(57)【要約】【課題】省電力で、ウォーミングアップタイムが短く、被加熱体に対する加熱を各位置で調整可能な面状加熱体を提供する。【解決手段】並んで配置されて発熱面ＨＡを作る複数の発熱部（第１発熱部Ｈ１，第２発熱部Ｈ２など）と、複数の発熱部（第１発熱部Ｈ１，第２発熱部Ｈ２など）のそれぞれに対応する複数の外部接続電極（外部接続電極Ｅ１１，Ｅ１２など）と、発熱部（第１発熱部Ｈ１など）と外部接続電極（外部接続電極Ｅ１１など）とを電気的に接続する配線（配線Ｗ１１など）とを備え、複数の発熱部（第１発熱部Ｈ１，第２発熱部Ｈ２など）のそれぞれに外部接続電極（外部接続電極Ｅ１１，Ｅ１２など）から個別に電力を印加可能である面状加熱体１１。【選択図】図２
2018160422.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
並んで配置されて発熱面を作る複数の発熱部と、
前記複数の発熱部のそれぞれに対応する複数の外部接続電極と、
前記発熱部と前記外部接続電極とを電気的に接続する配線とを備え、
前記複数の発熱部のそれぞれに前記外部接続電極から個別に電力を印加可能であることを特徴とする面状加熱体。
【請求項２】
前記複数の発熱部における使用の際に被加熱体が対向する側に配置された絶縁性の板状部材をさらに備え、
前記板状部材における前記複数の発熱部に対向する側とは反対側の面が、前記被加熱体との接触面となる、請求項１に記載の面状加熱体。
【請求項３】
前記複数の発熱部のうち、隣り合う２つの発熱部は、前記発熱部に電気的に接続される前記外部接続電極が共通である、請求項１または２に記載の面状加熱体。
【請求項４】
前記複数の発熱部における使用の際に被加熱体が対向する側とは反対側に配置された均熱板をさらに備える、請求項１から３のいずれか一項に記載の面状加熱体。
【請求項５】
前記発熱面の法線に沿った方向から見たときに、前記均熱板は、隣り合う２つの発熱部の間隙領域に重なる部分での熱伝導性が、前記発熱部に重なる部分での熱伝導性よりも低い、請求項４に記載の面状加熱体。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載される面状加熱体の加熱方法であって、
並んで配置される前記複数の発熱部のそれぞれを、並び方向に順次所定時間加熱させて、前記発熱面の加熱された領域を移動させる加熱領域移動制御を行う、面状加熱体の加熱方法。
【請求項７】
前記加熱領域移動制御を行う際に、前記発熱部の複数を同時に加熱する、請求項６に記載の面状加熱体の加熱方法。
【請求項８】
同時に加熱される前記発熱部の複数の加熱温度が相違する、請求項７に記載の面状加熱体の加熱方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状の被加熱体を局所的に加熱することが可能な面状加熱体に関する。
【背景技術】
【０００２】
シート状の被加熱体をステージに載せ、プリンタやディスペンサなどを用いて、順次場所を変え走査しながら印刷、塗布などを行う印刷、塗布装置のような走査型装置において、被加熱体への印刷、塗布時に、印刷物、塗布物などを被加熱体に適切に定着することなどを目的として、被加熱体を加熱する必要がある場合がある。そのような加熱を可能とする部材として、ステージ上に設けられた面状加熱体が例示される。
【０００３】
面状加熱体の具体例として、特許文献１に記載されるような面状加熱体（面状発熱部）が挙げられる。この面状発熱部は、絶縁性かつ不透水性の基板上に、発熱抵抗体と配線と受電コイルとが電気的に接続された回路部、を有し、前記回路部を取り囲んでシール部が設けられ、前記回路部を覆って透湿防水シートが設けられ、前記基板と前記透湿防水シートと前記シール部によって、前記回路部が液密に封止されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２０６６９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載される面状加熱体（面状発熱部）は、常に全面を加熱する構造となっている。このため、このような面状加熱体をステージ上に設けると、その消費電力が大きくなる。また、面状加熱体によってステージ全体を暖めるために、所定温度に達するまでの時間を要するため、装置の動作開始までの時間（ウォーミングアップタイム）が長くなってしまう。
【０００６】
さらに、ステージ上の各位置での加熱プロセスに違いが生じる。すなわち、ステージ上の被加熱体のうち、走査の初めに印刷、塗布される部分は、印刷、塗布が終了した後、全面の走査が完了するまで加熱され続ける。一方、操作の最後に印刷、塗布される部分は、その部分に対して印刷、塗布が開始されるまで被加熱体のみが加熱され、印刷、塗布が終了すると他の部分よりも速やかに加熱が終了する。このような加熱プロセスの違いは、印刷物、塗布物の熱変性をもたらしたり（走査の初期の部分）、印刷物、塗布物の被加熱体への定着不良をもたらしたりする（走査の最後の部分）おそれがあり、その結果、被加熱体への印刷、塗布などの加工の均一性が低下してしまう。これは、印刷、塗布などを行う際に、その作業時間中は常に被加熱体全体が加熱されていることが原因である。
【０００７】
本発明は、かかる現状を鑑み、省電力で、ウォーミングアップタイムが短く、被加熱体に対する加熱を各位置で調整可能な面状加熱体を提供することを目的とする。本発明は、この面状加熱体を用いて被加熱体を加熱する方法を提供することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために提供される本発明は、一態様において、並んで配置されて発熱面を作る複数の発熱部と、前記複数の発熱部のそれぞれに対応する複数の外部接続電極と、前記発熱部と前記外部接続電極とを電気的に接続する配線とを備え、前記複数の発熱部のそれぞれに前記外部接続電極から個別に電力を印加可能であることを特徴とする面状加熱体である。かかる面状加熱体は、複数の発熱部を独立に加熱することができる。したがって、発熱面の全域を加熱するのではなく、発熱面の一部の領域、具体的には、電力印加された発熱部の面に対応した領域のみを加熱して加熱領域を形成することができる。それゆえ、面状加熱体の消費電力を低減させることができる。また、加熱される領域が発熱面の全域でないため、ウォーミングアップタイムを短くすることも可能である。さらに、加熱領域以外は室温レベルまで発熱面の温度を低下させることができるため、被加熱体が必要以上に加熱されることに基づく不具合が生じにくくなる。すなわち、上記の面状加熱体を用いれば、面状加熱体に接する被加熱体の限られた部分を必要な時間だけ加熱することが可能となる。
【０００９】
上記の面状加熱体は、前記複数の発熱部における使用の際に被加熱体が対向する側に配置された絶縁性の板状部材をさらに備え、前記板状部材における前記複数の発熱部に対向する側とは反対側の面が、前記被加熱体との接触面となることが好ましい。板状部材を配置することにより、発熱部と被加熱体との離間距離のばらつきを抑えることができ、被加熱体への加熱の均一性が高まる。また、接触面を平滑面とすれば、接触面と被加熱体との間に位置する空気層の厚さを均一化することができ、被加熱体への加熱の均一性がより安定的に高まる。
【００１０】
上記の面状加熱体において、前記複数の発熱部のうち、隣り合う２つの発熱部は、前記発熱部に電気的に接続される前記外部接続電極が共通であることが好ましい。かかる構成を備えることにより、隣り合う２つの発熱部の発熱面内方向の距離を短くすることができる。発熱面の加熱領域が隣り合う２つの発熱部を加熱することにより構成される場合には、隣り合う２つの発熱部の間に位置する領域（間隙領域）の温度が低下しにくくなるため、加熱領域内の温度制御性を高めることができる。
【００１１】
上記の面状加熱体は、前記複数の発熱部における使用の際に被加熱体が対向する側とは反対側に配置された均熱板をさらに備えていてもよい。発熱面において、間隙領域は積極的な加熱が行われない領域であるが、上記のように均熱板を設けることにより、発熱部からの熱を間隙領域に効率的に伝達することができる。したがって、発熱面の加熱領域が隣り合う２つの発熱部を加熱することにより構成される場合には、間隙領域の温度が低下しにくくなり、加熱領域内の温度制御性を高めることができる。
【００１２】
上記のように均熱板を備える構成の場合には、前記発熱面の法線に沿った方向から見たときに、前記均熱板は、隣り合う２つの発熱部の間隙領域に重なる部分での熱伝導性が、前記発熱部に重なる部分での熱伝導性よりも低いことが好ましい。上記のとおり、均熱板を設けることにより、間隙領域には隣接する発熱部からの熱が流れ込むため、発熱面において、間隙領域と隣接する発熱部に対応する領域との温度差を少なくすることができる。しかしながら、間隙領域における熱伝導性が過度に高い場合には、隣り合う２つの発熱部の一方のみに電力が印加され、他方に電力が印加されていないときに、加熱されていない他方の発熱部に熱が流れ込み、他方の発熱部に対応する領域の温度が高まってしまう。その結果、発熱面における加熱領域の形状（面積）の制御性が低下してしまう。また、電力が印加された発熱部からの熱の流出量が多くなるので、電力が印加された発熱部の消費電力が増えてしまう。そこで、均熱板の間隙領域に対応する部分について、隣り合う２つの前記発熱部に対応する部分よりも熱伝導率が低くなるようにすることで、１つの発熱部からの熱が隣り合う発熱部に過度に伝達されることが回避され、上記のような不具合が生じにくくなる。
【００１３】
本発明は、他の一態様として、上記の一態様に係る面状加熱体の加熱方法を提供する。この面状加熱体の加熱方法では、並んで配置される前記複数の発熱部のそれぞれを、並び方向に順次所定時間加熱させて、前記発熱面の加熱された領域を移動させる加熱領域移動制御を行う。前述のように、上記の面状加熱体は、複数の発熱部のそれぞれを独立に加熱することができる。したがって、並んで配置される複数の発熱部のそれぞれを、並び方向に順次所定時間加熱すれば、発熱面に生じた加熱領域を並び方向に経時的に移動させることができる。この加熱領域の移動に合わせて、印刷、塗布などを行う領域も移動させれば、印刷物、塗布物などの被加熱体への定着を効率的に行うことができる。
【００１４】
上記の面状加熱体の加熱方法において、前記加熱領域移動制御を行う際に、前記発熱部の複数を同時に加熱してもよい。複数の発熱部を加熱することにより、発熱面において移動する加熱領域の面積を広げることが可能である。また、移動する加熱領域の移動先端側では、発熱部が所定の温度になるまで時間を要する場合があり、これが加熱領域におけるウォーミングアップタイムとなって、加熱領域の移動速度を制限することもある。そのようなときには、加熱領域の移動先端側に位置する発熱部に対応する領域を予備加熱領域と位置付け、加熱領域の移動先端側に位置する発熱部よりも移動後端側の発熱部に対応する領域を本加熱領域として、予備加熱領域で被加熱体のプレヒートを行い、本加熱領域で印刷物、塗布物などの被加熱体への定着を行うようにすれば、加熱領域の移動速度を高めることができる。
【００１５】
上記の面状加熱体の加熱方法において、同時に加熱される前記発熱部の複数の加熱温度が相違してもよい。例えば、上記の予備加熱領域に対応する発熱部の温度を本加熱領域に対応する発熱部の温度よりも低く設定すれば、省電力化に資することができる。また、印刷物、塗布物などの被加熱体への定着が複数のプロセスを伴う場合（例えば、溶媒の乾燥および重合反応による最終的な印刷物の生成が挙げられる。）などには、加熱領域において本加熱領域よりも移動後端側の発熱部も所定の温度で加熱して、この発熱部に対応する領域を後加熱用領域として、この後加熱用領域において上記の定着に含まれる複数のプロセスの一部が継続されるようにしてもよい。このように、加熱領域に位置する複数の発熱部の加熱温度を異なるようにすることで、多様な加熱プロセスを有する加熱領域を設定することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、省電力で、ウォーミングアップタイムが短く、被加熱体の限られた部分に対して必要な時間だけ加熱することができる面状加熱体が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（ａ）本発明の一実施形態に係る面状加熱体が組み込まれた加熱ステージ装置の全体構造を説明するための概念図および（ｂ）本発明の一実施形態に係る面状加熱体の構成を説明するための概念図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る面状加熱体の一例の構成を説明するための部分拡大図である。
【図３】（ａ）図２のＶ１−Ｖ１線による断面図、（ｂ）本発明の一実施形態に係る面状加熱体の他の一例の断面図、および（ｃ）本発明の一実施形態に係る面状加熱体の別の一例の断面図である。
【図４】図３（ａ）に示される構造を有する面状加熱体の製造方法を説明する図であって、それぞれ、（ａ）ガラス基板を用意した状態を示し、（ｂ）配線および外部接続電極を形成するための材料が印刷された状態を示し、（ｃ）発熱部を形成するための材料が印刷された状態を示している。
【図５】図３（ａ）に示される構造を有する面状加熱体の製造方法を説明する図であって、それぞれ、（ｄ）保護層が形成された状態を示し、（ｅ）均熱板が設けられて図３（ａ）に示される構造が上下反転して形成された状態を示している。
【図６】（ａ）本発明の他の一実施形態に係る面状加熱体および（ｂ）その変形例の構造を概念的に示す部分拡大図である。
【図７】（ａ）本発明の別の一実施形態に係る面状加熱体および（ｂ）その変形例の構造を概念的に示す部分拡大図である。
【図８】本発明のまた別の一実施形態に係る面状加熱体の構造を説明するための概念図であって、（ａ）発熱部、配線および外部接続電極を説明するための図、および（ｂ）図８（ａ）のＶ２−Ｖ２線による断面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る面状加熱体による加熱方法の一例を説明するための図であって、（ａ）各発熱部への電力印加のタイミングチャート、（ｂ）各発熱部の温度の時間変化を示すグラフ、および（ｃ）各時間での面状加熱体の加熱状態（発熱面における加熱領域の様子）を示す図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る面状加熱体による加熱方法の他の一例を説明するための図であって、（ａ）各発熱部への電力印加のタイミングチャート、（ｂ）各発熱部の温度の時間変化を示すグラフ、および（ｃ）各時間での面状加熱体の加熱状態（発熱面における加熱領域の様子）を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、本発明の実施形態について、図１〜図１０を参照しつつ説明する。
【００１９】
図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る面状加熱体が組み込まれた加熱ステージ装置の全体構造を説明するための概念図である。図１（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る面状加熱体の構成を説明するための概念図である。図２は、本発明の一実施形態に係る面状加熱体の一例の構成を説明するための部分拡大図である。図３（ａ）は、図２のＶ１−Ｖ１線による断面図である。図３（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る面状加熱体の他の一例の断面図である。図３（ｃ）は、本発明の一実施形態に係る面状加熱体の別の一例の断面図である。
【００２０】
図１から図３に示されるように、本発明の一実施形態に係る加熱ステージ装置１００は、加熱ステージ１０が台２０のＺ１−Ｚ２方向Ｚ２側に配置されている。加熱ステージ１０内には２軸の直動制御装置（図示せず）が組み込まれていて、台２０に対する加熱ステージ１０の配置がＸ１−Ｘ２方向およびＹ１−Ｙ２方向で移動可能とされている。
【００２１】
加熱ステージ１０のＺ１−Ｚ２方向Ｚ２側には、面状加熱体１１が設けられており、面状加熱体１１のＺ１−Ｚ２方向Ｚ２側の面が被加熱体ＯＢとの接触面１１Ａであって、図１（ａ）では、接触面１１Ａ上に布状の被加熱体ＯＢが載置されている。
【００２２】
図１（ｂ）は、図１（ａ）に示される面状加熱体１１をＺ１−Ｚ２方向Ｚ２側からＺ１側に見たときの図であって、Ｘ１−Ｘ２方向に延びるライン状の形状を有する複数の発熱部（図１（ｂ）では第１発熱部Ｈ１から第１０発熱部Ｈ１０）がＹ１−Ｙ２方向に並んで配置されている。これらの第１発熱部Ｈ１から第１０発熱部Ｈ１０によって、図１（ｂ）では二点鎖線で表される発熱面ＨＡが形成されている。第１発熱部Ｈ１から第１０発熱部Ｈ１０のそれぞれには、１組の配線が電気的に接続されている。例えば、第１発熱部Ｈ１には２つの配線Ｗ１１，Ｗ１２が設けられ、第２発熱部Ｈ２には２つの配線Ｗ２１，Ｗ２２が設けられ、第１発熱部Ｈ１のＷ１２および第２発熱部Ｈ２の配線Ｗ２２は、共有化されて配線Ｗｃ１を構成している。
【００２３】
図２に示されるように、第１発熱部Ｈ１の一方の配線Ｗ１１は、第１発熱部Ｈ１のＹ１−Ｙ２方向Ｙ２側にて、第１発熱部Ｈ１に沿ってＸ１−Ｘ２方向に延びている部分と、この部分からＹ１−Ｙ２方向Ｙ１側に延びて第１発熱部Ｈ１と電気的に接続される複数の接続部Ｃ１１１，Ｃ１１２，Ｃ１１３とを有する。第２発熱部Ｈ２の一方の配線Ｗ２１の構造は第１発熱部Ｈ１の一方の配線Ｗ１１と同様であって、第２発熱部Ｈ２のＹ１−Ｙ２方向Ｙ１側にて、第２発熱部Ｈ２に沿ってＸ１−Ｘ２方向に延びている部分と、この部分からＹ１−Ｙ２方向Ｙ２側に延びて第２発熱部Ｈ２と電気的に接続される複数の接続部Ｃ１２１，Ｃ１２２，Ｃ１２３とを有する。配線Ｗ１１および配線Ｗ２１のいずれにも、ほぼ等間隔で、Ｘ１−Ｘ２方向Ｘ１側にさらに接続部が並んでいる（図示せず）。
【００２４】
第１発熱部Ｈ１の他方の配線Ｗ１２および第２発熱部Ｈ２の他方の配線Ｗ２２の機能を有する配線Ｗｃ１は、第１発熱部Ｈ１と第２発熱部Ｈ２との間でＸ１−Ｘ２方向に延びている部分と、この部分から、Ｙ１−Ｙ２方向Ｙ２側に延びて第１発熱部Ｈ１と電気的に接続される複数の接続部Ｃｃ１１，Ｃｃ１２、およびＹ１−Ｙ２方向Ｙ１側に延びて第２発熱部Ｈ２と電気的に接続される複数の接続部Ｃｃ２１，Ｃｃ２２を有する。接続部Ｃｃ１１と接続部Ｃｃ２１とは、Ｙ１−Ｙ２方向につながって線状の構造体となっている。接続部Ｃｃ１２と接続部Ｃｃ２２も同様である。配線Ｗｃ１の接続部は、ほぼ等間隔で、Ｘ１−Ｘ２方向Ｘ１側にさらに並んでいる（図示せず）。
【００２５】
第１発熱部Ｈ１から第１０発熱部Ｈ１０のそれぞれには１組の配線（第１発熱部Ｈ１の場合は配線Ｗ１１，Ｗｃ１、第２発熱部Ｈ２の場合は配線Ｗ２１，Ｗｃ１）が電気的に接続され、その配線のそれぞれに外部接続電極が電気的に接続されている。すなわち、配線は、発熱部と外部接続電極とを電気的に接続する部材である。例えば、第１発熱部Ｈ１の配線Ｗ１１には外部接続電極Ｅ１１が接続され、第２発熱部Ｈ２の配線Ｗ２１には外部接続電極Ｅ２１が接続され、第１発熱部Ｈ１および第２発熱部Ｈ２の共通配線である配線Ｗｃ１には外部接続電極Ｅｃ１が接続される。外部接続電極Ｅｃ１は外部接続電極Ｅ１２および外部接続電極Ｅ２２の共通部材である。他の発熱部（第３発熱部Ｈ３から第１０発熱部Ｈ１０）についても同様であるから説明を省略する。
【００２６】
面状加熱体１１では、上記の複数の発熱部のそれぞれに外部接続電極から個別に電力を印加可能である。例えば、配線Ｗ１１に電気的に接続される外部接続電極Ｅ１１と配線Ｗｃ１に電気的に接続される外部接続電極Ｅｃ１との間に電力を印加すると、図示される範囲では、接続部Ｃ１１１と接続部Ｃｃ１１との間、接続部Ｃ１１２と接続部Ｃｃ１１との間、接続部Ｃ１１２と接続部Ｃｃ１２との間、および接続部Ｃ１１３と接続部Ｃｃ１２との間で、第１発熱部Ｈ１においてＸ１−Ｘ２方向に電流が流れ、第１発熱部Ｈ１の発熱が生じる。
【００２７】
同様に、配線Ｗ２１に電気的に接続される外部接続電極Ｅ２１と配線Ｗｃ１に電気的に接続される外部接続電極Ｅｃ１との間に電力を印加すると、図示される範囲では、接続部Ｃ１２１と接続部Ｃｃ２１との間、接続部Ｃ１２２と接続部Ｃｃ２１との間、接続部Ｃ１２２と接続部Ｃｃ２２との間、および接続部Ｃ１２３と接続部Ｃｃ２２との間で、第２発熱部Ｈ２においてＸ１−Ｘ２方向に電流が流れ、第２発熱部Ｈ２の発熱が生じる。
【００２８】
このように、面状加熱体１１は、発熱面ＨＡの全域を加熱するのではなく、発熱面ＨＡの一部の領域、具体的には、発熱部の面に対応した領域のみを加熱して加熱領域を形成することができる。例えば、第３発熱部Ｈ３のみに電力を印加すれば、加熱領域ＨＲ３のみを加熱可能であり、第４発熱部Ｈ４のみに電力を印加すれば、加熱領域ＨＲ４のみを加熱可能である。なお、図２では、加熱領域ＨＲ３および加熱領域ＨＲ４はいずれも二点鎖線で表されている。
【００２９】
このように、発熱面ＨＡの所定の領域を加熱領域とすることができるため、面状加熱体１１の消費電力を低減させることができる。また、加熱される領域が発熱面ＨＡの全域でないため、面状加熱体１１のウォーミングアップタイムを短くすることも可能である。さらに、発熱面ＨＡのうち加熱領域以外の領域は室温レベルまで温度を低下させることができるため、被加熱体ＯＢが必要以上に加熱されることに基づく不具合が生じにくくなる。すなわち、面状加熱体１１を用いれば、被加熱体ＯＢの限られた部分を必要な時間だけ加熱することが可能となる。
【００３０】
面状加熱体１１は、図３（ａ）に示されるように、複数の発熱部（第１発熱部Ｈ１から第１０発熱部Ｈ１０）における使用の際に被加熱体ＯＢが対向する側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側）に配置された絶縁性の板状部材１２をさらに備える。この板状部材１２における複数の発熱部（第１発熱部Ｈ１から第１０発熱部Ｈ１０）に対向する側とは反対側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側）の面が、被加熱体ＯＢとの接触面１１Ａとなる。板状部材１２を有することにより、複数の発熱部（第１発熱部Ｈ１から第１０発熱部Ｈ１０）と被加熱体ＯＢとの離間距離のばらつきを抑えることができ、被加熱体ＯＢへの加熱の均一性が高まる。また、接触面１１Ａを平滑面とすれば、接触面１１Ａと被加熱体ＯＢとの間に位置する空気層の厚さを均一化することができ、被加熱体ＯＢへの加熱の均一性がより安定的に高まる。
【００３１】
面状加熱体１１において、複数の発熱部（第１発熱部Ｈ１から第１０発熱部Ｈ１０）のうち、隣り合う２つの発熱部（具体的には、例えば、第１発熱部Ｈ１および第２発熱部Ｈ２）は、それぞれの発熱部に電気的に接続される１組の配線の一方（具体的には配線Ｗ１２および配線Ｗ２２）の少なくとも一部が共通化して１つの配線（具体的には配線Ｗｃ１）となり、これらの配線に電気的に接続される外部接続電極（具体的には、外部接続電極Ｅ１２および外部接続電極Ｅ２２）が共通化して１つの外部接続電極（外部接続電極Ｅｃ１）となっている。かかる構成を備えることにより、隣り合う２つの発熱部（具体的には、例えば、第１発熱部Ｈ１および第２発熱部Ｈ２）の発熱面内方向の距離を短くすることができる。
【００３２】
第３発熱部Ｈ３および第４発熱部Ｈ４も隣り合う２つの発熱部の組を形成しており、これらの発熱部の間に位置する領域（間隙領域）ＮＲ３４には、配線Ｗｃ１と同様の機能を備える配線Ｗｃ２が位置する。配線Ｗｃ２には外部接続電極Ｅｃ２が接続され、外部接続電極Ｅ３１に接続される配線Ｗ３１は第３発熱部Ｈ３に接続され、外部接続電極Ｅ４１に接続される配線Ｗ４１は第４発熱部Ｈ４に接続される。図２において二点鎖線により表されている間隙領域ＮＲ３４は、隣り合う２つの発熱部（第３発熱部Ｈ３および第４発熱部Ｈ４）の間に位置して、直接的には加熱されない領域である。第３発熱部Ｈ３および第４発熱部Ｈ４を同時に加熱した場合には、第３発熱部Ｈ３に直接的に対応する加熱領域ＨＲ３および第４発熱部Ｈ４に直接的に対応する加熱領域ＨＲ４のみならず、間隙領域ＮＲ３４も同様に加熱されて、加熱領域ＨＲ３および第４発熱部Ｈ４ならびに間隙領域ＮＲ３４からなる領域が加熱領域となることが、加熱領域内の温度制御性を高める観点から好ましい。したがって、間隙領域ＮＲ３４は狭いことが好ましい。上記のように隣り合う２つの発熱部の一方の配線の機能を兼ね備える配線を設け、この配線に対応して２つの外部接続電極を共通化することは、間隙領域ＮＲ３４を狭める観点から好ましい。
【００３３】
このように、隣り合う２つの発熱部の間の部分は積極的に加熱されないため、隣り合う２つの発熱部から熱を供給して、加熱領域の均熱化が行われる。この観点から、面状加熱体１１は、複数の発熱部（第１発熱部Ｈ１から第１０発熱部Ｈ１０）における使用の際に被加熱体ＯＢが対向する側とは反対側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ１側）に配置された均熱板１４をさらに備える。均熱板１４は、アルミニウム合金や銅合金、アルミナなどの熱伝導性に優れる材料から構成される。なお、面状加熱体１１は、板状部材１２と均熱板１４との間に、発熱部、配線および外部接続電極を保護する保護層１３が位置する。保護層１３は一例としてガラスから構成される。
【００３４】
図３（ａ）は図２のＶ１−Ｖ１線に対応する線での断面であるから、板状部材１２のＺ１−Ｚ２方向Ｚ１側には、第１発熱部Ｈ１の配線Ｗ１１、接続部Ｃｃ１２，Ｃｃ２２を含む配線Ｗｃ１、第２発熱部Ｈ２の配線Ｗ２１、第３発熱部Ｈ３の配線Ｗ３１、接続部Ｃｃ３２，Ｃｃ４２を含む配線Ｗｃ２および第４発熱部Ｈ４の配線Ｗ４１が位置する。また、接続部Ｃｃ１２，Ｃｃ２２のＺ１−Ｚ２方向Ｚ１側にはそれぞれ第１発熱部Ｈ１および第２発熱部Ｈ２が位置し、接続部Ｃｃ３２，Ｃｃ４２のＺ１−Ｚ２方向Ｚ１側にはそれぞれ第３発熱部Ｈ３および第４発熱部Ｈ４が位置する。
【００３５】
均熱板１４が配置されることにより、発熱部（第１発熱部Ｈ１から第１０発熱部Ｈ１０）からの熱を間隙領域（間隙領域ＮＲ３４など）に効率的に伝達することができる。したがって、発熱面ＨＡの加熱領域が隣り合う２つの発熱部を加熱することにより構成される場合には、間隙領域の温度が低下しにくくなり、加熱領域内の温度制御性を高めることができる。
【００３６】
その一方で、間隙領域（間隙領域ＮＲ３４など）における熱伝導性が過度に高い場合には、隣り合う２つの発熱部（例えば第３発熱部Ｈ３および第４発熱部Ｈ４）の一方（例えば第３発熱部Ｈ３）のみに電力が印加され、他方（第４発熱部Ｈ４）に電力が印加されていないときに、間隙領域（間隙領域ＮＲ３４）を介して、加熱されていない他方の発熱部（第４発熱部Ｈ４）に熱が流れ込み、他方の発熱部（第４発熱部Ｈ４）に対応する領域（加熱領域ＨＲ４）の温度が高まってしまう。その結果、発熱面ＨＡにおける加熱領域の形状（面積）の制御性が低下してしまう。具体的には、上記の例では、加熱領域は第３加熱領域に基づく領域のみであるべきところ、間隙領域（間隙領域ＮＲ３４など）を通じて第４発熱部Ｈ４に対応する領域（加熱領域ＨＲ４）や第２発熱部Ｈ２に対応する領域にまで広がってしまい、加熱領域の面積が広がってしまう。また、電力が印加された発熱部（第３発熱部Ｈ３）からの熱の流出量が多くなるので、電力が印加された発熱部（第３発熱部Ｈ３）の消費電力が増えてしまう。
【００３７】
そこで、均熱板１４の間隙領域（例えば間隙領域ＮＲ３４）に対応する部分について、隣り合う２つの発熱部（間隙領域ＮＲ３４の場合には第３発熱部Ｈ３および第４発熱部Ｈ４）に対応する部分よりも熱伝導率が低くなるようにすることにより、１つの発熱部からの熱がその隣に位置する発熱部に伝達されにくくなり、上記のような不具合が生じにくくなる。具体的には、発熱面ＨＡの法線に沿った方向（Ｚ１−Ｚ２方向）から見たときに、均熱板１４は、隣り合う２つの発熱部（第３発熱部Ｈ３および第４発熱部Ｈ４）の間隙領域（間隙領域ＮＲ３４）に重なる部分での熱伝導性が、発熱部（第３発熱部Ｈ３、第４発熱部Ｈ４）に重なる部分での熱伝導性よりも低い。そのような構造の具体例が、図３（ｂ）や図３（ｃ）に示されている。
【００３８】
図３（ｂ）に示される面状加熱体１１１の均熱板１４１は、間隙領域に重なる部分において、Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側に掘り込まれた溝１４ｄを有する。このため、この部分では、均熱板１４の厚さが薄くなって、熱伝導性が低下し、電力が印加された発熱部（第３発熱部Ｈ３）からの熱が、間隙領域を介して隣に位置する発熱部（第２発熱部Ｈ２および第４発熱部Ｈ４）に伝わることが抑制される。
【００３９】
図３（ｃ）に示される面状加熱体１１２の均熱板１４２は、間隙領域に重なる部分において、Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側に貫通溝１４ｔを有する。このため、この部分では、発熱部（第３発熱部Ｈ３）に電力が印加されると、均熱板１４２における発熱部（第３発熱部Ｈ３）に重なる部分１４ｂに熱が蓄積され、この部分から放出された熱が貫通溝１４ｔ内の空気を伝わって間隙領域に伝搬する。したがって、電力が印加された発熱部（第３発熱部Ｈ３）からの熱が、均熱板１４の内部を伝わって隣に位置する発熱部（第２発熱部Ｈ２および第４発熱部Ｈ４）に伝わることが抑制される。なお、均熱板１４２の構成の場合には、均熱板１４２における発熱部に重なる部分１４ｂは、放熱部材としても機能させることができる。すなわち、発熱部への電力印加が終了した場合には、上記部分１４ｂからＺ１−Ｚ２方向Ｚ１側へと発熱部に残留する熱が放出され、発熱部の温度を速やかに低下させることができる。
【００４０】
以上説明した面状加熱体１１では、第１発熱部Ｈ１などの発熱部よりも、発熱部に電気的に接続される接続部（Ｃ１１１など）の方が接触面１１Ａに近位になるように配置されているが、これに限定されない。発熱部が接続部よりも接触面１１Ａに近位になるように配置されていてもよい。
【００４１】
また、間隙領域の熱伝導性を低下させるための溝１４ｄや貫通溝１４ｔの幅（Ｙ１−Ｙ２方向長さ）は、求める間隙領域の熱伝導性や均熱板１４によって均熱化させたい領域の大きさに応じて適宜設定される。上記の具体例では、溝１４ｄや貫通溝１４ｔの幅は間隙領域の幅とほぼ等しく設定されているが、これに限定されず、溝１４ｄや貫通溝１４ｔの幅を間隙領域の幅との対比で狭めてもよいし、逆に広げてもよい。
【００４２】
面状加熱体１１の製造方法は限定されないが、次に説明する方法によれば、高機能な面状加熱体１１を効率的に製造することができる。図４は、図３（ａ）に示される構造を有する面状加熱体の製造方法を説明する図である。図４（ａ）は、ガラス基板を用意した状態を示す図である。図４（ｂ）は、配線および外部接続電極を形成するための材料が印刷された状態を示す図である。図４（ｃ）は、発熱部を形成するための材料が印刷された状態を示す図である。図５は、図３（ａ）に示される構造を有する面状加熱体の製造方法を説明する図である。図５（ｄ）は、保護層が形成された状態を示す図である。図５（ｅ）は、均熱板が設けられて図３（ａ）に示される構造が上下反転して形成された状態を示す図である。
【００４３】
本発明の一実施形態に係る面状加熱体１１の製造方法は、板状部材１２を発熱部などを製造する際の基板として用いる。このように製造すると、最終的に得られる面状加熱体１１は、使用の際の配置とは上下反転した状態で製造される。したがって、図４および図５では、座標系を、図３（ａ）に示される面状加熱体１１の座標系に合わせている。
【００４４】
まず、図４（ａ）に示されるように、板状部材１２を用意する。板状部材１２は、ガラス基板などを用いればよく、両主面の平滑性が高い部材を容易に用意することができる。板状部材１２の主面が最終的には面状加熱体１１の接触面１１Ａとなり、この面は平滑面であることが好ましい。したがって、平滑面が得られやすい板状部材１２の一方の主面１２Ａに他の構成要素を積層して製造することにより、板状部材１２の他方の主面１２Ｂを面状加熱体１１の接触面１１Ａとすることができる。
【００４５】
次に、印刷技術を用いて、配線および外部接続電極を形成するための材料の印刷パターンを板状部材１２の一方の主面１２Ａ上に形成する。この際に用いられる材料の例としては、銀ペーストなど導電性材料が含まれる材料が挙げられる。図４（ｂ）は図２のＶ１−Ｖ１線に対応する線での断面であるから、第１発熱部Ｈ１の配線Ｗ１１、接続部Ｃｃ１２，Ｃｃ２２を含む配線Ｗｃ１、第２発熱部Ｈ２の配線Ｗ２１、第３発熱部Ｈ３の配線Ｗ３１、接続部Ｃｃ３２，Ｃｃ４２を含む配線Ｗｃ２および第４発熱部Ｈ４の配線Ｗ４１を与える印刷層が形成されている。これらの印刷層を焼成することにより、対応する配線および外部接続電極が形成される。
【００４６】
続いて、やはり印刷技術を用いて、発熱部を形成するための材料の印刷パターンを、配線や外部接続電極が形成された板状部材１２上に形成する。図４（ｃ）には、第１発熱部Ｈ１から第４発熱部Ｈ４を与える印刷層が形成されている。これらの印刷層を焼成することにより、対応する発熱部が形成される。
【００４７】
こうして配線および外部接続電極ならびに発熱部が形成されたら、これらを保護する目的で、絶縁性の材料による保護層１３を形成する（図５（ｄ））。保護層１３を形成するための材料を全面印刷し、その後焼成することによって、保護層１３が得られる。このとき、板状部材１２の主面は平滑であっても、その上に配線および外部接続電極ならびに発熱部が形成されているため、保護層１３の表面を、板状部材１２の主面ほど平滑に形成することは実質的に困難である。したがって、次の均熱板１４と対向させる面をこの保護層１３の表面とすることにより、板状部材１２の他方の主面１２Ｂが面状加熱体１１の接触面１１Ａとなって、その平滑性を高めることが容易となる。
【００４８】
上記のように、保護層１３の表面に均熱板１４を対向させて、均熱板１４を固定させる。均熱板１４の固定方法は任意である。例えば、接着剤を用いてもよい。こうして、図５（ｅ）に示される構造が得られる。この構造は、前述のように、図３（ａ）に示される面状加熱体１１の上下が反転した構造である。
【００４９】
以上の説明では、一例として、板状部材１２の一方の主面１２Ａの上に、まず、配線を形成するための材料の印刷パターンを形成し、続いて、発熱部を形成するための材料の印刷パターンを形成したが、これに限定されない。板状部材１２の一方の主面１２Ａの上に、発熱部を形成するための材料の印刷パターンを先に形成し、続いて、配線を形成するための材料の印刷パターンを形成してもよい。配線を形成するための材料の導電性が比較的低く、配線部の厚さ（Ｚ１−Ｚ２方向長さ）をある程度大きくしなければならない場合には、配線部の上に形成される発熱部において断線が生じる可能性を低減させる観点から、発熱部、配線部の順番で製造することが好ましい。配線を形成するための材料の導電性が十分に高く、配線部の厚さを薄くできる場合には、配線部の断線が生じる可能性を低減させる観点から、前述のように、配線部、発熱部の順番で製造することが好ましい。
【００５０】
図６（ａ）は、本発明の他の一実施形態に係る面状加熱体の構造を概念的に示す部分拡大図である。図６（ｂ）は、その変形例の構造を概念的に示す部分拡大図である。
【００５１】
図６（ａ）に示されるように、本発明の他の一実施形態に係る面状加熱体１１３は、各発熱部が直列に接続される２つの部分発熱部を備える。図６（ａ）には第１発熱部Ｈ１、第２発熱部Ｈ２、第３発熱部Ｈ３および第４発熱部Ｈ４までが示されている。これらのうち第１発熱部Ｈ１を例として説明すると、第１発熱部Ｈ１は、Ｘ１−Ｘ２方向に延びるライン状の形状を有する第１部分発熱部Ｈ１１と、第１部分発熱部Ｈ１１と同様にＸ１−Ｘ２方向に延びるライン状の形状を有する第２部分発熱部Ｈ１２とを有し、これらの部分発熱部はＹ１−Ｙ２方向に並んで配置されている。第１部分発熱部Ｈ１１と第２部分発熱部Ｈ１２とは、Ｘ１−Ｘ２方向Ｘ１側端部において、接続配線ＣＰ１により直列に接続され、第１部分発熱部Ｈ１１のＸ１−Ｘ２方向Ｘ２側端部には配線Ｗ１１が接続され、さらにその先に外部接続電極Ｅ１１が接続されている。第２部分発熱部Ｈ１２のＸ１−Ｘ２方向Ｘ２側端部には配線Ｗ１２が接続され、さらにその先に外部接続電極Ｅ１２が接続されている。
【００５２】
したがって、外部接続電極Ｅ１１と外部接続電極Ｅ１２との間に電力を印加すると、第１部分発熱部Ｈ１１およびこれに直列に接続される第２部分発熱部Ｈ１２に電流が流れて、第１発熱部Ｈ１は加熱される。第２発熱部Ｈ２以降は同様の構造なので、説明を省略する。面状加熱体１１３が有する各発熱部の構造は比較的簡素なので、面状加熱体１１３は小型化、ファインピッチ化に対応しやすい。図６（ｂ）に示される面状加熱体１１４のように、隣り合う２つの発熱部について、外部接続電極の一方を共通化とすれば（具体的には、外部接続電極Ｅｃ１が例示される。）、さらなる小型化やファインピッチ化が可能となり、好ましい。なお、面状加熱体１１４において、共通化された外部接続電極（例えば外部接続電極Ｅｃ１）に接続される隣り合う２つの発熱部の配線（例えば第１発熱部Ｈ１および第２発熱部Ｈ２の場合には配線Ｗ１２および配線Ｗ２２）の一部または全部を共通化してもよい。さらに、隣り合う２つの部分発熱部（例えば第１発熱部Ｈ１の第２部分発熱部Ｈ１２および第２発熱部Ｈ２の第２部分発熱部Ｈ２２）を共通化してもよい。
【００５３】
図７（ａ）は、本発明の別の一実施形態に係る面状加熱体の構造を概念的に示す部分拡大図である。図７（ｂ）は、その変形例の構造を概念的に示す部分拡大図である。図７（ａ）に示される面状加熱体１１５は、これまで説明してきた面状加熱体１１から面状加熱体１１４とは異なり、各発熱部（例えば第１発熱部Ｈ１）の一部のみを加熱することができる。したがって、加熱領域を細かくしたり、加熱領域の形状精度を高めたりすることができる。以下、面状加熱体１１５の第１発熱部Ｈ１を例として説明する。
【００５４】
第１発熱部Ｈ１の一方の配線Ｗ１１は、第１発熱部Ｈ１のＹ１−Ｙ２方向Ｙ２側にて、第１発熱部Ｈ１に沿ってＸ１−Ｘ２方向に延びている部分と、この部分からＹ１−Ｙ２方向Ｙ１側に延びて第１発熱部Ｈ１と電気的に接続される複数の接続部Ｃ１１１，Ｃ１１２，Ｃ１１３，Ｃ１１４，Ｃ１１５とを有する。配線Ｗ１１は外部接続電極Ｅ１１に接続されている。
【００５５】
第１発熱部Ｈ１の他方の配線は、複数の配線Ｗ１２１，Ｗ１２２，Ｗ１２３，Ｗ１２４からなり、いずれも、第１発熱部Ｈ１のＹ１−Ｙ２方向Ｙ１側に位置する。配線Ｗ１２１は、配線Ｗ１１の接続部Ｃ１１１とＣ１１２との間で、Ｙ１−Ｙ２方向に延びる接続部Ｃ１２１において第１発熱部Ｈ１と接続している。配線Ｗ１２１は外部接続電極Ｅ１２１に接続される。配線Ｗ１２２は、配線Ｗ１１の接続部Ｃ１１２とＣ１１３との間で、Ｙ１−Ｙ２方向に延びる接続部Ｃ１２２において第１発熱部Ｈ１と接続している。配線Ｗ１２２は外部接続電極Ｅ１２２に接続される。配線Ｗ１２３は、配線Ｗ１１の接続部Ｃ１１３とＣ１１４との間で、Ｙ１−Ｙ２方向に延びる接続部Ｃ１２３において第１発熱部Ｈ１と接続している。配線Ｗ１２３は外部接続電極Ｅ１２３に接続される。配線Ｗ１２４は、配線Ｗ１１の接続部Ｃ１１４とＣ１１５との間で、Ｙ１−Ｙ２方向に延びる接続部Ｃ１２４において第１発熱部Ｈ１と接続している。配線Ｗ１２４は外部接続電極Ｅ１２４に接続される。
【００５６】
したがって、外部接続電極Ｅ１１と外部接続電極Ｅ１２１との間で電力を印加すると、第１発熱部Ｈ１における接続部Ｃ１１１と接続部Ｃ１２１との間に位置する部分および接続部Ｃ１１２と接続部Ｃ１２１との間に位置する部分で電流が流れて、接続部Ｃ１１１と接続部Ｃ１１２との間に位置する部分Ｈ１ａにおいて発熱する。このとき、第１発熱部Ｈ１の他の部分、具体的には接続部Ｃ１１２よりもＸ１−Ｘ２方向Ｘ１側には電流が流れず、発熱が生じない。同様に、外部接続電極Ｅ１１と外部接続電極Ｅ１２２との間で電力を印加すると、第１発熱部Ｈ１における接続部Ｃ１１２と接続部Ｃ１１３との間に位置する部分Ｈ１ｂにおいて発熱する。外部接続電極Ｅ１１と外部接続電極Ｅ１２３との間で電力を印加すると、第１発熱部Ｈ１における接続部Ｃ１１３と接続部Ｃ１１４との間に位置する部分Ｈ１ｃにおいて発熱する。外部接続電極Ｅ１１と外部接続電極Ｅ１２４との間で電力を印加すると、第１発熱部Ｈ１における接続部Ｃ１１４と接続部Ｃ１１５との間に位置する部分Ｈ１ｄにおいて発熱する。
【００５７】
このように、面状加熱体１１５では、面状加熱体１１などよりも、加熱領域の細やかな制御が可能となる。
【００５８】
図７（ｂ）に示される面状加熱体１１６では、面状加熱体１１と同様に、第１発熱部Ｈ１と第２発熱部Ｈ２とで、配線および外部接続電極の共通化が行われている。第１発熱部Ｈ１を例として説明すれば、接続部Ｃ１１１，Ｃ１１２，Ｃ１１３，Ｃ１１４，Ｃ１１５を有する一方の配線Ｗ１１および外部接続電極Ｅ１１の構造は、図７（ａ）に示される面状加熱体１１５に等しいが、他方の配線を構成する複数の配線Ｗ１２１，Ｗ１２２，Ｗ１２３，Ｗ１２４は、第１発熱部Ｈ１などが配置される面からＺ１−Ｚ２方向Ｚ１側に埋設されている点が異なる。また、各配線は第１発熱部Ｈ１との接続部が、面状加熱体１１の場合と同様に、第２発熱部Ｈ２側にも伸びている。
【００５９】
具体的には、配線Ｗ１２１は、接続部Ｃ１１１と接続部Ｃ１１２との間に位置して第１発熱部Ｈ１に接続される接続部Ｃｃ１１を有するとともに、接続部Ｃ１２１と接続部Ｃ１２２との間に位置して第１発熱部Ｈ１に接続される接続部Ｃｃ２１を有する。配線Ｗ１２１は外部接続電極Ｅｃ１１に接続される。配線Ｗ１２２は、接続部Ｃ１１２と接続部Ｃ１１３との間に位置して第１発熱部Ｈ１に接続される接続部Ｃｃ１２を有するとともに、接続部Ｃ１２２と接続部Ｃ１２３との間に位置して第２発熱部Ｈ２に接続される接続部Ｃｃ２２を有する。配線Ｗ１２２は外部接続電極Ｅｃ１２に接続される。配線Ｗ１２３は、接続部Ｃ１１３と接続部Ｃ１１４との間に位置して第１発熱部Ｈ１に接続される接続部Ｃｃ１３を有するとともに、接続部Ｃ１２３と接続部Ｃ１２４との間に位置して第１発熱部Ｈ１に接続される接続部Ｃｃ２３を有する。配線Ｗ１２３は外部接続電極Ｅｃ１３に接続される。配線Ｗ１２４は、接続部Ｃ１１４と接続部Ｃ１１５との間に位置して第１発熱部Ｈ１に接続される接続部Ｃｃ１４を有するとともに、接続部Ｃ１２４と接続部Ｃ１２５との間に位置して第２発熱部Ｈ２に接続される接続部Ｃｃ２４を有する。配線Ｗ１２４は外部接続電極Ｅｃ１４に接続される。なお、接続部Ｃ１２１，Ｃ１２２，Ｃ１２３，Ｃ１２４，Ｃ１２５はいずれも配線Ｗ２１の一部であって、第２発熱部Ｈ２に接続される。配線２１は外部接続電極Ｅ２１に接続される。
【００６０】
したがって、外部接続電極Ｅ１１と外部接続電極Ｅｃ１１との間に電力を印加すると、第１発熱部Ｈ１における接続部Ｃ１１１と接続部Ｃ１１２との間に位置する部分Ｈ１ａが発熱し、外部接続電極Ｅ２１と外部接続電極Ｅｃ１１との間に電力を印加すると、第２発熱部Ｈ２における接続部Ｃ１２１と接続部Ｃ１２２との間に位置する部分Ｈ２ａが発熱する。他の部分（部分Ｈ２ｂ，Ｈ２ｃ，Ｈ２ｄ）も同様である。このように配線および外部接続電極を共通化することにより、隣り合う２つの発熱部の間隔を狭めることができる。
【００６１】
図８は、本発明のまた別の一実施形態に係る面状加熱体の構造を説明するための概念図である。図８（ａ）は、発熱部および配線を説明するための図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）のＶ２−Ｖ２線による断面図である。図８（ａ）に示されるように、面状加熱体１１７では、発熱部は１枚のシート状発熱部ＨＳを備え、配線の接続部が部分的にシート状発熱部ＨＳに接続することによって、複数の発熱部が区画されている。図８（ａ）には、第１発熱部Ｈ１、第２発熱部Ｈ２、第３発熱部Ｈ３および第ｎ発熱部Ｈｎが示されている。発熱部のそれぞれについて、配線の接続部が部分的に異なった位置に接続するため、いずれの発熱部も分割加熱が可能となっている。
【００６２】
例えば、シート状発熱部ＨＳのＹ１−Ｙ２方向Ｙ２側でＸ１−Ｘ２方向に長い３つの接続部Ｃ１１１，Ｃ１１２，Ｃ１１３がＸ１−Ｘ２方向に並び、これらの接続部に対してＹ１−Ｙ２方向Ｙ１側に対向するように、Ｘ１−Ｘ２方向に長い接続部Ｃｃ１が位置する。シート状発熱部ＨＳにおける、これらの接続部Ｃ１１１，Ｃ１１２，Ｃ１１３と接続部Ｃｃ１との間に位置する領域が、第１発熱部Ｈ１となる。同様に、第２発熱部Ｈ２は、シート状発熱部ＨＳにおける、Ｘ１−Ｘ２方向に並ぶ３つの接続部Ｃ１２１，Ｃ１２２，Ｃ１２３と接続部Ｃｃ１との間に位置する領域である。
【００６３】
接続部Ｃ１１１は配線Ｗ１１１の一部であって、配線Ｗ１１１は外部接続電極Ｅ１１１に接続される。接続部Ｃ１１２は配線Ｗ１１２の一部であって、配線Ｗ１１２は外部接続電極Ｅ１１２に接続される。接続部Ｃ１１３は配線Ｗ１１３の一部であって、配線Ｗ１１３は外部接続電極Ｅ１１３に接続される。接続部Ｃｃ１は配線Ｗｃ１の一部であって、配線Ｗｃ１は外部接続電極Ｅｃ１に接続される。
【００６４】
外部接続電極Ｅ１１１と外部接続電極Ｅｃ１との間に電力を印加することによって、第１発熱部Ｈ１において、Ｙ１−Ｙ２方向で対向する接続部Ｃ１１１と接続部Ｃｃ１との間に位置する部分Ｈ１ｘが発熱する。外部接続電極Ｅ１１２と外部接続電極Ｅｃ１との間に電力を印加することによって、第１発熱部Ｈ１において、Ｙ１−Ｙ２方向で対向する接続部Ｃ１１２と接続部Ｃｃ１との間に位置する部分Ｈ１ｙが発熱する。外部接続電極Ｅ１１３と外部接続電極Ｅｃ１との間に電力を印加することによって、第１発熱部Ｈ１において、Ｙ１−Ｙ２方向で対向する接続部Ｃ１１３と接続部Ｃｃ１との間に位置する部分Ｈ１ｚが発熱する。こうして、外部接続電極Ｅｃ１と、外部接続電極Ｅ１１１から外部接続電極Ｅ１１３のいずれかとの間に電力を印加することによって、第１発熱部Ｈ１を部分加熱することができる。
【００６５】
同様に、第２発熱部Ｈ２は、外部接続電極Ｅｃ１と、外部接続電極Ｅ２１１、外部接続電極Ｅ２１２および外部接続電極Ｅ２１３のいずれかとの間に電力を印加することによって、部分加熱することができる。第３発熱部Ｈ３以降も同様であるから説明を省略する。
【００６６】
面状加熱体１１７は図８（ｂ）に示されるような断面構造を有する。板状部材１２の一方（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ１側）の主面にシート状発熱部ＨＳが設けられ、シート状発熱部ＨＳのＺ１−Ｚ２方向Ｚ１側に、配線（図８（ｂ）では接続部Ｃ２１１，Ｃ２１２，Ｃ２１３を含む配線Ｗ２１１，Ｗ２１２，Ｗ２１３）が配置される。図８（ｂ）に示される配線は３回の印刷を含むプロセスによって形成可能であって、配線におけるＸ１−Ｘ２方向に延びる部分（図８（ｂ）では配線Ｗ１２３の一部Ｗｐ）を印刷によって形成できるように、保護層１３は、２つの層、すなわち、第１保護層１３ａ、第２保護層１３ｂからなる。外部接続電極Ｅ２１１も多層印刷を含むプロセスによって形成される。
【００６７】
続いて、上記の本発明の一実施形態に係る面状加熱体（面状加熱体１１）を用いた加熱方法を説明する。
【００６８】
図９は、本発明の一実施形態に係る面状加熱体による加熱方法の一例を説明するための図である。図９（ａ）は、各発熱部への電力印加のタイミングチャートである。図９（ｂ）は、各発熱部の温度の時間変化を示すグラフであり、図９（ｃ）は、各時間での面状加熱体の加熱状態（発熱面における加熱領域の様子）を示す図である。なお、図９（ｃ）および後述する図１０（ｃ）では、各発熱部に対応する領域の温度を、濃淡により示している。すなわち、発熱部が発熱しておらず室温程度の温度である場合には黒で示し、発熱部が発熱して所定の温度（温度Ｔ１）に到達している場合には白で示し、その間の温度の場合には、斜線のハッチングで示している。
【００６９】
面状加熱体１１の加熱方法では、Ｙ１−Ｙ２方向に並んで配置される複数の発熱部（第１発熱部Ｈ１、第２発熱部Ｈ２、第３発熱部Ｈ３など）のそれぞれを、並び方向（Ｙ１−Ｙ２方向）に順次所定時間加熱させて、発熱面ＨＡにおける加熱された領域（加熱領域）を所定の向き（例えばＹ１−Ｙ２方向Ｙ１側の向き）に移動させる加熱領域移動制御を行う。
【００７０】
以下、第１発熱部Ｈ１、第２発熱部Ｈ２および第３発熱部Ｈ３による加熱領域移動制御を例として説明する。図９（ａ）に示されるように、時間ｔ０では第１発熱部Ｈ１、第２発熱部Ｈ２および第３発熱部Ｈ３のいずれに対しても、電力は印加されていない。まず、時間ｔ１において、第１発熱部Ｈ１に対する電力の印加を開始すると、第１発熱部Ｈ１が発熱し、時間ｔ１から所定の時間が経過した時間ｔ１１では、図９（ｂ）および図９（ｃ）に示されるように、第１発熱部Ｈ１に対応する領域は所定の温度Ｔ１となる。したがって、時間ｔ１１では、第１発熱部Ｈ１に対応する領域が加熱領域となり、第２発熱部Ｈ２および第３発熱部Ｈ３に対応する領域は加熱領域とならない。
【００７１】
時間ｔ２において、第１発熱部Ｈ１への電力印加を停止するとともに、第２発熱部Ｈ２への電力印加を開始する。その結果、時間ｔ２から所定の時間が経過した時間ｔ２１では、第１発熱部Ｈ１に対応する領域は室温に近い温度Ｔ２まで低下し、第２発熱部Ｈ２に対応する領域は所定の温度Ｔ１に到達している。したがって、時間ｔ２１では、加熱領域は、実質的に第２発熱部Ｈ２に対応する領域からなる。
【００７２】
時間ｔ３において、第２発熱部Ｈ２への電力印加を停止するとともに、第３発熱部Ｈ３への電力印加を開始する。その結果、時間ｔ３から所定の時間が経過した時間ｔ３１では、第１発熱部Ｈ１に対応する領域は室温であり、第２発熱部Ｈ２に対応する領域は温度Ｔ２まで低下し、第３発熱部Ｈ３に対応する領域は所定の温度Ｔ１に到達している。したがって、時間ｔ３１では、加熱領域は、実質的に第３発熱部Ｈ３に対応する領域からなる。なお、時間ｔ４では、第３発熱部Ｈ３への電力印加を停止する。
【００７３】
このように、Ｙ１−Ｙ２方向に並んで配置される第１発熱部Ｈ１、第２発熱部Ｈ２および第３発熱部Ｈ３のそれぞれを、並び方向であるＹ１−Ｙ２方向に順次所定時間加熱させることにより、発熱面ＨＡにおける加熱領域をＹ１−Ｙ２方向Ｙ１側の向きに移動させる加熱領域移動制御を行うことができる。
【００７４】
面状加熱体１１５、面状加熱体１１６および面状加熱体１１７を用いれば、加熱領域をＹ１−Ｙ２方向のみならず、Ｘ１−Ｘ２方向成分を含む方向にも移動させることができる。この加熱領域の移動に合わせて、被加熱体ＯＢに対する印刷、塗布などを行う領域も移動させれば、印刷物、塗布物などの被加熱体ＯＢへの定着を効率的に行うことができる。すなわち、熱により被加熱体ＯＢに定着する材料が被加熱体に供給される領域の移動に対応して、発熱面ＨＡの加熱された領域（加熱領域）を移動させることにより、熱により被加熱体ＯＢに定着する材料の被加熱体ＯＢへの定着を効率的に行うことが可能である。
【００７５】
上記の面状加熱体の加熱方法において、加熱領域移動制御を行う際に、発熱部の複数を同時に加熱してもよいし、この場合において、同時に加熱される発熱部の複数の加熱温度が相違してもよい。以下、図１０を用いてこの加熱領域移動制御について説明する。図１０は、本発明の一実施形態に係る面状加熱体による加熱方法の他の一例を説明するための図である。図１０（ａ）は、各発熱部への電力印加のタイミングチャートである。図１０（ｂ）は、各発熱部の温度の時間変化を示すグラフである。図１０（ｃ）は、各時間での面状加熱体の加熱状態（発熱面における加熱領域の様子）を示す図である。
【００７６】
図１０（ａ）に示されるように、まず、時間ｔａにおいて、第１発熱部Ｈ１に対して、最終的な強度Ｐ２よりも低い強度Ｐ１で電力の印加を開始すると、第１発熱部Ｈ１が発熱し、時間ｔａから所定の時間が経過した時間ｔａ１では、図１０（ｂ）および図１０（ｃ）に示されるように、第１発熱部Ｈ１に対応する領域は所定の温度Ｔ３となる。したがって、時間ｔａ１では、第１発熱部Ｈ１に対応する領域が加熱領域となり、第２発熱部Ｈ２および第３発熱部Ｈ３に対応する領域は加熱領域とならない。ただし、加熱領域の温度は最終的に到達すべき温度Ｔ１よりも低い温度Ｔ３である。
【００７７】
被加熱体ＯＢが加熱されにくい場合や、印刷・塗布を被加熱体ＯＢに行った際に印刷物や塗布物において吸熱反応が進行する場合などは、被加熱体ＯＢに対して印刷・塗布を行う前に、被加熱体ＯＢをあらかじめある程度加熱しておくことが好ましい場合がある。このようなプレヒートが必要とされる場合には、図１０に示されるように、本来加熱を開始すべきである時間ｔ１よりも前から、第１発熱部Ｈ１に対応する領域を予備加熱領域としておけばよい。予備加熱領域においてプレヒートを行うことによって、予備加熱領域に連
続する本加熱領域において行われる被加熱体ＯＢの印刷・塗布の定着がより安定的に行われたり、加熱領域全体の移動速度を高めたりすることができる場合がある。
【００７８】
時間ｔ１において、第１発熱部Ｈ１への印加電力を強度Ｐ２へと高め、第２発熱部Ｈ２に対して強度Ｐ１で電力印加を開始する。その結果、時間ｔ１１では、第１発熱部Ｈ１に対応する領域は温度Ｔ１へと上昇している。図９（ｂ）との対比では、強度Ｐ１での電力印加を開始した時間ｔ１から温度Ｔ１に到達するまでの時間が、相対的に短くなっている。したがって、印刷・塗布の開始時間を早めることが可能となっている。一方、第２発熱部Ｈ２に対応する領域は温度Ｔ３に到達してプレヒートが行われている。第３発熱部Ｈ３以降の発熱部は室温である。したがって、時間ｔ１１における加熱領域は、第１発熱部Ｈ１に対応する領域（本加熱領域）と第２発熱部Ｈ２に対応する領域（予備加熱領域）とからなる。このように加熱領域が複数の発熱部に対応する領域からなる場合であっても、面状加熱体１１は均熱板１４を備えるため、隣り合う２つの発熱部の間の部分に対応する領域（間隙領域）で温度が低下しにくい。
【００７９】
時間ｔ２において、第１発熱部Ｈ１への印加電力を強度Ｐ１へと低下させ、第２発熱部Ｈ２への印加電力を強度Ｐ２へと高め、第３発熱部Ｈ３に対して強度Ｐ１で電力印加を開始する。その結果、時間ｔ２１では、第１発熱部Ｈ１に対応する領域は温度Ｔ３へと低下し、第２発熱部Ｈ２に対応する領域は温度Ｔ１に到達し、第３発熱部Ｈ３に対応する領域は温度Ｔ３に到達してプレヒートが行われている。第４発熱部Ｈ４以降の発熱部は室温である。したがって、時間ｔ２における加熱領域は、第１発熱部Ｈ１、第２発熱部Ｈ２および第３発熱部Ｈ３に対応する領域からなり、第２発熱部Ｈ２に対応する領域は本加熱領域であり、第３発熱部Ｈ３に対応する領域は予備加熱領域である。そして、加熱領域において本来の温度で加熱される本加熱領域（第２発熱部Ｈ２に対応する領域）よりも移動後端側（Ｙ１−Ｙ２方向Ｙ２側）の発熱部（第１発熱部Ｈ１）も所定の温度（温度Ｔ３）で加熱され、この第１発熱部Ｈ１に対応する領域は後加熱用領域となっている。印刷物、塗布物などの被加熱体ＯＢへの定着が複数のプロセスを伴う場合（例えば、溶媒の乾燥および重合反応による最終的な印刷物の生成が挙げられる。）などには、このような後加熱用領域を設けることが好ましい場合がある。
【００８０】
時間ｔ３において、第１発熱部Ｈ１への電力印加を停止させ、第２発熱部Ｈ２への印加電力を強度Ｐ１へと低下させ、第３発熱部Ｈ３への印加電力を強度Ｐ２へと高め、図１０（ａ）および図１０（ｂ）では示していない第４発熱部Ｈ４に対して強度Ｐ１で電力印加を開始する。その結果、時間ｔ３１では、時間ｔ２１において第１発熱部Ｈ１から第３発熱部Ｈ３に対応する領域により形成されていた加熱領域は、Ｙ１−Ｙ２方向Ｙ１側に移動し、第２発熱部Ｈ２から第４発熱部Ｈ４に対応する領域により形成される。
【００８１】
このように、Ｙ１−Ｙ２方向に並んで配置される第１発熱部Ｈ１、第２発熱部Ｈ２、第３発熱部Ｈ３および第４発熱部Ｈ４のそれぞれを、複数の発熱部を同時に加熱することを含んで、並び方向であるＹ１−Ｙ２方向に順次所定時間加熱させることにより、発熱面ＨＡにおける加熱領域が複数の発熱部に対応した領域から構成される場合であっても、その加熱領域をＹ１−Ｙ２方向Ｙ１側の向きに移動させる加熱領域移動制御を行うことができる。
【００８２】
以降、図１０（ａ）に基づいて第２発熱部Ｈ２および第３発熱部Ｈ３についてさらに説明すれば、時間ｔ４において、第２発熱部Ｈ２への電力印加を停止させ、第３発熱部Ｈ３への印加電力を強度Ｐ１へと低下させる。時間ｔ５において第３発熱部Ｈ３への電力印加を停止させる。
【００８３】
上記に本実施形態およびその適用例を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、前述の各実施形態またはその変形例に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
【符号の説明】
【００８４】
１００：加熱ステージ装置
１０：加熱ステージ
２０：台
１１，１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７：面状加熱体
１１Ａ：接触面
ＯＢ：被加熱体
１２：板状部材
１２Ａ：板状部材１２の一方の主面
１２Ｂ：板状部材１２の他方の主面
１３：保護層
１３ａ：第１保護層
１３ｂ：第２保護層
１４，１４１，１４２：均熱板
１４ｂ：均熱板１４２における発熱部に重なる部分
１４ｄ：溝
１４ｔ：貫通溝
Ｃ１１１，Ｃ１１２，Ｃ１１３，Ｃ１１４，Ｃ１１５，Ｃ１２１，Ｃ１２２，Ｃ１２３，Ｃ１２４，Ｃ１２５，Ｃｃ１，Ｃ２１１，Ｃ２１２，Ｃ２１３，Ｃｃ１１，Ｃｃ１２，Ｃｃ１３，Ｃｃ１４，Ｃｃ２１，Ｃｃ２２，Ｃｃ２３，Ｃｃ２４，Ｃｃ３２，Ｃｃ４２：接続部
ＣＰ１：接続配線
Ｅ１１，Ｅ１１１，Ｅ１１２，Ｅ１１３，Ｅ１２，Ｅ１２１，Ｅ１２２，Ｅ１２３，Ｅ１２４，Ｅ２１，Ｅ２１１，Ｅ２１２，Ｅ２１３，Ｅ２２，Ｅ３１，Ｅ４１，Ｅｃ１，Ｅｃ１１，Ｅｃ１２，Ｅｃ１３，Ｅｃ１４，Ｅｃ２：外部接続電極
Ｈ１：第１発熱部
Ｈ２：第２発熱部
Ｈ３：第３発熱部
Ｈ４：第４発熱部
Ｈ１０：第１０発熱部
Ｈｎ：第ｎ発熱部
Ｈ１１：第１部分発熱部
Ｈ１２，Ｈ２２：第２部分発熱部
Ｈ１ａ：第１発熱部Ｈ１における接続部Ｃ１１１と接続部Ｃ１１２との間に位置する部分Ｈ１ｂ：第１発熱部Ｈ１における接続部Ｃ１１２と接続部Ｃ１１３との間に位置する部分Ｈ１ｃ：第１発熱部Ｈ１における接続部Ｃ１１３と接続部Ｃ１１４との間に位置する部分Ｈ１ｄ：第１発熱部Ｈ１における接続部Ｃ１１４と接続部Ｃ１１５との間に位置する部分Ｈ２ａ：第２発熱部Ｈ２における接続部Ｃ１２１と接続部Ｃ１２２との間に位置する部分Ｈ２ｂ：第２発熱部Ｈ２における接続部Ｃ１２２と接続部Ｃ１２３との間に位置する部分Ｈ２ｃ：第２発熱部Ｈ２における接続部Ｃ１２３と接続部Ｃ１２４との間に位置する部分Ｈ２ｄ：第２発熱部Ｈ２における接続部Ｃ１２４と接続部Ｃ１２５との間に位置する部分Ｈ１ｘ：第１発熱部Ｈ１における接続部Ｃ１１１と接続部Ｃｃ１との間に位置する部分
Ｈ１ｙ：第１発熱部Ｈ１における接続部Ｃ１１２と接続部Ｃｃ１との間に位置する部分
Ｈ１ｚ：第１発熱部Ｈ１における接続部Ｃ１１３と接続部Ｃｃ１との間に位置する部分
ＨＡ：発熱面
ＨＲ３，ＨＲ４：加熱領域
ＨＳ：シート状発熱部
ＮＲ３４：間隙領域
Ｐ１，Ｐ２：強度
ｔ０，ｔａ，ｔ１，ｔ２，ｔ３，ｔ４，ｔ５，ｔａ１，ｔ１１，ｔ２１，ｔ３１：時間
Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３：温度
Ｗ１１，Ｗ１１１，Ｗ１１２，Ｗ１１３，Ｗ１２，Ｗ１２１，Ｗ１２２，Ｗ１２３，Ｗ１２４，Ｗ２１１，Ｗ２１２，Ｗ２１３，Ｗ２１，Ｗ２２，Ｗ３１，Ｗ４１，Ｗｃ１，Ｗｃ２：配線
Ｗｐ：配線Ｗ１２３の一部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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