(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドに対して適切なメンテナンス（保守）を行う液滴吐出装置を提供する。【解決手段】機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を検査する検査部と、前記液滴吐出ヘッドをメンテナンスするメンテナンス部と、前記検査部に前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、メンテナンス条件を選択し、選択された前記メンテナンス条件に基づいて前記メンテナンス部を駆動させる制御部と、を備えた。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を検査する検査部と、
前記液滴吐出ヘッドをメンテナンスするメンテナンス部と、
前記検査部に前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、メンテナンス条件を選択し、選択された前記メンテナンス条件に基づいて前記メンテナンス部を駆動させる制御部と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記メンテナンス部は、
前記ノズルプレート面を拭くワイパー部を含み、
前記制御部では、
前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要か否かを判断し、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、前記ワイパー部を駆動させ、前記ワイパー部で前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭かせることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
前記メンテナンス部は、
前記ワイパー部と、
前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させるフラッシング部と、
前記液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引する強制吸引部と、を含み、
前記制御部では、
前記検査部に前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要か否かを判断し、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、前記ワイパー部で前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭かせ、
前記ワイパー部で前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭かせた後に、前記検査部に前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記メンテナンス部から少なくとも一を選択し、選択された一の前記メンテナンス部を駆動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記フラッシング部、または、前記強制吸引部を駆動させた後に、前記ワイパー部で前記ノズルプレート面を拭かせることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部は、
前記液滴吐出ヘッドがワークに対して前記液滴を吐出している液滴吐出期間以外の期間に、前記ノズルプレート面を検査させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の制御方法であって、
前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を検査させ、
前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドのメンテナンス条件を選択し、選択された前記メンテナンス条件に基づいて、前記液滴吐出ヘッドに対してメンテナンスを実行させることを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。
【請求項７】
請求項６に記載の液滴吐出装置の制御方法において、
前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要か否かを判断し、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせることを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。
【請求項８】
請求項６または７に記載の液滴吐出装置の制御方法において、
前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要か否かを判断し、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせ、
前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせた後に、前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記メンテナンス条件のうち、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取るか、前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させるか、前記液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引するか、を選択し、選択された前記メンテナンス条件に基づいて、前記液滴吐出ヘッドに対してメンテナンスを実行させることを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。
【請求項９】
請求項８に記載の液滴吐出装置の制御方法において、
前記メンテナンス条件のうち、前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させた後、または、前記液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引させた後に、前記ノズルプレート面を拭かせることを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。
【請求項１０】
請求項６〜９のいずれか一項に記載の液滴吐出装置の制御方法において、
前記液滴吐出ヘッドがワークに対して前記液滴を吐出している液滴吐出期間以外の期間に、前記ノズルプレート面を検査させることを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークにパターン膜等を形成する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。当該液滴吐出装置は、パターン膜の材料となる機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドを保守するメンテナンス部等を備えている。そして、メンテナンス部には、液滴吐出ヘッドのノズル部における機能液の乾燥（増粘）を防止するために機能液を空吐出させるフラッシングユニットと、液滴吐出ヘッドのノズル部が目詰まりした際にノズル部から機能液を吸引して強制的に排出させる強制吸引ユニットと、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面に付着した機能液等の汚れを拭き取るワイピングユニット等を有している。（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−７０９６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドを駆動させ、一定の時間経過後、或いは、一定の描画処理経過後に、機能液の空吐出や機能液の強制吸引等のメンテナンス処理を行っている。しかしながら、上記したメンテナンス処理では、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面の状態を把握しないままに、一義的にメンテナンス処理を行わせるため、例えば、機能液の強制吸引が必要で無いにも関わらず行ってしまい、機能液を無駄にしてしまう（機能液の廃棄量を増加させてしまう）、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を検査する検査部と、前記液滴吐出ヘッドをメンテナンスするメンテナンス部と、前記検査部に前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、メンテナンス条件を選択し、選択された前記メンテナンス条件に基づいて前記メンテナンス部を駆動させる制御部と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面が検査され、当該検査結果に基づき、メンテナンス条件が選択される。そして、選択されたメンテナンス条件によって液滴吐出ヘッドがメンテナンスされる。すなわち、本発明の液滴吐出装置では、一定の時間経過後、或いは、一定の描画処理経過後に、液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うのではなく、検査部によるノズルプレート面の検査に基づいてメンテナンスを行う。従って、例えば、ノズルプレート面の汚れ具合に応じて、特に液滴吐出性に影響しないような汚れに対しては、メンテナンスの実施内容を軽減することが可能となる。このように、ノズルプレート面の検査に基づいて、適宜メンテナンス条件が選択されるため、液滴吐出精度を確保するとともに、メンテナンスの作業効率を向上させることができる。さらには、機能液の廃棄量を削減することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記メンテナンス部は、前記ノズルプレート面を拭くワイパー部を含み、前記制御部では、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要か否かを判断し、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、前記ワイパー部を駆動させ、前記ワイパー部で前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭かせることを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、一義的にメンテナンスを実行させるのではなく、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を検査し、当該検査結果に基づき、まず、ノズルプレート面の拭き取りが必要か否か判断される。そして、例えば、ノズルプレート面の検査により、特に液滴吐出性に影響しないような汚れの場合には、ノズルプレート面の拭き取りが不要とすることが可能となる。すなわち、メンテナンスの作業が低減され、メンテナンス作業効率を向上させることができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記メンテナンス部は、前記ワイパー部と、前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させるフラッシング部と、前記液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引する強制吸引部と、を含み、前記制御部では、前記検査部に前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要か否かを判断し、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、前記ワイパー部で前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭かせ、前記ワイパー部で前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭かせた後に、前記検査部に前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記メンテナンス部から少なくとも一を選択し、選択された一の前記メンテナンス部を駆動させることを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面が検査され、当該検査結果に基づき、まず、ノズルプレート面の拭き取りが必要か否か判断される。そして、ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、ワイパー部で液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせる。その後、再度、ノズルプレート面の検査を行い、当該際検査結果に基づいて、ノズルプレート面を拭き取るか、液滴吐出ヘッドから機能液を空吐出させるか、液滴吐出ヘッドから強制的に機能液を吸引するか、そのノズルプレート面の状況に応じて適宜選択される。従って、従来のように、例えば、一義的に、空吐出や強制吸引を実行させるのではなく、再度、ノズルプレート面を拭いた後、ノズル検査を行うことにより、より詳細にノズルプレート面の状況（汚れ具合等）を把握し、ノズルプレート面の状況に応じたメンテナンスを行うことができる。これにより、メンテナンスの作業を効率化させることができるとともに、空吐出や強制吸引による機能液の廃棄量を削減することができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記フラッシング部、または、前記強制吸引部を駆動させた後に、前記ワイパー部で前記ノズルプレート面を拭かせることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、フラッシング部、または、強制吸引部を駆動させると、ノズルプレート面に機能液が付着する場合があり、この場合において、吐出性能を低下させてしまうおそれがある。そこで、フラッシング部、または、強制吸引部を駆動させた後に、ノズルプレート面を拭くことにより、ノズルプレート面に付着した機能液が除去され、吐出性能を確保することができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記液滴吐出ヘッドがワークに対して前記液滴を吐出している液滴吐出期間以外の期間に、前記ノズルプレート面を検査させることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、一定の時間経過後、或いは、一定の描画処理経過後に、ノズルプレート面を検査させるのではなく、液滴吐出ヘッドがワークに対して液滴を吐出している液滴吐出期間以外の期間、例えば、液滴吐出ヘッドが待機している期間等にノズルプレート面を検査させる。従って、液滴吐出作業の効率を低下させることなく、確実にノズルプレート面の状況を把握することができる。
【００１６】
［適用例６］本適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の制御方法であって、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドのメンテナンス条件を選択し、選択された前記メンテナンス条件に基づいて、前記液滴吐出ヘッドに対してメンテナンスを実行させることを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面が検査され、当該検査結果に基づき、メンテナンス条件が選択される。そして、選択されたメンテナンス条件によって液滴吐出ヘッドがメンテナンスされる。すなわち、本発明の液滴吐出装置では、一定の時間経過後、或いは、一定の描画処理経過後に、液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行うのではなく、ノズルプレート面の検査に基づいてメンテナンスを行う。従って、例えば、ノズルプレート面の汚れ具合に応じて、特に液滴吐出性に影響しないような汚れに対しては、メンテナンスの実施内容を軽減することが可能となる。このように、ノズルプレート面の検査に基づいて、適宜メンテナンス条件が選択されるため、液滴吐出精度を確保するとともに、メンテナンスの作業効率を向上させることができる。さらには、機能液の廃棄量を削減することができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法では、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要か否かを判断し、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせることを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、一義的にメンテナンスを実行させるのではなく、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を検査し、当該検査結果に基づき、まず、ノズルプレート面の拭き取りが必要か否か判断される。そして、例えば、ノズルプレート面の検査により、特に液滴吐出性に影響しないような汚れの場合には、ノズルプレート面の拭き取りが不要とすることが可能となる。すなわち、メンテナンスの作業が低減され、メンテナンス作業効率を向上させることができる。
【００２０】
［適用例８］上記適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法では、前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要か否かを判断し、前記ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせ、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせた後に、前記ノズルプレート面を検査させ、前記ノズルプレート面の検査結果に基づいて、前記メンテナンス条件のうち、前記液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取るか、前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させるか、前記液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引するか、を選択し、選択された前記メンテナンス条件に基づいて、前記液滴吐出ヘッドに対してメンテナンスを実行させることを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズルプレート面が検査され、当該検査結果に基づき、まず、ノズルプレート面の拭き取りが必要か否か判断される。そして、ノズルプレート面の拭き取りが必要な場合に、ワイパー部で液滴吐出ヘッドのノズルプレート面を拭き取らせる。その後、再度、ノズルプレート面の検査を行い、当該際検査結果に基づいて、ノズルプレート面を拭き取るか、液滴吐出ヘッドから機能液を空吐出させるか、液滴吐出ヘッドから強制的に機能液を吸引するか、そのノズルプレート面の状況に応じて適宜選択される。従って、従来のように、例えば、一義的に、空吐出や強制吸引を実行させるのではなく、再度、ノズルプレート面を拭き取った後、ノズル検査を行うことにより、より詳細にノズルプレート面の状況（汚れ具合等）を把握し、ノズルプレート面の状況に応じてメンテナンスを行うことができる。これにより、メンテナンスの作業を効率化させることができるとともに、空吐出や強制吸引による機能液の廃棄量を削減することができる。
【００２２】
［適用例９］上記適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法では、前記メンテナンス条件のうち、前記液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させた後、または、前記液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引させた後に、前記ノズルプレート面を拭かせることを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させた後、または、液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引させた後に、ノズルプレート面に機能液が付着する場合があり、この場合において、吐出性能を低下させてしまうおそれがある。そこで、液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させた後、または、液滴吐出ヘッドから機能液を強制的に吸引させた後に、ノズルプレート面を拭き取りすることにより、余分に付着した機能液が除去され、吐出性能を確保することができる。
【００２４】
［適用例１０］上記適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法では、前記液滴吐出ヘッドがワークに対して前記液滴を吐出している液滴吐出期間以外の期間に、前記ノズルプレート面を検査させることを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、一定の時間経過後、或いは、一定の描画処理経過後に、ノズルプレート面を検査させるのではなく、液滴吐出ヘッドがワークに対して液滴を吐出している液滴吐出期間以外の期間、例えば、液滴吐出ヘッドが待機している期間等にノズルプレート面を検査させる。従って、液滴吐出作業の効率を低下させることなく、確実にノズルプレート面の状況を把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す斜視図。
【図２】吐出ヘッドの構成を示す断面図。
【図３】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図４】液滴吐出装置の制御方法を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００２８】
（液滴吐出装置の構成）
まず、液滴吐出装置の構成について説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。液滴吐出装置１は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１４と、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面を検査する検査部６０と、液滴吐出ヘッド１４をメンテナンス（保守）するメンテナンス部２１等を備え、さらに、これらの部材等を制御する制御部を備えている。以下、具体的に説明する。
【００２９】
図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２が備えられている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００３０】
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するテーブル及びワーク移動テーブルとしてのステージ４が取り付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モーター（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モーターに入力されると、Ｙ軸モーターが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
【００３１】
さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。
【００３２】
そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基材チャック機構が設けられている。そして、載置面６にワーク７を載置すると、基材チャック機構によって、そのワーク７が載置面６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００３３】
基台２のＸ方向両側には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。案内部材９は、その長手方向の幅がステージ４のＸ方向よりも長く形成され、その一端が支持台８ａ側に張り出すように配置されている。案内部材９の上側には、吐出する液体を供給可能に収容する収容タンク１０が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【００３４】
案内レール１１に沿って移動可能に配置されるキャリッジ１２は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１２の直動機構は、例えば案内レール１１に沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モーター（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モーターに入力すると、Ｘ軸モーターが正転又は逆転して、キャリッジ１２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材９とキャリッジ１２との間には、副走査位置検出装置１３が配置され、キャリッジ１２の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１２の下面（ステージ４側の面）には、液滴吐出ヘッド１４が設置されている。
【００３５】
基台２の片側の一方（図中Ｘ方向の逆方向）には、保守用基台１５が配置されている。保守用基台１５の上面１５ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１６ａ，１６ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その保守用基台１５の上側には、一対の案内レール１６ａ，１６ｂに対応する図示しない直動機構を備えた移動手段を構成する保守ステージ１７が取り付けられている。その保守ステージ１７の直動機構は、例えばステージ４と同様の直動機構であり、Ｙ方向に沿って往動又は、復動するようになっている。
【００３６】
保守ステージ１７の上には、検査部６０及びメンテナンス部２１が配置されている。検査部６０は、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａ（図２参照）を検査するものである。具体的には、検査部６０は、例えば、カメラ部６１を備えており、当該カメラ部６１によって液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａを検査することができる。なお、カメラ部６１を複数個備えた構成であってもよいし、カメラ部６１をノズルプレート面３０ａに対向して平行移動させる移動部を備えた構成であってもよい。
【００３７】
メンテナンス部２１は、フラッシング部１８、強制吸引部１９及びワイパー部２０とを備えている。フラッシング部１８は、液滴吐出ヘッド１４のノズル部における機能液の乾燥（増粘）を防止するために機能液を空吐出させるためのものである。
【００３８】
強制吸引部１９は、液滴吐出ヘッド１４のノズル部が目詰まりした際にノズル部から機能液を強制的に吸引して、機能液を排出させるものである。強制吸引部１９には、液滴吐出ヘッド１４から吐出された機能液を捕獲する捕獲部と、液滴吐出ヘッド１４の機能液を強制的に吸引するための吸引ポンプ等を備えている。なお、捕獲部は、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面をキャッピングする（覆う）機能を有しており、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面を覆う（キャッピングする）ことにより、液滴吐出ヘッド１４のノズル部の機能液の増粘を防止することができる。
【００３９】
ワイパー部２０は、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａを拭く装置である。例えば、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａに機能液等が付着した場合、付着している機能液等とワーク７とが接触して、ワーク７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。ワイパー部２０は、ノズルプレート面３０ａを拭くことにより、ワーク７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。なお、ワイパー部２０は、例えば、繊維布やゴム製のブレード等で構成されている。
【００４０】
保守用基台１５と基台２との間には、重量測定装置２２が配置されている。重量測定装置２２には、電子天秤が設置され、電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、液滴吐出ヘッド１４から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。電子天秤は、液滴吐出ヘッド１４が液滴を吐出する前後で、受け皿の重量を測定し、吐出前後の受け皿の重量の差分を測定している。
【００４１】
キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って、Ｘ方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１４は、検査部６０、メンテナンス部２１、重量測定装置２２、ワーク７と対向する場所に移動することができるように構成されている。
【００４２】
（吐出ヘッドの構成）
図２は、吐出ヘッドの構成を示す断面図である。図２に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であってノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ３２が形成されている。そして、収容タンク１０から機能液が供給され、各キャビティ３２内に機能液３３で充填される。
【００４３】
キャビティ３２の上側には、上下方向（Ｚ方向：縦振動）に振動して、キャビティ３２内の容積を拡大縮小する振動板３４と、上下方向に伸縮して振動板３４を振動させる加圧手段としての圧電素子３５が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド１４が圧電素子３５を制御駆動するための駆動信号を受けると、圧電素子３５が伸張して、振動板３４がキャビティ３２内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１４のノズル３１からは、縮小した容積分の機能液３３が液滴３６として吐出される。ここで、ノズルプレート面３０ａは、ノズルプレート３０において液滴３６が吐出される方向の面をいう。また、本実施形態では、加圧手段として、縦振動型の圧電素子３５を用いたが、特にこれに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子を用いるようにしてもよい。また、圧力発生手段として、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用してもよい。さらには、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液を液滴として吐出させる構成を有する吐出ヘッドであってもよい。
【００４４】
（電気制御の構成）
図３は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１は、制御部４０を備えており、各種の部材等を制御する。例えば、制御部４０では、検査部６０にノズルプレート面３０ａを検査させ、ノズルプレート面３０ａの検査結果に基づいて、メンテナンス条件を選択し、選択されたメンテナンス条件に基づいてメンテナンス部２１を駆動させる。また、制御部４０は、ノズルプレート面３０ａの検査結果に基づいて、ノズルプレート面３０ａの拭き取りが必要か否かを判断し、ノズルプレート面３０ａの拭き取りが必要な場合に、ワイパー部２０で液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａを拭かせる。さらに、制御部４０は、検査部６０にノズルプレート面３０ａを検査させ、ノズルプレート面３０ａの検査結果に基づいて、ノズルプレート面３０ａの拭き取りが必要か否かを判断し、ノズルプレート面３０ａの拭き取りが必要な場合に、ワイパー部２０で液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａを拭かせ、ワイパー部２０で液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａを拭かせた後に、検査部６０にノズルプレート面３０ａを検査させ、ノズルプレート面３０ａの検査結果に基づいて、メンテナンス部２１から少なくとも一を選択し、選択されたメンテナンス部２１を駆動させる。以下、詳細な構成について説明する。
【００４５】
制御部４０は、プロセッサーとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４０ａと、各種情報を記憶するメモリー４０ｂとを有している。制御部４０は、メモリー４０ｂ内に記憶されたプログラムソフト等に従って、ワーク７における表面の所定位置に機能液を液滴吐出するための制御や液滴吐出ヘッド１４をメンテナンスするための制御等を行うものである。
【００４６】
主走査駆動装置４２、副走査駆動装置４３、保守ステージ駆動装置５１、主走査位置検出装置５、副走査位置検出装置１３、液滴吐出ヘッド１４を駆動するヘッド駆動回路４４は、入出力インターフェース４５およびバス４６を介して制御部４０に接続されている。さらに、入力装置４７、ディスプレー４８、重量測定装置２２を構成する電子天秤４９、フラッシング部１８、強制吸引部１９、ワイパー部２０及び検査部６０も入出力インターフェース４５およびバス４６を介して制御部４０に接続されている。
【００４７】
主走査駆動装置４２は、ステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置４３は、キャリッジ１２の移動を制御する装置である。保守ステージ駆動装置５１は、保守ステージ１７の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５が、ステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置４２が、ステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１３が、キャリッジ１２の位置を認識し、副走査駆動装置４３が、キャリッジ１２の移動を制御することにより、キャリッジ１２を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。保守ステージ駆動装置５１が、保守ステージ１７の移動を制御し、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に、検査部６０、フラッシング部１８、強制吸引部１９、ワイパー部２０を移動させることができる。
【００４８】
入力装置４７は、液滴を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、ワーク７に液滴を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレー４８は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレー４８に表示される情報を基に、入力装置４７を用いて操作を行うことができる。
【００４９】
電子天秤４９は、液滴吐出ヘッド１４が吐出する液滴を受ける、受け皿の重量を測定する装置である。液滴が吐出される前後の受け皿の重量を測定して、測定値を制御部４０に送信する。
【００５０】
メモリー４０ｂは、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリーや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域や、ワーク７内における吐出位置の座標データである吐出位置データを記憶するための記憶領域が設定される。さらに、ワーク７を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１２を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４０ａのためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域や、液滴吐出ヘッド１４のメンテナンス条件及びメンテナンス動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【００５１】
（液滴吐出装置の制御方法について）
次に、液滴吐出装置の制御方法について説明する。図４は、液滴吐出装置の制御方法を示すフローチャートである。
【００５２】
ステップＳ１１では、ノズルプレート面３０ａの検査を行う。具体的には、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａと検査部６０とを対向させた後、検査部６０を駆動させ、カメラ部６１でノズルプレート面３０ａの状況データを取得させる。なお、本実施形態では、ノズルプレート面３０ａの検査は、液滴吐出ヘッド１４がワーク７に対して液滴３６を吐出している液滴吐出期間以外の期間に行う。つまり、液滴吐出ヘッド１４が、メンテナンス領域（ホームポジション）に待機している期間に行う。このようにすれば、液滴吐出作業の効率を低下させることなく、検査を行うことができる。
【００５３】
ステップＳ１２では、ノズルプレート面３０ａの拭き取りが必要か否かを判断する。具体的には、ステップＳ１１のノズルプレート面３０ａの検査結果（ノズルプレート面３０ａの状況データ）に基づいて、例えば、ノズルプレート面３０ａの汚れ具合から、液滴吐出性に影響がないと判断した場合には、拭き取りは不要（ＮＯ）と判断され、ステップＳ１８の描画（液滴吐出）に移行する。一方、ノズルプレート面３０ａの汚れ具合から、液滴吐出性に影響があり得ると判断した場合には、拭き取りが必要（ＹＥＳ）と判断され、ステップＳ１３に移行する。
【００５４】
ステップＳ１３では、ノズルプレート面３０ａの汚れを拭き取る。具体的には、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａとワイパー部２０とを対向させた後、ワイパー部２０を駆動させ、繊維布等でノズルプレート面３０ａを拭かせる。
【００５５】
ステップＳ１４では、ノズルプレート面３０ａの検査を行う。具体的には、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａと検査部６０とを対向させた後、検査部６０を駆動させ、カメラ部６１でノズルプレート面３０ａの状況データを取得させる。すなわち、ステップＳ１１においてノズルプレート面３０ａの検査をした後、本ステップＳ１４で、再度、ノズルプレート面３０ａの検査を行う。これは、ステップＳ１１の検査結果に基づいて、ステップＳ１３で拭き取りを行った後のノズルプレート面３０ａの状況を把握するためである。例えば、ノズルプレート面３０ａに付着した汚れが取れやすい場合や、拭き取りしただけでは汚れを落としきれない場合等があり、これらの状況を把握し、最適なメンテナンスを実行させるためである。
【００５６】
ステップＳ１５では、メンテナンスが必要か否かを判断する。具体的には、ステップＳ１４のノズルプレート面３０ａの検査結果（ノズルプレート面３０ａの状況データ）に基づいて、例えば、ステップＳ１３の拭き取りによってノズルプレート面３０ａの汚れが拭き取られ、液滴吐出性に影響がないと判断した場合には、メンテナンスは不要（ＮＯ）と判断され、ステップＳ１８の描画（液滴吐出）に移行する。一方、ステップＳ１３の拭き取りによっても、なおノズルプレート面３０ａの汚れがあり、液滴吐出性に影響があり得ると判断した場合には、メンテナンスが必要（ＹＥＳ）と判断され、ステップＳ１６に移行する。
【００５７】
ステップＳ１６では、メンテナンス条件を選択する。本実施形態では、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａの拭き取り（ワイピング）と、液滴吐出ヘッド１４から機能液の空吐出（フラッシング）と、液滴吐出ヘッド１４から機能液の強制吸引の中から適宜メンテナンス条件が選択される。
【００５８】
ステップＳ１７では、選択されたメンテナンス条件に基づいてメンテナンスを実行する。例えば、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａの拭き取りを選択した場合には、ワイパー部２０を駆動させ、ノズルプレート面３０ａを拭かせる。また、液滴吐出ヘッド１４から機能液の空吐出を選択した場合には、フラッシング部１８と液滴吐出ヘッド１４を駆動させ、フラッシング部１８に向けて液滴３６を吐出させる。また、液滴吐出ヘッド１４から機能液の強制吸引を選択した場合には、強制吸引部１９を駆動させ、液滴吐出ヘッド１４内の機能液を強制的に吸引して液滴吐出ヘッド１４内の機能液を排出させる。なお、本実施形態では、メンテナンス条件のうち、液滴吐出ヘッド１４から機能液を吐出させた後、または、液滴吐出ヘッド１４から機能液を強制的に吸引させた後に、ノズルプレート面を拭かせる。これにより、メンテナンスにおいてノズルプレート面３０ａに付着した機能液が除去され、吐出性能を確保することができる。以上により、一連のメンテナンス動作が終了する。その後、ステップＳ１８の描画（液滴吐出）に移行する。
【００５９】
従って、上記実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００６０】
（１）メンテナンス部２１を駆動させる前に、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａを検査部６０で検査させた。そして、検査結果に基づいて、ノズルプレート面３０ａの拭き取りの要否を判断した。これにより、ノズルプレート面３０ａの汚れ具合等を確認できるとともに、汚れ具合に応じて、拭き取りの要否を判断するため、メンテナンス作業の効率を向上させることができる。
【００６１】
（２）ノズルプレート面３０ａを拭き取りした後、再度、ノズルプレート面３０ａを検査部６０で検査させた。これにより、さらにノズルプレート面３０ａの汚れ状況等を詳細に把握することができる。そして、再検査に基づいて、メンテナンス条件を選択した。これにより、的確なメンテナンスを行うことができるとともに、不用意に機能液を使用することがないため、機能液の廃棄量を削減することができる。
【００６２】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【００６３】
（変形例１）上記実施形態では、メンテナンス条件を選択し、メンテナンスを実行させて一連のメンテナンス作業を終了させたが、これに限定されない。例えば、メンテナンスを実行させた後に、再度、ノズルプレート面３０ａの検査を実施させてもよい。この場合において、ノズルプレート面３０ａの検査結果に基づいて、さらに、メンテナンス条件を選択し、メンテナンスを実行させてもよい。このようにすれば、さらに、液滴吐出性を向上させることができる。
【００６４】
（変形例２）上記実施形態のメンテナンス条件は、液滴吐出ヘッド１４のノズルプレート面３０ａの拭き取り（ワイピング）と、液滴吐出ヘッド１４から機能液の空吐出（フラッシング）と、液滴吐出ヘッド１４から機能液の強制吸引としたが、これに限定されない。たとえば、拭き取り回数を任意に設定してもよい。また、拭き取り速度等も任意に設定してもよい。さらには、上記メンテナンス条件を適宜組み合わせて実行してもよい。このようにすれば、さらに、ノズルプレート面３０ａの状況に応じて、的確なメンテナンス作業を行うことができる。
【符号の説明】
【００６５】
１…液滴吐出装置、１４…液滴吐出ヘッド、１８…フラッシング部、１９…強制吸引部、２０…ワイパー部、２１…メンテナンス部、３０…ノズルプレート、３０ａ…ノズルプレート面、３１…ノズル、３３…機能液、３６…液滴、４０…制御部、６０…検査部、６１…カメラ部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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