【手続補正書】
【提出日】平成27年6月29日(2015.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハを検査するように構成されたシステムであって、
複数のパルス状光ビームの第１のパルス状光ビームを、前記ウェハ上のエリアに、照明サブシステムによって前記エリアに導かれる前記複数のパルス状光ビームの第２のパルス状光ビームより時間的に早く導くように構成された照明サブシステムであって、前記複数のパルス状光ビームの前記第１のパルス状光ビームおよび前記第２のパルス状光ビームは前記ウェハ上で互いに異なる形状およびサイズを有し、前記複数のパルス状光ビームの前記第１のパルス状光ビームおよび前記第２のパルス状光ビームは、互いに異なる波長、互いに異なる偏光、または、互いに異なる波長と偏光を有する、照明サブシステムと、
前記ウェハ内で前記複数のパルス状光ビームをスキャンするように構成されたスキャンサブシステムと、
前記ウェハ上の前記エリアから１以上のセンサに散乱する光を結像するように構成された収集サブシステムであって、前記１以上のセンサは、前記散乱光に対する出力を生成する、収集サブシステムと、
前記１以上のセンサの前記出力を使用して前記ウェハ上の欠陥を検出し、前記複数のパルス状光ビームの前記第１のパルス状光ビームによる照明に起因する前記エリアからの前記散乱光に対する前記出力を使用して、前記エリアに導かれるべき前記複数のパルス状光ビームの前記第２のパルス状光ビームのパワーを決定するように構成されたコンピュータサブシステムとを備えるシステム。
【請求項２】
前記照明サブシステムは、モードロック式レーザを備える請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記照明サブシステムは、Ｑスイッチ式レーザを備え、前記コンピュータサブシステムは、前記決定されたパワーに基づいて前記Ｑスイッチ式レーザのパワーを減衰させる請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記照明サブシステムは、Ｑスイッチ式レーザを備え、前記決定されたパワーがゼロである場合、前記コンピュータサブシステムは、前記Ｑスイッチ式レーザが、前記エリアを照明することになる前記複数のパルス状光ビームの前記第２のパルス状光ビームを生成することを防止する請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記コンピュータサブシステムは、前記エリアに実際に導かれる前記複数のパルス状光ビームの前記第２のパルス状光ビームのパワーを監視し、前記エリアに導かれる前記パワーに基づいてシステムの１以上のパラメータを変更して、前記エリアに実際に導かれる前記複数のパルス状光ビームの前記第２のパルス状光ビームの前記パワーを正規化するようにさらに構成される請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記ウェハ上の前記エリアからセンサに散乱し前記収集サブシステムによって結像された光が、前記ウェハ上の前記エリアから散乱した光のパルスを含み、前記１以上のセンサが、前記１以上のセンサの全エリア上に結像されうる前記散乱光のパルスの数より少ない数の前記散乱光のパルスを積分するように構成され、前記１以上のセンサが、前記積分された散乱光のパルスに対する出力を生成するように構成される請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記スキャンサブシステムは、前記ウェハを回転させ並進させることによって前記ウェハ内で前記光のパルスを同時にスキャンするようにさらに構成され、前記１以上のセンサは、ピクセルの１以上の長方形アレイを備える請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記１以上のセンサによって積分される前記ある数のパルスは、前記散乱光の１つのパルスであり、前記１以上のセンサは、前記散乱光の前記１つのパルスの継続時間の間、積分し、次に、前記散乱光の前記１つのパルスに対する任意の電荷を前記１以上のセンサから転送する請求項６に記載のシステム。
【請求項９】
前記収集サブシステムは、前記散乱光のパルスの１つのパルス内の前記散乱光の全てを、前記１以上のセンサの１つのピクセルだけに結像するように構成された１以上のアナモルフィック光学素子を備える請求項６に記載のシステム。
【請求項１０】
前記１以上のセンサは、前記散乱光のパルスの継続時間の間、一方向に積分し、前記散乱光の前記パルスに対する任意の電荷を前記１以上のセンサから双方向に転送する請求項６に記載のシステム。
【請求項１１】
前記１以上のセンサは、蛍光輝度増倍管およびエリアセンサを備え、前記１以上のセンサは、前記散乱光のパルスの継続時間の間でかつ前記散乱光の前記パルスに対応する前記蛍光輝度増倍管の全ての蛍光エネルギーが完全に減衰するまで積分する請求項６に記載のシステム。
【請求項１２】
前記収集サブシステムの収集開口数の異なるセグメントで収集される前記散乱光の前記パルスを分離するように構成された光学素子をさらに備え、前記１以上のセンサは、前記異なるセグメントの１つのセグメントを検出するようにさらに構成された１つのセンサと、前記異なるセグメントの別のセグメントを検出するように構成された別のセンサと、をさらに備える請求項６に記載のシステム。
【請求項１３】
前記１つのセンサによって検出される前記異なるセグメントの前記１つのセグメントおよび前記他のセンサによって検出される前記異なるセグメントの前記他のセグメントに応じて、前記光学素子を変更または置換するようにさらに構成される請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記収集サブシステムの収集開口数の異なるセグメントで収集される前記散乱光の前記パルスを分離するように構成された光学素子をさらに備え、前記１以上のセンサは、前記１以上のセンサの１つの部分を使用して前記異なるセグメントの１つのセグメントを検出し、前記１以上のセンサの異なる部分を使用して前記異なるセグメントの別のセグメントを検出するようにさらに構成され、前記１以上のセンサの前記１つの部分および前記他の部分は、互いに重なり合わず、前記１以上のセンサ上で隣接しない請求項６に記載のシステム。
【請求項１５】
前記収集サブシステムは、完全には回折制限されない解像度を有する散乱光コレクタを備える請求項６に記載のシステム。
【請求項１６】
蛍光輝度増倍管を含むさらなるセンサをさらに備え、前記収集サブシステムは、前記ウェハ上の前記エリアから前記さらなるセンサに散乱する前記光のパルスを結像するようにさらに構成され、前記さらなるセンサは、前記散乱光のパルスに対するさらなる出力を生成し、前記コンピュータサブシステムは、前記１以上のセンサにおいてセンサ電子雑音が合計チャネル雑音で優勢となる場合、前記出力の代わりに前記さらなる出力を使用して、前記ウェハ上の欠陥を検出するようにさらに構成される請求項６に記載のシステム。
【請求項１７】
光子計数のために構成されるさらなるセンサをさらに備え、前記収集サブシステムは、前記ウェハ上の前記エリアから前記さらなるセンサに散乱する前記光のパルスを結像するようにさらに構成され、前記さらなるセンサは、前記散乱光のパルスに対するさらなる出力を生成し、前記コンピュータサブシステムは、前記さらなる出力を使用して、前記ウェハ上の欠陥を検出するようにさらに構成される請求項６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記照明サブシステムは、周波数変換レーザを備え、前記ウェハ上の前記エリアに導かれる前記複数の光のパルスは、前記複数の光のパルスの継続時間にわたって空間的に変動せず、前記複数の光のパルスの継続時間にわたって実質的に一定の強度を有する請求項６に記載のシステム。
【請求項１９】
前記照明サブシステムは、前記レーザに結合したビーム整形光学素子をさらに備える請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記照明サブシステムは、周波数変換レーザを備え、前記ウェハ上の前記エリアに導かれる前記複数の光のパルスは、前記複数の光のパルスの継続時間にわたって実質的に一定の強度を有する請求項６に記載のシステム。
【請求項２１】
前記収集サブシステムと前記１以上のセンサとの間に配置された微小電気機械システムベースの光スイッチングデバイスをさらに備える請求項６に記載のシステム。
【請求項２２】
少なくとも１つのさらなるセンサをさらに備え、前記光スイッチングデバイスは、前記複数の光のパルスの第１の光のパルスによって生成される前記散乱光のパルスの第１の散乱光のパルスを前記１以上のセンサに、そして、前記複数の光のパルスの前記第１の光のパルスに続いて、前記複数の光のパルスの第２の光のパルスによって生成される前記散乱光のパルスの第２の散乱光のパルスを前記少なくとも１つのさらなるセンサに導くように構成されている請求項２１に記載のシステム。
【請求項２３】
前記光スイッチングデバイスは、前記収集サブシステムの収集開口数の異なるセグメントで収集される前記散乱光のパルスを分離するように構成され、前記光スイッチングデバイスは、前記複数の光のパルスの第１の光のパルスによって生成される前記散乱光の前記異なるセグメントの１つのセグメントだけを前記１以上のセンサに導き、次に、前記第１の光のパルスに続いて、前記複数の光のパルスの第２の光のパルスによって生成される前記散乱光の前記異なるセグメントの別の１つのセグメントだけを前記１以上のセンサに導くように構成されている請求項２１に記載のシステム。
【請求項２４】
前記１以上のセンサは、前記複数の光のパルスに対して時間的に同期して、所定到達時間を有する前記散乱光のパルスだけを検出する請求項６に記載のシステム。
【請求項２５】
所定到達時間を有する前記散乱光のパルスは、蛍光または光ルミネセンスを含む請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】
前記スキャンサブシステムは、前記ウェハを回転させることによって前記ウェハ内で前記複数の光のパルスをスキャンするようにさらに構成され、前記複数の光のパルスが前記ウェハの中心領域を横切ってスキャンされるとき、前記照明サブシステムは、前記複数の光のパルスが前記中心領域を外れて前記ウェハ内でスキャンされるときに比べてより頻繁でなく前記ウェハ上の前記エリアに前記複数の光のパルスを導くようにさらに構成される請求項６に記載のシステム。
【請求項２７】
前記スキャンサブシステムは、前記ウェハを回転させ並進させることによって前記ウェハ内で前記複数の光のパルスをスキャンするようにさらに構成され、前記１以上のセンサはエリアセンサを備え、前記複数の光のパルスが前記ウェハの中心領域を横切ってスキャンされるときに、前記スキャンサブシステムは、前記ウェハ内で前記複数の光のパルスを１以上の非湾曲直線でスキャンし、前記複数の光のパルスが前記中心領域を外れて前記ウェハ内でスキャンされるとき、前記スキャンサブシステムは、前記ウェハ内で前記複数の光のパルスをスパイラル式にスキャンする請求項６に記載のシステム。
【請求項２８】
ウェハを検査する方法であって、
複数のパルス状光ビームの第１のパルス状光ビームを、前記ウェハ上のエリアに、前記エリアに導かれる前記複数のパルス状光ビームの第２のパルス状光ビームより時間的に早く導くステップであって、前記複数のパルス状光ビームの前記第１のパルス状光ビームおよび前記第２のパルス状光ビームは前記ウェハ上で互いに異なる形状およびサイズを有し、前記複数のパルス状光ビームの前記第１のパルス状光ビームおよび前記第２のパルス状光ビームは、互いに異なる波長、互いに異なる偏光、または、互いに異なる波長と偏光を有する、ステップと、
前記ウェハ内で前記複数のパルス状光ビームをスキャンするステップと、
前記ウェハ上の前記エリアから１以上のセンサに散乱する光を結像するステップであって、前記１以上のセンサは、前記散乱光に対する出力を生成する、ステップと、
前記１以上のセンサの前記出力を使用して前記ウェハ上の欠陥を検出し、前記複数のパルス状光ビームの前記第１のパルス状光ビームによる照明に起因する前記エリアからの前記散乱光に対する前記出力を使用して、前記エリアに導かれるべき前記複数のパルス状光ビームの前記第２のパルス状光ビームのパワーを決定するステップと、を備える方法。