(57)【要約】      （修正有）【課題】電子部品の搬送効率を高く保ちながら、電子部品が破損することがない電子部品用搬送装置を提供する。【解決手段】電子部品を有する第１の受け渡し部と、電子部品を移載させる第２の受け渡し部と、電子部品吸着用の吸着コレット１１と、吸引装置と、吸着コレット１１を水平移動させる移動装置（ターンテーブル３、駆動装置１３）とを備える。吸着コレット１１は上下方向に移動できないように移動装置に保持される。吸引装置は、吸着コレット１１が第１の受け渡し部の上方にあるときに吸引を開始し、吸着コレット１１が第２の受け渡し部の上方にあるときに吸引を停止する。第１の受け渡し部と第２の受け渡し部との間には、電子部品と吸着コレット１１とが水平移動可能な移動空間Ｓ１〜Ｓ５が形成されている。【選択図】図１
2011014582.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送される電子部品を有する第１の受け渡し部と、
電子部品を移載させる第２の受け渡し部と、
電子部品の上端面と対向する吸着面が下端に形成された吸着コレットと、
前記吸着面に形成された開口から空気を吸引する吸引装置と、
前記第１の受け渡し部の上方から前記第２の受け渡し部の上方へ前記吸着コレットを水平方向に移動させる移動装置とを備え、
前記吸着コレットは、前記第１の受け渡し部上の電子部品の上端面と前記吸着面との間に微小な隙間が形成される高さで上下方向に移動することがないように前記移動装置に保持され、
吸引装置は、前記吸着コレットが前記第１の受け渡し部の上方に位置付けられている状態において、第１の受け渡し部上の電子部品が吸着コレットに吸着される吸入量で空気の吸引を開始し、かつ前記コレットが前記第２の受け渡し部の上方に位置付けられている状態で空気の吸引を停止するものであり、
前記第１の受け渡し部と第２の受け渡し部との間には、前記電子部品と前記吸着コレットとが水平移動可能な移動空間が形成されている電子部品用搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の電子部品用搬送装置において、前記移動装置は、間欠的に回転するターンテーブルを備え、
前記吸着コレットは、前記ターンテーブルの外周部に周方向に等間隔おいて並設され、
前記第１の受け渡し部と第２の受け渡し部とは、前記ターンテーブルの周囲に配設された複数の処理装置によって構成されている電子部品用搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を吸着コレットに吸着させて搬送する電子部品用搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の搬送装置としては、例えば特許文献１に記載されているものがある。特許文献１に開示された電子部品用搬送装置は、電子部品を吸着する吸着コレットを昇降させるための昇降装置と、吸着コレットを水平方向に移動させるための移動装置とを備えている。
【０００３】
前記昇降装置は、吸着コレットが前記移動装置による駆動によって水平方向に移動するときは吸着コレットを上昇した位置に保持する。また、この昇降装置は、吸着コレットが電子部品を吸着するときや、電子部品を被載置部に載せるとき（移載時）に吸着コレットを下降させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０５７６４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されている電子部品用搬送装置では、電子部品を吸着するときや載置するときに電子部品が破損してしまうおそれがあった。これは、吸着時に吸着コレットが電子部品の上面に衝撃荷重をもって衝突したり、載置時に電子部品のリードが被載置面に無理に押し付けられることがあるからである。
【０００６】
このような不具合は、吸着コレットの昇降速度を低下させることによって、ある程度は解消することができる。しかし、このようにすると、電子部品の吸着、載置に要する時間が長くなってしまい、搬送効率が低下してしまう。
【０００７】
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、電子部品の搬送効率を高く保ちながら、電子部品が破損することがない電子部品用搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するために、本発明に係る電子部品用搬送装置は、搬送される電子部品を有する第１の受け渡し部と、電子部品を移載させる第２の受け渡し部と、電子部品の上端面と対向する吸着面が下端に形成された吸着コレットと、前記吸着面に形成された開口から空気を吸引する吸引装置と、前記第１の受け渡し部の上方から前記第２の受け渡し部の上方へ前記吸着コレットを水平方向に移動させる移動装置とを備え、前記吸着コレットは、前記第１の受け渡し部上の電子部品の上端面と前記吸着面との間に微小な隙間が形成される高さで上下方向に移動することがないように前記移動装置に保持され、吸引装置は、前記吸着コレットが前記第１の受け渡し部の上方に位置付けられている状態において、第１の受け渡し部上の電子部品が吸着コレットに吸着される吸入量で空気の吸引を開始し、かつ前記コレットが前記第２の受け渡し部の上方に位置付けられている状態で空気の吸引を停止するものであり、前記第１の受け渡し部と第２の受け渡し部との間には、前記電子部品と前記吸着コレットとが水平移動可能な移動空間が形成されているものである。
【０００９】
本発明は、前記発明において、前記移動装置は、間欠的に回転するターンテーブルを備え、前記吸着コレットは、前記ターンテーブルの外周部に周方向に等間隔おいて並設され、前記第１の受け渡し部と第２の受け渡し部とは、前記ターンテーブルの周囲に配設された複数の処理装置によって構成されているものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明においては、吸着コレットが第１の受け渡し部の上方に位置している状態で吸引装置による空気の吸引が開始されることに伴って、電子部品が吸い上げられて吸着コレットに吸着される。また、本発明においては、吸着コレットが第２の受け渡し部の上方に位置している状態で吸引装置による空気の吸引が停止されることに伴って、電子部品が吸着コレットから開放されて落下し、第２の受け渡し部に載置される。
【００１１】
このため、本発明に係る搬送装置は、電子部品の吸着、開放を行うに当たって吸着コレットを昇降させる必要がないから、従来の搬送装置と較べて吸着コレットが電子部品に衝撃荷重をもって衝突することがなくなるとともに、電子部品が被載置面に過大な押圧力で押し付けられることもなくなる。しかも、本発明によれば、吸着コレットの昇降時間が０になるために、従来の搬送装置と較べて搬送時間を短縮することができる。
【００１２】
したがって、本発明によれば、電子部品の搬送効率を高く保ちながら、電子部品が破損することがない電子部品用搬送装置を提供することができる。
また、本発明に係る電子部品用搬送装置は、吸着コレットを昇降させるための昇降装置が不要であるから、特許文献１に開示されているような従来の搬送装置に較べて部品数を低減することができ、製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係る電子部品用搬送装置の構成を示す斜視図である。
【図２】吸引装置が接続された吸着コレットの断面図である。
【図３】パーツフィーダから電子部品を受け取るときの動作を説明するための側面図である。同図（Ａ）は吸着コレットを部品受け渡し部の上方に移動させた状態を示し、同図（Ｂ）は電子部品を吸着コレットの下方に移動させた状態を示し、同図（Ｃ）は電子部品を吸着コレットに吸着させた状態を示し、同図（Ｄ）は吸着コレットを移動させた状態を示す。
【図４】矯正装置の動作を説明するための側面図である。同図（Ａ）は吸着コレットと電子部品とを矯正装置の上方に移動させている状態を示し、同図（Ｂ）は矯正装置によって電子部品を挟持するときの状態を示し、同図（Ｃ）は矯正装置によって電子部品の角度を調整するときの状態を示す。
【図５】通電検査装置の動作を説明するための側面図である。同図（Ａ）は吸着コレットと電子部品とを通電検査装置の上方に移動させている状態を示し、同図（Ｂ）は通電検査装置の電極を電子部品のリードに接触させるときの状態を示し、同図（Ｃ）は通電検査装置によって検査を行うときの状態を示す。
【図６】電子部品を他の搬送装置に移載させる動作を説明するための側面図である。同図（Ａ）は吸着コレットと電子部品とを他の搬送装置の部品受け渡し部の上方に移動させている状態を示し、同図（Ｂ）は吸着コレットを部品受け渡し部の上方に移動させた状態を示し、同図（Ｃ）は電子部品移載後の状態を示す。
【図７】画像検査装置の動作を説明するための側面図である。同図（Ａ）は吸着コレットと電子部品とを画像検査装置の撮像部に移動させている状態を示し、同図（Ｂ）は画像検査装置によって検査を行っている状態を示す。
【図８】テーピング装置に電子部品を載置するときの動作を説明するための側面図である。同図（Ａ）は電子部品をテープの上方に位置付けた状態を示し、同図（Ｂ）は電子部品を載置した後の状態を示す。
【図９】電子部品用搬送装置の一例を示す斜視図である。
【図１０】パーツフィーダの部品受け渡し部、矯正装置および通電検査装置を示す斜視図である。
【図１１】マーキング装置を示す斜視図である。
【図１２】画像検査装置を示す斜視図である。
【図１３】テーピング装置の部品移載部を示す斜視図である。
【図１４】制御装置の構成を示すブロック図である。
【図１５】移動装置と吸引装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係る電子部品用搬送装置の一実施の形態を図１〜図１５によって詳細に説明する。
図１に示す電子部品用搬送装置１は、基台２の上に設けられたターンテーブル３と、このターンテーブル３の周囲に配設された後述する各処理装置４〜９の部品受け渡し部と、この搬送装置１に装備されている各アクチュエータや前記各処理装置の動作を制御するための制御装置１０とによって構成されている。図１は、この実施の形態による搬送装置１の構成を示すものであり、同図に図示されている各装置の形状、位置等は実際のものとは異なる。
【００１５】
前記ターンテーブル３は、外周部に複数の吸着コレット１１を備えており、この吸着コレット１１に吸着された電子部品１２（例えば図２参照）を各処理装置間で水平方向に搬送するものである。この実施の形態による搬送装置１によって搬送される電子部品１２は、図２に示すように、パッケージ部分１２ａの両側部にそれぞれ複数のリード１２ｂが突設されたいわゆるDIP (Dual Inline Package) 型の半導体装置である。なお、本発明に係る搬送装置１によって搬送される電子部品としては、たとえば上記DIL型半導体装置とは異なる形状の半導体装置、例えばQFP (Quad Flat Package)型半導体装置や、チップ抵抗、チップ型コンデンサなどのチップ部品、シリコンウエハから分断されたシリコンチップなど、吸着コレット１１が吸着可能な全ての電子部品である。
【００１６】
前記ターンテーブル３は、円板状に形成されており、その軸線が上下方向を指向する状態で基台２の上に駆動装置１３を介して装着されている。
前記駆動装置１３は、モータ（図示せず）を動力源として構成されており、ターンテーブル３を上下方向の軸線回りに所定の角度ずつ間欠的に回転させる。この所定角度とは、例えばＮ個の吸着コレット１１がターンテーブル３の周方向に等間隔おいて配置されている場合は１／Ｎ回転に相当する角度である。
【００１７】
この実施の形態においては、ターンテーブル３と駆動装置１３とによって本発明でいう移動装置が構成されている。駆動装置１３がターンテーブル３を駆動するときのターンテーブル３の回転角度、回転速度、回転時期等は、後述する制御装置１０によって制御される。
ターンテーブル３の外周縁部には、複数の吸着コレット１１が取付けられている。図１は、構成を理解し易いように、吸着コレット１１の個数を減らした状態で描いてある。実際の搬送装置には、図９〜図１３に示すように、多数の吸着コレット１１がターンテーブル３に設けられている。これらの吸着コレット１１は、ターンテーブル３の周方向に等間隔おいて設けられている。
【００１８】
各吸着コレット１１は、図２に示すように、ターンテーブル３を上下方向に貫通し、ターンテーブル３から下方に突出する状態でターンテーブル３に固定されている。すなわち、吸着コレット１１は、上下方向に移動することができないようにターンテーブル３に保持されている。
吸着コレット１１の軸心部には、この吸着コレット１１を上下方向に貫通するように空気孔１４が穿設されている。吸着コレット１１の下端には、平坦な吸着面１５が形成され、吸着コレット１１の上端部には、後述する空気圧装置１６を接続するためのホース接続用パイプ１７が一体に形成されている。前記空気孔１４の下端は、前記吸着面１５に開口し、この空気孔１４の上端は、前記パイプ１７の内部空間に接続されている。
【００１９】
吸着コレット１１の高さ、すなわち吸着面１５の上下方向の位置は、部品受け渡し部２１に載置されている電子部品１２の上面と吸着面１５との間に所定の隙間ｄが形成される位置に設定されている。部品受け渡し部２１は、後述する処理装置に設けられている。
部品受け渡し部２１の電子部品１２が載置される部分には、図２に示すように、空気孔２１ａが穿設されている。この空気孔２１ａは、電子部品１２を部品受け渡し部２１に吸着保持させたり開放させるための空気通路を形成するもので、後述する空気圧装置１６に接続されている。
【００２０】
前記ホース接続用パイプ１７には、空気ホース２２を介して空気圧装置１６が接続されている。この空気圧装置１６は、全ての吸着コレット１１の空気孔１４内および部品受け渡し部２１の空気孔２１ａに負圧を発生させる機能と、所定の位置に移動した吸着コレット１１に空気を供給する機能と、部品受け渡し部２１の空気孔２１ａに所定のタイミングで空気を供給する機能とを有している。吸着コレット１１に空気が供給されると、真空が破壊され、この吸着コレット１１に吸着されていた電子部品１２が開放されて落下する。この実施の形態においては、この空気圧装置１６によって本発明でいう吸引装置が構成されている。
【００２１】
また、空気圧装置１６によって部品受け渡し部２１の空気孔２１ａから空気が吸引されると、部品受け渡し部２１上に電子部品１２が吸着保持され、前記空気孔２１ａに空気が供給されると、真空が破壊されて電子部品１２が開放される。部品受け渡し部２１に吸着保持されている電子部品１２を吸着コレット１１に吸着させるときは、部品受け渡し部２１において真空が破壊されて電子部品１２が開放された後に吸着コレット１１において負圧を発生させる構成が採られている。
【００２２】
以下においては、前記空気孔１４，２１内が負圧になる状態を単に「吸着状態」といい、所定の位置に移動した吸着コレット１１や部品受け渡し部２１の空気孔２１ａに空気が供給されて真空が破壊される状態を単に「開放状態」という。上述した所定の位置に移動した吸着コレット１１とは、電子部品１２が移載される処理装置の部品受け渡し部２１の上方（部品を開放する位置）に移動した吸着コレット１１のことをいう。
【００２３】
この実施の形態による空気圧装置１６は、図２に示すように、前記空気ホース２２を有する吸着コレット毎の第１の空気通路２３によって全ての吸着コレット１１に接続された真空発生装置２４と、前記第１の空気通路２３の中間部と空気圧力源２５とを接続する第２の空気通路２６と、この第２の空気通路２６に設けられた第１の電磁弁２７と、前記真空発生装置２４を部品受け渡し部２１の空気孔２１ａに接続するための第３の空気通路２８と、この第３の空気通路２８の中間部と前記空気圧力源２５とを接続する第４の空気通路２９と、この第４の空気通路２９に設けられた第２の電磁弁３０などを備えている。前記第１の空気通路２３は、空気が吸着コレット１１から吸引される状態を保ちながら、ターンテーブル３の回転に伴って吸着コレット１１が移動できる構造が採られている。この実施の形態による第１、第２の電磁弁２７，３０は、非励磁状態で閉じ、励磁されることによって開くものが用いられている。
【００２４】
第２の空気通路２６と第１の電磁弁２７とは、電子部品１２を受け取る処理装置と同じ数だけ装備されており、ターンテーブル３とは異なる支持系によって基台２に移動することがないように支持されている。第２の空気通路２６は、電子部品１２を開放する位置に移動した吸着コレット１１に接続されている第１の空気通路２３のみと連通するように形成されている。また、第３、第４の空気通路２８，２９と第２の電磁弁３０とは、電子部品１２が載置される全ての処理装置と同数装備されている。
【００２５】
前記真空発生装置２４と前記第１、第２の電磁弁２７，３０の動作は、制御装置１０によって制御される。なお、空気圧装置１６の構成は、この実施の形態に示す構成に限定されることはなく、適宜変更することができる。
前記真空発生装置２４は、予め定めた吸入空気量が得られるように空気を吸引する構成が採られている。この吸入空気量は、吸着コレット１１の空気孔１４内が所定の真空圧で負圧になり、この負圧が電子部品１２に作用することに伴って電子部品１２が浮上して吸着コレット１１に吸着される量に設定されている。
【００２６】
前記ターンテーブル３の周囲に配設された各種の処理装置としては、図１、図９〜図１３に示すように、パーツフィーダ４、矯正装置５、通電検査装置６、マーキング装置７、画像検査装置８、テーピング装置９である。これらの装置は、図９に示すように、基台２の上に載せられた状態で基台２に固定されている。これらの処理装置４〜９の動作と上述したターンテーブル用駆動装置１３や空気圧装置１６の動作は、制御装置１０によって制御される。
【００２７】
前記制御装置１０は、図１４に示すように、移動装置（ターンテーブル用駆動装置１３）の動作を制御するための移動装置制御部３１と、空気圧装置１６の動作を制御するための吸引装置制御部３２と、パーツフィーダ４の動作を制御するためのパーツフィーダ制御部３３と、矯正装置５の動作を制御するための矯正装置制御部３４と、通電検査装置６の動作を制御するための通電検査装置制御部３５と、マーキング装置７の動作を制御するためのマーキング装置制御部３６と、画像検査装置８の動作を制御するための画像検査装置制御部３７と、テーピング装置９の動作を制御するためのテーピング装置制御部３８とを備えている。
【００２８】
前記パーツフィーダ４は、電子部品１２を供給するためのもので、この実施の形態においてはボウルフィーダによって構成されている。このパーツフィーダ４の電子部品供給部４１は、図３に示すように、電子部品１２を一方向（図３においては右方向）に一列に並べて送るためのガイドレール４２およびシュータ本体４３と、送り方向の下流端に位置する電子部品１２を一つずつ部品供給位置４４に移動させるためのスライダ４５とを備えている。
【００２９】
前記ガイドレール４２は、電子部品１２をシュータ本体４３の上に正しく載置されている状態（大きく傾斜するようなことがない状態）で送ることができるように、電子部品１２の上面に所定の隙間ｄ１｛図３（Ｂ）参照｝をおいて対向するように形成されている。
前記スライダ４５は、パーツフィーダ４において前記部品受け渡し部２１を構成するものであって、本発明でいう第１の受け渡し部を構成するものである。
【００３０】
このスライダ４５は、シュータ本体４３に隣接する部品受け取り位置４６｛図３（Ａ）参照｝と、吸着コレット１１の下方に位置する部品供給位置４４｛図３（Ｂ）参照｝との間で水平に往復動する構成が採られている。このスライダ４５の上下方向の位置は、電子部品１２が載せられて部品供給位置４４に移動した状態において、図３（Ｂ）に示すように、スライダ４５上の電子部品１２と、その上方に位置する吸着コレット１１との間に隙間ｄが形成されるように位置付けられている。前記ガイドレール４２と電子部品１２との間の隙間ｄ１は、スライダ４５上の電子部品１２と吸着コレット１１との間の前記隙間ｄより広くなるように形成されている。また、このスライダ４５には、図示してはいないが、図２に示した部品受け渡し部２１と同様に空気孔が形成されており、この空気孔を介して前記空気圧装置１６が接続されている。
【００３１】
パーツフィーダ４は、図３（Ａ）に示すように、スライダ４５が部品受け取り位置４６に位置している状態で電子部品１２を送り、スライダ４５上に電子部品１２を移載させる。この電子部品１２は、スライダ４５に吸着され保持される。スライダ４５は、このように電子部品１２を吸着保持した後に部品供給位置４４に移動する｛図３（Ｂ）参照｝。このとき、制御装置１０は、空気圧装置１６の第１の電磁弁２７を励磁状態として吸着コレット１１を「開放状態」とし、ターンテーブル３を回転させて吸着コレット１１を部品供給位置４４の上方に移動させる。
【００３２】
スライダ４５上の電子部品１２の上端の高さは、前記ガイドレール４２から送出されたときの高さと一致するために、吸着コレット１１の吸着面１５より必ず低くなる。このため、ターンテーブル３の回転により吸着コレット１１が部品供給位置４４の上方に移動するときにスライダ４５上の電子部品１２に側方から当たるようなことはない。
そして、制御装置１０は、スライダ４５が部品供給位置４４に位置している状態において、スライダ４５を「開放状態」に切り換えるとともに吸着コレット１１を「吸着状態」に切り換える。
【００３３】
すなわち、吸着コレット１１は、電子部品１２の上方に位置付けられかつスライダ４５が「開放状態」とされた状態において、この電子部品１２が吸着面１５に吸着される吸入量で空気の吸引を開始する。このように吸着コレット１１が「吸着状態」になることに伴ってスライダ４５上の電子部品１２が吸着コレット１１に吸着される｛図３（Ｃ）参照｝。その後、制御装置１０は、所定の時期にターンテーブル３を所定の角度だけ回転させ、スライダ４５の上方に位置している吸着コレット１１を次の矯正装置５に向けて（図３の紙面と略直交する方向に）移動させる｛図３（Ｄ）参照｝。
【００３４】
前記矯正装置５は、吸着コレット１１に対する電子部品１２の吸着位置、電子部品１２の上下方向の軸線回りの角度などを修正するためのものである。
この実施の形態による矯正装置５は、図４に示すように、電子部品１２を側方から挟持する構造の開閉式クランプ５１を備えている。前記クランプ５１は、図４には描いていないが、電子部品１２を四方から挟むことにより電子部品１２の水平方向の位置と、上下方向の軸線回りの角度とを修正する構成が採られている。
【００３５】
このクランプ５１の上下方向の位置は、図４（Ａ）に示すように、吸着コレット１１に吸着された電子部品１２が開放状態のクランプ５１の上を通ることができるように位置付けられている。
矯正装置５は、図４（Ａ）に示すように、クランプ５１を開いた状態でパーツフィーダ４側から送られてくる電子部品１２を待つ。開放状態にあるクランプ５１と、上述したパーツフィーダ４の部品供給位置にあるスライダ４５との間には、電子部品１２と吸着コレット１１とが水平移動可能な移動空間Ｓ１｛図３（Ｄ）および図４（Ａ）参照｝が形成されている。このため、電子部品１２と吸着コレット１１とは、他の部材に遮られることなくパーツフィーダ４から矯正装置５に移動する。
【００３６】
前記クランプ５１は、電子部品１２が上方に位置付けられた後に電子部品１２を挟持する｛図４（Ｂ），（Ｃ）参照｝。一方、吸着コレット１１は、クランプ５１が電子部品１２を挟持する動作に伴って「開放状態」になる。このため、クランプ５１は、吸着コレット１１から開放された状態にある電子部品１２を挟持することになり、電子部品１２の位置と角度とを修正することができる。
【００３７】
吸着コレット１１は、矯正装置５による修正動作が終了した後、「吸着状態」になる。この状態でクランプ５１が開くことにより、電子部品１２が吸着コレット１１に吸着される。すなわち、この実施の形態によるクランプ５１は、本発明でいう第１の受け渡し部と第２の受け渡し部とを兼ねるものである。
制御装置１０は、このように吸着コレット１１に電子部品１２が吸着された後、所定の時期にターンテーブル３を所定の角度だけ回転させ、クランプ５１の上方に位置している吸着コレット１１を次の通電検査装置６に向けて移動させる。
【００３８】
通電検査装置６は、電子部品１２に実際に通電して電子部品１２の電気的特性を測定したり検査するためのものである。この通電検査装置６は、図５に示すように、電子部品１２のリード１２ｂに接触する電極５２を備えている。この電極５２は、図５（Ａ）に示すように、吸着コレット１１に吸着された電子部品１２が上方を通過可能な待機位置と、図５（Ｃ）に示すように、電子部品１２のリード１２ｂに下方から接触する検査位置との間で昇降する構成が採られている。
【００３９】
通電検査装置６は、図５（Ａ）に示すように、電極５２を待機位置に移動させた状態で矯正装置５側から送られてくる電子部品１２を待つ。待機位置にある電極５２と、上述した矯正装置５のクランプ５１との間には、電子部品１２と吸着コレット１１とが水平移動可能な移動空間Ｓ２｛図４（Ｃ）および図５（Ａ）参照｝が形成されている。このため、電子部品１２と吸着コレット１１とは、他の部材に遮られることなく矯正装置５から通電検査装置６に移動する。
【００４０】
通電検査装置６は、電子部品１２が電極５２の上方に位置付けられている状態で電極５２を検査位置に上昇させ、電子部品１２に通電して測定や検査を行う。また、通電検査装置６は、測定や検査の終了後に電極５２を待機位置に下降させる。
制御装置１０は、電子部品１２が通電検査装置６の上にあるときは常に吸着コレット１１を「吸着状態」に保つ。すなわち、通電検査装置６に対して電子部品１２の受け渡しが行われることはない。また、制御装置１０は、通電検査装置６による測定、検査動作が終了した後、所定の時期にターンテーブル３を所定の角度だけ回転させ、電極５２の上方に位置している吸着コレット１１を次のマーキング装置７に向けて移動させる。
【００４１】
マーキング装置７は、電子部品１２のパッケージ部分１２ａに所定の図柄、文字等を記入するためのものである。このマーキング装置７は、図６および図１１に示すように、電子部品１２の受け渡しを行うための支持部材５３と、電子部品１２に図柄、文字等を記入するためのマーキング装置本体５４とを備えている。
前記支持部材５３は、図６に示すように、上方に向けて開放する凹陥部５５が形成されており、図１１に示すように、マーキング装置用ターンテーブル５６の外周部に取付けられている。また、この支持部材５３には、図示してはいないが、図２に示した部品受け渡し部２１と同様に空気孔が形成されており、この空気孔を介して前記空気圧装置１６が接続されている。
【００４２】
この支持部材５３の上端部の高さは、図６（Ａ）に示すように、吸着コレット１１が電子部品１２を吸着した状態で支持部材５３の上方を通過することができる高さであって、図６（Ｃ）に示すように、凹陥部５５内に収容された電子部品１２と吸着コレット１１との間に隙間ｄが形成されるような高さに設定されている。
前記凹陥部５５は、図６（Ｃ）に示すように、電子部品１２の下端部が遊嵌状態で嵌合する形状、大きさに形成されている。
【００４３】
電子部品１２は、図６（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、吸着コレット１１に吸着された状態で支持部材５３の上方に移動し、吸着コレット１１が支持部材５３の上方に位置付けられている状態で「開放状態に」切換えられることに伴って凹陥部５５内に落下して収容される。そして、この電子部品１２は、支持部材５３が「吸着状態」に切り換えられることによって、支持部材５３に吸着保持される。
前記支持部材５３と、上述した通電検査装置６の電極５２との間には、電子部品１２と吸着コレット１１とが水平移動可能な移動空間Ｓ３｛図５（Ｃ）および図６（Ａ）参照｝が形成されている。このため、電子部品１２と吸着コレット１１とは、他の部材に遮られることなく通電検査装置６から支持部材５３の上方に移動する。
【００４４】
前記支持部材５３は、図１１に示すように、マーキング装置用ターンテーブル５６の周方向に等間隔おいて並べられている。このターンテーブル３は、駆動装置５７による駆動によって前記複数の支持部材５３が順次吸着コレット１１の下方に移動するように間欠的に回転する。
【００４５】
マーキング装置本体５４は、吸着コレット１１を有するターンテーブル３とはマーキング装置用ターンテーブル５６を挟んで離間する位置に配設されている。
マーキング装置本体５４によってマーキングが施された電子部品１２は、ターンテーブル５６が回転することにより吸着コレット１１の下方に移動する。吸着コレット１１は、電子部品１２が下方に移動するまで「開放状態」を維持し、電子部品１２が下方に位置付けられかつ支持部材５３が「開放状態」に切り換えられた状態で「吸着状態」に切換えられる。
【００４６】
吸着コレット１１が「吸着状態」に切り換えられることにより、支持部材５３上の電子部品１２が吸着コレット１１に吸着される。すなわち、この実施の形態によるマーキング装置７の支持部材５３は、本発明でいう第１の受け渡し部と第２の受け渡し部とを兼ねるものである。
制御装置１０は、このように支持部材５３上の電子部品１２が吸着コレット１１に吸着された後、所定の時期にターンテーブル３を所定の角度だけ回転させ、支持部材５３の上方に位置している吸着コレット１１を次の画像検査装置８に向けて移動させる。
【００４７】
画像検査装置８は、吸着コレット１１に吸着されている電子部品１２の有無と、電子部品１２の吸着コレット１１に対する位置とを確認するためのものである。この画像検査装置８は、図７に示すように、吸着コレット１１に吸着された電子部品１２をターンテーブル３の径方向の外側から略水平に撮影する構成が採られている。
【００４８】
画像検査装置８と、上述したマーキング装置７の支持部材５３との間には、電子部品１２と吸着コレット１１とが水平移動可能な移動空間Ｓ４｛図６（Ｃ）および図７（Ａ）参照｝が形成されている。このため、電子部品１２と吸着コレット１１とは、他の部材に遮られることなくマーキング装置７から画像検査装置８の側方に移動する。
【００４９】
制御装置１０は、電子部品１２が上述したマーキング装置７から画像検査装置８を経て後述するテーピング装置９に移動するまで吸着コレット１１を「吸着状態」に保つ。すなわち、画像検査装置８に対して電子部品１２の受け渡しが行われることはない。
また、制御装置１０は、画像検査装置８による検査動作が終了した後、所定の時期にターンテーブル３を所定の角度だけ回転させ、画像検査装置８の側方に位置している吸着コレット１１を次のテーピング装置９に向けて移動させる。
【００５０】
前記テーピング装置９は、電子部品１２をキャリアテープ６１（図８参照）に収納するためのものである。このテーピング装置９は、キャリアテープ６１のエンボス部６２を吸着コレット１１の下方に位置付け、エンボス部６２に電子部品１２が移載された後にキャリアテープ６１を１ピッチだけ送り、隣接するエンボス部６２を吸着コレット１１の下方に移動させる。
【００５１】
テーピング装置９においてキャリアテープ６１に電子部品１２を移載させる部品移載部６３（図１３参照）の高さは、キャリアテープ６１の上方に側方から電子部品１２を移動できるように形成されている。この部品移載部６３は、本発明でいう第２の受け渡し部を構成するものである。
テーピング装置９の前記部品移載部６３と上述した画像検査装置８との間には、電子部品１２と吸着コレット１１とが水平移動可能な移動空間Ｓ５｛図７（Ｃ）および図８（Ａ）参照｝が形成されている。このため、電子部品１２と吸着コレット１１とは、他の部材に遮られることなく画像検査装置８から部品移載部６３（キャリアテープ６１）の上方に移動する。
【００５２】
制御装置１０は、吸着コレット１１がキャリアテープ６１の上方に位置している状態で吸着コレット１１を「開放状態」とし、電子部品１２を吸着コレット１１からエンボス部６２内に落下させる。
この制御装置１０がターンテーブル３と空気圧装置１６の動作を制御するに当たっては、図１５のフローチャートに示すように行う。すなわち、制御装置１０は、先ず、ステップＳ１に示すように、個々の吸着コレット１１について、第１の受け渡し部の上方に位置しているか否かを判定する。この第１の受け渡し部は、この実施の形態においてはパーツフィーダ４のスライダ４５と、矯正装置５のクランプ５１と、マーキング装置７の支持部材５３である。
【００５３】
次に、制御装置１０は、第１の受け渡し部の上方に位置している吸着コレット１１については、ステップＳ２において、空気圧装置１６をＯＮ状態、すなわち「吸着状態」にする。一方、制御装置１０は、第１の受け渡し部の上方に位置していないと判定された吸着コレット１１について、ステップＳ３において、第２の受け渡し部の上方に位置しているか否かを判定する。
【００５４】
この第２の受け渡し部は、この実施の形態においては矯正装置５のクランプ５１と、マーキング装置７の支持部材５３と、テーピング装置９の部品移載部６３である。第２の受け渡し部の上方に位置している吸着コレット１１については、ステップＳ４において、空気圧装置１６をＯＦＦ状態、すなわち「開放状態」にする。制御装置１０は、吸着コレット１１に電子部品１２を吸着させたり、吸着コレット１１から電子部品１２を開放させた後、ステップＳ５において、全ての処理装置において処理が完了しているか否かを判定し、処理完了後にターンテーブル３を所定角度だけ回転させる（ステップＳ６）。
【００５５】
上述したように構成された搬送装置１においては、吸着コレット１１が第１の受け渡し部の上方に位置している状態で空気圧装置１６による空気の吸引が開始されることに伴って、電子部品１２が吸い上げられて吸着コレット１１に吸着される。また、この搬送装置１においては、吸着コレット１１が第２の受け渡し部の上方に位置している状態で空気圧装置１６による空気の吸引が停止されることに伴って、電子部品１２が吸着コレット１１から開放されて落下し、第２の受け渡し部に載置される。
【００５６】
このため、この搬送装置１は、電子部品１２の吸着、開放を行うに当たって吸着コレット１１を昇降させる必要がないから、従来の搬送装置と較べて吸着コレット１１が電子部品１２に衝突することがなくなるとともに、電子部品１２が被載置面に過大な押圧力で押し付けられることもなくなる。しかも、この実施の形態によれば、吸着コレット１１の昇降時間が０になるために、従来の搬送装置と較べて搬送時間を短縮することができる。
【００５７】
したがって、この実施の形態によれば、電子部品１２の搬送効率を高く保ちながら、電子部品１２が破損することがない電子部品用搬送装置１を提供することができる。
また、この実施の形態による搬送装置１は、吸着コレット１１を昇降させるための昇降装置が不要であるから、特許文献１に開示されているような従来の搬送装置と較べて部品数を低減することができ、製造コストを低減することができる。
【００５８】
また、この実施の形態による搬送装置１は、間欠的に回転するターンテーブル３を備えるとともに、このターンテーブル３の外周部に周方向に等間隔おいて並設された吸着コレット１１を備えており、電子部品１２を受け取る第１の受け渡し部と、電子部品１２を移載させる第２の受け渡し部とが前記ターンテーブル３の周囲に配設された複数の処理装置によって構成されている。
このため、この実施の形態によれば、電子部品１２の搬送効率が高くなるとともに電子部品１２が破損することがないロータリ式の電子部品用搬送装置１を提供することができる。
【実施例１】
【００５９】
上述した実施の形態で示した搬送装置１が搬送する電子部品１２は、その重量が３ｇ以下のものであって、パッケージ部分１２ａの底面から下方に突出するリード１２ｂの突出長さが０．１mm以下のものである。また、吸着コレット１１に電子部品１２を吸着させるときの真空圧は、−４０〜−６０ｋｐａ（絶対真空を−１０１．３ｋｐａとする）とした。
電子部品供給部４１のスライダ４５と吸着コレット１１との間の隙間ｄは、０．２mmとした。
マーキング装置７の支持部材５３に保持された電子部品１２と吸着コレット１１との間の隙間ｄは０．４mmとした。
なお、これらの数値は、一例であって、対象とする電子部品１２の種類に対応させて適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【００６０】
１…電子部品用搬送装置、２…基台、３…ターンテーブル、４…パーツフィーダ、５…矯正装置、６…通電検査装置、７…マーキング装置、８…画像検査装置、９…テーピング装置、１１…吸着コレット、１６…吸引装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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