【事件の表示】
　特願２００９−１８８４４１「マスク組立体及びこれを利用した平板表示装置用蒸着装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年　８月１９日出願公開、特開２０１０−１８０４７６、請求項の数（１６）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯　
　本願は、平成２１年８月１７日（パリ条約による優先権主張：２００９年２月５日　大韓民国）の出願であって、平成２４年６月２８日付けで拒絶理由が通知され、同年１０月１日付けで意見書が提出されるとともに手続補正がされ、同年１０月２６日付けで拒絶査定がされ、これに対し、平成２５年２月２８日に拒絶査定不服審判が請求され、同年１２月６日付けで当審により拒絶理由が通知され、平成２６年３月５日付けで手続補正がされたものである。
　
第２　本願発明
　本願発明は、平成２６年３月５日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１〜１６に記載された事項により特定される次のとおりのものである（以下、これらの請求項に係る発明を項番号に対応して、「本願発明１」などといい、これらをまとめて「本願発明」という。）。
「【請求項１】
　開口部及び前記開口部を囲んだフレームを含むフレームマスクと；
　一つまたは複数のパターンが形成されるパターン部及び前記フレームと溶接、半田付け、ロウ付けの何れか一つにより接合される接合部を含むパターンマスク；及び
　前記開口部を横切って、前記パターンマスクと溶接、半田付け、ロウ付けの何れか一つにより接合される支持台を含み、
　前記フレームは、前記支持台の終端部を収容するための溝が形成され、
　前記溝の深さは、前記支持台の厚さと同一なことを特徴とするマスク組立体。
【請求項２】
　前記パターンマスクの接合部は、前記パターンマスクの長さ方向である第１方向に引張されて前記フレームと溶接、半田付け、ロウ付けの何れか一つにより接合されることを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項３】
　前記支持台は、前記第１方向と垂直な第２方向に開口部を横切ることを特徴とする請求項２に記載のマスク組立体。
【請求項４】
　前記支持台は、前記第１方向に互いに離隔されるように複数個が位置することを特徴とする請求項３に記載のマスク組立体。
【請求項５】
　前記パターンマスクは、微細金属マスクであることを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項６】
　前記支持台は、前記フレームマスクと同一材質であることを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項７】
　前記パターンマスクと支持台間の接合点は、前記パターンマスクのパターン間に位置することを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項８】
　前記パターンは、一つまたは複数のスリットを含むことを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項９】
　チャンバーと；
　前記チャンバーの下側に位置する蒸着源；及び
　前記蒸着源上に位置し、基板を支持するためのマスク組立体を含み、
　前記マスク組立体は、開口部及び前記開口部を囲んだフレームを含むフレームマスク、
一つまたは複数のパターンが形成されるパターン部及び前記フレームと溶接、半田付け、
ロウ付けの何れか一つにより接合される接合部を含むパターンマスク及び前記開口部を横切って、前記パターンマスクと溶接、半田付け、ロウ付けの何れか一つにより接合される支持台を含み、
　前記フレームは、前記支持台の終端部を収容するための溝が形成され、
　前記溝の深さは、前記支持台の厚さと同一なことを特徴とする平板表示装置用蒸着装置。
【請求項１０】
　前記パターンマスクの接合部は、前記パターンマスクの長さ方向である第１方向に引張されて前記フレームと溶接、半田付け、ロウ付けの何れか一つにより接合されることを特徴とする請求項９に記載の平板表示装置用蒸着装置。
【請求項１１】
　前記支持台は、前記第１方向と垂直な第２方向に開口部を横切ることを特徴とする請求項１０に記載の平板表示装置用蒸着装置。
【請求項１２】
　前記支持台は、前記第１方向に互いに離隔されるように複数個が位置することを特徴とする請求項１１に記載の平板表示装置用蒸着装置。
【請求項１３】
　前記パターンマスクは、微細金属マスクであることを特徴とする請求項９に記載の平板表示装置用蒸着装置。
【請求項１４】
　前記支持台は、前記フレームマスクと同一材質であることを特徴とする請求項９に記載の平板表示装置用蒸着装置。
【請求項１５】
　前記パターンマスクと支持台間の接合点は、前記パターンマスクのパターン間に位置することを特徴とする請求項９に記載の平板表示装置用蒸着装置。
【請求項１６】
　前記マスク組立体を固定するための固定部材をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の平板表示装置用蒸着装置。」
　
第３　拒絶理由の概要
１．原査定の拒絶理由の概要
（１）本願発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。
（２）本願発明は、その出願前に日本国内又は外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　
　刊行物１：特開２００６−２９４２８０号公報
　刊行物２：特開２００６−２１６２８９号公報
　刊行物３：特開２００７−２９１４６１号公報
　刊行物４：特開２００５−１６５０１５号公報
　刊行物５：特開２００３−６４４６７号公報
　刊行物６：特開２００４−１４５１３号公報
　
　なお、拒絶査定の備考欄には、「請求項１に係る発明は、引用文献２に記載された発明である。」（１頁末行〜２頁１行）と記載されている。
　
２．当審の拒絶理由の概要
　本願発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　　　
　刊行物２：特開２００６−２１６２８９号公報　
　
第４　当審の判断
１．原査定の拒絶理由（１）、（２）について
（１）刊行物２の記載事項
　刊行物２には、「マスク及び有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法」（発明の名称）について、次の記載がある（当審注：下線は当審により付与。以下、同じ。）。
　ア　「【特許請求の範囲】　
　…　
【請求項３】　
　
被処理基板上に蒸着成膜するパターンに対応して、蒸着材料を通過させるための開口部を設けた薄板状のマスクであって、
　一方の面が前記被処理基板に対向する側の面とされ、一定の方向に沿って開口された複数の開口部が形成されたマスク部材と、
　該マスク部材の他方の面の前記開口部間に設けられた桟部とを備えることを特徴とするマスク
　…　
　【請求項５】　
　前記マスク部材及び前記桟部を支持する枠体を備えることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のマスク。　
　【請求項６】　
　前記マスク部材は、張力が付与されて前記枠体に支持され、
　前記桟部の張力が、前記マスク部材の張力よりも大きいことを特徴とする請求項５に記載のマスク。」
　イ　「【技術分野】　
【０００１】　
　本発明は、
マスク
に関する
　ウ　「【０００７】　
　本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、被処理基板に精度良く所望の形状を蒸着可能なマスク及び有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法を提供することを目的とする。」　　
　エ　「【００１２】　
　本発明に係るマスクでは、開口部間に桟部を設けることにより、基板上に所望の蒸着パターンを精度良く形成することができる。すなわち、マスク部材と桟部とが別体であるため、桟部の加工に高い精度を必要としないので、低コスト化を図ることが可能になる。」　
　オ　「【００１４】　
　また、本発明のマスクは、前記マスク部材及び前記桟部を支持する枠体を備えることが好ましい。　
　本発明に係るマスクでは、枠体を備えることにより、基板とマスクとの密着性を良くすることができる。また、例えば、マスク部材及び桟部に張力を付与させる場合、マスク部材と桟部とに異なる張力を持たせ易くなる。」　
　カ　「【００１６】　
　また、本発明のマスクにおいて、
前記マスク部材は、前記枠体から取り外し可能とされていることが好ましい
　本発明に係るマスクでは、
マスク部材が、枠体から取り外し可能である
　キ　「【００２３】　
　（マスクの構造）　
　
マスク１０は、
マスク部材１２を枠体１３に取り付けた構成
　【００２５】　
　上記枠体１３は、図８及び図９に示すように、
マスク部材１２と略同等の大きさの開口部１４ａが形成された支持基板１４と、マスク部材１２の開口部１２ａ間に配されるとともに、開口部１２ａ間の長手方向に支持された桟部１５と、桟部１５を長手方向に張力を付与させて支持基板１４に固定する固定部材１６とを備えている
　
枠体１３
に
マスク部材１２が取り付けられており、枠体１３から取り外し可能となっている
マスク部材１２と枠体１３との接合方法は
マスク部材１２
と
支持基板１４とをボルト１０ａ
接着剤などを用いて
接合しても良い
　ク　「【００２８】　
　本実施形態に係るラインヘッド１の製造方法によれば、マスク１０を用いることにより、マスク部材１２の開口部１２ａ間に張力を持った桟部１５が設けられているため、自重によるマスク部１２の素子基板２からの浮きを極力抑えることができる。したがって、本実施形態のマスク１０を用いて成膜を行うことにより、マスク１０の開口部１２ａの素子基板２からの浮きを抑えることができるため、所望の形状の膜を素子基板２上に形成することができ、信頼性の高いラインヘッド１を得ることが可能になる。」
　ケ　「【００３０】　
　このように、マスク部材１２あるいは枠体１３に破損、損傷が生じたとしても、
マスク部材１２は枠体１３から取り外し可能となっている
…　
　なお、本実施形態において、固定部材１６を設けたが、
張力を持たせた状態で直接枠体１３に固定しても良い
　
　コ　「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　サ　「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」　
　シ　「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」　
　ス　「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」　
　　　
（２）刊行物２に記載された発明の認定
　刊行物２は、「マスクに関する」（上記イ）発明であって、その特許請求の範囲に記載された、　
「被処理基板上に蒸着成膜するパターンに対応して、蒸着材料を通過させるための開口部を設けた薄板状のマスクであって、　
　一方の面が前記被処理基板に対向する側の面とされ、一定の方向に沿って開口された複数の開口部が形成されたマスク部材と、　
　該マスク部材の他方の面の前記開口部間に設けられた桟部とを備えることを特徴とするマスク。」（上記ア）について記載するものである。　
　そして、その「マスク」の構造の一例を記載する図６〜９（上記コ〜ス及び上記キ〜ケ）に、「開口部１２ａを有するマスク部材１２」を「枠体１３に取り付けた構成」（上記キ）が記載され、その枠体１３について、「マスク部材１２と略同等の大きさの開口部１４ａが形成された支持基板１４と、マスク部材１２の開口部１２ａ間に配されるとともに、開口部１２ａ間の長手方向に支持された桟部１５と、桟部１５を長手方向に張力を付与させて支持基板１４に固定する固定部材１６とを備えている」（上記キの【００２５】）ことが記載されている。　
　また、「マスク部材１２」と「枠体１３の支持基板１４」との接合方法は、ボルト１０ａ又は接着剤であること（上記キの【００２５】）が記載されている。
　そして、図６、８及び９の記載によれば、桟部１５のマスク部材載置側面は、支持基板１４のマスク部材載置側面と、概ね同一平面であることが認められる。
　また、桟部１５は、固定部材１６によって長手方向に張力を付与させて支持基板１４に固定されている（上記アの【請求項６】）が、「張力を持たせた状態で直接枠体１３に固定しても良い」（上記ケ）ものであることが記載されている。　
　
　そうすると、刊行物２には、　
「被処理基板上に蒸着成膜するパターンに対応して、蒸着材料を通過させるための開口部を設けた薄板状のマスクであって、　
　一方の面が前記被処理基板に対向する側の面とされ、一定の方向に沿って開口された複数の開口部が形成されたマスク部材と、
　マスク部材と略同等の大きさの開口部が形成された支持基板と、マスク部材の開口部間に配されるとともに、支持基板に長手方向に張力を付与させて支持された桟部であって、
　支持基板とマスク部材とは、ボルト又は接着剤で接合され、
　マスク部材載置側面は、支持基板のマスク部材載置側面と概ね同一平面である桟部を備えてなる、マスク」に関する発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているということができる。　
　
（３）対比
 （本願発明１について）
　本願発明１と引用発明とを対比する。
　引用発明の「マスク部材と略同等の大きさの開口部が形成された支持基板」は、本願発明１の「開口部及び前記開口部を囲んだフレームを含むフレームマスク」に相当し、引用発明の「一方の面が前記被処理基板に対向する側の面とされ、一定の方向に沿って開口された複数の開口部が形成されたマスク部材」は支持基板との接合部を有するものであるから、本願発明１の「一つまたは複数のパターンが形成されるパターン部及び前記フレームと接合される接合部を含むパターンマスク」に相当する。 
　そして、引用発明の「開口部間の長手方向に支持基板に長手方向に張力を付与させて支持された桟部であって、桟部のマスク部材載置側上面は、支持基板のマスク部材載置側上面と概ね同一平面である桟部」は、本願発明１の「前記開口部を横切って、前記パターンマスクと接合される支持台」に相当し、引用発明の「マスク」は、本願発明の「マスク組立体」に相当する。 
　また、本願発明１のパターンマスクと支持台とが「接合」されることと、引用発明の支持基板に桟部が「支持」されることとは、２つの部材が付着している点で共通する。
　
　そうすると、本願発明１と引用発明とは、 
 「開口部及び前記開口部を囲んだフレームを含むフレームマスクと； 
 　一つまたは複数のパターンが形成されるパターン部及び前記フレームと接合される接合部を含むパターンマスク；及び 
 　前記開口部を横切って、前記パターンマスクと付着される支持台を含むマスク組立体」である点で一致し、次の相違点１〜３において相違する。 
（相違点１）
 フレームとパターンマスクとの接合について、本願発明１では、「溶接、半田付け、ロウ付けの何れか一つ」であるのに対し、引用発明では、支持基板とマスク部材との接合は、「ボルト又は接着剤」によるものである点。
（相違点２）
　パターンマスクと支持台との付着について、本願発明１では、「溶接、半田付け、ロウ付けの何れか一つにより接合」されているのに対し、引用発明では、マスク部材は桟部に支持されていて、接合されているかどうか不明な点。
（相違点３）
　本願発明１は、「前記フレームは、前記支持台の終端部を収容するための溝が形成され、前記溝の深さは、前記支持台の厚さと同一」であるのに対して、引用発明は「桟部のマスク部材載置側面は、支持基板のマスク部材載置側面と概ね同一平面である」ものの、桟部の終端部が支持基板に具体的にどのような構造で支持されているかについては不明な点
　
（４）相違点についての判断
　事案にかんがみ、まず、相違点２について検討する。
　刊行物２には、「前記マスク部材は、前記枠体から取り外し可能とされていることが好ましい。」（上記（１）カ）と記載され、「マスク部材１２あるいは枠体１３に破損、損傷が生じたとしても、マスク部材１２は枠体１３から取り外し可能となっているため、マスク１０を新たにすべて作り直すことなく、破損、損傷したマスク部材１２あるいは枠体１３だけを新たなものに交換する」（上記（１）ケ）ことが記載されている。
　一方、桟部１５と支持基板１４とは、「桟部１５を長手方向に張力を付与させて支持基板１４に固定する固定部材１６」（上記（１）キの【００２５】）によって固定されるか、又は「張力を持たせた状態で直接枠体１３に固定」（上記（１）ケ）されることが記載されている。
　
　そうすると、引用発明においては、マスク部材１２は、枠体１３及び枠体１３の支持基板１４から、互いに交換可能となるように容易に分離可能とすることが好ましいとされるものであって、マスク部材１２と、枠体１３の支持基板１４に固定された桟部１５についても、同様に、両者は容易に分離可能とすることが望ましいとするものであるということができる。
　してみると、引用発明において、マスク部材１２と桟部１５とを溶接、半田付け、ロウ付けといった、容易に分離できないような接合方法を採用することは想定されておらず、引用発明において、マスク部材と桟部とを「溶接、半田付け、ロウ付けの何れか一つにより接合」しようとすることについては、阻害要因があるというべきである。
　
　したがって、相違点２に係る本願発明１の発明特定事項は、引用発明に基いて、当業者が容易に想到し得たものとすることはできない。
　
　よって、相違点１及び３について検討するまでもなく、本願発明１は、刊行物２に記載された発明ということはできないし、また、引用発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
　また、拒絶理由において引用された、刊行物１には、「蒸着膜の形成方法および蒸着装置、並びに有機発光ディスプレイの製造方法」（発明の名称）、刊行物３には、「蒸着用治具」（発明の名称）、刊行物４には、「膜形成用マスク、膜形成装置、電気光学装置および電子機器」（発明の名称）、刊行物５には、「堆積膜形成方法およびこれに用いるマスク、並びに有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネル」（発明の名称）、刊行物６には、「有機電子発光素子の薄膜蒸着用マスクフレーム組立体」（発明の名称）について記載されているものの、いずれの文献にも、本願発明の発明特定事項である「開口部及び前記開口部を囲んだフレームを含むフレームマスクと；前記開口部を横切って、前記パターンマスクと溶接、半田付け、ロウ付けの何れか一つにより接合される支持台」の構成については、記載も示唆も見いだすことができない。　
　
（本願発明２〜８について）
　本願発明２〜８は、本願発明１を引用し、本願発明１の発明特定事項を全て含むものであるから、本願発明１と同様な理由から、刊行物２に記載された発明ということはできないし、また、引用発明に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
（本願発明９〜１６について）
　本願発明９は、本願発明１に係る「マスク組立体」を備えた平板表示装置用蒸着装置
に関する発明であり、本願発明１の発明特定事項を全て含むものであるから、本願発明１と同様な理由から、刊行物２に記載された発明ということはできないし、また、引用発明に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　また、本願発明１０〜１６は、本願発明９の発明特定事項を全て含むものであるから、本願発明９と同様な理由から、刊行物２に記載された発明ということはできないし、また、引用発明に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
４．当審拒絶理由について
　当審拒絶理由は、本願発明は、原査定の拒絶理由で引用された刊行物２に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
　しかしながら、本願発明は、平成２６年３月５日付けの手続補正により、刊行物２に記載された発明に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえなくなったことは上述のとおりであるから、当該拒絶理由は解消したことは明らかである。
　　
第５　むすび
　以上のとおり、原査定の理由及び当審拒絶理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。