(57)【要約】【課題】高い回転精度を保持して使用寿命を延ばすことのできるホイールホルダ並びにその製造方法を提供する。【解決手段】  溝１を隔てて相対するように配置された左右の支持部２と、この左右の支持部２を貫通して形成された円柱体取付孔５と、この円柱体取付孔５と平行して貫通して設けられたカバー取付孔６とを備えた金属製のホルダボディ３を加工する工程と、このホルダボディ３の円柱体取付孔５に超硬材料からなる円柱体４を取り付ける工程と、ワイヤ放電加工機８のワイヤ８ａをカバー取付孔６に通してカバー取付孔６から円柱体４まで移動させることにより円柱体４の軸芯部にピン挿入孔９をワイヤ放電加工で加工する工程と、溝１の間で、円柱体４の中間部位を切除してカッターホイールＡを収めるための隙間１０を加工する工程とによってホイールホルダＷを製造する。【選択図】図７
2011240540.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カッターホイールを収めるための下向きに開口した溝と、前記溝を隔てて相対するように配置された左右の支持部と、この左右の支持部を貫通して形成された円柱体取付孔と、この円柱体取付孔と平行して貫通して設けられたカバー取付孔とを備えた金属製のホルダボディを加工する工程と、
このホルダボディの円柱体取付孔に超硬材料からなる円柱体を取り付ける工程と、
ワイヤ放電加工機のワイヤを前記カバー取付孔に通してカバー取付孔から円柱体まで移動させることにより円柱体の軸芯部にピン挿入孔をワイヤ放電加工で加工する工程と、
前記溝の間で、円柱体の中間部位を切除してカッターホイールを収めるための隙間を加工する工程とからなるホイールホルダの製造方法。
【請求項２】
カバー取付孔が円柱体取付孔の上方に形成され、ワイヤ放電加工機のワイヤの移動軌跡が、カバー取付孔から円柱体取付孔の上面を避けた箇所に至るように折曲させた軌跡とした請求項１に記載のホイールホルダの製造方法。
【請求項３】
ホルダボディの下部の外形輪郭をワイヤ放電加工により加工する工程を含む請求項１または請求項２に記載のホイールホルダの製造方法。
【請求項４】
カッターホイールを収めるための下向きに開口した溝と、前記溝を隔てて相対するように配置された左右の支持部と、この左右の支持部を貫通して形成された円柱体取付孔と、この円柱体取付孔と平行して貫通して設けられたカバー取付孔とを備えた金属製のホルダボディの円柱体取付孔に、超硬材料製の円柱体が左右の支持部にわたって取り付けられ、ワイヤ放電加工機のワイヤをカバー取付孔から円柱体まで移動させることにより円柱体の軸芯を貫通するピン挿入孔が加工されており、さらに、前記溝の間で、円柱体の中間部位が切除されてカッターホイールを収めるための隙間が形成されているホイールホルダ。
【請求項５】
前記カバー取付孔が円柱体取付孔の上方に形成され、ワイヤ放電加工機のワイヤの移動軌跡が、カバー取付孔から円柱体取付孔の上面を避けた箇所に至るように折曲させた軌跡としてある請求項４に記載のホイールホルダ。
【請求項６】
前記ホルダボディの下部側は、円柱体の下部側の一部が露出した水平面が形成されるように加工してある請求項４または請求項５に記載のホイールホルダ。
【請求項７】
カッターホイールと前記カッターホイールを保持するためのホイールホルダとからなるカッターホイール保持機構であって、
前記ホイールホルダは、前記カッターホイールを収めるための下向きに開口した溝と、前記溝を隔てて相対するように配置された左右の支持部と、この左右の支持部を貫通して形成された円柱体取付孔と、この円柱体取付孔と平行して貫通して設けられたカバー取付孔とを備えた金属製のホルダボディの円柱体取付孔に、超硬材料製の円柱体が左右の支持部にわたって取り付けられ、ワイヤ放電加工機のワイヤをカバー取付孔から円柱体まで移動させることにより円柱体の軸芯を貫通するピン挿入孔が加工されており、さらに、前記溝の間で、円柱体の中間部位が切除されてカッターホイールを収めるための隙間が形成されており、
前記カッターホイールは、前記ホイールホルダの隙間に配置され、
前記円柱体のピン挿入孔に超硬材料製のカッターピンが挿通され、前記溝内でカッターホイールが左右の円柱体の端面に接触した状態でカッターピンにより支持され、
さらに、左右の支持部材の外側面に前記カバー取付孔に支持されたカバーにより、カッターピンの両端部が塞がれてカッターピンの抜脱が阻止されるとともにワイヤ放電加工時のワイヤ移動によって形成された溝が隠されているカッターホイール保持機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、脆性材料基板にカッターホイールを転動させてスクライブ加工を行う際にカッターホイールを保持するホイールホルダ（チップホルダともいう）に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ガラス基板やセラミック基板、半導体ウエハなどを分断する際には、スクライブ装置のスクライブヘッドにホイールホルダを取り付け、このホイールホルダに保持させたカッターホイールを脆性材料基板に圧接しながらスクライブ予定ラインに沿って走行させることにより、スクライブラインを形成している。そして、形成されたスクライブラインに沿ってブレイクバー等で撓ませることにより基板を分断している。
【０００３】
カッターホイールを保持するためのホイールホルダは、例えば特許文献１に記載されている。この文献に示されている使用例では、ホルダの下部に形成した軸受け部（ピン挿入孔）に支持させた軸（カッターピン）が、カッターホイールの軸孔に挿通されるようにしてある。このカッターホイールは、高い加工精度と長い使用寿命が要求されるため、耐摩耗性に優れた焼結ダイヤモンドや超硬合金などの超硬材料が用いられ、精密な加工がなされている。また、軸（カッターピン）にも耐摩耗性に優れた超硬材料が用いられることが多い。
【０００４】
一方、ホルダ下部の軸受け部には工具鋼が用いられており、超硬材料製の部品に比べると摩耗は避けられない。カッターホイールの回転支承部分、すなわち、軸の外周面、もしくはカッターホイールの軸孔の内面部分も、繰り返しの使用による回転摩擦で摩耗するようになり、たとえ超硬材料でカッターホイールおよび軸を形成したとしても、やがて許容公差を超えてしまう。摩耗によって、ホルダ下部の軸受け部や、カッターホイールの軸孔と軸との間に隙間が生じると、カッターホイールの垂直度が損なわれて高精度のスクライブラインを形成することができなくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１８８５３４号公報（図１５など）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、このような摩耗による問題の発生を低減するために、図１０に示すようなホイールホルダが使用されている。
このホイールホルダは、連結ボルト２０によって合体された左右一対のホルダ部材２１で構成される。ホルダ部材２１の下部にはカッターホイールＡを配置するための空間が形成され、この空間を隔てて左右の支持部２２が設けられている。左右の支持部２２には互いの中心軸が一致するように一直線上に配置されたカッターピン挿入孔２３が設けられている。また、支持部２２の相対する内側面でピン挿入孔２３の開口部には、（ピン挿入孔２３よりわずかに径が大きい）ピン孔２４を備えた超硬材料（焼結ダイヤモンドあるいは超硬合金）のリング体２５がロウ付けで貼り付けられている。これら左右のリング体２５の間に、超硬材料で作られたカッターホイールＡが軽く接触した状態で配置されてカッターピン２６で支持されている。
【０００７】
カッターピン２６もまた超硬材料で作製され、左右の支持部２２のピン挿入孔２３に挿入されるとともにリング体２５のピン孔２４を貫通するようにして支持されており、その一端は一方のピン挿入孔２３を細くした部分（細径孔）２７で止められ、他端は他方のピン挿入孔２３の外側面にビス２８によって支持されたワッシャ（カバー）２９で塞がれて抜脱が阻止されている。
【０００８】
このように、カッターホイールＡの左右側面に超硬材料製のリング体２５を接触させることによって、カッターホイールＡの垂直度を高めるとともに回転支承部分の摩耗を抑えて回転精度の維持をはかっている。また、カッターホイールＡの軸孔内面とカッターピン２６の外周面との間に摩耗による隙間が発生しても、カッターホイールＡの垂直度を維持することができ、これにより、一度セッティングしたカッターホイールの交換サイクルを延ばすことが可能となり、ホルダ自体の交換サイクルを延ばすことも可能となる。
【０００９】
なお、カッターホイールＡを交換するときは、ワッシャ２９を取り外して、一方のピン挿入孔２３の端に形成した細径孔２７の外部露出面から細径の棒材を押し込んでカッターピン２６を押し出すことによりカッターホイールＡを取り出すことができる。
【００１０】
しかしながら、上述したホイールホルダの構造はカッターホイールの回転精度を長く維持するには非常に有効であるが、その構成上、製造工程が非常に煩雑で加工コストが高くつくといった大きな問題点がある。
【００１１】
図９（ａ）〜（ｅ）はその製造工程を示すものである。ホイールホルダの組み立てに際して、先ず図９（ａ），（ｂ）に示すように、左右に分割したホルダ部材２１の支持部２２の相対する内側面でピン挿入孔２３の開口部に、ピン孔２４が形成された超硬材料製のリング体２５を、ピン挿入孔２３の軸芯とピン孔２４の軸芯とを一致させた状態でロウ付けにより貼り付ける。この作業は、リング体２５の外径（約３ｍｍ）やピン挿入孔２３の径（約０．８ｍｍ）が非常に小さくかつ精度を要するため、ロウ付け面（ピン挿入孔２３の開口面）を外部に露出させる必要があり、そのために、ホイールホルダを二つのホルダ部材２１に分割している。
【００１２】
次いで、図９（ｃ）に示すように、左右のホルダ部材２１を合体させてボルト２０で結合する。このとき、左右のリング体２５の間隔Ｌを、取り付けるカッターホイールＡの幅に合わせて許容公差内に収める調整を行う。すなわち、間隔Ｌが許容公差から外れているときは、一旦締結したボルト２０を取り外して左右のホルダ部材２１ごとに分割し、締結時にホルダ部材２１どうしが当接する内側面（左右ホルダ部材２１の合わせ面）を研磨して調整した上で、再びボルト２０で結合し、間隔Ｌの調整がうまくできたかを確認する。通常、間隔Ｌが許容公差内に入るまでこの一連の作業を数回繰り返す。
【００１３】
次いで、図９（ｄ）に示すように、ピンゲージ３０を左右のピン挿入孔２３並びにリング体２５のピン孔２４に挿通して真直度を確認し、図９（ｅ）のホイールホルダを完成する。
【００１４】
このように、ホイールホルダの作製には加工工程、調整工程が多く、しかも煩雑で面倒な作業が必要とされるため、手間がかかり、製造コストが高くつくといった課題があった。
【００１５】
加えて、上述した従来技術では次のような問題点もあった。すなわち、リング体２５がピン挿入孔２３を一部でも塞ぐような状況になると、カッターピン２６の回転、摩耗、寿命に大きな悪影響があるため、図１０に示すように、リング体２５のピン孔２４の径は、ピン挿入孔２３よりも少し大きめに形成するようにしている。その結果、カッターピン２６が支持されるピン挿入孔２３の開口端から、カッターピン２６がカッターホイールＡを支持する点までの距離（具体的にはリング体２５の肉厚に相当する距離）が生じ、この部分ではカッターピン２６とリング体２５とが非接触になることから、圧接時にカッターホイールＷに上向きの力が加わったときに、この距離に応じてカッターピン２６に加わるモーメントが大きくなり、カッターピン２６の摩耗を加速させてしまう要因となっていた。
【００１６】
そこで本発明は、第一に、製造工程を簡素化してコストの低減化をはかることができるものでありながら、カッターホイールとしての高い回転精度を保持して使用寿命を延ばすことのできるホイールホルダ並びにその製造方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、第二に、リング体２５の肉厚に応じて生じるモーメントの影響で加速するカッターピンの摩耗を小さく抑えることができるホイールホルダ並びに製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するためになされた本発明のホイールホルダの製造方法は、カッターホイールを収めるための下向きに開口した溝と、前記溝を隔てて相対するように配置された左右の支持部と、この左右の支持部を貫通して形成された円柱体取付孔と、この円柱体取付孔と平行して貫通して設けられたカバー取付孔とを備えた金属製のホルダボディを加工する工程と、このホルダボディの円柱体取付孔に超硬材料からなる円柱体を取り付ける工程と、ワイヤ放電加工機のワイヤを前記カバー取付孔に通してカバー取付孔から円柱体まで移動させることにより円柱体の軸芯部にピン挿入孔をワイヤ放電加工で加工する工程と、前記溝の間で、円柱体の中間部位を切除してカッターホイールを収めるための隙間を加工する工程とからなる構成とした。
【００１８】
ここで、ワイヤ放電加工とは、細いワイヤを工具電極とし、このワイヤを２次元の輪郭形状を描くように移動させることによって、放電熱で材料を溶融して糸鋸盤のように輪郭をくり抜いて加工する方法をいう。ワイヤ放電加工は被加工物が導電性の材料であれば加工できるので、工具鋼等の金属製ホルダボディの精密加工に適用できる。
超硬材料とは、具体的には焼結ダイヤモンドまたは超硬合金をいう。これらは耐摩耗性に優れた材料である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のホイールホルダの製造方法にあっては、円柱体の中間部位（溝に露出する部分）を切除した後に形成されている左右の円柱体のピン挿入孔が、ワイヤ放電加工機の一本のワイヤにより同時に加工されたものであるから、まっすぐ一直線上に形成できており、左右のピン挿入孔の真直度などの加工精度を高めることができ、このピン挿入孔に挿入されたカッターピンで軸支させるカッターホイールの回転精度が向上し、回転支承部分の摩耗を抑えることができる。
また、ピン挿入孔をワイヤ放電加工する際のワイヤ移動軌跡がカバー取付孔から導入されたものであるから、円柱体の下面（底面）にはワイヤ導入軌跡によるスリットが形成されず、したがって、スクライブライン加工時にガラスくず等の微細な粉体の侵入を防止することができる。また、カッターピンを受けるピン挿入孔が超硬材料製の円柱体全長にわたって長く形成されるので、円柱体全体でほぼ均一に荷重を受けるようになり、挿入されるカッターピンを安定よく保持して、耐荷重性を一段と向上させることができる。
さらに、リング体に相当する部品がなくなり、カッターピンが円柱体に支持される点からカッターピンがカッターホイールを支持する点までの距離は無視できるほど小さくなるので、摩耗を加速させるようなモーメントはほとんど発生しない。
【００２０】
上記製造方法において、カバー取付孔が円柱体取付孔の上方に形成され、ワイヤ放電加工機のワイヤの移動軌跡が、カバー取付孔から円柱体取付孔の上面を避けた箇所に至るように折曲させた軌跡としてもよい。
円柱体に加工されたピン挿入孔に残るワイヤ導入溝はピン挿入孔の上面には形成されることはなく、したがって、ピン挿入孔に挿入されるカッターピンにかかる荷重は、ピン挿入孔の凹凸のない滑らかな上面で受けることができて耐摩耗性や耐荷重性の劣化を抑えることができる。
【００２１】
上記製造方法において、ホルダボディの下部の外形輪郭をワイヤ放電加工により加工する工程を含むようにしてもよい。
ここで、下部の外形輪郭は特に限定されないが、使用するカッターホイールの径に合わせるとともにカッターホイールの刃面が見えやすくするように輪郭を形成するのが好ましい。例えば、ピン挿入孔の直下の近傍は水平面にし、水平面の端からホルダボディの端まで傾斜面にしてもよい。
このような外形輪郭をワイヤ放電加工で行うことにより、ピン挿入孔をワイヤ放電加工で加工する前または後に連続して加工できるので、効率的に加工することができる。
【００２２】
（他の課題を解決するための手段および効果）
また、別の観点からなされた本発明のホイールホルダは、上述した製造方法によって形成されることにより、カッターホイールを収めるための下向きに開口した溝と、前記溝を隔てて相対するように配置された左右の支持部と、この左右の支持部を貫通して形成された円柱体取付孔と、この円柱体取付孔と平行して貫通して設けられたカバー取付孔とを備えた金属製のホルダボディの円柱体取付孔に、超硬材料製の円柱体が左右の支持部にわたって取り付けられ、ワイヤ放電加工機のワイヤをカバー取付孔から円柱体まで移動させることにより円柱体の軸芯を貫通するピン挿入孔が加工されており、さらに、前記溝の間で、円柱体の中間部位が切除されてカッターホイールを収めるための隙間が形成されている構成としている。
【００２３】
このホイールホルダによれば、左右の支持部が一体構造であるから部品点数を少なくすることができるとともに、円柱体の中間部位を切除した後の左右の円柱体のピン挿入孔が、ワイヤ放電加工により左右同時に加工されたものであるから、一直線上に正確に形成することができて真直度などの加工精度を高めることができる。また、カッターピンを受けるピン挿入孔が超硬材料からなる円柱体全長にわたって長く形成されるので、挿入されるカッターピンを確実に保持して耐荷重性を一段と向上させることができる。
さらに、リング体に相当する部品がなくなり、カッターピンが円柱体に支持される点からカッターピンがカッターホイールを支持する点までの距離は無視できるほど小さくなるので、摩耗を加速させるようなモーメントはほとんど発生しない。
その上、円柱体の下面にはスリットがないので、スクライブライン加工時にガラスくず等の微細粉末の侵入を防止することができる。
【００２４】
上記ホイールホルダにおいて、カバー取付孔が円柱体取付孔の上方に形成され、ワイヤ放電加工機のワイヤの移動軌跡が、カバー取付孔から円柱体取付孔の上面を避けた箇所に至るように折曲させた軌跡としてあるのが好ましい。
このようにすれば、円柱体に加工されたピン挿入孔に残るワイヤ導入溝はピン挿入孔の上面に形成されることはなくなる。したがって、ピン挿入孔に挿入されるカッターピンにかかる荷重は、ピン挿入孔の凹凸のない滑らかな上面で受けることができて耐摩耗性や耐荷重性の劣化を抑えることができる。
【００２５】
上記ホイールホルダにおいて、ホルダボディの下部側は、円柱体の下部側の一部が露出した水平面が形成されるように加工してもよい。
このようにすれば、ピン挿入孔とホイールホルダの最下面となる水平面との距離が縮まるので、小さなカッターホイールを取り付けた場合でもスクライブできるようになる。
【００２６】
また、別の観点からなされた本発明のカッターホイール保持機構は、カッターホイールと前記カッターホイールを保持するためのホイールホルダとからなるカッターホイール保持機構であって、前記ホイールホルダは、前記カッターホイールを収めるための下向きに開口した溝と、前記溝を隔てて相対するように配置された左右の支持部と、この左右の支持部を貫通して形成された円柱体取付孔と、この円柱体取付孔と平行して貫通して設けられたカバー取付孔とを備えた金属製のホルダボディの円柱体取付孔に、超硬材料製の円柱体が左右の支持部にわたって取り付けられ、ワイヤ放電加工機のワイヤをカバー取付孔から円柱体まで移動させることにより円柱体の軸芯を貫通するピン挿入孔が加工されており、さらに、前記溝の間で、円柱体の中間部位が切除されてカッターホイールを収めるための隙間が形成されており、前記カッターホイールは、前記ホイールホルダの隙間に配置され、前記円柱体のピン挿入孔に超硬材料製のカッターピンが挿通され、前記溝内でカッターホイールが左右の円柱体の端面に接触した状態でカッターピンにより支持され、さらに、左右の支持部材の外側面に前記カバー取付孔に支持されたカバーにより、カッターピンの両端部が塞がれてカッターピンの抜脱が阻止されるとともにワイヤ放電加工時のワイヤ移動によって形成された溝が隠されるようにしてある。
【００２７】
本発明のカッターホイール保持機構によれば、上述したホイールホルダによる特徴に加えて、左右の支持部材の外側面に前記カバー取付孔に支持されたカバーにより、カッターピンの両端部が塞がれてカッターピンの抜脱が阻止されるとともにワイヤ放電加工時のワイヤ移動によって形成された溝が隠されるようにしてあるので、ワイヤ移動によって形成された溝にガラスくず等の微細粉末が侵入する不具合を完全に防止することができる。また、カッターホイールを交換したいときには、カバーを取り外してカッターピンを抜き取ることにより容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明におけるホイールホルダの一実施形態を示す斜視図。
【図２】本発明におけるホイールホルダの製造工程の第１段階を示す斜視図。
【図３】本発明におけるホイールホルダの製造工程の第２段階を示す斜視図。
【図４】上記第２段階の工程でのワイヤ放電加工のワイヤ軌跡を示す拡大平面図。
【図５】本発明におけるホイールホルダの製造工程の第３段階を示す斜視図。
【図６】上記第３段階の工程でのワイヤ放電加工のワイヤ軌跡を示す拡大平面図。
【図７】本発明におけるホイールホルダの製造工程を段階的に示す断面図。
【図８】本発明のホイールホルダにカッターホイールを取り付けたカッターホイール保持機構を示す斜視図。
【図９】従来のホイールホルダの製造工程を段階的に示す断面図。
【図１０】カッターホイールを取り付けた従来のホイールホルダを示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下において、本発明の詳細を、その実施形態を示す図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明の製造方法によって製造されたホイールホルダＷの斜視図であり、後述する図７（ｄ）でその断面図が示される。このホイールホルダＷは、下部に後述のカッターホイールＡを収めるための下向きに開口した溝１を有し、溝１を隔てて相対する左右の支持部２が設けられたホルダボディ３を備えている。支持部２には、超硬材料（焼結ダイヤモンドまたは超硬合金）からなる円柱体４（一部が切り欠かれている）が支持部２を貫通して取り付けられている。そして、円柱体４の軸芯部にはワイヤ放電加工によりピン挿入孔９が加工されている。
【００３０】
以下、図２〜図７に基づいて、本発明にかかる製造方法の工程を説明する。
先ず、図２並びに図７（ａ）に示すように、下部にカッターホイールＡを収めるための下向きに開口した溝１を形成し、溝１を隔てて相対する左右の支持部２を備えた工具鋼などの金属製のホルダボディ３を作製する。このホルダボディ３には、左右の支持部２を貫通する円柱体取付孔５と、内面にネジが施されたカバー取付孔６、並びにホイールホルダＷをスクライブ装置のスクライブヘッド（図示せず）に取り付けるための取付孔７とが予め加工されている。なお、カバー取付孔６は、後述するカバー１４でピン挿入孔９を隠すことができるようにするため（図８参照）、円柱体取付孔５の近傍に形成している。好ましくは、カバー１４を固定するネジが緩んだときでもカバー１４の重心位置と自重との関係でピン挿入孔９を隠す位置にくるようにするために、円柱体取付孔５の上方に形成するのがよい。
【００３１】
次いで、図７（ｂ）に示すように、ホルダボディ３の円柱体取付孔５に超硬材料からなる円柱体４を差し込んだあと、ロウ付けで固定する。
【００３２】
このあと、ホルダボディ３を図３に示すようにテーブル上に寝かして載置し、ワイヤ放電加工機８のワイヤ８ａを図３並びに図４で示す軌跡Ｒに沿って走行させることにより、ホルダボディ３の下部の外形輪郭を所定の形状に加工する。なお、この加工はワイヤ放電加工手段に限るものでなく、他の切削用工作機械で加工することも可能である。加工する外形輪郭の形状も特に限定されるものではないが、不要部分を除去して刃先が見やすくできる形状が好ましい。使用するカッターホイールのホイール径が小さい場合は、径に合わせて円柱体４の下側の一部を切り欠いて円柱体４の下側に水平面が形成されるようにする。
【００３３】
次いで、図５並びに図６に示すように、ワイヤ放電加工機８のワイヤ８ａをカバー取付孔６に通してカバー取付孔６から円柱体４まで矢印に沿った軌跡Ｒに沿って移動させることにより円柱体４の軸芯部にピン挿入孔９を加工し、図７（ｃ）の状態とする。
この際、ワイヤ放電加工機のワイヤ８ａの移動軌跡Ｒを、図６に示すように、カバー取付孔６から円柱体４の上面を避けた箇所に至るように折り曲げて形成する。これにより、円柱体に加工されたピン挿入孔６に残るワイヤ導入溝の跡がピン挿入孔６の直上面に形成されることはないので滑らかな上面になる。したがって、後述するように、ピン挿入孔６にカッターピン１２が挿入されたとき、カッターピン１２にかかる荷重は、ピン挿入孔６の滑らかな上面で受けることができて耐摩耗性や耐荷重性の劣化を抑えることができる。
【００３４】
このあと、溝１の間で、溝１を横断する円柱体４の中間部位を、カッターホイールＡの幅に合わせた厚さのダイヤモンドカッター等で切除してカッターホイールＡを収めるための隙間１０を加工することによって、図７（ｄ）並びに図１に示すような、ホイールホルダＷが作製される。この加工では、隙間１０の幅を、カッターホイールＷの幅に応じた許容公差内に収めることが必要になるが、円柱体４を加工するのであり、しかも直接隙間ゲージなどで隙間の間隔を測りながら加工すればよいので、調整作業は簡単に行うことができる。
【００３５】
このようにして得られたホイールホルダＷの左右のピン挿入孔９は、ワイヤ放電加工機８の一本のワイヤ８ａにより左右同時に加工されたものであるから、一直線上に正確に形成することができて左右のピン挿入孔９の真直度などの加工精度を高めることができる。さらに、カッターピン１２を受けるピン挿入孔９が超硬材料製の円柱体４の全長にわたって長く形成されるので、挿入されるカッターピン１２との耐摩耗性や耐荷重性を一段と向上させることができる。また、円柱体４の下面（底面）にはワイヤ放電加工でのワイヤ導入軌跡によるスリットが形成されないため、スクライブライン加工時にガラスくず等の微細粉末の侵入を防止することができる。
【００３６】
作製されたホイールホルダＷには、図７（ｅ）に示すように、左右の円柱体４の隙間１０に超硬材料で作られたカッターホイールＡを配置して、円柱体４のピン挿入孔９並びにカッターホイールＡのピン孔１１に超硬材料製のカッターピン１２を挿通することによりカッターホイールＡが軸支される。この際、分断された左右の円柱体４の端面が、カッターホイールＡの左右側面にほとんど接触するように隙間１０の寸法が設定されている。
そして、図８に示すように、左右の支持部材２の外側面でビス１３によりカバー１４を取り付けたカッターホイール保持機構Ｃを完成させる。これにより、カッターピン１２の両端部が塞がれてカッターピンの抜脱が阻止される。同時に、ワイヤ放電加工時のワイヤ移動によって形成された軌跡（溝）が隠されて、ここからのガラスくず等の微細粉末の侵入を防止することができる。また、カッターホイールＡを交換したいときには、カバー１４を取り外してカッターピン１２を抜き取ることにより行うことができる。
【００３７】
また、カッターホイールＡの側面が、左右の円柱体４の端面に接触して支持されているので、カッターホイールＡの垂直度が高められ、回転支承部分の摩耗を抑えることができる。また、カッターホイールＡの内周面とカッターピン１２の外周面との間に摩耗による隙間が発生しても、カッターホイールＡの垂直度を維持することができ、カッターホイールＡの使用寿命を延ばすことができる。
【００３８】
以上、本発明の代表的な実施例について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施例構造のみに特定されるものではなく、本発明の目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。
【００３９】
例えば、円柱体取付孔５および円柱体４の径を小さくすることにより、ホルダボディ３の下部の外形輪郭をワイヤ放電加工等で切り欠くことなく、小さなカッターホイールを取り付けることができるようになる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、ガラス基板やセラミック基板、半導体ウエハなどの脆性材料基板にスクライブラインを形成する際に用いられるカッターホイールを保持するホイールホルダ、並びにその製造方法に適用することができる。
【符号の説明】
【００４１】
Ａ  カッターホイール
Ｃ  カッターホイール保持機構
Ｒ  ワイヤの移動軌跡
Ｗ  ホイールホルダ
１  溝
２  支持部
３  ホルダボディ
４  円柱体
６  カバー取付孔
９  ピン挿入孔
１０  隙間
１２  カッターピン
１４  カバー
【図１】
2011240540.tif 000003
【図２】
2011240540.tif 000004
【図３】
2011240540.tif 000005
【図４】
2011240540.tif 000006
【図５】
2011240540.tif 000007
【図６】
2011240540.tif 000008
【図７】
2011240540.tif 000009
【図８】
2011240540.tif 000010
【図９】
2011240540.tif 000011
【図１０】
2011240540.tif 000012