【手続補正書】
【提出日】平成26年12月16日(2014.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の第１液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記光学部材と前記物体との間の前記露光光の光路が前記第１液体で満たされるように前記光学部材の射出面側に前記第１液体の第１液浸空間を形成する第１液浸部材と、
前記第１液浸空間の前記第１液体の少なくとも一部を、前記光路の周囲の一部である第１誘導空間に誘導する誘導部と、
前記光路に対して前記第１液浸部材の外側に配置され、前記第１液浸空間の周囲の一部に、前記第１誘導空間に隣接して、第２液体の第２液浸空間を形成する第２液浸部材と、を備える液浸部材。
【請求項２】
前記誘導部は、線状または帯状に延びており、
前記誘導部の少なくとも一部は曲がっている請求項１に記載の液浸部材。
【請求項３】
前記誘導部は、前記物体の表面とほぼ平行な面内において、前記第２液浸空間を通る軸の一側から前記第１誘導空間に向かって延びる第１誘導部を含む請求項１又は２に記載の液浸部材。
【請求項４】
前記誘導部は、前記物体の表面とほぼ平行な面内において、前記軸の他側から前記第１誘導空間に向かって延びる第２誘導部を有し、
前記物体とほぼ平行な面内において、前記軸と垂直な方向に関する前記第１誘導部と前記第２誘導部との間隔は、前記第１誘導空間に近づくにつれて小さくなる請求項３に記載の液浸部材。
【請求項５】
前記第１誘導部と前記第２誘導部との間隔は、前記光路から離れるにつれて小さくなる請求項３又は４に記載の液浸部材。
【請求項６】
前記誘導部は、前記軸と平行な第１方向への移動を含む前記物体の移動により流動する前記第１液浸空間を形成する前記第１液体の少なくとも一部を、前記第１誘導空間に誘導する請求項３〜５のいずれか一項に記載の液浸部材。
【請求項７】
前記誘導部は、前記第１液浸空間の前記第１液体の少なくとも一部を、前記光路の周囲の一部の、前記第１誘導空間とは異なる第２誘導空間に誘導する請求項１〜６のいずれか一項に記載の液浸部材。
【請求項８】
前記光路に対して前記第１液浸部材の外側に配置され、前記第１液浸空間の周囲の一部に、前記第２誘導空間に隣接して、前記第２液浸空間とは異なる、第３液体の第３液浸空間を形成する第３液浸部材をさらに備える請求項７に記載の液浸部材。
【請求項９】
前記誘導部は、前記物体の表面とほぼ平行な面内において、前記第３液浸空間を通る軸の一側から前記第２誘導空間に向かって延びる第３誘導部と、前記軸の他側から前記第２誘導空間に向かって延びる第４誘導部とを有し、
前記物体とほぼ平行な面内において、前記軸と垂直な方向に関する前記第３誘導部と前記第４誘導部との間隔は、前記第２誘導空間に近づくにつれて小さくなる請求項８に記載の液浸部材。
【請求項１０】
前記第３誘導部と前記第４誘導部との間隔は、前記光路から離れるにつれて小さくなる請求項８又は９に記載の液浸部材。
【請求項１１】
前記第３液浸空間を、前記光路に対して前記第２液浸空間の反対側に形成する請求項８〜１０のいずれか一項に記載の液浸部材。
【請求項１２】
前記第３液浸空間を、前記光路に対して前記第２液浸空間と同じ側に形成する請求項８〜１１のいずれか一項に記載の液浸部材。
【請求項１３】
前記第２液浸空間と前記第３液浸空間とを、実質的に離して形成する請求項８〜１２のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項１４】
前記誘導部の少なくとも一部は、前記第１液浸部材に配置される請求項１〜１３のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項１５】
前記誘導部は、前記第１液浸部材の周縁部のエッジを含む請求項１４に記載の液浸部材。
【請求項１６】
前記第１液浸部材は、前記物体が対向するように配置され、前記第１液体を回収可能な液体回収部を含み、
前記誘導部は、前記液体回収部の少なくとも一部を含む請求項１４又は１５に記載の液浸部材。
【請求項１７】
前記液体回収部は、多孔部材の下面の少なくとも一部を含む請求項１６に記載の液浸部材。
【請求項１８】
前記第１液浸部材は、前記物体が対向するように配置され、前記第１液体を回収可能な液体回収部と、前記物体が対向するように配置され、前記液体回収部に隣り合う平坦部とを含み、
前記誘導部は、前記液体回収部と前記平坦部との境界を含む請求項１４〜１７のいずれか一項に記載の液浸部材。
【請求項１９】
前記液体回収部は、多孔部材の下面の少なくとも一部を含む請求項１８に記載の液浸部材。
【請求項２０】
前記第１液浸部材は、前記物体が対向するように配置された第１領域と、前記物体が対向するように配置され、前記第１液体に対する接触角が前記第１領域よりも小さい第２領域とを含み、
前記誘導部は、前記第２領域を含む請求項１４〜１９のいずれか一項に記載の液浸部材。
【請求項２１】
前記第１液浸部材は、前記物体が対向するように配置された第１領域と、前記物体が対向するように配置され、前記第１液体に対する接触角が前記第１領域よりも小さい第２領域とを含み、
前記誘導部は、前記第１領域と前記第２領域との境界を含む請求項１４〜２０のいずれか一項に記載の液浸部材。
【請求項２２】
前記第１液浸部材は、前記物体が対向するように配置された第１領域と、前記物体が対向するように配置され、前記第１領域と高さが異なる第２領域とを含み、
前記誘導部は、前記第１領域と前記第２領域との境界を含む請求項１４〜２１のいずれか一項に記載の液浸部材。
【請求項２３】
前記誘導部は、前記第１液浸空間の外側から前記第１液浸空間に向かって気体を供給する給気口を含む請求項１〜２２のいずれか一項に記載の液浸部材。
【請求項２４】
前記第１誘導空間は、前記第１液浸部材の周縁部の一部と前記物体との間の空間を含む請求項１〜２３のいずれか一項に記載の液浸部材。
【請求項２５】
前記第１液浸部材は、前記物体が対向するように配置され、前記第１液体を回収可能な液体回収部を有し、
前記第１誘導空間は、前記液体回収部の少なくとも一部と前記物体との間の空間を含む請求項２４に記載の液浸部材。
【請求項２６】
前記液体回収部は、多孔部材の下面の少なくとも一部を含む請求項２５に記載の液浸部材。
【請求項２７】
前記第１誘導空間は、前記第２液浸空間と前記光路との間に規定される請求項１〜２６のいずれか一項に記載の液浸部材。
【請求項２８】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の第１液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記光学部材と前記物体との間の前記露光光の光路が前記第１液体で満たされるように前記光学部材の射出面側に前記第１液体の第１液浸空間を形成する第１液浸部材と、
前記光路に対して前記第１液浸部材の外側であって、前記液浸露光装置の所定動作において前記物体が移動する第１方向に関して前記第１液浸部材に隣接して配置され、前記第１液浸空間の周囲の一部に第２液体の第２液浸空間を形成する第２液浸部材と、を備える液浸部材。
【請求項２９】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の第１液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記光学部材と前記物体との間の前記露光光の光路が前記第１液体で満たされるように前記光学部材の射出面側に前記第１液体の第１液浸空間を形成する第１液浸部材と、
前記光路に対して前記第１液浸部材の外側に配置され、前記第１液浸空間の周囲の一部に第２液体の第２液浸空間を形成する第２液浸部材と、を備え、
前記第２液浸部材は、前記物体が対向するように配置され、前記第２液体を供給可能な第２供給口と、前記第２供給口を囲むように、かつ前記物体が対向するように配置され、流体を回収可能な流体回収部と、を有する液浸部材。
【請求項３０】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の第１液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記光学部材と前記物体との間の前記露光光の光路が前記第１液体で満たされるように前記光学部材の射出面側に前記第１液体の第１液浸空間を形成する第１液浸部材と、
前記光路に対して前記第１液浸部材の外側に配置され、前記第１液浸空間の周囲の一部に第２液体の第２液浸空間を形成する第２液浸部材と、
前記光路に対して前記第１液浸部材の外側に配置され、流体を回収可能な流体回収部を有する回収部材と、を備える液浸部材。
【請求項３１】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の第１液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記光学部材と前記物体との間の前記露光光の光路が前記第１液体で満たされるように前記光学部材の射出面側に前記第１液体の第１液浸空間を形成する第１液浸部材と、
前記光路に対して前記第１液浸部材の外側に配置され、前記第１液浸空間の周囲の一部に第２液体の第２液浸空間を形成する第２液浸部材と、
前記第１液浸部材と前記物体との間の空間の外側から、前記空間に向かって気体を供給する給気口を有する給気部材と、を備える液浸部材。
【請求項３２】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の第１液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記物体が対向可能な第１下面を有し、前記光学部材と前記物体との間の前記露光光の光路が前記第１液体で満たされるように前記光学部材の射出面側に前記第１液体の第１液浸空間を形成する第１液浸部材と、
前記光路に対して前記第１液浸部材の外側に配置され、前記物体が対向可能な第２下面を有し、前記第１液浸空間の周囲の一部に第２液体の第２液浸空間を形成する第２液浸部材と、を備え、
前記第２下面と前記物体の表面との距離は、前記第１下面と前記物体の表面との間の距離よりも小さい液浸部材。
【請求項３３】
液浸露光装置内において、光学部材、及び前記光学部材と物体との間の第１液体を通過する露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置される液浸部材であって、
前記光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記光学部材と前記物体との間の前記露光光の光路が前記第１液体で満たされるように前記光学部材の射出面側に前記第１液体の第１液浸空間を形成する第１液浸部材と、
前記光路に対して前記第１液浸部材の外側に配置され、前記第１液浸空間の周囲の一部に第２液体の第２液浸空間を形成する第２液浸部材と、
前記光路に対して前記第２液浸部材の外側に配置され、気体を供給する気体供給口と、を備える液浸部材。
【請求項３４】
第１液体を介して露光光で基板を露光する液浸露光装置であって、
請求項１〜３３のいずれか一項に記載の液浸部材を備える液浸露光装置。
【請求項３５】
請求項３４に記載の液浸露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【請求項３６】
第１液体を介して露光光で基板を露光する液浸露光方法であって、
請求項１〜３３のいずれか一項に記載の液浸部材を用いて、前記基板の表面に前記第１液体の第１液浸空間及び第２液体の第２液浸空間を形成することを含む液浸露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液浸部材、液浸露光装置、デバイス製造方法、及び液浸露光方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、液浸部材、液浸露光装置、デバイス製造方法、及び液浸露光方法に関する。
本願は、２０１０年１２月２７日に出願された米国特許仮出願第６１／４２７，３２０号、及び２０１１年１２月２２日に出願された米国特許出願第１３／３３４，８０８号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。