(57)【要約】【課題】本発明は、透明なＥＬ表示装置において、透過率を維持したまま、ＥＬ表示装置の発光時の色調整を行うことができるＥＬ表示装置の製造方法およびＥＬ表示装置を提供することを主目的とする。【解決手段】本発明は、透明基板と、透明基板上に形成された第１透明電極層と、上記第１透明電極層上に形成され、少なくとも発光層を含むＥＬ層と、上記ＥＬ層上に形成された第２透明電極層とを有するＥＬ表示装置の製造方法であって、上記第１透明電極層および上記第２透明電極層の少なくともいずれか一方が、ＩＺＯ膜であり、上記ＩＺＯ膜をＰＶＤ法により成膜するＩＺＯ膜形成工程を有し、上記ＩＺＯ膜の成膜条件を制御することにより上記ＩＺＯ膜の色度を調整することで、上記ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することを特徴とするＥＬ表示装置の製造方法を提供する。【選択図】図３
2011060596.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板と、透明基板上に形成された第１透明電極層と、前記第１透明電極層上に形成され、少なくとも発光層を含むエレクトロルミネッセンス層と、前記エレクトロルミネッセンス層上に形成された第２透明電極層とを有するエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法であって、
前記第１透明電極層および前記第２透明電極層の少なくともいずれか一方が、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）膜であり、
前記ＩＺＯ膜を物理蒸着法（ＰＶＤ）により成膜するＩＺＯ膜形成工程を有し、
前記ＩＺＯ膜の成膜条件を制御することにより前記ＩＺＯ膜の色度を調整することで、前記エレクトロルミネッセンス表示装置の発光時の色度を調整することを特徴とするエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記ＩＺＯ膜の成膜時の酸素比率または圧力を制御することで、前記ＩＺＯ膜の色度を調整することを特徴とする請求項１に記載のエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記ＩＺＯ膜形成工程前に、前記エレクトロルミネッセンス表示装置の発光時の色度が所望の範囲となるように、前記ＩＺＯ膜の色度を選定し、続いて予め求めた前記ＩＺＯ膜の成膜条件および色度の関係に基づいて、前記ＩＺＯ膜の成膜条件を選定する成膜条件選定工程を有し、
前記ＩＺＯ膜形成工程にて、前記成膜条件選定工程にて選定された成膜条件で、前記ＩＺＯ膜を成膜することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のエレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【請求項４】
透明基板と、透明基板上に形成された第１透明電極層と、前記第１透明電極層上に形成され、少なくとも発光層を含むエレクトロルミネッセンス層と、前記エレクトロルミネッセンス層上に形成された第２透明電極層とを有するエレクトロルミネッセンス表示装置であって、
前記第１透明電極層および前記第２透明電極層の少なくともいずれか一方が、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）膜であり、
前記ＩＺＯ膜は、ＸＹＺ表色系のｘｙ色度図で、ｘが０．３０以上０．３２以下、ｙが０．３１以上０．３３以下であることを特徴とするエレクトロルミネッセンス表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、陽極および陰極として透明電極を有する、透明なエレクトロルミネッセンス表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
発光層を一対の電極の間に挟み、両電極間に電圧をかけて発光させるエレクトロルミネッセンス（以下、エレクトロルミネッセンスをＥＬと略す場合がある。）素子は、自己発色により視認性が高いこと、液晶素子と異なり全固体素子であるため耐衝撃性に優れていること、応答速度が速いこと、温度変化による影響が少ないこと、および、視野角が大きいことなどの利点を有しており、表示装置における発光素子としての利用が注目されている。
【０００３】
ＥＬ素子の構成は、陽極／発光層／陰極の積層構造を基本としており、陽極および陰極のいずれも透明電極とすることで、全体として透明な発光素子とすることが可能である。このような透明な発光素子は、背景色として任意の色が採用できたり、背景を視認できたりするので、装飾性を高めることができる。
【０００４】
従来、ＥＬ素子の発光色を調整するために、ＥＬ素子にカラーフィルタを組み合わせる方法が知られている（例えば特許文献１参照）。しかしながら、カラーフィルタを設けると、透過率が低下するため、発光素子全体を透明にすることが困難となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−７０７５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、陽極および陰極として透明電極を有する、透明なＥＬ表示装置において、透過率を維持したまま、ＥＬ表示装置の発光時の色調整を行うことができるＥＬ表示装置の製造方法およびＥＬ表示装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記目的を達成するために、透明基板と、透明基板上に形成された第１透明電極層と、上記第１透明電極層上に形成され、少なくとも発光層を含むＥＬ層と、上記ＥＬ層上に形成された第２透明電極層とを有するＥＬ表示装置の製造方法であって、上記第１透明電極層および上記第２透明電極層の少なくともいずれか一方が、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）膜であり、上記ＩＺＯ膜を物理蒸着法（ＰＶＤ）により成膜するＩＺＯ膜形成工程を有し、上記ＩＺＯ膜の成膜条件を制御することにより上記ＩＺＯ膜の色度を調整することで、上記ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することを特徴とするＥＬ表示装置の製造方法を提供する。
【０００８】
本発明においては、第１透明電極層および第２透明電極層の少なくともいずれか一方がＩＺＯ膜であり、ＩＺＯ膜の成膜条件を制御することによりＩＺＯ膜の色度を調整することができ、それにより、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することができる。よって、ＥＬ表示装置の高い透過率を維持したまま、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することが可能である。
【０００９】
上記発明においては、上記ＩＺＯ膜の成膜時の酸素比率または圧力を制御することで、上記ＩＺＯ膜の色度を調整することが好ましい。
【００１０】
また本発明においては、上記ＩＺＯ膜形成工程前に、上記ＥＬ表示装置の発光時の色度が所望の範囲となるように、上記ＩＺＯ膜の色度を選定し、続いて予め求めた上記ＩＺＯ膜の成膜条件および色度の関係に基づいて、上記ＩＺＯ膜の成膜条件を選定する成膜条件選定工程を有していてもよい。この場合には、上記ＩＺＯ膜形成工程にて、上記成膜条件選定工程にて選定された成膜条件で、上記ＩＺＯ膜を成膜する。
【００１１】
さらに本発明は、透明基板と、透明基板上に形成された第１透明電極層と、上記第１透明電極層上に形成され、少なくとも発光層を含むＥＬ層と、上記ＥＬ層上に形成された第２透明電極層とを有するＥＬ表示装置であって、上記第１透明電極層および上記第２透明電極層の少なくともいずれか一方が、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）膜であり、上記ＩＺＯ膜は、ＸＹＺ表色系のｘｙ色度図で、ｘが０．３０以上０．３２以下、ｙが０．３１以上０．３３以下であることを特徴とするＥＬ表示装置を提供する。
【００１２】
本発明においては、第１透明電極層および第２透明電極層の少なくともいずれか一方がＩＺＯ膜であり、ＩＺＯ膜が所定の色度を有するので、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することができる。よって、ＥＬ表示装置の高い透過率を維持したまま、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することが可能である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明においては、第１透明電極層および第２透明電極層の少なくともいずれか一方がＩＺＯ膜であり、ＩＺＯ膜の成膜条件を制御することによりＩＺＯ膜の色度を調整することができ、それにより、ＥＬ表示装置の透明性を損なうことなく、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することが可能であるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明のＥＬ表示装置の一例を示す概略断面図である。
【図２】ＩＺＯ膜の成膜時の酸素比率（酸素／アルゴン比）と、得られたＩＺＯ膜の色度（ＸＹＺ表色系のｘｙ色度図）との関係の一例を示す図である。
【図３】ＩＺＯ膜の色度（ＸＹＺ表色系のｘｙ色度図）の一例を示す図である。
【図４】本発明のＥＬ表示装置の他の例を示す概略断面図である。
【図５】実施例および比較例のＥＬ表示装置の発光時の色度（ＸＹＺ表色系のｘｙ色度図）を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明のＥＬ表示装置の製造方法およびＥＬ表示装置について詳細に説明する。
【００１６】
Ａ．ＥＬ表示装置の製造方法
まず、本発明のＥＬ表示装置の製造方法について説明する。
本発明のＥＬ表示装置の製造方法は、透明基板と、透明基板上に形成された第１透明電極層と、上記第１透明電極層上に形成され、少なくとも発光層を含むＥＬ層と、上記ＥＬ層上に形成された第２透明電極層とを有するＥＬ表示装置の製造方法であって、上記第１透明電極層および上記第２透明電極層の少なくともいずれか一方が、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）膜であり、上記ＩＺＯ膜を物理蒸着法（ＰＶＤ）により成膜するＩＺＯ膜形成工程を有し、上記ＩＺＯ膜の成膜条件を制御することにより上記ＩＺＯ膜の色度を調整することで、上記ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することを特徴とするものである。
【００１７】
本発明のＥＬ表示装置の製造方法について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明のＥＬ表示装置の製造方法により製造されるＥＬ表示装置の一例を示す概略断面図である。図１に例示するように、ＥＬ表示装置１は、透明基板２と、透明基板２上にパターン状に形成された第１透明電極層３と、第１透明電極層３が形成された透明基板２上にマトリクス状に形成された絶縁層４と、絶縁層４上にストライプ状に形成された隔壁５と、隔壁５を覆うように形成され、発光層を含むＥＬ層６と、ＥＬ層６上に形成された第２透明電極層７とを有している。また、図示しないが、ＥＬ表示装置１は、第２透明電極層７の上から、封止基板および接着剤により封止されている。このようなＥＬ表示装置１においては、透明基板、第１透明電極層、第２透明電極層、封止基板がいずれも透明であり、ＥＬ表示装置を透明パネルとすることができる。
上記のＥＬ表示装置１において、第１透明電極層３および第２透明電極層７の少なくともいずれか一方はＩＺＯ膜であり、本発明はこのＩＺＯ膜の形成方法に特徴を有している。
【００１８】
すなわち、本発明においては、ＩＺＯ膜をＰＶＤ法により成膜する際に、成膜条件を制御することにより、ＩＺＯ膜の色度を調整する。ＩＺＯ膜の成膜条件を変化させることにより、得られるＩＺＯ膜の膜質、組成、結晶性、結晶構造などが変化し、その結果、ＩＺＯ膜の色度が変化すると考えられる。そして、ＩＺＯ膜の色度を調整することにより、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整する。
例えば、図１に示すＥＬ表示装置１において、透明基板２側から光を取り出す場合（ボトムエミッション型の場合）であって、第２透明電極層７がＩＺＯ膜である場合、ＥＬ表示装置１の上部からの外光が第２透明電極層７（ＩＺＯ膜）を透過して透明基板２側から出射されるので、発光層からの発光と、第２透明電極層７（ＩＺＯ膜）を透過した光とが合わさることになる。そのため、この場合には、第２透明電極層７（ＩＺＯ膜）の色度を調整することで、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することができるのである。
また例えば、図１に示すＥＬ表示装置１において、第２透明電極層７側から光を取り出す場合（トップエミッション型の場合）であって、第２透明電極層７がＩＺＯ膜である場合、発光層からの発光が第２透明電極層７（ＩＺＯ膜）を透過して出射されることになる。そのため、この場合にも、第２透明電極層７（ＩＺＯ膜）の色度を調整することで、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することができるのである。
図１に示すＥＬ表示装置１において、透明基板２側から光を取り出す場合（ボトムエミッション型の場合）であって、第１透明電極層３がＩＺＯ膜である場合、および、第２透明電極層７側から光を取り出す場合（トップエミッション型の場合）であって、第１透明電極層３がＩＺＯ膜である場合も、上記の場合と同様に、ＩＺＯ膜の色度を調整することで、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することができる。
さらに、図１に示すＥＬ表示装置１において、透明基板２側から光を取り出す場合（ボトムエミッション型の場合）であって、第１透明電極層３および第２透明電極層７の両方がＩＺＯ膜である場合、および、第２透明電極層７側から光を取り出す場合（トップエミッション型の場合）であって、第１透明電極層３および第２透明電極層７の両方がＩＺＯ膜である場合も、上記の場合と同様に、ＩＺＯ膜の色度を調整することで、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することができる。
【００１９】
このように本発明によれば、ＩＺＯ膜をＰＶＤ法により成膜する際に成膜条件を制御することでＩＺＯ膜の色度を調整することができ、それにより、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することができる。よって、ＥＬ表示装置全体の透明性を損なうことなく、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することが可能である。また、ＩＺＯ膜の成膜条件を制御することで、ＩＺＯ膜の色度を任意に調整することができるため、ＥＬ表示装置の発光時の色度を容易に微調整することができる。
【００２０】
なお、従来、透明電極の成膜時の酸素濃度や出力を制御することにより透明電極の抵抗値や屈折率を調整する方法は知られているが（例えば、特開２００４−２４７１０６号公報、特開２００６−３３８９１６号公報参照）、ＩＺＯ膜の成膜条件を制御することによりＩＺＯ膜の色度を調整する方法は報告がない。
【００２１】
以下、本発明のＥＬ表示装置の製造方法における各工程について説明する。
【００２２】
１．ＩＺＯ膜形成工程
本発明におけるＩＺＯ膜形成工程は、ＩＺＯ膜をＰＶＤ法により成膜する工程であり、ＩＺＯ膜の成膜条件を制御することによりＩＺＯ膜の色度を調整する工程である。
【００２３】
ＩＺＯ膜の成膜方法としては、ＰＶＤ法であれば特に限定されるものではなく、例えば、スパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法等が挙げられる。
【００２４】
ＩＺＯ膜の色度を調整するために制御される成膜条件としては、ＩＺＯ膜の膜質、組成、結晶性、結晶構造などに影響を及ぼし得る条件であれば特に限定されるものではなく、例えば、酸素比率、圧力（真空度）、出力等を挙げることができる。
【００２５】
図２は、ＩＺＯ膜の成膜時の酸素比率（酸素／アルゴン比）と、得られたＩＺＯ膜の色度（ＸＹＺ表色系のｘｙ色度図）との関係の一例を示す図であり、図３は、ＩＺＯ膜の色度（ＸＹＺ表色系のｘｙ色度図）の一例を示す図である。なお、図２および図３においては、酸素／アルゴン比について酸素量を変化させた場合とアルゴン量を変化させた場合とに分けて示してある。図２および図３から、酸素比率（酸素／アルゴン比）と色度とには相関関係があることがわかる。図２および図３に示す例においては、酸素／アルゴン比＝０．０４の場合にやや黄味を帯びた白色となり、酸素／アルゴン比が０．０４よりも小さい場合にやや赤味を帯びた白色となり、酸素／アルゴン比が０．０４よりも大きい場合にやや青味を帯びた白色となっている。このように、酸素比率を変化させることで、ＩＺＯ膜の色度を変化させることができる。具体的には、酸素比率をゼロから高くするにつれて、やや赤味を帯びた白色を示すＩＺＯ膜、やや黄味を帯びた白色を示すＩＺＯ膜、やや青味を帯びた白色を示すＩＺＯ膜を順に得ることができる。
【００２６】
また、圧力が高くなるにつれて、酸素比率が高くなる。よって、圧力が高くなるにつれて、酸素比率が高くなるので、上述したように、やや赤味を帯びた白色を示すＩＺＯ膜、やや黄味を帯びた白色を示すＩＺＯ膜、やや青味を帯びた白色を示すＩＺＯ膜を順に得ることができる。
【００２７】
一方、出力が大きくなるにつれ、酸素比率が低くなると考えられる。よって、出力によってもＩＺＯ膜の色度を調整することができると推量される。
【００２８】
中でも、本発明においては、ＩＺＯ膜の成膜時の酸素比率または圧力を制御することで、ＩＺＯ膜の色度を調整することが好ましく、ＩＺＯ膜の成膜時の酸素比率を制御することで、ＩＺＯ膜の色度を調整することがより好ましい。
【００２９】
ＩＺＯ膜の成膜時の導入ガスの酸素比率としては、透明電極として使用できるＩＺＯ膜を形成することができ、また所望の色度を有するＩＺＯ膜を得ることができれば特に限定されるものではない。酸素比率が高すぎると抵抗値が高くなるため、酸素／酸素以外のガスの流量比は０．００〜０．２０程度であることが好ましい。
酸素以外のガスとしては、通常、アルゴンが用いられる。
【００３０】
ＩＺＯ膜の成膜時の圧力としては、透明電極として使用できるＩＺＯ膜を形成することができ、また所望の色度を有するＩＺＯ膜を得ることができれば特に限定されるものではない。圧力が高すぎると、酸素比率が高くなり抵抗値が高くなったり、成膜速度が遅くなったりするため、圧力は０．０２Ｐａ〜２Ｐａ程度であることが好ましい。
【００３１】
また、ＩＺＯ膜の成膜時の出力としては、透明電極として使用できるＩＺＯ膜を形成することができ、また所望の色度を有するＩＺＯ膜を得ることができれば特に限定されるものではなく、一般的な範囲とすることができる。
さらに、ＩＺＯ膜の上記以外の成膜条件としては、透明電極として使用できるＩＺＯ膜を形成することができれば特に限定されるものではなく、一般的な条件であればよい。
【００３２】
複数色の発光層を有するＥＬ表示装置を作製する場合、ＩＺＯ膜を全面に形成してもよく、パターン状に形成してもよい。ＩＺＯ膜をパターン状に形成する場合には、発光層の色に応じて異なるＩＺＯ膜を形成することができる。本発明においては、各色の発光層の発光色度に応じて所望の色度を有するＩＺＯ膜を形成することが可能である。
ＩＺＯ膜をパターン状に形成する場合、パターニング方法としては、例えば、フォトエッチング法、マスク蒸着法、カソードセパレータ（隔壁）を用いた方法、レーザーを用いた方法などを適用することができる。
【００３３】
得られるＩＺＯ膜は透明であり、全光線透過率が７０％以上であることが好ましく、より好ましくは８０％以上である。これにより、ＥＬ表示装置を透明パネルとして用いることができる。なお、全光線透過率は、ＪＩＳ Ｋ ７１０５に準拠して測定した値である。全光線透過率は、例えば紫外可視分光光度計（（株）島津製作所製  ＵＶＰＣ３１００）を用いて測定することができる。
【００３４】
また、ＩＺＯ膜の厚みとしては、特に限定されるものではないが、４０ｎｍ〜５００ｎｍの範囲内であることが好ましい。ＩＺＯ膜の厚みが薄すぎると、抵抗値が高くなり、ＩＺＯ膜の厚みが厚すぎると、透過率が低くなるからである。
【００３５】
本発明においては、第１透明電極層がＩＺＯ膜であってもよく、第２透明電極層がＩＺＯ膜であってもよく、第１透明電極層および第２透明電極層の両方がＩＺＯ膜であってもよい。すなわち、ＩＺＯ膜形成工程は、第１透明電極層を形成する第１透明電極層形成工程であってもよく、第２透明電極層を形成する第２透明電極層形成工程であってもよく、第１透明電極層形成工程および第２透明電極層形成工程の両方であってもよい。
中でも、第１透明電極層上に直に、ポリ３，４エチレンジオキシチオフェン−ポリスチレンスルホン酸（ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳ）を含む溶液などの酸性溶液を塗布して有機層を形成する場合には、第１透明電極層が酸性溶液に耐性を有することが好ましいことから、第２透明電極層がＩＺＯ膜であり、第１透明電極層がＩＺＯ膜でないことが好ましい。ＩＺＯ膜は、酸性溶液への耐性が乏しいからである。
【００３６】
２．成膜条件選定工程
本発明においては、上記ＩＺＯ膜形成工程前に、ＥＬ表示装置の発光時の色度が所望の範囲となるように、ＩＺＯ膜の色度を選定し、続いて予め求めたＩＺＯ膜の成膜条件および色度の関係に基づいて、ＩＺＯ膜の成膜条件を選定する成膜条件選定工程を行ってもよい。成膜条件選定工程を行う場合には、上記ＩＺＯ膜形成工程にて、成膜条件選定工程にて選定された成膜条件で、ＩＺＯ膜を成膜する。
【００３７】
目的とするＥＬ表示装置の発光時の色度は、発光層の発光色度やＥＬ表示装置の用途などに応じて適宜選択される。
ＥＬ表示装置の発光時の色度が所望の範囲となるように、ＩＺＯ膜の色度を選定する際には、例えば、発光層の発光色度に応じてＩＺＯ膜の色度を選定することができる。具体的に、第２透明電極層がＩＺＯ膜であり、透明基板側から光を取り出すボトムエミッション型のＥＬ表示装置の場合であって、発光層からの発光が黄緑色である場合、緑色に近づけたい場合には青味を帯びた白色を示すＩＺＯ膜を用いることが好ましく、一方、黄色に近づけたい場合には黄味を帯びた白色を示すＩＺＯ膜を用いることが好ましい。
【００３８】
ＩＺＯ膜の成膜条件および色度の関係は、透明基板上にＩＺＯ膜のみを成膜条件を変えて形成し、色度を測定することで、予め求めておくことができる。例えば、上述した図２および図３に示すように、ＩＺＯ膜の成膜条件および色度の関係を予め求めておくことができる。
【００３９】
このように予め求めたＩＺＯ膜の成膜条件および色度の関係に基づいて、選定されたＩＺＯ膜の色度から、ＩＺＯ膜の成膜条件を選定する。そして、上記ＩＺＯ膜形成工程では、選定されたＩＺＯ膜の成膜条件にて、ＩＺＯ膜を成膜する。
【００４０】
３．その他の工程
本発明のＥＬ表示装置の製造方法は、上記のＩＺＯ膜形成工程を有していればよいが、通常は、透明基板上に第１透明電極層を形成する第１透明電極層形成工程と、第１透明電極層上に発光層を含むＥＬ層を形成するＥＬ層形成工程と、ＥＬ層上に第２透明電極層を形成する第２透明電極層形成工程とを有する。また、必要に応じて、第１透明電極層が形成された透明基板上に絶縁層を形成する絶縁層形成工程や、絶縁層上に隔壁を形成する隔壁形成工程を行ってもよい。さらに、第２透明電極層形成工程前に、ＥＬ層上に保護層を形成する保護層形成工程、および、ＥＬ層上に補助電極を形成する補助電極形成工程を行ってもよい。
以下、これらの工程について説明する。
【００４１】
（１）第１透明電極層形成工程
本発明における第１透明電極層形成工程は、透明基板上に第１透明電極層を形成する工程である。
第１透明電極層がＩＺＯ膜である場合、第１透明電極層形成工程は、上記ＩＺＯ膜形成工程である。
【００４２】
一方、第１透明電極層がＩＺＯ膜でない場合、第１透明電極層の材料としては、透明電極を形成することができる導電性材料であれば特に限定されるものではなく、例えば、インジウム酸化スズ（ＩＴＯ）、酸化インジウム、酸化亜鉛等の金属酸化物を用いることができる。
【００４３】
また、第１透明電極層がＩＺＯ膜でない場合、第１透明電極層の成膜方法としては、化学蒸着法（ＣＶＤ）および物理蒸着法（ＰＶＤ）のいずれも用いることができ、ＰＶＤ法としては、例えば、スパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法等を挙げることができる。また、第１透明電極層をパターン状に形成する場合、パターニング方法としては、例えば、フォトエッチング法、マスク蒸着法などを用いることができる。
【００４４】
第１透明電極層は透明であり、全光線透過率が７０％以上であることが好ましく、より好ましくは８０％以上である。これにより、ＥＬ表示装置を透明パネルとして用いることができる。なお、全光線透過率の測定方法については、上記ＩＺＯ膜形成工程の項に記載した方法と同様である。
【００４５】
第１透明電極層がＩＺＯ膜でない場合、第１透明電極層の厚みとしては、特に限定されるものではなく、用いる材料に応じて適宜設定される。具体的に、第１透明電極層の厚みは、５ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲内であることが好ましく、より好ましくは４０ｎｍ〜５００ｎｍの範囲内である。第１透明電極層の厚みが薄すぎると、抵抗値が高くなり、第１透明電極層の厚みが厚すぎると、パターン状に形成された第１透明電極層の端部の段差により、電極間で短絡が生じる場合があるからである。
【００４６】
本発明に用いられる透明基板は、第１透明電極層、ＥＬ層、および第２透明電極層を支持するものである。
透明基板の材料としては、例えば、石英、ガラス等の無機材料や、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の高分子材料を挙げることができる。
透明基板の厚みとしては、透明基板の材料およびＥＬ表示装置の用途により適宜選択される。具体的に、透明基板の厚みは、０．００５ｍｍ〜５ｍｍ程度である。
【００４７】
（２）ＥＬ層形成工程
本発明におけるＥＬ層形成工程は、第１透明電極層上に発光層を含むＥＬ層を形成する工程である。
ＥＬ層を構成する発光層は、有機層であってもよく、無機層であってもよい。発光層が有機層である場合には有機ＥＬ表示装置となり、発光層が無機層である場合には無機ＥＬ表示装置となる。中でも、発光層は有機層であることが好ましい。低電圧で駆動することができるからである。
以下、発光層が有機層である場合について説明する。
【００４８】
発光層が有機層である場合、ＥＬ層は、少なくとも発光層を含む１層もしくは複数層の有機層を有するものである。すなわち、この場合、ＥＬ層とは、少なくとも発光層を含む層であり、その層構成が有機層１層以上の層をいう。通常、塗布法でＥＬ層を形成する場合は、溶媒との関係で多数の層を積層することが困難であることから、ＥＬ層は１層もしくは２層の有機層を有する場合が多いが、溶媒への溶解性が異なるように有機材料を工夫したり、真空蒸着法を組み合わせたりすることにより、さらに多数層とすることも可能である。
【００４９】
発光層以外にＥＬ層内に形成される層としては、正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層および電子輸送層を挙げることができる。正孔注入層および正孔輸送層は一体化されている場合がある。同様に、電子注入層および電子輸送層は一体化されている場合がある。その他、ＥＬ層内に形成される層としては、キャリアブロック層のような正孔もしくは電子の突き抜けを防止し、さらに励起子の拡散を防止して発光層内に励起子を閉じ込めることにより、再結合効率を高めるための層等を挙げることができる。
このようにＥＬ層は種々の層を積層した積層構造を有することが多く、積層構造としては多くの種類がある。
以下、ＥＬ層の各構成について説明する。
【００５０】
（ａ）発光層
本発明に用いられる発光層は、電子と正孔との再結合の場を提供して発光する機能を有するものである。
発光層の形成材料としては、通常、色素系材料、金属錯体系材料、または高分子系材料が用いられる。
【００５１】
色素系材料としては、シクロペンタジエン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、シロール誘導体、チオフェン環化合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、トリフマニルアミン誘導体、クマリン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマーなどを挙げることができる。
【００５２】
金属錯体系材料としては、中心金属に、Ａｌ、Ｚｎ、Ｂｅ、Ｉｒ、Ｐｔ等、またはＴｂ、Ｅｕ、Ｄｙ等の希土類金属を有し、配位子にオキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造等を有する金属錯体を挙げることができる。この金属錯体としては、アルミニウムキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾール亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロピウム錯体、イリジウム金属錯体、プラチナ金属錯体等が挙げられる。具体的には、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム錯体（Ａｌｑ３）を用いることができる。
【００５３】
高分子系材料としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリフルオレノン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリキノキサリン誘導体、ポリジアルキルフルオレン誘導体、およびそれらの共重合体等を挙げることができる。また、上記色素系材料および金属錯体系材料を高分子化したものも挙げられる。
【００５４】
また、発光層中には、発光効率の向上、発光波長を変化させる等の目的で、蛍光発光または燐光発光するドーパントを添加してもよい。このようなドーパントとしては、例えば、ペリレン誘導体、クマリン誘導体、ルブレン誘導体、キナクリドン誘導体、スクアリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、スチリル色素、テトラセン誘導体、ピラゾリン誘導体、デカシクレン、フェノキサゾン、キノキサリン誘導体、カルバゾール誘導体、フルオレン誘導体等を挙げることができる。
【００５５】
発光層の形成方法としては、例えば、真空蒸着法、印刷法、インクジェット法、スピンコート法、キャスティング法、ディッピング法、バーコート法、ブレードコート法、ロールコート法、グラビアコート法、フレキソ印刷法、スプレーコート法、自己組織化法（交互吸着法、自己組織化単分子膜法）等を挙げることができる。中でも、真空蒸着法、スピンコート法、インクジェット法が好ましい。
【００５６】
フルカラーのＥＬ表示装置を作製する際には、複数色の発光層をパターン状に形成する。発光層のパターニング方法としては、異なる発光色ごとに、マスキング法により塗り分けや蒸着を行う方法、印刷法またはインクジェット法により行う方法が挙げられる。また、発光層間に隔壁を形成することにより、発光層をパターニングしてもよい。隔壁を形成する方法は、インクジェット法等によって発光層を形成する際に、発光材料が隣接する区域に濡れ広がらないという利点を有する。
【００５７】
発光層の厚みとしては、電子と正孔との再結合の場を提供して発光する機能を発現することができる厚みであれば特に限定されるものではなく、１ｎｍ〜２００ｎｍ程度とすることができる。
【００５８】
（ｂ）正孔注入輸送層
本発明においては、図４に例示するように、第１透明電極層３上に正孔注入輸送層１１を形成し、正孔注入輸送層１１上に発光層１２を形成してもよい。正孔注入輸送層を形成することにより、発光層への正孔の注入が安定化し、発光効率を高めることができる。
【００５９】
正孔注入輸送層としては、陽極層から注入された正孔を発光層内へ輸送することが可能な層であれば特に限定されるものではない。正孔注入輸送層は、正孔注入層および正孔輸送層のいずれか一方を有するものであってもよく、正孔注入層および正孔輸送層の両方を有するものであってもよく、正孔注入機能および正孔輸送機能の両機能を有する単一の層であってもよい。
【００６０】
正孔注入輸送層の材料は、陽極から注入された正孔を安定に発光層内へ輸送することができる材料であれば特に限定されるものではなく、例えばフェニルアミン系、スターバースト型アミン系、フタロシアニン系；酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、酸化アルミニウムなどの酸化物；アモルファスカーボン；ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリフェニレンビニレンおよびこれらの誘導体等を挙げることができる。具体的には、ビス（Ｎ−（１−ナフチル−Ｎ−フェニル）ベンジジン（α−ＮＰＤ）、４，４，４−トリス（３−メチルフェニルフェニルアミノ）トリフェニルアミン（ＭＴＤＡＴＡ）、ポリ３，４エチレンジオキシチオフェン−ポリスチレンスルホン酸（ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＣｚ）等を用いることができる。
【００６１】
正孔注入輸送層の形成方法としては、上記発光層の形成方法と同様である。
正孔注入輸送層の厚みとしては、陽極から正孔を注入し、発光層へ正孔を輸送する機能が十分に発揮される厚みであれば特に限定されないが、具体的には、０．５ｎｍ〜３００ｎｍの範囲内であることが好ましく、より好ましくは１０ｎｍ〜１００ｎｍの範囲内である。
【００６２】
（ｃ）電子輸送層
本発明においては、発光層上に電子輸送層を形成してもよい。
電子輸送層の材料は、陰極または電子注入層から注入された電子を発光層内へ輸送することが可能な材料であれば特に限定されるものではなく、例えばバソキュプロイン（ＢＣＰ）、バソフェナントロリン（Ｂｐｅｈｎ）等のフェナントロリン誘導体、またはトリス（８−キノリノラト）アルミニウム錯体（Ａｌｑ３）等のキノリン誘導体などを挙げることができる。
電子輸送層の形成方法としては、上記発光層の形成方法と同様である。
【００６３】
（ｄ）電子注入層
本発明においては、図４に例示するように、発光層１２上に電子注入層１３を形成してもよい。上記電子輸送層を形成する場合には、電子輸送層上に電子注入層を形成する。
電子注入層の材料は、発光層内への電子の注入を安定化させることができる材料であれば特に限定されるものではなく、例えば、ストロンチウム、カルシウム、リチウム、セシウム等のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の金属単体；酸化マグネシウム、酸化ストロンチウム、酸化リチウム等のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の酸化物；フッ化リチウム、フッ化マグネシウム、フッ化ストロンチウム、フッ化カルシウム、フッ化バリウム、フッ化セシウム等のアルカリ金属またはアルカリ土類金属のフッ化物；ポリメチルメタクリレートポリスチレンスルホン酸ナトリウム等のアルカリ金属の有機錯体などを挙げることができる。
【００６４】
電子注入層の形成方法としては、例えば、真空蒸着法が挙げられる。
電子注入層の厚みとしては、上述したアルカリ金属またはアルカリ土類金属の化合物等の導電率および透過率を考慮すると、０．２ｎｍ〜４０ｎｍ程度であることが好ましい。
【００６５】
（３）第２透明電極層形成工程
本発明における第２透明電極層形成工程は、ＥＬ層上に第２透明電極層を形成する工程である。
第２透明電極層がＩＺＯ膜である場合、第２透明電極層形成工程は、上記ＩＺＯ膜形成工程である。
一方、第２透明電極層がＩＺＯ膜でない場合については、上記第１透明電極層形成工程の項に記載したものと同様である。
【００６６】
（４）絶縁層形成工程
本発明においては、第１透明電極層がパターン状に形成された透明基板上に絶縁層を形成する絶縁層形成工程を行ってもよい。
絶縁層の材料としては、感光性樹脂および熱硬化性樹脂などの樹脂材料や、無機材料等を用いることができる。
また、絶縁層の形成方法としては、フォトリソグラフィー法を用いることができる。
【００６７】
（５）隔壁形成工程
本発明においては、絶縁層上に隔壁を形成する隔壁形成工程を行ってもよい。
隔壁の材料としては、感光性樹脂および熱硬化性樹脂などの樹脂材料や、無機材料等を用いることができる。
また、隔壁の形成方法としては、フォトリソグラフィー法を用いることができる。隔壁には、隔壁を構成する材料表面エネルギー（濡れ性）を変化させる処理を行ってもよい。
【００６８】
（６）保護層形成工程
本発明においては、図４に例示するように、ＥＬ層６上に保護層１４を形成し、保護層１４上に第２透明電極層７を形成してもよい。保護層を形成することにより、第２透明電極層をスパッタリング法等により成膜する場合には、スパッタ時のプラズマガスイオン、スパッタリングされた粒子および電離した電子等によるＥＬ層への衝撃を緩和することができる。ＥＬ層６を構成する電子注入層１３がアルカリ金属やアルカリ土類金属を含有する場合、アルカリ金属およびアルカリ土類金属は酸化されやすく、金属の酸化により電子注入層の電子注入機能が失われるおそれがあるが、保護層が形成されていることにより、金属の酸化を防止することができる。
【００６９】
なお、保護層については、特開２００７−２６５７９２号公報に記載の透明緩衝層と同様とすることができる。
【００７０】
（７）補助電極形成工程
本発明においては、ＥＬ層上に補助電極を形成してもよい。ＥＬ層上に上記保護層を形成する場合には、ＥＬ層上に補助電極を形成し、補助電極上に保護層を形成する。
補助電極としては、第２透明電極層の抵抗値よりも低い抵抗値を有することが好ましい。補助電極の金属材料としては、例えば、アルミニウムを挙げることができる。補助電極の形成方法としては、例えばマスクを用いた蒸着法やスパッタリング法を適用することができる。
また、補助電極と第２透明電極層との間に、補助電極を構成する金属材料とは異なる金属材料を用いて中間層を形成してもよい。中間層の金属材料としては、例えばモリブデンが挙げられる。中間層を形成することで、電池作用による腐食を防ぐことができる。
【００７１】
３．ＥＬ表示装置
本発明のＥＬ表示装置の製造方法により得られるＥＬ表示装置の駆動方式は、パッシブマトリクス駆動であってもよく、アクティブマトリクス駆動であってもよい。
【００７２】
また、本発明のＥＬ表示装置の製造方法により得られるＥＬ表示装置は、広告媒体に好適に用いることができる。ＥＬ表示装置の透明性が高い場合には、２枚のＥＬ表示装置を重ねて用いることもできる。
【００７３】
本発明のＥＬ表示装置の製造方法により得られるＥＬ表示装置においては、上述したように、第２透明電極層がＩＺＯ膜であり、第１透明電極層がＩＺＯ膜でない場合、第２透明電極層（ＩＺＯ膜）側から光を取り出してもよく、第１透明電極層側から光を取り出してもよい。また、第１透明電極層がＩＺＯ膜であり、第２透明電極層がＩＺＯ膜でない場合、同様に、第１透明電極層（ＩＺＯ膜）側から光を取り出してもよく、第２透明電極層側から光を取り出してもよい。
【００７４】
本発明のＥＬ表示装置の製造方法により得られるＥＬ表示装置は、透明パネルであることが好ましい。具体的に、ＥＬ表示装置の表示部（発光部）の全光線透過率は、３０％以上であることが好ましく、より好ましくは４０％以上である。なお、全光線透過率は、ＪＩＳ Ｋ ７１０５に準拠して測定した値である。全光線透過率は、例えば紫外可視分光光度計（（株）島津製作所製  ＵＶＰＣ３１００）を用いて測定することができる。
【００７５】
Ｂ．ＥＬ表示装置
次に、本発明のＥＬ表示装置について説明する。
本発明のＥＬ表示装置は、透明基板と、透明基板上に形成された第１透明電極層と、上記第１透明電極層上に形成され、少なくとも発光層を含むＥＬ層と、上記ＥＬ層上に形成された第２透明電極層とを有するＥＬ表示装置であって、上記第１透明電極層および上記第２透明電極層の少なくともいずれか一方が、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）膜であり、上記ＩＺＯ膜は、ＸＹＺ表色系のｘｙ色度図で、ｘが０．３０以上０．３２以下、ｙが０．３１以上０．３３以下であることを特徴とするものである。
【００７６】
本発明のＥＬ表示装置について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明のＥＬ表示装置の一例を示す概略断面図である。図１に例示するように、ＥＬ表示装置１は、透明基板２と、透明基板２上にパターン状に形成された第１透明電極層３と、第１透明電極層３が形成された透明基板２上にマトリクス状に形成された絶縁層４と、絶縁層４上にストライプ状に形成された隔壁５と、隔壁５を覆うように形成され、発光層を含むＥＬ層６と、ＥＬ層６上に形成された第２透明電極層７とを有している。また、図示しないが、ＥＬ表示装置１は、第２透明電極層７の上から、封止基板および接着剤により封止されている。このようなＥＬ表示装置１においては、透明基板、第１透明電極層、第２透明電極層、封止基板がいずれも透明であり、ＥＬ表示装置を透明パネルとすることができる。
上記のＥＬ表示装置１において、第１透明電極層３および第２透明電極層７の少なくともいずれか一方はＩＺＯ膜であり、このＩＺＯ膜は、ＸＹＺ表色系のｘｙ色度図でｘおよびｙが所定の範囲であり、具体的にはやや青味を帯びた白色を示すものである。
【００７７】
例えば、図１に示すＥＬ表示装置１において、透明基板２側から光を取り出す場合（ボトムエミッション型の場合）であって、第２透明電極層７がＩＺＯ膜である場合、ＥＬ表示装置１の上部からの外光が第２透明電極層７（ＩＺＯ膜）を透過して透明基板２側から出射されるので、発光層からの発光と、第２透明電極層７（ＩＺＯ膜）を透過した光とが合わさることになる。このとき、第２透明電極層７（ＩＺＯ膜）は、ＸＹＺ表色系のｘｙ色度図でｘおよびｙが所定の範囲であり、具体的にはやや青味を帯びた白色を示す。よって、第２透明電極層を所定のＩＺＯ膜とすることで、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することができる。
また例えば、図１に示すＥＬ表示装置１において、第２透明電極層７側から光を取り出す場合（トップエミッション型の場合）であって、第２透明電極層７がＩＺＯ膜である場合、発光層からの発光が第２透明電極層７（ＩＺＯ膜）を透過して出射されることになる。このとき、第２透明電極層７（ＩＺＯ膜）は、ＸＹＺ表色系のｘｙ色度図でｘおよびｙが所定の範囲であり、具体的にはやや青味を帯びた白色を示す。よって、第２透明電極層を所定のＩＺＯ膜とすることで、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することができる。
図１に示すＥＬ表示装置１において、透明基板２側から光を取り出す場合（ボトムエミッション型の場合）であって、第１透明電極層３がＩＺＯ膜である場合、および、第２透明電極層７側から光を取り出す場合（トップエミッション型の場合）であって、第１透明電極層３がＩＺＯ膜である場合も、第１透明電極層を所定のＩＺＯ膜とすることで、上記の場合と同様に、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することができる。
さらに、図１に示すＥＬ表示装置１において、透明基板２側から光を取り出す場合（ボトムエミッション型の場合）であって、第１透明電極層３および第２透明電極層７の両方がＩＺＯ膜である場合、および、第２透明電極層７側から光を取り出す場合（トップエミッション型の場合）であって、第１透明電極層３および第２透明電極層７の両方がＩＺＯ膜である場合も、上記の場合と同様に、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することができる。
【００７８】
このように本発明によれば、第１透明電極層および第２透明電極層の少なくともいずれか一方に所定のＩＺＯ膜を用いることで、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することができる。よって、ＥＬ表示装置全体の透明性を損なうことなく、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整することが可能である。
【００７９】
以下、本発明のＥＬ表示装置における各構成について説明する。なお、透明基板およびＥＬ層については、上記「Ａ．ＥＬ表示装置の製造方法」の項に記載したので、個々での説明は省略する。
【００８０】
１．ＩＺＯ膜
本発明においては、第１透明電極層および第２透明電極層の少なくともいずれか一方がＩＺＯ膜であり、ＩＺＯ膜は、ＸＹＺ表色系のｘｙ色度図で、ｘが０．３０以上０．３２以下、ｙが０．３１以上０．３３以下である。
なお、上記色度座標は、Ｃ光源で測色したときのＣＩＥのＸＹＺ表色系におけるｘｙ色度図の色度座標とする。
【００８１】
なお、ＩＺＯ膜の全光線透過率、厚み、および形成方法などについては、上記「Ａ．ＥＬ表示装置の製造方法  １．ＩＺＯ膜形成工程」の項に詳しく記載したので、ここでの説明は省略する。
【００８２】
本発明においては、第１透明電極層がＩＺＯ膜であってもよく、第２透明電極層がＩＺＯ膜であってもよく、第１透明電極層および第２透明電極層の両方がＩＺＯ膜であってもよい。中でも、第１透明電極層上に直に、ポリ３，４エチレンジオキシチオフェン−ポリスチレンスルホン酸（ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳ）を含む溶液などの酸性溶液を塗布して有機層を形成する場合には、第１透明電極層が酸性溶液に耐性を有することが好ましいことから、第２透明電極層がＩＺＯ膜であり、第１透明電極層がＩＺＯ膜でないことが好ましい。ＩＺＯ膜は、酸性溶液への耐性が乏しいからである。
【００８３】
２．第１透明電極層
本発明における第１透明電極層は、上述したように、ＩＺＯ膜であってもよく、ＩＺＯ膜でなくてもよい。第１透明電極層がＩＺＯ膜である場合、ＩＺＯ膜については、上記ＩＺＯ膜の項に記載したので、ここでの説明は省略する。また、第１透明電極層がＩＺＯ膜でない場合、第１透明電極層の材料、全光線透過率、厚み、および成膜方法については、上記「Ａ．ＥＬ表示装置の製造方法  ３．その他の工程  （１）第１透明電極層形成工程」の項に記載したので、ここでの説明は省略する。
【００８４】
３．第２透明電極層
本発明における第２透明電極層は、上述したように、ＩＺＯ膜であってもよく、ＩＺＯ膜でなくてもよい。第２透明電極層がＩＺＯ膜である場合、ＩＺＯ膜については、上記ＩＺＯ膜の項に記載したので、ここでの説明は省略する。また、第２透明電極層がＩＺＯ膜でない場合、第２透明電極層の材料、全光線透過率、厚み、および成膜方法については、上記「Ａ．ＥＬ表示装置の製造方法  ３．その他の工程  （３）第２透明電極層形成工程」の項に記載したので、ここでの説明は省略する。
【００８５】
４．その他の部材
本発明においては、必要に応じて、第１透明電極層が形成された透明基板上に絶縁層が形成されていてもよく、さらに絶縁層上に隔壁が形成されていてもよい。また本発明においては、ＥＬ層上に保護層が形成されていてもよい。さらに本発明においては、ＥＬ層上に補助電極が形成されていてもよい。なお、絶縁層、隔壁、保護層、および補助電極については、上記「Ａ．ＥＬ表示装置の製造方法  ３．その他の工程」の項に記載したので、ここでの説明は省略する。
【００８６】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【００８７】
以下、本発明について実施例および比較例を用いて具体的に説明する。
［実施例１］
まず、ガラス基板上に、ＩＺＯの薄膜（厚み：１５０ｎｍ）をスパッタリング法により成膜した。この際、酸素ガスの導入量を０．２ｃｃ、アルゴンガスの導入量を５．０ｃｃとしたときの酸素比率（酸素／アルゴン比）＝０．０４を基準として、アルゴンガスの導入量または酸素ガスの導入量を変化させ、酸素比率（酸素／アルゴン比）を０．００〜０．２０と変化させた。また、圧力を０．２Ｐａ、出力をＤＣ９００Ｗ、成膜レートを１２．０Å／ｓとした。
次に、得られたＩＺＯ膜について、Ｃ光源を用いて色度を測色した。その際、紫外可視分光光度計（（株）島津製作所製  ＵＶＰＣ３１００）を用いて透過率測定を行い、その結果をカラー測定ソフトウェア((株)島津製作所製  ＣＯＬ−ＵＶＰＣ)で解析し、色度を算出した。表１および図３に結果を示す。なお、表１には、酸素比率（酸素／アルゴン比）とともに酸素濃度を示す。
【００８８】
【表１】
2011060596.tif 000003
【００８９】
表１および図３から、ＩＺＯ膜の成膜時の酸素比率と得られるＩＺＯ膜の色度とには相関関係があり、ＩＺＯ膜の成膜時の酸素比率を制御することで、ＩＺＯ膜の色度を調整できることがわかった。
【００９０】
［実施例２］
まず、ガラス基板上に、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）の薄膜（厚み：１５０ｎｍ）をスパッタリング法により成膜し、ＩＴＯ膜上に感光性エッチングレジストを塗布し、マスク露光、現像、ＩＴＯ膜のエッチング、感光性エッチングレジストの剥離を行って、ストライプ状の第１透明電極層を形成した。第１透明電極層の形成後、基板の洗浄およびＵＶオゾン処理を施した。
【００９１】
次に、平均分子量が約１００，０００であるノルボルネン系樹脂（ＪＳＲ（株）製、ＡＲＴＯＮ）をトルエンで希釈した絶縁層形成用塗工液を使用し、スピンコート法によりパターン状の第１透明電極層を覆うように塗布した後、ベーク（１００℃、３０分）を行って絶縁膜（厚み１μｍ）を形成した。次に、この絶縁膜上に感光性レジストを塗布し、マスク露光、現像、絶縁膜のエッチングを行って絶縁層を形成した。この絶縁層を、第１透明電極層の端部を覆うように形成し、また第１透明電極層が形成されている部分に絶縁層の開口部が位置するようにマトリクス状に形成した。
【００９２】
次に、隔壁用塗料（日本ゼオン（株）製、フォトレジスト、ＺＰＮ１１００）をスピンコート法によりマトリクス状の絶縁層を覆うように全面に塗布し、プリベーク（７０℃、３０分間）を行った。その後、所定のフォトマスクを用いて露光し、現像液（日本ゼオン（株）製、ＺＴＭＡ−１００）にて現像を行い、次いで、ポストベーク（１００℃、３０分間）を行った。これにより、絶縁層上に隔壁をストライプ状に形成した。
【００９３】
次に、上記隔壁が形成された第１透明電極層上に、グラビアオフセット印刷法により正孔注入層を形成した。すなわち、所望の膜厚が得られるように、グラビア版のセル形状およびインキ濃度を調整し、グラビア版とブランケットを平台オフセット印刷機に装着し、グラビア版に正孔注入層用インキ（ポリエチレンジオキシチオフェン−ポリスチレンスルホネート（ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳ））を供給し、セル内に正孔注入層用インキを充填した。続いて、グラビア版からブランケットに正孔注入層用インキを受理させ、その後、ブランケットから隔壁が形成された基板上に正孔注入層用インキを転移させることにより、隔壁によって分断された正孔注入層を形成した。
次いで、同様にして、発光層用インキ（ポリフルオレン誘導体系の緑色発光材料）を用いて、グラビアオフセット印刷法により発光層を形成した。
【００９４】
続いて、発光層上に、上記隔壁をマスクとして、カルシウムを２０ｎｍ厚で真空蒸着法で成膜することにより、電子注入層を形成した。その後、電子注入層上に、所定の開口部を備えたマスクを介して、アルミニウムを３００ｎｍ厚で真空蒸着法で成膜することにより、補助電極を形成した。次いで、上記隔壁をマスクとして、α−ＮＰＤを１００ｎｍ厚で真空蒸着法で成膜することにより、保護層を形成した。
【００９５】
次に、上記隔壁をマスクとして、ＩＺＯの薄膜（厚み：１５０ｎｍ）をスパッタリング法により成膜し、第２透明電極層を形成した。この際、成膜条件は、実施例１と同様とし、実施例１におけるＩＺＯ膜の成膜時の酸素比率とＩＺＯ膜の色度との関係に基づいて、酸素比率（酸素／アルゴン比）を０．０４とした。
【００９６】
その後、第２透明電極層の上から封止ガラスおよび接着剤によりＥＬ表示装置を封止した。
【００９７】
［実施例３］
実施例１におけるＩＺＯ膜の成膜時の酸素比率とＩＺＯ膜の色度との関係に基づいて、酸素比率（酸素／アルゴン比）を０．１２とした以外は、実施例２と同様にしてＥＬ表示装置を作製した。
【００９８】
［比較例１］
ＩＺＯ膜を形成しなかった以外は、実施例２と同様にしてＥＬ表示装置を作製した。
【００９９】
［評価］
実施例２，３および比較例１のＥＬ表示装置について、第１透明電極層側からの非発光時および発光時の色度を、Ｃ光源を用いて測色した。非発光時の色度については、紫外可視分光光度計（（株）島津製作所製  ＵＶＰＣ３１００）を用いて透過率を測定した後、カラー測定ソフトウェア((株)島津製作所製  ＣＯＬ−ＵＶＰＣ)により色度を算出した。一方、発光時の色度については、分光放射計（（株）トプコン製  ＳＲ−２）を用いて測定した。いずれも、輝度１０００ｃｄ／ｍ2の状態で測定した。また、ＥＬ表示装置の表示部（発光部）の全光線透過率を測定した。全光線透過率は、ＪＩＳ Ｋ ７１０５に準拠し、紫外可視分光光度計（（株）島津製作所製  ＵＶＰＣ３１００）を用いて測定した。表２および図５に結果を示す。
さらに、第２透明電極層を構成する各層の波長４３０ｎｍにおける透過率および全光線透過率についても紫外可視分光光度計（（株）島津製作所製  ＵＶＰＣ３１００）を用いて測定した。表３に結果を示す。
【０１００】
【表２】
2011060596.tif 000004
【０１０１】
【表３】
2011060596.tif 000005
【０１０２】
発光時において、比較例１のＥＬ表示装置に対して、実施例２のＥＬ表示装置ではやや緑味を帯びた黄緑色となり、実施例３の表示装置ではやや黄味を帯びた黄緑色となった。ＩＺＯ膜の成膜時の酸素比率を制御することで、ＩＺＯ膜の色度を調整し、ＥＬ表示装置の発光時の色度を調整できることがわかった。
【符号の説明】
【０１０３】
１  …  ＥＬ表示装置
２  …  透明基板
３  …  第１透明電極層
４  …  絶縁層
５  …  隔壁
６  …  ＥＬ層
７  …  第２透明電極層
１１  …  正孔注入輸送層
１２  …  発光層
１３  …  電子注入層
【図１】
2011060596.tif 000006
【図２】
2011060596.tif 000007
【図３】
2011060596.tif 000008
【図４】
2011060596.tif 000009
【図５】
2011060596.tif 000010