【事件の表示】
　特許第３４６９０５５号「ターボ分子ポンプ」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４６９０５５号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
第１．手続の経緯
　特許第３４６９０５５号の請求項１ないし５に係る発明についての出願は、平成９年８月２０日の特許出願（特願平９−２２３６０６号）であって、平成１５年９月５日にその発明について特許権の設定登録がなされた（公報発行日：平成１５年１１月２５日）。
  その後、平成１５年１２月２６日付けで本件の請求項１ないし５に係る発明の特許に対して高橋一幸（以下、「異議申立人」という。）より特許異議が申立てられ、平成１６年８月２日付け（発送日：平成１６年８月１０日）で取消理由が通知され、平成１６年１０月１２日付けで訂正請求書及び意見書が提出され、平成１７年１月１７日付けで上記平成１６年１０月１２日付け訂正請求の訂正請求取下書及び上申書が提出され、平成１７年２月１日付け（発送日：平成１７年２月１４日）で２回目の取消理由が通知され、平成１７年４月８日付けで訂正請求書及び意見書が提出された。
　
第２．訂正の適否についての判断
１．訂正の内容
（１）訂正事項ａ−１
　特許請求の範囲の請求項１の記載について、「回転保持するガイド部を設け」とあるのを、「回転保持するガイド部を設け、異常時の衝撃エネルギが前記下部ケーシングへ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記下部ケーシングとの間の半径方向の隙間を設け」と訂正する。
（２）訂正事項ａ−２　
　明細書の段落【００１０】，【００５３】の記載について、「回転保持するガイド部を設け」とあるのを、「回転保持するガイド部を設け、異常時の衝撃エネルギが前記下部ケーシングへ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記下部ケーシングとの間の半径方向の隙間を設け」と訂正する。
（３）訂正事項ｂ−１
　特許請求の範囲の請求項１の記載について、「その内部ケーシングに前記静翼を固定する固定手段」とあるのを、「その内部ケーシングに前記静翼を固定するスペーサ」と訂正する。
（４）訂正事項ｂ−２　
　明細書の段落【００１０】，【００５３】の記載について、「その内部ケーシングに前記静翼を固定する固定手段」とあるのを、「その内部ケーシングに前記静翼を固定するスペーサ」と訂正する。
（５）訂正事項ｃ−１
　特許請求の範囲の請求項１の記載について、「前記シールリングがその外側のケーシングに」とあるのを、「前記シールリングがその外側の下部ケーシングに」と訂正する。
（６）訂正事項ｃ−２　
　明細書の段落【００１０】，【００５３】の記載について、「前記シールリングがその外側のケーシングに」とあるのを、「前記シールリングがその外側の下部ケーシングに」と訂正する。
（７）訂正事項ｄ−１
　特許請求の範囲の請求項３の記載について、「内部ケーシングとは別にケーシングに固定」とあるのを、「内部ケーシングとは別に前記下部ケーシングに固定」と訂正する。
（８）訂正事項ｄ−２　
　明細書の段落【００１７】，【００５７】の記載について、「内部ケーシングとは別にケーシングに固定」とあるのを、「内部ケーシングとは別に前記下部ケーシングに固定」と訂正する。
（９）訂正事項ｅ−１
　特許請求の範囲の請求項４の記載について、「異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングヘ伝達されるのを抑制する前記シールリングと前記ケーシングとの間の隙間と」とあるのを、「異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングヘ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記ケーシングとの間の半径方向の隙間と」と訂正する。
（１０）訂正事項ｅ−２　
　明細書の段落【００１８】，【００５８】の記載について、「異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングヘ伝達されるのを抑制する前記シールリングと前記ケーシングとの間の隙間と」とあるのを、「異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングヘ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記ケーシングとの間の半径方向の隙間と」と訂正する。
　
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張変更の存否
（１）訂正事項ａ−１について
　「異常時の衝撃エネルギが前記下部ケーシングへ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記下部ケーシングとの間の半径方向の隙間を設け」を追加した訂正は、シールリングと下部ケーシングの位置関係について、さらなる限定を加えるものである。そして、「異常時の衝撃エネルギが前記下部ケーシングへ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記下部ケーシングとの間の半径方向の隙間を設け」については、特許登録時の明細書の「・・・回動可能とするガイド部と、異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングへ伝達されるのを抑制する前記シールリングと前記ケーシングとの間の隙間とを設けたこと・・・」（特許請求の範囲の請求項４参照），「・・・２７は内部ケーシング２１と外側のケーシング１との間に形成された隙間で、内部ケーシング２１が衝撃力を受けて塑性変形しても外側ケーシング１に衝撃力を伝達しないよう、変形量に見合った隙間（空間）２７が設けられている。」（段落【００２５】，第１図，第２図参照），「また、シールリング２２と下部ケーシング１６との間にも同様の隙間２７′が設けられている。・・・」（段落【００２６】，第１図，第２図参照），「・・・例えば、ねじ溝ポンプ段８近傍から破損し飛散した破片は、まずシールリング２２にて受け止められ、シールリング２２の変形と回転が生じる。」（段落【００２８】参照），「・・・ねじ溝ポンプ段８近傍から破損し飛散した破片は、まず大形のシールリング４１にて受け止められ、シールリング４１の塑性変形と回転が生じる。」（段落【００４４】参照），「・・・シールリング５１にて受け止められ、シールリング５１の塑性変形と回転が生じ、・・・」（段落【００５０】参照），シールリング２２と下部ケーシング１６との間に半径方向の隙間２７’が設けられていることを示す第１図及び第２図の記載から、自明の事項である。
　したがって、訂正事項ａ−１は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
（２）訂正事項ｂ−１について
　「その内部ケーシングに前記静翼を固定する固定手段」を「その内部ケーシングに前記静翼を固定するスペーサ」とした訂正は、訂正前の請求項１に「その内部ケーシングに前記静翼を固定する固定手段」及び「前記シールリングがその外側のケーシングに固定される部位に、その固定手段の破損時」とあり、これら２つの「固定手段」の関係が、同じ固定手段でないにもかかわらず、同じ固定手段であるように記載され、不明りょうとなっていたところ、前者の固定手段を「スペーサ」と訂正し、これらの関係を明りょうにしたものである。
　そして、「その内部ケーシングに前記静翼を固定するスペーサ」については、特許登録時の明細書の「・・・その他の構成は、前記従来技術の図５に示したターボ分子ポンプの構成と略同一である。」（段落【００２６】参照），「【従来の技術】図５は、従来のターボ分子ポンプの縦断面図を示すもので、・・・その間の上部ケーシング１の内側には、静翼（固定翼）４がスペーサ１３によって所定位置に保たれて固定されている。」（段落【０００２】参照），静翼４がスペーサ１３に挟持されて内部ケーシング２１に支持されていることが示されている第１図の記載から、自明の事項である。また、「固定手段」を「スペーサ」とする訂正は、訂正前の「固定手段」が明りょうでなかったものを「スペーサ」という具体的構成に限定することにより明りょうにしたものである。
　したがって、訂正事項ｂ−１は、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　なお、異議申立人は、平成１７年１月１７日付けで取り下げられた、平成１６年１０月１２日付けの訂正請求書における同様の訂正事項に対して、このような訂正は、「出願書類禁反言の原則より認めらるべきものではなく、また、実質上特許請求の範囲を変更するものとなるので認められるべきではない。」（平成１５年１２月２６日付け特許異議申立書第１７頁第６行〜第７行）旨主張するので検討する。
　審査段階の平成１５年６月２７日付け意見書の第２頁第２３行〜第２６行において、『 なお、今回の補正で新請求項１とした原請求項２には、「その固定手段」という記載がありますが、その先行詞が無く不明瞭となっているため、「・・・その内部ケーシングに前記静翼を固定する固定手段を設けると共に、・・・」と記載を追加しました。』と主張している。
　しかし、特許登録時の明細書及び図面において、固定手段の破損時にシールリングを回転保持するガイド部を設ける点に関する固定手段は、シールリングをケーシングに固定する手段（ボルト）であることが記載されている一方、内部ケーシングに静翼を固定する手段（スペーサ）の破損時と上記ガイド部との関係については、何ら記載されておらず、また、特許登録時の明細書全体及び図面の記載からみて、「その固定手段」と「・・・その内部ケーシングに前記静翼を固定する固定手段・・・」とで用いられる「固定手段」が異なるものであることは明らかであるから、上記主張は誤認に基づくものというべきである。しかも、上記記載は特許権者がその誤りを認めて撤回しているものである（平成１７年４月８日付け意見書第２頁第８行〜第１０行）。
　したがって、特許権者の誤認に基づく上記主張を前提とする異議申立人の主張は採用することが出来ない。
　
（３）訂正事項ｃ−１について
　「前記シールリングがその外側のケーシングに」を「前記シールリングがその外側の下部ケーシングに」とする訂正は、訂正前の請求項１に「前記シールリングがその外側のケーシングに固定される」とあり、この「ケーシング」が「上部ケーシング」、「内部ケーシング」との関係で不明りょうとなっていたところ、この「ケーシング」を「下部ケーシング」と訂正し、これらの関係を明りょうにしたものである。そして、「前記シールリングがその外側の下部ケーシングに」については、特許登録時の明細書の「・・・２４はシールリング２２と内部ケーシング２１下部を下部ケーシング１６へ固定するボルトで、・・・」（段落【００２４】参照），シールリング２２がボルト２４によって下部ケーシング１６へ固定されていることが示されている第１図の記載から、自明の事項である。
　したがって、訂正事項ｃ−１は、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（４）訂正事項ｄ−１について
　「内部ケーシングとは別にケーシングに固定」を「内部ケーシングとは別に前記下部ケーシングに固定」とする訂正は、訂正前の請求項３に「内部ケーシングとは別にケーシングに固定」とあり、この「ケーシング」が「上部ケーシング」、「内部ケーシング」のいずれを示すのか不明りょうとなっていたところ、この「ケーシング」を「下部ケーシング」と訂正し、請求項１の「下部ケーシング」を引用することとして、これらの関係を明りょうにしたものである。そして、「内部ケーシングとは別にケーシングに固定」については、特許登録時の明細書の「２２はねじ溝ポンプ段８に対向して配置されたシールリングで、下部ケーシング１６の内側に隙間２７を設け、シールリング２２と内部ケーシング２１は一体構造で、ボルト２４によって下部ケーシング１６の上面に固定されている。」（段落【００２３】，第１図参照），「（第２実施形態）次に、図２に示す第２実施形態によるターボ分子ポンプについて説明する。この第２実施形態では、前記第１実施形態のターボ分子ポンプにおいて、シールリングと内部ケーシングを別体製作して組立てる方式とし、内部ケーシングの上部取付け構造を異なる構成としたものである。」（段落【００３４】，第２図参照），「・・・３７はねじ溝ポンプ段８と対向して配置されボルト２４によって下部ケーシング１６に固定されたシールリングで、・・・」（段落【００３６】参照），「・・・上記のように構成された第２実施形態のターボ分子ポンプによれば、シールリング３７と内部ケーシング３２とが別体製作されており、・・・」（段落【００３８】参照），シールリング３７の外側の下部ケーシング１６にシールリング３７が固定されていることが示されている第２図の記載から、自明の事項である。
　したがって、訂正事項ｄ−１は、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
（５）訂正事項ｅ−１について
　「異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングヘ伝達されるのを抑制する前記シールリングと前記ケーシングとの間の隙間と」を「異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングヘ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記ケーシングとの間の半径方向の隙間と」とする訂正は、訂正前に異常時の衝撃エネルギがケーシングに伝達されるのを抑制する構成について何ら特定されてなかったものを、「塑性変形することによって」抑制するものに限定し、また、訂正前にシールリングとケーシングとの間の隙間について何ら特定されていなかったものを、「半径方向の」隙間と限定するものであるから、異常時の衝撃エネルギがケーシングに伝達されるのを抑制する構成について及びシールリングとケーシングとの間の隙間について、さらなる限定を加えるものである。そして、「異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングヘ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記ケーシングとの間の半径方向の隙間と」については、特許登録時の明細書の「・・・異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングへ伝達されるのを抑制する前記シールリングと前記ケーシングとの間の隙間とを設けたこと・・・」（特許請求の範囲の請求項４参照），「・・・２７は内部ケーシング２１と外側のケーシング１との間に形成された隙間で、内部ケーシング２１が衝撃力を受けて塑性変形しても外側ケーシング１に衝撃力を伝達しないよう、変形量に見合った隙間（空間）２７が設けられている。」（段落【００２５】，第１図，第２図参照），「また、シールリング２２と下部ケーシング１６との間にも同様の隙間２７′が設けられている。・・・」（段落【００２６】，第１図，第２図参照），「・・・例えば、ねじ溝ポンプ段８近傍から破損し飛散した破片は、まずシールリング２２にて受け止められ、シールリング２２の変形と回転が生じる。」（段落【００２８】参照），「・・・ねじ溝ポンプ段８近傍から破損し飛散した破片は、まず大形のシールリング４１にて受け止められ、シールリング４１の塑性変形と回転が生じる。」（段落【００４４】参照），「・・・シールリング５１にて受け止められ、シールリング５１の塑性変形と回転が生じ、・・・」（段落【００５０】参照），シールリング２２と下部ケーシング１６との間に半径方向の隙間２７’が設けられていることを示す第１図及び第２図の記載から、自明の事項である。
　したがって、訂正事項ｅ−１は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
（６）訂正事項ａ−２，ｂ−２，ｃ−２，ｄ−２，ｅ−２について
　訂正事項ａ−２，ｂ−２，ｃ−２，ｄ−２，ｅ−２は、上記訂正事項ａ−１，ｂ−１，ｃ−１，ｄ−１，ｅ−１と整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
３．むすび
  以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項，第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３．特許異議の申立ての理由及び取消理由についての判断
１．特許異議の申立ての理由及び取消理由の概要
　最初に、特許異議の申立ての理由の概要は、次のとおりである。
（１）進歩性欠如について
　異議申立人は、証拠として甲第１号証（下記の刊行物１）ないし甲第３号証（下記の刊行物３）を提出し、本件特許の請求項１ないし５に係る発明は、下記の刊行物１ないし３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許の請求項１ないし５に係る発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
　
刊行物１：実願昭６３−７６４７号（実開平１−１１３１９１号）のマイクロフィルム（甲第１号証）
刊行物２：特開昭５７−２１２３９５号公報（甲第２号証）
刊行物３：特開平４−３４２８９８号公報（甲第３号証）
　
（２）記載不備について
　本件特許請求の範囲の請求項１，２，３，５の記載は、特許を受けようとする発明が明確でなく、かつ特許を受けようとする発明が発明の詳細な説明に記載したものとはいえないから、本件特許の請求項１，２，３，５に係る発明の特許は、特許法第３６条第６項第１号，第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。
　
　また、当審が平成１６年８月２日付け及び平成１７年２月１日付けで通知した取消理由は、上記特許異議の申立ての理由と同様である。
　
２．本件各発明
　上記第２．に記載したように上記訂正が認められるから、本件特許の請求項１ないし５に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」ないし「本件発明５」という。）は、上記平成１７年４月８日付けの訂正請求書に添付された全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された次の事項により特定されるとおりのものであると認める。
　
「【請求項１】　内側に静翼を備えた上部ケーシングと、同上部ケーシング内に配設され動翼を備えたロータとで構成された動静翼段、及び前記ロータに設けられたねじ溝とその外周側に配設されたシールリングとで構成されたねじ溝ポンプ段を備えたターボ分子ポンプにおいて、前記上部ケーシングを二重ケーシング構造とし、その内部ケーシングに前記静翼を固定するスペーサを設けると共に、前記シールリングがその外側の下部ケーシングに固定される部位に、その固定手段の破損時に前記シールリングを回転保持するガイド部を設け、異常時の衝撃エネルギが前記下部ケーシングへ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記下部ケーシングとの間の半径方向の隙間を設けてなることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項２】　前記二重ケーシングを構成する外側ケーシングと内部ケーシングの間に、回転体破壊時の衝撃エネルギが前記外側ケーシングへ伝達されるのを抑制する間隙を設けてなる請求項１記載のターボ分子ポンプ。
【請求項３】　前記内部ケーシングと前記シールリングとを別体で構成し、前記二重ケーシング構造を構成する外側ケーシングに前記内部ケーシングを支持部材を介して固定し、前記シールリングは前記内部ケーシングとは別に前記下部ケーシングに固定してなる請求項１または２記載のターボ分子ポンプ。
【請求項４】　ケーシングと、同ケーシング内に配設されたロータと、同ロータに配設されたねじ溝と、同ねじ溝の外周に配設されたシールリングとを有し、前記ねじ溝と前記シールリングとで構成されるねじ溝ポンプ段を備えたターボ分子ポンプにおいて、前記シールリングを前記ケーシングに固定するとともにロータ異常時には破損することにより前記シールリングと前記ケーシングとの固定を解除する固定手段と、前記固定手段による前記シールリングと前記ケーシングとの固定が解除された時に前記シールリングを前記ケーシングに対して回動可能とするガイド部と、異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングへ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記ケーシングとの間の半径方向の隙間とを設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項５】　前記シールリングと、同シールリングの外側のケーシングとの間にベアリングを介装してなる請求項１〜４のいづれか１つに記載のターボ分子ポンプ。」
　
３．引用発明
　異議申立人が、証拠として提示した甲第１号証ないし甲第３号証（当審において通知した平成１７年２月１日付けの取消理由に引用した刊行物１ないし３）には、以下のような発明が記載されている。
　
（１）刊行物１：実願昭６３−７６４７号（実開平１−１１３１９１号）のマイクロフィルム（甲第１号証）
　刊行物１には、第１図，明細書第４頁第７行〜第５頁第６行，同第５頁第２０行〜第６頁第８行の記載を総合すると、内側に静翼（２ｂ）を備えたポンプハウジング（１）と、前記ポンプハウジング（１）内に配設され動翼（２ａ）を備えたロータ（４）とで構成されたターボ分子ポンプ部（２）、及びロータ（４）に設けられたねじ溝（３ａ）とその外周側に配設されたステータ（３ｂ）とで構成されたねじ溝ポンプ部（３）を備えた複合真空ポンプにおいて、前記ポンプハウジング（１）は一重ケーシング構造とし、前記ポンプハウジング（１）に静翼（２ｂ）を固定し、ステータ（３ｂ）が前記ポンプハウジング（１）の一部である支持筒体（１ａ）に固定される部位には、ステータ（３ｂ）を回転保持する摺動材（６ａ）（６ｂ）を設けてなる複合真空ポンプの発明が記載されている。
　
（２）刊行物２：特開昭５７−２１２３９５号公報（甲第２号証）
　刊行物２には、第２図，第２頁左下欄第６行〜同第１３行の記載を総合すると、ターボ分子ポンプのケーシングを二重ケーシング構造としたことの発明が記載されている。
　
（３）刊行物３：特開平４−３４２８９８号公報（甲第３号証）
　刊行物３には、第１〜５図，第２頁第２欄第３６行〜同第３９行の記載を総合すると、真空ポンプにおいて、円筒部材（１５）とケーシング（１）との間に隙間を設けたことの発明が記載されている。
　
４．判断
（１）進歩性欠如について
ア．本件発明１を特定する事項である、「異常時の衝撃エネルギが前記下部ケーシングへ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記下部ケーシングとの間の半径方向の隙間を設けてなること」は、上記刊行物１ないし３のいずれにも、なんら記載されていない。そして、当該事項により、本件発明１は、訂正明細書の段落【００１６】に記載された「ターボ分子ポンプの回転部破損に伴って飛散する破片のエネルギは内部ケーシングの変形、シールリングの固定部の破損と回転運動などによって吸収されターボ分子ポンプ本体外へ与えられる衝撃力を小さくすることができる。」という作用効果及び「半径方向の衝撃エネルギが『シールリングとケーシングとの間の隙間』によって消費・緩和されるので、半径方向の衝撃エネルギが外側のケーシングに直接伝達されることがなく、これにより、外側のケーシングの損傷を防止でき」（平成１７年４月８日付け意見書第４頁第２２行〜第２５行参照）るという作用効果を奏するものであるから、本件発明１が上記刊行物１ないし３に記載された各発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
イ．本件発明２，３は、本件発明１をさらに限定したものであるから、本件発明１についての理由と同様の理由により、上記刊行物１ないし３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
ウ．本件発明４を特定する事項である、「異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングヘ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記ケーシングとの間の半径方向の隙間とを設けたこと」は、上記刊行物１ないし３のいずれにも、なんら記載されていない。そして、当該事項により、本件発明４は、訂正明細書の段落【００１６】に記載された「ターボ分子ポンプの回転部破損に伴って飛散する破片のエネルギは内部ケーシングの変形、シールリングの固定部の破損と回転運動などによって吸収されターボ分子ポンプ本体外へ与えられる衝撃力を小さくすることができる。」という作用効果及び「半径方向の衝撃エネルギが『シールリングとケーシングとの間の隙間』によって消費・緩和されるので、半径方向の衝撃エネルギが外側のケーシングに直接伝達されることがなく、これにより、外側のケーシングの損傷を防止でき」（平成１７年４月８日付け意見書第４頁第２２行〜第２５行参照）るという作用効果を奏するものであるから、本件発明４が上記刊行物１ないし３に記載された各発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
エ．本件発明５は、本件発明４をさらに限定したものであるから、本件発明４についての理由と同様の理由により、上記刊行物１ないし３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
（２）記載不備について
ア．訂正後の請求項１において、「その内部ケーシングに前記静翼を固定する」ものは、「スペーサ」であり、また、「固定手段」という用語は、「・・・前記シールリングがその外側のケーシングに固定される部位に、その固定手段の破損時に前記シールリングを回転保持するガイド部・・・」と記載されているのみである。そして、この「固定手段」は、訂正明細書記載の実施の形態に具体的に記載されている「ボルト２４，４２，５２」等を示すものであり、また、訂正明細書全体及び図面の記載からみて、「その内部ケーシングに前記静翼を固定するスペーサ」と異なることは明らかである。
イ．訂正後の請求項１において、シールリングが固定されるところは、その外側の「下部ケーシング」である。そして、このシールリングが固定される「下部ケーシング」は、訂正明細書の発明の詳細な説明の実施の形態に記載されていることは明らかである（例えば、第１〜４実施形態参照）。
ウ．したがって、本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１の記載は、特許を受けようとする発明が明確に記載したものではないといえず、また、特許を受けようとする発明が発明の詳細な説明に記載したものでもないといえないから、本件特許の請求項１に係る特許は、特許法第３６条第６項第１号，第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるとはいえない。
　また、本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１を引用する請求項２，５の記載は、上記請求項１の記載と同様の理由により、発明が明確に記載したものではないといえず、また、特許を受けようとする発明が発明の詳細な説明に記載したものでもないといえないから、本件特許の請求項２，５に係る発明の特許は、特許法第３６条第６項第１号，第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるとはいえない。
エ．訂正後の請求項３において、シールリングが固定されるところは、前記内部ケーシングとは別の「前記下部ケーシング」である。そして、「前記下部ケーシング」は、発明の詳細な説明の実施の形態に記載されていることは明らかである（例えば、第２実施形態参照）。
オ．したがって、本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項３の記載は、発明が明確に記載したものではないといえず、また、特許を受けようとする発明が発明の詳細な説明に記載したものでもないといえないから、本件特許の請求項３に係る発明の特許は、特許法第３６条第６項第１号，第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものであるとはいえない。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１ないし５についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１ないし５についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年４月２６日（２００５．４．２６）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
ターボ分子ポンプ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　内側に静翼を備えた上部ケーシングと、同上部ケーシング内に配設され動翼を備えたロータとで構成された動静翼段、及び前記ロータに設けられたねじ溝とその外周側に配設されたシールリングとで構成されたねじ溝ポンプ段を備えたターボ分子ポンプにおいて、前記上部ケーシングを二重ケーシング構造とし、その内部ケーシングに前記静翼を固定する
スペーサ
下部
、異常時の衝撃エネルギが前記下部ケーシングへ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記下部ケーシングとの間の半径方向の隙間を設け
　【請求項２】　前記二重ケーシングを構成する外側ケーシングと内部ケーシングの間に、回転体破壊時の衝撃エネルギが前記外側ケーシングへ伝達されるのを抑制する間隙を設けてなる請求項１記載のターボ分子ポンプ。
　【請求項３】　前記内部ケーシングと前記シールリングとを別体で構成し、前記二重ケーシング構造を構成する外側ケーシングに前記内部ケーシングを支持部材を介して固定し、前記シールリングは前記内部ケーシングとは別に
前記下部
　【請求項４】　ケーシングと、同ケーシング内に配設されたロータと、同ロータに配設されたねじ溝と、同ねじ溝の外周に配設されたシールリングとを有し、前記ねじ溝と前記シールリングとで構成されるねじ溝ポンプ段を備えたターボ分子ポンプにおいて、前記シールリングを前記ケーシングに固定するとともにロータ異常時には破損することにより前記シールリングと前記ケーシングとの固定を解除する固定手段と、前記固定手段による前記シールリングと前記ケーシングとの固定が解除された時に前記シールリングを前記ケーシングに対して回動可能とするガイド部と、異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングへ伝達されるのを
塑性変形することによって
半径方向の
　【請求項５】　前記シールリングと、同シールリングの外側のケーシングとの間にベアリングを介装してなる請求項１〜４のいづれか１つに記載のターボ分子ポンプ。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、内側に静翼（固定翼）を備えた上部ケーシングと、この上部ケーシング内に配設されて動翼（回転翼）を備えたロータとで構成された動静翼段を具え、吸気口からのガスを排気口へ真空排気するターボ分子ポンプに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　図５は、従来のターボ分子ポンプの縦断面図を示すもので、上部ケーシング１及び下部ケーシング１６には、ガスの吸気口２及び排気口３が設けられ、その間の上部ケーシング１の内側には、静翼（固定翼）４がスペーサ１３によって所定位置に保たれて固定されている。
　【０００３】
　６はロータで、このロータ６には動翼（回転翼）５とねじ溝ポンプ段８が取りつけられ、回転軸７によって回転される。そして、動翼５と静翼４とが軸方向に交互に配設されている。
　【０００４】
　また、回転軸７とその周りに配置されたステータ１７との間には、ロータ６を高速回転させるための上部ラジアル軸受９と下部ラジアル軸受１０とスラスト軸受１１とモータ１２とが設けられ、さらに、回転軸７の上下部には、上部保護軸受１９と下部保護軸受２０が設けられている。
　【０００５】
　ねじ溝ポンプ段８の外周側には、圧縮効果を上げるためのシールリング１４が微小な隙間をおいて対向配置され、剪断され難い大径のボルト１８によって下部ケーシング１６に固定されている。また、下部ケーシング１６と上部ケーシング１の間には“Ｏ”リング１５が配置され真空シールされている。
　【０００６】
　上記のように構成されたターボ分子ポンプでは、動翼５とねじ溝ポンプ段８と回転軸７とを持つロータ６がモータ１２によって、例えば、１０，０００〜１００，０００ｒｐｍで高速回転されると、真空排気されるガスが吸気口２から動翼５、静翼４及びねじ溝ポンプ段８のガス通路を経て排気口３方向へ流れて、吸気口２側が高真空に真空排気される。
　【０００７】
　しかしながら、このようなターボ分子ポンプは、大容量・大型化するにつれて回転体の質量が比例して大きくなり、高速回転中のロータ６、動翼５、ねじ溝ポンプ段８等の回転体が、非常に大きな回転エネルギを持って回転する。
　【０００８】
　【発明が解決しようとする課題】
　以上説明した構造をもち、高速回転中のターボ分子ポンプに、外部からの許容値を超える異常振動が発生した場合や、内部での異常事態が発生した場合には、大きな回転エネルギを持った回転体が破壊して飛散し、ターボ分子ポンプのケーシングに大きな衝撃力を与え、ケーシングが変形を起こし、さらに、ターボ分子ポンプ本体固定ボルトが破断して了うという問題があった。
　【０００９】
　本発明は、上記の大容量・大型のターボ分子ポンプにおいても、高速回転中の回転体が万一破損しても、ケーシングに伝達される回転エネルギが小さくなるように、ケーシングの内側に回転エネルギを吸収する構造手段を設けることによって、ケーシングの強度信頼性向上を図り、外部への衝撃波及を少なくすることのできるターボ分子ポンプを提供することを課題としている。
　【００１０】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、前記課題を解決するため、内側に静翼を備えた上部ケーシングと、同上部ケーシング内に配設され動翼を備えたロータとで構成された動静翼段、及び前記ロータに設けられたねじ溝とその外周側に配設されたシールリングとで構成されたねじ溝ポンプ段を具えたターボ分子ポンプにおいて、前記上部ケーシングを二重ケーシング構造とし、その内部ケーシングに前記静翼を固定する
スペーサ
下部
、異常時の衝撃エネルギが前記下部ケーシングへ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記下部ケーシングとの間の半径方向の隙間を設け
　【００１１】
　なお、前記した二重ケーシングを構成する外側ケーシングと内部ケーシングの間には、回転体破壊時の衝撃エネルギが前記外側ケーシングへ伝達されるのを抑制する間隙を設けるのが好ましい。
　【００１２】本発明のこのターボ分子ポンプによれば、高速回転中に大きな回転エネルギをもつ回転体が破損してターボ分子ポンプ内部に飛散しても、それらは内部ケーシングに当り、その塑性変形により破片の運動エネルギを吸収する。
　【００１３】
　そして内部ケーシングと外側のケーシングは二重ケーシング構造となっていてそれらの間には隙間が形成されているので、外側のケーシングに対し破片は直接衝突することがない。
　【００１４】
　【００１５】
　このように本発明のターボ分子ポンプにおいては、上部ケーシングを二重ケーシング構造としたことにより、前述の効果を奏しうると共に、ねじ溝ポンプ段が破損すると、その破片はシールリングによって受け止められ、このシールリングをケーシングに固定しているボルトなどが破壊するとシールリングはガイド部によって案内されて回転しながら慣性と摩擦で破片のもつ運動エネルギを吸収する。
　【００１６】
　このようにして、ターボ分子ポンプの回転部破損に伴って飛散する破片のエネルギは内部ケーシングの変形、シールリングの固定部の破損と回転運動などによって吸収されターボ分子ポンプ本体外へ与えられる衝撃力を小さくすることができる。
　【００１７】
　前記した本発明のターボ分子ポンプにおいて、前記内部ケーシングと前記シールリングとを別体で構成し、前記二重ケーシング構造を構成する外側のケーシングに前記内部ケーシングを支持部材を介して固定し、前記シールリングは前記内部ケーシングとは別に
前記下部
　【００１８】
　また、本発明は、前記課題を解決するため、ケーシングと、同ケーシング内に配設されたロータと、同ロータに配設されたねじ溝と、同ねじ溝の外周に配設されたシールリングとを有し、前記ねじ溝と前記シールリングとで構成されるねじ溝ポンプ段を備えたターボ分子ポンプにおいて、前記シールリングを前記ケーシングに固定するとともにロータ異常時には破損することにより前記シールリングと前記ケーシングとの固定を解除する固定手段と、前記固定手段による前記シールリングと前記ケーシングとの固定が解除された時に前記シールリングを前記ケーシングに対して回動可能とするガイド部と、異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングへ伝達されるのを
塑性変形することによって
半径方向の
　【００１９】
　このように構成したターボ分子ポンプにおいては、シールリングは、ロータ異常時には破損する固定手段によってケーシングに固定されていて、この固定手段がロータ異常時に剪断破壊されると、これによって破片の持つ運動エネルギが吸収される。さらに、固定手段の剪断後はガイド部によってシールリングがケーシングに対して回転しながら慣性と摩擦で破片の持つ運動エネルギを吸収させる。こうして、エネルギが効果的に吸収されることにより、破片からケーシングに伝達されるエネルギが小さく抑えられるので、ケーシングの変形や破損を防止することができ、ターボ分子ポンプ本体外への衝撃力を小さくすることができる。
　【００２０】
　また、本発明によるターボ分子ポンプでは、前記シールリングと、同シールリングの外側のケーシングとの間にベアリングを介装した構成とするのが好ましい。このように構成することによりターボ分子ポンプの回転部分が破損しその破片の持つ運動エネルギがシールリングに伝えられたとき、前記ベアリングがシールリングの回転を容易にし、シールリングの回転により破片のもつエネルギを効果的に吸収できる。
　【００２１】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明によるターボ分子ポンプについて図１〜図４に示した実施の形態に基づいて具体的に説明する。なお、以下の実施の形態において、図５に示した従来の装置と同じ構成の部分には説明を簡単にするため同じ符号を付してある。
　【００２２】
（第１実施形態）
　まず図１により第１実施形態のターボ分子ポンプについて説明する。図１において、２１は上部ケーシング１の内側に隙間２７を設けて配置された内部ケーシングで、同内部ケーシング２１と内側のスペーサ１３とが、微小隙間を有して上下で固定されている。
　【００２３】
　２２はねじ溝ポンプ段８に対向して配置されたシールリングで、下部ケーシング１６の内側に隙間２７を設け、シールリング２２と内部ケーシング２１は一体構造で、ボルト２４によって下部ケーシング１６の上面に固定されている。
　【００２４】
　２３は内部ケーシング２１の上部を固定するボルト、２４はシールリング２２と内部ケーシング２１下部を下部ケーシング１６へ固定するボルトで、同ボルト２４は剪断に必要なエネルギの小さい小径のボルトサイズのものが適用されている。２５はシールリング２２の外周部に設けられた軟剛性の環状突起部で、下部ケーシング１６の上面に穿設された凹部に係合されており、これはボルト２４の破損時にシールリング２２を回転保持するガイド部として働く。
　【００２５】
　２６は上部ケーシング１上部内側に穿設された切り欠き凹部で、内部ケーシング２１の上端支持部が被衝撃時に強く拘束されないようにこの切り欠き部を設けている。２７は内部ケーシング２１と外側のケーシング１との間に形成された隙間で、内部ケーシング２１が衝撃力を受けて塑性変形しても外側ケーシング１に衝撃力を伝達しないよう、変形量に見合った隙間（空間）２７が設けられている。
　【００２６】
　また、シールリング２２と下部ケーシング１６との間にも同様の隙間２７′が設けられている。その他の構成は、前記従来技術の図５に示したターボ分子ポンプの構成と略同一である。
　【００２７】
　上記のように構成された本実施形態のターボ分子ポンプによれば、動翼５とねじ溝ポンプ段８と回転軸７とを持つロータ６がモータ１２によって、例えば、１０，０００〜１００，０００ｒｐｍで高速回転すると、排気されるガスが吸気口２から動翼５、静翼４及びねじ溝ポンプ段８のガス通路を経て排気口３方向へ流れて真空排気され、吸気口２側が高真空に真空排気運転が行われる。
　【００２８】
　このターボ分子ポンプが高速回転中に、許容値を超える異常振動や、内部での異常事態によって、大きな回転エネルギを持った動翼５、ねじ溝ポンプ段８などの回転体が破壊すればターボ分子ポンプ内部に飛散する。例えば、ねじ溝ポンプ段８近傍から破損し飛散した破片は、まずシールリング２２にて受け止められ、シールリング２２の変形と回転が生じる。
　【００２９】
　さらに、シールリング２２を固定しているボルト２４を剪断破壊し、これにより、破片の持つ運動エネルギを吸収する。そして、ボルト２４の剪断後は、環状突起部２５をガイドとしてシールリング２２が回転しながら、慣性と摩擦で破片の持つ運動エネルギを吸収する。
　【００３０】
　一方、動翼５近傍から飛散した破片は、静翼４及びスペーサ１３を破壊しスペーサ１３を介して内部ケーシング２１に衝突し、塑性変形と回転により運動エネルギを吸収する。従って、内部ケーシング２１を破片が貫通することはなく、また、変形量を考慮し内部ケーシング２１と外側のケーシングの間に数ｍｍ程度の隙間２７が形成されているために、外側の上部ケーシング１には直接的な破片の衝突は起こらない。
　【００３１】
　そして、上部ケーシング１の上部内側に切り欠き凹部２６が設けられていることにより、内部ケーシング２１の塑性変形と回転移動を強固に拘束することがなく、ケーシング１上部が変形し易いようになっている。
　【００３２】
　以上のように図１のターボ分子ポンプでは、高速回転中の回転体が万一破損した場合には、その回転エネルギを吸収させるために、ケーシングを二重ケーシング構造とし、回転エネルギを内部ケーシングの塑性変形と回転によって吸収し、外側のケーシングへ直接衝撃力が伝達しないように隙間を設けている。
　【００３３】
　さらに、衝撃力を受けるシールリング２２の固定ボルト２４を剪断破壊させてエネルギを吸収させるように構成したので、回転エネルギが直接ケーシングに伝達しなくなり、ケーシングの破損や変形が防止できると共に、ターボ分子ポンプ本体外（配管系等の本体固定部）への衝撃力を小さくすることができる。
　【００３４】
（第２実施形態）
　次に、図２に示す第２実施形態によるターボ分子ポンプについて説明する。この第２実施形態では、前記第１実施形態のターボ分子ポンプにおいて、シールリングと内部ケーシングを別体製作して組立てる方式とし、内部ケーシングの上部取付け構造を異なる構成としたものである。
　【００３５】
　図２において、３１はターボ分子ポンプの外側ケーシング、３２は外側ケーシング３１の内側に隙間２７を設けて配置された内部ケーシング、３３は内部ケーシング３２の下部と最下段スペーサ３６を固定するボルト、３４は内部ケーシング３２の上部を支持する支持材で、同支持材３４の脚部が外側ケーシング３１の上部内側に固定されている。
　【００３６】
　３５は内部ケーシング３２の上部を支持材３４に固定するボルト、３６は静翼４を固定する最下段スペーサである。３７はねじ溝ポンプ段８と対向して配置されボルト２４によって下部ケーシング１６に固定されたシールリングで、同シールリング３７の外周側に設けられた段差によって最下段スペーサ３６と係合し支持している。
　【００３７】
　上記のように、内部ケーシング３２の上部は支持材３４に支持され、下部は最下段スペーサ３６を介してシールリング３７に支持されている。その他の構成は図１に示された前記第１実施形態のターボ分子ポンプの構成と略同一となっている。
　【００３８】
　上記のように構成された第２実施形態のターボ分子ポンプによれば、シールリング３７と内部ケーシング３２とが別体製作されており、内部ケーシング３２の下部は最下段スペーサ３６を介してシールリング３７に取着され、同内部ケーシング３２の上部は支持材３４に支持されている。
　【００３９】
　従って、シールリング３７及び内部ケーシング３２の製作が簡単となり、ターボ分子ポンプの組立が容易となる効果がある。また、高速回転中の回転体が万一破損した場合には、その回転エネルギを内部ケーシング３２の塑性変形と回転によって吸収し、前記第１実施形態のターボ分子ポンプと同様の作用・効果がある。
　【００４０】
（第３実施形態）
　次に、図３に示す第３実施形態によるターボ分子ポンプについて説明する。この第３実施形態によるターボ分子ポンプでは、ターボ分子ポンプの容量、サイズ等から算出される回転体の回転エネルギが、前記第１実施形態又は第２実施形態よりも小さい場合を想定したもので、前記従来技術に対して、シールリングの形状を大形化し、シールリングの固定ボルトを剪断に必要なエネルギの小さいボルトサイズとし、さらに、シールリングの外周側に環状突起部を設けて構成したものである。
　【００４１】
　図３において、４１はねじ溝ポンプ段８と対向して配置されボルト４２によって下部ケーシング１６に固定された大形化したシールリング、４２はシールリング４１を下部ケーシング１６へ固定するボルトで、同ボルト４２は剪断に必要なエネルギの小さい小径のボルトサイズが選択されている。
　【００４２】
　４３はシールリング４１の外周部に設けられた軟剛性の環状突起部で、下部ケーシング１６の上面に穿設された凹部に係合されている。
　【００４３】
　上記のように、大形化したシールリング４１が、剪断に必要なエネルギの小さい小径のボルト４２によって下部ケーシング１６に固定されている。その他の構成は、図５に示す従来技術のターボ分子ポンプの構造と略同一となっている。
　【００４４】
　上記のように構成されたターボ分子ポンプによれば、シールリング４１が、小径のボルト４２によって固定されているので、高速回転中の回転体が万一破壊した時に、ねじ溝ポンプ段８近傍から破損し飛散した破片は、まず大形のシールリング４１にて受け止められ、シールリング４１の塑性変形と回転が生じる。
　【００４５】
　さらに、シールリング４１を固定しているボルト４２が剪断破壊されると、これによって破片の持つ運動エネルギが吸収される。さらに、ボルト４２の剪断後は環状突起部４３をガイドとしてシールリング４１が回転しながら慣性と摩擦で破片の持つ運動エネルギを吸収させる。
　【００４６】
　このように、エネルギが効果的に吸収されることにより、破片からケーシングに伝達されるエネルギが小さく抑えられるので、ケーシングの変形や破損を防止することができ、ターボ分子ポンプ本体外への衝撃力を小さくすることができる。
　【００４７】
（第４実施形態）
　次に、図４に示す第４実施形態によるターボ分子ポンプについて説明する。この第４実施形態によるターボ分子ポンプでは、前記第３実施形態によるターボ分子ポンプにおいて、シールリングの外周側上部にベアリングを設けて構成したものである。
　【００４８】
　図４において、５１はねじ溝ポンプ段８と対向して配置されボルト５２によって下部ケーシング５５に固定されたシールリング、５２はシールリング５１を下部ケーシング５５に固定するボルトで、同ボルト５２は剪断に必要なエネルギの小さい小径のボルトサイズが適用されている。
　【００４９】
　５３はシールリング５１の外周側と突起部５４間に介装されたベアリング、５４は下部ケーシング５５から上方へ突起しベアリング５３を支持する突起部、５５はケーシング１の下部に取着されケーシング本体を構成する下部ケーシングである。その他の構成は、前記第３実施形態のターボ分子ポンプの構造と略同一となっている。
　【００５０】
　上記のように構成された第４実施形態のターボ分子ポンプによれば、高速回転中の回転体が万一破壊した時に、ねじ溝ポンプ段８近傍から破損し飛散した破片は、まず、シールリング５１にて受け止められ、シールリング５１の塑性変形と回転が生じ、同シールリング５１を固定しているボルト５２が剪断破壊されると、これによって破片の持つ運動エネルギを吸収する。
　【００５１】
　シールリング５１の外周側上部は、ベアリング５３によって回転可能に支持されているので、ボルト５２の剪断後はベアリング５３及び環状突起部４３をガイドとしてシールリング５１が回転しながら慣性と摩擦で、破片の持つ運動エネルギを吸収する。
　【００５２】
　このように、運動エネルギがベアリング５３で支持されたシールリング５１に加わり、シールリング５１を回転させることによって、回転エネルギが効果的に吸収され、ケーシングに伝達されるエネルギが小さく抑えられるので、ケーシングの変形や破損を防止することができる。
　【００５３】
　【発明の効果】
　以上詳細に説明したように、本発明は、内側に静翼を備えた上部ケーシングと、同上部ケーシング内に配設され動翼を備えたロータとで構成された動静翼段、及び前記ロータに設けられたねじ溝とその外周側に配設されたシールリングとで構成されたねじ溝ポンプ段を具えたターボ分子ポンプにおいて、前記上部ケーシングを二重ケーシング構造とし、その内部ケーシングに前記静翼を固定する
スペーサ
下部
、異常時の衝撃エネルギが前記下部ケーシングへ伝達されるのを塑性変形することによって抑制する前記シールリングと前記下部ケーシングとの間の半径方向の隙間を設け
　【００５４】
　このターボ分子ポンプにおいては、その回転部分が破損してターボ分子ポンプ内部に飛散しても、それらは内部ケーシングに当り、その塑性変形により破片の運動エネルギを吸収する。そして内部ケーシングと外側のケーシングは二重ケーシング構造となっていて、それらの間には隙間が形成されているので、外側のケーシングに対し破片は直接衝突することがない。
　【００５５】
　【００５６】
　また、本発明のターボ分子ポンプにおいては、上部ケーシングを二重ケーシング構造としたことにより、前述の効果を奏しうると共に、ねじ溝ポンプ段が破損すると、その破片はシールリングによって受け止められ、このシールリングをケーシングに固定しているボルトなどが破壊するとシールリングはガイド部によって案内されて回転しながら慣性と摩擦で破片のもつ運動エネルギを吸収する。
　【００５７】
　また、本発明のターボ分子ポンプにおいて、内部ケーシングとシールリングを別体で構成し、内部ケーシングは支持部材を介して外側のケーシングに固定し、シールリングは内部ケーシングとは別に
前記下部
　【００５８】
　また、本発明は、ケーシングと、同ケーシング内に配設されたロータと、同ロータに配設されたねじ溝と、同ねじ溝の外周に配設されたシールリングとを有し、前記ねじ溝と前記シールリングとで構成されるねじ溝ポンプ段を備えたターボ分子ポンプにおいて、前記シールリングを前記ケーシングに固定するとともにロータ異常時には破損することにより前記シールリングと前記ケーシングとの固定を解除する固定手段と、前記固定手段による前記シールリングと前記ケーシングとの固定が解除された時に前記シールリングを前記ケーシングに対して回動可能とするガイド部と、異常時の衝撃エネルギが前記ケーシングへ伝達されるのを
塑性変形することによって
半径方向の
　【００５９】
　このターボ分子ポンプにおいては、シールリングをケーシングに固定している固定手段がロータ異常時に剪断破壊されると、これによって破片の持つ運動エネルギが吸収され、固定手段の剪断後はガイド部によってシールリングがケーシングに対して回転しながら慣性と摩擦で破片の持つ運動エネルギを吸収させる。こうして、エネルギが効果的に吸収されることにより、破片からケーシングに伝達されるエネルギが小さく抑えられ、ケーシングの変形や破損を防止することができ、ターボ分子ポンプ本体外への衝撃力を小さくすることができる。
　【００６０】
　更にまた、シールリングと、その外側のケーシングとの間にベアリングを介装した構成としたものでは、シールリングの回転を円滑にしてターボ分子ポンプ破損時の破片の持つ運動エネルギの吸収を効果的に行わせるものとなる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の第１実施形態によるターボ分子ポンプの構成を示す断面図。
　【図２】　本発明の第２実施形態によるターボ分子ポンプの要部の断面図。
　【図３】　本発明の第３実施形態によるターボ分子ポンプの要部の断面図。
　【図４】　本発明の第４実施形態によるターボ分子ポンプの要部の断面図。
　【図５】　従来のターボ分子ポンプの構成を示す断面図。
　【符号の説明】
　１　上部ケーシング
　２　吸気口
　３　排気口
　４　静翼
　５　動翼
　６　ロータ
　７　回転軸
　８　ねじ溝ポンプ段
　９　上部ラジアル軸受
　１０　下部ラジアル軸受
　１１　スラスト軸受
　１２　モータ
　１３　スペーサ
　１４　シールリング
　１５　Ｏリング
　１６　下部ケーシング
　１７　ステータ
　１８　ボルト
　１９　上部保護軸受
　２０　下部保護軸受
　２１　内部ケーシング
　２２　シールリング
　２３　ボルト
　２４　ボルト
　２５　環状突起部
　２６　切り欠き凹部
　２７　隙間
　２７′隙間
　３１　外側ケーシング
　３２　内部ケーシング
　３３　ボルト
　３４　支持材
　３５　ボルト
　３６　最下段スペーサ
　３７　シールリング
　４１　シールリング
　４２　ボルト
　４３　環状突起部
　５１　シールリング
　５２　ボルト
　５３　ベアリング
　５４　突起部
　５５　下部ケーシング