【事件の表示】
　特許第３３３５９７０号「ガラスセラミック基板の製造方法」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３３５９７０号の訂正後の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許３３３５９７０号の請求項１乃至５に係る発明についての出願は、平成１１年１１月２９日に特許出願され、平成１４年８月２日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、その特許について、異議申立人日立金属株式会社及びイー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーより特許異議の申立てがなされた。そして、当審において取消理由通知がなされ、その指定期間内に訂正請求がなされるとともに特許異議意見書が提出され、それに対し、当審で特許異議申立人に審尋したところ、特許異議申立人から回答がなされた。その後、当審で再度の取消理由通知がなされたところ、上記の訂正請求が取り下げられ、その指定期間内に再度の訂正請求がなされるとともに特許異議意見書が提出されたものである。
　
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
　本件訂正の内容は、本件特許明細書及び図面を訂正請求書に添付された訂正明細書及び図面のとおりに、すなわち訂正事項ア〜カのとおりに訂正しようとするものである。
　訂正事項ア．
　本件特許明細書における特許請求の範囲の請求項１に『難焼結性無機材料』（本件特許公報第１頁第１欄第７行）とあるのを、「Ａｌ2Ｏ3」に訂正する。
　訂正事項イ．
　本件特許明細書における特許請求の範囲の請求項１に『前記拘束グリーンシートのガラス含有量が、前記焼成時に拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量であること』（本件特許公報第１頁第１欄第１５行〜同頁同欄第３行）とあるのを、「前記拘束グリーンシート中のガラス含有量が、前記焼成時に前記拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量であり、前記ガラスの軟化点が、前記有機成分の揮発温度よりも高くかつ前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下であり、これにより前記拘束シートが、焼成後、前記ガラスセラミック基板から剥がれることなく付着していること」に訂正する。
　訂正事項ウ．
　本件特許明細書における特許請求の範囲の『請求項２』、『請求項３』を削除し、『請求項４』及び『請求項５』を「請求項２」及び「請求項３」に訂正する。
　訂正事項エ．
　本件特許明細書の段落番号【００１９】に『難焼結性無機材料』（本件特許公報第３頁第６欄第９行）とあるのを、「Ａｌ2Ｏ3」に訂正する。
　訂正事項オ．
　本件特許明細書の段落番号【００１９】に『難焼結性無機材料としては、Ａｌ2Ｏ3およびＳｉＯ2から選ばれる少なくとも１種が挙げられるが、これらに制限されるものではない。』(本件特許公報第４頁第８欄第１１〜１３行)とあるのを、「難焼結性無機材料としては、Ａｌ2Ｏ3を用いる。」に訂正する。
　訂正事項カ．
　本件特許明細書の段落番号【００１９】に『前記拘束グリーンシートのガラス含有量が、前記焼成時に拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量であること』（本件特許公報第３頁第６欄第１６〜１９行）とあるのを、「前記拘束グリーンシート中のガラス含有量が、前記焼成時に前記拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量であり、前記ガラスの軟化点が、前記有機成分の揮発温度よりも高くかつ前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下であり、これにより前記拘束シートが、焼成後、前記ガラスセラミック基板から剥がれることなく付着していること」に訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無、拡張又は変更の存否
　訂正事項アは、訂正前の請求項１において「難焼結性無機材料」を「Ａｌ2Ｏ3」と限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。そして、上記訂正事項アについては、特許明細書の段落【００３０】の「難焼結性無機材料としては、Ａｌ2Ｏ3およびＳｉＯ2から選ばれる少なくとも１種が挙げられる」との記載があり、また、実施例１〜３においてＡｌ2Ｏ3が用いられていることから、訂正事項アは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項イは、訂正前の請求項１において「前記拘束グリーンシートのガラス含有量が、前記焼成時に拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量であること」を「前記拘束グリーンシート中のガラス含有量が、前記焼成時に前記拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量であり、前記ガラスの軟化点が、前記有機成分の揮発温度よりも高くかつ前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下であり、これにより前記拘束シートが、焼成後、前記ガラスセラミック基板から剥がれることなく付着していること」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。そして、上記訂正事項イについては、特許明細書の訂正前の請求項２の「前記ガラスの軟化点が、前記有機成分の揮発温度よりも高く」、同請求項３の「前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下」、段落【００３２】の「拘束グリーンシート中のガラスの軟化点は、ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下で、かつ拘束グリーンシート中の有機成分の分解・揮散温度よりも高いのが好ましい。」及び段落【００４１】の「焼成後は、ガラスセラミック基板の両面に拘束シートが付着していた。この状態では、軽く叩いても拘束シートが剥がれることはなかった。ガラスセラミック基板の表面に付着した拘束シートは、擦り取ることにより大部分は除去できたが、ガラスセラミック基板表面に薄く残留していた。」との記載があることから、訂正事項イは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ウは、訂正前の請求項２、３を削除して、その削除に伴い請求項４、５の項番を繰り上げるものであるから、特許請求の範囲の減縮及び明りようでない記載の釈明に該当する。
　訂正事項エ、オ、カは、訂正事項アないしウに基づく訂正後の特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明との整合を図るものであるから、訂正事項エ、オ、カのいずれも明りょうでない記載の釈明に該当し、また、上記訂正事項ア、イで見たとおり、それらはいずれも願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であって、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立についての判断
（１）本件発明
　上記のとおり、訂正は認められるから、本件特許の訂正後の請求項１〜３に係る発明は、訂正された特許明細書に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】有機バインダーを含有し表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層してガラスセラミック・グリーンシート積層体を作製する工程と、
前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の両面に、Ａｌ2Ｏ3とガラスと有機バインダーとを含む拘束グリーンシートを積層する工程と、
前記拘束グリーンシートとガラスセラミック・グリーンシート積層体との積層体から有機成分を除去し、ついで焼成し、拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製する工程と、
前記ガラスセラミック基板から拘束シートを除去する工程とを含み、
前記拘束グリーンシート中のガラス含有量が、前記焼成時に前記拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量であり、前記ガラスの軟化点が、前記有機成分の揮発温度よりも高くかつ前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下であり、これにより前記拘束シートが、焼成後、前記ガラスセラミック基板から剥がれることなく付着していることを特徴とするガラスセラミック基板の製造方法。
【請求項２】前記拘束グリーンシート中のガラス含有量が、該拘束グリーンシート中の全無機成分の０．５〜１５重量％である請求項１記載の方法。
【請求項３】前記拘束グリーンシートの厚さが片面で前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の厚さに対して１０％以上である請求項１記載の方法。」（以下、「本件発明１」〜「本件発明３」という。）
　
（２）取消理由通知で引用された刊行物に記載された発明
（２−１）平成１５年１０月２２日付けの取消理由通知で引用された刊行物１(特開平１０−７５０６０号公報《特許異議申立人 日立金属株式会社の提出した甲第１号証》)には、
　ア．「石英、クリストバライトおよびトリジマイトの少なくとも一種を含む組成物からなるグリーンシートを用いる場合」の多層ガラス・セラミック基板の製造方法について、「ガラス・セラミック材料に有機バインダおよび可塑剤等を加えて作製したグリーンシート上に、導体ペースト組成物で電極パターンを形成し、これらのシートを所定の枚数積層して多層化する」ことにより「多層ガラス・セラミック積層体」を「作製する」こと、「前記多層ガラス・セラミック積層体の両面に石英…略…トリジマイトの少なくとも一種を含む組成物からなるグリーンシートを積層」して、「多層ガラス・セラミック基板グリーン積層体」を得ること(段落【００２３〜００２４】)、
　イ．「石英…略…トリジマイトの少なくとも一種を含む組成物…略…または焼結助剤を含有する前記組成物からなるグリーンシート、…略…を両面に有する多層ガラス・セラミック基板グリーン積層体を焼成し、その後両面の組成物を取り除くことにより、平面方向の収縮が起こらない多層ガラス・セラミック基板を得る」こと(段落【００２２】)、
　ウ．「焼結助剤としては、多層ガラス・セラミック基板の焼結開始温度以下で軟化するか、液相を生成する酸化物が用いられる」こと(段落【００２８】)、
　エ．「このような酸化物としては、…略…、珪酸鉛アルミガラス、珪酸鉛アルカリガラス…略…ホウ酸鉛亜鉛ガラスのいずれか一種が好ましい」こと(段落【００２８】)、
　オ．「前記積層体の有機物を脱バインダ処理し通常の焼成を行う」こと(段落【００２４】)、
　カ．「焼成条件はベルト炉によって空気中、３５０℃で脱バインダ終了後、９００℃で１０分間焼成を行った」こと(実施例３の段落【００５８】)、
　キ．「石英粉末に、ホウ珪酸アルカリガラス粉末(42SiO2-26Na2O-32B2O3(mol%)、平均粒径1.0μｍ、軟化温度５５７℃)を１、２、３、４、５wt％加えたものを無機成分とし、有機バインダとしてアクリル樹脂、可塑剤としてフタル酸エステル、溶剤…略…を混合しスラリーとした。」こと、「焼成後、いずれのものについてもセラミック積層体の両面に形成された平面方向の収縮を抑えるためのシートの焼結体ははがれていた。この焼成後の基板の寸法を測定し収縮率を計算すると０．５％以下であった。」こと(実施例３)、
が記載されている。
　
　上記摘示事項アの「ガラス・セラミック材料に有機バインダおよび可塑剤等を加えて作製したグリーンシート上に、導体ペースト組成物で電極パターンを形成」することにより得られるものは、「有機バインダ」を含有し表面に「電極パターン」が形成された「ガラス・セラミック材料」の「グリーンシート」、すなわち、「有機バインダを含有し表面に電極パターンが形成されたガラス・セラミック材料のグリーンシート」であること、
　上記摘示事項アの「これらのシートを所定の枚数積層して多層化する」ことにより「多層ガラス・セラミック積層体」を「作製する」ことは、上記「ガラス・セラミック材料のグリーンシート」を「所定の枚数積層」して「多層ガラス・セラミック積層体」を「作製する」ことを示すこと、
　上記摘示事項イの「石英、クリストバライトおよびトリジマイトの少なくとも一種を含む組成物からなるグリーンシート」との記載には、有機バインダが含有されることは明記されてはいないものの、一般的なセラミックのグリーンシートの成形に関する技術常識及び刊行物１の上記オ、カの記載からみて、多層ガラス・セラミック積層体を作製するグリーンシートと同様に、この「石英…略…の少なくとも一種を含む組成物からなるグリーンシート」にも有機バインダは内在されていることは明らかであること、
　上記摘示事項オの「前記積層体」は、上記摘示事項アから、「多層ガラス・セラミック積層体の両面に石英…略…の少なくとも一種を含む組成物からなるグリーンシートを積層」した「多層ガラス・セラミック基板グリーン積層体」であること、
　上記摘示事項ウ、オ及びカより、焼結助剤の軟化点は、「有機物」の「脱バインダ処理」される温度よりも高いことは明らかであること、
　を考慮しつつ、刊行物１の上記摘示事項ア〜カについて、本件発明１の記載ぶりに則って整理すると、刊行物１には、
「有機バインダを含有し表面に電極パターンが形成されたガラス・セラミック材料のグリーンシートを所定の枚数積層して多層ガラス・セラミック積層体を作製する工程と、
前記ガラス・セラミック積層体の両面に、石英、クリストバライトおよびトリジマイトの少なくとも一種と、珪酸鉛アルミガラス、…略…、ホウ酸鉛亜鉛ガラスのいずれか一種である焼結助剤と、有機バインダを含むグリーンシートを積層する工程と、
前記グリーンシートと多層ガラス・セラミック積層体との多層ガラス・セラミック基板グリーン積層体から有機物を脱バインダ処理し、ついで焼成し、その後両面の組成物を取り除く工程とを含み、
前記焼結助剤の軟化点が、有機物の脱バインダ処理される温度よりも高くかつ多層ガラス・セラミック基板の焼結開始温度以下で軟化するものである、多層ガラスセラミック基板の製造方法」の発明(以下、「刊行物１発明」という)が記載されているといえる。
　
（２−２）同取消理由通知で引用された刊行物２(特開平５−３２７２１８号公報《特許異議申立人 日立金属株式会社の提出した甲第２号証》)には、
　ク．「本発明は、ガラス・セラミック低温焼結基板材料に少なくとも有機バインダ、可塑剤を含むグリーンシートを作製し、導体ペースト組成物で電極パターンを形成し、前記生シートと別の電極パターン形成済みグリーンシートとを複数枚数積層する」こと、「しかる後、前記低温焼結ガラス・セラミックよりなるグリーンシート積層体の両面に、前記ガラス・セラミック基板焼成温度では結晶化が起こらず、ガラス・セラミック結晶化終了温度以上で結晶化が始まり焼結するガラス、もしくはガラスとセラミックよりなるグリーンシートで挟み込むように積層する」こと、「そして前記積層体の焼成処理として、有機物を除去する脱バインダを行った後、前記内層のガラス・セラミック組成物の結晶化温度まで昇温、保持し、この内層ガラスセラミック組成物の結晶化が終了した後、さらに両面に積層した前記ガラス、もしくはガラスとセラミック混合物の結晶化温度まで昇温、保持を行う」こと、「そして結晶化が終了した後に両面の結晶化物を取り除く」こと(段落【００１３】)、
　ケ．「ガラス・セラミック低温焼結基板材料に少なくとも有機バインダ、可塑剤を含むグリーンシートを作製し、導体ペースト組成物で電極パターンを形成し、前記生シートと別の電極パターン形成済みグリーンシートとを複数枚数積層して多層化し、前記低温焼結ガラス・セラミックよりなるグリーンシート積層体の両面に前記ガラス・セラミック低温焼結基板材料の結晶化温度では結晶化の挙動を起こさず、前記ガラス・セラミック結晶化温度終了後に結晶化が始まり焼結を起こす、ガラス、もしくはガラスとセラミック混合物よりなるグリーンシートを積層する」こと、「この事により、前記積層体を焼成しても、厚み方向以外は収縮が起こらない」こと、「これは、ガラス・セラミック積層体が収縮を起こすガラスの軟化点から焼結までの間、両面に積層した焼結挙動を起こさない材料で挟み込まれているため、焼結による平面方向の収縮が阻止されると考えられる」こと、「そしてガラス・セラミック積層体が焼結を完了した後に、両面に積層した材料が焼結を起こし、平面方向の収縮を起こす」こと、「このために、必要とするガラス・セラミック積層体からの取り外しが容易に行われる」こと、「このように最終的に、平面方向の収縮が起こらないガラス・セラミック基板が得られる」こと(段落【００１４】)、
　コ．「またガラス・セラミック低温焼結基板材料の焼成温度では焼結しないガラスと無機組成物混合物のグリーンシートの無機成分には、Ａｌ2Ｏ3，ＭｇＯ，ＺｒＯ2，ＴｉＯ2，ＢｅＯ，ＢＮ，の内少なくとも１種以上を含むグリーンシートからなる。」(段落【００１６】)、
が記載されている。
　
（２−３）同取消理由通知で引用された刊行物３(特開平６−１００３７７号公報《特許異議申立人 日立金属株式会社の提出した甲第３号証》)には、
　サ．「焼成処理温度以下に軟化点を有するガラス粉末が重量比で３０重量部〜１００重量部、セラミック粉末が７０重量部〜０重量部混合されたガラス・セラミック無機粉末に、少なくとも有機バインダ、可塑剤を含むグリーンシートを作製し、前記グリーンシートに導体ペースト組成物で電極パターンおよび層間接続バイアを形成し、同様に作製した所望枚数のグリーンシートを積層した第１の積層体群に、前記ガラス・セラミックの焼成処理温度で焼結しない無機組成物よりなるグリーンシートを第１の積層体群の両面に挟み込んで積層した後、焼成処理を行い、その後前記焼結しない無機組成物層を取り除くことを特徴とする多層セラミック基板の製造方法。」（【請求項１】）、
　シ．「焼成処理で焼結しない無機組成物が、　平均粒径０．５μｍ〜２０μｍのＡｌ2Ｏ3を含むグリーンシートからなることを特徴とする請求項１記載の多層セラミック基板の製造方法。」(【請求項３】)、
　ス．「なお本実施例において、無焼結材料としてＡｌ2Ｏ3を用いたが、その他ＭｇＯ，ＺｒＯ2，ＴｉＯ2，ＢＮ、ＢｅＯを用いても同様の結果が得られた。」(段落【００５７】)、
が記載されている。
　
（３）対比、判断
（３−１）本件発明１について
　刊行物１発明と本件発明１とを対比するに、刊行物１発明の「有機バインダ」、「電極パターン」、「ガラス・セラミック材料のグリーンシート」、「所定の枚数」、「珪酸鉛アルミガラス、…略…、ホウ酸鉛亜鉛ガラスのいずれか一種である焼結助剤」、「有機物」、「脱バインダ処理される温度」、「脱バインダ処理」、「焼結開始温度」及び「多層ガラス・セラミック基板」は、それぞれ本件発明１の「有機バインダー」、「導体パターン」、「ガラスセラミック・グリーンシート」、「複数枚」、「ガラス」、「有機成分」、「揮発温度」、「除去」、「焼成温度」及び「ガラスセラミック基板」に相当する。
　そして、刊行物１発明の「前記グリーンシートと多層ガラス・セラミック積層体との多層ガラス・セラミック基板グリーン積層体から有機物を脱バインダ処理し、ついで焼成」しは、本件発明１の「前記拘束グリーンシートとガラスセラミック・グリーンシート積層体との積層体から有機成分を除去し、ついで焼成し、拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製」する工程に当たり、刊行物１発明の「両面の組成物を取り除く工程」は、本件発明１の「前記ガラスセラミック基板から拘束シートを除去する工程」に当たり、刊行物１発明の「焼結助剤が多層ガラス・セラミック基板の焼結開始温度以下で軟化する」は、本件発明１の「ガラスの軟化点が、前記有機成分の揮発温度よりも高くかつ前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下であ」ることに当たる。
　すると、刊行物１発明と本件発明１とは、
「有機バインダーを含有し表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層してガラスセラミック・グリーンシート積層体を作製する工程と、前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の両面に、ガラスと有機バインダーを含む拘束グリーンシートを積層する工程と、前記拘束グリーンシートとガラスセラミック・グリーンシート積層体との積層体から有機成分を除去し、ついで焼成し、拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製する工程と、前記ガラスセラミック基板から拘束シートを除去する工程とを含み、
前記拘束グリーンシート中のガラスの軟化点が、前記有機成分の揮発温度よりも高くかつ前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下であるガラスセラミック基板の製造方法。」の点で一致し、次の点で相違する。
【相違点１】
　本件発明１の拘束グリーンシートは、Ａｌ2Ｏ3を含むのに対し、刊行物１発明のガラス・セラミック基板グリーン積層体の両面に積層されるグリーンシート(上述のとおり、本件発明１の「拘束グリーンシート」にあたる)は、石英、クリストバライトおよびトリジマイトの少なくとも一種を含む点
【相違点２】
　本件発明１の拘束グリーンシート中のガラスの含有量は、前記焼成時に前記拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量であるのに対し、刊行物１発明では、その規定のない点
　
　以下、上記相違点について検討するに、まず上記相違点１について、刊行物１発明は、上記摘示事項キに示されたとおり、焼成後に「拘束グリーンシート」がはがれているようにするものであるから、上記刊行物１発明において、「石英、クリストバライトおよびトリジマイトの少なくとも一種」を用いずに、その代わりにＡｌ2Ｏ3を用いることの示唆はなく、また、このことは刊行物１の記載からみて自明でもない。
　この相違点１について、刊行物２には、上記摘示事項クないしコに示されるように、Ａｌ2Ｏ3(アルミナ)を用いることの記載はあるが、該アルミナは、ガラス・セラミック低温焼結基板材料の焼成温度では焼結しないガラスと共に用いるものであって、当該基板材料の焼成温度で焼結するガラスと共に用いることは示唆もされていないから、結局刊行物２には、刊行物１発明において当業者が「石英、クリストバライトおよびトリジマイトの少なくとも一種」を用いずに、その代わりにＡｌ2Ｏ3を用いることの契機となる開示はない。
　刊行物３には、上記摘示事項シ、スに示されるように、Ａｌ2Ｏ3(アルミナ)を用いることの記載はあるが、上記摘示事項サに示されるように該アルミナは、ガラス・セラミックの焼成処理温度で焼結しない無機組成物よりなるグリーンシートに用いられるものであって、当該焼成温度で焼結するガラスと共に用いることは示唆もされていないから、結局刊行物３にも、刊行物１発明において当業者が「石英、クリストバライトおよびトリジマイトの少なくとも一種」を用いずに、その代わりにＡｌ2Ｏ3を用いることの契機となる開示はない。
　また、このことは、刊行物１ないし３の記載からみて、自明でもない。
　更に、異議申立人(イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー)が異議申立書で提示した各刊行物をみても、刊行物１発明に、上記相違点１に係る技術的事項を組み合わせるべき動機付けとなる技術的な開示はみあたらない。
　そして、本件発明１は、ガラスセラミック・グリーンシート基板の積層面内の収縮を確実に抑えることができ、反りや変形のない寸法精度の高いガラスセラミック基板が得られるという効果をそうするものである。
　したがって、本件発明１は、本件特許異議申立に係る各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　なお、特許異議申立人 日立金属株式会社は、回答書の「４．回答の内容（５）」で、特開平４−１７３９２号公報には、アルミナ微粉末にほうけい酸ガラス微粉末を加えたガラスセラミックス系グリーンシートを無配線の絶縁層(拘束グリーンシート)に使用していること、焼結後の絶縁層(拘束シート)は研磨除去するものであり、絶縁層(拘束シート)がガラスセラミック基板に結合することを示唆すること、が記載されているから、本件発明１は上記公報に記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである旨主張するが、同公報の第３頁に記載されているとおり、同公報に記載された発明における「基板上下面に存在する無配線層」(本件発明１の「拘束グリーンシート」に相当する)は、「内部の不均一収縮に逆らって『均一に収縮するように作用』し、その結果基板の反りが減少するものである」から、前記拘束グリーンシート中のガラス含有量は「かつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に『収縮させない』量」にはあたらず、また、上記公報には当該ガラス含有量をそのような量とする教示がない。よって、上記特許異議申立人の主張は採用できない。
　また、上記『均一に収縮させるように作用』する点は、刊行物１発明の「石英、クリストバライトおよびトリジマイトの少なくとも一種」が焼成前と焼成後の寸法変化を相殺する点とは相容れない方向性を有する技術に関するものであるから、上記公報の記載を参酌しても、刊行物１発明において当業者が「石英、クリストバライトおよびトリジマイトの少なくとも一種」を用いずに、その代わりにＡｌ2Ｏ3を用いる動機付けはみあたらない。
　
（３−２）本件発明２、３について
　本件発明２、３は、本件発明１を引用する従属形式のものであるから、本件発明１でみたのと同じ理由によって、本件特許異議申立に係る各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
（４）明細書の記載要件について
　特許異議申立人 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーは、本件の訂正前の請求項１〜５に係る特許は、特許法第３６条第４項又は第６項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである旨主張するが、上記訂正後の本件特許明細書の記載によれば「…これにより前記拘束シートが、焼成後、前記ガラスセラミック基板から剥がれることなく付着している」ことが明らかにされていることから、上記訂正に係る本件特許明細書の記載については、特許法第３６条第４項又は第６項に係る記載不備があるとまではいえない。
　
４．結び
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由及び証拠によっては、本件訂正後の請求項１〜３に係る発明についての特許を取り消すことができない。
　また、他に本件訂正後の請求項１〜３に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年１月２６日（２００５．１．２６）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
ガラスセラミック基板の製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】有機バインダーを含有し表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層してガラスセラミック・グリーンシート積層体を作製する工程と、
前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の両面に、
Ａｌ２Ｏ３
前記拘束グリーンシートとガラスセラミック・グリーンシート積層体との積層体から有機成分を除去し、ついで焼成し、拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製する工程と、
前記ガラスセラミック基板から拘束シートを除去する工程とを含み、
前記拘束グリーンシート中のガラス含有量が、前記焼成時に前記拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量
であり、前記ガラスの軟化点が、前記有機成分の揮発温度よりも高くかつ前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下であり、これにより前記拘束シートが、焼成後、前記ガラスセラミック基板から剥がれることなく付着している
　【請求項
２
　【請求項
３
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ＬＳＩ、チップ部品等を搭載し、それらを相互配線するための多層ガラスセラミック基板の製造方法に関する。
　【従来の技術】
　【０００２】近年、半導体ＬＳＩ、チップ部品等は小型化、軽量化が進んでおり、これらを実装する配線基板も小型化、軽量化が望まれている。このような要求に対して、基板内に内部電極等を配した多層セラミック基板は、要求される高密度配線が可能となり、かつ薄型化が可能なことから、今日のエレクトロニクス業界において重要視されている。
　【０００３】多層セラミック基板としては、アルミナ質焼結体からなり、表面または内部にタングステン、モリブデン等の高融点金属からなる配線層が形成された絶縁基板が従来より広く用いられている。
　【０００４】一方、近年の高度情報化時代を迎え、使用される周波数帯域はますます高周波化に移行しつつある。このような高周波の信号の伝送を行う高周波配線基板においては、高周波信号を高速で伝送する上で、配線層を形成する導体の抵抗が小さいことが要求され、絶縁基板にもより低い誘電率が要求される。
　【０００５】しかし、従来のタングステン、モリブデン等の高融点金属は導体抵抗が大きく、信号の伝播速度が遅く、また３０ＧＨｚ以上の高周波領域の信号伝播も困難であることから、タングステン、モリブデン等の金属に代えて銅、銀、金等の低抵抗金属を使用することが必要である。ところが、上記のような低抵抗金属は融点が低いため、８００〜１０００℃程度の低温で焼成することが必要であることから、該低抵抗金属からなる配線層は、高温焼成が必要なアルミナと同時焼成することができなかった。また、アルミナ基板は誘電率が高いため、高周波回路基板には不適切である。
　【０００６】このため、最近では、ガラスとセラミックス（無機質フィラー）との混合物を焼成して得られるガラスセラミックスを絶縁基板として用いることが注目されている。すなわち、ガラスセラミックスは誘電率が低いため高周波用絶縁基板として好適であり、またガラスセラミックスは８００〜１０００℃の低温で焼成することができることから、銅、銀、金等の低抵抗金属を配線層として使用できるという利点がある。
　【０００７】多層ガラスセラミック基板は、ガラスとフィラーとの混合物に有機バインダー、可塑剤、溶剤等を加えてスラリーとし、ドクターブレード等によりガラスセラミック・グリーンシートを成形した後、銅、銀、金等の低抵抗金属の粉末を含有する導体ペーストを印刷するなどして前記グリーンシート上に導体パターンを形成し、ついで複数枚のグリーンシートを積層して８００〜１０００℃の温度で焼成して得られる。
　【０００８】ところが、多層ガラスセラミック基板は、焼成過程において焼結に伴う収縮を生じるという問題がある。このような収縮の程度は一様ではなく、使用する基板用無機材料、グリーンシート組成、原料である粉体粒度のバラツキ、導体パターン、内部電極材料等により収縮率や収縮方向が異なってくる。このことは、多層ガラスセラミック基板の作製において、いくつかの問題をひき起こす。
　【０００９】先ず、内部電極印刷用のスクリーン版を作製する際、基板の収縮率から逆算してスクリーン版の大きさを決定しなければならないが、上記のように基板の収縮率や収縮方向は一定でないため、スクリーン版は基板の製造ロット毎に作り直さなければならず不経済であり現実的ではない。さらに、上記のようなグリーンシート積層法によって作製される多層ガラスセラミック基板では、グリーンシートの造膜方向によって積層面内の縦方向と横方向の収縮率が異なるため、多層ガラスセラミック基板の作製がより一層困難なものになる。これに対して、収縮誤差を許容するように必要以上に大きい面の電極を形成する場合には、高密度な配線ができなくなる。
　【００１０】これらの収縮変化を小さくするためには、回路設計による基板の収縮率の傾向を調べたり、製造工程において基板材料およびグリーンシート組成の管理、粉体粒度のバラツキ、プレス圧や温度等の積層条件を充分管理する必要がある。しかし、一般に収縮率の誤差は±０．５％程度は存在するといわれている。
　【００１１】このことは多層ガラスセラミック基板にかかわらずセラミックスやガラスセラミックス等の焼結に伴うものに共通する課題である。このような課題を解決するために、特開平４−２９３９７８号公報、特開平５−２８８６７号公報、特開平５−１０２６６６号公報では、以下の（１）〜（４）の工程を含む基板の製造方法が提案されている。
　【００１２】（１）ガラスセラミック成分とバインダー、可塑剤等の有機成分とを含むガラスセラミック・グリーンシートに導体パターンを形成したものを所望枚数積層し、（２）得られたガラスセラミック・グリーンシートの積層体の両面または片面に、前記ガラスセラミック成分の焼成温度では焼結しない無機材料とバインダー、可塑剤等の有機成分とを含む拘束グリーンシートを積層し、（３）これらガラスセラミック・グリーンシートの積層体と拘束グリーンシートとの積層体を加熱して、まず有機成分を除去し、ついで焼成して、それぞれガラスセラミック基板および拘束シートとなし、（４）最後に、ガラスセラミック基板から拘束シートを除去する。
　【００１３】この方法によれば、前記拘束グリーンシートがガラスセラミック・グリーンシートの焼成時の収縮を拘束するため、積層体の厚さ方向のみに収縮が起こり、積層面の縦・横方向には収縮が起こらなくなり、ガラスセラミック基板の寸法精度が向上すると考えられている。
　【００１４】
　【発明が解決しようとする課題】上記の方法では、ガラスセラミック・グリーンシートと拘束グリーンシートとの結合は、それらのグリーンシート内に含有されているバインダー等の有機成分により行われる。しかし、（３）の焼成工程において、バインダー、可塑剤等の有機成分が分解し揮散した後は、拘束グリーンシート中の粉体とガラスセラミック・グリーンシート中の粉体とが単に密着して接触しているだけであり、それらのシート間にはファンデルワールス力による弱い結合が働いているだけである。
　【００１５】このような弱い結合は、（４）の工程における拘束シートの除去が簡単になるという利点があるものの、（３）の焼成工程でガラスセラミック・グリーンシート積層体から拘束グリーンシートがそれらの熱膨張差等により不用意に剥離するおそれがある。焼成途中で拘束グリーンシートが剥離すると、ガラスセラミック・グリーンシートの焼結収縮を防止できなくなる。また、拘束グリーンシートの剥離がたとえ一部であっても、当該部分において収縮が起こるためガラスセラミック基板の変形が発生することになる。
　【００１６】また、ガラスセラミック・グリーンシート積層体と拘束グリーンシートとは結合力が小さいため、焼成前のそれらの密着状態や、ガラスセラミック成分の種類によるガラスセラミック・グリーンシート中のガラス成分の拘束グリーンシート内への浸透性によってはそれらの結合力にムラが生じやすい。結合力にムラがあると、ガラスセラミックの焼結収縮を拘束する力にムラができ、収縮ムラが起こり、ガラスセラミック基板の反り、変形等が発生することになる。その結果、寸法精度の高い基板が得られないという問題がある。
　【００１７】本発明の目的は、ガラスセラミック・グリーンシートの積層面内での焼結収縮を確実に拘束して、寸法精度の高いガラスセラミック基板を得る方法を提供することである。
　【００１８】
　【課題を解決するための手段】本発明者らは上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、（Ｉ）拘束グリーンシート内にガラス成分を含有させておくと、該ガラス成分が焼成過程でガラスセラミック・グリーンシートと拘束グリーンシートとを結合する結合材として作用するため、それらの間の結合力が高まり、拘束グリーンシートが剥離するのを防止できること、（ＩＩ）焼成時における拘束グリーンシート自体の焼結収縮はガラスの含有量を所定範囲内に設定することにより実質的に回避できること、その結果、（ＩＩＩ）拘束グリーンシートによりガラスセラミック・グリーンシート積層体の収縮が確実に抑えられ、寸法精度の高いガラスセラミック基板を得ることができるという新たな事実を見出し、本発明を完成するに到った。
　【００１９】すなわち、本発明のガラスセラミック基板の製造方法は、（ｉ）有機バインダーを含有し表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層してガラスセラミック・グリーンシート積層体を作製する工程と、（ｉｉ）前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の両面に、
Ａｌ２Ｏ３
であり、前記ガラスの軟化点が、前記有機成分の揮発温度よりも高くかつ前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下であり、これにより前記拘束シートが、焼成後、前記ガラスセラミック基板から剥がれることなく付着している
　【００２０】ここで、「実質的に収縮させない」とは、拘束グリーンシートの収縮が１％以下、好ましくは０．８％以下、より好ましくは０．５％以下に抑制されていることを意味する。また、前記「積層面内」とは、三次元座標において厚さ方向をＺ方向としたときのＸ方向およびＹ方向によって規定される面内をいい、具体的にはシートの縦方向および横方向を意味する。
　【００２１】本発明において、前記拘束グリーンシート中に含有されるガラスの軟化点は、前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下であるのがよい。これにより、焼成工程で拘束グリーンシート中のガラスが軟化し、結合力が高まる。
　【００２２】また、前記拘束グリーンシート中に含有されるガラスの軟化点は、前記有機成分の除去温度よりも高いのがよい。前記ガラスの軟化点が有機成分の除去温度よりも低い場合には、分解・揮散した有機成分が通過するための除去経路が軟化したガラスによって閉塞されてしまうおそれがある。
　【００２３】前記拘束グリーンシート中のガラス含有量は、該拘束グリーンシート中の全無機成分の０．５〜１５重量％であるのがよい。通常は、この範囲が焼成時に前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合しかつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量となるが、必ずしもこの範囲に制限されるものではなく、使用するガラスの種類等によってガラス含有量は変化する。
　【００２４】
　【発明の実施の形態】本発明におけるガラスセラミック・グリーンシートは、ガラス粉末、フィラー粉末（セラミック粉末）、さらに有機バインダー、可塑剤、有機溶剤等を混合したものが用いられる。
　【００２５】ガラス成分としては、例えばＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３系、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３系、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−ＭＯ系（但し、ＭはＣａ、Ｓｒ、Ｍｇ、ＢａまたはＺｎを示す）、ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−Ｍ１Ｏ−Ｍ２Ｏ系（但し、Ｍ１およびＭ２は同一または異なってＣａ、Ｓｒ、Ｍｇ、ＢａまたはＺｎを示す）、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−Ｍ１Ｏ−Ｍ２Ｏ系（但し、Ｍ１およびＭ２は前記と同じである）、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ｍ３２Ｏ系（但し、Ｍ３はＬｉ、ＮａまたはＫを示す）、ＳｉＯ２−Ｂ２Ｏ３−Ａｌ２Ｏ３−Ｍ３２Ｏ系（但し、Ｍ３は前記と同じである）、Ｐｂ系ガラス、Ｂｉ系ガラス等が挙げられる。
　【００２６】また、前記フィラーとしては、例えばＡｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２とアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物、ＴｉＯ２とアルカリ土類金属酸化物との複合酸化物、Ａｌ２Ｏ３およびＳｉＯ２から選ばれる少なくとも１種を含む複合酸化物（例えばスピネル、ムライト、コージェライト）等が挙げられる。上記ガラスとフィラーの混合割合は重量比で４０：６０〜９９：１であるのが好ましい。
　【００２７】ガラスセラミック・グリーンシートに配合される有機バインダーとしては、従来よりセラミックグリーンシートに使用されているものが使用可能であり、例えばアクリル系（アクリル酸、メタクリル酸またはそれらのエステルの単独重合体または共重合体、具体的にはアクリル酸エステル共重合体、メタクリル酸エステル共重合体、アクリル酸エステル−メタクリル酸エステル共重合体等）、ポリビニルブチラール系、ポリビニルアルコール系、アクリル−スチレン系、ポリプロピレンカーボネート系、セルロース系等の単独重合体または共重合体が挙げられる。
　【００２８】ガラスセラミック・グリーンシートは、上記ガラス粉末、フィラー粉末、有機バインダーに必要に応じて所定量の可塑剤、溶剤（有機溶剤、水等）を加えてスラリーを得、これをドクターブレード、圧延、カレンダーロール、金型プレス等により厚さ約５０〜５００μｍに成形することによって得られる。
　【００２９】ガラスセラミック・グリーンシート表面に導体パターンを形成するには、例えば導体材料粉末をペースト化したものをスクリーン印刷法やグラビア印刷法等により印刷するか、あるいは所定パターン形状の金属箔を転写する等の方法が挙げられる。導体材料としては、例えばＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｐｔ等の１種または２種以上が挙げられ、２種以上の場合は混合、合金、コーティング等のいずれの形態であってもよい。なお、表面の導体パターンには、上下の層間の導体パターン同士を接続するためのビア導体やスルーホール導体等の貫通導体が表面に露出した部分も含まれる。これら貫通導体は、パンチング加工等によりガラスセラミック・グリーンシートに形成した貫通孔に、導体材料粉末をペースト化したもの（導体ペースト）を印刷により埋め込む等の手段によって形成される。
　【００３０】ガラスセラミック・グリーンシートの積層には、積み重ねたグリーンシートに熱と圧力を加えて熱圧着する方法、有機バインダー、可塑剤、溶剤等からなる接着剤をシート間に塗布して熱圧着する方法等が採用可能である。本発明における拘束グリーンシートは、難焼結性無機材料とガラスとからなる無機成分に有機バインダー、可塑剤、溶剤等を加えたスラリーを成形して得られる。難焼結性無機材料としては、
Ａｌ２Ｏ３を用いる。
　【００３１】拘束グリーンシートに加えられるガラスについては、特に制限されるものではなく、前記したガラスセラミック・グリーンシートに配合されるガラスと同様のものが使用可能である。また、拘束グリーンシート中のガラスは、ガラスセラミック・グリーンシート中のガラスと同一組成のものであってもよく、異なる組成のものであってもよい。
　【００３２】拘束グリーンシート中のガラスの軟化点は、ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下で、かつ拘束グリーンシート中の有機成分の分解・揮散温度よりも高いのが好ましい。具体的には、拘束グリーンシート中のガラスの軟化点は４５０〜１１００℃程度であるのが好ましい。ガラスの軟化点が４５０℃未満の場合には、ガラスセラミック・グリーンシートからの有機成分の除去時に、軟化したガラスが分解・揮散した有機成分の除去経路を塞ぐことになり有機成分を完全に除去できないおそれがある。一方、ガラスの軟化点が１１００℃を超える場合には、通常のガラスセラミック・グリーンシートの焼成条件では該グリーンシートへの結合材として作用しなくなるおそれがある。
　【００３３】拘束グリーンシートは、ガラスセラミック・グリーンシートの作製と同様にして、有機バインダー、可塑剤、溶剤等を用いて成形することによって得られる。有機バインダー、可塑剤および溶剤としては、ガラスセラミック・グリーンシートで使用したのと同様な材料が使用可能である。ここで、可塑剤を添加するのは、拘束グリーンシートに可撓性を付与し、積層時にガラスセラミック・グリーンシートとの密着性を高めるためである。
　【００３４】ガラスセラミック・グリーンシートの両面に積層される拘束グリーンシートの厚さは、片面だけでガラスセラミック・グリーンシート積層体の厚さに対して１０％以上であるのが好ましく、これよりも薄いと拘束グリーンシートの拘束性が低下するおそれがある。また、有機成分の揮散を容易にしかつガラスセラミック基板からの拘束シートの除去を考慮すると、拘束グリーンシートの厚さはガラスセラミック・グリーンシート積層体の厚さの約２００％以下であるのがよい。また、積層される拘束シートは１枚のものであってもよく、あるいは所定の厚みになるように複数枚を積層したものであってもよい。
　【００３５】成形された拘束グリーンシートをガラスセラミック・グリーンシートの両面に積層するには、積み重ねたグリーンシートに熱と圧力を加えて熱圧着する方法、有機バインダー、可塑剤、溶剤等からなる接着剤をシート間に塗布して熱圧着する方法等が採用可能である。シート間に接着剤層を介在させる場合には、該接着剤層に拘束グリーンシートと同じガラス成分を含有させてシート間の結合力を高めるようにしてもよい。
　【００３６】拘束グリーンシートを積層後、有機成分の除去と焼成を行う。有機成分の除去は１００〜８００℃の温度範囲で積層体を加熱することによって行い、有機成分を分解・揮散させる。また、焼成温度はガラスセラミック組成により異なるが、通常は約８００〜１１００℃の範囲内である。焼成は通常、大気中で行うが、導体材料にＣｕを使用する場合には１００〜７００℃の水蒸気を含む窒素雰囲気中で有機成分の除去を行い、ついで窒素雰囲気中で焼成を行う。
　【００３７】また、焼成時には、反りを防止するために、積層体上面に重しを載せる等して荷重をかけてもよい。荷重は５０Ｐａ〜１ＭＰａ程度が適当である。荷重が５０Ｐａ未満である場合は、積層体の反り抑制作用が充分でないおそれがある。また、荷重が１ＭＰａを超える場合は、使用する重しが大きくなるため焼成炉に入らなかったり、また焼成炉に入っても熱容量不足になり焼成できないなどの問題をひき起こすおそれがある。重しとしては、分解した有機成分の揮散を妨げないように、例えば多孔質のセラミックスや金属等を使用するのが好ましい。積層体の上面に多孔質の重しを置き、その上に非多孔質の重しを置いてもよい。
　【００３８】焼成後、拘束シートを除去する。除去方法としては、ガラスセラミック基板の表面に結合した拘束シートを除去できる方法であれば特に制限はなく、例えば超音波洗浄、研磨、ウォータージェット、ケミカルブラスト、サンドブラスト、ウェットブラスト（砥粒と水とを空気圧により噴射させる方法）等が挙げられる。
　【００３９】得られた多層ガラスセラミック基板は、焼成時の収縮が拘束グリーンシートによって厚さ方向だけに抑えられているので、その積層面内の収縮をおよそ０．５％以下にも抑えることが可能となり、しかもガラスセラミック・グリーンシートは拘束グリーンシートによって全面にわたって均一にかつ確実に結合されているので、拘束グリーンシートの一部剥離等によって反りや変形が起こるのを防止することができる。
　【００４０】
　【実施例】以下、実施例、比較例および試験例を挙げて本発明の方法を詳細に説明するが、本発明は以下の実施例のみに限定されるものではない。
　【００４１】実施例１
ガラスセラミック成分として、ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＭｇＯ−Ｂ２Ｏ３−ＺｎＯ系ガラス粉末６０重量％、ＣａＺｒＯ３粉末２０重量％、ＳｒＴｉＯ３粉末１７重量％およびＡｌ２Ｏ３粉末３重量％を使用した。このガラスセラミック成分１００重量部に有機バインダーとしてアクリル樹脂１２重量部、フタル酸系可塑剤６重量部および溶剤としてトルエン３０重量部を加え、ボールミル法により混合しスラリーとした。このスラリーをドクターブレード法により厚さ３００μｍのガラスセラミック・グリーンシートを成形した。ついで、このグリーンシート上に銀−パラジウムペーストを用いて導体パターンをスクリーン印刷にて形成した。導体ペーストとしては、Ａｇ：Ｐｄが重量比で８５：１５である合金粉末（平均粒径１．０μｍ）１００重量部に対してＡｌ２Ｏ３粉末２重量部および前記ガラスと同組成のガラス粉末２重量部、さらにビヒクル成分として所定量のエチルセルロース系樹脂、テルピネオールを加え、３本ロールにより適度な粘度になるように混合したものを用いた。一方、無機成分としてＡｌ２Ｏ３粉末９５重量％と軟化点７２０℃のＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＭｇＯ−Ｂ２Ｏ３−ＺｎＯ系ガラス粉末５重量％とを用いて、前記ガラスセラミック・グリーンシートと同様にしてスラリーを作製し、ついで成形して厚さ２５０μｍの拘束グリーンシートを得た。表面に導体パターンを形成した前記ガラスセラミック・グリーンシートの所定枚数を積み重ねてガラスセラミック・グリーンシート積層体を得、さらにその両面に前記拘束グリーンシートを重ね合わせ、温度５５℃、圧力２０ＭＰａで圧着して積層体を得た。得られた積層体をアルミナセッターに載置し、大気中５００℃で２時間加熱して有機成分を除去した後、９００℃で１時間焼成した。焼成後は、ガラスセラミック基板の両面に拘束シートが付着していた。この状態では、軽く叩いても拘束シートが剥がれることはなかった。ガラスセラミック基板の表面に付着した拘束シートは、擦り取ることにより大部分は除去できたが、ガラスセラミック基板表面に薄く残留していた。この残留した拘束シートを、球状Ａｌ２Ｏ３微粉末と水との混合物を高圧の空気圧で投射するウェットブラスト法により除去した。拘束シートを除去した後のガラスセラミック基板の表面は、表面粗さＲａが１μｍ以下の平滑な面となり、導体の半田濡れ性も問題なかった。また、得られたガラスセラミック基板の積層面内での収縮は０．５％以下であり、基板に反りや変形も認められなかった。
　【００４２】実施例２および３
軟化点が６００℃および７００℃のガラスをそれぞれ用いて拘束グリーンシートを作製した以外は実施例１と同様にしてガラスセラミック基板を得た。
　【００４３】比較例１
ガラスを含有しない拘束グリーンシートを作製した以外は実施例１と同様にしてガラスセラミック基板を得た。
　【００４４】比較例２
軟化点が９２０℃のガラスを用いて拘束グリーンシートを作製した以外は実施例１と同様にしてガラスセラミック基板を得た。
　【００４５】比較例３
軟化点が４００℃のガラスを用いて拘束グリーンシートを作製した以外は実施例１と同様にしてガラスセラミック基板を得た。
　【００４６】その結果、実施例２および３で得たガラスセラミック基板は、実施例１と同様に積層面内での収縮が０．５％以下（すなわち、収縮率９９．５％以上）であり、基板に反りや変形は認められなかった。これに対して、比較例１および２で得たガラスセラミック基板は、使用した拘束グリーンシートがガラスを含まないか、あるいは焼成温度よりも高い軟化点を有するガラスを含んでいるために、いずれも焼成後のガラスセラミック基板から拘束グリーンシートが簡単に剥がれてしまった。また、ガラスセラミック・グリーンシートと拘束グリーンシートとの間の結合力が弱いため、ガラスセラミック基板の積層面内での収縮率は８５％程度になるか、基板の一部のみが拘束シートに結合されているためにガラスセラミック基板は大きく変形した。一方、比較例３では、拘束グリーンシートに含まれるガラスの軟化点が低いため、有機成分が完全に除去されず、このためガラスセラミック基板の積層面内での収縮は０．５％以下と良好であったが、ガラスセラミック基板の色調が灰色になった。
　【００４７】実施例４〜７
ガラスセラミック成分として、ＳｉＯ２−ＭｇＯ−ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３系ガラス粉末７０重量％、Ａｌ２Ｏ３粉末３０重量％を使用した。このガラスセラミック成分１００重量部に有機バインダーとしてアクリル樹脂９．０重量部、フタル酸系可塑剤４．５重量部および溶剤としてトルエン３０重量部を加え、ボールミル法により混合しスラリーとした。このスラリーをドクターブレード法により厚さ３００μｍのガラスセラミック・グリーンシートを成形した。ついで、このグリーンシート上に実施例１と同じ銀−パラジウムペーストを用いて導体パターンをスクリーン印刷にて形成した。一方、無機成分としてＡｌ２Ｏ３粉末と軟化点７２０℃のＳｉＯ２−ＭｇＯ−ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３系ガラス粉末とをそれぞれ表１に示す割合で用いて、前記ガラスセラミック・グリーンシートと同様にしてスラリーを作製し、ついで成形して厚さ２５０μｍの拘束グリーンシートを得た。表面に導体パターンを形成した前記ガラスセラミック・グリーンシートの所定枚数を積み重ねてガラスセラミック・グリーンシート積層体を得、さらにその両面に前記拘束グリーンシートを重ね合わせ、温度５５℃、圧力２０ＭＰａで圧着して積層体を得た。得られた積層体をアルミナセッターに載置し、大気中５００℃で２時間加熱して有機成分を除去した後、８５０℃で１時間焼成した。ついで、ガラスセラミック基板の表面に付着した拘束シートを除去した。得られたガラスセラミック基板の表面は、表面粗さＲａが１μｍ以下の平滑な面となり、導体の半田濡れ性も問題なかった。また、得られたガラスセラミック基板の積層面内での収縮率を表１に併せて示す。なお、ガラスセラミック基板に反りや変形は認められなかった。
　【００４８】
　【表１】
　【００４９】表１から、実施例４〜７の各拘束グリーンシートを使用して得られたガラスセラミック基板は焼成時の収縮が抑制され、高い寸法精度を有していることがわかる。
　【００５０】試験例１
（拘束グリーンシートの収縮試験）無機成分としてＡｌ２Ｏ３粉末と軟化点７２０℃のＳｉＯ２−ＭｇＯ−ＣａＯ−Ａｌ２Ｏ３系ガラス粉末とをそれぞれ所定の割合で使用し、さらに有機バインダーとしてアクリル樹脂９．０重量部、フタル酸系可塑剤４．５重量部および溶剤としてトルエン３０重量部を加え、これらをボールミルにて混合しスラリーとした。このスラリーをドクターブレード法により厚さ２５０μｍの拘束グリーンシートを成形した。この拘束グリーンシートを単独でアルミナセッターに載置し、大気中５００℃で２時間加熱して有機成分を除去した後、８５０℃で１時間焼成した。得られた拘束シートの平面内での収縮率とガラス添加量との関係を図１に示す。なお、収縮率は拘束シートの厚さ方向を除く幅方向および流れ方向の各収縮率の平均値（ｎ＝５）とバラツキを示しており、式：（焼成後寸法）×１００／（焼成前寸法）にて求めたものである。また、流れ方向はグリーンシートの造膜方向を、幅方向は造膜方向に直交する方向をそれぞれ意味する。図１に示すように、収縮率を９９．５％以上とする、すなわち拘束シートの収縮を０．５％以下に抑えるには、拘束グリーンシート内へのガラス添加量は約１５重量％以下とするのが望ましいことがわかる。また、ガラス添加量が１５重量％を超えると、収縮率のバラツキも大きくなる傾向にある。ただし、ガラス添加量が少なくなると、拘束グリーンシートによるガラスセラミック・グリーンシートの拘束性が低下するので（前記の比較例１を参照）、拘束性が低下しないガラス添加量を決定する必要があり、本発明では０．５〜１５重量％を好適範囲としている。
　【００５１】試験例２
ガラスとしてＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＭｇＯ−Ｂ２Ｏ３−ＺｎＯ系ガラス粉末を用いた以外は試験例１と同様にして、ガラス添加量と収縮率との関係を調べたところ、ガラス添加量が１５重量％以下では拘束グリーンシートの収縮率は９９．５％以上であり、ガラス添加量が１０重量％以下では約９９．８％程度を維持していた。
　【００５２】
　【発明の効果】本発明によれば、ガラスセラミック・グリーンシート積層体の両面に、該積層体と結合しかつ焼成時に実質的に収縮しない拘束グリーンシートを積層して焼成するので、ガラスセラミック・グリーンシート基板の積層面内の収縮を確実に抑えることができ、反りや変形のない寸法精度の高いガラスセラミック基板が得られるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
　【図１】拘束グリーンシートへのガラス添加量と収縮率との関係を示すグラフである。