(57)【要約】【課題】リニアアクチュエータにおいて、スライドテーブルの停止時におけるモーメントの発生を抑制して該スライドテーブルの傾きを抑制すると共に、設計の容易化及び使い勝手の向上を図る。【解決手段】リニアアクチュエータ１０を構成するシリンダ本体１２には、上方に設けられたガイド機構１６を介してスライドテーブル１４が往復自在に設けられている。スライドテーブル１４の一端部には、その長手方向と直交する幅方向中央に、ストッパボルト８２を有したストッパ機構１８が設けられている。そして、スライドテーブル１４が、シリンダ本体１２に沿って変位した際、ストッパボルト８２の端部が、ガイド機構１６を構成するカバー９６の端部に当接することによって前記スライドテーブル１４が係止されて停止する。【選択図】図４
2011158085.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータにおいて、
前記流体出入ポートと連通し、前記圧力流体の導入される一対のシリンダ室を有したシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設される一対のピストンを有し、前記ピストンの変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
前記シリンダ本体に取り付けられ、複数の転動体の転動作用下に循環する循環通路が形成された扁平なガイドブロックを有し、前記スライドテーブルを前記シリンダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、
前記スライドテーブルの端部において、該スライドテーブルの軸線方向と直交する幅方向中央に設けられ、前記スライドテーブルの往復動作を規制するストッパ機構と、
を備え、
前記ストッパ機構は、前記スライドテーブルと共に変位し、前記ガイドブロックの端部に当接することを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記ガイドブロックは、前記シリンダ本体に固定されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記シリンダ本体には、前記ガイド機構及び前記スライドテーブルに臨む側面に、該スライドテーブルから離間する方向に窪んだ凹部を備え、前記凹部には、前記ストッパ機構の一部が挿入されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記スライドテーブルには、前記ガイドブロックの側面に臨む壁部に前記転動体の案内される案内溝が形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記ストッパ機構は、前記スライドテーブルの軸線方向に沿った一端部及び他端部の少なくともいずれか一方に設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記ストッパ機構は、前記スライドテーブルの下方に設けられる保持部材と、前記保持部材に対して軸線方向に沿って進退自在に螺合されたストッパボルトとを備え、前記保持部材は、前記スライドテーブルに対して上方から挿入される締結部材によって連結されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記流体出入ポートは、前記シリンダ本体の両側面にそれぞれ設けられ、一方の側面に設けられた前記流体出入ポートが選択的に用いられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿った両側面には、前記ピストンの変位位置を検出可能な検出センサが装着されるセンサ取付溝がそれぞれ形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記シリンダ本体及び前記スライドテーブルには、前記軸線方向と直交する幅方向の中央部に位置決め孔が設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワーク等の搬送手段として、例えば、流体圧シリンダ等のリニアアクチュエータが用いられている。本出願人は、シリンダ本体に沿ってスライドテーブルを直線状に往復運動させることにより、前記スライドテーブルに載置されたワークを搬送可能なリニアアクチュエータを提案している（特許文献１参照）。
【０００３】
また、特許文献２には、ボディにおけるガイドレールとスライドテーブルとの間に複数の鋼球が設けられ、前記スライドテーブルの変位に伴って前記鋼球が変位する非循環式のガイド機構を備えたリニアアクチュエータが開示されています。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実用新案登録第２５８６２７６号公報
【特許文献２】特開２００８−５７６７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２に係る従来技術では、例えば、スライドテーブルに対して偏荷重がかかった状態で該スライドテーブルを移動させた場合、前記ガイドレールにおける左右の鋼球にずれが生じてしまい、それに伴って、前記スライドテーブルに傾きが生じてしまうことが懸念される。
【０００６】
本発明は、前記の提案に基づいてなされたものであり、スライドテーブルの停止時におけるモーメントの発生を抑制して該スライドテーブルの傾きを抑制すると共に、設計の容易化及び使い勝手の向上を図ることが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記の目的を達成するために、本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復動作させるリニアアクチュエータにおいて、
前記流体出入ポートと連通し、前記圧力流体の導入される一対のシリンダ室を有したシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設される一対のピストンを有し、前記ピストンの変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
前記シリンダ本体に取り付けられ、複数の転動体の転動作用下に循環する循環通路が形成された扁平なガイドブロックを有し、前記スライドテーブルを前記シリンダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、
前記スライドテーブルの端部において、該スライドテーブルの軸線方向と直交する幅方向中央に設けられ、前記スライドテーブルの往復動作を規制するストッパ機構と、
を備え、
前記ストッパ機構は、前記スライドテーブルと共に変位し、前記ガイドブロックの端部に当接することを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、一対のピストンをシリンダ本体に備えたリニアアクチュエータにおいて、前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルには、その端部の幅方向中央に、前記スライドテーブルの往復動作を規制するストッパ機構が設けられる。そして、ピストンを含むシリンダ機構によってスライドテーブルを往復動作させた際、該スライドテーブルと共に変位するストッパ機構が、ガイド機構を構成するガイドブロックの端部に当接して停止する。
【０００９】
従って、ストッパ機構が、スライドテーブルの端部において幅方向中央に設けられているため、ガイドブロックの端部に当接して係止される際、リニアアクチュエータを上方から見た場合に左右方向となるモーメントの発生が抑制され、前記スライドテーブルが係止される際に生じる傾きを回避することができる。
【００１０】
また、ガイドブロックを、シリンダ本体に固定するとよい。
【００１１】
さらに、シリンダ本体には、ガイド機構及びスライドテーブルに臨む側面に、該スライドテーブルから離間する方向に窪んだ凹部を備え、前記凹部に、前記ストッパ機構の一部を挿入させるとよい。
【００１２】
さらにまた、スライドテーブルに、ガイドブロックの側面に臨む壁部に転動体の案内される案内溝を形成するとよい。
【００１３】
またさらに、ストッパ機構を、スライドテーブルの軸線方向に沿った一端部及び他端部の少なくともいずれか一方に設けるとよい。
【００１４】
また、ストッパ機構は、スライドテーブルの下方に設けられる保持部材と、前記保持部材に対して軸線方向に沿って進退自在に螺合されたストッパボルトとを備え、前記保持部材を、スライドテーブルに対して上方から挿入される締結部材によって連結するとよい。
【００１５】
さらに、流体出入ポートを、シリンダ本体の両側面にそれぞれ設け、一方の側面に設けられた前記流体出入ポートを選択的に用いるとよい。
【００１６】
さらにまた、シリンダ本体の軸線方向に沿った両側面に、ピストンの変位位置を検出可能な検出センサの装着されるセンサ取付溝をそれぞれ形成するとよい。
【００１７】
またさらに、シリンダ本体及びスライドテーブルには、軸線方向と直交する幅方向の中央部に位置決め孔を設けるとよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００１９】
すなわち、一対のピストンをシリンダ本体に備えたリニアアクチュエータにおいて、スライドテーブルの端部における幅方向中央に、該スライドテーブルの往復動作を規制するストッパ機構を設けることにより、前記スライドテーブルの変位作用下にストッパ機構がガイドブロックの端部に当接して係止される際に、該ストッパ機構を中心とした左右方向のモーメント発生が抑制され、前記スライドテーブルが係止される際に生じる傾きを回避することができる。さらに、流体出入ポート及びセンサ取付溝をシリンダ本体の両側面に設け、しかも、位置決め孔が、前記シリンダ本体とスライドテーブルの幅方向中央に設けられているため、リニアアクチュエータの形状が、前記スライドテーブルの変位方向となるストローク方向に沿った軸線を中心として対称形状とすることができ、その結果、前記リニアアクチュエータの設計が容易となると共に、勝手違いによる２種類の製品を準備する必要を回避することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータの外観斜視図である。
【図２】図１のリニアアクチュエータからスライドテーブルを上方へと離脱させた状態を示す分解斜視図である。
【図３】図１のリニアアクチュエータを下方側から見た分解斜視図である。
【図４】図１のリニアアクチュエータの全体縦断面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。
【図６】図４のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【図７】図４のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図である。
【図８】図１のリニアアクチュエータを構成するガイド機構の外観斜視図である。
【図９】図８に示すガイド機構の分解斜視図である。
【図１０】図４に示すリニアアクチュエータにおいてスライドテーブルのエンドプレートがシリンダ本体から離間する方向へと変位した状態を示す全体縦断面図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータの外観斜視図である。
【図１２】図１１のリニアアクチュエータを下方側から見た分解斜視図である。
【図１３】図１１のリニアアクチュエータの全体縦断面図である。
【図１４】図１３のＸＩＶ−ＸＩＶ線に沿った断面図である。
【図１５】図１４のＸＶ−ＸＶ線に沿った断面図である。
【図１６】図１３に示すリニアアクチュエータにおいてスライドテーブルのエンドプレートがシリンダ本体から離間する方向へと変位した状態を示す全体縦断面図である。
【図１７】変形例に係るリニアアクチュエータの外観斜視図である。
【図１８】図１７のリニアアクチュエータを下方側から見た分解斜視図である。
【図１９】図１７に示すリニアアクチュエータの断面図である。
【図２０】本発明の第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータの正面図である。
【図２１】図２０に示すリニアアクチュエータの横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００２２】
図１において、参照符号１０は、本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。
【００２３】
このリニアアクチュエータ１０は、図１〜図１０に示されるように、シリンダ本体１２と、該シリンダ本体１２の上部に設けられ、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル１４と、前記シリンダ本体１２とスライドテーブル１４との間に介装され、前記スライドテーブル１４を長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って案内するガイド機構１６と、前記スライドテーブル１４の変位量を調整自在なストッパ機構１８とを含む。
【００２４】
シリンダ本体１２は、断面長方形状で長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定長さで形成され、その上面には、略中央部に断面略円弧状に窪んだ凹部２０が形成され、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って延在している。この凹部２０には、シリンダ本体１２とガイド機構１６とを連結する連結ボルト２２ａ、２２ｂの挿通される一対のボルト孔２４ａ、２４ｂが貫通している。
【００２５】
また、シリンダ本体１２の一側面には、図５に示されるように、圧力流体の供給・排出される第１及び第２ポート（流体出入ポート）２６、２８が該シリンダ本体１２の長手方向と直交するように形成され、後述する一対の貫通孔（シリンダ室）３０ａ、３０ｂと連通している。さらに、シリンダ本体１２の他側面には、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って二条のセンサ取付溝３２がそれぞれ形成され、図示しない検出センサが装着される。
【００２６】
シリンダ本体１２の下面には、図３及び図４に示されるように、軸線上となる幅方向（矢印Ｃ方向）の中央部に一組のボルト孔２４ａ、２４ｂが形成され、上方に向かって貫通した前記ボルト孔２４ａ、２４ｂには、下方より連結ボルト２２ａ、２２ｂが挿通される。
【００２７】
この連結ボルト２２ａ、２２ｂは、その頭部３３がねじ部から離間する方向（図４中、下方）に向かって徐々に拡径したテーパ状の皿ボルトからなり、ボルト孔２４ａ、２４ｂの拡径部３５も、テーパ状の頭部３３に当接するようにシリンダ本体１２の下面側に向かって徐々に拡径したテーパ状に形成される。
【００２８】
そして、連結ボルト２２ａ、２２ｂは、そのねじ部が前記シリンダ本体１２の上面より突出し、ガイド機構１６のガイドブロック９２に螺合されることによって互いに連結される。この際、図４に示されるように、連結ボルト２２ａ、２２ｂにおける頭部３３とボルト孔２４ａ、２４ｂの拡径部３５とがテーパ面を介して当接しているため、ガイドブロック９２に対して水平方向（矢印Ａ、Ｂ方向）の荷重が付与された場合でも、前記連結ボルト２２ａ、２２ｂがテーパ面との係合作用下に軸線と直交方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に変位することがない。
【００２９】
そのため、ガイドブロック９２がシリンダ本体１２に対して常に位置決めされた状態で強固に固定される。換言すれば、連結ボルト２２ａ、２２ｂの軸線と直交方向への滑り（変位）が規制されるため、ガイドブロック９２が高精度に位置決めされた状態で保持され、それに伴って、ストッパ機構１８を介して係止されるスライドテーブル１４の変位量を高精度に制御することができる。
【００３０】
また、シリンダ本体１２の下面には、幅方向（矢印Ｃ方向）の中央となる軸線上に一組の第１位置決め孔２９ａ、２９ｂが形成され、例えば、リニアアクチュエータ１０のシリンダ本体１２を他の装置等（図示せず）に固定する際、前記第１位置決め孔２９ａ、２９ｂ及び装置等に対してピンが挿入されることにより相対的な位置決めがなされる。
【００３１】
この第１位置決め孔２９ａ、２９ｂは、図３及び図４に示されるように、ボルト孔２４ａ、２４ｂに隣接するようにそれぞれ形成され、後述するピストンロッド３８の突出するシリンダ本体１２の一端部側（矢印Ａ方向）に、一方の第１位置決め孔２９ａが真円状で貫通して形成され、前記シリンダ本体１２の他端部側（矢印Ｂ方向）に形成される他方の第１位置決め孔２９ｂは、軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って長尺な長円状に形成される。
【００３２】
このように、第１位置決め孔２９ａ、２９ｂを、シリンダ本体１２における軸線上に設けることにより、該シリンダ本体１２を含むリニアアクチュエータ１０を他の装置等に取り付けて位置決めを行う際に容易に作業を行うことができる。
【００３３】
一方、シリンダ本体１２の内部には、図５に示されるように、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って貫通した一対の貫通孔３０ａ、３０ｂが形成され、一方の貫通孔３０ａと他方の貫通孔３０ｂとは、所定間隔離間して略平行に並設されている。貫通孔３０ａ、３０ｂには、外周面にシールリング３４が外周面に装着されたピストン３７と、前記ピストン３７に連結されたピストンロッド３８とを含むシリンダ機構４０がそれぞれ設けられる。
【００３４】
このシリンダ機構４０は、一対のピストン３７及びピストンロッド３８が一対の貫通孔３０ａ、３０ｂにそれぞれ内装されることによって構成される。また、ピストン３７の外周面には、シールリング３４と隣接してマグネット３６が装着される。なお、マグネット３６は、シリンダ本体１２におけるセンサ取付溝３２側となる一方のピストン３７にのみ設けられ、前記センサ取付溝３２に装着される検出センサ（図示せず）によって前記マグネット３６の磁気が検出されることにより該ピストン３７の軸線方向に沿った変位位置が検出される。
【００３５】
さらに、ピストン３７には、後述するロッドホルダ４６側（矢印Ａ方向）となる端部に環状のピストンダンパ４１が設けられ、例えば、ストッパ機構１８が設けられておらず、前記ピストン３７が前記ロッドホルダ４６側（矢印Ａ方向）に向かって変位した場合でも、前記ピストン３７が前記ピストンダンパ４１を介してロッドホルダ４６に当接することによって係止され、その衝撃が緩衝される。
【００３６】
貫通孔３０ａ、３０ｂの一端部は、キャップ４２によって閉塞され、前記貫通孔３０ａ、３０ｂの他端部は、止め輪４４を介して保持されるロッドホルダ４６によって気密に閉塞される。なお、ロッドホルダ４６の外周面には、環状溝を介してＯリング４８が装着され、貫通孔３０ａ、３０ｂとの間を通じた圧力流体の漏れを防止している。
【００３７】
さらに、一方の貫通孔３０ａは、第１及び第２ポート２６、２８とそれぞれ連通し、他方の貫通孔３０ｂは、一方の貫通孔３０ａとの間に形成された一組の接続通路５０ａ、５０ｂを介して互いに連通している。すなわち、第１及び第２ポート２６、２８に供給された圧力流体は、一方の貫通孔３０ａへと導入された後、接続通路５０ａ、５０ｂを通じて他方の貫通孔３０ｂにも導入される。この接続通路５０ａ、５０ｂは、貫通孔３０ａ、３０ｂの延在方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と直交するように形成されている。
【００３８】
スライドテーブル１４は、テーブル本体５２と、該テーブル本体５２の一端部に連結されるストッパ機構１８と、前記テーブル本体５２の他端部に連結されるエンドプレート（保持部材）５４とを備え、前記エンドプレート５４は、前記テーブル本体５２に対して直交するように連結される。
【００３９】
テーブル本体５２は、長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定厚さで延在するベース部５６と、該ベース部５６の両側部から直交するように下方へと延在した一対のガイド壁（壁部）５８ａ、５８ｂとからなり、前記ガイド壁５８ａ、５８ｂの内面には、後述するガイド機構１６のボール（転動体）６０が案内される第１ボール案内溝（案内溝）６２が形成される。なお、第１ボール案内溝６２は、断面略半円状に窪んで形成される。なお、ベース部５６とガイド壁５８ａ、５８ｂとは、略同一の厚さ寸法で形成されている（図７参照）。
【００４０】
また、テーブル本体５２の一端部には、後述するストッパ機構１８のホルダ部（保持部材）６４を固定するためのボルト（締結部材）６６ａが挿通される一対の第１ボルト孔６８が形成されると共に、他端部には、エンドプレート５４を固定するためのボルト６６ｂが挿通される一対の第２ボルト孔７０が形成され、この第１及び第２ボルト孔６８、７０は、いずれもテーブル本体５２の延在方向（矢印Ａ、Ｂ方向）と直交方向に貫通している。
【００４１】
ベース部５６には、その一端部と他端部との間に４個のワーク保持用孔部７２が形成され、該ワーク保持用孔部７２は、互いに所定間隔離間して配置される。このワーク保持用孔部７２は、例えば、スライドテーブル１４の上部にワーク（図示せず）を載置して搬送する際、該ワークを固定する目的で設けられている。
【００４２】
そして、ワーク保持用孔部７２は、スライドテーブル１４をシリンダ本体１２の上部に設けた際、ガイドブロック９２の両側面に設けられる第２ボール案内溝７４に対して前記シリンダ本体１２及びガイドブロック９２の幅方向（矢印Ｃ方向）における中心側となる位置に配置される（図７参照）。換言すれば、ワーク保持用孔部７２は、スライドテーブル１４において、ガイドブロック９２の第２ボール案内溝７４より内側となる位置に配置される。
【００４３】
また、ベース部５６には、図１〜図４に示されるように、その幅寸法の中央となる軸線上にワーク（図示せず）を位置決めするための図示しないピンが挿入される一組の第２位置決め孔７５ａ、７５ｂが形成される。この第２位置決め孔７５ａ、７５ｂは、ベース部５６の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って互いに所定間隔離間し、エンドプレート５４側（矢印Ａ方向）に設けられる一方の第２位置決め孔７５ａが、真円状で貫通して形成され、ストッパ機構１８側（矢印Ｂ方向）に設けられる他方の第２位置決め孔７５ｂが、軸線方向に沿って長尺な長円状に形成される。
【００４４】
このように、第２位置決め孔７５ａ、７５ｂを、スライドテーブル１４におけるベース部５６の軸線上に設けることにより、前記スライドテーブル１４にワークを載置して位置決めを行う際に容易に作業を行うことができる。
【００４５】
エンドプレート５４は、テーブル本体５２の他端部に形成された第２ボルト孔７０に挿通された２本のボルト６６ｂによって固定され、シリンダ本体１２の端面に臨むように設けられると共に、一組のロッド孔７６ａ、７６ｂに挿通されたピストンロッド３８の端部がそれぞれ固定される。これにより、エンドプレート５４を含むスライドテーブル１４が、ピストンロッド３８と共にシリンダ本体１２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位することとなる。
【００４６】
また、エンドプレート５４には、一方のロッド孔７６ａと他方のロッド孔７６ｂとの間となる位置に、ダンパ７８の装着されるダンパ装着孔８０が開口している。例えば、ゴム等の弾性材料からなるダンパ７８が、シリンダ本体１２側となるエンドプレート５４の他側面側からダンパ装着孔８０に装着された際、その端部が拡径すると共に前記他側面から突出する。
【００４７】
このダンパ装着孔８０は、エンドプレート５４の幅方向（矢印Ｃ方向）における中央部に形成されているため、ダンパ７８が前記エンドプレート５４における幅方向中央部に装着されることとなる。
【００４８】
すなわち、エンドプレート５４がスライドテーブル１４と共に変位した際、該エンドプレート５４の他側面より突出したダンパ７８がシリンダ本体１２の端面に当接することにより、前記エンドプレート５４と前記シリンダ本体１２とが直接当接した際に懸念される衝撃や衝撃音の発生が回避される。
【００４９】
さらに、ダンパ７８を、エンドプレート５４の幅方向（矢印Ｃ方向）の略中央部に設けているため、前記スライドテーブル１４が変位し、前記エンドプレート５４がダンパ７８を介してシリンダ本体１２の端面に当接して係止される際、リニアアクチュエータ１０を上方から見て、左右方向となるモーメントの発生が抑制される。
【００５０】
ストッパ機構１８は、テーブル本体５２における一端部の下面に設けられるホルダ部６４と、前記ホルダ部６４に対して螺合されるストッパボルト８２と、前記ストッパボルト８２の進退動作を規制するロックナット８４とを有し、シリンダ本体１２に設けられたガイド機構１６の端面に臨むように設けられる。
【００５１】
ホルダ部６４は、ブロック状に形成され、スライドテーブル１４を構成するテーブル本体５２のベース部５６に対して第１ボルト孔６８を介して２本のボルト６６ａで上方から固定される。ホルダ部６４の略中央部には、下方に向かって断面円弧状に膨出した第１膨出部８６を有し、前記第１膨出部８６を含むホルダ部６４の中心部には、ストッパボルト８２の螺合されるねじ孔８８が形成され、前記テーブル本体５２の延在方向と略平行に貫通している。
【００５２】
すなわち、ねじ孔８８は、第１膨出部８６を有するホルダ部６４の略中央部に設けられることにより、該第１膨出部８６を有していない場合と比較し、若干だけ下方に形成することができる。
【００５３】
また、第１膨出部８６は、ホルダ部６４において軸線方向に沿って延在し、スライドテーブル１４が長手方向に沿って変位する際、シリンダ本体１２の凹部２０に挿通される。
【００５４】
ストッパボルト８２は、例えば、外周面にねじの刻設された軸状のスタッドボルトからなり、ホルダ部６４のねじ孔８８に螺合された状態で、該ねじ孔８８から突出する長さで形成される。そして、ストッパボルト８２には、ホルダ部６４の端面から突出した部位にロックナット８４が螺合される。
【００５５】
そして、ストッパボルト８２をホルダ部６４に対して螺回させることにより、該ストッパボルト８２が軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位し、ガイド機構１６に接近・離間する。例えば、ストッパボルト８２を螺回させ所定長さだけガイド機構１６側（矢印Ａ方向）へと突出させた後、ロックナット８４を螺回することにより移動させ前記ホルダ部６４の側面に当接させることにより、前記ストッパボルト８２の進退動作が規制される。
【００５６】
また、ストッパボルト８２の端部には、ガイド機構１６側に向かって所定長さだけ突出し、例えば、弾性材料からなる緩衝部９０が形成される。この緩衝部９０は、スライドテーブル１４の変位作用下にストッパボルト８２がガイド機構１６の端面に当接する際の衝撃を緩和する目的で設けられる。
【００５７】
ガイド機構１６は、図８及び図９に示されるように、幅広扁平状のガイドブロック９２と、該ガイドブロック９２に設けられ、ボール６０を循環させる一対のボール循環部材９４ａ、９４ｂと、前記ガイドブロック９２の長手方向に沿った両端部にそれぞれ装着される一組のカバー９６と、前記カバー９６の表面をそれぞれ覆う一組のカバープレート９８とを含む。
【００５８】
ガイドブロック９２の両側面には、長手方向に沿って第２ボール案内溝７４が形成され、前記第２ボール案内溝７４に近接する部位には、ボール循環部材９４ａ、９４ｂの挿入される一対の装着溝１００ａ、１００ｂが長手方向に沿って貫通している。第２ボール案内溝７４は、断面半円状に形成され、ガイド機構１６の上部にスライドテーブル１４が配置された際、第１ボール案内溝６２と対向する位置に形成される。
【００５９】
装着溝１００ａ、１００ｂは、ガイドブロック９２の下面に形成され、断面矩形状で下方及び長手方向に沿った両端部が開口している。
【００６０】
ボール循環部材９４ａ、９４ｂは、装着溝１００ａ、１００ｂに対応して断面矩形状に形成され、その内部にボール６０の循環するボール循環孔（第２循環通路）１０２が貫通すると共に、その両端部には、前記ボール６０の循環方向を反転させる一組の反転部１０４ａ、１０４ｂがそれぞれ設けられる。反転部１０４ａ、１０４ｂは、断面半円状に形成され、その外周面にボール６０の転動するボール溝が形成され、該ボール溝がボール循環孔１０２と連続的に接続されている。
【００６１】
すなわち、ボール６０が、ボール循環部材９４ａ、９４ｂにおいてボール循環孔１０２から反転部１０４ａ、１０４ｂのボール溝を介して該ボール循環部材９４ａ、９４ｂの外側に設けられた第１及び第２ボール案内溝（第１循環通路）６２、７４へと１８０°方向変換して転動する。
【００６２】
このボール循環部材９４ａ、９４ｂが、ガイドブロック９２においてボール循環孔１０２が第１及び第２ボール案内溝６２、７４に対して下方となるように配置される。すなわち、ボール循環孔１０２と第１及び第２ボール案内溝６２、７４とが、鉛直方向（図７中、矢印Ｃ方向）に所定高さだけオフセットして設けられている。
【００６３】
また、反転部１０４ａ、１０４ｂは、ボール循環部材９４ａ、９４ｂをガイドブロック９２の装着溝１００ａ、１００ｂに挿入した際、その平面部１０８がそれぞれガイドブロック９２の両端面に当接し（図６参照）、前記ボール循環部材９４ａ、９４ｂのボール循環孔１０２と第２ボール案内溝７４との間を接続している。
【００６４】
すなわち、図７に示されるように、ガイド機構１６において、ボール循環孔１０２と第１及び第２ボール案内溝６２、７４とが反転部１０４ａ、１０４ｂによって斜め方向に接続されている。
【００６５】
これにより、ボール循環部材９４ａ、９４ｂのボール循環孔１０２、ボール溝、スライドテーブル１４の第１ボール案内溝６２及びガイドブロック９２の第２ボール案内溝７４によって環状で連続するボール循環通路１１０が形成され、複数のボール６０が前記ボール循環通路１１０に沿って転動することにより、スライドテーブル１４をガイド機構１６に沿って円滑に往復動作させる。
【００６６】
カバー９６は、ガイドブロック９２の両端面を覆うように装着され、その中央部には、軸線方向に沿って貫通した孔部１１１が形成されると共に、前記孔部１１１を中心として上下方向に向かってそれぞれ断面円弧状に膨出した第２膨出部１１２を備える。この第２膨出部１１２は、シリンダ本体１２の上部にガイド機構１６が装着された際、該シリンダ本体１２の凹部２０内に挿入可能に設けられる。
【００６７】
一方、カバー９６の内部には、反転部１０４ａ、１０４ｂの収容される空間部１１４が形成され、前記空間部１１４には、前記反転部１０４ａ、１０４ｂとの間を転動するボール６０を保持する保持溝１１６が形成されている。この保持溝１１６は、反転部１０４ａ、１０４ｂの半径外側に断面円弧状に形成され、前記保持溝１１６と反転部１０４ａ、１０４ｂのボール溝との間をボール６０が転動する。
【００６８】
カバープレート９８の略中央部には、孔部１１８が形成され、カバー９６の孔部１１１と同一直径且つ同軸上に形成される。そして、孔部１１１、１１８を通じてガイドブロック９２の端面が外部に露呈すると共に、カバー９６に対応して上下方向に断面円弧状に膨出した第３膨出部１２０を有する。この第３膨出部１２０は、カバー９６の第２膨出部１１２と略同一の断面形状で形成され、シリンダ本体１２の凹部２０に挿入可能に設けられる。なお、上述したカバー９６及びカバープレート９８は、カバー固定用ボルト１２２を介してそれぞれガイドブロック９２の端面に固定される。
【００６９】
そして、スライドテーブル１４が往復動作した際、ストッパ機構１８を構成するストッパボルト８２が孔部１１８、１１１を介してガイドブロック９２の端面に当接する。
【００７０】
本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、図４に示されるように、スライドテーブル１４を構成するエンドプレート５４が、シリンダ本体１２の端面に当接した状態を初期位置として説明する。
【００７１】
先ず、図示しない圧力流体供給源から圧力流体を第１ポート２６へと導入する。この場合、第２ポート２８は、図示しない切換弁の操作下に大気開放状態としておく。
【００７２】
この第１ポート２６に供給された圧力流体は、一方の貫通孔３０ａへ供給されると共に、接続通路５０ｂを通じて他方の貫通孔３０ｂへと供給され、ピストン３７をロッドホルダ４６側（矢印Ａ方向）に向かって押圧する。これにより、ピストン３７に連結されたピストンロッド３８と共に、スライドテーブル１４がシリンダ本体１２から離間する方向へと変位する。
【００７３】
この際、ガイド機構１６を構成するボール６０が、スライドテーブル１４の変位に伴ってボール循環通路１１０に沿って転動することにより、前記スライドテーブル１４が前記ガイド機構１６によって軸線方向に沿って案内される。
【００７４】
そして、図１０に示されるように、スライドテーブル１４の一端部に設けられたストッパボルト８２の端部が、ガイド機構１６を構成するガイドブロック９２の端面に当接することにより、前記スライドテーブル１４の変位が停止した変位終端位置となる。
【００７５】
このストッパ機構１８は、ロックナット８４を緩め、ストッパボルト８２の進退動作を可能とした後、該ストッパボルト８２を螺回させてホルダ部６４の端面からの突出量を調整することにより、スライドテーブル１４の変位量を調整することが可能である。
【００７６】
一方、図１０に示される変位終端位置からスライドテーブル１４を前記とは反対方向に変位させる場合には、第１ポート２６に供給されていた圧力流体を第２ポート２８に対して供給すると共に、前記第１ポート２６を大気開放状態とする。これにより、第２ポート２８から一対の貫通孔３０ａ、３０ｂへと供給された圧力流体によってピストン３７がロッドホルダ４６から離間する方向（矢印Ｂ方向）へと変位し、該ピストン３７と共にピストンロッド３８を介してスライドテーブル１４がシリンダ本体１２に接近する方向へと変位する。そして、スライドテーブル１４を構成するエンドプレート５４に設けられたダンパ７８が、シリンダ本体１２の端面に当接することにより初期位置へと復帰する。
【００７７】
以上のように、第１の実施の形態では、シリンダ本体１２に一対のピストン３７及びピストンロッド３８からなるシリンダ機構４０を有したリニアアクチュエータ１０において、該シリンダ本体１２の上部に設けられるスライドテーブル１４には、その一端部の略中央部に、前記スライドテーブル１４の変位を係止するストッパ機構１８が設けられている。このストッパ機構１８を、スライドテーブル１４の一端部且つ幅方向（矢印Ｃ方向）の略中央部に設けているため、前記スライドテーブル１４が変位して前記ストッパ機構１８のストッパボルト８２がガイドブロック９２の端面に当接して係止される際、リニアアクチュエータ１０を上方から見て、左右方向となるモーメントの発生を抑制することができる。その結果、スライドテーブル１４が係止される際の傾きを抑制することができ、確実且つ安定的に停止させることができる。
【００７８】
また、ボール循環孔１０２を有したボール循環部材９４ａ、９４ｂを、ガイド機構１６のガイドブロック９２に設け、前記ガイドブロック９２をシリンダ本体１２の上部に２本の連結ボルト２２ａ、２２ｂで固定している。そのため、従来技術に係るリニアアクチュエータのように、ボディに設けられたレールに沿って変位させる場合と比較し、ボール循環通路１１０の長さを短くすることができるため、それに伴って、リニアアクチュエータ１０の長手方向に沿った長さを短くすることが可能となる。換言すれば、リニアアクチュエータ１０を長手方向に小型化することができる。
【００７９】
さらに、従来技術である特許文献２に開示されたように、非循環式のリニアアクチュエータでは、左右に配置されたボール（鋼球）にずれが生じることがあり、それに伴って、スライドテーブルに傾きが生じることがある。これに対して、ボール６０の循環可能なガイド機構１６を有した本願発明のリニアアクチュエータ１０では、左右の前記ボール６０にずれが生じることがないため、スライドテーブル１４の傾きを抑制する効果が大きい。
【００８０】
さらに、シリンダ本体１２の上面には、断面円弧状に窪んだ凹部２０を形成すると共に、該シリンダ本体１２の上部に設けられたガイド機構１６のカバー９６に、前記シリンダ本体１２側に向かって膨出した第２膨出部１１２を設け、該第２膨出部１１２が前記凹部２０内に挿入し、さらに、ストッパ機構１８のストッパボルト８２が当接するカバー９６に対応させ、前記ストッパボルト８２の位置をよりシリンダ本体１２に接近させて配置することができる。
【００８１】
そのため、シリンダ本体１２に凹部２０を設けていない場合と比較し、ガイド機構１６及びストッパ機構１８を、シリンダ本体１２側に接近させて配置することが可能となり、前記ガイド機構１６等を含むリニアアクチュエータ１０の高さ寸法を抑制することが可能となる。
【００８２】
さらにまた、リニアアクチュエータ１０の高さ方向（図７中、矢印Ｄ方向）において、シリンダ本体１２の中心と、ストッパ機構１８を構成するストッパボルト８２の中心との離間距離Ｌ（図７参照）をより小さくすることが可能となるため、前記ストッパ機構１８を介してスライドテーブル１４がガイド機構１６に当接して係止される際、上下方向に生じるモーメントを小さくすることが可能となる。その結果、スライドテーブル１４が係止される際の傾きを抑制することができ、確実且つ安定的に停止させることができる。
【００８３】
また、スライドテーブル１４を構成する一対のガイド壁５８ａ、５８ｂの内側に、ボール６０の転動する第１ボール案内溝６２をそれぞれ設けることにより、前記スライドテーブル１４に対してガイド機構１６を固定する必要がなく、それに伴って、前記スライドテーブル１４の厚さを薄く形成することができる。その結果、スライドテーブル１４を含むリニアアクチュエータ１０の高さ寸法を抑制でき、高さ方向に小型化を図ることができる。
【００８４】
さらに、ストッパ機構１８を構成するホルダ部６４が、スライドテーブル１４におけるベース部５６の一端部に対して上方からボルト６６ａで固定される構成としているため、前記ホルダを、その前方からスライドテーブル１４のベース部５６に対して固定する場合と比較し、前記ベース部５６の厚さを薄くすることができる。その結果、ベース部５６を含むスライドテーブル１４の薄肉化を図ることができ、それに伴って、前記スライドテーブル１４の軽量化を図ることができる。
【００８５】
さらにまた、ダンパ７８を、エンドプレート５４の幅方向（矢印Ｃ方向）の略中央部に設けているため、前記スライドテーブル１４が変位し、前記エンドプレート５４がダンパ７８を介してシリンダ本体１２の端面に当接して係止される際、リニアアクチュエータ１０を上方から見て、左右方向となるモーメントの発生を抑制することができる。その結果、スライドテーブル１４が係止される際の傾きを抑制することができ、確実且つ安定的に停止させることができる。
【００８６】
またさらに、シリンダ本体１２の下面に、幅方向（矢印Ｃ方向）の中央となる軸線上に第１位置決め孔２９ａ、２９ｂを設けると共に、スライドテーブル１４の幅寸法の中央となる軸線上にワーク（図示せず）を位置決めするための第２位置決め孔７５ａ、７５ｂを設けることにより、例えば、リニアアクチュエータ１０のシリンダ本体１２を他の装置等（図示せず）に固定する際、前記第１位置決め孔２９ａ、２９ｂ及び装置等に対してピンが挿入されることにより相対的な位置決めを容易且つ高精度に行うことができると共に、スライドテーブル１４にワークを載置する際の位置決めを容易且つ高精度に行うことができる。
【００８７】
すなわち、リニアアクチュエータ１０においては、ストッパ機構１８を構成するストッパボルト８２、エンドプレート５４に設けられたダンパ７８、シリンダ本体１２の下面に形成された第１位置決め孔２９ａ、２９ｂ、スライドテーブル１４に形成された第２位置決め孔７５ａ、７５ｂが、いずれも前記リニアアクチュエータ１０の幅方向（矢印Ｃ方向）における中央部に設けられており、前記シリンダ本体１２、スライドテーブル１４、ガイドブロック９２及びストッパ機構１８が、前記リニアアクチュエータ１０において左右方向に対称形状となるように形成されている。その結果、シリンダ本体１２及びスライドテーブル１４を含むリニアアクチュエータ１０の左右方向の勝手違いが発生することがなく、その設計が容易となる。
【００８８】
また、スライドテーブル１４を製作する場合には、第２位置決め孔７５ａ、７５ｂを基準として、ガイド壁５８ａ、５８ｂをプレス成形によって折り曲げ、さらに、前記第２位置決め孔７５ａ、７５ｂを基準として、第１ボール案内溝６２を加工（例えば、切削加工）することで、前記第２位置決め孔７５ａ、７５ｂを高精度に前記スライドテーブル１４の幅方向における中央に設けることが可能となる。
【００８９】
次に、第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０を図１１〜図１６に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００９０】
この第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０では、図１１〜図１６に示されるように、第１及び第２ポート２６、２８がシリンダ本体１５２の一側面に形成されると同時に、前記シリンダ本体１５２の他側面には、前記圧力流体の供給・排出される別の第３及び第４ポート（流体出入ポート）１５４、１５６（図１４参照）が形成され、しかも、前記シリンダ本体１５２の一側面及び他側面にセンサ取付溝１５８ａ、１５８ｂ（図１５参照）がそれぞれ形成されている点で、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と相違している。
【００９１】
また、リニアアクチュエータ１５０は、一組のストッパボルト１６０ａ、１６０ｂ及びロックナット１６２ａ、１６２ｂとを有したストッパ機構１６４を備えている点で、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０と相違している。
【００９２】
このシリンダ本体１５２の他側面には、第１ポート２６と一直線上となる位置に第３ポート１５４が形成されると共に、第２ポート２８と一直線上となる位置に第４ポート１５６が形成される。そして、第３及び第４ポート１５４、１５６は、シリンダ本体１５２における他方の貫通孔３０ｂにそれぞれ連通し、第３及び第４ポート１５４、１５６に供給された圧力流体は、他方の貫通孔３０ｂへと導入された後、接続通路５０ａ、５０ｂを通じて一方の貫通孔３０ａにも導入される。
【００９３】
この第１及び第２ポート２６、２８、第３及び第４ポート１５４、１５６は、リニアアクチュエータ１５０の設置環境において使用に適したいずれか一組のポートが選択的に配管（図示せず）が接続されて使用される。例えば、第３及び第４ポート１５４、１５６に配管を接続し、圧力流体を供給・排出する場合には、第１及び第２ポート２６、２８には、閉塞プラグ１６６がそれぞれ装着され閉塞される。反対に、第１及び第２ポート２６、２８を使用して圧力流体の供給・排出を行う場合には、第３及び第４ポート１５４、１５６に対して閉塞プラグ１６６がそれぞれ装着される。
【００９４】
一方、センサ取付溝１５８ａ、１５８ｂは、シリンダ本体１５２の一側面及び他側面において、第１〜第４ポート２６、２８、１５４、１５６の上方となる位置に形成され、該シリンダ本体１５２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿ってそれぞれ一直線状に延在している。そして、センサ取付溝１５８ａ、１５８ｂには、それぞれ図示しない検出センサが装着され、一対のピストン３７にそれぞれ装着されたマグネット３６の磁気を検出することによって該ピストン３７の変位位置を検出する。
【００９５】
また、ストッパ機構１６４は、ロックナット１６２ａの螺合された一方のストッパボルト１６０ａが、スライドテーブル１４に固定されたホルダ部６４に螺合され、他方のストッパボルト１６０ｂは、エンドプレート５４における幅方向（矢印Ｃ方向）の略中央部に貫通したボルト孔１６８に螺合される。ロックナット１６２ｂは、ストッパボルト１６０ｂにおけるエンドプレート５４の外側に突出した部位に螺合されている。
【００９６】
ボルト孔１６８は、エンドプレート５４においてダンパ装着孔８０の上方に所定間隔離間して形成されると共に、ホルダ部６４のねじ孔８８と同軸上に形成される。すなわち、ストッパボルト１６０ｂは、エンドプレート５４において、ダンパ７８と同様に幅方向（矢印Ｃ方向）の中央となるように設けられると共に、一方のストッパボルト１６０ａと他方のストッパボルト１６０ｂとが、同軸上、且つ、互いに対向するように配置されている。
【００９７】
次に、上述したリニアアクチュエータ１５０の動作について簡単に説明する。
【００９８】
先ず、図１３及び図１４に示される初期位置からピストン３７が第３ポート１５４から供給される圧力流体によってロッドホルダ４６側（矢印Ａ方向）に向かって押圧されて変位し、それに伴って、ピストンロッド３８と共にスライドテーブル１４がシリンダ本体１５２から離間する方向へと変位する。この場合、第１及び第２ポート２６、２８は閉塞プラグ１６６によって閉塞されている。
【００９９】
そして、ストッパ機構１６４を構成する一方のストッパボルト１６０ａが、ガイド機構１６を構成するガイドブロック９２の端面に当接することにより、前記スライドテーブル１４の変位が停止した変位終端位置となる（図１６参照）。
【０１００】
一方、図１６に示される変位終端位置からスライドテーブル１４を前記とは反対方向に変位させる場合には、第３ポート１５４に供給されていた圧力流体を第４ポート１５６に対して供給することにより、ピストン３７が押圧されてロッドホルダ４６から離間する方向（矢印Ｂ方向）へと変位し、該ピストン３７と共にピストンロッド３８を介してスライドテーブル１４がシリンダ本体１５２に接近する方向へと変位する。そして、ストッパ機構１６４を構成する他方のストッパボルト１６０ｂが、ガイド機構１６を構成するガイドブロック９２の端面に当接することにより、前記スライドテーブル１４の変位が停止した初期位置となる（図１３及び図１４参照）。
【０１０１】
すなわち、第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０では、シリンダ本体１５２の一側面及び他側面にそれぞれ第１及び第２ポート２６、２８、第３及び第４ポート１５４、１５６を設け、前記第１及び第２ポート２６、２８、第３及び第４ポート１５４、１５６を通じて圧力流体の供給・排出が可能な構成としているため、前記リニアアクチュエータ１５０の設置環境や、圧力流体を供給する配管の取り回し等に応じて最適な一組のポートを選択して使用することができる。
【０１０２】
また、同様に、センサ取付溝１５８ａ、１５８ｂもシリンダ本体１５２の一側面及び他側面にそれぞれ形成されているため、リニアアクチュエータ１５０の設置環境に応じてセンサ取付溝１５８ａ、１５８ｂを選んで検出センサを取り付けることが可能である。さらに、２つのセンサ取付溝１５８ａ、１５８ｂに対してそれぞれ検出センサを設けることにより、ピストン３７の変位位置をより一層高精度に検出することが可能となる。
【０１０３】
さらに、スライドテーブル１４の変位を係止するストッパ機構１６４を、一組のストッパボルト１６０ａ、１６０ｂから構成し、前記ストッパボルト１６０ａを、スライドテーブル１４の一端部且つ幅方向（矢印Ｃ方向）の略中央部、前記ストッパボルト１６０ｂを、前記スライドテーブル１４の他端部に連結されたエンドプレート５４における幅方向（矢印Ｃ方向）の略中央部に設けている。
【０１０４】
そのため、スライドテーブル１４が変位してストッパボルト１６０ａ、１６０ｂがガイドブロック９２の端面に当接してそれぞれ係止される初期位置、変位終端位置において、リニアアクチュエータ１５０を上方から見て、左右方向となるモーメントの発生を抑制することができる。すなわち、ストッパ機構１６４を含むリニアアクチュエータ１５０が、該リニアアクチュエータ１５０の左右方向において対称形状となるように形成されている。
【０１０５】
その結果、スライドテーブル１４が係止される際の傾きを抑制することができ、前記スライドテーブル１４の一端部側のみにストッパボルト１６０ａを設けた場合と比較し、より一層確実にモーメントの発生を抑制することが可能となり、それに伴って、前記スライドテーブル１４を一層確実且つ安定的に停止させることができる。
【０１０６】
なお、センサ取付溝１５８ａ、１５８ｂは、上述したようにシリンダ本体１５２の一側面及び他側面にそれぞれ１本ずつ設けられる場合に限定されるものではなく、例えば、図１７〜図１９に示されるリニアアクチュエータ２００のように、シリンダ本体２０２の高さ方向に沿って所定間隔離間し、該シリンダ本体２０２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って延在する二条のセンサ取付溝２０４ａ、２０４ｂをそれぞれ設けるようにしてもよい。
【０１０７】
この場合、例えば、一方のセンサ取付溝２０４ａに、ピストン３７の初期位置を検出するための検出センサを設け、他方のセンサ取付溝２０４ｂには、前記ピストン３７の変位終端位置を検出するための別の検出センサを設けることにより、前記ピストン３７における初期位置及び変位終端位置をより一層高精度に検出することが可能となる。
【０１０８】
次に、第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２５０を図２０及び図２１に示す。なお、上述した第１及び第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０、１５０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０９】
この第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２５０では、シリンダ本体１２の一側面及び他側面に第１及び第２ポート２６、２８を設ける代わりに、該シリンダ本体２５２の端部に連結されたエンドブロック２５４に前記第１及び第２ポート２５６、２５８を設けている点で、第１及び第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１０、１５０と相違している。
【０１１０】
このシリンダ本体２５２の一端部には、貫通孔３０ａ、３０ｂの開口部を閉塞するようにエンドブロック２５４が連結され、該エンドブロック２５４の端面には、その幅方向に離間して前記シリンダ本体２５２側（矢印Ａ方向）に向かって延在する第１及び第２ポート２５６、２５８が形成される。
【０１１１】
第１ポート２５６は、第１連通路２６０を介して一方の貫通孔３０ａの端部に連通している。一方、第２ポート２５８は、エンドブロック２５４内において幅方向（矢印Ｃ方向）に延在した第２連通路２６２に接続すると共に、シリンダ本体２５２において一対の貫通孔３０ａ、３０ｂの間に形成された第３連通路２６４を介してエンドプレート５４側に配置された接続通路５０ａと接続される。すなわち、第２ポート２５８から供給された圧力流体は、第２及び第３連通路２６２、２６４、接続通路５０ａを経て貫通孔３０ａ、３０ｂにおけるピストン３７とロッドホルダ４６との間にそれぞれ供給される。なお、第３連通路２６４は、エンドブロック２５４側（矢印Ｂ方向）となる接続通路５０ｂとは非連通となるように形成される。
【０１１２】
このように、第１及び第２ポート２５６、２５８を有したエンドブロック２５４を、シリンダ本体２５２の長手方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った端部に接続することにより、前記シリンダ本体２５２の長手方向に配管を接続することが可能となるため、例えば、シリンダ本体２５２の一側面及び他側面側に配管を接続するためのスペースを確保できない設置環境などにおいて好適である。
【０１１３】
なお、本発明に係るリニアアクチュエータは、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【符号の説明】
【０１１４】
１０、１５０、２００、２５０…リニアアクチュエータ
１２、１５２、２０２、２５２…シリンダ本体
１４…スライドテーブル              １６…ガイド機構
１８、１６４…ストッパ機構          ２０…凹部
２２ａ、２２ｂ…連結ボルト          ２４ａ、２４ｂ…ボルト孔
２６、２５６…第１ポート            ２８、２５８…第２ポート
２９ａ、２９ｂ…第１位置決め孔      ３０ａ、３０ｂ…貫通孔
３２、１５８ａ、１５８ｂ、２０４ａ、２０４ｂ…センサ取付溝
４０…シリンダ機構                  ４１…ピストンダンパ
５２…テーブル本体                  ５４…エンドプレート
５６…ベース部                      ５８ａ、５８ｂ…ガイド壁
６０…ボール                        ７５ａ、７５ｂ…第２位置決め孔
８２、１６０ａ、１６０ｂ…ストッパボルト
８４、１６２ａ、１６２ｂ…ロックナット
９２…ガイドブロック                ９４ａ、９４ｂ…ボール循環部材
９６…カバー                        ９８…カバープレート
１００ａ、１００ｂ…装着溝          １０４ａ、１０４ｂ…反転部
１１０…ボール循環通路              １５４…第３ポート
１５６…第４ポート                  １６６…閉塞プラグ
１６８…ボルト孔                    ２５４…エンドブロック
２６０…第１連通路                  ２６２…第２連通路
２６４…第３連通路
【図１】
2011158085.tif 000003
【図２】
2011158085.tif 000004
【図３】
2011158085.tif 000005
【図４】
2011158085.tif 000006
【図５】
2011158085.tif 000007
【図６】
2011158085.tif 000008
【図７】
2011158085.tif 000009
【図８】
2011158085.tif 000010
【図９】
2011158085.tif 000011
【図１０】
2011158085.tif 000012
【図１１】
2011158085.tif 000013
【図１２】
2011158085.tif 000014
【図１３】
2011158085.tif 000015
【図１４】
2011158085.tif 000016
【図１５】
2011158085.tif 000017
【図１６】
2011158085.tif 000018
【図１７】
2011158085.tif 000019
【図１８】
2011158085.tif 000020
【図１９】
2011158085.tif 000021
【図２０】
2011158085.tif 000022
【図２１】
2011158085.tif 000023