(57)【要約】【課題】十分なチップ間隔を形成できなかったり分割が不十分だったりする領域の発生を防止する。【解決手段】拡張装置１は、第一挟持ユニット１０Ａが第二方向に並んで配設された３以上の第一挟持部１１ａ〜１１ｄからなり、第二挟持ユニット１０Ｂが第二方向に並んで配設された３以上の第二挟持部１２ａ〜１２ｄからなり、第三挟持ユニット１０Ｃが第一方向に並んで配設された３以上の第三挟持部１３ａ〜１３ｄからなり、第四挟持ユニット１０Ｄが第一方向に並んで配設された３以上の第四挟持部１４ａ〜１４ｄからなり、各挟持ユニットの各挟持部が独立して移動可能となっているため、各挟持ユニットの両端に位置する挟持部の移動量を他の挟持部よりも大きくすることで被加工物Ｗの全域に対してシート５を十分に拡張でき、十分なチップ間隔を形成できなかったり分割が不十分だったりする領域の発生を防止できる。【選択図】図１
2018160580.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物が貼着されたシートを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張装置であって、
第一方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ該シートを挟持する第一挟持ユニットと、第二挟持ユニットと、
該第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ該シートを挟持する第三挟持ユニットと、第四挟持ユニットと、
該第一挟持ユニットと該第二挟持ユニットとを該第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに該第三挟持ユニットと該第四挟持ユニットとを該第二方向において互いに離反する向きに移動可能とする移動機構と、を備え、
該第一挟持ユニットは、該第二方向に並んで配設された３以上の第一挟持部からなり、
該第二挟持ユニットは、該第二方向に並んで配設された３以上の第二挟持部からなり、
該第三挟持ユニットは、該第一方向に並んで配設された３以上の第三挟持部からなり、
該第四挟持ユニットは、該第一方向に並んで配設された３以上の第四挟持部からなり、
該移動機構は、３以上の該第一挟持部をそれぞれ該第一方向に移動させる第一挟持部第一移動手段と第一挟持部第二移動手段と第一挟持部第三移動手段と、
３以上の該第二挟持部をそれぞれ該第一方向に移動させる第二挟持部第一移動手段と第二挟持部第二移動手段と第二挟持部第三移動手段と、
３以上の該第三挟持部をそれぞれ該第二方向に移動させる第三挟持部第一移動手段と第三挟持部第二移動手段と第三挟持部第三移動手段と、
３以上の該第四挟持部をそれぞれ該第二方向に移動させる第四挟持部第一移動手段と第四挟持部第二移動手段と第四挟持部第三移動手段と、を有する拡張装置。
【請求項２】
請求項１に記載の拡張装置において、交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物が貼着されたシートを拡張する拡張方法であって、
第一方向において被加工物を挟んで互いに対向した第一挟持ユニットと第二挟持ユニットとで該シートを挟持するとともに、該第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向した第三挟持ユニットと第四挟持ユニットとで該シートを挟持する挟持ステップと、
該第一挟持ユニットと該第二挟持ユニットとが該シートを挟持した状態で該第一挟持ユニットと該第二挟持ユニットとを互いに離反するよう移動させて該シートを該第一方向に拡張させるとともに、該第三挟持ユニットと該第四挟持ユニットとが該シートを挟持した状態で該第三挟持ユニットと該第四挟持ユニットとを互いに離反するよう移動させて該シートを該第二方向に拡張させる第一拡張ステップと、
該第一拡張ステップを実施した後、該第一挟持ユニットの両端に位置する前記第一挟持部と該第二挟持ユニットの両端に位置する前記第二挟持部とをそれぞれ互いに離反するよう移動させて該シートを該第一方向に拡張させるとともに、該第三挟持ユニットの両端に位置する前記第三挟持部と該第四挟持ユニットの両端に位置する前記第四挟持部とをそれぞれ互いに離反するよう移動させて該シートを該第二方向に拡張させる第二拡張ステップと、を備えた拡張方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物が貼着されたシートを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張装置及び拡張方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエーハなどの被加工物は、その表面の格子状の分割予定ラインによって区画された領域にそれぞれデバイスが形成されており、分割予定ラインに沿って分割することによって、デバイスを有する個々のデバイスチップに分割される。被加工物を個々のデバイスチップに分割する方法としては、被加工物に対して透過性を有する波長のレーザビームを照射して被加工物の内部に改質層を形成した後、被加工物を研削・研磨することにより薄化し、この薄化工程において被加工物を分割する方法がある（例えば、下記の特許文献１を参照）。当該分割方法によって分割された被加工物は、分割されたチップ間に隙間がなく互いに密着した状態であるため、被加工物のハンドリング時に隣接するチップ同士が接触して損傷するおそれがある。そのため、複数のチップに分割された被加工物をシートに貼着し、シートを拡張することで隣接するチップ間に間隔を形成している。
【０００３】
チップ間に間隔を形成するために、例えば、下記の特許文献２に示す拡張装置が利用されているが、放射状にシートを拡張すると、シートの拡張量はどの方向でもほぼ同量となる。そのため、例えばチップサイズが縦横で異なる場合には、チップ間に形成される間隔が異なり、一方向（例えばチップの縦方向）では十分な間隔が形成されたとしても他方向（例えばチップの横方向）では間隔が不十分でハンドリング時に隣接するチップ同士が接触してしまうおそれがある。そこで、本出願人は、上記の問題に鑑み、シートの四片を挟持してエキスパンドする拡張装置を提案している（例えば下記の特許文献３を参照）。この拡張装置は、第一方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第一挟持手段と第二挟持手段と、第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第三挟持手段と第四挟持手段とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３７６２４０９号公報
【特許文献２】特開２０１１−０７７４８２号公報
【特許文献３】特開２０１４−１４３２９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記の拡張装置においては、直交する挟持手段が隣接する領域にはシートを挟持できない四隅の領域が発生する。この状態で第一挟持手段〜第四挟手段をそれぞれ移動させてシートを拡張させると、この四隅の領域に対面した被加工物の外周部はシートの拡張量が十分でなく、十分なチップ間隔を形成できなかったり分割が不十分だったりという不具合が発生する。
【０００６】
本発明の目的は、被加工物上で十分なチップ間隔を形成できなかったり分割が不十分だったりする領域の発生を防止しうる拡張装置及び拡張方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物が貼着されたシートを拡張して隣接するチップ間に間隔を形成する拡張装置であって、第一方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ該シートを挟持する第一挟持ユニットと、第二挟持ユニットと、該第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれ該シートを挟持する第三挟持ユニットと、第四挟持ユニットと、該第一挟持ユニットと該第二挟持ユニットとを該第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに該第三挟持ユニットと該第四挟持ユニットとを該第二方向において互いに離反する向きに移動可能とする移動機構と、を備え、該第一挟持ユニットは、該第二方向に並んで配設された３以上の第一挟持部からなり、該第二挟持ユニットは、該第二方向に並んで配設された３以上の第二挟持部からなり、該第三挟持ユニットは、該第一方向に並んで配設された３以上の第三挟持部からなり、該第四挟持ユニットは、該第一方向に並んで配設された３以上の第四挟持部からなり、該移動機構は、３以上の該第一挟持部をそれぞれ該第一方向に移動させる第一挟持部第一移動手段と第一挟持部第二移動手段と第一挟持部第三移動手段と、３以上の該第二挟持部をそれぞれ該第一方向に移動させる第二挟持部第一移動手段と第二挟持部第二移動手段と第二挟持部第三移動手段と、３以上の該第三挟持部をそれぞれ該第二方向に移動させる第三挟持部第一移動手段と第三挟持部第二移動手段と第三挟持部第三移動手段と、３以上の該第四挟持部をそれぞれ該第二方向に移動させる第四挟持部第一移動手段と第四挟持部第二移動手段と第四挟持部第三移動手段と、を有する。
【０００８】
また、本発明は、上記拡張装置において、交差する複数の分割予定ラインに沿って分割起点が形成された被加工物、または交差する複数の分割予定ラインに沿って個々のチップに分割された被加工物が貼着されたシートを拡張する拡張方法であって、第一方向において被加工物を挟んで互いに対向した第一挟持ユニットと第二挟持ユニットとで該シートを挟持するとともに、該第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向した第三挟持ユニットと第四挟持ユニットとで該シートを挟持する挟持ステップと、該第一挟持ユニットと該第二挟持ユニットとが該シートを挟持した状態で該第一挟持ユニットと該第二挟持ユニットとを互いに離反するよう移動させて該シートを該第一方向に拡張させるとともに、該第三挟持ユニットと該第四挟持ユニットとが該シートを挟持した状態で該第三挟持ユニットと該第四挟持ユニットとを互いに離反するよう移動させて該シートを該第二方向に拡張させる第一拡張ステップと、該第一拡張ステップを実施した後、該第一挟持ユニットの両端に位置する上記第一挟持部と該第二挟持ユニットの両端に位置する上記第二挟持部とをそれぞれ互いに離反するよう移動させて該シートを該第一方向に拡張させるとともに、該第三挟持ユニットの両端に位置する上記第三挟持部と該第四挟持ユニットの両端に位置する上記第四挟持部とをそれぞれ互いに離反するよう移動させて該シートを該第二方向に拡張させる第二拡張ステップと、を備えた。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る拡張装置は、第一方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第一挟持ユニットと、第二挟持ユニットと、第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第三挟持ユニットと、第四挟持ユニットと、第一挟持ユニットと第二挟持ユニットとを第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに第三挟持ユニットと第四挟持ユニットとを第二方向において互いに離反する向きに移動可能とする移動機構とを備え、第一挟持ユニットは、第二方向に並んで配設された３以上の第一挟持部からなり、第二挟持ユニットは、第二方向に並んで配設された３以上の第二挟持部からなり、第三挟持ユニットは、第一方向に並んで配設された３以上の第三挟持部からなり、第四挟持ユニットは、第一方向に並んで配設された３以上の第四挟持部からなり、移動機構は、３以上の第一挟持部をそれぞれ第一方向に移動させる第一挟持部第一移動手段と第一挟持部第二移動手段と第一挟持部第三移動手段と、３以上の第二挟持部をそれぞれ第一方向に移動させる第二挟持部第一移動手段と第二挟持部第二移動手段と第二挟持部第三移動手段と、３以上の第三挟持部をそれぞれ第二方向に移動させる第三挟持部第一移動手段と第三挟持部第二移動手段と第三挟持部第三移動手段と、３以上の第四挟持部をそれぞれ第二方向に移動させる第四挟持部第一移動手段と第四挟持部第二移動手段と第四挟持部第三移動手段とを有するため、第一挟持ユニット，第二挟持ユニット，第三挟持ユニット及び第四挟持ユニットの各挟持部が独立して移動可能となっている。そのため、例えば、各挟持ユニットの両端に位置する挟持部の移動量を他の挟持部よりも大きく設定することで、各挟持ユニットで挟持されないシートの四隅の領域に対面する被加工物の外周部における拡張量を大きくすることができ、被加工物の全域に対してシートを十分に拡張することができる。したがって、十分なチップ間隔を形成できなかったり分割が不十分だったりする領域の発生を防止することができる。
【００１０】
また、本発明に係る拡張方法は、第一方向において被加工物を挟んで互いに対向した第一挟持ユニットと第二挟持ユニットとでシートを挟持するとともに、第一方向に直交する第二方向において被加工物を挟んで互いに対向した第三挟持ユニットと第四挟持ユニットとでシートを挟持する挟持ステップと、第一挟持ユニットと第二挟持ユニットとがシートを挟持した状態で第一挟持ユニットと第二挟持ユニットとを互いに離反するよう移動させてシートを第一方向に拡張させるとともに、第三挟持ユニットと第四挟持ユニットとがシートを挟持した状態で第三挟持ユニットと第四挟持ユニットとを互いに離反するよう移動させてシートを第二方向に拡張させる第一拡張ステップと、第一拡張ステップを実施した後、第一挟持ユニットの両端に位置する第一挟持部と第二挟持ユニットの両端に位置する第二挟持部とをそれぞれ互いに離反するよう移動させてシートを第一方向に拡張させるとともに、第三挟持ユニットの両端に位置する第三挟持部と第四挟持ユニットの両端に位置する第四挟持部とをそれぞれ互いに離反するよう移動させてシートを第二方向に拡張させる第二拡張ステップとを備えたため、上記同様、各挟持ユニットで挟持されないシートの四隅の領域に対面する被加工物の外周部における拡張量を大きくすることができ、被加工物の全域に対してシートを十分に拡張することができる。したがって、十分なチップ間隔を形成できなかったり分割が不十分だったりする領域の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】拡張装置の一例の構成を示す斜視図である。
【図２】挟持ステップを示す平面図である。
【図３】挟持ステップを示す断面図である。
【図４】第一拡張ステップを示す平面図である。
【図５】第一拡張ステップ後、カメラによってチップ間隔を撮像する状態を示す断面図である。
【図６】第二拡張ステップを示す平面図である。
【図７】拡張装置の変形例の部分的な構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
１  拡張装置
図１に示す拡張装置１は、例えば、図２に示す被加工物Ｗが貼着されたシート５を拡張することができる拡張装置の一例である。拡張装置１は、装置ベース２を有しており、装置ベース２の上面の中央には、シート５を介して被加工物Ｗを保持する保持面３ａを有する保持テーブル３がテーブル支持部４によって昇降可能に支持されている。
【００１３】
装置ベース２の上面には、第一方向において被加工物Ｗを挟んで対向して配設され、それぞれシート５を挟持する第一挟持ユニット１０Ａと第二挟持ユニット１０Ｂと、第一方向に直交する第二方向において被加工物Ｗを挟んで互いに対向して配設され、それぞれシート５を挟持する第三挟持ユニット１０Ｃと第四挟持ユニット１０Ｄと、第一挟持ユニット１０Ａと第二挟持ユニット１０Ｂとを第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに第三挟持ユニット１０Ｃと第四挟持ユニット１０Ｄとを第二方向において互いに離反する向きに移動可能とする移動機構とを備えている。
【００１４】
第一挟持ユニット１０Ａは、第二方向に並んで配設された３以上の第一挟持部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄからなり、第二挟持ユニット１０Ｂは、第二方向に並んで配設された３以上の第二挟持部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄからなり、第三挟持ユニット１０Ｃは、第一方向に並んで配設された３以上の第三挟持部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄからなり、第四挟持ユニット１０Ｄは、第一方向に並んで配設された３以上の第四挟持部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄからなる。
【００１５】
第一挟持部１１ａ〜１１ｄは、シート５の上面を押圧する上側挟持部１１０と、シート５の下面を押圧する下側挟持部１１１と、一端が上側挟持部１１０，下側挟持部１１１にそれぞれ連結されたアーム部１１２と、上側挟持部１１０の下面及び下側挟持部１１１の上面に第二方向と平行な方向に整列して配設された複数のローラ１１３とをそれぞれ備えている。第一挟持ユニット１０Ａの複数のローラ１１３は、第一方向と平行な回転軸を中心として回転可能であり、図示の例では、下側挟持部１１１の上面から外周面の半分程度が突出して装着されている。第二挟持部１２ａ〜１２ｄ、第三挟持部１３ａ〜１３ｄ及び第四挟持部１４ａ〜１４ｄについても、第一挟持部１１ａ〜１１ｄと同様の構成となっており、共通の符号を付している。第二挟持ユニット１０Ｂの複数のローラ１１３についても上側挟持部１１０の下面及び下側挟持部１１１の上面に第二方向と平行な方向に整列して配設され、第一方向と平行な回転軸を中心として回転可能である。第三挟持ユニット１０Ｃ及び第四挟持ユニット１０Ｄの複数のローラ１１３については上側挟持部１１０の下面及び下側挟持部１１１の上面に第一方向と平行な方向に整列して配設され、第二方向と平行な回転軸を中心として回転可能である。なお、本実施形態では、第一挟持部１１ａ〜１１ｄ、第二挟持部１２ａ〜１２ｄ、第三挟持部１３ａ〜１３ｄ及び第四挟持部１４ａ〜１４ｄは、いずれも均等な幅に設定されているが、この構成に限定されない。
【００１６】
移動機構は、第一挟持部１１ａ〜１１ｄをそれぞれ第一方向に移動させる第一挟持部第一移動手段２０と第一挟持部第二移動手段２１と第一挟持部第三移動手段２２と第一挟持部第四移動手段２３と、第二挟持部１２ａ〜１２ｄをそれぞれ第一方向に移動させる第二挟持部第一移動手段２０ａと第二挟持部第二移動手段２１ａと第二挟持部第三移動手段２２ａと第二挟持部第四移動手段２３ａと、第三挟持部１３ａ〜１３ｄをそれぞれ第二方向に移動させる第三挟持部第一移動手段２４と第三挟持部第二移動手段２５と第三挟持部第三移動手段２６と第三挟持部第四移動手段２７と、第四挟持部１４ａ〜１４ｄをそれぞれ第二方向に移動させる第四挟持部第一移動手段２４ａと第四挟持部第二移動手段２５ａと第四挟持部第三移動手段２６ａと第四挟持部第四移動手段２７ａとを有している。
【００１７】
装置ベース２の上面には、第一方向に延在する矩形状の凹部２ａが第二方向に整列して４箇所（図１では、１箇所のみ図示）に形成されている。各凹部２ａには、断面略Ｌ字形の可動基台１５ａが第一方向に移動可能に配設されている。図１の例では、第二挟持ユニット１０Ｂ側に各可動基台１５ａを図示しているが、実際には第一挟持ユニット１０Ａ側にも各可動基台１５ａが配設されている。各可動基台１５ａは、アーム部１１２を介して上側挟持部１１０及び下側挟持部１１１を支持する支持部１５０と、支持部１５０の下部に連接され第一方向に移動可能なスライド部１５１と、支持部１５０の一方の面側から他方の面側に貫通して形成されたガイド溝１５２とを備えている。各可動基台１５ａの下方には、第一挟持部第一移動手段２０〜第一挟持部第四移動手段２３及び第二挟持部第一移動手段２０ａ〜第二挟持部第四移動手段２３ａがそれぞれ接続されている。
【００１８】
また、装置ベース２の上面には、凹部２ａの延在する方向と直交する第二方向に延在する矩形状の凹部２ｂが第一方向に整列して４箇所（図１では、１箇所のみ図示）に形成されている。各凹部２ｂには、断面略Ｌ字形の可動基台１５ｂが第二方向に移動可能に配設されている。図１の例では、第三挟持ユニット１０Ｃ側に各可動基台１５ｂを図示しているが、実際には第四挟持ユニット１０Ｄ側にも各可動基台１５ｂが配設されている。各可動基台１５ｂの構成については、上記可動基台１５ａと同様である。各可動基台１５ｂの下方には、第三挟持部第一移動手段２４〜第三挟持部第四移動手段２７及び第四挟持部第一移動手段２４ａ〜第四挟持部第四移動手段２７ａがそれぞれ接続されている。
【００１９】
第二挟持部第一移動手段２０ａ〜第二挟持部第四移動手段２３ａは、第一方向に延在するボールネジ２００と、ボールネジ２００の一端を回転可能に支持する軸受部２０１と、ボールネジ２００の他端に接続されたモータ２０２とをそれぞれ備えている。スライド部１５１の内部に形成されたナットにはボールネジ２００が螺合しており、モータ２０２によりボールネジ２００を駆動することでスライド部１５１を第一方向に往復移動させることができる。つまり、第二挟持部第一移動手段２０ａで第二挟持部１２ａを第一方向に移動させることでき、第二挟持部第二移動手段２１ａで第二挟持部１２ｂを第一方向に移動させることができ、第二挟持部第三移動手段２２ａで第二挟持部１２ｃを第一方向に移動させることができ、第二挟持部第四移動手段２３ａで第二挟持部１２ｄを第一方向に移動させることができる。第一挟持部第一移動手段２０〜第一挟持部第四移動手段２３の構成については、第二挟持部第一移動手段２０ａ〜第二挟持部第四移動手段２３ａと同様であり、第一挟持部第一移動手段２０で第一挟持部１１ａを第一方向に移動させることでき、第一挟持部第二移動手段２１で第一挟持部１１ｂを第一方向に移動させることができ、第一挟持部第三移動手段２２で第一挟持部１１ｃを第一方向に移動させることができ、第一挟持部第四移動手段２３で第一挟持部１１ｄを第一方向に移動させることができる。
【００２０】
第三挟持部第一移動手段２４〜第三挟持部第四移動手段２７は、第二方向に延在するボールネジ２００と、ボールネジ２００の一端を回転可能に支持する軸受部２０１と、ボールネジ２００の他端に接続されたモータ２０２とをそれぞれ備えている。スライド部１５１の内部に形成されたナットにはボールネジ２００が螺合しており、モータ２０２によりボールネジ２００を駆動することでスライド部１５１を第二方向に往復移動させることができる。つまり、第三挟持部第一移動手段２４で第三挟持部１３ａを第二方向に移動させることができ、第三挟持部第二移動手段２５で第三挟持部１３ｂを第二方向に移動させることができ、第三挟持部第三移動手段２６で第三挟持部１３ｃを第二方向に移動させることができ、第三挟持部第四移動手段２７で第三挟持部１３ｄを第二方向に移動させることができる。第四挟持部第一移動手段２４ａ〜第四挟持部第四移動手段２７ａの構成については、第三挟持部第一移動手段２４〜第三挟持部第四移動手段２７と同様であり、第四挟持部第一移動手段２４ａで第四挟持部１４ａを第二方向に移動させることができ、第四挟持部第二移動手段２５ａで第四挟持部１４ｂを第二方向に移動させることができ、第四挟持部第三移動手段２６ａで第四挟持部１４ｃを第二方向に移動させることができ、第四挟持部第四移動手段２７ａで第四挟持部１４ｄを第二方向に移動させることができる。
【００２１】
各可動基台１５ａ及び各可動基台１５ｂには、下側挟持部１１１を昇降させる下側昇降手段２８と、上側挟持部１１０を昇降させる上側昇降手段２９とがガイド溝１５２に沿って配設されている。下側昇降手段２８は、鉛直方向に延在するボールネジ２８０と、ボールネジ２８０の一端に接続された軸受部２８１と、ボールネジ２８０の他端に接続されたモータ２８２とを備えている。ボールネジ２８０は、下側挟持部１１１側のアーム部１１２の基端部１１２ａに形成されたナットに螺合しており、モータ２８２によってボールネジ２８０を駆動することにより、下側挟持部１１１を鉛直方向に昇降させることができる。
【００２２】
上側昇降手段２９も下側昇降手段２８と同様の構成となっており、鉛直方向に延在するボールネジ２９０と、ボールネジ２９０の一端に接続された軸受部２９１と、ボールネジ２９０の他端に接続されたモータ２９２とを備えている。ボールネジ２９０は、上側挟持部１１０側のアーム部１１２の基端部１１２ａに形成されたナットに螺合しており、モータ２９２によってボールネジ２９０を駆動することにより、上側挟持部１１０を鉛直方向に昇降させることができる。
【００２３】
このように、本発明に係る拡張装置１では、第一挟持ユニット１０Ａが第二方向に並んで配設された３以上の第一挟持部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄからなり、第二挟持ユニット１０Ｂが第二方向に並んで配設された３以上の第二挟持部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄからなり、第三挟持ユニット１０Ｃが第一方向に並んで配設された３以上の第三挟持部１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄからなり、第四挟持ユニット１０Ｄが第一方向に並んで配設された３以上の第四挟持部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄからなり、移動機構は、第一挟持部１１ａ〜１１ｄをそれぞれ第一方向に移動させる第一挟持部第一移動手段２０と第一挟持部第二移動手段２１と第一挟持部第三移動手段２２と第一挟持部第四移動手段２３と、第二挟持部１２ａ〜１２ｄをそれぞれ第一方向に移動させる第二挟持部第一移動手段２０ａと第二挟持部第二移動手段２１ａと第二挟持部第三移動手段２２ａと第二挟持部第四移動手段２３ａと、第三挟持部１３ａ〜１３ｄをそれぞれ第二方向に移動させる第三挟持部第一移動手段２４と第三挟持部第二移動手段２５と第三挟持部第三移動手段２６と第三挟持部第四移動手段２７と、第四挟持部１４ａ〜１４ｄをそれぞれ第二方向に移動させる第四挟持部第一移動手段２４ａと第四挟持部第二移動手段２５ａと第四挟持部第三移動手段２６ａと第四挟持部第四移動手段２７ａとを有するため、第一挟持部１１ａ〜１１ｄ、第二挟持部１２ａ〜１２ｄが独立して第一方向に移動することができ、第三挟持部１３ａ〜１３ｄ、第四挟持部１４ａ〜１４ｄが独立して第二方向に移動することができる。そのため、例えば、第一挟持ユニット１０Ａ〜第四挟持ユニット１０Ｄの両端に位置する第一挟持部１１ａ，１１ｄ、第二挟持部１２ａ，１２ｄ、第三挟持部１３ａ，１３ｄ、第四挟持部１４ａ、１４ｄの移動量を他の挟持部よりも大きく設定することで、各挟持ユニットで挟持されないシート５の四隅の領域に対面する被加工物Ｗの外周部における拡張量を大きくすることができ、被加工物Ｗの全域に対してシート５を十分に拡張することができる。よって、十分なチップ間隔を形成できないという不具合や個々のチップに分割されない未分割領域の発生を防止することができる。
【００２４】
２  拡張方法
次に、拡張装置１を用いて、図２に示す被加工物Ｗが貼着されたシート５を拡張する拡張方法について説明する。本発明の適用対象となる被加工物Ｗは、交差する分割予定ラインＳに沿って分割起点（例えば改質層）が形成された被加工物、または分割予定ラインＳに沿って個々のチップＣに分割された被加工物である。本実施形態に示す被加工物Ｗは、個々のチップＣに分割されているものとする。かかる被加工物Ｗは、少なくとも被加工物Ｗの直径よりも大きいサイズを有するシート５に貼着される。図示の例におけるシート５は、例えば正方形状にカットされている。シート５を保持テーブル３の保持面３ａに水平に載置した後、被加工物Ｗがシート５の上面に貼着される。この貼着時は、縦横の分割予定ラインＳの方向を、第一方向または第二方向と平行にするとよい。なお、本実施形態で使用されるシート５は、特に限定されないが、例えば、ポリオレフィンやポリ塩化ビニル等の基材層に粘着層が積層されたエキスパンドシートを用いる。
【００２５】
（１）  挟持ステップ
図２に示すように、第一方向において被加工物Ｗを挟んで互いに対向した第一挟持ユニット１０Ａと第二挟持ユニット１０Ｂとでシート５を挟持するとともに、第一方向に直交する第二方向において被加工物Ｗを挟んで互いに対向した第三挟持ユニット１０Ｃと第四挟持ユニット１０Ｄとでシート５を挟持する。具体的には、図１に示した第一挟持部第一移動手段２０〜第一挟持部第四移動手段２３及び第二挟持部第一移動手段２０ａ〜第二挟持部第四移動手段２３ａをそれぞれ作動させ、第一挟持ユニット１０Ａと第二挟持ユニット１０Ｂとが互いに接近するように各可動基台１５ａのスライド部１５１を第一方向に移動させる。また、第三挟持部第一移動手段２４〜第三挟持部第四移動手段２７及び第四挟持部第一移動手段２４ａ〜第四挟持部第四移動手段２７ａをそれぞれ作動させ、第三挟持ユニット１０Ｃと第四挟持ユニット１０Ｄとが互いに接近するように各可動基台１５ｂのスライド部１５１を第二方向に移動させる。このようにして、図２に示すように、第一挟持部１１ａ〜１１ｄ，第二挟持部１２ａ〜１２ｄ，第三挟持部１３ａ〜１３ｄ及び第四挟持部１４ａ〜１４ｄを互いに接近させる。
【００２６】
このとき、図１に示した保持テーブル３の保持面３ａにおいて水平に載置されたシート５は、第一挟持ユニット１０Ａ，第二挟持ユニット１０Ｂ，第三挟持ユニット１０Ｃ及び第四挟持ユニット１０Ｄにおける図１で示した各下側挟持部１１１と各上側挟持部１１０との間に位置づけられている。次いで、各下側昇降手段２８によって各下側挟持部１１１を上昇させるとともに、各上側昇降手段２９によって各上側挟持部１１０を下降させ、図３に示すように、下側挟持部１１１のローラ１１３がシート５の下面を押圧するとともに、上側挟持部１１０のローラ１１３がシート５の上面を押圧することによって、被加工物Ｗの外周側にはみ出ているシート５の上下面を挟持する。そして、第一挟持ユニット１０Ａ，第二挟持ユニット１０Ｂ，第三挟持ユニット１０Ｃ及び第四挟持ユニット１０Ｄのそれぞれによってシート５を挟持したら、保持テーブル３を下降させて保持面３ａからシート５及び被加工物Ｗを離反させる。
【００２７】
（２）  第一拡張ステップ
図４に示すように、第一方向及び第二方向においてシート５を拡張して個々のチップＣ間に間隔を形成する。まず、第一挟持ユニット１０Ａと第二挟持ユニット１０Ｂとがシート５を挟持した状態で第一挟持ユニット１０Ａと第二挟持ユニット１０Ｂとを第一方向において互いに離反するように移動させる。すなわち、図１に示した第一挟持部第一移動手段２０〜第一挟持部第四移動手段２３及び第二挟持部第一移動手段２０ａ〜第二挟持部第四移動手段２３ａをそれぞれ作動させ、第一挟持ユニット１０Ａと第二挟持ユニット１０Ｂとが互いに離反するように各スライド部１５１を第一方向に移動させ、第一挟持部１１ａ〜１１ｄと第二挟持部１２ａ〜１２ｄとによって挟持されたシート５をそれぞれ外側に引っ張る。シート５が拡張することにともない、隣接するチップＣの間に間隔を形成することができる。
【００２８】
第一方向におけるシート５の拡張とともに、第三挟持ユニット１０Ｃと第四挟持ユニット１０Ｄとがシート５を挟持した状態で第三挟持ユニット１０Ｃと第四挟持ユニット１０Ｄとを第二方向において互いに離反するように移動させる。すなわち、図１に示した第三挟持部第一移動手段２４〜第三挟持部第四移動手段２７及び第四挟持部第一移動手段２４ａ〜第四挟持部第四移動手段２７ａをそれぞれ作動させ、第三挟持ユニット１０Ｃと第四挟持ユニット１０Ｄとが互いに離反するように各スライド部１５１を第二方向に移動させ、第三挟持部１３ａ〜１３ｄと第四挟持部１４ａ〜１４ｄとによって挟持されたシート５をそれぞれ外側に引っ張る。シート５が拡張することにともない、隣接するチップＣの間に間隔を形成することができる。
【００２９】
本実施形態に示す第一拡張ステップでは、シート５の第一方向の拡張と第二方向の拡張とを同時に行っているが、この場合に限定されず、シート５の第一方向の拡張を行った後にシート５の第二方向の拡張を行ってもよいし、第二方向の拡張をしてから第一方向の拡張を行ってもよい。また、シート５の第一方向の拡張量と第二方向の拡張量とは、等しくてもよいし、異なっていてもよい。本実施形態に示す被加工物Ｗのように、長方形のチップＣの場合は、第二方向と平行な分割予定ラインＳの数が第一方向と平行な分割予定ラインＳの数より多いため、第一方向の拡張量を第二方向の拡張量より大きく設定するとよい。一方、例えば正方形のチップＣの場合は、縦横の分割予定ラインＳの数は等しいため、第一方向の拡張量と第二方向の拡張量を等しくする。
【００３０】
第一拡張ステップを実施したら、例えば、図５に示すカメラ３０を用いて、被加工物Ｗの上方側から撮像して、チップＣの間隔が十分であるかどうかを確認するとよい。ここで、図４に示した第一挟持ユニット１０Ａ，第二挟持ユニット１０Ｂ，第三挟持ユニット１０Ｃ及び第四挟持ユニット１０Ｄによってシート５を拡張する際、シート５の四隅の領域Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４は、第一挟持ユニット１０Ａ〜第四挟持ユニット１０Ｄによって挟持されないため、この状態で第一挟持ユニット１０Ａ〜第四挟持ユニット１０Ｄをそれぞれ互いに離反するように移動させてシート５を拡張させると、シート５の四隅の領域Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４のそれぞれに対面した被加工物Ｗの外周部Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３及びＷ４の拡張量が不十分となる。
【００３１】
（３）  第二拡張ステップ
そこで、第一拡張ステップを実施した後、図６に示すように、第一挟持ユニット１０Ａ，第二挟持ユニット１０Ｂ，第三挟持ユニット１０Ｃ及び第四挟持ユニット１０Ｄでシート５を挟持した状態で、第一挟持ユニット１０Ａの両端に位置する第一挟持部１１ａ，１１ｄと第二挟持ユニット１０Ｂの両端に位置する第二挟持部１２ａ，１２ｄとをそれぞれ互いに離反するよう移動させてシート５を第一方向に拡張させるとともに、第三挟持ユニット１０Ｃの両端に位置する第三挟持部１３ａ，１３ｄと第四挟持ユニット１０Ｄの両端に位置する第四挟持部１４ａ，１４ｄとをそれぞれ互いに離反するよう移動させてシート５を第二方向に拡張させる。
【００３２】
具体的には、図１に示した第一挟持部第一移動手段２０，第一挟持部第二移動手段２１及び第二挟持部第一移動手段２０ａ，第二挟持部第四移動手段２３ａをそれぞれ作動させ、第一挟持部１１ａ，１１ｄと第二挟持部１２ａ，１２ｄとをそれぞれ互いに離反するように各スライド部１５１を第一方向に移動させ、第一挟持部１１ａ，１１ｄと第二挟持部１２ａ，１２ｄとによって挟持された部分のシート５を第一挟持部１１ｂ，１１ｃと第二挟持部１２ｂ，１２ｃとによって挟持された部分よりも外側にそれぞれ引っ張る。
【００３３】
また、第三挟持部第一移動手段２４，第三挟持部第四移動手段２７及び第四挟持部第一移動手段２４ａ，第四挟持部第四移動手段２７ａをそれぞれ作動させ、第三挟持部１３ａ，１３ｄと第四挟持部１４ａ，１４ｄとをそれぞれ互いに離反するように各スライド部１５１を第二方向に移動させ、第三挟持部１３ａ，１３ｄと第四挟持部１４ａ，１４ｄとによって挟持された部分のシート５を第三挟持部１３ｂ，１３ｃと第四挟持部１４ｂ，１４ｃとによって挟持された部分よりも外側にそれぞれ引っ張る。これにより、被加工物Ｗの外周部Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３及びＷ４における拡張量が大きくなり、被加工物Ｗの全域に対してシート５を十分に拡張することができる。本実施形態に示す第二拡張ステップにおいても、上記第一拡張ステップと同様に、シート５の第一方向の拡張と第二方向の拡張とを同時に行っているが、この場合に限られず、シート５の第一方向の拡張を行った後にシート５の第二方向の拡張を行ってもよいし、第二方向の拡張をしてから第一方向の拡張を行ってもよい。
【００３４】
第一挟持部１１ａ，１１ｄ，第二挟持部１２ａ，１２ｄ，第三挟持部１３ａ，１３ｄ及び第四挟持部１４ａ，１４ｄによるシート５の第一方向の拡張量と第二方向の拡張量とは、等しくてもよいし、異なっていてもよい。もっとも、第二拡張ステップでは、被加工物Ｗの外周部Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３及びＷ４の全てが拡張不十分であれば、シート５の第一方向の拡張量と第二方向の拡張量とを等しくすればよい。一方、被加工物Ｗの外周部Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３及びＷ４のうち、例えば外周部Ｗ１が拡張不十分である場合は、第一挟持部１１ａ及び第四挟持部１４ａによるシート５の拡張量を他の挟持部よりも大きく設定するとよい。このように、拡張装置１では、被加工物Ｗの拡張不十分な外周部Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３及びＷ４に応じた最適な挟持部を選択してシート５を拡張させることができる。なお、図５で示したカメラ３０で被加工物Ｗを撮像した場合は、撮像画像から算出したチップＣ間の距離に基づいて、第一挟持部１１ａ，１１ｄ，第二挟持部１２ａ，１２ｄ，第三挟持部１３ａ，１３ｄ及び第四挟持部１４ａ，１４ｄの移動量を制御するようにしてもよい。
【００３５】
このように、本発明に係る拡張方法では、挟持ステップと第一拡張ステップとを実施した後、第二拡張ステップを実施して第一挟持ユニット１０Ａの両端に位置する第一挟持部１１ａ，１１ｄと第二挟持ユニット１０Ｂの両端に位置する第二挟持部１２ａ，１２ｄとをそれぞれ互いに離反するよう移動させてシート５を第一方向に拡張させるとともに、第三挟持ユニット１０Ｃの両端に位置する第三挟持部１３ａ，１３ｄと第四挟持ユニット１０Ｄの両端に位置する第四挟持部１４ａ，１４ｄとをそれぞれ互いに離反するよう移動させてシート５を第二方向に拡張させるため、第一挟持ユニット１０Ａ〜第四挟持ユニット１０Ｄで挟持されないシート５の四隅の領域Ａ１，Ａ２，Ａ３及びＡ４に対面する被加工物Ｗの外周部Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３及びＷ４側の拡張量を大きくすることができ、被加工物Ｗの全域に対してシート５を十分に拡張することができる。よって、隣接するチップＣ間に十分なチップ間隔を形成できないという不具合や個々のチップＣに分割されない未分割領域の発生を防止することができる。
【００３６】
図７に示す拡張装置６は、上記拡張装置１の変形例である。拡張装置６では、図示しないロール部から第一方向においてシート７が水平に引き出され、かかるシート７に被加工物Ｗを貼着して、第一挟持ユニット１０Ａ，第二挟持ユニット１０Ｂ，第三挟持ユニット１０Ｃ及び第四挟持ユニット１０Ｄで被加工物Ｗの外側にはみ出したシート７を挟持して拡張する構成となっている。拡張装置６において、上記拡張装置１と同様の構成部分については共通の符号を付している。
【００３７】
第一方向に水平に引き出されたシート７の側方において、第一挟持部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ及び第二挟持部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄをそれぞれ支持する各可動基台１６（図７では２つのみ図示）が第一方向に沿って移動可能に配設されている。第一挟持部１１ａ〜１１ｄ及び第二挟持部１２ａ〜１２ｄは、シート７の上面を押圧する上側挟持部１１０と、シート７の下面を押圧する下側挟持部（図示せず）と、一端１１４ａが上側挟持部１１０，下側挟持部にそれぞれ連結され他端に可動基台１６が接続されたＬ字形状のアーム部１１４とをそれぞれ備えている。第一挟持ユニット１０Ａ側のアーム部１１４と第二挟持ユニット１０Ｂ側のアーム部１１４とは、左右対称となるように配置され、各アーム部１１４は、シート７の上下から挟んだ状態で第一方向と直交する第二方向に延在している。このように構成される拡張装置６では、第一挟持ユニット１０Ａ，第二挟持ユニット１０Ｂ側の可動基台１６及び移動機構をシート７の側方側に配置したため、ロール部から第一方向に水平に引き出されたシート７に対して、被加工物Ｗの貼着動作とシート７の拡張動作とを繰り返し連続して行うことができる。
【符号の説明】
【００３８】
１：拡張装置  ２：装置ベース  ２ａ，２ｂ：凹部  ３：保持テーブル
４：テーブル支持部  ５：シート  ６：拡張装置  ７：シート
１０Ａ：第一挟持ユニット  １０Ｂ：第二挟持ユニット  １０Ｃ：第三挟持ユニット
１０Ｄ：第四挟持ユニット  １１ａ〜１１ｂ：第一挟持部  １２ａ〜１２ｄ：第二挟持部
１３ａ〜１３ｄ：第三挟持部  １４ａ〜１４ｄ：第四挟持部
１１０：上側挟持部  １１１：下側挟持部  １１２：アーム部  １１３：ローラ
１５ａ，１５ｂ：可動基台  １５０：支持部  １５１：スライド部  １５２：ガイド溝
１６：可動基台  ２０：第一挟持部第一移動手段  ２１：第一挟持部第二移動手段
２２：第一挟持部第三移動手段  ２３：第一挟持部第四移動手段
２０ａ：第二挟持部第一移動手段  ２１ａ：第二挟持部第二移動手段
２２ａ：第二挟持部第三移動手段  ２３ａ：第二挟持部第四移動手段
２４：第三挟持部第一移動手段  ２５：第三挟持部第二移動手段
２６：第三挟持部第三移動手段  ２７：第三挟持部第四移動手段
２４ａ：第四挟持部第一移動手段  ２５ａ：第四挟持部第二移動手段
２６ａ：第四挟持部第三移動手段  ２７ａ：第四挟持部第四移動手段
２００：ボールネジ  ２０１：軸受部  ２０２：モータ
２８：下側昇降手段  ２８０：ボールネジ  ２８１：軸受部  ２８２：モータ
２９：上側昇降手段  ２９０：ボールネジ  ２９１：軸受部  ２９２：モータ
３０：カメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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