(57)【要約】【課題】エッジ効果による線状図形要素の幅の増大を補正し、トナー画像における線状図形要素の幅を所望の幅とできる画像データ作成装置、画像形成装置および方法を提供する。【解決手段】画像形成装置１のデータ補正部７２では、元パターンデータの画像中の図形要素群からひとかたまりの図形要素群を画定し（ステップＳ１０２）、画定された前記ひとかたまりの図形要素群の外郭線を認識し（ステップＳ１０５）、前記ひとかたまりの図形要素群において、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、当該外郭線に対して長辺が向いているか短辺が向いているかの関係を判定し（ステップＳ１０６）、判定結果に応じて補正量を算出し（ステップＳ１１１）、当該図形要素のデータを補正する（ステップＳ１１２）。【選択図】    図１２
2011175187.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像データを作成する画像データ作成装置であって、
元パターンデータの画像中の図形要素群の外郭線を認識する外郭認識手段と、
認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、前記外郭線に対する関係を判定する判定手段と、
該判定手段の判定結果に応じて当該図形要素のデータを補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とする画像データ作成装置。
【請求項２】
電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像データを作成する画像データ作成装置であって、
元パターンデータの画像中の図形要素群から、ひとかたまりの図形要素群を画定する画定手段と、
画定手段により画定された前記ひとかたまりの図形要素群の外郭線を認識する外郭認識手段と、
前記ひとかたまりの図形要素群において、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、当該外郭線に対する関係を判定する判定手段と、
該判定手段の判定結果に応じて当該図形要素のデータを補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とする画像データ作成装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の画像データ作成装置であって、
前記補正手段は、前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素のデータについて、前記対象物上に当該図形要素のトナー画像を形成した場合に、エッジ効果を打ち消して当該トナー画像が元パターンデータの当該図形要素の形状となるように細らせ補正するものであることを特徴とする画像データ作成装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の画像データ作成装置であって、
前記判定手段は、前記外郭線に対して前記図形要素の短辺が向いているのか長辺が向いているのかその両方が向いているのかを判定するものであることを特徴とする画像データ作成装置。
【請求項５】
電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像データを作成する画像データ作成方法であって、
元パターンデータの画像中の図形要素群の外郭線を認識する工程と、
認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、前記外郭線に対する関係を判定する工程と、
該判定手段の判定結果に応じて当該図形要素のデータを補正する工程と、
を備えたことを特徴とする画像データ作成方法。
【請求項６】
電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像データを作成する画像データ作成方法であって、
元パターンデータの画像中の図形要素群から、ひとかたまりの図形要素群を画定する工程と、
画定された前記ひとかたまりの図形要素群の外郭線を認識する工程と、
前記ひとかたまりの図形要素群において、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、当該外郭線に対する関係を判定する工程と、
判定結果に応じて当該図形要素のデータを補正する工程と、
を備えたことを特徴とする画像データ作成方法。
【請求項７】
電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像形成装置であって、
請求項１乃至３のいずれかに記載の画像データ作成装置と、
前記画像データ作成装置によって作成された補正済データに基づいて感光体上に静電潜像を形成する潜像形成部と、
前記静電潜像にトナーを付与することにより前記静電潜像を現像して転写前のトナー画像を形成する現像部と、
前記トナー画像を対象物に転写するトナー画像転写部と、
を備えたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項８】
電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像形成方法であって、
元パターンデータの画像中の図形要素群の外郭線を認識する工程と、
認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、前記外郭線に対する関係を判定する工程と、
該判定手段の判定結果に応じて当該図形要素のデータを補正する工程と、
補正済データに基づいて感光体上に静電潜像を形成する工程と、
前記静電潜像にトナーを付与することにより前記静電潜像を現像して転写前のトナー画像を形成する工程と、
前記トナー画像を対象物に転写する工程と、
を備えたことを特徴とする画像形成方法。
【請求項９】
電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像形成方法であって、
元パターンデータの画像中の図形要素群から、ひとかたまりの図形要素群を画定する工程と、
画定された前記ひとかたまりの図形要素群の外郭線を認識する工程と、
前記ひとかたまりの図形要素群において、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、当該外郭線に対する関係を判定する工程と、
判定結果に応じて当該図形要素のデータを補正する工程と、
補正済データに基づいて感光体上に静電潜像を形成する工程と、
前記静電潜像にトナーを付与することにより前記静電潜像を現像して転写前のトナー画像を形成する工程と、
前記トナー画像を対象物に転写する工程と、
を備えたことを特徴とする画像形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物上にトナー画像を形成する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、プリント基板や半導体基板等の対象物に配線パターンを形成する方法の1つとして、配線パターンに対応するレジスト膜のパターン（すなわち、レジストパターン）を銅箔の上に形成し、レジストパターンを介してエッチング液を銅箔に付与することにより、銅箔のレジスト膜から露出している部位を除去して銅により形成された配線パターンを形成する方法が知られている。
上記の配線パターンの形成において、レジストパターンを形成する方法としては、例えば、配線パターンに対応する透光部または遮光部を有するマスクを介して対象物上の感光性を有するレジスト膜に光を照射することにより、レジスト膜上にレジストパターンの画像を形成し、当該レジスト膜を現像することにより、配線パターンに対応するレジストパターンを形成するフォトリソグラフィが用いられる。
【０００３】
特許文献1では、フォトリソグラフィ工程において、レジストパターンの孤立ライン（すなわち、周囲に他のラインが無く、孤立しているライン）に対応するマスクパターンの線幅を設計線幅よりも細らせておくことにより、孤立ラインが光近接効果により太ってしまうことを防止する技術が開示されている。
【０００４】
一方、画像を形成する方法として、電子写真法により感光性を有する対象物上に光を照射して静電潜像を形成し、当該静電潜像にトナーを付与する（すなわち、現像する）ことによりトナー画像を形成する方法も知られている。特許文献2では、現像時における静電潜像のエッジ効果（すなわち、静電潜像のエッジ部近傍において静電潜像のエッジから離れた他の領域よりも電界が強くなることにより、エッジ部近傍に他の領域よりもトナーが多く付着して濃度が高くなる現象）を抑制するために、静電潜像を形成する際に、一の図形要素中の注目画素から当該図形要素のエッジまでの距離のうちで最短となる距離が小さい場合、注目画素に照射される光の強度を小さくして現像時におけるトナーの過剰付着を抑制する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１２２９７７号公報
【特許文献２】特許第３６６８３７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、電子写真法により感光ドラム上に形成された静電潜像に対して現像工程でトナーを付着させてトナー画像を形成する場合、線状図形要素ではエッジ効果によりトナーが過剰に付着し、トナー画像は静電潜像よりも線幅が太くなることが知られている。またそのトナー画像が対象物上に転写される際には、過剰付着したトナーが対象物上で広がることがある。これらの原因により、対象物上に転写されたトナー画像の線状図形要素の幅が設計線幅よりも大きくなってしまうことがある。このような線状図形要素の幅の増大は部分的に生じる場合もあり、特許文献2のように、線状図形要素中の注目画素から当該線状図形要素のエッジまでの距離のうちで最短となる距離に基づいて注目画素に照射される光の強度を調整したとしても、線状図形要素の幅を均一かつ設計線幅に等しくすることは困難である。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、エッジ効果による線状図形要素の幅の増大を補正し、トナー画像における線状図形要素の幅を所望の幅とすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる課題を解決する為に、請求項１に係わる発明は、電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像データを作成する画像データ作成装置であって、元パターンデータの画像中の図形要素群の外郭線を認識する外郭認識手段と、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、前記外郭線に対する関係を判定する判定手段と、該判定手段の判定結果に応じて当該図形要素のデータを補正する補正手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係わる発明は、電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像データを作成する画像データ作成装置であって、元パターンデータの画像中の図形要素群から、ひとかたまりの図形要素群を画定する画定手段と、画定手段により画定された前記ひとかたまりの図形要素群の外郭線を認識する外郭認識手段と、前記ひとかたまりの図形要素群において、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、当該外郭線に対する関係を判定する判定手段と、該判定手段の判定結果に応じて当該図形要素のデータを補正する補正手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項３に係わる発明は、請求項１または２に記載の画像データ作成装置であって、前記補正手段は、前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素のデータについて、前記対象物上に当該図形要素のトナー画像を形成した場合に、エッジ効果を打ち消して当該トナー画像が元パターンデータの当該図形要素の形状となるように細らせ補正するものであることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に係わる発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の画像データ作成装置であって、前記判定手段は、前記外郭線に対して前記図形要素の短辺が向いているのか長辺が向いているのかその両方が向いているのかを判定するものであることを特徴とする。
【００１２】
請求項５に係わる発明は、電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像データを作成する画像データ作成方法であって、元パターンデータの画像中の図形要素群の外郭線を認識する工程と、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、前記外郭線に対する関係を判定する工程と、該判定手段の判定結果に応じて当該図形要素のデータを補正する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項６に係わる発明は、電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像データを作成する画像データ作成方法であって、元パターンデータの画像中の図形要素群から、ひとかたまりの図形要素群を画定する工程と、画定された前記ひとかたまりの図形要素群の外郭線を認識する工程と、前記ひとかたまりの図形要素群において、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、当該外郭線に対する関係を判定する工程と、判定結果に応じて当該図形要素のデータを補正する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
請求項７に係わる発明は、電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像形成装置であって、請求項１乃至３のいずれかに記載の画像データ作成装置と、前記画像データ作成装置によって作成された補正済データに基づいて感光体上に静電潜像を形成する潜像形成部と、前記静電潜像にトナーを付与することにより前記静電潜像を現像して転写前のトナー画像を形成する現像部と、前記トナー画像を対象物に転写するトナー画像転写部と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
請求項８に係わる発明は、電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像形成方法であって、元パターンデータの画像中の図形要素群の外郭線を認識する工程と、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、前記外郭線に対する関係を判定する工程と、該判定手段の判定結果に応じて当該図形要素のデータを補正する工程と、補正済データに基づいて感光体上に静電潜像を形成する工程と、前記静電潜像にトナーを付与することにより前記静電潜像を現像して転写前のトナー画像を形成する工程と、前記トナー画像を対象物に転写する工程と、
を備えたことを特徴とする。
【００１６】
請求項９に係わる発明は、電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像形成方法であって、元パターンデータの画像中の図形要素群から、ひとかたまりの図形要素群を画定する工程と、画定された前記ひとかたまりの図形要素群の外郭線を認識する工程と、前記ひとかたまりの図形要素群において、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、当該外郭線に対する関係を判定する工程と、判定結果に応じて当該図形要素のデータを補正する工程と、補正済データに基づいて感光体上に静電潜像を形成する工程と、前記静電潜像にトナーを付与することにより前記静電潜像を現像して転写前のトナー画像を形成する工程と、前記トナー画像を対象物に転写する工程と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明では、対象物上にトナー画像を形成する際に、エッジ効果による線状図形要素の幅の増大を補正し、トナー画像における線状図形要素の幅を所望の幅とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態であるパターン形成システム１００の構造を説明する図である。
【図２】図１に示したパターン形成システム１００の画像記録装置１を示す図である。
【図３】図１に示したパターン形成システム１００の動作を示す流れ図である。
【図４】感光体表面の電位分布を示す図である。
【図５】感光体表面の電位分布を示す図である。
【図６】感光体表面の電位分布を示す図である。
【図７】静電潜像とトナー画像との関係を示す図である。
【図８】図形パターン群の一例を示す図である。
【図９】領域ごとのトナー画像の太り方を示す図である。
【図１０】図形パターンデータの補正を示す図である。
【図１１】図形パターンデータの補正を示す図である。
【図１２】補正量の算出と補正済パターンデータの生成の処理フローの具体例を示す図である。
【図１３】補正量の算出過程を説明するための図形パターンを示す図である。
【図１４】補正量の算出過程を説明するための図形パターンを示す図である。
【図１５】補正量の算出過程を説明するための図形パターンを示す図である。
【図１６】補正量の算出過程を説明するための図形パターンを示す図である。
【図１７】補正量の算出過程を説明するための図形パターンを示す図である。
【図１８】補正量の算出過程を説明するための図形パターンを示す図である。
【図１９】補正量の算出過程を説明するための図形パターンを示す図である。
【図２０】補正量の算出過程を説明するための図形パターンを示す図である。
【図２１】補正量の算出過程を説明するための図形パターンを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
〔装置構成〕
【００２０】
図1は、本発明の実施の形態に係るパターン形成システム100の構成を示す図である。パターン形成システム100は、フィルム状の対象物9上に配線パターンを形成する装置である。対象物9は、可撓性を有するフレキシブル基板（すなわち、フィルム基板）であり、フィルム状の絶縁性基材、および、絶縁性基材の一の主面全体に形成された比抵抗が10−6Ω・ｃｍ以上103Ω・ｃｍ以下の導電層（本実施の形態では、銅箔（Ｃｕ））を備える。パターン形成システム100は、対象物9上の銅箔をエッチングして不要部分を除去し、銅による配線パターンを形成することにより、複数のフレキシブル回路基板が連続したシート状部材である回路基板シートを形成するものであって、そのために、この銅箔の表面に、いわゆる電子写真法を利用して耐エッチング性を持つトナーで配線パターンを印刷する処理も行う。
【００２１】
図1に示すように、パターン形成システム100は、対象物9の導電層の表面上に配線パターンに対応したトナー画像を転写（すなわち、形成）し、当該トナー画像を導電層上に定着させてレジストパターンとする画像形成装置1、導電層のレジストパターンから露出している部位（すなわち、トナー画像により被覆されていない部位）にエッチング液を付与することによりエッチングを施して当該部位を絶縁性基材上から除去するエッチング装置61、エッチングが終了した対象物9を洗浄する第1洗浄装置62、対象物9上からレジストパターン（すなわち、トナー画像）を剥離して除去する画像除去装置63、および、レジストパターンが除去された対象物9を洗浄する第2洗浄装置64を備える。以下の説明では、画像形成装置1によりトナー画像が転写される対象物9の導電層の表面91を「被転写面91」という。
【００２２】
図2は、画像形成装置1を拡大して示す図である。図2に示すように、画像形成装置1は、絶縁性基材93および導電層94を有する対象物9を保持するとともに被転写面91に沿う移動方向である（＋Ｙ）方向に移動する移動機構2、電子写真法にて感光ドラム31上にトナー画像を形成するプロセスユニット3、当該トナー画像上から感光ドラム31の外周面に所定の電位を付与する第1電位付与部4、対象物9に接触して被転写面91に所定の電位を付与する第2電位付与部5、および、プロセスユニット3により形成されるトナー画像のパターンデータの補正や記憶等を行うデータ処理部7を備える。データ処理部7は、トナー画像の元となる配線パターンの設計パターンデータを元パターンデータとして記憶する元パターンデータ記憶部71、および、元パターンデータを補正して補正済パターンデータを生成するデータ補正部72を備える。
【００２３】
プロセスユニット3は、減速機を介してモータ（図示省略）に接続される感光ドラム31を備え、感光ドラム31は、図2中のＸ方向に平行な回転軸310を中心として図2中における時計回りに回転可能とされる。感光ドラム31は、アルミニウム等の金属により形成されるとともに回転軸310を中心とするドラム本体311を有し、ドラム本体311は電気的に接地される。ドラム本体311の外周面には、例えば、フタロシアニン顔料を有する単層型有機感光体（以下、単に「感光体312」という。）が一様に塗布される（または、蒸着される）。なお、感光体312は、フタロシアニン顔料を有する単層型有機感光体以外に、例えば、アモルファスシリコン等の無機感光体により形成されてもよい。
【００２４】
プロセスユニット3は、また、感光ドラム31の（＋Ｚ）側において感光ドラム31に対向して設けられて感光体312を帯電させる帯電器32、帯電された感光体312の外周面に画像形成用の光を照射して静電潜像を形成する潜像形成部33、エッチング耐性を有する液体トナー（例えば、イソパラフィン系の絶縁性の溶媒（キャリア液）に分散している湿式トナー）を感光体312上の静電潜像に付与することにより当該静電潜像を現像して感光体312の外周面上に転写前のトナー画像を形成する現像部34、感光体312の表面をクリーニングするクリーナ35、および、光を出射して感光体312を除電する除電器36を備える。
【００２５】
プロセスユニット3では、帯電器32から感光ドラム31の回転方向（すなわち、図1中の時計回り）に沿って潜像形成部33、現像部34、クリーナ35および除電器36が、感光ドラム31の周囲に配置されており、現像部34には、現像液である液体トナーを供給するトナー供給部（図示省略）が接続されている。また、画像形成装置1では、第1電位付与部4も、現像部34とクリーナ35との間において感光ドラム31の周囲に配置されている。
【００２６】
第1電位付与部4は、コロナ放電によりイオンを発生させ、当該イオンを感光体312に付与することにより感光体312を帯電させるコロナ帯電機構であり、本実施の形態では、第1電位付与部4としてスコロトロンが利用されて感光体312に電位（以下、「第1電位」という。）が付与される。また、プロセスユニット3の帯電器32も、第1電位付与部4と同様、コロナ放電により感光体312を帯電させるコロナ帯電機構である。
【００２７】
第2電位付与部5は2つの接触子51を備え、接触子51は、導電性材料にて形成されるブラシ（例えば、カーボンブラシや導電性毛ブラシ）を有する。各接触子51は図示省略の支持部材により支持されており、対象物9の導電性の被転写面91に直接当接する。各接触子51の電極は電気的に接地されているため、対象物9の被転写面91も電気的に接地される。換言すれば、第2電位付与部5の接触子51により、対象物9の被転写面91に接地電位である電位（以下、「第2電位」という。）が付与される。
【００２８】
画像形成装置1では、感光ドラム31の（−Ｚ）側において、移動機構2により感光ドラム31に対向して移動する対象物9の被転写面91が、第1電位付与部4とクリーナ35との間にて感光ドラム31の外周面に最も接近する。そして、第1電位付与部4および第2電位付与部5による電位の付与により、感光ドラム31と対象物9とが最も接近する位置において、感光ドラム31と対象物9の被転写面91との間に所定の転写電圧が作用し、感光ドラム31の外周面上のトナー画像が対象物9の被転写面91上に転写される。以下の説明では、感光ドラム31の外周面と対象物9の被転写面91とが最も接近する位置を「転写位置」と呼ぶ。転写位置は、プロセスユニット3に対して相対的に固定された位置となる。画像形成装置1では、第1電位付与部4および第2電位付与部5が、転写位置において感光ドラム31と対象物9の被転写面91との間に所定の転写電圧を作用させてトナー画像を対象物9に転写するトナー画像転写部となっている。
【００２９】
画像形成装置1は、移動機構2による対象物9の移動方向において上記転写位置よりも下流側（すなわち、（＋Ｙ）側）に配置されて対象物9の被転写面91に転写されたトナー画像を被転写面91に定着させる定着部52をさらに備える。画像形成装置1では、定着部52により対象物9の被転写面91を非接触にて加熱することにより、トナー画像が被転写面91に定着されてレジストパターンとなる。
【００３０】
移動機構2は、トナー画像が転写される前のロール状の対象物9を保持するとともに対象物9を転写位置へと供給する対象物供給部203、転写位置において対象物9を下面側（すなわち、被転写面91とは反対側）である（−Ｚ）側から支持する転写ローラ204、および、移動機構2による対象物9の移動方向において定着部52よりも下流側（すなわち、（＋Ｙ）側）に配置されるとともに定着部52によりトナー画像が定着された対象物9を巻き取って回収する対象物回収部205を備える。図2では、定着部52と対象物回収部205との間に配置されるエッチング装置61等の他の装置の図示を省略している。
【００３１】
図1に示すように、パターン形成システム100では、移動機構2による対象物9の移動方向において、エッチング装置61、第1洗浄装置62、画像除去装置63および第2洗浄装置64が、画像形成装置1の定着部52と対象物回収部205との間に順に配置されており、対象物9上の一の部位に注目すると、当該部位は、移動機構2により一の装置から他の装置へと順に搬送される。換言すれば、対象物9を移動する移動機構2は、画像形成装置1、エッチング装置61、第1洗浄装置62、画像除去装置63および第2洗浄装置64により共有される対象物搬送機構となっている。
【００３２】
エッチング装置61は、塩化鉄（ＦｅＣｌ3）や塩化銅（ＣｕＣｌ2）等を主成分とするエッチング液を、トナー画像が形成された対象物9の被転写面91に向けて噴射する複数のスプレー611を備え、第1洗浄装置62は、純水等の洗浄液を対象物9の被転写面91に向けて噴射する複数のスプレー621を備える。また、画像除去装置63は、対象物9からトナー画像を剥離する剥離液を対象物9の被転写面91に向けて噴射する複数のスプレー631を備え、第2洗浄装置64は、第1洗浄装置62と同様に、純水等の洗浄液を対象物9の被転写面91に向けて噴射する複数のスプレー641を備える。
【００３３】
〔配線パターン形成の流れ〕
【００３４】
図３は、本実施の形態に係るパターン形成システム100によるフィルム状の対象物9への配線パターンの形成の流れを示す図である。なお、ステップＳ13〜Ｓ17は感光体312の一部に注目した処理の流れを示しており、感光体312全体に対しては実際にはこれらのステップは時間的にほぼ並行して行われる。また、ステップＳ18〜Ｓ22は対象物9の一部に注目した処理の流れを示しており、対象物9全体に対しては実際にはこれらのステップは時間的にほぼ並行して行われる。
【００３５】
まず、パターン形成システム100の画像形成装置1において、トナー画像の形成に際して、エッジ効果による線状図形要素の線幅の増大を防止（または抑制）するために、図２に示すデータ処理部７のデータ補正部72により、元パターンデータ記憶部71に記憶されている元パターンデータが補正されて、線状図形要素が部分的に細らされた補正済パターンデータが生成される（ステップＳ11）。このステップＳ11についてはのちほど詳細に説明する。補正済パターンデータ83が示す画像は元パターンデータ82と同様に二値画像であり、補正済パターンデータは、図2に示すデータ処理部7からプロセスユニット3の潜像形成部33へと送られる（ステップＳ12）。
【００３６】
画像形成装置1では、まず、感光ドラム31が回転軸310を中心として図2中における時計回りに一定の回転速度にて回転を開始するとともに、移動機構2において対象物供給部203および対象物回収部205がそれぞれ反時計回りに回転することにより、対象物9の（＋Ｙ）方向への移動が一定の速度にて開始される。プロセスユニット3では感光ドラム31の回転により、回転軸310を中心とする円筒ドラム状の環状部材である感光ドラム31が、周囲に配置された各周辺構成（すなわち、帯電器32、潜像形成部33、現像部34、第1電位付与部4、クリーナ35および除電器36）に対して外周面に沿って連続的に循環移動し、これらの周辺構成による感光体312に対する処理が開始される。
【００３７】
帯電器32では、対向する位置へと到達する感光体312の一部（以下、「対象部位」と呼ぶ。）に電荷が順次付与され、対象部位の表面を、例えば、＋700Ｖ（ボルト）にて一様に帯電させる（ステップＳ13）。帯電後の対象部位は潜像形成部33の光の照射位置へと連続的に移動する。
【００３８】
潜像形成部33は、所定の波長の光を出射する複数の発光ダイオード（ＬＥＤ）が配列されたＬＥＤアレイを光源として有する。潜像形成部33では、データ処理部7から送られた補正済パターンデータに基づいて画像形成用の光が感光体312に向けて出射される。感光体312の対象部位において光が照射された部位では、表面の電荷が感光体312内に移動することにより、表面電位が＋100Ｖまで低減される。また、光が照射されない部位は帯電状態がそのまま維持されるため、感光体312上には電荷の分布による画像（すなわち、静電潜像）が形成される（ステップＳ14）。潜像形成部33の光源は、必ずしもＬＥＤである必要はなく、例えば、半導体レーザや、ランプと液晶シャッタとを組み合わせたものであってもよい。
【００３９】
感光ドラム31において静電潜像が形成された部分（対象部位）は現像部34に対向する位置へと移動する。現像部34では、現像ローラ341が現像バイアス電源343に接続されており、現像バイアス電源343により、＋500Ｖの電位が付与されている。そして、現像ローラ341と静電潜像との間のバイアス電圧により、液体トナー中においてプラスに帯電している湿式トナー（すなわち、液体トナーの溶媒中に分散されるとともに感光体312の表面と同じ極性に帯電している湿式トナー）が静電潜像に付与される（ステップＳ15）。本実施の形態では、湿式トナーとして、粒径が0．1μｍ以上2μｍ以下（より好ましくは、0．1μｍ以上0．5μｍ以下）のものが使用される。
【００４０】
図４ないし図６は、現像部34（図2参照）により湿式トナー92が付与された感光体312表面の電位分布を概念的に示す図である。図４ないし図６では、感光体312表面の電位を実線301にて描いており、実線301が感光体312表面からドラム本体311とは反対側に位置する場合をプラスとする。また、実線301と感光体312表面との間の上下方向の距離は、電位の大きさを表す。
【００４１】
図４に示すように、感光体312の表面と同じ極性であるプラスに帯電している湿式トナー92は、感光体312上の対象部位において、潜像形成部33（図2参照）により表面電位が低減された部位にのみ付着し、これにより、静電潜像が現像される。すなわち、感光体312の外周面上の対象部位に、湿式トナー92による転写前のトナー画像が形成される。図2に示す画像形成装置1では、感光ドラム31およびドラム回転用のモータが、感光体312の外周面に転写前のトナー画像を保持するとともに感光体312を循環移動するトナー画像保持部となっている。
【００４２】
現像部34では、対象部位上の不要な液体トナーは、現像ローラ341の（−Ｚ）側（すなわち、感光ドラム31の循環移動の下流側）に位置するスキージローラ342により掻き取られて現像部34へと戻される。スキージローラ342はスキージ用電源344に接続されており、スキージ用電源344により、＋500Ｖの電位が付与されている。そして、スキージローラ342が図２中の時計回りに回転して液体トナーを掻き取ることにより、感光体312上の余剰の液体トナー（すなわち、潜像形成部33により表面電位が低減された部位上に過剰に付与された液体トナー、および、表面電位が低減されなかった部位であるバックグラウンド上に付与された液体トナー）が回収される。
【００４３】
次に、感光ドラム31の循環移動において転写位置よりも手前に配置された第1電位付与部4により、感光体312上に現像されたトナー画像上から、感光体312の外周面に湿式トナーの帯電極性と同じ極性であるプラスの第1電位が付与される（ステップＳ16）。これにより、図５に示すように、感光体312の外周面の対象部位全体が、帯電器32による帯電と同程度、または、絶対値において大きい電位（本実施の形態では、約＋800Ｖ）まで帯電する。なお、対象部位では、湿式トナー92の付着領域における電位と非付着領域における電位とが僅かに異なっているが、この程度の電位差は後述する湿式トナー92の転写にはほとんど影響しない。また、当該電位差は、第1電位付与部4による第1電位の付与時間を長くすることにより解消される。
【００４４】
図2に示す第1電位付与部4による第1電位の付与が終了すると、感光ドラム31の対象部位は、感光ドラム31の回転に同期して移動する対象物9の被転写面91に最も接近する転写位置へと到達し、転写位置では対象部位は感光ドラム31の回転速度に応じた速度（すなわち、感光ドラム31の外周面の回転軸310に垂直な断面における接線方向の速度）にて正確に（＋Ｙ）方向へと移動する。また、対象物9は、移動機構2により、転写位置における感光体312の対象部位と同じ速度にて、対象部位の進行方向と同じ（＋Ｙ）方向を移動方向として移動する。これにより、転写位置の極近傍において対象物9（の対象部位に対向する部位）の位置が対象部位に対して相対的に固定される。
【００４５】
このとき、対象物9は、転写位置の（＋Ｙ）側および（−Ｙ）側にそれぞれ配置される第2電位付与部5の2つの接触子51を介して電気的に接地されており（換言すれば、第2電位付与部5により、対象物9の被転写面91に接地電位が付与されており）、転写位置における対象物9の被転写面91と感光体312の対象部位との間に所定の転写電圧が作用する。すなわち、対象部位から被転写面91へと向かう電界が発生し、図６に示すように、感光体312から対象物9の被転写面91へと向かう方向（すなわち、図６中の符号302を付す矢印が向く方向）の力が湿式トナー92に作用する。これにより、感光体312の対象部位上に付着したプラスに帯電したトナー画像が、対象物9の被転写面91に順次転写される（ステップＳ17）。
【００４６】
画像形成装置1では、元パターンデータから補正済パターンデータが生成される際に、元パターンデータ中の線状図形要素が部分的に細らされており、この細らせ量は現像時のトナーの過剰付着および転写時の広がりを考慮して最終的な線幅が元パターンデータどおりに均一になるように算出されている。従って、細らされた部位にエッジ効果により過剰付着した湿式トナーが、転写時に対象物9の被転写面91上にて広がることにより、線幅が均一で元パターンデータに忠実な線状図形要素を含むトナー画像が対象物9上に形成される。
【００４７】
湿式トナーの転写後の感光体312の対象部位は、図2に示すクリーナ35の位置へと続けて移動する。クリーナ35では、スプレーノズル351により対象部位に洗浄液が付与されることにより、対象物9に転写されずに対象部位に残留した湿式トナー等の不要物（以下、「残トナー」という。）が湿らされる。これにより、対象部位に固着している残トナーが膨潤し、残トナーの感光体312に対する固着力が低減される。
【００４８】
続いて、図2中における時計回り（すなわち、感光ドラム31の回転方向と同じ方向）に回転するスポンジローラ352，353，354により感光体312の対象部位が擦られることにより、残トナーがこれらのスポンジローラに付着して感光体312上から除去される。スポンジローラに付着した残トナーは吸引ノズルにより洗浄液と共に吸引されてスポンジローラ上から除去される。
【００４９】
クリーナ35により感光体312の表面がクリーニングされて感光体312が機械的に初期状態に戻されると、ランプとフィルタとの組合せ、あるいは、ＬＥＤ等を有する除電器36により対象部位に光が照射されて感光体312が除電され、電気的に初期状態に戻される。
【００５０】
上述のように、ステップＳ13〜Ｓ17の処理は感光体312上の各部位に対してほぼ並行して行われ、転写位置へと順次到達する感光体312の各部位に対して連続的に処理が行われる。このため、感光体312の外周面上のトナー画像全体が転写位置において対象物9上に転写され、これが繰り返されることにより、最終的に複数のフレキシブル回路基板となる対象物9上に、複数のフレキシブル回路基板の配線パターンに対応するトナー画像が形成される。
【００５１】
画像形成装置1では、対象物9のトナー画像が形成された部位が、移動機構2により転写位置から（＋Ｙ）側へと移動されて定着部52の下方を通過することにより、被転写面91および被転写面91上のトナー画像が定着部52により加熱され、トナー画像が被転写面91に定着されてレジストパターンとなる（ステップＳ18）。
【００５２】
対象物9のトナー画像が定着された部位は、図1に示す移動機構2により画像形成装置1からエッチング装置61へと移動し、エッチング装置61においてエッチング液が付与されることにより、導電層94（図2参照）のトナー画像（すなわち、レジストパターン）から露出している部位にエッチングが施されて当該部位が絶縁性基材93（図2参照）上から除去される（ステップＳ19）。これにより、銅にて形成された導電層94のうちトナー画像により被覆された部分のみが絶縁性基材93上に残置され、フレキシブル回路基板の配線パターン（すなわち、銅電極および銅配線）となる。
【００５３】
対象物9のエッチングが施された部位は、移動機構2によりエッチング装置61から第1洗浄装置62へと移動し、第1洗浄装置62において純水が噴射されることにより、対象物9が洗浄されて対象物9上のエッチング液が除去される（ステップＳ20）。
【００５４】
対象物9の洗浄が終了した部位は、移動機構2により第1洗浄装置62から画像除去装置63へと移動し、画像除去装置63において剥離液が付与されることにより、対象物9上のトナー画像（すなわち、絶縁性基材93上に形成された配線パターン上のレジストパターン）が配線パターンから剥離されて除去される（ステップＳ21）。これにより、絶縁性基材93および絶縁性基材93上に銅にて形成された配線パターンを有するフレキシブル回路基板が形成される。
【００５５】
対象物9のトナー画像が剥離された部位は、移動機構2により画像除去装置63から第2洗浄装置64へと移動し、第2洗浄装置64において純水が噴射されることにより、対象物9が洗浄されて対象物9上の剥離液が除去される（ステップＳ22）。そして、対象物9の洗浄が終了した部位は、移動機構2により第2洗浄装置64から搬出され、必要に応じて加熱や送風等により乾燥された後、移動機構2の対象物回収部205により巻き取られて回収される。これにより、複数のフレキシブル回路基板が連続した回路基板シートが形成される。
【００５６】
以上の工程において、この実施の形態では、パターン形成システム100は、製造しようとするフレキシブル回路基板の銅による配線パターンの設計データを外部のCADシステム等からデータ処理部7に入力して、その設計データをトナー画像の元となる元パターンデータとして元パターンデータ記憶部71に記憶する。そして、最終的に、対象物9（フレキシブル基板）の表面に、その元パターンデータ通りのトナー画像が形成されるように現像工程や転写工程でのパターンの変形（太り）を考慮して、元パターンデータをデータ補正部72によって補正し、補正済パターンデータを生成する（ステップＳ11）。そしてその補正済パターンデータによって露光現像転写エッチングはくり工程を行ってフレキシブル回路基板を製造する。次に、パターン形成システム100におけるデータ補正部72によるデータの補正の詳細、すなわち上述したステップＳ11の詳細について説明する。
【００５７】
〔静電潜像と転写後のトナー画像の太りの一般的傾向〕
【００５８】
図７は、電子写真法により感光体ドラム上に任意の図形パターンの静電潜像を形成し、液体トナーを付着させて現像し対象物に転写してトナー画像を形成した場合の、静電潜像とトナー画像との関係を示しており、矢印の左側が静電潜像を、右側がトナー画像を示す。図形パターンが円形の場合には各方向に均等に、正方形の場合には各辺に対して均等に、それぞれ太る。また図形パターンが線分の場合、トナー画像は静電潜像と比べ、長さ方向への太り量よりも幅方向の太り量のほうが大きい。
【００５９】
〔図形パターン郡の周囲からの各図形パターンの太りへの影響〕
【００６０】
複数の図形パターンが集合して形成される図形パターン郡のトナー画像を形成しようとする場合、各図形パターンのトナー画像の太りの状態は、本発明者らの研究開発の結果、その図形パターン群の外郭線より外側であって図形パターンが存在しない領域の影響をどのように受けるかによって変わり、当該図形パターンが、図形パターン群の中でその外郭線とどのような位置関係にあるかによって異なってくることがわかった。図８は、図形パターン群の一例を示しており、ここでは図中縦方向に長い線分（図中黒塗りで示す）の図形パターンが複数平行に位置した状態で集まって図形パターン群を形成する。
【００６１】
なお、この図８の説明において、外郭線とは、図形パターン群を形成する全ての図形パターン（縦方向に長い線分）を一つの図形群とみなし、図中最も左に位置する線分の左辺−全ての線分の下辺の延長線−図中最も右に位置する線分の右辺−全ての線分の上辺の延長線をつないだ線を意味し、この外郭線の内部に全ての図形パターンが含まれる。このような図形パターン群について電子写真法により感光体ドラム上に静電潜像を形成し、液体トナーを付着させて現像し、対象物に転写してトナー画像を得る場合、図形パターンの各部は、外郭線より外側からの影響の受けかたについて次の三種の態様が考えられる。
【００６２】
第一に、図形パターン群の外郭線より外側からの影響を受けない場合である。これは、外郭線から所定距離（ここでは３００μｍ）以上内側の図形パターンが該当する。この部分は図８の（１）を付した領域にある図形パターンである。
【００６３】
第二に、図形パターン群の外郭線より外側からの影響を、図形パターンの短辺側から受ける場合である。この部分は図形パターン群の外郭線から所定距離（ここでは３００μｍ）以内にあり、かつ外郭線に図形パターンの線分の短辺が接している図形パターンが該当する。
【００６４】
第三に、図形パターン群の外郭線より外側からの影響を、図形パターンの長辺側から受ける場合である。この部分は図形パターン群の外郭線から所定距離（ここでは３００μｍ）以内にあり、かつ外郭線に図形パターンの線分の長辺が接しまたは平行に位置している図形パターンが該当する。
【００６５】
図８の図形パターン群に関して、三種の態様を当てはめてみると、図８中（２）を付した領域の図形パターンは第二の態様に該当し、同じく（３）を付した領域は第三の態様に該当し、（４）を付した領域は第二の態様と第三の態様の両方に該当する。また残った図形パターン群の中央部の（１）を付した領域は第一の態様に該当する。
【００６６】
そして、これらの各領域において、形成したトナー画像は次のように太ることが実験的に確認された。すなわち、（１）の領域は図９（ａ）のように線分の方向に関係なく、一定量だけ太る。（２）の領域は図９（ｂ）のように線分の方向に関係なく、短辺側の先端が丸い綿棒の先端のような形状に太り、先端（外郭）から離れるにしたがって太り量は減少する。（３）の領域は図９（ｃ）のように線分の方向に関係なく、太さ方向の太り量が外郭から離れるにしたがって減少する。（４）の領域は（２）の領域の太り方と（３）の領域の太り方が合わさった太り方をする。
【００６７】
なお、ここにおいて外郭線からの所定距離である３００μｍは、外郭線より外側の図形がない領域に対応する液体トナーが、図形パターンの静電潜像の電荷によってひきつけられて図形パターンのトナー画像に影響を与える領域の距離を示す。この所定距離の具体的な値は、露光、現像の条件や液体トナーの特性等によって変更され得る。実際には、例えばパターン形成システム100の条件に応じて実験的に定めることが考えられる。
【００６８】
〔各領域における図形パターンデータの補正ルール〕
【００６９】
本発明では、上述した周囲との位置関係と太り方に応じて、トナー画像の元となる元パターンデータをデータ補正部72によって細らせるように補正して補正済パターンデータを生成する。係る補正は、各領域の太り方を考慮し、現像および転写後のトナー画像が、元パターンデータに等しい配線パターンを持つように、太りの影響を打ち消す補正ルールにより行われる。この補正量すなわち細らせ量は現像時のトナーの過剰付着および転写時の広がりを考慮して算出される。そして、その算出した補正量に基づいて補正済パターンデータを算出し、その補正済パターンデータに従って感光ドラムに露光して静電潜像を形成する。
【００７０】
補正の具体的内容を領域ごとに説明すると、（１）の領域は線分の方向に関係なく、一定量だけ太るので、全ての線分に対して一定量、例えば２μｍだけ細らせる、という補正を行う。細らせた補正後の線分を補正済パターンデータとする。
【００７１】
（２）の領域にある元パターンデータに対しては図１０（ａ）の表に従い、外郭線に接している線分の先端（すなわち端辺）で１２μｍ、外郭線から５０μｍ内側に入ったところで１０μｍ・・・といったように線分の幅を細らせていく。これは例えば元パターンデータが図６（ｂ）に実線で示す太さ５０μｍの線分であれば、補正済パターンデータは破線およびハッチングで示すように、外郭線に接している部分では細らせ補正量の１２μｍを左右に分けてＦ＝６μｍづつ、外郭線から５０μｍ内側に入ったところで左右から５μｍづつ、といったように、線分の先端の左右を略三角形に切除して先端を細くする。図１０（ｂ）は誇張して描いており、図中のＦ＝６μｍ、Ｅ＝１μｍとする。細らせた補正後の線分を補正済パターンデータとする。
【００７２】
（３）の領域にある元パターンデータに対しては図１１（ａ）の表に従い、該当する元パターンデータの外郭線からの距離に応じて細らせ補正量を、また元パターンデータの線幅に応じて細らせ補正係数１を、隣接する配線パターンとのスペースの幅に応じて細らせ補正係数２を、それぞれ算出し、それらを乗じたものが細らせ補正量となる。これは例えば元パターンデータが図１１（ｂ）に実線で示す太さ５０μｍの線分であって外側が外郭線に接しており、反対側の隣接パターンとのスペースが５０μｍであるものとすると、外郭線に接している側は隣接する配線パターンはない（スペース幅２５０μｍ以上）として、細らせ補正量Ａは外郭線に接している側ではＡ＝１２μｍ×１×１．８＝１９．２μｍとする。また反対側ではＢ＝１０μｍ×１×１＝１０μｍとする。その次の配線パターンについては、Ｄ側の隣接する配線パターンとの距離も５０μｍとして、Ｃ＝８μｍ×１×１＝８μｍ、Ｄ＝６μｍ×１×１＝６μｍとなる。これにより補正済パターンデータは破線およびハッチングで示すものとなる。
【００７３】
（４）の領域は（２）の領域の太り方と（３）の領域の太り方が混在する太り方となっているので、補正量も、（２）の領域として計算した値と（３）の領域として計算した値の和を補正量とすることが可能である。しかし、このように単純な和にするよりも、（２）の領域として計算した値×α＋（３）の領域として計算した値×β＝補正量として、０≦係数α、β≦１の係数を導入して算出すると、さまざまな条件に適合させることができる。係数α、βについては、元線幅、隣接線とのスペース幅等の条件に応じて実験的に決めた値の表を作成して該当する値を使用するか、あるいは簡単のため適当な定数を定めても良い。
【００７４】
なお、上記の補正量の算出は、これに限らず他の変形をすることができ、また他の考え方をとることもできる。例えば領域（１）、（２）においても領域（３）と同様に図７の元線幅と隣接線とのスペース幅に応じた補正量係数の考え方を導入して補正量の表の値に補正量係数を乗じて算出してもよい。
【００７５】
また、図２１（ａ）（ｂ）に示すような、領域（３）と（３）にはさまれた扇形領域（５）、または領域（３）と（２）にはさまれた扇形領域（６）がある場合には、扇形領域（５）については（３）と同じ補正を行う、扇形領域（６）には専用の補正用の表（図示せず）を作成する等の対処を行う。
【００７６】
〔補正済パターンデータ算出の処理フロー〕
【００７７】
ここで、図３のステップＳ１１における補正量の算出と補正済パターンデータの生成について、データ処理部７の制御装置（いわゆるマイクロコンピュータ）が実行する処理フローの具体例を示す図１２に基づき説明する。
【００７８】
まず、パターン形成システム100は、製造しようとするフレキシブル回路基板の銅による配線パターンの設計データを外部のCADシステム等からデータ処理部7に入力して、トナー画像の元となる図形パターンの元パターンデータとして元パターンデータ記憶部71に記憶する（ステップＳ１０１）。
【００７９】
そして次に、補正量の算出のための図形パターン群を区画する（ステップＳ１０２）。すなわち本実施形態では、図形パターンの静電潜像から距離３００μｍ程度離れた位置に存在するトナーが電界によって引き付けられて太りの原因となっているため、図形パターン同士の間隔が３００μｍ以内であるものは、一つの図形パターン群として扱う。具体的には、図１３（ａ）に示す黒色の線分の集合からなる元パターンデータに対しては、いったん、全ての図形パターンの各点を全方向に１５０μｍ程度太らせる。これにより、相互間の距離が３００μｍ以内である図形パターンは隙間がなくなり一体化して大きな１つの図形パターンとなる。これを今度はその周囲の各点を１５０μｍ収縮させ、図１３（ｂ）が得られる。この図１３（ｂ）の外形の範囲に入っている図形パターンを、以後、１つの図形パターン群として扱う。
【００８０】
なお、１つの元パターンデータに相互間の距離が３００μｍ以上離れた複数の図形パターン群が存在するときには、このステップＳ１０２においてそれぞれの図形パターン群を区画し、それぞれの図形パターン群について、以下の補正処理を行う。
【００８１】
次に、先に説明した（１）の領域に該当する部分を判定する（ステップＳ１０３）。すなわち、図１３（ｂ）の図形を３００μｍ収縮させ、図１３（ｃ）が得られる。この図１３（ｃ）の外形の範囲に入っている図形パターンが（１）の領域となる。この部分の図形パターンは、図１３（ｃ）と元パターンデータである図１３（ａ）とのａｎｄをとって図１３（ｄ）となる。
【００８２】
次に、先に説明した（２）（３）（４）の領域に該当する部分を判定する（ステップＳ１０４）。すなわち、図１３（ｂ）の図形から図１３（ｃ）の（１）の領域を引くと図１３（ｅ）が得られ、この外形の範囲に入っている図形パターンが（２）（３）（４）の領域となる。この部分の図形パターンは、図１３（ｅ）と元パターンデータである図１３（ａ）とのａｎｄをとって図１３（ｆ）となる。
【００８３】
次に、この図形パターン群の外郭線を画定する（ステップＳ１０５）。ここでは、図１３（ｆ）の各図形パターンのエッジを抽出し、図１４を得る。次にこの図１４と図１３（ｃ）とのｏｒを取り、図１５を得る。さらにこの図１５のエッジ線各辺のそれぞれの点から垂直な線を３００μｍ伸ばして、他のエッジ線と重ならない箇所を沿周点になる。この沿周点をつなぎ、図１６に太線で示した外郭線が求められる。
【００８４】
次に、外郭線となっている各図形パターンの各点について、図形パターンの長辺か短辺かを判定する。（ステップＳ１０６）。
【００８５】
次に、短辺側から外部の影響を受ける区域を区画する（ステップＳ１０７）。ここでは、図形パターンの短辺側が外郭線となっている各点について、図１７に示すように外郭線から内側に向って直角方向に押し出した線を描き、この線と外郭線との間を短辺側からの影響区域とする。
【００８６】
次に、長辺側から外部の影響を受ける区域を区画する（ステップＳ１０８）。ここでは、図形パターンの長辺側が外郭線となっている各点について、図１８に示すように外郭線から内側に向って直角方向に押し出した線を描き、この線と外郭線との間を長辺側からの影響区域とする。
【００８７】
次に、先に説明した（４）の領域に該当する部分を判定する（ステップＳ１０９）。すなわち、ステップＳ１０７で区画した短辺側から影響を受ける区域と、ステップＳ１０８で区画した長辺側から影響を受ける区域との重複部分（図１９参照）を（４）の領域とする。
【００８８】
次に、先に説明した（２）（３）の領域に該当する部分を判定する（ステップＳ１１０）。すなわち、ステップＳ１０７で区画した短辺側から影響を受ける区域から（４）の領域を引いた領域を（２）の領域とし、ステップＳ１０８で区画した長辺側から影響を受ける区域から（４）の領域を引いた領域を（３）の領域とする（図１９参照）。
【００８９】
そして、これらステップＳ１０６からＳ１１０のステップにより、各図形パターンについて、外郭線に対して短辺が向いている領域（２）であるのか、長辺が向いている領域（３）であるのか、その両方が向いている領域（４）であるのかを判定する。
【００９０】
次に、先に説明した（１）（２）（３）（４）の各領域に応じて、該当する図形パターンデータにつき上述した図形パターンデータの補正量すなわち細らせ量を算出する（ステップＳ１１１）。
【００９１】
次に、各図形パターンにつき、算出した補正量に基づき、補正済パターンデータを算出する（ステップＳ１１２）。
【００９２】
そして、以上のように算出した補正済パターンデータを用いてトナー画像の形成を行う。
【００９３】
〔長辺短辺の判定方法〕
【００９４】
ここで、補正済パターンデータ算出の処理フローの中で、ステップＳ１０６において外郭線となっている図形パターンがその図形パターンの長辺か短辺かを判定する方法について、考え方の一例を説明する。
（１）まず、判定対象とする辺に対して、以下の局所座標系を考える。
・判定対象辺の始点（０，０）
・判定対象辺の終点（Ｌ，０）  ただしＬ＝判定対象辺の長さ
（２）次に０≦Ｘ≦Ｌかつ０≦Ｙ≦Ｌとなる正方形の領域を設定する（以下の説明でこの正方形の領域を判定用領域と称する）。
（３）次に判定用領域内にある他の辺を求める。
（４）次にその判定用領域内の他の辺の、Ｘ方向への投影長さの合計Ｊを求める。
（５）Ｌ／２≦Ｊのとき、判定対象辺は長辺、Ｌ／２＞Ｊのとき判定対象辺は短辺と判定する。
【００９５】
例えば、図２０（ａ）のの図形パターンのＧ辺とＨ辺について判定すると、辺Ｇの場合、図２０（ｂ）のようにＪ＝Ｊ１＋Ｊ２＜Ｌ／２であるので、辺Ｇは短辺と判定する。また、辺Ｈの場合、図２０（ｃ）のようにＬ／２≦Ｊであるので、辺Ｈは長辺と判定する。
【００９６】
なお、この考え方では、例えば図２０（ｄ）の判定対象辺Ｉのように短い辺を判定する場合に、本来は長辺と判定すべき辺ＩをＪ＝０＜Ｌ／２をとして短辺と判定してしまうことが起こり得る。したがってこのような誤判定をしないために、例えば判定対象辺の長さが４０μｍ未満の場合には、その判定対象辺に連なる辺のベクトルを確認した上で「短辺と判定しない」ような例外処理をすればよい。
【００９７】
なお、上述した補正量の算出は、二値画像で行ってもベクターデータのままで行っても良い。
【００９８】
以上のように本発明によれば、対象物９上にトナー画像を形成する際に、エッジ効果による線状図形要素の幅の増大を補正して線幅の増大を防止または抑制でき、トナー画像における線状図形要素の幅を所望の幅、例えば配線パターンの設計データどおりの値とすることができる。
【符号の説明】
【００９９】
１００  パターン形成システム
１  画像形成装置
３３  潜像形成部
３４  現像部
４  第１電位付与部
５  第２電位付与部
７  データ処理部
７１  元パターンデータ記憶部
７２  データ補正部
９  対象物
【図１】
2011175187.tif 000003
【図２】
2011175187.tif 000004
【図３】
2011175187.tif 000005
【図４】
2011175187.tif 000006
【図５】
2011175187.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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