(57)【要約】【課題】共振周波数の調整のために質量を削除する際に、ミラー部の光学特性の劣化を防ぐことが可能な光スキャナ及び光スキャナの共振周波数調整方法を提供する。【解決手段】光スキャナ１は、ミラー部１００と、捩れ梁部１１０と、撓み梁部１２０と、外縁部１３０と、駆動部１４１，１４２と、調整部１５１〜１５４とを備える。捩れ梁部１１０は、揺動軸線ＡＲを含み、ミラー部１００から延出する第１捩れ梁１１１と、第１捩れ梁１１１と対称にミラー部１００から延出する第２捩れ梁１１２とを有する。撓み梁部１２０は、第１捩れ梁１１１の端部から、ｘ方向に延出する第１撓み梁１２１と、第２捩れ梁１１２の端部からｘ方向に延出する第２撓み梁１２１とを有する。光スキャナの共振周波数用の調整部１５１〜１５４は、ミラー部１００に対して対称に配置されるように、撓み梁部１２０に設けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射した光を所定方向に走査する光スキャナであって、
揺動軸線の回りに揺動され、入射した光を反射するミラー部と、
前記揺動軸線を含み、前記ミラー部から離れる方向に前記ミラー部から延出する第１捩れ梁と、前記揺動軸線を含み、前記ミラー部に対して前記第１捩れ梁と対称に、前記ミラー部から離れる方向に前記ミラー部から延出する第２捩れ梁と、を有する捩れ梁部と、
前記第１捩れ梁の端部に接続され、前記第１捩れ梁の端部から、前記揺動軸線に直交する方向である第１方向に延出する第１撓み梁と、前記第２捩れ梁の端部に接続され、前記第２捩れ梁の端部から前記第１方向に延出する第２撓み梁と、を有する撓み梁部と、
前記第１撓み梁の端部と前記第２撓み梁の端部とにおいて、前記撓み梁部に接続される外縁部と、
前記ミラー部を揺動駆動させるための駆動部と、
前記ミラー部に対して対称に配置されるように前記撓み梁部に設けられ、前記光スキャナの共振周波数を調整する調整部と、
を備えることを特徴とする光スキャナ。
【請求項２】
前記調整部は、複数の質量片を有する、
請求項１に記載の光スキャナ。
【請求項３】
前記複数の質量片は、それぞれ質量が異なる、
請求項２に記載の光スキャナ。
【請求項４】
前記複数の質量片は、少なくとも、
所定の単位質量を有する１の質量片と
前記所定の単位質量の整数倍の質量を有する他の質量片とで構成される、
請求項３に記載の光スキャナ。
【請求項５】
前記他の質量片は、前記所定の単位質量に対応する位置ごとに、前記他の質量片の長手方向に交わる方向に括れた括れ部を有する、
請求項４に記載の光スキャナ。
【請求項６】
前記撓み梁部は、前記外縁部と前記ミラー部との間に、前記第１撓み梁、前記第２撓み梁及び前記外縁部を結合する結合部分をさらに備え、
前記調整部は、前記結合部分に設けられる、
請求項１〜５の何れかに記載の光スキャナ。
【請求項７】
前記駆動部は、
前記外縁部から前記結合部分に亘って設けられる圧電素子を含む、
請求項６に記載の光スキャナ。
【請求項８】
前記第１撓み梁及び前記第２撓み梁は、前記第１方向と、前記揺動軸線に直交し且つ前記第１方向と反対方向である第２方向との両方向に延出し、
前記外縁部は、前記第１撓み梁の両端及び前記第２撓み梁の両端において、前記撓み梁部に接続される、
請求項１〜７の何れかに記載の光スキャナ。
【請求項９】
請求項１〜８の何れかに記載の光スキャナの共振周波数を調整する方法であって、
前記光スキャナの共振周波数を測定する測定工程と、
前記測定された共振周波数と、前記光スキャナの共振周波数の目標値である目標周波数値とを比較する比較工程と、
前記比較工程の比較結果に基づいて、前記調整部から削除される質量を、前記削除される質量の位置が前記ミラー部に対して対称となるように決定する決定工程と、
前記決定工程の決定結果に従って、前記調整部から質量を削除する削除工程と、
を備える光スキャナの共振周波数調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザープリンタや画像表示装置に用いられる光スキャナ、特にＭＥＭＳミラーを有する光スキャナ及び光スキャナの共振周波数調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、小型の光スキャナとして、ＭＥＭＳミラーが使用されている。ＭＥＭＳミラーで構成される光スキャナの中でも、光スキャナの外形を形作る構造体の共振現象を利用した共振型の光スキャナは、駆動電圧に比して大きな光学振れ角を得ることができる。共振型の光スキャナの共振周波数は、ミラー部の慣性モーメントと、構造体の剛性とによって決定される。そして、構造体の剛性は、製造に用いられる母材の厚みや、ミラー部および梁部などの形状により決定される。そのため、加工精度などが原因で、作製した光スキャナの共振周波数には、バラツキが生じる。このバラツキが原因で、作製した光スキャナを所望の駆動周波数（例えば、所望の駆動周波数に対して±１％以内）で駆動するためには、共振周波数が所望の駆動周波数に対して許容範囲のものを選別して使用する必要がある。従って、歩留まりの悪化に繋がる。
【０００３】
特許文献１には、ミラー部の端面に対して裏面側からレーザを照射することで、ミラー部の端面の微少質量を蒸発させる技術が開示されている。微少質量が蒸発することによって、ミラー部の慣性モーメントが変化する。光スキャナの共振周波数は構造体の剛性とミラー部の慣性モーメントによって決定されるので、ミラー部の慣性モーメントの変化は、光スキャナの共振周波数の変化を引き起こす。従って、共振周波数の調整が可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−８４２２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、共振周波数の調整のためにミラー部の質量を変化させる方法は、ミラー部の光学特性の劣化を招く虞がある。具体的には、レーザで質量を蒸発させる場合、蒸発した箇所の近傍が溶融する。従って、ミラー部が変形する可能性がある。また、仮にレーザを用いずに物理的に質量をミラー部から切断した場合であっても、ミラー部に力が加わるため、ミラー部が変形する可能性がある。
【０００６】
本発明は、共振周波数の調整のために質量を削除する際に、ミラー部の光学特性の劣化を防ぐことが可能な光スキャナ及び光スキャナの共振周波数調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記従来の課題に鑑みなされた本発明は、光スキャナの共振周波数を調整するための調整部が、ミラー部に対して点対称に配置されるように撓み梁部に設けられることとしたものである。
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の一側面を反映した第１の課題解決手段は、入射した光を所定方向に走査する光スキャナであって、揺動軸線の回りに揺動され、入射した光を反射するミラー部と、前記揺動軸線を含み、前記ミラー部から離れる方向に前記ミラー部から延出する第１捩れ梁と、前記揺動軸線を含み、前記ミラー部に対して前記第１捩れ梁と対称に、前記ミラー部から離れる方向に前記ミラー部から延出する第２捩れ梁と、を有する捩れ梁部と、前記第１捩れ梁の端部に接続され、前記第１捩れ梁の端部から、前記揺動軸線に直交する方向である第１方向に延出する第１撓み梁と、前記第２捩れ梁の端部に接続され、前記第２捩れ梁の端部から前記第１方向に延出する第２撓み梁と、を有する撓み梁部と、前記第１撓み梁の端部と前記第２撓み梁の端部とにおいて、前記撓み梁部に接続される外縁部と、前記ミラー部を揺動駆動させるための駆動部と、前記ミラー部に対して対称に配置されるように前記撓み梁部に設けられ、前記光スキャナの共振周波数を調整する調整部と、を備える。
【０００９】
第１の課題解決手段によれば、光スキャナの共振周波数を調整するための調整部が、ミラー部に対して対称に配置されるように撓み梁部に設けられる。調整部が撓み梁部に設けられるので、調整部が削除される際にミラー部に及ぼす影響を低減することができる。従って、ミラー部の光学特性の劣化を防ぐことが可能となる。
【００１０】
また、調整部がミラー部に対して対称に設けられるので、光スキャナの重心位置を一定に保つことが可能となる。従って、ミラー部の揺動状態を安定に保つことが可能になる。
【００１１】
本発明の他の側面を反映した第２の課題解決手段は、第１の課題解決手段に加えて、前記調整部は、複数の質量片を有する。
【００１２】
第２の課題解決手段によれば、調整部は、複数の質量片を有する。従って、削除される質量片の数を調整することにより、削除される質量の値を調整することが可能になる。従って、精度良い共振周波数の調整が可能になる。
【００１３】
本発明の他の側面を反映した第３の課題解決手段は、第２の課題解決手段に加えて、前記複数の質量片は、それぞれ質量が異なる。
【００１４】
第３の課題解決手段によれば、複数の質量片は、それぞれ質量が異なる。従って、削除される質量片を選択することにより、削除される質量の値を細かく調整することが可能になる。従って、精度良い共振周波数の調整が可能になる。
【００１５】
本発明の他の側面を反映した第４の課題解決手段は、第３の課題解決手段に加えて、前記複数の質量片は、少なくとも、所定の単位質量を有する１の質量片と、前記所定の単位質量の整数倍の質量を有する他の質量片とで構成される。
【００１６】
第４の課題解決手段によれば、複数の質量片は、少なくとも、所定の単位質量を有する１の質量片と、所定の単位質量の整数倍の質量を有する他の質量片とで構成される。そのため、所望の質量を削除する際に、どの質量片を削除すれば所望の質量が削除されるかが容易に把握可能となる。従って、共振周波数の調節が容易になる。
【００１７】
本発明の他の側面を反映した第５の課題解決手段は、第４の課題解決手段に加えて、前記他の質量片は、前記所定の単位質量に対応する位置ごとに、前記他の質量片の長手方向に交わる方向に括れた括れ部を有する。
【００１８】
第５の課題解決手段によれば、他の質量片は、前記所定の単位質量に対応する位置ごとに、他の質量片の長手方向に交わる方向に括れた括れ部を有する。従って、質量片から質量が削除される際に、削除位置と削除される質量の値との対応関係が容易に把握できる。
【００１９】
本発明の他の側面を反映した第６の課題解決手段は、第１〜第５の何れかの課題解決手段に加えて、前記撓み梁部は、前記外縁部と前記ミラー部との間に、前記第１撓み梁、前記第２撓み梁及び前記外縁部を結合する結合部分をさらに備え、前記調整部は、前記結合部分に設けられる。
【００２０】
第６の課題解決手段によれば、調整部は、第１撓み梁、第２撓み梁及び外縁部を結合する結合部分に設けられる。調整部が第１撓み梁及び第２撓み梁を避けて結合部分に設けられるので、調整部が削除される際に第１撓み梁及び第２撓み梁の剛性に対して影響を与えにくくなる。従って、共振周波数に第１撓み梁及び第２撓み梁の剛性変化に起因する影響を与える可能性を低減することが可能になる。換言すれば、安定して共振周波数を調整することができる。
【００２１】
本発明の他の側面を反映した第７の課題解決手段は、第６の課題解決手段に加えて、前記駆動部は、前記外縁部から前記結合部分に亘って設けられる圧電素子を含む。
【００２２】
第７の課題解決手段によれば、駆動部は、外縁部から結合部分に亘って設けられる圧電素子を含む。第１撓み梁、第２撓み梁及び外縁部を結合する結合部分に駆動部が設けられるため、圧電素子の面積を大きくすることが可能となる。従って、大きな駆動力を得ることが可能となり、結果として大きな光学振れ角を得ることが可能となる。
【００２３】
本発明の他の側面を反映した第８の課題解決手段は、第１〜第７の何れかの課題解決手段に加えて、前記第１撓み梁及び前記第２撓み梁は、前記第１方向と、前記揺動軸線に直交し且つ前記第１方向と反対方向である第２方向との両方向に延出し、前記外縁部は、前記第１撓み梁の両端及び前記第２撓み梁の両端において、前記撓み梁部に接続される。
【００２４】
第８の課題解決手段によれば、第１撓み梁及び第２撓み梁は、第１方向と第２方向との両方向に延出する。そして、外縁部は、第１撓み梁の両端及び第２撓み梁の両端において、撓み梁部に接続される。換言すれば、ミラー部及び捩れ梁部は、撓み梁部によって両持支持される。そのため、ミラー部及び捩れ梁部が揺動駆動される際に、揺動軸線の位置変位が押さえられる。従って、安定した揺動駆動が可能となる。
【００２５】
本発明の他の側面を反映した第９の課題解決手段は、第１〜第８の何れかの課題解決手段によって得られる光スキャナの共振周波数を調整する方法であって、前記光スキャナの共振周波数を測定する測定工程と、前記測定された共振周波数と、前記光スキャナの共振周波数の目標値である目標周波数値とを比較する比較工程と、前記比較工程の比較結果に基づいて、前記調整部から削除される質量を、前記削除される質量の位置が前記ミラー部に対して対称となるように決定する決定工程と、前記決定工程の決定結果に従って、前記調整部から質量を削除する削除工程と、を備える。
【００２６】
第９の課題解決手段によれば、第１〜第８の何れかの課題解決手段によって得られる光スキャナの共振周波数が調整される際に、調整部から削除される質量の位置が、ミラー部に対して対称となるように決定される。従って、光スキャナの重心位置の変動を防止することが可能となる。その結果、揺動軸線の位置変位が押さえられるので、安定した揺動駆動が可能となる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、共振周波数の調整のために質量を削除する際に、ミラー部の光学特性の劣化を防ぐことが可能な光スキャナ及び光スキャナの共振周波数調整方法を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る、光スキャナ１の平面図及び断面図。
【図２】光スキャナ１に設けられた単位質量の数と、光スキャナ１の共振周波数の変動率との関係を説明する図。
【図３】光スキャナ１における共振周波数の調整方法を説明するフローチャート。
【図４】共振周波数の測定方法を説明する図。
【図５】（Ａ）共振周波数の調整量と、削除される単位質量の数との対応を示す図、（Ｂ）削除される単位質量の数と、削除位置の関係とを説明する図。
【図６】本発明の第２実施形態に係る、光スキャナ２の平面図。
【図７】光スキャナ２に設けられた単位質量の数と、光スキャナ２の共振周波数の変動率との関係を説明する図。
【図８】本発明の第３実施形態に係る、光スキャナ３の平面図。
【図９】光スキャナ３に設けられた単位質量の数と、光スキャナ２の共振周波数の変動率との関係を説明する図。
【図１０】本発明の変形例に係る、光スキャナ４の平面図。
【図１１】本発明の変形例に係る、光スキャナ５の平面図及び断面図。
【図１２】本発明の変形例に係る、光スキャナ６の平面図。
【図１３】本発明の変形例に係る、光スキャナ７の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明を反映した上記課題解決手段を実施するための実施形態について、図面を用いて以下に詳細に説明する。上記課題解決手段は以下に記載の構成に限定されるものではなく、同一の技術的思想において種々の構成を採用することができる。例えば、以下に説明する各構成において、所定の構成を省略し、または他の構成などに置換してもよい。また、他の構成を含むようにしてもよい。
【００３０】
＜第１実施形態＞
［光スキャナ１の構成］
図１を用いて、本発明の第１実施形態に係る光スキャナ１の説明を行う。なお、ｙ方向は、光スキャナ１の揺動軸線ＡＲに平行な方向である。ｚ方向は、ｙ方向に直交する、光スキャナ１の厚み方向である。ｘ方向は、ｙ方向及びｚ方向に直交する方向である。光スキャナ１は、構造体１０と、その構造体のｚ方向負側に固定される台座１１とで構成される。構造体１０は、弾性を有する導電性材料、具体的にはＳＵＳ３０４やＳＵＳ４３０等のステンレス、チタン及び鉄等の金属材料によって構成される。但し、Ｓｉ単結晶などの半導体材料が用いられても差し支えない。一例として、構造体１０のｘ方向の幅は約２１ｍｍで、ｙ方向の幅は約１２ｍｍである。また、構造体１０の厚さは、例えば約１００μｍ〜２００μｍである。以下、構造体１０の説明を行う。
【００３１】
構造体１０は、ミラー部１００、捩れ梁部１１０、撓み梁部１２０、外縁部１３０、駆動部１４１，１４２及び調整部１５１，１５２，１５３，１５４を有する。以下、構造体１０の個々の構成要素について、さらに詳細に説明を行う。
【００３２】
略長方形状に形成されるミラー部１００は、揺動軸線ＡＲに対して線対称となるように、構造体１０の中心に設けられる。ミラー部１００のｚ方向正側の表面には、入射した光を反射するための反射面が設けられる。具体的には、ＡｌやＡｇなどの金属薄膜が、スパッタリングや蒸着などによって、サファイアやダイヤモンドなどの透明な誘電体で形成された薄板の表面にコーティングされる。そして、金属薄膜が設けられたこの薄板が、ミラー部１００の位置に貼り付けられる。ミラー部１００は、揺動軸線ＡＲの回りに揺動される。尚、ミラー部１００は、長方形に限らず、正方形、略四角形、菱形、多角形、円形、楕円形等であってもよい。
【００３３】
捩れ梁部１１０は、第１捩れ梁１１１及び第２捩れ梁１１２を含む。第１捩れ梁１１１は、揺動軸線ＡＲを含み、ミラー部１００から離れる方向に、ミラー部１００から延出する。即ち、第１捩れ梁１１１は、ミラー部１００からｙ方向正側に向かって伸長する。第２捩れ梁１１２は、揺動軸線ＡＲを含み、ミラー部１００に対して第１捩れ梁１１１と対称に、ミラー部１００から離れる方向にミラー部から延出する。即ち、第２捩れ梁１１２は、ミラー部１００からｙ方向負側に向かって伸長する。
【００３４】
撓み梁部１２０は、第１撓み梁１２１、第２撓み梁１２２、第１結合部分１２３及び第２結合部分１２４を含む。第１撓み梁１２１は、第１捩れ梁１１１のｙ方向正側の端部に接続される。第１撓み梁１２１は、第１捩れ梁１１１のｙ方向正側の端部から、ｘ方向正側とｘ方向負側との両方向に延出する。第２撓み梁１２２は、第２捩れ梁１１２のｙ方向負側の端部に接続される。第２撓み梁１２２は、第２捩れ梁のｙ方向負側の端部から、ｘ方向正側とｘ方向負側との両方向に延出する。第１結合部分１２３及び第２結合部分１２４は、第１撓み梁１２１、第２撓み梁１２２及び外縁部１３０を結合する。具体的には、第１結合部分１２３及び第２結合部分１２４は、ｙ方向において第１撓み梁１２１と第２撓み梁１２２との間に位置し、ｘ方向においてミラー部１００と外縁部１３０との間に位置する。尚、第１結合部分１２３はミラー部１００に対してｘ方向負側に位置し、第２結合部分１２４はミラー部１００に対してｘ方向正側に位置する。
【００３５】
外縁部１３０は、構造体１０の外縁を形成する、平面視略長方形の構成である。外縁部１３０は、第１撓み梁１２１のｘ方向における両端と、第２撓み梁１２２のｘ方向における両端とに接続される。外縁部１３０はまた、第１結合部分１２３のｘ方向負側に接続され、第２結合部分１２４のｘ方向正側に接続される。即ち、ミラー部１００及び捩れ梁部１１０は、撓み梁部１２０によって両持ち支持される。外縁部１３０は、ｙ方向において、第１撓み梁１２１及び第２撓み梁１２２と離間する。換言すれば、第１撓み梁１２１のｙ方向正側には、貫通孔ＨＬ１が形成される。そして、第１撓み梁１２１は、貫通孔ＨＬ１を挟んで、外縁部１３０に対向する。同様に、第２撓み梁１２２のｙ方向負側には、貫通孔ＨＬ２が形成される。そして、第２撓み梁１２２は、貫通孔ＨＬ２を挟んで、外縁部１３０に対向する。
【００３６】
駆動部１４１，１４２は、ミラー部１００を揺動駆動させる。駆動部１４１，１４２は、平面視略正方形に形成された圧電素子と、その圧電素子のｚ方向正負側の両面に設けられた金薄膜などの電極層（非図示）とを含む。駆動部１４２は、外縁部１３０のｘ方向正側の端から、第２結合部分１２４に亘って設けられる。駆動部１４１は、外縁部１３０のｘ方向負側の端から、第１結合部分１２３に亘って設けられる。駆動部１４１，１４２は、揺動軸線ＡＲに対して、線対称となる位置に設けられる。
【００３７】
調整部１５１，１５２，１５３，１５４は、ミラー部１００に対して対称に配置されるように、撓み梁部１２０に設けられる。具体的には、調整部１５１は、ミラー部１００に対してｙ方向正側且つｘ方向負側に位置するように、第１結合部分１２３のｘ方向正側の端部に設けられる。調整部１５２は、ミラー部１００に対してｙ方向負側且つｘ方向負側に位置するように、第１結合部分１２３のｘ方向正側の端部に設けられる。調整部１５３は、ミラー部１００に対してｙ方向正側且つｘ方向正側に位置するように、第２結合部分１２４のｘ方向負側の端部に設けられる。調整部１５４は、ミラー部１００に対してｙ方向負側且つｘ方向正側に位置するように、第２結合部分１２４のｘ方向負側の端部に設けられる。また、調整部１５１と調整部１５４とは、ミラー部１００に対して点対称に配置される。調整部１５２と調整部１５３とも、ミラー部１００に対して点対称に配置される。調整部１５１と調整部１５２とは、ミラー部１００の中心を通りｘ方向に平行な直線に対して線対称に配置される。調整部１５３と調整部１５４とも、ミラー部１００の中心を通りｘ方向に平行な直線に対して線対称に配置される。調整部１５１と調整部１５３とは、揺動軸線ＡＲに対して線対称に配置される。調整部１５２と調整部１５４とも、揺動軸線ＡＲに対して線対称に配置される。ミラー部に対して対称に調整部１５１，１５２，１５３，１５４が設けられることで、光スキャナ１の重心位置を一定に保つことが可能となる。
【００３８】
調整部１５１，１５２，１５３，１５４は、夫々、複数の質量片によって構成される。調整部１５１は、それぞれ質量の異なる複数の質量片、例えば４つの質量片、第１質量片１５１ａ、第２質量片１５１ｂ、第３質量片１５１ｃ及び第４質量片１５１ｄを有する。なお、第１質量片１５１ａ、第２質量片１５１ｂ、第３質量片１５１ｃ及び第４質量片１５１ｄを区別しない場合、単に質量片とも表記する。第１質量片１５１ａ、第２質量片１５１ｂ、第３質量片１５１ｃ及び第４質量片１５１ｄは、平面視略長方形の形状を示す。第１質量片１５１ａ、第２質量片１５１ｂ、第３質量片１５１ｃ及び第４質量片１５１ｄの長手方向は、ｘ方向に平行である。ここで、第１質量片１５１ａを単位質量と定義すると、第２質量片１５１ｂ、第３質量片１５１ｃ及び第４質量片１５１ｄは、この単位質量の整数倍の質量を有する。具体的には、第２質量片１５１ｂは、第１質量片１５１ａの２倍の質量、即ち２の単位質量を有する。第３質量片１５１ｃは、第１質量片１５１ａの３倍の質量、即ち３の単位質量を有する。第４質量片１５１ｄは、第１質量片１５１ａの４倍の質量、即ち４の単位質量を有する。そして、第２質量片１５１ｂ、第３質量片１５１ｃ及び第４質量片１５１ｄは、単位質量に対応する位置ごとに、それぞれの長手方向に交わる方向に括れた括れ部１５５を有する。本実施形態において括れ部１５５は、ｚ方向の厚さがその周囲より半分となるハーフとして形成される。なお、調整部１５２，１５３，１５４の構成は、個々の質量片の設置位置を除いては、調整部１５１の構成と同一である。従って、調整部１５２，１５３，１５４の説明は省略される。
【００３９】
［光スキャナ１の動作］
以下、光スキャナ１の動作を説明する。駆動部１４１，１４２に含まれる圧電素子に対して、その圧電素子の両面に設けられた非図示の電極層を介して交流電圧が印加される。ここで、駆動部１４１に対して印加される交流電圧の位相と、駆動部１４２に対して印加される交流電圧の位相とは、逆位相である。逆位相の交流電圧が印加されるため、駆動部１４１と駆動部１４２とは、ｘ方向において逆位相にて伸び又は縮む。即ち、駆動部１４１がｘ方向において伸びた際には、駆動部１４２はｘ方向において縮む。同様に、駆動部１４１がｘ方向において縮んだ際には、駆動部１４２はｘ方向において伸びる。この動作によって、撓み梁部１２０のｘ方向の両端を固定端とし、揺動軸線ＡＲの位置を節とした定在波が、撓み梁部１２０に生じる。この定在波によって、捩れ梁部１１０は、揺動軸線ＡＲを中心として捻れ振動する。その結果、ミラー部１００は、揺動軸線ＡＲ周りに揺動する。なお、光スキャナ１の動作の詳細に関しては、特開２００９−１８６６５２号公報などに公開されている。
【００４０】
［光スキャナ１の製造方法］
光スキャナ１の製造方法を説明する。先ず、構造体１０の外形と等しい大きさを有する金属板の、ミラー部１００、捩れ梁部１１０、撓み梁部１２０及び外縁部１３０に対応する部分に、マスキングのためのレジスト膜が形成される。その後、この金属板はエッチングされる。エッチングによって、構造体１０の外形が形成される。その後、レジスト膜が除去される。そして、予め圧電素子の両面に電極層を備えたバルクの圧電材料が、駆動部１４１，１４２の位置に接着される。圧電材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（以下、ＰＺＴ）が用いられる。また、この接着には、銀フィラを含むエポキシ系樹脂接着剤などの、導電性接着剤が用いられる。その後、構造体１０と台座１１とが接着される。最後に、ワイヤボンディングによって、駆動部１４１，１４２の電極層と非図示の交流電源との電気的接続が確立される。
【００４１】
［質量と共振周波数との関係］
調整部１５１，１５２，１５３，１５４に含まれる単位質量数と、光スキャナ１の共振周波数との関係をシミュレーションによって調べた結果を、図２を用いて説明する。前記したように、調整部１５１は、１の単位質量を有する第１質量片１５１ａと、２の単位質量を有する第２質量片１５１ｂと、３の単位質量を有する第３質量片１５１ｃと、４の単位質量を有する第４質量片１５１ｄとを含む。即ち、調整部１５１は、１０の単位質量を有する。また、調整部１５２，１５３，１５４の構成は、調整部１５１と同様である。従って、光スキャナ１には、周波数調整のための質量として、４０の単位質量が備えられる。図２の横軸は、光スキャナ１に備えられる単位質量の数を示す。図２の縦軸は、光スキャナ１に４０の単位質量が存在する場合の共振周波数に対して、単位質量の数が変化した場合にどの程度共振周波数が変動するかを百分率で示す。具体的には、単位質量が４０の場合の共振周波数をｆ４０、単位質量が変化した後の共振周波数をｆと表記すると、図２の縦軸の値は、１００×（ｆ−ｆ４０）／ｆ４０で導出される。単位質量の数が４０個から減少するにつれて、共振周波数は上昇する。光スキャナ１に単位質量が存在しない場合、換言すれば光スキャナ１から調整部１５１，１５２，１５３，１５４が全て削除された場合、光スキャナ１の共振周波数は、光スキャナ１に４０の単位質量が存在する場合と比較して約４％上昇する。従って、調整部１５１，１５２，１５３，１５４に含まれる単位質量の数を変化させることで、共振周波数の調整が可能になる。また、光スキャナ１に備えられる単位質量の数と、光スキャナ１の共振周波数とは、略一次比例する。従って、共振周波数の値と、単位質量の数とが容易に対応付けられる。
【００４２】
［共振周波数の調整方法］
図３〜図５を用いて、光スキャナ１の共振周波数を調整する工程を説明する。
【００４３】
ステップＳ１では、光スキャナ１の共振周波数が測定される。具体的には、図４（Ａ）に示されるように、駆動部１４１，１４２に交流電圧が印加されることで、ミラー部１００の揺動が開始される。そして、レーザダイオード１０００からのレーザ光が、揺動しているミラー部１００に対して入射される。ミラー部１００によって走査されたレーザ光（以下、走査光）は、ＢＤセンサ２０００に入射する。ＢＤセンサ２０００は、走査光が通過する軌跡上の所定の位置に配置される。言い換えれば、ＢＤセンサ２０００は、ミラー部１００の光学振れ角が所定の角度になったときに、走査光を受光する。ＢＤセンサ２０００からの信号は、解析装置３０００によって解析される。具体的には、ミラー部１００の揺動を単振動と仮定し、ＢＤセンサ２０００に走査光が入射したタイミング（図４（Ｂ）のｔ１、ｔ２、ｔ３、・・・）と、ＢＤセンサ２０００に走査光が入射したときミラー部１００の光学振れ角（図４（Ｂ）のθＢＤ）とに基づいて、光スキャナ１の駆動周波数ｆと、振幅θ０とが決定される。そして、駆動部１４１，１４２に印加される交流電圧の周波数を変化させることで、振幅θ０と駆動周波数ｆとの関係が調べられる（図４（Ｃ））。振幅θ０が最大となる駆動周波数ｆ０が、光スキャナ１の共振周波数として決定される。共振周波数の測定後、ステップＳ２が実行される。
【００４４】
ステップＳ２では、ステップＳ１で測定された光スキャナ１の共振周波数が、所望する仕様の範囲に収まるか否かが判断される。即ち、目標とする光スキャナ１の共振周波数をＦ０、仕様の範囲を±ｄｆと表現すると、Ｆ０−ｄｆ≦ｆ０≦Ｆ０＋ｄｆであるか否かが判断される。目標とする共振周波数は例えば３ｋＨｚ程度であり、仕様の範囲は例えば±１％、即ち±３０Ｈｚ程度である。共振周波数が仕様値の範囲に収まる場合（ステップＳ２：Ｙ）、共振周波数の調整を行う必要が無いため、ステップＳ８が実行される。一方、共振周波数が仕様値の範囲に収まらない場合（ステップＳ２：Ｎ）、ステップＳ３が実行される。
【００４５】
ステップＳ３では、目標とする光スキャナ１の共振周波数Ｆ０と、ステップＳ１で測定された共振周波数ｆ０とが比較される。具体的には、両者の差であるΔｆ＝ｆ０−Ｆ０が算出される。Δｆの算出後、ステップＳ４が実行される。
【００４６】
ステップＳ４では、Δｆが調整可能な範囲に収まっているか否かが判断される。具体的には、Δｆが、光スキャナ１の共振周波数の仕様の下限である−ｄｆから、光スキャナ１で調整可能な周波数範囲までに存在するか否かが判断される。一例として、調整可能な周波数範囲の下限は、−ｄｆ−１０７Ｈｚである。なお、光スキャナ１において、調整部１５１，１５２，１５３，１５４を削除することによって、共振周波数が増加する。即ち、共振周波数を減少させる方向への調整は、調整部１５１，１５２，１５３，１５４によっては不可能である。そのため、Δｆが、光スキャナ１の共振周波数の仕様の上限である＋ｄｆ以上の場合、Δｆが調整可能な範囲には存在しないと判断される。Δｆが調整可能な周波数範囲にある場合（ステップＳ４：Ｙ）、ステップＳ５が実行される。一方、Δｆが調整可能な周波数範囲に無い場合（ステップＳ４：Ｎ）、ステップＳ９が実行される。
【００４７】
ステップＳ５では、Δｆの値に基づいて、調整部１５１，１５２，１５３，１５４から削除される単位質量の数と、削除される質量片の位置とが決定される。以下、図５を用いて詳細に説明を行う。図５（Ａ）の左側の列は、Δｆ＋ｄｆの値、即ち光スキャナ１の共振周波数が、仕様の下限値をどの程度下回るかを示す。図５（Ａ）の右側の列は、或るΔｆ＋ｄｆの値の場合に、光スキャナ１の共振周波数が仕様の範囲内に収まるために、削除される単位質量の数を示す。ここで、削除される単位質量の位置は、ミラー部１００に対して点対称となるように決定される。換言すれば、調整部１５１，１５２，１５３，１５４から、夫々等しい数の単位質量が削除される。そのため、単位質量は４つずつ削除される。図５（Ｂ）には、削除される単位質量の数が決定されたときに、どの質量片が削除されるかが示される。なお、図５（Ｂ）には、代表として調整部１５２が示される。例えば、４つの単位質量が削除される場合、１の単位質量を有する第１質量片１５１ａ，１５２ａ，１５３ａ，１５４ａが削除される。また、８つの単位質量が削除される場合、２の単位質量を有する第２質量片１５１ｂ，１５２ｂ，１５３ｂ，１５４ｂが削除される。そして、例えば２０の単位質量が削除される場合、５の単位質量を有する質量片は存在しないので、２の単位質量を有する第２質量片１５１ｂ，１５２ｂ，１５３ｂ，１５４ｂと、３の単位質量を有する第３質量片１５１ｃ，１５２ｃ，１５３ｃ，１５４ｃとが削除される。又は、１の単位質量を有する第１質量片１５１ａ，１５２ａ，１５３ａ，１５４ａと、４の単位質量を有する第４質量片１５１ｄ，１５２ｄ，１５３ｄ，１５４ｄとが削除されても良い。第１質量片１５１ａ、第２質量片１５１ｂ、第３質量片１５１ｃ及び第４質量片１５１ｄは、単位質量の整数倍の質量を有する。そのため、前記したように、削除される単位質量の数に応じて、どの質量片を削除すれば良いか容易に把握可能となる。ステップＳ５の後で、ステップＳ６が実行される。
【００４８】
ステップＳ６では、ステップＳ５の決定結果に従って、調整部１５１，１５２，１５３，１５４から、質量片が削除される。具体的には、削除される質量片と撓み梁部１２０との境界位置における括れ部１５５に対して、ＹＡＧレーザが照射される。レーザが照射された括れ部１５５に発生する熱によって、括れ部１５５は溶融する。その結果、質量片が削除される。なお、レーザ照射以外の方法、例えば物理的な切除などによって、質量片が削除されても差し支えない。調整部１５１，１５２，１５３，１５４が撓み梁部１２０に設けられるので、質量片が削除される際にミラー部１００が受ける影響は、調整部１５１，１５２，１５３，１５４がミラー部１００に設けられる従来例と比較して、低減される。質量片が削除された後、ステップＳ７が実行される。
【００４９】
ステップＳ７において、質量片が削除された後の光スキャナ１の共振周波数が、仕様の範囲内に収まるか否かが判断される。具体的には、ステップＳ１における共振周波数の測定工程が、再度実行される。そして、ステップＳ２と同様に、再度測定された光スキャナ１の共振周波数が、所望する仕様の範囲に収まるか否かが判断される。再度測定された共振周波数が仕様値の範囲に収まる場合（ステップＳ７：Ｙ）、ステップＳ８が実行される。一方、再度測定された共振周波数が仕様値の範囲に収まらない場合（ステップＳ７：Ｎ）、ステップＳ９が実行される。
【００５０】
ステップＳ８において、光スキャナ１は共振周波数が仕様の範囲内に収まる良品であるという、ＯＫ判定がなされる。ＯＫ判定がなされた光スキャナ１は、例えばプリンタなどの他の装置に組み込まれるなど、後工程において利用される。ＯＫ判定の後、一連の共振周波数調整工程が完了する。
【００５１】
ステップＳ９において、光スキャナ１は共振周波数が仕様の範囲内に収まらないと不良品であるという、ＮＧ判定がなされる。ＮＧ判定がなされた光スキャナ１は、不良品として後工程では利用されないように区別される。ＮＧ判定の後、一連の共振周波数調整工程が完了する。
【００５２】
＜第２実施形態＞
［光スキャナ２の構成］
図６を用いて、本発明の第２実施形態に係る光スキャナ２の説明を行う。光スキャナ２は、構造体２０における調整部２５１，２５２，２５３，２５４が設けられる位置が、第１実施形態における光スキャナ１と相違する。光スキャナ２において、光スキャナ１と同一の構成に対しては、光スキャナ１と同一の図番を付与することにより、説明が省略される。
【００５３】
調整部２５１，２５２，２５３，２５４は、ミラー部１００に対して対称に配置されるように、撓み梁部１２０に設けられる。具体的には、調整部２５１は、ミラー部１００に対してｙ方向正側且つｘ方向負側に位置するように、第１結合部分１２３のｙ方向正側の端部に設けられる。調整部２５２は、ミラー部１００に対してｙ方向負側且つｘ方向負側に位置するように、第１結合部分１２３のｙ方向負側の端部に設けられる。調整部２５３は、ミラー部１００に対してｙ方向正側且つｘ方向正側に位置するように、第２結合部分１２４のｙ方向正側の端部に設けられる。調整部２５４は、ミラー部１００に対してｙ方向負側且つｘ方向正側に位置するように、第２結合部分１２４のｙ方向負側の端部に設けられる。また、調整部２５１と調整部２５４とは、ミラー部１００に対して点対称に配置される。調整部２５２と調整部２５３とも、ミラー部１００に対して点対称に配置される。調整部２５１と調整部２５２とは、ミラー部１００の中心を通りｘ方向に平行な直線に対して線対称に配置される。調整部２５３と調整部２５４とも、ミラー部１００の中心を通りｘ方向に平行な直線に対して線対称に配置される。調整部２５１と調整部２５３とは、揺動軸線ＡＲに対して線対称に配置される。調整部２５２と調整部２５４とも、揺動軸線ＡＲに対して線対称に配置される。
【００５４】
調整部２５１，２５２，２５３，２５４は、夫々、複数の質量片によって構成される。調整部２５１，２５２，２５３，２５４の構成は、個々の質量片の設置位置を除いては同一であるので、ここでは、調整部２５１を代表として説明を行う。調整部２５１は、同一の質量を有する１１の質量片で構成される。この質量片は、第１実施形態における第１質量片１５１ａと同様に、単位質量を有する。即ち、光スキャナ２には、共振周波数調整のための質量として、４４の単位質量が備えられる。
【００５５】
［質量と共振周波数との関係］
調整部２５１，２５２，２５３，２５４の質量と、光スキャナ２の共振周波数との関係をシミュレーションによって調べた結果を、図７を用いて説明する。図７の横軸は、図２の縦軸と同様に、光スキャナ２に備えられる単位質量の数を示す。図７の縦軸は、図２と同様に、光スキャナ２に４４の単位質量が存在する場合の共振周波数に対して、単位質量の数が変化した場合にどの程度共振周波数が変動するかを示す。光スキャナ２において、第１実施形態における光スキャナ１と同様に、単位質量の数が減少するにつれて、共振周波数は上昇する。但し、光スキャナ２における単位質量の数の変化量に対する共振周波数の変化量は、光スキャナ１の場合よりも小さい。光スキャナ２に単位質量が存在しない場合、換言すれば光スキャナ２から調整部２５１，２５２，２５３，２５４が全て削除された場合の共振周波数は、光スキャナ２に４４の単位質量が存在する場合と比較して、約０．４％上昇する。、従って、光スキャナ２においても、調整部２５１，２５２，２５３，２５４に含まれる単位質量の数を変化させることで、共振周波数の調整が可能になる。
【００５６】
＜第３実施形態＞
［光スキャナ３の構成］
図８を用いて、本発明の第３実施形態に係る光スキャナ３の説明を行う。光スキャナ３は、構造体３０における調整部３５１，３５２，３５３，３５４の形状においてのみ、第１実施形態における光スキャナ１と相違する。光スキャナ３において、光スキャナ１と同一の構成に対しては、光スキャナ１と同一の図番を付与することにより、説明が省略される。
【００５７】
調整部３５１，３５２，３５３，３５４は、第１実施形態における調整部１５１，１５２，１５３，１５４と同様に、ミラー部１００に対して対称に配置されるように、撓み梁部１２０に設けられる。調整部３５１，３５２，３５３，３５４は、夫々、複数の質量片によって構成される。調整部３５１，３５２，３５３，３５４の構成は、個々の質量片の設置位置を除いては同一であるので、調整部３５１を代表として説明する。調整部３５１は、それぞれ同一の質量を有する、第１質量片３５１ａ、第２質量片３５１ｂ、第３質量片３５１ｃ及び第４質量片３５１ｄを有する。個々の質量片は、第１実施形態における第１質量片と１５１ａと同様に、単位質量を有する。従って、光スキャナ３には、周波数調整のための質量として、１６の単位質量が備えられる。
【００５８】
［質量と共振周波数との関係］
調整部３５１，３５２，３５３，３５４の質量と、光スキャナ３の共振周波数との関係をシミュレーションによって調べた結果を、図９を用いて説明する。図９の横軸は、図２の縦軸と同様に、光スキャナ３に備えられる単位質量の数を示す。図９の縦軸は、図２と同様に、光スキャナ３に１６の単位質量が存在する場合の共振周波数に対して、単位質量の数が変化した場合にどの程度共振周波数が変動するかを示す。光スキャナ３において、第１実施形態における光スキャナ１と同様に、単位質量の数が減少するにつれて、共振周波数は上昇する。光スキャナ３に単位質量が存在しない場合、換言すれば光スキャナ３から調整部３５１，３５２，３５３，３５４が全て削除された場合、光スキャナ３に１６の単位質量が存在する場合と比較して、共振周波数は約１．１％上昇する。光スキャナ３における共振周波数の調整範囲は、単位質量の数が光スキャナ１よりも少ないので、光スキャナ１に比べて狭くなる。
【００５９】
＜変形例＞
本発明は、今までに述べた実施形態に限定されることは無く、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変形・変更が可能である。以下にその一例を述べる。
【００６０】
前記した実施形態において、撓み梁部１２０に設けられた第１結合部分１２３及び第２結合部分１２４は、第１撓み梁１２１、第２撓み梁１２２及び外縁部１３０を結合する。しかし、図１０に示される光スキャナ４のように、第１結合部分１２３及び第２結合部分１２４が存在しない構成もあり得る。光スキャナ４の構造体４０において、前記した実施形態と同様に、第１撓み梁４２１及び第２撓み梁４２２のｘ方向における両端が、外縁部１３０に接続される。しかし、結合部分が存在しないので、第１撓み梁４２１と第２撓み梁４２２とは、ｙ方向において互いに離間する。
【００６１】
構造体４０において、第１撓み梁４２１と第２撓み梁４２２とが互いに離間するので、駆動部もｙ方向において離間する。即ち、第１撓み梁４２１のｙ方向の幅と同じ幅を有する駆動部４４１ａが、外縁部１３０のｘ方向負側の端から第１撓み梁４２１に亘って設けられる。また、第２撓み梁４２２のｙ方向の幅と同じ幅を有する駆動部４４１ｂが、外縁部１３０のｘ方向負側の端から第２撓み梁４２２に亘って設けられる。同様に、駆動部４４２ａが外縁部１３０のｘ方向正側の端から第１撓み梁４２１に亘って設けられ、駆動部４４２ｂが外縁部１３０のｘ方向正側の端から第２撓み梁４２２に亘って設けられる。
【００６２】
調整部４５１，４５２，４５３，４５４は、前記した実施形態と同様に、ミラー部１００に対して対称に配置されるように、撓み梁部４２０に設けられる。そして、調整部４５１，４５２，４５３，４５４は、夫々、複数の質量片によって構成される。調整部４５１，４５２，４５３，４５４の構成は、個々の質量片の設置位置を除いては同一であるので、ここでは、調整部４５１を代表として説明を行う。調整部４５１は、同一の質量を有する２０の質量片で構成される。この質量片は、第１実施形態における第１質量片１５１ａと同様に、単位質量を有する。即ち、光スキャナ４には、８０の単位質量が備えられる。
【００６３】
前記した実施形態において、光スキャナ１の質量片は、単位質量に対応する位置ごとに、それぞれの長手方向に交わる方向に括れた括れ部１５５を有する。具体的には、括れ部１５５は、ｚ方向の厚さがその周囲より半分となるハーフとして形成される。しかし、例えば図１１に示される光スキャナ５ように、括れ部は他の様態であっても良い。光スキャナ５の構造体５０において、調整部５５１，５５２，５５３，５５４に形成された括れ部５５５の形状は、第１実施形態の調整部１５１，１５２，１５３，１５４に形成された括れ部１５５の形状と相違する。具体的には、括れ部５５５は、ｙ方向の幅がその周囲より半分となる凹部として形成される。要は、単位質量を削除する際に削除位置が容易に把握可能であれば、括れ部の形状はどの様な形状であっても差し支えない。
【００６４】
前記した実施形態において、ミラー部１００及び捩れ梁部１１０は、撓み梁部１２０によって両持ち支持される。しかし、ミラー部１００及び捩れ梁部１１０は、図１２に示される光スキャナ６のように、片持ち支持されても良い。光スキャナ６において、第１撓み梁６２１は、第１捩れ梁１１１のｙ方向正側の端部に接続される。第１撓み梁６２１は、第１捩れ梁１１１のｙ方向正側の端部から、ｘ方向負側にのみ延出する。第２撓み梁６２２も同様に、第２捩れ梁１１２のｙ方向負側の端部から、ｘ方向負側にのみ延出する。そして、光スキャナ１に存在した第２結合部分１２４と調整部１５３，１５４とは、光スキャナ６には存在しない。さらに、外縁部６３０は、ｘ方向負側の端にのみ設けられる。
【００６５】
前記した第３実施形態において、調整部３５１は、それぞれ同一の質量を有する、第１質量片３５１ａ、第２質量片３５１ｂ、第３質量片３５１ｃ及び第４質量片３５１ｄを有する。そして、個々の質量片は、単位質量を有する。しかし、調整部に同一の質量を有する複数の質量片が存在する場合、質量片の質量は単位質量の整数倍であってもよい。例えば、図１３に示される光スキャナ７の構造体７０において、調整部７５１は、４の単位質量を有する、第１質量片７５１ａ、第２質量片７５１ｂ、第３質量片７５１ｃ及び第４質量片７５１ｄを有する。調整部７５２，７５３，７５４も同様に、４の単位質量を有する質量片を、それぞれ４個ずつ有する。従って、光スキャナ７には、周波数調整のための質量として、６４の単位質量が備えられる。調整部７５１，７５２，７５３，７５４には、単位質量に対応する位置ごとに、それぞれの長手方向に交わる方向に括れた括れ部７５５を有する。光スキャナ７において、１の単位質量を個々の調整部から削除するためには、個々の調整部の半ばにおいて削除する必要がある。括れ部７５５が設けられることによって、個々の質量片から所定の数の単位質量が削除される際に、削除位置と削除される単位質量の数との対応関係が容易に把握できる。
【００６６】
前記した実施形態において、ミラー部１００及び捩れ梁部１１０は、圧電素子を含む駆動部によって揺動駆動される。しかし、これ以外の駆動機構によって駆動が達成されても良い。例えば、ミラー部１００の裏面と台座部１１とに一対の電極が設けられることによって、クーロン力を利用して反射ミラーを揺動駆動する静電駆動方式が採用されても良い。あるいは、偏向ミラー１００の裏面にコイルが、台座部１１に永久磁石が夫々設けられることによって、磁力を利用して反射ミラーを揺動駆動する電磁駆動方式が採用されても良い。
【符号の説明】
【００６７】
１，２，３，４，５，６，７  光スキャナ
１０，２０，３０，４０，５０，７０  構造体
１１  台座
１００  ミラー部
１１０  捩れ梁部
１１１  第１捩れ梁
１１２  第２捩れ梁
１２０，４２０，６２０  撓み梁部
１２１，４２１，６２１  第１撓み梁
１２２，４２２，６２２  第２撓み梁
１２３  第１結合部分
１２４  第２結合部分
１３０，６３０  外縁部
１４１，１４２，４４１ａ，４４１ｂ，４４２ａ，４４２ｂ  駆動部
１５１，１５２，１５３，１５４，２５１，２５２，２５３，２５４，３５１，３５２，３５３，３５４，４５１，４５２，４５３，４５４，５５１，５５２，５５３，５５４，７５１，７５２，７５３，７５４  調整部
１５１ａ，１５２ａ，１５３ａ，１５４ａ，３５１ａ，３５２ａ，３５３ａ，３５４ａ，７５１ａ，７５２ａ，７５３ａ，７５４ａ，  第１質量片
１５１ｂ，１５２ｂ，１５３ｂ，１５４ｂ，３５１ｂ，３５２ｂ，３５３ｂ，３５４ｂ，７５１ｂ，７５２ｂ，７５３ｂ，７５４ｂ，  第２質量片
１５１ｃ，１５２ｃ，１５３ｃ，１５４ｃ，３５１ｃ，３５２ｃ，３５３ｃ，３５４ｃ，７５１ｃ，７５２ｃ，７５３ｃ，７５４ｃ  第３質量片
１５１ｄ，１５２ｄ，１５３ｄ，１５４ｄ，３５１ｄ，３５２ｄ，３５３ｄ，３５４ｄ，７５１ｄ，７５２ｄ，７５３ｄ，７５４ｄ  第４質量片
１５５，５５５  括れ部
１０００  レーザダイオード
２０００  ＢＤセンサ
３０００  解析装置
ＡＲ  揺動軸線
ＨＬ１，ＨＬ２  貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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