(57)【要約】      （修正有）【課題】リニアモータ制御回路などを内蔵するアンプ装置において、アンプ装置への電力供給に関する履歴情報を記録するのに要する手間を軽減する。【解決手段】電力供給装置１０に対して、電力供給情報に関する履歴情報を記録する専用の装置１を設け、履歴情報の書き込み、読み出し、表示あるいは各種設定情報の変更などをこの専用装置１で行えるようにする。これまでは履歴の記録、設定情報の変更などを、記録紙による台帳や通常のコンピュータのファイルを使用して行っていたが、専用装置１を使用する事で手間の軽減を実現できる。【選択図】図１
2011233003.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の電力供給情報に基づいて電力供給を行う電力供給装置であって、
前記所定の電力供給情報に関する履歴情報が記録された記録部を有する電力供給装置。
【請求項２】
前記記録部は、前記履歴情報が読み取り及び書き込み自在に設けられている請求項１記載の電力供給装置。
【請求項３】
電力供給装置本体を収納する筐体と、該筐体の一面に設けられるパネル面とを有し、
前記記録部は、前記パネル面に設けられる請求項１または２記載の電力供給装置。
【請求項４】
前記記録部は、シート状部材または板状部材を介して前記パネル面に貼設される請求項３記載の電力供給装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の電力供給装置と、
前記記録部に対して前記履歴情報の読み取り及び書き込みを行う読み書き装置と、
を有する電力供給装置の情報記録システム。
【請求項６】
前記読み書き装置は、前記記録部に対して非接触で前記履歴情報の読み取り及び書き込みを行う請求項５記載の電力供給装置の情報記録システム。
【請求項７】
前記記録部から読み取った前記履歴情報を更新した更新情報を形成するとともに、前記記録部に対して前記更新情報を書き込ませる更新装置を有する請求項５または６記載の電力供給装置の情報記録システム。
【請求項８】
前記履歴情報及び前記更新情報を表示する表示装置を有する請求項７記載の電力供給装置の情報記録システム。
【請求項９】
前記電力供給装置を前記記録部が露出した状態で収容するラックを備える請求項５から８のいずれか一項に記載の電力供給装置の情報記録システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子装置およびその情報記録システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体露光装置等のウエハステージやレチクルステージには、ステージ駆動リニアモータが使用されており、各リニアモータには制御回路を内蔵し、電力供給を行うアンプ装置がそれぞれ設けられる。そのため、露光装置の近傍には、複数のアンプ装置を収納するラックが設けられることが多くなっている。特に、近年では、アンプ装置の筺体とラックの収納部との形状を規格化した収納システムも検討されている。この種の収納システムでは、アンプ装置の収納時に筺体背面に設置したコネクタと収納部に内在するコネクタとを相互に接続することで配線が完了する設計となっている（特許文献１等参照）。
【０００３】
上記のリニアモータ制御回路等を内蔵するアンプ装置では、初期設定データに関する数値や、設定データを変更した後の数値等のアンプ装置における履歴情報を記録する必要があり、従来では記録紙を用いた台帳やコンピュータにファイル化することで管理・保管している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−３２４４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
複数の作業者による記録紙の取り扱い方の相違により、修理やバージョンアップの依頼に伴う履歴確認を記録紙の台帳やコンピュータ内のファイルから確認する必要があり、数値の変更や修正等に時間がかかるという問題が生じる。
【０００６】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、作業性の向上に寄与できる電子装置およびその情報記録システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様に従えば、所定の電力供給情報に基づいて電力供給を行う電力供給装置であって、所定の電力供給情報に関する履歴情報が記録された記録部を有する電力供給装置が提供される。
【０００８】
本発明の第２の態様に従えば、第１の態様の電力供給装置と、記録部に対して履歴情報の読み取り及び書き込みを行う読み書き装置と、を有する電力供給装置の情報記録システムが提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、作業性の向上に寄与できる電子装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】アンプ装置１０とその情報記録システム１００の概略構成図である。
【図２】第２実施形態を示す図であって、ラック２０の正面図である。
【図３】通信系ユニット装置５０の外観斜視図である。
【図４】ラックの下板とアンプ装置を示す外観斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の電力供給装置およびその情報記録システムの実施の形態を、図１ないし図４を参照して説明する。
ここでは、例えば、電力供給装置として、例えば露光装置におけるリニアモータに対して所定の電力を供給するアンプ装置を用いる場合の例を用いて説明する。
【００１２】
（第１実施形態）
図１は、電力供給装置としてのアンプ装置１０とその情報記録システム１００の概略構成図である。
アンプ装置１０は、制御回路等の電力供給装置本体を収納する略直方体の筺体６０を有している。筺体６０の正面（一面）６０Ａに位置するフロントパネル（パネル面）１１には、履歴記録プレート（記録部）１、通信系の入出力コネクタ１２、表示ＬＥＤ１３、識別表示ラベル１４、背面に不図示のファンが配置される開口金網１５、一対のハンドル１６を備えている。
【００１３】
履歴記録プレート１としては、シート状部材や板状部材（本実施形態では板状部材）に所定情報を読み取り及び書き込み自在なＩＣチップを有する構成や、リライト型感熱材料を用いた可逆感熱記録方式で繰り返し印字可能な印字部を有する構成が採用される。履歴記録プレート１に記録される所定情報としては、アンプ装置１０の種類（電力供給対象の種類）、電力供給に関する各種設定値、製造年月日、製造番号、変更通知履歴、当該アップ装置１０が収容される後述するラック及びそのラックにおける収容位置等が挙げられる。
【００１４】
また、上記の所定情報は、初期状態から入力される初期データと、修理等が加えられる際に付加されるアンプ装置１０の修理番号、修理年月日や、バージョンアップが成されたときに付加されるバージョンアップ番号、依頼年月日等の付加データを含み、これらの情報が履歴情報として履歴記録プレート１に記録可能となっている。
【００１５】
情報記録システム１００は、履歴記録プレート１に対して、磁気ヘッドや加熱装置等、非接触で読み取り及び書き込みを行う読み書き装置２、ケーブル３により読み書き装置２に接続されて履歴情報の入出力を行う制御装置４、制御装置４の制御下で履歴情報の表示が行われる表示装置５を備えている。
【００１６】
上記構成のアンプ装置１０とその情報記録システム１００においては、まず、制御装置４に保存されている当該アンプ装置１０に関する初期データが読み書き装置２により履歴記録プレート１に書き込まれる。また、一旦履歴記録プレート１に書き込まれた初期データを含む履歴情報は、読み書き装置２により読み取り、表示装置５に表示させることにより、当該アンプ装置１０に関する情報や、電力供給に関する各種設定値情報を確認することができる。
【００１７】
また、修理やバージョンアップ等で電力供給等に関する各種設定値情報の数値を変更する際には、制御装置４から入力した数値を読み書き装置２により履歴記録プレート１に対して書き込む。
このとき、例えば修正に係る数値を用いた修正版の履歴情報は、制御装置４から入力した数値を含む履歴情報を直接的に履歴記録プレート１に対して書き込む構成や、一旦、制御装置４におけるデータベースに追加登録し、登録番号を指定することで、当該登録番号に対応する履歴情報が読み書き装置２により履歴記録プレート１に対して書き込まれる構成とすることができる。
また、更新された履歴情報については、初期データから最新の変更情報（修正情報）までが順次併記された形式で履歴記録プレート１に記録される。
【００１８】
このように、本実施形態では、アンプ装置１０の履歴情報が履歴記録プレート１に記録されているため、修理やバージョンアップを行う際には、読み書き装置２により履歴記録プレート１の履歴情報を読み取ることにより、当該アンプ装置１０に対しては適切な対応を円滑に取ることができる。また、本実施形態では、上記のように、標準化された履歴情報を用いてアンプ装置１０に対する修理やバージョンアップを行うことから、複数の作業者が対応する場合でも、作業性の向上に寄与できる。また、本実施形態では、履歴記録プレート１がフロントパネル１１に設けられているため、容易、且つ迅速に履歴情報を取得することが可能である。
【００１９】
（第２実施形態）
続いて、アンプ装置の第２実施形態について、図２乃至図４を参照して説明する。
これらの図において、図１に示す第１実施形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
第２実施形態では、複数のアンプ装置がラックに収容される形態について説明する。
【００２０】
図２は、ラック２０の正面図である。縦３段、横３列（最上段は２列）のアンプ収容部を有するとともに、複数（ここでは３つ）の通信系ユニット装置５０を収容可能なラック２０の正面図である。
【００２１】
本実施形態におけるラック２０には、最下段にアンプ装置１０、１０ａ、１０ｂ、中段にアンプ装置３０、３０ａ、３０ｂ、最上段にアンプ装置４０、４０ａがそれぞれフロントパネル１１を全面側に露出させた状態で収容されている。また、ラック２０の最上段には、上記のアンプ装置１０、１０ａ、１０ｂ、３０、３０ａ、３０ｂ、４０、４０ａに対応した入出力コネクタを有する３つの通信系ユニット装置５０が収容されている。
【００２２】
上記の通信系ユニット装置５０に関しては、正面側のフロントパネル５０ａに入出力コネクタ５２が設けられ、上述した履歴記録プレート１と同様のプレート（またはシート）を貼設できないため、本実施形態では、図３に示すように、履歴記録シート（記録部）５１が通信系ユニット装置５０の側面に貼設されている。
【００２３】
アンプ装置１０、１０ａ、１０ｂとしては、例えば、Ｘ駆動リニアモータ、Ｙ駆動リニアモータ、Ｚ駆動リニアモータと、駆動方向に応じて設けられたリニアモータにそれぞれ電力を供給するものが配設される。また、アンプ装置３０、３０ａ、３０ｂとしては、例えば、３相モータを用いる場合、各相に応じて設けられたリニアモータ（コイルユニット）にそれぞれ電力を供給するものが配設される。さらに、アンプ装置４０、４０ａとしては、例えば、フロント方向駆動及びバック方向駆動のそれぞれ駆動方向に応じて設けられるリニアモータ（コイルユニット）にそれぞれ電力を供給するものが配設される。
なお、以下の説明では、上記複数のアンプ装置１０、１０ａ、１０ｂ、３０、３０ａ、３０ｂ、４０、４０ａのうち、アンプ装置１０を代表的に例示して説明する。
【００２４】
また、ラック２０は、各アンプ収容部に、図４（ａ）に示すように、正面側に出没自在にスライド（摺動）するラック下板２１が設けられている。図４（ｂ）に示すように、正面側に引き出されたラック下板２１には、例えば、アンプ装置１０が載置されるとともに、当該アンプ装置１０に形成された貫通孔１７を介してボルト１８で締結固定される。
【００２５】
上記構成のラック２０においては、ラック下板２１に固定されたアンプ装置１０は、ハンドル１６を把持して押し込むことにより、各アンプ収容部にフロントパネル１１を正面側に露出させた状態で収容される。
【００２６】
そして、ラック２０に収容されたアンプ装置１０に対しては、図１に示した読み書き装置２を用いて履歴記録プレート１に記録された履歴情報を読み取ることにより、当該アンプ装置１０における履歴情報と、制御装置４に保存されている履歴情報とを直ちに照合して、修理・バージョンアップ対象となるアンプ装置１０であることを確認することができる。また、照合結果が正しい場合には、制御装置４は、読み取った履歴情報に対して、修正・バージョンアップした数値等で更新した更新情報を形成し、この更新情報を新たな履歴情報として履歴記録プレート１に書き込むことで、履歴記録プレート１に記録されている情報を最新版とすることができる。
【００２７】
また、上記実施形態では、ラック２０に収容した状態でアンプ装置１０の履歴情報を確認することが可能であり、確認作業の短時間化を実現できる。さらに、本実施形態では、ラック収容部の位置とアンプ装置１０との照合も容易に確認することができ、アンプ装置１０を出荷する際の管理も容易に実行可能となる。
【００２８】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００２９】
例えば、上記実施形態では、電力供給装置としてリニアモータに電力を供給するアンプ装置を例示したが、これに限定されるものではなく、各種アクチュエータや、音響装置、製造装置、各種計測機器等に電力を供給する装置に広く適用可能である。
【００３０】
また、上記実施形態では、読み書き装置２が非接触で履歴記録プレート１に履歴情報を読み取り及び書き込みを行う構成としたが、これに限られるものではなく、接触式で履歴記録プレート１に読み取り及び書き込みを行う構成であってもよい。
【符号の説明】
【００３１】
１…履歴記録プレート（記録部）、  ２…読み書き装置、  １０…アンプ装置（電力供給装置）、  １１…フロントパネル（パネル面）、  ２０…ラック、  ５１…履歴記録シート（記録部）、  ６０Ａ…正面（一面）、  １００…情報記録システム
【図１】
2011233003.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2011233003.tif 000006