(57)【要約】      （修正有）【課題】網状又は溝型の毛細管構造の、従来のアルミニウムベーパーチャンバーでは、熱流速が非常に小さく高出力のトランジスタの放熱構造には不向きで、毛細管構造とベーパーチャンバーの板部分との接合状態が熱抵抗を増大させる、点を改善したベーパーチャンバーを提供する。【解決手段】ケーシング２０、２１、２２，２４と、作動流体と、防水層と、毛細管構造層２８とを備える。作動流体は、ケーシングに充填される。また、防水層は、ケーシングの内壁に形成され、毛細管構造層は防水層上に形成される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシングと、
前記ケーシングに充填される作動流体と、
前記ケーシングの内壁に形成される防水層と、
前記防水層上に形成される毛細管構造層と
を備えるベーパーチャンバー。
【請求項２】
前記作動流体が、水である請求項１に記載のベーパーチャンバー。
【請求項３】
前記防水層及び前記毛細管構造層は、前記水と反応しない材料によって形成され、前記材料は、銅、黄銅、ニッケル及びチタンのうちのいずれかである請求項２に記載のベーパーチャンバー。
【請求項４】
前記毛細管構造層は、粉末多孔質の毛細管構造層である請求項１から３の何れか１項に記載のベーパーチャンバー。
【請求項５】
前記毛細管構造層は、前記防水層よりも厚い請求項１から４の何れか１項に記載のベーパーチャンバー。
【請求項６】
前記防水層の空隙率は、２％以下である請求項１から５の何れか１項に記載のベーパーチャンバー。
【請求項７】
前記毛細管構造層の空隙率は、３０％から７０％の間である請求項１から６の何れか１項に記載のベーパーチャンバー。
【請求項８】
前記ケーシングは、基部、上蓋、第１の側板及び第２の側板を含む請求項１から７の何れか１項に記載のベーパーチャンバー。
【請求項９】
前記基部と前記上蓋との間を支持する複数の支持板を更に備える請求項８に記載のベーパーチャンバー。
【請求項１０】
前記防水層及び前記毛細管構造層は、前記複数の支持板に順に設けられる請求項９に記載のベーパーチャンバー。
【請求項１１】
前記ケーシングは、アルミニウム、鉄及びステンレス鋼のうちのいずれかの金属で形成される請求項１から１０の何れか１項に記載のベーパーチャンバー。
【請求項１２】
前記防水層及び前記毛細管構造層は、溶射成形により、前記ケーシングの前記内壁に順に形成される請求項１から１１の何れか１項に記載のベーパーチャンバー。
【請求項１３】
ケーシングを設ける工程と、
前記ケーシングの内壁に防水層を形成する工程と、
前記防水層上に毛細管構造層を形成する工程と、
前記ケーシングに作動流体を充填する工程と、
前記ケーシングを密封する工程と
を備えるベーパーチャンバーの製造方法。
【請求項１４】
前記ケーシングは、基部、上蓋、第１の側板及び第２の側板を含む請求項１３に記載のベーパーチャンバーの製造方法。
【請求項１５】
前記防水層及び前記毛細管構造層は、前記基部、前記上蓋、前記第１の側板及び前記第２の側板上に形成される請求項１４に記載のベーパーチャンバーの製造方法。
【請求項１６】
前記基部、前記上蓋、前記第１の側板及び前記第２の側板を、前記ケーシングを形成するように組み立てる工程を更に備える請求項１５に記載のベーパーチャンバーの製造方法。
【請求項１７】
前記作動流体が、水である請求項１３から１６の何れか１項に記載のベーパーチャンバーの製造方法。
【請求項１８】
前記防水層及び前記毛細管構造層はそれぞれ、前記水と反応しない材料によって形成され、前記材料は、銅、黄銅、ニッケル及びチタンのうちのいずれかである請求項１７に記載のベーパーチャンバーの製造方法。
【請求項１９】
前記毛細管構造層は、粉末多孔質の毛細管構造層である請求項１３から１８の何れか１項に記載のベーパーチャンバーの製造方法。
【請求項２０】
前記毛細管構造層は、前記防水層よりも厚い請求項１３から１９の何れか１項に記載のベーパーチャンバーの製造方法。
【請求項２１】
前記防水層の空隙率は、２％以下である請求項１３から２０の何れか１項に記載のベーパーチャンバーの製造方法。
【請求項２２】
前記毛細管構造層の空隙率は、３０％から７０％の間である請求項１３から２１の何れか１項に記載のベーパーチャンバーの製造方法。
【請求項２３】
前記基部、前記上蓋、前記第１の側板及び前記第２の側板は、アルミニウム、鉄及びステンレス鋼のうちのいずれかの金属で形成される請求項１４に記載のベーパーチャンバーの製造方法。
【請求項２４】
前記ケーシングの前記内壁に前記防水層を形成する工程は、溶射成形によって完成する請求項１３から２３の何れか１項に記載のベーパーチャンバーの製造方法。
【請求項２５】
前記防水層上に前記毛細管構造層を形成する工程は、溶射成形によって完成する請求項１３から２４の何れか１項に記載のベーパーチャンバーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【０００１】
本非仮出願は、３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．§１１９（ａ）に基づき、２００９年１１月１０日出願の台湾・中華民国出願０９８１３８１５０号明細書の優先権を主張するものであり、前記出願の内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
【技術分野】
【０００２】
本発明は、放熱機構に関し、特に、作動流体として水を使用し、優れた放熱効果を有するベーパーチャンバー及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
近年、電子デバイスの軽量化、薄型化及び小型化に伴い、電子デバイスにおける放熱により関心が向けられている。多くの放熱デバイスのなかでも、縦横方向に優れた熱伝導特性を持つことから、平板状ヒートパイプとも呼ばれるベーパーチャンバーが、電子デバイスの放熱デバイスとして広く使用されている。このような放熱デバイスが使用されている電子デバイスの例としては、中央演算処理装置、グラフィック・プロセッシング・ユニット、高出力トランジスタ、高出力発光ダイオード等が挙げらる。放熱デバイスは、このような電子デバイスが、オーバーヒートにより故障してしまうのを防ぎ、通常動作が可能とするために利用されている。
【０００４】
一般的に、アルミニウムは、軽量、低コスト等の利点を有することから、従来のベーパーチャンバーの主原料として、アルミニウム合金が、多くの場合使用されている。特に、航空宇宙産業では、熱管理システムの一部として、アルミニウムのベーパーチャンバーが、広く採用されている。図１Ａは、従来のアルミニウムベーパーチャンバーを示した分解図である。
【０００５】
図１Ａに示すように、ベーパーチャンバー１は、本体１０、第１の側板１２、第２の側板１４、及び注入管１６を備える。注入口１２０が、第１の側板１２に設けられ、また、溝１００が本体１０に設けられている。ベーパーチャンバー１は、毛細管構造として、溝１００(又は、網状のアルミニウム、網状のステンレス鋼）を使用し、アルミニウムと化学的相溶性を持ち、且つアルミニウムと反応しない作動流体（アセトン、ＣＦＣ、又は液体アンモニア等）を、充填管１６を通じてベーパーチャンバー１に充填する。
【０００６】
図１Ｂは、従来のアルミニウムベーパーチャンバーを示した断面図である。図１Ｂに示すように、熱源が、ベーパーチャンバー１の下部に接触する場合、その接触箇所が加熱箇所となる。液体の作動流体ＦＣは、加熱箇所で熱源の熱Ｑｉｎを吸収し、ガス状の作動流体Ｆｈとして気化して、ベーパーチャンバー１内部の他の領域へと拡散する。ガス状の作動流体Ｆｈが、ベーパーチャンバー１上部の冷却領域に接触すると、ガス状の作動流体Ｆｈは、蓄えていた潜熱を放出し、液体の作動流体ＦＣへと凝結して、熱ＱＯＵＴが、冷却領域から、ベーパーチャンバー１の外部へと分散される。さらに、液体の作動流体ＦＣは、溝１００のような毛細管構造による毛管力を通して、加熱領域まで導かれて、１つのサイクルが完了する。以上のように、従来のアルミニウムベーパーチャンバー１は、作動流体の液相と気相との間での相変化を利用して、放熱効果を達成している。
【０００７】
図２は、異なる温度における、異なる作動流体の液体輸送係数を示す曲線図である。液体輸送係数は、気化する潜熱、表面張力、液体の密度、及び液体の粘度を組み合わせたパラメータである。図２では、一般的な電子デバイスの動作温度（３０〜１００℃）において、水の熱輸送能力は、アセトン、液体アンモニア、メタノール、エタノール等の動作流体の熱輸送能力よりも高い。
【０００８】
化学的に安定した性質を持つ緻密質アルミナの層を、アルミニウムベーパーチャンバーの表面に形成してもよく、この場合、アルミニウム板及びアルミナ層の熱膨張係数は、それぞれ、２３．１×１０−６／Ｋ及び７×１０−６／Ｋと、両者の間には大きな開きがあり、冷却‐加熱サイクルが複数回繰り返されると、アルミニウム板とアルミニウム層との間に微小なクラックが生じることがある。このようなアルミニウムベーパーチャンバーにおいて、水を作動流体として使用すると、水がクラックから浸み出してアルミニウムと接触し、アルミニウムと化学反応を起こして、ベーパーチャンバーの故障の原因となってしまう。このような理由から、従来のアルミニウムベーパーチャンバーでは、熱輸送能力の低いアルミニウムと反応しない作動流体しか使用することができず、放熱効果が低く抑えられていた。
【０００９】
さらに、アルミニウムベーパーチャンバーの表面には、化学的に安定した性質を持つ緻密質アルミナの層が形成されるため、アルミニウムベーパーチャンバーの表面を他の粉末金属と接続することができなかった、又は、アルミニウムベーパーチャンバーの表面を、金属化プロセス（例えば、ニッケルめっきにより処理することができなかった。また、アルミナの融点は、２０７２℃であり、焼結温度は、１７００℃である。アルミナの融点及び焼結温度は、アルミニウムの融点である６００℃より高いので、アルミニウムベーパーチャンバーの毛細管構造を直接、粉末焼結方式で製造することはできない。このような理由から、従来のアルミニウムベーパーチャンバーでは、網状又は溝型の毛細管構造のみが使用されていた。しかしながら、溝型の毛細管構造の熱流速は、非常に小さく、３３Ｗ／ｃｍ２程度までにしかならず、高出力のトランジスタの放熱構造には、溝型の毛細管構造は不向きであった。網状の毛細管構造の場合は、毛細管構造とベーパーチャンバーの板部分との接合状態が最適とはならず、ベーパーチャンバーの熱抵抗を増大させ、ベーパーチャンバーの放熱能力に深刻な影響を与えてしまう場合があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記の従来技術を改善するベーパーチャンバー及びその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一実施形態では、ベーパーチャンバーを提供する。本実施形態において、ベーパーチャンバーは、ケーシングと、作動流体と、防水層と、毛細管構造層とを備える。作動流体は、ケーシングに充填される。また、防水層は、ケーシングの内壁に形成される。また、毛細管構造層は、防水層上に形成される。
【００１２】
本発明の他の実施形態では、ベーパーチャンバーの製造方法を提供する。初めに、ケーシングが設けられる。次いで、防水層が、ケーシングの内壁に形成される。そして、毛細管構造層が、防水層上に形成される。その後、作動流体が、ケーシングに充填される。最後に、ケーシングが密封される。
【００１３】
従来技術と比較した場合、本発明によれば、従来のベーパーチャンバーの低コスト及び軽量であるという利点を保ちつつ、ベーパーチャンバーの内壁に、防水層及び粉末多孔質の毛細管構造層を、この順に溶射技術によって形成可能である。これにより、ベーパーチャンバーが、常温で高い熱輸送能力を持つ水を、作動流体として使用することが可能となるため、アルミニウム製のベーパーチャンバーの放熱効果を大幅に向上させることができる。加えて、毛細管構造層の材料は、水と化学的に相溶であり、且つ水と反応しないので、毛細管構造層の表面を防水層で被覆する必要がなく、全体の厚さを抑えることができ、また、材料コストを抑えることができる。
【００１４】
本発明のこれら及びその他の特徴、側面および効果は、以下の説明、添付の特許請求の範囲および添付の図面を参照することにより、より良く理解される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１Ａ】従来のアルミニウムベーパーチャンバーの分解図である。
【図１Ｂ】従来のアルミニウムベーパーチャンバーの断面図である。
【図２】異なる温度における、異なる作動流体の液体輸送係数を示す曲線図である。
【図３】本発明の一実施形態によるベーパーチャンバーを示した分解図である。
【図４】図３に示す基部のみを描いた外観図である。
【図５】図３に示すベーパーチャンバーの断面図である。
【図６】図５の領域Ｒを拡大して示したものである。
【図７】本発明の他の実施形態による、ベーパーチャンバーの製造方法を示したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の一実施形態では、ベーパーチャンバーを提供する。実際の適用では、ベーパーチャンバーは、電子デバイスを冷却するのに使用され、ベーパーチャンバーのケーシングは、水と化学的に非相溶である材料によって形成される。そのような材料としては、アルミニウム、鉄、ステンレス鋼等が挙げられる。加えて、冷却のためのベーパーチャンバーにおいて、水が、作動流体として使用されるため、熱輸送能力を改善し、熱抵抗を低減することができる。
【００１７】
図３は、本発明の一実施形態によるベーパーチャンバーを示した分解図である。図３に示すように、ベーパーチャンバー２は、上蓋２０、基部２１、第１の側板２２、第２の側板２４、充填管２６、及び毛細管構造層２８を含む。実際には、ベーパーチャンバー２のケーシングを構成している板の数は、実施例の４（上蓋２０、基部２１、第１の側板２２、第２の側板２４）に限定されず、実際の要求に基づいて決定される。注入口２２０は、第１の側板２２に設けられ、そこから充填管２６を通じてベーパーチャンバー２に水が充填される。上蓋２０、基部２１、第１の側板２２、第２の側板２４及び充填管２６を組み立てて、ベーパーチャンバー２のケーシングを形成する際には、作動流体として使用される水を収容するための収容空間が、ベーパーチャンバー２のケーシング内に形成される。水と接触する収容空間の内壁は全て、毛細管構造層２８（及び毛細管構造層の下に設けられる防水層）によって覆われる。すなわち、図３に示すように、毛細管構造層２８は、上蓋２０、基部２１、第１の側板２２及び第２の側板２４の内面を覆うように設けられる。
【００１８】
本実施形態において、基部２１は、アルミニウムを、押出成形又はダイキャスト成形することにより製造され、上蓋２０、第１の側板２２及び第２の側板２４は、冷間鋳造及びスタンピング成形によって製造される。しかしながら、実際には、上蓋２０、第１の側板２２及び第２の側板２４の製造方法は、アルミニウムの押出成形、ダイキャスト成形、又は冷間鋳造及びスタンピング成形のような上記の成形方法に限定されない。また、基部、上蓋及び二つの側板の材料も、純アルミニウム又はアルミニウム合金のようなアルミニウムに限定されず、実際の要求に応じて適宜決定される。
【００１９】
図４は、ベーパーチャンバー２の基部２１のみを示した外観図である。図３及び図４では、図４に示すリブ板のような複数の支持板２１０が、基部２１に設けられている。複数の支持板２１０は、基部２１と上蓋２０との間を支持するように設けられ、ベーパーチャンバー２全体の構造を補強している。複数の支持板２１０の数及び位置は、実際の要求に応じて決定され、ここに示す実施形態に限定されない。
【００２０】
図５は、図３に示すベーパーチャンバー２の断面図である。すなわち、図５は、完全に組み立てられた状態のベーパーチャンバー２を示す断面図である。図５に示すように、ベーパーチャンバー２のケーシングの収容空間Ｓの内壁（すなわち、上蓋２０、基部２１及び支持板２１０の内面）は全て、防水層２９で覆われており、防水層２９は、毛細管構造層２８で覆われている。本実施形態では、水と接触する場合がある箇所である上蓋２０、基部２１、第１の側板２２及び第２の側板２４の内面には、この順に、防水層２９及び毛細管構造層２８が溶射成形される。しかしながら、本発明は、上述の実施形態に限定されない。
【００２１】
実際の適用では、溶射成形は、例えば、プラズマ溶射、アーク溶射、フレーム溶射又は高速酸素燃焼溶射のような様々な方式の溶射成形であってもよく、溶射成形は、高温又は低温で行うことができる。本発明は、これらに限定されない。溶射成形で吹き付ける材料は、ベーパーチャンバー２の作動流体と反応を起こさず、且つ作動流体と化学的相溶性を持つ金属又はセラミックであってもよい。本実施形態では、ベーパーチャンバー２の作動流体として、水が使用されるので、水と反応を起こさず化学的相溶性を持つ材料が、防水層２９及び毛細管構造層２８を形成する溶射成形工程で使用され、例えば、銅、黄銅、ニッケル、チタン等が使用される。しかしながら、本発明は、これらに限定されない。
【００２２】
本実施形態では、防水層２９の形成のために溶射する材料を、まず液体状に溶解し、直径５〜２００ｎｍの粉末粒子を高圧のガスで吹き付けて、水と接触する箇所となる上蓋２０、基部２１、第１の側板２２及び第２の側板２４の内面に、速やかに注入し、付着させることにより、厚さ１０〜５０μｍの防水層２９を形成する。同様に、毛細管構造層２８の形成のために溶射する材料をまず液体状に溶解し、直径３５〜２５０μｍの粉末粒子を高圧のガスで吹き付けて、防水層２９の表面に速やかに注入し、付着させることにより、厚さ０．１〜０．８ｍｍの粉末多孔質の毛細管構造層２８を形成する。
【００２３】
図６は、図５の領域Ｒを拡大して示したものである。図６に示すように、基部２１上に形成された防水層２９の厚さは、防水層２９の上に形成された毛細管構造層２８の厚さよりも非常に小さく、防水層２９を形成する粉末粒子２９０のサイズは、毛細管構造層２８を形成する末粒子２８０のサイズよりも非常に小さい。また、毛細管構造層２８の空隙率は、３０％から７０％の間であり、防水層２９の空隙率２％以下よりも、非常に大きな値となっている。毛細管構造層２８は多孔質であり、防水層２９は、その下に位置するアルミニウムの基部２１が水と接して反応してしまうのを効果的に防ぐことができる。
【００２４】
実際には、防水層２９を形成する溶射材料と、毛細管構造層２８を形成する溶射材料とは、同じであってもよい（例えば、共に銅）し、異なっていてもよい（例えば、黄銅とニッケル）。本発明は、これに限定されないが、同じ材料を使用するのが望ましい。
【００２５】
本発明の他の実施形態では、ベーパーチャンバーの製造方法が提供される。実際の適用では、この方法により製造されるベーパーチャンバーは、電子デバイスを冷却するのに使用され、ベーパーチャンバーのケーシングは、水と化学的に非相溶である材料によって形成され、例えば、鉄、ステンレス鋼等によって形成される。これは、材料は、水と反応して、故障や破損を引き起こす可能性があるからである。加えて、冷却のためのベーパーチャンバーにおいて、水は、作動流体として使用されるため、熱輸送能力を改善し、熱抵抗を低減することができる。
【００２６】
図７は、本発明の他の実施形態による、ベーパーチャンバーの製造方法を示したフローチャートである。図７に示すように、ステップＳ１０及びＳ１１をそれぞれ実行して、アルミニウムの押出成形又はダイキャスト成形により基部を製造し、冷間鋳造及びスタンピング成形により上蓋及び二つの側板を製造する。本実施形態では、基部、上蓋及び二つの側板は、従来より使用されている純アルミニウムやアルミニウム合金等のアルミニウムによって形成される。
【００２７】
実際には、基部、上蓋及び二つの側板の製造方法は、アルミニウムの押出成形、ダイキャスト成形、又は冷間鋳造及びスタンピング成形のような上記の成形方法に限定されない。また、基部、上蓋及び二つの側板の材料は、純アルミニウム又はアルミニウム合金のようなアルミニウムに限定されず、実際の要求に応じて適宜決定することができる。加えて、複数の支持板を基部に設けてもよい。基部、上蓋、第１の側板及び第２の側板を組み立てる際には、複数の支持板は、基部と上蓋との間にこれらを支持するように設けられ、ベーパーチャンバーのケーシング内部を複数の収容空間に分割し、ベーパーチャンバーの支持構造を補強している。複数の支持板の数及び位置は、実際の要求に応じて決定され、ここに示す実施形態に限定されない。
【００２８】
次に、ステップＳ１２に進み、サンドブラストにより、作動流体（すなわち、水）と接触する面を粗面化する。ベーパーチャンバーの製造方法において、ステップＳ１２を行う目的は、基部、上蓋及び二つの側板の作動流体と接触する可能性のある全ての表面を、サンドブラスト又は他の粗面化プロセスにより、予め処理することにより、表面を粗面化し、後に当該表面に吹き付けられる溶射材料の密着性を高めることである。次に、ステップＳ１３に進み、超音波で洗浄して表面から油分を除去して、次に行われる溶射工程を行いやすくする。
【００２９】
ステップＳ１４では、作動流体と接触する表面に、溶射成形により、銅の防水層を形成する。実際の適用では、溶射成形は、例えば、プラズマ溶射、アーク溶射、フレーム溶射又は高速酸素燃焼溶射のような様々な方式の溶射成形であってもよく、溶射成形は、高温又は低温で行うことができる。本発明は、これに限定されない。
【００３０】
ステップＳ１４において、溶射成形で吹き付ける材料は、作動流体と反応を起こさず、また作動流体と化学的相溶性を持つ金属又はセラミックであってもよい。本発明の実施形態では、ベーパーチャンバーの作動流体として水が使用されるので、水と反応を起こさず且つ水と化学的相溶性を持つ材料が、溶射成形に使用される。防水層の溶射材料としては、例えば、銅、黄銅、ニッケル、チタン等が使用される。ステップＳ１４では、溶射材料をまず、液体状に溶解し、直径５〜２００ｎｍの粉末粒子を高圧ガスで動作流体と接触する表面に吹き付けて、速やかに注入し、付着させることにより、厚さ１０〜５０μｍの防水層を形成する。
【００３１】
次に、ステップＳ１５に進み、溶射成形により、銅の多孔質毛細管構造層を、銅の防水層上に形成する。ステップＳ１４と同様、ステップＳ１５で採用される溶射成形も、プラズマ溶射、アーク溶射、フレーム溶射又は高速酸素燃焼溶射のような様々な方式の溶射成形であってもよく、また、溶射成形は、高温又は低温で行うことができる。本発明は、これに限定されない。また、ステップＳ１５の溶射成形では、水と化学的相溶性を持ち且つ水と反応しない材料が使用され、例えば、銅、黄銅、ニッケル、チタン等を、毛細管構造層の溶射材料として使用する。
【００３２】
ステップＳ１４で使用される溶射材料と、ステップＳ１５で使用される溶射材料とが、同じであってもよいし（例えば、防水層を形成する溶射材料と、毛細管構造層を形成する溶射材料とが、共に銅）、異なっていてもよい（例えば、防水層を形成する溶射材料が、チタンで、毛細管構造層を形成する溶射材料が、銅）。本発明は、これに限定されない。しかしながら、同じ材料を使用することが望ましい。
【００３３】
ステップＳ１５では、溶射材料をまず液体状に溶解し、直径３５〜２５０μｍの粉末粒子を高圧ガスで吹き付けて、防水層の表面に速やかに注入し、付着させることにより、厚さ０．１〜０．８ｍｍの粉末多孔質の毛細管構造層を形成する。ステップＳ１４とステップＳ１５とを比較すると、防水層と毛細管構造層とは共に溶射成形によって形成されるが、毛細管構造層は、防水層よりも非常に厚い点が異なり、毛細管構造層を形成するために付着される粉末粒子のサイズも、防水層を形成するために付着される粉末粒子のサイズより非常に大きい。また、毛細管構造層の空隙率は３０％から７０％の間であり、防水層の空隙率、２％以下よりも、非常に大きな値となっている。したがって、毛細管構造層は多孔質であり、防水層は、その下に位置するアルミニウムのベーパーチャンバーが水と接して反応してしまうのを効果的に防ぐことができる。
【００３４】
次に、ステップＳ１６及びステップＳ１７を順に実行される。基部、上蓋及び二つの側板を組み立てて、ベーパーチャンバーのケーシングを形成した後、レーザー溶接、プラズマアーク溶接等の方法により、ベーパーチャンバーのケーシングを密封する。ベーパーチャンバーのケーシングの内部には、密封された収容空間が形成されるので、ステップＳ１８において、収容空間に作動流体（すなわち、水）を充填することができる。実際の適用では、ベーパーチャンバーは、作動流体を充填し易くするために、側板の一方に充填管を供えていてもよい。最後に、ステップＳ１９及びステップＳ２０が順に実行される。真空ポンプにより、ベーパーチャンバーからガスを取り除いた後、密封し、機能テスト及び寸法検査が行われ、ベーパーチャンバーの製造方法フローが完了する。
【００３５】
上述したように、本発明のベーパーチャンバー及びその製造方法は、従来技術と比較して、従来のベーパーチャンバーの低コスト及び軽量であるという利点を保ちつつ、ベーパーチャンバーの内壁に防水層及び粉末多孔質の毛細管構造層をこの順に溶射成形によって形成可能であり、これにより、ベーパーチャンバーが、常温で高い熱輸送能力を持つ水を作動流体として使用することが可能となるため、アルミニウム製のベーパーチャンバーの放熱効果を大幅に向上させることができる。加えて、毛細管構造層の材料として、水と化学的に相溶であり、且つ水と反応しないものを使用しているので、毛細管構造層の表面を防水層で被覆する必要がなく、全体の厚さを抑えることができ、また、材料コストを抑えることができる。
【００３６】
以上、本発明を好ましい実施形態を用いて詳細に説明したが、本開示は本発明の範囲を限定するものではない。本発明の範囲および精神の範囲で、多様な変更または改良を加えることが可能であることは当業者にとって明らかである。したがって、添付する本発明の特許請求の範囲は、上記の好ましい実施形態の記述によって限定されるべきではない。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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