【事件の表示】
　上記当事者間の特許第４２４１８９０号発明「Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石およびその製造方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
第１．手続の経緯
（１）本件特許第４２４１８９０号は、２００７年３月１日（優先権主張：２００６年３月３日、日本国、２００６年７月２７日、日本国、２００６年７月２７日、日本国、２００６年９月４日、日本国、２００６年１２月２８日、日本国）を国際出願日として出願した特願２００８−５０３８０６号の一部を平成２０年６月２７日に新たな特許出願（特願２００８−１６８７６９号）として出願され、平成２１年１月９日に特許の設定登録がなされた。
（２）平成２４年６月６日付けで特許無効の審判請求がなされ、これに対して、平成２４年８月２０日付けで被請求人から答弁書が提出された。
（３）平成２４年１１月２日付けで審理事項を通知した。
（４）平成２５年１月１０日付けで請求人から口頭審理陳述要領書が提出された。
（５）平成２５年１月１０日付けで被請求人から口頭審理陳述要領書が提出され、平成２５年１月２２日付けで被請求人から上申書が提出された。
（６）平成２５年１月２４日に口頭審理を行った。
（７）平成２５年１月３０日付けで請求人から上申書が提出された。
　
　
第２．特許請求の範囲
　本件特許第４２４１８９０号の特許請求の範囲の記載は次のとおりである。（以下、請求項１，２，・・・７に係る各発明を、「本件発明１」，「本件発明２」，・・・「本件発明７」という。）
　
「【請求項１】
　処理室と、
　前記処理室内において、重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有するバルク体と軽希土類元素ＲＬ（ＮｄおよびＰｒの少なくとも１種）を主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ型化合物結晶粒を主相として有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体とを対向配置させる保持部材と、
　前記処理室内の温度を７００℃以上１０００℃以下に調節する加熱手段と、
を有し、
　前記処理室内を減圧し、前記加熱手段によって前記バルク体および前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体を加熱処理することにより、前記バルク体から重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給しつつ、前記重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の内部に拡散させるように構成したことを特徴とする拡散処理装置。」（「本件発明１」）
　
「【請求項２】
　前記処理室の内壁面は、前記重希土類元素ＲＨと反応しない材料から形成されている、請求項１に記載の拡散処理装置。」（「本件発明２」）
　
「【請求項３】
　前記材料は、Ｎｂ、Ｍｏ、およびセラミックスからなる群から選択された少なくとも１種の材料である、請求項２に記載の拡散処理装置。」（「本件発明３」）
　
「【請求項４】
　前記保持部材は、前記バルク体と前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体との間を遮断しないように前記バルク体と前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体とを対向させる、請求項１に記載の拡散処理装置。」（「本件発明４」）
　
「【請求項５】
　前記保持部材は、前記バルク体と前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体との間隔が０．１ｍｍ〜３００ｍｍとなるように前記バルク体と前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の少なくとも一方を保持する、請求項１に記載の拡散処理装置。」（「本件発明５」）
　
「【請求項６】
　前記保持部材は、前記バルク体と前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体との間に位置する部分を有し、前記部分は、前記バルク体と前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体との間を遮断しないように開口部を有している、請求項１に記載の拡散処理装置。」（「本件発明６」）
　
「【請求項７】
　前記保持部材の少なくとも前記部分は網から形成されている、請求項６に記載の拡散処理装置。」（「本件発明７」）
　
＜構成要件の分説＞
　本件発明１について、便宜上、その構成要件を次のとおり（１−ａ）〜（１−ｆ）のように分説する（以下、この分説に従って、「構成要件（１−ａ）」などという。なお、このように分説することについて当事者間に争いはない。）。
　
（１−ａ）処理室と、
（１−ｂ）前記処理室内において、重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有するバルク体と軽希土類元素ＲＬ（ＮｄおよびＰｒの少なくとも１種）を主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ型化合物結晶粒を主相として有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体とを対向配置させる保持部材と、
（１−ｃ）前記処理室内の温度を７００℃以上１０００℃以下に調節する加熱手段と、
（１−ｄ）を有し、
（１−ｅ）前記処理室内を減圧し、前記加熱手段によって前記バルク体および前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体を加熱処理することにより、前記バルク体から重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給しつつ、前記重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の内部に拡散させるように構成した
（１−ｆ）ことを特徴とする拡散処理装置。
　
　
第３．請求人の主張
１．請求の趣旨
　特許第４２４１８９０号の登録を無効とする。審判費用は、被請求人の負担とする、との審決を求める。
　
２．請求の理由
（１）無効理由１（２９条１項３号、２９条２項）
　本件の請求項１ないし請求項７に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができないものであり、ないしは甲第１号証に記載された発明に基づいて、出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は特許法第１２３条第１項第２号に該当するから、本件特許は無効とすべきものである。
　
（２）無効理由２（２９条１項３号、２９条２項）
　本件の請求項１ないし請求項７に係る発明は、甲第５号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができないものであり、ないしは甲第５号証及び甲第４号証に記載された発明に基づいて、出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は同法第１２３条第１項第２号に該当するから、本件特許は無効とすべきものである。
　
３．証拠方法
　
　甲第１号証：特開平１０−６４７４６号公報
　甲第２号証：特開２００１−７７３８６号公報
　甲第３号証：特開２００４−２９６９７３号公報
　甲第４号証：ＩＥＥＥ　ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮ
Ｓ
　　　　　　　ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ，ＶＯＬ．２６，ＮＯ．５，
　　　　　　　ＳＥＰＴＥＭＢＥＲ　１９９０
の１３７６−１３７８頁
（なお、甲第４号証につき、審判請求書では、「ＩＥＥＥ　ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮ　ＯＮ　ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ，ＶＯＬ．２６，ＮＯ．５，　ＳＥＰＴＥＭＢＥＲ　１９９０」と記載され、また、頁については記載されていないが、正しくは、上記のとおりであることは、提出された証拠から明らかであるので、上記のとおりとした。）
　甲第５号証：特開２００５−１１９７３号公報
　参考文献１：ＪＡＰＡＮＥＳＥ　Ｊ
ＯＵ
　　　　　　　ＰＨ
Ｙ
　　　　　　　１９８７，ｐｐ．７８５−８００
（なお、参考文献１につき、口頭審理陳述要領書では、「ＪＡＰＡＮＥＳＥ　ＪＰＩＲＮＡＬ　ＯＦ　ＡＰＰＬＩＥＤ　ＰＨＩＳＩＣＳ，　ＶＯＬ．２６，ＮＯ．６，ＪＵＮＥ，１９８７，ｐｐ．７８５−８００」と記載されているが、正しくは、上記のとおりであることは、提出された証拠から明らかであるので、上記のとおりとした。）
　
４．無効理由１の要点（本件発明１について）
　特に争点となっている本件発明１についてのみ、無効理由１の要点を以下に記す。
　なお、以下、原文では、丸付き数字のところを「○１」，「○２」等と表記している。
　
（１）甲第１号証に記載された発明について
　請求書の１４頁２７行−１５頁３７行に記載のとおりであるから、甲第１号証には、以下の発明が記載されていることは明らかである。
（１−ａ）処理室と、
（１−ｂ）処理室内において、Ｄｙを含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末とＮｄを主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を主相として有する焼結体とを対向配置させる保持部材と、
（１−ｃ）処理室内の温度を８００℃に調節する加熱手段と、
（１−ｄ）を有し、
（１−ｅ）’処理室内で真空空中で、加熱手段によってＤｙを含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末および焼結体を加熱処理することにより、Ｄｙを含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末からＤｙを焼結体の表面に供給するように構成した
（１−ｆ）’ことを特徴とする装置。（請求書の６．（４）○３ｉ）イ））
　
（２）本件請求項１に係る発明について
ア．本件請求項１に係る発明における「バルク体」について
ア−ａ．甲第１号証の実施例１で、焼結体の周囲に置かれた原料合金粉末は、焼結体と同じ原料、つまりＤｙを含有する合金粉末である。ここで、本件請求項１に係る発明における「バルク体」とは、本件明細書の段落００６５の記載「ＲＨバルク体の形状・大きさは特に限定されず、板状であってもよいし、不定形（石ころ状）であってもよい。ＲＨバルク体に多数の微小孔（直径数１０μｍ程度）が存在してもよい。」から、甲第１号証に記載された合金粉末が本件請求項１に係る発明における「バルク体」に相当することは明らかである。（請求書の６．（４）○３ｉ）イ））
　
ア−ｂ．「バルク」なる用語は、乙第２号証を引用しその通常の語義からして「粉末」を含まないとしているが、本件発明１では「バルク」なる用語ではなく、「バルク
体
形状・大きさは特に限定されず
　
ア−ｃ．
・本件発明１の「バルク体」も甲第１号証の「粉末」も焼結磁石体表面への重希土類元素の供給源であることは明らかである。すなわち、本件発明１の「バルク体」とは、焼結磁石体への重希土類元素の供給源であればよく、まさに本件明細書の段落００６５の記載「ＲＨバルク体の形状・大きさは特に限定されず、板状であってもよいし、不定形（石ころ状）であってもよい。ＲＨバルク体に多数の微小孔（直径数１０μｍ程度）が存在してもよい。」のとおり、いかなる形態であってもよく、焼結磁石体表面への重希土類元素の供給量は、温度、その形態の表面積或いは空間内の分子の平均自由行程、距離など様々なパラメータによって制御することができ、当然ながらこのような供給量の制御は設計事項であることは明らかである。従って、甲第１号証の発明において、「粉末」を「バルク体」とする動機付けが存在することは明らかである。（口頭審理陳述要領書の６．（１）Ａ）○１）
・仮に「バルク体」なる物体が「粉末」を排除するとの見解を採用したとしても、本件発明１と甲第１号証に記載の発明との差異が、「バルク体」なる物体と「粉末」とにすぎない場合には、これらは単に重希土類元素の供給源としては共通であり、しかもこれらの形態の選択は単なる設計事項にすぎず、その差異によって進歩性が認められるものではないことは明らかである。（口頭審理陳述要領書の６．（１）Ａ）○３）
・本件発明１における「バルク体」なる物体と甲第１号証における「粉末」とは重希土類元素の供給源として共通である。つまり、「バルク体」なる物体と「粉末」とでは作用が共通する。ここで、甲第１号証は「粉末」以外を使用することを否定しているわけではない。そのため、当業者は、甲第１号証を参照し、例えば、粉末が取り扱いにくい、もしくは、粉末を細かくする手間を省きたいなどの理由により、少し大きな粒子状（石ころ状）、板状、棒状、固形状の物体を使用することができる。つまり、当業者は、使用する物体の形状を適宜選択することが可能である。したがって、甲第１号証における「粉末」は、その作用の観点からも、本件発明１における「バルク体」に相当する。（口頭審理陳述要領書の６．（３））
　
イ．本件請求項１に係る発明における「前記重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の内部に拡散させるように構成した」「拡散処理装置」について
イ−ａ．甲第１号証に記載された発明が本件請求項１に係る発明と同じ対象物に対して同じ条件で加熱処理を行っている、つまり処理室内で真空空中で、加熱手段によってＤｙを含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末および焼結体を加熱処理することにより、Ｄｙを含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末からＤｙを焼結体の表面に供給しているので、そのような供給と共に、つまりそのような供給をしつつ、Ｄｙを焼結体の内部に拡散させるように構成されていることは明らかである。（請求書の６．（４）○３ｉ）イ））
　
イ−ｂ．しかも、そのような作用効果は、この種の分野において既に公知である。例えば、甲第２号証に記載された発明は、本件請求項１に係る発明と同じ「拡散処理装置」に関するものであり、甲第２号証の明細書段落００１３〜段落００１４（図３参照）には、「炉心管４」内に「半導体基板１」と「固体拡散源３６」とを対向配置し、「炉心管４」内を減圧・加熱処理することで、「半導体基板１」への不純物の拡散処理を行うことが記載されており、甲第２号証の図５、図７及び図８を参照すればその拡散処理の際には「半導体基板１」の表面には膜が形成されずにその表面からそのまま拡散層になっていることが確認できる。すなわち、本件請求項１に係る発明の「拡散処理装置」の分野において、拡散物を対象物の表面に供給しつつ、拡散物を対象物の内部に拡散する作用効果は既に公知であることは明らかである。（請求書の６．（４）○３ｉ）イ））
　
イ−ｃ．そもそも、本件請求項１に係る発明の構成要件（１−ｅ）は、その範囲すら明示されていない減圧下で、加熱処理を行った際のいわば「作用効果」を構成としたにすぎない。本来ならば、「物」の発明として把握するためには、加熱処理を行った際の「作用効果」を奏するための「物」としての構成を構成要件として明示すべきである。よって、本来ならば、上記の「作用効果」に相当する構成要件（１−ｅ）を外した上で、本件請求項１に係る発明の新規性や進歩性を判断すべきであろう。そうすると、本件請求項１に係る発明は、構成要件（１−ｅ）を議論するまでもなく、甲第１号証に記載された発明であり、ないしは甲第１号証に記載された発明に基づき当業者により容易になされたものである。（請求書の６．（４）○３ｉ）イ））
　
イ−ｄ．参考文献１を参照しながら、Ｒ２Ｆｅ１４Ｂ系の焼結磁石体における周知事項について説明すると、図１１のＮｄ−Ｆｅ−Ｂの擬二元系の相図によれば、主相（Ｔ１（Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ））の融点は１１５５℃（１４２８Ｋ）であり、主相（Ｔ１）の隙間に存在するＮｄの比率が高い粒界相は、混合相（Ｔ２（Ｎｄ１＋εＦｅ４Ｂ４）＋Ｎｄ）であり、融点が６６５℃（９３８Ｋ）である。
　参考文献１に記載の周知事項を参酌すると、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ系の焼結磁石体は、本件発明１の記載中の「７００℃以上１０００℃以下」の温度範囲において、主相が固相であり、かつ粒界相に液相が含まれる、ということが一般に知られているものと認められる。
　以上の周知事項を甲第１号証の記載に組み合わせると、甲第１号証に記載の発明は、上記の如く焼結磁石体の粒界相内にＤｙが拡散していることは明らかであり、実質的には拡散処理装置であることは明らかである。（口頭審理陳述要領書の６．（１）Ａ）○２）
　
イ−ｅ．甲第１号証の明細書の表４（段落００６０）より、「本発明」のバインダーが「ロ」の場合及びバインダーがない「比較例」の「なし」の場合に、それらの「Ａ」と比べて「Ｂ」の方が保磁力（ｉＨｃ）が向上していることが分かる。
　従って、甲第１号証に記載された発明は、Ｄｙが焼結体の内部に拡散していること、すなわちＤｙを含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末からＤｙを焼結体の表面に供給しつつ、Ｄｙを焼結体の内部に拡散させるように構成されていることは明らかであり、ないしはそのような構成は甲第１号証に記載された発明に基づき当業者が容易に想到できたものである。（口頭審理陳述要領書の６．（１）Ａ）○２）
　
５．無効理由２の要点（本件発明１について）
　特に争点となっている本件発明１についてのみ、無効理由２の要点を以下に記す。
　
（１）甲第５号証に記載された発明について
　請求書の２１頁３６行−２３頁１２行に記載のとおりであるから、甲第５号証には、以下の発明が記載されていることは明らかである。
（１−ａ）スパッタリング装置と、
（１−ｂ）スパッタリング装内において、Ｔｂを含有する合金ターゲットとＮｄを主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ型化合物結晶粒を主相として有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類平板状磁石とを対向配置させる保持部材と、
（１−ｃ）スパッタリング装置内の温度を約８００℃に調節する加熱手段と、
（１−ｄ）を有し、
（１−ｅ）’ スパッタリング装置内を減圧し、加熱手段によって平板状磁石を加熱処理することにより、Ｔｂを含有する合金ターゲットからＴｂを平板状磁石の表面に供給しつつ、Ｔｂを平板状磁石の内部に拡散させるように構成した
（１−ｆ）ことを特徴とする拡散処理装置。（請求書の６．（４）○３ii）イ））
　
（２）本件請求項１に係る発明について
ア．本件請求項１に係る発明における「処理室内の温度を７００℃以上１０００℃以下に調節する加熱手段」について
ア−ａ．甲第５号証に記載された実施例５では「基板加熱と併行して成膜中での磁石試料の温度上昇を利用して成膜と同時に拡散を行うことを目的とし、ＲＦ出力を１５０Ｗ、ＤＣ出力を６００Ｗまで上げてスパッタリングを開始した結果、磁石試料が赤熱するのが観測され、色調より温度は約８００℃に達していると推測された。」（同明細書段落００７８）と記載され、そこにはスパッタリング装置内を８００℃程度に調整するための「加熱手段」が存在していることが当業者ならば当然に理解され、その「加熱手段」は本件請求項１に係る発明の「処理室内の温度を７００℃以上１０００℃以下に調節する加熱手段」に相当することは明らかである。（請求書の６．（４）○３ii）イ））
　
ア−ｂ．
・甲第５号証には、「スパッタリング」に代えて、「合金ターゲット」を用いて「蒸着」を採用してもよいことが記載されていることは事実である。そして、「蒸着」に際して、「加熱手段により、重希土類元素を含む被蒸着対象物及び平板状磁石を実質的に同じ温度に加熱するために処理室の温度を調節すること」は、以下にも例示するとおり、磁石に対して蒸着を行う技術分野における常套手段であることは明らかである。
　例えば、甲第１号証の明細書の段落００５４には、次のような記載がある。
「焼結体の周囲にジェットミル粉砕した原料合金粉末を置き、真空中で８００℃の温度で、２時間保持する熱処理」
　また、甲第３号証の明細書の段落００３３には、次のような記載がある。
「実施例５
外径０．９ｍｍ、内径０．３ｍｍ、長さ１０ｍｍの円筒状のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石成形体を、２５重量％となるようにＹｂ金属粉末と共に石英ガラス管に真空封入し、７１０℃で９０分間Ｙｂ金属を収着した。」（口頭審理陳述要領書の６．（１）Ｂ）○１）
・一般的に、当業者は、蒸着による成膜を適切なレート、つまりコストと生産性に見合った実用的な成膜レートで行うためには、Ｄｙの場合でいうと処理室の圧力が１０−２Ｔｏｒｒ程度であればその処理室の温度を１１１７℃程度に調節するだろうが、甲第５号証の明細書の段落００４０に「実質的に成膜させながら同時に拡散を行う」との記載からわかるとおり、甲第５号証に記載の発明は、成膜が主目的ということではないので、そこには適切なレートで成膜を行うという目的は存在せず、つまり上記の如く実用的な成膜レートを確保する必要もなく、さらに甲第５号証に記載の発明は、その明細書の段落００４３に「膜の一部が拡散処理後に拡散されずに磁石表面に残存しても構わないが、Ｍ元素を節減して十分な効果を得るためには、完全に拡散させることが望ましい。」と記載されているように、拡散についても完全に拡散すること、つまり最終的には磁石表面に膜が残存しないようにすること、換言すると成膜が目的でないことも明らかであるから、当業者がこのような意図をもって処理室の温度をあえて１１１７℃にしようとすることはなく、それ以下の温度、例えば７００℃以上１０００℃以下程度に調節しようとすることは当たり前であり、よって処理室の温度を７００℃以上１０００℃以下に調節することは設計事項にすぎないことは明らかである。（口頭審理陳述要領書の６．（１）Ｂ）○１）
　
イ．本件請求項１に係る発明における「（前記）加熱手段によって前記バルク体（および前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体）を加熱処理する」点について
イ−ａ．甲第５号証に記載された発明は「合金ターゲットをスパッタリング」しているので一応相違するが、甲第５号証の明細書段落００４７の記載「磁石表面への希土類金属Ｍの供給法については特に限定されるものではなく、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、レーザーデポジション等の物理的成膜法や、ＣＶＤやＭＯ−ＣＶＤ等の化学的気相蒸着法、及びメッキ法等の適用が可能である。」から、甲第５号証に記載された発明は、「合金ターゲットをスパッタリング」するばかりでなく、「合金ターゲットを蒸着」すること、すなわち「合金ターゲットを加熱処理」することもその技術思想の範囲に含んでいることは明らかである。
　本件請求項１に係る発明は、甲第５号証に記載された発明と実質的に同一であり、従って、本件請求項１に係る発明は、甲第５号証に記載された発明であることは明らかである。（請求書の６．（４）○３ii）イ））
　
イ−ｂ．バルク体から重希土類元素ＲＨをＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給するときに「加熱手段によってバルク体を加熱処理」している点については、甲第４号証に同一の発明が明示されている。ここで、甲第４号証に記載された発明は、処理室としての石英チューブ（Ｑｕａｒｔｚ　Ｔｕｂe）内に磁石としてのリボンとバルク体（Ｒｉｂｂｏｎｓ）としてのＭｏを含む合金（Ｓｍ　Ｍｅｔａｌ）とを配置し、７００度〜９００度で加熱処理するもので、これにより高い飽和保磁力を得ている（甲第４号証の第１３７６頁左欄第３３行〜同頁右欄第８行及びＦｉｇ.1参照）。すなわち、甲第４号証に記載された発明は、Ｍｏを含む合金からＭｏをリボンの表面に供給するときに「加熱手段によってＭｏを含む合金を加熱処理」していることは明らかである。
　従って、本件請求項１に係る発明は、甲第５号証及び甲第４号証に記載された発明に基づいて、出願前に当業者が容易に発明をすることができたことは明らかである。（請求書の６．（４）○３ii）イ））
　
　
第４．被請求人の主張
１．答弁の趣旨
　本件審判の請求は成り立たない、審判費用は請求人の負担とする、との審決を求める。
　
２．答弁の理由
（１）本件特許請求項１（発明１）が、無効理由１により新規性・進歩性を否定されることはない。また、請求項２〜７の発明については、発明１が新規性・進歩性を有する以上、当然に有効である。
　
（２）発明１が、無効理由２により新規性・進歩性を否定されることはない。また、請求項２〜７の発明については、発明１が新規性・進歩性を有する以上、当然に有効である。
　
３．証拠方法
　
　乙第１号証：意見書（特願2008-290899号審査手続にて提出）
　乙第２号証：岩波理化学辞典第５版（岩波書店、１９９８年刊）1068頁
　乙第３号証の１：特開2000-315611号公報
　乙第３号証の２：特開2002-20803号公報
　乙第４号証：特開2002-220661号公報
　乙第５号証：Handbook of Thin Film Technology
　　　　　　　（マグローヒル、1970年刊）
　　　　　　　1-16頁、1-17頁、1-36頁
　
４．無効理由１に対する答弁の理由の要点（本件発明１について）
　特に争点となっている本件発明１についてのみ、答弁の理由の要点を以下に記す。
　
（１）発明１と甲第１号証は以下の点で相違し、発明１と甲第１号証の相違が実質的であることは明らかであり、甲第１号証は無効理由とならない。
ア．相違点１−１について
ア−ａ．発明１はＤｙ等のＲＨを含有するバルク体の使用を必須とするが、甲第１号証は同バルク体を使用しない点。
　甲第１号証の「Ｄｙを含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ合金粉末」は、発明１のＲＨバルク体に該当しない。（答弁書の６．（４）（４．３））
　
ア−ｂ．通常の語義として、バルクとは、「塊状の結晶・固体など、３次元的な拡がりをもち、かさばった状態の物質。薄膜、粒体、粉末に対して用いられ、表面、界面、端の効果が無視できる状態にあるものをさす」（乙第２号証）。
　この通常の語義は、本件明細書に記載されたバルク体の状態と一致する。（答弁書の６．（４）（４．４））
　
ア−ｃ．甲第１号証の合金粉末は、発明１のＲＨバルク体とは使用目的も使用態様もまったく異なる。合金粉末と焼結磁石体の化学組成が同じである以上、合金粉末から焼結磁石体にＤｙが供給されることはないのであるから、相違点１−１は本質的な相違点である。
・甲第１号証の合金粉末は焼結磁石体の原料合金粉末であるから、化学組成は焼結磁石体と同一である。同一の化学組成の物体を同じ温度に加熱した場合、両者から発生する気体の組成も一致する。そして、Ｄｙは含有されると言っても微量であるから、発生する気体の大部分はＮｄである。
　そうである以上、加熱しても、合金粉末のＤｙが焼結磁石体に移動して焼結磁石体のＤｙ含有率が変わるということは起こり得ない。固相の組成が同じであれば、気相における濃度差は生じないから、Ｄｙの移動も生じ得ないことは当然である。
　この点において、発明１のＲＨバルク体と甲第１号証の合金粉末は本質的に異なる。（答弁書の６．（４）（４．４））
・甲第１号証の記載を文字通り読むと、合金粉末から金属原子が焼結磁石体へ飛来して、焼結磁石体表面を還元するごとくである。しかし、技術常識に基づいて検討すると、このような現象は起きないであろうと考えられる。加熱中に気化した（焼結磁石体からか合金粉末からかを問わず）金属原子は焼結磁石体表面とも合金粉末とも平衡状態にあるから、気相中の金属原子が焼結磁石体表面に付着することは起こり得るが、その際に焼結磁石体の表面の酸化された金属原子を還元したとしても、今度は飛来した原子が酸化物になってしまうから意味がない。焼結磁石体上の酸化物の量は変わらない。（答弁書の６．（４）（４．４））
　
イ．相違点１−２について
イ−ａ．発明１は、ＲＨバルク体と焼結磁石体を対向配置させる保持部材を必須とするが、甲第１号証には同保持部材が存在しない点。（答弁書の６．（４）（４．３））
　
イ−ｂ．甲第１号証にはＲＨバルク体が存在しない。発明１では、ある程度の大きさを有するＲＨバルク体を、焼結磁石体と近接するが接触しない位置に配置することにより、発明１の温度におけるＲＨの焼結磁石体への供給を可能にしている（段落【００４６】）。具体的には、例えば本件明細書の図1のような位置関係で焼結磁石体と向い合せ保持する。このような位置関係、すなわち、ＲＨバルク体と焼結磁石体を対向配置させるという機能を実現する構造を備えている保持部材を使用することを規定している。（答弁書の６．（４）（４．５））
　
ウ．相違点１−３について
ウ−ａ．発明１は、ＲＨバルク体からＤｙ等を焼結磁石体に供給しつつ、Ｄｙ等を焼結体内部に拡散することが必須であるが、甲第１号証はそうしていない点。（答弁書の６．（４）（４．３））
　
ウ−ｂ．請求人は、発明１の構成要件（１−ｅ）は加熱処理を行った際のいわば「作用効果」を構成にしたにすぎないから、物の発明の構成要件として適切でないかのごとく主張しているが、独自の見解にすぎない。
　装置の発明において、構成要素相互の動作あるいは作用の関係を記載することは、装置発明の技術的意義を明らかにするためにむしろ必要である。発明１においては、発明１の処理装置が、７００℃以上１０００℃以下という温度領域において、ＲＨを焼結磁石体表面に供給しつつ内部に拡散させるという、特徴的な作用をなす点が、発明の本質的な要素である。
　構成要件（１−ｅ）によって、（１−ａ）、（１−ｂ）、（１−ｃ）の要件につき、ＲＨバルク体から焼結磁石体へ適切な速度でＲＨ元素が供給されるように、かつ、供給速度に対し焼結磁石体での拡散速度が適切になるように、対向配置の状態の設定と温度設定がなされるよう、装置全体が統合されていることが明確になる。（答弁書の６．（４）（４．６））
　
エ．相違点１−４について
エ−ａ．発明１は、拡散処理装置であるのに、甲第１号証は単なる熱処理装置である点。（答弁書の６．（４）（４．３））
　
エ−ｂ．発明１は、ＲＨをバルク体から焼結磁石体へ供給し、拡散するための拡散処理装置であるから、甲第１号証の単なる加熱処理装置とは明らかに異なるものである。（答弁書の６．（４）（４．７））
　
（２）甲２号証について
　甲第２号証は、太陽電池用の半導体基板に不純物を拡散させる技術を開示しているにすぎない。本件発明とも甲第１号証とも技術分野が異なる。甲第２号証に開示されている拡散処理装置は、半導体分野で使用される装置であるため、単結晶半導体基板の表面のごく薄い領域に微量の不純物拡散を行えばよく、焼結磁石体内部に重希土類元素を拡散させるための拡散処理装置に適用可能であるとは、当業者に想到し得るものではない。
　そして、甲第２号証には、発明１の特徴である希土類元素の中でも気化しにくいＲＨ元素を、蒸着に使用できないと考えられる７００℃以上１０００℃以下の温度領域で使用し、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石体の粒界相を通じて主相の外殻部分にＲＨを拡散せしめるという技術につき、何らの示唆も含んではいない。
　甲第２号証を参照したからといって、甲第１号証と発明１の相違点は何ら解消されないのであり、発明1の新規性・進歩性に影響する理由がない。（答弁書の６．（４）（４．８））
　
（３）甲第１号証におけるＤｙの供給・拡散について
ア．甲第１号証ではＤｙの焼結磁石体内部への拡散が認められないのかの理由については、甲第１号証の処理では、合金粉末から焼結磁石体へ実質的な量のＤｙが供給されることは起こり難いからである。
・甲第１号証において合金粉末と焼結磁石体は化学組成が同一であり、同じ処理室内において同じ温度に加熱されるのであるから、それぞれから発生する蒸気の組成も同じである。合金粉末から生じた蒸気と焼結磁石体から生じた蒸気のＤｙ濃度は同じである以上、Ｄｙが濃度の差に基づいて焼結磁石体へ移行することは起こり難い。しかも、甲第１号証実施例における合金粉末及び焼結磁石体のＤｙの含有量は0.28％であり、Ｎｄの13.3％に比べて極めて少量である。したがって、仮にＤｙの合金粉末から焼結磁石体への供給が皆無ではないとしても、その量は極めて微量であり、焼結磁石体の磁気特性に影響するような量ではあり得ない。（口頭審理陳述要領書の６．（１）（１．４））
・合金粉末から蒸発したＤｙ原子が焼結磁石体表面に飛来したとしても、焼結磁石体表面は酸化されているから、甲第１号証に明記されているように、金属Ｄｙの原子は酸化物を還元して、自らは酸化物となると考えられる。酸化物となったＤｙは拡散することができない。焼結磁石体を構成する元素の大部分はＤｙではないから、飛来したＤｙ原子によって還元される焼結磁石体表面の酸化物はＤｙ以外の元素の酸化物がほとんどのはずであり、拡散することができる金属Ｄｙは焼結磁石体表面に実質的には存在しない。（口頭審理陳述要領書の６．（１）（１．４））
　
イ．合金粉末と焼結磁石体の組成が同一であり、かつ同じ温度に加熱される以上、Ｄｙに限らず合金粉末側から蒸発したＲ原子が焼結磁石体に蒸着されることは考えにくいのであるが、甲第１号証の発明者が、この技術常識に反するような記載をしたのは、おそらく、誤解したのであろう。
　甲第１号証の【００１５】における「熱処理時に製品の周囲にＲ−Ｆｅ−Ｂ系の合金粉末を置き、熱処理時に製品表面に希土類元素（Ｒ）を蒸着または吸着させて」等の記載における「蒸着または吸着」は、本件発明における焼結磁石体表面への「供給」とは、文言それ自体としては共通するが、技術的意味は異なるものと言わざるを得ない。本件発明１における「供給」は、拡散をもたらし、磁気特性の向上をもたらす量の供給を意味するが、甲第１号証の「蒸着または吸着」は拡散による磁気特性の向上をもたらし得ない程度の供給にすぎない。（口頭審理陳述要領書の６．（１）（１．４））
　
ウ．甲第１号証では、焼結磁石体と同一組成の原料粉末を、焼結磁石体と同じ装置内で同じ温度に加熱するのである。同一組成の２個の物を同じ温度に保持した場合に、２個の物の間で組成の偏りを生ずるというのは、熱力学の法則に反するから、焼結磁石体の組成が変動することは起こり得ない。
　また、原料粉末から飛来したＲ原子は、焼結磁石体表面の酸化物を還元するのであり、自らは酸化物となるのであるから、粒界相内部に拡散することはできない。（上申書の６．（１））
　
５．無効理由２に対する答弁の理由の要点（本件発明１について）
　特に争点となっている本件発明１についてのみ、答弁の理由の要点を以下に記す。
　
（１）発明１と甲第５号証は以下の点で相違し、相違点は重要な技術的意義があり、そして、甲第４号証を参照しても容易に想到することができない。
ア．相違点２−１及び相違点２−２について
ア−ａ．相違点２−１：発明１は加熱による処理室を使用するのに、甲第５号証はスパッタリング装置を使用する点。（答弁書の６．（５）（５．３））
　
ア−ｂ．相違点２−２：発明１は、ＲＨバルク体と焼結磁石体を実質的に同じ温度に加熱するために処理室を７００℃以上１０００℃以下とするのに対し、甲第5号証は平板状磁石のみを約８００℃に加熱し、合金ターゲットは加熱しない点。（答弁書の６．（５）（５．３））
　
ア−ｃ．
・スパッタリングは成膜の材料である金属を高温加熱しなくてよいことを利点とするのであるから、甲第５号証には、合金ターゲットを加熱しようという動機を生ずる理由がまったく存在しない。（答弁書の６．（５）（５．４））
・一般的にスパッタリング装置のターゲットは加熱せず、むしろ冷却することが必要であり、甲第５号証のスパッタリング装置もそうであると解される。
　したがって、甲第５号証のターゲット（バルク体に相当）を焼結磁石体と同じ温度に加熱する動機がないに止まらず、加熱することには阻害事由が存する。（口頭審理陳述要領書の６．（２）（２．２））
　
ア−ｄ．本件の重希土類元素ＲＨを、７００℃以上１０００℃以下という温度領域で気化させ蒸着させることは、誰も思いつかない。
　技術常識として蒸着のためには、蒸気圧10-2Torrが必要とされている（乙第５号証）。乙第５号証から、本件に関係する希土類元素につき、蒸着に適する10-2Torrとなる温度を列挙すると以下のとおりである。
　
　甲第５号証請求項１の元素
　　　　Ｐｒ　　　　　１７００Ｋ（１４２７℃）
　　　　Ｄｙ　　　　　１３９０Ｋ（１１１７℃）
　　　　Ｔｂ　　　　　１７００Ｋ（１４２７℃）
　　　　Ｈｏ　　　　　１４５０Ｋ（１１７７℃）
　甲第４号証記載の元素
　　　　Ｓｍ　　　　　１０１５Ｋ（７４２℃）
　本件発明に関するその他の元素
　　　　Ｎｄ　　　　　１５７５Ｋ（１３０２℃）
　甲第３号証に関する元素
　　　　Ｙｂ　　　　　　８３０Ｋ（５５７℃）
　　　　Ｅｕ　　　　　　８８４Ｋ（６１１℃）
　Ｓｍ、Ｙｂ、Ｅｕを除き、１０００℃以下で蒸着法を適用しようとは考えられないことが明らかである。（答弁書の６．（５）（５．４））
　
ア−ｅ．甲第3号証実施例3はＹｂを収着させた例である。甲第３号証の〔００１５〕には、高沸点であるＤｙ等については、同じ方法が適用できず、Ｄｙ等を加熱するための高周波加熱用のコイルを設置し、磁石については誘導加熱されないようにすることを教示している。
　すなわち、Ｄｙを蒸着させる場合に、Ｄｙ供給源を磁石より高温に加熱する必要があることを教示している。（上申書の６．（３））
　
ア−ｆ．甲第4号証は課題においても手段においても、発明1及び甲第5号証と共通性がなく、発明１の無効理由とは関係のない文献である。
・甲第４号証はＳｍＦｅ10（Ｔｉ1-xＭx）（Ｍ＝Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ及びＭｏ）という磁石に関する文献であって、ＲＨはどこにも記載されていない。
　焼結磁石体に焼結磁石体の金属とは異なる金属を供給し、拡散させようという技術思想はまったく存在しない。（答弁書の６．（５）（５．４））
・審判請求書２４頁２２〜２４行の「甲第４号証に記載された発明は、Ｍｏを含む合金からＭｏをリボンの表面に供給するときに『加熱手段によってＭｏを含む合金を加熱処理』していることは明らかである。」との記載は、審判請求書１２頁の甲第４号証の引用部分（訳文）に含まれておらず、甲第４号証の他の個所にも記載されていないので、何かの間違いであろう。（答弁書の６．（５）（５．４））
　
イ．相違点２−３について
イ−ａ．発明1は焼結磁石体表面に、ＲＨを供給しつつ拡散するので、焼結磁石体表面にＲＨが実質的に成膜されることはないのに対し、甲第５号証は成膜しつつ（Ｔｂ‐Ｃｏの膜の存在する状態で）、内部に拡散させる点。（答弁書の６．（５）（５．３））
　
イ−ｂ．発明１は、通常の蒸着がなされるための蒸気圧よりもはるかに蒸気圧が低い温度でＲＨバルク体を加熱するので、重希土類元素ＲＨが焼結磁石体表面に供給される速度は小さく、焼結磁石体表面に飛来したＲＨは速やかに焼結磁石体の粒界内部に拡散するので、実質的に表面にＲＨの膜を生ずることがない。
　これに対し、甲第5号証では、通常の成膜速度でスパッタリングしながら、焼結磁石体においてＲＨの拡散が起きるようにしている。
　甲第５号証と発明１では、焼結磁石体における重希土類元素ＲＨの存在状態が全く異なる。（答弁書の６．（５）（５．５））
　
　
第５．当審の判断
　
１．本件発明
　本件特許第４２４１８９０号の請求項１ないし７に係る発明は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし７に記載されたとおりのもの（上記「第２．」）と認める。
　
　そして、本件発明１について、その構成要件を上記「第２．」のとおり分説する。
　
＜本件発明１の分説（再掲）＞
（１−ａ）処理室と、
（１−ｂ）前記処理室内において、重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有するバルク体と軽希土類元素ＲＬ（ＮｄおよびＰｒの少なくとも１種）を主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ型化合物結晶粒を主相として有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体とを対向配置させる保持部材と、
（１−ｃ）前記処理室内の温度を７００℃以上１０００℃以下に調節する加熱手段と、
（１−ｄ）を有し、
（１−ｅ）前記処理室内を減圧し、前記加熱手段によって前記バルク体および前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体を加熱処理することにより、前記バルク体から重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給しつつ、前記重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の内部に拡散させるように構成した
（１−ｆ）ことを特徴とする拡散処理装置。
　
２．甲第１ないし５号証、参考文献（以下、「甲第６号証」という。）の記載（摘示）
（１）甲第１号証（特開平１０−６４７４６号公報）（以下、「甲１」という。）
　
（甲１−ア）
「【請求項１】  
Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末（ＲはＹを含む希土類元素の少なくとも１種）
一対の加工対向面間の寸法が３ｍｍ以下の焼結体に、研磨加工による磁気特性の劣化を回復させるための熱処理を施す
薄肉Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石
　
（甲１−イ）
「【請求項３】  
熱処理が、焼結体の周囲にＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を配置して５００℃〜９００℃の温度で１〜２時間保持する還元熱処理である
　
（甲１−ウ）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、
薄肉形状
かつ高磁気特性を有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系異方性焼結永久磁石を得る
薄肉の焼結体に
該研磨加工によって劣化した磁気特性を特定の種々雰囲気の熱処理にて、回復させる
　
（甲１−エ）
「【００１５】
【発明の実施の形態】この発明は、スプレー造粒したＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を用いて粉末冶金方法にて高寸法精度の薄肉の焼結体を得た後、寸法精度をさらに向上させるために０．３ｍｍ以下の研磨量で研磨加工を施し、
一対の加工対向面間の寸法が３ｍｍ以下となった焼結体にさらに研磨加工後の加工歪みにより劣化した磁気特性を回復する方法として
熱処理時に製品の周囲にＲ−Ｆｅ−Ｂ系の合金粉末を置き、熱処理時に製品表面に希土類元素（Ｒ）を蒸着もしくは吸着させて還元して磁気特性を回復させた
　
（甲１−オ）
「【００１６】Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末
この発明におけるＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末とは、少なくともＲ（Ｙを含む希土類元素のうち少なくとも１種）とＦｅとＢとを含有する特公昭６１−３４２４２号に代表されるような公知のＲ−Ｆｅ−Ｂ系組成を全て適用でき、Ｒ以外の元素を別の元素で置換したもの、例えば、ＦｅをＣｏ等の遷移金属で置換したものや、ＢをＣやＳｉ等の半金属で置換したもの、あるいは、後述のごとく、保磁力や製造性を改善するために種々の添加元素を添加した合金粉末を含む。好ましい組成範囲の一例を以下に挙げる。
【００１７】希土類元素Ｒは、Ｎｄ、Ｐｒ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｔｂのうち少なくとも１種、あるいはさらに、Ｌａ、Ｓｍ、Ｃｅ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｐｍ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｙのうち少なくとも１種を含むものが好ましい。また、通常Ｒのうち１種をもって足りるが、実用上は２種以上の混合物（ミッシュメタル、ジジム等）を入手上の便宜等の理由により用いることができる。なお、このＲは純希土類元素でなくてもよく、工業上入手可能な範囲で製造上不可避な不純物を含有するものでも差支えない。」
　
（甲１−カ）
「【００２３】また、
上記のＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末は、平均粒度が１〜１０μｍの範囲が好ましい
特に望ましい平均粒度の範囲は１〜６μｍである
　
（甲１−キ）
「【００４２】
この発明において、一対の加工対向面間の寸法を３ｍｍ以下とするのは、薄肉、小型で寸法精度が高くかつ磁気特性の高い焼結磁石が要求される中で、従来、得難いとされていた厚みが３ｍｍ以下の薄肉磁石を対象とするためである
一対の加工対向面間の寸法が３ｍｍを超えると、研磨加工により加工歪などを生じても、体積に対する加工歪の割合が減少するため、比較的磁気特性の劣化が少なく、この発明による熱処理を施す必要がなくなる
　
（甲１−ク）
「【００４７】熱処理としては、
１）真空中もしくは不活性ガス雰囲気中で５００℃〜７００℃の温度で１〜２時間程度保持する、
２）加工時の製品表面の酸化による熱処理時の磁気特性劣化防止のために、製品の周囲にＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を置き、５００℃〜９００℃で熱処理して製品の表面層を還元して磁気特性を回復させる
３）熱処理前に製品に室温から８５０℃までの任意の温度で水素を吸蔵させた後、真空引きして脱水素し、真空中もしくは不活性ガス雰囲気中で１０００℃〜１１８０℃の温度範囲で１〜２時間再焼結した後、５００〜７００℃の温度で１〜２時間保持する熱処理をする、の３方法が好ましく、
いずれも加工歪みやヘアークラック等により低下した磁気特性を加工前のそれとほぼ同等まで回復させることができる
上記の２）
の方法は、厚み１．０ｍｍ〜０．５ｍｍ程度に加工した薄物については非常に有効である
【００４８】上記１）の熱処理において、熱処理温度を５００℃〜７００℃にしたのは、５００℃未満では、焼結体の粒界部に存在する希土類を多く含む相（Ｒリッチ相）が液相状態にならないため、欠陥部を修復することができず、また、７００℃を超えると、加工表面に存在する酸素が焼結体内部に拡散してＲリッチ相を酸化させ、その結果、欠陥部を修復することができず、磁気特性を回復させることができないためである。また、熱処理時間を１〜２時間としたのは、１時間未満では
主相となるＲ
2
Ｆｅ
14
Ｂ相
【００４９】
上記２）の熱処理において、焼結体の周囲にＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を置くのは、焼結体の表面層を還元することにより磁気特性を回復させるためである
その際の熱処理温度を５００℃〜９００℃にしたのは、５００℃未満では、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末のＲ成分が蒸発せず、９００℃を超えると加工表面に存在する酸素が焼結体内部に拡散するため、蒸着されたＲ成分による還元効果がなくなるためである
【００５０】上記３）の熱処理において、焼結体に室温から８５０℃までの任意の温度で水素を吸蔵させた後、真空引きして脱水素処理した後、再度焼結、熱処理を行なうのは、結晶組織を分解して、再焼結によって再結晶化を図ることにより、ヘアークラック等の大きな加工歪みを除去するためである。なお、上述した熱処理は、時効処理のための熱処理を兼ねることもできる。」
　
（甲１−ケ）
「【００５１】
【実施例】
実施例１
Ｒとして、Ｎｄ１３．３原子％、Ｐｒ０．３１原子％、Ｄｙ０．２８原子％
Ｂ６．５原子％、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなる原料
ジェットミルにより平均粒度３μｍの粉末を得た
【００５２】該粉末に表１に示す種類及び添加量のバインダー、水、滑剤等を添加して室温で混練してスラリー状となし、該スラリーをディスク回転型スプレードライヤー装置により、不活性ガスに窒素を用い、熱風入口温度を１００℃、出口温度を４０℃に設定して造粒を行った。
【００５３】上記造粒粉を圧縮磁場プレス機を用いて、磁場強度１５ｋＯｅ、圧力１ｔｏｎ／ｃｍ2で１０ｍｍ×１５ｍｍの金型で、表２〜表４に示すように厚み寸法（磁場方向）を変えてプレス成形した後、水素雰囲気中で室温から３００℃までを昇温速度１００℃／時で加熱する脱バインダー処理を行い、引き続いて
真空中で１１００℃まで昇温し１時間保持する焼結を行い
焼結体を得た
【００５４】焼結体の厚み方向に両面ラップで表２〜表４に示すような寸法に研磨加工した後、真空中で５００℃の温度で２時間保持する熱処理（Ａ工程）、また
加工した焼結体の周囲にジェットミル粉砕した原料合金粉末を置き、真空中で８００℃の温度で、２時間保持する熱処理（Ｂ工程）
【００５５】成形時の造粒粉の流動性を表１に、また焼結体の厚み寸法バラツキ、加工前後および熱処理後の磁気特性を表２〜表４に示す。なお、流動性は、内径８ｍｍのロート管を１００ｇの原料粉が自然落下し、通過するまでに要した時間で測定した。また、得られた全ての焼結体および熱処理品には、ワレ、ヒビ、変形などは全く見られなかった。」
　
（甲１−コ）
【００５８】の【表２】には、焼結後磁気特性としてiHc（kOe）が13.3〜13.6であることが記載されている。
　
（甲１−サ）
【００６０】の【表４】には、熱処理方法としてＢ工程を行った場合の焼結後磁気特性としてiHc（kOe）が11.4〜13.5であることが記載されている。
　
（甲１−シ）
「【００６１】
【発明の効果】この発明によれば、薄肉形状や小型形状のＲ−Ｆｅ−Ｂ系異方性焼結永久磁石を製造する方法において、焼結体における寸法精度をできる限り高くし、寸法出しなどのための研磨加工による研磨量を極力少なくして加工による磁気特性の劣化を最小限に抑え、さらに、
熱処理によって劣化した磁気特性をほぼ完全に回復させることにより、従来、作製が極めて困難であった厚みが３ｍｍ以下、さらには２ｍｍ以下の薄肉、小型形状で、しかも寸法精度が高く、磁気特性の優れた薄肉Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石を得ることができる
　
（２）甲第２号証（特開２００１−７７３８６号公報）（以下、「甲２」という。）
　
（甲２−ア）
「【００１３】実施例３
図３に本発明の実施例３の背中合わせ拡散を用いた作製法を示す。この実施例では、不純物の拡散に減圧拡散法を用いている。この方法は、バルブ１２を用いて導入ガス７の炉心管４への流入を完全に止めるか、ごく微量とし、パッキン１３等でキャップ６と炉心管４との間を気密封止し、排気チューブ３３に排気ポンプ（図示せず）を接続して炉心管内の気圧を減圧しながら不純物を導入する方法である。この実施例では固体拡散源３６を用いているが、固体拡散源を用いずに不純物を含むキャリヤガスを導入ガス７として用いることにより不純物を拡散してもよい。これらの方法では、炉心管内が減圧されているため不純物が炉心管内にまんべんなく行き渡り、半導体基板１表面での不純物拡散の均一性が増す。また、不純物拡散源に含まれる重金属など、半導体基板に欠陥を発生させたり、少数キャリヤライフタイムを低下させたりする原因となる有害な不純物が半導体基板内に拡散することを防止、または低減することが出来る。特に、不純物としてボロンを用いる場合は拡散温度が１０００℃から１１００℃前後と高く、有害な不純物の拡散による半導体基板品質の低下が発生しやすいが、本方法を用いることにより太陽電池作製後も半導体基板品質、特にキャリヤライフタイムを高く保つことが出来るため、太陽電池の光電変換効率を高くすることが出来る。
【００１４】特にボロンを不純物として拡散した場合には、拡散後に熱処理を行うとキャリヤライフタイムが大きく低下することがある。これを防止するためには、熱酸化膜などの拡散防止膜を必要としない本発明の背中合わせ拡散法と上記減圧拡散法を組み合わせることにより不純物拡散以外の熱処理を完全に無くすことが出来るため、太陽電池の変換効率を高めることが出来る。」
　
（３）甲第３号証（特開２００４−２９６９７３号公報）（以下、「甲３」という。）
　
（甲３−ア）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、低融点金属であるＹｂの蒸気をＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石バルク体および粉末へ収着し、磁化および保磁力を向上または回復させることで、高性能永久磁石を製造する技術に関する。」
　
（甲３−イ）
「【００１４】
一方、希土類金属の場合、Ｙｂ、ＥｕおよびＳｍは沸点が、それぞれ１１９３℃、１５９７℃および１７９１℃と比較的気化し易く、特にＹｂの場合はガラスまたはステンレス容器中５５０℃程度の温度域で収着を行うことができる。しかしながら、十分な収着を行うためには石英ガラス製の容器を使用することが望ましい。すなわち、Ｙｂ、ＥｕおよびＳｍとも、８００から８５０℃で良好に収着が進行し、最も良い磁気特性が観察される。
【００１５】
一方、上記以外の希土類金属の場合、沸点が２０００℃付近またはそれ以上となり、通常の抵抗加熱による外部加熱では十分に加熱することができない。そこで、図１に示す減圧容器の外側に高周波加熱用のコイルを設置し、これによりＤｙ，  Ｔｂ，  Ｎｄ，  Ｐｒ等の高沸点希土類金属の収着を行う。この場合、容器としては石英ガラスの他にアルミナなどのセラミックスがもちいられるが、真空漏れ等を考慮すると石英ガラスが望ましい。なお、この場合、収着される希土類金属は塊状のものが使用され、減圧容器の中心部に設置される。また、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系金属間化合物磁石は誘導加熱されない粉末または微小なバルク形状のものが好ましく、容器外周部に沿って導入される。
【００１６】
次に、容器へ導入するＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系金属間化合物磁性材料であるが、収着の効率の点では表面粗度が高いもの程効率よく金属が被着される。従って、粉末の場合は収着時間も短縮でき、Ｙｂ金属の場合は６０〜９０分程度の加熱で十分必要量のＹｂ金属が収着でき、所望む磁気特性を実現できる。しかしながら、粉末の場合が粒子同士が凝集するため、鋼球などを入れると共に容器を回転させることが望ましい。他方、高沸点希土類金属に適用される高周波加熱方式の場合は、収着金属ののみを所定の温度まで加熱し、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系金属間化合物磁性材料は７００〜８５０℃に保つことが望ましい。また、容器内へ鋼球をいれることは望ましくない。
【００１７】
一方、減圧容器内の真空度は１０−２Ｔｏｒｒ程度でも十分であるが、願わくば真空度は高い方が望ましい。また、容器内の残存雰囲気には、酸素、水、窒素、二酸化炭素等の酸素源、窒素源および炭素源となるガスが極力含まれないことが望ましく、通常、減圧容器等は清浄雰囲気（例えばＡｒガス）に保たれたグローブボックス中で取り扱うとよい。」
　
（甲３−ウ）
「【００２０】
作製したＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁性微粉末に対して２５重量％程度のＹｂ金属を混合し、石英容器に導入する。この際、これらの混合粉末と共に鋼球を石英容器内に導入することで、収着処理過程で生じる粉末間の凝集を効果的に抑制することができ、より均一な被膜を磁石粉末表面に形成することが可能となる。石英容器内は１０−２  Ｔｏｒｒ程度の真空度でもＹｂ金属の収着に問題はないが、１×１０−６  Ｔｏｒｒ程度まで真空排気した後、封管するのが望ましい（図１参照）。この場合、排気により実現する真空の質、すなわちより高い真空度ならびに残存雰囲気中への酸素および水素蒸気濃度が低い程、収着処理時に磁性材料が酸化劣化されることを回避できる。」
　
（甲３−エ）
「【００３３】
実施例５
外径０．９ｍｍ、内径０．３ｍｍ、長さ１０ｍｍの円筒状のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石成形体を、２５重量％となるようにＹｂ金属粉末と共に石英ガラス管に真空封入し、７１０℃で９０分間Ｙｂ金属を収着した。更に、この試料を取り出し、酸素および水分濃度を数ｐｐｍ以下に調整したＡｒ雰囲気の真空グローブボックス中、９００℃で１０分間熱処理後、６１０℃で２０分間アニール処理を行なった（この試料を試料１０とする）。得られた試料１０の磁気特性を未処理の試料（比較試料）のそれと共に表４に示す。」
　
（４）甲第４号証（ＩＥＥＥ　ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ　ＯＮ　ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ，ＶＯＬ．２６，ＮＯ．５，ＳＥＰＴＥＭＢＥＲ　１９９０）（以下、「甲４」という。）
　
（甲４−ア）
「The compositions of studied alloys were selected as SmFe10(Ti1-XMX)2(M=V,Cr,Mn,and Mo). The quenched ribbons were prepared by a single wheel technique under Argon atomosphere. The substrate surface velocity (Vs) of Cu wheel varies from 20m/s to 40m/s. The size of the fabricated ribbon in flake form is (10-70)μmx(1-1.4)mmx(15-100)mm. In our previous study[3,4], it was shown that the optimum wheel speed for giving the high coercivities is 20m/s, and that the ribbons quenched excessively at 40m/s are suitable for further annealing. Over-quenched ribbons were annealed at 700℃-900℃ for 30min in Sm atmosphere asu shown in Fig.1. The ribbons were placed with small blocks of Sm in a quartz tube and were sealed in the vacuum of 10-2 Torr. The ribbons were ground into powders(under 0.15mm). The powders mixed with molten parafin were solidified in a magnetic field of 12 kOe. The magnetic properties were measured with a vibrating sample magnetometer with tha maximum applied field of 1.2 MA/m(15 kOe). The magnetic properties of some samples were measured after applying the pulse field of 4.0 MA/m(50 kOe). The crystal structures were studied by X-ray diffraction using FeKa radiation.」（第１３７６頁左欄第３３行〜同頁右欄第８行）
＜訳文＞
「研究対象の合金の組成として、ＳｍＦｅ１０（Ｔｉ１−ＸＭＸ）２（Ｍ＝Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、及びＭｏ）を選択した。焼入れしたリボンをアルゴン雰囲気下での単一ホイール技法（single wheel technique）によって用意した。銅ホイールの基板表面流速（Ｖｓ）は、２０ｍ／秒から４０ｍ／秒まで変化する。作製した薄片状のリボンのサイズは、（１０−７０）μｍｘ（１−１．４）ｍｍｘ（１５−１００）ｍｍである。我々の以前の研究［３，４］では、高い飽和保磁力を与えるのに最適なホイール速度は２０ｍ／秒であり、４０ｍ／秒の速度で過剰に焼入れしたリボンがさらなるアニーリングに適していることが分かっている。図１に示すように、過剰に焼入れしたリボンをサマリウム雰囲気において７００度〜９００度で３０分間アニーリングした。リボンは、サマリウムから成る小ブロックと共に石英チューブ内に配置し、１０−２トールの真空で封止した。リボンを粉砕して（０．１５ｍｍ未満の）粉末にした。溶融パラフィンと混合した上記粉末を１２ｋＯｅの磁場で固化した。最大印加磁場が１．２ＭＡ／ｍ（１５ｋＯｅ）である試料振動型磁力計を用いて磁気特性を測定した。いくつかの試料の磁気特性は、４．０ＭＡ／ｍ（５０ｋＯｅ）のパルス磁場を印加した後に測定した。ＦｅＫａ放射を用いたＸ線回折によって結晶構造を調べた。」（訳文は請求人によるもの）
　
（５）甲第５号証（特開２００５−１１９７３号公報）（以下、「甲５」という。）
　
（甲５−ア）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、
Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系又はＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系等の希土類−鉄−ホウ素系磁石において、特にＤｙ等の希少金属を有効活用した高性能磁石
　
（甲５−イ）
「【００２２】
本発明では、
Ｍ元素（但し、Ｍは、Ｐｒ，Ｄｙ，Ｔｂ，Ｈｏから選ばれる希土類元素の一種又は二種以上）を表面に成膜して拡散することにより、Ｍ元素を結晶粒界部に富化させることによりＤｙ等の希土類金属を磁石内部側に薄く、表面側に濃く分布させることができる
【００２３】
Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石において、大きな保磁力を得るためには異方性磁界の大きい希土類元素を含有元素として利用すること、及び磁石の内部組織を均一微細に制御することが特に有効である。Ｒを希土類元素とした場合に、
Ｒ
２
Ｆｅ
１４
Ｂ化合物
【００２４】
ただし、これらの元素はいずれもＮｄより飽和磁化が小さいために、所望のエネルギー積を確保するためにはその添加量を極力少なくする必要がある。さらに、結晶組織内の
Ｎｄ
２
Ｆｅ
１４
Ｂ主相
　
（甲５−ウ）
「【００３２】
【作用】
Ｍ元素を磁石表面に成膜後に熱処理を行うと、Ｍ元素は焼結磁石内の浸透しやすい結晶粒界に多く、主結晶内に少し拡散浸透する
【００３３】
そして、Ｍ元素を多く含んだ結晶粒界層が形成されることによって保磁力が増加する
【００３４】
本発明では、焼結磁石や、原料粉末を成形後に熱間で塑性加工をした磁石に既に存在する結晶粒子間の薄いＮｄリッチな粒界層にＭ元素を多く存在させると共に、主結晶を完全に取り囲むほどの厚さの結晶粒界層を形成するため、保磁力の大幅な増加が果たされるものと推察される。」
　
（甲５−エ）
「【００３８】
磁石表面に供給して堆積又は成膜する金属は、Ｎｄよりも磁気異方性が大きく、且つ磁石を構成するＮｄリッチ粒界相等に容易に拡散浸透することを目的とするため、希土類金属のＰｒ、Ｄｙ、Ｔｂ、Ｈｏから選ばれるＭ元素の一種以上の単独又は上記のＭ元素を相当量含有する合金や化合物、例えば、Ｔｂ−Ｆｅ合金やＤｙ−Ｃｏ合金、又はＴｂＨ２等を用いることができる。
【００３９】
上記のＭ元素は、磁石表面に単に被覆されているだけでは磁気特性の向上が認められないため、成膜した金属成分の少なくとも一部が磁石内部に拡散して構成元素の一部であるＮｄ等の希土類金属リッチ相と反応した結晶粒界層を形成するようにすることが必須である
【００４０】
このため、通常は成膜した後に５００〜１０００℃における熱処理を行って成膜金属を拡散させる
スパッタリングの場合には、磁石試料を保持具と共に熱しておく
ことにより成膜中の磁石を上記温度範囲、例えば８００℃位にまで上昇させることができるため、実質的に成膜させながら同時に拡散を行うこともできる
　
（甲５−オ）
「【００４３】
なお、熱処理によってＭ元素は磁石内部に浸透するが、相互拡散によって元の磁石表面に存在するＮｄやＦｅ元素の一部が、成膜したＭ元素にも取り込まれる。ただし、Ｍ元素の膜内でのこの種の反応量はわずかであるために磁石特性にほとんど悪影響を及ぼさない。
膜の一部が拡散処理後に拡散されずに磁石表面に残存しても構わないが、Ｍ元素を節減して十分な効果を得るためには、完全に拡散させることが望ましい
　
（甲５−カ）
「【００４７】
磁石表面への希土類金属Ｍの供給法については特に限定されるものではなく、蒸着、スパッタリング
等の物理的成膜法
等の適用が可能である
　
（甲５−キ）
「【００７７】
（実施例５）
Ｎｄ
１０
Ｐｒ
２
Ｆｅ
７７．５
Ｃｏ
３
Ｂ
７．５
組成の原料合金
焼結工程を経て
平板状磁石を準備した
この磁石を
スパッタリング装置内のＳＵＳ基板上に載せ、その上部に、８０質量％Ｔｂ−２０質量％Ｃｏ組成の合金ターゲットを、ＳＵＳ３０４製のバックプレートに固定して配置した
【００７８】
装置内を真空排気後
基板加熱と併行して成膜中での磁石試料の温度上昇を利用して成膜と同時に拡散を行うことを目的とし、ＲＦ出力を１５０Ｗ、ＤＣ出力を６００Ｗまで上げてスパッタリングを開始した結果、磁石試料が赤熱するのが観測され、色調より温度は約８００℃に達していると推測された
【００７９】
ＥＰＭＡによる試料観察の結果、磁石最表面におよそ２０μｍのＴｂ−Ｃｏ層と、その下部の８０μｍの深さまで結晶粒界に表面側ほど高濃度のＴｂ
元素が分布していることが明らかになった
【００８０】
各試料を切断して３枚を重ね合わせ、ＢＨトレーサによって磁気測定を行った結果、比較例試料（１０）のＨｃｊが１．４７ＭＡ／ｍに対して、本発明試料（２２）のＨｃｊは１．８８ＭＡ／ｍであり、同一Ｔｂ量で大きな保磁力を示し、車等の耐熱用途向けに好適な保磁力が得られた。本実施例により、
成膜と拡散処理を同一工程で行っても本発明の効果がある
【００８１】
【発明の効果】
本発明によれば、
希土類磁石表面にＤｙ，Ｔｂ等の希土類金属を成膜し、拡散して磁石内部よりも表面側の希土類濃度を高くすることによって、従来の焼結磁石より少ない希土類金属含有量で大きな保磁力を出現させることができるか、又は従来と同等のＤｙ含有量においては残留磁束密度を向上させることができる
希少なＤｙ等の資源問題の解決に寄与する
　
（６）参考文献１（ＪＡＰＡＮＥＳＥ　ＪＯＵＲＮＡＬ　ＯＦ　ＡＰＰＬＩＥＤ　ＰＨＹＳＩＣＳ，ＶＯＬ．２６，ＮＯ．６，ＪＵＮＥ，１９８７，ｐｐ．７８５−８００）（以下、「甲６」という。）
　
（甲６−ア）
「In Nd-Fe-B ternary system, three ternary compounds(designated by tentative symbols T1,T2 and T3) have been identified. T1 corresponds to Nd2Fe14B, which is the main phase in the commercially available Nd-Fe-B permanent magnet. Recently, the crystal structure of Nd1+εFe4B4(T2) was determined by Givord et al.」（７９２頁左欄１７行〜２２行）
＜訳文＞
「Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ三元系では、（仮の符号Ｔ１、Ｔ２、及びＴ３によって示される）３つの三元混合物が確認される。Ｔ１は、商業的に利用可能なＮｄ−Ｆｅ−Ｂ永久磁石の主相であるＮｄ２Ｆｅ１４Ｂに対応する。近年、Ｎｄ１＋εＦｅ４Ｂ４（Ｔ２）の結晶構造がギボードらによって見出された。」（訳文は請求人によるもの）
　
（甲６−イ）
「Figure 11 shows a vertical section along a line which ties Fe and T1 and an extraporated line of this tie line. In Fig.11, the high performance magnet properties are obtained in the aera with a slightly richer Nd content than the composition of T1. When the alloy with tne composition of the Nd-Fe-B permanent magnet is cooled down from the temperature above the melting point, firstly Fe is crystallized as primary crystal. However, in the sintering temperature, 1353 K, Fe primary crystal disappers and two phases, T1 and liquid exist in the alloy. In a cooling process after sintering, T1 is formed from the liquid and the liquid composition varies on a line extrapolated from the line which ties T1 with the composition of the magnet. On cooling, the composition of the liquid goes down to the monovariant curve, e5E2. When the liquid reaches the monovariant curve, T1 and T2 are simultaneously formed from the liquid. Next, the composition of the liquid changes along this curve toward E2 and the liquid is depleted at point E2. As observed in the commercial sintered magnet, the metallographical structure of the sintered magnet consists of three phases, T1,T2, and Nd.」（７９３頁左欄９行〜７９４頁左欄６行）
＜訳文＞
「図１１は、ＦｅとＴ１とを結ぶ線分と、この線分の外挿線とに沿った垂直断面を示している。図１１において、Ｔ１の成分よりもＮｄの量がやや多い領域で高性能の磁気特性が得られる。Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ永久磁石の組成を持つ合金が融点より高い温度から冷却されるとき、まずＦｅが初晶として結晶化する。しかしながら、焼結温度である１３５３Ｋでは、Ｆｅの初晶が消失し、Ｔ１相及び液相の２相が合金中に存在する。焼結の後の冷却プロセスでは、液相からＴ１が形成され、Ｔ１を磁石の組成と結ぶ線から推定される線上で液相の組成が変化する。冷却時に、液相の組成はモノバリアントな曲線ｅ５Ｅ２に沿って下降する。液相がそのモノバリアントな曲線に到達するとき、液相からＴ１及びＴ２が同時に形成される。次に、液相の組成は、この曲線に沿ってＥ２に向けて変化し、液相はＥ２点で枯渇する。商業的な永久磁石に見られるように、焼結磁石組成の金属構造は、Ｔ１、Ｔ２及びＮｄの３相を含む。」（訳文は請求人によるもの）
　
（甲６−ウ）
「Temperature(K)」（図１１の縦軸）、
「Fig.11. A vertical section of the Nd-Fe-B phase diagram along the tie-line between Fe and T1」
＜訳文＞
「温度」、
「図１１　ＦｅとＴ１との間の線分に沿ったＮｄ−Ｆｅ−Ｂ相の垂直断面」（訳文は請求人によるもの）
　
３．無効理由１について
　まず、本件発明１について検討する。
　
（１）甲第１号証に記載された発明（以下、「甲１発明」という）
　甲１には、上記（甲１−ア）ないし（甲１−シ）に摘示する記載が認めれるところ、「熱処理が、焼結体の周囲にＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を配置して５００℃〜９００℃の温度で１〜２時間保持する還元熱処理である」（甲１−イ）、「加工した焼結体の周囲にジェットミル粉砕した原料合金粉末を置き、真空中で８００℃の温度で、２時間保持する熱処理（Ｂ工程）」（甲１−ケ）とあり、（ａ）真空中での熱処理には処理室を要することは明らかであるから、処理室を有することが実質的に記載されていると認められ、（ｂ）焼結体の周囲にＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を配置して保持する手段を有することが明らかであるから、当該手段を有することが実質的に記載されていると認められ、（ｃ）熱処理のための加熱手段を有することは明らかであるから、加熱手段を有することが実質的に記載されていると認められ、（ｄ）（還元）熱処理を施すための装置を要することは明らかであるから、熱処理装置が実質的に記載されていると認められる。
　この点をふまえ、上記（甲１−ア）ないし（甲１−シ）の記載を総合すると、甲１には次の発明（以下、「甲１発明」という）が記載されているものと認められる。
　
＜甲１発明＞
　処理室と、
　前記処理室内において、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末（ＲはＹを含む希土類元素の少なくとも１種）にバインダーと水を添加、撹拌してスラリー状となし、これをスプレードライヤー装置によって造粒した粉末を原料粉末として、該粉末を磁場中で成形後、脱脂、焼結した後、０．３ｍｍ以下の研磨量で研磨加工が施され、一対の加工対向面間の寸法が３ｍｍ以下の焼結体の周囲に前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を配置して保持する手段と、
　前記焼結体の周囲に前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を配置して５００℃〜９００℃の温度にする加熱手段と、
を有し、
　真空中で、前記加熱手段によって前記焼結体および前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末に熱処理を施すことにより、前記焼結体表面にＲ（希土類元素）を蒸着もしくは吸着させて還元して、研磨加工による磁気特性の劣化を回復させるようにした熱処理装置であって、
　Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末が、Ｎｄ１３．３原子％、Ｐｒ０．３１原子％、Ｄｙ０．２８原子％、Ｃｏ３．４原子％、Ｂ６．５原子％、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなる原料を、Ａｒガス雰囲気中で高周波溶解して、ボタン状溶製合金を得て、次に、該合金を粗粉砕した後、ジョークラッシャーなどにより平均粒度約１５μｍに粉砕し、さらに、ジェットミルにより平均粒度３μｍとした原料合金粉末であり、
　加工した焼結体の周囲にジェットミル粉砕した原料合金粉末を置き、真空中で８００℃の温度で熱処理を施す、
熱処理装置。
　
（２）対比
　本件発明１と甲１発明とを対比する。
　
（２−１）構成要件（１−ａ）について
　甲１発明の「処理室」は、本件発明１の「処理室」と一致する。
　
（２−２）構成要件（１−ｂ）について
・「重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有するバルク体」について
　甲１発明の「焼結体の周囲に」「配置」される「Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末」は、「Ｎｄ１３．３原子％、Ｐｒ０．３１原子％、Ｄｙ０．２８原子％、Ｃｏ３．４原子％、Ｂ６．５原子％、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなる原料を、Ａｒガス雰囲気中で高周波溶解して、ボタン状溶製合金を得て、次に、該合金を粗粉砕した後、ジョークラッシャーなどにより平均粒度約１５μｍに粉砕し、さらに、ジェットミルにより平均粒度３μｍとした原料合金粉末」である、つまり、「Ｄｙ」を含有する「粉末」であるから、「重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有する」物体といい得るものである点において、本件発明１の「重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有するバルク体」と一致する。
　
・「軽希土類元素ＲＬ（ＮｄおよびＰｒの少なくとも１種）を主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ型化合物結晶粒を主相として有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体」について
　甲１発明の「Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末」を「焼結し」て製造される「焼結体」は、「Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末」が「Ｎｄ１３．３原子％、Ｐｒ０．３１原子％、Ｄｙ０．２８原子％、Ｃｏ３．４原子％、Ｂ６．５原子％、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなる原料」から得られるものであるから、その主たるＲとしてＮｄ（及びＰｒ）を含有するといえ、また、主相となるＲ2Ｆｅ14Ｂ相を有する磁石であることは明らかである（（甲１−ク））、つまり、「Ｎｄ」（「及びＰｒ」）を主たるＲ（希土類元素）として含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ相を主相として有する「Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系」「焼結」磁石「体」であるから、本件発明１の「軽希土類元素ＲＬ（ＮｄおよびＰｒの少なくとも１種）を主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ型化合物結晶粒を主相として有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体」といい得るものである。
　
・「対向配置させる保持部材」について
　本件特許明細書の段落【００４４】の記載「本願における「対向」とは焼結磁石体とＲＨバルク体が間を遮断されることなく向かい合っていることを意味する。また、「対向配置」とは、主たる表面どうしが平行となるように配置されていることを必要としない。」に照らせば、本件発明１でいう「対向配置」とは、物体の形状に起因して生じる姿勢関係を問うものではなく、間を遮断されることなく向かい合っていれば足るものといえるところ、甲１発明の「焼結体の周囲に前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を配置して保持する手段」は、焼結体と粉末が間を遮断されることなく向かい合って配置されているといえるから、粉末と焼結体とを本件発明１と同じく「対向配置させる保持部材」といい得るものである。
　
＜被請求人の主張についての検討＞
　この点について、被請求人は、甲１には本件発明１でいう保持部材が存在しない旨を主張している（上記「第４．」の「４．」「（１）」「イ」）。
　確かに、甲１発明は、ＲＨバルク体が存在しないものの、上記のとおり、粉末と焼結磁石体とを対向配置させる保持部材を有するといい得るものである。
　
・まとめ（構成要件（１−ｂ））
　甲１発明は、「前記処理室内において、重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有する」物体「と軽希土類元素ＲＬ（ＮｄおよびＰｒの少なくとも１種）を主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ型化合物結晶粒を主相として有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体とを対向配置させる保持部材」を有するといい得る点で、本件発明１と一致する。
　
（２−３）構成要件（１−ｃ）について
　甲１発明の「前記処理室内において、」「焼結体の周囲に前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を配置して」「５００℃〜９００℃の温度にする加熱手段」「によって前記焼結体および前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末に」「８００℃の温度で熱処理を施す」ことは、加熱手段によって、合金粉末と焼結体が配置された処理室内の温度を８００℃に調節するといえるから、本件発明１の「処理室内の温度を７００℃以上１０００℃以下に調節する加熱手段」を有するといい得るものである。
　
（２−４）構成要件（１−ｅ）について
　甲１発明の「真空中で、前記加熱手段によって前記焼結体および前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末に熱処理を施すことにより、前記焼結体表面にＲ（希土類元素）を蒸着もしくは吸着させ」ること、「Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末」が「Ｎｄ１３．３原子％、Ｐｒ０．３１原子％、Ｄｙ０．２８原子％、Ｃｏ３．４原子％、Ｂ６．５原子％、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなる原料」から得られるものであること、つまり、真空中で、加熱手段によって合金粉末および焼結体を加熱処理することにより、Ｒ（Ｎｄ，Ｐｒ，Ｄｙ）−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末から希土類元素Ｒ（Ｎｄ，Ｐｒ，Ｄｙ）をＲ（Ｎｄ，Ｐｒ，Ｄｙ）−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石体表面に蒸着もしくは吸着させることは、処理室内を減圧し、加熱処理することにより、合金粉末からＤｙをＲ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石体の表面に供給しているといえるから、本件発明１の「前記処理室内を減圧し、前記加熱手段によって」「重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有する」物体「および」「軽希土類元素ＲＬ（ＮｄおよびＰｒの少なくとも１種）を主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ型化合物結晶粒を主相として有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体」「を加熱処理することにより、」前記物体「から重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給」する「ように構成した」といい得るものである。
　
＜被請求人の主張についての検討＞
　この点について、被請求人は、甲１において、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末と焼結体の化学組成が同一であるから、これらを同じ処理室内において同じ温度に加熱した場合、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末から焼結体にＤｙが供給されることはない旨を主張している（上記「第４．」の「４．」「（１）」「ア−ｃ．」及び「４．」「（３）」）。
　しかしながら、甲１には、「熱処理時に製品の周囲にＲ−Ｆｅ−Ｂ系の合金粉末を置き、熱処理時に製品表面に希土類元素（Ｒ）を蒸着もしくは吸着させて」いるとあり（（甲１−エ））、合金粉末から希土類元素（Ｒ）を焼結磁石体の表面に供給すると理解される。
　また、技術常識からして、合金粉末と焼結磁石体の化学組成が略同じであり、同じ処理室内において同じ温度に加熱され、それぞれから発生する蒸気の組成が略同じであっても、気相中では合金粉末由来の金属原子と焼結磁石体由来の金属原子とが入り交じっていると考えられ、気相中の金属原子が焼結磁石体の表面に付着すると考えられるから、気相中の合金粉末由来の金属原子が焼結磁石体の表面に付着すること、すなわち、合金粉末から焼結磁石体にＤｙが供給されることは起こり得るのであって、上記の記載内容が誤りであるとも認められない。（なお、甲１において、合金粉末から焼結磁石体にＤｙが供給されることが起こり得ることは、答弁書において、「加熱中に気化した（焼結磁石体からか合金粉末からかを問わず）金属原子は焼結磁石体表面とも合金粉末とも平衡状態にあるから、気相中の金属原子が焼結磁石体表面に付着することは起こり得る」（上記「第４．」の「４．」「（１）」「ア−ｃ．」）とあり、口頭審理陳述要領書において、「仮にＤｙの合金粉末から焼結磁石体への供給が皆無ではないとしても、その量は極めて微量であり」、「合金粉末から蒸発したＤｙ原子が焼結磁石体表面に飛来したとしても」、「甲第１号証の「蒸着または吸着」は拡散による磁気特性の向上をもたらし得ない程度の供給にすぎない」（上記「第４．」の「４．」「（３）」「ア．」及び「イ．」）などとあり、被請求人も認めるところである。）
　また、乙第３号証の１及び２には、甲１において合金粉末から希土類元素を焼結磁石体の表面に供給することが起こり得ないことは、記載も示唆もされていない。
　よって、被請求人の上記主張は採用することができない。
　
（２−５）構成要件（１−ｆ）について
　甲１発明の「熱処理装置」は、処理装置である点において、本件発明１の「拡散処理装置」と共通する。
　
（３）一致点、相違点
　以上のことから、本件発明１と甲１発明とは、次の点で一致し、次の点で相違する。
　
［一致点］
「（１−ａ）処理室と、
（１−ｂ）’前記処理室内において、重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有する物体と軽希土類元素ＲＬ（ＮｄおよびＰｒの少なくとも１種）を主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ型化合物結晶粒を主相として有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体とを対向配置させる保持部材と、
（１−ｃ）前記処理室内の温度を７００℃以上１０００℃以下に調節する加熱手段と、
（１−ｄ）を有し、
（１−ｅ）’前記処理室内を減圧し、前記加熱手段によって前記物体および前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体を加熱処理することにより、前記物体から重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給するように構成した
（１−ｆ）’処理装置。」である点。
　
［相違点］
（相違点１）
　「重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有する」「物体」が、
　本件発明１では、「バルク体」であるのに対して、
　甲１発明では、「粉末」（原料合金粉末）である点。
　
（相違点２）
　「前記処理室内を減圧し、前記加熱手段によって前記物体および前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体を加熱処理することにより、」「前記物体から重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給するように構成した」「処理装置」が、
　本件発明１では、「前記物体」「から重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給し
つつ、前記重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の内部に拡散させる
拡散
　甲１発明では、「前記物体」「から重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給」するように構成しているものの、「供給しつつ、前記重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の内部に拡散させる」ように構成したとしておらず、「拡散」処理装置ともしていない点。
　
（４）判断（本件発明１について）
ア．２９条１項３号
ア−ａ．相違点１の存在について
　甲１発明の「粉末」は、本件発明１の「バルク体」と相違する。
　「バルク」なる用語は、「塊状の結晶・固体など、３次元的な拡がりをもち、かさばった状態の物質」を意味し、「薄膜、粒体、粉末に対して用いられ」る用語（粉末に対比して用いられる用語）とされ、「表面、界面、端の効果が無視できる状態にあるものをさす」（乙第２号証）から、その通常の語義からして「粉末」を含まないことは明らかであり、また、本件発明１の「バルク体」は、本件特許明細書及び図面全体を精査しても、「バルク」（である物体）を意味するのであって、「粉末」を含むとは解し得ないものである。
　よって、本件発明１と甲１発明とは、上記相違点１で相違する。
　
＜請求人の主張についての検討＞
　この点について、請求人は、次の主張をしているが、以下に示すとおり、採用することができず、本件発明１と甲１発明には、上記相違点１が存在する。
　
　請求人は、本件特許明細書の段落【００６５】の記載から、本件発明１の「バルク体」を「バルク」と同一視して同義に解釈することは誤りであり、本件発明１の「バルク体」が甲１の「粉末」を含むことは明らかであるとし、甲１に記載された「粉末」が本件発明１の「バルク体」に相当することは明らかである旨を主張している（上記「第３．」の「４．」「（２）」「ア−ａ．」及び「ア−ｂ．」）。
　しかしながら、本件特許明細書の段落【００６５】の記載「ＲＨバルク体の形状・大きさは特に限定されず、板状であってもよいし、不定形（石ころ状）であってもよい。ＲＨバルク体に多数の微小孔（直径数１０μｍ程度）が存在してもよい。」は、上記「バルク」の語義と何ら矛盾するものではなく、上記「バルク」の語義に合致する範囲で、形状・大きさは特に限定されないことを記載しているにすぎないと解することが妥当である。
　さらに、甲１の「粉末」は、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石の原料合金粉末であって、ジェットミル粉砕して得られ、粒径が数μｍ程度のものである（（甲１−カ）、（甲１−ケ））ところ、これは、本件特許明細書の「微粉末」に相当する（例えば、段落【００７７】には、「次に、粗粉砕粉に対してジェットミル粉砕装置を用いて微粉砕を実行する。・・・こうして、０．１〜２０μｍ程度（典型的には３〜５μｍ）の微粉末を得ることができる。」とあり、段落【０１０８】には、「ジェットミル装置による粉砕工程を行うことにより、粉末粒径が約３μｍの微粉末を作製した。」とある。）ものであって、本件特許明細書において、当該「微粉末」は「バルク体」と明確に区別して記載されていることからも、本件発明１の「バルク体」は甲１発明の「粉末」（及び本件特許明細書の「微粉末」）と相違すると解することが妥当である。
　よって、請求人の上記主張は採用することができない。
　
ア−ｂ．相違点２の存在ついて
　甲１には、原料合金粉末からＤｙを供給しつつ、焼結磁石体の内部に拡散させることは直接的には記載されていない。
　一方で、甲１には、「焼結体にさらに研磨加工後の加工歪みにより劣化した磁気特性を回復する方法として、機械加工後の取代の大きさあるいは加工歪みやヘアークラック等の大きさによって、・・・（中略）・・・熱処理時に製品の周囲にＲ−Ｆｅ−Ｂ系の合金粉末を置き、熱処理時に製品表面に希土類元素（Ｒ）を蒸着もしくは吸着させて還元して磁気特性を回復させ」（（甲１−エ））、「熱処理としては、・・・（中略）・・・２）加工時の製品表面の酸化による熱処理時の磁気特性劣化防止のために、製品の周囲にＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を置き、５００℃〜９００℃で熱処理して製品の表面層を還元して磁気特性を回復させる、・・・（中略）・・・いずれも加工歪みやヘアークラック等により低下した磁気特性を加工前のそれとほぼ同等まで回復させることができる。・・・（中略）・・・上記２）の熱処理において、焼結体の周囲にＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末を置くのは、焼結体の表面層を還元することにより磁気特性を回復させるためである。」（（甲１−ク）などととあることらすると、甲１において、熱処理によりＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末から、焼結体の表面に供給されたＲ成分は、焼結体の表面のみに還元作用をもたらすのであるから、焼結体の内部に拡散していないと認められる。
　さらに、甲１における熱処理は、焼結体の加工によって劣化した磁気特性（保磁力など）を加工前の磁気特性とほぼ同等まで回復させるものであって、焼結体の磁気特性を（加工前の磁気特性に比べて）向上させるものではない（（甲１−ア）、（甲１−ウ）、（甲１−エ）、（甲１−ク）、（甲１−コ）、（甲１−サ）、（甲１−シ））ことからも、甲１において、熱処理により（Ｎｄ，Ｐｒ，Ｄｙ）−（Ｆｅ，Ｃｏ）−Ｂ合金粉末から、焼結体の表面に供給されたＤｙは、焼結体の内部に拡散していないと解するのが相当であり、少なくとも、焼結体の磁気特性の向上をもたらすように、Ｄyを焼結体の内部に拡散させているとは認められない。
　よって、本件発明１と甲１発明とは、上記相違点２で相違する。
　
＜請求人の主張についての検討＞
　この点について、請求人は、次の主張をしているが、以下に示すとおり、いずれも採用することができず、本件発明１と甲１発明には、上記相違点２が存在する。
　
　まず、請求人は、その範囲すら明示されていない減圧下で、加熱処理を行った際のいわば「作用効果」に相当する構成要件（１−ｅ）を外した上で、本件発明１の新規性や進歩性を判断すべきである旨を主張している（上記「第３．」の「４．」「（２）」「イ−ｃ．」）。
　確かに、構成要件（１−ｅ）「前記処理室内を減圧し、前記加熱手段によって前記バルク体および前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体を加熱処理することにより、前記バルク体から重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給しつつ、前記重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の内部に拡散させるように構成した」は、作用的な表現形式を用いて本件発明１の「拡散処理装置」を特定したものであると認められる。
　しかしながら、作用・機能・方法・用途の表現形式を用いて物の発明を特定したからといって、これを除いて本件発明１を認定することは許されないのであって、請求人の上記主張は採用することができない。
　
　次に、請求人は、甲１に記載された発明が本件発明１と同じ対象物に対して同じ条件で加熱処理を行っているので、Ｄｙを含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末からＤｙを焼結体の表面に供給しつつ、Ｄｙを焼結体の内部に拡散させるように構成されていることは明らかである旨を主張している（上記「第３．」の「４．」「（２）」「イ−ａ．」）。
　しかしながら、甲１発明と本件発明１とは、上記相違点１で相違しており、「同じ対象物」に対して加熱処理を行っているのではなく、また、減圧の範囲が明示されていないので、「同じ条件」で加熱処理を行っているとも認められないので、これに基づく請求人の上記主張は採用することができない。
　
　ここで、請求人は、甲１に記載された発明のＤｙを含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末からＤｙを焼結体の表面に供給しつつ、Ｄｙを焼結体の内部に拡散させる作用効果は、この種の分野において既に公知であるとし、例えば、甲２を参照しながら、本件発明１の「拡散処理装置」の分野において、拡散物を対象物の表面に供給しつつ、拡散物を対象物の内部に拡散する作用効果は既に公知であることは明らかである旨を説明している（上記「第３．」の「４．」「（２）」「イ−ｂ．」）。
　しかしながら、拡散処理装置の分野において、拡散物を対象物の表面に供給しつつ、拡散物を対象物の内部に拡散する作用効果が既に公知であるとしても、上記のとおり、甲１発明は、原料合金粉末からＤｙを供給しつつ、焼結磁石体の内部に拡散させるとは認められないので、甲１発明が当該公知の作用効果を有しているとすることはできず、請求人の上記説明は意味をなさない。
　
　さらに、請求人は、参考文献１に記載の周知事項を参酌すると、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ系の焼結磁石体は、本件発明１の記載中の「７００℃以上１０００℃以下」の温度範囲において、主相が固相であり、かつ粒界相に液相が含まれる、ということが一般に知られているものと認められ、参考文献１に記載の周知事項を甲１の記載に組み合わせると、甲１に記載の発明は、焼結磁石体の粒界相内にＤｙが拡散していることは明らかであり、実質的には拡散処理装置であることは明らかである旨を主張している（上記「第３．」の「４．」「（２）」「イ−ｄ．」）。
　しかしながら、参考文献１（（甲６−ア）ないし（甲６−ウ））には、「主相（Ｔ１）の隙間に存在するＮｄの比率が高い粒界相は、混合相（Ｔ２（Ｎｄ１＋εＦｅ４Ｂ４）＋Ｎｄ）」であることは示されていないので、参考文献１に記載の事項を参酌しても、「Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ系の焼結磁石体は、本件発明１の記載中の「７００℃以上１０００℃以下」の温度範囲において、主相が固相であり、かつ粒界相に液相が含まれる、ということが一般に知られている」とは認められず、上記主張はその前提を欠く。したがって、甲１発明は、焼結磁石体の粒界相内にＤｙが拡散していることは明らかであって、実質的には拡散処理装置であることは明らかである、とはいえない。
　また、仮に、「Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ系の焼結磁石体は、本件発明１の記載中の「７００℃以上１０００℃以下」の温度範囲において、主相が固相であり、かつ粒界相に液相が含まれる、ということが一般に知られている」としても、参考文献１の組成は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂであり、甲１発明の組成は、（Ｎｄ，Ｐｒ，Ｄｙ）−（Ｆｅ，Ｃｏ）−Ｂであって、両者の組成が相違する。磁石体の組成が相違すると、主相や粒界相の融点が相違するのが普通であるから、結局のところ、甲１発明は、焼結磁石体の粒界相内にＤｙが拡散していることは明らかであって、実質的には拡散処理装置であることは明らかである、とはいえない。
　よって、いずれにせよ、請求人の上記主張は採用することができない。
　
　また、請求人は、甲１の表４より、「本発明」のバインダーが「ロ」の場合及びバインダーがない「比較例」の「なし」の場合に、それらの「Ａ」と比べて「Ｂ」の方が保磁力（ｉＨｃ）が向上していることが分かるので、甲１に記載された発明はＤｙを含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系合金粉末からＤｙを焼結体の表面に供給しつつ、Ｄｙを焼結体の内部に拡散させるように構成されていることは明らかである旨を主張している（上記「第３．」の「４．」「（２）」「イ−ｅ．」）。
　しかしながら、甲１において、Ｂ工程により焼結体の保磁力の向上がもたらされているかどうかは、表２のＢ工程を行う前の保磁力と表４のＢ工程を行った後の保磁力から伺い知れるのであって、表４のＡ工程を行った後の保磁力とＢ工程を行った後の保磁力を比較しても、これを知ることができず、そのような比較は意味をなさない。
　補足すると、Ａ工程とＢ工程とでは、原料合金粉末の使用の有無だけでなく、熱処理の温度が相違するので、Ａ工程を行った後の保磁力とＢ工程を行った後の保磁力の相違が、原料合金粉末の使用の有無のみに起因すると結論づけることはできない。
　よって、請求人の上記主張は採用することができない。
　
イ．２９条２項
　上記相違点について、検討する。
　
イ−ａ．相違点１について
　甲１発明において、ＲとしてＤｙを含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系原料合金粉末を、ＲとしてＤｙを含有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系バルク体とすることの動機付けを見出すことができず、当業者が容易に想到し得たものであるとすることはできない。
　
　以下、甲１発明の「粉末」を「バルク」（バルク体）に変更することが、当業者にとって甲１から容易想到とはいえないことを、詳述する。
　物質を蒸発させて、被対象物に蒸着もしくは吸着させるにあたり、物質の供給源となる物体として、「粉末」を用いること、「バルク」（バルク体）を用いること、は何れも周知ではある。
　しかしながら、甲１には、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結体の周囲に当該焼結体の原料であるＲ−Ｆｅ−Ｂ系原料合金粉末を配置することが記載されており、「当該Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系原料合金粉末」とあるとおり、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結体の原料である「粉末」のみが記載され、かつ、「粉末」のみが想定され、「粉末」以外のもの、例えば「バルク」（バルク体）は全く想定されていない、というべきである。（甲１には、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結体の原料として、粉末以外を用いること（例えば、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結体（バルク（バルク体））を用いること）は、記載も示唆もされていない。）
　すると、甲１から、その「粉末」を「バルク」（バルク体）に変更しようとする動機付けが存在しないというほかない。
　したがって、蒸発物質の供給源として、「粉末」、「バルク」（バルク体）が単に周知であるからといって、甲１発明の「粉末」を「バルク」（バルク体）に変更することが、当業者にとって容易想到とはいえない。
　
＜請求人の主張についての検討＞
　この点について、請求人は、次の主張をしているが、以下に示すとおり、採用することができず、甲１発明の「粉末」を「バルク体」とすることが、当業者が容易に想到し得たものであるとすることはできない。
　
　請求人は、（i）本件発明１の「バルク体」と甲１の「粉末」とは焼結磁石体表面への重希土類元素の供給源である点で共通する、（ii）本件発明１の「バルク体」とは、焼結磁石体への重希土類元素の供給源であればよく、形状・大きさは特に限定されず、いかなる形態であってもよい、（iii）甲１は「粉末」以外を使用することを否定しているわけではない、とのことから、甲１の発明において、「粉末」を「バルク体」とする動機付けが存在することは明らかであり、「粉末」とするか「バルク体」とするかの選択は単なる設計事項にすぎず、その差異によって進歩性が認められるものではない旨を主張している（上記「第３．」の「４．」「（２）」「ア−ｃ．」）。
　しかしながら、甲１発明の「粉末」と本件発明１の「バルク体」とが、重希土類元素の供給源として共通すれば、それだけで、甲１発明の「粉末」を「バルク体」に変更するに足る動機付けが存在するとまではいえないし、上記のとおり、甲１では「粉末」以外のものは全く想定されていないので、同変更が設計事項であるともいえない。
　請求人の上記主張は、本件発明１を知った上での後知恵であるといわざるをえないのであって、採用することができない。
　
イ−ｂ．相違点２について
　甲１には、（Ｎｄ，Ｐｒ，Ｄｙ）−（Ｆｅ，Ｃｏ）−Ｂ原料合金粉末から供給される希土類元素（Ｎｄ，Ｐｒ，Ｄｙ）を（Ｎｄ，Ｐｒ，Ｄｙ）−（Ｆｅ，Ｃｏ）−Ｂ焼結磁石体の内部に拡散させるようにすること、これによって焼結磁石体の保磁力の向上をもたらすこと、は記載も示唆もされておらず、当業者が容易に想到し得たものであるとすることはできない。
　
＜補足：容易想到とはいえない更なる理由＞
　本件発明１は、さらに以下に示す理由からみても、甲１発明から当業者が容易に想到し得たものであるとすることはできない。
　
　甲１発明は、厚みが３ｍｍ以下の薄肉磁石を対象とするものである。
　一方、本件発明１は、本件特許明細書の段落【００１７】の記載「本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、少ない量の重希土類元素ＲＨを効率よく活用し、
磁石が比較的厚くとも
厚さ３ｍｍ以上の厚物磁石に対して
粒界拡散を利用した本発明の効果は、厚さが１０ｍｍ以下の磁石において特に顕著に発現する
　ここで、甲１には、「
この発明において
厚みが３ｍｍ以下の薄肉磁石を対象とする
一対の加工対向面間の寸法が３ｍｍを超えると
この発明による熱処理を施す必要がなくなる
　すると、実質的に厚物磁石を対象とする本件発明１は、甲１発明から当業者が容易に想到し得たものであるとすることはできない。
　
（５）まとめ（本件発明１について（無効理由１））
ア．２９条１項３号
　以上のとおり、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明である、とすることはできない。
　したがって、本件発明１は、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができない、とすることができず、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し無効とすべきものである、とすることはできない。
　
イ．２９条２項
　以上のとおり、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　したがって、本件発明１は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、とすることができず、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し無効とすべきものである、とすることはできない。
　
（６）本件発明２ないし７についての判断・まとめ（無効理由１）
ア．２９条１項３号
　本件発明２ないし７は、いずれも本件発明１を引用し、本件発明１に限定事項を付加する発明であるところ、上記（１）ないし（５）で検討したとおり、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明であるとすることはできないのであるから、本件発明２ないし７も、本件発明１と同様に、甲第１号証に記載された発明であるとすることはできない。
　したがって、本件発明２ないし７は、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができない、とすることができず、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し無効とすべきものである、とすることはできない。
　
イ．２９条２項
　本件発明２ないし７は、いずれも本件発明１を引用し、本件発明１に限定事項を付加する発明であるところ、上記（１）ないし（５）で検討したとおり、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできないのであるから、本件発明２ないし７も、本件発明１と同様に、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　したがって、本件発明２ないし７は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、とすることができず、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し無効とすべきものである、とすることはできない。
　
４．無効理由２について
　まず、本件発明１について検討する。
　
（１）甲第５号証に記載された発明（以下、「甲５発明」という）
　甲５には、上記（甲５−ア）ないし（甲５−キ）に摘示する記載が認めれるところ、「この磁石を、アネルバ（株）製のＬ−２５０Ｓ型スパッタリング装置内のＳＵＳ基板上に載せ、その上部に、８０質量％Ｔｂ−２０質量％Ｃｏ組成の合金ターゲットを、ＳＵＳ３０４製のバックプレートに固定して配置した。」、「装置内を真空排気後、・・・（中略）・・・ここでは、基板加熱と併行して成膜中での磁石試料の温度上昇を利用して成膜と同時に拡散を行う」（（甲５−キ））とあり、スパッタリング装置内には、真空排気後、加熱および成膜をおこなうための処理室を有することは明らかであるから、処理室を有することが実質的に記載されていると認められる。
　この点をふまえ、上記（甲５−ア）ないし（甲５−キ）の記載を総合すると、甲５には次の発明（以下、「甲５発明」という）が記載されているものと認められる。
　
＜甲５発明＞
　処理室と、
　前記処理室内において、８０質量％Ｔｂ−２０質量％Ｃｏ組成の合金ターゲットを配置するバックプレートと、Ｎｄ１０Ｐｒ２Ｆｅ７７．５Ｃｏ３Ｂ７．５組成の原料合金を溶解し、粉砕、成形、焼結工程を経た平板状磁石を配置する基板と、
　磁石試料の温度が約８００℃に達するように抵抗加熱による基板の加熱温度とスパッタリング装置のＲＦ出力及びＤＣ出力を設定する手段と、
を有し、
　前記処理室内を真空排気後、基板加熱と併行して成膜中での磁石試料の温度上昇を利用して、Ｔｂ−Ｃｏ層の成膜と同時にＴｂとＣｏ元素のＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石内部への拡散を行う、
スパッタリング装置。
　
（２）対比
　本件発明１と甲５発明とを対比する。
　
（２−１）構成要件（１−ａ）について
　甲５発明の「処理室」は、本件発明１の「処理室」と一致する。
　
（２−２）構成要件（１−ｂ）について
・「重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有するバルク体」について
　甲５発明の「８０質量％Ｔｂ−２０質量％Ｃｏ組成の合金ターゲット」は、本件発明１の「重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有するバルク体」といい得るものである。
　
・「軽希土類元素ＲＬ（ＮｄおよびＰｒの少なくとも１種）を主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ型化合物結晶粒を主相として有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体」について
　甲５発明の「Ｎｄ１０Ｐｒ２Ｆｅ７７．５Ｃｏ３Ｂ７．５組成の原料合金を溶解し、粉砕、成形、焼結工程を経た平板状磁石」、すなわち、「Ｎｄ（Ｐｒ）−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石」は、その主たる希土類元素としてＮｄ（及びＰｒ）を含有するといえ、また、主相となるＲ2Ｆｅ14Ｂ化合物を有する磁石であることは明らかである（（甲５−イ））、つまり、「Ｎｄ」（「及びＰｒ」）を主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ化合物を主相として有するＮｄ（Ｐｒ）−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石であるから、本件発明１の「軽希土類元素ＲＬ（ＮｄおよびＰｒの少なくとも１種）を主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ型化合物結晶粒を主相として有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体」といい得るものである。
　
・「対向配置させる保持部材」について
　本件特許明細書の段落【００４４】の記載「本願における「対向」とは焼結磁石体とＲＨバルク体が間を遮断されることなく向かい合っていることを意味する。また、「対向配置」とは、主たる表面どうしが平行となるように配置されていることを必要としない。」に照らせば、本件発明１でいう「対向配置」とは、物体の形状に起因して生じる姿勢関係を問うものではなく、間を遮断されることなく向かい合っていれば足るものといえるところ、甲５には、「この磁石を、アネルバ（株）製のＬ−２５０Ｓ型スパッタリング装置内のＳＵＳ基板上に載せ、その上部に、８０質量％Ｔｂ−２０質量％Ｃｏ組成の合金ターゲットを、ＳＵＳ３０４製のバックプレートに固定して配置した。」（（甲５−キ））とあり、また、図４からも、合金ターゲットと磁石が間を遮断されることなく向かい合って配置されているといえるから、甲５発明は、「合金ターゲット」と「平板状磁石」とを本件発明１と同じく「対向配置」させるといい得るものである。
　すると、甲５発明の「合金ターゲットを配置するバックプレート」および「平板状磁石を載せる基板」は、本件発明１の「対向配置させる保持部材」といい得るものである。
　
（２−３）構成要件（１−ｃ）について
　甲５発明の「磁石試料の温度が約８００℃に達するように抵抗加熱による基板の加熱温度とスパッタリング装置のＲＦ出力及びＤＣ出力を設定する手段」は、磁石の温度を約８００℃に調節する加熱手段といえるから、本件発明１の「温度を７００℃以上１０００℃以下に調節する加熱手段」といい得るものである。
　
（２−４）構成要件（１−ｅ）について
　甲５発明の「前記処理室内を真空排気後、基板加熱と併行して成膜中での磁石試料の温度上昇を利用して、Ｔｂ−Ｃｏ層の成膜と同時にＴｂとＣｏ元素のＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石内部への拡散を行う」ことは、Ｔｂ−Ｃｏ層の成膜とは、Ｔｂを含有する合金ターゲットからＴｂをＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石の表面に供給することにほかならないから、処理室内を減圧し、磁石を加熱処理することにより、Ｔｂを含有する合金ターゲットからＴｂをＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石の表面に供給すると同時に、ＴｂをＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石の内部に拡散させるといえるから、本件発明１の「前記処理室内を減圧し、」「前記加熱手段によって」「前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体を加熱処理することにより、前記バルク体から重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給しつつ、前記重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の内部に拡散させるように構成した」といい得るものである。
　
（２−５）構成要件（１−ｆ）に関して
　甲５発明の「スパッタリング装置」は、「ＴｂとＣｏ元素のＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石内部への拡散を行う」ものであるから、拡散処理装置であるといえ、本件発明１の「拡散処理装置」といい得るものである。
　
（３）一致点、相違点
　以上のことから、本件発明１と甲５発明とは、次の点で一致し、次の点で相違する。
　
［一致点］
「（１−ａ）処理室と、
（１−ｂ）前記処理室内において、重希土類元素ＲＨ（Ｄｙ、Ｈｏ、およびＴｂからなる群から選択された少なくとも１種）を含有するバルク体と軽希土類元素ＲＬ（ＮｄおよびＰｒの少なくとも１種）を主たる希土類元素Ｒとして含有するＲ2Ｆｅ14Ｂ型化合物結晶粒を主相として有するＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体とを対向配置させる保持部材と、
（１−ｃ）’温度を７００℃以上１０００℃以下に調節する加熱手段と、
（１−ｄ）を有し、
（１−ｅ）’前記処理室内を減圧し、前記加熱手段によって前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体を加熱処理することにより、前記バルク体から重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給しつつ、前記重希土類元素ＲＨを前記Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の内部に拡散させるように構成した
（１−ｆ）拡散処理装置。」である点。
　
［相違点］
　「加熱手段」が、
　本件発明１では、「
前記処理室内の
前記バルク体および
　甲５発明では、磁石の温度を調整するのであって、「前記処理室内の温度」を調節するとはしておらず、Ｔｂ−Ｃｏ組成の合金ターゲット「を加熱処理する」ともしていない点。
　
（４）判断（本件発明１について）
ア．２９条１項３号
　上記相違点の存在について、検討する。
　甲５には、処理室内の温度を調節する加熱手段を有することは記載も示唆もされておらず、加熱手段によってＴｂ−Ｃｏ組成の合金ターゲットおよびＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石を加熱処理することも記載も示唆もされていない。
　よって、本件発明１と甲５発明とは、上記相違点で相違する。
　
＜請求人の主張についての検討＞
　この点について、請求人は、次の主張をしているが、以下に示すとおり、いずれも採用することができず、本件発明１と甲５発明には、上記相違点が存在する。
　
　請求人は、甲５の実施例５では「基板加熱と併行して成膜中での磁石試料の温度上昇を利用して成膜と同時に拡散を行うことを目的とし、ＲＦ出力を１５０Ｗ、ＤＣ出力を６００Ｗまで上げてスパッタリングを開始した結果、磁石試料が赤熱するのが観測され、色調より温度は約８００℃に達していると推測された。」（（甲５−キ））と記載され、そこにはスパッタリング装置内を８００℃程度に調整するための「加熱手段」が存在していることが当業者ならば当然に理解され、その「加熱手段」は本件発明１の「処理室内の温度を７００℃以上１０００℃以下に調節する加熱手段」に相当することは明らかである旨を主張している（上記「第３．」の「５．」「（２）」「ア−ａ．」）。
　しかしながら、甲５において、磁石試料の温度を約８００℃に調整するための加熱手段が存在していることは当然に理解されるものの、処理室の温度を約８００℃に調整するための加熱手段が存在していることまでは当然に理解されないので、本件発明１の「処理室内の温度を７００℃以上１０００℃以下に調節する加熱手段」を有するとは認められない。
　よって、請求人の上記主張は採用することができない。
　
　さらに、請求人は、甲５に記載された発明は「合金ターゲットをスパッタリング」しているので、「加熱手段」によって「バルク体」を加熱処理する本件発明１と一応相違するものの、甲５には、「磁石表面への希土類金属Ｍの供給法については特に限定されるものではなく、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、レーザーデポジション等の物理的成膜法や、ＣＶＤやＭＯ−ＣＶＤ等の化学的気相蒸着法、及びメッキ法等の適用が可能である。」（（甲５−カ））と記載されているから、甲５に記載された発明は、「合金ターゲットをスパッタリング」するばかりでなく、「合金ターゲットを蒸着」すること、すなわち「合金ターゲットを加熱処理」することもその技術思想の範囲に含んでいることは明らかでり、本件発明１は、甲５に記載された発明であることは明らかである旨を主張している（上記「第３．」の「５．」「（２）」「イ−ａ．」）。
　確かに、甲５には、「磁石表面への希土類金属Ｍの供給法については特に限定されるものではなく、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、レーザーデポジション等の物理的成膜法・・・（中略）・・・等の適用が可能である。」（（甲５−カ））とあることから、甲５の実施例５において、スパッタリングに代えて蒸着を適用することが記載されているに等しい事項であるとはいい得るものである。
　しかしながら、甲５には蒸着に関する具体的記述は皆無であるから、甲５の実施例５において、スパッタリングに代えて蒸着を適用する発明が記載されていると認められるとしても、
（i）蒸着源として、Ｔｂ−Ｃｏ組成の合金粉末やバルク体などを用いることが想定される状況にあっては、当該発明が、Ｔｂ−Ｃｏ組成のバルク体を用いるとまではいえない。
（ii）当該発明が、蒸着源として、Ｔｂ−Ｃｏ組成のバルク体を用いるといい得たとしても、蒸着のためには、蒸気圧10-2Torrが必要であることが技術常識であって、Ｔｂの蒸着に適する10-2Torrとなる温度は１４２７℃である（乙第５号証）ことから、当業者であれば、蒸着に際してＴｂ−Ｃｏ組成のバルク体を少なくとも１４２７℃以上に加熱すると解するのが普通である。そうすると、当該発明は、Ｔｂ−Ｃｏ組成のバルク体およびＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石である平板状磁石を約８００℃の同じ温度に加熱するものとはいえない。
　したがって、甲５の実施例５において、スパッタリングに代えて蒸着を適用する発明が記載されているとしても、加熱手段により、Ｔｂ−Ｃｏ組成の合金ターゲットおよびＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石である平板状磁石を実質的に同じ温度に加熱するために処理室の温度を約８００℃に調節することまでは記載されているとは認められず、本件発明１の「
前記処理室内の温度を
前記バルク体および
　よって、請求人の上記主張は採用することができない。
　
イ．２９条２項
　上記相違点について、検討する。
　
（ａ）甲４をふまえての検討
　甲４には、バルク体から重希土類元素ＲＨをＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給するときに、加熱手段によってバルク体を加熱処理していることは、記載も示唆もされておらず、甲５発明及び甲４に記載された発明に基づいて、上記相違点を克服することが、当業者にとって容易であるとすることはできない。
　
＜請求人の主張についての検討＞
　この点について、請求人は、次の主張をしているが、以下に示すとおり、採用することができず、甲５発明において、「
前記処理室内の温度を
前記バルク体および
　
　請求人は、本件発明１の構成要件（１−ｅ）のうち、バルク体から重希土類元素ＲＨをＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給するときに加熱手段によってバルク体を加熱処理している点については、甲４に同一の発明が明示されている、「甲第４号証に記載された発明は、処理室としての石英チューブ（Ｑｕａｒｔｚ　Ｔｕｂe）内に磁石としてのリボンとバルク体（Ｒｉｂｂｏｎｓ）としてのＭｏを含む合金（Ｓｍ　Ｍｅｔａｌ）とを配置し、７００度〜９００度で加熱処理するもので、これにより高い飽和保磁力を得ている（甲第４号証の第１３７６頁左欄第３３行〜同頁右欄第８行及びＦｉｇ.1参照）。すなわち、甲第４号証に記載された発明は、Ｍｏを含む合金からＭｏをリボンの表面に供給するときに「加熱手段によってＭｏを含む合金を加熱処理」していることは明らかである。」、とのことから、本件発明１は、甲５及び甲４に記載された発明に基づいて、出願前に当業者が容易に発明をすることができたことは明らかである旨を主張している（上記「第３．」の「５．」「（２）」「イ−ｂ．」）。
　しかしながら、甲４には、「Ｍｏを含む合金からＭｏをリボンの表面に供給するときに「加熱手段によってＭｏを含む合金を加熱処理」している」ことは全く記載されておらず、明らかであるともいえないので、上記主張はその前提を欠く。
　また、甲４には、バルク体から重希土類元素ＲＨをＲ−Ｆｅ−Ｂ系希土類焼結磁石体の表面に供給するときに加熱手段によってバルク体を加熱処理していることは、記載も示唆もされていない。
　してみれば、本件発明１が、甲５及び甲４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができた、とすることはできないことは明らかであり、請求人の上記主張は採用することができない。
　
（ｂ）甲５をふまえての検討
　甲５には、「磁石表面への希土類金属Ｍの供給法については特に限定されるものではなく、蒸着、スパッタリング・・・（中略）・・・等の適用が可能である。」（（甲５−カ））とあることから、甲５の実施例５において、スパッタリングに代えて蒸着を適用することは、当業者が容易に想到し得たといえる。
　そして、蒸着に際して、蒸着源を加熱することは、ごく普通のことである。
　また、蒸着源にバルク体を用いることは周知であるから、甲５の実施例５において、スパッタリングに代えて蒸着を適用するにあたり、蒸着源として、Ｔｂ−Ｃｏ組成の合金ターゲットを引き続き用いることも、当業者が容易に想到し得たといえる。
　しかしながら、甲５発明は、Ｔｂを成膜と同時に拡散させるものであるところ、蒸着のためには、蒸気圧10-2Torrが必要であることが技術常識であって、Ｔｂの蒸着に適する10-2Torrとなる温度は１４２７℃である（乙第５号証）ことから、当業者であれば、蒸着に際してＴｂ−Ｃｏ組成の合金ターゲットを少なくとも１４２７℃以上に加熱することを想定するのが普通である。すなわち、当業者であれば、Ｔｂ−Ｃｏ組成の合金ターゲットおよびＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石である平板状磁石を約８００℃の同じ温度に加熱することは想定しないから、甲５発明から、加熱手段によりＴｂ−Ｃｏ組成の合金ターゲットおよびＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石を実質的に同じ温度に加熱するために処理室の温度を約８００℃に調節することが、当業者が容易に想到し得たとはいえない。
　したがって、甲５発明から、本件発明１の「
前記処理室内の温度を
前記バルク体および
　
＜被請求人の主張についての検討＞
　この点について、被請求人は、スパッタリングは成膜の材料である金属を高温加熱しなくてよいことを利点とするのであるから、甲５には、合金ターゲットを加熱しようという動機を生ずる理由がまったく存在しないし、加熱することには阻害事由が存する旨を主張している（上記「第４．」の「５．」「（１）」「ア−ｃ．」）。
　確かに、スパッタリングにおいては、合金ターゲットを加熱する動機付けはないが、上記のとおり、甲５には、スパッタリングに代えて蒸着を適用することが示唆されており、蒸着を適用した際には、蒸発源を加熱することはごく普通のことであるから、合金ターゲットを加熱する動機付けは存在するといえる。
　
＜請求人の主張についての検討＞
　この点について、請求人は、次の主張をしているが、以下に示すとおり、採用することができず、甲５発明において、「
前記処理室内の温度を
前記バルク体および
　
　請求人は、（i）蒸着に際して、加熱手段により、重希土類元素を含む被蒸着対象物及び平板状磁石を実質的に同じ温度に加熱するために処理室の温度を調節することは、例示のとおり、磁石に対して蒸着を行う技術分野における常套手段であることは明らかである、（ii）甲５に記載の発明は、成膜が目的ではないから、そこには適切なレートで成膜を行うという目的は存在せず、実用的な成膜レートを確保する必要もないので、処理室の温度を７００℃以上１０００℃以下に調節することは設計事項にすぎないことは明らかである、とのことから、本件発明１は、甲５に記載された発明に基づき当業者が容易に想到し得たものである旨を主張している（上記「第４．」の「５．」「（１）」「ア−ｂ」）。
　（i）確かに、請求人が例示した甲１の（甲１−ケ）や甲３の（甲３−エ）には、蒸着に際して、加熱手段により、重希土類元素を含む蒸着源及び磁石を実質的に同じ温度に加熱することが記載されているといい得るものである。
　しかしながら、重希土類元素を含む蒸着源及び磁石を実質的に同じ温度に加熱することを意図して、処理室の温度を当該温度に調節することまでは、記載されていないので、「蒸着に際して、加熱手段により、重希土類元素を含む被蒸着対象物及び平板状磁石を実質的に同じ温度に加熱するために処理室の温度を調節すること」が「磁石に対して蒸着を行う技術分野における常套手段」であるとまではいえない。
　さらに、例えば、甲３には、「一方、上記以外の希土類金属の場合、
沸点が２０００℃付近またはそれ以上となり、通常の抵抗加熱による外部加熱では十分に加熱することができない
図１に示す減圧容器の外側に高周波加熱用のコイルを設置し、これにより
Ｔｂ
等の高沸点希土類金属の収着を行う
Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系金属間化合物磁石は誘導加熱されない
ものが好ましく
高沸点希土類金属に適用される高周波加熱方式の場合は、収着金属ののみを所定の温度まで加熱し、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系金属間化合物磁性材料は７００〜８５０℃に保つことが望ましい
　そして、仮に、「蒸着に際して、加熱手段により、重希土類元素を含む被蒸着対象物及び平板状磁石を実質的に同じ温度に加熱するために処理室の温度を調節すること」が「磁石に対して蒸着を行う技術分野における常套手段」であるといえたとしても、当業者であれば、甲５の実施例５から、Ｔｂ−Ｃｏ組成の合金ターゲットおよびＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石である平板状磁石を約８００℃の同じ温度に加熱することは想定しないことは、上記のとおりであるから、甲５の実施例５から当該常套手段を用いることは容易に想到し得ないというべきである。
　（ii）また、甲５には、Ｍ元素（Ｔｂ−Ｃｏ層）を成膜して拡散することが記載されている（（甲５−イ）、（甲５−ウ）、（甲５−エ）、（甲５−キ））のであるから、甲５発明が成膜は目的でないと解することは失当であるというほかなく、適切な条件で成膜を行うことは当然である。なお、甲５の（甲５−オ）には、最終的には磁石表面に膜が残存しないように成膜することは記載されているものの、膜を全く成膜しないことが記載ないし示唆されているとは解し得ない。
　そして、適切な条件で成膜を行うことを考慮すれば、当業者であれば、甲５の実施例５から、Ｔｂ−Ｃｏ組成の合金ターゲットおよびＮｄＰｒ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石を実質的に同じ温度である約８００℃に加熱することを想定しないことは、上記のとおりであり、処理室の温度を約８００℃に調節することは容易に想到し得ないというべきであるから、処理室の温度を７００℃以上１０００℃以下に調節することは設計事項にすぎないことは明らかであるとはいえない。
　よって、請求人の上記主張は採用することができない。
　
（５）まとめ（本件発明１について（無効理由２））
ア．２９条１項３号
　以上のとおり、本件発明１は、甲第５号証に記載された発明である、とすることはできない。
　したがって、本件発明１は、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができない、とすることができず、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し無効とすべきものである、とすることはできない。
　
イ．２９条２項
　以上のとおり、本件発明１は、甲第５号証に記載された発明及び甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
　したがって、本件発明１は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、とすることができず、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し無効とすべきものである、とすることはできない。
　
（６）本件発明２ないし７についての判断・まとめ（無効理由２）
ア．２９条１項３号
　本件発明２ないし７は、いずれも本件発明１を引用し、本件発明１に限定事項を付加する発明であるところ、上記（１）ないし（５）で検討したとおり、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明であるとすることはできないのであるから、本件発明２ないし７も、本件発明１と同様に、甲第５号証に記載された発明であるとすることはできない。
　したがって、本件発明２ないし７は、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができない、とすることができず、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し無効とすべきものである、とすることはできない。
　
イ．２９条２項
　本件発明２ないし７は、いずれも本件発明１を引用し、本件発明１に限定事項を付加する発明であるところ、上記（１）ないし（５）で検討したとおり、本件発明１は、甲第５号証に記載された発明及び甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできないのであるから、本件発明２ないし７も、本件発明１と同様に、甲第５号証に記載された発明及び甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　したがって、本件発明２ないし７は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、とすることができず、その特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し無効とすべきものである、とすることはできない。
　
　
第７．むすび
　以上のとおりであるから、請求人が主張する理由及び証拠方法によっては、本件特許の請求項１ないし７に係る発明の特許を無効とすることはできない。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。