(57)【要約】【課題】潤滑油を磁気媒体に付着させる方法および装置を提供する。【解決手段】１つの実施例における方法は、潤滑油を収容する貯槽にガスをポンプ注入するステップを含み得る。また、本方法は、ガスを、潤滑油から潤滑油分子を抽出する超臨界流体に変化させて、超臨界流体と潤滑油分子との混合物を生じさせるステップを含み得る。さらに、本方法は、潤滑油分子を磁気媒体上に付着させるために混合物を利用するステップを含み得る。【選択図】図２
2011233226.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
潤滑油を収容する貯槽にガスをポンプ注入するステップと、
前記ガスを、前記潤滑油から潤滑油分子を抽出する超臨界流体に変化させて、前記超臨界流体と前記潤滑油分子との混合物を生じさせるステップと、
潤滑油分子を磁気媒体上に付着させるために前記混合物を利用するステップとを備える、方法。
【請求項２】
前記ガスは二酸化炭素を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記潤滑油はパーフルオロポリエーテルを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記磁気媒体は、減摩コーティングを有する磁気ディスクを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記ポンプ注入するステップは、前記ガスを圧縮するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記利用するステップは、前記混合物をノズルを介して前記貯槽から出力するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記変化させるステップは、前記貯槽を加熱するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
ノズルと、
前記ノズルに結合された、潤滑油を入れるための貯槽と、
前記貯槽にガスをポンプ注入するため、および前記貯槽の内圧を制御するための圧縮器と、
前記貯槽の温度を変化させるためのヒータとを備えるシステムであって、
前記圧縮器および前記ヒータは、前記ガスを、前記潤滑油から潤滑油分子を抽出する前記貯槽内の超臨界流体に変換させて、前記超臨界流体と前記潤滑油分子との混合物を生じさせるためのものであり、
前記ノズルは、前記混合物を磁気媒体に向けて出力するためのものである、システム。
【請求項９】
前記ガスは二酸化炭素を含む、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記潤滑油はパーフルオロポリエーテルを含む、請求項８に記載のシステム。
【請求項１１】
前記磁気媒体は、減摩コーティングを有する磁気ディスクを含む、請求項８に記載のシステム。
【請求項１２】
前記圧縮器および前記ヒータに電気的に結合された、前記圧縮器および前記ヒータを制御するためのコントローラをさらに備える、請求項８に記載のシステム。
【請求項１３】
前記磁気媒体を受けるための筐体をさらに備える、請求項８に記載のシステム。
【請求項１４】
前記ノズルは前記筐体の内部にある、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記ノズルはエアロゾルノズルである、請求項８に記載のシステム。
【請求項１６】
複数の潤滑油を収容する貯槽にガスをポンプ注入するステップと、
前記ガスを、前記複数の潤滑油から潤滑油分子を抽出する超臨界流体に変えて、前記超臨界流体と前記潤滑油分子との混合物を生じさせるステップと、
潤滑油を磁気ディスク上に付着させるために、前記混合物を前記貯槽から出力するステップとを備える、方法。
【請求項１７】
前記ガスはメタンを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記複数の潤滑油は、テトラヒドロキシパーフルオロポリエーテルを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
前記複数の潤滑油は、異なる種類のパーフルオロポリエーテルを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項２０】
前記出力するステップは、前記混合物を蒸気形状制御装置を介して前記貯槽から出力するステップをさらに含む、請求項１６に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、潤滑油を磁気媒体上に付着させる方法およびシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
背景
ハードディスクドライブ業界では、潤滑油を磁気記録ディスク上にコーティングする方法として、一般にディップコーティング法および熱気相潤滑法の２つの方法がある。ディップコーティング法では、スパッタ後のディスクがマンドレルに保持されて潤滑液に浸された後、溶液から引上げられる。潤滑油の厚みは、潤滑油濃度およびディスクの引上げ速度を制御することによって制御可能である。しかし、この方法にはいくつかの不利点がある。たとえば、この方法では、高価で揮発性のフッ素化溶媒を多量に使用するため、処理コストが高くなってしまい、環境問題の原因にもなる。
【０００３】
熱気相潤滑法は、真空中でのパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）潤滑油の熱蒸発と、その後の潤滑油蒸気の室温薄膜磁気ディスク上への凝縮を伴う。しかし、この技術の１つの欠点は、データ記憶業界に供給されるＰＦＰＥ潤滑油が純粋ではなく、むしろ分子量分布からなる混合物であることである。混合物の各分子量成分は異なる蒸気圧を有するため、混合物は、付着処理が進行するにつれて分子量によって分別される。したがって、処理中の異なる時間において処理されるディスクは、付着潤滑油の平均分子量が異なり、処理の開始近くではディスク上の材料は軽く、その後ディスク上の材料は重くなる。軽い材料から重い材料への周期は、液体潤滑油が蒸発器に再充填されるたびに繰返される。第２の欠点は、２つ以上の異なる化学成分を含む潤滑油膜の付着は、成分毎の別個の蒸発処理場所を伴うことである。第３の欠点は、高温を長期間使用するため、ＰＦＰＥ材料の熱劣化が生じ得ることである。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
要約
１つの実施例における方法は、潤滑油を収容する貯槽にガスをポンプ注入するステップを含み得る。また、本方法は、ガスを、潤滑油から潤滑油分子を抽出する超臨界流体に変化させて、超臨界流体と潤滑油分子との混合物を生じさせるステップを含み得る。さらに、本方法は、潤滑油分子を磁気媒体上に付着させるために混合物を利用するステップを含み得る。
【０００５】
別の実施例では、システムは、ノズルと、ノズルに結合された、潤滑油を入れるための貯槽とを含み得る。また、本システムは、貯槽にガスをポンプ注入するため、および貯槽の内圧を制御するための圧縮器を含み得る。さらに、本システムは、貯槽の温度を変化させるためのヒータを含み得る。なお、圧縮器およびヒータは、ガスを、潤滑油から潤滑油分子を抽出する貯槽内の超臨界流体に変換させて、超臨界流体と潤滑油分子との混合物を生じさせるためのものであり得る。また、ノズルは、混合物を磁気媒体に向けて出力するためのものであり得る。
【０００６】
さらに別の実施例では、方法は、複数の潤滑油を収容する貯槽にガスをポンプ注入するステップを含み得る。本方法はまた、ガスを、複数の潤滑油から潤滑油分子を抽出する超臨界流体に変えて、超臨界流体と潤滑油分子との混合物を生じさせるステップを含み得る。さらに、本方法は、潤滑油を磁気ディスク上に付着させるために、混合物を貯槽から出力するステップを含み得る。
【０００７】
本発明に従った特定の実施例が本要約中で具体的に説明されたが、本発明およびクレームされた主題はこれらの実施例によって全く限定されない。
【０００８】
本明細書中で言及される図面は、特に言及された場合を除いて同じ割合で描かれていないものと理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明のさまざまな実施例に従ったハードディスクドライブ製造システムのブロック図である。
【図２】本発明のさまざまな実施例に従った潤滑油付着システムのブロック図である。
【図３】本発明のさまざまな実施例に従った別の潤滑油付着システムのブロック図である。
【図４】本発明のさまざまな実施例に従った方法の流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
詳細な説明
以下、本発明に従ったさまざまな実施例を詳細に参照し、それらの例は添付の図面に示される。本発明はさまざまな実施例とともに説明されるが、これらのさまざまな実施例は本発明を限定するよう意図されていないことが理解されるであろう。逆に、本発明は、請求項に従って構成される本発明の範囲内に含まれ得る選択肢、修正および均等物を含むよう意図される。さらに、本発明に従ったさまざまな実施例の以下の詳細な説明では、本発明の完全な理解を与えるために多数の具体的な詳細が述べられる。しかし、本発明はこれら具体的な詳細なしでも実施可能であることが当業者に明白となるであろう。場合によっては、周知の方法、手順、構成部品、および回路は、本発明の局面を不必要に不明瞭にしないために詳細に説明されていない。
【００１１】
図１は、本発明のさまざまな実施例に従ったハードディスクドライブ製造システム１００のブロック図である。たとえば、ハードディスクドライブ製造システム１００は、薄膜磁気媒体製造システム１０２と、潤滑油付着システム１０６と、追加処理システム１１０とを含み得るが、これらに限定されない。したがって、ハードディスクドライブ製造システム１００は、各々が１つ以上の潤滑薄膜磁気媒体１０８を含むハードディスクドライブ１１２を生成可能である。
【００１２】
具体的には、薄膜磁気媒体製造システム１０２内で、１つ以上の薄膜磁気媒体またはディスク（たとえば１０４）が製造され得、最終的に１つ以上のハードディスクドライブに組込まれ得る。なお、１つ以上の薄膜磁気媒体またはディスク１０４はさまざまな方法で製造可能である。たとえば１つの実施例では、１つ以上の薄膜磁気媒体１０４は、薄い無定形炭素層を含む減摩コーティングを含むように実現され得るが、これに限定されない。
【００１３】
図１において、１つ以上の薄膜磁気媒体またはディスク１０４が製造されると、それらの１つ以上が潤滑油付着システム１０６に装填または挿入され得る。装填されると、１つ以上の潤滑油が、本発明のさまざまな実施例に従って超臨界流体付着法を用いて、薄膜磁気媒体１０４の１つ以上の露出面上に付着し得る。１つの実施例では、１つ以上の潤滑油を薄膜磁気媒体１０４上に付着させて、腐食を防ぎ、かつハードディスクドライブヘッドが媒体１０４と接触した場合に媒体１０４が損傷するのを防ぐことができる。なお、さまざまな実施例に従った潤滑油付着システム１０６の具体的な動作が本明細書中に説明されるが、それらに限定されない。潤滑油付着システム１０６内で利用される１つ以上の潤滑油はさまざまな方法で実現可能であることが指摘される。たとえばさまざまな実施例では、１つ以上の潤滑油は、１つ以上の異なる種類のパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）を含み得るが、これに限定されない。１つの実施例では、Fombline（登録商標）Z Tetraol（登録商標）の製品名で見つけられ得るテトラヒドロキシパーフルオロポリエーテルが潤滑油付着システム１０６内で利用される潤滑油であり得るが、これに限定されない。
【００１４】
潤滑油付着システム１０６が１つ以上の潤滑媒体またはディスク１０８を生成すると、それらは追加処理システム１１０に装填または挿入され得る。なお、追加処理システム１１０によって、１つ以上の潤滑薄膜磁気媒体１０８に対してさまざまな行動が行なわれ得る。たとえばさまざまな実施例では、追加処理システム１１０の行動には、１つ以上の潤滑薄膜磁気媒体１０８の最終的な研摩動作（「テープバフ／ワイプ」とも称され得る）、１つ以上の潤滑薄膜磁気媒体１０８を検査して各々がフライ高さを支持するか否かを判断し、かつ欠陥を検出すること、および／または１つ以上の潤滑薄膜磁気媒体１０８を１つ以上のハードディスクドライブ１１２に組込むことが含まれ得るが、これらに限定されない。このように、追加処理システム１１０は、各々が１つ以上の潤滑薄膜磁気媒体またはディスク１０８を含む１つ以上のハードディスクドライブ１１２を生成可能である。
【００１５】
図２は、本発明のさまざまな実施例に従った潤滑油付着システム２００のブロック図である。ある実施例では、潤滑油付着システム２００は潤滑油付着システム１０６（図１）の実現例であり得るが、これに限定されないことが指摘される。図２において、薄膜磁気媒体またはディスク２４０（媒体１０４と類似）が一時的にシステム２００の筐体２４２に装填または挿入され得、これによって、本発明の実施例に従った潤滑油付着処理によって１つ以上の潤滑油２２４を媒体またはディスク２４０の１つ以上の露出面上に付着させることができる。なお、１つの実施例では、１つ以上の潤滑油２２４を薄膜磁気媒体２４０上に付着させて、その耐腐食性を高め、かつハードディスクドライブのヘッドが媒体２４０と接触した場合に媒体２４０が摩耗するのを防ぐか保護することができる。その後、付着潤滑剤を含む薄膜磁気ディスク２４０は、筐体２４２から取外されるか取出され得る。その後、付着潤滑油を含む薄膜磁気ディスク２４０は最終的に、ハードディスクドライブ（たとえば１１２）の構成部品として組込まれ得る。
【００１６】
１つの実施例では、潤滑油付着システム２００は、１つ以上の潤滑油２２４を薄膜磁気ディスク２４０上に付着させるために超臨界流体潤滑処理を実現可能である。たとえばある実施例では、潤滑油付着システム２００内の圧縮ガス２２０が、潤滑油容器２２６に貯蔵された１つ以上の潤滑油２２４のための溶媒として本質的に作用する超臨界流体に変換され得る。したがって、１つ以上の潤滑油２２４の分子とともにガス２２０の超臨界流体を含む混合物２３０が作成または生成され得る。したがって、ガス２２０の超臨界流体は、薄膜磁気ディスク２４０上に付着し得る１つ以上の潤滑油２２４の運搬台または付着台として作用し得る。１つの実施例では、超臨界流体とは、気体状態と液体状態との間にあり、したがって気体状態および液体状態の両方の特性を含む物質である。物質は、自身の温度および圧力が自身の熱力学的臨界点を超えるレベルに高められると超臨界流体に変化または変換され得る。なお、物質の熱力学的臨界点は、当該物質が気体および液体の両方の特性を示す組合された最小温度および最小圧力として定義され得る。超臨界流体は気体と同様の態様で材料を通過できることが指摘される。同時に、超臨界流体は、液体と同様の態様で溶媒として機能可能である。
【００１７】
図２において、１つの実施例における潤滑油付着システム２００は、ポンプ２０２と、１つ以上のガス２０６を貯蔵可能なガス槽２０７と、圧縮器２１２と、コントローラまたは演算装置２１４と、電圧源２１８と、ヒータ２２８と、毛細管弁２０８および２３２と、混合物２３０とともに１つ以上の潤滑油２２４を貯蔵可能な貯槽または容器２２６と、蒸気形状制御装置（またはノズル）２３６および２３８と、潤滑油付着筐体２４２と、毛細管２０４、２１０、２１６、２３４、２３４′、２３４″、および２４６とを含み得るが、これらに限定されない。ある実施例では、潤滑油付着システム２００は付着筐体２４２を含まないことが指摘される。
【００１８】
潤滑油付着システム２００の潤滑油槽２２６は、１つ以上の潤滑油２２４を含有するか入れることができる。なお、１つ以上の潤滑油２２４はさまざまな方法で実現可能である。たとえばさまざまな実施例では、１つ以上の潤滑油２２４は、１つ以上の異なる種類のパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）を含み得るが、これに限定されない。１つの実施例では、Fombline（登録商標）Z Tetraol（登録商標）（異なる分子量での）の製品名で見つけられ得るテトラヒドロキシパーフルオロポリエーテルが潤滑油２２４であり得るが、これに限定されない。さまざまな実施例では、１つ以上の潤滑油２２４は、Fombline（登録商標）Z-Dol（異なる分子量での）、株式会社ＭＯＲＥＳＣＯのＡ２ＯＨ（商標）（異なる分子量での）などを含み得るが、これらに限定されない。ガス槽（または容器またはシリンダ）２０７は、１つ以上のガス２０６を貯蔵するか入れることができることが指摘される。なお、１つ以上のガス２０６はさまざまな方法で実現可能である。たとえば、１つ以上のガス２０６は、二酸化炭素（ＣＯ2）、メタン（ＣＨ4）、エタン（Ｃ2Ｈ6）、エチレン（Ｃ2Ｈ4）、水（Ｈ2Ｏ）、メタノール（ＣＨ3ＯＨ）、エタノール（Ｃ2Ｈ5ＯＨ）、アセトン（Ｃ3Ｈ6Ｏ）、プロパン（Ｃ3Ｈ8）、およびプロピレン（Ｃ3Ｈ6）などを含むがこれらに限定されない気体および／または液体を用いて実現可能である。１つの実施例では、１つ以上の潤滑油２２４の抽出効率を高めるために、抽出ガス２０６に添加物が加えられ得る。たとえばある実施例では、一次ガス／流体２０６に二次ガス／流体が加えられ得る。二次ガス／流体または添加物は、二酸化炭素、メタン、エタン、エチレン、水、メタノール、エタノール、アセトン、プロパン、およびプロピレンを含み得るが、これらに限定されない。
【００１９】
図２において、（１つの実施例における）潤滑油付着システム２００は、潤滑油抽出ユニット２２２および潤滑油付着ユニット２４４を含み得るが、これらに限定されない。たとえばある実施例では、潤滑油抽出ユニット２２２は、１つ以上の潤滑油２２４を貯蔵するための潤滑油容器２２６と、潤滑油容器２２６をその内容物とともに一定温度に加熱するためのヒータユニットまたはコイル２２８とを含み得るが、これらに限定されない。なお、潤滑油抽出ユニット２２２は、圧縮器２１２から圧縮ガス２２０を受取るための毛細管２１６も含み得、毛細管２１６は、潤滑油容器２２６の入力または入口に結合され得る。このように、圧縮ガス２２０は圧縮器２１２によって潤滑油容器２２６にポンプ注入され得、潤滑油容器２２６に貯蔵された１つ以上の潤滑油２２４と混合され得る。１つの実施例では、１つ以上の潤滑油２２４の抽出効率を高めるために、１つ以上の添加物が、圧縮器２１２によって圧縮される前の抽出ガス２０６に加えられ得る。
【００２０】
さらに、ある実施例では、潤滑油付着ユニット２４４は、毛細管弁２３２と、付着筐体２４２と、蒸気形状制御装置２３６および２３８と、毛細管２３４、２３４′、および２３４″とを含み得るが、これらに限定されない。なお、毛細管弁２３２は、蒸気形状制御装置２３６および２３８を介して磁気ディスク２４０上に付着する潤滑油２２４の体積または量を制御可能である。また、蒸気形状制御装置２３６および２３８の各々は、１つ以上の潤滑油２２４を含む、エアロゾル２３９および２４１の円錐形プルームをそれぞれ生成可能である。１つの実施例では、潤滑油付着ユニット２４４（またはその筐体２４２）内の圧力は、潤滑油抽出ユニット２２２の潤滑油容器２２６内の圧力とは異なる（たとえば、より高いかより低い）ため、ガス２２０の超臨界流体および潤滑油２２４の分子を含む混合物２３０を薄膜磁気ディスク２４０上に流すか吹付けることができる。潤滑油容器２２６と付着筐体２４２（または筐体２４２なしの付着領域）との圧力差によって、薄膜磁気媒体２４０上への１つ以上の潤滑油２２４の付着量を変えることができることが指摘される。たとえばある実施例では、潤滑油容器２２６と付着筐体２４２（または筐体２４２なしの付着領域）との間に大きな圧力差がある場合、結果として得られる潤滑油エアロゾル２３９および２４１は、より強力であり得、１つ以上の潤滑油２２４のより大きな液滴を含み得る。
【００２１】
図２において、薄膜磁気媒体またはディスク２４０は、蒸気付着筐体２４０に装填または挿入され得る。なお、薄膜磁気媒体またはディスク２４０は、潤滑油付着処理時にさまざまな方法で位置決めされ得る。たとえば１つの実施例では、薄膜磁気媒体２４０は実質的に垂直に（示されるように）位置決めされ得、薄膜磁気媒体２４０上への１つ以上の潤滑油２２４の均一な付着を助け得る。また、蒸気付着筐体２４２内にはさまざまな圧力が存在し得る。たとえば、蒸気付着筐体２４２内の圧力は、潤滑油槽２２６内の圧力よりも高いか、低いか、実質的に同様であり得るが、これらに限定されない。さらに、蒸気付着筐体２４２内には周囲圧力または周囲圧力を下回る圧力が存在し得るが、これらに限定されない。なお１つの実施例では、周囲圧力は、蒸気付着筐体２４２内の圧力を制御するための特別の労力をかけなかった（たとえば付着筐体２４２が封止され得なかった）ことを示し得るが、これに限定されない。またある実施例では、蒸気付着筐体２４２が封止されると、その内部に真空が形成され得る（たとえば約１×１０-6トルであるが、これに限定されない）。上述のように、本発明の実施例に従った超臨界流体潤滑処理を利用して、１つ以上の潤滑油２２４を薄膜磁気媒体２４０の１つ以上の表面上に付着させることができる。
【００２２】
たとえば１つの実施例では、１つ以上の潤滑油２２４は潤滑油槽２２６に入れられ得る。潤滑油槽または容器２２６の温度および圧力は圧縮器ユニット２１２およびヒータユニット２２８を介して制御可能であることが指摘される。このように、１つ以上の潤滑油２２４の異なる成分を容器２２６から抽出してもよいし、１つ以上の潤滑油２２４のすべての成分を容器２２６から抽出してもよい。上述のように、圧縮ガス２２０は超臨界流体であるとき、気体状態と液体状態との間にある。したがって、ガス２２０の超臨界流体の温度および／または圧力を調整することによって、ガス２２０の超臨界流体の密度をより液体に近づくように、またはより気体に近づくように徐々に変化させることができる。このように、ガス２２０の超臨界流体の密度を調節することができる。さらに、ガス２２０の超臨界流体の密度を変化させることによって、ガス２２０の超臨界流体の特性も変化させることができる。たとえばある実施例では、ガス２２０の超臨界流体の密度がより気体に近づくように変えられた場合、ガス２２０の超臨界流体の、潤滑油容器２２６内の１つ以上の潤滑油２２４に浸透するためのエネルギを高めることができる。１つの実施例では、ガス２２０の超臨界流体の密度がより液体に近づくようように修正された場合、ガス２２０の超臨界流体の、潤滑油容器２２６内の１つ以上の潤滑油２２４から分子を抽出する力を高めることができる。
【００２３】
図２において、ある実施例において圧縮ガス２２０を受取る潤滑油槽２２６の準備の際、潤滑油槽２２６はヒータユニット２２８によって一定温度に加熱され得る。なお、本実施例のヒータユニット２２８は電圧源２１８に結合されるか電圧源２１８によって制御され得、電圧源２１８はコントローラ２１４に結合されるかコントローラ２１４によって制御され得る。また、ガス２０６が容器２０７内の圧力下で貯蔵され得るため、コントローラ２１４によって毛細管弁２０８が開けられると、ガス２０６は毛細管弁２０８および毛細管２１０を通ってガス容器２０７から出て進むか横切って、圧縮器ユニット２１２に受取られるか、入力され得る。さらに、コントローラ２１４は圧縮器２１２に結合され得、圧縮器２１２の動作を制御することによって、受取ガス２０６の所望の圧力を設定または決定できることが指摘される。したがって、圧縮器２１２は受取ガス２０６を圧縮または加圧し得、それを圧縮ガス２２０として毛細管２１６を介して出力し得る。本実施例では潤滑油槽２２６は毛細管２１６に結合されているため、潤滑油槽２２６は、圧縮器２１２によって毛細管２１６にポンプ注入された（そしてされ続け得る）圧縮ガス２２０を受取り得る。
【００２４】
圧縮ガス２２０は図２の潤滑油槽２２６によって受取られた後、超臨界流体に変換または変化され得る。たとえば１つの実施例では、毛細管弁２３２が閉じている間、潤滑油槽２２６は、内部に貯蔵している１つ以上の潤滑油２２４とともに、圧縮ガス２２０の熱力学的臨界点よりも高い温度まで予熱され得る。さらに、圧縮器２１２は、圧縮ガス２２０をその熱力学的臨界点を超える圧力まで圧縮または加圧し得る。したがって、圧縮ガス２２０は潤滑油槽２２６によって受取られた後、自身の熱力学的臨界点よりも高いレベルに加熱および加圧され得、このとき圧縮ガス２２０は、潤滑油槽２２６に貯蔵された１つ以上の潤滑油２２４のための溶媒のように本質的に作用し得る超臨界流体に変えられ得る。その結果、ガス２２０の超臨界流体は、１つ以上の潤滑油２２４から分子を抽出することによって、潤滑油槽２２６内の混合物２３０の生成をもたらすことができる。
【００２５】
なお１つの実施例では、毛細管弁２３２はコントローラ２１４に結合され得、コントローラ２１４によって制御され得る。したがって、混合物２３０が生成されると、コントローラ２１４は弁２３２を開けることによって、混合物２３０を毛細管２３４を介して潤滑油槽２２６から放出できるようにし得る。したがって、混合物２３０は毛細管２３４、２３４′、および２３４″を通って進み、蒸気形状制御装置２３６および２３８によって出力され得る。なお、混合物２３０が蒸気形状制御装置２３６および２３８から出力されると、ガス２２０の超臨界流体は混合物２３０から蒸発し、１つ以上の潤滑油２２４を含む潤滑油エアロゾル２３９および２４１になり得る。したがって、潤滑油エアロゾル２３９および２４１の出力吹付または流れによって、１つ以上の潤滑油２２４が薄膜磁気媒体またはディスク２４０の１つ以上の表面上に付着し得る。ある実施例では、潤滑油エアロゾル２３９および２４１は、本質的に視線経路で磁気媒体２４０に進み得、その表面上で凝縮し得る。ガス２２０の超臨界流体は、もはや圧縮または加熱されていないので蒸気形状制御装置２３６および２３８から出力されるときに混合物２３０から蒸発することが指摘される。その結果、ガス２２０の超臨界流体はガス２０６に戻り得る。
【００２６】
図２において、潤滑油付着システム２００は、混合物２３０が蒸気形状制御装置２３６および２３８から出力される間、またはその後に、蒸気付着筐体２４２内に残存するガス２０６を回復するためのシステムを含み得ることが指摘される。たとえばある実施例では、蒸気付着筐体２４２はガス毛細管２４６を介してポンプ２０２に結合されることによって、ポンプ２０２が蒸気付着筐体２４２から残存ガス２０６を除去できるようにし得る。さらに、ポンプ２０２はガス毛細管２０４を介してガス槽（または容器またはシリンダ）２０７に結合されることによって、ポンプ２０２が回復ガス２０６をガス槽２０７に加えることができるようにし得る。このように、回復ガス２０６は潤滑油付着システム２００内で再利用され得る。１つの実施例では、ポンプ２０２はコントローラ２１４に結合され得、コントローラ２１４によって制御され得る。したがって、コントローラ２１４はポンプ２０２の動作（または機能）を制御し得る。
【００２７】
なお、蒸気形状制御装置（またはノズル）２３６および２３８の各々はさまざまな方法で実現可能である。たとえば、蒸気形状制御装置（またはノズル）２３６および２３８の各々は、漏斗または円錐形装置（図示せず）、任意の種類のエアロゾルノズル、および任意の種類の吹付ノズルを用いて実現可能であるが、これらに限定されない。１つの実施例では、蒸気形状制御装置２３６は蒸気形状制御装置２３８とは異なる態様で実現可能であり、その逆も同様である。またある実施例では、蒸気形状制御装置２３６は蒸気形状制御装置２３８と同様の態様で実現可能であり、またその逆も同様である。
【００２８】
図２において、毛細管弁２０８および２３２の各々はさまざまな方法で実現可能である。たとえば１つの実施例では、毛細管弁２０８および２３２の各々は、オンおよびオフのパルスを発するパルス化ソレノイド弁を用いて実現可能であるが、これに限定されない。なお、ある実施例では、潤滑油エアロゾル２３９および２４１を介した１つ以上の潤滑油２２４の薄膜磁気媒体またはディスク２４０の１つ以上の表面上への付着は、磁気媒体２４が付着システムの内部または外部にある時間によってではなく、毛細管弁２３２によって制御され得る。したがって、潤滑油付着システム２００の毛細管弁２３２を利用して、厳密な時間とは対照的に潤滑油付着を制御することができる。毛細管弁２０８および２３２の各々は、これらの各々の動作を独立して制御可能なコントローラ（または演算装置）２１４に結合され得る。たとえば１つの実施例では、コントローラ２１４は、毛細管弁２０８および２３２の各々に電気信号（たとえば３ボルト信号）を別個に送信して、各々を開閉し得る。
【００２９】
１つの実施例では、コントローラ２１４は、ポンプ２０２、圧縮器２１２、ヒータ２２８に結合された電圧源２１８、ならびに毛細管弁２０８および２３２に電気的に結合され得る。このように、コントローラ２１４は、ポンプ２０２、圧縮器２１２、電圧源２１８を介してヒータ２２８、ならびに毛細管弁２０８および２３２の動作を独立して制御し得る。なお、コントローラ２１４の機能および／または動作は、ソフトウェア、ファームウェア、ハードウェアまたはそれらのいずれかの組合せによって制御または管理され得るが、これらに限定されない。さらにある実施例では、コントローラ２１４は、潤滑油付着システム２００用のユーザインターフェイスの一部であり得る。
【００３０】
なお、図２の潤滑油付着システム２０２と同様の潤滑油付着システムを用いて、本発明のさまざまな実施例に従った実験を行なった。たとえば、ある実施例に従った１つの実験では、２グラムのFornblin（登録商標）Z-Dol２０００をステンレス鋼抽出器容器（たとえば貯槽２２６）に加えた。抽出器容器（たとえば２２６）を摂氏４５℃に加熱し、圧縮二酸化炭素ガス（たとえば２２０）を抽出器容器（たとえば２２６）に導入した。抽出器容器（たとえば２２６）内の圧力が１００バールに達する間、弁（たとえば２３２）を開けた。なお、抽出起容器（たとえば２２６）内の、弁（たとえば２３２）を開ける前のこれらの一定条件によって、潤滑油（たとえば２２４）の分子とともに二酸化炭素の超臨界流体（たとえば２２０）を含む混合物（たとえば２３０）が抽出器容器（たとえば２２６）内に生成されていた。その結果、弁（たとえば２３２）を開けると、潤滑油（たとえば２２４）が磁気媒体（たとえば２４０）の１つ以上の表面上に付着した。フーリエ変換赤外（ＦＴＩＲ）計算を用いた結果、磁気ディスク（たとえば２４０）の表面上の潤滑油の平均厚みは約１２オングストローム（Ａ）または１．２ナノメートル（ｎｍ）であった。
【００３１】
本発明の１つの実施例に従った別の実験では、１グラムのFomblin（登録商標）Z Tetraol（登録商標）２０００および１グラムのＡ２ＯＨ（商標）２０００をステンレス鋼抽出器容器（たとえば貯槽２２６）に加えた。抽出器容器（たとえば２２６）を４５℃に加熱し、圧縮二酸化炭素ガス（たとえば２２０）を抽出器容器（たとえば２２６）に導入した。抽出器容器（たとえば２２６）内の圧力が１２５バールに達する間、弁（たとえば２３２）を開けた。抽出起容器（たとえば２２６）内の、弁（たとえば２３２）を開ける前のこれらの一定条件によって、両潤滑油（たとえば２２４）の分子とともに二酸化炭素の超臨界流体（たとえば２２０）を含む混合物（たとえば２３０）が抽出器容器（たとえば２２６）内に生成されていた。したがって、弁（たとえば２３２）を開けると、潤滑油（たとえば２２４）が磁気媒体（たとえば２４０）の１つ以上の表面上に付着した。フーリエ変換赤外（ＦＴＩＲ）計算を用いた結果、磁気ディスク（たとえば２４０）の表面上の潤滑油（たとえば２２４）の全厚は約２１．１Åまたは２．１１ｎｍであった。さらに、ＦＴＩＲ計算を用いた結果、潤滑油層は、１９．４Å（または１．９４ｎｍ）のＡ２ＯＨ−２０００および１．７Å（または０．１７ｎｍ）のZ Tetraol（登録商標）２０００を含有していることがわかった。
【００３２】
潤滑油付着システム２００はさまざまな方法で修正可能である。たとえば１つの実施例では、潤滑油付着システム２００は、複数の圧縮ガス（たとえば２２０）を潤滑油槽２２６にポンプ注入可能であるように変えられ得る。ある実施例では、潤滑油付着システム２００は、蒸気形状制御装置（またはノズル）２３６および２３８の各々が、潤滑油槽２２６と同様の別の潤滑油槽に結合可能であるように変更され得る。
【００３３】
図２において、潤滑油付着システム２００は、ポンプ２０２と、ガス槽２０７と、圧縮器２１２と、コントローラ２１４と、電圧源２１８と、ヒータ２２８と、潤滑油容器２２６と、弁２０８および２３２と、毛細管２０４、２１０、２１６、２３４、２３４′、２３４″、および２４６と、蒸気形状制御装置（またはノズル）２３６および２３８と、付着筐体２４２とを含み得るが、これらに限定されない。具体的には、ある実施例では、ポンプ２０２の出力は毛細管２０４を介してガス槽２０７の入力に結合され得る。ガス槽２０７の出力は、毛細管２１０および毛細管弁２０８を介して圧縮器２１２の入力に結合され得る。圧縮器２１２の出力は、毛細管２１６を介して潤滑油槽２２６の入力に結合され得る。潤滑油槽２２６の出力は、毛細管２３４、２３４′、および２３４″ならびに毛細管弁２３２を介して、蒸気形状制御装置（またはノズル）２３６および２３８に結合され得る。付着筐体２４２の出力は、毛細管２４６を介してポンプ２０２の入力に結合され得る。コントローラ２１４は、ポンプ２０２と、毛細管弁２０８および２３２と、圧縮器２１２と、ヒータ２２８を制御する電圧源２１８とを制御するように結合され得る。
【００３４】
なお、潤滑油付着システム２００は図２に示されるすべての要素を含むとは限らない。また、潤滑油付着システム２００は、図２に示されない１つ以上の要素を含むように実現可能である。潤滑油付着システム２００は、本明細書中に記載されているのと同様の任意の態様で利用または実現可能であるが、これらに限定されないことが指摘される。
【００３５】
図３は、本発明のさまざまな実施例に従った潤滑油付着システム２００′のブロック図であり、蒸気形状制御装置（またはノズル）２５０、２５２、２５４、および２５６の配列を含む。本明細書中のいずれかの他の図面の要素と同じ参照番号を有する図３の要素は、本明細書中に記載されているのと同様の任意の態様で動作または機能可能であるが、これらに限定にされないことが指摘される。なお、１つの実施例では、潤滑油付着システム２００′は潤滑油蒸気付着システム１０６（図１）の実現例であり得るが、これに限定されない。
【００３６】
具体的には、１つの実施例では、潤滑油付着システム２００′は、潤滑油付着均一性をさらに高めるために薄膜磁気媒体２４０の各面上に１つ以上の潤滑油（たとえば２２４）を付着させるために利用され得る、複数の蒸気形状制御装置またはノズル（たとえば２５０、２５２、２５４、および２５６）またはこれらのの配列を含み得るが、これらに限定されない。図３の潤滑油付着システム２００′は図２の潤滑油付着システム２００と同様の態様で機能および動作可能であるが、これらに限定にされないことが理解される。１つの実施例では、図３の潤滑油付着システム２００′は筐体２４２を含まないことが指摘される。
【００３７】
図３において、潤滑油付着システム２００′は、１つ以上の潤滑油２２４を薄膜磁気ディスク２４０上に付着させるために超臨界流体潤滑処理を実現可能である。たとえば１つの実施例では、潤滑油付着システム２００′内で、圧縮ガス２２０が、潤滑油容器２２６に貯蔵された１つ以上の潤滑油２２４のための溶媒として本質的に作用する超臨界流体に変換され得る。その結果、１つ以上の潤滑油２２４の分子とともにガス２２０の超臨界流体を含む混合物２３０が作成または生成され得る。したがって、ガス２２０の超臨界流体は、蒸気形状制御装置（またはノズル）２５０、２５２、２５４、および２５６の配列を介して薄膜磁気ディスク２４０上に付着する１つ以上の潤滑油２２４の運搬台または付着台として作用し得る。
【００３８】
１つの実施例では、潤滑油付着システム２００′は、潤滑油抽出ユニット２２２および潤滑油付着ユニット２４４′を含み得るが、これらに限定されない。たとえばある実施例では、潤滑油抽出ユニット２２２は、１つ以上の潤滑油２２４を貯蔵するための潤滑油容器２２６と、潤滑油容器２２６をその内容物とともに一定温度に加熱するためのヒータユニットまたはコイル２２８とを含み得るが、これらに限定されない。なお、潤滑油抽出ユニット２２２は、圧縮器２１２から圧縮ガス２２０を受取るための毛細管２１６も含み得、毛細管２１６は、潤滑油容器２２６の入力または入口に結合され得る。このように、圧縮ガス２２０は圧縮器２１２によって潤滑油容器２２６にポンプ注入され得、潤滑油容器２２６に貯蔵された１つ以上の潤滑油２２４と混合され得る。ある実施例では、１つ以上の潤滑油２２４の抽出効率を高めるために、１つ以上の添加物が、圧縮器２１２によって圧縮される前の抽出ガス２０６に加えられ得る。
【００３９】
また、１つの実施例では、潤滑油付着ユニット２４４′は、毛細管弁２３２と、付着筐体２４２と、蒸気形状制御装置（またはノズル）２５０、２５２、２５４、および２５６と、毛細管２３４、２３４′、および２３４″とを含み得るが、これらに限定されない。なお、毛細管弁２３２は、蒸気形状制御装置２５０、２５２、２５４、および２５６を介して磁気ディスク２４０上に付着する潤滑油２２４の体積または量を制御可能である。また、蒸気形状制御装置２５０、２５２、２５４、および２５６の各々は、１つ以上の潤滑油２２４を含む、エアロゾル２３９′、２３９″、２４１′、および２４１″の円錐形プルームをそれぞれ生成可能である。１つの実施例では、潤滑油付着ユニット２４４′（またはその筐体２４２）内の圧力は、潤滑油抽出ユニット２２２の潤滑油容器２２６内の圧力とは異なる（たとえば、より高いかより低い）ため、ガス２２０の超臨界流体および潤滑油２２４の分子を含む混合物２３０を薄膜磁気ディスク２４０上に流すか吹付けることができる。なお、潤滑油容器２２６と付着筐体２４２（または筐体２４２なしの付着領域）との圧力差によって、薄膜磁気媒体２４０上への１つ以上の潤滑油２２４の付着量を変えることができる。たとえば１つの実施例では、潤滑油容器２２６と付着筐体２４２（または筐体２４２なしの付着領域）との間に大きな圧力差がある場合、結果として得られる潤滑油エアロゾル２３９′、２３９″、２４１′、および２４１″は、より強力であり得、１つ以上の潤滑油２２４のより大きな液滴を含み得る。
【００４０】
図３において、１つの実施例では、毛細管弁２３２はコントローラ２１４に結合され得、コントローラ２１４によって制御され得る。したがって、本明細書中で説明した態様で混合物２３０が生成されると、コントローラ２１４は弁２３２を開けることによって、混合物２３０を毛細管２３４を介して潤滑油槽２２６から放出できるようにし得る。その結果、混合物２３０は毛細管２３４、２３４′、および２３４″を通って進み、蒸気形状制御装置（またはノズル）２５０、２５２、２５４、および２５６によって出力され得る。なお、混合物２３０が蒸気形状制御装置２５０、２５２、２５４、および２５６から出力されると、ガス２２０の超臨界流体は混合物２３０から蒸発し、１つ以上の潤滑油２２４を含む潤滑油エアロゾル２３９′、２３９″、２４１′、および２４１″になり得る。したがって、潤滑油エアロゾル２３９′、２３９″、２４１′、および２４１″の出力吹付または流れによって、１つ以上の潤滑油２２４が薄膜磁気媒体またはディスク２４０の１つ以上の表面上に付着し得る。１つの実施例では、潤滑油エアロゾル２３９′、２３９″、２４１′、および２４１″は、本質的に視線経路で磁気媒体２４０に進み得、その表面上で凝縮し得る。なお、ガス２２０の超臨界流体は、もはや圧縮または加熱されていないので蒸気形状制御装置２５０、２５２、２５４、および２５６から出力されるときに混合物２３０から蒸発する。したがって、ガス２２０の超臨界流体はガス２０６に戻り得る。
【００４１】
蒸気形状制御装置（またはノズル）２５０、２５２、２５４、および２５６の各々はさまざまな方法で実現可能であることが指摘される。たとえば、蒸気形状制御装置（またはノズル）２５０、２５２、２５４、および２５６の各々は、漏斗または円錐形装置（図示せず）、任意の種類のエアロゾルノズル、および任意の種類の吹付ノズルを用いて実現可能であるが、これらに限定されない。１つの実施例では、蒸気形状制御装置２５０、２５２、２５４、および２５６の各々は異なる態様で実現可能である。またある実施例では、蒸気形状制御装置２５０、２５２、２５４、および２５６のすべてが同様の態様で実現可能である。
【００４２】
図３において、毛細管弁２０８および２３２の各々はさまざまな方法で実現可能である。たとえば１つの実施例では、毛細管弁２０８および２３２の各々は、オンおよびオフのパルスを発するパルス化ソレノイド弁を用いて実現可能であるが、これに限定されない。ある実施例では、潤滑油エアロゾル２３９′、２３９″、２４１′、および２４１″を介した１つ以上の潤滑油２２４の薄膜磁気媒体またはディスク２４０の１つ以上の表面上への付着は、磁気媒体２４０が付着システムの内部または外部にある時間によってではなく、毛細管弁２３２によって制御され得ることが指摘される。したがって、潤滑油付着システム２００′の毛細管弁２３２を利用して、厳密な時間とは対照的に潤滑油付着を制御することができる。毛細管弁２０８および２３２の各々は、これらの各々の動作を独立して制御可能なコントローラ（または演算装置）２１４に結合され得る。ある実施例では、コントローラ２１４は、毛細管弁２０８および２３２の各々に電気信号（たとえば３ボルト信号）を別個に送信して、各々を開閉し得る。
【００４３】
１つの実施例では、コントローラ２１４の機能および／または動作は、ソフトウェア、ファームウェア、ハードウェアまたはそれらのいずれかの組合せによって制御または管理され得るが、これらに限定されない。さらにある実施例では、コントローラ２１４は、潤滑油付着システム２００′用のユーザインターフェイスの一部であり得る。
【００４４】
図３において、潤滑油付着システム２００′はさまざまな方法で修正可能である。たとえばある実施例では、潤滑油付着システム２００′は、複数の圧縮ガス（たとえば２２０）を潤滑油槽２２６にポンプ注入可能であるように変更され得る。１つの実施例では、潤滑油付着システム２００′は、蒸気形状制御装置（またはノズル）２５０、２５２、２５４、および２５６の各々が、潤滑油槽２２６と同様の別の潤滑油槽に結合可能であるように修正され得る。
【００４５】
潤滑油付着システム２００′は、ポンプ２０２と、ガス槽２０７と、圧縮器２１２と、コントローラ２１４と、電圧源２１８と、ヒータ２２８と、潤滑油容器２２６と、弁２０８および２３２と、毛細管２０４、２１０、２１６、２３４、２３４′、２３４″、および２４６と、蒸気形状制御装置（またはノズル）２５０、２５２、２５４、および２５６と、付着筐体２４２とを含み得るが、これらに限定されない。具体的には、１つの実施例では、ポンプ２０２の出力は毛細管２０４を介してガス槽２０７の入力に結合され得る。ガス槽２０７の出力は、毛細管２１０および毛細管弁２０８を介して圧縮器２１２の入力に結合され得る。圧縮器２１２の出力は、毛細管２１６を介して潤滑油槽２２６の入力に結合され得る。潤滑油槽２２６の出力は、毛細管２３４、２３４′、および２３４″ならびに毛細管弁２３２を介して、蒸気形状制御装置（またはノズル）２５０、２５２、２５４、および２５６に結合され得る。付着筐体２４２の出力は、毛細管２４６を介してポンプ２０２の入力に結合され得る。コントローラ２１４は、ポンプ２０２と、毛細管弁２０８および２３２と、圧縮器２１２と、ヒータ２２８を制御する電圧源２１８とを制御するように結合され得る。
【００４６】
なお、潤滑油付着システム２００′は図３に示されるすべての要素を含むとは限らない。また、潤滑油付着システム２００′は、図３に示されない１つ以上の要素を含むように実現可能である。潤滑油付着システム２００′は、本明細書中に記載されているのと同様の任意の態様で利用または実現可能であるが、これらに限定されないことが指摘される。
【００４７】
図４は、潤滑油を薄膜磁気媒体上に付着させる付着処理を用いるための、本発明のさまざまな実施例に従った方法４００の流れ図である。流れ図４００には具体的な動作が開示されているが、それらの動作は例である。方法４００は、図４に示されるすべての動作を含むとは限らない。また、方法４００は、さまざまな他の動作および／または図４に示される動作の変形を含み得る。同様に、流れ図４００の動作の順序も修正可能である。流れ図４００のすべての動作が行われるとは限らないことが認識される。さまざまな実施例では、方法４００の１つ以上の動作がソフトウェア、ファームウェア、ハードウェアまたはそれらのいずれかの組合せによって制御または管理され得るが、これらに限定されない。方法４００は、コンピュータまたは演算装置読出可能および実行可能命令（またはコード）の制御下でプロセッサおよび電気部品によって制御または管理され得る本発明の実施例の処理を含み得る。コンピュータまたは演算装置読出可能および実行可能命令（またはコード）は、たとえば、コンピュータもしくは演算装置使用可能揮発性メモリ、コンピュータもしくは演算装置使用可能不揮発性メモリ、および／またはコンピュータもしくは演算装置使用可能大量データ記憶装置などの記憶特徴内に存在し得る。しかし、コンピュータまたは演算装置読出可能および実行可能命令（またはコード）は、如何なる種類のコンピュータまたは演算装置読出可能媒体内に存在してもよい。
【００４８】
具体的には、方法４００は、１つ以上の薄膜磁気ディスク上に付着させるために１つ以上の潤滑油を潤滑油容器内に加えるステップを含み得る。さらに、薄膜磁気媒体（またはディスク）は、潤滑油付着筐体に装填され得る。超臨界流体を利用して、１つ以上の潤滑油を薄膜磁気媒体の１つ以上の表面または側面上に付着させることができる。潤滑薄膜磁気媒体は、潤滑油付着筐体から取出され得る。そして、処理すべき別の薄膜磁気媒体があるか否かが判断され得る。そのような媒体がある場合、プロセス４００は、薄膜磁気媒体を潤滑油付着筐体に装填することを伴う動作に戻り得る。しかし、処理すべき別の薄膜磁気媒体がないと判断された場合、プロセス４００は終了し得る。このように、本発明のさまざまな実施例に従って、超臨界流体を利用して、１つ以上の潤滑油を薄膜磁気媒体上に付着させることができる。
【００４９】
図４の動作４０２において、１つ以上の薄膜磁気ディスク（たとえば２４０）上に付着させるために１つ以上の潤滑油（たとえば２２４）が潤滑油容器（たとえば２２６）に入れられるか加えられ得る。動作４０２はさまざまな方法で実現可能であることが指摘される。たとえば、動作４０２は本明細書中に記載されているのと同様の任意の態様で実現可能であるが、これらに限定されない。
【００５０】
動作４０４において、薄膜磁気媒体またはディスク（たとえば２４０）が潤滑油付着筐体（たとえば２４２）に装填または挿入され得る。なお、動作４０４はさまざまな方法で実現可能である。たとえば、動作４０４は本明細書中に記載されているのと同様の任意の態様で実現可能であるが、これらに限定されない。
【００５１】
図４の動作４０６において、超臨界流体を利用して１つ以上の潤滑油（たとえば２２４）が薄膜磁気媒体の１つ以上の表面または側面上に付着し得る。なお、動作４０６はさまざまな方法で実現可能である。たとえば、動作４０６は本明細書中に記載されているのと同様の任意の態様で実現可能であるが、これらに限定されない。
【００５２】
動作４０８において、潤滑薄膜磁気媒体が潤滑油付着筐体から取出され得る。動作４０８はさまざまな方法で実現可能であることが指摘される。たとえば、動作４０８は本明細書中に記載されているのと同様の任意の態様で実現可能であるが、これらに限定されない。
【００５３】
図４の動作４１０において、処理すべき別の薄膜磁気媒体またはディスクがあるか否かが判断され得る。そのような媒体またはディスクがある場合、プロセス４００は動作４０４に進み得る。しかし、動作４１０において処理すべき別の薄膜磁気媒体またはディスクがないと判断された場合、プロセス４００は終了し得る。なお、動作４１０はさまざまな方法で実現可能である。たとえば、動作４１０は本明細書中に記載されているのと同様の任意の態様で実現可能であるが、これらに限定されない。このように、本発明のさまざまな実施例に従って、超臨界流体を利用して、１つ以上の潤滑油を薄膜磁気媒体上に付着させることができる。
【００５４】
本発明に従ったさまざまな具体的な実施例の上記の説明は、例示および説明のために与えられた。これらは排他的であるよう、または開示されたままの形態に本発明を限定するよう意図されておらず、上述の教示内容に鑑みて多くの修正および変形が可能である。本発明は、請求項およびその均等物に従って構成されるものである。
【符号の説明】
【００５５】
１００  ハードディスクドライブ製造システム、１０２  薄膜磁気媒体製造システム、１０６  潤滑油付着システム、１１０  追加処理システム、２００  潤滑油付着システム、２０２  ポンプ、２０６  ガス、２０７  ガス槽、２１２  圧縮器、２１４  コントローラ、２１８  電圧源、２２０  圧縮ガス、２２２  潤滑油抽出ユニット、２２４  潤滑油、２２６  潤滑油容器、２２８  ヒータ、２３０  混合物、２３６、２３８  蒸気形状制御装置、２３９，２４１  エアロゾル、２４０  薄膜磁気媒体、２４２  潤滑油付着筐体、２４４  潤滑油付着ユニット、２０４、２１０、２１６、２３４、２３４′、２３４″、２４６  毛細管、２０８、２３２  毛細管弁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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