【事件の表示】
　特許第３４０４６７４号「超高温熱処理装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３４０４６７４号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
第１　手続きの経緯
　本件特許第３４０４６７４号に係る手続きの主な経緯は、次のとおりである。
　特許出願（特願２０００−０１３５１１号）　平成１２年　１月２１日
　特許権設定登録　　　　　　　　　　　　　　平成１５年　３月　７日
　特許異議申立（特許異議申立人：石塚雄次、請求項１に対して）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　平成１５年１１月　６日
　取消理由通知　　　　　　　　　　　　　　　平成１６年　６月　９日
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（起案日）
　意見書　　　　　　　　　　　　　　　　　　平成１６年　８月１３日
　
第２　特許異議申立についての判断
　１　本件発明
　本件請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである
　「【請求項１】
　超高温熱処理装置を構成する電気炉において、
　正面よりみてＵ形状の発熱部と上方が折曲する非発熱部からなる加熱ヒーターが、その非発熱部を炉内断熱材内に貫通せしめ、前記炉内断熱材を所定間隔をもって被覆する外側囲み壁部に前記非発熱部を固定して取着し、当該加熱ヒーターの発熱部は、前記炉内断熱材の内側壁面に間隙部を設け、密着することなく、且１本単位で交換可能に装着せしめたことを特徴とする超高温熱処理装置。」
　
　２　特許異議申立の理由及び取消理由の概要
　（１）特許異議申立の理由
　特許異議申立人石塚雄次は、証拠として、
刊行物１（甲第１号証）David P. Hamling,“Furnace Insulation Modules-A Unique Insulation And Heating System For Rapid Thermal Processing Of Semiconductor Materials”,5th Int. Conf. on Advanced Thermal Processing of Semiconductors-RTP'97，１９９７年９月，ｐ．３６９〜３７６
刊行物２（甲第２号証）特開平５−３１５０５７号公報
刊行物３（甲第３号証）カンタル・ガデリウス株式会社「カンタルスーパー」，１９８８年６月，ｐ．１７〜２０
刊行物４（甲第４号証）株式会社リケン「パイロマックススーパー(PX-S)技術資料」，１９９７年１０月，ｐ．２〜５，ｐ．２７
刊行物５（甲第５号証）社団法人日本工業炉協会他「素形材センター研究調査報告Ｎｏ．３６０　新工業炉の体系化に関する調査研究」，１９８９年２月，ｐ．４０〜４１
刊行物６（甲第６号証）カンタル・ガデリウス株式会社「カンタル・スーパー講演会」，１９８２年９月１４日，Ｆｉｇ．１０
刊行物７（甲第７号証）石川島播磨重工業株式会社「ＩＨＩ真空熱処理炉」カタログ，１９８６年３月
刊行物８（甲第８号証）「セラミックス」，２９，Ｎｏ．５，１９９４年，ｐ．３９９〜４０２
を提出し、本件請求項１に係る特許発明は、甲第１〜８号証に記載された発明に基づいて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、特許法第１１３条第２号の規定により取り消すべきものであると主張している。
　
　（２）取消理由の概要
　取消理由の概要は、以下のとおりである。
「理由１．第２９条第２項違反について
刊行物１：David P. Hamling,“Furnace Insulation Modules-A Unique Insulation And Heating System For Rapid Thermal Processing Of Semiconductor Materials”,5th Int. Conf. on Advanced Thermal Processing of Semiconductors-RTP'97，１９９７年９月，ｐ．３６９〜３７６（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第１号証）
刊行物２：特開平５−３１５０５７号公報（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第２号証）
刊行物３：カンタル・ガデリウス株式会社「カンタルスーパー」，１９８８年６月，ｐ．１７〜２０（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第３号証）
刊行物４：株式会社リケン「パイロマックススーパー(PX-S)技術資料」，１９９７年１０月，ｐ．２〜５，ｐ．２７（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第４号証）
刊行物５：社団法人日本工業炉協会他「素形材センター研究調査報告Ｎｏ．３６０　新工業炉の体系化に関する調査研究」，１９８９年２月，ｐ．４０〜４１（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第５号証）
刊行物６：カンタル・ガデリウス株式会社「カンタル・スーパー講演会」，１９８２年９月１４日，Ｆｉｇ．１０（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第６号証）
刊行物７：石川島播磨重工業株式会社「ＩＨＩ真空熱処理炉」カタログ，１９８６年３月，（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第７号証）
刊行物８：「セラミックス」，２９，Ｎｏ．５，１９９４年，ｐ．３９９〜４０２（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第８号証）
　
　本件請求項１に係る発明は、特許異議申立書（但し、「甲第１号証」ないし「甲第８号証」は、それぞれ「刊行物１」ないし「刊行物８」と読み替える。）第８頁第１行〜第１５頁第２０行に記載の理由により、上記刊行物１〜８に記載の発明に基いて当業者が容易に発明することができたものである。
　よって、本件請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。」
　
　３　対比・判断 
　（１）刊行物に記載された発明
　　（ア）刊行物１：David P. Hamling,“Furnace Insulation Modules-A Unique Insulation And Heating System For Rapid Thermal Processing Of Semiconductor Materials”,5th Int. Conf. on Advanced Thermal Processing of Semiconductors-RTP'97，１９９７年９月，ｐ．３６９〜３７６（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第１号証）
　刊行物１に記載された発明は、「炉断熱モジュール−半導体材料の急速加熱処理用ユニーク断熱・ヒータシステム」（タイトル）に関するものであり、以下の点が記載されている。
　「ジルカー炉断熱モジュール（モジュール）が事前に、軽量繊維セラミック断熱層と二珪化モリブデンヒーターとから組み立てられる。モジュールは急速熱処理装置のＯＥＭ製造者によって、彼らが製造する装置システムの断熱材／ヒーター炉室として使用される。」（第３６９頁左欄第１段落第２〜８行の訳文）
　「二珪化モリブデン（ＭｏＳｉ２）ヒーターを使用したジルカー炉断熱モジュールは、大気中で１８２５℃の高温まで昇温でき、他の多くの抵抗加熱システムよりも大電力を投入できる。」（第３６９頁左欄第２段落第１〜４行の訳文）
　「ＭｏＳｉ２がＲＴＰシステムに有利ないくつかの特徴は：
・・・
・ヒーターが一つずつ交換でき、保守を比較的簡単にする。」（第３７２頁右欄第１〜１７行の訳文）
　また、刊行物１の第３７３頁左欄上側の写真の中央部には、正面よりみてＵ字型で、上方が屈曲しているヒーターが示されており、刊行物１の第３７４頁右欄下側の写真には、軽量繊維セラミック断熱層から突出したヒーターの根本部分が屈曲した様態が示されている。
　
　よって、刊行物１には、
　「大気中で１８２５℃の高温まで昇温できる急速熱処理装置に用いられる断熱材／ヒーター炉室において、
　軽量繊維セラミック断熱層と二珪化モリブデンヒーターとから組み立てられるジルカー炉断熱モジュールが、断熱材／ヒーター炉室として使用され、
　前記二珪化モリブデンヒーターが、正面よりみてＵ形状で、上方が屈曲しており、
　前記軽量繊維セラミック断熱層から突出した前記二珪化モリブデンヒーターの根本部分が屈曲しており、
　前記二珪化モリブデンヒーターが、一つずつ交換できることを特徴とする急速熱処理装置。」
が記載されている。
　
　　（イ）刊行物２：特開平５−３１５０５７号公報（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第２号証）
　刊行物２には、図５、６、１２、１３とともに、以下の点が記載されている。
　「【００２９】ヒータ１の端子部３は貫通孔16ａに挿通され、その上端側は耐火物製ワッシャ18を介して端子部把持具19に把持され、ヒータ１が鉛直に固定される。前壁12には、ヒータ発熱部２の中央部及びＵ字形折曲部の状態を鑑視できるよう、覗き窓12ａ、12ｂを設けてある。」
　
　　（ウ）刊行物３：カンタル・ガデリウス株式会社「カンタルスーパー」，１９８８年６月，ｐ．１７〜２０（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第３号証）
　刊行物３の第２０頁図７ａには、端子部（非発熱部）を９０°曲げた発熱体が示されている。
　
　　（エ）刊行物４：株式会社リケン「パイロマックススーパー(PX-S)技術資料」，１９９７年１０月，ｐ．２〜５，ｐ．２７（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第４号証）
　刊行物４の第３頁左上の図には、端子部（非発熱部）を９０°曲げた「端子９０°ベンドヒーター」が示されている。
　
　　（オ）刊行物５：社団法人日本工業炉協会他「素形材センター研究調査報告Ｎｏ．３６０　新工業炉の体系化に関する調査研究」，１９８９年２月，ｐ．４０〜４１（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第５号証）
　刊行物５の第４１頁図２．２１の左図には、炉内断熱材を所定間隔をもって被覆する外側囲み壁部に非発熱部を固定して取着したヒーターが示されている。
　
　　（カ）刊行物６：カンタル・ガデリウス株式会社「カンタル・スーパー講演会」，１９８２年９月１４日，Ｆｉｇ．１０（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第６号証）
　刊行物６のＦｉｇ．１０の左図には、炉内断熱材を所定間隔をもって被覆する外側囲み壁部に非発熱部を固定して取着したヒーターが示されている。
　
　　（キ）刊行物７：石川島播磨重工業株式会社「ＩＨＩ真空熱処理炉」カタログ，１９８６年３月，（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第７号証）
　刊行物７の第２頁右図には、炉内断熱材を所定間隔をもって被覆する外側囲み壁部に非発熱部を固定して取着したヒーターが示されている。
　
　　（ク）刊行物８：「セラミックス」，２９，Ｎｏ．５，１９９４年，ｐ．３９９〜４０２（特許異議申立人石塚雄次の提出した甲第８号証）
　刊行物８の第４０２頁図９には、炉内断熱材を所定間隔をもって被覆する外側囲み壁部に非発熱部を固定して取着したヒーターが示されている。
　
　（２）本件発明と刊行物に記載された発明との対比・判断
　本件発明と刊行物１に記載された発明とを対比する。
Ａ．本件特許明細書には、「図面中、Ａは超高温熱処理装置であり、Ｂは前記Ａを構成する１，５００℃対応の電気炉である。」（特許公報第２頁第３欄第２０〜２１行参照）と記載されている。
　一方、刊行物１に記載された発明は、「大気中で１８２５℃の高温まで昇温できる急速熱処理装置を構成するジルカー炉断熱モジュール」であり、超高温（１，５００℃）で加熱できることは明らかであるから、刊行物１に記載された発明の「大気中で１８２５℃の高温まで昇温できる急速熱処理装置」は、本件発明の「超高温熱処理装置」に相当する。
　また、刊行物１には、「二珪化モリブデン（ＭｏＳｉ２）ヒーターを使用したジルカー炉断熱モジュールは、・・・他の多くの抵抗加熱システムよりも大電力を投入できる。」（第３６９頁左欄第２段落第１〜４行の訳文）と記載されているから、「断熱材／ヒーター炉室」が、電気炉であることは明らかである。
　よって、刊行物１に記載された発明の「大気中で１８２５℃の高温まで昇温できる急速熱処理装置に用いられる断熱材／ヒーター炉室」は、本件発明の「超高温熱処理装置を構成する電気炉」に相当する。
Ｂ．刊行物１に記載された発明において、「軽量繊維セラミック断熱層」は、「ヒーター炉室」内にあることは明らかであるから、刊行物１に記載された発明の「軽量繊維セラミック断熱層」は、本件発明の「炉内断熱材」に相当する。
Ｃ．刊行物１に記載された発明の「二珪化モリブデンヒーター」は、本件発明の「加熱ヒーター」に相当する。
Ｄ．刊行物１に記載された発明の「二珪化モリブデンヒーター」の「前記断熱材の内側から突出した」部分が、発熱部を含んでいることは明らかである。
Ｅ．刊行物１に記載された発明において、「二珪化モリブデンヒーター」は、「一つずつ交換できる」ものであるから、この「二珪化モリブデンヒーター」が、１本単位で交換可能に装着せしめられることは明らかである。
　
　よって、本件発明と刊行物１に記載された発明は、
「超高温熱処理装置を構成する電気炉において、
　加熱ヒーターが、１本単位で交換可能に装着せしめたことを特徴とする超高温熱処理装置。」
である点で一致するが、以下の点で相違する。
　
（相違点）
　本件発明は、「正面よりみてＵ形状の発熱部と上方が折曲する非発熱部からなる加熱ヒーターが、その非発熱部を炉内断熱材内に貫通せしめ、前記炉内断熱材を所定間隔をもって被覆する外側囲み壁部に前記非発熱部を固定して取着し、当該加熱ヒーターの発熱部は、前記炉内断熱材の内側壁面に間隙部を設け、密着することなく」「装着せしめて」ているのに対して、刊行物１に係る発明は、「軽量繊維セラミック断熱層と二珪化モリブデンヒーターとから組み立てられるジルカー炉断熱モジュールが、断熱材／ヒーター炉室として使用され、
　前記二珪化モリブデンヒーターが、正面よりみてＵ形状で、上方が屈曲しており、
　前記軽量繊維セラミック断熱層の内側から突出した前記二珪化モリブデンヒーターの根本部分が屈曲して」いる点。
　しかしながら、加熱ヒーターとして、正面よりみてＵ形状の発熱部と上方が折曲する端子部（非発熱部）からなるものは、刊行物３、４に記載されているように一般的な構成であり、また、刊行物５〜８には、炉内断熱材を所定間隔をもって被覆する外側囲み壁部にヒーターの非発熱部を固定して取着することが記載されているから、刊行物１に記載された発明の具体化に際し、ヒーターとして、刊行物３、４に記載のヒータを用い、かつ、刊行物５〜８に記載の構成を適用すること、すなわち、正面よりみてＵ字形状の発熱部と上方が折曲する非発熱部からなる二珪化モリブデンヒーターが、その非発熱部を軽量繊維セラミック断熱層を所定間隔を持って被覆する外側囲み壁部にヒーター非発熱部を固定して取着し、当該二珪化モリブデンヒーターの発熱部は、前記軽量繊維セラミック断熱層の内側壁面に間隙部を設け、密着することなく装着せしめることは、当業者であれば容易に想到し得るものである。
　したがって、本件発明は、刊行物１、刊行物３ないし８に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　なお、平成１６年８月１３日付けの意見書において、特許権者は、「甲第１号証の第３６９頁右欄写真は、不鮮明であって、構造を特定することができない。」（第２頁第１４〜１５行）、「甲第４号証の第２７頁写真は、不鮮明であり、構造上の対比が困難である。」と主張しているが、上記のとお
り、甲第１号証第３６９頁右欄写真及び甲第４号証第２７頁写真を参照しなくても、本件発明は、刊行物１、刊行物３ないし８に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許権者の主張は採用しない。
　
　４　むすび
　以上のとおり、本件発明は、刊行物１、刊行物３ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件発明についての特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年８月２２日（２００５．８．２２）