(57)【要約】【課題】マスト内に配置されたチェーンによって昇降台を昇降させる昇降装置において、マスト内で発生した塵が外部へ洩れるのを抑える。【解決手段】昇降装置７は、マスト１１と、昇降台１２と、チェーン２３と、接続部材３３と、板状部材４２とを備えている。マスト１１は、内部に空間を有しており、上下方向に延びるスリット１８ａが形成されている。昇降台１２は、マスト１１に沿って昇降可能である。チェーン２３は、マスト１１の内部に設けられ、昇降台１２を駆動するための無端状の部材である。接続部材３３は、スリット１８ａを通ってチェーン２３と昇降台１２を接続する。板状部材４２は、チェーン２３の外周部に固定され、スリット1８ａを覆っている。【選択図】図７
2011006240.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に空間を有しており、上下方向に延びるスリットが形成されたマストと、
前記マストに沿って昇降可能な昇降台と、
前記マストの内部に設けられ、昇降台を駆動するための無端状のチェーンと、
前記スリットを通って前記チェーンと前記昇降台を接続する接続部材と、
前記チェーンの外周部に固定されたスリット覆い部材と、
を備えた昇降装置。
【請求項２】
前記チェーンは、前記スリットの幅方向両側に配置された一対のチェーン部材を有しており、
前記スリット覆い部材は前記一対のチェーン部材間に固定されている、請求項１に記載の昇降装置。
【請求項３】
前記チェーンは複数のリンクを有しており、
前記スリット覆い部材は前記リンクに各々固定された複数の板状部材を有している、請求項１に記載の昇降装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、昇降装置、特に、マスト内に配置されたチェーンによって昇降台を昇降させる昇降装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
スタッカークレーンは、走行台車と、それに設けられたマストに昇降自在となっている昇降台と、それに設けられた移載機（例えば、スカラーアーム）とを有している。
【０００３】
電子部品製造工程は、室内の塵を極端に減少したクリーンルーム内で行われる。したがって、クリーンルーム内で用いられるスタッカークレーンには、機構部からの発塵を抑制し、粉塵の拡散を防止する必要がある。
【０００４】
スタッカークレーンの昇降装置は、昇降台と、マストと、マスト内に配置されたベルトと、ベルトを駆動するための駆動機構とを備えている。マストには上下方向に延びるスリットが形成されており、スリット内に配置された接続部材が昇降台とチェーンとを接続している（例えば、特許文献１を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−３３４８６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の昇降装置では、駆動ベルトにスリットのシール部材としての機能を持たせている。これにより、専用のシール部材が無くても、ベルトの摺動によって生じたダストがスリットから出ていきにくくなっている。したがって、外部の汚染が少なくなる。
【０００７】
一方、昇降装置にチェーンを用いた場合は、スリットを塞ぐためにはカバーリング専用のベルト機構を用意する必要がある。カバーリング専用のベルト機構は、ベルト、プーリ、テンション等の部品が必要であり、その配置に余分なスペースが必要になる。また、コスト、重量、メンテナンス項目等が増加してしまう。
【０００８】
本発明の課題は、マスト内に配置されたチェーンによって昇降台を昇降させる昇降装置において、簡単な構成によって、マスト内で発生した塵が外部へ洩れるのを抑えることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
昇降装置は、マストと、昇降台と、チェーンと、接続部材と、スリット覆い部材とを備えている。マストは、内部に空間を有しており、上下方向に延びるスリットが形成されている。昇降台は、マストに沿って昇降可能である。チェーンは、マストの内部に設けられ、昇降台を駆動するための無端状の部材である。接続部材は、スリットを通ってチェーンと昇降台を接続する。スリット覆い部材は、チェーンの外周部に固定されている。
この昇降装置では、チェーンに固定されたスリット覆い部材によってスリットを覆うので、マストのスリットから塵が外部に出ることが抑えられる。なお、「スリットを覆う」とは、チェーンがスリットと対向する位置になったときに、スリット覆い部材がチェーンとスリットとの間に配置され、それによりスリットから漏れるパーティクル等を減らすことを意味する。この場合に、「スリットを覆う」は、スリットの一部のみを覆うことも含んでおり、スリットの全てを覆うことに限定されない。
【００１０】
チェーンは、スリットの幅方向両側に配置された一対のチェーン部材を有しており、スリット覆い部材は一対のチェーン部材間に固定されていてもよい。
この昇降装置では、スリット覆い部材の両端がチェーン部材によって支持されているので、安定性が高い。
【００１１】
チェーンは複数のリンクを有しており、スリット覆い部材はリンクに各々固定された複数の板状部材を有していてもよい。
この昇降装置では、板状部材がチェーンの各リンクに固定されているので、チェーンが移動する際に、板状部材がチェーンの動きを妨げにくい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によって、マスト内に配置されたチェーンによって昇降台を昇降させる昇降装置において、マスト内で発生した塵が外部へ洩れるのが抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態が採用された移載装置の斜視図。
【図２】移載装置の概略平面図。
【図３】移載装置の側面図。
【図４】図３のＩＶ矢視図。
【図５】昇降装置のマストの内部構成を示す模式図。
【図６】昇降装置のマストの中間部の横断面図。
【図７】昇降装置のマストの上部の横断面図。
【図８】チェーンおよび上部スプロケットの側面図。
【図９】マストの部分正面図。
【図１０】図８の部分拡大図。
【図１１】他の実施形態の図１０に相当する図。
【図１２】さらに他の実施形態の図１０に相当する図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（１）移載装置
図１を用いて、移載装置１について説明する。図１は、本発明の一実施形態が採用された移載装置の斜視図である。
【００１５】
移載装置１は、例えば、大型液晶基板が入ったカセットを搬送するための装置であり、主に、基台５と、昇降装置７と、移載機８と、を有している。
【００１６】
基台５には複数の車輪９が設けてある。車輪９は、地面に敷設されたレール１０上にある。車輪９は、例えば基台５内に組み込んだモータ（図示せず）により回転駆動される。レール１０に沿って、倉庫の棚（図示せず）が設けられている。
【００１７】
（２）昇降装置（概略）
昇降装置７は、主に、一対のマスト１１と、昇降台１２と、駆動機構１３とを有している。マスト１１は、基台５上に左右一対となるように固定されている。昇降台１２は、マスト１１の間に昇降可能に取り付けられており、駆動機構１３（後述）によって駆動されることでマスト１１に沿って昇降する。
【００１８】
（３）移載機
図２を用いて、移載機８を説明する。図２は、移載装置の概略平面図である。
移載機８は、倉庫の棚（図示せず）にカセットを出し入れするためのスカラーアームである。移載機８は昇降台１２上に設けられている。移載機８は、伸縮と回転が可能であり、伸びた状態でカセットの出し入れを行い、輸送時には縮んだ状態でカセットを搭載する。また、移載機８は、回転して反対側の棚にカセットを出し入れすることもできる。
【００１９】
（４）昇降装置（詳細）
図３および図４を用いて、昇降台１２を説明する。図３は移載装置の側面図であり、図４は図３のＩＶ矢視図である。
昇降台１２は、昇降台本体１５と、その両側の支持フレーム１６と有している。支持フレーム１６は、駆動機構１３（後述）に連結されており、昇降台本体１５を吊り下げている。支持フレーム１６は、底辺が昇降台本体１５の幅と同じとなる略二等辺三角形になっている。
【００２０】
図５、図６および図７を用いて、マスト１１の構造を説明する。図５は昇降装置のマストの内部構成を示す模式図であり、図６は昇降装置のマストの中間部の横断面図であり、図７は昇降装置のマストの上部の横断面図である。なお、以下の説明では、図５の左右方向および図６および図７の上下方向を「マスト対向方向」といい、図６および図７の左右方向を「マスト対向方向と直交する方向」という。
マスト１１は、主に、マスト本体１７と、内側カバー１８とを備えている。マスト本体１７は、例えばアルミニウム製であり、断面が中空の略四角形となっている。
マスト本体１７の上端部には上部フレーム２１が取り付けられ、下端部には下部フレーム２２が取り付けられている。
【００２１】
内側カバー１８は、樹脂等の薄板であり、マスト本体１７の内側面１７ａ（マスト対向方向の対向側の面）に取り付けられている。内側カバー１８は、マスト本体１７の内側面１７ａとの間の所定の空間を確保している。また、内側カバー１８の正面部分（マスト対向方向の対向側の部分）には、上下方向に延びるスリット１８ａが形成されている。スリット１８ａによって、内側カバー１８の内外の空間が互いに連通している。
【００２２】
昇降装置７の駆動機構１３について説明する。駆動機構１３は、チェーン駆動式の機構であって、主に、チェーン２３と、上側スプロケット２４と、下側スプロケット２５と、駆動装置２６とを有している。上側スプロケット２４は上部フレーム２１内に配置され、下側スプロケット２５は下部フレーム２２内に配置されている。チェーン２３は、無端のローラチェーンであって、上側スプロケット２４と下側スプロケット２５に巻回されている。チェーン２３は、内側カバー１８内の空間と、マスト本体１７の中空の内部を通過している。
より詳細には、チェーン２３は、図６および図７に示すように、マスト対向方向に直交する方向に離れて配置された第１チェーン部材２３Ａおよび第２チェーン部材２３Ｂから構成されている。第１チェーン部材２３Ａおよび第２チェーン部材２３Ｂは、各々が、２列のチェーン部材であり、ローラ、ブッシュ、内側プレート（内リンク）、外側プレート（外リンク）、軸から構成されている。また、上側スプロケット２４は、第１上側スプロケット２４Ａおよび第２上側スプロケット２４Ｂから構成されている。下側スプロケット２５も同様である（図示せず）。
【００２３】
駆動装置２６は、下部フレーム２２に収容されている。駆動装置２６は、例えばモータを含んでおり、下側スプロケット２５に動力を伝達可能である。駆動装置２６が下側スプロケット２５に動力を伝達すると、チェーン２３が上側スプロケット２４と下側スプロケット２５の間を循環する。
【００２４】
チェーン２３において、内側カバー１８内を通過する部分には、移動ブロック３２が吊り下げられている。チェーン２３において、マスト本体１７の中空内を通過する部分には、カウンターウェイト２９が吊り下げられている。カウンターウェイト２９の重量は、搬送するカセットを載せた昇降台１２とバランスを取れるように設定されている。
【００２５】
マスト本体１７の内側面１７ａには、上下方向に延びるガイド部材３１が設けられている。ガイド部材３１には、前述の移動ブロック３２が係合している。移動ブロック３２は、ガイド部材３１によって前後左右の動作が規制されており、ガイド部材３１に沿った上下動のみが可能となっている。移動ブロック３２は、接続部材３３を介して支持フレーム１６に連結されている。接続部材３３は、内側カバー１８のスリット１８ａ内を上下に移動可能である。移動ブロック３２には、吊チェーン取付部３４が２カ所設けられており、ここに、チェーン２３が上下に固定され、吊り下げられている。
なお、スリット１８ａの幅（マスト対向方向と直交する方向の長さ）は、第１上側スプロケット２４Ａおよび第２上側スプロケット２４Ｂの間隔よりも短い。
【００２６】
マスト本体１７の開口部には、複数のファンフィルターユニット３５が取り付けられる。ファンフィルターユニット３５は、ファンと高性能フィルターを備えており、マスト本体１７内の空気をファンで吸入しフィルターを通過させることで、マスト１１の外にダストの含まれないクリーンな空気を排出する。
【００２７】
（５）スリット遮蔽構造
昇降装置７は、マスト１１の内側カバー１８のスリット１８ａを遮蔽するためのダスト漏洩抑制構造４０をさらに備えている。
【００２８】
この実施形態では、マスト本体１７に内側カバー１８を設けることによって、チェーン２３の巻き込み防止の効果の他、移動ブロック３２とチェーン２３の昇降によって発生した塵を拡散させないといった効果がある。ただし、内側カバー１８には接続部材３３を通過させるためのスリット１８ａが形成されているので、そこから塵が外部に漏れ出る問題がある。そこで、その問題を解決するために、以下に述べるダスト漏洩抑制構造４０が採用されている。
【００２９】
ダスト漏洩抑制構造４０は、主に、チェーン２３に固定された板状部材４２から構成されている。より具体的には、第１チェーン部材２３Ａおよび第２チェーン部材２３Ｂの互いに近い側の列にある互いに近い側の内側プレート４１に、板状部材４２が固定されている。
【００３０】
さらに具体的には、板状部材４２は、マスト対向方向と直交する方向両端が前述の２つの内側プレート４１に固定されている。このように板状部材４２の両端がチェーン２３によって支持されているので、安定性が高い。
【００３１】
内側プレート４１には互いに向かって延びる突起部４３が形成されており、突起部４３には、外周側に延びるブッシュ４４がボルト４５およびナット４６によって固定されている。ブッシュ４４の先端には、前述の板状部材４２の端部が固定されている。
【００３２】
板状部材４２は、概ね長方形状の部材であり、左右に長く配置されている。板状部材４２の長辺（左右方向幅）は、概ね、第１チェーン部材２３Ａおよび第２チェーン部材２３Ｂの間に対応している。板状部材４２の短辺は、概ね、チェーンのリンク一つ分に対応している。
【００３３】
以下、図８〜図１０を用いて、板状部材４２同士の関係について説明する。図８は、チェーンおよび上部スプロケットの側面図である。図９は、マストの部分正面図である。図１０は図８の部分拡大図である。
ここでは、チェーン２３において内側カバー１８内でスリット１８ａに近接する位置にある部分に取り付けられた板状部材４２を説明する。板状部材４２は、内側カバー１８のスリット１８ａに近接した位置において、下方に延びており、下方にある第１端部４２ａが、図１０に示すように下方にある他の板状部材４２の上方にある第２端部４２ｂに当接している。このようにして、複数の板状部材４２が連続して配置され、しかも両端がスリット１８ａよりマスト対向方向と直交する方向の外側にある。つまり、複数の板状部材４２がスリット１８ａの大半を覆っている。
【００３４】
なお、板状部材４２はスリット１８ａに近接していることが好ましい。しかし、板状部材４２と内側カバー１８との隙間は、スリット１８ａから出る塵の量が許容範囲になるほどであれば、それ以上小さくなくてよい。
【００３５】
板状部材４２は、チェーン２３においてスリット１８ａを通過する部分全てに設けられていることが好ましい。なお、接続部材３３が通過する部分には、板状部材４２は設けられていない。
【００３６】
前述のようにダスト漏洩抑制構造４０はキャタピラ状に配置された複数の板状部材４２から構成されており、構造が簡単であり、しかも、部品の種類も少ない。また、複数の板状部材４２はチェーン駆動に合わせて循環送りされるだけなので、それほど多くのメンテナンス作業を必要としない。さらに、摺動部分が少なく、そのためベルト方式に比べてダストを発生しにくい。
さらに、昇降チェーンにキャタピラ状のアタッチメントを取り付けてスリットを塞ぐカバーとしたことで、従来のカバーベルト方式に比べて省スペースになる。
【００３７】
（６）特徴
昇降装置７は、マスト１１と、昇降台１２と、チェーン２３と、接続部材３３と、板状部材４２とを備えている。マスト１１は、内部に空間を有しており、上下方向に延びるスリット１８ａが形成されている。昇降台１２は、マスト１１に沿って昇降可能である。チェーン２３は、マスト１１の内部に設けられ、昇降台１２を駆動するための無端状の部材である。接続部材３３は、スリット１８ａを通ってチェーン２３と昇降台１２を接続する。板状部材４２は、チェーン２３の外周部に固定され、スリット１８ａを覆っている。
この昇降装置７では、チェーン２３に固定された板状部材４２によってスリット１８ａを覆うので、マスト１１のスリット１８ａから塵が外部に出ることが抑えられる。なお、「スリット１８ａを覆う」とは、チェーン２３がスリット１８ａと対向する位置になったときに、板状部材４２がチェーン２３とスリット１８ａとの間に配置され、それによりスリット１８ａから漏れるパーティクル等を減らすことを意味する。この場合に、「スリット１８ａを覆う」は、スリット１８ａの一部のみを覆うことも含んでおり、スリット１８ａの全てを覆うことに限定されない。
【００３８】
チェーン２３は、スリットの幅方向両側に配置された第１チェーン部材２３Ａおよび第２チェーン部材２３Ｂを有しており、板状部材４２は第１チェーン部材２３Ａおよび第２チェーン部材２３Ｂ間に固定されている。
この昇降装置７では、板状部材４２の両端がチェーン２３によって支持されているので、安定性が高い。
【００３９】
チェーン２３は複数の内側プレート４１を有しており、板状部材４２は内側プレート４１に各々固定されている。
この昇降装置７では、板状部材４２がチェーン２３の各内側プレート４１に固定されているので、チェーン２３が移動する際に、板状部材４２がチェーン２３の動きを妨げにくい。
【００４０】
（７）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００４１】
図１１に本発明の他の実施形態を示す。板状部材４２Ａは、内側カバー１８のスリット１８ａに近接した位置において、下方に延びており、下方にある第１端部４２ｃが、下方にある他の板状部材４２Ａの上方にある第２端部４２ｄにわずかな隙間を空けて配置されている。
【００４２】
図１２に本発明のさらに他の実施形態を示す。板状部材４２Ｂは、内側カバー１８のスリット１８ａに近接した位置において、下方に延びており、下方にある第１端部４２ｅが、下方にある他の板状部材４２Ｂの上方にある第２端部４２ｆに外側から重なって配置されている。
【００４３】
チェーンの種類や形状は前記実施形態に限定されない。例えば、二本のチェーンではなくて一本のチェーンであってもよい。その場合は、一本のチェーンのプレートに板状部材が固定される。また、ダブルローラチェーンではなく、シングルローラチェーンであっててもよいし、３列以上の多列ローラチェーンであってもよい。
【００４４】
前記実施形態では、板状部材はスペーサとしてのブッシュによってスリットに近づく位置に配置されていた。しかし、チェーン自体が十分にスリットに近い場合は、ブッシュを用いずに、板状部材を直接チェーンに固定してもよい。
【００４５】
板状部材の形状、個数、配置等は前記実施形態に限定されない。例えば、前記実施形態では板状部材は固定部分からチェーン延長方向片側に延びているが、板状部材は固定部分からチェーン延長方向両側に延びていてもよい。
板状部材が固定されるチェーンの部材は、内側プレートに限定されない。
板状部材は、チェーンの全てのリンクに固定されていなくてもよい。たとえば、リンク一つおきに板状部材が固定されていてもよい。その場合は、板状部材の長さをリンク二つ分にすることで、板状部材同士の隙間が無くすかまたは小さくすることになる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、マスト内に配置されたチェーンによって昇降台を昇降させる昇降装置に広く適用できる。
【符号の説明】
【００４７】
１      移載装置
５      基台
７      昇降装置
８      移載機
９      車輪
１０    レール
１１    マスト
１２    昇降台
１３    駆動機構
１５    昇降台本体
１６    支持フレーム
１７    マスト本体
１７ａ  内側面
１８    内側カバー
１８ａ  スリット
２１    上部フレーム
２２    下部フレーム
２３    チェーン
２３Ａ  第１チェーン部材
２３Ｂ  第２チェーン部材
２４    上側スプロケット
２４Ａ  第１上側スプロケット
２４Ｂ  第２上側スプロケット
２５    下側スプロケット
２６    駆動装置
２９    カウンターウェイト
３１    ガイド部材
３２    移動ブロック
３３    接続部材
３４    吊チェーン取付部
３５    ファンフィルターユニット
４０    ダスト漏洩抑制構造
４１    内側プレート
４２    板状部材（スリット覆い部材）
４３    突起部
４４    ブッシュ
４５    ボルト
４６    ナット
【図１】
2011006240.tif 000003
【図２】
2011006240.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2011006240.tif 000008
【図７】
2011006240.tif 000009
【図８】
2011006240.tif 000010
【図９】
2011006240.tif 000011
【図１０】
2011006240.tif 000012
【図１１】
2011006240.tif 000013
【図１２】
2011006240.tif 000014