【事件の表示】
　特願２００８−４８７「含フッ素エラストマーの製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年６月２６日出願公開、特開２００８−１４４１８０、請求項の数（８）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、平成１１年３月２４日（優先権主張　平成１０年３月２５日　平成１１年１月１２日）に出願した特願２０００−５４１２１７号（以下、「原出願」という。）の一部を平成２０年１月７日に新たな特許出願としたものであって、平成２３年１０月１４日に拒絶理由が通知され、同年１２月１６日に意見書及び手続補正書が提出され、その後、平成２４年６月６日付けで最後の拒絶理由が通知され、同年８月１０日に意見書及び手続補正書が提出されたが、平成２５年４月１７日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年７月１６日に拒絶査定不服審判が請求されたものである。
　
第２．本願発明の認定
　本願の請求項１〜８に係る発明は、平成２４年８月１０日提出の手続補正書によって補正された特許請求の範囲、明細書及び図面（以下、「本願明細書等」という。）の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜８に記載されたとおりのものと認められ、そのうちの請求項１に記載された発明（以下、「本願発明」という。）は、以下のとおりである。　
　
「以下の方法（１）〜（３）を組み合わせて行われることを特徴とする含フッ素エラストマーの製造方法。
（１）全ての原材料に金属原子を含まない化合物を用い、
（２）原材料として、「実質的に金属成分を含まない原材料」を用い
（３）金属元素を含まない半導体製造に用いられる高純度グレードの酸を用いて含フッ素エラストマーの乳化分散液の凝析を行う。」
　
第３．原査定の拒絶理由の概要
　原査定の理由である平成２４年６月６日付け拒絶理由通知書に記載した拒絶の理由４は以下のとおりである。
　
「（理由４）
　この出願は、特許請求の範囲及び発明の詳細な説明の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第１号及び第６項第２号に規定する要件を満たしていない。　
　　・・・
（４．２）
　本願発明に係る課題は、従来技術に鑑みてなされたものであり、「本発明の目的は、含フッ素エラストマーの製造において、含フッ素エラストマーの金属成分含有量を内部から本質的に低減化する方法を提供し、さらに、結果として金属成分含有量が充分に低減された含フッ素エラストマーからなる成形品、特にシール材を提供すること」することを課題とし（段落００１３）、含フッ素エラストマーの金属含有量を５０ｐｐｍ以下にまで低減化することができる発明である（段落０１０４）。そして、本願明細書に記載された個別具体的な実施例１および実施例４において、得られたエラストマーの金属成分含有量が測定され、実施例１で半導体グレードの塩酸を用いた場合は合計約９５０ｐｐｂ（約１ｐｐｍ）以下（段落０１３８表１）、実施例１で試薬特級グレードの塩酸を用いた場合は合計２０８０ｐｐｂ（約２ｐｐｍ）（段落０１３３）、実施例４では合計１２９０ｐｐｂ（約１．３ｐｐｍ）（段落０１４３）であることが示されている。ここで、実施例１および４で得られたエラストマーは、乳化剤、重合開始剤、ｐＨ調整剤、凝析剤を含む原材料の全てを非金属化合物として、金属化合物を配合せず、乳化液に炭酸アンモニウムを加えて乳化重合し（本願発明１の方法（１）に相当）、乳化分散液をセラミックフィルター（フィルター孔径：２００ｎｍ）を用いて濾過し（同方法（２）に相当）、塩酸（半導体グレードまたは試薬特級）を用いて凝析し（同方法（３）に相当）、（実施例１ではＨＣＦＣ−１４１ｂを用いて水分を分離し：同方法（４）に相当）、庫内をクラス１００の環境にしたオーブン中で乾燥（同方法（５）に相当）したものである。これに対し、請求項１は、方法（１）〜（６）のいずれか一つを実施すれば良く、原材料の選択についての制限すらもない。
　してみれば、本願明細書を検討すると、方法（１）〜（６）のいずれか１つのみを採用すれば、本願発明の課題を解決しうるものと認識することができない。
　したがって、請求項１−９には、発明の詳細な説明に記載された、発明の課題を解決するための手段が反映されておらず、請求項１−９に係る発明は、発明の詳細な説明に記載した範囲を超えることとなる。
　よって、請求項１−９に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものではない。」
　
第４．当審の判断
　（１）本願明細書等の発明の詳細な説明の記載について
　本願明細書等には、以下の記載がされている。
　ア．「【技術分野】
　本発明は、含フッ素エラストマーの製造方法に関する。」（段落　【０００１】）
　
　イ．「【発明が解決しようとする課題】
　本発明の目的は、ポリマー中にとり込まれる金属成分量を抑えることができる製造方法を提供することにある。」（段落　【００１２】〜【００１３】）
　
　ウ．「【発明を実施するための最良の形態】
まず、本発明の含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法の基礎となる含フッ素エラストマーの製造方法の各工程を説明するためのフローチャートを図１に示す。以下に、図１に示す含フッ素エラストマーの製造工程の順序にしたがって、本発明の方法を説明する。
まず、本発明にもとづく含フッ素エラストマーの製造においては、含フッ素モノマーを乳化重合させる際に金属化合物を配合しない。
すなわち、本発明は、含フッ素モノマーを乳化重合させる際に金属化合物を配合しない含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法に関する。
従来の含フッ素エラストマーの製造方法においては、原材料として、過硫酸カリウム、亜硫酸ナトリウム、硫酸第一鉄などの重合開始剤など、金属原子を含むものが通常用いられていたため、えられる含フッ素エラストマー中に金属成分が含まれていた。そこで、本発明においては、特に前記課題を解決するため、全ての原材料に金属原子を含まない化合物を用い、さらに、少なくとも１つの原材料として、「実質的に金属成分を含まない原材料」を用いることを特徴とする。
本発明において、「実質的に金属成分を含まない」とは、金属化合物を用いないことは当然であるが、不純物としても金属化合物を徹底的に排除したものをいう。具体的には、原材料の金属成分含有量が２０ｐｐｂ以下、好ましくは１０ｐｐｂ以下であることをいう。
ここで、本発明においていう金属成分とは、後述する方法により測定されるＮａ、Ｋ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｚｎ、ＣａおよびＭｇをいう。
本発明においていう原材料とは、含フッ素モノマー、水、乳化剤、ヨウ素化合物などの連鎖移動剤、重合開始剤、アンモニアなどのｐＨ調整剤、凝析剤などをいう。なかでも、含フッ素モノマー、乳化剤、ヨウ素化合物、重合開始剤、凝析剤については、金属をその構成する原子に含まないものを用いるのが重要である。
本発明において用いる含フッ素モノマーは、従来から用いられているものであればよいが、えられる含フッ素エラストマーの安定性、非汚染性という点から、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）、ビニリデンフルオライド（ＶｄＦ）、ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）および式（１）：ＣＦ２＝ＣＦ−ＯＲｆ（式中、Ｒｆは炭素数１〜５のパーフルオロアルキル基、または酸素原子を１〜３個含む炭素数３〜１２のパーフルオロアルキル（ポリ）エーテル基）で表わされるパーフルオロビニルエーテルであるのが好ましい。
・・・　
本発明において用いる水は、金属含有量が前記範囲にあるものであればよいが、なかでも、金属およびＴＯＣ含有量が非常に少ない超純水を用いるのが好ましい。
・・・　
本発明において用いる乳化剤としては金属原子を含まないものであれば特に制限はなく、たとえば、重合中におこる乳化剤分子への連鎖移動反応を抑制する観点から、フルオロカーボン鎖またはフルオロポリエーテル鎖を有するカルボン酸の塩類が好ましい。
・・・　
本発明において連鎖移動剤として用いるヨウ素化合物としては、金属原子を含まず、たとえば、１，３−ジヨードパーフルオロプロパン、１，４−ジヨードパーフルオロブタン、１，３−ジヨード−２−クロロパーフルオロプロパン、１，５−ジヨード−２，４−ジクロロパーフルオロペンタン、１，６−ジヨードパーフルオロヘキサン、１，８−ジヨードパーフルオロパーフルオロオクタン、１，１２−ジヨードパーフルオロパーフルオロドデカン、１，１６−ジヨードパーフルオロパーフルオロヘキサデカン、ジヨードメタン、１，２−ジヨードエタンなどがあげられ、それぞれ単独で、または任意に組み合わせて用いることができるが、なかでも１，４−ジヨードパーフルオロブタンを用いるのが好ましい。ヨウ素化合物の使用量は、ポリマーの分子量に影響するが、通常ポリマーの０．０１〜５重量％であればよい。
・・・
つぎに本発明においては、含フッ素モノマーの重合を行ない、乳化分散液を製造する。
用いる重合開始剤としては、金属原子を含まないものであれば特に制限はなく、たとえば、有機および無機の過酸化物ならびにアゾ化合物があげられる。典型的なものとしては、過硫酸塩、過酸化カーボネート、過酸化エステルなどがあり、なかでも過硫酸アンモニウム（ＡＰＳ）を用いるのが好ましい。また、ＡＰＳは単独で用いてもよいが、サルファイト、亜硫酸塩などの還元剤（金属原子を含まない）と組み合わせて用いてもよい。」（段落　【００２２】〜【００４５】）
　
　エ．「また、このとき、乳化液を弱アルカリ性に保持して含フッ素モノマーの乳化重合を行なうことにより金属成分の混入を防ぐことができる。
したがって本発明は、含フッ素エラストマーの製造において、乳化液を弱アルカリ性に保持して含フッ素モノマーの乳化重合を行なう含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法にも関する。
・・・
　ここで、「弱アルカリ性」とは、ｐＨ７〜１０程度であることをいう。」（段落【００４６】〜【００５１】）
　
　オ．「また、重合槽およびそれに付属する撹拌翼、邪魔板などの重合装置、凝析装置、洗浄装置、乾燥装置、これらの配管等の内面、特に乳化液やポリマー（含水ポリマー、含溶剤ポリマー、乾燥ポリマー）と接触する部分には、金属成分の溶出を抑えるという点から、フッ素樹脂、特にテトラフルオロエチレン／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体（ＰＦＡ）をライニングするのが好ましい。ライニングする方法としては常法であってよい。また、このばあいは、弱アルカリ性に調整するために添加するアンモニア化合物などのｐＨ調整剤の除去が不要となるメリットがある。」（段落　【００５６】）
　
　カ．「つぎに、本発明においては、前述のように乳化重合してえられる乳化分散液を凝析工程に供し、含水含フッ素エラストマーを製造する。
ここで本発明は、含フッ素エラストマーの製造において、凝析剤として金属元素を含まない酸を用いて含フッ素エラストマーの乳化分散液の凝析を行なう含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法にも関する。
本発明において用いる凝析剤としては、金属原子を含まない従来のものであれば特に制限はなく、たとえば、塩酸、硝酸、フッ酸、硫酸、トリフルオロ酢酸などの一般的な酸類があげられるが、汎用性や高純度化が可能なこと、使用量という点から、塩酸、硝酸、硫酸を用いるのが好ましい。
さらに、本発明においては、前記「実質的に金属成分を含まない」凝析剤のなかでも、半導体製造に用いられる高純度グレードの酸を用いるのが好ましい。
これにより、ポリマー中にとり込まれる金属成分量を抑えることができるという効果がえられる。」（段落　【００５７】〜【００６１】）
　
　キ．「ここで、本発明においては、含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析工程に供する前に、前記乳化分散液から汚染物質を除去（汚染物質除去工程）したのちに凝析を行なうことにより含フッ素エラストマーを製造するのが好ましい。
したがって本発明は、含フッ素エラストマーの製造において、含フッ素エラストマーの乳化分散液から汚染物質を除去したのちに凝析を行なう含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法にも関する。
含フッ素エラストマーの製造においては、凝析工程を行なったのちに洗浄などにより汚染物質を除去するのは効率に劣り、実際上困難である。したがって、凝析工程の前に洗浄を行なうことにより汚染物質を除去するのが好ましい。
ここでいう汚染物質とは、金属成分だけではなく、重合開始剤、ｐＨ調整剤、原料モノマー、乳化剤などおよびこれらの残渣、原料モノマーの低分子重合体などをいう。金属成分だけではなく、前記残渣をも除去するのは、凝析工程における酸類の使用量を低減すること、および凝析したエラストマーの洗浄工程を省略するためである。酸類を含有した含水含フッ素エラストマーを粉砕するためには、金属などの粉砕力のある刃物を用いる必要があり、これにより、金属分が溶出し、混入するためである。
汚染物質を除去する方法としては、半透膜による濾過洗浄により行なうのが好ましい。具体的には、含フッ素エラストマーの乳化分散液を濾過して濃縮したのち、超純水などにより希釈し、かかる濃縮および希釈を繰り返せばよい。」（段落　【００６３】〜【００６７】）
　
　ク．「つぎに、本発明においては、含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析してえられる含水含フッ素エラストマーに、該含水含フッ素エラストマーに親和性を有する非水溶性溶剤を添加して水分を分離させる（水分分離工程）。
したがって、本発明は、含フッ素エラストマーの製造において、含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析してえられる含水含フッ素エラストマーに、該含水含フッ素エラストマーに親和性を有する非水溶性溶剤（以下、単に「非水溶性溶剤」ともいう）を添加して水分を分離させる含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法にも関する。
本発明の方法においては、含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析して含水含フッ素エラストマーをうる方法は、凝析剤として前述のものを用いるほかは従来の処理法により行なえばよいが、えられた含水含フッ素エラストマーを従来のようにそのまま乾燥させると、含水含フッ素エラストマーの水分中に含まれうる金属成分、ＴＯＣ，パーティクル、凝析剤などがエラストマー中に残りうるため、本発明においては、乾燥するまえに含水含フッ素エラストマーから水分を分離する。
本発明においては、含水含フッ素エラストマーから水分を分離する方法としては、含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析してえられる含水含フッ素エラストマーに、該含水含フッ素エラストマーに親和性を有する非水溶性溶剤を添加することにより行なう。さらに、この操作は繰り返して行なうことにより効果が大きくなる。
かかる非水溶性溶剤としては、たとえば、１，１−ジクロロ−１−フルオロエタン（ＨＣＦＣ−１４１ｂ）、１，１，１，２，２−ペンタフルオロ−３，３−ジクロロプロパン（ＨＣＦＣ−２２５ｃａ）、１，１，２，２，３−ペンタフルオロ−１，３−ジクロロプロパン（ＨＣＦＣ−２２５ｃｂ）、パーフルオロヘキサン、パーフルオロ（１−クロロー４―ヒドロブタン）などがあげられ、なかでも、後の除去の容易性からＨＣＦＣ−１４１ｂを用いるのが好ましい。また、この溶剤も金属成分を含まないことが重要である。これにより、水溶性物質の除去が可能となるという効果がえられる。」（段落【００６９】〜【００７３】）
　
　ケ．「つぎに、本発明においては、含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析してえられる含水含フッ素エラストマー、または該含水含フッ素エラストマーに親和性を有する非水溶性溶剤を添加して水分を分離してえられるエラストマー凝析物を、清浄なガスを用いて乾燥させる（乾燥工程）。すなわち、本発明は、含フッ素エラストマーの製造において、含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析してえられる含水含フッ素エラストマーを、清浄なガスを用いて乾燥させる含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法にも関する。
従来の含フッ素エラストマーの製造においては、含水含フッ素エラストマーを乾燥させる際、通常の空気を用いている。しかし、通常の空気には、ＳｉＯ２、金属などのパーティクルが含まれているため、乾燥後の含フッ素エラストマーの表面に前記パーティクルが付着してしまう。そこで、本発明においては、清浄ガスを用いて含フッ素エラストマーを乾燥させる。また、減圧して乾燥するのが好ましい。
本発明における清浄ガスとは、０．２μｍ以上のパーティクルが１００００個以下、好ましくは１００個以下であるガスをいう。
ここで用いることのできるガスの種類としては、特に制限はなく、たとえば、空気、チッ素、アルゴンなどの不活性ガスなどがあげられるが、通常の空気中に含まれるＴＯＣ源やアンモニア化合物を取り除くという点から、ケミカルフィルターにて処理した空気、または窒素ガスやアルゴンガスを用いるのが好ましい。
また、清浄ガスをうる方法としては、通常用いられるＰＴＦＥ製フィルターやＨＥＰＡフィルターを用いるのが一般的である。
これにより、パーティクルの削減や金属含有量の低減を図ることができるという効果がえられる。」（段落　【００７４】〜【００７９】）
　
　コ．「上述のように、本発明においては、前述したそれぞれ１つの方法によって含フッ素エラストマーの金属含有量を低減量は異なるものの低減化することができるが、２つ以上の方法を適宜組み合わせることにより、さらに金属含有量を低減させることができ、かつ金属含有量の低減化をより確実に達成することができる。すなわち本発明は、前記含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法のうち少なくとも２つの方法からなる含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法にも関する。
金属含有量が１ｐｐｍ以下というように非常に低減化された含フッ素エラストマーを製造するためには、図１に示すすべての工程を金属の混入を防ぐという一貫した思想で設計する必要がある。特に好ましい例としては、すべての工程において用いる原材料はすべて金属を構成元素として含まない化合物とし、特にポリマーと接触の多い、純水や凝析剤には高純度に精製されたものを使う。また、重合工程、凝析工程においては、乳化液や含水ポリマーが接する部分をフッ素樹脂ＰＦＡにてライニングし、金属の混入を抑える。また、乾燥工程においてもポリマーが接触する部分をフッ素樹脂フィルムやフッ素樹脂製のトレイにすることで金属含有を防ぐことができる。また、乾燥には、パーティクルを含まないクリーンなエアーや不活性ガスを用いることなどがあげられる。
またこのようにして得られたクリーンな含フッ素エラストマーを非常に金属含有量の少ない充填剤を配合して得られるフッ素ゴム成形品は、成形品自体としても非常に金属含有量が低減されており、半導体シール材として従来にない非汚染性を示す。
ここで注意すべきことは、本発明では含フッ素エラストマーに含まれる金属成分量を問題としており、従来の評価である溶出（抽出）液中の金属成分含有量（溶出量）ではないことである。たとえば溶出量で評価するばあい、含有量が多くても溶出条件によって溶出量が少なくなることがあり、そのばあい使用環境が変われば溶出量が増加することもある。このように溶出量での評価はクリーン化を正しく表わしていない。一方、含有量で評価したばあい、含有量以上の溶出は生じず、あらゆる状況において適正な評価ができる。
」（段落　【００８０】〜【００８３】）
　
　サ．「実施例１
（１）原材料選定工程
　以下に、各成分として用いたものを以下に示す。また、これらの金属成分含有量を表１に示す。
含フッ素モノマーＡ：テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）
含フッ素モノマーＢ：ＣＦ3ＣＦ2ＣＦ2Ｏ（ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ）2ＣＦ＝ＣＦ2で示されるパーフルオロアルキルビニルエーテル（ＰＡＶＥ）
含ヨウ素モノマー：ＩＣＨ2ＣＦ2ＣＦ2ＯＣＦ＝ＣＦ2（ＩＭ）
ヨウ素化合物：１，４−ジヨードパーフルオロブタン（ＤＩ）
乳化剤：パーフルオロオクタン酸アンモニウム。乳化剤中の金属成分含有量は、Ｆｅ：８１００ｐｐｂ、Ｎａ：６００ｐｐｂ、Ｋ：２００ｐｐｂであった。
重合開始剤：過硫酸アンモニウム（ＡＰＳ）
ｐＨ調整剤：炭酸アンモニウム
凝析剤：塩酸（ＭＥＲＣＫ社製の半導体グレードＨＣｌ、Ｓｕｐｒａｐｕｒ）。ＨＣｌ中の金属成分含有量は、Ｆｅ：４ｐｐｂ、Ｎａ：４ｐｐｂ、Ｋ：１ｐｐｂであった。
非水溶性溶剤：１，１−ジクロロ−１−フルオロエタン（ＨＣＦＣ−１４１ｂ）。ＨＣＦＣ−１４１ｂ中の金属成分含有量は、Ｆｅ：３ｐｐｂ、Ｎａ：１ｐｐｂ以下、Ｋ：２ｐｐｂ以下であった。
純水：前述した方法によりえたもの。純水中の金属成分含有量は、Ｆｅ：２ｐｐｂ、Ｎａ：０．７ｐｐｂ、Ｋ：０．２ｐｐｂ以下であった。
（２）乳化液製造工程１（予備乳化）
　純水２５４０ｇ、乳化剤（パーフルオロオクタン酸アンモニウム）１１４ｇ、含フッ素モノマー（ＰＡＶＥ）２２８４ｇ、含ヨウ素モノマー（ＩＭ）２２．７ｇ、ｐＨ調整剤（炭酸アンモニウム）１２．７ｇ、ヨウ素化合物（ＤＩ）３．５ｇを５リットルのＰＦＡ製
ビーカーに入れ、乳化機（ヤマト科学（株）製のＵＬＴＲＡ−ＤＩＳＰＥＲＳＥＲ  ＭＯＤＥＬ  ＬＫ−４１）を用いて、６０秒間混合し、体積平均粒径２μｍに乳化させた予備乳化液をえた。
（３）乳化液製造工程２（強制乳化）
　えられた予備乳化液を、直ちに、強制乳化機（マイクロフルーイディクス  インターナショナル  コーポレーション（Ｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｃｓ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）社製のＭｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｚｅｒ  Ｍｏｄｅｌｓ  Ｍ−２１０Ｅ／Ｈ）を用い、乳化圧力１０００ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇで乳化し、乳化液をえた。
　ここで、乳化液の乳化粒径を日機装（株）製の粒度分析計ＵＰＡ９３４０を用いて測定したところ、体積平均粒径は１８１ｎｍであった。また、体積平均粒径と乳化液中に含まれるＰＡＶＥの量とから計算できる水１ｍｌ当たりの粒子数は１．５５×１０14個であった。乳化液のｐＨは８．９であった。
（４）乳化重合工程
　内容量６０００ｍｌのステンレススチール製の耐圧反応槽にえられた乳化液４３５０ｇと亜硫酸アンモニウム（水和物）６．６ｇを入れ、内部空間をチッ素ガスで充分置換したのち、撹拌下、１５℃にして真空引きし、含フッ素モノマー（ＴＦＥ）のガスで４．７ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇまで加圧した。重合開始剤（ＡＰＳ）の０．８８重量％水溶液５．４ｍｌを圧入すると、直ちに重合反応が始まって圧力降下が起こった。３．０ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇまで圧力が降下したとき、３．０ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇの圧力を維持すべくＴＦＥガスを５９ｇ追加仕込みした。追加仕込みを終えると圧力降下が起こり、２．０ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇまで圧力降下したところで２．０ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇの圧力を維持すべくＴＦＥガスを９５ｇ追加仕込みした。この追加仕込みを終えると圧力降下が起こり、１．０ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇまで圧力降下したところで１．０ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇの圧力を維持すべくＴＦＥガスをさらに９８ｇ追加仕込みした。この追加仕込みを終えた時点で放圧し、重合を停止させた。なお、重合中には３時間ごとにＡＰＳの０．８８重量％水溶液を５．４ｍｌずつ圧入した。この結果として５０４９ｇの水性分散液をえた。
　重合時間は１７時間７分であった。また、えられた水性分散液の固形分濃度は２３．２重量％で、ｐＨは８．３であり、体積平均粒径は１９１ｎｍ、体積平均粒径、固形分濃度、重合終了時に残存するＰＡＶＥから計算された水１ｍｌ当たりの粒子数は１．３４×１０14個であった。水性分散液中の金属成分含有量を表１に示す。
（５）汚染物質除去工程
　前記（４）と同様の方法で反応スケールを約１０倍とした重合でえた水性分散液２０ｋｇを１４０ｋｇの水で希釈した。セラミックフィルター（Ｕ．Ｓ．ＦＩＬＴＥＲ社製、フィルター長さ：８３６ｍｍ、フィルター孔径：２００ｎｍ、マルチルーメン（レンコン型）内径：直径４ｍｍ×１２穴、使用本数：１０本）の両側に加圧可能なタンク（容量３００リットル）を２基もつ装置において、一方のタンク内に希釈した水性分散液を仕込んだ。その後、希釈した水性分散液を仕込んだタンクをチッ素ガスで１．５ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇに加圧し、他方の空のタンクを１．３ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇに加圧し、その差圧にてフィルター内に希釈させた水性分散液を通過させて濾過を行なった。一方のタンク中の水性分散液がなくなった時点で両タンクの圧力設定を逆にし、逆方向に水性分散液を移動させた。水性分散液が特定の濃度（エラストマー含有量６．０重量％）にまで濃縮されたのちに、再度水を１４０ｋｇ添加した。この工程を２１時間かけて５回繰り返した。計算された希釈倍率は６１２倍であった。最終的にえられた洗浄後の水性分散液は８４．３リットルであり、エラストマー含有量は６．０重量％であった。また、アンモニアイオンメーターで測定したアンモニウムイオン濃度は７７ｐｐｍであり、濾液の濃度から計算した乳化剤に基づくアンモニウムイオン濃度は６７ｐｐｍ、そのほかのアンモニウムイオン濃度は１０ｐｐｍであった。
　洗浄後の水性分散液中の金属成分含有量を表１に示す。
（６）凝析工程
　（５）でえられた洗浄後の水性分散液１９．３ｇを水０．７ｇで希釈し、ＰＦＡ製ビーカーに入れた凝析剤（ＭＥＲＣＫ社製  Ｓｕｐｒａｐｕｒ：半導体グレードＨＣｌの３．５％水溶液）１２ｇに滴下し凝析を行なって、含水含フッ素エラストマーをえた。
（７）水分分離工程
　えられた含水含フッ素エラストマーを非水溶性溶剤（ダイキン工業（株）製のＨＣＦＣ−１４１ｂ）１４ｇに撹拌しながら浸した。その後、上層の水、およびＨＣＦＣ−１４１ｂを除去した。このことを３回繰り返し含水含フッ素エラストマー中の水分および未反応ＰＡＶＥを除去し、溶剤に膨潤したエラストマーをえた。使用した合計５６ｇのＨＣＦＣ−１４１ｂを４６ｇ回収した。その回収溶剤中には乳化剤が凝析剤によりカルボン酸に変化したものが０．０２８ｇ、さらに重合工程での未反応ＰＡＶＥ（１．２９０ｇ）のうち１．２２５ｇが含まれていた。
（８）乾燥工程
　えられた溶剤を含むエラストマーを耐熱性ＨＥＰＡフィルターを用いて庫内をクラス１００の環境にしているオーブン中１５０℃で１２時間乾燥を行なった。えられたポリマーの金属成分含有量を表１に示す。
［評価］
　まず、本発明において用いる金属成分含有量の分析法について説明する。
　金属分を測定するには最終的には液体中で測定し、超純水、分散液などはマイクロピペットを用い、１０μｌを直接フレームレス原子吸光分光光度計（偏光ゼーマン原子吸光分光光度計  Ｚ−８１００、（株）日立製作所製）に導入し、測定する。測定の検出限界を表１に示す。
　フッ素ポリマー中の金属分は、１ｐｐｍ以上含むばあいには、測定する固体をまず白金製の蒸発皿（白金純度９９．９％）に入れ、電気炉によりポリマーを５００℃にて３０分間灰化した後に残存する微量金属を高純度塩酸（３５％）に溶解して、フレームレス原子吸光分光光度計で吸光度を測定した。
　含有金属量が１ｐｐｍ以下の超微量のばあいには、ＷＯ９４／２８３９４記載の測定方法を用いて測定した。具体的には、定量すべき金属を含む所定量のサンプルをキュベット内で約１０００℃の灰化温度で約２４０秒間の灰化時間を含む灰化条件で灰化した後、そのままフレームレス原子吸光分光光度計で吸光度を測定した。
　なお上記の（４）でえられた水性分散液２３．５ｇを水６７．５ｇで希釈し、エラストマー含有量を６．０重量％にした。この希釈水性分散液を用いること以外は上記の（６）〜（８）と同様に凝析、脱水、乾燥し、エラストマーをえた。えられたエラストマーの抽出アンモニウムイオン量は７５１ｐｐｂであった。
　また、凝析剤として、３．５％試薬特級グレードＨＣｌ水溶液１２ｇを用いること以外は上記の（６）〜（８）と同様の凝析、脱水、乾燥し、エラストマーをえた。えられたエラストマーの金属含有量は、Ｆｅ８６０ｐｐｂ、Ｎａ１０７０ｐｐｂ、Ｋ１５０ｐｐｂであった。
実施例２（ＰＦＡライニング容器などを用いることの効果）
　重合槽内部の接液部（槽内、撹拌翼、温度計さや管）に厚さ２００μｍのＰＦＡライニングを施した着火源をもたない３リットルの反応装置の中へ水１．５リットル、パーフルオロノナン酸アンモニウム（Ｃ8Ｆ17ＣＯＯＮＨ4）１５ｇを仕込んだ。つぎに重合槽内部から酸素を除去するため撹拌しながらＴＦＥ加圧、排出を繰り返し行なった。槽内を５０℃に温調後、パーフルオロメチルビニルエーテル（ＰＭＶＥ）、ＴＦＥを圧入し、圧力８ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇ、混合ガス組成比ＴＦＥ／ＰＭＶＥ＝１（ｍｏｌ％）に調整した。過硫酸アンモニウム（ＡＰＳ）３０ｍｇを５ｍｌの純水に溶解しＮ2で圧入し、重合開始し、槽内圧力が７ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇになると１，４−ジヨードパーフルオロブタンを圧入し、ＴＦＥ／ＰＭＶＥ＝６２／３８（ｍｏｌ％）の比率にてそれぞれのガスを追加し、元の圧力まで昇圧した。その後、圧力が７ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇになる毎に同様の昇圧を繰り返した。さらにＡＰＳを３時間毎に１０ｍｇを５ｍｌの純水に溶解しＮ2で圧入することを繰り返し１５時間後に未反応ガスを排出し、重合を終了した。えられた水性分散液のエラストマー含有率は２７．１％、ｐＨ＝２．５であった。えられた水性分散液中の金属含有量は、Ｆｅ：７０ｐｐｂ、Ｎａ：４ｐｐｂ、Ｋ：２ｐｐｂ以下であった。えられたポリマーの金属成分含有量を表１に示す。
　なお、ステンレススチール製の重合槽を用いたほかは上記と同様の方法にて重合を行なった。えられた水性分散液のエラストマー含有率は２６．８％で、ｐＨは２．７であった。この水性分散液中の金属含有量は、Ｆｅ：２５０ｐｐｂ、Ｎａ：１０ｐｐｂ、Ｋ：６ｐｐｂであった。
実施例３（水性分散液の洗浄方法の他の態様）
　実施例１の（４）でえられた水性分散液６０ｇをゲルセロファン半透膜に仕込み、純水６リットルにその半透膜を２４時間浸したのち、新しい水に入れ替えた。この操作を１０回繰り返した。アンモニアイオンメーターで測定した水性分散液中のアンモニウムイオンは、４０ｐｐｂであった。
　えられた水性分散液を実施例１の（６）〜（８）と同様に処理し乾燥エラストマー１３ｇをえた。そのエラストマーのアンモニウムイオン抽出量は８０ｐｐｂであった。
【表１】
実施例４
（１）乳化重合工程
  内容量６０００ｍｌのステンレススチール製の耐圧反応槽にえられた超純水２リットル、乳化剤（Ｃ7Ｆ15ＣＯＯＮＨ4)２０ｇ、ｐＨ調節剤（炭酸アンモニウム）１８ｇを入れ、内部空間を窒素ガスで充分置換したのち、６００ｒｐｍで撹拌下、５０℃に昇温し、テトラフルオロエチレンとパーフルオロ（メチルビニルエーテル）の混合物（ＴＦＥ／ＰＭＶＥ＝２０／８０、モル比）を内圧が１２．０ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇまで圧入した。重合開始剤として過硫酸アンモニウム（ＡＰＳ）の１８６ｍｇ／ｍｌ水溶液２ｍｌを窒素圧で圧入すると、直ちに重合反応が始まって圧力降下が起こった。１１．０ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇまで圧力が降下したとき、ジヨウ素化合物であるＩ（ＣＦ2)4Ｉを４．０ｇ圧入し、ついでＴＦＥを自圧にて１９．０ｇ、ＰＭＶＥを２３．０ｇプランジャーポンプにて圧入し、昇圧昇温を繰り返した。ＴＦＥおよびＰＭＶＥの合計仕込量が４３０ｇ、５１１ｇ、５９６ｇおよび６９７ｇに達した時点でヨウ素化合物であるＩＣＨ2ＣＦ2ＣＦ2ＯＣＦ＝ＣＦ2を各１．５ｇ圧入した。なお、重合中には、反応開始後、１２時間毎に３５ｍｇ／ｍｌのＡＰＳ水溶液２ｍｌを窒素ガスで圧入した。
　重合反応開始から３４時間後、ＴＦＥとＰＭＶＥの合計仕込み量が８６０ｇになった時点でオートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出して固形分濃度３０．０重量％の水性分散液を得た。
（２）凝析工程
　（１）でえられた水性分散液４．０ｇを超純水１５．７ｇで希釈し、ＰＦＡ製ビーカーに入れた凝析剤（ＭＥＲＣＫ社製  Ｓｕｐｒａｐｕｒ：半導体グレードＨＣｌの３．５％水溶液）１２ｇに滴下し凝析を行なって、含水含フッ素エラストマーをえた。
（３）乾燥工程
　えられた溶剤を含むエラストマーを、フッ素樹脂（ＰＦＡ）製フィルム上におき、耐熱性ＨＥＰＡフィルターを用いて庫内をクラス１００の環境にしているオーブン中１５０℃で１２時間乾燥を行なった。えられたエラストマーのムーニー粘度（ＭＬ１＋１０（１００℃））は６１であった。19Ｆ−ＮＭＲ分析の結果、このエラストマーのモノマー単位比は、ＴＦＥ／ＰＭＶＥ＝６０．３／３９．７であり、ヨウ素含量は０．３１重量％であった。
　得られたエラストマーの金属含有量を実施例1と同様にして調べた結果、Ｆｅ＝８０ｐｐｂ、Ｃｒ＝１０ｐｐｂ、Ｎｉ＝１０ｐｐｂ、Ｃｕ＝１００ｐｐｂ、Ｎａ＝５６０ｐｐｂ、Ｋ＝２００ｐｐｂ、Ｃａ＝７０ｐｐｂ、Ｍｇ＝８０ｐｐｂ、Ｚｎ＝４０ｐｐｂおよびＡｌ＝１４０ｐｐｂであり、合計１２９０ｐｐｂであった。
実施例５
　実施例４で得られたクリーン化されたフッ素系エラストマーを用い、表２に示す組成で４種類の架橋性エラストマー組成物を調製した。ここで用いる充填剤はいずれも金属含有量を低減させたものである。このエラストマー組成物を１６０℃１０分間プレス架橋（一次架橋）し、ついで１８０℃４時間オーブン架橋（二次架橋）してＯ−リング（ＡＳ−５６８Ａ−２１４）を作製した。
　ついで、このＯ−リングに次の洗浄方法を順次施した。
（Ｈ2ＳＯ4／Ｈ2Ｏ2混合液での洗浄）
  Ｏ−リング（ＡＳ−５６８Ａ−２１４）をＨ2ＳＯ4／Ｈ2Ｏ2（１／１）混合液を用いて１００℃にて１５分間洗浄したのち、５０％ＨＦ水溶液を用いて２５℃にて１５分間洗浄した。その後、超純水を用いて１００℃にて２時間洗浄し、さらに２０ｍｌ／分高純度窒素ガス気流下（容積４０×４０×４０ｃｍ）１８０℃で２４時間加熱して水分を除去した。このＯ−リングの常態（２５℃）物性および圧縮永久歪みをＪＩＳ  Ｋ６３０１にしたがって測定した。結果を表２に示す。得られた最終製品の金属含有量を調べた。結果を表３に示す。
【表２】
【表３】
　また、得られた最終製品Ｏ−リングについて、以下に示す方法にて金属抽出量を調べた。結果を表４および表５に示す。ポリマーと充填剤ともにクリーン化されることによって、成形品自身の金属量をはじめて低減化できる。
（１）予め充分洗浄したＰＦＡ製容器（フタ付き）に抽出用薬液を所定量入れる。
（２）使用する抽出用薬液（Ｈ2ＳＯ4／Ｈ2Ｏ2（４／１）または５０％ＨＦ）は、半導体用グレードを用いる。
（３）試料Ｏ−リングをそれぞれの薬液中に浸漬（Ｈ2ＳＯ4／Ｈ2Ｏ2混合物では２５℃１４日間、５０％ＨＦでは２５℃２４時間）し、密封の後、所定の温度で保持する。その際試料を浸漬せず薬液のみで同様の保管をしたものを対照とする。
（４）任意の期間保管した後、薬液中の含有金属濃度をＨ2ＳＯ4／Ｈ2Ｏ2についてはＩＣＰ−ＭＳ（セイコー電子（株）製のＳＰＱ９０００）で、５０％ＨＦでは原子吸光測定装置（（株）日立製作所製のＺ−８０００）で測定する。
（５）次式によりＯ−リングからの抽出金属を算出する。
【数１】
　表４はＨ2ＳＯ4／Ｈ2Ｏ2混合液による金属抽出量を、表５は５０％ＨＦによる金属抽出量を示す。
【表４】
【表５】
実施例６
（１）乳化重合工程
  着火源をもたない内容積３Ｌのステンレススチール製オートクレーブに、純水１リットルおよび乳化剤としてＣＦ3ＣＦ2ＣＦ2ＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2ＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＯＯＮＨ4を１０ｇ、ｐＨ調節剤として炭酸アンモニウム９ｇを仕込み、系内を十分窒素ガスで置換し脱気した後、６００ｒｐｍで撹拌しながら、５０℃に昇温し、パーフルオロ（メチルビニルエーテル）（ＰＭＶＥ）とテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）の混合ガス（ＴＦＥ／ＰＭＶＥ＝２５／７５モル比）を内圧が８．０ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇになるように仕込んだ。ついで亜硫酸アンモニウムの３４．３ｍｇ／ｍｌの濃度の水溶液を１０ｍｌと過硫酸アンモニウム（ＡＰＳ）の１３５ｍｇ／ｍｌの濃度の水溶液１０ｍｌを順次それぞれ別々に窒素圧で圧入して反応を開始した。
　重合の進行により内圧が、７．０ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇまで降下した時点でＣＦ2＝ＣＦＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）ＯＣＦ2ＣＦ2ＣＮ（ＣＮＶＥ）３ｇを窒素圧にて圧入した。ついで圧力が８．０ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇになるように、ＴＦＥとＰＭＶＥを４．７ｇ／５．３ｇの比でそれぞれ自圧にて圧入した。以後反応の進行に伴ない同様にＴＦＥ、ＰＭＶＥを圧入し７〜８ｋｇｆ／ｃｍ2Ｇのあいだで、昇圧、降圧を繰り返すとともに、重合の開始から２．５時間後と５時間後に亜硫酸アンモニウムの３４．３ｍｇ／ｍｌの濃度の水溶液１０ｍｌとＡＰＳの１３．５ｍｇ／ｍｌの濃度の水溶液１０ｍｌを順次それぞれ別々に窒素圧で圧入した。
　重合の開始から８時間後、ＴＦＥおよびＰＭＶＥの合計仕込み量が７０ｇになった時点でオートクレーブを冷却し、未反応モノマーを放出して固形分濃度６．１重量％の水性分散体１１３０ｇを得た。
（２）凝析工程
　（１）でえられた水性分散体のうち１０００ｇを水３０００ｇで希釈し、３．５重量％塩酸水溶液２４００ｇ中に、撹拌しながらゆっくり添加した。添加後５分間撹拌した後、凝析物をろ別した。
（３）水分分離工程
　得られた含水含フッ素エラストマーをさらに１ｋｇのＨＣＦＣ−１４１ｂ中にあけ、５分間撹拌し、再びろ別した。この後このＨＣＦＣ−１４１ｂによる洗浄、ろ別の操作をさらに４回繰り返した。
（４）乾燥工程
　６０℃で７２時間真空乾燥させ、５８ｇのエラストマーを得た。
　19ＦＮＭＲ分析の結果、このエラストマーのモノマー単位組成は、ＴＦＥ／ＰＭＶＥ／ＣＮＶＥ＝５７．３／４１．５／１．２モル％であった。
　このエラストマーの金属成分含有量を実施例１と同様に調べた結果、Ｆｅ＝１８０ｐｐｂ、Ｃｒ＝３０ｐｐｂ、Ｎｉ＝１１００ｐｐｂ、Ｃｕ＝２６０ｐｐｂ、Ｎａ＝１７６０ｐｐｂ、Ｋ＝３４０ｐｐｂ、Ｃａ＝３５０ｐｐｂ、Ｍｇ＝１６０ｐｐｂ、Ｚｎ＝２４０ｐｐｂおよびＡｌ＝３０ｐｐｂであり、合計４４５０ｐｐｂであった。」（段落　【００９６】〜【０１４０】）
　
　シ．「
」（図１）
　
（２）本願発明について
　本願発明（前記「第２．本願発明の認定」参照。）は、「ポリマー中にとり込まれる金属成分量を抑えることができる製造方法を提供すること」（摘示イ）を目的とするものであって、特許請求の範囲の請求項１に記載されている「以下の方法（１）〜（３）を組み合わせて行われることを特徴とする含フッ素エラストマーの製造方法。
（１）全ての原材料に金属原子を含まない化合物を用い、
（２）原材料として、「実質的に金属成分を含まない原材料」を用い
（３）金属元素を含まない半導体製造に用いられる高純度グレードの酸を用いて含フッ素エラストマーの乳化分散液の凝析を行う。」ことによって、発明の解決しようとする課題を解決するものであると認められる。
 
（３）本願明細書等における発明の詳細な説明の記載内容
　本願明細書等の段落【００５６】には「前述したそれぞれ１つの方法によって含フッ素エラストマーの金属含有量を低減量は異なるものの低減化することができるが、２つ以上の方法を適宜組み合わせることにより、さらに金属含有量を低減させることができ、かつ金属含有量の低減化をより確実に達成することができる」と記載されている。そして、当該記載における「前述したそれぞれの方法」とは、本願明細書等の段落【００２４】〜【００７９】に記載されている下記（ａ）〜（ｇ）のものである。
（ａ）「含フッ素モノマーを乳化重合させる際に金属化合物を配合しない含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法として、全ての原材料に金属原子を含まない化合物を用い、さらに、少なくとも１つの原材料として、「実質的に金属成分を含まない原材料」を用いること」（摘示ウ）
（ｂ）「乳化液を弱アルカリ性に保持して含フッ素モノマーの乳化重合を行うこと」（摘示エ）
（ｃ）「重合槽内の各種部材で乳化液やポリマーに接触する部分にフッ素樹脂をライニングすること」（摘示オ）
（ｄ）「凝析工程において、凝析剤に金属原子を含まないもの」、「なかでも、半導体製造に用いられる高純度グレードの酸を利用すること」（摘示カ）
（ｅ）「凝析工程に供する前に乳化分散液から汚染物質を除去したのちに凝析を行うこと」（摘示キ）
（ｆ）「含フッ素エラストマーの乳化分散液を凝析してえられる含水含フッ素エラストマーに、該含水含フッ素エラストマーに親和性を有する非水溶性溶剤を添加して水分を分離させること」（摘示ク）
（ｇ）「エラストマー凝析物を清浄なガスを用いて乾燥させること」（摘示ケ）
　
　さらに、個別具体的な実施例１および実施例４において、得られたエラストマーの金属成分含有量が測定され、実施例１で半導体グレードの塩酸を用いた場合は合計約９５０ｐｐｂ（約１ｐｐｍ）以下、実施例１で試薬特級グレードの塩酸を用いた場合は合計２０８０ｐｐｂ（約２ｐｐｍ）、実施例４では合計１２９０ｐｐｂ（約１．３ｐｐｍ）であることが示されている（摘示コ）。ここで、実施例１および４で得られたエラストマーは、乳化剤、重合開始剤、ｐＨ調整剤、凝析剤を含む原材料の全てを非金属化合物として、金属化合物を配合せず、乳化液に炭酸アンモニウムを加えて乳化重合し（上記（ａ）に相当）、乳化分散液をセラミックフィルター（フィルター孔径：２００ｎｍ）を用いて濾過し（上記（ｅ）に相当）、塩酸（半導体グレード）を用いて凝析し（同（ｄ）に相当）、実施例１ではＨＣＦＣ−１４１ｂを用いて水分を分離し（上記（ｆ）に相当）、庫内をクラス１００の環境にしたオーブン中で乾燥（同（ｇ）に相当）したものである。
　 
（４）判断
　特許請求の範囲の記載が明細書のいわゆるサポート要件に適合するか否かは、特許請求の範囲と発明の詳細な説明の記載とを対比し、特許請求の範囲に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載によりこの発明の技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきものである。 
　そこで、本願発明の課題は、「ポリマー中にとり込まれる金属成分量を抑えることができる製造方法を提供すること」であるので（上記（２）参照）、本願発明が、発明の詳細な説明の記載により前記課題を解決できると当業者が認識できるかどうかを検討する。
　
　本願明細書等には、前記「（３）本件明細書の発明の詳細な説明の記載内容」に記載したとおり、上記（ａ）〜（ｇ）の「それぞれ１つの方法によって含フッ素エラストマーの金属含有量を低減量は異なるものの低減化することができる」、「２つ以上の方法を適宜組み合わせることにより、さらに金属含有量を低減させることができ」ることが記載されている。
　ここで、本願発明における「（１）全ての原材料に金属原子を含まない化合物を用い、」及び「（２）原材料として、「実質的に金属成分を含まない原材料」を用い」ることは、上記「（ａ）「含フッ素モノマーを乳化重合させる際に金属化合物を配合しない含フッ素エラストマーの金属含有量低減化方法として、全ての原材料に金属原子を含まない化合物を用い、さらに、少なくとも１つの原材料として、「実質的に金属成分を含まない原材料」を用いること」に該当し、本願発明における「（３）金属元素を含まない半導体製造に用いられる高純度グレードの酸を用いて含フッ素エラストマーの乳化分散液の凝析を行う」ことは、上記「（ｄ）「凝析工程において、凝析剤に金属原子を含まないもの」、「なかでも、半導体製造に用いられる高純度グレードの酸を利用すること」」に該当している。
　そうすると、本願発明は、本願明細書等に記載の金属低減化方法の一態様となっていることは明らかであるし、当業者において、本願発明の（１）、（２）、（３）のそれぞれの方法において、金属含有量を低減でき、（１）〜（３）を組み合わせることでさらに金属含有量を低減できることも明らかである。
　加えて、本願明細書等の実施例においては、本願発明の発明を特定するための事項を満足する製造方法として実施例１が記載されており、当該実施例１において本願発明の（３）の条件を満足していない試薬特級グレードの塩酸を用いた場合の金属含有量は合計２０８０ｐｐｂ（摘示サの記載におけるＦｅとＮａとＫとの和）であるのに対して、実施例１は、合計約９５０ｐｐｂ（摘示サの表１の金属の和）と金属含有量が低減されていることが具体的に開示されている。
　そうすると、本願発明、すなわち、特許請求の範囲の請求項１の記載は、本願明細書等の発明の詳細な説明において当業者が本願発明の課題を解決する方法の一つとして当業者が認識できるものであるといえる。
　
　そうであってみれば、本願発明は、発明の詳細な説明に記載された発明であって、特許法第３６条第６項第１号の規定を満足しているといえる。
　
　特許請求の範囲の請求項２〜８は、請求項１を直接的又は間接的に引用して本願明細書等の記載の範囲内で更に発明特定事項を追加するものである。そうすると、請求項１の記載がサポート要件を満たしていないということはできないとした上記の検討と同様の理由により、請求項２〜８の記載についてもサポート要件を満たしていないということはできない。 
　
第５．むすび
　本願については、原査定の拒絶の理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 
　よって、結論のとおり審決する。