【事件の表示】
　特許第３４１１７５７号「積層型圧電トランス素子」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４１１７５７号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯の概要
　本件特許第３４１１７５７号に係る手続の主な経緯は以下のとおりである。
　特許出願（特願平８−２０１７３７号）　　　　平成　８年　７月３１日
　特許権設定登録　　　　　　　　　　　　　　　平成１５年　３月２０日
　特許異議申立（特許異議申立人：雨山範子）　　平成１５年１２月　３日
　取消理由通知　　　　　　　　　　　平成１６年１０月２５日（起案日）
　特許異議意見書・訂正請求書　　　　　　　　　平成１６年１２月１７日
　
第２　訂正の適否についての判断
　１．訂正事項について
（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の「【請求項１】　交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有することを特徴とする積層型圧電トランス素子。」を
　「【請求項１】
　内部電極用の導体ペーストを印刷した後に圧電セラミックステープを積層し、熱圧着して焼成することにより得られ、交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有することを特徴とする積層型圧電トランス素子。」と訂正する。　
（２）訂正事項２
　特許請求の範囲の「【請求項２】　内部電極が素子の側面に露出しておらず、セラミック圧電体に設けられた孔に充填された導電体により内部電極が電気的に接続されており、該導電体が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ該導電体の直径が５０〜２００μｍであることを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電トランス素子。」を
　「【請求項２】
　交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有するとともに、　　
　内部電極が素子の側面に露出しておらず、セラミック圧電体に設けられた孔に充填された導電体により内部電極が電気的に接続されており、該導電体が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ該導電体の直径が５０〜２００μｍであることを特徴とする積層型圧電トランス素子。」と訂正する。
（３）訂正事項３
　特許明細書の第８段落の「従って本発明は、上記の知見に基づき、交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有することを特徴とする積層型圧電トランス素子を提供するものである。」を
　「従って本発明は、上記の知見に基づき、内部電極用の導体ペーストを印刷した後に圧電セラミックステープを積層し、熱圧着して焼成することにより得られ、交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有することを特徴とする積層型圧電トランス素子を提供するものである。」と訂正する。
（４）訂正事項４
　特許明細書の第１１段落の「従って本発明の積層型圧電トランス素子の好適な態様は、内部電極が素子の側面に露出しておらず、入力領域のセラミック圧電体に設けられた孔に充填された導電体により内部電極が電気的に接続されており、該導電体が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ該導電体の直径が５０〜２００μｍであることを特徴とする。」を
　「従って本発明の積層型圧電トランス素子の好適な態様は、交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有するとともに、内部電極が素子の側面に露出しておらず、入力領域のセラミック圧電体に設けられた孔に充填された導電体により内部電極が電気的に接続されており、該導電体が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ該導電体の直径が５０〜２００μｍであることを特徴とする。」と訂正する。　
　
　２．訂正の内容
（１）訂正事項１
　訂正事項１は、特許請求の範囲の請求項１の「交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において」の前に「内部電極用の導体ペーストを印刷した後に圧電セラミックステープを積層し、熱圧着して焼成することにより得られ、」を追加するものである。
（２）訂正事項２
　訂正事項２は、特許請求の範囲の請求項２の「内部電極が素子の側面に露出しておらず」の前に、「交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有するとともに、」を追加するとともに、「特徴とする請求項１に記載の積層型圧電トランス素子。」を「特徴とする積層型圧電トランス素子。」とするものである。
（３）訂正事項３
　訂正事項３は、「従って本発明は、上記の知見に基づき、交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において」を「従って本発明は、上記の知見に基づき、内部電極用の導体ペーストを印刷した後に圧電セラミックステープを積層し、熱圧着して焼成することにより得られ、交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において」と訂正するものである。
（４）訂正事項４
　訂正事項４は、「従って本発明の積層型圧電トランス素子の好適な態様は、内部電極が素子の側面に露出しておらず」を「従って本発明の積層型圧電トランス素子の好適な態様は、交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有するとともに、内部電極が素子の側面に露出しておらず」と訂正するものである。
　
　３．訂正の目的の適否、明細書記載事項の範囲内外及び拡張・変更の有無について
　（１）訂正事項１について
　訂正事項１は、「交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子」の構成について「内部電極用の導体ペーストを印刷した後に圧電セラミックステープを積層し、熱圧着して焼成することにより得られ」たものであるとの限定を追加するものであって、この点については、本件特許明細書の第３７段落に、「図１に示したような外部導体で内部電極間の電気的接続を取る構造の本発明の圧電トランス素子の場合、先ずドクターブレード法等により形成した圧電セラミックステープを焼成後に素子の所望の平面寸法が得られるような寸法に切断したものを用意する。・・・このようなセラミックステープ上にメッシュマスクを用いて内部電極用の導体のペーストを内部電極の形状に圧電セラミックステープ上に印刷する。このとき、内部電極は例えば素子入力領域側端部の片側の隅に切り欠きを設ける以外は入力領域の全面に設ける。この場合内部電極の切り欠きは入力領域側端部の右の隅または左の隅に設けたものの２パターンを用意する。この２つのパターンで内部電極を印刷した圧電セラミックステープを交互に所望の数だけ同数積層し、最後に内部電極を印刷していない圧電セラミックステープを内部電極が露出している側に積層する。そして積層された内部電極を有する圧電セラミックステープを相互に熱圧着し、焼成し、必要により切断、研削等の加工を行い、Ａｇペーストを焼き付けること等により外部電極及び内部電極接続導体を設け、分極処理することにより本発明の積層型圧電トランス素子を得ることができる。」と記載されており、訂正事項１が特許請求の範囲の減縮を目的とし、特許明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかである。
　（２）訂正事項２について
　訂正事項２は、訂正前の請求項１に係る発明の全ての特徴部分である「交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有する」ことを追加するとともに、訂正前の請求項２の「ことを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電トランス素子」を「ことを特徴とする積層型圧電トランス素子」と訂正することにより、請求項２を独立請求項とするものであって、請求項２は、訂正前と訂正後で実質的に変更されていない。
　したがって、訂正事項２は、明りょうでない記載の釈明を目的とし、特許明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかである。
　（３）訂正事項３
　訂正事項３は、請求項１の訂正に対応して、特許明細書の記載を整合させるためのものであって、明りょうでない記載の釈明を目的とし、特許明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかである。
　（４）訂正事項４
　訂正事項４は、請求項２の訂正に対応して、特許明細書の記載を整合させるためのものであって、明りょうでない記載の釈明を目的とし、特許明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてするものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかである。
　
　４．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３　特許異議申立について
　１．特許異議申立の概要
　特許異議申立人雨山範子は、証拠として本願出願前に国内において頒布された
　１）甲第１号証　特開平　６−２５２４６６号公報 
　２）甲第２号証　特公昭６３−　１０５９３号公報
を提出し、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１に係る発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、特許法第１１３条第２項の規定により取り消すべきものである旨主張している。
　
　２．取消理由の概要
　平成１６年１０月２５日付けの取消理由通知の内容は以下のとおりである。
「１）特許法第２９条違反について 
 　本件の請求項１に係る発明は、その出願前日本国内において頒布された下記の刊行物１ないし５に記載された発明から、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項１に係る発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。 
 　 
 　さらに、特許異議申立人雨山範子が提出した特許異議申立書の「３．申立ての理由」を参照されたい。 
　また、雨山範子提出の特許異議申立書において、甲第１号証、甲第２号証及び、参考資料１ないし３は、それぞれ、刊行物１ないし刊行物５と読み替えるものとする。 
 　 
 　　　　　　　　　　　　　　　　　　記 
 　 
刊行物１．特開平　６−２５２４６６号公報（特許異議申立人雨山範子提出の甲第１号証） 
刊行物２．特公昭６３−　１０５９３号公報（同甲第２号証） 
刊行物３．特開平　２−　７９５０８号公報（同雨山範子提出の参考資料１） 
刊行物４．特公平　５−　５６０３１号公報（同参考資料２） 
刊行物５．「化学辞典」　第３５８頁〜第３５９頁、第１０９５頁〜第１０９６、株式会社東京化学同人　１９９４年１０月１日発行 （同参考資料３）」 
　
　３．刊行物記載事項
（１）刊行物１　特開平６−２５２４６６号公報（特許異議申立人雨山範子提出の甲第１号証）
　刊行物１には、図１，図９〜図１２とともに、以下の事項が記載されている。
「【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を挙げ、本発明をより詳細に説明するが、まず、以下の各実施例において共通の事項をまとめて説明する。
○１　圧電体(圧電トランス用素板)
NEPEC 8［商品名、(株)ト−キン製］の焼結体を用い、所用の寸法形状に切断加工して、長板状の圧電体素板にした。
○２　電極の形成
銀75％、パラジュ−ム25％の銀−パラジュ−ムペ−ストを使用し、厚膜スクリ−ン印刷法でパタ−ン形成し、600℃で焼付けを行って電極を形成した。
○３　分極処理
150℃の絶縁油中で、厚さ方向は約1.5ＫＶ／ｍｍ、長さ方向は約1.1ｍｍＶ／ｍの直流電界を印加し、30分間保持した。
○４　引出し線(入出力リ−ド線)の接続
機械振動の接点に相当する位置で、電極の中央部に0.1φの銅線を半田付け接続した。
【００１６】（実施例１）図１は、本発明の実施例１による圧電トランスの斜視図であり、実施例１では、図１に示すようなλモ−ドの昇圧型圧電トランス(λ／２の２倍モ−ドの圧電トランス)を製作した。図１において、１は圧電体素板であり、２及び３は入力電極、４及び５は出力電極である。図１において示されている矢印は分極処理による残留分極の向きを模式的に示したものである。即ち入力部は上下の入力電極２、３面に垂直な方向に、出力部は両側面の出力電極４、５に垂直な方向であることを示す。
【００１７】圧電体の寸法は、長さ75.0mm、幅20.0mm、厚さ1.6mmとした。入出力電極は中央部で間隙を残し、入力部は上下面の半分に入力電極２、３を形成し、出力部は、両側部で出力電極４、５を形成した。・・・」（第１５〜１７段落）
「【００３３】（実施例７）図９は、本発明の実施例７による圧電トランスの斜視図であり、実施例７では、図９に示すように図１に示す実施例１の圧電トランスを多数個(本実施例７では５個)厚さ方向に積み重ねた圧電トランスを示す。この図に示す番号は実施例１と同様である。
【００３４】図１０は、本発明の実施例７による積層型圧電トランスの入力部を示す縦断面図である。また、図１１は、実施例７による積層型圧電トランスの出力部の構造の１例を示す縦断面図であり、図１２は、実施例７の出力部の構造の他の例を示す縦断面図である。
【００３５】前記した実施例１〜６では、単板トランスでの事例について述べてきたが、複数枚の長板状の圧電体と表面に形成した電極よりなる圧電トランスを積層したものにおいても、何ら支障はなく前記実施例１〜６と同様の昇圧(降圧)効果を発揮することができる。」（第３３〜３５段落）
（２）刊行物２　特公昭６３−１０５９３号公報（特許異議申立人雨山範子提出の甲第２号証）
　刊行物２には、第２図、第３図（Ａ），（Ｂ）及び第４図とともに以下の事項が記載されている。
「第２図及び第３図Ａは本発明による圧電トランスの構造例を示し、積層部２０と基体部２１とを有する。積層部２０は図示のごとく圧電体層２５と電極層・・・とを交互に配列した構造を有し、各圧電体層２５の厚さ、つまり電極層の間隔ｄは例えば１ｍｍ程度とする。一方基体部２１は図示のごとく積層部２０の積層方向にもうけられ、圧電体のみにより構成される。基体部２１の電極層・・・に直交する平面には図示のごとく１対の１次電極３１ａ，３１ｂが付着される。・・・」（第２頁第３欄第２６〜３６行）
「圧電体の材料としては例えば東京電気化学工業（株）製の９１Ａ材ＰＺＴ素子を用いることが出来る。この素子の組成は、「ＰｂＯ；60ｗｔ％、ＴｉＯ２；25ｗｔ％、ＺｒＯ２；15ｗｔ％で微少組成物としてＮｂ、Ｃｏが用いられる。」又電極層の材料としては銀−パラジウムペースト等（Ｐｂ＋Ｐｄ、Ａｇ＋Ｐｄ又はＡｕ＋Ｐｄ）が用いられる。
　第２図の積層部２０はスクリーン印刷法により製造することが出来る。すなわち第４図に示すごとく、圧電体による基台４０の上にパターン４２を有するマスク４１を置き、圧電磁器材料のスラリー（泥）をスキーズ（へら）４３によりパターン４２の上に塗布する（スクリーン印刷）。層の厚さは塗布の回数により制御することができる。次に銀−パラジウムペーストによる電極層をやはりスクリーン印刷法により塗布する。銀−パラジウムペーストの厚さは例えば１〜２μｍ程度とする。・・・
　圧電体層と電極層の塗布を繰り返すことにより積層部が完成する。
　次に電極３１ａ，３１ｂ及び引出し電極・・・を銀−パラジウムペーストにより塗布した後、焼成する。」（第２頁第４欄第１０〜３８行）
（３）刊行物３  特開平２−７９５０８号公報（特許異議申立人雨山範子提出の参考資料１）
　刊行物３には、以下の事項が記載されている。
　「Ｎｅｐｅｃ−８（商標；東北金属工業株式会社販売）なる圧電セラミックス・・・」（第４頁左下欄第４〜５行）
（４）刊行物４　特公平５−５６０３１号公報（特許異議申立人雨山範子提出の参考資料２）
　刊行物４は、「積層圧電素子」に関するものであって、以下の事項が記載されている。　
 「・・・金属導電ペーストは、銀粉体、パラジウム粉体を重量比で70，30ｗｔ％で混合したのち・・・」（第２頁第３欄第４４行〜同頁第４欄第２行）
（５）刊行物５　「化学辞典」（大木道則他３編集）、東京化学同人１９９４年１０月１日発行（特許異議申立人雨山範子提出の参考資料３）
　第３５８頁〜第３５９頁に「銀」の項目が記載され、「原子量　１０７．８６８２」、「密度　１０．４９ｇ・ｃｍ−３（２０℃）」と記載され、また、第１０９５頁〜第１０９６頁に「パラジウム」の項目が記載され、その中に、「原子量が１０６．４２」であること、「密度　１１．９９ｇ・ｃｍ−３（２０℃）」であることが記載されている。
　
　４．本件発明
　上記第２　４のとおり、訂正請求は容認されたので、本件発明はその訂正請求書の特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された以下のとおりのものであり、以下において、訂正された特許請求の範囲の請求項１に係る発明を「本件発明」という。
「【請求項１】
　内部電極用の導体ペーストを印刷した後に圧電セラミックステープを積層し、熱圧着して焼成することにより得られ、交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有することを特徴とする積層型圧電トランス素子。
【請求項２】
　交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有するとともに、　
　内部電極が素子の側面に露出しておらず、セラミック圧電体に設けられた孔に充填された導電体により内部電極が電気的に接続されており、該導電体が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ該導電体の直径が５０〜２００μｍであることを特徴とする積層型圧電トランス素子。
【請求項３】
　セラミック圧電体の導電体を充填する孔を素子の振動の節の位置に設けたことを特徴とする請求項２に記載の積層型圧電トランス素子。」
　
　５．対比・判断
　刊行物１には、「表面に銀−パラジュ−ムペ−ストを厚膜スクリ−ン印刷法でパターン形成し、焼付けにより形成した電極を表面に備えた長板状の圧電素体を複数枚積層した積層型圧電トランス」（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されており、刊行物１発明と、本件発明とを比較検討する。
　刊行物１発明の、「圧電素体」及び「積層型圧電トランス」は、それぞれ、本件発明の、「セラミック圧電体」、「積層型圧電トランス素子」に相当する。
　刊行物１発明においても、「電極を表面に備えた長板状の圧電素体を複数枚積層した」ものであるから、電極と電圧素体が交互に積層されていることは明らかであり、刊行物１発明の、「電極を表面に備えた長板状の圧電素体を複数枚積層した」ことは、本件発明の、「複数の内部電極」と「交互に積層された複数のセラミック圧電体」に相当する。
　また、刊行物１発明の電極は電圧素体の間に実質的に挟まれており、本件発明の内部電極もセラミック圧電体の間に実質的に挟まれているから、刊行物１発明の「電極」は、本件発明の「内部電極」に相当するとともに、刊行物１発明の「銀−パラジュ−ム」は、本件発明の「Ａｇ−Ｐｄ混合物」に相当することは当業者にとって明らかである。
　したがって、本件発明と刊行物１発明とは、
　「交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極がＡｇ−Ｐｄ混合物からなることを特徴とする積層型圧電トランス素子。」の点で一致し、以下の点で相違する。
　相違点１
　本件発明においては、「内部電極用の導体ペーストを印刷した後に圧電セラミックステープを積層し、熱圧着して焼成することにより得られ、交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子」であるのに対して、
　刊行物１発明では、「表面に銀−パラジュ−ムペーストを厚膜スクリーン印刷法でパターン形成し、焼付けにより形成した電極を表面に備えた長板状の圧電素体を複数枚積層した」積層型圧電トランスである点。
　相違点２
　本件発明においては、「各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有する」のに対して、
　刊行物１発明では、「銀−パラジュ−ムペーストを厚膜スクリーン印刷法でパターン形成し、焼付けにより形成した電極」を備える点。
　
　以下、各相違点について検討する。
　相違点１について
　刊行物１発明では、「電極を表面に備えた長板状の圧電素体を複数枚積層した積層型圧電トランス」が、焼成済みの「長板状の圧電素体」の「表面に銀−パラジュ−ムペ−ストを厚膜スクリ−ン印刷法でパタ−ン形成し、焼付けにより形成した電極を表面に備えた」「長板状の圧電素体」を複数枚積層して形成されており、さらに、刊行物２には、「圧電体による基台４０の上」に置いたマスクを用いて「圧電磁器材料のスラリー（泥）」を塗布し、「次に銀−パラジウムペーストによる電極層」を塗布する、即ち、圧電体層と電極層の塗布を繰り返すことにより積層部を形成した後に焼成することは記載されている（第２頁第４欄第１７〜３８行）ものの、基台４０は、焼成前圧電セラミックシートを積層した後に焼成したか否か何ら記載されておらず、また、刊行物３ないし５にも上記の点は何ら記載も示唆もされていないから、本件発明の「内部電極用の導体ペーストを印刷した後に圧電セラミックステープを積層し、熱圧着して焼成することにより得られ、交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子」である点、即ち、「交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極」を備えた「積層型圧電トランス素子」が、「内部電極用の導体ペーストを印刷した後に圧電セラミックステープを積層し、熱圧着して焼成することにより得られ」たものである点については、刊行物１ないし５に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をし得たものとすることはできない。
　　
　相違点２について
　刊行物１には「銀−パラジュ−ムペ−スト」の組成が銀７５％でパラジュ−ム２５％のペーストが記載されているものの、金属ペーストにはバインダー等の混合物が含まれており、金属ペーストを圧電素体等の表面に塗布し、焼成すると体積（厚さ）が減少することは当業者の技術常識であり、厚さ１〜２μｍの「銀−パラジュ−ムペ−スト」を焼成した後に、形成される電極層の厚さが１〜５μｍの範囲内となる可能性がないわけではないものの、刊行物２では、圧電トランスの長さ方向に入力電圧を印加し、圧電トランスの厚さ方向に出力電圧を取り出す動作方式の圧電トランスであるのに対して、刊行物１の図９及びその説明に記載される圧電トランスは、圧電トランスの厚さ方向に入力電圧を印加し、幅方向に出力電圧を取り出す動作方式の圧電トランスであり、また、圧電トランスの動作方式が異なれば、圧電体と交互に積層する電極層の厚さの最適値の範囲は異なることは当業者が容易に推測でき、さらに、本件発明の内部電極の厚さ（１〜５μｍ）の上限値及び下限値ともに、いわゆる「ローゼン型」の積層型圧電トランス素子の特性と密接に関連したものであるから、刊行物２に記載される「銀−パラジウムペースト」電極層の厚さを単に刊行物１発明に適用することにより、当業者が、本件発明の、内部電極の厚さの範囲（１〜５μｍ）が適切な厚さであると容易に考えられたとはいえない。
　また、「Ａｇ−Ｐｄ混合物」について、刊行物３ないし５には記載も示唆もされていないから、本件発明の「各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有する」ことが、刊行物１ないし５に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をなすことができたとはいえない。　
　さらに、本件発明は、「内部電極用の導体ペーストを印刷した後に圧電セラミックステープを積層し、熱圧着して焼成することにより得られ、交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極」及び「各内部電極」が「１〜５μｍの厚さを有する」との構成を備えることにより、「本発明の積層型の圧電トランス素子は高いエネルギー変換効率を示し、積層型圧電トランス素子のさらに多くの用途への応用を可能とする」（特許明細書第６５段落参照）という本件特許明細書記載の顕著な効果を奏するものである。
　
　したがって、本件発明は、刊行物１ないし５に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものではないから、本件発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものではない。
　よって、特許異議申立は理由がないものである。
　
　６．特許異議申立についての判断のむすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び取消理由によっては本件特許の請求項１に係る発明についての特許を取り消すことはできない
　また、他に本件特許の請求項１に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年４月２６日（２００５．４．２６）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
積層型圧電トランス素子
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　
内部電極用の導体ペーストを印刷した後に圧電セラミックステープを積層し、熱圧着して焼成することにより得られ、
　【請求項２】
　
交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有するとともに、
　内部電極が素子の側面に露出しておらず、セラミック圧電体に設けられた孔に充填された導電体により内部電極が電気的に接続されており、該導電体が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ該導電体の直径が５０〜２００μｍであることを
特徴とする積層型圧電トランス素子
　【請求項３】
　セラミック圧電体の導電体を充填する孔を素子の振動の節の位置に設けたことを特徴とする請求項２に記載の積層型圧電トランス素子。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、液晶表示装置のバックライト用冷陰極管の電源等に使用するのに好適な圧電トランス素子に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　持ち運び可能なノート型パーソナルコンピュータ等に用いられる液晶表示装置用のバックライトには通常冷陰極管が発光源として用いられている。この冷陰極管を点灯させるためには１ｋＶ以上の高電圧が必要であり、発光を維持するためには数百Ｖの電圧が必要である。
　【０００３】
　上記のようなノート型パーソナルコンピュータ等の製品ではその性質上、バックライト点灯用の昇圧モジュールに対しても小型化、省電力化の要請が高く、このような要請に答えるためにローゼン型の圧電トランス素子を使用した昇圧モジュールが利用されている。このような圧電トランスを使用した昇圧モジュールは同出力の巻線トランスを用いた昇圧モジュールに比べてモジュール全体の厚みを薄くできるというメリットがある。
　【０００４】
　しかしながら、例えば長さ３０ｍｍ、幅３ｍｍ、厚み２ｍｍの寸法の単板のセラミック圧電体を用いた圧電トランス素子では、例えば２ワット出力時の昇圧比（出力電圧と入力電圧の比）は４〜６倍程度と低い。従って圧電トランスの前段に巻線の小型トランスを接続する必要があった。
　【０００５】
　そこで最近では、積層型の圧電トランス素子が提案されている。積層型の圧電トランス素子は、入力領域が交互に積層された厚さ５０〜３００μｍ程度のセラミック圧電体と内部電極からなり、積層された内部電極が一層おきに電気的に接続されて電気的に接続された２つの群を構成しており、その２つの内部電極の群が前記入力領域の両表面に設けられた２つの外部電極にそれぞれ電気的に接続された構造を有している（例えば特開平７−３０２９３８号参照）。即ち、このような積層型の圧電トランス素子は複数の単板の圧電トランス素子を並列に接続したものに相当し、これにより高い昇圧比を得ようとするものである。
　【０００６】
　上記のような積層型の圧電トランス素子では負荷時の昇圧比が大幅に向上し、本発明者らが圧電体１層の厚みを約８０μｍとして２５層積層し、長さ３０ｍｍ、幅３ｍｍ、厚み２ｍｍの積層型の圧電トランス素子を作製して試験したところ、２ワット出力時の昇圧比が約８０倍と桁違いに大きい昇圧比が得られた。しかしながらこのような積層型の圧電トランス素子では、トランスの変換効率、即ち出力電力を入力電力で除した値は７０〜８０％と、単板素子の変換効率が９０％以上であるのに比較して小さいものであった。
　【０００７】
　【発明が解決しようとする課題】
　そこで本発明は、変換効率の高い積層型圧電トランス素子を提供することを目的とする。
　【０００８】
　【問題点を解決するための手段】
　本発明者等は、上記のような積層型の圧電トランス素子は、使用されるセラミック圧電体に比べて柔らかい導電体を多く含むと圧電トランス素子に与えられた振動が吸収されやすく、結果としてその変換効率が低下することを見出した。即ち、内部電極をなるべく硬度の高いものとし、かつその厚さを薄くすることにより積層型圧電トランス素子の変換効率を改善できることを見出したものである。従って本発明は、上記の知見に基づき、
内部電極用の導体ペーストを印刷した後に圧電セラミックステープを積層し、熱圧着して焼成することにより得られ、
　【０００９】
　また、上記のような積層型圧電トランス素子において複数の内部電極を１層おきに電気的に接続する場合、圧電トランス素子の側面に露出した部分でその接続を得るようにすると、特に圧電トランス素子の分極処理を空気中で行う場合、素子側面に露出した内部電極間で放電が起こって絶縁が破壊され、分極処理が完全になされないことがあるという問題があった。この問題に対し本発明者等は、内部電極を素子側面に露出しないようにし、圧電体の内部電極が積層される位置に予め設けた孔に導電体（バイア導体）を充填することにより内部電極間の電気的接続を得る構造の積層型圧電トランス素子を既に提案している（特願平８−５２５５３号）。
　【００１０】
　このような構造は本発明にも使用することができるが、上記のようなバイア導体を内部に有する圧電トランス素子においては、内部電極と同様にバイア導体が圧電トランス素子の固有振動を吸収しやすく、変換効率を低下させていることが見出された。そしてこの問題は上記の内部電極と同様にバイア導体をなるべく硬度の高いものとし、バイア導体の直径を一定の値以下にすることによりそのような構造の積層型圧電トランス素子の変換効率を改善できることを見出したものである。
　【００１１】
　従って本発明の積層型圧電トランス素子の好適な態様は、
交互に積層された複数のセラミック圧電体と複数の内部電極からなる入力領域を有する積層型圧電トランス素子において、各内部電極が２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなり、かつ１〜５μｍの厚さを有するとともに、
　【００１２】
　【作用】
　圧電トランスの変換効率は、素子のＱｍ（機械的品質係数）と密接な関係がある。ローゼン型圧電トランスの昇圧比の公式を用いて、エネルギーロスとＱｍとの関係式を導くことができ、これによればＱｍが大きくなるほどエネルギーロスが小さくなり、変換効率は向上する。
　【００１３】
　Ｑｍは与えた振動の減衰のしにくさを表しており、与えた振動が減衰しにくければ、振動を継続させるために与え続けなければならないエネルギーが小さくてすみ、変換効率が高くなるのである。
　【００１４】
　圧電トランス素子に使用される圧電体の材料自体は高いＱｍを有する材料を用いることが常識である。例えばＰＺＴ系の圧電体セラミックであれば、ＦｅやＭｎを徴量添加することで高いＱｍを有する圧電体材料が得られる。しかし積層型の圧電トランス素子の場合は、圧電体の間に挿入される内部電極が必ず必要である。
　【００１５】
　本発明の積層型圧電トランス素子においては、内部電極に振動を吸収しにくい特定の組成のＡｇ−Ｐｄ混合物を使用し、特定の厚さとすることによって素子全体のＱｍを高いものとし、素子の変換効率の上昇を図るものである。
　【００１６】
　また本発明の好適な態様においては、入力領域のセラミック圧電体に設けられた孔に充填された導電体により内部電極間を電気的に接続するが、この導電体によっても振動が吸収されるので、導電体の組成を上記の内部電極と同様のものとし、またその直径を特定の大きさよりも小さいものとすることにより素子の変換効率の上昇を図るものである。
　【００１７】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明をさらに詳細に説明する。
　【００１８】
　本発明の積層型圧電トランス素子の構造自体は、従来公知の任意のものとすることができるが、例えば図１に示したようなλモードで振動するローゼン型の圧電トランス素子とすることができる。
　【００１９】
　図１に示した本発明の積層型圧電トランス素子１は、全体として矩形板（平板状の直方体）の形状のローゼン型の圧電トランス素子であり、ほぼ半分ずつの大きさを有する入力領域２と出力領域３からなる。入力領域２においては、セラミックス圧電体７と内部電極６ａ及び６ｂとが交互に積層され（セラミックス圧電体は内部電極の数より１多い数だけ積層される）、上面及び下面に入力用外部電極４を有し、その圧電体は厚み方向（図１において上下方向）に分極されている。出力領域３は、入力領域と逆の側の端部面に出力用外部電極５を有し、またその圧電体は長さ方向（図１において左右方向）に分極されている。
　【００２０】
　入力領域２の交互に積層された内部電極６ａ及び６ｂは１つおきに電気的に接続され、即ち、内部電極６ａ同士、内部電極６ｂ同士が電気的に接続されて電気的に接続された２つの群、内部電極６ａの群と内部電極６ｂの群を形成し、それぞれの群が入力領域の上下の電極４のそれぞれに電気的に接続されている。
　【００２１】
　図１に示した圧電トランス素子では、素子の入力領域側の端部の２つの隅の一方の部分において内部電極の隅が直角三角形に切り欠かれている（内部電極６ａと６ｂとでは逆の隅が切り欠かれている）ことを除いては、入力領域の内部電極と圧電体は同じ平面形状を有し、内部電極が素子側面に露出している。素子の入力領域側の端部の２つの隅の外側にそれぞれ内部電極接続用導体８が設けられ、内部電極６ａ間、並びに内部電極６ｂ間を電気的に接続し、さらにそれらを外部電極４の一方にそれぞれ電気的に接続している。
　【００２２】
　内部電極の電気的接続は、図１に示すように内部電極接続用導体８により圧電トランス素子側面に露出した内部電極の端部で行ってもよいが、好ましくは本発明者等が上記特願平８−５２５５３号において開示したように圧電体の入力領域平面内部に設けられた孔に充填された導電体により行う。そして内部電極の平面形状を圧電体よりもやや小さいものとし、積層したときに内部電極が素子側面に露出しないようにすることにより、上記したような内部電極が素子側面に露出していることにより起こる問題を回避することができる。
　【００２３】
　このような構造においては、入力領域の各圧電体は、電気的に接続される内部電極の２つの群のそれぞれのための２つの導体を収容する２つの孔を有する。これらの圧電体の２つの孔は、それぞれの圧電体において、そこに充填された導電体が積層された内部電極と接触し、後の焼成時に一体化されて内部電極を電気的に接続できるような圧電体入力領域内の任意の位置に設けることができるが、通常は積層される各圧電体の同じ位置に設けられたバイアホールとする。これらの孔中には上記のように導電体（バイア導体）を充填する。
　【００２４】
　これらの圧電体の入力領域に相当する部分の間にはそれぞれ内部電極を積層する。各内部電極には、積層される圧電体中の２つの導電体のいずれか一方に対応する位置に導電体よりも大きい直径の孔を１個設ける。この内部電極の孔は、内部電極を圧電体を介して積層したときに、積層した順に上記の圧電体の２つの導電体のそれぞれに対応する位置に交互に存在するように設け、内部電極が一つおきに電気的に接続されるようにする。即ち、一つの内部電極においては、上記圧電体の導電体の一方に対応する位置で導電体よりも大きい直径の孔が設けられており、その内部電極は両側の圧電体のその位置の導電体と接続されず、一方、圧電体の他方の導電体に対応する位置には孔が設けられておらず、両側の圧電体中のその位置の導電体と接続される。そしてその隣の内部電極においては、前記各圧電体中の２つの導電体について逆のパターンで孔が設けられる。このような構造とすることにより内部電極の一層おきの電気的接続が得られる。また、特にこのような構造により内部電極の電気的接続を得る場合には上記の通り内部電極が外部に露出しないように圧電体よりもやや小さい寸法のものとする。
　【００２５】
　図２に、上記のような構造を有する本発明の積層型圧電トランス素子の、一方のバイアホール及びそれに充填されたバイア導体９の部分を含む、素子の長さ方向の概略断面図を、図３に２つのバイアホール及びそれに充填されたバイア導体９の部分を含む、素子の幅方向の概略断面図をそれぞれ示す。これらの図に示した本発明の積層型圧電トランス素子においては、上記のように２つの異なるパターンで孔を設けた複数の内部電極６ａ’及び６ｂ’が圧電体７を介して交互に積層されており、内部電極６ａ’同士及び内部電極６ｂ’同士が電気的に接続されている。
　【００２６】
　上記のような構造の本発明の積層型圧電トランス素子においては、２つの入力用外部電極４の間に、素子の材質及び振動方向の長さから求められる共振周波数に対応する周波数の交流電圧を印加すると、逆圧電効果によって前記共振周波数で圧電トランス素子全体が機械的に振動し、定在波が形成される。λモードで振動する場合、定在波の振動の節（ノード点）は素子の両端部から素子の長さの４分の１の距離（素子の長さをＬとするとＬ／４）の位置に存在する。そしてこの定在波による圧電効果により、入力用外部電極４と出力用外部電極５の間から交流電圧が取り出せるようになる。圧電トランス素子では、入力電極間の距離よりも入力電極及び出力電極間の距離の方が長くなるように形成されているので、入力電極と出力電極との間に生じる電圧は入力電極間に印加された電圧よりも昇圧される。
　【００２７】
　本発明の積層型圧電トランス素子の寸法等は従来の公知の積層型圧電トランス素子と同様のものでよく、一般的には長さ２０〜５０ｍｍ、幅４〜１５ｍｍ、厚さ１〜３ｍｍ程度の寸法を有し、入力領域においては５０〜３００μｍ程度の厚さの圧電体を１０〜３０層程度積層する。圧電体を形成するセラミックス自体も従来公知のものでよく、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）セラミックスにより形成される。
　【００２８】
　本発明の積層型圧電トランス素子においては、内部電極を２０〜８０重量％のＰｄを含むＡｇ−Ｐｄ混合物からなるものとする。
　【００２９】
　セラミックス誘電体を積層する場合、電極材料としてはＡｇ、Ａｇ−Ｐｄ混合物、Ａｇ−Ｐｔ混合物、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｎｉ等が一般的に用いられる。しかし圧電トランスに利用されるＰｂ系の圧電体（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３等）は酸素が存在する雰囲気で１０００℃以上の温度で焼成する必要があるため、これと共に焼成しようとするとＡｇ、Ｃｕ、Ｎｉは用いることができない。また、Ｐｔは高価であるためこれのみで用いられることは少なく、通常Ａｇ−Ｐｔ混合物やＡｇ−Ｐｄ混合物の形態の導電体が用いられることが多い。
　【００３０】
　本発明においては、変換効率向上の点から特にＡｇ−Ｐｄ混合物を選択し、さらにＰｄを２０重量％以上、８０重量％以下含むものを使用する。
　【００３１】
　Ａｇ−Ｐｄ混合物は一般にＡｇ−Ｐｔ混合物よりも高い硬度が得られるが、Ａｇ−Ｐｄ混合物においても、Ｐｄ含有量が２０重量％未満であると内部導電体（電極）の「硬度」が不足するためと思われるＱｍの低下が起こり、変換効率向上の効果が低くなる。また、Ｐｄ量が８０重量％を越えると焼成後に導電体が繊密にならなくなるため、やはりＱｍが低下し、変換効率は向上しなくなる。
　【００３２】
　内部電極の厚みも同様にＱｍに影響を及ぼし、この影響の程度は圧電トランス素子自体の寸法や、内部電極の積層される数にもよるが、上記のような一般的な寸法と積層数を有する本発明の積層型圧電トランス素子においては特に１〜５μｍとする。
　【００３３】
　Ａｇ−Ｐｄ導体をセラミックス圧電体間に積層すると、基本的にセラミックス圧電体単体よりもＱｍが低下する。上記のような寸法及び積層数の圧電トランス素子においては１層の内部電極の厚みが５μｍより厚いとこの低下が無視できなくなり、変換効率の低下が許容できないものとなる。一方、１μｍより薄いと、圧電体と同時に焼成されたときに導電体金属が表面張力により丸くなろうとし、網の目状の導電体となってしまい、結果として連続した１枚の導電体として機能できなくなる。このような導電体では一様に電界を印加することは不可能であり、圧電体の電気−機械エネルギー変換能力を十分に引き出すことができず、変換効率が低下する。
　【００３４】
　また上記のように内部電極の電気的接続をバイア導体により得る構造とする場合、バイア導体により素子の振動が吸収され、素子の変換効率が低下する。そこでこのような構造の場合には、上記に内部電極について述べたのと同様の理由から、バイア導体もＰｄを２０重量％以上、８０重量％以下の量で含むＡｇ−Ｐｄ混合物とすることが好ましい。またバイア導体の直径が大きくなると素子の振動が吸収されやすくなるので、本発明においてはその直径を２００μｍ以下とする。また、直径が５０μｍよりも小さいと導体抵抗が無視できない程高くなって素子全体のインピーダンスが高くなり、結果的にＱ値が低下し、変換効率が低下する。
　【００３５】
　上記のように内部電極間の接続のためにバイア導体を設ける場合、バイア導体は素子の入力領域平面内の任意の位置に設けることができるが、好ましくは素子の振動の節の位置に設ける。このような素子の振動の最も少ない位置にバイア導体を設けることにより、導電体の振動による劣化を最小限にすることができる。また、バイア導体による素子の振動の吸収を最小限にすることができる。
　【００３６】
　上記のような構造を有する本発明の積層型圧電トランス素子を製造する方法は特に限定されないが、例えば公知の低温焼成多層セラミック基板の製造方法を使用して製造することが好ましい。以下に、公知の低温焼成多層セラミック基板の製造方法を使用した、本発明の圧電トランス素子の製造方法の概略を示す。
　【００３７】
　図１に示したような外部導体で内部電極間の電気的接続を取る構造の本発明の圧電トランス素子の場合、先ずドクターブレード法等により形成した圧電セラミックステープを焼成後に素子の所望の平面寸法が得られるような寸法に切断したものを用意する。この場合圧電セラミックステープは、複数の圧電体を積層した後に形成された積層体を切断して複数の素子が得られるような、所望個数の素子の平面寸法に対応する寸法（積層、焼成及び切断後に所望寸法の素子が所望個数だけ得られるような寸法）のものとしてもよい。このようなセラミックステープ上にメッシュマスクを用いて内部電極用の導体のペーストを内部電極の形状に圧電セラミックステープ上に印刷する。このとき、内部電極は例えば素子入力領域側端部の片側の隅に切り欠きを設ける以外は入力領域の全面に設ける。この場合内部電極の切り欠きは入力領域側端部の右の隅または左の隅に設けたものの２パターンを用意する。この２つのパターンで内部電極を印刷した圧電セラミックステープを交互に所望の数だけ同数積層し、最後に内部電極を印刷していない圧電セラミックステープを内部電極が露出している側に積層する。そして積層された内部電極を有する圧電セラミックステープを相互に熱圧着し、焼成し、必要により切断、研削等の加工を行い、Ａｇペーストを焼き付けること等により外部電極及び内部電極接続導体を設け、分極処理することにより本発明の積層型圧電トランス素子を得ることができる。
　【００３８】
　また、図２及び図３に示したようなバイア導体により内部電極を接続した構造の本発明の圧電トランス素子の場合は、先ず入力領域の圧電体の１層に相当するドクターブレード法等により形成した圧電セラミックステープにバイアホールに対応する孔を開けたものを用意する。この場合も、圧電セラミックステープは、複数の圧電体を積層した後に形成された積層体を切断して複数の素子が得られるような、所望個数の素子の平面寸法に対応する寸法のものとすることができる。図４に示した圧電セラミックステープ１０は、積層して得られた積層体を焼成した後に切断して４個の圧電トランス素子を得るために、２個１組で８個の孔１１を設けたものである。次にこれらの孔にバイア導体のペーストをメタルマスク等を用いた印刷法により充填する。図５は、圧電セラミックステープ１０の孔１１にバイア導体のペースト１２を充填したところを部分断面図により示すものである。その後、メッシュマスクを用いて内部電極用の導体のペーストを内部電極６ａ’、６ｂ’の形状に圧電セラミックステープ上に印刷する（図６）。このとき、積層したときに素子の側面に内部電極６ａ’、６ｂ’が露出しないようにその外形を圧電体よりも小さいものとする。また２つの孔の部分においては、その孔を通るバイア導体を電極に接続しない場合はバイア導体よりも大きい孔を設ける。そして他方のバイア導体に対応する位置ではベタで印刷し、電極がバイア導体と接続されるようにする。２個のバイア導体のいずれか一方の部分に孔を設けた２種の電極のパターンを有するもの（例えば図６（ａ）及び（ｂ）に示したもの）を製造しこれを交互に積層する。内部電極側を上面として、例えば図６（ａ）及び（ｂ）に示したものをそれぞれパターンＡ及びＢとすると、例えばＢＡＢＡ…ＢＡＢのようにパターンＢが上下にくるように所望数だけ積層し、さらにその下にはパターンＡのもので電極に孔が設けられていない方の孔に対応する位置にはバイア導体が形成されておらず圧電セラミックスのままのものを積層し、上にはパターンＢの電極が接続される側のバイア導体に対応する位置が圧電セラミックスのままのもので内部電極も設けられていない上記と同様のセラミック圧電体を積層する。そして積層された圧電セラミックステープを熱圧着し、焼成し、必要により切断、研削等の加工を行い、Ａｇペーストを焼き付けること等により外部電極を設け、分極処理することにより本発明の積層型圧電トランス素子を得ることができる。
　【００３９】
　【実施例】
　以下、本発明を非限定的な実施例及び比較例によりさらに詳細に説明する。
　【００４０】
　
実施例１〜５
　Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３系の圧電材料粉末１００重量部に対し水２５重量部、エマルション型のアクリル系バインダ１０重量部を配合し、ボールミルでスラリーを作製した。このスラリーからドクターブレード装置を用いて乾燥後の厚みが１３０μｍのテープを成形し、焼成後のテープの厚さが約１００μｍとなるようにした。
　【００４１】
　得られたテープを長さ１００ｍｍ、幅１００ｍｍの矩形にカットした後、印刷用フレームに貼り、スクリーンマスクを用いてその上に表１に示したＡｇ／Ｐｄ重量比の内部電極を、素子の入力領域となる部分に印刷した。但し内部電極は、積層、焼成及び積層体の切断後に入力領域側端部の左右の隅のいずれかに隅を頂角部分とする２辺が２ｍｍの直角三角形の内部電極の切り欠きが形成されるように、２種類のパターンで印刷した。
　【００４２】
　スクリーンマスクの乳剤厚み及びペーストの固形分濃度を変えて印刷して、焼成後の内部電極の厚みが表１に記載した所定の厚みとなるようにした。
　【００４３】
　上記の２種のパターンで内部電極を印刷したテープを交互に各１０層ずつ重ね、さらに内部電極が露出している側に、内部電極を印刷していない上記と同様の圧電セラミックステープを積層した。
　【００４４】
　これを１００℃、３０ＭＰａの条件で熱圧着し、空気中１１５０℃で２時間焼成した。
　【００４５】
　得られた焼成体を長さ４８ｍｍ、幅１０ｍｍに切断し、入力領域上下面及び出力領域端部面の外部電極をＡｇペーストで印刷し、７００℃にて焼きつけた。入力用外部電極については、それぞれ隣接する内部電極と左右逆のパターンで同様の直角三角形の切り欠きを設けた。さらに、入力領域端部の２つの角の外側にそれぞれ厚み方向全体にわたって、幅方向及び長さ方向の側面にそれぞれ１ｍｍの幅を有する内部電極用接続導体を、外部電極と同様にＡｇペーストで印刷し、７００℃で焼きつけた。
　【００４６】
　この結果、図１に示したような形態で内部電極が外部電極に電気的に接続された分極前の素子が得られた。
　【００４７】
　この分極前の素子を、入力領域について、空気中２５０℃で、３ＭＶ／ｍの電界強度（３００Ｖ／１００μｍ）で分極処理し、さらに入力電極を短絡させ、空気中２５０℃で、０．８ＭＶ／ｍの電界強度（１９ｋＶ／２４ｍｍ）で出力領域を分極処理して本発明の積層型圧電トランス素子を得た。
　【００４８】
　このようにして得た積層型圧電トランス素子の出力側に５０ｋΩの負荷抵抗及び電流計、電圧計を接続し、また入力側に電源及び同様に電流計、電圧計を接続し、２ワットの一定出力に保ちながら入力電力と出力電力を測定し、変換効率を算出した。表１に結果を示す。
　【００４９】
　変換効率を測定した後、積層型圧電トランス素子を切断し、電子顕微鏡により内部電極の厚みを測定してそれぞれが所定の値にあることを確認した。
　
比較例１〜５
　表１に示したＡｇ−Ｐｄの組成比を使用し、内部電極の厚さが表１に示したものになるようにして、実施例と同様に積層型の圧電トランス素子を製造した。
　【００５０】
　実施例と同様にして変換効率を測定し、また内部電極の厚みを測定した。この結果も表１に示す。
　【００５１】
　【表１】
　表１に示した結果から判る通り、内部電極のＡｇ／Ｐｄ比が８０／２０〜２０／８０の範囲にあり、かつ厚さが１〜５μｍの範囲にある場合に圧電トランスの変換効率が８５％以上となり、上記範囲外の比較例と比べて変換効率が有意に改善されることは明らかである。
　【００５２】
　
実施例６〜１２
　Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３系の圧電材料粉末１００重量部に対し水２５重量部、エマルション型のアクリル系バインダ１０重量部を配合し、ボールミルでスラリーを作製した。このスラリーからドクターブレード装置を用いて乾燥後の厚みが１３０μｍのテープを成形し、焼成後のテープの厚さが約１００μｍとなるようにした。
　【００５３】
　得られたテープを長さ１００ｍｍ、幅１００ｍｍの矩形にカットした後、印刷用フレームに貼り、パンチング装置を用いて層間接続用導体（バイア導体）を充填するための円形の孔（バイアホール）を、焼成後にそれぞれ表１に示す直径になるような大きさで所定位置に穿孔した。バイアホールは、焼成、切断後に、素子をλモードで振動させたときに節の位置となる、素子の長さ方向の端部から１２ｍｍの位置に幅方向に２ｍｍの間隔を空けて位置するように設けた。
　【００５４】
　表２に示すように組成比を変えたＡｇ−Ｐｄ混合物に有機バインダ等を加えて作製したバイア導体ペーストをメタルマスクを用いた印刷法によって前記孔に充填し、乾燥させ、さらにスクリーンマスクを用いてその上にバイア導体と同じＡｇ／Ｐｄ比の内部電極を、後で切り出した時に側面にはみ出さないように図６（ａ）及び（ｂ）に示したような形態（パターンＡ及びＢ）で、焼成後に長さ２３．５ｍｍ、幅９ｍｍの寸法を有し、対応するバイア導体と同心でバイア導体よりも約１ｍｍ大きい直径の円形の孔を１個有するように印刷した。
　【００５５】
　スクリーンマスクの乳剤厚みおよびペーストの固形分濃度を変えて印刷して、内部電極の厚みが表２に記載した所定の厚みとなるようにした。
　【００５６】
　内部電極側を上面として、パターンＢが上下にくるようにパターンＢを１０枚、パターンＡを９枚交互に積層し、さらにその下に最下層としてパターンＡのもので、但しパターンＡの電極が接続される方のバイア導体が設けられていない（圧電セラミックスのまま）ものを積層し、上には最上層として内部電極を印刷していない上記と同様のセラミックステープで、但しパターンＡの電極が接続される方のバイア導体のみが形成されたものを積層した。
　【００５７】
　これを１００℃、３０ＭＰａの条件で熱圧着し、空気中１１５０℃で２時間焼成した。
　【００５８】
　これらのサンプルを内部電極が側面に露出しないように長さ４８ｍｍ、幅１０ｍｍに切断し、入力領域上下面及び出力領域端部面の外部電極をＡｇペーストで印刷し、７００℃で焼きつけた。この結果、図２及び図３に示したような形態で内部電極が外部電極に電気的に接続された分極前の素子が得られた。
　【００５９】
　この分極前の素子を、入力領域（積層側）について、空気中２５０℃で、３ＭＶ／ｍの電界強度（３００Ｖ／１００μｍ）で分極処理し、さらに入力電極を短絡させ、空気中２５０℃で、０．８ＭＶ／ｍの電界強度（１９ｋＶ／２４ｍｍ）で出力領域を分極処理して本発明の積層型圧電トランス素子を得た。
　【００６０】
　このようにして得た積層型圧電トランス素子の出力側に５０ｋΩの負荷抵抗及び電流計、電圧計を接続し、また入力側に電源及び同様に電流計、電圧計を接続し、２ワットの一定出力に保ちながら入力電力と出力電力を測定し、変換効率を算出した。表２に結果を示す。
　【００６１】
　変換効率を測定した後、積層型圧電トランス素子を切断し、電子顕微鏡にてバイアホールの直径及び内部電極の厚みを測定してそれぞれが所定の値にあることを確認した。
　【００６２】
　
比較例６〜１３
　表２に示したＡｇ−Ｐｄの組成比を使用し、内部電極の厚さ、バイアホールの直径を表２に示したものになるようにして、実施例６〜１２と同様に積層型の圧電トランス素子を製造した。
　【００６３】
　実施例６〜１２と同様にして変換効率を測定し、またバイアホールの直径及び内部電極の厚みを測定した。この結果も表２に示す。
　【００６４】
　【表２】
　表２に示した結果から判る通り、内部電極のＡｇ／Ｐｄ比が８０／２０〜２０／８０、厚さが１〜５μｍ、及びバイア導体直径が５０〜２００μｍの範囲にある場合は圧電トランスの変換効率が８５％を超え、上記範囲外の比較例と比べて有意に改善されることは明らかである。
　【００６５】
　【発明の効果】
　以上詳細に述べたように、本発明の積層型の圧電トランス素子は高いエネルギー変換効率を示し、積層型圧電トランス素子のさらに多くの用途への応用を可能とするものである。
　【００６６】
　また、本発明の好ましい態様におけるように、内部電極間の電気的接続を素子内部に設けられるバイア導体で得るようにすれば、内部電極を外部に露出しないようにすることができ、素子の分極処理を空気中で行っても絶縁が破壊されることがなく、製造上有利である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の積層型圧電トランス素子の一実施例の概略斜視図である。
　【図２】　本発明の積層型圧電トランス素子の一実施例の構造を示す概略断面図である。
　【図３】　本発明の積層型圧電トランス素子の一実施例の構造を示す概略断面図である。
　【図４】　本発明の積層型圧電トランス素子の製造過程を示す図である。
　【図５】　本発明の積層型圧電トランス素子の製造過程を示す図である。
　【図６】　本発明の積層型圧電トランス素子の製造過程を示す図である。
　【符号の説明】
　１‥‥積層型圧電トランス素子、
　２‥‥積層型圧電トランス素子の入力領域、
　３‥‥積層型圧電トランス素子の出力領域、
　４‥‥入力用外部電極、
　５‥‥出力用外部電極、
　６ａ…内部電極、
　６ｂ…内部電極、
　６ａ’‥内部電極、
　６ｂ’‥内部電極、
　７‥‥セラミックス圧電体、
　８‥‥内部電極接続用導体、
　９‥‥内部電極接続用バイア導体、
　１０…圧電セラミックステープ、
　１１…バイアホール、
　１２…導電体ペースト。