【事件の表示】
　平成　１年特許願第２９６８８０号「マスフローコントローラ」拒絶査定に対する審判事件［平成　３年　７月　４日出願公開、特開平　３−１５６５０９］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【１】手続の経緯・本願発明
　本願は、平成１年１１月１４日の出願であって、その発明は請求項１乃至３に記載されたものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「流体が流れる流路に対して流量センサ部と、この流量センサ部の下流側または上流側に設けられる制御バルブとを備え、前記流量センサ部からの流量測定信号と流量設定信号とを比較部において比較し、この比較部から出力される差信号を演算制御部において処理して得られる制御信号に基づいて前記制御バルブの開度制御を行うようにしたマスフローコントローラにおいて、前記制御バルブの変位量を検出するバルブ変位量検出部と、前記流量センサ部の上流側または下流側の圧力、前記流量センサ部と前記制御バルブとの間の圧力、前記制御バルブの下流側または上流側の圧力の少なくともその一つを検出する圧力検出部と、前記流量センサ部の上流側または下流側の温度、前記流量センサ部と前記制御バルブとの間の温度、前記制御バルブの下流側または上流側の温度の少なくともその一つを検出する温度検出部とのうち、少なくともその一つを設け、かつ、検出部の状態を外部から読み出せるようにするインターフェイス部を設けたことを特徴とするマスフローコントローラ。」
　
【２】引用文献
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された特開昭６４−６９８７４号公報（以下、「引用文献１」という。）には、図面と共に以下の事項が記載されている。
「第１図において、ガス配管１の途中にニードルバルブ３を配置し、該ニードルバルブ３を上下させるニードルバルブ上下用ギヤ部５にステッピングモータ４を連結する。また、前記ニードルバルブ３より上流側のガス配管１に質量流量センサー２を設置し、該質量流量センサー２と流量設定器６とを比較コントロール回路７の入力側に接続するとともに、該比較コントロール回路７の出力側に前記ステッピングモーター４を接続し、かつ、ステッピングモーター４によるバルブ開度を表示するバルブ開度表示回路８を設ける。一方、前記ニードルバルブ３の前後のガス配管１に圧力センサー１０，１１を設置し、両圧力センサー１０，１１を開度演算回路１２に接続し、該開度演算回路１２の出力側にバルブ開度異常警報器９を接続し、該バルブ開度異常警報器９の出力側を前記バルブ開度表示回路８に接続する。」（第２頁上段左欄第１４行−同右欄第１１行）
「今、流量の設定を流量設定器６で設定すると、比較コントロール回路７により設定値と流量センサー２の測定値とを比較し、等しくなるようにステッピングモーター４に信号を送り、バルブの開度を変える。このステッピングモーター４の回転数はバルブ開度表示回路８により演算されてバルブ開度がパーセント表示されるようになっている。」（第２頁上段右欄第１８行−下段左欄第５行）
「以上説明したように本発明はニードルバルブの開度を測定し、予め設定もしくは予期されるバルブ開度の範囲より逸脱した場合に警報を発するようにしたため、質量流量センサーの異常もしくはマスフローコントローラーガス圧力の変動またはコントロール系の異常を早期に発見することができるという効果がある。」（第２頁下段左欄第１６行−同右欄第２行）
　以上の記載からすると、その第１図からも明らかなように、該引用文献１に記載のものがバルブ開度を読めるように表示する表示画面等の、何らかの表示手段を具備していることは自明のことである。したがって、引用文献１には、本願発明の方法にあわせて表現すると、自明の事項も含め以下のものが記載されていることとなる。
「流体が流れる流路に対して質量流量センサー２と、この質量流量センサー２の下流側に設けられるニードルバルブ３とを備え、前記質量流量センサー２の測定値と流量設定器６の設定値とを比較コントロール回路７において比較し、この比較コントロール回路７から出力される信号に基づいて前記ニードルバルブ３の開度制御を行うようにしたマスフローコントローラにおいて、前記ニードルバルブ３を駆動するステッピングモーター４の回転数を演算してバルブ開度を求めるバルブ開度表示回路８と、前記質量流量センサー２の上流側の圧力を検出するガス入力側圧力センサー１０と、ニードルバルブ３の下流側の圧力を検出するガス出力側圧力センサー１１と、を設け、かつ、前記ニードルバルブ３の開度を読めるように表示する表示手段を設けたことを特徴とするマスフローコントローラ。」
　
【３】本願発明と前記引用文献１に記載されたものとの対比・判断
（対比）
　前記引用文献１に記載のもの（前者）と本願発明（後者）とを対比すると、まず前者の「質量流量センサー２」、「ニードルバルブ３」、「比較コントロール回路７」、及び「（ガス入出力）圧力センサー１０，１１」がそれぞれその順に、後者の「流量センサ部」、「制御バルブ」、「比較部」、及び「圧力検出部」に相当することは明らかである。そして、前者の流量センサー２による測定値と流量設定器６による設定値とはともに信号として比較コントロール回路７に入力され、該比較コントロール回路７はその内部においてこの測定値の信号（流量測定信号）と設定値の信号（流量設定信号）とを比較し、その差信号を演算処理して前記設定値と測定値とが等しくなるようにステッピングモータ４に制御信号を送り、バルブの開度を変えるものであることも明らかなことであるから、結局引用文献１の比較コントロール回路７が本願発明の「比較部」及び「演算処理部」に相当する構成を具備していることは当業者に自明のことである。
　また、本願発明の「バルブ変位量検出部」は、本願明細書の「・・１２はバルブ変位量検出部で、制御バルブ３の弁開度を検出し、弁開度に応じたバルブ開度信号Ｖ０を出力するように構成されている。」（平成１０年９月１１日付け提出の手続補正書による全文訂正明細書の第６頁第１３−１４行）との記載によれば制御バルブの弁開度を検出してバルブ開度信号を出力するものであることからすると、引用文献１の「バルブ開度表示回路８」も、ステッピングモーター４の回転数を演算してバルブ開度を求めるものであるから、バルブの開度、即ち変位量を検出する機能を有していることも自明のことであって、該表示回路８の内部において「バルブ変位量検出部」に相当する構成も当然に具備しているものである。
　さらに、本願発明の「検出部の状態を外部から読み出せるようにする」という事項における「検出部の状態」とは、同じく本願明細書の「その目的とするところは、第１に、ＭＦＣ内部の動作状態を外部から読み出せるようにすることによって問題が発生しつつある時点（流量が変動する前の時点）で異常になりつつあることを簡単に知ることができるＭＦＣを提供することにあり」（同明細書第４頁第１６−１９行）や、「而して、上記構成のＭＦＣにおいては、それぞれセンサを有するバルブ変位量検出部１２、圧力検出部１３，温度検出部１４を設けているので、ＭＦＣ内の各部の状態を常に外部から把握することができ、例えばこのようなＭＦＣを半導体製造ラインに設けた場合、半導体製造ラインの正常時における流体系のデータ（ＭＦＣにおける設定流量と制御バルブ３の開度、ＭＦＣ内の各部の圧力並びに温度、圧力と温度との関係など）と現在の状態とを比較することができる。」（同明細書第９頁第２０−２６行）との記載から見て、バルブ変位量検出部、圧力検出部、温度検出部等の検出部より検出されたバルブ変位量、圧力、温度等の当該検出部の検出データの時間的変化（或いは、その傾向）を読み取ることをもって、その読み取られたデータ（の値）によって判断されるところの、ＭＦＣの正常又は異常状態（或いは、その兆候）や他のどのような状態にあるか等の「状態」をもって「検出部の状態」と表現したものにすぎない。したがって、結局本願発明のインターフェイス部を介して外部から読み出せるようにする「検出部の状態」とは、直接的には単に該検出部の検出データ（の値）自体を意味するものであって、これをその他の意味に解すべき根拠は存在しない。
　そうすると、引用文献１のバルブ開度表示回路８によって表示されるバルブ開度の値は、明らかに本願発明に言う「検出部の状態」に相当し、引用文献１のバルブ開度を表示する表示手段も、本願発明の検出部の状態を外部から読み出せるようにするインターフェイス部もともに「検出部の状態を読めるようにする手段」であるということができる。
　以上のことから、両者は、基本的に本願発明の用語を用いて表現すると、
「流体が流れる流路に対して流量センサ部と、この流量センサ部の下流側または上流側に設けられる制御バルブとを備え、前記流量センサ部からの流量測定信号と流量設定信号とを比較部において比較し、この比較部から出力される差信号を演算制御部において処理して得られる制御信号に基づいて前記制御バルブの開度制御を行うようにしたマスフローコントローラにおいて、前記制御バルブの変位量を検出するバルブ変位量検出部と、前記流量センサ部の上流側または下流側の圧力、前記流量センサ部と前記制御バルブとの間の圧力、前記制御バルブの下流側または上流側の圧力の少なくともその一つを検出する圧力検出部と、前記流量センサ部の上流側または下流側の温度、前記流量センサ部と前記制御バルブとの間の温度、前記制御バルブの下流側または上流側の温度の少なくともその一つを検出する温度検出部とのうち、少なくともその一つ（即ち、バルブ変位量検出部）を設け、かつ、検出部の状態を読めるようにする手段を設けたことを特徴とするマスフローコントローラ。」
　である点で一致し、以下の点でのみ相違するものと認める。
相違点：
　本願発明では「検出部の状態を外部から読み出せるようにするインターフェイス部を設けた」構成を備えているのに対し、引用文献１のものではかかる「外部から読み出せるようにするインターフェイス部」の構成は記載されていない点。
（判断）
　本願発明が上記相違点の構成を採る意義は、本願明細書に「・・例えばこのようなＭＦＣを半導体製造ラインに設けた場合、半導体製造ラインの正常時における流体系のデータ（・・省略・・）と現在の状態とを比較することができ、問題発生の兆候を知ることができる。」（前記全文訂正明細書第５頁第２２−２６行）、及び「２０はインターフェイス部で、装置全体を制御する外部に設けられた制御装置（図外）からＭＦＣに送られてくる各種の制御信号を受信して、その制御信号に基づいてＭＦＣ内の各部を制御すると共に、各部から送られてくる情報を前記制御装置に送信する機能を有しており、第２図にその機能の一例を概略的に示す。」（同第７頁第２６−２９行）と記載されているとおりのものであり、要はＭＦＣ（例えば半導体製造ラインに設けられる。）の外部に設けられた、装置全体を制御する制御装置（中央制御部）に、検出部から得られた情報、即ちバルブ変位量や圧力などの流体系の検出データをインターフェイス部を介して送信し、該データをＭＦＣの外部から読み出せるようにすることにより、「問題が発生しつつある時点で異常になりつつあることを簡単に知ることができるＭＦＣを提供すること」（同第４頁第１７−１９行）にあるものと認められる。
　しかるところ、一般に本願発明や引用文献１のような流体系を有する製造ラインやプラントにおいて、バルブ変位量や圧力、温度等の検出部（端末の制御部と共に現場の流体系に設けられる。）の各種の検出データを、インターフェイス部を介して外部である中央制御部に送信し、そのＣＲＴ等の表示画面に前記の各種のデータを表示して問題発生の兆候等の流体系の状態を（該現場の流体系の）外部から容易に読み出せるようにする技術は、例えば特開昭５７−５００７１０号公報（原査定の拒絶の理由に引用された引用文献２）、特開昭６３−１３８４０８号公報、特開昭６３−１２０３９６号公報、特開平１−１７４０９７号公報等に示されているように出願前きわめて周知・慣用の技術にすぎない。
（なお、上記文献特開昭６３−１３８４０８号公報において、少なくとも例えば原子炉１などのプラント部又はトレンド出力装置９に、プラントにおける検出部の状態を外部から読み出せるようにするインターフェイス部が設けられていることは当業者に自明のことである。又、同じく上記特開昭６３−１２０３９６号公報において、プロセス入力装置１がプラントの検出部の状態を外部に読み出せるようにするインターフェイス部に相当する。）
　してみれば、前記引用文献１に記載されたものに上記の周知技術を適用して、そのバルブ開度表示回路８による表示をインターフェイス部を介して外部から読み出せるようにすること、即ち上記本願発明の相違点を想到することは、当業者であれば適宜容易になし得る程度のことであり、それによる効果も当業者が当然に予測できる程度のものにすぎない。
　
【４】審判請求理由補充書における審判請求人の主張について
　審判請求人は、平成１１年２月１日付け提出の審判請求理由補充書において、例えば「・・引用文献２（注：特開昭５７−５００７１０号公報）には、アナログ−デジタル変換器１２からマイクロプロセッサ１３にデータを入力するポートＡと、マイクロプロセッサ１３から表示装置１９に表示するためのポートＢ、Ｃとを有する入出力装置１５が開示されているだけであり、バルブの外部に信号を出力することについて考えられていないことは明らかであります。（第４図参照）」（同書第６頁第１３−１７行）と主張している。
　しかしながら、上記引用文献２には例えば次の各記載がある。
「７．上記の請求の範囲のいづれかでクレームされた装置において、電子的処理手段は、規定の条件にしたがって２５０個までのバルブおよび/またはポンプを同時に連続的にモニタおよび/または制御するために動作可能である。」（引用文献２；公表特許公報第１頁コラム１３第２１−２５行）
「マイクロプロセッサの使用により、多数のバルブを同時に・・（中略）・・流量指示を与えることができる。この発明の配置は同時に２５０個までのバルブをモニタする単一の集積されたユニットであってもよく、または可視表示ユニット（ＶＤＵ）付きのミニ・コンピュータもしくはメイン・フレーム・コンピュータと組み合わせてもよい。」（同第４頁コラム１０第１４行−同コラム１１第１行）
　これらの記載によれば、その流量指示器の配置は２５０個までのバルブを同時にモニタする単一の集積されたユニットであってもよいのであるから、その場合、少なくとも２５０個までのバルブを同時にモニタする装置、即ち表示装置１９（第４図参照）は、該引用文献２の個々のバルブ装置（位置トランスデユーサー１０を含む）の外部に独立して存在しなければならないことは当業者に自明のことというべきである。（モニタ装置が、２５０個までの個々のバルブ装置の外部に独立して存在しなければ、該２５０個までの個々のバルブを同時にモニタすることができないことは自明である。）
　したがって、また、引用文献２の発明の配置が上記のような２５０個までのバルブをモニタする単一の集積されたユニットとして、または可視表示ユニット付きのミニ・コンピュータもしくはメイン・フレーム・コンピュータと組み合わせたものとして構成された場合には、そのようなユニットまたはコンピュータと組み合わされたものはいわゆる中央監視部（中央制御部）を形成し、その第４図に示された入出力装置１５およびキー・パッド２０は「検出部の状態（バルブ開度、即ち流量）を外部から読み出せるようにするインターフェイス部」となることも当業者において自明のことである。（なお、引用文献２の入出力装置１５及びキー・パッド２０が「インターフェイス部」であることはいうまでもない。）
　よって、引用文献２にバルブ装置の外部に信号を出力することが開示されていることは明らかであるから、審判請求人の当該主張には根拠がなく採用できない。
　
【５】まとめ
　以上のとおりであるから、本願請求項１に係る発明は、上記引用文献１に記載されたものと周知技術とに基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものと認められ、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　よって、結論のとおり審決する。