【事件の表示】
　上記当事者間の特許第２６３４３５０号発明「ウエハ処理方法およびその装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　本件審判の請求は、成り立たない。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
　【１】　手続きの経緯
　特許出願　　　　　　平成３年１２月２４日
　特許権設定登録　　　平成９年４月２５日
　特許異議の申立て（平成１０年異議第７０３３５号）                平成１０年１月２３日
　特許無効審判の請求　平成１１年４月２８日
　訂正請求　　　　　　平成１１年８月１１日
　【２】　訂正の適否について
　［１］　訂正請求により訂正される発明は、その特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された次のとおりのものである。
　「【請求項１】　（ａ）ｎ枚のウエハをピッチＰでそれぞれ整立収納する２つのキャリアから当該ウエハを抜き出し、ピッチＰの第１のウエハ群とピッチＰの第２のウエハ群とを形成する工程と、（ｂ）第１のウエハ群のウエハ間の各隙間に第２のウエハ群の各ウエハを相互に接触しない状態で挿入し、第１のウエハ群とほぼ同一の並び方向の幅であって２ｎ枚のウエハからなる第３のウエハ群を形成する工程と、（ｃ）第３のウエハ群を一括して処理槽内の処理液に浸漬させ表面処理する工程と、を備えるウエハ処理方法。
　【請求項２】　ウエハをキャリアから取り出して搬送手段で搬送し、所定の薬液が満たされた処理槽内に浸漬させることにより当該ウエハの表面処理を行なうウエハ処理装置において、（ａ）ｎ枚のウエハをピッチＰで整立して収納するキャリアから当該ウエハを挿出入させるウエハ挿出入手段と、（ｂ）前記ウエハ挿出入手段により、２つのキャリアからウエハを挿出させてピッチＰの第１のウエハ群とピッチＰの第２のウエハ群を形成し、第１のウエハ群のウエハ間の各隙間に第２のウエハ群の各ウエハを相互に接触しない状態で挿入することにより、第１のウエハ群とほぼ同一の並び方向の幅であって２ｎ枚のウエハからなる第３のウエハ群を形成するウエハビッチ変換手段と、（ｃ）前記ウエハピッチ変換手段によって形成された第３のウエハ群をキャリアレス方式にて一括して処理槽に搬送する搬送手段と、を備えたことを特徴とするウエハ処理装置。」
　［２］　訂正事項
　１　訂正事項１
　特許請求の範囲の【請求項２】における「……（ｃ）前記ウエハピッチ変換手段によって形成された第３のウエハ群を一括して処理槽に搬送する搬送手段と、を備えたことを特徴とするウエハ処理装置。」を「……（ｃ）前記ウエハビッチ変換手段によって形成された第３のウエハ群をキャリアレス方式にて一括して処理槽に搬送する搬送手段と、を備えたことを特徴とするウエハ処理装置。」とおり訂正する。
　２　訂正事項２
　明細書の段落番号００１０における「……（ｃ）前記ウエハピッチ変換手段によって形成された第３のウエハ群を一括して処理槽に搬送する搬送手段と、を備えたことを特徴とするウエハ処理装置。」を「……（ｃ）前記ウエハビッチ変換手段によって形成された第３のウエハ群をキャリアレス方式にて一括して処理槽に搬送する搬送手段と、を備えたことを特徴とするウエハ処理装置。」とおり訂正する。
　［３］　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張、変更の存否
　１　訂正事項１による訂正について
　請求項２に係る発明における搬送手段をキャリアレス方式に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　２　訂正事項２による訂正について
　訂正事項１による訂正に伴い、発明の詳細な説明の対応する記載をこれに整合させるものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当する。
　そして、訂正事項１及び訂正事項２において搬送手段をキャリアレス方式とした点は、明細書の段落番号００１３及び段落番号００７９の「キャリアレス方式」の記載に基づくものである。
　したがって、訂正事項１及び訂正事項２は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、かつ、実質的に特許請求の範囲を拡張し変更するものではない。
　そして、これらの訂正がなされた後の特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された事項により特定される発明は、後述するように、特許出願の際、独立して特許を受けることができるものである。
　以上のとおりであるから、前記訂正請求は、特許法第１３４条第２項及び第５項で準用する同法第１２６条第２項及び同条第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　【３】　請求人が本件特許を無効とすべきである旨主張している理由の概要は、次のとおりである。
　理由１
　請求項１及び請求項２に係る発明が、甲第１号証（ＣＦＭ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｇ　Ｓｙｓｔｅｍ　Ｐｒｏｐｏｓａｌｓ）に記載された発明と同一の発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当するから、請求項１及び請求項２に係る特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してなされたものである。
　理由２
　請求項１及び請求項２に係る発明が、甲第１号証及び甲第２号証の１（特開昭６１−１６６０３７号公報）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１及び請求項２に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
　理由３
　請求項１及び請求項２に係る発明が、甲第１号証及び甲第３号証（特開平３−１３１０５０号公報）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１及び請求項２に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
　【４】　［１］　前記理由１について検討する。
　１　本件請求項１及び請求項２に係る発明は、訂正明細書の請求項１及び請求項２に記載された事項により特定されるとおりのものである。
　２　甲第１号について検討する。
　審判請求人は、審判請求書において、甲第１号は、「この技術資料は秘密にすべき資料ではなく、１９９１年３月２６日当時何人も入手し得るものであった。秘密にすべき資料ではなかったことの立証は、甲第５号証〜甲第１４号証で行います。」と主張している。
　さらに、弁駁書と共に甲第１５号証〜甲第１８号証を提出して、「甲第１号は、特許法第２９条第１項第３号でいう刊行物である。」と主張している。
　そこで、甲第１号が刊行物で有るか否かついて検討する。
　ところで、甲第１号証の訳文第１頁には、「インテル社」と、同じく第２頁第１０行ないし同頁第１３行には、「装置の全てのフルフロー（商標）ラインは、完全に一体化したシステムとして働く。ＣＦＭ は本提案に記載していない他のモジュールを製作し、我々は顧客の仕様に従って特定のモジュールを注文製造する予定である。」と、同じく第２７頁第１０行ないし同頁第１８行には、「２．０　合意書の具体的な条件
　１．１　ＣＦＭの社員
　インテルの設備にいる現場技術者は、常にＣＦＭの社員であり続け、いずれの目的でも、インテルの社員または代理人とは見なされない。ＣＦＭま、この社員に対する仕事上の指導および指示、およびこの社員の給料の支給（所得税、年金などの源泉徴収を含めて）を行うことにのみ責任がある。
　２．２　同意書の期限
　本同意書は、この技術者が最初にインテルの設備に到着した日から１年間有効であり、破棄できない。インテルは、本同意書の期限の少なくとも９０日前に、ＣＦＭに文書で通知することにより、最初の１年間を超えて、随意に、本同意書を延長することを選択できる。ＣＦＭこは、この同意書の任意の延長に関する月額を調節する権利がある。
　３．０　費用ＣＦＭま、ＣＦＭの社員に対する全報酬に対してのみ責任がある。このサポートプログラムに対するインテルの全費用は、購入の注文時点で決定する。」と記載されている。
　これらの記載からすると、甲第１号は、「フルフロー」を特定の者である「インテル」に特定の条件で購入をしてもらうために特に「インテル」のために作成された文書であるとすることができる。
　すなわち、甲第１号は、内容自体が広く第三者に情報として流通されるべき性質、すなわち、情報性を有するものではなく、公開を目的として作成され文書ではない。
　したがって、甲第１号は、公衆に広く情報を提供することを目的とする文書ではないから、刊行物ではない。
　審判請求人が主張するごとく、甲第５号証ないし甲第１８号証によって、甲第１号が「秘密にすべき資料ではなかったことの立証」がされたとしても、すなわち、秘密にすべき文書でなく、その閲覧又は複写ができたとしても、甲第１号そのものが情報として流通されることを目的として作成されたものではないから、甲第１号は、刊行物ではない。
　なお、甲第１６号証ないし甲第１８号証の記載を根拠として、甲第１５号証のものが、ＣＦＭばかりでなく、ＡＩＭへも送られたものであることからしても甲第１号が刊行物である旨主張している。
　しかし、この点については、甲第１号証の一部分である甲第１５号証がＡＩＭへも送られたことを立証しているにすぎない。
　すなわち、一部分が共通する文書が他にも存在することを立証してするにすぎず、このことからして、ただちに甲第１号証を刊行物であるとすることはできない。
　また、甲第７号証及び甲第１４号証は、甲第１号証を刊行物であると立証する証拠ではない。
　よって、審判請求人のこの項における主張は認めることができない。
　［２］　前記理由２について検討する。
　甲第１号証は、［１］において記載したとおり刊行物ではない。
　また、甲第２号証の１には、第１のウエハ群のウエハ間の各隙間に第２のウエハ群の各ウエハを相互に接触しない状態で挿入し、第１のウエハ群とほぼ同一の並び方向の幅のウエハからなる第３のウエハ群を形成する点、すなわち、半ピッチウエハ群を形成する点については記載されている。
　しかし、半ピッチウエハ群を一括して処理槽内の処理液に浸潰させ表面処理する点については記載されていない。
　そして、本件請求項１及び請求項２に係る発明は、前記した甲第２号証の１に記載していない構成要件を具備していることによって、処理槽内の処理液に浸漬させて行うウエハの表面処理において、処理槽の内容積を従来の約半分にし、薬液の消費量の削減、処理時間の短縮を図ることができるものである。
　したがって、前記した構成要件を具備させることは、当業者が容易に想到できたものではない。
　［３］　前記理由３について検討する。
　甲第１号証は、［１］において記載したとおり刊行物ではない。
　また、甲第３号証には、第１のウエハ群のウエハ間の各隙間に第２のウエハ群の各ウエハを相互に接触しない状態で挿入し、第１のウエハ群とほぼ同一の並び方向の幅のウエハからなる第３のウエハ群を形成する点、すなわち、半ピッチウエハ群を形成する点については記載されている。
　しかし、半ピッチウエハ群を一括して処理槽内の処理液に浸漬させ表面処理する点については記載されておらず、この点を具備させることは、［２］において記載したとおり、当業者が容易に想到できるものではない。
　【５】　以上のとおりであるから、本件特許の請求項１及び請求項２に係る特許は、請求人の主張する理由によって無効にすることができない。
  また、本件審判費用は、特許法第１６９条第２項において準用する民事訴訟法第６１条の規定を適用する
  よって、結論のとおり審決する。