(57)【要約】【課題】実装基板などの板状の被検体の透視撮影や、多数の小さな電子部品等を一度で行う透視撮影を簡便に行うことができるＣＴ装置を提供する。【解決手段】水平な載置面４ａを有する透視用テーブル４と、透視用テーブル４をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動させるテーブル駆動機構６，７と、透視用テーブル４に固定され、ＣＴ撮影用被検体１０を保持し、Ｙ方向に平行なＣＴ回転軸に対しＣＴ回転させるＣＴ用回転機構５と、透視撮影時およびＣＴ撮影時に所望する撮影視野になるようテーブル駆動機構６，７を制御した後、ＣＴ用回転機構５を制御してＣＴ回転を行わせる機構制御手段８と、透視撮影時は透視用被検体９の透過像を取込み表示し、ＣＴ撮影時はＣＴ回転中にＸ線検出器が出力した複数のＣＴ撮影用被検体１０の透過像を取込み再構成処理してＣＴ撮影用被検体１０の断面像を作成し表示するデータ処理手段８とを有するＣＴ装置。【選択図】図１
2011064662.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平な載置面を有する透視用テーブルと、
前記透視用テーブルに載置された透視用被検体にＸ線ビームを照射するＸ線源と、
前記透視用被検体を透過した前記Ｘ線ビームを検出し透過像として出力する２次元のＸ線検出器と、
前記透視用テーブルを水平面内で互いに直交するＸ方向とＹ方向及び垂直なＺ方向に移動させるテーブル駆動機構と、
前記透視用テーブルに固定され、ＣＴ撮影用被検体を保持し、前記Ｙ方向に平行なＣＴ回転軸に対しＣＴ回転させるＣＴ用回転手段と、
透視撮影時は前記透視用被検体の所望する部分が前記透過像の視野に入るよう前記テーブル駆動機構を制御し、ＣＴ撮影時は前記ＣＴ撮影用被検体の所望する部分が前記透過像の視野に入るよう前記テーブル駆動機構を制御した後、前記ＣＴ用回転手段を制御して前記ＣＴ回転を行わせる機構制御手段と、
透視撮影時は前記透視用被検体の透過像を取込み表示し、ＣＴ撮影時は前記ＣＴ回転中に前記Ｘ線検出器が出力した複数の前記ＣＴ撮影用被検体の透過像を取込み再構成処理して前記ＣＴ撮影用被検体の断面像を作成し表示するデータ処理手段と、
を有することを特徴とするＣＴ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＣＴ装置において、
前記透視用テーブルは、前記水平な載置面を有するプレートと前記プレートの周囲に固定された枠体より成り、
前記ＣＴ用回転手段は前記枠体に固定されることを特徴とするＣＴ装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のＣＴ装置において、
前記ＣＴ用回転手段は、少なくとも１つの保持手段から１つを選択して取り付けることができ、前記選択した保持手段を介して前記ＣＴ撮影用被検体を保持することを特徴とするＣＴ装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のＣＴ装置において、
前記透視用テーブル上に配置され、前記載置面に平行に少なくとも１つのフィルタ板を１つのフィルタ回転軸の回りに独立して回転可能に保持するフィルタ切換手段を有し、前記ＣＴ撮影用被検体を透過する前記Ｘ線ビームを遮るように任意枚数の前記フィルタ板を回転して挿入できることを特徴とするＣＴ装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のＣＴ装置において、
前記データ処理手段は、前記ＣＴ用回転手段により平面状の間隙を有する間隙治具をＣＴ回転させた基準ＣＴ回転位置での前記間隙治具の透過像上で前記間隙の投影である第一スライス基準線を求め、さらに前記基準ＣＴ回転位置から１８０°異なるＣＴ回転位置での前記間隙治具の透過像上で前記間隙の投影である第二スライス基準線を求め、前記第一スライス基準線と前記第二スライス基準線を平均して透過像上のスライス基準線を求めて前記再構成処理に用いることを特徴とするＣＴ装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のＣＴ装置において、
前記データ処理手段は、前記ＣＴ撮影時に取込んだ複数の前記ＣＴ撮影用被検体の透過像から、前記ＣＴ回転軸の透過像上の投影位置を求めて、この求めた投影位置を用いて前記ＣＴ撮影用被検体の断面像を作成することを特徴とするＣＴ装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のＣＴ装置において、
前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器のどちらか一方あるいは両方を傾動させることで前記透視用被検体を透過する前記Ｘ線ビームの透過方向を垂直ないし傾斜した方向に変化させる傾動機構を有することを特徴とするＣＴ装置。
【請求項８】
請求項７に記載のＣＴ装置において、
前記透視用テーブルを垂直な回転軸に対して回転するテーブル回転手段を有することを特徴とするＣＴ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、被検体の断面像を撮影するコンピュータ断層撮影装置（以下ＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ  Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）装置と記載する。）に関する。
【背景技術】
【０００２】  回転のみを行う所謂ＲＲ（Ｒｏｔａｔｅ  Ｒｏｔａｔｅ）方式（第三世代方式）のＣＴ装置は、放射線源から発生する放射線（Ｘ線）を被検体に向けて照射し、被検体を放射線の光軸の方向に対し交差する回転軸で放射線に対して相対的に回転させ、一回転中の所定回転位置ごとに被検体から透過してくる放射線を１次元あるいは２次元の複数検出チャンネルを有する放射線検出器で検出し、この検出器出力から被検体の断面像ないし３次元データを得る（断層撮影する）ものである。【０００３】  図９に従来例として、特許文献１に記載されているＣＴ装置の構成を示す（図９（ａ）は平面図、図９（ｂ）は正面図）。Ｘ線管１０１と、ここから発生するコーン状のＸ線ビーム１０２を２次元の分解能で検出するＸ線検出器１０３が対向して配置され、このＸ線ビーム１０２に入るようにテーブル１０４上に載置された被検体１０５の透過像（透過データ）を得るようになっている。【０００４】  テーブル１０４はＸＹ機構１０６上に配置され、ＸＹ機構１０６は回転・昇降機構１０７上に配置されている。被検体１０５の断面像を撮影する場合は、テーブル１０４を回転軸ＲＡに対し回転・昇降機構１０７により１回転させながら多数の方向について透過像を得る（スキャンと言う）。この多数の透過像を制御処理部１０８で処理して被検体１０５の断面像（１枚ないし多数枚）を得る。【０００５】  ここで、ＸＹ機構１０６は、回転軸ＲＡに対しテーブル１０４を回転軸ＲＡと直交する面内で移動させ、被検体１０５の着目部が回転軸ＲＡ上になるように位置調整するために用いられる。【０００６】  さらに、回転軸ＲＡおよび検出器１０３はシフト機構１０９によりＸ線管１０１に近づけあるいは遠ざけることができ、目的に応じて撮影倍率（＝ＦＤＤ／ＦＣＤ）を変更できるようになっている。【０００７】  図９に示す断面像視野（あるいはスキャン領域と称する）１１０は１回転の間に常に測定されるＸ線ビーム１０２に包含される領域と定義される。断面像視野１１０は回転軸ＲＡを軸とする略円筒状の領域であり、無理なく断面像を再構成できる領域である。【０００８】  図９に示す従来のＣＴ装置は、ＣＴ撮影（断面像撮影）に用いるほか、透過像の観察を行う透視撮影にも使用することが可能である。透視撮影の場合は、テーブル１０４に載置した被検体１０５の透過像を撮影し、撮影した透過像を制御処理部１０８の表示部に表示する。ＸＹ機構１０６と回転昇降機構１０７とシフト機構１０９を用いて、被検体１０５の所望する位置を所望する撮影倍率で撮影して透過像を表示することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−３１０９４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】  上述した、従来のＣＴ装置は、工業製品の故障解析や品質管理用の検査装置として用いられているが、その主な検査対象は、電子部品や電子部品が実装された実装基板である。検査は、短時間で検査できる透視撮影と詳細な検査ができるＣＴ撮影を使い分けて行われる。まず、透視撮影で概略検査を行い、そのうちで詳細が知りたい部品や部分をＣＴ撮影する、という検査方法がよく用いられる。【００１１】  従来のＣＴ装置で、実装基板を透視撮影する場合は、基板をテーブル１０４の上に立てて固定するため、基板の種類ごとに治具を用意する必要がある。また、ＩＣ等の電子部品の多数を一度に透視撮影する場合、板状の治具の上に小さな電子部品を多数固定する必要があり、簡便さに欠けるという問題がある。【００１２】  本発明は上記に鑑みてなされたもので、その目的は、実装基板などの板状の被検体の透視撮影や、多数の小さな電子部品等を一度で行う透視撮影を簡便に行うことができるＣＴ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】  前記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、水平な載置面を有する透視用テーブルと、前記透視用テーブルに載置された透視用被検体にＸ線ビームを照射するＸ線源と、前記透視用被検体を透過した前記Ｘ線ビームを検出し透過像として出力する２次元のＸ線検出器と、前記透視用テーブルを水平面内で互いに直交するＸ方向とＹ方向及び垂直なＺ方向に移動させるテーブル駆動機構と、前記透視用テーブルに固定され、ＣＴ撮影用被検体を保持し、前記Ｙ方向に平行なＣＴ回転軸に対しＣＴ回転させるＣＴ用回転手段と、透視撮影時は前記透視用被検体の所望する部分が前記透過像の視野に入るよう前記テーブル駆動機構を制御し、ＣＴ撮影時は前記ＣＴ撮影用被検体の所望する部分が前記透過像の視野に入るよう前記テーブル駆動機構を制御した後、前記ＣＴ用回転手段を制御して前記ＣＴ回転を行わせる機構制御手段と、透視撮影時は前記透視用被検体の透過像を取込み表示し、ＣＴ撮影時は前記ＣＴ回転中に前記Ｘ線検出器が出力した複数の前記ＣＴ撮影用被検体の透過像を取込み再構成処理して前記ＣＴ撮影用被検体の断面像を作成し表示するデータ処理手段とを有することを要旨とする。【００１４】  この構成により、透視用テーブルを用いることで、実装基板などの板状の被検体の透視撮影や、多数の小さな電子部品等を一度で行う透視撮影において、治具などを用いず、また、しっかりした固定をすることなく単純に載置するだけで簡便に透視撮影することができる。【００１５】  また、透視撮影時に視野合わせ操作および撮影倍率合わせ操作に用いるテーブル駆動機構（ＸＹＺ）が、そのままＣＴ撮影時にＣＴ回転軸の投影位置のオフセット設定（Ｘ）、スキャン領域合わせ操作（Ｙ）、および撮影倍率合わせ操作（Ｚ）に用いることができ、別に専用の機構を持つ必要がない。【００１６】  前記目的を達成するため、請求項２記載の発明は、請求項１に記載のＣＴ装置において、前記透視用テーブルは、前記水平な載置面を有するプレートと前記プレートの周囲に固定された枠体より成り、前記ＣＴ用回転手段は前記枠体に固定されることを要旨とする。【００１７】  この構成により、ＣＴ用回転手段を透視用テーブルの枠体に固定したので、ＣＴ用回転手段をしっかり固定できると共に、透視用テーブルの載置面上に突出する部分を少なくでき、透視用被検体を載置するスペースを広くできる。【００１８】  前記目的を達成するため、請求項３記載の発明は、請求項１または請求項２に記載のＣＴ装置において、前記ＣＴ用回転手段は、少なくとも１つの保持手段から１つを選択して取り付けることができ、前記選択した保持手段を介して前記ＣＴ撮影用被検体を保持することを要旨とする。【００１９】  この構成により、ＣＴ用回転手段は着脱できる保持手段を介してＣＴ撮影用被検体を保持するので、保持手段を外した状態で、手元で容易にＣＴ撮影用被検体を保持する作業ができる。さらに、透視撮影時に保持手段を外した状態にでき、透視用被検体を載置するスペースを広くできる。【００２０】  前記目的を達成するため、請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のＣＴ装置において、前記透視用テーブル上に配置され、前記載置面に平行��少なくとも１つのフィルタ板を１つのフィルタ回転軸の回りに独立して回転可能に保持するフィルタ切換手段を有し、前記ＣＴ撮影用被検体を透過する前記Ｘ線ビームを遮るように任意枚数の前記フィルタ板を回転して挿入できることを要旨とする。【００２１】  この構成により、使わないフィルタ板は重ねて退避しておき、使う任意枚数のフィルタ板を１８０°未満の回転をして挿入することで、従来の、重ねることなく複数フィルタを円板に固定しこれを回転させる機構、よりはるかに少ないスペースで多段階のフィルタ切換えができる。このため、透視用被検体を載置するスペースを広くでき、また、機構的な干渉を避けてより自由な位置設定が可能になる。【００２２】  前記目的を達成するため、請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のＣＴ装置において、前記データ処理手段は、前記ＣＴ用回転手段により平面状の間隙を有する間隙治具をＣＴ回転させた基準ＣＴ回転位置での前記間隙治具の透過像上で前記間隙の投影である第一スライス基準線を求め、さらに前記基準ＣＴ回転位置から１８０°異なるＣＴ回転位置での前記間隙治具の透過像上で前記間隙の投影である第二スライス基準線を求め、前記第一スライス基準線と前記第二スライス基準線を平均して透過像上のスライス基準線を求めて前記再構成処理に用いることを要旨とする。【００２３】  この構成により、間隙治具がＣＴ回転軸に対し垂直から若干ずれていても、ＣＴ回転位置０°と１８０°の透過像を用いてこのずれを補正して、正確にスライス基準線を求めて、再構成処理に用いることができる。【００２４】  前記目的を達成するため、請求項６記載の発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のＣＴ装置において、前記データ処理手段は、前記ＣＴ撮影時に取込んだ複数の前記ＣＴ撮影用被検体の透過像から、前記ＣＴ回転軸の透過像上の投影位置を求めて、この求めた投影位置を用いて前記ＣＴ撮影用被検体の断面像を作成することを要旨とする。【００２５】  この構成により、ＣＴ撮影時に取込んだ複数のＣＴ撮影用被検体の透過像自身からＣＴ回転軸の透過像上の投影位置を求めて、これを用いて当該のＣＴ撮影したＣＴ撮影用被検体の再構成処理を行うことができる。従って、ＣＴ撮影位置を変更するときＣＴ回転軸の透過像上の投影位置がずれても、特別な治具で較正することなくＣＴ撮影ができる。【００２６】  前記目的を達成するため、請求項７記載の発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のＣＴ装置において、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器のどちらか一方あるいは両方を傾動させることで前記透視用被検体を透過する前記Ｘ線ビームの透過方向を垂直ないし傾斜した方向に変化させる傾動機構を有することを要旨とする。【００２７】  この構成により、透視撮影時に、垂直方向から傾斜した傾斜透視をすることができる。【００２８】  前記目的を達成するため、請求項８記載の発明は、請求項７に記載のＣＴ装置において、前記透視用テーブルを垂直な回転軸に対して回転するテーブル回転手段を有することを要旨とする。【００２９】  この構成により、透視撮影時に、透視用被検体に対する傾斜透視の傾斜方位を変更することができる。
【発明の効果】
【００３０】  本発明によれば、実装基板などの板状の被検体の透視撮影や、多数の小さな電子部品等を一度で行う透視撮影を簡便に行うことができるＣＴ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の第一の実施形態に係るＣＴ装置の構成を示した模式図（正面図）。
【図２】第一の実施形態に係るＣＴ装置の一部の詳細構成を示した模式図（正面図）。
【図３】第一の実施形態の変形例３に係る２種の保持具を示す模式図（正面図）。
【図４】第一の実施形態の変形例４に係るフィルタ切換え機構を示す模式図（（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図）。
【図５】第一の実施形態の変形例５に係る間隙治具を示す模式図。
【図６】第一の実施形態の変形例５に係る間隙治具１５の透過像とスライス基準線を示す図。
【図７】第一の実施形態の変形例８に係る傾斜透視機能を説明する概念図（正面図）。
【図８】第一の実施形態の変形例９に係る傾斜方位変更機能を説明する概念図（正面図）。
【図９】従来のＣＴ装置の構成を示した模式図（（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図）。
【発明を実施するための形態】
【００３２】  以下図面を参照して、本発明実施形態を説明する。
【００３３】  （本発明の第一の実施の形態の構成）
以下、本発明の第一の実施形態の構成について図１、図２を参照して説明する。図１は本発明の第一の実施形態に係るＣＴ装置の構成を示した模式図（正面図）である。
【００３４】  ＣＴ装置は、Ｘ線管１（Ｘ線源）と、Ｘ線管１から放射されたＸ線ビーム２を検出するＸ線検出器３と、このＸ線管１とＸ線検出器３の間に配置された透視用テーブル４と、透視用テーブル４上に配置されたＣＴ用回転機構５（ＣＴ用回転手段）と、透視用テーブル４を３軸方向に移動させるＸＹ機構（テーブル駆動機構）６およびＺ機構（テーブル駆動機構）７と、ＣＴ用回転機構５、ＸＹ機構６およびＺ機構７を制御し、また、Ｘ線検出器３の出力を取込んで処理する制御処理部（機構制御手段およびデータ処理手段）８より成る。
【００３５】  Ｘ線管１はＸ線焦点Ｆより垂直方向を中心にＸ線を放射し、Ｘ線検出器３はＸ線管１の上方に検出面３ａをＸ線管１にむけて配置され、放射されて透視用テーブル４及び被検体（９または１０）を透過したＸ線の一部である角錐状のＸ線ビーム２を２次元の分解能で検出し、透過像（透過データ）として出力する。（Ｘ線はＸ線ビーム２の外側にも放射される）
【００３６】  Ｘ線管１は発生するＸ線ビーム２の焦点Ｆが１μｍ程度のマイクロフォーカスＸ線管を用い、Ｘ線検出器３にはＸ線ＩＩ（Ｉｍａｇｅ  Ｉｎｔｅｎｓｉｆｉｅｒ）とテレビカメラを組み合わせたもの、あるいはＸ線検出素子を２次元マトリックスで並べたＸ線フラットパネルディテクタ（ＦＰＤ）を用いている。Ｘ線検出器３は透過像をデジタルデータとして出力するものである。
【００３７】  透視用テーブル４は透視用被検体９を載置する水平な載置面４ａを有し、さらに、透視用テーブル４にはＣＴ撮影用被検体１０を保持して水平なＣＴ回転軸ＨＡ（Ｙ方向）に対し回転（ＣＴ回転）させるＣＴ用回転機構５が固定されている。
【００３８】  ＸＹ機構６は透視用テーブル４を水平方向で互いに直交するＸ方向とＹ方向に移動させ、Ｚ機構７は透視用テーブル４を垂直なＺ方向に移動させる。この移動により、被検体（９または１０）の所望する部分が所望する撮影倍率で透過像の視野（Ｘ線ビーム２に相当）に入るようにすることができる。ここで、撮影倍率は図１を参照して、透視撮影の場合ＦＤＤ／ＦＯＤ、ＣＴ撮影の場合ＦＤＤ／ＦＣＤである。（ＦＤＤ：焦点検出面間距離、ＦＯＤ：焦点被検体間距離、ＦＣＤ：焦点ＣＴ回転軸間距離）
【００３９】  なお、各機構部（ＣＴ用回転機構５、ＸＹ機構６、Ｚ機構７）には図示してないエンコーダが取付けられており、透視用テーブル４のＸＹ機構６とＺ機構７による移動位置Ｘ，Ｙ，Ｚ（ＦＯＤ，ＦＣＤ）とＣＴ用回転機構５による回転角度ωが読み取られ、それぞれ制御処理部８に送られる。
【００４０】  また、Ｘ線ビーム２は、被検体９，１０と透視用テーブル４とのみ交差して、他のＸ線吸収の強い機構構成要素とは交差しないようになされている。また、構成要素としてＸ線管１、Ｘ線検出器３、Ｚ機構７等を支持するフレーム、Ｘ線を遮蔽する遮蔽箱等があるが図示省略している。
【００４１】  図２は第一の実施形態に係るＣＴ装置の一部の詳細構成を示した模式図（正面図）である。
【００４２】  図２を参照して、透視用テーブル４は水平な載置面４ａを有するプレート４ｂとこのプレート４ｂの周囲に固定された補強用の枠体４ｃより成り、ＣＴ用回転機構５はこの枠体４ｃにネジ止め等で固定される。プレート４ｂはＸ線が透過しやすいカーボンやプラスチック等の材料で密度や厚みが均質に作られる。
【００４３】  ＣＴ用回転機構５は減速ギヤ付のモータ５ａと、モータ５ａの回転軸部材に差し込んで１本のネジで固定できる保持具（保持手段）５ｂより成り、保持具５ｂは洗濯鋏のようにバネで付勢される可動片でＣＴ撮影用被検体１０を挟んでＣＴ回転軸ＨＡ付近に固定する。モータ５ａはＣＴ撮影用被検体１０を保持具５ｂごとＣＴ回転軸ＨＡに対しＣＴ回転させる。なお、ＣＴ用回転機構５は、保持具５ｂを外すと、載置面４ａ上に突出する部分が少なくなるよう配置される。
【００４４】  図１に戻り、制御処理部８は通常のコンピュータで、ＣＰＵ、メモリ、ディスク、表示部８ａ、入力部（キーボードやマウス等）８ｂ、機構制御ボード、インターフェース、等より成っている。
【００４５】  制御処理部８は、機構制御ボードにより、各機構部（ＣＴ用回転機構５、ＸＹ機構６、Ｚ機構７）の動作位置の信号（エンコーダパルス等）を受けて各機構部５，６，７を制御して被検体の位置合わせやスキャン（ＣＴ撮影走査）等を行わせる他、透過画像の撮影指令信号等をＸ線検出器３に送る。
【００４６】  制御処理部８は、透視撮影時、Ｘ線検出器３からの透過像を取込み、表示部８ａにリアルタイム表示し、また、記憶や処理をし、記憶した透過像の表示等を行う。また、制御処理部８は、透視撮影時、操作者がリアルタイム表示の透過像を観察しながら行う入力に従って、透視用被検体９の所望する部分が所望する撮影倍率で透過像の視野に入るようＸＹ機構６、Ｚ機構７を制御する。
【００４７】  制御処理部８は、ＣＴ撮影時、まず、操作者が透視撮影を行ってリアルタイム表示の透過像を観察しながら行う入力に従って、ＣＴ撮影用被検体１０の所望する部分が所望する撮影倍率で透過像の視野に入るようＸＹ機構６、Ｚ機構７を制御した後、ＣＴ撮影開始の指令に従ってＣＴ用回転機構５を制御してＣＴ回転を行わせる。さらに、ＣＴ回転（スキャン）中にＸ線検出器３が出力した複数の透過像を取込み、再構成処理してＣＴ撮影用被検体１０の断面像を作成し表示する。
【００４８】  また、制御処理部８は、Ｘ線管１を制御するＸ線制御部（不図示）に指令を出し、管電圧、管電流を指定すると共に、Ｘ線の放射、停止の指示を行なう。管電圧、管電流は被検体に合わせて変えることができる。
【００４９】  図１に示すように、制御処理部８はソフトウエアを読み込んでＣＰＵが機能する機能ブロックとして、機構部６，７により被検体９，１０の位置決めを制御する位置決め制御部８ｃ、ＣＴ撮影を制御するスキャン制御部８ｄ、と断面像を再構成処理する再構成部８ｅ、等を備えている。
【００５０】  （第一の実施の形態の作用）
図１、図２を参照して作用を説明する。
【００５１】  透視撮影を行う場合、操作者は実装基板等の透視用被検体９を透視用テーブル４の載置面４ａに載置し、Ｘ線放射開始の指令を制御処理部８に入力する。制御処理部８はＸ線を照射開始させるとともに、Ｘ線検出器３から透過像を取込み表示部８ａにリアルタイム表示する。
【００５２】  操作者がリアルタイム表示の透過像を観察しながら透視用被検体９の所望する部分が所望する撮影倍率で透過像の視野に入るよう移動指令を制御処理部８に入力すると、制御処理部８はこの入力に応じてＸＹ機構６、Ｚ機構７を制御する。
【００５３】  所望する部分が視野に入ると、操作者は表示器８ａに表示される透過像を観察し、必要に応じ積算枚数を指定して画像を記憶させる。制御処理部８は、画像の積算と記憶を行い、また、操作者の指令に従って画像処理や記憶した画像の再表示などを行う。
【００５４】  透視用被検体９としてＩＣ等の電子部品の多数を一度に透視撮影する場合、電子部品を透視用テーブル４の載置面４ａに直接載置するか、あるいは、Ｘ線をよく透過する材料で作られたトレイに並べ、このトレイを透視用テーブル４に載置して、上述したように透視撮影する。
【００５５】  ＣＴ撮影を行う場合、操作者はまず、ＣＴ用回転機構５から保持具５ｂを取り外し、ＣＴ撮影用被検体１０を挟んで保持させ、ＣＴ撮影用被検体１０を挟んだ保持具５ｂをＣＴ用回転機構５に取り付ける。
【００５６】  次に、Ｘ線放射開始の指令を制御処理部８に入力すると、制御処理部８はＸ線を照射開始させるとともに、Ｘ線検出器３から透過像を取込み表示部８ａにリアルタイム表示する。
【００５７】  透視撮影時と同様に、操作者がリアルタイム表示の透過像を観察しながらＣＴ撮影用被検体１０の所望する部分が所望する撮影倍率で透過像の視野に入るよう移動指令を制御処理部８に入力すると、制御処理部８はこの入力に応じてＸＹ機構６、Ｚ機構７を制御する。
【００５８】  このとき、Ｘ移動で透過像上のＣＴ回転軸ＨＡの投影位置を中央に合わせたり（通常スキャン用）、画面端にオフセットしたり（オフセットスキャン用）でき、Ｙ移動でＣＴ回転軸方向のスキャン領域合わせができ、Ｚ移動で撮影倍率合わせができる。
【００５９】  所望する部分が視野に入ると、操作者はＣＴ撮影開始の指令を制御処理部８に入力する。制御処理部８は、ＣＴ撮影開始の指令に従ってＣＴ用回転機構５を制御してＣＴ回転を行わせ、ＣＴ回転（スキャン）中に所定の角度回転する毎にＸ線検出器３が出力した複数の透過像を取込み、再構成処理してＣＴ撮影用被検体１０の断面像を１枚ないし複数枚作成し表示する。
【００６０】  ここで、ＣＴ回転は通常スキャンの場合３６０°以上、ハーフスキャンの場合１８０°＋ファン角（Ｘ線ビーム２の広がり角度）以上で３６０°未満の回転を行う。再構成処理は、公知の方法、たとえば、フィルタ補正逆投影法（ＦＢＰ（Ｆｉｌｔｅｒｅｄ  Ｂａｃｋ  Ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ）法）で再構成する。また、ＣＴ回転軸ＨＡの投影位置を画面端に設定した場合、公知のオフセットスキャン用のＦＢＰ法再構成を行う。
【００６１】  制御処理部８は、取込んだ複数の透過像と再構成処理した断面像を記憶し、操作者の指令に従って再構成処理のリトライや断面像の画像処理や、画像処理後の画像の記憶や、記憶した画像の再表示などを行う。
【００６２】  以上で、透視撮影時やＣＴ撮影時に記憶した画像は、プリンタに転送してハードコピーにしたり、ネットワークを通じて他所へ転送することができる。
【００６３】  （第一の実施の形態の効果）
第一の実施形態によれば、透視用テーブル４を用いることで、実装基板などの板状の被検体の透視撮影や、多数の小さな電子部品等を一度で行う透視撮影において、治具などを用いず、また、しっかりした固定をすることなく単純に載置するだけで簡便に透視撮影することができる。
【００６４】  また、第一の実施形態によれば、透視撮影時に視野合わせ操作（ＸＹ）および撮影倍率合わせ操作（Ｚ）に用いるテーブル駆動機構が、そのままＣＴ撮影時にＣＴ回転軸の投影位置のオフセット設定（Ｘ）、スキャン領域合わせ操作（Ｙ）、および撮影倍率合わせ操作（Ｚ）に用いることができ、別に専用の機構を持つ必要がない。
【００６５】  また、第一の実施形態によれば、ＣＴ用回転機構５を透視用テーブル４の枠体４ｃに固定したので、ＣＴ用回転機構５をしっかり固定できると共に、透視用テーブル４の載置面４ａ上に突出する部分を少なくでき、透視用被検体９を載置するスペースを広くできる効果がある。
【００６６】  また、第一の実施形態によれば、ＣＴ用回転機構５は着脱できる保持具５ｂを介してＣＴ撮影用被検体１０を保持するので、保持具５ｂを外した状態で、手元で容易にＣＴ撮影用被検体１０を保持する作業ができる。さらに、透視撮影時に保持具５ｂを外した状態にでき、透視用被検体９を載置するスペースを広くできる効果がある。
【００６７】  また、第一の実施形態によれば、保持具５ｂのバネで付勢される可動片でＣＴ撮影用被検体１０を挟んでＣＴ回転軸ＨＡ付近に簡便に固定することができる。
【００６８】  （第一の実施の形態の変形）
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形や機能追加して実施することが可能である。以下の変形例は種々組み合わせて適用することもできる。
【００６９】  （変形例１）
第一の実施形態で、ＣＴ用回転機構５は透視用テーブル４に固定されているが、ＸＹ機構６あるいはＺ機構７に対し、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に移動されるように固定されていれば実質同じである。
【００７０】  （変形例２）
第一の実施形態で、ＣＴ用回転機構５を透視用テーブル４上で載置面４ａから遠い方向に回避する機構を設けることができる。また、ＣＴ用回転機構５を透視用テーブル４から着脱可能にしてもよい。これにより、透視撮影時に、ＣＴ用回転機構５を回避ないし取外すことで、透視用被検体９を載置するスペースを広くでき、また、機構的な干渉を避けてより自由な位置設定が可能になる。
【００７１】  また、透視用テーブル４をＸＹ機構６から着脱可能にし、かつ複数の透視用テーブル４を用意し、ＣＴ撮影時、及び通常の透視撮影時はＣＴ用回転機構５の付いた透視用テーブル４を装着し、透過撮影で大きな被検体９を載置する場合や、機構的な干渉を避けてより自由な位置設定をしたい場合は、ＣＴ用回転機構５の付いて無い透視用テーブル４を装着するようにしてもよい。この着脱方式は、後述するフィルタ切換機構１１やコリメータ等を透視用テーブル４に取付けた場合に、ＣＴ用回転機構５とフィルタ切換機構１１やコリメータ等を個々に着脱するより、容易に透視用テーブル４全体を着脱できる。
【００７２】  （変形例３）
第一の実施形態で、ＣＴ用回転機構５は着脱できる保持具５ｂを有しているが、複数の保持具を用意しておき任意の１つを取付けるようにしてもよい。これによれば、１つの被検体を検査中に次の被検体を保持させる作業を行うことができる。
【００７３】  また、被検体に応じ複数種の保持具から１つを選択して用いることができる。
【００７４】  図３は第一の実施形態の変形例３に係る２種の保持具を示す模式図（正面図）である。保持具５ｂ’はＣＴ回転軸ＨＡに平行な保持面を持ち、この保持面に両面粘着テープでＣＴ撮影用被検体１０を貼りつける。あるいは保持面に被検体を載せた状態で片面粘着テープを巻きつけて固定する。
【００７５】  保持具５ｂ’’はＣＴ回転軸ＨＡに垂直な保持面を持ち、この保持面に両面粘着テープでＣＴ撮影用被検体１０を貼りつける。あるいは保持面に被検体を載せた状態で片面粘着テープを巻きつけて固定する。
【００７６】  （変形例４）
第一の実施形態で、ＣＴ撮影時、Ｘ線ビーム２にＸ線フィルタを挿入して切換えるフィルタ切換機構（フィルタ切換手段）１１を追加できる。
【００７７】  図４は第一の実施形態の変形例４に係るフィルタ切換え機構を示す模式図（（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図）である。
【００７８】  フィルタ切換機構１１は、透視用テーブル４上に配置され、載置面４ａに平行に複数のフィルタ板１２を載置面４ａに垂直な１つのフィルタ回転軸１３の回りに独立して回転可能に保持するもので、ＣＴ撮影用被検体１０を透過するＸ線ビーム２に対し、遮るように任意枚数のフィルタ板１２を手動により回転して挿入または退避できる構成である。
【００７９】  フィルタ板１２としては、例えば、銅製の厚さ０．５ｍｍの板を４枚用い、それぞれを独立してフィルタ回転軸１３の回りに回転させ、ストッパ１４ａに突き当てた位置（挿入位置）とストッパ１４ｂに突き当てた位置（退避位置）とを切換える。このフィルタ切換機構１１によって、操作者は任意枚数のフィルタ板１２を回転して挿入することで、Ｘ線ビーム２に対するフィルタ厚みを０ｍｍから２ｍｍまで０．５ｍｍステップで５段階切換えることができる。
【００８０】  従来のフィルタ切換機構の場合、フィルタ回転軸から同じ距離に０．５ｍｍステップで厚み０ｍｍから２ｍｍまでの５種のフィルタ板を固定した円板を回転することでフィルタ切換えを行っている。これに対し、変形例４のフィルタ切換機構１１によれば、使わないフィルタ板は重ねて退避しておき、使う任意枚数のフィルタ板１２を１８０°未満の回転をして挿入することで、従来の、重ねることなく複数フィルタを円板に固定しこれを回転させる機構、よりはるかに少ないスペースで多段階のフィルタ切換えができる。このため、透視用被検体９を載置するスペースを広くでき、また、機構的な干渉を避けてより自由な位置設定が可能になる。
【００８１】  なお、変形例４では、銅製の厚さ０．５ｍｍのフィルタ板１２を４枚用いたが、材質、厚さ、枚数はこれには限られない。また、全部が同じ厚さでなくても良く、例えば、基準厚さの２のべき乗倍の厚さの組み合せでもよい。この場合、例えば、０．５ｍｍ、１ｍｍ、２ｍｍの３枚としてもよい。この３枚の組み合わせにより、０ｍｍから０．５ｍｍステップで３．５ｍｍまで８段階切換えでき、少ない枚数で切換え段階数を大きくできる。
【００８２】  また、図４では、フィルタ切換機構１１は枠体４ｃに固定されているが、プレート４ｂに固定してもよい。さらに、フィルタ板１２は手動でなくモータ等で回転させて切換えることもできる。
【００８３】  （変形例５）
第一の実施形態で、ＣＴ撮影に先立って、間隙治具を用いてスライス基準線の較正を行なうことができる。スライス基準線とは透過画像上の線で、ＣＴ回転軸ＨＡと直交しＸ線焦点Ｆを通る平面がＸ線検出器３の検出面３ａと交差する線に対応する透過画像上の線と定義される。再構成処理はこのスライス基準線を基準として行われる。なお、スライス基準線と平行な線をスライス線と定義する。
【００８４】  図５は第一の実施形態の変形例５に係る間隙治具を示す模式図である。間隙治具１５は、保持具５ｂ同様、ＣＴ用回転機構５のモータ５ａの回転軸部材に差し込んで１本のネジで固定できる。間隙治具１５はＸ線を透過しやすい平面状の間隙１５ａを有し、この間隙１５ａはＣＴ用回転機構５に取付けたとき、ＣＴ回転軸ＨＡに垂直になるように形成されている。
【００８５】  スライス基準線の較正について図６を参照して説明する。
【００８６】  図６は変形例５に係る間隙治具１５の透過像とスライス基準線を示す図である。まず、間隙治具１５をモータ５ａの回転軸部材に差し込み固定して透視撮影すると、図６（ａ）に示す透過像が得られる。間隙１５ａが成す平面からＸ線焦点Ｆがずれていると図６（ａ）のように間隙１５ａの透過像は明瞭でない。そこで、ＸＹ機構６によりＣＴ回転軸（Ｙ）方向に間隙治具１５を移動させ間隙１５ａの平面がＸ線焦点Ｆを通過するようにすると図６（ｂ）のように間隙１５ａの投影が明瞭に現れ、この間隙の投影である直線をスライス基準線１６として求める。透過像の横座標をｎ、縦座標をｍとしたとき、スライス基準線は、式
ｍ＝ａ・ｎ＋ｂ                                                  ………（１）
として得られる。
【００８７】  以上は較正の原理であるが、実際は、間隙治具１５をモータ５ａの回転軸部材に差し込む時、差し込み部分に遊びがあるため、通常、間隙１５ａはＣＴ回転軸ＨＡに対し垂直から若干ずれるので、このずれを補正するように較正を行なう。ずれを補正した較正は、まず、基準のＣＴ回転位置で上述したように第一のスライス基準線、
ｍ＝ａ１・ｎ＋ｂ１                                              ………（２）
を求める。次に、基準のＣＴ回転位置から１８０°異なるＣＴ回転位置で同様に第二のスライス基準線、
ｍ＝ａ２・ｎ＋ｂ２                                              ………（３）
を求め、第一のスライス基準線と第二のスライス基準線を平均して再構成処理に用いるスライス基準線を求める。平均は、例えば式（２）、式（３）の係数を、式、
ａ＝（ａ１＋ａ２）／２                                          ………（４）
ｂ＝（ｂ１＋ｂ２）／２                                          ………（５）
で平均し、この平均した係数を用いて式（１）で表されるスライス基準線を採用し再構成処理に用いる。
【００８８】  以上の垂直からのずれを補正したスライス線の補正は、制御処理手段８から見ると以下のように表現できる。
【００８９】  制御処理部８は、ＣＴ用回転機構５により平面状の間隙１５ａを有する間隙治具１５をＣＴ回転させた基準ＣＴ回転位置での間隙治具１５の透過像上で間隙１５ａの投影である第一スライス基準線を求め、さらに基準ＣＴ回転位置から１８０°異なるＣＴ回転位置での間隙治具１５の透過像上で間隙１５ａの投影である第二スライス基準線を求め、第一スライス基準線と第二スライス基準線を平均して透過像上のスライス基準線を求めて再構成処理に用いる。
【００９０】  この較正によれば、間隙治具がＣＴ回転軸に対し垂直から若干ずれていても、ＣＴ回転位置０°と１８０°の透過像を用いてこのずれを補正して、正確にスライス基準線を求めて、再構成処理に用いることができる。
【００９１】  なお、間隙治具１５としては、保持具５ｂに間隙を形成することで保持具５ｂを間隙治具１５の代用にすることができる。また、間隙治具１５をモータ５ａの回転軸部材に固定的に取り付け、この間隙治具１５を外さずに保持具５ｂが取付けられるようにしてもよい。
【００９２】  （変形例６）
第一の実施形態で、ＣＴ撮影時に取込んだ複数のＣＴ撮影用被検体１０の透過像から、ＣＴ回転軸ＨＡの透過像上の投影位置（回転軸投影位置）を求めることができる。これを回転中心較正と言う。ＣＴ撮影用被検体１０の断面像は求めた回転軸投影位置を基準として行われる。すなわち、ここではＣＴ撮影時に取込んだ被検体の透過像自身から回転中心を求め、これを用いて当該のＣＴ撮影した被検体の再構成処理を行う。
【００９３】  被検体自身の透過像から回転中心較正する方法は、例えば、以下の３つの方法のどれかを用いることができる。
【００９４】  ＜第一の回転中心較正＞
透過像のスライス基準線上あるいはそれと平行するスライス線上の投影データを３６０°分平均した投影データの対称中心を求める回転中心較正を行なう。
【００９５】  この回転中心較正は特許第３６０７２８５号公報にあるように、「撮影断層面（スライス基準線）に沿った検出器の検出チャネルｎと（ＣＴ）回転角φとで得られる投影データを、各検出チャンネルｎごとに回転角φの３６０°分を平均して得られる平均投影データの対称中心を求めて回転の中心に対応する中心チャンネルｎｃとする」回転中心較正である。
【００９６】  この回転中心較正を用い、スライス基準線上で回転軸投影点を求め、この点を通りスライス基準線に垂直な線がＣＴ回転軸ＨＡの投影位置として求められる。あるいは、スライス基準線に平行な複数のスライス線上でそれぞれ回転軸投影点を求め、これらの点を結んだ直線がＣＴ回転軸ＨＡの投影位置として求められる。＜＞終了
【００９７】  ＜第二の回転中心較正＞
透過像のスライス基準線上あるはそれと平行するスライス線上の投影データが作るサイノグラム上で相関をとって投影データの対称中心を求める回転中心較正を行なう。
【００９８】  この回転中心較正は特許第３６１６９２８号公報にあるように、「前記被検体の複数の（回転位置でのスライス基準線上の）透過データが作るサイノグラム上で、複数点での透過データと、仮想回転中心を設定することで決まる当該複数点とそれぞれ逆向きＸ線経路をなす複数点での透過データとの相関をとり、前記仮想回転中心を変更して最も良い前記相関を与える前記仮想回転中心を回転中心位置として求める」回転中心較正である。
【００９９】  この回転中心較正を用い、スライス基準線上で回転軸投影点を求め、この点を通りスライス基準線に垂直な線がＣＴ回転軸ＨＡの投影位置として求められる。あるいは、スライス基準線に平行な複数のスライス線上でそれぞれ回転軸投影点を求め、これらの点を結んだ直線がＣＴ回転軸ＨＡの投影位置として求められる。＜＞終了
【０１００】  ＜第三の回転中心較正＞
ＣＴ撮影で取込んだ複数の透過像をそれぞれ対数変換して３６０°分加算した加算透過像の対称中心軸を求める中心較正を行なう。
【０１０１】  この回転中心較正は特開２００５−２３３７６０号公報にあるように、「円形トモシンセシス装置において、トモシンセシスの１回転の走査中に得られる複数の透過画像それぞれを減衰指数に相当する投影像に変換し、この複数の投影像を加算した加算投影像がトモシンセシスの回転軸に対し対称であることを利用して、投影像上の回転軸を算出する」回転中心較正である。この回転中心較正は円形トモシンセシス装置（円形ラミノグラフ）だけでなくＲＲ方式のＣＴ装置に対してもそのまま適用できる。この回転中心較正を用い、スライス基準面を知ることなくＣＴ回転軸ＨＡの投影位置を求めることができる。
【０１０２】  この回転中心較正では、制御処理手段８は、ＣＴ撮影時に取込んだ複数のＣＴ撮影用被検体１０の透過像をそれぞれ対数変換して減衰指数に相当する像に変換してから加算して加算透過像（平均透過像）を作り、例えば、この加算透過像上で仮想直線を設定しこの仮想直線に対する対称性を評価し、仮想直線を傾斜、移動させたときの最も対象性のよい仮想直線をＣＴ回転軸の透過像上の投影位置として求めて、この求めた投影位置を用いてＣＴ撮影用被検体１０の断面像を作成する。
【０１０３】  この回転中心較正によれば、スライス基準面を知ることなくＣＴ回転軸ＨＡの投影位置を求めることができる。さらに、求めた回転軸投影位置から逆に、これと直交するスライス線の方向を求めることができる。そして画面中央のスライス線をスライス基準線として設定できるので、間隙治具１５を用いたスライス基準線の較正（変形例５）が不用となる。＜＞終了
【０１０４】  以上で第一ないし第三の回転中心較正を組合わせた回転中心較正も可能である。例えば、まず、第三の回転中心較正で、スライス基準線を求め、次にこのスライス基準線上のデータを用い第一の回転中心較正で、スライス基準線上の回転軸投影点（初期）を求め、さらに第三の回転中心較正で、この回転軸投影点（初期）を中心に仮想回転中心を変化させて相関をとることで、速い処理速度で正確な回転軸投影位置（最終）を求めることができる。また、スライス基準線の較正を行なうことなく回転中心較正が可能となる。
【０１０５】  （変形例７）
第一の実施形態で、透視用テーブル４に対し、Ｘ線管１を下方に、Ｘ線検出器３を上方に設置しているが、逆にしても同様な効果をあげることができる。
【０１０６】  この場合、Ｘ線管１は上方から下方に向けて透視用テーブル４上の被検体９，１０にＸ線を放射し、Ｘ線検出器３はＸ線管１に検出面を向けて透視用テーブル４の下方に配置され、被検体９，１０を透過したＸ線を検出する。
【０１０７】  （変形例８）
第一の実施形態に対し、傾斜透視機能を追加できる。図７は第一の実施形態の変形例８に係る傾斜透視機能を説明する概念図（正面図）である。
【０１０８】  傾斜透視するＣＴ装置は、第一の実施形態に対し、Ｘ線管１とＸ線検出器３のどちらか一方あるいは両方を傾動させることで透視用被検体９を透過するＸ線ビーム２の透過方向を垂直ないし傾斜した方向に変化させる傾動機構を追加する。図７（ａ）はＸ線検出器３を傾動する場合で、図７（ｂ）はＸ線管１とＸ線検出器３を傾動する場合、図７（ｃ）はＸ線管１を傾動する場合を示す。
【０１０９】  この傾動は円弧状の旋回でも直線的な移動と首振り運動の合成であっても良い。また、傾動の方位はＸ方向でもＹ方向でもよい。
【０１１０】  また、傾動機能を追加する場合、制御処理部８に対し、傾動した時の視野ずれを計算し、視野および撮影倍率を維持するように透視用テーブルをＸＹＺ移動させる傾動追従機能を持たせることができる。
【０１１１】  （変形例９）
第一の実施形態に傾斜透視機能を追加したＣＴ装置（変形例８）に対し、さらに傾斜方位変更機能を追加できる。
【０１１２】  図８は第一の実施形態の変形例９に係る傾斜方位変更機能を説明する概念図（正面図）である。
【０１１３】  傾斜方位変更をするＣＴ装置は、透視用テーブル４を垂直な透視用回転軸ＶＡに対して回転するテーブル回転手段１７を追加する。テーブル回転手段１７は、図８（ａ）のように透視用テーブル４とＸＹ機構６を一緒に回転させてもよいし、図８（ｂ）のようにＸＹ機構６上で透視用テーブル４のみを回転させてもよい。この回転により透視用被検体９を傾斜透視する時、傾斜方位を変更できる。
【０１１４】  ここで、傾斜方位変更機能を追加する場合、制御処理部８に対し、透視用テーブル４を回転した時の視野ずれを計算し、視野および撮影倍率を維持するように透視用テーブルをＸＹＺ移動させる回転追従機能を持たせることができる。
【０１１５】  （変形例１０）
第一の実施形態に傾斜透視機能と傾斜方位変更機能を追加したＣＴ装置（変形例９）に対し、さらに円形ラミノグラフのラミノ撮影機能を追加できる。
【０１１６】  ラミノ撮影においては、垂直から傾斜した透視の状態で、被検体を垂直な透視用回転軸ＶＡの回りに回転させながら、この回転の複数の位置でＸ線検出器３が検出した透視用被検体９の透過像を取込み、この複数の透過像を演算処理して透視用被検体９の断面像を１枚ないし複数枚作成する。
【符号の説明】
【０１１７】１…Ｘ線管、
２…Ｘ線ビーム、
３…Ｘ線検出器、３ａ…検出面、
４…透視用テーブル、４ａ…載置面、４ｂ…プレート、４ｃ…枠体、
５…ＣＴ用回転機構、５ａ…モータ、５ｂ…保持具、
６…ＸＹ機構、
７…Ｚ機構、
８…制御処理部、８ａ…表示部、８ｂ…入力部、８ｃ…位置決め制御部、８ｄ…スキャン制御部、８ｅ…再構成部、
９…透視用被検体、
１０…ＣＴ撮影用被検体、
１１…フィルタ切換機構、
１２…フィルタ板、
１３…フィルタ回転軸、
１４ａ，１４ｂ…ストッパ、
１５…間隙治具、１５ａ…間隙、
１６…スライス基準線、
１７…テーブル回転手段、
１０１…Ｘ線管、１０２…Ｘ線ビーム、１０３…Ｘ線検出器、１０４…テーブル、１０５…被検体、１０６…ＸＹ機構、１０７…回転・昇降機構、１０８…制御処理部、１０９…シフト機構、１１０…断面像視野
【図１】
2011064662.tif 000003
【図２】
2011064662.tif 000004
【図３】
2011064662.tif 000005
【図４】
2011064662.tif 000006
【図５】
2011064662.tif 000007
【図６】
2011064662.tif 000008
【図７】
2011064662.tif 000009
【図８】
2011064662.tif 000010
【図９】
2011064662.tif 000011