(57)【要約】【課題】変動誤差をもつボールネジであっても導電率測定値などの測定結果に及ぼす影響を低減する。【解決手段】制御装置５０はパルスモータ３２の駆動を制御して、シリンジに１回の吸入工程で吸入した液を複数回の吐出工程にわたって吐出させる。その制御方法として各吐出工程を実行するためのボールネジ３６の回転がカップリング３８のスリット３９を基準にした同じ回転角度の位置から始まるようにパルスモータ３２の駆動を制御する。【選択図】図１
2011064603.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダ内に摺動可能なピストンをもち、前記シリンダの先端に液の出入口をもち、前記シリンダの基端側に前記ピストンと一体になったピストンロッドが突出しており、前記ピストンロッドを介してピストンを摺動させることにより前記出入口から液の吸入と吐出を行うシリンジと、
前記ピストンロッドに取りつけられたピストンロッド支持体、及び前記ピストンロッド支持体と螺合したボールネジを備え、前記ボールネジを直線送り機構としてボールネジの回転によりピストンロッド支持体を移動させるシリンジ支持部と、
前記ボールネジを回転させるパルスモータと、
円盤状をなし半径方向のスリットをもち、ボールネジと一緒に回転するようにボールネジと一体となるように取りつけられたカップリング、及び前記カップリングの前記スリットの位置を検出するようにカップリングと組み合わされたフォトセンサを備えた回転検出機構と、
前記シリンジに１回の吸入工程で吸入した液を複数回の吐出工程にわたって吐出するようにし、各吐出工程を実行するための前記ボールネジの回転が前記スリットを基準にした同じ回転角度の位置から始まるように前記パルスモータの駆動を制御する制御装置と、
を備えた送液装置。
【請求項２】
試料水を採取して供給する送液装置を備えた試料供給部と、
前記試料供給部に接続され、前記試料供給部から供給された試料水中の有機物を酸化して二酸化炭素に変換する酸化分解部と、
前記酸化分解部を経た試料水が流される試料水流路及び脱イオン水からなる測定水が流される測定水流路を備え、試料水流路と測定水流路の間にはガス透過膜が介在して二酸化炭素の移動が可能になっている二酸化炭素分離部と、
前記二酸化炭素分離部からの測定水の導電率を測定する導電率測定部と、
を備えた全有機体炭素測定装置であって、
前記試料供給部の送液装置として請求項１に記載の送液装置を使用した全有機体炭素測定装置。
【請求項３】
前記試料供給部は、試料水を供給する流路に接続されたポート、純水を供給する流路に接続されたポート、前記酸化分解部に接続されたポート及び大気に開放されたポートと、それらのポートに切り換えて接続される共通ポートを少なくとも備えたマルチポートバルブを備えており、
前記送液装置のシリンジの出入口が前記共通ポートに接続されている請求項２に記載の全有機体炭素測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はボールネジ（台形ネジを含む。）を用いてシリンジを駆動する送液装置と、その送液装置を試料液などの送液装置として備えた全有機体炭素（ＴＯＣ）測定装置などの分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
製薬用水、半導体製造工程水、冷却水、ボイラー水又は水道水など、不純物の少ない試料水の管理を目的として、それらの水に含まれる有機物のＴＯＣ測定が行われている。
【０００３】
ＴＯＣ測定装置としては、試料水が液相のままでＴＯＣ濃度を測定する装置も開発されている。そのようなＴＯＣ測定装置では、試料水は液相のままで、試料水中の有機物を酸化分解部で紫外線照射により酸化して二酸化炭素へ変換させた後、二酸化炭素分離部に導く。二酸化炭素分離部では試料水流路と測定水が流れる測定水流路とをガス透過膜を介して接触させ、試料水中の二酸化炭素を測定水へ移動させる。二酸化炭素が移動した測定水を導電率測定部へ送って導電率を測定する。測定水の導電率と試料水の二酸化炭素濃度の関係を予め検量線として求めておくことにより、測定された測定水の導電率から試料水の二酸化炭素濃度を求めることができる（特許文献１参照。）。
【０００４】
そのようなＴＯＣ測定装置では、試料水の送液装置としてボールネジを用いてシリンジを駆動する送液装置が使用されている。また導電率測定部に測定水を供給する送液装置としてもボールネジを用いてシリンジを駆動する送液装置が使用されることもある。そのような送液装置では、ボールネジは直線送り機構として利用されている。ボールネジの回転がパルスモータにより駆動されて試料水の注水や測定水の送液の流量が制御されている。なお、流量に替えて流速により送液を制御することもある。以下では流量による送液について説明するが、本発明は流量に替えて流速により送液を制御する場合も含む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００８／０４７４０５号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ボールネジを動力機構として使用する場合、その回転角度あたりの送り長を測定すると、図２に示すように、誤差を含んでいることがわかった。図２の縦軸はボールネジを一定速度で回転させた場合の単位時間あたりのボールネジの送り長の測定結果を表している。横軸はボールネジを回転させるパルスモータにパルス信号を送るために制御装置からパルスモータ駆動回路に送るデータ数であり、一定間隔でデータを送ることによりパルスモータを一定速度で回転させている。ボールネジを一定速度で回転させているので、縦軸の送り長はボールネジの一定回転角度あたりの送り長でもある。それによれば、ボールネジの１回転における変動誤差はサインカーブのように周期性をもって変動していることがわかる。
【０００７】
試料水を液相のままで処理して導電率測定によりＴＯＣ濃度を測定するＴＯＣ測定装置においては、１００〜５００μＬ／分というような微小な流量を制御して測定を行う。そのような微小な流量で測定される導電率は試料水や測定水の流量に依存して変動する。ボールネジを送液を行うシリンジの駆動源として使用すると、ボールネジの送り誤差がそのまま試料水や測定水の流量の変動となり、導電率測定値の誤差となって現れる。
【０００８】
ボールネジの送り長の変動誤差は、ボールネジ自体と、ボールネジを直線送り機構とするためのガイドやナットなどの支持機構の加工精度に起因するものである。そのため、ボールネジを直線送り機構として使用する送液装置で送り誤差を低減するためにはボールネジだけでなく、ガイドやナットなどの支持機構も含めた機械部品の加工精度を上げることが必要となる。しかし、ボールネジを含む全ての機械部品の加工精度は高めようとすればするほど加工技術の困難さとコスト高を招く。
【０００９】
そこで、本発明はボールネジの送り長の変動誤差を、加工精度を高めることのみによって低減するのではなく、図２に示されるような変動誤差をもつボールネジであっても、その使用方法を改善することにより結果として導電率測定値などの測定結果に及ぼす影響を低減することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明では、送液を行うシリンジの駆動源としてボールネジを使用し、ボールネジの上端から下端までの１ストロークでシリンジから複数回の吐出をする場合、ボールネジの回転をセンサによって検知して制御することにより複数の吐出動作において周期を揃える。
【００１１】
すなわち、本発明の送液装置は、シリンジ、シリンジを駆動するボールネジを備えたシリンジ支持部、ボールネジを回転させるパルスモータ、ボールネジの回転を検知する回転検出機構、及びパルスモータの駆動を制御する制御装置を備えている。
【００１２】
シリンジはシリンダを備え、そのシリンダ内に摺動可能なピストンをもち、シリンダの先端に液の出入口をもち、シリンダの基端側にピストンと一体になったピストンロッドが突出しており、ピストンロッドを介してピストンを摺動させることにより出入口から液の吸入と吐出を行う。
【００１３】
シリンジ支持部はシリンジのピストンロッドに取りつけられたピストンロッド支持体及びピストンロッド支持体と螺合したボールネジを備えており、ボールネジを直線送り機構としてボールネジの回転によりピストンロッド支持体を移動させる。
【００１４】
回転検出機構はカップリングとフォトセンサを備えている。カップリングは円盤状をなし、半径方向のスリットをもち、ボールネジと一緒に回転するようにボールネジと一体となるように取りつけられている。フォトセンサはカップリングのスリットの位置を検出するようにカップリングと組み合わされている。
【００１５】
そして、パルスモータの駆動を制御する制御装置は、シリンジに１回の吸入工程で吸入した液を複数回の吐出工程にわたって吐出するようにシリンジの動作を制御するものであり、その制御方法として各吐出工程を実行するためのボールネジの回転がカップリングのスリットを基準にした同じ回転角度の位置から始まるようにパルスモータの駆動を制御する。
【００１６】
シリンジからの各吐出工程でボールネジの回転の周期を揃えるために各吐出工程でのボールネジの回転開始位置を揃える。そのために、１吐出工程の終了後、次の吐出工程に入る前に先の吐出工程開始時と同じボールネジの回転位相までボールネジを回転させ、ボールネジ回転の位相を揃えた状態で各吐出工程を実行する。たまたま吐出工程終了時のボールネジの回転位置が開始時の回転位置と一致している場合は、次回のボールネジの回転をその停止位置から始めることができる。これにより、ボールネジが図２に示されるような送り誤差をもっていたとしても各吐出工程の送液流量が一定になる。
【００１７】
本発明のＴＯＣ測定装置は試料水を採取して供給する送液装置を備えた試料供給部と、試料供給部に接続され、試料供給部から供給された試料水中の有機物を酸化して二酸化炭素に変換する酸化分解部と、酸化分解部を経た試料水が流される試料水流路及び脱イオン水からなる測定水が流される測定水流路を備えて試料水流路と測定水流路の間にはガス透過膜が介在して二酸化炭素の移動が可能になっている二酸化炭素分離部と、二酸化炭素分離部からの測定水の導電率を測定する導電率測定部とを備えている。そして、その試料供給部の送液装置として本発明の送液装置を使用したものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の送液装置は、シリンジの駆動源であるボールネジの１ストロークを複数回に分けて吐出する際に、各吐出工程のボールネジの回転を同じ回転角度の位置から始まるようにしたので、ボールネジの送り誤差に起因する吐出量の変動を抑えることができる。
【００１９】
ＴＯＣ測定装置では、試料として０.５ｍｇＣ／Ｌ（炭素濃度が０.５ｍｇ／Ｌのことを０.５ｍｇＣ／Ｌと表記する。０．５ｍｇＣ／Ｌ＝０．５ｐｐｍＣである。）の測定精度が約±２０μｇＣ／Ｌ程度変動する可熊性があったものが、本発明による送り誤差の制御を行った結果、測定精度を±１μｇＣ／Ｌまで低減することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】一実施例の送液装置におけるシリンジ駆動機構を示す図であり、（Ａ）は概略正面図、（Ｂ）はそこに使用されているカップリングの一例を示す平面図である。
【図２】ボールネジの送り誤差を示すグラフである。
【図３】一実施例のＴＯＣ測定装置を示す概略構成図である。
【図４】同ＴＯＣ測定装置におけるシリンジ駆動機構の具体的な例を示す概略正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
一実施例の送液装置におけるシリンジ駆動機構を図１に示す。
シリンジ駆動機構３０はシリンジのピストンロッドを移動させるボールネジ３６と、ボールネジ３６を回転させるパルスモータ３２と、回転検出機構としてのカップリング３８及びフォトセンサ４０と、制御装置５０を備えている。カップリング３８は円盤状をなし、半径方向のスリット３９をもち、ボールネジ３６と一緒に回転するようにボールネジ３６と一体となるように取りつけられている。ここでは、ボールネジ３６を回転させるパルスモータ３２の回転軸３４がカップリング３８の中心を通るように、カップリング３８が回転軸３４に固定されている。フォトセンサ４０の一例としてフォトカプラーが使用され、カップリング３８のスリット３９の位置を検出するようにカップリング３８と組み合わされている。スリット３９は、長さが約１５ｍｍ、幅が１.２ｍｍである。このスリット３９の位置を検知することによりボールネジ３６の回転位置を認識できる。
【００２２】
制御装置５０はパルスモータ３２の駆動を制御して、シリンジに１回の吸入工程で吸入した液を複数回の吐出工程にわたって吐出させる。その制御方法として各吐出工程を実行するためのボールネジ３６の回転がカップリング３８のスリット３９を基準にした同じ回転角度の位置から始まるようにパルスモータ３２の駆動を制御する。制御装置５０はこの送液装置に専用のコンピュータ（ＣＰＵ）により実現してもよく、この送液装置が用いられるＴＯＣ測定装置の制御装置を兼ねるコンピュータにより実現してもよく、又は汎用のパーソナルコンピュータにより実現してもよい。
【００２３】
シリンジ駆動機構３０では、スリット３９の入ったカップリング３８は、ボールネジ３６の回転とともに回転する。フォトセンサ４０は常時通光している光路をもっている。スリット３９の入ったカップリング３８をフォトセンサ４０の光路を横切るように入れて回転させることにより、スリット３９のない部分ではフォトセンサ４０は遮光状態となり、スリット３９のある部分では通光状態となる。フォトセンサ４０の遮光と通光に基づく電気信号を制御装置５０で認識することによりボールネジ３６の回転位置を検知することができる。
【００２４】
この送液装置を用いたＴＯＣ測定装置の一実施例を図３に示す。
【００２５】
ＴＯＣ測定装置１００内には試料採取装置として送液装置１０２が設けられている。送液装置１０２は流路切換えバルブである８ポートバルブ２と、バルブ２の共通ポートに接続された採水用のシリンジ１０を備えている。シリンジ１０にはシリンジ１０内に二酸化炭素を含まないガスを供給するガス供給流路１２０が接続されている。
【００２６】
バルブ２のポートの１つにはＴＯＣ測定装置の筐体の外部から試料水を取り込むための流路１１０が接続され、他のポートには筐体の外部から純水を取り込むための流路１１２が接続され、さらに他のポートにはシリンジ１０に採取した試料水又は純水を酸性にするための酸を筐体の外部から取り込むための流路１１４が接続されている。バルブ２の更に他のポートには酸化分解部１１８につながる流路１１６が接続されている。バルブ２の更に他のポートは大気に開放できるようになっている。
【００２７】
酸としては塩酸、硫酸、リン酸などの無機酸を使用する。酸を添加することにより、シリンジ１０内の試料水又は純水のｐＨを例えば４以下にするのが好ましい。
【００２８】
バルブ２はステータに複数のポートが設けられたものであり、ロータを回転させることにより、共通ポートに接続されたシリンジ１０をいずれかのポートに接続できるように切り換えられる。
【００２９】
シリンジ１０はシリンダの内部を、液密を保ってピストン１２が上下方向に摺動することによってシリンジ１０内に試料水又は純水を取り込み、更に酸を取り込むことができる。またピストンを上方向に押し込むことによって、採取した試料水又は純水を、バルブ２を介して流路１１６から酸化分解部１１８へ供給することができる。ピストン１２はピストンロッド１４の先端に取りつけられている。ピストンロッド１４がパルスモータを駆動源とする図１のシリンジ駆動機構３０により駆動されることにより、ピストン１２がシリンダ内で上下方向に摺動する。
【００３０】
シリンジ１０のシリンダ１１の下端部にはシリンジ１０内に通気処理のために二酸化炭素を含まないガスを供給するガス供給流路１２０が接続されている。ガス供給流路１２０が接続されている位置は、ピストン１２が下端まで移動した状態においてピストン１２よりも上部にくる位置である。二酸化炭素を含まないガスは、例えばボンベ１１９に収容された高純度空気、又は二酸化炭素を吸着する充填材が充填されたカラムを通過して供給される高純度空気であるが、それらに限定されるものではない。
【００３１】
酸化分解部１１８は試料水又は純水（以下単に試料水という場合は純水も含むものとする。）がその中の流路を流れている間に紫外線が照射され、試料水中の有機物が酸化分解されて二酸化炭素となるものである。
【００３２】
酸化分解部１１８を経た試料水が二酸化炭素分離部１２４に導かれる。二酸化炭素分離部１２４では試料水中の二酸化炭素成分がガス透過膜を介して測定水中に移動する。二酸化炭素分離部１２４を経た試料水は廃棄される。
【００３３】
二酸化炭素分離部１２４を経た測定水は導電率測定部１２６に導かれる。導電率測定部１２６は測定水と接触する電極を備えており、その電極により測定水の導電率が検出される。測定水としてはイオン交換樹脂により精製させた脱イオン水などの純水が使用される。測定水の導電率は、二酸化炭素分離部１２４において試料水から測定水に移動した二酸化炭素成分の濃度に依存して変化するので、測定水の導電率検出値に基づいて試料水の二酸化炭素成分の濃度を求めることができる。この二酸化炭素成分は試料水中のＴＯＣ成分が酸化分解部１１８で酸化分解されることにより生じたものであることから、試料水中のＴＯＣ濃度を求めることができる。
【００３４】
演算処理部１２８は導電率測定部１２６の導電率測定用電極に接続され、導電率測定部１２６が検出した導電率に基づいて試料水のＴＯＣ濃度を算出する。
【００３５】
このＴＯＣ測定装置において、バルブ２はブランク測定時に純水を取り込む流路１１２がシリンジ１０と接続されるように設定され、試料測定時に試料水を取り込む流路１１０がシリンジ１０と接続されるように設定され、をシリンジ１０中に適当な量、例えば３ｍｌ、の純水又は試料水が採取される。さらにバルブ２がシリンジ１０を、酸を供給する流路１１４の接続されたポートに接続するように切り換えられ、シリンジのピストン１２をさらに後退させることによって酸を所定量吸入して、純水又は試料水のｐＨを４以下になるように調整する。その後、バルブ２がシリンジ１０を大気開放されたポートに接続されるように切り換えられた状態で、ピストン１２が下端まで後退させられる。その状態で流路１２０から高純度空気がシリンジ１０中に、例えば１００ｍｌ／分の流速で９０秒間供給され、シリンジ１０内に採水されている純水又は試料水が通気処理され、純水又は試料水中に含まれていた無機炭素が大気中に放出されて除去される。
【００３６】
通気処理の終了後、バルブ２がシリンジ１０を流路１１６に接続するように切り換えられ、シリンジ１０中の純水又は試料水が酸化分解部１１８に供給される。シリンジ１０中の純水又は試料水は、複数回の吐出工程に分けて酸化分解部１１８に供給され、各吐出工程ではシリンジ駆動機構３０中のボールネジを同じ回転位置から回転を開始させるようにパルスモータの回転が制御される。酸化分解部１１８では紫外線ランプからの紫外線照射により純水又は試料水中の有機体炭素が酸化分解されて二酸化炭素になる。酸化分解部１１８を経た純水又は試料水は二酸化炭素分離部１２４へ送られる。二酸化炭素分離部１２４で純水又は試料水がガス透過膜を介して測定水と接触して二酸化炭素が測定水に移動し、その測定水の導電率が導電率測定部１２６で検出される。
【００３７】
図４にシリンジ駆動機構３０の具体的な例を示す。
【００３８】
マルチポートバルブである８ポートバルブ２はマルチポートバルブ支持板２８に取りつけられ、シリンジ１０はシリンジ支持板２０に取りつけられている。両支持板２８，２０は基板８に固定されて一体化されていることにより、８ポートバルブ２とシリンジ１０の相対的な位置関係が固定されている。
【００３９】
バルブ２はステータ４に８個のポート６を備えている。それらのポート６には、図３に示されたように、流路１１０、１１２、１１４、１１６にそれぞれ接続されるポート及びシリンジ１０の出入口１３に接続される共通ポートが少なくとも含まれる。ステータ４には、その内部にロータ（図には現れていない。）が回転可能に設けられている。ロータはステータ４に対して摺動しながら回転をして流路に接続されたポートと共通ポートとの間の接続を切り換える。
【００４０】
シリンジ１０を駆動するシリンジ駆動機構３０はシリンジ支持部、パルスモータ３２及び回転検出機構を備えている。シリンジ支持部は、ピストンロッド１４に取りつけられたピストンロッド支持体４２と、ピストンロッド支持体４２と螺合したボールネジ３６を備えており、ボールネジ３６を直線送り機構としてボールネジ３６の回転によりピストンロッド支持体４２を移動させる。ボールネジ３６はパルスモータ３２の回転軸３４に取りつけられ、パルスモータ３２は支持板２８に取りつけられている。回転検出機構を構成するカップリング３８は、図１に示されたように、円盤状をなし、半径方向のスリット３９をもち、ボールネジ３６と一緒に回転するようにパルスモータ３２の回転軸３４に取りつけられている。カップリング３８のスリット３９の位置を検出するようにカップリング３８と組み合わされたフォトセンサ４０が支持板２８に取りつけられている。
【００４１】
次にこの実施例によるシリンジ駆動方法を説明する。
【００４２】
シリンジ１０に吸入した試料水を用いて複数回の測定を行う場合、測定動作開始後、１測定目の測定を開始させる点、すなわち試料注入開始位置のボールネジ回転位置（ゼロ点）を決定する必要がある。ゼロ点の検出方法を以下に示す。
【００４３】
（１）モータ３２を２０パルス以上動作させて連続して遮光状態になる箇所を検出する。
【００４４】
（２）次にモータ３２を３パルス以上動作させて連続して通光状態になる箇所、すなわちスリット３９がセンサ４０の位置にくる箇所を検出する。
【００４５】
（３）次にモータ３２を２０パルス以上動作させて連続して遮光状態になる箇所を検出する。
【００４６】
（１）から（３）のステップを順に行って、（３）の位置をゼロ点（測定開始位置）として制御装置５０に記憶させる。
【００４７】
１測定目終了後、２測定目の測定開始時点のボールネジ３６の回転位置を制御装置５０に記憶させたゼロ点の位置にあわせる。このとき、１測定における回転数がボールネジ３６の１回転の倍数であれば次測定でゼロ点の位置を揃える必要がない。測定はシリンジ１０に吸入した試料水を５回に分けて順次酸化分解部１１８に供給して５回繰り返す。
【００４８】
これにより複数の測定間での試料水の流量が常に同じになり、ボールネジ３６の送り誤差による測定値のバラつきが低減する。
【００４９】
具体的な測定例を示す。図２に示しているように、ここで使用したボールネジ３６の送り誤差は、本発明の制御をしないで試料水を吐出するとシリンジからの吐出量として約±１０μｍの流量誤差となり、検出される測定値として約２０μｇＣ／Ｌ変動する結果となった。
【００５０】
ボールネジの送り誤差の周期をサインカーブと仮定すると、０.９度（パルスモータ１パルス相当）ずれると最大で０.３１μｇＣ／Ｌの誤差となる。
２０（μｇＣ／Ｌ）×ｓｉｎ（０.９°）＝０.３１μｇＣ／Ｌ
【００５１】
このとき、フォトセンサ４０が遮光・通光を感知しているスリット３９は幅０.５ｍｍであるので、カップリング３８の外形の直径を３６ｍｍとすると、１パルス移動すると円周上での移動距離は
３６×π÷４００（カップリング１周における総パルス数）＝０.２８ｍｍ
である。フォトセンサ４０の光路を形成しているスリット（光を感知している箇所）の幅を０.５ｍｍとすると、カップリング３８が０.５ｍｍ移動するのに必要なパルス数は
０.５÷０.２８、＝１.７７パルス
となる。ここで、測定値として許せる変動誤差を１μｇＣ／Ｌとすると、許容できる変動パルス数は
１（μｇＣ／Ｌ）÷０.３１（μｇＣ／Ｌ）＝３.２２パルス
である。つまり、パルス数に３.２２パルスまでのズレが許容できる。実際はフォトセンサ４０のスリットで感知するパルス数は１.７７パルスであるため、このスリット内であれば１μｇＣ／Ｌの変動誤差内に制御することが可能となる。
【００５２】
このように、本発明を使用すると、ボールネジ３６の上端から下端までの１ストロークを使用して複数回測定するときの測定間の測定誤差が低減されるため、繰返しによる再現性が向上する。この発明の効果による繰返し再現性の結果を表１に示す。
【００５３】
【表１】
2011064603.tif 000003
【００５４】
表１の上側の表は本発明によるパルスモータの回転制御を行わなかった場合で、従来技術に相当するものである。それに比べて表１の下側の表は本発明により各測定でボールネジの回転開始位置を揃えるようにパルスモータを制御した場合であり、変動率ＣＶ（標準偏差／平均値）が改善されていることがわかる。
【符号の説明】
【００５５】
１０      シリンジ
１１      シリンダ
１２      ピストン
１３      液の出入口
１４      ピストンロッド
３０      シリンジ支持部
３２      パルスモータ
３６      ボールネジ
３９      スリット
３８      カップリング
４０      フォトセンサ
４２      ピストンロッド支持体
５０      制御装置
１００      全有機体炭素測定装置
１０２      送液装置
１１８      酸化分解部
１２４      二酸化炭素分離部
１２６      導電率測定部
【図１】
2011064603.tif 000004
【図２】
2011064603.tif 000005
【図３】
2011064603.tif 000006
【図４】
2011064603.tif 000007