【事件の表示】
　平成　７年特許願第２６９１３９号「クリーンルーム用搬送装置」拒絶査定に対する審判事件［平成　９年　４月　４日出願公開、特開平　９−　９３９０４］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成７年９月２１日の出願であって、その発明は特許請求の範囲の請求項１乃至請求項２に記載されたものであるところ、請求項１に係る発明（以下、本願発明という。）は、
　「【請求項１】外周に螺旋状に着磁された雄磁気ネジを備える回転軸と、回転軸を回転させる駆動手段と、該雄磁気ネジに対向して、該雄磁気ネジの外周全体を覆って設けられ、内周に螺旋状に着磁された雌磁気ネジを備えるスライダーとを有し、該回転軸が回転されたときに、該雌磁気ネジが該雄磁気ネジの磁力を受けて該スライダーが摺動する搬送装置において、前記雄磁気ネジと前記雌磁気ネジとの間にあって、前記回転軸を密閉する非磁性体からなる回転軸パイプと、前記駆動手段を密閉する駆動部カバーとを有することを特徴とするクリーンルーム用搬送装置。」にあるものと認める。
　なお、本願においては、平成１２年３月２１日付けの手続補正がされたが、これは本審決と同日付けの補正の却下の決定により却下された。
　
２．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平１−１７６８５０号公報（以下、引用例という）には、「運動変換方法及び装置」（発明の名称）が記載され、図面とともに以下の記載がある。
「本発明における運動変換部１は好ましくは２条の各ねじ山が切られたところの、強磁性体で出来たスクリュ２と、このスクリュ２と同心で環状の隙間を持つナット部３とから構成される。直線運動可能なナット部３は非磁性体でできたマグネットホルダ４、そのマグネットホルダ４により相互に離間された磁石５、および継鉄として働くマグネットバックアップ６から構成される。」（２頁右上欄８行〜１６行）、
「次に作動について説明する。ナット部３の中に保持された磁石５はスクリュ２のねじ軌跡上にあるので、各磁石５よりスクリュ２のねじ山外周端面へ吸引力が常に働いており、スクリュ２を回転させると磁石５に引き連られてナット部３も螺進しようとするが、ナット部３は回転方向には拘束されているので回転せず、回転運動を直線運動に変換し、直進する。またこの逆の変換も可能であり、ナット部３に直線運動を与えると回転運動に変換されてスクリュ２は回転する。」（２頁右下欄２行〜１１行）、
「第３図に示す構造例のようにスクリュ２とナット部３の間に非磁性体のチューブ７をスクリュ２とも、ナット部３とも隙間を持つように同心に固定しても回転／直線運動変換機構は前述と同様に働くので、チューブ７を境にしてスクリュ２とナット部３の存在する空間を完全に分離できる。従って、たとえばナット側を真空中や溶剤中の特殊環境条件の処理層に置き、スクリュ２及び回転駆動部を処理槽の外部に設置しても、駆動力を伝達することができるという利点がある。」（３頁右上欄１４行〜左下欄６行）、
「これはクリーン度の要求される半導体製造装置におけるウェハ１６’の搬送に本発明の運動変換装置を用いた例であり、Ａ地点にある全行程処理済みウェハ１６’を次工程のバキュームローダ３０があるＢ地点まで搬送するものである。この搬送装置は、運動変換部１、回転運動を与える回転運動部１５、被搬送物であるところのウェハ１６’に作用する移送部２１、移送補助部２４、付属部２７、およびクリーンエア供給装置３１によって構成される。
　ここで、運動変換部１は前述のものと同じものであり、強磁性体のスクリュ２とナット部３およびこの両者の存在する空間を仕切る被磁性体のチューブ７から構成される。スクリュ２は両端を軸受３２、３３で保持されており、クリーンボックス２０外に配置された回転駆動部１５より回転運動が与えられる。チューブ７は、前述と同じようにスクリュ２およびナット部３との間に隙間を持ち、かつスクリュ２およびナット部３と同心、一端はクリーンボックス２０に隙間無く固定されており、他端は閉塞状態でベース２９によりクリーンボックス２０に固定されている。」（４頁右下欄１２行〜５頁左上欄１５行）、及び、
「このように本発明の運動変換装置を用いることにより、クリーンボックス２０外からの駆動力によって非接触で運動変換が出来、クリーン度の要求されるクリーンボックス内で無発塵で運動変換出来る搬送装置を作ることができる。」（５頁右下欄１行〜５行）。
　すなわち、引用例には、強磁性体からなるスクリュと、スクリュを回転させる駆動手段と、該スクリュに対向して、該スクリュの外周全体を覆って設けられ、内周に磁石を備えるナット部を有し、該スクリュが回転されたときに、ナット部が摺動する搬送装置において、前記スクリュと前記ナット部の間にあって、前記スクリュを密閉する非磁性体からなるチューブを有したクリーンボックス用搬送装置が記載されていると認められる。
　
３．比較・検討
　本願発明と引用例とを比較すると、引用例１の、スクリュは回転軸であり、ナット部はスライダーであり、引用例のチューブ、クリーンボックスは本願発明のシール材、クリーンルームにそれぞれ相当するから、本願発明と引用例とは、回転軸と、回転軸を回転させる駆動手段と、回転軸に対向して、該回転軸の外周全体を覆って設けられ、内周を着磁されたスライダーとを有し、該回転軸が回転されたときに、該スライダーが摺動する搬送装置において、前記回転軸と前記スライダーとの間にあって、前記回転軸を密閉する非磁性体からなる回転軸用パイプを有するクリーンルーム用搬送装置である点で一致し、以下の（ａ）、（ｂ）の点で相違が認められる。
（ａ）本願発明は、外周に螺旋状に着磁された雄磁気ネジを備える回転軸と、該雄磁気ネジに対向して、該雄磁気ネジの外周全体を覆って設けられ、内周に螺旋状に着磁された雌磁気ネジを有し、該雌磁気ネジが該雄磁気ネジの磁力を受けて該スライダーが摺動するものであるのに対し、引用例のものは、強磁性体の回転軸と磁石を有するスライダーとでスライダーを摺動する点、
（ｂ）本願発明が、駆動手段を密閉する駆動部カバーを有しているのに対し、引用例にはこの構成については明示されていない点。
　上記相違点（ａ）、（ｂ）について検討する。
（ａ）搬送装置において、外周に螺旋状に着磁された雄磁気ネジを備える回転軸と、該雄磁気ネジに対向して、該雄磁気ネジの外周全体を覆って設けられ、内周に螺旋状に着磁された雌磁気ネジを有し、該雌磁気ネジが該雄磁気ネジの磁力を受けて該スライダーが摺動するものは、周知である。（必要であれば、特開平１−２０９２２２号公報参照。）
　したがって、引用例の搬送装置において、外周に螺旋状に着磁された雄磁気ネジを備える回転軸と、該雄磁気ネジに対向して、該雄磁気ネジの外周全体を覆って設けられ、内周に螺旋状に着磁された雌磁気ネジを有し、該雌磁気ネジが該雄磁気ネジの磁力を受けて該スライダーが摺動させるようにすることは、当業者が容易に想到し得たことと認められる。
（ｂ）クリーンルーム内で用いられるもので、駆動部のような、パーティクルを発生が予測される箇所に対して、カバーを設けパーティクルの発生を防ぐようにすることは、周知であるから、駆動手段を密閉する駆動部カバーを備えるようにすることは、当業者が容易に想到し得たことと認められる。
　そして、「駆動部等で発生したパーティクルがクリーンルーム内に侵入することがない」という明細書記載の効果は、当業者が引用例及び技術常識から容易に予測できる範囲のものである。
　すなわち、本願発明は、引用例及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願請求項１に係る発明は、引用例及び技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願は、特許請求の範囲の請求項２について論及するまでもなく、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。