(57)【要約】【課題】本発明は、より簡易に信頼性の高い検査をすることができる表示デバイスの検査装置および表示デバイスの検査方法を提供する。【解決手段】表示デバイスに設けられた画素の状態を制御する画素制御部を制御して前記表示デバイスに離散的な点列となるような画像パターンを表示させるパターン制御部と、前記画像パターンを撮像して画像情報を取得する撮像部と、前記画像情報に基づいて欠陥の検査を行う検査部と、を備えたことを特徴とする表示デバイスの検査装置が提供される。【選択図】図１
2011191258.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示デバイスに設けられた画素の状態を制御する画素制御部を制御して前記表示デバイスに離散的な点列となるような画像パターンを表示させるパターン制御部と、
前記画像パターンを撮像して画像情報を取得する撮像部と、
前記画像情報に基づいて欠陥の検査を行う検査部と、
を備えたことを特徴とする表示デバイスの検査装置。
【請求項２】
前記画像パターンは、検査対象となる一の画素における光が拡散される範囲に検査対象となる他の画素が含まれないような離散的な点列を有することを特徴とする請求項１記載の表示デバイスの検査装置。
【請求項３】
前記画像パターンは、前記検査対象となる一の画素における光が拡散される範囲と、前記検査対象となる他の画素における光が拡散される範囲と、の一部が重なるような離散的な点列を有することを特徴とする請求項２記載の表示デバイスの検査装置。
【請求項４】
表示デバイスに離散的な点列となるような画像パターンを表示させる工程と、
前記画像パターンを撮像して画像情報を取得する工程と、
前記画像情報に基づいて欠陥の検査を行う工程と、
を備えたことを特徴とする表示デバイスの検査方法。
【請求項５】
前記画像パターンは、検査対象となる一の画素における光が拡散される範囲に検査対象となる他の画素が含まれないような離散的な点列を有することを特徴とする請求項４記載の表示デバイスの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示デバイスの検査装置および表示デバイスの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造されたフラットパネルディスプレイなどの表示デバイスに欠陥が発生することがある。この種の欠陥には、画素が常時点灯したままとなるいわゆる輝点欠陥と、画素が常時点灯しなくなるいわゆる滅点欠陥（黒点欠陥）とがある。そして、この様な欠陥は、製造工程における検査、出荷時における検査、入荷時における検査などで発見され、リペアや製品の廃棄などが行われている。この様な欠陥を検査する際には、表示デバイスに所定の画像パターンなどを表示させ、表示させた画像を撮像、画像処理することで欠陥の有無を判断するようにしている。
【０００３】
ここで、検査対象である表示デバイスの画素毎に精度の高い検査を行うためには、表示デバイスの解像度（分解能）の２倍以上の解像度（分解能）を有する撮像装置が必要となる。そのため、高解像度（高分解能）のラインセンサを用いることで欠陥を詳細かつ精度よく検査することができる検査装置が提案されている（特許文献１を参照）。  
しかしながら、表示デバイスの解像度（分解能）の２倍以上の解像度（分解能）を有する撮像装置を用いるものとすれば、検査装置の複雑化、大型化、高価格化などを招くことになる。また、近年においては表示デバイスの大型化が進んでおり、検査装置がさらに複雑化、大型化、高価格化するおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２５０６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、より簡易に信頼性の高い検査をすることができる表示デバイスの検査装置および表示デバイスの検査方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、表示デバイスに設けられた画素の状態を制御する画素制御部を制御して前記表示デバイスに離散的な点列となるような画像パターンを表示させるパターン制御部と、前記画像パターンを撮像して画像情報を取得する撮像部と、前記画像情報に基づいて欠陥の検査を行う検査部と、を備えたことを特徴とする表示デバイスの検査装置が提供される。
【０００７】
また、本発明の他の一態様によれば、表示デバイスに離散的な点列となるような画像パターンを表示させる工程と、前記画像パターンを撮像して画像情報を取得する工程と、前記画像情報に基づいて欠陥の検査を行う工程と、を備えたことを特徴とする表示デバイスの検査方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、より簡易に信頼性の高い検査をすることができる表示デバイスの検査装置および表示デバイスの検査方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態に係る表示デバイスの検査装置を例示するための模式図である。
【図２】撮像部の解像度（分解能）と表示デバイスの解像度（分解能）とを例示するための模式図である。
【図３】本実施の形態に係る表示デバイスの検査方法について例示をするためのフローチャートである。
【図４】離散的な点列となるような画像パターンを用いた滅点欠陥（黒点欠陥）の検査を例示するための模式図である。
【図５】他の実施形態に係る離散的な点列となるような画像パターンを用いた滅点欠陥（黒点欠陥）の検査を例示するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
図１は、本実施の形態に係る表示デバイスの検査装置を例示するための模式図である。  図２は、撮像部の解像度（分解能）と表示デバイスの解像度（分解能）とを例示するための模式図である。  
図１に示すように、検査装置１には、撮像部２、載置部３、画素制御部４、検査部５、パターン制御部６が設けられている。
【００１１】
撮像部２は、表示デバイス１００に表示させた画像パターンなどを撮像して画像情報を取得する。  
撮像部２には、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）などの撮像素子が周期的に複数配列された撮像素子部２ａと、検査対象である表示デバイスからの光を集光するレンズなどの光学部２ｂと、が設けられている。撮像部２は、光学部２ｂが載置部３の主面の方を向くように設けられており、載置部３の主面に載置された表示デバイス１００を撮像することができるようになっている。撮像部２により撮像された光学像のデータは電気信号に変換され後述する検査部５に送られる。
【００１２】
ここで、図２に示すように、撮像部２（撮像素子部２ａ）における撮像素子の一単位である画素２１の配列密度は、表示デバイス１００における画素１０１の配列密度よりも低くなっている。すなわち、撮像部２の解像度（分解能）は表示デバイス１００の解像度（分解能）よりも低くなっている。そのため、撮像部２（撮像素子部２ａ）における１つの画素２１で表示デバイス１００における複数の画素１０１からなる領域を撮像することになる。なお、本明細書において、表示デバイス１００における画素１０１は、例えば、Ｒ（Red）、Ｇ（Green）Ｂ（Blue）の一単位をいう。
【００１３】
載置部３は、主面が平坦面となっており、主面に表示デバイス１００を載置することができるようになっている。この場合、表示デバイス１００を保持する静電チャックなどのような図示しない保持部や、撮像部２との相対的な位置を変化させる図示しない移動部を内蔵させることができる。図示しない移動部としては、例えば、載置された表示デバイス１００を左右方向、前後方向、上下方向、回転方向に移動させることができるものとすることができる。なお、図示しない移動部を撮像部２に設けて載置部３に対する撮像部２の位置を変化させるようにしてもよい。また、発光部を有さない表示デバイス１００（例えば、バックライト装置を有さない単なる液晶パネルなど）を検査するための図示しない発光部などを備えていてもよい。図示しない発光部としては、載置された表示デバイス１００に向けて平面的に光を出射するバックライト装置などを例示することができる。なお、図示しない保持部、移動部、発光部は、必ずしも必要ではなく、必要に応じて設けるようにすることができる。
【００１４】
画素制御部４は、表示デバイス１００に設けられた各画素１０１の状態を制御する。例えば、いわゆる非自発光型の表示デバイス１００（例えば、液晶表示装置など）の場合には表示デバイス１００に設けられた各画素１０１の透光状態と遮光状態との切り替えを行う。また、いわゆる自発光型の表示デバイス１００（例えば、プラズマ表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置など）の場合には表示デバイス１００に設けられた各画素１０１の点灯状態と消灯状態との切り替えを行う。  
そのため、画素制御部４は、後述するパターン制御部６に制御されることで表示デバイス１００に任意の画像パターン、具体的には後述する離散的な点列となるような画像パターンを表示させることができる。  
なお、表示デバイス１００に画素制御部４が設けられているような場合には画素制御部４を省略することもできる。例えば、表示デバイス１００がパーソナルコンピュータのような場合には、表示デバイス１００に画素制御部４が設けられていることになる。その様な場合には、後述するパターン制御部６により表示デバイス１００に設けられた画素制御部４を制御するようにすればよい。
【００１５】
検査部５は、撮像部２から送られてきた画像情報に基づいて欠陥の検査を行う。すなわち、検査部５は、撮像部２から送られてきたデータに基づいて画像処理を行い輝点欠陥や滅点欠陥（黒点欠陥）の検査を行う。また、撮像部２における撮像の開始、終了や撮像条件、撮像範囲などを制御するようにすることもできる。  
また、検査部５はパターン制御部６と電気的に接続され、相互に信号のやり取りができるようになっている。そのため、画像パターンの切り替えタイミング、撮像タイミングなどを相互にやり取りすることができる。
パターン制御部６は、画素制御部４の動作を制御する。例えば、パターン制御部６は、表示デバイス１００に設けられた画素の状態を制御する画素制御部４を制御して表示デバイス１００に離散的な点列となるような画像パターンを表示させる。すなわち、パターン制御部６は画素制御部４において状態を制御する画素１０１の指定などを行う。また、画素制御部４における制御の開始、終了などを制御することもできる。
【００１６】
また、検査部５には、検査結果などの検査情報を格納する図示しない格納部、検査結果などの検査情報を外部の機器に出力したり外部の機器などからのデータを入力したりする図示しない入出力部などを設けるようにすることができる。  
その他、撮像部２により撮像された検査画像を表示する図示しないモニタ部、検査部５の図示しない入出力部に接続されたキーボードなどの図示しないデータ入力部などを適宜設けるようにすることができる。
【００１７】
次に、本実施の形態に係る表示デバイスの検査装置１の作用について例示をする。  
まず、図示しない搬送装置や作業者などにより検査対象となる表示デバイス１００が搬入され、載置部３の主面に載置、保持される。  
次に、画素制御部４により表示デバイス１００における各画素１０１の状態を制御する。
輝点欠陥を検査する場合には、表示デバイス１００から光が発せられないように各画素１０１の状態を制御する。例えば、液晶表示装置などの非自発光型の表示デバイス１００の場合には、すべての画素１０１を遮光状態とする。また、プラズマ表示装置や有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置などの自発光型の表示デバイス１００の場合には、すべての画素１０１を消灯状態とする。また、バックライト装置を有さない単なる液晶パネルなどのように発光部が設けられていない表示デバイス１００の場合には、載置部３に設けられた図示しない発光部を点灯させた上ですべての画素１０１を遮光状態とする。
【００１８】
滅点欠陥（黒点欠陥）を検査する場合には、表示デバイス１００に所定の画像パターンが表示されるように各画素１０１の状態を制御する。例えば、液晶表示装置などの非自発光型の表示デバイス１００の場合には、所定の画像パターンが表示されるように特定の画素１０１を透光状態とする。また、プラズマ表示装置や有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置などの自発光型の表示デバイス１００の場合には、所定の画像パターンが表示されるように特定の画素１０１を点灯状態とする。また、バックライト装置を有さない単なる液晶パネルなどのように発光部が設けられていない表示デバイス１００の場合には、載置部３に設けられた図示しない発光部を点灯させた上で所定の画像パターンが表示されるように特定の画素１０１を透光状態とする。
【００１９】
ここで、画像パターンは、検査対象となる一の画素における光が拡散される範囲に検査対象となる他の画素が含まれないような離散的な点列を有するものとすることができる。また、画像パターンは、検査対象となる一の画素における光が拡散される範囲と、検査対象となる他の画素における光が拡散される範囲と、の一部が重なるような離散的な点列を有するものとすることができる。なお、これらに関する詳細は後述する。
【００２０】
次に、撮像部２により表示デバイス１００を撮像する。撮像部２により撮像された光学像のデータは電気信号に変換され検査部５に送られる。検査部５においては、撮像部２から送られてきたデータに基づいて画像処理を行い欠陥の検査を行う。
【００２１】
輝点欠陥を検査する場合には、光を発している画素１０１を輝点欠陥と判定することができる。滅点欠陥（黒点欠陥）を検査する場合には、光を発しない画素１０１を滅点欠陥（黒点欠陥）と判定することができる。
【００２２】
ここで、滅点欠陥（黒点欠陥）を検査する場合、滅点欠陥（黒点欠陥）の近傍にある画素から発せられた光が表示デバイス１００の表示面側に設けられたガラスや撮像部２に設けられたレンズなどの光学部２ｂなどにより拡散され、滅点欠陥（黒点欠陥）が覆い隠されてしまう場合がある。すなわち、表示デバイス１００の表示面側に設けられたガラスなどの光学特性、撮像部２の光学部２ｂの光学特性などによっては、滅点欠陥（黒点欠陥）が覆い隠されてしまい滅点欠陥（黒点欠陥）の検査が困難となるおそれがある。
【００２３】
そのため、本実施の形態においては、パターン制御部６により表示デバイス１００に設けられた画素の状態を制御する画素制御部４を制御して表示デバイス１００に離散的な点列となるような画像パターンを表示させる。そして、この様な画像パターンを撮像部２に撮像させることで滅点欠陥（黒点欠陥）の近傍にある画素から発せられた光により滅点欠陥（黒点欠陥）が覆い隠されてしまうことを抑制するようにしている。
【００２４】
この場合、離散的な点列となるような画像パターンを用いて滅点欠陥（黒点欠陥）を検査するようにすれば、表示デバイス１００の解像度（分解能）よりも低い解像度（分解能）を有する撮像部２を用いて欠陥の検査を行うことができるようになる。  
なお、離散的な点列となるような画像パターンを用いて滅点欠陥（黒点欠陥）を検査することなどに関する詳細は、後述する本実施の形態に係る表示デバイスの検査方法において例示をする。
【００２５】
また、撮像部２の動作が検査部５により制御され、画素制御部４の動作がパターン制御部６により制御される。例えば、撮像部２における撮像の開始、終了や撮像条件、撮像範囲などが検査部５により制御される。また、画素制御部４における制御の開始、終了や状態を制御する画素１０１の指定（例えば、離散的な点列となるような画像パターンを表示させるための画素の指定など）などがパターン制御部６により制御される。この際、検査部５とパターン制御部６との間において、画像パターンの切り替えタイミング、撮像タイミングなどが相互にやり取りされる。
【００２６】
輝点欠陥、滅点欠陥（黒点欠陥）に関する検査結果などの検査情報は、検査部５に設けられた図示しない格納部に格納されたり、図示しない入出力部を介して外部の機器などに送られたりすることができる。
【００２７】
検査が終了した表示デバイス１００は、図示しない搬送装置や作業者などにより搬出される。この後、必要に応じて検査対象となる表示デバイス１００が搬入され、前述した検査が行われるようにすることができる。
【００２８】
本実施の形態によれば、離散的な点列となるような画像パターンを用いて滅点欠陥（黒点欠陥）を検査することができるので、表示デバイス１００の解像度（分解能）よりも低い解像度（分解能）を有する撮像部２を用いて欠陥の検査を行うことができる。そのため、検査装置１の簡易化、小型化、低価格化を図ることができ、より簡易に信頼性の高い検査をすることができる。
【００２９】
次に、本実施の形態に係る表示デバイス１００の検査方法について例示をする。  
図３は、本実施の形態に係る表示デバイス１００の検査方法について例示をするためのフローチャートである。
【００３０】
図３に示すように、まず、検査対象である表示デバイス１００にいわゆる「全面白表示」をさせる（ステップＳ１）。  
例えば、液晶表示装置などの非自発光型の表示デバイス１００の場合には、すべての画素１０１を透光状態とする。プラズマ表示装置や有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置などの自発光型の表示デバイス１００の場合には、すべての画素１０１を点灯状態とする。バックライト装置を有さない単なる液晶パネルなどのように発光部が設けられていない表示デバイス１００の場合には、表示デバイス１００の裏面側（表示面側の反対側）から光を照射させた上ですべての画素１０１を透光状態とする。
【００３１】
次に、「全面白表示」をさせた範囲を検査領域とする（ステップＳ２）。  
すなわち、「全面白表示」をさせることで画素１０１が存在する領域（検査領域）を求め、以降はこの検査領域において検査を行うようにする。  
なお、ステップＳ１、ステップＳ２は必ずしも必要ではなく必要に応じて行うようにすればよい。
【００３２】
次に、輝点欠陥の検査を行う。  
すなわち、まず、表示デバイス１００にいわゆる「全面黒表示」をさせる（ステップＳ３）。  
例えば、液晶表示装置などの非自発光型の表示デバイス１００の場合には、すべての画素１０１を遮光状態とする。プラズマ表示装置や有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置などの自発光型の表示デバイス１００の場合には、すべての画素１０１を消灯状態とする。バックライト装置を有さない単なる液晶パネルなどのように発光部が設けられていない表示デバイス１００の場合には、表示デバイス１００の裏面側（表示面側の反対側）から光を照射させた上ですべての画素１０１を遮光状態とする。
【００３３】
次に、輝点の検出を行う（ステップＳ４）。  
すなわち、検査領域において明るくなった点（輝点）を検出することで輝点欠陥の検査を行う。  
この際、撮像部２における画素２１の位置と画素２１における輝点の位置とから表示デバイス１００における輝点欠陥の位置を特定するようにすることもできる。
【００３４】
次に、滅点欠陥（黒点欠陥）の検査を行う。  
前述したように、滅点欠陥（黒点欠陥）の近傍にある画素から発せられた光が表示デバイス１００の表示面側に設けられたガラスや撮像部２に設けられたレンズなどの光学部２ｂなどにより拡散され、滅点欠陥（黒点欠陥）が覆い隠されてしまう場合がある。
【００３５】
そのため、本実施の形態においては、離散的な点列となるような画像パターンを表示デバイス１００に表示させ、この様な画像パターンに基づいて滅点欠陥（黒点欠陥）の検査を行うようにしている。
【００３６】
すなわち、まず、表示デバイス１００に離散的な点列となるような画像パターンを表示させる（ステップＳ５）。  
次に、表示されたパターンに基づいて滅点の検出を行う（ステップＳ６）。すなわち、まず、画像パターンを撮像して画像情報を取得する。そして、画像情報に基づいて滅点欠陥（黒点欠陥）の検査を行う。  
ここで、離散的な点列となるような画像パターンを用いた滅点欠陥（黒点欠陥）の検査についてさらに例示をする。
【００３７】
図４は、離散的な点列となるような画像パターンを用いた滅点欠陥（黒点欠陥）の検査を例示するための模式図である。  
なお、図４（ａ）、（ｃ）は離散的な点列となるような画像パターンを表示させる際の画素の位置（表示デバイス１００における画素の位置）を例示するための模式図、図４（ｂ）、（ｄ）は撮像部２に撮像された際の画像パターンを例示するための模式図である。また、図４（ａ）、（ｂ）は滅点欠陥（黒点欠陥）がない場合、図４（ｃ）、（ｄ）は滅点欠陥（黒点欠陥）が存在する場合である。
【００３８】
図４（ｂ）、（ｄ）に示すように、表示デバイス１００の画素から発せられた光は表示デバイス１００の表示面側に設けられたガラスや撮像部２に設けられたレンズなどの光学部２ｂなどにより拡散される。そのため、この拡散された範囲内に滅点欠陥（黒点欠陥）が有ると滅点欠陥（黒点欠陥）が覆い隠されその検出が困難となる。
【００３９】
ここで、本発明者の得た知見によれば、光が拡散される範囲２００は、表示デバイス１００の表示面側に設けられたガラスなどの光学特性、撮像部２の光学部２ｂの光学特性などにより略一定となる。そのため、予め実験やシミュレーションなどにより光が拡散される範囲２００を求めることができる。
【００４０】
本実施の形態においては、検査対象となる一の画素における光が拡散される範囲２００に検査対象となる他の画素が含まれないような離散的な点列を有する画像パターンを用いて滅点欠陥（黒点欠陥）の検査を行うようにしている。  
例えば、図４（ａ）に示すように、検査対象となる一の画素（例えば、画素１０１ａ）における光が拡散される範囲２００に検査対象となる他の画素（例えば、画素１０１ｂ、１０１ｃ）が含まれないような離散的な点列を有する画像パターンを用いて滅点欠陥（黒点欠陥）の検査を行うようにしている。この場合、滅点欠陥（黒点欠陥）がなければ、図４（ｂ）に示すような画像が撮像されることになる。
【００４１】
一方、図４（ｃ）に示すように滅点欠陥（黒点欠陥）が存在する場合（画素１０１ｂが滅点欠陥（黒点欠陥）の場合）には、図４（ｄ）に示すような画像が撮像されることになる。  
そして、この様な画像パターンをずらした位置に順次表示させながら検査を行うようにすれば、滅点欠陥（黒点欠陥）の近傍にある画素から発せられた光により滅点欠陥（黒点欠陥）が覆い隠されてしまうことがないので、表示デバイス１００の解像度（分解能）よりも低い解像度（分解能）による検査を行うことができるようになる。そのため、検査の簡易化、低価格化を図ることができ、より簡易に信頼性の高い検査をすることができる。
【００４２】
この場合、図４（ａ）に示すように、画像パターンを構成する点列が千鳥状となるようにすれば、検査対象となる画素の間隔を所定の値に保ちつつより多くの画素を検査対象とすることができる。すなわち、検査対象となる画素の配置をより稠密にすることができる。そのため、画像パターンをずらす回数を低減させることができるので、検査時間の短縮や検査効率の向上を図ることができる。
【００４３】
図５は、他の実施形態に係る離散的な点列となるような画像パターンを用いた滅点欠陥（黒点欠陥）の検査を例示するための模式図である。  
なお、図５（ａ）、（ｃ）は離散的な点列となるような画像パターンを表示させる際の画素の位置（表示デバイス１００における画素の位置）を例示するための模式図、図５（ｂ）、（ｄ）は撮像部２に撮像された際の画像パターンを例示するための模式図である。また、図５（ａ）、（ｂ）は滅点欠陥（黒点欠陥）がない場合、図５（ｃ）、（ｄ）は滅点欠陥（黒点欠陥）が存在する場合である。
【００４４】
本実施の形態においても、例えば、図５（ａ）に示すように、検査対象となる一の画素（例えば、画素１０２ａ）における光が拡散される範囲２００に検査対象となる他の画素（例えば、画素１０２ｂ〜１０２ｉ）が含まれないような離散的な点列を有する画像パターンを用いて滅点欠陥（黒点欠陥）の検査を行うようにしている。ただし、本実施の形態においては、光が拡散される範囲２００同士の一部が重なる様な離散的な点列としている。すなわち、検査対象となる一の画素における光が拡散される範囲と、検査対象となる他の画素における光が拡散される範囲と、の一部が重なるような離散的な点列としている。この場合、滅点欠陥（黒点欠陥）がなければ、図５（ｂ）に示すような画像が撮像されることになる。すなわち、検査領域の略全域が光が拡散される範囲２００で覆われるような画像が撮像されることになる。
【００４５】
一方、図５（ｃ）に示すように滅点欠陥（黒点欠陥）が存在する場合（画素１０１ｅが滅点欠陥（黒点欠陥）の場合）には、図５（ｄ）に示すような画像が撮像されることになる。  
そして、この様な画像パターンをずらした位置に順次表示させながら検査を行うようにすれば、滅点欠陥（黒点欠陥）の近傍にある画素から発せられた光により滅点欠陥（黒点欠陥）が覆い隠されてしまうことがないので、表示デバイス１００の解像度（分解能）よりも低い解像度（分解能）による検査を行うことができるようになる。そのため、検査の簡易化、低価格化を図ることができ、より簡易に信頼性の高い検査をすることができる。
【００４６】
この場合、光が拡散される範囲２００同士の一部が重なる様な離散的な点列としているので、より多くの画素を検査対象とすることができる。すなわち、図４において例示をした場合よりも検査対象となる画素の配置をより稠密にすることができる。そのため、画像パターンをずらす回数をさらに低減させることができるので、検査時間の短縮や検査効率の向上をさらに図ることができる。ただし、滅点欠陥（黒点欠陥）の位置を正確に特定する必要がある場合には、図４において例示をしたものの方がより好ましい。なお、光が拡散される範囲２００同士の一部が重なる様な離散的な点列とするためには、図５（ａ）に示すようなマトリクス状の配置とすることが好ましい。
【００４７】
また、例えば、図５（ｄ）に示すように光が拡散される範囲２００同士の間に暗部１０３が生じる場合がある。この様な場合、暗部１０３を滅点欠陥（黒点欠陥）１０４と誤検出するおそれがある。  
そのため、本実施の形態においては、必要に応じて光が拡散される範囲２００を画像処理により拡大するようにしている。例えば、暗部１０３が消滅するまで光が拡散される範囲２００を画像処理により拡大し、残余の暗部があればそれを滅点欠陥（黒点欠陥）１０４として検出するようにしている。この様にすれば、誤検出を抑制することができるので、検査の信頼性を向上させることができる。
【００４８】
なお、図３において例示をしたものは、輝点欠陥の検査の後、滅点欠陥（黒点欠陥）の検査を行うようにしているが、滅点欠陥（黒点欠陥）の検査の後、輝点欠陥の検査を行うようにすることもできる。また、滅点欠陥（黒点欠陥）の検査のみを行うようにすることもできる。
【００４９】
本実施の形態によれば、離散的な点列となるような画像パターンを用いて滅点欠陥（黒点欠陥）を検査するようにしているので、表示デバイス１００の解像度（分解能）よりも低い解像度（分解能）による検査を行うことができる。そのため、検査の簡易化、低価格化を図ることができ、より簡易に信頼性の高い検査をすることができる。
【００５０】
以上、本実施の形態について例示をした。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。  
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、または、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。  
例えば、検査装置１が備える各要素の形状、寸法、配置、数などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、点列の配置、数、ピッチなどは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。  
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【００５１】
１  検査装置、２  撮像部、２ａ  撮像素子部、２ｂ  光学部、３  載置部、４  画素制御部、５  検査部、６ パターン制御部、２１  画素、１００  表示デバイス、１０１  画素、２００  光が拡散される範囲
【図１】
2011191258.tif 000003
【図３】
2011191258.tif 000004
【図２】
2011191258.tif 000005
【図４】
2011191258.tif 000006
【図５】
2011191258.tif 000007