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　特願２００９−　７７２９０「吸着盤」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年１０月１４日出願公開、特開２０１０−２３２３５９、請求項の数（１）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
１．手続の経緯と本件発明
　本願は平成２１年３月２６日の出願であって、平成２４年１０月９日付拒絶理由通知に対し、平成２４年１２月５日に意見書と手続補正書が提出されたが、平成２５年５月２４日付で拒絶査定がなされたものであり、本件審判は、平成２５年８月２７日に該査定の取消を求めて請求されたものである。
　本願の請求項１に係る発明は、平成２４年１２月５日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおり、次のものと認める。
「　【請求項１】
　複数の金属板を接合して形成される吸着盤であって、前記金属板のいずれも外周部に空隙を有さず、前記金属板のうち、表面が吸着面として機能する金属板の縁付近には、縁の寸前まで縁に向かって延びる直線状のスリットが縁の全周にわたって多数形成されており、各スリットは、表面が吸着面として機能する金属板を厚さ方向に貫通してその他の金属板に形成された吸気のための穴と連通し、ワークを真空吸着し得る吸着盤。」（以下、「本件発明」という。）
　
２．原査定の拒絶理由の概要
　原審の平成２５年５月２４日付拒絶査定の理由は、概略、本願の請求項１に係る発明が、本願の出願前に頒布された、以下の刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
　刊行物１：　特開２００８−１１９７５８号公報
　刊行物２：　特表２００３−５０８８９３号公報
　刊行物３：　特開平１１−３１５８３７号公報
　刊行物４：　特開平１−２９３６２８号公報
　刊行物５：　特開２００７−１４２２２０号公報
　刊行物６：　特開２００７−２４２６５５号公報
　
３．刊行物に記載された発明または事項
3.1　刊行物１には、以下の記載が認められる。
ａ．「【技術分野】
　【０００１】
　本発明は、金属、ガラス、シリコンウエハ、樹脂、セラミック又は紙などからなるシート状のもの（以下「ワーク」という。）を吸着保持し得る吸着盤に関するものである。」
ｂ．「【課題を解決するための手段】
　【０００５】
　本発明は、上記課題を解決するため、以下の吸着盤を提供する。
　１．複数の金属板を接合して構成される吸着盤であって、
　前記金属板同士が、拡散接合法により、互いの原子の相互拡散により固相のまま接合され、
　前記金属板には、吸着面を有するとともに、該吸着面に開口する、厚さ方向に貫通する孔部を有する第１金属板と、渦巻き状に連続し、厚さ方向に貫通する穴からなり、吸引源に接続された吸引管が接続される吸引口と連通する第１空洞部を有する第２金属板と、厚さ方向に貫通する穴からなり、前記孔部と前記第１空洞部とを連通させる第２空洞部を有する第３金属板とが含まれることを特徴とする吸着盤。
　２．前記第１金属板の周面に突出部が設けられ、該突出部に前記吸引口が設けられていることを特徴とする前記１記載の吸着盤。
　３．前記第２金属板に、前記吸引口が設けられていることを特徴とする前記１記載の吸着盤。
　４．前記第１金属板により最上層及び最下層が構成されることを特徴とする前記１記載の吸着盤。
　５．前記孔部、第１空洞部、第２空洞部及び吸引口から構成される一連の吸引構造を複数有するとともに、各吸引構造が独立していることを特徴とする前記１記載の吸着盤。」
ｃ．「【実施例１】
　【０００８】
　図１は、本発明の実施例１に係る吸着盤の構造を示す分解斜視図である。この図に示したように、本実施例に係る吸着盤は、複数の金属板が接合されて構成される。ここで、複数の金属板には、第１金属板１、第２金属板２及び第３金属板３が含まれる。また、これらの金属板同士は、拡散接合法により、互いの原子の相互拡散により固相のまま接合される。
　【０００９】
　第１金属板１は、吸着面ａを有するとともに、該吸着面ａに開口する、厚さ方向に貫通する孔部ｂを有して構成される。ここで、吸着面ａとは、ワーク７が接触し吸着される面をいい、本実施例では、第１金属板１の下面が吸着面ａとなる。ワーク７としては、シート状のものが典型例として挙げられるが、これに限定されるものではなく、例えば、ブロック状のものであってもよい。孔部ｂの数量、大きさ及び配置は、任意に設定し得る。本実施例における孔部ｂは、図１に示したように、一定の直径を有し、放射状に多数点在するように設けられている。孔部ｂは、機械加工により形成されたものであってもよいが、孔部ｂの加工方法としては、エッチングを採用することが好ましい。エッチングによれば、孔部ｂの形状、配置及び大きさを自由に設定でき、しかも加工が容易である。
　【００１０】
　第２金属板２は、渦巻き状に連続し、厚さ方向に貫通する穴からなる第１空洞部ｃを有して構成される。第１空洞部ｃは、ポンプなどから構成される吸引源に接続された吸引管９が接続される吸引口ｆと連通する。第１空洞部ｃは、孔部ｂと同様に、エッチングにより形成されることが好ましい。
　【００１１】
　第３金属板３は、厚さ方向に貫通する穴からなる第２空洞部ｄを有して構成される。第２空洞部ｄは、第１金属板１に形成される孔部ｂと第２金属板２に形成される第１空洞部ｃとを連通させるように形成される。第２空洞部ｄは、孔部ｂと同様に、エッチングにより形成されることが好ましい。
　【００１２】
　本実施例に係る吸着盤は、さらに第４金属板４を有して構成される。第４金属板４は、第２金属板２に形成された第１空洞部ｃの開口部を閉塞する働きをするものである。本実施例では、第４金属板４の周面に突出部ｅが設けられ、該突出部ｅに、厚さ方向に貫通する穴からなる吸引口ｆが設けられている。吸引口ｆは、第２金属板２の周面に設けられた突出部ｅに存する第１空洞部ｃの一端に連通する。そして、第２金属板２の下面側に開口する第１空洞部ｃの一端の開口部は、第３金属板３の周面に設けられた突出部ｅによって閉塞される。
　【００１３】
　図２は、第１乃至第４金属板１〜４を重ね合わせた状態を示す部分断面図である。この図に示したように、本実施例では、第４金属板４が最上層を構成し、第２金属板２及び第３金属板３が中間層を構成し、第１金属板１が最下層を構成するように、第１乃至第４金属板１〜４が上記の拡散接合法により接合される。そして、第２金属板２に形成された第１空洞部ｃが吸引口ｆと連通し、さらに第１金属板１に形成されたすべての孔部ｂが、第３金属板３に形成された第２空洞部ｄを介して第１空洞部ｃに連通している。したがって、図３に示したように、吸引口ｆに吸引管９を接続して、吸着盤に内在する空気を直接吸引することができる。また、１つの吸引口ｆから空気を吸引することによって、第１金属板１の吸着面ａに均一な吸着力を作用させることができる。
　【００１４】
　また、本実施例によれば、第１乃至第４金属板１〜４が、拡散接合法により、互いの原子の相互拡散により固相のまま接合され、しかも第１乃至第３金属板１〜３における孔部ｂ、第１空洞部ｃ及び第２空洞部ｄ以外の部分が互いに面接触で接合される構造であるため、変形や歪みが生じ難く、ワーク７に接触する第１金属板１の吸着面ａの平面度を良好なものにすることができる。なお、孔部ｂ、第１空洞部ｃ及び第２空洞部ｄがエッチングにより形成されることにより、第１金属板１の吸着面ａの平面度をより良好なものにすることができる。
　【００１５】
　上記のように構成される吸着盤は、例えば、図３に示したように、ワーク７を積層する際の移送手段として用いられる。この場合に、本実施例によれば、１つの吸引口ｆから空気を吸引できるため、吸着盤の上部全体が吸引手段によって覆われることがない。」
　上記を整理すると、刊行物１には次の発明が記載されていると認められる。
「複数の金属板を接合して形成される吸着盤であって、前記金属板のいずれも外周部に空隙を有さず、前記金属板のうち、表面が吸着面として機能する金属板には、孔部が多数形成されており、各孔部は、表面が吸着面として機能する金属板を厚さ方向に貫通してその他の金属板に形成された吸気のための穴と連通し、ワークを真空吸着し得る吸着盤。」
3.2　刊行物２には、
「真空吸着式のワークピースチャックにおいて、吸着面として機能する表面の縁付近に、間に矩形領域を形成する直線状の交差する溝が縁の全周にわたって多数形成されること。」
が記載されていると認める。
3.3　刊行物３には、
「流体ベアリングにおいて、ベアリング・プレートとして機能する表面には、縁の寸前まで縁に向かって延びる直線状の溝が縁の全周にわたって多数形成されること。」
が記載されていると認める。
3.4　刊行物４には、
「真空吸着式のウエハステージにおいて、吸着面として機能する表面には、リング状ウエハ吸着溝と、縁の寸前まで縁に向かって延びる直線状の連通溝が複数形成されること。」
が記載されていると認める。
3.5　刊行物５には、
「真空吸着式のワーク用チャックにおいて、吸着面として機能する表面に環状の吸着溝と、縁の寸前まで縁に向かって延びる直線状の連通溝が放射状に複数形成されること。」
が記載されていると認める。
3.6　刊行物６には、
「真空吸着式の半導体ウェーハ用固定キャリアにおいて、吸着面として機能する表面の周縁部付近には、半導体ウェーハの振動を抑制する抑制体を形成する、周縁部内面から中心方向に突出する櫛歯が、縁の全周にわたって多数形成されること。」
が記載されていると認める。
　
４．対比と判断
　本件発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、前者では「表面が吸着面として機能する金属板の縁付近には、縁の寸前まで縁に向かって延びる直線状のスリットが縁の全周にわたって多数形成されており、各スリットは、表面が吸着面として機能する金属板を厚さ方向に貫通」するという発明特定事項を備えるのに対し、後者ではそのようなものでない点で相違する一方、両者はその余の発明特定事項では一致すると認められる。。
　しかるに、刊行物２ないし６のいずれにも、該相違点に相当する構成が記載されているとも示唆されているとも認めることはできない。
　そして、本件発明は上記発明特定事項を備えることにより、外枠を不要として、吸着可能な面積を最大限に拡大することが可能になるという作用効果を生じるものである。
　したがって、本件発明が、刊行物１ないし６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、本願の請求項１に係る発明は、原査定の理由によって拒絶することができない。
　また、そのほかに、拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　.