【事件の表示】
　昭和６３年特許願第２４１６２１号「湿度センサ」拒絶査定に対する審判事件［平成２年５月２２日出願公開、特開平２−１３２８０３］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【１】本願発明
　本願は、昭和６３年９月２７日に出願（国内優先権主張、昭和６３年６月２７日、昭和６３年７月１８日）され、当審において平成１１年１１月１０日付で拒絶の理由が通知されたものであって、その発明を特定するために必要な事項は、平成７年９月２７日付、平成９年１１月４日付、平成１０年７月２日付及び平成１２年１月２５日付の各手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載された「湿度センサ」にあるものと認められるところ、当該請求項１乃至３に記載された発明は、次のとおりのものである。
「（１）絶縁性基板と、該絶縁性基板上に形成された一対の電極と、
テトラエトキシシランの加水分解溶液に炭素粒子を分散させ、この分散体を加熱処理することにより得られる多孔質シリカ膜とを有し、
該多孔質シリカ膜が、前記一対の電極間にまたがって前記絶縁基板上に形成されてなり、さらに前記多孔質シリカ膜上に形成されたシリカ膜を有することを特徴とする湿度センサ。
（２）絶縁性基板と、該絶縁性基板上に形成されたシリカ膜と、該シリカ膜上に形成された一対の電極と、
テトラエトキシシランの加水分解溶液に炭素粒子を分散させ、この分散体を加熱処理することにより得られる多孔質シリカ膜とを有し、
該多孔質シリカ膜が、前記一対の電極間にまたがって前記絶縁基板上に形成されてなることを特徴とする湿度センサ。
（３）絶縁性基板と、該絶縁性基板上に形成された第１のシリカ膜と、該第１のシリカ膜上に形成された一対の電極と、
テトラエトキシシランの加水分解溶液に炭素粒子を分散させ、この分散体を加熱処理することにより得られる多孔質シリカ膜とを有し、
該多孔質シリカ膜が、前記一対の電極間にまたがって前記第１のシリカ膜上に形成されてなり、さらに前記多孔質シリカ膜上に形成された第２のシリカ膜を有することを特徴とする湿度センサ。」
【２】引用刊行物
　これに対して、当審における拒絶の理由に引用された刊行物である特開昭５８−５５８４７号公報（以下、「引用例１」という。）には、「アルミナ絶縁基板(1)上にPt−Pd合金系のペーストで一対のくし形電極(2)をスクリーン印刷し、Ptリード線(4)を取付け後焼付けを行い、前記電極(2)上に、有機けい素化合物重合体と炭素質粉末とシリカ質粉末と添加剤とからなる組成物にシンナーを加えて混練した混練物を塗布し、焼結して感湿皮膜(3)を形成した感湿素子。」が記載されている。（第１図及び第２頁右上欄第１３行〜同頁左下欄第１６行の記載、参照。）
　また、同じく引用された刊行物である特開昭６３−１２７１５０号公報（以下、「引用例２」という。）には、「絶縁性基板（石英ガラス基板４）上に感湿皮膜（焼結皮膜１）を形成し、この感湿皮膜に電極(2)を取付け、この電極(2)にリード線(3)を取付けてなる湿度センサにおいて、前記感湿皮膜を、テトラエトキシシランの加水分解溶液に炭素粒子を分散させ、この分散体を加熱処理することにより得られるもの（多孔質シリカ膜）で形成する」技術的事項が記載されている。（第５図及び実施例５〜８に関する記載、参照。）
【３】対比・判断
（１）請求項１に係る発明について
　本願の請求項１に係る発明（以下、「請求項１の発明」という。）と上記引用例１に記載された発明とを対比すると、引用例１に記載された「感湿皮膜(3)」は、請求項１の発明の「多孔質シリカ膜」に対応し、また引用例１に記載された「感湿素子」は、請求項１の発明の「湿度センサ」に相当するものと認められるから、両者は、
「絶縁性基板と、該絶縁性基板上に形成された一対の電極と、感湿皮膜とを有し、該感湿皮膜が、前記一対の電極間にまたがって前記絶縁性基板上に形成されてなる湿度センサ。」
である点で一致し、以下の各点で相違するものと認められる。
(i)請求項１の発明が、感湿皮膜を、テトラエトキシシランの加水分解溶液に炭素粒子を分散させ、この分散体を加熱処理することにより得られる多孔質シリカ膜としているのに対して、引用例１に記載されたものは、有機けい素化合物重合体と炭素質粉末とシリカ質粉末と添加剤とからなる組成物により得られる皮膜である点。
(ii)請求項１の発明が、感湿皮膜上にシリカ膜を形成しているのに対して、引用例１に記載されたものは、このようにしていない点。
　そこで、前記各相違点について検討する。
　相違点(i)について、上記引用例２には、絶縁性基板上に感湿皮膜が形成される湿度センサにおいて、感湿皮膜を、テトラエトキシシランの加水分解溶液に炭素粒子を分散させ、この分散体を加熱処理することにより得られる多孔質シリカ膜とすることが記載されているので、引用例１に記載された感湿皮膜として引用例２に記載された技術的事項を採用して請求項１の発明のように構成することは当業者が容易になし得ることと認められる。　
　相違点(ii)について、絶縁性基板上に感湿皮膜が形成される湿度センサにおいて、感湿皮膜上にさらに皮膜（保護膜として機能する。）を形成することは周知の技術的事項（例えば、特開昭６１−２８４６５２号公報、特開昭６２−１０５０３９号公報の各記載参照）であり、また、絶縁性基板上に感応皮膜が形成されるセンサにおいて、感応皮膜上に形成する皮膜（保護膜として機能する。）をシリカ膜（SiO2　の膜）とすることも周知の技術的事項（例えば、特開昭５８−９２２０１号公報、特開昭５９−１１３６７５号公報の各記載参照）であるから、引用例１に記載された感湿素子においても、これら周知の技術的事項によって請求項１の発明のように構成することは当業者が容易になし得ることと認められる。
　そして、請求項１の発明のように構成することにより奏する作用効果も当業者が推測し得る程度のものと認められる。
（２）請求項２に係る発明について
　本願の請求項２に係る発明（以下、「請求項２の発明」という。）と上記引用例１に記載された発明とを対比すると、両者は、前述の一致点を有し、相違点(i)で相違する他、以下の点で相違するものと認められる。
(iii)請求項２の発明が、絶縁性基板上にシリカ膜を形成しているのに対して、引用例１に記載されたものは、このようにしていない点。
　そこで、前記各相違点について検討する。
　相違点(i)については、前記請求項１の発明における判断と同旨であるからこれを援用する。
　さらに、前記相違点(iii)について検討すると、絶縁性基板上に感湿皮膜が形成される湿度センサ（感湿素子）において、絶縁性基板上に皮膜（接着層）を形成することは周知の技術的事項（例えば、特開昭６２−２２３０５４号公報の記載参照）であり、また、絶縁性基板上に感応皮膜が形成されるセンサにおいて、絶縁性基板上に形成される皮膜をシリカ膜（SiO2の膜）とすることも周知の技術的事項（例えば、特開昭６２−２２４０１号公報の記載参照）であるから、引用例１に記載された感湿素子においても、このような周知の技術的事項によって請求項２の発明のように構成することは当業者が容易になし得ることと認められる。
　そして、請求項２の発明のように構成することにより奏する作用効果も当業者が推測し得る程度のものと認められる。
（３）請求項３に係る発明について
　本願の請求項３に係る発明（以下、「請求項３の発明」という。）と上記引用例１に記載された発明とを対比すると、両者は、前述の一致点を有し、相違点(i)で相違する他、以下の点で相違するものと認められる。
(iv)請求項３の発明が、絶縁性基板上に第１のシリカ膜を形成し、感湿皮膜上に第２のシリカ膜を形成しているのに対して、引用例１に記載されたものは、このようにしていない点。
　そこで、前記各相違点について検討する。
　相違点(i)については、前記請求項１の発明における判断と同旨であるからこれを援用する。
　さらに、前記相違点(iv)について検討すると、絶縁性基板上に感湿皮膜が形成される湿度センサにおいて、絶縁性基板上に皮膜（接着層）を形成すること及び感湿皮膜上に皮膜（保護膜として機能する。）を形成すること、並びに、絶縁性基板上に感応皮膜が形成されるセンサにおいて、絶縁性基板上に形成される皮膜をシリカ膜とすること及び感応皮膜上に形成される皮膜をシリカ膜とすることは、前述したようにそれぞれ周知の技術的事項であり、また、絶縁性基板上に感応皮膜が形成されるセンサにおいて、絶縁性基板上に第１の皮膜を形成し、感応皮膜上に第２の皮膜を形成することも周知の技術的事項（例えば、前記例示の特開昭６２−２２４０１号公報、特開昭６３−８８８０２号公報の各記載参照）であるから、引用例１に記載された感湿素子においても、前記周知の技術的事項によって請求項３の発明のように構成することは当業者が容易になし得ることと認められる。
　そして、請求項３の発明のように構成することにより奏する作用効果も当業者が推測し得る程度のものと認められる。
【４】まとめ
　以上のとおりであって、本願の請求項１乃至３に係る発明は、何れも上記引用例１乃至２に記載された発明及び周知の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものと認められるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。