(57)【要約】【課題】  レジストインキの除去を確実にし、レジストインキの塗工工程で金属箔の切断や塗工抜けの発生を防止しつつ、更なる薄箔化が可能なエッチング加工とする。【解決手段】  キャリアテープ(11)の両面に粘着層(12)を介して第一金属箔(21)および第二金属箔(22)をラミネートする金属箔ラミネート工程と、前記ラミネートした第一金属箔(21)および第二金属箔(22)の表面にレジスト層(31,36)を印刷するレジスト印刷工程と、前記レジスト印刷した第一金属箔(21)および第二金属箔(22)の表面をエッチング加工するエッチング工程と、前記エッチング加工後の第一金属箔(41)および第二金属箔(42)から前記レジスト層(31,36)を剥離するレジスト剥離工程と、を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
両面に粘着層を備えたキャリアテープと、  その粘着層にラミネートされる第一金属箔および第二金属箔とを備え、
前記第一金属箔および前記第二金属箔にはエッチングパターンを形成しており、
且つ前記第一金属箔および前記第二金属箔は、前記キャリアテープから剥離可能としたエッチング加工済み金属箔。
【請求項２】
前記第一金属箔および前記第二金属箔の一方または双方に対して、複数枚の金属箔を重ねて形成した請求項１に記載のエッチング加工済み金属箔。
【請求項３】
キャリアテープの両面に粘着層を介して第一金属箔および第二金属箔をラミネートする金属箔ラミネート工程と、
その金属箔ラミネート工程にてラミネートされた第一金属箔および第二金属箔の表面にレジスト層を印刷するレジスト印刷工程と、
そのレジスト印刷工程にて印刷された第一金属箔の表面および第二金属箔の表面をエッチング加工するエッチング工程と、
前記エッチング工程によるエッチング加工後の第一金属箔および第二金属箔から前記レジスト層を剥離するレジスト剥離工程と、  を備えたエッチング加工済み金属箔の製造方法。
【請求項４】
キャリアテープの両面に粘着層を介して第一金属箔および第二金属箔をラミネートする金属箔ラミネート工程と、
予めエッチングパターンを孔あけした第一マスクフィルムおよび第二マスクフィルムを、ラミネートした前記第一金属箔および前記第二金属箔の表面にラミネートするマスクフィルムラミネート工程と、
前記各第一マスクフィルムおよび前記第二マスクフィルムのエッチングパターンによって露出した第一金属箔および第二金属箔の表面をエッチング加工するエッチング工程と、
前記エッチング加工後の第一金属箔および第二金属箔から前記第一マスクフィルムおよび第二マスクフィルムを剥離するマスクフィルム剥離工程と、を備えたエッチング加工済み金属箔の製造方法。
【請求項５】
前記キャリアテープからエッチング加工済みの第一金属箔および第二金属箔を分離する金属箔分離工程を含むこととした請求項３または請求項４のいずれかに記載のエッチング加工済み金属箔の製造方法。
【請求項６】
前記第一金属箔および第二金属箔は、少なくとも一方が複数枚重ねとして形成することとした請求項３から請求項５のいずれかに記載のエッチング加工済み金属箔の製造方法。
【請求項７】
キャリアテープの両面に粘着層を介して第一金属箔および第二金属箔をラミネートする金属箔ラミネート装置と、
前記ラミネートした第一金属箔および第二金属箔の表面にレジスト層を印刷するレジスト印刷装置と、
前記レジスト印刷した第一金属箔および第二金属箔の表面をエッチング加工するエッチング装置と、
前記エッチング加工後の第一金属箔および第二金属箔から前記レジスト層を剥離するレジスト剥離装置と、
を備えたエッチング加工済み金属箔の製造装置。
【請求項８】
キャリアテープの両面に粘着層を介して第一金属箔および第二金属箔をラミネートする金属箔ラミネート装置と、
予めエッチングパターンを孔あけした第一マスクフィルムおよび第二マスクフィルムを、前記ラミネートした第一金属箔および第二金属箔の表面にラミネートするマスクフィルムラミネート装置と、
前記各第一マスクフィルムおよび第二マスクフィルムのエッチングパターンによって露出した第一金属箔および第二金属箔の表面をエッチング加工するエッチング装置と、
前記エッチング加工後の第一金属箔および第二金属箔から前記第一マスクフィルムおよび第二マスクフィルムを剥離するマスクフィルム剥離装置と、
を備えたことを特徴とするエッチング加工済み金属箔の製造装置。
【請求項９】
前記キャリアテープからエッチング加工済みの第一金属箔および第二金属箔を分離する金属箔分離装置を加えた請求項７または請求項８のいずれかに記載のエッチング加工済み金属箔の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に多孔化の必要なアルミ箔、銅箔、ニッケル箔などの金属箔に対して最適なエッチング加工を行ったエッチング加工済み金属箔、およびその製造方法、並びにその製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電極用アルミ箔、銅箔、ニッケル箔などの金属箔には、多孔化を必要とする場合がある。その金属箔に多孔を形成する手法の一つとしては、エッチング法がある。その例としては、特許文献１および特許文献２に示されている。
【０００３】
特許文献１では、金属箔の一方の表面上に接着層を介在させて合成樹脂層を付着させ、前記金属箔の他方の表面上に、所定パターンを有するレジスト層を形成する。そのレジスト層をマスクとしてエッチングすることによって、前記の金属箔に複数の貫通孔を形成する。その後、前記金属箔から前記合成樹脂層と前記接着層を剥離する。その後、前記レジスト層を除去することで、複数の貫通孔を形成した金属箔を製造することができる。
【０００４】
特許文献２では、金属箔の一面にレジスト層を所定のパターンで形成し、その反対面の全面にもレジスト層を設けてエッチング用金属箔積層体が形成される。このエッチング用金属箔積層体をエッチングした後に、両面のレジスト層を除去することで、エッチド金属箔を製造する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−４１５１１号公報
【特許文献２】特開２０００−１９２２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の金属箔の製造方法においては、エッチング後のレジスト層（レジストインキ）の除去を完全とするのが困難であった。そのため、コンタミ（インキ残り）による、押し込み、傷等の発生が多いという問題点があった。
また、レジストインキの除去が完全ではないために、廃液にインキ成分が残るので、産業廃棄物となる。産業廃棄物は、一般の廃棄物に比べて廃棄処分に手間やコストが掛かってしまう。
【０００７】
また、電極用アルミ箔、銅箔、ニッケル箔などの金属箔に対する薄箔化が要望されている。薄箔化に伴って、それらを材料とする電子部品の高容量化が可能となるからである。しかし、現状のグラビア印刷によるレジストインキの印刷においては、金属泊の厚さは２０ミクロンメートルが限界であった。そのため、高容量化が困難であった。
更に、現状の製造方法で金属箔を薄くして多孔化しようとすると、後工程のレジストインキの塗工工程で金属箔の切断や塗工抜けが発生しやすくなってしまう、という問題点があった。
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、レジストインキの除去を確実にし、レジストインキの塗工工程で金属箔の切断や塗工抜けの発生を防止しつつ、更なる薄箔化が可能なエッチング加工が実行可能な技術を提供することにある。より具体的には、エッチング加工済み金属箔の製造方法、その製造装置、およびエッチング加工済み金属箔を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（第一の発明）
本願における第一の発明は、  両面に粘着層(12,12)を備えたキャリアテープ(11)と、  その粘着層(12,12)にラミネートされる第一金属箔(21)および第二金属箔(22)と、を備え、  前記第一金属箔および前記第二金属箔(21,22)にはエッチングパターンを形成しており、且つ前記第一金属箔および前記第二金属箔(21,22)は、前記キャリアテープ(11)から剥離可能としたエッチング加工済み金属箔に係る。
ここで、「金属箔」の金属とは、アルミ箔、銅箔、ニッケル箔など、電極に用いる可能性のある金属である。
【００１０】
（作用）
第一金属箔(21)および第二金属箔(22)をキャリアテープ(11)の両面に粘着層(12,12)を介してラミネートした状態で、第一金属箔(21)および第二金属箔(22)における粘着相12と反対側の面からに対して同時にエッチング加工を実行する。そうして得られたエッチング加工済みの第一金属箔(41)と第二金属箔(42)は、エッチング加工時の切断、コンタミ（インキ残り）による押し込み、傷等が発生する確率を減らすことができる。キャリアテープ(11)から剥離して用いる第一金属箔(21)および第二金属箔(22)は、それぞれの厚さを２０ミクロンメートル以下の薄箔とすることが可能となる。
【００１１】
（第一の発明のバリエーション１）
第一の発明は、以下のようなバリエーションを提供することもできる。
すなわち、  前記第一金属箔(21)および前記第二金属箔(22)の一方または双方に対して、複数枚の金属箔を重ねて形成してもよい。
【００１２】
（作用）
第一金属箔(21)および第二金属箔(22)の双方を二枚重ねとして形成したエッチング加工済み金属箔とは、第一金属箔(21)、第一金属箔(21)、粘着層(12)、キャリアテープ(11)、粘着層(12)、第二金属箔(22)、および第二金属箔(22)という順に積層された状態となる。
その状態でエッチングパターンを形成すると、二枚の第一金属箔(21)および二枚の第二金属箔(22)がエッチング加工済みとなる。そのうえで、キャリアテープ(11)から剥離すると、エッチング加工済みの金属箔が４枚得られることとなる。
重ね枚数が多いほど、１枚あたりのエッチング加工済み金属箔の製造時間を減らすこととなる。
【００１３】
（第二の発明）
本願における第二の発明は、  キャリアテープ(11)の両面に粘着層(12,12)を介して第一金属箔(21)および第二金属箔(22)をラミネートする金属箔ラミネート工程と、  その金属箔ラミネート工程にてラミネートされた第一金属箔(21)および第二金属箔(22)の表面（粘着相12と反対側の面）にレジスト層(31,36)を印刷するレジスト印刷工程と、  前記レジスト印刷工程にて印刷された第一金属箔(21)の表面および第二金属箔(22)の表面をエッチング加工するエッチング工程と、  前記エッチング工程によるエッチング加工後の第一金属箔(41)および第二金属箔(42)から前記レジスト層(31,36)を剥離するレジスト剥離工程と、  を備えたエッチング加工済み金属箔の製造方法に係る。
【００１４】
（作用）
第一金属箔(21)および第二金属箔(22)をキャリアテープ(11)の両面にラミネートした状態なので、キャリアテープの片面に金属箔をラミネートした状態のものよりも丈夫なため、走行の高速化が可能となる。
また、第一金属箔(21)および第二金属箔(22)は、エッチング加工を同時に実行できる。しかも、第一金属箔(21)および第二金属箔(22)を薄くしてもキャリアテープ(11)が存在することによって強度が高められているため、走行時やレジスト印刷時に切断や塗工抜けが発生しにくくなる。
また、キャリアテープ(11)が存在することによって、レジスト印刷の際に印刷対象である第一金属箔(21)および第二金属箔(22)が安定するので、レジストインキ量が従来に比べて半分以下となり、コンタミの発生を抑制することに寄与する。
【００１５】
（第三の発明）
本願における第三の発明は、  キャリアテープ(11)の両面に粘着層(12,12)を介して第一金属箔(21)および第二金属箔(22)をラミネートする金属箔ラミネート工程と、  予めエッチングパターンを孔あけした第一マスクフィルム(91)および第二マスクフィルム(92)を前記第一金属箔(21)および前記第二金属箔(22)の表面（粘着相12と反対側の面）にラミネートするマスクフィルムラミネート工程と、  前記第一マスクフィルム(91)および前記第二マスクフィルム(92)のエッチングパターンによって露出した第一金属箔(21)および第二金属箔(22)の表面をエッチング加工するエッチング工程と、  前記エッチング加工後の第一金属箔(41)および第二金属箔(42)から前記第一マスクフィルム(91)および前記第二マスクフィルム(92)を剥離するマスクフィルム剥離工程と、を備えたエッチング加工済み金属箔の製造方法に係る。
【００１６】
（作用）
第一金属箔(21)および第二金属箔(22)をキャリアテープ(11)の両面にラミネートした状態なので、キャリアテープの片面に金属箔をラミネートした状態のものよりも丈夫なため、走行の高速化が可能となる。
また、第一金属箔(21)および第二金属箔(22)は、エッチング加工を同時に実行できる。しかも、第一金属箔(21)および第二金属箔(22)を薄くしてもキャリアテープ(11)が存在することによって強度が高められているため、走行時やレジスト印刷時に切断や塗工抜けが発生しにくくなる。
予めエッチングパターンを孔あけしたマスクフィルム(91,92)を用いて金属箔(21,22)をエッチングするので、レジスト印刷の工程が存在せず、レジスト印刷に係わる不具合は発生しない。
【００１７】
（第二および第三の発明のバリエーション１）
第二の発明および第三の発明は、以下のようなバリエーションを提供することもできる。
すなわち、  前記キャリアテープ(11)からエッチング加工済みの第一金属箔(41)および第二金属箔(42)を分離する金属箔分離工程を追加しても良い。
【００１８】
（作用）
第三、第四の発明では、エッチング加工済みの第一金属箔(41)および第二金属箔(42)をキャリアテープ(11)にラミネートしたままのキャリアテープ付金属箔(51)を巻き取って使用する。あるいは、金属箔分離工程を加えることで、キャリアテープ(11)から分離してエッチング加工済みの第一金属箔(41)と第二金属箔(42)をそれぞれ単体で巻き取って使用する。前記の使用は、用途によって選択すればよい。
【００１９】
（第二および第三の発明のバリエーション１）
第二の発明および第三の発明は、以下のようなバリエーションを提供することもできる。
すなわち、  前記第一金属箔(21)および第二金属箔(22)は、少なくとも一方が複数枚重ねであってもよい。
【００２０】
（作用）
例えば、第一金属箔(21)および第二金属箔(22)が二枚重ねの場合、四枚を同時にエッチング加工することができる。重ね枚数が多いほど、１枚あたりのエッチング加工済みの金属箔の製造時間を減らすこととなる。
【００２１】
（第四の発明）
本願における第四の発明は、  キャリアテープ(11)の両面に粘着層(12,12)を介して第一金属箔(21)および第二金属箔(22)をラミネートする金属箔ラミネート装置(20)と、  前記第一金属箔(21)および第二金属箔(22)の表面にレジスト層(31,36)を印刷するレジスト印刷装置(30)と、  前記レジスト印刷した第一金属箔(21)および第二金属箔(22)の表面をエッチング加工するエッチング装置(40)と、  前記エッチング加工後の第一金属箔(41)および第二金属箔(42)から前記レジスト層(31,36)を剥離するレジスト剥離装置(50)と、を備えたエッチング加工済み金属箔の製造装置(10)に係る。
【００２２】
（第五の発明）
本願における第五の発明は、  キャリアテープ(11)の両面に粘着層(12,12)を介して第一金属箔(21)および第二金属箔(22)をラミネートする金属箔ラミネート装置(20)と、  予めエッチングパターンを孔あけした第一マスクフィルム(91)および第二マスクフィルム(92)を、前記第一金属箔(21)および第二金属箔(22)の表面にラミネートするマスクフィルムラミネート装置(90)と、  前記各第一マスクフィルム(91)および第二マスクフィルム(92)のエッチングパターンによって露出した第一金属箔(21)および第二金属箔(22)の表面をエッチング加工するエッチング装置(40)と、  前記エッチング加工後の第一金属箔(41)および第二金属箔(42)から前記第一マスクフィルム(91)および第二マスクフィルム(92)を剥離するマスクフィルム剥離装置(100)と、を備えたエッチング加工済み金属箔の製造装置(80)に係る。
【００２３】
（第四および第五の発明のバリエーション１）
第四および第五の発明は、以下のようなバリエーションを提供することもできる。
すなわち、  前記キャリアテープ(11)からエッチング加工済みの第一金属箔(41)および第二金属箔(42)を分離する金属箔分離装置(60)を加えることができる。
【００２４】
（作用）
第四および第五の発明では、第一金属箔(21)および第二金属箔(22)をキャリアテープ(11)にラミネートしたままのキャリアテープ付金属箔(51)を巻き取って使用する。
金属箔分離装置(60)が備えられている場合には、キャリアテープ(11)から分離してエッチング加工済みの第一金属箔(41)と第二金属箔(42)をそれぞれ単体で巻き取って使用する。
【発明の効果】
【００２５】
第一の発明によれば、レジストインキ除去の確実性を高め、レジストの塗工工程時の切断や塗工抜けなどの不具合発生を抑制しつつ、厚さ２０ミクロンメートル以下の薄箔化を可能とするエッチング加工済み金属箔を提供することができた。
また、第二および第三の発明によれば、レジストインキ除去の確実性を高め、レジストの塗工工程時の切断や塗工抜けなどの不具合発生を抑制しつつ、厚さ２０ミクロンメートル以下の薄箔化を可能とするエッチング加工済み金属箔の製造方法を提供することができた。
また、第四および第五の発明によれば、レジストインキ除去の確実性を高め、レジストの塗工工程時の切断や塗工抜けなどの不具合発生を抑制しつつ、厚さ２０ミクロンメートル以下の薄箔化を可能とするエッチング加工済み金属箔の製造装置を提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第一の実施形態のエッチング加工済み金属箔の製造方法およびその製造装置を示す概略説明図である。
【図２】本発明の第二の実施形態のエッチング加工済み金属箔の製造方法およびその製造装置を示す概略説明図である。
【図３】第一金属箔および第二金属箔がそれぞれ二枚重ねのときの巻き取り状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１に示す第一の実施形態に係るエッチング加工済み金属箔の製造装置１０は、金属箔ラミネート装置２０と、レジスト印刷装置３０と、エッチング装置４０と、レジスト剥離装置５０と、金属箔分離装置６０と、第一金属箔巻き取り装置７１並びに第二金属箔巻き取り装置７２で構成する金属箔巻き取り装置７０と、を備えている。
【００２８】
金属箔ラミネート装置２０は、予め粘着層１２，１２が両面にコーティングされているキャリアテープ１１が供給される。そのキャリアテープ１１の一面に粘着層１２を介して第一金属箔２１を加圧ロール２３でラミネートする。さらに、前記キャリアテープ１１の他面にももう一つの粘着層１２を介して第二金属箔２２を加圧ロール２４でラミネートする。以上のような装置である。一対の加圧ロール２３，２４は、互いに加圧するように対向する位置に設けられている。
【００２９】
レジスト印刷装置３０は、キャリアテープ１１の両面にラミネートした第一金属箔２１および第二金属箔２２の表面にレジスト層３１，３６を印刷する装置である。本実施形態では、レジスト印刷の一種であるグラビア印刷を採用する。
グラビア印刷は、第一金属箔２１の表面に接触するオフセットゴムロール３４と、第二金属箔２２の表面に接触する第二版胴３７とで挟み込んで押圧する構成である。オフセットゴムロール３４に対して第二版胴３７が圧胴の役目をし、第二版胴３７に対してオフセットゴムロール３４が圧胴の役目をする。
【００３０】
第一金属箔２１の印刷では、オフセットゴムロール３４に接触する第一版胴３３と、その第一版胴３３に接触するピックアップロール３２と、そのピックアップロール３２にレジストインキ３９を供給するための第一インキパン３５が備えられている。これはグラビアオフセット印刷法である。
一方、第二金属箔２２の印刷では、前記第二版胴３７にレジストインキ３９を供給するための第二インキパン３８が備えられている。これはグラビア印刷法である。
第一インキパン３５および第二インキパン３８には、レジストインキ３９が蓄えられている。そのレジストインキ３９に対して、ピックアップロール３２と第二版胴３７の下部が浸漬している。
【００３１】
第一版胴３３および第二版胴３７は、それぞれの表面に、所望のパターンを形成する凹状のグラビアセルが形成されている。所望のパターンとは、たとえば多孔４３を形成するための孔パターンとなっている。第一版胴３３の孔パターンおよび第二版胴３７の孔パターンは、同一パターンであるとは限らない。
【００３２】
一般的なグラビア印刷は、印刷するテープ（あるいはフィルム）に対して版胴と圧胴で挟み込んで押圧する構成である。したがって、第一金属箔２１の印刷と第二金属箔２２の印刷は、それぞれ圧胴を設けて異なる位置で印刷してもよい。
なお、レジスト印刷を実行した後の被印刷物を乾燥させるための乾燥装置（図示を省略）が設けられている。
【００３３】
エッチング装置４０は、前記レジスト印刷した第一金属箔２１および第二金属箔２２の表面をエッチング加工する装置である。金属箔を剥離する酸性溶液は、エッチング槽（図示を省略）に充填されている。また、エッチング後に酸性溶液を除去するための水洗槽（図示を省略）が備えられている。
【００３４】
レジスト剥離装置５０は、前記エッチング加工後の第一金属箔４１および第二金属箔４２から前記各レジスト層３１，３６を剥離する装置である。レジスト層３１，３６を剥離するアルカリ性溶液が図示しないレジスト剥離槽に充填されている。また、レジスト剥離後にアルカリ性溶液を除去するための水洗槽（図示を省略）が備えられている。また、レジストの剥離、アルカリ性溶液の除去後の乾燥を行うための乾燥装置（図示を省略）が設けられている。
【００３５】
金属箔分離装置６０は、前記キャリアテープ付金属箔５１のキャリアテープ１１からエッチング加工済みの第一金属箔４１および第二金属箔４２を分離する装置である。本実施形態では、例えば図１に示すように、第一金属箔４１および第二金属箔４２をそれぞれキャリアテープ１１の粘着層１２から分離するための剥離用ローラ６１が設けられている。
【００３６】
金属箔巻き取り装置７０は、第一金属箔巻き取り装置７１と第二金属箔巻き取り装置７２で構成される。第一金属箔巻き取り装置７１は、第一金属箔２１をロール状の巻き取りロール７３に巻き取るものである。また、第二金属箔巻き取り装置７２は、第二金属箔２２をロール状の巻き取りロール７４に巻き取るものである。
【００３７】
上記のように、キャリアテープ１１から剥離してエッチング加工済みの第一金属箔２１と第二金属箔２２をそれぞれ単体で巻き取って使用しても良いが、第一金属箔４１および第二金属箔４２をキャリアテープ１１にラミネートしたままのキャリアテープ付金属箔５１を巻き取って使用しても良い。用途に応じて選択すればよいのである。
後者の場合は、レジスト剥離装置５０の後に、キャリアテープ付金属箔５１をロール状の巻き取りロール７６に巻き取るためのキャリアテープ付金属箔巻き取り装置７５を設けることができる。
【００３８】
次に、前述したエッチング加工済み金属箔の製造装置１０を用いた、第一の実施形態に係るエッチング加工済み金属箔の製造方法について説明する。
その製造方法は、図１に示すように、金属箔ラミネート工程と、レジスト印刷工程と、エッチング工程と、レジスト剥離工程と、金属箔分離工程と、第一金属箔巻取工程と、第二金属箔巻取工程と、を備えている。
【００３９】
キャリアテープ１１の両面には、予め粘着層１２，１２がコーティングされている。キャリアテープ１１としては、例えば、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＯＰＰなどが用いられるが、この限りではない。
なお、ＯＰＰとは、Oriented Polypropyleneの略で、ポリプロピレンを延伸・配向させて得たテープ（フィルム）のことである。
また、粘着層１２には、主にアクリル系粘着剤が用いられるが、この限りではない。
【００４０】
金属箔ラミネート工程では、予め粘着層１２，１２が両面にコーティングされている粘着層付キャリアテープ１１を供給する。前記粘着層付キャリアテープ１１の一面には、金属箔ラミネート装置２０を用いて、粘着層１２を介して第一金属箔２１がラミネートされる。また、前記キャリアテープ１１の他面には、粘着層１２を介して第二金属箔２２がラミネートされる。
【００４１】
第一金属箔２１および第二金属箔２２としては、アルミ箔、銅箔、ニッケル箔などが用いられるが、この限りではない。また、本実施形態では、その厚さは２０ミクロンメートル以下の薄箔が用いられるが、２０ミクロンメートル以上の厚さでもかまわない。
【００４２】
また、第一金属箔２１および第二金属箔２２の少なくとも一方は、図３に示すように、二枚重ねのように複数枚重ねの金属箔とすることができる。例えば、アルミ箔等の金属箔の製造において二枚圧延したままの箔を剥離せず、キャリアテープ１１にラミネートする。
【００４３】
二枚圧延について説明する。例えばアルミ箔の箔地に対して粗圧延を行い、次いで仕上圧延を行うときに二枚重ねして圧延する。二枚圧延の外表面は「ブライト面」といい、合わせ面は「マット面」という。ブライト面とマット面とは光沢が異なり、ブライト面の方が光沢がよい。
【００４４】
レジスト印刷工程では、レジスト印刷装置３０を用いて、キャリアテープ１１の両面にラミネートした第一金属箔２１および第二金属箔２２の表面にレジスト層３１，３６を印刷する。そのレジスト層３１，３６がエッチングマスクとなる。
【００４５】
図１では、第一インキパン３５のレジストインキ３９がピックアップロール３２で第一版胴３３のグラビアセルに移される。第一版胴３３のグラビアセルに埋め込まれたレジストインキ３９はオフセットゴムロール３４に転移され、そのオフセットゴムロール３４のレジストインキ３９は第一金属箔２１の表面に転写され、印刷される。
【００４６】
なお、転写後のオフセットゴムロール３４の表面のインキは図示しない回収インキパンにより回収され、次の転写のために表面が清掃される。
一方、第二インキパン３８のレジストインキ３９が第二版胴３７のグラビアセルに埋め込まれる。第二版胴３７のグラビアセルのレジストインキ３９は第二金属箔２２の表面に転写され、印刷される。
【００４７】
以上のように、第一金属箔２１および第二金属箔２２がキャリアテープ１１の両面にラミネートされるので、第一金属箔２１および第二金属箔２２の厚さが２０ミクロンメートル以下の薄箔であっても、従来のような切断が発生しにくく、キャリアテープ１１の高速走行も可能となる。その結果、印刷スピードを速くすることができ、製造時間の短縮に寄与する。
【００４８】
また、第一金属箔２１および第二金属箔２２が薄くても強度の高いキャリアテープ１１にラミネートされているので確実に印刷できるため、従来のようなレジストインキ３９の塗工時で金属箔の切断や塗工抜けといった現象を抑制できる。また、レジスト印刷が安定するので、レジストインキ３９の量が従来に比べて半分以下となり、コンタミ（インキ残り）の発生が少なくなる。
【００４９】
なお、本実施形態では、グラビア印刷であるが、シルク印刷、インクジェット印刷、あるいはその他の印刷法でもよい。
その後、乾燥装置（図示を省略）を用いて、レジスト印刷の乾燥が行われる。
【００５０】
エッチング工程では、レジスト印刷した第一金属箔２１および第二金属箔２２の表面をエッチング加工する。エッチング装置４０を用いて、レジスト層３１，３６（レジストマスク）を被着していない箇所の金属箔が図示しないエッチング槽内の酸性溶液により剥離される。その結果、所定のパターンの例えば多孔４３が形成され、多孔パターンを有する第一金属箔４１および第二金属箔４２が得られる。
【００５１】
キャリアテープ１１の両面の第一金属箔２１および第二金属箔２２を同時にエッチング加工することができるので、大幅なコストの低減を図ることができる。
また、第一金属箔２１および第二金属箔２２の少なくとも一方側に二枚重ねを用いた場合は、二枚重ねの金属箔を同時にエッチング加工することができる。そのため、一枚あたりの製造時間を低減できる。
エッチング後は、水洗槽（図示を省略）の水洗により、酸性溶液が除去される。
【００５２】
レジスト剥離工程では、エッチング加工後の第一金属箔４１および第二金属箔４２から前記各レジスト層３１，３６を剥離する。レジスト剥離装置５０を用いて、レジスト層３１，３６がレジスト剥離槽（図示を省略）のアルカリ性溶液により剥離される。このとき、前述したようにレジストインキ３９の量が従来に比べて半分以下となるので、レジスト層３１，３６（レジストインキ３９）の除去の確実性が向上する。その結果、コンタミの発生が少なくなるので、コンタミによる、押し込み、傷等の発生が少なくなる。さらに、廃液にインキ成分が残る現象の発生を抑制できる。
【００５３】
レジスト剥離後は、水洗槽（図示を省略）の水洗によりアルカリ性溶液が除去される。その後、乾燥装置（図示を省略）を通過して乾燥が行われることで、キャリアテープ１１の両面にエッチング加工済みの第一金属箔４１および第二金属箔４２を付けたままのキャリアテープ付金属箔５１が得られる。
【００５４】
金属箔分離工程では、前記キャリアテープ付金属箔５１のキャリアテープ１１からエッチング加工済みの第一金属箔４１および第二金属箔４２を分離する。金属箔分離装置６０の剥離用ローラ６１を用いて第一金属箔４１および第二金属箔４２がそれぞれキャリアテープ１１の粘着層１２から分離されることで、エッチング加工済みの第一金属箔４１と第二金属箔４２が同時に製造される。
【００５５】
第一金属箔巻取工程では、第一金属箔２１が第一金属箔巻き取り装置７１でロール状の巻き取りロール７３に巻き取られる。一方、第二金属箔巻取工程では、第二金属箔２２が第二金属箔巻き取り装置７２でロール状の巻き取りロール７４に巻き取られる。
また、第一金属箔２１および第二金属箔２２の少なくとも一方が、二枚重ねのように複数枚重ねの金属箔にしたときは、最終的に１枚ずつに分離して使用される。例えば、図３に示すように第一金属箔２１および第二金属箔２２の両者が二枚重ねの場合、エッチング加工済みの第一金属箔４１ａ，４１ｂがそれぞれロール状の巻き取りロール７３ａ，７３ｂに巻き取られ、エッチング加工済みの第二金属箔４２ａ，４２ｂがそれぞれロール状の巻き取りロール７４ａ，７４ｂに巻き取られる。
【００５６】
キャリアテープ付金属箔巻取工程では、用途により、前述したレジスト剥離工程で得られたキャリアテープ付金属箔５１がキャリアテープ付金属箔巻き取り装置７５でロール状の巻き取りロール７６に巻き取られる。
その巻き取りロール７６から第一金属箔４１および第二金属箔４２を取り出す場合は、前述した金属箔分離工程と同様に、金属箔分離装置６０を用いて第一金属箔４１および第二金属箔４２がキャリアテープ１１から分離され、第一金属箔および第二金属箔巻き取り装置７１，７２でロール状の巻き取りロール７３，７４に巻き取られる。
【００５７】
次に、本発明の第二の実施形態に係るエッチング加工済み金属箔の製造装置８０について図面を参照して説明する。前述した第一の実施形態の製造装置１０と異なる点を主に説明し、同様の部分は同符号を付すこととして、詳しい説明は省略する。
【００５８】
図２を参照するに、エッチング加工済み金属箔の製造装置８０は、金属箔ラミネート装置２０と、マスクフィルムラミネート装置９０と、エッチング装置４０と、マスクフィルム剥離装置１００と、金属箔分離装置６０と、第一金属箔巻き取り装置７１並びに第二金属箔巻き取り装置７２で構成する金属箔巻き取り装置７０と、を備えている。
金属箔ラミネート装置２０は、前述した第一の実施形態の製造装置１０の場合と同様である。説明を省略する。
【００５９】
マスクフィルムラミネート装置９０は、予めエッチングパターンを孔あけした第一マスクフィルム９１および第二マスクフィルム９２を、前記第一金属箔２１および第二金属箔２２の表面に加圧ロール９３，９４で加圧してラミネートする装置である。一対の加圧ロール９３，９４は互いに加圧するように対向する位置に設けられている。
【００６０】
エッチング装置４０は、前述した第一の実施形態の製造装置１０の場合とほぼ同様である。前記第一マスクフィルム９１および第二マスクフィルム９２のエッチングパターンによって露出した第一金属箔２１および第二金属箔２２の表面をエッチング加工して、多孔４３を有する第一金属箔４１および第二金属箔４２形成する装置である。
【００６１】
マスクフィルム剥離装置１００は、前記エッチング加工後の第一金属箔４１および第二金属箔４２から前記第一マスクフィルム９１および第二マスクフィルム９２を剥離する装置である。本実施形態では、図２に示すように、第一マスクフィルム９１を第一金属箔２１から剥離し、第二マスクフィルム９２を第二金属箔２２から剥離するための剥離用ローラ１０１がそれぞれ設けられている。
【００６２】
金属箔分離装置６０は、前述した第一の実施形態の製造装置１０の場合と同様である。
また、金属箔巻き取り装置７０は、前述した第一の実施形態の製造装置１０の場合と同様である。説明を省略する。
【００６３】
キャリアテープ１１から剥離してエッチング加工済みの第一金属箔２１と第二金属箔２２をそれぞれ単体で巻き取って使用するほか、第一金属箔４１および第二金属箔４２をキャリアテープ１１にラミネートしたままのキャリアテープ付金属箔５１を巻き取って使用しても良い。用途などに応じて選択する。前述した第一の実施形態の製造装置１０の場合と同様である。
後者の場合は、マスクフィルム剥離装置１００の後に、キャリアテープ付金属箔５１をロール状の巻き取りロール７６に巻き取るための巻き取るためのキャリアテープ付金属箔巻き取り装置７５を設けることができる。
【００６４】
次に、前述したエッチング加工済み金属箔の製造装置８０を用いた、第二の実施形態に係るエッチング加工済み金属箔の製造方法について説明する。主に前述した第一の実施形態のエッチング加工済み金属箔の製造方法と異なる点を説明し、同様の部分の説明は省略する。
その製造方法は、図２に示すように、金属箔ラミネート工程と、マスクフィルムラミネート工程と、エッチング工程と、マスクフィルム剥離工程と、金属箔分離工程と、第一金属箔巻取工程と、第二金属箔巻取工程と、を備えている。
【００６５】
予め粘着層１２が両面にコーティングされているキャリアテープ１１について、キャリアテープ１１や粘着層１２は、前述した第一の実施形態の製造方法で説明したのと同様である。説明を省略する。
【００６６】
金属箔ラミネート工程では、前述した第一の実施形態の製造方法の場合と同様である。
なお、前述した第一の実施形態の製造方法と同様に、第一金属箔２１および第二金属箔２２の少なくとも一方は、図３に示すように、二枚重ねのように複数枚重ねの金属箔とすることができる。
【００６７】
マスクフィルムラミネート工程では、予めエッチングパターンを孔あけした第一マスクフィルム９１が第一金属箔２１の表面にラミネートされると共に、予めエッチングパターンを孔あけした第二マスクフィルム９２が第二金属箔２２の表面にラミネートされる。第一マスクフィルム９１および第二マスクフィルム９２のエッチングパターンは、必ずしも同一パターンであるとは限らない。
【００６８】
以上のように、第一金属箔２１および第二金属箔２２がキャリアテープ１１の両面にラミネートされるので、第一金属箔２１および第二金属箔２２の厚さが２０ミクロンメートル以下の薄箔であっても切断が発生しにくく、キャリアテープ１１の高速走行も可能となる。しかも、レジスト印刷ではなく、第一マスクフィルム９１および第二マスクフィルム９２をラミネートするので、さらなる高速加工も可能となる。
【００６９】
エッチング工程では、第一マスクフィルム９１および第二マスクフィルム９２のエッチングパターンによって露出した第一金属箔２１および第二金属箔２２の表面をエッチング加工する。エッチング装置４０を用いて、第一マスクフィルム９１および第二マスクフィルム９２を被着していない箇所の金属箔が図示しないエッチング槽の酸性溶液により剥離される。その結果、所定のパターンの例えば多孔４３が形成され、多孔パターンを有する第一金属箔４１および第二金属箔４２が得られる。
【００７０】
キャリアテープ１１の両面の第一金属箔２１および第二金属箔２２を同時にエッチング加工することができるので、製造時間の短縮化に寄与する。
また、第一金属箔２１および第二金属箔２２の少なくとも一方側に二枚重ねを用いた場合は、二枚重ねの金属箔を同時にエッチング加工するので、製造時間の短縮化に大いに寄与する。  なお、エッチング後は、水洗槽（図示を省略）の水洗により酸性溶液が除去される。
【００７１】
マスクフィルム剥離工程では、前記エッチング加工後に、マスクフィルム剥離装置１００の剥離用ローラ１０１を用いて、第一マスクフィルム９１を第一金属箔２１から剥離し、第二マスクフィルム９２を第二金属箔２２から剥離する。
レジストインキ３９を使用しないで、第一マスクフィルム９１および第二マスクフィルム９２によるマスクなので、レジストインキ３９によるコンタミの発生、コンタミによる押し込み、傷等の発生を抑制できる。また、レジスト剥離するためのアルカリ性溶液を使用しないことから、廃液が産業廃棄物には該当しなくなる。
【００７２】
金属箔分離工程では、前述した第一の実施形態の製造方法の場合と同様である。金属箔分離装置６０の剥離用ローラ６１を用いて第一金属箔４１および第二金属箔４２がそれぞれキャリアテープ１１の粘着層１２から分離することで、エッチング加工済みの第一金属箔４１と第二金属箔４２を同時に製造できる。
【００７３】
第一金属箔巻取工程と第二金属箔巻取工程は、前述した第一の実施形態の製造装置１０の場合と同様である。説明を省略する。
キャリアテープ付金属箔巻取工程では、前述した第一の実施形態の製造方法の場合と同様に、マスクフィルム剥離工程で得られたキャリアテープ付金属箔５１がキャリアテープ付金属箔巻き取り装置７５でロール状の巻き取りロール７６に巻き取られる。
その巻き取りロール７６から第一金属箔４１および第二金属箔４２を取り出す場合は、前述した第一の実施形態の製造方法で説明したのと同様であるので、説明を省略する。
【００７４】
以上のことから、第二の実施形態のエッチング加工済み金属箔の製造方法およびその製造装置８０は、キャリアテープ１１の両面に第一金属箔２１および第二金属箔２２をラミネートするので、以下の効果を奏する。
第一金属箔２１および第二金属箔２２の切断が発生しにくくなり、第一金属箔２１および第二金属箔２２の厚さを薄肉化することができる。また、切断しにくくなることからキャリアテープ１１の高速走行が可能となり、結果として製造の高速化に寄与する。
【００７５】
レジスト印刷ではなく、第一マスクフィルム９１および第二マスクフィルム９２をラミネートする製造工程を採用するので、加工の高速化が可能となる。
レジストインキを使用せずに、第一マスクフィルム９１および第二マスクフィルム９２でマスクするので、レジストインキによるコンタミの発生、コンタミによる押し込み、傷等の発生を抑制できる。レジストインキを使用しないことから、レジスト剥離するためのアルカリ性溶液を使用しないことから、廃液が産業廃棄物には該当しなくなる。そのため、廃液処理の手間を軽減できる。レジストインキを使用しないために、塗工抜けはありえない。
【００７６】
第一金属箔２１および第二金属箔２２を同時にエッチング加工するので、大幅なコストの低減を図ることができる。
第一金属箔２１および第二金属箔２２が二枚重ねの場合、四枚を同時にエッチング加工するので、製造の高速化に寄与する。重ね枚数が多いほど、製造の更なる高速化に寄与する。
厚さを２０ミクロンメートル以下の薄箔としても、最適なエッチング加工を行った高品質の第一金属箔と第二金属箔を同時に得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明に係る金属箔およびその製法は、キャパシタの集電体素材、二次電池の電極など、電気電子部品およびそれらの製造業として、幅広く利用できる。
また、本発明に係る金属箔の製造装置は、機械産業において利用することができる。
【符号の説明】
【００７８】
１０  エッチング加工済み金属箔の製造装置（第一の実施形態）
１１  キャリアテープ                １２  粘着層
２０  金属箔ラミネート装置
２１  第一金属箔                     ２２  第二金属箔
２３，２４  加圧ロール
３０  レジスト印刷装置              ３１  レジスト層
３２  ピックアップロール            ３３  第一版胴
３４  オフセットゴムロール          ３５  第一インキパン
３６  レジスト層                    ３７  第二版胴
３８  第二インキパン                ３９  レジストインキ
４０  エッチング装置                ４１  エッチング加工済みの第一金属箔
４２  エッチング加工済みの第二金属箔
４３  孔
５０  レジスト剥離装置              ５１  キャリアテープ付金属箔
６０  金属箔分離装置                ６１  剥離用ローラ
７０  金属箔巻き取り装置            ７１  第一金属箔巻き取り装置
７２  第二金属箔巻き取り装置        ７３  巻き取りロール
７４  巻き取りロール                ７５  キャリアテープ付金属箔巻き取り装置
７６  巻き取りロール
８０  エッチング加工済み金属箔の製造装置（第二の実施形態）
９０  マスクフィルムラミネート装置
９１  第一マスクフィルム            ９２  第二マスクフィルム
９３，９４  加圧ロール
１００  マスクフィルム剥離装置    １０１  剥離用ローラ
【図１】
2011006733.tif 000003
【図２】
2011006733.tif 000004
【図３】
2011006733.tif 000005