(57)【要約】【課題】光スキャナを追加加工することなく製品歩留まりを向上させることが可能な光スキャナの製造方法及び光スキャナ搭載装置の製造方法を提供する。【解決手段】ミラー部を振動可能に支持する本体部は、本体枠の内側底面に固定され、周囲を本体枠の側壁部で囲まれている。そして、本体枠の外側底面部を固定治具の取付面に当接させ、側壁部の上端部に押圧部材を所定押圧力で当接させて該本体枠を固定治具に取り付ける。その後、本体部に固着された圧電素子を駆動し、ミラー部の共振振動時の該ミラー部の共振周波数と該圧電素子の駆動電圧を測定する。そして、駆動電圧が所定規格値の最大値より大きい場合には、押圧部材の押圧力を増加させて、圧電素子を駆動し、ミラー部を共振振動させる該圧電素子の最小駆動電圧と、その時のミラー部の共振周波数とが共に所定規格値の場合には、その時の押圧部材の押圧力を取付用押圧力として取得する。【選択図】図１１
2011203556.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミラー部を振動可能に支持すると共に該ミラー部を揺動軸回りに揺動させる圧電素子を有する本体部と、
前記本体部が内側底面部に固定されると共に該本体部の周囲を囲むように設けられた側壁部を有する本体枠と、を備え、
前記ミラー部を揺動軸回りに変位駆動して所定方向に光を走査する光スキャナの製造方法において、
固定治具の取付面に前記本体枠の外側底面部を当接させると共に、前記側壁部の上端部に押圧部材を所定押圧力で当接させて該本体枠を固定治具に取り付ける測定治具取付工程と、
前記圧電素子を駆動して前記ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と該圧電素子の駆動電圧を測定する第１測定工程と、
前記第１測定工程で測定された共振周波数と駆動電圧とが共に、又はいずれかが所定規格値内か否かを判定する測定値判定工程と、
前記測定値判定工程で前記共振周波数と駆動電圧とが共に、又はいずれかが所定規格値内でないと判定された場合には、該駆動電圧が前記所定規格値の最大値よりも大きいか否かを判定する駆動電圧判定工程と、
前記駆動電圧判定工程で前記駆動電圧が前記所定規格値の最大値よりも大きいと判定された場合には、前記押圧部材の押圧力を増加させて再度、前記圧電素子を駆動して前記ミラー部を共振振動させる該圧電素子の最小駆動電圧と該最小駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とを取得する第１再測定工程と、
前記第１再測定工程で測定された最小駆動電圧と該最小駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内か否かを判定する第１再測定値判定工程と、
前記第１再測定値判定工程で前記最小駆動電圧と該最小駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内であると判定された場合には、該最小駆動電圧時における前記押圧部材の押圧力を取付用押圧力として取得する第１取付用押圧力取得工程と、
を備えたことを特徴とする光スキャナの製造方法。
【請求項２】
前記駆動電圧判定工程で前記駆動電圧が前記所定規格値の最大値以下であると判定された場合には、前記押圧部材の押圧力を単位押圧力だけ増加させて再度、前記圧電素子を駆動して前記ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と該圧電素子の駆動電圧を測定する第２再測定工程と、
前記第２再測定工程で測定された駆動電圧と該駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内か否かを判定する第２再測定値判定工程と、
前記第２再測定値判定工程で前記駆動電圧と該駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内でないと判定された場合には、再度、前記第２再測定工程及び前記第２再測定値判定工程を実行し、一方、前記第２再測定値判定工程で前記駆動電圧と該駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内であると判定された場合には、該駆動電圧時における前記押圧部材の押圧力を取付用押圧力として取得する第２取付用押圧力取得工程と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の光スキャナの製造方法。
【請求項３】
ミラー部を振動可能に支持すると共に該ミラー部を揺動軸回りに揺動させる圧電素子を有する本体部と、
前記本体部が内側底面部に固定されると共に該本体部の周囲を囲むように設けられた側壁部を有する本体枠と、を備え、
前記ミラー部を揺動軸回りに変位駆動して所定方向に光を走査する光スキャナの製造方法において、
固定治具の取付面に前記本体枠の外側底面部を当接させると共に、前記側壁部の上端部に押圧部材を所定押圧力で当接させて該本体枠を固定治具に取り付ける測定治具取付工程と、
前記圧電素子を駆動して前記ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と該圧電素子の駆動電圧を測定する測定工程と、
前記測定工程で測定された共振周波数と駆動電圧とが共に、又はいずれかが所定規格値内か否かを判定する測定値判定工程と、
前記測定値判定工程で前記共振周波数と駆動電圧とが共に、又はいずれかが所定規格値内でないと判定された場合には、該駆動電圧が前記所定規格値の最大値よりも大きいか否かを判定する駆動電圧判定工程と、
前記駆動電圧判定工程で前記駆動電圧が前記所定規格値の最大値以下であると判定された場合には、前記押圧部材の押圧力を単位押圧力だけ増加させて再度、前記圧電素子を駆動して前記ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と該圧電素子の駆動電圧を測定する再測定工程と、
前記再測定工程で測定された駆動電圧と該駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内か否かを判定する再測定値判定工程と、
前記再測定値判定工程で前記駆動電圧と該駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内でないと判定された場合には、再度、前記再測定工程及び前記再測定値判定工程を実行し、一方、前記駆動電圧と該駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内であると判定された場合には、該駆動電圧時における前記押圧部材の押圧力を取付用押圧力として取得する取付用押圧力取得工程と、
を備えたことを特徴とする光スキャナの製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光スキャナの製造方法によって製造されて、前記ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と前記圧電素子の駆動電圧とが共に所定規格値内であると判定された光スキャナを、前記所定押圧力又は前記取付用押圧力で光スキャナ搭載装置に取り付けることを特徴とする光スキャナ搭載装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光スキャナの製造方法及び光スキャナ搭載装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ミラー部を揺動軸回りに揺動駆動して所定方向に光を走査する光スキャナに関して種々提案されている。
例えば、ミラー部と、このミラー部の両側に一端側が接続された一対の捻れ梁部とを残して中抜きされた導電性を有する基板が、その一端側を支持部材によって片持ち状に支持されると共に、この基板上の一部に圧電素子が形成された光スキャナがある（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２９３１１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した特許文献１に記載される構成では、基板の加工バラツキ等により、ミラー部の共振振動時における圧電素子の駆動電圧やミラー部の共振周波数が所定規格値を超える場合があるため、製品歩留まりが悪い。
【０００５】
そこで、本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、光スキャナを追加加工することなく製品歩留まりを向上させることが可能な光スキャナの製造方法及び光スキャナ搭載装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため請求項１に係る光スキャナの製造方法は、ミラー部を振動可能に支持すると共に該ミラー部を揺動軸回りに揺動させる圧電素子を有する本体部と、前記本体部が内側底面部に固定されると共に該本体部の周囲を囲むように設けられた側壁部を有する本体枠と、を備え、前記ミラー部を揺動軸回りに変位駆動して所定方向に光を走査する光スキャナの製造方法において、固定治具の取付面に前記本体枠の外側底面部を当接させると共に、前記側壁部の上端部に押圧部材を所定押圧力で当接させて該本体枠を固定治具に取り付ける測定治具取付工程と、前記圧電素子を駆動して前記ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と該圧電素子の駆動電圧を測定する第１測定工程と、前記第１測定工程で測定された共振周波数と駆動電圧とが共に、又はいずれかが所定規格値内か否かを判定する測定値判定工程と、前記測定値判定工程で前記共振周波数と駆動電圧とが共に、又はいずれかが所定規格値内でないと判定された場合には、該駆動電圧が前記所定規格値の最大値よりも大きいか否かを判定する駆動電圧判定工程と、前記駆動電圧判定工程で前記駆動電圧が前記所定規格値の最大値よりも大きいと判定された場合には、前記押圧部材の押圧力を増加させて再度、前記圧電素子を駆動して前記ミラー部を共振振動させる該圧電素子の最小駆動電圧と該最小駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とを取得する第１再測定工程と、前記第１再測定工程で測定された最小駆動電圧と該最小駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内か否かを判定する第１再測定値判定工程と、前記第１再測定値判定工程で前記最小駆動電圧と該最小駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内であると判定された場合には、該最小駆動電圧時における前記押圧部材の押圧力を取付用押圧力として取得する第１取付用押圧力取得工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
また、請求項２に係る光スキャナの製造方法は、請求項１に記載の光スキャナの製造方法において、前記駆動電圧判定工程で前記駆動電圧が前記所定規格値の最大値以下であると判定された場合には、前記押圧部材の押圧力を単位押圧力だけ増加させて再度、前記圧電素子を駆動して前記ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と該圧電素子の駆動電圧を測定する第２再測定工程と、前記第２再測定工程で測定された駆動電圧と該駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内か否かを判定する第２再測定値判定工程と、前記第２再測定値判定工程で前記駆動電圧と該駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内でないと判定された場合には、再度、前記第２再測定工程及び前記第２再測定値判定工程を実行し、一方、前記第２再測定値判定工程で前記駆動電圧と該駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内であると判定された場合には、該駆動電圧時における前記押圧部材の押圧力を取付用押圧力として取得する第２取付用押圧力取得工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
また、請求項３に係る光スキャナの製造方法は、ミラー部を振動可能に支持すると共に該ミラー部を揺動軸回りに揺動させる圧電素子を有する本体部と、前記本体部が内側底面部に固定されると共に該本体部の周囲を囲むように設けられた側壁部を有する本体枠と、を備え、前記ミラー部を揺動軸回りに変位駆動して所定方向に光を走査する光スキャナの製造方法において、固定治具の取付面に前記本体枠の外側底面部を当接させると共に、前記側壁部の上端部に押圧部材を所定押圧力で当接させて該本体枠を固定治具に取り付ける測定治具取付工程と、前記圧電素子を駆動して前記ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と該圧電素子の駆動電圧を測定する測定工程と、前記測定工程で測定された共振周波数と駆動電圧とが共に、又はいずれかが所定規格値内か否かを判定する測定値判定工程と、前記測定値判定工程で前記共振周波数と駆動電圧とが共に、又はいずれかが所定規格値内でないと判定された場合には、該駆動電圧が前記所定規格値の最大値よりも大きいか否かを判定する駆動電圧判定工程と、前記駆動電圧判定工程で前記駆動電圧が前記所定規格値の最大値以下であると判定された場合には、前記押圧部材の押圧力を単位押圧力だけ増加させて再度、前記圧電素子を駆動して前記ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と該圧電素子の駆動電圧を測定する再測定工程と、前記再測定工程で測定された駆動電圧と該駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内か否かを判定する再測定値判定工程と、前記再測定値判定工程で前記駆動電圧と該駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内でないと判定された場合には、再度、前記再測定工程及び前記再測定値判定工程を実行し、一方、前記駆動電圧と該駆動電圧時における該ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値内であると判定された場合には、該駆動電圧時における前記押圧部材の押圧力を取付用押圧力として取得する取付用押圧力取得工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
更に、請求項４に係る光スキャナ搭載装置の製造方法は、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光スキャナの製造方法によって製造されて、前記ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と前記圧電素子の駆動電圧とが共に所定規格値内であると判定された光スキャナを、前記所定押圧力又は前記取付用押圧力で光スキャナ搭載装置に取り付けることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に係る光スキャナの製造方法では、ミラー部を振動可能に支持する本体部は、本体枠の内側底面に固定され、周囲を本体枠の側壁部で囲まれている。そして、この本体枠の外側底面部を固定治具の取付面に当接させて、側壁部の上端部に押圧部材を所定押圧力で当接させて該本体枠を固定治具に取り付ける。その後、本体部に固着された圧電素子を駆動して、ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と該圧電素子の駆動電圧を測定する。
【００１１】
そして、駆動電圧が所定規格値の最大値より大きい場合には、押圧部材の押圧力を増加させて、圧電素子を駆動し、ミラー部を共振振動させる該圧電素子の最小駆動電圧と、その最小駆動電圧時のミラー部の共振周波数とが共に所定規格値の場合には、その時の押圧部材の押圧力を取付用押圧力として取得する。
【００１２】
これにより、所定押圧力で本体枠をヘッドマウントディスプレイやプロジェクタ等の光スキャナ搭載装置に取り付けた場合に、ミラー部の共振振動時における圧電素子の駆動電圧が所定規格値の最大値よりも大きくなる不合格品の光スキャナを、取付用押圧力で取り付けることによって、ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と圧電素子の駆動電圧とを共に所定規格値にすることができる。従って、ミラー部の共振振動時における圧電素子の駆動電圧が所定規格値の最大値よりも大きくなる不合格品の光スキャナから、本体枠の押圧力を取付用押圧力に設定することによって合格品となる光スキャナを選別することが可能となり、製品歩留まりを向上させることができる。
【００１３】
また、請求項２に係る光スキャナの製造方法では、ミラー部の共振振動時における圧電素子の駆動電圧が所定規格値の最大値以下で、ミラー部の共振周波数が所定規格値内でない場合には、押圧部材の押圧力を増加させて、圧電素子を駆動し、ミラー部を共振振動させる。そして、ミラー部を共振振動させる圧電素子の駆動電圧と、ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値の場合には、その時の押圧部材の押圧力を取付用押圧力として取得する。
【００１４】
これにより、所定押圧力で本体枠を光スキャナ搭載装置に取り付けた場合に、ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数が所定規格値内でなく不合格品になる光スキャナを、取付用押圧力で取り付けることによって、ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と圧電素子の駆動電圧とを共に所定規格値にすることができる。従って、ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数が所定規格値内でなく不合格品になる光スキャナから、本体枠の押圧力を取付用押圧力に設定することによって合格品となる光スキャナを選別することが可能となり、製品歩留まりの更なる向上を図ることができる。
【００１５】
また、請求項３に係る光スキャナの製造方法では、ミラー部を振動可能に支持する本体部は、本体枠の内側底面に固定され、周囲を本体枠の側壁部で囲まれている。そして、この本体枠は、外側底面部を固定治具の取付面に当接させて、側壁部の上端部に押圧部材を所定押圧力で当接させて該本体枠を固定治具に取り付ける。その後、本体部に固着された圧電素子を駆動して、ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と該圧電素子の駆動電圧を測定する。
【００１６】
そして、ミラー部の共振振動時における圧電素子の駆動電圧が所定規格値の最大値以下で、ミラー部の共振周波数が所定規格値内でない場合には、押圧部材の押圧力を増加させて、圧電素子を駆動し、ミラー部を共振振動させる。そして、ミラー部を共振振動させる圧電素子の駆動電圧と、ミラー部の共振周波数とが共に所定規格値の場合には、その時の押圧部材の押圧力を取付用押圧力として取得する。
【００１７】
これにより、所定押圧力で本体枠をヘッドマウントディスプレイやプロジェクタ等の光スキャナ搭載装置に取り付けた場合に、ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数が所定規格値内でなく不合格品になる光スキャナを、取付用押圧力で取り付けることによって、ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と圧電素子の駆動電圧とを共に所定規格値にすることができる。従って、ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数が所定規格値内でなく不合格品になる光スキャナから、本体枠の押圧力を取付用押圧力に設定することによって合格品となる光スキャナを選別することが可能となり、製品歩留まりの更なる向上を図ることができる。
【００１８】
更に、請求項４に係る光スキャナ搭載装置の製造法では、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光スキャナの製造方法によって製造されて、ミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数と圧電素子の駆動電圧とが共に所定規格値内であると判定された光スキャナを、所定押圧力又は取付用押圧力でヘッドマウントディスプレイやプロジェクタ等の光スキャナ搭載装置に取り付ける。これにより、光スキャナ搭載装置の製造不良品の削減化を図り、品質の向上を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施例に係る固定治具に光スキャナを取り付けた状態を示す正面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】固定治具から光スキャナと押圧部材を取り外した状態を示す正面図である。
【図４】図３の側面図である。
【図５】光スキャナの平面図である。
【図６】光スキャナの底面図である。
【図７】図５のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図８】押圧部材の締め付けトルクとミラー部の共振振動時における圧電素子の駆動電圧との関係を示す図である。
【図９】押圧部材の締め付けトルクとミラー部の共振振動時における該ミラー部の共振周波数との関係を示す図である。
【図１０】光スキャナの検査工程を示すフローチャートである。
【図１１】図１０の「駆動電圧調整工程」のサブ工程を示すサブフローチャートである。
【図１２】図１０の「共振周波数調整工程」のサブ工程を示すサブフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る光スキャナの製造方法及び光スキャナ搭載装置の製造方法について具体化した一実施例に基づき図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００２１】
［固定治具の概略構成］
先ず、本実施例に係る固定治具１の概略構成について図１乃至図４に基づき説明する。
図１乃至図４に示すように、ステンレス（例えば、ＳＵＳ３０４やＳＵＳ４３０等である。）、チタン、鉄等で作製された固定治具１は、光スキャナ２の本体枠３の外側底面部が当接される治具本体部５と、該光スキャナ２を左側端縁部に押し当てて左右方向及び上下方向の位置決めを行う位置決め部材６と、光スキャナ２の本体枠３の上端部を押圧する略直方体状の押圧部材７等から構成されている。
【００２２】
治具本体部５は、上下方向中央部よりも少し上側において、光スキャナ２の平面視略正方形の本体枠３の幅よりも少し広い幅で、該治具本体部５の前後方向（図２中、左右方向である。）の幅の約２/３の深さまで左右方向に沿って切り欠かれた溝部８が形成されている。また、治具本体部５の左側端縁部には、本体枠３の幅の約半分の幅で、溝部８に直交するように上下方向に沿って、該溝部８と同じ深さまで切り欠かれた段差部９が形成されている。従って、治具本体部５は、左側端縁部から右側端縁部まで正面視横Ｔ字形に、前後方向（図２中、左右方向である。）の幅の約２/３の深さまで切り欠かれている。
【００２３】
また、治具本体部５は、溝部８の右側端縁部から段差部９の左側端縁部より少し内側まで（例えば、約３ｍｍ内側である。）、この溝部８の幅と同じ幅で、且つ、本体枠３の高さ寸法（図７中、左右方向の幅寸法である。）よりも所定寸法（例えば、約０．１〜０．２ｍｍである。）浅い深さの正面視横長四角形の取付用凹部１１が形成されている。
【００２４】
また、取付用凹部１１の左側端縁部には、図１及び図３に示すように、本体枠３を取付用凹部１１の左側端縁部に押し付けた場合に、本体枠３の底面部に対向する位置に、該本体枠３の底面部よりも少し小さい略四角形の貫通孔１２が形成されている。従って、この貫通孔１２を介して光スキャナ２の反射ミラー部３２（ミラー部）（図５参照）にレーザ光を照射して該反射ミラー部３２の共振周波数を測定することができる。
【００２５】
また、取付用凹部１１の貫通孔１２よりも右側の底面部の左右方向略中央部には、位置決め部材６をボルト締めするためのネジ孔１３が上下方向中央部に形成されている。また、段差部９には、取付用凹部１１を挟んで上下に押圧部材７をボルト締めするための一対のネジ孔１５が形成されている。また、貫通孔１２の左側側壁部の上下方向中央部から段差部９の左側側面部まで、本体枠３の約１／３の幅で切り欠かれた切欠部１６が形成されている。
【００２６】
また、位置決め部材６は、溝部８の幅とほぼ同じ幅で正面視略矩形状に形成され、正面視左上側角部には、全厚さに渡って正面視略直角三角形状に突出する突出部１７が形成されている。この突出部１７の内側斜面部は、図１に示すように、光スキャナ２の本体枠３の右上角部に形成された斜面部４７Ｂ（図５参照）に当接する。
【００２７】
また、位置決め部材６のネジ孔１３に対向する上下方向略中央部には、左右方向に長い横長の貫通孔１８が形成されている。そして、図１に示すように、位置決め部材６は、この貫通孔１８にボルト２０を挿通してネジ孔１３に仮止め後、左右方向へスライドして、本体枠３に当接した状態でボルト締めされて、固定される。これにより、光スキャナ２は、本体枠３の外側底面部が取付用凹部１１の底面部１１Ａ（取付面）に当接された状態で、取付用凹部１１の左下側角部に押しつけられて、左右方向及び上下方向の位置決めがされる。
【００２８】
また、押圧部材７は、各ネジ孔１５に対向する位置に、溝部８に対向する側面部から内側方向に正面視横Ｕ字形に切り欠かれた一対の取付用溝部２２が、全厚さに渡って形成されている。そして、図１及び図２に示すように、押圧部材７は、各取付溝部２２がそれぞれ各ネジ孔１５に対向するように段差部９に載置され、本体枠３の上端部に当接された状態で、各ボルト２３によって予め定められた規格値の締付トルクでボルト締めされて、固定される。
【００２９】
従って、光スキャナ２は、本体枠３の側壁部３１（図５、図７参照）の上端部が押圧部材７によって所定押圧力で押圧され、該本体枠３は取付用凹部１１の底面部１１Ａに押し付けられて、固定治具１の治具本体部５に固定される。つまり、光スキャナ２をヘッドマウントディスプレイやプロジェクタ等の光スキャナ搭載装置の搭載部に装着して、取付板（不図示）等で本体枠３の側壁部３１の上端部を押圧し、該取付板をネジ止めによって固定した状態を再現することが可能となる。
【００３０】
また、取付用凹部１１の深さは、本体枠３の高さ寸法（図７中、左右方向の幅寸法である。）よりも所定寸法（例えば、約０．１〜０．２ｍｍである。）浅いため、押圧部材７を本体枠３の上側に当接させた場合には、該押圧部材７と段差部９との間に所定寸法（例えば、約０．１〜０．２ｍｍである。）の隙間が形成される。このため、後述のように、各ボルト２３の締付トルクを増加させることによって、押圧部材７が本体枠３を押圧する押圧力が増加し、反射ミラー部３２の共振振動時における該反射ミラー部３２の共振周波数と圧電素子４１の駆動電圧とを変化させることが可能となる（図８及び図９参照）。
【００３１】
［光スキャナの概略構成］
次に、光スキャナ２の概略構成について図５乃至図７に基づいて説明する。
図５乃至図７に示すように、光スキャナ２は、反射ミラー部３２が設けられた平面視矩形状の本体部３３と、本体部３３が内側底面部に取り付けられる本体枠３と、本体部３３の基端部を本体枠３３に押圧して固定する固定部材３５等から構成されている。
【００３２】
本体部３３は、ステンレス（例えば、ＳＵＳ３０４やＳＵＳ４３０等である。）、チタン、鉄等、弾性を有する導電性材料を用いて、プレス加工又はエッチングによって形成されている。本体部３３の厚さは、約３０μｍ〜５００μｍとされている。
【００３３】
尚、本体部３３は、シリコン等、弾性を有する材料を用いてエッチング法等により形成し、その表面に物理気相成長法（ＰＶＤ法）や真空蒸着法、スパッタリングやＡＤ法等によって金（Ａｕ）や白金（Ｐｔ）等を０．２μｍ〜０．６μｍ積層して、表面に導電層を有するように形成してもよい。
【００３４】
この本体部３３は、自由端側に光が通過し得る平面視長方形状の貫通孔３６が、自由端側方向に対して直角な方向に沿うように形成されている。また、この貫通孔３６の中央部には、反射面３２Ａが形成された平面視円形状の反射ミラー部３２が、揺動軸３７に対して直角方向に対称になるように設けられている。尚、反射ミラー部３２は、円形に限らず、正方形、長方形、略四角形、菱形、多角形、楕円形等であってもよい。
【００３５】
反射ミラー部３２の反射面３２Ａは、対称中心線である揺動軸３７を中心として揺動させられる。また、反射ミラー部３２の両端面部から、揺動軸３７に沿って一対の捻れ梁部３８Ａ、３８Ｂがそれぞれ互いに逆向きに延び出して、それぞれ相対向する貫通孔３６の内側面に連結されている。
【００３６】
ここで、反射ミラー部３２は、直径が約２００μｍ〜１０００μｍに形成されている。また、一対の捻れ梁部３８Ａ、３８Ｂは、揺動軸３７に対して直交している平面視短手方向（幅方向）が約８０μｍ〜１５０μｍに形成されている。
【００３７】
また、本体部３３の基端部側には、図５及び図７に示すように、平面視矩形状でシート状の圧電素子４１が、エポキシ系、アクリル系、シリコン系等の合成樹脂材料で形成された導電性を有する導電性接着剤によって、長手方向の側面部が揺動軸３７に対して平行になるように接着されている。この圧電素子４１の上下面は、それぞれ全面に渡って金（Ａｕ）や白金（Ｐｔ）等が０．２μｍ〜０．６μｍ積層されて、上部電極４１Ａと下部電極（不図示）が形成されている。
【００３８】
この圧電素子４１は、厚さが約３０μｍ〜１００μｍで、揺動軸３７方向の長さは約５ｍｍ、該揺動軸３７に対して直角方向の長さは約２．８ｍｍに形成されている。また、圧電素子４１は、反射ミラー部３２の揺動軸３７上の揺動軸方向中央位置を通り、この揺動軸３７に対して直交している軸線４２上に中心位置が位置するように設けられている。従って、後述のように圧電素子４１の上部電極４１Ａと本体部３３との間に交番電圧を印加することによって、本体部３３に揺動軸３７を節とする定在的な波を発生させ、反射ミラー部３２を揺動軸３７回りに揺動させることができる（図７参照）。
【００３９】
また、本体枠３は、ステンレス（例えば、ＳＵＳ３０４やＳＵＳ４３０等である。）、チタン、鉄等の導電性材料を用いてプレス加工等により形成されている。また、本体枠３は、本体部３３の基端部から自由端側に対向する底面部に、深さ約２００μｍ〜５００μｍで該本体部３３よりも大きい平面視矩形状の凹部４５が形成され、本体部３３に揺動軸３７を節とする定在的な波が発生したときに、接触しないように構成されている。また、この凹部４５の反射ミラー部３２に対向する部分には、反射ミラー部３２の直径のほぼ２倍の幅で、軸線４２方向に長い縦長の貫通孔４６が形成され、反射面３２Ａにレーザ光を照射可能に構成されている。
【００４０】
また、本体枠３の反射ミラー部３２に対向する周縁部には、平面視略Ｌ字形の各側壁部３１が、周縁部に沿って所定高さ（例えば、高さ約０．５ｍｍ〜１．０ｍｍである。）立設されている。また、各側壁部３１は、軸線４２に対して対称に設けられると共に、各側壁部３１の本体部３３の基端部側は、圧電素子４１の軸線４２方向の略中央部に対向する位置まで延出されている。また、本体枠３の平面視四隅は、約４５度の角度で斜めに面取りされ、各斜面部４７Ａ〜４７Ｄが形成されている。
【００４１】
これにより、図１に示すように、押圧部材７が本体枠３の上端部に当接しても、該押圧部材７と反射ミラー部３２との接触は確実に防止される。また、本体枠３の各側面部を位置決め部材６によって取付用凹部１１の内側側壁部に当接させることができる。
【００４２】
また、固定部材３５は、ステンレス（例えば、ＳＵＳ３０４やＳＵＳ４３０等である。）、チタン、鉄等、弾性を有する導電性材料で平面視略Ｕ字形に形成されている。また、固定部材３５は、本体部３３の基端部に対向する底面部の軸線４２方向外側端縁部に、該軸線４２に対して直交するように断面略半円形のリブ部４８が突設されている。これにより、固定部材３５を本体部３３の基端部に対向させて各ネジ５１によりネジ止めした場合には、本体部３３の基端部は、軸線４２方向外側端縁部の略中央部がリブ部４８の先端部によって本体枠３の底面部に押圧されて、片持ち状に支持される。
【００４３】
［揺動駆動］
次に、光スキャナ２の揺動駆動について図７に基づいて説明する。
図７に示すように、本体部３３と圧電素子４１の上部電極４１Ａとに、駆動回路５２を介して所定駆動電圧（例えば、振幅約１０Ｖの交番電圧に、約１０Ｖのバイアス電圧を付加した電圧である。）を印加する。それにより、本体部３３上に接着された圧電素子４１には、その印加方向と直交する向き、即ち、揺動軸３７に直交している軸線４２方向の変位が発生される。
【００４４】
そして、圧電素子４１の変位により、本体部３３は固定部材３５側の基端部を固定端とし、圧電素子４１の変位が上向きであるか下向きであるかにより、貫通孔３６側の自由端は、上向き又は下向きに圧電素子４１と同方向に変位する。それにより、圧電素子４１の駆動モードを捻れ共振状態に設定することによって、本体部３３には、揺動軸３７を節とする定在的な波を発生させることができる。
【００４５】
また、この揺動軸３７を節とする定在的な波は、各捻れ梁部３８Ａ、３８Ｂで支持された水平状態にある反射ミラー部３２に回転モーメントを与える力を作用させることができ、捻れ振動を誘起する。その結果、反射ミラー部３２は、各捻れ梁部３８Ａ、３８Ｂの軸心である揺動軸３７回りに振れ角θで揺動される。また、揺動軸３７は、この定在的な波の節に位置するため、どの方向にも変位することがない。
【００４６】
従って、図１に示すように、固定治具１に光スキャナ２を位置決め部材６及び押圧部材７によって所定押圧力で押圧した状態で、圧電素子４１に駆動回路５２を介して所定駆動電圧を印加する。そして、図７に示すように、レーザ光源５５から固定治具１の治具本体部５の貫通孔１２を介して反射ミラー部３２の反射面３２Ａにレーザ光を照射し、各ビームディテクタ５６で反射光を検出することによって、反射ミラー部３２の共振振動時における振れ角θ及び共振周波数を検出することができる。また、駆動回路５２の印加電圧を取得することによって、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１への駆動電圧を取得することができる。
【００４７】
［測定例］
次に、図１及び図２に示すように、光スキャナ２を位置決め部材６によって取付用凹部１１に位置決め後、押圧部材７を各ボルト２３によって予め定められた規格値の締付トルクでボルト締めする。その後、圧電素子４１に駆動回路５２を介して駆動電圧を印加し、各ボルト２３の締付トルクを徐々に増加させて、ミラー反射部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧と該ミラー反射部３２の共振周波数の変化を測定した一例について図８及び図９に基づいて説明する。
【００４８】
図８に示すように、光スキャナ２の各サンプル１、２とも、ミラー反射部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧は、各ボルト２３の締付トルクの増加に伴って、約３Ｖ〜７Ｖ程度低下した後、再度上昇している。従って、光スキャナ２のミラー反射部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧が規格値の最大値よりも大きい場合には、各ボルト２３の締付トルクを増加させることによって、圧電素子４１の駆動電圧を規格値内の駆動電圧に低下させることが可能である。
【００４９】
つまり、圧電素子４１の駆動電圧が規格値内の駆動電圧に低下した際の、各ボルト２３の締付トルクで光スキャナ２を光スキャナ搭載装置の搭載部に装着することによって、当該光スキャナ２を性能検査に合格した合格品として使用することが可能となる。
【００５０】
また、図９に示すように、光スキャナ２の各サンプル１、２とも、ミラー反射部３２の共振振動時における共振周波数は、各ボルト２３の締付トルクの増加に伴って、約１６Ｈｚ〜５６Ｈｚ低下している点がある。従って、光スキャナ２のミラー反射部３２の共振振動時における共振周波数が規格値の最大値よりも大きい場合には、各ボルト２３の締付トルクを増加させることによって、共振周波数を規格値内に低下させることが可能である。
【００５１】
つまり、反射ミラー部３２の共振周波数が規格値内に低下した際の、各ボルト２３の締付トルクで光スキャナ２を光スキャナ搭載装置の搭載部に装着することによって、当該光スキャナ２を性能検査に合格した合格品として使用することが可能となる。
【００５２】
［光スキャナの検査工程］
次に、上記図５〜図７に示すように作製された光スキャナ２が、合格品か不合格品かを検査する検査工程について図１０乃至図１２に基づいて説明する。
図１０に示すように、先ず、ステップ（以下、Ｓと略記する）１１において、作製された光スキャナ２を、図１に示すように、固定治具１に取り付ける。つまり、光スキャナ２を位置決め部材６によって取付用凹部１１に位置決め後、押圧部材７を各ボルト２３によって予め定められた規格値の締付トルクでボルト締めする。
【００５３】
そして、Ｓ１２において、圧電素子４１に駆動回路５２を介して所定駆動電圧を印加する。そして、レーザ光源５５から固定治具１の治具本体部５の貫通孔１２を介して反射ミラー部３２の反射面３２Ａにレーザ光を照射し、各ビームディテクタ５６で反射光を検出することによって、反射ミラー部３２の共振振動時における振れ角θ及び共振周波数を検出する。また、駆動回路５２の印加電圧を取得することによって、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１への駆動電圧を取得する。
【００５４】
続いて、Ｓ１３において、反射ミラー部３２の共振周波数と圧電素子４１の駆動電圧が共に規格値内か否かを判定する。そして、反射ミラー部３２の共振周波数と圧電素子４１の駆動電圧が共に規格値内であると判定した場合には（Ｓ１３：ＹＥＳ）、Ｓ１４に移行して、当該光スキャナ２を合格品として選別し、当該検査工程を終了する。
【００５５】
一方、反射ミラー部３２の共振周波数と圧電素子４１の駆動電圧が共に規格値内でない場合、又は、何れか一方が規格値内でない場合には（Ｓ１３：ＮＯ）、Ｓ１５に移行して、圧電素子４１の駆動電圧が規格上限値以下か否かを判定する。そして、圧電素子４１の駆動電圧が規格上限値以下でない場合、つまり、圧電素子４１の駆動電圧が規格値の最大値よりも大きい場合には（Ｓ１５：ＮＯ）、Ｓ１６に移行して、「駆動電圧調整工程」のサブ工程を行った後、当該検査工程を終了する。
【００５６】
他方、圧電素子４１の駆動電圧が規格上限値以下の場合、つまり、圧電素子４１の駆動電圧が規格値の最大値以下の場合には（Ｓ１５：ＹＥＳ）、Ｓ１７に移行して、「共振周波数調整工程」のサブ工程を行った後、当該検査工程を終了する。
【００５７】
［駆動電圧調整工程］
次に、「駆動電圧調整工程」のサブ工程について図１１に基づいて説明する。
図１１に示すように、先ず、Ｓ１１１において、固定治具１の各ボルト２３の締付トルクを１センチニュートン・メートル（ｃＮ・ｍ）増加するように締め付ける。
【００５８】
そして、Ｓ１１２において、圧電素子４１に駆動回路５２を介して所定駆動電圧を印加する。そして、レーザ光源５５から固定治具１の治具本体部５の貫通孔１２を介して反射ミラー部３２の反射面３２Ａにレーザ光を照射し、各ビームディテクタ５６で反射光を検出することによって、反射ミラー部３２の共振振動時における振れ角θ及び共振周波数を検出し、記録する。また、駆動回路５２の印加電圧を取得することによって、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１への駆動電圧を取得（記録）する。
【００５９】
続いて、Ｓ１１３において、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧が最小駆動電圧か否か、つまり、前回の反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧よりも大きくなったか否かを判定する。そして、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧が最小駆動電圧でないと判定した場合には（Ｓ１１３：ＮＯ）、再度、Ｓ１１１以降の検査工程を行う。
【００６０】
一方、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧が最小駆動電圧なったと判定した場合、つまり、前回の反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧よりも大きくなったと判定した場合には（Ｓ１１３：ＹＥＳ）、Ｓ１１４に移行する。
【００６１】
Ｓ１１４において、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の最小駆動電圧、つまり、前回の反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧が、規格値の上限電圧以下か否かを判定する。そして、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の最小駆動電圧が、規格値の上限電圧よりも大きい場合には（Ｓ１１４：ＮＯ）、Ｓ１１５に移行して、当該光スキャナ２を不合格品として選別し、当該サブ検査工程を終了する。つまり、当該検査工程を終了する。
【００６２】
一方、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の最小駆動電圧が、規格値の上限電圧以下の場合には（Ｓ１１４：ＹＥＳ）、Ｓ１１６に移行する。Ｓ１１６において、圧電素子４１の駆動電圧が最小駆動電圧のときの反射ミラー部３２の共振周波数が、規格値内か否かを判定する。そして、圧電素子４１の駆動電圧が最小駆動電圧のときの反射ミラー部３２の共振周波数が、規格値内でない場合には（Ｓ１１６：ＮＯ）、上記Ｓ１１５に移行して、当該光スキャナ２を不合格品として選別し、当該サブ検査工程を終了する。つまり、当該検査工程を終了する。
【００６３】
他方、圧電素子４１の駆動電圧が最小駆動電圧のときの反射ミラー部３２の共振周波数が、規格値内の場合には（Ｓ１１６：ＹＥＳ）、Ｓ１１７に移行する。Ｓ１１７において、圧電素子４１の駆動電圧が最小駆動電圧のときの各ボルト２３の締付トルクを当該光スキャナ２を光スキャナ搭載装置に取り付ける際に、取付用押圧力を発生させる締付トルクとして取得（記録）後、Ｓ１１８に移行する。Ｓ１１８において、当該光スキャナ２を合格品として選別すると共に、圧電素子４１の駆動電圧が最小駆動電圧のときの各ボルト２３の締付トルクを当該光スキャナ２を取り付ける際の締付トルクとして記録した後、当該サブ検査工程を終了する。つまり、当該検査工程を終了する。
【００６４】
［共振周波数調整工程］
次に、「共振周波数調整工程」のサブ工程について図１２に基づいて説明する。
図１２に示すように、先ず、Ｓ２１１において、固定治具１の各ボルト２３の締付トルクを１センチニュートン・メートル（ｃＮ・ｍ）増加するように締め付ける。
【００６５】
そして、Ｓ２１２において、圧電素子４１に駆動回路５２を介して所定駆動電圧を印加する。そして、レーザ光源５５から固定治具１の治具本体部５の貫通孔１２を介して反射ミラー部３２の反射面３２Ａにレーザ光を照射し、各ビームディテクタ５６で反射光を検出することによって、反射ミラー部３２の共振振動時における振れ角θ及び共振周波数を検出し、記録する。また、駆動回路５２の印加電圧を取得することによって、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１への駆動電圧を取得（記録）する。
【００６６】
続いて、Ｓ２１３において、反射ミラー部３２の共振周波数と圧電素子４１の駆動電圧が共に規格値内か否かを判定する。そして、反射ミラー部３２の共振周波数と圧電素子４１の駆動電圧が共に規格値内であると判定した場合には（Ｓ２１３：ＹＥＳ）、Ｓ２１４に移行する。
【００６７】
Ｓ２１４において、各ボルト２３の締付トルクを当該光スキャナ２を光スキャナ搭載装置に取り付ける際に、取付用押圧力を発生させる締付トルクとして取得（記録）後、Ｓ２１５に移行する。Ｓ２１５において、当該光スキャナ２を合格品として選別すると共に、当該光スキャナ２を取り付ける際に取付用押圧力を発生させる締付トルクを記録した後、当該サブ検査工程を終了する。つまり、当該検査工程を終了する。
【００６８】
一方、反射ミラー部３２の共振周波数と圧電素子４１の駆動電圧が共に規格値内でない場合、又は、何れか一方が規格値内でない場合には（Ｓ２１３：ＮＯ）、Ｓ２１６に移行して、圧電素子４１の駆動電圧が規格上限値以下か否かを判定する。そして、圧電素子４１の駆動電圧が規格上限値以下の場合、つまり、圧電素子４１の駆動電圧が規格値の最大値以下の場合には（Ｓ２１６：ＹＥＳ）、再度、Ｓ２１１以降の検査工程を行う。
【００６９】
他方、圧電素子４１の駆動電圧が規格上限値以下でない場合、つまり、圧電素子４１の駆動電圧が規格値の最大値よりも大きい場合には（Ｓ２１６：ＮＯ）、Ｓ２１７に移行して、当該光スキャナ２を不合格品として選別し、当該サブ検査工程を終了する。つまり、当該検査工程を終了する。
【００７０】
以上説明した通り、本実施例に係る光スキャナの製造方法では、作製された光スキャナ２を、固定治具１に取り付ける。つまり、光スキャナ２を位置決め部材６によって取付用凹部１１に位置決め後、押圧部材７を各ボルト２３によって予め定められた規格値の締付トルクでボルト締めする。そして、圧電素子４１に駆動回路５２を介して所定駆動電圧を印加して、反射ミラー部３２の共振振動時における該反射ミラー部３２の共振周波数と圧電素子４１の駆動電圧とを測定する。
【００７１】
そして、圧電素子４１の駆動電圧が規格値の最大値よりも大きい場合には、押圧部材７を固定する各ボルト２３の締付トルクを増加させて、駆動回路５２を介して圧電素子４１を駆動し、反射ミラー部３２を共振振動させる該圧電素子４１の最小駆動電圧と、その最小駆動電圧時の反射ミラー部３２の共振周波数とを測定する。そして、圧電素子４１の最小駆動電圧と、その最小駆動電圧時の反射ミラー部３２の共振周波数とが共に規格値内の場合には、当該光スキャナ２を合格品として選別すると共に、圧電素子４１の駆動電圧が最小駆動電圧のときの各ボルト２３の締付トルクを当該光スキャナ２を取り付ける際の締付トルクとして記録する。
【００７２】
これにより、所定規格値の締付トルクで本体枠３を押圧してヘッドマウントディスプレイやプロジェクタ等の光スキャナ搭載装置に取り付けた場合に、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧が所定規格値の最大値よりも大きくなる不合格品の光スキャナ２を、圧電素子４１の駆動電圧が最小駆動電圧のときの各ボルト２３の締付トルクで取り付けることによって、反射ミラー部３２の共振振動時における該反射ミラー部３２の共振周波数と圧電素子４１の駆動電圧とを共に所定規格値内にすることができる。
【００７３】
従って、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧が所定規格値の最大値よりも大きくなる不合格品の光スキャナ２から、圧電素子４１の駆動電圧が最小駆動電圧のときの各ボルト２３の締付トルクで取り付けることによって、合格品となる光スキャナ２を選別することが可能となり、製品歩留まりを向上させることができる。また、この合格品となった光スキャナ２を、圧電素子４１の駆動電圧が最小駆動電圧のときの各ボルト２３の締付トルクで、ヘッドマウントディスプレイやプロジェクタ等の光スキャナ搭載装置に取り付けることにより、光スキャナ搭載装置の製造不良品の削減化を図り、品質の向上を図ることが可能となる。
【００７４】
また、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧が所定規格値の最大値以下で、反射ミラー部３２の共振周波数が所定規格値内でない場合には、押圧部材７を固定する各ボルト２３の締付トルクを増加させて、駆動回路５２を介して圧電素子４１を駆動し、反射ミラー部３２の共振振動時における圧電素子４１の駆動電圧が規格上限値を超えるまで、反射ミラー部３２の共振周波数と圧電素子４１の駆動電圧とを測定する。
【００７５】
そして、反射ミラー部３２の共振周波数と圧電素子４１の駆動電圧が共に規格値内の場合には、当該光スキャナ２を合格品として選別すると共に、反射ミラー部３２の共振周波数が規格値内になったときの各ボルト２３の締付トルクを当該光スキャナ２を取り付ける際の締付トルクとして記録する。
【００７６】
これにより、所定規格値の締付トルクで本体枠３を押圧してヘッドマウントディスプレイやプロジェクタ等の光スキャナ搭載装置に取り付けた場合に、反射ミラー部３２の共振振動時における反射ミラー部３２の共振周波数が所定規格値内でない不合格品の光スキャナ２を、反射ミラー部３２の共振周波数が規格値内になったときの各ボルト２３の締付トルクで取り付けることによって、反射ミラー部３２の共振振動時における該反射ミラー部３２の共振周波数と圧電素子４１の駆動電圧とを共に所定規格値内にすることができる。
【００７７】
従って、反射ミラー部３２の共振振動時における反射ミラー部３２の共振周波数が所定規格値内でない不合格品の光スキャナ２から、反射ミラー部３２の共振周波数が規格値内になったときの各ボルト２３の締付トルクで取り付けることによって、合格品となる光スキャナ２を選別することが可能となり、製品歩留まりを向上させることができる。また、この合格品となった光スキャナ２を、反射ミラー部３２の共振周波数が規格値内になったときの各ボルト２３の締付トルクで、ヘッドマウントディスプレイやプロジェクタ等の光スキャナ搭載装置に取り付けることにより、光スキャナ搭載装置の製造不良品の削減化を図り、品質の向上を図ることが可能となる。
【００７８】
尚、本発明は前記実施例に限定されることはなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【００７９】
１      固定治具
２      光スキャナ
３      本体枠
５      治具本体部
６      位置決め部材
７      押圧部材
９      段差部
１１      取付用凹部
１３、１５      ネジ孔
２０、２３      ボルト
３１      側壁部
３２      反射ミラー部
３３      本体部
３５      固定部材
３７      揺動軸
３８Ａ、３８Ｂ      捻れ梁部
４１      圧電素子
４２      軸線
５２      駆動回路
【図１】
2011203556.tif 000003
【図２】
2011203556.tif 000004
【図３】
2011203556.tif 000005
【図４】
2011203556.tif 000006
【図５】
2011203556.tif 000007
【図６】
2011203556.tif 000008
【図７】
2011203556.tif 000009
【図８】
2011203556.tif 000010
【図９】
2011203556.tif 000011
【図１０】
2011203556.tif 000012
【図１１】
2011203556.tif 000013
【図１２】
2011203556.tif 000014