【事件の表示】
　特許第３１７０９５３号「誘電体バリヤ放電ランプ」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１７０９５３号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　
　特許第３１７０９５３号の請求項１ないし２に係る発明についての出願は、平成５年４月２３日に特許出願され、平成１３年３月２３日にその発明について特許権の設定登録がなされた後、平成１３年１１月２８日に特許異議申立人ヘレーウス・ノーブルライト・ゲーエムベーハーより請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てがなされ、平成１４年１２月２７日付けで請求項１ないし２に係る特許に対する取消理由通知がなされたところ、その指定期間内である平成１５年３月１４日に訂正請求書及び特許異議意見書が提出されたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
　
　２−１　訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
　
【訂正事項ａ】
　特許請求の範囲の請求項２を削除する。
　
　２−２　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　
【訂正事項ａ】
　特許請求の範囲の請求項２を削除する訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、新規事項の追加にも該当しない。
　そして、上記の訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
　２−３　まとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立てについての判断
　
　３−１　本件発明
　請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、平成１５年３月１４日付けで提出された全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
【請求項１】外形が概略円筒状である放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体の少なくとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、該光透過性誘電体の少なくとも一部に導電性螺旋状電極が接触し、かつ電極を構成する素線同士が交差することなく設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性螺旋状電極の直近する素線間の距離が１．２ｍｍから２７ｍｍの間にあることを特徴とした誘電体バリヤ放電ランプ
 　
　３−２　特許異議の申立ての理由の概要
　
（訂正前の請求項１に係る発明について）
　
特許異議申立人ヘレーウス・ノーブルライト・ゲーエムベーハーは、
（ア）請求項１に係る発明は、
　　　甲第１号証：特許第２５２８２４４号公報　　　
に記載の発明と同一であり、特許法第２９条１項第３号の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張し、さらに、
　
（イ）請求項１に係る発明は、
　　　甲第１号証：特許第２５２８２４４号公報
　　　甲第２号証：特開平０２−７３５３号公報
　　　甲第３号証：特公平０８−２１３６９号公報、及び
　　　甲第５号証：特開平０２−１５８０４９号公報
　に記載された発明に基いて、あるいは、
　　　甲第２号証：特開平０２−７３５３号公報
　　　甲第３号証：特公平０８−２１３６９号公報
　　　甲第４号証：特開昭５７−８８６９５号公報、及び
　　　甲第５号証：特開平０２−１５８０４９号公報
　に記載された発明に基いて、
当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張している。
　
（訂正前の請求項２に係る発明について）
　
　特許異議申立人ヘレーウス・ノーブルライト・ゲーエムベーハーは、
（ア）請求項２に係る発明は、
　　　甲第１号証：特許第２５２８２４４号公報　　　
に記載の発明と同一であり、特許法第２９条１項第３号の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張し、
　
（イ）請求項２に係る発明は、
　　　甲第１号証：特許第２５２８２４４号公報
　　　甲第２号証：特開平０２−７３５３号公報
　　　甲第３号証：特公平０８−２１３６９号公報、及び
　　　甲第５号証：特開平０２−１５８０４９号公報
　に記載された発明に基いて、あるいは、
　　　甲第２号証：特開平０２−７３５３号公報
　　　甲第３号証：特公平０８−２１３６９号公報
　　　甲第４号証：特開昭５７−８８６９５号公報、及び
　　　甲第５号証：特開平０２−１５８０４９号公報
　に記載された発明に基いて、
当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張し、さらに、
　
（ウ）請求項２に係る発明は、
　それに対応する説明が、発明の詳細な説明に記載されておらず、特許法第３６条第４項及び５項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張している。
 
３−３　請求項１に係る発明に対する特許異議の申立ての理由（ア）について
　
　甲第１号証は、本出願の出願日より後の平成８年８月２８日に発行された刊行物であるので、特許法第２９条第１項３号に規定する刊行物に該当せず、申立ての理由（ア）は理由がない。
　
　なお、甲第１号証の出願は本件特許の出願日より前の平成４年１２月８日にされた出願であるので、以下、本件発明と甲第１号証の出願である特願平０４−３２７８１９号（特開平０５−２６６８６３号公報参照）の願書に最初に添付した明細書及び図面（以下、「先願明細書」という。）に記載された発明について検討する。
　
　上記先願明細書には、
　
（１）「本発明は、紫外線のための高出力ビーム発生器であって、放電条件下でビームを放射する充填ガスの充填された放電室と、該放電室の壁を形成する外部誘電体および内部誘電体と、外部誘電体の外面に設けられた第１の電極と、内部誘電体の、放電室反対側表面に設けられた該２の電極と、第１および第２の電極と接続され、放電に給電するための交流源とを有する高出力ビーム発生器に関する。」（第２頁右欄１５行〜同２２行）、
　
（２）「典型的には、インキ、ラッカーまたは接着剤の塗布されたシート、紙、ボール紙、反物が約１ｍの長さのＵＶランプにより照射される。」（第３頁左欄８行〜第３頁左欄１１行）、
　
（３）「この新しいビーム発生器形式は、エキシマビームをサイレント（無音）放電においても形成し得ることと、オゾン発生のために工業的に使用される放電形式に基づいている。・・・希ガス原子が電子衝突によって励起され、希ガス原子は励起された分子群（エキシマ）に対してさらに反応する。・・・崩壊の際にその結合エネルギをＵＶビームの形で放射する。」（第２頁右欄４５行〜第３頁左欄３行）、
　
（４）「・・・エキシマビーム発生器が図１および図２に示されている。・・・外径が２０ｍｍから３０ｍｍの外部石英ガラス管１内に、内部石英ガラス管２が同心配置されている。内部石英ガラス管２の内面には螺旋状の内部電極３が配置されている。」（第３頁右欄２行〜同７行）、
　
（５）「電極３と４の間に交流電圧が印加される際に、多数の放電チャネル（部分放電）が放電室７に生じる。この放電チャネルは充電ガスの原子／分子と交互作用する。これによっても最終的にＵＶビームまたはＶＵＶビームが発生される。
【００１９】形成されるサイレント放電（サイレントディスチャージ）では、・・・」（第４頁左欄１５行〜第４頁右欄１０行）
　
が記載されている。
　
　したがって、
　
先願明細書には、
　
「外形が概略円筒状である外部石英ガラス管１及び内部石英ガラス２（放電容器に相当。）にサイレント（無音）放電（誘電体バリヤ放電に相当。）によってエキシマ（エキシマ分子に相当。）を形成する充填ガス（放電用ガスに相当。）が充填され、該外部石英ガラス管１及び内部石英ガラス２（放電容器に相当。）の少なくとも一部は該サイレント（無音）放電（誘電体バリヤ放電に相当。）の外部誘電体および内部誘電体（誘電体に相当。）を兼ねており、該外部誘電体および内部誘電体（誘電体に相当。）の少なくとも一部は該エキシマ（エキシマ分子に相当。）から放射されるＵＶビーム（光に相当。）に対して光透過性であり、該光透過性外部誘電体および内部誘電体（誘電体に相当。）の少なくとも一部に導電性螺旋状の内部電極３（螺旋状電極に相当。）が接触し、かつ内部電極３（電極に相当。）を構成する素線同士が交差することなく設けられた高出力ビーム発生器（誘電体バリヤ放電ランプに相当。）」
　
なる発明が記載されている。
　
　本件発明を、先願明細書に記載の発明と対比すると、
　
本件発明は、先願明細書に記載の発明と
【一致点】
「外形が概略円筒状である放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体の少なくとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、該光透過性誘電体の少なくとも一部に導電性螺旋状電極が接触し、かつ電極を構成する素線同士が交差することなく設けられた誘電体バリヤ放電ランプ」
で一致し、
　
【相違点】
本件発明では、導電性螺旋状電極の直近する素線間の距離が１．２ｍｍから２７ｍｍの間にあるのに対して、
先願明細書に記載の発明では、螺旋状の内部電極３（螺旋状電極に相当。）の直近する素線間の距離が、１．２ｍｍから２７ｍｍの間にあるとはいえない点、
で相違する。
　
　したがって、本件発明は、先願明細書に記載された発明と同一であるとはいえない。
　
　３−４　請求項１に係る発明に対する特許異議の申立ての理由（イ）について
　
　甲第１号証は、本出願の出願日より後の平成８年８月２８日に発行された刊行物であるので、特許法第２９条に規定する刊行物に該当せず、また、
「導電性螺旋状電極の直近する素線間の距離が１．２ｍｍから２７ｍｍの間にある」ことについては、甲第２号証ないし甲第５号証には記載がなく、わずかに、甲第５号証に「電極６’、６”間の間隔、圧力および／または温度によって最適に調整することができる。」（第４頁右下欄６行〜８行）との記載があるだけであり、導電性螺旋状電極の直近する素線間の距離を１．２ｍｍから２７ｍｍの間に設定することを容易とすることはできないから、申立ての理由（イ）は理由がない。
　
　３−５　請求項２に係る発明に対する特許異議の申立ての理由（ア）〜（ウ）について
　
　請求項２は削除されたので、申立ての理由（ア）〜（ウ）は解消された。
　
４．むすび
　
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に取り消しの理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年４月２３日（２００３．４．２３）
【訂正の要旨】
（３）訂正の要旨
　特許請求の範囲の請求項２を削除した。
（５４）【発明の名称】
誘電体バリヤ放電ランプ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　外形が概略円筒状である放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体の少なくとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、該光透過性誘電体の少なくとも一部に導電性螺旋状電極が接触し、かつ電極を構成する素線同士が交差することなく設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性螺旋状電極の直近する素線間の距離が１．２ｍｍから２７ｍｍの間にあることを特徴とした誘電体バリヤ放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、例えば、光化学反応用の紫外線光源として使用される放電ランプの一種で、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成し、該エキシマ分子から放射される光を利用するいわゆる誘電体バリヤ放電ランプの改良に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　本発明に関連した技術としては、例えば、日本国公開特許公報平２−７３５３号があり、そこには、放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あるいは無声放電。電気学会発行改訂新版「放電ハンドブック」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子から放射される光を取り出す放射器、すなわち誘電体バリヤ放電ランプについて記載されており、該放電容器は円筒状であり、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体の少なくとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、該光透過性誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプ構造が記載されている。上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電ランプには無い種々の特長を有しているため有用である。しかし、上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、発光効率が必ずしも十分ではないという問題があった。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明の課題は、発光効率が高い円筒状誘電体バリヤ放電ランプを提供することである。
　【０００４】
　【課題を解決するための手段】
　上記本発明の目的は、電極を、導電性網状電極の代わりに、導電性螺旋状電極とし、該導電性螺旋状電極の直近する素線間の距離を１．２から２７ミリメートルの間に構成することによって達成できる。
　【０００５】
　【作用】
　誘電体バリヤ放電は、該「放電ハンドブック」に記載されているように、放電の直径が非常に小さく、かつ、放電の持続時間が非常に短い微小な放電プラズマ（以後これをマイクロプラズマと記す）の多数の集まりである。我々は、光取り出し窓である概略円筒状の光透過性誘電体に導電性螺旋状電極を設けた構造の誘電体バリヤ放電ランプにおいては、光出力の安定性、すなわち光出力の時間的なゆらぎ、および発光効率は、該導電性螺旋状電極の直近する素線間の距離によって変化することを実験的に発見した。
　【０００６】
　光出力の時間的なゆらぎおよび発光効率が該導電性螺旋状電極の直近する素線間の距離によって変化する機構は、必ずしも明確では無いが、以下のようであると推測される。以下、放電容器が同軸中空円筒状である誘電体バリヤ放電ランプの部分断面図である図２と、図３の概略図を使用して説明する。すなわち、概略円筒状の放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体の少なくとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、該概略円筒状の光透過性誘電体の少なくとも一部に導電性螺旋状電極が接触し、かつ電極を構成する素線同士が交差することなく設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性螺旋状電極の直近する素線間の距離ａを１．２から２７ミリメートルの間にある様に構成すると、以下の形態の放電が発生する。
　【０００７】
　すなわち、電極として使用する導電性素線４に直近したマイクロプラズマ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄは安定に発生するが、直近する素線間の距離が比較的大きいために直近する素線間の中央部の誘電体表面区域に充電された電荷は、直近する導電性素線４に接する誘電体表面を通して放電されにくく、したがって、直近する素線間の中央部に直近したマイクロプラズマ２１ａ，２１ｂ，２１ｃは直接的には発生しにくい。直近する素線間の中央部の誘電体表面区域に充電された電荷は、導電性素線４に直近したマイクロプラズマ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄの誘電体３の表面に接している部分の電荷が誘電体３の表面に沿って直近する素線間の中央部に進展していくことにより、すなわち沿面放電状の放電によって、放電される。この時、マイクロプラズマ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄも、該沿面放電状の放電よりやや遅れて、直近する素線間の中央部に移動する。したがって、該沿面放電状の放電は勿論、マイクロプラズマ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄから放射される光も導電性素線４に吸収されることが少なくなり、その結果、高効率が得られる。沿面放電状の放電の進展や、マイクロプラズマ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄの中央部への移動することによって、光出力は揺らぐが、平均出力は一定であり、実用的には間題がない。更に、該円筒状放電容器が石英ガラスのようなガラスで構成されているときは、該導電性螺旋状電極の直近する素線間の距離ａを１．２から２７ミリメートルの間にある様に構成すると、該円筒状放電容器への金属線の巻きつけ作業が容易になるという利点が生じる。
　【０００８】
　導電性螺旋状電極の直近する素線間の距離、すなわち図３におけるａが１．２ミリメートル未満である場合には、以下の様な形態の誘電体バリヤ放電が発生する。すなわち、安定に発生する導電性素線４に直近したマイクロプラズマ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄに加えて、直近する素線間の距離が比較的小さいために、やや不安定ではあるが直近する素線間の中央部に直近したマイクロプラズマ２１ａ，２１ｂ，２１ｃも同時に発生する。しかし、導電性素線４に直近したマイクロプラズマ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄの占める割合が比較的大きく、導電性素線４に吸収される光の割合が比較的大きくなり、従って効率はあまり改善されない。
　【０００９】
　該導電性螺旋状電極網の直近する素線間の距離、すなわち図３におけるａが２７ミリメートルを超える場合には、以下の様な形態の誘電体バリヤ放電が発生する。すなわち、導電性素線に直近したマイクロプラズマ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄは安定に発生するが、直近する素線間の距離が大きいために直近する素線間の中央部の誘電体表面に充電された電荷は、直近する導電性素線４に接した誘電体表面を通してより以上放電されにくく、したがって、素線間の中央部に直近したマイクロプラズマ２１ａ，２１ｂ，２１ｃは直接的には発生しにくい。素線間の中央部誘電体表面に充電された電荷は、導電性素線４に直近したマイクロプラズマ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄの誘電体３の表面に接している部分の電荷が誘電体３の表面に沿って素線間の中央部に進展していくことにより、すなわち沿面放電状の放電によって、放電される。この時、マイクロプラズマ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄも、該沿面放電状の放電よりやや遅れて、直近する素線間の中央部に移動する。直近する素線間の距離が大きいため、この時の沿面放電状の放電、およびマイクロプラズマ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄの直径が大きくなり、かつ放電持続時間も長くなり、その結果、エキシマ分子の生成効率が減少し、発光効率が低下してしまう。
　【００１０】
　該導電性素線は、その断面が円形でも矩形でもよいし、スクリーン印刷、スパッタリング等によって形成した薄膜状でも良い。また、上記の効果は、該導電性螺旋状電極の直近する素線間の距離が４から１５ミリメートルの間にある様に螺旋を構成すると、更に最適になる。
　【００１１】
　【実施例】
　本発明の第１の実施例である同軸円筒形誘電体バリヤ放電ランプの概略図を図１に示す。放電容器１は全長約３００ｍｍの石英ガラス製で、外径Ｄ１が２４ｍｍの内側管２、内径Ｄ２が約３４ｍｍの外側管３を同軸に配置して中空円筒状にしたものである。外側管３は誘電体バリヤ放電の誘電体バリヤと光取り出し窓を兼任しており、外面には光が透過できるように、金属線からなる導電性素線４が螺旋状に巻き付けられている。電極の一方は前記の素線４であり、素線４の直径は０．２ｍｍの一本のステンレス線であり、直近する素線間の距離ａが４ｍｍになるように外側管３に螺旋状に巻きつけた構成である。内側管２の内径部にはアルミニウムの蒸着によって形成した他方の電極５が設けられている。外側管３と内側管２の放電空間１３に面した表面には、厚さ約１００ｎｍのＭｇＦ２からなる誘電体薄膜１１と１２が設けられている。また、放電容器１の一端にアルミナの粉とシリカの粉の混合物を多孔質状な状態でリング状に圧縮成形したゲッター６が設けられている。また、ゲッター６は、外側管３に設けられた突起物７によって放電空間内に移動するのを阻止されているだけで、放電容器１に固定されていない。放電空間１３に放電用ガスとして塩素とキセノンの混合ガスを４５０Ｔｏｒｒ封入して電源１４で点灯したところ、３０８ｎｍとその付近の紫外線が高効率で放射された。さらに、ＭｇＦ２からなる誘電体薄膜によって塩素による石英ガラスの損傷が防止され、また、ゲッターとして多孔質の酸化物を使用したので放電用ガスの塩素によってゲッターが侵されることがなく、したがって寿命特性の優れた誘電体バリヤ放電ランプが得られた。この実施例では、従来の誘電体バリヤ放電ランプに比べて発光効率が１５％程上昇した。
　【００１２】
　本発明の第２の実施例においては、第１の実施例における素線４を、直径０．１５ｍｍのモネル線を距離ａが７ミリメートルになるように構成し、放電用ガスを３００Ｔｏｒｒのキセノンとし、第１の実施例においては一層であった内側管２の内面に設けた誘電体薄膜１２を、ＭｇＦ２とＬａＦ３を交互に２５層積層して、１７２ｎｍの紫外線を反射する多層誘電体反射膜とした事を特徴とする。また、ゲッター６は金属バリウムゲッターである。さらに、該多層誘電体反射膜の最後の層、すなわち放電空間１３に接する層をＭｇＦ２とした。この実施例においては、放電空間内で発生した１７２ｎｍの紫外線をさらに効率よく外部に取り出せ、高効率が得られた。また、ランプ製作時に空気に接する層をＭｇＦ２としたため、空気中で比較的劣化しやすいＬａＦ３が直接空気に接しなくなり、したがって誘電体表面が均一になり、更に安定な品質の誘電体バリヤ放電ランプが得られた。この実施例では、従来の誘電体バリヤ放電ランプに比べて発光効率が１０％上昇した。
　【００１３】
　【発明の効果】
　上記したように、本発明によれば、高効率の同筒状誘電体バリヤ放電ランプを提供できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の実施例の説明図である。
　【図２】　マイクロプラズマの説明図である。
　【図３】　導電性螺旋状素線の説明図である。
　【符号の説明】
　１　　　放電容器
　２　　　内側管
　３　　　外側管
　４　　　導電性素線
　５　　　電極
　６　　　ゲッター
　１１　　誘電体薄膜
　１２　　誘電体薄膜