【事件の表示】
　特許第３３９９７８５号「圧電体装置及びその製造方法」の請求項１ないし３、６ないし９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３９９７８５号の請求項１、４ないし６に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第３３９９７８５号に係る手続の主な経緯は次のとおりである。
特許出願（特願平９−１３７２２１号）　　　　　平成　９年　５月２７日
特許権設定登録　　　　　　　　　　　　　　　　平成１５年　２月２１日
特許異議申立（異議申立人：雨山範子）　　　　　平成１５年１０月２１日
特許異議申立（異議申立人：山科朱美子）　　　　平成１５年１０月２１日
取消理由通知　　　　　　　　　　　　平成１６年１０月１５日（起案日）
異議意見書・訂正請求書　　　　　　　　　　　　平成１６年１２月２７日
　
第２　訂正の適否についての判断
　１．訂正事項について
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１，請求項２及び請求項９を削除する。
（２）訂正事項２
　特許請求の範囲の「【請求項３】　請求項２記載の圧電体装置において、
　前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　　　　　　０＜ａ＜０．８、０．２＜ｂ＜１．０、０．２＜ｃ＜０．８
で表される組成であることを特徴とする圧電体装置。」を
　「【請求項１】　複数のドメインが凝集したグレインを有する圧電体材料からなる圧電体装置であって、
　前記グレインの平均粒径は、約２μｍ以上であり、
　前記ドメインの平均粒径は、約０．１μｍ以上であり、
　前記ドメイン間にクラックが形成されており、
　前記圧電体材料は、ペロブスカイト構造であり、
　前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１　　
 　　　　　 ０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、　　　　　　　　　　０．０５＜ｃ＜０．４５
で表される組成であることを特徴とする圧電体装置。」と訂正する。
（３）訂正事項３
　特許請求の範囲の「【請求項４】　請求項２記載の圧電体装置において、
　前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＭｇ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　　　　　　０＜ａ＜０．８、０．２＜ｂ＜１．０、０．２＜ｃ＜０．８
で表される組成であることを特徴とする圧電体装置。」を
　「【請求項２】複数のドメインが凝集したグレインを有する圧電体材料からなる圧電体装置であって、
　前記グレインの平均粒径は、約２μｍ以上であり、　
　前記ドメインの平均粒径は、約０．１μｍ以上であり、　
　前記ドメイン間にクラックが形成されており、　
　前記圧電体材料は、ペロブスカイト構造であり、　
　前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＭｇ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　　　　　　０＜ａ＜０．８、０．２＜ｂ＜１．０、０．２＜ｃ＜０．８
で表される組成であることを特徴とする圧電体装置。」と訂正する。
（４）訂正事項４
　特許請求の範囲の「【請求項１０】　請求項９記載の圧電体装置の製造方法において、
　前記第１の工程及び／又は前記第３の工程は、混合すべき原料をアセトンの溶媒中に分散して混合することを特徴とする圧電体装置の製造方法。」を
     「【請求項７】　ＰｂＯ以外の圧電体原料を混合して第１の混合物を生成する第１の工程と、　
　前記第１の混合物を仮焼きする第２の工程と、　
　仮焼きされた前記第１の混合物とＰｂＯとを混合して第２の混合物を生成する第３の工程と、　
　前記第２の混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第４の工程とを有し、　
　前記第１の工程及び／又は第３の工程は、ジルコニア製のボールを用い、混合すべき原料をアセトンの溶媒中に分散して混合することを特徴とする圧電体装置の製造方法。」と訂正する。
（５）訂正事項５
　特許請求の範囲の 「【請求項５】　次式
　　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　　　　　　　０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、
　　　　　　　０．０５＜ｃ＜０．４５
で表される基本組成を有し、
　ＰｂＨｆＯ3及び／又はＰｂＭｇ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3が合計０−３ｍｏｌ％添加され、
　酸化アルミニウムの含有量が０．２ｍｏｌ％以下である圧電体材料からなることを特徴とする圧電体装置。」を
　「【請求項３】　次式
　　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１　
　　　　　　　０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、
　　　　　　　０．０５＜ｃ＜０．４５
で表される基本組成を有し、
　ＰｂＨｆＯ3及び／又はＰｂＭｇ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3が合計０−３ｍｏｌ％添加され、
　酸化アルミニウムの含有量が０．２ｍｏｌ％以下である圧電体材料からなることを特徴とする圧電体装置。」と訂正する。
（６）訂正事項６
　特許請求の範囲の「【請求項６】　請求項１乃至５のいずれか１項に記載の圧電体装置において、
　前記圧電体材料からなる圧電層を挟み、Ａｇ−Ｐｄペースト又はＰｔペーストからなる電極層を更に有することを特徴とする圧電体装置。」を
　「【請求項４】　請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電体装置において、
　前記圧電体材料からなる圧電層を挟み、Ａｇ−Ｐｄペースト又はＰｔペーストからなる電極層を更に有することを特徴とする圧電体装置。」と訂正する。
（７）訂正事項７
　特許請求の範囲の「【請求項７】　請求項６記載の圧電体装置において、
　前記圧電層と前記電極層とが交互に積層され、前記圧電層が少なくとも２層以上であることを特徴とする圧電体装置。」を
　「【請求項５】　請求項４記載の圧電体装置において、
　前記圧電層と前記電極層とが交互に積層され、前記圧電層が少なくとも２層以上であることを特徴とする圧電体装置。」と訂正する。
（８）訂正事項８
　特許請求の範囲の「【請求項８】　請求項１乃至７のいずれか１項に記載の圧電体装置を用いたインクジェットプリンタ用ヘッド。」を
　「【請求項６】　請求項１乃至５のいずれか１項に記載の圧電体装置を用いたインクジェットプリンタ用ヘッド。」と訂正する。
（９）訂正事項９
　特許請求の範囲の「【請求項１１】　ＰｂＯ以外の圧電体原料を混合して第１の混合物を生成する第１の工程と、
　前記第１の混合物を仮焼きする第２の工程と、
　仮焼きされた前記第１の混合物とＰｂＯとを混合して第２の混合物を生成する第３の工程と、
　前記第２の混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第４の工程とを有し、
　前記第１の工程及び／又は前記第３の工程は、混合すべき原料をアセトンの溶媒中に分散して混合することを特徴とする圧電体装置の製造方法。」を
　「【請求項８】　ＰｂＯ以外の圧電体原料を混合して第１の混合物を生成する第１の工程と、
　前記第１の混合物を仮焼きする第２の工程と、
　仮焼きされた前記第１の混合物とＰｂＯとを混合して第２の混合物を生成する第３の工程と、
　前記第２の混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第４の工程とを有し、
　前記第１の工程及び／又は前記第３の工程は、混合すべき原料をアセトンの溶媒中に分散して混合することを特徴とする圧電体装置の製造方法。」と訂正する。
（１０）訂正事項１０
　特許請求の範囲の「【請求項１２】　請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の圧電体装置の製造方法において、
　前記第１の工程は、ＭｇＯ、ＮｉＯ、Ｎｂ2Ｏ5、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、及び／又はＨｆＯ2を混合することを特徴とする圧電体装置。」を
「【請求項９】　請求項７又は８記載の圧電体装置の製造方法において、
　前記第１の工程は、ＭｇＯ、ＮｉＯ、Ｎｂ2Ｏ5、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、及び／又はＨｆＯ2を混合することを特徴とする圧電体装置。」と訂正する。
（１１）訂正事項１１
　特許請求の範囲の「【請求項１３】　圧電体原料を混合し、この混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第１の工程と、
　前記圧電体粉末から形成したグリーンシートを積層して加圧し、積層体を形成する第２の工程と、
　前記積層体を、前記圧電体粉末とほぼ同等な組成の焼成用粉末中に埋め込み、前記積層体を焼成する第３の工程と
　を有することを特徴とする圧電体装置の製造方法。」を
　「【請求項１０】　圧電体原料を混合し、この混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第１の工程と、
　前記圧電体粉末から形成したグリーンシートを積層して加圧し、積層体を形成する第２の工程と、
　前記積層体を、前記圧電体粉末とほぼ同等な組成の焼成用粉末中に埋め込み、前記積層体を焼成する第３の工程と
　を有することを特徴とする圧電体装置の製造方法。」と訂正する。
（１２）訂正事項１２
　特許請求の範囲の「【請求項１４】　請求項１３記載の圧電体装置の製造方法において、
　前記圧電体原料は、ＰｂＯを含んでおり、
　前記第３の工程における前記焼成用粉末は、前記圧電体粉末よりもＰｂＯが過剰であることを特徴とする圧電体装置の製造方法。」を
「【請求項１１】　請求項１０記載の圧電体装置の製造方法において、
　前記圧電体原料は、ＰｂＯを含んでおり、
　前記第３の工程における前記焼成用粉末は、前記圧電体粉末よりもＰｂＯが過剰であることを特徴とする圧電体装置の製造方法。」と訂正する。
（１３）訂正事項１３
　特許明細書の第８段落の「上述した圧電体装置において、前記圧電体材料は、ペロブスカイト構造であることが望ましい。
　上述した圧電体装置において、前記圧電体材料は、次式
　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１ 
　　　　　　０＜ａ＜０．８、０．２＜ｂ＜１．０、０．２＜ｃ＜０．８
で表される組成であることが望ましい。」を
「上述した圧電体装置において、前記圧電体材料は、ペロブスカイト構造であることが望ましい。
　上述した圧電体装置において、前記圧電体材料は、次式
　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１　　　　
　　　　　　０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、　
　　　　　　０．０５＜ｃ＜０．４５  
で表される組成であることが望ましい。」と訂正する。
　
　２．訂正事項の内容
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１，請求項２及び請求項９を削除する。
（２）訂正事項２
　訂正事項２は、「請求項３」を「請求項１」と訂正すること（訂正事項２−１）と、「請求項２記載の圧電体装置において、」を「複数のドメインが凝集したグレインを有する圧電体材料からなる圧電体装置であって、
　前記グレインの平均粒径は、約２μｍ以上であり、
　前記ドメインの平均粒径は、約０．１μｍ以上であり、
　前記ドメイン間にクラックが形成されており、　
　前記圧電体材料は、ペロブスカイト構造であり、」と訂正すること（訂正事項２−２）と、「前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１　
　　　　　　０＜ａ＜０．８、０．２＜ｂ＜１．０、０．２＜ｃ＜０．８
で表される組成であること」を「前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１　　　
　　　　　　０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、　　　　　　　　　　０．０５＜ｃ＜０．４５   
で表される組成であること」と訂正すること（訂正事項２−３）に区分する。
（３）訂正事項３
　訂正事項３は、「請求項４」を「請求項２」と訂正すること（訂正事項３−１）と、「請求項２記載の圧電体装置において、」を「複数のドメインが凝集したグレインを有する圧電体材料からなる圧電体装置であって、
　前記グレインの平均粒径は、約２μｍ以上であり、
　前記ドメインの平均粒径は、約０．１μｍ以上であり、
　前記ドメイン間にクラックが形成されており、
　前記圧電体材料は、ペロブスカイト構造であり、」と訂正すること（訂正事項３−２）に区分する。
（４）訂正事項４
　訂正事項４は、「請求項１０」を「請求項７」と訂正すること（訂正事項４−１）と、「請求項９記載の圧電体装置の製造方法において、」を「ＰｂＯ以外の圧電体原料を混合して第１の混合物を生成する第１の工程と、　
　前記第１の混合物を仮焼きする第２の工程と、　
　仮焼きされた前記第１の混合物とＰｂＯとを混合して第２の混合物を生成する第３の工程と、　
　前記第２の混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第４の工程とを有し、　
　前記第１の工程及び／又は第３の工程は、ジルコニア製のボールを用い、」と訂正すること（訂正事項４−２）と、「前記第１の工程及び／又は前記第３の工程は、混合すべき原料をアセトンの溶媒中に分散して混合すること」を「前記第１の工程及び／又は第３の工程は、ジルコニア製のボールを用い、混合すべき原料をアセトンの溶媒中に分散して混合すること」と訂正すること（訂正事項４−３）に区分する。
（５）訂正事項５
   「【請求項５】」を「【請求項３】」に訂正すること（訂正事項５−１）である。
（６）訂正事項６
　  「【請求項６】」を「【請求項４】」と訂正すること（訂正事項６−１）と、「請求項１乃至５のいずれか１項」を「請求項１乃至３のいずれか１項」に訂正すること（訂正事項６−２）に区分する。
（７）訂正事項７
　「【請求項７】」を「【請求項５】」と訂正すること（訂正事項７−１）と、「請求項６記載」を「請求項４記載」に訂正すること（訂正事項７−２）に区分する。
（８）訂正事項８
   「【請求項８】」を「【請求項６】」と訂正すること（訂正事項８−１）と、「請求項１乃至７のいずれか１項」を「請求項１乃至５のいずれか１項」に訂正すること（訂正事項８−２）に区分する。
（９）訂正事項９
  「【請求項１１】」を「【請求項８】」と訂正すること（訂正事項９−１）である。
（１０）訂正事項１０
　「【請求項１２】」を「【請求項９】」と訂正すること（訂正事項１０−１）と、「請求項９乃至１１のいずれか１項に記載」を「請求項７又は８記載」に訂正すること（訂正事項１０−２）に区分する。
（１１）訂正事項１１
　「【請求項１３】」を「【請求項１０】」と訂正すること（訂正事項１１−１）である。
（１２）訂正事項１２
　「【請求項１４】」を「【請求項１１】」と訂正すること（訂正事項１２−１）と、「請求項１３記載」を「請求項１０記載」に訂正すること（訂正事項１２−２）に区分する。
（１３）訂正事項１３
　請求項の記載の訂正（請求項１及び請求項２の削除及び請求項３の訂正）に対応して、明細書の記載を整合させるための訂正である。
　
３．訂正事項の整理
（ａ）「訂正事項１」は、請求項の削除である。
（ｂ）「訂正事項２−１」、「訂正事項３−１」、「訂正事項４−１」、「訂正事項５−１」、「訂正事項６−１」、「訂正事項７−１」、「訂正事項８−１」、「訂正事項９−１」、「訂正事項１０−１」、「訂正事項１１−１」及び「訂正事項１２−１」は、請求項の削除に伴い、請求項の番号を繰り上げるものである。
（ｃ）「訂正事項２−２」及び「訂正事項３−２」は、「請求項２記載の圧電体装置において、」を「複数のドメインが凝集したグレインを有する圧電体材料からなる圧電体装置であって、
　前記グレインの平均粒径は、約２μｍ以上であり、
　前記ドメインの平均粒径は、約０．１μｍ以上であり、
　前記ドメイン間にクラックが形成されており、
　前記圧電体材料は、ペロブスカイト構造であり、」と訂正するものである。
（ｄ）「訂正事項２−３」は、「前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　　　　　　０＜ａ＜０．８、０．２＜ｂ＜１．０、０．２＜ｃ＜０．８
で表される組成であること」を「前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１　　　
　　　　　　０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、　　
　　　　　　０．０５＜ｃ＜０．４５  
で表される組成であること」と訂正するものである。
（ｅ）「訂正事項４−２」は、「請求項９記載の圧電体装置の製造方法において、」を「ＰｂＯ以外の圧電体原料を混合して第１の混合物を生成する第１の工程と、　　
　前記第１の混合物を仮焼きする第２の工程と、　　　
　仮焼きされた前記第１の混合物とＰｂＯとを混合して第２の混合物を生成する第３の工程と、　　
　前記第２の混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第４の工程とを有し、　　
　前記第１の工程及び／又は第３の工程は、ジルコニア製のボールを用い、」と訂正するものである。
（ｆ）「訂正事項４−３」は、「前記第１の工程及び／又は前記第３の工程は、混合すべき原料をアセトンの溶媒中に分散して混合すること」を「前記第１の工程及び／又は第３の工程は、ジルコニア製のボールを用い、混合すべき原料をアセトンの溶媒中に分散して混合すること」と訂正するものである。
（ｇ）「訂正事項６−２」、「訂正事項７−２」、「訂正事項８−２」、「訂正事項１０−２」及び、「訂正事項１２−２」は、請求項の削除及び請求項の番号の訂正にともない引用する請求項の番号を訂正するものである。
（ｈ）明細書の記載の補正
　訂正事項１３は、明細書の記載を請求の範囲の記載に整合させるものである。
　
４．訂正の目的の適否
（１）項目ａについて　
　項目ａに記載される訂正事項は、請求項の削除であるから、特許請求の範囲の減縮に相当する。
（２）項目ｂについて　
　項目ｂに記載される訂正事項は、請求項の項番の訂正であるから、明りょうでない記載の釈明に相当する。
（３）項目ｃについて　　
　項目ｃに記載される訂正事項は、訂正前の請求項２が訂正前の請求項１を引用し、さらに、訂正前の請求項２を引用している訂正前の請求項３及び４を、引用形式の請求項から独立形式の請求項とするために、「請求項２記載の圧電体装置において、」を「複数のドメインが凝集したグレインを有する圧電体材料からなる圧電体装置であって、
　前記グレインの平均粒径は、約２μｍ以上であり、
　前記ドメインの平均粒径は、約０．１μｍ以上であり、
　前記ドメイン間にクラックが形成されており、　
　前記圧電体材料は、ペロブスカイト構造であり、」と訂正することは、明りょうでない記載の釈明に相当する。
（４）項目ｄについて
　項目ｄに記載される訂正事項に関し、「前記圧電体材料」の組成を、「ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１」において、「０＜ａ＜０．８、０．２＜ｂ＜１．０、０．２＜ｃ＜０．８で表される組成であること」を「０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、０．０５＜ｃ＜０．４５で表される組成であること」とする訂正は、上記圧電材料の組成として、ａ＋ｂ＋ｃ＝１で表されるものについて、ａ，ｂ，及びｃについて数値範囲を狭く限定するものであるから、項目ｄに記載される訂正事項は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
（５）項目ｅについて
　項目ｅに記載される訂正事項は、引用形式の請求項から独立形式の請求項とするために、訂正前の請求項１０の「請求項９記載の圧電体装置の製造方法において、」を訂正後の請求項７において「ＰｂＯ以外の圧電体原料を混合して第１の混合物を生成する第１の工程と、前記第１の混合物を仮焼きする第２の工程と、仮焼きされた前記第１の混合物とＰｂＯとを混合して第２の混合物を生成する第３の工程と、前記第２の混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第４の工程とを有し、前記第１の工程及び／又は第３の工程は、ジルコニア製のボールを用い、」とすることであって、明りょうでない記載の釈明に相当する。
（６）項目ｆについて
　項目ｆに記載される訂正事項は、訂正前の請求項１０を引用形式の請求項から独立形式の請求項とするためのものであって、訂正前の請求項９に記載される「前記第１の工程及び／又は第３の工程は、ジルコニア製のボールを用い、」と「ジルコニア製のボールを用い」ることを明確にするものであって、明りょうでない記載の釈明に相当する。　　
（７）項目ｇについて
　項目ｇに記載される訂正事項は、請求項の削除及び請求項の番号の訂正にともない引用する請求項の番号を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明である。
（８）項目ｈについて　　　　
　項目ｈに記載される訂正事項は、明細書の詳細な説明の記載を、訂正後の特許請求の範囲の記載に整合させるための訂正であり、明りょうでない記載の釈明に相当する。
　　
５．明細書記載事項の範囲内外及び拡張・変更の有無について
　訂正事項
（１）項目ａに記載される訂正事項は、請求項を削除するものであり、項目ｂ、項目ｃ、項目ｅないし項目ｈに記載される訂正事項は、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであるから、明細書に記載した範囲内の事項においてするものであることは明らかである。
（２）項目ｄについて
　項目ｄに記載される訂正事項は、
　特許明細書の第２６段落に、
「本実施形態の圧電体材料としては、図９に示すような範囲の組成比の圧電材料、すなわち、次式
　　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１　　　　
　　　　　　０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、　　
　　　　　　０．０５＜ｃ＜０．４５  
で表される組成であれば、変位量が大きい高性能の圧電特性を有する圧電体装置を実現できる。」と記載されているから、
訂正事項２−３の「前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１　　　
　　　　　　０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、　　
　　　　　　０．０５＜ｃ＜０．４５  
で表される組成であること」は、願書に添付した明細書又は図面に記載した範囲内の事項であることは明らかである。
　
　また、項目ａないし項目ｈに記載される全ての訂正事項は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
６．むすび
　よって、本件訂正は、特許法第１２０条の４第２項第１号、第３号及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３　異議申立について
　１．異議申立の概要
（１）特許異議申立人雨山範子　
　　特許異議申立人雨山範子は、証拠として本件出願前国内において頒布された
　１）甲第１号証　特開平　６−１４４８３７号公報 
　２）甲第２号証　特開昭６４−　３３０６７号公報 
　３）甲第３号証　特開平　７−２１５７６１号公報
を提出し、本件請求項９に係る発明は、その出願前に頒布された甲第１号証に記載された発明であるから、本件請求項９に係る発明についての特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してなされたものであり、また、本件請求項９に係る発明は、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項９に係る発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきである旨主張している。
（２）特許異議申立人山科朱美子
　　特許異議申立人山科朱美子は、証拠として本件出願前国内において頒布された
　１）甲第１号証　特開昭６４−　３３０６７号公報 
　２）甲第２号証　特開平　７−２１５７６１号公報
　３）甲第３号証　特開平　６−１４４８３７号公報 
を提出し、本件請求項１ないし３及び、請求項６ないし９に係る発明は、その出願前に頒布された甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１ないし３及び、請求項６ないし９に係る発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきである旨主張している。
　
　２．取消理由通知の概要
　平成１６年１０月１５日付けの取消理由通知の内容は、以下のとおりである。
　「１）特許法第２９条違反について 
　本件の請求項１ないし請求項３及び、請求項６ないし請求項９に係る発明は、その出願前日本国内において頒布された下記の刊行物１ないし３に記載された発明であって、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当するから、本件の請求項１ないし請求項３及び請求項６ないし請求項９に係る発明についての特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してなされたものである。 
 　 
　本件の請求項１ないし請求項３及び、請求項６ないし請求項９に係る発明は、その出願前日本国内において頒布された下記の刊行物１ないし３に記載された発明から、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項１ないし請求項３及び請求項６ないし請求項９に係る発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。 
 　 
　さらに、特許異議申立人雨山範子が提出した特許異議申立書の「３．申立ての理由」及び、特許異議申立人山科朱美子が提出した特許異議申立書の「３．申立ての理由」を参照されたい。 
　また、特許異議申立人雨山範子提出の特許異議申立書において、甲第１号証ないし甲第３号証は、それぞれ、刊行物１ないし刊行物３と読み替え、特許異議申立人山科朱美子提出の特許異議申立書においては、甲第１号証、甲第２号証及び甲第３号証は、それぞれ、刊行物２，刊行物３及び刊行物１と読み替えるものとする。 
 　 
 　　　　　　　　　　　　　　　　　　記 
 　 
 刊行物１．特開平６−１４４８３７号公報（雨山範子提出の甲第１号証、山科朱美子提出の甲第３号証） 
 刊行物２．特開昭６４−３３０６７号公報（雨山範子提出の甲第２号証、山科朱美子提出の甲第１号証） 
 刊行物３．特開平７−２１５７６１号公報（雨山範子提出の甲第３号証、山科朱美子提出の甲第２号証） 」
　
　３．刊行物記載事項
（１）刊行物１：特開平６−１４４８３７号公報（特許異議申立人雨山範子提出の甲第１号証、特許異議申立人山科朱美子提出の甲第３号証）
　刊行物１には、以下の事項が記載されている。
「【００７７】［実施例４］実施例１乃至３で得られたコロンバイト型マグネシウム・ニオブ酸塩、コロンバイト型鉄・ニオブ酸塩、コロンバイト型コバルト・ニオブ酸塩をそれぞれ用いて、複合ペロブスカイト型化合物としてＰｂ（Ｍｇ1 / 3 Ｎｂ2 / 3 ）Ｏ3 ，Ｐｂ（Ｆｅ1 / 3 Ｎｂ2 / 3 ）Ｏ3 ，Ｐｂ（Ｃｏ1 / 3 Ｎｂ2 / 3 ）Ｏ3 で示される組成式からなるペロブスカイト型誘電体磁器素体を以下に示す手順により作成し、従来の固相法と比較してその電気特性を調べた。
（１）　本発明による新鮮な水酸化ニオブを用いて調製したコロンバイト化合物の前駆体をスプレー乾燥し、その後５００〜１１００℃において２時間仮焼し、粉体粒径が１μｍ以下の微細に結晶化したコロンバイト型化合物を得た。
（２）　得られたコロンバイト型結晶物を粉砕し、それぞれ酸化鉛粉末（ＰｂＯ）を所定量秤量する。
（３）　上記（２）での秤量物はジルコニア製ボールを用い純粋を溶媒として１５〜２０時間湿式混合する。
（４）　脱水乾燥し、６００〜７５０℃の温度において２時間仮焼成し、固相反応を行わせることにより、ペロブスカイト型誘電体材料を調製する。
（５）　調製されたペロブスカイト型誘電体材料仮焼成物をアルミナ製乳鉢で粗砕後ジルコニア製ボールを用い純水を溶媒として、湿式粉砕し乾燥する。」（第７７段落）
（２）刊行物２：特開昭６４−３３０６７号公報（特許異議申立人雨山範子提出の甲第２号証、特許異議申立人山科朱美子提出の甲第１号証）
　刊行物２には、以下の事項が記載されている。
 「そこで、調合原料と仮焼する段階で、その構成成分のうち、ＮｉＯ、Ｎｂ２Ｏ５、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２とＰｂＯとの仮焼工程を別々に行うことにより、バイロクロア相の減少が図れ、圧電特性、すなわち、電機機械結合係数、誘電率、ならびに他の圧電特性の改善が図れることを見出した。
　（問題点を解決するための手段）
　すなわち、この発明は、Ｐｂ（Ｎｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３−ＰｂＴｉＯ３−ＰｂＺｒＯ３からなる圧電性磁器の製造方法で　
　前記構成成分のうち、酸化鉛を除いた少なくとも２種以上の成分の原料を所定の構成成分比となる重量割合またはその所定の構成成分比の一部となる重量割合で秤量、混合したのち１回目の仮焼を行ない、
　次いで、１回目の仮焼物に酸化鉛及び所定の構成成分比に対して不足している成分の原料を添加し、混合、粉砕したのち２回目の仮焼を行ない、
　得られた仮焼物を成形したのち焼成することを特徴とするものである。」（第２頁左上欄第１５行〜同頁右上欄第１４行）
「（発明の効果）
　この発明の製造方法によれば、２段階の仮焼工程、具体的には、各構成成分のうち、ＮｉＯ、Ｎｂ２Ｏ５、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２を構成する材料のうち少なくとも２種以上の成分が１回目の仮焼工程に付され、次いで、構成成分のうち、酸化鉛をＰｂ３Ｏ４に換算して酸化鉛を除く構成成分の重量全体の２．０〜２．５重量倍を１回目の仮焼物に添加する工程からなるため、従来のように、１回の仮焼工程で仮焼処理したものに比べてバイロクロア相の生成が低減され、その結果得られる圧電性磁器の特性の改善、具体的には電機機械結合係数の特性向上や、低温度での焼成においても実用上十分な圧電特性が得られるなどの効果を有する。
　　（実施例）
　以下に、この発明を実施例にしたがって詳細に説明する。
　実施例１．
　この実施例では、０．４０Ｐｂ（Ｎｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３−０．３５ＰｂＴｉＯ３−０．２５ＰｂＺｒＯ３からなる圧電性磁器を製造する例について説明する。
　まず、構成成分のうち、ＮｉＯ，Ｎｂ２Ｏ５、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２を上記した所定比の圧電性磁器が得られるように秤量、調合し、ボールミルで湿式混合した。この混合原料を脱水し、仮焼温度を６５０℃、８５０℃、１２５０℃でそれぞれ設定して仮焼した。
　一方、構成成分のうち酸化鉛をＰｂ３Ｏ４に換算して酸化鉛を除く構成成分の重量全体の２．０〜２．５倍を１回目の仮焼物に対して添加するとともに、所定比率のＴｉＯ２、ＺｒＯ２を添加し、そののち２回目の仮焼を６５０℃、８００℃、８５０℃、１０５０℃にそれぞれ設定して行った。」（第３頁左上欄第８行〜同頁右上欄第１９行）
　第１表（第３頁右下欄）及び第２表（第３頁左下欄）には、本願実施例（＊のない試料番号）として電機機械結合係数が６４．５％（試料番号１−４）、６２．０％（試料番号２−４）のものが記載されている。
　よって、刊行物２には、「０．４０Ｐｂ（Ｎｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３−０．３５ＰｂＴｉＯ３−０．２５ＰｂＺｒＯ３で表される組成の材料からなる圧電性磁器」が記載されている。　
（３）刊行物３：特開平７−２１５７６１号公報（特許異議申立人雨山範子提出の甲第３号証、特許異議申立人山科朱美子提出の甲第２号証）
　刊行物３には、以下の事項が記載されている。 
「【０００９】また、本発明は、上記した複合組成の圧電磁器組成物を再現性良く安定して製造するためには、構成組成の混合物の粉砕工程が特に重要であるという知見を得ることによりなされたものである。すなわち、混合物の粉砕に際しては、構成元素の１つであるＡｌ成分を実質的に含有しないボール及びミルポットを用いたボールミルにより粉砕し、ボールミルの摩耗粉がＡｌ含有量に影響を与えないようにし、Ａｌ含有量を極く微量の最適範囲内に制御している。」（第９段落）
「【００１２】
【実施例】以下に本発明に係る圧電磁器組成物及びその製造方法の一実施例を・・・詳述する。まず、酸化鉛（ＰｂＯ）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ3 ）、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）、酸化アンチモン（Ｓｂ2 Ｏ3 ）、酸化マンガン（ＭｎＯ2 ）及び酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）を化学式（Ｐｂ1-y Ｓｒy ）（Ｚｒx Ｔｉ1-x ）Ｏ3 ＋０．３ｗｔ％Ｓｂ2 Ｏ3 ＋０．０５ｗｔ％ＭｎＯ2 ＋Ｚｗｔ％Ａｌ2 Ｏ3 （尚、０．０２≦ｙ≦０．１２及び０．５２≦Ｘ≦０．５９である）となるように所定比で秤量し、これらの混合物を溶媒にエチルアルコールを用いて、Ａｌ成分を実質的に含まないボールミル、例えばアルミナボールよりもビッカース硬度が遥かに大きいジルコニア製ボールミルにより２時間混合した。この場合、Ａｌ2 Ｏ3 のＺｗｔ％は、０から約０．３重量％（ｗｔ％）までの範囲内で種々選択して秤量した。得られた混合物を１００℃で５時間乾燥し、仮成形後、空気中において８５０℃で２時間仮焼し、これを更に上述したＡｌ成分を実質的に含まないボールミル、例えばジルコニア製ボールミルを用いて２時間粉砕した。この粉砕物を造粒した後、プレス成形により直径２０ｍｍ、長さ１５ｍｍの成形体を作成した。」（第１２段落）
　
　４．本件発明
　上記第２　６．のとおり、訂正請求は容認されたので、本件発明はその訂正請求書の特許請求の範囲の請求項１ないし１１に記載されたとおりのものであると認められるところ、その請求項１、及び請求項４ないし６は次のとおりである。
　ここで、特許異議申立の対象となった、訂正前の請求項１ないし３及び請求項６ないし９に関し、請求項１，２及び請求項９は訂正により削除され、訂正前の請求項３及び請求項６ないし８は、訂正により、請求項１及び請求項４ないし６となった。（以下、「訂正後請求項１」、「訂正後請求項４」ないし「訂正後請求項６」という。）
  
「【請求項１】　複数のドメインが凝集したグレインを有する圧電体材料からなる圧電体装置であって、
　前記グレインの平均粒径は、約２μｍ以上であり、
　前記ドメインの平均粒径は、約０．１μｍ以上であり、
　前記ドメイン間にクラックが形成されており、
　前記圧電体材料は、ペロブスカイト構造であり、
　前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　
　　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１　　　
　　　　　　０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、　　
　　　　　　０．０５＜ｃ＜０．４５  
で表される組成であることを特徴とする圧電体装置。」
「【請求項４】　請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電体装置において、
　前記圧電体材料からなる圧電層を挟み、Ａｇ−Ｐｄペースト又はＰｔペーストからなる電極層を更に有することを特徴とする圧電体装置。
【請求項５】　請求項４記載の圧電体装置において、
　前記圧電層と前記電極層とが交互に積層され、前記圧電層が少なくとも２層以上であることを特徴とする圧電体装置。
【請求項６】　請求項１乃至５のいずれか１項に記載の圧電体装置を用いたインクジェットプリンタ用ヘッド。」
　
５．対比・判断
  （１）訂正後請求項１について　
　刊行物２に記載される「０．４０Ｐｂ（Ｎｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３−０．３５ＰｂＴｉＯ３−０．２５ＰｂＺｒＯ３で表される組成の材料からなる圧電性磁器」（以下、「刊行物２発明」という。）と本件訂正後請求項１に係る発明（以下、「本件発明１」という。）とを比較検討すると、
　刊行物２発明と本件発明１とは、刊行物２発明の「圧電性磁器」の材料組成が「ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１」において、ａ＝０．４０，ｂ＝０．３５，ｃ＝０．２５であり、一方、本件発明１の材料組成は、「ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１」において、０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、０．０５＜ｃ＜０．４５であって、ａの組成において、両者は一致していない。
　本件発明１と刊行物２発明の、「ａＰｂＮｉ1/3Ｎｂ2/3Ｏ3-ｂＰｂＴｉＯ3-ｃＰｂＺｒＯ3　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１」における、ａの組成の値が極めて近似しているとしても、刊行物２発明は、本件発明１の「複数のドメインが凝集したグレインを有する圧電体材料からなる圧電体装置」で、「前記グレインの平均粒径は、約２μｍ以上であり、前記ドメインの平均粒径は、約０．１μｍ以上であり、前記ドメイン間にクラックが形成されて」いるとの構成は備えておらず、また、刊行物２には、圧電体材料を構成する「グレインの平均粒径」及び「ドメインの平均粒径」について記載も示唆もされておらず、さらに、これらの点については、刊行物１及び刊行物３のいずれにも、記載も示唆もされていない。
　よって、本件発明１は、刊行物１ないし３に記載される発明ではなく、また、刊行物１ないし３に記載される発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたともいえない。
　（２）訂正後請求項４について
　訂正後請求項４は、訂正後請求項１，異議申立の対象となっていない訂正前の請求項４，５に対応する訂正後請求項２及び３を引用するものであって、訂正後請求項１に係る発明は、刊行物１ないし３に記載される発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえないから、これら請求項に係る発明にさらに技術的限定を付加する訂正後の請求項４に係る発明も、刊行物１ないし３に記載された発明ではなく、また、刊行物１ないし３に記載される発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　（３）訂正後請求項５について
　訂正後請求項５は、訂正後請求項４を更に技術的に限定するものであるから、訂正後請求項５に係る発明は、刊行物１ないし３に記載された発明ではなく、また、刊行物１ないし３に記載される発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　（４）訂正後請求項６について
　訂正後請求項６は、訂正後請求項１ないし５のいずれかを引用するものであるが、訂正後請求項１ないし５に係る発明のいずれもが、刊行物１ないし３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえないから、刊行物１ないし３に記載された発明ではなく、また、刊行物１ないし３に記載される発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　　
　６．特許異議申立についての判断のむすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び取消理由によっては本件特許の請求項１及び請求項４ないし６に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件特許の請求項１及び請求項４ないし６に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年６月３日（２００５．６．３）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
圧電体装置及びその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
複数のドメインが凝集したグレインを有する圧電体材料からなる圧電体装置であって、
　
前記グレインの平均粒径は、約２μｍ以上であり、
　
前記ドメインの平均粒径は、約０．１μｍ以上であり、
　
前記ドメイン間にクラックが形成されており、
　
前記圧電体材料は、ペロブスカイト構造であり、
　前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　
０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、０．０５＜ｃ＜０．４５
で表される組成であることを特徴とする圧電体装置。
　【請求項２】
複数のドメインが凝集したグレインを有する圧電体材料からなる圧電体装置であって、
　
前記グレインの平均粒径は、約２μｍ以上であり、
　
前記ドメインの平均粒径は、約０．１μｍ以上であり、
　
前記ドメイン間にクラックが形成されており、
　
前記圧電体材料は、ペロブスカイト構造であり、
　前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＭｇ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　０＜ａ＜０．８、０．２＜ｂ＜１．０、０．２＜ｃ＜０．８
で表される組成であることを特徴とする圧電体装置。
　【請求項３】次式
　　ａＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、０．０５＜ｃ＜０．４５
で表される基本組成を有し、
　ＰｂＨｆＯ３及び／又はＰｂＭｇ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３が合計０−３ｍｏｌ％添加され、
　酸化アルミニウムの含有量が０．２ｍｏｌ％以下である圧電体材料からなる
　ことを特徴とする圧電体装置。
　【請求項４】請求項１乃至
３
　前記圧電体材料からなる圧電層を挟み、Ａｇ−Ｐｄペースト又はＰｔペーストからなる電極層を更に有することを特徴とする圧電体装置。
　【請求項５】請求項
４
　前記圧電層と前記電極層とが交互に積層され、前記圧電層が少なくとも２層以上であることを特徴とする圧電体装置。
　【請求項６】請求項１乃至
５
　【請求項７】
ＰｂＯ以外の圧電体原料を混合して第１の混合物を生成する第１の工程と、
　
前記第１の混合物を仮焼きする第２の工程と、
　
仮焼きされた前記第１の混合物とＰｂＯとを混合して第２の混合物を生成する第３の工程と、
　
前記第２の混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第４の工程とを有し、
　前記第１の工程及び／又は第３の工程は、
ジルコニア製のボールを用い、
　【請求項８】ＰｂＯ以外の圧電体原料を混合して第１の混合物を生成する第１の工程と、
　前記第１の混合物を仮焼きする第２の工程と、
　仮焼きされた前記第１の混合物とＰｂＯとを混合して第２の混合物を生成する第３の工程と、
　前記第２の混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第４の工程とを有し、
　前記第１の工程及び／又は前記第３の工程は、混合すべき原料をアセトンの溶媒中に分散して混合することを特徴とする圧電体装置の製造方法。
　【請求項９】請求項
７又は８
　前記第１の工程は、ＭｇＯ、ＮｉＯ、Ｎｂ２Ｏ５、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、及び／又はＨｆＯ２を混合することを特徴とする圧電体装置。
　【請求項１０】圧電体原料を混合し、この混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第１の工程と、
　前記圧電体粉末から形成したグリーンシートを積層して加圧し、積層体を形成する第２の工程と、
　前記積層体を、前記圧電体粉末とほぼ同等な組成の焼成用粉末中に埋め込み、前記積層体を焼成する第３の工程と
　を有することを特徴とする圧電体装置の製造方法。
　【請求項１１】請求項
１０
　前記圧電体原料は、ＰｂＯを含んでおり、
　前記第３の工程における前記焼成用粉末は、前記圧電体粉末よりもＰｂＯが過剰であることを特徴とする圧電体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、圧電体材料を用いた圧電体装置に係り、特に、インクジェットプリンタ用ヘッドやアクチュエータ等に用いられる圧電体装置及びその製造方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　インクジェットプリンタ用ヘッドやアクチュエータ等に用いられる圧電体装置として、低電圧の印加で高い変位を得ることができる高性能の圧電体装置が求められている。このような高性能の圧電体装置を製造するためには、焼結後に高い圧電特性を発現する焼結性の高い原料粉末を製造しなければならない。
　【０００３】
　高性能の圧電体原料を得るために、従来、各原料を混合した後、仮焼きを複数回行うことにより、高い圧電特性が発現するペロブスカイト相の比率を高めるようにして、圧電特性の向上が試みられてきた。
　また、原材料に、Ｆｅ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、Ｂｉ２Ｏ３、ＭｎＯ２などの様々な材料を添加して、圧電特性の向上が試みられている。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　このようにすることにより、圧電特性の向上が見られるものの、圧電体装置を使用するインクジェットプリンタ等の装置側から更に高性能な圧電体装置の実現が望まれている。
　また、従来は、各原料を混合する際のボールミル混合にアルミナボールを用いているため、アルミナボールが摩耗して原材料にアルミナが混入し、圧電特性を低下させることがあった。
　【０００５】
　また、各原料を混合するために、従来、溶媒として水又はアルコールを用いて混合するため、混合粉末を回収する際に、混合したはずの各粉末が沈殿によって分離し、焼成した圧電セラミックスの組成が不均質化することがあった。組成が不均質化すると、全く圧電特性を示さないパイロクロア相が生成され、圧電性能の低下を招くことになる。
　【０００６】
　また、様々な材料を添加すると、圧電特性の向上は見られるものの、添加量が多くなると、添加物質が粒界に偏析してセラミックスの焼結性が低下し、密度が低くなって十分な圧電特性が実現されない。
　本発明の目的は、高性能な圧電特性を有する圧電体装置及びその製造方法を提供することにある。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的は、複数のドメインが凝集したグレインを有する圧電体材料からなる圧電体装置であって、前記グレインの平均粒径は、約２μｍ以上であり、前記ドメインの平均粒径は、約０．１μｍ以上であり、前記ドメイン間にクラックが形成されていることを特徴とする圧電体装置によって達成される。
　【０００８】
　上述した圧電体装置において、前記圧電体材料は、ペロブスカイト構造であることが望ましい。
　上述した圧電体装置において、前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　
０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、０．０５＜ｃ＜０．４５
で表される組成であることが望ましい。
　【０００９】
　上述した圧電体装置において、前記圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＭｇ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　０＜ａ＜０．８、０．２＜ｂ＜１．０、０．２＜ｃ＜０．８
で表される組成であることが望ましい。
　【００１０】
　上記目的は、次式
　　ａＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、０．０５＜ｃ＜０．４５
で表される基本組成を有し、ＰｂＨｆＯ３及び／又はＰｂＭｇ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３が合計０−３ｍｏｌ％添加され、酸化アルミニウムの含有量が０．２ｍｏｌ％以下である圧電体材料からなることを特徴とする圧電体装置によって達成される。
　【００１１】
　上述した圧電体装置において、前記圧電体材料からなる圧電層を挟み、Ａｇ−Ｐｄペースト又はＰｔペーストからなる電極層を更に有することが望ましい。
　上述した圧電体装置において、前記圧電層と前記電極層とが交互に積層され、前記圧電層が少なくとも２層以上であることが望ましい。
　上記目的は、ＰｂＯ以外の圧電体原料を混合して第１の混合物を生成する第１の工程と、前記第１の混合物を仮焼きする第２の工程と、仮焼きされた前記第１の混合物とＰｂＯとを混合して第２の混合物を生成する第３の工程と、前記第２の混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第４の工程とを有する圧電体装置の製造方法によって達成される。
　【００１２】
　上述した圧電体装置の製造方法において、前記第１の工程は、ＭｇＯ、ＮｉＯ、Ｎｂ２Ｏ５、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、及び／又はＨｆＯ２を混合するようにしてもよい。
　上述した圧電体装置の製造方法において、前記第１の工程及び／又は第３の工程は、ジルコニア製のボールを用いて混合することが望ましい。
　【００１３】
　上述した圧電体装置の製造方法において、前記第１の工程及び／又は前記第３の工程は、混合すべき原料をアセトンの溶媒中に分散して混合することが望ましい。
　上記目的は、圧電体原料を混合し、この混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成する第１の工程と、前記圧電体粉末から形成したグリーンシートを積層して加圧し、積層体を形成する第２の工程と、前記積層体を、前記圧電体粉末とほぼ同等な組成の焼成用粉末中に埋め込み、前記積層体を焼成する第３の工程とを有することを特徴とする圧電体装置の製造方法によって達成される。
　【００１４】
　上述した圧電体装置の製造方法において、前記圧電体原料は、ＰｂＯを含んでおり、前記第３の工程における前記焼成用粉末は、前記圧電体粉末よりもＰｂＯが過剰であることが望ましい。
　【００１５】
　【発明の実施の形態】
［第１実施形態］
　本発明の第１実施形態による圧電体装置の圧電体材料について図１乃至図５を用いて説明する。
　本実施形態の圧電体材料は、ＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３と、ＰｂＴｉＯ３と、ＰｂＺｒＯ３とが所定の組成比で混合されたペロブスカイト構造、すなわち、次式
　　ａＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
　ただし、ａ、ｂ、ｃは組成比、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
で表されるペロブスカイト構造を基本構造としている。このペロブスカイト構造の組成比ａ、ｂ、ｃを適切な値にすることにより、グレインの粒径が大きく、グレイン内のドメイン間にクラックが形成された圧電体装置が得られる。
　【００１６】
　圧電体材料の結晶構造は、結晶方向の異なる多数のドメインが凝集してひとつのグレインを形成している。多数のグレインが凝集して圧電体材料を構成する。本願発明者等は、本実施形態の圧電体材料を製造して表面を観察したところ、グレインが一定程度以上の大きさになると、図１（ａ）に示すように、グレインの表面に亀裂のようなクラックが現れていることがわかった。図１（ｂ）の模式図に示すように、結晶方向の異なる多数のドメインが凝集してひとつのグレインを形成する際に、ドメインが大きくなり、それに伴いグレインが大きくなると、ドメイン同士が完全に密着することができなくなり、ドメインの端部が離れて、クラックが形成される。
　【００１７】
　このような圧電体材料の変位量について測定すると、クラックがある圧電体材料は、クラックがない圧電体材料に比較して、変位量が飛躍的に大きくなる。これは、図２に示すようなメカニズムによるものと思われる。
　図２（ａ）に示すように、外部からの拘束が全くない単結晶圧電素子に電圧を印加した場合、圧電素子の変位は、その圧電体材料の本来の変位となる。しかしながら、クラックがない多結晶の圧電体材料の場合、図２（ｂ）に示すように、各グレインは隣接するグレインにより強く拘束されることになり、実際の変位は、圧電体材料から本来生ずべき変位よりも非常に小さなものになってしまう。これに対し、本実施形態のようにグレイン間にクラックがあると、図２（ｃ）に示すように、隣接するグレインからの拘束力が弱くなり、圧電体材料から本来生ずべき変位とほぼ同じ程度の変位を実際に得ることができる。
　【００１８】
　したがって、クラックが発生するような結晶構造にすることが圧電体材料として重要である。組成比を変化させて様々な圧電体材料を製造して、クラックの有無について調べたところ、グレインの粒径が大きくなるとクラックが発生することがわかった。図３は、クラックが発生する領域を示すと共に、グレインの平均粒径とドメインの平均粒径との関係を示している。図３に示すように、グレインの平均粒径が約２μｍ以上となると、ほとんどのグレインでクラックが生ずることがわかった。そのときのドメインの平均粒径は約０．１５μｍ以上である。
　【００１９】
　本実施形態の圧電体材料について、組成比ａ、ｂ、ｃを変化させたところ、組成比ａ、ｂ、ｃとグレインの平均粒径との間に、図４に示すような関係があることがわかった。すなわち、組成比ａ、ｂ、ｃに応じて、グレインの平均粒径が２μｍ以上になる領域、２．５μｍ以上となる領域、３μｍ以上となる領域が存在する。
　【００２０】
　図３に示すように、グレインの粒径が約２μｍ以上であると、ドメイン間にクラックが発生するから、本実施形態の圧電体材料としては、図５に示すような範囲の組成比の圧電体材料、すなわち、次式
　　ａＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　０＜ａ＜０．８、０．２＜ｂ＜１．０、０．２＜ｃ＜０．８
で表される組成であれば、変位量が大きい高性能の圧電特性を有する圧電体装置を実現できる。
　【００２１】
［第２実施形態］
　本発明の第２実施形態による圧電体装置の圧電体材料について図６及び図７を用いて説明する。
　本実施形態の圧電体材料は、ＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３の代わりにＰｂＭｇ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３を用い、ＰｂＴｉＯ３と、ＰｂＺｒＯ３とを所定の組成比で混合したペロブスカイト構造、すなわち、次式
　　ａＰｂＭｇ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
　ただし、ａ、ｂ、ｃは組成比、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
で表されるペロブスカイト構造を基本構造としている。このペロブスカイト構造の場合も、その組成比ａ、ｂ、ｃを適切な値にすることにより、グレインの粒径が大きく、グレイン内のドメイン間にクラックが形成された圧電体装置が得られる。
　【００２２】
　本実施形態の圧電体材料について、組成比ａ、ｂ、ｃを変化させたところ、組成比ａ、ｂ、ｃとグレインの平均粒径との間に、図６に示すような関係があることがわかった。すなわち、組成比ａ、ｂ、ｃに応じて、グレインの平均粒径が２μｍ以上になる領域、２．５μｍ以上となる領域、３μｍ以上となる領域が存在する。
　【００２３】
　図３に示すように、グレインの粒径が約２μｍ以上であると、ドメイン間にクラックが発生するから、本実施形態の圧電体材料としては、図７に示すような範囲の組成比の圧電体材料、すなわち、次式
　　ａＰｂＭｇ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　０＜ａ＜０．８、０．２＜ｂ＜１．０、０．２＜ｃ＜０．８
で表される組成であれば、変位量が大きい高性能の圧電特性を有する圧電体装置を実現できる。
　【００２４】
［第３実施形態］
　本発明の第３実施形態による圧電体装置の圧電体材料について図８及び図９を用いて説明する。
　本実施形態の圧電体材料は、第１の実施形態と同様に、ＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３と、ＰｂＴｉＯ３と、ＰｂＺｒＯ３とが所定の組成比で混合されたペロブスカイト構造、すなわち、次式
　　ａＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
　ただし、ａ、ｂ、ｃは組成比、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
で表されるペロブスカイト構造を基本構造とし、更に、ＰｂＨｆＯ３及び／又はＰｂＭｇ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３が合計０−３ｍｏｌ％添加され、酸化アルミニウムの含有量が０．２ｍｏｌ％以下と従来よりも少ない圧電体材料である。
　【００２５】
　本実施形態の圧電体材料に対し、その組成比ａ、ｂ、ｃを適切な値にすることにより、従来では実現できなかった電気機械結合係数ｋ３３が７０％以上の圧電体材料を得ることができた。
　本実施形態の圧電体材料について、組成比ａ、ｂ、ｃを変化させたところ、組成比ａ、ｂ、ｃと電気機械結合係数ｋ３３との間に、図８に示すような関係があることがわかった。すなわち、組成比ａ、ｂ、ｃに応じて、電気機械結合係数ｋ３３が６５％以上となる領域、７０％以上となる領域、７５％以上となる領域が存在する。
　【００２６】
　本実施形態の圧電体材料としては、図９に示すような範囲の組成比の圧電体材料、すなわち、次式
　　ａＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
　ただし、ａ＋ｂ＋ｃ＝１
　０．４０＜ａ＜０．７５、０．２５＜ｂ＜０．５５、０．０５＜ｃ＜０．４５
で表される組成であれば、変位量が大きい高性能の圧電特性を有する圧電体装置を実現できる。
　【００２７】
　特に、圧電体材料は、次式
　　０．５ＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−０．３４５ＰｂＴｉＯ３−０．１５５ＰｂＺｒＯ３
で表される組成の場合には、電気機械結合係数ｋ３３が８０．８％で、圧電定数が９４８ｐｍ／Ｖとなった。
［圧電体装置の製造方法］
　本発明の一実施形態による圧電体装置の製造方法について、図１０乃至図１２を用いて説明する。本実施形態では、前述した第１実施形態乃至第３実施形態による圧電体装置を製造する場合を例として説明する。
　【００２８】
　まず、原材料であるＰｂＯ、ＭｇＯ、ＮｉＯ、Ｎｂ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、ＨｆＯ２の不純物を徹底的に除去する。具体的には、Ｂｉが７０００ｐｐｍ未満、Ｚｎが５０００ｐｐｍ未満、Ｆｅが６０００ｐｐｍ未満、Ｃｏが２０００ｐｐｍ未満、Ａｌが４０００ｐｐｍ未満、Ｃｕが１２０００ｐｐｍ未満、Ｃａが２０００ｐｐｍ未満、その他の元素が１００ｐｐｍ未満となるように不純物を除去する。
　【００２９】
　次に、図１０に示すように、ＰｂＯ以外の必要な原材料ＭｇＯ、ＮｉＯ、Ｎｂ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、ＨｆＯ２の所定量を精密に計量後、約５ｍｍ径のジルコニアボールを入れたボールミルにより、アセトンを溶媒として、約２０時間粉砕混合して均質化する（ステップＳ１０）。
　ボールミル混合とは、図１１に示すように、円柱形の混合容器１０内に、原材料粉末をアセトンを溶媒として分散させた原料１２をジルコニアボール１４と共に入れ、混合容器１０を回転して混合する処理である。本実施形態では、ボール１４の素材が原材料であるジルコニアであるので、ボールが摩耗して原材料に混入しても不純物とはならない。なお、ジルコニアボールの代わりに、プラスチックでコーティングした金属製のボールを用いてもよい。
　【００３０】
　次に、ボールと分散溶液を分離し、ホットバスで８時間乾燥し、混合粉末を回収する（ステップＳ１１）。本実施形態では、溶媒としてアセトンを用いているので、乾燥により短時間の内に溶媒が揮発する。したがって、溶媒として水又はアルコールを用いる従来の方法のように、混合したはずの各粉末が沈殿によって分離することがなく、しかも、短時間で回収処理が終了する。
　【００３１】
　次に、１１００℃で約４時間、仮焼きする（ステップＳ１２）。
　次に、仮焼きして反応させて均質性を高めた原材料に精密に計量したＰｂＯを加え、ステップＳ１０と同様にして、約５ｍｍ径のジルコニアボールを入れたボールミルにより、アセトンを溶媒として、約２０時間粉砕混合して均質化する（ステップＳ１３）。
　【００３２】
　次に、ボールと分散溶液を分離し、ホットバスで８時間乾燥し、混合粉末を回収する（ステップＳ１４）。
　次に、８５０℃で約３時間、仮焼きして反応させる（ステップＳ１５）。その結果、混合量に応じた組成比のＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ＰｂＭｇ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ＰｂＴｉＯ３−ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＨｆＯ３なる圧電体粉末が完成する。
　【００３３】
　次に、圧電体粉末と有機バインダ（ＰＶＢ：ポリビニルブチラール）と可塑剤（ＤＢＰ：ジブチルフタレート）と有機溶媒（エタノール）をボールミルにより混合してスラリーを作成する。
　次に、このスラリーからドクターブレード法により厚さ５０μｍの圧電体のグリーンシート２０を成形する。このグリーンシート２０を約１００ｍｍ四方に打ち抜く（ステップＳ１６）。
　【００３４】
　次に、一部のグリーンシート２０にＡｇ−Ｐｄペースト又はＰｔペーストからなる電極層２２をスクリーン印刷する（ステップＳ１７）。
　次に、電極層を印刷していないグリーンシート２０ａを３０枚積層し、その上に電極層２２を印刷したグリーンシート２０ｂを４枚積層し、更に、その上に電極層を印刷していないグリーンシート２０ｃを８枚積層し、８０℃の温度で、５０ＭＰａの圧力の一軸プレスにより加圧して一体化し、積層体２４を形成する（ステップＳ１８）。
　【００３５】
　次に、積層体２４を電気炉にて５００℃の大気中で約４時間脱脂する（ステップＳ１９）。
　次に、高純度アルミナ磁器２６中に、圧電体材料と同組成の粉末２８を入れ、その中に脱脂した積層体２４を埋め込んで、高純度アルミナ磁器２６に蓋３０をして、電気炉にて１１００℃で約３時間焼成する（ステップＳ２０）。なお、積層体２４を埋め込む圧電体粉末２８について、ＰｂＯの量を少し過剰に添加してもよい。焼結時のＰｂＯの蒸気圧を制御して、十分に粒成長した圧電体を製造できる。
　【００３６】
　最後に、焼成した積層体２４の外形を切断加工して、個々の圧電体装置３２を完成する（ステップＳ２１）。
　本実施形態の製造方法によれば、パイロクロア相の生成を抑制し、９９％以上のペロブスカイト相を有し、高性能な圧電特性を有する圧電体装置を製造することができる。
　【００３７】
　特に、ステップＳ２０の焼成工程において、積層体２４を圧電体材料とほぼ同じ組成の粉末２８中で焼成することによりパイロクロア相の生成を効果的に抑制することができる。
　図１３に、大気中で焼成した場合と、同組成の粉末中で焼成した場合の圧電体材料の組成を比較して示す。図１３の圧電体材料は、次式
　　ａＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−ｂＰｂＴｉＯ３−ｃＰｂＺｒＯ３
で表される組成の圧電体材料である。図１３（ａ）は大気中で焼成した圧電体材料のＸ線回折の測定結果であり、図１３（ｂ）は本実施形態のように同組成の粉末中で焼成した圧電体材料のＸ線回折の測定結果である。図１３（ａ）では、ペロブスカイト相（●）のピークと共にパイロクロア相（▼）のピークも表れているいるが、図１３（ｂ）では、ペロブスカイト相（●）のピークのみが表れている。パイロクロア相の組成は、Ｐｂ１．８６Ｎｉ０．２４Ｎｂ１．７６Ｏ６．５である。
　【００３８】
　図１４に、大気中で焼成した場合と、同じ組成の焼成用粉末中で焼成した場合の圧電体材料の電気機械結合係数ｋ３３を比較して示す。ＰｂＴｉＯ３のｍｏｌ数とＰｂＺｒＯ３のｍｏｌ数のモル比ＰＺ／ＰＴを変化させ、大気中で焼成した場合を破線で示し、焼成用粉末中で焼成した場合を実線で示す。図１４から明らかなように、焼成用粉末中で焼成した場合の方が全体に亘って電気機械結合係数ｋ３３が大きく、特に、モル比ＰＺ／ＰＴが０．４５の場合に、８０．８％もの高い電気機械結合係数ｋ３３の圧電体材料を得ることができた。
　【００３９】
　【実施例】
［実施例］
　前述した実施形態の製造方法により、次式
　　０．５ＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−０．３４５ＰｂＴｉＯ３−０．１５５ＰｂＺｒＯ３
で表される基本組成を有し、ＰｂＨｆＯ３が０．１２ｍｏｌ％、ＰｂＭｇ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３が０．０１ｍｏｌ％添加され、酸化アルミニウムの含有量が０．０６ｍｏｌ％である圧電体材料からなる圧電体装置を製造した。
　【００４０】
　実施例の圧電体装置の電気機械結合係数ｋ３３は８０．８％、圧電定数（圧電体に電圧を印加したときに変位する割合）は９４８ｐｍ／Ｖであった。印加電圧Ｅ（ｋＶ／ｃｍ）に対する分極Ｐ（μＣ／ｃｍ２）のヒステリシス曲線を図１５に示す。
　実施例の圧電体材料の顕微鏡写真を図１６、図１７に示す。図１７は図１６の拡大写真である。図１は図１７の拡大写真を線図として描いたものである。グレインの粒径が大きく、グレインの表面に亀裂が表れていることがわかる。
　【００４１】
［比較例］
　従来の製造方法により、次式
　　０．５ＰｂＮｉ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３−０．３４５ＰｂＴｉＯ３−０．１５５ＰｂＺｒＯ３
で表される基本組成を有し、ＰｂＨｆＯ３が０．１２ｍｏｌ％、ＰｂＭｇ１／３Ｎｂ２／３Ｏ３が０．０１ｍｏｌ％添加され、酸化アルミニウムの含有量が０．０６ｍｏｌ％である、上記実施例と同じ組成をもつ圧電体材料からなる圧電体装置を製造した。すなわち、図１０の工程図において、ステップＳ１０〜Ｓ１２を省略し、ステップＳ１３でＰｂＯを含む全ての原材料を一度に水を溶媒として混合した後、回収し（ステップＳ１４）、仮焼きした（ステップＳ１５）。図１２の工程図において、ステップＳ２０において空気中で焼成した。
　【００４２】
　比較例の圧電体装置の電気機械結合係数ｋ３３は６９．５％、圧電定数は６５６ｐｍ／Ｖであった。印加電圧Ｅ（ｋＶ／ｃｍ）に対する分極Ｐ（μＣ／ｃｍ２）のヒステリシス曲線を図１５に示す。
　実施例の圧電体材料の顕微鏡写真を図１８に示す。図１８のグレインの粒径は図１６の実施例と比べて小さいことがわかる。
　【００４３】
　【発明の効果】
　以上の通り、本発明によれば、複数のドメインが凝集したグレインを有する圧電体材料であって、グレインの平均粒径が約２μｍ以上であり、ドメインの平均粒径が約０．１μｍ以上であり、ドメイン間にクラックが形成されているので、隣接するグレインからの拘束力が弱くなり、圧電体材料から本来生ずべき変位とほぼ同じ程度の変位を得ることができる。
　【００４４】
　また、本発明によれば、ＰｂＯ以外の圧電体原料を混合して第１の混合物を生成し、第１の混合物を仮焼きし、仮焼きされた第１の混合物とＰｂＯとを混合して第２の混合物を生成し、第２の混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成するようにしたので、ＰｂＯの蒸発を防ぎ、所望の組成比の圧電体粉末を製造することができる。
　【００４５】
　また、本発明によれば、圧電体原料を混合し、この混合物を仮焼きして圧電体粉末を生成し、圧電体粉末から形成したグリーンシートを積層して加圧し、積層体を形成し、積層体を、圧電体粉末とほぼ同等な組成の焼成用粉末中に埋め込み、積層体を焼成するようにしたので、圧電特性に寄与しないパイロクロア相の発生を防ぎ、ペロブスカイト相の圧電体材料からなる圧電体装置を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の第１実施形態による圧電体材料の構造を示す模式図である。
　【図２】
　本発明の第１実施形態による圧電体装置の変位のメカニズムを示す模式図である。
　【図３】
　本発明の第１実施形態による圧電体材料においてクラックが生ずるグレインの粒径の範囲を示すグラフである。
　【図４】
　本発明の第１実施形態による圧電体材料の粒径分布を示すグラフである。
　【図５】
　本発明の第１実施形態による圧電体材料の範囲を示すグラフである。
　【図６】
　本発明の第２実施形態による圧電体材料の粒径分布を示すグラフである。
　【図７】
　本発明の第２実施形態による圧電体材料の範囲を示すグラフである。
　【図８】
　本発明の第３実施形態による圧電体材料の電気機械結合係数ｋ３３分布を示すグラフである。
　【図９】
　本発明の第３実施形態による圧電体材料の範囲を示すグラフである。
　【図１０】
　本発明の一実施形態による圧電体装置の製造方法の工程図（その１）である。
　【図１１】
　本発明の一実施形態による圧電体装置の製造方法におけるボールミル混合を示す図である。
　【図１２】
　本発明の一実施形態による圧電体装置の製造方法の工程図（その２）である。
　【図１３】
　本発明の一実施形態による圧電体装置の製造方法により焼成した圧電体材料のＸ線回折の測定結果を従来例と比較して示すグラフである。
　【図１４】
　本発明の一実施形態による圧電体装置の製造方法により焼成した圧電体材料の電気機械結合係数ｋ３３を従来例と比較して示すグラフである。
　【図１５】
　実施例及び比較例の電圧・分極のヒステリシス曲線を示すグラフである。
　【図１６】
　実施例の圧電体材料の顕微鏡写真である。
　【図１７】
　実施例の圧電体材料の拡大した顕微鏡写真である。
　【図１８】
　比較例の圧電体材料の顕微鏡写真である。
　【符号の説明】
　１０…混合容器
　１２…原料
　１４…ジルコニアボール
　２０…グリーンシート
　２２…電極層
　２４…積層体
　２６…高純度アルミナ磁器
　２８…焼成用粉末
　３０…蓋
　３２…圧電体装置