【事件の表示】
　特許第３２３７０８０号「シャドウマスク」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２３７０８０号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第３２３７０８０号（以下「本件特許」という。）は、平成２年４月２６日に特許出願がされ（特願平２−１１１５６０号）、平成１３年１０月５日に特許権の設定登録がされ、同年１２月１０日にその特許掲載公報が発行されたものであり、平成１４年６月７日にその請求項１に係る特許に対して日立金属株式会社及び富田洋司より特許異議の申立てがされ、当審において平成１４年９月２日付けで取消理由を通知（同月１３日発送）したところ、同年１１月１２日に訂正請求書及び特許異議意見書が提出されたものである。
　
第２　訂正について
　１　訂正の内容
　本件特許の明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおり訂正することを求めるものであり、訂正事項は次のとおりである。
　（１）訂正事項１
　明細書の特許請求の範囲の請求項１における「Ｒｓｋ：＋０．７以上」を「Ｒｓｋ：＋０．８以上、＋１．０以下」と訂正する。
　（２）訂正事項２
　明細書の段落【０００６】の「Ｒｓｋ：＋０．７以上」を「Ｒｓｋ：＋０．８以上、＋１．０以下」と訂正する。
　
　２　訂正の目的、新規事項の有無及び拡張・変更の存否について
　訂正事項１は、請求項１の「＋０．７以上」を「＋０．８以上、＋１．０以下」と数値範囲を縮小するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　明細書の段落【００１５】の第１表には、番号６ないし８の例（それぞれ「Ｒａ　μｍ」が「０．５５」、「０．５５」、「０．６２」）について、「Ｒｓｋ」の項に「＋０．８」、「＋１．０」、「＋１．０」との記載がされているから、訂正事項１は願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正である。
　そして、訂正事項１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　訂正事項２は、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるためのものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。そして、訂正事項２は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　したがって、上記訂正は平成６年法律第１１６号附則６条１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法１２０条の４、３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法１２６条１項ただし書、２項及び３項の規定に適合するので、これを認める。
　
第３　特許異議の申立てについて
　１　本件特許の請求項１に係る発明
　本件特許の請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、上記訂正請求に係る訂正明細書（以下「本件明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】カラー受像管に用いるシャドウマスク用板材が、下記の表面粗さＲａ及び表面粗さの突起状態Ｒｓｋを有することを特徴とするシャドウマスク：
　　Ｒａ　：０．５５〜０．６２μｍ
　　Ｒｓｋ：＋０．８以上、＋１．０以下
　ここで、
　Ｒａは、ＪＩＳ　Ｂ０６０１において規定されている表面粗さ、
　Ｒｓｋは、平均線に対しての振幅分布曲線の相対性を示す値で、次式で示される突起状態、
【数１】  　　
　Ｙ(i) は、断面曲線の基準長さにおいて、平均線をＸ軸、縦倍率の方向をＹ軸としたときの粗さ曲線、
　Ｒｑは、二乗平均粗さ、
　ｎ＝２３０、
　ｊ＝２〜５、を表す。」
　
　２　引用出願の明細書又は図面に記載された発明
　当審の取消理由通知書で引用した特願平２−２１０２４２号（国内優先権主張平成２年２月１５日。以下「先願」という。）の願書に最初に添付した明細書及び図面（特許異議申立人富田洋司が提示した甲第６号証の２。以下「先願明細書等」という。）には、「（産業上の利用分野）本発明はシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板およびその製造方法に係り、カラーテレビブラウン管のシャドウマスクを製造するためのＦｅ−Ｎｉ系合金薄板においてエッチング穿孔性が優れ、特に穿孔時のムラ発生を防止し、かつ穿孔後のフラットマスクを焼鈍するときの密着焼付を防止し適切な製品を得るための技術に関するものである。」（先願明細書３頁４行ないし１１行）、「（発明が解決しようとする課題）・・・従って従来のＦｅ−Ｎｉ系インバー合金のシャドウマスク用素材においてエッチング穿孔時のムラ発生を防止し、又穿孔後の焼鈍時密着焼付を適切に防止する技術が確立されていない。」（同５頁１２行ないし６頁１１行）、「（課題を解決するための手段）本発明は上記したような実情に鑑み、エッチング穿孔性が優れ、特に穿孔時のムラ発生を防止し、かつ穿孔後のフラットマスクを焼鈍するときの密着焼付を防止したＦｅ−Ｎｉ系インバー合金のシャドウマスク用素材を得べく、検討を重ねて創案されたものであって、以下の如くである。・・・表面粗度（Ｒａ）が０．３〜０．７μｍで、しかも粗さ曲線の高さ方向における片寄り指標であるスキューネス（Ｒｓｋ）が０．３〜１．０で、・・・あることを特徴とするシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板」（同６頁１３行ないし７頁下から５行）、「発明の効果・・・以上説明したような本発明によるときは、エッチング穿孔性に優れ、又穿孔時のムラ発生を的確に防止し、且つ穿孔後のフラットマスクを焼鈍するに当たっての密着焼付をも適切に防止したＦｅ−Ｎｉ系インバー合金のシャドウマスク用薄板を提供し、又その好ましい製造法を得しめて高品位のフラットマスクを歩留り高く製造せしめ、それによってコスト低減を可能ならしめるなどの効果を有し、工業的にその効果の大きい発明である。」（同３２頁１４行ないし３３頁３行）との記載がされ、第３表（同２６頁）には、合金番号２で供試材符号ｇの実施例として「Ｒａ（Ｌ）（μｍ）」が「０．６０」、「Ｒａ（Ｃ）（μｍ）」が「０．６０」、「Ｒｓｋ（Ｌ）」が「＋０．９」、「Ｒｓｋ（Ｃ）」が「＋０．８」のものが示されている。
　
　３　対比・判断
　本件発明と先願明細書等に記載された発明（以下「先願発明」という。）とを対比すると、先願発明における「カラーテレビブラウン管」、「シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板」、「表面粗度（Ｒａ）」、「粗さ曲線の高さ方向における片寄り指標であるスキューネス（Ｒｓｋ）」は、それぞれ本件発明の「カラー受像管」、「シャドウマスク用板材」、「表面粗さＲａ」、「表面粗さの突起状態Ｒｓｋ」に相当する。
　そして、先願発明における表面粗度は「０．３〜０．７μｍ」であり、その実施例（供試材符号ｇ）には表面粗度Ｒａ（Ｌ）、Ｒａ（Ｃ）が共に０．６０のものが示されているから、先願発明の表面粗度Ｒａの範囲は本件発明の表面粗さＲａの範囲「０．５５〜０．６２μｍ」と一致する。また、先願発明におけるスキューネスは「０．３〜１．０」であり、その実施例（供試材符号ｇ）にはスキューネスＲｓｋ（Ｌ）が＋０．９、Ｒｓｋ（Ｃ）が＋０．８のものが示されているから、先願発明のスキューネスＲｓｋの範囲は本件発明の表面粗さの突起状態Ｒｓｋの範囲「＋０．８以上、＋１．０以下」と一致する。
　そうすると、本件発明と先願発明とは「カラー受像管に用いるシャドウマスク用板材が、下記の表面粗さＲａ及び表面粗さの突起状態Ｒｓｋを有することを特徴とするシャドウマスク」であって、表面粗さＲａが「０．５５〜０．６２μｍ」かつ表面粗さの突起状態Ｒｓｋが「＋０．８以上、＋１．０以下」である点で一致するから、本件発明は先願発明と同一であるということができる。
　なお、特許権者は、本件発明はネガパターンの密着吸引時間を短縮させて生産性を向上させるという従来の研究者が着目し得なかった課題を探求した結果、はじめてその最適な範囲を特定した点に格別の意義があり、本件発明と先願発明とは、たとえ実施例において重複するような記載があったとしても、その重複は単に数値の重複であって技術的思想の重複ではないと主張する。
　しかしながら、特許権者の主張する「最適な範囲」は、上記のように、先願明細書等に示されているところであり、この数値範囲をも含めて本件発明と先願発明とはその構成が同一であるから、その作用効果も同一であり、本件発明が先願発明に比して格別の意義があるということはできない。技術的思想の重複ではないとの特許権者の主張は、本件請求項１の記載に基づかないものであり、根拠がない。
　したがって、本件発明は、先願発明と同一であり、しかも、本件出願の発明者が先願発明をした者と同一ではなく、また本件出願の時において、本件出願人が先願の出願人と同一でもないので、特許法２９条の２の規定により特許を受けることができないものである。
　
第４　むすび
　以上のとおり、本件発明は特許法２９条の２の規定により特許を受けることができないものであるから、本件発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものである。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）４条２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年５月２０日（２００３．５．２０）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
シャドウマスク
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　カラー受像管に用いるシャドウマスク用板材が、下記の表面粗さＲａ及び表面粗さの突起状態Ｒｓｋを有することを特徴とするシャドウマスク：
　　Ｒａ　：０．５５〜０．６２μｍ
　　Ｒｓｋ：
＋０．８以上、＋１．０以下
　ここで、
　Ｒａは、ＪＩＳ　Ｂ０６０１において規定されている表面粗さ、
　Ｒｓｋは、平均線に対しての振幅分布曲線の相対性を示す値で、次式で示される突起状態、
　【数１】
　Ｙ（ｉ）は、断面曲線の基準長さにおいて、平均線をＸ軸、縦倍率の方向をＹ軸としたときの粗さ曲線、
　Ｒｑは、二乗平均粗さ、
　ｎ＝２３０、
　ｊ＝２〜５、を表す。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、カラー受像管に用いるシャドウマスクの製造工程において、金属材料とフォトレジストとの密着性を向上させ、また、ネガ原板との密着性を向上させ、密着のための吸引時間を短縮して、生産性の向上を図ることができ、かつ、ネガパターンを正確に転写することができ、さらに、カラー受像管製造工程におけるシャドウマスクの軟化焼鈍工程において、焼鈍密着を起こさないシャドウマスク用板材から形成したシャドウマスクに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、カラー受像管用シャドウマスクには、鉄を主成分とする低炭素アルミキルド冷延鋼板や鉄及びニッケルを主成分とする合金、例えば３６ニッケル−鉄アンバー合金板等が使用されている。これらの板材においては、表面粗さの明確な規定は特にない。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記したように、従来のシャドウマスク用板材においては、表面粗さの明確な規定がないため、素材の板材よりシャドウマスクを製造する工程において、金属板材とフォトレジストの密着性が不安定になりやすく、また、ネガパターンの転写工程において、フォトレジストを塗布した金属板材とネガパターンとの密着性が不安定な状浣となっている。さらに、カラー受像管の製造工程におけるプレス成形可能な変形能を与えるためのシャドウマスクの軟化焼鈍工程において、焼鈍密着を起こし、品質及び生産性に悪影響を及ぼしている。
　【０００４】
　本発明はこのような状況に鑑みたなされたものであり、その目的は、シャドウマスク製造工程において、フォトレジストとの密着性を安定させ、ネガパターンとの密着性を良くして、品質及び生産性の向上を図ることができ、また、カラー受像管の製造工程におけるシャドウマスクの軟化焼鈍工程で、焼鈍密着を起こさない表面形状を有する、鉄を主成分あるいは鉄及びニッケルを主成分とするシャドウマスク用板材から形成したシャドウマスクを提供することである。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　本発明者は上記の目的を達成すべく研究の結果、シャドウマスク用板材の表面粗さＲａと表面粗さの突起状態Ｒｓｋを規制することによって、フォトレジストとの密着性を向上させ、ネガパターンとの密着性を向上させ、密着のための吸引時間を短縮して生産性の向上が図れ、かつ、ネガパターンを正確に転写することができ、品質の向上も図れ、さらに、カラー受像管製造工程におけるシャドウマスクの軟化焼鈍工程において、焼鈍密着を防止することができることを見い出し、かかる知見にもとづいて本発明を完成したものである。
　【０００６】
　すなわち、本発明のシャドウマスクは、シャドェウマスク用板材の表面粗さＲａと表面粗さの突起状態Ｒｓｋを下記のように規制することで、上記の問題点の解決を図ったのものである。
　　Ｒａ　：０．５５〜０．６２μｍ
　　Ｒｓｋ：
＋０．８以上、＋１．０以下
　ここで、
　Ｒａは、ＪＩＳ　Ｂ０６０１において規定されている表面粗さ、
　Ｒｓｋは、平均線に対しての振幅分布曲線の相対性を示す値で、次式で示される突起状態、
　【数２】
　Ｙ（ｉ）は、断面曲線の基準長さにおいて、平均線をＸ軸、縦倍率の方向をＹ軸としたときの粗さ曲線、
　Ｒｑは、二乗平均粗さ、
　ｎ＝２３０、
　ｊ＝２〜５、を表す。
　【０００７】
　この場合、シャドウマスク用板材は鉄を主成分あるいは鉄及びニッケルを主成分とするものであるのが望ましい。
　【０００８】
　以下に本発明の各条件について、詳細に説明する。
　【０００９】
　研究の結果、シャドウマスク用板材の表面粗さＲａは、その上に塗布するフォトレジストの密着性、及び、ネガパターンとの密着性に大きく影響を及ぼすことが分かった。フォトレジストの密着性が適切でないと、適正な感光特性が得られず、フォトレジストをマスクとしてエッチングされる孔形状が不均一となり、品質の低下を招く。さらに、ネガパターンとの密着性が悪いと、密着のための吸引時間が長時間に及び、生産性の低下を引き起こす。また、ネガパターンとの密着性が悪いと言うことは、ネガパターンの転写が正確に行えないということを意味し、品質の低下を引き起こす要因でもある。そこで、研究の結果、ＪＩＳ　Ｂ０６０１において規定されている表面粗さＲａを次のように規定する必要があることが分かった。すなわち、表面粗さＲａが０．３μｍより小さいと、シャドウマスク用板材とフォトレジストとの密着性が弱すぎるため、所定の孔形状が均一に得られず、また、ネガパターンとの密着性も悪くなり、シャドウマスク品質の低下を引き起こす。表面粗さＲａが０．８μｍより大きいと、開孔後の孔形状において、丸孔パターンの場合真円度が悪くなり、スロットパターンの場合スロットの直線性が悪くなり、ともにシャドウマスク品質の低下を引き起こす。このため、表面粗さＲａは０．３〜０．８μｍに規定する必要がある。
　【００１０】
　しかしながら、上記表面粗さＲａの規定だけでは、シャドウマスク製造工程での生産性の向上、つまり、ネガパターン密着工程における密着のための吸引時間の短縮が充分に図れず、さらに、カラー受像管製造工程におけるシャドウマスク軟化焼鈍工程において、焼鈍密着を防止することはできないことが分かった。そこで、種々検討の結果、表面粗さの突起状態Ｒｓｋの規定が重要であることが分かった。Ｒｓｋは、図１に示すように、基準長さＬ内における表面粗さ形状の平均線１に対しての振幅分布曲線の相対性を示す値である。Ｒｓｋが＋であることは、図１（ａ）に示したように、粗さ形状としては上に凸ということを意味し、突起が多くあると言うことである。逆に、Ｒｓｋが−であることは、図１（ｂ）に示したように、表面に平坦部が多くあると言うことである。表面に突起が多くあると、ネガパターン密着工程において、ネガパターンとシャドウマスク用板材との間に吸引のための空気の通り道が多く形成されることとなり、吸引時間の短縮が図れることになる。さらに、シャドウマスク軟化焼鈍工程において、シャドウマスク用板材表面に突起があると言うことは、板材同士の接触が点接触となり、焼鈍密着が防止されることになる。このため、表面粗さの突起状態Ｒｓｋは＋０．１以上とする必要があることが分かった。
　【００１１】
　そして、後記の実施例の調査結果から、ネガパターンとの密着性、ネガパターンの転写の正確さ、焼鈍密着防止特性を同時に満たすためには、Ｒａが０．５５〜０．６２μｍの範囲で、Ｒｓｋが＋０．７以上であることが特に好ましいことが分かった。
　【００１２】
　【実施例】
　次に本発明の実施例を説明する。
　【００１３】
　シャドウマスク材料としては、鉄を主成分とする低炭素アルミキルド冷延鋼板と、鉄及びニッケルを主成分とす３６ニッケル−鉄アンバー合金を使用した。これらの材料を圧延により所定の板厚とし、ダル仕上げにて表面粗さＲａと表面粗さの突起状態Ｒｓｋを調整した。まず、圧延油及び防錆油を除くための脱脂処理を行い、次に、板材の両面にフォトレジストを塗布し、乾燥後、所定のドット形状あるいはスロット形状パターンが形成されたネガパターンを密着させ、露光、現像後、バーニング処理を施した。その後、塩化第二鉄液によるエッチング加工にて所定の孔をあけ、残存するフォトレジストを除去して、シャドウマスクとした。このようにして製造したシャドウマスクについて、フォトレジストの密着性を、３５％塩酸中でのフォトレジストの板材からの剥離時間で比較し、ネガパターンとの密着性については、密着のための吸引時間の比較で行った。さらに、ネガパターンの転写の正確さについては、シャドウマスクのムラ品位にて比較調査した。
　【００１４】
　次に、カラー受像管製造工程において、プレス成型可能な変形能を付与するために軟化焼鈍を行うが、この軟化焼鈍工程において、焼鈍密着の程度を比較調査した。
　【００１５】
　以上の調査結果を以下の第１表にあわせて示す。
（注）
ムラ品位：　Ａ　ムラは全くなく良好
　　　　　　Ｂ　ムラは殆どなく良好
　　　　　　Ｃ　ムラが少しあるが実用上問題ない
　　　　　　Ｄ　ムラがあり実用不可
　　　　　　Ｅ　ムラがかなり強い
焼鈍密着状況：
　　　　　　ａ　密着が全くない
　　　　　　ｂ　外周部において少し密着がある
　　　　　　ｃ　密着が少し認められるが作業性に影響なし（剥離が容易）
　　　　　　ｄ　密着の剥離が困難で作業性が損なわれる
　　　　　　ｅ　密着が強く、剥離できない
　【００１６】
　第１表において、本発明例１、２は焼鈍密着が若干認められるが、作業性に影響はなく実用上は問題はないレベルである。本発明例３〜９はムラ品位も問題なく、焼鈍密着においても問題がない。特に本発明例６〜８はムラ品位も全く問題なく、また焼鈍密着も全くなく、さらに、フォトレジストの密着性、ネガパターンとの密着性においても優れており、特に良好なマスクが得られている。この結果から、Ｒａが０．５５〜０．６２μｍ、Ｒｓｋが＋０．７以上であるのが特に好ましいことが分かる。
　【００１７】
　これに対して、比較例１０〜１５はＲａ、Ｒｓｋの何れか又は双方において本発明の規定範囲を外れるものがあるため、ムラ品位が悪く、さらに、焼鈍密着による作業性への影響が出ており、実用不可である。
　【００１８】
　【発明の効果】
　以上、詳述した通り、本発明によるシャドウマスク用板材を用いれば、シャドウマスク製造工程における生産性を向上させ、さらにムラ品位の良いシャドウマスクを製造することが可能となる。また、カラー受像管製造工程におけるシャドウマスクの軟化焼鈍工程において、焼鈍密着の発生がなく、作業性を損なうことのないシャドウマスクを提供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　表面粗さの突起状態Ｒｓｋの説明図で、（ａ）は突起状態が上に凸となったＲｓｋが＋となる粗さ形状を示すもので、（ｂ）は表面に平坦部が多くあるＲｓｋが−となる粗さを示すものである。
　【符号の説明】
　Ｌ：基準長さ
　ｌ：平均線