(57)【要約】【課題】シートを被貼付部材に貼り付ける際に、シートの中央部に力が集中してシートが変形することを抑制する。【解決手段】シート貼付ハンド１０は、一対の吸着ブロック２０と、倣い機構３０とを備える。一対の吸着ブロック２０は、シート５０を吸着する凸曲面状の吸着面２２を有すると共に、吸着面２２の頂部２２Ａと交わる分割面２３で分割されている。倣い機構３０は、一対の吸着ブロック２０に固定され、吸着面２２の頂部２２Ａを支点に一対の吸着ブロック２０を開かせる。【選択図】図１
2018104049.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートを吸着する凸曲面状の吸着面を有すると共に、前記吸着面の頂部と交わる分割面で分割された一対の吸着ブロックと、
前記一対の吸着ブロックに固定され、前記吸着面の頂部を支点に前記一対の吸着ブロックを開かせる倣い機構と、
を備えるシート貼付ハンド。
【請求項２】
前記倣い機構は、
前記分割面の延長線上に位置する荷重入力部と、
前記分割面を挟んだ両側にそれぞれ配置され、前記一対の吸着ブロックにおける前記吸着面と反対側の各荷重入力面にそれぞれ固定された一対の荷重伝達部と、
前記一対の荷重伝達部と前記荷重入力部とを連結する一対の連結部と、
を有する、
請求項１に記載のシート貼付ハンド。
【請求項３】
凸曲面状の吸着面を有すると共に、前記吸着面の頂部と交わる分割面で分割された一対の吸着ブロックを備えるシート貼付ハンドの前記吸着面でシートを吸着し、
前記シート貼付ハンドを移動させて前記吸着面の頂部で前記シートを被貼付部材に貼り付け、
前記一対の吸着ブロックを前記被貼付部材側に押圧し、前記吸着面の頂部を支点に前記一対の吸着ブロックを開かせて前記吸着面を前記被貼付部材に倣うように変形させることで、前記吸着面による前記シートへの加圧部を前記シートの中央部から外側の端部へ移動させて前記シートを前記被貼付部材に貼り付ける、
ことを含むシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願の開示する技術は、シートを被貼付部材に貼り付けるシート貼付ハンド及びシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シートを被貼付部材に貼り付ける技術としては、シート貼付ハンドに形成された吸着面でシートを吸着し、シート貼付ハンドを被貼付部材側に押圧して、シートを被貼付部材に貼り付ける方法がある。このような方法においては、例えば、シートを被貼付部材に貼り付ける際に、シートと被貼付部材との間に気泡が発生することを抑制できることが望ましい。
【０００３】
そこで、次の技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この提案技術では、シート貼付ハンドの先端部に弾性部が設けられると共に、この弾性部に凸曲面状の吸着面が形成されている。そして、この提案技術では、シートを被貼付部材に貼り付ける際に、先ず吸着面の中央部（頂部）にてシートを被貼付部材に接触させる。その後、シート貼付ハンドを被貼付部材側に押圧することで、弾性部を圧縮変形させ、シート貼付ハンドによるシートへの加圧部をシートの中央部から外側の端部へ移動させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１５４９４６号公報
【特許文献２】特開２００６−１９９３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記提案技術では、凸曲面状の吸着面でシートを加圧するため、シートの外側の端部に圧力をかけようとすると、吸着面の中央部で局所的に加圧されることによりシートの中央部に大きな圧力がかかることになる。したがって、シートの中央部に力が集中し、シートが変形する虞がある。
【０００６】
本願の開示する技術の目的は、一つの側面として、シートを被貼付部材に貼り付ける際に、シートの中央部に力が集中してシートが変形することを抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本願の開示する技術の一観点によれば、一対の吸着ブロックと、倣い機構とを備えるシート貼付ハンドが提供される。一対の吸着ブロックは、シートを吸着する凸曲面状の吸着面を有すると共に、吸着面の頂部と交わる分割面で分割されている。倣い機構は、一対の吸着ブロックに固定され、吸着面の頂部を支点に一対の吸着ブロックを開かせる。
【発明の効果】
【０００８】
本願の開示する技術によれば、シートを被貼付部材に貼り付ける際に、シートの中央部に力が集中してシートが変形することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施形態のシート貼付ハンドが適用されたシート貼付装置の全体構成図である。
【図２】図１に示されるシート貼付ハンドを拡大して示す正面図である。
【図３】図１に示されるシート貼付ハンドを拡大して示す上面図である。
【図４】本実施形態のシート貼付方法によって貼り付けられるシートを含む構造体の一例として通信モジュールを示す縦断面図である。
【図５】本実施形態のシート貼付方法の流れを示す第一説明図である。
【図６】本実施形態のシート貼付方法の流れを示す第二説明図である。
【図７】本実施形態のシート貼付方法の流れを示す第三説明図である。
【図８】本実施形態のシート貼付方法の流れを示す第四説明図である。
【図９】本実施形態のシート貼付ハンドの第一変形例を示す図である。
【図１０】荷重入力面が内側に傾斜する場合と荷重入力面が水平な場合とを比較する図である。
【図１１】本実施形態のシート貼付ハンドの第二変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本願の開示する技術の一実施形態を説明する。
【００１１】
図１には、本実施形態のシート貼付ハンド１０が適用されたシート貼付装置１が示されている。本実施形態に係るシート貼付装置１は、シート貼付ハンド１０に形成された吸着面２２でシート５０を吸着し、シート貼付ハンド１０を被貼付部材６０側に押圧して、シート５０を被貼付部材６０に貼り付けるものである。
【００１２】
このシート貼付装置１は、シート貼付ハンド１０と、駆動部１２と、吸引部１４と、制御部１６とを備える。駆動部１２は、シート貼付ハンド１０を被貼付部材６０に対して接離させるように作動するアクチュエータである。吸引部１４は、シート貼付ハンド１０に設けられた継手２６と接続されている。吸引部１４には、空気を吸引するように作動する電動ポンプ等が適用される。制御部１６は、駆動部１２及び吸引部１４と電気的に接続されており、駆動部１２及び吸引部１４を制御する。
【００１３】
図２、図３には、図１に示されるシート貼付ハンド１０が拡大されて示されている。図２は、正面図であり、図３は、上面図である。図２に示されるように、シート貼付ハンド１０は、一対の吸着ブロック２０と、倣い機構３０とを有する（図３も適宜参照）。
【００１４】
一対の吸着ブロック２０は、シート貼付ハンド１０の幅方向（左右方向）に対称に形成されている。この一対の吸着ブロック２０におけるシート貼付ハンド１０の先端側に位置する面２１は、シート５０を吸着する吸着面２２を形成している。この吸着面２２は、凸曲面状に形成されている。
【００１５】
吸着面２２には、円形曲面、楕円曲面、曲率が途中で変化する曲面等、種々の曲面を適用することが可能である。本実施形態では、一例として、吸着面２２は、円形曲面とされている。この吸着面２２の曲率は、例えば、この吸着面２２によるシート５０への加圧部が点接触（シート貼付ハンド１０の奥行方向に亘って接触する線接触）となるように設定されることが望ましい。
【００１６】
一対の吸着ブロック２０は、シート貼付ハンド１０の高さ方向に延びる分割面２３によってシート貼付ハンド１０の幅方向に分割されている。分割面２３は、吸着面２２の頂部２２Ａと交わっており、シート貼付ハンド１０の幅方向中央部に位置する。一対の吸着ブロック２０は、通常時には、互いの分割面２３が重ね合わされた状態とされている。
【００１７】
一対の吸着ブロック２０におけるシート貼付ハンド１０の後端側に位置する面、すなわち、吸着面２２と反対側の面は、それぞれ荷重入力面２４である。本実施形態では、一例として、一対の荷重入力面２４は、シート貼付ハンド１０の幅方向及び奥行方向（水平方向）に延在する平坦面とされている。
【００１８】
一対の吸着ブロック２０の先端側には、シート状の吸着パッド４０が装着されている。この吸着パッド４０には、例えばゴムメタルなどの弾性体が適用される。この吸着パッド４０は、略均一な厚さを有しており、一方の吸着ブロック２０における分割面２３と反対側の側面から、吸着面２２を通って、他方の吸着ブロック２０における分割面２３と反対側の側面までを覆っている。吸着パッド４０の幅方向両側の端部は、固定具４１によって一対の吸着ブロック２０にそれぞれ固定されている。
【００１９】
一対の吸着ブロック２０には、継手２６がそれぞれ設けられており、一対の吸着ブロック２０の内部には、継手２６の内部と連通する連通路２７がそれぞれ形成されている。また、吸着パッド４０のうち吸着面２２を覆う部分には、この吸着パッド４０の厚み方向に貫通する複数の吸引口４２が形成されている。この複数の吸引口４２は、一対の吸着ブロック２０に形成された連通路２７とそれぞれ連通されている。
【００２０】
倣い機構３０は、後述するように吸着面２２の頂部２２Ａを支点に一対の吸着ブロック２０を開かせるためのものであり、例えば樹脂製とされている。この倣い機構３０は、上述の一対の吸着ブロック２０と同様に、シート貼付ハンド１０の幅方向（左右方向）に対称に形成されている。倣い機構３０は、荷重入力部３１と、一対の荷重伝達部３２と、一対の連結部３３とを有する。荷重入力部３１と、一対の荷重伝達部３２と、一対の連結部３３とは、樹脂で一体に形成されている。
【００２１】
荷重入力部３１は、シート貼付ハンド１０の幅方向中央部に位置している。この荷重入力部３１は、より具体的には、分割面２３の延長線上に位置している。荷重入力部３１は、駆動部１２（図１参照）と連結される。この荷重入力部３１には、駆動部１２によって被貼付部材６０側に荷重が入力される。
【００２２】
一対の荷重伝達部３２は、分割面２３を挟んだ両側にそれぞれ配置されており、各荷重入力面２４にそれぞれ固定されている。この一対の荷重伝達部３２は、より具体的には、各荷重入力面２４における分割面２３と反対側の端部にそれぞれ固定されている。
【００２３】
一対の連結部３３は、一対の荷重伝達部３２と荷重入力部３１とを連結している。この一対の連結部３３は、一対の第一ヒンジ３４と、一対の第一アーム部３５と、スリット３６と、一対の第二アーム部３７と、一対の第二ヒンジ３８とを有する。
【００２４】
一対の連結部３３における荷重入力部３１との各接続部には、切欠き３４Ａがそれぞれ形成されている。この一対の切欠き３４Ａが形成されることにより、一対の連結部３３における荷重入力部３１との各接続部は、局所的に細くなっている。この細くなった部分によって、一対の連結部３３における荷重入力部３１との各接続部には、第一ヒンジ３４がそれぞれ形成されている。
【００２５】
一対の第一アーム部３５は、一対の第一ヒンジ３４から一対の吸着ブロック２０に向けてそれぞれ延びている。スリット３６は、一対の第一アーム部３５の間から一対の第一ヒンジ３４の間に亘って形成されている。このスリット３６は、分割面２３の延長線上に位置する。スリット３６は、分割面２３の延長線に沿って延びており、一対の吸着ブロック２０側に開放し、荷重入力部３１側で終端している。
【００２６】
一対の第二アーム部３７は、一対の第一アーム部３５の先端部から一対の荷重伝達部３２に向けてそれぞれ延びている。一対の第二アーム部３７と一対の荷重伝達部３２との各接続部には、切欠き３８Ａがそれぞれ形成されている。この切欠き３８Ａが形成されることにより、一対の第二アーム部３７と一対の荷重伝達部３２との各接続部は、局所的に細くなっている。この細くなった部分によって、一対の第二アーム部３７と一対の荷重伝達部３２との各接続部には、第二ヒンジ３８がそれぞれ形成されている。
【００２７】
次に、本実施形態のシート貼付方法について説明する。
【００２８】
図４には、本実施形態のシート貼付方法によって貼り付けられるシート５０を含む構造体の一例として、通信モジュール１００が示されている。通信モジュール１００は、光導波路部材１０１と、光コネクタ１０２と、レンズシート１０３と、フレキシブル基板１０４と、光素子１０５とを有する。
【００２９】
光導波路部材１０１には、ミラー１０６が設けられており、レンズシート１０３には、レンズ１０７が設けられている。レンズシート１０３は、両面粘着シートである第一のシート５０によって光導波路部材１０１に貼り付けられ、フレキシブル基板１０４は、同じく両面粘着シートである第二のシート５０によってレンズシート１０３に貼り付けられている。本実施形態のシート貼付方法は、例えば、通信モジュール１００におけるシート５０の貼付に好適に使用される。
【００３０】
図５〜図８には、本実施形態のシート貼付方法の流れが示されている。図５の左図に示されるように、初期状態では、供給台１１０の上にシート５０が置かれる。供給台１１０には、複数の吸着穴１１１が形成されている。複数の吸着穴１１１の内部空気が吸引機によって吸引されることにより、供給台１１０の上に置かれるシート５０や後述する被貼付部材６０（図７、図８参照）等は、供給台１１０に吸着される。初期状態では、シート貼付ハンド１０が供給台１１０の上方に配置される。
【００３１】
そして、図５の中図に示されるように、制御部１６が駆動部１２を作動させることで、シート貼付ハンド１０が降下し、吸着面２２の頂部２２Ａが吸着パッド４０を介してシート５０の中央部に接した状態になる。
【００３２】
さらに、図５の中図から右図に示されるように、駆動部１２が作動を続けることで、シート貼付ハンド１０が供給台１１０側に押圧され、シート貼付ハンド１０がシート５０を規定圧力で加圧する。そして、吸着面２２の頂部２２Ａが吸着パッド４０を介してシート５０の中央部に接した状態で、シート貼付ハンド１０がシート５０を加圧すると、倣い機構３０が作動する。つまり、スリット３６が開くと共に、一対の第一ヒンジ３４及び一対の第二ヒンジ３８が曲げ変形し、一対の荷重伝達部３２が固定された荷重入力面２４における分割面２３と反対側の端部に供給台１１０側への荷重が入力される。
【００３３】
そして、このように倣い機構３０が作動して荷重入力面２４における分割面２３と反対側の端部に供給台１１０側への荷重が入力されると、吸着面２２の頂部２２Ａを支点に一対の吸着ブロック２０が開方向に回動する。また、一対の吸着ブロック２０が開方向に回動することで、吸着面２２がＷ字状に変形し、一対の吸着ブロック２０にそれぞれ形成された複数の吸引口４２の周辺部がシート５０に密着した状態になる。また、このとき、制御部１６が吸引部１４を作動させる。吸引部１４が作動すると、吸引口４２から空気が吸引される。
【００３４】
次いで、図６の左図から中図に示されるように、制御部１６が駆動部１２を反転動作させることで、シート貼付ハンド１０を上昇させる。シート貼付ハンド１０が上昇すると、シート貼付ハンド１０によるシート５０への加圧が終了する。
【００３５】
また、シート貼付ハンド１０によるシート５０への加圧が終了すると、倣い機構３０の各部が有する弾性力により、吸着面２２の頂部２２Ａを支点に一対の吸着ブロック２０が閉方向に回動する。そして、一対の吸着ブロック２０の分割面２３が互いに重なり合った状態になり、吸着面２２の形状が元の凸曲面状になる。これにより、シート５０が、弓状に反った状態で吸着パッド４０を介して吸着面２２に吸着される。
【００３６】
続いて、図６の中図から右図に示されるように、駆動部１２が作動を続けることで、シート貼付ハンド１０が上昇する。シート貼付ハンド１０が上昇するときには、一対の吸着ブロック２０が閉じた状態に維持される。
【００３７】
次いで、図７の左図に示されるように、供給台１１０の上に被貼付部材６０が置かれる。被貼付部材６０は、例えば、上述の図４に示される通信モジュール１００において第一のシート５０や第二のシート５０によって貼り付けられる部材、すなわち、光導波路部材１０１、レンズシート１０３、及び、フレキシブル基板１０４等に該当する。
【００３８】
続いて、図７の左図から中図に示されるように、制御部１６が駆動部１２を作動させることで、シート貼付ハンド１０が降下する。このとき、吸着面２２がシート貼付ハンド１０の幅方向中央部に頂部２２Ａを有する凸曲面状を成しているので、シート貼付ハンド１０の幅方向中央部にてシート５０が被貼付部材６０に接触する。そして、シート貼付ハンド１０の幅方向中央部に位置する吸着面２２の頂部２２Ａでシート５０が被貼付部材６０に加圧され、初めにシート５０が中央部から被貼付部材６０に貼り付けられる。つまり、このときの吸着面２２によるシート５０への加圧部２８は、シート５０の中央部に位置する。
【００３９】
次いで、図７の右図に示されるように、制御部１６が吸引部１４を停止させて、シート５０の吸着を停止させる。また、駆動部１２が作動を続けることで、シート貼付ハンド１０に設けられた一対の吸着ブロック２０が被貼付部材６０側に押圧され、一対の吸着ブロック２０によるシート５０の加圧が開始される。
【００４０】
また、一対の吸着ブロック２０によるシート５０の加圧が開始されると、倣い機構３０が作動する。つまり、スリット３６が開くと共に、一対の第一ヒンジ３４及び一対の第二ヒンジ３８が曲げ変形し、一対の荷重伝達部３２が固定された荷重入力面２４における分割面２３と反対側の端部に被貼付部材６０側への荷重が入力される。
【００４１】
そして、このように倣い機構３０が作動して荷重入力面２４における分割面２３と反対側の端部に供給台１１０側への荷重が入力されると、吸着面２２の頂部２２Ａを支点に一対の吸着ブロック２０が開方向に回動する。また、一対の吸着ブロック２０が開方向に回動することで、吸着面２２が被貼付部材６０に倣うようにＷ字状に変形する。このように、吸着面２２が被貼付部材６０に倣うようにＷ字状に変形することで、吸着面２２によるシート５０への加圧部２８がシート５０の中央部から外側の端部へ移動する。
【００４２】
続いて、図８の左図から中図に示されるように、駆動部１２が作動を続けることで、一対の吸着ブロック２０が被貼付部材６０側にさらに押圧されると、吸着面２２の頂部２２Ａを支点に一対の吸着ブロック２０がさらに開方向に回動する。このとき、一対の吸着ブロック２０によるシート５０への加圧力が規定圧力に達するまで一対の吸着ブロック２０が被貼付部材６０側に押圧される。
【００４３】
そして、図８の中図に示されるように、一対の吸着ブロック２０によるシート５０への加圧力が規定圧力に達すると、吸着面２２の頂部２２Ａを支点に一対の吸着ブロック２０がさらに開方向に回動した状態になる。これにより、吸着面２２によるシート５０への加圧部２８がシート５０の外側の端部へ移動した状態になる。このように、本実施形態では、吸着面２２によるシート５０への加圧部２８がシート５０の中央部から外側の端部へ移動することで、シート５０が中央部から外側の端部へ均一な圧力で被貼付部材６０に貼り付けられる。
【００４４】
次いで、図８の右図に示されるように、制御部１６が駆動部１２を反転動作させることで、シート貼付ハンド１０を上昇させる。シート貼付ハンド１０が上昇すると、シート貼付ハンド１０によるシート５０への加圧が終了し、被貼付部材６０へのシート５０の貼り付けが完了する。
【００４５】
このようにシート貼付ハンド１０によるシート５０への加圧が終了すると、倣い機構３０の各部が有する弾性力により、吸着面２２の頂部２２Ａを支点に一対の吸着ブロック２０が閉方向に回動する。そして、一対の吸着ブロック２０の分割面２３が互いに重なり合った状態になり、吸着面２２の形状が元の凸曲面状になる。これにより、シート貼付ハンド１０が次工程のシート５０の貼付に移行可能な状態になる。
【００４６】
次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。
【００４７】
以上詳述したように、本実施形態によれば、吸着面２２の頂部２２Ａを支点に一対の吸着ブロック２０が開くことで、吸着面２２が変形し、この吸着面２２によるシート５０への加圧部２８がシート５０の中央部から外側の端部へ移動する。そして、吸着面２２によるシート５０への加圧部２８がシート５０の中央部から外側の端部へ移動することで、シート５０が中央部から外側の端部へ均一な圧力で被貼付部材６０に貼り付けられる。したがって、シート５０を被貼付部材６０に貼り付ける際に、シート５０の中央部に力が集中してシート５０が変形することを抑制できる。これにより、例えば、本実施形態のシート貼付方法が、図４に示される通信モジュール１００の組立に適用された場合には、通信モジュール１００の光学特性に影響が生じることを抑制できる。
【００４８】
また、図２に示されるように、倣い機構３０は、駆動部１２に連結された荷重入力部３１と、各荷重入力面２４にそれぞれ固定された一対の荷重伝達部３２と、一対の荷重伝達部３２と荷重入力部３１とを連結する一対の連結部３３とを有する機械的な構造である。したがって、吸着面２２の頂部２２Ａを支点に一対の吸着ブロック２０を開閉させるためには、荷重入力部３１に被貼付部材６０側への荷重を入力すれば足りる。これにより、吸着面２２の頂部２２Ａを支点に一対の吸着ブロック２０を開閉させるための電気的なアクチュエータ等を不要にできるので、シート貼付ハンド１０の構成を簡素化できる。
【００４９】
また、一対の連結部３３は、一対の第一ヒンジ３４と、一対の第一アーム部３５と、スリット３６と、一対の第二アーム部３７と、一対の第二ヒンジ３８とを有する。一対の第一ヒンジ３４は、一対の連結部３３と荷重入力部３１との各接続部に形成されており、一対の第一アーム部３５は、一対の第一ヒンジ３４から一対の吸着ブロック２０に向けてそれぞれ延びている。また、スリット３６は、一対の第一アーム部３５の間から一対の第一ヒンジ３４の間に亘って形成されており、一対の第二アーム部３７は、一対の第一アーム部３５の先端部から一対の荷重伝達部３２に向けてそれぞれ延びている。さらに、一対の第二ヒンジ３８は、一対の第二アーム部３７と一対の荷重伝達部３２との各接続部にそれぞれ形成されている。
【００５０】
したがって、一対の連結部３３を上記構成とすることにより、荷重入力部３１に被貼付部材６０側への荷重が入力されたときには、スリット３６が開くと共に、一対の第一ヒンジ３４及び一対の第二ヒンジ３８が曲げ変形する。そして、一対の荷重伝達部３２が固定された各荷重入力面２４に被貼付部材６０側への荷重を入力できる。これにより、簡易な構成により、一対の吸着ブロック２０を開方向に回動させることができる。
【００５１】
また、一対の荷重伝達部３２は、各荷重入力面２４における分割面２３と反対側の端部にそれぞれ固定されている。したがって、梃子の原理により、小さな力で一対の吸着ブロック２０を開方向に回動させることができる。しかも、一対の吸着ブロック２０が開いた状態では、荷重入力部３１から一対の荷重伝達部３２に伝達された荷重を一対の吸着ブロック２０を介してシート５０の外側の端部に効率良く伝達できる。これにより、加圧終盤において、シート５０の外側の端部の圧力を確保できる。
【００５２】
また、吸着面２２は、円形曲面によって形成されている。ここで、吸着面２２としては、円形曲面以外に、楕円曲面や曲率が途中で変化する曲面等が考えられる。しかしながら、仮に、吸着面２２が楕円曲面である場合には、吸着面２２によるシート５０の加圧部がシート５０の外側の端部に移動するに従って吸着面２２の曲率が大きくなる。このため、シート５０の貼付時に、シート貼付ハンド１０の幅方向中央側へ加圧部が移動する量が多くなるので、シート５０にずれや変形が生じやすくなり、シート５０と被貼付部材６０との間に気泡が発生しやすくなる。
【００５３】
また、仮に、吸着面２２の曲率が途中で変化する場合には、曲率が変化する箇所でシート５０に力が集中する。このため、シート５０にずれや変形が生じやすくなり、シート５０と被貼付部材６０との間に気泡が発生しやすくなる。
【００５４】
これに対し、吸着面２２が円形曲面によって形成されていると、一対の吸着ブロック２０が開方向に回動するときには、吸着面２２によるシート５０への加圧力及び加圧部の移動速度を略一定に維持できる。これにより、貼付にムラが生じることを抑制できるので、シート５０と被貼付部材６０との間に気泡が発生することを効果的に抑制することができる。
【００５５】
また、吸着面２２の曲率は、吸着面２２によるシート５０への加圧部が点接触（シート貼付ハンド１０の奥行方向に亘って接触する線接触）となるように設定されている。ここで、吸着面２２の曲率を、この吸着面２２によるシート５０への加圧部が面接触となるように設定することも考えられる。しかしながら、仮に、吸着面２２によるシート５０への加圧部が面接触となるように吸着面２２の曲率が設定された場合、加圧部の位置によって加圧力が異なり、これによって、シート５０にずれや変形が生じ、気泡が発生する可能性がある。
【００５６】
これに対し、吸着面２２によるシート５０への加圧部が点接触（シート貼付ハンド１０の奥行方向に亘って接触する線接触）となるように吸着面２２の曲率が設定されていると、一定の加圧力でシート５０を貼り付けることができる。これにより、貼付にムラが生じることを抑制できるので、シート５０と被貼付部材６０との間に気泡が発生することを効果的に抑制することができる。
【００５７】
次に、本実施形態の変形例について説明する。
【００５８】
（第一変形例）
上記実施形態において、各荷重入力面２４は、シート貼付ハンド１０の幅方向及び奥行方向（水平方向）に延在する平坦面とされている。しかしながら、例えば、図９に示されるように、各荷重入力面２４は、荷重伝達部３２との固定部から分割面２３側に向かうに従って吸着面２２側に向かうように一対の吸着ブロック２０が並ぶ方向（幅方向）に対して傾斜していても良い。この図９に示される第一変形例において、各荷重入力面２４は、内側（分割面２３側）に傾斜している。
【００５９】
ここで、図１０には、図９に示されるように荷重入力面２４が内側に傾斜する場合と荷重入力面２４が水平な場合との比較が示されている。荷重入力面２４が水平な場合、シート５０への加圧が進んで一対の吸着ブロック２０が開くと、荷重入力面２４に入力された力Ｆの分力Ｆ１、Ｆ２が荷重入力面２４と垂直な方向及び平行な方向に作用する。
【００６０】
この分力Ｆ１、Ｆ２のうち荷重入力面２４と垂直な方向に作用する分力Ｆ１は、シート貼付ハンド１０の幅方向内側に向かって作用する。したがって、このシート貼付ハンド１０の幅方向内側に向かって作用する分力Ｆ１によって加圧終了時にシート５０にずれや変形が生じる虞がある。
【００６１】
一方、荷重入力面２４が内側に傾斜する場合、シート５０への加圧開始時には、荷重入力面２４に入力された力Ｆの分力Ｆ１、Ｆ２のうち荷重入力面２４と垂直な方向に作用する分力Ｆ１は、シート貼付ハンド１０の幅方向外側に作用する。したがって、シート５０への加圧が進んで一対の吸着ブロック２０が開く際には、シート５０を外側へ押し広げながら貼り付けることができる。
【００６２】
また、荷重入力面２４が内側に傾斜する場合、荷重入力面２４が水平又は内側に傾斜する状態で貼り付けを終了することで、シート貼付ハンド１０の幅方向内側への分力の発生を抑制できる。これにより、加圧終了時にシート５０にずれや変形が生じることを抑制できる。
【００６３】
また、図９に示されるように、荷重入力面２４が内側に傾斜する場合には、高低差Ｘと、高低差Ｙとの関係でシート貼付ハンド１０が次のように構成されても良い。高低差Ｘは、荷重入力面２４における分割面２３側の端部と、荷重入力面２４における分割面２３と反対側の端部との分割面２３の延長方向に沿った高低差である。また、高低差Ｙは、シート貼付ハンド１０におけるシート５０の中央部と接触する先端部（この場合、吸着パッド４０の頂部）と、シート貼付ハンド１０へのシート５０の粘着面における外側の端部との分割面２３の延長方向に沿った高低差である。そして、高低差Ｘ、Ｙを上記とした場合に、Ｘ≧Ｙを満足するように、荷重入力面２４の傾斜角度と吸着面２２の曲率半径が設定されても良い。
【００６４】
このように高低差Ｘ、Ｙが設定されていると、シート５０を外側の端部まで貼り付けたときに、吸着面２２の幅方向外側の端部は、高低差Ｙの分だけ下がり、荷重入力面２４の分割面２３側の端部は、高低差Ｘの分だけ上がる。これにより、荷重入力面２４が内側に傾斜した状態で貼り付けを終了するので、シート貼付ハンド１０の幅方向内側への分力の発生を抑制でき、この分力をシート５０と垂直な方向又はシート貼付ハンド１０の幅方向外側に発生させることができる。これにより、加圧終了時にシート５０にずれや変形が生じることを抑制できる。
【００６５】
（第二変形例）
図１１に示されるように、シート貼付ハンド１０の正面視で、一対の荷重伝達部３２の幅方向の中心部３２Ａは、シート５０の外側の端部よりもシート貼付ハンド１０の幅方向の内側に位置していても良い。
【００６６】
ここで、仮に、一対の荷重伝達部３２の中心部３２Ａが、シート５０の外側の端部よりも外側に位置していると、加圧終盤において、シート５０の外側の縁を押し潰してしまう可能性があり、シート５０にずれや変形が生じる虞がある。一方、図１１に示されるように、一対の荷重伝達部３２の中心部３２Ａが、シート５０の外側の端部よりも内側に位置していると、加圧終盤において、シート５０の外側の縁を押し潰してしまうことを抑制でき、シート５０にずれや変形が生じることを抑制できる。
【００６７】
（その他の変形例）
上記実施形態において、一対の吸着ブロック２０に形成された吸着面２２には、シート状の吸着パッド４０が装着され、吸着面２２には、吸着パッド４０を介してシート５０が吸着される。しかしながら、吸着パッド４０が省かれ、吸着面２２にシート５０が直接吸着されても良い。
【００６８】
また、倣い機構３０は、吸着面２２の頂部２２Ａを支点に一対の吸着ブロック２０を開かせることができる構造であれば、上記以外の構成でも良い。
【００６９】
また、吸着面２２は、上述の如く、好ましくは、円形曲面とされるが、シート５０のずれや変形を抑制して気泡の発生を抑制できる場合には、楕円曲面や曲率が途中で変化する曲面など、円形曲面以外の曲面でも良い。
【００７０】
また、一対の吸着ブロック２０は、分割面２３によって互いに分離（独立）した構成とされている。しかしながら、一対の吸着ブロック２０は、吸着面２２の頂部２２Ａにて連結され、この頂部２２Ａから延びる分割面２３によって分割されていても良い。すなわち、一対の吸着ブロック２０の間に頂部２２Ａに向かって延び頂部２２Ａで終端するスリットが形成され、このスリットにより、一対の吸着ブロック２０が分割されていても良い。
【００７１】
以上、本願の開示する技術の一実施形態について説明したが、本願の開示する技術は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。
【００７２】
なお、上述の本願の開示する技術の一実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
【００７３】
（付記１）
シートを吸着する凸曲面状の吸着面を有すると共に、前記吸着面の頂部と交わる分割面で分割された一対の吸着ブロックと、
前記一対の吸着ブロックに固定され、前記吸着面の頂部を支点に前記一対の吸着ブロックを開かせる倣い機構と、
を備えるシート貼付ハンド。
（付記２）
前記吸着面は、円形曲面である、
付記１に記載のシート貼付ハンド。
（付記３）
前記倣い機構は、
前記分割面の延長線上に位置する荷重入力部と、
前記分割面を挟んだ両側にそれぞれ配置され、前記一対の吸着ブロックにおける前記吸着面と反対側の各荷重入力面にそれぞれ固定された一対の荷重伝達部と、
前記一対の荷重伝達部と前記荷重入力部とを連結する一対の連結部と、
を有する、
付記１又は付記２に記載のシート貼付ハンド。
（付記４）
前記一対の連結部は、
前記荷重入力部との接続部に形成された一対の第一ヒンジと、
前記一対の第一ヒンジから前記一対の吸着ブロックに向けてそれぞれ延びる一対の第一アーム部と、
前記一対の第一アーム部の間から前記一対の第一ヒンジの間に亘って形成されたスリットと、
前記一対の第一アーム部の先端部から前記一対の荷重伝達部に向けてそれぞれ延びる一対の第二アーム部と、
前記一対の第二アーム部と前記一対の荷重伝達部との接続部にそれぞれ形成された一対の第二ヒンジとを有する、
付記３に記載のシート貼付ハンド。
（付記５）
前記一対の荷重伝達部は、各前記荷重入力面における前記分割面と反対側の端部にそれぞれ固定されている、
付記３又は付記４に記載のシート貼付ハンド。
（付記６）
各前記荷重入力面は、前記荷重伝達部との固定部から前記分割面側に向かうに従って吸着面側に向かうように前記一対の吸着ブロックが並ぶ方向に対して傾斜している、
付記３〜付記５のいずれか一項に記載のシート貼付ハンド。
（付記７）
凸曲面状の吸着面を有すると共に、前記吸着面の頂部と交わる分割面で分割された一対の吸着ブロックを備えるシート貼付ハンドの前記吸着面でシートを吸着し、
前記シート貼付ハンドを移動させて前記吸着面の頂部で前記シートを被貼付部材に貼り付け、
前記一対の吸着ブロックを前記被貼付部材側に押圧し、前記吸着面の頂部を支点に前記一対の吸着ブロックを開かせて前記吸着面を前記被貼付部材に倣うように変形させることで、前記吸着面による前記シートへの加圧部を前記シートの中央部から外側の端部へ移動させて前記シートを前記被貼付部材に貼り付ける、
ことを含むシート貼付方法。
（付記８）
前記一対の吸着ブロックの前記吸着面と反対側の荷重入力面における前記分割面側の端部と、前記荷重入力面における前記分割面と反対側の端部との前記分割面の延長方向に沿った高低差をＸとし、
前記シート貼付ハンドにおける前記シートの中央部と接触する先端部と、前記シート貼付ハンドへの前記シートの粘着面における外側の端部との前記分割面の延長方向に沿った高低差をＹとした場合に、
Ｘ≧Ｙを満足する前記シート貼付ハンドを用いる、
付記７に記載のシート貼付方法。
（付記９）
前記分割面の延長線上に位置する荷重入力部と、前記分割面を挟んだ両側にそれぞれ配置され、前記一対の吸着ブロックの前記吸着面と反対側の各荷重入力面における前記分割面と反対側の端部にそれぞれ固定された一対の荷重伝達部と、前記一対の荷重伝達部と前記荷重入力部とを連結する一対の連結部とを有すると共に、前記一対の荷重伝達部の幅方向の中心部が、前記シートの外側の端部よりも内側に位置する前記シート貼付ハンドを用いる、
付記７又は付記８に記載のシート貼付方法。
【符号の説明】
【００７４】
１  シート貼付装置
１０  シート貼付ハンド
２０  吸着ブロック
２２  吸着面
２２Ａ  頂部
２３  分割面
２４  荷重入力面
２８  加圧部
３０  倣い機構
３１  荷重入力部
３２  荷重伝達部
３２Ａ  中心部
３３  連結部
３４  第一ヒンジ
３５  第一アーム部
３６  スリット
３７  第二アーム部
３８  第二ヒンジ
４０  吸着パッド
５０  シート
６０  被貼付部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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