【事件の表示】
　特許第３１６５８５７号「ターボ分子ポンプ装置」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１６５８５７号の請求項１、２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３１６５８５７号の請求項１〜３に係る発明は、平成９年１２月１０日に特許出願され、平成１３年３月９日にその特許権の設定登録がなされ、その後、ライボルト　ヴァークウム　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツングより特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年８月６日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の記載について、「前記ポンプ本体と制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設け」の点、及び「前記ポンプ本体と前記制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する冷却ジャケットを設け」の点を付加し、全体を
「ポンプ本体と該ポンプ本体を制御する制御装置を具備するターボ分子ポンプ装置において、
　前記ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成し、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能な構成とすると共に、
　前記ポンプ本体と前記制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設け、
　前記ポンプ本体と前記制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する冷却ジャケットを設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ装置。」と訂正する。
訂正事項ｂ
  特許請求の範囲の請求項２を削除するとともに、請求項３の項番を繰り上げて請求項２と訂正する。
訂正事項ｃ
　明細書の段落【０００６】を「【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため請求項１に記載の発明は、ポンプ本体と該ポンプ本体を制御する制御装置を具備するターボ分子ポンプ装置において、前記ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成し、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能な構成とすると共に、ポンプ本体と制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設け、ポンプ本体と制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する冷却ジャケットを設けたことを特徴とする。」と訂正する。
訂正事項ｄ
　明細書の段落【０００７】を「また、請求項２に記載の発明は、請求項1に記載のターボ分子ポンプ装置において、ポンプ制御装置は外部Ｉ／Ｏインタフェース機能を具備することを特徴とする。」と訂正する。
訂正事項ｅ
　明細書の段落【０００８】、【０００９】、【００１５】を削除するとともに、段落【００１０】〜【００１３】を新たな段落【０００８】〜【００１１】に繰り上げる。
訂正事項ｆ
　明細書の段落【００１４】を新たな段落【００１２】に繰り上げるとともに、「【発明の効果】以上、説明したように請求項に記載の発明によれば下記のような優れた効果が得られる。（１）ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成し、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能な構成とすると共に、ポンプ本体と制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設けたので、ポンプ本体と制御装置を接続するケーブルが不要となると同時にその敷設作業も不要となり、ケーブルの誤接続もなくなる。」と訂正する。
訂正事項ｇ
　新たな段落【００１３】を「（２）また、ケーブルの長さによる制御装置の調整が不要となり、ポンプ本体と制御装置の互換性が持たせられ、故障時の問題発生のときポンプ本体のみ又は制御装置のみの交換が可能となり、メンテナンス性が向上すると同時に、ケーブルに飛び込むノイズが減少し、耐ノイズ性が向上する。」とする。
訂正事項ｈ
　新たな段落【００１４】を「（３）ポンプ本体と制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する冷却ジャケットを設けたので、制御装置に冷却ファンが不要となり、本ターボ分子ポンプ装置をクリーンルームに設置する場合は、コストの高いクリーンな空気を冷却に使用することなく、ホットスポットの原因になることもない。」とする。
訂正事項ｉ
　新たな段落【０００８】、【００１０】における「勘合」を「嵌合」に訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
  上記訂正事項ａは、発明を特定する事項を付加するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当するとともに、付加した、発明を特定する事項は、願書に最初に添付した明細書の段落【００１０】、【００１１】、【００１３】、及び図１、２に記載されているから、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｂは、上記訂正事項ａにともなって、特許請求の範囲の次の請求項を削除するとともに、そのまた次の請求項の項番を繰り上げるものであるから。明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当するとともに、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｃ〜ｈは、上記訂正事項ａ、ｂと整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当するとともに、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｉは、誤記の訂正を目的とするものに該当するとともに、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立について
（１）異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人ライボルト　ヴァークウム　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツングは、訂正前の請求項１〜３に係る発明は、以下の理由により特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張している。
　
ａ．請求項１に係る発明は、甲第１号証（欧州特許出願公開第０５９７３６５号公報）に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当するので特許を受けることができない。
ｂ．請求項２に係る発明は、甲第１号証、及び甲第２号証（ドイツ連邦共和国特許出願公開第４２３７９７２号公報）をもとに容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
ｃ．請求項３に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当するので特許を受けることができない。または、甲第１号証、及び甲第２号証をもとに容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
（２）本件発明
　上記２．訂正の適否についての判断で示したように上記訂正が認められるから、平成１４年８月６日付けで提出された訂正明細書の請求項１、２に係る発明は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１、２に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める（以下、それぞれ「本件発明１」、「本件発明２」という。）。
「【請求項１】ポンプ本体と該ポンプ本体を制御する制御装置を具備するターボ分子ポンプ装置において、
　前記ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成し、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能な構成とすると共に、
　前記ポンプ本体と前記制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設け、
　前記ポンプ本体と前記制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する冷却ジャケットを設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ装置。
【請求項２】請求項1に記載のターボ分子ポンプ装置において、
　前記ポンプ制御装置は外部Ｉ／Ｏインタフェース機能を具備することを特徴とするターボ分子ポンプ装置。」
　
（３）刊行物等
ａ．特許異議申立人が証拠として提示した刊行物には、それぞれ、以下のような事項が記載されている。
　
刊行物１：欧州特許出願公開第０５９７３６５号公報（甲第１号証）
　ア．「変換器を備えた真空ポンプであって、当該真空ポンプが、高回転数で駆動されるロータを有しているか、またはポンプ駆動のために高電圧を必要としており、変換器が、ロータの駆動モータの給電部または高電圧給電部ならびにポンプの制御および／または監視のための電子回路を有している形式のものにおいて、真空ポンプ（２１）と変換器とが1つのユニットを構成していることを特徴とする、変換器を備えた真空ポンプ。」（特許請求の範囲の請求項１）
　イ．「高回転数で運転されるロータを備えた真空ポンプは、たとえばターボ真空ポンプ（アキシャル、ラジアル）または分子真空ポンプ、特にターボ分子真空ポンプである。」（第１欄第９行〜第１３行、翻訳文第２頁第１１行〜第１３行）
　ウ．「変換器の構成部分がハウジング（１）内に収納されている」（特許請求の範囲の請求項２）
　エ．「ハウジング１内には、真空ポンプ２１（図１には示してない駆動モータを備えている）の外に、出力部分２２と、制御部分２３とが収納されている。」(甲第１号証第２欄第１９行〜第２２行、翻訳文第３頁第１９行〜第２０行)
　オ．「変換器の構成部分が、着脱可能なハウジング区分（３１）内に収納されている、請求項１から５までのいずれか１項記載のポンプ。」（特許請求の範囲の請求項６）
　カ．「真空ポンプ２１のハウジング１の構成部分は、着脱可能なハウジング区分３１である。このハウジング区分内に、出力部分２２と制御部分２３とが配置されている。」（第３欄第３１行〜第３４行、翻訳文第４頁第２８行〜第５頁第１行)
　
　上記記載事項ア〜カ、及び第１、２図の記載によれば、甲第１号証には、「真空ポンプ２１と該真空ポンプ２１を制御する変換器を収納するハウジング区分３１を具備するターボ分子真空ポンプにおいて、前記真空ポンプ２１と変換器を収納するハウジング区分３１をそれぞれ別体に構成し、一体化でき且つ分離できる着脱可能な構成としたターボ分子真空ポンプ」の発明が記載されていると認められる。
　
刊行物２：ドイツ連邦共和国特許出願公開第４２３７９７２号公報（甲第２号証）
　キ．「図示されたターボ分子ポンプ」（第２欄第３３行）
　ク．「このターボ分子ポンプでは、前真空範囲で過度に高い温度が生じないようにするために、ポンプの高真空範囲ＨＶに冷却管４１が冷却ジャケットとして設けられており、この冷却管４１を通って流れる冷却媒体の温度または量は制御装置４３によって制御される」（第３欄第４６行〜第５７行）
　上記記載事項キ、ク、及び図面の記載によれば、甲第２号証には、「ターボ分子ポンプを冷却する冷却ジャケットを設ける」発明が記載されていると認められる。
　
４．対比・判断
　本件発明１と上記刊行物１、２に記載の発明とを対比すると、上記刊行物１、２に記載の発明は、本件発明１を特定する事項である、ポンプ本体と前記制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設けた事項（以下、「発明特定事項１」という。）、及び、ポンプ本体と制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する冷却ジャケットを設けた事項（以下、「発明特定事項２」という。）を備えておらず、当該事項により本件発明１は、（１）ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成し、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能な構成とすると共に、ポンプ本体と制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設けたので、ポンプ本体と制御装置を接続するケーブルが不要となると同時にその敷設作業も不要となり、ケーブルの誤接続もなくなる、（２）また、ケーブルの長さによる制御装置の調整が不要となり、ポンプ本体と制御装置の互換性が持たせられ、故障時の問題発生のときポンプ本体のみ又は制御装置のみの交換が可能となり、メンテナンス性が向上すると同時に、ケーブルに飛び込むノイズが減少し、耐ノイズ性が向上する、（３）ポンプ本体と制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する冷却ジャケットを設けたので、制御装置に冷却ファンが不要となり、本ターボ分子ポンプ装置をクリーンルームに設置する場合は、コストの高いクリーンな空気を冷却に使用することなく、ホットスポットの原因になることもない、という、特有の効果（以下、「効果１〜３」という。）を奏するものである。そして、他に上記発明特定事項１、２が、当業者にとって容易に想到することができたものとする根拠も見当たらない。してみると、本件発明１が、刊行物１、２に記載のものに基いて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
  本件発明２は、本件発明１を引用しているので、本件発明１を特定する事項を全て包含している。そして、刊行物１、２に記載の発明は、上記発明特定事項１、２を備えておらず、本件発明２は、上記発明特定事項１、２により、上記効果１〜３を奏するものである。そして、他に上記発明特定事項１、２が、当業者にとって容易に想到することができたものとする根拠も見当たらない。してみると、本件発明２は、上記刊行物１、２に記載のものに基いて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件発明１、２についての特許を取り消すことことができない。　
　また、他に本件発明１、２についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１１月７日（２００２．１１．７）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１を、特許請求の範囲の減縮を目的として、
「ポンプ本体と該ポンプ本体を制御する制御装置を具備するターボ分子ポンプ装置において、
　前記ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成し、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能な構成とすると共に、
　前記ポンプ本体と前記制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設け、
　前記ポンプ本体と前記制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する冷却ジャケットを設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ装置。」
と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２を削除するとともに、明瞭でない記載の釈明を目的として、請求項３の項番を繰り上げて請求項２と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　上記訂正事項ａに伴って、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるために、明瞭でない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書の段落【０００６】を、「【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため請求項１に記載の発明は、ポンプ本体と該ポンプ本体を制御する制御装置を具備するターボ分子ポンプ装置において、前記ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成し、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能な構成とすると共に、ポンプ本体と制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設け、ポンプ本体と制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する冷却ジャケットを設けたことを特徴とする。」に訂正する。
（４）訂正事項ｄ
　上記訂正事項ｂに伴って、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるために、明瞭でない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書の段落【０００７】を「また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のターボ分子ポンプ装置において、ポンプ制御装置は外部Ｉ／Ｏインタフェース機能を具備することを特徴とする。」に訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　上記訂正事項ａ及び訂正事項ｂに伴って、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるために、明瞭でない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書の段落【０００８】、【０００９】、【００１５】を削除するとともに、段落【００１０】〜【００１３】を新たな段落【０００８】〜【００１１】に繰り上げる。
（６）訂正事項ｆ
　上記訂正事項ａ及び訂正事項ｂに伴って、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるために、明瞭でない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書の段落【００１４】を新たな段落【００１２】に繰り上げるとともに、「【発明の効果】以上、説明したように請求項に記載の発明によれば下記のような優れた効果が得られる。（１）ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成し、互いに嵌合し一体化でき且つ分離できる着脱可能な構成とすると共に、ポンプ本体と制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設けたので、ポンプ本体と制御装置を接続するケーブルが不要となると同時にその敷設作業も不要となり、ケーブルの誤接続もなくなる。」と訂正する。
（７）訂正事項ｇ
　上記訂正事項ａ及び訂正事項ｂに伴って、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるために、明瞭でない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書に新たな段落【００１３】を設け、「（２）また、ケーブルの長さによる制御装置の調整が不要となり、ポンプ本体と制御装置の互換性が持たせられ、故障時の問題発生のときポンプ本体のみ又は制御装置のみの交換が可能となり、メンテナンス性が向上すると同時に、ケーブルに飛び込むノイズが減少し、耐ノイズ性が向上する。」とする。
（８）訂正事項ｈ
　上記訂正事項ａ及び訂正事項ｂに伴って、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるために、明瞭でない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書に新たな段落【００１４】を設け、「（３）ポンプ本体と制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する冷却ジャケットを設けたので、制御装置に冷却ファンが不要となり、本ターボ分子ポンプ装置をクリーンルームに設置する場合は、コストの高いクリーンな空気を冷却に使用することなく、ホットスポットの原因になることもない。」とする。
（９）訂正事項ｉ
　誤記の訂正を目的とし、新たな段落【０００８】、【００１０】における「勘合」を「嵌合」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
ターボ分子ポンプ装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ポンプ本体と該ポンプ本体を制御する制御装置を具備するターボ分子ポンプ装置において、
　前記ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成
し、
とすると共に、
　
前記ポンプ本体と制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設け、
　
前記ポンプ本体と前記制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する冷却ジャケットを設けた
　【
請求項２
　前記ポンプ制御装置は外部Ｉ／Ｏインタフェース機能を具備することを特徴とするターボ分子ポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は半導体製造設備等超真空を用いる設備に使用されるターボ分子ポンプ装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、この種のターボ分子ポンプ装置は、図３に示すように、ポンプ本体２１と該ポンプ本体２１を制御する制御装置２３はそれぞれ別々に構成され、該ポンプ本体２１と制御装置２３の間はケーブル２７で接続される構成となっている。なお、図３において、２２はポンプ本体２１を冷却するための冷却水が通る冷却ジャケット、２４は電源供給用コネクタ、２５はポンプ／コントローラ接続コネクタ、２８は外部インタフェースコネクタである。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記ポンプ本体２１と制御装置２３を別々に構成するターボ分子ポンプ装置においては、制御装置２３はケーブル２７の長さによって調整する必要のあるものもあるので、数台のポンプ本体２１及び同類異機種のポンプ本体２１が混在した場合はケーブル２７の接続ミスが発生するという恐れがあった。また、制御装置２３もケーブル２７の長さ毎に調整する必要性があった。
　【０００４】
　また、制御装置２３は、空冷ファンにより冷却するように構成されているので、恒温クリーンルーム等温度を一定に保つ必要がある場所に設置する場合、コストの高いクリーンな空気を冷却に使用することになると共に、ホットスポットの原因にもなるという問題もあった。
　【０００５】
　本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、ポンプ本体と制御装置を一体化することにより、上記問題点を解決したターボ分子ポンプ装置を提供することを目的とする。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決するため請求項１に記載の発明は、ポンプ本体と該ポンプ本体を制御する制御装置を具備するターボ分子ポンプ装置において、ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成
し、
とすると共に、ポンプ本体を制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設け、ポンプ本体と制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する冷却ジャケットを設けた
　
【０００７】
　また、請求項
２
　
【０００８】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて説明する。図１は本発明に係るターボ分子ポンプ装置の構成を示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）はＡ−Ａ断面図である。図１において、１はポンプ本体であり、３は制御装置である。ポンプ本体１は制御装置（コントローラ）３の上部に
嵌
　
【０００９】
　ポンプ本体１と制御装置３は、制御装置３から突出している固定脚６によって固定され、互いに冷却ジャケット２とも密着している。電源供給用コネクタ４は制御装置３に電源を供給するためのコネクタである。また、制御装置３には外部インタフェースコネクタ８が設けられ、外部Ｉ／Ｏ（入出力）インタフェース機能を有している。
　
【００１０】
　上記のようにポンプ本体１が制御装置３の上部に
嵌
　
【００１１】
　図２は冷却ジャケットの構成を示す図であり、冷却ジャケット２は環状に構成され、入口２ａから冷却水を供給し、出口２ｂから排出することにより、該冷却ジャケットに密着するポンプ本体１及び制御装置３を冷却する。
　
【００１２】
　【発明の効果】
　以上、説明したように請求項に記載の発明によれば下記のような優れた効果が得られる。
　（１）ポンプ本体と制御装置をそれぞれ別体に構成
し、
すると共に、ポンプ本体を制御装置が嵌合し一体化することにより両者の電気系統を接続するポンプ／コントローラ接続コネクタを設けた
　
【００１３】
　
（２）また、ケーブルの長さによる制御装置の調整が不要となり、ポンプ本体と制御装置の互換性が持たせられ、故障時の問題発生のときポンプ本体のみ又は制御装置のみの交換が可能となり、メンテナンス性が向上すると同時に、ケーブルに飛び込むノイズが減少し、耐ノイズ性が向上する。
　
【００１４】
　（３）ポンプ本体と制御装置を互いに嵌合し一体化した状態で
該ポンプ本体と該制御装置の間に位置して両者に密着し、冷却水を通水することにより、両者を冷却する
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明に係るターボ分子ポンプ装置の構成を示す図である。
　【図２】
　冷却ジャケットの構成を示す図である。
　【図３】
　従来のターボ分子ポンプ装置の構成を示す図である。
　【符号の説明】
　１　　　　　　ポンプ本体
　２　　　　　　冷却ジャケット
　３　　　　　　制御装置
　４　　　　　　電源供給用コネクタ
　５　　　　　　ポンプ／コントローラ接続コネクタ
　６　　　　　　固定脚
　８　　　　　　外部インタフェースコネクタ