【事件の表示】
　　特願２００８−５２６５２９「マイクロ波プラズマ反応装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年　２月２２日国際公開、ＷＯ２００７／０２０３７３、平成２１年　２月　５日国内公表、特表２００９−５０４３９３、請求項の数（３２）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
　
第１　手続の経緯
 
　本願は、２００６年７月２７日（パリ条約による優先権主張２００５年８月１５日、英国）を国際出願日とする出願であって、平成２１年７月２７日付けで手続補正がされ、平成２３年１２月２７日付けで拒絶理由が通知され、平成２４年７月９日付けで意見書が提出されるとともに手続補正がされ、平成２５年４月１１日付けで拒絶査定がされ、これに対し、平成２５年８月２２日に拒絶査定不服審判が請求されたものである。
　
第２　本願発明
　
　本願の請求項１〜３２に係る発明は、平成２４年７月９日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲に記載された事項により特定されるものと認められるところ（以下、「本願発明１」〜「本願発明３２」という。）、本願の請求項１に係る発明（「本願発明１」）は以下のとおりである。
　
「【請求項１】
　マイクロ波プラズマ反応装置であって、
　反応チャンバと、
　反応チャンバの内部に配置され、ガス入口及びガス出口を有してなるマイクロ波共鳴キャビティと、
　マイクロ波放射を共鳴キャビティに導くための導波管であって、収束性のテーパ部分を有してなる導波管と、
　共鳴キャビティの内部にプラズマを開始及び持続させるために、共鳴キャビティの内部にマイクロ波放射から電磁定在波を形成するための手段と、
　共鳴キャビティの内部の電磁場の中に突出してなる導電部材であって、共鳴キャビティの中に突出してなる交換可能なチップを備えている導電部材と、
　前記ガス入口から前記ガス出口へ流れるガスと共に、共鳴キャビティから運ばれたプラズマを収容すべくガス出口から延びてなる導管手段と、を備えていることを特徴とする反応装置。」
　
第３　原査定の理由の概要
　
　原査定の理由の概要は、本願発明１〜９、１４〜１６、１８、１９、２３、２４、２７〜３２は、下記の引用文献１に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、また、本願発明１０〜１３は、下記の引用文献１〜２に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、さらに、本願発明２０は、下記の引用文献１〜３に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、とするものである。
　
　引用文献１．特開２０００−２９６３２６号公報
　引用文献２．特表平０６−５０８７１８号公報
　引用文献３．特開昭６２−１５５９３４号公報
　
第４　当審の判断
　
１．引用文献に記載された事項
　
　平成２５年４月１１日付け拒絶査定において引用された引用文献１〜３には次の事項が記載されている。
 
［引用文献１（特開２０００−２９６３２６号公報）］
 
１ａ「【請求項１】有機ハロゲン化合物をプラズマ化し、水と反応させて有機ハロゲン化合物を分解する有機ハロゲン化合物分解装置の運転制御方法において、・・・有機ハロゲン化合物分解装置の運転制御方法。」
　
１ｂ「【０００３】従来から有機ハロゲン化合物の処理方法として報告されているものは、主として高温での熱分解反応を利用したものがあり、この処理方法は更に焼却法とプラズマ法とに大別される。焼却法は、有機ハロゲン化合物を樹脂等の通常の廃棄物と一緒に焼却するものであるのに対し、プラズマ法は、プラズマ中で有機ハロゲン化合物を水蒸気と反応させ、二酸化炭素、塩化水素、フッ化水素に分解するものである。
【０００４】さらに、後者のプラズマ法に係る有機ハロゲン化合物分解装置の運転制御方法については、マイクロ波を利用してプラズマを発生させるものが近年開発されている。この分解方法に用いられる分解装置は、アルカリ液を収容する排ガス処理タンクと、開口した下端部をアルカリ液に浸漬した状態で配設される反応管と、該反応管の上方において垂直方向に延在する円筒導波管と、該円筒導波管の内部に配されその下端を貫通して反応管に連通する放電管と、水平方向に延在しその一端部近傍において円筒導波管に連接される方形導波管と、該方形導波管の他端に装着されるマイクロ波発信器等を具備してなる。
【０００５】この分解装置では、放電管にフロンガスおよび水蒸気が供給される一方で、マイクロ波発信器から発信されたマイクロ波が方形導波管を介して円筒導波管に伝送される。そして、円筒導波管の内部に形成されたマイクロ波電界で放電を起こし、反応管内でフロンガスを熱プラズマにより分解する。他方、この分解反応により生成された生成ガスは、アルカリ液中を通って中和されるとともに、炭酸ガス等を含む残りのガスは排気ダクトから排出される。
　
・・・
　
【００２６】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係る有機ハロゲン化合物分解装置の運転制御方法に用いられる分解装置について、図１から図５を参照しながら説明する。図１において、水平方向に延びる方形導波管１は、その始端部（右端部）に周波数２．４５ＧＨzのマイクロ波を発信するマイクロ波発信器２を備えており、始端側から終端（左）側に向けてマイクロ波を伝送する。
【００２７】方形導波管１には、図１に示すように、マイクロ波発信機１その終端部側で反射して始端部側に戻ってきたマイクロ波を吸収することにより反射波の発信側への影響を防止するアイソレータ３と、複数の波動調整部材４を各々出入りさせることにより電波の波動的な不整合量を調整して放電管５に電波を収束させるチューナー６が設けられている。
【００２８】この動作を詳細に説明する。マイクロ波発信機２は断面矩形の導波管の一端に置かれマグネトロンを駆動して所定周波数の電磁波を放射する。この電磁波の伝播現象は電磁波に関るマクスウェルの波動方程式を解くことによって特性が把握されるわけであるが、結果的には伝播方向に電界成分を持たない電磁波ＴＥ波として伝播する。
【００２９】この１次成分ＴＥ10の例を方向が交番する矢印で図２の方形導波管の伝播方向に示す。また、方形導波管１の他端部に２重の円筒状導体からなる２重円筒導波管の環状空洞には、導波管１を伝播する電磁波、管端で反射する電磁波の導体９による結合作用により、環状空洞部には、進行方向に電界成分を持つＴＭ波が生じる。この１次成分であるＴＭ10波を同じく図２の環状空洞部に矢印で示す。電磁波の波動の伝播に関る２次以上の高調波に起因する微妙な調整はチューナ４で調整される。アイソレータ３は発信機２に根本的なダメージを及ぼすのを防止している。
【００３０】円筒導波管７は、図２に示すように、外側導体８と、それよりも小径の内側導体９とから構成され、方形導波管１の終端部近傍において当該方形導波管１に連通した状態で垂直方向に延びるように接続されている。内側導体９は、方形導波管１の上部に固定された状態で石英製の放電管５を囲みつつ外側導体８の端板８Ａに向けて延在し、この延在部分をプローブアンテナ９ａとしている。
【００３１】放電管５は、内管１１と外管１２とから構成され、円筒導波管７の中心軸に対して同軸となるように配置されている。また、放電管５の内管１１には、着火装置１３により内側導体９との間で火花を発生させるテスラコイル１４が挿入されている。
【００３２】さらに、内管１１の先端（下端）は、プローブアンテナ９ａの先端よりも所定の距離だけ内方に配されている。
【００３３】他方、外管１２の先端部は、外側導体８の端板８Ａを貫通して銅製の反応管１５に連通し、また、外管１２の基端側（上端側）は、内側導体９との間に隙間をあけた状態で取り付けられている。符号１７は、外側導体８の端板８Ａと反応管１５との間に露出する外筒１２に向けられた光センサ１７である。この光センサ１７は、光度を検出することにより、プラズマの生成状態を監視するものである。
【００３４】そして、前記隙間には、ガス供給管１６が、外管１２と内管１１とにより形成される環状通路の入口側で、接線方向に沿って挿入されている。アルゴンガス（希ガス）、フロンガス（有機ハロゲン化合物）、エアー、および水蒸気は、ガス供給管１６を介して放電管５の環状通路に供給される。これらアルゴンガス、フロンガス、およびエアーは、図１に示す電磁弁１９ａ、１９ｂ、１９ｃの開閉動作により、それぞれの供給源から選択的にヒータ１８へと送られる。」
　
１ｃ「【００４１】しかるに、ヒータ１８を通過したフロンガス等と水蒸気は、ミキサー３７内で混合された後、ガス供給管１６を通って放電管５へと供給される。ミキサー３７の内部には、図４に示すように、オリフィス３８が設けられ、その開口３８ａはφ０．１mm〜５mmに設定されている。また、この開口３８ａが臨むミキサー３７の出口側端面３７Ａは、流路断面が漸次縮小するような傾斜面をなしている。
【００４２】排ガス処理タンク４１は、フロンガスを分解した際に生成される酸性ガス（フッ化水素および塩化水素）を中和して無害化するために設けられたものであり、水に水酸化カルシウムを加えたアルカリ性懸濁液が収容されている。例えば、分解するフロンガスが廃冷蔵庫から回収した冷媒用のフロンＲ１２の場合には、式１に示す分解反応により生成された生成ガスは式２に示す中和反応により無害化される。
　
・・・
　
【００４５】排ガス処理タンク４１の内部には、交換継手４４を介して反応管１５に接続される吹込管４５が、その下端部をアルカリ液に浸漬した状態で垂直方向に延びるように配置されている。この吹込管４５の先端部４５ａは、垂直方向に対して所定の角度傾斜するように形成されている。」
 
１ｄ「【００６５】そして、アルゴンガスの供給開始から一定の間隔をおいて、マイクロ波発信器２からマイクロ波を発信する。マイクロ波は、方形導波管１によりその後端部側に伝送され、さらに円筒導波管７へと伝送される。
【００６６】このとき、円筒導波管７内の電界としては、電界強度の大きなＴＭ01モードが形成され、しかも、内側導体９により、方形導波管１内の電界モードと、円筒導波管７内の電界モードとがカップリングされているため、円筒導波管７内の電界は安定している。当然のことながら磁界は電解（「電界」の誤記と認める。）に直交叉する方向に生じている。この振動する電磁界により放電管５に導入されたガスはプラズマ状態に加熱される。
【００６７】次に、点火装置１３に連結されたテスラコイル１４に高電圧を印加し、内側導体９との間に火花放電を発生させ着火させる。このとき、放電管５の内部は、エアーにより水分が除去され、かつ着火し易いアルゴンガスがあらかじめ供給されているため、容易に着火する。次いで、プランジャポンプ２５により貯水タンク２６から水を吸引し、これをヒータ１８に通して生成した水蒸気を放電管５に供給する。」
　
１ｅ「【００７２】このようにして放電管５に供給されたフロンガスにマイクロ波が照射されると、放電管５内には、電子エネルギーが高く、しかも温度が２，０００Ｋ〜６，０００Ｋに高められた熱プラズマが発生する。このとき、放電管５には、フロンガスと水蒸気のみならず、アルゴンガスも同時に供給されているため、プラズマの消失を招くこともない。
【００７３】また、内管１１の先端が、プローブアンテナ９ａの先端よりも所定の距離だけ内方に配置されているため、生成されたプラズマの熱的影響を回避し得て、内管１１の溶融破損が防止される。これにより、プラズマ形状の著しい変形をなくして、安定した分解運転が可能になる。
【００７４】しかして、熱プラズマの発生により、フロンガスは塩素原子、フッ素原子、および水素原子に解離し易い状態になるため、式１に示すように、水蒸気と反応して容易に分解される。そして、プラズマが安定したら、電磁弁１９ａを閉にしてアルゴンガスの供給を止める。したがって、長時間にわたるフロンガスの分解時においては、アルゴンの供給は不要であり、アルゴン消費量が低く抑えられる。
【００７５】分解反応による生成ガスは、交換継手４４および吹込管４５を通って排ガス処理タンク４１内のアルカリ液中に放出される。ただし、これらの生成ガスは極めて高温であるため、吹込管４５に流入するまでの間に、まず、反応管１５の下部に付設された冷却器４６によって約４００℃に冷却される。」
　
［引用文献２（特表平０６−５０８７１８号公報）］
　
２ａ「第２図は、導波路装置２のなかに、マグネトロンｌのほうに向けられた側が定常波の電圧ピークに位置するように組み込まれているプラズマ放電管５を示しており、その際にプラズマ放電管５の壁は（向かい合う側と同様に）電圧ピークにより切断され得るが、電圧ピークは有利には壁の内面にも位置し得る。プラズマ放電管５自体は好ましくは水晶またはアルミニウム酸化物のような絶縁材料から製造されている。導波路装置２の終端１２として反射面が設けられている。反射されたエネルギーは同調装置により、反射されて逆向きに導かれる定常波が反射面のほうに向けられたプラズマ放電管５の側において電圧ピークに達するように同調される。直接的な機械的な同調はそれ自体は公知の仕方で同調ピン１３および１４を用いて移相により行われる。」（第３頁右下欄第５〜１４行）
　
［引用文献３（特開昭６２−１５５９３４号公報）］
　
３ａ「尚、上流室３及び第二下流室４ｂの上下には、図示されるように各々共通フランジを介してガラス窓１８が取付けられていて、内部観察ができるようになっている。」（第４頁右上欄第１４〜１７行）
　
２．引用文献１に記載された発明
　
　引用文献１には、有機ハロゲン化合物である被処理ガスをマイクロ波によりプラズマ化し、水と反応させて有機ハロゲン化合物を分解する有機ハロゲン化合物分解装置（【図１】〜【図３】、摘示１ａ、１ｂ）が開示され、当該装置において、
　
・円筒導波管７は放電管５を有し、該放電管５は、内管１１と外管１２とから構成され、円筒導波管７の中心軸に対して同軸となるように配置されており、外管１２の先端部は、反応管１５に連通しており、外管１２の基端側は、外管１２と内管１１とにより形成される環状通路の入口側であり、ガス供給管１６が連通されており、そして、マイクロ波発信器２から円筒導波管７の内部にマイクロ波を発信し、放電管５による放電でプラズマを生成させ、反応管１５内で熱プラズマにより被処理ガスを水蒸気と反応させて分解すること（摘示１ｂ）、
　
・有機ハロゲン化合物分解装置は、マイクロ波を円筒導波管７に導くための方形導波管１を備えており、該方形導波管１は、図１〜３の記載を見る限り、収束性のテーパ部分を有していること（【図１】〜【図３】、摘示１ｂ）、
　
・放電管５の内管１１には、火花を発生させるテスラコイル１４が挿入されていること（摘示１ｂ）、
　
・反応管１５は、図２の記載を見る限り、ガス出口を有し、該ガス出口は交換継手４４を介して吹込管４５に接続されていること（摘示１ｃ）、
　
が開示されている。
　
　そして、【図１】〜【図３】および摘示１ａ〜１ｃの事項からみて、引用文献１には次の発明が記載されているといえる（以下、「引用発明１」という。）。
　
引用発明１：
　
「有機ハロゲン化合物である被処理ガスをマイクロ波によりプラズマ化し、水と反応させて有機ハロゲン化合物を分解する有機ハロゲン化合物分解装置であって、
　
放電管５と、該放電管５に連通する反応管１５と、
　
マイクロ波発信器２から発信されたマイクロ波を放電管５に導くための導波管であって、収束性のテーパ部分を有してなる方形導波管１と、
　
放電管５の内部にあるテスラコイルと、
　
ガス供給管１６からガス出口へ流れるガスと共に、ガス出口から延びてなる吹込管４５と、を備えていることを特徴とする分解装置。」
　
３．本願発明１と引用発明１との対比
　
　本願発明１と引用発明１とを対比するに、引用発明１の「有機ハロゲン化合物である被処理ガスをマイクロ波によりプラズマ化し、水と反応させて有機ハロゲン化合物を分解する有機ハロゲン化合物分解装置」は、本願発明１の「マイクロ波プラズマ反応装置」に相当し、引用発明１の「放電管５と、該放電管５に連通する反応管１５」、「マイクロ波発信器２から発信」、「方形導波管１」、「吹込管４５」は、それぞれ、本願発明１の「反応チャンバ」、「マイクロ波放射」、「導波管」、「導管手段」に相当する。
　
　してみると、両者は、以下の点で一致し、以下の点で相違する。
　
＜一致点＞
　
　マイクロ波プラズマ反応装置であって、
　反応チャンバと、
　マイクロ波放射を導くための導波管であって、収束性のテーパ部分を有してなる導波管と、
　ガス入口からガス出口へ流れるガスと共に、プラズマを収容すべくガス出口から延びてなる導管手段と、を備えていることを特徴とする反応装置。
　
＜相違点１＞
　
  本願発明１は、「反応チャンバの内部に配置され、ガス入口及びガス出口を有してなるマイクロ波共鳴キャビティ」を備えているのに対して、引用発明１は係る事項を発明特定事項としない点。
　
＜相違点２＞
　
　本願発明１では、「共鳴キャビティの内部にプラズマを開始及び持続させるために、共鳴キャビティの内部にマイクロ波放射から電磁定在波を形成するための手段」を備えているのに対して、引用発明１は係る事項を発明特定事項としない点。
　
＜相違点３＞
　
　本願発明１では、「共鳴キャビティの内部の電磁場の中に突出してなる導電部材であって、共鳴キャビティの中に突出してなる交換可能なチップを備えている導電部材」を備えているのに対して、引用発明１は係る事項を発明特定事項としない点。
　
４．相違点についての検討
　
（１）相違点１についての検討
　
ア．　引用発明１における放電管５は、上記摘示１ａ、１ｅによれば、マイクロ波電界中でプラズマを生成させ、被処理ガスをプラズマ化し、反応管１５内で水と反応させており、それぞれの作用が放電管５と反応管１５という別体で行われており、本願発明１のようなプラズマを生成させ、被処理ガスをプラズマ化し、かつ水と反応させるマイクロ波共鳴キャビティという単体で行われておらず、両者の装置構成は原理上異なるものと言わざるを得ず、また、引用文献２、３に記載されているいずれの発明においても、そのような共鳴キャビティに相当する構成は見当たらない。
　
イ．　してみると、引用発明１の装置の構成上、プラズマの生成と被処理ガスのプラズマ化と、水との反応をそれぞれ別体で行うことが必定であり、本願発明１のようにそれらを単体で行うような設計事項の変更は想到するはずもなく、当業者にとって容易になし得ることは不可能であるといわざるを得ない。
　
（２）相違点２についての検討
　
ア．　上記４．（１）で述べたとおり、引用発明１は、いわゆる「共鳴キャビティ」に相当する構成がなく、したがって、「
共鳴キャビティ
共鳴キャビティ
電磁定在波
　
イ．してみると、当該手段を付加する動機も存在し得ないことになり、当業者にとって容易になし得ることは不可能であるといわざるを得ない。
　
ウ．付言するに、引用発明１の摘示１ｂ、１ｄによれば、放電管５においては、進行方向に電界成分を持つ「ＴＭ波」が生じているが、これは、本願発明１における進行方向に直交する方向に電界成分を持つ「電磁定在波」とは異なるものであり、この点からも当該手段を有することはあり得ないものである。
　
（３）相違点３についての検討
　
ア．　上記４．（１）で述べたとおり、引用発明１は、いわゆる「共鳴キャビティ」に相当するものがなく、したがって、「
共鳴キャビティ
共鳴キャビティ
　
イ．してみると、当該部材を付加する動機も存在し得ないことになり、当業者にとって容易になし得ることは不可能であるといわざるを得ない。
　
５．小括
　
　よって、本願発明１は、引用文献１〜３に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
６．本願発明２〜３２について
　
　本願発明２〜３２も、上記相違点１〜３に係る発明特定事項を備えるものであるから、上記「４．相違点についての検討」と同様の検討により、引用文献１〜３に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
第５　むすび
　
　以上のとおりであるから、本願については、原査定の拒絶理由を検討しても、その理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　
　よって、結論のとおり審決する。