(57)【要約】【課題】  来歴情報の長期の認識性を確保する。【解決手段】  基板と、該基板上に設けられ、液体が吐出される吐出口と連通する流路の壁を備えた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記流路壁部材に前記流路と連通しない空洞部が設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記空洞部を見た場合に、前記空洞部は文字の形状であることを特徴とする液体吐出ヘッド。【選択図】  図１
2011068129.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、該基板上に設けられた、液体を吐出する吐出口と連通する流路の壁を備えた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記流路と連通しない空洞部が１つ以上、前記流路壁部材の内部に設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記空洞部を見た場合に、前記空洞部は文字の形状を有し、前記文字または複数の前記空洞部で表現される複数の文字は、前記液体吐出ヘッドに関する情報と対応していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記文字は数字であることを特徴とする請求項１の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記数字はアラビア数字、漢数字およびギリシア数字から選ばれる一つであることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
複数の前記空洞部が前記流路壁部材に設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記空洞部を見た場合に、数字の形状の前記空洞部の複数が複数桁の数字を示していることを特徴とする請求項２または３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記液体吐出ヘッドは、ウェハー状態の基板に複数の前記流路壁部材を設けた後、所定個数の前記流路壁部材を一つの単位として前記ウェハーを複数個に分割することで製造され、前記情報は前記流路壁部材の前記ウェハーの領域内での位置に関わる情報であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記空洞部は前記基板の表面から１０μｍ以上の高さで設けられることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記流路壁部材はエポキシ樹脂の硬化物を含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
基板と、該基板上に設けられた、液体を吐出する吐出口と連通する流路の壁を備えた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記基板の端面を封止し、前記流路壁部材の側外面に接して設けられる封止部材が、前記側外面から前記流路壁部材の内部にかけて設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記流路壁部材の内部の前記封止部材を見た場合に、前記封止部材は文字の形状を有し、前記文字は、前記液体吐出ヘッドに関する情報と対応していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項９】
基板と、該基板上に設けられた、液体を吐出する吐出口と連通する流路の壁を備えた流路壁部材と、前記流路壁部材を囲う周囲部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記周囲部材に前記流路と連通しない空洞部が１つ以上設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記空洞部を見た場合に、前記空洞部は文字の形状を有し、前記文字または複数の前記空洞部で表現される複数の文字は、前記液体吐出ヘッドに関する情報と対応していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記数字はアラビア数字、漢数字およびギリシア数字から選ばれる一つであることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
基板と、該基板上に設けられた、液体を吐出する吐出口と連通する流路の壁を備えた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記流路と連通しない空洞部が複数、前記流路壁部材の内部に設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記空洞部を見た場合に、前記空洞部は複数の前記空洞部で１つの文字の形状として識別可能な形状であり、複数の前記空洞部で表現される複数の文字は、前記液体吐出ヘッドに関する情報と対応していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
基板と、該基板上に設けられた、液体を吐出する吐出口と連通する流路の壁を備えた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記流路と連通しない空洞部が１つ以上、前記流路壁部材の内部に設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記空洞部を見た場合に、前記空洞部は記号として識別可能な形状を有し、前記記号または複数の前記空洞部で表現される複数の前記記号は、前記液体吐出ヘッドに関する情報と対応していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
基板と、該基板上に設けられた、液体を吐出する吐出口と連通する流路の壁を備えた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記流路と連通しない空洞部が複数、前記流路壁部材の内部に設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記空洞部を見た場合に、前記空洞部は複数の前記空洞部で１つの記号の形状として識別可能な形状であり、前記記号は、前記液体吐出ヘッドに関する情報と対応していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
基板と、該基板上に設けられた、液体を吐出する吐出口と連通する流路が設けられた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記基板上に、前記流路の形状を有する第１の型と、前記基板の上方から前記基板の面に向かう方向にみて文字の形状を有する第２の型と、を互いに離して設ける工程と、
前記第１の型と前記第２の型とを覆うように前記流路壁部材となる層を前記基板上に設ける工程と、
前記第１の型を除去して前記流路を形成し、前記２の型を除去して前記液体吐出ヘッドに関する情報と対応している前記文字の形状の空洞を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記第１の型と前記第２の型とを設ける工程において、
前記基板上に設けられたポジ型感光性樹脂の層から前記第１の型と前記第２の型とを形成することを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記層を前記基板上に設ける工程を行った後に、
前記層の前記第１の型上に前記吐出口となる第１の開口を設けるとともに、前記層の前記第２の型上に第２の開口を設け、
前記第２の開口から前記第２の型を除去して、前記流路壁部材に前記流路と連通しない空洞部を形成することを特徴とする請求項１４または１５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１７】
前記層の側外面に前記第２の型の一部を露出させ、前記側外面から前記第２の型を除去して前記流路壁部材に前記流路と連通しない空洞部を形成する工程と、
空洞部を埋めるように前記基板の端面を封止するための封止部材を設ける工程と、
を有することを特徴とする請求項１６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１８】
前記文字はアラビア数字、漢数字およびギリシア数字から選ばれる一つであることを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体を吐出する液体吐出ヘッドの製造方法に関し、具体的には被記録媒体にインクを吐出することにより記録を行うインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出ヘッドは、例えばインクを被記録媒体に吐出して記録を行うインクジェット記録方式に適用される。このインクジェット記録ヘッドは、一般に、流路と、その流路の一部に設けられた吐出エネルギー発生素子と、そこで発生するエネルギーによってインクを吐出するための微細な吐出口と、を備えている。
【０００３】
上記のようにインクジェット記録ヘッドに適用可能な液体吐出ヘッドを半導体製造技術に使用されるフォトリソグラフィー法を応用して製造するための方法が特許文献１に開示されている。この方法は、１枚のシリコンウェハー上に液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子とそれに対応した吐出口、流路を備えた部材を形成した後、ダイシングによりシリコンウェハーを複数のチップ単位に分離することにより、個々の記録ヘッドとする。
【０００４】
一方、ダイシング前のウエハ−における個々のチップ単位毎の来歴情報を刻印する方法が、特許文献２に開示されている。これは、来歴情報記録専用のポリシリコンのヒューズ素子領域を半導体チップ内に設け、そこに刻印用のレーザー装置によってダメージを与えることにより来歴情報を刻印する方法である。刻印内容としては、ウェハー内のチップ位置情報、ウェハーのロット番号、ウェハー番号等が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−８２３２９号公報
【特許文献２】特開平５−７４７４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、インクジェット記録ヘッドに関して、製造時の来歴情報の記録を行い、活用することを想定した場合、特許文献２の方法の適応は以下の懸念が生じる。
【０００７】
インクジェット記録ヘッド使用時には、チップ単位のヘッドの表面には、極性のインク等が付着する場合や、記録用紙が接触することも想定される。そのような状態を経験しながら、長期間、来歴情報を確実に保存するためには、来歴情報記録パターンに耐溶剤性、耐磨耗性などの信頼性に関する特性が要求される。また、来歴情報記録パターンを保護する部材を新たに設けることが考えられる。しかし来歴情報パターンの認識性、具体的には視認性などの読み取りやすさへの影響と、来歴情報パターンと保護部材との密着性、保護部材の信頼特性を検討して材料を選択することは困難が伴う。
【０００８】
そこで本発明では長期的な保存を可能とし、認識性が確保された来歴情報を備えた液体吐出ヘッドを提供することを目的の一つとする。またそのような液体吐出ヘッドを簡便に、工程負荷を抑えて製造することが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一例は、基板と、該基板上に設けられた、液体を吐出する吐出口と連通する流路の壁を備えた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記流路と連通しない空洞部が前記流路壁部材の内部に設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記空洞部を見た場合に、前記空洞部は文字の形状を有し、前記文字は、前記液体吐出ヘッドに関する情報と対応していることを特徴とする液体吐出ヘッドである。
【００１０】
また本発明の一例は、基板と、該基板上に設けられた、液体を吐出する吐出口と連通する流路の壁を備えた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記基板の端面を封止し、前記流路壁部材の側外面に接して設けられる封止部材が、前記側外面から前記流路壁部材の内部にかけて設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記流路壁部材の内部の前記封止部材を見た場合に、前記封止部材は文字の形状を有し、前記文字は、前記液体吐出ヘッドに関する情報と対応していることを特徴とする液体吐出ヘッドである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、認識性が確保され、長期的な保存が可能な形で来歴情報を付与された液体吐出ヘッドが得られる。これにより、製造後、長期間使用された、あるいは保存された後の液体吐出ヘッドにおいても、その来歴情報を元に、当該液体吐出ヘッドの製造過程での状態を認識することが可能となる。またそのような液体吐出ヘッドを簡便に、工程負荷を抑えて製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法の一例を示す模式的斜視図である。
【図２】本発明の液体吐出ヘッドの一例を説明するための模式図である。
【図３】本発明の液体吐出ヘッドの一例を説明するための模式図である。
【図４】本発明の液体吐出ヘッドの一例を説明するための模式図である。
【図５】本発明の液体吐出ヘッドの一例を示す模式的断面図である。
【図６】実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図７】実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための模式図である。
【図８】液体吐出ヘッドの実施形態を説明するための模式図である。
【図９】液体吐出ヘッドの実施形態を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明を説明する。
なお、液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に搭載可能である。例えば、バイオッチップ作成や電子回路印刷、薬物を噴霧状に吐出するなどの用途としても用いることができる。
【００１４】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、液体吐出ヘッドの模式的な斜視図である。これはチップ単位に切断された後の状態のものを示している。本実施形態の液体吐出ヘッドは、インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子２が所定のピッチで２列に並んで形成されたシリコンの基板１２を有している。基板１２には、共通供給口１３が、エネルギー発生素子２の２つの列の間に開口されている。基板１２上の流路壁部材９には、各エネルギー発生素子２の上方に開口する吐出口１１と、共通供給口１３から各吐出口１１に連通する流路１４が設けられている。
【００１５】
このヘッドは、共通供給口１３が形成された面が被記録媒体の記録面に対面するように配置される。そして共通供給口１３を介して流路内に充填されたインクに、エネルギー発生素子２によって発生する圧力を加えることによって、吐出口１１からインク等の液滴を吐出させ、紙等の記録媒体に付着させることによって記録を行う。
【００１６】
また、図１（ｂ）に示される形態では、流路壁部材９の周囲を囲むように周囲部材１０１が配されている。周囲部材１０１は、流路壁部材９が樹脂の硬化物で形成される場合、同硬化物により形成されることが好ましい。例えば、流路壁部材と同等の高さの周囲部材１０１を設けることにより、ワイピング特性向上が向上されたり、基板の素子面保護が向上したりする等の効果を奏する。
【００１７】
（第１の実施形態）
図２は本発明の第１の実施形態に係るヘッドの上面図である。
【００１８】
図２（ａ）は、図１の情報刻印領域３の上面拡大図であり、図３は図２（ａ）と同様の拡大図である。また、基板１２上の膜構成に関しては、図５で説明する。図５は、図２のＡ−Ａ‘部の断面図であり、液体吐出ヘッドの流路壁部材９の側外面の一部１０２から内部の方向に見た図である。図２、３、５から、流路壁部材９内、あるいは周囲部材１０１内の空洞部４により、流路壁部材９の端部、つまり、流路壁部材９の側外面５に係るように文字の形状で情報が配置される。流路壁部材９の吐出口１１が設けられた面側から基板１２に向かう方向に空洞部  ４を見た場合に、空洞部４は文字状に見える。空洞部  ４のうち、文字として見える部分は、流路壁部材９の基板１２と向かい合う天井部と基板１２との間の部分である。流路壁部材９は空洞部４を形成する内壁面を有し、その内壁面が内側となるように流路壁部材９と基板１２とが接合されていることで空洞部４が形成されている。無論この形態に限定されず側面が閉じていてもよい。また流路壁部材９と基板１２との接合性を高めるために、ポリエーテルアミドからなる密着向上層７が基板１の表面に設けられている。本実施形態においては、情報刻印領域３の流路壁部材下部において、全て密着向上層７が配置されている。空洞部４は外気と連通してもよいし、流路壁部材９により外気と隔てられていてもよい。空洞部４と流路１４との間は流路壁部材９が設けられ、空洞部４と流路１４とは隔てられているため、流路内の液体が空洞部に浸入してくることはない。文字の形状の空洞部４は、周囲部材１０１内に設けられていてもよい。この場合には、周囲部材１０１は空洞部４を形成する内壁面を有し、その内壁面が内側となるように周囲部材１０１と基板１２とが接合されていることで空洞部４が形成される。文字の形状の空洞部は、流路壁部材９、周囲部材１０１の少なくともいずれかに設けられ、流路壁部材９と周囲部材１０１との両方に設けられていてもよい。
【００１９】
図２の拡大図では複数個のそれぞれ独立した（連通しない）空洞部４のそれぞれは「７」、「０」、「３」の数字の形状であり、３桁の数字「７０３」として表示される。空洞部４の個数が複数桁を表示する際の桁数とすることが可能である。無論空洞部同士が連通しても構わない。また図３に示されるように、文字は数字に限られず、図３（ａ）のように３つの空洞部４により「Ｅ」、「１」、「１」としてローマ字を混在させる形または、ローマ字のみでもよい。さらに、数字はアラビア数字のみではなく、ギリシア数字（ｂ）、漢数字（ｃ）でもよい。その他に、ハングル文字、キリル文字等、諸国において文字として使用されているものでもよい。また、図３（ｄ）に示されるように側外面５を上部として「０」、「４」と読み取れるように形成してもよい。また、図３Ｅに示されるように、複数の空洞部４で韓国語で「２」を意味する数字の形状として認識できるような形状に空洞部４を形成することもできる。
【００２０】
文字の読み取りは、顕微鏡を使い、倍率、フォーカスを調整して人間が視認してもよいし、機械に認証させることも可能である。人間が視認することは、特別な読み取り装置を必要とせず、また文字形状に多少の形状誤差が生じていてもそれを加味して判断できるという点でこのましい。一方可視光以外の光を用いて、流路壁部材９と空洞部４とのコントラストを計測して形状に関する情報を取得することが可能となる装置を使用して、得た情報から数値を認知してもよい。この場合には、流路壁部材９は、計測に用いられる任意の波長の光に対して、測定を妨げないような光吸収、光反射特性を有することが望まれる。
【００２１】
空洞部４によって情報刻印領域３に付される文字情報は、流路壁部材が設けられる、すなわち流路となる空間が備わった流路壁部材がウェハー上に形成される前に、予め決められていた液体吐出ヘッドに関する事項に対応する。一例として来歴情報が挙げられる。例えば、空洞部が示す文字が、図４に示されるように、基板１２がウェハー１５から切り分けられてチップ単位に分割される前に、ウェハー領域内でどの位置にあったかということを数字で番号表示するというものである。それぞれの流路壁部材をウェハー内のどの位置で形成することになるかという事項は、流路壁部材を形成する前に予め決められていて、上記事項が液体吐出ヘッドに関する情報として文字の形式で保存される。これを単離された液体吐出ヘッドから読み取ることによって、分離後の基板１２のウェハー状態での位置を知ることが可能となり、これをもとに製造工程を振り返り、改善することが可能となる。たとえば、流路壁部材９を露光して製造するときのフォトマスクの状態を振り返ることができる。液体吐出ヘッドに関連する情報は、液体吐出ヘッドの固体を識別するための情報、流路壁部材形成のための露光用マスクの識別情報、製造時の日時、場所に関連する情報や生産個数に関する情報等が挙げられる。上記は流路壁部材を形成する時点では決まっているもので、これらの情報をそれに対応する文字の形状の空洞部４により文字表示させることができる。
【００２２】
以上の説明では、文字形状の空洞部４によって、液体吐出ヘッドに関する情報に対応する情報を文字として液体吐出ヘッドに付与する形態を説明した。しかし、空洞部４の形状は文字形状に限定されず、広く記号（ｍａｒｋ）として認識可能な形状とし、その記号と液体吐出ヘッドに関する情報（来歴情報等）とを対応させることができる。例えば、キーボードの「アットマーク」形状の記号（図３（ｆ））や、「クローバー」形状の記号（図３（ｇ））の形状の空洞部４を設けることができる。上述したように、文字に対して行ったことと同様に、予め分かっている液体吐出ヘッドに関する情報を記号に対応させて、その記号の形状の空洞部４を液体吐出ヘッドに設けることができる。記号は、数学、物理学等の学問の分野、音楽、美術等の芸術の分野のほかに、建築、会計、道路交通、商業等の分野で使用され、その例として、文字の他、符号として使用されるものも挙げられる。また、一般的に事象と関連した記号として認識されて使用されることがない形状であっても、その形状と液体吐出ヘッドに関連する情報との対応関係を定義して、その形状を記号として使用することも可能である。その例として、図３（ｈ）に示されるように、円の中に、３つの矩形を配置した形状を例示する。そして、上述した、文字と液体吐出ヘッドに関する情報との対応のさせ方と同様に、複数の記号と１つの情報とを対応させることももちろん可能である。
【００２３】
また、空洞部４は基板から、流路１４とほぼ同等の高さで設けられ、具体的には、５μｍ以上２０μｍ以下である。視認等の表面から深さ方向に観測する際の認識性を高めるという観点からは１０μｍ以上で設けられることが好ましい。流路壁部材９は、樹脂の硬化物等で、可視光に対してほぼ透明に形成される。具体的には、視認性を考えた場合５５０ｎｍの波長の光に対して透過率が９０％以下、より好ましくは１０％以下、さらに好ましくは、１％以下であることが好ましい。具体的には、オキシシクロヘキサン骨格を有するエポキシ樹脂として、ＥＨＰＥ−３１５０（ダイセル化学（株）製）の硬化物や、ＳＵ−８（化薬マイクロケム（株）製）が知られているノボラック系の樹脂の硬化物から流路壁部材が形成される。視認性の観点からは、可視光に対して吸収が高い添加物は用いないことが好ましい。
【００２４】
また、本形態では空洞部４を形成する側面は、基板の表面に対して、垂直より緩やかに傾いていているため、（図示は省略してある）光が反射せず、流路壁部材表面から見た場合に、黒色に縁取られている。この両者が合わさり、数字や記号等の来歴情報が格段に読み取り易くなっている。
【００２５】
来歴情報が流路壁部材の内部に空洞部４として抜きパターンとして設けられることで、来歴情報表示専用の特別な部材や、来歴情報専用の保護部材等を設ける必要がなくなる。流路壁部材は、インク等の吐出液体に長期に触れること、記録媒体等との接触の可能性を前提として材料が選択されている。そのため、来歴表示部も流路壁部材と同等の液耐性を有し、また外部からの衝撃耐性を有することとなり、長期にわたり来歴情報の保存を行うことが可能となる。
【００２６】
（第２の実施形態）
液体吐出ヘッドの製造方法の一例を第２の実施形態として説明する。
図６は、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法の製造方法の一例を示す模式的断面図であり、図１のＡ−Ａ’断面である。
図６（ａ）に示されるシリコンのウェハー状基板１５は結晶方位が＜１００＞面である。本発明では、＜１００＞面を使った場合を記載するが、面方位を制限するものではない。この基板１５上には、発熱抵抗体等の液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子２が複数個配置されている。（図示は省略する）、この基板１２上には、密着向上層７を所定の形状でパターニングして設けられている。密着向上層７の材料としては、ポリエーテルアミド樹脂が用いられる。具体的な材料としては、日立化成（株）のＨＩＭＡＬ−１２００（製品名）を使用できる。密着向上層７の厚みは２μｍとする。
【００２７】
次いで、図６（ｂ）に示されるように、基板上にポジ型感光性樹脂等からなる樹脂層１６を設ける。ポリケトン系の樹脂、メタクリレート系の樹脂が使用可能である。この樹脂層１６は高さ１２μｍとする。
【００２８】
図６（ｃ）に示されるように、樹脂層１６から前記流路の形状の第１の型８と、前記空洞部４を形成するための第２の型１７と、をそれぞれ別体で設ける。この第２の型１７は基板の上方から前記基板の面に向かう方向にみた場合（図５）、形成される空洞部４の形状に応じた文字の形状をしている。ポジ型感光性樹脂の層１６に対して、ウェハー全面に一括でプロキシミティー露光を行うことにより、切断後のチップ単位それぞれに対して、第１の型８は同形状、第２の型１７は異なる文字形状となるように露光を行うことができる。文字は、ウェハー内でのチップ単位の位置を示すものである。これは露光マスクを編集することにより可能となる。次いで現像を行えば、型が形成される。型は、ウェハーから切断されて作成される液体吐出ヘッドの個数に応じて複数形成される。
【００２９】
次いで、図６（ｄ）に示されるように、第１の型８と第２の型１７とを覆うように流路壁部材となる感光性のエポキシ樹脂等のネガ型感光性樹脂の被覆層１８を前記基板上に設ける。スピンコート法などで塗布することができる。
【００３０】
次いで、図６（ｅ）に示されるように、被覆層１８に露光、現像等の光加工を行い、吐出口となる第１の開口１１ａと、空洞部を形成するために第２の型を除去するための第２の開口１９を形成する。第１の開口１１ａは第１の型上に、第２の開口１９は第２の型上に設ける。これとともに、被覆層１８に側外面２０を形成して、第２の型１７を露出させる。流路壁部材がウェハーから切断されて作成される液体吐出ヘッドの個数に応じて複数形成されるように、露光現像を行う。
【００３１】
次いで、図６（ｆ）に示されるように、供給口１３を基板１５に形成して、第１の型と第２の型とを一括して溶解、超音波等により除去して、流路１４、吐出口１１を形成するとともに流路壁部材９を形成する。また流路とともに文字状の空洞部４を一括して形成する。空洞部を基板の上方から見た図が図８である。空洞部４は、流路壁部材９の側外面５側に開口し、また第２の開口１９により吐出口１１が設けられた面側でも開口している。その後、ウェハー状基板１５をダイシング等により切断して、一つ、または所定個数の流路壁部材を一つの単位として分割して切り出し、チップ単位の基板１２上に流路壁部材等が設けられた液体吐出ヘッドが作成される。
【００３２】
さらに以降に行われる実装工程を説明する。
図６（ｇ）に示されるように、アルミナ等の支持部材２１に液体吐出ヘッドを載置して、接着剤等で基板１２と支持部材２１とを接合する。次いで、ダイシングにより切断されることで生じた基板１２の端面２２を封止部材１０により封止する。端面をインクミスト等の吐出液体のミスト等から保護するためにブタジエン系エポキシ等の封止材料により行う。具体的な製品としては、サンユレック（株）製のＮＲ２００Ｃ（製品名）が挙げられる。その過程において、流路壁部材９の側外面５から空洞部４内にかけて封止部材１０を毛管現象により注入する。図９は来歴情報表示部を基板の上方からみた上面図である。図示されるように、流路壁部材９の側外面５から内部にかけて封止部材１０により文字が透明である場合には、黒色の封止部材１０を注入することでコントラストを更に強調することが可能となり、来歴情報の読み取りが更に容易となる。
【符号の説明】
【００３３】
１  基板
４  空洞部
９  流路壁部材
１０  封止部材
１１  吐出口
１２  基板
１４  流路
１０１  周囲部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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