【手続補正書】
【提出日】平成26年11月21日(2014.11.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
双アーム基板移送ロボットであって、
前記移送ロボットを中心軸のまわりに回転させるための中央アクチュエータと、
第１の端部およびほぼ反対側の第２の端部を有する連結アームであって、前記第１の端部と前記第２の端部の間の前記連結アームの中央近辺で前記中央アクチュエータに結合される、連結アームと、
前記連結アームの前記第１の端部に回転可能なように結合された第１のフォアアームと、
前記連結アームの前記第２の端部に回転可能なように結合された第２のフォアアームと、
前記連結アームに対する前記第１のフォアアームの前記回転を制御するための、前記連結アームの下に配置された第１のフォアアームアクチュエータと、
前記連結アームに対する前記第２のフォアアームの前記回転を制御するための、前記連結アームの下に配置された第２のフォアアームアクチュエータと
を備え、前記第１のフォアアームアクチュエータおよび前記第２のフォアアームアクチュエータは、前記中央アクチュエータから横方向にずらされる双アーム基板移送ロボット。
【請求項２】
前記第１のフォアアームの第１の端部に回転可能なように結合された第１のエンドエフェクタと、前記第２のフォアアームの第１の端部に回転可能なように結合された第２のエンドエフェクタとをさらに備え、各エンドエフェクタは、前記エンドエフェクタの上の基板を支持するように構成される請求項１に記載の基板移送ロボット。
【請求項３】
前記第１のフォアアームおよび前記第２のフォアアームのそれぞれが、
前記エンドエフェクタに結合され、前記第１のフォアアームおよび前記第２のフォアアームのそれぞれの前記第１の端部に回転可能なように結合された第１のプーリと、
前記第１のフォアアームおよび前記第２のフォアアームの前記第１の端部と反対側の第２の端部に結合され、前記連結アームに固定的に結合された第２のプーリと、
前記第１のフォアアームアクチュエータまたは前記第２のフォアアームアクチュエータの作動が、前記第１のフォアアームまたは前記第２のフォアアームに対する前記第１のエンドエフェクタおよび前記第２のエンドエフェクタのそれぞれの回転を引き起こすように、前記第１のプーリを前記第２のプーリに結合するベルトと
をさらに備える請求項２に記載の基板移送ロボット。
【請求項４】
前記第１のプーリと前記第２のプーリの間の中心間の距離が前記第１のプーリと前記中心軸の間の中心間の距離に等しく、前記第１のプーリおよび前記第２のプーリは、前記第１のプーリと前記第２のプーリのサイズの比がおよそ２：１である請求項３に記載の基板移送ロボット。
【請求項５】
基板処理システムの移送チャンバ内に配置される請求項１から４のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。
【請求項６】
前記移送チャンバが、
前記基板移送ロボットを前記移送チャンバに結合するための底面であって、前記第１のフォアアームアクチュエータ、前記第２のフォアアームアクチュエータ、および前記中央アクチュエータが前記移送チャンバ内で回転することを可能にするための複数の凹部を備える、前記底面を備える請求項５に記載の基板移送ロボット。
【請求項７】
前記基板移送ロボットの垂直移動を制御するための、前記中央アクチュエータに結合されたリフトをさらに備える請求項１から４のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。
【請求項８】
前記リフトが、
リフトアクチュエータと、
前記リフトアクチュエータを前記中央アクチュエータに結合する運び台と
を備え、前記リフトアクチュエータが、前記運び台の垂直移動を制御する請求項７に記載の基板移送ロボット。
【請求項９】
前記中央アクチュエータ、前記第１のフォアアームアクチュエータ、および前記第２のフォアアームアクチュエータが、回転油圧ポンプ、電気モータ、油圧モータ、または空気圧モータである請求項１から４のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。
【請求項１０】
前記第１のフォアアームを前記第１のフォアアームアクチュエータに回転可能なように結合して前記第１のフォアアームアクチュエータから前記フォアアームに回転エネルギーを伝達する第１のギアボックスと、
前記第２のフォアアームを前記第２のフォアアームアクチュエータに回転可能なように結合して前記第２のフォアアームアクチュエータから前記第２のフォアアームに回転エネルギーを伝達する第２のギアボックスと
をさらに備える請求項１から４のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。
【請求項１１】
前記第１のフォアアームアクチュエータの回転軸、前記第２のフォアアームアクチュエータの回転軸、および前記中心軸が同一平面上にある請求項１から４のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。
【請求項１２】
前記第１のフォアアームアクチュエータの回転軸および前記第２のフォアアームアクチュエータの回転軸が、互いに対して同一平面上にあり、前記中心軸に対してずれている請求項１から４のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。
【請求項１３】
前記第１のフォアアームおよび前記第２のフォアアームのそれぞれが、前記連結アームの長さの２分の１に実質的に等しい長さを有する請求項１から４のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。
【請求項１４】
前記第１のフォアアームおよび前記第２のフォアアームのそれぞれが、前記連結アームの長さの２分の１よりも長い長さを有する請求項１から４のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。
【請求項１５】
前記第１のフォアアームアクチュエータおよび前記第２のフォアアームアクチュエータのそれぞれが、大部分、前記連結アームの下に配置される請求項１から４のいずれか一項に記載の基板移送ロボット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
ファクトリインターフェース１０４は、ロードロックチャンバ１８４を介して移送チャンバ１８８に結合される。一部の実施形態において、ロードロックチャンバ１８４のそれぞれは、ファクトリインターフェース１０４に結合された第１のポート１２３と、移送チャンバ１８８に結合された第２のポート１２５とを含み得る。ロードロックチャンバ１８４は、移送チャンバ１８８の真空環境とファクトリインターフェース１０４の実質的な周囲（例えば、大気）環境の間で基板を受け渡すことを容易にするためにロードロックチャンバ１８４の空気を抜き、排気する圧力制御システムに結合され得る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
システムコントローラ１４０は、処理プラットフォーム１０２およびファクトリインターフェース１０４の構成要素（すなわち、プロセスチャンバ１９０Ａ〜Ｆ、移送ロボット１０６など）のうちの１つもしくは複数の直接制御を用いて、または代替的にプロセス処理プラットフォーム１０２およびファクトリインターフェース１０４の構成要素に関連するコンピュータ（もしくはコントローラ）を制御することによって処理システム１００の動作を制御する。一部の実施形態においては、システムコントローラ１４０は、処理システム１００の性能を最適化するために、処理システム１００の構成要素からのデータ収集およびフィードバックを可能にする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
一部の実施形態において、連結アーム２０４の第１の端部２１０および第２の端部２１４のそれぞれは、例えば、図４Ａおよび図４Ｂに示されるように、第１のフォアアームアクチュエータ２３０および第２のフォアアームアクチュエータ２２８の構成要素を収容するように構成されたハウジング４０６を備えてよい。例えば、そのような実施形態においては、第１のフォアアームアクチュエータ２３０および第２のフォアアームアクチュエータ２２８は、ハウジング４０６に結合され、第１のフォアアーム２０８および第２のフォアアーム２１２のそれぞれに結合された回転子４０４の回転を制御するように構成された固定子４０２をそれぞれ備えてよい。玉軸受け４０８が、滑らかな回転移動を行うために、回転子４０４とハウジング４０６に固定的に結合されたシャフト４１０の間に配置され得る。ハウジング４０６と連結アーム２０４は１つの一体的な部分として図面に示されているが、ハウジング４０６は、連結アーム２０４に結合されるように構成された別々の構成要素であってよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
動作の際、アクチュエータ（すなわち、中央アクチュエータ２０６、第１のフォアアームアクチュエータ２３０、および第２のフォアアームアクチュエータ２２８）が協調して、基板の所望の移動を行うために必要とされる任意の方向の移送ロボット１０６の移動を行うことができる。例えば、一部の実施形態においては、中央アクチュエータ２０６が、第１の方向３１１、例えば時計回りに回転されてよく、第１のフォアアームアクチュエータ２３０（または第２のフォアアームアクチュエータ２２８）が、反対方向３０８、例えば反時計回りに回転されてよく、そのため、第１のフォアアーム２０８（または第２のフォアアーム２１２）およびエンドエフェクタ２８６を前方に移動させる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
例えば、上述のように、エンドエフェクタ２８６を前方に移動させるために中央アクチュエータ２０６が第１の方向３１１に回転されてよく、第１のフォアアームアクチュエータ２３０が反対方向３０８に回転されてよい実施形態においては、第１のフォアアーム２０８の長さ３０６が連結アーム２０４の長さ３０２の約２分の１（１／２）である場合、第１のフォアアームアクチュエータ２３０の回転変位は、中央アクチュエータ２０６の回転変位αの約２倍（２α）であってよい。あるいは、第１のフォアアーム２０８の長さ３０６が連結アーム２０４の長さ３０２の２分の１（１／２）よりも長いか、または２分の１（１／２）よりも短い実施形態においては、所望の方向のエンドエフェクタ２８６、２８８の移動を実現するために、第１のフォアアームアクチュエータ２３０の回転変位は、中央アクチュエータ２０６の回転変位の約２倍よりも大きくなるように、または約２倍よりも小さくなるように変えられ得る。