【事件の表示】
　特許第３１４２６０８号「光化学反応処理方法」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１４２６０８号の訂正後の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
  本件特許第３１４２６０８号の請求項１、２に係る発明についての出願は、平成３年８月８日に特許出願され、平成１２年１２月２２日にその特許の設定登録がなされたものである。
　これに対して、伊藤路余より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１４年１月１７日付けで訂正請求がなされ、その後特許権者に対し審尋がなされ、その指定期間内に回答書がなされ、その後再度平成１４年１１月１日付けで取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１５年１月１０日付けで訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
２−１．訂正の内容
  平成１４年１月１７日付け訂正請求書は取下げられていないが、新たに平成１５年１月１０日付け訂正請求書が提出されたことにより、平成１４年１月１７日付け訂正請求書は取下げられたものとみなし、新たな平成１５年１月１０日付け訂正請求書について審理する。
　上記訂正請求の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおり、すなわち次の訂正事項ａ〜ｌのとおりに訂正しようとするものである。
（１）訂正事項ａ
　請求項１を削除し、請求項２を、「【請求項１】紫外線ランプの紫外線照射によって液体又は気体等の被照射体の有機物分解や有害物分解の光化学反応処理を行うについて、流入する液体又は気体等の被照射体の流量、不純物濃度等の種々の処理条件に応じて、紫外線照射を二段階以上に分け、最初の段階の紫外線ランプの出力を、照射開始時に１０〜４５％程度低減するように設定して紫外線の照射を行い、経時劣化によって紫外線ランプの出力が２０〜５０％程度に低減する時点を紫外線ランプの点灯時間によって予測し、その時点で次の段階の紫外線照射に入り、この段階における紫外線ランプの照射開始時の出力を、最初の段階の低減値と同様にして紫外線の照射を行い、以後は必要に応じて同様の条件で紫外線の照射を行い、多段階に紫外線照射量を調整して紫外線ランプの照射量を適度に抑制することによって、液体又は気体等の被照射体の発熱の防止、副生成物の派生を防止することを特徴とする紫外線照射による液体又は気体等の有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　明細書中の段落【０００１】の「ランプの照射、特に」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第２〜３行）を削除し、「また、本発明は半導体チップ、医療容器、特殊金属等の被照射体を、ランプの照射よる光化学反応処理をする方法に関するものである。」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第４〜７行）を削除する。
（３）訂正事項ｃ
　明細書中の段落【０００２】の「光化学反応処理方法」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第９行）を、「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法」と訂正し、また「図１の斜線部分に示すように、無駄な電力を浪費していることになる。」を「図１の斜線部分に示すように、無駄な電力を浪費していると共に、過剰な光量を照射していることになる。」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第１８〜１９行）と訂正する。併せて、「大電力型ランプ」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第２１〜２２行）を、「大電力型紫外線ランプ」と訂正し、また「【図１】」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第２４行）を削除する。
（４）訂正事項ｄ
　明細書中の段落【０００３】の「ランプ」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第２６、２８、２９〜３０、３０〜３１、３１、３２、３３行）を、「紫外線ランプ」と訂正し、また「光化学反応処理方法」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第２７行）を、「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　明細書中の段落【０００４】の「ランプ」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第３９、４０〜４１、４２、４３、４６行）を、「紫外線ランプ」と訂正し、「被照射体」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第４１行）を、「液体又は気体等の被照射体」と訂正し、また「光化学反応処理方法」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第４０、４１行）を、「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法」と訂正し、また「この段階におけるランプの照射開始時の出力を、最初の段階の低減値と同様にして照射を行い、以後は必要に応じて同様の条件でランプの照射を行い、多段階にランプ照射量を調整することを特徴とするものであり、特に、本発明は、紫外線照射による被照射体の光化学反応処理方法に関するもので、前述したように、多段階に紫外線照射量を調整することを特徴とするものである。」を、「この段階における紫外線ランプの照射開始時の出力を、最初の段階の低減値と同様にして照射を行い、以後は必要に応じて同様の条件で紫外線ランプの照射を行い、多段階に紫外線ランプ照射量を調整して紫外線ランプの照射量を適度に抑制することによって、液体又は気体の発熱の防止、副生成物の派生を防止することを特徴とするものである。」と訂正する。
（６）訂正事項ｆ
　明細書中の段落【０００５】の「光化学反応処理方法」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第７行）を、「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法」と訂正し、また「被照射体中」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第１９〜２０行）を、「液体又は気体等の被照射体中」と訂正し、また「細菌の殺菌」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第１０行）を削除し、また「被照射体」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第１９〜２０行）を、「液体又は気体等の被照射体」と訂正し、また「【図２】」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第７行）を削除する。
（７）訂正事項ｇ
　明細書中の段落【０００６】の「被照射体」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第３５行）を、「液体又は気体等の被照射体」と訂正する。
（８）訂正事項ｈ
　明細書中の段落【０００７】の「光化学反応処理」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第４９行、第３頁第５欄第１１行）を、「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理」と訂正し、また「被照射体」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第１１行）を「液体又は気体等の被照射体」と訂正し、また「【図３】」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第４１行）を削除する。
（９）訂正事項ｉ
　明細書中の段落【０００８】の「以上、本発明の実施例を紫外線ランプの紫外線照射による光化学反応処理方法について説明したが、紫外線ランプ以外に、ナトリウムランプ、タリウムランプ、ハロゲンランプ、赤外線ランプ等のランプの照射によって、前述した場合と同様に多段階にランプの照射量を調整して被照射体の光化学反応処理方法を行うことができる。」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第１５〜２１行）を、「以上、本発明の実施例について説明した。」と訂正し、また「なお、本発明の光化学反応処理方法によって、半導体、医薬品、原子力等で用いる超純水やクリーンガス等の不純物をほとんど含まない液体又は気体等の被照射体を得ることができる他、さらに、本発明の光化学反応処理方法によって、不純物の存在しない、殺菌された半導体チップやウエハー、医療容器、特殊金属等の被照射体を得ることができる。」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第２１〜２７行）を、「なお、本発明の光化学反応処理方法によって、半導体、医薬品、原子力等で用いる超純水やクリーンガス等の不純物をほとんど含まない液体又は気体等の被照射体を得ることができる。」と訂正する。
（１０）訂正事項ｊ
　明細書中の段落【０００９】の「被照射体」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第３１行）を、「液体又は気体等の被照射体」と訂正し、また「ランプ」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第３０、３１（２箇所）行、第６欄第１〜２、４、５、６、７、８、９、１０１１、１２、１５行）を、「紫外線ランプ」と訂正し、また「光化学反応処理」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第３０行）を、「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理」と訂正する。
（１１）訂正事項ｋ
【図面の簡単な説明】を、「【図１】　従来の有機物分解や有害物分解処理に使用する低圧紫外線ランプの寿命と経時劣化を示す説明図である。【図２】本発明に係わる光化学反応処理を実施する周知の紫外線照射装置の断面図である。【図３】本発明の液体又は気体等の被照射体の有機物分解や有害物分解処理に使用する低圧紫外線ランプによる多段階に紫外線照射量を調整する状態を示す説明図である。」と訂正する。
（１２）訂正事項ｌ
　発明の名称を「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法」と訂正する。（このことは訂正事項に記載されていないが、訂正明細書の発明の名称が訂正されており、かつ訂正請求書第６頁（３）に『「光化学反応処理方法」を「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法」に減縮』と記載されているので、上記のとおりとする。）
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張変更の存否
（１）訂正事項ａについて
　上記訂正事項ａは、大別すると、ａ−１．請求項１を削除し、請求項２を請求項１と訂正する、ａ−２．「被照射体」を「液体又は気体等の被照射体」と訂正する、ａ−３．「光化学反応処理」を「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理」と訂正する、ａ−４．「紫外線ランプのライフに応じて」を「流入する液体又は気体等の被照射体の流量、不純物濃度等の種々の処理条件に応じて」と訂正する、ａ−５．「多段階に紫外線照射量を調整する」を「多段階に紫外線照射量を調整して紫外線ランプの照射量を適度に抑制することによって、液体又は気体等の被照射体の発熱の防止、副生成物の派生を防止する」と訂正する、ａ−６．「被照射体の光化学反応処理方法」を「液体又は気体等の有機物分解や有害物分解の光化学処理方法」と訂正するものである。
　上記ａ−１．は請求項の削除であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　上記ａ−２．、ａ−３．はそれぞれ「被照射体」と「光化学反応処理」を限定する訂正であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
  上記ａ−４．は「光化学反応処理」の条件を流量等に限定する訂正であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
  上記ａ−５．は「照射量」の調整の程度を「液体又は気体等の被照射体の発熱の防止、副生成物の派生を防止する」程度に限定する訂正であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
　上記ａ−６．は「被照射体の光化学反応処理方法」を「液体又は気体等の有機物分解や有害物分解の光化学処理方法」に限定する訂正であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
　次に上記ａ−２．、ａ−３．は明細書にそれぞれ「液体又は気体等の被照射体」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第１行）、「有機物の酸化分解、有害物質の分解等の処理」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第１０〜１１行）と記載されているから、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　また、上記ａ−４．は明細書に「流入する被照射体の流量、不純物濃度等の種々の処理条件に応じて」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第３５〜３６行）と記載されているから、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　また、上記ａ−５．は明細書に「ランプの照射量を適度に抑制することによって発熱の防止、副生成物の派生を防止する」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第３３〜３５行）と記載されているから、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
  また、上記ａ−６．は上記ａ−２．、ａ−３．について述べたことから、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（２）訂正事項ｂ〜ｌについて
　 上記訂正事項ｂ〜ｌは、上記訂正事項ａの訂正に伴って特許請求の範囲の記載と明細書の記載とを整合させるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当するものであり、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
２−３．まとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．本件訂正発明
　特許権者が請求した上記訂正は、上述したとおり、これを認容することができるから、訂正後の本件請求項１に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された上記２−１．（１）に示すとおりのものである（以下、「本件訂正発明」という）。
４．平成１４年１１月１日付け取消理由について
４−１．取消理由の概要
　平成１４年１１月１日付け取消理由の概要は、請求項１、２に係る発明は刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１、２に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり取り消されるべきものであるというものである。
４−２．刊行物の記載内容
（１）刊行物１：特開平１−２３６９８６号公報
（ａ）「流体が連続的に流れるオープンチャネル又は底部にのみ流体の流れるクローズドチャネルの上方空間より紫外線を照射し、該流体の深さを照射紫外線の特定波長の透過率もしくは透過量に応じてコントロールして連続的に処理することを特徴とする紫外線照射による流体の処理方法。」（請求項１）
（ｂ）「・・・本紫外線ランプ１は２５４ｎｍ付近に強い線スペクトルを有しているので、その殺菌力は強力である。」（第２頁右下欄第１５〜１７行）
（ｃ）「この実験例においては、処理水の一般細菌数は処理前が１０５個／ｃｍ３であったものが、処理後は１０３個／ｃｍ３に減少し、殺菌率は９９．９％であった。」（第３頁右上欄第１１〜１３行）
（２）「ＴＥＸＴＩＬＥ　ＲＥＳＥＡＲＣＨ　ＪＯＵＲＮＡＬ」Ｖｏｌ．４６　第３４２〜３４６頁（１９７６）：申立人の甲第１号証
（ａ）「キセノン高圧アークランプの発光スペクトルは、地上の日光の紫外線可視領域の適正な近似をもたらす。」（要約欄第１〜２行、訳文、以下同じ）
（ｂ）「すべての場合において、コーニング社のＮｏ．７７４０のホウ珪酸塩の内部および外部フィルターを用いて、１４５±５°Ｆのブラックパネル温度および３０±５％の相対湿度で、ランプを連続点灯させて、６０００Ｗキセノンアークのアトラスウェザロメー夕を運転した。・・・３０７および３４０ｎｍにおいてモニタして近紫外線光度の尺度をもたらし、４２０ｎｍでのモニタは、ランプ／フィルターシステムから得られた可視光の光度表示に用いた。」（第３４３頁左欄第４０〜５５行）
（ｃ）「ランプ光度を制御するための提示された新しい方法．これまでに調べた手順は、夏季の真昼の日光と光度の点で類似しているが、運転コストの高い、短期間に優れた安定出力をもたらしたり、またはより低いコストで強烈に減少する出力をもたらす。より低いワット数、したがってより低いランプ光度でウェザロメータを作動させて得られる、より良いランプ寿命のずっと一定光度の方法を以下に提示する。この手順は、光モニター有りまたは光モニター無しのときに使用することができ、ランプの破損が起こらないとした場合に、３４０ｎｍで約３０％だけ変動する出力をもたらしたり、あるいは２０００時間よりも長い適正なランプ寿命をもたらすように設計してある。以前に提示したようにＳＣＲコントローラでの出力調整を用いて、新しいランプおよびフィルターシステムを最小ワット数（３５００〜３７００Ｗ）で作動させて、３４０ｎｍの光度が、図４の０．９μアンペア、および図５の１．０μアンペアの任意に選択した値に、減少するまで行った。該光度は、ワット数を周期的に増加させて、各々、前記２つの値で維持した。より高い値は容易に達成可能であるが、もっと頻繁なワット数の増加を必要とし、可能性のあるランプ寿命を減少させた。１．０μアンペアの３４０ｎｍ光度を適切な妥協的数値として選んだ。したがって、これは、北緯４２°における夏季の真昼の日光の光度の６２％までの、試料表面での８７μＷ／ｃｍ２／ｎｍまでのものに相当する。図４は４００および８００時間でのランプの内部フィルター交換をしないときの影響を示し、図５は該時間での内部フィルター交換の影響を示す。内部フィルターは事前老化していない。４００および８００時間で内部フィルターを交換するので、ランプ光度の仮のゲインだけはあるが、最小費用で得られるのでこのゲインはたぶん値打ちのあるものである。９００時間よりも多くのランプ使用時間では、図５に示すように３４０ｎｍにおいて１．０μアンペアの光度の読みを維持するために、ワット数を増大させなければならない。この方法を実施する際に使用した２つのランプが１１３０時間および１８７０時間後に破損したが、低ワット数で作動している場合には、この手順で２０００時間よりも大きなランプの寿命を得ることができる。」（第３４５頁左欄第８行〜右欄第１２行）
（ｄ）第３４５頁図４には、縦軸が「ランプ光度（μＡ）」、横軸が「ランプ使用時間（ｈｒ）」の「３４０ｎｍおよび３０７ｎｍにおける６０００Ｗキセノンランプ光度ＶＳランプ使用時間」（方法４）のグラフが示されており、３４０ｎｍのグラフは、最初３７００Ｗであり、光度は１．０８μＡで始まり、０．７８μＡになると、４０００Ｗに切換え、その際光度が０．９１μＡであり、さらに照射を続けて光度が０．８６μＡになったところで４３００Ｗに切り替えるということが示されている。
４−３．当審の判断
　刊行物１の上記（１）（ａ）〜（ｃ）には、「処理水を紫外線ランプの照射によって殺菌する処理水の殺菌処理方法。」という発明（以下、「刊行物１発明」という）が記載されていると云える。
  そこで本件訂正発明と刊行物１発明とを対比すると、訂正前の本件特許明細書の「殺菌された半導体チップ」（本件特許掲載公報第３頁第５欄第２５〜２６行）の記載からみて、刊行物１発明の「殺菌処理方法」は、本件訂正発明の「光化学反応処理方法」に相当するから、両者は「紫外線ランプの照射によって液体の光化学反応処理を行う紫外線ランプ照射による液体の光化学反応処理方法」という点で一致し、次の点で相違していると云える。
相違点：本件訂正発明では、流入する液体又は気体等の被照射体の流量、不純物濃度等の種々の処理条件に応じて、紫外線照射を二段階以上に分け、最初の段階の紫外線ランプの出力を、照射開始時に１０〜４５％程度低減するように設定して紫外線の照射を行い、経時劣化によって紫外線ランプの出力が２０〜５０％程度に低減する時点を紫外線ランプの点灯時間によって予測し、その時点で次の段階の紫外線照射に入り、この段階における紫外線ランプの照射開始時の出力を、最初の段階の低減値と同様にして紫外線の照射を行い、以後は必要に応じて同様の条件で紫外線の照射を行い、多段階に紫外線照射量を調整して紫外線ランプの照射量を適度に抑制することによって、液体又は気体等の被照射体の発熱の防止、副生成物の派生を防止しているのに対して、刊行物１発明ではその点が明らかでない点。
　上記相違点を検討すると、刊行物２の上記（２）（ｄ）には、紫外線照射において、光度が１．０８μＡで始まり、０．７８μＡになったところで、ランプのワット数を３７００Ｗから４０００Ｗに切換えることが記載されている。
　この場合、６０００Ｗの時の光度が記載されていないので、最初の段階の紫外線ランプの出力をどの程度低減しているか定かでないが、仮に「Ｗ」と光度が比例するとして、定格６０００Ｗの紫外線ランプを３７００Ｗで照射する点を低減比に換算すると、３９％低減することになる。このことは、本件訂正発明の「最初の段階のランプの出力を、照射開始時に１０〜４５％程度低減するように設定して照射を行い」に相当する。しかしながら、次の段階の４０００Ｗの時の光度は、０．９１μＡから０．８６μＡになったのであるから、最初の段階の１．０８μＡから０．７８μＡになったのが次の段階では０．９１μＡから０．８６μＡになっているということである。してみると、刊行物２には、本件訂正発明の「次の段階の紫外線照射に入り、この段階における紫外線ランプの照射開始時の出力を、最初の段階の低減値と同様にして紫外線の照射を行い」の「同様にして」という点は記載も示唆もされていないと云える。
　さらに、刊行物２の上記（２）（ｃ）には、ランプ寿命を延ばすことは記載されているものの、本件訂正発明の「多段階に紫外線照射量を調整して紫外線ランプの照射量を適度に抑制することによって、液体又は気体等の被照射体の発熱の防止、副生成物の派生を防止する」という点については記載も示唆もされていない。
　してみると、上記相違点は刊行物２から当業者が容易に想到し得るものであるとすることはできない。
　そして、本件訂正発明は上記相違点により、「液体又は気体等の被照射体の発熱を防止して装置の故障を少なくすると同時に、液体又は気体等の被照射体の処理結果を改善することができる」等の明細書記載の効果を奏すると云える。
　したがって、本件訂正発明は、刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得るものであるとすることはできない。
５．特許異議申立てについて
５−１．特許異議の申立ての理由の概要
 申立人は、証拠方法として甲第１、２号証を提出して、請求項１に係る発明は甲第１号証に記載された発明であり、請求項１、２に係る発明の特許は甲第１、２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１に係る発明の特許は特許法第２９条第１項第３号、第２項に違反してなされたものであり、請求項２に係る発明の特許は特許法第２９条第２項に違反してなされたものであり取り消されるべきものであると主張している。
５−２．甲各号証の記載内容
（１）甲第１号証：「ＴＥＸＴＩＬＥ　ＲＥＳＥＡＲＣＨ　ＪＯＵＲＮＡＬ」Ｖｏｌ．４６　第３４２〜３４６頁（１９７６）
   上記４−２．（２）の刊行物２と同じ。
（２）甲第２号証：実願平２−５３０１９号（実開平４−９１７９４号）のマイクロフィルム
　この文献は公開日が平成４年８月１０日である。
５−３．当審の判断
  上記４−３．で述べたように、甲第１号証には、本件訂正発明の「次の段階の紫外線照射に入り、この段階における紫外線ランプの照射開始時の出力を、最初の段階の低減値と同様にして紫外線の照射を行い」という点や、「多段階に紫外線照射量を調整して紫外線ランプの照射量を適度に抑制することによって、液体又は気体等の被照射体の発熱の防止、副生成物の派生を防止する」という点については記載も示唆もされていない。
　また、甲第２号証は本件出願後に頒布された刊行物である。
  したがって、本件訂正発明は、甲第１号証に記載された発明であるとすることはできないし、また、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
６．むすび
 以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、訂正後の本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
 また、他に訂正後の本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、訂正後の本件請求項１に係る発明の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年１月２９日（２００３．１．２９）
【訂正の要旨】
訂正事項
　１）【特許請求の範囲】に
「【請求項１】ランプの照射によって被照射体の光化学反応処理を行うについて、ランプのライフに応じて、照射を二段階以上に分け、最初の段階のランプの出力を、照射開始時に１０〜４５％程度低減するように設定して照射を行い、経時劣化によってランプの出力が２０〜５０％程度に低減する時点をランプの点灯時間によって予測し、その時点で次の段階の照射に入り、この段階におけるランプの照射開始時の出力を、最初の段階の低減値と同様にして照射を行い、以後は必要に応じて同様の条件でランプの照射を行い、多段階にランプ照射量を調整することを特徴とするランプ照射による被照射体の光化学反応処理方法
　【請求項２】紫外線ランプの紫外線照射によって被照射体の光化学反応処理を行うについて、紫外線ランプのライフに応じて、紫外線照射を二段階以上に分け、最初の段階の紫外線ランプの出力を、照射開始時に１０〜４５％程度低減するように設定して紫外線の照射を行い、経時劣化によって紫外線ランプの出力が２０〜５０％程度に低減する時点を紫外線ランプの点灯時間によって予測し、その時点で次の段階の紫外線照射に入り、この段階における紫外線ランプの照射開始時の出力を、最初の段階の低減値と同様にして紫外線の照射を行い、以後は必要に応じて同様の条件で紫外線の照射を行い、多段階に紫外線照射量を調整することを特徴とする紫外線照射による被照射体の光化学反応処理方法」とあるのを
　「【請求項１】紫外線ランプの紫外線照射によって液体又は気体等の被照射体の有機物分解や有害物分解の光化反応処理を行うについて、流入する液体又は気体等の被照射体の流量、不純物濃度等の種々の処理条件に応じて、紫外線照射を二段階以上に分け、最初の段階の紫外線ランプの出力を、照射開始時に１０〜４５％程度低減するように設定して紫外線の照射を行い、経時劣化によって紫外線ランプの出力が２０〜５０％程度に低減する時点を紫外線ランプの点灯時間によって予測し、その時点で次の段階の紫外線照射に入り、この段階における紫外線ランプの照射開始時の出力を、最初の段階の低減値と同様にして紫外線の照射を行い、以後は必要に応じて同様の条件で紫外線の照射を行い、多段階に紫外線照射量を調整して紫外線ランプの照射量を適度に抑制することによって、液体又は気体等の被照射体の発熱の防止、副生成物の派生を防止することを特徴とする紫外線照射による液体又は気体等の有機物分解や有害物分解の光化学処理方法。」に訂正する。
　２）【０００１】に「ランプの照射、特に」とあるのを削除し、「また、本発明は半導体チップ、医療容器、特殊金属等の被照射体を、ランプの照射よる光化学反応処理をする方法に関するものである。」とあるのを削除する。
　３）【０００２】に「光化学反応処理方法」とあるのを「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法」と訂正し、「図１の斜線部分に示すように、無駄な電力を浪費していることになる。」とあるのを「図１の斜線部分に示すように、無駄な電力を浪費していると共に、過剰な光量を照射していることになる。」に訂正する。併せて、「大電力型ランプ」とあるのを「大電力型紫外線ランプ」と訂正し、「【図１】」とあるのを削除する。
　４）【０００３】に「ランプ」とあるのを「紫外線ランプ」と訂正し、「光化学反応処理方法」とあるのを「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法」に訂正する。
　５）【０００４】に「ランプ」とあるのを「紫外線ランプ」と訂正し、「被照射体」とあるのを「液体又は気体等の被照射体」と訂正し、「光化学反応処理方法」とあるのを「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法」に訂正し、「この段階におけるランプの照射開始時の出力を、最初の段階の低減値と同様にして照射を行い、以後は必要に応じて同様の条件でランプの照射を行い、多段階にランプ照射量を調整することを特徴とするものであり、特に、本発明は、紫外線照射による被照射体の光化学反応処理方法に関するもので、前述したように、多段階に紫外線照射量を調整することを特徴とするものである。」とあるのを「この段階における紫外線ランプの照射開始時の出力を、最初の段階の低減値と同様にして照射を行い、以後は必要に応じて同様の条件で紫外線ランプの照射を行い、多段階に紫外線ランプ照射量を調整して紫外線ランプの照射量を適度に抑制することによって、液体又は気体の発熱の防止、副生成物の派生を防止することを特徴とするものである。」と訂正する。
　６）【０００５】に「光化学反応処理方法」とあるのを「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法」に訂正し、「被照射体中」とあるのを「液体又は気体等の被照射体中」と訂正し、「細菌の殺菌」とあるのを削除し、「被照射体」とあるのを「液体又は気体等の被照射体」と訂正し、「【図２】」とあるのを削除する。
　７）【０００６】に「被照射体」とあるのを「液体又は気体等の被照射体」と訂正する。
　８）【０００７】に「光化学反応処理」とあるのを「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理」に訂正し、「被照射体」とあるのを「液体又は気体等の被照射体」と訂正し、「【図３】」とあるのを削除する。
　９）【０００８】に「以上、本発明の実施例を紫外線ランプの紫外線照射による光化学反応処理方法について説明したが、紫外線ランプ以外に、ナトリウムランプ、タリウムランプ、ハロゲンランプ、赤外線ランプ等のランプの照射によって、前述した場合と同様に多段階にランプの照射量を調整して被照射体の光化学反応処理方法を行うことができる。」とあるのを「以上、本発明の実施例について説明した。」に訂正し、「なお、本発明の光化学反応処理方法によって、半導体、医薬品、原子力等で用いる超純水やクリーンガス等の不純物をほとんど含まない液体又は気体等の被照射体を得ることができる他、さらに、本発明の光化学反応処理方法によって、不純物の存在しない、殺菌された半導体チップやウエハー、医療容器、特殊金属等の被照射体を得ることができる。」とあるのを「なお、本発明の光化学反応処理方法によって、半導体、医薬品、原子力等で用いる超純水やクリーンガス等の不純物をほとんど含まない液体又は気体等の被照射体を得ることができる。」と訂正する。
　１０）【０００９】に「被照射体」とあるのを「液体又は気体等の被照射体」と訂正し、「ランプ」とあるのを「紫外線ランプ」と訂正し、「光化学反応処理」とあるのを「有機物分解や有害物分解の光化学反応処理」に訂正する。
　１１）【図面の簡単な説明】に
　「【図１】
　従来の光化学反応処理に使用する低圧紫外線ランプの寿命と経時劣化を示す説
明図である。
　【図２】
　本発明の光化学反応処理を実施する周知の紫外線照射装置の断面図である。
　【図３】
　本発明の光化学反応処理に使用する低圧紫外線ランプによる多段階に紫外線照
射量を調整する状態を示す説明図である。」とあるのを
　「【図１】
　従来の有機物分解や有害物分解処理に使用する低圧紫外線ランプの寿命と経時劣化を示す説明図である。
　【図２】
　本発明に係わる光化学反応処理を実施する周知の紫外線照射装置の断面図である。
　【図３】本発明の液体又は気体等の被照射体の有機物分解や有害物分解処理に使用する低圧紫外線ランプによる多段階に紫外線照射量を調整する状態を示す説明図である。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
紫外線ランプの紫外線照射によって
液体又は気体等の被照射体の有機物分解や有害物分解の
流入する液体又は気体等の被照射体の流量、不純物濃度等の種々の処理条件
して紫外線ランプの照射量を適度に抑制することによって、液体又は気体等の被照射体の発熱の防止、副生成物の派生を防止する
液体又は気体等の有機物分解や有害物分解
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　最近、例えば半導体、医薬品、原子力等の分野において、超純水やクリーンガス等の不純物をほとんど含まない液体又は気体等の被照射体が使用されているが、本発明は、このような被照射体を紫外線ランプの紫外線照射によって光化学反応処理する方法に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　ランプの照射による
有機物分解や有害物分解の光化学反応処理方法
　従って紫外線照射装置を製造する際には、安全確保の点から、紫外線ランプの出力設計値を経時劣化が最大である３０〜５０％前後を基準として設計しているのが実情であり、図１の斜線部分に示すように、無駄な電力を浪費している
と共に、過剰な光量を照射していることになる。
　近年、紫外線照射装置が多方の分野に使用され、かつ紫外線照射の増加の要望に従い、紫外線ランプの設置本数の増加あるいは大電力型
紫外線
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明は、
紫外線
有機物分解や有害物分解の光化学反応処理
紫外線
紫外線
紫外線
　また本発明は、
紫外線
紫外線
紫外線
　さらに本発明は、
紫外線
　【０００４】
　【課題を解決するための手段】
本発明は、
紫外線
液体又は気体等の被照射体
有機物分解や有害物分解の光化学反応処理
紫外線
液体又は気体等の被照射体の有機物分解や有害物分解の光化学反応処理
紫外線
紫外線
紫外線
紫外線
紫外線
紫外線
紫外線
して紫外線ランプの照射量を適度に抑制することによって液体又は気体の発熱の防止、副生成物の派生を防止
　【０００５】
　【実施例】
　以下、本発明の実施態様の一例を、紫外線照射による
有機物分解や有害物分解の光化学反応処理
液体又は気体等の被照射体
液体又は気体等の被照射体
　しかしこの透過筒３は必ずしも設けなくともよく、紫外線ランプ２を直接に
液体又は気体
　また本発明は、外照式の紫外線照射装置、すなわち紫外線ランプ２を石英ガラスよりなる通液筒（図示せず）の外部に設け、通液筒内を通過する
液体又は気体等の被照射体
　処理筒１の側面に取り付けた架台４には、公知の電流調整器５を付設し、これを紫外線ランプ２に電気的に接続し、紫外線ランプ２の照射開始時の紫外線出力を設定するものであるが、この電流調整器５としては、調光器を使用することが一般的であるが、これ以外に、接点の切り換えやコンデンサ、コイル、サイリスタ等を使用して電流値を変化させるものであれば、どのようなものでも利用することができる。
　なお、紫外線ランプ２の照射開始時の紫外線出力は、前述の電流値を変化させる方法以外に、電圧、周波数、波形を変える方法で調整してもよい。
　【０００６】
　なお電流調整器５による紫外線出力の設定は、予め装置の設計段階において、紫外線ランプ２のライフ、紫外線照射段階数、処理筒１に流入する
液体又は気体等の被照射体
　【０００７】
　低圧紫外線ランプであって、寿命が９０００時間の場合を例にすると、図３に示すように、紫外線照射を三段階、すなわち一段階の紫外線照射時間を約５０００時間に分け、最初の段階の紫外線ランプの照射開始時の出力を、従来の場合のように１００％（１００Ｗ）の照射をせずに、例えば、あえて２０％程度低減して８０％程度になるように、電流調整器５によって予め設定した電流値（従来０．４０Ａであったのを０．３２Ａに低減させた値）に基づいて紫外線の照射を行うもので、
有機物分解や有害物分解の光化学反応処理
　そして、紫外線の照射の継続により紫外線ランプの出力は、徐々に経時劣化して第一段階の最終時点においては、紫外線ランプの出力が５０％程度に低減するので、この時点で、次の第二段階の紫外線照射に入り、この段階における紫外線ランプの照射開始時の電流値を、図３に示すように、電流調整器５によって予め設定した最初の段階の照射開始時の電流値と同じ値に回復させて紫外線の照射を行うもので、前段階と同様に、紫外線出力をカットして無駄を多段に省くものである。
　以後の第三段階の紫外線照射においても、同様の条件で紫外線の照射を行い、このように紫外線照射による
液体又は気体等の被照射体の有機物分解や有害物分解の光化学反応処理
　【０００８】
　以上、本発明の実施例について説明した。なお、本発明の光化学反応処理方法によって、半導体、医薬品、原子力等で用いる超純水やクリーンガス等の不純物をほとんど含まない液体又は気体を得ることができる。
　【０００９】
　【発明の効果】
　以上述べたように、本発明においては、
液体又は気体等の被照射体
紫外線
有機物分解や有害物分解の光化学反応
紫外線
紫外線
紫外線
紫外線
紫外線
　また本発明は、
紫外線
紫外線
紫外線
紫外線
　さらに本発明は、
紫外線
液体又は気体等の被照射体の
液体又は気体等の被照射体
紫外線
液体又は気体等の被照射体
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　従来の
有機物分解や有害物分解
　【図２】
　本発明
に係わる
　【図３】
　本発明の
液体又は気体等の被照射体の有機物分解や有害物分解
　【符号の説明】
　１　処理筒
　２　紫外線ランプ
　３　透過筒
　４　架台
　５　電流調節器