【事件の表示】
　特許第３１５７２３９号「シャドウマスク材」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１５７２３９号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３１５７２３９号の発明は、平成３年１２月２６日に特許出願され、平成１３年２月９日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、その特許について、日立金属株式会社より特許異議の申立てがなされ、特許請求の範囲の請求項１に係る特許に対して取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年６月２５日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
ア．訂正の内容
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の
「【請求項１】
　３５〜３７％重量％Ｎｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、そして圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを１０ｍｍ以下とし、深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止し、均一エッチング性に優れることを特徴とするシャドウマスク材。」を、
「【請求項１】
　３５〜３７％重量％Ｎｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、そして圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを５ｍｍ以下とし、深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止し、均一エッチング性に優れることを特徴とするシャドウマスク材。」と訂正する。
訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【０００９】の
「【問題点を解決するための手段】
　本発明者らはかかる点に鑑み種々の研究を行なった結果、介在物の総量を適正に定量的に制限することで深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止でき、エッチング穿孔均一性が向上することを見出した。特に、圧延平行断面当たりの介在物圧延方向総長さを規制することが重要であることを見出した。この知見に基づいて、本発明は、３５〜３７％重量％Ｎｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、そして圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを１０ｍｍ以下とし、深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止し、均一エッチング性に優れることを特徴とするシャドウマスク材を提供する。」を、
「【問題点を解決するための手段】
　本発明者らはかかる点に鑑み種々の研究を行なった結果、介在物の総量を適正に定量的に制限することで深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止でき、エッチング穿孔均一性が向上することを見出した。特に、圧延平行断面当たりの介在物圧延方向総長さを規制することが重要であることを見出した。この知見に基づいて、本発明は、３５〜３７％重量％Ｎｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、そして圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを５ｍｍ以下とし、深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止し、均一エッチング性に優れることを特徴とするシャドウマスク材を提供する。」と訂正する。
訂正事項ｃ
　特許明細書の段落【００１１】の
「 そして、上記シャドウマスク材において更に好ましい範囲は圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さが５ｍｍ以下である。」を、
「そして、上記シャドウマスク材における範囲は圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さが５ｍｍ以下である。 」と訂正する。
訂正事項ｄ
　特許明細書の段落【００２０】の
「この圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さが１０ｍｍを超えると、深さ方向へのエッチングスピードが部分的に低下し、均一エッチング性が低下し、超高精細度マスク用としては適さなくなるので上限を１０ｍｍとした。なお、更に好ましい範囲は５ｍｍ以下である。」を、
「この圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さが５ｍｍを超えると、深さ方向へのエッチングスピードが部分的に低下し、均一エッチング性が低下し、超高精細度マスク用としては適さなくなるので上限を５ｍｍとした。」と訂正する。
訂正事項ｅ
　特許明細書の段落【００２５】の表１に記載の「本発明例４」を「比較例４」に訂正する。
イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、特許明細書の段落【００１１】、【００２０】【００２６】に記載の圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さに基づいて該介在物圧延方向総長さの上限を限定するものであるから、訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮に該当する。訂正事項ｂ〜ｅは、訂正後の請求項１の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るものであるから、訂正事項ｂ〜ｅは、明りょうでない記載の釈明に該当する。更に、訂正事項ａ〜ｅは、特許明細書に記載された事項の範囲内において訂正するものであるから、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでない。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２及び３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについて
（１）申立て理由の概要
　特許異議申立人日立金属株式会社は、証拠として、甲第１、２号証を提出し、本件特許の請求項１に記載の発明（以下、「本件発明」という。）は甲第２号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないものであり、また、本件発明は、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付した明細書に記載された発明と同一であり、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができないものであり、更に、特許明細書が記載不備であり、本件発明に係る特許が特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるから、本件発明に係る特許を取り消すべき旨主張している。
（２）本件発明
　前記２．の項で示したように上記訂正が認められ、また、「％重量％」は「重量％」の誤記であると認められるから、本件発明は、次の事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】
　３５〜３７重量％Ｎｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、そして圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを５ｍｍ以下とし、深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止し、均一エッチング性に優れることを特徴とするシャドウマスク材。」
（３）甲各号証記載の発明
　甲第１号証（特願平３−８０９３１号（特開平４−２１８６４４号公報））に係る出願の願書に最初に添付した明細書には、
「長手方向の板厚断面内の６０ｍｍ２の区域内を、８００倍の顕微鏡によって観察して、その区域内に存在する非金属介在物の幅および長さを測定した。その際、非金属介在物を、形状および大きさによって下記の通り分類し、そして、１ｍｍ２当たりに存在する非金属介在物の個数を測定した。
（ａ）長さ/幅の比が３以下の非金属介在物（以下、「球状非金属介在物」という）、および、
（ｂ）長さ/幅の比が３を超える非金属介在物（以下「線状非金属介在物」という）。」（段落【００７８】）、
「表４に示すように、本発明供試体Ｎｏ．１における非金属介在物の数は、次の通りであった。
球状非金属介在物の数：
幅３μｍ未満　　　　：８個、
幅３μｍ−６μｍ未満：１個、
線状非金属介在物の数：
幅３μｍ未満　　　　：１個
幅３μｍ以上　　　　：なし。」（段落【００８０】、以下、「摘示イ」という。）、
「即ち、本発明供試体Ｎｏ．１においては、非金属介在物の大部分は、３μｍ以下の球状非金属介在物からなっており、従って、非金属介在物の粒径が極めて小さいことがわかった。上述したことは、本発明供試体Ｎｏ．２に関しても、同様であった。」（段落【００８１】）、
「上述したように、比較用供試体Ｎｏ．３〜６の何れも、非金属介在物の数が多く、および/または、非金属介在物の粒径が大きかった。その結果、Ｆｅ−Ｎｉ系合金冷延板のエッチング穿孔性を阻害した。これに対して、本発明供試体Ｎｏ．１および２においては、非金属介在物の数が少なく、そして、その粒径が小さかった。その結果、Ｆｅ−Ｎｉ系合金冷延板のエッチング穿孔性に優れていた。」（段落【００８６】）、
「次に、上述した本発明供試体Ｎｏ．１および２、並びに、比較用供試体Ｎｏ．３〜６に対して、実際に、直径１３５〜２８０μｍのエッチング穿孔を実施して、その結果を調べた。エッチング穿孔を実施したそれぞれの供試体を、顕微鏡によって観察したところ、エッチング穿孔欠陥は、図８に示す、（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）および（Ｄ）の４つの型に分類することができた。その結果を、表４に、併せて示す。」（段落【００８７】）、
「本発明供試体Ｎｏ．１における、エッチング穿孔不良発生率は、皆無であった。上述したように、非金属介在物の数が少なかったこと、および、その粒径が小さかったことに起因して、本発明供試体Ｎｏ．１は、エッチング穿孔性に優れていることが明らかであった。」（段落【００８８】）と記載され、
表３には、本発明供試体１の化学成分組成（重量％）として、
Ｎｉ３５．７，Ｍｎ０．２８，ｓｏｌ．Ａｌ０．０１４，Ｓｉ０．１３，Ｃｒ０．０２，Ｃ０．００１９，Ｎ０．００１２，Ｓ０．０００６，Ｐ０．００２，Ｔ．Ｏ０．００１０であることが記載され（段落【００７６】）、
表４には、本発明供試体１の非金属介在物の数（個/ｍｍ２）として、
球状非金属介在物の幅/３μｍ未満　８個、３μｍ〜６μｍ未満　１個、
線状非金属介在物の幅/３μｍ未満　１個と記載され（段落【００７９】）、
　甲第２号証（特開昭６３−２３１８４４号公報）には、
「本発明の目的は、高精細度カラーテレビ用シャドウマスクに要求される色ずれなどを発生させないような、介在物の形状、大きさ、および量について種々検討を行い、適切な条件を見出したことに基づいて、シャドウマスク、およびその素材を提供することである。」（第２頁左上欄第８〜１３行）、
「前記介在物において、単一介在物の平均直径、および介在物群の幅が５μｍを越える場合、介在物による穿孔部形状の凹凸が有害なものとなり、画像の色ずれが発生する。また介在物群の幅が５．０μｍを越え、圧延方向の長さが５０μｍを越える場合にも、介在物による穿孔部形状の凹凸が有害なものとなり、画像の色ずれを招く。」（第２頁左下欄第４〜１０行）、
「重量％にて、Ｃ：０．０１％以下、Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：０．５％以下、Ｓ：０．０１％以下、Ｎｉ：３５〜３８％、Ｃｒ：１．５〜２．５％、Ｖ：０．６〜１．５％、残部Ｆｅおよび不可避的不純物からなるシャドウマスク用材・・・板厚０．１５ｍｍのシャドウマスク用鋼板とした。この鋼板から、縦断面と表面の顕微鏡試料を採取し、介在物の測定を行ない、同時にこの鋼板をシャドウマスクにエッチング加工を施し、穿孔部形状の状態を調査し、介在物測定結果と対応させ評価を行なった。顕微鏡試料は縦断面と表面の２ヶを採取したが、両者はほぼ同じ測定結果が得られたので、表には縦断面の値が示してある。」（第２頁右下欄第１〜１７行）、
「高精細度を要求されるシャドウマスクの介在物の形状と大きさ、および量を規定値以下とすることにより、穿孔部の形状が滑らかなものとして、色ずれのないシャドウマスクが得られる」（第３頁左下欄第６〜１０行）と記載され、
表には、介在物の最大幅、最大長及び面積率について、
試料Ｎｏ．１/Ａ系介在物　最大幅/最大長：０．５/１５、Ｂ系介在物　最大幅/最大長：３．１/３０、Ｃ系介在物　平均直径：３．５、面積率　ｄ（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）６０×４００：０．００４　と記載されている（第３頁表）。
（４）対比・判断           
（特許法第２９条第１項について）
　本件発明は、「エッチングスピードを向上させ、従来より均一なエッチング穿孔性を有する、今後需要の見込まれるＦｅ−Ｎｉ系超高精細度カラーテレビジョン受像管に対応しうるシャドウスク材を開発する」（特許明細書段落０００８）ことを課題とし、「介在物の総量を適正に定量的に制限することで深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止でき、エッチング穿孔均一性が向上すること・・・特に、圧延平行断面当たりの介在物圧延方向総長さを規制することが重要である」（特許明細書段落０００９）との知見に基づき、「３５〜３７重量％（「％重量％」は「重量％」の誤記と認める。）Ｎｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、そして圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを５ｍｍ以下とし、深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止し、均一エッチング性に優れることを特徴とするシャドウマスク材」（特許明細書段落０００９）を特徴とする。
　本件発明と甲第２号証に記載のものを対比する。
甲第２号証に記載のものは、Ｃｒ１．５〜２．５重量％、Ｖ０．６〜１．５重量％を含有するものであるから、両者は、Ｎｉ含有量が重複するＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク材である点で一致し、本件発明は、Ｃｒ１．５〜２．５重量％、Ｖ０．６〜１．５重量％を含有せず、圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを５ｍｍ以下としたシャドウマスク材であるのに対し、甲第２号証に記載のものは、Ｃｒ１．５〜２．５重量％、Ｖ０．６〜１．５重量％を含有し、圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを規制しないシャドウマスク材である点で相違する。
  相違点について検討すると、本件発明は、甲第２号証に記載のものと、シャドウマスク材の合金組成を相違し、また、本件発明１は、圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを５ｍｍ以下に規制したものであるのに対し、甲第２号証に記載のものは、Ａ系及びＢ系介在物の幅及び長さ、Ｃ系介在物の平均直径、清浄度ｄ（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）６０×４００を低く規制するものであり、圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを５ｍｍ以下に規制するものでない点で、両者は相違する。
　したがって、本件発明は、甲第２号証に記載された発明であるとすることができない。
（特許法第２９条の２について）
　次に、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付した明細書（以下、「先願明細書」という。）には、１ｍｍ２当たりに存在する非金属介在物の数について、
球状非金属介在物の数：
幅３μｍ未満　　　　：８個、
幅３μｍ−６μｍ未満：１個、
線状非金属介在物の数：
幅３μｍ未満　　　　：１個
と記載されている（摘示イ）。
１ｍｍ２当たりの球状非金属介在物の総幅を求めると、１ｍｍ２当たりの球状非金属介在物の総幅は最大で３０μｍとなり、球状非金属介在物は長さ/幅の比が３以下の非金属介在物であるから、５０ｍｍ２当たりの球状非金属介在物の総長さを求めると、５０ｍｍ２当たりの球状非金属介在物の総長さは最大で４５００μｍとなり、また、甲第２号証、第３頁の表に記載の非金属介在物を参照し、線状非金属介在物の長さを１５０μｍとし、５０ｍｍ２当たりの線状非金属介在物の総長さを求めると、５０ｍｍ２当たりの線状非金属介在物の総長さは７５００μｍとなるので、５０ｍｍ２当たりの球状非金属介在物の総長さと線状非金属介在物の総長さの合計、すなわち、５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さは、最大で１２ｍｍとなる。
　本件発明と先願明細書に記載された発明（以下、「先願発明」という。）を対比すると、両者は、所定量のＮｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、Ｎｉ含有量が重複するシャドウマスク材である点で一致し、本件発明は圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを５ｍｍ以下とした点を構成要件とするのに対し、先願発明は、５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さが最大で１２ｍｍであり、圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを５ｍｍ以下に規制した点が不明である点で相違する。
　したがって、本件発明は、先願発明と同一であるとすることができない。
（５）特許明細書の記載不備について
　特許異議申立人は、次の点で特許明細書は記載不備であると主張する。
ａ．請求項に記載の「エッチングスピードの低下を防止する」及び「均一エッチング性に優れる」とは、その臨界点が不明である。
ｂ．本件発明は１０ｍｍの長さの非金属介在物が１個ある場合も含まれ、本件発明には課題を達成できないものが含まれる。
　しかしながら、ａ．について、エッチングスピードに関し、本件特許明細書、段落００２５、表１には、１００秒後のエッチング後の深さが具体的に記載されており、表１の記載をみれば、圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さが５ｍｍ以下のものは、エッチングスピードの低下が防止されていることが明らかであり、また、均一エッチング性について、数値を示した具体的な記載がないものの、特許明細書において、圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを５ｍｍ以下のものは、均一エッチング性に優れることが記載されているので、当業者が容易に実施することができる程度に構成が記載されていないとすることができない。また、ｂ．について、溶製した金属材料に含まれる介在物の粒径は所定の分布を示すことは技術的常識である（参考資料３第６６２頁図１２・１３７）から、圧延平行断面５０ｍｍ２当たり、１０ｍｍの長さの非金属介在物が１個のみ存在するシャドウマスク材は存在しないものと認められるので、本件発明には課題を達成できないものが含まれるとすることができない。
　以上のことから、本件特許明細書は記載不備であるとすることができない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１０月１６日（２００２．１０．１６）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項１の
「【請求項１】
　３５〜３７％重量％Ｎｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、そして圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを１０ｍｍ以下とし、深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止し、均一エッチング性に優れることを特徴とするシャドウマスク材。」を、
「【請求項１】
　３５〜３７％重量％Ｎｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、そして圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを５ｍｍ以下とし、深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止し、均一エッチング性に優れることを特徴とするシャドウマスク材。」と訂正する。
訂正事項ｂ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落【０００９】の
「【問題点を解決するための手段】
　本発明者らはかかる点に鑑み種々の研究を行なった結果、介在物の総量を適正に定量的に制限することで深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止でき、エッチング穿孔均一性が向上することを見出した。特に、圧延平行断面当たりの介在物圧延方向総長さを規制することが重要であることを見出した。この知見に基づいて、本発明は、３５〜３７％重量％Ｎｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、そして圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを１０ｍｍ以下とし、深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止し、均一エッチング性に優れることを特徴とするシャドウマスク材を提供する。」を、
「【問題点を解決するための手段】
　本発明者らはかかる点に鑑み種々の研究を行なった結果、介在物の総量を適正に定量的に制限することで深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止でき、エッチング穿孔均一性が向上することを見出した。特に、圧延平行断面当たりの介在物圧延方向総長さを規制することが重要であることを見出した。この知見に基づいて、本発明は、３５〜３７％重量％Ｎｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、そして圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを５ｍｍ以下とし、深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止し、均一エッチング性に優れることを特徴とするシャドウマスク材を提供する。」と訂正する。
訂正事項ｃ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落【００１１】の
「そして、上記シャドウマスク材において更に好ましい範囲は圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さが５ｍｍ以下である。」を、
「そして、上記シャドウマスク材における範囲は圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さが５ｍｍ以下である。」と訂正する。
訂正事項ｄ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落【００２０】の
「この圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さが１０ｍｍを超えると、深さ方向へのエッチングスピードが部分的に低下し、均一エッチング性が低下し、超高精細度マスク用としては適さなくなるので上限を１０ｍｍとした。なお、更に好ましい範囲は５ｍｍ以下である。」を、
「この圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さが５ｍｍを超えると、深さ方向へのエッチングスピードが部分的に低下し、均一エッチング性が低下し、超高精細度マスク用としては適さなくなるので上限を５ｍｍとした。」と訂正する。
訂正事項ｅ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落【００２５】の表１に記載の「本発明例４」を「比較例４」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
シャドウマスク材
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　３５〜３７％重量％Ｎｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、そして圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを
５
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、カラーテレビジョン用受像管に用いられるシャドウマスク材に関するものであり、特には圧延平行断面における介在物総長さを規制して、深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止し、均一エッチング性に優れるＦｅ−Ｎｉ系高精細度、更には超高精細度カラーテレビジョン用受像管用シャドウスク材に関するものである。
　【０００２】
　【従来技術】
　カラーテレビジョン受像管には色選別用電極としてシャドウマスクが使用されている。
　【０００３】
　シャドウマスク用の材料としては、低炭素アルミキルド鋼がこれまで使用されてきたが、最近では低熱膨張特性を有するアンバー合金材（Ｆｅ−３６％Ｎｉ）が使用されることが多くなっている。
　【０００４】
　それは次の理由によるものである。すなわち、カラー受像管を動作させた際、シャドウマスクに差し向けられた電子ビームは、シャドウマスクの開孔を通過するほか、シャドウマスクの非開孔部表面に直接射突するために、シャドウマスクは時として８０℃にも達する程に加熱される。この際、熱膨張が大きい材料であると、シャドウマスクの熱膨張によって色純度の低下が生じるわけであるが、熱膨張率の低いＦｅ−Ｎｉ系アンバーの使用によりこの熱膨張による色純度の低下を防止しようというものである。
　【０００５】
　こうしたシャドウマスクは、幾つかの製造方式があるが、代表的には、Ｆｅ−Ｎｉ系アンバー材料をインゴットから、鍛造を経て、圧延及び焼鈍を繰り返し、最終冷間圧延により適当な厚さのシャドウマスク材とした後、必要に応じ最終再結晶焼鈍を行ない、そこに多数の穿孔を例えば塩化第２鉄を使用しての周知のエッチングにより形成することにより作製される。この後、成形及び黒化処理等の周知の工程が実施されてシャドウマスクが製造される。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、このＦｅ−Ｎｉ系アンバー合金は従来の低炭素アルミキルド鋼に比べてエッチング穿孔均一性が劣ることが問題となっている。
　【０００７】
　そこで、アンバー合金のエッチング穿孔性を改善するために、不純物としてのＣ、Ｓｉ、Ｐ、Ｓ、Ｏ及びＮを制限することが既に提案されている（特開昭６４−２５９４４号）。ところが、確かに、この特開昭６４−２５９４４号に示されているように、Ｃ、Ｓｉ、Ｐ、Ｓ、Ｏ及びＮを制限することによってエッチング穿孔性は向上するが、今後需要の増加が見込まれる超高精細度マスクの場合、まだ十分ではなく、更にエッチング穿孔均一性を向上させることが望まれている。
　【０００８】
　本発明の課題は、エッチングスピードを向上させ、従来より均一なエッチング穿孔性を有する、今後需要の見込まれるＦｅ−Ｎｉ系超高精細度カラーテレビジョン受像管に対応しうるシャドウスク材を開発することである。
　【０００９】
　【問題点を解決するための手段】
　本発明者らはかかる点に鑑み種々の研究を行なった結果、介在物の総量を適正に定量的に制限することで深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止でき、エッチング穿孔均一性が向上することを見出した。特に、圧延平行断面当たりの介在物圧延方向総長さを規制することが重要であることを見出した。この知見に基づいて、本発明は、３５〜３７％重量％Ｎｉを含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物からなり、そして圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さを
５
　【００１０】
　ここで、「圧延平行断面」とは、圧延されたシャドウマスク材の圧延方向に平行な垂直面における厚さ方向の断面である。「介在物圧延方向総長さ」とは、その断面において観察される複数の介在物のそれぞれの圧延方向の長さの総和を云う。介在物は圧延方向に沿って細長く伸びており、エッチング性にはその総和が大きく影響する。
　【００１１】
　そして、上記シャドウマスク材にお
ける
　【００１２】
　【作用】
　圧延平行断面当たりの介在物圧延方向総長さを規制することにより微小介在物を含めて介在物による深さ方向へのエッチングスピードの低下を防止し、微細な孔を精度よくあけることができる。
　【００１３】
　【実施例】
　本発明は、３５〜３７重量％Ｎｉを含有するＦｅ−Ｎｉ系シャドウスク材を対象とする。介在物を低減するために従来から提唱されているように、Ｃ、Ｓｉ、Ｐ、Ｍｎ、Ｓ、Ｏ及びＮ含有量を制限することが好ましい。特に、これら不純物を次のように制限することが好ましい（重量％）。
　　Ｃ　：０．０１５％以下（好ましくは０．００５％以下）、
　　Ｓｉ：０．００１〜０．１５％（好ましくは０．００１〜０．０５％）、
　　Ｐ　：０．０１０％以下（好ましくは０．００３％以下）、
　　Ｍｎ：０．１〜１．０％、
　　Ｓ　：０．００５％以下、
　　Ｏ　：０．０１００％以下、
　　Ｎ　：０．００５０％以下
　【００１４】
　Ｆｅ−Ｎｉ系シャドウマスク材は、例えば真空溶解・鋳造により製造された適宜組成の溶製インゴットから、鍛造後、圧延及び焼鈍を繰り返し、最終冷間圧延により適当な厚さのシャドウマスク材とした後、必要に応じて最終再結晶焼鈍或いは歪取焼鈍を行ない、そこに多数の穿孔をフォトレジストを塗布し、パターンを焼き付けて現像した後、例えば塩化第２鉄のようなエッチング液でエッチング加工し、その後レジストを除去する周知のフォトエッチング技術により作製される。
　【００１５】
　従来より、シャドウマスク材において介在物は少ないほうがよいことは定性的には知られていた。それは、介在物が開孔部のふちに当たり孔形状を変形させる不良もしくは長く連なった介在物がエッチング壁面に露出することにより起こるスジ不良を起こし、シャドウマスクの品質を低下させるからであった。従って、そこで問題になる介在物は、大きさがせいぜい５μｍ以上のものであり、５μｍ未満の微小介在物は問題がないものとみられ、従来考慮の対象とはなっていなかった。
　【００１６】
　ところが、シャドウマスクにおける介在物量とエッチング性、具体的には深さ方向へのエッチングスピードとの関係について研究した結果、従来問題にならないと考えられていた微小介在物がエッチング性に大きな影響力を持っていることを見出すに至った。それは、従来問題にならないと考えられていた微小介在物を含めて介在物量が多いと、シャドウマスクのエッチングにおいて深さ方向へのエッチングスピードが低下し、微細な孔を精度よくあけることの障害になるというものである。大きな介在物のみならず、微小介在物を含めてその総量を規制することがエッチング性には重要なのである。そのメカニズムについては直接的にはいまだ確認されてはいないが、次のように考えられる。
　【００１７】
　介在物はエッチングの反応によって溶解しないため、エッチング中のシャドウマスクの孔の底に残り、新しいエッチング液と材料の接触を妨害する。そのために、深さ方向へのエッチングスピードが低下する。
　【００１８】
　この溶解しなかった介在物も従来の比較的孔の大きいシャドウマスクでは、エッチング液のスプレー圧により孔の外に運び出されやすかったため問題が顕在化しなかったのであるが、今後需要の増加する超高精細度のマスクを製造する場合には孔が小さいだけに、大きな問題となるのである。
　【００１９】
　そこで、本発明者は、エッチングに及ぼす微小介在物をも含めて介在物の影響を定量的に規定する研究を重ねた結果、深さ方向へのエッチングスピードと相関づけるには、圧延平行断面単位面積当たりの圧延方向介在物総長さという指標が適切であるとの結論に達した。本発明では、ＳＥＭの反射電子組成像を画像解析装置に取り込み、画像計測で測定するのに便宜なように圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの圧延方向介在物総長さという指標を用いた。これは、圧延方向に平行なシャドウマスク材垂直厚さ断面を検鏡し、存在する多数の介在物の圧延方向の長さをそれぞれ計測し、その総和をとるものである。介在物は圧延方向に沿って細長く伸びており、その圧延方向での総長さを規制することにより全体量を定量的に規制するものである。ただし、この際、ＪＩＳに定められているＢ系の介在物に関しては、これらはわずかの間隔を置いて一繋りになって存在しているが、その一連の全体長さではなく、Ｂ系の介在物の一繋りを構成している個々の介在物自体の長さのみを計測し、その合計をとるものとする（隣り合う介在物間の間隔は算入しない）。
　【００２０】
　この圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物圧延方向総長さが
５
５
　【００２１】
　介在物の量は、原料、溶解条件、鋳造条件等を管理することにより制御することができる。
　【００２２】
　エッチングに際しては、結晶組織もまた重要である。これに関連して、本件出願人は、本願と同日の特許願において、結晶粒度が粒度番号で９．０以上、そして圧延面への｛１００｝面の集合度が３５％未満とした、好ましくは１５％未満としたシャドウマスク材を提唱している。結晶粒が小さいほどエッチング後の孔形状及びエッチング壁面が平滑になり、マスクの品質が向上する。結晶粒度が粒度番号で９．０以上とすることにより、平滑なエッチング後の孔形状及びエッチング壁面が保証される。結晶方位として圧延面への｛１００｝面の集合度を３５％未満とすることにより、結晶方位はランダムとなり、エッチング均一性を向上する。本発明においても、この併用を妨げない。
　【００２３】
　（実施例及び比較例）
　供試材は基本的に真空溶解で製造したが、その際、原料、溶解条件、鋳造条件等を変化させ介在物の含有量を変化させた。これを、鋳造、熱間圧延後、冷間圧延と焼鈍を繰り返し、板厚０．１５ｍｍの冷延板とした。供試材の化学成分と圧延平行断面５０ｍｍ２当たりの介在物総長さを表１に示す。介在物総長さは、ＳＥＭの反射電子組成像を画像解析装置に取り込み画像計測で測定した。その際の１画素の大きさは１μｍである。
　【００２４】
　次に、この供試材に対してエッチング試験を行い深さ方向へのエッチングスピードを評価した。マスクパターンは開孔径の小さい超高精細度用のものを用い、エッチング液は塩化第２鉄水溶液を用いた。エッチングは７０℃で行い、エッチングスピードは一定時間後の開孔中央部の深さで評価した。エッチングスピードも表１に併せて示す。
　【００２５】
　【表１】
　【００２６】
　表１から明らかなように、本発明例は深さ方向へのエッチングスピードが速く優れている。なかでも、介在物総長さが５ｍｍ以下のものは特に優れていることがわかる。
　【００２７】
　【発明の効果】
　エッチングスピードを向上させることにより、従来より均一なエッチング穿孔性を有するＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク材を開発することに成功し、最近需要の増加している高精細度、更には超高精細度カラーテレビジョン用受像管用シャドウマスクに対応することが出来る。