭＡワイヤ（駆動手段）  ２０…カメラ付き携帯電話（電子機器）  ８８…開口部（中央孔）  ９０，９１…切欠き部（孔部）  ９５…露出面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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