【事件の表示】
　特許第３４６４９２９号「スラリー供給システム及びこれを備えた研磨システム」の請求項１ないし７に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４６４９２９号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
第１．手続の経緯
　特許第３４６４９２９号の請求項１ないし４に係る発明は、平成１１年２月１２日に特許出願され、平成１５年８月２２日にその特許権の設定登録がなされ、その後、早苗　道弘より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１７年７月２０日に訂正請求がなされたものである。
　
第２．訂正の適否について
（１）訂正の内容
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の記載について、「・・・・前記スラリーを貯留する複数のタンクと；」の後に「前記複数のタンクの各々に連結され、貯留されたスラリーを取り出すための供給用配管と；前記供給用配管に設けられた供給用ポンプと；」との記載を追加し、「・・・・前記複数のタンクの各々に連結され、・・・・」とあるのを「・・・・前記供給用配管に対して独立した配管系であり、前記複数のタンクの各々に連結され、・・・・」と訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲請求項４乃至６を削除する。
ウ．訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項７を請求項４に繰り上げるとともに、「・・・・スラリー原液を貯留する複数のタンクと；」の後に「前記複数のタンクの各々に連結され、貯留されたスラリー原液を取り出すための供給用配管と；前記供給用配管に設けられた供給用ポンプと；」との記載を追加し、「・・・・前記複数のタンクの各々に連結され、・・・・」とあるのを「・・・・前記供給用配管に対して独立した配管系であり、前記複数のタンクの各々に連結され、・・・・」と訂正する。
エ．訂正事項ｄ
　明細書の段落【０００６】の記載について、「・・・・前記スラリーを貯留する複数のタンクと；」の後に「前記複数のタンクの各々に連結され、貯留されたスラリーを取り出すための供給用配管と；前記供給用配管に設けられた供給用ポンプと；」との記載を追加し、「・・・・前記複数のタンクの各々に連結され、・・・・」とあるのを「・・・・前記供給用配管に対して独立した配管系であり、前記複数のタンクの各々に連結され、・・・・」と訂正する。
オ．訂正事項ｅ
　明細書の段落【０００７】の記載について、「・・・・スラリー原液を貯留する複数のタンクと；」の後に「前記複数のタンクの各々に連結され、貯留されたスラリー原液を取り出すための供給用配管と；前記供給用配管に設けられた供給用ポンプと；」との記載を追加し、「・・・・前記複数のタンクの各々に連結され、・・・・」とあるのを「・・・・前記供給用配管に対して独立した配管系であり、前記複数のタンクの各々に連結され、・・・・」と訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、「前記複数のタンクの各々に連結され、貯留されたスラリーを取り出すための供給用配管と；前記供給用配管に設けられた供給用ポンプと；」との事項を追加し、発明特定事項であるタンクから供給されるスラリーの供給路に関して限定するとともに、同じく発明特定事項である循環用配管系を「前記供給用配管に対して独立した配管系」と限定しているから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、しかも、この限定した事項は、明細書の【請求項４】、段落【００２２】〜【００２４】及び図２に記載されていたものであるから、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてされたものであり、しかも、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　訂正事項ｂは、特許請求の範囲の【請求項４】、【請求項５】、【請求項６】を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮目的とした明細書の訂正に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてされたものであり、しかも、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。。
　訂正事項ｃは、訂正事項ｂに伴い、訂正前の【請求項７】を【請求項４】に形式的に繰り上げるもので、さらに、「前記複数のタンクの各々に連結され、貯留されたスラリー原液を取り出すための供給用配管と；前記供給用配管に設けられた供給用ポンプと；」との事項を追加し、発明特定事項であるタンクから供給されるスラリーの供給路に関して限定するとともに、同じく発明特定事項である循環用配管系を「前記供給用配管に対して独立した配管系」と限定しているから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、しかも、この限定した事項は、明細書の【請求項４】、段落【００２２】〜【００２４】及び図２に記載されていたものであるから、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてされたものであり、しかも、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　訂正事項ｄは、前記訂正事項ａと整合を図るものであり、訂正事項ｅは、前記訂正事項ｃと整合を図るものであるから、それぞれ明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。そして、いずれも、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてされたものであり、しかも、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書き及び同条第３項で準用する第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３．特許異議の申立てについての判断
１．申立ての理由の概要
　申立人早苗　道弘は、本件発明についての特許に対して、証拠として甲第１号証（特開平９−２９０３６８号公報）を提出し、本件発明の特許は特許法第２９条第１、２項の規定に違反してなされたものであり、また、証拠として甲第２号証（特願平９−３１５１９７（特開平１１−１２６７６４号）号）を提出し、本件発明の特許は特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものであり、本件発明についての特許を取り消すべき旨主張している。
　
２．本件発明について
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１乃至４に係る発明（以下、「本件発明１」等という。）は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
【請求項１】
　研磨スラリーを所定の場所に対して供給するスラリー供給システムにおいて、
　前記スラリーを貯留する複数のタンクと；
　前記複数のタンクの各々に連結され、貯留されたスラリーを取り出すための供給用配管と；
　前記供給用配管に設けられた供給用ポンプと；
　前記供給用配管に対して独立した配管系であり、前記複数のタンクの各々に連結され、当該タンク中において前記スラリーを循環させるために使用される循環用配管系と；
　前記循環用配管系の全てに連結された単一の循環用ポンプと；
　前記複数の循環用配管系に接続された流路切り替え手段と；
　前記複数のタンクの選択された１つにおいて前記スラリーを循環させるように前記流路切り替え手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするスラリー供給システム。
【請求項２】
　前記タンクは、スラリー原液を貯留するスラリー原液タンクであることを特徴とする請求項１に記載のスラリー供給システム。
【請求項３】
　前記制御手段は、前記複数のタンクの中からスラリー供給のためのタンクを１つ選択し、
　当該選択されたタンクに貯留されたスラリーの循環作業を所定時間行った後に、当該タンクからのスラリー供給作業を開始するように前記流路切り替え手段を制御することを特徴とする請求項１または２に記載のスラリー供給システム。
【請求項４】
　スラリーを用いて被加工材を研磨する研磨装置と；
　実際に使用されるスラリーより濃度の高いスラリー原液を貯留する複数のタンクと；
　前記複数のタンクの各々に連結され、貯留されたスラリー原液を取り出すための供給用配管と；
　前記供給用配管に設けられた供給用ポンプと；
　前記タンクから供給されるスラリー原液を所定の希釈液と混合して、適正濃度のスラリーを生成するスラリー混合ユニットと；
　前記供給用配管に対して独立した配管系であり、前記複数のタンクの各々に連結され、当該タンク内において前記スラリー原液を循環させるために使用される循環用配管系と；
　前記循環用配管系の全てに連結された単一の循環用ポンプと；
　前記複数の循環用配管系と前記循環用ポンプとの間に接続された流路切り替え手段と；
　前記複数のタンクの選択された１つにおいて前記スラリーを循環させるように前記流路切り替え手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする研磨システム。
　
３．特許法第２９条第１，２項について
（１）刊行物１
　当審が通知した取り消し理由に引用した甲第１号証（以下。「刊行物１」という。）には、以下のような事項が記載されている。
ア．段落【０００１】
「【発明の属する技術分野】本発明は、各種の精密研磨加工、例えば、半導体デバイス加工におけるウェーハのポリッシング工程で研磨剤として用いるスラリを研磨装置に供給するスラリ供給装置に係り、特に、スラリの混合量を少なくしても、自動的に研磨剤原液、各種添加剤を自動的に調合して必要な量のスラリを安定的に研磨装置に供給することのできるスラリ供給装置に関する。」
イ．段落【００１２】
「また、他の好ましい実施形態によれば、複数の前記混合タンクが前記原液定量供給部の下流に並列に設けられ、選択的に切り替えて一の混合タンクが前記スラリ供給部に接続される。」
ウ．段落 【００１７】
「研磨剤、薬液、添加剤の各原液の流れについて概略的に説明すると、これらの各原液は、まず、原液タンク１、２、３から、原液定量供給部を構成する計量タンク７、８、９に移送され、予め決められた混合割合に相当する所定量を計量タンク７、８、９にて計量してから、混合タンク１０に送られるようになっている。この混合タンク１０では、原液を均一に混合して調製する。その後、スラリは、その下流の溜タンク６０に送られて、ここで一定温度に調温されながら溜めておかれ、研磨装置１００へは、スラリ供給部に組み込まれたスラリ供給ポンプ７０によって所定の設定流量で供給される。」
エ．段落【００４５】
「・・・・。なお、溜タンク６０では、スラリを研磨装置１００に送らないときには、スラリを劣化させないために、スラリ供給ポンプ７０から吐出されたスラリを戻りライン７３を介して溜タンク６０に環流させ、スラリの循環をさせておく。」
オ．段落【００５１】〜【００５２】
「一方、混合タンク１０、８０からそれぞれスラリを送る管路８４、８５は、バルブ８６を介してスラリ供給ポンプ７０の吸込管に接続されており、従って、このバルブ８６を切り替えることによって、混合タンク１０、８０の一方から吸込まれたスラリが研磨装置１００に供給される。・・・・スラリ供給装置では、混合タンク１０、８０のうち、一方のタンクのスラリをスラリ供給ポンプ７０から研磨装置１００に供給している間に、他方のタンクには計量タンク７、８、９から送った原液を混合してスラリを調製し、一方のタンクの残量が少なくなるまで待機するというように、第１実施形態における混合タンクと溜タンクを一つのタンクで兼用するようしてタンクを利用することが可能となる。その場合も、両タンクとも、二段構造になっているので、混合量については、広い範囲の混合量の変化に対応することが可能となる。」
カ．図３
　他の実施例に関する記載である前記エ．の摘記事項を参酌すると、図３には、混合タンク１０，８０には、スラリ供給ポンプ７０から吐出されたスラリを混合タンク１０，８０に環流させ、スラリを循環させる戻りライン、及び、スラリを循環させる流路を構成するためのバルブ８６を含む流路切り替え手段が看取でき、また、バルブ８６は切り替えて用いられていることから、混合タンク１０を使用する場合は混合タンク８０の循環が不可能であり、混合タンク８０を使用する場合は混合タンク１０の循環が不可能であることは、構造から明らかである。　
　また、流路切り替え手段を有することから、流路切り替え手段を制御する制御手段を有していることは自明である。
　
　以上のとおりであり、刊行物１には次の「スラリ供給装置」が記載されているものと認める。（以下、「刊行物１記載の発明」という。）
　
「スラリを研磨装置に供給するスラリ供給装置において、
　前記スラリを貯留する混合タンク１０，８０と；
　前記混合タンク１０，８０からそれぞれスラリを送る管路８４，８５と；
　前記管路８４，８５に設けられたスラリ供給ポンプ７０と；
　前記混合タンク１０，８０に連結されたスラリ供給ポンプ７０から吐出されたスラリを混合タンク１０，８０に環流させる戻りラインと；
  前記混合タンク１０，８０の一方において前記スラリを循環させるように流路切り替え手段を制御する制御手段とを備えたスラリ供給装置」
　
（２）対比
　本件発明１と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「スラリ」は前者の「研磨スラリー」に相当し、以下同様に、「スラリ供給装置」は「スラリー供給システム」に、「混合タンク１０，８０」は「複数のタンク」に、「管路８４，８５」は「供給用配管」に、「スラリ供給ポンプ７０」は「供給用ポンプ」に、後者の「混合タンク１０，８０に連結されたスラリ供給ポンプ７０から吐出されたスラリを混合タンク１０，８０に環流させる戻りライン」は、前者の「前記複数のタンクの各々に連結され、当該タンク中において前記スラリーを循環させるために使用される循環用配管系」に相当する。
　そうすると、両者の一致点及び相違点は次のとおりである。
　
＜一致点＞
　研磨スラリーを所定の場所に対して供給するスラリー供給システムにおいて、
　前記スラリーを貯留する複数のタンクと；
　前記複数のタンクの各々に連結され、貯留されたスラリーを取り出すための供給用配管と；
　前記供給用配管に設けられた供給用ポンプと；
  前記複数のタンクの各々に連結され、当該タンク中において前記スラリーを循環させるために使用される循環用配管系と；
　前記複数の循環用配管系に接続された流路切り替え手段と；
　前記複数のタンクの選択された１つにおいて前記スラリーを循環させるように前記流路切り替え手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするスラリー供給システム。
　
＜相違点１＞
　前者は、循環用配管系を供給用配管に対して独立した配管系としたのに対して、後者はそのように特定されていない点。
＜相違点２＞
　前者は、前記循環用配管系の全てに連結された単一の循環用ポンプを有しているのに対して、後者は、そのように特定されていない点。
　
（３）判断
　上記相違点について検討する。
　相違点１の循環用配管系を供給用配管に対して独立した配管系とした構成、及び、相違点２の循環用ポンプを供給用ポンプとは別に設けた構成とすることは本件出願前周知とは言えず、本件発明１は当該両構成を有することによりスラリーの循環及び供給を同時的に行えるという顕著な効果を奏するものである。
　
　したがって、本件発明１が刊行物１記載の発明であるとすることができないばかりでなく、刊行物１記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
　本件発明２〜４は、本件発明１の発明を特定する事項を全て含み、さらに他の発明特定事項を付加したものに相当するから、上記本件発明１で説示したと同様の理由により、刊行物１記載の発明であるとすることができないばかりでなく、刊行物１記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
４．特許法第２９条の２について
（１）刊行物２
　特許異議申立人が証拠として提出した甲第２号証（以下、「刊行物２」という。）には、以下のような事項が記載されている。
ア．段落【００３８】
「図１は、スラリ供給装置の概略構成図である。スラリ供給装置１１は、複数（本実施形態では２個）の混合タンク１２ａ，１２ｂを備える。第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂは、同一形状に形成されている。また、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂは、同一の役割、即ち、第１，第２原液タンク１３，１４から供給される原液を希釈・混合して生成した薬液としてのスラリを蓄えるとともに循環させるために設けられている。」
イ．段落【００３９】
「・・・・。そして、スラリ供給装置１１は、生成したスラリ１７を、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給する。」
ウ．段落【００６８】
「第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂには、共通に設けられたメイン循環配管３１が接続されている。生成されたスラリ１７は、各混合タンク１２ａ，１２ｂとメイン循環配管３１との間にそれぞれ設けられた第１，第２ポンプ３２ａ，３２ｂによって、各混合タンク１２ａ，１２ｂからメイン循環配管３１を介して循環される。この循環は、液だまりを無くしてスラリ１７が凝固するのを防ぐ。」
エ．段落【００６９】
「メイン配管３１には各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにスラリ１７を供給するための分岐管１０５ａ，１０５ｂが接続されている。各分岐管１０５ａ，１０５ｂは、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに備えられたノズルに接続されている。各分岐管１０５ａ，１０５ｂにはそれぞれ供給弁３３ａ，３３ｂが設けられている。循環されるスラリ１７は、供給弁３３ａ，３３ｂの操作によりメイン循環配管３１から分岐管１０５ａ，１０５ｂを介して各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給される。」
オ．段落【００７１】〜【００７２】
「また、スラリ供給装置１１には、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに対応してメイン循環配管３１と並列に第１，第２サブ循環配管３４ａ，３４ｂが設けられている。第１，第２サブ循環配管３４ａ，３４ｂと第１，第２ポンプ３２ａ，３２ｂとの間には切換弁３５ａ，３５ｂが設けられ、第１，第２サブ循環配管３４ａ，３４ｂと第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂとの間には切換弁３６ａ，３６ｂが設けられている。
【００７２】切換弁３５ａ，３５ｂは、スラリ１７の循環経路をメイン循環配管３１又は第１，第２サブ循環配管３４ａ，３４ｂに切り換えるために設けられている。即ち、スラリ供給装置１１は、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂにて生成したスラリ１７を、切換弁３５ａ〜３６ｂを切り換え操作することにより、各タンク１２ａ，１２ｂからメイン循環配管３１又は第１，第２サブ循環配管３４ａ，３４ｂを介して循環させる。」
カ．段落【００８４】
「・・・・。更に、制御装置４１は、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂのスラリ１７の残量が所定量となると供給弁３３ａ，３３ｂを開閉操作して第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂを切り換える。これにより、制御装置４１は、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにスラリ１７を連続して供給する。」
キ．【０１１４】〜【０１１５】
「ステップ５３ａはスラリ循環処理（スラリ循環手段）であって、制御装置４１は、先ず生成したスラリ１７を第１サブ循環配管３４ａを介して循環させる。即ち、制御装置４１は、切換弁３５ａ，３６ａを第１サブ循環配管３４ａ側に切り換え、生成したスラリ１７を第１サブ循環配管３４ａを介して循環させる。これにより、スラリ１７の液だまりが無くなって乾燥し難くなると共に、砥粒が沈殿し難くなる。
【０１１５】次に、制御装置４１は、液面センサ３０ｂの検出信号に基づいて、第２混合タンク１２ｂ内のスラリの残量が所定量となると、該第２混合タンク１２ｂ内のスラリ１７をほとんど使い切ったと判断する。そして、制御装置４１は、第１混合タンク１２ａにて生成したスラリ１７の循環経路をメイン循環配管３１に切り換えるよう切換弁３５ａ〜３６ｂを制御する。これにより、制御装置４１は、第１混合タンク１２ａのスラリ１７をメイン循環配管３１を介してＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに継続的に供給する。」
ク．段落【０１４６】
「スラリ供給動作において、制御装置４１ａは、各混合タンクを使用して、搬入される第１，第２原液タンク１３，１４に蓄えられた原液１５，１６を各混合タンク１２ａ，１２ｂに設けた液面センサ３０ａ，３０ｂの検出信号に基づいて体積計量して各混合タンク１２ａ，１２ｂに供給する。そして、制御装置４１ａは、更に純水を各混合タンク１２ａ，１２ｂに供給し、第１，第２原液を希釈・混合してスラリ１７を生成する。」
ケ．段落【０１５２】
「また、本実施形態のスラリ供給装置６１に搬入される第１，第２原液タンク１３，１４には、第１，第２循環配管６２ａ，６２ｂが装着される。各循環配管６２ａ，２６ｂには、第３，第４ポンプ６３ａ，６３ｂ、リリーフ弁６４ａ，６４ｂ、及び流量制御弁６５ａ，６５ｂが備えられている。第３，第４ポンプ６３ａ，６３ｂは、各原液タンク１３，１４の原液１５，１６を第１，第２循環配管６２ａ，６２ｂにて循環させるために設けられている。この循環によって、各原液タンク１３，１４における原液１５，１６の沈殿を防止する。」
　
　以上のとおりであるので、刊行物２には次の「スラリ供給装置」が記載されているものと認める。（以下、「刊行物２記載の発明」という。）
　
　「スラリーをＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに対して供給するスラリ供給装置であって
　前記スラリを貯留する第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂと；
　前記第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂには、共通に設けられたメイン循環配管３１が接続され、
   前記第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂとメイン循環配管３１との間には第１，第２ポンプ３２ａ，３２ｂが設けられ、
　前記第１，第２ポンプ３２ａ，３２ｂとメイン循環配管３１との間に切替弁３５ａ〜３６ｂが設けられ、
　メイン循環配管３１には、分岐管１０５ａ，１０５ｂが接続されており、各分岐管１０５ａ，１０５ｂには、供給弁３３ａ，３３ｂが設けられているスラリ供給装置」
　
（２）対比・判断
　刊行物２記載の発明には、ＣＭＰ装置にスラリーを供給するための供給用の管路及びスラリのタンク内における沈殿を防止するための循環を行う循環のための管路は有しているものの、本件発明１を特定する事項である「供給用配管に対して独立した配管系であ・・・・る循環用配管系」、「供給用ポンプ」と「循環用ポンプ」をそれぞれ有し、「循環用ポンプ」が「循環用配管系の全てに連結された単一の循環用ポンプ」である点を備えておらず、当該事項により本件発明１は、スラリーの循環及び供給を同時的に行えるという顕著な効果を奏するものであり、刊行物２記載の発明とは実質的にも同一とは認められない。
　
　本件発明２〜４は、本件発明１の発明を特定する事項を全て含み、さらに他の発明特定事項を付加したものに相当するから、上記本件発明１で説示したと同様の理由により、刊行物２記載の発明と同一であるとすることはできない。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１ないし４に係る特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１ないし４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年９月１日（２００５．９．１）