【事件の表示】
　特許第３２３５９６１号「真空バルブ」の請求項１ないし４、６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２３５９６１号の請求項１、２に係る特許を取り消す。
　同請求項３、５に係る特許を維持する。
【理　由】
〔１〕手続の経緯
　特許第3235961号の請求項１〜６に係る発明は、平成８年４月26日に特許出願され、平成13年９月28日にその特許権の設定登録がされ、その後異議申立人半谷仁により請求項１〜４及び６について特許異議の申立てがされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成14年12月19日に訂正請求がされたものである。
　
〔２〕訂正の適否についての判断
(1)訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のａ〜ｆのとおりである。
　ａ．特許請求の範囲の請求項１に記載される「上記端板と片持ちシールドとの接合部は、」を
「
上記片持ちシールドは絶縁容器に接合された封着部材と上記端板とによって挟み込まれ、
　ｂ．特許請求の範囲の請求項４を削除する。
　ｃ．特許請求の範囲の請求項５を独立形式とするとともに、請求の範囲５、６の項数を、それぞれ請求項４、５に繰り上げ、旧請求項５を、
「【請求項４】
円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞する一対の端板と、上記絶縁容器および両端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が上記両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブにおいて、上記端板と片持ちシールドとの接合部は、溶融して漏出するろう材の漏出部が上記密閉容器の外部に露出するように、
る真
　ｄ．発明の詳細な説明中の段落【0008】、【0031】の「端板と片持ちシールドとの接合部は、」を
「
片持ちシールドは絶縁容器に接合された封着部材と上記端板とによって挟み込まれ、
　ｅ．発明の詳細な説明中の段落【0011】、【0034】の記載を削除し、
　さらに段落【0012】の「請求項５に係る真空バルブは、請求項１において、接合部を、」を「請求項
４
円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞する一対の端板と、絶縁容器および両端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブにおいて、端板と片持ちシールドとの接合部は、溶融して漏出するろう材の漏出部が上記密閉容器の外部に露出するように、
　段落【0013】の「請求項６に係る真空バルブは、」を「請求項
５
４
円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞する一対の端板と、絶縁容器および両端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブにおいて、端板と片持ちシールドとの接合部は、溶融して漏出するろう材の漏出部が上記密閉容器の外部に露出するように、
５
　ｆ．図面の簡単な説明の符号の説明中「38b　段部、」を「38
a
　
(2)訂正の適否についての判断
　上記訂正事項ａは、「片持ちシールドは絶縁容器に接合された封着部材と端板とによって挟み込まれ」ることを追加することであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　そして、願書に添付した明細書または図面（以下、「特許明細書等」という。）には、片持ちシールドが絶縁容器に接合された封着部材と単板によって挟み込まれた真空バルブの構成が、図１、２、３、６に示されていることから、特許明細書等に記載された事項の範囲内において真空バルブを限定したものであり、新規事項の追加に該当しない。
　上記訂正事項ｂは、特許請求の範囲の削除であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、新規事項の追加に該当しない。
　上記訂正事項ｃは、請求項１に従属する請求項５を付加して独立形式に書き直したものであるから、実質的に内容を訂正するものではなく、かつ特許請求の範囲の旧請求項４を削除することに伴い項数を繰り上げたものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当し、新規事項の追加に該当しない。
　上記訂正事項ｄ、ｅは、上記訂正事項ａ〜ｃの訂正に伴い、明細書の記載を整合させたものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当し、新規事項の追加に該当しない。
　上記訂正事項ｆは、誤記の訂正に該当し、新規事項の追加に該当しない。
　そして、上記いずれの訂正事項も実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
(3)むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第120条の４第２項及び第３項において準用する同法第126条第２、３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
〔３〕特許異議の申立ての概要
　申立人半谷仁は、下記の甲第１〜４号証により、請求項１〜４、６に係る発明の特許は、特許法第29条第１項第３号又は同法第29条第２項の規定に違反してされたものであるから取り消すべき、と主張している。
　甲第１号証：実願昭52-54124号（実開昭53-149860号）のマイクロフィル　　　　　　　ム（以下、「刊行物１」という。）
　甲第２号証：実公平2-41808号公報（以下、「刊行物２」という。）
　甲第３号証：特開昭57-90846号公報
　甲第４号証：特開平5-74284号公報
　
〔４〕本件発明１〜３、５
　本件特許第3235961号の請求項１〜３、５に係る発明（以下、各発明を請求項の番号に対応して「本件発明１」…「本件発明５」という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜３、５に記載された次のとおりのものである。（なお、請求項４に係る発明は、旧請求項５に係る発明に相当し、異議申立てされていない請求項である。）
「【請求項１】円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞する一対の端板と、上記絶縁容器および両端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が上記両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブにおいて、上記片持ちシールドは絶縁容器に接合された封着部材と上記端板とによって挟み込まれ、上記端板と片持ちシールドとの接合部は、溶融して漏出するろう材の漏出部が上記密閉容器の外部に露出するように構成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】接合部は、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して形成され上記端板より小なる径を有する外方折曲縁と、この外方折曲縁より小なる径を有し一端が絶縁容器に接合された封着部材の他端側を内方に折曲して形成される内方折曲縁とが順次積重されるとともに、上記端板、外方折曲縁および内方折曲縁は各積重面間に配置されるろう材の溶融により接合されていることを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【請求項３】接合部は、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して形成され、外周部に上記端板の外周と嵌合するように下方に折曲して形成される第１の係止部およびこの第１の係止部の下端から外方に突出して形成される第２の係止部とを有し上記端板に積重される外方折曲縁と、一端が絶縁容器に接合され他端側が上記第１の係止部に嵌合されるとともに他端面が上記第２の係止部に係止される封着部材とが順次嵌合されるとともに、上記端板と外方折曲縁との積重面間および上記第１の係止部と封着部材との嵌合面間に配置されるろう材の溶融により接合されていることを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【請求項５】接合部は、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して上記端板と同じ径に形成され上記端板と積重される外方折曲縁とを、一端が絶縁容器に接合された封止部材の他端側に上記端板および外方折曲縁の外周に嵌合可能に形成された段部で支持するとともに、上記端板と外方折曲縁との積重面間に配置されるろう材の溶融により接合されていることを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。」
　
〔５〕本件発明１の特許についての判断
(1)刊行物に記載の発明
　当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物１（実願昭52-54124号（実開昭53-149860号）のマイクロフィルム）には、真空バルブに関して、第１、２図とともに以下の事項が記載されている。
(a)「絶縁筒とこの筒内に収納される接離可能（「間能」は、「可能」の誤記と認める。）な一対の接点とこの接点の少なくとも一方がベローズを介して可動に封着される真空バルブにおいて、前記ベローズの一方の端末部分を鍔状突出平板とし、この平板外縁間を絶縁筒に直接または封着金属を介して気密に溶着することを特徴とする真空バルブ。」（実用新案登録請求の範囲）
(b)「第２図においては、シールド20は絶縁物円筒１の固定側端部“Ａ”に封着され、固定される。さらに、シールド20には屈曲部“Ｂ”があって、この部分に金属端板２を載せて気密に溶接あるいはろうづけされる。」（明細書第２頁第16〜20行）
(c)「このように構成した結果、シールドは絶縁物円筒１の端部に強固に封着され、かつその接着状況を外部から検査できるので、機械的強度ならびにその信頼性が著しく向上した。また、従来は第１図に示したように、まず、シールド７を金属端板２に取付け、しかるのちそれを封着金属12に溶接していたが、本考案による第２図の構成によればシールド20が直接絶縁物円筒１の端部に封着されているので、第１図における封着金属12は省かれ、したがって工程も部品も減少するので安価になる。」（明細書第３頁第６〜16行）
(d)「本考案によれば真空容器を構成する絶縁物円筒に、接点を包囲する金属シールドの端末部を直接封着し、さらにこの金属シールドに金属端板を気密に溶着せしめる構造にしたものであって、従ってこの金属シールドの取付強度が向上し、かつ部品点数ならびに工程の減少により安価な真空バルブを提供することができる。」（明細書第４頁第４〜10行）
　上記の記載及び図面によれば、以下の発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。
「絶縁物円筒と、この絶縁物円筒の両端を閉塞する金属端板と、上記絶縁物円筒および金属端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の接点と、これら両接点を囲繞するように配設され一端が上記金属端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブ」
　
　同刊行物２（実公平2-41808号公報）には、真空バルブに関して、第１、２図とともに以下の事項が記載されている。
(e)「本考案の真空バルブの一実施例を図面を参照して説明する。第１図において、真空バルブ１は、絶縁材から円筒状に形成された外囲器２の両端開口部に、外囲器２との熱膨張係数の差が小さいFe-Ni系合金から形成された金属リング３および４を介してそれぞれ端板５および６を設け、１×10-2Pa以下に排気した真空容器７と、端板５に接合して設けられ、固定電極８を接離自在とした可動電極11を端部に固着した可動軸12から構成されている。なお、同図中符号13は、ベローズ10に真空バルブの開閉時発生蒸気が付着するのを防止するためのシールドである。しかして、上記した固定軸９は、固定電極８を一方の端部に固着する固定軸本体15と、この固定軸本体15の他方の端部に連なる略円板状の基部16で構成されており、この基部16に固定軸本体15と同軸状に円筒状をしたシールド17が一体成形で設けられ、更に円板状の基部の外面（シールド17と反対側の面）には、端板６の外面と略面一になる部分を設けている。」（第２頁左欄第21〜42行）
(f)「真空バルブの全体組立は、各構成部品を第１図に示すように配列して所要箇所に銀ろうを挿入しておき、真空雰囲気中で加熱して行うが、固定軸の円板状の基部が最下部に位置するから姿勢の安定性が向上し、真空雰囲気中で加熱しても各構成部品は所定の垂直状態を保ち、銀ろうが無駄に流れ出したり、ろう付け不良が発生するのを防止し、組立コストを低減すると共に品質を向上することができる。」（第２頁右欄第31〜39行）
(g)「本考案は、以上のように構成されているから、加工や組立の所要工数を削減しかつろう付け材料の使用量を低減し、制作費を安価にするとともに信頼性の向上を図ることができる。」（第３頁左欄第９行〜右欄第２行）
　上記の記載及び図面から、以下の発明（以下、「引用発明２」という。）が記載されているものと認められる。
「円筒状の外囲器と、この外囲器の両端を閉塞する一対の端板と、上記外囲器および両端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が上記両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブ」
　
(2)対比・判断
　本件発明１と引用発明１を対比すると、引用発明１の「絶縁物円筒」、「金属端板」、「一対の接点」は、本件発明１の「円筒状の絶縁容器」、「端板」、「一対の電極」に相当するものと認められるから、
　両者は、
「円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞する一対の端板と、上記絶縁容器および両端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が上記両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブ」
　の点で一致し、
（相違点１）
　前者は、「片持ちシールドは絶縁容器に接合された封着部材と上記端板とによって挟み込まれ」ているのに対し、後者は、「端板に接合された片持ちシールドが直接絶縁容器に接合され」ている点、
（相違点２）
　前者は、「端板と片持ちシールドとの接合部は、溶融して漏出するろう材の漏出部が上記密閉容器の外部に露出するように構成されている」のに対し、後者は、その点は必ずしも明確でない点、
　で相違する。
　そこで、上記相違点について検討する。
　上記相違点１において、「片持ちシールドは絶縁容器に接合された封着部材と上記端板とによって挟み込まれ」るようにすることは、真空バルブの技術分野において、従来より周知の技術（例えば、特開昭55-157822号公報参照）であるから、上記周知技術を引用発明１に適用して、本件発明１の「片持ちシールドは絶縁容器に接合された封着部材と上記端板とによって挟み込まれ」るようにすることは、当業者が容易に想到しうる設計上の変更であるといえる。
　上記相違点２において、シールドと端板等をろう付けすること及び接着状況を外部から検査することは従来より周知の技術といえるから（上記(1)の(b)、(c)、(f)の記載を参照）、上記相違点１で指摘した設計上の変更に際して、その封着態様を外部から検査し得るものとすることは、当業者が当然に配慮して採用する設計的事項であるといえる。
　そして、本件発明１の作用効果も、引用発明１及び上記周知技術から当業者であれば容易に予測できる程度のものである。
　したがって、本件発明１は、引用発明１及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１の特許は、特許法第29条第２項の規定に違反してされたものである。
　
〔６〕本件発明２の特許についての判断
(1)刊行物に記載の発明
　上記〔５〕の(1)の記載を参照。
　
(2)対比・判断
　本件発明２と引用発明１を対比すると、上記〔５〕の(2)で検討したとおり、〔５〕の(2)と同じ点で一致し、（相違点１）及び（相違点２）のほか次の（相違点３）で相違する。
（相違点３）
　本件発明２は、「接合部は、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して形成され上記端板より小なる径を有する外方折曲縁と、この外方折曲縁より小なる径を有し一端が絶縁容器に接合された封着部材の他端側を内方に折曲して形成される内方折曲縁とが順次積重されるとともに、上記端板、外方折曲縁および内方折曲縁は各積重面間に配置されるろう材の溶融により接合されている」のに対し、引用発明１は、このような構成を有していない点。
　上記相違点について検討する。
　上記（相違点１）、（相違点２）については、上記〔５〕の(2)で検討したとおりである。
　上記相違点３において、接合部は、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して形成された外方折曲縁と、一端が絶縁容器に接合された封着部材の他端側を外方折曲縁とが順次積重されるとともに、上記端板、外方折曲縁は各積重面間を接合するという積重ね態様の接合手段は、従来より周知の技術であるから（特開昭55-157822号公報参照）、当該周知の接合手段を採用するに際して、端板、外方折曲縁及び封着部材の径の大小を適宜設定したり、封着部材の他端側を外方に折曲するのに代えて内方に折曲して形成すること等は当業者が適宜選択しうる設計的事項であり、かつ、格別の技術的意義を見出せない技術的事項である。
　したがって、本件発明２は、引用発明１及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明２の特許は、特許法第29条第２項の規定に違反してされたものである。
　
〔７〕本件発明３についての判断
(1)刊行物に記載に発明　
　刊行物１、２については、上記〔５〕の(1)参照。
　
　刊行物３（特開昭57-90846号公報、異議申立人の提出した甲第３号証）には、真空バルブの製造方法に関し、第１〜５図とともに以下の事項が記載されている。
(a)「以下本発明の一実施例を第３図乃至第５図を参照して説明する。第３図は接合部の部品構成図、第４図(a)、(b)は、接合部の断面及び上面図を示す。容器１と金属フランジ4aとの間に、リング状に形成した線銀ロー９を介し金属フランジ4aの外周に適宜間隔を置いて線銀ロー９との間に隙間を形成するような複数個の凸起部10を設ける。この突起部10は、線銀ロー９に対し前記の隙間によって非接触状態となっており、この隙間を通して容器１内からの排気が可能となる。また、凸起部10以外は線銀ロー９と金属フランジ4aは、接触状態となっており、線銀ロー９は金属フランジ4aを支えている。線銀ロー９が溶融温度以上に加熱された時線銀ロー９が溶け流れ出すが、従来の方法に較べ銀ローの量が少ないことと前述の凸起部10があるため、メタライズ層７の接合面外に流れ出さず変形部に流れこみ真空バルブの封着が完成される。」（第２頁右上欄第９行〜左下欄第７行）
　
　刊行物４（特開平5-74284号公報、異議申立人の提出した甲第４号証）には、真空バルブ用接点材料に関し、図１〜３とともに以下の事項が記載されている。
(b)「さらに電極８は、図２に拡大して示す如く、導電棒６にろう付け部12によって固定されるか又は、かしめによって圧着接続されている。接点13aは電極８にろう付け14によってろう付けで取付けられる。なお、接点13bは、電極７にろう付けにより取付けられる。」（第３頁右欄第２〜７行）
　
(2)対比・判断
　本件発明３と引用発明１を対比すると、本件発明３は本件発明１を引用しているから、上記〔５〕の(2)で検討したとおりの点で一致しており、
〔５〕の(2)の（相違点１）及び（相違点２）の点で相違するほか、以下の点で相違する。
（相違点４）
　前者は、「接合部は、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して形成され、下方に折曲して形成される第１の係止部およびこの第１の係止部の下端から外方に突出して形成される第２の係止部とを有し上記端板に積重される外方折曲縁と、上記端板と外方折曲縁との積重面間および上記第１の係止部と封着部材との嵌合面間に配置される」構成を有しているのに対し、後者はこのような構成を有しない点。
（相違点５）
　前者は、「 外周部に上記端板の外周と嵌合するように下方に折曲して形成される第１の係止部」を有し、かつ「他端側が上記第１の係止部に嵌合されるとともに他端面が上記第２の係止部に係止される封着部材とが順次嵌合される」構成を有するのに対し、後者はこのような構成を有しない点。
　
　上記相違点について検討する。
　まず、相違点５について検討すると、端板の外周と嵌合する第１の係止部及び第１の係止部に嵌合する封着部材の構成は、上記刊行物２及び上記刊行物３、４のいずれにも記載されていない。
　そして、本件発明３は、上記「嵌合する第１係止部」を有することにより、「製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向上が可能な真空バルブを提供することができる。」という明細書に記載の効果を奏するものと認められる。
　してみると、相違点４を検討するまでもなく、本件発明３は、刊行物１〜４に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできないから、本件発明３の特許は、特許法第29条第２項の規定に違反してされたものではない。
　
〔８〕本件発明５についての判断
(1)刊行物に記載された発明
　上記〔７〕の(1)の記載を参照。
　
(2)本件発明５と引用発明１を対比すると、本件発明５は本件発明１を引用しているから、上記〔５〕の(2)で検討したとおりの点で一致しており、
〔５〕の(2)の（相違点１）及び（相違点２）の点で相違するほか、以下の点で相違する。
（相違点６）
 前者は、「接合部は、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して上記端板と同じ径に形成され上記端板と積重される外方折曲縁とを、一端が絶縁容器に接合された段部で支持」したのに対し、後者はそのような構成を有しない点。
（相違点７）
　前者は、「一端が絶縁容器に接合された封止部材の他端側に上記端板および外方折曲縁の外周に嵌合可能に形成された段部で支持」したのに対し、後者は、そのような構成を有しない点。
  上記相違点について検討する。
　まず、相違点７について検討すると、端板および外方折曲縁の外周に嵌合可能に形成された段部で支持された構成は、上記刊行物２及び上記刊行物３、４のいずれにも記載されていない。
　そして、本件発明５は、上記「外方折曲縁の外周に嵌合可能に形成された段部」を有することにより、「ろう付け工程を最終封止組立と同時に行って、部分組立工程との二つの工程で済ますことが可能となり、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることができるとともに、気密封止箇所を減少させて組立性の向上を図ることが可能になる。」という明細書に記載の効果を奏するものと認められる。
　してみると、相違点６を検討するまでもなく、本件発明５は、刊行物１〜４に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできないから、本件発明５の特許は、特許法第29条第２項の規定に違反してされたものではない。
　
〔９〕むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１及び２の特許は、特許法第29条第２項の規定に違反してされたものであるから、同法第113条第１項第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　また、本件発明３及び５の特許は、取消理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年４月１１日（２００３．４．１１）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
真空バルブ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞する一対の端板と、上記絶縁容器および両端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が上記両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブにおいて、
上記片持ちシールドは絶縁容器に接合された封着部材と上記端板とによって挟み込まれ、
　【請求項２】　接合部は、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して形成され上記端板より小なる径を有する外方折曲縁と、この外方折曲縁より小なる径を有し一端が絶縁容器に接合された封着部材の他端側を内方に折曲して形成される内方折曲縁とが順次積重されるとともに、上記端板、外方折曲縁および内方折曲縁は各積重面間に配置されるろう材の溶融により接合されていることを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
　【請求項３】　接合部は、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して形成され、外周部に上記端板の外周と嵌合するように下方に折曲して形成される第１の係止部およびこの第１の係止部の下端から外方に突出して形成される第２の係止部とを有し上記端板に積重される外方折曲縁と、一端が絶縁容器に接合され他端側が上記第１の係止部に嵌合されるとともに他端面が上記第２の係止部に係止される封着部材とが順次嵌合されるとともに、上記端板と外方折曲縁との積重面間および上記第１の係止部と封着部材との嵌合面間に配置されるろう材の溶融により接合されていることを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
　【請求項４】　
円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞する一対の端板と、上記絶縁容器および両端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が上記両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブにおいて、上記端板と片持ちシールドとの接合部は、溶融して漏出するろう材の漏出部が上記密閉容器の外部に露出するように、外縁部に所定の大きさの穴が形成された端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して形成された外方折曲縁とを積重することにより上記穴を閉塞するとともに、上記端板と外方折曲縁との積重面間に配置されるろう材の溶融により接合されていることを特徴とする真空バルブ。
　【請求項５】　
接合部は、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して上記端板と同じ径に形成され上記端板と積重される外方折曲縁とを、一端が絶縁容器に接合された封止部材の他端側に上記端板および外方折曲縁の外周に嵌合可能に形成された段部で支持するとともに、上記端板と外方折曲縁との積重面間に配置されるろう材の溶融により接合されていることを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　この発明は、真空バルブに係り、特に一端が端板に支持され両電極を囲繞するように配設される片持ちシールドの支持構造に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　図７は例えば特公昭５３−３２８７０号公報に示された従来の真空バルブの構成を示す断面図である。
　図において、１は例えばアルミナセラミック等の高絶縁部材でなり円筒状に形成された絶縁容器、２、３はこの絶縁容器１の両端に例えば銀ろう等のろう材でろう付けされた端板で、それぞれ中央部に挿入穴２ａ、３ａが形成されている。４は端板２の挿入穴２ａを貫通して挿入され、端板２に気密に接合される固定電極棒である。
　【０００３】
　５は端板３の挿入穴３ａを貫通して挿入され、ベローズ６を介して端板３に気密に接合される可動電極棒、７、８は固定電極棒４および可動電極棒５の先端にそれぞれ対向して固着される一対の電極、９は端板３に一端が支持され他端側で両電極７、８を囲繞するように配設される片持ちシールドである。そして、上記絶縁容器１、両端板２、３およびベローズ６で密閉容器１０を構成している。
　【０００４】
　次に、上記のように構成される従来の真空バルブの製造方法について説明する。
　まず、組立としては部分組立が行われ、端板２、固定電極棒４および電極７からなる固定側部分組立品、および端板３、可動電極棒５および電極８からなる可動側部分組立品が、非酸化雰囲気中でろう付けにより組み立てられる。このようにして部分ろう付け組立が完了すると、例えばろう材の溶け不足、ろう材のはじき、ろうまわり不足等の目視検査が全数にわたって実施され信頼性の向上が図られる。
　【０００５】
　次いで可動側部分組立品の板端３の上面に、片持ちシールド９の一端がろう付けにより固着される。そして、真空バルブの最終封止組立は、固定側部分組立品の端板２および可動側部分組立品の端板３と絶縁容器１の両端面との間にろう材を挟み、真空炉内で４００℃〜６００℃の高温でべーキングして脱ガスを十分に行った後、ろう付け温度に昇温してろう材を溶融して気密封じを行い、最終封止ろう付け部の検査を実施して真空バルブは完了する。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　従来の真空バルブは以上のように構成、製造されているので、ろう付け箇所の目視検査の必要上、部分組立工程、片持ちシールドのろう付け工程、最終封止組立工程の三つのろう付け工程が必要となり、製造コストおよび工期がかかるという問題点があった。又、片持ちシールドのろう付け工程を無くし、部分組立工程で同時に片持ちシールド９をろう付けすると、片持ちシールド９の内側のろう付け箇所の目視検査ができなくなるため、リークテストを行う必要が生じ、このリークテストも作業に手間がかかり、ろう流れが十分に確認できないために信頼性が低下するという問題点があった。
　【０００７】
　この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、片持ちシールドのろう付け状態を目視できる構造とし、最終組立工程で片持ちシールドのろう付けができるようにすることにより、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることが可能な真空バルブを提供することを目的とするものである。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　この発明の請求項１に係る真空バルブは、円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞する一対の端板と、絶縁容器および両端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブにおいて、
片持ちシールドは絶縁容器に接合された封着部材と端板とによって挟み込まれ、
　【０００９】
　又、この発明の請求項２に係る真空バルブは、請求項１において、接合部を、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して形成され端板より小なる径を有する外方折曲縁と、この外方折曲縁より小なる径を有し一端が絶縁容器に接合された封着部材の他端側を内方に折曲して形成される内方折曲縁とが順次積重されるとともに、端板、外方折曲縁および内方折曲縁は各積重面間に配置されるろう材の溶融により接合されるように構成したものである。
　【００１０】
　又、この発明の請求項３に係る真空バルブは、請求項１において、接合部を、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して形成され、外周部に端板の外周と嵌合するように下方に折曲して形成される第１の係止部およびこの第１の係止部の下端から外方に突出して形成される第２の係止部とを有し端板に積重される外方折曲縁と、一端が絶縁容器に接合され他端側が第１の係止部に嵌合されるとともに他端面が第２の係止部に係止される封着部材とが順次嵌合されるとともに、端板と外方折曲縁との積重面間および第１の係止部と封着部材との嵌合面間に配置されるろう材の溶融により接合されるように構成したものである。
　【００１１】
　【００１２】
　又、この発明の請求項
４
円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞する一対の端板と、絶縁容器および両端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブにおいて、端板と片持ちシールドとの接合部を、溶融して漏出するろう材の漏出部が密閉容器の外部に露出するように、
　【００１３】
　又、この発明の請求項
５
　【００１４】
　【発明の実施の形態】
実施の形態１．
　図１はこの発明の実施の形態１における真空バルブの構成を示す断面図、図２は図１における真空バルブの部分組立状態を示す分解図である。
　図において、１１は例えばアルミナセラミック等の高絶縁部材でなり円筒状に形成された絶縁容器、１２はこの絶縁容器１１の一端側を閉塞するように、例えば銀ろう等のろう材１３でろう付けされた第１の端板で、中央部に挿入穴１２ａが形成され、熱膨張係数がアルミナセラミックに近いＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金またはＦｅ−Ｎｉ合金、熱膨張係数は大きく異なるが塑性変形することにより残留応力が小さくなるＣｕ−Ｎｉ合金等の材料が使用されている。
　【００１５】
　１４は第１の端板１２の挿入穴１２ａを貫通して挿入され、第１の端板１２に気密に接合される固定電極棒、１５は外周端に突出部１５ａ、中央部に挿入穴１５ｂがそれぞれ形成された第２の端板、１６はこの第２の端板１５の挿入穴１５ｂを貫通して挿入される可動電極棒、１７は一端が第２の端板１５の挿入穴１５ｂの内周部、他端が可動電極棒１６にそれぞれ気密に接合されるベローズ、１８、１９は固定電極棒１４および可動電極棒１６の先端にそれぞれ対向して固着される一対の電極である。
　【００１６】
　２０は一端側に外方に折曲して形成され第２の端板１５に、突出部１５ａと嵌合するように積重された外方折曲縁２０ａを有し、他端側に形成される筒状部２０ｂで両電極１８、１９を囲繞するように配設される片持ちシールドで、外方折曲縁２０ａと第２の端板１５との積重面間に配置されるろう材１３の溶融により接合される。２１は片持ちシールド２０の外方折曲縁２０ａより小なる径の筒状に形成された一端が絶縁容器１１の他端側に接合され、他端側に内方に折曲して形成され外方折曲縁２０ａに積重される内方折曲縁を有する封着部材で、第１の端板１２と同様な金属材料が使用され外方折曲縁２０ａと内方折曲縁２１ａとの積重面間に配置されるろう材１３の溶融により接合される。そして、上記絶縁容器１１、第１および第２の端板１２、１５、ベローズ１７および封着部材２１で密閉容器２２を構成している。
　【００１７】
　次に、上記のように構成される実施の形態１における真空バルブの製造方法について図２に基づいて説明する。
　まず、従来の場合と同様に部分組立が行われ、第１の端板１２、固定電極棒１４および電極１８からなる固定側部分組立品２３、および第２の端板１５、可動電極棒１６、ベローズ１７および電極１９からなる可動側部分組立品２４が非酸化雰囲気中でろう付けにより組み立てられる。次いで、可動側部分組立品２４の第２の端板１５上に、片持ちシールド２０、封着部材２１、絶縁容器１１の順に積重し、上方から固定側部分組立品２３の第１の端板１２を覆い、各部材間にはろう材１３をそれぞれ配置した後、真空炉内で４００℃〜６００℃の高温でべーキングして脱ガスを十分に行い、その後、ろう付け温度に昇温してろう材１３を溶融することにより気密封止を行い、最終封止ろう付け部の検査を実施して真空バルブは完成する。
　【００１８】
　このように上記実施の形態１によれば、積重して接合される封着部材２１の内方折曲縁２１ａ、片持ちシールド２０の外方折曲縁２０ａおよび第２の端板１５の順に、各外径を段々大きく形成しているので、各積重面間に配置されるろう材１３が溶融して外周側に漏出される状態を密閉容器２２の外部から目視できるようになるため、片持ちシールド２０のろう付け工程を最終封止組立工程と同時に行って、部分組立工程との二つの工程で済ますことが可能となり、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることができる。
　【００１９】
実施の形態２．
　図３はこの発明の実施の形態２における真空バルブの構成を示す断面図である。
　図において、図１に示す実施の形態１におけるものと同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。２５は中央部に可動電極棒１６が貫通して挿入され、ベローズ１７が接合される挿入穴２５ａが形成された第２の端板、２６は一端側に外方に折曲して形成される外方折曲縁２６ａ、この外方折曲縁２６ａの外周部に第２の端板２６の外周と嵌合するように下方に折曲して形成される第１の係止部２６ｂ、この第１の係止部２６ｂの下端から外方に突出して形成される第２の係止部２６ｃを有し、他端側に形成される筒状部２６ｄで両電極１８、１９を囲繞するように配設される片持ちシールドである。
　【００２０】
　２７は一端が絶縁容器１１に接合され、他端側が片持ちシールド２６の第１の係止部２６ｂに嵌合して第３の係止部２６ｃに係止される封着部材で、第２の端板２５と片持ちシールド２６の外方折曲縁２６ａとの積重面間、および第１の係止部２６ｂと封着部材２７との嵌合面間にはろう材（図示せず）がそれぞれ配置され、溶融されることにより各部材間は接合される。そして、上記絶縁容器１１、第１および第２の端板１２、２５、ベローズ１７および封着部材２７で密閉容器２８を構成している。
　【００２１】
　このように上記実施の形態２によれば、第２の端板２５の外周に片持ちシールド２６の第１の係止部２６ｂを嵌合させるとともに、封着部材２７の他端側を片持ちシールド２６の第２の係止部２６ｃで係止させ、各嵌合面および係止面の端部が密閉容器２８の外部に露出するようにしているので、第２の端板２５と片持ちシールド２６の外方折曲縁２６ａとの積重面間に配置されるろう材の溶融は上記嵌合面の端部からの漏出状態で、又、片持ちシールド２６の第１の係止部２６ｂと封着部材２７との嵌合面間に配置されるろう材の溶融は上記係止面の端部からの漏出状態で目視できるようになるため、上記実施の形態１の場合と同様に、片持ちシールド２６のろう付け工程を最終封止組立と同時に行って、部分組立工程との二つの工程で済ますことが可能となり、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることができる。
　【００２２】
実施の形態３．
　図４はこの発明の実施の形態３における真空バルブの構成を示す断面図である。
　図において、上記各実施の形態１、２におけるものと同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。２９は中央部に可動電極棒１６が貫通して挿入され、ベローズ１７が接合される挿入穴２９ａが、また、外周部に段部２９ｂがそれぞれ形成された第２の端板である。
　【００２３】
　３０は一端側に両電極１８、１９を囲繞するように配設され第２の端板２９の段部２９ｂの内周面に嵌合される筒状部３０ａが、また、他端側にはこの筒状部３０ａの下端側から外方に折曲して第２の端板２９の段部２９ｂの上面に積重され第２の端板２９より大なる径に形成された外方折曲縁３０ｂ、およびこの外方折曲縁３０ｂの外周端部から上方に突出して絶縁容器１１に接合される封着部３０ｃがそれぞれ形成された片持ちシールドで、第２の端板２９の段部２９ｂと片持ちシールド３０の外方折曲縁３０ｂとの間に配置されるろう材の溶融により第２の端板２９に接合される。そして、上記絶縁容器１１、第１および第２の端板１２、２９、ベローズ１７、片持ちシールド３０の外方折曲縁３０ｂ、封止部３０ｃで密閉容器３１を構成している。
　【００２４】
　このように上記実施の形態３によれば、積重される第２の端板２９より片持ちシールド３０の外方折曲縁３０ｂを大なる径に形成して、積重面の端部が密閉容器３１の外部に露出するようにしているので、積重面間に配置されるろう材の溶融は、積重面の端部からの漏出状態で目視できるようになるため、上記各実施の形態１、２の場合と同様に、片持ちシールド３０のろう付け工程を最終封止組立と同時に行って、部分組立工程との二つの工程で済ますことが可能となり、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることができ、又、部品数および気密封止箇所が減るため組立性が向上する。
　【００２５】
実施の形態４．
　図５はこの発明の実施の形態４における真空バルブの構成を示す断面図である。
　図において、上記各実施の形態１〜３におけるものと同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。３２は中央部に可動電極棒１６が貫通して挿入され、ベローズ１７が接合される挿入穴３２ａが、また、外縁部には所定の大きさの穴３２ｂおよび上方に突出して絶縁容器１１に接合される封着部３２ｃがそれぞれ形成された第２の端板である。
　【００２６】
　３３は一端側に両電極１８、１９を囲繞するように配設された筒状部３３ａが、また、他端側にはこの筒状部３３ａの下端から外方に折曲して第２の端板３２の上面に積重され封止部３２ｃと嵌合される外方折曲縁３３ｂがそれぞれ形成された片持ちシールドで、積重面間に配置されるろう材の溶融により第２の端板３２に接合される。そして、上記絶縁容器１１、第１および第２の端板１２、３２、ベローズ１７で密閉容器３４を構成している。
　【００２７】
　このように上記実施の形態４によれば、片持ちシールド３３の外方折曲縁３３ｂが積重される第２の端板３２に穴３２ｂを形成して、積重面の一部が密閉容器３４の外部に露出するようにしているので、積重面間に配置されるろう材の溶融は、積重面の端部からの漏出状態で目視できるようになるため、上記実施の形態３の場合と同様に、片持ちシールド３２のろう付け工程を最終封止組立と同時に行って、部分組立工程との二つの工程で済ますことが可能となり、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることができるとともに、部品数および気密封止箇所を減少させて組立性の向上を図ることが可能になる。
　【００２８】
実施の形態５．
　図６はこの発明の実施の形態５における真空バルブの構成を示す断面図である。
　図において、上記各実施の形態１〜４におけるものと同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。３５は中央部に可動電極棒１６が貫通して挿入され、ベローズ１７が接合される挿入穴３５ａが、また、外周部には上方に突出して絶縁容器１１と接合される封着部３５ｂがそれぞれ形成された第２の端板、３６は中央部に固定電極棒１４が貫通して接合される挿入穴３６ａが形成された第１の端板である。
　【００２９】
　３７は一端側に外方に折曲して第１の端板３６と同じ径に形成され、第１の端板３６に積重される外方折曲縁３７ａが、また、他端側には両電極１８、１９を囲繞するように配置される筒状部３７ｂがそれぞれ形成された片持ちシールド、３８は下端が絶縁容器１１に接合され、上端に第１の端板３６および片持ちシールド３７の外方折曲縁３７ａの各外周部と嵌合して支持する段部３８ａが形成された封着部材で、第１の端板３６と外方折曲縁３７ａとの積重面間に配置されたろう材の溶融により接合される。そして、上記絶縁容器１１、ベローズ１７、第１および第２の端板３６、３５、封着部材３８で密閉容器３９を構成している。
　【００３０】
　このように上記実施の形態５によれば、ろう材が配置される第１の端板３６および片持ちシールド３７の外方折曲縁３７ａの積重面間と、これら第１の端板３６および外方折曲縁３７ａの各外周と封着部材３８の段部３８ａとの嵌合面間とを連通させて、嵌合面の端部が密閉容器３９の外部に露出するようにしているので、積重面間に配置されるろう材の溶融は、嵌合面の端部からの漏出状態で目視できるようになるため、上記実施の形態４の場合と同様に、片持ちシールド３３のろう付け工程を最終封止組立と同時に行って、部分組立工程との二つの工程で済ますことが可能となり、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向上を図ることができるとともに、気密封止箇所を減少させて組立性の向上を図ることが可能になる。
　【００３１】
　【発明の効果】
　以上のように、この発明の請求項１によれば、円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞する一対の端板と、絶縁容器および両端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブにおいて、
片持ちシールドは絶縁容器に接合された封着部材と端板とによって挟み込まれ、
　【００３２】
　又、この発明の請求項２によれば、請求項１において、接合部を、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して形成され端板より小なる径を有する外方折曲縁と、この外方折曲縁より小なる径を有し一端が絶縁容器に接合された封着部材の他端側を内方に折曲して形成される内方折曲縁とが順次積重されるとともに、端板、外方折曲縁および内方折曲縁は各積重面間に配置されるろう材の溶融により接合されるように構成したので、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向上が可能な真空バルブを提供することができる。
　【００３３】
　又、この発明の請求項３によれば、請求項１において、接合部を、端板と、片持ちシールドの一端側を外方に折曲して形成され、外周部に端板の外周と嵌合するように下方に折曲して形成される第１の係止部およびこの第１の係止部の下端から外方に突出して形成される第２の係止部とを有し端板に積重される外方折曲縁と、一端が絶縁容器に接合され他端側が第１の係止部に嵌合されるとともに他端面が第２の係止部に係止される封着部材とが順次嵌合されるとともに、端板と外方折曲縁との積重面間および第１の係止部と封着部材との嵌合面間に配置されるろう材の溶融により接合されるように構成したので、製造コストの低減、工期の短縮および信頼性の向上が可能な真空バルブを提供することができる。
　【００３４】
　【００３５】
　又、この発明の請求項
４
円筒状の絶縁容器と、この絶縁容器の両端を閉塞する一対の端板と、絶縁容器および両端板で形成される密閉容器内に収納され接離可能な一対の電極と、これら両電極を囲繞するように配設され一端が両端板のうちのいずれか一方にろう付け接合された片持ちシールドとを備えた真空バルブにおいて、端板と片持ちシールドとの接合部を、溶融して漏出するろう材の漏出部が密閉容器の外部に露出するように、
　【００３６】
　又、この発明の請求項
５
【図面の簡単な説明】
　【図１】　この発明の実施の形態１における真空バルブの構成を示す断面図である。
　【図２】　図１における真空バルブの部分組立状態を示す分解図である。
　【図３】　この発明の実施の形態２における真空バルブの構成を示す断面図である。
　【図４】　この発明の実施の形態３における真空バルブの構成を示す断面図である。
　【図５】　この発明の実施の形態４における真空バルブの構成を示す断面図である。
　【図６】　この発明の実施の形態５における真空バルブの構成を示す断面図である。
　【図７】　従来の真空バルブの構成を示す断面図である。
　【符号の説明】
　１１　絶縁容器、１２，３６　第１の端板、１３　ろう材、
　１５，２５，２９，３２，３５　第２の端板、１８，１９　電極、
　２０，２６，３０，３３，３７　片持ちシールド、
　２０ａ，２６ａ，３０ｂ，３３ｂ，３７ａ　外方折曲縁、
　２１，２７，３８　封着部材、２１ａ　内方折曲縁、
　２２，２８，３１，３４，３９　密閉容器、２３　固定側部分組立品、
　２４　可動側部分組立品、２６ｂ　第１の係止部、２６ｃ　第２の係止部、
　２９ａ，
３８ａ　段部、
　３０ｃ，３２ｃ　封着部。