【事件の表示】
　特許第３１７５３０２号「インクジェットヘッドとその製造方法」の請求項１乃至５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１７５３０２号の請求項１乃至５に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　
　本件特許第３１７５３０２号の請求項１乃至５に係る発明についての出願は、平成４年６月５日に特許出願され、平成１３年４月６日にその特許権の設定の登録がなされ、請求項１乃至５に係る特許について、松井弘三より特許異議の申し立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年４月３０日に訂正請求（後日取下げ）がなされた後、申立人松井弘三に対して審尋がなされ、その指定期間内である平成１４年８月１９日に回答書が提出され、その後、再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年１１月１１日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否
　
（１）特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
ａ．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の
「【請求項１】　インクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、圧電材料からなる基板に切削加工により形成された溝と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材によって形成された流路を有し、前記溝の側壁には電極が形成され、前記電極に印加される駆動パルスにより前記流路の容積を収縮・膨張させて、前記ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、
　前記蓋部材に対向する前記溝の部位の断面形状が円弧形状であるインクジェットヘッド。」を、
「【請求項１】　インクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、圧電材料からなる基板に切削加工により形成された溝と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材と、前記圧電材料からなる基板に積層された、圧電材料とは異なる材質の下部基板と、によって形成された流路を有し、前記溝の側壁には電極が形成され、前記電極に印加される駆動パルスにより前記流路の容積を収縮・膨張させて、前記ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、
　前記圧電材料からなる基板は、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された２枚の基板からなり、該積層された２枚の基板の厚みを合計した深さで切削されており、
　前記蓋部材に対向する前記溝の部位の断面形状が円弧形状であるインクジェットヘッド。」
と訂正する。
ｂ．訂正事項ｂ
 　特許請求の範囲の請求項３の
「【請求項３】　圧電材料からなる基板に切削加工により溝を形成する工程と、前記溝の側壁に電極を形成する工程と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材を接合する工程と、ノズルが形成されたノズルプレートを前記溝の一端と前記蓋部材の一端とに接合する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法において、
　前記蓋部材に対向する前記溝の部位の断面形状が円弧形状に切削加工されているインクジェットヘッドの製造方法。」を、
「【請求項３】　接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された圧電材料からなる２枚の基板を、圧電材料とは異なる材質の下部基板の片側に積層し、前記圧電材料からなる２枚の基板に該２枚の基板の厚みを合計した深さで切削加工により溝を形成する工程と、前記溝の側壁に電極を形成する工程と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材を接合する工程と、ノズルが形成されたノズルプレートを前記溝の一端と前記蓋部材の一端とに接合する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法において、
　前記蓋部材に対向する前記溝の部位の断面形状が円弧形状に切削加工されているインクジェットヘッドの製造方法。」
と訂正する。
ｃ．訂正事項ｃ
　段落【００１１】を、
「【課題を解決するための手段】
　本発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、圧電材料からなる基板に切削加工により形成された溝と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材と、前記圧電材料からなる基板に積層された、圧電材料とは異なる材質の下部基板と、によって形成された流路を有し、前記溝の側壁には電極が形成され、前記電極に印加される駆動パルスにより前記流路の容積を収縮・膨張させて、前記ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記圧電材料からなる基板は、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された２枚の基板からなり、該積層された２枚の基板の厚みを合計した深さで切削されており、前記蓋部材に対向する前記溝の部位の断面形状を円弧形状とした。さらに、前記溝に対向する前記蓋部材の部位に、断面形状が円弧形状である第２の溝を形成した。また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された圧電材料からなる２枚の基板を、圧電材料とは異なる材質の下部基板の片側に積層し、前記圧電材料からなる２枚の基板に該２枚の基板の厚みを合計した深さで切削加工により溝を形成する工程と、前記溝の側壁に電極を形成する工程と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材を接合する工程と、ノズルが形成されたノズルプレートを前記溝の一端と前記蓋部材の一端とに接合する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法において、前記蓋部材に対向する前記溝の部位の断面形状が円弧形状に切削加工した。なお、前記切削加工は、ブレードの先端に所定の曲率を持たせたダイシングソーによる切削加工とするか、断面形状が所定の直径をもつ円形状であるワイヤーを用いたワイヤーソーによる切削加工とすることができる。」
と訂正する。
ｄ．訂正事項ｄ
　段落【００１３】の
「図１は、本発明の一実施例を示す流路の断面図である。」を、
「図１は、本発明の流路構造の説明に供する参考断面図である。」
と訂正する。
ｅ．訂正事項ｅ
　段落【００２１】の
「（実施例１）」を、
「（比較例１）」
と訂正する。
ｆ．訂正事項ｆ
　段落【００３０】の
「（実施例２）」を、
「（比較例２）」
と訂正する。
ｇ．訂正事項ｇ
　段落【００４０】の
「（実施例３）」を、
「（実施例１）」
と訂正する。
ｈ．訂正事項ｈ
　段落【００５０】の
「（実施例４）」を、
「（実施例２）」
と訂正する。
ｉ．訂正事項ｉ
　段落【００６０】の
「（実施例５）」を、
「（実施例３）」
と訂正する。
ｊ．訂正事項ｊ
　段落【００８２】の
「（比較例）」を、
「（比較例３）」
と訂正する。
ｋ．訂正事項ｋ
　段落【００９１】を、
「実施例１〜３、比較例１〜３の評価測定結果の一覧を表１に記す。」
と訂正する。
ｌ．訂正事項ｌ
  段落【００９５】の【表１】中における、
「実施例１」、「実施例２」、「実施例３」、「実施例４」、「実施例５」及び「比較例」を、
それぞれ「比較例１」、「比較例２」、「実施例１」、「実施例２」、「実施例３」及び「比較例３」
と訂正する。
ｍ．訂正事項ｍ
　段落【００９６】を
「【発明の効果】
　以上述べてきたように本発明によれば、インク滴の吐出速度、応答周波数、気泡の排出性の良好なインクジェットヘッドを提供できるという優れた効果がある。」
と訂正する。
ｎ．訂正事項ｎ
　【図面の簡単な説明】の図１から図９までの記載を
「【図１】　（ａ）〜（ｂ）本発明のインクジェットヘッドの流路形状の説明に供する参考断面図。
【図２】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法の説明に供する参考斜視図。
【図３】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法の説明に供する参考斜視図。
【図４】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法の説明に供する参考斜視図。
【図５】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法の説明に供する参考斜視図。
【図６】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法の説明に供する参考斜視図。
【図７】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法の説明に供する参考斜視図。
【図８】　本発明のダイヤモンドブレードによる加工状態の説明に供する参考断面図。
【図９】　本発明のワイヤソーによる加工の説明に供する参考断面図。」
と訂正する。
ｏ．訂正事項ｏ
　段落【００２１】の
「圧電側壁構造Ｂ」を、
「圧電側壁構造Ａ」
と訂正する。
ｐ．訂正事項ｐ
  段落【００２９】、段落【００３９】、段落【００４９】、段落【００５９】、段落【００７０】及び段落【００９０】のそれぞれにおける、
「また２、４、６、８、１０パルス」を、
「また２億、４億、６億、８億、１０億パルス」
と訂正する。
ｑ．訂正事項ｑ
　段落【００６０】の
「圧電側壁構造Ａ」を、
「圧電側壁構造Ｂ’」
と訂正する。
ｒ．訂正事項ｒ
　段落【００９５】の【表１】中における、
 「耐久性（パルス）」を、
「耐久性（億パルス）」
と訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の追加の有無及び拡張・変更の存否
　ア．訂正事項ａについて
　上記訂正事項ａに関連する記載として、願書に添付した明細書には、「また圧電壁構造Ｂは図１３に示すような、底板部を圧電側壁と別構造とする下部基板１３を有する構造（以降、圧電側壁構造Ｂ’と呼ぶ）もある。」（段落【０００７】）、及び「（実施例３）圧電壁構造：圧電側壁構造Ｂ’(1)圧電基板接着　０．２５μｍ厚の２個の圧電基板を、分極方向が対抗する様に位置し、接着する。さらに、０．５μｍ厚のガラス基板を圧電基板に接着する。」（段落【００４０】）との記載がある。
　そうすると、上記訂正事項ａは、願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内において、流路を形成する部材として、「圧電材料からなる基板に積層された、圧電材料とは異なる材質の下部基板」を、構成要件として追加すると共に、圧電材料からなる基板として、「接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された２枚の基板からなり、該積層された２枚の基板の厚みを合計した深さで切削されており、」を、構成要件として追加して、新たな請求項１としたものと認める。
　したがって、上記訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張変更するものでない。
　
　イ．訂正事項ｂについて
　上記訂正事項ｂに関連する記載として、願書に添付した明細書には、「また圧電壁構造Ｂは図１３に示すような、底板部を圧電側壁と別構造とする下部基板１３を有する構造（以降、圧電側壁構造Ｂ’と呼ぶ）もある。」（段落【０００７】）、及び「（実施例３）圧電壁構造：圧電側壁構造Ｂ’(1)圧電基板接着　０．２５μｍ厚の２個の圧電基板を、分極方向が対抗する様に位置し、接着する。さらに、０．５μｍ厚のガラス基板を圧電基板に接着する。」（段落【００４０】）との記載がある。
  そうすると、上記訂正事項ｂは、願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内において、圧電材料からなる基板として、「接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された２枚」及び「圧電材料とは異なる材質の下部基板の片側に積層し、」を、構成要件として追加すると共に、切削加工により形成する溝として、「圧電材料からなる２枚の基板に該２枚の基板の厚みを合計した深さで」を、構成要件として追加して、新たな請求項１としたものと認める。
　したがって、上記訂正事項ｂは、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張変更するものでない。
　
　ウ．訂正事項ｃ〜ｎについて
　上記訂正事項ｃ〜ｎは、上記訂正事項ａ及びｂに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、発明の詳細な説明の記載を訂正したもので、明瞭でない記載の釈明を目的とするものであり、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張変更するものでない。
　
　エ．訂正事項ｏ〜ｒについて
　上記訂正事項ｏ〜ｒは、明らかな誤記の訂正を目的とするものであり、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張変更するものでない。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申し立てについての判断
　
（１）申立の理由の概要
　特許異議申立人松井弘三は、甲第１号証乃至甲第３号証を提出して、訂正前の請求項１乃至５に係る発明は、これらに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであると主張している。
　
（２）本件請求項１乃至５に係る発明
　本件請求項１乃至５に係る発明（以下、「本件発明１乃至５」という。）は、上記訂正によって訂正された明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至５に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　インクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、圧電材料からなる基板に切削加工により形成された溝と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材と、前記圧電材料からなる基板に積層された、圧電材料とは異なる材質の下部基板と、によって形成された流路を有し、前記溝の側壁には電極が形成され、前記電極に印加される駆動パルスにより前記流路の容積を収縮・膨張させて、前記ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、
　前記圧電材料からなる基板は、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された２枚の基板からなり、該積層された２枚の基板の厚みを合計した深さで切削されており、
　前記蓋部材に対向する前記溝の部位の断面形状が円弧形状であるインクジェットヘッド。
【請求項２】　前記溝に対向する前記蓋部材の部位に、断面形状が円弧形状である第２の溝が形成されている請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】　接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された圧電材料からなる２枚の基板を、圧電材料とは異なる材質の下部基板の片側に積層し、前記圧電材料からなる２枚の基板に該２枚の基板の厚みを合計した深さで切削加工により溝を形成する工程と、前記溝の側壁に電極を形成する工程と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材を接合する工程と、ノズルが形成されたノズルプレートを前記溝の一端と前記蓋部材の一端とに接合する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法において、
　前記蓋部材に対向する前記溝の部位の断面形状が円弧形状に切削加工されているインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】　前記切削加工は、ブレードの先端に所定の曲率を持たせたダイシングソーによる切削加工である請求項３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】　前記切削加工は、断面形状が所定の直径をもつ円形状であるワイヤーを用いたワイヤーソーによる切削加工である請求項３記載のインクジェットヘッドの製造方法。」
　
（３）引用刊行物に記載された発明
　当審が平成１４年９月４日付けで通知した取消理由に引用した刊行物１乃至４には、本件発明１乃至５に関連する事項として、以下のような事項が記載されている。
　
　ア．刊行物１：欧州特許出願公開第２７７７０３号明細書（１９８８）（異議申立人が回答書とともに提出した参考資料）（以下、訳は当審仮訳）
ａ．「第９（ａ）、９（ｂ）図において、パルス滴インクジェットプリントヘッド６００は底壁６０１、天壁６０２、およびその間の剪断モードアクチュエータ壁６０３からなり、アクチュエータ壁６０３は、矢印６０９、６１１で示すように天壁・底壁に垂直な方向を互いに逆に分極されている上部壁６０５、下部壁６０７からなっている。アクチュエータ壁６０３は一対となってその間に流路６１３を形成し、かつ、次の一対のアクチュエータ壁６０３の間には、流路６１３よりも狭い空間６１５を形成している。各流路６１３の一端はノズル６１８を有するノズルプレート６１７がそれぞれ固着され、各アクチュエータ壁６０３の両側には電極６１９、６２１が金属化層として設けられている。」（第８頁第１３欄第２９行〜第４５行）
ｂ．「各流路の電極に印加された電圧によって、流路に面した各壁が流路にむかって変形し、流路内のインクに圧力が加えられる。」（第８頁第１３欄第５７行〜同頁第１４欄第２行）
ｃ．「（５２）ａ）圧電物質の層で底壁を形成し、ｂ）該底壁内に、該圧電物質の層を通して伸びる多数の平行な溝を形成し、連続する溝の間に圧電物質の壁を形成し、該壁の対向する対がその間にそれぞれ液体流路を画成し、ｃ）該壁が流路を横切る方向に剪断モードで変形するように電界が印加される位置の壁に電極を設け、ｄ）該電極に電気駆動回路手段を接続し、ｅ）前記壁に天壁を固着して液体流路を閉じ、ｆ）ノズルと給液手段を該液体流路に設けるステップからなる、マルチ流路アレイ・パルス滴付着装置の製造方法。（５３）さらに、二層の圧電物質を前記底壁に供給し、直立壁を供給するために該二層の両方を通して伸びる溝を形成し、流路を横切る同一方向に剪断モードで変形させるために電極をそれぞれ設けて電界を印加するときに各直立壁の上部・下部を適合させるステップを有する、特許請求の範囲第５２項記載の方法。」（第１３頁第２３欄第３１行〜同頁第２４欄第３行）
ｄ．「プリントヘッド６００は、まず、圧電セラミツクの分極層を底壁６０１・天壁６０２にラミネートすることにより作られる。各セラミツク層の厚みは上部壁６０５・下部壁６０７の高さに等しい。次に、平行な溝がダイアモンド屑を平行に散らした円板の回転によってカットされ、又は流路６１３と空間６１５の幅だけ指示されたレーザーによってカットされる。流路の線形密度に依存して、円板の１以上の回転によりカッティングがなされる。次に真空蒸着によって電極が分極壁面に形成され、続いて絶縁層が設けられ、上部壁６０５と下部壁６０７が接合・固着されて流路６１３と空間６１５が形成される。次に、その中にノズル６１８が穿孔されているノズルプレート６１７が、流路と空間の一端に接合され、流路と空間の他端がアース６２３とシリコン・チップ６２５に接続される。」（第８頁第１４欄第１３行〜第３５行）
ｅ．「第９（ａ）、９（ｂ）図の構造の変形として、圧電物質の単シートが垂直に分極され、分極は隣の上面と下面では逆方向になっている。逆方向に分極された中間域は非変形域である。シートが底層にラミネートされ、次に流路がカットされ空間溝が間に設けられ、対向分極層が底層にラミネートされ、その中に溝が作られる。」（第９頁第１５欄第３５行〜第４９行）
　
　イ．刊行物２：特開平２−１５０３５５号公報（甲第１号証）
ａ．「第３図において、溝（１２）は均一な深さの前方部材（３６）を含み、この部材は前方においてノズルプレート（３８）によつて閉鎖され、このノズルプレートにはノズル（４０）が備えてあつてこのノズルから溝中のインク液滴が溝の対向作動壁（１６）の作動によつて押出される。」（第６頁左下欄第６行〜第１０行）
ｂ．「第１図を参照して、インクジエツト・プリントヘツド（１０）は多数の平行なインク溝を含み、これらの溝は溝の長さ方向に対して垂直の整列方向に相互に間隔をおいて配備されている。これらの溝は矢印（１５）の方向に極性をもつピエゾ電気材料（好適にはＰＺＴ）の底部シート（１４）中に１ｍｍ当り２個以上の溝密度で形成されており、側壁（１６）および底面（１８）によつてそれぞれ構成される。」（第５頁左下欄第６行〜第１２行）
ｃ．「シート（１４）中の溝の切込みは欧州特許出願第８８３０８５１５．１号または英国特許出願第８９１１３１２．０号に記載されている種類のダイス・カッターを使用するグラインデイングによつて行なわれる。」（第６頁右下欄第１４行〜第７頁左上欄第２行）
ｄ．「溝（１２）は頂部解放であり、絶縁部材の頂部シート（２０）によつてプリントヘッド中で閉鎖されている。」（第５頁左下欄第１３行〜第１５行）
ｅ．「第２図および第３図を参照して、溝（１２）はその対向壁（１６）を備えてあり、金属化電極（３４）が壁（１６）の頂部の縁から該壁を降下して溝の底面（１８）のすぐ近くの位置にまでのびている。」（第６頁右上欄第１１行〜第１４行）
ｆ．「第６図を参照して、本発明を欧州特許出願第８８３００１４６．３号（公開番号第０２７８５９０号）の第２（ａ）図〜第２（ｄ）図を参照して述べられているプリントヘッド（１０）の形体に応用するものとして説明する。すなわち、ピエゾ電気材料の同様の上部シートおよび下部シートに金属化電極（３４）付きの対応する溝（１２）を形成し、上部シートを下部シートに対して逆さにすることによつてこれらのシートを一緒に締着させ、対応する溝の側壁の頂部間に結合層（２２）を与える。」（第７頁右下欄第６行〜第１４行）
ｇ．「第８図は第２、３、５、６および７図に示す本発明の具体例のシート（２０）の代りに使用しうる絶縁材料のシート（２０’）を示す。このシート（２０’）はシート（１４）の溝に対応する浅い溝を備えており、逆にした後にシート（１４）に結合される。」（第８頁右上欄第９行〜第１３行）
　
　ウ．刊行物３：特開平３−２９３１４６号公報（甲第２号証）
ａ．「第８図に示すように、複数の溝２１および２２が形成された圧電体で構成された上インク室ブロック２３と下インク室ブロック２４とがそれぞれ互いに結合され、圧電アクチュエータを形成している。ノズルプレート２５が各インク室ブロック２３及び２４の接合体の前面に結合される。ノズルプレート２５の各ノズル２８はインク室となる溝に連通するように形成されている。　第９図に示すように、上インク室ブロック２３と下インク室ブロック２４にそれぞれ形成された各溝２１及び２２の内面には、電極２６が設けられている。インク室２７内の電極２６および隣接する他の電極２６には、図示のように信号電圧が印加される。信号電圧が印加されると圧電アクチュエータが剪断変形し、各インク室２７は図中の一点鎖線で表すように変形する。即ちインク室２７はインクの噴射方向に垂直な方向に圧縮されノズルプレート２５に設けられたノズル２８から噴射される。」（第２頁左上欄第２行〜第２０行）
　
　エ．刊行物４：特開平４−１４８９３４号公報（甲第３号証）
ａ．「そして、溝５２ａ、５２ｂ、５２ｃの一方の端は共通のインクだめよりインクが供給できるようにしてあり、他方の端には小さなノズル穴５３ａ、５３ｂ、５３ｃのあるノズル板が接着されている。」（第２頁左上欄第１６行〜第２０行）
ｂ．「第１図（ａ）は第５図（ａ）に対応する本発明によるインクジェットヘッドの構成の一例で、圧電性素材の基板１にインク室兼インク流路の溝２ａ、２ｂ、２ｃ等を直接に形成する事が本発明に係わる点である。溝の形成は、例えばワイヤーソーを用いて行う。」（第３頁右上欄第５行〜第１０行）
ｃ．「又、隔壁５ａｂなどは、シリコンゴムよりなる厚さ１０μｍの弾性部材９によりアルミナ板の蓋６に柔軟に接着されている。ノズル穴３ａ、３ｂ、３ｃはステンレス板のエッチングによる直径３５μｍの丸穴である。」（第３頁左下欄第８行〜第１０行）
ｄ．「尚、電極は第５図で説明した駆動の原理から明らかなように隔壁の側面全体に形成する必要があるのは勿論であるが、一つの溝内では底部にも形成して４ａ、４ｂ、４ｃの様に一体とした。」（第３頁右上欄第１４行〜第１７行）
ｅ．「第５図（ｂ）は駆動時の断面図で、第５図（ａ）の電極５４ａ２に電極５４ｂ１に対し十分大きな正の電位を与えるならば隔壁５５ａｂはせん断モードの変形をおこす。この時、通常は接着層５８に比べて弾性部材５９の柔軟性が高いので、隔壁５５ａｂの変形は第５図（ｂ）に示したようにおもに蓋５６に対する変位となって現れる。同様の事を、隔壁５５ｂｃ（通常５４ｂ１、５４ｂ２は同電位とする）についても行えば、インク室兼インク流路の溝５２ｂの断面積は図のように減少する。溝内にインクを充填しておけば、この溝の体積減少によってインクの圧力は瞬間的に上昇し、インク滴がノズル穴５３ｂより飛び出す。」（第２頁右上欄第８行〜第２０行）
　
（４）対比・判断
　ア．本件発明１について
　まず、本件発明１と上記刊行物１に記載された発明とを対比するに、
　上記（３）ア．ａ．乃至ｄ．を含む明細書及び図面の記載からみて、上記刊行物１には、下記の発明が記載されていると認める。
「インクを吐出するノズル６１８が形成されたノズルプレート６１７と、圧電セラミツクの分極層に円板の回転により形成された溝と、前記溝を覆う圧電セラミツクとは異なる天壁６０２と、前記圧電セラミツクの分極層に積層された、圧電セラミツクとは異なる材質の底壁６０１と、によって形成された流路６１３を有し、前記溝の側壁には電極６１９・６２１が形成され、前記電極６１９・６２１に印加される電圧により前記流路６１３の容積を収縮・膨張させて、前記ノズル６１８からインクを吐出するパルス滴インクジェットプリントヘッド６００において、
　前記圧電セラミツクの分極層は、接合・固着部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された上部壁６０５と下部壁６０７からなり、該積層された上部壁６０５と下部壁６０７の厚みを合計した深さで切削されているインクジェットヘッド」（以下、「刊行物１−１発明」という。）
　本件発明１と、刊行物１−１発明とを対比する。
　刊行物１−１発明の「ノズル６１８」、「ノズルプレート６１７」、「圧電セラミツクの分極層」、「圧電セラミツク」、「円板の回転」、「溝」、「天壁６０２」、「底壁６０１」、「流路６１３」「電極」、「電圧」、「パルス滴インクジェットプリントヘッド６００」、「接合・固着部」及び「上部壁６０５と下部壁６０７」は、それぞれの機能に照らしそれぞれ、本件発明１の「ノズル」、「ノズルプレート」、「圧電材料からなる基板」、「圧電材料」、「切削加工」、「溝」、「圧電材料とは異なる蓋部材」、「圧電材料とは異なる材質の下部基板」、「流路」「電極」、「駆動パルス」、「インクジェットヘッド」、「接合部」及び「２枚の基板」に相当する。
　そうすると、本件発明１と刊行物１−１発明とは、
「インクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、圧電材料からなる基板に切削加工により形成された溝と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材と、前記圧電材料からなる基板に積層された、圧電材料とは異なる材質の下部基板と、によって形成された流路を有し、前記溝の側壁には電極が形成され、前記電極に印加される駆動パルスにより前記流路の容積を収縮・膨張させて、前記ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、
　前記圧電材料からなる基板は、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された２枚の基板からなり、該積層された２枚の基板の厚みを合計した深さで切削されているインクジェットヘッド。」
である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点］
　蓋部材に対向する溝の部位の断面形状に関して、本件発明１は円弧形状であるのに対し、刊行物１−１発明は円弧形状ではない点。
　
  しかし、上記刊行物１には、蓋部材に対向する溝の部位の断面形状が円弧形状である点について、記載も示唆もされていない。
　また、この点は、上記刊行物２乃至４のいずれにも、記載も示唆もされていない。
　なお、異議申立人は、刊行物３の第８図及び第９図には、溝２２の底部の断面形状を円弧形状にしたことが図示されていると主張している。しかしながら、刊行物３の第８図及び第９図には、両側の側壁の形状が直線上でその両者に連続される上面と底面の壁の形状が曲線となっている溝の断面形状が示されているとは認められるが、刊行物３の他の箇所には、その溝の断面形状、その技術的意義又はその形成方法等については何ら記載されていないから、上記第８図及び第９図は、多数の溝がインク室ブロック２３及び２４に並列的に形成されていることを示す単なる概念図にすぎない。そうすると、刊行物３に、溝の底部の断面形状が円弧形状である点が記載されているとすることはできない。
　そして、本件発明１は、この点を具備することにより、インク滴の吐出速度、応答周波数、気泡の排出性の良好なインクジェットヘッドを提供できるという上記刊行物１乃至４に記載されていない作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、上記刊行物１乃至４に記載されたものと同一といえないばかりでなく、これらから当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
　
　イ．本件発明２について
　本件発明２は、本件発明１を引用し、その構成要件のすべてを具備するものであるから、本件発明１の判断と同様な理由で、上記刊行物１乃至４に記載されたものと同一といえないばかりでなく、これらから当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
　
  ウ．本件発明３について
　まず、本件発明３と上記刊行物１に記載された発明とを対比するに、
　上記（３）ア．ａ．乃至ｄ．を含む明細書及び図面の記載からみて、上記刊行物１には、下記の発明が記載されていると認める。
「圧電セラミツクの分極層を底壁６０１の片側に積層し、圧電セラミツクの別の分極層を天壁６０２の片側に積層し、前記圧電セラミツクの分極層に該圧電セラミツクの分極層の厚み分の深さで円板の回転により溝を形成し、前記圧電セラミツクの別の分極層に該別の分極層の厚み分の深さで円板の回転により溝を形成する工程と、前記溝の側壁に電極を形成する工程と、接合・固着部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように前記圧電セラミツクの分極層と前記圧電セラミツクの別の分極層を接合する工程と、ノズル６１８が形成されたノズルプレート６１７を前記流路６１３の一端と前記天壁６０２の一端とに接合する工程と、を含むパルス滴インクジェットプリントヘッド６００の製造方法。」（以下、「刊行物１−２発明」という。）
　本件発明３と、刊行物１−２発明とを対比する。
　刊行物１−２発明の「圧電セラミツクの分極層」「底壁６０１」「天壁６０２」「円板の回転」「溝」「電極」「接合・固着部」「ノズル６１８」「ノズルプレート６１７」「パルス滴インクジェットプリントヘッド６００」は、それぞれの機能に照らしそれぞれ、本件発明３の「圧電材料からなる基板」「圧電材料とは異なる材質の下部基板」「圧電材料とは異なる蓋部材」「切削加工」「溝」「電極」「接合部」「ノズル」「ノズルプレート」「インクジェットヘッド」に相当する。
　そうすると、本件発明３と刊行物１−２発明とは、
「圧電材料からなる基板を圧電材料とは異なる材質の下部基板の片側に積層し、圧電材料からなる別の基板を圧電材料とは異なる蓋部材の片側に積層し、前記圧電材料からなる基板に該基板の厚み分の深さで切削加工により溝を形成し、前記圧電材料からなる別の基板に該別の基板の厚み分の深さで切削加工により溝を形成する工程と、前記溝の側壁に電極を形成する工程と、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように前記圧電材料からなる基板と圧電材料からなる別の基板を接合する工程と、ノズルが形成されたノズルプレートを前記溝の一端と前記蓋部材の一端とに接合する工程と、を含むインクジェットヘッドの製造方法。」
である点で一致し、次の点で相違する。
［相違点１］
　切削加工により溝を形成する対象物が、本件発明３は、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された圧電材料からなる２枚の基板を、圧電材料とは異なる材質の下部基板の片側に積層したものであるのに対し、刊行物１−２発明は、圧電材料からなる基板を圧電材料とは異なる材質の下部基板の片側に積層したもの、及び圧電材料からなる別の基板を圧電材料とは異なる蓋部材の片側に積層したものである点。
［相違点２］
　蓋部材に対向する溝の部位の断面形状に関して、本件発明３は円弧形状であるのに対し、刊行物１−２発明は円弧形状ではない点。
　
　しかし、上記刊行物１には、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された圧電材料からなる２枚の基板を、圧電材料とは異なる材質の下部基板の片側に積層したものに対して、切削加工により溝を形成する点、及び蓋部材に対向する溝の部位の断面形状が円弧形状である点について、記載も示唆もされていない。
　また、これらの点は、上記刊行物２乃至４のいずれにも、記載も示唆もされていない。
　なお、異議申立人は、刊行物３の第８図及び第９図には、溝２２の底部の断面形状を円弧形状にしたことが図示されていると主張している。しかしながら、刊行物３の第８図及び第９図には、両側の側壁の形状が直線上でその両者に連続される上面と底面の壁の形状が曲線となっている溝の断面形状が示されているとは認められるが、刊行物３の他の箇所には、その溝の断面形状、その技術的意義又はその形成方法等については何ら記載されていないから、上記第８図及び第９図は、多数の溝がインク室ブロック２３及び２４に並列的に形成されていることを示す単なる概念図にすぎない。そうすると、刊行物３に、溝の底部の断面形状が円弧形状である点が記載されているとすることはできない。
　そして、本件発明３は、これらの点を具備することにより、インク滴の吐出速度、応答周波数、気泡の排出性の良好なインクジェットヘッドを提供できるという上記刊行物１乃至４に記載されていない作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明３は、上記刊行物１乃至４に記載されたものと同一といえないばかりでなく、これらから当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
　 
　エ．本件発明４及び５について
　本件発明４及び５は、本件発明３を引用し、その構成要件のすべてを具備するものであるから、本件発明３の判断と同様な理由で、上記刊行物１乃至４に記載されたものと同一といえないばかりでなく、これらから当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件請求項１乃至５に係る発明についての特許は、特許異議申し立ての理由によっては取り消すことはできなく、また、他に、本件請求項１乃至５に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項１乃至５に係る発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものとは認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）４条２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年２月６日（２００３．２．６）
【訂正の要旨】
＜特許請求の範囲の減縮＞
（訂正事項ａ）
　明細書、特許請求の範囲の請求項１を、特許請求の範囲の減縮を目的として、以下のように訂正する。
「　　【請求項１】　インクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、圧電材料からなる基板に切削加工により形成された溝と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材
と、前記圧電材料からなる基板に積層された、圧電材料とは異なる材質の下部基板と、
　前記圧電材料からなる基板は、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された２枚の基板からなり、該積層された２枚の基板の厚みを合計した深さで切削されており、
　前記蓋部材に対向する前記溝の部位の断面形状が円弧形状であるインクジェットヘッド。　」
（訂正事項ｂ）
　明細書、特許請求の範囲の請求項３を、特許請求の範囲の減縮を目的として、以下のように訂正する。
「　　【請求項３】　
接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された
２枚の
を、圧電材料とは異なる材質の下部基板の片側に積層し、前記圧電材料からなる２枚の基板に該２枚の基板の厚みを合計した深さで
　前記蓋部材に対向する前記溝の部位の断面形状が円弧形状に切削加工されているインクジェットヘッドの製造方法。　」
＜明りょうでない記載の釈明＞
（訂正事項ｃ）
　明細書の段落００１１を、明りょうでない記載の釈明を目的として、以下のように訂正する。
「　　　【００１１】
　【課題を解決するための手段】
　本発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、圧電材料からなる基板に切削加工により形成された溝と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材
と、前記圧電材料からなる基板に積層された、圧電材料とは異なる材質の下部基板と、
前記圧電材料からなる基板は、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された２枚の基板からなり、該積層された２枚の基板の厚みを合計した深さで切削されており、
接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された
２枚の
を、圧電材料とは異なる材質の下部基板の片側に積層し、前記圧電材料からなる２枚の基板に該２枚の基板の厚みを合計した深さで
（訂正事項ｄ）
　明細書の段落００１３中、「図１は、本発明の一実施例を示す流路の断面図である。」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として、「図１は、本発明
の流路構造の説明に供する参考
（訂正事項ｅ）
　明細書の段落００２１、第１行、「（実施例１）」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として、「（比較例１）」と訂正する。
（訂正事項ｆ）
　明細書の段落００３０、第１行、「（実施例２）」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として、「（比較例２）」と訂正する。
（訂正事項ｇ）
　明細書の段落００４０、第１行、「（実施例３）」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として、「（実施例１）」と訂正する。
（訂正事項ｈ）
　明細書の段落００５０、第１行、「（実施例４）」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として、「（実施例２）」と訂正する。
（訂正事項ｉ）
　明細書の段落００６０、第１行、「（実施例５）」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として、「（実施例３）」と訂正する。
（訂正事項ｊ）
　明細書の段落００８２、第１行、「（比較例）」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として、「（比較例３）」と訂正する。
（訂正事項ｋ）
　明細書の段落００９１を以下のように訂正する。
「　　【００９１】
　
実施例１〜３、比較例１〜３
（訂正事項ｌ）
　明細書の段落００９５の表１中、「実施例１」を「比較例１」に、「実施例２」を「比較例２」に、「実施例３」、「実施例４」、「実施例５」をそれぞれ「実施例１」、「実施例２」、「実施例３」に、「比較例」を「比較例３」に、訂正する。
（訂正事項ｍ）
　明細書の段落００９６を、明りょうでない記載の釈明を目的として、以下のように訂正する。
「　　【００９６】
　【発明の効果】
　以上述べてきたように本発明によれば、インク滴の吐出速度、応答周波数、気泡の排出性の良好なインクジェットヘッドを提供できるという優れた効果がある。　
（訂正事項ｎ）
　明細書の「図面の簡単な説明」の図１から図９までの記載を、明りょうでない記載の釈明を目的として、以下のように訂正する。
「　【図１】　（ａ）〜（ｂ）本発明のインクジェットヘッドの流路形状
の説明に供する参考
　【図２】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の説明に供する参考
　【図３】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の説明に供する参考
　【図４】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の説明に供する参考
　【図５】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の説明に供する参考
　【図６】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の説明に供する参考
　【図７】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の説明に供する参考
　【図８】　本発明のダイヤモンドブレードによる加工状態
の説明に供する参考
　【図９】　本発明のワイヤソーによる加工
の説明に供する参考
＜誤記の訂正＞
（訂正事項ｏ）
　明細書の段落００２１、第２行、「圧電側壁構造Ｂ」とあるのを、誤記の訂正を目的として、「圧電側壁構造Ａ」と訂正する。
（訂正事項ｐ）
　明細書の段落００２９、００３９、００４９、００５９、００７０、００９０において、「また２、４、６、８、１０パルス」とあるのを、誤記の訂正を目的として、「また２億、４億、６億、８億、１０億パルス」と訂正する。
（訂正事項ｑ）
　明細書の段落００６０、第２行、「圧電側壁構造Ａ」とあるのを、誤記の訂正を目的として、「圧電側壁構造Ｂ’」と訂正する。
（訂正事項ｒ）
　明細書の段落００９５の表１中、「耐久性（パルス）」とあるのを、誤記の訂正を目的として、「耐久性（億パルス）」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
インクジェットヘッドとその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　インクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、圧電材料からなる基板に切削加工により形成された溝と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材
と、前記圧電材料からなる基板に積層された、圧電材料とは異なる材質の下部基板と、
　前記圧電材料からなる基板は、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された２枚の基板からなり、該積層された２枚の基板の厚みを合計した深さで切削されており、
　前記蓋部材に対向する前記溝の部位の断面形状が円弧形状であるインクジェットヘッド。
　【請求項２】　前記溝に対向する前記蓋部材の部位に、断面形状が円弧形状である第２の溝が形成されている請求項１記載のインクジェットヘッド。
　【請求項３】　
接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された
２枚の
を、圧電材料とは異なる材質の下部基板の片側に積層し、前記圧電材料からなる２枚の基板に該２枚の基板の厚みを合計した深さで
　前記蓋部材に対向する前記溝の部位の断面形状が円弧形状に切削加工されているインクジェットヘッドの製造方法。
　【請求項４】　前記切削加工は、ブレードの先端に所定の曲率を持たせたダイシングソーによる切削加工である請求項３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
　【請求項５】　前記切削加工は、断面形状が所定の直径をもつ円形状であるワイヤーを用いたワイヤーソーによる切削加工である請求項３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明はインクジェットヘッドに関する。更に詳しくは、インク液滴を選択的に記録媒体に付着させるインクジェットヘッドに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　近年インクジェットプリンタは高速印字、低騒音、高印字品位等の利点から、急速に発展している。インクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドにはいくつかの方式が提案されているが、一般的には二つの方式に分けることができる。すなわち第一の方式は圧電材料を使用して、インクチャンバー内に圧力パルスを発生させ、ノズルからインク滴を吐出させる。第二の方式は発熱抵抗体を使用して、インクチャンバー内に蒸気バブルを発生させ、ノズルからインク滴を吐出させる。
　【０００３】
　第二の方式は、発熱抵抗体の急速な加熱冷却を繰り返すために、容易に発熱抵抗体が劣化し、耐久性に乏しいという課題がある。また蒸気バブルが発生するインクしか使えないという課題もある。これに対して第一の方式は前述の課題を持たない。しかしながら第一の方式は圧電材料の効率が低いため、インクジェットヘッド自体が大型化する。また複雑な製造工程となり、大量生産に適さなく、結果として高価なものとなる。さらにノズル密度の高密度化が困難なため、高印字品位を得にくい。これらの課題がある為、広く普及するには至っていない。
　【０００４】
　第一の方式の課題を解決する方法として、特開昭６３ー２４７５０１号公報に、ノズルの並び方向に互いに間隔を有する複数の平行な長方形の断面積の流路を有し、前記流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電材料で構成され、前記側壁が流路の並び方向に平行な変形をし、前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたインク滴を吐出せしめるインクジェットヘッドが提案されている。
　【０００５】
　従来例のインクジェットヘッドの構造を図１０をもとに説明する。図１０はインクジェットヘッドの構造を示す図で、１は圧電基板、２はノズル形成部材、３はノズル開口、４は流路、５は圧電材料からなる側壁（以下、圧電側壁と略す）、７はインク供給口、８はスリット基板、９はインク排出口、１０は電極、１７はインクチューブである。このインクジェットヘッドは互いに平行な流路４が多数形成されている。流路４の一端はノズル形成基板２に形成されたノズル開口３に接続し、流路４の他の一端は、スリット基板８により構成されるスリット状のインク排出口９に接続する。また、流路４は、流路ピッチに合わせたインク供給口７を有する上部基板により蓋をされ、各流路４に対応するインク供給口７を経て、インクチューブ１７によりインク貯蔵タンク（図示せず）に接続している。電極１０は流路から圧電基板１上の導電線につながり、電気的アクチュエート手段（図示せず）に接続される。各流路４を区画する圧電材料の側壁５は流路方向に対して垂直方向１１に分極されている。
　【０００６】
　次に従来例の吐出動作を、流路の断面を示す図１１を基に説明する。図１１（ａ）は電圧パルスが印加がされない状態を示す図、図１１（ｂ）は電圧パルスが印加された状態を示す図である。図１１（ａ）に於て、圧電側壁５は両面に形成された電極１０に、電気的アクチュエート手段（図示せず）より電圧パルスを印加されない為、変形していない。図１１（ｂ）に於て、電圧パルスを印加されると圧電側壁５が上部にズリ方向に変形し、発生する圧力により流路４を満たされているインクの一部をノズル開口（図示せず）からインク滴として吐出させ、他の一部をインク供給口（図示せず）を経てインク貯蔵タンク側に排出する。インク滴吐出後のノズル部へのインクの供給は、ノズル開口の毛管力により、インク貯蔵タンクからインク供給口と流路を経てノズル開口へ供給される。
　【０００７】
　また従来の圧電側壁には別の構造もある。以降、前述の構造を圧電側壁構造Ａと呼び、これから説明する構造を圧電側壁構造Ｂと呼ぶ。図１２を基に圧電側壁構造Ｂを説明する。図１２（ａ）に於て、圧電側壁５は分極方向１１が異なる２個の圧電側壁、すなわち圧電側壁５Ａと圧電側壁５Ｂとにより形成されている。圧電側壁５は両面に形成された電極１０に、電気的アクチュエート手段（図示せず）より電圧パルスを印加されない為、変形していない。図１２（ｂ）に於て、電圧パルスを印加されると圧電側壁５Ａ、５Ｂとも圧電側壁の接合面にズリ変形し、発生する圧力により流路４を満たすインクの一部をノズル開口（図示せず）からインク滴として吐出させ、他の一部をインク供給口（図示せず）を経てインク貯蔵タンク側に排出する。インク滴吐出後のノズル部へのインク供給は、ノズル開口の毛管力によりインク貯蔵タンクよりインク供給口と流路４を経てノズル開口へ供給される。また圧電壁構造Ｂは図１３に示すような、底板部を圧電側壁と別構造とする下部基板１３を有する構造（以降、圧電側壁構造Ｂ’と呼ぶ）もある。
　【０００８】
　さらに従来例では、圧電側壁の形成方法についても提案されている。それは圧電基板をダイシングソーのダイヤモンドブレードにより溝加工し、圧電側壁を形成するものである。従来のダイシングソーのダイヤモンドブレード２１は図１４に示すような内円２４を持つドーナツ状の円である。そしてその断面形状は図１５に示すような先端が角張った形状である。この理由は、ダイヤモンドブレードの製造方法による。通常ダイヤモンドブレードはダイヤモンド粒子を含むスラリーを焼結し、研磨することにより作成される。焼結後のダイヤモンドブレードは図１６に示すように、厚さが不均一で且つ歪みを持っている。その為、精密研磨しこれらを除去する。研磨により図１４の形状になる。溝加工の状態を図１７を基に説明する。圧電基板１を先端が角張ったダイヤモンドブレード２１で回転切削加工すると、得られる溝の形状は図示されるように角張った形状になる。
　【０００９】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、従来例のインクジェットヘッドは高密度化には有効であるが、図１７に示される流路の角張った部分に気泡が溜り易く、吐出不能になりがちである。またこの傾向はインク速度、応答周波数を高めると顕著になり、これらを高めれなかった。そのため吐出性能が低かった。
　【００１０】
　本発明はかかる問題を解決するもので、高密度で且つ、吐出不良にならなく、吐出性能の高いインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
　【００１１】
　【課題を解決するための手段】
　本発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズルが形成されたノズルプレートと、圧電材料からなる基板に切削加工により形成された溝と、前記溝を覆う圧電材料とは異なる蓋部材
と、前記圧電材料からなる基板に積層された、圧電材料とは異なる材質の下部基板と、
前記圧電材料からなる基板は、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された２枚の基板からなり、該積層された２枚の基板の厚みを合計した深さで切削されており、
接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層された
２枚の
を、圧電材料とは異なる材質の下部基板の片側に積層し、前記圧電材料からなる２枚の基板に該２枚の基板の厚みを合計した深さで
　【００１２】
　【実施例】
　以下に図を用いて本発明を説明する。
　【００１３】
　まず図１に本発明のインクジェットプリンタヘッドの一例を示し、構造を説明する。図１は、本発明
の流路構造の説明に供する参考
　【００１４】
　次に本発明のインクジェットヘッドの製造方法を、図２〜図７を用いて説明する。図２の１は圧電基板を示し、以下の工程よりインクジェットヘッドが製造される。
　【００１５】
　（１）溝加工工程：図３
　圧電基板１を溝加工し、圧電側壁５を形成する工程。
　【００１６】
　（２）電極形成工程：図４
　圧電側壁５に電極１０を形成する工程。電極形成装置は真空蒸着装置、スパッタリング装置等を用いる。
　【００１７】
　（３）不用電極除去工程：図５
　基板上面の電極を除去する工程。除去は基板上面を研磨する。
　【００１８】
　（４）上蓋接着工程：図６
　圧電側壁５が形成された圧電基板１に上部基板６を接着する工程。
　【００１９】
　（５）ノズルプレート接着工程：図７
　圧電基板１、上部基板６の端面にノズル開口３を持つノズル形成部材２を接着する工程
　本発明のインクジェットヘッドの製造方法の中で溝加工工程は流路の断面形状を得るために最も重要な工程である。そのため本発明者は検討に検討を重ねることにより、以下の方法で本発明の目的形状を得ることができることを見いだした。
　【００２０】
　それは、ダイヤモンドブレードを図８に示すような先端を丸めた形状に形成すること、及びワイヤーソーにより溝加工することである。ワイヤーソーは図９に示すように、円状の断面形状のワイヤーに、砥粒２３を分散した研磨液を付着させ、ワイヤーを被加工物に対して摺動させ加工する。本発明者は目的の形状を得る為に、ワイヤーの送り速度が加工品質に重要な影響を与える事を見いだした。以下具体的に実施例と比較例を挙げ本発明を説明する。
　【００２１】
　
（比較例１）
　圧電壁構造：
圧電側壁構造Ａ
　（１）溝加工工程
　１ｍｍ厚の圧電基板をダイシングソーにより溝加工し、圧電側壁を形成する。ダイヤモンドブレードは厚さ７０μｍ、先端曲率半径３５ｕｍを用い、ピッチ１６９μｍで加工する。得られた溝幅は８０μｍである。
　【００２２】
　（２）電極形成工程
　圧電側壁に真空蒸着機により電極を形成する。電極はＮｉを２μｍ成膜する。
　（３）不用電極除去工程
　基板上面の電極を研磨機により除去する。
　【００２３】
　（４）上蓋接着工程
　圧電側壁が形成された圧電基板にガラス上蓋を接着する。接着材は流れだしの少ないものが好ましい。
　【００２４】
　（５）ノズルプレート接着工程
　圧電基板、上蓋の端面にノズルプレートを接着する。接着材は流れだしの少ないものが好ましい。
　【００２５】
　（６）インク供給手段、印加パルスを発生する駆動手段と接続しインクジェットヘッドを作成する。
　【００２６】
　（７）インクジェットヘッドに粘度２ｃｐｓのインクを注入する。
　【００２７】
　（８）電圧５０ｖ、パルス幅２０μｓｅｃの駆動パルスをインクジェットヘッドに印加する。
　【００２８】
　駆動パルスは連続して１０億パルスまで印加した。
　【００２９】
　（９）インク滴の吐出速度、応答周波数、気泡の排出性を評価、測定した。
また２億、４億、６億、８億、１０億パルス
　【００３０】
　
（比較例２）
　圧電壁構造：圧電側壁構造Ｂ
　（１）圧電基板接着
　０．２５ｍｍ厚の圧電基板と０．７５ｍｍ厚の圧電基板を、分極方向が対抗する様に位置し、接着する。
　【００３１】
　（２）溝加工工程
　圧電基板をダイシングソーにより０．２５ｍｍ厚の圧電基板面から溝加工し、圧電側壁を形成する。ダイヤモンドブレードは厚さ７０μｍ、先端曲率半径３５μｍを用い、ピッチ１６９μｍ、溝深さ５００μｍで加工する。得られた溝幅は８０μｍである。
　【００３２】
　（３）電極形成工程
　圧電側壁に真空蒸着機により電極を形成する。電極はＮｉを２μｍ成膜する。
　（４）不用電極除去工程
　基板上面の電極を研磨機により除去する。
　【００３３】
　（５）上蓋接着工程
　圧電側壁が形成された圧電基板にガラス上蓋を接着する。接着材は流れだしの少ないものが好ましい。
　【００３４】
　（６）ノズルプレート接着工程
　圧電基板、上蓋の端面にノズルプレートを接着する。接着材は流れだしの少ないものが好ましい。
　【００３５】
　（７）インク供給手段、印加パルスを発生する駆動手段と接続しインクジェットヘッドを作成する。
　【００３６】
　（８）インクジェットヘッドに粘度２ｃｐｓのインクを注入する。
　【００３７】
　（９）電圧５０ｖ、パルス幅２０μｓｅｃの駆動パルスをインクジェットヘッドに印加する。
　【００３８】
　駆動パルスは連続して１０億パルスまで印加した。
　【００３９】
　（１０）インク滴の吐出速度、応答周波数、気泡の排出性を評価、測定した。
また２億、４億、６億、８億、１０億パルス
　【００４０】
　
（実施例１）
　圧電壁構造：圧電側壁構造Ｂ’
　（１）圧電基板接着
　０．２５ｍｍ厚の２個の圧電基板を、分極方向が対抗する様に位置し、接着する。さらに、０．５ｍｍ厚のガラス基板を圧電基板に接着する。
　【００４１】
　（２）溝加工工程
　圧電基板をダイシングソーにより０．２５ｍｍ厚の圧電基板面から溝加工し、圧電側壁を形成する。ダイヤモンドブレードは厚さ７０μｍ、先端曲率半径３５μｍを用い、ピッチ１６９μｍ、溝深さ５００μｍで加工する。得られた溝幅は８０μｍである。
　【００４２】
　（３）電極形成工程
　圧電側壁に真空蒸着機により電極を形成する。電極はＮｉを２μｍ成膜する。
　（４）不用電極除去工程
　基板上面の電極を研磨機により除去する。
　【００４３】
　（５）上蓋接着工程
　圧電側壁が形成された圧電基板にガラス上蓋を接着する。接着材は流れだしの少ないものが好ましい。
　【００４４】
　（６）ノズルプレート接着工程
　圧電基板、上蓋の端面にノズルプレートを接着する。接着材は流れだしの少ないものが好ましい。
　【００４５】
　（７）インク供給手段、印加パルスを発生する駆動手段と接続しインクジェットヘッドを作成する。
　【００４６】
　（８）インクジェットヘッドに粘度２ｃｐｓのインクを注入する。
　【００４７】
　（９）電圧５０ｖ、パルス幅２０μｓｅｃの駆動パルスをインクジェットヘッドに印加する。
　【００４８】
　駆動パルスは連続して１０億パルスまで印加した。
　【００４９】
　（１０）インク滴の吐出速度、応答周波数、気泡の排出性を評価、測定した。
また２億、４億、６億、８億、１０億パルス
　【００５０】
　
（実施例２）
　圧電壁構造：圧電側壁構造Ｂ’
　（１）圧電基板接着
　０．２５ｍｍ厚の２個の圧電基板を、分極方向が対抗する様に位置し、接着する。さらに、０．５ｍｍ厚のガラス基板を圧電基板に接着する。
　【００５１】
　（２）溝加工工程
　圧電基板をワイヤーソーにより０．２５ｍｍ厚の圧電基板面から溝加工し、圧電側壁を形成する。ワイヤーソーのワイヤーは径７５μｍを用い、ピッチ１６９μｍ、溝深さ５００μｍで加工する。研磨液のダイヤモンド粒子の粒径は５μｍを用いた。得られた溝幅は８０μｍである。
　【００５２】
　（３）電極形成工程
　圧電側壁に真空蒸着機により電極を形成する。電極はＮｉを２μｍ成膜する。
　（４）不用電極除去工程
　基板上面の電極を研磨機により除去する。
　【００５３】
　（５）上蓋接着工程
　圧電側壁が形成された圧電基板にガラス上蓋を接着する。接着材は流れだしの少ないものが好ましい。
　【００５４】
　（６）ノズルプレート接着工程
　圧電基板、上蓋の端面にノズルプレートを接着する。接着材は流れだしの少ないものが好ましい。
　【００５５】
　（７）インク供給手段、印加パルスを発生する駆動手段と接続しインクジェットヘッドを作成する。
　【００５６】
　（８）インクジェットヘッドに粘度２ｃｐｓのインクを注入する。
　【００５７】
　（９）電圧５０ｖ、パルス幅２０μｓｅｃの駆動パルスをインクジェットヘッドに印加する。
　【００５８】
　駆動パルスは連続して１０億パルスまで印加した。
　【００５９】
　（１０）インク滴の吐出速度、応答周波数、気泡の排出性を評価、測定した。
また２億、４億、６億、８億、１０億パルス
　【００６０】
　
（実施例３）
　圧電壁構造：
圧電側壁構造Ｂ’
　（１）圧電基板接着
　０．２５ｍｍ厚の２個の圧電基板を、分極方向が対抗する様に位置し、接着する。さらに、０．５ｍｍ厚のガラス基板を圧電基板に接着する。
　【００６１】
　（２）溝加工工程
　圧電基板をダイシングソーにより０．２５ｍｍ厚の圧電基板面から溝加工し、圧電側壁を形成する。ダイヤモンドブレードは厚さ７０μｍ、先端曲率半径３５μｍを用い、ピッチ１６９μｍ、溝深さ５００μｍで加工する。得られた溝幅は８０μｍである。
　【００６２】
　（３）電極形成工程
　圧電側壁に真空蒸着機により電極を形成する。電極はＮｉを２μｍ成膜する。
　（４）不用電極除去工程
　基板上面の電極を研磨機により除去する。
　【００６３】
　（５）上蓋溝加工工程
　ガラス上蓋をダイシングソーにより溝加工する。ダイヤモンドブレードは厚さ７０μｍ、先端曲率半径３５μｍを用い、ピッチ１６９μｍ、溝深さ３５μｍで加工する。
　【００６４】
　（６）上蓋接着工程
　圧電側壁が形成された圧電基板に上蓋を溝面が相対するように接着する。上蓋の溝と圧電側壁がずれないように注意する。接着材は流れだしの少ないものが好ましい。
　【００６５】
　（７）ノズルプレート接着工程
　圧電基板、上蓋の端面にノズルプレートを接着する。接着材は流れだし少ないものが好ましい。
　【００６６】
　（８）インク供給手段、印加パルスを発生する駆動手段と接続しインクジェットヘッドを作成する。
　【００６７】
　（９）インクジェットヘッドに粘度２ｃｐｓのインクを注入する。
　【００６８】
　（１０）電圧５０ｖ、パルス幅２０μｓｅｃの駆動パルスをインクジェットヘッドに印加する。
　【００６９】
　駆動パルスは連続して１０億パルスまで印加した。
　【００７０】
　（１１）インク滴の吐出速度、応答周波数、気泡の排出性を評価、測定した。
また２億、４億、６億、８億、１０億パルス
　【００７１】
　【００７２】
　【００７３】
　【００７４】
　【００７５】
　【００７６】
　【００７７】
　【００７８】
　【００７９】
　【００８０】
　【００８１】
　【００８２】
　
（比較例３）
　圧電壁構造：圧電側壁構造Ａ
　（１）溝加工工程
　１ｍｍ厚の圧電基板をダイシングソーにより溝加工し、圧電側壁を形成する。ダイヤモンドブレードは厚さ７０μｍ、ピッチ１６９μｍで加工する。得られた溝幅は８０μｍである。
　【００８３】
　（２）電極形成工程
　圧電側壁に真空蒸着機により電極を形成する。電極はＮｉを２μｍ成膜する。
　（３）不用電極除去工程
　基板上面の電極を研磨機により除去する。
　【００８４】
　（４）上蓋接着工程
　圧電側壁が形成された圧電基板にガラス上蓋を接着する。接着材は流れだしのないものが好ましい。
　【００８５】
　（５）ノズルプレート接着工程
　圧電基板、上蓋の端面にノズルプレートを接着する。接着材は流れだしの少ないものが好ましい。
　【００８６】
　（６）インク供給手段、印加パルスを発生する駆動手段と接続しインクジェットヘッドを作成する。
　【００８７】
　（７）インクジェットヘッドに粘度２ｃｐｓのインクを注入する。
　【００８８】
　（８）電圧５０ｖ、パルス幅２０μｓｅｃの駆動パルスをインクジェットヘッドに印加する。
　【００８９】
　駆動パルスは連続して１０億パルスまで印加した。
　【００９０】
　（９）インク滴の吐出速度、応答周波数、気泡の排出性を評価、測定した。
また２億、４億、６億、８億、１０億パルス
　【００９１】
　
実施例１〜３、比較例１〜３
　【００９２】
　応答周波数とはインク滴が安定して吐出できる最大駆動周波数をいう。気泡の排出性は流路内にノズルから気泡の引き込みが起こり易く、且つ排出されにくいものを不良と評価し、逆にノズルから気泡の引き込みが起こり難く、且つ排出され易いものを良と評価する。
　【００９３】
　２から１０億パルスの動作は吐出するものを○とし、吐出しなかったのものを×とする。吐出しなかったものを、分解解析したところいずれも、圧電側壁と下部基板の境界部、破壊されていた。
　【００９４】
　表１から明らかなように、本発明によれば、インクジェットヘッドの耐久性が大幅に向上されている。これは本発明者も予期せぬ効果であった。これは、図２において、圧電側壁５が繰り返し変形されることにより、圧電側壁と下部基板の境界部に応力が蓄積され、破壊に至ると思われる。
　【００９５】
　【表１】
　【００９６】
　【発明の効果】
　以上述べてきたように本発明によれば、インク滴の吐出速度、応答周波数、気泡の排出性の良好なインクジェットヘッドを提供できるという優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　（ａ）〜（ｂ）本発明のインクジェットヘッドの流路形状
の説明に供する参考
　【図２】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の説明に供する参考
　【図３】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の説明に供する参考
　【図４】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の説明に供する参考
　【図５】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の説明に供する参考
　【図６】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の説明に供する参考
　【図７】　本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の説明に供する参考
　【図８】　本発明のダイヤモンドブレードによる加工状態
の説明に供する参考
　【図９】　本発明のワイヤソーによる加工
の説明に供する参考
　【図１０】　従来のインクジェットヘッドの構造を示す斜視図。
　【図１１】　（ａ）〜（ｃ）従来のインクジェットヘッドの圧電側壁構造Ａの形状、動作を説明する断面図。
　【図１２】　（ａ）〜（ｃ）従来のインクジェットヘッドの圧電側壁構造Ｂの形状を説明する断面図。
　【図１３】　従来のインクジェットヘッドの圧電側壁構造Ｂ’の形状を説明する断面図。
　【図１４】　ダイヤモンドブレードの形状を示す平面図。
　【図１５】　従来のダイヤモンドブレードの形状を示す断面図。
　【図１６】　ダイヤモンドブレードの研磨前の形状を示す断面図。
　【図１７】　従来技術のダイヤモンドブレードによる加工状態を示す断面図。
　【符号の説明】
　１　圧電基板
　２　ノズル形成部材
　３　ノズル開口
　４　流路
　５　圧電側壁
　５Ａ　圧電側壁Ａ
　５Ｂ　圧電側壁Ｂ
　６　上部基板
　７　インク供給口
　８　スリット基板
　９　インク排出口
　１０　電極
　１１　圧電側壁の分極方向
　１２　導電線
　１３　下部基板
　１４　上壁面
　１５　下壁面
　１６　側壁面
　２１　ダイヤモンドブレード
　２２　ワイヤー
　２３　砥粒
　２４　ダイヤモンドブレードの内円