(57)【要約】【課題】グリスを用いない軸受け部材で超音波モータの回転軸を軸支する。【解決手段】超音波モータ１０は、回転軸１４と、円周方向に沿って並べられた複数の櫛歯１７を有する摩擦駆動体１２と、摩擦駆動体１２によって、回転軸１４とともに回転させられるロータ１５とを備える。回転軸１４の外周面には、回転軸１４に摩擦係合して回転軸１４とともに回転する回転部材３２が係合される。回転部材３２の上面３２Ｕには、軸受け部材３１が重ねられる。軸受け部材３１の下面３１Ｄ、及び回転部材３２の上面３２Ｕは、固体潤滑剤によって被覆される。軸受け部材３１は、下面３１Ｄを軸受け表面として、回転部材３２を介して回転軸１４を軸支する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸と、
円周方向に沿って形成される摩擦駆動体と、
前記回転軸に支持されるとともに、前記摩擦駆動体に摩擦係合され、前記摩擦駆動体の振動によって、前記回転軸とともに円周方向に回転するロータと、
前記回転軸を回転可能に軸支する軸受け部とを備え、
前記軸受け部は、前記回転軸側の回転表面に接触される軸受け表面を有し、
前記回転表面及び前記軸受け表面の少なくとも一方が、固体潤滑剤で形成されることを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記軸受け部は、前記回転軸を取り巻く環状部によって形成され、その軸方向における一方の面が前記軸受け表面を構成することを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記回転軸を取り巻くように配置され、前記軸方向に伸縮可能なばね部材を備え、
前記ばね部材は、前記軸受け部の軸方向における他方の面を押圧しており、
前記軸受け部は、その押圧力によって前記回転軸を軸方向に付勢して前記ロータを前記摩擦駆動体に圧接させることを特徴とする請求項２に記載の超音波モータ。
【請求項４】
前記軸受け表面は、軸方向に沿って前記ばね部材から遠ざかるにつれて、前記回転軸外周から遠ざかるように傾斜する傾斜面であることを特徴とする請求項３に記載の超音波モータ。
【請求項５】
前記他方の面は、前記軸方向に対して垂直であることを特徴とする請求項３に記載の超音波モータ。
【請求項６】
前記回転軸を取り巻く筒状体をさらに備え、
前記軸受け部は、前記回転軸と前記筒状体の間に配置されるとともに、前記筒状体によって径方向内側に押圧され、前記回転表面に押し付けられることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項７】
前記回転軸が挿通され、前記摩擦駆動体が設けられるベースをさらに備え、
前記筒状体は前記ベースに立設されていることを特徴とする請求項６に記載の超音波モータ。
【請求項８】
前記回転軸に係合又は固定されて前記回転軸とともに回転する回転部材を備え、前記回転部材の表面が前記回転表面を構成することを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項９】
前記回転部材及び軸受け部は、軸方向に重ねられて配置されることを特徴とする請求項８に記載の超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品等を駆動させる超音波モータに関し、特に軸受け部材を改良することにより、グリスの蒸発を防いでグリスの各部への付着を防止することが可能な超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
光学機器内において光学部品を駆動するために超音波モータが使用される場合がある。従来、特許文献１に記載されるように、回転軸と、円周方向に沿って並べられた複数の櫛歯を有する櫛歯体と、回転軸に支持されるとともに、櫛歯体に圧接されるロータとを備える超音波モータが知られている。このような超音波モータは、櫛歯体が圧電素子によって超音波振動され、その振動によってロータが回転させられるとともに、ロータの回転が回転軸を介して光学部品等に伝達させられるものである。超音波モータの回転軸は、通常、その回転を補助するために、ボール軸受けによって軸支されている。ボール軸受けには、ボールを円滑に回転させるために、グリスが使用されるのが一般的である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２−３０３３７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、グリスは高温環境下において蒸発し、その蒸発したグリスが櫛歯体に付着して、超音波モータの駆動性能を低下させることがある。また、蒸発したグリスは、光学部品に付着して光学部品の性能劣化を引き起こすこともある。
【０００５】
また、ボール軸受けの上にはばね部材が重ねられるとともに、ばね部材がボール軸受けを介して回転軸を軸方向に付勢し、その付勢力によってロータが櫛歯体に圧接させられることがある。しかし、ボール軸受けは、ばねに接触する面積が狭くなるため、ばね設計が制限され、十分な付勢力をロータに及ぼすことができないことがある。
【０００６】
本発明は以上の問題点に鑑みてなされたものであり、ボール軸受け以外のグリスを使用しない軸受け部材によって、超音波モータの回転軸を軸支することが可能な超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る超音波モータは、回転軸と、円周方向に沿って形成される摩擦駆動体と、回転軸に支持されるとともに、摩擦駆動体に摩擦係合され、摩擦駆動体の振動によって、回転軸とともに円周方向に回転するロータと、回転軸を回転可能に軸支する軸受け部とを備え、軸受け部は、回転軸側の回転表面に接触される軸受け表面を有しており、上記回転表面及び軸受け表面の少なくとも一方が、固体潤滑剤で形成されることを特徴とする。
【０００８】
例えば、上記軸受け部は、回転軸を取り巻く環状部によって形成され、その軸方向における一方の面が軸受け表面を構成する。超音波モータは、回転軸を取り巻くように配置され、軸方向に伸縮可能なばね部材を備えることが好ましい。ばね部材は、軸受け部の軸方向における他方の面を押圧しており、軸受け部は、その押圧力によって回転軸を軸方向に付勢してロータを摩擦駆動体に圧接させることが好ましい。
【０００９】
上記軸受け表面は、軸方向に沿ってばね部材から遠ざかるにつれて、回転軸外周から遠ざかるように傾斜する傾斜面であることが好ましい。一方、上記他方の面は、軸方向に対して垂直であること好ましい。
【００１０】
超音波モータは、回転軸を取り巻く筒状体をさらに備えていたほうが良い。この場合、軸受け部は、回転軸と筒状体の間に配置されるとともに、筒状体によって径方向内側に押圧され、回転表面に押し付けられたほうが良い。超音波モータは、さらに、回転軸が挿通され、摩擦駆動体が設けられるベースをさらに備えていても良く、この場合、上記筒状体は例えば、ベースに立設されている。
【００１１】
超音波モータは、回転軸に係合又は固定されて回転軸とともに回転する回転部材を備えていても良く、この回転部材の表面が上記回転表面を構成する。例えば、回転部材及び軸受け部は、軸方向に重ねられて配置される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明においては、グリスを使用しない軸受け部材によって、超音波モータの回転軸を軸支することが可能となるので、グリスの蒸発によって生じるモータの駆動性能の低下等を防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施形態における超音波モータを示す断面図である。
【図２】第２の実施形態における超音波モータを示す断面図である。
【図３】第３の実施形態における超音波モータを示す断面図である。
【図４】第４の実施形態における超音波モータを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る超音波モータを示す断面図である。超音波モータ１０は、円板状の台座（ベース）１１と、台座１１の上面に取り付けられた摩擦駆動体１２と、台座１１中心の軸孔１３に挿通される回転軸１４と、回転軸１４の一端に支持されるロータ１５とを備える。
【００１５】
摩擦駆動体１２は、円周方向に沿って形成された櫛歯体であって、環状に形成される基部１６と、基部１６の上面に連設され、円周方向に沿って並べられた複数の櫛歯１７とから構成される。摩擦駆動体１２はゴム等の弾性材料で形成された弾性体である。摩擦駆動体１２の基部１６の下面には、圧電体１８が一体的に取り付けられ、この摩擦駆動体１２と圧電体１８によってステータ１９が構成される。圧電体に１８にはフレキシブル基板２０を介して、高周波電圧が印加される。
【００１６】
ロータ１５は、中心に孔２９が設けられた円板状の基部２１と、基部２１の外周縁部から下方に立設し、その先端が複数の櫛歯１７の上面に圧接する円筒状の外周壁部２２と、基部２１の内周縁部から下方に立設する円筒状の内周壁部２３とを備える。内周壁部２３の内周面は、孔２９の内周面と一体となってネジが通されるための挿通口２８となる。挿通口２８は、その上端側が雌ネジに形成されるとともに、下端側の内径が上端側の内径より大きくなって、回転軸１４の一端が挿入されている。
【００１７】
回転軸１４の一端側の端面（上面）には、軸方向に延びるネジ穴２４が形成される。ネジ穴２４の内周面は、雌ネジに形成されており、雌ネジに形成された挿通口２８の上端側の内周面と面一に形成され、これら面一に形成された挿通口２８及びネジ穴２４には、ネジ２５が螺合され、ロータ１５が回転軸１４の一端に固定される。
【００１８】
台座１１の上面には、回転軸１４の外周を取り巻く円筒状の筒状体２６が立設される。筒状体２６の外周側には、筒状体２６を取り巻くように摩擦駆動体１２の基部１６が配置されている。また、軸方向において軸孔１３と一致した位置に配置される回転軸１４の中途部分は、径方向外側に向かって張り出しており、他の部分より外径が大きくなった大径部２７を構成する。
【００１９】
筒状体２６の内周面と、回転軸１４の外周面の間の空間３０には、回転部材３２及び軸受け部材３１がこの順で重ねられて挿入される。回転部材３２及び軸受け部材３１は、回転軸１４を取り巻く環状体であって、これらは大径部２７の上に配置される。大径部２７の張り出し長さは、回転部材３２の径方向における長さより小さく、回転部材３２の内周縁部のみが、大径部２７によって支持されている。
【００２０】
空間３０において、軸受け部材３１の軸方向上方には、コイルばねから成るばね部材３３が配置されている。ばね部材３３は、回転軸１４を取り巻くように配置され、軸方向に伸縮されるものである。ばね部材３３は、軸方向における一端が、軸受け部材３１の上面３１Ｕに当接し、上面３１Ｕによって支持されている。
【００２１】
筒状体２６の外周側には、円筒形状の固定部材３５が設けられる。固定部材３５の上端は、筒状体２６の上端よりも上方に配置される。固定部材３５の上端には、内側に向けて張り出した円環状の内フランジ部３６と、外側に向けて張り出した円環状の外フランジ部３７とが連設されている。固定部材３５の内周面の下端側は、雄ネジに形成され、雌ネジに形成された筒状体２６の外周面に螺着される。
【００２２】
筒状体２６に螺着された固定部材３５は、筒状体１６の外周面を取り巻くように設けられた摩擦駆動体１２の基部１６の内周縁部を下方に押さえ付け、摩擦駆動体１２（すなわち、ステータ１９）を台座１１に固定する。
【００２３】
固定部材３５の内フランジ部３６の下方には、ばね部材（コイルばね）３３が配置されている。ばね部材３３の軸方向における他端は、内フランジ部３６の下面に当接し、内フランジ部３６によって支持されている。ばね部材３３は圧縮された状態で、内フランジ部３６と軸受け部材３１の間に挟まれて配置される。そのため、ばね部材３３は、その復元力によって、軸受け部材３１の上面３１Ｕを軸方向下方に押圧する。軸受け部材３１はその押圧力によって、回転部材３２を介して、大径部２７（すなわち、回転軸１４）を軸方向下向きに付勢する。このばね部材３３の軸方向下向きの付勢力によって、回転軸１４に一体にされたロータ１５の外周壁部２２が、複数の櫛歯１７の上面に圧接されて摩擦係合される。
【００２４】
軸受け部材３１及び回転部材３２は、断面直角三角形の環状体である。軸受け部材３１の下面３１Ｄ（軸方向における一方の面）及び回転部材３２の上面３２Ｕ（軸方向における一方の面）は、断面直角三角形の斜辺を構成し、軸方向に対して傾斜した傾斜面となる。当該傾斜面は、軸方向下方に向かうに従って（すなわち、軸方向に沿ってばね部材３３から遠ざかるに従って）、回転軸１４の外周面から遠ざかるように傾斜する傾斜面である。すなわち、軸受け部材３１は軸方向下方に向かうに従って幅が細くなる先細り形状であるとともに、回転部材３２は軸方向上方に向かうに従って幅が細くなる先細り形状である。下面３１Ｄ及び上面３２Ｕは、同じ角度で傾斜されている。
【００２５】
軸受け部材３１の上面３１Ｕ（軸方向における他方の面）、及び回転部材３２の下面３２Ｄ（軸方向における他方の面）は、軸方向に対して垂直な面である。また、回転部材３２の内周面３２Ａは、回転軸１４の外周面に曲率が略等しい円周面であるとともに、軸受け部材３１の外周面３１Ｂは、筒状体２６の内周面に曲率が略等しい円周面である。
【００２６】
回転部材３２は、内周面３２Ａが回転軸１４の外周面に密接されつつ、大径部２７の上に配置される。軸受け部材３１は、その下面３１Ｄを回転部材３２の上面３２Ｕに密接させ、かつ外周面３１Ｂを筒状体２６の内周面に密接させて、回転部材３２の上に配置される。
【００２７】
回転部材３２（回転部材３２の下面３２Ｄ）は、径方向における長さが、空間３０の径方向における長さよりも小さい。したがって、回転部材３２（下面３２Ｄ）の外周縁部と、筒状体２６の内周面の間には隙間が形成される。当該隙間には、ばね部材３３によって軸方向下方に押圧された軸受け部材３１の下端側が入り込んでおり、軸受け部材３１は、筒状体２６と回転部材３２によって挟みこまれることになる。そのため、軸受け部材３１及び回転部材３２は、筒状体２６によって径方向内側に押圧され、これにより、回転軸１４は軸受け部材３１によって、軸ぶれが少なく安定的に軸支されることが可能なる。
【００２８】
なお、軸受け部材３１（軸受け部材３１の上面３１Ｕ）は、径方向における長さが、空間３０の径方向における長さに略等しく、軸受け部材３１（上面３１Ｕ）の内周縁部は、回転軸１４の外周面に接触もしくは近接している。したがって、本実施形態では、軸受け部材３１の上面の面積を大きくすることが可能である。
【００２９】
軸受け部材３１及び回転部材３２は、例えば樹脂等で形成されるとともに、軸受け部材３１の下面３１Ｄ及び回転部材３２の上面３２Ｕは、固体潤滑剤によって被覆されている。固体潤滑剤としては、例えばポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂、窒化ホウ素等のホウ素化合物、セラミック、ダイヤモンドライクコーティング等が用いられる。したがって、後述するように、回転部材３２は、軸受け部材３１の下面３１Ｄに密接されつつ、少ない摩擦抵抗で回転軸１４とともに回転することが可能である。
【００３０】
超音波モータ１０では、フレキシブル基板２０を通して圧電体１８に超音波領域（例えば、２０ＫＨｚ以上）の高周波電圧が印加され、円周方向に分極した圧電体１８が軸方向に振動する。圧電体１８の振動は、摩擦駆動体１２に伝達され、摩擦駆動体１２を軸方向に振動させる。摩擦駆動体１２の振動は、円周方向に分離されている櫛歯１７によって円周方向に変位拡大された振動に変換される。櫛歯１２の上面に摩擦係合されたロータ１５の外周壁部２２は、櫛歯１７の軸方向及び円周方向の変位に伴って摩擦駆動され、これにより、ロータ１５が軸中心に回転駆動される。ロータ１５の回転は、回転軸１４に伝達され、回転軸１４の回転力によって不図示の光学部品等が駆動されることになる。
【００３１】
回転部材３２の内周面３２Ａは、固体潤滑剤で被覆されておらず、回転軸１４の外周面に対する内周面３２Ａの摩擦係数μ２は比較的高くなり、少なくとも後述する摩擦係数μ１よりも高くなる。そのため、回転部材３２は、回転軸１４の外周面に摩擦係合され、回転軸１４とともに回転される。
【００３２】
一方、回転部材３２の上面３２Ｕ及び軸受け部材３１の下面３１Ｄには、固体潤滑剤が被覆されており、上面３２Ｕの下面３１Ｄに対する摩擦係数μ１は低くなる。また、軸受け部材３１の外周面３１Ｂは、固体潤滑剤によって被覆されておらず、筒状体２６の内周面に対する外周面３１Ｂの摩擦係数μ３は、少なくとも摩擦係数μ１よりも高くなり、軸受け部材３１は筒状体２６の内周面に密着係合される。
【００３３】
このような構成により、回転部材３２が回転軸１４とともに回転されても、その回転部材３２とともに軸受け部材３１が回転されることはない。すなわち、回転しない軸受け部材３１の下面３１Ｄ（軸受け表面）に、軸中心に回転する回転部材３２の上面３２Ｕ（回転表面）が接触させられることにより、回転軸１４は回転部材３２を介して軸受け表面に回転可能に軸支されることになる。
【００３４】
また、軸受け部材３１の上面３１Ｕには固体潤滑剤が被覆されていないため、上面３１Ｕのばね部材３３に対する摩擦係数μ４は、上記摩擦係数μ１より高くなる。これにより、ばね部材３３からの押圧力を軸受け部材３１に作用させやすくなる。
【００３５】
なお、本実施形態では、軸受け部材３１の下面３１Ｕ及び回転部材３２の上面３２Ｕのうち、いずれか一方が固体潤滑剤によって被覆されていれば、両方が被覆されていなくても良い。
【００３６】
また、軸受け部材３１及び回転部材３２は、その下面３１Ｕ及び上面３２Ｕが固体潤滑剤によって形成されていれば良く、例えば軸受け部材３１及び回転部材３２は、その全体が、上記したフッ素樹脂等の固体潤滑剤によって形成されていても良い。ただし、回転部材３２は、その全体が固体潤滑剤によって形成される場合、回転軸１４に追従して回転するために、内周面３２Ａが、回転軸１４に対する摩擦係数が高い材料によって被覆されていたほうが良い。或いは、回転部材１４は、回転軸１４に固定されていても良い。さらに、軸受け部材３１の外周面３１Ｂや、回転部材３２の内周面３２Ａは、摩擦係数μ３、μ２を高めるために粗面に形成されていても良い。また、回転部材３２と回転軸１４の一方には、回転軸方向に沿って延出するキー突起を、他方にはキー溝を夫々形成して、両者を嵌合し、回転部材３２と回転軸１４とが回転軸まわりに一体に回転する構成としても良い。
【００３７】
以上のように、本実施形態では、少なくとも、回転軸１４を軸支する軸受け表面、または軸受け表面に接触する回転軸１４側の回転表面の一方が、固体潤滑剤によって形成されている。したがって、回転軸１４は、軸受け部材３１によって低い摩擦抵抗で支持されつつ、回転することが可能になる。また、グリスが使用されない部材（軸受け部材及び回転部材）によって、回転軸１４が軸支されるので、グリスが蒸発して櫛歯１７や光学部品に付着し、モータの性能低下等を引き起こすことが防止される。
【００３８】
さらに、ばね部材３３を支持するための軸受け部材３１の上面３１Ｕは、比較的広い面積の平面とすることができるので、ばね部材３３の設計自由度が向上し、例えば、上面３１Ｕに対して接触面積が大きいばね部材を使用することも可能である。また、軸受け部材及び回転部材の厚みを薄くすることによって、超音波モータの薄型化も可能となる。
【００３９】
図２は、本発明の第２の実施形態に係る超音波モータを示す断面図である。以下、本実施形態について、第２の実施形態との相違点を説明する。
【００４０】
第１の実施形態では、回転部材３２は回転軸１４と別体であったが、本実施形態では、回転部材３２は、回転軸１４に一体に形成され、回転軸１４から径方向外側に張り出した突出部４０として形成される。突出部４０は、大径部２７の上方において断面直角三角形状に形成され、その外周面４０Ａは、上方に向けられた傾斜面として形成される。当該傾斜面は、第２の実施形態の上面３２Ｕと同様の構成を有し、固体潤滑剤によって被覆されている。その他の構成は、第１の実施形態と同様であるので、その説明は省略する。
【００４１】
本実施形態では、回転部材３２が省略されたので、第１の実施形態よりもより簡単な構成で、グリスを使用しない部材によって、回転軸１４を軸支することが可能になる。なお、本実施形態でも、軸受け部材３１の下面３１Ｄ、及び外周面４０Ａのうち、いずれか一方の面のみが、固体潤滑剤によって形成されていれば良く、例えば外周面４０Ａは固体潤滑剤によって被覆されていなくても良い。また、軸受け部材３１の全体が固体潤滑剤から形成されていても良い。
【００４２】
図３は、本発明の第３の実施形態に係る超音波モータの断面図である。本実施形態における第１の実施形態との相違点は、軸受け部材及び回転部材の形状である。以下、本実施形態について、第１の実施形態との相違点を説明する。
【００４３】
第１及び第２の実施形態では、軸受け部材３１の下面３１Ｄ及び回転部材３２の上面３２Ｕは、傾斜面であったが、本実施形態では、軸方向に対して垂直な面に形成され、軸受け部材３１及び回転部材３２は断面略矩形の環状体に形成される。また、回転部材３２は、その径方向における長さが空間３０に実質的に等しく、その内周面３２Ａ及び外周面３２Ｂそれぞれが、回転軸１４の外周面、筒状体２６の内周面に密接されており、実質的に径方向に移動することはできない。
【００４４】
一方、軸受け部材３１は、その径方向における長さが空間３０の径方向における長さよりも短く、軸受け部材３１の内周面３１Ａが回転軸１４の外周面に接触しないように、配置される。軸受け部材３１の内周面３１Ａが回転軸１４に係合して、軸受け部材３１が回転軸１４とともに回転することを防止するためである。
【００４５】
本実施形態では、軸受け部材３１は、その下面３１Ｄが固体潤滑剤に被覆されるとともに、その他の面は、固体潤滑剤によって被覆されていない。一方、回転部材３２は、その上面３２Ｕ及び外周面３２Ｂが固体潤滑剤に被覆されるとともに、その他の面は、固体潤滑剤によって被覆されていない。
【００４６】
したがって、本実施形態でも、回転軸１４の外周面に対する内周面３２Ａの摩擦係数μ２が高くなり、回転部材３２は、回転軸１４の外周面に摩擦係合され、回転軸１４とともに回転される。このとき、回転部材３２の外周面３２Ｂは、固体潤滑剤が被覆されているため、筒状体２６の内周面に対する摩擦係数は上記摩擦係数μ２より低くなり、筒状体２６の内周面に摩擦係合しない。
【００４７】
また、上面３２Ｕの下面３１Ｄに対する摩擦係数μ１が低くなり、回転部材３２が回転軸１４とともに回転されても、その回転部材３２とともに軸受け部材３１が回転されることはない。したがって、本実施形態でも、回転しない軸受け部材３１の下面３１Ｄに、軸中心に回転する回転部材３２の上面３２Ｕが接触させられることにより、回転軸１４は回転部材３２を介して軸受け部材３１に軸支されることになる。
【００４８】
なお、本実施形態でも、回転部材３２及び軸受け部材３１は、その全体が固体潤滑剤によって形成されても良い。ただし、この場合には、回転部材３２の内周面３２Ａは、回転軸１４の外周面に摩擦係合されるように、回転軸１４の外周面に対して摩擦係数が高くなる材料で被覆される。また、回転部材３２は回転軸１４に固定されていても良い。
【００４９】
また、軸受け部材３１は、その径方向における長さが空間３０に実質的に等しく、その内周面３１Ａ及び外周面３１Ｂそれぞれが、回転軸１４の外周面、筒状体２６の内周面に密接されていても良い。ただし、この場合、軸受け部材３１の内周面３１Ａは、回転軸１４に摩擦係合しないように、固体潤滑剤で形成される。また、軸受け部材３１の外周面３１Ｂは、固体潤滑剤で形成されずに、筒状体２６に対する摩擦係数が高められていることが好ましい。
【００５０】
図４は、本発明の第４の実施形態に係る超音波モータを示す断面図である。本実施形態では、ばね部材３３としてコイルばねの代わりに、皿ばねが用いられる点が、第２の実施形態と相違する。
【００５１】
本実施形態において、軸受け部材３１の上に配置される皿ばねは、環状円盤状のばねの内周側に膨らみを持たせて皿形状にした皿ばね要素を、複数枚軸方向に積み重ねて構成されたものである。また、固定部材３５の上端には、固定部材３５を筒状体２６にねじ込むためのスリワリ４５が形成される。その他の構成は、第２の実施形態と同様であるので、その説明を省略する。
【００５２】
軸受け部材３１の上面は、比較的広い面積を有する平面であるので、本実施形態のように、広い接触面積が必要とされる皿ばねであっても、十分に支持することが可能である。また、本実施形態においては、座面の座りが良い皿ばねを用いることによって、皿ばねから軸受け部材に作用される押圧力のばらつきを少なくすることができる。さらに、ばね部材の高さを低くすることができ、内部空間に余裕が生じるので、上記したようにスリワリ４５を形成することも可能である。また、ばね部材の押圧力は、皿ばね要素の枚数を変更することによって容易に変更することも可能である。
【符号の説明】
【００５３】
１０  超音波モータ
１１  台座（ベース）
１２  摩擦駆動体
１４  回転軸
１５  ロータ
１８  圧電素子
２６  筒状体
３１  軸受け部材
３１Ｄ  下面（軸受け表面）
３２  回転部材
３２Ｕ  上面（回転表面）
３３  ばね部材
【図１】
2011050189.tif 000003
【図２】
2011050189.tif 000004
【図３】
2011050189.tif 000005
【図４】
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