(57)【要約】【課題】ヘッド吸引装置のヘッドキャップにおいて、吐出ノズルから吸引された機能液が着弾する位置は付着物が発生し易い。当該部分を含めて、ヘッドキャップにおける広い範囲の付着物を好適に洗浄できる、液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守方法、及びヘッド保守装置を提供する。【解決手段】液状体吐出装置は、キャップ開口の周縁部を、液状体吐出ヘッドの吐出ノズルが形成されたノズル形成面に当接させることによってノズル形成面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通し、ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、洗浄液供給端末を備え、洗浄液供給端末から洗浄液を吐出して、ヘッドキャップに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、洗浄液供給端末とキャップ開口とが対向する位置と、洗浄液供給端末がキャップ開口に対向しない位置とに、洗浄液供給端末とヘッドキャップとを相対移動させる供給端末相対移動手段と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドと、
キャップ開口を備え、前記キャップ開口の周縁部を、前記液状体吐出ヘッドの前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面に当接させることによって前記ノズル形成面を封止するヘッドキャップと、
前記ヘッドキャップに連通し、前記ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、
洗浄液供給端末を備え、前記洗浄液供給端末から洗浄液を吐出して、前記ヘッドキャップに前記洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記洗浄液供給端末と前記キャップ開口とが対向する位置と、前記洗浄液供給端末が前記キャップ開口に対向しない位置とに、前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとを相対移動させる供給端末相対移動手段と、を備えることを特徴とする液状体吐出装置。
【請求項２】
前記洗浄液供給端末は、前記洗浄液を吐出する洗浄液ノズルを備え、
前記洗浄液ノズルが形成された洗浄液ノズル形成面は、前記キャップ開口の周縁部を当接させることによって封止可能であることを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出装置。
【請求項３】
前記供給端末相対移動手段は、前記洗浄液供給端末を支持し、前記洗浄液供給端末が前記キャップ開口に対向する位置と、前記洗浄液供給端末が前記キャップ開口に対向しない位置とに、前記洗浄液供給端末を移動させる洗浄液供給端末移動手段であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液状体吐出装置。
【請求項４】
前記液状体吐出ヘッドを支持し、前記ヘッドキャップに対向する保守位置と、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物に対向する描画位置と、に前記液状体吐出ヘッドを移動させる吐出ヘッド移動手段を備え、
前記洗浄液供給端末移動手段及び前記吐出ヘッド移動手段は、共通の案内部材と、前記洗浄液供給端末又は前記液状体吐出ヘッドを支持すると共に、前記案内部材に移動可能に支持されている供給端末移動部材又は吐出ヘッド移動部材を備えることを特徴とする、請求項３に記載の液状体吐出装置。
【請求項５】
前記供給端末相対移動手段は、前記ヘッドキャップを支持し、前記キャップ開口が前記液状体吐出ヘッドに対向する保守位置と、前記キャップ開口が前記洗浄液供給端末に対向する洗浄位置と、に前記ヘッドキャップを移動させるヘッドキャップ移動手段であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液状体吐出装置。
【請求項６】
前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置する載置台を支持し、前記液状体吐出ヘッドに対向する描画位置と、前記液状体吐出ヘッドに対向しない位置と、に前記載置台を移動させる載置台移動手段を備え、
前記載置台移動手段及び前記ヘッドキャップ移動手段は、共通の第一案内部材と、前記載置台又は前記ヘッドキャップを支持すると共に、前記第一案内部材に移動可能に支持されている載置台移動部材又はヘッドキャップ移動部材を備えることを特徴とする、請求項５に記載の液状体吐出装置。
【請求項７】
前記供給端末移動部材、前記吐出ヘッド移動部材、前記載置台移動部材、又は前記ヘッドキャップ移動部材と他の部材との間の距離を検出可能な距離検出手段を備えることを特徴とする、請求項４又は６に記載の液状体吐出装置。
【請求項８】
前記洗浄液供給端末は、前記洗浄液を吐出する複数の洗浄液ノズルを備えることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項９】
前記複数の洗浄液ノズルは、吐出される前記洗浄液が通過するノズル孔を有し、前記ノズル孔における前記洗浄液の流路の断面積が互いに異なる２種類以上の洗浄液ノズルを含むことを特徴とする、請求項８に記載の液状体吐出装置。
【請求項１０】
前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けての前記洗浄液の供給を制御する洗浄液供給制御手段を備え、
前記洗浄液供給制御手段は、前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に向けて前記液状体を吐出する描画吐出の間、前記洗浄液供給手段に、前記ヘッドキャップに向けての前記洗浄液の供給を実施させることを特徴とする、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１１】
前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けて供給する前記洗浄液の量を制御する洗浄液供給量制御手段を備え、
前記洗浄液供給量制御手段は、前記液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引されて前記ヘッドキャップに配置された前記液状体の量に応じて、前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けて供給する前記洗浄液の量を制御することを特徴とする、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１２】
前記洗浄液供給手段からの前記洗浄液の単位時間あたりの供給量を制御する供給流量制御手段をさらに備え、
前記供給流量制御手段は、前記洗浄液供給手段による前記ヘッドキャップへの前記洗浄液の供給を、断続的に、又は単位時間あたりの供給量を変動させて実施させることを特徴とする、請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１３】
前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとの相対位置を制御する相対位置制御手段を備え、
前記相対位置制御手段は、前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けての前記洗浄液の供給に並行して、前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとの相対位置を変動させることによって、前記ヘッドキャップにおける前記洗浄液の着弾位置を移動させることを特徴とする、請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１４】
前記洗浄液が、前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒であることを特徴とする、請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１５】
キャップ開口を備え、前記キャップ開口の周縁部を、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドにおける前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面に当接させることによって当該ノズル形成面を封止するヘッドキャップを備えるヘッド保守装置を保守するためのヘッド保守装置の保守方法であって、
洗浄液を吐出する洗浄液供給端末を前記キャップ開口に臨む位置に移動する供給端末移動工程と、
前記洗浄液供給端末から前記ヘッドキャップに前記洗浄液を供給する洗浄液供給工程と、を有することを特徴とするヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１６】
前記洗浄液供給端末は、前記洗浄液を吐出する洗浄液ノズルを備え、
前記洗浄液ノズルが形成された洗浄液ノズル形成面に前記キャップ開口の周縁部を当接させるキャップ開口当接工程を有することを特徴とする、請求項１５に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１７】
前記液状体吐出ヘッドを支持し、前記ヘッドキャップに対向する保守位置と、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物に対向する描画位置と、に前記液状体吐出ヘッドを移動させる吐出ヘッド移動手段は、案内部材と、液状体吐出ヘッドを支持すると共に、前記案内部材に移動可能に支持されている吐出ヘッド移動部材と、を備え、
前記供給端末移動工程は、前記案内部材に移動可能に支持された供給端末移動部材を、前記案内部材に沿って移動させることによって、前記供給端末移動部材に支持された前記洗浄液供給端末を移動させる工程であることを特徴とする、請求項１５又は１６に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１８】
前記供給端末移動部材と他の部材との距離を検出する距離検出工程を有することを特徴とする、請求項１７に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１９】
前記洗浄液供給工程を、前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に向けて前記液状体を吐出する描画吐出工程に並行して実施することを特徴とする、請求項１５乃至１８のいずれか一項に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項２０】
前記液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引されて前記ヘッドキャップに配置された前記液状体の量を取得する液状体量取得工程と、
前記液状体量取得工程において取得された前記ヘッドキャップに配置された前記液状体の量に応じて、前記洗浄液供給工程において前記ヘッドキャップに向けて供給する前記洗浄液の量を決定する洗浄液供給量決定工程と、を有することを特徴とする、請求項１５乃至１９のいずれか一項に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項２１】
前記洗浄液供給工程では、前記ヘッドキャップへの前記洗浄液の供給を、断続的に、又は単位時間あたりの供給量を変動させて実施することを特徴とする、請求項１５乃至２０のいずれか一項に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項２２】
前記洗浄液供給工程では、前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとの相対位置を変動させることによって、前記ヘッドキャップにおける前記洗浄液の着弾位置を移動させることを特徴とする、請求項１５乃至２１のいずれか一項に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項２３】
前記洗浄液が、前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒であることを特徴とする、請求項１５乃至２２のいずれか一項に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項２４】
キャップ開口を備え、前記キャップ開口の周縁部を、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドにおける前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面に当接させることによって前記ノズル形成面を封止するヘッドキャップと、
前記ヘッドキャップに連通し、前記ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、
洗浄液供給端末を備え、前記洗浄液供給端末から洗浄液を吐出して、前記ヘッドキャップに前記洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記洗浄液供給端末と前記キャップ開口とが対向する位置と、前記洗浄液供給端末が前記キャップ開口に対向しない位置とに、前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとを相対移動させる供給端末相対移動手段と、を備えることを特徴とするヘッド保守装置。
【請求項２５】
前記洗浄液供給端末は、前記洗浄液を吐出する洗浄液ノズルを備え、
前記洗浄液ノズルが形成された洗浄液ノズル形成面は、前記キャップ開口の周縁部を当接させることによって封止可能であることを特徴とする、請求項２４に記載のヘッド保守装置。
【請求項２６】
前記供給端末相対移動手段は、前記洗浄液供給端末を支持し、前記洗浄液供給端末が前記キャップ開口に対向する位置と、前記洗浄液供給端末が前記キャップ開口に対向しない位置とに、前記洗浄液供給端末を移動させる洗浄液供給端末移動手段であることを特徴とする、請求項２４又は２５に記載のヘッド保守装置。
【請求項２７】
前記洗浄液供給端末移動手段は、案内部材と、前記洗浄液供給端末を支持すると共に、前記案内部材に移動可能に支持されている供給端末移動部材とを備え、
前記案内部材は、吐出ヘッド移動手段と共通であって、前記吐出ヘッド移動手段は、前記液状体吐出ヘッドを支持すると共に、前記案内部材に移動可能に支持されている吐出ヘッド移動部材を備え、前記ヘッドキャップに対向する保守位置と、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物に対向する描画位置と、に前記液状体吐出ヘッドを移動させることを特徴とする、請求項２６に記載のヘッド保守装置。
【請求項２８】
前記供給端末相対移動手段は、前記ヘッドキャップを支持し、前記キャップ開口が前記液状体吐出ヘッドに対向する保守位置と、前記キャップ開口が前記洗浄液供給端末に対向する洗浄位置と、に前記ヘッドキャップを移動させるヘッドキャップ移動手段であることを特徴とする、請求項２４又は２５に記載のヘッド保守装置。
【請求項２９】
前記ヘッドキャップ移動手段は、第一案内部材と、前記第一案内部材に移動可能に支持されているヘッドキャップ移動部材とを備え、
前記第一案内部材は、載置台移動手段と共通であって、前記載置台移動手段は、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置する載置台を支持すると共に、前記第一案内部材に移動可能に支持されている載置台移動部材を備え、前記液状体吐出ヘッドに対向する描画位置と、前記液状体吐出ヘッドに対向しない位置と、に前記載置台を移動させることを特徴とする、請求項２８に記載のヘッド保守装置。
【請求項３０】
前記供給端末移動部材、前記吐出ヘッド移動部材、前記載置台移動部材、又は前記ヘッドキャップ移動部材と他の部材との間の距離を検出可能な距離検出手段を備えることを特徴とする、請求項２７又は２９に記載のヘッド保守装置。
【請求項３１】
前記洗浄液供給端末は、前記洗浄液を吐出する複数の洗浄液ノズルを備えることを特徴とする、請求項２４乃至３０のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項３２】
前記複数の洗浄液ノズルは、吐出される前記洗浄液が通過するノズル孔を有し、前記ノズル孔における前記洗浄液の流路の断面積が互いに異なる２種類以上の洗浄液ノズルを含むことを特徴とする、請求項３１に記載のヘッド保守装置。
【請求項３３】
前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けての前記洗浄液の供給を制御する洗浄液供給制御手段を備え、
前記洗浄液供給制御手段は、前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に向けて前記液状体を吐出する描画吐出の間、前記洗浄液供給手段に、前記ヘッドキャップに向けての前記洗浄液の供給を実施させることを特徴とする、請求項２４乃至３２のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項３４】
前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けて供給する前記洗浄液の量を制御する洗浄液供給量制御手段を備え、
前記洗浄液供給量制御手段は、前記液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引されて前記ヘッドキャップに配置された前記液状体の量に応じて、前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けて供給する前記洗浄液の量を制御することを特徴とする、請求項２４乃至３３のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項３５】
前記洗浄液供給手段からの前記洗浄液の単位時間あたりの供給量を制御する供給流量制御手段をさらに備え、
前記供給流量制御手段は、前記洗浄液供給手段による前記ヘッドキャップへの前記洗浄液の供給を、断続的に、又は単位時間あたりの供給量を変動させて実施させることを特徴とする、請求項２４乃至３４のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項３６】
前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとの相対位置を制御する相対位置制御手段を備え、
前記相対位置制御手段は、前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けての前記洗浄液の供給に並行して、前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとの相対位置を変動させることによって、前記ヘッドキャップにおける前記洗浄液の着弾位置を移動させることを特徴とする、請求項２４乃至３５のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項３７】
前記洗浄液が、前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒であることを特徴とする、請求項２４乃至３６のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出ヘッド及び吐出ヘッドの保守を実施するヘッド保守装置を備える液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守を実施するヘッド保守装置の保守方法、及び吐出ヘッドの保守を実施するヘッド保守装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備え、液状体を吐出して描画対象物上の任意の位置に着弾させることによって、描画対象物の任意の位置に液状体を配置する液状体吐出装置が知られている。このような液状体吐出装置を用いることによって、カラー液晶装置のカラーフィルター膜などのような機能膜の材料を含む液状体を、任意の位置に任意の量だけ精度良く塗布することが可能である。特に、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドは、その吐出ノズルから微小な液滴を選択的に吐出して位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状及び膜厚を有する膜を形成することができる。
近年では、例えば銀（Ａｇ）などの金属微粒子を溶媒に分散させた分散系金属インク（金属配線用インク）を使用することで、基板上の配線パターンなどの形成にも利用されている。液滴吐出ヘッドを用いて配線パターンを形成することで、微細な配線パターンや狭ピッチの配線パターンを効率よく高精度で製造することを可能にしている。
【０００３】
液滴吐出ヘッドは、別設のタンクなどから液状体が供給されると共に、供給された液状体を内部に設けたインク室（キャビティ）に一時的に貯留する。そして、ノズルプレートに多数形成された吐出ノズルからインク室に貯留した液状体を液滴として吐出する。
液状体は、液滴吐出ヘッドから好適に吐出できると共に、固化して特有の機能を有する膜を形成する液状体であって、液滴吐出ヘッドが待機しているとき、インク室に貯留した液状体が乾燥してしまう可能性がある。液状体が乾燥すると、増粘して吐出量が変化するだけでなく、部分的に固化してしまうことで、吐出ノズルの吐出ノズル孔の目詰まりや吐出時の飛行曲がりなどを起こしてしまうことがある。乾燥し始めた液状体を液滴吐出ヘッドから除去するために、ヘッド吸引装置などのヘッド保守装置が用いられている。
ヘッド吸引装置などのヘッド保守装置においても、吸引した液状体がヘッド吸引装置などの内部で乾燥して付着することで、ヘッド吸引装置などの機能が損なわれて低下する可能性があった。ヘッド吸引装置の付着物を除去する手段を有する装置として、特許文献１には、吸引ユニットのヘッドキャップに洗浄液を供給する供給手段を備える、吸引ユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器が、開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−８０２０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された装置においては、洗浄液はヘッドキャップの洗浄液供給口から注入されて排出口から排出されるため、洗浄液が流動することによって洗浄されるのは、洗浄液の流路となる洗浄液供給口から排出口にいたるヘッドキャップの一部分のみに限られる。したがって、ヘッドキャップの大部分は、洗浄液に浸されることのみによって洗浄される。このため、ヘッドキャップの多くの部分において、必ずしも効率的な洗浄や、充分な洗浄がなされないという課題があった。特に、吐出ノズルから吸引された機能液が着弾する位置は付着物が発生し易いが、当該着弾位置は、例えばヘッドキャップ内に配設された吸収材の表面などであって、ヘッドキャップ内の高い位置に在るために、洗浄液が到達し難く、洗浄が不充分になり易いという課題もあった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドと、キャップ開口を備え、前記キャップ開口の周縁部を、前記液状体吐出ヘッドの前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面に当接させることによって前記ノズル形成面を封止するヘッドキャップと、前記ヘッドキャップに連通し、前記ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、洗浄液供給端末を備え、前記洗浄液供給端末から洗浄液を吐出して、前記ヘッドキャップに前記洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記洗浄液供給端末と前記キャップ開口とが対向する位置と、前記洗浄液供給端末が前記キャップ開口に対向しない位置とに、前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとを相対移動させる供給端末相対移動手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる液状体吐出装置によれば、洗浄液供給手段によってヘッドキャップ内に洗浄液を供給することができ、吸引手段によって、ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引して排出することができる。これにより、洗浄液を用いて、ヘッドキャップの内部を洗浄することができる。
供給端末相対移動手段を備えることによって、供給端末相対移動手段を用いて洗浄液供給端末とヘッドキャップとを相対移動させて、洗浄液供給端末がヘッドキャップのキャップ開口に対向する位置に移動させることができる。当該位置において洗浄液を供給することで、液状体吐出ヘッドから吸引された液状体がヘッドキャップの内部に着弾する位置と略同じ位置に、洗浄液を供給することができる。これにより、洗浄液が、液状体が付着した密度が最も高い部分に当たるため、当該部分を単に洗浄液に浸す場合に比べて確実に液状体などを洗浄することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記洗浄液供給端末は、前記洗浄液を吐出する洗浄液ノズルを備え、前記洗浄液ノズルが形成された洗浄液ノズル形成面は、前記キャップ開口の周縁部を当接させることによって封止可能であることが好ましい。
【００１０】
この液状体吐出装置によれば、洗浄液ノズル形成面をヘッドキャップで封止することができる。この状態で洗浄液ノズルから洗浄液を供給することで、洗浄液がヘッドキャップの外に飛散することを抑制することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記供給端末相対移動手段は、前記洗浄液供給端末を支持し、前記洗浄液供給端末が前記キャップ開口に対向する位置と、前記洗浄液供給端末が前記キャップ開口に対向しない位置とに、前記洗浄液供給端末を移動させる洗浄液供給端末移動手段であることが好ましい。
【００１２】
この液状体吐出装置によれば、洗浄液供給端末移動手段を備えることによって、洗浄液供給端末移動手段を用いて洗浄液供給端末をヘッドキャップに対して相対移動させて、洗浄液供給端末がヘッドキャップのキャップ開口に対向する位置に移動させることができる。また、キャップ開口に対向しない位置に移動させることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記液状体吐出ヘッドを支持し、前記ヘッドキャップに対向する保守位置と、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物に対向する描画位置と、に前記液状体吐出ヘッドを移動させる吐出ヘッド移動手段を備え、前記洗浄液供給端末移動手段及び前記吐出ヘッド移動手段は、共通の案内部材と、前記洗浄液供給端末又は前記液状体吐出ヘッドを支持すると共に、前記案内部材に移動可能に支持されている供給端末移動部材又は吐出ヘッド移動部材を備えることが好ましい。
【００１４】
この液状体吐出装置によれば、洗浄液供給端末移動手段及び吐出ヘッド移動手段は、案内部材を共通にすることで、それぞれ案内部材を備える構成にくらべて、洗浄液供給端末移動手段及び吐出ヘッド移動手段から成る装置の構成を簡単にすることができる。また、液状体吐出ヘッドがヘッドキャップに臨む位置に位置している状態における吐出ヘッド移動手段の吐出ヘッド移動部材の位置に、洗浄液供給端末移動手段の供給端末移動部材を、容易に位置させることができる。これにより、ヘッドキャップに対して、洗浄液供給端末を、液状体吐出ヘッドと略同じ位置に容易に位置させることができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記供給端末相対移動手段は、前記ヘッドキャップを支持し、前記キャップ開口が前記液状体吐出ヘッドに対向する保守位置と、前記キャップ開口が前記洗浄液供給端末に対向する洗浄位置と、に前記ヘッドキャップを移動させるヘッドキャップ移動手段であることが好ましい。
【００１６】
この液状体吐出装置によれば、ヘッドキャップ移動手段を備えることによって、ヘッドキャップ移動手段を用いてヘッドキャップを洗浄液供給端末に対して相対移動させて、ヘッドキャップのキャップ開口が洗浄液供給端末に対向する洗浄位置に移動させることができる。また、ヘッドキャップを、キャップ開口が液状体吐出ヘッドに対向する保守位置に移動することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置する載置台を支持し、前記液状体吐出ヘッドに対向する描画位置と、前記液状体吐出ヘッドに対向しない位置と、に前記載置台を移動させる載置台移動手段を備え、前記載置台移動手段及び前記ヘッドキャップ移動手段は、共通の第一案内部材と、前記載置台又は前記ヘッドキャップを支持すると共に、前記第一案内部材に移動可能に支持されている載置台移動部材又はヘッドキャップ移動部材を備えることが好ましい。
【００１８】
この液状体吐出装置によれば、ヘッドキャップ移動手段は、載置台移動手段と、第一案内部材を共通にする。ヘッドキャップ移動手段と載置台移動手段とで同一の第一案内部材を共通に用いることで、それぞれ第一案内部材を備える構成にくらべて、ヘッドキャップ移動手段及び載置台移動手段から成る装置の構成を簡単にすることができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記供給端末移動部材、前記吐出ヘッド移動部材、前記載置台移動部材、又は前記ヘッドキャップ移動部材と他の部材との間の距離を検出可能な距離検出手段を備えることが好ましい。
【００２０】
この液状体吐出装置によれば、距離検出手段を用いて供給端末移動部材、吐出ヘッド移動部材、載置台移動部材、又はヘッドキャップ移動部材の相互の距離を検出し、検出された相互の間の距離に拠ってこれらの移動部材間の距離を制御することで、これらの移動部材間の距離を適切な距離に維持することができる。供給端末移動部材、吐出ヘッド移動部材、載置台移動部材、又はヘッドキャップ移動部材と他の部材との間の距離を検出して適切な距離に維持することで、これらの移動部材が他の部材と衝突することを抑制することができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記洗浄液供給端末は、前記洗浄液を吐出する複数の洗浄液ノズルを備えることが好ましい。
【００２２】
この液状体吐出装置によれば、複数の洗浄液ノズルから略並行して洗浄液を供給することで、単独の洗浄液ノズルから供給する場合にくらべて、より広範囲に略同時に洗浄液を供給することができる。これにより、ヘッドキャップの広い範囲に略均等に洗浄液を供給することができる。また、ヘッドキャップの部分の状態に対応して、部分ごとに洗浄液の供給状態を変えることができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記複数の洗浄液ノズルは、吐出される前記洗浄液が通過するノズル孔を有し、前記ノズル孔における前記洗浄液の流路の断面積が互いに異なる２種類以上の洗浄液ノズルを含むことが好ましい。
【００２４】
この液状体吐出装置によれば、洗浄液供給手段は、ノズル孔径が互いに異なる洗浄液ノズルを備えている。洗浄液ノズルのノズル孔径が異なることで、洗浄液ノズルからの洗浄液の吐出量や、吐出される洗浄液の速度などを、洗浄液ノズルごとに、容易に異ならせることができる。これにより、ヘッドキャップの部分の状態に対応して、部分ごとに洗浄液の供給状態を変えることができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けての前記洗浄液の供給を制御する洗浄液供給制御手段を備え、前記洗浄液供給制御手段は、前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に向けて前記液状体を吐出する描画吐出の間、前記洗浄液供給手段に、前記ヘッドキャップに向けての前記洗浄液の供給を実施させることが好ましい。
【００２６】
この液状体吐出装置によれば、描画吐出の間に、ヘッドキャップに向けての洗浄液の供給が実施される。これにより、描画吐出を実施する時間に、洗浄液の供給を実施する時間が加算される場合にくらべて、ヘッドキャップに向けての洗浄液の供給を実施することによる作業時間の増加を抑制することができる。また、ヘッドキャップに向けての洗浄液の供給が実施されている間に、液状体吐出ヘッドが待機している状態になることを抑制することができる。
【００２７】
［適用例１１］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けて供給する前記洗浄液の量を制御する洗浄液供給量制御手段を備え、前記洗浄液供給量制御手段は、前記液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引されて前記ヘッドキャップに配置された前記液状体の量に応じて、前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けて供給する前記洗浄液の量を制御することが好ましい。
【００２８】
この液状体吐出装置によれば、洗浄液供給量制御手段を備えており、液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引されてヘッドキャップに配置された液状体の量に応じて、洗浄液供給手段からヘッドキャップに供給する洗浄液の量を調整することができる。これにより、ヘッドキャップに供給された量の液状体を洗浄するために適切な量の洗浄液を供給することで、洗浄液の量が不足することによって充分な洗浄が実施できなかったり、過剰に洗浄液を供給することによって洗浄液を無駄に消費したりすることを抑制することができる。
【００２９】
［適用例１２］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記洗浄液供給手段からの前記洗浄液の単位時間あたりの供給量を制御する供給流量制御手段をさらに備え、前記供給流量制御手段は、前記洗浄液供給手段による前記ヘッドキャップへの前記洗浄液の供給を、断続的に、又は単位時間あたりの供給量を変動させて実施させることが好ましい。
【００３０】
この液状体吐出装置によれば、洗浄液は、断続的に、又は単位時間あたりの供給量が変動しながらヘッドキャップに供給される。これにより、供給された洗浄液がヘッドキャップに当たる当たり方が変動する。洗浄液の当たり方が変動することで、洗浄液が一定の当たり方で供給される場合にくらべて、付着物などを洗浄し易くすることができる。
【００３１】
［適用例１３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとの相対位置を制御する相対位置制御手段を備え、前記相対位置制御手段は、前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けての前記洗浄液の供給に並行して、前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとの相対位置を変動させることによって、前記ヘッドキャップにおける前記洗浄液の着弾位置を移動させることが好ましい。
【００３２】
この液状体吐出装置によれば、洗浄液供給手段からヘッドキャップに向けて洗浄液が供給されているときに、洗浄液供給端末とヘッドキャップとの相対位置が変動する。洗浄液供給端末とヘッドキャップとの相対位置が変動することによって、洗浄液供給端末の洗浄液ノズルが臨むヘッドキャップの部分が変動することで、ヘッドキャップにおける供給された洗浄液がヘッドキャップに当たる位置が移動する。洗浄液が当たる位置が移動することで、洗浄液が一定の位置に当たる場合にくらべて、付着物などを洗浄し易くすることができる。
洗浄液供給端末とヘッドキャップとの相対位置が変動することによって、洗浄液供給端末とヘッドキャップとの距離が変動することで、供給された洗浄液がヘッドキャップに当たる当たり方が変動する。洗浄液の当たり方が変動することで、洗浄液が一定の当たり方で供給される場合にくらべて、付着物などを洗浄し易くすることができる。
【００３３】
［適用例１４］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記洗浄液が、前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒であることが好ましい。
【００３４】
この液状体吐出装置によれば、液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒が、洗浄液としてヘッドキャップに供給される。ヘッドキャップの付着物は、主に液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引された機能液によるものであるため、機能液の主溶媒によって、容易に溶解することができる。
【００３５】
［適用例１５］本適用例にかかる保守装置の保守方法は、キャップ開口を備え、前記キャップ開口の周縁部を、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドにおける前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面に当接させることによって当該ノズル形成面を封止するヘッドキャップを備えるヘッド保守装置を保守するためのヘッド保守装置の保守方法であって、洗浄液を吐出する洗浄液供給端末を前記キャップ開口に臨む位置に移動する供給端末移動工程と、前記洗浄液供給端末から前記ヘッドキャップに前記洗浄液を供給する洗浄液供給工程と、を有することを特徴とする。
【００３６】
本適用例にかかる保守装置の保守方法によれば、洗浄液供給工程を実施することによってヘッドキャップ内に洗浄液を供給することができ、供給された洗浄液を用いて、ヘッドキャップの内部を洗浄することができる。供給端末移動工程を実施することによって、洗浄液供給端末を、ヘッドキャップのキャップ開口に対向する位置に移動させることができる。当該位置から洗浄液を供給することで、液状体吐出ヘッドから吸引された液状体がヘッドキャップの内部に着弾する位置と略同じ位置に、洗浄液を供給することができる。これにより、洗浄液が、液状体が付着した密度が最も高い部分に当たるため、当該部分を単に洗浄液に浸す場合に比べて確実に液状体などを洗浄することができる。
【００３７】
［適用例１６］上記適用例にかかる保守装置の保守方法において、前記洗浄液供給端末は、前記洗浄液を吐出する洗浄液ノズルを備え、前記洗浄液ノズルが形成された洗浄液ノズル形成面に前記キャップ開口の周縁部を当接させるキャップ開口当接工程を有することが好ましい。
【００３８】
この保守装置の保守方法によれば、キャップ開口当接工程を実施することで、洗浄液ノズル形成面にキャップ開口の周縁部を当接させて、洗浄液ノズル形成面をヘッドキャップで囲った状態にすることができる。この状態で洗浄液ノズルから洗浄液を供給することで、洗浄液がヘッドキャップの外に飛散することを抑制することができる。
【００３９】
［適用例１７］上記適用例にかかる保守装置の保守方法において、前記液状体吐出ヘッドを支持し、前記ヘッドキャップに対向する保守位置と、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物に対向する描画位置と、に前記液状体吐出ヘッドを移動させる吐出ヘッド移動手段は、案内部材と、液状体吐出ヘッドを支持すると共に、前記案内部材に移動可能に支持されている吐出ヘッド移動部材と、を備え、前記供給端末移動工程は、前記案内部材に移動可能に支持された供給端末移動部材を、前記案内部材に沿って移動させることによって、前記供給端末移動部材に支持された前記洗浄液供給端末を移動させる工程であることが好ましい。
【００４０】
この保守装置の保守方法によれば、洗浄液供給端末が支持されている供給端末移動部材は、液状体吐出ヘッドを支持する吐出ヘッド移動部材が移動可能に支持されている案内部材に移動可能に支持されている。これにより、液状体吐出ヘッドがヘッドキャップに臨む位置に位置している状態における吐出ヘッド移動部材の位置に、洗浄液供給端末が支持されている供給端末移動部材を、容易に位置させることができる。これにより、ヘッドキャップに対して、洗浄液供給端末を、液状体吐出ヘッドと略同じ位置に容易に位置させることができる。
【００４１】
［適用例１８］上記適用例にかかる保守装置の保守方法において、前記供給端末移動部材と他の部材との距離を検出する距離検出工程を有することが好ましい。
【００４２】
この保守装置の保守方法によれば、距離検出工程において供給端末移動部材間の距離を検出し、検出された供給端末移動部材間の距離に拠って供給端末移動部材間の距離を制御することで、供給端末移動部材間の距離を適切な距離に維持することができる。供給端末移動部材と他の部材との間の距離を検出して適切な距離に維持することで、供給端末移動部材が他の供給端末移動部材や吐出ヘッド移動部材などの部材と衝突することを抑制することができる。
【００４３】
［適用例１９］上記適用例にかかる保守装置の保守方法において、前記洗浄液供給工程を、前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に向けて前記液状体を吐出する描画吐出工程に並行して実施することが好ましい。
【００４４】
この保守装置の保守方法によれば、描画吐出工程に並行して、ヘッドキャップに向けての洗浄液の供給が実施される。これにより、描画吐出工程を実施する時間に、洗浄液供給工程を実施する時間が加算される場合にくらべて、洗浄液供給工程を実施することによる作業時間の増加を抑制することができる。また、洗浄液供給工程が実施されている間に、液状体吐出ヘッドが待機している状態になることを抑制することができる。
【００４５】
［適用例２０］上記適用例にかかる保守装置の保守方法において、前記液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引されて前記ヘッドキャップに配置された前記液状体の量を取得する液状体量取得工程と、前記液状体量取得工程において取得された前記ヘッドキャップに配置された前記液状体の量に応じて、前記洗浄液供給工程において前記ヘッドキャップに向けて供給する前記洗浄液の量を決定する洗浄液供給量決定工程と、を有することが好ましい。
【００４６】
この保守装置の保守方法によれば、洗浄液供給量決定工程を実施することで、ヘッドキャップに配置された液状体の量に応じて、洗浄液供給工程においてヘッドキャップに向けて供給する洗浄液の量が決定される。これにより、ヘッドキャップに供給された量の液状体を洗浄するために適切な量の洗浄液を供給することで、洗浄液の量が不足することによって充分な洗浄が実施できなかったり、過剰に洗浄液を供給することによって洗浄液を無駄に消費したりすることを抑制することができる。
【００４７】
［適用例２１］上記適用例にかかる保守装置の保守方法において、前記洗浄液供給工程では、前記ヘッドキャップへの前記洗浄液の供給を、断続的に、又は単位時間あたりの供給量を変動させて実施することが好ましい。
【００４８】
この保守装置の保守方法によれば、洗浄液供給工程において、洗浄液は、断続的に、又は単位時間あたりの供給量が変動しながらヘッドキャップに供給される。これにより、供給された洗浄液がヘッドキャップに当たる当たり方が変動する。洗浄液の当たり方が変動することで、洗浄液が一定の当たり方で供給される場合にくらべて、付着物などを洗浄し易くすることができる。
【００４９】
［適用例２２］上記適用例にかかる保守装置の保守方法において、前記洗浄液供給工程では、前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとの相対位置を変動させることによって、前記ヘッドキャップにおける前記洗浄液の着弾位置を移動させることが好ましい。
【００５０】
この保守装置の保守方法によれば、洗浄液供給工程において、洗浄液供給端末からヘッドキャップに向けて洗浄液が供給されているときに、ヘッドキャップにおける供給された洗浄液がヘッドキャップに当たる位置が変動させられる。洗浄液が当たる位置が変動することで、洗浄液が一定の位置に当たる場合にくらべて、付着物などを洗浄し易くすることができる。
【００５１】
［適用例２３］上記適用例にかかる保守装置の保守方法において、前記洗浄液が、前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒であることが好ましい。
【００５２】
この保守装置の保守方法によれば、液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒が、洗浄液としてヘッドキャップに供給される。ヘッドキャップの付着物は、主に液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引された機能液によるものであるため、機能液の主溶媒によって、容易に溶解することができる。
【００５３】
［適用例２４］本適用例にかかるヘッド保守装置は、キャップ開口を備え、前記キャップ開口の周縁部を、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドにおける前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面に当接させることによって前記ノズル形成面を封止するヘッドキャップと、前記ヘッドキャップに連通し、前記ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、洗浄液供給端末を備え、前記洗浄液供給端末から洗浄液を吐出して、前記ヘッドキャップに前記洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記洗浄液供給端末と前記キャップ開口とが対向する位置と、前記洗浄液供給端末が前記キャップ開口に対向しない位置とに、前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとを相対移動させる供給端末相対移動手段と、を備えることを特徴とする。
【００５４】
本適用例にかかるヘッド保守装置によれば、洗浄液供給手段によってヘッドキャップ内に洗浄液を供給することができ、吸引手段によって、ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引して排出することができる。これにより、洗浄液を用いて、ヘッドキャップの内部を洗浄することができる。
供給端末相対移動手段を備えることによって、供給端末相対移動手段を用いて洗浄液供給端末とヘッドキャップとを相対移動させて、洗浄液供給端末がヘッドキャップのキャップ開口に対向する位置に移動させることができる。当該位置において洗浄液を供給することで、液状体吐出ヘッドから吸引された液状体がヘッドキャップの内部に着弾する位置と略同じ位置に、洗浄液を供給することができる。これにより、洗浄液が、液状体が付着した密度が最も高い部分に当たるため、当該部分を単に洗浄液に浸す場合に比べて確実に液状体などを洗浄することができる。
【００５５】
［適用例２５］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記洗浄液供給端末は、前記洗浄液を吐出する洗浄液ノズルを備え、前記洗浄液ノズルが形成された洗浄液ノズル形成面は、前記キャップ開口の周縁部を当接させることによって封止可能であることが好ましい。
【００５６】
このヘッド保守装置によれば、洗浄液ノズル形成面をヘッドキャップで封止することができる。この状態で洗浄液ノズルから洗浄液を供給することで、洗浄液がヘッドキャップの外に飛散することを抑制することができる。
【００５７】
［適用例２６］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記供給端末相対移動手段は、前記洗浄液供給端末を支持し、前記洗浄液供給端末が前記キャップ開口に対向する位置と、前記洗浄液供給端末が前記キャップ開口に対向しない位置とに、前記洗浄液供給端末を移動させる洗浄液供給端末移動手段であることが好ましい。
【００５８】
このヘッド保守装置によれば、洗浄液供給端末移動手段を備えることによって、洗浄液供給端末移動手段を用いて洗浄液供給端末をヘッドキャップに対して相対移動させて、洗浄液供給端末がヘッドキャップのキャップ開口に対向する位置に移動させることができる。また、キャップ開口に対向しない位置に移動させることができる。
【００５９】
［適用例２７］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記洗浄液供給端末移動手段は、案内部材と、前記洗浄液供給端末を支持すると共に、前記案内部材に移動可能に支持されている供給端末移動部材とを備え、前記案内部材は、吐出ヘッド移動手段と共通であって、前記吐出ヘッド移動手段は、前記液状体吐出ヘッドを支持すると共に、前記案内部材に移動可能に支持されている吐出ヘッド移動部材を備え、前記ヘッドキャップに対向する保守位置と、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物に対向する描画位置と、に前記液状体吐出ヘッドを移動させることが好ましい。
【００６０】
このヘッド保守装置によれば、洗浄液供給端末移動手段及び吐出ヘッド移動手段は、案内部材を共通にすることで、それぞれ案内部材を備える構成にくらべて、洗浄液供給端末移動手段及び吐出ヘッド移動手段から成る装置の構成を簡単にすることができる。また、液状体吐出ヘッドがヘッドキャップに臨む位置に位置している状態における吐出ヘッド移動手段の吐出ヘッド移動部材の位置に、洗浄液供給端末移動手段の供給端末移動部材を、容易に位置させることができる。これにより、ヘッドキャップに対して、洗浄液供給端末を、液状体吐出ヘッドと略同じ位置に容易に位置させることができる。
【００６１】
［適用例２８］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記供給端末相対移動手段は、前記ヘッドキャップを支持し、前記キャップ開口が前記液状体吐出ヘッドに対向する保守位置と、前記キャップ開口が前記洗浄液供給端末に対向する洗浄位置と、に前記ヘッドキャップを移動させるヘッドキャップ移動手段であることが好ましい。
【００６２】
このヘッド保守装置によれば、ヘッドキャップ移動手段を備えることによって、ヘッドキャップ移動手段を用いてヘッドキャップを洗浄液供給端末に対して相対移動させて、ヘッドキャップのキャップ開口が洗浄液供給端末に対向する洗浄位置に移動させることができる。また、ヘッドキャップを、キャップ開口が液状体吐出ヘッドに対向する保守位置に移動することができる。
【００６３】
［適用例２９］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記ヘッドキャップ移動手段は、第一案内部材と、前記第一案内部材に移動可能に支持されているヘッドキャップ移動部材とを備え、前記第一案内部材は、載置台移動手段と共通であって、前記載置台移動手段は、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置する載置台を支持すると共に、前記第一案内部材に移動可能に支持されている載置台移動部材を備え、前記液状体吐出ヘッドに対向する描画位置と、前記液状体吐出ヘッドに対向しない位置と、に前記載置台を移動させることが好ましい。
【００６４】
このヘッド保守装置によれば、ヘッドキャップ移動手段は、載置台移動手段と、第一案内部材を共通にする。ヘッドキャップ移動手段と載置台移動手段とで同一の第一案内部材を共通に用いることで、それぞれ第一案内部材を備える構成にくらべて、ヘッドキャップ移動手段及び載置台移動手段から成る装置の構成を簡単にすることができる。
【００６５】
［適用例３０］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記供給端末移動部材、前記吐出ヘッド移動部材、前記載置台移動部材、又は前記ヘッドキャップ移動部材と他の部材との間の距離を検出可能な距離検出手段を備えることが好ましい。
【００６６】
このヘッド保守装置によれば、距離検出手段を用いて供給端末移動部材、吐出ヘッド移動部材、載置台移動部材、又はヘッドキャップ移動部材の相互の距離を検出し、検出された相互の間の距離に拠ってこれらの移動部材間の距離を制御することで、これらの移動部材間の距離を適切な距離に維持することができる。供給端末移動部材、吐出ヘッド移動部材、載置台移動部材、又はヘッドキャップ移動部材と他の部材との間の距離を検出して適切な距離に維持することで、これらの移動部材が他の部材と衝突することを抑制することができる。
【００６７】
［適用例３１］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記洗浄液供給端末は、前記洗浄液を吐出する複数の洗浄液ノズルを備えることが好ましい。
【００６８】
このヘッド保守装置によれば、複数の洗浄液ノズルから略並行して洗浄液を供給することで、単独の洗浄液ノズルから供給する場合にくらべて、より広範囲に略同時に洗浄液を供給することができる。これにより、ヘッドキャップの広い範囲に略均等に洗浄液を供給することができる。また、ヘッドキャップの部分の状態に対応して、部分ごとに洗浄液の供給状態を変えることができる。
【００６９】
［適用例３２］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記複数の洗浄液ノズルは、吐出される前記洗浄液が通過するノズル孔を有し、前記ノズル孔における前記洗浄液の流路の断面積が互いに異なる２種類以上の洗浄液ノズルを含むことが好ましい。
【００７０】
このヘッド保守装置によれば、洗浄液供給手段は、ノズル孔径が互いに異なる洗浄液ノズルを備えている。洗浄液ノズルのノズル孔径が異なることで、洗浄液ノズルからの洗浄液の吐出量や、吐出される洗浄液の速度などを、洗浄液ノズルごとに、容易に異ならせることができる。これにより、ヘッドキャップの部分の状態に対応して、部分ごとに洗浄液の供給状態を変えることができる。
【００７１】
［適用例３３］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けての前記洗浄液の供給を制御する洗浄液供給制御手段を備え、前記洗浄液供給制御手段は、前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に向けて前記液状体を吐出する描画吐出の間、前記洗浄液供給手段に、前記ヘッドキャップに向けての前記洗浄液の供給を実施させることが好ましい。
【００７２】
このヘッド保守装置によれば、描画吐出の間に、ヘッドキャップに向けての洗浄液の供給が実施される。これにより、描画吐出を実施する時間に、洗浄液の供給を実施する時間が加算される場合にくらべて、ヘッドキャップに向けての洗浄液の供給を実施することによる作業時間の増加を抑制することができる。また、ヘッドキャップに向けての洗浄液の供給が実施されている間に、液状体吐出ヘッドが待機している状態になることを抑制することができる。
【００７３】
［適用例３４］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けて供給する前記洗浄液の量を制御する洗浄液供給量制御手段を備え、前記洗浄液供給量制御手段は、前記液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引されて前記ヘッドキャップに配置された前記液状体の量に応じて、前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けて供給する前記洗浄液の量を制御することが好ましい。
【００７４】
このヘッド保守装置によれば、洗浄液供給量制御手段を備えており、液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引されてヘッドキャップに配置された液状体の量に応じて、洗浄液供給手段からヘッドキャップに供給する洗浄液の量を調整することができる。これにより、ヘッドキャップに供給された量の液状体を洗浄するために適切な量の洗浄液を供給することで、洗浄液の量が不足することによって充分な洗浄が実施できなかったり、過剰に洗浄液を供給することによって洗浄液を無駄に消費したりすることを抑制することができる。
【００７５】
［適用例３５］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記洗浄液供給手段からの前記洗浄液の単位時間あたりの供給量を制御する供給流量制御手段をさらに備え、前記供給流量制御手段は、前記洗浄液供給手段による前記ヘッドキャップへの前記洗浄液の供給を、断続的に、又は単位時間あたりの供給量を変動させて実施させることが好ましい。
【００７６】
このヘッド保守装置によれば、洗浄液は、断続的に、又は単位時間あたりの供給量が変動しながらヘッドキャップに供給される。これにより、供給された洗浄液がヘッドキャップに当たる当たり方が変動する。洗浄液の当たり方が変動することで、洗浄液が一定の当たり方で供給される場合にくらべて、付着物などを洗浄し易くすることができる。
【００７７】
［適用例３６］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとの相対位置を制御する相対位置制御手段を備え、前記相対位置制御手段は、前記洗浄液供給手段から前記ヘッドキャップに向けての前記洗浄液の供給に並行して、前記洗浄液供給端末と前記ヘッドキャップとの相対位置を変動させることによって、前記ヘッドキャップにおける前記洗浄液の着弾位置を移動させることが好ましい。
【００７８】
このヘッド保守装置によれば、洗浄液供給手段からヘッドキャップに向けて洗浄液が供給されているときに、洗浄液供給端末とヘッドキャップとの相対位置が変動する。洗浄液供給端末とヘッドキャップとの相対位置が変動することによって、洗浄液供給端末の洗浄液ノズルが臨むヘッドキャップの部分が変動することで、ヘッドキャップにおける供給された洗浄液がヘッドキャップに当たる位置が移動する。洗浄液が当たる位置が移動することで、洗浄液が一定の位置に当たる場合にくらべて、付着物などを洗浄し易くすることができる。
【００７９】
［適用例３７］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記洗浄液が、前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒であることが好ましい。
【００８０】
このヘッド保守装置によれば、液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒が、洗浄液としてヘッドキャップに供給される。ヘッドキャップの付着物は、主に液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引された機能液によるものであるため、機能液の主溶媒によって、容易に溶解することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。
【図３】ヘッドユニットの構成を示す平面図。
【図４】（ａ）は、キャップ装置の断面形状及び排液装置の構成を示す説明図。（ｂ）は、キャップ装置を平面視した構成を示す説明図。
【図５】（ａ）は、洗浄液供給装置の洗浄ヘッドユニットを平面視した構成を示す説明図。（ｂ）は、洗浄液供給装置の全体構成を示す説明図。
【図６】（ａ）は、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの平面視した位置関係を示す説明図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの吸引を実施している際の、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの側面視した位置関係を示す説明図。（ｃ）は、ヘッドキャップの洗浄を実施している際の、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの側面視した位置関係を示す説明図。
【図７】洗浄液を用いてキャップ室などを洗浄するヘッドキャップ洗浄工程を示すフローチャート。
【図８】洗浄液ヘッドの構成を示す説明図。
【図９】（ａ）は、複数のヘッドユニットを備える液滴吐出装置における洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの位置関係を示す説明図。（ｂ）は、複数のヘッドユニットに対応する複数の洗浄ヘッドユニットを備える液滴吐出装置における洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの位置関係を示す説明図。
【図１０】（ａ）は、液滴吐出装置における洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの平面視した位置関係を示す説明図。（ｂ）は、（ａ）に示した液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドの吸引を実施している際の、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの側面視した位置関係を示す説明図。（ｃ）は、（ａ）に示した液滴吐出装置において、ヘッドキャップの洗浄を実施している際の、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの側面視した位置関係を示す説明図。（ｄ）は、液滴吐出装置における洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの平面視した位置関係を示す説明図。（ｅ）は、（ｄ）に示した液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドの吸引を実施している際の、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの側面視した位置関係を示す説明図。（ｆ）は、（ｄ）に示した液滴吐出装置において、ヘッドキャップの洗浄を実施している際の、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの側面視した位置関係を示す説明図。
【図１１】洗浄液を用いてキャップ室などを洗浄するヘッドキャップ洗浄工程を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００８２】
以下、液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守方法、及びヘッド保守装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。実施形態は、吐出ノズルを有する液状体吐出ヘッドの一例としての、液滴を吐出する吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッド、を備える液滴吐出装置を例にして説明する。液滴吐出装置は、保守装置としての吸引ユニットを備える液状体吐出装置である。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００８３】
＜液滴吐出法＞
最初に、液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００８４】
また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒーターにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えない、駆動電圧を調整することによって、液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の制御性が良いことから上記ピエゾ方式を用いる。
【００８５】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００８６】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、描画ユニット２と、ワークユニット３と、機能液供給ユニット４と、保守ユニット５とを備えている。
描画ユニット２は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７（図２参照）を有している。
ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台３０を有している。ワークＷが、吐出対象物に相当する。
機能液供給ユニット４は、機能液タンクと、給液管と、給液チューブとを有し、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド１７に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド１７に供給される。
液滴吐出ヘッド１７が液状体吐出ヘッドに相当する。
【００８７】
保守ユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態などの検査を実施する各装置、液滴吐出ヘッド１７の各種の保守を実施する各装置、及びこれらの装置をＸ軸方向に移動可能に支持する移動装置５ａを備えている。描画吐出を実施する領域から外れた位置に移動した液滴吐出ヘッド１７に臨んだ状態で使用される各装置は、移動装置５ａの移動プレートに固定されている。移動装置５ａは、これらの各装置を、当該装置が使用される際に、液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に移動する。
【００８８】
液滴吐出装置１は、また、これら各ユニットなどを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。描画ユニット２と、ワークユニット３と、保守ユニット５の主要部とは、平面視長方形形状の定盤９の上に配設されている。吐出装置制御部６は、定盤９の下側に収容されている。定盤９の傍らには、機能液供給ユニット４の機能液タンクなどが配置されている。
【００８９】
ワークユニット３は、Ｘ軸走査機構１１を備え、Ｘ軸走査機構１１は、定盤９の長手方向（この方向を、「Ｘ軸方向」と表記する。）に延在する状態で配設されている。Ｘ軸走査機構１１は、Ｘ軸スライダーと、Ｘ軸リニアモーターと、Ｘ軸支持ベースと、を備えている。Ｘ軸スライダーは、Ｘ軸方向に延在するＸ軸支持ベースに、Ｘ軸方向に摺動自在に支持されており、Ｘ軸支持ベースに固定されたＸ軸リニアモーターによってＸ軸方向に移動させられ、任意の位置に保持される。Ｘ軸スライダーには、ワーク載置台３０が固定されており、ワークユニット３は、ワーク載置台３０を、Ｘ軸走査機構１１によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台３０に載置されたワークＷをＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００９０】
ワークユニット３の上方には、描画ユニット２が、配設されている。描画ユニット２は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を保持するヘッドキャリッジ２５と、Ｙ軸走査機構１２とを備えている。
Ｙ軸走査機構１２は、ワークユニット３の上方において、ワークユニット３と略直交する方向（この方向を、「Ｙ軸方向」と表記する。）に延在する状態で配設されている。Ｙ軸走査機構１２は、Ｙ軸スライダー２２と、Ｙ軸リニアモーターと、Ｙ軸支持ベース１４と、を備えている。Ｙ軸支持ベース１４は、支持ベース体１４ａと支持ベース支柱１４ｂとを有している。２本の支持ベース支柱１４ｂが、Ｙ軸方向においてワークユニット３を挟む位置で、定盤９に立設されている。支持ベース体１４ａは、２本の支持ベース支柱１４ｂに架け渡されて、ワークユニット３の上方でＹ軸方向に延在している。
Ｙ軸スライダー２２は、Ｙ軸方向に延在する支持ベース体１４ａに、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されており、支持ベース体１４ａに固定されたＹ軸リニアモーターによってＹ軸方向に移動させられ、任意の位置に保持される。Ｙ軸スライダー２２には、ヘッドキャリッジ２５が懸吊されて固定されており、ヘッドキャリッジ２５には、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１が懸吊されて固定されている。
ヘッドキャリッジ２５を、Ｙ軸走査機構１２によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００９１】
描画を実施する際は、描画ユニット２が備える液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸走査機構１２によってＹ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワークＷのＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワークＷと、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１７とを相対的に制御することにより、ワークＷ上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。
【００９２】
Ｙ軸支持ベース１４の一方の支持ベース支柱１４ｂの近傍には、保守ユニット５がワークユニット３と並んで配設されている。
液滴吐出ヘッド１７の保守を実施する際は、描画ユニット２が備える液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸走査機構１２によってＹ軸方向の保守ユニット５に臨む位置まで移動させられて、当該位置に保持される。当該位置の液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に、保守ユニット５のいずれかの装置が、移動装置５ａによってＸ軸方向に移動させられて、液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に位置させられる。この状態で、保守作業が実施される。
【００９３】
液滴吐出ヘッド１７の保守を実施する装置のひとつである吸引ユニット５０は、キャップ装置５１と洗浄液供給装置７１と排液装置８１とを備えている。
キャップ装置５１は、移動装置５ａ上に固定されており、移動装置５ａによって移動させられて、液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に位置させられる。昇降装置によってヘッドキャリッジ２５又はキャップ装置５１を昇降させることによって、液滴吐出ヘッド１７とキャップ装置５１とを当接させて、液滴吐出ヘッド１７をキャップ装置５１で封止し、吸引ユニット５０による液滴吐出ヘッド１７の吸引を実施する。
排液装置８１は、定盤９の傍らに配置されており、キャップ装置５１と接続されている。
【００９４】
洗浄液供給装置７１は、洗浄液ヘッド７２を有する洗浄ヘッドユニット１２１と、洗浄ヘッドユニット１２１を保持する洗浄ヘッドキャリッジ１２５と、洗浄ヘッド移動枠１２２とを備えている。洗浄液供給装置７１は、また、洗浄液タンク７３と、洗浄液管７４と、洗浄液ポンプ７８と、中継タンク７６とを備えている。
洗浄ヘッド移動枠１２２は、Ｙ軸スライダー２２と同様に、Ｙ軸方向に延在する支持ベース体１４ａに、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されており、支持ベース体１４ａに固定されたＹ軸リニアモーターによってＹ軸方向に移動させられ、任意の位置に保持される。洗浄ヘッド移動枠１２２には、洗浄ヘッドキャリッジ１２５が懸吊されて固定されており、洗浄ヘッドキャリッジ１２５には、洗浄液ヘッド７２を有する洗浄ヘッドユニット１２１が懸吊されて固定されている。
【００９５】
Ｙ軸支持ベース１４と、Ｙ軸リニアモーターと、洗浄ヘッド移動枠１２２と、を備える装置を、洗浄ヘッド走査機構１２Ａと表記する。洗浄ヘッド走査機構１２ＡとＹ軸走査機構１２とは、Ｙ軸支持ベース１４及びＹ軸リニアモーターを共有している。洗浄ヘッド走査機構１２Ａの洗浄ヘッド移動枠１２２と、Ｙ軸走査機構１２のＹ軸スライダー２２とは、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。当該互いに独立した移動は、並行して実施することができる。
洗浄ヘッドキャリッジ１２５を、洗浄ヘッド走査機構１２ＡによってＹ軸方向に移動させることで、洗浄液ヘッド７２をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
洗浄ヘッド走査機構１２Ａが、供給端末相対移動手段、及び洗浄液供給端末移動手段に相当する。支持ベース体１４ａが、案内部材に相当する。洗浄ヘッド移動枠１２２が、供給端末移動部材に相当する。Ｙ軸走査機構１２が、吐出ヘッド移動手段に相当し、Ｙ軸スライダー２２が、吐出ヘッド移動部材に相当する。
洗浄液供給装置７１の洗浄液タンク７３や洗浄液ポンプ７８などは、機能液供給ユニット４と並んで配設されており、洗浄液管７４が洗浄液ヘッド７２に接続されており、洗浄液が洗浄液管７４を介して洗浄液ヘッド７２に供給される。
【００９６】
洗浄液供給装置７１からキャップ装置５１に洗浄液を供給して、キャップ装置５１の洗浄を実施する。洗浄液供給装置７１からキャップ装置５１に洗浄液を供給する際は、洗浄液供給装置７１が備える洗浄液ヘッド７２を、洗浄ヘッド走査機構１２ＡによってＹ軸方向のキャップ装置５１に対向可能な位置まで移動して停止する。移動装置５ａ上に固定されたキャップ装置５１は、移動装置５ａによってＸ軸方向に移動させられて、洗浄液ヘッド７２に臨む位置に位置させられる。互いに臨む位置に位置した洗浄液ヘッド７２からキャップ装置５１向けて洗浄液が供給される。
【００９７】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図２を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。
【００９８】
図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、接続針４２を一対有する液体導入部４１と、液体導入部４１の側方に連なるヘッド基板４３と、液体導入部４１に連なるポンプ部４５と、ポンプ部４５に連なるノズルプレート４６と、を備えている。液体導入部４１のそれぞれの接続針４２には、それぞれ配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された機能液供給ユニット４から機能液が供給される。ヘッド基板４３には、ヘッドコネクター４７が一対実装されており、当該ヘッドコネクター４７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部４５とノズルプレート４６とにより、略方形状のヘッド本体４４が構成されている。
【００９９】
ポンプ部４５の基部側、すなわちヘッド本体４４の基部側は、液体導入部４１及びヘッド基板４３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部４９が形成されている。このフランジ部４９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）４９ａが一対形成されている。液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７を保持するためのヘッド保持部材を貫通してねじ孔４９ａに螺合したヘッド止めねじにより、ヘッド保持部材に固定される。
【０１００】
ノズルプレート４６のノズル形成面４６ａには、ノズルプレート４６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル４８から成るノズル列４８Ａが、２本形成されている。２本のノズル列４８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列４８Ａは、等ピッチで並べた例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル４８で構成されている。ヘッド本体４４のノズル形成面４６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列４８Ａが配設されている。
【０１０１】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取付けられた状態では、ノズル列４８ＡはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列４８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル４８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列４８Ａを構成する吐出ノズル４８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。ノズル列４８Ａにおける吐出ノズル４８のノズルピッチが１４０μｍの場合、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。
【０１０２】
図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート４６にポンプ部４５を構成する圧力室プレート３１が積層されており、圧力室プレート３１に振動板３２が積層されている。
圧力室プレート３１には、液体導入部４１から振動板３２の液供給孔３３を経由して供給される機能液が常に充填される液たまり３５が形成されている。液たまり３５は、振動板３２と、ノズルプレート４６と、圧力室プレート３１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート３１には、ヘッド隔壁３７によって区切られた圧力室３８が形成されている。振動板３２と、ノズルプレート４６と、２個のヘッド隔壁３７とによって囲まれた空間が圧力室３８である。
【０１０３】
圧力室３８は吐出ノズル４８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室３８の数と吐出ノズル４８の数とは同じである。圧力室３８には、２個のヘッド隔壁３７の間に位置する供給口３６を介して、液たまり３５から機能液が供給される。ヘッド隔壁３７と圧力室３８と吐出ノズル４８と供給口３６との組は、液たまり３５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル４８がノズル列４８Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル４８を含むノズル列４８Ａに対して液たまり３５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル４８がもう一列のノズル列４８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁３７と圧力室３８と供給口３６との組が、１列に並んでいる。
【０１０４】
振動板３２の圧力室３８を構成する部分には、それぞれ圧電素子３９の一端が固定されている。圧電素子３９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子３９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）においては振動板３２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子３９の一端が固定された振動板３２が圧力室３８と反対側に引張られる力を受ける。振動板３２が圧力室３８と反対側に引張られることで、振動板３２が圧力室３８の反対側に撓む。これにより、圧力室３８の容積が増加することから、機能液が液たまり３５から供給口３６を経て圧力室３８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子３９が振動板３２を押圧する。振動板３２が押圧されることで、圧力室３８側に戻る。これにより、圧力室３８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室３８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室３８に連通して形成された吐出ノズル４８から機能液が液滴となって吐出される。
【０１０５】
吐出装置制御部６は、圧電素子３９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル４８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル４８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列４８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル４８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル４８を選択的に使用することにより、ノズル列４８Ａの延在方向では、ノズル列４８Ａの長さの範囲であって吐出ノズル４８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列４８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル４８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル４８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル４８から吐出される液滴を配置することができる。
【０１０６】
＜ヘッドユニット＞
次に、描画ユニット２のヘッドユニット２１について、図３を参照して説明する。図３は、ヘッドユニットの構成を示す平面図である。図３に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸又はＹ軸と一致している。
【０１０７】
図３に示したように、ヘッドユニット２１は、キャリッジプレート２３と、キャリッジプレート２３に搭載された３個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、キャリッジプレート２３に固定されており、ヘッド本体４４がキャリッジプレート２３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート４６（ヘッド本体４４）が、キャリッジプレート２３の面より突出している。図３は、ノズルプレート４６（ノズル形成面４６ａ）側から見た図である。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列４８ＡはＹ軸方向に延在している。
【０１０８】
３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル４８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル４８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。例えば、ヘッドユニット２１が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル４８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル４８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列４８Ａを構成する吐出ノズル４８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。このような間隔で配列された液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並べて配設されている。
【０１０９】
＜吸引ユニット＞
＜キャップ装置及び排液装置＞
次に、吸引ユニット５０について、説明する。上述したように、吸引ユニット５０は、キャップ装置５１と洗浄液供給装置７１と排液装置８１とを備えている。
最初に、吸引ユニット５０のキャップ装置５１及び排液装置８１について、図４を参照して説明する。図４は、キャップ装置及び排液装置の構成を示す説明図である。図４（ａ）は、キャップ装置の断面形状及び排液装置の構成を示す説明図であり、図４（ｂ）は、キャップ装置を平面視した構成を示す説明図である。図４（ｂ）に示したＸ軸及びＹ軸は、キャップ装置５１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸又はＹ軸と一致している。
【０１１０】
図４に示すように、キャップ装置５１は、キャップユニット５２Ａと、キャッププレート６２とを備えている。図４（ｂ）に示すように、キャップ装置５１は、キャッププレート６２に、３組のキャップユニット５２Ａが取り付けられて構成されている。
図４（ａ）に示すように、キャップユニット５２Ａは、ヘッドキャップ５２と、キャップ支持部６１と、排液孔管６６と、を備えている。
【０１１１】
ヘッドキャップ５２は、キャップベース５３と封止部材５４と吸収材５９とを備えている。キャップベース５３は、例えばステンレス鋼などのような腐食され難い材料で略直方体形状に構成されており、一面にキャップ凹部５６が形成されている。キャップ凹部５６は、キャップベース５３の一面に開口する略直方体形状の凹部である。キャップベース５３は、ヘッドキャップ５２が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、キャップ凹部５６の開口が重力加速度方向の上側を向く状態になる。
キャップベース５３において、重力加速度方向の上側に開口したキャップ凹部５６の底面には、キャップベース５３の外面（下面）に貫通する排液孔５７が開口している。
【０１１２】
キャップベース５３の外面（下面）における排液孔５７の開口には、排液孔管６６が接続されている。
排液孔管６６は、円柱形状の外形を有し、円柱形状の一端の外径が排液孔５７に嵌合しており、排液孔管６６に形成された流路が排液孔５７に連通している。排液孔管６６の排液孔５７に嵌合している端の反対側の端には、排液装置８１の排液管８４が接続されており、排液管８４の流路が、排液孔管６６に形成された流路に連通している。これにより、排液管８４の流路が、排液孔管６６に形成された流路及び排液孔５７を介してキャップ凹部５６に連通している。
【０１１３】
封止部材５４は、機能液に対して耐食性を有するゴム状弾性体材料を用いて形成されている。封止部材５４は、平面視形状がキャップ凹部５６の開口の形状と略相似形状の外形形状と内側開口とを有する額縁形状を有し、キャップ凹部５６の開口の縁に沿って、図示省略した封止部材ホルダーによってキャップベース５３に固定されている。封止部材５４の封止凸部５４ａが、キャップベース５３の上面から突出している。封止部材５４とキャップ凹部５６とで、キャップ室５５を構成している。
【０１１４】
封止凸部５４ａの平面視形状は、２列のノズル列４８Ａの周囲でノズル形成面４６ａに当接する形状になっている。ヘッドキャップ５２が液滴吐出ヘッド１７に当接する場合、キャップベース５３から突出している封止凸部５４ａがノズル形成面４６ａに当接する。このとき、ゴム状弾性体材料から成る封止凸部５４ａは、弾性変形してノズル形成面４６ａに密着する。キャップ室５５は、図４に二点鎖線で示したように、液滴吐出ヘッド１７によって封止されて、排液孔５７、又は液滴吐出ヘッド１７に形成された液状体の流路を介してのみ外部と連通可能な封止空間となる。吐出ノズル４８に対しては、キャップ室５５が、吐出ノズル４８を封止する封止空間になっている。封止凸部５４ａの開口が、キャップ開口に相当し、封止凸部５４ａのノズル形成面４６ａに当接する部分が、キャップ開口の周縁部に相当する。
キャップ室５５には、吸収材５９が配設されている。吸収材５９は、多孔質の素材などの液体を吸着保持することが可能な素材で形成されている。
【０１１５】
キャップ支持部６１は、ベースホルダー６３と、キャップ押圧機構６４と、を備えている。
ベースホルダー６３がキャッププレート６２に固定されることによって、キャップユニット５２Ａがキャッププレート６２に固定されている。キャッププレート６２が移動装置５ａの移動プレートに固定されており、キャップ装置５１は、液滴吐出装置１に、移動装置５ａの移動プレートを介して固定されている。
ベースホルダー６３にはキャップベース孔が形成されており、ヘッドキャップ５２のキャップベース５３が、キャップベース孔に、鉛直方向に摺動自在に遊嵌している。ヘッドキャップ５２は、キャップベース５３が、キャップ押圧機構６４を介してベースホルダー６３に対して離接方向に移動可能に取り付けられている。
キャップ押圧機構６４は、ヘッドキャップ５２がキャッププレート６２の面に略垂直な方向（キャップ装置５１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では鉛直方向）に移動する方向に弾性変形可能である。キャップ押圧機構６４が弾性変形した抗力によって、ヘッドキャップ５２が、キャッププレート６２から離れる方向に押圧され、キャップベース５３から突出したキャップ突起５３ａがベースホルダー６３に当接することによって、ヘッドキャップ５２の鉛直方向の位置が定まっている。
【０１１６】
キャップ押圧機構６４は、ヘッドキャップ５２が液滴吐出ヘッド１７などに当接した状態で、ヘッドキャップ５２に加えられた当接力によって変形し、変形抗力によって、ヘッドキャップ５２を液滴吐出ヘッド１７などに押付ける力をヘッドキャップ５２に加える。
キャップ押圧機構６４による押し付け力によって、液滴吐出ヘッド１７に当接したゴム状弾性体材料から成る封止凸部５４ａは、弾性変形してノズル形成面４６ａに確実に密着する。封止凸部５４ａがノズル形成面４６ａに密着することで、キャップ室５５は、確実に、排液孔５７、又は液滴吐出ヘッド１７の液状体の流路を介してのみ外部と連通可能な、吐出ノズル４８を封止する封止空間となる。
【０１１７】
排液装置８１は、排液タンク８２と、排液管８４と、排液バルブ８６と、吸引ポンプ８８とを備えている。
排液管８４は一端が排液孔管６６に接続されており、もう一端が排液タンク８２に接続されている。上述したように、排液管８４の流路が、排液孔管６６に形成された流路及び排液孔５７を介してキャップ凹部５６に連通しており、排液タンク８２とキャップ凹部５６とは、排液管８４の流路、排液孔管６６に形成された流路、及び排液孔５７を介して連通している。
排液管８４の中間には、排液バルブ８６が取り付けられている。排液バルブ８６は吐出装置制御部６によって制御されて、排液管８４の流路を開閉する。排液タンク８２には、吸引ポンプ８８が接続されており、吸引ポンプ８８によって吸引することで、排液タンク８２内を負圧にすることができる。
吸引ポンプ８８によって排液タンク８２内を負圧にすることで、排液タンク８２に連通するキャップ凹部５６内の気体や液体をキャップ凹部５６から排液タンク８２に吸引することができる。
上述したように、ヘッドキャップ５２が液滴吐出ヘッド１７に当接した状態では、キャップ凹部５６を含むキャップ室５５は、排液孔５７、又は液滴吐出ヘッド１７の液状体の流路を介してのみ外部と連通可能な、吐出ノズル４８を封止する封止空間である。吸引ポンプ８８を稼動させて排液タンク８２内を負圧にすることによって、キャップ室５５を負圧にすることで、液滴吐出ヘッド１７の液状体の流路に在る機能液を吸引することができる。排液装置８１が、吸引手段に相当する。
【０１１８】
吐出装置制御部６は、描画吐出制御部６５と、洗浄吐出制御部６７と、洗浄排出制御部６８と、を備えており、描画吐出制御部６５と洗浄吐出制御部６７と洗浄排出制御部６８とは、データバス６９を介して互いに電気的に接続されている。液滴吐出ヘッド１７は、描画吐出制御部６５と電気的に接続されており、描画吐出制御部６５は、予め入力されたプログラムに基づいて、描画情報などに従って液滴吐出ヘッド１７を制御する。排液バルブ８６と吸引ポンプ８８とは、洗浄排出制御部６８と電気的に接続されており、洗浄排出制御部６８は、予め入力されたプログラムに基づいて、排液バルブ８６及び吸引ポンプ８８を制御して、キャップユニット５２Ａから洗浄液や機能液などを吸引して排出する。
【０１１９】
図４（ｂ）に示すように、キャップ装置５１は、キャッププレート６２に、３組のキャップユニット５２Ａが取り付けられて構成されている。排液装置８１は、３組のキャップユニット５２Ａのそれぞれに個別に設けられている。
キャップ装置５１における３個のキャップユニット５２Ａのそれぞれは、ヘッドユニット２１の３個の液滴吐出ヘッド１７を、３個のヘッドキャップ５２によって同時に封止できる位置に配設されている。
【０１２０】
＜吸引ユニット＞
＜洗浄液供給装置＞
次に、吸引ユニット５０の洗浄液供給装置７１について、図５を参照して説明する。図５は、洗浄液供給装置の構成を示す説明図である。図５（ａ）は、洗浄液供給装置の洗浄ヘッドユニットを平面視した構成を示す説明図であり、図５（ｂ）は、洗浄液供給装置の全体構成を示す説明図である。図５（ａ）に示したＸ軸及びＹ軸は、洗浄ヘッドユニット１２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１又は図４（ｂ）に示したＸ軸又はＹ軸と一致している。
図５に示すように、洗浄液供給装置７１は、洗浄液ヘッド７２を有する洗浄ヘッドユニット１２１と、洗浄液タンク７３と、洗浄液管７４と、洗浄液ポンプ７８と、中継タンク７６とを備えている。上述したように、洗浄液供給装置７１は、図５では図示省略した洗浄ヘッドユニット１２１を保持する洗浄ヘッドキャリッジ１２５と、洗浄ヘッド移動枠１２２とを備えており、洗浄ヘッドユニット１２１を洗浄ヘッド走査機構１２ＡによってＹ軸方向に移動させることで、洗浄液ヘッド７２をＹ軸方向に自在に移動させることができる。
洗浄液供給装置７１が、洗浄液供給手段に相当する。
【０１２１】
＜洗浄液ヘッド＞
次に、洗浄液供給装置７１の洗浄液ヘッド７２について説明する。洗浄液ヘッド７２は、ヘッドキャップ５２に洗浄液を供給するために用いられる。洗浄液は、例えば機能液の主溶媒が用いられる。
洗浄液ヘッド７２の構造は、図２を参照して説明した液滴吐出ヘッド１７の構造と同様である。洗浄液ヘッド７２の洗浄液ノズル１４８は液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル４８より大口径であり、洗浄液ヘッド７２の圧力室の大きさ及び振動板の可動量も液滴吐出ヘッド１７の圧力室３８の大きさ及び振動板３２の可動量より大きく構成されている。このため、洗浄液ヘッド７２は、液滴吐出ヘッド１７より、吐出する液滴の体積を大きくすることが可能であり、単位時間あたりの吐出量も多く吐出することが可能である。
洗浄液ヘッド７２の圧力室の大きさが液滴吐出ヘッド１７の圧力室３８の大きさより大きいため、洗浄液ノズル１４８の配設ピッチは吐出ノズル４８の配設ピッチよりおおきくなっている。ノズル列１４８Ａにおける洗浄液ノズル１４８の配設ピッチは、例えば２４０μｍである。洗浄液ノズル１４８が、洗浄液ノズルに相当する。
ノズル列１４８Ａの長さは、液滴吐出ヘッド１７のノズル列４８Ａの長さと略同等である。洗浄液ヘッド７２のノズルプレート１４６の外形形状も液滴吐出ヘッド１７のノズルプレート４６の外形形状と略同等である。このため、ヘッドキャップ５２を、封止凸部５４ａの先端がノズル列１４８Ａを囲むように、ノズルプレート１４６に当接させることが可能であり、ヘッドキャップ５２によってノズル列１４８Ａを封止状態にすることが可能である。洗浄液ヘッド７２が、洗浄液供給端末に相当する。
【０１２２】
＜洗浄ヘッドユニット＞
図５（ａ）に示したように、洗浄ヘッドユニット１２１は、ユニットプレート１２３と、ユニットプレート１２３に搭載された３個の洗浄液ヘッド７２と、を有している。洗浄液ヘッド７２は、ユニットプレート１２３に固定されており、ヘッド本体がユニットプレート１２３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、洗浄液ノズル１４８が形成されたノズルプレート１４６（ヘッド本体）が、ユニットプレート１２３の面より突出している。図５（ａ）は、ノズルプレート１４６（ノズル形成面）側から見た図である。
【０１２３】
洗浄ヘッドユニット１２１における３個の洗浄液ヘッド７２の相互の位置関係は、ヘッドユニット２１における３個の液滴吐出ヘッド１７の相互の位置関係と略同様に設定されている。３個の洗浄液ヘッド７２は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う洗浄液ヘッド７２の、一方の洗浄液ヘッド７２の端の洗浄液ノズル１４８に対して、もう一方の洗浄液ヘッド７２の端の洗浄液ノズル１４８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。このような間隔で配列された洗浄液ヘッド７２は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並べて配設されている。
【０１２４】
上述したように、キャップ装置５１における３個のキャップユニット５２Ａのそれぞれは、ヘッドユニット２１の３個の液滴吐出ヘッド１７を、３個のヘッドキャップ５２によって同時に封止できる位置に配設されている。したがって、キャップ装置５１における３個のキャップユニット５２Ａと、洗浄ヘッドユニット１２１における３個の洗浄液ヘッド７２とは、同時に当接させることができる。
キャップ装置５１のキャップユニット５２Ａと、洗浄ヘッドユニット１２１の洗浄液ヘッド７２とを当接させた状態で、洗浄液ヘッド７２から吐出された洗浄液は、ヘッドユニット２１の３個の液滴吐出ヘッド１７のそれぞれから吸引又は吐出された機能液の着弾位置の範囲と略同一の範囲に、着弾する。
【０１２５】
＜洗浄液供給装置の構成＞
上述したように、洗浄液供給装置７１は、洗浄液ヘッド７２と、洗浄液管７４と、洗浄液タンク７３と、中継タンク７６と、洗浄液ポンプ７８とを備えている。
図５（ｂ）に示したように、洗浄液タンク７３と洗浄液ポンプ７８とは、洗浄液管７４ａで接続されている。洗浄液ポンプ７８と中継タンク７６とは、洗浄液管７４ｂで接続されており、中継タンク７６と洗浄液ヘッド７２とは、洗浄液管７４ｃで接続されている。洗浄液は、洗浄液タンク７３から洗浄液管７４ａを介して洗浄液ポンプ７８に吸引され、洗浄液管７４ｂを介して中継タンク７６に送出されて、中継タンク７６に一時貯留される。中継タンク７６は、中継タンク７６の液位と洗浄液ヘッド７２の洗浄液ノズル１４８との鉛直方向における相互高さを所定の範囲に維持することで、洗浄液ノズル１４８における水頭値を適切に維持して、洗浄液ノズル１４８からの吐出を良好に保つためのものである。中継タンク７６に貯留された洗浄液は、中継タンク７６の液位と洗浄液ヘッド７２との高さの差による圧力によって、洗浄液管７４ｃを介して洗浄液ヘッド７２に供給される。洗浄液ヘッド７２に供給された洗浄液は、洗浄液ノズル１４８における水頭値が適切に維持されていることによって、洗浄液ヘッド７２が稼動することによって吐出される状態で、洗浄液ヘッド７２の圧力室などに充填される。
【０１２６】
上述したように、吐出装置制御部６は、描画吐出制御部６５と、洗浄吐出制御部６７と、洗浄排出制御部６８と、を備えており、描画吐出制御部６５と洗浄吐出制御部６７と洗浄排出制御部６８とは、データバス６９を介して互いに電気的に接続されている。液滴吐出ヘッド１７は、描画吐出制御部６５と電気的に接続されており、描画吐出制御部６５は、予め入力されたプログラムに基づいて、描画情報などに従って液滴吐出ヘッド１７を制御する。洗浄液ヘッド７２と洗浄液ポンプ７８とは、洗浄吐出制御部６７と電気的に接続されており、洗浄吐出制御部６７は、予め入力されたプログラムに基づいて、洗浄液ヘッド７２及び洗浄液ポンプ７８を制御して、キャップユニット５２Ａに洗浄液を供給する。
【０１２７】
＜吸引及び洗浄＞
次に、液滴吐出ヘッド１７の吸引及びヘッドキャップ５２の洗浄を実施する際の、洗浄ヘッドユニット１２１と、キャップ装置５１と、ヘッドユニット２１との位置関係について、図６を参照して説明する。図６は、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの位置関係を示す説明図である。図６（ａ）は、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの平面視した位置関係を示す説明図である。図６（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの吸引を実施している際の、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの側面視した位置関係を示す説明図であり、図６（ｃ）は、ヘッドキャップの洗浄を実施している際の、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの側面視した位置関係を示す説明図である。図６に示したＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、又はＺ軸と一致している。
【０１２８】
図６（ａ）は、上述した洗浄ヘッドユニット１２１と、キャップ装置５１と、ヘッドユニット２１との平面視の位置関係の概要を示している。上述したように、Ｘ軸走査機構１１がＸ軸方向に延在しており、Ｙ軸走査機構１２のＹ軸支持ベース１４が、Ｙ軸方向に延在している。移動装置５ａが、Ｘ軸方向に延在している。
Ｘ軸走査機構１１には、ワークＷを載置するワーク載置台３０が、Ｘ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸支持ベース１４には、洗浄ヘッドユニット１２１と、ヘッドユニット２１とが、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。移動装置５ａには、キャップ装置５１が、Ｘ軸方向に摺動自在に支持されている。
【０１２９】
Ｘ軸走査機構１１とＹ軸支持ベース１４とが交差する位置に、ワーク載置台３０及びヘッドユニット２１を位置させることで、ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７が、ワーク載置台３０に載置されたワークＷに臨んで、ワークＷに向けた描画吐出を実施できる。液滴吐出ヘッド１７がワークＷに臨む位置が、描画位置に相当する。
移動装置５ａとＹ軸支持ベース１４とが交差する位置に、キャップ装置５１及びヘッドユニット２１を位置させることで、ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７が、キャップ装置５１のヘッドキャップ５２に臨んで、ヘッドキャップ５２による液滴吐出ヘッド１７の封止及び吸引を実施することができる。
移動装置５ａとＹ軸支持ベース１４とが交差する位置に、キャップ装置５１及び洗浄ヘッドユニット１２１を位置させることで、洗浄ヘッドユニット１２１の洗浄液ヘッド７２が、キャップ装置５１のヘッドキャップ５２に臨んで、洗浄液ヘッド７２からヘッドキャップ５２への洗浄液の供給を実施することができる。
【０１３０】
図６（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７の封止又は吸引を実施する際は、平面視方向の位置を合致させたヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７とキャップ装置５１のヘッドキャップ５２とを当接させて、液滴吐出ヘッド１７を封止し、吸引を実施する。本実施形態では、キャップ装置５１を上昇させることによって、液滴吐出ヘッド１７とヘッドキャップ５２とを当接させている。洗浄ヘッドユニット１２１は、ヘッドユニット２１がキャップ装置５１に臨む位置に移動する妨げにならない位置に移動させられている。液滴吐出ヘッド１７がヘッドキャップ５２に対向している位置が、保守位置に相当する。
【０１３１】
図６（ｃ）に示すように、キャップ装置５１の洗浄を実施する際は、平面視方向の位置を合致させた洗浄ヘッドユニット１２１の洗浄液ヘッド７２からキャップ装置５１のヘッドキャップ５２に洗浄液を供給する。洗浄液ヘッド７２とヘッドキャップ５２とは当接させてもよいし、離れた状態でもよい。本実施形態では、離れた状態で供給している。
【０１３２】
上述したように、洗浄液ヘッド７２にヘッドキャップ５２を当接させて、洗浄液ヘッド７２のノズル列１４８Ａをヘッドキャップ５２によって封止状態にすることが可能である。ノズル列１４８Ａをヘッドキャップ５２によって封止することで、洗浄液をヘッドキャップ５２に供給する際に、洗浄液がヘッドキャップ５２の外に飛散することを実質的になくすることができる。排液装置８１を用いて、封止された空間であるキャップ室５５を負圧にすることで、洗浄液ヘッド７２から洗浄液を吸引することもできる。
洗浄液ヘッド７２とヘッドキャップ５２とが離れた状態で洗浄液をヘッドキャップ５２に供給する場合には、洗浄液をヘッドキャップ５２に供給する際に、洗浄液ヘッド７２とヘッドキャップ５２とを、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に微小に相対移動させることが可能である。洗浄液をヘッドキャップ５２に供給しながら洗浄液ヘッド７２とヘッドキャップ５２とを相対移動させることで、ヘッドキャップ５２における洗浄液の着弾位置を移動させることができる。洗浄液の着弾位置が移動することで、着弾位置が固定の場合にくらべて、広範囲に着弾させることができる。洗浄液が着弾する部分は、飛来した洗浄液が当たることによって、単に洗浄液に浸す場合より洗浄効果が優れると考えられる。
洗浄液ヘッド７２とヘッドキャップ５２との水平方向の相対位置の移動は、吐出装置制御部６が備える走査機構の制御部によって、Ｙ軸走査機構１２や移動装置５ａを制御することで実施される。この場合の走査機構の制御部が、相対位置制御手段に相当する。
【０１３３】
洗浄ヘッドユニット１２１は、ヘッドユニット２１が洗浄ヘッドユニット１２１をキャップ装置５１に臨む位置に移動させる妨げにならない位置に在れば、キャップ装置５１に臨む位置に移動することができる。キャップ装置５１の洗浄は、図６（ｃ）に示すように、ヘッドユニット２１がワークＷに臨む位置に位置して、ワークＷに向けた描画吐出を実施している間に実施することができる。
【０１３４】
＜洗浄工程＞
次に、洗浄液を用いてキャップ室５５などを洗浄するヘッドキャップ洗浄工程について、図７を参照して説明する。図７は、洗浄液を用いてキャップ室などを洗浄するヘッドキャップ洗浄工程を示すフローチャートである。
図７のステップＳ２１では、ヘッドキャップ５２の洗浄を実施することを指示するヘッドキャップ洗浄指令を受信する。
【０１３５】
次に、ステップＳ２２では、液滴吐出ヘッド１７がワークＷに向けて機能液を吐出する描画吐出を実施している最中か否かを判定する。
液滴吐出装置１は、描画吐出を実施していない場合は、ヘッドユニット２１をキャップ装置５１に対向する位置に位置させて、液滴吐出ヘッド１７とキャップ装置５１のヘッドキャップ５２とを当接させていることが多い。液滴吐出ヘッド１７にヘッドキャップ５２を当接させることによって、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル４８（ノズルプレート４６のノズル形成面４６ａ）を封止している、又は封止して吸引を実施している。吐出ノズル４８を封止することで、圧力室３８などに滞留している機能液が吐出ノズル４８において大気と接触することによって変質することを抑制することができる。吐出ノズル４８を封止して吸引を実施することで、圧力室３８などに滞留している機能液を吸引して排出し、長時間滞留することによって変質した可能性がある機能液を排出することができる。
【０１３６】
この場合は、ヘッドユニット２１がキャップ装置５１に対向する位置に位置しており、洗浄ヘッドユニット１２１をキャップ装置５１に臨む位置に位置させることはできない。描画吐出を実施している場合は、キャップ装置５１は稼動する必要がない場合であって、描画吐出が実施されている時間は、キャップ装置５１においては、いわゆる空き時間である。描画吐出を実施している間にヘッドキャップ５２の洗浄を実施することで、ヘッドキャップ５２の洗浄を実施するために液滴吐出装置１の稼動時間が増加することを抑制することができる。
描画吐出を実施している最中か否の判定は、吐出装置制御部６の洗浄吐出制御部６７が、予め入力されたプログラムに従って実施する。この場合の洗浄吐出制御部６７が、洗浄液供給制御手段に相当する。
描画吐出を実施していない場合（ステップＳ２２でＮＯ）には、ヘッドキャップ５２の洗浄は実施せずに、ヘッドキャップ洗浄指令に対応する工程を終了する。
描画吐出を実施していた場合（ステップＳ２２でＹＥＳ）には、ステップＳ２３に進む。
【０１３７】
ステップＳ２２の次に、ステップＳ２３では、洗浄ヘッドユニット１２１を移動させて、キャップ装置５１に臨む位置に位置させる。上述したように、洗浄ヘッドユニット１２１をキャップ装置５１に対向させ、洗浄ヘッドユニット１２１の３個の洗浄液ヘッド７２のそれぞれを、キャップ装置５１の３個のヘッドキャップ５２の中の位置が対応するヘッドキャップ５２に臨ませる。
【０１３８】
次に、ステップＳ２４では、ヘッドキャップ５２の洗浄を実施する。
最初に、洗浄ヘッドユニット１２１の洗浄液ヘッド７２から、当該洗浄液ヘッド７２が臨む位置に在るキャップ装置５１のヘッドキャップ５２に向けて、洗浄液を吐出して、ヘッドキャップ５２に洗浄液を供給する。
続いて、排液装置８１を稼動させて、ヘッドキャップ５２（キャップ室５５）内の洗浄液などを排出する。排液装置８１による洗浄液などの排出は、洗浄液の供給と並行して実施してもよいし、洗浄液の供給に続けて実施してもよいし、洗浄液の供給が終了して、一定時間キャップ室５５を洗浄液に浸した後に実施してもよい。あるいは、次に液滴吐出ヘッド１７の吸引を実施する機会又はヘッドキャップ５２の洗浄を実施する機会まで、キャップ室５５に洗浄液を溜めた状態を維持してもよい。
【０１３９】
次に、ステップＳ２５では、洗浄ヘッドユニット１２１をキャップ装置５１に臨む位置から待機位置に移動させる。ステップＳ２５は、ステップＳ２４が完了していなくても、洗浄液ヘッド７２からヘッドキャップ５２への洗浄液の供給が終了した時点で実施可能である。ステップＳ２５を実施して、ヘッドキャップ洗浄工程を終了する。
【０１４０】
＜他の洗浄液ヘッド＞
次に、洗浄液供給装置７１の洗浄液ヘッド７２とは異なる構成を有する洗浄液ヘッド２７２について、図８を参照して説明する。図８は、洗浄液ヘッドの構成を示す説明図である。
【０１４１】
図８に示すように、洗浄液ヘッド２７２は、吐出ノズル２４１と、ヘッド枠２４２と、圧送管２４４と、ヘッドバルブ２４６と、ヘッドポンプ２４８とを備えている。
吐出ノズル２４１は、先端側が細くなった略円柱形状のノズル体２４１ｂにノズル孔２４１ａが形成されている。ノズル孔２４１ａは、ノズル体２４１ｂの先端面２４１ｃに開口している。当該開口を、ノズル開口２４１ｄと表記する。ノズル孔２４１ａは、ノズル開口２４１ｄ側ほど内径が小さくなっており、吐出ノズル２４１は、いわゆるコンバージェント型のノズルである。
【０１４２】
洗浄液ヘッド２７２は、４本の吐出ノズル２４１を備えている。４本の吐出ノズル２４１は、先端面２４１ｃ側をヘッド枠２４２から突出させて、ノズル孔２４１ａのノズル開口２４１ｄが一列に並ぶ状態で、ヘッド枠２４２に固定されている。吐出ノズル２４１における先端面２４１ｃの反対側の端には、圧送管２４４が４本に分岐した分岐圧送管２４４ａの端が接続されており、圧送管２４４から分岐圧送管２４４ａに連通して形成された圧送流路がノズル孔２４１ａと連通している。圧送管２４４のもう一端側は、ヘッドポンプ２４８に接続されており、ヘッドポンプの送出孔が、圧送管２４４及び分岐圧送管２４４ａに形成された圧送流路を介して、ノズル孔２４１ａと連通している。ヘッドポンプ２４８には、洗浄液タンク７３が接続されており、洗浄液タンク７３に貯留された洗浄液が、ヘッドポンプ２４８によって、ノズル孔２４１ａに圧送される。ノズル孔２４１ａに圧送された洗浄液は、ノズル開口２４１ｄから高速で、連続して吐出される。分岐圧送管２４４ａの中間には、分岐圧送管２４４ａの圧送流路を開閉可能なヘッドバルブ２４６が取り付けられている。ヘッドバルブ２４６は、開放量を調整することで圧送流路を流れる洗浄液の単位時間あたりの流量を調整することもできる。
【０１４３】
ヘッドポンプ２４８とヘッドバルブ２４６とは、吐出装置制御部２０６の洗浄吐出制御部２６７と電気的に接続されている。洗浄吐出制御部２６７は、予め入力されたプログラムに基づいて、ヘッドポンプ２４８及びヘッドバルブ２４６を制御して、キャップユニット５２Ａに洗浄液を供給する。
【０１４４】
ノズル孔２４１ａに圧送された洗浄液は、ノズル開口２４１ｄから高速で吐出されるため、高速で吐出された洗浄液流が吸収材５９などに当たって、当たった部分の付着物を効率よく洗浄することができる。
洗浄液を供給しながら、洗浄液ヘッド２７２とヘッドキャップ５２との水平方向の相対位置を移動させることによって、洗浄液が当たる部分を変動させることができる。これにより、多くの部分に洗浄液流を当てることができる。洗浄液ヘッド２７２とヘッドキャップ５２との水平方向の相対位置の移動は、吐出装置制御部２０６が備える走査機構の制御部によって、Ｘ軸走査機構１１やＹ軸走査機構１２のような走査機構が制御されて実施される。この場合の走査機構の制御部が、相対位置制御手段に相当する。
洗浄液を供給しながら、洗浄液ヘッド２７２とヘッドキャップ５２との離接方向の相対位置を変動させることによっても、洗浄液流の当たり方を変動させることができる。洗浄液ヘッド２７２とヘッドキャップ５２との離接方向の相対位置は、吐出装置制御部２０６が備える走査機構の制御部によってＺ軸走査機構が制御されて実施される。この場合のＺ軸走査機構の制御部が、相対位置制御手段に相当する。
【０１４５】
ヘッドバルブ２４６を制御して、洗浄液の流量を変動させたり、断続したりすることによって、洗浄液流の吸収材５９などへの当たり方を変動させることで、洗浄液が一定の状態で当たる場合に比べて、より確実に洗浄することができる。
ヘッドバルブ２４６を制御して、洗浄液の流量を変動させたり、断続したりする洗浄吐出制御部２６７が、供給流量制御手段に相当する。
【０１４６】
＜他の液滴吐出装置−１＞
次に、複数のヘッドユニット２１を備える液滴吐出装置について、図９を参照して説明する。図９は、液滴吐出装置における洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの位置関係を示す説明図である。図９（ａ）は、複数のヘッドユニットを備える液滴吐出装置における洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの位置関係を示す説明図である。図９（ｂ）は、複数のヘッドユニットに対応する複数の洗浄ヘッドユニットを備える液滴吐出装置における洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの位置関係を示す説明図である。図９に示した液滴吐出装置は、上述した液滴吐出装置１と同一の構成要素を備えており、図９に示したＸ軸、及びＹ軸は、図１に示したＸ軸、又はＹ軸と一致している。
【０１４７】
図９（ａ）に示した液滴吐出装置１０１は、複数（本実施形態では２個）のヘッドユニット２１を備えている。２個のヘッドユニット２１に対応する２個のキャップ装置５１と、２個のキャップ装置５１を支持する移動装置２０５ａと、を備えている。
図９（ａ）は、洗浄ヘッドユニット１２１と、キャップ装置５１と、ヘッドユニット２１との平面視の位置関係の概要を示している。上述した液滴吐出装置１と同様に、Ｘ軸走査機構１１がＸ軸方向に延在しており、Ｙ軸走査機構１２のＹ軸支持ベース１４が、Ｙ軸方向に延在している。移動装置２０５ａが、Ｘ軸方向に延在している。
【０１４８】
Ｘ軸走査機構１１には、ワークＷを載置するワーク載置台３０が、Ｘ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸支持ベース１４には、洗浄ヘッドユニット１２１と、２個のヘッドユニット２１とが、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。２個のヘッドユニット２１は、Ｙ軸方向に並んでいる。Ｙ軸方向は、ヘッドユニット２１が備える液滴吐出ヘッド１７のノズル列４８Ａの延在方向であり、液滴吐出装置１０１は、Ｙ軸方向に並んだヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７によって、一回のＸ軸方向の走査の間に、Ｙ軸方向において、液滴吐出装置１の略２倍の範囲に機能液を配置することができる。
移動装置２０５ａには、２個のキャップ装置５１がＹ軸方向に並んで、Ｘ軸方向に摺動自在に支持されている。キャップ装置５１のヘッドキャップ５２は、非稼動時の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル４８を封止することによって吐出ノズル４８の部分において雰囲気と接触する機能液が変質することを抑制する役目を果たす必要があるため、液滴吐出ヘッド１７と同じ数のヘッドキャップ５２が必要である。
【０１４９】
Ｘ軸走査機構１１とＹ軸支持ベース１４とが交差する位置に、ワーク載置台３０及びヘッドユニット２１を位置させることで、ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７が、ワーク載置台３０に載置されたワークＷに臨んで、ワークＷに向けた描画吐出を実施できる。移動装置２０５ａとＹ軸支持ベース１４とが交差する位置に、２個のキャップ装置５１及び２個のヘッドユニット２１を位置させることで、ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７が、キャップ装置５１のヘッドキャップ５２に臨んで、ヘッドキャップ５２による液滴吐出ヘッド１７の封止及び吸引を実施することができる。
移動装置２０５ａとＹ軸支持ベース１４とが交差する位置に、キャップ装置５１及び洗浄ヘッドユニット１２１を位置させることで、洗浄ヘッドユニット１２１の洗浄液ヘッド７２が、キャップ装置５１のヘッドキャップ５２に臨んで、洗浄液ヘッド７２からヘッドキャップ５２への洗浄液の供給を実施することができる。２個のキャップ装置５１に対して、１個の洗浄ヘッドユニット１２１を順次対向させて、洗浄液の供給を実施する。
【０１５０】
図９（ｂ）に示した液滴吐出装置１０２は、液滴吐出装置１０１の構成に加えてもう１個(合計２個）の洗浄ヘッドユニット１２１を備えている。また、距離センサー２０１を４個備えている。４個の距離センサー２０１は、それぞれ、２個の洗浄ヘッドユニット１２１及び２個のヘッドユニット２１のそれぞれに搭載されている。
距離センサー２０１は、ユニットプレート１２３又はキャリッジプレート２３のＹ軸方向の端に固定されており、Ｙ軸方向に在る物体までの距離を検出可能である。距離センサー２０１が、距離検出手段に相当する。
【０１５１】
＜他の液滴吐出装置−２＞
次に、上述した液滴吐出装置１などとは、洗浄ヘッドユニット１２１を相対移動させるための装置が異なる液滴吐出装置１０３及び液滴吐出装置１０４について、図１０を参照して説明する。図１０は、液滴吐出装置における洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの位置関係を示す説明図である。図１０（ａ）は、液滴吐出装置における洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの平面視した位置関係を示す説明図である。図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示した液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドの吸引を実施している際の、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの側面視した位置関係を示す説明図である。図１０（ｃ）は、図１０（ａ）に示した液滴吐出装置において、ヘッドキャップの洗浄を実施している際の、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの側面視した位置関係を示す説明図である。図１０（ｄ）は、液滴吐出装置における洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの平面視した位置関係を示す説明図である。図１０（ｅ）は、図１０（ｄ）に示した液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドの吸引を実施している際の、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの側面視した位置関係を示す説明図である。図１０（ｆ）は、図１０（ｄ）に示した液滴吐出装置において、ヘッドキャップの洗浄を実施している際の、洗浄ヘッドユニットと、キャップ装置と、ヘッドユニットとの側面視した位置関係を示す説明図である。
図１０に示した液滴吐出装置は、上述した液滴吐出装置１と同一の洗浄ヘッドユニット１２１や、ヘッドユニット２１や、ワーク載置台３０や、Ｘ軸走査機構１１や、Ｙ軸走査機構１２を備えており、描画のためのヘッドユニット２１やワーク載置台３０の走査方向も、液滴吐出装置１と同一である。図１０に示したＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、又はＺ軸と一致している。
【０１５２】
図１０（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）に示した液滴吐出装置１０３は、洗浄ヘッドユニット１２１を支持する洗浄ヘッド支持枠２７５を備えている。図１０（ａ）は、液滴吐出装置１０３が備える洗浄ヘッドユニット１２１と、キャップ装置５１と、ヘッドユニット２１との平面視の位置関係の概要を示している。上述した液滴吐出装置１と同様に、Ｘ軸走査機構１１がＸ軸方向に延在しており、Ｙ軸走査機構１２のＹ軸支持ベース１４が、Ｙ軸方向に延在している。移動装置５ａが、Ｘ軸方向に延在している。洗浄ヘッド支持枠２７５は、図示省略した２本の支持柱が、Ｙ軸方向において移動装置５ａを挟んで立設されており、当該２本の支持柱に架け渡された状態で、移動装置５ａの上方においてＹ軸方向に延在している。
【０１５３】
Ｘ軸走査機構１１には、ワークＷを載置するワーク載置台３０が、Ｘ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸支持ベース１４には、ヘッドユニット２１が、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。移動装置５ａには、キャップ装置５１が、Ｘ軸方向に摺動自在に支持されている。洗浄ヘッド支持枠２７５には、洗浄ヘッドユニット１２１が、洗浄液ヘッド７２の洗浄液ノズル１４８を移動装置５ａ側に臨ませて、固定されている。洗浄ヘッドユニット１２１は、移動装置５ａに支持されたキャップ装置５１が、洗浄ヘッドユニット１２１に臨む位置に位置することが可能な高さに配置されている。
【０１５４】
Ｘ軸走査機構１１とＹ軸支持ベース１４とが交差する位置に、ワーク載置台３０及びヘッドユニット２１を位置させることで、ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７が、ワーク載置台３０に載置されたワークＷに臨んで、ワークＷに向けた描画吐出を実施できる。移動装置５ａとＹ軸支持ベース１４とが交差する位置に、キャップ装置５１及びヘッドユニット２１を位置させることで、ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７が、キャップ装置５１のヘッドキャップ５２に臨んで、ヘッドキャップ５２による液滴吐出ヘッド１７の封止及び吸引を実施することができる。
移動装置５ａと洗浄ヘッド支持枠２７５とが交差する位置に配設された洗浄ヘッドユニット１２１に臨む位置に、キャップ装置５１を位置させることで、洗浄ヘッドユニット１２１の洗浄液ヘッド７２が、キャップ装置５１のヘッドキャップ５２に臨んで、洗浄液ヘッド７２からヘッドキャップ５２への洗浄液の供給を実施することができる。移動装置５ａが、ヘッドキャップ移動手段に相当する。
【０１５５】
図１０（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７の封止又は吸引を実施する際は、平面視方向の位置を合致させたヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７とキャップ装置５１のヘッドキャップ５２とを当接させて、液滴吐出ヘッド１７を封止し、吸引を実施する。本実施形態では、キャップ装置５１を上昇させることによって、液滴吐出ヘッド１７とヘッドキャップ５２とを当接させている。
【０１５６】
図１０（ｃ）に示すように、キャップ装置５１の洗浄を実施する際は、平面視方向の位置を合致させた洗浄ヘッドユニット１２１の洗浄液ヘッド７２からキャップ装置５１のヘッドキャップ５２に洗浄液を供給する。洗浄液ヘッド７２とヘッドキャップ５２とは当接させてもよいし、離れた状態でもよい。図１０（ｃ）に示した例では、当接した状態で供給している。
キャップ装置５１は、ヘッドキャップ５２によって非稼動時の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル４８を封止する場合以外のときに洗浄することが効率的である。キャップ装置５１の洗浄は、図１０（ｃ）に示すように、ヘッドユニット２１がワークＷに臨む位置に位置して、ワークＷに向けた描画吐出を実施している間に実施することができる。
【０１５７】
図１０（ｄ）、（ｅ）、及び（ｆ）に示した液滴吐出装置１０４は、洗浄ヘッドユニット１２１を支持する洗浄ヘッド支持枠２８５を備えている。液滴吐出装置１０４が備えるＸ軸走査機構１１は、ワーク載置台３０が固定されたＸ軸スライダーに加えて、キャップ装置５１を支持するキャップスライダー２５１をＸ軸方向に摺動自在に支持している。液滴吐出装置１０４が備えるＸ軸走査機構１１をＸ軸走査機構２１１と表記する。キャップ装置５１は、キャップスライダー２５１がＸ軸支持ベースに固定されたＸ軸リニアモーターによってＸ軸方向に移動させられ、任意の位置に保持されることによって、Ｘ軸方向に自在に移動させられ、移動した位置に保持される。
キャップスライダー２５１、Ｘ軸支持ベース、及びＸ軸リニアモーターを含む装置が、ヘッドキャップ移動手段及び供給端末相対移動手段に相当し、Ｘ軸スライダーＸ軸支持ベース、及びＸ軸リニアモーターを含む装置が、載置台移動手段に相当する。Ｘ軸支持ベースが、第一案内部材に相当する。Ｘ軸スライダーが、載置台移動部材に相当し、キャップスライダー２５１が、ヘッドキャップ移動部材に相当する。
【０１５８】
図１０（ｄ）は、液滴吐出装置１０４が備える洗浄ヘッドユニット１２１と、キャップ装置５１と、ヘッドユニット２１との平面視の位置関係の概要を示している。上述した液滴吐出装置１と同様に、Ｘ軸走査機構２１１がＸ軸方向に延在しており、Ｙ軸走査機構１２のＹ軸支持ベース１４が、Ｙ軸方向に延在している。洗浄ヘッド支持枠２８５は、図示省略した２本の支持柱が、Ｙ軸方向においてＸ軸走査機構２１１を挟んで立設されており、当該２本の支持柱に架け渡された状態で、Ｘ軸走査機構２１１の上方においてＹ軸方向に延在している。
【０１５９】
Ｘ軸走査機構２１１には、ワーク載置台３０と、キャップ装置５１とが、Ｘ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸支持ベース１４には、ヘッドユニット２１が、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。洗浄ヘッド支持枠２８５には、洗浄ヘッドユニット１２１が、洗浄液ヘッド７２の洗浄液ノズル１４８をＸ軸走査機構２１１側に臨ませて、固定されている。洗浄ヘッドユニット１２１は、Ｘ軸走査機構２１１に支持されたキャップ装置５１が、洗浄ヘッドユニット１２１に臨む位置に位置することが可能な高さに配置されている。
【０１６０】
Ｘ軸走査機構２１１とＹ軸支持ベース１４とが交差する位置に、ワーク載置台３０及びヘッドユニット２１を位置させることで、ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７が、ワーク載置台３０に載置されたワークＷに臨んで、ワークＷに向けた描画吐出を実施できる。同じくＸ軸走査機構２１１とＹ軸支持ベース１４とが交差する位置に、キャップ装置５１及びヘッドユニット２１を位置させることで、ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７が、キャップ装置５１のヘッドキャップ５２に臨んで、ヘッドキャップ５２による液滴吐出ヘッド１７の封止及び吸引を実施することができる。
Ｘ軸走査機構２１１と洗浄ヘッド支持枠２８５とが交差する位置に配設された洗浄ヘッドユニット１２１に臨む位置に、キャップ装置５１を位置させることで、洗浄ヘッドユニット１２１の洗浄液ヘッド７２が、キャップ装置５１のヘッドキャップ５２に臨んで、洗浄液ヘッド７２からヘッドキャップ５２への洗浄液の供給を実施することができる。
【０１６１】
図１０（ｅ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７の封止又は吸引を実施する際は、平面視方向の位置を合致させたヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド１７とキャップ装置５１のヘッドキャップ５２とを当接させて、液滴吐出ヘッド１７を封止し、吸引を実施する。本実施形態では、キャップ装置５１を上昇させることによって、液滴吐出ヘッド１７とヘッドキャップ５２とを当接させている。
【０１６２】
図１０（ｆ）に示すように、キャップ装置５１の洗浄を実施する際は、平面視方向の位置を合致させた洗浄ヘッドユニット１２１の洗浄液ヘッド７２からキャップ装置５１のヘッドキャップ５２に洗浄液を供給する。洗浄液ヘッド７２とヘッドキャップ５２とは当接させてもよいし、離れた状態でもよい。図１０（ｆ）に示した例では、離れた状態で供給している。
キャップ装置５１は、ヘッドキャップ５２によって非稼動時の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル４８を封止する場合以外のときに洗浄することが効率的である。キャップ装置５１の洗浄は、図１０（ｆ）に示すように、ヘッドユニット２１がワークＷに臨む位置に位置して、ワークＷに向けた描画吐出を実施している間に実施することができる。
【０１６３】
＜他の洗浄工程＞
次に、図７を参照して説明したヘッドキャップ洗浄工程とは異なるヘッドキャップ洗浄工程について、図１１を参照して説明する。図１１は、洗浄液を用いてキャップ室などを洗浄するヘッドキャップ洗浄工程を示すフローチャートである。
図１１のステップＳ３１では、ヘッドキャップ５２の洗浄を実施することを指示するヘッドキャップ洗浄指令を受信する。
【０１６４】
次に、ステップＳ３２では、前回ヘッドキャップ洗浄工程を実施した後に、吸引ユニット５０を用いて実施した液滴吐出ヘッド１７の吸引の吸引履歴情報を取得する。吸引履歴情報から、吸引を実施することによってキャップ装置５１のヘッドキャップ５２に流入した機能液の量を求めることができる。なお、吸引以外に、液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出をヘッドキャップ５２に向けて実施することがある場合には、当該捨て吐出によってヘッドキャップ５２に流入した機能液の量も加えて、ヘッドキャップ５２に流入した機能液の量を求める。
【０１６５】
次に、ステップＳ３３では、ステップＳ３２で取得した吸引履歴情報から求めたヘッドキャップ５２に流入した機能液の量に対応して、ヘッドキャップ５２を洗浄する工程において洗浄液を供給する洗浄液供給パターンを作成する。一般的に、ヘッドキャップ５２に流入した機能液の量が多いほど、充分な洗浄を実施するために必要な洗浄液の量は多くなる。ヘッドキャップ５２に流入した機能液の量に対応する洗浄液の量は、予め実験などで求めておく。
描洗浄液供給パターンの作成は、吐出装置制御部６の洗浄吐出制御部６７が、予め入力されたプログラムに従って実施する。この場合の洗浄吐出制御部６７が、洗浄液供給量制御手段に相当する。
【０１６６】
次のステップＳ３４からステップＳ３７の工程は、図７を参照して説明したヘッドキャップ洗浄工程におけるステップＳ２２からステップＳ２５の各工程と同様である。ただし、ステップＳ３６のヘッドキャップ洗浄工程においては、ステップＳ３３で作成した洗浄液供給パターンに従って、洗浄液ヘッド７２などからヘッドキャップ５２への洗浄液の供給を実施する。
ステップＳ３７を実施して、ヘッドキャップ洗浄工程を終了する。
【０１６７】
実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）洗浄液供給装置７１によって、ヘッドキャップ５２に洗浄液を供給することができる。キャップ室５５を洗浄液で浸すことで、洗浄液に浸された部分の付着物などを洗浄することができる。
【０１６８】
（２）液滴吐出装置１において、洗浄液ヘッド７２を有する洗浄ヘッドユニット１２１は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１と同様にＹ軸走査機構１２の支持ベース体１４ａに摺動自在に支持されている。これにより、洗浄液を供給するために洗浄液ヘッド７２をヘッドキャップ５２に対向させる際は、ヘッドユニット２１に搭載された液滴吐出ヘッド１７を、当該液滴吐出ヘッド１７の吸引を実施するためにヘッドキャップ５２に対向させる場合と同様にして、容易に対向させることができる。
【０１６９】
（３）液滴吐出装置１において、洗浄液ヘッド７２を有する洗浄ヘッドユニット１２１は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１と同様にＹ軸走査機構１２の支持ベース体１４ａに摺動自在に支持されている。これにより、洗浄液を供給するために洗浄液ヘッド７２をヘッドキャップ５２に対向させる際は、ヘッドユニット２１に搭載された液滴吐出ヘッド１７を、当該液滴吐出ヘッド１７の吸引を実施するためにヘッドキャップ５２に対向させる際のヘッドキャップ５２に対する液滴吐出ヘッド１７の位置に、洗浄液ヘッド７２を位置させることができる。
【０１７０】
（４）ステップＳ３６のヘッドキャップ洗浄工程においては、ステップＳ３３で作成した洗浄液供給パターンに従って、洗浄液ヘッド７２などからヘッドキャップ５２への洗浄液の供給が実施される。これにより、ヘッドキャップ５２に流入した機能液の量に対して供給される洗浄液の量が過剰であったり不測であったりすることを抑制して、適切な量の洗浄液を供給することができる。
【０１７１】
（５）液滴吐出ヘッド１７から吐出される機能液の主溶媒が、洗浄液としてヘッドキャップ５２に供給される。ヘッドキャップ５２の付着物は、主に液滴吐出ヘッド１７から吸引された機能液によるものであるため、機能液の主溶媒によって、容易に溶解することができる。
【０１７２】
（６）洗浄液ヘッド７２の構造は、液滴吐出ヘッド１７の構造と同様である。このため、洗浄液ヘッド７２は、液滴吐出ヘッド１７と略同様に、ノズルプレート１４６のノズル形成面をヘッドキャップ５２によって封止状態にすることができる。洗浄液ヘッド７２のノズル形成面をヘッドキャップ５２で封止した状態で洗浄液を供給することにより、洗浄液が周囲に飛散することを実質的になくすることができる。
【０１７３】
（７）洗浄液ヘッド７２は、多数の洗浄液ノズル１４８から成るノズル列１４８Ａを備えている。これにより、ノズル列１４８Ａの長さの範囲に、略均等に洗浄液を配置することができる。また、それぞれの洗浄液ノズル１４８からの吐出量を個別に調整することで、それぞれの洗浄液ノズル１４８が対応する部分ごとに洗浄液の配置量を調整することができる。
【０１７４】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１７５】
（変形例１）前記実施形態においては、洗浄液ヘッド７２は、同じ洗浄液ノズル１４８を複数備えており、洗浄液ヘッド２７２は、同じ開口径のノズル開口２４１ｄを有する吐出ノズル２４１を複数備えていた。しかし、洗浄液供給端末（洗浄液供給手段）が備える複数の洗浄液ノズルにおける洗浄液が流動するノズル孔の流路面積が同じであることは必須ではない。複数の洗浄液ノズルは、互いにノズル孔の流路面積が異なる複数種類の洗浄液ノズルを含む構成であってもよい。
【０１７６】
（変形例２）前記実施形態においては、洗浄液ヘッド７２及び洗浄液ヘッド２７２は、洗浄液ノズル１４８又は吐出ノズル２４１を複数備えていたが、洗浄液供給端末（洗浄液供給手段）が複数の洗浄液ノズルを備えることは必須ではない。洗浄液ノズルは、１個であってもよい。
【０１７７】
（変形例３）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７の構造と同様の構造を有する洗浄液ヘッド７２や、洗浄液をヘッドポンプ２４８から圧送することによって吐出する洗浄液ヘッド２７２を例に説明したが、洗浄液を吐出する洗浄液供給端末がこれらの構成を備える液滴吐出ヘッドなどであることは必須ではない。洗浄液供給端末は、例えば、ディスペンサーのような吐出手段であってもよい。
【０１７８】
（変形例４）前記実施形態においては、洗浄液供給装置７１が備える洗浄液ヘッド７２は、液滴吐出ヘッド１７の構造と同様の構造であるが一部仕様が異なる液滴吐出ヘッドであった。しかし、洗浄液供給端末が液状体吐出ヘッドと異なることは必須ではない。液状体吐出ヘッドと同じものを、洗浄液供給端末として用いる構成であってもよい。
【０１７９】
（変形例５）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７の構造と同様の構造を有する洗浄液ヘッド７２や、洗浄液をヘッドポンプ２４８から圧送して吐出する洗浄液ヘッド２７２を例に説明したが、洗浄液を吐出する洗浄液供給端末が洗浄液供給端末を駆動する駆動源を備えることや、駆動源を用いて洗浄液を吐出することは必須ではない。供給端末をヘッドキャップで封止し、吸引手段を用いて洗浄液供給端末から洗浄液を吸引することによって、洗浄液供給端末からヘッドキャップに洗浄液を供給してもよい。
【０１８０】
（変形例６）前記実施形態においては、洗浄液は、機能液の主溶媒であったが、洗浄液が機能液の主溶媒であることは必須ではない。ヘッドキャップに付着した付着物を溶解したり、ヘッドキャップの面から剥離させたりして、ヘッドキャップを洗浄できる液状体であればどのようなものであってもよい。
【０１８１】
（変形例７）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドであったが、液状体吐出ヘッドがインクジェット方式の液滴吐出ヘッドであることは必須ではない。液状体を配置する液状体吐出ヘッドは、インクジェット方式とは異なる方式の吐出ヘッドであってもよい。
【０１８２】
（変形例８）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、一種類の機能液を吐出する構成であったが、液滴吐出ヘッドが吐出する液状体の種類は一種類に限らない。液滴吐出ヘッドは、複数の液状体供給経路及びそれぞれの液状体供給経路が連通して液状体を供給することができるノズル列を備える構成であってもよい。
【０１８３】
（変形例９）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、ノズル列４８Ａを２列備えており、それぞれのノズル列４８Ａは１８０個の吐出ノズル４８を有する構成であったが、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの構成は液滴吐出ヘッド１７におけるような構成に限らない。液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルの数は何個であってもよいし、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの配列も、例えば１列に配列するなど、どのような配列であってもよい。
【０１８４】
（変形例１０）前記実施形態においては、液滴吐出装置のヘッドユニット２１は３個の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの数は、３個に限らない。ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備える構成であってもよい。ヘッドユニットに対応するキャップユニットにおけるヘッドキャップの数も、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの数に対応して、何個のヘッドキャップを備えていてもよい。
【０１８５】
（変形例１１）前記実施形態においては、ヘッドキャップ５２ごとに、それぞれ個別に吸引手段としての排液装置８１を設ける構成であったが、ヘッドキャップごとに吸引手段を設けることは必須ではない。複数のヘッドキャップに対して共通の吸引手段を設ける構成であってもよい。排液バルブのみヘッドキャップごとに個別に設けて、排液バルブによって個別のヘッドキャップにたいする吸引の制御を実施してもよい。
【０１８６】
（変形例１２）前記実施形態においては、距離センサー２０１は、複数の洗浄ヘッドユニット１２１を備える液滴吐出装置１０２に備られていたが、複数の洗浄ヘッドユニットを備える液滴吐出装置以外でも距離検出手段を備えることは有用である。同軸上に複数のスライダーを備える場合に有用であって、液滴吐出装置１０４のようにＸ軸走査機構２１１上に複数のスライダーを備える装置においても、距離検出手段を備えることは有用である。
【０１８７】
（変形例１３）前記実施形態においては、距離センサー２０１は、洗浄ヘッドユニット１２１間の距離を検出するために用いられていたが、距離検出手段を供給端末移動手段と側壁や基準部材との距離を検出可能な位置に配置し、側壁や基準部材との距離を検出してもよい。距離検出手段を供給端末移動手段と側壁や基準部材との距離を検出して、検出情報に基づいて供給端末移動手段を制御することで、洗浄液供給端末と側壁などとの衝突を実質的に防止することができる。洗浄液供給端末を基準部材との一定の距離に位置させるように制御することで、洗浄液供給端末の移動方向の位置を正確に位置決めすることができる。
【０１８８】
（変形例１４）前記実施形態においては、洗浄液ヘッド２７２は、４本の吐出ノズル２４１を備えそれぞれの吐出ノズル２４１に連通する分岐圧送管２４４ａごとにヘッドバルブ２４６を設けていたが、吐出ノズル２４１ごとにヘッドバルブ２４６のような流路の開閉手段を設けることは必須ではない。圧送管２４４の流路のような、洗浄液ヘッドが備える吐出ノズル全部に連通する流路に開閉手段を設けて、洗浄液ヘッドが備える吐出ノズル全体からの吐出を一括して制御する構成であってもよい。
【符号の説明】
【０１８９】
１…液滴吐出装置、２…描画ユニット、３…ワークユニット、５…保守ユニット、５ａ…移動装置、６…吐出装置制御部、１１…Ｘ軸走査機構、１２…Ｙ軸走査機構、１２Ａ…洗浄ヘッド走査機構、１７…液滴吐出ヘッド、２１…ヘッドユニット、２２…Ｙ軸スライダー、３０…ワーク載置台、４８…吐出ノズル、４８Ａ…ノズル列、５０…吸引ユニット、５１…キャップ装置、５２…ヘッドキャップ、６５…描画吐出制御部、６７…洗浄吐出制御部、６８…洗浄排出制御部、７１…洗浄液供給装置、７２…洗浄液ヘッド、７８…洗浄液ポンプ、８１…排液装置、１２１…洗浄ヘッドユニット、１２２…洗浄ヘッド移動枠、１４６…ノズルプレート、１４８…洗浄液ノズル、１４８Ａ…ノズル列、２０１…距離センサー、２４１…吐出ノズル、２４１ａ…ノズル孔、２４１ｂ…ノズル体、２４１ｃ…先端面、２４１ｄ…ノズル開口、２４２…ヘッド枠、２４４…圧送管、２４４ａ…分岐圧送管、２４６…ヘッドバルブ、２４８…ヘッドポンプ、２５１…キャップスライダー、２６７…洗浄吐出制御部、２７２…洗浄液ヘッド、２７５，２８５…洗浄ヘッド支持枠。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2011050859.tif 000009
【図８】
2011050859.tif 000010
【図９】
2011050859.tif 000011
【図１０】
2011050859.tif 000012
【図１１】
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