【事件の表示】
　特許第３１４９６７６号「超音波ボンディング装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１４９６７６号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
I. 手続の経緯
　特許第３１４９６７６号の請求項１に係る発明は、平成６年４月２０日に特許出願され、平成１３年１月１９日に設定の登録がなされた後、本件請求項１に係る発明の特許について、特許異議申立人　北條圭介（以下、「申立人」という）により、平成１３年７月１２日付けで特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年８月５日に訂正請求がなされたものである。
　
II．訂正請求の適否
１．訂正の内容
　上記訂正請求は、本件特許の願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という）を訂正請求書に添付した訂正明細書（以下、「本件明細書」という）のとおりに訂正しようとするものであって、その内容は次のとおりである。
（１）訂正事項Ａ
　特許明細書の請求項１の
「ワークを対象物に押圧してボンディングするボンディングツールと、このボンディングツールを超音波振動させる圧電素子と、超音波発振器と、この超音波発振器で発振された高周波信号を昇圧して前記圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいて前記ボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、このインピーダンスの変動にともなって変化する前記圧電素子への供給電力を補正するために前記超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部とを備えたことを特徴とする超音波ボンディング装置。」を、
「ワークを対象物に押圧してボンディングするボンディングツールと、このボンディングツールを超音波振動させる圧電素子と、超音波発振器と、この超音波発振器で発振された高周波信号を昇圧して前記圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいて前記ボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、このインピーダンスの変動にともなって変化する前記圧電素子への供給電力を補正するために前記インピーダンス演算部で演算されたインピーダンスと基準状態におけるインピーダンスから補正係数を演算し、この補正係数と読取った超音波発振電圧指令信号から補正超音波発振電圧指令信号を演算し、この補正超音波発振電圧指令信号を前記超音波発振器に出力して前記超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部とを備えたことを特徴とする超音波ボンディング装置。」に訂正する。
（２）訂正事項Ｂ
　特許明細書第【０００６】欄の
「【課題を解決するための手段】
　このために本発明は、ワークを対象物に押圧してボンディングするボンディングツールと、このボンディングツールを超音波振動させる圧電素子と、超音波発振器と、この超音波発振器で発振された高周波信号を昇圧して圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいてボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、このインピーダンスの変動にともなって変化する圧電素子への供給電力を補正するために超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部とから超音波ボンディング装置を構成したものである。」を、
「【課題を解決するための手段】
　このために本発明は、ワークを対象物に押圧してボンディングするボンディングツールと、このボンディングツールを超音波振動させる圧電素子と、超音波発振器と、この超音波発振器で発振された高周波信号を昇圧して圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいてボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、このインピーダンスの変動にともなって変化する圧電素子への供給電力を補正するために前記インピーダンス演算部で演算されたインピーダンスと基準状態におけるインピーダンスから補正係数を演算し、この補正係数と読取った超音波発振電圧指令信号から補正超音波発振電圧指令信号を演算し、この補正超音波発振電圧指令信号を前記超音波発振器に出力して超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部とから超音波ボンディング装置を構成したものである。」に訂正する。
　
２．訂正の適否
（１）訂正事項Ａについて
　訂正事項Ａは、請求項１において、
「このインピーダンスの変動にともなって変化する前記圧電素子への供給電力を補正するために前記超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部」に、「前記インピーダンス演算部で演算されたインピーダンスと基準状態におけるインピーダンスから補正係数を演算し、この補正係数と読取った超音波発振電圧指令信号から補正超音波発振電圧指令信号を演算し、この補正超音波発振電圧指令信号を前記超音波発振器に出力して」を付加することにより、より下位の概念である「このインピーダンスの変動にともなって変化する前記圧電素子への供給電力を補正するために前記インピーダンス演算部で演算されたインピーダンスと基準状態におけるインピーダンスから補正係数を演算し、この補正係数と読取った超音波発振電圧指令信号から補正超音波発振電圧指令信号を演算し、この補正超音波発振電圧指令信号を前記超音波発振器に出力して前記超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部」に限定するものであるから、この訂正は、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　そして、請求項１に係る発明を上記のように訂正する制御部は、【００１１】、【００１７】、および、【００２３】の記載から読みとれる。
　したがって、この訂正は、願書に添付した明細書または図面に記載した事項の範囲内でなされたものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものではない。
（２）訂正事項Ｂについて
　訂正事項Ｂは、上記訂正事項Ａの訂正にあわせて、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを整合させようとするものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当する。
　そして、この訂正は、願書に添付した明細書および図面に記載した事項の範囲内でなされたものであり、しかも、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものではない。
　
３．訂正の認否
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、及び第２項の規定に適合するので当該訂正を認める。
　
III．特許異議の申立て
１．本件発明
　前述のように、本件訂正は適法なものであるので、本件請求項１に係る発明は、本件明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのもの（以下、「本件発明」という）である。
「【請求項１】
　ワークを対象物に押圧してボンディングするボンディングツールと、このボンディングツールを超音波振動させる圧電素子と、超音波発振器と、この超音波発振器で発振された高周波信号を昇圧して前記圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいて前記ボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、このインピーダンスの変動にともなって変化する前記圧電素子への供給電力を補正するために前記インピーダンス演算部で演算されたインピーダンスと基準状態におけるインピーダンスから補正係数を演算し、この補正係数と読取った超音波発振電圧指令信号から補正超音波発振電圧指令信号を演算し、この補正超音波発振電圧指令信号を前記超音波発振器に出力して前記超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部とを備えたことを特徴とする超音波ボンディング装置。」
　
２．申立人の主張する特許異議申立ての理由
　申立人は、
　理由（１）
　特許明細書の請求項１に係る発明は、甲第４号証として提出した、本件特許出願の日前の出願であって当該特許出願後に特開平７−６８２２０号公報として出願公開された特願平６−２２３８６号の願書に最初に添付した明細書または図面（以下、「先願明細書等」という）に記載された発明と同一であり、しかも、本件特許出願の日前の他の特許出願の発明者が、本件特許出願の発明者と同一であるとも、本件特許出願の出願時に本件特許出願の出願人が、他の特許出願の出願人と同一であるとも認められないから、請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきものである旨、主張し、さらに、
　理由（２）
　特許明細書の請求項１に係る発明は、甲第１号証として提出した特開平２−２０６１４３号公報（以下、「刊行物１」という）、甲第２号証として提出した特開昭６０−１８２１４４号公報（以下、「刊行物２」という）および甲第３号証として提出した特開平２−１１９１５４号公報（以下、「刊行物３」という）をそれぞれ提示して、請求項１に係る発明の特許は、当該刊行物１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきものである旨、主張している。
　
３．証拠方法
（１）「先願明細書等」の記載事項
　先願明細書等には、自動ワイヤボンダーとして、
（１ー１）特許請求の範囲の請求項１および請求項９には、
「【請求項１】
　超音波発生装置、この出力に接続されている可変インピーダンス回路網、この回路網に接続された超音波変換器、上記超音波発生装置および可変インピーダンス回路網に接続されたマイクロプロセッサ、上記超音波発生装置の出力における電流値および電圧値を検出するために上記マイクロプロセッサに接続された装置、超音波発生装置と超音波変換器の間において、上記マイクロプロセッサおよび可変インピーダンス回路網に直列に接続された、所定インピーダンス設定用制御装置を具備する、変換器への超音波発生出力を調節する装置。
【請求項９】
　超音波発生装置とボンディング工具を保持するようになされ超音波発生装置と超音波変換器との間に可変インピーダンス回路網を接続し、上記超音波発生装置出力を制御するマイクロプロセッサを設け、超音波変換器に接続された超音波発生装置の出力を検出し、上記可変インピーダンス回路網を制御して好ましい操作モードになし、これが所望の回路網インピーダンス（ＺＮＷ）を算出して、超音波発生装置とボンディング操作用の超音波変換器の間の回路網インピーダンスを連続的に変化させることにより行われる各工程を有することを特徴とする、ボンディング工具に供与される超音波出力を制御するための方法。」が記載されている。
（１−２）段落番号【０００６】〜【０００７】には、
「そこで本発明の目的とするところは、理論的にどの程度の力ないしエネルギーの量が、ボンディング処理されているワイヤを経て課されるべきかを決定し、各ワイヤボンドごとに変化する負荷条件下に、ボンディング処理されているワイヤにおける負荷インピーダンス（ＺＬ）に望ましいレベルの力をもたらすに必要な力を超音波変換器に供与することである。このようなアプローチは、本来不可避的な製造上の差違を少なくする必要性をなくするだけでなく、負荷条件による差違も完全になくすることができる。変換器の共振周波数は、装着構造体、ボンディング工具、対象物保持クランプ、対象物の粗面度、剛性、結合度、変換器の温度、湿度、偏差、老朽度などの諸条件により変化することが知られている。これら諸条件はまた力ないしエネルギー必要量に影響し、従って異なるワイヤボンド条件のための負荷変換器への入力としてどの程度の力が必要かを正確に予測することは不可能である。それにもかかわらず高速の連続的生産条件下にボンディング処理されているワイヤに必要な力を決定し、稼働中のワイヤボンディング速度に影響を及ぼすことなく、必要とされるエネルギーを自動的に供与する超音波発生装置ないし制御装置を提供することが望まれる。」が記載されている。　　　
（１−３）段落番号【００２６】には
「電圧もしくは電流センサ２８からの出力は、導線３６を経て超音波発生装置マイクロプロセッサ３１のブロックに供与され、ここで情報を処理して、後に詳述されるべき所望のインピーダンスをもたらす。処理された情報は、導線３７を経てインピーダンス制御回路網２５に複数の導線３９により接続されている制御スイッチ３８に制御信号を供与するために使用される。」が記載されている。
（１−４）段落番号【００３２】には
「次に図５により、図２に示されたインピーダンス制御回路網２５をさらに詳細にブロック図で説明する。変換器２１への電力は、増幅器ブロック２３で生起せしめられ、インピーダンス回路網２５への導線２４に入力（ＺＮＷ）として供与される。この回路網２５は、隣接抵抗の２倍値を有する複数個の抵抗器６６を有し、従って零から２５５オームまで１オーム増分で可変抵抗値をもたらす。本発明の好ましい実施態様では、抵抗器６６は回路内で導線２４と２６の間に直列接続され、マイクロプロセッサ３１により制御されるスイッチ回路網３８により制御下に、リレー６８の接点６７により分路されあるいはバイパスされる。変換器インピーダンス（ＺＴ ）は、ブロック２１内に図示されているように、抵抗、インダクタンス、キャパシタンスの３要素を有する。さらに負荷インピーダンス（ＺＬ ）は抵抗（ ＺＬ ）として設計されているが、実際には無視し得る程度のインダクタンスおよびキャパシタンス要素を有する。マイクロプロセッサ３１は、図３において詳細に示されたようにセンサ入力３６を有し、これはマイクロプロセッサに電流、電圧情報を供与する。この情報はマイクロプロセッサが、導線２６における ＺＴ とＺＬ の組合わせインピーダンスを算出するのに必要である。毛管ボンディング工具に負荷が存在しない場合、変換器負荷ＺＬ は零に等しく、マイクロプロセッサ３１により算出され検出される値は単に変換器インピーダンスＺＬのみである。この無負荷値は、ＺＦＡあるいは自由空気内の変換器インピーダンスと称される。ＺＴ、ＺＬ およびＺＦＡ算出の結果、コンピュータ３１は導線３７を経てスイッチ作動回路網３８にコマンドを発し、個々のリレー接点６７を閉じ、後に詳述するようにあらかじめ定められた所望の抵抗ＺＮＷを導線２４、２６間に挿入させる。マイクロプロセッサ３１と導線２４間に直列に配置されたブロック２３と３４は、図３を参照して前述したところと同様に操作する。」が記載されている。
（２）刊行物１の記載事項
（２−１）特許請求の範囲には
「ワイヤが通されるキャピラリと、このキャピラリを保持するトランスデューサと、このトランスデューサに高周波エネルギーを付与するＵＳ発振回路とを備え、このＵＳ発振回路を駆動してトランスデューサを超音波振動させながら、キャピラリの下端部から導出されたワイヤをこの下端部により半導体チップ及び基板に…中略…接続するようにしたワイヤボンダーにおいて上記ＵＳ発振回路が、振幅設定部及び周波数調整部から入力された振幅信号と周波数信号を乗算する乗算器と、切換スイッチを介してこの乗算器に接続されて上記トランスデューサに上記高周波エネルギーを付与する出力部と、この出力部の出力を積分する積分器と、上記トランスデューサに付与するエネルギーのパラメータの設定部と、この積分器とこの設定部の出力を比較する比較器とから成り、この比較器の出力信号により、上記切換スイッチを切換制御するようにしたことを特徴とするワイヤボンダーにおけるトランスデューサのＵＳ発振装置。」が記載されている。
（２−２）第４頁右上欄３行〜左下欄１６行に
「本装置は上述のような構成より成り、次に動作の説明を行う。キャピラリ４が、第３図に示す上方の待機位置から下降し、チップ６の上面に着地すると…中略…振幅設定部１５で設定された出力信号ｂは一次遅れ回路１６に入り、その出力信号ｃは乗算器１７の一方の端子Ｘに入力される。また正弦波発生回路２０で設定された出力信号ｄは、他方の端子Ｙに入力され、乗算器１７から両信号　ｂ、ｃの乗算信号ｅが出力される。この信号ｅは、アンプ２３、トランジスタ２４により増幅され、トランス２５で昇圧されて、トランスデューサ１の圧電素子３に高周波信号が印加される。するとトランスデューサ１はＵＳ振動を開始し、上記１ｓｔボンディングが行われる。上記のようにトランス２５が駆動を開始すると、その出力部２６の電圧ＶＯと電流ＩＯは実効値回路３１、３２に入力され、実効値は乗算器３３に入力され、更にその出力は積分器３４に積分され、その積分値ｈは比較器３５に入力される。乗算器３（「３３」の誤記であると認める）の出力は、電圧ＶＯと電流ＩＯの積であり、その積分値ｈはエネルギー量である。一方、設定部３６には、予め、１ｓｔボンディングのためにトランスデューサ１に与えられるべきエネルギー量ｉが入力されており、積分器３４により積算された積分値（エネルギー量）ｈは上記設定エネルギー量ｉと比較され、この積分値ｈが設定エネルギー量ｉに達すると、比較器３５からアナログスイッチ２２にオフ信号が発せられ、アナログスイッチ２２は切換ってトランスデューサ１は駆動を停止する。」が記載されている。
（３）刊行物２の記載事項
（３−１）第２頁右上欄第１６行〜左下欄第１行には
「本発明は…中略…超音波発振器の発振出力レベルをボンデイング運転中ほぼ一定に制御することができ、良好な超音波ボンデイングが可能な超音波ワイヤボンデイング装置の発振出力レベル制御装置を提供するものである。」が記載されている。
（３−２）第３頁左上欄第３行〜第１６行には
「上記発振出力レベル制御装置２０は、超音波発振を増幅する増幅器２１と、この増幅器２１の出力信号をサンプリングしてＡ／Ｄ（アナログ／デジタル）変換するＡ／Ｄ変換器２２と、このＡ／Ｄ変換器２２の出力データを取り込んで後述するような処理、制御を行なうＣＰＵ（中央処理装置）２３と、このＣＰＵ２３との間でデータの格納、読み出しが行われるメモリ２４と、上記ＣＰＵ２３との間でキー入力データ、表示データ等の受授を行なうための操作パネル２５と、上記ＣＰＵ２３から出力する発振レベル制御データをＤ／Ａ変換して前記超音波発振器４’の制御信号を生成するＤ／Ａ変換器２６とを有する。」が記載されている。
（３−３）超音波発振器の発振出力レベルをボンディング運転中ほぼ一定に制御するための構成として、
（３−３ー１）第３頁右上欄第８行〜第１６行に
「第３ステップＳ３では、Ａ／Ｄ変換器２２の出力データを取り込む。第４ステップＳ４では、上記取り込んだデータの大きさが前記メモリ２４に格納されている基準レベルを中心とする許容範囲内にあるか否かを比較判定する。第５ステップＳ５では、上記判定結果がＮ（ノー）の場合に発振出力レベルが大き過ぎるか小さ過ぎるかに応じて前記発振制御デ−タを増減して第２ステップＳ２へ戻る。」が、また、
（３ー３−２）第３頁左下欄第７行〜右下欄第７行に
「上記ＣＰＵ２３はたとえば第４図に示すような機能ブロックを有するものとして表わすことができる。即ち、４１は発振レベル制御データを発生する制御データ発生手段、４２は出力指令信号を受けたとき上記制御データをＤ／Ａ変換器２６へ出力する制御データ出力手段、４３は操作パネル２５からの設定データを取り込んでメモリ２４に格納する設定データ格納制御手段、４４はＡ／Ｄ変換器２２の出力データを取り込むデータ入力手段、４５は上記データ入力手段４４により取り込んだデータを前記メモリ２４に格納されている発振出力レベルの設定データと大小関係を比較判定し、設定データの範囲内であるか、設定データの範囲より大きいか、設定データの範囲より小さいかに応じて判定出力を発生する比較判定手段であり、上記設定データの範囲より大きいときおよび小さいときの判定出力に応じて前記制御データ発生手段４１の発生データの大きさを制御すると共に制御データ出力手段４２へ出力指令信号を供給するものである。」が記載されている。　
（４）刊行物３の記載事項
（４−１）課題として
（４−１−１）第１頁右第１０行〜第１３行に
「トランスジューサを製造する場合、全く同一特性を持つように製造しようとしても、材質、加工精度等により特性はそれぞれ多少異なってしまう。」が記載され、また、
（４−１−２）第１頁右第１７行〜第２頁左上欄第２行に
「また多少特性の異なるトランスジューサを使用した場合、同一電圧を印加すると、トランスジューサに流れる電流値が異なり、発振振幅が変り、ワイヤをボンド点に圧着する圧着強度が異なったり、ワイヤ不着が発生する等の問題点があった。」が記載されている。
（４−２）第２頁右下欄第１４行〜第３頁左欄第１５行に
「トランスジューサ１からフィードバックされた電流ｌａは電流増幅アンプ８で増幅され、Ａ／Ｄコンバータ１０でデジタル値にしてマイクロコンピュータ５に入力される。マイクロコンピュータ５はトランスジューサ１の持つ特性の違いを計算し、手作業又はデータ転送により入力されたデータ設定に対して等しい超音波発振が得られるように補正した超音波発振出力データ５ａを出力制御回路１１に出力する。これにより、出力制御回路１１は、超音波発振回路６より入力された超音波発振電圧６ａを前記超音波発振出力データ５ａによって制御し、電力増幅アンプ７を介してトランスジューサ１に入力する。
ここで、予めマイクロコンピュータ５に設定されたプログラム設定データに対して実際にトランスジューサ１に印加する電圧をＥｓｅｔとし、補正した電圧をＥｏｕｔとすると、次式が成立する。
Ｅｏｕｔ＝Ａ・Ｅｓｅｔ・・・（１）
Ａ＝Ｅｏｕｔ／Ｅｓｅｔ・・・（２）
式（２）の係数Ａを求めることで補正できる。」が記載されている。
　
４．当審の判断
（１）特許法第２９条の２違反について
　記載事項「３．（１）（１ー１）〜（１−４）」を総合すると、
先願明細書等には、
「超音波発生装置において、ボンデイング工具を有する変換器に入力する電力が超音波発生器で発生し、この超音波発生器からの電力はインピーダンス制御回路網に入力し、この回路網からの出力は上記変換器に入力し、これによりボンデイング工具を摺動させるとともに、この超音波発生器からの電力は電流・電圧センサに入力し、この電流・電圧センサからの出力はマイクロプロセッサに入力して情報処理された後、上記インピーダンス制御回路網に接続する制御スイッチに入力することにより、異なる変換器と負荷回路間のインピーダンス変化を検出し、制御装置のインピーダンスを調節して超音波発生装置のインピーダンスに適合するようにした発明」（以下、「先願発明」という）が記載されているものと認められる。
　そこで、本件発明と先願発明とを対比すると、
先願発明の、「ワイヤーボンダー」、「超音波発生装置」、「マイクロプロセッサ」、「超音波変換器」、「ボンデイング工具」は、それぞれ、本件発明の、「超音波ボンディング装置」、「超音波発振器」、「演算部」、「圧電素子」、「キャピラリツール」に相当するから、両者は、「ワークを対象物に押圧してボンディングするボンディングツールと、このボンディングツールを超音波振動させる圧電素子と、超音波発振器と、この超音波発振器で発振された高周波信号を昇圧して前記圧電素子に印加する手段と、前記ボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、このインピーダンスの変動にともなって変化する前記圧電素子への供給電力を補正するため、補正超音波発振電圧指令信号を前記超音波発振器に出力して前記超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部とを備えた超音波ボンディング装置」の点で一致し、以下の点で相違している。
　相違点：本件発明が、「高周波信号を圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいてインピーダンス演算部で演算されたインピーダンスと基準状態におけるインピーダンスから補正係数を演算し、この補正係数と読取った超音波発振電圧指令信号から補正超音波発振電圧指令信号を演算し、この補正超音波発振電圧指令信号を超音波発振器に出力し」た点を有している対し、先願発明では、この点について記載がない点。
　そして、この相違点は単なる設計上の微差とすることはできない。
　したがって、本件発明は先願発明と同一であるとすることはできない。
　
（２）特許法第２９条第２項違反について
　本件発明は「高周波信号を圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいてボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、前記インピーダンス演算部で演算されたインピーダンスと基準状態におけるインピーダンスから補正係数を演算し、超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部とを備えた」構成を有するもの（以下、「本件発明の構成Ａ」という）である。
　これに対して、刊行物１には、前記「３．（２）」に示したとおりの構成が記載されているから、刊行物１には、「トランスの電流と電圧を検出して演算装置に接続している」点が記載されていると認められるものの、本件発明の構成Ａについて示唆する記載はないから、本件発明を容易に想到することはできない 。
　また、刊行物２には、前記「３．（３）」に示したとおりの構成が記載されているから、刊行物２には、「超音波発振器４′の発振出力レベルをボンディング運転中ほぼ一定に制御するために、発振出力レベル制御装置のＡ／Ｄ変換器２２の出力データをＣＰＵ２３のデータ入力手段４４で取り込み、取り込んだデータの大きさがメモリ２４に格納されている設定データの基準レベルを中心とする許容範囲内にあるか否かをＣＰＵ２３の比較検討手段４５により比較判定し、上記判定結果がノーの場合には発振出力レベルが大きすぎるか小さすぎるかに応じてＣＰＵ２３の発振制御データ発生手段４１の発振制御データを増減して制御している」点が記載されていると認められるものの、本件発明の構成Ａについて示唆する記載はないから、本件発明を容易に想到することはできない 。
　さらに、刊行物３には前記「３．（４）」に示したとおりの構成が記載されているから、刊行物３には、「マイクロコンピュータ５および出力制御回路１１を持ち、当該出力制御回路、電力増幅アンプを経て圧電素子に印加される電圧電流を検出する」点が記載されていると認められるものの、本件発明の構成Ａについて示唆する記載はないから、本件発明を容易に想到することはできない 。
また、刊行物１〜３の記載を総合しても、本件発明の構成Ａを容易に想到することはできない。
　そして、本件発明は、本件発明の構成Ａを有することにより、本件明細書の段落【００２５】に記載の、「本発明によれば、ボンディングツールのインピーダンスの変化に追随して印加電圧を補正することにより、常に一定の発振出力でボンディングツールを超音波振動させることができ、したがって安定したボンディングを行うことができる。」という格別な作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明は、刊行物１〜３に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
IV．むすび　
　以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張する理由および提出した証拠によっては、本件発明の特許が拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものであるとすることはできない。
　 よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１０月２２日（２００２．１０．２２）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（１）特許請求の範囲の記載について
　特許請求の範囲の請求項１の
「ワークを対象物に押圧してボンディングするボンディングツールと、このボンディングツールを超音波振動させる圧電素子と、超音波発振器と、この超音波発振器で発振された高周波信号を昇圧して前記圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいて前記ボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、このインピーダンスの変動にともなって変化する前記圧電素子への供給電力を補正するために前記超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部とを備えたことを特徴とする超音波ボンディング装置。」を、
特許請求の範囲の減縮を目的として
「ワークを対象物に押圧してボンディングするボンディングツールと、このボンディングツールを超音波振動させる圧電素子と、超音波発振器と、この超音波発振器で発振された高周波信号を昇圧して前記圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいて前記ボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、このインピーダンスの変動にともなって変化する前記圧電素子への供給電力を補正するために前記インピーダンス演算部で演算されたインピーダンスと基準状態におけるインピーダンスから補正係数を演算し、この補正係数と読取った超音波発振電圧指令信号から補正超音波発振電圧指令信号を演算し、この補正超音波発振電圧指令信号を前記超音波発振器に出力して前記超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部とを備えたことを特徴とする超音波ボンディング装置。」に訂正する。
（２）発明の詳細な説明の欄の記載について
　第【０００６】欄の
「【課題を解決するための手段】
　このために本発明は、ワークを対象物に押圧してボンディングするボンディングツールと、このボンディングツールを超音波振動させる圧電素子と、超音波発振器と、この超音波発振器で発振された高周波信号を昇圧して圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいてボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、このインピーダンスの変動にともなって変化する圧電素子への供給電力を補正するために超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部とから超音波ボンディング装置を構成したものである。」を、
明りょうでない記載の釈明を目的として
「【課題を解決するための手段】
　このために本発明は、ワークを対象物に押圧してボンディングするボンディングツールと、このボンディングツールを超音波振動させる圧電素子と、超音波発振器と、この超音波発振器で発振された高周波信号を昇圧して圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいてボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、このインピーダンスの変動にともなって変化する圧電素子への供給電力を補正するために前記インピーダンス演算部で演算されたインピーダンスと基準状態におけるインピーダンスから補正係数を演算し、この補正係数と読取った超音波発振電圧指令信号から補正超音波発振電圧指令信号を演算し、この補正超音波発振電圧指令信号を前記超音波発振器に出力して超音波発振器に印加される電圧を制御する制御部とから超音波ボンディング装置を構成したものである。」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
超音波ボンディング装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】ワークを対象物に押圧してボンディングするボンディングツールと、このボンディングツールを超音波振動させる圧電素子と、超音波発振器と、この超音波発振器で発振された高周波信号を昇圧して前記圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいて前記ボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、このインピーダンスの変動にともなって変化する前記圧電素子への供給電力を補正するために
前記インピーダンス演算部で演算されたインピーダンスと基準状態におけるインピーダンスから補正係数を演算し、この補正係数と読取った超音波発振電圧指令信号から補正超音波発振電圧指令信号を演算し、この補正超音波発振電圧指令信号を前記超音波発振器に出力して
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、ボンディングツールを超音波振動させながらワークに押し付けてワークを対象物にボンディングする超音波ボンディング装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　例えば特開平２−２０６１４３などに記載されたワイヤボンディング装置は、超音波発振器により圧電素子に電圧を印加してホーンを超音波（ＵＳ）振動させながら、ホーンの先端部に保持されたキャピラリツールによりワイヤをチップの電極や基板の電極に押し付けてボンディングするようになっている。また特開平４−１９９７２５などに記載されたインナーリードボンディング装置も、同様にホーンを超音波振動させながらホーンの先端部に保持された押圧子をリードに押し付けてリードをチップの電極にボンディングするようになっている。
　【０００３】
　上記ホーンなどのボンディングツールの発振出力は、ボンディングツールのインピーダンスと超音波発振器側から圧電素子に印加される印加電圧によって定まる。そこで従来は、ボンディングツールのインピーダンスは一定として、圧電素子に印加される印加電圧を制御することによりボンディングツールの発振出力を制御していた。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　ところが実際は、ボンディングツールのインピーダンスは一定ではなく、ホーンの取付部やホーンの先端部に保持されたキャピラリツールなどの押圧子の保持状態や押圧子の交換などによって変化することから、上記従来手段では発振出力が基準値からずれてしまい、ボンディング不良が発生しやすいという問題点があった。
　【０００５】
　そこで本発明は、ボンディングツールのインピーダンスの変化に応じて超音波発振器の出力を補正することにより、安定したボンディングが行える超音波ボンディング装置を提供することを目的とする。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　このために本発明は、ワークを対象物に押圧してボンディングするボンディングツールと、このボンディングツールを超音波振動させる圧電素子と、超音波発振器と、この超音波発振器で発振された高周波信号を昇圧して圧電素子に印加するトランスと、このトランスの電流と電圧に基づいてボンディングツール側のインピーダンスを演算するインピーダンス演算部と、このインピーダンスの変動にともなって変化する圧電素子への供給電力を補正するために
前記インピーダンス演算部で演算されたインピーダンスと基準状態におけるインピーダンスから補正係数を演算し、この補正係数と読取った超音波発振電圧指令信号から補正超音波発振電圧指令信号を演算し、この補正超音波発振電圧指令信号を前記超音波発振器に出力して
　【０００７】
　【作用】
　上記構成によれば、ボンディングツールのインピーダンスの変化を監視し、インピーダンスの変化に対応して電圧を制御することにより、ボンディングツールの発振出力を一定に保って安定したボンディングを行うことができる。
　【０００８】
　【実施例】
　次に、図面を参照しながら本発明の一実施例を説明する。図１は本発明の一実施例のワイヤボンディング装置の側面図、図２は同ワイヤボンディング装置に備えられた超音波発振回路のブロック図、図３は同ワイヤボンディング装置に備えられた超音波発振回路の発振出力図、図４は同ワイヤボンディング装置に備えられた超音波発振回路の動作のフローチャート、図５は同ワイヤボンディング装置に備えられた超音波発振回路の動作のフローチャートである。図１において、１はボンディングツールであって、ホーン２と、ホーン２の先端部に保持されたキャピラリツール３と、ホーン２の後端部に結合された圧電素子４から成っている。キャピラリツール３にはワイヤ５が挿通されている。６はリードフレームであり、その上面にチップ７が搭載されている。圧電素子４に高周波の電圧を印加してホーン２をＵＳ（超音波）振動させながら、ワイヤ５をキャピラリツール３の下面でリードフレーム６やチップ７の上面に押し付けてボンディングし、リードフレーム６とチップ７をワイヤ５で接続する。２１はリードフレーム６が載置された基台であり、その側面にはシリンダ２２が設けられている。シリンダ２２のロッド２３はマスク２４を保持している。シリンダ２２のロッド２３が引き込むことにより、マスク２４でリードフレーム６を基台２１に押し付けて、キャピラリツール３をＵＳ振動させながらワイヤボンディングを行う最中に、リードフレーム６がかたむくのを防止する。
　【０００９】
　ホーン２の基端部はフレーム２５に支持されている。フレーム２５の後端部にはカムフォロワ２６，２７が軸着されており、カムフォロワ２６，２７はカム２８を挾持している。モータ２９に駆動されてカム２８が回転すると、フレーム２５はピン３０を中心に上下方向に揺動し、ホーン２も同方向に揺動してキャピラリツール３はワイヤ５をチップ７の上面やリードフレーム６の上面に押し付けてボンディングする。３１はテーブル装置であって、Ｘテーブル３２とＹテーブル３３を段積して構成されている。フレーム２５はＹテーブル３３上の軸受３６に支持されている。Ｘテーブル３２の駆動用モータ３４とＹテーブル３３の駆動用モータ３５が駆動すると、フレーム２５やフレーム２５に保持されたホーン２はＸ方向やＹ方向に水平移動し、キャピラリツール３を所定のボンディング位置に位置させる。
　【００１０】
　次に、図２を参照して超音波（ＵＳ）発振回路について説明する。図２において、４０はトランスである。トランス４０の１次側は超音波発振器４１に接続されており、また２次側は圧電素子４に接続されている。また２次側の一方の端子は第１の実効値変換回路（以下、ＲＭＳという）４２に接続されており、他方の端子は第２のＲＭＳ４３に接続されている。第１のＲＭＳ４２は、２次側の電圧ｖを実効値電圧Ｖに変換する。また第２のＲＭＳ４３は、２次側の電流ｉを実効値電流Ｉに変換する。
　【００１１】
　第１のＲＭＳ４２と第２のＲＭＳ４３はインピーダンス演算部４４に接続されており、このインピーダンス演算部４４はインピーダンスＺ１＝Ｖ÷Ｉを演算する。演算されたインピーダンスＺ１はＡ／Ｄ変換器４５でＡ／Ｄ変換され、インターフェイス４６を通して制御部（ＣＰＵ）４７に入力される。４８は記憶部であって、この記憶部４８は基準状態におけるインピーダンスＺ０、インピーダンス演算部４４で演算されたインピーダンスＺ１、基準状態における印加電圧Ｖ０などを記憶する。制御部４７は、記憶部４８に記憶されたデータを読取りながら、超音波発振器４１を制御する。
　【００１２】
　図３は超音波発振回路の発振出力図である。横軸は時間ｔ、縦軸は発振出力Ｐである。実線波形で示されるＰ０は基準状態（インピーダンスＺ０時）の発振出力であって、（数１）のとおりである。
　【００１３】
　【数１】
　【００１４】
　また破線波形で示されるＰ１はインピーダンスがＺ１のときの発振出力であって、（数２）のとおりである。
　【００１５】
　【数２】
　【００１６】
　振出力Ｐ１はボンディングツール１のインピーダンスの変動のために発振出力Ｐ０よりも小さくなった場合で、この発振出力Ｐ１でボンディングツール１を超音波振動させるとボンディング不良が生じる。そこでインピーダンスがＺ０からＺ１に変化しても、所定の発振出力Ｐ０が得られるように、印加電圧をＶ０からＶ１にアップし、このＶ１を補正印加電圧として印加すればよい。そこで補正係数Ａを（数３）で演算する。
　【００１７】
　【数３】
　【００１８】
　また補正印加電圧Ｖ１は（数４）から求められ（数５）のとおり発振出力Ｐ１は発振出力Ｐ０に等しくなる。
　【００１９】
　【数４】
　　Ｖ１＝ＡＶ０
　【００２０】
　【数５】
　【００２１】
　したがって（数５）から明らかなように、インピーダンスがＺ１の場合も、所定の発振出力Ｐ０が得られる。なお上述した演算は制御部４７で行われる。
　【００２２】
　図４はインピーダンスＺ１の測定フローである。まず超音波発振電圧指令信号Ｖ０で発振指令が制御部４７から出され（ステップ１）、そのときのインピーダンスＺ１を読み取り（ステップ２）、読み取られたインピーダンスＺ１を記憶部２８に記憶する（ステップ３）。
　【００２３】
　また図５はボンディング動作中の補正発振フローを示している。まず超音波発振電圧指令信号Ｖ０を読取り（ステップ１１）、補正係数Ａを演算し（ステップ１２）、Ｖ１＝ＡＶ０を演算し（ステップ１３）、補正超音波発振電圧指令信号Ｖ１を超音波発振器４１に出力する（ステップ１４）。以上により、インピーダンスＺ１の変化に追随して印加電圧を補正しながら、常に所定の発振出力Ｐ０によりホーン２を振動させることができる。
　【００２４】
　なお、インピーダンスＺ０，Ｚ１の測定は、ボンディングツール１を上昇させた無負荷の状態で計測するか、もしくは実際のボンディングと同じように押圧ツールを接地させた状態で計測する。また上記実施例は、ワイヤボンディング装置を例にとって説明したが、本発明はフィルムキャリヤのインナーリードをチップの電極にボンディングするインナーリードボンディング装置や、アウターリードを基板の電極にボンディングするアウターリードボンディング装置などの他の超音波ボンディング装置にも適用できる。
　【００２５】
　【発明の効果】
　以上説明したように本発明によれば、ボンディングツールのインピーダンスの変化に追随して印加電圧を補正することにより、常に一定の発振出力でボンディングツールを超音波振動させることができ、したがって安定したボンディングを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例のワイヤボンディング装置の側面図
　【図２】
　本発明の一実施例のワイヤボンディング装置に備えられた超音波発振回路のブロック図
　【図３】
　本発明の一実施例のワイヤボンディング装置に備えられた超音波発振回路の発振出力図
　【図４】
　本発明の一実施例のワイヤボンディング装置に備えられた超音波発振回路の動作のフローチャート
　【図５】
　本発明の一実施例のワイヤボンディング装置に備えられた超音波発振回路の動作のフローチャート
　【符号の説明】
　１　ボンディングツール
　４　圧電素子
　４０　トランス
　４１　超音波発振器
　４４　インピーダンス演算部
　４７　制御部