【事件の表示】
　特許第３２１８６５３号「磁気軸受の制御装置」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２１８６５３号の請求項に係る特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第３２１８６５３号の請求項１〜３に係る発明についての出願は、平成３年１２月６日に出願され、平成１３年８月１０日にその発明について特許権の設定登録がされたところ、その特許について、平成１４年４月１２日に特許異議申立人・竹野哲雄により特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年９月２４日に特許異議意見書の提出及び訂正請求がなされたものである。
　
II．訂正の適否
１．訂正の内容
（１）訂正事項ａ
　特許第３２１８６５３号の願書に添付された明細書（以下、「特許明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項１中の「ジャイロ効果で変化する後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは−１８０°と交差しないように構成した、」を「
開ループ伝達特性の位相が−３６０°となる周波数よりも定格回転時における後回り固有振動数が高周波側となるように前記ローパスフィルタが設定された
（２）訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【０００５】中の「ローパスフィルタを単段あるいは多段設置し、ジャイロ効果で変化する後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは−１８０°と交差しないように構成した、」を「ローパスフィルタを単段あるいは多段設置し、
開ループ伝達特性の位相が−３６０°となる周波数よりも定格回転時における後回り固有振動数が高周波側となるように前記ローパスフィルタが設定された
　なお、下線は、対比の便宜のため当審において付与したものである。
　
２．訂正の目的の適否、新規事項の追加の有無、及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａに関し、特許明細書には段落【０００８】（願書に最初に添付した明細書においても同じ。）には、
「そこで、図２に本発明の第１の実施例の開ループ伝達特性を表す。図２においてｆ1B ，ｆ2Bは曲げ１次の後回り固有振動数の共振点と反共振点、ｆ1F，ｆ2Fは１次の前回り固有振動数の共振点と反共振点である。
　位相制御器１は、ｆCをカットオフ周波数とするローパスフィルタで、ここでは３次のローパスフィルタの場合を示している。
　ところで、後回り固有振動数のゲインのピークとなるｆ1Bは０dBより上側にあるが、このときの位相をみると−１８０°からの余裕が大きい［位相約０°］ため、回転体は発振せず、安定に支持される。また、静止浮上時においても、−１８０°からの位相の余裕が多いために同様に安定となる。
　よって、定格回転時における後回り固有振動数［共振点ｆ1B］をＡ点より高周波側、つまり周波数ｆA よりも右側になるように位相制御器１を設定すれば、静止浮上時から定格回転数の範囲において、回転体は安定に支持される。  」と記載されている。
　そして、図２において、Ａ点は、開ループ伝達特性の位相が−３６０°となる周波数を示しており、定格回転時における後回り固有振動数をＡ点より高周波側となるようにすることは、訂正前の、後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは−１８０°と交差しないようにするという安定条件を限定するものと認められるから、上記訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的としたものに該当する。また、上記訂正事項ａは、願書に最初に添付した明細書に記載した事項の範囲内であるとともに、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　
　訂正事項ｂは、訂正事項ａに伴って、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の欄（段落【０００５】）の記載との整合性を図るためのものであって、明りょうでない記載の釈明を目的としたものに該当する。
　そして、上記訂正事項ｂは、願書に最初に添付した明細書に記載した事項の範囲内であるとともに、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　
３．訂正の適否についてのまとめ
　以上のとおり、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
III．特許異議の申立てについての判断
１．特許異議の申立ての理由の概要
　特許異議申立人・竹野哲雄（以下、「申立人」という。）は、証拠として下記の甲第１〜４号証を提出し、本件特許の請求項１〜３に係る発明は、甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであると主張している。
　甲第１号証：特開平２−２１２６２３号公報
　甲第２号証：特開昭６０−１４６１９号公報
　甲第３号証：特開昭５９−２１２５１９号公報
　甲第４号証：「はじめて自動制御を学ぶ人のために」平成２年１０月２０　　　　　　　日オーム社発行（第１５２〜１５７頁）
　
２．本件特許発明
　上記のとおり、本件の訂正が認められたことにより、本件特許の請求項１〜３に係る発明（以下、それぞれ「本件第１発明」〜「本件第３発明」という。）は、訂正明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された次のとおりのものである。
【請求項１】　回転体が回転自在に空隙を介して磁気的に支承されるように回転軸の両端付近の回りに配置した各端で２組の軸受用電磁石と、
　回転体の変位を検出する変位センサと、
　その変位センサからの検出変位信号と位置指令との変位偏差信号により電磁石に与える電流の位相を制御する位相制御器と、
　その制御信号に基づき電磁石の電流を制御する補償器を備えた磁気軸受け制御装置において、
　ジャイロ効果により変化する回転体の曲げ固有振動数の範囲において共振反共振における開ループ伝達関数の位相が１８０°あるいは−１８０°と交差している場合に、ジャイロ効果で変化する回転体の固有振動数近くの周波数をカットオフ周波数とするローパスフィルタを単段あるいは多段設置し、開ループ伝達特性の位相が−３６０°となる周波数よりも定格回転時における後回り固有振動数が高周波側となるように前記ローパスフィルタが設定されたことを特徴とする磁気軸受の制御装置。
【請求項２】　回転体が回転自在に空隙を介して磁気的に支承されるように回転軸の両端付近の回りに配置した各端で２組の軸受用電磁石と、
　回転体の変位を検出する変位センサと、
　その変位センサからの検出変位信号と位置指令との変位偏差信号により電磁石に与える電流の位相を制御する位相制御器と、
　その制御信号に基づき電磁石の電流を制御する補償器を備えた磁気軸受け制御装置において、
　ジャイロ効果により変化する回転体の曲げ固有振動数の範囲において共振反共振の位相変化部を除く開ループ伝達関数の位相が１８０°あるいは−１８０°と交差している場合に、ジャイロ効果で変化する回転体の後回り固有振動数よりわずかに低い周波数に中心周波数を持つノッチフィルタを単段あるいは多段設置し、ジャイロ効果で変化する後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは−１８０°と交差しないように構成した、
　ことを特徴とする磁気軸受の制御装置。
【請求項３】　回転体が回転自在に空隙を介して磁気的に支承されるように回転軸の両端付近の回りに配置した各端で２組の軸受用電磁石と、
　回転体の変位を検出する変位センサと、
　その変位センサからの検出変位信号と位置指令との変位偏差信号により電磁石に与える電流の位相を制御する位相制御器と、
　その制御信号に基づき電磁石の電流を制御する補償器を備えた磁気軸受け制御装置において、
　ジャイロ効果により変化する回転体の曲げ固有振動数の範囲において共振反共振における開ループ伝達関数の位相が１８０°あるいは−１８０°と交差している場合に、ジャイロ効果で変化する回転体の前回り固有振動数よりわずかに高い周波数に中心周波数を持つノッチフィルタを単段あるいは多段設置し、ジャイロ効果で変化する後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは−１８０°と交差しないように構成した、
　ことを特徴とする磁気軸受の制御装置。
　
３．通知した取消しの理由に引用された刊行物
　刊行物１：特開平２−２１２６２３号公報（申立人が甲第１号証として提　　　　　　示）
　刊行物２：特開平３−１６３２１５号公報
　刊行物３：特開平１−１５００１６号公報
　刊行物４：特開平１−２５０６１３号公報
　刊行物５：特開昭６０−１４６１９号公報（申立人が甲第２号証として提　　　　　　示）
　刊行物６：「はじめて自動制御を学ぶ人のために」平成２年１０月２０日　　　　　　オーム社発行（第１５２〜１５７頁）（申立人が甲第４号証と　　　　　　して提示）
　
 　上記各刊行物には、以下の技術的事項が記載されている。
　
刊行物１：
（１−ａ）「回転体の位置を検出するセンサと、該センサ信号により電磁石に流す電流を制御する回路と、前記回転体を所定の位置に設定する電磁石から構成されている磁気軸受制御装置において、前記センサ信号をそのまま利用し、位相補償をする主回路と、該センサ信号から所定の周波数を取り出す回路を有し曲げ固有値の前廻り後廻りを含む周波数範囲の位相を局所的に進相させる回路を具備することを特徴とする磁気軸受制御装置。」（特許請求の範囲）
　
（１−ｂ）「制御対象１８である回転軸の位置を検出するセンサ回路１０の出力信号を位相補償回路１１で位相補償をし、増幅回路１２で位相補償により減衰した信号を減衰する前のレベルまで増幅する。この位相補償回路１１と増幅回路１２で構成する回路を主回路Ｍとする。また、変位センサ回路１０の出力信号を帯域通過フィルタ回路１５により、所定範囲の周波数を取り出し、位相進み部を利用し、反転増幅回路１６で主回路Ｍの出力信号に符号を合わせ加算する。この帯域通過フィルタ回路１５と反転増幅回路１６で構成する回路を第２回路Ｓとする。上記のように主回路Ｍと第２回路Ｓを加算し、所定範囲の周波数を積極的に進相させる。ところで、回転体の曲げ固有値、即ち前廻り、後廻りの周波数は第２図に示すように回転体の回転数に応じて変化する。帯域通過フィルタ回路１５の周波数範囲は回転体の定格回転時の曲げ固有値の前廻り及び後廻りを含む周波数範囲とし、この範囲のこの周波数を約９０°進相させ、中心周波数は９０°以上進ませる。」（第２頁左下欄第１４行〜右下欄第１４行）
　
（１−ｃ）「所定範囲の周波数の位相を急激に進め、且つゲインを増大させないため、減衰させたい曲げ固有値のみを減衰させることができる。」（第３頁右上欄第１１〜１３行）
　
　上記記載並びに明細書及び図面の記載からみて、刊行物１には以下の発明が記載されていると認められる。
　「回転体の位置を検出するセンサと、該センサ信号により電磁石に流す電流を制御する回路と、前記回転体を所定の位置に設定する電磁石から構成されている磁気軸受制御装置において、該センサ信号から所定の周波数を取り出す回路を有し、回転体の曲げ固有値の前廻り後廻りを含む周波数範囲の位相を局所的に進相させる回路を具備することにより、前廻り後廻りを含む周波数範囲の振動を減衰させる磁気軸受制御装置。」
　
刊行物２：
（２−ａ）「ロータの傾き角度信号がセンサ等により得られ、更に制御コイルにより重心回りに制御トルクを発生することのできる磁気軸受装置において、前記角度信号Ｓをローパスフィルタに通し角運動量ベクトルＨの推定値Ｈσを求め、この推定値ＨσにゲインＫｐを乗じて後回りのコニカル振動を安定化する信号を得る回路と、前記角度信号Ｓと前記推定値Ｈσを減算してＨσ−Ｓを求め該Ｈσ−ＳにゲインＫｎを乗じて前回りのコニカル振動を安定化する信号を得る回路とを具備し、前記得られた２つの安定化信号を加算し、クロスの軸へフィードバックすることを特徴とする磁気軸受の制御装置。」（特許請求の範囲）
　
（２−ｂ）「従来、この種の磁気軸受の制御装置においては、プリセッション（後回りのコニカル振動）とニューテーション（前回りのコニカル振動）を安定させるために、ロータの傾き角度θを検出し、プリセッションはこれをクロスフィードバックし、ニューテーションは位相進み回路でθの微分値を近似的に求めこれを通常のフィードバックして行なわれている。しかしながら、磁気軸受のニューテーションを制御するためには位相進み回路等の微分回路を使用するため、高域でゲインが上がりノイズが増えたりパワーアンプを構成するトランジスタが飽和する等の負担をかけることになり、発熱等の問題が発生する。」（第１頁右下欄第１４行〜第２頁左上欄第７行）
　
（２−ｃ）「磁気軸受の制御装置を上記の如く構成することにより、後に詳述するように、位相進み回路等の微分回路を使用することなく、ローパスフィルタにより角運動量ベクトルＨを推定することで、プリセッション及びニューテーションを安定させることができる。」（第２頁右上欄第１５〜２０行）
　
刊行物３：
（３−ａ）「浮上保持対象物の浮上位置を検出する位置センサからの信号をフィードバックして磁力を制御し、同磁力を用いて前記浮上保持対象物を保持するようになされた磁気軸受制御装置において、前記位置センサからの信号を、全周波数が通過可能な遅相フィルターを通過させたのち、フィードバックするように構成されたことを特徴とする磁気軸受制御装置。」（特許請求の範囲）
　
（３−ｂ）「第４図は遅相フィルタ７のゲイン−位相特性を示す図である。第４図に示すように、フィルタ７のゲインは全周波数領域で一定であり、位相のみが０°から−２π（３６０°）へと周波数に対し徐々に遅れているものである。位相が−π（−１８０°）となる周波数ｆ０が中心周波数であり、中心周波数と位相変化量は抵抗ＲとコンデンサＣを調整することにより変化する。この中心周波数ｆ０を軸受６により不安定化される固有振動数近辺に設定する。」（第３頁右下欄第３〜１２行）
　
（３−ｃ）「本発明によれば、位置センサの信号の位相を遅相フィルタで遅らせ、磁気軸受へフィードバックするようにしたので、指定された周波数帯域において、不安定化力を安定化力（減衰力）に変更し得、発散的な振動発生を防止でき、浮上物を安定に浮上保持させ得る磁気軸受制御装置を提供できる。」（第４頁右上欄第１２〜１８行）
　
刊行物４：
（４−ａ）「この発明は、上記従来技術におけるステータ軸の構造共振時での制御動作の安定性の欠如という問題点に鑑み、電磁石制御部中の進相移相回路に並列接続された遅相移相回路を補償信号手段として付設し、ここで、構造共振時における、構造共振周波数の変位信号の反転信号、換言すれば、ロータ、ステータ両軸間の相対加速度信号の反転信号に実質的に等しい信号をさらに反転した信号に対して略９０°の遅延移相を施すことで、構造共振周波数の速度信号成分を電磁石駆動信号に導入して、構造共振を抑制することにより、上記問題点を解決し、過渡的な制御動作の安定性の高い優れた磁気軸受制御装置を提供せんとするものである。」（第５頁左上欄第２〜１５行）
　
（４−ｂ）「しかるところ、該遅相移相回路２４の方は、２次の低域通過フィルタで構成されていて、第５図のボード線図から明らかなように、ここを通過する構造共振周波数（角速度ωｏ）成分に対しては、動作点ｇ’ｏにて相当に大きな利得と、動作点ｐ’ｏにて−９０°の遅相を付与するので、該移相回路２４からの遅相移相信号Ｓ６は、・・・・（中略）・・・速度信号成分を含む補償信号Ｓ’５が電磁石駆動信号Ｓ２に導入され、かくて、外乱後の過渡的な制御動作の減衰項が実現されるものである。」（第５頁左下欄第６行〜右下欄第３行）
　
刊行物５：
（５−ａ）「この発明は、回転軸の半径方向の位置を検出するセンサと、このセンサの出力信号により電磁石のコイルへの電流を制御する制御回路とを備え、設定した回転軸の半径方向の位置に回転軸を保持する磁気軸受において、上記制御回路は、回転軸の固有振動数にほぼ等しい周波数を中心周波数とする帯域通過フィルタと、この周波数より小さい周波数を中心周波数とする帯域消去フィルタと、これらフィルタによって生じる位相遅れを補償する位相進み回路とを直列に接続し、この直列回路に並列に低周波領域の剛性を付与する積分要素を設けて構成され、固有振動数付近の周波数帯域における位相を局所的に進ませるようにしたものである。」（第２頁右上欄第１８行〜左下欄第１１行）
　
（５−ｂ）「第５図に示すように、センサ２からの検出信号と、軸位置基準器３からの基準位置とを合成する加算器４は、基準位置からの検出信号を減算して偏差信号を出力している。・・・（中略）・・・帯域通過フィルタ１１は回転軸１の固有振動数ω１に等しい周波数付近を中心周波数即ちピークとし、帯域消去フィルタ１２はこの周波数より小さい周波数を中心周波数とし、位相進み回路１３はフィルタ１１，１２によって生じる位相遅れを補償する。」（第２頁左下欄第１３行〜右下欄第５行）
　
（５−ｃ）「クロスオーバー周波数ω０における位相余裕を１５°〜５０°の範囲とし、且つ固有振動数ω１付近における制御系のゲイン・位相特性を改良しているから、固有振動数ω１付近での振動減衰力が大きくなり、固有振動数ω１付近における回転軸の動剛性も向上し、安定なスピンドルが得られる。」（第３頁右上欄第１６行〜左下欄第２行）
　
刊行物６：
（６−ａ）「自動制御系を開ループにして，入力に正弦波を加えたとき，出力が入力より１８０°遅れる周波数において，安定の条件は次のようになる．・・・（中略）・・・ならば安定」（第１５３頁下から５行〜２行）
　
（６−ｂ）「（２）ボード線図による安定判別法　この安定判別法は，図６・６２のようにゲイン特性曲線Ｇと位相特性曲線φとを０ｄＢの線と−１８０°の線とが重なるように描いたときに，同図（ａ）のように位相曲線が−１８０度の線を切る周波数で，ゲイン曲線上の点が０ｄＢより下にあれば安定であるし，同図（ｂ）のように上にあれば不安定である（下にあればゲインの値が１以下となり安定）．」（第１５５頁下から８行〜４行）
　
４．対比・判断
（１）本件第１発明について
　本件第１発明と刊行物１に記載の発明とを対比すると、刊行物１に記載の発明における「センサ」は本件第１発明における「変位センサ」に相当し、以下同様に、「電磁石」は「軸受用電磁石」に、「センサ信号」は「変位偏差信号」に、「回路」は「位相制御器」に相当する。また、刊行物１に記載の発明においても、電磁石は回転軸の両端付近の回りに２組配置されることは明らかであり、回路の出力に基づき電磁石の電流を制御するのであるから本件第１発明における「補償器」に相当する構成を備えていると解される。さらに、刊行物１における曲げ固有値の前回り後回りを含む周波数範囲はジャイロ効果によりもたらされるものである。
　したがって、両者は、
「回転体が回転自在に空隙を介して磁気的に支承されるように回転軸の両端付近の回りに配置した各端で２組の軸受用電磁石と、
　回転体の変位を検出する変位センサと、
　その変位センサからの検出変位信号と位置指令との変位偏差信号により電磁石に与える電流の位相を制御する位相制御器と、
　その制御信号に基づき電磁石の電流を制御する補償器を備えた磁気軸受け制御装置において、ジャイロ効果で変化する回転体の後回りから前回り固有振動数を含む周波数範囲を対象とするフィルタにより位相を変化させて、安定化させるようにした磁気軸受の制御装置。」
である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点１］：位相を変化させるフィルタに関し、本件第１発明では、「ジャイロ効果で変化する回転体の固有振動数近くの周波数をカットオフ周波数とするローパスフィルタを単段あるいは多段設置し、開ループ伝達特性の位相が−３６０°となる周波数よりも定格回転時における後回り固有振動数が高周波側となるように前記ローパスフィルタが設定された」のに対し、刊行物１に記載の発明では、曲げ固有値の前回り後回りを含む周波数範囲の位相を９０°進相させる帯域通過フィルタを用いた点。
　
　そこで、上記相違点１について検討する。
　刊行物２には、位相進み回路等の微分回路を使用することなく、ローパスフィルタを用いることにより磁気軸受の回転体の前回り及び後回り振動を安定化させることが記載されているが、当該技術は回転体の重心回りの振動（プリセッション及びニューテーション）の安定化を図るものであって、本件第１発明とは制御対象が異なるとともに、開ループ伝達特性の位相に対してローパスフィルタの特性をどのように設定するかについては何ら開示されていない。
　刊行物３には、中心周波数を軸受により不安定化される固有振動数近辺に設定した遅相フィルタを用いて、位置センサの信号の位相を遅らせることにより安定化を図ることが記載されているが、遅相フィルタのゲインは全周波数領域で一定であって、本件第１発明におけるローパスフィルタとは異なり、また、開ループ伝達特性の位相に対して遅相フィルタの特性をどのように設定するかについて記載されていない。
　刊行物４には、低域通過フィルタを用いて構造共振周波数成分に対して−９０°の遅相を付与することにより共振を抑制することが記載されているが、この低域通過フィルタは進相フィルタと並列に設けられており、低域通過フィルタ単独で共振を抑制するようにフィルタの特性を設定することについて何ら開示されていない。
　刊行物５には、磁気軸受の安定化においてローパスフィルタを用いることについて記載されていない。
　また、刊行物６は、開ループ伝達関数の位相特性が−１８０°の線と交差する周波数におけるゲインが０ｄＢより下であれば安定であり、上であれば不安定であるという、自動制御における安定性の判別方法を示すにとどまる。
　してみると、刊行物１〜６には、上記相違点１に係る構成が記載されておらず、また示唆もされていない。
　そして、本件第１発明は、当該構成を具備することにより、ジャイロ効果により変化する固有振動数に対して、ローコストで回転体を安定に支持でき、回転体の運転の信頼性を向上させるという明細書に記載の効果を奏するものである。
　したがって、本件第１発明は、刊行物１〜６に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
（２）本件第２発明について
　本件第２発明と刊行物１に記載の発明とを対比すると、両者の構成要素間には、上記（１）に記載したような対応関係があるから、両者は、
「回転体が回転自在に空隙を介して磁気的に支承されるように回転軸の両端付近の回りに配置した各端で２組の軸受用電磁石と、
　回転体の変位を検出する変位センサと、
　その変位センサからの検出変位信号と位置指令との変位偏差信号により電磁石に与える電流の位相を制御する位相制御器と、
　その制御信号に基づき電磁石の電流を制御する補償器を備えた磁気軸受け制御装置において、ジャイロ効果で変化する回転体の後回りから前回り固有振動数を含む周波数範囲を対象とするフィルタにより位相を変化させて、安定化させるようにした磁気軸受の制御装置。」
である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点２］：位相を変化させるフィルタに関し、本件第２発明では、「ジャイロ効果で変化する回転体の後回り固有振動数よりわずかに低い周波数に中心周波数を持つノッチフィルタを用いて、ジャイロ効果で変化する後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは−１８０°と交差しないように構成した」のに対し、刊行物１に記載の発明では、曲げ固有値の前回り後回りを含む周波数範囲の位相を９０°進相させる帯域通過フィルタを用いた点。
　
　そこで、上記相違点２について検討する。
　本件第２発明は、特許明細書によれば、ノッチフィルタはその中心周波数から高域側では位相進み回路に近い周波数特性が得られるという位相特性を利用して、ジャイロ効果で変化する回転体の後回りから前回り固有振動数を含む周波数範囲がノッチフィルタの位相進み領域となるようにして安定化を図ろうとするものである。
　一方、刊行物１〜６には、上記（１）において述べたとおり、（１−ａ）〜（６−ｂ）に摘記した技術的事項が記載されているだけで、いずれにも本件第２発明における上記技術思想が開示されていない。
　なお、刊行物５には、回転軸の固有振動数より小さい周波数を中心周波数とする帯域消去フィルタを用い、位相余裕を大きくして安定化を図ることが記載されているが、該帯域消去フィルタは、帯域通過フィルタ及び位相進み遅れ回路と直列に接続され、さらに積分回路が並列に設けられており、ノッチフィルタを単独で上記位相特性を利用して安定化を図るという本件第２発明とは技術思想が異なるものである。
　してみると、刊行物１〜６には、上記相違点２に係る構成が記載されておらず、また示唆もされていない。そして、本件第２発明は、当該構成を具備することにより、明細書に記載の上記効果を奏するものである。
　したがって、本件第２発明は、刊行物１〜６に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
（３）本件第３発明について
　本件第３発明と刊行物１に記載の発明とを対比すると、両者の構成要素間には、上記（１）に記載したような対応関係があるから、両者は、
「回転体が回転自在に空隙を介して磁気的に支承されるように回転軸の両端付近の回りに配置した各端で２組の軸受用電磁石と、
　回転体の変位を検出する変位センサと、
　その変位センサからの検出変位信号と位置指令との変位偏差信号により電磁石に与える電流の位相を制御する位相制御器と、
　その制御信号に基づき電磁石の電流を制御する補償器を備えた磁気軸受け制御装置において、ジャイロ効果で変化する回転体の後回りから前回り固有振動数を含む周波数範囲を対象とするフィルタにより位相を変化させて、安定化させるようにした磁気軸受の制御装置。」
である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点３］：位相を変化させるフィルタに関し、本件第３発明では、「ジャイロ効果で変化する回転体の前回り固有振動数よりわずかに高い周波数に中心周波数を持つノッチフィルタを用いて、ジャイロ効果で変化する後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは−１８０°と交差しないように構成した」のに対し、刊行物１に記載の発明では、曲げ固有値の前回り後回りを含む周波数範囲の位相を９０°進相させる帯域通過フィルタを用いた点。
　
　上記相違点３について検討する。
　本件第３発明は、特許明細書によれば、ノッチフィルタはその中心周波数から低域側では位相遅れ回路に近い周波数特性が得られるという位相特性を利用して、ジャイロ効果で変化する回転体の後回りから前回り固有振動数を含む周波数範囲がノッチフィルタの位相遅れ領域になるようにして安定化を図ろうとするものである。　
　一方、刊行物１〜６には、上記（１）、（２）において述べたとおり、（１−ａ）〜（６−ｂ）に摘記した技術的事項が記載されているだけで、いずれにも本件第３発明における上記技術思想が開示されていない。
　すなわち、刊行物１〜６には、上記相違点３に係る構成が記載されておらず、また示唆もされていない。そして、本件第３発明は、当該構成を具備することにより、明細書に記載の上記効果を奏するものである。
　したがって、本件第３発明は、刊行物１〜６に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
　なお、申立人の提示した甲第３号証（特開昭５９−２１２５１９号公報）にも、上記相違点１、２及び３に係る構成は記載されてなく、示唆するところもない。
　
IV．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては本件請求項１〜３に係る発明についての特許が、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めることができず、本件発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１１月１３日（２００２．１１．１３）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（１）訂正事項ａ
　特許明細書の特許請求の範囲の請求項１中の「ジャイロ効果で変化する後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは‐１８０°と交差しないように構成した、」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「
開ループ伝達特性の位相が−３６０°となる周波数よりも定格回転時における後回り固有振動数が高周波側となるように前記ローパスフィルタが設定された
（２）訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【０００５】中の「ローパスフィルタを単段あるいは多段設置し、ジャイロ効果で変化する後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは‐１８０°と交差しないように構成した、」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「ローパスフィルタを単段あるいは多段設置し、
開ループ伝達特性の位相が−３６０°となる周波数よりも定格回転時における後回り固有振動数が高周波側となるように前記ローパスフィルタが設定された
（５４）【発明の名称】
磁気軸受の制御装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】回転体が回転自在に空隙を介して磁気的に支承されるように回転軸の両端付近の回りに配置した各端で２組の軸受用電磁石と、
回転体の変位を検出する変位センサと、
その変位センサからの検出変位信号と位置指令との変位偏差信号により電磁石に与える電流の位相を制御する位相制御器と、
その制御信号に基づき電磁石の電流を制御する補償器を備えた磁気軸受け制御装置において、
ジャイロ効果により変化する回転体の曲げ固有振動数の範囲において共振反共振における開ループ伝達関数の位相が１８０°あるいは−１８０°と交差している場合に、ジャイロ効果で変化する回転体の固有振動数近くの周波数をカットオフ周波数とするローパスフィルタを単段あるいは多段設置し、
開ループ伝達特性の位相が−３６０°となる周波数よりも定格回転時における後回り固有振動数が高周波側となるように前記ローパスフィルタが設定された
ことを特徴とする磁気軸受の制御装置。
　【請求項２】回転体が回転自在に空隙を介して磁気的に支承されるように回転軸の両端付近の回りに配置した各端で２組の軸受用電磁石と、
回転体の変位を検出する変位センサと、
その変位センサからの検出変位信号と位置指令との変位偏差信号により電磁石に与える電流の位相を制御する位相制御器と、
その制御信号に基づき電磁石の電流を制御する補償器を備えた磁気軸受け制御装置において、
ジャイロ効果により変化する回転体の曲げ固有振動数の範囲において共振反共振の位相変化部を除く開ループ伝達関数の位相が１８０°あるいは−１８０°と交差している場合に、ジャイロ効果で変化する回転体の後回り固有振動数よりわずかに低い周波数に中心周波数を持つノッチフィルタを単段あるいは多段設置し、ジャイロ効果で変化する後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは−１８０°と交差しないように構成した、
ことを特徴とする磁気軸受の制御装置。
　【請求項３】回転体が回転自在に空隙を介して磁気的に支承されるように回転軸の両端付近の回りに配置した各端で２組の軸受用電磁石と、
回転体の変位を検出する変位センサと、
その変位センサからの検出変位信号と位置指令との変位偏差信号により電磁石に与える電流の位相を制御する位相制御器と、
その制御信号に基づき電磁石の電流を制御する補償器を備えた磁気軸受け制御装置において、
ジャイロ効果により変化する回転体の曲げ固有振動数の範囲において共振反共振における開ループ伝達関数の位相が１８０°あるいは−１８０°と交差している場合に、ジャイロ効果で変化する回転体の前回り固有振動数よりわずかに高い周波数に中心周波数を持つノッチフィルタを単段あるいは多段設置し、ジャイロ効果で変化する後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは−１８０°と交差しないように構成した、
ことを特徴とする磁気軸受の制御装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、回転体または直線移動体を非接触で支持し、特に低速回転時から高速回転時にわたる広い回転領域での安定化を図る磁気軸受装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】回転体の両端においてその回転軸［軸頸］の外周を抱覆するような内周面を持ち空隙を介して磁気的に回転自在に支承する磁気軸受で支持する場合の概念図を図９に示す。図９（ｂ）は磁気軸受構成図で、回転体４の回転軸の左，右端における電磁石３Ｒ，３Ｌの発生する電磁力でこの回転体４を、例えば軸に直角の平面のＸおよびＹ方向の４方向から磁束により支承し、回転体４の中心と電磁石３Ｒ，３Ｌの中心とのずれである変位を変位センサ５Ｒ，５Ｌで検出し、補償器２Ｒ，２Ｌに負帰還して電磁石３Ｒ，３Ｌへの電流を制御して、検出される変位を所期の値、つまり理想的には軸の中心と電磁石３Ｒ，３Ｌの中心が一致するように制御している。しかして、このとき回転体４の回転数に対応する１次固有振動モードｋは、回転軸の右の節をＰＲ、左の節をＰＬとする図９（ａ）の様なモードとなる。この振動を極力抑制回避しながら回転軸の中心を電磁石３Ｒ，３Ｌの中心に位置制御することが望ましいことは全ての場合について言える。そこで、従来、回転体４を高速時においても安定に支持するため、例えば図７に示すような回路構成から成るフィードバック制御系を組んでいる。図７において、７ａはノッチフィルタ、２はＰＩＤを基本とし電流増幅も行う補償器、３は回転体４を磁気的に支承する磁気軸受の主要部を成す電磁石、４は回転体、５は回転体４の変位を検出する変位センサである。この第１の従来例の場合、回転体４を安定に支持するため、回転体の固有振動数に中心周波数をもつノッチフィルタ７ａを補償器２の前段に設定する、詳しくは回転体４が回転することにより２つに分かれる固有振動数に対し、定格回転数における前回り固有振動数や、後回り固有振動数に中心周波数をもつノッチフィルタ７ａを補償器２の前段に多重設定している。つまり少なくとも前回り固有振動数を中心周波数とするノッチフィルタを１個と後回り固有振動数を中心周波数とするノッチフィルタ１個との、計２個以上のノッチフィルタ７ａを直列接続し、その出力を補償器２の入力として回転軸の位置を制御している。また、第２の従来例として、特開平１−１５００１５号公報がある。これは回転体４の回転数に応じて変化する前回り固有振動数、及び、後回り固有振動数に対し、中心周波数が回転数に応じて減少、または、増加する追従性のあるノッチフィルタ７ａを同じく図７に示すような回路構成のフィードバック制御系に設けて、回転体を安定に支持しようとしている。すなわち、第１およびの第２の従来例における制御系は同じような回路構成で、ノッチフィルタ７ａの形態が相違するところに両者の本質の差がある。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】ところが、第１の従来例において、回転体４のジャイロ効果が大きい場合、静止時の固有振動数と、定格回転数における前回り固有振動数及び後回り固有振動数が離れている。従って、定格回転数における固有振動数に中心周波数をもつノッチフィルタ７ａを設定しても定格回転数以下の回転数では、固有振動数がノッチフィルタ７ａのゲインの小さな範囲からずれるため、回転体の共振ピークが現れる。この回転中における開ループ伝達特性を図８に示す。なお、この図８においてｆ１Ｂ，ｆ２Ｂは、曲げ１次の後回り固有振動数の共振点と反共振点であり、ｆ１Ｆ，ｆ２Ｆは前回り固有振動数の共振点と反共振点である。また、ＮＦ１は静止時の固有振動数に中心周波数をもつノッチフィルタの阻止周波数、ＮＦ２は回転体の定格回転数における前回り固有振動数、ＮＦ３は後回り固有振動数に中心周波数をもつノッチフィルタの阻止周波数である。
　【０００４】そこで、図８を見ても明らかなように、ノッチフィルタ阻止周波数ＮＦ１，ＮＦ２，ＮＦ３の前後において、位相が大きく変化しているため、回転体の共振ゲインが高いところで［図８（ａ）のｆ１Ｂとｆ１Ｆであり、図８（ｂ）の８１と８２である］、位相が−１８０°となっている。これは制御系が不安定であることを意味しており、回転体が発振し、軸受を安定に支持することができなくなるという問題点がある。次に、第２の従来例では、ノッチフィルタの中心周波数を、ジャイロ効果により変化する固有振動数に追従させる目的で、回転数に応じた出力を出す回転数計や、その回転数計からの出力を前回り及び後回り固有振動数にそれぞれ対応させるための加算器及び減算器が必要となる。従って、磁気軸受を制御する装置が複雑で高価になるという問題点がある。そこで、本発明では、ジャイロ効果による固有振動数の変化に対しても、回転体を安定に支持する簡素な磁気軸受制御装置を安定した手段のローコストで提供することを目的とする。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】上記課題を解決するための手段として、請求項１記載の発明は、回転体が回転自在に空隙を介して磁気的に支承されるように回転軸の両端付近の回りに配置した各端で２組の軸受用電磁石と、回転体の変位を検出する変位センサと、その変位センサからの検出変位信号と位置指令との変位偏差信号により電磁石に与える電流の位相を制御する位相制御器と、その制御信号に基づき電磁石の電流を制御する補償器を備えた磁気軸受け制御装置において、ジャイロ効果により変化する回転体の曲げ固有振動数の範囲において共振反共振における開ループ伝達関数の位相が１８０°あるいは−１８０°と交差している場合に、ジャイロ効果で変化する回転体の固有振動数近くの周波数をカットオフ周波数とするローパスフィルタを単段あるいは多段設置し、開ループ伝達特性の位相が−３６０°となる周波数よりも定格回転時における後回り固有振動数が高周波側となるように前記ローパスフィールタが設定されたことを特徴とする。請求項２記載の発明は、回転体が回転自在に空隙を介して磁気的に支承されるように回転軸の両端付近の回りに配置した各端で２組の軸受用電磁石と、回転体の変位を検出する変位センサと、その変位センサからの検出変位信号と位置指令との変位偏差信号により電磁石に与える電流の位相を制御する位相制御器と、その制御信号に基づき電磁石の電流を制御する補償器を備えた磁気軸受け制御装置において、ジャイロ効果により変化する回転体の曲げ固有振動数の範囲において共振反共振の位相変化部を除く開ループ伝達関数の位相が１８０°あるいは−１８０°と交差している場合に、ジャイロ効果で変化する回転体の後回り固有振動数よりわずかに低い周波数に中心周波数を持つノッチフィルタを単段あるいは多段設置し、ジャイロ効果で変化する後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは−１８０°と交差しないように構成した、ことを特徴とする。請求項３記載の発明は、回転体が回転自在に空隙を介して磁気的に支承されるように回転軸の両端付近の回りに配置した各端で２組の軸受用電磁石と、回転体の変位を検出する変位センサと、その変位センサからの検出変位信号と位置指令との変位偏差信号により電磁石に与える電流の位相を制御する位相制御器と、その制御信号に基づき電磁石の電流を制御する補償器を備えた磁気軸受け制御装置において、ジャイロ効果により変化する回転体の曲げ固有振動数の範囲において共振反共振における開ループ伝達関数の位相が１８０°あるいは−１８０°と交差している場合に、ジャイロ効果で変化する回転体の前回り固有振動数よりわずかに高い周波数に中心周波数を持つノッチフィルタを単段あるいは多段設置し、ジャイロ効果で変化する後回りから前回り固有振動数の開ループ伝達関数の位相特性が１８０°あるいは−１８０°と交差しないように構成した、ことを特徴とする。
　【０００６】
　【作用】本発明は上記のように、ジャイロ効果により変化する回転体の曲げ固有振動数における開ループ伝達関数の位相状態に応じて、適切な周波数特性を有するフィルタを用いる構成としたので、ジャイロ効果により回転体の固有振動数が変化しても常に回転体を安定に支持することができる。
　【０００７】
　【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。全ての図面において、同一符号は同一部材を示す。図１は本発明の第１の実施例におけるフィードバック系から成る回路構成図である。図１では、補償器２，電磁石３，回転体４および変位センサ５ならびに減算器６は従来例と同じであり、従来例で用いたノッチフィルタの代りに、位相制御器１を適用し、これを減算器６と補償器２の間に挿入接続している。この制御系は、回転体４の回転軸の中心の位置を位置指令ＸＳとして減算器６に与えると、実際の回転体４の回転軸の中心の位置が変位センサで検出されて検出変位Ｘｆとして帰還され、その減算器６で位置指令ＸＳから減算されて変位偏差ΔＸが導出され、この変位偏差ΔＸに対応した例えば回転体４の回転軸の中心の位置を僅かの空隙を介して取り囲む電磁石へ与える電流Ｉを、補償器２において制御演算しさらに電流増幅して、電磁石３へ加えるようにしており、先の変位偏差ΔＸが零になるように、つまり変位偏差ΔＸ＝０にして位置指令ＸＳ＝変位Ｘとなるように自動的にループ制御がなされる。
　【０００８】そこで、図２に本発明の第１の実施例の開ループ伝達特性を表す。図２においてｆ１Ｂ，ｆ２Ｂは曲げ１次の後回り固有振動数の共振点と反共振点、ｆ１Ｆ，ｆ２Ｆは１次の前回り固有振動数の共振点と反共振点である。位相制御器１は、ｆｃをカットオフ周波数とするローパスフィルタで、ここでは３次のローパスフィルタの場合を示している。ところで、後回り固有振動数のゲインのピークとなるｆ１Ｂは０ｄＢより上側にあるが、このときの位相をみると−１８０°からの余裕が大きい［位相約０°］ため、回転体は発振せず、安定に支持される。
また、静止浮上時においても、−１８０°からの位相の余裕が多いために同様に安定となる。よって、定格回転時における後回り固有振動数［共振点ｆ１Ｂ］をＡ点より高周波側、つまり周波数ｆＡよりも右側になるように位相制御器１を設定すれば、静止浮上時から定格回転数の範囲において、回転体は安定に支持される。上記第１の実施例では、位相制御器１をローパスフィルタ（位相遅れ回路）としたが、ジャイロ効果により変化する範囲の位相を安定にできるもの［例えば、ハイパスフィルタ（位相進み回路）等］であれば何でも構わない。これらのフィルタのときはカットオフ周波数を、ジャイロ効果で変化する固有値の範囲内に設定してもよい。
　【０００９】位相制御器１に適用する、カットオフ周波数ｆｃの３次のローパスフィルタの回路構成の詳細図を図３（ａ）およびそのボード線図を図３（ｂ），（ｃ）に示す。なお、これらフィルタの構成要素において、Ｒ１からＲ５までは抵抗器，Ｃ１からＣ３まではコンデンサ，Ａ１とＡ２は演算増幅器であり、演算増幅器Ａ１が２次ローパスフィルタを形成し演算増幅器Ａ２が１次ローパスフィルタを形成し両者を直列接続して３次のローパスフィルタを構成している。なお、図３（ａ）の中で記した▽印は接地を表す。この３次のローパスフィルタの入力電圧をＶｉｎ、出力電圧をＶｏｕｔ、演算増幅器Ａ１とＡ２のゲインをＧ０とＧ１、定数をａ，ｂ，ｃ、ラプラス演算子をｓとすると、３次のローパスフィルタの伝達関数ＧＬ（ｓ）は、
　　ＧＬ（ｓ）＝Ｖｏｕｔ／Ｖｉｎ［図３］
＝｛（Ｇ０・ｂ）／（ｓ２＋ａｓ＋ｂ）｝×｛（Ｇ１／（１＋ｃｓ）｝となり、その周波数特性は図３（ｂ），（ｃ）の様になる。図３（ｂ）ではカットオフ周波数ｆｃより高周波側になるにつれ周波数が１０倍で６０ｄＢ下がる漸近線に近づく。
　【００１０】図４は位相制御器１に適用するハイパスフィルタの回路構成の詳細図を図４（ａ）に、そのボード線図を図４（ｂ），（ｃ）に表す。なお、これらフィルタの構成要素において、Ｒ６からＲ８までは抵抗器，Ｃ４はコンデンサ，Ａ３は演算増幅器である。ｇ，ｈを定数、演算増幅器Ａ３のゲインをＧ３とすると、ハイパスフィルタの伝達関数ＧＨ（ｓ）は、
　　ＧＨ（ｓ）＝Ｖｏｕｔ／Ｖｉｎ［図４］
　　＝Ｇ３（１＋ｈｓ）／（１＋ｇｓ）
この場合、出力電圧Ｖｏｕｔは入力電圧Ｖｉｎに対して反転しているので、実際に使用するときは、もう一度反転回路をつけて極性を一致させる。図４（ｂ），（ｃ）のボード線図において、位相Φ（ｄｅｇ）が正の範囲（位相進み領域）で使用するものである。
　【００１１】図５は第２の実施例の回路構成を表すブロック図で、図６はその制御系の開ループ伝達関数特性図である。この第２の実施例は、回転体４の定格回転数における後回り固有振動数以下に中心周波数をもつノッチフィルタを、位相補償器７として減算器６と補償器２の間に挿入接続し、その他の構成要素は図１の第１の実施例と同じにして形成した制御系である。これは、ジャイロ効果による曲げ１次固有振動数の変化する範囲を、ノッチフィルタの高周波側の位相進み領域になるようにしたもので、この場合も、回転体の静止浮上から定格回転数までの範囲において、回転体は安定に支持される。例えば、静止時の曲げ１次固有振動数をｆ１とすると、この回転体４が定格回転数［Ｎｒｐｍ］まで回転した時、曲げ１次固有振動数が後回り固有振動数ｆ１Ｂと前回り固有振動数ｆ１Ｆに変化したとする。このとき、位相補償器７のノッチフィルタは周波数ｆ１Ｂからｆ１Ｆの間に設定しないで、後回り固有振動数ｆ１Ｂより低い周波数（ここではＮ１）に設定して、後回り固有振動数ｆ１Ｂから前回り固有振動数ｆ１Ｆの範囲をノッチフィルタの位相進み領域になるようにするものである。ここで、曲げ１次の後回り固有振動数と、前回り固有振動数のゲインのピークとなるｆ１Ｂとｆ１Ｆは、０ｄＢより上側にあるが、位相をみると−１８０°からの余裕が大きいため、回転体は安定に支持される。
　【００１２】ここで、図１０に本発明に採用されるノッチフィルタの特性をボード線図を用いて説明をする。ノッチフィルタの周波数特性として、中心周波数Ｎ２の前後で位相が−９０°から＋９０°に大きく変わる。従って、中心周波数Ｎ２の右側（斜線部）では、図４（ｃ）の位相進み回路に近い特性が得られる。このように、ノッチフィルタの位相特性を巧みに適用したのが本発明の第２の実施例である。逆に、回転体の前回り固有振動数以上［図８のＮＦ２の周波数より高周波側（右側）］に中心周波数をもつノッチフィルタを設定すれば、第１の実施例の場合と同じ様な位相遅れ回路に近い特性で使用することもできる。さらにまた、第１の実施例のフィルタからなる位相制御器１と、第２の実施例のノッチフィルタ［位相補償器］７の両方で構成してもよいことは明白である。さらに、上記の第１および第２の実施例では、曲げ１次の固有振動数について説明したが、曲げ２次以上の固有振動数についても同様に対処できることも明らかである。なお、これまでの説明は全てアナログ回路を用いたが、それらに代えてデジタル回路を採用しても同様の特性を得ることができる。
　【００１３】
　【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ジャイロ効果により変化する固有振動数に対してノッチフィルタを用いず、あるいは従来のノッチフィルタの適用手段を改善して、開ループ伝達特性の位相特性を、回転軸の固有振動数が発振し拡大しない安定な範囲に設定することにより、回転体を静止浮上から定格回転時まで安定に支持でき、回転体の運転の信頼性が著しく向上し、かつ経済的にも有利な手段となるという、特段の効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の第１の実施例におけフィードバック系から成る回路構成図。
　【図２】本発明の第１の実施例の特性を表すボード線図。
　【図３】本発明の第１の実施例に適用するローパスフィルタの回路構成図，その特性を表すボード線図。
　【図４】本発明の第１の実施例に適用するハイパスフィルタの回路構成図，その特性を表すボード線図。
　【図５】本発明の第２の実施例におけフィードバック系から成る回路構成図。
　【図６】本発明の第２の実施例の特性を表すボード線図。
　【図７】従来例の回路構成図。
　【図８】従来例の特性を表すボード線図。
　【図９】本発明が適用される磁気軸受の制御装置の概要
図と回転体の１次固有振動モードの説明図。
　【図１０】本発明に採用されるノッチフィルタの特性を
表すボード線図。
　【符号の説明】
　１　位相制御器
　２　補償器
　２Ｒ　補償器
　２Ｌ　補償器
　３　電磁石
　３Ｒ　電磁石
　３Ｌ　電磁石
　４　回転体
　５　変位センサ
　５Ｒ　変位センサ
　５Ｌ　変位センサ
　６　減算器
　７　位相補償器
　７ａ　ノッチフィルタ
　Ａ１　演算増幅器
　Ａ２　演算増幅器
　Ａ３　演算増幅器
　Ｃ１　コンデンサ
　Ｃ２　コンデンサ
　Ｃ３　コンデンサ
　Ｃ４　コンデンサ
　Ｒ１　抵抗器
　Ｒ２　抵抗器
　Ｒ３　抵抗器
　Ｒ４　抵抗器
　Ｒ５　抵抗器
　Ｒ６　抵抗器
　Ｒ７　抵抗器
　Ｒ８　抵抗器
　Ｖｉｎ　入力電圧
　Ｖｏｕｔ　出力電圧