【事件の表示】
　特許第３１９１５４５号「包装用バリヤ性積層体及びその製造方法」の請求項１ないし８に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１９１５４５号の請求項１ないし８に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３１９１５４５号の請求項１乃至８に係る発明は、平成６年１月２０日に特許出願され、平成１３年５月２５日に特許権の設定登録がなされ、その後、請求項１乃至８に係る特許について特許異議申立人　株式会社ディスク、及び、特許異議申立人　斉藤秀和より特許異議申立てがなされ、取消理由が通知され、その指定期間内である平成１４年７月１９日に訂正請求がなされ、当該訂正請求書に対し手続補正指令（方式）が通知され、その指定期間である平成１５年２月２７日に手続補正書が提出されたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正の内容
　上記手続補正書による補正により上記手続指令（方式）で通知した方式上の不備が解消された平成１４年７月１９日になされた訂正請求は、願書に添付された明細書（以下、「特許明細書」という。）を上記補正後の訂正請求書に添付された明細書（以下、「訂正明細書」という。）のとおりに訂正することを求めるもので、その内容は以下のとおりである。
（１）請求項１を「【請求項１】二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの塗布層、金属酸化物の薄膜層、接着剤層、熱接着性樹脂層を順次に積層したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体。」から「【請求項１】二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層、金属酸化物の薄膜層、接着剤層、熱接着性樹脂層を順次に積層したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体。」と訂正する。
（２）請求項３を「【請求項３】二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの塗布層、プラズマ活性化処理層、金属酸化物の薄膜層、接着剤層、熱接着性樹脂層を順次に積層したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体。」から「【請求項３】二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層、プラズマ活性化処理層、金属酸化物の薄膜層、接着剤層、熱接着性樹脂層を順次に積層したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体。」と訂正する。
（３）請求項５を「【請求項５】結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、金属酸化物を蒸着させて薄膜層を形成し、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体の製造方法。」から「【請求項５】結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させ、金属酸化物を蒸着させて薄膜層を形成し、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体の製造方法。」と訂正する。
（４）請求項７を「【請求項７】結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、ブラズマ活性化処理したのち、金属酸化物を蒸着させ、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体の製造方法。」から「【請求項７】結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させ、ブラズマ活性化処理したのち、金属酸化物を蒸着させ、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体の製造方法。」と訂正する。
（５）特許明細書の【０００８】段落を「【課題を解決するための手段】第１の発明は、図４に示すように、二軸延伸ポリエステルフィルム（１１０）の少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの塗布層（１２０）、金属酸化物の薄膜層（１４０）、接着剤層（１５０）、熱接着性樹脂層（１６０）を順次に積層したことを特徴とするバリヤ性積層体である。」から「【課題を解決するための手段】第１の発明は、図４に示すように、二軸延伸ポリエステルフィルム（１１０）の少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層（１２０）、金属酸化物の薄膜層（１４０）、接着剤層（１５０）、熱接着性樹脂層（１６０）を順次に積層したことを特徴とするバリヤ性積層体である。」と訂正する。
（６）特許明細書の【００１０】段落を「第３の発明は、図５に示すように、二軸延伸ポリエステルフィルム（１１０）の少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの塗布層（１２０）、プラズマ活性化処理層（１３０）、金属酸化物の薄膜層（１４０）、接着剤層（１５０）、熱接着性樹脂層（１６０）を順次に積層したことを特徴とするバリヤ性積層体である。」から「第３の発明は、図５に示すように、二軸延伸ポリエステルフィルム（１１０）の少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層（１２０）、プラズマ活性化処理層（１３０）、金属酸化物の薄膜層（１４０）、接着剤層（１５０）、熱接着性樹脂層（１６０）を順次に積層したことを特徴とするバリヤ性積層体である。」と訂正する。
（７）特許明細書の【００１２】段落を「第５の発明は、結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、金属酸化物を蒸着させて薄膜層を形成し、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成したことを特徴とするバリヤ性積層体の製造方法である。」から「第５の発明は、結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させ、金属酸化物を蒸着させて薄膜層を形成し、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成したことを特徴とするバリヤ性積層体の製造方法である。」と訂正する。
（８）特許明細書の【００１４】段落を「第７の発明は、結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、ブラズマ活性化処理したのち、金属酸化物を蒸着させ、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成したことを特徴とするバリヤ性積層体の製造方法である。」から「第７の発明は、結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させ、ブラズマ活性化処理したのち、金属酸化物を蒸着させ、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成したことを特徴とするバリヤ性積層体の製造方法である。」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び拡張・変更の存否
　訂正事項１及び２は、特許明細書の請求項１及び３に記載された「アルコキシドの塗布層」を「アルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層」に限定したものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものと云える。そして、「アルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層」は、特許明細書【００２５】段落の「アルコキシドを水又は水とアルコールの混合液に溶解すると、アルコキシドが加水分解して、水酸基（−ＯＨ）を生成し、金属元素（Ｍ）と活性なＭ−ＯＨ結合を形成し、さらに、塗布工程時の熱処理によって分解反応して、乾燥塗布層中にＭ−Ｏ−Ｍ−Ｏ−Ｍの強固な結合を形成する。」なる記載に基づくものであるから、これらの訂正事項は、特許明細書に記載された事項の範囲内で明細書の記載を訂正するものであり、新規事項を追加するものではない。しかも、これらの訂正事項は実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　訂正事項３及び４は、請求項５及び７において「かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させ、」なる工程を加えるものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものと云える。そして、これらの訂正事項３及び４は、特許明細書【００２５】段落の上記記載に基づくものであるから、この訂正事項は、特許明細書に記載された事項の範囲内で明細書の記載を訂正するものであり、新規事項を追加するものではない。しかも、これらの訂正事項は実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　訂正事項５乃至８は、いずれも、訂正事項１乃至４による特許請求の範囲の訂正に整合させて、発明の詳細な説明の記載を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものと云える。そして、これらの訂正事項は新規事項を追加するものではなく、しかも、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
２−３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号。以下「平成６年改正法」という。）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立てについて
３−１．本件発明
　特許第３１９１５４５号の請求項１乃至８に係る発明（以下、「本件発明１」乃至「本件発明８」という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至８に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層、金属酸化物の薄膜層、接着剤層、熱接着性樹脂層を順次に積層したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体。
【請求項２】請求項１に記載のアルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であること特徴とする包装用バリヤ性積層体。
【請求項３】二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層、プラズマ活性化処理層、金属酸化物の薄膜層、接着剤層、熱接着性樹脂層を順次に積層したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体。
【請求項４】請求項３に記載のアルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であること特徴とする包装用バリヤ性積層体。
【請求項５】結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させ、金属酸化物を蒸着させて薄膜層を形成し、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体の製造方法。
【請求項６】請求項５に記載のアルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であること特徴とする包装用バリヤ性積層体の製造方法。
【請求項７】結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させ、ブラズマ活性化処理したのち、金属酸化物を蒸着させ、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体の製造方法。
【請求項８】請求項７に記載のアルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であること特徴とする包装用バリヤ性積層体の製造方法。」
３−２．申立ての理由の概要
　異議申立人　株式会社ディスクは、下記の甲第１号証乃至甲第６号証を証拠方法として提出すると共に、参考資料を提出し、特許明細書の請求項１乃至４に係る発明は甲第１号証乃至甲第５号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許明細書の請求項５乃至８に係る発明は甲第１号証乃至甲第６号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許明細書の請求項１乃至８に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきものである旨主張している。また、異議申立人　斉藤秀和は、下記の甲第１号証乃至甲第４号証を証拠方法として提出し、特許明細書の請求項１乃至８に係る発明は甲第１号証乃至甲第４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許明細書の請求項１乃至８に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきものである旨主張している。
異議申立人　株式会社ディスクが提出した証拠方法及び参考資料
　甲第１号証：特開昭６２−１０３１３９号公報（以下、「刊行物１」という。）
　甲第２号証：「ファインケミカル」Vol.13'84 No.6、第３〜１５頁、昭和５９年４月１日　株式会社シーエムシー発行（以下、「刊行物２」という。）
　甲第３号証：「日本接着学会誌」Vol.27 No.6、第２４６頁、平成３年６月１日　日本接着学会発行（以下、「刊行物３」という。）
　甲第４号証：特開昭６２−２９５９３１号公報（以下、「刊行物４」という。）
　甲第５号証：特開平４−２１０４６４号公報（以下、「刊行物５」という。）
　甲第６号証：特開昭６３−２０９８３５号公報（以下、「刊行物６」という。）
　参考資料：東洋紡績株式会社発行のカタログ「東洋紡工業用フィルム」
異議申立人  斉藤秀和の提出した証拠方法
　甲第１号証：特開平２−１３０１３９号公報（以下、「刊行物７」という。）
　甲第２号証：特開平３−２７８９４６号公報（以下、「刊行物８」という。）
　甲第３号証：特開平１−２８３１３６号公報（以下、「刊行物９」という。）
　甲第４号証：特開昭５５−１０７４７１号公報（以下、「刊行物１０」という。）
３−３．取消理由通知で引用した刊行物に記載された事項
（１）刊行物１（特開昭６２−１０３１３９号公報、異議申立人　株式会社ディスクが提出した甲第１号証）には、下記の記載がある。
１−ア．「ポリエステルフィルム、ポリアミドフィルムおよびこれらを少なくとも１層として含むプラスチックラミネートフィルムからなる群から選ばれたプラスチックフィルムの表面に、けい素またはけい素酸化物の１種または２種以上のドライプレーティング層を設け、必要に応じてその上に印刷を施したフィルムと、ポリオレフィンフィルムとをポリウレタン接着剤を介して積層してなるレトルトパウチ用包装材。」（特許請求の範囲　第１項）
１−イ．「本発明は、上記の種々の欠点を改良し、レトルト耐性、透明性およびガスバリア性に優れ、フィルム性能が良好で安価なレトルトパウチ用包装材を提供するものである。」（第１頁右下欄１８〜２１行）
１−ウ．「本発明において用いられるプラスチックフィルムは、・・・、低温プラズマ処理などの放電処理、シランカップリング剤塗布、・・・などの表面処理を施してドライプレーティング層との接着性を向上させたもの、一軸または二軸延伸処理を施したもの、・・・であってもよい。」（第２頁右上欄１〜８行）
１−エ．「本発明においてドライプレーティング層としては、・・・けい素酸化物の・・・蒸着層・・・であり、」（第２頁右上欄９〜１４行）
１−オ．「ドライプレーティング層の厚さは、・・・、ガスバリヤ性および可撓性の面から３００〜６０００Å、特に４００〜３０００Åが好ましい。」（第２頁左下欄１１〜１５行）
１−カ．「本発明においてポリオレフィンフィルムとしては、・・・ヒートシール性およびレトルト耐性の面からポリプロピレンを用いることが好ましく、」（第２頁右下欄４〜９行）
１−キ．「このようにして得られた本発明の包装材のポリオレフィンフィルム側を内側として、ヒートシールすることによって、レトルトパウチを得ることができる。」（第３頁左上欄１５〜１８行）
１−ク．「実施例１
　厚さ１２μmのポリエステルフィルム「エステルＥ−５００１」（東洋紡績）の片面に、それぞれ表１に示す厚さに一酸化けい素を真空蒸着し、得られた蒸着面に２液硬化型ポリウレタン接着剤・・・を・・・塗布乾燥し、塗布面に厚さ６０μmのポリプロピレンフィルム・・・を７０℃で積層し、さらに４０℃で３日間エージングして包装材を得た。得られた包装材の酸素透過率および透湿度は表１に示すとおりであった。」（第３頁右上欄８〜１９行）として、第３頁左下欄の表１に一酸化けい素蒸着膜厚に対する酸素透過率及び透湿度を示す表が記載されている。
（２）刊行物２（「ファインケミカル」Vol.13'84 No.6、第３〜１５頁、異議申立人　株式会社ディスクが提出した甲第２号証）には、下記の記載がある。
２−ア．「カップリング剤の種類としては，比較的古くからなじまれているシラン系の他に，最近はチタネート系やアルミ系が商業ベースとしてデビューしている他，ジルコンやインジウムといった金属アルコキシドやリン系についても開発が進められている。」（第３頁右欄７〜１２行）
２−イ．「カップリング剤とは，無機材料と有機材料もしくは異種の有機材料複合系において，化学的に両者を結びつける，あるいは化学的反応を伴って親和性を改善し，複合系材料の機能を高める試剤であると定義される。表１〜表３は市販されている代表的なシランカップリング剤ならびにチタネート系カップリング剤，アルミニウム系カップリング剤の機能や品種を示す。」（第３頁右欄１４行から第４頁１行）として、第４〜６頁の表３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）にはシランカップリング剤ならびにチタネート系カップリング剤，アルミニウム系カップリング剤として金属にＯＲ（ＲはＣ１〜８）で表されるアルコキシル基が結合したものが例示されている。
（３）刊行物３（「日本接着学会誌」Vol.27 No.6、第２４６頁、異議申立人　株式会社ディスクが提出した甲第３号証）には、下記の記載がある。
３−ア．「シランカップリング剤の構造は次の化学構造式で表され，一分子中に少なくとも２種類の反応性の異なる官能基を有している。
　　　　　　　　　　　（ＣＨ３）３−ｎ　　　　　　
　　　　　　　　　　　　｜
　　　　　　　Ｙ〜〜〜〜ＳｉＸｎ
　Ｘ：加水分解性基・・・・メトキシ基，エトキシ基など
　Ｙ：有機官能基・・・・・アミノ基，エポキシ基など
　ｎ＝２，３
　加水分解性基はその名の通り加水分解を受け活性なシラノール基（≡Ｓｉ−ＯＨ）に変化し，無機材料の表面と反応し強固な結合（≡Ｓｉ−Ｏ−Ｍ，Ｍ：金属）を形成したり或いは吸着し無機材料と結びつく。
　一方，有機官能基は有機樹脂と反応しうる基であり，有機樹脂の種類，硬化方法などに応じて最適な有機官能基を選択する必要がある。
　このような特殊な構造を有しているので、シランカップリング剤は無機材料と有機材料との界面において熱的，化学的に強力な結合剤として作用するのである。」（第２４６頁左欄１２行〜同頁右欄４行）
（４）刊行物４（特開昭６２−２９５９３１号公報、異議申立人　株式会社ディスクが提出した甲第４号証）には、下記の記載がある。
４−ア．「透明な熱可塑性樹脂フィルムまたはシートの少なくとも片面に、次の一般式（Ｉ）
　Ｍ（ＯＲ）ｎ・・・・・・（Ｉ）
［（Ｉ）式において、Ｍは金属、ＲはＣ１〜８のアルキル基、ｎは１〜４の整数をそれぞれ表す。］で表される金属アルコキシドの加水分解または熱分解によって得られるものの塗膜が形成されてなることを特徴とするガスバリヤ性の優れた熱可塑性樹脂フィルムまたはシート。」（特許請求の範囲　第１項）
４−イ．「本発明は、ガスバリヤ性の優れた熱可塑性樹脂フィルムまたはシートに関するものである。更に詳しくは、包装材料等に好適に使用されるガスバリヤ性に優れた、しかも透明な熱可塑性樹脂フィルムまたはシートに関するものである。」（第２頁左上欄２〜６行）
４−ウ．「本発明に係るフィルムを製造するのに用いられる金属アルコキシドは、一般式（Ｉ）、すなわち
　Ｍ（ＯＲ）ｎ・・・・・・（Ｉ）
で表される化合物である。Ｍは金属であり、その具体例としては、Ｓｉ、Ａｌ、・・・等が挙げられる。・・・。Ｒはメチル、エチル、プロピル、ブチル等の炭素数が１〜８個のアルキル基である。・・・。金属アルコキシドは水、アルコールの共存下で加水分解反応および縮重合反応を起こし、高分子量化してゾルになり、さらに反応が進んでゲルになる。このゲルを７０〜２００℃の温度範囲で加熱すると、セラミック質の透明な薄膜ができる。この薄膜は水酸基をもつ金属水酸化物の膜であるが、加熱することによって水酸基はほとんどなくなって金属酸化物になる。このようにして得られた薄膜はガスバリヤ性に優れた性質を有する。金属アルコキシドは加水分解の他、熱分解によっても金属酸化物に変化する性質を持っている。」（第３頁右上欄１行〜同頁左下欄３行）
４−エ．「本発明に係る熱可塑性樹脂フィルムを得るには、まず、基体樹脂フィルムの表面に水、アルコール等に溶解させた金属アルコキシドの溶液を塗布する。」（第３頁右下欄６〜９行）
４−オ．「実施例６
　二軸方向に・・・延伸された・・・ポリエチレンテレフタレート（以下ＰＥＴと記す）フィルムの片面に、・・・金属アルコキシドを、・・・塗布した。次にこのＰＥＴフィルムを、１５０℃で３０分加熱した。得られたフィルムは、厚さ１０μの透明なセラミック質の塗膜を有するものであった。このフィルムについて、水蒸気透過率と酸素透過率を・・・測定した。結果を表１に示す。」（第５頁左上欄１４行〜同頁右上欄５行）として、第６頁の表１に実施例６のものの水蒸気透過率と酸素透過率の値が記載されている。
（５）刊行物５（特開平４−２１００４６４号公報、異議申立人　株式会社ディスクの提出した甲第５号証）には、下記の記載がある。
５−ア．「合成樹脂系フィルム（Ａ）の少なくとも片面に酸化珪素系（ＳｉＯｘ、１≦ｘ＜２）薄膜層（Ｂ）および金属薄膜層（Ｃ）を設けることを特徴とする電気伝導性透明ハイバリヤーフィルム。」（特許請求の範囲　請求項１）
５−イ．「合成樹脂系フィルムの表面に酸化珪素薄膜を蒸着したものが透明性、ガスバリヤー性を有する包装用フィルムとして知られている。しかしながらこれはレトルト処理の如き高温、高湿処理によりガスバリヤー性が大幅に低下するようなことはないが、極僅かながら珪素酸化物蒸着膜に存在する微少ピンホール、微少クラックなどの欠陥のためにたとえば透湿度、酸素透過率などの特性が低下するのが普通であって必ずしも満足できるものではなく、」（第１頁右下欄１６行〜第２頁左上欄５行）
５−ウ．「本発明の電気伝導性透明ハイバリヤーフィルムにおいて用いる合成樹脂系フィルム（Ａ）としては・・・ポリエチレンテレフタレート・・・などのポリエステル・・・などの合成樹脂系フィルムで、・・・。また、合成樹脂系フィルム（Ａ）は、一軸延伸や二軸延伸されたものであってもよく、・・・。さらにまた合成樹脂系フィルム（Ａ）は、その表面に下塗層を設けたものであってもよく、・・・シランカップリング剤が好ましく用いられる。下塗層の形成には、・・・カップリング剤を・・・塗布し、乾燥・・・することによって行われる。」（第２頁右下欄４行〜第３頁右上欄７行）
５−エ．「酸化珪素系薄膜層（Ｂ）としては・・・。その形成には高周波加熱真空蒸着や電子ビーム加熱蒸着などが使われる。」（第３頁右上欄８〜１３行）
（６）刊行物６（特開昭６３−２０９８３５号公報、異議申立人　株式会社ディスクが提出した甲第６号証）には、下記の記載がある。
６−ア．「少なくとも片面に、（Ａ）・・・水不溶性ポリエステル共重合ポリエステル共重合体、（Ｂ）・・・水溶性有機化合物、（Ｃ）水とからなる水性樹脂分散液が塗布されてなる主たる成分がポリエチレンテレフタレートより成るポリエステル系フィルムの該塗布面上に蒸着層を設けてなるこてを特徴とするポリエステル系蒸着フィルム。」（特許請求の範囲）
６−イ．「本発明におけるコーティング用分散組成物の塗布方法は、通常の方法によって行うことが可能であるが、特に熱可塑性樹脂が溶融押出しされた後の未延伸フィルム、あるいは、縦または横方向へ一軸に延伸された後のフィルムに塗布を行い、次いで二軸または一軸方向に延伸を行なった後熱処理を行なうことにより二軸配向されたコートフィルムを得る方法がコート被膜の密着性、透明性及び経済性の見地から好ましい。」（第４頁第左下欄１９行〜同頁右下欄７行）
６−ウ．「上記フィルムの表面に蒸着される金属としては、・・・アルミニウム・・・及びその酸化物があげられ・・・。その他として酸化ケイ素化合物にも有効性が認められる。」（第５頁右上欄１３〜１９行）
（７）刊行物７（特開平２−１３０１３９号公報、異議申立人　斉藤秀和が提出した甲第１号証）には、下記の記載がある。
７−ア．「厚さ５〜３００μのポリエステルフィルムの少なくとも片面にオルガノシラン系化合物からなるプライマーを、乾燥後０．１〜５．０ｇ／ｍ２となるように塗布、乾燥し、熱処理した後、一般式
　ＳｉｘＯｙ（ｘ＝１，２，３、ｙ＝０，１，２，３，４）
なる組成の珪素化合物で厚さ１００〜３０００Åの透明蒸着薄膜層を設けた高度の耐透気性と耐透湿性を有するポリエステル蒸着フィルム。」（特許請求の範囲　請求項１）
７−イ．「係る食品への包装材料に対し透明フレキシブルにして透気性、透湿性に対し高度のバリヤー性を有するフィルムでレトルト処理後においてもそのバリヤー性を損なわないおよび電子レンジ対応可能な包装材料の出現は強く渇望されているところである。本発明はそれらの諸問題を解決したものである。」（第２頁左上欄７〜１３行）
７−ウ．「ポリエステルフィルムとは、・・・。これらの樹脂を公知の手段で溶融成形した後、縦、横両方向に延伸配向、熱固定を施した２軸延伸ポリエステルフィルム全般を含むものであり、」（第２頁右上欄１３行〜同頁左下欄１行）
７−エ．「本発明でポリエステルフィルムと珪素化合物の蒸着膜との強固な接着性を付与するためのアンダーコート剤としてのオルガノシラン系化合物とは、アルコキシシランの加水分解物およびアルコキシシランの二種以上からなる混合物の加水分解物とあるいはオルガノポリシロキサンとビニルシラン、アクリルシラン、エポキシシラン、アミノシランなどのシランカップリング剤とからなる。」（第２頁左下欄１３〜２０行）
７−オ．「本発明のオルガノシラン系化合物被膜のポリエステルフィルムへの形成は、オルガノシラン化合物を脂肪族系化合物あるいは芳香族系化合物などの公知の溶媒に分散あるいは溶解せしめ、公知の方式により塗布、乾燥する。次いで１５０℃〜２４０℃、好ましくは１７０℃〜２２０℃で熱処理することにより形成するものである。」（第２頁右下欄５〜１１行）
７−カ．「本発明のオルガノシラン系化合物皮膜のポリエステルフィルムへの形成は、オルガノシラン系化合物を脂肪族系化合物あるいは芳香族系化合物など公知の溶媒に分散あるいは溶解せしめ、公知の方式により塗布、乾燥する。次いで１５０℃〜２４０℃、好ましくは１７０℃〜２２０℃で熱処理することにより形成するものである。」（第２頁右下欄５〜１１行）
７−キ．「本発明の蒸着フィルムは、優れた性能の蒸着膜を有する透明フレキシブルフィルム材料であり、特にレトルト食品・・・などの包装材料・・・として画期的である」（第４頁左上欄１７〜２０行）
（８）刊行物８（特開平３−２７８９４６号公報、異議申立人　斉藤秀和が提出した甲第２号証）には、下記の記載がある。
８−ア．「１．耐熱性のプラスチック基材の少なくとも片面に耐熱温度が１３０℃以上のアンカーコート層を設け、該アンカーコート層上に金属酸化物蒸着層を設けてなる透視性を有する高ガスバリヤー性レトルト食品用包装材料。
２．蒸着膜上にさらにヒートシール層が設けられている請求項１記載のレトルト食品用包装材料。」（特許請求の範囲　請求項１及び２）
８−イ．「本発明の前記包装材料は用途に応じてそのまま用いてもよいし、さらに蒸着膜上にヒートシール層・・・を設けてもよい。ヒートシール層としては・・・通常無延伸ポリプロピレン、ポリエチレン・・・などがあげられる。ヒートシール層は通常ドライラミネート法・・・によって設けられる。」（第３頁右上欄１７行〜同頁左下欄７行）
８−ウ．「実施例３
　厚さ１２μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面に熱硬化型シリコーン樹脂系塗料・・・を塗布乾燥し、・・・アンカーコート層を形成し、・・・酸化ケイ素蒸着膜［ＳｉＯｘ（ｘ＝１．６）］の形成およびプロピレンフィルムのラミネートを行なってレトルト用フィルムを作製した。」（第４頁右上欄５〜１６行）
（９）刊行物９（特開平１−２８３１３６号公報、異議申立人　斉藤秀和が提出した甲第３号証）には、下記の記載がある。
９−ア．「（１）延伸されたポリエステルフィルムの少なくとも片面に、厚さ０．０１〜５μmの、重合性のある炭素−炭素不飽和結合を有する化合物とポリエステルとの反応生成物層を有し、この反応生成物の少なくとも片面に、厚さ５〜５００ｎｍの、ケイ素酸化物の透明な薄膜層が形成されてなることを特徴とする、ガスバリヤ性の優れた透明プラスチックフィルム。
（２）ケイ素酸化物の透明な薄膜層の上に、他の透明なプラスチックフィルムが形成されてなることを特徴とする、請求項１項記載のガスバリヤ性の優れた透明プラスチックフィルム。」（特許請求の範囲　請求項１及び２）
９−イ．「塗布延伸法でポリエステルフィルムに上記塗布液を、塗布後延伸する方法としては、ポリエステル未延伸フィルムに塗布液を塗布し、一軸延伸または、逐次あるいは同時に二軸延伸する方法、一軸延伸されたポリエステルフィルムに塗布し、さらに先の一軸延伸方法と同じ方向、または直角の方向に延伸する方法、二軸延伸ポリエステルフィルムに塗布し、さらに、横および／または縦方向に延伸する方法、などがある。上述の延伸工程は、好ましくは６０〜１３０℃でおこなわれ、延伸されたフィルムは１５０〜２５０℃で熱処理される。」（第７頁左上欄８〜１９行）
（１０）刊行物１０（特開昭５５−１０７４７１号公報、異議申立人　斉藤秀和が提出した甲第４号証）には、下記の記載がある。
１０−ア．「（１）結晶配向が完了する前のポリエステルフィルムの少なくとも一表面に水可溶性有機シラン化合物が塗設され、かつ該フィルムが延伸配向せしめてなる易接着性ポリエステルフィルム。
（２）特許請求の範囲第１項記載の水可溶性有機シラン化合物が、一般式
　　　　Ｙ−（ＣＨ２）３−Ｓｉ−（Ｘ）３　　　　　
［式中、Ｘは−ＯＣＨ３，−ＯＣＨ２ＣＨ３・・・を示し、Ｙは−ＮＨ２・・・を示す。］」（特許請求の範囲　第１及び２項）
１０−イ．「本発明に供する有機シラン化合物は、通常ケイ素原子に結合している加水分解性の基と各種の有機性官能基とを有する構造をもち、シランカップリング剤として、有機物と無機物との接着性を向上させるために広く用いられている。しかし一般のシランカップリング剤の多くは、水に対する溶解性が不充分であり、また水との混合に際して激しく反応する性質を有しており、取扱いに難点がある。従って、水と穏やかに混和し、長時間安定な水溶液を保つものでなければ実用性がない。かかる観点からケイ素原子と結合する加水分解性の基及び有機性官能基を選択する必要がある。」（第４頁左上欄１１行〜同頁右上欄４行）
１０−エ．「本発明の被覆処理された易接着性フィルムは・・・、無機質被覆形成性物質および金属蒸着物質らに対して極めて広汎な密着付着性能を示す。」（第５頁右下欄１１〜１７行）
（１１）なお、異議申立人　株式会社ディスクが提出した参考資料には、「東洋紡エステルフィルム」は二軸延伸ポリエステルフィルムであること、及び、Ｅ５００１なる品番のものがあることが記載されている。
３−４．対比、判断
（１）本件発明１について
　異議申立人　株式会社ディスクが提出した参考資料を参酌するまでもなく、刊行物１の記載事項１−ウには、ポリエステルフィルムが二軸延伸処理を施したものを含むことが記載されており、また記載事項１−カ及びキには、ポリオレフィンフィルムがヒートシール性を有することが記載されているから、刊行物１の記載事項からみて、刊行物１には下記の物の発明が記載されていると認められる。
「二軸延伸ポリエステルフィルムの表面に、シランカップリング剤の塗布層を介してけい素酸化物のドライプレーティング層を設け、その上にポリウレタン接着剤層を介してヒートシール性を有するポリオレフィンフィルムを積層してなるバリヤ性を有する包装材。」
　本件発明１と刊行物１に記載された物の発明を対比すると、刊行物１の記載事項１−オに記載されたドライプレーティング層の厚さが本件明細書【００２２】段落に記載された金属酸化物の蒸着薄膜層の厚さと重複することからみて、後者における「ドライプレーティング層」は前者における「薄膜層」と云え、後者における「ヒートシール性」は前者における「熱接着性」に相当し、後者における「バリヤ性を有する包装材」は、積層構造をもつことからみて包装用バリヤ性積層体と云えるものであるから、両者は、
「二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、塗布層、ケイ素酸化物の薄膜層、接着剤層、熱接着性のポリオレフィン樹脂層を順次に積層した包装用バリヤ性積層体。」で一致し、下記の点で相違する。
（ｉ）塗布層が、前者は、化学式がＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層であるのに対し、後者は、以下に述べるように当該Ｍ（ＯＲ）nの化学式を満たさないシランカップリング剤により形成される塗布層である点。
　そこで、相違点ｉについて検討する。
　刊行物２及び３には、シランカップリング剤について記載されており、その記載からみて、シランカップリング剤とは、一分子中に、アルコキシル基などの加水分解によりシラノール基に変化し無機材料と反応する基の他に、有機樹脂と結びつく有機官能基を有するものであり、このような特殊な構造により無機材料と有機材料との界面において強力な結合剤として作用するものであると解される。よって、シランカップリング剤は、アルコキシル基の他に有機官能基を有するものであるから、金属元素にアルコキシル基以外の基が結合していない本件発明１における「化学式がＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシド」とは異なる物である。よって、刊行物１に記載された物の発明における「シランカップリング剤の塗布層」は、本件発明１における「化学式がＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層」とは実質的に異なるものである。
　刊行物４には、「二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの少なくとも片面に、Ｍ（ＯＲ）ｎ（Ｍは金属、ＲはＣ１〜８のアルキル基、ｎは１〜４の整数をそれぞれ表す。）で表される金属アルコキシドの加水分解または熱分解によって得られるものの塗膜が形成されてなるガスバリヤ性の優れた熱可塑性樹脂フィルム。」なる発明が記載されいると云える。確かに、上記「塗膜」の材質は本件発明１における「塗布層」と同じであると云える。しかしながら、刊行物４に記載された発明において、上記「塗膜」は、それ自体で熱可塑性樹脂フィルムにガスバリヤ性を付与するものであり、刊行物４を検討しても、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面に上記「塗膜」を形成したものにさらに金属酸化物の薄膜層を積層することについては何ら記載がない。これに対して、本件発明１は、二軸延伸ポリエステルフィルムと金属酸化物の薄膜層との密着性を高めるために上記塗布層を設けたものであるから、刊行物１に記載された物の発明において、二軸延伸ポリエステルフィルムと金属酸化物の薄膜層との密着性を高めるための塗布層として、刊行物４に記載された「塗膜」を用いることは、当業者といえども容易に想到し得たこととは云えない。
　刊行物５及び６を検討しても、刊行物５に合成樹脂系フィルムに酸化珪素系薄膜層を形成するときの下塗層としてシランカップリング剤の塗布層が記載されているだけであり、シランカップリング剤については上記のとおりであるから、刊行物５及び６には、化学式がＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層については記載されておらず、示唆する記載もないと云わざるを得ない。
　刊行物７には、「二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面にオルガノシラン系化合物からなるプライマーを塗布、乾燥し、熱処理した後、珪素酸化物の薄膜層を設けた高度の耐透気性と耐透湿性を有する包装材料として使用するポリエステル蒸着フィルム。」なる発明が記載されていると云え、さらに「本発明でポリエステルフィルムと珪素化合物の蒸着膜との強固な接着性を付与するためのアンダーコート剤としてのオルガノシラン系化合物とは、アルコキシシランの加水分解物およびアルコキシシランの二種以上からなる混合物の加水分解物と、あるいはオルガノポリシロキサンとビニルシラン、アクリルシラン、エポキシシラン、アミノシランなどのシランカップリング剤とからなる。」なる記載事項７−エがある。しかし、そこでは、「アルコキシシラン」は、シリコン原子にアルコキシル基が結合した化合物の総称として用いられているものであって、刊行物７に記載されたアルコキシシランの加水分解物を含むオルガノシラン系化合物からなるプライマーを塗布、乾燥し、熱処理した層が、化学式がＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層を示すとは直ちに云えない。
　また、刊行物８〜１０を検討しても、刊行物１０にポリエステルフィルムに水可溶性有機シラン化合物を塗設することが記載されているが、刊行物１０の記載からみて、この水可溶性シラン化合物はＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドとは云えず、刊行物８〜１０にも、化学式がＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層を設けることが記載されているとも、示唆する記載があるとも云えない。
　してみると、上記相違点ｉは、刊行物２乃至１０の記載を検討しても当業者が容易に想到し得たこととは云えない。
　そして、本件発明１は、上記相違点ｉに係る本件発明１の構成を備えたことにより、金属酸化物の薄膜層の隣接層の密着が良好であり、しかも、アルコキシド塗布層が可撓性で耐熱性が良好であるため、製造時及び使用時に、薄膜層に亀裂やピンホールが発生し難く、この結果として、酸素や水蒸気などに対してバリヤ性が極めて良好であるという本件明細書に記載された効果を奏するものである。
　よって、本件発明１は、刊行物１乃至１０に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとは云えない。
（２）本件発明２について
　本件発明２は、本件発明１において、アルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であると限定したものであるから、上記（１）で述べた理由と同じ理由で、刊行物１乃至１０に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとは云えない。
（３）本件発明３について
　本件発明１と刊行物１に記載された物の発明を対比すると、
「二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、塗布層、ケイ素酸化物の薄膜層、接着剤層、熱接着性のポリオレフィン樹脂層を順次に積層したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体。」で一致し、下記の点で相違する。
（ｉ）塗布層が、前者は、化学式がＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層であるのに対し、後者は、シランカップリング剤の塗布層である点。
（ii）前者は、塗布層と薄膜層との間にプラズマ活性化処理層を積層したものであるのに対して、後者はかかる特定がない点。
　相違点ｉについては、上記（１）で述べたとおりであるから、相違点iiについて検討するまでもなく、本件発明３は、刊行物１乃至１０に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとは云えない。
（４）本件発明４について
  本件発明４は、本件発明３において、アルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であると限定したものであるから、上記（３）で述べた理由と同じ理由で、刊行物１乃至１０に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとは云えない。
（５）本件発明５について
　記載事項１−エ及びクからみて、ドライプレーティング層は蒸着により形成されるものであるから、刊行物１の記載事項からみて、刊行物１には下記の方法の発明が記載されていると認められる。　
「二軸延伸ポリエステルフィルムの表面に、シランカップリング剤を塗布した後、けい素酸化物を蒸着させてドライプレーティング層を形成し、その上にポリウレタン接着剤層を介してヒートシール性を有するポリオレフィンフィルムを積層してなるバリヤ性を有する包装材の製造方法。」
　本件発明５と刊行物１に記載された方法の発明を対比すると、両者は、
「ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、塗布したのち、ケイ素酸化物を蒸着させて薄膜層を形成し、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体の製造方法。」
で一致し、下記の点で相違する。
（iii）塗布するものが、前者は、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液であるのに対し、後者は、シランカップリング剤である点。
（iv）前者は、結晶配向が完了前のポリエステルフィルムに塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させるのに対して、後者は、かかる特定がない点。
　まず、相違点iiiについて検討する。
　刊行物２及び３には、シランカップリング剤について記載されているが、上記（１）で述べたとおりであるから、刊行物１に記載された方法の発明における「シランカップリング剤」はアルコキシル基の他に有機官能基を有するものであり、金属元素にアルコキシド基以外の基が結合していない本件発明５における「化学式がＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシド」とは異なる物である。
　刊行物４には、「二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの少なくとも片面に、Ｍ（ＯＲ）ｎ（Ｍは金属、ＲはＣ１〜８のアルキル基、ｎは１〜４の整数をそれぞれ表す。）で表される金属アルコキシド水系溶液を塗布する工程を有するガスバリヤ性の優れた熱可塑性樹脂フィルムの製造方法。」なる発明が記載されていると云える。しかし、上記（１）で述べた理由と同様の理由で、刊行物１に記載された方法の発明において、ポリエステルフィルムと金属酸化物の薄膜層との密着性を高めるために、ポリエステルフィルムに刊行物４に記載されたＭ（ＯＲ）ｎ（Ｍは金属、ＲはＣ１〜８のアルキル基、ｎは１〜４の整数をそれぞれ表す。）で表される金属アルコキシドの水系溶液を塗布することは、当業者といえども容易に想到し得たこととは云えない。
　刊行物５及び６を検討しても、刊行物５に合成樹脂系フィルムに酸化珪素系薄膜層を形成するときの下塗層としてシランカップリング剤を塗布することが記載されているだけであり、シランカップリング剤については上記（１）で述べたとおりであるから、刊行物５及び６には、化学式がＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布することは記載されておらず、示唆する記載もないと云わざるを得ない。
　刊行物７には、「二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面にオルガノシラン系化合物からなるプライマーを塗布、乾燥し、熱処理した後、珪素酸化物を蒸着させて薄膜層を設けた、高度の耐透気性と耐透湿性を有する包装材料として使用するポリエステル蒸着フィルムの製造方法。」なる発明が記載されていると云え、さらに「本発明でポリエステルフィルムと珪素化合物の蒸着膜との強固な接着性を付与するためのアンダーコート剤としてのオルガノシラン系化合物とは、アルコキシシランの加水分解物およびアルコキシシランの二種以上からなる混合物の加水分解物と、あるいはオルガノポリシロキサンとビニルシラン、アクリルシラン、エポキシシラン、アミノシランなどのシランカップリング剤とからなる。」との記載事項７−エ、及び、オルガノシラン系化合物を脂肪族系化合物あるいは芳香族系化合物などの公知の溶媒に分散、溶解せしめポリエステルフィルムに塗布する旨の記載事項７−オがある。しかし、「アルコキシシラン」については上記（１）で述べたとおりであり、しかも、アルコキシシランの加水分解物等は水系溶液として塗布されるものでもないから、上記記載事項からは、刊行物７には、化学式がＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布することが記載されいるとも示唆されているとも云えない。
　また刊行物８〜１０を検討しても、刊行物１０にポリエステルフィルムに水溶性有機シラン化合物の水系溶液を塗布する旨記載されているが、刊行物１０の記載からみて、この水溶性シラン化合物はＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドとは云えず、刊行物８〜１０にも、化学式がＭ（ＯＲ）n （Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布することが記載されているとも、示唆する記載があるとも云えない。
　してみると、上記相違点iiiは、刊行物２乃至１０の記載を検討しても当業者が容易に想到し得たこととは云えない。
　そして、本件発明５は、上記相違点iiiに係る本件発明５の構成を備えたことにより、金属酸化物などの蒸着薄膜層の隣接層の密着が良好であり、しかも、蒸着されるアルコキシド塗布層が可撓性で耐熱性が良好であるため、製造時及び使用時に、蒸着薄膜層に亀裂やピンホールが発生し難く、この結果として、酸素や水蒸気などに対してバリヤ性が極めて良好であるという本件明細書に記載された効果を奏するものである。
　よって、上記相違点ivについて検討するまでもなく、本件発明５は、刊行物１乃至１０に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとは云えない。
（６）本件発明６について
　本件発明６は、本件発明５において、アルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であると限定したものであるから、上記（５）で述べた理由と同じ理由で、刊行物１乃至１０に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとは云えない。
（７）本件発明７について
　本件発明７と刊行物１に記載された方法の発明を対比すると、両者は、
「ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、塗布したのち、ケイ素酸化物を蒸着させ、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体の製造方法。」
で一致し、下記の点で相違する。
（iii）塗布するものが、前者は、化学式がＭ（ＯＲ）n（Ｍは金属元素，ＲはＣ1〜Ｃ8のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液であるのに対し、後者は、シランカップリング剤である点。
（iv）前者は、結晶配向が完了前のポリエステルフィルムに塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させるのに対して、後者は、かかる特定がない点。
（v）前者は、ブラズマ活性化処理したのち、金属酸化物を蒸着させるのに対し、後者は、蒸着前にブラズマ活性化処理をすることについて特定がない点。
　相違点iiiについては、上記（５）で述べたとおりであるから、相違点iv及び相違点ｖについて検討するまでもなく、本件発明７は、刊行物１乃至１０に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとは云えない。
（８）本件発明８について
  本件発明８は、本件発明７において、アルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であると限定したものであるから、上記（７）で述べた理由と同じ理由で、刊行物１乃至１０に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるとは云えない。　　
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠方法によっては本件発明１乃至８についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１乃至８についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明１乃至８についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年４月２４日（２００３．４．２４）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
包装用バリヤ性積層体及びその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）ｎ（Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する塗布層、金属酸化物の薄膜層、接着剤層、熱接着性樹脂層を順次に積層したことを特徴とする包装用バリヤ性積層体。
　【請求項２】請求項１に記載のアルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であること特徴とする包装用バリヤ性積層体。
　【請求項３】二軸延伸ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）ｎ（Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドを塗布、
熱処理
　【請求項４】請求項３に記載のアルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であること特徴とする包装用バリヤ性積層体。
　【請求項５】結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）ｎ（Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、
かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させ
　【請求項６】請求項５に記載のアルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であること特徴とする包装用バリヤ性積層体の製造方法。
　【請求項７】結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）ｎ（Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、
かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させ
　【請求項８】請求項７に記載のアルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であること特徴とする包装用バリヤ性積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、金属又は金属化合物などの蒸着薄膜層と密着が良好な蒸着基材用ポリエステルフィルム、酸素や水蒸気などに対してバリヤ性が良好な包装材料に使用されるバリヤ性積層体及びこれらの製造方法に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】食品、医薬品、化学薬品などの包装材料に用いられる合成樹脂フィルムは、内容物の変質を防ぐために、酸素や水蒸気などに対するバリヤ性の良いものが用いられていた。そして、さらに高度のバリヤ性が必要な包装材料の場合には、合成樹脂フィルムにアルミニウム箔を貼り合わせたものが用いられていた。しかし、このような金属箔を用いた包装材料は、酸素や水蒸気などに対するバリヤ性が優れているものの、使用後の廃棄物としては、焼却時に残存滓が残ったり、再利用も難しく、環境衛生上では、好ましくない面があった。そこで、環境衛生上の問題を改良させるものとして、合成樹脂フィルムの表面にアルミニウム、酸化アルミニウム又は酸化ケイ素などの金属や金属酸化物を蒸着させたものが用いられていた。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の金属や金属酸化物の蒸着薄膜は、積層体又は包装袋として用いた時に、使用方法や使用環境によっては、蒸着薄膜と接する合成樹脂フィルム間の界面で剥離が発生する場合もあり、他の合成樹脂フィルム同士の積層体に比べて密着性が悪い問題があった。
　【０００４】金属や金属酸化物の蒸着基材用合成樹脂フィルムとしては、ポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルムやナイロンフィルムなどが使用されているが、耐熱性、ガスバリヤ性、電気的特性や耐薬品性などに優れる二軸延伸ポリエステルフィルムが、最も汎用的に使用されていた。このため、二軸延伸ポリエステルフィルムと蒸着薄膜との密着性を改善する試みが、従来から多く行われていた。例えば、ポリエステルフィルムの表面を、コロナ放電処理、紫外線照射処理、プラズマ処理又は火焔処理を施して表面を活性化した後に、金属又は金属酸化物を蒸着する方法が用いられていた。しかし、これらのフィルム面の活性化方法は、蒸着薄膜に対する濡れによる二次結合力の増進による接着性の向上は期待できるが、その活性能力が経時とともに減少したり、または、必ずしも満足すべき接着力が得られなかったりして、充分なものとは言えなかった。
　【０００５】また、ポリエステルフィルムと金属又は金属酸化物の蒸着薄膜との密着性を向上させる他の方法として、酸やアルカリなどの薬剤による表面処理法、ポリエステルフィルムと他の成分、例えば酸成分やグリコール成分などと共重合させた共重合ポリエステルフィルム又はポリエステルフィルムの製膜時に他の樹脂を共押出しさせた共押出多層ポリエステルフィルムなどがあるが、どれも充分に満足な密着性が得られていない。
　【０００６】さらには、ポリエステルフィルムの表面に、オフライン又はインラインで、エチレンイミン系、アミン系、エポキシ系、ウレタン系又はポリエステル系などのアンカーコーティング剤を塗布する方法があるが、塗布面は、金属又は金属酸化物の蒸着薄膜との密着性が向上するが、バリヤ性は、アンカーコーティング剤を塗布しない蒸着ポリエステルフィルムに比較して、低下した。これは、アンカーコーティング層の熱寸法安定性が悪いため、蒸着ポリエステルフィルムの熱負荷時に、蒸着薄膜が機械的なストレスを受け、その結果、蒸着薄膜に亀裂やピンホールなどが発生して、バリヤ性が低下するためである。
　【０００７】本発明は、上述の従来のポリエステルフィルム表面と蒸着薄膜との密着性や蒸着薄膜の亀裂やピンホールなどの発生によるバリヤ性を損なう問題を解決したもので、金属や金属酸化物の蒸着薄膜と密着が良好な蒸着基材用ポリエステルフィルム、酸素や水蒸気などに対してバリヤ性が良好な包装材料として使用するバリヤ性積層体及びこれらの製造方法を提供するものである。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】第１の発明は、図４に示すように、二軸延伸ポリエステルフィルム（１１０）の少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）ｎ（Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシド
を塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する
　【０００９】第２の発明は、第１の発明に記載のアルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であること特徴とするバリヤ性積層体である。
　【００１０】第３の発明は、図５に示すように、二軸延伸ポリエステルフィルム（１１０）の少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）ｎ（Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシド
を塗布、熱処理により得られた−Ｍ−Ｏ−結合を有する
　【００１１】第４の発明は、第２の発明に記載のアルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であること特徴とするバリヤ性積層体である。
　【００１２】第５の発明は、結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）ｎ（Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、
かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させ
　【００１３】第６の発明は、第５の発明に記載のアルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であること特徴とするバリヤ性積層体の製造方法である。
　【００１４】第７の発明は、結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、化学式がＭ（ＯＲ）ｎ（Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるアルコキシドの水系溶液を塗布したのち、このフィルムを一軸方向又は二軸方向に延伸して結晶配向を完了させ、
かつ熱処理により−Ｍ−Ｏ−結合を形成させ
　【００１５】第８の発明は、第７の発明に記載のアルコキシドの金属元素が、アルミニウム（Ａｌ）又はケイ素（Ｓｉ）であること特徴とするバリヤ性積層体の製造方法である。
　【００１６】
　【００１７】
　【００１８】
　【００１９】上述のポリエステルフィルムは、芳香族二塩基酸又はそのエステル形成性誘導体とジオール又はそのエステル形成性誘導体とから合成される線状飽和ポリエステルのフィルムであり、結晶配向が完了前のポリエステルフィルムとは、ポリマーを熱溶融して、そのまま押出して製膜した未延伸状態の合成樹脂膜であるか、さらにこれを縦方向又は横方法のいずれか一軸方向に延伸した状態のフィルムであり、結晶配向が完了させたポリエステルフィルムとは、二軸方向に延伸して熱固定して結晶配向を完了したフィルムである。
　【００２０】本発明においては、アルコキシドの水系溶液（水溶液又は水とアルコールとの混合溶液，アルコキシドの加水分解物や熱分解物も含む）の塗布は、結晶配向が完了する前のポリエステルフィルム表面に行うものであり、これによって、二軸延伸し熱固定された結晶配向を完了したポリエステルフィルムに、単にアルコキシドの水系溶液塗布した場合と比較して、フィルムとアルコキシド塗布層との界面間に強い密着性が発生し、また、アルコキシド塗布層と次工程で形成される金属や金属化合物の蒸着薄膜層との強い密着性も発現する。なお、アルコキシドの水系溶液中に、添加剤としてイソシアネート化合物、シランカップリング剤、一般的な分散剤、安定化剤、粘度調整剤、着色剤及び界面活性剤などを含んでもよい。また、塗布する前に、フィルム表面を予めコロナ放電処理、ブラズマ活性化処理などを行ってもよい。そして、アルコキシド塗布層の乾燥は、ポリエステルフィルムの二軸延伸後の熱固定工程を利用して行うが、その直前に乾燥工程を設けることが更に好ましい。乾燥したアルコキシド塗布層の厚みは、約０．０１〜１００μｍの範囲であれば良いが、反応速度や乾燥速度を短縮するために、好ましくは、０．０１〜５０μｍである。
　【００２１】本発明で使用するアルコキシドは、化学式がＭ（ＯＲ）ｎ（Ｍは金属元素，ＲはＣ１〜Ｃ８のアルキル基，ｎは１〜４の整数）で表示されるものであり、Ｍは、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ジルコニウム（Ｚｒ）などであり、Ｒは、Ｃ１〜Ｃ８のアルキル基である。例えば、テトラエチルオルソシリケート（Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４）、トリイソプロポキシアルミニウム（Ａｌ（Ｏ−Ｃ３Ｈ７）３）などであり、これらは、水系溶液中で比較的に安定であるため、使用上では好ましい。なお、Ｍとしては、水との反応性が小さいケイ素やアルミニウムが好ましく、さらに、コストを考慮するとケイ素が最も好ましいものである。
　【００２２】本発明の金属酸化物の薄膜形成方法は、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリングなどの蒸着方法が使用できるが、真空蒸着やイオンプレーティングが好ましい。加熱方法としては、抵抗加熱、ＥＢ加熱、高周波誘導加熱などを用いることができる。蒸着材料は、アルミニウム（Ａｌ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、亜鉛（Ｚｎ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、マグネシウム（Ｍｇ）、スズ（Ｓｎ）、銅（Ｃｕ）そして鉄（Ｆｅ）などの金属の酸化物、例えば、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化ケイ素（ＳｉＯ）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ２）などを用いることができる。そして、蒸着時の蒸着装置内の真空度は、２×１０−６〜８×１０−３トール（ｔｏｒｒ）の範囲でよいが、好ましくは、８×１０−６〜８×１０−５トールである。また、形成された金属酸化物の蒸着薄膜層は、酸素、水蒸気などに対しバリヤ性を有する層であるが、そのバリヤ特性は、形成された材料の材質や膜厚などにより異なる。特に、金属アルミニウム、酸化ケイ素や酸化アルミニウムなどの蒸着薄膜が良好なバリヤ特性を示す。この金属酸化物の蒸着薄膜層の厚さは、５０〜５０００Åの範囲でよいが、好ましくは、３００〜２０００Åの範囲がよい。これは、厚みが５０Å以下の場合では、均一な膜厚が制御し難くバリヤ特性にばらつきを生じ易いこと、また、５０００Å以上の場合では、蒸着薄膜層に亀裂やピンホールが発生し易くバリヤ特性が損なわれるためである。形成される蒸着薄膜層は、単一成分の単層に限らず、混合物の蒸着薄膜層でも、多層の蒸着薄膜層であっても構わない。
　【００２３】本発明で使用するブラズマ活性化処理方法には、グロー放電処理法、高周波プラズマ処理法、マイクロ波プラズマ処理法などを用いることができる。この使用ガスとしては、酸素又は酸素含有混合ガスを用い、混合ガスの場合では、酸素純度が０．５％以上ならばよい。蒸着時の蒸着装置内の真空度は、８×１０−５〜８×１０−１トールの範囲であるが、プラズマの安定性を考慮すると、８×１０−４〜８×１０−３トールの範囲が好ましい。そして、処理表面に与えるプラズマ処理エネルギーは、１〜５００００ジュール（ｊｏｕｌｅ）の範囲でよいが、好ましくは、１０〜１００００ジュールの範囲である。これは、１ジュール以下では、処理表面が充分に活性化れず、また、５００００ジュール以上では、処理表面の分子が破壊されてしまうためである。
　【００２４】本発明での熱接着性樹脂層は、加熱及び加圧によって熱融着し易い合成樹脂層であり、合成樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレンやエチレンプロピレン共重合体などのポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミド、アイオノマー、エチレン酢酸ビニル共重合体、アクリル酸エステルやメタクリル酸エステルなどのアクリル樹脂、ポリビニルアセタール、フェノール樹脂、変成エポキシ樹脂及びこれらの共重合体や混合物などが挙げられるが、必ずしもこれらのものに限定されるものではない。これらの樹脂の中では、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリアミドやエチレン酢酸ビニル共重合体などが好ましい。そして、熱接着性樹脂層の厚みは、用途により異なるが、１〜１０００μｍの範囲であり、好ましくは、１０〜１００μｍである。また、熱接着性樹脂層を形成する積層方法は、ドライラミネート加工法、無溶剤型ラミネート加工法や押出しラミネート加工法などの一般的なラミネート加工法が使用できる。なお、熱接着性樹脂層の熱融着温度は、アルコキシド塗布層の耐熱性を考慮すると、２００℃以下であり、８０〜１８０℃が好ましい。
　【００２５】
　【作用】アルコキシドを水又は水とアルコールの混合液に溶解すると、アルコキシドが加水分解して、水酸基（−ＯＨ）を生成し、金属元素（Ｍ）と活性なＭ−ＯＨ結合を形成し、さらに、塗布工程時の熱処理によって分解反応して、乾燥塗布層中にＭ−Ｏ−Ｍ−Ｏ−Ｍの強固な結合を形成する。また、このアルコキシド塗布層面に、次工程で金属酸化物を蒸着して薄膜層を形成すると、アルコキシド塗布層中に残存する活性な水酸基により、塗布層と薄膜層との界面に−Ｏ−Ｍ−Ｏ−Ｍ′の強固な結合を形成するため、塗布層と薄膜層との間に強い接着性が生じる。
　【００２６】また、本製造方法においては、アルコキシドの塗布工程やプラズマ活性化処理工程は、複数の作業を一工程で行うインライン方式で行うことができるため、複数の作業を別個の工程で行うオフライン方式と比較して、工程数が少なく製造中に混入する塵埃が極めて少なく抑えられる。
　【００２７】
　【実施例】＜参考例１＞まず、結晶融解熱９．７ｃａｌ／ｇのポリエチレンテレフタレートを押出装置でダイから押出し、これを４０℃に冷却したドラム上で静電印加しつつ、厚さ１５３μｍの未延伸フィルムを作製した。続いて、このフィルムを９５℃に加熱した金属ロール上で、流れ方向に３．６５倍延伸したのち、テトラエチルオルソシリケート（Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４）１０．４ｇに、０．１Ｎの塩酸８９．６ｇを加え、３０分攪拌して加水分解させた固形分が３ｗｔ％（ＳｉＯ２換算）の水溶液を、ロールコート法によって片面に塗布し、９５℃の予熱ゾーンを経て１０２℃で幅方向に３．８５倍に延伸した。さらに、２００〜２３０℃で、４．０秒間熱処理を施し、片面に０．２μｍ厚のアルコキシド塗布層を形成した１２μｍ厚の本参考例に係わる蒸着基材用ポリエステルフィルムを作製した。
　【００２８】次に、作製した蒸着基材用ポリエステルフィルムを、巻取り式ＥＢ加熱真空蒸着装置内に装填し、１．５×１０−５トール以下の高真空度で、アルコキシド塗布層面に、金属アルミニウムを蒸着して厚み１０００Åの薄膜層を積層し、本実施に係わるバリヤ性積層体を作製した。なお、この時の蒸着条件は、蒸着材料がアルミニウム（純度９９．９９％）、ＥＢパワーが３０ＫＶ−２Ａ、巻取り速度が１．５ｍ／ｓｅｃであった。
　【００２９】さらに、作製した前記のバリヤ性積層体のアルミニウム蒸着薄膜層面に、ドライラミネート加工法で３０μｍ厚の未延伸ポリプロピレンフィルムを貼り合わせて、参考例１のバリヤ性積層体を作製した。
　【００３０】＜参考例２＞金属アルコキシド加水分解溶液として、トリイソプロポキシアルミニウム（Ａｌ（Ｏ−Ｃ３Ｈ７）３）６．０ｇを８０℃の熱水９０ｇで溶解した後に、５Ｎの塩酸４ｇを添加して解膠させた固形分３ｗｔ％（Ａｌ２Ｏ３換算）を用いた以外は、全て参考例１と同様にして作製した参考例２のバリヤ性積層体を作製した。
　【００３１】＜実施例３＞蒸着材料が酸化ケイ素（純度９９．９％）、ＥＢパワーが３０ＫＶ−０．５Ａで行った以外は、全て参考例１と同様にして作製した実施例３のバリヤ性積層体を作製した。
　【００３２】＜実施例４＞蒸着材料が酸化アルミニウム（純度９９．９％）、ＥＢパワーが３０ＫＶ−０．７５Ａで行った以外は、全て参考例１と同様にして作製した実施例４のバリヤ性積層体を作製した。
　【００３３】＜実施例５＞蒸着材料が酸化マグネシウム（純度９９．９％）、ＥＢパワーが３０ＫＶ−１．５Ａで行った以外は、全て参考例１と同様にして作製した実施例５のバリヤ性積層体を作製した。
　【００３４】＜参考例６＞ＥＢ蒸着装置内にて、蒸着直前にアルコキシド塗布層面を酸素プラズマ処理をした以外は、全て参考例１と同様にして作製した参考例６のバリヤ性積層体を作製した。なお、プラズマ条件は、使用ガスが９９．９％酸素、流量が５００ｓｃｃｍ、プラズマ発生方式がグロー放電、供給電力が２００Ｗ、真空度が５×１０−３トール、巻取り速度が１．５ｍ／ｓｅｃであった。
　【００３５】＜比較例１＞アルコキシド塗布層の代わりに、ポリウレタン系接着剤１００ｇにイソシアネート４５ｇを加え、酢酸エチル９０ｇを用いて、固形分２０％の溶液を用い、厚さ０．２μｍの塗布層を形成した以外は、全て参考例１と同様にして作製した比較例１のバリヤ性積層体を作製した。
　【００３６】＜比較例２＞共重合ポリエステルと、１モルのトリメチロールプロパンに３モルのトルイレンジイソシアナートを付加させたイソシアナート化合物とを混合し、共重合ポリエステルとイソシアナート化合物との混合比が、重量比率で９０対１０の接着剤を調整した。この接着剤を、酢酸エチル／トルエン／メチルエチルケトン混合溶剤（重量比率１／１／１）に溶解し、酢酸エチル／酢酸ブチル／メチルイソブチルケトン混合溶剤（重量比率１／１／１）で希釈して固形分２５％の接着剤溶液を作製した。この接着剤溶液を、アルコキシド塗布層の代わりに用いた以外は、全て参考例１と同様にして作製した比較例２のバリヤ性積層体を作製した。
　【００３７】＜比較例３＞蒸着材料が酸化アルミニウム（純度９９．９％）、ＥＢパワーが３０ＫＶ−０．７５Ａで行った以外は、全て比較例１と同様にして作製した比較例３のバリヤ性積層体を作製した。
　【００３８】＜評価＞作製した参考例１、参考例２、実施例３、実施例４、実施例５、参考例６の６種類のバリヤ性積層体と、比較例１、比較例２、比較例３の３種類のバリヤ性積層体とを比較評価するため、それぞれのバリヤ性積層体のバリヤ特性を示す酸素透過率及び透湿度と、蒸着薄膜層と隣接層との密着性を示す剥離強度を測定し、その結果を表１に示した。なお、測定条件は、＜ＧＡＩ　ＩＤ＝０００１＞酸素透過率：モコン法（ＭＯＣＯＮ−ＯＸＴＲＡＮ−１０／５０Ａ），設定２５℃−１００％ＲＨ＜ＧＡＩ　ＩＤ＝０００２＞透湿度：モコン法（ＭＯＣＯＮ−ＰＡＲＭＡＴＲＡＮ−Ｗ６），設定４０℃−９０％ＲＨ＜ＧＡＩ　ＩＤ＝０００３＞剥離強度：インストロン型引張試験機，試料１５ｍｍ巾，剥離角度９０度，剥離速度３００ｍｍ／分、であった。
　【００３９】
　
【表１】
　【００４０】表１を見ると、酸素や水蒸気に対するバリヤ性については、参考例１、参考例２、実施例３、実施例４、実施例５及び参考例６は、良好な結果を得られたが、比較例１、比較例２及び比較例３は、結果が不良であった。蒸着薄膜層と隣接層との密着性を示す剥離強度については、参考例１、参考例２、実施例３、実施例４、実施例５、参考例６及び比較例３は、良好な結果を得られたが、比較例１及び比較例２は、
結果がやや不良であった。
　【００４１】
　【発明の効果】結晶配向が完了前のポリエステルフィルムの少なくとも片面に、アルコキシドの水系溶液を塗布してアルコキシド塗布層を形成したのち、このフィルムを延伸して結晶配向を完了させた蒸着基材用ポリエステルフィルムをまず製造し、このフィルムのアルコキシド塗布層面に、金属酸化物を蒸着させて薄膜層を形成するか、又は、さらにこの蒸着薄膜層面に、接着剤を介して熱接着性樹脂層を形成して製造された本発明の包装材料用バリヤ性積層体は、金属酸化物などの蒸着薄膜層の隣接層との密着が非常に良好であり、しかも、蒸着されるアルコキシド塗布層が可撓性で耐熱性が良好であるため、製造時及び使用時に、蒸着薄膜層に亀裂やピンホールが発生し難く、この結果として、酸素や水蒸気などに対してバリヤ性が極めて良好である。
　【００４２】また、本製造方法においては、アルコキシドの塗布工程やプラズマ活性化処理工程を、インライン方式で行うことができるため、バリヤ性積層体の特性を損なう製造中の塵埃の混入が、オフライン方式の場合と較べて極めて少なくなる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】蒸着基材用ポリエステルフィルムの一例の断面図である。
　【図２】バリヤ性積層体の一例の断面図である。
　【図３】バリヤ性積層体の一例の断面図である。
　【図４】本発明の一例のバリヤ性積層体の断面図である。
　【図５】本発明の他の一例のバリヤ性積層体の断面図である。
　【符号の説明】
　１００……蒸着基材用ポリエステルフィルム
　１１０……２軸延伸ポリエステルフィルム
　１２０……アルコキシド塗布層
　１３０……プラズマ活性化処理層
　１４０……薄膜層
　１５０……接着剤層
　１６０……熱接着性樹脂層
　２００，３００，４００，５００……バリヤ性積層体