【事件の表示】
　特許第３４１２６１１号「弾性表面波装置」の請求項１ないし１３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４１２６１１号の請求項１、２、４、５、７に係る特許を取り消す。
　同請求項３、６、８ないし１３に係る特許を維持する。
【理　由】
第１．手続の経緯
　
　本件特許第３４１２６１１号の請求項１〜１３に係る発明は、平成１２年９月２５日に特許出願され、平成１５年３月２８日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、高谷薫より、その請求項１〜１３に係る特許について特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１６年７月１６日付けで訂正請求書及び意見書が提出されたものである。
　
第２．訂正の適否
　
１．訂正の内容
　
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１に記載された「前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、」を
「前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっており、」に訂正する。
　
訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項１に記載された「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λの整数倍で表したときに、」を
「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、」に訂正する。
　
訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項２に記載された「前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、」を
「前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっており、」に訂正する。
　
訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の請求項２に記載された「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λの整数倍で表したときに、」を
「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、」に訂正する。
　
訂正事項ｅ
　特許請求の範囲の請求項３に記載された「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λの整数倍で表したときに、」を
「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、」に訂正する。
　
訂正事項ｆ
　特許請求の範囲の請求項４に記載された「前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、」を
「前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっており、」に訂正する。
　
訂正事項ｇ
　特許請求の範囲の請求項４に記載された「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λの整数倍で表し、」を
「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化し、」に訂正する。
　
訂正事項ｈ
　特許請求の範囲の請求項５に記載された「前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、」を
「前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっており、」に訂正する。
　
訂正事項ｉ
　特許請求の範囲の請求項５に記載された「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λの整数倍で表し、」を
「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化し、」に訂正する。
　
訂正事項ｊ
　特許請求の範囲の請求項６に記載された「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λの整数倍で表し、」を
「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化し、」に訂正する。
　
訂正事項ｋ
　特許請求の範囲の請求項７に記載された「請求項１〜３に記載の弾性表面波装置。」を
「請求項４〜６に記載の弾性表面波装置。」に訂正する。
　
訂正事項ｌ
　特許請求の範囲の請求項８に記載された「請求項１〜７のいずれかに記載の弾性表面波装置。」を
「請求項６に記載の弾性表面波装置。」に訂正する。
　
訂正事項ｍ
　特許請求の範囲の請求項９に記載された「請求項１〜８のいずれかに記載の弾性表面波装置。」を
「請求項６，８のいずれかに記載の弾性表面波装置。」に訂正する。
　
訂正事項ｎ
　特許請求の範囲の請求項１０に記載された「請求項１〜９のいずれかに記載の弾性表面波装置。」を
「請求項３，６，８，９のいずれかに記載の弾性表面波装置。」に訂正する。
　
訂正事項ｏ
　特許請求の範囲の請求項１１に記載された「請求項１〜１０のいずれかに記載の弾性表面波装置。」を
「請求項３，６，８，９，１０のいずれかに記載の弾性表面波装置。」に訂正する。
　
訂正事項ｐ
　特許請求の範囲の請求項１２に記載された「請求項１〜１１のいずれかに記載の弾性表面波装置」を
「請求項３，６，８，９，１０，１１のいずれかに記載の弾性表面波装置」に訂正する。
　
訂正事項ｑ
　訂正事項ａ及びｂに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書段落【0042】の「前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、」を「前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっており、」に訂正するとともに
　「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λの整数倍で表したときに、」を「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、」に訂正する。
　
訂正事項ｒ
　訂正事項ｃ及びｄに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書段落【0043】の「かつ前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、」を「かつ、前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっており、」に訂正するとともに
　「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λの整数倍で表したときに、」を「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、」に訂正する。
　
訂正事項ｓ
　訂正事項ｅに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書段落【0044】の「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λの整数倍で表したときに、」を「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、」に訂正する。
　
訂正事項ｔ
　訂正事項ｆ及びｇに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書段落【0051】の「第４の発明」における記載の「前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、」を「前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっており、」に訂正するとともに
　「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λの整数倍で表したときに、」を「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、」に訂正する。
　
訂正事項ｕ
　訂正事項ｈ及びｉに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書段落【0051】の「第５の発明」における記載の「かつ、前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、」を「かつ、前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっており、」に訂正するとともに
　「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λの整数倍で表したときに、」を「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、」に訂正する。
　
訂正事項ｖ
　訂正事項ｊに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書段落【0051】の「第６の発明」における記載の「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λの整数倍で表したときに、」を「ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、」に訂正する。
　
訂正事項ｗ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、本件明細書段落【0095】の「但し、Ｍ及びｇの単位は、いずれもλの整数倍として表されているものである。」を「但し、Ｍ及びｇの単位は、いずれもλで基準化して表されているものである。」に訂正する。
　
　
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　
　上記訂正事項ａ，ｃ，ｆ，ｈは、特許請求の範囲の減縮を目的とするもので、第１，第２のバスバー電極の一部の厚みを電極指の厚みよりも厚くすることにより「バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなって」いることに限定するものであり、願書に添付した明細書の【0080】,【0081】の記載に基づくものである。
　上記訂正事項ｂ，ｄ，ｅ，ｇ，ｉ，ｊ，ｗは、「波長λの整数倍で表したとき」とはどのようなことを表現しているのか不明りょうであったのに対して、より明確な表現である「基準化した値」と訂正するものであり、明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。そして、一般に弾性表面波の分野において波長で基準化することは普通に行われていることであり、本願願書に添付した明細書【0093】に「基準化」の記載はないものの、膜厚をλで基準化（正規化）した値が記載されており、図５，図６のグラフの数値に対して図７のグラフの数値は波長λにより基準化（正規化）した値が記載されていることから、「波長λで基準化」することは、願書に添付した明細書または図面に記載された事項の範囲内であるものと認められる。
　上記訂正事項ｋは、明瞭でない記載の釈明を目的とするものであり、「請求項１〜３」を引用していたものを「請求項４〜６」を引用するように訂正するものである。請求項１〜３と請求項４〜６はそれぞれＡｌを主成分とする複数の電極指を備えほぼ同じ構成要素を含み、請求項１〜３は２層目がＡｌであるのに対して請求項４〜６は２層目をＡｌとは異なる金属で形成する点で構成上大きく相違している。訂正事項ｋに該当する、請求項７の構成は“２層目以降が最下層と異なる金属により構成されている”ものであるから、２層目がＡｌである「請求項１〜３」を引用することは矛盾しており、２層目をＡｌとは異なる金属で形成する「請求項４〜６」を引用する方が請求項７に記載されている発明を明瞭に表現していることは明らかである。また、請求項７の構成が記載されている、願書に添付した明細書の【0042】〜【0052】の記載を見ても請求項１〜３を引用する構成ではない。よって、上記訂正事項ｋは、願書に添付した明細書または図面に記載された事項の範囲内のものである。
　上記訂正事項ｌ〜ｐは、各請求項で引用していた請求項の数を減らすものであり、引用する請求項を削除するのであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　上記訂正事項ｑ〜ｖは、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載に整合させるためのものであって、明りょうでない記載の釈明に該当する。
　以上のとおりであって、これら上記訂正事項ａ〜ｗは、いずれも願書に添付した明細書または図面に記載された事項の範囲内のものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し、または変更するものではない。
　
３．むすび
　
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項に規定する訂正の目的を満たすものであり、かつ同条第３項で準用する第１２６条第２、３項の規定に適合する。
　よって、本件訂正請求のとおりの訂正を認める。
　
　
第３．特許異議申立ての理由の概要
　申立人高谷薫は、証拠として甲第１号証（特開２０００−１８３６８０号公報）、甲第２号証（特開平１０−３２４６３号公報）、甲第３号証（特開平１０−２２７６７号公報）を提出し、請求項１，２，４，５，７〜１３に係わる発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされ、さらに、請求項１〜１３に係わる発明の特許はその明細書が特許法第３６条第６項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであり、取り消されるべき旨主張している。
　
　
第４．特許異議の申立てについての判断
１．本件発明
　上記第２に示したとおり、本件に係る訂正が認められるから、本件の請求項１〜１３に係る発明（以下、「本件発明１」、「本件発明２」、・・・「本件発明１３」という。）は、それぞれ、上記訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜１３に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
　
「【請求項１】伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、
　前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、
　前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
　前記弾性表面波の波長をλとしたときに、前記電極指の膜厚が０．０４λ以上であり、かつ、
　前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、
　前記第１，第２のバスバー電極の一部が複数の電極膜を積層した多層構造を有し、それによってバスバー電極の一部が前記電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっており、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、Ａｌからなる２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但し、ｇ０）、該２層目の電極膜の膜厚をＭ、さらに、ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、Ｍ≧０．１５９ｇ−０．０９４の範囲にあることを特徴とする、弾性表面波装置。
【請求項２】　伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、
　前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、
　前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
　前記櫛形電極の電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２としたときに、Ｌ１／（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５であり、かつ前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっており、前記第１，第２のバスバー電極の一部が複数の電極膜を積層した多層構造を有し、それによってバスバー電極の一部が前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、Ａｌからなる２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但し、ｇ０）、該２層目の電極膜の膜厚をＭ、さらに、ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、Ｍ≧０．１５９ｇ−０．０９４の範囲にあることを特徴とする、弾性表面波装置。
【請求項３】　伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、
　前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、
　前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
　前記電極指の膜厚をｈ１、前記電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２、表面波の波長をλとしたときに、下記の式（１）〜（６）のいずれかが満たされており、かつ前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、
　前記第１，第２のバスバー電極の一部が複数の電極膜を積層した多層構造を有し、それによってバスバー電極の一部が前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、Ａｌからなる２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但し、ｇ０）、該２層目の電極膜の膜厚をＭ、さらに、ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、Ｍ≧０．１５９ｇ−０．０９４の範囲にあることを特徴とする、弾性表面波装置。
【数１】
Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５５　かつ　ｈ／λ≧０．１００　・・・(1)
【数２】
Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．６０　かつ　ｈ／λ≧０．０９０　・・・(2)
【数３】
Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．６５　かつ　ｈ／λ≧０．０８０　・・・(3)
【数４】
Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．７０　かつ　ｈ／λ≧０．０７０　・・・(4)
【数５】
Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．７５　かつ　ｈ／λ≧０．０６５　・・・(5)
【数６】
Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．８０　かつ　ｈ／λ≧０．０５５　・・・(6)
　
【請求項４】　伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、
　前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、
　前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
　前記弾性表面波の波長をλとしたときに、前記電極指の膜厚が０．０４λ以上であり、かつ、前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっており、前記第１，第２のバスバー電極の一部が複数の電極膜を積層した多層構造を有し、それによってバスバー電極の一部が前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、
　最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但しｇ０）、該２層目の電極膜厚をＭａ、さらに、ｇ及びＭａを弾性表面波の波長λで基準化し、最下層をＡｌで構成し、２層目をＡｌとは異なる金属で形成し、２層目の金属の密度をｄａ、Ａｌの密度をｄ０とした時、２層目の膜厚Ｍａが、Ｍａ×（ｄ０／ｄａ）≧０．１５９ｇ−０．０９４の範囲であることを特徴とする、弾性表面波装置。
【請求項５】　伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、
　前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、
　前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
　前記櫛形電極の電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２としたときに、Ｌ１／（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５であり、かつ前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっており、前記第１，第２のバスバー電極の一部が複数の電極膜を積層した多層構造を有し、それによってバスバー電極の一部が前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、
　最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但しｇ０）、該２層目の電極膜厚をＭａ、さらに、ｇ及びＭａを弾性表面波の波長λで基準化し、最下層をＡｌで構成し、２層目をＡｌとは異なる金属で形成し、２層目の金属の密度をｄａ、Ａｌの密度をｄ０とした時、２層目の膜厚Ｍａが、Ｍａ×（ｄ０／ｄａ）≧０．１５９ｇ−０．０９４の範囲であることを特徴とする、弾性表面波装置。
【請求項６】　伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、
　前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、
　前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
　前記電極指の膜厚をｈ１、前記電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２、表面波の波長をλとしたときに、下記の式（１）〜（６）のいずれかが満たされており、かつ前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記第１，第２のバスバー電極の一部が複数の電極膜を積層した多層構造を有し、それによってバスバー電極の一部が前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、
　最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但しｇ０）、該２層目の電極膜厚をＭａ、さらに、ｇ及びＭａを弾性表面波の波長λで基準化し、最下層をＡｌで構成し、２層目をＡｌとは異なる金属で形成し、２層目の金属の密度をｄａ、Ａｌの密度をｄ０とした時、２層目の膜厚Ｍａが、Ｍａ×（ｄ０／ｄａ）≧０．１５９ｇ−０．０９４の範囲であることを特徴とする、弾性表面波装置。
【数７】
Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５５　かつ　ｈ／λ≧０．１００　・・・(1)
【数８】
Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．６０　かつ　ｈ／λ≧０．０９０　・・・(2)
【数９】
Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．６５　かつ　ｈ／λ≧０．０８０　・・・(3)
【数１０】
Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．７０　かつ　ｈ／λ≧０．０７０　・・・(4)
【数１１】
Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．７５　かつ　ｈ／λ≧０．０６５　・・・(5)
【数１２】
Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．８０　かつ　ｈ／λ≧０．０５５　・・・(6)
　
【請求項７】　多層構造を有する前記バスバー電極において、最下層の電極膜が、前記電極指と連ねられて形成されており、２層目以降の電極膜が、最下層の電極膜と異なる金属により構成されている、請求項４〜６に記載の弾性表面波装置。
【請求項８】　前記多層構造を有する前記バスバー電極において、該多層構造を構成している最下層の電極膜に比べて、２層目以降の電極膜のうち少なくとも１層が、相対的に高密度の金属により構成されている、請求項６に記載の弾性表面波装置。
【請求項９】　前記多層構造を有する前記バスバー電極において、該多層構造を構成している最下層の電極膜に比べて、２層目以降の金属膜のうち少なくとも１層が、比抵抗が小さく、かつ前記最下層の電極膜よりも厚みが厚い、請求項６，８のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項１０】　前記多層構造を有する前記バスバー電極において、該多層構造を構成している電極膜間に上下の電極膜の導通を確保するようにして絶縁膜が形成されている、請求項３，６，８，９のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項１１】　異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板が、疑似弾性表面波が励振されるＬｉＴａＯ３基板である、請求項３，６，８，９，１０のいずれかに記載の弾性表面波装置。
【請求項１２】　請求項３，６，８，９，１０，１１のいずれかに記載の弾性表面波装置を用いたことを特徴とする、アンテナ共用器。
【請求項１３】　請求項１２に記載のアンテナ共用器を備えることを特徴とする、通信機。」
　　
２．刊行物記載の発明
　
(1)当審が通知した取消しの理由に引用した刊行物１（特開２０００−１８３６８０号公報）（異議申立人高谷薫による甲第１号証）には、第１〜４図とともに次の技術事項が記載されている。
　
（1-1）「電極指の線幅および電極指間隔はそれぞれ約０．５μmになる。」（第２頁右欄第１４，１５行）
　
（1-2）「本発明では、外部接続パッドを、少なくとも２層の金属層が積層された構成とする。例えば図１（ｂ）に示す外部接続パッド３Ｂは、第１金属層３１、第２金属層３２および第３金属層３３をこの順で積層したものであり、他の外部接続パッドも同様な構成である。」（第３頁右欄第３９〜４４行）
　
（1-3）「【００１９】第２金属層３２は、導電バンプによるダメージを抑えるためのものであり、機械的強度の高い金属、例えばＣｒ、Ｔｉ、ＳｉおよびＷの少なくとも１種を含む金属から構成することが好ましく、特にＣｒまたはこれを含む金属から構成することが好ましい。
【００２０】第３金属層３３は、導電バンプとの接合性を向上させるために設けるので、このような効果をもつ金属、例えばＡｌ、ＡｕおよびＮｉの少なくとも１種を含む金属から構成することが好ましく、特にＡｌまたはこれを含む金属から構成することが好ましい。」（第４頁左欄第５〜１４行）
　
（1-4）「第１金属層３１表面付近を酸化させ、金属酸化物層５を形成する。」（第４頁左欄第４５，２６行）
　
（1-5）「酸化性雰囲気中において表面に薄くて均質な酸化物層を形成できる金属としては、例えばＡｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｓｃ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｎｉ、Ｗ、Ｚｒ、Ｍｎ、Ｍｏ、Ｆｅ、Ｔａ、Ｃｏ、Ｚｎ、ＶおよびＣｄから選択される少なくとも１種を含む金属が挙げられ、これらのうちではＡｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｓｃ、Ｃｕ、Ｍｇ、ＮｉおよびＷから選択される少なくとも１種を含む金属が好ましい。なお、図示例では、酸化対象である第１金属層３１から交差指型変換器を構成するため、第１金属層３１は、交差指型変換器に適した金属、具体的には少なくともＡｌを含む金属から構成することが好ましい。」（第４頁右欄第３０〜４１行）
　
（1-6）「図１（ｂ）では、外部接続パッド３Ｂにおいて金属酸化物層５を貫いて電流が通る必要があるが、金属酸化物層５は前記したように極めて薄く、また、外部接続パッドが数百マイクロメートル角であって導電路断面積が大きいため、弾性表面波装置としての特性に悪影響を与えることはない。」（第５頁左欄第４５〜５０行）
　
（1-7）「この素子を作製する際には、まず、３６度回転Ｙカットタンタル酸リチウムからなる圧電基板１上に、第１金属層３１として厚さ２１０nmのＡｌ層を形成した。このＡｌ層をパターニングして、弾性表面波共振器、共振器接続パターンおよび外部接続パッド最下層の各パターンを形成した。次いで、空気中において１５０℃で１時間加熱し、金属酸化物層５を形成した。この金属酸化物層の厚さを測定したところ、約５nmであった。次に、第２金属層３２として厚さ５０nmのＣｒ層を形成してパターニングし、外部接続パッド中間層および前記導体の各パターンを形成した。次いで、第３金属層３３として厚さ１０００nmのＡｌ層を形成し、外部接続パッド最上層のパターンを形成した。」（第６頁右欄第３０〜４２行）
　
(2)取消理由で引用した刊行物２（特開平１０−３２４６３号公報）（異議申立人高谷薫による甲第２号証）には、第２図、第１３図、第１４図とともに次の技術事項が記載されている。
　
(2-1)「【０００９】前記したインターデジタルトランスデューサ（以下ＩＤＴと呼ぶ）は前記したように励振部と信号端子部とから構成される。励振部及び信号端子部はアルミニウムＡｌ，金Ａｕ，銅Ｃｕ，チタンＴｉなどの金属材料を用いることが多い。ＩＤＴの励振部は、通常用いられるＩＤＴと同様に一定間隔で配置された複数個の電極指から構成される。
【００１０】電極指は、信号端子部に電気的に接続されたすだれ状の電極と、前記結合部に電気的に接続されたすだれ状の電極であって、これらのすだれ状の電極が交互に一定間隔で配置されることによって表面弾性波を励振する励振部が構成される。前記電極指の幅と、電極指と電極指の間隔は同一長さとしてもよく、たとえば３．２μｍとすることができる。
【００１１】また、前記結合部も、励振部及び信号端子部と同様な金属材料（Ａｌ，Ａｕ，Ｃｕ，Ｔｉ等）を用いることができるが、励振部と異なる金属材料を用いてもよい。たとえば励振部にＡｌ，結合部及び信号端子部にＡｕを用いてもよい。結合部のスリットとは、表面弾性波の伝搬方向について一定の幅を持ち、その伝搬方向とは垂直な方向に細長い格子形状の空間であって、そのスリットの部分は、圧電基板がむき出しとなっている部分をいう。」（第４頁左欄第３１行〜右欄第３行）
　
(2-2)「ＩＤＴの信号端子部５１，５２及び反射器の端子部３２は「信号側バスバー」とも呼ぶ。このような２つの弾性表面波共振器は、金属電極によって形成される結合部５によって音響的に結合される。この結合部５のことを「共通バスバー」と呼ぶ。」（第５頁左欄第２５〜２９行）
　
(2-3)「【００５５】図７，図８，図９に、励振部の幅Ｗと弾性表面波のモードの関係を示す。各図において、横軸はＩＤＴの電極周期λで規格化した励振部の幅であり、縦軸は各モードの弾性表面波の伝搬速度の逆数である。　また、図７，図８，図９において、信号側バスバーを伝搬する弾性表面波の伝搬速度Ｖｂｕｓは、それぞれ３１５６ｍ／ｓ，３１５２ｍ／ｓ，３１４８ｍ／ｓである。いずれの図も励振部の幅を広げると、高次のモードの弾性表面波が現れてくるのがわかる。この高次モードが高周波側のスプリアスとなってフィルタに悪影響を及ぼす。
【００５６】　図７，図８，図９を比較すると、伝搬速度Ｖｂｕｓを遅くすれば、高次モードが出現する励振部の幅が大きいことがわかる。すなわち、端子側バスバー領域を伝搬する弾性表面波の伝搬速度Ｖｂｕｓが遅いほど、規格化した励振部の幅が大きくても高次モードが出現しにくいため、励振部の幅の設計自由度が大きいと言える。
【００５７】一方、励振部の幅が小さい場合には、入出力間の電気的アイソレーションが悪く、フィルタの通過帯域外の減衰特性が劣化する。したがって、端子側バスバー領域を伝搬する弾性表面波の伝搬速度Ｖｂｕｓを遅くすることによって、励振部の幅を大きくしても、高周波スプリアスを抑制することができる。」（第８頁左欄第２９行〜右欄第１行）
　
(2-4)「また、図２に示した第２実施例では、信号側バスバー１３ａ，１３ｂにも同様のグレーティング構造を導入することで信号側バスバーにおける弾性表面波の伝搬速度も遅くさせる実施例を示した。そして、第１実施例では、比帯域幅が改善され、第２実施例では、スプリアスの発生も抑えられることを示した。
【００６６】この他に、結合部又は信号側バスバーにおける金属電極に質量付加を与えることによっても、結合部又は信号側バスバーの弾性表面波の伝搬速度を遅くさせることができる。図１２（ａ）に結合部５５および信号側バスバーの金属電極の膜厚を、すだれ電極等の他の部分の膜厚よりも厚くした実施例，図１２（ｂ）に結合部５５の金属電極の膜厚を厚くした実施例を示す。たとえば図１２（ａ）の場合、ＩＤＴのすだれ電極の膜厚を０．２μｍ，結合部５５および信号側バスバーの膜厚を０．４μｍとする。また図１２（ｂ）の場合、すだれ電極および信号側バスバーの膜厚０．２μｍ、結合部５５の膜厚を０．４μｍとする。これによって、結合部及び／又は信号側バスバーにおける弾性表面波の伝搬速度を８ｍ／ｓ程度遅くすることができる。
【００６７】図１３（ａ）に、信号側バスバーおよび結合部５５の金属電極膜の上に絶縁膜を層荷した実施例，図１３（ｂ）に結合部５５の金属電極膜の上に絶縁膜を層荷した実施例を示す。絶縁膜としては、たとえばＳｉＯ2，ＳｉＮ等を用いればよく、絶縁膜の膜厚は０．１μｍ程度とすればよい。このように絶縁膜を金属電極膜の上に層荷することによっても、その質量負荷効果により、結合部５５又は信号側バスバーにおける弾性表面波の伝搬速度を遅くすることができる。
【００６８】さらに絶縁膜の層荷構造を、図１４（ａ），図１４（ｂ）のようにしてもよい。すなわち、ＩＤＴ２０及び反射器のすべての金属電極膜の上に、絶縁膜を０．１μｍ程度の厚みで層荷し、さらに結合部５５および信号側バスバーの金属電極膜の部分の上にのみ、または結合部５５の金属電極膜の部分の上にのみ、さらに絶縁膜を０．１μｍ程度層荷してもよい。このようにすれば図１３の絶縁膜の層荷方法に比べて、金属膜全体が絶縁膜に被われることになり、金属膜の腐食を起こしにくくできる。
【００６９】また、上記実施例のように、質量負荷効果により、弾性表面波の伝搬速度を遅くするために、結合部及び／又は端子側バスバーの金属材料をＩＤＴのすだれ電極の金属材料と異なるものを用いてもよい。たとえば、ＩＤＴのすだれ電極の金属材料にＡｌを用いた場合、結合部５５又は端子側バスバーの金属材料としてＡｌよりも比重の大きなＣｕ，Ａｕ，Ａｌ−Ｃｕ合金等を用いることができる。」（第９頁左欄第３７行〜右欄第３３行）
　
(3)取消理由で引用した刊行物３（国際公開第９９／０５７８８号パンフレット）には、第５図、第６図とともに次の技術事項が記載されている。
　
(3-1)「図６（ｂ）は、図５を線分Ｂ−Ｂ′で断面したもので、バスバー５３の断面を示している。バスバー５３は、Ａｌを主体とした第１層６１と中間層６２が形成され、さらに、中間層６２上にＡｌを主体とした第２層６３が、たとえば部分的に形成されている。第２層６３の厚さは、第１層６１よりも厚く６００ｎｍとしている。この結果、バスバー５３部分の電気抵抗は、第１層２１のみの場合に比較し約１／５に低減している。したがって、弾性表面波装置の挿入損失が小さくなる。
　図６（ｂ）の場合、第２層６３は中間層６２上に部分的に残っている。しかし、バスバー５３の全体部分に残るようにすることもできる。」（第１６頁第４〜１２行）
　
(4)取消理由で周知慣用の技術として引用した刊行物４（特開平１１−２９８２８６号公報）には第６図及び第７図とともに次の技術事項が記載されている。
　
(4-1)「【０００５】上記のような、導波状態、即ち表面波の振動エネルギーが閉じ込められる状態を形成するためには、いくつかの条件を充たする必要がある。橋本らが「有限厚金属グレーティングを斜め伝搬する弾性表面波の高速解析法」、電子情報通信学会技報、US95-47(1955-09)に示しているように、導波状態を形成するためには、ＩＤＴ電極２０の電極指の垂直方向（主伝搬方向）と表面波の伝搬方向とのなす角度が小さい範囲で、表面波の逆速度面（逆速度とは表面波の位相速度の逆数即ちSlownessを云う）が図７（ａ）に示すように進行方向に凸である場合には、図６に示す内側のグレーティング領域Ａにおける表面波の速度を外側の領域Ｂのそれよりも遅く、また、図７（ｂ）に示すように逆速度面が進行方向に凹である場合には、領域Ｂの速度の方を領域Ａのそれよりも遅くしなければならないことが示されている。
【０００６】例えば、上記の条件が満たされない場合には、励振された表面波が回折のため領域Ｂの外側へ放射され、その変位分布は図６に示す実線βのようになり、表面波のエネルギーを領域Ａに閉じ込めることはできず、導波モードは形成されない。この放射による損失は、導波路が長いほど大きく、共振子であればＱ値の低下、フィルタであれば挿入損失の増加をもたらすことになる。」（第２頁第２欄第３０〜３７行）
　
(4-2)「逆に、表面波の逆速度面が凹となる基板材料を用いる場合、導波状態を形成するためには領域Ｂの速度をグレーティング領域Ａよりも遅くしなければならない。　例えば、上記の橋本の文献中にも示されているように、主伝搬方向の逆速度面が凹となる代表的な圧電基板には３６゜ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ3（または４２゜Ｙカット）があり、この基板は、携帯電話等のＲＦフィルタ用として数多く用いられている。これまでは比較的膜厚の薄い電極を用いてデバイスを構成していたが、インピーダンスを低く抑えロスを低減するために、電極膜厚h/Lが10％にも及ぶような厚い膜厚の共振器型表面波ＲＦフィルタが必要になり、実用化されつつある。しかしながら、前述したように電極膜厚を厚くするとＡ＜Ｂとなり、凹の場合、導波状態を形成することができなくなってしまう。そのためフィルタの挿入損失が増大して所望の特性が得られないという不具合が生じる。このフィルタは無線機のフロントエンドに用いられるため挿入損失への要求は厳しく、挿入損失が大きいと無線機の感度を劣化させるという問題があった。」（第３頁第３欄第１３〜３２行）
　
(4-3)「メタライズ面即ち、バスバーの領域の電極膜厚のみ厚くすることにより、領域Ｂの速度をさらに低下させることが出来るものの、成膜およびフォトリソグラフィーの工程が２度必要になり、製造コストを増加させるので好ましくない。」（第３頁第４欄第４８行〜第４頁第５欄第２行）
　
(5)取消理由で周知慣用の技術として引用した刊行物５（特開平１０−２２７６５号公報）には第１図とともに次の技術事項が記載されている。
　
(5-1)「更に櫛形電極３が交差しない非交差開口部とバスバー４にまたがる形で、誘電体膜として、二酸化シリコン膜６が形成されている。二酸化シリコン膜６は、非交差開口部の表面波音速Ｖｆと交差部分の表面波音速Ｖｍとが等しくなる様、スパッタ法により膜厚７００ｎｍに形成されている。ＳＡＷ共振子の電極材料は、Ａｌ−Ｔｉ合金を１００ｎｍ厚でスパッタにより形成されている。また、ワイヤリング用のボンディングパッド２、櫛形電極３を電気的に接続するためのバスバー４は、ワイヤーボンディングの際の信頼性、電極パターンの抵抗分を下げるため、純Ａｌにより６００ｎｍで厚付けしている。」（第３頁第３欄第６〜１７行）
　
(5-2)「本発明によれば、ＳＡＷ共振子の櫛形電極の非交差開口部に、誘電体膜を形成することで、非交差開口部の表面波音速Ｖｆが遅くなり、交差部分の表面波音速Ｖｍと等しくしたため、不要スプリアスが抑圧でき、ＳＡＷ共振子インピーダンス特性、周波数特性の良好なＳＡＷ共振子、およびＳＡＷ共振子型フィルタを提供できる。」（第３頁第４欄第４３〜４９行）
　
３．対比・判断
　最初に、異議申立人が主張する本件請求項１〜１３に係わる発明の特許が特許法第３６条第６項に規定する要件を満たさないとする点について判断する。本件特許明細書の記載は、上記の訂正ａ〜ｗにより明確となったから、本件発明１〜１３は、特許法第３６条第６項に規定する要件を満たさない特許出願に対してされたものであるとすることが出来ない。
　
　次に異議申立人が主張する本件請求項１，２，４，５，７〜１３に係わる発明の特許（すなわち本件発明１，２，４，５，７〜１３）が特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたとする点について判断する。
　
（１）本件発明１について
（対比）
　本件発明１と上記刊行物１に記載された発明とを対比する。
　刊行物１に記載されている構成で(1-7)の「３６度回転Ｙカットタンタル酸リチウムからなる圧電基板」は、「伝搬方向の異方性指数γがγ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板」であり、本件特許明細書の段落【0062】にも「上記異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板としては、疑似弾性表面波が励振されるＬｉＴａＯ3 基板、例えば３６°ＹｃｕｔＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ3 基板が用いられる。」と記載されている。
　また、(1-1)の記載にあるように電極指の線幅および電極指間隔はそれぞれ約０．５μｍであるから、弾性表面波の波長は約２μｍであり、(1-7)の記載にあるように電極指の膜厚が２１０ｎｍであるから、波長λで表すと約０．１０５λとなり、これは本件発明１の構成要件である「電極指の膜厚が０．０４λ以上」に該当する。
　さらに一般に弾性表面波装置は弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められることが望ましいことは明らかであるから、両者は、以下のとおりの一致点及び相違点(i)(ii)を有するものと認められる。
　
（一致点）
「伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、
　前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、
　前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
　前記弾性表面波の波長をλとしたときに、前記電極指の膜厚が０．０４λ以上であり、かつ、
　電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、
　前記電極の一部が複数の電極膜を積層した多層構造を有し、それによって電極の一部が前記電極指の厚みよりも厚くされている、弾性表面波装置。」
　
（相違点）
(i)本件発明１では、“第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、電極指の厚みよりも厚くされており、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっている”のに対し、上記刊行物１に記載の発明は“電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされている”にすぎない点。
(ii)本件発明１では、“多層構造を有するバスバー電極において、最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、Ａｌからなる２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但し、ｇ０）、該２層目の電極膜の膜厚をＭ、さらに、ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、Ｍ≧０．１５９ｇ−０．０９４の範囲にある”のに対して、上記刊行物１にはそのような記載が無い点。
　
（検討）
　まず、相違点(i)について検討するに、上記刊行物２，４及び５に記載されているように、バスバー電極周辺を伝搬する表面波の音速Ｖｍを遅くするために第１，第２のバスバー電極の厚みを電極指の厚みよりも厚くすることは、周知慣用技術であり、上記刊行物４の(4-1)及び(4-2)に示したように、表面波の振動エネルギーを閉じこめるための一つの条件として、３６゜ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ3すなわちγ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板において、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍを電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓより遅くする条件は、すでに知られている。よって、上記刊行物１に記載の発明における、電極の一部を厚くしている弾性表面波素子において、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くするために、上記刊行物２に記載の技術を適用して、第１，第２のバスバー電極の厚みを電極指の厚みよりも厚くすることは、当業者が容易になしえるものと認められる。
　そして、本件発明１において、バスバー電極の全体の厚みを厚くするのではなく一部の厚みのみを厚くする目的は、本件特許明細書及び図面中に記載がないため不明であるものの、本件特許明細書に添付の図５及び図６によるとｇ＝０が最も帯域幅が広い傾向を示しｇの値が大きくなるに従い帯域幅は小さくなり、やがて特許権者が設定する帯域幅より小さくなることから、ｇ＝０が最も有利な構成であることから、バスバー電極を全体的に厚くしなくとも一部の厚みのみを厚くするだけ（ｇ＞０）で目的である「バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くすること」を達成できるとするものと推定できる。しかし、一般に積層構造を持つチップは、作成段階で設計より多少のずれが生じるため、下層より上層を少し小さめに形成することは、周知慣用技術であり、また、設計よりどのくらいはずれた状態で目的とする仕様を達成できるか試みることは当業者であれば通常行われることである。上記刊行物２に記載されているように、金属電極に質量付加を与えることによりバスバー電極を伝搬する表面波の速度を遅くすることはすでに知られた技術であるから、下層の電極に質量を付加させるための上層を下層に比較してより小さい面積としても目的を達成できることは明らかである。また、上記刊行物３にバスバー電極の一部の厚みのみを厚くすること及びバスバー電極の全体を厚くする構成がどちらも記載されている。以上のことから、バスバー電極の一部のみを厚くする構成は、当業者が実施に当たり適宜設計する程度の設計的事項である。
　また、相違点(ii)の式による限定は、技術的根拠は特になく、目的とする仕様を満足するためにどの程度までギャップｇを長くとれるかを示しているに過ぎず、本件特許においても設定されている仕様（周波数帯域）を異ならせると相違点(ii)の式の数値が異なってくることは明らかである。刊行物２に記載されているバスバー電極全体の厚さを厚くする構成、つまりギャップ長を０とする構成が最も有利な構成であり、バスバー電極全体の厚さを厚くする構成からどのくらいずれても目的の仕様を満たすかは、当業者であれば当然考慮すべき事柄である。よって、この相違点(ii)の式に格別の困難性は認められない。
　
　したがって、本件発明１は、上記刊行物１〜３に記載された発明に基づいて容易に発明することができたものである。
　
（２）本件発明２について
　本件発明２は、本件発明１の構成である「電極指の膜厚が０．０４λ以上」に代えて「前記櫛形電極の電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２としたときに、Ｌ１／（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５である」の構成を備えるものである。
　しかし、この「前記櫛形電極の電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２としたときに、Ｌ１／（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５である」構成は、上記刊行物１または上記刊行物２に記載されているＬ１／（Ｌ１＋Ｌ２）＝０．５を含むものである。
　よって、本件発明２と上記刊行物１に記載の発明と対比すると、本件発明２で本件発明１より付加した構成は上記刊行物１に記載された発明と一致しており、上記「（１）本件発明１について」で述べた相違点と同じ相違点のみが存在することから、前記本件発明１の結論と同様に、本件発明２は、上記刊行物１〜３に記載された発明に基づいて容易に発明することができたものと認められる。
　
（３）本件発明４について
　本件発明４は、本件発明１の構成である「Ａｌからなる２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但し、ｇ０）、該２層目の電極膜の膜厚をＭ、さらに、ｇ及びＭを弾性表面波の波長λで基準化したときに、Ｍ≧０．１５９ｇ−０．０９４の範囲にある」に代えて「２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但しｇ０）、該２層目の電極膜厚をＭａ、さらに、ｇ及びＭａを弾性表面波の波長λで基準化し、最下層をＡｌで構成し、２層目をＡｌとは異なる金属で形成し、２層目の金属の密度をｄａ、Ａｌの密度をｄ０とした時、２層目の膜厚Ｍａが、Ｍａ×（ｄ０／ｄａ）≧０．１５９ｇ−０．０９４の範囲である」の構成を備えるものである。
　しかし、“最下層をＡｌで構成し、２層目をＡｌとは異なる金属で形成する”構成は、上記刊行物１（上記(1-3)及び(1-7)の記載を参照。）または上記刊行物２（上記(2-1)及び(2-4)の記載を参照。）に記載されている。
　よって、本件発明４と上記刊行物１に記載の発明とを対比すると、下記の相違点(i)及び(ii)について相違しており、その他の点では一致している。
（相違点）
(i)本件発明４では、“第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、電極指の厚みよりも厚くされており、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなっている”のに対し、上記刊行物１に記載の発明は“電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされている”にすぎない点。
(ii)本件発明４では、“２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但しｇ０）、該２層目の電極膜厚をＭａ、さらに、ｇ及びＭａを弾性表面波の波長λで基準化し、最下層をＡｌで構成し、２層目をＡｌとは異なる金属で形成し、２層目の金属の密度をｄａ、Ａｌの密度をｄ０とした時、２層目の膜厚Ｍａが、Ｍａ×（ｄ０／ｄａ）≧０．１５９ｇ−０．０９４の範囲である”のに対して、上記刊行物１にはそのような記載が無い点。
（検討）
　相違点(i)については、上記「（１）本件発明１について」で述べた相違点(i)と同じ相違点であり、上記「（１）本件発明１について」での検討と同じく、この相違点は当業者が容易になしえたものである。
　相違点(ii)については、上記「（１）本件発明１について」で述べた相違点(ii)における式に１層目と２層目の金属の密度比を掛けたものであるが、上記「（１）本件発明１について」で述べたようにこの式に技術的に格別のものはなく、構成上の困難性は認められない。
　
　したがって、本件発明４は、上記刊行物１〜３に記載された発明に基づいて容易に発明することができたものである。
　
（４）本件発明５について
　本件発明５は、本件発明４の構成である「電極指の膜厚が０．０４λ以上」に代えて「前記櫛形電極の電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２としたときに、Ｌ１／（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５である」の構成を備えるものである。
　しかし、この「前記櫛形電極の電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２としたときに、Ｌ１／（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５である」構成は、上記刊行物１または上記刊行物２に記載されているＬ１／（Ｌ１＋Ｌ２）＝０．５を含むものである。
　よって、本件発明５と上記刊行物１に記載の発明とを対比すると、本件発明５と上記刊行物１に記載の発明と対比すると、本件発明５で本件発明４より付加した構成は上記刊行物１に記載された発明と一致しており、上記「（３）本件発明４について」で述べた相違点と同じ相違点のみが存在することから、前記本件発明４の結論と同様に、本件発明５は、上記刊行物１〜３に記載された発明に基づいて容易に発明することができたものと認められる。
　
（５）本件発明７について
　本件発明７は、本件発明４〜６を「多層構造を有する前記バスバー電極において、最下層の電極膜が、前記電極指と連ねられて形成されており、２層目以降の電極膜が、最下層の電極膜と異なる金属により構成されている」点に限定するものである。
　ところが、その限定である「多層構造を有する前記バスバー電極において、最下層の電極膜が、前記電極指と連ねられて形成されており、２層目以降の電極膜が、最下層の電極膜と異なる金属により構成されている」ことは、上記刊行物１（上記(1-3)及び(1-7)の記載を参照。）または上記刊行物２（上記(2-1)及び(2-4)の記載を参照。）に記載されている。
　したがって、本件発明７は、上記刊行物１〜３に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（６）本件発明８〜１３について
　本件発明８〜１３は引用する請求項が、異議申立人が特許法第２９条第２項の規定に違反したと指摘していない請求項３または６を基とするものとなった。よって、特許法２９条第２項の規定に違反してなされたものではなくなった。
　
（７）まとめ
　本件発明１，２，４，５，７は、取消理由で引用した前記刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　本件発明３，６，８〜１３は、特許法第３６条第６項に規定する要件を満たしており、同法第２９条第２項の規定に違反してなされたものではない。
　
　
第５　むすび
　以上のとおりであるから、本件請求項１，２，４，５，７に係る発明は刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第２号に該当し、特許を取り消すべきものである。
　また、本件請求項３，６，８〜１３に係る特許については、他に取消理由を発見しない。
　よって結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年８月９日（２００４．８．９）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
弾性表面波装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
前記弾性表面波の波長をλとしたときに、前記電極指の膜厚が０．０４λ以上であり、かつ、
前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて
、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなって
で基準化
　【請求項２】　伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、
前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
前記櫛形電極の電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２としたときに、Ｌ１／（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５であり、かつ前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、
前記第１，第２のバスバー電極の一部が複数の電極膜を積層した多層構造を有し、それによってバスバー電極の一部が前記電極指の厚みよりも厚くされて
、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなって
で基準化
　【請求項３】　伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、
前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
前記電極指の膜厚をｈ１、前記電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２、表面波の波長をλとしたときに、下記の式（１）〜（６）のいずれかが満たされており、かつ前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、
前記第１，第２のバスバー電極の一部が複数の電極膜を積層した多層構造を有し、それによってバスバー電極の一部が前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、Ａｌからなる２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但し、ｇ＞０）、該２層目の電極膜の膜厚をＭ、さらに、ｇ及びＭを弾性表面波の波長λ
で基準化
　【数１】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５５かつｈ／λ≧０．１００　・・・（１）
　【数２】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．６０かつｈ／λ≧０．０９０　・・・（２）
　【数３】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．６５かつｈ／λ≧０．０８０　・・・（３）
　【数４】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．７０かつｈ／λ≧０．０７０　・・・（４）
　【数５】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．７５かつｈ／λ≧０．０６５　・・・（５）
　【数６】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．８５かつｈ／λ≧０．０５５　・・・（６）
　【請求項４】　伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、
前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
前記弾性表面波の波長をλとしたときに、前記電極指の膜厚が０．０４λ以上であり、かつ、前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて
、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなって
最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但しｇ＞０）、該２層目の電極膜厚をＭａ、さらに、ｇ及びＭａを弾性表面波の波長λ
で基準化
　【請求項５】　伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、
前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
前記櫛形電極の電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２としたときに、Ｌ１／（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５であり、かつ前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて
、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなって
最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但しｇ＞０）、該２層目の電極膜厚をＭａ、さらに、ｇ及びＭａを弾性表面波の波長λ
で基準化
　【請求項６】　伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、
前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、
前記電極指の膜厚をｈ１、前記電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２、表面波の波長をλとしたときに、下記の式（１）〜（６）のいずれかが満たされており、かつ前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記第１，第２のバスバー電極の一部が複数の電極膜を積層した多層構造を有し、それによってバスバー電極の一部が前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、
最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但しｇ＞０）、該２層目の電極膜厚をＭａ、さらに、ｇ及びＭａを弾性表面波の波長λ
で基準化
　【数７】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５５かつｈ／λ≧０．１００　・・・（１）
　【数８】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．６０かつｈ／λ≧０．０９０　・・・（２）
　【数９】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．６５かつｈ／λ≧０．０８０　・・・（３）
　【数１０】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．７０かつｈ／λ≧０．０７０　・・・（４）
　【数１１】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．７５かつｈ／λ≧０．０６５　・・・（５）
　【数１２】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．８５かつｈ／λ≧０．０５５　・・・（６）
　【請求項７】　多層構造を有する前記バスバー電極において、最下層の電極膜が、前記電極指と連ねられて形成されており、２層目以降の電極膜が、最下層の電極膜と異なる金属により構成されている、請求項
４〜６
　【請求項８】　前記多層構造を有する前記バスバー電極において、該多層構造を構成している最下層の電極膜に比べて、２層目以降の電極膜のうち少なくとも１層が、相対的に高密度の金属により構成されている、請求項
６
　【請求項９】　前記多層構造を有する前記バスバー電極において、該多層構造を構成している最下層の電極膜に比べて、２層目以降の金属膜のうち少なくとも１層が、比抵抗が小さく、かつ前記最下層の電極膜よりも厚みが厚い、請求項
６，
　【請求項１０】　前記多層構造を有する前記バスバー電極において、該多層構造を構成している電極膜間に上下の電極膜の導通を確保するようにして絶縁膜が形成されている、請求項
３，６，８，
　【請求項１１】　異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板が、疑似弾性表面波が励振されるＬｉＴａＯ３基板である、請求項
３，６，８，９，
　【請求項１２】　請求項
３，６，８，９，１０，
　【請求項１３】　請求項１２に記載のアンテナ共用器を備えることを特徴とする、通信機。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】本発明は、例えば移動体通信機において帯域フィルタとして用いられる弾性表面波フィルタなどの弾性表面波装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】弾性表面波フィルタは、他の誘電体フィルタなどに比べて小型化を図り得るので、移動体通信機の帯域フィルタとして広く用いられている。もっとも、移動体通信機用の帯域フィルタでは、通過帯域において低損失であることが要求される。従って、上記弾性表面波フィルタにおいて、低損失化を図るために様々な工夫がなされている。
　【０００３】例えば、図１５（ａ）に示す一端子対弾性表面波共振子を用いた弾性表面波フィルタが提案されている。ここでは、櫛形電極２０１の表面波伝搬方向両側に、複数本の電極指を有するグレーティング反射器２０２，２０３が配置されており、該反射器２０２，２０３により低損失化が図られている。
　【０００４】また、図１５（ｂ）に示すように、１つの櫛形電極２０５のみからなる弾性表面波共振子も提案されている。ここでは、櫛形電極２０５における電極指の対数が、例えば２００対と多くされており、それによって反射器を設けずとも表面波エネルギーが櫛形電極２０５が設けられている領域にほぼ閉じ込められる。すなわち、多対型のエネルギー閉じ込め型の弾性表面波共振子が構成されている。
　【０００５】また、図１６に示す共振子型弾性表面波フィルタでは、表面波伝搬方向に複数の櫛形電極２０６，２０７が配置されている。櫛形電極２０６，２０７が配置されている領域の表面波伝搬方向両側には、グレーティング反射器２０８，２０９が配置されている。
　【０００６】さらに、上述した図１５（ａ）及び（ｂ）に示したように弾性表面波共振子が複数組み合わされている、梯子型回路を有する弾性表面波フィルタや、ラチス型回路構成を有する弾性表面波フィルタも提案されている。
　【０００７】上記のように、反射器を用いたり、あるいは櫛形電極の電極指の対数を増加させることにより、励振された表面波に基づくエネルギーが閉じ込められ、それによって共振特性のＱを高めたり、損失の低減を図ったりすることができる。
　【０００８】しかしながら、弾性表面波装置の設計に際しては、櫛形電極における電極指の対数や反射器の電極指の本数のような基本的なパラメーターだけでなく、図１７に示す櫛形電極における電極指２１１の幅Ｌ１と櫛形電極における表面波伝搬方向において隣り合う電極指２１１，２１１間のギャップ長Ｌ２との比率、すなわちＬ１／（Ｌ１＋Ｌ２）［以下、ｄｕｔｙと略す］や、櫛形電極の電極膜厚ｈ／λ（但し、λは表面波の波長を示し、ｈ／λはλにより規格化された膜厚を示す）も、電極抵抗、弾性表面波の導波モード及び電極容量などに関わってくる。従って、これらのパラメータも最適化することが重要である。
　【０００９】なお、上記ギャップ長Ｌ２とは、ギャップの表面波伝搬方向に沿う距離をいうものとする。上記のように、従来、弾性表面波フィルタのフィルタ特性を高めるために、様々な工夫がなされている。例えば、特開平７−２８３６８２号公報には、３６°ＹｃｕｔＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ３圧電基板を用いており、かつ表面波伝搬路に対して水平方向のモード結合を利用した縦結合共振子型弾性表面波フィルタが開示されている。ここでは、櫛形電極の電極膜厚を０．０６λ〜０．１０λの範囲とし、かつ櫛形電極のｄｕｔｙを０．６よりも大きくすることにより、オーミック抵抗損が小さくなり、フィルタ特性の急峻性が高められるとされている。
　【００１０】他方、特開平６−１８８６７３号公報には、３６°ＹｃｕｔＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ３基板上に複数の１端子対弾性表面波共振子を形成してなるラダー型弾性表面波フィルタが開示されている。図１８に、このラダー型回路を示す。図１８において、Ｓ１，Ｓ２は直列腕共振子を、Ｐ１〜Ｐ３は並列腕共振子を示す。この先行技術に記載の弾性表面波フィルタでは、櫛形電極の電極膜厚ｈ／λが、０．０４λ〜０．１０λの範囲とされており、それによって不要スプリアスが通過帯域内から除去され、フィルタ特性が改善されるとされている。
　【００１１】上記のように、３６°ＹｃｕｔＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ３基板を使用する場合には、櫛形電極の膜厚を、０．０４λ以上、かつｄｕｔｙを０．５よりも大きくすることにより抵抗損失の低減やスプリアス抑制効果が得られるとされている。
　【００１２】他方、移動体通信システムの高周波化に伴い、用いられる弾性表面波フィルタの周波数は８００ＭＨｚ〜２．５ＧＨｚと高周波化している。弾性表面波の音速は数千ｍ／秒程度であるため、８００ＭＨｚ〜２．５ＧＨｚで動作するように弾性表面波装置を構成した場合、表面波の波長は数μｍ程度と短くなる。従って、櫛形電極や反射器における電極パターンを微細化しなければならない。
　【００１３】そのため、電極膜厚の絶対値が薄く、電極指の幅が細くなり、電極抵抗による損失（オーミック損失）が無視できなくなってきている。また、電極の厚みが薄くなると、電極の強度が低下する。従って、ワイヤーボンディングに耐え得る電極を構成することができなくなる。
　【００１４】そこで、実際に弾性表面波が励振する電極部分以外の電極部分、例えばバスバー電極、引き回し電極、あるいはワイヤーボンディングパッドの膜厚を厚くすることにより、オーミック損失をできるだけ小さくすることにより、損失を低減したり、ワイヤーボンディングに際しての強度を確保する試みがなされている。
　【００１５】例えば、特開昭６２−４７２０６号公報には、弾性表面波が進行する方向に対して垂直方向の成分により音響結合が生じる弾性表面波フィルタにおいて、表面波伝搬方向において隣り合う櫛形電極が共有しているバスバー電極の厚みが、櫛形電極の電極指の厚みに対して厚くされている。その結果、抵抗の低減を図りつつ、音速を制御することにより、良好なフィルタ特性が得られると記載されている。
　【００１６】
　【発明が解決しようとする課題】図１５（ａ）及び（ｂ）に示した弾性表面波共振子や図１６に示した共振子型弾性表面波フィルタでは、表面波が伝搬する方向であるＸ軸方向においては、反射器の電極指の数を増やしたり、櫛形電極の電極指の対数を増やしたりすることにより、ほぼ完全に弾性表面波を反射させてエネルギーを閉じ込めることができる。ところが、弾性表面波は、Ｘ方向成分だけでなく、Ｘ方向に対して垂直な方向、すなわち圧電板の主面に対して垂直な方向であるＹ方向の成分も有しており、該Ｙ方向成分がビーム状に広がりながら表面波が伝搬する。このため、Ｙ軸方向においても表面波のエネルギーを十分に閉じ込めることが必要であり、さもなければ、回折損が増大し、Ｑが劣化する。
　【００１７】他方、音響学会講演論文集３−１−１（１９７９／６）、第７７頁〜第７８頁には、３６°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ３基板では、伝搬方向がＸ軸から角度θずれた際の音速Ｖ（θ）を下記の式で表したときの定数である、異方性指数γが−１よりも小さいことが記載されている。なお、下記の式において、Ｖ０はθが０°の時の音速である。
　【００１８】Ｖ（θ）＝Ｖ０×（１＋γ／２×θ２）
上記異方性指数γが−１より小さい場合には、導波路における速度に対して外側の速度が遅い場合にエネルギーが閉じ込められる。すなわち、櫛形電極の電極指が設けられている部分における弾性表面波の速度をＶｓ、バスバー電極を伝搬する弾性表面波の速度をＶｍとした場合、Ｖｓ／Ｖｍ＞１であることが、エネルギー閉じ込めのための条件である。
　【００１９】ところが、電極指交差領域を伝搬する弾性表面波の速度Ｖｓと、バスバー電極部を伝搬する弾性表面波の速度Ｖｍの比Ｖｓ／Ｖｍは、電極指の膜厚とバスバー電極の膜厚を同一とした場合には、ｄｕｔｙや電極膜厚により大きく変わることが見出された。
　【００２０】すなわち、電極膜厚が薄く、ｄｕｔｙが小さい場合には、Ｖｓ／Ｖｍ＞１を満たすが、電極膜厚を厚くし、ｄｕｔｙを大きくしていった場合には、Ｖｓ／Ｖｍは小さくなる。さらに、ある条件下においては、Ｖｓ＝Ｖｍとなり、それ以上ｄｕｔｙが大きくなったり、あるいは電極膜厚が厚くなったりすると、Ｖｓ／Ｖｍ＜１となり、実質的にＹ軸方向にはエネルギーが閉じこもらないことになる。
　【００２１】図１９に、３６°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ３基板において櫛形電極をＡｌにより形成し、上記ｄｕｔｙを０．５とした場合の、電極膜厚（ｈ／λ）と、Ｖｓ／Ｖｍとの関係を示す。図１９から明らかなように、Ｖｓ／Ｖｍは、電極膜厚ｈ／λが３〜４％、すなわち０．０３〜０．０４程度で最大値をとり、それ以上厚くなると、Ｖｓ／Ｖｍの値が放物線を描きつつ小さくなることがわかる。特に、電極膜厚が０．０６λを超えた所から急激にＶｓ／Ｖｍが小さくなることがわかる。
　【００２２】仮に、バスバー電極のＹ軸方向の長さが無限であれば、Ｖｓ／Ｖｍ＞１を満たしさえずれば、エネルギーは閉じ込められる。しかしながら、バスバー電極のＹ軸方向の長さが有限である場合には、Ｖｓ／Ｖｍが十分に大きくなければ、エネルギー閉じ込め効果は小さくなり、フィルタ特性において損失が増大する。
　【００２３】図２０は、３６°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ３基板において、櫛形電極をＡｌにより構成し、電極膜厚を０．０６λとして固定した場合の、上記ｄｕｔｙと、Ｖｓ／Ｖｍとの関係を示す。
　【００２４】図２０から明らかなように、ｄｕｔｙが小さい場合には、Ｖｓ／Ｖｍが大きくなるものの、ｄｕｔｙが大きくなると、Ｖｓ／Ｖｍが小さくなることがわかる。特に、ｄｕｔｙが０．８を超えると、Ｖｓ／Ｖｍ＜１となり、エネルギー閉じ込め条件が満たされなくなる。
　【００２５】さらに、下記の表１に示すように、ｄｕｔｙと電極膜厚とを様々に変化させた場合のＶｓ／Ｖｍの変化を示す。
　【００２６】
　【表１】
　【００２７】表１から明らかなように、膜厚が厚くなり、かつｄｕｔｙが大きくなるにつれて、Ｖｓ／Ｖｍの値が小さくなることがわかる。特に、下記の式（１）〜（６）を満たす関係、すなわち表１において、太線よりも右側の条件では、Ｖｓ／Ｖｍ＜１となり、実質的にＹ軸方向における導波モードを満たさなくなることがわかる。
　【００２８】
　【数１３】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５５かつｈ／λ≧０．１００　・・・（１）
　【００２９】
　【数１４】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．６０かつｈ／λ≧０．０９０　・・・（２）
　【００３０】
　【数１５】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．６５かつｈ／λ≧０．０８０　・・・（３）
　【００３１】
　【数１６】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．７０かつｈ／λ≧０．０７０　・・・（４）
　【００３２】
　【数１７】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．７５かつｈ／λ≧０．０６５　・・・（５）
　【００３３】
　【数１８】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．８５かつｈ／λ≧０．０５５　・・・（６）
　【００３４】以上のように、図１５（ａ）及び（ｂ）に示した弾性表面波共振子あるいは図１６に示した共振子型弾性表面波フィルタでは、電極膜厚を厚くしたり、上記ｄｕｔｙを大きくすることにより、電極抵抗損失の低減及び不要スプリアスの除去を行うことができ、好ましいと考えられていた。
　【００３５】しかしながら、弾性表面波のＹ軸方向のエネルギー閉じ込め効果に着目すると、電極膜厚が０．０４λで閉じ込め効果が最大となり、０．０４λ以上の電極膜厚ではエネルギー閉じ込め効果が弱くなる。
　【００３６】また、ｄｕｔｙが大きくなる場合にも同様の現象が現れ、ｄｕｔｙが０．５以上となると、エネルギー閉じ込め効果が弱くなる。特に、電極膜厚とｄｕｔｙとの関係がある条件を満たす領域においては、エネルギー閉じ込め条件を満たさなくなり、フィルタ特性における損失が増大することになる。
　【００３７】従って、最大限のエネルギー閉じ込め効果を得ようとするには、電極膜厚は０．０４λ以下、ｄｕｔｙは０．５以下であることが好ましいと考えられる。しかしながら、電極膜厚を薄く、ｄｕｔｙを０．５より小さくすると、別の原因によりフィルタ特性が悪化することが、上述した特開平７−２８３６８２号公報や特開平６−１８８６７３号公報の記載から明らかである。
　【００３８】すなわち、弾性表面波フィルタにおける良好なフィルタ特性を得るための最適な電極構造と、上記Ｙ軸方向におけるエネルギー閉じ込め効果に着目した場合の最適な電極構造は異なっており、両者はトレードオフの関係となっている。
　【００３９】また、特開昭６２−４７２０６号公報によれば、表面波伝搬方向において隣り合う櫛形電極が共有するバスバー電極の厚みを、電極指の厚みより厚くし、特に電極指を伝搬する際の表面波の音速Ｖｓと、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｂと等しくすることにより、櫛形電極同士の音響結合度が高められ、広帯域化を図り得るとされている。
　【００４０】しかしながら、これは、櫛形電極同士が表面波伝搬方向に対して直交する方向に音響結合されるような構成における現象であり、Ｖｓ＝Ｖｂとした場合、上記Ｙ軸方向におけるエネルギー閉じ込め効果は逆に低下することになる。
　【００４１】本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、励振された表面波のエネルギーを効果的に閉じ込めることができ、かつ損失の低減及びフィルタ特性の改善を果たし得る弾性表面波装置を提供することにある。
　【００４２】
　【課題を解決するための手段】本願発明は、上記課題を達成するためになされたものであり、第１の発明は、伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、前記弾性表面波の波長をλとしたときに、前記電極指の膜厚が０．０４λ以上であり、かつ、前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて
、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなって
で基準化
　【００４３】また、第２の発明は、伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、前記櫛形電極の電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２としたときに、Ｌ１／（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５であり、かつ前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて
、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなって
で基準化
　【００４４】第３の発明は、伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、前記電極指の膜厚をｈ１、前記電極指幅をＬ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さをＬ２、表面波の波長をλとしたときに、下記の式（１）〜（６）のいずれかが満たされており、かつ前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記第１，第２のバスバー電極の一部が複数の電極膜を積層した多層構造を有し、それによってバスバー電極の一部が前記電極指の厚みよりも厚くされており、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、最下層の電極膜におけるバスバー電極と電極指との境界部分と、Ａｌからなる２層目の電極膜の電極指側の端縁との間隔をｇ（但し、ｇ＞０）、該２層目の電極膜の膜厚をＭ、さらに、ｇ及びＭを弾性表面波の波長λ
で基準化
　【００４５】
　【数１９】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．５５かつｈ／λ≧０．１００　・・・（１）
　【００４６】
　【数２０】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．６０かつｈ／λ≧０．０９０　・・・（２）
　【００４７】
　【数２１】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．６５かつｈ／λ≧０．０８０　・・・（３）
　【００４８】
　【数２２】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．７０かつｈ／λ≧０．０７０　・・・（４）
　【００４９】
　【数２３】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．７５かつｈ／λ≧０．０６５　・・・（５）
　【００５０】
　【数２４】
　　Ｌ１（Ｌ１＋Ｌ２）≧０．８５かつｈ／λ≧０．０５５　・・・（６）
　【００５１】第４の発明は、伝搬方向の異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板と、前記圧電基板上に形成されており、Ａｌを主成分とする複数本の電極指と、第１，第２のバスバー電極とを有する少なくとも１つの櫛形電極とを備え、前記弾性表面波の伝搬方向に対して垂直な方向に表面波のエネルギーが閉じ込められる弾性表面波装置であって、前記弾性表面波の波長をλとしたときに、前記電極指の膜厚が０．０４λ以上であり、かつ、前記第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、前記電極指の厚みよりも厚くされて
、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなって
で基準化
、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くなって
で基準化
で基準化
　【００５２】本発明のより特定の局面では、多層構造を有する前記バスバー電極において、最下層の電極膜が、前記電極指と連ねられて形成されており、２層目以降の電極膜が、最下層の電極膜と異なる金属により構成されている。
　【００５３】本発明に係る弾性表面波装置のさらに限定的な局面では、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、該多層構造を構成している最下層の電極膜に比べて、２層目以降の電極膜のうち少なくとも１層が、相対的に高密度の金属により構成されている。
　【００５４】本発明に係る弾性表面波装置の他の特定の局面では、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、該多層構造を構成している最下層の電極膜に比べて、２層目以降の金属膜のうち少なくとも１層が、比抵抗が小さく、かつ前記最下層の電極膜よりも厚くされている。
　【００５５】また、本発明に係る弾性表面波装置の他の特定の局面では、前記多層構造を有する前記バスバー電極において、該多層構造を構成している電極膜間に上下の電極膜の導通を確保するようにして絶縁膜が形成されている。
　【００５６】
　【００５７】
　【００５８】
　【００５９】
　【００６０】
　【００６１】
　【００６２】また、上記異方性指数γが、γ＜−１である弾性表面波が励振される圧電基板としては、疑似弾性表面波が励振されるＬｉＴａＯ３基板、例えば３６°ＹｃｕｔＸ方向伝搬ＬｉＴａＯ３基板が用いられる。
　【００６３】本発明の別の局面では、本発明に係る弾性表面波装置を用いたアンテナ共用器が提供される。また、本発明のさらに別の局面では、上記アンテナ共用器を備えた通信機が提供される。
　【００６４】
　【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明の弾性表面波装置の具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。
　【００６５】（第１の実施例）図３は、本発明の第１の実施例に係る弾性表面波装置を示す略図的平面図である。弾性表面波装置１は、矩形の圧電基板２を用いて構成されている。圧電基板２は３６°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ３基板により構成されている。
　【００６６】上記圧電基板２上に複数の一端子対弾性表面波共振子が梯子型回路構成を有するように形成されている。すなわち、直列腕共振子３，４、並列腕共振子５〜７及び電極パッド８〜１２並びにこれらを接続する配線電極が、フォトリソグラフィー及びエッチング工程により形成されている。
　【００６７】本実施例の弾性表面波装置１では、電極パッド８が入力端子、電極パッド９が出力端子として用いられる。入力端子と出力端子との間の直列腕に、上記直列腕共振子３，４が直列に接続されている。また、電極パッド１０〜１２はアース電位に接続される。上記直列腕とアース電位との間に並列腕共振子５〜７がそれぞれ接続され、ラダー型フィルタが構成される。
　【００６８】直列腕共振子３，４及び並列腕共振子５〜７は、いずれも一端子対弾性表面波共振子であり、それぞれ、表面波伝搬方向中央に配置された櫛形電極と、櫛形電極の表面波伝搬方向両側に配置されたグレーティング反射器とを有する。
　【００６９】本実施例では、直列腕共振子３，４の櫛形電極における電極指交差幅は５０μｍ、電極指の対数は１００対、反射器の電極指の本数は１００本である。また、直列腕共振子３，４における電極指間ピッチは２．３１μｍとされており、従って、弾性表面波の波長は４．６３μｍとされている。直列腕共振子３と直列腕共振子４は、上記のように同じ構造を有する。
　【００７０】並列腕共振子５と並列腕共振子７とは同じ構造を有する。すなわち、櫛形電極における電極指交差幅が５５μｍ、電極指の対数が８５対であり、各反射器の電極指の本数は１００本であり、電極指間ピッチが２．４１μｍ、すなわち弾性表面波の波長は４．８１μｍである。
　【００７１】並列腕共振子６では、櫛形電極の電極指交差幅が１１０μｍ、電極指の対数は８５対、反射器の電極指の本数は１００本であり、電極指間ピッチは２．１５μｍ、（弾性表面波の波長は４．３０μｍ）である。
　【００７２】なお、図３において、各共振子３〜７は、略図的に示されており、実際の電極指の対数や交差幅の比率とは異なっていることを指摘しておく。上記直列腕共振子３，４及び並列腕共振子５〜７、電極パッド８〜１２並びにこれらを電気的に接続している配線電極は、Ａｌにより形成されている。また、後述のバスバー電極を除いて、これらの電極の膜厚は４２０ｎｍとされている。従って、直列腕共振子３，４の弾性表面波の波長が４．６３μｍであるため、直列腕共振子３，４における櫛形電極の電極指の膜厚の対波長比［ｈ／λ（％）］は、９．１％である。
　【００７３】また、並列腕共振子５，７における弾性表面波の波長は４．８１μｍであるため、並列腕共振子５，７における櫛形電極の電極指の膜厚の対波長比［ｈ／λ（％）］は８．７％である。
　【００７４】さらに、上記直列腕共振子３，４及び並列腕共振子５〜７のいずれにおいても、櫛形電極の電極指のｄｕｔｙは、０．５である。図３では省略されているが、直列腕共振子３，４及び並列腕共振子５〜７の櫛形電極のバスバー電極において、４２０ｎｍのＡｌからなる電極膜上に８４０ｎｍの厚みの２層目の電極膜が積層されている。これを、図１を参照して説明する。
　【００７５】図１は、直列腕共振子３，４及び並列腕共振子５〜７として用いられている一端子対弾性表面波共振子の電極構造を模式的に示す平面図である。この一端子対弾性表面波共振子１３では、中央に櫛形電極１４が配置されており、櫛形電極１４の表面波伝搬方向両側にグレーティング反射器１５，１６が配置されている。櫛形電極１４は、複数本の電極指１４ａ，１４ｂを有する。複数本の電極指１４ａと、複数の電極指１４ｂとは、互いに間挿し合うように配置されている。複数本の電極指１４ａは、一端側でバスバー電極１４ｃに接続されている。また、複数本の電極指１４ｂは、バスバー電極１４ｃとは反対側に配置されたバスバー電極１４ｄに電気的に接続されている。
　【００７６】また、反射器１５，１６は、それぞれ、複数本の電極指１５ａ，１６ａの両端を短絡することにより構成されている。本実施例では、上記直列腕共振子３，４及び並列腕共振子５〜７を構成する一端子対弾性表面波共振子１３において、バスバー電極１４ｃ，１４ｄの少なくとも一部において、斜線のハッチングで示す２層目の電極膜１７，１８が積層されている。すなわち、バスバー電極１４ｃ，１４ｄは多層構造を有する。この第２の電極膜１７，１８は、Ａｌからなり、厚さが８４０ｎｍであり、従って、弾性表面波の対波長比に対して、約１７％程度の膜厚を有することになる。
　【００７７】また、２層目の電極膜１７，１８は、バスバー電極１４ｃ，１４ｄ上において、バスバー電極１４ｃ，１４ｄに接続されている電極指１４ａ，１４ｂとバスバー電極１４ｃ，１４ｄとの境界よりも表面波伝搬方向と直交する方向において遠ざけられた位置に設けられている。すなわち、バスバー電極１４ｃ，１４ｄと電極指１４ａ，１４ｂとの境界Ａよりも、２層目の電極膜１７，１８の電極指１４ａ，１４ｂ側の端縁Ｂの方が、表面波伝搬方向と直交する方向において外側に配置されている。この境界Ａと端縁Ｂとの間隔ｇは、４μｍとされており、すなわちｇ＝０．８〜０．９λ程度とされている。
　【００７８】本実施例の弾性表面波装置１では、直列腕共振子３，４及び並列腕共振子５〜７が、図１に示した一端子対弾性表面波共振子１３により構成されている。本実施例の弾性表面波装置１は、上記のように電極パッド８を入力端子、電極パッド９を出力端子とし、電極パッド１０〜１２をアース電位に接続することにより、ラダー型フィルタとして動作させることができる。直列腕共振子３，４及び並列腕共振子５，７の電極指の膜厚が、対波長比として９．１％及び８．７％程度であり、かつ櫛形電極における上記ｄｕｔｙが０．５程度である。
　【００７９】従って、櫛形電極１４における電極指１４ａ，１４ｂの膜厚と、バスバー電極１４ｃ，１４ｄの膜厚が単に同一であれば、Ｙ軸方向のエネルギー閉じ込め効果は小さくなる。
　【００８０】ところが、本実施例では、バスバー電極１４ｃ，１４ｄ上に２層目の電極膜１７，１８が積層されている。従って、バスバー電極１４ｃ、１４ｄにおける表面波の音速は１４０ｍ／秒程度遅くなる。
　【００８１】その結果、電極指交差領域を伝搬する表面波の音速Ｖｓのバスバー電極を伝搬する表面波の伝搬速度Ｖｍに対する比Ｖｓ／Ｖｍが大きくなり、Ｙ軸方向におけるエネルギー閉じ込め効果が大きくされている。
　【００８２】図２は、上記一端子対弾性表面波共振子１３において、２層目の電極膜１７，１８を形成する代わりに、バスバー電極１４ｃ，１４ｄの全体の厚みを変化させた場合のバスバー電極１４ｃ，１４ｄを伝搬する表面波の音速の変化を示す図である。なお、上記バスバー電極の厚みを変化させたことを除いては、上記直列腕共振子３と同様にして櫛形電極及び反射器を構成した。
　【００８３】図２から明らかなように、弾性表面波の波長をλとした場合に、バスバー電極の厚みが０．０１λ厚くなると、表面波の音速Ｖｍが８．４ｍ／秒遅くなることがわかる。
　【００８４】本実施例では、図２の結果からも明らかなように、上述したバスバー電極１４ｃ，１４ｄに２層目の電極膜１７，１８が積層され、バスバー電極１４ｃ、１４ｄを伝搬する表面波の音速Ｖｍが遅くされ、それによってＶｓ／Ｖｍ＞１とされて、Ｙ軸方向のエネルギーの閉じ込めが効果的に行われ、フィルタ特性の損失を低減することが可能とされている。
　【００８５】図４に、本実施例の弾性表面波装置１のフィルタ特性を実線で示す。また、図４において、比較のために、２層目の電極膜を有しないことを除いては実施例と同様にして構成された弾性表面波装置のフィルタ特性を破線で示す。なお、図４において、下方に示されているフィルタ特性は、挿入損失が縦軸の右側のスケールに基づいて拡大されている特性である。
　【００８６】図４から明らかなように、実施例の弾性表面波装置では、挿入損失の最小値がほとんど変化していないにもかかわらず、通過帯域のフィルタ特性が大幅に改善されていることがわかる。これは、バスバー電極１４ｃ，１４ｄが多層構造を有するため、電極抵抗が小さくなるだけでなく、上記表面波のエネルギーの閉じ込め効果が大幅に良化していることによると考えられる。
　【００８７】なお、本実施例では、圧電基板として、３６°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ３基板を用いたが、その他のｃｕｔ角、例えば３３〜４６°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ３基板を用いても同様の効果が得られ、さらに他の圧電単結晶基板を用いてもよい。
　【００８８】また、本実施例では、２層目の電極膜１７，１８もＡｌで構成されたが、２層目の電極膜については、１層目の電極膜と異なる金属材料からなるものを用いてもよい。また、Ａｌだけでなく、Ａｌ含有合金も電極材料として好適に用いることができる。
　【００８９】さらに、１層目の電極膜及び２層目の電極膜のいずれについても、ＡｌあるいはＡｌ含有合金以外の金属で構成してもよい。さらに、１層目の電極膜自体が、複数の金属膜を積層してなる多層膜であってもよい。
　【００９０】本実施例においては、上記バスバー電極１４ｃ，１４ｄと電極指との境界Ａと、２層目の電極膜１７，１８の電極指１４ａ，１４ｂ側の端縁Ｂとの間隔ｇが４μｍ、すなわち０．８λ〜０．９λ程度とされていた。これは、十分なエネルギー閉じ込め効果を得るには、上記ギャップ長ｇにも気を払わねばならないことによる。
　【００９１】本実施例の弾性表面波装置１では、各直列腕共振子及び並列腕共振子におけるギャップ長ｇが変化した場合、フィルタ特性が変化する。本願発明者は、上記ギャップ長ｇと、２層目の電極膜１７，１８の膜厚Ｍとを変化させた場合、エネルギー閉じ込め効果が変化することを見出した。基本的には、反射器の電極膜厚よりもバスバーにおける電極膜厚が厚くなった場合に閉じ込め効果を得ることができる。しかしながら、上記ギャップ長ｇが大きい場合には、十分な閉じ込め効果を得られない場合も生じる。
　【００９２】そこで、上記ギャップ長ｇと、２層目の電極膜１７，１８の膜厚Ｍとを変化させ、弾性表面波装置の帯域幅を調べた。結果を図５（ａ），（ｂ）及び図６並びに下記の表２に示す。
　【００９３】図５（ａ）では、２層目の電極膜１７，１８の膜厚Ｍが８４０ｎｍ（０．１８８λ）、図５（ｂ）は、膜厚Ｍが５６０ｎｍ（０．１２６λ）、図６は、膜厚Ｍが２８０ｎｍ（０．０６３λ）の場合の結果を示す。図５（ａ），（ｂ）及び図６から明らかなように、ギャップ長ｇが大きくなると、帯域幅が減少する傾向があり、特に膜厚Ｍが薄い場合に顕著に現れている。
　【００９４】図５（ａ），（ｂ）及び図６の破線は、それぞれ、２層構造を有しない電極の場合の帯域幅を比較のために示す。図５（ａ），（ｂ）及び図６から明らかなように、２層構造の電極を構成した場合、２層目の電極膜１７，１８の膜厚Ｍが、８４０ｎｍの場合には、ギャップ長ｇ＝８μｍ付近で、Ｍが５６０ｎｍの場合には、ギャップ長ｇ＝６μｍ付近で、Ｍが２８０ｎｍの場合には、ギャップ長ｇ＝４．５μｍ付近で、それぞれ、帯域幅が、２層構造を有しない場合の帯域幅と同等レベルまで低下していることがわかる。
　【００９５】これらの結果を一次近似で表すと、図７に示す通りとなり、近似式で表すと、Ｍ≧０．１５９ｇ−０．０９４である。但し、Ｍ及びｇの単位は、いずれもλ
で基準化
　【００９６】従って、Ｍ≧０．１５９ｇ−０．０９４を満たすように構成することにより、良好な閉じ込め効果を得ることができ、広帯域化を図り得ることがわかる。なお、２層目の金属膜をＡｌ以外の金属で構成した場合には、２層目の金属の膜厚をＭａ、該金属の密度をｄａ、Ａｌの密度をｄ０として、Ｍａ×（ｄ０／ｄａ）が０．１５９ｇ−０．０９４以上であればよい。
　【００９７】（第２の実施例）図８は、本発明の第２の実施例で用いられる一端子対弾性表面波共振子を説明するための略図的平面図である。
　【００９８】第２の実施例では、図８に示す一端子対弾性表面波共振子２１が用いられる。この一端子対弾性表面波共振子２１が、第１の実施例の直列腕共振子３，４及び並列腕共振子５〜７として用いられることを除いては、第２の実施例の弾性表面波装置は、第１の実施例と同様に構成されている。すなわち、第２の実施例の弾性表面波装置もまた、２個の直列腕共振子及び３個の並列腕共振子を有するラダー型フィルタである。
　【００９９】図８に示すように、弾性表面波共振子２１は、圧電基板２２上において、表面波伝搬方向に配置された３個の櫛形電極２３〜２５を有する。なお、本実施例においても、圧電基板２２は、３６°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴａＯ３基板により構成されている。
　【０１００】上記櫛形電極２３〜２５が設けられている領域の表面波伝搬方向両側には、グレーティング反射器２６，２７が配置されている。櫛形電極２３〜２５における電極指交差幅は１２２μｍである。また、中央に配置された櫛形電極２４の電極指の対数は１８であり、両側に配置された櫛形電極２３，２５の電極指の対数は１１である。反射器２６，２７の電極指の本数は１２０本である。なお、各櫛形電極２３〜２５における電極指間ピッチは２．１μｍであり、弾性表面波の波長は４．２μｍである。
　【０１０１】また、櫛形電極２３〜２５及び反射器２６，２７は、Ａｌにより形成されており、後述の２層目の電極膜の下方に形成される電極膜としての膜厚は３２０ｎｍである。すなわち、電極指の膜厚は、弾性表面波の波長に対して７．４％である。また、各櫛形電極２３〜２５のｄｕｔｙは０．７２である。
　【０１０２】櫛形電極２３〜２５は、それぞれ、複数本の電極指２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ、２５ａ、２５ｂと、第１，第２のバスバー電極２３ｃ，２３ｄ，２４ｃ，２４ｄ、２５ｃ、２５ｄとを有する。本実施例においても、バスバー電極２３ｃ，２３ｄ，２４ｃ，２４ｄ、２５ｃ、２５ｄ上に、２層目の電極膜１７，１８が積層されている。この２層目の電極膜１７，１８が積層されている部分を斜線のハッチングを付して示す。
　【０１０３】上記２層目の電極膜１７，１８が、第１の実施例と同様に、Ａｌからなり、その膜厚は８４０ｎｍとされている。また、１層目のバスバー電極と電極指との境界と、２層目の電極膜１７，１８の電極指側の端縁との間隔のギャップ長ｇは、２μｍであり、０．５λ程度とされている。
　【０１０４】本実施例に従って構成された弾性表面波装置のフィルタ特性を図９に実線で示す。また、比較のために、バスバー部に第２の電極膜を積層しなかったことを除いては同様に構成された弾性表面波装置のフィルタ特性を破線で示す。なお、図９の下方に示す特性は、挿入損失を縦軸の右側のスケールに基づいて拡大した特性である。
　【０１０５】図９から明らかなように、２層目の電極膜を形成しなかった弾性表面波装置に比べて、本実施例に従って２層目の電極膜を積層することにより、最小挿入損失は変わらないものの、帯域幅におけるフィルタ特性が大幅に改善されていることがわかる。
　【０１０６】すなわち、本実施例では、櫛形電極２３〜２５の電極指の膜厚が、弾性表面波の波長に対して７．４％、櫛形電極２３〜２５のｄｕｔｙが０．７２とされているので、前述したように、１層目の電極膜のみでは、Ｙ軸方向に表面波のエネルギーは閉じ込められない。もっとも、櫛形電極の電極指交差幅が３０λ程度と大きいため、１層目の電極膜のみでも、図９に破線で示したようなフィルタ特性を得ることができる。
　【０１０７】しかしながら、上記のように、２層目の電極膜１７，１８を積層することにより、フィルタ特性は飛躍的に高められる。すなわち、前述したように、実質的にＹ軸方向における導波モードが存在する条件を満たさなくなる条件であっても、すなわち、電極指の膜厚ｈ１、電極指幅Ｌ１、表面波伝搬方向において隣り合う電極指間のギャップの長さＬ２が、前述した式（１）〜（６）のいずれかを満たしている場合であっても、バスバー電極の少なくとも一部の厚みが、電極指の厚みより厚くされてＶｓ／Ｖｍ＞１とされれば、低損失のフィルタ特性を得ることができる。
　【０１０８】（第３の実施例）図１０は、本発明の第３の実施例の弾性表面波装置の略図的平面図である。第３の実施例の弾性表面波装置３１は、第１の実施例の弾性表面波装置１とほぼ同様に構成されている。従って、同一部分については同一の参照番号を付することにより、第１の実施例の説明を援用することにより省略する。
　【０１０９】本実施例が第１の実施例と異なる点は、図１０に示す電極構造を形成した後に、圧電基板２の上面全面に、ＳｉＯ２膜（図示せず）が、厚み５００ｎｍとなるようにスパッタリングにより形成される。しかる後、各直列腕共振子３，４及び並列腕共振子５〜７の電極指上、及び電極パッド８〜１２上を除いて、レジストを被覆する。その状態で、電極指上及び電極パッド上のＳｉＯ２膜をエッチングにより除去する。これによって、電極パッド８〜１２上のＳｉＯ２膜を除去することにより、ボンデヤィングワイヤーと電極パッド８〜１２との電気的接続の信頼性が確保される。
　【０１１０】また、電極指上のＳｉＯ２膜の除去により、電極指交差領域における表面波伝搬速度Ｖｓが、ＳｉＯ２膜が積層されているバスバー電極を伝搬する弾性表面波の音速Ｖｍに比べて速められている。言い換えれば、Ｖｓ／Ｖｍが１より大きくされている。
　【０１１１】すなわち、本実施例では、図１１に断面図で示すように、バスバー電極３２上の全面に、絶縁膜としてのＳｉＯ２膜３３が積層され、それによってバスバー電極が多層構造とされている。このように、本発明では、バスバー電極の少なくとも一部の厚みを電極指に比べて厚くするに際しては、金属膜以外の絶縁膜を積層してもよい。その場合であっても、上記のようにバスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが遅くなるため、第１の実施例と同様の効果が得られる。
　【０１１２】本実施例では、上記絶縁膜としてＳｉＯ２膜３３が形成されており、該絶縁膜の厚みは５００ｎｍであり、弾性表面波の対波長比で１１％程度である。また、ＳｉＯ２膜の密度は、スパッタリングにより形成されているので、２．２１ｇ／ｃｍ３であり、電極を構成しているＡｌ膜の密度２．６９ｇ／ｃｍ３に比べてわずかに小さいが、前述したギャップ長ｇが０．１λ程度と小さいので、第１の実施例と同様にＹ軸方向の表面波のエネルギー閉じ込め効果は第１の実施例と同等である。
　【０１１３】上記のようにして構成された第３の実施例の弾性表面波装置のフィルタ特性を図１２に実線で示す。なお、比較のために、ＳｉＯ２膜を形成しなかったことを除いては同様にして構成された弾性表面波装置のフィルタ特性を破線で示す。なお、図１２における下方のフィルタ特性は、縦軸の挿入損失を縦軸の右側に示した拡大スケールに沿って表した特性を示す。
　【０１１４】図１２から明らかなように、第３の実施例の弾性表面波装置においても、ＳｉＯ２膜の形成によりエネルギー閉じ込め効果が高められているため、良好なフィルタ特性の得られることがわかる。
　【０１１５】なお、第３の実施例では、電極指上の絶縁膜を除去し、バスバー電極上にのみ絶縁膜としてのＳｉＯ２膜を形成したが、電極指上にも絶縁膜を形成し、但し電極指上の絶縁膜の厚みをバスバー電極上の絶縁膜の厚みよりも薄くしてもよい。その場合であっても、絶縁膜の厚みの差により、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍを、電極指を伝搬する弾性表面波の伝搬速度Ｖｓよりも遅くすることができ、上記第３の実施例と同様にフィルタ特性を改善することができる。
　【０１１６】また、絶縁膜としては、ＳｉＯ２膜以外の適宜の絶縁性材料からなる膜を用い得る。成膜方法も、蒸着法、ＣＶＤ法等が可能である。さらに、２層目の電極膜１７，１８が形成されていないことを除いては、圧電基板上に第２の実施例と同様の電極構造が形成されている圧電基板上に、第３の実施例に従って絶縁膜をバスバー電極上に形成してもよい。この場合にも、第３の実施例と同様に、絶縁膜の形成によりＶｍを遅くし、表面波のエネルギーを閉じ込めることができる。
　【０１１７】第１〜第３の実施例では、梯子型回路構成を有する弾性表面波装置につい説明したが、本発明は、上記のように一端子対弾性表面波共振子におけるＹ軸方向の表面波エネルギー閉じ込め効果を高め、それによって、例えばフィルタを構成した場合のフィルタ特性の改善等を図り得るものであるため、梯子型回路構成を有する弾性表面波フィルタだけでなく、様々な弾性表面波フィルタや弾性表面波共振子にも適用することができる。
　【０１１８】次に、本発明に係る弾性表面波フィルタを用いて構成されたアンテナ共用器の実施例を、図１３を参照して説明する。図１３は、本実施例のアンテナ共用器を説明するための回路図である。本実施例のアンテナ共用器７０は、図３に示したラダー型弾性表面波フィルタと段数は異なるが同様のラダー型フィルタ６１を一対用いている。すなわち、各ラダー型フィルタ６１の入力端子６２，６２が共通接続されて、第１のポート７１が構成されている。他方、各ラダー型フィルタ６１，６１の出力端子６３，６３はそのまま用いられ、それぞれ、本実施例のアンテナ共用器の第２，第３のポートを構成している。
　【０１１９】このように、一対のラダー型フィルタ６１，６１を用いることにより、アンテナ共用器を構成することができる。また、上記アンテナ共用器を用いて、通信機を構成することができ、このような通信機の一例を図１４に示す。
　【０１２０】本実施例の通信機８１では、アンテナ共用器７０と、送信もしくは受信回路８２，８３とが備えられている。アンテナ共用器７０の第１のポート７１がアンテナ８４に接続されており、第２，第３のポートを構成している出力端子６３，６３が、それぞれ、送信もしくは受信回路８２，８３に接続されている。
　【０１２１】このアンテナ共用器７０においては、一対のラダー型フィルタ６１，６１は、通過帯域が異なるように構成されており、それによってアンテナ８４は、送信アンテナ及び受信アンテナとして用いられ得る。
　【０１２２】
　【発明の効果】第１，第４の発明に係る弾性表面波装置では、櫛形電極の電極指の膜厚が０．０４λ以上であり、Ｙ軸方向のエネルギー閉じ込め効果が弱まる条件であっても、第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、電極指の厚みよりも厚くされて、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓに比べて遅くされているので、エネルギー閉じ込め効果が高められる。従って、例えば梯子型回路構成を有する弾性表面波フィルタなどに用いた場合、低損失のフィルタ特性を得ることができる。
　【０１２３】第２，第５の発明に係る弾性表面波装置では、Ｌ１／（Ｌ１＋Ｌ２）、すなわちｄｕｔｙが０．５以上であり、Ｙ軸方向のエネルギー閉じ込め効果が弱まる条件であっても、第１の発明と同様に第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが、電極指の厚みよりも厚くされており、それによってバスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓに対して遅くされている。従って、エネルギー閉じ込め効果が高められ、例えばフィルタに適用した場合、低損失のフィルタ特性を得ることができる。
　【０１２４】また、第３，第６の発明では、前述した式（１）〜（６）のいずれかが満たされており、実質的には、Ｙ軸方向における導波モードが存在する条件を満たしていない。しかしながら、この場合であっても、本発明に従って第１，第２のバスバー電極の一部の厚みが電極指の厚みよりも厚くされているので、バスバー電極を伝搬する表面波の音速Ｖｍが、電極指を伝搬する表面波の音速Ｖｓよりも遅くされる。従って、Ｖｓ／Ｖｍ＞１となり、Ｙ軸方向におけるエネルギーの閉じ込めを果たすことができ、例えばフィルタに利用した場合、低損失のフィルタ特性を得ることができる。
　【０１２５】本発明において、バスバー電極の一部を電極指の膜厚よりも厚くするには、様々な方法を採用することができるが、バスバー電極の少なくとも一部が複数の膜を積層した多層構造を有するように構成することにより容易に実現することができる。
　【０１２６】バスバー電極の一部が、多層構造を有する場合、この多層構造としては、電極膜上に１以上の電極膜を積層した多層構造だけでなく、電極膜上に絶縁膜を積層した多層構造であってもよい。この場合、複数の電極膜を積層して上記多層構造を実現する場合、最下層の電極膜が電極指と連ねられて形成されており、２層目以上の電極膜が最下層の電極膜と異なる金属により構成されている場合には、最下層の電極膜を電極指と同一工程で形成することができ、かつ２層目以上の電極膜が最下層の電極膜と異なる金属により構成されているので、該金属の種類を選択することにより、より大きなエネルギー閉じ込め効果を得ることができる。
　【０１２７】とくに、最下層の電極膜に比べて、２層目以降の電極膜のうち少なくとも１層が、相対的に高密度の金属により構成されている場合には、大きな質量付加効果が得られ、バスバー電極を伝搬する表面波の音速をより遅くすることができる。例えば、１層目の電極をＡｌまたはＡｌ含有合金で構成した場合、２層目以降の電極膜の少なくとも１層を、例えばＡｕ、Ａｇ、Ｗ、Ｔｉ、Ｎｉなどの密度の相対的に大きな金属で構成することにより、より大きな閉じ込め効果を得ることができる。
　【０１２８】さらに、最下層の電極膜に比べて、比抵抗が小さく、かつ最下層の電極膜より厚みの厚い電極膜を２層目以降の電極膜の少なくとも１層に用いた場合においても、同様にバスバー電極を伝搬する表面波の音速をより効果的に遅くすることができ、表面波エネルギーの閉じ込め効果を高めることができる。例えば、最下層の電極膜をＡｌで構成し、２層目以降の電極膜の少なくとも１層を、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕなどにより構成することにより、上記のようにしてエネルギー閉じ込め効果を高めることができる。
　【０１２９】多層構造を有するバスバー電極において、多層構造を構成している金属膜上に、上下の金属膜の導通を確保するようにして絶縁膜が形成されていてもよく、この場合には、絶縁膜の質量付加作用によっても、バスバー電極を伝搬する表面波の音速を遅くすることができ、良好なエネルギー閉じ込め効果を得ることができる。
　【０１３０】
　【０１３１】
　【０１３２】
　【０１３３】
　【０１３４】
　【０１３５】本発明に係る弾性表面波装置を用いて構成されたアンテナ共用器では、弾性表面波損失が低損失であるため、アンテナ共用器における損失を低減することができる。
　【０１３６】また、本発明に係るアンテナ共用器を備えた通信機では、上記のように低損失のアンテナ共用器を有するため、通信機全体の損失を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の第１の実施例において用いられる一端子対弾性表面波共振子の電極構造を説明するための略図的平面図。
　【図２】バスバー電極の膜厚と、バスバー部を伝搬する表面波のＶｍとの関係を示す図。
　【図３】本発明の第１の実施例に係る弾性表面波装置の略図的平面図。
　【図４】第１の実施例及び比較のために用意した各弾性表面波装置のフィルタ特性を示す図。
　【図５】（ａ），（ｂ）は、それぞれ、Ｍ＝８４０ｎｍ及び５６０ｎｍの場合のギャップ長ｇと帯域幅との関係を示す図。
　【図６】Ｍ＝２８０ｎｍの場合のギャップ長ｇと帯域幅との関係を示す図。
　【図７】エネルギー閉じ込め効果のあるギャップ長ｇと膜厚Ｍとの関係を示す図。
　【図８】第２の実施例で用いられる弾性表面波共振子を説明するための平面図。
　【図９】第２の実施例の弾性表面波装置及び比較のために用いした弾性表面波装置のフィルタ特性を示す図。
　【図１０】第３の実施例の弾性表面波装置を説明するための略図的平面図。
　【図１１】第３の実施例におけるバスバー電極と、その上に形成される絶縁膜を説明するための断面図。
　【図１２】第３の実施例及び比較のために用意した各弾性表面波装置のフィルタ特性を示す図。
　【図１３】本発明に係る弾性表面波装置を用いて構成される共用器を説明するための回路図。
　【図１４】本発明に係る共用器を用いた通信システムの概略ブロック図。
　【図１５】（ａ）及び（ｂ）は、従来の一端子対弾性表面波共振子を説明するための略図的平面図。
　【図１６】従来の共振子型弾性表面波フィルタを示す平面図。
　【図１７】従来の弾性表面波装置の要部の断面図。
　【図１８】ラダー型回路を示す図。
　【図１９】従来の弾性表面波装置における電極の膜厚のＶｓ／Ｖｍとの関係を示す図。
　【図２０】従来の弾性表面波装置における電極のｄｕｔｙとＶｓ／Ｖｍとの関係を示す図。
　【符号の説明】１…弾性表面波装置
　２…圧電基板
　３，４…直列腕共振子
　５〜７…並列腕共振子
　８〜１２…電極パッド
　１３…弾性表面波共振子
　１４…櫛形電極
　１４ａ，１４ｂ…電極指
　１４ｃ，１４ｄ…バスバー電極
　１５，１６…反射器
　１７，１８…電極膜
　２１…弾性表面波共振子
　２２…圧電基板
　２３〜２５…櫛形電極
　２３ａ，２３ｂ〜２５ａ，２５ｂ…電極指
　２３ｃ，２３ｄ〜２５ｃ，２５ｄ…バスバー電極
　２６，２７…反射器
　３１…弾性表面波装置
　３２…バスバー電極
　３３…ＳｉＯ２膜