(57)【要約】【課題】密度が高く、耐摩耗性の優れた塗布膜を有する動圧軸受の製造方法、及びそれにより製造された動圧軸受を提供すること。【解決手段】気体動圧空間を介して互いに摺動する、固定部材、及び該固定部材に嵌合して回転する回転体からなる動圧軸受に対し、前記固定部材又は前記回転体の少なくともいずれか一方の摺動面に、樹脂の塗布膜を形成する動圧軸受の製造方法であって、前記塗布膜の塗布工程は１層目の塗布と２層目の塗布との２段階に分けて行われるとともに、前記塗布膜の塗布後の乾燥工程における乾燥温度は８０℃以上、２００℃以下であり、かつ該乾燥工程の後に行われる焼成工程よりも低い温度で行われることを特徴とする動圧軸受の製造方法。【選択図】図４
2011017410.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体動圧空間を介して互いに摺動する摺動面をそれぞれに有する、固定部材、及び該固定部材に嵌合して回転する回転体、からなる動圧軸受に対し、
前記固定部材又は前記回転体の少なくともいずれか一方の摺動面に、樹脂の塗布膜を形成する動圧軸受の製造方法であって、
前記塗布膜の塗布工程は１層目の塗布と２層目の塗布との少なくとも２段階に分けて行われるとともに、
前記塗布膜の塗布後の乾燥工程における乾燥温度は８０℃以上、２００℃以下であり、かつ該乾燥工程の後に行われる焼成工程よりも低い温度で行われることを特徴とする動圧軸受の製造方法。
【請求項２】
前記固定部材は軸部を有し、
前記回転体は、前記固定部材の軸部に嵌合して回転及び摺動する摺動面としての円筒状の内周面を有しており、
前記塗布工程における前記１層目の塗布と前記２層目の塗布とのそれぞれの後に、膜厚を安定させるために行う膜厚安定化工程を有し、
該膜厚安定化工程において、前記動圧軸受は軸心方向を鉛直方向にして所定時間保持され、
前記１層目の塗布の後と前記２層目の塗布の後とで前記動圧軸受を保持する方向を上下逆向きにすることを特徴とする請求項１に記載の動圧軸受の製造方法。
【請求項３】
前記固定部材は前記軸部の一端に繋がる鍔部を有し、
前記回転体は、前記固定部材の前記鍔部に対峙して摺動する鍔状の摺動面を有しており、
前記焼成工程の後、前記動圧軸受の前記円筒状の内周面を切削する切削工程を有し、
前記円筒状の内周面における前記１層目と前記２層目の塗布は、前記切削工程での切削後の前記円筒状の内周面における、前記固定部材の前記軸部の前記鍔部から離間する側に、前記２層目の塗布膜が残るように行われていることを特徴とする請求項２に記載の動圧軸受の製造方法。
【請求項４】
前記膜厚安定化工程において、前記動圧軸受は軸心方向を水平方向にして所定時間回転されることを特徴とする請求項２又は３に記載の動圧軸受の製造方法。
【請求項５】
前記所定時間を３分以上、３０分以内とすることを特徴とする請求項４に記載の動圧軸受の製造方法。
【請求項６】
前記１層目の塗布工程の開始から前記２層目の塗布工程の開始までの時間を３分以上、３０分以内とすることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の動圧軸受の製造方法。
【請求項７】
前記膜厚安定化工程の後に乾燥工程が行われ、該乾燥工程における乾燥は無風状態で行われることを特徴とする請求項２から６のいずれか１項に記載の動圧軸受の製造方法。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の動圧軸受の製造方法を用いて製造されることを特徴とする動圧軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体に発生させた動圧を利用する動圧軸受の製造方法、及びその製造方法により製造される動圧軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザプリンタ等の画像形成装置においては、ポリゴンミラー（回転多面鏡）を高速回転させる光偏向装置が用いられている。
【０００３】
この光偏向装置の構成としては、ポリゴンミラーを保持して回転する回転体等からなる回転ユニットと固定部材とを有し、該回転体と固定部材との間に動圧軸受を設けて高速回転を行わせるものが多く用いられている。動圧軸受は、回転体又は回転体に嵌合する固定部材に動圧発生用溝を設け、回転体の回転により、対向する回転体と固定部材との摺動面（動圧面）の間に数μｍの空気間隙を形成させ、固定部材と回転体との間の回転時の抵抗を低下させて高速回転させるものである。
【０００４】
この動圧軸受を用いた回転機構は、スラスト方向と回転方向の摺動面を受ける固定部材と、この固定部材に対して摺動及び回転が可能な回転体とからなる。この動圧軸受を用いた回転機構では、回転体と固定部材との間の間隙を数μｍに維持する必要があり、回転体のバランスの維持に高い精度が要求される。また、回転開始時や回転停止直前の回転数が低い状態では、回転方向において固定部材と回転体との間に摩擦による摩耗が生じる。従って、固定部材と回転体との摺動面の摩擦係数を小さくする必要がある。
【０００５】
このような動圧軸受に関し、動圧軸受における軸部材又は軸受部材の軸受面を摺動性の良い樹脂材で被膜成型し、表面の摺動性の悪いスキン層を除去して摺動性の良好な面を露出させるという技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
然るに、摺動性の良い樹脂材で被膜成型された軸受面は、成型時の温度が高温で、かつ、乾燥が短時間で行われるため、塗布膜の内部に揮発性溶剤が残り易く、塗布膜の焼成時の密度が低下して耐摩耗性を低下させてしまう懸念がある。耐摩耗性の低下による摺動性の悪化は、被膜の剥がれや摺動箇所のかじりといった問題を引き起こす可能性がある。また、成型時に摺動性の悪いスキン層が発生することも問題である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−１６２８４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、上記のような問題を解決し、摺動性の良い樹脂材で被膜成型した軸受面の塗布膜に揮発溶剤が残ることなく、焼成時の密度が高く、耐摩耗性の優れた塗布膜を有する動圧軸受の製造方法、及びそれにより製造された動圧軸受を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的は下記の発明により達成される。
【００１０】
１．気体動圧空間を介して互いに摺動する摺動面をそれぞれに有する、固定部材、及び該固定部材に嵌合して回転する回転体、からなる動圧軸受に対し、
前記固定部材又は前記回転体の少なくともいずれか一方の摺動面に、樹脂の塗布膜を形成する動圧軸受の製造方法であって、
前記塗布膜の塗布工程は１層目の塗布と２層目の塗布との少なくとも２段階に分けて行われるとともに、
前記塗布膜の塗布後の乾燥工程における乾燥温度は８０℃以上、２００℃以下であり、かつ該乾燥工程の後に行われる焼成工程よりも低い温度で行われることを特徴とする動圧軸受の製造方法。
【００１１】
２．前記固定部材は軸部を有し、
前記回転体は、前記固定部材の軸部に嵌合して回転及び摺動する摺動面としての円筒状の内周面を有しており、
前記塗布工程における前記１層目の塗布と前記２層目の塗布とのそれぞれの後に、膜厚を安定させるために行う膜厚安定化工程を有し、
該膜厚安定化工程において、前記動圧軸受は軸心方向を鉛直方向にして所定時間保持され、
前記１層目の塗布の後と前記２層目の塗布の後とで前記動圧軸受を保持する方向を上下逆向きにすることを特徴とする前記１に記載の動圧軸受の製造方法。
【００１２】
３．前記固定部材は前記軸部の一端に繋がる鍔部を有し、
前記回転体は、前記固定部材の前記鍔部に対峙して摺動する鍔状の摺動面を有しており、
前記焼成工程の後、前記動圧軸受の前記円筒状の内周面を切削する切削工程を有し、
前記円筒状の内周面における前記１層目と前記２層目の塗布は、前記切削工程での切削後の前記円筒状の内周面における、前記固定部材の前記軸部の前記鍔部から離間する側に、前記２層目の塗布膜が残るように行われていることを特徴とする前記２に記載の動圧軸受の製造方法。
【００１３】
４．前記膜厚安定化工程において、前記動圧軸受は軸心方向を水平方向にして所定時間回転されることを特徴とする前記２又は３に記載の動圧軸受の製造方法。
【００１４】
５．前記所定時間を３分以上、３０分以内とすることを特徴とする前記４に記載の動圧軸受の製造方法。
【００１５】
６．前記１層目の塗布工程の開始から前記２層目の塗布工程の開始までの時間を３分以上、３０分以内とすることを特徴とする前記１から５のいずれか１項に記載の動圧軸受の製造方法。
【００１６】
７．前記膜厚安定化工程の後に乾燥工程が行われ、該乾燥工程における乾燥は無風状態で行われることを特徴とする前記２から６のいずれか１項に記載の動圧軸受の製造方法。
【００１７】
８．前記１から７のいずれか１項に記載の動圧軸受の製造方法を用いて製造されることを特徴とする動圧軸受。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の動圧軸受の製造方法、及びそれにより製造された動圧軸受により、耐摩耗性の優れた動圧軸受を得ることができる。即ち、塗布膜の塗布工程を２段階に分けることにより、１回の塗布膜の厚みを小さくして乾燥時間を短くすることができ、かつ揮発性溶剤の蒸発を促進することができるため、塗布膜の焼成時に密度の高い、優れた耐摩耗性を有する塗布膜を得ることができる。また、塗布膜の乾燥温度を低くすることにより、揮発性溶剤の更なる蒸発の促進が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る動圧軸受を有する光偏向装置１００の一実施形態の全体構成を示す断面図である。
【図２】回転体１１１の円筒状の内周面１１１ａ、及び鍔状の摺動面１１１ｂにフッ素樹脂の塗布膜を形成するディップ装置（浸漬塗布装置）ＤＳの一実施形態を示す概略図である。
【図３】本発明に係る膜厚安定化工程の実施形態における回転体１１１の保持状態を示す図である。
【図４】本発明に係る切削工程における回転体１１１の内周面１１１ａに対する１、２層目の塗布膜の厚さと切削位置との関係を説明するための断面図である。
【図５】本発明に係る回転体１１１の円筒状の内周面１１１ａと鍔状の摺動面１１１ｂに形成する塗布膜形成の手順を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１は、本発明に係る動圧軸受を有する光偏向装置１００の一実施形態の全体構成を示す断面図である。図１の例では、動圧軸受を用いた光偏向装置１００は固定部材１２１とポリゴンミラー１１２を備えた回転ユニット１１０とを有している。符号の１０は光偏向装置１００の取り付け用の基台である。
【００２１】
本発明に係る動圧軸受は、空気等の気体からなる気体動圧空間を介して互いに摺動する摺動面により発生する動圧を利用して高速回転させる軸受体であり、本実施の形態においては、固定部材１２１、及び該固定部材に嵌合して回転する回転体１１１、からなる。
【００２２】
基台１０上には、回転体１１１を含む回転ユニット１１０を回転可能に支持するための固定部材１２１が軸部１２１ａを鉛直方向に直立させて固定されている。固定部材１２１及び回転体１１１は、互いが摺動する摺動面を有しており、固定部材１２１又は回転体１１１の少なくとも一方の摺動面には、樹脂の塗布膜が形成されている。
【００２３】
固定部材１２１は、摺動面としての、円筒状の軸部１２１ａと軸部１２１ａの一端に繋がる円盤状の鍔部１２１ｂとを有しており、軸部１２１ａには動圧発生用溝１２１ｃが、鍔部１２１ｂには動圧発生用溝１２１ｄがそれぞれ形成されている。また、軸部１２１ａと鍔部１２１ｂとの摺動面は動圧面（後述）としての機能も有する。
【００２４】
本実施の形態における回転ユニット１１０とは、一体となって回転する部材全ての部材を含めたものであり、回転体１１１、ポリゴンミラー１１２、マグネット１３２、及び蓋部材１１８等からなる。
【００２５】
回転体１１１は、固定部材１２１の軸部１２１ａに嵌合して回転及び摺動する、摺動面としての円筒状の内周面１１１ａと、固定部材１２１の鍔部１２１ｂに摺動する、鍔状の摺動面１１１ｂとを有する。この円筒状の内周面１１１ａと鍔状の摺動面１１１ｂとは動圧面（後述）としての機能を有している。また、回転体１１１の内周面１１１ａと対向する固定部材１２１の軸部１２１ａとは、最終組立時に若干の間隙（１〜７μｍ）を有するように各々が高精度に表面加工される。回転体１１１の円筒状の外周にはポリゴンミラー１１２が固定されており、回転ユニット１１０の構成部材として、固定部材１２１に回転自在に保持されている。
【００２６】
本発明に係る動圧軸受への塗布膜の形成は、回転体１１１又は固定部材１２１のいずれの摺動面に対して実施しても良いが、本実施の形態では、回転体１１１の摺動面に形成する場合について説明する。回転体１１１は、材料として例えばアルミニウム又はその合金が用いられ、表面にニッケルメッキが施され、摺動面には潤滑のためのフッ素樹脂の塗布膜が形成される。
【００２７】
回転ユニット１１０を回転させるための駆動源として、アキシャル型の駆動モータ１３が用いられる。そのため、基台１０上に図示しない絶縁部材を介してステータコイル１３１を設け、回転ユニット１１０の下部のステータコイル１３１に対向する位置にマグネット１３２が設けられている。そして、ステータコイル１３１に通電することで、回転ユニット１１０が誘導回転される。この回転により、動圧発生用溝１２１ｃ及び動圧発生用溝１２１ｄによる動圧作用が生じ、回転体１１１と固定部材１２１との間に空気間隙（気体動圧空間）が形成され、ポリゴンミラー１１２の円滑な高速度回転を可能にしている。このとき、回転体１１１の内周面１１１ａと鍔状の摺動面１１１ｂ、及び、固定部材１２１の軸部１２１ａと鍔部１２１ｂとの摺動面は動圧面として機能し、回転体と固定部材との摺動面（動圧面）の間に数μｍの空気間隙を形成させて摩擦抵抗の発生を防ぐ。光偏向装置１００は以上のように構成され、高速回転を可能にしている。
【００２８】
次に、本発明に係る回転体１１１の摺動面に樹脂の塗布膜を形成する構成について図２〜図５を用いて説明する。
【００２９】
回転体１１１の円筒状の内周面１１１ａ、及び鍔状の摺動面１１１ｂへの、フッ素樹脂の塗布膜の形成は、樹脂成型やスプレー等による既知の塗布方法で行うことができるが、本実施の形態では浸漬塗布（ディップ塗布、以下、ディップともいう）で行っている。
【００３０】
（塗布工程）
図２は、回転体１１１の円筒状の内周面１１１ａ、及び鍔状の摺動面１１１ｂにフッ素樹脂の塗布膜を形成するディップ装置（浸漬塗布装置）ＤＳの一実施形態を示す概略図である。
【００３１】
図２において、溶融したフッ素樹脂からなる塗布液Ｔｅは、貯留されるタンクＴＫから、液を送り出す供給用ポンプＰ１により送り出され、チューブＴｂ１に導かれて塗布ヘッドＴＨに達する。塗布ヘッドＴＨは、中心に塗布液Ｔｅを流出させる液流出用穴（参照符号なし）を有し、外周に回転体１１１の内周面１１１ａに塗布液Ｔｅの層を介して嵌合する円筒部と、鍔状の摺動面１１１ｂに塗布液Ｔｅの層を介して対峙する段部とを有している。塗布ヘッドＴＨの液流出用穴から上方に流出される塗布液Ｔｅは、塗布ヘッドＴＨの円筒部及び段部に厚みが一定の塗布液Ｔｅの層を形成する。この状態で、供給用ポンプＰ１の駆動が停止され、回転体１１１は、軸心方向が鉛直になるように保持されながら塗布ヘッドＴＨの上方から挿入され、回転体１１１の内周面１１１ａと鍔状の摺動面１１１ｂにフッ素樹脂の１層目の塗布膜が塗布される。この後、回転体１１１は所定の速度で引き上げられる。回転体１１１の円筒状の内周面１１１ａ、及び鍔状の摺動面１１１ｂに形成される膜厚は、回転体１１１を引き上げる速度によりコントロールされる。１、２層目の塗布膜は、揮発性溶剤を蒸発し易くするため、厚過ぎない適正な厚さに塗布される。また、塗布膜を形成しない面にはマスキングが行われる。
【００３２】
塗布ヘッドＴＨから下方に流出する塗布液Ｔｅは、塗布ヘッドＴＨの下方に配設される回収トレイＫＰにより回収され、回収用ポンプＰ２により吸引され、チューブＴｂ２に導かれてタンクＴＫに戻される。
【００３３】
（膜厚安定化工程）
１層目のディップを終えた回転体１１１は、仮乾燥を行う膜厚安定化工程に送られる。
【００３４】
図３は、本発明に係る膜厚安定化工程の実施形態における回転体１１１の保持状態を示す図である。
【００３５】
図３（ａ）は１層目のディップを終えた直後における回転体１１１の最初の保持状態を示す図であり、図３（ｂ）は膜厚安定化工程における回転体１１１の１回目の回転保持状態を示す図である。また、図３（ｃ）は２層目のディップを終えた直後における回転体１１１の最初の保持状態を示す図であり、図３（ｄ）は膜厚安定化工程における回転体１１１の２回目の回転保持状態を示す図である。
【００３６】
図３（ａ）において、回転体１１１は、１層目の塗布膜が形成された直後から所定時間経過するまで（本実施形態においては数秒間）、回転体１１１を保持する保持具ＨＧ１に軸心方向が鉛直になるように載置され、保持されて最初の仮乾燥が行われる。保持具ＨＧ１は、回転体１１１を回転体１１１の軸心方向が鉛直になるように、また、鍔状の摺動面１１１ｂが下方に位置する方向に保持する治具である。なお、本実施の形態では、保持具ＨＧ１を用いているが、回転体１１１の円筒状の内周面１１１ａと鍔状の摺動面１１１ｂが直接他の部材に触れることがなければ、特別な保持具を用いずに任意の平面に平置きさせることも可能である。
【００３７】
図３（ｂ）において、１層目の塗布直後所定時間（実施の形態では数秒間）保持の後、回転体１１１は軸心方向が水平になるように回転保持具ＨＧ２に保持され、所定時間（実施の形態では３〜３０分間）回転されて仮乾燥が行われる。ここでの仮乾燥の時間を３分未満の値に設定すると、塗布膜からの揮発性溶剤の蒸発が不十分となり、塗布膜の焼成後の密度が低下して耐摩耗性を悪化させるおそれがある。また、仮乾燥の時間が３０分を超える値に設定されると、塗布膜の１層目と２層目の層間の界面接着力が低下するおそれがある。
【００３８】
その後、図２で説明した塗布工程により、回転体１１１の円筒状の内周面１１１ａと鍔状の摺動面１１１ｂにフッ素樹脂の２層目の塗布膜が形成される。２層目の塗布は、１層目と２層目の層間の界面接着力の低下防止のため、１層目の塗布後３０分以内に行われる。
【００３９】
図３（ｃ）において、回転体１１１は、１層目と同様に２層目の塗布膜が形成された直後から所定時間経過するまで、回転体１１１を保持する保持具ＨＧ１に、軸心方向が鉛直方向で、１層目の保持に対して上下逆向きの方向に載置され、保持されて仮乾燥される。
【００４０】
図３（ｄ）において、２層目の塗布直後所定時間（実施の形態では数秒間）保持の後、回転体１１１は軸心方向が水平になるように回転保持具ＨＧ２に保持され、所定時間（実施の形態では３〜３０分間）回転されて仮乾燥される。
【００４１】
本発明に係る膜厚安定化工程において回転体１１１を保持する際に、１層目と２層目とで回転体１１１の上下方向の向きを変えることにより、軸心方向に均一な厚みを有する塗布膜を得ることができる。
【００４２】
また、回転体１１１の３〜３０分間の回転保持により、塗布後の塗布液の垂れによる軸心方向の膜厚のばらつきを抑制し、塗布膜から揮発性溶剤が蒸発する時間を確保するとともに、１層目と２層目の層間の界面接着力の低下を防止することができる。
【００４３】
（乾燥工程）
膜厚安定化工程での膜厚安定化を終えた回転体１１１は、電気炉等が用いられる乾燥工程に送られる。乾燥工程での乾燥温度は次工程（焼成工程）の焼成温度より低い８０℃以上、２００℃以下に設定している。実施の形態では、乾燥時間は１０時間に設定している。乾燥工程での乾燥は、風を当てない無風状態で行われる。
【００４４】
本発明に係る塗布膜の乾燥温度を８０℃以上、２００℃以下とするとともに焼成温度よりも低い温度に設定し、かつ無風状態で行うことにより、塗布膜の表面だけの乾燥をなくして揮発性溶剤を十分に蒸発させることができ、耐摩耗性の優れた塗布膜を得ることができる。
【００４５】
（焼成工程）
乾燥工程での乾燥を終えた回転体１１１は、電気炉等が用いられる焼成工程に送られる。実施の形態では焼成工程での焼成温度を１５０〜２２０℃、焼成時間を１０時間に設定している。
【００４６】
（切削工程）
焼成を終えた回転体１１１は、切削工程に送られ、円筒状の内周面１１１ａは切削加工されて高精度の寸法に仕上げられる。
【００４７】
図４は、本発明に係る切削工程における回転体１１１の内周面１１１ａに対する１、２層目の塗布膜の厚さと切削位置との関係を説明するための断面図である。
【００４８】
図４において、符号のａは１層目の塗布膜、ｂは２層目の塗布膜、ｃは切削位置を示す。塗布膜が形成された円筒状の内周面１１１ａの切削は、固定部材１２１との嵌合寸法を高精度に仕上げるために行われるものである。
【００４９】
図４に示すように、１層目の塗布膜ａは塗布直後から塗布膜が安定する膜厚安定化工程（図３（ａ）参照）までの間に図の下方に塗布液Ｔｅが垂れるため、下方に厚くなる。２層目の塗布膜ｂは塗布直後から塗布膜が安定する膜厚安定化工程（図３（ｃ）参照）までの間に、回転体１１１の上下方向の向きが変えられて図の上方に塗布液Ｔｅが垂れるため上方に厚くなり、１層目と２層目を合わせた塗布膜は上下方向（軸心方向）での厚みが一定になる。
【００５０】
１、２層目の塗布膜は、揮発性溶剤を蒸発させ易くするために膜厚が薄くなるように形成されている。そのため切削工程における切削位置ｃでの切削により、図４の下方で膜厚の薄い２層目が削られて１層目が露出するが、前述のように上方では２層目の膜厚が厚く形成されているため、２層目の塗布膜ｂが残される。
【００５１】
１層目の塗布膜ａは、２層目の層間の界面接着力の低下を防止するために限られた乾燥時間で２層目の塗布を行う。よって、揮発性溶剤の蒸発は２層目の方が十分であり、焼成後の密度が高く耐摩耗性も良い。
【００５２】
一方、回転体１１１は、内周面１１１ａにおける、鍔状の摺動面１１１ｂから離間する側の端部近傍（図３（ａ）の上方）に、より高い耐摩耗性が求められる。なぜならば、図１に示す回転体１１１と固定部材１２１との嵌合において、固定部材１２１の軸部１２１ａの鍔部１２１ｂから離間する上端部は、回転体１１１の内周面１１１ａを形成する円筒状の内周面の上部に摺動する。固定部材１２１の軸部１２１ａと回転体１１１の内周面１１１ａとは、高速回転時には数μｍの空気間隙を持って回転するため接触しないが、回転開始時や回転停止直前には接触して摺動する。即ち、低速回転時における固定部材１２１と回転体１１１との摺動時においては、軸部１２１ａの上端部が接触する回転体１１１の内周面１１１ａの上部に、特に応力が集中し易く、回転体１１１の内周面の上部は下部より高い耐摩耗性が必要となるからである。
【００５３】
図４に示すように、切削後の回転体１１１の内周面１１１ａの上部に耐摩耗性が優れた２層目の塗布膜ｂを残すことにより、固定部材１２１の軸部１２１ａの上端部が接触する内周面１１１ａの上部の塗布膜の耐久性を向上させることができる。
【００５４】
本発明に係る膜厚安定化工程における保持状態の１層目と２層目との違いに基づき、塗布膜の切削後の回転体１１１の内周面の上部に２層目の塗布膜を残すことにより、固定部材１２１のラジアル軸受部の上端部の接触に伴う応力の集中に備えることができる。
【００５５】
図５は、本発明に係る回転体１１１の円筒状の内周面１１１ａと鍔状の摺動面１１１ｂに形成する塗布膜形成の手順を説明するためのフローチャートである。
【００５６】
図５において、始めに、塗布工程において、回転体１１１の円筒状の内周面１１１ａと鍔状の摺動面１１１ｂにフッ素樹脂の１層目の塗布膜が形成される（ステップＳ１１）。
【００５７】
次いで、回転体１１１は膜厚安定化工程に送られ、軸心が鉛直になる状態で数秒間保持される（ステップＳ１２、図３（ａ）参照）。その後、回転体１１１は、軸心が水平になる状態で３〜３０分間、回転されながら保持される（ステップＳ１３、図３（ｂ）参照）。
【００５８】
次に回転体１１１は、円筒状の内周面１１１ａと鍔状の摺動面１１１ｂにフッ素樹脂の２層目の塗布膜を形成される（ステップＳ１４）。
【００５９】
次いで、回転体１１１は膜厚安定化工程に送られ、軸心が鉛直になる、１層目の向きと上下方向が逆の状態で、数秒間保持される（ステップＳ１５、図３（ｃ）参照）。その後、回転体１１１は、軸心が水平になる状態で３〜３０分間、回転されながら保持される（ステップＳ１６、図３（ｄ）参照）。
【００６０】
膜厚安定化工程を終えた回転体１１１は、乾燥工程に送られ、次工程（焼成工程）の焼成温度より８０〜２００℃低い温度に設定された、無風の電気炉で１０時間乾燥される（ステップＳ１７）。その後、焼成工程に送られ、１９５℃で１０時間焼成される（ステップＳ１８）。
【００６１】
最後に、回転体１１１は切削工程に送られ、円筒状の内周面１１１ａと鍔状の摺動面１１１ｂを切削加工され、高精度の寸法に仕上げられる（ステップＳ１９）。
【００６２】
なお、本実施の形態においては、塗布膜を回転体に形成する構成について記載したが、塗布膜を固定部材に形成する場合についても本発明が適用できる。塗布膜を固定部材に形成する場合についての構成は、塗布膜を回転体に形成する構成に類似するため、説明は省略する。
【符号の説明】
【００６３】
１００  光偏向装置
１１０  回転ユニット
１１１  回転体（動圧軸受）
１１１ａ  円筒状の内周面
１１１ｂ  鍔状の摺動面
１１２  ポリゴンミラー
１２１  固定部材（動圧軸受）
１２１ａ  軸部
１２１ｂ  鍔部
１２１ｃ、１２１ｄ  動圧発生用溝
ＤＳ  ディップ装置（浸漬塗布装置）
ＨＧ１  保持具
ＨＧ２  回転保持具
ＴＨ  塗布ヘッド
Ｔｅ  塗布液
ＴＫ  タンク
ａ  １層目の塗布膜
ｂ  ２層目の塗布膜
ｃ  切削位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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