【事件の表示】
　特許第３４４０４１９号「研磨用組成物およびそれを用いた研磨方法」の請求項１ないし８に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３４４０４１９号の請求項１ないし８に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯・本件発明
　
　本件特許第３４４０４１９号の請求項１〜８に係る発明の出願は、平成１３年２月２日に特許出願され、平成１５年６月２０日にその特許権の設定登録がなされ、その後、稲葉佳子より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、意見書が提出され、一方、特許異議申立人に対し審尋が通知され、回答書が提出されたものであって、本件の請求項１〜８に係る発明（以下、「本件発明１〜８」という。また、これらをまとめて「本件発明」という場合もある。）は、その特許請求の範囲の請求項１〜８に記載された事項により特定される、次のとおりのものである。
　
「【請求項１】 下記（ａ）〜（ｄ）を含んでなり、かつ下記（ｃ）以外のアミンを含まないことを特徴とする、研磨用組成物。
（ａ）二酸化ケイ素、
（ｂ）アルカリ金属の無機塩およびアンモニウム塩からなる群より選ばれる少なくとも１種類の塩基性物質、
（ｃ）プロパンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、プロパンジアミン四酢酸リチウム、ジエチレントリアミン五酢酸リチウム、トリエチレンテトラミン六酢酸リチウム、プロパンジアミン四酢酸カリウム、ジエチレントリアミン五酢酸カリウム、トリエチレンテトラミン六酢酸カリウム、プロパンジアミン四酢酸ナトリウム、ジエチレントリアミン五酢酸ナトリウム、トリエチレンテトラミン六酢酸ナトリウム、プロパンジアミン四酢酸アンモニウム、ジエチレントリアミン五酢酸アンモニウムおよびトリエチレンテトラミン六酢酸アンモニウムからなる群より選ばれる少なくとも１種類のキレート剤、
（ｄ）水
【請求項２】 前記（ａ）の二酸化ケイ素が、コロイダルシリカであることを特徴とする、請求項１に記載の研磨用組成物。
【請求項３】 前記二酸化ケイ素の平均粒子径が、０．００３〜１μｍであり、その濃度が、研磨用組成物全量の重量に対して０．０５〜３０％であることを特徴とする、請求項１または２に記載の研磨用組成物。
【請求項４】 前記（ｂ）の塩基性物質の濃度が、研磨用組成物全量の重量に対して０．０１〜１０％であることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の研磨用組成物。
【請求項５】 前記アルカリ金属の無機塩が、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素リチウム、炭酸水素ナトリウムおよび炭酸水素カリウムからなる群から選ばれる少なくとも１種類であることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の研磨用組成物。
【請求項６】 前記アンモニウム塩が、水酸化アンモニウム、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、塩化テトラメチルアンモニウムまたは塩化テトラエチルアンモニウムからなる群から選ばれる少なくとも１種類であることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の研磨用組成物。
【請求項７】 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の研磨用組成物を用いることにより、研磨時の遷移金属による被研磨物への汚染を防止することを特徴とする、半導体ウェーファーの研磨方法。
【請求項８】 前記半導体ウェーファーが、単結晶シリコン、多結晶シリコン、酸化珪素および窒化ケイ素、からなる群から選ばれる少なくとも１種類であることを特徴とする、請求項７に記載の研磨方法。」
　
２．特許異議の申立ての理由の概要
　
　特許異議申立人稲葉佳子は、証拠として甲第１、２号証、及び参考資料１を提出し、本件発明１〜８は、甲第１、２号証に記載された発明であるから特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当し、あるいは、甲第１、２号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、また、本件特許は特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであり、したがって、本件発明１〜８の特許は取り消されるべき旨、主張している。
　
　特許異議申立人の提出した甲号証等は以下のとおりである。
　　　甲第１号証：特開昭６３−２７２４６０号公報
　　　甲第２号証：特開２０００−１６０１４２号公報
　　　参考資料１：本件特許出願に関する、平成１４年１１月２９日提出の
　　　　　　　　　意見書（審査段階で提出されたもの）
　
３．甲号各証に記載の事項
　
　甲第１号証には、次の事項が記載されている。
（ア）「水、粒状アモルファスシリカおよび水溶性キレート剤および／または分子量５０００以上の高分子イオンを含有し、かつアルカリ性化合物によってｐＨ９以上に調整されてなることを特徴とするウェハー用研磨剤組成物。」（特許請求の範囲の請求項１）
（イ）「水溶性キレート剤が水溶性のエチレンジアミン４酢酸、・・・ジエチレントリアミン５酢酸、・・・から選ばれた１種類以上であることを特徴とする特許請求の範囲（１）に記載のウェハー用研磨剤組成物。」（特許請求の範囲の請求項３）
（ウ）「【産業上の利用分野】本発明は、電気集積回路の支持結晶として広範囲に使用されているウェハーの研磨を行う際に、研磨剤中の金属原子がウェハーの表面に移行せず、ウェハー表面を汚染することのない工業的に有利なウェハー用研磨剤組成物に関する。」（公報第１頁右欄１１〜１６行）
（エ）「本発明においてアルカリ性化合物としては、金属アルカリ、アンモニウム、水酸化４級アンモニウム、またはアミン類などがあり、特にエチレンジアミンを使用した組成物を用いてウェハーを研磨する時は、研磨速度をあげることができるので好ましい化合物である。」（同第３頁右上欄６〜１１行）
（オ）「【発明の効果】本発明は、次のように特別に顕著な効果を奏するので、その産業上の利用価値は極めて大である。（１）本発明に係る研磨剤組成物には、キレート剤・・・を含んでおり、これらと研磨剤組成物中に含まれる金属原子とが水分子とともに強い複合体を形成するので研磨剤組成物中に存在する遊離の金属原子を極力少なくすることができる。（２）本発明に係る・・・研磨剤中の金属原子がウェハー表面に吸着されにくく、従って熱拡散もドープもされることがない。（３）従って、本発明に係る研磨剤組成物を用いて研磨されたウェハーの電気特性は、ミクロ的に均一であって、工業的に極めて有利である。」（同第３頁右上欄下から９行〜左下欄７行）
（カ）実施例１としてエチレンジアミン４酢酸とエチレンジアミンとを含むものが第１表中に記載され、その説明として、「第１表および第１図より、本発明に係る研磨剤組成物を用いて研磨されたウェハーには、ナトリウム原子の濃度が著しく少なく、ミクロ的に均一であることが明らかである。」（同第４頁左上欄５行〜下から３行）と記載されている。
　
　甲第２号証には、次の事項が記載されている。
（キ）「キレート性化合物又はその塩と、多価アルコール化合物の部分エステル化物及び／又は部分エーテル化物と、水とを含有してなる研磨液組成物。」（特許請求の範囲の請求項１）
（ク）「【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、被研磨物の表面に表面欠陥を生じさせること無く、研磨速度が向上し、且つ、表面粗さを低減し得る研磨液組成物及び被研磨基板の研磨方法を提供することにある。」（公報段落【0004】）
（ケ）「【発明の効果】本発明によれば、被研磨物の表面に表面欠陥を生じさせること無く、研磨速度を向上させ、表面粗さを低減させうる研磨液組成物を得ることができる。また、本発明の研磨液組成物を用いれば、研磨速度を向上させ、被研磨物の表面にスクラッチやピット等の欠陥を生じさせることなく、表面粗さを低くすることができるという効果が奏される。」（同段落【0058】）
　
　また、参考資料１は上記したものであり、この中で特許権者は、「この刊行物Ａ（本件における甲第１号証）の発明において、水溶性キレート剤は、水溶性のエチレンジアミン４酢酸、ニトリロ３酢酸、ヒドロキシエチルエチレンジアミン３酢酸、ジエチレントリアミン５酢酸、またはヒドロキシエチルイミノ２酢酸から選ばれた１種類以上であり、ジエチレントリアミン５酢酸が本願発明に係るキレート剤と一致します。」と述べている。
　
４．当審の判断
　
（１）特許法第２９条第１項違反について
　
（ｉ）本件発明１と甲第１号証に記載された発明との対比・判断
　
（本件発明１）
　本件発明１は、「（ａ）二酸化ケイ素、（ｂ）塩基性物質、（ｃ）キレート剤、（ｄ）水、を含んでなり、かつ（ｃ）以外のアミンを含まない、研磨用組成物」（特許請求の範囲の請求項１参照）であり、「金属不純物、特に、銅、鉄、ニッケル、クロム等の遷移金属等による、被研磨物への汚染を効果的に防止することを可能とするもの」（本件特許明細書段落【0011】参照）であり、「特定のキレート剤を含むことにより、組成物中に存在、或いは研磨時に外部より組成物中に溶出した金属、特に遷移金属を捕捉し、被研磨物への汚染を防止し、使用するキレート剤の種類により、遷移金属を補足する能力に違いが見られ、特に好適であるプロパンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸あるいはこれらのナトリウム、カリウムまたはアンモニウム塩を使用することにより、より効果的な汚染防止効果を得ることができるもの」（同【0034】参照）であり、さらに、「洗浄後のウェーファーに熱処理を加えると、シリコン結晶中に拡散していた銅が再び表面に拡散し、洗浄前（研磨後）と同様な傾向を示す。特に、銅についてはウェーファー表面に付着したものを洗浄で除去するだけでは、ウェーファー内部に汚染拡散した銅を除去することができず、本発明の研磨組成物を用いて研磨し、金属汚染を防止する必要がある」（同【0050】参照）ものである。そして、具体的には、表１（同【0037】）に示される研磨剤組成物が、表２、表３（同【0043】、【0045】）に示される効果を奏することがわかる。
　
（甲第１号証に記載された発明）
　これに対して甲第１号証には、上記したとおり、「水、粒状アモルファスシリカおよび水溶性キレート剤を含有し、かつアルカリ性化合物を含有する、ウェハーの研磨を行う際に、研磨剤中の金属原子がウェハーの表面に移行せず、ウェハー表面を汚染することのない工業的に有利なウェハー用研磨剤組成物」（上記摘記（ア）、（ウ）参照）が記載されており、その効果は、「研磨剤組成物中に存在する遊離の金属原子を極力少なくすることができ、研磨剤中の金属原子がウェハー表面に吸着されにくく、熱拡散もドープもされることがなく、これを用いて研磨されたウェハーの電気特性は、ミクロ的に均一である」（上記摘記（オ）参照）というものであり、さらに具体的な実施例１によれば、「キレート剤としてエチレンジアミン４酢酸、アルカリ性化合物としてエチレンジアミンを用いたもの」でシリコンウェハーを研磨したところ、「研磨後のウェハーは、キレート剤を含まない比較例に比べて、ナトリウム原子の濃度が著しく少なく、ミクロ的に均一である」（上記摘記（カ）参照）、というものである。
　即ち、甲第１号証には、「水、粒状アモルファスシリカおよび水溶性キレート剤を含有し、かつアルカリ性化合物を含有するウェハー用研磨剤組成物」であって、「研磨剤中の金属原子がウェハー表面に吸着されにくく研磨後のウェハーはミクロ的に均一である」という効果を奏する組成物の発明が記載されている。
　
（両発明の構成の対比）
　両発明の構成を対比する。
　甲第１号証に記載された発明における「水溶性キレート剤」には「ジエチレントリアミン５酢酸」が含まれ（上記摘記（イ）参照）、同「アルカリ性化合物」には「金属アルカリ、アンモニウム、水酸化４級アンモニウム」が含まれ（上記摘記（エ）参照）、これらは本件発明１においてもその発明特定事項であり、二酸化ケイ素及び水は共通するから、本件発明１と甲第１号証に記載された発明は、その組成物を構成する成分については、「二酸化ケイ素、アルカリ性化合物としての水酸化４級アンモニウム等、キレート剤としてのジエチレントリアミン５酢酸、水を、その成分とし得る」点で、互いに重複する場合を含んでいる。
　
（両発明の効果の対比）
　両発明の奏する効果を対比する。
　本件発明１の効果は、「金属不純物、特に、銅、鉄、ニッケル、クロム等の遷移金属等による、被研磨物への汚染を効果的に防止することを可能とするもの」（本件特許明細書段落【0011】及び表２参照）であり、さらに、「洗浄後に熱処理をしても再び金属汚染されることを防止するもの」（同段落【0050】及び表３参照）である。
　これに対して甲第１号証には、「研磨剤中の金属原子がウェハー表面に吸着されにくく研磨後のウェハーはミクロ的に均一である」発明は記載されているが、「金属不純物、特に、銅、鉄、ニッケル、クロム等の遷移金属等による被研磨物への汚染が防止される」発明について、さらには「洗浄後に熱処理をしても再び金属汚染されることが防止される」発明については、記載も示唆もされていない。
　そして、本件特許明細書の表１中で、比較例１３とされた例は、キレート剤としてエチレンジアミン４酢酸、アルカリ性化合物としてエチレンジアミンを用いたものであるから、甲第１号証に記載された発明における、キレート剤を用いた唯一の実施例である実施例１に相当すると認められるところ、本件特許明細書の表２、３において、比較例１３と本件発明の効果を比較するに、研磨後の銅、鉄、ニッケル、クロム等の遷移金属等による被研磨物への汚染の防止に関しても、洗浄後に熱処理をしても再び金属汚染されることの防止に関しても、本件発明の効果が遙かに優れているのであるから、甲第１号証に記載された発明の奏する効果と、本件発明の奏する効果とは明らかに異なるものである。
　
（結論）
　そうしてみると、甲第１号証には、「水、粒状アモルファスシリカおよび水溶性キレート剤を含有し、かつアルカリ性化合物を含有するウェハー用研磨剤組成物」についての発明は記載されているが、それは、このような成分を含む組成物であって「研磨剤中の金属原子がウェハー表面に吸着されにくく研磨後のウェハーはミクロ的に均一である」という効果を奏するものにとどまり、該水溶性キレート剤として本件発明１の（ｃ）を選択し、かつ、該アルカリ性化合物として本件発明１の（ｂ）を選択し、甲第１号証に具体的に開示されない成分の組合せとし、そうして得られた「金属不純物、特に、銅、鉄、ニッケル、クロム等の遷移金属等による被研磨物への汚染が防止され、かつ、洗浄後に熱処理をしても再び金属汚染されることが防止される」という効果を奏する組成物の発明までもが、甲第１号証に記載されている、とすることはできない。
　以上のとおり、甲第１号証に記載された発明と本件発明１とは、参考資料１にもみられるように発明を構成する成分は重複するところがあるものの、甲第１号証には、本件請求項１に係る発明特定事項を備え、甲第１号証記載の発明にはみられない格別の効果を奏する発明、即ち本件発明１は、記載されていない、とせざるを得ない。
　したがって、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明ではない。
　
（ii）本件発明１と甲第２号証に記載された発明との対比・判断
　
　甲第２号証には、「キレート性化合物又はその塩と、多価アルコール化合物の部分エステル化物及び／又は部分エーテル化物と、水とを含有してなる研磨液組成物」（上記摘記（キ）参照）に関する発明が記載されており、本件発明１は、「多価アルコール化合物の部分エステル化物及び／又は部分エーテル化物」を発明特定事項としていない点で、明らかに甲第２号証に記載された発明とは相違する。また、甲第２号証には、上記摘記（ク）に記した課題のもと、上記摘記（ケ）に記した効果を奏する組成物は記載されているが、本件発明１の作用効果である、「金属不純物、特に、銅、鉄、ニッケル、クロム等の遷移金属等による被研磨物への汚染が防止される」ことについても、「洗浄後に熱処理をしても再び金属汚染されることが防止される」ことについても何ら言及されていないのであるから、甲第２号証には、本件請求項１に係る発明特定事項を備え、甲第２号証記載の発明にはみられない格別の効果を奏する発明、即ち本件発明１は、記載されていない。
　したがって、本件発明１は、甲第２号証に記載された発明ではない。
　
（iii）本件発明２〜８について
　
　本件発明２〜６は、いずれも、本件発明１に更に他の発明特定事項を加えるものであり、本件発明７、８は実質的に本件発明１の組成物を使用する方法の発明であるところ、本件発明１が甲第１号証にも甲第２号証にも記載されていないことは上記したとおりであるから、これと同様の理由により、本件発明２〜８は、いずれも、甲第１号証に記載された発明でも甲第２号証に記載された発明でもない。
　
（２）特許法第２９条第２項違反について
　
（ｉ）本件発明１について
　
　上記したとおり、本件発明１は甲第１号証にも甲第２号証にも記載されておらず、また、本件発明１は、「金属不純物、特に、銅、鉄、ニッケル、クロム等の遷移金属等による被研磨物への汚染が防止される」、「洗浄後に熱処理をしても再び金属汚染されることが防止される」という、甲第１、２号証にはない格別の効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、甲第１、２号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
（ii）本件発明２〜８について
　
　本件発明２〜６は、いずれも、本件発明１に更に他の発明特定事項を加えるものであり、本件発明７、８は実質的に本件発明１の組成物を使用する方法の発明であるところ、本件発明１が、甲第１、２号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではないことは上記したとおりであるから、これと同様の理由により、本件発明２〜８は、いずれも、甲第１、２号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
（３）特許法第３６条違反について
　
　特許異議申立人は、本件発明１は、その請求項１に、「下記（ｃ）以外のアミンを含まないことを特徴とする」とあるにもかかわらず、実施例１〜８、９において、アミンを用いる例が記載されており、本件出願は特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない旨、主張している。
　しかしながら、特許請求の範囲の請求項１に、「下記（ｃ）以外のアミンを含まないことを特徴とする」と明記されていることからすれば、「実施例１〜８、９」と記載されているとしても、「（ｃ）以外のアミン」を含むこれらの例が本件発明の実施例に相当しないことは明らかであるから、該記載をもって、本件明細書の発明の詳細な説明が、当業者が実施をすることができる程度に明確にかつ十分に記載されていない、とすることはできない。
　
（４）結論
　
　したがって、本件発明１〜８についての特許は、特許法第２９条第１項第３号に該当するとも、同法同条第２項の規定に違反してされたものとも、あるいは同法第３６条に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものとも、することはできない。
　
　なお、特許異議申立人は回答書とともに新たに参考資料１〜４を提出し、（ｉ）本件発明の効果は他の手段によっても達成できるものであって、格別に優れたものではない、（ii）本件発明は、新たな参考資料１に記載された発明と同一もしくはこれから容易になし得たものであるか、または、新たな参考資料１〜４の記載を甲第１号証に適用すれば容易になし得るものである旨、主張する。
　しかしながら、該参考資料１〜４には、「金属不純物、特に、銅、鉄、ニッケル、クロム等の遷移金属等による被研磨物への汚染が防止される」ことも、「洗浄後に熱処理をしても再び金属汚染されることが防止される」ことも、記載も示唆もされていないのであるから、本件発明の効果は予測できないものであり、また、このような作用効果を有しないものと同一であるとはできず、さらに、これから容易であるともすることもできない。
　よって、（ｉ）、（ii）の主張を採用することはできず、回答書を検討しても、上記判断に変わりはない。　
　
５．むすび
　
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１〜８についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜８についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年１２月２４日（２００４．１２．２４）