(57)【要約】【課題】基板ホルダにおいてめっき液圧の影響を抑制することにある。【解決手段】基板を挟持する第１及び第２保持部材を備える基板ホルダであって、  前記基板ホルダをめっき槽に設置するためのアーム部であって、１又は複数の外部接続接点を有するアーム部と、  前記第１及び第２保持部材において前記基板を挟持する挟持部と、  前記挟持部に設けられ、前記基板に給電するための複数のコンタクトと、  前記外部接続接点と前記複数のコンタクトとを接続する複数の配線と、  前記アーム部と前記挟持部との間に配置され、前記外部接続接点と各コンタクトとの間の経路差によって生じる各配線の長さの差を収容する収容空間を有する配線収容部と、を備える、基板ホルダ。【選択図】図２３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を挟持する第１及び第２保持部材を備える基板ホルダであって、
前記基板ホルダをめっき槽に設置するためのアーム部であって、１又は複数の外部接続接点を有するアーム部と、
前記第１及び第２保持部材において前記基板を挟持する挟持部と、
前記挟持部に設けられ、前記基板に給電するための１又は複数のコンタクトと、
前記１又は複数の外部接続接点と前記１又は複数のコンタクトとを接続する１又は複数の配線と、
前記アーム部と前記挟持部との間に配置され、前記１又は複数の外部接続接点と前記１又は複数のコンタクトとの間の経路長に対して余分な長さの前記１又は複数の配線を収容する収容空間を有する配線収容部と、
を備える、基板ホルダ。
【請求項２】
請求項１に記載の基板ホルダにおいて、
前記配線収容部は、
前記１又は複数の配線の長さの一部を収容する第１の凹部を有する前記収容部本体と、
前記収容部本体に着脱自在であり、前記第１の凹部を閉鎖する蓋部材と、
を備える、基板ホルダ。
【請求項３】
請求項２に記載の基板ホルダにおいて、
前記蓋部材は、前記収容部本体の前記第１の凹部に対向する位置に第２の凹部を有する、基板ホルダ。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の基板ホルダにおいて、
前記配線収容部は、前記収容部本体と前記蓋部材との間に配置されたシール部材を更に備える、基板ホルダ。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかに記載の基板ホルダにおいて、
前記配線収容部の前記配線収容空間は、前記基板ホルダがめっき槽に配置された際に、めっき液面の高さ以上の高さに対応する位置に配置されている、基板ホルダ。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載の基板ホルダにおいて、
前記配線収容部は、前記アーム部及び前記挟持部とは別体である、基板ホルダ。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れかに記載の基板ホルダにおいて、
複数の外部接続接点と複数のコンタクトとが複数の配線で接続され、前記複数のコンタクトが前記基板ホルダの異なる位置に配置され、前記複数の配線は同一の長さを有する、基板ホルダ。
【請求項８】
請求項２乃至４の何れかに記載の基板ホルダにおいて、
前記収容部本体はチタンからなり、前記蓋部材はポリ塩化ビニルからなる、基板ホルダ。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れかに記載の基板ホルダを設置するためのめっき槽を有する、めっき装置。
【請求項１０】
基板ホルダによって基板を保持した状態で基板にめっき処理するめっき方法であって、
めっき槽内において、前記基板ホルダの前記１又は複数の外部接続接点と前記１又は複数のコンタクトとの間の経路長に対して余分な前記１又は複数の配線の長さを収容する配
線収容部が、めっき液面よりも高い位置にある状態で、前記基板にめっき処理を行う、めっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板ホルダ、めっき装置、めっき方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハやプリント基板等の基板の表面に配線やバンプ（突起状電極）等を形成したりすることが行われている。この配線及びバンプ等を形成する方法として、電解めっき法が知られている。
【０００３】
電解めっき法に用いるめっき装置では、円形又は多角形の基板の端面をシールし、表面（被めっき面）を露出させて保持する基板ホルダが使用される場合がある。このようなめっき装置において基板表面にめっき処理を行うときは、基板を保持した基板ホルダをめっき液中に浸漬させる。
【０００４】
特許文献１には、円盤状のウェハＷを保持してめっき処理を行うための基板ホルダ８が記載されている。この基板ホルダ８は、ウェハＷを挟持するための第１保持部材２２及び第２保持部材２４を備え、第１保持部材２２の端部に一対のホルダハンガ３４が設けられている。ホルダハンガ３４のうちの一方には、複数の外部接続接点４２が設けられており、これらの外部接続接点４２は、基板ホルダ８の内部に配置された複数の配線５５を介して、ウェハＷの周囲に配置された複数の導電部材４１（内部接点）に接続されている（図３）。
特許文献２には、基板ホルダ８がめっき槽２４に配置されたときに、基板ホルダ８の全体がめっき液の液面の下に位置する構成が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１６−００３３７６号公報
【特許文献２】特開２０１５−１３７３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
電解めっきでは、基板の周縁部に設けた複数のコンタクトを通じて基板に電流を流しながらめっき処理を行うが、基板ホルダのアーム（ハンドル）に設けられた外部接続接点から各コンタクトまでの配線の長さは、等しい長さであることが好ましい。各配線の抵抗を等しくして各コンタクトに流れる電流を均一にすることがめっき品質にとって好ましいからである。しかし、コンタクトの位置に応じて、各外部接続接点から各コンタクトまでの経路の長さは変わり得る。このため、基板ホルダにおいて、コンタクトまでの経路長の差に対応する配線の長さを吸収する必要がある。
特許文献１の基板ホルダでは、各配線５５は、図３の記載に基づけば等長ではないため、上述した課題に対する示唆はない。なお、特許文献１に記載の基板ホルダでは、各配線５５に流す電流が比較的小さいと推測され、配線の径が比較的細く配線５５自体が曲がり易いと考えられる。また、特許文献１に記載の基板ホルダの構成では、第１保持部材２２においてウェハの裏側となる部分にスペースを確保することも可能な形状であると考えられ、そのスペースに配線５５を曲げて収容し得る。
しかしながら、めっき槽にはめっき液を攪拌するためのパドル、アノードマスク、レギュレーションプレート等が設けられており、めっき槽中の限られたスペースに基板ホルダを配置してめっき処理を行うことが要請されている。特に、基板の厚み方向の寸法制約が厳しくなっている。このため、特許文献１の基板ホルダのようにウェハの裏側にスペース
を確保すると、基板ホルダの厚みが増加するため好ましくない。
また、近年、めっき処理によっては、大きな電流でめっき処理を行うことが要求される。さらに、基板の形状によっても、大きな電流でめっき処理することが要請されており、配線の径を大きくすることが要求される。大径の配線は、小径の配線と比較して曲げることが難しくなり、狭いスペースに配線を収容することが困難となる。従って、基板ホルダにおいて、配線の径が大きい場合にも、コンタクトまでの経路差に対応する配線長を吸収できるようにすることが望まれる。また、基板ホルダの厚みの増加を抑制ないし防止することが望まれる。
特許文献２に記載の構成では、基板ホルダの全体がめっき液に浸かるため、基板ホルダの全体にめっき材料が接触する。このため、使用期間や使用回数に応じて、基板ホルダ全体がほぼ同様に経年劣化し、基板ホルダ全体を交換する必要がある。
本発明の目的は、上述した課題の少なくとも一部を解決することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
［１］  形態１によれば、基板を挟持する第１及び第２保持部材を備える基板ホルダが提供され、基板ホルダは、  前記基板ホルダをめっき槽に設置するためのアーム部であって、１又は複数の外部接続接点を有するアーム部と、  前記第１及び第２保持部材において前記基板を挟持する挟持部と、  前記挟持部に設けられ、前記基板に給電するための１又は複数のコンタクトと、  前記１又は複数の外部接続接点と前記１又は複数のコンタクトとを接続する複数の配線と、  前記アーム部と前記挟持部との間に配置され、前記１又は複数の外部接続接点と前記１又は複数のコンタクトとの間の経路長に対して余分な長さの前記１又は複数の配線を収容する収容空間を有する配線収容部と、を備える。
【０００８】
形態１によれば、基板ホルダのアーム部と挟持部との間に配置された配線収容部によって、外部接続接点とコンタクトとの間の経路長に対して余分な長さの配線を収容し、配線の配置を調整することができる。この構成では、基板ホルダのアーム部と挟持部との間に配線収容部を設けるため、基板ホルダの厚みが増加することを抑制ないし防止することが可能である。つまり、基板ホルダにおいて、配線収容部は、アーム部と、挟持部とに並んで配置されるため、基板ホルダを支持するためのアーム部や、基板を保持する挟持部の厚みが増加することを抑制ないし防止することが可能である。
また、基板を保持する挟持部と重ならないので、基板ホルダ全体の厚みを抑制しつつ、配線収容部の厚み方向の寸法も確保できる。よって、径の大きい配線を曲げて配置する空間を確保し易い。大型の角形基板を保持する基板ホルダでは、特に有利である。
また、配線収容部が、基板を保持する挟持部と重ならないので、基板ホルダに基板を保持した後にも、配線収容部にアクセス可能な構成にすることもできる。
【０００９】
［２］  形態２によれば、形態１の基板ホルダにおいて、  前記配線収容部は、  前記１又は複数の配線の長さの一部を収容する第１の凹部を有する前記収容部本体と、  前記収容部本体に着脱自在であり、前記第１の凹部を閉鎖する蓋部材と、を備える。
形態２によれば、蓋部材によって配線収容部内の配線をめっき液等の処理液から保護できるとともに、蓋部材を開けることによって配線収容部内の配線にアクセス可能となる。従って、配線収容部内でのメンテナンスが容易になる。
【００１０】
［３］  形態３によれば、形態２の基板ホルダにおいて、  前記蓋部材は、前記収容部本体の前記第１の凹部に対向する位置に第２の凹部を有する。
形態３によれば、収容部本体及び蓋部材の凹部を合わせた空間を配線収容空間（配線を収容するための空間）とすることができる。収容部本体の厚みを抑制しつつ、配線収容空間の厚み方向を増大することが容易になる。収容部本体の材料が、蓋部材の材料よりも高価な場合には、収容部本体の体積を低減することによって、コストの増大を抑制し得る。
【００１１】
［４］  形態４によれば、形態２又は３の基板ホルダにおいて、前記配線収容部は、前記収容部本体と前記蓋部材との間に配置されたシール部材を更に備える。シール部材としては、Ｏリング、パッキン等を使用することができる。  形態４によれば、シール部材によって、配線収容部内の空間をより気密に封止することが可能である。
【００１２】
［５］  形態５によれば、形態１乃至４の何れかの基板ホルダにおいて、前記配線収容部の前記配線収容空間は、前記基板ホルダがめっき槽に配置された際に、めっき液面の高さ以上の高さに対応する位置に配置されている。
形態５によれば、配線収容空間がほとんどめっき液に浸からないようにすることができる。めっき液中では、パドル、アノードマスク、レギュレーションプレート等のめっき槽の構成によって基板ホルダの厚み方向が寸法制約されるが、めっき液面の上方では、厚み方向の制約が緩やかであるため、配線収容部の厚み方向、特に配線収容空間の寸法を十分に確保することができる。また、配線収容空間がほとんどめっき液に浸からないので、配線収容空間内へのめっき液の漏れをより確実に抑制することができる。
【００１３】
［６］  形態６によれば、形態１乃至５の何れかの基板ホルダにおいて、前記配線収容部は、前記アーム部及び前記挟持部とは別体である。
形態６によれば、アーム部、挟持部、配線収容部を別々に交換することが可能になる。特に、めっき槽内で配線収容部をめっき液面高さ以上になるように配置する場合には、めっき液によって経年劣化が相対的に早い挟持部を配線収容部とは別に交換することが可能である。
【００１４】
［７］  形態７によれば、形態１乃至６の何れかの基板ホルダにおいて、複数の外部接続接点と複数のコンタクトとが複数の配線で接続され、前記複数のコンタクトが前記基板ホルダの異なる位置に配置され、前記複数の配線は同一の長さを有する。
コンタクトと外部接続接点との間の複数の配線の長さを同一にすることによって、各コンタクトに流れる電流を均一化することができ、めっき品質を向上することができる。また、各コンタクトと外部接続接点との間の経路差に起因する１又は複数の配線の余分な長さは、配線収容部に収容することができる。
【００１５】
［８］  形態８によれば、形態２乃至４の何れかの基板ホルダにおいて、前記収容部本体はチタンからなり、前記蓋部材はポリ塩化ビニルからなる。
形態８によれば、収容部本体を剛性の高いチタンから構成し、蓋部材を安価なポリ塩化ビニルから構成することで、コストを抑制しつつ配線収容部に必要な剛性を確保することができる。
【００１６】
［９］  形態９によれば、形態１乃至８の何れかの基板ホルダを設置するためのめっき槽を有するめっき装置が提供される。
形態９によれば、形態１乃至８で述べた作用効果を奏するめっき装置を提供することができる。特に、基板ホルダの厚みの増大を抑制ないし防止しつつ、配線収容空間内に、径の大きな配線を配置することができるので、より均一且つ大きな電流を基板に流すことができる。これにより、より大型の基板により品質のよいめっき処理を行うことができる。また、基板ホルダの厚みの増大を抑制ないし防止できるので、めっき槽の寸法が大きくなることを抑制ないし防止できる。
【００１７】
［１０］  形態１０によれば、基板ホルダによって基板を保持した状態で基板にめっき処理するめっき方法が提供され、このめっき方法では、めっき槽内において、前記基板ホルダの１又は複数の外部接続接点と１又は複数のコンタクトとの間の経路長に対して余分な１又は複数の配線の長さを収容する配線収容部が、めっき液面よりも高い位置にある状態で、前記基板にめっき処理を行う。
形態１０によれば、配線収容空間がほとんどめっき液に浸からないようにすることができる。めっき液中では、パドル、アノードマスク、レギュレーションプレート等のめっき槽の構成によって基板ホルダの厚み方向が寸法制約されるが、めっき液面の上方では、厚み方向の寸法制約が緩やかである。このため、配線収容部と、めっき槽の構成とが干渉することを抑制ないし防止できる。また、配線収容空間がほとんどめっき液に浸からないので、配線収容空間内へのめっき液の漏れをより確実に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板ホルダが使用されるめっき装置の全体配置図である。
【図２Ａ】一実施形態に係る基板ホルダの概略正面図である。
【図２Ｂ】基板ホルダの概略側面図である。
【図２Ｃ】基板ホルダの概略背面図である。
【図３Ａ】基板ホルダの前方斜視図である。
【図３Ｂ】基板ホルダの後方斜視図である。
【図４Ａ】基板ホルダの前面図である。
【図４Ｂ】基板ホルダの背面図である。
【図５Ａ】バックプレートの正面図である。
【図５Ｂ】バックプレートの背面図である。
【図６Ａ】バックプレートの取り付け状態を示す、基板ホルダの一部拡大背面図である。
【図６Ｂ】バックプレートの取り付け状態を示す、基板ホルダの一部拡大斜視図である。
【図７】クランプと連結部材の関係を示す斜視図である。
【図８Ａ】クランプ状態のクランプの斜視図である。
【図８Ｂ】クランプ状態のクランプの側面図である。
【図９Ａ】クランプ状態のクランプの断面斜視図である。
【図９Ｂ】クランプ状態のクランプの断面図である。
【図１０Ａ】アンクランプ状態のクランプの構成を示す斜視図である。
【図１０Ｂ】アンクランプ状態のクランプの側面図である。
【図１１Ａ】アンクランプ状態のクランプの断面斜視図である。
【図１１Ｂ】アンクランプ状態のクランプの構成を示す断面図である。
【図１２Ａ】バックプレートのクリップを示す一部切欠き側面図である。
【図１２Ｂ】バックプレートのクリップを示す一部拡大斜視図である。
【図１３Ａ】閉鎖時のクリップの状態を示す一部切欠き斜視図である。
【図１３Ｂ】閉鎖時のクリップの状態を示す一部切欠き断面図である。
【図１４Ａ】開放時のクリップの状態を示す一部切欠き斜視図である。
【図１４Ｂ】開放時のクリップの状態を示す一部切欠き断面図である。
【図１５】フロントプレートのインナーシール部を示す断面図である。
【図１６】フロントプレートのインナーシール部及びアウターシール部を示す断面図である。
【図１７】フロントプレート本体の背面図である。
【図１８】フロントプレートのコネクタを含む領域の一部拡大平面図である。
【図１９Ａ】フロントパネルの断面斜視図である。
【図１９Ｂ】フロントパネルの断面図である。
【図１９Ｃ】ケーブルの配置を示すフロントパネルの一部拡大斜視図である。
【図２０Ａ】配線バッファ部の図示を省略した場合の、フェース部のケーブル導入位置付近の斜視図である。
【図２０Ｂ】配線バッファ部の図示を省略した場合の、フェース部のケーブル導入位置付近を示す上面図である。
【図２０Ｃ】配線バッファ部の図示を省略した場合の、フェース部のケーブル導入位置付近を示す上面図の拡大図である。
【図２１Ａ】コネクタに近い側のフェース部の隅部近傍における背面図である。
【図２１Ｂ】コネクタに近い側のフェース部の隅部近傍をさらに拡大した背面図である。
【図２１Ｃ】図２１ＡのＣ−Ｃ線における断面図である。
【図２１Ｄ】ケーブルの被覆を除去した部分の斜視図である。
【図２２】ケーブルと外部接続接点との接続関係を説明する説明図である。
【図２３】配線バッファ部の近傍のフロントプレートの斜視図である。
【図２４】配線バッファ部の拡大斜視図である。
【図２５】配線バッファ部の蓋部材の背面図である。
【図２６】配線バッファ部の蓋部材の側面図である。
【図２７】配線バッファ部の近傍のフロントプレートの背面図である。
【図２８】蓋部材を取り外した状態の配線バッファ部の近傍のフロントプレートの背面図である。
【図２９】蓋部材を取り外した状態の配線バッファ部の近傍のフロントプレートの斜視図である。
【図３０】各コンタクトと外部接続接点との間の経路差に起因する配線の長さの差を説明する説明図である。
【図３１】配線バッファ部のフェース部側の拡大斜視図である。
【図３２】配線バッファ部の取付部側を、取付部側から見た斜視図である。
【図３３】配線バッファの取付部側を、配線バッファ部側から見た斜視図である。
【図３４】蓋部材を取り外した状態の配線バッファ部を示す斜視図である。
【図３５】蓋部材を取り付けた状態の配線バッファ部を示す斜視図である。
【図３６】他の実施形態に係る蓋部材を取り外した状態の配線バッファ部の斜視図である。
【図３７】他の実施形態に係る蓋部材を取り付けた状態の配線バッファ部の斜視図である。
【図３８】他の実施形態に係る配線バッファ部の蓋部材の背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各実施形態において、同一または相当する部材には同一符号を付して重複した説明を省略する。また、本明細書において「前面」、「背面」、「フロント」、「バック」、「上」、「下」、「左」、「右」等の表現を用いるが、これらは、説明の都合上、例示の図面の紙面上における位置、方向を示すものであり、装置使用時等の実際の配置では異なる場合がある。また、本明細書において「アーム部」あるいは「ハンドル」は、基板ホルダが搬送される際に搬送装置により基板ホルダが把持又は係合される部分の「係合部」と同義に用いられる。
【００２０】
図１は、本発明の一実施形態に係る基板ホルダが使用されるめっき装置の全体配置図である。図１に示すように、このめっき装置１００は、基板ホルダ１に基板（被処理物の一例に相当する）をロードし、又は基板ホルダ１から基板をアンロードするロード／アンロード部１１０と、基板を処理する処理部１２０と、洗浄部５０ａとに大きく分けられる。処理部１２０は、さらに、基板の前処理及び後処理を行う前処理・後処理部１２０Ａと、基板にめっき処理を行うめっき処理部１２０Ｂとを含む。なお、このめっき装置１００で処理する基板は、角形基板、円形基板を含む。また、角形基板は、矩形等の多角形のガラス基板、液晶基板、プリント基板、その他の多角形のめっき対象物を含む。円形基板は、半導体ウェハ、ガラス基板、その他の円形のめっき対象物を含む。
【００２１】
ロード／アンロード部１１０は、２台のカセットテーブル２５と、基板脱着機構２９と
を有する。カセットテーブル２５は、半導体ウェハ、ガラス基板、液晶基板、プリント基板等の基板を収納したカセット２５ａを搭載する。基板脱着機構２９は、基板を基板ホルダ１（図２Ａ以降で後述）に着脱するように構成される。また、基板脱着機構２９の近傍（例えば下方）には基板ホルダ１を収容するためのストッカ３０が設けられる。これらのユニット２５，２９，３０の中央には、これらのユニット間で基板を搬送する搬送用ロボットからなる基板搬送装置２７が配置されている。基板搬送装置２７は、走行機構２８により走行可能に構成される。
【００２２】
洗浄部５０ａは、めっき処理後の基板を洗浄して乾燥させる洗浄装置５０を有する。基板搬送装置２７は、めっき処理後の基板を洗浄装置５０に搬送し、洗浄された基板を洗浄装置５０から取り出すように構成される。
【００２３】
前処理・後処理部１２０Ａは、プリウェット槽３２と、プリソーク槽３３と、プリリンス槽３４と、ブロー槽３５と、リンス槽３６と、を有する。プリウェット槽３２では、基板が純水に浸漬される。プリソーク槽３３では、基板の表面に形成したシード層等の導電層の表面の酸化膜がエッチング除去される。プリリンス槽３４では、プリソーク後の基板が基板ホルダと共に洗浄液（純水等）で洗浄される。ブロー槽３５では、洗浄後の基板の液切りが行われる。リンス槽３６では、めっき後の基板が基板ホルダと共に洗浄液で洗浄される。プリウェット槽３２、プリソーク槽３３、プリリンス槽３４、ブロー槽３５、リンス槽３６は、この順に配置されている。なお、このめっき装置１００の前処理・後処理部１２０Ａの構成は一例であり、めっき装置１００の前処理・後処理部１２０Ａの構成は限定されず、他の構成を採用することが可能である。
【００２４】
めっき処理部１２０Ｂは、オーバーフロー槽３８を備えた複数のめっき槽３９を有する。各めっき槽３９は、内部に一つの基板を収納し、内部に保持しためっき液中に基板を浸漬させて基板表面に銅めっき等のめっきを行う。ここで、めっき液の種類は、特に限られることはなく、用途に応じて様々なめっき液が用いられる。
【００２５】
めっき装置１００は、これらの各機器の側方に位置して、これらの各機器の間で基板ホルダを基板とともに搬送する、例えばリニアモータ方式を採用した基板ホルダ搬送装置３７を有する。この基板ホルダ搬送装置３７は、基板脱着機構２９、プリウェット槽３２、プリソーク槽３３、プリリンス槽３４、ブロー槽３５、リンス槽３６、及びめっき槽３９との間で基板ホルダを搬送するように構成される。
【００２６】
以上のように構成されるめっき装置１００を含むめっき処理システムは、上述した各部を制御するように構成されたコントローラ１７５を有する。コントローラ１７５は、所定のプログラムを格納したメモリ１７５Ｂと、メモリ１７５Ｂのプログラムを実行するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１７５Ａと、ＣＰＵ１７５Ａがプログラムを実行することで実現される制御部１７５Ｃとを有する。制御部１７５Ｃは、例えば、基板搬送装置２７の搬送制御、基板脱着機構２９における基板の基板ホルダへの着脱制御、基板ホルダ搬送装置３７の搬送制御、各めっき槽３９におけるめっき電流及びめっき時間の制御、並びに、各めっき槽３９に配置されるアノードマスク（図示せず）の開口径及びレギュレーションプレート（図示せず）の開口径の制御等を行うことができる。また、コントローラ１７５は、めっき装置１００及びその他の関連装置を統括制御する図示しない上位コントローラと通信可能に構成され、上位コントローラが有するデータベースとの間でデータのやり取りをすることができる。ここで、メモリ１７５Ｂを構成する記憶媒体は、各種の設定データや後述するめっき処理プログラム等の各種のプログラムを格納している。記憶媒体としては、コンピュータで読み取り可能なＲＯＭやＲＡＭなどのメモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭやフレキシブルディスクなどのディスク状記憶媒体などの公知のものが使用され得る。
【００２７】
［基板ホルダ］
図２Ａは、一実施形態に係る基板ホルダの概略正面図である。図２Ｂは、基板ホルダの概略側面図である。図２Ｃは、基板ホルダの概略背面図である。図３Ａは、基板ホルダの前方斜視図である。図３Ｂは、基板ホルダの後方斜視図である。図４Ａは、基板ホルダの前面図である。図４Ｂは、基板ホルダの背面図である。
【００２８】
基板ホルダ１は、フロントプレート３００とバックプレート４００とを備えている。これらのフロントプレート３００とバックプレート４００との間に基板Ｓが保持される。本実施例では、基板ホルダ１は、基板Ｓの片面を露出した状態で基板Ｓを保持する。基板Ｓは、半導体ウェハ、ガラス基板、液晶基板、プリント基板、その他の被めっき物であり得る。基板Ｓは、円形、角形等の何れの形状である。なお、以下の説明では、角形の基板を例に挙げて説明するが、基板ホルダ１の開口部の形状を変更すれば、円形その他の形状の基板を保持することが可能である。
【００２９】
フロントプレート３００は、フロントプレート本体３１０と、アーム部３３０とを備えている。アーム部３３０は、基板ホルダ搬送装置３７に把持される把持部分であり、めっき槽３９に配置される際に支持される部分である。基板ホルダ１は、基板ホルダ搬送装置３７によって、めっき装置１００の設置面に対して垂直に立てた状態で搬送され、垂直に立てた状態でめっき槽３９内に配置される。
【００３０】
フロントプレート本体３１０は、概ね矩形状であり、配線バッファ部３１１とフェース部３１２とを有し、前面３０１と背面３０２とを有する。フロントプレート本体３１０は、取付部３２０によって２箇所でアーム部３３０に取り付けられている。フロントプレート本体３１０には、開口部３０３が設けられており、開口部３０３から基板Ｓの被めっき面が露出される。本実施形態では、開口部３０３は、矩形状の基板Ｓに対応して矩形状に形成されている。なお、基板Ｓが円形の半導体ウェハ等である場合には、開口部３０３の形状も円形に形成される。
【００３１】
フロントプレート本体３１０のアーム部３３０に近い側には、配線バッファ部３１１が設けられている。配線バッファ部３１１は、アーム部３３０を介してフロントプレート本体３１０まで到達するケーブルの分配を行う領域であり、また、予備の長さのケーブルを収容する領域である。配線バッファ部３１１は、フロントプレート本体３１０の他の部分（フェース部３１２）よりも若干厚みを持って形成されている（図２Ｂ参照）。本実施形態では、配線バッファ部３１１は、フロントプレート本体３１０の他の部分（フェース部３１２）とは別体に形成され、フェース部３１２に取り付けられている。アーム部３３０の一端側には、外部の配線と電気的に接続するためのコネクタ３３１が設けられている（図３Ａ等参照）。バックプレート４００は、フロントプレート本体３１０（より詳細には、フェース部３１２）の背面３０２にクランプ３４０によって固定される（図２Ｃ、図３Ｂ、図４Ｂ）。
【００３２】
（バックプレートのフロントプレートへの取付構造）
図５Ａは、バックプレートの正面図である。図５Ｂは、バックプレートの背面図である。図６Ａは、バックプレートの取り付け状態を示す、基板ホルダの一部拡大背面図である。図６Ｂは、バックプレートの取り付け状態を示す、基板ホルダの一部拡大斜視図である。図７は、クランプと連結部材の関係を示す斜視図である。
【００３３】
バックプレート４００は、バックプレート本体４１０を備え、バックプレート本体４１０は、概ね矩形状であるが、フロントプレート３００のフロントプレート本体３１０よりも小さい寸法を有する（図３Ｂ、図４Ｂ）。バックプレート本体４１０は、前面４０１（
図５Ａ）と背面４０２（図５Ｂ）とを有する。
【００３４】
バックプレート本体４１０の前面４０１は、基板Ｓの載置面であり、フロントプレート本体３１０の背面３０２に取り付けられる。バックプレート本体４１０の前面４０１には、基板Ｓを保持（固定）するためのクリップ部４２０が、基板Ｓの各辺に対応して合計８個設けられている。この例では、クリップ部４２０は、基板Ｓの上辺及び下辺にそれぞれ１個づつ、左片及び右辺にそれぞれ３個づつ配置されている。なお、クリップ部４２０の数及び配置は、基板Ｓの寸法、形状に応じて適宜選択されるものであり、図示の数及び配置に限定されない。
【００３５】
バックプレート本体４１０の４隅のうちの３隅には、位置決め片４９０が設けられている。位置決め片４９０には、貫通孔４９０ａが形成されている。位置決め片４９０は、バックプレート本体４１０と一体に形成してもよいし、バックプレート本体４１０とは別体で形成し、バックプレート本体４１０に取り付けるようにしてもよい。フロントプレート本体３１０の背面３０２には、位置決め片４９０の各々に対応する位置に位置決めピン３９０が設けられている（図６Ａ，Ｂ）。位置決めピン３９０は、フロントプレート本体３１０と一体に形成してもよいし、フロントプレート本体３１０とは別体で形成し、フロントプレート本体３１０に取り付けるようにしてもよい。バックプレート４００をフロントプレート３００に取り付ける際に、バックプレート４００の位置決め片４９０の貫通孔４９０ａに位置決めピン３９０を挿通させ、両者の位置合わせを行う。
【００３６】
フロントプレート３００の背面３０２には、図４Ｂに示すように、バックプレート４００の４辺の各辺に対応して、固定部材３５０が配置されている。２つの固定部材３５０が、バックプレート４００の１辺に対して設けられており、バックプレート４００の１辺に沿って並んで配置されている。各固定部材３５０には、図６Ａ、図６Ｂ、図７に示すように、２つのクランプ３４０が取り付けられている。よって、１辺あたり、４つのクランプ３４０が設けられている。また、各辺の２つの固定部材３５０の間には、４つのクランプ３４０を同時に動作させるためのレバー３４２が取り付けられている。なお、１辺あたりのクランプの数は、４つに限定されず、３つ以下であっても、５つ以上であってもよい。
【００３７】
各辺の２つの固定部材３５０に亘って回転軸３４１が取り付けられている。回転軸３４１は、固定部材３５０に対して回転自在に取り付けられている（図７）。各クランプ３４０及びレバー３４２は、回転軸３４１にキー結合（キー及びキー溝）によって回転不能に取り付けられている（図８Ａ，Ｂ、図９Ａ，Ｂ）。４つのクランプ３４０は、同一の位相で回転軸３４１に取り付けられているが、レバー３４２は、４つのクランプ３４０とは異なる位相で回転軸３４１に取り付けられている。この構成により、レバー３４２が回転すると、それに伴い、４つのクランプ３４０が同期して回転する。なお、ここでは、フロントプレート本体３１０の面３０１、３０２に平行な回転軸３４１の周りにクランプ３４０が回転するように構成したが、フロントプレート本体３１０の面３０１、３０２に垂直な方向に往復運動してバックプレート４００をクランプするように、クランプ３４０を構成してもよい。
【００３８】
クランプ３４０は、その先端部において鉤状に湾曲した係合部３４０ａを有する。クランプ３４０の基端側には貫通孔を有し、この貫通孔に回転軸３４１が挿通され、キー及びキー溝によって回転不能に固定されている（図９Ａ参照）。レバー３４２は、外部からの力を受けていない場合、図７に示すように、圧縮ばね３４３によってフロントプレート３００の背面３０２から立ち上がるように付勢されており、これに伴い、各クランプ３４０は閉じる方向に付勢されている。言い換えれば、クランプ３４０は、ノーマルクローズ型で構成されている。また、レバー３４２は、外部からの押圧力を受けることが可能な力受部として構成されている。レバー３４２は、例えば、基板着脱機構２９に設けられるアク
チュエータから押圧力を受けることが可能である。図１０Ｂにおいて、アクチュエータＡＲ１を模式的に示している。アクチュエータＡＲ１は、例えば、エアシリンダ、モータ等の駆動部ＤＲＶと、駆動部ＤＲＶによって駆動される棒状部材ＲＤとを備える。レバー３４２は、アクチュエータＡＲ１から押圧力を受けると、フロントプレート３００の背面３０２に向かって倒れる方向に回転し、これに伴い、クランプ３４０は開く方向に回転する。この例では、アクチュエータＡＲ１は、各辺のレバー３４２に対応して４つ設けられる。好ましくは、４つのアクチュエータＡＲ１は、同時に駆動されてレバー３４２を押す。但し、４つのアクチュエータＡＲ１は、別々に駆動してもよく、同時に駆動することに限定されない。
【００３９】
バックプレート４００の背面４０２には、クランプ３４０に対応する位置に係合受部４３０が設けられている。係合受部４３０は、本実施形態で示すように、バックプレート４００のバックプレート本体４１０とは別部材で形成され、バックプレート本体４１０に取り付けても良いし、バックプレート本体４１０と一体に形成したものであってもよい。係合受部４３０には、クランプ３４０の鉤状の係合部３４０ａが引っ掛かり、係合することが可能な形状を有する突出部４３０ａが形成されている。突出部４３０ａは、クランプ３４０の係合部３４０ａの係合を確実に受けるために、係合部３４０ａよりも長い寸法を有する。
【００４０】
以下、図面を参照しつつ、バックプレート４００のフロントプレート３００への取り付け構造を説明する。
図８Ａは、クランプ状態のクランプの斜視図である。図８Ｂは、クランプ状態のクランプの側面図である。図９Ａは、クランプ状態のクランプの断面斜視図である。図９Ｂは、クランプ状態のクランプの断面図である。図１０Ａは、アンクランプ状態のクランプの構成を示す斜視図である。図１０Ｂは、アンクランプ状態のクランプの側面図である。図１１Ａは、アンクランプ状態のクランプの断面斜視図である。図１１Ｂは、アンクランプ状態のクランプの構成を示す断面図である。
【００４１】
前述したように、クランプ３４０は、ノーマルクローズ型であり、レバー３４２に押圧力を受けていない状態では、図８Ａ，Ｂ及び図９Ａ，Ｂに示すように、閉じた状態にある。フロントプレート３００にバックプレート４００を取り付ける場合には、先ず、アクチュエータＡＲ１（図１０Ｂ）によってフロントプレート３００のレバー３４２に押圧力を加え、図１０Ａ，Ｂ及び図１１Ａ，Ｂに示すように、圧縮ばね３４３の付勢力に抗してクランプ３４０を開く方向に回転させる。クランプ３４０を開放させた状態で、フロントプレート３００（フェース部３１２）の背面３０２の所定の位置にバックプレート４００を配置する。このとき、フロントプレート３００の位置合わせピン３９０が、バックプレート４００の位置合わせ片４９０の貫通孔４９０ａに係合して、バックプレート４００がフロントプレート３００の所定の位置に位置合わせされる。
【００４２】
次に、フロントプレート３００のレバー３４２からアクチュエータＡＲ１の押圧力を取り除く。これにより、レバー３４２が圧縮ばね３４３の付勢力によってレバー３４２が元の位置に向かって回転し、各クランプ３４０が閉じる方向に回転する。この結果、クランプ３４０の係合部３４０ａが、バックプレート４００の係合受部４３０に係合し、バックプレート４００がフロントプレート３００に固定される（図８Ａ，Ｂ及び図９Ａ，Ｂ）。
【００４３】
バックプレート４００を取り外す場合には、前述したように、アクチュエータ（図示せず）によってフロントプレート３００のレバー３４２に押圧力を加え、圧縮ばね３４３の付勢力に抗してクランプ３４０を開く方向に回転させる（図１０Ａ，Ｂ及び図１１Ａ，Ｂ）。この結果、クランプ３４０が係合受部４３０から解放され、バックプレート４００をフロントプレート３００から取り外し可能となる。
【００４４】
（基板のバックプレートへの取付構造）
図１２Ａは、バックプレートのクリップを示す一部切欠き側面図である。図１２Ｂは、バックプレートのクリップを示す一部拡大斜視図である。図１３Ａは、閉鎖時のクリップの状態を示す一部切欠き斜視図である。図１３Ｂは、閉鎖時のクリップの状態を示す一部切欠き断面図である。図１４Ａは、開放時のクリップの状態を示す一部切欠き斜視図である。図１４Ｂは、開放時のクリップの状態を示す一部切欠き断面図である。
【００４５】
バックプレート４００の前面４０１には、基板Ｓの各辺に対応して合計８個のクリップ部４２０が設けられている（図５Ａ参照）。また、バックプレート４００の背面４０２には、クリップ部４２０の各々に対応する位置に、ボタン４７０が設けられている（図５Ｂ参照）。ボタン４７０に力が加わっていない場合、ボタン４７０の前面４０１側の面は、２つのクリップ４２１の基端部と所定の間隔を持って配置されている（図１３Ｂ）。ボタン４７０は、力受部４７１と、力受部４７１をバックプレート本体４１０に対して変位可能に支持する弾性部分４７２と、弾性部分４７２の外周にある取付部４７３とを有する。ボタン４７０は、取付部４７３において押え部材４７４、及び締結部材４７５によって固定されている。締結部材４７５は、例えば、スタッド、ボルト等である。
【００４６】
各クリップ部４２０は、図１２Ａ，Ｂに示すように、バックプレート本体４１０の前面４０１に固定された固定部４２３と、固定部４２３に回転不能に固定された固定軸４２４と、固定軸４２４に対して並進しつつ回転可能に支持された２つのクリップ４２１と、クリップ４２１の各々に設けられクリップ４２１を閉鎖方向に付勢する巻ばね４２２と、を備えている。
【００４７】
クリップ４２１は、その先端部に爪部４２１ａを有し、その基端側には長穴４２１ｂ及び２つの丸穴４２１ｃが形成されている。クリップ４２１は、固定軸４２４を長穴４２１ｂに挿通させて取り付けられている。図１３Ｂに示すように巻ばね４２２は、巻回部４２２ｃと、巻回部４２２ｃから延びる脚部４２２ａ、４２２ｂを有している。巻ばね４２２は、針金等を複数回円形に巻いて巻回部４２２ｃを設け、所定の長さの脚部４２２ａ、４２２ｂを残したものである。脚部４２２ａは、略直角に折れ曲がる折曲部を先端に有し、この折曲部が、クリップ４２１の２つ丸穴４２１ｃのうち基端側の丸穴４２１ｃに挿入及び嵌合されている。他方の脚部４２２ｂは、クリップ４２１には取り付けられておらず、略直角に折れ曲がる折曲部を先端に有し、この折曲部が、固定部４２３に設けられた規制面４２３ａに当接した状態で支持されている。また、脚部４２２ａは、固定部４２３に設けられた案内面４２３ｂによって案内される（図１３Ｂ、図１４Ｂ）。
【００４８】
この構成により、クリップ４２１は、バックプレート本体４１０から離れる方向に移動しつつ、バックプレート本体４１０の外側に向かって回転することが可能である（図１３Ｂから図１４Ｂ）。この結果、クリップ４２１は、開放状態となる（図１４Ａ，Ｂ）。また、逆に、クリップ４２１は、バックプレート本体４１０に接近する方向に移動しつつ、バックプレート本体４１０の内側に向かって回転することが可能である（図１４Ｂから図１３Ｂ）。この結果、クリップ４２１は、閉鎖状態となる（図１３Ａ，Ｂ）。なお、本実施形態では、クリップ４２１は、外部から力を受けない状態では、巻ばね４２２によって閉鎖方向に付勢されており、ノーマルクローズ型である（図１３Ａ，Ｂ）。また、図１４Ｂでは、図面の複雑化を避けるため、ボタン４７０の力受部４７１が変位していない状態を示しているが、実際には、力受部４７１はクリップ４２１に向かって変位してクリップ４２１を押圧しており、この押圧によってクリップ４２１が開放状態にある。
【００４９】
基板Ｓをバックプレート４００に載置する場合、バックプレート４００の８個のボタン４７０（力受部４７１）に、外部からアクチュエータＡＲ２によって押圧力を加える（図
１４Ｂ）。これにより、図１４Ａ，Ｂに示すように、力受部４７１が前面４０１側に変位し、２つのクリップ４２１の基端部に当接する。力受部４７１から受ける力によって、クリップ４２１は、図１４Ｂに示すように、バックプレート本体４１０から離れる方向に移動しつつ、バックプレート本体４１０の外側に回転し、開放状態となる（図１４Ｂ）。図１４Ｂに模式的に示したように、アクチュエータＡＲ２は、例えば、エアシリンダ、モータ等の駆動部ＤＲＶと、駆動部ＤＲＶによって駆動される棒状部材ＲＤとを備える。アクチュエータＡＲ２は、８個のボタン４７０に対応して８台設けられている。好ましくは、８台のアクチュエータＡＲ２は、同時に駆動されてボタン４７０を押す。但し、８台のアクチュエータＡＲ２は、別々に駆動してもよく、同時に駆動することに限定されない。
【００５０】
クリップ４２１が開放した状態で、バックプレート４００の前面４０１の所定の位置に基板Ｓを載置し、その後、ボタン４７０からアクチュエータＡＲ２による押圧力を解放する。この結果、クリップ４２１は、巻ばね４２２の付勢力によって、バックプレート本体４１０に接近する方向に移動しつつ、バックプレート本体４１０の内側に回転し、閉鎖状態となる（図１４Ｂから図１３Ｂ）。このとき、クリップ４２１の先端の爪部４２１ａが基板Ｓの周縁部に係合し、基板Ｓをバックプレート４００の前面４０１に固定することができる。
【００５１】
このように基板Ｓを取り付けたバックプレート４００を、図５から図１３で説明したように、フロントプレート３００（フェース部３１２）に取り付ければ、基板ホルダ１への基板Ｓの取り付けが完了する。基板Ｓをバックプレート４００から取り外す場合、前述したように、バックプレート４００の８個のボタン４７０（力受部４７１）に、外部からアクチュエータＡＲ２によって押圧力を加える（図１４Ａ、Ｂ）。
【００５２】
なお、ここでは、バックプレート本体４１０の面４０１、４０２に平行な固定軸４２４の周りにクリップ４２１が回転するように構成したが、バックプレート本体４１０の面４０１、４０２に垂直な方向に往復運動して基板Ｓをクランプするようにクリップ４２１を構成してもよい。
【００５３】
（シール部の構成）
図１５は、フロントプレートのインナーシール部を示す断面図である。図１６は、フロントプレートのインナーシール部及びアウターシール部を示す断面図である。
【００５４】
フロントプレート３００の背面３０２には、開口部３０３に隣接してインナーシール３６１が設けられている。インナーシール３６１は、シールホルダ３６３によってフロントプレート３００の背面３０２に取り付けられている。インナーシール３６１は、基板Ｓとフロントプレート３００との間をシールし、めっき液が基板Ｓの端部に侵入することを防止する。シールホルダ３６３には、基板Ｓに電位を供給するためのコンタクト３７０も取り付けられている。
【００５５】
また、図１６に示すように、フロントプレート３００の背面３０２には、インナーシール３６１よりも外側において、アウターシール３６２がシールホルダ３６４によって取り付けられている。アウターシール３６２は、バックプレート４００に当接し、フロントプレート３００とバックプレート４００との間をシールする。
【００５６】
本実施形態では、インナーシール３６１及びアウターシール３６２を取り付けるシールホルダ３６３、３６４が別部材で構成されているので、インナーシール３６１及びアウターシール３６２を別々に交換することができる。
【００５７】
図１７は、フロントプレート本体の背面図である。図１８は、フロントプレートのコネ
クタを含む領域の一部拡大平面図である。図１９Ａは、フロントパネルの断面斜視図である。図１９Ｂは、フロントパネルの断面図である。図１９Ｃは、ケーブルの配置を示すフロントパネルの一部拡大斜視図である。図２０Ａは、配線バッファ部の図示を省略した場合の、フェース部のケーブル導入位置付近の斜視図である。図２０Ｂは、配線バッファ部の図示を省略した場合の、フェース部のケーブル導入位置付近を示す上面図である。図２０Ｃは、配線バッファ部の図示を省略した場合の、フェース部のケーブル導入位置付近を示す上面図の拡大図である。
【００５８】
フロントプレート本体３１０の背面３０２は、１８個のコンタクト領域Ｃ１−Ｃ１８を有する。コンタクト領域Ｃ１−Ｃ７、Ｃ１７、Ｃ１８は、フェース部３１２のうちコネクタ３３１側の半分の領域（第１領域、図１７の右側半分の領域）に配置されており、コンタクト領域Ｃ８−Ｃ１６は、フェース部３１２のうちコネクタ３３１から遠い側の半分の領域（第２領域、図１７の左側半分の領域）に配置されている。以下の説明では、便宜上、第１領域に配置されるケーブルを第１グループのケーブル、第２領域に配置されるケーブルを第２グループのケーブルと称す場合がある。
【００５９】
各コンタクト領域Ｃ１−Ｃ１８には、図１５、図１６に図示した基板Ｓに給電するためのコンタクト(接点部材)３７０が含まれる。各コンタクト領域Ｃ１−Ｃ１８のコンタクト３７０には、それぞれ、ケーブルＬ１−Ｌ１８を介して、外部から給電される。なお、以下の説明では、各ケーブルを区別する必要がない場合には、ケーブルＬ１−Ｌ１８をまとめて、ケーブルＬと総称する場合がある。また、任意のケーブルをケーブルＬとして参照する場合もある。
【００６０】
ケーブルＬ１−Ｌ１８の第１端部は、アーム部３３０の一端に設けられたコネクタ３３１に接続されおり、より詳細には、コネクタ３３１において個別の接点または複数本ずつ共通の接点（図示省略）に電気的に接続されている。ケーブルＬ１−Ｌ１８は、コネクタ３３１の各接点を介して外部の電源（電源回路、電源装置等）に電気的に接続可能である。
【００６１】
図２２は、ケーブルと外部接続接点との接続関係を説明する説明図である。
コネクタ３３１では、ケーブルＬ１−Ｌ１８が外部接続接点３３１ａ１、３３１ａ２に接続される（図２２）。外部接続接点３３１ａ１、３３１ａ２には、外部電源からの給電端子に接続される。例えば、第１グループのケーブル（Ｌ１−Ｌ７、Ｌ１７、Ｌ１８）の３本を共通の第１側の外部接続接点３３１ａ１に接続し、第２グループのケーブル（Ｌ８−Ｌ１６）の３本のケーブルを共通の第２側の外部接続接点３３１ａ２に接続し、これらの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とを一対の外部接続接点３３１ａとする。ここで、第１側及び第２側とは、コネクタ３３１において接点が２列に並んでいる場合の各側に対応する。例えば、図１７において、基板ホルダ１のコネクタ３３１を右側方から見た場合に、右側を第１側、左側を第２側とする。具体的には、以下のように外部接続接点を構成する。
【００６２】
ケーブルＬ１７、Ｌ１８、Ｌ１を共通の第１側の外部接続接点３３１ａ１に接続し、ケーブルＬ８、Ｌ９、Ｌ１０を共通の第２側の外部接続接点３３１ａ２に接続し、これらの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とを一対（第１対、又は第１の外部接続接点対３３１ａと称す）とする。
【００６３】
ケーブルＬ２、Ｌ３、Ｌ４を別の第１側の外部接続接点３３１ａ１に接続し、ケーブルＬ１１、Ｌ１２、Ｌ１３を別の第２側の外部接続接点３３１ａ２に接続し、これらの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とを一対（第２対、又は第２の外部接続接点対３３１ａと称す）とする。
【００６４】
ケーブルＬ５、Ｌ６、Ｌ７を別の第１側の外部接続接点３３１ａ１に接続し、ケーブルＬ１４、Ｌ１５、Ｌ１６を別の第２側の外部接続接点３３１ａ２に接続し、これらの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とを一対（第３対、又は第３の外部接続接点対３３１ａと称す）とする。
【００６５】
コネクタ３３１において、各外部接続接点対３３１ａの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とは互いに対向して配置されている。第１の外部接続接点対３３１ａの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とは互いに対向して配置され、第２の外部接続接点対３３１ａの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とは互いに対向して配置され、第３の外部接続接点対３３１ａの第１側の外部接続接点３３１ａ１と第２側の外部接続接点３３１ａ２とは互いに対向して配置される。
【００６６】
基板着脱機構２９において、通電確認処理が実行される。具体的には、基板ホルダ１に基板Ｓが保持された後(バックプレート４００がフロントプレート３００のクランプ３４０で固定された後）、コネクタ３３１の第１〜第３対に抵抗測定器（図示せず）が接続され、各対における第１外部接続接点と第２外部接続接点との間に、所定の検査電圧が印加される。これにより、各対における第１外部接続接点と第２外部接続接点との間の電気抵抗が測定される。そして、各対の電気抵抗が所定値以下かつ所定の範囲内であれば（各対の電気抵抗にばらつきがなく、断線等の異常がない）、基板ホルダ１の通電が良好であると判断する（通電確認処理）。この通電確認処理は、コントローラ１７５の制御部１７５Ｃで実行され、前述した「基板脱着機構２９における基板の基板ホルダへの着脱制御」に含むことができる。
【００６７】
ケーブルＬ１−Ｌ１８の他端である第２端部は、後述するように、それぞれ、コンタクト領域Ｃ１−Ｃ１８においてコンタクト３７０に電気的に接続される。各ケーブルＬ１−Ｌ１８は、コネクタ３３１から、アーム部３３０を通って、一方の取付部３２０を通過し、配線バッファ部３１１に入る（図１８）。配線バッファ部３１１において、ケーブルＬ１−Ｌ１８のうちケーブルＬ１７、Ｌ１８、Ｌ１−Ｌ７が、第１領域（コネクタ側の領域）に向かい、ケーブルＬ８−Ｌ１６が、第２領域（コネクタから遠い側の領域）に向かう。図１８では、第１領域に配置される第１グループのケーブルＬ１７、Ｌ１８、Ｌ１−Ｌ７が主に示されている。図１８に示すように、第１グループのケーブルＬ１７、Ｌ１８、Ｌ１−Ｌ７は、配線バッファ部３１１を通過して、フェース部３１２におけるシールホルダ３６３、３６４間のケーブル通路３６５に導かれる。図示省略するが、第２グループのケーブルＬ８−１６も、配線バッファ部３１１の第２領域（コネクタから遠い側の領域）を通過して、フェース部３１２の第２領域においてケーブル通路３６５に導かれる。なお、図１８では、図面の複雑化を避けるため、ケーブルの長さの一部を省略して表示している。また、配線バッファ部３１１におけるケーブルＬ１−Ｌ１８の配置は、ケーブルＬ１−Ｌ１８の長さの一部をバッファするように任意の配置とすることができる。
【００６８】
配線バッファ部３１１のフェース部３１２側には、肉厚部３１１３が設けられている（図１９Ａ、図１９Ｂ）。配線バッファ部３１１の肉厚部３１１３及びフェース部３１２には、シールホルダ３６３、３６４間のケーブル通路３６５まで、各ケーブルＬ１−Ｌ１８に対応する配線穴３１１ａが設けられている（図１９Ａ、図１９Ｂ）。ここで、配線穴３１１ａは、ケーブルが通過可能な径を有する錐穴である。図１９Ａでは、１つの配線穴３１１ａのみを示しているが、実際には、配線穴３１１ａは、図１９Ｃに示すように、各ケーブルに対応して複数設けられている。少なくともケーブルの数の配線穴３１１ａが設けられている。
【００６９】
本実施形態では、図１９Ａ、図１９Ｂに示すように、配線バッファ部３１１は、フロントパネル本体３１０のフェース部３１２とは別体で設けられ、フェース部３１２に取り付けられている。配線バッファ部３１１とフェース部３１２の境界においてケーブルの周囲には、配線穴３１１ａ及びケーブルＬを密閉するためのＯリング５０１が配置されている。これにより、配線穴３１１ａ及びケーブルＬが、めっき液や、外部からの異物から保護される。
【００７０】
図２１Ａは、コネクタに近い側のフェース部の隅部近傍における背面図である。図２１Ｂは、コネクタに近い側のフェース部の隅部近傍をさらに拡大した背面図である。図２１Ｃは、図２１ＡのＣ−Ｃ線における断面図である。図２１Ｄは、ケーブルの被覆を除去した部分の斜視図である。
【００７１】
ケーブルＬ１−Ｌ７は、図２１Ａ及び図２１Ｂに示すように、同一平面内に並んでケーブル通路３６５内に導入され、開口部３０３のコネクタ３３１側の辺に沿って配置されている。ケーブル同士は、フェース部３１２の厚み方向に重ならない。従って、フェース部３１２及びフロントパネル３００の厚みを抑制することができる。
【００７２】
図２１Ａ及び図２１Ｂに示すように、開口部３０３の各辺に沿って、コンタクト領域Ｃ１−Ｃ１８ごとに導電体からなるコンタクト３７０が配置されている。コンタクト３７０は、インナーシール３６１に接触しないが、隣接して配置されている。コンタクト３７０は、シールホルダ３６３上に配置されており、複数のネジ５１１でシールホルダに固定されている。シールホルダ３６３には、各コンタクト領域においてケーブル通路３６５から接続位置（ネジ５１１の位置）まで、ケーブルを引き込む配線溝３６３ａが設けられている。ケーブルＬは、図２１Ｄに示すように、電気的な伝導体からなる心線又は導電線６０１と、導電線６０１を絶縁するための被覆６０２とを備えている。ケーブルＬは、先端部（第２端部）において、被覆６０２が除去され、心線又は導電線６０１が露出される。そして、ケーブルＬの心線６０１が配線溝３６３ａに引き込まれる。なお、割り当てられたコンタクト領域において引き込まれたケーブルＬは、そのコンタクト領域で終端する。
【００７３】
例えば、コンタクト領域Ｃ１では、コンタクト領域Ｃ１近傍のケーブル通路３６５に向かって開口する配線溝３６３ａ（図２１Ｃ）が、シールホルダ３６３中に形成され、この配線溝３６３ａは、コンタクト領域Ｃ１に設けられた４つのネジ（締結部材）５１１の下方を通過するように延びかつ終端する（図２１Ａ）。同様に、コンタクト領域Ｃ２では、コンタクト領域Ｃ２近傍のケーブル通路３６５に向かって開口する配線溝３６３ａが、シールホルダ３６３中に形成され、この配線溝３６３ａは、コンタクト領域Ｃ２に設けられた４つのネジ５１１の下方を通過するように延びかつ終端する。ネジ５１１と配線溝３６３ａの位置関係を図２１Ｃに示している。ケーブルＬ（図２１Ｃでは、Ｌ１）が配線溝３６３ａに配置されたとき、ネジ５１１のフランジ部５１１ａによって、コンタクト３７０及びケーブル（心線）が押圧される。
【００７４】
各コンタクト領域におけるケーブルＬとコンタクト３７０との電気接続は、以下のように行われている。ケーブルＬ１を例に挙げると、ケーブルＬ１の先端部（第２端部）は、被覆６０２が除去されて、心線（導電線）６０１が露出している（図２１Ａ−Ｄ）。ケーブルＬ１の先端部は、コンタクトＣ１の近傍においてシールホルダ３６３の配線溝３６３ａ内に導入され、コンタクト領域Ｃ１内で、４箇所のネジ（締結部材）５１１によってコンタクト３７０とともに押圧されている。つまり、ネジ（締結部材）５１１とシールホルダ３６３とが、ケーブルＬ１の心線６０１をコンタクト３７０とともに挟持している。この結果、図２１Ｃに示すように、ケーブルＬ１は、コンタクト３７０に電気的に接続される。基板ホルダ１が基板Ｓを保持すると、コンタクト３７０が基板Ｓに接触して、外部の電源からケーブルＬ１、コンタクト３７０を介して基板Ｓに給電が行われる。他のコンタ
クト領域Ｃ２−Ｃ１８も同様に構成されており、１８箇所のコンタクト３７０から基板Ｓに給電が行われる。
【００７５】
コンタクト領域Ｃ１には、ケーブルＬ２−Ｌ７は引き込まれないので、コンタクト領域Ｃ１とコンタクト領域Ｃ２との間では、ケーブルＬ２−Ｌ７が並んで配置されている。コンタクト領域Ｃ２では、コンタクト領域Ｃ１と同様に、ケーブルＬ２がシールホルダ３６３の配線溝３６３ａに引き込まれ、４箇所のネジ５１１によってコンタクト３７０とともに押圧され、コンタクト３７０と電気的に接続される。この結果、コンタクト領域Ｃ２とコンタクト領域Ｃ３との間では、ケーブルＬ３−Ｌ７が並んで配置されている。同様にして、ケーブルＬ３−Ｌ７が、それぞれコンタクト領域Ｃ３−Ｃ７において、コンタクト３７０と電気的に接続される。この結果、コンタクト領域Ｃ３とＣ４との間ではケーブルＬ４−Ｌ７が並んで配置され、コンタクト領域Ｃ４とＣ５との間ではケーブルＬ５−Ｌ７が並んで配置され、コンタクト領域Ｃ５とＣ６との間ではケーブルＬ６−Ｌ７が並んで配置され、コンタクト領域Ｃ６とＣ７との間ではケーブルＬ７が並んで配置される。
【００７６】
ケーブルＬ１７、Ｌ１８も同様に、それぞれコンタクト領域Ｃ１７、Ｃ１８において、コンタクト３７０と電気的に接続される。また、コネクタから遠い側の領域（第２領域）でも、ケーブルＬ８−Ｌ１６が、第１領域のケーブルと同様に、それぞれコンタクト領域Ｃ８−Ｃ１６において、コンタクト３７０と電気的に接続される。
【００７７】
本実施形態では、コンタクト３７０とともにケーブルＬが挟持され、ケーブルＬとコンタクト３７０とが直接、電気的に接続される場合を説明したが、ケーブルＬとコンタクト３７０との間に別の導電部材（第２導電部材）を介在させるようにしてもよい。
【００７８】
（配線バッファ部）
図２３は、配線バッファ部の近傍のフロントプレートの斜視図である。図２４は、配線バッファ部の拡大斜視図である。図２５は、配線バッファ部の蓋部材の背面図である。図２６は、配線バッファ部の蓋部材の側面図である。
【００７９】
配線バッファ部３１１は、収容部本体３１１１と、蓋部材３１２０とを備えている。収容部本体３１１は、例えば、チタンで形成される。蓋部材３１２０は、例えば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）で形成される。なお、フェース部３１２及びアーム部３３０もチタンで形成することができる。また、バックプレート４００も全体的にチタンで形成することができる。本実施形態では、蓋部材３１２０は、配線バッファ部３１１の専用の蓋であり、フェース部３１２等の他の部分を覆う部材と共用されるものではない。
【００８０】
収容部本体３１１は、概ね矩形状であり、その背面に形成された凹部３１１２を有している。凹部３１１２は、略立方体形状の空間であり、配線収容空間３１４０を形成する。凹部３１１２は、フェース部３１２の幅方向の概ね全体にわたって形成されており、フェース部３１２の幅よりも若干短い幅を有する。収容部本体３１１は、フェース部３１２側において肉厚部３１１３を有している。肉厚部３１１３の前面には、フェース部３１２に係合する段差部３１１３ａが形成されている。収容部本体３１１は、取付部３２０側において肉厚部３１１４を有している。肉厚部３１１４は、各取付部３２０に対応して突出する２つの突出部３１１４ａを有している。各突出部３１１４ａの背面には、取付部３２０に係合する段差部３１１４ｂが形成されている。凹部３１１２は、フェース部３１２側の肉厚部３１１３、取付部３２０側の肉厚部３１１４、及び、幅方向両側の肉厚部によって囲まれた矩形状の空間を形成する。
【００８１】
蓋部材３１２０は、概ね矩形状であり、前面側（収容部本体３１１１に取り付けられる側）に凹部３１２１を有する。凹部３１２０は、平面視において、収容部本体３１１１の
凹部３１１２に概ね合致する形状を有し、蓋部材３１２０が収容部本体３１１１に取り付けられたとき、凹部３１１２とともに配線収容空間３１４０を形成する。蓋部材３１２０の凹部３１２１の周囲の肉厚部には、シール溝３１２２が凹部３１２１を囲むように設けられている（図２５）。シール溝３１２２には、シール部材３１３０が取り付けられている（図２３）。シール部材３１３０は、例えば、Ｏリング、パッキン等である。蓋部材３１２０が収容部本体３１１に取り付けられたとき、シール部材３１３０は蓋部材３１２０と収容部本体３１１の間を密閉し、配線収容空間３１４０を気密に封止する（図２４）。蓋部材３１２０の周縁部には、ボルト、スタッド等の締結部材３１３１を通す固定用の穴３１３１ａが設けられており、収容部本体３１１１には、穴３１３１ａに対応する穴が設けられている。蓋部材３１２０は、穴３１３１ａの位置で締結部材３１３１によって収容部本体３１１１に固定される（図２４）。
【００８２】
図２７は、配線バッファ部の近傍のフロントプレートの背面図である。図２８は、蓋部材を取り外した状態の配線バッファ部の近傍のフロントプレートの背面図である。図２９は、蓋部材を取り外した状態の配線バッファ部の近傍のフロントプレートの斜視図である。
【００８３】
フロントプレート３００において、配線バッファ部３１１は、フェース部３１２と、アーム部３３０との間に配置されている。ここで、基板ホルダ１は、めっき槽３９（図１）内においてアーム部３３０で懸架され、略鉛直な姿勢でめっき液に浸かるように配置される。配線収容部３１１の配線収容空間３１４０（凹部３１１２）は、基板ホルダ１がめっき槽３９に配置された際に、めっき液面ＷＬ（図２７、図２８）の高さ以上になる位置（例えば、めっき液面ＷＬよりも所定の距離高い位置）に配置されている。例えば、シール部材３１３０の下端がめっき液面ＷＬの高さ以上になる位置に、配線収容部３１１を基板ホルダ１内に配置してもよい。
【００８４】
フェース部３１２は、上述したように、バックプレート４００と共に、基板Ｓを挟持して保持する。フェース部３１２及びバックプレート４００は、基板Ｓを挟持する挟持部を構成する。配線バッファ部３１１の収容部本体３１１１は、ボルト、スタッド等の締結部材３１１６によってフェース部３１２に固定されている。また、配線バッファ部３１１１の収容部本体３１１１は、２つの取付部３２０によってアーム部３３０に固定されている。収容部本体３１１１は、ボルト、スタッド等の締結部材３２０ａによって２つの取付部３２０に固定されている。取付部３２０は、ボルト、スタッド等の締結部材３３０ａによってアーム部３３０に固定されている。アーム部３３０の一端側には、コネクタ３３１が設けられている。コネクタ３３１には、複数の外部接続接点３３１ａ（３３１ａ１、３３１ａ２）（図２２）が設けられており、外部接続接点３３１ａ（３３１ａ１、３３１ａ２）にケーブルＬ１〜Ｌ１８が接続されている。ケーブルＬ１〜Ｌ１８は、外部接続接点３３１ａからアーム部３３０の一端側を通り、一方の取付部３２０を通って、配線バッファ部３１１の配線収容空間３１４０（凹部３１１２）内に導入される。アーム部３３０には、コネクタ３３１及びコネクタ３３１に接続されるケーブルＬ１〜Ｌ１８を覆うカバー３３１ｂが取り付けられる（図２７）。また、取付部３２０とアーム部３３０には、ケーブルＬを覆うカバー３２１が取り付けられる。図２８は、蓋部材３１２０、カバー３２１、カバー３３１ｂを取り外した状態の配線バッファ部３１１の近傍の構成を図示している。
【００８５】
本実施形態では、ケーブルＬ１〜Ｌ１８の長さは同一であり、外部接続接点３３１ａ１、３３１ａ２から各コンタクト領域Ｃ１〜Ｃ１８（図１７）までの各経路の経路長の差に起因する余分なケーブルの長さが、配線バッファ部３１１に収納され、配線バッファ部３１１で余分なケーブルの長さの配置が調整される。外部接続接点３３１ａ１、３３１ａ２から各コンタクト領域Ｃ１〜Ｃ１８までの経路長のうち最長の経路長に適合するように、ケーブルＬ１〜Ｌ１８の同一の長さが選択されるが、最長でない経路に配置されるケーブ
ルＬは余分な長さを有することになる。このケーブルＬの余分な長さを配線バッファ部３１１で調整する。
【００８６】
図３０は、各コンタクトと外部接続接点との間の経路差に起因する配線の長さの差を説明する説明図である。例えば、図３０に示すように、外部接続接点外部接続接点３３１ａからコンタクト領域Ｃ８、Ｃ１（コンタクト３７０）までの経路長をそれぞれｘ８、ｘ１（ｘ８＞ｘ１）とすると、経路長の差は、Δｘ＝ｘ８−ｘ１となる。図１７に示すように、コンタクト領域Ｃ８までの経路長ｘ８が最大経路長であり、ケーブルＬ１〜Ｌ１８の長さは、この最大経路長ｘ８に合うように（実質的に同一の長さに）選択される。この場合、ケーブルＬ８、Ｌ１の長さは、いずれも最大経路長ｘ８に対応するｙ８に設定される。一方、コンタクト領域Ｃ１までの経路長ｘ１は、最大経路長ｘ８より短いため、図３０に示すように、ケーブルＬ１はΔｘだけ余分な長さを有することになる。この余分な長さΔｘを配線バッファ部３１１で収容し、ケーブル長（ケーブルＬ１の長さ）を調整する。また、最大経路長ｘ８より短い経路長を有するコンタクト領域Ｃ１〜Ｃ７、Ｃ９−Ｃ１８についても同様である。図２８、図２９では、配線バッファ部３１１の凹部３１１２（配線収容空間３１４０）内におけるケーブルＬ１〜Ｌ１８の配置の一例を示すが、ケーブルＬ１〜Ｌ１８の配置はこれに限らず、余分なケーブル長を収容するように任意の配置とすることができる。
【００８７】
ケーブルＬ１〜Ｌ１８の長さを同一とする利点は、ケーブル長の差による抵抗値の差を除去し、各ケーブルに接続されるコンタクト３７０から基板Ｓに均一な電流を供給できるため、めっき品質を向上し得ることにある。
【００８８】
なお、ケーブルＬ１〜Ｌ１８の長さが同一でない場合であっても、１又は複数のケーブルが、外部接続接点からコンタクトまでの経路長に対して余分な長さを有する場合には、配線バッファ部３１１で余分な長さを収容してケーブル長を調整することができる。
【００８９】
図３１は、配線バッファ部のフェース部側の拡大斜視図である。図３２は、配線バッファ部の取付部側を、取付部側から見た斜視図である。図３３は、配線バッファの取付部側を、配線バッファ部側から見た斜視図である。図３４は、蓋部材を取り外した状態の配線バッファ部を示す斜視図である。図３５は、蓋部材を取り付けた状態の配線バッファ部を示す斜視図である。
【００９０】
図３４、図３５に示すように、ケーブルＬは、コネクタ３３１側の取付部３２０から配線バッファ部３１１の配線収容空間３１４０（凹部３１１２、３１２１）に導入され、配線収容空間３１４０内で余分なケーブル長が調整されたのちに、フェース部３１２に導かれる。
【００９１】
配線バッファ部３１１とフェース部３１２との境界におけるケーブルＬの配置を図３１に示す。同図を参照すると、配線バッファ部３１１の肉厚部３１１３には、図１９Ａ乃至Ｃで説明したように、錐穴からなる配線穴３１１ａが複数設けられている。各ケーブルＬは、配線バッファ部３１１の凹部３１１２から配線穴３１１ａを通って、フェース部３１２（図２１Ａのケーブル通路３６５）に導かれる。
【００９２】
配線バッファ部３１１と取付部３１２との境界におけるケーブルＬの配置を図３２、図３３に示す。これらの図に示すように、配線バッファ部３１１の肉厚部３１１４には、複数の配線穴３１１５が設けられている。取付部３２０には、配線穴３１１５を露出する凹部３２２が設けられている。凹部３２２は、配線穴３１１５を露出するように配線バッファ部３１１側が開口するとともに、配線穴３１１５を通るケーブルを通過させるように、背面側が開口している。一方、凹部３２２の前面側は閉鎖されている。ケーブルＬは、取
付部３２０の凹部３２２内に入り、複数本ずつ、例えば３本ずつ配線穴３１１５を通され（図３２）、配線バッファ部３１１の凹部３１１２に導かれる（図３３）。
【００９３】
図３６は、他の実施形態に係る蓋部材を取り外した状態の配線バッファ部の斜視図である。図３７は、他の実施形態に係る蓋部材を取り付けた状態の配線バッファ部の斜視図である。図３８は、他の実施形態に係る配線バッファ部の蓋部材の背面図である。他の実施形態では、配線バッファ部３１１の蓋部材３１２０Ａに凹部が設けられない点で上記実施形態とは異なる。その他の構成は、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。蓋部材３１２０Ａに凹部を設けない場合、蓋部材３１２０Ａの構成が簡易になる。また、蓋部材３１２０Ａの厚みを、凹部を設ける場合よりも薄くすることが可能であるので、それに応じて収容部本体３１１１の厚みを増加することも可能である。
【００９４】
（実施形態の作用効果）
本実施形態に係る基板ホルダ１によれば、フロントプレート本体３１０の面に平行な軸の周りを回転可能な又はフロントプレート本体３１０の面に交差する方向に往復移動可能なクランプ３４０によって、基板を挟持するフロントプレート３００とバックプレート４００とを互いに固定するため、基板に回転方向の力が加わることを抑制ないし防止できる。基板が大型で薄い場合は、基板に回転方向の力が加わると基板に撓みを生じるおそれがあるが、この基板ホルダ１によれば、大型で薄い基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる。
【００９５】
また、クランプ３４０がノーマルクローズ型であるため、バックプレート本体４１０をフロントプレート本体３１０に当接する際にクランプを開けば、クランプした状態ではアクチュエータ等によって外部から力を加える必要がなく、エネルギー消費を抑制できる。
【００９６】
また、バックプレート４００を複数の箇所でクランプ３４０によって挟持することが可能であり、また、連結部材（回転軸３４１）によって各クランプ３４０の動作が同期されるので、クランプ動作を効率よく行うことができる。また、外部から力を加えるアクチュエータＡＲ１の構成を簡易にすることができる。レバー３４２が外部の第１アクチュエータＡＲ１から力を受けて回転軸３４１を介して各クランプ３４０を動作させることができるので、クランプ３４０による固定を自動化することが容易である。
【００９７】
また、バックプレート４００に、クランプ３４０の係合部３４０ａを受け入れる形状の係合受部４３０を設けることによって、クランプによる係合を向上し得る。別体の係合受部４３０をバックプレート本体４１０に取り付ける構成とすることで、係合受部４３０の寸法、形状、個数等を適宜選択することが容易になる。
【００９８】
また、バックプレート本体４１０の面に平行な軸４２４の周りを回転可能な又はバックプレート本体４１０の面に交差する方向に往復移動可能なクリップ４２１によって、基板をバックプレート４００に固定するため、基板に回転方向の力が加わることを抑制ないし防止できる。基板が大型で薄い場合は、基板に回転方向の力が加わると基板に撓みを生じるおそれがあるが、この基板ホルダによれば、大型で薄い基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる。
【００９９】
クリップ４２１がノーマルクローズ型であるため、基板をバックプレート本体４１０に当接する際にクリップ４２１を開けば、クリップした状態ではアクチュエータ等によって外部から力を加える必要がなく、エネルギー消費を抑制できる。
【０１００】
基板と当接する側の面とは反対の面から力を受けるボタン４７０を設けるため、アクチュエータＡＲ２を基板当接面とは反対側に配置することができ、基板固定後のバックプレ
ート４００の移動、姿勢の変更等が容易である。
【０１０１】
ボタン４７０が外部の第２アクチュエータＡＲ２から力を受けてクリップ４２１を動作させることができるので、クリップ４２１による固定を自動化することが容易である。
【０１０２】
インナーシール３６１及びアウターシール３６２を保持するシールホルダ３６３、３６４を別々に設けるので、各シールの交換を別々に行うことができる。
【０１０３】
また、本実施形態の基板ホルダでは、ケーブルＬの一端部において被覆６０２を除去し、ケーブルＬの心線６０１をコンタクト３７０とともに挟持することにより、簡易な構成で、ケーブルＬとコンタクト３７０との間の電気的な接続を確立することができる。つまり、ケーブル端部にコネクタ等を設けることなく、ケーブルＬとコンタクト３７０との間の接続を行うことができる。基板Ｓの複数の箇所にコンタクト３７０を接触させて給電する場合、基板ホルダ内で複数のケーブルＬを引き回して電気的接続を行う必要があるが、この基板ホルダによれば、簡易な構成で、ケーブルＬとコンタクト３７０との間の電気的な接続を確立することができ、基板ホルダの大型化を抑制できる。また、大型の基板に給電する場合や、基板への供給電流値が大きい場合には、ケーブルの数が増加し、ケーブル径も大きくなる。例えば、このような場合に、この基板ホルダによる簡易なケーブルの接続は有効である。
【０１０４】
また、本実施形態の基板ホルダでは、ボルト、ネジ等の締結部材５１１によって簡易な構成、簡易な作業で、ケーブルＬとコンタクト３７０との間の電気的接続を確立できる。
【０１０５】
また、本実施形態の基板ホルダでは、シールホルダ３６３を用いてケーブルＬとコンタクト３７０とを挟持することができるので、既存の構成を利用することができ、基板ホルダの大型化、コスト増を抑制し得る。
【０１０６】
また、本実施形態の基板ホルダでは、シール３６１、３６２のシールホルダ３６３、３６４が別々であるため、シールを別々に交換することが容易である。また、シールホルダ３６３、３６４を別々に交換することも容易である。
【０１０７】
また、本実施形態の基板ホルダでは、ケーブルＬが基板ホルダの厚み方向に重ならないようにすることによって、基板ホルダの厚みの増加を抑制することが可能である。特に、大型の基板や、電流量が大きい場合には、ケーブルの数、ケーブルの径が大きくなる可能性があるが、この構成によれば、基板ホルダの厚み方向での増大を抑制することができる。
【０１０８】
また、本実施形態の基板ホルダでは、先端の被覆６０２が除去された各ケーブルＬを順次、各コンタクト３７０の位置に引き込み、接続するので、接続位置までのケーブル間の絶縁を確保するとともに、簡易な構成でケーブルを導電部材に接続することができる。
【０１０９】
本実施形態の基板ホルダをめっき装置に適用する場合、基板ホルダの大型化を抑制できるので、めっき装置の大型化も抑制できる。
【０１１０】
本実施形態に係る基板ホルダの製造方法では、ケーブルＬの一端部において被覆６０２を除去し、ケーブルＬの心線６０１をコンタクト３７０とともに挟持することにより、簡易な構成で、ケーブルＬとコンタクト３７０との間の電気的な接続を確立することができる。つまり、ケーブル端部にコネクタ等を設けることなく、ケーブルＬとコンタクト３７０との間の接続を行うことができる。基板Ｓの複数の箇所にコンタクト３７０を接触させて給電する場合、基板ホルダ内で複数のケーブルＬを引き回して電気的接続を行う必要が
あるが、この基板ホルダによれば、簡易な構成で、ケーブルＬとコンタクト３７０との間の電気的な接続を確立することができ、基板ホルダの大型化を抑制できる。また、大型の基板に給電する場合や、基板への供給電流値が大きい場合には、ケーブルの数が増加し、ケーブル径も大きくなる。例えば、このような場合に、この基板ホルダによる簡易なケーブルの接続は有効である。
【０１１１】
また、上述した基板ホルダ１を使用して基板にめっき処理を行う場合、大型の基板に給電する場合や、基板への供給電流値が大きい場合であっても、基板ホルダにおけるケーブルと導電部材との間の電気的な接続が簡易な構成であるため、大型化を抑制ないし防止した基板ホルダを用いてめっき処理を行うことができる。
【０１１２】
また、上記実施形態では、めっき処理前に各外部接続接点対の第１及び第２側の接点間の電気抵抗を測定し、複数の外部接続接点対の電気抵抗にばらつきがないかを確認する通電確認処理を実施する。従って、複数の外部接続接点対の電気抵抗の間のばらつきに起因してめっき膜厚の均一性に問題がないか否かを事前に確認してから、めっき処理を行うことができる。この結果、めっき処理の信頼性を向上することができる。
【０１１３】
上記実施形態によれば、基板ホルダ１のアーム部３３０と挟持部３１２、４００との間に配置された配線収容部３１１によって、外部接続接点３３１ａとコンタクト３７０との間の経路長に対して余分なケーブルＬの長さを収容し、ケーブルＬの配置を調整することができる。この構成では、基板ホルダ１のアーム部３３０と挟持部３１２、４００との間に配線収容部（配線バッファ部）３１１を設けるため、基板ホルダ１の厚みが増加することを抑制ないし防止することが可能である。つまり、基板ホルダ１において、配線収容部３１１は、アーム部３３０と、挟持部３１２、４００とに並んで配置されるため、基板ホルダ１を支持するためのアーム部３３０や、基板を保持する挟持部３２１、４００の厚みが増加することを抑制ないし防止することが可能である。
【０１１４】
また、基板ホルダ１をめっき槽３９に設置した状態で、基板ホルダ１の高さ方向に配線収容部３１１を追加する。基板を保持する挟持部３１２、４００と重ならないので、基板ホルダ１全体の厚みを抑制しつつ、配線収容部３１１の厚み方向の寸法も確保できる。よって、径の大きい配線Ｌを曲げて配置する空間を確保し易い。大型の角形基板を保持する基板ホルダでは、特に有利である。
【０１１５】
また、配線収容部３１１が、基板を保持する挟持部３１２、４００と重ならないので、基板ホルダ１に基板を保持した後にも、配線収容部３１１にアクセス可能な構成にすることもできる。
【０１１６】
上記実施形態によれば、蓋部材３１２０、３１２０Ａによって配線収容部３１１内の配線Ｌをめっき液等の処理液から保護できるとともに、蓋部材３１２０、３１２０Ａを開けることによって配線収容部３１１内の配線Ｌにアクセス可能となる。従って、配線収容部３１１内でのメンテナンスが容易になる。
【０１１７】
上記実施形態によれば、収容部本体３１１１及び蓋部材３１２０の凹部３１１２、３１２１を合わせた空間を配線収容空間３１４０（配線を収容するための空間）とすることができる。収容部本体３１１１の厚みを抑制しつつ、配線収容空間３１４０の厚み方向を増大することが容易になる。収容部本体３１１１の材料が、蓋部材３１２０の材料よりも高価な場合には、収容部本体３１１１の体積を低減することによって、コストの増大を抑制し得る。
【０１１８】
上記実施形態によれば、シール部材３１３０によって、配線収容部３１１内の空間をよ
り気密に封止することが可能である。
【０１１９】
上記実施形態によれば、配線収容部３１１の配線収容空間３１４０は、基板ホルダ１がめっき槽３９に配置された際に、めっき液面ＷＬの高さ以上の高さに対応する位置に配置されている。これにより、配線収容空間３１４０がほとんどめっき液に浸からないようにすることができる。めっき液中では、パドル、アノードマスク、レギュレーションプレート等のめっき槽３９の構成によって基板ホルダ１の厚み方向が寸法制約されるが、めっき液面ＷＬの上方では、厚み方向の制約が緩やかであるため、配線収容部の厚み方向の寸法を十分に確保することができる。また、配線収容空間３１４０がほとんどめっき液に浸からないので、配線収容空間３１４０内へのめっき液の漏れをより確実に抑制することができる。
【０１２０】
上記実施形態によれば、配線収容部３１１は、アーム部３３０及び挟持部３１２、４００とは別体であるので、アーム部３３０、挟持部３１２、４００、配線収容部３１１を別々に交換することが可能になる。特に、めっき槽３９内で配線収容部３１１をめっき液面ＷＬの高さ以上になるように配置する場合には、めっき液によって経年劣化が相対的に早い挟持部３１２、４００を配線収容部３１１とは別に交換することが可能である。
【０１２１】
上記実施形態によれば、コンタクト３７０と外部接続接点３３１ａ１、３３１ａ２との間の複数の配線Ｌの長さを同一にすることによって、各コンタクトに流れる電流を均一化することができ、めっき品質を向上することができる。また、各コンタクト３７０と外部接続接点３３１ａ１、３３１ａ２との間の経路差に起因する１又は複数のケーブルの余分な長さは、配線収容部３１１に収容することができる。
【０１２２】
上記実施形態によれば、収容部本体３１１１を剛性の高いチタンから構成し、蓋部材３１２０を安価なポリ塩化ビニルから構成することで、コストを抑制しつつ配線収容部３１１に必要な剛性を確保することができる。
【０１２３】
上記実施形態によれば、上記基板ホルダ１を設置するためのめっき槽３９を有するめっき装置が提供される。これにより、上記作用効果を奏するめっき装置を提供することができる。特に、基板ホルダ１の厚みの増大を抑制ないし防止しつつ、配線収容空間３１４０内に径の大きな配線Ｌを配置することができるので、より均一且つ大きな電流を基板に流すことができる。これにより、より大型の基板により品質のよいめっき処理を行うことができる。また、基板ホルダ１の厚みの増大を抑制ないし防止できるので、めっき槽３９の寸法が大きくなることを抑制ないし防止できる。
【０１２４】
上記実施形態によれば、基板ホルダ１によって基板を保持した状態で基板にめっき処理するめっき方法が提供され、このめっき方法では、めっき槽３９内において、基板ホルダ１の複数のコンタクト３７０と１又は複数の外部接続接点３３１ａとの間の経路長に対して余分な１又は複数のケーブルの長さを収容する配線収容部が、めっき液面よりも高い位置にある状態で、前記基板にめっき処理を行う。これにより、配線収容空間３１４０がほとんどめっき液に浸からないようにすることができる。めっき液中では、パドル、アノードマスク、レギュレーションプレート等のめっき槽の構成によって基板ホルダの厚み方向が寸法制約されるが、めっき液面の上方では、厚み方向の寸法制約が緩やかである。このため、配線収容部と、めっき槽の構成とが干渉することを抑制ないし防止できる。また、配線収容空間３１４０がほとんどめっき液に浸からないので、配線収容空間３１４０内へのめっき液の漏れをより確実に抑制することができる。
【０１２５】
以上、いくつかの例に基づいて本発明の実施形態について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するもので
はない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
【符号の説明】
【０１２６】
１…基板ホルダ
２５…カセットテーブル
２５ａ…カセット
２７…基板搬送装置
２８…走行機構
２９…基板脱着機構
３０…ストッカ
３２…プリウェット槽
３３…プリソーク槽
３４…プリリンス槽
３５…ブロー槽
３６…リンス槽
３７…基板ホルダ搬送装置
３８…オーバーフロー槽
３９…めっき槽
５０…洗浄装置
５０ａ…洗浄部
１００…めっき装置
１１０…アンロード部
１２０…処理部
１２０Ａ…前処理・後処理部
１２０Ｂ…処理部
１７５…コントローラ
１７５Ａ…ＣＰＵ
１７５Ｂ…メモリ
１７５Ｃ…制御部
３００…フロントプレート
３０１…前面
３０２…背面
３０３…開口部
３１０…フロントプレート本体
３１１…配線バッファ部
３１１ａ…配線穴
３１２…フェース部
３２０…取付部
３２０ａ…締結部材
３２１…カバー
３３０…アーム部
３３０ａ…締結部材
３３１…コネクタ
３３１ａ１、３３１ａ２…外部接続接点
３３１ｂ…カバー
３４０…クランプ
３４０ａ…係合部
３４２…レバー
３５０…固定部材
３６１…インナーシール
３６２…アウターシール
３６３…シールホルダ
３６３ａ…配線溝
３６４…シールホルダ
３６５…ケーブル通路
３７０…コンタクト
３９０…位置合わせピン
４００…バックプレート
４０１…前面
４０２…背面
４１０…バックプレート本体
４２０…クリップ部
４２１…クリップ
４２１ａ…爪部
４２１ｂ…長穴
４２１ｃ…丸穴
４２２…巻ばね
４２２ａ…脚部
４２２ｂ…脚部
４２２ｃ…巻回部
４２３…固定部
４２３ｂ…規制面
４２３ｂ…案内面
４２４…固定軸
４３０…係合受部
４３０ａ…突出部
４７０…ボタン
４７１…力受部
４７２…弾性部分
４７３…取付部
４７４…押え部材
４７５…締結部材
４９０…位置合わせ片
６０１…導電線
６０２…被覆
３１１１…収容部本体
３１１２…凹部
３１１３…肉厚部
３１１４…肉厚部
３１１４ａ…突出部
３１１４…段差部
３１１５…配線穴
３１１６…締結部材
３１１４…肉厚部
３１２０…蓋部材
３１２１…凹部
３１２２…シール溝
３１３０…シール部材
３１３１…締結部材
３１３１ａ…穴
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９Ａ】
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【図１９Ｂ】
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【図１９Ｃ】
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【図２０Ａ】
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【図２０Ｂ】
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【図２０Ｃ】
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【図２１Ａ】
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【図２１Ｂ】
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【図２１Ｃ】
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【図２１Ｄ】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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