【事件の表示】
　特許第３２２６０５６号「低誘電率高強度ガラスセラミックス組成物」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２２６０５６号の訂正後の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
  本件特許第３２２６０５６号の請求項１に係る発明についての出願は、平成４年１０月１５日に特許出願されたものであって、平成１３年８月３１日にその発明について特許の設定登録がなされたところ、旭硝子株式会社（以下、「申立人」という）より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１４年９月１０日付けで訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
２−１．訂正の内容
  本件訂正の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおり、すなわち次の訂正事項ａ乃至ｃのとおりに訂正しようとするものである。
（１）訂正事項ａ
　請求項１を、「【請求項１】ガラス粉末と耐火性物質粉末とからなり、該耐火性物質粉末が、誘電率が６．５以下の低誘電率材料中にそれより機械的強度の高い高強度セラミックスの微粒子が分散又は混在した複合粉末であることを特徴とする低誘電率高強度ガラスセラミックス組成物。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　明細書中の段落【００１０】（本件特許掲載公報第２頁第３欄第３５〜４０行）の記載を、「即ち、本発明の低誘電率高強度ガラスセラミックス組成物は、ガラス粉末と耐火性物質粉末とからなり、該耐火性物質粉末が、誘電率が６．５以下の低誘電率材料中にそれより機械的強度の高い高強度セラミックスの微粒子が分散又は混在した複合粉末であることを特徴とする。」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　明細書中の段落【００１１】（本件特許掲載公報第２頁第３欄第４１行〜第４欄第４行）の記載を、「耐火性物質粉末は、誘電率が６．５以下の低誘電率材料、例えばコージェライト、ムライト、石英ガラス、高シリカガラス、Ｌｉ２Ｏ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系セラミックス、硼酸アルミニウム、ＣａＯ・Ａｌ２Ｏ３・２ＳiＯ２、ＳｒＯ・Ａｌ２Ｏ３・２ＳｉＯ２等を、それより機械的強度の高い高強度セラミックス、例えばジルコニア（単斜晶、正方晶、立方晶）、アルミナ、ジルコン、酸化すず、ガーナイト等によって複合強化してなる複合粉末である。なお得られる耐火性物質粉末の誘電率が８を越えるとガラスセラミックス焼成体の誘電率を下げる効果が殆どないため、耐火性物質粉末の誘電率が８を越えないように高強度セラミックスの割合を耐火性物質粉末全体の３０体積％以下に抑えることが望ましい。」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項１の低誘電率材料の誘電率を「６．５以下」と限定するものであるが、訂正前の誘電率が「７以下」であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。そして、この訂正事項は実施例１の「ムライト（誘電率６．５）を・・・」（本件特許掲載公報第２頁第４欄第３９行）の記載と上記「７以下」の記載から、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　上記訂正事項ｂ、ｃは、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正事項ａの訂正に伴うものであり、減縮された特許請求の範囲の記載と明細書の記載を整合させるために明りょうでない記載の釈明を行うことを目的とする訂正に該当するものであり、また願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされた訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
２−３．まとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについて
３−１．特許異議の申立ての理由の概要
  申立人は、証拠方法として甲第１〜４号証を提出し、（イ）請求項１に係る発明は甲第１号証に記載された発明であるから、請求項１に係る発明の特許は特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものであり取り消されるべきものである、（ロ）本件特許明細書は記載が不備であるから、請求項１に係る発明の特許は特許法第３６条第５項第２号の規定に違反してされたものであり取り消されるべきものであると主張している（申立人は特許法第３６条第６項第２号違反であると主張しているが、本件出願の出願日から上記のとおり認定した）。
３−２．本件訂正発明
　特許権者が請求した上記訂正は、上述したとおり、認容することができるから、訂正後の本件請求項１に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された上記２−１．（１）のとおりのものである（以下、「本件訂正発明」という）。
３−３．特許法第２９条第１項第３号違反（上記３−１．（イ））の主張について
３−３−１．甲各号証の記載内容
（１）甲第１号証：特開平４−１１４９３０号公報
（ａ）「体積百分率で、低融点ガラス粉末　５０〜８０％、ＺｒＯ２−ＺｎＯ−ＳｉＯ２系セラミック粉末　５〜５０％、低膨張セラミック粉末　０〜４０％からなり、前記ＺｒＯ２−ＺｎＯ−ＳｉＯ２系セラミック粉末は、重量百分率でＺｒＯ２　８〜６５％、ＺｎＯ　７〜６５％、ＳｉＯ２　２０〜３５％の範囲にあり、ジルコン及びウイレマイトを主結晶とする焼結物であることを特徴とする低融点封着用組成物。」（請求項１）
（ｂ）「本発明において用いられるＺｒＯ２−ＺｎＯ−ＳｉＯ２系セラミック粉末は、ジルコン結晶とウイレマイト結晶から構成されており、ジルコンの高い機械的強度と、ウイレマイトの良好な流動性を併せ持ったものである。しかもジルコンとウイレマイトが同一粉末粒子中に存在するため、ジルコン粉末とウイレマイト粉末をフィラーとして添加した封着材よりも、さらに良好な特性を示す。」（第２頁左下欄第１５行〜右下欄第２行）
（ｃ）「ＺｒＯ２−ＺｎＯ−ＳｉＯ２系セラミック粉末の作製方法は、α線放出量の少ないＺｒＯ２粉末と、ＺｎＯ粉末及びＳｉＯ２粉末を混合して焼成し、これを微粉砕したものであり、ＺｒＯ２、ＺｎＯ及びＳｉＯ２の割合はそれぞれ重量百分率で８〜６５％、７〜６５％、２０〜３５％である。この範囲外ではジルコン結晶またはウイレマイト結晶のどちらか一方が著しく多量に生成し、また未反応の成分により流動性が損なわれ、上述した効果を得ることができなくなる。」（第２頁右下欄第７〜１５行）
（２）甲第２号証：文部科学省国立天文台編「理科年表　第７５冊　平成１４年　２００２」丸善株式会社　第４２７頁（平成１３年１１月３０日）
（ａ）誘電体の項に、水晶のｋεが４．５であることが記載されている。
（３）甲第３号証：作花済夫他編「ガラスハンドブック」朝倉書店　第６７０、６７１頁（１９８７年２月１０日）
（ａ）第６７１頁表７．２２には、１ｍｍφ棒状試料の石英ガラスの破壊強度（ｋｇ／ｍｍ２）が５７０であることが記載されている。
（４）甲第４号証：社団法人日本セラミックス協会編「セラミック工学ハンドブック」技報堂出版株式会社　第２００６頁　（１９８９年４月１０日）
（ａ）表１．５高純度アルミナセラミックスの諸性質には、曲げ強さ３８０〜４４０ＭＰａが記載されている。
３−４−２．対比・判断
  甲第１号証の上記（１）（ａ）には、「低融点ガラス粉末、ＺｒＯ２−ＺｎＯ−ＳｉＯ２系セラミック粉末からなり、前記ＺｒＯ２−ＺｎＯ−ＳｉＯ２系セラミック粉末は、ジルコン及びウイレマイトを主結晶とする焼結物であることを特徴とする低融点封着用組成物。」という発明（以下、「甲１発明」という）が記載されていると云える。
　次に本件訂正発明と甲１発明とを対比すると、甲１発明の「低融点ガラス粉末」、「ＺｒＯ２−ＺｎＯ−ＳｉＯ２系セラミック粉末」は、本件訂正発明の「ガラス粉末」、「耐火性物質粉末」にそれぞれ相当するから、両者は「ガラス粉末と耐火性物質粉末とからなるガラスセラミックス組成物」という点で一致し、次の点で相違している。
相違点（イ）：本件訂正発明では、耐火性物質粉末が、誘電率が６．５以下の低誘電率材料中にそれより機械的強度の高い高強度セラミックスの微粒子が分散又は混在した複合粉末であるのに対して、甲１発明では、ジルコン及びウイレマイトを主結晶とする焼結物である点
相違点（ロ）：本件訂正発明では、ガラスセラミックス組成物が、低誘電率高強度ガラスセラミックス組成物であるのに対して、甲１発明では、低融点封着用組成物である点
  そこで相違点（イ）を検討すると、甲１発明のウイレマイトは誘電率が６．５以下とは云えないから（必要ならば、特開昭６３−２６５８５８号公報参照。第５頁表にウイレマイト９０ｍｏｌ％の組成物の誘電率が６．８と記載されていると共に、ウイレマイト成分の増加と共にウイレマイトを含む組成物の誘電率が増加していることが見てとれるから、ウイレマイト１００ｍｏｌ％の場合は６．８以上と解される）、甲１発明の「ジルコン及びウイレマイトを主結晶とする焼結物」は「誘電率が６．５以下の低誘電率材料中にそれより機械的強度の高い高強度セラミックスの微粒子が分散又は混在した複合粉末」であるとは云えない。
  そして、本件訂正発明は、この相違点（イ）により、「低誘電率で、且つ高い機械的強度を有するガラスセラミックス焼成体を作ることが可能である」（本件特許掲載公報第４頁第８欄第１２〜１４行）という効果を奏する。
　したがって、相違点（ロ）を検討するまでもなく、本件訂正発明は甲第１号証に記載された発明とすることはできない。
　なお、申立人は、甲第１号証の上記（１）（ｃ）の「ＺｒＯ２−ＺｎＯ−ＳｉＯ２系セラミック粉末の作製方法は、α線放出量の少ないＺｒＯ２粉末と、ＺｎＯ粉末及びＳｉＯ２粉末を混合して焼成し、これを微粉砕したものであり、」の記載と、「ＳｉＯ２粉末」が４．５の低誘電率（甲第２号証）であることを根拠として、甲第１号証の「ＺｒＯ２−ＺｎＯ−ＳｉＯ２系セラミック粉末」は「誘電率が６．５以下の低誘電率材料中にそれより機械的強度の高い高強度セラミックスの微粒子が分散又は混在した複合粉末」であることを主張しているが、上記（１）（ｂ）の「ジルコン結晶とウイレマイト結晶から構成されており」や、上記（１）（ｃ）の「この範囲外ではジルコン結晶またはウイレマイト結晶のどちらか一方が著しく多量に生成し、また未反応の成分により流動性が損なわれ、上述した効果を得ることができなくなる」の記載からみて、甲第１号証の焼成し微粉砕して製造される「ＺｒＯ２−ＺｎＯ−ＳｉＯ２系セラミック粉末」（上記（１）（ｃ））には、ＳｉＯ２が「ＳｉＯ２粉末」という形では存在しないことが明らかであるから、申立人の上記主張は採用することはできない。
３−４．特許法第３６条違反（上記３−１．（ロ））の主張について
　申立人は、甲第３、４号証を根拠に、石英ガラスの方がアルミナより機械的強度が高いから、石英ガラスよりアルミナの方が機械的強度が高い（本件明細書の段落【００１１】）としている点で、本件特許発明でいう「機械的強度」の記載は不明りょうな記載であると主張しているが、甲第３号証は１ｍｍφ棒状試料の測定結果であり、甲第４号証には、測定条件が記載されていないので申立人の主張のとおり一概に石英ガラスの方がアルミナより機械的強度が高いとは云えない。また、特許権者が提出した参考資料（社団法人日本セラミックス協会編「セラミック工学ハンドブック」技報堂出版株式会社　第３８６、３８７頁（１９８９年４月１０日））には、引張り強さやせん断強さの点でアルミナの方がＳｉＯ２（ガラス）より強いことが記載されていることからみても、申立人の主張は採用することができない。
４．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、訂正後の本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
 また、他に訂正後の本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、訂正後の本件請求項１に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願にされたものと認めない。
 よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１１月１８日（２００２．１１．１８）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第３２２６０５６号発明の明細書を、本件訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、
（１）訂正事項ａ
　請求項１を、「【請求項１】ガラス粉末と耐火性物質粉末とからなり、該耐火性物質粉末が、誘電率が６．５以下の低誘電率材料中にそれより機械的強度の高い高強度セラミックスの微粒子が分散又は混在した複合粉末であることを特徴とする低誘電率高強度ガラスセラミックス組成物。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　明細書中の段落【００１０】（本件特許掲載公報第２頁第３欄第３５〜４０行）の記載を、「即ち、本発明の低誘電率高強度ガラスセラミックス組成物は、ガラス粉末と耐火性物質粉末とからなり、該耐火性物質粉末が、誘電率が６．５以下の低誘電率材料中にそれより機械的強度の高い高強度セラミックスの微粒子が分散又は混在した複合粉末であることを特徴とする。」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　明細書中の段落【００１１】（本件特許掲載公報第２頁第３欄第４１行〜第４欄第４行）の記載を、「耐火性物質粉末は、誘電率が６．５以下の低誘電率材料、例えばコージェライト、ムライト、石英ガラス、高シリカガラス、Ｌｉ２Ｏ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系セラミックス、硼酸アルミニウム、ＣａＯ・Ａｌ２Ｏ３・２ＳｉＯ２、ＳｒＯ・Ａｌ２Ｏ３・２ＳｉＯ２等を、それより機械的強度の高い高強度セラミックス、例えばジルコニア（単斜晶、正方晶、立方晶）、アルミナ、ジルコン、酸化すず、ガーナイト等によって複合強化してなる複合粉末である。なお得られる耐火性物質粉末の誘電率が８を越えるとガラスセラミックス焼成体の誘電率を下げる効果が殆どないため、耐火性物質粉末の誘電率が８を越えないように高強度セラミックスの割合を耐火性物質粉末全体の３０体積％以下に抑えることが望ましい。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
低誘電率高強度ガラスセラミックス組成物
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ガラス粉末と耐火性物質粉末とからなり、該耐火性物質粉末が、誘電率が
６．５
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は電子部品材料として用いられるガラスセラミックス組成物に関し、特に高周波電子回路部品の気密封止又は絶縁を目的として用いられる低誘電率で高強度のガラスセラミックス組成物に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、電子部品の気密封止又は絶縁材料として、ガラス粉末と耐火性物質粉末とを混合してなるガラスセラミックス組成物が使用されている。
　【０００３】
　これらのガラスセラミックス組成物には、焼成後の焼成体が熱的、機械的な衝撃に十分耐えうる機械的強度を有することが要求される。また高周波電子回路の一部を形成するリード線又は導体の封止に用いられるガラスセラミックス組成物においては、機械的強度の他にも高周波信号の遅延を少なくするため、低い誘電率を有することが必要とされる。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　一般にガラスセラミックス焼成体は、ガラス粉末単体の焼成物に比べて大きな機械的強度を有するが、その増大の程度は加える耐火性物質粉末の種類及び量に大きく左右される。また同様に焼成体の誘電率も添加する耐火性物質粉末によって左右される。
　【０００５】
　例えばアルミナ、ジルコニア、ジルコン、酸化すず、Ｓｉ３Ｎ４、ＡｌＮ、ＳｉＣ等の高融点で弾性係数の大きい高強度セラミックスは粒子破壊を起こし難く機械的強度の高いものである。それゆえ耐火性物質粉末としてこれら高強度セラミックス粉末を多量に添加すればガラスセラミックス焼成体の機械的強度を増大させることができる。しかしながらこれらは誘電率が比較的高く、例えば上記した中で最も誘電率の低いアルミナやジルコンでも９〜１０である。従って高強度セラミックス粉末を多量に使用すると、ガラスセラミックス焼成体の誘電率は高くなってしまう。
　【０００６】
　一方、コージエライト、ムライト、石英ガラス等、７以下の誘電率を示す低誘電率材料粉末の場合、ガラスセラミックス焼成体の誘電率を低くする効果は大きいが、これらの材料はアルミナ等に比べると強度が低く粒子破壊を起こし易いため、機械的強度を増大させる効果はあまりない。
　【０００７】
　このようにガラスセラミックス焼成体において、低誘電率化と高強度化の要求を同時に満足することは非常に難しい。そこで高強度セラミックス粉末と低誘電率材料粉末とを併用した焼成体も種々提案されているが、低い誘電率を維持しながら十分な機械的強度を有するものは未だ存在しないのが実情である。
　【０００８】
　本発明は上記事情に鑑みなされたもので、低誘電率で、しかも高強度な焼成体を得ることが可能なガラスセラミックス組成物を提供することを目的とする。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】
　本発明者は種々研究を行った結果、低誘電率材料を高強度セラミックスで複合強化してなる複合粉末を使用することにより、上記目的が達成できることを見いだし、本発明として提案するものである。
　【００１０】
　即ち、本発明の低誘電率高強度ガラスセラミックス組成物は、ガラス粉末と耐火性物質粉末とからなり、該耐火性物質粉末が、誘電率が
６．５
　【００１１】
　耐火性物質粉末は、誘電率が
６．５
　【００１２】
　また耐火性物質粉末は、図１（ａ）、（ｂ）のように、低誘電率材料１中に微粒子状やウイスカー状等の状態で高強度セラミックス２が均一に分散して存在しているものが低誘電率材料の靱性を高める効果が大きいために最も望ましいが、図１（ｃ）、（ｄ）のように、高強度セラミックス２と低誘電率材料１とが不均一に混在している状態であっても差し支えない。このような耐火性物質粉末を作製する方法としては、例えば低誘電率材料粉末と高強度セラミックス微粉末とを適当な割合で混合し、焼成した後、粉砕することにより得ることができる。なお図中１０は耐火性物質粉末を示している。
　【００１３】
　ガラス粉末は、非晶質ガラス或は結晶性ガラスの何れも使用することができる。非晶質ガラスとしては硼珪酸ガラスのような低誘電率ガラスが望ましく、結晶性ガラスとしてはコージエライト、アノーサイト、ストロンチウム長石、セルシアン、硼酸アルミ、アルミノ硼酸カルシウム等の低誘電率結晶が主結晶として析出するものが望ましい。
　【００１４】
　ガラス粉末と耐火性物質粉末との混合割合は、ガラス粉末５０〜８５体積％、耐火性物質粉末１５〜５０体積％の範囲にあることが望ましい。なお誘電率の点から許容される範囲内であれば、複合強化していない耐火性物質粉末を併用することも可能である。
　【００１５】
　【作用】
　本発明において使用する耐火性物質粉末は、低誘電率材料を高強度セラミックスで複合強化してなる複合粉末であるために、誘電率が低いとともに粒子の靱性が高く、粒子破壊が起こり難い。それゆえ本発明のガラスセラミックス組成物を用いて作製したガラスセラミックス焼成体は低誘電率で、且つ、高い機械的強度を有する。
　【００１６】
　【実施例】
（実施例１）
　ムライト（誘電率６．５）を単斜晶ジルコニア（誘電率１５）で複合強化した複合粉末を耐火性物質粉末として用いたガラスセラミックス焼成体を作製した。
　【００１７】
　複合粉末は次のようにして作製した。まず合成ムライト粉末（平均粒径２．０μｍ）と低α線放出タイプの単斜晶ジルコニア粉末（平均粒径０．５μｍ）とをムライト９０体積％、ジルコニア１０体積％の割合で混合した後、ボールミル中で４８時間湿式混合粉砕した。次いでこれらを乾燥後、１５５０℃で１６時間焼成し、粉砕して平均粒径２．０μｍ、誘電率７．１、熱膨張係数４７×１０−７／℃（３０〜３８０℃）のムライト−ジルコニア複合粉末を得た。なおこの複合粉末を走査型電子顕微鏡により観察したところ、図１（ａ）に示すような、ムライト粒子内部にジルコニア微粒子が均一に分布した状態であることがわかった。
　【００１８】
　またガラス粉末として、重量％でＳｉＯ２　６５．０％、Ａｌ２Ｏ３　６．０％、ＢａＯ　４．０％、Ｎａ２Ｏ　３．０％、Ｋ２Ｏ　２．０％、Ｂ２Ｏ３　２０．０％の組成を有し、熱膨張係数が４７×１０−７／℃（３０〜３８０℃）、軟化点が５５０℃、誘電率が５．５の非晶質ガラス（平均粒径３．５μｍ）を用意した。
　【００１９】
　次にガラス粉末と複合粉末とをそれぞれ７５体積％、２５体積％の割合で混合した。このガラスセラミックス組成物を９００℃で１０分間加熱してガラスセラミックス焼成体Ａを得た。次いで得られたガラスセラミックス焼成体Ａを１０×５０×０．６ｍｍの短冊状、４０φ×２ｍｍの円板状、及び４×４×５０ｍｍの角棒状にそれぞれ切断後、研磨することにより、短冊状、円板状、角棒状の試料を作製した。さらに短冊状試料を用いて曲げ強度（３点荷重方式）を、円板状試料を用いて誘電率を、また角棒状試料を用いて熱膨張係数をそれぞれ測定した。その結果、ガラスセラミックス焼成体Ａは曲げ強度が１４００ｋｇ／ｃｍ２、誘電率が５．９であり、３０〜３８０℃における熱膨張係数が５０×１０−７／℃であった。
　【００２０】
　なお比較のために、ガラス、ムライト、及び単斜晶ジルコニアの構成比を上記と同一にし、ムライトと単斜晶ジルコニアとを複合化せずに用いてガラスセラミックス焼成体Ｂを作製した。即ち、体積比でガラス粉末７５％、ムライト粉末２２．５％、単斜晶ジルコニア粉末２．５％を混合し、上記と同様にして成形、焼成し、ガラスセラミックス焼成体を作製した。
　【００２１】
　得られた焼成体Ｂについて曲げ強度、誘電率、熱膨張係数を測定したところ、誘電率と熱膨張係数は本発明のガラスセラミックス組成物を用いて作製したガラスセラミックス焼成体Ａと同じ値を示したが、曲げ強度は９００ｋｇ／ｃｍ２であり、焼結体Ａに比べて５００ｋｇ／ｃｍ２も低い値であった。
　【００２２】
（実施例２）
　コージエライト（誘電率５）を酸化すず（誘電率１２）で複合強化した複合粉末を用いてガラスセラミックス焼成体を作製した。
　【００２３】
　複合粉末は次のようにして作製した。まずカオリン、マグネシア及びアルミナをコージエライトの組成（２ＭｇＯ・２Ａｌ２Ｏ３・５ＳｉＯ２）になるように配合し、ボールミルで混合粉砕した。さらに１４２０℃で１６時間焼成した後、粉砕して平均粒径が２．５μｍのコージエライト粉末を得た。またメタすず酸粉末を１３５０℃で１０時間焼成した後、粉砕し、平均粒径０．８μｍの酸化すず粉末を得た。このようにして得られたコージエライト粉末と酸化すず粉末とをコージエライト８５体積％、酸化すず１５体積％の割合で混合し、ボールミル中で４８時間湿式混合粉砕した。次いでこれらを乾燥後、１４５０℃で１６時間焼成した後、粉砕して平均粒径２．０μｍ、誘電率５．７、熱膨張係数２５×１０−７／℃（３０〜３８０℃）のコージエライト−酸化すず複合粉末を得た。なおこの複合粉末を走査型電子顕微鏡により観察したところ、図１（Ｃ）に示すような、コージエライトと酸化すずとが不均一に一体化した状態であることがわかった。
　【００２４】
　またガラス粉末として、重量％でＳｉＯ２　３５．０％、Ｂ２Ｏ３　２５．０％、Ａｌ２Ｏ３　３．０％、Ｎａ２Ｏ　７．０％、ＢａＯ　１３．０％、ＺｎＯ　１７．０．％の組成を有し、熱膨張係数が６２×１０−７／℃（３０〜３８０℃）、軟化点が５５０℃、誘電率５．８の非晶質ガラス（平均粒径４．０μｍ）を用意した。
　【００２５】
　上記ガラス粉末と複合粉末とをそれぞれ８０体積％、２０体積％の割合で混合して得たガラスセラミックス組成物を用い、実施例１と同様にして短冊状、円板状、及び角棒状の試料（ガラスセラミックス焼成体Ｃ）を作製し、曲げ強度、誘電率、及び熱膨張係数をそれぞれ測定した。その結果、ガラスセラミックス焼成体Ｃは曲げ強度が１３００ｋｇ／ｃｍ２、誘電率が５．８であり、３０〜３８０℃における熱膨張係数が４５×１０−７／℃であった。
　【００２６】
　なお比較のために、ガラス、コージエライト、及び酸化すずの構成比を上記と同一にし、コージエライトと酸化すずを複合化せずに用いてガラスセラミックス焼成体Ｄを作製した。即ち、体積比でガラス粉末８０％、コージエライト粉末１７．０％、酸化すず粉末３．０％を混合し、上記と同様にして成形、焼成して焼成体を作製した。
　【００２７】
　得られた焼成体Ｄについて曲げ強度、誘電率、熱膨張係数を測定したところ、誘電率と熱膨張係数はガラスセラミックス焼成体Ｃと同じ値を示したが、曲げ強度は８００ｋｇ／ｃｍ２であり、焼成体Ｃに比べて５００ｋｇ／ｃｍ２も低い値を示した。
　【００２８】
（実施例３）
　石英ガラス（誘電率３．８）をアルミナ（誘電率９）で複合強化した複合粉末と、通常のアルミナ粉末を併用してガラスセラミックス焼成体を作製した。
　【００２９】
　複合粉末は次のようにして作製した。まず石英ガラス粉末（平均粒径１．０μｍ）とアルミナ粉末（平均粒径０．５μｍ）とを石英ガラス８０体積％、アルミナ２０体積％の割合で混合した。次いでこの混合物を造粒して外径２０〜１００μｍの粒子を作製した。さらにこれらを、石英ガラスのみが熔融し、アルミナが熔融しない温度（約２０００℃）の火炎中に短時間投入した後、ボールミルにより粉砕し、平均粒径２．０μｍ、誘電率４．３、熱膨張係数１８×１０−７／℃（３０〜３８０℃）の石英ガラス−アルミナ複合粉末を得た。なおこの複合粉末を走査型電子顕微鏡によって観察したところ、図１（ａ）に示すように、石英ガラス中にアルミナの微粒子が均一に分散したものであることがわかった。
　【００３０】
　またガラス粉末として、重量％でＣａＯ　１４．１％、Ａｌ２Ｏ３　３２．８％、Ｂ２Ｏ３　３４．９％、ＳｉＯ２　９．８％、ＺｒＯ２　８．４％の組成を有し、熱処理するとアルミノ硼酸カルシウム（ＣａＡｌ２Ｂ２Ｏ７）の結晶を析出し、結晶化後の熱膨張係数が５２×１０−７／℃（３０〜３８０℃）、誘電率が６の結晶性ガラス（平均粒径４．５μｍ）を用意した。
　【００３１】
　次にガラス粉末、複合粉末、及びアルミナ粉末（平均粒径１．５μｍ）をそれぞれ８０体積％、１６体積％、４体積％の割合で混合して得たガラスセラミックス組成物を用い、実施例１と同様にして短冊状、円板状、及び角棒状の試料（ガラスセラミックス焼成体Ｅ）を作製し、曲げ強度、誘電率、及び熱膨張係数をそれぞれ測定した。その結果、ガラスセラミックス焼成体Ｅは曲げ強度が１３００ｋｇ／ｃｍ２、誘電率が５．０であり、３０〜３８０℃における熱膨張係数が４５×１０−７／℃であった。
　【００３２】
　なお比較のために、ガラス、石英ガラス、及びアルミナの構成比を上記と同一にし、石英ガラスとアルミナの複合粉末を使用せずにガラスセラミックス焼成体Ｆを作製した。即ち、体積比でガラス粉末８０％、石英ガラス粉末１２．８％、アルミナ粉末７．２％を混合し、上記と同様にして焼成体を作製した。
　【００３３】
　得られた焼成体Ｆについて曲げ強度、誘電率、熱膨張係数を測定したところ、誘電率と熱膨張係数はガラスセラミックス焼結体Ｅと同じ値を示したが、曲げ強度は８００ｋｇ／ｃｍ２であり、焼成体Ｅに比べて５００ｋｇ／ｃｍ２も低い値を示した。
　【００３４】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明の低誘電率高強度ガラスセラミックス組成物は、耐火性物質粉末として、低誘電率材料を高強度セラミックスで複合強化してなる複合粉末を使用するために、低誘電率で、且つ、高い機械的強度を有するガラスセラミックス焼成体を作製することが可能である。それゆえ電子部品材料、特に高周波電子回路部品の気密封止材料又は絶縁材料として好適である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明において耐火性物質粉末として使用する複合粉末を示す概略断面図である。
　【符号の説明】
　１　低誘電率材料
　２　高強度セラミックス
　１０　耐火性物質粉末