(57)【要約】【課題】メカニカルベアリングの寿命判定をより精度良く行うことができるターボ分子ポンプの提供。【解決手段】ロータがボールベアリングにより回転自在に支持されたターボ分子ポンプにおいて、ベアリング状態データとしての起動時間カウント値およびモータ電流カウント値は、起動時間カウンタ２０１およびモータ電流積算カウンタにより積算され、演算・判定部２００は、それらの積算値に基づいて判定基準データを生成する。また、演算・判定部２００は、所定時間を経過した後のベアリング状態データ（起動時間カウント値およびモータ電流カウント値）に基づく寿命判定データを取得する。そして、演算・判定部２００は、寿命判定データと判定基準データとに基づいて、ボールベアリングの交換が必要か否かを判定する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転翼が形成されたロータをメカニカルベアリングにより回転自在に支持し、モータにより前記ロータを高速回転させて気体を排気するターボ分子ポンプにおいて、
ポンプ使用開始時からの通算の運転時間が所定時間となるまでベアリング状態データを積算し、その積算値に基づいて判定基準データを生成する基準データ生成手段と、
前記所定時間を経過した後のベアリング状態データに基づく寿命判定データを取得する寿命判定データ取得手段と、
前記寿命判定データと前記判定基準データとに基づいて、前記メカニカルベアリングの交換が必要か否かを判定する判定手段と、を備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ベアリング状態データは、ロータ回転起動動作時の第１の回転数から第２の回転数に達するまでに要する起動時間、および／またはロータ定格回転時に検出されるモータ電流値であり、
前記判定基準データは、前記起動時間の積算値から算出される起動動作１回あたりの平均起動時間、および／または前記モータ電流値の積算値から算出される平均モータ電流値であり、
前記寿命判定データは、前記所定時間が経過した後における前記起動時間および／または前記モータ電流値であって、
前記判定手段は、前記寿命判定データのモータ電流値と前記判定基準データの平均モータ電流値との比、および／または前記寿命判定データの起動時間と前記判定基準データの平均起動時間との比から成る劣化判定値を、所定の閾値と比較することにより、前記メカニカルベアリングの交換が必要か否かを判定することを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項３】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ベアリング状態データは、ロータ回転起動動作時の第１の回転数から第２の回転数に達するまでに要する起動時間、および／またはロータ定格回転時に検出されるモータ電流値であり、
前記判定基準データは、前記起動時間の積算値から算出される起動動作１回あたりの平均起動時間、および／または前記モータ電流値の積算値から算出される平均モータ電流値であり、
前記寿命判定データ取得手段は、所定判定時間が経過する度に、前記所定判定時間における前記起動時間の積算値から算出される起動動作１回あたりの平均起動時間、および／または前記所定判定時間における前記モータ電流値の積算値から算出される平均モータ電流値を前記寿命判定データとして取得し、
前記判定手段は、前記寿命判定データの平均モータ電流値と前記判定基準データの平均モータ電流値との比、および／または前記寿命判定データの平均起動時間と前記判定基準データの平均起動時間との比から成る劣化判定値を、所定の閾値と比較することにより、前記メカニカルベアリングの交換が必要か否かを判定することを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記判定手段により前記メカニカルベアリングの交換が必要と判定されると、ベアリング交換の警報を出力する警報手段を備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項５】
回転翼が形成されたロータをメカニカルベアリングにより回転自在に支持し、モータにより前記ロータを高速回転させて気体を排気するターボ分子ポンプの、前記メカニカルベアリングの寿命判定方法であって、
ポンプ使用開始時からの通算の運転時間が所定時間となるまでベアリング状態データを積算し、その積算値に基づいて判定基準データを生成する第１の工程と、
前記所定時間を経過した後に、ベアリング状態データに基づく寿命判定データを取得する第２の工程と、
前記寿命判定データと前記判定基準データとに基づいて、前記メカニカルベアリングの交換が必要か否かを判定する第３の工程と、を有するターボ分子ポンプのメカニカルベアリングの寿命判定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メカニカルベアリング式のターボ分子ポンプ、および、そのメカニカルベアリングの寿命判定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
分析装置等の用いられるターボ分子ポンプは、一般的に特許文献１に記載のようなボールベアリング式のターボ分子ポンプが用いられている。ボールベアリングは、長期間運転すると摩耗劣化等が生じるため、交換する必要がある。ベアリングの寿命を推定する方法としては、ベアリングの温度をモニタリングし、ベアリングの温度上昇の状況から寿命を判断したり、ポンプの起動時間の増加から寿命を判断したりしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１９５９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、マニュアル等においては、標準的な使用状況に基づいて寿命判定の基準（起動時間や温度上昇）を設定しているが、ユーザ毎にポンプ使用状況が異なる。一方、起動時間やベアリング温度は、ターボ分子ポンプの使用環境によって大きく変動する。例えば、ターボ分子ポンプを運転するにはロータリーポンプ等のバックポンプが必要であるが、このバックポンプの性能によってターボ分子ポンプの排気口の圧力条件が異なる。そのような場合、ベアリングの損傷程度が同じであっても起動時間が異なることになり、正確な寿命予測が困難になる。また、ロータのアンバランス量の違いによっても、ベアリングへの負荷は変動するため、この場合も、ベアリングの損傷程度が同じであっても起動時間が異なることになる。このように、ユーザ毎にポンプ使用状況が異なるにも関わらず、標準的な使用状況を仮定した寿命判定基準に基づいて判定を行うため、ベアリング寿命を充分な精度で判定できないという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、回転翼が形成されたロータをメカニカルベアリングにより回転自在に支持し、モータによりロータを高速回転させて気体を排気するターボ分子ポンプに適用され、ポンプ使用開始時からの通算の運転時間が所定時間となるまでベアリング状態データを積算し、その積算値に基づいて判定基準データを生成する基準データ生成手段と、所定時間を経過した後のベアリング状態データに基づく寿命判定データを取得する寿命判定データ取得手段と、寿命判定データと判定基準データとの比に基づいて、メカニカルベアリングの交換が必要か否かを判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、ベアリング状態データは、ロータ回転起動動作時の第１の回転数から第２の回転数に達するまでに要する起動時間、および／またはロータ定格回転時に検出されるモータ電流値であり、判定基準データは、起動時間の積算値から算出される起動動作１回あたりの平均起動時間、および／またはモータ電流値の積算値から算出される平均モータ電流値であり、寿命判定データは、所定時間が経過した後における起動時間および／またはモータ電流値であって、判定手段は、寿命判定データのモータ電流値と判定基準データの平均モータ電流値との比、および／または寿命判定データの起動時間と判定基準データの平均起動時間との比から成る劣化判定値を、所定の閾値と比較することにより、メカニカルベアリングの交換が必要か否かを判定することを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、ベアリング状態データは、ロータ回転起動動作時の第１の回転数から第２の回転数に達するまでに要する起動時間、および／またはロータ定格回転時に検出されるモータ電流値であり、判定基準データは、起動時間の積算値から算出される起動動作１回あたりの平均起動時間、および／またはモータ電流値の積算値から算出される平均モータ電流値であり、第２のデータ取得手段は、所定判定時間が経過する度に、所定判定時間における起動時間の積算値から算出される起動動作１回あたりの平均起動時間、および／または所定判定時間におけるモータ電流値の積算値から算出される平均モータ電流値を寿命判定データとして取得し、判定手段は、寿命判定データの平均モータ電流値と判定基準データの平均モータ電流値との比、および／または寿命判定データの平均起動時間と判定基準データの平均起動時間との比から成る劣化判定値を、所定の閾値と比較することにより、メカニカルベアリングの交換が必要か否かを判定することを特徴とする。
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、判定手段によりメカニカルベアリングの交換が必要と判定されると、ベアリング交換の警報を出力する警報手段を備えたことを特徴とする。
請求項５の発明は、回転翼が形成されたロータをメカニカルベアリングにより回転自在に支持し、モータによりロータを高速回転させて気体を排気するターボ分子ポンプの、メカニカルベアリングの寿命判定方法であって、ポンプ使用開始時からの通算の運転時間が所定時間となるまでベアリング状態データを積算し、その積算値に基づいて判定基準データを生成する第１の工程と、所定時間を経過した後に、ベアリング状態データに基づく寿命判定データを取得する第２の工程と、寿命判定データと判定基準データとに基づいて、メカニカルベアリングの交換が必要か否かを判定する第３の工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、メカニカルベアリングの寿命判定をより精度良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】ボールベアリング式ターボ分子ポンプの概略構成を示す図である。
【図２】制御部２０の機能ブロック図である。
【図３】ベアリング寿命判定動作の処理手順を示すフローチャートである。
【図４】積算処理１，２の詳細を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図１はメカニカルベアリング式ターボ分子ポンプの概略構成を示す図である。図１には、メカニカルベアリングとしてボールベアリングを用いた例を示しているが、本発明は、ボールベアリング以外のメカニカルベアリングを備えるターボ分子ポンプにも適用できる。ターボ分子ポンプは、真空排気を行うポンプユニット１と、ポンプユニット１を駆動制御するコントロールユニット２とを備えている。ポンプユニット１には、複数段の回転翼１２が形成されたロータ１１と、複数段の回転翼１２に対して交互に配置される固定翼１３とが設けられている。
【０００９】
ロータ１１の軸は、ボールベアリング１４によって回転自在に支持されている。ロータ１１は、モータ１５によって回転駆動される。ロータ１１の回転速度は、回転数センサ１７によって検出される。コントロールユニット２には、モータ１５を回転駆動させるためのモータ駆動部２１と、モータ駆動部２１を制御する制御部２０が設けられている。回転数センサ１７の検出信号は、制御部２０に入力される。２２は警報装置であり、例えば、液晶表示装置が用いられ、制御部２０の指令により警報標識を表示する。
【００１０】
上述したように、ボールベアリング式ターボ分子ポンプにおいては、ボールベアリングの寿命によるターボ分子ポンプの予期しない停止を防止する必要がある。ところで、分析装置等の計測機器においては、ターボ分子ポンプは高真空状態において定格運転状態で使用されることが殆どであり、定格運転状態においてはモータに流れる電流も非常に小さい。本実施の形態では、モータ負荷変動が少ないこのような使用条件における、ベアリング状態の変化によるモータ負荷の増加に着目し、以下に説明するような寿命判定動作を行うことにより、ベアリングの寿命を精度良く推定できるようにした。
【００１１】
図２は、制御部２０の機能ブロック図である。制御部２０は、演算・判定部２００、起動時間カウンタ２０１、運転時間カウンタ２０２、モータ電流積算カウンタ２０３、モータ電流検出部２０４、記憶部２０５を備えている。運転時間カウンタ２０２は、図１に示した回転数センサ１７からの情報を受け、ターボ分子ポンプ１のロータ１１が回転している間の時間をカウントする。
【００１２】
起動時間カウンタ２０１は、ロータ回転数が停止状態（０％）から定格状態（１００％）に到達するまでの時間をカウントする。なお、ここでは０％から１００％までの時間をカウントするようにしているが、カウント区間の設定はこれに限らず、カウント開始ポイントとカウント終了ポイントが０％から１００％までの範囲に固定されていれば、カウント区間をどのように設定しても良い。例えば、２０％〜８０％のようにカウント区間を設定しても良い。
【００１３】
モータ電流積算カウンタ２０３は、モータ電流検出部２０４からの検出信号に基づいて、ターボ分子ポンプが定格回転数（１００％回転数）で運転している状態でのモータ電流を積算する。例えば、１秒毎に電流値をモニタして積算カウントする。なお、モータの起動方法についは、寿命判断がより精度良く行えるように、一定トルクにより駆動する。演算・判定部２００は、運転時間カウンタ２０２からの運転時間と、起動時間カウンタ２０１およびモータ電流積算カウンタ２０３から出力されるベアリング状態に依存する起動時間およびモータ電流値に関する情報とに基づいて、後述するようにボールベアリング１４の寿命判定を行う。
【００１４】
図３は、制御部２０によって行われるベアリング寿命判定動作の、処理手順を示すフローチャートである。この処理動作に関するプログラムは、コントロールユニット２の電源スイッチがオンされると開始し、電源スイッチがオフされると終了する。ステップＳ１０では、回転数センサ１７の検出信号に基づいてロータ１１が回転を開始したか否かを判定し、回転開始したと判定するとステップＳ２０へ進む。ステップＳ２０では、運転時間カウンタ２０２による運転時間のカウントを開始する。
【００１５】
ステップＳ３０では、運転時間のカウント値Ｃrunが所定の時間Ｈ0よりも小か否かを判定する。本実施形態では、それぞれのユーザの使用環境や使用状況を考慮して寿命判定を行うために、ターボ分子ポンプを初めて使用開始してから所定時間Ｈ0までの間を、基準データ取得期間としている。この期間に取得された基準データを基準として、所定時間Ｈ0経過以降における寿命判定を行う。所定時間Ｈ0としては、例えば１０００時間とする。この程度の時間であれば、ボールベアリング１４の状態は初期状態と考えることができ、初期不良でない限り、１０００時間以前に故障が発生するようなことは殆どない。ステップＳ３０において、Ｃrun＜Ｈ0と判定されるとステップＳ４０へ進み、Ｃrun≧Ｈ0と判定されるとステップＳ５０へ進む。
【００１６】
ステップＳ４０では、上述した初期データ取得のための積算処理１が実行される。図４は積算処理の詳細を示すフローチャートである。なお、後述するステップＳ７０においても、寿命判定のための積算処理２が行われ、積算処理１も積算処理２も基本的には同様の処理を行う。そのため、図４では、積算処理Ｍ（Ｍ＝１ｏｒ２）とし、Ｍ＝１の場合が積算処理１に対応し、Ｍ＝２の場合が積算処理２に対応する。
【００１７】
図４のステップＳ４００では、ロータ１１の回転状態が、定格回転状態，加速状態および減速状態のいずれであるかを判定する。加速状態と判定された場合には、ステップＳ４１０へ進んで、検出されたロータ回転数が、起動時間カウンタ２０１によるカウントを開始する回転数Ｎ１に達したか否かを判定する。ロータ回転数が回転数Ｎ１に達すると、ステップＳ４１０からステップＳ４２０へ進み、起動時間カウンタ２０１による起動時間カウント値Ｃstartupの積算を開始する。
【００１８】
ステップＳ４３０では、ロータ回転数が、起動時間カウンタ２０１によるカウントを終了する回転数Ｎ２に達したか否かを判定する。ロータ回転数が回転数Ｎ２に達すると、ステップＳ４３０からステップＳ４４０へ進み、起動時間カウント値Ｃstartupの積算を停止する。ステップＳ４５０では、起動回数を表すＬm（Ｃrun＜Ｈ0の場合は、ｍ＝１）を１だけ増加させる。すなわち、ステップＳ４１０からステップＳ４５０までの処理が１回実行される度に、起動回数Ｌmがカウントされることになる。なお、Ｌmの初期値（製品出荷時の値）はゼロに設定されている。ステップＳ４５０の処理が終了すると、積算処理１に関する一連の処理が終了する。
【００１９】
一方、ステップＳ４００において定格回転状態と判定されると、ステップＳ４０２へ進んで、モータ電流積算カウンタ２０３によるモータ電流カウント値Ｃmotorの積算を開始する。ステップＳ４０４では、定格回転での運転（定格運転）か否か、すなわち定格運転が継続されているか否かを判定する。ステップＳ４０４でＮＯと判定されると、ステップＳ４０６へ進んでモータ電流カウント値Ｃmotorの積算を停止する。
【００２０】
また、ステップＳ４００において減速回転状態であると判定された場合には、積算処理１を終了する。通常、この減速回転状態と判定されるのは、ターボ分子ポンプが停止動作に入ったときである。各積算値は図２に示した記憶部２０６に保持され、再びターボ分子ポンプが起動されて各積算値を開始する際に、記憶部２０６に保持されていた該当の積算値を読み込み、その積算値から積算を開始する。このようにして積算処理１が終了したならば、図３のステップＳ３０へ戻る。すなわち、再びＣrun＜Ｈ0か否かを判定し、Ｃrun≧Ｈ0と判定されるまでステップＳ４０の積算処理１を実行し、Ｃrun≧Ｈ0と判定されると、ステップＳ５０へ進む。
【００２１】
ステップＳ５０では、ポンプ使用開始時から時間Ｈ0までにおける、起動時間カウント値Ｃstartupの平均値Ｃstartup0および正規化されたモータ電流積算カウント値Ｃmotor0を算出する。ボールベアリング１４が劣化してくると起動時間も長くなるので、この起動時間を比較することによりボールベアリング１４の劣化を判定することができる。ポンプ使用開始時から時間Ｈ0までには何回も起動動作が行われるが、その平均値Ｃstartup0を起動時間による劣化判定の基準値とする。図４のステップＳ４５０で算出されるＬｍ（ｍ＝１）は、ポンプ使用開始時から時間Ｈ0までの起動回数を表しているので、１回あたりの平均値Ｃstartup0は、Ｃstartup0＝Ｃstartup／Ｌ１で算出される。なお、右辺のＣstartupは起動時間カウント値の積算値を表す。
【００２２】
また、定格運転中のモータ電流値は、ロータ１１に加わる負荷によって変化する。ロータ１１の負荷としては、主に、気体を排気することによる負荷（ガス負荷）と、ボールベベアリング１４の抵抗による負荷とがある。分析装置等においては高真空が維持されていてガス負荷は非常に小さく、ベアリング抵抗による負荷がメインになると考えても良い。そのため、定格運転中のモータ電流値の変化をモニタすることによって、ボールベアリング１４の劣化を判定することができる。
【００２３】
そこで、ポンプ使用開始時から時間Ｈ0までに積算されたモータ電流カウント値Ｃmotorを所定の定格回転時間当たりのモータ電流カウント値に正規化して、その正規化されたモータ電流積算カウント値Ｃmotor0を比較の際の基準値とする。ここでは、正規化されたモータ電流積算カウント値Ｃmotor0は正規化係数Ｔnormalを用いてＣmotor0＝Ｃmotor／Ｔnormalのように表すことにする。右辺のＣmotorは、モータ電流カウント値の積算値を表す。例えば、ポンプ使用開始時から時間Ｈ0までにおけるモータ電流値積算のトータル時間が９００時間であって、これを１００時間あたりの積算値に正規化する場合には、モータ電流カウント値Ｃmotorに１／９（正規化係数Ｔnormal＝９）を乗算すればよい。また、１時間あたりで正規化する場合には、正規化係数Ｔnormal＝９００となる。
【００２４】
ステップＳ５０で算出された起動時間平均値Ｃstartup0および正規化モータ電流積算カウント値Ｃmotor0は、基準データとして記憶部２５に保持される。
【００２５】
ステップＳ６０では、運転時間カウント値Ｃrunを所定時間Ｈ0で割ったあまりがゼロか否かを判定する。すなわち、運転時間のカウント値Ｃrunが２Ｈ0、３Ｈ0、・・・のタイミングになると、Ｃrunを時間Ｈ0で割ったあまりがゼロとなり、ステップＳ６０からステップＳ８０へと進む。一方、運転時間のカウント値Ｃrunが２Ｈ0、３Ｈ0、・・・でない場合には、ステップＳ６０からステップＳ７０で進んで積算処理２を実行する。
【００２６】
なお、ステップＳ７０における積算処理２の処理は、図４のステップＳ４４０がＬ2＝Ｌ2＋１となる以外は、積算処理１と同様である。その結果、積算処理１と同様の処理が行われ、運転時間Ｈ0から運転時間２Ｈ0までのモータ電流カウント値Ｃmotorの積算値と、起動時間カウント値Ｃstartupの積算値と、起動回数Ｌ２が取得される。積算処理２の処理が終了すると、図３のステップＳ６０へ戻る。すなわち、運転時間Ｈ0毎に演算処理２が実行される。
【００２７】
一方、ステップＳ６０からステップＳ８０に進んだ場合には、ステップＳ８０において、上述したステップＳ５０と同様の演算を行うことにより、運転時間Ｈ0から運転時間２Ｈ0までの、起動時間カウント値Ｃstartupの平均値Ｃstartup1および正規化されたモータ電流積算カウント値Ｃmotor1が算出される。ステップＳ９０では、起動回数を表すＬ２をゼロに初期化する。ステップＳ１００では、劣化判定値Ｊを算出する。劣化判定値Ｊは、モータ電流値に関する項と起動時間に関する項とから成り、「Ｊ＝Ｃmotor1／Ｃmotor0＋Ｃstartup1／Ｃstartup0」のように表される。
【００２８】
例えば、ボールベアリング１４に全く変化が無く、モータ電流値も起動時間も変化しない場合には、第１項＝第２項＝１となり、Ｊ＝２となる。すなわち、Ｊ＝２の場合には、ベアリング状態が全く変化していないことになる。一方、ボールベアリング１４が劣化すると、モータ電流値も起動時間も増加するので、第１項＞１、第２項＞１となり、劣化判定値Ｊも、Ｊ＞２のように増加する。すなわち、Ｊの値で劣化の程度を判定することができる。
【００２９】
本実施の形態では、劣化判定値Ｊに対して、劣化の程度に応じて２種類の閾値δ１，δ２（δ１＜δ２）を予め設定しておく。閾値δ２はアラームを発報する否かを判定するための閾値であり、閾値δ１は、アラームの前段階であるウォーニングを発報する否かを判定するための閾値である。
【００３０】
ステップＳ１１０では、Ｊ＞δ１か否かを判定し、ＮＯと判定されるとステップＳ６０へ戻り、運転時間２Ｈ0〜３Ｈ0のステージに進む。一方、ステップＳ１１０でＹＥＳと判定されるとステップＳ１２０へ進み、Ｊ＞δ２か否かを判定する。ステップＳ１２０でＮＯと判定されると、すなわちδ１＜Ｊ≦δ２と判定されると、ステップＳ１３０へ進んで警報装置２２を用いてウォーニングを発報する。例えば、表示装置にウォーニング表示をしたり、警報音を発したり、上位コントローラ（分析装置のコントローラ）にウォーニング信号を出力したりする。一方、ステップＳ１３０でＪ＞δ２と判定されると、ステップＳ１４０に進んでアラームを発報するとともに、ターボ分子ポンプを起動不可とする。ステップＳ１３０，Ｓ１４０の処理が終了したならば、ステップＳ６０へ戻る。
【００３１】
以上説明したように、本実施の形態では、ポンプ使用開始時からの通算の運転時間が所定時間Ｈ0となるまでベアリング状態データである起動時間カウント値Ｃstartupと、モータ電流カウント値Ｃmotorとを積算し、その積算値に基づいて判定基準データとしての平均値Ｃstartup0および正規化されたＣmotor0を生成し、それらと、所定時間Ｈ0経過した後のベアリング状態データに基づく寿命判定データである起動時間カウント値の平均値Ｃstartup1および正規化されたモータ電流積算カウント値Ｃmotor1との比で表される劣化判定値Ｊに基づいて、ボールベアリング１４の交換が必要か否かを判定するようにした。
【００３２】
このような判定基準データを取得することで、ユーザ毎にポンプ使用状況が異なっていた場合であっても、各々のポンプ使用状況に応じた判定基準データが設定される。その結果、判定基準データ取得後に行われるベアリング寿命判定においては、ポンプ使用状況に応じた寿命判定が可能となり、精度良い寿命判定を行うことができる。
【００３３】
また、２Ｈ0経過後、３Ｈ0経過後のように、所定判定時間（Ｈ0）経過する度に寿命判定を行う際に、所定判定時間における起動時間の積算値から算出される起動動作１回あたりの平均起動時間Ｃstartup1と、所定判定時間におけるモータ電流値の積算値から算出される正規化されたモータ電流積算カウント値Ｃmotor1とを寿命判定データとして用いることで、一時的なデータ変動の影響を小さくでき、より信頼性の高い寿命判定データを取得することができる。
【００３４】
なお、上述した実施の形態では、２Ｈ0経過後、３Ｈ0経過後のように、Ｈ0経過する度にそのＨ0時間内の積算値に基づいてＣstartup1およびＣmotor1を算出し、それらを用いて劣化判定値Ｊを求めるようにしているが、Ｈ0時間内で積算した値ではなく、Ｈ0経過の直前に得られるモータ電流カウント値と、その期間内で得られた最新の起動時間カウント値を使用するようにしても良い。また、２Ｈ0経過後、３Ｈ0経過後のように期間を設けずに、リアルタイムに検出されるモータ電流カウント値（ただし所定時間の平均値を用いる）および起動時間カウント値、または、それらを複数回検出して平均化した値を使用しても良い。
【００３５】
また、上述した例では、寿命判定に起動時間カウント値とモータ電流カウント値との両方を用いているが、いずれか一方を用いるようにしても良い。
【００３６】
上述した各実施形態はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施形態での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。
【符号の説明】
【００３７】
１：ポンプユニット、２：コントロールユニット、１１：ロータ、１２：回転翼、１４：ボールベアリング、１５：モータ、１７：回転数センサ、２０：制御部、２１：モータ駆動部、２２：警報装置、２００：演算・判定部、２０１：起動時間カウンタ、２０２：運転時間カウンタ、２０３：モータ電流積算カウンタ、２０４：モータ電流検出部、２０５：記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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