【事件の表示】
　特願２０１２−１３６２７７「筐体、半導体製造装置および搬送ロボット」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　９月２０日出願公開、特開２０１２−１８２５００〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　この出願は、平成２０年１１月１０日（優先権主張平成１９年１１月２１日、日本国）を国際出願日とする特願２００９−５４２５２１号の一部を平成２４年６月１５日に新たな特許出願としたものであって、同２４年９月２４日付けで拒絶の理由が通知され、同２４年１１月１２日に意見書及び手続補正書が提出されたが、同２５年２月７日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、これに対し、同２５年５月２日に本件審判の請求がされ、同時に特許請求の範囲及び明細書を補正対象書類とする手続補正（以下「本件補正」という。）がされ、その後、当審の平成２５年７月２９日付け審尋に対して同２５年９月２６日に回答書が提出されたものである。
　
第２　本件補正についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
１　補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲及び明細書について補正をするものであって、補正前後の請求項１の記載を、補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
（１）補正前の請求項１
「　　【請求項１】
　上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体であって、
　昇降機構を有する胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、前記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、前記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドとを有しており前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットを前記筐体内に備え、
　前記筐体は、
　平面視した場合に略矩形であり、
　前記矩形の長辺の一方に対応する側壁には、
　カセットオープナを取り付けるための開口が複数個設けられており、
　前記搬送ロボットは、
　前記側壁に設けられた両端の開口の間であって、かつ、当該側壁寄りに配置され、
　前記第１アームの長さは、
　前記第１アームの回転軸である第１アーム回転軸と前記側壁との距離よりも長く、
　前記第１アームの長さと前記第２アームの長さとの和は、
　前記第２アームの先端が前記矩形の短辺を越えることが可能な長さであること
　を特徴とする筐体。」
（２）　補正後の請求項１
「　　【請求項１】
　上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体であって、
　昇降機構を有する胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、前記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、前記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドとを有しており前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットを前記筐体内に備え、
　前記筐体は、
　平面視した場合に略矩形であり、
　前記矩形の長辺の一方に対応する側壁には、
　カセットオープナを取り付けるための開口が複数個設けられており、
　前記搬送ロボットは、
　前記側壁に設けられた両端の開口の間であって、かつ、当該側壁寄りに配置され、
　前記第１アームの長さは、
　前記第１アームの回転軸である第１アーム回転軸と前記側壁との距離よりも長く、
かつ、前記第１の側壁と対向する第２の側壁の近傍へ到達する長さであり、
　前記第１アームの長さと前記第２アームの長さとの和は、
　前記第２アームの先端が前記矩形の短辺を越えることが可能な長さであること
　を特徴とする筐体。」
２　補正の適否
　請求項１における補正は、第１アームの長さを「第１の側壁と対向する第２の側壁の近傍へ到達する長さ」と限定事項を付加するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであることは明らかである。
　そこで、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下検討する。
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正がされた明細書及び図面の記載からみて、上記１の（２）の補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認める。
（２）刊行物記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された本件優先日前に頒布された刊行物である特開２００３−１８８２３１号公報（以下、「刊行物」という。）には、以下の記載がある。
ア　段落【０００１】
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板製造装置や半導体製造装置等において、基板やウェーハ等のワークを搬送するために用いるワーク搬送用ロボット及びこのロボットを備えたワーク加工装置に関するものである。」
イ　段落【００５３】〜【００６１】
「【００５３】図１ないし図３において、Ａはアーム機構駆動装置、Ｂ及びＣはそれぞれ前段側アーム機構及び後段側アーム機構、Ｄはハンドであり、これらによりワーク搬送用ロボットＲが構成されている。なお図２に示したＷは、ハンドＤの上に保持されたワーク（例えば半導体ウェハ）である。
【００５４】図３に示したように、アーム機構駆動装置Ａは、円筒状に形成されたケーシング１を備えている。ケーシング１は駆動装置Ａの機構部を収容するためのもので、図示のケーシング１は、正方形状に形成された底板１０１と、該底板に下端が着脱可能に固定された円筒状の筒状部１０２とからなり、筒状部１０２はその軸線Ｏ−Ｏを垂直方向に向けた状態で配置されている。ケーシング１の底板１０１の四隅には、ロボットを取付け箇所に固定するためのボルトを挿通する取付け孔１０３が形成されている。またケーシング１の筒状部１０２の下端寄りの部分の外面には、１対の把手１０４，１０４が固定されている。
【００５５】ケーシング１の内側には、上下方向に延びる支柱２が設けられていて、この支柱２に昇降フレーム３が昇降自在に支持され、ケーシング１と昇降フレーム３とにより、アーム機構を支持する支持フレーム４が構成されている。
【００５６】更に詳述すると、支柱２は、図５に示されているように、ケーシング１と中心軸線を共有する円筒面の形状を呈する外周面２０１と、ケーシングの中心軸線と平行に延びる平坦な側面２０２と、ケーシングの軸線方向に延びる溝２０３とを有している。溝２０３は、側面２０２側に開口するように設けられていて、該溝２０３の両側に、ケーシングの中心軸線と平行に延びる対のレール取付け面２０２ａ，２０２ａが形成されている。支柱２は、その下端をケーシングの底板１０１に固定することにより、ケーシング１に対して固定され、対のレール取付け面２０２ａ，２０２ａに、互いに平行に配置された対のガイドレール５，５が固定されている。支柱２の上端及び下端寄りの位置には、溝２０３の上端及び下端をそれぞれ終端する端部壁２０４及び２０５が形成されている。
【００５７】ガイドレール５，５にはそれぞれスライダ６，６がスライド自在に結合され、これらのスライダ６，６に昇降フレーム３が固定されている。図示の例では、ガイドレール５，５がそれぞれ鳩尾状の断面形状を有するように形成されていて、昇降フレーム３に固定されたスライダ６，６にそれぞれ設けられた断面鳩尾状の溝にガイドレール５，５がスライド自在に嵌合されている。
【００５８】この例では、支柱２と、ガイドレール５，５と、スライダ６，６とにより、昇降フレーム３をケーシング１に対して昇降自在に支持する昇降フレーム支持機構が構成されている。
【００５９】支柱２の上端側及び下端側の端部壁２０４及び２０５にはそれぞれ軸受８及び９（図３及び図６参照）が取り付けられ、これらの軸受により、支柱２の溝２０３内を上下方向（垂直方向）に延びるネジ棒（図示の例ではボールネジ）１０が支持されている。昇降フレーム３の下端には、溝２０３内に挿入された張り出し部３０１が形成され、この張り出し部３０１に固定されたナット（図示の例ではボールナット）１１にネジ棒１０が螺合されている。ケーシング１内の下部には昇降用モータ１２が、その出力軸を下方に向けた状態で配置されている。昇降用モータ１２は、ケーシング１の底板１０１に架台１３を介して固定され、モータ１２の回転軸に取り付けられた歯付きプーリ１４と、ボールネジ１０の下端に取り付けられた歯付きプーリ１５とに歯付きベルト１６が巻き掛けされている。
【００６０】したがって、モータ１２が駆動されると、その回転がプーリ１４とベルト１６とプーリ１５とを介してネジ棒１０に伝達され、このネジ棒の回転により、ナット１１が昇降フレーム３とともに昇降させられる。この例では、ネジ棒１０及びナット１１からなる螺進機構と、昇降用モータ１２と、プーリ１４及び１５と、ベルト１６とにより、昇降フレーム３をケーシングの中心軸線に沿って昇降させる昇降機構が構成されている。
【００６１】上記のように、対のガイドレール５，５に対して共通に支柱２を設けて、この支柱２に対のガイドレールを取り付ける構造にしておくと、対のガイドレール５，５をケーシング１内に組み込む前に、支柱２を衝として所定の位置関係に位置決め固定した後に、支柱２をガイドレール５，５とともにケーシング１内に挿入する組み立て方法をとることができるため、２本のガイドレールを位置決めしたり、固定したり、ガイドレール相互間の位置関係の微調整を行ったりする面倒な作業を狭いケーシング内で行う必要がなく、対のガイドレールを精度良く位置決めして取り付ける作業を容易に行うことができる。」
ウ　段落【００８２】〜【００８６】
「【００８２】図４及び図５に示したように、昇降フレーム３の上部に前段側アーム駆動用モータ６０がその出力軸を上方に向けた状態で取り付けられ、モータ６０の出力軸に歯付きプーリ６１が取り付けられている。歯付きプーリ６１とプーリ２３とに歯付きベルト６２が巻き掛けされ、モータ６０の回転がプーリ６１とベルト６２とプーリ２３とを介して減速機２０の入力部に伝達されている。この例では、プーリ２３及び６１とベルト６２とにより、前段側アーム駆動用モータ６０の回転を前段側アーム用減速機２０の入力部に伝達する前段側アーム用伝導機構が構成され、この伝導機構と減速機２０とにより、モータ６０の回転を前段側アームＢの一端に伝達する前段側アーム用動力伝達装置が構成されている。
【００８３】昇降フレーム３の上部にはまた、ハンド駆動用モータ６５（図３参照）が取り付けられ、このハンド駆動用モータ６５の出力軸に歯付きプーリ６６が取り付けられている。歯付きプーリ６６とハンド駆動軸の下端に取り付けられた歯付きプーリ２７とに歯付きベルト６７が巻き掛けされ、ハンド駆動用モータ６５の回転がプーリ６６とベルト６７とプーリ２７とを介してハンド用駆動軸２４に伝達されている。
【００８４】本実施形態では、プーリ２７及び６６とベルト６７とにより、ハンド駆動用モータ６５の回転をハンド用駆動軸２４に伝達する第１のハンド用伝導機構が構成され、前段側アームＢの中空部内に配置されたプーリ２８及び４８とベルト５６とにより、前段側アームの中空部内でハンド用駆動軸２４の回転をハンド用中継軸４５に伝達する第２のハンド用伝導機構が構成されている。また、後段側アームＣの中空部内に配置されたプーリ４６及び５３とベルト５７とにより、後段側アームの中空部内でハンド駆動用中継軸４５の回転をハンド用減速機５０の入力部に伝達する第３のハンド用伝導機構が構成され、上記第１ないし第３のハンド用伝導機構と減速機５０とにより、ハンド駆動用モータ６５の回転を前段側アームの中空部内及び後段側アームの中空部内を通してハンドＤの一端に伝達するハンド用動力伝達装置が構成されている。
【００８５】図４及び図５に示すように、昇降フレーム３の上部には、後段側アーム駆動用モータ７０が取り付けられ、このモータ７０の出力軸に歯付きプーリ７１が取り付けられている。歯付きプーリ７１と後段側アーム用駆動軸３０の下端に取り付けられた歯付きプーリ３５とに歯付きベルト７２が巻き掛けされ、モータ７０の回転がプーリ７１とベルト７２とプーリ３５とを介して後段側アーム用駆動軸３０に伝達されるようになっている。
【００８６】この例では、プーリ３５及び７１とベルト７２とにより、後段側アーム駆動用モータ７０の回転を後段側アーム用駆動軸３０に伝達する第１の後段側アーム用伝導機構が構成されている。またプーリ３６と、ベルト５５と、プーリ４４とにより、前段側アームＢの中空部内で後段側アーム用駆動軸３０の回転を後段側アーム用減速機４３の入力部に伝達する第２の後段側アーム用伝導機構が構成され、上記第１及び第２の後段側アーム用伝導機構と減速機４３とにより、後段側アーム駆動用モータ７０の回転を前段側アームの中空部内で後段側アーム用減速機の入力部に伝達する後段側アーム用動力伝達装置が構成されている。」
エ　段落【００８９】〜【００９０】
「【００８９】上記のワーク搬送用ロボットにおいては、前段側アーム駆動用モータ６０を駆動することにより、前段側アームＢをエンドレスに回動させることができる。また後段側アーム駆動用モータ７０（図４参照）を駆動することにより、後段側アームＣを、エンドレスに回動させることができる。更に、ハンド駆動用モータ６５（図３参照）を回転させることにより、ハンドＤをエンドレスに回動させることができる。
【００９０】したがって、前段側アームＢ，後段側アームＣ及びハンドＤのそれぞれの回動量と回動方向とを適宜に制御することにより、ハンドＤを種々の方向に移動させることができる。」
オ　段落【０１１２】〜【０１２１】
「【０１１２】本発明に係わるワーク搬送用ロボットは、半導体製造装置や液晶製造装置等のワーク加工装置において、ウェハや液晶基板等のワークを搬送するために用いられる。図９は本実施形態のワーク搬送用ロボットを備えたワーク加工装置の一例を示したもので、同図において８０は長手方向に対向する対の側壁８０ａ，８０ｂと、これらの側壁の対向方向に対して直角な方向（奥行き方向）に相対する対の側壁８０ｃ，８０ｄとを有する直方体状のトランスファチャンバ、８１はトランスファチャンバ８０の一つの側壁８０ａに接続されたロードロックチャンバ、８２Ａ及び８２Ｂは一定の距離を隔てた状態で水平方向に並設されて、ロードロックチャンバ８１が接続されたトランスファチャンバの側壁８０ａと直交する他の側壁８０ｃに接続された２つのプロセスチャンバであり、トランスファチャンバ８０内に本発明に係わるロボットＲが配置されている。
【０１１３】図示のロボットＲは、２つのプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂの中心Ｏａ，Ｏａ´間の水平方向距離を２等分する位置を両プロセスチャンバの並設方向に対して直角な方向に延びる直線Ｏｃ−Ｏｃ上の位置で、かつトランスファチャンバの相対する側壁８０ｃ，８０ｄの対向方向の片側（図示の例ではプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側）に偏った位置に前段側アームＢの回動中心（第１の軸線Ｏ１−Ｏ１）を位置させた状態で配置されている。
【０１１４】半導体製造装置等のワーク加工装置において、ワークの中心位置及び向きを常に一定にしてプロセスチャンバー内に搬入する必要がある場合には、トランスファチャンバ８０内にまちまちの向きで搬入されるワークの向きを一定の向きに揃えるための装置（アライナ装置と呼ばれる。）をトランスファチャンバ内に配置しておく必要がある。図９に示した例では、ロボットＲの側方のデッドペースにアライナ装置８３が配置されている。図示のアライナ装置８３は、半導体ウェハを保持して回転させるターンテーブル８３Ａと、該ターンテーブルを回転させる駆動機構と、ターンテーブル８３Ａに保持されたウェハのノッチ（Ｖ字形の切欠）またはオリフラ（オリエンテーションフラット）の位置を検出するセンサと、検出したウェハのノッチまたはオリフラの位置を規定の方向に向けるようにターンテーブル８３Ａの回転を制御する制御装置とを備えたものである。アライナ装置８３は、ロボットＲによりウェハを保持してプロセスチャンバに搬入、搬出する際に、ロボットのハンドの移動を妨げることがないように、そのターンテーブル８３Ａをロードロックチャンバ８１及びプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂのそれぞれの搬入、搬出口よりも下方に位置させた状態で設けられている。
【０１１５】図９に示したように、トランスファチャンバ８０内にアライナ装置８３が設けられる場合には、ロボットＲのハンドＤに保持した状態でロードロックチャンバ８１を通してトランスファチャンバ８０内に搬入したウェハを先ずアライナ装置８３のターンテーブル８３Ａの上方に配置し、その状態でロボットＲの昇降フレーム３を下降させて、ウェハをアライナ装置のターンテーブル８３Ａ上に載せる。ロボットのハンドをアライナ装置８３から退避させた後、アライナ装置８３のターンテーブルを回転させながらウェハのノッチ位置またはオリフラの位置を検出し、検出したノッチまたはオリフラを規定の向きに向けた状態でターンテーブル８３Ａを停止させる。その後、ロボットＲのハンドＤによりアライナ装置８３Ａ上のウェハを受け取り、該ウェハをプロセスチャンバ８２Ａまたは８２Ｂに搬入して所定の処理を行わせる。
【０１１６】図１０（Ａ）ないし（Ｅ）は、図９のワーク加工装置において、一方のプロセスチャンバ８２Ａ内のウェハ（ワーク）Ｗを他方のプロセスチャンバ８２Ｂ内に搬送する際のロボットの動きを順を追って示している。なお図１０においてはアライナ装置８３の図示が省略されている。
【０１１７】この例では、図１０（Ａ）の過程で一方のプロセスチャンバ８２Ａ内のウェハＷを受け取り、図１０（Ｂ）の過程でウェハＷをプロセスチャンバ８２Ａから搬出している。その後、図１０（Ｃ）及び（Ｄ）の過程でウェハＷを横方向（プロセスチャンバの並設方向）に平行移動させて、他方のプロセスチャンバ８２Ｂの前まで移動させ、図１０（Ｅ）の過程でウェハをプロセスチャンバ８２Ｂ内に搬入している。
【０１１８】上記のように、本実施形態によれば、ロボットをチャンバの並設方向に移動させることなく、定位置に固定したままで複数のチャンバ内へのワークの搬入、搬出を行わせることができるため、ロボットをチャンバの並設方向に移動させる移動台を省略して搬送装置の構成を簡単にすることができ、半導体等の製造装置の小形化を図ることができる。
【０１１９】ワークを一方向にのみ移動させるように構成されていた従来のロボットを図９に示すようなワーク加工装置に用いる場合には、ロボットをトランスファチャンバ内でプロセスチャンバの並設方向に移動させる必要があるため、アライナ装置８３を配置するためにトランスファチャンバ内に余分のスペースを確保する必要があり、製造装置が大形になるのを避けられなかったが、本実施形態のように、前段側アーム及び後段側アームとハンドとをエンドレスに回動させるように構成した場合には、上記のように、ロボットをチャンバの並設方向に移動させることなく、定位置に固定したままで複数のチャンバ内へのワークの搬入、搬出を行わせることができるため、図９に示したように、ロボットＲの側方に形成されたデッドスペースにアライナ装置を配置することで、トランスファチャンバの小形化を図ることができる。
【０１２０】更に、本実施形態のように、各アームＢ，Ｃ及びハンドＤをエンドレスに回動させることができるようにしておくと、各アーム及びハンドの変位の自由度を高めることができるため、常にワークを許容される最短の経路で目標位置に移動させるように各アーム及びハンドを制御して、ワークの移動に要する時間を短縮することができる。
【０１２１】また本実施形態のように、前段側アームＢの回動中心である第１の軸線Ｏ１−Ｏ１がケーシング１の中心軸線Ｏ−Ｏに対して一定の偏倚距離ΔＤだけ偏倚した位置を垂直方向に延びるように前段側アームの回動中心を設定すると、ロボットをワーク加工装置のトランスファチャンバ内に配置して、トランスファチャンバとロードロックチャンバとの間でのワークの受け渡しと、トランスファチャンバとプロセスチャンバとの間でのワークの受け渡しとを行わせるために用いる場合に、前段側アームＢの回動中心とケーシング１の中心とを結ぶ直線の方向に相対するチャンバの対向壁部間の距離Ｌ（トランスファチャンバの奥行き方向の内法寸法、図９参照）を、前段側アームの回動中心をケーシングの中心に一致させた場合に比べて、偏倚距離ΔＤ分だけ短縮することができるため、ワーク加工装置のトランスファチャンバの小形化を図ることができる。またワーク加工装置がクリーンルーム内に配置される場合には、クリーンルームの容積の縮小を図ることができる。」
カ　段落【０１２３】〜【０１２５】
「【０１２３】図９に示した例では、トランスファチャンバー８０を備えて、該トランスファチャンバー内でロボットを稼働させるようにしたワーク加工装置に本発明に係わるワーク搬送用ロボットを適用したが、トランスファチャンバを設けることなく、ロボット設置ステーション上のオープンスペースにワーク搬送用ロボットを設置して、クリーンルーム内の大気雰囲気中でロボットを稼働させるワーク加工装置にも本発明のワーク搬送用ロボットを適用することができる。
【０１２４】クリーンルーム内の大気雰囲気中でロボットを稼働させるワーク加工装置は、例えば、図９においてトランスファチャンバ８０を、該トランスファチャンバ８０の底板と同じ長方形の形状に形成されたロボット設置ステーションで置き換えた構成を有する。この場合、ロボット設置ステーションの一方の長辺部の近傍にワーク加工部（図９のプロセスチャンバに相当する部分で、ワークに所定の加工を施す部分）が少なくとも一つ配置される。複数のワーク加工部が設けられる場合には、図９に示したプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂと同様に、該複数のワーク加工部が長方形のロボット設置ステーションの一方の長辺に沿って並べて配置される。また、図９に示したロードロックチャンバ８１の位置には、加工すべきワークを待機させておくための設備、例えば、多数のワークを上下に多段に並べて収容するカセットを保持したカセットステージが設置される。また本発明に係わるワーク搬送用ロボットは、そのケーシングをロボット設置ステーションの他方の長辺部に近接させた状態で配置されて、ワーク加工部へのワークの搬入と該ワーク加工部からのワークの搬出とを行う。
【０１２５】このように構成すると、図９に示したワーク加工装置において、トランスファーチャンバの奥行き寸法を縮小できたのと同様に、前段側アームＢの回動中心の偏倚距離ΔＬ分だけ、ロボット設置ステーションの奥行き寸法を小さくすることができるため、ワーク加工装置の小形化を図って、クリーンルームの容積の縮小を図ることができる。」
キ　ここで、ワーク搬送用ロボットＲの前段側アームＢ、後段側アームＣ、ハンドＤが水平方向に回転自在なものであり、また、前段側アームＢの先端上に後段側アームＣが設けられ、後段側アームＣの先端上にハンドＤが設けられていることは明らかである。
　また、図面の図９、図１０を参照すると、トランスファチャンバ８０の一対の側壁８０ｃ、８０ｄは、他方の一対の側壁８０ａ、８０ｂよりも長いことが見て取れる。また、前段側アームＢの長さは前段側アームＢの回動軸線Ｏ１−Ｏ１と側壁８０ｄとの距離より長く、かつ、側壁８０ｄと対向する側壁８０ｃの近傍へ到達する長さであることが理解できる。
ク　刊行物記載の発明
　上記アないしオの摘記事項、及び図面の図９、図１０を参照しつつキの認定事項より、刊行物には、次の発明が記載されていると認める。
「トランスファチャンバ８０であって、
　昇降フレーム３と、昇降フレーム３の上で水平方向に回転自在な前段側アームＢと、前記前段側アームＢの先端上で水平方向に回転自在な後段側アームＣと、前記後段側アームＣの先端上で水平方向に回転自在なハンドＤとを有しており前記ハンドＤに保持されたウェハを搬送するワーク搬送用ロボットＲを前記トランスファチャンバ８０内に備え、
　前記トランスファチャンバ８０は、
　一対の側壁８０ｃ、８０ｄが、他方の一対の側壁８０ａ、８０ｂよりも長い直方体状であり、
　前記ワーク搬送用ロボットＲは、
　当該側壁８０ｄ寄りに配置され、
　前記前段側アームＢの長さは、
　前記前段側アームＢの回動軸線Ｏ１−Ｏ１と側壁８０ｄとの距離より長く、かつ、側壁８０ｄと対向する側壁８０ｃの近傍へ到達する長さであり、
　前記ワーク搬送用ロボットＲの前記ハンドＤは、側壁８０ａに接続されたロードロックチャンバ８１を通してウェハをトランスファチャンバ８０内に搬入することができるトランスファチャンバ８０。」（以下「刊行物記載の発明」という。）
（３）対比
　補正発明と刊行物記載の発明とを対比する。
　刊行物記載の発明の「トランスファチャンバ８０」、「前段側アームＢ」、「後段側アームＣ」、「ハンドＤ」、「ワーク搬送用ロボットＲ」は、それぞれ、補正発明の「筐体」、「第１アーム」、「第２アーム」、「ハンド」、「搬送ロボット」に相当する。
　刊行物記載の発明の「昇降フレーム３」は「昇降機構を有する胴体」と呼ぶことができる。また、刊行物記載の発明の「ハンドＤに保持されたウェハ」は補正発明の「ハンドに搭載した基板」に相当する。
　刊行物記載の発明の「一対の側壁８０ｃ、８０ｄが、他方の一対の側壁８０ａ、８０ｂよりも長い直方体状」は、補正発明の「平面視した場合に略矩形」に相当する。
　刊行物記載の発明の「側壁８０ｄ」は補正発明の「矩形の長辺の一方に対応する側壁」に相当する。
　刊行物記載の発明の「前段側アームＢの回動軸線Ｏ１−Ｏ１と側壁８０ｄとの距離より長く、かつ、側壁８０ｄと対向する側壁８０ｃの近傍へ到達する長さ」は、補正発明の「第１アームの回転軸である第１アーム回転軸と第１の側壁との距離よりも長く、かつ、前記第１の側壁と対向する第２の側壁の近傍へ到達する長さ」に相当する。
　刊行物記載の発明の「ワーク搬送用ロボットＲの前記ハンドＤは、側壁８０ａに接続されたロードロックチャンバ８１を通してウェハをトランスファチャンバ８０内に搬入することができる」は、「第１アームの長さと第２アームの長さとの和は、ハンドが矩形の短辺を越えて基板を搬送することが可能な長さ」という限りで、補正発明の「第１アームの長さと第２アームの長さとの和は、前記第２アームの先端が矩形の短辺を越えることが可能な長さ」と共通する。
　以上のとおりであるので、両者は、次の「筐体」で一致している。
「筐体であって、
　昇降機構を有する胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、前記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、前記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドとを有しており前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットを前記筐体内に備え、
　前記筐体は、
　平面視した場合に略矩形であり、
　前記搬送ロボットは、
　矩形の長辺の一方に対応する側壁寄りに配置され、
　前記第１アームの長さは、
　前記第１アームの回転軸である第１アーム回転軸と前記側壁との距離よりも長く、かつ
、前記第１の側壁と対向する第２の側壁の近傍へ到達する長さであり、
　前記第１アームの長さと前記第２アームの長さとの和は、
　前記ハンドが矩形の短辺を超えて基板を搬送することが可能な長さである筐体。」
　そして、両者は、次の点で相違している。
ア　＜相違点１＞
　筐体内の雰囲気に関して、補正発明では、「上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する」ものであると特定しているのに対し、刊行物記載の発明では、そのようなダウンフローの気流があるのかどうか不明な点。
イ　＜相違点２＞
　矩形の長辺の一方に対応する側壁に関して、補正発明では、「カセットオープナを取り付けるための開口が複数個設けられており」、搬送ロボットは、「側壁に設けられた両端の開口の間」の配置されるものであるとしているのに対して、刊行物記載の発明では、側壁８０ｄに開口が設けられているのかどうか不明な点。
ウ　＜相違点３＞
　搬送ロボットの第１アームの長さと第２アームの長さとの和に関して、補正発明では、「第２アームの先端が前記矩形の短辺を越えることが可能な長さ」としているのに対し、刊行物記載の発明では、ワーク搬送用ロボットＲのハンドＤは、側壁８０ａに接続されたロードロックチャンバ８１を通して半導体ウェハをトランスファチャンバ８０内に搬入することができるものである点。
（４）相違点の検討
　上記各相違点について、以下検討する。
ア　＜相違点１＞について
　基板を搬送する搬送ロボットを有する筐体を上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流により外部と隔離することは原査定の拒絶の理由に引用された本件優先日前に頒布された刊行物である特開２００５−１９７５４２号公報（段落【００２０】〜【００２２】参照）に見られるように従来周知の事項である。
　そして、刊行物記載の発明も、刊行物における摘記事項カに「図９に示した例では、トランスファチャンバー８０を備えて、該トランスファチャンバー内でロボットを稼働させるようにしたワーク加工装置に本発明に係わるワーク搬送用ロボットを適用したが、・・・クリーンルーム内の大気雰囲気中でロボットを稼働させるワーク加工装置にも本発明のワーク搬送用ロボットを適用することができる。・・・このように構成すると、図９に示したワーク加工装置において、トランスファーチャンバの奥行き寸法を縮小できたのと同様に、前段側アームＢの回動中心の偏倚距離ΔＬ分だけ、ロボット設置ステーションの奥行き寸法を小さくすることができるため、ワーク加工装置の小形化を図って、クリーンルームの容積の縮小を図ることができる。」と記載されているように、ワーク搬送用ロボットＲを大気雰囲気中で用いることが示唆されているところ、基板の搬送は清浄な雰囲気で行われなければならないことがこの種の装置において当然望まれていることであることからすれば、上記従来周知の構成を刊行物記載の発明に適用し、当該トランスファチャンバ８０を大気圧下で用いた場合には、筐体であるトランスファチャンバ８０の上部にもクリーンユニットを設置し、それにより上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流によりトランスファチャンバ８０内を外部と隔離することは、当業者にとって格別困難なことではない。
イ　＜相違点２＞について
　筐体における矩形の長辺に対応する側壁にカセットオープナを取り付けるための複数の開口を設けることは原査定の拒絶の理由に引用された本件優先日前に頒布された上記刊行物である特開２００５−１９７５４２号公報（図面の図２参照）に見られるように従来周知の事項である。してみれば、刊行物記載の発明においても、側壁８０ｄにカセットオープナを取り付けるための複数の開口を設けることに格別の困難性はない。そして、ワーク搬送用ロボットＲはトランスファチャンバ８０の長辺方向中央に設置するものであることからすれば、刊行物記載の発明において複数の開口を側壁８０ｄに設けた場合には、ワーク搬送用ロボットＲは側壁８０ｄの複数の開口の間に設けられることになる。
ウ　＜相違点３＞について
　搬送ロボットの第１アームの長さと第２アームの長さとの和を「第２アームの先端が前記矩形の短辺を越えることが可能な長さ」と特定することの技術的意義は、短辺に基板を搬送することにあるところ、刊行物記載の発明においても、ワーク搬送用ロボットＲのハンドＤは、短辺である側壁８０ａに接続されたロードロックチャンバ８１を通して半導体ウェハをトランスファチャンバ８０内に搬入することができるものである。
　したがって、上記相違点３は実質的な相違点ではない。
エ　平成２５年９月２６日付けの回答書における補正案について
　請求人は、平成２５年９月２６日付け回答書において補正案を提示している。この補正案を検討すべき法律的根拠はないものの、念のため検討する。
　上記回答書における補正案では、第１アームの長さに関して「第１の側壁と対向する第２の側壁の近傍へ到達する長さ」から「第１アームの先端が側壁と対向する側壁の近傍へ到達する長さ」とし、第１アームの長さと第２アームの長さとの和に関して「第２アームの先端が矩形の短辺を越えることが可能な長さ」から「第１アームと第２アームとを伸ばしきらないように略直線状に伸ばした姿勢で前記第２アームの先端が矩形の短辺の近傍へ到達する長さ」と特定するものである。
　上記補正案における補正事項について検討すると、前者においては、第１アームの長さを「第１の側壁と対向する第２の側壁の近傍へ到達する長さ」と特定しても、「第１アームの先端が側壁と対向する側壁の近傍へ到達する長さ」と特定しても、技術的意義に変更はない。
　また、後者について検討すると、ロボットにおいて、複数のアームを伸ばしきらないで用いるべきことは、原査定の拒絶の理由に引用された本件優先日前に頒布された上記刊行物である特開２００７−１５２４９０号公報（段落【００４７】及び図面の図３（ｂ）参照）に見られるように従来周知の事項であることから、刊行物記載の発明においても、側壁８０ａのロードロックチャンバ８１にもワーク搬送用ロボットＲにおける複数のアームをのばしきらないで半導体ウェハを搬送するようにすること、すなわち、前段側アームＢと後段側アームＣを伸ばしきらないように伸ばした姿勢で行えるようにすることは、当業者にとって格別困難なことではない。
　したがって、上記回答書における補正案を仮に採用したとしても、そのことによっては、当該補正案に示された特許請求の範囲に係る発明を当業者が容易に発明することができないものとすることはできない。
オ　補正発明の作用効果について
　補正発明が奏する作用効果は、刊行物記載の発明及び上記従来周知の事項から当業者が予測できる程度のものであって格別のものではない。
（５）補正却下におけるむすび
　以上のとおり、補正発明は、刊行物記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないため、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本件発明について
１　本件発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１ないし２５に係る発明は、平成２４年１１月１２日付け手続補正書により補正がされた特許請求の範囲及び明細書、出願当初の図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし２５に記載された事項により特定されるとおりのものであると認めるところ、請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、上記第２の１の（１）の補正前の特許請求の範囲の請求項１に示したとおりである。
２　対比及び判断
　本件発明は、前記第２の２で述べたとおり、補正発明の発明特定事項から、前記限定事項が省かれたものである。
　そうすると、上記第２の２の（４）で検討したとおり、本件発明は、刊行物記載の発明及び上記従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
３　むすび
　以上のとおりであるので、本件発明は、刊行物記載の発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件出願の請求項２乃至２５に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。