【事件の表示】
　特許第３４７３６０５号「太陽電池の製造方法」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４７３６０５号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３４７３６０５号の請求項１ないし６に係る発明についての出願は、２００１年２月１４日（優先権主張：２０００年２月１８日、日本国（特願２０００−４１５２７）、２０００年７月２７日、日本国（特願２０００−２２７３８８））を国際出願日とする出願であって、平成１５年９月１９日に設定登録され、その後、佐藤　正より特許異議の申立がなされ、当審において取消理由を通知したところ、その指定期間内である平成１７年２月１７日に訂正請求がなされたものである。
       
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
 [訂正事項ａ]
　（ａ−１）特許請求の範囲の請求項１に記載された
「【請求項１】  表面側透明保護部材、太陽電池用封止膜、太陽電池セル、太陽電池用封止膜及び裏面側保護部材をこの順に積層してなる積層体を形成する積層工程と、
該積層体を加圧及び加熱して一体化する工程と、を有する太陽電池の製造方法において、
これらの太陽電池用封止膜が、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を成膜して得られるフィルムよりなり、該フィルムはエンボス加工により凹部が設けられており、該フィルムの単位面積当りの該凹部の合計体積ＶＨと、該単位面積に最大厚みを乗じた該フィルムの見掛けの体積ＶＡとの百分比ＶＨ／ＶＡ  ×１００％が５〜８０％である太陽電池用封止膜であることを特徴とする太陽電池の製造方法。」
を、
「【請求項１】  表面側透明保護部材、太陽電池用封止膜、太陽電池セル、太陽電池用封止膜及び裏面側保護部材をこの順に積層してなる積層体を形成する積層工程と、
該積層体を加圧及び加熱して一体化する工程と、を有する太陽電池の製造方法において、
これらの太陽電池用封止膜が、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を成膜して得られるフィルムよりなり、該フィルムはエンボス加工により凹部が設けられており、
下記式によって定義される、
５
Ｖ
Ｈ
／Ｖ
Ａ
×１００＝｛１−Ｗ／（ρ・ｔ
ｍａｘ
・１０
６
）｝×１０
ただし、Ｗは１ｍ
２
当りの該フィルムの重さ（ｇ）
ρは該フィルムを構成する樹脂の比重（ｇ／ｍｍ
３
）
ｔ
ｍａｘ
は該フィルムの最大厚み（ｍｍ）である。
と訂正する。
　（ａ−２）これに伴い、特許公報の３欄４９行〜４欄１１行に
「本発明の太陽電池の製造方法は、表面側透明保護部材、太陽電池用封止膜、太陽電池セル、太陽電池用封止膜及び裏面側保護部材をこの順に積層してなる積層体を形成する積層工程と、該積層体を加圧及び加熱して一体化する工程と、を有する太陽電池の製造方法において、これらの太陽電池用封止膜が、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を成膜して得られるフィルムよりなり、該フィルムはエンボス加工により凹部が設けられており、該フィルムの単位面積当りの該凹部の合計体積ＶＨと、該単位面積に最大厚みを乗じた該フィルムの見掛けの体積ＶＡとの百分比ＶＨ／ＶＡ  ×１００％が５〜８０％である太陽電池用封止膜であることを特徴とするものである。」
とあるのを、
「本発明の太陽電池の製造方法は、表面側透明保護部材、太陽電池用封止膜、太陽電池セル、太陽電池用封止膜及び裏面側保護部材をこの順に積層してなる積層体を形成する積層工程と、該積層体を加圧及び加熱して一体化する工程と、を有する太陽電池の製造方法において、これらの太陽電池用封止膜が、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を成膜して得られるフィルムよりなり、該フィルムはエンボス加工により凹部が設けられており、
下記式によって定義される、
５
Ｖ
Ｈ
／Ｖ
Ａ
×１００＝｛１−Ｗ／（ρ・ｔ
ｍａｘ
・１０
６
）｝×１０
ただし、Ｗは１ｍ
２
当りの該フィルムの重さ（ｇ）
ρは該フィルムを構成する樹脂の比重（ｇ／ｍｍ
３
）
ｔ
ｍａｘ
は該フィルムの最大厚み（ｍｍ）である。
と訂正する。
　（ａ−３）同様に、特許公報の４欄１８行に「例えば」とあるのを削除し、同４欄４０〜４３行に「なお、この空隙率（％）は、上記のような計算式により算出する他、実際のフィルムについて断面やエンボス加工が施された面を顕微鏡撮影し、画像処理を行うことにより求めることもできる。」とあるのを削除する。
　（ａ−４）同じく、特許公報の４欄４４行及び同５欄４９行に「５〜８０％」とそれぞれあるのを、「５〜
５
５
　（ａ−５）さらに、特許公報の４欄３７〜３９行に記載された
「＝１−Ｗ／（ρ・ＶＡ）×１００
　＝１−Ｗ／（ρ・ｔｍａｘ・１０６）×１００」
を
「＝
｛
｝
　＝
｛
｝
と訂正する。
　　
 [訂正事項ｂ]
　（ｂ−１）特許請求の範囲の請求項３を削除する。
　（ｂ−２）これに伴い、請求項４，５，６をそれぞれ請求項３，４，５に繰り上げる。
　（ｂ−３）同様に、訂正前の請求項４に記載された「請求項１ないし３のいずれか１項」を「請求項１
又は２
３
４
　　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　[訂正事項ａについて]
　訂正事項（ａ−１）の特許請求の範囲の請求項１に「下記式によって定義される、」及び「ＶＨ／ＶＡ×１００＝｛１−Ｗ／（ρ・ｔｍａｘ・１０６）｝×１００
ただし、Ｗは１ｍ２当りの該フィルムの重さ（ｇ）、
ρは該フィルムを構成する樹脂の比重（ｇ／ｍｍ３）、
ｔｍａｘは該フィルムの最大厚み（ｍｍ）である。」を追加する訂正は、訂正前の請求項１の「ＶＨ／ＶＡ  ×１００」をより具体的に定義した訂正であり、また、同じく訂正前の請求項１の「５〜８０％」を「５〜５０％」とする訂正は、数値範囲をより狭く限定する訂正であって、特許請求の範囲の減縮を目的としたものである。
　また、訂正事項（ａ−２）〜（ａ−４）は、上記訂正事項（ａ−１）の訂正に伴い、訂正後の請求項１との整合をとるために必要となった訂正であって、明りょうでない記載の釈明を目的としたものである。
　さらに、訂正事項（ａ−５）は、上記訂正事項（ａ−１）の訂正に合わせて、数式の明らかな誤りを訂正するものであって、誤記の訂正を目的としたものである。
　　
　[訂正事項ｂについて]
　訂正事項（ｂ−１）は、特許請求の範囲の請求項３を削除する訂正であって、特許請求の範囲の減縮を目的としたものである。
　また、訂正事項（ｂ−２）は、上記訂正事項（ｂ−１）の訂正に伴い、必要となった請求項の繰り上げであり、訂正事項（ｂ−３）は、上記訂正事項（ｂ−２）の訂正に伴い、訂正後の請求項３ないし５との整合をとるために必要となった訂正であって、いずれも明りょうでない記載の釈明を目的としたものである。
　　　
　さらに、これら訂正事項（ａ−１）〜（ａ−４）及び（ｂ−１）〜（ｂ−３）の訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、また、訂正事項（ａ−５）の訂正は、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであって、なおかつ、いずれも実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項、及び同条第３項で準用する特許法第１２６条第２項及び同条第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　　　
３．特許異議の申立て理由及び取消理由の概要
（１）特許異議申立人　佐藤　正は、イ）下記の甲第１ないし３号証を提出し、請求項１，２に係る発明の特許は、甲第１又は２号証に記載された発明と実質的に同一であり、請求項４，５に係る発明の特許は、甲第１号証に記載された発明と実質的に同一であって、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当する発明に対してなされたものであり、また、請求項１，２，４ないし６に係る発明の特許は、甲第１ないし３号証に記載された発明に基づき、当業者が容易になし得た発明であるから、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、さらに、ロ）特許請求の範囲の請求項３及び発明の詳細な説明の実施例の記載が不備であり、特許法第３６条第４項又は第６項の規定に違反してなされたものであり、取消すべきである旨主張する。
　　　　　　　　　　　　　　記
　甲第１号証：特開２０００−１８３３８８号公報
　甲第２号証：特開昭５９−２２９７８号公報
　甲第３号証：特開平１１−２３８８９８号公報
　　
（２）当審は、以下の取消理由１ないし３を示し、請求項１ないし６に係る発明の特許は、取消すべきである旨通知した。
　[取消理由１]
 下記の刊行物１及び２を提示し、請求項１，２に係る発明の特許は、刊行物１に記載された発明と実質的に同一であるから特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、また、請求項４〜６に係る発明の特許は、刊行物１，２に記載された発明に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
　[取消理由２]
　請求項１に係る発明の特許は、発明の詳細な説明に記載されているとはいえないから、特許法第３６条第６項第１号の規定に違反してなされたものである。
　[取消理由３]
　請求項３に係る発明の特許は、発明の範囲が不明確であるから、特許法第３６条第６項第２号の規定に違反してなされたものである。
　　　　　　　　　　　　　　記
　刊行物１：特開２０００−１８３３８８号公報（甲第１号証）
　刊行物２：特開平１１−２３８８９８号公報（甲第３号証）
　　
４．本件発明
　上記２．で訂正を認めたから、本件の請求項１ないし５に係る発明(以下、「本件発明１ないし５」という。)は、全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載されたとおりの次のものである。
　　　　
「【請求項１】　表面側透明保護部材、太陽電池用封止膜、太陽電池セル、太陽電池用封止膜及び裏面側保護部材をこの順に積層してなる積層体を形成する積層工程と、
該積層体を加圧及び加熱して一体化する工程と、を有する太陽電池の製造方法において、
これらの太陽電池用封止膜が、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を成膜して得られるフィルムよりなり、該フィルムはエンボス加工により凹部が設けられており、下記式によって定義される、該フィルムの単位面積当りの該凹部の合計体積ＶＨと、該単位面積に最大厚みを乗じた該フィルムの見掛けの体積ＶＡとの百分比ＶＨ／ＶＡ  ×１００％が５〜５０％である太陽電池用封止膜であることを特徴とする太陽電池の製造方法。
ＶＨ／ＶＡ×１００＝｛１−Ｗ／（ρ・ｔｍａｘ・１０６）｝×１００
ただし、Ｗは１ｍ２当りの該フィルムの重さ（ｇ）、
ρは該フィルムを構成する樹脂の比重（ｇ／ｍｍ３）、
ｔｍａｘは該フィルムの最大厚み（ｍｍ）である。
【請求項２】　該太陽電池用封止膜は、前記積層工程では、該凹部が設けられた面が太陽電池セル側となるように配置されることを特徴とする太陽電池の製造方法。
【請求項３】　請求項１又は２において、前記積層体を熱板の上に載せ、前記積層体を加圧し、該熱板によって該積層体を加熱することを特徴とする太陽電池の製造方法。
【請求項４】　請求項３において、大気圧により積層体を加圧することを特徴とする太陽電池の製造方法。
【請求項５】　請求項４において、該積層体を軟質シート及び該熱板で囲み、内部を減圧して大気圧を積層体に加えることを特徴とする太陽電池の製造方法。」
　　
　なお、上記訂正を認めたことにより訂正前の請求項３は削除された。したがって、上記取消理由３は解消したから、以下では取消理由１及び２について検討する。
　　　
５．取消理由１についての当審の判断
　５−１．刊行物１ないし３に記載された発明
　　
　
刊行物１（特開平２０００−１８３３８８号公報）
　　ア．「【０００８】　【発明が解決しようとする課題】
　太陽電池の作製時にあっては、その封止工程の加熱加圧の際に、未溶融状態のＥＶＡフィルムが太陽電池用セルに押し付けられるため、この押圧力で太陽電池が割れるという問題があった。
【０００９】　本発明は上記従来の問題点を解決し、この
太陽電池作製時の封止工程における太陽電池用セルの破損を防止し、太陽電池を歩留り良く効率的に作製することができる太陽電池用封止膜を提供することを目的とする
　　イ．「【００１６】　図１は本発明の太陽電池用封止膜の実施の形態を示す断面図である。
【００１７】　図示の如く、
本発明の太陽電池用封止膜（フィルム）１は、エンボス加工により、フィルムに凹凸を付与したものである。本発明において、このフィルム１のエンボス加工による深さＤが１５μｍ未満では、十分なクッション性が得られず、封止工程におけるセルの破損を防止し得ない。従って、深さＤは１５μｍ以上とする。ただし、この深さＤが過度に大きいと封止時に空気を巻き込んで、得られる太陽電池内に空気が残留し易くなることから、深さＤは５０μｍ以下とするのが好ましい
【００１８】　なお、このエンボス加工はフィルムの片面にのみ施しても、両面に施しても良い。
フィルムの片面にのみエンボス加工を行う場合には、深さＤは１５〜５０μｍの範囲であることが好ましく、フィルムの両面にエンボス加工を行う場合には、片面のエンボス加工の深さが１５〜５０μｍで、両面の合計が３０〜１００μｍであることが好ましい
【００１９】　このような本発明の太陽電池用封止膜は、架橋剤を含む透明軟質樹脂組成物、好ましくはＥＶＡ樹脂組成物を常法に従って成膜し、更に、所定の深さの凹凸面が形成されるように、エンボス加工を施すことにより、容易に製造することができる。
【００２０】　なお、
本発明の太陽電池用封止膜の厚さは、通常の場合５０μｍ〜２ｍｍ程度とされる
　　ウ．「【００２８】　このようにして成膜された
ＥＶＡフィルム
ガラス基板１１、ＥＶＡフィルム１３Ａ、シリコン発電素子１４、ＥＶＡフィルム１３Ｂ及びバックカバー１２を積層し、積層体を常法に従って、真空ラミネーターで温度１００〜１５０℃、脱気時間５〜１２分、プレス圧力０．５〜１ｋｇ／ｃｍ
２
、プレス時間８〜４５分で加熱加圧圧着すれば良く
この封止に当り、本発明のＥＶＡフィルムは、クッション性が良好であるため、未溶融のフィルムがセルに押し付けられることによるセルの損傷を防止して高品質の製品を歩留り良く製造することができる
　　エ．「【００３１】　
［ＥＶＡ樹脂組成物配合（重量部）］
　　ＥＶＡ樹脂（酢酸ビニル含有量２６重量％、メルトフローレート４．０）：１００
　
　　架橋剤（１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）３，３，５−トリメチルシクロヘキサン）：２．０
　
　　シランカップリング剤（γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン）：１．０　
　　架橋助剤（トリアリルイソシアヌレート）：３．０
　
　　紫外線吸着剤（２−ヒドロキシ−４−オクチルベンゾフェノン）：０．３
　
　このフィルムを封止膜用ＥＶＡフィルム１３Ａ，１３Ｂとして用い、図２に示す如く、厚さ３ｍｍのガラス板１１、厚さ３８μｍのフッ化ポリエチレンフィルムよりなるバックガード１２との間にシリコン発電素子１４を封止して太陽電池を製造した。なお、
フィルム１３Ａ，１３Ｂはそのエンボス加工面が素子１４側となるように配置した
封止は、真空ラミネーターを用い、熱板温度１００℃
プレス圧力１ａｔｍ
　　オ．図１を参酌すると、本発明の太陽電池用封止膜の断面形状は、その表面の凹部凸部が波状に連なった正弦曲線様であることがみてとれる。
　　
　
刊行物２（特開平１１−２３８８９８号公報）
　　カ．「【００１１】　また、
前記積層体を図１３のように一体化してモジュールとするには、一般的に図１５に示すようなラミネーター（真空熱圧着積層機）が使用されているが、このラミネーター装置は温度制御可能な熱板２００を持つ本体２０１と、熱板２００上にセットされる太陽電池モジュール材料をプレスするためのゴム部材２０２を備えた蓋２０３及び熱圧着する材料を真空にするための真空ポンプ２０４から構成されている
【００１２】　
このラミネーター装置を用いてスーパーストレートタイプの太陽電池モジュールをラミネートするには、先ず、ガラス板１３／ＥＶＡ樹脂シート１２／太陽電池セル列１１／ＥＶＡ樹脂シート１２／耐候性フィルム１４の順番にセットされた材料を、ガラス板１３側が熱板２００に対向するようにその上に載置して蓋２０３を閉じる。次に、蓋２０３を閉じるとすぐに熱板２００によって加熱するとともに、上記Ｂ及びＣの空間を真空ポンプ２０４によって真空として各材料間にある空気を除去する
【００１３】　
その次に、ゴム部材２０２の上部にある空間Ｃのみを大気圧に戻すことにより、蓋２０３に備えたゴム部材２０２によって熱板２００の上にセットされた各材料を大気圧でプレスする
　　
　
甲第２号証（特開昭５９−２２９７８号公報、以下、「刊行物３」という。）
　　キ．「シートの両面に設けられるエンボス模様は、縞、布目、梨地、皮紋、ダイヤ格子、合成皮革様しぼり模様などの細かい模様が適しており、真空加熱貼り合せ時の脱気などの目的には花柄や幾何模様などの大柄な模様は好ましくない。模様の大きさは、エンボス模様の凸部または凹部の中、面積の多い部分の重心から面積の少ない部分への最短距離が短かい方が好ましく、この距離は通常１０ｍｍ以下、好ましくは２ｍｍ以下である。また、
エンボス模様の溝の深さ
一般にコストの点から０．１〜１ｍｍに設定されるシートの厚さに対し、通常０．０３ｍｍ以上、好ましくは０．１ｍｍ以下である
　　ク．「
エチレン−酢酸ビニル共重合体
　このドライブレンド物を、Ｔ−ダイ押出成形機（モダンマシンナリー社製、単軸、口径６５ｍｍ、ポリエチレン用フルフライトメーターリングタイプスクリュー、ストレートマニホールドタイプＴ−ダイ）に供給し、
シート状の溶融ウエブを押出した
　
Ｔ−ダイより押出された溶融ウエブを、前記説明の第１図に示されるような工程に従ってエンボス加工した
細かな波紋の模様がエンボス加工されている
　　ケ．「このようにして成形された充填接着材シートを用いての太陽電池のモジュール化を、次のようにして行なった。即ち、酢酸でＰＨを２〜３に調整した水溶液の中に、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学製品ＫＢＭ−５０３）を３重量％溶解させたプライマーを、強化白板ガラス（厚さ３ｍｍ）およびポリフッ化ビニルシート（デュポン社製品テドラ−４００ＢＳ３０ＷＨ）の接着すべき面にコーティングし、溶媒を乾燥した。
　
強化白板ガラスの上に、前記エンボス模様を施したシートを置き、更にその上に複数個の太陽電池用シリコン半導体ウエハをインターコネクターを用いて直列に配列し、その上に再び前記エンボス模様を施したシートを置き、更にポリフッ化ビニルシート、ポリエステルフィルム（厚さ０．５ｍｍ）およびアルミニウム板（厚さ０．５ｍｍ）を順次重ね、積層体を形成させた
　
この積層体を、脱気室がシリコンゴムで２室に分離された真空ラミネーターの下室に入れ、まず２室共１ｍｍＨｇに減圧にし、そのまま真空ラミネーターを３０℃のオーブン中に入れ、４℃／分の割合で昇温させ、１２０°に達した時点で真空ラミネーターの上室を１０分間かけて大気圧に戻し、この間更に１５０℃迄昇温させ、加圧した
　
このモジュール中には、気泡の存在が認められず、また発電素子にも異常がなかった。更に、このモジュールについて、高温９０℃、４時間−低温　４０℃、４時間を１サイクルとするヒートサイクル試験を実施したが、２０サイクル実施後のモジュールには、発電素子の配列を含め、外観には何ら異常は認められなかった
　　
　５−２．対比・判断
　（１）本件発明１について
　そこで、本件発明１と刊行物１に記載された事項とを対比する。
　　ａ．上記摘記事項ウ．には、ガラス基板１１、ＥＶＡフィルム１３Ａ、シリコン発電素子１４、ＥＶＡフィルム１３Ｂ及びバックカバー１２を積層し、真空ラミネーターで加熱加圧圧着することにより太陽電池を製造する旨が記載されており、そのうち「ガラス基板１１」は、本件発明１の「表面側透明保護部材」に相当し、以下同様に「ＥＶＡフィルム１３Ａ，１３Ｂ」は、「太陽電池用封止膜」に、「シリコン発電素子１４」は、「太陽電池セル」に、「バックカバー１２」は、「裏面側保護部材」に、また、「太陽電池」は、「太陽電池」に相当するから、結局、刊行物１には、本件発明１の「表面側透明保護部材、太陽電池用封止膜、太陽電池セル、太陽電池用封止膜及び裏面側保護部材をこの順に積層してなる積層体を形成する積層工程と、該積層体を加圧及び加熱して一体化する工程と、を有する太陽電池の製造方法」が開示されていることは明らかである。
　　ｂ．上記摘記事項イ．の段落【００１９】には、「本発明の太陽電池用封止膜は、架橋剤を含む透明軟質樹脂組成物、好ましくはＥＶＡ樹脂組成物を常法に従って成膜し、更に、所定の深さの凹凸面が形成されるように、エンボス加工を施すことにより、容易に製造することができる。」と記載されており、そのうち「太陽電池用封止膜」は「ＥＶＡフィルム１３Ａ，１３Ｂ」に他ならないから、刊行物１には、本件発明１の「これらの太陽電池用封止膜が、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を成膜して得られるフィルムよりなり、該フィルムはエンボス加工により凹部が設けられており、」なる事項が記載されていることは明らかである。
　したがって両者は、
「表面側透明保護部材、太陽電池用封止膜、太陽電池セル、太陽電池用封止膜及び裏面側保護部材をこの順に積層してなる積層体を形成する積層工程と、
該積層体を加圧及び加熱して一体化する工程と、を有する太陽電池の製造方法において、
これらの太陽電池用封止膜が、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を成膜して得られるフィルムよりなり、該フィルムはエンボス加工により凹部が設けられている太陽電池の製造方法。」
である点で一致し、次の点で相違している。
　　
［相違点］本件発明１の太陽電池用封止膜は、「フィルムの単位面積当りの該凹部の合計体積ＶＨと、該単位面積に最大厚みを乗じた該フィルムの見掛けの体積ＶＡとの百分比ＶＨ／ＶＡ  ×１００％（以下、これを「空隙率」という。）が５〜５０％」であって、上記空隙率が、
「ＶＨ／ＶＡ×１００＝｛１−Ｗ／（ρ・ｔｍａｘ・１０６）｝×１００
ただし、Ｗは１ｍ２当りの該フィルムの重さ（ｇ）、
ρは該フィルムを構成する樹脂の比重（ｇ／ｍｍ３）、
ｔｍａｘは該フィルムの最大厚み（ｍｍ）」
で定義されるのに対し、刊行物１に記載のものの太陽電池用封止膜は、厚さが５０μｍ〜２ｍｍ、エンボス加工により形成される凹部は、その断面形状が、凹部凸部が波状に連なった正弦曲線様であって、凹部の深さは１５〜５０μｍの範囲であり、フィルムの両面にエンボス加工を行う場合には、片面のエンボス加工の深さが１５〜５０μｍで、両面の合計が３０〜１００μｍであるものの、その空隙率が記載されていない点。
　
　そこで、上記相違点について検討する。
　　（ｉ）エンボス加工面の凹凸形状について
　摘記事項イ．の段落【００１７】，【００１８】には、
「【００１７】　図示の如く、本発明の太陽電池用封止膜（フィルム）１は、エンボス加工により、フィルムに凹凸を付与したものである。本発明において、このフィルム１のエンボス加工による深さＤが１５μｍ未満では、十分なクッション性が得られず、封止工程におけるセルの破損を防止し得ない。従って、深さＤは１５μｍ以上とする。ただし、この深さＤが過度に大きいと封止時に空気を巻き込んで、得られる太陽電池内に空気が残留し易くなることから、深さＤは５０μｍ以下とするのが好ましい。
【００１８】　なお、このエンボス加工はフィルムの片面にのみ施しても、両面に施しても良い。フィルムの片面にのみエンボス加工を行う場合には、深さＤは１５〜５０μｍの範囲であることが好ましく、フィルムの両面にエンボス加工を行う場合には、片面のエンボス加工の深さが１５〜５０μｍで、両面の合計が３０〜１００μｍであることが好ましい。」と記載され、
　これによれば、エンボス加工により、フィルムに凹凸を付与すること、およびエンボス加工によりフィルムに付与された凹部の深さＤは１５〜５０μｍの範囲であることが好ましいことが理解できるが、これ以外にエンボス加工面の凹凸形状に言及した記述は見当たらない。
　また、刊行物１の図１には、太陽電池用封止膜の断面図が示され、上記オ．にあるようにその断面形状は表面の凹部凸部が波状に連なった正弦曲線様であることがみてとれるが、図１は、上記段落【００１７】，【００１８】の記載から分かるように、凹部の深さＤを図示するための説明図にすぎないから、エンボス加工面の凹凸形状が、断面形状を紙面と垂直な方向に延長した波形であるのか、あるいは独立した突起状の凸部が加工面全体に規則正しく形成されたものであるのか等々、具体的なエンボス加工面の凹凸形状を図１から推定することは困難である。
　刊行物３には、太陽電池モジュールに用いられる充填接着材シートのエンボス加工面の凹凸形状に関し、
「シートの両面に設けられるエンボス模様は、縞、布目、梨地、皮紋、ダイヤ格子、合成皮革様しぼり模様などの細かい模様が適しており、真空加熱貼り合せ時の脱気などの目的には花柄や幾何模様などの大柄な模様は好ましくない。模様の大きさは、エンボス模様の凸部または凹部の中、面積の多い部分の重心から面積の少ない部分への最短距離が短い方が好ましく、この距離は通常１０ｍｍ以下、好ましくは２ｍｍ以下である。また、エンボス模様の溝の深さまたは凸部と凹部との間のクリアランスは、一般にコストの点から０．１〜１ｍｍに設定されるシートの厚さに対し、通常０．０３ｍｍ以上、好ましくは０．１ｍｍ以下である。」（摘記事項キ．）、および、
「エンボス加工剥離紙としては、エンボス加工された工程紙・・・が用いられ、この工程紙には細かな波紋の模様がエンボス加工されている。また、冷却ロールに刻設された模様はダイヤ格子であり、その格子間隔は０．５ｍｍ、深さは０．２ｍｍである。」（摘記事項ク．）が記載されている。
　しかしながら、これら記載から、エンボス模様が、縞、布目、梨地、皮紋、ダイヤ格子、合成皮革様しぼり模様あるいは波紋の模様などの細かい模様であって、凹部凸部間のピッチが通常１０ｍｍ以下、好ましくは２ｍｍ以下、また、溝の深さが、０．１〜１ｍｍに設定されるシートの厚さに対し、０．０３ｍｍ〜０．１ｍｍであることは理解できても、空隙率の算出に用いることができるようなエンボス模様の具体的凹凸形状が明示されているとはいえず、また上記記載からエンボス加工面の凹凸形状を推定することも困難である。
　また、刊行物２には、そもそもエンボス加工により、太陽電池モジュールをラミネートするフィルムに凹凸を付与する記載がない。
　　
　　（ｉｉ）空隙率について
　本件発明１に定義された空隙率の数式から求めようとしても、刊行物１ないし３には、Ｗ（１ｍ２当りの該フィルムの重さｇ）も、ρ（該フィルムを構成する樹脂の比重ｇ／ｍｍ３）も記載されていないから、空隙率を求めることができない。
　また、空隙率：ＶＨ／ＶＡ  ×１００％は、本件発明１によれば、「フィルムの単位面積当りの該凹部の合計体積ＶＨと、該単位面積に最大厚みを乗じた該フィルムの見掛けの体積ＶＡとの百分比ＶＨ／ＶＡ  ×１００％」であるから、ＶＨ及びＶＡの値さえ分かれば、本件発明１の定義：ＶＨ／ＶＡ×１００＝｛１−Ｗ／（ρ・ｔｍａｘ・１０６）｝×１００を用いなくても求めることができる。
　しかしながら、上記（ｉ）で述べたように、刊行物１，３には具体的なエンボス加工面の凹凸形状が記載されてなく、また、凹凸形状に関連する記載内容からエンボス加工面の凹凸形状を推定することも困難であり、さらに、刊行物２には、そもそもエンボス加工により、フィルムに凹凸を付与する記載がない。  　　
　したがって、刊行物１ないし３に記載の事項から、フィルムの単位面積当りの該凹部の合計体積ＶＨを求めることができず、結果として、空隙率を求めることができない。
　　
　以上のとおり、刊行物１ないし３に記載された発明からは、空隙率を求めることができず、そのため上記刊行物に記載された発明の当該フィルムの空隙率が５〜５０％であると判断することはできないから、本件発明１は、刊行物１または３に記載された発明と同一であるとも、また、刊行物１ないし３に記載された発明に基づき、当業者が容易に想到し得た発明であるともいえない。
　　
　（２）本件発明２ないし５について
  本件発明２は、本件発明１の構成要件に加えて、「該凹部が設けられた面が太陽電池セル側となるように配置されること」との限定を付したものである。
　また、本件発明３は、本件発明１又は２の構成要件に加えて、「前記積層体を熱板の上に載せ、前記積層体を加圧し、該熱板によって該積層体を加熱すること」との限定を付し、本件発明４は、本件発明３の構成要件に加えて、「大気圧により積層体を加圧すること」との限定を付し、また、本件発明５は、本件発明４の構成要件に加えて、「該積層体を軟質シート及び該熱板で囲み、内部を減圧して大気圧を積層体に加えること」との限定を付したものである。
　したがって、本件発明２ないし５は、本件発明１の構成要件をすべて有するから、上記限定を付した事項の検討をするまでもなく、上記（１）で述べた理由により、刊行物１または３に記載された発明と同一であるとも、また、刊行物１ないし３に記載された発明に基づき、当業者が容易に想到し得た発明であるともいえない。
　
　なお、特許異議申立人は、刊行物１および３に記載されたエンボス加工面の凹凸形状を波形形状と推定してその空隙率を求めているが、その根拠は、刊行物１については図１の断面図であり、また、刊行物２については「細かな波紋の模様がエンボス加工されている」（摘記事項ク．）なる記載であるにすぎず、それら記載事項からエンボス加工面の凹凸形状が波形形状であると敷衍するには論理に飛躍があって、後付の理由であるとの印象を免れず、首肯できない。
　　
６．取消理由２についての当審の判断
　取消理由２は、要すれば、本件明細書の実施例および表１他の記載を参酌しても、空隙率の値は、実施例として２８％と３５％のもの、比較例としての０％と９０％のものしか開示されていないから、本件発明１の空隙率の値の外延を５％および８０％とした根拠が不明である、というにあるところ、訂正請求によって本件発明１の空隙率は、５〜５０％に訂正された。
　これにより、本件発明１の空隙率の許容範囲は、本件明細書の実施例および表１他の記載からみて大凡明細書に記載されているということができるから、特許法第３６条第６項第１号の規定を満たすものとなった。
　
７．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年７月１４日（２００５．７．１４）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
太陽電池の製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】表面側透明保護部材、太陽電池用封止膜、太陽電池セル、太陽電池用封止膜及び裏面側保護部材をこの順に積層してなる積層体を形成する積層工程と、
　該積層体を加圧及び加熱して一体化する工程と、を有する太陽電池の製造方法において、
　これらの太陽電池用封止膜が、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を成膜して得られるフィルムよりなり、該フィルムはエンボス加工により凹部が設けられており、
下記式によって定義される、
５
　　
Ｖ
／Ｖ
×１００＝｛１−Ｗ／（ρ・ｔ
・１０６）｝×１００
　
ただし、Ｗは１ｍ２当りの該フィルムの重さ（ｇ）、
ρは該フィルムを構成する樹脂の比重（ｇ／ｍｍ３）、
ｔ
は該フィルムの最大厚み（ｍｍ）である。
　【請求項２】該太陽電池用封止膜は、前記積層工程では、該凹部が設けられた面が太陽電池セル側となるように配置されることを特徴とする太陽電池の製造方法。
　【請求項
３
又は２
　【請求項
４
３
　【請求項
５
４
【発明の詳細な説明】
技術分野
　本発明は太陽電池の製造方法に係り、特に、エンボス加工を施してなるエチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂フィルムよりなる太陽電池用封止膜を用いた太陽電池の製造方法に関する。
背景技術
　資源の有効利用や環境汚染の防止等の面から、太陽光を直接電気エネルギーに変換する太陽電池が注目され、開発が進められている。
　太陽電池は、図２に示す如く、表面側透明保護部材としてのガラス基板１１と裏面側保護部材（バックカバー）１２との間にエチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）樹脂フィルム１３Ａ，１３Ｂの封止膜により、シリコン発電素子１４等の太陽電池用セルを封止した構成とされている。
　このような太陽電池は、ガラス基板１１、封止膜用ＥＶＡ樹脂フィルム１３Ａ、シリコン発電素子１４、封止膜用ＥＶＡ樹脂フィルム１３Ｂ及びバックカバー１２をこの順で積層し、この積層体を加熱加圧して、ＥＶＡ樹脂を架橋硬化させて接着一体化することにより製造される。
　なお、封止膜用ＥＶＡ樹脂フィルム１３Ａ，１３Ｂは、一般に溶融樹脂を直線状スリットを有するダイから押し出し、冷却ロール又は水槽で急冷固化するＴダイ法、カレンダー法等により成膜されている。
　また、各種の接着用フィルムにあっては、溶着性、加圧接着性を向上させる目的で成膜されたフィルムにエンボス加工を施して、表面に凹凸を付与することが行われる場合もある。
　従来、封止膜用ＥＶＡ樹脂フィルムについては、エンボス加工は行われていないか、或いは、エンボス加工を行う場合であっても、形成される凹凸面の深さは高々５μｍ程度であった。なお、ＥＶＡ樹脂フィルムの厚みは通常数百μｍ程度である。
　太陽電池の作製時にあっては、その封止工程の加熱加圧の際にＥＶＡ樹脂フィルムが太陽電池用セルに押し付けられるため、この押圧力で太陽電池用セルが割れるという問題があった。また、封止時の脱気不良で空気を巻き込んだり、加熱加圧した際にＥＶＡ樹脂フィルムが流動して、前記積層体の端面に樹脂がはみ出したりすることで製品の歩留りが低下するという問題もあった。
発明の開示
　本発明は上記従来の問題点を解決し、この太陽電池作製時の封止工程における太陽電池用セルの破損や脱気不良、封止膜の樹脂の流出によるはみ出し等を防止し、太陽電池を歩留り良く効率的に作製することができる太陽電池の製造方法を提供することを目的とする。
　本発明の太陽電池の製造方法は、表面側透明保護部材、太陽電池用封止膜、太陽電池セル、太陽電池用封止膜及び裏面側保護部材をこの順に積層してなる積層体を形成する積層工程と、該積層体を加圧及び加熱して一体化する工程と、を有する太陽電池の製造方法において、これらの太陽電池用封止膜が、エチレン−酢酸ビニル共重合体樹脂を成膜して得られるフィルムよりなり、該フィルムはエンボス加工により凹部が設けられており、
下記式によって定義される、
５
　　
Ｖ
／Ｖ
×１００＝｛１−Ｗ／（ρ・ｔ
・１０６）｝×１００
　
ただし、Ｗは１ｍ２当りの該フィルムの重さ（ｇ）、
ρは該フィルムを構成する樹脂の比重（ｇ／ｍｍ３）、
ｔ
は該フィルムの最大厚み（ｍｍ）である。
発明の好ましい形態
　上記ＶＨ／ＶＡ×１００％にて定義される空隙率Ｐは、次のようにして計算により求めることができる。即ち、図１に示すようなエンボス加工を施したフィルム１において、フィルム１の見掛けの体積ＶＡ（ｍｍ３）は、フィルムの最大厚みｔｍａｘ（ｍｍ）と単位面積
（１
　　ＶＡ（ｍｍ３）＝ｔｍａｘ×１０６
　一方、この単位面積のフィルム１の実際の体積Ｖ０（ｍｍ３）はフィルム１を構成する樹脂の比重ρ（ｇ／ｍｍ３）と単位面積（１ｍ２）当りのフィルム１の実際の重さＷ（ｇ）とから次のようにして算出される。
　　Ｖ０（ｍｍ３）＝Ｗ／ρ
　フィルム１の単位面積当りの凹部１Ａの合計体積ＶＨ（ｍｍ３）は、フィルム１の見掛けの体積ＶＡから実際の体積Ｖ０を差し引いた値として次のように算出される。
　　ＶＨ（ｍｍ３）＝ＶＡ−Ｖ０
　　＝ＶＡ−（Ｗ／ρ）
　従って、空隙率（％）は次のようにして求めることができる。
　　空隙率Ｐ（％）＝ＶＨ／ＶＡ×１００
　　＝（ＶＡ−（Ｗ／ρ））／ＶＡ×１００
　　＝
｛
｝
　　＝
｛
｝
０
　
上
５
　太陽電池の作製の際の封止工程の加熱加工時に、フィルムに設けられた凹部により、空気の広い通り道が確保され、脱気性が向上する。このため、脱気不良が防止されると共に、封止時間を短縮することができる。
　太陽電池の作製の際の封止工程の加熱加工時に、流動した樹脂が凹部内に流入することで樹脂のはみ出しが防止される。
　これらの結果、高品質の太陽電池を歩留り良く製造することができる。
　本発明において、エンボス加工により形成される凹部の深さはフィルムの最大厚みの２０〜９５％、特に５０〜９５％、とりわけ６５〜９５％であることが好ましい。
　本発明におけるエンボス加工の凹部の深さとは、図１におけるエンボス加工によるフィルム１の凹凸面の凸部１Ｂの最頂部と凹部１Ａの最深部との高低差Ｄを示す。また、フィルムの最大厚みｔｍａｘとは、フィルムの一方の面にエンボス加工してある場合、凸部１Ｂの最頂部から裏面までの距離を示し、フィルムの双方の面にエンボス加工してある場合には、双方の面の凸部の先端同士の距離（フィルム厚さ方向の距離）を示す。
　エンボス加工は、フィルムの両面に施されていても良く、片面にのみ施されていても良い。フィルムの片面にのみエンボス加工が施されている場合、フィルムの最大厚みｔｍａｘは５０〜２０００μｍであることが好ましい。
　太陽電池用封止膜を構成するフィルムのＥＶＡ樹脂の酢酸ビニル含有量は１０〜４０重量％、特に１０〜３６重量％であることが好ましい。
　本発明の太陽電池の製造方法は、表面側透明保護部材、太陽電池用封止膜、太陽電池セル、太陽電池用封止膜及び裏面側保護部材を積層して積層体とする工程と、該積層体を加圧及び加熱して一体化する工程と、を有する。この太陽電池用封止膜は上記の太陽電池用封止膜である。
　この太陽電池の製造方法において、太陽電池用封止膜が積層体からはみ出さないように加圧及び加熱が行われることが好ましい。また、前記積層体を熱板の上に載せ、前記積層体を軟質シート及び該熱板で囲み、内部を減圧して大気圧を積層体に加えて加圧を行い、該熱板によって該積層体を加熱することが好ましい。
　以下に図面を参照して本発明の好ましい形態をより詳細に説明するが、以下の好ましい形態は本発明の一例にすぎないことは留意されるべきである。
　図１は本発明方法に用いられる太陽電池用封止膜の一例を示す断面図である。この太陽電池用封止膜１は、エンボス加工により凹凸が形成されたフィルムよりなる。このフィルムは、５〜
５
５
　エンボス加工により形成される凹部の深さＤは、フィルムの最大厚みｔｍａｘの２０〜９５％、特に５０〜９５％であることが好ましい。以下において、フィルムの最大厚みｔｍａｘに対する凹部の深さＤの百分比を凹部の「深さ率」と称す場合がある。
　このエンボス加工はフィルムの片面にのみ施しても、両面に施しても良いが、本発明ではエンボス加工を深くしているので、通常はフィルムの片面にのみ形成するのが好ましい。このフィルムは、エンボス加工面が太陽電池用セルに接するように用いられる。
　このフィルムの片面にのみエンボス加工を行う場合、フィルムの最大厚みｔｍａｘは５０〜２０００μｍ、特に１００〜１０００μｍ、とりわけ２００〜８００μｍであることが好ましい。
　この太陽電池用封止膜は、架橋剤を含むＥＶＡ樹脂組成物を常法に従って成膜し、更に、所定の深さの凹凸面が形成されるように、エンボス加工を施すことにより、容易に製造することができる。
　次に、この封止膜を構成するＥＶＡ樹脂の好適な組成について説明する。
　このＥＶＡ樹脂は、酢酸ビニル含有量が４０重量％以下、好ましくは１０〜４０重量％、より好ましくは１０〜３６重量％、特に好ましくは１０〜３３重量％であることが望ましい。
　ＥＶＡ樹脂の酢酸ビニルの含有率が４０重量％を超えると、樹脂が非常に流れ易くなり、封止時にはみ出し易くなる。また、粘着性が増してタックし易くなり、取り扱い性が悪くなる。
　酢酸ビニルの含有率が１０重量％より低いＥＶＡ樹脂は、加工性が悪く、またフィルムが硬過ぎて脱気性が悪くなる。
　このＥＶＡ樹脂は、メルトフローレートが０．７〜２０であることが好ましく、より好ましくは１．５〜１０である。
　このＥＶＡ樹脂には、耐候性の向上のために架橋剤を配合して架橋構造を持たせることが好ましい。この架橋剤としては、好ましくは１００℃以上でラジカルを発生する有機過酸化物が用いられ、特に、配合時の安定性が高い、半減期１０時間の分解温度が７０℃以上であるものが好ましい。このような有機過酸化物としては、例えば２，５−ジメチルヘキサン；２，５−ジハイドロパーオキサイド；２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン；３−ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド；ｔ−ジクミルパーオキサイド；２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキシン；ジクミルパーオキサイド；α，α’−ビス（ｔ−ブチルパーオキシイソプロピル）ベンゼン；ｎ−ブチル−４，４−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ブタン；２，２−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ブタン；１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン；１，１−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）３，３，５−トリメチルシクロヘキサン；ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート；ベンゾイルパーオキサイド等を用いることができる。これらの有機過酸化物の配合量は、好ましくはＥＶＡ樹脂１００重量部に対して５重量部以下、特に好ましくは１〜３重量部である。
　太陽電池の発電素子との接着力向上のために、ＥＶＡ樹脂にシランカップリング剤が添加されてもよい。この目的に供されるシランカップリング剤としては、例えばγ−クロロプロピルトリメトキシシラン；ビニルトリクロロシラン；ビニルトリエトキシシラン；ビニル−トリス−（β−メトキシエトキシ）シラン；γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン；β−（３，４−エトキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン；γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン；ビニルトリアセトキシシラン；γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン；γ−アミノプロピルトリメトキシシラン；Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。これらのシランカップリング剤の配合量は、好ましくはＥＶＡ樹脂１００重量部に対して５重量部以下、特に好ましくは０．１〜２重量部である。
　ＥＶＡ樹脂のゲル分率を向上させ、耐久性を向上するためにＥＶＡ樹脂に架橋助剤が添加されてもよい。この目的に供される架橋助剤としては、トリアリルイソシアヌレート；トリアリルイソシアネート等の３官能の架橋助剤の他、ＮＫエステル等の単官能の架橋助剤等も挙げることができるが、これらに限定されるものではない。これらの架橋助剤の配合量は、好ましくはＥＶＡ樹脂１００重量部に対して１０重量部以下、特に好ましくは１〜５重量部である。
　ＥＶＡ樹脂の安定性を向上する目的でハイドロキノン；ハイドロキノンモノメチルエーテル；ｐ−ベンゾキノン；メチルハイドロキノンなどがＥＶＡ樹脂に添加されてもよい。これらの配合量は、好ましくはＥＶＡ樹脂１００重量部に対して５重量部以下である。
　ＥＶＡ樹脂には、必要に応じ、上記以外に着色剤、紫外線吸収剤、老化防止剤、変色防止剤等が添加されてもよい。着色剤の例としては、金属酸化物、金属粉等の無機顔料、アゾ系、フタロシアニン系、アヂ系、酸性又は塩基染料系レーキ等の有機顔料がある。紫外線吸収剤には、２−ヒドロキシ−４−オクトキシベンゾフェノン；２−ヒドロキシ−４−メトキシ−５−スルフォベンゾフェノン等のベンゾフェノン系；２−（２’−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール等のベンゾトリアゾール系；フェニルサルシレート；ｐ−ｔ−ブチルフェニルサルシレート等のヒンダートアミン系がある。老化防止剤としては、アミン系；フェノール系；ビスフェニル系；ヒンダートアミン系があり、例えばジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール；ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペラジル）セバケート等がある。
　成膜されたＥＶＡ樹脂フィルムを用いて太陽電池を製造するには、図３に示す如く、ガラス基板１１、ＥＶＡ樹脂フィルム１３Ａ、シリコン発電素子１４、ＥＶＡ樹脂フィルム１３Ｂ及びバックカバー１２を積層し、積層体を熱板１５の上に載せ、この積層体を軟質シート（ダイヤフラム）１６と熱板１５で囲み、内部を減圧して大気圧を積層体に加えると共に、積層体を加熱すれば良い。好ましいこの加熱加圧条件は、熱板温度７０〜１７０℃、脱気時間１〜１０分、プレス圧力０．１〜１気圧、プレス時間１〜１０分である。この加熱加圧時に、ＥＶＡ樹脂フィルム１３Ａ，１３Ｂが架橋して耐候性に優れた封止膜が形成される。この封止に当り、本発明のＥＶＡ樹脂フィルムは、クッション性が良好であるため、未溶融のフィルムがセルに押し付けられることによるセルの損傷が防止される。また、スムーズに脱気されるため空気が巻き込まれない。更に、樹脂の流動によるはみ出しもない。これらの結果、高品質の太陽電池が歩留り良く製造される。
　シート状のダイヤフラム１６の代りに、積層体を袋に入れ、袋内を減圧して大気圧を積層体に加えてもよい。
　ダイヤフラムや袋の構成材料としてはシリコンゴム、フッ素ゴム、加硫ゴムなどが例示されるが、これに限定されるものではない。
　バックカバー１２側のＥＶＡ樹脂フィルム１３Ｂは、バックカバー１２と予め貼り合わせて一体化されていても良い。
　以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
　実施例１，２、比較例１，２
　下記配合のＥＶＡ樹脂組成物を用いて、ＥＶＡ樹脂フィルムを成膜し、エンボス加工により、表１に示す空隙率及び深さ率の凹部を有するフィルムを製造した。ただし、比較例１ではエンボス加工していない。表１はさらに各フィルムの厚さを示している。
ＥＶＡ樹脂組成物配合
　ＥＶＡ樹脂　１００重量部
　架橋剤（２，５−ジメチル−２，５−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン）　１．３重量部
　シランカップリング剤（γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン）　０．３重量部
　架橋助剤（トリアリルイソシアヌレート）　０．５重量部
　紫外線吸着剤　０．１重量部
　黄変防止剤　０．３重量部
　なお、用いたＥＶＡ樹脂の酢酸ビニル含有量は、ガラス基板側のＥＶＡ樹脂フィルムでは２０重量％、バックカバー側のＥＶＡ樹脂フィルムでは２５重量％である。また、バックカバーとしてはＰＶＦ（３８μｍ）、ＰＥＴ（７５μｍ）、ＰＶＦ（３８μｍ）の積層フィルムを用い、このバックカバー材は、予めバックカバー側のＥＶＡ樹脂フィルムと貼り合わせ、バックカバー兼用封止膜として用いた。
　図３に示す如く、厚さ３ｍｍのガラス基板とバックカバー兼用封止膜との間にシリコン発電素子を封止して３０５ｍｍ×３０５ｍｍの太陽電池を製造した。なお、ガラス基板側のＥＶＡ樹脂フィルム（以下「表面側フィルム」と称す。）も、バックカバー側のＥＶＡ樹脂フィルム（以下「裏面側フィルム」と称す。）も、エンボス加工面が素子側となるように配置した。また、封止は、真空ラミネーターを用い、熱板温度１５０℃、脱気時間１．５分、プレス圧力１気圧、プレス時間５．５分間で加熱圧着し、ＥＶＡ樹脂を架橋することにより行った。
　このようにして、１００個の太陽電池を作製し、素子の損傷、脱気不良及びＥＶＡ樹脂のはみ出し量を調べ、結果を表１に示した。
　なお、素子の損傷及び脱気不良については１００個の太陽電池のうち、素子の損傷又は脱気不良が認められた不良品率で示した。また、ＥＶＡ樹脂のはみ出しについてははみ出し量の平均値で示した。
　【表１】
　表１より、本発明によれば、素子の損傷、脱気不良がなく、ＥＶＡ樹脂のはみ出しも殆どない、高品質な太陽電池を製造することができることがわかる。
産業上の利用可能性
　以上詳述した通り、本発明によれば、太陽電池作製時の封止工程で太陽電池用セルに封止膜が押し付けられることによるセルの損傷や封止時の脱気不良を有効に防止することができると共に、封止膜の樹脂のはみ出しを防止することができ、高品質の太陽電池を高い歩留りで作製することができる。
【図面の簡単な説明】
図１は本発明方法に用いられる太陽電池用封止膜の実施の形態を示す断面図である。
図２は太陽電池の製造方法を示す断面図である。
図３は本発明の太陽電池の製造方法の実施の形態を示す断面図である。