(57)【要約】【課題】液滴吐出装置の稼働率を向上させる液滴吐出方法および液滴吐出装置を提供する。【解決手段】一つの吐出部内に先端側と奥側とに液状体のメニスカスを形成できる液滴吐出ヘッドを用いて、該液状体を液滴として被吐出物に吐出する液滴吐出方法であって、液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出状態を検査するために液滴を吐出する検査吐出工程と、検査吐出工程の結果から液滴の飛行曲がりがあるか否かを検査する飛行曲がり検査工程と、飛行曲がり検査工程の結果において飛行曲がりがある場合に、液状体のメニスカスの位置を変更するメニスカス位置変更工程と、変更された液状体のメニスカスの位置から被吐出物に液滴を吐出する液滴吐出工程と、を備える。【選択図】図４
2011050919.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一つの吐出部内に先端側と奥側とに液状体のメニスカスを形成できる液滴吐出ヘッドを用いて、該液状体を液滴として被吐出物に吐出する液滴吐出方法であって、
前記液滴吐出ヘッドにおける前記液滴の吐出状態を検査するために前記液滴を吐出する検査吐出工程と、
前記検査吐出工程の結果から前記液滴の飛行曲がりがあるか否かを検査する飛行曲がり検査工程と、
前記飛行曲がり検査工程の結果において飛行曲がりがある場合に、前記液状体の前記メニスカスの位置を変更するメニスカス位置変更工程と、
変更された前記液状体の前記メニスカスの位置から前記被吐出物に前記液滴を吐出する液滴吐出工程と、を含むことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出方法において、
前記吐出部の奥側の前記メニスカスの位置を標準のメニスカス位置とし、前記液滴の飛行曲がりが発生したときには、前記メニスカス位置変更工程にて奥側の前記メニスカスの位置から先端側の前記メニスカスの位置に変更することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項３】
請求項１に記載の液滴吐出方法において、
前記吐出部の先端側の前記メニスカスの位置を標準のメニスカス位置とし、前記液滴の飛行曲がりが発生したときには、前記メニスカス位置変更工程にて先端側の前記メニスカスの位置から奥側の前記メニスカスの位置に変更することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液滴吐出方法において、
前記メニスカス位置変更工程は、前記液状体の水頭圧を変更することで前記吐出部の前記メニスカスの位置を変更することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項５】
液状体が流れる流路を有し液滴を吐出する吐出部と、前記吐出部に連通する圧力室と、前記圧力室の壁面に設けられた振動板と、を備え、前記振動板を変形させて前記吐出部から前記液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置であって、
前記吐出部には二つの前記液状体のメニスカスの位置を形成できる吐出口として先端側に形成された第１吐出口と、前記圧力室側に形成された第２吐出口と、を備え、
前記第１吐出口または前記第２吐出口から前記液滴を吐出させ、前記液滴の飛行曲がりが生じたときに、他方の前記吐出口である前記第１吐出口または前記第２吐出口に切り替えて使用されることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を液滴として被吐出物に吐出する、液滴吐出方法および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液滴吐出ヘッドを用いて、インクなどの液状体を被吐出物に液滴吐出して印刷、加工などを行う液滴吐出方法が知られている。
液滴吐出ヘッドを用いて液滴を吐出している際に、液状体が乾燥によって固化した固形物が液滴吐出ヘッドの吐出口付近に付着することがある。この固形物が付着すると、吐出口に形成される液状体のメニスカス形状が変わり、吐出される液滴が所望の方向に飛ばず、液滴の飛行曲がりが生ずる。
このような飛行曲がりなどの液滴吐出ヘッドに起因する不具合が生ずると、液滴による描画品質が低下する。このため、液滴の飛行曲がりが生ずると、その都度、液滴吐出ヘッドの吸引、ワイピング、フラッシング処理などのクリーニング作業を行い、不具合を解消している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２３４１９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このクリーニング作業は高い描画品質の維持には有効であるが、クリーニング作業には時間がかかるため、頻繁なクリーニング作業は液滴吐出装置の稼動率を低下させている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出方法は、一つの吐出部内に先端側と奥側とに液状体のメニスカスを形成できる液滴吐出ヘッドを用いて、該液状体を液滴として被吐出物に吐出する液滴吐出方法であって、前記液滴吐出ヘッドにおける前記液滴の吐出状態を検査するために前記液滴を吐出する検査吐出工程と、前記検査吐出工程の結果から前記液滴の飛行曲がりがあるか否かを検査する飛行曲がり検査工程と、前記飛行曲がり検査工程の結果において飛行曲がりがある場合に、前記液状体の前記メニスカスの位置を変更するメニスカス位置変更工程と、変更された前記液状体の前記メニスカスの位置から前記被吐出物に前記液滴を吐出する液滴吐出工程と、を含むことを特徴とする。
【０００７】
この液滴吐出方法によれば、液滴吐出ヘッドから吐出する液滴に飛行曲がりがある場合、吐出部における液状体のメニスカスの位置を変更して液滴の吐出が行われる。この液滴吐出方法を用いればメニスカスの位置を変更することで、従来の方法より長い期間において液滴吐出ヘッドのクリーニング作業を行わずに液滴吐出が可能である。
このように、適用例の液滴吐出方法では液滴吐出ヘッドのクリーニング作業をする頻度を削減でき、液滴吐出装置としての稼働率を向上させることができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記吐出部の奥側の前記メニスカスの位置を標準のメニスカス位置とし、前記液滴の飛行曲がりが発生したときには、前記メニスカス位置変更工程にて奥側の前記メニスカスの位置から先端側の前記メニスカスの位置に変更することが望ましい。
【０００９】
この液滴吐出方法によれば、液滴を吐出部の奥側のメニスカスの位置にて吐出をさせ、液滴の飛行曲がりが発生したときには、先端側のメニスカスの位置にて液滴を吐出する。このようにすれば、液状体が乾燥して生じた固形物などが付着したメニスカス位置を利用することなく、先端側のメニスカスの位置から液滴を吐出できる。先端側のメニスカス位置は吐出には利用されていなかったため、液状体の固形物などはなく、メニスカスが正常に形成でき、液滴の飛行曲がりのない吐出が可能となる。
また、先端側のメニスカスの位置を利用することで、奥側のメニスカスの位置は液状体に浸漬され、その周囲に付着した液状体の固形物は液状体に含まれる溶剤などにより溶かされ、再度奥側のメニスカス位置を利用することが可能である。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記吐出部の先端側の前記メニスカスの位置を標準のメニスカス位置とし、前記液滴の飛行曲がりが発生したときには、前記メニスカス位置変更工程にて先端側の前記メニスカスの位置から奥側の前記メニスカスの位置に変更することが望ましい。
【００１１】
この液滴吐出方法によれば、液滴を吐出部の先端側のメニスカスの位置にて吐出をさせ、液滴の飛行曲がりが発生したときには、奥側のメニスカスの位置にて液滴を吐出する。このようにすれば、液状体が乾燥して生じた固形物などが付着したメニスカス位置を利用することなく、先端側のメニスカス位置から離れた奥側のメニスカスの位置から液滴を吐出できる。奥側のメニスカスの位置は、液状体に浸漬されていたため、その周囲にはメニスカスの形成を阻害する固形物などがないため、メニスカスが正常に形成でき、液滴の飛行曲がりのない吐出が可能となる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記メニスカス位置変更工程は、前記液状体の水頭圧を変更することで前記吐出部の前記メニスカスの位置を変更することが望ましい。
【００１３】
メニスカスの位置は液状体に加わる水頭圧と流路の毛細管現象のバランスで決まり、この液滴吐出方法によれば、液状体の水頭圧を変更することで容易にメニスカスの位置を変更することが可能である。
【００１４】
［適用例５］本適用例にかかる液滴吐出装置は、液状体が流れる流路を有し液滴を吐出する吐出部と、前記吐出部に連通する圧力室と、前記圧力室の壁面に設けられた振動板と、を備え、前記振動板を変形させて前記吐出部から前記液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出装置であって、前記吐出部には二つの前記液状体のメニスカスの位置を形成できる吐出口として先端側に形成された第１吐出口と前記圧力室側に形成された第２吐出口と、を備え、前記第１吐出口または前記第２吐出口から前記液滴を吐出させ、前記液滴の飛行曲がりが生じたときに、他方の前記吐出口である前記第１吐出口または前記第２吐出口に切り替えて使用されることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、液状体のメニスカスの位置を形成できる吐出口として圧力室側に形成された第２吐出口と、先端側に形成された第１吐出口とを備え、液滴の飛行曲がりが生じたときに吐出口を切り替えて使用する。
この液滴吐出装置を用いれば液滴の吐出口を変更することで、従来の装置より長い期間において液滴吐出ヘッドのクリーニング作業を行わずに液滴吐出が可能である。
このように、適用例の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのクリーニング作業をする頻度を削減でき、液滴吐出装置としての稼働率を向上させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。
【図２】本実施形態における液滴吐出ヘッドの構成を示す説明図であり、（ａ）は液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図、（ｂ）は液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図、（ｃ）は液滴吐出ヘッドの構造を示す断面図。
【図３】本実施形態におけるノズルプレートのノズル穴部分を拡大した断面図。
【図４】本実施形態における液滴吐出方法の流れを示すフローチャート。
【図５】本実施形態における液状体供給手段と液滴吐出ヘッドの位置関係を示す説明図。
【図６】本実施形態における液滴の吐出状態を説明する模式断面図。
【図７】他の実施形態における液滴吐出方法の流れを示すフローチャート。
【図８】液滴の質量を調整する吐出口の構成を示す概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の寸法の割合を適宜変更している。
（第１の実施形態）
【００１８】
図１は液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図である。
液滴吐出装置１００は、液状体を吐出する吐出部が設けられた液滴吐出ヘッド５０から、被吐出物としての基板Ｋに吐出して、所定の文字、図柄、画像、パターン、配線等を描画する装置である。
液滴吐出装置１００は、直線状に設けられた一対のガイドレール１０１と、ガイドレール１０１に設けられたエアースライダーとリニアモーター（図示せず）により一つの直線軸方向（本実施形態ではＹ軸方向とする）に移動する移動台１０３を備えている。移動台１０３上には、基板Ｋを載置するための載置テーブル１０５が設けられている。基板Ｋは、載置テーブル１０５に吸着固定されるように構成されている。
【００１９】
載置テーブル１０５に対して移動台１０３と反対側の上方向には、所定の距離をおいて一対のガイドレール１０２が設けられている。ガイドレール１０２はガイドレール１０１と直交する直線軸方向（本実施形態ではＸ軸方向とする）に延在するように設けられている。
そして、液滴吐出装置１００には、この一対のガイドレール１０２に沿って移動するキャリッジ１２０が備えられている。このキャリッジ１２０は、その両側にキャリッジ１２０と一体若しくは別体でキャリッジ移動台１１２が設けられ、ガイドレール１０２に設けられたエアースライダーとリニアモーター（いずれも図示せず）により、Ｘ軸方向に沿って移動可能に構成されている。
【００２０】
キャリッジ１２０には、その下方向側に所定の配列方向を呈するように設けられた複数の吐出部と、吐出部毎に液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５０が備えられている。そして、図示しない液状体供給手段からキャリッジ１２０に供給された液状体は、キャリッジ１２０内に形成された流路を経由して液滴吐出ヘッド５０に供給され、吐出部から液滴として吐出する。
【００２１】
また、液滴吐出装置１００には、ガイドレール１０２の端部付近に液滴吐出ヘッド５０のメンテナンスユニットとして、液滴吐出ヘッド５０をメンテナンスするキャッピング装置１３０およびワイピング装置１５０を備えている。
キャッピング装置１３０は、凹部が形成されたホルダー１３２に弾性部材からなるキャッピング部材１３１がはめ込まれている。キャッピング装置１３０は、この凹部内を吸引する吸引機構を備えている。また、ホルダー１３２が昇降可能に構成され、液滴吐出ヘッド５０まで移動可能に構成されている。
ワイピング装置１５０には、二つの回転ローラー１５１と、その間に配置された受け台１５４を備えている。回転ローラー１５１の間には布状のワイプ材１５５が配置され、ワイプ材１５５を間欠送りできる機構を備えている。そして、ワイピング装置１５０は、昇降可能に構成され、液滴吐出ヘッド５０の近傍まで移動して、液滴吐出ヘッド５０とワイプ材１５５とが接触可能に構成されている。
【００２２】
移動台１０３のＹ軸方向の移動、キャリッジ１２０に設けられたキャリッジ移動台１１２のＸ軸方向の移動、および液滴吐出ヘッド５０に形成された吐出機構の駆動制御は、制御部１４０によって行われる。同様に、キャッピング装置１３０の吸引および昇降制御、ワイピング装置１５０のワイプ材送りおよび昇降制御は制御部１４０によって行われる。制御部１４０は、コンピューターにより所定のプログラムに基づいてこれらの処理を実行する。
【００２３】
次に、液滴吐出ヘッド５０について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す説明図である。図２（ａ）は液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図、図２（ｂ）は液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッドの構造を示す断面図である。
【００２４】
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、２連の接続針５２を有する液体導入部５１と、その側方に連なるヘッド基板５３、方形のヘッド本体５４を備えている。液体導入部５１の接続針５２には、給液チューブが接続され液状体が供給される。ヘッド基板５３には、一対のヘッドコネクター５７が実装されており、フレキシブルケーブルが接続される。そしてヘッド本体５４は、吐出ノズル部５５に吐出部としてのノズルプレート５６が構成されている。
【００２５】
ヘッド本体５４の基部側は、液体導入部５１およびヘッド基板５３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部６４が形成されている。このフランジ部６４には、液滴吐出ヘッド５０を固定する雌ねじ５９ａが一対形成されている。
【００２６】
ノズルプレート５６には、液滴を吐出する複数のノズル穴５８が直線状に整列され、ノズル列５８ａ，５８ｂが形成されている。そして、２列のノズル列５８ａ，５８ｂは相互に略平行に列設されている。２列のノズル列５８ａ，５８ｂの配置される間隔はおよそ２〜３ｍｍに設定されている。
液滴吐出ヘッド５０が液滴吐出装置１００に取り付けられた状態では、ノズル列５８ａ，５８ｂはＹ軸方向に延在する。なお、ノズル列は２列に限らず３列以上設けられていてもよいし、配列方向もＹ軸方向に対して傾いているなど、必ずしもＹ軸方向と一致しなくても差し支えない。また、上記のような液滴吐出ヘッド５０を複数配列して液滴吐出装置１００に備えてもよい。
【００２７】
図２（ｂ）および図２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０のノズルプレート５６は板状部材５６ａ，５６ｂが積層して形成されている。そして、ノズルプレート５６に圧力室プレート６１が積層されており、圧力室プレート６１に振動板６２が積層されている。
圧力室プレート６１には、液体導入部５１から振動板６２の液供給孔６３を経由して供給される液状体が充填される液たまり６５が形成されている。液たまり６５は、振動板６２と、ノズルプレート５６と、圧力室プレート６１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート６１には、複数のヘッド隔壁６７によって区切られた圧力室６８が形成されている。振動板６２と、ノズルプレート５６と、２個のヘッド隔壁６７とによって囲まれた空間が圧力室６８である。
【００２８】
圧力室６８はノズル穴５８のそれぞれに対応して設けられている。圧力室６８には、２個のヘッド隔壁６７の間に位置する供給口６６を介して、液たまり６５から液状体が供給される。ヘッド隔壁６７と圧力室６８とノズル穴５８と供給口６６との組は、液たまり６５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだノズル穴５８がノズル列５８ａ（５８ｂ）を形成している。
【００２９】
振動板６２の圧力室６８を構成する部分には、それぞれ圧電素子６９の一端が固定されている。
圧電素子６９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に所定の電圧波形を印加することで、活性部が長手方向に収縮あるいは伸長変形し、振動板６２を撓ませて圧力室６８に存在する液状体を加圧する。この結果、加圧された液状体は、ノズルプレート５６のノズル穴５８から、液滴１０ａとして吐出される。なお、液状体１０として、水性染料インク、水性顔料インク、溶剤・油性インク、ＵＶ硬化インクなどを利用することができる。
【００３０】
次に、吐出部としてのノズルプレート５６の形状について詳しく説明する。
図３はノズルプレートのノズル穴部分を拡大した断面図である。
ノズルプレート５６は２枚の板状部材５６ａ，５６ｂが積層して形成されている。ノズルプレート５６は貫通されて円形のノズル穴５８が形成され、このノズル穴５８は圧力室６８と連通している。このようにして、ノズル穴５８が液状体の流れる流路として機能する。
【００３１】
ノズルプレート５６の板状部材５６ａの一方の面には、開口された穴から斜面を形成してテーパー状に広がるテーパー部５６ｃが設けられている。同様に、ノズルプレート５６の板状部材５６ｂの一方の面には、開口された穴から斜面を形成してテーパー状に広がるテーパー部５６ｄが設けられている。この板状部材５６ａ，５６ｂをテーパー部５６ｃ，５６ｄが同じ方向に向くように貼り合わせることで、板状部材５６ａと板状部材５６ｂとの間に空間が形成される。
【００３２】
このようにして、ノズル穴５８の先端側には第１吐出口５７ａが形成され、ノズル穴５８の奥側である圧力室側には第２吐出口５７ｂが形成される。また、第１吐出口５７ａおよび第２吐出口５７ｂの間の流路は、その断面積を大きく形成する（空間を形成する）ことで壁面が段差となる段差部５９を形成している。この段差部５９により、ノズルプレート５６の流路の途中である第２吐出口５７ｂにおいて、液状体のメニスカスを容易に形成することが可能である。
【００３３】
本実施形態では、第１吐出口５７ａには第１のメニスカス６０ａが形成可能であり、第２吐出口５７ｂには第２のメニスカス６０ｂが形成可能である。なお、ノズルプレートとして板状部材をさらに積層して３箇所以上のメニスカスの位置を形成することも可能である。
【００３４】
次に、上記の構成の液滴吐出装置における液滴吐出方法について説明する。
図４は液滴吐出方法の流れを示すフローチャートである。
クリーニング後の液滴吐出ヘッドにおいては、最初に吐出部としてのノズルプレートの先端側の第１吐出口のメニスカス位置を標準の位置とし、第１吐出口から液滴の吐出が行われる。
【００３５】
図４のフローチャートに示すように、まず、使用する吐出口（ここでは第１吐出口）の液滴の吐出状態を検査するために、液滴を吐出する検査吐出を行う（ステップＳ１１：検査吐出工程）。この検査吐出は１枚の基板の加工毎、または決められた定期的な周期などにおいて行われる。
次に、吐出した液滴に飛行曲がりがあるか否かを検査する（ステップＳ１２：飛行曲がり検査工程）。この検査では許容範囲から外れる液滴の吐出がある場合を飛行曲がりがあると判断する。そして、液滴に飛行曲がりがない場合には、第１吐出口のメニスカス位置を用いて、液滴を吐出して描画を行う（ステップＳ１３：液滴吐出工程）。
【００３６】
ステップＳ１２で吐出した液滴に飛行曲がりがある場合には、使用した吐出口が第２吐出口であるかを確認する（ステップＳ１４）。ここでは第１吐出口を使用しているため、メニスカスの位置を第２吐出口に変更する（ステップＳ１５：メニスカス位置変更工程）。そして、ステップＳ１３に進み、第２吐出口のメニスカス位置を用いて、液滴を吐出して描画を行う。なお、ステップＳ１５でメニスカス位置を変更した後、ステップＳ１１に戻って工程を進めてもよい。
そして、第２吐出口のメニスカス位置を用いて、液滴を吐出して描画を行っている間にステップＳ１１の検査吐出により、飛行曲がりがあるかを検査して（ステップＳ１２）、飛行曲がりがある場合（ステップＳ１４）には、液滴吐出ヘッドのクリーニング（ステップＳ１６）が行われる。その後、ステップＳ１１以降を繰り返して液滴の吐出が行われる。
【００３７】
ここで、第１吐出口から第２吐出口へ、メニスカスの位置を切り替える方法について簡単に説明する。
図５は液状体供給手段と液滴吐出ヘッドの位置関係を示す説明図である。
液状体１０を液滴吐出ヘッド５０に供給する液状体供給手段４０は給液チューブ４２を介して液滴吐出ヘッド５０に接続されている。そして、液状体供給手段４０は液滴吐出ヘッド５０のノズルプレート５６の流路より高い位置に配置されている。
【００３８】
液状体１０のメニスカスの位置は流路の毛細管現象と水頭圧ｈのバランスで決まる。このため、水頭圧ｈを変化させることでメニスカス位置を変えることができる。例えば、フラッシングを行って液状体１０を吐出させて、液状体供給手段４０の液面を低くして水頭圧ｈを減少させることでメニスカス位置を第１吐出口から第２吐出口へ後退させることができる。
また、液状体供給手段４０の高さを可変とすることで、水頭圧を調整してメニスカス位置の後退、前進を調整することができる。
さらに、液状体供給手段４０側から加圧または吸引、液滴吐出ヘッド５０側から加圧または吸引することでメニスカス位置を調整することも可能である。
【００３９】
次に、上記の液滴吐出方法における液滴の吐出状態を説明する。
図６は本実施形態における液滴の吐出状態を説明する模式断面図である。
図６（ａ）は上記で説明したメニスカス位置を第１吐出口から第２吐出口へ変更したときのそれぞれの液滴の吐出状態を示している。
第１吐出口５７ａでの第１のメニスカス６０ａを用いて液滴吐出を行っていると、第１吐出口５７ａ付近に液状体１０が乾燥固化した固形物１５が生ずることがある。この場合、第１吐出口５７ａに形成される第１のメニスカス６０ａの形状が固形物１５により変わり、吐出される液滴１０ａが所望の方向に飛ばず、液滴１０ａの飛行曲がりが生ずる。
【００４０】
この状態から、第２吐出口５７ｂでの第２のメニスカス６０ｂに切り替えることで、第１吐出口５７ａ付近に付着した固形物１５の影響を受けずに正常な第２のメニスカス６０ｂを形成でき、所望の方向に液滴１０ａを吐出することができる。
【００４１】
また、図６（ｂ）に示すように、圧力室６８側の第２吐出口５７ｂでの第２のメニスカス６０ｂの位置を標準位置として、第２吐出口５７ｂでの第２のメニスカス６０ｂから第１吐出口５７ａでの第１のメニスカス６０ａへ切り替えてもよい。
例えば、第２吐出口５７ｂでの第２のメニスカス６０ｂを用いて液滴吐出を行っていると、第２吐出口５７ｂ付近に液状体１０が乾燥固化した固形物１５が生ずることがある。この場合、第２吐出口５７ｂに形成される第２のメニスカス６０ｂの形状が固形物１５により変わり、吐出される液滴１０ａが所望の方向に飛ばず、液滴１０ａの飛行曲がりが生ずる。
【００４２】
この状態から、第１吐出口５７ａでの第１のメニスカス６０ａに切り替えることで、第２吐出口５７ｂ付近に付着した固形物１５の影響を受けずに正常な第１のメニスカス６０ａを形成でき、所望の方向に液滴１０ａを吐出することができる。
また、第２吐出口５７ｂ付近に付着した固形物１５は液状体に浸漬され、固形物は液状体に含まれる溶剤などにより溶かされ、再度奥側のメニスカス位置を利用することが可能である。
なお、第２吐出口５７ｂでの第２のメニスカス６０ｂから第１吐出口５７ａでの第１のメニスカス６０ａへ切り替えは、液状体供給手段の液面を高くして水頭圧ｈを増加させることでメニスカス位置を変えることができる。
【００４３】
以上のように、本実施形態の液滴吐出方法によれば液滴吐出ヘッド５０から吐出する液滴１０ａに飛行曲がりがある場合、液状体１０のメニスカスの位置を変更して液滴１０ａの吐出が行われる。この液滴吐出方法を用いればメニスカスの位置を変更することで、従来の方法より長い期間において液滴吐出ヘッド５０のクリーニング作業を行わずに液滴吐出が可能である。
このように、液滴吐出方法を用いた液滴吐出装置１００では液滴吐出ヘッド５０のクリーニング作業をする頻度を削減でき、液滴吐出装置１００としての稼働率を向上させることが可能である。
（第２の実施形態）
【００４４】
次に、他の液滴吐出方法の実施形態について説明する。
本実施形態では、第１吐出口と第２吐出口の両者の吐出口での検査吐出を行い、飛行曲がりのない吐出口を使用する方法である。また、両者の吐出口において飛行曲がりがなく良好な場合は優先順位の高い吐出口を使用する。
【００４５】
図７は液滴吐出方法の流れを示すフローチャートである。
まず、第１吐出口および第２吐出口の液滴の吐出状態を検査するために、それぞれの吐出口から液滴を吐出する検査吐出を行う（ステップＳ２１：検査吐出工程）。この検査吐出は１枚の基板の加工毎、または決められた定期的な周期などにおいて行われる。
次に、第１吐出口および第２吐出口から吐出した液滴に飛行曲がりがあるか否かを検査する（ステップＳ２２：飛行曲がり検査工程）。この検査では許容範囲から外れる液滴の吐出がある場合を飛行曲がりがあると判断する。
第１吐出口および第２吐出口から吐出した液滴に飛行曲がりがない場合には、優先順位の高い第１吐出口のメニスカス位置を選択する（ステップＳ２３）。なお、ここでは第１吐出口を第２吐出口より優先順位を高く設定したが、第２吐出口を第１吐出口より優先順位を高く設定してもよい。そして、第１吐出口のメニスカスから液滴を吐出して描画を行う（ステップＳ２４）。
【００４６】
吐出した液滴に飛行曲がりがある場合には、両者の吐出口であるかを確認する（ステップＳ２５）。両者の吐出口でない場合には、飛行曲がりのない吐出口を選択しメニスカス位置を変更し（ステップＳ２６：メニスカス位置変更工程）、飛行曲がりのない吐出口のメニスカスから液滴を吐出して描画を行う（ステップＳ２４）。
また、ステップＳ２５で、第１吐出口および第２吐出口から吐出した液滴に飛行曲がりがある場合には液滴吐出ヘッドのクリーニング（ステップＳ２７）が行われる。その後、ステップＳ２１以降を繰り返して液滴の吐出が行われる。
【００４７】
以上、本実施形態の液滴吐出方法においても、第１の実施形態と同様に、メニスカスの位置を変更して継続して液滴１０ａの吐出ができる。
そして、液滴吐出方法を用いた液滴吐出装置では液滴吐出ヘッド５０のクリーニング作業をする頻度を削減でき、液滴吐出装置１００としての稼働率を向上させることが可能である。
【００４８】
次に、メニスカスの位置を変更することによる液滴の質量（大きさ）の変化について説明する。
通常、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の質量（大きさ）は、吐出部の流路を液状体が流動するときの抵抗に大きく影響されており、この流路が長いと抵抗は大きく、流路が短いと抵抗は小さくなる。つまり、流路の断面積が同じであれば、流路が長いほど吐出される液滴の質量は小さくなる。
【００４９】
上記の実施形態では、先端側の第１吐出口から吐出する液滴は、圧力室側の第２吐出口から吐出する液滴より質量（大きさ）は小さくなる。
このため、液滴を吐出するメニスカスの位置を変更した場合には、液滴吐出ヘッドの駆動波形または駆動電圧を変えて、液滴質量を制御する必要がある。
また、以下で説明する吐出部の構造を採ることで、第１吐出口および第２吐出口から吐出する液滴の質量を同等にすることが可能である。
【００５０】
図８は液滴の質量を調整する吐出口の構成を示す概略断面図である。
図８（ａ）に示すように、液滴の吐出部であるノズルプレート７６は圧力室側に配置された板状部材７６ｂと、先端側に配置された板状部材７６ａが積層されて構成されている。板状部材７６ａには第１吐出口７７ａが形成され、そこに第１のメニスカス６０ａが形成される。また、板状部材７６ｂには第２吐出口７７ｂが形成され、そこに第２のメニスカス６０ｂが形成される。
板状部材７６ｂの厚みｔ２は、板状部材７６ａの厚みｔ１に対して充分に厚く形成されている。つまり、液状体１０が流動する流路は第２吐出口７７ｂに対して、第１吐出口７７ａの流路の増加分は少なく、液状体１０が流動するときの抵抗の差はあまりない。
このため、第１吐出口７７ａの第１のメニスカス６０ａから吐出する液滴の質量と、第２吐出口７７ｂの第２のメニスカス６０ｂから吐出する液滴の質量との差は微小である。
【００５１】
また、図８（ｂ）に示す構成の吐出部であってもよい。
ノズルプレート８６は圧力室側に配置された板状部材８６ｂと、先端側に配置された板状部材８６ａが積層されて構成されている。板状部材８６ａには第１吐出口８７ａが形成され、そこに第１のメニスカス６０ａが形成される。また、板状部材８６ｂには第２吐出口８７ｂが形成され、そこに第２のメニスカス６０ｂが形成される。
板状部材８６ｂの厚みｔ２は、板状部材８６ａの厚みｔ１に対して充分に厚く形成されている。さらに、板状部材８６ｂの穴径Ｄ２よりも、板状部材８６ａの穴径Ｄ１が大きく形成されている。
【００５２】
このように、液状体１０が流動する流路は第２吐出口８７ｂに対して、第１吐出口８７ａの流路の増加分は少なく、液状体１０が流動するときの抵抗の差はあまりない。そして、板状部材８６ａの穴径Ｄ１が板状部材８６ｂの穴径Ｄ２よりも大きく形成されていることから、流路の抵抗を少なくする効果がある。
このことから、第１吐出口８７ａの第１のメニスカス６０ａから吐出する液滴の質量と、第２吐出口８７ｂの第２のメニスカス６０ｂから吐出する液滴の質量との差をほぼ同等にすることができる。
【００５３】
以上、上記の実施形態では飛行曲がりだけの検査を行う例について説明したが、飛行曲がりの検査に加え、吐出口の目詰まりによるドット抜けなどの吐出口に起因する吐出不良の検査などを行って、液滴吐出ヘッドのクリーニングの判断するのが好ましい。
【符号の説明】
【００５４】
１０…液状体、１０ａ…液滴、１５…固形物、４０…液状体供給手段、４５…流路、５０…液滴吐出ヘッド、５１…液体導入部、５２…接続針、５３…ヘッド基板、５４…ヘッド本体、５５…吐出ノズル部、５６…吐出部としてのノズルプレート、５６ａ，５６ｂ…板状部材、５７ａ…第１吐出口、５７ｂ…第２吐出口、５８…ノズル穴、５８ａ，５８ｂ…ノズル列、５９…段差部、６０ａ…第１のメニスカス、６０ｂ…第２のメニスカス、６１…圧力室プレート、６２…振動板、６３…液供給孔、６５…液たまり、６６…供給口、６７…ヘッド隔壁、６８…圧力室、６９…圧電素子、７６…吐出部としてのノズルプレート、７６ａ，７６ｂ…板状部材、７７ａ…第１吐出口、７７ｂ…第２吐出口、８６…吐出部としてのノズルプレート、８６ａ，８６ｂ…板状部材、８７ａ…第１吐出口、８７ｂ…第２吐出口、１００…液滴吐出装置、１０１，１０２…ガイドレール、１０３…移動台、１０５…載置テーブル、１１２…キャリッジ移動台、１２０…キャリッジ、１３０…キャッピング装置、１３１…キャッピング部材、１３２…ホルダー、１４０…制御部、１５０…ワイピング装置、１５１…回転ローラー、１５４…受け台、１５５…ワイプ材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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