【事件の表示】
　平成　３年特許願第２３１５３０号「投影露光装置」において、平成１１年２月２４日付けでした手続補正に対してされた補正の却下の決定に対する審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は平成３年９月１１日の出願であって、平成１１年２月２４日付で手続補正がなされたところ、原審においてこの手続補正について平成１２年８月１４日に補正の却下の決定をしたものである。
　
２．原決定の理由
　上記補正の却下の決定（以下、「原決定」という。）の理由は、次のとおりのものである。
「上記手続補正は、存在確率の分布を光軸方向の相対間隔によって異ならせるよう補正しようとしているが、出願当初の明細書には存在確率の分布を光軸方向の２ケ所でほぼ等しい極大値とする旨記載されているのみである。
　すなわち、単に相対間隔によって存在確率の分布を異ならせるというのみでは当初明細書に記載された態様以外のあらゆる態様を包含することとなり、当該概念は出願当初の明細書又は図面に記載された事項とは認められず、また、当該明細書等から自明の事項とも認められない。
　したがって、上記手続補正は明細書の要旨を変更するものであり、特許法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。」
　
３．当審の判断
　上記日付の手続補正は、特許請求の範囲の請求項１の記載を以下のように補正する内容を含むものである。
「照明光により照明されたマスク上のパターンを、被露光体上に露光する露光装置であって、前記照明光が前記被露光体上に照射されている間に、前記パターンが転写されるべき露光基準面と該被露光体との間の、前記照明光の光軸方向における相対間隔を変更する変更手段と、前記照明光が前記被露光体上に照射されている間の前記相対間隔の存在確率の分布を、該相対間隔によって異ならせるよう前記変更手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする露光装置。」
　そこで、上記日付の手続補正により補正された「相対間隔の存在確率の分布を、該相対間隔によって異ならせる」について検討するに、本願の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「原明細書」という。）には、「存在確率の分布」について以下の事項が記載されている。
「【特許請求の範囲】【請求項１】・・・シャッターの動作特性と前記可動ステージの動作特性とに基づいて、前記シャッターの開放開始時点から閉成終了時点までの間に得られる前記感光基板の光軸方向の移動に伴う存在確率の分布が光軸方向の少なくとも２ヶ所でほぼ等しい極大値になるように、前記シャッター制御手段と前記ステージ制御手段の各動作を連動させる連動化手段を設けたことを特徴とする投影露光装置。」
「【発明の詳細な説明】・・・【００１２】【課題を解決する為の手段】・・・【００１３】すなわち、本発明では露光動作中にＺステージを光軸方向に移動させる方式とし、シャッターの動作特性（立上り、立下りの特性等）と可動ステージ（Ｚステージ）の動作特性（特に速度特性）とに基づいて、シャッターの開放開始時点から閉成終了時点までの間に得られるに感光基板（ウェハ上のレジスト層）の光軸方向移動に伴なう存在確率（Ｚ方向の単位長さ当りの存在時間）の分布が、光軸方向の少なくとも２ヶ所でほぼ等しい極大値になるように、シャッターの制御手段とＺステージの制御手段の各動作を連動させる連動化手段を設けるようにした。【００１４】【作用】・・・【００１９】ここで一般的に考えられる移動方式として、ウェハを保持したＺステージを等速度で駆動するものとすると、光軸方向に関するベストフォーカス像の時間的な分布、所謂存在確率は図１１のようになる。図１１の縦軸はフォーカス位置（ウェハの光軸方向の位置）を表し、横軸は存在確率（ベストフォーカス像が光軸方向の単位長さ当りに滞在している時間）を表す。先の３点多重露光ではフォーカス位置＋Ｚ1 、Ｚ0 、−Ｚ1 の３点でのみ存在確率が零以外の値をとったが、Ｚステージの等速移動においては±Ｚ1 の範囲全域で一定の存在確率になってしまい、焦点深度の拡大効果以外に露光されたレジストパターンのコントラスト悪化いう欠点が顕著に現れてくる。【００２０】・・・そこで本発明では、フォーカス位置＋Ｚ1 と−Ｚ1 の２点、換言すると投影レンズの焦点深度の幅程度に離れた２点で存在確率を極大にし、その中間では露光されたレジストパターンのコントラスト劣化を招かない程度に存在確率を低く押さえるように、ウェハと投影像面との光軸方向の連続移動を制御するようにした。【００２１】【実施例】・・・【００５６】さて、図４は、図３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示した特性で露光を行ったときのＺ方向に関するウェハＷの存在確率（もしくは露光量の集中率）を模式的に表したものである。位置Ｚ0 〜Ｚ1 近傍と位置Ｚ4 〜Ｚ5 近傍に存在確率のピークが存在することから、焦点深度の拡大が図れることになる。本実施例においてはピークとピークの間の位置、例えばＺ2 〜Ｚ3 で露光量を零にすることはできない。これはＺステージを連続的に動かしているからである。焦点深度拡大効果を最も高めるためには、存在確率を図４のような分布にし、位置Ｚ0 〜Ｚ2 までの露光量（Ｅ1 ）と、位置Ｚ3〜Ｚ5 までの露光量（Ｅ4 ）とをほぼ等しくする必要があるが、本実施例ではＺステージの速度特性Ｖ（ｔ）、位置特性Ｚ（ｔ）、及びシャッター開閉時の照度特性Ｐ（ｔ）を厳密に管理しているため、その露光量の制御精度は良好に維持される。【００５７】図５は多重露光の回数を３回にした場合のウェハＷの存在確率を表し、シャッター３が開いている間のＺステージ１４の駆動パターンとして、低速等速運動→加速、減速→低速等速運動を２回繰り返した場合を表す。Ｚ方向の位置に関して３ヶ所にピークが存在し、中央のピークをベストフォーカス位置ＺＣに合せ、前後のピークは投影レンズＰＬの焦点深度幅２・ＤＯＦ程度だけ離すようにする。この場合も、存在確率の分布中の３つのピークの夫々��応して得られる露光量は、揃っていた方が望しい。・・・【００７６】【発明の効果】以上のように本発明によれば、１回の露光時間（１回のシャッター開放動作）の間に、投影像面と感光基板とを光軸方向に予め制御された速度特性で相対的に移動させて、存在確率を光軸方向の少なくとも２ヶ所で極大にするため、時間当りの感光基板処理能力（スループット）を極端に低下させることなく、焦点深度の拡大効果を得ることができる。・・・」
　
　そうすると、原明細書の全体を通じて、存在確率の分布が「存在確率の分布が光軸方向の少なくとも２ヶ所でほぼ等しい極大値になる」ものとして一貫して記載されていたものが、上記日付の手続補正により、「相対間隔の存在確率の分布を、該相対間隔によって異ならせる」に変更されている。そして、相対間隔とは補正後の請求項１の記載によると「露光基準面と被露光体との間の、照明光の光軸方向における相対間隔」のことであるから、上記「相対間隔の存在確率の分布を、該相対間隔によって異ならせる」は、存在確率の分布が露光基準面を中心として光軸方向の両側で対称であり、かつ、露光基準面と被露光体との間隔によって存在確率の分布を異ならせることを規定しているものと解される。しかし、上記日付の手続補正では存在確率の分布の極大値については特に規定されていないため、例えば相対間隔が０の時に極大値を有しそれ以外の相対間隔の時に極大値を有さないという場合、つまり「少なくとも２ヶ所でほぼ等しい極大値」を有する場合以外の存在確率の分布が含まれてくる。
　ところが、原明細書には存在確率の分布について、２ヶ所でほぼ等しい極大値を有する場合（第４図参照）と、３ヶ所でほぼ等しい極大値を有する場合（第５図参照）、すなわち「少なくとも２ヶ所でほぼ等しい極大値」を有する場合しか記載されておらず、「少なくとも２ヶ所でほぼ等しい極大値」を有する場合以外の存在確率の分布は原明細書には記載されていなかった事項であり、原明細書の記載からみて自明の事項でもない。
　してみると、上記日付の手続補正は、存在確率の分布に含まれる範囲を技術概念上拡張するものであって、当該拡張された技術概念に係る記載が原明細書にはないから、特許請求の範囲を原明細書に記載された事項の範囲を越えて変更するものであり、他の点を検討するまでもなく、明細書の要旨を変更するものである。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、上記日付でした手続補正は特許法第５３条第１項の規定により却下すべきものとした原決定は妥当である。
　よって、結論のとおり審決する。