【事件の表示】
　特願２００９−５２７４２４「マイクロアクチュエータおよびロッキング・スイッチ」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年　３月２０日国際公開、ＷＯ２００８／０３３２６９、平成２２年　１月２８日国内公表、特表２０１０−５０２４６５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯・本件出願の発明
　
　本件出願は、２００７年９月７日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００６年９月１１日、アメリカ合衆国）を国際出願日とする特許出願であって、平成２３年９月２８日付けで拒絶の理由が通知され、翌平成２４年４月３日に意見書、誤訳訂正書及び手続補正書が提出されたが、平成２４年１０月１１日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、これに対し翌平成２５年２月１５日本件審判の請求がされた。
　
　本件特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下、「本件出願の発明」という。）は、平成２４年４月３日付けの手続補正書により補正された、本件特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの以下のものであると認める。
　
「第１の微小電気機械アクチュエータを含む装置であって、少なくとも部分的に金属で製作された第１のホットアームと、シリコンで製作される可撓部分を有し、前記第１のホットアームに結合される第１のコールドアームとを含み、
　前記第１のホットアームおよび前記第１のコールドアームが前記第１のホットアームの加熱によりそれらの静止位置から変位させられる場合、前記第１のホットアームの前記加熱が停止した後、前記第１のコールドアームが前記第１のホットアームおよび第１のコールドアームをそれらの静止位置に戻すための復元力の全てを与え、前記第１のホットアームが前記復元力を与えない装置。」
　
第２　引用例
　
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願の優先日前に日本国内又は外国において、頒布された刊行物である米国特許出願公開第２００３／０２００７４９号明細書（以下「引用例」という。）には、以下の点、記載されている。
　
１　引用例記載の事項
　
　引用例にはＦｉｇ．３〜８とともに以下の事項が記載されている。なお、括弧内は、当審日本語仮訳を示す。
　
（ア）　段落［００１９］、［００２０］
　
「 FIG. 3  is a schematic view of a thermal actuator system  110  according to a preferred embodiment of the present invention. The actuator system  110  is formed on a substrate  116  and includes a thermal actuator  112  and a contact platform  114 . The thermal actuator  112  includes a first beam  118  or arm and a second beam  120  or arm which will be described in greater detail hereinafter. Each beam has a distal end  122  that is coupled together by an upper electrode  124  (see  FIG. 7 ). At the proximal end of each beam is a support (not shown) that is formed on the substrate  116 . Extending from the first and second beams  118 ,  120  are contact pads  119 ,  121 ,  123 ,  125  which are used to couple portions of each beam  118 ,  120  to an electrical source. The first and second beams  118 ,  120  are coupled to the support and extend above the substrate  116  in a first plane parallel to the plane of the substrate  116 . 
　
　The first and second beams  118 ,  120  and upper electrode  124  extend in a plane parallel with the plane of the substrate  116  but in a different plane so that the beams  118 ,  120  and upper electrode  124  float above the substrate  116 . 」（図３は本発明の好適な実施例による熱アクチュエータシステム１１０の概略図である。アクチュエータシステム１１０は基板１１６の上に形成されており、熱アクチュエータ１１２とコンタクトプラットフォーム１１４を含む。熱アクチュエータ１１２は第一ビーム１１８またはアーム、および第二ビーム１２０またはアームを含む。これらは後に詳述する。各ビームは遠位端１２２を持ち、遠位端は上部電極１２４によって結合されている（図７参照）。各ビームの近位端は支持部である（図示せず）。支持部は基板１１６の上に形成されている。第一および第二ビーム１１８、１２０から延びているものはコンタクトパッド１１９、１２１、１２３、１２５である。これらは各ビーム１１８、１２０の部分を電源に接続するために使用する。第一および第二ビーム１１８、１２０は支持部に結合し、基板１１６上で、基板１１６の平面に平行な第一表面内で延長している。
　
　第一および第二ビーム１１８、１２０および上部電極１２４は、基板１１６と平行な平面内で延長する。しかしこの平面は基盤とは別の面であって、ビーム１１８、１２０および上部電極は基板１１６上に浮かぶ。）
　
（イ）　段落［００２８］　
　
「By properly selecting the electric potential applied to the first beam  118 , the second beam  120  and upper electrode  124 , current is made to flow in one beam but not the other. More particularly, a potential difference can be applied across beam  118  so that current is made to flow through one of the conductive layers  130  of the beam and return through the other conductive layer  134  of the same beam, while no potential difference is applied across the other beam  120  so that no current flows through that beam. For example, coupling pad  119 , which is coupled to the top conductive layer of arm  118 , to a source of 10 volts and pad  121 , which is coupled to the lower conductive layer of arm  118 , to ground, and coupling pads  123 ,  125  to 5 volts and upper electrode  124  to 5 volts, current flows in arm  118  from the top conductive layer through the bottom conductive layer whereas no current flows in arm  120  since there is no potential difference across its conductive layers. Of course other potentials may be used. Current running through one of the beams selectively heats that beam and causes that beam to elongate while the other beam does not or only does to a lesser extent, thereby deflecting the distal end of the actuator in one direction as shown by arrow  115 . Switching the potential difference to the other beam causes deflection of the tip of the actuator in an opposite direction. Thus, the actuator has three stable configurations, a neutral position as shown in  FIG. 3, a  position to the left and a position to the right. When the actuator  112  is deflected over the contact platform  114 , the contact bar  140  at the distal end of the actuator  112  bridges across the pair of contacts  152  on the substrate to close the conductive path formed by conductive traces  158 . 」（第一ビーム１１８、第二ビーム１２０と上部電極１２４に印加される電位を適切に選択することによって、電流は一つのビームだけに流れることになる。具体的には、電位差をビーム１１８に印加することができるので、電流はビームの導電層１３０のうち一つに流れ、同じビームの導電層１３４を通じて戻ることになる。一方、電位差はもう一つのビーム１２０には印加されないので、そのビームには電流は流れない。例えば、カプリングパッド１１９はアーム１１８の上部導電層、１０ボルト電源、パッド１２１に結合し、さらにアーム１１８の下部導電層、アース、５ボルトにつながるカプリングパッド１２３、１２５に結合し、電流は上部導電層からアーム１１８を流れ、底部導電層を通る。一方、アーム１２０には電流は流れない。なぜなら、その電導層の間には電位差がないからである。もちろん他の電位を使ってもよい。ビームの一つを流れる電流は選択的にそのビームを加熱し、そのビームを延長させる。一方他方のビームは全く延びないか、わずかしか延びない。そこで、アクチュエータの遠位端を、矢印１１５が示すように一方向にたわませることができる。電位差を他のビームに切り替えると、アクチュエータの先端が逆方向にたわむ。こうしてアクチュエータは、図３に示す中立位置、左寄り位置、右寄り位置の三つの安定した構成を持つことになる。アクチュエータ１１２がコンタクトプラットフォーム１１４上でたわむと、アクチュエータ１１２の遠位端にある接点バー１４０が基板上の一対の接点１５２を架橋し、導電配線１５８によって形成される導電路を閉じる。）
　
（ウ）段落［００３０］
　
「Thus, the actuator  112  allows deflection to both the left and the right. If deflection in only one direction is desired, i.e., to the left or to the right, one of the beams may be formed of purely a single material like polysilicon which has a low coefficient of thermal expansion. The use of polysilicon decreases the increment in length of that beam and thus increases the overall deflection of the actuator  112 . ANSYS simulations indicate that a deflection of 28.4 microns can be achieved where one beam was formed of a gold, polyimide, gold combination and the other beam was formed of polysilicon. It has been found that in micro relays, the isolation between contact cross bar and lower contacts improves by having the lower electrode contacts  124 ,  126  oriented at an angle with respect to the cross bar. The final deflected position of the actuator is in agreement with this arrangement. Of course at higher deflections the angle needs to be increased. Larger deflections also mean that a required deflection can be obtained at lower maximum temperature and at lower stresses which increase the life of the actuator. 」（こうしてアクチュエータ１１２によって左右両方向へのたわみが生じる。左右のうち一方だけにたわませる場合は、ビームの片方を、熱膨張係数の小さいポリシリコンのような単一物質で形成してもよい。ポリシリコンを使用することによってそのビームの長さの増分が減り、アクチュエータ１１２の全体的たわみが増す。ＡＮＳＹＳシミュレーションによれば、一方のビームを金、ポリイミド、金合金で形成し、他方のビームをポリシリコンで形成した場合、２８．４ミクロンのたわみが得られる。マイクロリレーでは下部電極接点１２４、１２６をクロスバーに対して傾斜させることで、接点クロスバーと下部接点の絶縁が改善されることが分かった。アクチュエータの最終たわみ位置は、この配列と合致する。もちろんたわみが大きければ、角度は大きくしなければならない。また大きなたわみは、低い最高温度と低い応力で必要なたわみが得られることを意味し、これによってアクチュエータの寿命が長くなる。）
　
（エ）　請求項
「 1 . A microelectromechanical structure comprising: 
 a substrate defining a reference plane; 
 a first beam having a proximal end and a distal end, the proximal end of the first beam coupled to the substrate wherein the first beam extends in a first plane parallel with the reference plane, wherein the first beam comprises three layers including a dielectric layer sandwiched between two conductive layers; 
 a second beam having a proximate and a distal end, the proximal end of the second beam coupled to the substrate wherein the second beam extends in the first plane parallel with the reference plane; and 
 a connector defining a distal end of the structure, the connector coupling the distal end of the first beam to the distal end of the second beam; 
 wherein a potential difference is applied between the two conductive layers of the first beam so that current flows into one conductive layer and out the other conductive layer and no potential difference is applied across the second beam. 
・・・
3 . The structure of  claim 1  wherein the second beam is made of polysilicon.
・・・
11 . The structure of  claim 1  wherein the conductive layers are gold and the dielectric layer is polyimide. 」（１．下記のものを含むマイクロエレクトロメカニカル構造：
基準面を限定する基板、
　近位端と遠位端を持つ第一ビームで、第一ビームの近位端は基板に結合されており、第一ビームは基準面と平行な第一平面に延びており、第一ビームは誘電層とそれを挟む二つの導電層の３層から成るもの、
　近位端と遠位端を持つ第二ビームで、第二ビームの近位端は基板に結合されており、第二ビームは基準面と平行な第一平面に延びているもの、
　構造の遠位端を限定するコネクタで、第一ビームの遠位端を第二ビームの遠位端に結合するもの、
　ここで第一ビームの二つの導電層に電位差が印加され、電流が一つの導電層に流入し、他方の導電層から流出し、第二ビームには電位差は印加されない。
　・・・
３．請求項１の構造で、第二ビームがポリシリコンからなる構造になっているもの。
　・・・
１１．請求項１の構造で、導電層が金であり、誘電層がポリイミドである構造のもの。）
　
２　引用例記載の発明
　
　引用例記載の事項を技術常識を考慮に入れて整理すると、引用例には以下の発明（以下、「引用例記載発明」という。）記載されていると認める。
　
「熱アクチュエータ１１２を含む装置であって、導電層が金である第一ビーム１１８と、ポリシリコンから製作される可撓部分を有し、前記第１ビーム１１８に結合される第二ビーム１２０を含み、
　前記第一ビーム１１８には電流が流れる一方、前記第二ビーム１２０には電流が流れず、
　前記第一ビーム１１８および前記第二ビーム１２０が前記第一ビーム１１８に電流が流れることによる加熱によりそれらの静止位置から変位させられる装置」
　
第３　対比
　
　本件出願の発明と引用例記載発明とを対比する。
　
　引用例記載発明の「熱アクチュエータ１１２」、「第一ビーム１１８」、「第二ビーム１２０」はそれぞれ、本件出願の発明の「第１の微小電気機械アクチュエータ」、「第１のホットアーム」、「第１のコールドアーム」に相当する。
　
　引用例記載発明の「第一ビーム１１８」はその一部分である「導電層が金」であるのだから、本件出願発明の「第１のホットアーム」と同様に「少なくとも部分的に金属で製作された」ものである。また、引用例記載発明の「ポリシリコン」は、シリコンの一種であるから、本件出願の発明の「第１のコールドアーム」と同様に「シリコンで製作される」ものである。
　
　そうすると、本件出願の発明と引用例記載発明とは、以下の点で一致かつ相違する。
　
［一致点］
　
「第１の微小電気機械アクチュエータを含む装置であって、少なくとも部分的に金属で製作された第１のホットアームと、シリコンで製作される可撓部分を有し、前記第１のホットアームに結合される第１のコールドアームとを含み、
　前記第１のホットアームおよび前記第１のコールドアームが前記第１のホットアームの加熱によりそれらの静止位置から変位させられる装置。」　
　
［相違点］
　
　本件出願の発明の「第１のホットアーム」の加熱が停止した後に、「第１のコールドアーム」が「第１のホットアームおよび第１のコールドアームをそれらの静止位置に戻すための復元力の全てを与え」、「第１のホットアーム」が「復元力を与えない」ものであるのに対し、引用例記載発明の「第一ビーム１１８」の加熱が停止した後については、そのようなものか不明である点。
　
第４　相違点についての検討
　
　マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）の技術分野において、アクチュエータを通電作動後に電流を止めてアクチュエータを復帰させるに際して、復帰のための復元力をポリシリコンで製作された電流が流れない部材が担うようにすることは、従来周知（例えば、特開２００４−２８７４２９号公報(段落【００１６】記載のバネ２７０に特に着目されたい）、特開２００３−３２２８０７号公報（段落【００１５】、【００３１】記載の反射要素４２に着目されたい）、特開２００６−２０１３４６号公報（段落【００４０】、【００４６】記載の支持梁１３４に着目されたい）、特開２００３−１４００６４号公報（段落【０１２１】、【０１２２】、【０１２９】、【図２６】、【図２７】記載のスイッチ素子部１６１１の片持ビーム１６１２に特に着目されたい）である。
　
　引用例記載発明の「熱アクチュエータ１１２」は作動時に電流が流れる少なくとも部分的に金属から製作された「第一ビーム１１８」と電流が流れないポリシリコンから製作された「第二ビーム１２０」とを結合したものであった。
　
　そうすると、引用例記載発明において、加熱が停止した後に、「熱アクチュエータ１１２」を復帰させるための復元力を、「第二ビーム１２０」で復元力の全てを与え、「第一ビーム１１８」が復元力を与えないものとすることは、上記従来周知の部材と同じ材質であるポリシリコン製であって電流が流れない点で共通する「第二ビーム１２０」のみを、復元力を与える部材として選択したにすぎず、当業者が容易に想到し得たものである。
　
　本件出願の発明の奏する作用ないし効果についても、引用例記載発明及び従来周知の事項から予測可能なものであって、格別なものではない。
　
第５　むすび　
　
　以上のとおりであるから、本件出願の特許請求の範囲第１項に係る発明は、引用例記載発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、本件出願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。