(57)【要約】【課題】  基準温度と測定温度との差異に起因する測定誤差を補正した電子部品の電気的特性測定方法を提供する。【解決手段】  温度領域３Ｓ、３Ｔをそれぞれ温度制御するとともに、第１温度センサ６、第２温度センサ８、第３温度センサ９で温度を測定し、電気的特性が測定された時の被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度を算出し、その測定時推定温度を使って、基準温度と測定温度との差異に起因する測定誤差を補正するようにした。補正後の電気的特性が所定の範囲内にある場合に、被測定電子部品装置Ｘを良品と判断する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定電子部品装置の電気的特性を測定する電子部品装置の電気的特性測定方法であって、
前記被測定電子部品装置は、初期温度特定位置を経由して測定点に搬送され、前記測定点において、前記電気的特性が測定されて測定電気的特性が取得され、
第１温度の前記被測定電子部品装置が、前記第１温度と異なる第２温度の第２温度領域に置かれた場合の、時間ｔ経過後の前記被測定電子部品装置の温度を推定する第１の相関関係と、
前記電気的特性を測定する時に前記被測定電子部品装置があるべき温度である基準温度と、前記電気的特性を測定した時の前記被測定電子部品装置の実際の温度である測定温度とから、前記測定電気的特性に含まれる、前記基準温度と前記測定温度とのずれに起因して発生する測定誤差を補正する第２の相関関係と、をそれぞれ明らかにし、
前記初期温度特定位置において前記被測定電子部品装置の初期温度を特定し、
前記測定点の温度であるところの測定点温度を特定し、
前記初期温度特定位置を経由した前記被測定電子部品装置が前記測定点の温度領域に入ってから前記電気的特性が測定されるまでに要した経過時間を特定し、
前記第１の相関関係において、前記初期温度を前記第１温度とし、前記測定点温度を前記第２温度とし、前記経過時間を時間ｔとすることで、前記電気的特性を測定した時の前記被測定電子部品装置の測定時推定温度を推定し、
前記第２の相関関係において、前記測定時推定温度を前記測定温度とすることにより、前記基準温度と前記測定温度とのずれに起因して発生した測定誤差が補正された補正済電気的特性を取得する、電子部品装置の電気的特性測定方法。
【請求項２】
前記初期温度特定位置の温度を測定する第１温度センサが設けられ、
前記初期温度特定位置における前記被測定電子部品装置の初期温度の特定が、
前記被測定電子部品装置が前記初期温度特定位置を経由した時に、前記第１温度センサにより測定された前記初期温度特定位置の温度を、前記被測定電子部品装置の前記初期温度とするものである、請求項１に記載の電子部品装置の電気的特性測定方法。
【請求項３】
前記電子部品装置が搬送経路を通って前記測定点に搬送され、前記初期温度特定位置が前記搬送経路のなかに設けられている、請求項１または２に記載の電子部品装置の電気的特性測定方法。
【請求項４】
前記初期温度特定位置と前記測定点との間に、１つの中間温度センサが設けられ、
前記第１の相関関係において、前記初期温度を前記第１温度とし、前記測定点温度を前記第２温度とし、前記経過時間を時間ｔとすることで、前記電気的特性を測定した時の前記被測定電子部品装置の測定時推定温度を推定するのに代えて、
前記第１の相関関係において、前記初期温度を前記第１温度とし、前記被測定電子部品装置が前記中間温度センサの温度領域を通過している時に前記中間温度センサで測定された前記搬送経路の温度を前記第２温度とし、前記被測定電子部品装置が前記中間温度センサの温度領域に入ってから前記中間温度センサの温度領域を出るまでに要した時間を前記ｔとすることにより、前記中間温度センサの温度領域を出た時の前記被測定電子部品装置の推定温度を推定し、  
さらに、前記第１の相関関係において、前記中間温度センサの温度領域を出た時の前記被測定電子部品装置の前記推定温度を前記第１温度とし、前記測定点温度を前記第２温度とし、前記中間温度センサの温度領域を出た前記被測定電子部品装置が前記測定点の温度領域に入ってから前記電気的特性が測定されるまでに要した経過時間を前記ｔとすることにより、前記電気的特性を測定した時の前記被測定電子部品の測定時推定温度を算出する、請求項３に記載された電子部品装置の電気的特性測定方法。
【請求項５】
前記初期温度特定位置と前記測定点との間に、複数の中間温度センサが設けられ、
前記第１の相関関係において、前記初期温度を前記第１温度とし、前記測定点温度を前記第２温度とし、前記経過時間を時間ｔとすることで、前記電気的特性を測定した時の前記被測定電子部品装置の測定時推定温度を推定するのに代えて、
前記第１の相関関係において、前記初期温度を前記第１温度とし、前記被測定電子部品装置が１つ目の前記中間温度センサの温度領域を通過している時に１つ目の前記中間温度センサで測定された前記搬送経路の温度を前記第２温度とし、前記被測定電子部品装置が１つ目の前記中間温度センサの温度領域に入ってから１つ目の前記中間温度センサの温度領域を出るまでに要した時間を前記ｔとすることにより、１つ目の前記中間温度センサの温度領域を出た時の前記被測定電子部品装置の推定温度を推定し、  
さらに、前記第１の相関関係において、１つ目の前記中間温度センサの温度領域を出た時の前記被測定電子部品装置の前記推定温度を前記第１温度とし、前記被測定電子部品装置が２つ目の前記中間温度センサの温度領域を通過している時に２つ目の前記中間温度センサで測定された前記搬送経路の温度を前記第２温度とし、１つ目の前記中間温度センサの温度領域を出た前記被測定電子部品装置が２つ目の前記中間温度センサの温度領域に入ってから２つ目の前記中間温度センサの温度領域を出るまでに要した時間を前記ｔとすることにより、２つ目の前記中間温度センサの温度領域を出た時の前記被測定電子部品装置の推定温度を推定し、
前記中間温度センサが３つ以上設けられている場合には、同様の方法により、当該中間温度センサの温度領域を出た時の前記被測定電子部品装置の推定温度を算出し、
さらに、前記第１の相関関係において、最後の前記中間温度センサの温度領域を出た時の前記被測定電子部品装置の前記推定温度を前記第１温度とし、前記測定点温度を前記第２温度とし、最後の前記中間温度センサの温度領域を出た前記被測定電子部品装置が前記測定点の温度領域に入ってから前記電気的特性が測定されるまでに要した経過時間を前記ｔとすることにより、前記電気的特性を測定した時の前記被測定電子部品装置の測定時推定温度を算出する、請求項３に記載された電子部品装置の電気的特性測定方法。
【請求項６】
前記電気的特性が抵抗値である、請求項１ないし５のいずれか1項に記載された電子部品装置の電気的特性測定方法。
【請求項７】
少なくとも前記測定点が、予め定めた目標温度に近づくように温度調節がなされる、請求項１ないし６のいずれか1項に記載された電子部品装置の電気的特性測定方法。
【請求項８】
前記予め定めた目標温度を前記基準温度とし、
前記測定点温度が前記基準温度と等しいと見做す、請求項７に記載の電子部品装置の電気的特性測定方法。
【請求項９】
被測定電子部品装置の電気的特性を測定し、その測定結果に応じて前記被測定電子部品装置を選別する、電子部品装置の選別方法であって、
前記被測定電子部品装置は、初期温度特定位置を経由して測定点に搬送され、前記測定点において、前記電気的特性が測定されて測定電気的特性が取得され、
第１温度の前記被測定電子部品装置が、前記第１温度と異なる第２温度の第２温度領域に置かれた場合の、時間ｔ経過後の前記被測定電子部品装置の温度を推定する第１の相関関係と、
前記電気的特性を測定する時に前記被測定電子部品装置があるべき温度である基準温度と、前記電気的特性を測定した時の前記被測定電子部品装置の実際の温度である測定温度とから、前記測定電気的特性に含まれる、前記基準温度と前記測定温度とのずれに起因して発生する測定誤差を補正する第２の相関関係と、をそれぞれ明らかにし、
前記電子部品装置の前記基準温度における電気的特性に対して、選別基準を設定し、
前記初期温度特定位置において前記被測定電子部品装置の初期温度を特定し、
前記測定点の温度であるところの測定点温度を特定し、
前記初期温度特定位置を経由した前記被測定電子部品装置が前記測定点の温度領域に入ってから前記電気的特性が測定されるまでに要した経過時間を特定し、
前記第１の相関関係において、前記初期温度を前記第１温度とし、前記測定点温度を前記第２温度とし、前記経過時間を時間ｔとすることで、前記電気的特性を測定した時の前記被測定電子部品装置の測定時推定温度を推定し、
前記第２の相関関係において、前記測定時推定温度を前記測定温度とすることにより、前記基準温度と前記測定温度とのずれに起因して発生した測定誤差が補正された補正済電気的特性を取得し、前記補正済電気的特性を前記選別基準と比較して前記電子部品装置を選別する、電子部品装置の選別方法。
【請求項１０】
前記第２の相関関係において、前記測定時推定温度を前記測定温度とすることにより、前記基準温度と前記測定温度とのずれに起因して発生した測定誤差が補正された補正済電気的特性を取得し、前記補正済電気的特性を前記選別基準と比較して前記電子部品装置を選別するのに代えて、
前記測定時推定温度に対応して前記選別基準を対応補正して、対応補正選別基準を取得し、前記測定電気的特性を前記対応補正選別基準と比較して前記電子部品装置を選別する、請求項９に記載された電子部品装置の選別方法。
【請求項１１】
予め、必要な範囲の測定温度と電気的特性の関係が特定された、基準電子部品装置を選定し、前記必要な範囲の測定温度にわたって、前記選別基準を前記基準電子部品装置の電気的特性との相対値で設定し、
前記基準電子部品装置を、前記測定点の近傍に配置し、前記被測定電子部品装置の前記電気的特性の測定と同時に、または、前後して、前記基準電子部品装置の電気的特性を測定して、前記基準電子部品装置の測定電気的特性を取得し、
前記基準電子部品装置の前記測定電気的特性から、前記基準電子部品装置の測定温度およびそれに対応する前記選別基準を特定し、
前記測定点温度を、前記基準電子部品装置の前記測定温度と等しいと見做し、さらに前記基準温度を、前記基準電子部品装置の前記測定温度で置き換えることで、前記基準電子部品装置の前記測定温度における、前記電子部品装置の補正済電気的特性を取得する、請求項９または１０に記載された電子部品装置の選別方法。
【請求項１２】
被測定電子部品装置を初期温度特定位置から測定点まで搬送する搬送機構と、
前記測定点において、前記被測定電子部品装置の電気的特性を測定する測定器と、を備えた電気的特性測定装置であって、
前記初期温度特定位置、または、前記初期温度特定位置の近傍に、前記被測定電子部品装置の初期温度を特定する初期温度特定手段が設けられ、
前記測定点、または、前記測定点の近傍に、前記測定点の温度であるところの測定点温度を特定する測定点温度特定手段が設けられた、電気的特性測定装置。
【請求項１３】
前記初期温度特定手段として、前記初期温度特定位置の温度を測定する第１温度センサが設けられた、請求項１２に記載の電気的特性測定装置。
【請求項１４】
前記電子部品装置を前記測定点に搬送するための搬送経路が設けられ、前記初期温度特定位置が前記搬送経路のなかに設けられた、請求項１２または１３に記載の電気的特性測定装置。
【請求項１５】
さらに、前記初期温度特定位置と前記測定点との間に、１つ、又は、複数の中間温度センサが設けられた、請求項１４に記載された電気的特性測定装置。
【請求項１６】
さらに、少なくとも前記測定点を予め定めた目標温度に近づけるように温度調節する温度調節手段が設けられた、請求項１２ないし１５のいずれか１項に記載された電気的特性測定装置。
【請求項１７】
さらに、前記被測定電子部品装置の前記測定点近傍に、基準電子部品の測定点が設けられた、請求項１２ないし１６のいずれか１項に記載された電気的特性測定装置。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品装置の電気的特性測定方法に関し、さらに詳しくは、高い測定精度を備えた電子部品装置の電気的特性測定方法に関する。
【０００２】
また、本発明は、上記電子部品装置の電気的特性測定方法を応用した電子部品装置の選別方法に関し、さらに詳しくは、高い選別精度を備えた電子部品装置の選別方法に関する。
【０００３】
また、本発明は、上記電子部品装置の電気的特性測定方法に使用するのに適した電気的特性測定装置に関し、さらに詳しくは、高い測定精度を備えた電気的特性測定装置に関する。
【背景技術】
【０００４】
電子機器の高機能化、高精度化にともない、電子機器に使用される電子部品装置にも、高い特性精度が求められている。特に、医療用や車載用の電子機器に使用される電子部品装置には、安全性の観点からも、より高い特性精度が求められている。たとえば、そのような高い特性精度が求められる用途においては、特性精度のバラツキの大きさを、一般の民生用途の１／２から１／１０、もしくはそれ以下に収めるように求められる場合もある。
【０００５】
そのような、電子部品装置に対する高い特性精度の要求に対応するために、電子部品装置の電気的特性測定方法や電気的特性測定装置においても、高い測定精度が求められている。すなわち、高い測定精度で電子部品装置の電気的特性を測定し、目標とする電気的特性値から外れた電子部品装置を、規格外として使用しないようにする必要がある。
【０００６】
電子部品装置の電気的特性の測定において、測定誤差を発生させる大きな原因の1つとして、基準となる温度（その電気的特性の測定に求められている特定の温度；以下において「基準温度」という）と、測定時の電子部品装置の実際の温度（以下において「測定温度」という）とのずれがある。すなわち、たとえば、基準温度である２５℃で電気的特性を測定しなければならないにもかかわらず、測定温度が２５℃からずれてしまうと、測定された測定電気的特性は、実際にその電子部品装置が備えている２５℃での電気的特性からずれてしまう。しかしながら、実際に電子部品装置の電気的特性を測定する工場の製造ラインなどにおいては、気候、空調の状態、ドアの開け閉め、作業者の人数などにより影響を受けるため、測定温度を基準温度と同一の温度に保つことは難しい。
【０００７】
特に、ＮＴＣサーミスタやＰＴＣサーミスタなどのサーミスタは、温度により抵抗値が大きく変化する電子部品装置であるため、サーミスタの抵抗値測定においては、基準温度と測定温度とのずれが原因となって発生する測定誤差が大きな問題となる。
【０００８】
この問題への対応を施した電気的特性測定方法が、特許文献１（特開平７−２１８５７９号公報）に開示されている。
【０００９】
特許文献１に開示された抵抗値測定方法は、被測定電子部品装置を測定点に搬送するパーツフィーダ（搬送経路）に温度センサを設けておき、温度センサで測定した温度に応じてパーツフィーダを冷却制御し、被測定電子部品装置を安定した温度で測定点に搬送するようにしている。
【００１０】
すなわち、特許文献１に開示された抵抗値測定方法は、電気的特性測定装置のモータやパーツフィーダの発熱により測定誤差が発生することを考慮し、温度センサでパーツフィーダの温度を測定したうえで、パーツフィーダを冷却制御することにより測定誤差を小さくするようにしたものである。
【００１１】
また、別の方法によりこの問題への対応を施した電気的特性測定方法が、特許文献２（特開２００７−２４０１５８号公報）に開示されている。特許文献２に開示された電気的特性測定方法は、サーミスタの抵抗値を測定するものである。
【００１２】
特許文献２に開示された抵抗値測定方法は、次のステップでサーミスタの抵抗値を測定している。
【００１３】
まず、基準となる基準サーミスタ（基準電子部品装置）を選定する。そして、基準サーミスタの基準温度で抵抗値を測定する。たとえば、基準温度が２５℃である場合には、測定温度を厳格に２５℃に保ったうえで、基準サーミスタの２５℃の抵抗値を測定する。
【００１４】
次に、抵抗値を測定する被測定サーミスタ（被測定電子部品装置）を用意し、測定端子を被測定サーミスタの外部電極に当接し、被測定サーミスタの抵抗値を測定して測定抵抗値Ｒ１を得る。このとき、同時に、被測定サーミスタの抵抗値を測定した場所の近傍において、基準サーミスタの抵抗値を測定して測定抵抗値Ｒｏを得る。
【００１５】
次に、次の（式３）により、基準サーミスタの測定抵抗値Ｒｏ
に対する、被測定サーミスタの測定抵抗値Ｒ１の偏差（測定値ずれ率）を求める。
【００１６】
【数１】
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【００１７】
次に、求められた偏差から、被測定サーミスタの良品／不良品の判断を行う。具体的には、求められた偏差が、予め定められた許容範囲内の場合に被測定サーミスタを良品と判断し、予め定められた許容範囲外の場合に被測定サーミスタを不良品と判断する。なお、偏差の許容範囲は、上述した基準サーミスタの基準温度での抵抗値を考慮して定められる。
【００１８】
この場合において、被測定サーミスタと基準サーミスタとは、近傍に配置されているため、抵抗値を測定した時点において、被測定サーミスタと基準サーミスタとは同一温度であると仮定して偏差を求め、被測定サーミスタの良品／不良品の判断を行っている。
【００１９】
すなわち、たとえば、基準温度が２５℃である場合には、被測定サーミスタの測定温度を厳格に２５℃にして抵抗値を測定することが理想である。しかしながら、上述のとおり、実際の電子部品装置の電気的特性の測定においては、種々の要因により、被測定サーミスタの測定温度を基準温度と同一の温度に保つことは難しい。
【００２０】
そこで、特許文献２に開示された抵抗値測定方法は、被測定サーミスタと基準サーミスタとを近傍に配置することにより、被測定サーミスタと基準サーミスタとは同一温度であると仮定し、その上で、基準サーミスタの測定抵抗値Ｒｏに対する被測定サーミスタの測定抵抗値Ｒ１の偏差を求め、被測定サーミスタの良品／不良品の判断を行うことにより、被測定サーミスタの測定温度と基準温度との差異に起因する測定誤差を極めて小さくした状態で、被測定サーミスタの良品／不良品の判断を行っている。すなわち、特許文献２に開示された抵抗値測定方法は、被測定サーミスタの測定温度が基準温度からずれたとしても、同様に基準サーミスタの測定温度も基準温度からずれるため、測定温度と基準温度との差異に起因して発生した測定誤差を補正できるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２１】
【特許文献１】特開平７−２１８５７９号公報
【特許文献２】特開２００７−２４０１５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
特許文献１および特許文献２に開示された電気的特性測定方法には、それぞれ次のような問題点があった。
【００２３】
まず、特許文献１に開示された電気的特性測定方法は、おおまかなパーツフィーダの温度制御であり、電気的特性の測定精度に限界があった。たとえば、温度センサでパーツフィーダの温度を測定してから、パーツフィーダの温度が制御されるまでにタイムラグがあり、その間は大きな測定誤差が生じてしまう虞があった。また、パーツフィーダが過度に温度制御されてしまい（必要以上に冷却されてしまい）、それが原因で電気的特性の測定精度が低下してしまう虞があった。
【００２４】
特許文献２に開示された電気的特性測定方法は、特許文献１に開示された電気的特性測定方法に比べて、電気的特性の測定精度が高かった。しかしながら、特許文献２に開示された電気的特性測定方法にも、次のような問題点があった。
【００２５】
まず、特許文献２に開示された電気的特性測定方法は、被測定サーミスタと基準サーミスタとが同一温度であることを前提としており、この前提が維持できないと、被測定電子部品装置の電気的特性の測定に測定誤差が発生してしまう虞があった。すなわち、被測定電子部品装置は搬送経路を通って測定点に搬送され、電気的特性が測定されるが、被測定電子部品装置は測定点に搬送された時点で、搬送経路および測定点近傍の温度となじんで、基準電子部品装置と同じ温度になっている必要があった。しかしながら、被測定電子部品装置の周囲温度へのなじみは、被測定電子部品装置の熱容量、基準温度、電気的特性測定装置の運転速度などにより異なるため一様ではない。そして、被測定電子部品装置が周囲温度へなじみ、基準電子部品装置と同じ温度になる前に被測定電子部品装置の電気的特性を測定すると、測定誤差が発生してしまう虞があった。
【００２６】
そして、この測定誤差の発生を防止するためには、特許文献２に開示された電気的特性測定方法は、電気的特性測定装置の運転速度を抑制しなければならなかった。すなわち、被測定サーミスタを周囲温度へなじませ、被測定サーミスタの温度が基準サーミスタの温度と同一になるまで待つ必要があり、電気的特性測定装置を高速で運転することができず、たとえば、電子部品装置の製造ラインにおいて電子部品装置の電気的特性を測定する場合には、電子部品装置の生産性を低下させてしまう虞があった。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
本発明は、上述した従来技術の課題を解決するためになされたものである。その手段として、本発明の電子部品装置の電気的特性測定方法は、被測定電子部品装置の電気的特性を測定する電子部品装置の電気的特性測定方法であって、被測定電子部品装置は、初期温度特定位置を経由して測定点に搬送され、測定点において、電気的特性が測定されて測定電気的特性が取得され、第１温度の被測定電子部品装置が、第１温度と異なる第２温度の第２温度領域に置かれた場合の、時間ｔ経過後の被測定電子部品装置の温度を推定する第１の相関関係と、電気的特性を測定する時に被測定電子部品装置があるべき温度である基準温度と、電気的特性を測定した時の被測定電子部品装置の実際の温度である測定温度とから、測定電気的特性に含まれる、基準温度と測定温度とのずれに起因して発生する測定誤差を補正する第２の相関関係と、をそれぞれ明らかにし、初期温度特定位置において被測定電子部品装置の初期温度を特定し、測定点の温度であるところの測定点温度を特定し、初期温度特定位置を経由した被測定電子部品装置が測定点の温度領域に入ってから電気的特性が測定されるまでに要した経過時間を特定し、第１の相関関係において、初期温度を第１温度とし、測定点温度を第２温度とし、経過時間を時間ｔとすることで、電気的特性を測定した時の被測定電子部品装置の測定時推定温度を推定し、第２の相関関係において、測定時推定温度を測定温度とすることにより、基準温度と測定温度とのずれに起因して発生した測定誤差が補正された補正済電気的特性を取得するようにした。
【００２８】
第１温度の被測定電子部品装置が、第１温度と異なる第２温度の第２温度領域に置かれた場合の、時間ｔ経過後の被測定電子部品装置の温度を推定する第１の相関関係は、たとえば、式や、表などとして用意される。第１の相関関係は、熱学的に計算によって導き出されたものであっても良いし、予め実測をおこなって導き出されたものであっても良い。また、第１温度と第２温度との高低は不問であり、第１温度＞第２温度であっても良いし、第１温度＜第２温度であっても良い。
【００２９】
また、電気的特性を測定する時に被測定電子部品装置があるべき温度である基準温度と、電気的特性を測定した時の被測定電子部品装置の実際の温度である測定温度とから、測定電気的特性に含まれる、基準温度と測定温度とのずれに起因して発生する測定誤差を補正する第２の相関関係も、たとえば、式や、表などとして用意される。第２の相関関係は、電気学的に計算によって導き出されたものであっても良いし、予め実測をおこなって導き出されたものであっても良い。
【００３０】
初期温度特定位置の温度を測定する第１温度センサが設けられ、初期温度特定位置における被測定電子部品装置の初期温度の特定が、被測定電子部品装置が初期温度特定位置を経由した時に、第１温度センサにより測定された初期温度特定位置の温度を、被測定電子部品装置の初期温度とするものであっても良い。ただし、この場合には、被測定電子部品装置が初期温度特定位置に、ある程度の時間とどまっており、被測定電子部品装置の温度が初期温度特定位置の温度になじんでいる（実質的に同じになっている）ことが前提になる。なお、初期温度特定位置における被測定電子部品装置の初期温度の特定は、第１温度センサによる方法には限定されず、たとえば、初期温度特定位置を所定の管理温度に維持し、その初期温度特定位置に被測定電子部品装置をある程度の時間とどめ、被測定電子部品装置の温度を初期温度特定位置の温度になじませることを前提にして、初期温度特定位置の管理温度を被測定電子部品装置の初期温度とする方法などであっても良い。
【００３１】
電子部品装置が搬送経路を通って測定点に搬送され、前記初期温度特定位置が搬送経路のなかに設けられているものであっても良い。この場合には、被測定電子部品装置は搬送経路を通っているうちに搬送経路の温度になじむ（実質的に同じになる）ため、被測定電子部品装置が初期温度特定位置を通過したときに、初期温度特定位置の温度を、被測定電子部品装置の初期温度とすることができる。
【００３２】
初期温度特定位置と測定点との間に、１つの中間温度センサが設けられ、第１の相関関係において、初期温度を第１温度とし、測定点温度を第２温度とし、経過時間を時間ｔとすることで、電気的特性を測定した時の被測定電子部品装置の測定時推定温度を推定するのに代えて、第１の相関関係において、初期温度を第１温度とし、被測定電子部品装置が中間温度センサの温度領域を通過している時に中間温度センサで測定された搬送経路の温度を第２温度とし、被測定電子部品装置が中間温度センサの温度領域に入ってから中間温度センサの温度領域を出るまでに要した時間をｔとすることにより、中間温度センサの温度領域を出た時の被測定電子部品装置の推定温度を推定し、さらに、第１の相関関係において、中間温度センサの温度領域を出た時の被測定電子部品装置の推定温度を前記第１温度とし、測定点温度を第２温度とし、中間温度センサの温度領域を出た被測定電子部品装置が測定点の温度領域に入ってから電気的特性が測定されるまでに要した経過時間をｔとすることにより、電気的特性を測定した時の前記被測定電子部品の測定時推定温度を算出するようにしても良い。この場合には、まず中間温度センサの温度領域を出た時の被測定電子部品の推定温度を算出し、次に電気的特性を測定した時の被測定電子部品の測定時推定温度を算出するため、より高い精度で被測定電子部品の測定時推定温度を算出することができ、より高い測定精度で被測定電子部品の電気的特性を測定することができる。なお、被測定電子部品装置が中間温度センサの温度領域を通過している時に中間温度センサで搬送経路の温度を測定するが、この測定をおこなうタイミングは任意であり、被測定電子部品装置が中間温度センサを通過した時であっても良いし、被測定電子部品装置が中間温度センサの温度領域を出る時や、被測定電子部品装置が中間温度センサの温度領域に入る時などであっても良い。
【００３３】
また、前記初期温度特定位置と測定点との間に、複数の中間温度センサが設けられ、第１の相関関係において、初期温度を第１温度とし、測定点温度を第２温度とし、経過時間を時間ｔとすることで、電気的特性を測定した時の被測定電子部品装置の測定時推定温度を推定するのに代えて、第１の相関関係において、初期温度を第１温度とし、被測定電子部品装置が１つ目の中間温度センサの温度領域を通過している時に１つ目の中間温度センサで測定された搬送経路の温度を第２温度とし、被測定電子部品装置が１つ目の中間温度センサの温度領域に入ってから１つ目の中間温度センサの温度領域を出るまでに要した時間をｔとすることにより、１つ目の中間温度センサの温度領域を出た時の被測定電子部品装置の推定温度を推定し、さらに、第１の相関関係において、１つ目の中間温度センサの温度領域を出た時の被測定電子部品装置の推定温度を前記第１温度とし、被測定電子部品装置が２つ目の中間温度センサの温度領域を通過している時に２つ目の中間温度センサで測定された搬送経路の温度を前記第２温度とし、１つ目の中間温度センサの温度領域を出た被測定電子部品装置が２つ目の中間温度センサの温度領域に入ってから２つ目の中間温度センサの温度領域を出るまでに要した時間をｔとすることにより、２つ目の中間温度センサの温度領域を出た時の被測定電子部品装置の推定温度を推定し、中間温度センサが３つ以上設けられている場合には、同様の方法により、当該中間温度センサの温度領域を出た時の被測定電子部品装置の推定温度を算出し、さらに、第１の相関関係において、最後の中間温度センサの温度領域を出た時の被測定電子部品装置の推定温度を第１温度とし、測定点温度を第２温度とし、最後の中間温度センサの温度領域を出た被測定電子部品装置が測定点の温度領域に入ってから電気的特性が測定されるまでに要した経過時間を前記ｔとすることにより、電気的特性を測定した時の前記被測定電子部品装置の測定時推定温度を算出するようにしても良い。この場合には、まず１つ目の中間温度センサの温度領域を出た時の被測定電子部品の推定温度を算出し、次に２つ目の中間温度センサの温度領域を出た時の被測定電子部品の推定温度を算出し、中間温度センサの数に応じてこの推定温度の算出を繰り返し、最後に電気的特性を測定した時の被測定電子部品の測定時推定温度を算出するため、さらに高い精度で被測定電子部品の測定時推定温度を算出することができ、さらに高い測定精度で被測定電子部品の電気的特性を測定することができる。
【００３４】
測定される電気的特性としては、たとえば抵抗値をあげることができる。
【００３５】
なお、上述した被測定電子部品の測定点を、予め定めた目標温度に近づけるように温度調節しても良い。
【００３６】
また、予め定めた目標温度を基準温度とし、測定点温度が基準温度と等しいと見做すようにしても良い。
【００３７】
また、本発明は電子部品装置の選別方法にも向けられる。本発明の電子部品装置の選別方法は、上述した本発明の電子部品装置の電気的特性測定方法を応用したものである。具体的には、本発明の電子部品装置の選別方法は、被測定電子部品装置の電気的特性を測定し、その測定結果に応じて被測定電子部品装置を選別する、電子部品装置の選別方法であって、被測定電子部品装置は、初期温度特定位置を経由して測定点に搬送され、測定点において、電気的特性が測定されて測定電気的特性が取得され、第１温度の被測定電子部品装置が、第１温度と異なる第２温度の第２温度領域に置かれた場合の、時間ｔ経過後の前記被測定電子部品装置の温度を推定する第１の相関関係と、電気的特性を測定する時に被測定電子部品装置があるべき温度である基準温度と、電気的特性を測定した時の被測定電子部品装置の実際の温度である測定温度とから、測定電気的特性に含まれる、基準温度と測定温度とのずれに起因して発生する測定誤差を補正する第２の相関関係と、をそれぞれ明らかにし、電子部品装置の基準温度における電気的特性に対して、選別基準を設定し、初期温度特定位置において被測定電子部品装置の初期温度を特定し、測定点の温度であるところの測定点温度を特定し、初期温度特定位置を経由した被測定電子部品装置が測定点の温度領域に入ってから電気的特性が測定されるまでに要した経過時間を特定し、第１の相関関係において、初期温度を第１温度とし、測定点温度を第２温度とし、経過時間を時間ｔとすることで、電気的特性を測定した時の被測定電子部品装置の測定時推定温度を推定し、第２の相関関係において、測定時推定温度を測定温度とすることにより、基準温度と測定温度とのずれに起因して発生した測定誤差が補正された補正済電気的特性を取得し、補正済電気的特性を選別基準と比較して電子部品装置を選別するようにした。
【００３８】
なお、電子部品装置の選別は、電子部品装置の良品／不良品を分別する場合であっても良いし、電子部品装置を類別（ランク分け）する場合であっても良い。なお、電子部品装置を類別には、たとえば、電気的特性に大きなバラツキのないランクと、許容範囲内であるが電気的特性にバラツキがあるランクとに類別する場合などがある。電子部品装置の良品／不良品の分別と、電子部品装置を類別とを、同時に行うこともできる。
【００３９】
なお、上記の電子部品装置を選別方法は、第２の相関関係において、測定時推定温度を測定温度とすることにより、基準温度と測定温度とのずれに起因して発生した測定誤差が補正された補正済電気的特性を取得し、補正済電気的特性を選別基準と比較して電子部品装置を選別するのに代えて、測定時推定温度に対応して選別基準を対応補正して、対応補正選別基準を取得し、測定電気的特性を対応補正選別基準と比較して前記電子部品装置を選別するようにしても良い。すなわち、基準温度と測定温度とのずれに起因して発生した測定誤差の補正は、測定電気的特性を補正して補正済電気的特性を取得するのではなく、選別基準を補正して対応補正選別基準を取得することによっておこなっても良い。
【００４０】
また、本発明の電子部品装置の選別方法は、予め、必要な範囲の測定温度と電気的特性の関係が特定された、基準電子部品装置を選定し、必要な範囲の測定温度にわたって、選別基準を基準電子部品装置の電気的特性との相対値で設定し、基準電子部品装置を、測定点の近傍に配置し、被測定電子部品装置の電気的特性の測定と同時に、または、前後して、基準電子部品装置の電気的特性を測定して、基準電子部品装置の測定電気的特性を取得し、基準電子部品装置の測定電気的特性から、基準電子部品装置の測定温度およびそれに対応する選別基準を特定し、測定点温度を、基準電子部品装置の測定温度と等しいと見做し、さらに基準温度を、基準電子部品装置の測定温度で置き換えることで、基準電子部品装置の測定温度における、電子部品装置の補正済電気的特性を取得するものであっても良い。この方法は、本発明の電子部品装置の選別方法に、さらに、上述した特許文献２に記載された電子部品装置の電気的特性測定方法（選別方法）を複合化させたものであり、高い精度で、被測定電子部品装置の良品／不良品判断を行うことができる。
【００４１】
本発明の電気的特性測定装置は、上述した本発明の電子部品装置の電気的特性測定方法に使用するのに適したものである。具体的には、本発明の電気的特性測定装置は、被測定電子部品装置を初期温度特定位置から測定点まで搬送する搬送機構と、測定点において、被測定電子部品装置の電気的特性を測定する測定器と、を備え、初期温度特定位置、または、初期温度特定位置の近傍に、被測定電子部品装置の初期温度を特定する初期温度特定手段が設けられ、測定点、または、測定点の近傍に、測定点の温度であるところの測定点温度を特定する測定点温度特定手段が設けられたものとした。
【００４２】
初期温度特定手段として、初期温度特定位置の温度を測定する第１温度センサを設けても良い。
【００４３】
また、電子部品装置を測定点に搬送するための搬送経路を設け、初期温度特定位置を搬送経路のなかに設けるようにしても良い。
【００４４】
さらに、初期温度特定位置と測定点との間に、１つ、又は、複数の中間温度センサを設けるようにしても良い。この場合には、より高い測定精度で電気的特性を測定することができる。
【００４５】
さらに、少なくとも測定点を予め定めた目標温度に近づけるように温度調節する温度調節手段を設けるようにしても良い。
【００４６】
さらに、被測定電子部品装置の測定点近傍に、基準電子部品の測定点を設けるようにしても良い。この場合も、より高い測定精度で電気的特性を測定することができる。  
【発明の効果】
【００４７】
本発明の電子部品装置の電気的特性測定方法によれば、測定温度と基準温度との差異に起因して発生した測定誤差を補正した、精度の高い測定結果を得ることができる。
【００４８】
また、本発明の電子部品装置の選別方法によれば、精度の高い電気的特性の測定結果に基づき、適正に、電子部品装置の良品／不良品判断や、電子部品装置の類別（ランク分け）を行うことができる。
【００４９】
また、本発明の電気的特性測定装置によれば、測定温度と基準温度との差異に起因して発生した測定誤差を補正した、精度の高い測定結果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】第１実施形態において電子部品装置の電気的特性を測定するのに使用した電気的特性測定装置１００を示す平面図である。
【図２】電気的特性測定装置１００の要部平面図である。
【図３】電気的特性測定装置１００の要部断面図である。
【図４】被測定電子部品装置Ｘの底面図である。
【図５】２５℃および５０℃における抵抗値から推定される被測定電子部品装置Ｘの抵抗温度特性を示すグラフである。
【図６】第２実施形態において電子部品装置の電気的特性を測定するのに使用した電気的特性測定装置２００を示す要部平面図である。
【図７】第４実施形態において電子部品装置の電気的特性を測定するのに使用した電気的特性測定装置４００を示す要部平面図である。
【図８】第５実施形態において電子部品装置の電気的特性を測定するのに使用した電気的特性測定装置５００を示す平面図である。
【図９】第６実施形態において電子部品装置の電気的特性を測定するのに使用した電気的特性測定装置６００を示す平面図である。
【図１０】第７実施形態において電子部品装置の電気的特性を測定するのに使用した電気的特性測定装置７００を示す正面図（一部断面図）である。
【図１１】第８実施形態において電子部品装置の電気的特性を測定するのに使用した電気的特性測定装置８００を示す要部斜視図であり、搬送体８４のみを示している。
【図１２】第９実施形態において電子部品装置の電気的特性を測定するのに使用した電気的特性測定装置９００を示す要部斜視図であり、搬送体９４のみを示している。
【図１３】第１０実施形態において電子部品装置の電気的特性を測定するのに使用した電気的特性測定装置１０００を示す要部正面図であり、搬送体９８のみを示している。
【発明を実施するための形態】
【００５１】
以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。
【００５２】
なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。
【００５３】
［第１実施形態］
図１〜図３に、本実施形態において使用する電気的特性測定装置１００を示す。ただし、図１は、電気的特性測定装置１００の平面図である。図２は、電気的特性測定装置１００の要部平面図である。図３（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ、電気的特性測定装置１００の要部断面図であり、図３（Ａ）は図１、図２のＹ-Ｙ部分を示し、図３（Ｂ）は図１、図２のＺ-Ｚ部分を示している。
【００５４】
本実施形態においては、被測定電子部品装置ＸをＮＴＣサーミスタとし、電気的特性として抵抗値を測定する。ただし、被測定電子部品装置の種類は任意であり、ＮＴＣサーミスタには限定されず、ＰＴＣサーミスタや、固定抵抗や、キャパシタや、インダクタや、白金測温抵抗体、その他、温度により電気特性が変わる電子部品装置などであっても良い。また、被測定電子部品装置の形状も任意であり、チップ状電子部品装置、板状電子部品装置、リード線付電子部品装置、モジュール型電子部品装置など、あらゆる形状の電子部品装置を含む。また、被測定電子部品装置は、完成品である必要はなく、半製品（製造途中のもの）であっても良い。
【００５５】
また、測定される電気的特性の種類も任意であり、抵抗値には限定されず、キャパシタンス値や、インダクタンス値などであっても良い。なお、本実施形態においては、被測定電子部品装置（ＮＴＣサーミスタ）Ｘの２５℃における抵抗値と、５０℃における抵抗値とを測定し、被測定電子部品装置Ｘの抵抗温度特性を求める。
【００５６】
電気的特性測定装置１００は、複数の被測定電子部品装置Ｘを順次供給するパーツフィーダ１を備える。
【００５７】
パーツフィーダ１は、リニアフィーダ２に接続されている。リニアフィーダ２は、パーツフィーダ１により供給された被測定電子部品装置Ｘを、超音波振動などを利用して直線状に搬送する。
【００５８】
リニアフィーダ２は、測定ベース３に接続されている。すなわち、リニアフィーダ２によって、被測定電子部品装置Ｘが、順次、測定ベース３に搬送される。測定ベース３は、長方形のテーブルである。
【００５９】
測定ベース３に、搬送機構である搬送体４が設けられている。搬送体４は、駆動手段（図示せず）によって駆動され、測定ベース３上を移動する。搬送体４は長方形状であり、一方の長辺に、被測定電子部品装置Ｘを収容する多数の凹部４ａが櫛歯状に形成されている。搬送体４は、凹部４ａに収容された複数の被測定電子部品装置Ｘを、図１、図２の上から下の方向に、直線状に、かつ、間欠的に移動させる。なお、搬送体４は、測定ベース３の下の端まで行き着くと、駆動手段によって、破線矢印で示すように、測定ベース３の上の端まで戻される。なお、このとき、搬送体４は、未だ、後述する不良品排除領域Ｕや被測定電子部品回収領域Ｖ、Ｗで排除や回収をされていない被測定電子部品装置Ｘを、測定ベース３の上の現存している位置に残した状態で、測定ベース３の上の端まで戻される。
【００６０】
測定ベース３には、部分的な２つの領域である、温度領域３Ｓと温度領域３Ｔとが設けられている。測定ベース３の本体部分と、温度領域３Ｓと、温度領域３Ｔとは、間に溝を形成するなどの方法によって、相互に熱的に分離されている。
【００６１】
温度領域３Ｓの下面には、図３（Ａ）に示すように、温度調節手段としてペルチェ素子５ａが設けられている。温度領域３Ｓは、ペルチェ素子５ａによって、目標温度である２５℃に制御されている。ペルチェ素子５ａは、温度領域３Ｓの全域をほぼ均質に温度制御する。なお、通常、温度領域３Ｓの目標温度は、被測定電子部品装置Ｘの電気的特性を測定すべき第１の基準温度（２５℃）に合わせられている。ただし、温度領域３Ｓの目標温度は、必ずしも、第１の基準温度と合致している必要はない。
【００６２】
温度領域３Ｔの下面には、図３（Ｂ）に示すように、ペルチェ素子５ｂが設けられている。温度領域３Ｔは、ペルチェ素子５ｂによって、目標温度である５０℃に制御されている。ペルチェ素子５ｂは、温度領域３Ｔの全域をほぼ均質に温度制御する。なお、通常、温度領域３Ｔの目標温度は、被測定電子部品装置Ｘの電気的特性を測定すべき第２の基準温度（５０℃）に合わせられている。ただし、温度領域３Ｔの目標温度は、必ずしも、第２の基準温度と合致している必要はない。たとえば、被測定電子部品装置Ｘを早く加熱するために、温度領域３Ｔの目標温度を、第２の基準温度より高めに設定しても良い。
【００６３】
温度領域３Ｓ、３Ｔの温度を制御する発熱体の種類は、ペルチェ素子５ａ、５ｂには限定されず、ヒーター、チラーなどであっても良い。
【００６４】
電気的特性測定装置１００においては、リニアフィーダ２が、被測定電子部品装置Ｘの搬送経路であり、その途中に初期温度特定位置が設けられている。そして、搬送経路の近傍、特に初期温度特定位置の近傍に、初期温度特定手段として第１温度センサ６が設けられている。第１温度センサ６は、リニアフィーダ２の搬送経路の温度を監視するためのものである。なお、第１温度センサ６で搬送経路の温度を測定するのではなく、別途、初期温度特定位置に配置された被測定電子部品装置Ｘ自体の温度を直接に測定するようにしても良い。第１温度センサ６には、たとえば白金測温抵抗体が使用される。ただし、第１温度センサ６の種類は任意であり、熱電対、サーミスタ、放射温度計などであっても良い。
【００６５】
また、電気的特性測定装置１００は、測定点７Ｐと、測定点７Ｑとを有している。測定点７Ｐは、温度領域３Ｓに設けられている。測定点７Ｑは、温度領域３Ｔに設けられている。
【００６６】
上述したとおり、図３（Ａ）に、測定点７Ｐ部分の要部断面図を示す。また、図３（Ｂ）に、測定点７Ｐ部分の要部断面図を示す。
【００６７】
温度領域３Ｓの測定点７Ｐの近傍に、測定点温度特定手段として第２温度センサ８が設けられている。第２温度センサ８は、温度領域３Ｓの温度を監視するためのものである。同様に、温度領域３Ｔの測定点７Ｑの近傍に、第３温度センサ９が設けられている。第３温度センサ９は、温度領域３Ｔの温度を監視するためのものである。第２温度センサ８および第３温度センサ９には、たとえば白金測温抵抗体が使用される。ただし、第２温度センサ８および第３温度センサ９の種類は任意であり、熱電対、サーミスタ、放射温度計などであっても良い。
【００６８】
測定点７Ｐには、図３（Ａ）に示すように、被測定電子部品装置Ｘの上面に当接する、当接部材１０が設けられている。なお、当接部材１０は、図１、図２では、図示が省略されている。
【００６９】
測定点７Ｐの測定ベース３（温度領域３Ｓ）には、たとえば４つの孔が設けられ、その４つの孔に、２対の測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂが配置されている。測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂは、被測定電子部品装置Ｘの外部電極Ｘａ、Ｘｂに当接するためのものである。測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂは、測定端子駆動機構１３に取付けられ、測定端子駆動機構１３が駆動されることにより、間欠的に被測定電子部品装置Ｘの外部電極Ｘａ、Ｘｂに当接する。
【００７０】
測定点７Ｑには、図３（Ｂ）に示すように、被測定電子部品装置Ｘの上面に当接する、当接部材１４が設けられている。なお、当接部材１４は、図１、図２では、図示が省略されている。
【００７１】
測定点７Ｑの測定ベース３（温度領域３Ｔ）には、たとえば４つの孔が設けられ、その４つの孔に、２対の測定端子１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂが配置されている。測定端子１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂは、被測定電子部品装置Ｘの外部電極Ｘａ、Ｘｂに当接するためのものである。測定端子１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂは、測定端子駆動機構１７に取付けられ、測定端子駆動機構１７が駆動されることにより、間欠的に被測定電子部品装置Ｘの外部電極Ｘａ、Ｘｂに当接する。
【００７２】
図１に示すように、電気的特性測定装置１００は、測定器１８を備える。測定器１８には、測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂが接続されている。また、測定器１８には、測定端子１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂも接続されている。測定器１８は、測定点７Ｐおよび測定点７Ｑにおいて、被測定電子部品装置Ｘの電気的特性を測定するのに使用される。
【００７３】
図４に、被測定電子部品装置Ｘの底面を示す。また、図４には、被測定電子部品装置Ｘの外部電極Ｘａ、Ｘｂに、測定点７Ｐにおいて測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂが当接し、測定点７Ｑにおいて測定端子１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂが当接する部分を、破線で示している。
【００７４】
たとえば、測定器１８は、測定点７Ｐにおいて、測定端子１１ａ、１１ｂ間に所定の値の電流を流し、測定端子１２ａ、１２ｂ間の電圧を測定することにより、被測定電子部品装置Ｘの抵抗値を測定することができる。
【００７５】
同様に、たとえば、測定器１８は、測定点７Ｑにおいて、測定端子１５ａ、１５ｂ間に所定の値の電流を流し、測定端子１６ａ、１６ｂ間の電圧を測定することにより、被測定電子部品装置Ｘの抵抗値を測定することができる。
【００７６】
電気的特性測定装置１００は、図１に示すように、パーソナルコンピュータ（以下において「ＰＣ」という）１９を備える。ＰＣ１９は、少なくとも、記憶装置、演算装置、入力インターフェース、出力インターフェースなどを備える。
【００７７】
ＰＣ１９は、パーツフィーダ１、リニアフィーダ２、搬送体４、測定端子駆動機構１３、測定端子駆動機構１７、それぞれの駆動系に接続されている。ＰＣ１９の記憶装置には、パーツフィーダ１、リニアフィーダ２、搬送体４、測定端子駆動機構１３、測定端子駆動機構１７、それぞれを制御する所定のコンピュータプログラムが記憶されており、ＰＣ１９は、パーツフィーダ１、リニアフィーダ２、搬送体４、測定端子駆動機構１３、測定端子駆動機構１７、を、それぞれ制御する。
【００７８】
ＰＣ１９は、測定器１８に接続されている。
【００７９】
また、ＰＣ１９は、第１温度センサ６、第２温度センサ８、第３温度センサ９に、それぞれ接続されている。
【００８０】
電気的特性測定装置１００の測定ベース３は、電気的特性を測定した後に、不良品と判断された被測定電子部品装置Ｘを排除する不良品排除領域Ｕを備える。不良品排除領域Ｕには、搬送体４の凹部４ａから、不良品と判断された被測定電子部品装置Ｘを排除する排除機構（図示せず）が設けられている。排除機構はＰＣ１９に接続されており、ＰＣ１９の演算装置により不良品と判断された被測定電子部品装置Ｘを、搬送体４の凹部４ａから排除する。
【００８１】
さらに、電気的特性測定装置１００の測定ベース３は、不良品と判断された被測定電子部品装置Ｘを排除した後に、良品と判断された被測定電子部品装置Ｘのうち、電気的特性にバラツキの少ないランク１の被測定電子部品装置Ｘを回収する被測定電子部品回収領域Ｖを備える。ランク１の被測定電子部品装置Ｘの回収も、ＰＣ１９によって制御される。
【００８２】
さらに、電気的特性測定装置１００の測定ベース３は、ランク１の被測定電子部品装置Ｘを回収した後に、許容範囲内であるが電気的特性にバラツキがあるランク２の被測定電子部品装置Ｘを回収する被測定電子部品回収領域Ｗを備える。ランク２の被測定電子部品装置Ｘの回収も、ＰＣ１９によって制御される。
【００８３】
次に、電気的特性測定装置１００を使用した、電子部品装置の電気的特性測定方法について説明する。本実施形態においては、上述したとおり、被測定電子部品装置ＸとしてＮＴＣサーミスタを使用し、電気的特性として被測定電子部品装置Ｘの抵抗値を測定する。本実施形態の電子部品装置の電気的特性測定方法においては、次の（式１）を利用する。（式１）によれば、特定温度ＴａのこのＮＴＣサーミスタが、特定温度Ｔａと異なる温度Ｔｂの異温度領域上に置かれた場合に、時間ｔ経過後のＮＴＣサーミスタの推定温度Ｔｘを算出することができる。
【００８４】
【数２】
2018049003.tif 000004
【００８５】
Ｔｘ：時間ｔ経過後のＮＴＣサーミスタの推定温度
Ｔａ：ＮＴＣサーミスタの特定温度
Ｔｂ：異温度領域の温度 
ｔ：経過時間
τ：ＮＴＣサーミスタの熱時定数
熱時定数τは、このＮＴＣサーミスタの熱容量から求めることができる係数である。
【００８６】
（式１）を、ＰＣ１９の記憶装置に記憶させる。
【００８７】
また、本実施形態の電子部品の電気的特性測定方法においては、基準温度Ｔｗと、測定温度Ｔｏとから、測定抵抗値Ｒｏに含まれる、基準温度Ｔｗと測定温度Ｔｏとのずれに起因して発生する測定誤差を補正する（式２）を利用する。
【００８８】
【数３】
2018049003.tif 000005
【００８９】
Ｒｗ：基準温度Ｔｗと測定温度Ｔｏとのずれに起因して発生する測定誤差が補正された  ＮＴＣサーミスタの抵抗値
Ｒｏ：ＮＴＣサーミスタの測定抵抗値
Ｂ：ＮＴＣサーミスタの温度変化係数
Ｔｗ：基準温度 
Ｔｏ：測定温度
温度変化係数Ｂは、このＮＴＣサーミスタに固有の係数である。温度変化係数Ｂは、このＮＴＣサーミスタを、基準温度からプラス方向またはマイナス方向に僅かずつの温度を強制的にずらしながら、抵抗値を複数回測定することにより算出することができる。
【００９０】
（式２）を、ＰＣ１９の記憶装置に記憶させる。
【００９１】
また、ＰＣ１９によって制御される、温度領域３Ｓに設けられたペルチェ素子５ａの目標温度を２５℃に設定する。すなわち、本実施形態においては、測定点７Ｐにおいて、被測定電子部品装置（ＮＴＣサーミスタ）Ｘの２５℃における抵抗値を測定する。
【００９２】
また、ＰＣ１９によって制御される、温度領域３Ｔに設けられたペルチェ素子５ｂの目標温度を５０℃に設定する。すなわち、本実施形態においては、測定点７Ｑにおいて、被測定電子部品装置（ＮＴＣサーミスタ）Ｘの５０℃における抵抗値を測定する。
【００９３】
以上の準備の後、測定を開始する。
【００９４】
まず、複数の被測定電子部品装置Ｘをパーツフィーダ１に投入する。
【００９５】
次に、ＰＣ１９の制御に基づき、パーツフィーダ１、リニアフィーダ２、搬送体４が、それぞれ駆動を開始する。
【００９６】
その結果、被測定電子部品装置Ｘが、パーツフィーダ１から、順次、リニアフィーダ２に搬送される。
【００９７】
次に、１番目（先頭）の被測定電子部品装置Ｘが、搬送経路に設けられた初期温度特定位置の近傍を通過した時に、初期温度特定手段である第１温度センサ６によって搬送経路（リニアフィーダ２）の温度を測定する。
【００９８】
パーツフィーダ１とリニアフィーダ２は室温（常温）に保たれ、かつ、被測定電子部品装置Ｘは十分に時間をかけて、初期温度特定位置である第１温度センサ６に到達するため、被測定電子部品装置Ｘは十分に搬送経路（リニアフィーダ２）の温度になじんでいる。したがって、１番目の被測定電子部品装置Ｘが、初期温度特定位置である第１温度センサ６を通過した時に、第１温度センサ６によって測定された搬送経路（リニアフィーダ２）の温度を、１番目の被測定電子部品装置Ｘの初期温度と見做すことができる。なお、第１温度センサ６が被測定電子部品装置Ｘの温度を直接測定することができる場合は、特段に搬送経路の温度になじんでいる必要はなく、第１温度センサ６の測定値をそのまま１番目の被測定電子部品装置Ｘの初期温度とすることができる。１番目の被測定電子部品装置Ｘの初期温度が、ＰＣ１９に伝達され、ＰＣ１９の記憶装置に記憶される。
【００９９】
なお、第１温度センサ６で搬送経路（リニアフィーダ２）の温度を測定する代わりに、厳格に室温を管理しておき、１番目の被測定電子部品装置Ｘが初期温度特定位置を通過した時の、別途測定された室温を、１番目の被測定電子部品装置Ｘの初期温度としても良い。
【０１００】
被測定電子部品装置Ｘの初期温度は、この後に搬送される測定ベース３の温度領域３Ｓの目標温度である、２５℃より低い場合もあれば、２５℃より高い場合もあり、さらに２５℃の場合もある。
【０１０１】
次に、１番目の被測定電子部品装置Ｘが、リニアフィーダ２によって、測定ベース３に搬送される。具体的には、１番目の被測定電子部品装置Ｘが、リニアフィーダ２によって、目標温度２５℃で制御された測定ベース３の温度領域３Ｓに搬送される。なお、１番目の被測定電子部品装置Ｘの初期温度が２５℃でない限り、温度領域３Ｓに到達した１番目の被測定電子部品装置Ｘの温度が２５℃になるのには時間を要する。１番目の被測定電子部品装置Ｘが測定ベース３に搬送された時間が、ＰＣ１９に伝達され、ＰＣ１９の記憶装置に記憶される。
【０１０２】
次に、１番目の被測定電子部品装置Ｘは、９０°搬送方向が変更され、搬送体４により、図１および図２における下方向に搬送される。なお、搬送体４は、上述したとおり、間欠移動する。
【０１０３】
次に、１番目の被測定電子部品装置Ｘが、測定点７Ｐに到達する。
【０１０４】
１番目の被測定電子部品装置Ｘが、測定点７Ｐに到達すると、ＰＣ１９の制御に基づき、測定端子駆動機構１３が駆動する。そして、1番目の被測定電子部品装置Ｘの抵抗値が、測定端子１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂを介して、測定器１８により測定され、1番目の被測定電子部品装置Ｘの測定抵抗値が得られる。１番目の被測定電子部品装置Ｘの測定抵抗値が、測定器１８からＰＣ１９に伝達され、ＰＣ１９の記憶装置に記憶される。また、１番目の被測定電子部品装置Ｘの抵抗値が測定された時間も、ＰＣ１９の記憶装置に記憶される。
【０１０５】
この時同時に、第２温度センサ８により、温度領域３Ｓの温度が測定される。そして、その第２温度センサ８により測定された温度が、測定点７Ｐにおいて１番目の被測定電子部品装置Ｘの抵抗値が測定された時の温度領域３Ｓの温度として、ＰＣ１９に伝達され、ＰＣ１９の記憶装置に記憶される。なお、温度領域３Ｓは、目標温度２５℃で制御されているが、第２温度センサ８により測定された温度は、様々な要因（室温の変化や装置の発熱など）により、２５℃からずれている場合が考えられる。
【０１０６】
次に、ＰＣ１９の演算装置において、以下の演算を行う。
【０１０７】
まず、上述した（式１）に、すでに求められている熱時定数τ以外の具体的な数値を代入し、１番目の被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度Ｔｘを求める。
【０１０８】
具体的な数値は、次のとおりである。
Ｔｘ：１番目の被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度
Ｔａ：第１温度センサ６を通過した時の１番目の被測定電子部品装置Ｘの推定温度（初期温度）
Ｔｂ：１番目の被測定電子部品装置Ｘの抵抗値が測定された時の第２温度センサ８の測定温度（温度領域３Ｓの温度）
ｔ：被測定電子部品装置Ｘが温度領域３Ｓに到達してから抵抗値が測定されるまでの時間
τ：このＮＴＣサーミスタの熱時定数
【０１０９】
次に、上述した（式２）に、すでに求められている温度変化係数Ｂ以外の具体的な数値を代入し、基準温度Ｔｗと測定温度Ｔｏとのずれに起因して発生した測定誤差が補正された１番目の被測定電子部品装置Ｘの抵抗値Ｒｗを算出する。
【０１１０】
具体的な数値は、次のとおりである。
Ｒｗ：基準温度Ｔｗと測定温度Ｔｏとのずれに起因して発生する測定誤差が補正された１番目の被測定電子部品装置Ｘの抵抗値
Ｒｏ：１番目の被測定電子部品装置Ｘの測定抵抗値
Ｂ：このＮＴＣサーミスタの温度変化係数
Ｔｗ：基準温度 （温度領域３Ｓの目標温度である２５℃）
Ｔｏ：１番目の被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度Ｔｘ（測定温度）
【０１１１】
次に、測定点７Ｐでの測定を終えた１番目の被測定電子部品装置Ｘが、搬送体４によって、温度領域３Ｔに搬送される。さらに、１番目の被測定電子部品装置Ｘは、搬送体４によって、測定点７Ｑに搬送される。
【０１１２】
１番目の被測定電子部品装置Ｘが、測定点７Ｑに到達すると、ＰＣ１９の制御に基づき、測定端子駆動機構１７が駆動する。そして、1番目の被測定電子部品装置Ｘの抵抗値が、測定端子１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂを介して、測定器１８により測定され、1番目の被測定電子部品装置Ｘの測定抵抗値が得られる。１番目の被測定電子部品装置Ｘの測定抵抗値が、測定器１８からＰＣ１９に伝達され、ＰＣ１９の記憶装置に記憶される。また、１番目の被測定電子部品装置Ｘの抵抗値が測定された時間も、ＰＣ１９の記憶装置に記憶される。
【０１１３】
この時同時に、第３温度センサ９により、温度領域３Ｔの温度が測定される。そして、その第３温度センサ９により測定された温度が、測定点７Ｑにおいて１番目の被測定電子部品装置Ｘの抵抗値が測定された時の温度領域３Ｔの温度として、ＰＣ１９に伝達され、ＰＣ１９の記憶装置に記憶される。なお、温度領域３Ｔは、目標温度５０℃で制御されているが、第３温度センサ９により測定された温度は、様々な要因により、５０℃からずれている場合が考えられる。
【０１１４】
次に、ＰＣ１９の演算装置において、測定点７Ｐでの測定の場合に行ったのと同様に、測定点７Ｑでの測定においても、上述した（式１）を用いて１番目の被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度Ｔｘを求め、さらに上述した（式２）を用いて基準温度Ｔｗと測定温度Ｔｏとのずれに起因して発生した測定誤差を補正する。なお、測定点７Ｐで測定を行なった後、比較的早く被測定電子部品装置Ｘを温度領域３Ｔまで搬送する場合は、（式１）に代入する１番目の被測定電子部品装置Ｘの初期温度Ｔａには、測定点７Ｐにおける１番目の被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度Ｔｘを用いることができる。ただし、温度領域３Ｔへの搬送に時間がかかる場合は、経過した時間を加味して初期温度Ｔａを求めなおした方が良い。
【０１１５】
以上により、１番目の被測定電子部品装置Ｘの２５℃および５０℃における抵抗値が、極めて正確に測定される。図５に、１番目の被測定電子部品装置Ｘの２５℃および５０℃における抵抗値（測定誤差が補正された抵抗値）と、それから推定される１番目の被測定電子部品装置Ｘの抵抗温度特性を示す。
【０１１６】
次に、基準温度と測定温度とのずれに起因して発生した測定誤差を補正した、１番目の被測定電子部品装置Ｘの２５℃および５０℃における抵抗値に基づき、ＰＣ１９において、１番目の被測定電子部品装置Ｘの良品／不良品の選別をおこなう。さらに、１番目の被測定電子部品装置Ｘが良品である場合には、ＰＣ１９において、ランク１とランク２との選別をおこなう。そして、不良品の被測定電子部品装置Ｘを不良品排除領域Ｕで排除し、ランク１の被測定電子部品装置Ｘを被測定電子部品回収領域Ｖで回収し、ランク２の被測定電子部品装置Ｘを被測定電子部品回収領域Ｗで回収する。
【０１１７】
以上の方法により、１番目の被測定電子部品装置Ｘの抵抗値が測定され、さらに選別がおこなわれる。以下、同様の方法で、２番目以降の被測定電子部品装置Ｘの抵抗値の測定、および選別をおこなう。
【０１１８】
［第２実施形態］
図６に、本実施形態において使用する電気的特性測定装置２００を示す。ただし、図６は、電気的特性測定装置２００の要部平面図である。
【０１１９】
電気的特性測定装置２００は、第１実施形態において使用した電気的特性測定装置１００を簡易化したものである。すなわち、電気的特性測定装置１００は、測定点７Ｐと測定点７Ｑの２つの測定点を有していたが、電気的特性測定装置２００は、測定点７Ｑが省略され、測定点７Ｐのみを有している。
【０１２０】
電気的特性測定装置２００は、電気的特性測定装置１００が備えていた、温度領域３Ｔ、ペルチェ素子５ｂ、測定端子１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂ、当接部材１４、測定端子駆動機構１７、第３温度センサ９が省略されている。
【０１２１】
電気的特性測定装置２００を使用して、第１実施形態で実施した方法に準じて、被測定電子部品装置Ｘの２５℃における抵抗値を測定した。そして、その結果に基づき、被測定電子部品装置Ｘの選別をおこなった。
【０１２２】
［第３実施形態］
第３実施形態においては、第２実施形態で使用した電気的特性測定装置２００を使用する。ただし、第３実施形態においては、第２実施形態とは異なる方法によって、被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度Ｔｘを求めるとともに、基準温度Ｔｗと測定温度Ｔｏとのずれに起因して発生した測定誤差を補正する。なお、第３実施形態は、図６を援用して説明をおこなう。
【０１２３】
上述した第１実施形態および第２実施形態においては、（式１）を用いて１番目の被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度Ｔｘを求め、さらに（式２）を用いて基準温度Ｔｗと測定温度Ｔｏとのずれに起因して発生した測定誤差を補正した。第３実施形態においては、（式１）、（式２）は使用せず、次に示す（表１）を第１の相関関係として、（表２）を第２の相関関係として、それぞれ使用した。これらの表は、抵抗値の測定を行う前に、予め、実測により作成したものである。
【０１２４】
【表１】
2018049003.tif 000006
【０１２５】
（表１）は、被測定電子部品装置Ｘの測定点７Ｐにおける測定時推定温度Ｔｘを示している。測定時推定温度Ｔｘは、被測定電子部品装置Ｘの初期温度と、被測定電子部品装置Ｘを測定点７Ｐで測定した時の第２温度センサ８の測定温度とによって定まる。ただし、被測定電子部品装置Ｘが温度領域３Ｓに到達してから抵抗値が測定されるまでの時間ｔが、所定の値で一定であることを前提とする。
【０１２６】
【表２】
2018049003.tif 000007
【０１２７】
（表２）は、被測定電子部品装置Ｘの、基準温度Ｔｗと測定温度Ｔｏとのずれに起因して発生する測定誤差が補正された抵抗値Ｒｗを示している。補正された抵抗値Ｒｗは、測定時推定温度Ｔｘと、測定抵抗値Ｒｏとによって定まる。
【０１２８】
なお、第３実施形態においては、補正された抵抗値Ｒｗが、９．９８ｋΩ以上、１０．０２ｋΩ以下のものを良品Ｇとし、それ以外のものを不良品ＮＧとした。参考として、良品Ｇ／不良品ＮＧの区分を、（表３）に示す。
【０１２９】
【表３】
2018049003.tif 000008
【０１３０】
このように、測定時推定温度Ｔｘや測定誤差が補正された抵抗値Ｒｗを導き出す相関関係は、式としてではなく、表として用意することもできる。
【０１３１】
［第４実施形態］
図７に、本実施形態において使用する電気的特性測定装置４００を示す。ただし、図７は、電気的特性測定装置４００の平面図である。
【０１３２】
本実施形態において使用する電気的特性測定装置４００は、上述した、第１実施形態において使用した電気的特性測定装置１００や、第２実施形態において使用した電気的特性測定装置２００から、大幅な変更がなされている。
【０１３３】
電気的特性測定装置４００は、電気的特性測定装置１００、２００と同じ、パーツフィーダ１、リニアフィーダ２を備えている。また、リニアフィーダ２には、第１温度センサ６が設けられている。これらの部分に変更はない。
【０１３４】
電気的特性測定装置４００は、測定ベース４３を備える。
【０１３５】
測定ベース４３には、電気的特性測定装置１００、２００の長方形の搬送体４に代えて、円板状の搬送体４４が設けられている。搬送体４４の外周には、被測定電子部品装置Ｘを収容する多数の凹部４４ａが形成されている。搬送体４４は、凹部４４ａに被測定電子部品装置Ｘを収容した状態で、モータにより間欠的に回転する。
【０１３６】
電気的特性測定装置４００の測定ベース４３には、被測定電子部品装置Ｘの電気的特性（抵抗値）を測定する測定点５７Ｐが設けられている。
【０１３７】
電気的特性測定装置４００の測定ベース４３には、測定点５７Ｐを含む領域に、たとえばペルチェ素子（図示せず）が埋設され、温度制御領域Ｈが設けられている。温度制御領域Ｈは、被測定電子部品装置Ｘの電気的特性を測定すべき基準温度（たとえば２５℃）を目標温度として温度が制御される。また、温度制御領域Ｈは、測定ベース４３全体の温度を制御する。
【０１３８】
電気的特性測定装置４００において、リニアフィーダ２と搬送体４４とによって、被測定電子部品装置Ｘが、パーツフィーダ１から測定点５７Ｐへ搬送される経路が、被測定電子部品装置Ｘの搬送経路である。
【０１３９】
電気的特性測定装置４００の測定ベース４３には、測定点５７Ｐの近傍に、第２温度センサ４７が設けられている。また、電気的特性測定装置４００の測定ベース４３には、被測定電子部品装置Ｘの搬送経路に、７つの中間温度センサ４８ａ、４８ｂ、４８ｃ、４８ｄ、４８ｅ、４８ｆ、４８ｇが設けられている。なお、隣接する２つの中間温度センサの温度領域の境界は、２つの中間温度センサの中間点にあると考えることができる。
【０１４０】
本実施形態においては、被測定電子部品装置Ｘが第１温度センサを通過した時に、第１温度センサで測定されたリニアフィーダ２の温度を、被測定電子部品装置Ｘの初期温度として特定する。
【０１４１】
また、被測定電子部品装置Ｘの初期温度と、被測定電子部品装置Ｘが測定ベース４３に到着してから１つ目の中間温度センサ４８ａの温度領域を出るまでの時間と、被測定電子部品装置Ｘが１つ目の中間温度センサ４８ａの温度領域を通過しているときに測定された１つ目の中間温度センサ４８ａの測定温度とを、上述した（式１）に代入することによって、被測定電子部品装置Ｘが１つ目の中間温度センサ４８ａの温度領域を出た時の推定温度を求める。
【０１４２】
次に、被測定電子部品装置Ｘが１つ目の中間温度センサ４８ａの温度領域を出た時の推定温度を初期温度とし、被測定電子部品装置Ｘの初期温度と、被測定電子部品装置Ｘが１つ目の中間温度センサ４８ａの温度領域を出てから、２つ目の中間温度センサ４８ｂの温度領域を出るまでの時間と、被測定電子部品装置Ｘが２つ目の中間温度センサ４８ｂの温度領域を通過しているときに測定された２つ目の中間温度センサ４８ｂの測定温度とを、上述した（式１）に代入することによって、被測定電子部品装置Ｘが２つ目の中間温度センサ４８ｂの温度領域を出た時の推定温度を求める。以下、同様の方法によって、被測定電子部品装置Ｘが、３つ目〜７つ目の中間温度センサ４８ｃ、４８ｄ、４８ｅ、４８ｆ、４８ｇの温度領域を出た時の推定温度を求める。
【０１４３】
さらに同様の方法によって、被測定電子部品装置Ｘの電気的特性を測定点５７Ｐで測定した時の、被測定電子部品装置Ｘの推定温度を求める。具体的には、被測定電子部品装置Ｘの初期温度（７つ目の中間温度センサ４８ｇの温度領域を出た時の推定温度）Ｔａと、被測定電子部品装置Ｘが７つ目の中間温度センサ４８ｇの温度領域を出てから（測定点５７Ｐの温度領域に入ってから）測定点５７Ｐで測定がおこなわれるまでの時間ｔと、被測定電子部品装置Ｘの電気的特性を測定点５７Ｐで測定した時の第２温度センサ４７の測定温度Ｔｂとを、上述した（式１）に代入して、被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度ＴＸを求める。
【０１４４】
本実施形態においては、上記の方法で求めた被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度ＴＸを、測定温度Ｔｏとして上述して（式２）に代入し、基準温度Ｔｗと測定温度Ｔｏとのずれに起因して発生した測定誤差が補正された被測定電子部品装置Ｘの抵抗値Ｒｗを求める。
【０１４５】
電気的特性測定装置４００を使った本実施形態にかかる測定方法においても、高い測定精度で被測定電子部品装置Ｘの電気的特性（抵抗値）を測定することができる。
【０１４６】
［第５実施形態］
図８に、本実施形態において使用する電気的特性測定装置５００を示す。ただし、図８は、電気的特性測定装置５００の平面図である。
【０１４７】
本実施形態において使用する電気的特性測定装置５００は、上述した、第４実施形態において使用した電気的特性測定装置４００に、新たな構成を追加した。
【０１４８】
電気的特性測定装置５００は、新たに基準電子部品Ｙを備えており、測定点５７Ｐの近傍に、基準電子部品Ｙの測定点５７Ｑが設けられている。なお、測定点５７Ｐと測定点５７Ｑとは、極めて近い距離にあるため、両者の温度は同一であると見做すことができる。
【０１４９】
上述した（式１）、（式２）が、ＰＣ１９の記憶装置に記憶されている。
【０１５０】
さらに、本実施形態においては、予め、下に示す、基準電子部品Ｙの測定抵抗値Ｒｏに対する、被測定電子部品装置（ＮＴＣサーミスタ）Ｘの測定抵抗値Ｒ１の偏差（測定値ずれ率）を示す（式３）が、ＰＣ１９の記憶装置に記憶されている。
【数４】
2018049003.tif 000009
【０１５１】
さらに、本実施形態においては、ＰＣ１５の記憶装置に、良品と判断される、被測定電子部品装置（ＮＴＣサーミスタ）Ｘの測定抵抗値Ｒ１の偏差の許容範囲を記憶させる。
【０１５２】
以上の準備の後、測定を開始する。
【０１５３】
まず、複数の被測定電子部品装置Ｘをパーツフィーダ１に投入する。
【０１５４】
次に、ＰＣ１９の制御に基づき、パーツフィーダ１、リニアフィーダ２、搬送体４４が、それぞれ駆動を開始する。その結果、被測定電子部品装置Ｘが、順次、測定ベース４３の測定点５７Ｐに搬送される。
【０１５５】
そして、測定点５７Ｐにおいて、被測定電子部品装置Ｘの電気的特性が測定され、同時に、測定点５７Ｑにおいて、基準電子部品Ｙの電気的特性が測定される。なお、測定点５７Ｑの温度が時間経過に対して比較的安定しているのであれば、基準電子部品Ｙの電気特性の測定は被測定電子部品装置Ｘの電気特性の測定と多少前後しても良い。
【０１５６】
本実施形態においても、上述した第４実施形態と同様に、被測定電子部品装置Ｘが搬送経路を搬送されるのにともなって、必要なタイミングで、第１温度センサ６、中間温度センサ４８ａ、４８ｂ、４８ｃ、４８ｄ、４８ｅ、４８ｆ、４８ｇ、第２温度センサ４７により温度が測定される。
【０１５７】
そして、上述した（式１）により、被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度Ｔｘを求める。また、求められた被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度Ｔｘを使用して、上述した（式２）により、基準温度Ｔｗと測定温度Ｔｏとのずれに起因して発生した測定誤差が補正された被測定電子部品装置Ｘの抵抗値Ｒｗを求める。
【０１５８】
なお、基準電子部品Ｙの温度は第２温度センサ４７の測定温度Ｔｂと同じになっているため、上述した（式２）により補正後の被測定電子部品装置Ｘの抵抗値Ｒｗを求めるにあたり、基準温度Ｔｗに代えて、第２温度センサ４７の測定温度Ｔｂを用いることも好ましい。
【０１５９】
次に、本実施形態においては、上述した（式３）により、基準電子部品Ｙの測定抵抗値Ｒｏに対する、被測定電子部品装置Ｘの測定抵抗値Ｒ１（測定誤差が補正された被測定電子部品装置Ｘの抵抗値Ｒｗ）の偏差を求める。
【０１６０】
そして、求められた、基準電子部品Ｙの測定抵抗値Ｒｏに対する、被測定電子部品装置Ｘの補正済測定抵抗値Ｒ１の偏差が、予め定められた範囲内である場合に被測定電子部品装置Ｘを良品と判断し、予め定められた範囲外である場合に被測定電子部品装置Ｘを不良品と判断する。なお、許容される偏差の範囲は、上述した基準電子部品Ｙの基準温度での抵抗値を考慮して定められる。
【０１６１】
本実施形態においては、被測定電子部品装置Ｘの測定抵抗値から、基準温度と測定温度とのずれに起因して発生した測定誤差を補正するだけではなく、基準電子部品Ｙの測定抵抗値Ｒｏに対する、被測定電子部品装置Ｘの補正済測定抵抗値Ｒ１の偏差を求め、被測定電子部品装置Ｘの良品／不良品の判断を行っているため、さらに適正な良品／不良品の判断を行うことができる。
【０１６２】
［第６実施形態］
図９に、第６実施形態において使用する電気的特性測定装置６００を示す。ただし、図９は、電気的特性測定装置６００の平面図である。
【０１６３】
本実施形態において使用する電気的特性測定装置６００は、上述した、第１実施形態において使用した電気的特性測定装置１００に変更を加えた。
【０１６４】
電気的特性測定装置１００は、パーツフィーダ１、リニアフィーダ２を備えていた。電気的特性測定装置６００は、電気的特性測定装置１００のパーツフィーダ１とリニアフィーダ２とを省略したうえで、これらに代えて、初期温度特定位置および搬送手段として、それぞれ、パーツトレイ６１と、ピックアップノズル６５とを設けた。また、電気的特性測定装置１００では、リニアフィーダ２に第１温度センサ６を設けていたが、電気的特性測定装置６００では、パーツトレイ６１に第１温度センサ６６を設けた。さらに、電気的特性測定装置６００では、搬送体４を省略した。電気的特性測定装置６００の他の構成は、電気的特性測定装置１００と同じにした。
【０１６５】
本実施形態においては、まず、複数の被測定電子部品装置Ｘをパーツトレイ６１に投入する。その後、しばらく時間を置き、被測定電子部品装置Ｘの温度をパーツトレイ６１の温度になじませる（同じ温度にする）。
【０１６６】
次に、ピックアップノズル６５で被測定電子部品装置Ｘの１つを吸着し、吸着した被測定電子部品装置Ｘを、測定ベース３の温度領域３Ｓの測定点７Ｐへ移動させる。本実施形態においては、ピックアップノズル６５が被測定電子部品装置Ｘを吸着した時に、第１温度センサ６６が測定したパーツトレイ６１の温度を、被測定電子部品装置Ｘの初期温度と見做す。
【０１６７】
次に、測定点７Ｐにおいて、被測定電子部品装置Ｘの電気的特性を測定する。電気的特性の測定結果は、第１実施形態と同様の方法によって補正する。
【０１６８】
次に、ピックアップノズル６５で被測定電子部品装置Ｘを吸着し、吸着した被測定電子部品装置Ｘを、温度領域３Ｔの測定点７Ｑへ移動させる。なお、ここで使用するピックアップノズルとして、上記のピックアップノズル６５と別のものを用意しても良い。
【０１６９】
次に、測定点７Ｑにおいて、被測定電子部品装置Ｘの電気的特性を測定する。電気的特性の測定結果は、第１実施形態と同様の方法によって補正する。
【０１７０】
次に、測定点７Ｐおよび測定点７Ｑでの電気的特性の測定結果に基づき、被測定電子部品装置Ｘを、不良品、電気的特性にバラツキの少ないランク１、許容範囲内であるが電気的特性にバラツキがあるランク２に分類する。そして、ピックアップノズル６５で被測定電子部品装置Ｘを吸着し、上記の分類結果に基づき、吸着した被測定電子部品装置Ｘを、不良品排除領域Ｕ、被測定電子部品回収領域Ｖ、被測定電子部品回収領域Ｗのいずれかに移動させ、排除または回収する。
【０１７１】
本実施形態においても、高い精度で被測定電子部品装置Ｘを選別することができる。
【０１７２】
［第７実施形態］
図１０に、第７実施形態において使用する電気的特性測定装置７００を示す。ただし、図１０は、電気的特性測定装置７００の正面図（一部断面図）である。
【０１７３】
本実施形態において使用する電気的特性測定装置７００は、恒温槽７１を備える。恒温槽７１には、液体７２が収容されている。液体７２は、一定の温度に制御されており、かつ、常時、温度が測定されている。
【０１７４】
電気的特性測定装置７００は、環状の電子部品固定治具７３を備える。電子部品固定治具７３は、モータ７４に取付けられ、モータ７４に駆動されて回転する。
【０１７５】
電気的特性測定装置７００は、測定器７８を備える。
【０１７６】
本実施形態においては、まず、電子部品固定治具７３に、複数のラジアルリード型ＮＴＣサーミスタを被測定電子部品装置Ｘとして取付ける。
【０１７７】
次に、モータ７４で電子部品固定治具７３を回転させ、被測定電子部品装置Ｘの本体部分を順番に液体７２に浸漬させてゆく。そして、本体部分が液体７２に浸漬した被測定電子部品装置Ｘの電気的特性（抵抗値）を、測定器７８によって測定する。
【０１７８】
本実施形態においては、室温を被測定電子部品装置Ｘの初期温度Ｔａとする。また、液体７２の温度を測定温度Ｔｂとする。そして、初期温度Ｔａと、測定温度Ｔｂと、被測定電子部品装置Ｘの本体部分が液体７２に浸漬されてから電気的特性が測定されるまでの時間ｔと、被測定電子部品装置Ｘの熱時定数τを、上述した（式１）に代入して、被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度Ｔｘを求める。また、求められた被測定電子部品装置Ｘの測定時推定温度Ｔｘを測定温度Ｔｏとして、上述した（式２）により、基準温度Ｔｗと測定温度Ｔｏとのずれに起因して発生した測定誤差が補正された被測定電子部品装置Ｘの抵抗値Ｒｗを求める。
【０１７９】
［第８実施形態］
図１１に、第８実施形態において使用する電気的特性測定装置８００を示す。ただし、図１１は、電気的特性測定装置８００の要部斜視図であり、後述する搬送体８４のみを示している。
【０１８０】
第１実施形態において使用した電気的特性測定装置１００などでは、被測定電子部品装置Ｘを搬送する手段として、長方形の搬送体４を使用した。また、第４実施形態において使用した電気的特性測定装置４００などでは、被測定電子部品装置Ｘを搬送する手段として、円形の搬送体４４を使用した。電気的特性測定装置８００は、これらに代えて、ドラム状の搬送体８４を備えている。
【０１８１】
搬送体８４は、円筒状のドラム８５を備えている。ドラム８５には、複数の貫通したキャビティ８５ａが設けられている。電気的特性測定装置８００では、被測定電子部品装置Ｘを、キャビティ８５ａの内部に保持して搬送する。
【０１８２】
電気的特性測定装置８００を使用すれば、高い精度で、電子部品装置の電気的特性の測定や選別をおこなうことができる。
【０１８３】
［第９実施形態］
図１２に、第９実施形態において使用する電気的特性測定装置９００を示す。ただし、図１１は、電気的特性測定装置９００の要部斜視図であり、後述する搬送体９４のみを示している。
【０１８４】
第１実施形態において使用した電気的特性測定装置１００などでは、被測定電子部品装置Ｘを搬送する手段として、長方形の搬送体４を使用した。また、第４実施形態において使用した電気的特性測定装置４００などでは、被測定電子部品装置Ｘを搬送する手段として、円形の搬送体４４を使用した。電気的特性測定装置９００は、これらに代えて、ベルトコンベア状の搬送体９４を備えている。
【０１８５】
搬送体９４は、ベルト９５を備えている。ベルト９５には、複数の貫通したキャビティ９５ａが設けられている。電気的特性測定装置９００では、被測定電子部品装置Ｘを、キャビティ９５ａの内部に保持して搬送する。
【０１８６】
電気的特性測定装置９００を使用すれば、高い精度で、電子部品装置の電気的特性の測定や選別をおこなうことができる。
【０１８７】
［第１０実施形態］
図１３に、第１０実施形態において使用する電気的特性測定装置１０００を示す。ただし、図１３は、電気的特性測定装置１０００の要部正面図であり、後述する搬送体９８のみを示している。
【０１８８】
第４実施形態において使用した電気的特性測定装置４００などでは、被測定電子部品装置Ｘを搬送する手段として、円形の搬送体４４を使用した。搬送体４４は、外周に複数の凹部４４ａが形成されていた。
【０１８９】
電気的特性測定装置１０００も、円形の搬送体９８を備えている。ただし、搬送体９８では、外周ではなく、面内に、複数の貫通したキャビティ９８ａが形成されている。本実施形態においては、搬送体９８に、複数のキャビティ９８ａが、３列の同心状に配置して形成されている。
【０１９０】
電気的特性測定装置１０００では、被測定電子部品装置Ｘを、キャビティ９８ａの内部に保持して搬送する。なお、搬送体９８は、立てた状態で、すなわち、地平面に対して垂直に設置して使用することができる。
【０１９１】
電気的特性測定装置１０００を使用すれば、高い精度で、電子部品装置の電気的特性の測定や選別をおこなうことができる。
【０１９２】
以上、第１実施形態〜第７実施形態について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って種々の変更をなすことができる。
【０１９３】
たとえば、第１実施形態〜第７実施形態では、ＮＴＣサーミスタの抵抗値を測定したが、電子部品の種類はＮＴＣサーミスタには限定されず、測定される電気的特性も抵抗値には限定されない。たとえば、ＰＴＣサーミスタや固定抵抗の抵抗値を測定しても良いし、キャパシタのキャパシタンス値や、インダクタのインダクタンス値を測定しても良い。
【０１９４】
また、第１実施形態、第２実施形態、第４実施形態〜第７実施形態では、第１温度の被測定電子部品装置が、第１温度と異なる第２温度の第２温度領域に置かれた場合の、時間ｔ経過後の前記被測定電子部品装置の温度を推定する第１の相関関係として、上述した（式１）を使用した。しかしながら、（式１）は一例であり、他の相関関係式を使用しても良い。また、第３実施形態のように、第１の相関関係を示した表を使用しても良い。
【０１９５】
また、第１実施形態、第２実施形態、第４実施形態〜第７実施形態では、電気的特性を測定する時に被測定電子部品装置があるべき温度である基準温度と、電気的特性を測定した時の被測定電子部品装置の実際の温度である測定温度とから、測定電気的特性に含まれる、基準温度と前記測定温度とのずれに起因して発生する測定誤差を補正する第２の相関関係として、上述した（式２）を使用した。しかしながら、（式２）は一例であり、他の相関関係式を使用しても良い。たとえば、ＮＴＣサーミスタの温度抵抗特性の近似式である、Ｓｔｅｉｎｈｒｔ-Ｈａｒｔ式を使用しても良い。また、第３実施形態のように、第２の相関関係を示した表を使用しても良い。
【０１９６】
なお、本発明の電子部品装置の選別方法においては、基準温度と測定温度とのずれに起因して発生した測定誤差が補正された補正済電気的特性を取得し、補正済電気的特性を選別基準と比較して電子部品装置を選別するのに代えて、測定時推定温度に対応して選別基準を対応補正して、対応補正選別基準を取得し、測定電気的特性を対応補正選別基準と比較して前記電子部品装置を選別するようにしても良い。
【０１９７】
本発明の有効性を確認するために、以下の実験を行った。
【０１９８】
［実験例１］
比較例１、比較例２、実施例１、実施例２の実験を行い、測定精度を比較した。本実験においては、被測定電子部品にＮＴＣサーミスタを用い、電気的特性として抵抗値を測定した。また、基準温度を２５℃とし、室温は２４℃に制御した。
【０１９９】
比較例１には、特許文献１に開示された方法を用いた。すなわち、温度センサ（白金センサ）で搬送経路の温度を測定し、測定された温度が基準温度からずれると、搬送経路を基準温度に近づけるように制御したうえで、被測定電子部品の抵抗値を測定した。
【０２００】
比較例２には、特許文献２に開示された方法を用いた。すなわち、被測定電子部品の抵抗値測定と同時に、基準電子部品の抵抗値を測定し、基準電子部品の測定抵抗値に対する、被測定電子部品の測定抵抗値の偏差を算出した。そして、その偏差に基づき、被測定電子部品の抵抗値（実数）を求めた。
【０２０１】
実施例１には、上述した第４実施形態の方法を用いた。すなわち、第１温度センサ６、中間温度センサ４８ａ、４８ｂ、４８ｃ、４８ｄ、４８ｅ、４８ｆ、４８ｇ、第２温度センサ４７により、搬送経路の温度を測定し、被測定電子部品の測定時の測定時推定温度を算出して、基準温度と測定温度とのずれに起因して発生した測定誤差が補正された補正済抵抗値を得た。
【０２０２】
実施例２には、上述した第５実施形態の方法を用いた。すなわち、第１温度センサ６、中間温度センサ４８ａ、４８ｂ、４８ｃ、４８ｄ、４８ｅ、４８ｆ、４８ｇ、第２温度センサ４７により、搬送経路の温度を測定し、被測定電子部品の測定時の測定時推定温度を算出して、基準温度と測定温度とのずれに起因して発生した測定誤差が補正された補正済抵抗値を得るとともに、被測定電子部品の抵抗値測定と同時に基準電子部品の抵抗値を測定し、基準電子部品の測定抵抗値に対する、被測定電子部品の補正済抵抗値の偏差を算出した。そして、その偏差に基づき、被測定電子部品の抵抗値（実数）を求めた。
【０２０３】
電気的特性測定装置の運転速度を変化させることにより、比較例１、比較例２、実施例１、実施例２それぞれについて、３種類の測定結果を取得した。具体的には、低速（１００個／分）、中速（１０００個／分）、高速（３０００個／分）それぞれについて、測定結果を取得した。
【０２０４】
測定精度は、比較例１、比較例２、実施例１、実施例２、それぞれにおいて、同一試料を電気的特性測定装置に１０回投入することにより、次の（式４）から求めた。なお、最大抵抗値とは１０回投入した中で最大の抵抗値であり、最小抵抗値とは１０回投入した中で最小の抵抗値である。また、基準抵抗値とは、その被測定電子部品の供給者が、その被測定電子部品の使用者に対して保証している抵抗値である。
【０２０５】
【数５】
2018049003.tif 000010
【０２０６】
（表４）に、比較例１、比較例２、実施例１、実施例２の測定結果を示す。
【０２０７】
【表４】
2018049003.tif 000011
【０２０８】
比較例１、比較例２、実施例１、実施例２の測定結果を比較した場合、（表４）から分かるように、電気的特性測定装置の運転速度が同じである場合には、運転速度が低速（１００個／分）、中速（１０００個／分）、高速（３０００個／分）であるかにかかわらず、比較例１の測定精度が最も悪く、実施例２の測定精度が最も良かった。
【０２０９】
比較例２と実施例１とを比較した場合、低速、中速では、比較例２が実施例１よりも優れていたが、高速においては、実施例１が比較例２よりも優れていた。
【０２１０】
以上より、第５実施形態のように、被測定電子部品の抵抗値測定と同時に基準電子部品の抵抗値を測定し、基準電子部品の測定抵抗値に対する、被測定電子部品の補正済抵抗値の偏差を算出する方法で本発明を実施すれば、高い精度で抵抗値を測定できることが分かった。
【０２１１】
また、第４実施形態のように、上記偏差を算出しない方法であっても、電気的特性測定装置を高速で運転する場合には、従来の方法よりも十分に高い精度で抵抗値を測定できることが分かった。
【０２１２】
［実験例２］
実験例２では、比較例３、比較例４、実施例３、実施例４の実験を行い、測定精度を比較した。本実験においても、被測定電子部品にＮＴＣサーミスタを用い、電気的特性として抵抗値を測定した。
【０２１３】
上述した実験例１では、基準温度を２５℃としたが、実験例２では、基準温度を５０℃とした。実験例２の他の事項については、実験例１と同様にした。
【０２１４】
比較例３は、実験例１の比較例１と同じ方法によった。
【０２１５】
比較例４は、実験例１の比較例２と同じ方法によった。
【０２１６】
実施例３は、実験例１の実施例１と同じ方法によった。
【０２１７】
実施例４は、実験例１の実施例２と同じ方法によった。
【０２１８】
（表５）に、比較例３、比較例４、実施例３、実施例４の測定結果を示す。
【０２１９】
【表５】
2018049003.tif 000012
【０２２０】
（表５）から分かるように、実験例２においても、実験例１と同様の結果が出た。この結果より、本発明は、基準温度のいかんにかかわらず有効であることが分かった。
【０２２１】
以上、実験例１、実験例２により、本発明によれば、高い精度で電子部品の電気的特性を測定できることが分かった。
【符号の説明】
【０２２２】
１・・・パーツフィーダ
２・・・リニアフィーダ
３・・・測定ベース
３Ｓ・・・温度領域（２５℃）
３Ｔ・・・温度領域（５０℃）
４・・・搬送体（長方形）
４ａ・・・凹部
４４・・・搬送体（円形）
４４ａ・・・凹部
５ａ、５ｂ・・・ペルチェ素子
７Ｐ、７Ｑ、５７Ｐ、５７Ｑ・・・測定点
６、６６・・・第１温度センサ
８、４７・・・第２温度センサ
９・・・第３温度センサ
１０、１４・・・当接部材
１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ、１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂ・・・測定端子
１３、１７・・・測定端子駆動機構
１８、７８・・・測定器
１９・・・パーソナルコンピュータ（ＰＣ）
４８ａ、４８ｂ、４８ｃ、４８ｄ、４８ｅ、４８ｆ、４８ｇ・・・中間温度センサ
６１・・・パーツトレイ
６５・・・ピックアップノズル
７１・・・恒温槽
７２・・・液体
７３・・・電子部品固定治具
Ｈ・・・温度制御手段
Ｕ・・・不良品排除領域
Ｖ、Ｗ・・・被測定電子部品回収領域
Ｘ・・・被測定電子部品（ＮＴＣサーミスタ）
Ｙ・・・基準電子部品（ＮＴＣサーミスタ）
１００、２００、４００、５００、６００、７００・・・電気的特性測定装置  
【図１】
2018049003.tif 000013
【図２】
2018049003.tif 000014
【図３】
2018049003.tif 000015
【図４】
2018049003.tif 000016
【図５】
2018049003.tif 000017
【図６】
2018049003.tif 000018
【図７】
2018049003.tif 000019
【図８】
2018049003.tif 000020
【図９】
2018049003.tif 000021
【図１０】
2018049003.tif 000022
【図１１】
2018049003.tif 000023
【図１２】
2018049003.tif 000024
【図１３】
2018049003.tif 000025