(57)【要約】【課題】効率的な照明が可能であり、撮像素子などの感光回路の検査効率を向上させることが可能な照明装置及び検査装置を提供する。【解決手段】ウェハＷ上に形成された感光回路（撮像素子）を検査するための検査装置１００は、光源１１１を有し、感光回路に光源１１１からの光を照射する照明部１１と、この照明部１１を、感光回路に対して相対移動可能に支持する支持部１２と、この支持部１２を駆動させて、照明部１１を感光回路に対して移動させる駆動部１３と、を有して構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源を有し、感光回路に前記光源からの光を照射する照明部と、
前記照明部を、前記感光回路に対して相対移動可能に支持する支持部と、
前記支持部を駆動させて、前記照明部を前記感光回路に対して移動させる駆動部と、を有する照明装置。
【請求項２】
前記照明部は、
前記光を集光して略平行光に変換する集光レンズと、
前記光の分光特性を補正する補正フィルタと、
前記光の光量分布を均一化する均一化インテグレータと、
前記光を、前記感光回路の検査に必要な照明条件の光に変換するアダプタと、を有して構成される請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記光源は、ＬＥＤで構成される請求項１または２に記載の照明装置。
【請求項４】
少なくとも２以上の前記照明部と、前記照明部の各々に設けられた前記支持部と、を有する請求項１〜３いずれか一項に記載の照明装置。
【請求項５】
請求項１〜４いずれか一項に記載の照明装置と、
前記感光回路が形成されたウェハが載置され、当該感光回路から出力される電気信号を取り出すためのプローブピンを有するプローバと、
前記プローバから出力される前記電気信号により、前記感光回路を検査するテスタと、を有する検査装置。
【請求項６】
前記光源部の各々は、それぞれ１つの感光回路を照明するように構成される請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記駆動部により前記支持部を駆動させて前記光源部を移動させることにより、前記感光回路に対して任意の方向から前記光を照射するように構成される請求項５または６に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、照明装置、及び、この照明装置を有する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラ等に使用されるＣＣＤ、ＣＭＯＳセンサーなどの撮像素子は、一枚のウェハ表面に、複数個が整列配置した状態で形成される。これらの撮像素子は、ウェハに配置された状態で性能検査が行われた後、検査に合格した撮像素子が個々に切り離されてデジタルカメラ等に使用される。このような撮像素子の検査装置は、照明装置、プローバ及びテスタから構成されている。プローバは、ステージに載置されたウェハを移送して所定の検査位置に配置し、ウェハ上に形成された撮像素子のうち、検査対象の撮像素子の出力端子にプローブピンを接触させて通電する。その状態で照明装置によりこの撮像素子に検査光を照射し、このときの撮像素子の出力端末からの電気信号をプローブピンにより取り出してテスタに送ることで、この撮像素子の検査を行う。
【０００３】
このような撮像素子の検査の際に用いる照明装置は、例えば、特許文献１に開示されている。この照明装置は、光源からの放射光をコレクタレンズで集光し、調光フィルタ群と均一化インテグレータを通過させて均一な光を形成した後、アダプタにて撮像素子の照明に必要なＦ値、瞳距離を実現している。また、撮像素子に対して矩形形状の照明領域を傾斜させて照明することにより、より面積の小さい照明領域でより多くの撮像素子を、高照度に照明しようとするものである。近年では、多数の撮像素子を同時に検査してスループットを向上させるために、照明領域の拡大とともに、光学系の大口径化、光源の高照度化が必要となってきている。さらに、近年のエレクトロニクス事業の価格競争の激化に伴い、さらなる生産コストの削減、検査時間の短縮が求められている。そのため、検査効率の向上を目指す必要も生じている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２２２３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の技術では、上記のように光源の照明領域のサイズから、プロービングできる撮像素子の個数と、その配置を決定しているため、その制限を受けて検査時間の短縮に最も効率の良い配置ができていないという課題があった。また、検査対象の撮像素子以外の部分も照明されるため、効率的な照明もできていなかった。なお、検査効率を向上させるため、プローバ側を改良する措置も考えられるが、プローブカードの製作費用が高価であり、容易に変更ができないため実現が困難である。
【０００６】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、効率的な照明が可能であり、撮像素子などの感光回路の検査効率を向上させることが可能な照明装置、及び、この照明装置を有する検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、本発明に係る照明装置は、光源を有し、感光回路に光源からの光を照射する照明部と、この照明部を、感光回路に対して相対移動可能に支持する支持部と、支持部を駆動させて、照明部を感光回路に対して移動させる駆動部と、を有する。
【０００８】
このような照明装置において、照明部は、光を集光して略平行光に変換する集光レンズと、光の分光特性を補正する補正フィルタと、光の光量分布を均一化する均一化インテグレータと、光を、感光回路の検査に必要な照明条件の光に変換するアダプタと、を有して構成されることが好ましい。
【０００９】
また、このような照明装置において、光源は、ＬＥＤで構成されることが好ましい。
【００１０】
また、このような照明装置は、少なくとも２以上の照明部と、この照明部の各々に設けられた支持部と、を有することが好ましい。
【００１１】
また、本発明に係る検査装置は、上述の照明装置のいずれかと、感光回路が形成されたウェハが載置され、当該感光回路から出力される電気信号を取り出すためのプローブピンを有するプローバと、このプローバから出力される電気信号により、感光回路を検査するテスタと、を有する。
【００１２】
このとき、光源部の各々は、それぞれ１つの感光回路を照明するように構成されることが好ましい。
【００１３】
また、この検査装置は、駆動部により支持部を駆動させて光源部を移動させることにより、感光回路に対して任意の方向から光を照射するように構成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る照明装置及び検査装置を以上のように構成すると、効率的な照明が可能であり、撮像素子などの感光回路の検査効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態に係る照明装置を用いた検査装置の構成図である。
【図２】照明装置の構成図である。
【図３】複数の撮像素子が形成されたウェハの模式図であり、従来の照明装置での照明領域と本実施形態の照明装置での照明領域とを示している。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図１を用いて、本実施形態に係る照明装置を備えた検査装置の構成について説明する。図１に示すように、検査装置１００は、ウェハＷの表面に整列形成された複数の撮像素子（感光回路）の検査を行う装置であり、検査対象の撮像素子を照明する照明装置１０と、ウェハＷに形成された撮像素子の出力端子から電気信号を取り出すプローバ２０と、プローバ２０から出力された電気信号を基に撮像素子の検査を行うテスタ３０と、から構成されている。なお、以降の説明では、プローバ２０に載置されたウェハＷの表面に平行な面をＸＹ平面（Ｘ、Ｙ方向）とし、このＸＹ平面に対して垂直方向をＺ方向とする。
【００１７】
プローバ２０は、その内部に、ウェハＷを載置するステージ（図示せず）を備えて構成されている。また、この他にも、図示はしないが、プローバ２０は、ステージを水平方向（Ｘ，Ｙ方向）または円周方向に移動させるステージ駆動部、撮像素子の出力端子に接触して電気信号を取り出すプローブピン、及び、このプローブピンが形成されたプローブカード、などを備えている。プローブピンは、同時に複数個の撮像素子の出力端子に接続でき、この複数個の撮像素子からの電気信号を同時に取り込んで、テスタ３０に出力可能となっている。また、テスタ３０は、プローバ２０のプローブピンと電気的に接続され、このプローブピンから出力された電気信号を基に撮像素子の検査を行う。
【００１８】
光源部１０は、プローバ２０の上方に位置する複数の照明部１１と、各照明部１１をそれぞれ支持する支持部１２と、各照明部１１を、支持部１２を介して、プローバ２０の上方の空間内で移動させる駆動部１３と、この駆動部１３を制御する制御部１４と、から構成されている。
【００１９】
さらに、照明部１１は、図２に示すように、円筒形の筐体１１６内に、ＬＥＤからなる光源１１１を有し、この光源１１１側から下方に向かって順に、集光レンズ１１２と、補正フィルタ１１３と、均一化インテグレータ１１４と、アダプタ１１５と、を更に有して構成されている。このような構成の照明部１１が、プローバ２０のプローブピンで区画される領域毎に、すなわち、プローバ２０で１度に検査する撮像素子の個数に対応して、備えられている。また、支持部１２は、複数の関節部１２１を有する多関節構造のアーム部１２２により構成されており、このアーム部１２２の先端側に上述の照明部１１が接続され、基端側が駆動部１３を介してプローバ２０に固定されている。そして、制御部１４により、駆動部１３を制御してアーム部１２２を作動させることにより、照明部１１をＸ，Ｙ方向に移動させ、ウェハＷ上の任意の撮像素子の上方の位置に臨ませて配置させることができる。また、照明部１１の焦点合わせは、アーム部１２２を介して照明部１１をＺ方向の成分を有するように移動させて（撮像素子と照明部１１との距離を変化させて）調整する。なお、プローバ２０の上面には、開口部２１が形成されており、この開口部２１から照明部１１が内部に載置されたウェハＷを照明するように構成されている。
【００２０】
このような構成の検査装置１００を用いて撮像素子の検査をするには、図１に示すように、プローバ２０のステージ上に、ウェハＷを載置する。このウェハＷは、図３に示すように、直径３００ｍｍの円形状であり、表面に複数の撮像素子Ｃが整列形成されている。次に、ウェハＷ上の撮像素子Ｃの中から検査対象のものを複数選択し、これらの撮像素子Ｃの出力端子にプローブピンを接触させて通電する。この状態で、制御部１４の制御により駆動部１３を駆動し、支持部１２のアーム部１２２を作動させて、プローブピンにより検査される各撮像素子Ｃの上方（例えば、図３のＡで示される領域の撮像素子に対向する位置）に各照明部１１を移動させて配置する。
【００２１】
そして、撮像素子Ｃの表面に、照明部１１により検査光を照射する。この照明部１１では、ＬＥＤからなる光源１１１から射出した検査光を集光レンズ１１２で集光させ、補正フィルタ１１３で分光特性を合わせ込む。さらに、均一化インテグレータ１１４で均一な光を生成した後に、アダプタ１１５にて撮像素子Ｃの照明に必要な照明条件（Ｆ値や瞳距離等）を作り出す。そして、この検査光を照射した際の撮像素子Ｃの出力端子からの出力信号を、プローブピンが取込み、テスタ３０に送ることで、複数の撮像素子Ｃの検査を同時に行うことができる。
【００２２】
以上のように、本実施形態の照明装置１０では、光源としてＬＥＤを用いることで、従来のような調光フィルタ群が不要となる。また、従来は１つの光源で検査対象の撮像素子をすべて含む領域を照明する必要があったが、本実施形態では、撮像素子１つ分の領域のみを照明すればよいため、光源として必要な照明パワーを、ＬＥＤでまかなうことができる。また、ＬＥＤを用いることで、照明部を小型に構成することができるとともに、各照明部を任意の位置に独立して移動させることができるため、例えば、隣接する撮像素子を一つおきに検査する場合でも、検査対象の各撮像素子の上方に臨ませて、それぞれ照明部を配置することができ、あらゆる位置の撮像素子の検査に対応可能となる。また、照明部を複数有するため、例えば、波長や光源の種類の異なる照明部を用意し、検査目的に応じて、所望の照明部に切り替えて使用することもできる。
【００２３】
また、従来の照明装置では、照明領域（図３のＢで示される領域）の大きさによって、検査できる撮像素子の数が制限され、さらに、検査対象の撮像素子以外の領域も照明されるため、非効率であった。しかし、本実施形態では、複数の照明部が、それぞれ撮像素子１つ分の領域のみを照明すればよく、しかも、任意の位置の撮像素子を個別に照明できるため、広い範囲（図３のＡで示される領域）から検査対象の撮像素子を選択することができ、作業効率を向上させることができる。さらに、撮像素子に対して任意の方向から照明光を照射することができるので、撮像素子に対する照明光の入射角度を変化させて検査を行うことができる。
【００２４】
以上、本実施形態に係る照明装置を用いた検査装置の一実施形態を説明したが、この照明装置がこれに限定されることはなく、例えば、照明部ではＬＥＤ以外の光源を用いてもよいし、支持部や駆動部も、照明部を支持して検査対象の撮像素子に対抗する位置に移動させることができれば、従来公知のいずれのものを用いてもよい。また、テスタ３０と制御部１４とは、一体に構成する（例えば、１台のコンピュータで構成する）ことも可能である。
【符号の説明】
【００２５】
１０  照明装置    １１  照明部    １２  支持部    １３  駆動部
２０  プローバ    ３０  テスタ    １００  検査装置
１１１  光源    １１２  集光レンズ    １１３  補正フィルタ
１１４  均一化インテグレータ    １１５  アダプタ
Ｃ  撮像素子（感光回路）    Ｗ  ウェハ
【図１】
2011191084.tif 000003
【図２】
2011191084.tif 000004
【図３】
2011191084.tif 000005