(57)【要約】【課題】光学アダプタとイメージセンサの位置調整を短時間に、かつ、容易に行うことができる照明装置、この照明装置を有する検査装置及び照明装置の位置調整方法を提供する。【解決手段】照明装置１０は、光源１１からの光を出射して複数のイメージセンサ４１の検査領域に、照明光による像を形成するためのアダプタ２０と、イメージセンサ４１との相対位置関係を調整するためのアダプタ駆動部１５と、制御部６とを備え、制御部６は、複数のイメージセンサの内の少なくとも１つのイメージセンサの中心領域の位置情報を取得して初期位置情報とする初期設定部６５と、初期位置情報に基づいてアダプタの移動量を算出するアダプタ変位調整部６３と、を有する。【選択図】図１
2011014803.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体である複数のイメージセンサに照明光を照射して得られる出力信号から、当該イメージセンサの良否を判定する検査装置に用いられる照明装置であって、
光源と、
前記光源からの光を前記照明光として出射して複数の前記イメージセンサの検査領域に、前記照明光による所定の光分布を形成するアダプタと、
前記アダプタと前記イメージセンサとの相対位置関係を調整するために、前記アダプタの中心部を回転中心として当該アダプタを回転移動させる回転方向調整機構、及び、前記アダプタの設置面内における直交する２つの方向に当該アダプタを平面移動させる平面調整機構からなるアダプタ駆動部と、
前記アダプタ駆動部の作動を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、
複数の前記イメージセンサの内の少なくとも１つのイメージセンサの中心領域に、当該イメージセンサに対向する前記アダプタによる前記光分布が形成された状態で、前記光分布の位置情報を取得して初期位置情報とする初期設定部と、
前記初期位置情報に基づいて、複数の前記イメージセンサの各々の中心領域に前記アダプタによる前記光分布を位置させるための移動量を算出して、当該移動量となるように前記アダプタ駆動部を作動させるアダプタ変位調整部と、を有する照明装置。
【請求項２】
前記初期設定部は、複数の前記イメージセンサのいずれか１つの中心領域に、当該イメージセンサに対向する前記アダプタによる前記光分布が形成された状態で、前記光分布の位置情報を前記初期位置情報として取得し、
前記アダプタ変位調整部は、前記回転方向調整機構により前記アダプタを所定の角度だけ回転させ、当該回転により移動した前記光分布の前記イメージセンサの前記中心領域からの変位量を算出し、前記平面調整機構により前記アダプタを前記変位量だけ移動させて前記光分布を前記イメージセンサの前記中心領域に位置させる、という動作を、複数の前記イメージセンサの各々の中心領域に前記アダプタによる前記光分布が位置するまで繰り返すように構成された請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記初期設定部は、
複数の前記イメージセンサの内のいずれか１つである第１のイメージセンサの中心領域に、当該第１のイメージセンサに対向する前記アダプタによる第１の光分布が形成された状態で、当該第１の光分布の位置情報を第１初期位置情報として取得し、
前記第１のイメージセンサとは異なる第２のイメージセンサの中心領域に、当該第２のイメージセンサに対向する前記アダプタによる第２の光分布が形成された状態で、当該第２の光分布の位置情報を第２初期位置情報として取得し、
前記アダプタ変位調整部は、
前記第１初期位置情報及び前記第２初期位置情報から、前記第２のイメージセンサの前記中心領域に前記第２の光分布が形成された状態で、前記アダプタを回転させて前記第１のイメージセンサ及び前記第２のイメージセンサの前記中心領域を結ぶ線と、前記第１の光分布及び前記第２の光分布を結ぶ線とが平行となる、前記アダプタの回転移動の移動量を算出して、前記回転方向調整機構により前記アダプタを前記回転移動の移動量だけ回転させ、
算出された前記回転移動の移動量及び前記第１初期位置情報から、前記第１の光分布が、前記第１のイメージセンサの前記中心領域に位置するための前記アダプタの平面移動の移動量を算出して、前記平面調整機構により前記アダプタを前記平面移動の移動量だけ移動させる請求項１に記載の照明装置。
【請求項４】
請求項１〜３いずれか一項に記載の照明装置を有する検査装置。
【請求項５】
被検体である複数のイメージセンサに照明光を照射して得られる出力信号から、当該イメージセンサの良否を判定する検査装置に用いられる照明装置の位置調整方法であって、
光源からの光を前記照明光として出射して複数の前記イメージセンサの検査領域にアダプタを介して前記照明光による所定の光分布を形成する工程と、
前記アダプタの中心部を回転中心として当該アダプタを回転移動させる回転方向調整機構、及び、前記アダプタの設置面内における直交する２つの方向に当該アダプタを平面移動させる平面調整機構からなるアダプタ駆動部により前記アダプタを移動させて、前記アダプタと複数の前記イメージセンサとの相対位置関係を調整する位置調整工程と、を有し、
前記位置調整工程は、
複数の前記イメージセンサの内の少なくとも１つのイメージセンサの中心領域に、当該イメージセンサに対向する前記アダプタによる前記光分布が形成された状態で、前記像の位置情報を取得して初期位置情報とする初期設定工程と、
前記初期位置情報に基づいて、複数の前記イメージセンサの各々の中心領域に前記アダプタによる前記光分布を位置させるための移動量を算出して、当該移動量となるように前記アダプタ駆動部を作動させるアダプタ変位調整工程と、を有する照明装置の位置調整方法。
【請求項６】
前記初期設定工程は、複数の前記イメージセンサのいずれか１つの中心領域に、当該イメージセンサに対向する前記アダプタによる前記光分布が形成された状態で、前記光分布の位置情報を前記初期位置情報として取得し、
前記アダプタ変位調整工程は、前記回転方向調整機構により前記アダプタを所定の角度だけ回転させ、当該回転により移動した前記光分布の前記イメージセンサの前記中心領域からの変位量を算出し、前記平面調整機構により前記アダプタを前記変位量だけ移動させて前記光分布を前記イメージセンサの前記中心領域に位置させる、という動作を、複数の前記イメージセンサの各々の中心領域に前記アダプタによる前記光分布が位置するまで繰り返すように構成された請求項５に記載の照明装置の位置調整方法。
【請求項７】
前記初期設定工程は、
複数の前記イメージセンサの内のいずれか１つである第１のイメージセンサの中心領域に、当該第１のイメージセンサに対向する前記アダプタによる第１の光分布が形成された状態で、当該第１の光分布の位置情報を第１初期位置情報として取得する工程と、
前記第１のイメージセンサとは異なる第２のイメージセンサの中心領域に、当該第２のイメージセンサに対向する前記アダプタによる第２の光分布が形成された状態で、当該第２の光分布の位置情報を第２初期位置情報として取得する工程と、を有し、
前記アダプタ変位調整工程は、
前記第１初期位置情報及び前記第２初期位置情報から、前記第２のイメージセンサの前記中心領域に前記第２の光分布が形成された状態で、前記アダプタを回転させて前記第１のイメージセンサ及び前記第２のイメージセンサの前記中心領域を結ぶ線と、前記第１の光分布及び前記第２の光分布を結ぶ線とが平行となる、前記アダプタの回転移動の移動量を算出して、前記回転方向調整機構により前記アダプタを前記回転移動の移動量だけ回転させる工程と、
算出された前記回転移動の移動量及び前記第１初期位置情報から、前記第１の光分布が、前記第１のイメージセンサの前記中心領域に位置するための前記アダプタの平面移動の移動量を算出して、前記平面調整機構により前記アダプタを前記平面移動の移動量だけ移動させる工程と、を有する請求項５に記載の照明装置の位置調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、照明装置、この照明装置を有する検査装置、及び、照明装置の位置調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラ等に使用されているイメージセンサ（固体撮像素子）、例えば、ＣＣＤやＣＭＯＳ等は、一般的には、１枚のウェハ表面に多数のイメージセンサがマトリクス状に整列された状態で形成される。このように製造された各イメージセンサは、ウェハ上に整列形成された状態で性能検査が行われる。このような検査のための検査装置は、一般に、照明装置と、この照明装置に接続されたプローバ本体と、テスタ本体とから構成されている。プローバ本体は、ウェハを載置するステージと、ウェハに通電するプローブピンを有するプローブガードと、を有している。また、照明装置は、光源と、図１２に示すように、光源からの一様な光を中心部が最も強く、その中心部から周辺に向かって徐々に弱くなるような強度分布を有する照明光１８に変換するアダプタ要素を備えた光学アダプタと、この光学アダプタの位置を調整するためのアダプタ駆動部と、を有している。この照明装置はプローバ本体の上方に位置しており、照明装置に設けられた光源から放射された光は、光学アダプタのアダプタ要素を介して、ステージ上に載置されたウェハの検査領域（イメージセンサの形成領域）を照明する。このとき、プローブガイドのプローブピンをウェハのイメージセンサの出力端子に接触させて通電させると、イメージセンサの出力端子からの出力信号が、プローブピンを介して取り込まれテスタ本体に送られる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
アダプタ駆動部は、ウェハと対向する面内（照明装置からの光軸に対して垂直な面内）でイメージセンサに対する光学アダプタの相対位置を調整するものであり、ウェハと対向する面内における互いに直交する２方向（Ｘ方向，Ｙ方向）の位置を調整する平面調整機構（Ｘ方向調整機構及びＹ方向調整機構）と、その２方向（Ｘ方向，Ｙ方向）を含む面（ＸＹ平面）内おいて、光学アダプタの回転方向（θ方向）の位置を調整する回転方向調整機構（θ方向調整機構）と、から構成される。
【０００４】
このような検査装置において、プローバ本体に載置されたウェハを交換すると、このウェハの検査領域（イメージセンサの形成領域、すなわち、イメージセンサの画素エリアの中心）と光学アダプタのアダプタ要素を介した光の中心領域との位置調整が必要となる。これは、上述したように、アダプタ要素を介した光の強度は、中心領域で最も強く、中心領域を離れるにしたがって徐々に弱くなる強度分布を有するため、イメージセンサの中心とアダプタ要素を介して照射される光の中心とを正確に位置合わせしなければならないからである（図１２参照）。
【０００５】
従来では、図１３で示すようなウェハ４０に形成されたイメージセンサ４１に、略点像（以下、「点像」）４２を投影し、このウェハ上に投影された点像４２の位置と、光学アダプタのアダプタ要素を介して形成される像の中心領域とが、同じ位置になるような構成の位置決めアダプタを用いて、イメージセンサ４１で検出されたこの点像４２をモニターなどの表示装置上で確認し、目視観察しながら、イメージセンサ４１の画素エリアの中心とこの点像４２とのずれ量を予測して、アダプタ駆動部の平面調整機構（Ｘ方向調整機構、Ｙ方向調整機構）を用いて、イメージセンサの画素エリアの中心に点像４２が形成されるように、位置決めアダプタの位置を手動で調整していた。このとき、イメージセンサ４１が２個以上の場合は、アダプタ駆動部の回転方向調整機構（θ方向調整機構）を用いた回転方向の調整と、平面調整機構を用いた調整とを交互に手動で行い、位置決アダプタまたは光学アダプタの位置調整を行っていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−２２２３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような従来の位置調整の方法は、イメージセンサ上に形成された点像を目視しながら手動で位置決めアダプタの位置を調整するものであった。そのため、位置調整は、複数のイメージセンサを検査する場合に、これらのイメージセンサ毎に行う必要があるため、位置調整が困難であり、調整に時間がかかっていた。
【０００８】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、アダプタ駆動部によるアダプタの位置調整を、アクチュエータ等を用いて自動で行うことができるようにし、光学アダプタとイメージセンサとの位置調整を短時間に、かつ、容易に行うことができる照明装置、この照明装置を有する検査装置、及び、照明装置の位置調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するため、本発明に係る照明装置は、被検体である複数のイメージセンサに照明光を照射して得られる出力信号から、当該イメージセンサの良否を判定する検査装置に用いられる照明装置であって、光源と、この光源からの光を照明光として出射して複数のイメージセンサの検査領域に、照明光による所定の光分布を形成するアダプタと、このアダプタとイメージセンサとの相対位置関係を調整するために、アダプタの中心部を回転中心として当該アダプタを回転移動させる回転方向調整機構、及び、アダプタの設置面内における直交する２つの方向に当該アダプタを平面移動させる平面調整機構からなるアダプタ駆動部と、このアダプタ駆動部の作動を制御する制御部と、を有して構成される。そして、制御部は、複数のイメージセンサの内の少なくとも１つのイメージセンサの中心領域に、当該イメージセンサに対向するアダプタによる光分布が形成された状態で、この光分布の位置情報を取得して初期位置情報とする初期設定部と、初期位置情報に基づいて、複数のイメージセンサの各々の中心領域にアダプタによる光分布を位置させるための移動量を算出して、当該移動量となるようにアダプタ駆動部を作動させるアダプタ変位調整部と、を有する。
【００１０】
このような照明装置において、初期設定部は、複数の前記イメージセンサのいずれか１つの中心領域に、当該イメージセンサに対向するアダプタによる光分布が形成された状態で、この光分布の位置情報を初期位置情報として取得し、アダプタ変位調整部は、回転方向調整機構によりアダプタを所定の角度だけ回転させ、当該回転により移動した光分布のイメージセンサの中心領域からの変位量を算出し、平面調整機構によりアダプタをこの変位量だけ移動させて光分布をイメージセンサの中心領域に位置させる、という動作を、複数のイメージセンサの各々の中心領域にアダプタによる光分布が位置するまで繰り返すように構成されることが好ましい。
【００１１】
あるいは、このような照明装置において、初期設定部は、複数のイメージセンサの内のいずれか１つである第１のイメージセンサの中心領域に、当該第１のイメージセンサに対向するアダプタによる第１の光分布が形成された状態で、当該第１の光分布の位置情報を第１初期位置情報として取得し、第１のイメージセンサとは異なる第２のイメージセンサの中心領域に、当該第２のイメージセンサに対向するアダプタによる第２の光分布が形成された状態で、当該第２の光分布の位置情報を第２初期位置情報として取得し、アダプタ変位調整部は、第１初期位置情報及び第２初期位置情報から、第２のイメージセンサの中心領域に第２の光分布が形成された状態で、アダプタを回転させて第１のイメージセンサ及び第２のイメージセンサの中心領域を結ぶ線と、第１の光分布及び第２の光分布を結ぶ線とが平行となる、アダプタの回転移動の移動量を算出して、回転方向調整機構によりアダプタをこの回転移動の移動量だけ回転させ、算出された回転移動の移動量及び第１初期位置情報から、第１の光分布が、第１のイメージセンサの中心領域に位置するためのアダプタの平面移動の移動量を算出して、平面調整機構によりアダプタをこの平面移動の移動量だけ移動させることが好ましい。
【００１２】
また、本発明に係る検査装置は、上述の照明装置のいずれかを有する。
【００１３】
また、本発明に係る照明装置の位置調整方法は、被検体である複数のイメージセンサに照明光を照射して得られる出力信号から、当該イメージセンサの良否を判定する検査装置に用いられる照明装置の位置調整方法であって、光源からの光を照明光として出射して複数のイメージセンサの検査領域にアダプタを介して照明光による所定の光分布を形成する工程と、アダプタの中心部を回転中心として当該アダプタを回転移動させる回転方向調整機構、及び、アダプタの設置面内における直交する２つの方向に当該アダプタを平面移動させる平面調整機構からなるアダプタ駆動部によりこのアダプタを移動させて、アダプタと複数のイメージセンサとの相対位置関係を調整する位置調整工程と、を有する。そして、位置調整工程は、複数のイメージセンサの内の少なくとも１つのイメージセンサの中心領域に、当該イメージセンサに対向するアダプタによる光分布が形成された状態で、この位置情報を取得して初期位置情報とする初期設定工程と、初期位置情報に基づいて、複数のイメージセンサの各々の中心領域にアダプタによる光分布を位置させるための移動量を算出して、当該移動量となるようにアダプタ駆動部を作動させるアダプタ変位調整工程と、を有する。
【００１４】
このような照明装置の位置調整方法において、初期設定工程は、複数のイメージセンサのいずれか１つの中心領域に、当該イメージセンサに対向するアダプタによる光分布が形成された状態で、この光分布の位置情報を初期位置情報として取得し、アダプタ変位調整工程は、回転方向調整機構によりアダプタを所定の角度だけ回転させ、当該回転により移動した光分布のイメージセンサの中心領域からの変位量を算出し、平面調整機構によりアダプタをこの変位量だけ移動させて光分布をイメージセンサの中心領域に位置させる、という動作を、複数のイメージセンサの各々の中心領域にアダプタによる光分布が位置するまで繰り返すように構成することが好ましい。
【００１５】
あるいは、このような照明装置の位置調整方法において、初期設定工程は、複数のイメージセンサの内のいずれか１つである第１のイメージセンサの中心領域に、当該第１のイメージセンサに対向するアダプタによる第１の光分布が形成された状態で、当該第１の光分布の位置情報を第１初期位置情報として取得する工程と、第１のイメージセンサとは異なる第２のイメージセンサの中心領域に、当該第２のイメージセンサに対向するアダプタによる第２の光分布が形成された状態で、当該第２の光分布の位置情報を第２初期位置情報として取得する工程と、を有し、アダプタ変位調整部は、第１初期位置情報及び第２初期位置情報から、第２のイメージセンサの中心領域に第２の光分布が形成された状態で、アダプタを回転させて第１のイメージセンサ及び第２のイメージセンサの中心領域を結ぶ線と、第１の光分布及び第２の光分布を結ぶ線とが平行となる、アダプタの回転移動の移動量を算出して、回転方向調整機構によりアダプタをこの回転移動の移動量だけ回転させる工程と、算出された回転移動の移動量及び第１初期位置情報から、第１の光分布が、第１のイメージセンサの中心領域に位置するためのアダプタの平面移動の移動量を算出して、平面調整機構によりアダプタをこの平面移動の移動量だけ移動させる工程と、を有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、光学アダプタとイメージセンサの位置調整を短時間で容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態の照明装置を備えた検査装置の概略構成図である。
【図２】照明装置において用いられる光学アダプタの一例であり、（ａ）は平面図（ウェハと対向する面）であり、（ｂ）は（ａ）のＩＩｂ−ＩＩｂ断面図である。
【図３】照明装置において用いられる光学アダプタとその光学アダプタの位置を調整するアダプタ駆動部を説明するための平面図（ウェハと対向する面）である。
【図４】照明装置を備えた検査装置の構成例を示すブロック図である。
【図５】照明装置を備えた検査装置の検査工程を説明するためのフローチャートである。
【図６】照明装置において、第一の実施形態の位置調整工程によりイメージセンサの中心領域と点像との位置調整の手順を説明するため概略図であり、（ａ）は１つの点像を１つのイメージセンサの中心領域に形成させた図であり、（ｂ）は（ａ）の状態から中心軸の周りに回転移動させた状態を説明するための図である。
【図７】照明装置において、第一の実施形態の位置調整工程によりイメージセンサの中心領域と点像との位置調整の手順を説明するため概略図であり、（ａ）は図５（ｂ）の状態から平面移動させた状態であり、（ｂ）は最終的に図５（ａ）〜図６（ａ）の手順を繰り返すことによる点像の軌跡を説明するための図である。
【図８】照明装置において、第一の実施形態の位置調整工程を説明するためのフローチャートである。
【図９】照明装置において、第二の実施形態の位置調整工程によりイメージセンサの中心領域と点像との位置調整の手順を説明するため概略図であり、（ａ）は１つの点像を１つのイメージセンサの中心領域に形成させた図であり、（ｂ）は（ａ）の状態から、別の点像と別のイメージセンサの中心領域に形成させた図である。
【図１０】照明装置において、第二の実施形態の位置調整工程によりイメージセンサの中心領域と点像との位置調整の手順を説明するため概略図であり、（ａ）は図８（ｂ）の状態において回転角度を求める様子を説明するための図であり、（ｂ）は（ａ）で求めた角度に基づいて中心軸の周りにその角度分回転移動させた状態を説明するための図である。
【図１１】照明装置において、第二の実施形態の位置調整工程を説明するためのフローチャートである。
【図１２】照明装置において、光学アダプタを介した光の強度分布を説明するための概念図である。
【図１３】照明装置において、位置調整の際に用いられる位置決めアダプタによる点像をイメージセンサに形成した状態を示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。図１に示すように、本実施形態に係る照明装置１０を備えた検査装置１００は、ウェハ４０上に形成された複数のイメージセンサ４１の検査を行うための装置である。検査装置１００は、光源１１からの光をウェハ４０上に照射する照明装置１０と、ウェハ４０上に形成されたイメージセンサ４１の検査をするために、このイメージセンサ４１から出力される信号を計測する計測装置５と、計測装置５からの検査情報を処理するとともに、照明装置１０等の動作を制御する制御装置６と、を有する。
【００１９】
この照明装置１０は、上方にハロゲンランプやキセノンランプ等の光源１１を配し、下方のウェハ４０と対向する側には、ウェハ４０上のイメージセンサ４１が形成された領域（検査領域）に光源１１からの光による像を形成するための光学アダプタ２０と、この光学アダプタ２０を光軸に直交する面内で移動させて、光学アダプタ２０とイメージセンサ４１との相対位置関係を調整するためのアダプタ駆動部１５と、この光学アダプタ２０を着脱可能に保持する光学アダプタホルダ２２と、を有する。
【００２０】
図２（ａ）に示すように、この光学アダプタ２０は、ここでは、一例として、略円形状の複数の貫通孔２７を設けた略円盤状の外形を有するプレート２６と、略円筒形状の外形を有する複数個のアダプタ要素２４と、から構成されている（ここでは、４つのイメージセンサ４１に対応させるため４個のアダプタ要素２４を示している）。このようなアダプタ要素２４は、拡散板と絞りとを筐体で支持する構成のものや、投影レンズ系と絞りとを同様に筐体で支持する構成のもの等を用いることができ、また、アダプタ要素２４の外形については、特に限定されない。このプレート２６の複数の貫通孔２７は、光学アダプタ２０の中心部２５を通る直線上に一定の間隔で、この中心部２５を挟んで、同じ個数（２個ずつ）設けられている。そして、図２（ｂ）に示すように、貫通孔２７は、プレート２６の厚み方向を貫通するように設けられており、アダプタ要素２４は、この貫通孔２７に挿通して配置されると、ウェハ４０のイメージセンサ４１と対向するように構成されている（図２（ｂ）において、ウェハ４０とこのウェハ４０上に形成されたイメージセンサ４１とは、破線で示されている）。
【００２１】
この照明装置１０において、光源１１からの光は、図示しないレンズ等の光学系により集光されて平行光束となり、照度が均一な光（一様な光）となっている。そして、アダプタ要素２４により、検査対象であるウェハ４０の表面に形成されたイメージセンサ４１上に投射され、ウェハ４０のイメージセンサ４１上の検査領域にその光による光分布（以下、この光分布を適宜「像」と称する）を形成する。このとき、このアダプタ要素２４を通過した光は、図１２を用いて既に説明したように、その中心領域が強く、周辺に広がるにしたがって弱くなる強度分布を有する光に変換される。そのため、この光の最も強い領域（中心領域）が、ウェハ４０のイメージセンサ４１の中心領域に当たるように調整することが必要となる。
【００２２】
図３に示すように、光学アダプタ２０を保持する光学アダプタホルダ２２には、アダプタ駆動部１５が設けられている。このアダプタ駆動部１５は、光学アダプタ２０の設置されている面（ウェハ４０と対向する面であり、照明装置１０の光源１１からの光軸と垂直な面）内において直交する２方向（Ｘ方向、Ｙ方向）の位置を調整する平面調整機構であるＸ方向調整機構１５１及びＹ方向調整機構１５２と、光学アダプタ２０の中心部２５を通り光源１１からの光軸と平行な軸を中心とする回転方向（θ方向、光軸と垂直な面内において、光軸方向と一致する軸を中心に回転させる方向）の位置の調整を行う回転方向調整機構であるθ方向調整機構１５３と、を有する。
【００２３】
このＸ方向調整機構１５１及びＹ方向調整機構１５２は、それぞれの調整方向が水平方向（Ｘ方向）または垂直方向（Ｙ方向）であることを除き、同様の構造を有し、同様に作用する。また、θ方向調整機構１５３も、Ｘ方向調整機構１５１及びＹ方向調整機構１５２と同様の構造となっている。すなわち、Ｘ方向調整機構１５１は、ステッピングモータ等の高精度のアクチュエータ１５１ａと、このアクチュエータ１５１ａに連結され、アクチュエータ１５１ａの動力（例えば、回転）をギア機構などの伝達機構によって直線運動（垂直方向の運動）に変換するシャフト１５１ｂと、を有している。そして、Ｙ方向調整機構１５２も同様に、ステッピングモータ等の高精度のアクチュエータ１５２ａを有し、このアクチュエータ１５２ａに連結され、その動力（例えば、回転）をギア機構などの伝達機構によって直線運動（水平方向の運動）に変換するシャフト１５２ｂを有している。このＸ方向調整機構１５１またはＹ方向調整機構１５２は、光学アダプタ２０をウェハ４０との対向面において、それそれ、Ｘ方向、Ｙ方向に光学アダプタホルダ２２を移動（平面移動）させることで位置調整を行う。また、θ方向調整機構１５３も、基本的には、Ｘ方向調整機構１５１及びＹ方向調整機構１５２と同様であり、ステッピングモータ等の高精度のアクチュエータ１５３ａを有し、アクチュエータ１５３ａに連結され、このアクチュエータ１５３ａの動力（例えば、回転）をギア機構などの伝達機構を介してシャフト１５３ｂに伝達して光学アダプタホルダ２２の回転方向の移動を行えるようになっている。θ方向調整機構１５３は、光学アダプタホルダ２２に保持された光学アダプタ２０の中心部２５を中心に時計回りまたは反時計回りに回転させることで、回転方向（θ方向）の位置の調整（回転移動）を行う。このＸ方向調整機構１５１、Ｙ方向調整機構１５２及びθ方向調整機構１５３は、操作部６２からの操作信号を制御装置６が受け取ると、制御装置６から、調整方向と調整量とを示す制御信号が出力され、その制御信号に基づいて動作することにより、光学アダプタ２０の水平方向（Ｘ方向）、垂直方向（Ｙ方向）、及び回転方向（θ回転）の位置を調整する。
【００２４】
計測装置５は、プローバ本体７０と、このプローバ本体７０により検出された信号に基づいてウェハ４０に形成されたイメージセンサ４１の検査を行うテスタ本体７３と、を有する。また、このプローバ本体７０には、プローブガード７１と、テスタ基板７４と、ウェハ４０を載置するステージ７５とが配置されている。このプローブガード７１には、検査対象のイメージセンサ４１の電極に接触して電気的接続を行うためのプローブ７２（探針）が複数個、設けられている。また、このプローブガード７１は、テスタ基板７４に取り付けられると共に、電気的に接続されている。そして、テスタ基板７４は、ケーブル３１によりテスタ本体７３と接続されており、このテスタ本体７３では、イメージセンサ４１から得られた信号をデジタル信号に変換し、ケーブル２９を介して制御装置６に送信するように構成されている。また、制御装置６は、後述するように、イメージセンサ４１から得られたデジタル信号等に基づいて、光学アダプタ２０の位置を決定して、Ｘ及びＹ方向調整機構１５１，１５２やθ方向調整機構１５３を作動させるための信号を、ケーブル３２を介してアダプタ駆動部１５に送信するように構成されている。
【００２５】
制御装置６は、図４に示すように、位置調整部６０と、記憶部６５と、検査処理部６６と、を有し、また、操作部６２と、表示部６１と、アダプタ駆動部１５（Ｘ方向調整機１５１，Ｙ方向調整機構１５２，θ方向調整機構１５３）と、テスタ本体７３と、が接続されている。この制御装置６は、ＣＰＵを有し、イメージセンサ４１の検査開始の際の光学アダプタ２０の位置調整を行う位置調整部６０と、検査工程におけるテスタ本体７３からの信号に基づいてイメージセンサ４１の検査を実行する検査処理部６６と、を機能させるためのプログラムを実行させる。そして、位置調整部６０や検査処理部６６により、算出、計測、設定等された各値は、記憶部６５に記憶される。
【００２６】
表示部６１は、液晶ディスプレイなどを用いることができ、この表示部６１には、イメージセンサ４１から出力された信号の表示画面や、操作方法の表示画面、操作の受付画面等が表示されるものであり、制御装置６とケーブル３４で接続されている。ここで、イメージセンサ４１から出力された信号の表示画面は、例えば、表示部６１において光学アダプタ２０の中心に一致する中心軸４３を原点として座標格子が表示されており、その上にイメージセンサ４１の画素エリアとその中心、及び光学アダプタ２０によってイメージセンサ４１上に形成された像の位置（検出信号）が識別できるように表示されているものである。また、操作部６２は、例えば、キーボード、タッチパネル、マウス、コントローラ等の入力機構を用いることができ、光学アダプタ２０の初期の位置調整の際の操作指示や、数値等の入力操作を行うこともでき、制御装置６にケーブル３３を介して接続されている。
【００２７】
本実施の形態の照明装置１０を備えた検査装置１００は、以上のような構成となっており、この検査装置１００におけるウェハ４０上のイメージセンサ４１の検査は、位置決めアダプタ（中央部にピンホールが設けられている）を用いた位置調整の工程と、検査用の光学アダプタ２０を用いた検査の実行工程と、の２段階の検査工程よりなっている。次に、この照明装置１０を備えた検査装置１００の検査工程について、図面を示して説明する。
【００２８】
図５に示すように、まず、検査装置１００の図示しない電源がＯＮされると、表示部６１に検査の開始指示の入力を促すメッセージが表示される。そこで、ユーザーは、検査対象であるウェハ４０を、検査装置１００を構成するテスタ本体７０のステージ７５に載置し、操作部６２を操作して、検査の開始を検査装置１００に指示する。すると、制御装置６は、検査開始の指示を受け取り、アダプタを検査用の位置決めアダプタに交換することを指示する（ステップＳＴ１）。この指示は、例えば表示部６１に表示される。
【００２９】
ユーザーが制御装置６からの指示に従いアダプタを位置決めアダプタに変更し、操作部６２を操作して変更完了を制御装置６に入力すると、制御装置６は、位置調整の工程を実行する（ステップＳＴ２）。このステップＳＴ２において、制御装置６は、位置調整部６０にウェハ４０上のイメージセンサ４１の検査を行う際の位置調整工程を実行するように指示し、位置調整部６０は、この位置決めアダプタによる点像４２の各々がイメージセンサ４１の各々の中心領域に形成されるように、位置決めアダプタとイメージセンサ４１との相対位置を調整する。
【００３０】
具体的には、照明装置１０の光学アダプタホルダ２２に位置決めアダプタを取り付けると、光源１１からの光は、この位置決めアダプタを介してウェハ４０上に形成されたイメージセンサ４１の検査領域に点像４２を形成する。次に、位置調整部６０は、初期設定部６４にウェハ４０上の１つのイメージセンサ４１（以下、「基準とするイメージセンサ４１」と呼ぶ）の位置情報を初期位置情報として設定させる指示を、イメージセンサ４１に形成された点像４２の表示画面と共に表示部６１に表示する。すると、ユーザーは、その指示に従い、表示部６１に表示されているいくつかのイメージセンサ４１から基準とするイメージセンサ４１を選択し、この基準とするイメージセンサ４１の中心領域に、このイメージセンサ４１に対向する点像４２を形成させる。すなわち、ユーザーは、表示部６１を観察しながら操作部６２を操作し、光学アダプタホルダ２２に取り付けられた位置決めアダプタを移動させて位置調整を行う。この位置調整が完了すると、ユーザーは操作部６２を操作して操作の完了を入力する。すると、初期設定部６４は、そのときの点像４２ａの位置の座標を記憶部６５に初期設定値として記憶する。そして、アダプタ変位調整部６３は、その記憶部６５に記憶された初期位置情報に基づいて、もう１つのイメージセンサ４１の中心領域に、このイメージセンサ４１と対向する点像４２が形成されるように、つまり、少なくとも２つのイメージセンサ４１の中心領域に点像４２が形成されるように、光学アダプタ２０の位置を調整するための移動量を算出する。この移動量の算出方法は後述する。
【００３１】
ここで、光学アダプタ２０に設けられた各アダプタ要素２４の相対位置は、検査するウェハ４０上のイメージセンサ４１の配置のパターンに一致するように設計されるものであり、製造されるイメージセンサ４１のタイプ毎に異なっている。また、上述のように、位置調整の工程で使用する位置決めアダプタは光学アダプタ２０の各アダプタ要素２４による像の中心領域と一致する位置に点像４２を形成するものである。そして、これらは、いずれも同じ間隔で（ウェハ４０上の各々のイメージセンサ４１上に像が形成されるように）配置されているので、少なくとも２つのイメージセンサ４１と光学アダプタ２０のアダプタ要素２４について位置調整を行い一致させることにより、他のイメージセンサ４１とアダプタ要素２４との位置調整も完了する。
【００３２】
アダプタ変位調整部６３は、Ｘ方向変位調整部６３１、Ｙ方向変位調整部６３２、θ方向変位調整部６３３を有しており、光学アダプタ２０のＸ方向、Ｙ方向、及びθ方向のそれぞれの移動量を算出する。そして、Ｘ方向変位調整部６３１、Ｙ方向変位調整部６３２、θ方向変位調整部６３３は、それぞれこの移動量をアダプタ駆動部１５のＸ方向調整機構１５１，Ｙ方向調整機構１５２，及びθ方向調整機構１５３のそれぞれに情報として与える。すると、Ｘ方向調整機構１５１、Ｙ方向調整機構１５２及びθ方向調整機構１５３は、それぞれの移動量の情報に基づいて、各アクチュエータ１５１ａ，１５２ａ，１５３ａを作動させ、これにより位置決めアダプタの位置を調整し、イメージセンサ４１のそれぞれの中心領域に、点像４２を形成させる。
【００３３】
なお、ユーザーの操作によりイメージセンサ４１の中心領域に点像４２を位置させるのではなく、基準となるイメージセンサ４１のどこかに対向する位置決めアダプタの点像４２を形成し、形成した後、完了を操作部６２から入力すると、制御装置６は、その完了の情報を受け取り、そのイメージセンサ４１からの出力に基づいて、位置調整部６０のアダプタ変位調整部６３から、平面移動（Ｘ方向及びＹ方向への移動）するようにアダプタ駆動部１５に指示をして、光学アダプタホルダ２２に設置される位置決めアダプタを移動させ、点像４２がイメージセンサ４１の中心領域に形成されるように位置決めアダプタを移動する構成とすることもできる。
【００３４】
そして、制御装置６は、位置調整の工程が終了すると、表示部６１を介してユーザーに検査用のアダプタ（光学アダプタ２０）に変更するように指示を出す。すると、ユーザーは、その指示に従って、位置決めアダプタから光学アダプタ２０に変更し、操作部６２を操作して、作業の完了を入力する。制御装置６は、作業完了の指示を受け取ると、検査処理部６６にイメージセンサ４１の検査工程を開始するように指示し、検査処理部６６は検査工程を実行する（ステップＳＴ３）。この検査処理部６６は、光源１１からの光を光学アダプタ２０のアダプタ要素２４を介して照射したときのイメージセンサ４１からの出力信号を用いて良否判定を行い、その結果を表示部６１に表示するとともに記憶部６５に記憶する。そして、検査処理部６６は、すべてのイメージセンサ４１の検査が終了したか否かの判断を行い（ステップＳＴ４）、終了していない場合は、終了するまで検査を行い、終了している場合には、表示部６１に終了を表示し、さらに検査を実行するか否かの指示を行うように、ユーザーに通知する。すると、ユーザーはウェハ４０を換えて、操作部６２を操作することにより検査の開始の指示をし、上述のステップＳＴ１〜ＳＴ４を繰り返す。また、検査を終了する場合は、操作部６２を操作して終了の指示を制御装置６に入力すると、制御装置６は、検査を終了する。
【００３５】
このように、ウェハ４０を交換する毎に、位置決めアダプタを用いて光学アダプタ２０の位置調整を行うことにより、ウェハ４０上のイメージセンサ４１の検査を精度良く行うことができる。
【００３６】
（第１の調整方法）
次に、上述のステップＳＴ２において、制御装置６で実行される光学アダプタの位置調整の方法について詳しく説明する。なお、ここでは、２つの調整方法を示す。まず、第１の調整方法について、図６〜図８を示して説明する。なお、図６及び図７には、一例として、ウェハ上に３つのイメージセンサ４１ａ，４１ｂ，４１ｃが形成されている場合を示しているが、この数は、特に問題ではなく、基準となるイメージセンサ４１ａ及びもう１つのイメージセンサ４１ｂの中心と、これらに対向する点像４２ａ，４２ｂとが一致するように調整できれば、他のイメージセンサ４１ｃの中心領域と点像４２ｃとの位置も一致させることができる。
【００３７】
上述のステップＳＴ２で説明したように、基準とするイメージセンサ４１の中心領域に対向する点像４２を形成させると、例えば、図６（ａ）に示す状態となっている（以降の説明においては、基準とするイメージセンサを４１ａとし、このイメージセンサ４１ａに対向する点像を４２ａとする）。このような状態において光学アダプタ２０の回転中心の位置（中心軸２５）、ここでは、位置決めアダプタの回転中心の位置は装置固有のものであり、既知であるので、位置決めアダプタ（光学アダプタ２０）の中心軸２５（ウェハ４０のイメージセンサ４１ａ上に置き換えた際の中心軸４３）の座標を原点（Ｘ０，Ｙ０）とする。そして、位置調整部６０の初期設定部６４は、基準とするイメージセンサ４１ａの中心領域に点像４２ａを位置させたときの、この点像４２ａの座標を（Ｘ１，Ｙ１）とし、記憶部６５に初期設定値として記憶する（ステップＳＴ１１）。
【００３８】
次に、位置調整部６０は、表示部６１に、点像４２ａを回転させる向きをユーザーに設定させる指示を表示する。ここで、ユーザーは、イメージセンサ４１ａと点像４２ａとの位置関係を確認し、操作部６２を操作し、回転方向の向き（時計回り、または、反時計回りのいずれか）を入力する。そして、初期設定部６４は、その回転方向の向きを記憶部６５に記憶する（ステップＳＴ１２）。なお、この回転方向の向きの設定は、イメージセンサ４１ａと、点像４２ａとの位置及び中心軸４３との位置との関係において、例えば、点像４２ａと中心軸４３とを結んだ仮想線に対しイメージセンサ４１ａの中心領域の位置が、近い方の向きに回転するように設定される（例えば、図６（ａ）の場合は、時計回りに回転させることにより、位置合わせを短時間で行えると判断する）。
【００３９】
以上の設定が完了すると、制御装置６は、アダプタ変位調整部６３に指示し、このアダプタ変位調整部６３は、記憶部６５に記憶された回転方向の向きの情報を読み出し、θ方向変位調整部６３３にこの向きの情報を与える。すると、θ方向変位調整部６３３は、この回転方向の向きの情報に基づいて、位置決めアダプタを予め決められた回転量ｄθだけ回転させる。これにより、図６（ｂ）に示すように、点像４２ａは、中心軸４３を中心にｄθだけ回転する（ステップＳＴ１３）。
【００４０】
図６（ａ）のイメージセンサ４１ａの中心領域に点像４２ａが形成された状態から、図６（ｂ）で示すように、位置決めアダプタを決められた回転量（ｄθ）だけ回転移動した場合には、すべての点像４２ａ，４２ｂ，４２ｃの座標が変化する。ここで、点像４２ａの最初の座標（初期値）（Ｘ１，Ｙ１）及びｄθ回転させた状態での点像４２ａの座標（Ｘ２，Ｙ２）は、基準となるイメージセンサ４１ａの中心領域から中心軸４３までの距離（位置決めアダプタにおける点像４２ａと中心軸４３との距離あるいは、光学アダプタ２０の中心部２５からイメージセンサ４１ａに対向するアダプタ要素２４の中心領域までの距離）をｒとし、中心軸４３を通り最初の座標（初期値）（Ｘ１，Ｙ１）を結ぶ直線と水平方向（Ｘ軸）との間の角度をθとすると、次式（１），（２）のように表せる。なお、ここで、距離ｒは、既知の値である。
【００４１】
（Ｘ１，Ｙ１）＝｜ｒ・ＣＯＳ（θ），ｒ・ＳＩＮ（θ）｜                  （１）
（Ｘ２，Ｙ２）＝｜ｒ・ＣＯＳ（θ−ｄθ），ｒ・ＳＩＮ（θ−ｄθ）｜      （２）
【００４２】
そして、点像４２ａのＸ方向、Ｙ方向の移動量ｄＸ，ｄＹは、アダプタ変位調整部６３のＸ方向変位調整部６３１またはＹ方向変位調整部６３２によって、それぞれ次式（３）,（４）より算出される（ステップＳＴ１４）。
【００４３】
ｄＸ＝｜ｒ｛ＣＯＳ（θ−ｄθ）−ＣＯＳ（θ）｝｜                        （３）
ｄＹ＝｜ｒ｛ＳＩＮ（θ）−ＳＩＮ（θ−ｄθ）｝｜                        （４）
【００４４】
上述の式（３）は、アダプタ変位調整部６３のＸ方向変位調整部６３１によって計算され、Ｘ方向変位調整部６３１は、この移動量ｄＸの値分だけ光学アダプタホルダ２２に設置される位置決めアダプタを移動するようにＸ方向調整機構１５１に指示する。すると、Ｘ方向調整機構１５１は、この移動量ｄＸ分だけＸ方向に位置決めアダプタを移動させる。また、同様に、上述の式（４）は、Ｙ方向変位調整部６３２により計算され、Ｙ方向変位調整部６３２は、この移動量ｄＹの値分だけ位置決めアダプタを移動するようにＹ方向調整機構１５２に指示する。すると、Ｙ方向調整機構１５２は、この移動量ｄＹ分だけＹ方向に位置決めアダプタを移動させる（ステップＳＴ１５）。これにより、図７（ａ）で示すように、位置決めアダプタはＸ方向調整機構１５１及びＹ方向調整機構１５２によって、移動量ｄＸ、ｄＹだけ移動し、イメージセンサ４１ａの中心領域の位置に点像４２ａが再び形成される。
【００４５】
そして、制御装置６は、基準として選択したイメージセンサ４１ａと、もう１つのイメージセンサ（例えば、イメージセンサ４１ｂとする）の少なくとも２つのイメージセンサ４１ａ，４１ｂの出力を検出し、位置調整部６０のアダプタ変位調整部６３に情報として与え、アダプタ変位調整部６３は、基準としたイメージセンサ４１ａの中心領域ともう１つ別のイメージセンサ４１ｂの中心領域とにそれぞれ対向する点像４２ａ，４２ｂ（イメージセンサ４１ａ，４１ｂ上に対向するアダプタ要素２４によって形成される像の中心領域に相当）が形成されたか否かを判断する（ステップＳＴ１６）。アダプタ変位調整部６３は、この２つの基準としたイメージセンサ４１ａ，４１ｂの中心領域にそれぞれに対向する点像４２ａ，４２ｂが形成されていないと判断すると、ステップＳＴ１３に戻り、一致するまでステップＳＴ１３〜ＳＴ１６の工程を繰り返して行う。このステップＳＴ１３〜ＳＴ１６の工程は、図６（ａ）、（ｂ）、図７（ａ）で示す処理を繰り返し行うことであり、アダプタの回転方向（θ方向）と水平・垂直方向（Ｘ方向・Ｙ方向）の移動を繰り返し行うことにより、すべてのイメージセンサ４１ａ，４１ｂ，４１ｃの中心領域に、位置決めアダプタの点像４２ａ，４２ｂ，４２ｃが形成され位置されるように調整する。アダプタ変位調整部６３は、これらの調整を終了すると、その終了の情報が位置調整部６０を介して制御装置６に通知される。そして、制御装置６は、この位置調整の工程が完了したことを、表示部６１に表示し、検査工程の実行に移行する。なお、回転量ｄθは、検査装置１００に予め設定されている値であるが、移動の繰り返しに伴い、例えば、回数に比例して徐々に小さい値となるように設定したり、同じ回転量ずつ回転移動させ、基準とするイメージセンサ４１ａ以外のイメージセンサ（４１ｂ）内に点像４２ｂが位置した後に、回転量を小さくして中心領域に収束させやすいようにすることができる。
【００４６】
以上のように、アダプタの回転方向（θ方向）と水平・垂直方向（Ｘ方向・Ｙ方向）との移動を繰り返し行うことにより、図７（ｂ）で示すように、光学アダプタホルダ２２に設置された位置決めアダプタは、基準としたイメージセンサ４１ａに形成された点像４２ａ（最初に設定した座標（初期設定値）（Ｘ１,Ｙ１））を中心に回転するのと同様な動きとなる。このため、第１の調整方法によれば、あたかも、光学アダプタホルダ２２に設置された位置決めアダプタの回転中心（光学アダプタ２０の中心部２５、ウェハ上では中心軸４３）とは異なる座標（最初に設定した座標（初期設定値）（Ｘ１,Ｙ１））を回転中心として位置決めアダプタ（光学アダプタ２０）を回転させているような軌跡とすることができ、位置決めを、簡単な制御で、短時間で行うことができる。
【００４７】
（第２の調整方法）
次に、第２の調整方法について、図９〜図１１を示して説明する。上述の第１の調整方法においては、イメージセンサ４１のうち、いずれか１つを基準とするイメージセンサとしてその位置を記憶し、この基準とするイメージセンサの中心領域を仮想の回転中心として位置決めアダプタを回転させることにより、イメージセンサ４１と点像４２との位置合わせを行うように構成していたが、この第２の調整方法においては、２つのイメージセンサ４１のそれぞれに、対向する点像４２を形成してその位置を記憶して位置合わせを行うように構成されている。
【００４８】
ユーザーは、図９（ａ）に示すように、基準となる１つのイメージセンサ４１ａ（第１のイメージセンサ４１ａ）を決定し、この第１のイメージセンサ４１ａの中心領域に対向する１つの点像４２ａ（第１の点像４２ａ）を位置させる。具体的な操作については、第１の調整方法と同様である。そして、第１のイメージセンサ４１ａへの第１の点像４２ａの調整完了がユーザーにより操作部６２から入力されると、初期設定部６４は、第１のイメージセンサ４１ａの中心領域に形成された第１の点像４２ａの位置情報である座標（Ｘ１,Ｙ１）を第１初期位置情報として、記憶部６５に記憶する（ステップＳＴ２１）。
【００４９】
次に、制御装置６は、平面移動（Ｘ方向及びＹ方向）を行って、第１のイメージセンサ４１ａとは別のイメージセンサ４１ｂ（第２のイメージセンサ４１ｂ）の中心領域に対向する点像４２ｂ（第２の点像４２ｂ）を形成するように表示部６１に指示する。ユーザーは、第１のイメージセンサ４１ａのときと同様に、操作部６２を操作して、光学アダプタホルダ２２に取り付けられた位置決めアダプタをＸ方向及びＹ方向に移動させ、図９（ｂ）に示すように、第２のイメージセンサ４１ｂに対向する第２の点像４２ｂを、この第２のイメージセンサ４１ｂの中心領域に形成するように調整を行う。そして、その調整が完了し、ユーザーによりその完了の情報が操作部６２から入力されると、初期設定部６４は、第２のイメージセンサ４１ｂの中心領域に形成された第２の点像４２ｂの座標（Ｘ２,Ｙ２）を第２初期位置情報として、記憶部６５に記憶する（ステップＳＴ２２）。また、アダプタ変位調整部６３は、アダプタ駆動部１５に送られた操作部６２の操作情報からＸ方向調整機構１５１及びＹ方向調整機構１５２の移動量（位置決めアダプタのＸ方向及びＹ方向の移動量）を取得し、それぞれＸ方向の調整機構１５１の移動量をｄＸ、Ｙ方向調整機構１５２との移動量をｄＹとして記憶部６５に記憶する（ステップＳＴ２２）。
【００５０】
そして、アダプタ変位調整部６３は、第２のイメージセンサ４１ｂの中心領域に第２の点像４２ｂが形成されている状態における第１の点像４２ａの位置情報を座標（ＸＡ,ＹＡ）として、この座標（ＸＡ,ＹＡ）と、移動量（ｄＸ,ｄＹ）とにより、第１のイメージセンサ４１ａの座標を（ＸＡ＋ｄＸ,ＹＡ＋ｄＹ）と表す。次に、θ方向変位調整部６３３は、第１初期位置情報及び第２初期位置情報から、第１のイメージセンサ４１ａと第２のイメージセンサ４１ｂとのそれぞれの中心領域の位置を結ぶ直線と、第１の点像４２ａ及び第２の点像４２ｂを結ぶ直とが平行になるように、光学アダプタホルダ２２に配置される位置決めアダプタの回転量を算出する（ステップＳＴ２３）。つまり、図１０（ａ）に示すように、上述のステップＳＴ２２の状態（第２の点像４２ｂが第２のイメージセンサ４１ｂの中心領域の位置に一致しており、第１の点像４２ａと第１のイメージセンサ４１ａの中心領域の位置が、Ｘ方向、Ｙ方向にそれぞれｄＸ，ｄＹ分ずれている状態）において、第２の点像４２ｂ（点ｏ）と第１の点像４２ａ（点ｐ）と第１のイメージセンサ４１ａの中心領域（点ｑ）との３点を結ぶ直線で囲まれた領域は、この３点の内、第２の点像４２ｂ（点ｏ）を頂点とする二等辺三角形となっている。したがって、第２の点像４２ｂ（点ｏ）を頂点とする角（二等辺三角形の頂点の角度、角ｐｏｑ）の角度をθとすると、この角度θは、以下の式（５）により算出できる。なお、この式（５）において、Ｌは、中心軸４３を挟んで同一線上に位置する第１の点像４２ａと第２の点像４２ｂとの間の距離であり、既値である。
【００５１】
【数１】
2011014803.tif 000003
【００５２】
次に、θ方向変位調整部６３３は、式（５）で算出した角度θ分だけ、光学アダプタホルダ２２に設置される位置決めアダプタを回転移動させるようにθ方向調整機構１５３に指示し、θ方向調整機構１５３は、その指示に従って位置決めアダプタをθ角度分だけ回転移動させる（ステップＳＴ２４）。アダプタ変位調整部６３は、角度θ分だけ回転移動した後の第１の点像４２ａの位置情報の座標（ＸＢ，ＹＢ）を座標（ＸＡ，ＹＡ）及び角度θにより三角関数の加法定理により以下の（６）のように表す。
【００５３】
（ＸＢ，ＹＢ）＝
（ＸＡ・ＣＯＳθ―ＹＡ・ＳＩＮθ，ＹＡ・ＣＯＳθ＋ＸＡ・ＳＩＮθ）    （６）
【００５４】
そして、アダプタ変位調整部６３のＸ方向変位調整部６３１及びＹ方向調整部６３２は、第１初期位置情報（Ｘ１,Ｙ１）＝（ＸＡ＋ｄＸ，ＹＡ＋ｄＹ）とθ分回転した後の第１の点像の座標（ＸＢ，ＹＢ）＝（ＸＡ・ＣＯＳθ―ＹＡ・ＳＩＮθ,ＹＡ・ＣＯＳθ＋ＸＡ・ＳＩＮθ）との差分ｄＸ′，ｄＹ′を次式（７），（８）により算出する（ステップＳＴ２５）。
【００５５】
ｄＸ′＝ＸＡ（１−ＣＯＳθ）＋ＹＡ・ＳＩＮθ＋ｄＸ）                  （７）
ｄＹ′＝ＹＡ（１−ＣＯＳθ）−ＸＡ・ＳＩＮθ＋ｄＹ）                  （８）
【００５６】
次に、Ｘ方向変位調整部６３１及びＹ方向調整部６３２は、それぞれ差分ｄＸ′，ｄＹ′だけ、Ｘ方向調整機構１５１及びＹ方向調整機構１５２を平面移動するように指示し、Ｘ方向調整機構１５１及びＹ方向調整機構１５２は、この指示に従って、それぞれ、順番に位置決めアダプタを平面移動（Ｘ方向移動、Ｙ方向移動）させ（ステップＳＴ２６）、位置調整を終了し、検査工程に移行する。
【００５７】
このように光学アダプタホルダ２２に配置される位置決めアダプタを移動させ、第１及び第２のイメージセンサ４１ａ，４１ｂの中心領域の位置にそれぞれ第１及び第２の点像４２ａ，４２ｂを形成させることにより、位置決めアダプタから光学アダプタ２０に交換しても、第１及び第２のイメージセンサ４１ａ，４１ｂの中心領域に光学アダプタ２０のアダプタ要素２４により形成される像の中心領域は一致する。
【００５８】
以上のように、本実施形態における光学アダプタ２０は、複数のイメージセンサ４１に対向するようにそれぞれアダプタ要素２４が配置されており、互いに等間隔となるように設定されているので、２点のイメージセンサと光学アダプタ２０との相対位置を合わせることにより、すべての位置調整を完了させることができる。これにより、容易に、かつ高速にすべてのイメージセンサ４１の中心領域と光学アダプタ２０のアダプタ要素２４により形成される像の中心領域（最も強度分布の大きい領域）とを一致させることができ、この照明装置１０を備えた検査装置１００のイメージセンサ４１の検査時間を短縮し、かつ、精度良く行うことができる。
【００５９】
また、制御装置６は、制御部の一例であり、この制御装置６は、照明装置１０と一体に使用される装置として設けることもできるし、制御装置６の位置調整部６０、検査処理部６６等をパーソナルコンピュータ等で起動する構成とすることも可能である。また、本実施形態における位置調整の工程は、位置決めアダプタを用いて行っているが、位置決めアダプタを使用せずに、光学アダプタ２０の像を用いて行うことも可能である。この場合は、ウェハ４０のイメージセンサ４１に形成される像は、点像４２ではなく、強度分布を有する像（図１２参照）となるので、この像の強度から、中心部の最も強度の大きい領域（ピーク）を検出して、中心位置として調整を行うようにすることにより、可能となる。
【符号の説明】
【００６０】
１０  照明装置    １１  光源    １５  アダプタ駆動部    ２０  光学アダプタ
４１，４１ａ，４１ｂ，４１ｃ  イメージセンサ    ４２ａ,４２ｂ，４２ｃ  点像
６３  アダプタ変位調整部    ６４  初期設定部    １００  検査装置
【図１】
2011014803.tif 000004
【図２】
2011014803.tif 000005
【図３】
2011014803.tif 000006
【図４】
2011014803.tif 000007
【図５】
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【図６】
2011014803.tif 000009
【図７】
2011014803.tif 000010
【図８】
2011014803.tif 000011
【図９】
2011014803.tif 000012
【図１０】
2011014803.tif 000013
【図１１】
2011014803.tif 000014
【図１２】
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【図１３】
2011014803.tif 000016