(57)【要約】【課題】組み立て効率の良い構成を有し、且つ、収差を良好に補正する顕微鏡対物レンズを提供する。【解決手段】物体側から順に、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分Ｌ１からなる正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、複数のレンズ成分（ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＬ３）からなる正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分ＣＬ４からなる第３レンズ群Ｇ３とを含み、ｆ１を第１レンズ群の焦点距離、ｆ２を第２レンズ群の焦点距離、ｆ２ｘを第２レンズ群に含まれる最も焦点距離の短いレンズ成分の焦点距離、ｆ３を第３レンズ群の焦点距離、Ｆを顕微鏡対物レンズ１１の焦点距離とするとき、以下の条件式  １＜ｆ１／Ｆ＜３  ２＜ｆ２／Ｆ＜５  ６＜ｆ２ｘ／Ｆ＜１０  ｜ｆ３／Ｆ｜＞１５を満たすように、顕微鏡対物レンズ１１を構成する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、
物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分からなる正の屈折力を有する第１レンズ群と、
複数のレンズ成分からなる正の屈折力を有する第２レンズ群と、
像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分からなる第３レンズ群と、を含み、
ｆ１を前記第１レンズ群の焦点距離とし、ｆ２を前記第２レンズ群の焦点距離とし、ｆ２ｘを前記第２レンズ群に含まれる最も焦点距離の短いレンズ成分の焦点距離とし、ｆ３を前記第３レンズ群の焦点距離とし、Ｆを前記顕微鏡対物レンズの焦点距離とするとき、以下の条件式
１＜ｆ１／Ｆ＜３
２＜ｆ２／Ｆ＜５
６＜ｆ２ｘ／Ｆ＜１０
｜ｆ３／Ｆ｜＞１５
を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】
請求項１に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
ｒ１１を前記第１レンズ群の前記メニスカスレンズ成分の物体側の曲率半径とし、ｒ１２を前記第１レンズ群の前記メニスカスレンズ成分の像側の曲率半径とし、ｈ１１を前記第１レンズ群の前記メニスカスレンズ成分の物体側の面での最大光線高とし、ｈ１２を前記第１レンズ群の前記メニスカスレンズ成分の像側の面での最大光線高とするとき、以下の条件式
０．８＜ｒ１１／ｒ１２＜１．５
２．５＜（ｈ１２／ｒ１２）／（ｈ１１／ｒ１１）＜４
を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
ｒ３１を前記第３レンズ群の前記メニスカスレンズ成分の物体側の曲率半径とし、ｒ３２を前記第３レンズ群の前記メニスカスレンズ成分の像側の曲率半径とし、ｈ３２を前記第３レンズ群の前記メニスカスレンズ成分の像側の面での最大光線高とするとき、以下の条件式
１．１＜ｒ３１／ｒ３２＜２
０．４＜ｈ３２／ｒ３２＜０．６
を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
前記第２レンズ群に含まれる前記複数のレンズ成分の各々は、接合レンズであることを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
θ３ｏｕｔを、射出面の法線を基準とした前記第３レンズ群の前記メニスカスレンズ成分から射出される軸上メリディオナル光線の射出角度とし、θｉｎｏｕｔを、前記第２レンズ群に含まれるレンズ成分の各々における、入射面の法線を基準とした当該レンズ成分に入射する軸上メリディオナル光線の入射角度と射出面の法線を基準とした当該レンズ成分から射出する軸上メリディオナル光線の射出角度との和とするとき、以下の条件式
２０°＜｜θ３ｏｕｔ｜＜３５°
５°＜｜θｉｎｏｕｔ｜＜３５°
を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
前記第１レンズ群の前記メニスカスレンズ成分は、単一のメニスカスレンズであることを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、
前記第３レンズ群の前記メニスカスレンズ成分の像側の前記凹面は、前記第３レンズ群の前記メニスカスレンズ成分の物体側の凸面に比べて、より強い屈折力を有することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【請求項８】
顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、
メニスカスレンズ成分からなる正の屈折力を有する第１レンズ群と、
複数の接合レンズ成分からなる正の屈折力を有する第２レンズ群と、
像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分からなる第３レンズ群と、を含むことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【請求項９】
請求項８に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、さらに、
前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、及び前記第３レンズ群を保持する円筒形状の金属部材と、
前記金属部材を保持する円筒形状の外筒と、を含み、
前記第１レンズ群は、前記金属部材に接着され、
前記金属部材の外側面は、前記外筒の内側面に勘合されることを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【請求項１０】
請求項９に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、さらに、
前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群に含まれる各レンズ成分間の間隔を確保するスペーサと、
前記第３レンズ群を前記スペーサに押し付ける固定リングと、を含むことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【請求項１１】
請求項９に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、さらに、
前記第２レンズ群に含まれる各レンズ成分間の間隔を確保するスペーサと、
前記第２レンズ群を前記スペーサに押し付ける第１の固定リングと、
前記第３レンズ群を前記金属部材に押し付ける第２の固定リングと、を含むことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
光学機器に用いられる対物レンズには、収差を良好に補正する性能とともに、コストを抑えて効率的に製造できる構成が求められている。一般に、対物レンズの組み立てなどの製造過程で生じる誤差（以降、製造誤差と記す。）による各レンズの偏心は、対物レンズの性能の劣化を引き起こす。このため、良好な収差性能を実現するためには、通常、心調整を伴う高精度の組み立てが必要であり、製造コストを抑制することが難しい。
【０００３】
しかしながら、レンズの偏心に対する性能の劣化（以降、偏心敏感度と記す。）を抑えることができれば、良好な収差性能を実現するために必要な組み立ての精度を低く抑えることが可能であり、比較的低コストで対物レンズを製造することができる。このような対物レンズに関する技術は、例えば、特許文献１で開示されている。
【０００４】
特許文献１では、対物レンズを構成する各レンズ面に入射する光線の角度を適正な範囲に制限する技術が開示されている。特許文献１に開示される対物レンズによれば、特定のレンズ面に屈折力が集中することを防ぐことが可能であり、それにより、対物レンズの偏心敏感度を低下させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３５０７２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１に例示される開示される対物レンズは、アライメント用の対物レンズである。アライメント用の対物レンズでは、顕微鏡対物レンズと異なり、比較的狭い特定の波長域に対してのみ良好に色収差が補正されればよく、また、像高が小さくてもよい。さらに、全長に関する制約も比較的緩やかである。
【０００７】
これに対して、顕微鏡内に配置される顕微鏡対物レンズの場合、全長に関する制約が厳しいため、所定の焦点距離を有し、且つ、良好に収差を補正するコンパクトな構成が必要である。また、広い波長域で良好に色収差を補正する性能や広い視野でのフラットネスも必要となる。このため、特許文献１に開示される技術を、顕微鏡対物レンズに適用することは困難である。
【０００８】
一般に、顕微鏡対物レンズでは、レンズ面に入射する光線の角度及びレンズの屈折率が大きくなり、偏心敏感度が高くなる。その結果、収差を良好に補正するためには、心調整を伴う高精度な組み立てが必要となり、収差を良好に補正する性能と偏心敏感度を抑えた組み立て効率の良い構成とを両立することが難しい。
以上のような実情を踏まえ、本発明では、組み立て効率の良く、且つ、収差を良好に補正する顕微鏡対物レンズを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の態様は、顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分からなる正の屈折力を有する第１レンズ群と、複数のレンズ成分からなる正の屈折力を有する第２レンズ群と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分からなる第３レンズ群と、を含み、ｆ１を第１レンズ群の焦点距離とし、ｆ２を第２レンズ群の焦点距離とし、ｆ２ｘを第２レンズ群に含まれる最も焦点距離の短いレンズ成分の焦点距離とし、ｆ３を第３レンズ群の焦点距離とし、Ｆを顕微鏡対物レンズの焦点距離とするとき、以下の条件式
１＜ｆ１／Ｆ＜３
２＜ｆ２／Ｆ＜５
６＜ｆ２ｘ／Ｆ＜１０
｜ｆ３／Ｆ｜＞１５
を満たす顕微鏡対物レンズを提供する。
【００１０】
本発明の第２の態様は、第１の態様に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、ｒ１１を第１レンズ群のメニスカスレンズ成分の物体側の曲率半径とし、ｒ１２を第１レンズ群のメニスカスレンズ成分の像側の曲率半径とし、ｈ１１を第１レンズ群のメニスカスレンズ成分の物体側の面での最大光線高とし、ｈ１２を第１レンズ群のメニスカスレンズ成分の像側の面での最大光線高とするとき、以下の条件式
０．８＜ｒ１１／ｒ１２＜１．５
２．５＜（ｈ１２／ｒ１２）／（ｈ１１／ｒ１１）＜４
を満たす顕微鏡対物レンズを提供する。
【００１１】
本発明の第３の態様は、第１の態様または第２の態様に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、ｒ３１を第３レンズ群のメニスカスレンズ成分の物体側の曲率半径とし、ｒ３２を第３レンズ群のメニスカスレンズ成分の像側の曲率半径とし、ｈ３２を第３レンズ群のメニスカスレンズ成分の像側の面での最大光線高とするとき、以下の条件式
１．１＜ｒ３１／ｒ３２＜２
０．４＜ｈ３２／ｒ３２＜０．６
を満たす顕微鏡対物レンズを提供する。
【００１２】
本発明の第４の態様は、第１の態様乃至第３の態様のいずれか１つに記載の顕微鏡対物レンズにおいて、第２レンズ群に含まれる複数のレンズ成分の各々は、接合レンズである顕微鏡対物レンズを提供する。
【００１３】
本発明の第５の態様は、第１の態様乃至第４の態様のいずれか１つに記載の顕微鏡対物レンズにおいて、θ３ｏｕｔを、射出面の法線を基準とした第３レンズ群のメニスカスレンズ成分から射出される軸上メリディオナル光線の射出角度とし、θｉｎｏｕｔを、第２レンズ群に含まれるレンズ成分の各々における、入射面の法線を基準としたそのレンズ成分に入射する軸上メリディオナル光線の入射角度と射出面の法線を基準としたそのレンズ成分から射出する軸上メリディオナル光線の射出角度との和とするとき、以下の条件式
２０°＜｜θ３ｏｕｔ｜＜３５°
５°＜｜θｉｎｏｕｔ｜＜３５°
を満たす顕微鏡対物レンズを提供する。
【００１４】
本発明の第６の態様は、第１の態様乃至第５の態様のいずれか１つに記載の顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群のメニスカスレンズ成分は、単一のメニスカスレンズである顕微鏡対物レンズを提供する。
【００１５】
本発明の第７の態様は、第１の態様乃至第６の態様のいずれか１つに記載の顕微鏡対物レンズにおいて、第３レンズ群のメニスカスレンズ成分の像側の凹面は、第３レンズ群のメニスカスレンズ成分の物体側の凸面に比べて、より強い屈折力を有する顕微鏡対物レンズを提供する。
【００１６】
本発明の第８の態様は、顕微鏡対物レンズであって、物体側から順に、メニスカスレンズ成分からなる正の屈折力を有する第１レンズ群と、複数の接合レンズ成分からなる正の屈折力を有する第２レンズ群と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分からなる第３レンズ群と、を含む顕微鏡対物レンズを提供する。
【００１７】
本発明の第９の態様は、第８の態様に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、さらに、第１レンズ群、第２レンズ群、及び第３レンズ群を保持する円筒形状の金属部材と、金属部材を保持する円筒形状の外筒と、を含み、第１レンズ群は、金属部材に接着され、金属部材の外側面は、外筒の内側面に勘合される顕微鏡対物レンズを提供する。
【００１８】
本発明の第１０の態様は、第９の態様に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、さらに、第２レンズ群及び第３レンズ群に含まれる各レンズ成分間の間隔を確保するスペーサと、第３レンズ群をスペーサに押し付ける固定リングと、を含む顕微鏡対物レンズを提供する。
【００１９】
本発明の第１１の態様は、第９の態様に記載の顕微鏡対物レンズにおいて、さらに、第２レンズ群に含まれる各レンズ成分間の間隔を確保するスペーサと、第２レンズ群をスペーサに押し付ける第１の固定リングと、第３レンズ群を金属部材に押し付ける第２の固定リングと、を含む顕微鏡対物レンズを提供する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、組み立て効率が良く、且つ、収差を良好に補正する顕微鏡対物レンズを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施例に係る顕微鏡対物レンズの断面図である。
【図２】本発明の他の一実施例に係る顕微鏡対物レンズの断面図である。
【図３】実施例１に係る顕微鏡対物レンズの断面図である。
【図４】実施例１に係る結像レンズの断面図である。
【図５】図３に例示される顕微鏡対物レンズと図４に例示される結像レンズを組み合わせたときの収差図である。
【図６】実施例２に係る顕微鏡対物レンズの断面図である。
【図７】実施例２に係る結像レンズの断面図である。
【図８】図６に例示される顕微鏡対物レンズと図７に例示される結像レンズを組み合わせたときの収差図である。
【図９】実施例３に係る顕微鏡対物レンズの断面図である。
【図１０】図９に例示される顕微鏡対物レンズと図７に例示される結像レンズを組み合わせたときの収差図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
まず、本発明の各実施例に係る顕微鏡対物レンズに共通する構成及び作用について説明する。
【００２３】
本発明の各実施例に係る顕微鏡対物レンズは、いずれも、物体側から順に、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分からなる正の屈折力を有する第１レンズ群と、複数のレンズ成分からなる正の屈折力を有する第２レンズ群と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分からなる第３レンズ群と、を含んで構成されている。
【００２４】
より具体的には、第１レンズ群に含まれるメニスカスレンズ成分は、単一のメニスカスレンズとして構成される。第２レンズ群に含まれる複数のレンズ成分の各々は、すべて接合レンズとして構成される。それらの接合レンズは、いずれも、物体側から負レンズと正レンズから構成され、比較的弱い正の屈折力を有している。
【００２５】
なお、本明細書において、“レンズ成分”という用語は、単レンズ、接合レンズを問わず、一塊のレンズを意味する。従って、各レンズ成分は、他のレンズ成分と間隔をあけて配置されていて、他のレンズ成分から独立している。
次に、各レンズ群の作用について説明する。
【００２６】
第１レンズ群は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分により構成されることで、顕微鏡対物レンズを物体側でテレセントリックな構成とし、且つ、顕微鏡対物レンズの開口数を確保している。第１レンズ群は、その正の屈折力により、物体から放射された光線に対して収束させる方向に作用し、光線高を抑えた状態で光線を第２レンズ群に向けて射出する。
【００２７】
第２レンズ群は、第１レンズ群から射出された光線を、比較的弱い正の屈折力を有する各レンズ成分（接合レンズ）の光学面で徐々に屈折させる。このように各レンズ成分で少しずつ光線を屈折させることで、各レンズ成分での収差の発生を抑制しながら光線を収束させることができるとともに、各レンズ成分の偏心敏感度を抑えることができる。第２レンズ群から射出された光線は、第３レンズ群に入射する。
【００２８】
第３レンズ群は、物体側の凸面の正の屈折力と像側の凹面の負の屈折力により、第２レンズ群から射出された光線の光束を狭めて、無限遠補正された光束を結像レンズに向けて射出する。また、第３レンズ群のメニスカスレンズ成分では、像側の凹面が物体側の凸面に比べて強い屈折力を有している。このため、ペッツバール和が小さくなり、像面湾曲が抑制される。
【００２９】
また、顕微鏡対物レンズは、下記の条件式を満たすように構成されている。
１＜ｆ１／Ｆ＜３                                          ・・・（１）
２＜ｆ２／Ｆ＜５                                          ・・・（２）
６＜ｆ２ｘ／Ｆ＜１０                                      ・・・（３）
｜ｆ３／Ｆ｜＞１５                                        ・・・（４）
但し、ｆ１は、第１レンズ群の焦点距離であり、ｆ２は、第２レンズ群の焦点距離であり、ｆ２ｘは、第２レンズ群に含まれる最も焦点距離の短い、つまり、最も屈折力の強いレンズ成分の焦点距離であり、ｆ３は、第３レンズ群の焦点距離であり、Ｆは、顕微鏡対物レンズの焦点距離である。
【００３０】
条件式（１）は、第１レンズ群の屈折力を規定する式である。上限値を超えると第１レンズ群の屈折力が不足するため、第２レンズ群、第３レンズ群での光線高が高くなり、第２レンズ群、第３レンズ群で生じる収差量が増加してしまう。一方、下限値を下回ると第１レンズ群の屈折力が過剰になるため、第１レンズ群で生じる球面収差、コマ収差、色収差が増加し、第２レンズ群、第３レンズ群での補正が困難となる。また、第１レンズ群の偏心敏感度も上昇する。
なお、条件式（１）は条件式（１‐１）でもよく、条件式（１‐２）であればより望ましい。
１．１＜ｆ１／Ｆ＜２．５                                  ・・・（１‐１）
１．２＜ｆ１／Ｆ＜２                                      ・・・（１‐２）
【００３１】
条件式（２）は、第２レンズ群の屈折力を規定する式である。上限値を超えると第２レンズ群の屈折力が不足するため、光線を十分に収束させることが困難となる。また、第２レンズ群及び第３レンズ群の各レンズ成分に大きな有効径が必要となり、顕微鏡対物レンズが大型化する。一方、下限値を下回ると第２レンズ群の屈折力が過剰になるため、第２レンズ群の各レンズ成分に対する光線の入射角度及び射出角度が大きくなる。その結果、第２レンズ群の各レンズ成分の偏心敏感度が上昇する。
【００３２】
条件式（３）は、第２レンズ群のレンズ成分のうち、最も屈折力の強い（最も焦点距離の短い）レンズ成分の屈折力を規定する式であり、最も屈折力が強いレンズ成分でさえも比較的屈折力が小さいことを示している。上限値を超えると屈折力が不足するため、第２レンズ群から射出される光線の光線高が高くなり、第３レンズ群での収差補正が困難となる。一方、下限値を下回ると屈折力が過剰になるため、第２レンズ群の他のレンズ成分による軸上収差の補正が困難となる。また、第２レンズ群、特に、当該レンズ成分の偏心敏感度が上昇する。
なお、条件式（３）は条件式（３‐１）でもよく、条件式（３‐２）であればより望ましい。
６．５＜ｆ２ｘ／Ｆ＜９．５                                ・・・（３‐１）
７＜ｆ２ｘ／Ｆ＜８                                        ・・・（３‐２）
【００３３】
条件式（４）は、第３レンズ群の屈折力を規定する式である。下限値を下回ると第３レンズ群の屈折力が過剰になり、第３レンズ群の偏心敏感度が上昇する。
なお、条件式（４）は条件式（４‐１）でもよく、条件式（４‐２）であればより望ましい。
｜ｆ３／Ｆ｜＞２０                                        ・・・（４‐１）
｜ｆ３／Ｆ｜＞３０                                        ・・・（４‐２）
以上の条件式を満たすことで、顕微鏡対物レンズは、偏心敏感度が低く抑えられるため、高い組み立て効率を実現し、且つ、収差を良好に補正することができる。また、これらの条件式を満たす顕微鏡対物レンズは、心調整が不要であるので、組み立て難易度が低い。従って、組み立てに高度な技術を必要としないため、高い組み立て効率とともに、製造コストの低下に寄与する。また、偏心敏感度が低いため、振動にも強く、耐衝撃性にも優れている。
【００３４】
また、顕微鏡対物レンズは、下記の条件式を満足することが望ましい。
０．８＜ｒ１１／ｒ１２＜１．５                            ・・・（５）
２．５＜（ｈ１２／ｒ１２）／（ｈ１１／ｒ１１）＜４        ・・・（６）
但し、ｒ１１は第１のレンズ群のメニスカスレンズ成分の物体側の曲率半径であり、ｒ１２は第１のレンズ群のメニスカスレンズ成分の像側の曲率半径であり、ｈ１１は第１のレンズ群のメニスカスレンズ成分の物体側の面での最大光線高であり、ｈ１２は第１のレンズ群のメニスカスレンズ成分の像側の面での最大光線高である。
なお、ここで最大光線高とは、軸上光線、軸外光線、主光線、マージナル光線を問わない任意の光線の最大光線高である。
【００３５】
条件式（５）は、第１レンズ群のメニスカスレンズ成分の像側面（像側の凸面）に対する物体側面（物体側の凹面）の曲率半径の比を規定する式である。上限値を超えると、第１レンズ群の光線に対する収束作用が比較的大きくなり、屈折力が過剰となる。このため、第１レンズ群で生じる球面収差が増加し、第２レンズ群、第３レンズ群での補正が困難となる。また、第１レンズ群の偏心敏感度も上昇する。一方、下限を下回ると、第１レンズ群の光線に対する発散作用が比較的大きくなり、屈折力が不足する。このため、第２レンズ群、第３レンズ群での光線高が高くなり、第２レンズ群、第３レンズ群で球面収差を十分に補正できない。また、第２レンズ群、第３レンズ群の偏心敏感度も上昇する。さらに、第１レンズ群の物体側面（凹面）での負の屈折力が不足するため、ペッツバール和が十分に小さくならず、像面湾曲が発生してフラットネスを確保できない。
なお、条件式（５）は条件式（５‐１）であればより望ましい。
０．８５＜ｒ１１／ｒ１２＜１．３５                        ・・・（５‐１）
【００３６】
条件式（６）は、第１レンズ群のメニスカスレンズ成分の物体面に対する像側面の球欠（最大光線高/曲率半径）の比を規定する式である。上限値を超えると像面側の球欠が深くなり、偏心敏感度が高くなる。一方、下限値を超えると物体面の球欠が深くなり、第１レンズ群の光線に対する発散作用が比較的大きくなる。このため、第２レンズ群及び第３レンズ群での光線高が高くなり、収差補正が困難になる。
なお、条件式（６）は条件式（６‐１）であればより望ましい。
２．６＜（ｈ１２／ｒ１２）／（ｈ１１／ｒ１１）＜３．７    ・・・（６‐１）
【００３７】
また、顕微鏡対物レンズは、下記の条件式を満足することが望ましい。
１．１＜ｒ３１／ｒ３２＜２                                ・・・（７）
０．４＜ｈ３２／ｒ３２＜０．６                            ・・・（８）
但し、ｒ３１は第３レンズ群のメニスカスレンズ成分の物体側の曲率半径であり、ｒ３２は第３レンズ群のメニスカスレンズ成分の像側の曲率半径であり、ｈ３２は第３のレンズ群のメニスカスレンズ成分の像側の面での最大光線高である。
【００３８】
条件式（７）は、第３レンズ群のメニスカスレンズ成分の像側面に対する物体側面の曲率半径の比を規定する式である。上限値を超えると像側面（凹面）の負の屈折力が相対的に強くなすぎるため、コマ収差が発生する。また、第３レンズ群の偏心敏感度も高くなる。一方、下限値を下回ると像側面（凹面）の負の屈折力が相対的に弱くなりすぎるため、ペッツバール和が十分に小さくならず、像面湾曲が発生してフラットネスを確保できない。
なお、条件式（７）は条件式（７‐１）であればより望ましい。
１．２＜ｒ３１／ｒ３２＜１．９                            ・・・（７‐１）
【００３９】
条件式（８）は、第３群レンズ群のメニスカスレンズ成分の像側面の球欠（最大光線高/曲率半径）を規定する式である。上限値を超えると、光線が曲がりすぎてコマ収差が発生する。また、第３レンズ群の偏心敏感度も大きくなる。下限値を下回ると、負の屈折力が不足するため、ペッツバール和が十分に小さくならず、像面湾曲が発生してフラットネスを確保できない。
なお、条件式（８）は条件式（８‐１）であればより望ましい。
０．４２＜ｈ３２／ｒ３２＜０．５８                        ・・・（８‐１）
【００４０】
また、顕微鏡対物レンズは、下記の条件式を満足することが望ましい。
２０°＜｜θ３ｏｕｔ｜＜３５°                            ・・・（９）
５°＜｜θｉｎｏｕｔ｜＜３５°                            ・・・（１０）
但し、θ３ｏｕｔは、射出面の法線を基準とした第３レンズ群のメニスカスレンズ成分から射出される軸上メリディオナル光線の射出角度であり、θｉｎｏｕｔは、第２レンズ群に含まれるレンズ成分の各々における、入射面の法線を基準とした当該レンズ成分に入射する軸上メリディオナル光線の入射角度と射出面の法線を基準とした当該レンズ成分から射出する軸上メリディオナル光線の射出角度との和である。
【００４１】
条件式（９）は、第３レンズ群からの出射光線の角度を規定する式である。上限値を超えると光線が曲がりすぎてコマ収差が発生する。一方、下限値を下回ると射出面（凹面）の負屈折力が不足するため、ペッツバール和が十分に小さくならず、像面湾曲が発生してフラットネスを確保できない。
なお、条件式（９）は条件式（９‐１）であればより望ましい。
２３°＜｜θ３ｏｕｔ｜＜３３°                            ・・・（９‐１）
【００４２】
条件式（１０）は、第２レンズ群の各レンズ成分への入射角度と出射角度の和を規定する式である。第２レンズ群の各レンズ成分は、それぞれ条件式（１０）を満すことが望ましい。上限値を超えると各レンズ成分での光線角度が大きくなるので、各レンズ成分の偏心敏感度が大きくなる。一方、下限値を下回ると光線を十分に曲げることができないため、光線を収束させるために多くのレンズが必要となり、レンズ枚数が増加する。
なお、条件式（１０）は条件式（１０‐１）であればより望ましい。
１０°＜｜θｉｎｏｕｔ｜＜３２°                          ・・・（１０‐１）
なお、条件式（５）から条件式（１０）の任意に組み合わせが、条件式（１）から条件式（４）を満たす顕微鏡対物レンズに適用されてもよい。
【００４３】
次に、組み立てられた顕微鏡対物レンズの構成と、顕微鏡対物レンズの組み立て手順について、図１を参照しながら説明する。
図１は、組み立てられた顕微鏡対物レンズの断面図の一例である。図１に例示される顕微鏡対物レンズ１は、すでに上述したように、光学部材として、メニスカスレンズ成分ＭＬ１からなる正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、複数の接合レンズ成分（接合レンズ成分ＣＬ１、接合レンズ成分ＣＬ２、接合レンズ成分ＣＬ３）からなる正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分ＭＬ２からなる第３レンズ群Ｇ３と、を含んで構成されている。
【００４４】
さらに、顕微鏡対物レンズ１は、上記の光学部材の他に、各レンズ群を保持する円筒形状の金属部材２（金属部材２ａ、金属部材２ｂ）と、金属部材２を保持する円筒形状の外筒３と、第２レンズ群Ｇ２及び第３レンズ群Ｇ３に含まれる各レンズ成分間の間隔を確保するスペーサ４（スペーサ４ａ、スペーサ４ｂ、スペーサ４ｃ）と、第３レンズ群Ｇ３をスペーサ４（スペーサ４ｃ）に押し付ける固定リング５と、を含んで構成されている。
【００４５】
顕微鏡対物レンズ１の組み立ては、外筒３の内側面と金属部材２の外側面を勘合（嵌合）し、外筒３に金属部材２を保持させることから、開始される。次に、最も物体側の金属部材２ａに、第１レンズ群Ｇ１のメニスカスレンズ成分ＭＬ１が接着される。その後、外筒３を立て、メニスカスレンズ成分ＭＬ１を底にした状態で、顕微鏡対物レンズ１内部に、残りのレンズ成分とスペーサ４が１つずつ順番に重ねられる。具体的には、接合レンズ成分ＣＬ１、スペーサ４ａ、接合レンズ成分ＣＬ２、スペーサ４ｂ、接合レンズ成分ＣＬ３、スペーサ４ｃ、メニスカスレンズ成分ＭＬ２の順に重ねられる。これにより、第２レンズ群Ｇ２及び第３レンズ群Ｇ３に含まれる各レンズ成分間に必要な間隔が確保される。最後に、第３レンズ群のメニスカスレンズ成分ＭＬ２が像側から固定リング５で固定され、組み立てを終了する。
【００４６】
なお、組み立てられた顕微鏡対物レンズの構成は、図１に例示される構成に限定されない。図２は、組み立てられた顕微鏡対物レンズの断面図の他の一例である。図２に例示されるように、顕微鏡対物レンズ６は、光学部材の他に、各レンズ群を保持する円筒形状の金属部材７（金属部材７ａ、金属部材７ｂ、金属部材７ｃ）と、金属部材７を保持する円筒形状の外筒８と、第２レンズ群Ｇ２に含まれる各レンズ成分間の間隔を確保するスペーサ９（スペーサ９ａ、スペーサ９ｂ）と、第２レンズ群Ｇ２及び第３レンズ群Ｇ３を固定する固定リング１０（固定リング１０ａ、固定リング１０ｂ）とを含んで構成されてもよい。
【００４７】
図２に例示される顕微鏡対物レンズ６は、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３の間に、スペーサの代わりに固定リング１０ａが設けられている点が、図１に例示される顕微鏡対物レンズ１と異なっている。顕微鏡対物レンズ６では、接合レンズ成分ＣＬ３が固定リング１０ａ（第１の固定リング）によりスペーサ９ｂに押し付けられることで、第２レンズ群Ｇ２が固定され、メニスカスレンズ成分ＭＬ２が固定部材１０ｂ（第２の固定リング）により金属部材７ｃに押し付けられることで、第３レンズ群Ｇ３が固定されている。
図１及び図２に例示される顕微鏡対物レンズによれば、偏心敏感度が低く抑えられるため組み立て効率の良く、且つ、収差を良好に補正することができる。
以下、各実施例について具体的に説明する。  
【実施例１】
【００４８】
図３は、本実施例に係る顕微鏡対物レンズの断面図である。図４は、本実施例に係る結像レンズの断面図である。
【００４９】
図３に例示される顕微鏡対物レンズ１１は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（レンズＬ１）からなる正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、接合レンズ成分ＣＬ１（レンズＬ２、レンズＬ３）、接合レンズ成分ＣＬ２（レンズＬ４、レンズＬ５）、及び、接合レンズ成分ＣＬ３（レンズＬ６、レンズＬ７）からなる正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分である接合レンズ成分ＣＬ４（レンズＬ８、レンズＬ９）からなる第３レンズ群Ｇ３と、を含んで構成されている。
なお、第２レンズ群Ｇ２に含まれる各接合レンズ成分は、いずれも物体側から負レンズと正レンズから構成され、比較的弱い正の屈折力を有している。
【００５０】
図４に例示される結像レンズ１２は、物体側から順に、レンズＴＬ１及びレンズＴＬ２からなる接合レンズＣＴＬ１と、レンズＴＬ３及びレンズＴＬ４からなる接合レンズＣＴＬ２と、を含んで構成されている。
以下、本実施例に係る顕微鏡対物レンズ１１及び結像レンズ１２の各種データについて記載する。
顕微鏡対物レンズ１１の焦点距離Ｆと、倍率βと、物体側の開口数ＮＡと、視野数ＦＮと、作動距離ＷＤは、それぞれ以下のとおりである。
Ｆ＝４．５ｍｍ、  β＝４０、  ＮＡ＝０．６５、
ＦＮ＝２０ｍｍ、ＷＤ＝０．７９９ｍｍ、
また、結像レンズ１２の焦点距離Ｆｔは、以下のとおりである。
Ｆｔ＝１８０ｍｍ
顕微鏡対物レンズ１１及び結像レンズ１２のレンズデータは、それぞれ以下のとおりである。
顕微鏡対物レンズ１１
s           r           d           nd         vd
0(物体面) INFINITY       0.1700      1.52100    56.02
1      INFINITY       0.7990
2       -3.2372       3.4392      1.77250    49.60
3       -3.1126       0.6215 
4      -19.3058       0.9000      1.72047    34.71
5      110.5158       3.8349      1.49700    81.54
6       -8.2393       0.2000 
7       51.1166       1.0000      1.76182    26.52
8       13.6190       2.4615      1.49700    81.54
9      -14.4079       0.2000 
10      -35.5104       1.0000      1.65412    39.68
11       13.7108       2.7722      1.43875    94.93
12      -11.7026      17.4782 
13        9.9870       6.0099      1.83481    42.71
14       11.6765       1.5000      1.48749    70.23
15        5.5722     120.0000 
結像レンズ１２
s           r           d           nd         vd
16       68.7541       7.7321      1.48749    70.21
17      -37.5679       3.4742      1.80610    40.95
18     -102.8477       0.6973 
19       84.3099       6.0238      1.83400    37.17
20      -50.7100       3.0298      1.64450    40.82
21       40.6619 
【００５１】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはｄ線に対するアッベ数を示す。なお、面番号ｓ０、ｓ１が示す面は、それぞれカバーガラスの物体側の面（物体面）、像側の面を示している。従って、顕微鏡対物レンズ１１の第１面は、面番号ｓ２が示す面である。また、面間隔ｄ１５は、顕微鏡対物レンズ１１と結像レンズ１２の間の間隔を示している。
【００５２】
本実施例に係る顕微鏡対物レンズ１１は、以下の式（Ｃ１）から（Ｃ１０‐３）で示されるように、条件式（１）から（１０）を満たしている。なお、式（Ｃ１）から（Ｃ９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。また、式（Ｃ１０‐１）から式（Ｃ１０‐３）は、接合レンズ成分ＣＬ１から接合レンズ成分ＣＬ３のそれぞれにおける条件式（１０）に対応している。
ｆ１／Ｆ＝１．７８                                      ・・・（Ｃ１）
ｆ２／Ｆ＝３．６４                                      ・・・（Ｃ２）
ｆ２ｘ／Ｆ＝７．３９                                    ・・・（Ｃ３）
ｆ３／Ｆ＝５５．６１                                    ・・・（Ｃ４）
ｒ１１／ｒ１２＝１．０４                                ・・・（Ｃ５）
（ｈ１２／ｒ１２）／（ｈ１１／ｒ１１）＝２．７          ・・・（Ｃ６）
ｒ３１／ｒ３２＝１．７９                                ・・・（Ｃ７）
ｈ３２／ｒ３２＝０．５６                                ・・・（Ｃ８）
｜θ３ｏｕｔ｜＝３１．６５°                            ・・・（Ｃ９）
｜θｉｎｏｕｔ｜＝２４．４２°                          ・・・（Ｃ１０‐１）
｜θｉｎｏｕｔ｜＝２６．２９°                          ・・・（Ｃ１０‐２）
｜θｉｎｏｕｔ｜＝１６．０６°                          ・・・（Ｃ１０‐３）
【００５３】
図５は、本実施例に係る顕微鏡対物レンズ１１と結像レンズ１２を組み合わせて用いた場合の収差図であり、像側の結像面での収差を示している。図５（ａ）は球面収差図であり、図５（ｂ）は非点収差図であり、図５（ｃ）はコマ収差図であり、図５（ｄ）は倍率色収差図であり、図５（ｅ）は歪曲収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の“Ｃ”はＣ線、“ｄ”はｄ線、“Ｆ”はＦ線、“ｇ”はｇ線、“ＮＡ”は顕微鏡対物レンズ１１の物体側の開口数、“ＩＭＨ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【実施例２】
【００５４】
図６は、本実施例に係る顕微鏡対物レンズの断面図である。図７は、本実施例に係る結像レンズの断面図である。
【００５５】
図６に例示される顕微鏡対物レンズ１３は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（レンズＬ１）からなる正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、接合レンズ成分ＣＬ１（レンズＬ２、レンズＬ３）、接合レンズ成分ＣＬ２（レンズＬ４、レンズＬ５）、及び、接合レンズ成分ＣＬ３（レンズＬ６、レンズＬ７）からなる正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（レンズＬ８）からなる第３レンズ群Ｇ３と、を含んで構成されている。
なお、第２レンズ群Ｇ２に含まれる各接合レンズ成分は、いずれも物体側から負レンズと正レンズから構成され、比較的弱い正の屈折力を有している。
図７に例示される結像レンズ１４は、単レンズであるレンズＴＬ１のみから構成されている。
以下、本実施例に係る顕微鏡対物レンズ１３及び結像レンズ１４の各種データについて記載する。
顕微鏡対物レンズ１３の焦点距離Ｆと、倍率βと、物体側の開口数ＮＡと、視野数ＦＮと、作動距離ＷＤは、それぞれ以下のとおりである。
Ｆ＝５．６ｍｍ、  β＝４０、  ＮＡ＝０．６５、
ＦＮ＝２０ｍｍ、ＷＤ＝０．８０４７ｍｍ、
また、結像レンズ１４の焦点距離Ｆｔは、以下のとおりである。
Ｆｔ＝２２５ｍｍ
顕微鏡対物レンズ１３及び結像レンズ１４のレンズデータは、それぞれ以下のとおりである。
顕微鏡対物レンズ１３
s           r            d           nd         vd
0(物体面) INFINITY        0.1700      1.52100    56.02
1       INFINITY       0.8047 
2       -4.1708        4.0868      1.77250    49.60
3       -3.5948        0.2268 
4     -183.5696        1.0488      1.61340    44.27
5       22.4457        1.8003      1.49700    81.54
6      -20.7144        0.9322 
7      -73.7234        1.1000      1.75520    27.51
8       17.4536        6.3976      1.49700    81.54
9      -11.0237        0.7387 
10       82.8076        1.2000      1.65412    39.68
11       13.1004        4.1929      1.43875    94.93
12      -15.6053       24.4665 
13        9.4818        4.2624      1.80518    25.42
14        7.2405       60.0000 
結像レンズ１４
s          r           d         nd         vd
15     163.4770       5.0000    1.48749    70.23
16    -330.0000
【００５６】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはｄ線に対するアッベ数を示す。なお、面番号ｓ０、ｓ１が示す面は、それぞれカバーガラスの物体側の面（物体面）、像側の面を示している。従って、顕微鏡対物レンズ１３の第１面は、面番号ｓ２が示す面である。また、面間隔ｄ１４は、顕微鏡対物レンズ１３と結像レンズ１４の間の間隔を示している。
【００５７】
本実施例に係る顕微鏡対物レンズ１３は、以下の式（Ｃ１１）から（Ｃ２０‐３）で示されるように、条件式（１）から（１０）を満たしている。なお、式（Ｃ１１）から（Ｃ１９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。また、式（Ｃ２０‐１）から式（Ｃ２０‐３）は、接合レンズ成分ＣＬ１、接合レンズ成分ＣＬ２、接合レンズ成分ＣＬ３のそれぞれにおける条件式（１０）に対応している。
ｆ１／Ｆ＝１．４７                                      ・・・（Ｃ１１）
ｆ２／Ｆ＝３．２９                                      ・・・（Ｃ１２）
ｆ２ｘ／Ｆ＝７．１２                                    ・・・（Ｃ１３）
ｆ３／Ｆ＝−４４．８                                    ・・・（Ｃ１４）
ｒ１１／ｒ１２＝１．１６                                ・・・（Ｃ１５）
（ｈ１２／ｒ１２）／（ｈ１１／ｒ１１）＝３．２８        ・・・（Ｃ１６）
ｒ３１／ｒ３２＝１．３１                                ・・・（Ｃ１７）
ｈ３２／ｒ３２＝０．５１                                ・・・（Ｃ１８）
｜θ３ｏｕｔ｜＝３０．１５°                            ・・・（Ｃ１９）
｜θｉｎｏｕｔ｜＝１０．８０°                          ・・・（Ｃ２０‐１）
｜θｉｎｏｕｔ｜＝２９．２１°                          ・・・（Ｃ２０‐２）
｜θｉｎｏｕｔ｜＝２７．７２°                          ・・・（Ｃ２０‐３）
【００５８】
図８は、本実施例に係る顕微鏡対物レンズ１３と結像レンズ１４を組み合わせて用いた場合の収差図であり、像側の結像面での収差を示している。図８（ａ）は球面収差図であり、図８（ｂ）は非点収差図であり、図８（ｃ）はコマ収差図であり、図８（ｄ）は倍率色収差図であり、図８（ｅ）は歪曲収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の“Ｃ”はＣ線、“ｄ”はｄ線、“Ｆ”はＦ線、“ｇ”はｇ線、“ＮＡ”は顕微鏡対物レンズ１３の物体側の開口数、“ＩＭＨ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【実施例３】
【００５９】
図９は、本実施例に係る顕微鏡対物レンズの断面図である。なお、本実施例では、実施例２と同様に、図７に例示される結像レンズ１４が用いられる。
【００６０】
図９に例示される顕微鏡対物レンズ１５は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（レンズＬ１）からなる正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（レンズＬ２）、接合レンズ成分ＣＬ１（レンズＬ３、レンズＬ４）、及び、接合レンズ成分ＣＬ２（レンズＬ５、レンズＬ６）からなる正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（レンズＬ７）からなる第３レンズ群Ｇ３と、を含んで構成されている。
【００６１】
なお、第２レンズ群Ｇ２に含まれる各レンズ成分は、いずれも比較的弱い正の屈折力を有している。また、接合レンズ成分ＣＬ１は、物体側から順に、両凹レンズ（レンズＬ３）と両凸レンズ（レンズＬ４）から構成され、接合レンズ成分ＣＬ２は、物体側から順に、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ（レンズＬ５）と両凸レンズ（レンズＬ６）から構成されている。
【００６２】
以下、本実施例に係る顕微鏡対物レンズ１５の各種データについて記載する。
顕微鏡対物レンズ１５の焦点距離Ｆと、倍率βと、物体側の開口数ＮＡと、視野数ＦＮと、作動距離ＷＤは、それぞれ以下のとおりである。
Ｆ＝５．６ｍｍ、  β＝４０、  ＮＡ＝０．６５、
ＦＮ＝２０ｍｍ、ＷＤ＝０．７８１１ｍｍ
【００６３】
顕微鏡対物レンズ１５のレンズデータは、以下のとおりである。
顕微鏡対物レンズ１５
s           r            d           nd         vd
0(物体面) INFINITY       0.1700      1.52100    56.02
1       INFINITY      0.7811     
2       -4.7158       4.0698      1.77250    49.60
3       -3.7100       2.6679      
4      -22.2989       3.1664      1.49700    81.54
5      -10.6045       0.3000      
6      -26.4059       1.3000      1.75520    27.51
7       36.6658       3.2621      1.49700    81.54
8      -11.2455       0.3000      
9       90.6672       1.3000      1.65412    39.68
10       12.4691       7.9741      1.43875    94.93
11      -15.6712      24.8722      
12       12.8802       8.0812      1.80518    25.42
13        8.7890      50.0000
【００６４】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはｄ線に対するアッベ数を示す。なお、面番号ｓ０、ｓ１が示す面は、それぞれカバーガラスの物体側の面（物体面）、像側の面を示している。従って、顕微鏡対物レンズ１５の第１面は、面番号ｓ２が示す面である。また、面間隔ｄ１３は、顕微鏡対物レンズ１５と結像レンズ１４の間の間隔を示している。
【００６５】
本実施例に係る顕微鏡対物レンズ１５は、以下の式（Ｃ２１）から（Ｃ３０‐３）で示されるように、条件式（１）から（１０）を満たしている。なお、式（Ｃ２１）から（Ｃ２９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。また、式（Ｃ３０‐１）から式（Ｃ３０‐３）は、第２レンズ群の各レンズ成分（レンズＬ２、接合レンズ成分ＣＬ１、接合レンズ成分ＣＬ２）のそれぞれにおける条件式（１０）に対応している。
ｆ１／Ｆ＝１．４５                                      ・・・（Ｃ２１）
ｆ２／Ｆ＝３．４９                                      ・・・（Ｃ２２）
ｆ２ｘ／Ｆ＝６．６５                                    ・・・（Ｃ２３）
ｆ３／Ｆ＝５１．４６                                    ・・・（Ｃ２４）
ｒ１１／ｒ１２＝１．２７                                ・・・（Ｃ２５）
（ｈ１２／ｒ１２）／（ｈ１１／ｒ１１）＝３．５７        ・・・（Ｃ２６）
ｒ３１／ｒ３２＝１．４７                                ・・・（Ｃ２７）
ｈ３２／ｒ３２＝０．４３                                ・・・（Ｃ２８）
｜θ３ｏｕｔ｜＝２４．６７°                            ・・・（Ｃ２９）
｜θｉｎｏｕｔ｜＝１９．５６°                          ・・・（Ｃ３０‐１）
｜θｉｎｏｕｔ｜＝２０．０１°                          ・・・（Ｃ３０‐２）
｜θｉｎｏｕｔ｜＝２９．５３°                          ・・・（Ｃ３０‐３）
【００６６】
図１０は、本実施例に係る顕微鏡対物レンズ１５と図７に例示される結像レンズ１４を組み合わせて用いた場合の収差図であり、像側の結像面での収差を示している。図１０（ａ）は球面収差図であり、図１０（ｂ）は非点収差図であり、図１０（ｃ）はコマ収差図であり、図１０（ｄ）は倍率色収差図であり、図１０（ｅ）は歪曲収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の“Ｃ”はＣ線、“ｄ”はｄ線、“Ｆ”はＦ線、“ｇ”はｇ線、“ＮＡ”は顕微鏡対物レンズ１５の物体側の開口数、“ＩＭＨ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【符号の説明】
【００６７】
１、６、１１、１３、１５・・・顕微鏡対物レンズ、２、２ａ、２ｂ、７、７ａ、７ｂ、７ｃ・・・金属部材、３、８・・・外筒、４、４ａ、４ｂ、４ｃ、９、９ａ、９ｂ・・・スペーサ、５、１０、１０ａ、１０ｂ・・・固定リング、１２、１４・・・結像レンズ、１４・・・結像レンズ、Ｇ１・・・第１レンズ群、Ｇ２・・・第２レンズ群、Ｇ３・・・第３レンズ群、ＭＬ１、ＭＬ２・・・メニスカスレンズ成分、ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＬ３、ＣＬ４・・・接合レンズ成分、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７、Ｌ８、Ｌ９、ＴＬ１、ＴＬ２、ＴＬ３、ＴＬ４・・・レンズ、ＣＴＬ１、ＣＴＬ２・・・接合レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図５】
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【図８】
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【図１０】
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