(57)【要約】【課題】プリズムを交換することなく広い範囲の屈折率測定又は表面プラズモン測定を行うことのできる、屈折率測定装置、表面プラズモンセンサ、及び屈折率測定方法を提供する。【解決手段】長手方向直交断面において円弧部と直線形状部を有するロッド状光学素子と、ロッド状光学素子の直線形状部にライン状に集光する光を射出する光源部と、ロッド状光学素子からの反射光の強度分布を撮像する撮像素子と、を備え、ロッド状光学素子は長手方向に屈折率分布を有する。【選択図】図１
2011017576.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向直交断面において円弧部と直線形状部を有するロッド状光学素子と、
前記ロッド状光学素子の直線形状部にライン状に集光する光を射出する光源部と、
前記ロッド状光学素子からの反射光の強度分布を撮像する撮像素子と、
を備え、
前記ロッド状光学素子は長手方向に屈折率分布を有することを特徴とする屈折率測定装置。
【請求項２】
前記ロッド状光学素子は、前記長手方向の一方から他方へ行くほど屈折率が大きくなり、前記長手方向の一方から他方へ行くほど前記屈折率に対応して前記円弧部の半径が小さくなる請求項１記載の屈折率測定装置。
【請求項３】
前記ロッド状光学素子は、前記直線形状部を構成する面に測定面を有する請求項１又は請求項２に記載の屈折率測定装置。
【請求項４】
前記ロッド状光学素子は、前記直線形状部を構成する面に金属薄膜を有する請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の屈折率測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の屈折率測定装置を備え、前記金属薄膜の上面に測定面を有することを特徴とする表面プラズモンセンサ。
【請求項６】
被検物とプリズムとの界面に光源からの光を照射し、前記界面で反射した光を光電センサにより検出し、臨界角から前記被検物の屈折率を測定する屈折率測定方法であって、
前記プリズムの複数の部分で前記被検物の屈折率を求め、その平均値を前記被検物の屈折率とすることを特徴とする屈折率測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、屈折率測定装置、表面プラズモンセンサ、及び屈折率測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の屈折率測定装置として、アッベの屈折計が知られている。この屈折計では、三角柱形状又は半球形状のプリズム上に配置した被検物に対して光束を照射する。被検物から反射した発散光は、センサによって臨界角が検出され、この臨界角に基づいて被検物の屈折率が算出される（特許文献１）。
【０００３】
ここで、具体的な被検物の屈折率測定方法について説明する。
まず、プリズムの屈折率をｎｐ、被検物の屈折率をｎｓとする。屈折率測定のための光線は、プリズムと被検物の境界面の法線となす角度がθ１となるようにプリズム側から入射する。入射した光線が、境界面の法線に対して角度θ２で屈折するとき、ｎｐ、ｎｓ、θ１、及びθ２は、次式（１）を満たす。
ｎｐ・ｓｉｎθ１＝ｎｓ・ｓｉｎθ２  ・・・（１）
ここで、「ｎｐ・ｓｉｎθ１／ｎｓ」の値が１以上になると、これに対応するθ２が存在しなくなる。このとき、光線は被検物の中には入り込めなくなるため、光は全反射する。
【０００４】
また、次式（２）を満たすときの角度θ１を臨界角（θｃ）と呼ぶ。
ｎｐ・ｓｉｎθ１／ｎｓ＝１  ・・・（２）
プリズムの屈折率ｎｐが既知であれば、光線の入射角を変化させ臨界角θｃを測定することによって、次式（３）から被検物の屈折率ｎｓを求めることができる。
ｎｐ・ｓｉｎθｃ＝ｎｓ  ・・・（３）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１７０２１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述の屈折率測定方法において、アッベの屈折計の屈折率測定のための光線とプリズムと被検物の境界面の法線となす角度θ１の取り得る範囲をθ１ａ〜θ１ｂ、プリズムの屈折率をｎｐとすると、被検物の測定屈折率範囲はｎｐ・ｓｉｎθ１〜ｎｐ・ｓｉｎθ２に限定される。したがって、この測定レンジ外の被検物を測定する場合には、最適な屈折率を持つプリズムに交換する必要があり、作業に時間を要していた。また、屈折計を利用した表面プラズモンセンサにおいても、被検物に合わせた最適な屈折率を有するプリズムに交換する必要があった。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、プリズムを交換することなく広い範囲の屈折率測定又は表面プラズモン測定を行うことのできる、屈折率測定装置、表面プラズモンセンサ、及び屈折率測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る屈折率測定装置は、長手方向直交断面において円弧部と直線形状部を有するロッド状光学素子と、ロッド状光学素子の直線形状部にライン状に集光する光を射出する光源部と、ロッド状光学素子からの反射光の強度分布を撮像する撮像素子と、を備え、ロッド状光学素子は長手方向に屈折率分布を有することを特徴としている。
【０００９】
本発明に係る屈折率測定装置において、ロッド状光学素子は、長手方向の一方から他方へ行くほど屈折率が大きくなり、長手方向の一方から他方へ行くほど屈折率に対応して円弧部の半径が小さくなることが好ましい。
【００１０】
本発明に係る屈折率測定装置において、ロッド状光学素子は、直線形状部を構成する面に測定面を有することが好ましい。
【００１１】
本発明に係る屈折率測定装置において、ロッド状光学素子は、直線形状部を構成する面に金属薄膜を有することが好ましい。
【００１２】
本発明に係る表面プラズモンセンサは、上述のいずれかの屈折率測定装置を備え、金属薄膜の上面に測定面を有することを特徴としている。
【００１３】
本発明に係る屈折率測定方法は、被検物とプリズムとの界面に光源からの光を照射し、界面で反射した光を光電センサにより検出し、臨界角から被検物の屈折率を測定する屈折率測定方法であって、プリズムの複数の部分で被検物の屈折率を求め、その平均値を被検物の屈折率とすることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る屈折率測定装置、表面プラズモンセンサ、及び屈折率測定方法は、プリズムを交換することなく広い範囲の屈折率測定を行うことができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る屈折率測定装置の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る屈折率測定装置の構成を示す側面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る光検出器の検出面に対応した平面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る光検出器の検出面に対応した平面図であって、光検出器で検出される画像の例を示す平面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る光検出器の検出面に対応した平面図であって、光検出器で検出された画像の例を示す平面図である。
【図６】図５に示す測定画像についての入射角度と反射光強度との関係を示すグラフである。
【図７】図５に示す測定画像についての入射角度とｄＩ／ｄθとの関係を示すグラフである。
【図８】本発明の第２実施形態に係るプリズムの構成を示す斜視図である。
【図９】比較例に係るプリズムへ入射する光線の入射面を示す斜視図である。
【図１０】比較例に係るプリズムに入射した光線による波面を示す平面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係るプリズムに入射した光線による波面を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に、本発明に係る屈折率測定装置、表面プラズモンセンサ、及び屈折率測定方法の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１７】
＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態に係る屈折率測定装置１００の構成を示す斜視図である。図２は、第１実施形態に係る屈折率測定装置１００の構成を示す側面図である。
【００１８】
屈折率測定装置１００は、プリズム１０１と、光源１０２（光源部）と、光検出器（撮像素子）１０３と、を備える。プリズム１０１と光源１０２との間にはシリンドリカルレンズ１０４が配置され、プリズム１０１と光検出器１０３との間にはシリンドリカルレンズ１０５が配置されている。
【００１９】
プリズム１０１は、平面からなる上面１０１ａと曲面からなる下面１０１ｂとで構成されるロッド状光学素子である。プリズム１０１の上面１０１a、下面１０１ｂは、長手方向直交断面において円弧部と直線形状部をそれぞれ構成する。ここで、プリズム１０１の長手方向とは図２における紙面垂直方向である。プリズム１０１は、長手方向（アキシャル方向）の一方から他方へ行くほど屈折率が大きくなるような屈折率分布を持つ。
プリズム１０１の上面１０１ａ（直線形状部を構成する平面）は、屈折率測定の測定面であり、被検物が塗布されている。
【００２０】
屈折率測定装置１００において、光源１０２から出射された平行光は、シリンドリカルレンズ１０４を通過した後、プリズム１０１の下面１０１ｂ（円弧部を構成する曲面）に入射する。この入射光は、プリズム１０１の上面１０１ａの幅方向の中心を結んだ集光ライン１０１ｃで反射し、下面１０１ｂから出射し、シリンドリカルレンズ１０５を通過して光検出器１０３に入射する。
【００２１】
ここで、光源１０２側のシリンドリカルレンズ１０４は、プリズム１０１の上面１０１ａでアキシャル方向に沿ってライン照明をするように配置してある。
【００２２】
また、検出側にシリンドリカルレンズ１０５を配置することにより、プリズム１０１からの出射光が平行光となって光検出器１０３に入射するため、シェーディングがなく測定精度を高めることができる。
【００２３】
光源１０２としては、例えば、半導体レーザーやＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）を使用する。光検出器（撮像素子）としては、例えば、ＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ  ｃｏｕｐｌｅｄ  ｄｅｖｉｃｅ）やＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、光電センサを使用する。
【００２４】
また、光源１０２とシリンドリカルレンズ１０４との間には、光源からの光を拡散させる光拡散板を配置するとよい。光拡散板を用いることによってシリンドリカルレンズ１０４に入射する光の強度を均一化することができる。
【００２５】
光源１０２として点光源を用いる場合、その強度分布は、光軸中心位置で最も大きく、周辺に向かうほど小さくなるものが好ましく、ガウス形分布が好ましい。このような光強度分布を用いることにより、屈折率の測定精度の低下或いは誤測定の発生を抑えることができる。
【００２６】
図３は、光検出器１０３の検出面に対応した平面図である。図４は、光検出器１０３の検出面に対応した平面図であって、光検出器１０３で検出される画像の例を示す平面図である。以下の説明においては、光検出器１０３で検出される画像を測定画像と呼ぶこととする。
【００２７】
光検出器１０３（検出面）の横軸方向は、プリズム１０１の上面１０１ａのライン照明の集光ライン１０１ｃの方向（長手方向）と一致している。プリズム１０１はアキシャル方向に屈折率分布を持っているため、光検出器１０３の横軸方向はプリズム１０１の屈折率変化を表す。
【００２８】
一方、光検出器１０３（検出面）の縦軸は、プリズム１０１からシリンドリカルレンズ１０５を経て入射する光の入射角度に対応している。すなわち、プリズム１０１の集光ライン１０１ｃから光検出器１０３に入射する光は、プリズム１０１の長手方向の位置によって異なる屈折率に応じた角度で光検出器１０３に入射し、入射角度が大きいほど上側に入射する。
例えば、図３に示す例では、画素Ａは、プリズム屈折率ｎ１の位置に、光線入射角θ１の光の反射情報として表される。
【００２９】
ここで、被検物の屈折率をｎｓとすると、ｎ１・ｓｉｎθ１／ｎｓの値が１以上のとき、光線は被検物とプリズム１０１の界面で全反射するため、光検出器１０３上の対応する画素は明るくなる。これに対して、ｎ１・ｓｉｎθ１／ｎｓの値が１未満のとき、光線は被検物に屈折して入り込むため、対応する画素は暗くなる。このように、全画素で明暗測定をすることができ、図４に例示する測定画像が形成される。ここで、明暗部の境界線を臨界角ラインと呼び、図４に示す例では臨界角ラインは直線Ｌとなる。
【００３０】
測定画像から、プリズム１０１の特定の屈折率における臨界角が判明する。各屈折率における臨界各の値から、被検物の屈折率を求めることができる。
【００３１】
以下に、臨界角の求め方を図５〜７を用いて説明する。図５は、光検出器１０３の検出面に対応した平面図であって、光検出器で検出された画像の例を示す平面図である。図６は、図５に示す測定画像についての入射角度と反射光強度との関係を示すグラフである。図７は、図５に示す測定画像についての入射角度とｄＩ／ｄθとの関係を示すグラフである。ここで、ｄＩ／ｄθは、入射角度θで反射光強度を微分した値である。
【００３２】
測定によって、図５のような測定画像が得られたとする。まず、測定画像のうち、プリズム１０１の特定の屈折率ｎｐにおける、反射光強度Ｉと入射角度θの関係を求める。反射光強度Ｉは、光検出器１０３が検出した各画素における明るさに基づいて算出する。反射光強度Ｉと入射角度θの関係は、図６に示すＩ−θカーブで表される。
【００３３】
次に、先の工程で得られたＩ−θカーブから、ｄＩ／ｄθ−θカーブ（図７）を作成する。ｄＩ／ｄθ−θカーブは、光検出器１０３への入射角度と反射光強度Ｉの変化との関係を示すカーブで、Ｉ−θカーブを微分したカーブである。このｄＩ／ｄθ−θカーブから、反射光強度Ｉの変化の最大値を与える入射角度を求める。この入射角度の値は、図７に示す例では、反射光強度Ｉが最大値をとる入射角度θｃであり、この角度が臨界角である。
以上のように求めた、屈折率ｎｐ、臨界角θｃを次式（３）に適用することにより、被検物の屈折率ｎｓが求められる。
ｎｐ・ｓｉｎθｃ＝ｎｓ  ・・・（３）
【００３４】
なお、光検出器１０３の各画素とプリズム１０１の屈折率の位置関係は、例えば下記のステップから求める。
（１）ステップ１：屈折率が既知の試料（屈折率ｎｓ１）をプリズム１０１の上面１０１ａに載せる。
（２）ステップ２：試料の測定画像を取得する。
【００３５】
つづいて、光検出器１０３の画像の縦軸方向の最も下側の座標Ｘ１（最も小さい値の座標）に着目する。
（３）ステップ３：Ｉ−θカーブを用いて、プリズム１０１の屈折率方向の座標に対する臨界角を求める。
（４）ステップ４：ステップ３で求めた臨界角と試料の屈折率ｎｓ１から、座標Ｘ１でのプリズム１０１の屈折率を求めることができる。
【００３６】
次に、光検出器１０３の画像の横軸方向（プリズムの同一屈折率）の座標Ｘ１のひとつ右側の座標Ｘ２に着目する。座標Ｘ１の場合と同様にステップ３、４から位置Ｘ２でのプリズム１０１の屈折率を求めることができる。同様にして、プリズム１０１の全Ｘ座標についてプリズムの屈折率を求める。
【００３７】
なお、プリズム１０１の屈折率分布によっては、臨界角が存在しないことがある。この場合、上記試料と異なる屈折率の試料（屈折率ｎｓ２）を用いて同様の測定を行う。
【００３８】
第１実施形態に係る屈折率測定装置及び屈折率測定方法によれば、屈折率を変えたときの臨界角の測定が一度で済むため、簡便に測定レンジの広い屈折率測定ができる。
【００３９】
（第２実施形態）
第２実施形態に係る屈折率測定装置においては、ロッド状光学素子としてのプリズム２０１の形状が第１実施形態に係るプリズム１０１と異なる。その他の構成は第１実施形態に係る屈折率測定装置と同様であり、屈折率の測定方法も同様である。以下の説明では、プリズム２０１以外の構成及び屈折率の測定方法についての詳細な説明は省略する。
【００４０】
図８は、第２実施形態に係るプリズム２０１の構成を示す斜視図である。
【００４１】
第２実施形態に係るプリズム２０１は、第１実施形態のプリズム１０１と同様に、平面からなる上面２０１ａと曲面からなる下面２０１ｂとで構成されるロッド状光学素子であって、長手方向（アキシャル方向）の一方から他方へ行くほど屈折率が大きくなるような屈折率分布を持つ。屈折率分布の具体例としては、長手方向手前側の端面２１１側で最も屈折率を小さくし、奥側の端面２１２に向かうほど屈折率が大きくなるように構成する（図８）。これに対して、手前の端面２１１側の屈折率を最も大きくし、奥の端面２１２に向かうほど屈折率を小さくなるようにしてもよい。
【００４２】
プリズム２０１では、プリズム１０１と同様に、光源１０２からの光は上面２０１ａの中心の集光ライン２０１ｃに集光する。
【００４３】
さらに、プリズム２０１においては、長手方向直交断面における下面２０１ｂに対応する円弧の半径を、屈折率が大きいほど小さくしている。図８のように、手前側の端面２１１から奥側の端面２１２に向かうにつれて屈折率が大きくなる場合には、屈折率の分布に対応させて、屈折率の小さい端面２１１側から屈折率の大きい端面２１２に向かうにつれて円弧の半径が小さくなっている（図８）。
【００４４】
図９は、比較例に係るプリズム９０１へ入射する光線の入射面９２０を示す斜視図である。図１０は、比較例に係るプリズム９０１に入射した光線による波面を示す平面図である。
比較例に係るプリズム９０１は、図８のプリズム２０１と同様に、平面からなる上面９０１ａと曲面からなる下面９０１ｂとで構成されるロッド状光学素子であって、長手方向手前側の端面９１１側の屈折率が最も小さく、奥側の端面９１２に向かうほど屈折率が大きくなるように構成している。プリズム９０１では、長手方向直交断面における９０１ｂに対応する円弧の半径は一定である。また、プリズム９０１では、光源１０２からの光は上面９０１ａの幅方向の中心を結ぶ集光ライン９０１ｃに集光する。
【００４５】
プリズム９０１においては、プリズム９０１の長手方向の屈折率分布による光路長差によって、光線の波面９２０はプリズム９０１の中心ライン９０１ｃから、少しずつずれが発生する（図１０）。そのため、光線はプリズム９０１の中心ライン９０１ｃに対して垂直からずれた角度で入射する。
【００４６】
図１１は、第２実施形態に係るプリズム２０１に入射した光線による波面を示す平面図である。
プリズム２０１では、屈折率の大きい端面２１２側は上面２０１ａの幅（下面２０１ｂの半径）が小さく、屈折率の小さい端面２１１側ほど上面２０１ａの幅（下面２０１ｂの半径）が大きい形状となっている。このため、光線の進行方向とプリズム２０１の中心の集光ライン２０１ｃとを垂直にすることが可能になる（図１１）。別言すれば、集光ライン２０１ｃと入射光の波面２２０が互いに平行となる。そのため、光線はプリズム９０１の中心ライン９０１ｃに対して垂直の角度で入射する。
したがって、図９、１０に示す比較例のプリズム９０１を用いた場合より正確に臨界角を測定することができる。
なお、その他の構成、作用、効果については、第１実施形態と同様である。
【００４７】
ここで、第１及び第２実施形態の変形例について説明する。
被検物の屈折率ｎｓは、プリズム１０１又はプリズム２０１の複数の屈折率部分で算出し、算出値の平均を被検物の屈折率とすることが好ましい。
【００４８】
これにより、多くの測定から被検物の屈折率を求めるため、測定誤差を軽減できより正確に屈折率測定ができる。
【００４９】
また、プリズム１０１又はプリズム２０１上に何も置かないときの測定画像をＩｍａｇｅ０とし、被検物を配置したときの測定画像（Ｉｍａｇｅ１）とし、光検出器１０３の各画素ごとに、Ｉｍａｇｅ１／Ｉｍａｇｅ０の比を求め、測定画像を再構成することが好ましい。
【００５０】
これにより、試料面（プリズム１０１の上面１０１ａ又はプリズム２０１の上面２０１ａ）での光源ムラを補正できるため、より正確に屈折率測定ができる。
【００５１】
（第３実施形態）
第３実施形態は、本発明の表面プラズモンセンサの実施形態である。第３実施形態に係る表面プラズモンセンサは、第１実施形態のプリズム１０１の１０１ａ上に金属コートを施した構成である。
【００５２】
この金属コートは、３００ｎｍ以下が好ましく、たとえば３０〜８０ｎｍの金属コートが施す。この金属コート膜としては、金や銀を用いると表面プラズモン共鳴現象が最も効率よく起こる。金属コート膜とプリズム１０１の間に、クロムをあらかじめ蒸着して密着性を高めてもよい。なお、金属コート膜を形成するプリズムは、第２実施形態のプリズム２０１でもよい。
【００５３】
金属中においては、自由電子が集団的に波のように振動して、プラズマ波と呼ばれる疎密波が生じる。そして、金属表面に生じるこの電子の集団的振動は、表面プラズモンと呼ばれている。この表面プラズモンを利用して、試料の屈折率を測定する方法や、試料中の物質の定量分析を行う手法や、生化学的反応の進行に伴う物質の物理化学的な変化を検出する手法が提案されている。そして、それらの中で特によく知られているものとして、クレッチマン（Ｋｒｅｔｓｃｈｍａｎｎ）配置として称される光学系を用いた、表面プラズモンセンサである。
【００５４】
このような構成の表面プラズモンセンサにおいて、光ビームを金属コート膜に対して全反射角以上で入射させると、金属コート膜に接している試料中に、金属コート膜と試料の界面から離れるに従って振幅が減衰する表面電場（エバネッセント場）が生じる。エバネッセント波の波数ベクトルｋevは、次式（４）にしたがって、入射角度θによって決定される。
ｋev＝ω・ｎp・ｓｉｎθ／ｃ  ・・・（４）
ここで、ωは入射光の角周波数、ｃは真空中の光速、ｎpは誘電体プリズムの屈折率である。
【００５５】
そして、光ビームを全反射角以上の特定の入射角θspで入射させると、上記エバネッセント波によって金属コート膜と試料の界面に表面プラズモンが励起される。表面プラズモンの波数ｋspは、次式（５）にしたがって、物質の誘電率によって決まる。
ｋsp＝［ω・（εm＊εs／（εm＋εs））1/2］／ｃ  ・・・（５）
ここで、ωは入射光の角周波数、ｃは真空中の光速、εmは金属の誘電率、εmは金属に接する物質の誘電率である。
【００５６】
入射角θを調整し、エバネッセント波の波数ベクトルｋevを表面プラズモンの波数ｋspと等しくすると、両者はプラズモン共鳴状態になり、入射光のエネルギーは表面プラズモンに移行するので、プリズムと金属コート膜との界面で全反射した光の強度が鋭く低下する。したがって、金属コート膜の表面に接する媒質の誘電率あるいは屈折率が変化すると、表面プラズモンの波数ｋspが変化し、それを共鳴させる入射光の入射角θspが変化する。つまり、入射角θspを知ることにより、物質中の特定物質の定量分析が可能になる。
【００５７】
第３実施形態の表面プラズモンセンサは、一度の測定で、プリズム１０１の屈折率を変えたときの表面プラズモン共鳴角θsp求めることができるので、測定レンジの広い上記表面プラズモン共鳴現象を利用した表面プラズモンセンサが実現できる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
以上のように、本発明に係る屈折率測定装置、屈折率測定方法、及び表面プラズモンセンサは、広い範囲の屈折率測定又は表面プラズモン測定に有用である。
【符号の説明】
【００５９】
１００    屈折率測定装置
１０１    プリズム（ロッド状光学素子）
１０１ａ  上面
１０１ｂ  下面
１０１ｃ  集光ライン
１０２    光源
１０３    光検出器
１０４、１０５  シリンドリカルレンズ
２０１    プリズム（ロッド状光学素子）
２０１ａ  上面
２０１ｂ  下面
２０１ｃ  集光ライン
２１１、２１２  端面
２２０    波面
９０１    プリズム（ロッド状光学素子）
９０１ａ  上面
９０１ｂ  下面
９０１ｃ  集光ライン
９１１、９１２  端面
９２０    波面
【図１】
2011017576.tif 000003
【図２】
2011017576.tif 000004
【図３】
2011017576.tif 000005
【図４】
2011017576.tif 000006
【図５】
2011017576.tif 000007
【図６】
2011017576.tif 000008
【図７】
2011017576.tif 000009
【図８】
2011017576.tif 000010
【図９】
2011017576.tif 000011
【図１０】
2011017576.tif 000012
【図１１】
2011017576.tif 000013