【事件の表示】
　特願２００７−１４６６７１「フィレット半径結合部を有する装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年１２月２０日出願公開、特開２００７−３２９４７６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯・本件発明 
　本件出願の手続の経緯は以下のとおりである。
　平成１９年　６月　１日　　：出願
　（パリ条約による優先権主張　２００６年　６月　２日　米国）
　平成２４年　１月２０日付け：拒絶理由の通知
　平成２４年　４月２３日　　：意見書、手続補正書の提出
　平成２４年１０月　４日付け：拒絶査定
　平成２５年　２月　５日　　：審判請求書、手続補正書の提出
　平成２５年　４月１９日付け：審尋
　平成２５年　７月１７日　　：回答書の提出
　平成２５年　９月１８日付け：拒絶理由の通知（当審）
　平成２５年１２月１９日　　：意見書、手続補正書の提出
　
　そして、本件出願の請求項１ないし５に係る発明は、平成２５年１２月１９日に提出された手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項により特定されるものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、以下のとおりのものである。
「フィレット半径を有するフランジを有する結合部によって、両端においてそれぞれのモノリシック化学蒸着立方β結晶構造炭化珪素エンドプレートに固定された複数のモノリシック化学蒸着立方β結晶構造炭化珪素ロッドを含む装置であって、前記結合部が化学蒸着炭化珪素でコーティングされている装置。」
　
２　当審での拒絶理由
　一方、当審において平成２５年９月１８日付けで通知した拒絶の理由のうち理由１の概要は、以下のとおりである。
「本件出願の請求項１ないし６に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された下記の引用文献１及び２に記載された発明並びに例えば引用文献３ないし５に記載された従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　引用文献１：特開平８−１０２４４６号公報
　　　　　２：特開２００３−１７９１２４号公報
　　　　　３：国際公開第２００６／０４５８３８号（周知技術）
　　　　　４：特開平６−２０６７１８号公報（周知技術）
　　　　　５：特開平１１−７９８４６号公報（周知技術）」
　
３　引用文献
（１）　引用文献１
　引用文献１には、次の事項が記載されている。
ア
「【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハの熱処理用ウエハボートに関し、特に熱応力による折損を防止するようにしたウエハボートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から使用されている半導体ウエハの熱処理用ウエハボートには、上下の円板状の固定板の間にウエハを載置する溝を設けた溝付き棒を複数本固着した縦型ウエハボート、また両側に溝付き棒の固定板を設け、この間にウエハを載置する溝を設けた溝付き棒を固着した横型ウエハボートが使用されている。そしてこれらのウエハボートの材質には、石英ガラス又は炭化珪素が用いられる。」
イ
「【０００５】しかしながら、こうした従来のウエハボートで熱処理を繰り返し行っていると、溝付き棒１１，１１が均一の太さである上に、これが円板状の固定板１０，１０に当接して接合されているめに、溝付き棒１１，１１…の端部に熱応力が集中し、ここにマイクロクラックが発生し、やがて破損する恐れが恐れがあった。そのために、ウエハボートの溝付き棒の上記接合部での熱応力を緩和してこうした事故を未然に防ぐことが要請されていた。」
ウ
「【００１０】図１はこの発明の実施例になる縦型のウエハボートの斜視図である。図１で１は円板状の固定板、２，２…，は溝付き棒である。溝付き棒２，２には、それぞれ内側に長手方向の全長に亘って多数の溝３，３…が多数設けられている。図１では溝３の一部を示し他は省略したものである。溝付き棒２の上下は、図に示したように一方にシリコンウエハの出入口４を設けるようにして、円板状の固定板１，１の周囲に固着されている。４本の溝付き棒２，２…の夫々に設けられている溝３，３…は同じ高さに位置するように設けられ、ここにシリコンウエハを挿入したときシリコンウエハが水平に保持されるようにする。
【００１１】さらに、溝付き棒２，２…の上下部５，５の太さを固定板に向けて次第に増大するようにしたものである。これによって溝付き棒２，２…と円板状の固定板の接合部の熱応力を緩和しようとしするものである。
【００１２】即ち、図２に示すような従来の縦型ウエハボートでは、溝付き棒１１，１１…は均一の太さで、しかもその上下で急激な形状変化を伴って固定板と接合しているので、その上下部に熱応力が集中すると、この部分で損傷する恐れがあった。しかるに、これを図１に示す本願発明のように、溝付き棒２，２の端部である上下部５，５の太さを固定板１，１に向けて次第に増大するようにすると、溝付き棒２，２の端部はこの部分で太く強度が大きいので、ここに熱応力が集中してもクラックが発生して破損するようなことは回避される。（後略）」
エ
「【００１８】
【作用】この発明は、ウエハボートの溝付き棒の両側部の太さを固定板に向けて次第に増大させ、この部分での強度を大きくしたのでここに熱応力が集中してもクラックが発生し破損の恐れがないようにしたものである。（後略）」
オ
「【００２７】
【発明の効果】以上の通り、この発明によれば縦型ウエハボート或いは横型ウエハボートにおいて熱応力を緩和できる形状としたので、これをウエハの熱処理に多数回繰り返し使用しても溝付き棒の接合部又はセンサー用棒の部分で破損することを大幅に低減させることが出来るようになった。」
　
　また、引用文献１の【図１】の記載から、下記カの事項を認定することができる。
カ　図１から、溝付き棒２の上、下部５、５の太さが固定板１に近づくにつれ増大し、溝付き棒２と固定板１との接合部が、いわゆるラッパ口形状のフランジ曲面を形成している様子が看取される。
　
キ　引用文献１に記載された発明
　そこで、引用文献１の上記摘記事項及び認定事項を、技術常識を踏まえ本件発明に照らして整理すると、引用文献１には下記の発明（以下「引用１発明」という。）が記載されていると認められる。
「上下部でその太さを固定板に向けて次第に増加させラッパ口形状のフランジ曲面を形成している端部を有する結合部によって、両端においてそれぞれの炭化珪素製固定板に固定された複数の炭化珪素製溝付き棒を含む装置。」
　
（２）　引用文献２
　引用文献２には、次の事項が記載されている。
ア
「【００１６】装置のロッド及びエンドプレートは、モノリシック炭化珪素から構成される。従って、各構成部品は薄膜コーティングを有しない固体材料である。従って、装置のロッド及びエンドプレートから層の剥離の問題は存在しない。構成部品はモノリシック炭化珪素からなるので、装置は耐酸化性、耐薬品性及び耐熱衝撃性である。従って、装置は、苛酷な化学化合物が採用され、並びに高温及び迅速な温度変化が採用されるＲＴＡチャンバー内で採用され得る。」
イ
「【００３８】図１は、本発明のウェーハ保持装置又はウェーハボートの一態様を図示する。ウェーハボート１０は、あり継ぎ又はＤ形継ぎ手１６によりエンドプレート１４に固定される複数のロッド１２から構成される。（後略）」
ウ
「【００４４】本発明の他の異なる態様においては、あり継ぎは、あり継ぎの追加的固定のためにＣＶＤ炭化珪素の層で任意に被覆される。ＣＶＤ炭化珪素コーティング又はクラッドは全継ぎ手をシールする。ＣＶＤ炭化珪素を析出させる好適な方法は、クラッドを形成するために採用され得る。ゴーラ等の米国特許第５，３５４，５８０号は、本発明を実施するために採用され得るＣＶＤ炭化珪素を形成する方法及び装置を開示し、その全開示はここで参照により挿入される。」
エ
「【００４５】本発明のウェーハ支持装置の構成部品は、モノリシック炭化珪素、好ましくはＣＶＤ炭化珪素から構成される。ＣＶＤ炭化珪素構成要素を形成する如何なる好適な方法も、本発明の構成部品を製造するため採用され得る。上記したゴーラ等の米国特許第５，３５４，５８０号は、本発明のＣＶＤ炭化珪素部品を製造するのに採用され得る方法及び装置を開示する。構成部品がＣＶＤ又は任意の好適な方法により調製された後で、構成部品は望ましい形状及び寸法に機械加工される。炭化珪素製品の機械加工法は、当業界で公知である。機械加工は、しばしばダイヤモンド物質を使用して遂行される。（後略）」
　
オ　引用文献２に記載された事項
　上記３（２）ア及びエの摘記事項からみて、引用文献２には下記の事項（以下「引用２事項１」という。）が記載されていると認められる。
「ウエーハ支持装置のエンドプレート及びロッドの材料にモノリシック化学蒸着（ＣＶＤ）炭化珪素を用いること」
　また、上記３（２）イ及びウの摘記事項からみて、引用文献２には下記の事項（以下「引用２事項２」という。）が記載されていると認められる。
「ウエーハボート１０のエンドプレート１４と複数のロッド１２との結合部が化学蒸着（ＣＶＤ）炭化珪素でコーティングされていること」
　
（３）　引用文献３
　引用文献３には、次の事項が記載されている。なお、日本語仮訳は、引用文献３の日本語公表公報である特表２００８−５１７８０７号公報の対応する記載である。
ア　第７欄第１２−３１行
「As a preference, the re-entrant neck is substantially cylindrical and exhibits an entry taper, that is to say that the transition between the surface of the tank and that of the cylindrical neck is rounded. As a preference, this rounding has a fillet radius of at least 5 mm, or even 10 mm. This radius does not, however, advantageously exceed 20 mm. It is advantageously larger if there is space available in the vehicle environment, because that improves impact strength. The presence of such an inlet taper makes assembling the parts easier and limits the risk of stress raisers. 
　In certain instances it may be advantageous to mould a flange (or other coupling of appropriate geometry) as one piece with the neck, so as to make it easier to couple an external piece to the said neck. Finally, the present invention also relates to a plastic fuel tank that can be obtained by a method or apparatus as described hereinabove. In particular, it relates to such a tank comprising a built-in neck the wall thickness of which is constant to within +/- 0.1 mm (in which case it is said to have a tolerance of 0.1 mm).
　Such a tank advantageously has a filler pipe, a spout or a flange fixed to the said neck. This fixing may be done in any known way. Thus, for example, it may be by mechanical fastening (using a pipe clamp for example, or merely by screwing in the case the neck and the pipe, spout or flange are bearing complementary threads), by welding, etc.」
（仮訳：好ましくは、内側に凹んだネックは実質的に円筒形であり、入り口テーパを有し、つまり、タンクの表面と円筒形ネックの表面と間の移行部は曲線的である。好ましくは、この丸みは、少なくとも５ｍｍ、又は１０ｍｍのフィレット半径を有する。しかしながら、この半径は、２０ｍｍを超過しないことが有利である。この半径は衝撃力を改善することになるので、車両環境に利用可能な空間がある場合、大きい方が有利である。そのような注入口テーパの存在は、部品の組立てをより容易にし、応力発生源を制限する。
　ある場合においては、外部部品をネックに連結しやすくするために、フランジ（又は、ほかの適当な結合構造の結合部）をネックと一部品として成形することが有利になる場合がある。最後に、本発明はまた、上述した方法又は装置によって製造されるプラスティック燃料タンクに関する。特に、壁の厚みが＋／−０．１ｍｍ以内で一定である、即ち、０．１ｍｍの寸法公差を有する、作り付けのネックを含むタンクに関する。
　そのようなタンクが、ネックに固定された給油管、注入口、又はフランジを有することが有利である。この固定は、既知の任意の手法によって行われる。つまり、例えば、機械的固定（例えばパイプクランプの使用、又は、注入口又はフランジが対応するねじをもつ場合にはネックと管の螺合のみによって）、溶接などによって行われる。）
　
（４）　引用文献４
　引用文献４には、次の事項が記載されている。
ア
「【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用効果】本発明によると、超高純度の一体の（本体）自立式ＳｉＣを極めて慎重に制御された条件下でＣＶＤによって製造する。（中略）
【０００８】超高純度の本体のＳｉＣは、好ましくは米国特許出願第０７／９２３０７７号、同０７／９５９８８０号（これらの特許は参照して含まれる）に開示したようなＣＶＤプロセス系を使用して製造する。製造する本体の高純度ＳｉＣは、炉の備品やウェーハの取扱い器具のような半導体の高温加工用途に特に適している。好ましい炉の備品の品目は、ウェーハボート、プロセスチューブ、カンチレバーのパドル又はロッド、ダミーウェーハを含む。好ましいウェーハ取扱い器具はサセプタ、真空チャック、輸送リングを含む。」
イ
「【００１０】顕著に改良された純度の他に、本発明によって得られるＳｉＣは化学量論比（１：１のＳｉ：Ｃの比）であり、立方晶（β）の多結晶構造を有し、１００％の理論密度であり、極めて高い熱伝導率、高い強度、優れた耐熱衝撃性、優れた熱的安定性を有する。（後略）」
　
（５）　引用文献５
　引用文献５には、次の事項が記載されている。
ア
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高純度で緻密性、耐蝕性、強度特性などに優れ、例えばエピタキシャル成長、プラズマエッチング処理、ＣＶＤ処理などに用いられるサセプター、ダミーウエハあるいはターゲット材や各種治具などの半導体製造に用いる部材として有用な炭化珪素成形体に関する。」
イ
「【００１１】
【発明の実施の形態】ＣＶＤ法により作製したＳｉＣ成形体、すなわちＣＶＤ−ＳｉＣ成形体は、ＣＶＤ法（化学的気相蒸着法）により原料ガスを気相反応させて基体面上にＳｉＣを析出させたのち基体を除去して得られるもので、（後略）」
ウ
「【００１５】（中略）ＣＶＤ−ＳｉＣ成形体は主に立方晶形のβ−ＳｉＣであり、（後略）」
　
４　対比
　本件発明と引用１発明とを対比する。
　引用１発明の「上下部でその太さを固定板に向けて次第に増加させラッパ口形状のフランジ曲面を形成している端部を有する結合部」は、端部が「フランジを有する」形状となっているものであるから、本件発明の「フランジを有する結合部」に相当するものである。
　また、引用１発明の「炭化珪素製固定板」及び「炭化珪素製溝付き棒」は、本件発明の「炭化珪素エンドプレート」及び「炭化珪素ロッド」に相当する。
　そうすると、両者は下記の点で一致する。
＜一致点＞
「フランジを有する結合部によって、両端においてそれぞれの炭化珪素エンドプレートに固定された複数の炭化珪素ロッドを含む装置。」
　一方、両者は下記の点で相違する。
＜相違点１＞
　フランジを有する結合部について、本件発明では「フィレット半径を有する」形状であるのに対し、引用１発明ではフィレット半径を有するか否か不明である点。
＜相違点２＞
　エンドプレート及びロッドを構成する炭化珪素が、本件発明では「モノリシック化学蒸着立方β結晶構造」であるのに対し、引用１発明では結晶構造等が不明である点。
＜相違点３＞
　結合部について、本件発明では「化学蒸着炭化珪素でコーティングされている」のに対し、引用１発明ではコーティングについて不明である点。
　
５　当審の判断
　上記相違点について検討する。
　＜相違点１＞について、引用１発明の溝付き棒２における上下部５の太さを固定板に向けて次第に増大するようなフランジ形状に構成した理由は、上記３（１）イないしオの摘記事項からも理解されるように、溝付き棒と固定板との接合部及びその周辺を角等による急激な形状変化を伴わない曲面状に構成することで、接合部及びその周辺にかかる熱応力の集中を緩和して破壊を防止するためである。一方、平面台に円筒形のネック等を結合する場合に、平面台表面とネック表面との移行部を曲面状とするに際して、曲面の種類として「フィレット半径」を有する曲面状に形成し、応力集中を減らして部材の破壊を防止する技術は、例えば、引用文献３の上記３（３）アの摘記事項にも示されているように、機械設計における従来周知の技術である。そして、この従来周知の「フィレット半径」を用いた応力集中緩和技術が、部材の材質や部材が置かれた環境等にかかわらず、二部材の接合表面の形状・構造に応じて作用効果が生じるものであることは、機械設計や構造力学解析の一般的な技術分野において技術常識に過ぎない。そうすると、引用１発明の溝付き棒２の上下部５は、ラッパ口形状のフランジ曲面が形成されており、熱応力を緩和するものであるから、上記従来周知の技術を適用し、当該フランジ曲面を断面円形又は球面として「フィレット半径を有する」ものとすることは、当業者であれば容易に想到し得た程度のものと認められる。
　＜相違点２＞について、ウェーハ支持装置のエンドプレート１４及びロッド１２の材料に、モノリシック化学蒸着（ＣＶＤ）炭化珪素を用いる技術は、上記引用２事項１としても示されている。また、ウエハ用治具の構成材料であるモノリシック化学蒸着炭化珪素について、立方β結晶構造のものが用いられることも、例えば、引用文献４（上記３（４）ア及びイの摘記事項参照）、引用文献５（上記３（５）アないしウの摘記事項参照）にも示されているように、従来周知の技術に過ぎない。そうすると、引用１発明のウエハボートの固定板及び溝付き棒の材料である炭化珪素について、同様にウエハボートの技術である引用２事項１を適用し、その際上記従来周知の技術も勘案することで、モノリシック化学蒸着立方β結晶構造炭化珪素を採用することは、当業者であれば容易に想到し得る事項というべきである。
　＜相違点３＞について、エンドプレートとロッドとの結合部を化学蒸着炭化珪素でコーティングする技術は、上記引用２事項２としても示されている。そして、引用１発明の固定板と溝付き棒との結合部に上記引用２事項２を適用し、化学蒸着炭化珪素でコーティングすることは、当業者であれば容易に想到し得る事項である。
　また、本件発明によってもたらされる効果も、引用１発明、引用２事項１及び引用２事項２、並びに従来周知の技術から、当業者であれば予測できる程度のものであって格別なものではない。
　
６　むすび
　したがって、本件発明は、引用１発明、引用２事項１及び引用２事項２、並びに従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、当審で通知した上記拒絶の理由によって拒絶をすべきものである。
　よって、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。