(57)【要約】      （修正有）【課題】コストアップをすることなく、安定したシール力でダイアフラム弁体を保持させることができる流体制御弁を提供する。【解決手段】薬液弁は、ボディ３０の内側シール部３５は、当該薬液弁の軸心ＡＸに対して傾斜したボディ側テーパ面３５ａを有し、ダイアフラム弁体４０の周縁固定部４５は、当該薬液弁１の軸心ＡＸに対して傾斜した弁体側テーパ面４５ａを有し、凸部４６が圧入溝に圧入されて、弁体側テーパ面４５ａとボディ側テーパ面３５ａとが密着した状態にあるとき、周縁固定部４５が、内側シール部３５を、当該薬液弁の軸心ＡＸの径外側に押圧した状態で、アクチュエータ部とボディ３０とに挟持されている。【選択図】図５
2011214713.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
挟持される周縁固定部、及び該周縁固定部から延びる環状の凸部を有するダイアフラム弁体と、弁座、及び前記凸部を圧入する環状の圧入溝として、該圧入溝の径内側を形成する内側シール部を有する樹脂製のボディと、前記弁座に前記ダイアフラム弁体を当接または離間させて流体の流れを制御するアクチュエータ部とを備え、前記凸部を前記圧入溝に圧入し、前記周縁固定部を前記アクチュエータ部と共に前記ボディで挟んで前記ダイアフラム弁体を保持した流体制御弁において、
前記内側シール部は、当該流体制御弁の軸心に対して傾斜したボディ側テーパ面を有し、
前記周縁固定部は、当該流体制御弁の軸心に対して傾斜した弁体側テーパ面を有し、
前記凸部を前記圧入溝に圧入した際に、前記弁体側テーパ面と前記ボディ側テーパ面とが当接し、前記内側シール部を当該流体制御弁の軸心の径外側に押圧した状態で、前記アクチュエータ部と前記ボディとに前記周縁固定部が挟持されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項２】
請求項１に記載する流体制御弁において、
前記ボディ側テーパ面は、当該流体制御弁の軸心に対し傾斜角θ１で、当該流体制御弁の軸心と交差する交点のうち、閉弁側にある下側の交点と交差する向きに傾斜していること、
前記弁体側テーパ面は、当該流体制御弁の軸心に対し傾斜角θ２で、当該流体制御弁の軸心と交差する交点のうち、閉弁側にある下側の交点と交差する向きに傾斜していること、
傾斜角θ２は傾斜角θ１より大きいことを特徴とする流体制御弁。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載する流体制御弁において、
前記凸部の先端には、前記圧入溝の幅より肉厚な先端圧入部が形成され、前記先端圧入部を弾性変形させて前記凸部が前記圧入溝に圧入されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載する流体制御弁において、
前記圧入溝では、その深さ方向に、前記凸部の肉厚よりも幅が拡い幅拡部位と、前記幅拡部位より深い位置に、前記凸部の肉厚よりも幅が狭い幅狭部位とが、段差を介して形成されていること、
前記凸部が、前記幅狭部位で弾性変形して前記圧入溝に圧入されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載する流体制御弁において、
前記内側シール部は、前記圧入溝の側面である内側シール部外周面を有し、
前記凸部は、その径内側に凸部内周面を有し、
前記ダイアフラム弁体が前記アクチュエータ部と前記ボディとにより保持された状態では、前記周縁固定部から前記凸部が延びる根元部に、前記凸部内周面と前記内側シール部外周面とにより囲まれる空間が形成されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項６】
請求項２乃至請求項５のいずれか１つに記載する流体制御弁において、
傾斜角θ２と傾斜角θ１との角度差は１０°以下であることを特徴とする流体制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、樹脂製のダイアフラム弁体を弁座に当接または離間させて流体の流れを制御する流体制御弁に関し、詳細には、ダイアフラム弁体の外部漏れを防止するシール構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造装置や液晶パネル製造装置等には、例えば、特許文献１及び特許文献２に記載されているような薬液弁が用いられている。薬液弁は、入力ポートと出力ポートの間にある弁座に対し、ダイアフラム弁体が当接または離間することで、入力ポートから出力ポートへの薬液の流れを制御する流体制御弁である。
はじめに、特許文献１の薬液弁について、図１６及び図１７を用いて説明した後、特許文献２の薬液弁について、図１８及び図１９を用いて説明する。
図１６は、特許文献１に記載された薬液弁の断面図であり、図１６中、Ｅ部の拡大図を図１７に示す。また、図１８は、特許文献２に記載された薬液弁の断面図であり、図１８中、Ｆ部の拡大図を図１９に示す。
【０００３】
特許文献１の薬液弁２０１は、図１６及び図１７に示すように、シリンダ２１０、カバー２２０、ダイアフラム弁体２４０、ピストン２７０等を有するアクチュエータ部２０５と、弁座２３１、入力ポート２３２、出力ポート２３３等を有するボディ２３０とを有し、アクチュエータ部２０５とボディ２３０とを一体にして取付板２５０に固定されている。
樹脂製のダイアフラム弁体２４０は、その中央部でピストン２７０と連結している一方、周縁固定部２４５において環状の圧入部２４６を、樹脂製のボディ２３０の環状溝２３４に圧入し、周縁固定部２４５をシリンダ２１０とボディ２３０との間に挟持して固定されている。
特許文献１では、ダイアフラム弁体２４０は、その圧入部２４６を、弾性変形させてボディ２３０の環状溝２３４に圧入し、ボディ２３０の内側環状シール部２３５に密着させることで、ボディ２３０とのシール力を確保している。
【０００４】
特許文献２の薬液弁３０１では、樹脂製のダイアフラム弁体３４０は、図１８及び図１９に示すように、その周縁固定部３４５に、断面図でＵ字形状の第１凸部３４６と、その外周側の第２凸部３４７とを有している。
ダイアフラム弁体３４０では、第２凸部３４７がボディ３３０の第２環状溝３３５に圧入され、第１凸部３４６が第１環状溝３３４に挿着されている。第１凸部３４６における環状の隙間に金属製のリング体３４８を嵌め込み、ボディ３３０の内壁３３６及び環状壁３３７に第１凸部３４６を密着させて、ダイアフラム弁体３４０と樹脂製のボディ３３０とのシール力が確保されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３２１９５８号公報
【特許文献２】特開２００９−２４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の薬液弁２０１、３０１には、以下のような問題があった。
（１）シール力が安定した状態で得られない問題
半導体製造工程において、半導体の高集積化に伴い、より浸透性の高いフッ酸等の薬液が、半導体製造に使用されるようになったため、ダイアフラム弁体２４０の周縁固定部２４５とボディ２３０とのシール力が、従来以上に安定していることが要求されている。
特許文献１の薬液弁２０１では、ボディ２３０及びダイアフラム弁体２４０がいずれも樹脂製であるため、ボディ２３０の環状溝２３４にダイアフラム弁体２４０の圧入部２４６を圧入することで、内側環状シール部２３５が当該薬液弁２０１の軸心に向けて倒れ込む。これにより、ダイアフラム弁体２４０の圧入部２４６が、ボディ２３０の内側環状シール部２３５と十分に密着できず、ダイアフラム弁体２４０の周縁固定部２４５とボディ２３０とのシール力が安定した状態で得られない問題があった。
また、高温の薬液を薬液弁２０１で制御するときに、高温な薬液との接触によって、ボディ２３０及びダイアフラム弁体２４０が常温時に比べて軟化したり、あるいはアクチュエータ部２０５及びボディ２３０に生じるクリープ現象によって、ダイアフラム弁体２４０の周縁固定部２４５とボディ２３０とのシール力が低下する虞もあった。
【０００７】
（２）コスト高となる問題
（１）に挙げた上記問題を解決する手段の一つとして、特許文献２の薬液弁３０１は、有効である。
しかしながら、薬液弁３０１では、ダイアフラム弁体３４０とボディ３３０とのシール構造が複雑であるため、ダイアフラム弁体３４０及びボディ３３０において、成形または加工に伴う品質管理、製造時の組付け性に困難が伴うほか、リング体３４８を要することで部品点数も増えてしまい、結果的にコスト高となる問題があった。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、コストアップをすることなく、安定したシール力でダイアフラム弁体を保持させることができる流体制御弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の問題点を解決するために、本発明の流体制御弁は、次の構成を有している。
（１）挟持される周縁固定部、及び周縁固定部から延びる環状の凸部を有するダイアフラム弁体と、弁座、及び凸部を圧入する環状の圧入溝として、圧入溝の径内側を形成する内側シール部を有する樹脂製のボディと、弁座にダイアフラム弁体を当接または離間させて流体の流れを制御するアクチュエータ部とを備え、凸部を圧入溝に圧入し、周縁固定部をアクチュエータ部と共にボディで挟んでダイアフラム弁体を保持した流体制御弁において、内側シール部は、当該流体制御弁の軸心に対して傾斜したボディ側テーパ面を有し、周縁固定部は、当該流体制御弁の軸心に対して傾斜した弁体側テーパ面を有し、前記凸部を前記圧入溝に圧入した際に、前記弁体側テーパ面と前記ボディ側テーパ面とが当接し、前記内側シール部を当該流体制御弁の軸心の径外側に押圧した状態で、前記アクチュエータ部と前記ボディとに前記周縁固定部が挟持されていることを特徴とする。
（２）（１）に記載する流体制御弁において、ボディ側テーパ面は、当該流体制御弁の軸心に対し傾斜角θ１で、当該流体制御弁の軸心と交差する交点のうち、閉弁側にある下側の交点と交差する向きに傾斜していること、弁体側テーパ面は、当該流体制御弁の軸心に対し傾斜角θ２で、当該流体制御弁の軸心と交差する交点のうち、閉弁側にある下側の交点と交差する向きに傾斜していること、傾斜角θ２は傾斜角θ１より大きいことを特徴とする。
（３）（１）または（２）に記載する流体制御弁において、凸部の先端には、圧入溝の幅より肉厚な先端圧入部が形成され、先端圧入部を弾性変形させて凸部が圧入溝に圧入されていることを特徴とする。
（４）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載する流体制御弁において、圧入溝では、その深さ方向に、凸部の肉厚よりも幅が拡い幅拡部位と、幅拡部位より深い位置に、凸部の肉厚よりも幅が狭い幅狭部位とが、段差を介して形成されていること、凸部が、幅狭部位で弾性変形して圧入溝に圧入されていることを特徴とする。
（５）（１）乃至（４）のいずれか１つに記載する流体制御弁において、内側シール部は、圧入溝の側面である内側シール部外周面を有し、凸部は、その径内側に凸部内周面を有し、ダイアフラム弁体がアクチュエータ部とボディとにより保持された状態では、周縁固定部から前記が延びる根元部に、凸部内周面と内側シール部外周面とにより囲まれる空間が形成されていることを特徴とする。
（６）（２）乃至（５）のいずれか１つに記載する流体制御弁において、傾斜角θ２と傾斜角θ１との角度差は１０°以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
上記構成を有する本発明の作用効果について説明する。
本発明の流体制御弁では、
（１）挟持される周縁固定部、及び周縁固定部から延びる環状の凸部を有するダイアフラム弁体と、弁座、及び凸部を圧入する環状の圧入溝として、圧入溝の径内側を形成する内側シール部を有する樹脂製のボディと、弁座にダイアフラム弁体を当接または離間させて流体の流れを制御するアクチュエータ部とを備え、凸部を圧入溝に圧入し、周縁固定部をアクチュエータ部と共にボディで挟んでダイアフラム弁体を保持した流体制御弁において、内側シール部は、当該流体制御弁の軸心に対して傾斜したボディ側テーパ面を有し、周縁固定部は、当該流体制御弁の軸心に対して傾斜した弁体側テーパ面を有し、凸部を圧入溝に圧入した際に、弁体側テーパ面とボディ側テーパ面とが当接し、内側シール部を当該流体制御弁の軸心の径外側に押圧した状態で、アクチュエータ部とボディとに周縁固定部が挟持されているので、ダイアフラム弁体とボディとが樹脂で形成され、ダイアフラム弁体の周縁固定部の凸部がボディの圧入溝に圧入して挿着されていても、周縁固定部が、当該流体制御弁の軸心に向けた内側シール部の倒れ込みを抑止できている。
よって、凸部を圧入溝に圧入しても、内側シール部が当該流体制御弁の軸心側に倒れ込まず、凸部と圧入溝とのシール力が維持できており、アクチュエータ部とボディとに対するダイアフラム弁体のシール力が、周縁固定部で安定的に確保できている。
【００１１】
また、当該流体制御弁の流通制御対象が高温の流体である場合、この液体により、ダイアフラム弁体及びボディが常温時に比べて軟化したり、あるいはダイアフラム弁体及びボディにクリープ現象が経時的に生じることもある。
しかしながら、本発明の流体制御弁では、流通する高温の流体を当該流体制御弁が制御したり、ダイアフラム弁体及びボディにクリープ現象がたとえ生じても、周縁固定部が、内側シール部を、当該流体制御弁の軸心の径外側に押圧した状態で、アクチュエータ部とボディとに挟持されているので、内側シール部が当該流体制御弁の軸心側に倒れない。そのため、凸部と圧入溝とがより確実にシールされており、アクチュエータ部とボディとに対するダイアフラム弁体のシール力が、周縁固定部で安定的に確保できている。
さらに、ダイアフラム弁体とボディとのシール性を安定的に確保するための構造として、ダイアフラム弁体とボディとをシールする部分を複雑な構造で形成する必要がないため、当該流体制御弁の製造コストを安価に抑えることができる。
従って、コストアップをすることなく、ダイアフラム弁体を、安定したシール力でアクチュエータ部とボディとに保持させることができる、という優れた効果を奏する。
【００１２】
（２）また、ボディ側テーパ面は、当該流体制御弁の軸心に対し傾斜角θ１で、当該流体制御弁の軸心と交差する交点のうち、閉弁側にある下側の交点と交差する向きに傾斜していること、弁体側テーパ面は、当該流体制御弁の軸心に対し傾斜角θ２で、当該流体制御弁の軸心と交差する交点のうち、閉弁側にある下側の交点と交差する向きに傾斜していること、傾斜角θ２は傾斜角θ１より大きいので、凸部が圧入溝に圧入されて、弁体側テーパ面とボディ側テーパ面とが密着した状態では、主に周縁固定部が、傾斜角θ２と傾斜角θ１との角度差に対応する分、ボディ側テーパ面と弁体側テーパ面とが密着する部分のうち、弁座から離れた側の部分に偏って、弾性変形し潰される。
すなわち、このように弾性変形して潰された周縁固定部が、内側シール部を、当該流体制御弁の軸心方向に対し、弁座から高く離れた位置で、当該流体制御弁の軸心の径外側に押圧していることで、該流体制御弁の軸心に向けた内側シール部の倒れ込みが、より確かに防止できている。
また、本発明の流体制御弁では、アクチュエータ部とボディとに対するダイアフラム弁体のシール力が、凸部と圧入溝との間で確保されているが、さらに、ボディ側テーパ面と弁体側テーパ面とが、特に、弁座から離れた側の部分に偏って弾性変形して密着しているため、角度差によるボディ側テーパ面と弁体側テーパ面との強い密着によっても、ダイアフラム弁体が、アクチュエータ部及びボディに対してシールできている。
【００１３】
（３）また、凸部の先端には、圧入溝の幅より肉厚な先端圧入部が形成され、先端圧入部を弾性変形させて凸部が圧入溝に圧入されているので、ダイアフラム弁体の周縁固定部の凸部をボディの圧入溝に圧入して、周縁固定部をアクチュエータ部と共にボディで挟んでダイアフラム弁体を保持させた状態では、凸部の先端圧入部が、圧入溝の深い位置、すなわち内側シール部の下方側に位置する圧入溝の部分で弾性変形し圧入されて密着する。
ところで、内側シール部の下方付近において、内側シール部を当該流体制御弁の軸心側に向けて倒そうとするときのモーメント加重は相当大きい。
しかしながら、凸部の先端圧入部を圧入溝の深い位置で圧入することで、これに伴って、内側シール部に向けて作用する押圧力は、前述したモーメント加重よりもかなり小さく抑制されており、凸部が圧入溝に圧入されても、内側シール部が当該流体制御弁の軸心に向けて倒れようとしない。そのため、ダイアフラム弁体の周縁固定部において、アクチュエータ部と共に、ボディ、ダイアフラム弁体とのシール力が安定的に確保できている。
【００１４】
（４）また、圧入溝では、その深さ方向に、凸部の肉厚よりも幅が拡い幅拡部位と、幅拡部位より深い位置に、凸部の肉厚よりも幅が狭い幅狭部位とが、段差を介して形成されていること、凸部が、幅狭部位で弾性変形して圧入溝に圧入されているので、凸部が圧入溝の幅狭部位と密着している。
そのため、凸部が、圧入溝の深い位置にある幅狭部位で圧入され密着していることで、内側シール部を当該流体制御弁の軸心に向けて倒そうとする押圧力は、小さく抑制され、凸部が圧入溝に圧入されても、内側シール部が当該流体制御弁の軸心に向けて倒れようとしない。そのため、ダイアフラム弁体の周縁固定部において、アクチュエータ部と共に、ボディ、ダイアフラム弁体とのシール力が安定的に確保できている。
【００１５】
（５）また、内側シール部は、圧入溝の側面である内側シール部外周面を有し、凸部は、その径内側に凸部内周面を有し、ダイアフラム弁体がアクチュエータ部とボディとにより保持された状態では、周縁固定部から前記凸部が延びる根元部に、凸部内周面と内側シール部外周面とにより囲まれる空間が形成されているので、周縁固定部によって内側シール部が当該流体制御弁の軸心の径外側に押圧されていても、内側シール部が、空間の存在により、径外側に倒れ込むことができる。これにより、凸部と圧入溝との密着状態がより強くなり、ダイアフラム弁体を、長期間、安定した高いシール力でアクチュエータ部とボディとに保持することができる。
（６）また、傾斜角θ２と傾斜角θ１との角度差は１０°以下であるので、ダイアフラム弁体の周縁固定部がアクチュエータ部とボディに挟持され固定された状態では、ダイアフラム弁体の周縁固定部の弁体側テーパ面と、ボディの内側シール部のボディ側テーパ面とが密着するシール領域として、ダイアフラム弁体を安定したシール力で保持するのに適切なシール領域が確保できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施形態に係る薬液弁を断面図で示す説明図である。
【図２】図１に示す薬液弁の分解斜視図である。
【図３】図２中、Ｂ部を拡大して示す断面図である。
【図４】図２中、Ｃ部を拡大して示す断面図である。
【図５】図１中、Ａ部を拡大して示す断面図であり、ダイアフラム弁体の周縁固定部が保持された状態を説明する説明図である。
【図６】第１実施形態に係る薬液弁の組立工程を示す第１工程図である。
【図７】第１実施形態に係る薬液弁の組立工程を示す第２工程図である。
【図８】第１実施形態に係る薬液弁の組立工程を示す第３工程図である。
【図９】第２実施形態に係る薬液弁を断面図で示す説明図である。
【図１０】第２実施形態に係る薬液弁のボディの内側シール部付近を示す断面図であり、図９において、図２中、Ｂ部に相当する部分の拡大図である。
【図１１】第２実施形態に係る薬液弁のダイアフラム弁体の周縁固定部を示す断面図であり、図９において、図２中、Ｃ部に相当する部分の拡大図である。
【図１２】図９中、Ｄ部の拡大図である。
【図１３】第２実施形態に係る薬液弁の組立工程を示す第１工程図である。
【図１４】第２実施形態に係る薬液弁の組立工程を示す第２工程図である。
【図１５】第２実施形態に係る薬液弁の組立工程を示す第３工程図である。
【図１６】特許文献１に記載された従来の薬液弁を説明する断面図である。
【図１７】図１６中、Ｅ部の拡大図である。
【図１８】特許文献２に記載された従来の薬液弁を説明する断面図である。
【図１９】図１８中、Ｆ部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
（第１実施形態）
以下、本発明に係る流体制御弁について、実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本実施形態では、流体制御弁は、例えば、半導体製造装置や液晶パネル製造装置等に用いる薬液弁であり、入力ポートと出力ポートの間にある弁座に対し、弁体が当接または離間することで、入力ポートから出力ポートへの薬液の流れを制御する目的で用いられる。
本実施形態に係る薬液弁を、図１に断面図で示し、アクチュエータ部側とボディ側とで分解した分解斜視図を図２に示す。
薬液弁１は、図１に示すように、主としてアクチュエータ部５、ボディ３０、及び取付板５０等からなる。薬液弁１では、アクチュエータ部５と、ボディ３０と、取付板５０とが、これらに挿通する図示しないボルトとナットとの締結によって、一体に固定されている。
【００１８】
はじめに、アクチュエータ部５について、図１を用いて説明する。
アクチュエータ部５は、シリンダ１０、カバー２０、ダイアフラム弁体４０、ピストン７０、バネ７２、インジケータ７３等によって構成されている。
ピストン７０を収容するシリンダ１０は、例えば、射出成形によりＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド、別名：２フッ化）等のフッ素系樹脂でブロック状に成形されている。シリンダ１０は、その一側面に操作ポート１７を有し、操作ポート１７は、ピストン７０の受圧側に形成される操作エア室と連通するようになっている。
カバー２０は、シリンダ１０の開口を閉塞する。シリンダ１０と同様、カバー２０も、例えば、射出成形によりＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド、別名：２フッ化）等のフッ素系樹脂でブロック状に成形され、１次室の操作エアＡＲを排出する排気ポート２６を有している。
【００１９】
アクチュエータ部５は、後述するように、ボディ３０の弁座３１にダイアフラム弁体４０のピストン連結部４１を当接または離間させて薬液の流れを制御するものであり、ダイアフラム弁体４０が、バネ７２による付勢力と、この付勢力に抗する向きに、加圧した操作エアＡＲによる押圧力とを作用させて、弁座３１に対し上下動するようになっている。
すなわち、本実施形態では、薬液弁１は、操作エアＡＲによる押圧力が作用しないときに、バネ７２の付勢力によってダイアフラム弁体４０が弁座３１に当接して閉弁し、操作エアＡＲによる押圧力が作用すると、ダイアフラム弁体４０が弁座３１から離間して開弁するノーマルクローズタイプの弁である。
アクチュエータ部５では、ダイアフラム弁体４０に押圧力を作用させるピストン７０からその軸方向にピストンロッド７１が延びており、図１に示すように、ピストン７０の受圧側とは反対側（反受圧側）の先端部にインジケータ７３が取付けられている。
【００２０】
次に、ボディ３０について、図１乃至図３を用いて説明する。図３は、図２中、Ｂ部の拡大図である。
ボディ３０は、本実施形態では、ＰＦＡ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素系樹脂を射出成形によりブロック状に成形されたものであり、図１及び図３に示すように、弁座３１、入力ポート３２、出力ポート３３、圧入溝３４等を有している。
【００２１】
圧入溝３４は、後述するダイアフラム弁体４０の周縁固定部４５から延びる凸部４６全体を圧入する環状の溝であり、図３に示すように、径内側の壁となる内側シール部３５と径外側の壁となる外側シール部３６との間で段差がない形態に形成されている。内側シール部３５は、薬液弁１の軸心ＡＸに対し傾斜角θ１で、当該薬液弁１の軸心ＡＸと交差する交点のうち、閉弁側にある下側（図１中、下側）の交点と交差する向きに傾斜するボディ側テーパ面３５ａを有している。
また、内側シール部３５は、薬液弁１の軸心ＡＸを中心軸とした円筒状に形成された内側シール部外周面３５ｂを有し、この内側シール部外周面３５ｂが圧入溝３４の側面になっている。
【００２２】
次に、ダイアフラム弁体４０について、図１、図２及び図４を用いて説明する。図４は、図２中、Ｃ部を拡大して示す断面図である。
ダイアフラム弁体４０は、ピストンロッド７１と連結するピストン連結部４１と、連結部４１との付け根であるピストン側付け根４３ｒから径外側に延びる薄膜部４３と、薄膜部４３の径外側に位置する周縁固定部４５とからなる。
ダイアフラム弁体４０が薬液弁１に組付けられている状態において、周縁固定部４５は、シリンダ１０のボディ接続部１５とボディ３０との間に挟持される部分である。周縁固定部４５は、図３に示すように、当該周縁固定部４５から延びる環状の凸部４６を有している。凸部４６は、その径内側に凸部内周面４６ａを、径外側に凸部外周面４６ｂを、それぞれ有している。凸部４６の先端には、ボディ３０の圧入溝３４の幅より肉厚な先端圧入部４８が、凸部外周面４６ｂから凸部内周面４６ａに向けて突出した形状で形成されている。
【００２３】
周縁固定部４５は、当該薬液弁１の軸心ＡＸに対し傾斜角θ２で、当該薬液弁１の軸心ＡＸと交差する交点のうち、閉弁側にある下側（図１中、下側）の交点と交差する向きに傾斜する弁体側テーパ面４５ａを有している。弁体側テーパ面４５ａは、凸部４６がボディ３０の圧入溝３４に圧入された状態にあるとき、ボディ３０のボディ側テーパ面３５ａと対向する位置に配置される面である。
弁体側テーパ面４５ａの傾斜角θ２は、ボディ３０のボディ側テーパ面３５ａの傾斜角θ１より大きく、傾斜角θ２と傾斜角θ１との角度差は、本実施形態では、５°となっている。
【００２４】
ピストン連結部４１では、図２に示すように、ピストンロッド７１と連結する上部の径がａ（０＜ａ）で、ボディ３０の弁座３１に当接する下部の径がｂ（ａ＜ｂ）で、それぞれ形成されている。ピストン側付け根４３ｒは、ａとｂとの間の径となる位置に配置されている。この位置にピストン側付け根４３ｒを設けることで、弁座３１に対してダイアフラム弁体４０が当接し、離間する動きが、長期に亘って繰り返されても、薄膜部４３に応力が局部的に集中することなく、薄膜部４３の耐久性を確保することができる。
【００２５】
次に、ダイアフラム弁体４０の周縁固定部４５を、アクチュエータ部５と共にボディ３０で挟んでダイアフラム弁体４０を保持させる工程について、図５乃至図８を用いて説明する。図５は、図１中、Ａ部の拡大図であり、図５、図６及び図７に図５の組立て工程を示す。
はじめに、図６に示すように、凸部４６の先端圧入部４８が下方側となるよう、ダイアフラム弁体４０の周縁固定部４５を、ボディ３０の内側シール部３５上に配置する。
この後、図７に示すように、周縁固定部４５の外側シール部接触面４５ｂにシリンダ１０のボディ接続部１５を、周縁固定部４５の凸部外周面４６ｂにボディ３０の外側シール部３６を、それぞれ当接させた状態で、凸部４６を先端圧入部４８からボディ３０の圧入溝３４に圧入する。これにより、圧入溝３４の入口は面取りされているため、先端圧入部４８が徐々に弾性変形しながら面取り面に案内されて、内側シール部３５の内側シール部外周面３５ｂに圧入され、この状態で凸部４６を圧入溝３４に圧入していく。
【００２６】
図７に示す状態から図８に示す状態まで凸部４６が圧入溝３４に圧入されると、周縁固定部４５の弁体側テーパ面４５ａが、内側シール部３５頂上付近のボディ側テーパ面３５ａと当接し、この当接部分が弾性変形してボディ側テーパ面３５ａと密着する。さらに、凸部４６を圧入溝３４に深く圧入すると、内側シール部３５頂上付近とは反対側にある弁体側テーパ面４５ａの部分でも、ボディ側テーパ面３５ａと当接し弾性変形して、図５に示すように、弁体側テーパ面４５ａ全体がボディ側テーパ面３５ａと密着する。
図５に示すように、ダイアフラム弁体４０がアクチュエータ部５とボディ３０とにより保持された状態では、周縁固定部４５から凸部４６が延びる根元部４７付近に、凸部内周面４６ａと内側シール部外周面３５ｂとにより囲まれる空間４０Ｓが形成されている。
【００２７】
前述した構成を有する本実施形態に係る薬液弁１の作用効果について説明する。
本実施形態に係る薬液弁１では、ボディ３０の内側シール部３５は、当該薬液弁１の軸心ＡＸに対して傾斜したボディ側テーパ面３５ａを有し、ダイアフラム弁体４０の周縁固定部４５は、当該薬液弁１の軸心ＡＸに対して傾斜した弁体側テーパ面４５ａを有し、凸部４６を圧入溝３４に圧入した際に、弁体側テーパ面４５ａとボディ側テーパ面３５ａとが当接し、内側シール部３５を、当該薬液弁１の軸心ＡＸの径外側に押圧した状態で、アクチュエータ部５とボディ３０とに周縁固定部４５が挟持されているので、ダイアフラム弁体４０とボディ３０とが樹脂で形成され、ダイアフラム弁体４０の周縁固定部４５の凸部４６がボディ３０の圧入溝３４に圧入で挿着されていても、周縁固定部４５が、軸心ＡＸに向けた内側シール部３５の倒れ込みを抑止できている。
よって、凸部４６を圧入溝３４に圧入しても、内側シール部３５が軸心ＡＸ側に倒れ込まず、凸部４６と圧入溝３４とのシール力が維持できており、アクチュエータ部５とボディ３０とに対するダイアフラム弁体４０のシール力が、周縁固定部４５で安定的に確保できている。
【００２８】
また、薬液弁１の流通制御対象が高温の薬液である場合、この薬液により、ダイアフラム弁体４０及びボディ３０が常温時に比べて軟化したり、あるいはダイアフラム弁体４０及びボディ３０にクリープ現象が経時的に生じることもある。
しかしながら、本実施形態に係る薬液弁１では、流通する高温の薬液を当該薬液弁１が制御したり、ダイアフラム弁体４０及びボディ３０にクリープ現象がたとえ生じても、周縁固定部４５が、内側シール部３５を、軸心ＡＸの径外側に押圧した状態で、アクチュエータ部５とボディ３０とに挟持されているので、内側シール部３５が軸心ＡＸ側に倒れない。そのため、凸部４６と圧入溝３４とがより確実にシールされており、アクチュエータ部５とボディ３０とに対するダイアフラム弁体４０のシール力が、周縁固定部４５で安定的に確保できている。
さらに、ダイアフラム弁体４０とボディ３０とのシール性を安定的に確保するための構造として、ダイアフラム弁体４０とボディ３０とをシールする部分を複雑な構造で形成する必要がないため、当該薬液弁１の製造コストを安価に抑えることができる。
従って、コストアップをすることなく、ダイアフラム弁体４０を、安定したシール力でアクチュエータ部５とボディ３０とに保持させることができる、という優れた効果を奏する。
【００２９】
また、本実施形態に係る薬液弁１では、ボディ３０のボディ側テーパ面３５ａは、当該薬液弁１の軸心ＡＸに対し傾斜角θ１で、当該薬液弁１の軸心ＡＸと交差する交点のうち、閉弁側にある下側の交点と交差する向きに傾斜していること、ダイアフラム弁体４０の弁体側テーパ面４５ａは、当該薬液弁１の軸心ＡＸに対し傾斜角θ２で、当該薬液弁１の軸心ＡＸと交差する交点のうち、閉弁側にある下側の交点と交差する向きに傾斜していること、傾斜角θ２は傾斜角θ１より角度差５°分大きいので、凸部４６が圧入溝３４に圧入されて、弁体側テーパ面４５ａとボディ側テーパ面３５ａとが密着した状態では、図５に示すように、主に周縁固定部４５が、傾斜角θ２と傾斜角θ１との角度差５°に対応する分、ボディ側テーパ面３５ａと弁体側テーパ面４５ａとが密着する部分のうち、弁座３１から離れた側の部分に偏って、弾性変形し潰される。
すなわち、周縁固定部４５が、アクチュエータ部５と共に、このように弁体側テーパ面４５ａが弾性変形した状態でボディ３０の内側シール部３５で挟持されていると、周縁固定部４５の弁体側テーパ面４５ａから内側シール部３５のボディ側テーパ面３５ａに向けた押圧力は、ボディ側テーパ面３５ａに対する鉛直方向のうち、軸心ＡＸから遠ざかる向きに作用する。換言すれば、この押圧力において水平方向に作用する水平成分の押圧力は、図５に示すように、当該薬液弁１の軸心ＡＸの径外側に作用し、径内側には全く作用しない。
特に、弁座３１から離れた側の部分に偏って、弾性変形して潰された周縁固定部４５が、内側シール部３５を、軸心ＡＸ方向に対し、弁座３１から高く離れた位置で、軸心ＡＸの径外側に押圧していることで、軸心ＡＸに向けた内側シール部３５の倒れ込みが、より確かに防止できている。
また、本実施形態に係る薬液弁１では、アクチュエータ部５とボディ３０とに対するダイアフラム弁体４０のシール力が、凸部４６と圧入溝３４との間で確保されているが、さらに、ボディ側テーパ面３５ａと弁体側テーパ面４５ａとが、特に、弁座３１から離れた側の部分に偏って弾性変形して密着しているため、５°分の角度差によるボディ側テーパ面３５ａと弁体側テーパ面４５ａとの強い密着によっても、ダイアフラム弁体４０が、アクチュエータ部５及びボディ３０に対してシールできている。
【００３０】
また、本実施形態に係る薬液弁１では、凸部４６の先端には、圧入溝３４の幅より肉厚な先端圧入部４８が形成され、先端圧入部４８を弾性変形させて凸部４６が圧入溝３４に圧入されているので、ダイアフラム弁体４０の周縁固定部４５の凸部４６をボディ３０の圧入溝３４に圧入して、周縁固定部４５をアクチュエータ部５と共にボディ３０で挟んでダイアフラム弁体４０を保持させた状態では、凸部４６の先端圧入部４８が、圧入溝３４の深い位置、すなわち内側シール部３５の下方側に位置する圧入溝３４の部分で弾性変形し圧入されて密着する。
ところで、内側シール部３５の下方付近において、内側シール部３５を当該薬液弁１の軸心ＡＸ側に向けて倒そうとするときのモーメント加重は相当大きい。
しかしながら、凸部４６の先端圧入部４８を圧入溝３４の深い位置で圧入することで、これに伴って、内側シール部３５に向けて作用する押圧力は、前述したモーメント加重よりもかなり小さく抑制されており、凸部４６が圧入溝３４に圧入されても、内側シール部３５が当該薬液弁１の軸心ＡＸに向けて倒れようとしない。そのため、ダイアフラム弁体４０の周縁固定部４５において、アクチュエータ部５と共に、ボディ３０、ダイアフラム弁体４０とのシール力が安定的に確保できている。
【００３１】
また、本実施形態に係る薬液弁１では、内側シール部３５は、圧入溝３４の側面である内側シール部外周面３５ｂを有し、凸部４６は、その径内側に凸部内周面４６ａを有し、ダイアフラム弁体４０がアクチュエータ部５とボディ３０とにより保持された状態では、周縁固定部４５から凸部４６が延びる根元部４７に、凸部内周面４６ａと内側シール部外周面３５ａとにより囲まれる空間４０Ｓが形成されているので、周縁固定部４５によって内側シール部３５が軸心ＡＸの径外側に押圧されていても、内側シール部３５が、空間４０Ｓの存在により、径外側に倒れ込むことができる。これにより、凸部４６と圧入溝３４との密着状態がより強くなり、ダイアフラム弁体４０を、長期間、安定した高いシール力でアクチュエータ部５とボディ３０とに保持することができる。
【００３２】
また、本実施形態に係る薬液弁１では、傾斜角θ２と傾斜角θ１との角度差が５°であるので、ダイアフラム弁体４０の周縁固定部４５がアクチュエータ部５とボディ３０に挟持され固定された状態では、ダイアフラム弁体４０の周縁固定部４５の弁体側テーパ面４５ａと、ボディ３０の内側シール部３５のボディ側テーパ面３５ａとが密着するシール領域として、ダイアフラム弁体４０を安定したシール力で保持するのに適切なシール領域が確保できるようになる。
【００３３】
（第２実施形態）
次に、本発明に係る薬液弁の第２実施形態について、図９乃至図１１を用いて説明する。
図９は、第２実施形態に係る薬液弁を断面図で示す説明図であり、図９において、図２中、Ｂ部に相当する部分の拡大図を図１０に、図９において、図２中、Ｃ部に相当する部分の拡大図を図１１に、それぞれ示す。
第１実施形態に係る薬液弁１では、ダイアフラム弁体４０の周縁固定部４５から環状に延びる凸部４６の先端に先端圧入部４８を形成し、この先端圧入部４８を、ボディ３０の圧入溝３４で段差がない内側シール部外周面３５ｂに密着させた。
これに対し、第２実施形態に係る薬液弁１０１では、ボディ１３０の圧入溝１３４内に段差を設け、ダイアフラム弁体１４０の周縁固定部１４５から環状に延びる凸部１４６を、圧入溝１３４内の幅狭部位１３４Ｎに密着させる。
しかしながら、第２実施形態の薬液弁１０１では、ボディ１３０の圧入溝１３４、及びダイアフラム弁体１４０の周縁固定部１４５の凸部１４６が、第１実施形態の圧入溝３４及び凸部４６の形状と一部で異なるが、その他の部分については、第１実施形態の薬液弁１と同様である。
したがって、第１実施形態とは異なる部分を中心に説明し、同様な部分は第１実施形態と同じ符号を用いて、説明を省略または簡単に行う。
【００３４】
はじめに、ボディ１３０について、図９及び図１０を用いて説明する。
ボディ１３０は、本実施形態では、ＰＦＡ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素系樹脂を射出成形によりブロック状に成形されたものであり、弁座１３１、圧入溝１３４等を有している。圧入溝１３４は、ダイアフラム弁体１４０の周縁固定部１４５にある凸部１４６全体を圧入する環状の圧入溝であり、図１０に示すように、径内側の壁となる内側シール部１３５と径外側の壁となる外側シール部１３６との間に形成されている。
圧入溝１３４では、その深さ方向（図９上下方向）に、凸部１４６の肉厚よりも幅が拡い幅拡部位１３４Ｗと、幅拡部位１３４Ｗより深い位置に、凸部１４６の肉厚よりも幅が狭い幅狭部位１３４Ｎとが、テーパ面状の段差１３４Ｍを介して形成されている。
【００３５】
内側シール部１３５は、薬液弁１０１の軸心ＡＸに対し傾斜角θ１で、当該薬液弁１０１の軸心ＡＸと交差する交点のうち、閉弁側にある下側（図９中、下側）の交点と交差する向きに傾斜するボディ側テーパ面１３５ａを有している。
また、内側シール部１３５は、薬液弁１０１の軸心ＡＸを中心軸とした円筒状に形成された内側シール部外周面１３５ｂを有し、この内側シール部外周面１３５ｂが、圧入溝１３４における幅狭部位１３４Ｎの側面になっている。
【００３６】
次に、ダイアフラム弁体１４０について、図９及び図１１を用いて説明する。
ダイアフラム弁体４０は、ピストンロッドと連結するピストン連結部１４１と、連結部１４１との付け根であるピストン側付け根から径外側に延びる薄膜部１４３と、薄膜部１４３の径外側に位置する周縁固定部１４５とからなる。
周縁固定部１４５は、図１０に示すように、当該周縁固定部１４５から延びる環状の凸部１４６を有している。凸部１４６は、ストレート状に形成され、その径内側に凸部内周面１４６ａを、径外側に凸部外周面１４６ｂを、それぞれ有している。
【００３７】
周縁固定部１４５は、当該薬液弁１０１の軸心ＡＸに対し傾斜角θ２で、当該薬液弁１０１の軸心ＡＸと交差する交点のうち、閉弁側にある下側（図９中、下側）の交点と交差する向きに傾斜する弁体側テーパ面１４５ａを有している。弁体側テーパ面１４５ａは、凸部１４６がボディ１３０の圧入溝１３４の幅狭部位１３４Ｎに圧入された状態にあるとき、ボディ１３０のボディ側テーパ面１３５ａと対向する位置に配置される面である。
弁体側テーパ面１４５ａの傾斜角θ２は、ボディ１３０のボディ側テーパ面１３５ａの傾斜角θ１より大きく、傾斜角θ２と傾斜角θ１との角度差は、本実施形態では、５°となっている。
【００３８】
次に、ダイアフラム弁体１４０の周縁固定部１４５を、アクチュエータ部５と共にボディ３０で挟んでダイアフラム弁体１４０を保持させる工程について、図１２乃至図１５を用いて説明する。図１２は、図９中、Ｄ部の拡大図であり、図１３、図１４及び図１５により図１２の組立て工程を示す。
はじめに、図１３に示すように、凸部１４６の先端部が下方側となるよう、ダイアフラム弁体１４０の周縁固定部１４５を、ボディ１３０の内側シール部１３５上に配置する。
この後、図１４に示すように、周縁固定部１４５の外側シール部接触面１４５ｂにシリンダ１０のボディ接続部１５を、周縁固定部１４５の凸部外周面１４６ｂにボディ１３０の外側シール部１３６を、それぞれ当接させた状態で、凸部１４６を先端部からボディ１３０の圧入溝１３４に圧入する。
このとき、圧入溝１３４の幅拡部位１３４Ｗは凸部１４６の肉厚より幅が拡いため、凸部１４６はクリアランスを持って幅拡部位１３４Ｗに挿通される。段差１３４Ｍはテーパ面となっているため、幅拡部位１３４Ｗを通過した凸部１４６の先端部は、段差１３４Ｍで徐々に弾性変形しながらテーパ面に沿って案内され、弾性変形しながら幅狭部位１３４Ｎへと導かれる。
【００３９】
図１４に示す状態から図１５に示す状態まで凸部１４６が圧入溝１３４に圧入されると、周縁固定部１４５の弁体側テーパ面１４５ａが、内側シール部１３５頂上付近のボディ側テーパ面１３５ａと当接し、この当接部分が弾性変形してボディ側テーパ面１３５ａと密着する。さらに、凸部１４６を圧入溝１３４に深く圧入すると、凸部１４６が、幅狭部位１３４Ｎで弾性変形したまま、圧入溝１３４に圧入され、凸部１４６の凸部内周面１４６ａと内側シール部１３５の内側シール部外周面１３５ｂとが密着する。
また、内側シール部１３５頂上付近とは反対側にある弁体側テーパ面１４５ａの部分でも、ボディ側テーパ面１３５ａと当接し弾性変形して、図１２に示すように、弁体側テーパ面１４５ａ全体がボディ側テーパ面１３５ａと密着する。
図１２に示すように、ダイアフラム弁体１４０がアクチュエータ部５とボディ１３０とにより保持された状態では、周縁固定部１４５から凸部１４６が延びる根元部１４７付近に、凸部内周面１４６ａと内側シール部外周面１３５ｂとにより囲まれる空間１４０Ｓが形成されている。
【００４０】
前述した構成を有する本実施形態に係る薬液弁１０１の作用効果について説明する。
本実施形態に係る薬液弁１０１では、ボディ１３０の内側シール部１３５は、当該薬液弁１０１の軸心ＡＸに対して傾斜したボディ側テーパ面１３５ａを有し、ダイアフラム弁体１４０の周縁固定部１４５は、当該薬液弁１０１の軸心ＡＸに対して傾斜した弁体側テーパ面１４５ａを有し、凸部１４６を圧入溝１３４に圧入した際に、弁体側テーパ面１４５ａとボディ側テーパ面１３５ａとが当接し、内側シール部１３５を、当該薬液弁１０１の軸心ＡＸの径外側に押圧した状態で、アクチュエータ部５とボディ１３０とに周縁固定部１４５が挟持されているので、ダイアフラム弁体１４０とボディ１３０とが樹脂で形成され、ダイアフラム弁体１４０の周縁固定部１４５の凸部１４６がボディ１３０の圧入溝１３４に圧入で挿着されていても、周縁固定部１４５が、軸心ＡＸに向けた内側シール部１３５の倒れ込みを抑止できている。
よって、凸部１４６を圧入溝１３４に圧入しても、内側シール部１３５が軸心ＡＸ側に倒れ込まず、凸部１４６と圧入溝１３４とのシール力が維持できており、アクチュエータ部５とボディ１３０とに対するダイアフラム弁体１４０のシール力が、周縁固定部１４５で安定的に確保できている。
【００４１】
また、薬液弁１０１の流通制御対象が高温の薬液である場合、この薬液により、ダイアフラム弁体１４０及びボディ１３０が常温時に比べて軟化したり、あるいはダイアフラム弁体１４０及びボディ１３０にクリープ現象が経時的に生じることもある。
しかしながら、本実施形態に係る薬液弁１０１では、流通する高温の薬液を当該薬液弁１０１が制御したり、ダイアフラム弁体１４０及びボディ１３０にクリープ現象がたとえ生じても、周縁固定部１４５が、内側シール部１３５を、軸心ＡＸの径外側に押圧した状態で、アクチュエータ部５とボディ１３０とに挟持されているので、内側シール部１３５が軸心ＡＸ側に倒れない。そのため、凸部１４６と圧入溝１３４とがより確実にシールされており、アクチュエータ部５とボディ１３０とに対するダイアフラム弁体１４０のシール力が、周縁固定部１４５で安定的に確保できている。
さらに、ダイアフラム弁体１４０とボディ１３０とのシール性を安定的に確保するための構造として、ダイアフラム弁体１４０とボディ１３０とをシールする部分を複雑な構造で形成する必要がないため、当該薬液弁１０１の製造コストを安価に抑えることができる。
従って、コストアップをすることなく、ダイアフラム弁体１４０を、安定したシール力でアクチュエータ部５とボディ１３０とに保持させることができる、という優れた効果を奏する。
【００４２】
また、ダイアフラム弁体１４０の周縁固定部１４５が、弁体側テーパ面１４５ａを弾性変形させた状態で、アクチュエータ部５と共に、ボディ１３０の内側シール部１３５で挟持されていると、周縁固定部１４５の弁体側テーパ面１４５ａから内側シール部１３５のボディ側テーパ面１３５ａに向けた押圧力は、ボディ側テーパ面１３５ａに対する鉛直方向のうち、当該薬液弁１０１の軸心ＡＸから遠ざかる向きに作用する。すなわち、この押圧力において水平方向に作用する水平成分の押圧力は、図１２に示すように、当該薬液弁１０１の軸心ＡＸの径外側に作用し、径内側には全く作用しない。
【００４３】
また、本実施形態に係る薬液弁１０１では、圧入溝１３４では、その深さ方向に、凸部１４６の肉厚よりも幅が拡い幅拡部位１３４Ｗと、幅拡部位１３４Ｗより深い位置に、凸部１４６の肉厚よりも幅が狭い幅狭部位１３４Ｎとが、段差１３４Ｍを介して形成されていること、凸部１４６が、幅狭部位１３４Ｎで弾性変形して圧入溝１３４に圧入されているので、凸部１４６が圧入溝１３４の幅狭部位１３４Ｎと密着している。
そのため、凸部１４６が、圧入溝１３４の深い位置にある幅狭部位１３４Ｎで圧入され密着していることで、内側シール部１３５を当該薬液弁１０１の軸心ＡＸに向けて倒そうとする押圧力は、小さく抑制され、凸部１４６が圧入溝１３４に圧入されても、内側シール部１３５が当該薬液弁１０１の軸心ＡＸに向けて倒れようとしない。
従って、ダイアフラム弁体１４０の周縁固定部１４５において、アクチュエータ部５と共に、ボディ１３０、ダイアフラム弁体１４０とのシール力が安定的に確保できている。
【００４４】
以上において、本発明を第１，第２実施形態に即して説明したが、本発明は上記第１，第２実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できる。
（１）例えば、第１，第２実施形態では、シリンダ１０及びカバー２０を、ＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド、別名：２フッ化）で射出成形し、ボディ３０，１３０をＰＦＡ（ポリテトラフルオロエチレン）で射出成形した。
しかしながら、シリンダ、カバー及びボディの材質を、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン、別名：４フッ化）等、他のフッ素系樹脂したり、シリンダ、カバー、及びボディのそれぞれの材質を異なるフッ素系樹脂にしても良い。また、シリンダ、カバー、ボディを切削で形成しても良い。
【００４５】
（２）また、第１，第２実施形態では、流体制御弁として、バネ７２の一端をピストン７０の支持面に、他端をカバー２０の支持面に支持させ、操作エアＡＲによる押圧力が作用しないときに、バネ７２の付勢力によってダイアフラム弁体４０が弁座３１に当接して閉弁するノーマルクローズタイプの薬液弁１，１０１とした。
しかしながら、流体制御弁は、本実施形態のピストン７０の受圧側に相当するピストンの一方側と、シリンダの底部側との間に付勢部材を配設し、操作エアによる押圧力が作用しないときに、付勢部材の付勢力によって弁体が弁座から離間して開弁し、操作エアによる押圧力が作用すると、弁体が弁座に当接して閉弁するノーマルオープンタイプの弁としても良い。
なお、ノーマルオープンタイプの流体制御弁では、操作ポートが、ノーマルクローズタイプである本実施形態の薬液弁１の排気ポート２６の位置に配設され、排気ポートが、操作ポート１７の位置に配設される。
【符号の説明】
【００４６】
１  薬液弁（流体制御弁）
５  アクチュエータ部
３０  ボディ
３１  弁座
３４  圧入溝
３５  内側シール部
３５ａ  ボディ側テーパ面
３５ｂ  内側シール部外周面
４０  ダイアフラム弁体
４０Ｓ  空間
４５  周縁固定部
４５ａ  弁体側テーパ面
４６  凸部
４６ａ  凸部内周面
４７  根元部
４８  先端圧入部
ＡＸ  軸心
【図１】
2011214713.tif 000003
【図２】
2011214713.tif 000004
【図３】
2011214713.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2011214713.tif 000009
【図８】
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【図９】
2011214713.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2011214713.tif 000014
【図１３】
2011214713.tif 000015
【図１４】
2011214713.tif 000016
【図１５】
2011214713.tif 000017
【図１６】
2011214713.tif 000018
【図１７】
2011214713.tif 000019
【図１８】
2011214713.tif 000020
【図１９】
2011214713.tif 000021