【事件の表示】
　特願２０１０−１７８８９８「インピーダンス可変整合回路」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　２月２３日出願公開、特開２０１２−　３９４７３、請求項の数（３）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯及び本願発明
　
１．手続の経緯
　本願は，平成２２年８月９日の出願であって，平成２４年５月１５日付けで拒絶理由が通知され，同年６月２９日付けで意見書とともに手続補正書の提出がなされ，同年１１月１４日付けで拒絶査定され，平成２５年１月１７日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
２．本願発明
　
　本願の請求項１に係る発明(以下「本願発明」という。)は，平成２４年６月２９日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
　
　　【請求項１】
　第１直列可変容量素子と第２直列可変容量素子との直列接続と、
　一端が第１直列可変容量素子と第２直列可変容量素子との接続点に接続され、他端が接地された、並列固定誘導性素子と第１並列可変容量素子との直列接続と、
　一端が第１直列可変容量素子と第２直列可変容量素子との接続点に接続され、他端が接地された、第２並列可変容量素子と、
　一端が第１並列可変容量素子の一端に接続され、他端が第１並列可変容量素子の他端に接続された第１並列固定容量素子と、
　一端が第２並列可変容量素子の一端に接続され、他端が第２並列可変容量素子の他端に接続された第２並列固定容量素子と、
を備え、
　前記第１並列固定容量素子の容量値Ｃｐ１ｏは、
　　【数２１】
０＜Ｃｐ１ｏ
＜
　
Ｃｐ１ｍｉｎ
＜
　
（ωは入力信号の角周波数、Ｃｐ１ｍｉｎはＣｐ１ｏと第１並列可変容量素子の容量値との和の最小値、Ｌｐ１ｏは並列固定誘導性素子のインダクタンス）
であり、
　前記第２並列固定容量素子の容量値Ｃｐ２ｏは、
　　【数２２】
０＜Ｃｐ２ｏ
＜
　
Ｃｐ２ｍａｘ
＞
　
（Ｃｐ２ｍａｘはＣｐ２ｏと第２並列可変容量素子の容量値との和の最大値、Δｐ２は第２並列可変容量素子の取りうる可変幅）である
ことを特徴とするインピーダンス可変整合回路。
　
(当審注　上記請求項１の記載において，【数２１】，【数２２】の「１／ω２Ｌｐ１ｏ」は，分子を「１」とし分母を「ω２Ｌｐ１ｏ」とする分数を示す。以下同様。)
　
第２　引用発明
　
１．引用例
　原査定の理由に引用された特開２０１０−４５６６４号公報(平成２２年２月２５日公開。以下「引用例１」という。)には，図面とともに次の事項が記載されている。
　
「【００２７】
　次に、第１の実施形態に係るプラズマ処理装置が備えるマッチング装置について説明する。
【００２８】
　図２は、マッチング装置２３の一回路例を示す回路図である。
【００２９】
　図２に示すように、マッチング装置２３は、第１の回路（着火ポジション移動回路）１０１と、第２の回路（整合ポジション移動回路）１０２とを備える。
【００３０】
　第１の回路１０１は、チャンバ（負荷）１のインピーダンスを、リアクタンス成分がゼロ、又は実質的にゼロである範囲に移動させる回路である。本例では、プラズマ着火を、チャンバ１のインピーダンスが、リアクタンス成分がゼロ、又は実質的にゼロである範囲にあるときに行う。以下、第１の回路１０１によって移動されたインピーダンスのポジションを、着火ポジションと呼ぶ。本例の着火ポジションは、一例として、特性インピーダンスで正規化された正規化インピーダンスが“１”を超え（高インピーダンス状態）、かつ、リアクタンス成分がゼロ、又は実質的にゼロである範囲（実軸付近の範囲）に設定する。
【００３１】
　本例の第１の回路１０１は、チャンバ１に対して並列に接続されたコイルＬ１と、チャンバ１に対して直列に接続されたコイルＬ２とを含んで構成されている。並列接続されたコイルＬ１は、チャンバ１のインピーダンスをアドミタンスチャート上に描かれる定コンダクタンス円に沿って反時計回りに移動させることができる。また、直列接続されたコイルＬ２は、チャンバ１のインピーダンスをスミスチャート上に描かれる定抵抗円に沿って時計回りに移動させることができる。
【００３２】
　第２の回路１０２は、着火ポジションに移動したインピーダンスを、整合ポジションに移動させる回路である。本例では、着火ポジションから整合ポジションへの移動を、チャンバ１のインピーダンスが、リアクタンス成分がゼロ、又は実質的にゼロである範囲にあるままで行う。このためには、例えば、インピーダンスを、実軸上、又は実軸付近を、実軸に沿って移動させればよい。
【００３３】
　本例の第２の回路１０２は、インダクタンスを変化させることが可能な可変インダクタ回路２０１と、キャパシタンスを変化させることが可能な可変コンデンサ回路２０２とを含んで構成されている。本例では、一回路例として、可変インダクタ回路２０１をチャンバ１に対して直列に接続し、可変コンデンサ回路２０２をチャンバ１に対して並列に接続している。
【００３４】
　可変インダクタ回路２０１は、本例では一回路例として、コイルＬ３と、並列可変コンデンサ回路２０３とを含んで構成されている。並列可変コンデンサ回路２０３は、コイルＬ３に直列に接続されたコンデンサＣ１、及びこのコンデンサＣ１に並列に接続され、キャパシタンスを変化させることが可能な可変コンデンサＣ２を含む
　一回路例に係る可変インダクタ回路２０１は、コイルＬ３に、並列可変コンデンサ回路２０３を直列接続する。この構成により、コイルＬ３のインダクタンスを変化させずに、並列可変コンデンサ回路２０３のキャパシタンスを変化させることで、インダクタンスを変化させることができる。このような可変インダクタ回路２０１は、コイルＬ３のインダクタンスを直接に変化させる回路に比較して、インダクタンスをより広範囲に変化させることが可能、という利点を得ることができる。」
　
　以上の記載によれば，引用例１は次の発明(以下「引用発明」という。)が記載されている。
　
　第１の回路１０１は，チャンバ１に対して並列に接続されたコイルＬ１と，チャンバ１に対して直列に接続されたコイルＬ２とを含んで構成され，
　第２の回路１０２は，インダクタンスを変化させることが可能な可変インダクタ回路２０１と，キャパシタンスを変化させることが可能な可変コンデンサ回路２０２とを含んで構成され，可変インダクタ回路２０１をチャンバ１に対して直列に接続し，可変コンデンサ回路２０２をチャンバ１に対して並列に接続しており，
　可変インダクタ回路２０１は，コイルＬ３と，並列可変コンデンサ回路２０３とを含んで構成され，並列可変コンデンサ回路２０３は，コイルＬ３に直列に接続されたコンデンサＣ１，及びこのコンデンサＣ１に並列に接続され，キャパシタンスを変化させることが可能な可変コンデンサＣ２を含み，
　可変インダクタ回路２０１は，コイルＬ３に，並列可変コンデンサ回路２０３を直列接続し，この構成により，コイルＬ３のインダクタンスを変化させずに，並列可変コンデンサ回路２０３のキャパシタンスを変化させることで，インダクタンスを変化させることができ，このような可変インダクタ回路２０１は，コイルＬ３のインダクタンスを直接に変化させる回路に比較して，インダクタンスをより広範囲に変化させることが可能，という利点を得ることができる
　プラズマ処理装置が備えるマッチング装置。
　
第３　当審の判断
　
１．対比
　本願発明と引用発明を比較すると次のことがいえる。
　
・　引用発明における「コイルＬ３」，「コンデンサＣ１」，「可変コンデンサＣ２」は，本願発明における「並列固定誘導性素子」，「一端が第１並列可変容量素子の一端に接続され，他端が第１並列可変容量素子の他端に接続された第１並列固定容量素子」，「第１並列可変容量素子」に相当し，該「コイルＬ３」と「可変コンデンサＣ２」とが直列接続されていることは明らかである。
　
　以上から，本願発明と引用発明は次の点で一致し，相違するといえる。
　
［一致点］
　並列固定誘導性素子と第１並列可変容量素子との直列接続と，
　一端が第１並列可変容量素子の一端に接続され，他端が第１並列可変容量素子の他端に接続された第１並列固定容量素子と，
を備える
ことを特徴とするインピーダンス可変整合回路。
　
［相違点］
　本願発明は，「第１直列可変容量素子と第２直列可変容量素子との直列接続」を備えているのに対して，引用発明はこのような「直列接続」を備えていない点で相違する。
　この相違により，
(１)　本願発明における「並列固定誘導性素子と第１並列可変容量素子との直列接続」は，「一端」が「第１直列可変容量素子と第２直列可変容量素子との接続点」に接続されるのに対して，引用発明にはそのような接続がない点，また「他端」が「接地」されてもいない点。
(２)　本願発明は，「一端が第１直列可変容量素子と第２直列可変容量素子との接続点に接続され、他端が接地された、第２並列可変容量素子」を備えるのに対して，引用発明はそのような「第２並列可変容量素子」に相当する「可変容量素子」を備えていない点，また「一端が第２並列可変容量素子の一端に接続され、他端が第２並列可変容量素子の他端に接続された第２並列固定容量素子」も備えておいない点。
そして，
(３)　該「第２並列固定容量素子の容量値Ｃｐ２ｏ」は，
「　　【数２２】
０＜Ｃｐ２ｏ
＜
　
Ｃｐ２ｍａｘ
＞
　
（Ｃｐ２ｍａｘはＣｐ２ｏと第２並列可変容量素子の容量値との和の最大値、Δｐ２は第２並列可変容量素子の取りうる可変幅）である」のに対して，引用発明にはそのような特定がない点。
(４)　本願発明における「第１並列固定容量素子の容量値Ｃｐ１ｏ」は，
「　　【数２１】
０＜Ｃｐ１ｏ
＜
　
Ｃｐ１ｍｉｎ
＜
　
（ωは入力信号の角周波数、Ｃｐ１ｍｉｎはＣｐ１ｏと第１並列可変容量素子の容量値との和の最小値、Ｌｐ１ｏは並列固定誘導性素子のインダクタンス）」であるのに対して，引用発明にはそのような特定がない点。
　
２．検討
　相違点について検討するに，インピーダンス整合回路において，相違点のような「第１直列可変容量素子と第２直列可変容量素子との直列接続」を備えたものが周知であるといえたとしても，該「直列接続」における「第１直列可変容量素子と第２直列可変容量素子との接続点」に，「並列固定誘導性素子と第１並列可変容量素子との直列接続」を接続すること，また，該「接続点」に，一端が第２並列固定容量素子の一端に接続され，他端が第２並列固定容量素子の他端に接続された「第２並列可変容量素子」を接続することは，当業者が容易になしえた，若しくは，当業者が適宜なしえたといえる理由を発見しない。
　このことは，本願発明が，引用発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとはいえないことを示している。
　
　さらに，原査定に引用された特開２００５−３１１７６２号公報(拒絶理由では特開２００５−３１１６７２号公報として提示。)，特開２００６−３３６４号公報，特開昭６２−６２６２４号公報，特開昭５４−１２４６５５号公報を見ても，上記相違点を，引用発明を基に，当業者が容易になしえた，若しくは，当業者が適宜なしえたといえる理由を発見しない。
　
　したがって，本願発明は，引用発明及び周知技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたということはできない。
　
　また，本願の請求項２，３に係る発明についても，本願発明と同様に，当業者が容易に発明をすることができたということはできない。
　
第４　むすび
　
　以上のとおりであるから，本願発明は，引用発明及び周知技術に基づいて，特許法第２９条第２項に該当するとはいうことはできない。
　また，他に，本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　
　よって，結論のとおり審決する。