【事件の表示】
　特許第３２８２３０７号「回転駆動装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２８２３０７号の請求項１に係る特許を取り消す。
　同請求項２に係る特許を維持する。
【理　由】
【1】手続の経緯
　特許第3282307号の請求項1〜4に係る発明についての出願は、平成5年8月11日に出願され、平成14年3月1日に設定登録され、その後、皆川美芳、桜井寿子より、それぞれ特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、平成15年3月28日に特許異議意見書及び訂正請求書が提出されたものである。
　
【2】訂正の適否についての判断
【2-1】訂正の要旨
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
訂正事項(1):
　特許請求の範囲の請求項1の最終行頭初の、「内とし」の後の「た」を削除し、代わって、「ており、且つ、上記ハウジングをアルミニウム合金製とすると共に、このハウジングに形成した凹孔に上記枢軸の端部を挿入しており、このハウジングに形成した通孔に挿通したねじを、この枢軸の端面に形成したねじ孔に螺合し、更に緊締している」と加入する。
訂正事項(2):
　特許請求の範囲の請求項2の第1行〜第2行の「枢軸の外周面とスリーブの内周面とのうちの・・・請求項1に記載した」を削除し、代わって、「ハウジングと、このハウジングにその基端部を結合固定した枢軸と、この枢軸の周囲に動圧軸受を介して回転自在に支持されたスリーブと、このスリーブに支持された被駆動部材とを備え、上記枢軸とスリーブと被駆動部材とを何れもアルミニウム合金とし、枢軸とスリーブとの互いの熱膨張係数の差を15%以内とし、スリーブと被駆動部材との互いの熱膨張係数の差を15%以内としており、且つ、上記枢軸の外周面に樹脂コーティングを施しており、且つ、この枢軸が、この枢軸の表面に、表面硬化処理を施した後、この枢軸の端面及び外径面を所定寸法に仕上げ、その後、この枢軸の表面に樹脂コーティングを施してから、この枢軸の外径面をセンタレス研削により所定の寸法精度に仕上げたものである」と加入する。
訂正事項(3):
　特許請求の範囲の請求項3、4を削除する。
訂正事項(4):
　発明の詳細な説明の欄の段落番号【0014】の最終行、「15%以内としている。」の後に、「又、請求項1に記載した回転駆動装置に於いては、上記ハウジングをアルミニウム合金製とすると共に、このハウジングに形成した凹孔に上記枢軸の端部を挿入しており、このハウジングに形成した通孔に挿通したねじを、この枢軸の端面に形成したねじ孔に螺合し、更に緊締している」と加入する。
訂正事項(5):
　同じく段落番号【0014】の最後に、上記訂正事項(4)で加入した文章に続け、行を改めて、「又、請求項2に記載した回転駆動装置に於いては、上記枢軸の外周面に樹脂コーティングを施しており、且つ、この枢軸が、この枢軸の表面に、表面硬化処理を施した後、この枢軸の端面及び外径面を所定寸法に仕上げ、その後、この枢軸の表面に樹脂コーティングを施してから、この枢軸の外径面をセンタレス研削により所定の寸法精度に仕上げたものである。」と加入する。
　
【2-2】訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項(1)、(2)は、願書に添付した明細書の段落【0016】及び【0022】の記載並びに願書に添付した図面の記載に基づくものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　上記訂正事項(3)は、請求項の削除であり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、上記訂正事項(4)、(5)は、上記訂正事項(1)〜(3)に伴って生じる明細書の記載の不整合をただすものであるから、不明りょうな記載の釈明を目的とする訂正であるから、これは願書に添付された明細書及び図面に記載された事項の範囲内です、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正である。
　そして上記訂正事項(1)〜(5)は、特許請求の範囲を実質的に拡張し、又は変更するものでもない。
　
　以上のとおりであるから、上記訂正は、平成6年法律第116号の施行前にした特許出願の訂正については従前の例による旨規定する、同法律第6条第1項の規定により、同法による改正前の特許法第126条第1項ただし書き及び同条第2項の規定に適合するので、当該訂正請求を認める。
　
【3】特許異議の申立て及び取消理由の概要
　(1) 申立人、皆川美芳は訂正前の請求項1、2及び3に係る発明は、その出願前に出願され、その出願後に出願公開された甲第1号証に記載された発明と同一であり、特許法第29条の2の規定により特許を受けることができないものであり、また、本発明の請求項1〜4に係る発明は、甲第2号証及び甲第3号証に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得た発明であり、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものである旨主張している。
　また、申立人、桜井寿子は、訂正前の請求項1、2に係る発明は、その出願前に出願され、その出願後に出願公開された甲第1号証に記載された発明と同一であり、特許法第29条の2の規定により特許を受けることができないものであり、また、甲第2号証及び甲第3号証に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得た発明であり、特許法第29条第2項の規定によりにより特許を受けることができないものであり、請求項3に係る発明は、その出願前に出願され、その出願後に出願公開された甲第1号証に記載された発明と同一であり、特許法第29条の2の規定により特許を受けることができないものであり、また、甲第2〜4号証に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得た発明であり、特許法第29条第2項の規定によりにより特許を受けることができないものであり、本発明の請求項4は、甲第2〜4号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易になし得た発明であり、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものである旨主張している。
　
　(2) 上記特許異議の申立てを受け、当審は、平成15年1月17日付けで通知した取消理由の要点は以下のとおりである。
　「
理由1
　本件の訂正前の請求項1〜4に係る発明は、特許法第29条第2項の規定に違反して特許されたものである。各請求項に係る発明と、特許法第29条第2項における刊行物との関係は以下のとおりである。
　請求項1に係る発明 ・・・刊行物1,2
　            ・・・刊行物1,3-特許法第29条第2項
　請求項2に係る発明 ・・・刊行物1,2-特許法第29条第2項
　            ・・・刊行物1,3-特許法第29条第2項
　請求項3に係る発明 ・・・刊行物1,2-特許法第29条第2項
　            ・・・刊行物1,3,4-特許法第29条第2項
　請求項4に係る発明 ・・・刊行物1,2-特許法第29条第2項
　            ・・・刊行物1,3,4-特許法第29条第2項
　刊行物1: 特開平4-357319号公報(皆川美芳の甲第2号証、桜井寿子の甲第3号証)
　刊行物2: 実願昭58-58790号(実開昭59-164825号公報)の明細書及び図面を撮影したマイクロフィルム(皆川美芳の甲第3号証)
　刊行物3:特開平2-217610号公報(桜井寿子の甲第2号証)
　刊行物4:特開平4-366013号公報(桜井寿子の甲第4号証)
　
　
理由2
　本件の請求項1〜3に係る発明は、先願の願書に最初に添付された明細書等に記載された発明と同一であるので、特許法第29条の2の規定に違反して特許されたものである。
　先願:特願平4-67695号(特開平5-272528号公報(皆川美芳、桜井寿子の甲第1号証))参照」
　
【4】本件の発明
　訂正後の、請求項1、2に係る発明(以下、請求項順に「発明1」、「発明2」という。)は、訂正された特許明細書の特許請求の範囲の請求項1、2に記載された事項によって特定される以下のとおりのものである。
　「【請求項1】ハウジングと、このハウジングにその基端部を結合固定した枢軸と、この枢軸の周囲に動圧軸受を介して回転自在に支持されたスリーブと、このスリーブに支持された被駆動部材とを備え、上記枢軸とスリーブと被駆動部材とを何れもアルミニウム合金とし、枢軸とスリーブとの互いの熱膨張係数の差を15%以内とし、スリーブと被駆動部材との互いの熱膨張係数の差を15%以内としており、且つ、上記ハウジングをアルミニウム合金製とすると共に、このハウジングに形成した凹孔に上記枢軸の端部を挿入しており、このハウジングに形成した通孔に挿通したねじを、この枢軸の端面に形成したねじ孔に螺合し、更に緊締している回転駆動装置。
　【請求項2】 ハウジングと、このハウジングにその基端部を結合固定した枢軸と、この枢軸の周囲に動圧軸受を介して回転自在に支持されたスリーブと、このスリーブに支持された被駆動部材とを備え、上記枢軸とスリーブと被駆動部材とを何れもアルミニウム合金とし、枢軸とスリーブとの互いの熱膨張係数の差を15%以内とし、スリーブと被駆動部材との互いの熱膨張係数の差を15%以内としており、且つ、上記枢軸の外周面に樹脂コーティングを施しており、且つ、この枢軸が、この枢軸の表面に、表面硬化処理を施した後、この枢軸の端面及び外径面を所定寸法に仕上げ、その後、この枢軸の表面に樹脂コーティングを施してから、この枢軸の外径面をセンタレス研削により所定の寸法精度に仕上げたものである回転駆動装置。」
　
【5】先願の願書に最初に添付された明細書及び図面の記載事項
　取消理由として引用した、先願である特願平4-67695号(特開平5-272528号)には、以下の事項が記載されている。
【特許請求の範囲】
　「【請求項1】固定軸に動圧空気軸受を介して回転軸を支持させるとともに、該回転軸にポリゴンミラーとモータ構成部とを装着したポリゴンスキャナであって、前記回転軸と前記ポリゴンミラーとをそれぞれ熱膨張率の一致する軽量素材から形成したことを特徴とするポリゴンスキャナ。
【請求項2】前記固定軸をステンレス鋼から形成するとともに、前記回転軸をアルミニウム又はアルミニウム合金から形成したことを特徴とする請求項1記載のポリゴンスキャナ。
【請求項3】固定軸に動圧空気軸受を介して回転軸を支持させるとともに、該回転軸にポリゴンミラーとモータ構成部とを装着したポリゴンスキャナであって、前記固定軸と前記回転軸とをそれぞれアルミニウム又はアルミニウム合金から形成するとともに、少なくとも該固定軸と該回転軸の接触可能な部位に陽極酸化被膜を形成し、該固定軸に対し該回転軸を常に軸方向に浮上させる浮上手段を設けたことを特徴とするポリゴンスキャナ。」
【0017】〜【0023】 
　「【0017】アキシャル磁気軸受30は、固定軸13の軸線上で互いに反発し合う3つのマグネット31、32、33からなり、マグネット31がマグネット32の上方で上ケース41に装着され、マグネット33が固定軸13の上端に固定されることによって、回転軸21、ミラー押え23、ポリゴンミラー25およびマグネット32からなる回転体20が固定軸13から常に上方に浮上するように付勢され、非接触で支持されている。すなわち、アキシャル磁気軸受30は、固定軸13に対し回転軸21を常に軸方向に浮上させている浮上手段となっている。なお、上ケース41の周壁部41aの一部を切欠いて偏向用窓42を設けている。
【0018】50は、ポリゴンミラー25を駆動する面対向型のブラシレスモータである。このモータ50は、回転軸21に固定されたロータマグネット組立体51と、その下面に対向するステータコイル部52と、ホール素子53とを有しており、ロータマグネット組立体51はマグネット部51aをマグネットホルダー部51bによって回転軸21に一体的に実装したモータ構成部となっている。ステータコイル部52は、プリント基板54に設けられたドライバー部(図示していない)により所定励磁方式で励磁されてロータマグネット組立体51を回転させ、回転軸21およびポリゴンミラー25(回転体20)を回転させることができる。そして、ポリゴンミラー25の回転時には、固定軸13のラジアル軸受面14に形成されたヘリングボーン溝16、17内の空気が回転軸21の回転方向に押し込められながら固定軸13と回転軸21の間の前記軸受隙間内にかき出されて動圧を発生し、この動圧が所定圧になると、固定軸13から回転軸21が完全に浮上(半径方向)して、非接触となり高速回転可能な状態となる。なお、図1において、51cは不釣合修正用のバランス修正溝であり、55はプリント基板54を外部に接続するコネクタケーブルである。また、10aはハウジング10の下面部に形成された複数のフィンである。
【0019】ところで、回転体20の主要構成部材である回転軸21とポリゴンミラー25とは熱膨張率(線膨張係数)の一致する軽量素材、例えばアルミニウム(線膨張係数:2.4×10-5(1/℃))又はアルミニウム合金から形成されており、この回転軸21の内周面21aのうち少なくとも固定軸13と接触可能な部位には、硬質アルマイト処理(陽極酸化処理)により図示しない硬質アルマイト層(陽極酸化被膜)が形成されている。この硬質アルマイト処理は、例えば所定の電解液(しゅう酸、硫酸等の水溶液)中に浸したカーボン等の陰極部と回転軸21からなる陽極部とを直流電源に接続し、その電解液中の電気分解で回転軸21(陽極)に起こる酸化反応により回転軸21の表面を酸化させて陽極酸化被膜を形成する処理であり、この場合、回転軸21はその内周面21aのほぼ全部を電解液に浸される。また、ポリゴンミラー25の取付面となるフランジ22の上面22aおよび回転軸21の上部外周面21bはこの硬質アルマイト処理時にマスキングしておき回転軸21を形成する母材(アルミニウム又はアルミニウム合金)の露出面とする。あるいは、処理後に外径研磨を行なって所要の寸法精度に加工しつつ母材(素地)を露出させることもできる。このように、母材とは異なる線膨張係数(0.5×10-5(1/℃))を有する硬質アルマイト層を回転軸21のミラー取付部分には形成しないようにして、ミラー取付部分の熱膨張率や外径寸法をポリゴンミラー25に厳密に符合させる。
【0020】一方、固定軸13は、回転軸21と同様に例えばアルミニウム又はアルミニウム合金(例えば、耐蝕アルミ合金5000、6000番系が好ましい)から形成されており、固定軸13の外周面のうち回転軸21と接触可能な部位には、回転軸21の場合と同様に硬質アルマイト層(陽極酸化被膜)が形成されている。この場合、回転軸21の内周上端部は多少拡径されて固定軸13に対する逃げとなっているため、ラジアル軸受面14およびそれより下端側に硬質アルマイト処理がされている。
【0021】なお、上述した硬質アルマイト処理に加えて、そのアルマイト処理部分に、ポリテトラフルオロエチレン(登録商標「テフロン」)を含浸させた所謂タフラム処理(日本真空技術(株)の登録商標)を行なって潤滑性を付与すると、耐焼付性が向上するので好ましい。次に、上記構成に基づいて、本発明に係るポリゴンスキャナの製造方法の一実施例を説明する。
【0022】固定軸13が所定形状に切削(又は研削)加工された後、この固定軸13を硬質アルマイト処理する際には、その処理に先立って、固定軸13のラジアル軸受面14に相当する部位に公知の方法により所定パターンのマスキングを施す。このマスキングは前記陽極酸化反応を部分的に阻むものであり、例えば図2のハッチング部分C1〜C3(以下、単にハッチング部Cという)に設けられる。次いで、このマスキング状態で、固定軸13を硬質アルマイト処理する。この場合の硬質アルマイト処理は、回転軸21の場合と同様の処理であり、前記所定の電解液(しゅう酸、硫酸等の水溶液)、カーボン等の陰極部および直流電源を利用して、その直流電源に接続した固定軸13の下端部およびラジアル軸受面14に相当する部位を電解液に浸す。そして、この電界液中の電気分解で固定軸13(陽極)に起こる酸化反応により回転軸21の表面を選択的に酸化させ、前記マスキング領域以外を陽極酸化して硬化させる。このとき、ハッチング部分Cではアルマイト層が成長せず、それ以外の陽極酸化される部分では硬質アルマイト層が成長してその分だけ径寸法が増加する。したがって、前記ハッチング部分Cのマスキング形状に対応してアルマイト層の厚さに相当する深さ(数μm〜数十μm)で動圧発生用のヘリングボーン溝16、17を含む凹部(以下、これを凹部Cともいう)が形成される。この凹部Cの深さは、電解液の温度、濃度、処理時間等の条件を変化させることで加減することができる。
【0023】次いで、要求される寸法精度に応じて外径研磨等の2次加工を行ない、固定軸13の上部外周面21bおよびミラー受けフランジ22の上面22aを所要の形状精度に仕上げる。上述のように構成された本実施例においては、回転軸21とポリゴンミラー25とが熱膨張率の一致するアルミニウム又はアルミニウム合金(軽量素材)から形成されているので、回転体20のイナーシャを小さくするとともに、熱膨張時に回転軸21に対しポリゴンミラー25が位置ずれしてバランス偏倚が生じるのを防止することができ、高速回転時の振動を低減させることができる。したがって、製造工程において回転体20を高速回転させ振動検査するというような工程が不必要になり、製造コストが低減する。」
【0031】
　「【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、回転軸とポリゴンミラーとを熱膨張率の一致する軽量素材から形成しているので、これらの回転体のイナーシャを小さくするとともに、熱膨張時のミラー取付け位置のずれによるバランス偏倚を防止することができる。この結果、高速回転時の振動や外乱に起因する焼付等の発生を防止することができ、振動の少ない高速化に適した低コストのポリゴンスキャナを提供することができる。」
　
【6】刊行物の記載
刊行物1:特開平4-357319号公報
【特許請求の範囲】
　「【請求項1】 支持部材に回転部材が動圧みぞ付き軸受を介して支持され、前記回転部材に搭載物とロータマグネットが取付けられたケースとを取付けた軸受装置において、前記搭載物とケースとの少なくとも一方が、回転部材の外径面に圧入又は焼きばめされた軸受装置。
・・・
　【請求項3】 支持部材に回転部材が動圧みぞ付き軸受を介して支持され、前記回転部材のフランジ部に搭載物とロータマグネットが取付けられたケースとを取付けた軸受装置において、前記回転部材のフランジ部と搭載物のフランジ部への取付部とケースとのうちの少なくとも二つは、線膨張係数がほぼ等しいことを特徴とする軸受装置。
・・・
　【請求項6】 支持部材に回転部材が動圧みぞ付き軸受を介して支持され、前記回転部材のフランジ部に搭載物を取付けた軸受装置において、前記回転部材のフランジ部と搭載物のフランジ部への取付部とは、線膨張係数がほぼ等しいことを特徴とする軸受装置。」
【0001】
　「【産業上の利用分野】本発明は、ミラー、ホログラムディスク等の搭載物を有する光偏向装置、VTRシリンダ装置等の軸受装置に関する。」
【0009】
　「本発明は、温度変化があっても、搭載物及びロータマグネットのケースのいずれか一方、或いは両方の重心が移動することがなく、したがって振動の発生がなく、高速回転の可能な軸受装置を提供して、上記従来の問題点を解決することを目的とする。」
4欄2行〜4行
　「支持部材としてのハウジング10は、上側部材10aと下側部材10bとにより空気等の気体を密封した構造になっており、」
7欄8行〜10行
　「そのロータマグネット61に対向するステータコイル64は、ハウジングの側面部材10cの内周面に取付けられている。」
【0014】
　「したがって、回転部材が高速回転して発熱しても、搭載物とロータマグネットのケースとのいずれか一方又は両方の重心が回転部材の回転中心に対して移動して、その結果、釣り合いが崩れるというおそれは少ない。また、回転部材のフランジ部,搭載物,ロータマグネットのケースのうちの少なくとも二つの線膨張係数をほぼ等しくした場合は、回転部材が高速回転して発熱しても、その発熱による温度上昇に伴って発生する軸の回転中心に対する搭載物等の重心移動が緩和される。したがって、回転中の釣り合いが崩れるというおそれは少ない。」
6欄6行〜【0028】
　「図2に第2の実施例示す。【0027】この実施例は、軸部材20のフランジ部25,多面鏡50,ロータマグネツト61のケース63が、いずれもアルミ合金製であり、線膨張係数が等しくなっている。上記軸部材のフランジ部25は、軸部材20の軸部26の上部に焼きばめ又は圧入されている。軸部材20の軸部26は、炭素繊維入りアルミ合金製とされ、良好な摺動性が確保されている。なお、軸部材20全体をアルミ合金製として、その表面をアルマイト処理,タフラム処理などの表面硬化処理をしてもよい。この実施例にあっては、多面鏡50とロータマグネツトのケース63とは、軸部材のフランジ部25にすきまばめで嵌合している。そして、多面鏡50とケース63とはいずれも円周方向の三箇所で軸方向に配設したボルトによってフランジ部25にねじ止めされている。【0028】また、ロータマグネツト61は、鉄合金製のヨーク62を介してアルミ合金製ケース63に取付けられており、ヨーク62はケース63に焼きばめまたは圧入されている。この実施例の場合、最良の効果を得るべく、軸部材20のフランジ部25、多面鏡50、ロータマグネット61のケース63と、嵌合部材の全てを同一材料で構成し、線膨張係数を等しくして、温度変化による嵌合部材同士の回転中の釣り合いの崩れを極力少なくしている。しかし、それらの嵌合部材のうちの少なくとも二つの部材の線膨張係数を等しくすれば、一定の効果を得ることができる。なお、軸部26を合成樹脂として軸部材2 0を軽量にすることができる。」
【0032】〜【0035】
　「図4に第4の実施例示す。この実施例は、回転部材が構造用鋼にメッキしてなるスリーブ70と、このスリーブ70の上部の開口に蓋されたスラストプラグ71とを備えている。このスリーブ70は、外周面にフランジ部25を備え、また固定軸72は、ハウジングの下側部材10bの中心に立設されている。この固定軸72に、スリーブ70が動圧みぞ付き軸受を介して回転自在に遊嵌され、そのスリーブ70の外径面に、多面鏡50が取付けられている。多面鏡50は、内周部50aと外周部50bとで材質が異なっている。内周部50aは、スリーブ70のフランジ部25とほぼ等しい線膨張係数からなる材料、例えは構造用鋼にメッキしたものからなる。外周部50bは、アルミ合金である。内周部50aに対して、外周部50bは焼きばめ又は圧入により固着されている。バランスリング67を用いる場合には、バランスリング67の線膨張係数も、スリーブのフランジ部25の線膨張係数とほぼ等しくすることが好ましい。【0033】この場合、スリーブ70と、これに嵌め込む多面鏡50の内周部50aとは、同材質で膨張係数が等しく、両者はすきまばめで嵌合されている。そして、多面鏡50はバランスリング67で押さえ、多面鏡50とバランスリング67とはスリーブのフランジ部25にボルト止めして固定されている。そして、バランスリングの周溝67aに接着剤を固着して、回転部材の重心の不釣り合い修正を行う。【0034】なお、バランスリング67を用いないで多面鏡50の上面に周溝を設け、この周溝に接着剤を固着して回転部材の重心の不釣り合い修正をおこなっても良い。また、スリーブ70の外径面と多面鏡50の内周部50aとの嵌合を、圧入又は焼きばめにしても良く、また、両者間の嵌合すきまに接着剤を充填してもよい。【0035】ロータマグネット61は直接又は間接に、スリーブ70の下部の外周面に、接着又は圧入により固着されている。なお、多面鏡50の内周部50aの材質は、スリーブのフランジ部25と等しければなんでもよいが、実際上は錆にくい材料が好ましい。また、多面鏡50の外周部50bの材質は、アルミ合金に限らず、銅合金、またはセラミックとメッキとの組合せ、またはプラスチックとメッキとの組合せなどでもよい。」
【0041】
　「或いは、回転部材のフランジ部、搭載物のフランジ部への取付部、ロータマグネットのケースのうち、少なくとも二つ以上の部材の線膨張係数又はフランジ部と搭載物との線膨張係数を等しくした。そのため、回転中の温度上昇に伴って発生する回転部材の回転中心に対する搭載物とケースとの少なくとも一方の重心の移動又は搭載物の重心の移動が緩和され、釣り合いの崩れが少ない。」
【0042】
　「かくして、温度変化があっても搭載物とロータマグネットのケースとの少なくとも一方の重心の移動又は搭載物の重心の移動がなく、したがって振動の発生が少なく、高速回転の可能な軸受装置が提供できるという効果が得られる。」
　
刊行物2: 実願昭58-58790号(実開昭59-164825号公報)の明細書及び図面を撮影したマイクロフィルム
　軸受1と軸体3とは線膨張係数がほぼ等しく、軸受面12(14)と受面18(25)との少なくとも一方に設けた多孔質の皮膜に四ふっ化エチレン樹脂を含浸したことを特徴とする軸受装置が記載され(明細書第1頁、図面等参照)、前記多孔質の皮膜は、ニッケル-りん皮膜/アルミニウムの硬質陽極酸化皮膜で形成されている旨記載されている。(明細書第1頁、第3頁第17行〜第4頁第7行、第6頁第15行〜第7頁第7行等参照)
　軸受1と軸体3とは線膨張係数がほぼ等しいので周囲温度が変化してもラジアル軸受けすきま16およびスラスト軸受すきま23の変化はいずれもほとんどなく、所定の負荷容量、所定の剛性および所定の摩擦トルク等所定の軸受性能を広い範囲にわたって維持することができると記載されている。(明細書5頁8行〜14行参照)
　ラジアル軸受面12とラジアル受面18との少なくとも一方およびスラスト軸受面14とスラスト受面25との少なくとも一方をそれぞれアルミニウム又はアルミニウム合金とし、このアルミニウム又はアルミニウム合金に硬質陽極酸化皮膜を多孔質の皮膜として施し、この多孔質の皮膜に四ふっ化エチレン樹脂を含浸しても良いと記載されている。(明細書6頁下から6行目〜7頁1行参照)
　
刊行物3:特開平2-217610号公報
2頁左下欄14行〜右下欄11行、第1図
　ポリゴンミラーの軸受け装置として使用した例が示され、ケース9と、ケース9に固定された支持板2に挿入された軸3と、軸3の周囲に動圧軸受を介して回転自在に支持されたスリーブ1と、スリーブ1に支持されたポリゴンミラー6とを備えた動圧軸受装置が示されている。
3頁左上欄2行〜4行
　「スリーブ1は、アルミ合金から形成され、その内周面には耐摩耗性を有する金属被膜11が設けられている。」と記載されている。
3頁左上欄4行〜6行
　「軸3もアルミ合金から形成され、その外周面に耐摩耗性を有する金属被膜12が形成されている。」と記載されている。
3頁右上欄下から3行〜左下欄3行
　「スリーブ1および軸3のそれぞれを同材質のもので形成したので、モータの発熱等によって温度変化が生じた場合でも、スリーブ1および軸3は同様に熱膨張するため、軸受すきま4を一定に保つことができ、軸受性能が低下するのを防止することができる。」と記載されている。
　
刊行物4:特開平4-366013号公報
【0009】4行〜6行
　動圧軸受装置の軸受1の内周面にプラスチック又は含油プラスチックからなる被膜2を形成する点が示されている。
【0009】6行〜8行
　「被膜2をプラスチックで構成する場合には、テフロン、ポリアセタール、ナイロン等が採用される。」と記載されている。
【0009】10行〜12行
　「含油プラスチックによって被膜2を構成する場合には、プラスチック素材として、ポリアセタール、ポリエチレン等が採用される。」と記載されている。
【0009】12行〜16行
　「被膜2を構成するプラスチックまたは含油プラスチックには、・・・カーボン・・・等の微粒子を混入することができる。」と記載されている。
　
【8】対比・判断
【8-1】発明1
特許法第29条の2について
　発明1と先願の願書に最初に添付された明細書等に記載された発明(以下、「先願発明」という。)とを対比する。
　先願発明における「上ケース41」と「ハウジング10」、「動圧空気軸受」、「固定軸」、「回転軸」、「ポリゴンミラー」及び「スキャナー」は、それぞれ、発明1の「ハウジング」、「動圧軸受」、「枢軸」、「スリーブ」、「被駆動部材」及び「回転駆動装置」に相当する。また、先願発明において、回転軸とポリゴンミラーとをそれぞれ熱膨張率の一致する軽量素材から形成しているから、それらの熱膨張係数の差は15%以内であるとみられる。
　したがって、両者は、「ハウジングと、このハウジングにその基端部を結合固定した枢軸と、この枢軸の周囲に動圧軸受を介して回転自在に支持されたスリーブと、このスリーブに支持された被駆動部材とを備え、上記枢軸とスリーブと被駆動部材とを何れもアルミニウム合金とし、枢軸とスリーブとの互いの熱膨張係数の差を15%以内とし、スリーブと被駆動部材との互いの熱膨張係数の差を15%以内としている回転駆動装置。」の点で一致し、発明1は、ハウジングをアルミニウム合金製とすると共に、このハウジングに形成した凹孔に上記枢軸の端部を挿入しており、このハウジングに形成した通孔に挿通したねじを、この枢軸の端面に形成したねじ孔に螺合しているのに対して、先願発明は、ハウジングの素材が明示されておらず、ハウジングに形成した凹孔に枢軸の端部を挿入しているもののハウジングに形成した通孔に挿通したねじを枢軸の端面に形成したねじ孔に螺合していない点で相違する。
　そして、この相違のうち、ハウジングに形成した凹孔に枢軸の端部を挿入し、ハウジングに形成した通孔に挿通したねじを枢軸の端面に形成したねじ孔に螺合させる点は単なる設計上の微差ということはできないから、先願発明が発明1と同一であるとは認められない。
　
特許法第29条第2項について
　刊行物1の図4及び【0032】〜【0035】には、その記載からみて「ハウジング10と、このハウジングの側面部材10cにその基端部を結合固定した固定軸72と、この固定軸の周囲に動圧みぞ付き軸受(動圧軸受)を介して回転自在に支持された回転部材であるスリーブ70と、このスリーブ70のフランジに支持された多面鏡50とを備え、スリーブ70と多面鏡50の内周部50aとの互いの熱膨張係数をほぼ等しくしており、ハウジングに形成した孔に上記軸受の端部を挿入しこのハウジングに立設し、多面鏡50の内周部50aの材質は、スリーブのフランジ部25と等しければなんでもよく、また多面鏡50の外周部50bの材質はアルミ合金に限らない軸受け装置。」なる発明(以下、「引用発明」という。)が記載されている。
　ここで、刊行物1の図4及びその説明からみて、引用発明のスリーブ70とフランジ部は同一材質で両者一体に形成されていることが明らかである。そして、引用発明の「固定軸72」、「動圧みぞ付き軸受」、「スリーブ70」(若しくは「回転部材」)、「多面鏡50」、「孔」並びに「軸受け装置」は、それぞれ発明1の「枢軸」、「動圧軸受」、「スリーブ」、「被駆動部材」、「凹孔」並びに「回転駆動装置」に相当する。また、引用発明は、スリーブ70と多面鏡50の内周部50aとは材質が同じであり、互いの熱膨張係数がほぼ等しいから、両者の熱膨張係数の差は少なくとも15%以内であると考えられる。
　従って、両者は、「ハウジングと、このハウジングにその基端部を結合固定した枢軸と、この枢軸の周囲に動圧軸受を介して回転自在に支持されたスリーブと、このスリーブに支持された被駆動部材とを備え、スリーブと被駆動部材との互いの熱膨張係数の差を15%以内としており、このハウジングに形成した凹孔に上記枢軸の端部を挿入している回転駆動装置。」の点で一致し、以下の点で相違する。
　
相違点1
　
相違点2
　
相違点3
　
相違点4
　そこで、まず、上記
相違点1
　次に、上記
相違点2
　上記
相違点3
　最後に上記
相違点4
　そして、上記、相違点1〜4の発明1に係る構成によりもたらされる効果は刊行物1〜3に記載された発明及び前記周知の技術事項から予測される範囲のものである。
　以上のとおりであるから、発明1は、刊行物1に記載された発明及び前記周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明できたものと認められる。
　
【8-2】発明2
特許法第29条の2について
　発明2と先願の願書に最初に添付された明細書等に記載された発明(以下、「先願発明」という。)とを対比する。
　先願発明における「上ケース41」と「ハウジング10」、「動圧空気軸受」、「固定軸」、「回転軸」、「ポリゴンミラー」及び「スキャナー」は、それぞれ、発明2の「ハウジング」、「動圧軸受」、「枢軸」、「スリーブ」、「被駆動部材」及び「回転駆動装置」に相当する。また、先願発明において、回転軸とポリゴンミラーとをそれぞれ熱膨張率の一致する軽量素材から形成しているから、それらの熱膨張係数の差は15%以内であるとみられる。また、先願の【0021】には枢軸の外周面に樹脂コーティングを施すことが記載されているものと認められる。
　したがって、両者は、「ハウジングと、このハウジングにその基端部を結合固定した枢軸と、この枢軸の周囲に動圧軸受を介して回転自在に支持されたスリーブと、このスリーブに支持された被駆動部材とを備え、上記枢軸とスリーブと被駆動部材とを何れもアルミニウム合金とし、枢軸とスリーブとの互いの熱膨張係数の差を15%以内とし、スリーブと被駆動部材との互いの熱膨張係数の差を15%以内と、且つ、上記枢軸の外周面に樹脂コーティングを施している回転駆動装置。」の点で一致し、発明2は、枢軸の表面に、表面硬化処理を施した後、この枢軸の端面及び外径面を所定寸法に仕上げ、その後、この枢軸の表面に樹脂コーティングを施してから、この枢軸の外径面をセンタレス研削により所定の寸法精度に仕上げたのに対して、先願発明は、この点が規定されていない点で両者は相違する。
　そして、この相違点は技術事項として点は単なる設計上の微差ということはできないから、先願発明が発明2と同一であるとは認められない。
　
特許法第29条第2項について
　発明2は、発明1の技術事項である「上記ハウジングをアルミニウム合金製とすると共に、このハウジングに形成した凹孔に上記枢軸の端部を挿入しており、このハウジングに形成した通孔に挿通したねじを、この枢軸の端面に形成したねじ孔に螺合し、更に緊締している」を「この枢軸が、この枢軸の表面に、表面硬化処理を施した後、この枢軸の端面及び外径面を所定寸法に仕上げ、その後、この枢軸の表面に樹脂コーティングを施してから、この枢軸の外径面をセンタレス研削により所定の寸法精度に仕上げたものである」としたものであるから、発明2と前記引用発明とを比較すると、前記相違点1〜3及び以下の
相違点5
　
相違点5
　そこで相違点5を検討するに、刊行物2〜4を検討しても、発明2で規定する処理と仕上げの内容及びそれらの順序が開示されていない。
　よって、発明2は、刊行物1〜4に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものとは認められない。
　
【9】むすび
　以上のとおり、本件の請求項1に係る発明は、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものに対して特許されたものであるから、請求項1に係る発明の特許は特許法等の一部を改正する法律(平成6年法律第116号)附則第14条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令(平成7年政令第205号)第4条第2項の規定により取り消されるべきものである。
　また、本件の請求項2に係る発明は、異議申立の理由及び証拠方法によっては取り消すことができず、他に取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年５月１６日（２００３．５．１６）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
回転駆動装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ハウジングと、このハウジングにその基端部を結合固定した枢軸と、この枢軸の周囲に動圧軸受を介して回転自在に支持されたスリーブと、このスリーブに支持された被駆動部材とを備え、上記枢軸とスリーブと被駆動部材とを何れもアルミニウム合金とし、枢軸とスリーブとの互いの熱膨張係数の差を１５％以内とし、スリーブと被駆動部材との互いの熱膨張係数の差を１５％以内とし
ており、且つ、上記ハウジングをアルミニウム合金製とすると共に、このハウジングに形成した凹孔に上記枢軸の端部を挿入しており、このハウジングに形成した通孔に挿通したねじを、この枢軸の端面に形成したねじ孔に螺合し、更に緊締している
　【請求項２】　
ハウジングと、このハウジングにその基端部を結合固定した枢軸と、この枢軸の周囲に動圧軸受を介して回転自在に支持されたスリーブと、このスリーブに支持された被駆動部材とを備え、上記枢軸とスリーブと被駆動部材とを何れもアルミニウム合金とし、枢軸とスリーブとの互いの熱膨張係数の差を１５％以内とし、スリーブと被駆動部材との互いの熱膨張係数の差を１５％以内としており、且つ、上記枢軸の外周面に樹脂コーティングを施しており、且つ、この枢軸が、この枢軸の表面に、表面硬化処理を施した後、この枢軸の端面及び外径面を所定寸法に仕上げ、その後、この枢軸の表面に樹脂コーティングを施してから、この枢軸の外径面をセンタレス研削により所定の寸法精度に仕上げたものである
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　この発明に係る回転駆動装置は、例えばレーザプリンタやディジタル複写機を構成する光偏向装置に組み込んで、レーザ照射器から照射されるレーザビームを、感光ドラムに向け走査させる為に利用する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来から、図２に示す様な構造を有する光偏向装置が知られている。アルミニウム合金製のハウジング１の中心部には、ステンレス鋼等の鉄系合金により造られた枢軸２の基端部を固定している。そして、この枢軸２の周囲に円管状のスリーブ３を配置している。このスリーブ３の内周面と上記枢軸２の外周面との間には、動圧気体軸受を設けている。従って、上記スリーブ３が高速回転すると、このスリーブ３の内周面と枢軸２の外周面とは非接触状態になる。
　【０００３】
　又、スリーブ３の上端開口部に蓋体４を被着すると共に、この蓋体４の中央部に鉛直方向に亙って形成した流通孔５の下端開口を、上記枢軸２の上端面に対向させている。上記スリーブ３の回転時には、スリーブ３に設けた動圧溝２７によって、枢軸２外周面とスリーブ３内周面との間の軸受隙間６内に気体を吸引し、この気体によって上記スリーブ３の内周面と枢軸２の外周面とを非接触状態に保持すると共に、上記蓋体４の下面と枢軸２の上端面とを離隔させる。
　【０００４】
　上記スリーブ３の中間部外周面に形成した取付フランジ７の上面には、レーザ光を反射させる為の、被駆動部材であるポリゴンミラー８を支持固定している。又、上記スリーブ３の中間部外周面で上記取付フランジ７の下側部分には、ロータ９を支持している。一方、上記ハウジング１の内周面にはステータ１０を固定し、このステータ１０と上記ロータ９とを対向させる事で、上記スリーブ３を回転駆動する為の電動モータ１１を構成している。
　【０００５】
　上述の様に構成される、本発明の対象となる回転駆動装置を組み込んだ光偏向装置の使用時には、上記ステータ１０に通電する事によって、上記スリーブ３並びにポリゴンミラー８を回転させる。スリーブ３の回転速度が上昇するのに伴って、前記動圧気体軸受の作用に基づき、上記スリーブ３の内周面と枢軸２の外周面及び上記蓋体４の下面と上記枢軸２の上端面とが、それぞれ非接触状態になる。
　【０００６】
　この状態でハウジング１の外周壁に設けた透明窓２５からレーザ光をポリゴンミラー８の外周面に、適当なタイミングで投射すれば、この外周面で反射したレーザ光が、感光ドラム表面に走査される。
　【０００７】
　【発明が解決しようとする課題】
　ところが、上述の様に構成され作用する、従来の光偏向装置に組み込んだ回転駆動装置の場合、次に述べる様な、解決すべき問題が生じる。
　【０００８】
　即ち、従来の光偏向装置に組み込んだ回転駆動装置に於いては、枢軸２を錆びにくいステンレス鋼により造っている。そして、温度変化に伴う軸受隙間６の寸法変化を抑えるべく、上記スリーブ３を超硬合金若しくは構造用鋼により造り、防錆と摺動性の向上とを目的として、このスリーブ３の表面にニッケル系の硬質メッキを施している。そして、アルミニウム合金製の上記ポリゴンミラー８を、上記スリーブ３の周囲に固定している。従って、光偏向装置に組み込んだ回転駆動装置の温度が上昇した場合には、これら両部材３、８同士の間にかなりの熱膨張差を生じる事が避けられなかった。より具体的には、温度上昇時にポリゴンミラー８の熱膨張量がスリーブ３の熱膨張量に比べてかなり多くなっていた。
　【０００９】
　上記ポリゴンミラー８をスリーブ３に支持固定する場合には、ポリゴンミラー８をスリーブ３に、隙間ばめによって外嵌すると共に、ポリゴンミラー８を取付フランジ７に対しねじ止めしている。ところが、温度上昇時にはポリゴンミラー８の熱膨張に基づき、このポリゴンミラー８の内周面とスリーブ３の外周面との間の隙間が大きくなり、ポリゴンミラー８の取付位置が直径方向にずれ動く。
　【００１０】
　この様な原因によってポリゴンミラー８の取付位置が直径方向にずれ動いた場合には、ポリゴンミラー８と共に高速回転する部材の動的不釣り合いが大きくなり、回転に伴う遠心力によってポリゴンミラー８が細かく振動する。この様な振動は、レーザ光の走査位置のずれによるレーザプリンタ等の印字品質を低下の原因となる為、好ましくない。
　【００１１】
　又、光偏向装置の温度は、ハウジング１内に存在する気体とポリゴンミラー８等、使用時に高速回転する部材表面との摩擦に基づいて上昇し、使用停止に伴って下降する為、上記ポリゴンミラー８が熱膨張、収縮を繰り返し、その度毎にスリーブ３に対するポリゴンミラー８の取付位置が微妙に異なる。この様な場合にも、ポリゴンミラー８が細かく振動して印字品質を低下させる原因となる。
　【００１２】
　特に、近年に於いては印字品質の向上と印字速度の高速化とを目的として、より大径のポリゴンミラー８をより高速で回転させる傾向にあり、使用時に於ける光偏向装置の温度上昇がより著しくなって、上述の様な原因による印字品質の低下を無視できなくなっている。
　【００１３】
　又、枢軸２をステンレス鋼製としたまま、上記スリーブ３をアルミニウム合金製とした場合には、温度上昇に伴って上記枢軸２の外周面とスリーブ３の内周面との間に存在する軸受隙間６の寸法が大きくなってしまう。この軸受隙間６の寸法は数〜十数μｍ程度の小さなものであり、温度変化による増加分が上記寸法に占める割合は相当に大きなものとなる。この結果、温度変化に伴って動圧軸受の性能が大きく変化し、場合によっては光偏向装置が所期の性能を維持できなくなる可能性がある。本発明の回転駆動装置は、この様な事情に鑑みて発明されたものである。
　【００１４】
　【課題を解決する為の手段】
　本発明の回転駆動装置は、ハウジングと、このハウジングにその基端部を結合固定した枢軸と、この枢軸の周囲に動圧軸受を介して回転自在に支持されたスリーブと、このスリーブに支持された被駆動部材とを備えている。そして、上記枢軸とスリーブと被駆動部材とを何れもアルミニウム合金とし、枢軸とスリーブとの互いの熱膨張係数の差を１５％以内とし、スリーブと被駆動部材との互いの熱膨張係数の差を１５％以内としている。
又、請求頂１に記載した回転駆動装置に於いては、上記ハウジングをアルミニウム合金製とすると共に、このハウジングに形成した凹孔に上記枢軸の端部を挿入しており、このハウジングに形成した通孔に挿通したねじを、この枢軸の端面に形成したねじ孔に螺合し、更に緊締している
　
又、請求項２に記載した回転駆動装置に於いては、上記枢軸の外周面に樹脂コーティングを施しており、且つ、この枢軸が、この枢軸の表面に、表面硬化処理を施した後、この枢軸の端面及び外径面を所定寸法に仕上げ、その後、この枢軸の表面に樹脂コーティングを施してから、この枢軸の外径面をセンタレス研削により所定の寸法精度に仕上げたものである
　【００１５】
　【作用】
　上述の様に構成される本発明の回転駆動装置に於いては、温度上昇時に於いても枢軸の外周面とスリーブの内周面との間に存在する軸受隙間の寸法が大きく変化する事がなく、又、被駆動部材の内周面とスリーブの外周面との間の隙間が大きくならず、被駆動部材の取付位置が直径方向にずれ動く事がない。従って、動圧軸受の性能変化が少なく、又、高速回転中の動的釣り合いが変化せず、光偏向装置等、回転駆動装置を組み込んだ各種機器の性能維持を図れる。
　【００１６】
　【実施例】
　図１は、本発明の実施例を示している。ハウジング１２は、それぞれがアルミニウム合金により造られた基板部１３と上蓋部１４とを組み合わせて成り、内側に密閉空間１５を設けている。上記基板部１３の下面には、複数の放熱フィン２４、２４を形成している。又、上記基板部１３の上面中央部には、アルミニウム合金製の枢軸１６の下端を支持固定している。即ち、上記基板部１３の上面中央部に形成した凹孔１７に上記枢軸１６の下端部をがたつきなく挿入すると共に、上記基板部１３の下面中央部に形成した通孔２６からこの凹孔１７内に挿入したねじ２３を、上記枢軸１６の下端面に形成したねじ孔１８に螺合し、更に緊締している。
　【００１７】
　この枢軸１６は、アルミニウム合金製のスリーブ１９と共に、動圧気体軸受２０を構成する。この為、上記スリーブ１９の内周面には動圧溝２１、２１を形成している。又、スリーブ１９の中間部外周面には取付フランジ２２を設け、この取付フランジ２２に、スリーブ１９に嵌合する、被駆動部材であるアルミニウム合金製のポリゴンミラー８をねじ止め固定している。
　【００１８】
　その他の構成は、前述した従来構造と同様である。又、回転駆動装置を組み込んだ光偏向装置の使用時には、電動モータ１１によって、上記スリーブ１９並びにこのスリーブ１９に固定されたポリゴンミラー８を回転させる。スリーブ１９の回転速度が上昇するのに伴って、このスリーブ１９の内周面と枢軸１６の外周面との間に動圧が発生し、両周面同士が接触する事がなくなる。従って、上記ポリゴンミラー８を高速で長時間回転させる事が可能となる。
　【００１９】
　特に、本発明の回転駆動装置を組み込んだ光偏向装置の場合には、枢軸１６とスリーブ１９とを、互いの熱膨張係数の差が１５％以内のアルミニウム合金により造っている為、温度上昇時に於いても枢軸１６の外周面とスリーブ１９の内周面との間に存在する軸受隙間６の寸法が大きく変化する事がない。従って、動圧気体軸受２０の性能変化が少なく、回転駆動装置を組み込んだ光偏向装置の性能維持を図れる。又、スリーブ１９とポリゴンミラー８とを、互いの熱膨張係数の差が１５％以内のアルミニウム合金により造っている為、上記スリーブ１９に対するポリゴンミラー８の取付位置がずれる事もなく、繰り返し使用に伴って回転中の釣り合いが崩れる事もない。更に、図示の実施例では、前記基板部１３の下面に形成した放熱フィン２４、２４により、各部の温度上昇を低く抑える事ができる為、上記性能変化の僅少化と回転中の釣り合いの崩れ防止効果とが大きい。
　【００２０】
　尚、上記枢軸１６及びスリーブ１９を構成するアルミニウム合金としては、ＪＩＳ　Ａ２０１７、同Ａ２２１８、同Ａ５０５６、同Ａ６２６２、同Ａ７０７５等が、上記ポリゴンミラー８を構成するアルミニウム合金としては、ＪＩＳ　Ａ２２１８、同Ａ５０５６等が、それぞれ使用可能である。これら各アルミニウム合金は何れも、２５℃に於ける熱膨張係数が２０〜２５×１０−６の範囲である為、上記各部材１６、１９、８の熱膨張量の差を小さく抑えられる。従って、回転駆動装置を組み込んだ光偏向装置の運転と停止との繰り返しによって上記ポリゴンミラー８の上記スリーブ１９に対する取付位置がずれる事を防止し、しかも動圧気体軸受２０の性能維持を図れる。
　【００２１】
　又、上記枢軸１６の表面に、無電解ニッケルメッキ、アルマイト処理、或はセラミックコーティング等の表面処理を施せば、上記枢軸１６の表面を傷つきにくくできる。更に、上記外周面に、ポリフェニレンサイファイド樹脂（ＰＰＳ）やポリアミドイミド樹脂等をベースにした樹脂コーティングを施せば、この外周面の摺動特性を向上（滑り易く）させて、回転駆動装置を組み込んだ光偏向装置の起動、停止に伴う耐久性を向上させられる。
　【００２２】
　この場合に、アルミニウム合金製の枢軸１６の表面に直接樹脂コーティングをせずに、先ず上記枢軸１６にニッケルメッキやカニゼンメッキ等の表面硬化処理を施した後、この枢軸１６の端面及び外径面を所定寸法に仕上げ、その後、枢軸１６の表面に樹脂コーティングを施してから、上記枢軸１６の外径面のみをセンタレス研削により所定寸法に仕上げる事が、加工上及び取扱上の傷付き防止の面から好ましい。これは、枢軸１６の上端面は、起動トルクの低減と起動停止耐久性向上とを目的として球状凸面としており、この球状凸面を仕上げる為に枢軸１６の外径面をクランプする際に有効である為である。
　【００２３】
　尚、上記枢軸１６の表面をコーティングする合成樹脂中にカーボン繊維を混入する事で、コーティング層に導電性を持たせれば、回転検査によって軸受面の突起の有無を確認できるので、品質保証が容易になる。
　【００２４】
　一方、スリーブ１９の内周面は枢軸１６の外周面に比べて取り扱い時等に傷つきにくく、枢軸１６の外周面に比べて表面処理を行なう必要性が低いが、枢軸１６の外周面と同様の表面硬化処理を施せば、組立時や使用時に傷つきにくくなる利点を有する。例えば、切削加工により造ったアルミニウム合金製のスリーブ１９の内周面に、塑性加工により動圧溝２１を形成した後、この内周面に無電解ニッケルメッキ、カニゼンメッキ、アルマイト処理等の表面硬化処理を施せば、この動圧溝２１の形成作業を面倒にする事なく、上記内周面を硬化できる。又、上記動圧溝２１の形成作業を、転造等の塑性加工により行なう場合には、加工に伴って各動圧溝２１の周辺が盛り上がるので、好ましくは、溝加工後にラッピング若しくはホーニング等の仕上加工を施して、盛り上がり部分を除去する。
　【００２５】
　又、図示の実施例の場合には、枢軸１６を基板部１３に対し、ねじ２３により着脱自在に結合している為、組立検査行程時に枢軸１６の不良が発見された場合等に、この枢軸１６の交換を容易に行なえる。即ち、図２に示した従来構造の様に、ハウジング１をアルミニウム合金により、枢軸２をステンレス鋼により、それぞれ造った場合には、この枢軸２をハウジング１に対し焼き嵌めにより固定した場合でも、両部材１、２を加熱する事で分解可能である。ところが、本発明の様に、枢軸１６と基板部１３とを何れもアルミニウム合金により造った場合には、両部材１６、１３間に熱膨張差がない為、これら両部材１６、１３を焼き嵌めにより結合した場合には、後から分解する事が難しい。図示の実施例は、この様な問題を解決し、組立検査行程で枢軸１６の不良を発見した場合にこの枢軸１６の交換を行う事で、歩留まりの向上を図れる。
　【００２６】
　尚、スリーブ１９と枢軸１６との間に設けるスラスト軸受は、蓋体４の下面を球状凸面として、枢軸１６の上端面を平面としても良い。又、スラスト軸受は図示の実施例の様な動圧気体軸受に限定されず、磁気吸引力によってスラスト荷重を支承する磁気軸受とする事もできる。又、電動モータ１１を構成するロータ９はスリーブ１９に対し直接又は間接に、焼き嵌め又は圧入により固定する事が、温度変化に伴うロータ９の移動を防止する為に好ましい。但し、ロータ９の質量がポリゴンミラー８の質量に比べて十分に小さい場合には、上記ロータ９をスリーブ１９に対し、接着固定しても良い。
　【００２７】
　【発明の効果】
　本発明の回転駆動装置は、以上に述べた通り構成され作用するが、温度変化に伴う動圧軸受の性能変化及び高速回転中の動的釣り合い変化を小さくして、使用条件の違いに拘らず所期の性能を得る事が可能となる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の実施例を示す縦断面図。
　【図２】
　従来構造の１例を示す縦断面図。
　【符号の説明】
　　１　ハウジング
　　２　枢軸
　　３　スリーブ
　　４　蓋体
　　５　流通孔
　　６　軸受隙間
　　７　取付フランジ
　　８　ポリゴンミラー
　　９　ロータ
　１０　ステータ
　１１　電動モータ
　１２　ハウジング
　１３　基板部
　１４　上蓋部
　１５　密閉空間
　１６　枢軸
　１７　凹孔
　１８　ねじ孔
　１９　スリーブ
　２０　動圧気体軸受
　２１　動圧溝
　２２　取付フランジ
　２３　ねじ
　２４　放熱フィン
　２５　透明窓
　２６　通孔
　２７　動圧溝