【事件の表示】
　特許第３４１２１５６号「インクジェット記録ヘッド」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４１２１５６号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３４１２１５６号の請求項１乃至４に係る発明についての出願は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴う平成５年３月１５日（優先日、平成４年８月２６日、平成４年１０月１２日、平成４年１２月１５日）の出願（特願平５−８００７０号）の一部を平成１４年３月２５日に新たな特許出願としたものであって、平成１５年３月２８日にその特許権の設定の登録がなされ、その特許について、山口雅行より特許異議の申し立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１６年６月１４日に訂正請求（後日取り下げ）がなされ、その後、再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１６年１０月１日に訂正請求がなされたものである。
　　　
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
　特許権者の求めている訂正の内容は、以下のとおりである（訂正箇所にアンダーラインを付した。）。
　ア．訂正事項ア
　特許請求の範囲の
「【請求項１】表面に複数のたわみモードで変位する圧電振動子を有して振動部材を形成する第１の板材と、前記圧電振動子のそれぞれに対応するように複数の圧力室を形成する圧力室形成部材と、前記圧力室の領域に位置して外部からインクの供給を受けるインク供給口を備え、前記圧電振動子の変位により前記圧力室のインクを加圧して前記振動部材の面に垂直な方向にインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記圧電振動子が、前記圧力室の幅よりも小さく、かつ前記圧力室の長手方向の長さよりも長く形成され、前記圧電振動子の両端が前記圧力室の非形成領域に位置するインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】前記圧電振動子が、前記第１の板材に形成された駆動信号印加電極の表面に、前記駆動信号印加電極の幅よりも広く、かつ前記圧力室の幅よりも狭く形成されている請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】前記圧電振動子の長手方向の一部を残し、かつ複数の前記圧電振動子の表面を共通に覆うように共通電極が形成されている請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】前記圧電振動子の非形成領域に、前記圧電振動子の形成領域にまで延びて前記共通電極に接続する共通電極引出端子が形成されている請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。」
を、
「【請求項１】表面に複数のたわみモードで変位する圧電振動子を有して振動部材を形成する第１の板材と、前記圧電振動子のそれぞれに対応するように複数の圧力室を形成する圧力室形成部材と、前記圧力室の領域に位置して外部からインクの供給を受けるインク供給口を備え、前記圧電振動子の変位により前記圧力室のインクを加圧して前記振動部材の面に垂直な方向にインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドにおいて、
　前記圧電振動子が、前記圧力室の幅よりも小さく、かつ前記圧力室の長手方向の長さよりも長く形成され、前記圧電振動子の両端が前記圧力室の非形成領域に位置
し、また複数の前記圧電振動子の長手方向の、前記圧電振動子に電気信号を伝達するケーブルが接続される側の一部を残し、かつ複数の前記圧電振動子を共通に覆うように共通電極が形成されている
【請求項２】前記圧電振動子が、前記第１の板材に形成された駆動信号印加電極の表面に、前記駆動信号印加電極の幅よりも広く、かつ前記圧力室の幅よりも狭く形成されている請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】前記圧電振動子の非形成領域に、前記圧電振動子の形成領域にまで延びて前記共通電極に接続する共通電極引出端子が形成されている請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。」
と訂正する。
　イ．訂正事項イ      
　段落【０００４】を、
「【課題を解決するための手段】このような問題を解消するために本発明においては、表面に複数のたわみモードで変位する圧電振動子を有して振動部材を形成する第１の板材と、前記圧電振動子のそれぞれに対応するように複数の圧力室を形成する圧力室形成部材と、前記圧力室の領域に位置して外部からインクの供給を受けるインク供給口を備え、前記圧電振動子の変位により前記圧力室のインクを加圧して前記振動部材の面に垂直な方向にインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記圧電振動子が、前記圧力室の幅よりも小さく、かつ前記圧力室の長手方向の長さよりも長く形成され、前記圧電振動子の両端が前記圧力室の非形成領域に位置
し、また複数の前記圧電振動子の長手方向の、前記圧電振動子に電気信号を伝達するケーブルが接続される側の一部を残し、かつ複数の前記圧電振動子を共通に覆うように共通電極が形成されている。
と訂正する。
　ウ．訂正事項ウ
　段落【０００６】における
「７は、前述の圧電振動子で、駆動信号印加電極５を覆い、図４に示したように圧力室２の長手方向の長さとほぼ等しく、また幅が小さなサイズのＰＺＴ等の圧電振動材料の薄板からなり、長手方向を軸とするように幅方向に湾曲するモードで振動するように構成されている。」
を、
「７は、前述の圧電振動子で、駆動信号印加電極５を覆い、図４に示したように圧力室２の長手方向の長さとほぼ等しく、
より詳細には圧電振動子の両端が圧力発生室の外側に位置するように、
と訂正する。
　　　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項アに関して、願書に添付した明細書及び図面（以下、「特許明細書等」という。）には、「前記圧電振動子の長手方向の一部を残し、かつ複数の前記圧電振動子の表面を共通に覆うように共通電極が形成されている請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。」（【請求項３】）及び「共通電極８がスパッタリングなどの膜形成法により、圧電振動子７の長手方向の一部を残すように作り付けられている。」（段落【０００６】参照）が、電気信号を伝達するケーブルとの位置関係をも併せて示す図示（【図５】及び【図６】）と共に記載されているから、上記訂正事項アは、特許明細書等に記載された事項の範囲内においてなされたものといえる。
　そして、上記訂正事項アは、以下の訂正事項を含むものである。
　訂正事項ａ
　請求項１において、訂正前の請求項３に記載の構成を請求項１の限定事項とすると共に、圧電振動子の、電気信号を伝達するケーブル及び共通電極との関連配置構成を限定する。
　訂正事項ｂ
　請求項３を削除し、それに伴い元の請求項４を繰り上げて請求項３とすると共に、引用する請求項を請求項３から請求項１に変更する。
　してみると、上記訂正事項アは、特許明細書等に記載されていた範囲内で、特許請求の範囲の減縮を目的としたものである。
　また、上記訂正事項イ及びウは、上記訂正事項アに伴い、特許請求の範囲の記載との整合を図るための、発明の詳細な説明の記載を訂正したものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　さらに、上記訂正事項ア乃至ウは、いずれも、実質的に特許請求の範囲を拡張変更するものでない。
　　
（３）むすび
  以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　　　　　
３．特許異議の申し立ての概要
  申立人山口雅行は、証拠として、甲第１号証（特開昭５８−１３４７５４号公報）、甲第２号証（米国特許第４７３０１９７号明細書）、甲第３号証（特開昭５５−１２６４６３号公報）、甲第４号証（特公昭５４−３５９３６号公報）、甲第５号証（米国特許第４５２０３７４号明細書）、甲第６号証（特開昭５９−１７８２５７号公報）、甲第７号証（特開昭５５−４１８３２号公報）、甲第８号証（特開昭５５−８６７６５号公報）及び甲第９号証（特開昭５９−８９１６６号公報）を提出し、本件請求項１乃至４に係る発明は、甲第１号証〜甲第９号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたもので特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない旨の主張（主張Ａ）をすると共に、本件特許出願は、明細書の記載が不備で、特許法第３６条第４項及び第５項に規定する要件を満たしていない旨の主張（主張Ｂ）をしている。
　
４．判断
（１）主張Ａについて
　ア．本件発明
　本件請求項１乃至３に係る発明（以下、「本件発明１乃至３」という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載されたとおりのものである（上記、２．（１）ア．参照。）。       
　イ．甲各号証に記載された発明
　申立人の提出した上記甲各号証には、本件発明１乃至３に関連する事項として、以下のような事項が記載されている。
　甲第１、２号証には、圧電振動子が設けられた振動部材と圧力室を形成する圧力室形成部材とからインクを供給可能とした複数の圧力室を構成し、振動部材の面に垂直な方向にインクを吐出するようにノズルを設けたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記圧電振動子が、前記圧力室の幅より小さく形成することが記載されている。
　また、甲第３、４、７号証には、圧電振動子が設けられた振動部材と圧力室を形成する圧力室形成部材とからインクを供給可能とした複数の圧力室を構成し、振動部材の面に平行な方向にインクを吐出するようにノズルを設けたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記圧電振動子が、前記圧力室の幅より小さく形成することが記載されており、甲第３、５、６号証には、インクジェット記録ヘッドにおいて、圧電振動子が圧力室の長手方向の長さよりも長く形成することが記載されている。
　さらに、甲第７、８号証には、インクジェット記録ヘッドにおいて、駆動信号電極を圧電振動子の外周よりも内側に形成すること、すなわち、圧電振動子を駆動信号印加電極の幅よりも広く形成することが記載されている。
　さらにまた、甲第９号証には、インクジェット記録ヘッドにおいて、一側面をまわり込んで下面の一部に達している上面電極１０８Ａと該上面電極１０８Ａのまわり込み部の一端とは一定の空隙を保って形成される下面電極１０８Ｃを備える圧電変換素子１０８（圧電振動子）をコネクタ１１２に接続する、ヘッド基板１０４の平面上にプリントされる導電性パターン１１０の形状を、下面電極１０８Ｃ形状に対応した圧電変換素子１０８（圧電振動子）の数に等しい複数個のパターンとこれらのパターンを共通の導通パターン１１０Ａで結ばれる形状とすることが記載されている。
　　　
　ウ．対比・判断
　本件発明１と上記甲各号証に記載された発明とを対比すると、
　上記甲各号証のいずれにも、本件発明１の構成要件である、
「複数の前記圧電振動子の長手方向の、前記圧電振動子に電気信号を伝達するケーブルが接続される側の一部を残し、かつ複数の前記圧電振動子を共通に覆うように共通電極が形成されている」
点について、記載も示唆もされておらず、また、該点は、当該技術分野において、周知のことでもない。
　したがって、本件発明１は、上記甲第１乃至９号証に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
  また、本件発明２、３は、本件発明１の構成要件の全てを備え、その一部を技術的に限定するものであるから、本件発明１の上記判断と同様な理由で、上記甲第１乃至９号証に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
　ゆえに、主張Ａは採用できない。
　　
（２）主張Ｂについて
  申立人は、本件特許明細書が記載不備である理由として、以下の旨の主張をしている。
　本件の発明の詳細な説明には、「７は、前述の圧電振動子で、駆動信号印加電極５を覆い、図４に示したように圧力室２の長手方向の長さとほぼ等しく、」（以下、前者の記載という。）と記載しているのに、特許請求の範囲の請求項１には、「前記圧電振動子が、・・・前記圧力室の長手方向の長さよりも長く形成され、」（以下、後者の記載という。）と記載されているから、本件請求項１に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものでない。
　しかし、前者の記載は、その「ほぼ等しく」という記載からもわかるように、概略を示したものであり、後者の記載は、その詳細を記載したものであることが明らかであるが、また、このことは、上記訂正により、前者の記載に「より詳細には圧電振動子の両端が圧力発生室の外側に位置するように、」との記載が追加されたことにより、明らかになった。
　したがって、申立人が主張する本件特許明細書に関する上記記載不備は、解消されている。
　ゆえに、主張Ｂも採用することができない。
　　
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申し立ての理由及び証拠方法によっては、本件請求項１乃至３に係る発明についての特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１乃至３に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項１乃至３に係る発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年１０月１８日（２００４．１０．１８）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
インクジェット記録ヘッド
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　表面に複数のたわみモードで変位する圧電振動子を有して振動部材を形成する第１の板材と、前記圧電振動子のそれぞれに対応するように複数の圧力室を形成する圧力室形成部材と、前記圧力室の領域に位置して外部からインクの供給を受けるインク供給口を備え、前記圧電振動子の変位により前記圧力室のインクを加圧して前記振動部材の面に垂直な方向にインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドにおいて、
　前記圧電振動子が、前記圧力室の幅よりも小さく、かつ前記圧力室の長手方向の長さよりも長く形成され、前記圧電振動子の両端が前記圧力室の非形成領域に位置
し、また複数の前記圧電振動子の長手方向の、前記圧電振動子に電気信号を伝達するケーブルが接続される側の一部を残し、かつ複数の前記圧電振動子を共通に覆うように共通電極が形成されている
　【請求項２】　前記圧電振動子が、前記第１の板材に形成された駆動信号印加電極の表面に、前記駆動信号印加電極の幅よりも広く、かつ前記圧力室の幅よりも狭く形成されている請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項３】　前記圧電振動子の非形成領域に、前記圧電振動子の形成領域にまで延びて前記共通電極に接続する共通電極引出端子が形成されている請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、ノズル開口に連通する圧力室の一部領域を圧電振動子により加圧してインクを吐出させるインクジェット記録ヘッドに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　圧力室を構成している振動板の一部領域に圧電振動板を張設し、圧電振動板の変位により圧力室の容積を変化させてインク滴を発生させるインクジェット式記録ヘッドは、圧力室の広い面積を変位させることが可能なため、インク滴を安定して発生させることができるという特徴を備えている。
　しかしながら振動板の変位方向に直角な方向にインク滴を飛翔させるため、記録用紙の紙面に垂直な方向のサイズが大きくなり、キャリッジ等が大型化するという問題を抱えている。
　このような問題を解消するために振動板を含む圧力発生部材、及びインク流路形成部材を積層構造により構成して、振動板の変位方向に平行にノズル開口を設けて薄型化を図ったインクジェット記録ヘッドが提案されている（特開昭６２−１１１７５８号公報）。
　このような積層構造を取ると、小型化を図れるばかりでなく、プレス加工やエッチング加工された板材を接着するとい簡単な方法が適用できるため、製造工程の簡素化を図ることが可能となる。
　しかしながら、各板材の接着を接着剤に頼っている関係上、微細な小孔への接着剤の流れ込みによる流路抵抗の変動による信頼性の低下を招いたり、振動板への圧電振動子の取り付けを、接着剤や、エッチングやレーザー加工に頼っているため、手間がかかるという問題を抱えている。
　このような問題を解消するために半固化状態のセラミックス板を所要の形状に加工して流路部材と、圧電振動子を形成し、これらを積層して焼成することにより、圧電振動子の取り付け作業を不要としたインクジェット記録ヘッドも提案されている（特開昭６３−１４９１５９号公報）。しかしながら、圧電振動子の表面に形成される電極とケーブルとの接続構造が複雑化するという問題がある。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明はこれらの問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、電極の接続構造を簡素化することができるインクジェット記録ヘッドを提供することである。
　【０００４】
　【課題を解決するための手段】
　このような問題を解消するために本発明においては、表面に複数のたわみモードで変位する圧電振動子を有して振動部材を形成する第１の板材と、前記圧電振動子のそれぞれに対応するように複数の圧力室を形成する圧力室形成部材と、前記圧力室の領域に位置して外部からインクの供給を受けるインク供給口を備え、前記圧電振動子の変位により前記圧力室のインクを加圧して前記振動部材の面に垂直な方向にインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記圧電振動子が、前記圧力室の幅よりも小さく、かつ前記圧力室の長手方向の長さよりも長く形成され、前記圧電振動子の両端が前記圧力室の非形成領域に位置
し、また複数の前記圧電振動子の長手方向の、前記圧電振動子に電気信号を伝達するケーブルが接続される側の一部を残し、かつ複数の前記圧電振動子を共通に覆うように共通電極が形成されている。
　【０００５】
　【実施例】
　そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づいて説明する。図１、２は本発明の一実施例を示す断面図と、その分解斜視図であって、図中符号１は、圧力室形成部材で、圧力室を形成するのに適した厚さ、例えば１５０μｍのジルコニア（ＺｒＯ２）などのセラミックス板に、図４に拡大して示したように長軸側の端部が丸く形成された長丸矩形状の圧力室２、２、２‥‥の形状に一致し、一端が図３に示したようにリザーバ２１に重なり、また他端がノズル開口３１に重なる長孔２’、２’、２’‥‥を一定ピッチで穿設して構成されている。４は、圧力室形成部材１の一方の面に固定される振動板で、圧力室形成部材１と一体に焼成したとき相性が良く、しかも弾性率の高い材料、この実施例では圧力室形成部材と同様に厚さ１０μｍのジルコニアの薄板で構成され、これの表面には図４に示したように圧力室２に対応させて圧電振動子７の駆動信号印加電極５と、後述する共通電極８の引出電極６が設けられている。
　【０００６】
　７は、前述の圧電振動子で、駆動信号印加電極５を覆い、図４に示したように圧力室２の長手方向の長さとほぼ等しく、
より詳細には圧電振動子の両端が圧力発生室の外側に位置するように、
　また、共通電極引出端子６が圧電振動子７が形成されていない領域で、かつ圧電振動子７が形成されている領域に延びるように形成されているため、各圧電振動子７は振動板４側が駆動信号印加電極５に、また表面側が引出端子６に接続された共通電極８に接続される。また、圧電振動子７は、図６に見られるように駆動信号印加電極５の幅よりも広く、かつ幅方向の両端からそれぞれ若干Ｗ、Ｗ’張り出すように形成されている。
　【０００７】
　１０は、振動板４と協同して圧力室２を形成する蓋部材で、圧力室形成部材１と一体に焼成したとき相性が良い材料、この実施例では厚さ１５０μｍのジルコニアの薄板からなり、後述するノズル開口３１と圧力室２を接続する通孔１１と、リザーバ２１と圧力室２を接続する通孔１２を穿設して構成されている。これら各部材１、４、１０は、それぞれ一体に固定されて圧力発生ユニット１５としてまとめ上げられている。
　【０００８】
　２０は、流路ユニット３５を構成するリザーバ形成部材で、インク流路を構成するに適した例えば１５０μｍのステンレス鋼などの耐蝕性を備えた板材に、リザーバ２１を形成する略Ｖ字状の通孔２１’と、圧力室２とノズル開口３１を結ぶ連通路となる通孔２２を穿設して構成されている。リザーバ２１となる通孔２１’は、インク供給口部材２４から各圧力室２、２、２‥‥の端部に平行に伸びるように構成されている。すなわち、ノズル開口列を２列備える本実施例においては、インク供給口部材２４を先端として「Ｖ」字状に分岐して、各枝から圧力室２、２、２‥‥に至る直線状の流路が構成されている。
　【０００９】
　２６は、前述のリザーバ形成部材２０の一方に固定されるインク供給部材で、圧力室２とノズル開口３１を接続する通孔２７や、リザーバ２１と圧力室２とを接続する通孔２を穿設するとともに、図示しないインクタンクと接続するインク供給口形成部材２４を表面に固定して構成されている。
　【００１０】
　３０は、スペーサ部材の他方の面に固定されたノズルプレートで、直径４０μｍのノズル開口を穿設するのに適した厚さ６０μｍのステンレス鋼板からなり、圧力室２に対向する位置にノズル開口３１，３１‥‥が設けられている。これら部材２０，２６，３０は、それぞれ接着剤や溶着等により一体に積層されて流路ユニット３５としてまとめ上げられている。そしてこれら部材２０，２６，３０は金属により構成されているため、内部にリザーバ形成用の大きな通孔２１’を有するとしても、十分な接着強度を得るための圧力を加えても食い込みや、変形を生じることがなく、高い精度寸法精度を維持して層状にまとめあげることができる。
　【００１１】
　そしてこれら圧力発生ユニット１５と流路ユニット３５は、その対向する面、つまり蓋部材１０とインク供給部材２６との接触面に接着剤を塗布して一体に固定されて記録ヘッドに構成される。
　これにより、圧力室２は、蓋部材１０の通孔１２とインク供給部材２６の通孔２８を介してリザーバ２１に、及び蓋部材１０の通孔１１とインク供給部材２６の通孔２７とリザーバ形成部材２０の通孔２２を介してノズル開口３１に接続されることになる。
　【００１２】
　図７，図８は、それぞれ本発明の積層型インクジェット式記録ヘッドの表側、及び裏側の構造を示すものであって、表側にはノズル開口３１，３１，３１‥‥が２列一定の間隔を隔てて配列されており、また、裏面側には流路ユニット３５に一体に圧力発生ユニット１５が固定されていて、各圧電振動子７，７，７‥‥に電気信号を伝達するケーブル３７が接続されている。
　【００１３】
　この実施例において、圧電振動子７の１つに駆動信号を印加すると、圧電振動子７が図９示したように長手方向を軸とするように幅方向に湾曲し、振動板４を圧力室側に変形させる。これにより圧力室２の容積が縮小してここに存在するインクに圧力が印加されることになる。圧力室２のインクは、蓋部材１０の通孔１１からインク供給部材２６の通孔２７、流路ユニット３５のリザーバ形成部材２０の通孔２２を通ってノズルプレート３０のノズル開口３１に移動し、ここからインク滴となって飛び出す。
　【００１４】
　ところで、圧力室２とノズル開口３１とを接続する流路は、蓋部材１０、インク供給部材２６、及びリザーバ形成部材２０に穿設した通孔１１、２７、２２により構成されいて、ノズル開口側の口径が段階的に小さくなっているため、圧力室の気泡が流路に侵入し難くなっている。なお、圧力室２のインクは通孔１２、２８を通ってリザーバ２１にも流れ込むが、通孔２８の口径が小さいため、インク滴の飛翔に影響を与える程度にまでは圧力の損失はない。
　【００１５】
　駆動信号の印加が解除されて圧電振動子７が元の形状に復帰すると、圧力室２の容積が膨張して圧力室２に陰圧が生じる。この結果、通孔２８，１２を通ってリザーバ２１から圧力室２に、消費分に相当するインクが補給される。また圧力室２に発生した陰圧は、ノズル開口３１にも作用するが、ノズル開口３１，３１，３１‥‥に生じているメニスカスによりインクが圧力室側に後退するのが阻止されてリザーバ２１からのインク吸引に有効に作用する。
　【００１６】
　そして、流路ユニット３５と圧力発生ユニット１５は、３０μｍ程度の高分子材料製の接着剤の薄い層を介して接続されているため、温度変化による両ユニットの熱膨張差が生じたとしても、熱膨張差は接着層により緩衝されてノズルプレートに歪みを生じさせることがなく、印刷品質の低下が接着層により防止される。
　【００１７】
　次に上述した記録ヘッドの製造方法を図１０に基づいて説明する。
　焼成したとき圧力室２を形成するのに適した厚みを備えたセラミックス材料、この実施例ではジルコニアの粘土状薄板、いわゆるグリーンシート４０に、圧力室を形成すべき位置をプレスにより打ち抜いて通孔４１，４１‥‥を穿設した第１のシートを用意する。同様に蓋部材１０を形成するのに適した厚みのジルコニアのグリーンシートにリザーバ２１とノズル開口３１との連通孔となる通孔４３，４４をプレスにより穿設した第２のシート４２を用意する。
　【００１８】
　第１のシート４０を挟むように第２のシート４２と、振動板４に適した厚みのジルコニアのグリーンシートからなる第３のシート４５とをサンドイッチ状に積層して、均一な圧力を加えて３枚を粘着させた状態で乾燥させる。この乾燥工程により３枚のシート４０，４２，４５が仮接着されて半固化状態となる。ついで温度、例えば１０００°Ｃで、反りを防止できる程度の圧力を加えながら焼成する。これにより、各シートがセラミックスに変化し、同時に各シートの境界面では焼結作用により３枚のシートが元から１枚のシートで構成されていたかのように一体となる（図１０　Ｉ）。
　【００１９】
　いうまでもなく、圧力室形成部材となる第１のシート４０には圧力室となる通孔４１が穿設されているとしても、この通孔４１の横幅が極めて小さいため、仮接着時に振動板や蓋部材となる第３、第２のシート４５、４２に無用な変形を起こさせることなく、この通孔４１の部分に適当に圧力が集中して振動板、及び蓋部材となるシート４５、４２を第１のシート４０に焼結させる際に寄与し、圧力室の容積を設計基準通りに仕上げるのに役立つ。
　【００２０】
　焼成により各シート４０、４２、４５はそれぞれ圧力室形成部材５０、蓋部材５１、振動板５２として機能するようになる。この状態で振動板５２の表面に圧力室５３の位置と、共通電極引出端子の位置に導電ペーストを厚膜印刷法により形成して乾燥させる。ついで圧力室５３の形状に合わせて通孔を形成したマスクを用いて粘土状の圧電材料を厚膜印刷する。振動子構成材料の焼成に適した状態に乾燥した時点で、圧電振動子及び電極を焼成するのに適した温度、例えば１０００乃至１２００°Ｃ程度で全体を加熱する。これにより各圧力室５３に圧電振動子５４を形成することができる（図１０　ＩＩ）。そして圧電振動子５４を形成した段階で、共通電極引出端子、及び圧電振動子５４を覆うように導電材料の層をスパッタリング等の膜形成手法により形成すると、振動板、圧力室形成部材、及び蓋部材を同一材料であたかもブロックとして構成したような圧力発生ユニットが完成する。
　【００２１】
　一方、所定の厚みを備えた金属板材に連通孔２７や流路制限孔２８に対応する通孔６１，６２をプレスにより穿設したインク供給部材６０と、リザーバ２１や連通孔２２となる通孔６４，６５をプレスにより穿設したリザーバ形成部材６６と、ノズル開口３１となる通孔６８をプレスにより穿設したノズルプレート６９を用意し、図１１に示したように部材６０，６６，６９間に，各部材の通孔６１，６２，６４，６５，６８を塞がない程度の接着代を見込んだ通孔７０，７０，‥‥、７１、７２，７２，７２‥‥、７３を穿設した接着フィルム７５，７６を介装して熱圧着して流路ユニットを構成する（図１０　ＩＩＩ）。
　【００２２】
　このようにして構成された圧力発生ユニットと流路ユニットとの接合面に図１２（イ）したように一方のユニット、例えば流路ユニットのインク供給部材６０の表面に、接着剤を塗布したり、熱溶着フィルムにより接着剤層８０を形成して（図１０　ＩＶ）、これに圧力発生ユニットの蓋部材５１を、その通孔５６，５７が同心円状に位置するように位置合わせして接合すると（図１０　Ｖ）、流路ユニットと圧力発生ユニットとの間に異種材料間の熱膨張差を吸収する緩衝材となる接着層８１を介した記録ヘッドが完成する。なお、接着剤層８０は、２つの被接合部材から圧力を受けると横に広がるため、通孔外周に接着剤を塗布しない領域８２を設けて、蓋部材５１とインク供給部材６０の通孔に流れ込むのを防止されている。
　【００２３】
　この実施例によれば圧力発生部材を金属に比較して密度の小さなセラミックスにより構成いているから、減衰度が大きく隣接する圧電振動子から伝搬してくる振動を可及的に減衰させることができ、クロストークを防止することができる。また、振動により常に変形を受ける部材が中間に異材を介することなく一体に構成できるため、接合不良に起因するインク漏れを確実に防止することができる。
　さらには圧力発生ユニットの基体と、振動発生ユニットを構成するセラミックスをそれぞれに適した温度で焼成することができるため、信頼性の向上を図ることができる。
　【００２４】
　【発明の効果】
　以上説明したように本発明によれば、圧電振動子を絶縁部材として使用でき、共通電極と、これの引出電極との接続構造を簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の圧電圧電振動子を使用したインクジェット記録ヘッドの一実施例を示す断面図である。
　【図２】
　本発明の圧電振動子を使用したインクジェット記録ヘッドの一実施例を示す分解斜視図である。
　【図３】
　圧力室、圧電振動子、及びリザーバの相対位置関係を示す図である。
　【図４】
　圧力室に対する圧電振動子の取り付け位置を示す図である。
　【図５】
　圧電振動子と各電極との位置関係を示す斜視図である。
　【図６】
　振動板に取り付けられた圧電振動子の構造を図５の線Ａ−Ａの断面で示す図である。
　【図７】
　本発明の積層型インクジェット記録ヘッドの概観を示す斜視図である。
　【図８】
　本発明の積層型インクジェット記録ヘッドの裏面構造を示す斜視図である。
　【図９】
　図（イ）（ロ）は、同上記録ヘッドのインク滴発生における圧電振動子と圧力室の状態を長手方向の断面と、幅方向（線Ｂ−Ｂ）の断面とで示す断面図である。
　【図１０】
　図（Ｉ）乃至（Ｖ）は、それぞれ積層型インクジェット記録ヘッドの製造方法を示す図である。
　【図１１】
　流路ユニットを構成する各板の接着工程を示す図である。
　【図１２】
　同図（イ）（ロ）は、それぞれ流路ユニットと圧力発生ユニットとを接着する接着層を示す図である。
　【符号の説明】
　１　圧力室形成部材
　２　圧力室
　４　振動板
　５　信号印加電極
　６　共通電極引出電極
　７　圧電振動子
　８　共通電極
　１０　蓋部材
　１５　圧力発生ユニット
　２０　リザーバ形成部材
　２１　リザーバ
　２４　インク供給口部材
　２６　インク供給部材
　３０　ノズルプレート
　３１　ノズル開口
　３５　流路ユニット