【事件の表示】
　特許第３２９１５６２号「高強度を有する超硬合金製ミニチュアドリル」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２９１５６２号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第３２９１５６２号の請求項１に係る発明についての出願は、平成１０年６月１５日に特許出願され、同１４年３月２９日にその発明について特許権の設定の登録がされ、その後、特許異議申立人日立ツール株式会社より請求項１に係る特許に対して特許異議の申立て（同１４年１２月１０日特許庁受付）がされ、請求項１に係る特許に対して取消しの理由が通知され、その指定期間内である同１５年５月１日に特許異議意見書が提出され、同１５年５月３０日に訂正請求がされたものである。
　
第２　訂正の適否
１　訂正の内容
　上記訂正請求による訂正の内容は、次のとおりのものである。
(1) 訂正事項ａ
　設定登録時の願書に添付した明細書又は図面（以下「特許明細書等」という。）の特許請求の範囲の請求項１に記載された
「上記第一硬質分散相は、炭化タングステンをＶとＷとＣｒの析出複合炭化物の薄層で全面被覆および／または部分被覆してなる被覆炭化タングステンからなり、」を、
「上記第一硬質分散相は、０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急冷の条件で焼結することにより形成されたＶとＷとＣｒの析出複合炭化物の薄層で炭化タングステンを全面被覆および／または部分被覆してなる被覆炭化タングステンからなり、」と訂正する。
(2) 訂正事項ｂ
　特許明細書等の発明の詳細な説明（特許掲載公報第４欄第１７−１９行（段落【０００５】参照））に記載された
「上記第一硬質分散相は、ＷＣを（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの薄層で全面被覆および／または部分被覆してなる被覆ＷＣからなり、」を、
「上記第一硬質分散相は、０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急冷の条件で焼結することにより形成された（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの薄層でＷＣを全面被覆および／または部分被覆してなる被覆ＷＣからなり、」と訂正する。
２　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
(1) 訂正事項ａについて
　訂正事項ａは、請求項１における第一硬質分散層である「被覆炭化タングステン」を「０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急冷の条件で焼結することにより形成された」ものであると限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　また、訂正事項ａの「０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急冷の条件で焼結することにより形成された」は、特許明細書等に記載された「この焼結を、「０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急冷」、の条件とすると、上記従来超硬合金では、（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃのすべてが冷却時に結合相中に分散析出して独自に第二硬質分散相を形成していたものが、・・・その一部がＷＣの表面に全面被覆薄層および／または部分被覆薄層として析出して被覆ＷＣからなる第一硬質分散相を形成するようになり、」（特許掲載公報第３欄第３９行−第４欄第３行（段落【０００４】参照））の事項より、特許明細書等に記載された事項の範囲内のものである。
　また、訂正事項ａの訂正によって発明の目的が変更されるものではないので、訂正事項ａは、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
(2) 訂正事項ｂについて
　訂正事項ｂは、訂正事項ａで訂正された特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるためのものであるので、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、明らかに特許明細書等に記載した事項の範囲内においてされたものであり、また、明らかに実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
３　むすび
　以上のとおりであるので、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項並びに同条第３項において準用する同法第１２６条第２及び３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３　特許異議の申立てについての判断
１　特許異議の申立て及び取消しの理由の概要
　特許異議の申立ての理由の概要は、証拠として、甲第１号証（特開平４−２８９１４６号公報）、甲第２号証（Ｒ＆Ｄ神戸製鋼技報／Ｖｏｌ．４４　Ｎｏ．２（１９９４）ｐ．６３−６６）及び甲第３号証（熱処理　３８巻２号　平成１０年４月号　ｐ．６５，６６）を提出し、請求項１に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、また、第一硬質分散相、第二硬質分散相及び結合相の面積割合の測定方法が不明であり、特許法第３６条第４項及び第６項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであるから取り消されるべきものというものである。
　また、当審で通知した取消しの理由の概要は、上記特許異議の申立の理由と同様のものである。
２　本件発明
　上記第２の３のとおり、上記訂正が認められたので、本件特許第３２９１５６２号の請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、訂正請求書に添付された明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
「電子顕微鏡による組織観察で、
　第一硬質分散相：６５〜９２．５面積％、
　第二硬質分散相：０．５〜５面積％、
　Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、
からなる組織を示し、
　上記第一硬質分散相は、０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急冷の条件で焼結することにより形成されたＶとＷとＣｒの析出複合炭化物の薄層で炭化タングステンを全面被覆および／または部分被覆してなる被覆炭化タングステンからなり、上記第二硬質分散相は、上記結合相中に微細に分散分布したＶとＷとＣｒの析出複合炭化物からなり、かついずれも０．７μｍ以下の平均粒径を有し、
　さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの含有量が、重量％で、
　Ｃｏ：５〜１３％、
　Ｃｒ：０．２〜２％、
　Ｖ　：０．２〜１％、
である、炭化タングステン基超硬合金で構成したことを特徴とする高強度を有する超硬合金製ミニチュアドリル。」
３　甲各号証記載事項
　甲各号証には、次の事項が記載されていると認める。
(1) 甲第１号証
ａ　第１欄第１３−１５行
「【産業上の利用分野】本発明はプリント基板加工用ドリル等の精密加工工具として好適な耐摩耗性に優れた高硬度高靭性超硬合金に関するものである。」
ｂ　第２欄第１９−２６行
「上記第３相は、ＷＣ相と金属結合相の粒界に存在して、ブロッキング効果によりＷＣ相の粒成長を抑制し、高硬度・高靭性及び優れた耐摩耗性を発揮するものと考えられる。またＣｒの大部分は金属結合相に固溶して固溶強化により強度を向上させるものであるが、一部第３相に固溶しても第３相が微細で均一に析出している限りは強度低下を起こすことはなく、むしろ硬度上昇につながる。」
ｃ　第２欄第４３−４６行
「尚本発明に係る超硬合金においてＷＣの平均粒径は高硬度及び高靭性を得る上で微細であることが望まれ、平均粒径で１μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは０．３〜０．８μｍである。」
ｄ　第３欄第３行−第４欄第１行
「写真中、(1)は第３相として析出している（Ｖ，Ｗ）Ｃ相、(2)はＷＣ相・・・。」
ｅ　表１
（Ｖ，Ｗ）Ｃ相の成分がＶ、Ｃｒ、Ｃｏ及びＷであること。
ｆ　表３の
　本発明例Ｎｏ．１〜６の配合比（重量％）が、ＶＣ：０．１〜０．６％、Ｃｒ３Ｃ２：０．５〜２．０％、Ｃｏ：５〜２０％であること。
ｇ　図１
　高硬度高靭性超硬合金組織構造を示す図面代用写真。
(2) 甲第２号証
ａ　第６３頁右欄第１５−２４行
「ＷＣ／Ｃｏ界面のＣｏ側に直径数ｎｍの粒子が規則的に並んでいることがわかる。ＥＤＸ分析によると、これらの粒子はＷ、Ｖ、Ｃｒを含んでいる。・・・
　・・・数十ｎｍの比較的大きな相がＷＣ／Ｃｏ界面に認められ、電子線回折によればＮａＣＩ構造を有する。」
ｂ　表１
　試料１の配合比がＣｏ：１２、Ｃｒ３Ｃ２：１．０、ＶＣ：０．３５、ＷＣ：ｂａｌであり、試料２の配合比がＣｏ：１０、Ｃｒ３Ｃ２：１．０、ＶＣ：０．３５、ＷＣ：ｂａｌであること。
ｃ　写真１
　試料１のＴＥＭ像とＥＤＸスペクトル。
ｄ　写真２
　試料２のＴＥＭ像。
(3) 甲第３号証
ａ　第６５頁右欄第２−５行
「一方、ＶＣ添加材のＷＣ／Ｃｏ界面は矢印で示したように多数のステップを形成している。このようなステップの形成はＶＣ添加材に特有のものであり、これが粒成長抑制メカニズムと関連しているものと考えられる。」
ｂ　第６５頁右欄下から第３−１行
「すなわち、Ｖ偏析層が，Ｃｏ相を介したＷやＣの拡散に対してバリヤーとして作用するものと推定される。」
ｃ　写真２
　ＶＣ添加ＷＣ−Ｃｏ合金のＷＣ／Ｃｏ界面の高分解能電子顕微鏡像。
４　対比・判断
(1) 進歩性について
　本件発明と甲第１乃至３号証に記載の事項とを対比すると、甲第１乃至３号証には、それぞれ、超硬合金の第一硬質分散相である炭化タングステンの表面に析出複合炭化物が存在するものが記載されていると認められるが、各超硬合金の焼結条件は、本件発明の超硬合金の焼結条件である「０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急冷」と同一であるとは認められず、かつ、甲第１乃至３号証に記載の析出複合炭化物の構成が本件発明の析出複合炭化物の構成と同一であるとも認められない。
　そして、本件発明の超硬合金の焼結条件が甲第１乃至３号証に示唆されているということもできない。
　したがって、本件発明は、甲第１乃至３号証に記載された事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
(2) 記載不備について
　異議申立人は、「甲第１号証、甲第２号証には透過型電子顕微鏡金属組織が掲載されていますが、いずれもきわめて高い倍率、例えば、甲第１号証は、１５万倍、であり、これらより面積率を求めるのであれば、合金全体の面積率を表しているとは言えず、又、倍率を下げれば第二硬質分散相は確認することが出来ず、不明確である。」と主張するが、一般に表面の一部しか観察できない装置を用いて、表面全体の状態を調べる場合には、表面上の任意の複数箇所を観察して、全体の状態を推定するような測定方法を採用することは普通に行われるものであって、本件発明の「第一硬質分散相」、「第二硬質分散相」及び「結合相」の各相の面積割合の測定においても、上記特許異議意見書の５の（６）に、「まず、超硬合金の研磨面を透過型電子顕微鏡を用い、１万倍の倍率で観察して、図１に模式図で示される通りの組織を観察します。・・・したがって、上記の１万倍の倍率の組織写真から画像解析装置を用いて、第一硬質分散相の面積割合を算出します。これを任意１０ヶ所について行い、表１，２にはその平均値で現しています。ついで、透過型電子顕微鏡の倍率を５万倍に上げて組織観察すると、微細な第二硬質分散相を観察することができるようになるので、この状態でエネルギー分散型Ｘ線分光装置を用いて（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃからなる硬質分散相の構成部分の個々の成分の濃度分布図を作成し、この観察結果から、ＷＣ相を表面被覆する（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃと結合相中に分散分布する第二硬質相の分布状態が観察されますが、このうちの前記第二硬質相をマーキングし、このマーキングした第二硬質相の面積割合を画像解析装置を用いて算出し、これを任意６０ヶ所について行い、同じく表１，２にその平均値で示しました。」と記載されているように、そのような測定方法を採用することは、当業者であれば当然に行うことである。
　したがって、透過型電子顕微鏡を用いて金属組織の各相の面積割合を測定するからといって、合金全体の各相の面積割合の測定方法が不明であるとはいえない。
５　むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては本件請求項１に係る特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年６月２３日（２００３．６．２３）
【訂正の要旨】
　（１）明細書、特許請求の範囲、
「【請求項１】　電子顕微鏡による組織観察で、
　　第一硬質分散相：６５〜９２．５面積％、
　　第二硬質分散相：０．５〜５面積％、
　　Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、
からなる組織を示し、
　上記第一硬質分散相は、炭化タングステンをＶとＷとＣｒの析出複合炭化物の薄層で全面被覆および／または部分被覆してなる被覆炭化タングステンからなり、上記第二硬質分散相は、上記結合相中に微細に分散分布したＶとＷとＣｒの析出複合炭化物からなり、かついずれも０．７μｍ以下の平均粒径を有し、
　さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの含有量が、重量％で、
　　Ｃｏ：５〜１３％、
　　Ｃｒ：０．２〜２％、
　　Ｖ　：０．２〜１％、
である、炭化タングステン基超硬合金で構成したことを特徴とする高強度を有する超硬合金製ミニチュアドリル。」、
とあるを、
「【請求項１】　電子顕微鏡による組織観察で、
　　第一硬質分散相：６５〜９２．５面積％、
　　第二硬質分散相：０．５〜５面積％、
　　Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、
からなる組織を示し、
　上記第一硬質分散相は、
０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急冷の条件で焼結することにより形成された
　さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの含有量が、重量％で、
　　Ｃｏ：５〜１３％、
　　Ｃｒ：０．２〜２％、
　　Ｖ　：０．２〜１％、
である、炭化タングステン基超硬合金で構成したことを特徴とする高強度を有する超硬合金製ミニチュアドリル。」、
と訂正する。
（２）明細書の【０００５】欄、
「この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、
　電子顕微鏡による組織観察で、
　　第一硬質分散相：６５〜９２．５面積％、
　　第二硬質分散相：０．５〜５面積％、
　　Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、
からなる組織を示し、
　上記第一硬質分散相は、ＷＣを（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの薄層で全面被覆および／または部分被覆してなる被覆ＷＣからなり、上記第二硬質分散相は、上記結合相中に微細に分散分布した（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃからなり、かついずれも０．７μｍ以下の平均粒径を有し、
　さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの含有量が、
　　Ｃｏ：５〜１３％、
　　Ｃｒ：０．２〜２％、
　　Ｖ　：０．２〜１％、
である、超硬合金で構成してなる、耐折損性のすぐれた超硬合金製ミニチュアドリルに特徴を有するものである。」、
とあるを、
「この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、
　電子顕微鏡による組織観察で、
　　第一硬質分散相：６５〜９２．５面積％、
　　第二硬質分散相：０．５〜５面積％、
　　Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、
からなる組織を示し、
　上記第一硬質分散相は、
０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急冷の条件で焼結することにより形成された
　さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの含有量が、
　　Ｃｏ：５〜１３％、
　　Ｃｒ：０．２〜２％、
　　Ｖ　：０．２〜１％、
である、超硬合金で構成してなる、耐折損性のすぐれた超硬合金製ミニチュアドリルに特徴を有するものである。」、
と訂正する。
（５４）【発明の名称】
高強度を有する超硬合金製ミニチュアドリル
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　電子顕微鏡による組織観察で、
　　第一硬質分散相：６５〜９２．５面積％、
　　第二硬質分散相：０．５〜５面積％、
　　Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、
からなる組織を示し、
　上記第一硬質分散相は、０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急冷の条件で焼結することにより形成されたＶとＷとＣｒの析出複合炭化物の薄層で炭化タングステンを全面被覆および／または部分被覆してなる被覆炭化タングステンからなり、上記第二硬質分散相は、上記結合相中に微細に分散分布したＶとＷとＣｒの析出複合炭化物からなり、かついずれも０．７μｍ以下の平均粒径を有し、
　さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの含有量が、重量％で、
　　Ｃｏ：５〜１３％、
　　Ｃｒ：０．２〜２％、
　　Ｖ　：０．２〜１％、
である、炭化タングステン基超硬合金で構成したことを特徴とする高強度を有する超硬合金製ミニチュアドリル。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　この発明は、耐摩耗性の低下なく、高強度を有し、これによって一段の細径化にもすぐれた耐折損性を示す超硬合金製ミニチュアドリルに関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、一般に、超硬合金製ミニチュアドリルが、図２に電子顕微鏡による組織観察結果を模式図で示す通り、
　　第一硬質分散相：６０〜９２面積％、
　　第二硬質分散相：１〜１０面積％、
　　Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、
からなる組織を示し、
　上記第一硬質分散相は、炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）からなり、上記第二硬質分散相は、上記結合相中に微細に分散分布したＶとＷとＣｒの析出複合炭化物［以下、（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃで示す］からなり、かついずれもＶ成分の作用で０．７μｍ以下の平均粒径を有し、
　さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの含有量が、重量％で（以下、単に％の表示は重量％を示す）、
　　Ｃｏ：５〜１３％、
　　Ｃｒ：０．２〜２％、
　　Ｖ　：０．２〜１％、
である、ＷＣ基超硬合金（以下、超硬合金と云う）で構成され、かつ図３に概略正面図で例示されるように、切刃部とシャンク部からなり、前記切刃部に形成された外周刃によって穴あけ加工がなされることは良く知られるところである。
　また、これらの超硬合金製ミニチュアドリルが、主に半導体装置のプリント配線基板などの穴あけ加工に用いられていることも知られている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　一方、近年の半導体装置の高集積化は著しく、これに伴い、これらに設けられる穴径も小経化の傾向にあり、したがってこれの穴あけ加工に用いられるミニチュアドリルも一段と細径となるが、加工穴径が小径になればなるほど、ミニチュアドリルには折損防止の面からより一段の強度（靭性）が要求され、このためにはこれを構成する超硬合金のＣｏ含有量を多くしなければならないが、Ｃｏ含有量を多くすると反比例的に耐摩耗性が低下するようになり、使用寿命の短命化が避けられないのが現状である。
　【０００４】
　【課題を解決するための手段】
　そこで、本発明者等は、上述のような観点から、上記の従来超硬合金製ミニチュアドリルに着目し、これのもつ耐摩耗性を損なう事なく、強度向上を図るべく研究を行った結果、
上記の従来超硬合金製ミニチュアドリルを構成する超硬合金（従来超硬合金と云う）においては、その製造に際して、その焼結を、
　「０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、少なくとも１２００℃まで炉冷（この場合の冷却速度は約１０℃／ｍｉｎ）」、
の条件で行っているが、この焼結を、
　「０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急冷」、
の条件とすると、上記従来超硬合金では、（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃのすべてが冷却時に結合相中に分散析出して独自に第二硬質分散相を形成していたものが、上記の通り真空雰囲気を加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に所定時間保持した後急冷することにより、図１に電子顕微鏡による組織観察結果を模式図で示した通り、その一部がＷＣの表面に全面被覆薄層および／または部分被覆薄層として析出して被覆ＷＣからなる第一硬質分散相を形成するようになり、この結果の（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの析出割合にはほとんど変化がないが、前記（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの一部が前記被覆ＷＣを形成する超硬合金は、結合相中にだけ（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃが分散析出した上記従来超硬合金に比して一段と高い強度をもつようになり、したがってこの超硬合金でミニチュアドリルを構成すれば、これの一段の細径化にもすぐれた耐折損性を示し、かつ細径化によっても耐摩耗性の低下が抑制されるようになるという研究結果を得たのである。
　【０００５】
　この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、
　電子顕微鏡による組織観察で、
　　第一硬質分散相：６５〜９２．５面積％、
　　第二硬質分散相：０．５〜５面積％、
　　Ｃｏを主体とする結合相および不可避不純物：残り、
からなる組織を示し、
　上記第一硬質分散相は、０．０１〜０．１ｔｏｒｒの真空雰囲気中、温度：１３５０〜１４８０℃に１〜２時間保持後、雰囲気を５０〜１５０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に１５〜６０分間保持後、少なくとも１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの冷却速度で急冷の条件で焼結することにより形成された（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの薄層でＷＣを全面被覆および／または部分被覆してなる被覆ＷＣからなり、上記第二硬質分散相は、上記結合相中に微細に分散分布した（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃからなり、かついずれも０．７μｍ以下の平均粒径を有し、
　さらにＣｏ、Ｃｒ、およびＶの含有量が、
　　Ｃｏ：５〜１３％、
　　Ｃｒ：０．２〜２％、
　　Ｖ　：０．２〜１％、
である、超硬合金で構成してなる、耐折損性のすぐれた超硬合金製ミニチュアドリルに特徴を有するものである。
　【０００６】
　つぎに、この発明のミニチュアドリルにおいて、これを構成する超硬合金の組成および硬質分散相の平均粒径を上記の通りに限定した理由を説明する。
　（Ａ）　組成
　（ａ）　第一硬質分散相（被覆ＷＣ）の割合
　第一硬質分散相における（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの存在、すなわちＷＣの表面を（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃが被覆することによって超硬合金の強度が著しく向上するようになることは経験的に判明したものであり、またこの場合電子顕微鏡による組織観察で、ＷＣの全粒界長さの５０％以上が（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃで被覆されているのが望ましく、さらに第一硬質分散相には、ＷＣと、これの表面を被覆する（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃとの共存によって耐摩耗性を一段と向上させる作用があるが、その割合が６５面積％未満では、所望のすぐれた耐摩耗性を確保することができず、一方その割合が９２．５面積％を越えると相対的に結合相の割合が少なくなりすぎて、強度が急激に低下するようになることから、その割合を６５〜９２．５面積％、望ましくは８０〜８９面積％と定めた。
　【０００７】
　（ｂ）　第二硬質分散相（（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃ）の割合
　第二硬質分散相には、超硬合金の硬さをさらに一段と高め、もって耐摩耗性を向上させる作用があるが、その割合が０．５面積％未満では、所望の硬さ向上効果が得られず、一方その割合が５面積％を越えると、強度が急激に低下するようになることから、その割合を０．５〜５面積％、望ましくは１〜３面積％と定めた。
　【０００８】
　（ｃ）　Ｃｏの含有量
　Ｃｏ成分は焼結性を向上させ、かつ結合相を形成して強度を向上させ、もってドリルの折損を抑制する作用をもつが、その含有量が５％未満では細経化に対して十分な耐折損性を確保することができず、一方その含有量が１３％を越えると耐摩耗性の急激な低下が避けられないことから、その含有量を５〜１３％、望ましくは６〜１０％と定めた。
　【０００９】
　（ｄ）　Ｃｒの含有量
　Ｃｒ成分には、上記の通りＷＣの表面に全面被覆薄層および／または部分被覆薄層として析出する（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃを形成して強度向上および耐摩耗性向上に寄与するほか、さらに第二硬質分散相を形成して、耐摩耗性の一段の向上に寄与し、かつ結合相中に固溶して、これの耐熱性を向上させる作用があるが、その含有量が０．２％未満では前記作用に所望の向上効果が得られず、一方その含有量が２％を越えると、結合相中への固溶割合が高くなりすぎ、強度低下の原因となることから、その含有量を０．２〜２％、望ましくは０．３〜１．０％と定めた。
　【００１０】
　（ｅ）　Ｖの含有量
　Ｖ成分には、同じく（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃを形成して、強度および耐摩耗性を向上させるほか、結合相中に固溶して、焼結時における上記第一および第二硬質分散相の粒成長を抑制する作用があるが、その含有量が０．２％未満では、硬質の（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの形成が困難であるばかりでなく、原料粉末であるＷＣ粉末の平均粒径を０．７μｍ以下にしても焼結時に粒成長して上記第一硬質分散相が０．７μｍを越えた平均粒径になってしまい、また結合相中に析出した第二硬質分散相の成長抑制効果も十分でなく、この結果所望の高強度を確保することができず、折損の発生を防止することができなくなり、一方その含有量が１％を越えると結合相自体の強度が低下し、折損が発生し易くなることから、その含有量を０．２〜１％、望ましくは０．２〜０．５％と定めた。
　【００１１】
　（ｆ）　第一および第二硬質分散相の平均粒径
　これらの平均粒径は、上記の通り原料粉末としてのＷＣ粉末の平均粒径およびＶ含有量によって調整するが、その平均粒径が０．７μｍを越えると、硬質分散相粒粗大化に伴う強度低下が著しくなることから、その平均粒径を０．７μｍ以下と定めた。
　【００１２】
　【発明の実施の形態】
　つぎに、この発明の超硬合金製ミニチュアドリルを実施例により具体的に説明する。
　原料粉末として、それぞれ平均粒径：０．８μｍのＷＣ粉末、同１．５μｍのＶＣ粉末、同２．３μｍのＣｒ３Ｃ２粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を所定の配合組成に配合し、湿式ボールミルで７２時間混合し、減圧乾燥し、さらにワックスと溶剤を加えて１時間混和した後、押出しプレスにて直径：４．４ｍｍの長尺状成形体とし、これらの長尺状成形体を、脱ワックスした状態で、０．０５ｔｏｒｒの真空雰囲気中、１３５０〜１４８０℃の範囲内の所定の温度に１．５時間保持後、雰囲気を圧力：６０ｋｇ／ｃｍ２の加圧雰囲気に変え、この加圧雰囲気に２５分間保持後、１２００℃までを５０〜１００℃／ｍｉｎの範囲内の所定の冷却速度で急冷の条件で焼結することにより超硬合金からなる直径：３．５ｍｍの長尺状焼結素材を製造し、この長尺状焼結素材について、定量分析法にてＣｏ、Ｃｒ、およびＶ成分の含有量を測定し、さらにその任意断面を透過型電子顕微鏡およびエネルギー分散型Ｘ線分光装置を用いて観察し、第一硬質分散相が被覆ＷＣ、第二硬質分散相が（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃからなることを確認した上で、これらの平均粒径を測定し、かつ画像解析装置にてその割合を算出し、この結果表１に示される測定および算出結果を示し、ついで前記長尺状焼結素材からそれぞれ表１に示される寸法に切削加工することによりいずれも２枚刃形状の本発明ミニチュアドリル１〜８をそれぞれ製造した。
　また、比較の目的で、焼結条件を、０．０５ｔｏｒｒの真空雰囲気中、１３５０〜１４８０℃の範囲内の所定の温度に１．５時間保持後、炉冷（この場合の１２００℃までの冷却速度は約１０℃／ｍｉｎ）とする以外は同一の条件で表２に示される通りの従来ミニチュアドリル１〜８をそれぞれ製造した。
　【００１３】
　この結果得られた本発明ミニチュアドリル１〜８および従来ミニチュアドリル１〜８について、ガラス層とエポキシ樹脂層と銅層の交互６層積層板からなる厚さ：１．６ｍｍのプリント基板を２枚重ねにしたものに、表３に示される条件および試験本数：２０本にて穴あけ加工試験を行い、ミニチュアドリルの外周刃外径寸法に５％の摩耗が生じる迄の穴あけ加工数および折損数を測定した。これらの測定結果を表３に示したが、穴あけ加工数は折損発生のないものの平均値で示した。
　【００１４】
　【表１】
　【００１５】
　【表２】
　【００１６】
　【表３】
　【００１７】
　【発明の効果】
　表３に示される結果から、本発明ミニチュアドリル１〜８は、いずれも（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃの一部をＷＣの全面被覆薄層および／または部分被覆薄層として析出させることによって、前記（Ｖ，Ｗ，Ｃｒ）Ｃが結合相中にのみ分散分布した従来ミニチュアドリル１〜８に比して同等の耐摩耗性で、一段とすくれた耐折損性を示すことが明らかである。
　上述のように、この発明のミニチュアドリルは、細経化に十分満足に対応できる高強度を有するので、例えば高集積化した半導体装置への適用に際しても折損の発生なく、長期に亘ってすぐれた性能を発揮するものである。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明ミニチュアドリルを構成する超硬合金の電子顕微鏡による組織観察結果を示す模式図である。
　【図２】
　従来ミニチュアドリルを構成する超硬合金の電子顕微鏡による組織観察結果を示す模式図である。
　【図３】
　ミニチュアドリルを示す概略正面図である。