【手続補正書】
【提出日】平成26年11月14日(2014.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
その少なくとも１つの属性が、周期的にサンプリングされるデジタル入力信号の少なくとも１つの特性に対応する、標的の物理的作用を発生させるための装置であって、
第１および第２の電極の間を移動する移動要素をそれぞれが備え、アクチュエータ要素のＮｒ個の第１のサブセット（Ｒサブセット）と、アクチュエータ要素のＮｃ個の第２サブセット（Ｃサブセット）とを含む、多数の静電アクチュエータ要素であって、前記多数のアクチュエータ要素の第１のパーティショニングで前記Ｎｒ個の第１のサブセット（Ｒサブセット）が得られ、前記多数のアクチュエータ要素の第２のパーティショニングで前記Ｎｃ個の第２のサブセット（Ｃサブセット）が得られる、多数の静電アクチュエータ要素と、
各個々のＲサブセットの中の任意のアクチュエータ要素の前記移動要素が、前記個々のＲサブセットの中の他の全てのアクチュエータ要素の前記移動要素に電気的に接続され、かつ前記個々のＲサブセットの中にない全てのアクチュエータ要素の前記移動要素から電気的に絶縁されるように、各Ｒサブセットの中のアクチュエータ要素の前記移動要素を相互接続している、第１の複数のＮｒ個の電気的接続部（Ｒワイヤ）と、
各個々のＣサブセットの中の任意のアクチュエータ要素の前記第１の電極が、前記個々のＣサブセットの中の他の全てのアクチュエータ要素の前記第１の電極に電気的に接続され、かつ前記個々のＣサブセットの中にない全てのアクチュエータ要素から電気的に絶縁されるように、各Ｃサブセットの中のアクチュエータ要素の前記第１の電極を相互接続している、第２の複数のＮｃ個の電気的接続部（Ａワイヤ）と、
各個々のＣサブセットの中の任意のアクチュエータ要素の前記第２の電極が、前記個々のＣサブセットの中の他の全てのアクチュエータ要素の前記第２の電極に電気的に接続され、かつ前記個々のＣサブセットの中にない全てのアクチュエータ要素から電気的に絶縁されるように、各Ｃサブセットの中のアクチュエータ要素の前記第２の電極を相互接続している、第３の複数のＮｃ電気的接続部（Ｂワイヤ）と、
結果として生じる前記移動要素の動きが、ともに前記所望の物理的作用を生成するように、前記第１、第２、および第３の複数の電気的接続部に電気的に接続され、デジタル入力信号を受信し、所定の有限集合の電位の１つを、それぞれ、前記電気接続部のそれぞれに印加するように動作する、コントローラと、
を備える、装置。
【請求項２】
前記コントローラは、前記デジタル入力信号に従って、前記第１の複数のＮｒ個の電気的接続部（Ｒワイヤ）に、それぞれ、印加するためのＮｒ個組の電位、前記第２の複数のＮｃ個の電気的接続部（Ａワイヤ）に、それぞれ、印加するための第１のＮｃ個組の電位、および前記第３の複数のＮｃ個の電気的接続部（Ｂワイヤ）に、それぞれ、印加するための第２のＮｃ個組の電位を決定するように動作する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
各移動要素は、前記コントローラによって印加される電位に応答して、前記第２の電極よりも前記第１の電極に近い第１の端位置から、前記第１の電極よりも前記第２の電極に近い第２の端位置まで移動し、そして戻るように動作する、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記所定の有限集合の電位は、第１および第２の有限集合の電位値を含み、
前記Ｎｒ個組の電位が、前記第１の有限集合の電位値から選択され、
前記第１および第２のＮｃ個組の電位が、前記第２の有限集合の電位値から選択される、
請求項２に記載の装置。
【請求項５】
前記第１および第２の有限集合の電位値の少なくとも１つは、厳密に２つの値を有する、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記第１および第２の有限集合の電位値の少なくとも１つは、厳密に３つの値を有する、請求項４に記載の装置。
【請求項７】
前記コントローラは、前記所定の有限集合の電位の１つを、それぞれ、前記第１、第２、および第３の複数の電気的接続部の各メンバーに周期的に適用するように動作する、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記コントローラは、前記デジタル入力信号に従って、前記第１の複数の電気的接続部（Ｒワイヤ）の前記Ｎｒ個のメンバーのそれぞれへの周期的な印加のためのＮｒ個組の電位、前記第２の複数の電気的接続部（Ａワイヤ）の前記Ｎｃ個のメンバーのそれぞれへの周期的な印加のための第１のＮｃ個組の電位、および前記第３の複数の電気的接続部（Ｂワイヤ）の前記Ｎｃ個のメンバーのそれぞれへの周期的な印加のための第２のＮｃ個組の電位を周期的に決定するように動作する、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記Ｎｒ個組、第１のＮｃ個組、および第２のＮｃ個組の電位の印加は、アクチュエーションクロックと同期しており、よって、前記アクチュエーションクロックのサイクルの持続期間にわたって、アクチュエーションクロックの１サイクルにつき１度、周期的かつ同時に、Ｎｒ個組の電位が、前記第１の複数のＮｒ個の電気的接続部（Ｒワイヤ）に印加され、第１のＮｃ個組の電位が、前記第２の複数のＮｃ個の電気的接続部（Ｒワイヤ）に印加され、第２のＮｃ個組の電位が、前記第３の複数のＮｃ個の電気的接続部（Ｂワイヤ）に印加される、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
その少なくとも１つの属性が、周期的にサンプリングされるデジタル入力信号の少なくとも１つの特性に対応する、物理的作用を発生させるための装置を製造するための方法であって、
第１および第２の電極の間を移動する移動要素をそれぞれが備える、多数の静電アクチュエータ要素を提供することであって、
Ｎｒ個の第１のサブセット（Ｒサブセット）への前記多数のアクチュエータ要素の第１のパーティショニングと、
Ｎｃ個の第２のサブセット（Ｃサブセット）への前記多数のアクチュエータ要素の第２のパーティショニングと、を画定することを含む、多数の静電アクチュエータ要素を提供することと、
第１の複数のＮｒ個の電気的接続部（Ｒワイヤ）を介して、各Ｒサブセットの中のアクチュエータ要素の前記移動要素を相互接続することであって、よって、各個々のＲサブセットの中の任意のアクチュエータ要素の前記移動要素が、前記個々のＲサブセットの中の他の全てのアクチュエータ要素の前記移動要素に電気的に接続され、また、前記個々のＲサブセットの中にない全てのアクチュエータ要素の前記移動要素から電気的に絶縁される、相互接続することと、
第２の複数のＮｃ個の電気的接続部（Ａワイヤ）を介して、各Ｃサブセットの中のアクチュエータ要素の前記第１の電極を相互接続することであって、よって、各個々のＣサブセットの中の任意のアクチュエータ要素の前記第１の電極が、前記個々のＣサブセットの中の他の全てのアクチュエータ要素の前記第１の電極に電気的に接続され、また、前記個々のＣサブセットの中にない全てのアクチュエータ要素から電気的に絶縁される、相互接続することと、
第３の複数のＮｃ個の電気的接続部（Ｂワイヤ）を介して、各Ｃサブセットの中のアクチュエータ要素の前記第２の電極を相互接続することであって、よって、各個々のＣサブセットの中の任意のアクチュエータ要素の前記第２の電極が、前記個々のＣサブセットの中の他の全てのアクチュエータ要素の前記第２の電極に電気的に接続され、また、前記個々のＣサブセットの中にない全てのアクチュエータ要素から電気的に絶縁されるように、相互接続することと、
前記第１、第２、および第３の複数の電気的接続部に電気的に接続され、デジタル入力信号を受信し、所定の有限集合の電位の１つを、それぞれ、前記電気的接続部のそれぞれに印加するように動作し、よって、結果として生じる前記移動要素の動きが、ともに前記所望の物理的作用を生成する、コントローラを提供することと、
を含む、方法。
【請求項１１】
各移動要素は、前記コントローラによって印加される電位に応答して、前記第２の電極よりも前記第１の電極に近い第１の端位置から、前記第１の電極よりも前記第２の電極に近い第２の端位置まで移動し、そして戻るように動作し、
アクチュエーションクロックの１サイクルあたり１度、前記コントローラは、その個々のクロックサイクル中に、ｍ１個の移動要素が前記第１の端位置から解放され、ｍ２個の移動要素が前記第２の端位置から解放され、ｍ２−ｍ１＝ｎｅｔ＿ｍｏｖｅｓである場合に、前記個々のクロックサイクル中に前記物理的作用が生成されることを特徴とする、ｎｅｔ＿ｍｏｖｅｓ数を計算するように動作する、請求項９に記載の装置。
【請求項１２】
前記コントローラは、加えて、前記第１の複数のＮｒ個の電気的接続部（Ｒワイヤ）、前記第２の複数のＮｃ個の電気的接続部（Ａワイヤ）、および前記第３の複数のＮｃ個の電気的接続部（Ｂワイヤ）に、それぞれ、印加されたときに、
●前記第１の端位置からのｋ１個の移動要素の解放、
●前記第２の端位置からのｋ２個の移動要素の解放、
を生じさせるように動作する、印加−有効電位を、クロックの１サイクルあたり１度決定するように動作し、よって、ｋ１−ｋ２がｎｅｔ＿ｍｏｖｅｓに十分に近くなり、所与の印加の目的に十分に近い前記標的の物理的作用に類似している物理的作用を生成する、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
●各Ｒサブセットは、Ｎｃ個の移動要素を含み、
●各Ｃサブセットは、Ｎｒ個の移動要素を含み、
●Ｒワイヤは、０からＮｒ−１の番号が付けられ、
●ＡワイヤおよびＢワイヤは、０からＮｃ−１の番号が付けられ、
●移動要素には、各移動要素がＮｒ×Ｃサブセット数＋Ｒサブセット数である番号を有するように、番号が付けられ、および
前記コントローラは、各アクチュエーションクロックサイクルで、現在前記Ａ位置にある全ての移動要素の番号が、連続循環シーケンスを形成し、また、現在前記Ｂ位置にある全ての移動要素の番号も、連続循環シーケンスを形成するように、前記印加−有効電位を選択する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記コントローラは、計数器、量子化器、ディザー、レベルシフタ、低域通過フィルタおよびサンプルレートコンバータの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１５】
例えば、前記装置の電源が切られたとき等の、前記第１の複数のＮｒ個の電気的接続部、前記第２の複数のＮｃ個の電気的接続部、および前記第３の複数のＮｃ個の電気的接続部に印加される任意の電位の非存在下で、前記移動要素は、前記第１および第２の端位置の間に位置する静止位置に戻り、
前記コントローラは、加えて、前記移動要素の１つ以上を、それらの静止位置から前記第１および第２の端位置まで移動させる手段を備える、請求項３に記載の装置。
【請求項１６】
前記コントローラは、１つ以上のアクチュエーションクロックサイクル中にｋ１−ｋ２とｎｅｔ＿ｍｏｖｅｓとの間の非ゼロの差（アドレス指定エラー）に起因する、アドレス指定ノイズの周波数スペクトルを形成するアドレス指定ノイズシェーピングループを含み、よって、アドレス指定ノイズエネルギーは、関心の周波数帯域の範囲内で低減され、かつ前記関心の帯域の範囲外で増大される、請求項１２に記載の装置。
【請求項１７】
前記コントローラは、前記デジタル入力信号が取り得る可能な値の数よりも少ない前記アクチュエータアレイの中のアクチュエータ要素の数に起因する、量子化ノイズの前記周波数スペクトルをシェーピングする量子化ノイズシェーピングループを含み、よって、量子化ノイズエネルギーが関心の周波数帯域の範囲内で低減され、かつ前記関心の帯域の範囲外で増大される、請求項１２または１６に記載の装置。