(57)【要約】【課題】固体電解コンデンサの特性を向上させつつ、製造工程を効率化することが可能な固体電解コンデンサの製造方法を提供する。【解決手段】固体電解コンデンサの製造方法は、陽極体を準備する工程（Ｓ１０）と、陽極体の表面に誘電体皮膜を形成する工程（Ｓ２０）と、誘電体皮膜の表面に、導電性高分子からなる固体電解質層を形成する工程とを備え、固体電解質層を形成する工程は、密閉容器内において、誘電体皮膜が形成された陽極体に対して酸化剤溶液を減圧含浸する工程（Ｓ３０）と、酸化剤溶液を減圧含浸する工程よりも後に、導電性高分子の前駆体モノマーからなる気体を密閉容器内に導入することにより、密閉容器内の減圧を緩和する工程（Ｓ６０）とを含んでいる。【選択図】図１
2011014591.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極体を準備する工程と、
前記陽極体の表面に誘電体皮膜を形成する工程と、
前記誘電体皮膜の表面に、導電性高分子からなる固体電解質層を形成する工程とを備え、
前記固体電解質層を形成する工程は、
密閉容器内において、前記誘電体皮膜が形成された前記陽極体に対して酸化剤溶液を減圧含浸する工程と、
前記酸化剤溶液を減圧含浸する工程よりも後に、前記導電性高分子の前駆体モノマーからなる気体を前記密閉容器内に導入することにより、前記密閉容器内の減圧を緩和する工程とを含んでいる、固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項２】
前記固体電解質層を形成する工程は、
前記酸化剤溶液を減圧含浸する工程よりも後であって前記気体を導入することにより前記密閉容器内の減圧を緩和する工程よりも前に、
前記密閉容器内の減圧を緩和する工程と、
減圧が緩和された前記密閉容器内を減圧する工程とをさらに含んでいる、請求項１に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項３】
陽極体を準備する工程と、
前記陽極体の表面に誘電体皮膜を形成する工程と、
前記誘電体皮膜の表面に、導電性高分子からなる固体電解質層を形成する工程とを備え、
前記固体電解質層を形成する工程は、
第１の密閉容器内において、前記誘電体皮膜が形成された前記陽極体に対して酸化剤溶液を減圧含浸する工程と、
前記酸化剤溶液が含浸された前記陽極体を乾燥する工程と、
乾燥された前記陽極体を第２の密閉容器内に装入した後、前記第２の密閉容器内を減圧する工程と、
減圧された前記第２の密閉容器内に、前記導電性高分子の前駆体モノマーからなる気体を導入することにより、前記第２の密閉容器内の減圧を緩和する工程とを含んでいる、固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項４】
前記固体電解質層を形成する工程は、前記酸化剤溶液を減圧含浸する工程よりも後であって前記陽極体を乾燥する工程よりも前に、前記密閉容器内の減圧を緩和する工程をさらに含んでいる、請求項３に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は固体電解コンデンサの製造方法に関し、より特定的には、固体電解コンデンサの特性を向上させつつ、製造工程を効率化することが可能な固体電解コンデンサの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化が進行していることに伴い、電子機器においてノイズフィルタなどとして使用される固体電解コンデンサにも小型化への対応が求められている。固体電解コンデンサにおいて小型化を実現するためには、単位体積あたりの容量を向上させることが有効である。しかし、以下のような理由により、従来の固体電解コンデンサは、単位体積あたりの容量が十分に向上しないという問題があった。
【０００３】
すなわち、固体電解コンデンサの陽極体としては、多孔質の焼結体を採用することができる。そして、固体電解質層の形成に際しては、たとえば当該陽極体を、酸化剤を含む溶液（酸化剤溶液）内に浸漬した後、さらにモノマーを含む溶液（モノマー溶液）内に浸漬するプロセスが採用される。このとき、当該溶液の陽極体内部への浸透は、毛細管現象により達成される。そのため、浸透に長時間を要し、製造プロセスが非効率になるばかりでなく、陽極体の芯部までモノマー溶液や酸化剤溶液が十分に浸透しないことに起因して、容量を含む特性の向上が妨げられていた。また、酸化剤溶液の浸透に長時間を要した場合、化成膜に悪影響が及ぶおそれもある。
【０００４】
これに対し、陽極体に対して、モノマー溶液や酸化剤溶液を減圧含浸する方法が知られている（たとえば、特許文献１および２参照）。一方、固体電解質層を溶液の含浸のみにより形成するのではなく、気相重合を採用して形成する方法も知られている（たとえば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２６９６９３号公報
【特許文献２】特開平１１−７４１５６号公報
【特許文献３】特開平１−２１９１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、近年の固体電解コンデンサに対する特性向上および製造コスト低減の要求を考慮すると、上記特許文献に記載の製造方法を含めて、従来の固体電解コンデンサの製造方法では、固体電解コンデンサの特性の向上と製造工程の効率化とが十分に高いレベルで両立されているとはいえないという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、固体電解コンデンサの特性を向上させつつ、製造工程を効率化することが可能な固体電解コンデンサの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一の局面に従った固体電解コンデンサの製造方法は、陽極体を準備する工程と、陽極体の表面に誘電体皮膜を形成する工程と、誘電体皮膜の表面に、導電性高分子からなる固体電解質層を形成する工程とを備えている。そして、固体電解質層を形成する工程は、密閉容器内において、誘電体皮膜が形成された陽極体に対して酸化剤溶液を減圧含浸する工程と、酸化剤溶液を減圧含浸する工程よりも後に、導電性高分子の前駆体モノマーからなる気体を当該密閉容器内に導入することにより、密閉容器内の減圧を緩和する工程とを含んでいる。
【０００９】
本発明の一の局面における固体電解コンデンサの製造方法では、固体電解質層を形成する工程において、密閉容器内で陽極体に対して酸化剤溶液が減圧含浸される。そのため、酸化剤溶液が陽極体の芯部まで短時間で十分に浸透する。そして、導電性高分子の前駆体モノマーからなる気体（モノマー気体）を当該密閉容器内に導入することによって密閉容器内の減圧が緩和されるため、モノマー気体も陽極体の芯部まで短時間で十分に到達する。その結果、本発明の一の局面における固体電解コンデンサの製造方法によれば、陽極体の芯部付近においても固体電解質層が効率よく形成されるため、固体電解コンデンサの特性を向上させつつ、製造工程を効率化することができる。
【００１０】
上記一の局面における固体電解コンデンサの製造方法においては、上記固体電解質層を形成する工程は、酸化剤溶液を減圧含浸する工程よりも後であって上記気体を導入することにより密閉容器内の減圧を緩和する工程よりも前に、密閉容器内の減圧を緩和する工程と、減圧が緩和された密閉容器内を減圧する工程とをさらに含んでいてもよい。
【００１１】
このように、酸化剤溶液を減圧含浸する工程よりも後に、たとえば陽極体を大気中に開放するように密閉容器内の減圧を緩和することによって、陽極体内に浸透した酸化剤溶液がより確実に芯部まで到達する。そして、当該陽極体を密閉容器内に入れた状態で再度当該密閉容器内を減圧した上で、モノマー気体を密閉容器内に導入して密閉容器内の減圧を緩和することにより、モノマー気体が陽極体の芯部まで短時間で到達する。これにより、一層確実に、陽極体の芯部において固体電解質層を形成することができる。
【００１２】
本発明の他の局面に従った固体電解コンデンサの製造方法は、陽極体を準備する工程と、陽極体の表面に誘電体皮膜を形成する工程と、誘電体皮膜の表面に、導電性高分子からなる固体電解質層を形成する工程とを備えている。そして、固体電解質層を形成する工程は、第１の密閉容器内において、誘電体皮膜が形成された上記陽極体に対して酸化剤溶液を減圧含浸する工程と、酸化剤溶液が含浸された陽極体を乾燥する工程と、乾燥された陽極体を第２の密閉容器内に装入した後、第２の密閉容器内を減圧する工程と、減圧された第２の密閉容器内に、導電性高分子の前駆体モノマーからなる気体を導入することにより、第２の密閉容器内の減圧を緩和する工程とを含んでいる。
【００１３】
本発明の他の局面における固体電解コンデンサの製造方法では、固体電解質層を形成する工程において、第１の密閉容器内で陽極体に対して酸化剤溶液が減圧含浸される。そのため、上記一の局面における固体電解コンデンサの製造方法と同様に、酸化剤溶液が陽極体の芯部まで短時間で十分に浸透する。そして、当該陽極体を乾燥した後、陽極体を上記第１の密閉容器とは異なる第２の密閉容器に装入し、当該第２の密閉容器内を減圧した上で、モノマー気体を導入することにより第２の密閉容器内の減圧が緩和される。これにより、陽極体の内部に浸透した酸化剤溶液の溶媒成分が十分に除去された状態で、モノマー気体が陽極体の芯部まで短時間で十分に到達する。これにより、陽極体の体積が比較的大きい場合でも、陽極体の内部においてモノマーの重合がより確実に進行する。その結果、本発明の他の局面における固体電解コンデンサの製造方法によれば、陽極体の体積が比較的大きい場合でも、固体電解コンデンサの特性を向上させつつ、製造工程を効率化することができる。
【００１４】
上記他の局面における固体電解コンデンサの製造方法においては、上記固体電解質層を形成する工程は、酸化剤溶液を減圧含浸する工程よりも後であって陽極体を乾燥する工程よりも前に、密閉容器内の減圧を緩和する工程をさらに含んでいてもよい。
【００１５】
このように、酸化剤溶液を減圧含浸する工程よりも後であって陽極体を乾燥する工程よりも前に、たとえば陽極体を大気中に開放するように密閉容器内の減圧を緩和することにより、陽極体内に浸透した酸化剤溶液がより確実に芯部まで到達する。これにより、一層確実に、陽極体の芯部においても固体電解質層を形成することができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上の説明から明らかなように、本発明の固体電解コンデンサの製造方法によれば、固体電解コンデンサの特性を向上させつつ、製造工程を効率化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施の形態１における固体電解コンデンサの製造方法の概略を示すフローチャートである。
【図２】固体電解コンデンサの製造方法を説明するための概略断面図である。
【図３】図１の工程（Ｓ３０）を説明するための概略図である。
【図４】図１の工程（Ｓ４０）〜（Ｓ６０）を説明するための概略図である。
【図５】固体電解コンデンサ構造を示す概略断面図である。
【図６】実施の形態２における固体電解コンデンサの製造方法の概略を示すフローチャートである。
【図７】図６の工程（Ｓ１３０）および（Ｓ１４０）を説明するための概略図である。
【図８】図６の工程（Ｓ１４５）を説明するための概略図である。
【図９】図６の工程（Ｓ１５０）および（Ｓ１６０）を説明するための概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
【００１９】
（実施の形態１）
まず、本発明の一実施の形態である実施の形態１について説明する。図１を参照して、実施の形態１における固体電解コンデンサの製造方法においては、まず工程（Ｓ１０）として陽極体準備工程が実施される。この工程（Ｓ１０）では、図２を参照して、まず弁作用金属の粉末である原料粉末が準備され、陽極リード１５の長手方向の一端側が原料粉末に埋め込まれた状態で、当該原料粉末が所望の陽極体１１の形状に成形される。そして、成形された上記原料粉末が焼結されることにより、陽極リード１５の一端側が埋め込まれた陽極体１１が得られる。ここで、弁作用金属としては、たとえばタンタル、アルミニウム、チタン、ニオブなどを採用することができる。
【００２０】
次に、図１に示すように、工程（Ｓ２０）として誘電体皮膜形成工程が実施される。この工程（Ｓ２０）では、図２を参照して、工程（Ｓ１０）において作製された陽極体１１が、たとえば硝酸やリン酸などの酸溶液中に浸漬され、電解化成が実施されることにより、陽極体１１の表層部に誘電体皮膜１２が形成される。
【００２１】
次に、図１を参照して、工程（Ｓ２０）において形成された誘電体皮膜上に導電性高分子からなる固体電解質層を形成する固体電解質層形成工程が実施される。この固体電解質層形成工程は、工程（Ｓ３０）として実施される酸化剤溶液含浸工程と、工程（Ｓ４０）として実施される減圧緩和工程と、工程（Ｓ５０）として実施される減圧工程と、工程（Ｓ６０）として実施されるモノマー気体導入工程とを含んでいる。以下、固体電解質層形成工程について説明する。
【００２２】
工程（Ｓ３０）〜（Ｓ６０）は、たとえば図３および図４に示す固体電解質層形成装置を用いて実施される。図３および図４を参照して、固体電解質層形成装置は、密閉容器であるチャンバ５１と、チャンバ５１内に配置された貯留槽５２と、配管５３によってチャンバ５１に接続された減圧装置としてのポンプ５４と、配管５５によってチャンバ５１に接続され、モノマー気体を貯留するモノマー気体貯留装置としての気体貯留タンク５６と、チャンバ５１と外部（大気）とを接続する配管５７とを備えている。貯留槽５２の内部には、酸化剤溶液９１が貯留されている。配管５３，５５，５７には、それぞれ弁５９が配置されている。これにより、チャンバ５１の内部と、ポンプ５４、気体貯留タンク５６および外部（大気）とがそれぞれ接続された状態と遮断された状態とを選択可能となっている。
【００２３】
そして、工程（Ｓ３０）では、図３を参照して、工程（Ｓ２０）において表層部に誘電体皮膜１２が形成された陽極体１１（図１参照）に対して、貯留槽５２内において酸化剤溶液９１が減圧含浸される。具体的には、たとえば陽極体１１から突出する陽極リード１５が金属製のキャリアバー９５に保持された状態で、複数の陽極体１１が酸化剤溶液９１中に浸漬され、減圧含浸が実施される。これにより、酸化剤溶液９１が陽極体１１の芯部にまで短時間で十分に浸透する。ここで、この工程（Ｓ３０）では、配管５５および配管５７に設置された弁５９が閉じられた状態で、配管５３に設置された弁５９が開けられ、ポンプ５４によってチャンバ５１の内部が減圧される。なお、陽極体１１の酸化剤溶液９１への浸漬は、チャンバ５１内が減圧された後に実施されてもよいし、陽極体１１を酸化剤溶液９１に浸漬した後、チャンバ５１内を減圧してもよい。
【００２４】
次に、工程（Ｓ４０）では、図４に示すように、陽極体１１が酸化剤溶液９１から取り出され、減圧が緩和されたチャンバ５１内に保持される。これにより、陽極体１１内に浸透した酸化剤溶液９１がより確実に芯部まで到達する。具体的には、この工程（Ｓ４０）では、配管５３に設置された弁５９が閉じられた上で、配管５７に設置された弁５９が開けられ、チャンバ５１の内部が大気に開放されることにより、減圧が緩和（解除）される。なお、貯留槽５２内の酸化剤溶液９１からの陽極体１１の取り出しは、チャンバ５１内の減圧が解除された後に行なってもよいし、陽極体１１が取り出された後、減圧が解除されてもよい。
【００２５】
次に、工程（Ｓ５０）では、チャンバ５１内が再度減圧される。具体的には、配管５７の弁５９が閉じられた上で、配管５３の弁５９が開けられ、再度ポンプ５４によってチャンバ５１内が排気されて減圧される。
【００２６】
次に、工程（Ｓ６０）では、たとえばピロールガスなどのモノマー気体がチャンバ５１内に導入されることにより、チャンバ５１内の減圧が緩和される。具体的には、配管５３に設置された弁５９が閉じられた上で、配管５５に設置された弁５９が開けられ、気体貯留タンク５６内のモノマー気体がチャンバ５１内に流入することにより、チャンバ５１内の減圧が緩和される。これにより、モノマー気体が陽極体１１の芯部にまで、短時間で十分に到達し、陽極体の芯部付近においても固体電解質層（たとえばポリピロール層）が効率よく形成される。以上のプロセスにより、固体電解質層の形成は完了する。なお、モノマー気体をチャンバ５１内に導入するに際しては、図４に示すように、蓋５２Ａによって貯留槽５２の開口部分を覆うことにより、導入されるモノマー気体が酸化剤溶液９１に触れることを抑制することができる。
【００２７】
次に、工程（Ｓ７０）として陰極引出層形成工程が実施される。この工程（Ｓ７０）では、図５を参照して、工程（Ｓ３０）〜（Ｓ６０）において形成された固体電解質層１３上に、たとえば導電性カーボン層１４Ａおよび銀ペースト層１４Ｂが順次形成されることにより、陰極引出層１４が作製される。
【００２８】
次に、工程（Ｓ８０）として端子接続工程が実施される。この工程（Ｓ８０）では、図５を参照して、たとえば銅または銅合金からなる陽極端子１８が陽極リード１５に接続されるとともに、銅または銅合金からなる陰極端子１７が陰極引出層１４に接続される。陰極引出層１４と陰極端子１７とは、たとえば図５に示すように導電性接着剤１６により接続することができる。また、陽極端子１８と陽極リード１５とは、たとえば抵抗溶接により接続することができる。なお、陰極引出層１４と陰極端子１７とを抵抗溶接により接続してもよいし、陽極端子１８と陽極リード１５とを導電性接着剤１６により接続してもよい。
【００２９】
次に、工程（Ｓ９０）として被覆工程が実施される。この工程（Ｓ９０）では、図５を参照して、陽極端子１８および陰極端子１７の一部が外部に露出するように、誘電体皮膜１２、固体電解質層１３および陰極引出層１４が形成され、陽極リード１５が突設された陽極体１１が外装樹脂１９により被覆される。その後、陽極端子１８および陰極端子１７のうち外装樹脂１９から露出している部分が外装樹脂１９に沿って折り曲げられる。以上のプロセスにより、固体電解コンデンサ１が完成する。
【００３０】
本実施の形態における固体電解コンデンサ１の製造方法では、工程（Ｓ３０）において、チャンバ５１内で陽極体１１に対して酸化剤溶液９１が減圧含浸されるため、酸化剤溶液９１が陽極体１１の芯部まで短時間で十分に浸透する。その後、工程（Ｓ６０）において、モノマー気体をチャンバ５１内に導入することによってチャンバ５１内の減圧が緩和されるため、モノマー気体も陽極体１１の芯部まで短時間で十分に到達する。その結果、本実施の形態における固体電解コンデンサ１の製造方法によれば、陽極体１１の芯部付近においても固体電解質層１３が効率よく形成されるため、固体電解コンデンサ１の特性を向上させつつ、製造工程が効率化される。
【００３１】
さらに、本実施の形態における固体電解コンデンサ１の製造方法では、工程（Ｓ４０）においてチャンバ５１内の減圧が緩和されるため、陽極体１１内に浸透した酸化剤溶液９１がより確実に芯部まで到達する。そのため、より確実に、陽極体１１の芯部においても固体電解質層１３を形成することができる。
【００３２】
なお、上記実施の形態１において、工程（Ｓ４０）および（Ｓ５０）は省略することができる。すなわち、工程（Ｓ３０）において、陽極体１１に酸化剤溶液を減圧含浸した後、減圧を維持した状態でチャンバ５１内にモノマー気体を導入して減圧を緩和するプロセスを採用してもよい。これにより、固体電解質層１３の形成プロセスを簡略化し、固体電解コンデンサ１を一層効率よく製造することができる。
【００３３】
（実施の形態２）
次に、本発明の他の実施の形態である実施の形態２について説明する。図６および図１を参照して、実施の形態２における固体電解コンデンサの製造方法は、基本的には実施の形態１の場合と同様に実施され、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態２における固体電解コンデンサの製造方法は、固体電解質層形成工程において、実施の形態１の場合とは異なっている。
【００３４】
すなわち、実施の形態２における固体電解コンデンサの製造方法では、図６を参照して、工程（Ｓ１０）としての陽極体準備工程および工程（Ｓ２０）としての誘電体皮膜形成工程が実施の形態１の場合と同様に実施される。
【００３５】
次に、図６を参照して、工程（Ｓ２０）において形成された誘電体皮膜上に導電性高分子からなる固体電解質層を形成する固体電解質層形成工程が実施される。この固体電解質層形成工程は、工程（Ｓ１３０）として実施される酸化剤溶液含浸工程と、工程（Ｓ１４０）として実施される減圧緩和工程と、工程（Ｓ１４５）として実施される乾燥工程と、工程（Ｓ１５０）として実施される減圧工程と、工程（Ｓ１６０）として実施されるモノマー気体導入工程とを含んでいる。以下、固体電解質層形成工程について説明する。
【００３６】
工程（Ｓ１３０）および（Ｓ１４０）は、たとえば図７に示す酸化剤含浸装置を用いて実施される。図７を参照して、酸化剤含浸装置は、第１の密閉容器としてのチャンバ６１と、チャンバ６１内に配置された貯留槽６２と、配管６３によってチャンバ６１に接続された減圧装置としてのポンプ６４と、チャンバ６１と外部（大気）とを接続する配管６７とを備えている。貯留槽６２の内部には、酸化剤溶液９１が貯留されている。配管６３，６７には、それぞれ弁６９が配置されている。これにより、チャンバ６１の内部と、ポンプ６４および外部（大気）とがそれぞれ接続された状態と遮断された状態とを選択可能となっている。
【００３７】
そして、工程（Ｓ１３０）では、図７を参照して、工程（Ｓ２０）において表層部に誘電体皮膜１２が形成された陽極体１１（図２参照）に対して、貯留槽６２内において酸化剤溶液が減圧含浸される。具体的には、たとえば陽極体１１から突出する陽極リード１５が金属製のキャリアバー９５に保持された状態で、複数の陽極体１１が酸化剤溶液９１中に浸漬され、減圧含浸が実施される。これにより、酸化剤溶液９１が陽極体１１の芯部にまで短時間で十分に浸透する。ここで、この工程（Ｓ１３０）では、配管６７に設置された弁６９が閉じられた状態で、配管６３に設置された弁６９が開けられ、ポンプ６４によってチャンバ６１の内部が減圧される。なお、陽極体１１の酸化剤溶液９１への浸漬は、チャンバ６１内が減圧された後に実施されてもよいし、陽極体１１を酸化剤溶液９１に浸漬した後、チャンバ６１内を減圧してもよい。
【００３８】
次に、工程（Ｓ１４０）では、チャンバ６１内の減圧が緩和された状態で、陽極体１１が酸化剤溶液９１の外部に保持される。これにより、陽極体１１内に浸透した酸化剤溶液９１がより確実に芯部まで到達する。具体的には、この工程（Ｓ１４０）では、配管６３に設置された弁６９が閉じられた上で、配管６７に設置された弁６９が開けられ、チャンバ６１の内部が大気に開放されるように、減圧が緩和（解除）される。なお、貯留槽６２内の酸化剤溶液９１からの陽極体１１の取り出しは、チャンバ６１内の減圧が解除された後に行なってもよいし、陽極体１１が取り出された後、減圧が解除されてもよい。
【００３９】
次に、工程（Ｓ１４５）では、陽極体１１が乾燥される。具体的には、チャンバ６１から陽極体１１が取り出され、たとえば図８に示す乾燥装置としての乾燥炉を用いて陽極体１１が乾燥される。ここで、本実施の形態における乾燥炉は、加熱室７１を備えている。そして、酸化剤含浸装置のチャンバ６１から取り出された陽極体１１は、陽極リード１５が金属製のキャリアバー９５に保持された状態で加熱室７１内において加熱され、乾燥される。なお、乾燥時の加熱温度は、酸化剤溶液の溶媒が効率よく蒸発する程度の温度に設定される。
【００４０】
次に、工程（Ｓ１５０）および（Ｓ１６０）は、たとえば図９に示すモノマー気体導入装置を用いて実施される。図９を参照して、モノマー気体導入装置は、第２の密閉容器としてのチャンバ８１と、配管８３によってチャンバ８１に接続された減圧装置としてのポンプ８４と、配管８５によってチャンバ８１に接続され、モノマー気体を貯留するモノマー気体貯留装置としての気体貯留タンク８６とを備えている。配管８３，８５には、それぞれ弁８９が配置されている。これにより、チャンバ８１の内部と、ポンプ８４および気体貯留タンク８６とがそれぞれ接続された状態と遮断された状態とを選択可能となっている。
【００４１】
そして、図９を参照して、工程（Ｓ１５０）では、工程（Ｓ１４５）において乾燥された陽極体１１がモノマー気体導入装置のチャンバ８１内に装入され、陽極リード１５が金属製のキャリアバー９５に保持された状態とされる。その後、配管８５の弁８９が閉じられた状態で、配管８３の弁８９が開けられ、ポンプ８４によってチャンバ８１内が排気されて減圧される。
【００４２】
次に、工程（Ｓ１６０）では、モノマー気体がチャンバ８１内に導入されることにより、チャンバ８１内の減圧が緩和される。具体的には、配管８３に設置された弁８９が閉じられた上で、配管８５に設置された弁８９が開けられ、気体貯留タンク８６内のモノマー気体がチャンバ８１内に流入することにより、チャンバ８１内の減圧が緩和される。これにより、モノマー気体が陽極体１１の芯部にまで、短時間で十分に到達し、陽極体１１の芯部付近においても固体電解質層が効率よく形成される。以上のプロセスにより、固体電解質層の形成は完了する。
【００４３】
そして、上記工程（Ｓ１０）〜（Ｓ１６０）に続いて、工程（Ｓ７０）としての陰極引出層形成工程、工程（Ｓ８０）としての端子接続工程および工程（Ｓ９０）としての被覆工程が、実施の形態１の場合と同様に実施される。以上のプロセスにより、固体電解コンデンサ１が完成する。
【００４４】
本実施の形態における固体電解コンデンサ１の製造方法では、上記実施の形態１の場合と同様に、酸化剤溶液９１が減圧含浸されるため、酸化剤溶液９１が陽極体１１の芯部まで短時間で十分に浸透するとともに、モノマー気体をチャンバ８１内に導入することによってチャンバ８１内の減圧が緩和されるため、モノマー気体も陽極体１１の芯部まで短時間で十分に到達する。その結果、本実施の形態における固体電解コンデンサ１の製造方法においても、陽極体１１の芯部付近において固体電解質層１３が効率よく形成されるため、固体電解コンデンサ１の特性を向上させつつ、製造工程が効率化されている。
【００４５】
また、実施の形態１と同様に、工程（Ｓ１４０）においてチャンバ６１内の減圧が緩和されるため、陽極体１１内に浸透した酸化剤溶液９１がより確実に芯部まで到達する。そのため、より確実に、陽極体１１の芯部においても固体電解質層１３を形成することができる。
【００４６】
さらに、本実施の形態では、工程（Ｓ１４５）において陽極体１１を乾燥させ、陽極体１１の内部に浸透した酸化剤溶液の溶媒成分が十分に除去された状態で、モノマー気体が導入される。これにより、陽極体１１の体積が比較的大きい場合でも、陽極体１１の内部においてモノマーの重合がより確実に進行する。その結果、本実施の形態における固体電解コンデンサの製造方法によれば、陽極体１１の体積が比較的大きい場合でも、固体電解コンデンサ１の特性を向上させつつ、製造工程を効率化することができる。
【００４７】
なお、上記実施の形態２において、工程（Ｓ１４０）および（Ｓ１５０）は省略することもできる。すなわち、実施の形態１における固体電解質層形成装置（図３および図４参照）と同様の装置を用いて、工程（Ｓ１３０）において陽極体１１に酸化剤溶液９１を減圧含浸した後、減圧を維持した状態で陽極体１１を乾燥させ、次いでチャンバ５１内にモノマー気体を導入して減圧を緩和するプロセスを採用してもよい。これにより、陽極体１１の乾燥時における酸化剤溶液の溶媒の蒸発等に対する対策が必要となるものの、固体電解質層１３の形成プロセスを簡略化し、固体電解コンデンサ１を効率よく製造することができる。
【００４８】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、容量の向上や製造工程を効率化が求められる固体電解コンデンサの製造方法に、特に有利に適用され得る。
【符号の説明】
【００５０】
１  固体電解コンデンサ、１１  陽極体、１２  誘電体皮膜、１３  固体電解質層、１４  陰極引出層、１４Ａ  導電性カーボン層、１４Ｂ  銀ペースト層、１５  陽極リード、１６  導電性接着剤、１７  陰極端子、１８  陽極端子、１９  外装樹脂、５１  チャンバ、５２  貯留槽、５２Ａ  蓋、５３，５５，５７  配管、５４  ポンプ、５６  気体貯留タンク、５９  弁、６１  チャンバ、６２  貯留槽、６３，６７  配管、６４  ポンプ、６９  弁、７１  加熱室、８１  チャンバ、８３，８５  配管、８４  ポンプ、８６  気体貯留タンク、８９  弁、９１  酸化剤溶液、９５  キャリアバー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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