【事件の表示】
　特許第３２３９０６４号「弾性表面波装置」の請求項１ないし７、９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第３２３９０６４号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理由】
１．手続の経緯
　特許第３２３９０６４号に係る発明は、平成８年５月２８日に、特許出願され、平成１３年１０月５日にその特許権の設定登録がなされ、その後、寺尾健吾と高岡直美より特許異議の申立てがなされ、取消の理由が通知され、その指定期間内である平成１４年１１月１日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　訂正事項Ａ：「特許請求の範囲」の項の「請求項１〜請求項９」を、下記のとおり訂正する。
　【請求項１】圧電基板と、前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電極からなる３つの櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モード型弾性表面波装置であることを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項２】圧電基板と、前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合．所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電極からなる３つの櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モード型弾性表面波装置であり、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッドに接続し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の２次側電極を、共通に出力電極パッドに接続し、前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第２の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項３】圧電基板と、前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電極からなる３つの櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モード型弾性表面波装置であり、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の１次側電極とを入力電極パッドに接続し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、前記第１の弾性表面波装置要素の前記第１の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１の櫛形電極の１次側電極と接続し、前記第１の弾性表面波装置要素の前記第３の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第３の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項４】圧電基板と、前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の−の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電極からなる３つの櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モード型弾性表面波装置であり、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッドに接続し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１および第３の櫛形電極の１次側電極に共通に接続したことを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項５】圧電基板と、前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電極からなる３つの櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モード型弾性表面波装置であり、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々において、前記第１、第２および第３の櫛形電極は、それぞれ互いに異なる第１，第２および第３の電極対数を有することを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項６】圧電基板と、前記圧電基板上に、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成され、前記伝搬経路を規定する第１および第２の反射電極と、前記第１および第２の反射電極の間に順次配設された第１，第２および第３の櫛形電極とを含む二重モード型弾性表面波装置において、前記第１の櫛形電極の電極対数を、前記第３の櫛形電極の電極対数に対して変化させ、前記第１の櫛形電極の電極対数をＸ，前記第２の櫛形電極の電極対数をＹ、前記第３の櫛形電極の電極対数をＺとして、Ｘ＜Ｙ＜Ｚの関係が成立することを特徴とする弾性表面波装置。
　なお、請求項６、７及び９項は、削除し、請求項８は、項番を繰り上げて請求項６とした。
　訂正事項Ｂ：「発明の詳細な説明」の項の「課題を解決するための手段」を、下記のとおり訂正する。
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、上記の課題を、請求項１に記載したように、圧電基板と、前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電極からなる３つの櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モード型弾性表面波装置であることを特徴とする弾性表面波装置により、または請求項２に記載したように、圧電基板と、前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電極からなる３つの櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モード型弾性表面波装置であり、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッドに接続し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の２次側電極を、共通に出力電極パッドに接続し、前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第２の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性表面波装置により、または請求項３に記載したように、圧電基板と、前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電極からなる３つの櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モード型弾性表面波装置であり、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の１次側電極とを入力電極パッドに接続し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、前記第１の弾性表面波装置要素の前記第１の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１の櫛形電極の１次側電極と接続し、前記第１の弾性表面波装置要素の前記第３の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第３の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性表面波装置により、または請求項４に記載したように、圧電基板と、前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を，前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電極からなる３つの櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モード型弾性表面波装置であり、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッドに接続し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１および第３の櫛形電極の１次側電極に共通に接続したことを特徴とする弾性表面波装置により、または請求項５に記載したように、圧電基板と、前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の−の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の櫛形電極からなる３つの櫛形電極を、前記複数の櫛形電極として順次配設した２重モード型弾性表面波装置であり、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々において、前記第１、第２および第３の櫛形電極は、それぞれ互いに異なる第１，第２および第３の電極対数を有することを特徴とする弾性表面波装置により、または請求項６に記載したように、圧電基板と、前記圧電基板上に、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成され、前記伝搬経路を規定する第１および第２の反射電極と、前記第１および第２の反射電極の間に順次配設された第１，第２および第３の櫛形電極とを含む二重モード型弾性表面波装置において、前記第１の櫛形電極の電極対数を、前記第３の櫛形電極の電極対数に対して変化させ、前記第１の櫛形電極の電極対数をＸ，前記第２の櫛形電極の電極対数をＹ，前記第３の櫛形電極の電極対数をＺとして、Ｘ＜Ｙ＜Ｚの関係が成立することを特徴とする弾性表面波装置により、解決する。
　訂正事項Ｃ：「発明の詳細な説明」の項の「発明の効果」の欄を、下記のとおり訂正する。
　請求項１〜４記載の本発明の特徴によれば、弾性表面波装置を、圧電基板上に共通に形成された少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素を含むように構成し、前記第１の弾性表面波装置要素を前記第２の弾性表面波装置要素にカスケード接続し、その際前記第１の弾性表面波装置要素の電極交差幅を、前記第２の弾性表面波装置要素の電極交差幅に対して変化させることにより、前記第１および第２の弾性表面波装置要素を含む弾性表面波装置の入力インピーダンスと出力インピーダンスとを、自在に設定することが可能になる。
　請求項５記載の本発明の特徴によれば、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々をいわゆる二重モード型フィルタとして構成し、弾性表面波の経路に沿って配設された第１、第２および第３の櫛形電極を、それぞれ互いに異なる第１，第２および第３の電極対数を有するように形成することにより、通過帯域外のスプリアスピークを効果的に抑圧することが可能になる。
　請求項６記載の本発明によれば、圧電基板上に弾性表面波の伝搬経路に沿って順次配設された第１，第２および第３の櫛形電極を含む二重モード型弾性表面波装置において、前記第１の櫛形電極の電極対数を、前記第３の櫛形電極の電極対数に対して変化させることにより、通過帯域外におけるスプリアスピークを実質的に抑圧することが可能である。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項Ａは、特許請求の範囲の請求項１、請求項２、請求項３請求項４および請求項５に記載された「第１，第２および第３の櫛形電極を」を、「第１，第２および第３の櫛形電極からなる３つの櫛形電極を」と滅縮し、請求項６，７，９を削除するものである。
　これらの、訂正事項は何れも、特許請求の範囲を減縮することを目的としてなされ、願書に添付した明細又は図面に記載されている事項の範囲内のもので、実質上特許請求の範囲を拡し又は変更するものではない。
　訂正事項Ｂ、Ｃは、特許請求の範囲を上記のように訂正したために、その記載と発明の詳細な説明の欄の記載との整合をとるために、願書に添付した明細又は図面に記載されている事項の範囲内において訂正を行うもので、実質上特許請求の範囲を拡し又は変更するものではない。
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第第３項で準用する同法第１２６条第１項ただし書き、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについての判断
（１）申立についての概要
　申立人寺尾健吾は、下記の甲第１乃至６号証により、請求項１，２，３，５，６，７，９に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号もしくは同法同条第２項の規定に違反してなされたものであるから取り消すべき旨主張している。
　また、申立人高岡直美は、下記の甲第１乃至３号証により、請求項１乃至４にかかる発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから取り消すべき旨主張している。
（２）本件特許第３２３９０６４号に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至６に記載されたとおりのものである。（上記、２．（１）訂正の内容参照。）
（３）引用刊行物に記載された発明
　申立人から提出された証拠とその記載内容は、以下のとおりである。
異議申立人寺尾健吾の提出した証拠
甲第１号証：特開平６−２５２６９３号公報（以下、刊行物１という。）
甲第２号証：特開平５−５５８７２号公報（以下、刊行物２という。）
甲第３号証：特開平１−８２７０６号公報（以下、刊行物３という。）
甲第４号証：特開平２−２８３１１２号公報（以下、刊行物４という。）
甲第５号証：特開平４−２６３５０９号公報（以下、刊行物５という。）
甲第６号証：特開平６−２０４７８１号公報（以下、刊行物６という。）
異議申立人高岡直美の提出した証拠
甲第１号証：特開平５−３３５８８１号公報（以下、刊行物７という。）
甲第２号証：特開平５−１２１９９６号公報（以下、刊行物８という。）
甲第３号証：ＳＡＷ　ＤＥＶＩＣＥＳ　ＯＮ　ＬＩＴＨＩＵＭ　ＴＥＴＲＡ　ＢＯＲＡＴＥ（Ｌｉ２Ｂ４０７），１９９４　ＩＥＥＥ　ＩＮＴＥＲＮＡＴＩＯＮＡＬ　ＦＲＥＱＵＵＥＮＣＹ　ＣＯＮＴＲＯＬ　ＳＹＭＰＯＳＩＵＭ，ｐｐ２８９−２９４（以下、刊行物９という。）
各刊行物の記載
　各刊行物に記載された内容は、異議申立人の主張によれば、以下のとおりである。
刊行物１
　刊行物１には、請求項１に係る本件発明の構成要件と、請求項２に係る本件発明の構成要件と、請求項３に係る本件発明の構成要件と、請求項５に係る本件発明の構成要件が示されている。
　すなわち、甲第１号証の第９頁の段落【００４３】に「出願人はさらに前記第一および第二のトランスジューサのアドミタンスの実数部を調整することにより２つのトランスジューサのインピーダンスマッチングのさらなる改善を実現できることを発見した。そのような調整を実現するための１つの都合の良い技術は、例えば、ビーム幅（例えば、以下の図３のＡ１，Ａ２）を異ならせることによって行なうことができる。これは２つのトランスジューサの間のインピーダンスマッチングのさらなる改善を提供する。これらの改善は付加的な整合用部品を必要とすることなく挿入損失の低減、その他の利点を提供する。」と記載されているように、図３の音響波フィルタ３０１は、２段縦続接続した第１の弾性表面波装置要素におけるトランスジューサ（ＩＤＴ）３２０、３４０のビーム幅（電極交差幅）ＡＩと、第２の弾性表面波装置要素におけるトランスジューサ（ＩＤＴ）３８０、３６０のビーム幅Ａ２を異ならせることにより、トランスジューサの間のインピーダンスマッチングを改善した２段縦続接続２１ＤＴ２重モード型弾性表面波装置であります。
　さらに、甲第１号証の第１２頁の段落【００７０】に「図４は、本発明の第１の好ましい実施例に係わる音響波フィルタ４０１の単純化したブロック図である。音響波フィルタ４０１は入力３０５に結合されたトランスジューサ３１０および３１０′を具備し、かつそれらの間に配置された誘導性トランスジューサ３４０、出力３９０に結合されたトランスジューサ３７０および３７０′を有し、そしてそれらの間に配置された容量性トランスジューサ３６０を有し、トランスジューサ３１０および３７０は図３のトランスジューサ３１０および３７０と同様のものでありかつトランスジューサ３１０′および３７０′はトランスジューサ３１０および３７０のミラーイメージと同様のものである。」と記載されているように、図４の音響波フィルタ４０１は、図３の２段縦続接続２１ＤＴ２重モード型弾性表面波装置を２段縦続接続３１ＤＴ２重モード型弾性表面波装置に展開したものです。
　このように、甲第１号証には、一対の反射器３１５、３１５’の間に３つのＩＤＴ３２０、３４０、３２０’を配置してなる第１の弾性表面波装置要素と、一対の反射器３７５、３７５’の間に３つのＩＤＴ３８０、３６０、３８０’を配置してなる第２の弾性表面波装置要素とをカスケード接続し、第１の弾性表面波装置要素の両側のＩＤＴ３２０、３２０’を共通に入力３０５に接続し、第２の弾性表面波装置要素の両側のＩＤＴ３８０、３８０’を共通に出力３９０に接続し、第１の弾性表面波装置要素の中央のＩＤＴ３４０と第２の弾性表面波装置要素の中央のＩＤＴ３６０とを接続し、第１の弾性表面波装置要素の電極交差幅ＡＩと第２の弾性表面波装置要素の電極交差幅Ａ２とが異なる２段縦続接続３１ＤＴ２重モード型弾性表面波装置が開示されています。
刊行物２
　甲第２号証には、請求項３に係る本件発明の構成要件が示されています。すなわち、甲第２号証の図１には、一対の反射器１３、１４の間に３つのＩＤＴ４、１０、５を配置してなる縦結合二重モードＳＡＷフィルタ２と、一対の反射器１５、１６の間に３つのＩＤＴ６、１１．７を配置してなる縦結合二重モードＳＡＷフィルタ３とをカスケード接続し、縦結合二重モードＳＡＷフィルタ２の中央のＩＤＴＩＯを入力パッド２３に接続し、縦結合二重モードＳＡＷフィルタ３の中央のＩＤＴＩＩを出力パッド２４に接続し、縦結合二重モードＳＡＷフィルタ２の両側のＩＤＴ４、５と、縦結合二重モードＳＡＷフィルタ３の両側のＩＤＴ６、７とをそれぞれ接続した２段縦続接続３ＩＤＴ２重モード型弾性表面波装置が開示されています。
刊行物３
　第３号証には、請求項５に係る本件発明の構成要件と、請求項７に係る本件発明の構成要件と、請求項９に係る本件発明の構成要件が示されています。
　すなわち、甲第３号証の第４頁右上欄第５〜７行に「すだれ状電極対数は、入力用を２００対・出力用を３５０対と４００対とした。」と記載されているように、図１の弾性表面波狭帯域フィルタ（２段縦続接続３１ＤＴ２重モード型弾性表面波装置である）は、ＬｉＴａＯ３からなる圧電基板上に、２００対の入力用すだれ状電極（ＩＤＴ）１と、３５０対の出力用すだれ状電極２，と、４００対の出力用すだれ状電極２を備えていることが開示されています。
また、第４頁右上欄第１６〜１８行に「並列接続された二つの出力すだれ状電極対数を違えたことにより、不要ピーク抑圧に一層の効果が得られた。」と記載されているように、上記構成により、不要ピーク（スプリアスピーク）が抑圧されることがわかります。
刊行物４
　第４号証には、請求項６に係る本件発明の構成要件が示されています。
　すなわち、甲第１号証の図１及び４には、圧電体基板３８を支持する誘電体基板３１と金属製キャップ材３２からなるパッケージと、圧電体基板３８上にインターデジタルトランスデューサ（櫛形電極）３９、４０が形成された弾性表面波素子（弾性表面波装置要素）３３と、入出力用の電極パターン３６，３７と、接地用の電極パターン（接地電極パッド）３４、３５とを備える弾性表面波装置３０が示されています。そして、第３頁左下欄第７〜１４行に「なお、４６〜４８は絶縁膜を示し、電極パターンと無機導体膜４５との短絡を防止するために設けられている。もっとも、接地電位に接続される電極パターン３５の下方には絶縁膜は形成されない。すなわち、電極パターン３５は無機導体膜４５と電気的に接続されている。これは、キャップ材３２と接地電位とを接続してキャップ材３２により電磁シールドを果たすためである。」と記載されているように、電極パターン（接地電極パッド）３５のみがキャップ材３２に電気的に接続されている構造が開示されています。
刊行物５
　第５号証には、請求項６に係る本件発明の構成要件が示されています。
　すなわち、第５号証の図１には、多層基板２３ａと金属キャップ２４ａからなるパッケージング部材と、多層基板２３ａに形成された弾性表面波素子（弾性表面波装置要素）３５ａの入力側のアース端子に電気的に接続された第１のアースパターン（接地電極パッド）２５ａと、弾性表面波素子３５ａの出力側のアース端子に電気的に接続された第２のアースパターン２６ａとを備える弾性表面波装置２２ａが示されています。そして、段落【００２３】に「第１のアースパターン２５ａの周縁パターン部２８は、多層基板２３ａの周緑部に沿って全周にわたって延びている。金属キャップ２４ａは、このような周縁パターン部２８に対して半田３４ａによって気密的に接続される。」と記載されているように、第１のアースパターン２５ａのみが半田３４ａを介して金属キャップ２４ａに電気的に接続されていることが示されています。さらに、当該発明によって得られた弾性表面波フィルタの周波数特性を示す図９と、従来の弾性表面波フィルタの周波数特性を示す図１０を比較すると、当該発明のほうが従来に比べ、通過帯域外減衰量が大きくなっていることがわかります。
刊行物６
　第６号証には、請求項９に係る本件発明の構成要件が示されています。
　すなわち、甲第４号証の段落【０００６】に「例えば、図９に示した３電極縦結合形２重モード弾性表面波フィルタ５を例にとると、図１０に示すようにＩＤＴ７の櫛歯電極７ａ，７ｂ間を入力端（出力端）とし、ＩＤＴ６，８の同じ側の櫛歯電極６ａと櫛歯電極８ａとを、並びに櫛歯電極６ｂと櫛歯電極８ｂとを、それぞれ、圧電基板上に形成された接続導電部１１ａ，Ｉｉｂに共通接続し、出力端とすれば、入出力を平衡とすることができる。（以下、省略）」と記載されているように、図１０には、ＩＤＴ７の櫛歯電極（櫛形電極の１次側電極）７ａ、７ｂ間を入力端とし、これに対して交互に配列されたＩＤＴ６、８の櫛歯電極（櫛形電極の２次側電極）６ａと８ａ、６ｂと８ｂをそれぞれ共通接続して出力端とすることで、入出力を平衡（差動）とした３１ＤＴ２重モード型弾性表面波装置が開示されています。
刊行物７
　甲第１号証に記載された発明は、縦型２重モード弾性表面波フィルタに関するものであり、同証の【００１０】段落乃至【００１２】段落及び図１には、圧電基板１（３６０Ｙ回転カットＸ方向伝搬のＬｉＴａＯ３）上に形成された２個のエネルギー閉じ込め型共振子からなる縦型２重モード弾性表面波フィルタが記載されている。
　２個のエネルギー閉じ込め型共振子のうち、接続部分Ｘから見て上方に設けられた共振子は、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された一対の反射器５０，６０と、弾性表面波の伝搬方向に沿って反射器５０と反射器６０との間に配置されたＩＤＴ２０，３０及び４０とを備えている。これらＩＤＴ２０，３０及び４０は、それぞれ、弾性表面波の伝搬方向を互いに向き合う方向に横切るように延在する一対の櫛形電極２０Ａ及び２０Ｂ、３０Ａ及び３０Ｂ、並びに、４０Ａ及び４０Ｂによって構成されており、これらのうち、櫛形電極２０Ａは入力端子２に接続されている。
　一方、２個のエネルギー閉じ込め型共振子のうち、接続部分Ｘから見て下方に設けられた共振子は、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された一対の反射器５１，６１と、弾性表面波の伝搬方向に沿って反射器５１と反射器６１との間に配置されたＩＤＴ２１，３１及び４１とを備えている。これらＩＤＴ２１，３１及び４１は、それぞれ、弾性表面波の伝搬方向を互いに向き合う方向に横切るように延在する一対の櫛形電極２１Ａ及び２１Ｂ、３１Ａ及び３１Ｂ、並びに、４１Ａ及び４１Ｂによって構成されており、これらのうち、櫛形電極２１Ａは出力端子３に接続されている。
　そして、櫛形電極３０Ｂは櫛形電極３１Ｂに接続されており、櫛形電極４０Ｂは櫛形電極４１Ｂに接続されている。すなわち、これら２個のエネルギー閉じ込め型共振子はカスケード接続されている。
　さらに、甲第１号証の【００１７】段落〜【００２０】段落及び図６には、電極指交差幅Ｗを電極ピッチＰで規格化した値（Ｗ／Ｐ）がそれぞれ１５，３０，５０及び９０である場合における、ＩＤＴの電極指の総対数ＮＴとインピーダンスとの関係が示されている。これによれば、電極指交差幅Ｗが大きいほどインピーダンスが低下し、電極指交差幅Ｗが小さいほどインピーダンスが上昇するという傾向が明らかにされている。
刊行物８
　甲第２号証に記載された発明は、弾性表面波フィルタに関するものであり、同証の【００１５】段落乃至【００２０】段落及び図２には、基板１０上に形成された電極構造列２０及び電極構造列３０からなる弾性表面波フィルタが記載されている。
　ここで、【００１５】段落に記載されているように、基板１０の材料はＬｉＴａＯ３であり、いわゆる「圧電基板」である。
　また、電極構造列２０は、【００１６】段落に記載されているように、弾性表面波の伝搬方向（Ｘ方向）に沿って形成された一対の反射器２６，２７と、弾性表面波の伝搬方向に沿って反射器２６と反射器２７との間にこの順に配置されたＩＤＴ２１，２４，２２，２５及び２３からなり、このうち、ＩＤＴ２１，２２及び２３は入力端子に接続された入力用ＩＤＴを構成し、ＩＤＴ２４及び２５は電極構造列３０に接続された出力用ＩＤＴを構成する。同様に、電極構造列３０は、【００１８】段落に記載されているように、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された一対の反射器３６，３７と、弾性表面波の伝搬方向に沿って反射器３６と反射器３７との間にこの順に配置されたＩＤＴ３３，３１，３４，３２及び３５からなり、このうち、ＩＤＴ３１及び３２は電極構造列２０に接続された入力用ＩＤＴを構成し、ＩＤＴ３３，３４及び３５は出力端子に接続された出力用ＩＤＴを構成する。
　これらＩＤＴ２１〜２５及び３１〜３５は、【００１７】段落及び【００１９】段落に記載されているように、１５本の電極指と１６本の電極指との組み合わせからなり、これら電極指は、図２に示すように弾性表面波の伝搬方向を互いに向き合う方向に横切るように延在している。また、図２から明らかなように、これら電極指は弾性表面波の伝搬方向に沿って交互に配列されており、その重なり部分である開口長（電極交差幅）は、ＩＤＴ２１〜２５については入出力インピーダンスによって定められ（【００１７】段落参照）、ＩＤＴ３１〜３５については、２５λに設定されている（【００１９】段落参照）。
　そして、図２に示すように、ＩＤＴ２１，２２，２３の１次側電極は入力端子に共通接続され、ＩＤＴ２４，２５の２次側電極はＩＤＴ３１，３２の１次側電極に共通接続され、ＩＤＴ３３，３４，３５の２次側電極は出力端子に共通接続されている。すなわち、電極構造列２０と電極構造列３０とはカスケード接続されている。
刊行物９
　甲第３号証に記載された発明は、弾性表面波フィルタに関するものであり、同証のＦｉｇ．１０には、伝搬方向に沿って配置された３つのＩＤＴからなる共振子がカスケード接続されてなる弾性表面波フィルタが記載されており、一方の共振子（図面の下方に位置する共振子）に含まれる３つのＩＤＴのうち、両側のＩＤＴの１次側電極は入出力端子の一方に共通接続され、他方の共振子（図面の上方に位置する共振子）に含まれる３つのＩＤＴのうち、中央のＩＤＴの２次側電極は入出力端子の他方に接続されている。また、一方の共振子（図面の下方に位置する共振子）に含まれる３つのＩＤＴのうち、中央のＩＤＴの２次側電極は、他方の共振子（図面の上方に位置する共振子）に含まれる３つのＩＤＴのうち、両側のＩＤＴの１次側電極に共通接続されている。
（４）請求項１乃至３に係る発明について
　請求項１乃至３に係る発明と刊行物１乃至９に記載された発明とを対比すると、「第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し」た２重モード型弾性表面波装置である点は、いずれにも記載されておらず、これを示唆する記載もない。
　各請求項に記載された発明は、当該構成により「請求項１〜４記載の本発明の特徴によれば、弾性表面波装置を、圧電基板上に共通に形成された少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素を含むように構成し、前記第１の弾性表面波装置要素を前記第２の弾性表面波装置要素にカスケード接続し、その際前記第１の弾性表面波装置要素の電極交差幅を、前記第２の弾性表面波装置要素の電極交差幅に対して変化させることにより、前記第１および第２の弾性表面波装置要素を含む弾性表面波装置の入力インピーダンスと出力インピーダンスとを、自在に設定することが可能になる。」といった顕著な効果を奏するものと認められる。
　してみると、請求項１乃至３記載の発明が刊行物１乃至９に記載された発明であるとも、同記載からみて当業者が容易に発明できたものであるとすることもできない。
　したがって、異議申立人の主張は採用できない。
（５）請求項４に係る発明について
　請求項４に係る発明と刊行物７乃至９に記載された発明とを対比すると、「第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し」た２重モード型弾性表面波装置である点は、いずれにも記載されておらず、これを示唆する記載もない。
　請求項４に記載された発明は、当該構成により「請求項１〜４記載の本発明の特徴によれば、弾性表面波装置を、圧電基板上に共通に形成された少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素を含むように構成し、前記第１の弾性表面波装置要素を前記第２の弾性表面波装置要素にカスケード接続し、その際前記第１の弾性表面波装置要素の電極交差幅を、前記第２の弾性表面波装置要素の電極交差幅に対して変化させることにより、前記第１および第２の弾性表面波装置要素を含む弾性表面波装置の入力インピーダンスと出力インピーダンスとを、自在に設定することが可能になる。」といった顕著な効果を奏するものと認められる。
　してみると、請求項４記載の発明が刊行物７乃至９に記載された発明であるとも、同記載からみて当業者が容易に発明できたものであるとすることもできない。
　したがって、異議申立人の主張は採用できない。
（６）請求項５に係る発明について
　請求項５に係る発明と刊行物１乃至６に記載された発明とを対比すると、「第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し」た２重モード型弾性表面波装置である点は、記載されておらず、これを示唆する記載もない。
　請求項５に記載された発明は、当該構成により「第１および第２の弾性表面波装置要素の各々をいわゆる二重モード型フィルタとして構成し、弾性表面波の経路に沿って配設された第１、第２および第３の櫛形電極を、それぞれ互いに異なる第１，第２および第３の電極対数を有するように形成することにより、通過帯域外のスプリアスピークを効果的に抑圧することが可能になる。」といった顕著な効果を奏するものと認められる。
　してみると、請求項５記載の発明が刊行物１乃至６に記載された発明であるとも、同記載からみて当業者が容易に発明できたものであるとすることもできない。
　したがって、異議申立人の主張は採用できない。
（７）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立て及び取消理由通知の理由及び証拠によっては、本件請求項１乃至５に係る特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１乃至５に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１１月１５日（２００２．１１．１５）
【訂正の要旨】
　・訂正事項Ａ：「特許請求の範囲」の項の「請求項１〜請求項９」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、下記の通りに訂正する。
　「【請求項１】　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　【請求項２】　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッドに接続し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の２次側電極を、共通に出力電極パッドに接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第２の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項３】　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の１次側電極とを入力電極パッドに接続し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第１の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１の櫛形電極の１次側電極と接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第３の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第３の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項４】　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッドに接続し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１および第３の櫛形電極の１次側電極に共通に接続したことを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項５】　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々において、前記第１、第２および第３の櫛形電極は、それぞれ互いに異なる第１，第２および第３の電極対数を有することを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項６】　圧電基板と、
　前記圧電基板上に、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成され、前記伝搬経路を規定する第１および第２の反射電極と、
　前記第１および第２の反射電極の間に順次配設された第１，第２および第３の櫛形電極とを含む二重モード型弾性表面波装置において、
　前記第１の櫛形電極の電極対数を、前記第３の櫛形電極の電極対数に対して変化させ、
　前記第１の櫛形電極の電極対数をＸ，前記第２の櫛形電極の電極対数をＹ，前記第３の櫛形電極の電極対数をＺとして、Ｘ＜Ｙ＜Ｚの関係が成立することを特徴とする弾性表面波装置。」
　・訂正事項Ｂ：「発明の詳細な説明」の項の「課題を解決するための手段」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、下記の通りに訂正する。
　「【課題を解決するための手段】
　本発明は、上記の課題を、
　請求項１に記載したように、
　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　請求項２に記載したように、
　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッドに接続し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の２次側電極を、共通に出力電極パッドに接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第２の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性表面波装置により、または
　請求項３に記載したように、
　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の１次側電極とを入力電極パッドに接続し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第１の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１の櫛形電極の１次側電極と接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第３の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第３の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性表面波装置により、または
　請求項４に記載したように、
　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッドに接続し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１および第３の櫛形電極の１次側電極に共通に接続したことを特徴とする弾性表面波装置により、または
　請求項５に記載したように、
　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々において、前記第１、第２および第３の櫛形電極は、それぞれ互いに異なる第１，第２および第３の電極対数を有することを特徴とする弾性表面波装置により、また
は
　
請
　圧電基板と、
　前記圧電基板上に、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成され、前記伝搬経路を規定する第１および第２の反射電極と、
　前記第１および第２の反射電極の間に順次配設された第１，第２および第３の櫛形電極とを含む二重モード型弾性表面波装置において、
　前記第１の櫛形電極の電極対数を、前記第３の櫛形電極の電極対数に対して変化させ、
　前記第１の櫛形電極の電極対数をＸ，前記第２の櫛形電極の電極対数をＹ，前記第３の櫛形電極の電極対数をＺとして、Ｘ＜Ｙ＜Ｚの関係が成立することを特徴とする弾性表面波装置により
、解
　・訂正事項Ｃ：「発明の詳細な説明」の項の「発明の効果」の欄を、明りょうでない記載の釈明を目的として、下記の通りに訂正する。
　「請求項１〜４記載の本発明の特徴によれば、弾性表面波装置を、圧電基板上に共通に形成された少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素を含むように構成し、前記第１の弾性表面波装置要素を前記第２の弾性表面波装置要素にカスケード接続し、その際前記第１の弾性表面波装置要素の電極交差幅を、前記第２の弾性表面波装置要素の電極交差幅に対して変化させることにより、前記第１および第２の弾性表面波装置要素を含む弾性表面波装置の入力インピーダンスと出力インピーダンスとを、自在に設定することが可能になる。
　請求項５記載の本発明の特徴によれば、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々をいわゆる二重モード型フィルタとして構成し、弾性表面波の経路に沿って配設された第１、第２および第３の櫛形電極を、それぞれ互いに異なる第１，第２および第３の電極対数を有するように形成することにより、通過帯域外のスプリアスピークを効果的に抑圧することが可能になる
。
　
請
（５４）【発明の名称】
弾性表面波装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　【請求項２】　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッドに接続し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の２次側電極を、共通に出力電極パッドに接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第２の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項３】　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の１次側電極とを入力電極パッドに接続し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第１の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１の櫛形電極の１次側電極と接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第３の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第３の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項４】　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッドに接続し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１および第３の櫛形電極の１次側電極に共通に接続したことを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項５】　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々において、前記第１、第２および第３の櫛形電極は、それぞれ互いに異なる第１，第２および第３の電極対数を有することを特徴とする弾性表面波装置。
　【請求項６】　圧電基板と、
　前記圧電基板上に、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成され、前記伝搬経路を規定する第１および第２の反射電極と、
　前記第１および第２の反射電極の間に順次配設された第１，第２および第３の櫛形電極とを含む二重モード型弾性表面波装置において、
　前記第１の櫛形電極の電極対数を、前記第３の櫛形電極の電極対数に対して変化させ、
　前記第１の櫛形電極の電極対数をＸ，前記第２の櫛形電極の電極対数をＹ，前記第３の櫛形電極の電極対数をＺとして、Ｘ＜Ｙ＜Ｚの関係が成立することを特徴とする弾性表面波装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は一般に弾性表面波装置に関し、特に帯域外減衰特性が向上し、また入力インピーダンスと出力インピーダンスとが、それぞれ所望の設計値に設定された弾性表面波装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　弾性表面波（ＳＡＷ）装置は、携帯電話等、小型・軽量の超短波ないし極超短波帯域用無線装置において、フィルタや共振器として広く使われている。
　【０００３】
　これらのフィルタや共振器では、広い通過帯域特性を有すると同時に、帯域外での減衰量が非常に大きいことが要求される。また、これらの弾性表面波装置を電子装置において使う場合、電子装置を構成する集積回路装置とのインピーダンス整合をとる必要がある。
　【０００４】
　図１９（Ａ），（Ｂ）は、従来の典型的なＳＡＷフィルタを示す。
　【０００５】
　図１９（Ａ）を参照するに、ＳＡＷフィルタはいわゆる二重モード型のＳＡＷフィルタであり、圧電基板（図示せず）上に形成された一対の反射器１０Ａ，１０Ｂの間に三つの櫛形電極１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃを備えている。図１９の例では、基板は３６°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３単結晶板よりなり、反射器１０Ａ，１０Ｂは基板のＸ軸方向に配列され、Ｘ軸方向に伝搬する弾性表面波の経路を規定する。一方、各々の電極１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃは、複数の一次側電極指を形成された１次側電極（１１Ａ）１，（１１Ｂ）１，（１１Ｃ）１と、前記１次側電極指と対向する２次側電極指を形成された２次側電極（１１Ａ）２，（１１Ｂ）２，（１１Ｃ）２とよりなり、通常の櫛形電極と同様に、前記１次側電極指と２次側電極指とは、前記Ｘ軸方向に交互に配列され、前記弾性表面波の経路と交差する。その際、電極指のピッチは、通過帯域の中心周波数および圧電基板上をＸ軸方向に伝搬する弾性表面波の音速により決定される。
　【０００６】
　図１９（Ａ）の構成では、電極１１Ａおよび１１Ｃの１次側電極（１１Ａ）１，（１１Ｃ）１は入力端子に接続され、また２次側電極（１１Ａ）２，（１１Ｃ）２は接地される。一方、電極１１Ｂの１次側電極（１１Ｂ）１は接地され、２次側電極（１１Ｂ）２は出力端子に接続される。すなわち、図１９（Ａ）のＳＡＷフィルタは、いわゆる２入力１出力型のＳＡＷフィルタを構成する。
　【０００７】
　かかる二重モード型ＳＡＷフィルタでは、図１９（Ｂ）に示すように、前記反射器１０Ａ，１０Ｂの間に形成された周波数がｆ１の１次のモードと周波数がｆ３の３次のモードとを使い、図２０に示すような、周波数ｆ１とｆ３との間に通過帯域を有する通過帯域特性を実現する。ただし、図１９（Ｂ）は、図１９（Ａ）の構造中における弾性表面波のエネルギ分布を示す。
　【０００８】
　従来は、前記１次のモードおよび３次のモードが対称的であることから、これら１次および３次のモードが効率的に励起されるように、前記櫛形電極１１Ａ〜１１Ｃも対称的に構成され、その結果、従来の二重モード型ＳＡＷフィルタでは、前記電極１１Ａにおける電極指の対数Ｎ１と、電極１１Ｃにおける電極指の対数Ｎ３とが互いに等しくなるように形成されていた。（Ｎ１＝Ｎ３）
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、図２０の通過帯域特性では、周波数ｆ１，ｆ３で規定される通過帯域外にも、大小様々なスプリアスピークが観測される。特に１５５０〜１６００ＭＨｚの範囲では、かかる通過帯域に隣接したスプリアスピークの存在により、急峻であるべき通過帯域特性がゆるやかになっているのがわかる。一方、ＳＡＷフィルタあるいは共振器では、通過帯域では平坦で、通過帯域外では急峻に減衰するような通過帯域特性を有するのが好ましい。また、通過帯域外では、減衰量は最大化できるのが好ましい。
　【０００９】
　また、図１９（Ａ）に示す従来のＳＡＷフィルタでは、出力電極１１Ｂと入力電極１１Ａ，１１Ｃとで電極指の長さ、すなわち電極交差幅Ｗは必然的に等しくなり、その結果かかるＳＡＷフィルタの入力インピーダンスと出力インピーダンスとの関係は、電極１１Ａ〜１１Ｃの電極対数で決まってしまう。一般にＳＡＷフィルタの入出力インピーダンスは電極対数と電極交差幅に反比例する。すなわち、従来のＳＡＷフィルタでは、入力インピーダンスと出力インピーダンスとを独立に、かつ自由に設定することが困難であった。これに対し、最近の携帯電話等の小型無線装置では、ＳＡＷフィルタの入出力インピーダンスを、かかる無線装置で使われる集積回路装置のインピーダンスに合わせて自在に設定できることが要望されている。
　【００１０】
　そこで、本発明は、上記の課題を解決した、新規で有用な弾性表面波装置を提供することを概括的課題とする。
　【００１１】
　本発明のより具体的な課題は、通過帯域外におけるスプリアスピークを抑圧した、急峻な通過帯域特性を有する弾性表面波装置を提供することにある。
　【００１２】
　本発明の別の課題は、入力インピーダンスと出力インピーダンスとを、容易に所望の設計値に設定できる構成の弾性表面波装置を提供することにある。
　【００１３】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、上記の課題を、
　本発明は、上記の課題を、
　請求項１に記載したように、
　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　請求項２に記載したように、
　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッドに接続し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の２次側電極を、共通に出力電極パッドに接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第２の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性表面波装置により、または
　請求項３に記載したように、
　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の１次側電極とを入力電極パッドに接続し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第１の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１の櫛形電極の１次側電極と接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第３の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第３の櫛形電極の１次側電極に接続したことを特徴とする弾性表面波装置により、または
　請求項４に記載したように、
　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記第１および第３の櫛形電極の１次側電極を、共通に入力電極パッドに接続し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記第２の櫛形電極の２次側電極を出力電極パッドに接続し、
　前記第１の弾性表面波装置要素の前記第２の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素の第１および第３の櫛形電極の１次側電極に共通に接続したことを特徴とする弾性表面波装置により、または
　請求項５に記載したように、
　圧電基板と、
　前記圧電基板上に共通に形成され、各々が、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された一対の反射電極と、前記一対の反射電極の間に前記弾性表面波の伝搬経路に沿って形成された複数の櫛形電極とよりなる、少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素とよりなり、
　前記複数の櫛形電極の各々は、各々前記圧電基板上において、前記弾性表面波の伝搬経路を第１の方向に横切る複数の、相互に平行な１次側電極指を含む１次側電極と、前記弾性表面波の伝搬経路を第２の逆方向に横切る複数の、相互に平行な２次側電極指を含む２次側電極とよりなり、前記複数の櫛形電極の各々において、前記複数の１次側電極指と前記複数の２次側電極指とは、前記伝搬経路に沿って交互に配列され、前記伝搬経路方向に沿って見た場合、所定の電極交差幅で互いに重畳する構成の弾性表面波装置であって、
　前記第１の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第１の電極交差幅を有し、
　前記第２の弾性表面波装置要素において、前記複数の櫛形電極は共通の第２の、異なった電極交差幅を有し、
　前記第１の弾性表面波装置要素は、前記第２の弾性表面波装置要素に対して、前記第１の弾性表面波装置要素中の一の櫛形電極の２次側電極を、前記第２の弾性表面波装置要素中の対応する櫛形電極の１次側電極に接続することにより、カスケード接続され、
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々は、前記１対の反射電極の間に第１，第２および第３の
櫛形電極からなる３つの
　前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々において、前記第１、第２および第３の櫛形電極は、それぞれ互いに異なる第１，第２および第３の電極対数を有することを特徴とする弾性表面波装置により、また
は
　
請
　圧電基板と、
　前記圧電基板上に、前記圧電基板上に励起される弾性表面波の伝搬経路に沿って形成され、前記伝搬経路を規定する第１および第２の反射電極と、
　前記第１および第２の反射電極の間に順次配設された第１，第２および第３の櫛形電極とを含む二重モード型弾性表面波装置において、
　前記第１の櫛形電極の電極対数を、前記第３の櫛形電極の電極対数に対して変化させ、
　前記第１の櫛形電極の電極対数をＸ，前記第２の櫛形電極の電極対数をＹ，前記第３の櫛形電極の電極対数をＺとして、Ｘ＜Ｙ＜Ｚの関係が成立することを特徴とする弾性表面波装置により
、解
　【００１４】
　図１は、本発明の第１の特徴を示す図である。
　【００１５】
　図１を参照するに、ＳＡＷフィルタは図１９（Ａ）に示したものと同様な二重モード型の装置であるが、本発明では、櫛形電極１１Ａの電極対数Ｎ１と櫛形電極１１Ｃの電極対数Ｎ３、さらに櫛形電極１１Ｂの電極対数Ｎ２を相互に異ならせてあることがわかる（Ｎ１≠Ｎ３≠Ｎ２）。
　【００１６】
　図２は、図１のＳＡＷフィルタの周波数特性の計算結果を示す。ただし、図２中、実線で示した特性曲線は、図２０の特性曲線に対応し、電極対数Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３を、それぞれ２０，４０，２０とした場合をあらわす。一方、図２中、破線で示した曲線は、電極対数Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３をそれぞれ２５，３５，４５とした場合を、また点線で示した曲線は、電極対数Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３をそれぞれ２０，４０，３０とした場合をあらわす。ただし、図２の計算では、圧電基板として３６°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３を仮定し、基板表面に形成された櫛形電極１１Ａ〜１１Ｃは、弾性表面波の波長の８％の厚さを有するＡｌ電極より形成されていると仮定した。
　【００１７】
　本発明の発明者は、かかる計算により、電極対数Ｎ１，Ｎ３を非対称にした場合、帯域外スプリアスピークの高さが著しく減少することを見出した。かかる帯域外スプリアスピークの抑圧が生じる理由は十分に解明されているわけではないが、図１の構成では、電極１１Ａと１１Ｃとが中央の電極１１Ｂに対して非対称になるため、電極１１Ａで励起された後、反射器１０Ａで反射されて電極１１Ｂに戻ってくる波と、電極１１Ｃで励起された後、反射器１０Ｂで反射されて電極１１Ｂに戻ってくる波とが互いに打ち消し合い、その結果、図２０に示したような帯域外のスプリアスピークが消滅するものと考えられる。
　【００１８】
　本発明の第２の特徴によれば、圧電基板上に形成された第１の弾性表面波装置の電極交差幅に対して、同じ圧電基板上に形成され、前記第１の弾性表面波装置にカスケード接続された第２の弾性表面波装置の電極交差幅を変えることにより、フィルタの周波数特性に影響を及ぼす櫛形電極のピッチを変えることなく、入力側ＳＡＷフィルタの入力インピーダンスと、出力側ＳＡＷフィルタの出力インピーダンスとを、回路設計上の要求に従って、自在に、かつ独立に設定することが可能になる。また、このように複数のＳＡＷフィルタをカスケード接続することにより、通過帯域内レベルに対して帯域外レベルを、１段のみのＳＡＷフィルタの場合に対して下げることが可能になり、ＳＡＷフィルタの選択度を向上させることができる。すなわち、本発明により、通過帯域外のスプリアスピークを抑圧することが可能になる。また、入力インピーダンスに対する出力インピーダンスの比を、単一段では不可能な非常に大きな値に設定することができる。
　【００１９】
　また、このようなＳＡＷフィルタを多段接続する場合、一の段のＳＡＷフィルタの出力インピーダンスを次段のＳＡＷフィルタの入力インピーダンスに整合させる必要があるが、その場合、前記一の段のＳＡＷフィルタの入力インピーダンスＺ１と出力インピーダンスＺ２、および前記次段のＳＡＷフィルタの入力インピーダンスＺ３と出力インピーダンスＺ４との間には、前記一の段のＳＡＷフィルタと前記次段のＳＡＷフィルタとが電極交差幅を除き、実質的に同一構成を有する場合、次の関係式が成立する。
　【００２０】
　　Ｚ１：Ｚ２＝Ｚ３：Ｚ４
　一方、前記インピーダンス整合の条件より、Ｚ２とＺ３との間には、Ｚ２＝Ｚ３が成立しなければならない。その結果、前記出力インピーダンスＺ２および入力インピーダンスＺ３は、多段ＳＡＷフィルタの入力インピーダンスＺ１および出力インピーダンスＺ４により、関係式
　　Ｚ２＝Ｚ３＝√（Ｚ１×Ｚ４）
で与えられる。
　【００２１】
　【発明の実施の形態】
　まず、本発明の第１実施例を、先に説明した図１、および図３，図４を参照しながら説明する。
　【００２２】
　図３を参照するに、この図は、図１に示した構造を、実際に４２°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３基板上に形成した、本発明の第１実施例によるＳＡＷフィルタ１１の周波数特性を示す。ただし、図３の例では、電極対数Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３を２０：４０：３０とし、また電極１１Ａ〜１１Ｃは、基板上に励起される弾性表面波の波長の６％の厚さを有するＡｌ電極より形成している。
　【００２３】
　一方、図４は、図１９に示した従来の構造において、基板に４２°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３を使い、電極対数Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３を２１：３５：２１とした場合の周波数特性を示す。ただし、電極は、図３の場合と同様に、弾性表面波の波長の６％の厚さのＡｌ電極より構成している。
　【００２４】
　図３，４を参照するに、図４の従来の周波数特性において、通過帯域の低周波側に出現していた顕著なスプリアスピークが、図３の周波数特性ではほとんど消滅していることがわかる。また、図３の周波数特性では、通過帯域の高周波側のスプリアスピークも抑圧されている。
　【００２５】
　本実施例によるＳＡＷフィルタ１１は特にＧＨｚ帯での使用を念頭においたものであるが、このような超高周波帯域で使われるＳＡＷフィルタでは、圧電基板上の櫛形電極の厚さが励起される弾性表面波の波長に対して無視できなくなり、その結果生じる付加質量の効果により、圧電基板として使われているＬｉＴａＯ３単結晶板の最適カット角が、従来の３６°Ｙよりも高角度側にずれる。かかる電極の付加質量効果を考慮した最適カット角は、ＬｉＴａＯ３基板の場合、４０°Ｙ〜４４°Ｙの範囲、またＬｉＮｂＯ３基板の場合には、６６°Ｙ〜７４°Ｙの範囲となる。
　【００２６】
　また、ＳＡＷフィルタ１１において、櫛形電極１１Ａ〜１１ＣとしてＡｌを主成分とする電極を使った場合、かかる付加質量効果は、電極の厚さが励起される弾性表面波の波長の５〜１０％の範囲にある場合に顕著に現れる。またＬｉＮｂＯ３基板を使う場合には、付加質量効果は、前記Ａｌ系櫛形電極の厚さが励起される弾性表面波波長の４〜１２％の範囲にある場合に顕著に現れる。
　【００２７】
　次に、本発明の第２実施例を、図５を参照しながら説明する。ただし、図５中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
　【００２８】
　図５を参照するに、本実施例によるＳＡＷフィルタは、前記第１実施例と同様な４２°Ｙ−ＸＬｉＴａＯ３基板１上に構成され、前記図１９あるいは図１に示したのと同様な、Ｘ軸方向に整列した反射器１０Ａ，１０Ｂ、および反射器１０Ａ，１０Ｂ間に順次配列された櫛形電極１１Ａ，１１Ｂ，１１ＣよりなるＳＡＷフィルタ１１と、同じ基板１上に構成され、Ｘ軸方向に整列した反射器２０Ａ，２０Ｂ、および反射器２０Ａ，２０Ｂ間に順次配列された櫛形電極２１Ａ，２１Ｂ，２１ＣよりなるＳＡＷフィルタ２１とを含み、ＳＡＷフィルタ１１とＳＡＷフィルタ２１とは、櫛形電極１１Ｂを構成する２次側電極（１１Ｂ）２を櫛形電極２１Ｂを構成する１次側電極（２１Ｂ）２に接続することにより、カスケード接続される。ただし、本実施例によるＳＡＷフィルタでは、ＳＡＷフィルタ１１の電極対数Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３の間には、先の実施例のようにＮ１≠Ｎ３≠Ｎ２の関係が成立してもよいが、この関係は必ずしも成立する必要はない。
　【００２９】
　図５の実施例では、櫛形電極１１Ａ，１１Ｃの１次側電極（１１Ａ）１，（１１Ｃ）１が共通に入力電極パッドに接続され、また櫛型電極１１Ａ，１１Ｃの２次側電極（１１Ａ）２，（１１Ｂ）１、および櫛形電極１１Ｂの１次側電極（１１Ｂ）１は接地されている。すなわち、ＳＡＷフィルタ１１は２入力１出力型のフィルタを構成する。これに対し、ＳＡＷフィルタ２１では、櫛形電極２１Ａ，２１Ｃの２次側電極（２１Ａ）２，（２１Ｃ）２が共通に出力電極パッドに接続され、また櫛型電極２１Ａ，２１Ｃの１次側電極（２１Ａ）１，（２１Ｃ）１、および櫛形電極２１Ｂの２次側電極（２１Ｂ）２は接地されている。すなわち、ＳＡＷフィルタ２１は１入力２出力型のフィルタを構成する。
　【００３０】
　図５の実施例では、ＳＡＷフィルタ１１の電極交差幅がＷ１であるのに対し、ＳＡＷフィルタ２１の電極交差幅がＷ２（≠Ｗ１）とされ、その結果、ＳＡＷフィルタ全体の入力インピーダンスと出力インピーダンスとが異なった値に設定される。すなわち、ＳＡＷフィルタ全体の入力インピーダンスは、電極交差幅がＷ１のＳＡＷフィルタ１１の入力インピーダンスで決定されるのに対し、全体の出力インピーダンスは、電極交差幅がＷ２のＳＡＷフィルタ２１の出力インピーダンスで決定される。
　【００３１】
　先にも説明したように、ＳＡＷフィルタの入出力インピーダンスは電極対数と電極交差幅に反比例するが、電極対数はフィルタの通過帯域特性を決定するため、自在に選択することはできない。これに対し、電極交差幅は、フィルタの通過帯域特性とは無関係に設定できるため、図５の実施例では、電極交差幅Ｗ１と電極交差幅Ｗ２とを独立に設定することにより、ＳＡＷフィルタ１の入力インピーダンスとＳＡＷフィルタ２の出力インピーダンスとを、独立かつ自在に変化させている。
　【００３２】
　図６は、図５のＳＡＷフィルタの一変形例を示す。ただし、図６中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
　【００３３】
　図６を参照するに、櫛形電極１１Ｂの１次側電極（１１Ｂ）１が入力電極パッドに接続され、一方電極１１Ｂの２次側電極（１１Ｂ）２は接地される。これに対し、櫛形電極１１Ａ，１１Ｃの１次側電極（１１Ａ）１，（１１Ｃ）１は接地され、２次側電極（１１Ａ）２，（１１Ｃ）２は、それぞれ櫛形電極２１Ａの１次側電極（２１Ａ）１および櫛形電極２１Ｃの１次側電極（２１Ｃ）１に接続される。すなわち、ＳＡＷフィルタ１１は、図６の実施例では１入力２出力型の構成を有する。
　【００３４】
　一方、ＳＡＷフィルタ２１では、前記櫛形電極２１Ａ，２１Ｃの２次側電極（２１Ａ）２，（２１Ｃ）２が接地され、また櫛形電極２１Ｂの１次側電極（２１Ｂ）１が接地される。その際、出力は、前記櫛形電極２１Ｂの２次側電極（２１Ｂ）２から得られる。すなわち、ＳＡＷフィルタ２１は２入力１出力の構成を有する。
　【００３５】
　図６のＳＡＷフィルタにおいても、フィルタ全体の入力インピーダンスとフィルタ全体の出力インピーダンスを、ＳＡＷフィルタ１１の電極交差幅Ｗ１とＳＡＷフィルタ２１の電極交差幅Ｗ２とを、互いに独立に設定することで、所望の設計値にあわせて自在に設定することができる。
　【００３６】
　図７は、図５のＳＡＷフィルタのさらに別の実施例を示す。ただし、図７中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
　【００３７】
　図７を参照するに、本実施例では、ＳＡＷフィルタ１１は、図５の実施例と同様な１入力２出力の構成を有する。また、ＳＡＷフィルタ２１も、ＳＡＷフィルタ１１と同様な２入力１出力の構成を有する。すなわち、櫛形電極１１Ａ，１１Ｃの１次側電極（１１Ａ）１，（１１Ｃ）１が共通に入力電極パッドに接続され、また櫛型電極１１Ａ，１１Ｃの２次側電極（１１Ａ）２，（１１Ｂ）１、および櫛形電極１１Ｂの１次側電極（１１Ｂ）１は接地されている。同様に、ＳＡＷフィルタ２１でも、櫛形電極２１Ａ，２１Ｃの１次側電極（２１Ａ）１，（２１Ｃ）２が共通に櫛形電極１１Ｂの２次側電極（１１Ｂ）２に接続され、２次側電極（２１Ａ）２，（２１Ｃ）２が接地、櫛形電極２１Ｂの２次側電極（２１Ｂ）２が出力電極パッドに接続されている。すなわち、図７の構成では、二つの１入力２出力型ＳＡＷフィルタ１１，２１が、カスケード接続される。
　【００３８】
　図７のＳＡＷフィルタでは、ＳＡＷフィルタ１１とＳＡＷ２１との接続部における損失を最小化するために、ＳＡＷフィルタ１１の出力インピーダンスとＳＡＷフィルタ２１の入力インピーダンスとを整合させている。
　【００３９】
　すなわち、ＳＡＷフィルタ１１の入力インピーダンスをＺ１、出力インピーダンスをＺ２、ＳＡＷフィルタ２１の入力インピーダンスをＺ３，出力インピーダンスをＺ４として、一般に関係式
　　Ｚ１：Ｚ２＝Ｚ３：Ｚ４
が成立するが、本実施例では、前記インピーダンス整合を達成するため、前記電極交差幅Ｗ１，Ｗ２は、関係式
　　Ｚ２＝Ｚ３
が成立するように設定される。
　【００４０】
　その結果、Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４の間には、関係式
　　Ｚ２＝Ｚ３＝√（Ｚ１×Ｚ４）
が成立する。
　【００４１】
　図７の構成のＳＡＷフィルタでは、例えばＳＡＷフィルタ１１の電極交差幅Ｗ１を６０λ，ＳＡＷフィルタ２１の電極交差幅Ｗ２を３５λとし、ＳＡＷフィルタ１１，２１の電極対数Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３を、Ｎ１：Ｎ２：Ｎ３＝１５：２１：１５に設定する。ただし、λは圧電基板上に励起される弾性表面波の波長であり、約４．３μｍの値を有する。この場合、ＳＡＷフィルタ１１の入力インピーダンス、すなわちＳＡＷフィルタ全体の入力インピーダンスは５０Ω、ＳＡＷフィルタ２１の出力インピーダンス、すなわちＳＡＷフィルタ全体の出力インピーダンスは１５０Ωとなる。
　【００４２】
　図７のＳＡＷフィルタでは、ＳＡＷフィルタ１１と２１との間にインピーダンス整合が成立しているため、これを多段カスケード接続することが可能であるが、その場合には、入力インピーダンスと出力インピーダンスの差をさらに大きくすることが可能である。
　【００４３】
　また、このような多段接続されたＳＡＷフィルタでは、通過帯域レベルに対して通過帯域外レベルを、単一段よりなるＳＡＷフィルタに比べて効果的に抑圧することが可能である。
　【００４４】
　図８は、図７のＳＡＷフィルタの周波数特性を、入力側を５０Ωの抵抗で終端し、出力側を１５０Ωの抵抗で終端した場合について示す。
　【００４５】
　図８を参照するに、かかるＳＡＷフィルタを多段接続した構成により、通過帯域外のスプリアスピークが、効果的に抑圧されていることがわかる。すなわち、本実施例によるＳＡＷフィルタにより、図１〜３で説明したＳＡＷフィルタと同様な、スプリアスピークの抑圧が可能になり、ＳＡＷフィルタの周波数特性が向上する。
　【００４６】
　図９は本発明の第３実施例によるＳＡＷフィルタの構成を示す。ただし、図９中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
　【００４７】
　本実施例では、単一のＳＡＷフィルタにおいて、出力インピーダンスの値を入力インピーダンスの値に対して変化させる。
　【００４８】
　図９を参照するに、櫛形電極１１Ｂの１次側電極（１１Ｂ）１は第１の入力電極パッドに接続され、さらに２次側電極（１１Ｂ）２は第２の入力電極パッドに接続される。すなわち、図９のＳＡＷフィルタは、前記第１および第２の入力電極パッドに別個の入力信号を供給した場合、いわゆる差動型のフィルタを構成する。また、従来のように、電極（１１Ｂ）２を接地してもよい。
　【００４９】
　さらに、図９のＳＡＷフィルタでは、櫛形電極１１Ａの２次側電極（１１Ａ）２と櫛形電極１１Ｃの２次側電極（１１Ｃ）２とが接続され、さらに櫛形電極１１Ａの１次側電極（１１Ａ）１が第１の出力端子に、櫛形電極１１Ｃの１次側電極（１１Ｃ）１が第２の出力端子に接続される。換言すると、櫛形電極１１Ａと櫛形電極１１Ｃとはカスケード接続される。また、前記電極（１１Ａ）１または電極（１１Ｃ）１を接地してもよい。
　【００５０】
　図９の構成では、櫛形電極１１Ａ〜１１Ｃは、いずれも同一の電極交差幅Ｗを有するが、出力電極を構成する櫛形電極１１Ａおよび１１Ｃがカスケード接続されるため、ＳＡＷフィルタの出力インピーダンスは、櫛形電極１１Ａの出力インピーダンスＺ１と櫛形電極１１Ｃの出力インピーダンスＺ３の和になる。すなわち、図９の構成では、ＳＡＷフィルタの出力インピーダンスを、入力インピーダンスＺ２に対して、完全に自在にではないが、増大あるいは減少させることが可能である。ただし、入力インピーダンスＺ２は、櫛形電極１１Ｂの入力インピーダンスＺ２に等しい。
　【００５１】
　図１０は、本発明の第４実施例によるＳＡＷフィルタの、パッケージを含む構成を示す。ただし、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
　【００５２】
　図１０を参照するに、図５に示した構成のＳＡＷフィルタを担持する圧電基板１がセラミックパッケージ基板１００上に担持され、前記パッケージ基板１００上には第１の側に接地電極１０１および１０３が、入力電極１０２を両側から挟持するように形成される。また、前記パッケージ基板１００は、第２の側に、別の接地電極１０４および１０６が、出力電極１０５を両側から挟持するように形成される。
　【００５３】
　図１０の構成では、圧電基板１上のＳＡＷフィルタ１１のうち、櫛形電極１１Ａの接地電極（図５の電極（１１Ａ）２）はパッケージ１００上の前記接地電極１０１に、Ａｌワイヤ１０７で接続され、櫛形電極１１Ｃの接地電極（図５の電極（１１Ｃ）２）は、パッケージ１００上の前記接地電極１０３に、別のＡｌワイヤ１０７で接続される。さらに、櫛形電極１１Ｂの接地電極（図５の電極（１１Ｂ）１）は、前記接地電極１０３に、別のＡｌワイヤ１０７により接続される。一方、前記櫛形電極１１Ａ，１１Ｃの出力電極（図５の電極（１１Ａ）１，（１１Ｃ）１は、共通に、前記接地電極１０１と１０３の間に配設された入力電極１０２に、別のＡｌワイヤ１０７により接続される。
　【００５４】
　これに対し、圧電基板１上のＳＡＷフィルタ２１のうち、櫛形電極２１Ａの接地電極（図５の電極（２１Ａ）１）はパッケージ１００上の前記接地電極１０４に、別のＡｌワイヤ１０７で接続され、櫛形電極２１Ｃの接地電極（図５の電極（２１Ｃ）２）は、パッケージ１００上の前記接地電極１０３に、別のＡｌワイヤ１０７で接続される。さらに、櫛形電極２１Ｂの接地電極（図５の電極（２１Ｂ）２）は、前記接地電極１０４に、別のＡｌワイヤ１０７により接続される。一方、前記櫛形電極２１Ａ，２１Ｃの出力電極（図５の電極（２１Ａ）２，（２１Ｃ）２は、共通に、前記接地電極１０４と１０６の間に配設された入力電極１０５に、別のＡｌワイヤ１０７により接続される。また、ＳＡＷフィルタ１１とＳＡＷフィルタ２１とは、櫛形電極１１Ｂの２次側電極（１１Ｂ）２を櫛形電極２１Ｂの１次側電極（２１Ｂ）１に接続することにより、カスケード接続される。
　【００５５】
　一般にセラミックパッケージ上に形成された電極相互間では容量結合が形成されるのが避けられないが、本実施例の構成では、入力側の接地電極１０１，１０３に対して出力側の接地電極１０４，１０６を、パッケージの対向縁部に形成することにより、このような接地電極が相互に干渉してＳＡＷフィルタの選択特性が劣化する問題が回避される。また、図１０の構成では入力側，出力側のそれぞれにおいて、接地電極、例えば電極１０１と１０３、あるいは電極１０４と１０６を独立させ、相互干渉を回避している。
　【００５６】
　図１１は、図１０の構成のＳＡＷフィルタの通過帯域特性を、図１０の構成において、ＳＡＷフィルタ１１および２１の接地接続を、入力側接地電極１０１，１０３および出力側接地電極１０４，１０６とで入れ換えた場合と比較して示す。
　【００５７】
　図１１中、特性Ｂは図１０の構成のＳＡＷフィルタの通過帯域特性を、一方特性Ａは、前記フィルタ１１を構成する櫛形電極１１Ａ，１１Ｃの２次側電極（１１Ａ）２，（１１Ｃ）２をそれぞれ接地電極１０１および１０４にＡｌワイヤにより接続した場合に対応する。
　【００５８】
　図１１よりわかるように、図１０の構成を使うことにより、ＳＡＷフィルタの通過帯域外レベルが著しく改善される。逆に、特性Ａでは、かかる接地電極間の干渉により帯域外レベルが低下してしまう。
　【００５９】
　ところで、このような、パッケージも含めたＳＡＷフィルタの構成においては、入力側接地電極出力側接地電極との干渉を回避するように、ＳＡＷフィルタを保護する金属キャップの構成についても改良が要求される。
　【００６０】
　図１２は、本発明の第５実施例による、図１０のＳＡＷフィルタの金属キャップまで含めた構成を示す分解図である。
　【００６１】
　図１２を参照するに、パッケージ本体１００は、ベース１００Ａとベース１００Ａ上に形成された電極保持部１００Ｂとよりなり、さらにかかるパッケージ本体１００上にスペーサ１１０を介して金属キャップ１２０が設けられる。ベース１００Ａは、四隅にカット１００Ａ１，１００Ａ２，１００Ａ３および１００Ａ４を形成され、また上主面上に接地電極１００Ｇが形成される。さらに、前記接地電極１００Ｇには、パッケージ１００の出力側縁部に電極リード１００Ｇａおよび１００Ｇｂが形成され、電極リード１００Ｇａおよび１００Ｇｂからは、ベース１００Ａの側壁面上を電極リード１００ｇａおよび１００ｇｂが、ぞれぞれ接地電極リードとして延在する。同様に、パッケージ１００の入力側縁部には電極リード１００Ｇｃおよび１００Ｇｄが形成され、電極リード１００Ｇｃおよび１００Ｇｄからは、ベース１００Ａの側壁面上を電極リード１００ｇｃおよび１００ｇｄが、ぞれぞれ接地電極リードとして延在する。
　【００６２】
　前記ベース１００Ａ上にはＳＡＷフィルタを担持する圧電基板１が保持され、また同じベース１００Ａ上には前記電極保持部１００Ｂが設けられる。その際、電極保持部１００Ｂには中央部にベース１００Ａ上の接地電極１００Ｇを露出する開口部が形成され、前記圧電基板１はかかる開口部を介して前記接地電極１００Ｇに接着される。
　【００６３】
　電極保持部１００Ｂは四隅にそれぞれ前記カット１００Ａ１〜１００Ａ４に対応するカット１００Ｂ１〜１００Ｂ４を形成され、電極１０１〜１０３は、電極保持部１００Ｂの上主面上に、入力側縁部に沿って形成される。また、電極１０４〜１０６は出力側縁部に沿って形成される。電極１０４〜１０６からは、それぞれ電極リード１０４ａ，１０５ａ，１０６ａが、電極保持部１００Ｂの出力側側壁面上を延在し、電極リード１０４ａはベース１００Ａ側壁面上の電極リード１００ｇａに接続する。同様に、電極リード１０６ａはベース１００Ａ側壁面上の電極リード１００ｇｂに接続する。さらに、電極リード１０５ａは、べース１００Ａ側壁面上の電極リード１００ｏに接続する。さらに同様な電極リードが、入力側縁部に沿った電極１０１〜１０３についても形成される。
　【００６４】
　一方、スペーサ１１０は前記電極１０１〜１０６の一部および圧電基板１を露出するリング状の構成を有し、四隅にはそれぞれ前記カット１００Ｂ１〜１００Ｂ４に対応するカット１１０１〜１１０４が形成される。また、スペーサ１１０の上主面上には接地電極１１０Ａが形成され、前記金属キャップ１２０はかかる接地電極１１０Ａ上にロウ付けされる。
　【００６５】
　その際、前記カット１１０１を構成するスペーサ１１０の側壁面上には、接地電極１１０Ａから延在する電極リードが形成され、かかるカット１１０１上の電極リードは、スペーサ１１０を電極保持部１００Ｂ上に装着する際、前記電極保持部１００Ｂ上において前記接地電極１０４からカット１００Ｂ１に向かって延在する電極リード１０４ａ’に接続される。換言すると、前記金属キャップ１２０は、前記接地電極１０４にのみ電気的に接続され、他の接地電極１０１，１０３あるいは１０６には接続されない。その結果、図１１で説明した接地電極相互間の干渉によるＳＡＷフィルタの通過帯域特性の劣化が生じるのを回避することができる。
　【００６６】
　図１３は、図１２のＳＡＷフィルタの通過帯域特性を示す。
　【００６７】
　図１３を参照するに、特性Ｂは図１２のＳＡＷフィルタのものを、一方特性Ａは図１２において、金属キャップ１２０をその四隅全てにおいて接地した場合を示す。図１２よりわかるように、金属キャップ１２０を四隅全てにおいて接地した場合、一か所のみで接地した場合に対して通過帯域外レベルが著しく上昇してしまう。これば、複数の接地電極が、前記金属キャップ１２０を介して相互作用していることを示す。
　【００６８】
　図１４は、本発明の第６実施例によるＳＡＷフィルタの、パッケージまで含めた構成を示す図である。ただし、図１４の実施例は図１０の実施例の変形であり、図１４中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
　【００６９】
　図１４を参照するに、本実施例では、図１０と同じパッケージ１００上に、前記ＳＡＷフィルタ１１（または２１）のみを担持した圧電基板１が設けられる。この場合、出力側櫛形電極１１Ａ，１１Ｃの接地は、出力側接地電極１０４，１０６において、また入力側櫛形電極１１Ｂの接地は、入力側接地電極１０１においてとられる。ただし、図１４の構成では、接地電極１０１にも入力信号が供給され、その結果、ＳＡＷフィルタは差動型フィルタとして動作する。
　【００７０】
　かかる構成においても、入力側接地電極と出力側接地電極との間の容量結合が抑制され、その結果図１０あるいは図１２に示したのと同様な優れた帯域外減衰特性が得られる。
　【００７１】
　図１５は、本発明の第７実施例によるＳＡＷフィルタの構成を示す図である。ただし、先に説明した部分は同じ参照符号で示し、説明を省略する。
　【００７２】
　先に説明した図１４のＳＡＷフィルタは、接地電極にも入力信号を供給することにより差動型のフィルタとして動作するが、本実施例によるＳＡＷフィルタも、図１のＳＡＷフィルタにおいて、櫛形電極１１Ａの２次側電極（１１Ａ）２および櫛形電極１１Ｃの２次側電極（１１Ｃ）２を接地するかわりに、これらに１次側電極（１１Ａ）１および（１１Ｃ）１に供給される第１の入力信号Ｉｎ１とは別の第２の入力信号Ｉｎ２を供給することにより、差動型フィルタの構成を有する。また、その際、櫛形電極１１Ｂの１次側電極（１１Ｂ）１も図１の構成の場合のように接地されるかわりに、２次側電極（１１Ｂ）２から出力される出力信号Ｏｕｔ１とは別の出力信号Ｏｕｔ２を出力する出力電極として作用する。
　【００７３】
　図１５の構成においても、図１の構成と同様に、電極対数Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３が非対称に設定されている（Ｎ１≠Ｎ３≠Ｎ２）。
　【００７４】
　図１６は本実施例の別の変形例であり、図５の構成のＳＡＷフィルタを作動型に変形したものである。ただし、図１６中、先に説明した部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
　【００７５】
　図１６を参照するに、櫛形電極１１Ａ，１１Ｃのそれぞれの２次側電極（１１Ａ）２，（１１Ｃ）２には、１次側電極（１１Ａ）１，（１１Ｃ）１に供給される入力信号Ｉｎ１とは別の入力信号Ｉｎ２が共通に供給され、また櫛形電極２１Ａ，２１Ｃのそれぞれの１次側電極（２１）Ａ１，（２１Ｃ）１からは、２次側電極（２１Ａ）２，（２１Ｃ）２から出力される出力信号Ｏｕｔ１とは別の出力信号Ｏｕｔ２が得られる。
　【００７６】
　図５の構成と同様に、図１６の構成においても、ＳＡＷフィルタ１１の電極交差幅Ｗ１とＳＡＷフィルタ２１の電極交差幅Ｗ２とは異なった大きさを有する。
　【００７７】
　さらに、図１７および１８の構成は、それぞれ図６および図７のＳＡＷフィルタを差動型に変形した例を示す。これらの例においても、接地電極に図６あるいは図７で使われた入力信号Ｉｎ１とは別の入力信号Ｉｎ２を供給し、あるいは接地電極から図６あるいは図７の出力信号Ｏｕｔ１とは別の出力信号Ｏｕｔ２を取り出すことにより、ＳＡＷフィルタを差動型フィルタとして動作させることができる。図１７，１８の構成は先の説明より明らかであり、説明を省略する。ただし、図１５〜１８の構成では、ＳＡＷフィルタを入力端子および出力端子の双方について差動型に構成したが、入力端子および出力端子の一方についてのみ差動型に構成してもよい。
　【００７８】
　以上の各実施例において、圧電基板１として、第１実施例の場合と同様に、ＬｉＴａＯ３あるいはＬｉＮｂＯ３の単結晶を、ＬｉＴａＯ３の場合４０°Ｙ〜４４°Ｙの範囲の回転角で、またＬｉＮｂＯ３の場合６６°Ｙ〜７４°Ｙの範囲の回転角でカットした、回転Ｙ板を使うのが好ましい。また、その際、圧電基板上に形成される櫛形電極は、圧電基板としてＬｉＴａＯ３を使う場合、圧電基板上に励起される弾性表面波の波長の５〜１０％の範囲の厚さのＡｌあるいはＡｌ合金により構成するのが好ましい。圧電基板としてＬｉＮｂＯ３を使う場合には、櫛形電極を、励起弾性表面波の波長の４〜１２％の範囲の圧だのＡｌあるいはＡｌ合金により構成するのが好ましい。
　【００７９】
　【発明の効果】
　請求項１〜４記載の本発明の特徴によれば、弾性表面波装置を、圧電基板上に共通に形成された少なくとも第１および第２の弾性表面波装置要素を含むように構成し、前記第１の弾性表面波装置要素を前記第２の弾性表面波装置要素にカスケード接続し、その際前記第１の弾性表面波装置要素の電極交差幅を、前記第２の弾性表面波装置要素の電極交差幅に対して変化させることにより、前記第１および第２の弾性表面波装置要素を含む弾性表面波装置の入力インピーダンスと出力インピーダンスとを、自在に設定することが可能になる。
　【００８０】
　請求項５記載の本発明の特徴によれば、前記第１および第２の弾性表面波装置要素の各々をいわゆる二重モード型フィルタとして構成し、弾性表面波の経路に沿って配設された第１、第２および第３の櫛形電極を、それぞれ互いに異なる第１，第２および第３の電極対数を有するように形成することにより、通過帯域外のスプリアスピークを効果的に抑圧することが可能になる
。
　【００８１】
　
請
６
。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の原理、および本発明の第１実施例によるＳＡＷフィルタの構成を示す図である。
　【図２】
　計算で求められた図３のＳＡＷフィルタの周波数特性を、図１９のフィルタ特性と比較して示す図である。
　【図３】
　図１のＳＡＷフィルタの実際の周波数特性を、図１９のＳＡＷフィルタの実際の周波数特性と比較して示す図である。
　【図４】
　図１９のＳＡＷフィルタの実際の周波数特性を示す図である。
　【図５】
　本発明の第２実施例によるＳＡＷフィルタの構成を示す図である。
　【図６】
　図５のＳＡＷフィルタの変形例を示す図である。
　【図７】
　図５のＳＡＷフィルタの別の変形例を示す図である。
　【図８】
　図７のＳＡＷフィルタの周波数特性を示す図である。
　【図９】
　本発明の第３実施例によるＳＡＷフィルタの構成を示す図である。
　【図１０】
　本発明の第４実施例によるＳＡＷフィルタの構成を示す図である。
　【図１１】
　図１０のＳＡＷフィルタの周波数特性を示す図である。
　【図１２】
　図１０のＳＡＷフィルタの構成を、金属キャップまで含めて示す本発明の第５実施例による分解図である。
　【図１３】
　図１２のＳＡＷフィルタの周波数特性を示す図である。
　【図１４】
　本発明の第６実施例によるＳＡＷフィルタの構成を示す図である。
　【図１５】
　本発明の第７実施例によるＳＡＷフィルタの構成を示す図である。
　【図１６】
　本発明第７実施例の一変形例を示す図である。
　【図１７】
　本発明第７実施例の別の変形例を示す図である。
　【図１８】
　本発明第７実施例のさらに別の変形例を示す図である。
　【図１９】
　（Ａ），（Ｂ）は、従来の二重モード型ＳＡＷフィルタの構成および動作原理を説明する図である。
　【図２０】
　図１９のＳＡＷフィルタの計算で求められた周波数特性を示す図である。
　【符号の説明】
　１，　圧電基板
　１０Ａ，１０Ｂ，２０Ａ，２０Ｂ　反射器
　１１，２１　ＳＡＷフィルタ
　１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ　櫛形電極
　（１１Ａ）１，（１１Ｂ）１，（１１Ｃ）１，（２１Ａ）１，（２１Ｂ）１，（２１Ｃ）１　１次側電極
　（１１Ａ）２，（１１Ｂ）２，（１１Ｃ）２，（２１Ａ）２，（２１Ｂ）２，（２１Ｃ）２　２次側電極
　１００　パッケージ基板
　１００Ａ　ベース
　１００Ａ１，１００Ａ２，１００Ａ３，１００Ａ４，１００Ｂ１，１００Ｂ２，１００Ｂ３，１００Ｂ４，１１０１，１１０２，１１０３，１１０４　カット面
　１００Ｂ　電極保持部
　１００Ｇ，１１０Ａ　接地電極
　１００Ｇａ，１００Ｇｂ，１００Ｇｃ，１００Ｇｄ　接地電極リード
　１０１，１０３，１０４，１０６　接地端子電極
　１０４ａ，１０５ａ，１０６ａ　電極リード
　１０２，　入力端子電極
　１０５　出力端子電極
　１０７　Ａｌワイヤ
　１０７ａ　導体パターン
　１１０　スペーサ
　１２０　金属電極