(57)【要約】【課題】移動台が移動する際の抵抗力をコントロール可能とし、条件に合わせた振動減衰特性が得られる転がり運動案内装置を提供する。【解決手段】移動台２の軌道台１との対向面に減衰パッド５０を取り付け、減衰パッド５０を、ゲル状の媒体内に電気レオロジー粒子５７を含有するＥＲゲルシート５５と、ＥＲゲルシート５５の片側に設けられる電極５２Ａ、５２Ｂとを有する構成とし、減衰パッド５０の電極側の面を移動台２に固定し、電極と反対側のＥＲゲルシート５５の表面を軌道台１表面と対向させ、ＥＲゲルシート５５の表面と軌道台１表面との隙間をマイナス隙間に調整してすべり状態にて接触させたことを特徴とする。【選択図】図３
2011158012.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転動体転走面を有する軌道台と、
前記転動体転走面に対応する転動体転走面を有するとともに、前記軌道台に相対運動自在に組み付けられる移動台と、
前記転動体転走面および前記転動体転走面間に転動自在に配列される複数の転動体と、
を備える転がり運動案内装置において、
前記移動台の軌道台との対向面に減衰パッドを取り付け、
該減衰パッドを、ゲル状の媒体内に電気レオロジー粒子を含有する電気レオロジーゲルシートと、電気レオロジーゲルシートの片側に設けられる電極とを有する構成とし、
減衰パッドの電極側の面を移動台に固定し、電極と反対側の電気レオロジーゲルシートの表面を軌道台表面と対向させ、電気レオロジーゲルシートの表面と軌道台表面との隙間をマイナス隙間に調整してすべり状態にて接触させたことを特徴とする転がり運動案内装置。
【請求項２】
前記転動体転走面は複数条形成され、一の転動体転走面を転走する転動体と、他の転動体転走面を転走する転動体との径を変更することによって、電気レオロジーゲルシートと軌道台間の隙間の調整を行う請求項１に記載の転がり運動案内装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軌道台に転動体を介して移動台が移動自在に組み付けられた転がり運動案内装置に関し、特に、移動台にゲル状の媒体内に電気レオロジー粒子（ＥＲ粒子）を含有させた電気レオロジーゲル（ＥＲゲル）を利用した減衰パッドを取り付けた転がり運動案内装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
転がり運動案内装置は、転動体の転がり運動を利用して移動台を軌道台に対して高精度に移動させるものであるが、近年、案内精度のさらなる高精度化を要望されており、停止時等の減衰特性の向上を図るために、たとえば特許文献１に記載のように、２つの移動台の間に制振作用を成すスライダと呼ばれるユニットが配置されたものが提案されている。
スライダは、２つの移動台とほぼ同様の外形を有するとともに、その内面と軌道台である軌道レールとの間に緩衝ギャップを設けて油膜を形成可能となっており、かかる油膜の作用によって制振作用を発揮するものである。
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に開示の転がり運動案内装置は、荷重を担うが故に外部からの振動を直接受ける上記移動台とは別に、制振を成す上記スライダが設けられている。よって、移動台に対して振動抑制が直接的になされず、効果的ではない。加えて、２つの移動台の間にユニットを設けるといった特異な構成を採用したものであり、減衰特性の向上を図ることを優先したがために、装置の汎用性を犠牲にした構成となっている。また、案内運動に直接寄与しないユニットといった部材を増設しなければならないことから、製造コストや運用コスト等の面でも不利である。さらに、ユニットの内面と案内レールとの間に設けられた緩衝ギャップは、装置の取付けを行った後では自在且つ高精度に調整することが不可能であり、実際に装置を用いる場合における制振作用の向上には限界があるものと予想できる。
【０００４】
一方、従来から、電圧を印加することにより粘性が変化する「電気レオロジー流体」（電気粘性流体、ＥＲ流体、ＥＲＦ）」と呼ばれる材料が知られている。ＥＲ流体は、液状の媒体内に電気レオロジー粒子（ＥＲ粒子）を含有させた流体である。このＥＲ流体については、近年さらに研究が進められ、特許文献２には、ＥＲ粒子の沈降を防止するためにゲル状とした「電気レオロジーゲル（ＥＲゲル）」と呼ばれる材料およびそのシートが提案されている。
本発明者は、この電気レオロジーゲルシート（以下、ＥＲゲルシートという）が転がり運動案内装置の減衰機構として利用できるとの着想を得て、本発明に至った。
なお、類似の技術として、このようなＥＲゲルシートをブレーキ機構として利用したステージ装置が知られているが（特許文献２参照）、ステージ装置のテーブルとベースの間にＥＲゲルシートを利用したブレーキ機構を設けるもので、ガイドの機械要素としての転がり運動案内装置に適用したものではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平２−２７９２４３号公報
【特許文献２】特開２００８−１３９６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記した従来の課題に鑑みてなされたもので、その目的は、ＥＲゲルシート
を利用して、移動台が移動する際の抵抗力をコントロール可能とし、条件に合わせた振動減衰特性が得られる転がり運動案内装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る転がり運動案内装置は、転動体転走面を有する軌道台と、
前記転動体転走面に対応する転動体転走面を有するとともに、前記軌道台に相対運動自在に組み付けられる移動台と、
前記転動体転走面および前記転動体転走面間に転動自在に配列される複数の転動体と、
を備える転がり運動案内装置において、
前記移動台の軌道台との対向面に減衰パッドを取り付け、
該減衰パッドを、ゲル状の媒体内に電気レオロジー粒子を含有する電気レオロジーゲルシートと、電気レオロジーゲルシートの片側に設けられる電極とを有する構成とし、
減衰パッドの電極側の面を移動台に固定し、電極と反対側の電気レオロジーゲルシートの表面を軌道台表面と対向させ、電気レオロジーゲルシートの表面と軌道台表面との隙間をマイナス隙間に調整してすべり状態にて接触させたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明にあっては、電気レオロジーゲルシートに電圧が印加されていない状態では、マイナス隙間に設定されている電気レオロジーゲルシートの表面は、ＥＲ粒子が前記ゲル状の媒体の表面に浮き出た状態で移動台表面に接触して低摩擦状態で移動する。一方、電圧が印加されると電界によってＥＲ粒子がゲル状の媒体内に沈み込み、これにより、電気レオロジーゲルシートの軌道台との接触面は、ゲル状の媒体との接触面積が増加して粘着性が増大し、移動方向の抵抗を増大させることができる。このように、本発明によれば、電気レオロジーゲルシートに印加する電圧を調整することで、減衰パッドのすべり摩擦力をコントロールできるので、移動台に作用する荷重条件に合わせた振動減衰効果を得ることができる。
電気レオロジーゲルシートは、一対の電極板に電気レオロジーゲルシートを挟む両側電極タイプのものも知られているが、両側電極とすると、軌道台側に移動範囲分だけ電極板を設ける必要があり、さらに、移動台と軌道台間に介在する転動体に電蝕が生じる可能性がある。本発明のように、片側電極とすることにより、軌道台側に電極板を敷設する必要がなく、また、転動体に電蝕が生じるおそれがない。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施形態に係る転がり運動案内装置を示す分解斜視図を示している。
【図２】本実施形態に係る転がり運動案内装置を示す図であり、特に、組立てた転がり運動案内装置を半分断面にして示した側面図である。
【図３】本実施形態に係る転がり運動案内装置の要部を示した概略縦断面図である。
【図４】（Ａ）および（Ｂ）は電気レオロジー（ＥＲ）ゲルシートを利用した減衰パッドの構成を模式的に示す図である。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）は本実施形態に係るローラにて変更可能な径の増減イメージを示す図、（Ｃ）は上下のローラの径を変更したときに生ずる隙間寸法の変化状況を説明するためのイメージ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明を実施するための好適な実施形態について、図面を用いて説明する。
図１および図２は、本実施の形態に係る転がり運動案内装置を示す図であり、図１は転がり運動案内装置の分解斜視図、図２は組立てた転がり運動案内装置の側面図、および軌道台である軌道レールの長手方向と直交する方向の縦断面を示している。
転がり運動案内装置は、この実施の形態では直線状に延びる軌道台としての軌道レール１と、この軌道レール１に多数の転動体としてのローラ３…を介して移動自在に組付けら
れた移動台としての移動ブロック２とを備えた直線運動案内装置を例示している。
【００１１】
軌道レール１は、断面略四角形状で細長く延伸された部材である。軌道レール１の左右側面には、長手方向に沿って断面略Ｖ字状の溝１ａが形成されている。図２に示すように、溝１ａは壁面１ｂ，１ｂおよび底面１ｃを有している。溝１ａの両壁面１ｂ，１ｂは、９０度の角度で交差しており、上側の壁面１ｂおよび下側の壁面１ｂそれぞれが、ローラ３…が転走するローラ転走面１ｂ，１ｂとして機能する。軌道レール１の左右側面には、上下に２条ずつ、合計４条のローラ転走面１ｂ，１ｂが設けられている。
【００１２】
移動ブロック２は、軌道レール１の上面に対向する水平部２ａと、水平部２ａの左右両側から下方に延び、軌道レール１の左右側面に対向する袖部２ｂ，２ｂとを備えている。左右袖部２ｂ，２ｂには、それぞれ２つずつ合計４つのローラ循環路が形成されている（図２参照）。
【００１３】
ローラ循環路について説明すると、図２に示すように、移動ブロック２の袖部２ｂ，２ｂには、上下２条の負荷ローラ転走面４ｄ，４ｄが形成されている。この負荷ローラ転走面４ｄ，４ｄとローラ転走面１ｂ，１ｂとの間がローラ循環路の負荷域を構成することとなる。
【００１４】
また、袖部２ｂ，２ｂには、負荷ローラ転走面４ｄ，４ｄと所定間隔を隔てて平行に、上下２条のローラ逃げ通路７，７が設けられている。このローラ逃げ通路７，７がローラ循環路の無負荷域を構成することとなる。
【００１５】
さらに、袖部２ｂ，２ｂには、負荷ローラ転走面４ｄ，４ｄとローラ逃げ通路７，７の両端を接続し、ローラ３…を循環させるＵ字状の方向転換路８，８が設けられている。方向転換路８，８は、上側の負荷ローラ転走面４ｂと下側のローラ逃げ通路７間、および下側の負荷ローラ転走面４ｂと上側のローラ逃げ通路７間を立体交差するように接続している。この方向転換路８，８もローラ循環路の無負荷域を構成する。
【００１６】
これらの負荷ローラ転走面４ｄ，４ｄ、一対の方向転換路８，８、およびローラ逃げ通路７，７によって環状のローラ循環路が構成される。各ローラ循環路は、一平面内に形成され、ローラ３…は、各ローラ循環路内を２次元的に循環する。一方のローラ循環路が位置する平面と、他方のローラ循環路が位置する平面とは、直交している。また、一方のローラ循環路は、他方のローラ循環路の内周側に配置されている。
【００１７】
図１に示すように、移動ブロック２は、鋼製のブロック本体４と、ブロック本体４に組み込まれる樹脂循環路成形体１１，１２，１３，１５ａ，１５ｂ，２０と、樹脂循環路成形体１１，１２，１３，１５ａ，１５ｂ，２０が組み込まれたブロック本体４の端面に装着される一対の側蓋５，５とを備える。ブロック本体４の袖部４ｂ，４ｂには、軌道レール１の側面に設けた溝１ａに形状を合わせた突出部４ｃ，４ｃが形成されている。この突出部４ｃ，４ｃには、ローラ転走面１ｂ，１ｂに対応する負荷転動体転走部としての２条の負荷ローラ転走面４ｄ，４ｄが形成されている（図２参照）。負荷ローラ転走面４ｄ，４ｄは、ブロック本体４の左右袖部４ｂ，４ｂの上下に２条ずつ合計４条設けられている。
【００１８】
樹脂循環路成形体は、負荷ローラ転走面４ｄ，４ｄの両側縁に沿って延びるとともに軌道レール１から移動ブロック２を外した際に負荷ローラ転走面４ｄ，４ｄからのローラ３…の脱落を防止する保持部材１１，１１，１２，１２，１３，１３、ローラ３…を戻す逃げ通路構成部材１４，１４、および方向転換路の内周案内部を構成する内周案内部構成部材１５ａ，１５ａ，１５ｂ，１５ｂを備えている。保持部材１１，１１，１２，１２，１
３，１３、逃げ通路構成部材１４，１４、および一対の内周案内部構成部材１５ａ，１５ａ，１５ｂ，１５ｂのそれぞれは、ブロック本体４とは別体に樹脂で成形され、ブロック本体４に組み込まれている。
【００１９】
保持部材は、図２に示すように、下側のローラ３…の下方側を保持する第１保持部材１１，１１と、下側のローラ３…の上方側および上側のローラ３…の下方側を保持する第２保持部材１２，１２と、上側のローラ３…の上方側を保持する第３保持部材１３，１３とから構成される。これらの保持部材が、ローラ３…を軸方向に案内する鍔としての機能を発揮する。
【００２０】
図１に示すように、第１保持部材１１，１１は、薄肉かつ長尺の樹脂成形品によって構成されている。第１保持部材１１，１１をブロック本体４に組み込むことによって、後述するローラリテーナ１０の連結ベルトを案内する案内部としての案内溝１１ａ（図２参照）が形成される。この第１保持部材１１，１１は、一対の側蓋５，５間に挟まれることによって、両端が支持された状態で移動ブロック２に取り付けられている。
【００２１】
第２保持部材１２，１２は、薄肉かつ長尺の樹脂成形品から構成されている。第２の保持部材１２，１２には、ローラリテーナ１０の連結ベルトを案内する案内部としての案内溝１２ａ，１２ａ（図２参照）がその両側に形成されている。この第２保持部材１２は、一対の内周案内部構成部材１５ａ，１５ａ間に挟まれることによって、両端が支持された状態で移動ブロック２に取り付けられている。
【００２２】
第３保持部材１３，１３は、薄肉かつ長尺の樹脂成形品によって構成されている。第３の保持部材１３，１３をブロック本体４に組み込むことによって、ローラリテーナ１０の連結ベルトを案内する案内部としての案内溝１３ａ（図２参照）が形成される。この第３保持部材１３，１３は、第１保持部材１１，１１と同様に、一対の側蓋５，５間に挟まれることによって、両端が支持された状態で移動ブロック２に取り付けられている。
【００２３】
逃げ通路構成部材１４，１４は、パイプを回転軸方向に２分割したパイプ半体１４ａ，１４ｂによって構成されている。これらのパイプ半体１４ａ，１４ｂそれぞれは、長手方向に沿ってローラ３…の形状に合わせた溝２０と、ローラリテーナ１０の連結ベルトを案内する案内部としての案内溝２０ａ（図２参照）と、溝の両側縁に沿って長手方向に延びるフランジ１９とを備えている。この逃げ通路構成部材１４，１４によって、ローラ逃げ通路７，７が形成されることとなる。
【００２４】
内周案内部構成部材１５ａ，１５ｂは、軌道レール１の長手方向に２分割されている。２つの内周案内部構成部材１５ａ，１５ｂを組み合わせると、立体交差したＵ字状の方向転換路が形成される。また、この方向転換路には、ローラリテーナ１０の連結ベルトを案内する案内部としての案内溝が形成されている。移動ブロック２側（内側）の分割体１５ａには、内周側のローラ循環路の内周案内部２１が形成されている。この内周案内部２１は、略半円の円弧状に形成されている。側蓋側（外側）の分割体１５ｂには、内周側のローラ循環路の外周案内部３１および外周側のローラ循環路の内周案内部３２が形成されている。これらの内周案内部３２および外周案内部３１は、略半円の円弧状に形成されている。
【００２５】
側蓋５，５は、ブロック本体４と断面形状を合せ、水平部５ａと左右一対の袖部５ｂ，５ｂとを備えている。袖部５ｂ，５ｂには、外周側のローラ循環路の外周案内部３６，３６が形成されている。また、袖部５ｂ，５ｂには、組み合わせた内周案内部構成部材１５ａ，１５ｂが嵌め込まれている。
【００２６】
図１に示すように、側蓋５，５は、ブロック本体４の両端に取り付けられている。側蓋５，５に形成されたボルト挿入孔にボルトを挿入し、ブロック本体４の端面に形成されたねじ孔にボルトをねじ込むことによって、側蓋５，５がブロック本体４に締め付け固定される。また、これにより、内周案内部構成部材１５ａ，１５ｂがブロック本体４に固定される。なお、側蓋５，５の外側には、シール部材３８，３８が取り付けられている。
【００２７】
次に、電気レオロジー（ＥＲ）ゲルシートを利用した減衰パッド５０について説明する。
減衰パッド５０は、図３に示すように、移動ブロック２と軌道レール１の間に配置されている。この減衰パッド５０は、ＥＲゲルシート５５（詳細下記）と、同シート５５の移動ブロック２１との取り付け面側に設けられる第１電極板５２Ａ及び第２電極板５２Ｂとで構成されている。
【００２８】
第１、第２電極板５２Ａ、５２Ｂは異極性で、いずれもアルミ合金等からなるシート状の電極であって、ＥＲゲルシートの片側面に、所定の間隔を隔てて設けられている。この第１、第２電極板５２Ａ、５２Ｂは、複数対設けてもよい。
本実施形態では第１、第２電極板５２Ａ、５２ＢはＥＲゲルシート５５に対して固定され滑動することはない。一方、ＥＲゲルシート５５の軌道レール１との接触面が軌道レール１に滑動自在となっている。
【００２９】
図４は、減衰パッド５０の構成を模式的に示している。
ＥＲゲルシート５５は、電圧を印加することにより物性（せん断力等）が変化する新機能性材料であり、ゲル状媒体５９内にＥＲ粒子５７を含有し、全体としてシート状に形成されている。このＥＲゲルシート５５としては、例えば特開２００５−２５５７０１に開示されたものを使用することができる。ＥＲゲルシート５５の素材であるＥＲゲルは、ゲル骨格中にＥＲ粒子５７が分散された液状電気絶縁性媒体が封じ込まれた構造をしている。
【００３０】
ＥＲ粒子５７は、滑り特性のよい球状の粒子であり、電気絶縁性の媒体内に分散してＥＲ効果を示す。一例としては、シリカゲル、セルロース、でんぷん、大豆カゼイン、ポリスチレン系イオン交換樹脂等のように、粒子の表面に水を吸着保存する固体粒子やカーボン粒子などである。
【００３１】
液状電気絶縁性媒体としては、シリコーンオイル、塩化ジフェニル、トランスオイルなどである。このうち、シリコーンオイルは電気絶縁性に優れ、物理的、化学的にも安定であり、さらに難燃性も高いため好ましく用いることができる。
【００３２】
このＥＲゲルシート５５においては、ＥＲ粒子５７が分散した液状絶縁性媒体がゲル骨格中に保持されているのでＥＲ粒子５７が沈降・凝集することがない。また、シート状とされているので取扱い性がよく、転がり運動案内装置１に組み込む際に特別なシール機構を必要とすることもない。
【００３３】
上記のように構成されたＥＲゲルシート５５は、次のようなメカニズムで動作をする。
まず、図４（Ａ）に示すように、第１、第２電極板５２Ａ、５２Ｂ間に電圧を印加していない状態では、ゲル状媒体５９の表面からＥＲ粒子５７が浮き出ている。ＥＲ粒子５７はゲル状媒体５９に拘束されているので、同媒体内で大きく動くことはない。
【００３４】
このように、ＥＲ粒子５７が浮き出た状態では、ＥＲ粒子５７と軌道レール１とが低摩擦状態となり、ＥＲゲルシート５５が軌道レール１上で低摩擦状態で滑動可能となる。
【００３５】
一方、図４（Ｂ）に示すように、第１、第２電極板５２Ａ、５２Ｂ間に電圧を印加すると、図中点線に示すような電界の方向にＥＲ粒子５７同士が互いに引き合い、ゲル状媒体５９の表面に浮き出ていた粒子が同媒体５９内に沈み込む。この沈み込みにより、軌道レールとゲル状媒体５９との接触面積が徐々に増加する。
ここで、ゲル状媒体５９は非常に高い濡れ特性を持つことから、このように接触面積が増加するのに応じて、軌道レール１に対する接着性が増していく。これにより、抵抗力が大きくなり減衰性を増大させることができる。
したがって、例えば、転がり運動案内装置を加工装置の加工テーブルのガイドとして使用した場合、加工初期に、ＥＲゲルシート５５に電圧を印加すれば、加工テーブルが位置固定され、見かけ上の剛性が上がる。そのため、加工初期における加工テーブルの微振動（ビビリ）や加工負荷による位置ずれを抑えることが可能となる。
【００３６】
ところで、ＥＲゲルシート５５は、電圧が印加されＥＲ粒子５７がゲル状媒体５９内に沈み込むのに伴って、その厚みが僅かに収縮する性質を有する。例えば、厚み０．５ｍｍのシートで２μｍ程度収縮することもある。このＥＲゲルシートの厚みの微小変化が、移動ブロック２の位置固定精度に与える影響を最小限に抑えるために、ＥＲゲルシート５５と軌道レール１間をマイナス隙間となるように設定されている。したがって、ＥＲゲルシート５５は、予めやや圧縮された状態で、軌道レール１に接触している。
この実施例では、上下２条のローラ転走面のうち、一の転動体転走面を転走するローラと、他の転動体転走面を転走するローラとの径を変更することによって、ＥＲゲルシート５５と軌道レール１間の隙間の調整を行う。
すなわち、軌道レール１の側面に形成された２条（経路）のローラ循環路のうち、上方に位置するローラ循環路を循環するローラ３…と、下方に位置するローラ循環路を循環するローラ３…との径を、変更自在とすることができるという点を有している。
つまり、本実施形態に係るローラ循環路は、多数の種類の径を持つローラ３を循環させることができるように、その無負荷域が、基準となるローラの径に比べて大きい寸法を有する循環路にて形成されている。かかる構成の採用によって、本実施形態に係る転がり運動案内装置では、軌道レール１と移動ブロック２との対向面間の隙間が調整自在となっている。
図５（Ａ）、（Ｂ）は、本実施形態に係るローラにて変更可能な径の増減イメージを示す図である。さらに、図５（Ｃ）は、上下のローラの径を変更したときに生ずる隙間寸法の変化状況を説明するためのイメージ図である。
【００３７】
図３において、上方に位置するローラ循環路を循環するローラ３ａと、下方に位置するローラ循環路を循環するローラ３ｂとは、いずれもローラ転走面１ｂと負荷ローラ転走面４ｄとで構成されるローラ循環路の負荷域に位置する状態が描かれている。そして、図３の状態では、上下のローラ３ａ，３ｂとも同一の寸法のものが設置されており、このときの各ローラ３ａ，３ｂの径は、基準径Ｄａ，Ｄｂとして示す（すなわち、Ｄａ＝Ｄｂである）。各ローラ３ａ，３ｂが基準径Ｄａ，Ｄｂを有する場合、軌道レール１と移動ブロック２との対向面間の隙間は、ｅ１とする。
【００３８】
そしてこのとき、例えば上方のローラ３ａの径を基準径から一定値Δｄだけ微細に増加させたもの（Ｄａ＋Δｄ）に変更し、下方のローラ３ｂの径を増加分と同一の値Δｄだけ基準径から微細に減少させたもの（Ｄａ−Δｄ）に変更すると、軌道レール１と移動ブロック２との対向面間の隙間寸法ｅ１は、ｅ１−Δｅとなり、隙間が一定量だけ減少することとなる。
【００３９】
また、さらに上方のローラ３ａの径を増加させてＤａ＋２Δｄとし、下方のローラ３ｂの径を同一量だけ減じてＤａ−２Δｄとしたときには、当然に隙間寸法はｅ１−２Δｅとなってさらに狭まることとなる。
【００４０】
逆に、上方のローラ３ａの径を減少させ、下方のローラ３ｂの径を増加させた場合には、上記とは逆に軌道レール１と移動ブロック２との対向面間の隙間は増加することとなる。
【００４１】
以上のように、上方に位置するローラ３ａと、下方に位置するローラ３ｂとの径を増減させることにより、ＥＲゲルシート５５と軌道レール１間のマイナス隙間寸法を所定の目標値に調整することが可能となる。なお、本実施形態に係る転がり運動案内装置の場合、各ローラ循環路は軌道レール１の側面に形成されているので、各ローラ３ａ，３ｂにおける径寸法の増減量は、同一の値とする。
このように、ローラ３ａ、３ｂの寸法を変更することにより、ＥＲゲルシート５５と軌道レール２との対向面間のマイナス隙間を調整すれば、マイナス隙間を精密に設定することができる。
【００４２】
各ローラ３ａ，３ｂの径を１μｍ単位で増減させていくと、隙間寸法についても数μｍ単位で増減していき、ＥＲゲルシートと軌道レール１間の隙間をミクロン単位で調整可能である。
【００４３】
ちなみに、各ローラ３ａ，３ｂが取り得る径寸法の精度については、設計上での狙い寸法を意図したものであり、当該実施形態が示す各ローラ３ａ，３ｂの径の変化量については、製造上不可避的に含まれる誤差の量とは明らかに異なる類のものである。したがって、加工誤差等の影響による僅かなズレ量を含む場合であっても、本発明の技術思想に基づいて製造されたものであれば、その製品は本発明の技術的範囲に当然含まれるものである。
【００４４】
本実施形態の転がり運動案内装置では、ＥＲゲルシート５５を利用した減衰パッド５０がマイナス隙間に設定されており、この接触面圧により減衰パッド５０がテーブル２１に向けて押し付けられているので、図４（Ｂ）に示すように減衰パッド５０に電圧が印加され、それによりＥＲゲルシート５５の厚みが僅かに収縮したとしても、ＥＲゲルシート５５を軌道レール１に良好に密着させることができる。そのため、ＥＲゲルシート５５と軌道レール１との接触面積が十分に保たれ、軌道レール１に対する粘着力を十分に得ることができる。
【００４５】
以上、本発明の一形態について図面を参照しながら説明したが、上記構成とは逆に、電圧を印加しない状態で移動ブロック２１と軌道レール４１との間の摩擦力が高い状態となり、電圧を印加した際に移動ブロック２１と軌道レールとの間の摩擦力を低減する構成とすることもできる。
また、転がり運動案内装置としては、上記構成に限定されるものではなく、軌道レール及び移動ブロックの断面形状、無限循環路の条数及び形態は、適宜変更され得る。
【００４６】
また、上記した本実施形態に係る転がり運動案内装置は、図３に示すように、上方のローラ循環路を循環するローラ３ａの接触角線αと、下方のローラ循環路を循環するローラ３ｂの接触角線βとの延長線が、軌道レール１の側に向かって拡がり、且つ、軌道レール１の外側の交点Ｐで交差するように構成されていた。かかる構成は、いわゆるＤＢ構造と呼ばれるものであり、特にモーメントに対して高い剛性を有することができる構成である。しかしながら、本発明は、図３にて示すようなＤＢ構造を備える転がり運動案内装置（転がり運動案内装置）に限られるものではなく、一方のローラ循環路を循環するローラの接触角線と、他方のローラ循環路を循環するローラの接触角線との延長線が、軌道台の外側に向かって拡がり、且つ、軌道台の側で交差するように構成された、いわゆるＤＦ構造と呼ばれる構造を備える転がり運動案内装置（転がり運動案内装置）に対しても適用可能
である。ＤＦ構造から成る転がり運動案内装置（転がり運動案内装置）であれば、特に優れた調心性を発揮することが可能となる。
【００４７】
また、上記した実施形態では、全てのローラ循環路が、軌道レール１の側面に形成された場合を例示して説明したが、本発明の適用範囲はこのような形態に限られるものではなく、軌道レール１の上面に対してローラ循環路が形成された形態の転がり運動案内装置であっても良い。この場合、軌道レール１の上面に配置されたローラの径のみを変更すれば、軌道レール１と移動ブロック２との対向面間の隙間寸法を調整することができるので、この場合のローラについては、径の増減量を同一値とする必要がなく、同一の基準径を有する必要もない。
【００４８】
また、上記した実施形態では、転動体としてローラを用いた場合を例示して説明を行った。しかしながら、本発明は、ボール等の他の転動体であっても適用可能であるし、ローラとボールを併用した転がり運動案内装置であっても良い。また、上記実施の形態では軌道レールが直線的に形成されているが、曲線状でもよい。
【００４９】
さらに、上記した本実施形態において、ローラ転走面１ｂ，１ｂや負荷ローラ転走面４ｄ，４ｄは、左右に２条ずつ合計４条形成されていたが、本発明の作用効果を発揮できることを条件に、その条数や配置位置は種々に設定することが可能である。
くわえて、上記した実施形態においては、転動体（ローラやボール）列が循環する方式、つまり無限循環タイプの転がり運動案内装置を示したが、転動体列が循環せずに往復転走のみを行う、いわゆる有限タイプの転がり運動案内装置にも本発明を適用可能である。
さらに、上記した実施形態は、軌道レールの上面とこれに対向する移動ブロック内面との間に減衰パッドを設ける構成であるが、減衰パッドの取り付け位置は、受ける荷重の方向等、状況に応じた、軌道レールの適宜の面とこれに対向する移動ブロック内面との間とすれば良い。ただし、軌道レール上面と移動ブロックの水平部内面との隙間は、他の部位と比較して面が広いのでここに設けることは面積を大きくとれるが故に減衰効果を高められる。
【００５０】
加えて、本発明は、上述した如き減衰機能を発揮させるのみならず、更に強力なブレーキとしても利用するこも可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１  軌道レール（軌道台）、１ｂ  ローラ転走面（転動体転走面）、２  移動ブロック（移動台）、３  ローラ、４ｂ  負荷ローラ転走面（負荷転動体転走面）、１１ａ，１２ａ，１３ａ，２０ａ  案内溝、５０  減衰パッド、５２Ａ、５２Ｂ  電極板、５５  ＥＲゲルシート、５７  ＥＲ粒子、５９  ゲル状媒体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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