【事件の表示】
　特許第３３８４３９５号「ポリテトラフルオロエチレン積層体」の請求項１ないし７、９、１３ないし２０、２２ないし２４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３８４３９５号の請求項１、２、５〜９、１３〜２０、２２、２３に係る特許を維持する。
【理　由】
　
１．手続の経緯
　
　本件特許第３３８４３９５号は、平成１０年　８月１８日の日本国出願に基いて優先権を主張して平成１１年　７月２２日に国際出願され、国内段階に移行されたもので、平成１４年１２月２７日にその特許権の設定登録がされ、その後、平成１５年　９月１０日に特許異議申立人金子しのから特許異議の申立てがされて、平成１６年　９月２２日付け取消理由が通知され、同年１１月２９日に訂正請求がされ、さらに、平成１７年　１月　７日付け取消理由が通知され、その指定期間内である同年　２月１５日に訂正請求がされるとともに、平成１６年１１月２９日にされた訂正請求については取り下げられたものである。
　
２．特許異議の申立ての概要
　
　申立てにおける取消理由の概要は、以下のとおりのものと認める。
　
Ａ．特許査定時の請求項１〜６、９、１３〜２０、２２〜２４に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、上記請求項に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものである。
　
Ｂ．特許査定時の請求項１〜７、９、１３〜２０、２２〜２４に係る発明は、甲第１号証〜甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、上記請求項に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
　甲第１号証：特開平１０−２０２８０３号公報
　甲第２号証：「ポリフロン(
R
R
　甲第３号証：特開平　９−　５２９５５号公報
　
３．通知された取消理由
　
　平成１６年　９月２２日付けおよび平成１７年　１月　７日付け取消理由は、総じて以下のとおりである。
　
ａ．特許査定時の請求項１、２、４〜６、９、１４〜２０、２２〜２４に係る発明は、下記の引用例１に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、上記請求項に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　記
　１．特開平１０−２０２８０３号公報
　
４．平成１７年　２月１５日にされた訂正請求の適否について
　
４−１．訂正の内容
　
　本件訂正は、以下の訂正事項ａ１〜ａ21、ｂ、ｃをその内容とするものである。
　
　特許請求の範囲につき、
「【請求項１】平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと熱溶融性樹脂層とが、加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上である積層体。
【請求項２】平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと耐熱性織布とが、熱溶融性樹脂層を介して加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上である積層体。
【請求項３】前記ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂層との接着強度が剥離強度で２ｋｇｆ／ｃｍ以上である請求項１または２記載の積層体。
【請求項４】前記ポリテトラフルオロエチレンシートが比重２．１７５を超える高比重層と該高比重層よりも比重の低い低比重層の２層からなる請求項１〜３のいずれかに記載の積層体。
【請求項５】前記熱溶融性樹脂が熱溶融性フッ素樹脂である請求項１〜４のいずれかに記載の積層体。
【請求項６】前記熱溶融性フッ素樹脂がテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体である請求項５項記載の積層体。
【請求項７】前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである請求項１〜６のいずれかに記載の積層体。
【請求項８】前記ポリテトラフルオロエチレンシートが自由表面をもちその自由表面がポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理されている請求項１〜７のいずれかに記載の積層体。
【請求項９】積層体がバッキングシートである請求項２〜８のいずれかに記載の積層体。
【請求項１０】ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとをそれらの間に溶融エネルギーが６５Ｊ／ｇ以下の未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子の層または未溶融のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体の微粒子の層を介在させたのち、加熱融着することを特徴とするポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法。
【請求項１１】前記未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子が、乳化重合で得られたディスパージョンの形で、または該ディスパージョンを乾燥し粉末としたのちフィルム化して得られたフィルムの形で適用される請求項１０記載の製造法。
【請求項１２】前記未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子が、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）および／またはヘキサフルオロプロピレンで変性されたポリテトラフルオロエチレンである請求項１０または１１に記載の製造法。
【請求項１３】ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとの加熱融着後に、急激な温度低下を防止して溶融しているポリテトラフルオロエチレンを充分に結晶化させることを特徴とする請求項１０〜１２のいずれかに記載の製造法。
【請求項１４】ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとを直接加熱融着したのち、溶融しているポリテトラフルオロエチレンを急激な温度低下を防止して平均比重が２．１７５以上になるまで充分に結晶化させることを特徴とする平均比重が２．１７５以上のポリテトラフルオロエチレンのシートを有するポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法。
【請求項１５】急激な温度低下を防止するために、ポリテトラフルオロエチレンの融点未満で３００℃以上の範囲内の温度に保持する請求項１３または１４記載の製造法。
【請求項１６】前記ポリテトラフルオロエチレンシートとして比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンシートを用いる請求項１０〜１５のいずれかに記載の製造法。
【請求項１７】前記熱溶融性樹脂フィルムまたはシートのポリテトラフルオロエチレンシートと反対側にさらに耐熱性織布が重ねられており、該熱溶融性樹脂フィルムまたはシートと耐熱性織布とを融着する請求項１０〜１６のいずれかに記載の製造法。
【請求項１８】加熱を耐熱性織布側から行なう請求項１７記載の製造法。
【請求項１９】前記ポリテトラフルオロエチレンシートとして比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンシートを用いて請求項１〜９のいずれかに記載の積層体を製造する請求項１０〜１７のいずれかに記載の製造法。
【請求項２０】前記ポリテトラフルオロエチレンシート中に溶融しない層が残っている時点で加熱を停止する請求項１０〜１９のいずれかに記載の製造法。
【請求項２１】前記加熱融着の前、同時または後に前記ポリテトラフルオロエチレンシートの積層面と反対側の表面をポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理する請求項１０〜２０のいずれかに記載の製造法。
【請求項２２】積層体がバッキングシートである請求項１０〜２１のいずれかに記載のバッキングシートの製造法。
【請求項２３】請求項１０〜２１のいずれかに記載の製造法で得られるポリテトラフルオロエチレン積層体。
【請求項２４】得られる積層体が請求項１〜９のいずれかに記載の積層体である請求項１０〜２２のいずれかに記載の製造法。」
とあるのを、
「【請求項１】平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと熱溶融性樹脂層とが、加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである積層体。
【請求項２】平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと耐熱性織布とが、熱溶融性樹脂層を介して加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである積層体。
【請求項３】平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと熱溶融性樹脂層とが、加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ前記ポリテトラフルオロエチレンシートが自由表面をもちその自由表面がポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理されている積層体。
【請求項４】平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと耐熱性織布とが、熱溶融性樹脂層を介して加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ前記ポリテトラフルオロエチレンシートが自由表面をもちその自由表面がポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理されている積層体。
【請求項５】前記ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂層との接着強度が剥離強度で２ｋｇｆ／ｃｍ以上である請求項１〜４のいずれかに記載の積層体。
【請求項６】前記ポリテトラフルオロエチレンシートが比重２．１７５を超える高比重層と該高比重層よりも比重の低い低比重層の２層からなる請求項１〜５のいずれかに記載の積層体。
【請求項７】前記熱溶融性樹脂が熱溶融性フッ素樹脂である請求項１〜６のいずれかに記載の積層体。
【請求項８】前記熱溶融性フッ素樹脂がテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体である請求項７項記載の積層体。
【請求項９】積層体がバッキングシートである請求項２〜８のいずれかに記載の積層体。
【請求項１０】ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとをそれらの間に溶融エネルギーが６５Ｊ／ｇ以下の未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子の層または未溶融のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体の微粒子の層を介在させたのち、加熱融着することを特徴とするポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法。
【請求項１１】前記未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子が、乳化重合で得られたディスパージョンの形で、または該ディスパージョンを乾燥し粉末としたのちフィルム化して得られたフィルムの形で適用される請求項１０記載の製造法。
【請求項１２】前記未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子が、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）および／またはヘキサフルオロプロピレンで変性されたポリテトラフルオロエチレンである請求項１０または１１に記載の製造法。
【請求項１３】ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとの加熱融着後に、急激な温度低下を防止して溶融しているポリテトラフルオロエチレンを充分に結晶化させることを特徴とする請求項１０〜１２のいずれかに記載の製造法。
【請求項１４】ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとを直接加熱融着したのち、溶融しているポリテトラフルオロエチレンを急激な温度低下を防止して平均比重が２．１７５以上になるまで充分に結晶化させることを特徴とする平均比重が２．１７５以上のポリテトラフルオロエチレンのシートを有するポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法であって、前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである製造法。
【請求項１５】急激な温度低下を防止するために、ポリテトラフルオロエチレンの融点未満で３００℃以上の範囲内の温度に保持する請求項１３または１４記載の製造法。
【請求項１６】前記ポリテトラフルオロエチレンシートとして比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンシートを用いる請求項１０〜１５のいずれかに記載の製造法。
【請求項１７】前記熱溶融性樹脂フィルムまたはシートのポリテトラフルオロエチレンシートと反対側にさらに耐熱性織布が重ねられており、該熱溶融性樹脂フィルムまたはシートと耐熱性織布とを融着する請求項１０〜１６のいずれかに記載の製造法。
【請求項１８】加熱を耐熱性織布側から行なう請求項１７記載の製造法。
【請求項１９】前記ポリテトラフルオロエチレンシートとして比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンシートを用いて請求項１〜９のいずれかに記載の積層体を製造する請求項１０〜１７のいずれかに記載の製造法。
【請求項２０】前記ポリテトラフルオロエチレンシート中に溶融しない層が残っている時点で加熱を停止する請求項１０〜１９のいずれかに記載の製造法。
【請求項２１】前記加熱融着の前、同時または後に前記ポリテトラフルオロエチレンシートの積層面と反対側の表面をポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理する請求項１０〜２０のいずれかに記載の製造法。
【請求項２２】積層体がバッキングシートである請求項１０〜２１のいずれかに記載のバッキングシートの製造法。
【請求項２３】請求項１０〜２１のいずれかに記載の製造法で得られるポリテトラフルオロエチレン積層体。」
と訂正する、すなわち、以下の訂正をする、というものである。
　ア．訂正事項ａ１
　請求項１〜６を削除する。
　イ．訂正事項ａ２
　訂正前の請求項７に係る発明のうち請求項１を引用して記載していた部分を、独立形式で記載して「平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと熱溶融性樹脂層とが、加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである積層体。」とし、これを訂正後の請求項１に係る発明とする。
　ウ．訂正事項ａ３
　訂正前の請求項７に係る発明のうち請求項２を引用して記載していた部分を、独立形式で記載して「平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと耐熱性織布とが、熱溶融性樹脂層を介して加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである積層体。」とし、これを訂正後の請求項２に係る発明とする。
　エ．訂正事項ａ４
　訂正前の請求項８に係る発明のうち請求項１を引用して記載していた部分を、独立形式で記載して「平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと熱溶融性樹脂層とが、加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ前記ポリテトラフルオロエチレンシートが自由表面をもちその自由表面がポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理されている積層体。」とし、これを訂正後の請求項３に係る発明とする。
　オ．訂正事項ａ５
　訂正前の請求項８に係る発明のうち請求項２を引用して記載していた部分を、独立形式で記載して「平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと耐熱性織布とが、熱溶融性樹脂層を介して加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ前記ポリテトラフルオロエチレンシートが自由表面をもちその自由表面がポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理されている積層体。」とし、これを訂正後の請求項４に係る発明とする。
　カ．訂正事項ａ６
　訂正前の請求項３に係る発明が、請求項１、２を引用して記載していたのを、訂正後の請求項１〜４を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項５に係る発明とする。
　キ．訂正事項ａ７
　訂正前の請求項４に係る発明が、請求項１〜３を引用して記載していたのを、訂正後の請求項１〜５を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項６に係る発明とする。
　ク．訂正事項ａ８
　訂正前の請求項５に係る発明が、請求項１〜４を引用して記載していたのを、訂正後の請求項１〜６を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項７に係る発明とする。
　ケ．訂正事項ａ９
　訂正前の請求項６に係る発明が、請求項５を引用して記載していたのを、訂正後の請求項７を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項８に係る発明とする。
　コ．訂正事項ａ10
　訂正前の請求項９に係る発明が、請求項２〜８を引用して記載していたのを、訂正後の請求項２〜８を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項９に係る発明とする。
　サ．訂正事項ａ11
　請求項１４の「……積層体の製造法。」を「……積層体の製造法であって、前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである製造法。」と訂正する。
　シ．訂正事項ａ12
　訂正前の請求項１５に係る発明が、請求項１３、１４を引用して記載していたのを、請求項１３および訂正後の請求項１４を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項１５に係る発明とする。
　ス．訂正事項ａ13
　訂正前の請求項１６に係る発明が、請求項１０〜１５を引用して記載していたのを、請求項１０〜１３および訂正後の請求項１４、１５を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項１６に係る発明とする。
　セ．訂正事項ａ14
　訂正前の請求項１７に係る発明が、請求項１０〜１６を引用して記載していたのを、請求項１０〜１３および訂正後の請求項１４〜１６を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項１７に係る発明とする。
　ソ．訂正事項ａ15
　訂正前の請求項１８に係る発明が、請求項１７を引用して記載していたのを、訂正後の請求項１７を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項１８に係る発明とする。
　タ．訂正事項ａ16
　訂正前の請求項１９に係る発明が、訂正前の請求項１〜９のいずれかに記載の積層体を製造する製造法の発明であって、訂正前の請求項１０〜１７を引用して記載していたのを、訂正後の請求項１〜９のいずれかに記載の積層体を製造する製造法の発明であって、請求項１０〜１３および訂正後の請求項１４〜１７を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項１９に係る発明とする。
　チ．訂正事項ａ17
　訂正前の請求項２０に係る発明が、請求項１０〜１９を引用して記載していたのを、請求項１０〜１３および訂正後の請求項１４〜１９を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項２０に係る発明とする。
　ツ．訂正事項ａ18
　訂正前の請求項２１に係る発明が、請求項１０〜２０を引用して記載していたのを、請求項１０〜１３および訂正後の請求項１４〜２０を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項２１に係る発明とする。
　テ．訂正事項ａ19
　訂正前の請求項２２に係る発明が、請求項１０〜２１を引用して記載していたのを、請求項１０〜１３および訂正後の請求項１４〜２１を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項２２に係る発明とする。
　ト．訂正事項ａ20
　訂正前の請求項２３に係る発明が、請求項１０〜２１を引用して記載していたのを、請求項１０〜１３および訂正後の請求項１４〜２１を引用して記載したものとし、これを訂正後の請求項２３に係る発明とする。
　ナ．訂正事項ａ21
　請求項２４を削除する。
　
　また、発明の詳細な説明において、以下の訂正をする、というものである。
　ニ．訂正事項ｂ
　明細書の段落【０００９】につき、
「【課題を解決するための手段】かかる目的は、平均比重が２．１７５以上のＰＴＦＥシートと熱溶融性樹脂層とが積層されてなる構造、または平均比重が２．１７５以上のＰＴＦＥシートと耐熱性織布とが熱溶融性樹脂層を介して積層されてなる構造を含む積層体により達成できる。」
とあるのを、
「課題を解決するための手段】かかる目的は、平均比重が２．１７５を超えるＰＴＦＥシートと熱溶融性樹脂層とが加熱融着により積層されてなる構造、または平均比重が２．１７５を超えるＰＴＦＥシートと耐熱性織布とが熱溶融性樹脂層を介して積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ、前記ＰＴＦＥがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたＰＴＦＥである積層体、または、前記ＰＴＦＥシートが自由表面をもちその自由表面がＰＴＦＥの融点以上の温度で加熱処理されている積層体により達成できる。」
と訂正する。
　ヌ．訂正事項ｃ
　明細書の段落【００１２】につき、
「本発明の積層体をたとえばバッキングシートとして使用する場合、最外層のＰＴＦＥシートの自由表面を平滑化するために、ＰＴＦＥシートの自由表面をＰＴＦＥの融点以上の温度で加熱処理するのが好ましい。この表面平滑化処理はＰＴＦＥシートがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）で変性したＰＴＦＥシートであるのが好ましい。」
とあるのを、
「本発明の積層体をたとえばバッキングシートとして使用することができる。」
と訂正する。
　
４−２．判断
　
　ここでは、願書に添付した明細書及び図面を訂正前明細書といい、また、訂正前の請求項１については旧【請求項１】といい、訂正後の請求項１については新【請求項１】といい、他の請求項についても同様とする。
　
４−２−１．訂正の目的の適否、新規事項の有無および拡張・変更の存否について
　
（１）訂正事項ａ１〜ａ10について
　訂正事項ａ１は、請求項を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　訂正事項ａ２は、旧【請求項７】に係る発明のうち旧【請求項１】を引用して記載していた部分を、訂正事項ａ１により旧【請求項１】〜旧【請求項６】が削除されたことに伴い、独立形式で記載して、これを新【請求項１】に係る発明として記載したものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項ａ３は、旧【請求項７】に係る発明のうち旧【請求項２】を引用して記載していた部分を、訂正事項ａ１により旧【請求項１】〜旧【請求項６】が削除されたことに伴い、独立形式で記載して、これを新【請求項２】に係る発明として記載したものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項ａ４は、旧【請求項８】に係る発明のうち旧【請求項１】を引用して記載していた部分を、訂正事項ａ１により旧【請求項１】〜旧【請求項６】が削除されたことに伴い、独立形式で記載して、これを新【請求項３】に係る発明として記載したものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項ａ５は、旧【請求項８】に係る発明のうち旧【請求項２】を引用して記載していた部分を、訂正事項ａ１により旧【請求項１】〜旧【請求項６】が削除されたことに伴い、独立形式で記載して、これを新【請求項４】に係る発明として記載したものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項ａ６は、旧【請求項１】、旧【請求項２】を引用して記載していた旧【請求項３】を、新【請求項１】〜新【請求項４】を引用して記載した新【請求項５】にするものである。ここで、新【請求項５】に係る発明のうち新【請求項１】を引用して記載した部分は、旧【請求項７】に係る発明のうちの、旧【請求項３】に係る発明であって旧【請求項１】を引用した発明の部分を引用して記載した発明に相当する。同様に、新【請求項５】に係る発明のうち新【請求項２】を引用して記載した部分は、旧【請求項７】に係る発明のうちの、旧【請求項３】に係る発明であって旧【請求項２】を引用した発明の部分を引用して記載した発明に相当する。同様に、新【請求項５】に係る発明のうち新【請求項３】を引用して記載した部分は、旧【請求項８】に係る発明のうちの、旧【請求項３】に係る発明であって旧【請求項１】を引用した発明の部分を引用して記載した発明に相当する。同様に、新【請求項５】に係る発明のうち新【請求項４】を引用して記載した部分は、旧【請求項８】に係る発明のうちの、旧【請求項３】に係る発明であって旧【請求項２】を引用した発明の部分を引用して記載した発明に相当する。以上のように、訂正事項ａ６は、旧【請求項７】または旧【請求項８】に、請求項の引用の組み合わせの形式で記載されていた発明の部分を、訂正事項ａ１により旧【請求項１】〜旧【請求項６】が削除されたことに伴い、新【請求項５】に係る発明として記載したものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項ａ７は、旧【請求項１】〜旧【請求項３】を引用して記載していた旧【請求項４】を、新【請求項１】〜新【請求項５】を引用して記載した新【請求項６】にするものである。そして、訂正事項ａ７は、上記した訂正事項ａ６と同様に、旧【請求項７】または旧【請求項８】に、請求項の引用の組み合わせの形式で記載されていた発明の部分を、訂正事項ａ１により旧【請求項１】〜旧【請求項６】が削除されたことに伴い、新【請求項６】に係る発明として記載したものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項ａ８およびａ９も、同様に、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項ａ10は、旧【請求項２】〜旧【請求項８】を引用して記載していた旧【請求項９】を、新【請求項２】〜新【請求項８】を引用して記載した新【請求項９】にするものである。そして、新【請求項２】〜新【請求項８】に係る発明は、訂正事項ａ２〜ａ９に関連して検討したとおり、いずれも旧【請求項７】または旧【請求項８】に係る発明の部分であり、旧【請求項２】〜旧【請求項８】に係る発明と比べて限定されたものである。したがって、訂正事項ａ10は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、上記訂正事項ａ１〜ａ10は、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
（２）訂正事項ａ11〜ａ21について
　訂正事項ａ11は、「ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとを直接加熱融着したのち、溶融しているポリテトラフルオロエチレンを急激な温度低下を防止して平均比重が２．１７５以上になるまで充分に結晶化させることを特徴とする平均比重が２．１７５以上のポリテトラフルオロエチレンのシートを有するポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法。」を発明特定事項としていた旧【請求項１４】に係る発明に、「前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである」を発明特定事項として付加して限定し、新【請求項１４】に係る発明とするものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。上記の「直接加熱融着」する製造法については、本件明細書の段落【００４５】〜【００５０】に一般的な記載がされており、ここにはポリテトラフルオロエチレンシートのポリテトラフルオロエチレンの成分について具体的な記載はないが、「ＰＴＦＥシートと熱溶融性樹脂フィルムの加熱融着処理は第１の製造法と同じでよい」と記載され（段落【００４６】）、該「第１の製造法」を記載した段落【００２０】〜【００４４】には、ポリテトラフルオロエチレンシートのポリテトラフルオロエチレンについて、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンが好ましいものとして記載されている（段落【００３３】〜【００４０】）。また、本件発明の実施形態(１)〜(13)が段落【００５６】〜【００６９】に記載されているが、このうちの実施形態(12)、(13)は、旧【請求項１４】に係る発明の実施形態であって、そのポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンであるものに相当している。したがって、訂正事項ａ11は、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ａ12は、旧【請求項１３】、旧【請求項１４】を引用して記載していた旧【請求項１５】を、旧【請求項１３】、新【請求項１４】を引用した新【請求項１５】にするものである。そして、新【請求項１４】に係る発明は、訂正事項ａ11に関連して検討したとおり、旧【請求項１４】に係る発明と比べて限定されたものであるので、新【請求項１５】に係る発明は、旧【請求項１５】に係る発明と比べて限定されたものとなる。したがって、訂正事項ａ12は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。そして、訂正事項ａ12は、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ａ13〜ａ20も、同様に、旧【請求項１６】〜旧【請求項２３】を、より限定された新【請求項１６】〜新【請求項２３】にするものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。そして、訂正事項ａ13〜ａ20は、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ａ21は、請求項を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。訂正事項ａ21が、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもないことは、明らかである。
　
（３）訂正事項ｂ、ｃについて
　訂正事項ｂ、ｃは、発明の詳細な説明の記載を特許請求の範囲の記載と整合させるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
４−２−２．独立特許要件違反について
　
　訂正事項ａ１〜ａ21のうち、特許請求の範囲の減縮を目的としたものであって、かつ特許異議の申立てがされていない請求項についての訂正であるのは、請求項２１についての訂正事項ａ18である。
　そして、新【請求項２１】に係る発明は、特許異議申立人が提出した甲第１号証〜甲第３号証を根拠としては、特許出願の再独立して特許を受けることができないとはいえないし、また、他に特許を受けることができないとする理由も見当たらない。
　
４−２−３．まとめ
　
　本件訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項、第３項及び第４項の規定に適合するので、これを認める。
　
５．特許異議の申立てについての判断
　
５−１．取消理由の整理
　
　申立ての取消理由は、先に２．でその概要を述べたとおりであるが、先に４．で述べたように、本件訂正が認められることから、結局、以下のとおりになったと認める。
　
Ａ´．本件の請求項１３〜２０、２２、２３に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、上記請求項に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものである。
　
Ｂ´．本件の請求項１、２、５〜９、１３〜２０、２２、２３に係る発明は、甲第１号証〜甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、上記請求項に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
　甲第１号証：特開平１０−２０２８０３号公報
　甲第２号証：「ポリフロン(
R
　甲第３号証：特開平　９−　５２９５５号公報
　
　なお、取消理由Ａ．は、特許査定時の請求項１〜６、９、１３〜２０、２２〜２４に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、上記請求項に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものである、というものであるが、本件訂正が認められたことにより、旧【請求項１】〜旧【請求項６】および旧【請求項２４】（決定注：「旧【請求項１】」等については前記４．４−２．を参照。以下同じ。）が削除され、また、新【請求項１】〜新【請求項９】はいずれも上記理由Ａ．による申立てがされていない旧【請求項７】または旧【請求項８】を由来とするものであるため、取消理由Ａ．は、上記の取消理由Ａ´となったと認められる。
　
　また、取消理由Ｂ．は、特許査定時の請求項１〜７、９、１３〜２０、２２〜２４に係る発明は、甲第１号証〜甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、上記請求項に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである、というものであるが、本件訂正が認められたことにより、旧【請求項１】〜旧【請求項６】および旧【請求項２４】が削除され、新【請求項１】、新【請求項２】は旧【請求項７】を由来とするものであり、新【請求項３】、新【請求項４】は上記理由Ｂ．による申立てがされていない旧【請求項８】を由来とするものであり、新【請求項５】〜新【請求項９】はこれらを引用して記載したものであるため、取消理由Ｂ．は、上記の取消理由Ｂ´となったと認められる。ただし、訂正後の請求項５〜９については、訂正後の請求項３、４を直接または間接に引用している部分については、旧【請求項８】を由来とするものであることから、申立てがされていないことは明らかである。
　
５−２．本件発明
　
　本件発明は、訂正後の明細書の特許請求の範囲に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項１】平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと熱溶融性樹脂層とが、加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである積層体。
【請求項２】平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと耐熱性織布とが、熱溶融性樹脂層を介して加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである積層体。
【請求項３】平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと熱溶融性樹脂層とが、加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ前記ポリテトラフルオロエチレンシートが自由表面をもちその自由表面がポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理されている積層体。
【請求項４】平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと耐熱性織布とが、熱溶融性樹脂層を介して加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ前記ポリテトラフルオロエチレンシートが自由表面をもちその自由表面がポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理されている積層体。
【請求項５】前記ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂層との接着強度が剥離強度で２ｋｇｆ／ｃｍ以上である請求項１〜４のいずれかに記載の積層体。
【請求項６】前記ポリテトラフルオロエチレンシートが比重２．１７５を超える高比重層と該高比重層よりも比重の低い低比重層の２層からなる請求項１〜５のいずれかに記載の積層体。
【請求項７】前記熱溶融性樹脂が熱溶融性フッ素樹脂である請求項１〜６のいずれかに記載の積層体。
【請求項８】前記熱溶融性フッ素樹脂がテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体である請求項７項記載の積層体。
【請求項９】積層体がバッキングシートである請求項２〜８のいずれかに記載の積層体。
【請求項１０】ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとをそれらの間に溶融エネルギーが６５Ｊ／ｇ以下の未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子の層または未溶融のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体の微粒子の層を介在させたのち、加熱融着することを特徴とするポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法。
【請求項１１】前記未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子が、乳化重合で得られたディスパージョンの形で、または該ディスパージョンを乾燥し粉末としたのちフィルム化して得られたフィルムの形で適用される請求項１０記載の製造法。
【請求項１２】前記未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子が、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）および／またはヘキサフルオロプロピレンで変性されたポリテトラフルオロエチレンである請求項１０または１１に記載の製造法。
【請求項１３】ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとの加熱融着後に、急激な温度低下を防止して溶融しているポリテトラフルオロエチレンを充分に結晶化させることを特徴とする請求項１０〜１２のいずれかに記載の製造法。
【請求項１４】ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとを直接加熱融着したのち、溶融しているポリテトラフルオロエチレンを急激な温度低下を防止して平均比重が２．１７５以上になるまで充分に結晶化させることを特徴とする平均比重が２．１７５以上のポリテトラフルオロエチレンのシートを有するポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法であって、前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである製造法。
【請求項１５】急激な温度低下を防止するために、ポリテトラフルオロエチレンの融点未満で３００℃以上の範囲内の温度に保持する請求項１３または１４記載の製造法。
【請求項１６】前記ポリテトラフルオロエチレンシートとして比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンシートを用いる請求項１０〜１５のいずれかに記載の製造法。
【請求項１７】前記熱溶融性樹脂フィルムまたはシートのポリテトラフルオロエチレンシートと反対側にさらに耐熱性織布が重ねられており、該熱溶融性樹脂フィルムまたはシートと耐熱性織布とを融着する請求項１０〜１６のいずれかに記載の製造法。
【請求項１８】加熱を耐熱性織布側から行なう請求項１７記載の製造法。
【請求項１９】前記ポリテトラフルオロエチレンシートとして比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンシートを用いて請求項１〜９のいずれかに記載の積層体を製造する請求項１０〜１７のいずれかに記載の製造法。
【請求項２０】前記ポリテトラフルオロエチレンシート中に溶融しない層が残っている時点で加熱を停止する請求項１０〜１９のいずれかに記載の製造法。
【請求項２１】前記加熱融着の前、同時または後に前記ポリテトラフルオロエチレンシートの積層面と反対側の表面をポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理する請求項１０〜２０のいずれかに記載の製造法。
【請求項２２】積層体がバッキングシートである請求項１０〜２１のいずれかに記載のバッキングシートの製造法。
【請求項２３】請求項１０〜２１のいずれかに記載の製造法で得られるポリテトラフルオロエチレン積層体。」
　
　以下、上記の請求項１、２に係る発明を、それぞれ「本件発明１」、「本件発明２」という。
　請求項５に係る発明は、請求項１〜４を引用して記載しているが、請求項３、４に係る発明は旧【請求項８】を由来とするものであり、本件特許異議申立てにおいて旧【請求項８】に対して申立てがされていないこと、および本件特許異議申立書の全趣旨からみて、請求項５に係る発明のうち、請求項１、２を引用した部分、すなわち本件発明１、２を引用した部分について、申し立てがされているものと認められる。それゆえ、以下、請求項５に係る発明のうち、本件発明１、２を引用した部分を、「本件発明５」という。
　請求項６に係る発明は、請求項１〜５を引用して記載しているが、同様に、請求項６に係る発明のうち、請求項３、４を直接または間接に引用した部分以外の、本件発明１、２、５を引用した部分を、「本件発明６」という。
　請求項７に係る発明は、請求項１〜６を引用して記載しているが、同様に、請求項７に係る発明のうち、請求項３、４を直接または間接に引用した部分以外の、本件発明１、２、５、６を引用した部分を、「本件発明７」という。
　請求項８に係る発明は、請求項７を引用して記載しているが、同様に、請求項８に係る発明のうち、請求項３、４を間接に引用した部分以外の、本件発明７を引用した部分を、「本件発明７」という。
　請求項９に係る発明は、請求項１〜８を引用して記載しているが、同様に、請求項９に係る発明のうち、請求項３、４を直接または間接に引用した部分以外の、本件発明１、２、５〜７を引用した部分を、「本件発明９」という。
　請求項１３〜２０に係る発明を、それぞれ「本件発明１３」〜「本件発明２０」という。
　請求項２２に係る発明は、請求項１０〜２１を引用して記載しているが、本件特許異議申立てにおいて請求項１０〜１２、２１に対して申立てがされていないこと、および本件特許異議申立書の全趣旨からみて、請求項２２に係る発明のうち、請求項１３〜２０を引用した部分、すなわち本件発明１３〜２０を引用した部分について、申し立てがされているものと認められる。それゆえ、以下、請求項２２に係る発明のうち、本件発明１３〜２０を引用した部分を、「本件発明２２」という。
　請求項２３に係る発明は、請求項１０〜２１を引用して記載しているが、同様に、請求項２３に係る発明のうち、本件発明１３〜２０を引用した部分を、「本件発明２３」という。
　
５−３．甲号各証の記載
　
　甲第１号証には、以下の記載が認められる。 
　ア．「熱可塑性フッ素樹脂の融点未満の温度にそれぞれ予備加熱されているポリテトラフルオロエチレン基材シート(a)と、熱可塑性樹脂フィルム(b)と、ガラスクロス(c)とをこの順序で積層されるように配置し、ガラスクロス(c)側から熱可塑性樹脂フィルム(b)に向けて熱照射して、ポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度に熱可塑性樹脂フィルム(b)及び前記ポリテトラフルオロエチレン基材シート(a)の熱可塑性樹脂フィルム側表面を加熱した後、これらポリテトラフルオロエチレン基材シート(a)と熱可塑性樹脂フィルム(b)とガラスクロス(c)とを圧着することを特徴とする積層シートの製造方法。」（特許請求の範囲の請求項１） 
　イ．「ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）」（【０００２】） 
　ウ．「本発明は……耐薬品透過性に優れた積層シートを連続的に工業生産できる積層シートの製造方法を提供することを目的としている。」（【０００９】） 
　エ．「予備加熱温度としては、ワーク（加工物）自体の温度として、熱可塑性フッ素樹脂の融点未満、好ましくは熱可塑性フッ素樹脂の融点未満〜「融点−７７」℃の温度、さらに好ましくは熱可塑性フッ素樹脂の「融点−４７」℃の温度〜「融点−２７」℃の温度が望ましい。 
　このような温度で上記基材シート、熱可塑性フッ素樹脂フィルム、およびガラスクロス（これら３者をまとめて「積層シート形成材料」とも言う）を予備加熱しておくと、何れの積層シート形成材料も後述する本加熱前には溶融流動せず、それぞれの材料の形状を保持でき、本加熱における熱処理条件の制御が容易であり、後述する本加熱により熱可塑性フッ素樹脂に所望の溶融流動性を付与した後、圧着処理を施すことにより、ポリテトラフルオロエチレン基材シートの結晶化度が良好に保持され、ＰＴＦＥシート本来の優れた耐薬品透過性が保持された積層シートが得られるため好ましい。」（【００１９】〜【００２０】） 
　オ．「熱可塑性フッ素樹脂フィルムとしては、溶融流動性を示すフッ素樹脂からなるものであれば特に限定されることなく使用できる。このような熱可塑性フッ素樹脂フィルムに使用可能な熱可塑性フッ素樹脂としては、具体的には、例えば、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合樹脂（ＦＥＰ）、四フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）、……等の熱可塑性フッ素樹脂が挙げられ、中でもＰＦＡ、ＦＥＰが好ましく用いられる。」（【００２４】） 
　カ．「ＰＴＦＥ基材シート２としては、その結晶化度ができるだけ高いものを用いることが得られる積層シートの耐薬品透過性の点から好ましい。ＰＴＦＥ基材シート２の結晶化度は、その比重と比例関係にあり、高結晶化度になるほどその成形品の比重は高くなる。従って、結晶化度の目安としては、比重を用いるのが便利であり、本法に用いられるＰＴＦＥ基材シート２の比重は、平均で２．１４以上、好ましくは平均２．１６以上のものが用いられる。上市されているものでは、例えば、比重が２．１４〜２．２０程度のＰＴＦＥシートが挙げられる。」（【００２６】） 
　キ．「予備加熱されてポリテトラフルオロエチレン基材シート２／熱可塑性フッ素樹脂フィルム４／ガラスクロス６の順序で配置されている積層シート形成材料６０のガラスクロス６側から、……熱可塑性樹脂フィルム４に向けて熱照射２８ａして、ポリテトラフルオロエチレン基材シート２を構成するポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の融点以上の温度、好ましくはＰＴＦＥの融点〜「融点＋５０」℃の温度、さらに好ましくはＰＴＦＥの「融点＋１５」℃〜「融点＋２５」℃の温度に、熱可塑性樹脂フィルム４及び前記ポリテトラフルオロエチレン基材シート２の熱可塑性樹脂フィルム側表面２ｂを加熱（「本加熱」とも言う）している。 
　予備加熱した後、このような方法で本加熱すると、熱可塑性フッ素樹脂フィルム４は、ＰＴＦＥの融点以上の温度に満遍無く（バラツキなく）加熱され溶融状態となり粘着性が高められ、またポリテトラフルオロエチレン基材シート２では、主としてその上面側２ｂのみが上記熱照射により融点以上の温度に加熱されて溶融状態となり、上記熱可塑性フッ素樹脂フィルム４との接着性に優れるようになる。しかしながら、基材シート２の下面側２ｃでは、熱照射２８ａの影響を上面側２ｂほどには受けず、ＰＴＦＥの結晶化度がほとんど低下しない。」（【００２８】〜【００２９】） 
　ク．「図３に示すように、ガラスクロス６と熱可塑性フッ素樹脂フィルム４との間から、熱可塑性フッ素樹脂フィルム４に向けて（すなわちポリテトラフルオロエチレン基材シート２に向けて）熱照射した場合には、ポリテトラフルオロエチレン基材シート２の上面側２ｂは、溶融状態となり、融点以上の温度に加熱されている熱可塑性フッ素樹脂フィルム４に対して優れた接着性を発揮できるが、該基材シート２の下面側２ｃは、上記加熱（本加熱）を受けても元の基材シートの結晶化度がほとんど低下せず、得られた積層シートにおいても元のポリテトラフルオロエチレン基材シートの結晶化度は良好に保持され、優れた耐薬品透過性の積層シートが得られる。」（【００３０】） 
　ケ．「ガラスクロス６の上面６ｂ側から（下方の）熱可塑性フッ素樹脂フィルム４に向けて熱照射してもよい」（【００３３】） 
　コ．「圧着は、熱照射によりポリテトラフルオロエチレン基材シート２の上面側２ｂが融点以上の温度に加熱されて、粘着性を失わないうちに行われる。このようにＰＴＦＥ上面側２ｂが溶融状態にあり粘着性を失わないうちに（好ましくは直ちに）圧着すると、積層シート形成材料を構成するガラスクロス６と熱可塑性フッ素樹脂フィルム４と該基材シート２とは良好に接着（熱融着）され、しかも、該基材シート２の上記熱可塑性フッ素樹脂フィルム４側（上面側）２ｂに比して、熱照射の影響のより少ない熱照射源と反対側の面（該基材シート下面側）２ｃではその結晶化度の低下が極めて少なく、耐薬品透過性等に優れた積層シート１が得られる。」（【００３６】） 
　サ．「一例を挙げれば、２８０〜３００℃の温度で予備加熱された坪量３００〜８００ｇ／ｍ2 のガラスクロスと、本加熱温度３３０〜３５０℃に本加熱された厚さ０．１〜０．５ｍｍのＰＦＡと、厚さ１．０〜４ｍｍのＰＴＦＥとを圧着して、積層シートを得る場合には、圧力２〜６ｋｇ重／ｃｍ2 が採用される。」（【００３９】） 
　シ．「放熱器２８の機構などは、特に限定されずドライヤー（ニクロム線等からなる発熱部と、この熱を放熱孔より外部に放出する送風機とを備えたもの）、高エネルギー線（例：レーザ）など、従来より公知の種々の放熱機構のものを用いることができる。 
　なお、この基材シート２の下面２ｃ側には、基材シート２を挟んで放熱器２８と対向するように冷風機を配設し、あるいは冷却パイプ、冷却ロールなどの冷却器を基材シート２の下面側２ｃに設けて、基材シート下面２ｃ側を冷却し、本加熱によりＰＴＦＥ基材シート２の結晶化度が低下しないようにしても良い（図示せず）。」（【００５３】〜【００５４】） 
　ス．「圧着部３０は、通常、積層シート形成材料の進行方向に沿って該積層シート形成材料をサンドイッチするように配設された１対以上（例：図１では２対）のプレスロール３２からなっている。また本発明の好ましい態様においては、該圧着部３０は、図１、図３に示すように、保温用カバー３４にて被覆されていることがエネルギー効率や、積層シート冷却時に外部環境の影響を受けにくいため好ましい。」（【００５６】） 
　セ．「本発明では、これらプレスロール３２は、熱可塑性フッ素樹脂フィルム４の溶融温度未満の温度、好ましくは「融点−３０」℃〜融点未満の温度（例：ＰＦＡフィルムでは、２８０〜３００℃）に保持される。」（【００５８】） 
　ソ．「このようにして得られた積層シートは、耐薬品性、耐薬品透過性、非粘着性、耐熱性、電気的特性、低摩擦特性等が求められる、反応槽、貯蔵タンク、コンテナ、配管、食器、調理器具等のライニング材として、化学、塗料、医薬品、工業薬品、半導体、什器、医療機械器具等の種々の工業分野で広く好適に使用可能である。」（【００６５】） 
　タ．図１および図２には、積層シートの製造装置が記載され、圧着部が保温用カバーで被覆されていることが示されている。図３には、図１および図２の製造装置の要部が記載されている。 
　
　甲第２号証には、以下の記載が認められる。
　チ．「フッ素系ポリマーとは
　フッ素系ポリマーとは、広義には分子中にフッ素原子を含有する合成高分子をいいますが、狭義にはポリテトラフルオロエチレン（以下ＰＴＦＥと略称する）、……テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（以下ＦＥＰと略称）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（以下ＰＦＡと略称）、……などのフッ素樹脂を指し、また、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン系などのフッ素ゴムを指します。
　ダイキン工業は……ＰＴＦＥ（ポリフロンＴＦＥ）を……製造、販売しています。」（第１頁第１行〜第25行）。
　ツ．「フッ素樹脂・フッ素ゴムの種類」と題する表に、８種類の商品名ごとに、名称、構造式等が記載されている。商品名「ポリフロン(
R
R
　テ．「４．結晶化」の項目に、
「ＰＴＦＥを溶融状態から冷却する場合、冷却条件によって比重が異なり、また同一条件で冷却しても分子量によって比重が変化することは知られています。
　ＰＴＦＥの分子量一定の場合の比重は……結晶化度のパラメーターであって、Ｘ線回折および赤外線吸収スペクトル法によって求めた結晶化度と比重の関係を図に示します。
　　（決定注：「ポリフロンＴＦＥの結晶化度と比重の関係」と題する図が挿入されている。）
　また、……ポリフロンＴＦＥについて一定の条件で成形後、融点以上から異なった
　　（決定注：「冷却条件と比重の関係」と題する図が挿入されている。）
速度で冷却した試料の比重を測定した結果を前頁に示しました。
　この図から明らかなように、溶融状態から急冷すれば比重（すなわち結晶化度）は低くなりますが、冷却速度が20〜70℃/hの範囲ではあまり差が認められず、それ以下の速度では比重（結晶化度）が増大します。また、高分子量のものほど同一冷却条件下で低分子量に比べて結晶化度は低くなります。」（第20頁下から第２行〜第22頁第６行）
　
　甲第３号証には、以下の記載が認められる。
　ト．「懸濁重合法によりえられるパーフルオロビニルエーテル変性ポリテトラフルオロエチレンの平均粒径１００〜３００μｍの粉末を水性媒体中で撹拌することによって造粒する変性ポリテトラフルオロエチレン粒状粉末の製法。」（特許請求の範囲の請求項１）
　ナ．「以上の製法によりえられる変性ＰＴＦＥ粒状粉末は、微粉砕粉末を用いることなくえられ、取扱い性すなわち粉末の流動性および見かけ密度、えられる成形品の物性に優れたものであり、たとえばパッキン、ガスケットおよび薬液タンク用ランニングシートなどの成形用原料として好適に用いられうる。」（【００５０】）
　
５−４．取消理由Ａ´．について
　
　取消理由Ａ´．は、先に５．５−１．でその概要を述べたとおりのものである。
　
（１）本件発明１３についての判断
　本件発明１３は、
「ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとの加熱融着後に、急激な温度低下を防止して溶融しているポリテトラフルオロエチレンを充分に結晶化させることを特徴とする請求項１０〜１２のいずれかに記載の製造法。」
である。以下、本件発明１３のうち、請求項１０を引用した部分を「本件発明１３−１」、請求項１１を引用した部分を「本件発明１３−２」、請求項１２を引用した部分を「本件発明１３−３」という。
（１−１）本件発明１３−１についての判断
　本件発明１３−１が引用している請求項１０は
「ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとをそれらの間に溶融エネルギーが６５Ｊ／ｇ以下の未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子の層または未溶融のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体の微粒子の層を介在させたのち、加熱融着することを特徴とするポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法。」
であるので、本件発明１３−１は、次のとおりのものである。
「ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとをそれらの間に溶融エネルギーが６５Ｊ／ｇ以下の未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子の層または未溶融のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体の微粒子の層を介在させたのち、加熱融着することを特徴とするポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法であって、ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとの加熱融着後に、急激な温度低下を防止して溶融しているポリテトラフルオロエチレンを充分に結晶化させることを特徴とする上記の製造法。」
　本件発明１３−１と、甲第１号証に記載された発明とを対比する。
　甲第１号証には、記載ア．、イ．、エ．、カ．、コ．、タ．からみて、以下の発明が記載されていると認められる。
「熱可塑性フッ素樹脂の融点未満の温度にそれぞれ予備加熱されている、比重が２．１４〜２．２０のポリテトラフルオロエチレン基材シート(a)と、熱可塑性フッ素樹脂フィルム(b)と、ガラスクロス(c)とを、この順序で積層されるように配置し、ガラスクロス(c)側から熱可塑性フッ素樹脂フィルム(b)に向けて熱照射して、ポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度に熱可塑性フッ素樹脂フィルム(b)及び前記ポリテトラフルオロエチレン基材シート(a)の熱可塑性フッ素樹脂フィルム側表面を加熱した後、これらポリテトラフルオロエチレン基材シート(a)と熱可塑性フッ素樹脂フィルム(b)とガラスクロス(c)とを圧着して熱融着させる、積層シートの製造方法。」（以下、「甲第１号証に記載された発明Ｐ」という。）
　そして、甲第１号証に記載された発明Ｐの「ポリテトラフルオロエチレン基材シート」、「熱可塑性フッ素樹脂フィルム」、「熱融着」、「積層シート」は、それぞれ本件発明１３−１の「ポリテトラフルオロエチレンシート」、「熱溶融性樹脂フィルムまたはシート」、「加熱融着」、「ポリテトラフルオロエチレン積層体」に相当するから、本件発明１３−１と、甲第１号証に記載された発明Ｐは、 
 「ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとを加熱融着する、ポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法。」 
である点で一致し、一方、以下の点で相違する。すなわち、
　本件発明１３−１は、ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとを加熱融着する際に、それらの間に溶融エネルギーが６５Ｊ／ｇ以下の未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子の層または未溶融のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体の微粒子の層を介在させる点（以下、「相違点１」という。）、および 
　本件発明１３−１は、ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとの加熱融着後に、急激な温度低下を防止して溶融しているポリテトラフルオロエチレンを充分に結晶化させる点（以下、「相違点２」という。）
　そして、少なくとも上記相違点１は、実質的な相違点である。
　したがって、本件発明１３−１は、甲第１号証に記載された発明ではない。
（１−２）本件発明１３−２、本件発明１３−３についての判断
　本件発明１３−２および本件発明１３−３は、本件発明１３−１と比較すると、さらに発明特定事項を付加して、限定したものに相当するので、本件発明１３−１が甲第１号証に記載された発明でない以上、これらの発明も、甲第１号証に記載された発明でない。
（１−３）まとめ
　本件発明１３は、甲第１号証に記載された発明でない。
　
（２）本件発明１４についての判断
　本件発明１４と甲第１号証に記載された発明Ｐとを対比すると、さらに、甲第１号証に記載された発明Ｐの「熱融着」は「直接加熱融着」であるから、両者は、
「ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとを直接加熱融着する、ポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法。」
である点で一致し、一方、以下の点で相違する。すなわち、
　本件発明１４は、直接加熱融着したのち、溶融しているポリテトラフルオロエチレンを急激な温度低下を防止して平均比重が２．１７５以上になるまで充分に結晶化させる点（以下、「相違点３」という。）、
　本件発明１４は、ポリテトラフルオロエチレン積層体が平均比重が２．１７５以上のポリテトラフルオロエチレンのシートを有する点（以下、「相違点４」という。）および
　本件発明１４は、ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである点（以下、「相違点５」という。）
　そして、少なくとも上記相違点５は、実質的な相違点である。
　したがって、本件発明１４は、甲第１号証に記載された発明でない。
　
（３）本件発明１５〜２０、２２、２３についての判断
　本件発明１５〜２０、２２、２３は、いずれも本件発明１３または１４を直接または間接に引用し、さらに発明特定事項を付加して限定したものである。そして、本件発明１３または１４が甲第１号証に記載された発明でない以上、これらの発明も、甲第１号証に記載された発明でない。
　
５−５．取消理由Ｂ´．について
　
　取消理由Ｂ´．は、先に５．５−１．でその概要を述べたとおりのものである。
　
（１）本件発明１についての判断
　　本件発明１と、甲第１号証に記載された発明とを対比する。
　甲第１号証には、記載ア．、イ．、エ．、カ．、コ．、タ．からみて、以下の発明が記載されていると認められる。
「熱可塑性フッ素樹脂の融点未満の温度にそれぞれ予備加熱されている、比重が２．１４〜２．２０のポリテトラフルオロエチレン基材シート(a)と、熱可塑性フッ素樹脂フィルム(b)と、ガラスクロス(c)とを、この順序で積層されるように配置し、ガラスクロス(c)側から熱可塑性フッ素樹脂フィルム(b)に向けて熱照射して、ポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度に熱可塑性フッ素樹脂フィルム(b)及び前記ポリテトラフルオロエチレン基材シート(a)の熱可塑性フッ素樹脂フィルム側表面を加熱した後、これらポリテトラフルオロエチレン基材シート(a)と熱可塑性フッ素樹脂フィルム(b)とガラスクロス(c)とを圧着して熱融着させることにより製造された積層シート。」（以下、「甲第１号証に記載された発明Ｌ」という。）
　そして、甲第１号証に記載された発明Ｌの「ポリテトラフルオロエチレン基材シート」、「熱可塑性フッ素樹脂フィルム」、「積層シート」は、それぞれ本件発明１の「ポリテトラフルオロエチレンのシート」、「熱溶融性樹脂層」、「積層体」に相当し、甲第１号証に記載された発明Ｌの積層シートは、ポリテトラフルオロエチレン基材シートと熱可塑性フッ素樹脂フィルムとが熱融着されているから、これらが加熱融着により積層されてなる構造を含むものであり、また、甲第１号証に記載された発明Ｌの「比重」は、本件発明１の「平均比重」に相当するから、本件発明１と、甲第１号証に記載された発明Ｌは、 
 「ポリテトラフルオロエチレンのシートと熱溶融性樹脂層とが、加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体。」 
 である点で一致し、一方、少なくとも、以下の点で相違する。すなわち、
　本件発明１は、積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上である点（以下、「相違点６」という。）および
　本件発明１は、ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである点（以下、「相違点７」という。）
　上記相違点６、７について検討する。
　甲第１号証には、ポリテトラフルオロエチレン基材シートと積層する熱可塑性樹脂府フィルムについては、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合樹脂（ＦＥＰ）、四フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）等が用いられることが記載されている（記載オ．）一方、ポリテトラフルオロエチレン基材シートについては、「ＰＴＦＥ基材シート」（記載カ．）、「ポリテトラフルオロエチレン基材シート２を構成するポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）」（記載キ．）というように、その材質が、ＦＥＰやＰＦＡとは明確に区別されるＰＴＦＥであることが、特定して記載されている。したがって、甲第１号証には、ポリフルオロエチレン基材シートとして、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンを用いることは、記載も示唆もない。
　そして、甲第２号証には、フッ素系ポリマーにはＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＦＥＰ等があることと、ＰＴＦＥの性質とくに結晶化度と比重の関係が記載されているにすぎず、甲第３号証には、パーフルオロビニルエーテル変性ポリテトラフルオロエチレンの粒状粉末の製法が記載されているにすぎないので、甲第１号証〜甲第３号証の記載をどのように組み合わせても、甲第１号証に記載された発明Ｌにつき、そのポリテトラフルオロエチレン基材シートの材質としてパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンを用いることを、当業者が容易に想到できたとは認められず、上記相違点７は、導かれない。まして、得られた積層体における、そのパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重を２．１７５以上とすることを、当業者が容易に想到できたとは認められないので、上記相違点６も、導かれない。
　したがって、本件発明１は、甲第１号証〜甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
（２）本件発明２についての判断
　本件発明２と、甲第１号証に記載された発明Ｌを、前記５．５−５．（１）と同様にして対比すると、さらに、甲第１号証に記載された発明Ｌの「ガラスクロス」は、本件発明２の「耐熱性織布」に相当し、甲第１号証に記載された発明Ｌの積層シートは、ポリテトラフルオロエチレン基材シートと熱可塑性フッ素樹脂フィルムとガラスクロスがこの順序で積層されて熱融着されているから、ポリテトラフルオロエチレン基材シートとガラスクロスとが熱可塑性フッ素樹脂フィルムを介して加熱融着により積層されてなる構造を含むものであるので、本件発明２と、甲第１号証に記載された発明Ｌは、 
 「ポリテトラフルオロエチレンのシートと耐熱性織布とが、熱溶融性樹脂層を介して加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体。」 
 である点で一致し、一方、少なくとも、以下の点で相違する。すなわち、
　本件発明２は、積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上である点（以下、「相違点８」という。）および
　本件発明２は、ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである点（以下、「相違点９」という。）
　上記相違点８、９について検討すると、前記５．５−５．（１）において前記相違点６、７について検討したのと同様の理由で、上記相違点８、９は、甲第１号証〜甲第３号証からは導かれない。
　したがって、本件発明２は、甲第１号証〜甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
（３）本件発明５〜９についての判断
　本件発明５〜９は、いずれも本件発明１または２を引用し、さらに発明特定事項を付加して限定したものである。そして、本件発明１または２が甲第１号証〜甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない以上、これらの発明も、甲第１号証〜甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
（４）本件発明１３についての判断
　先に前記５．５−４．（１）で検討したとおり、本件発明１３と甲第１号証に記載された発明Ｐとを対比すると、少なくとも、以下の点で相違する。すなわち、
　本件発明１３は、ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとを加熱融着する際に、それらの間に溶融エネルギーが６５Ｊ／ｇ以下の未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子の層または未溶融のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体の微粒子の層を介在させる点（「相違点10」）、および 
　本件発明１３は、ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとの加熱融着後に、急激な温度低下を防止して溶融しているポリテトラフルオロエチレンを充分に結晶化させる点（「相違点11」）
　まず、上記相違点10について検討すると、上記微粒子の層を介在させる点は、甲第１号証〜甲第３号証のいずれからも、導かれないので、本件発明１３は、上記相違点11について検討するまでもなく、甲第１号証〜甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
（５）本件発明１４についての判断
　先に前記５．５−４．（２）で検討したとおり、本件発明１４と甲第１号証に記載された発明Ｐとを対比すると、以下の点で相違する。すなわち、
　本件発明１４は、直接加熱融着したのち、溶融しているポリテトラフルオロエチレンを急激な温度低下を防止して平均比重が２．１７５以上になるまで充分に結晶化させる点（「相違点12」）、
　本件発明１４は、ポリテトラフルオロエチレン積層体が平均比重が２．１７５以上のポリテトラフルオロエチレンのシートを有する点（「相違点13」）および
　本件発明１４は、ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである点（「相違点14」）
　まず、上記相違点14について検討すると、上記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである点は、甲第１号証〜甲第３号証のいずれからも、導かれないので、本件発明１４は、上記相違点12、13について検討するまでもなく、甲第１号証〜甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
（６）本件発明１５〜２０、２２、２３についての判断
　本件発明１５〜２０、２２、２３は、いずれも本件発明１３または１４を直接または間接に引用し、さらに発明特定事項を付加して限定したものである。そして、本件発明１３または１４が甲第１号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない以上、これらの発明も、甲第１号証〜甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
６．通知された取消理由の妥当性について
　
　通知された取消理由は、その妥当を欠いたものとなっている。
　
７．むすび
　
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件特許を取り消すことができない。
　また、ほかに本件特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年３月８日（２００５．３．８）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
ポリテトラフルオロエチレン積層体
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと熱溶融性樹脂層とが、加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上
であり、かつ、前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレン
　【請求項２】　平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと耐熱性織布とが、熱溶融性樹脂層を介して加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上
であり、かつ、前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレン
　【請求項３】　
平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと熱溶融性樹脂層とが、加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ、前記ポリテトラフルオロエチレンシートが自由表面をもちその自由表面がポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理されている積層体
　【請求項４】　
平均比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンのシートと耐熱性織布とが、熱溶融性樹脂層を介して加熱融着により積層されてなる構造を含む積層体であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ、前記ポリテトラフルオロエチレンシートが自由表面をもちその自由表面がポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理されている積層体
　【請求項
５
〜４のいずれかに
　【請求項
６
５
　【請求項
７
６
　【請求項
８
７
　【請求項９】　積層体がバッキングシートである請求項２〜８のいずれかに記載の積層体。
　【請求項１０】　ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとをそれらの間に溶融エネルギーが６５Ｊ／ｇ以下の未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子の層または未溶融のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体の微粒子の層を介在させたのち、加熱融着することを特徴とするポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法。
　【請求項１１】　前記未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子が、乳化重合で得られたディスパージョンの形で、または該ディスパージョンを乾燥し粉末としたのちフィルム化して得られたフィルムの形で適用される請求項１０記載の製造法。
　【請求項１２】　前記未焼成ポリテトラフルオロエチレンの微粒子が、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）および／またはヘキサフルオロプロピレンで変性されたポリテトラフルオロエチレンである請求項１０または１１に記載の製造法。
　【請求項１３】　ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとの加熱融着後に、急激な温度低下を防止して溶融しているポリテトラフルオロエチレンを充分に結晶化させることを特徴とする請求項１０〜１２のいずれかに記載の製造法。
　【請求項１４】　ポリテトラフルオロエチレンシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとを直接加熱融着したのち、溶融しているポリテトラフルオロエチレンを急激な温度低下を防止して平均比重が２．１７５以上になるまで充分に結晶化させることを特徴とする平均比重が２．１７５以上のポリテトラフルオロエチレンのシートを有するポリテトラフルオロエチレン積層体の製造法
であって、前記ポリテトラフルオロエチレンがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたポリテトラフルオロエチレンである製造法
　【請求項１５】　急激な温度低下を防止するために、ポリテトラフルオロエチレンの融点未満で３００℃以上の範囲内の温度に保持する請求項１３または１４記載の製造法。
　【請求項１６】　前記ポリテトラフルオロエチレンシートとして比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンシートを用いる請求項１０〜１５のいずれかに記載の製造法。
　【請求項１７】　前記熱溶融性樹脂フィルムまたはシートのポリテトラフルオロエチレンシートと反対側にさらに耐熱性織布が重ねられており、該熱溶融性樹脂フィルムまたはシートと耐熱性織布とを融着する請求項１０〜１６のいずれかに記載の製造法。
　【請求項１８】　加熱を耐熱性織布側から行なう請求項１７記載の製造法。
　【請求項１９】　前記ポリテトラフルオロエチレンシートとして比重が２．１７５を超えるポリテトラフルオロエチレンシートを用いて請求項１〜９のいずれかに記載の積層体を製造する請求項１０〜１７のいずれかに記載の製造法。
　【請求項２０】　前記ポリテトラフルオロエチレンシート中に溶融しない層が残っている時点で加熱を停止する請求項１０〜１９のいずれかに記載の製造法。
　【請求項２１】　前記加熱融着の前、同時または後に前記ポリテトラフルオロエチレンシートの積層面と反対側の表面をポリテトラフルオロエチレンの融点以上の温度で加熱処理する請求項１０〜２０のいずれかに記載の製造法。
　【請求項２２】　積層体がバッキングシートである請求項１０〜２１のいずれかに記載のバッキングシートの製造法。
　【請求項２３】　請求項１０〜２１のいずれかに記載の製造法で得られるポリテトラフルオロエチレン積層体。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、薬液透過性が小さい、すなわち低薬液透過性に優れるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）積層体に関する。かかる積層体は薬液貯蔵用容器やタンク、パイプのライニングなどに使用されるバッキングシートに有用である。
　【０００２】
　【従来の技術】
　半導体の製造を始め、各種の化学プラントで種々の薬液が原料、洗浄剤として広く使用されている。こうした薬液には反応性が高いものや腐食性をもつものがあり、そうした薬液の貯蔵や輸送用の容器、配管には通常バッキングシートといわれる積層体が内壁に貼り付けられている。バッキングシートの薬液に接する面は耐薬品性に富む材料でなければならず、通常耐薬品性にすぐれるフッ素樹脂、特にＰＴＦＥのシートが使用されている。
　【０００３】
　従来使用されている典型的なバッキングシートは、ガラス繊維の織布、カーボン繊維の織布などの耐熱性織布をＰＴＦＥシートに接着したものであるが、ＰＴＦＥは他の材料との接着が困難であるため、耐熱性織布とＰＴＦＥシートの間に熱溶融性のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体（ＰＦＡ）のフィルムを介在させてＰＴＦＥの融点以上の温度で加熱し融着している。この加熱融着の際、不可避的にＰＴＦＥも溶融し、その結果、結晶性の低下、すなわち比重の低下を来してしまう。一方、ＰＴＦＥの薬液透過性は結晶性が高い（比重が大きい）ほど優れており、したがってＰＴＦＥの結晶性を低下させる程の加熱は回避した方がよい。しかし、ＰＴＦＥの結晶性をある程度残した状態で加熱を止めると、たとえＰＦＡを介在させても必要な接着強度が得られない。
　【０００４】
　そこで、従来は図らずも、原料として結晶性を低くした比重の小さいＰＴＦＥシートを使用するか、原料として高結晶性の高比重ＰＴＦＥを用いたとしても加熱によるＰＴＦＥシートの結晶性の低下を容認せざるを得なかった。
　【０００５】
　いずれにせよ、従来はＰＴＦＥの平均比重が２．１７５以上で実用レベルの接着強度をもつバッキングシートまたはＰＴＦＥ積層体はなかった。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明は、低薬液透過性に優れたＰＴＦＥ積層体を提供することを第１の目的とする。
　【０００７】
　また、充分な接着強度を有しかつ低薬液透過性に優れたバッキングシートを提供することをも目的とする。
　【０００８】
　さらに、加熱時間を短縮できかつ作業工程を簡略化できる低薬液透過性に優れたＰＴＦＥ積層体の製造法を提供することを目的とする。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】
　かかる目的は、平均比重が２．１７５
を超える
加熱融着により
を超える
であって、該積層体におけるポリテトラフルオロエチレンのシートの平均比重が２．１７５以上であり、かつ、前記ＰＴＦＥがパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）で変性されたＰＴＦＥである積層体、または、前記ＰＴＦＥシートが自由表面をもちその自由表面がＰＴＦＥの融点以上の温度で加熱処理されている積層体
　【００１０】
　得られる積層体は、ＰＴＦＥシートと熱溶融性樹脂層との接着強度が剥離強度で２ｋｇｆ／ｃｍ以上のものであり、ＰＴＦＥシートの平均比重が２．１７５未満の従来の積層体と同等またはそれ以上の強度を有している。
　【００１１】
　ここで平均比重とは、加熱の結果ＰＴＦＥシートに比重の低下した部分（層）が生ずるが、その低比重層をも含めた全体の比重をいう。
　【００１２】
　本発明の積層体をたとえばバッキングシートとして使用す
ることができる
　【００１３】
　かかる本発明の積層体は、ＰＴＦＥシート、好ましくは比重が２．１７５を超えるＰＴＦＥシートと熱溶融性樹脂のフィルムまたはシートとをそれらの間に溶融エネルギーが６５Ｊ／ｇ以下の未焼成ＰＴＦＥ、たとえばＰＴＦＥの単独重合体、またはヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）および／もしくはパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）で変性したＰＴＦＥの微粒子の層を介在させたのち加熱融着することにより製造できる。
　【００１４】
　ＰＴＦＥの微粒子の層は、乳化重合で得られたディスパージョンの形で、または該ディスパージョンを乾燥し粉末としたのちフィルム化して得られるフィルムの形で適用することができる。
　【００１５】
　また、ＰＴＦＥの微粒子層を存在させずにＰＴＦＥシートと熱溶融性樹脂フィルムを加熱融着しても製造できるが、この場合は、ＰＴＦＥシートの比重を高くするため、加熱融着後に急激な温度低下を防止する必要がある。この防止策を講じることにより、溶融したＰＴＦＥの結晶化が充分に進み、高比重のものとすることができる。
　【００１６】
　急激な温度低下を防止する方策としては、たとえばＰＴＦＥの融点未満で３００℃以上の範囲内の温度に保持する方法が適当である。保持時間は、溶融したＰＴＦＥの結晶化が充分に進む時間であればよく、５〜２０分間とすることができる。
　【００１７】
　なお、この急激な温度低下の防止は、ＰＴＦＥ微粒子層を介在させる場合にも施すことができる。
　【００１８】
　加熱は耐熱性織布側、すなわち熱溶融性樹脂フィルムまたはシート側から行なうのが好ましく、ＰＴＦＥシート中に溶融しない層が残っている時点で加熱を停止するのが好ましい。
　【００１９】
　また、特にバッキングシートとして使用する場合、ＰＴＦＥシートの積層面と反対側、すなわち液に接する面をＰＴＦＥの融点以上の温度で加熱処理して表面を平滑化することが好ましい。この加熱処理は、積層体の加熱融着の前でも、同時でも、後でもよい。
　【００２０】
　【発明の実施の形態】
　本発明のＰＴＦＥ積層体は前記のとおり、ＰＴＦＥシートと熱溶融性樹脂のフィルムまたはシートとをそれらの間に溶融エネルギーが６５Ｊ／ｇ以下の未焼成ＰＴＦＥ（以下、特に断らない限り「未焼成ＰＴＦＥ」という）の微粒子の層を介在させたのち加熱融着することにより製造できる（第１の製造法）。その第１の製造法の製造工程をさらに詳しく説明するが、本発明はかかる具体的製造法に限られるものではない。
　【００２１】
　まず、厚さ約１〜４ｍｍのＰＴＦＥシートに未焼成ＰＴＦＥのディスパージョンを塗布し乾燥してＰＴＦＥシート上に未焼成ＰＴＦＥの微粒子の層を形成する。未焼成ＰＴＦＥの微粒子の粒径は、溶融エネルギーが小さく熱伝導性を上げる点から約０．１〜５μｍ、好ましくは０．１〜０．５μｍである。未焼成ＰＴＦＥディスパージョンの濃度はディスパージョンを安定にし塗布性を高める点から約３０〜７０重量％（以下、「％」という）、好ましくは約３０〜６５％である。塗布量は乾燥重量で約１０〜１６０ｇ／ｍ２、好ましくは約１５〜１００ｇ／ｍ２である。少なすぎると塗布むらが生じやすく、多すぎると微粒子の脱落が生じやすく、いずれも好ましくない。
　【００２２】
　塗布方法は特に限定されないが、たとえばスプレー塗布法、刷毛塗り法などが採用できる。乾燥も自然乾燥でも加熱して強制乾燥してもよい。
　【００２３】
　未焼成ＰＴＦＥのディスパージョンに代えて、未溶融のテトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体（ＰＦＡ）のディスパージョンを使用してもよく、また未焼成ＰＴＦＥのフィルムを配してもよい。未焼成ＰＴＦＥのフィルムはたとえばＰＴＦＥのディスパージョンを凝析してファインパウダーとし、これをロール圧延することにより作製できる。
　【００２４】
　つぎにこのＰＴＦＥシートの未焼成ＰＴＦＥ微粒子の層（フィルム）が形成されている面に熱溶融性樹脂のフィルムまたはシートを重ね、さらに要すれば耐熱性織布などを重ねたのち熱溶融性樹脂側から加熱する。本発明において、この加熱が重要である。
　【００２５】
　加熱温度はＰＴＦＥの融点（約３２７〜３４５℃）以上、好ましくは約３６０〜３９０℃であり、この温度でＰＴＦＥシート中に溶融しない部分（層）が残った状態で停止することが重要である。すなわち加える熱量をＰＴＦＥシート中に結晶が残存する量とすればよい。結晶を完全に溶融してしまうと比重が大きく低下し、２．１７５を下回り、薬液透過性が大きくなる。
　【００２６】
　加熱時間は加熱温度、ＰＴＦＥシートの厚さ、熱溶融性樹脂の種類や厚さ、耐熱性織布の厚さなどによって異なり、実験的に選定するか、結晶化度などから計算により算出してもよい。たとえばＰＴＦＥシートの比重が２．１８９で厚さが３ｍｍ、加熱温度が３８０℃の場合、３〜５分間とすればよい。
　【００２７】
　部分的に溶融しない部分が残存しているかどうかは、ＰＴＦＥシートの切断面を見れば分かる。すなわち、結晶化度の高い加熱前のＰＴＦＥシートは白色不透明であるが、結晶が溶融すると透明になる。したがって切断面は熱溶融性樹脂側に透明な部分（層）が存在し、非加熱面側には白色不透明な層が残存している状態となっている。
　【００２８】
　加熱融着方法は、たとえば図１に示すようにＰＴＦＥシート１、未焼成ＰＴＦＥ微粒子層２、熱溶融性樹脂フィルムまたはシート３、要すれば耐熱性織布４の順に配し、耐熱性織布４側に加熱板５をＰＴＦＥシート１側に押え板６を配し、加熱板５と押え板６とで加圧すると共に加熱板５をＰＴＦＥの融点以上に加熱すればよい。
　【００２９】
　または、図２に示すように、ＰＴＦＥの融点以上に加熱された加熱ローラ７にＰＴＦＥシート１、未焼成ＰＴＦＥ微粒子層２、熱溶融性樹脂フィルムまたはシート３、要すれば耐熱性織布４の順に配された積層物を耐熱性織布４が加熱ローラ７の表面に接するように巻き付け、押えローラ８で押しつけながら加熱融着させて連続的に製造してもよい。図２において、１０は結晶化ゾーンであり、１１はヒーターである。
　【００３０】
　未焼成ＰＴＦＥディスパージョンを使用する場合、未焼成ＰＴＦＥ微粒子層２は前記のようにＰＴＦＥシート１に未焼成ＰＴＦＥディスパージョンを塗布乾燥させてもよいし、熱溶融性樹脂フィルムまたはシート３側に未焼成ＰＴＦＥディスパージョンを塗布乾燥させてもよい。
　【００３１】
　加圧するときの圧力は、たとえば約０．１〜０．１５ＭＰａ程度の範囲で選択すればよい。また、加熱後は圧力を解除し室温まで徐冷するのが結晶化度を高くする点で好ましい。基本的には押え板６および押えローラ８は加熱する必要はないが、積層体の歪みを解消する点からＰＴＦＥの融点未満、好ましくはＰＴＦＥの融点から１５〜３５℃低い温度に加熱してもよい。
　【００３２】
　つぎに各材料について説明する。
　【００３３】
　本発明で用いるＰＴＦＥシートは比重が２．１７５を超える高結晶化度のものである必要があり、特に比重２．１７８以上、好ましくは２．１７８〜２．２１０のものが適切である。比重が小さいと薬液透過性が大きくなり、本発明の目的が達成できない。かかる高結晶化度のＰＴＦＥシートは、たとえばＰＣＴ／ＪＰ９８／０１１１６号明細書に記載されている方法、すなわちＰＴＦＥ粉末を圧縮成形したＰＴＦＥ成形品を回転させつつ焼成する回転焼成法によって得た焼成物を切削してシートとすることによって得ることができる。ところで従来法で得たＰＴＦＥ焼成品から切削したシートは大きく波を打っているため、積層体とするために事前にＰＴＦＥシートを加熱して平坦化しなければならず、そのため、積層前にすでにＰＴＦＥの結晶化度が低下していた。しかしこの回転焼成法によれば、均質で高結晶化度のＰＴＦＥシートが得られ、しかも切削して得られるシートが平坦であるので他の材料との積層が容易であり、加熱による平坦化処理はとくに必要とせず、積層前の結晶化度の低下の心配はない。
　【００３４】
　原料となるＰＴＦＥ粉末はテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）の単独重合体、または他のフルオロモノマーで変性されたＰＴＦＥである。変性ＰＴＦＥにおいて、ＴＦＥと他のフルオロモノマーとのモル比は、９５：５〜９９．９９９：０．００１であってよい。変性ＰＴＦＥとしては、たとえばパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）で変性したＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥ、またはヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）で変性したＨＦＰ変性ＰＴＦＥなどがあげられる。パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（ＰＡＶＥ）としては、式（Ｉ）：
　　ＣＦ２＝ＣＦ−ＯＲｆ　　　　　（Ｉ）
［Ｒｆは、炭素原子およびフッ素原子を必須としており、水素原子を有しておらず、酸素原子を有していてもよい有機基である。］
で示される化合物であってよい。
　【００３５】
　パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）（Ｉ）におけるＲｆ基は、炭素数１〜１０のパーフルオロアルキル基、炭素数４〜９のパーフルオロ（アルコキシアルキル）基、
式（ＩＩ）：
　【００３６】
　【化１】
　【００３７】
［式中、ｍは０〜４の数である。］または
式（ＩＩＩ）：
　【００３８】
　【化２】
　【００３９】
［式中、ｎは０〜４の数である。］
で示される基であってよい。
　【００４０】
　これらのうちＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥは結晶化度が大きく、比重も２．１７５を超え、薬液透過性が小さく好ましい。
　【００４１】
　ＰＴＦＥシートの厚さは目的とする用途によって異なるが、通常１〜４ｍｍ、バッキングシートに使用するときは約２〜４ｍｍ程度である。
　【００４２】
　未焼成ＰＴＦＥ微粒子層を形成させる未焼成ＰＴＦＥのディスパージョンは、ＴＦＥを単独または少量のＰＡＶＥおよび／またはＨＦＰを共存させて乳化重合することによって得ることができる。これらのうち熱伝導性を高める点から溶融エネルギーが６５Ｊ／ｇ以下、特に３０〜５０Ｊ／ｇであることが好ましい。とりわけ熱融着性が優れている点から、ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥが好ましい。
　【００４３】
　熱溶融性樹脂フィルムまたはシートとしては、ＰＴＦＥシートに熱融着し得るフィルムまたはシートであればよく、ＰＴＦＥの融点に近い融点をもつオレフィン系樹脂；ＰＰＳ、ＰＥＳ、ＰＥＥＫなどの芳香族系樹脂；ＴＦＥ−ＰＡＶＥ共重合体（ＰＦＡ）、ＴＦＥ−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）などの熱溶融性フッ素樹脂などがあげられる。これらのうち、ＰＴＦＥと同様な性質をもちしかもＰＴＦＥと接着性がよい点から熱溶融性フッ素樹脂、特にバッキングシート用としてはＰＦＡ、ＦＥＰなどが好ましい。
　【００４４】
　この熱溶融性樹脂は通常、ＰＴＦＥシートと他の材料（たとえば耐熱性織布など）とを接着するための接着層として働く。しかし、熱溶融性樹脂のシートにＰＴＦＥシートを接着した積層体であってもよいし、ＰＴＦＥシートに熱溶融性樹脂フィルムをラミネートした機能性積層体であってもよい。したがって、厚さは目的によって適宜選定すればよく、たとえばバッキングシートにおける接着層として用いる場合は約１０〜３００μｍとすればよい。
　【００４５】
　つぎにＰＴＦＥシートと熱溶融性樹脂フィルムとを直接またはＰＴＦＥ微粒子層を介在させたのち加熱融着させた予備積層体を急激な温度低下を生じない状態に置き、溶融しているＰＴＦＥの結晶化を促進して積層体を得る方法（第２の製造法）について述べる。
　【００４６】
　ＰＴＦＥシートと熱溶融性樹脂フィルムの加熱融着処理は第１の製造法と同じでよいが、加熱時間を若干長くしてもよい。この第２の製造法は、加熱融着処理で溶融したＰＴＦＥシート中の溶融ＰＴＦＥの再結晶化を充分行なうことに特徴がある。ＰＴＦＥの再結晶化を充分に行なうことにより、比重の高いＰＴＦＥシートに戻すことができる。すなわち溶融したＰＴＦＥを急冷するか、そのまま放置すると結晶化が進まず、また生じた結晶も不完全なものであり、結果として比重が上がらない。
　【００４７】
　そこで第２の製造法では加熱融着後に、比重を下げる急激な温度低下が生じないように防止する。この防止方法としては、ＰＴＦＥの融点（約３２７〜３４５℃）より低いが３００℃以上の範囲内の温度に結晶化が充分進む時間滞留させる方法があげられる。滞留時間としては加熱融着時の温度、ＰＴＦＥシートの厚さ、原料ＰＴＦＥシートの比重などによって異なるが、５〜２０分間、好ましくは５〜１０分間の範囲で選定すればよい。たとえば比重２．１８９で厚さ３ｍｍのＰＴＦＥシートを３８０℃で加熱融着させた場合、３００〜３１０℃の温度に７〜９分間保持すれば、ＰＴＦＥシートの比重が２．１７５より低くなることを防止できる。
　【００４８】
　この急激な温度低下を防止する具体的手段としては、たとえば図２に示すように、符号１０で示す結晶化ゾーンを加熱ローラ７の下流のＰＴＦＥシート１側と耐熱性織布４側の両方に設け、加熱融着されたＰＴＦＥシート１を結晶化ゾーン１０中のヒータ１１により、急激な温度低下が生じないように温度コントロールすればよい。また図示していないが、積層体全体を覆う結晶化チャンバーの形態としてもよい。
　【００４９】
　結晶化ゾーンでの温度コントロールは、一定温度に維持してもよいし、連続的に降温させてもよいし、また段階的に（たとえば３５０℃のゾーン、３３０℃のゾーン、ついで３１０℃のゾーンといったように）降温させてもよい。
　【００５０】
　また、熱溶融性樹脂フィルム側（耐熱性織布側）から加熱融着させる場合、急激な温度低下を防止する手段を熱溶融性樹脂フィルム側に配置してもよい。
　【００５１】
　本発明の積層体は、基本的にはＰＴＦＥシートと熱溶融性樹脂フィルムまたはシートの２層構造を含んでいればよいが、前記のようにさらに熱溶融性樹脂を接着層とし他の材料を複合化した積層体とする場合に特に効果が奏される。
　【００５２】
　他の材料としては、ＰＴＦＥの耐熱性を生かした用途、たとえばバッキングシートの場合は耐熱性の織布、たとえばガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布などがあげられる。
　【００５３】
　本発明の積層体は優れた低薬液透過性を有しており、各種の貯蔵用または輸送用容器、タンク、パイプラインなどのライニング用のバッキングシートとして有用である。そのほか、ＰＴＦＥの非粘着性、低摩擦性といった性質を利用した離型用途、摺動用途といった用途にも好適である。
　【００５４】
　特に極めて高度な清浄度が要求される半導体製造分野に用いる場合では、薬液が透過して滲み出ないようにするだけでは不充分であり、薬液自体を汚染から守る必要がある。たとえば、薬液容器の内表面を本発明のＰＴＦＥ積層体（接液面がＰＴＦＥシートの表面）で形成する場合、切削して得られるＰＴＦＥシートの表面が粗いと容器内を単に洗浄しただけでは汚れ、特に微小な粒子（パーティクルと呼ばれている）が残存し、薬液を汚染してしまう。そこで、本発明においては、好ましくはＰＴＦＥシートの接液面となる側を、積層化する前、積層時、または積層後にＰＴＦＥの融点以上の温度、たとえば３４０〜３９０℃で加熱処理する。
　【００５５】
　この平滑化処理の方法は、ＰＴＦＥの融点以上の温度で無荷重下または軽荷重下で短時間加熱することによって実施する。ただし、最終的に積層体中のＰＴＦＥシートの平均比重が２．１７５を下回らないように注意すべきである。加熱方法はバーナーなどで表面を焼くことによって行なってもよい。また、積層化に使用した熱プレス（たとえば図１）の押え板を短時間ＰＴＦＥの融点以上に上げることによって行なってもよい。さらに、加熱ロール上を短時間通過させる方法も採用できる。加熱時間は加熱温度が３８０℃の場合、通常６〜６０秒間である。この平滑化処理によって表面粗度（Ｒａ）が３５０ｎｍ以下、通常１００〜２５０ｎｍのＰＴＦＥシートが得られる。
　【００５６】
　つぎに本発明の積層体の好ましい具体的実施形態を記載するが、これらの実施形態に限定されるものではない。
　【００５７】
（１）ＰＴＦＥシート：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　平均比重２．１７５よりも大
　　　未焼成ＰＴＦＥ微粒子層：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥディスパージョンの塗布
　　　　　　　　　　　　　　　平均粒径０．１〜０．５μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　塗布量（乾燥）１５〜１００ｇ／ｍ２
　　　　　　　　　　　　　　　溶融エネルギー５０Ｊ／ｇ以下
　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　その他の処理：表面平滑化処理
　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。特に半導体製造関連の薬液輸送、貯蔵容器など。
　　　効果：薬液透過性が小さく、かつ表面が平滑であるためパーティクルなどの付着が少ない。
　【００５８】
（２）ＰＴＦＥシート：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　平均比重２．１７８〜２．２１０
　　　未焼成ＰＴＦＥ微粒子層：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥ微粒子のフィルム
　　　　　　　　　　　　　　　平均粒径０．１〜０．５μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　膜厚１０〜１００μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　溶融エネルギー５０Ｊ／ｇ以下
　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　その他の処理：表面平滑化処理
　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。特に半導体製造関連の薬液輸送、貯蔵容器など。
　　　効果：薬液透過性が小さく、かつ表面が平滑であるためパーティクルなどの付着が少ない。
　【００５９】
（３）ＰＴＦＥシート：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　平均比重２．１７８〜２．２１０
　　　未焼成ＰＴＦＥ微粒子層：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥディスパージョンの塗布
　　　　　　　　　　　　　　　平均粒径０．１〜０．５μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　塗布量（乾燥）１５〜１００ｇ／ｍ２
　　　　　　　　　　　　　　　溶融エネルギー５０Ｊ／ｇ以下
　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　その他の処理：表面平滑化処理
　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。特に半導体製造関連の薬液輸送、貯蔵容器など。
　　　効果：薬液透過性が小さく、かつ表面が平滑であるためパーティクルなどの付着が少ない。
　【００６０】
（４）ＰＴＦＥシート：未変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　平均比重２．１７８〜２．２１０
　　　未焼成ＰＴＦＥ微粒子層：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥディスパージョンの塗布
　　　　　　　　　　　　　　　平均粒径０．１〜０．５μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　塗布量（乾燥）１５〜１００ｇ／ｍ２
　　　　　　　　　　　　　　　溶融エネルギー５０Ｊ／ｇ以下
　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。
　　　効果：薬液透過性が小さい。
　【００６１】
（５）ＰＴＦＥシート：未変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　平均比重２．１７８〜２．２１０
　　　未焼成ＰＴＦＥ微粒子層：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥ微粒子のフィルム
　　　　　　　　　　　　　　　平均粒径０．１〜０．５μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　膜厚１０〜１００μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　溶融エネルギー５０Ｊ／ｇ以下
　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。
　　　効果：薬液透過性が小さい。
　【００６２】
（６）ＰＴＦＥシート：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　平均比重２．１７８〜２．２１０
　　　未焼成ＰＴＦＥ微粒子層：未変性ＰＴＦＥディスパージョンの塗布
　　　　　　　　　　　　　　　平均粒径０．１〜０．５μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　塗布量（乾燥）１５〜１００ｇ／ｍ２
　　　　　　　　　　　　　　　溶融エネルギー５０Ｊ／ｇ以下
　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　その他の処理：表面平滑化処理
　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。特に半導体製造関連の薬液輸送、貯蔵容器など。
　　　効果：薬液透過性が小さく、かつ表面が平滑であるためパーティクルなどの付着が少ない。
　【００６３】
（７）ＰＴＦＥシート：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　平均比重２．１７８〜２．２１０
　　　未焼成ＰＴＦＥ微粒子層：未変性ＰＴＦＥ微粒子のフィルム
　　　　　　　　　　　　　　　平均粒径０．１〜０．５μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　膜厚１０〜１００μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　溶融エネルギー５０Ｊ／ｇ以下
　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　その他の処理：表面平滑化処理
　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。特に半導体製造関連の薬液輸送、貯蔵容器など。
　　　効果：薬液透過性が小さく、かつ表面が平滑であるためパーティクルなどの付着が少ない。
　【００６４】
（８）ＰＴＦＥシート：未変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　平均比重２．１７８〜２．２１０
　　　未焼成ＰＴＦＥ微粒子層：未変性ＰＴＦＥディスパージョンの塗布
　　　　　　　　　　　　　　　平均粒径０．１〜０．５μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　塗布量（乾燥）１５〜１００ｇ／ｍ２
　　　　　　　　　　　　　　　溶融エネルギー５０Ｊ／ｇ以下
　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。
　　　効果：薬液透過性が小さい。
　【００６５】
（９）ＰＴＦＥシート：未変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　平均比重２．１７８〜２．２１０
　　　未焼成ＰＴＦＥ微粒子層：未変性ＰＴＦＥ微粒子のフィルム
　　　　　　　　　　　　　　　平均粒径０．１〜０．５μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　膜厚１０〜１００μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　溶融エネルギー５０Ｊ／ｇ以下
　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。
　　　効果：薬液透過性が小さい。
　【００６６】
（１０）ＰＴＦＥシート：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　　平均比重２．１７８〜２．２１０
　　　　未溶融ＰＦＡ微粒子層：ＰＦＡディスパージョンの塗布
　　　　　　　　　　　　　　　平均粒径０．１〜０．５μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　塗布量（乾燥）１５〜１００ｇ／ｍ２
　　　　　　　　　　　　　　　溶融エネルギー５０Ｊ／ｇ以下
　　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　　その他の処理：表面平滑化処理
　　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。特に半導体製造関連の薬液輸送、貯蔵容器など。
　　　　効果：薬液透過性が小さく、かつ表面が平滑であるためパーティクルなどの付着が少ない。
　【００６７】
（１１）ＰＴＦＥシート：未変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　　平均比重２．１７８〜２．２１０
　　　　未溶融ＰＦＡ微粒子層：ＰＦＡディスパージョンの塗布
　　　　　　　　　　　　　　　平均粒径０．１〜０．５μｍ
　　　　　　　　　　　　　　　塗布量（乾燥）１５〜１００ｇ／ｍ２
　　　　　　　　　　　　　　　溶融エネルギー５０Ｊ／ｇ以下
　　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。
　　　　効果：薬液透過性が小さい。
　【００６８】
（１２）ＰＴＦＥシート：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　　平均比重２．１７５よりも大
　　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　　その他の処理：加熱融着後急激な温度低下防止処理
　　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。特に半導体製造関連の薬液輸送、貯蔵容器など。
　　　　効果：薬液透過性が小さく、かつ表面が平滑であるためパーティクルなどの付着が少ない。
　【００６９】
（１３）ＰＴＦＥシート：ＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥ
　　　　　　　　　　　　平均比重２．１７８〜２．２１０
　　　　熱溶融性樹脂フィルム：ＰＦＡフィルム（融点３１０℃）
　　　　　　　　　　　　　　　厚さ１０〜３００μｍ
　　　　その他の材料：耐熱性ガラス織布、カーボン織布、ポリアミドイミド織布、ボロンナイトライド織布
　　　　その他の処理：加熱融着後３００℃〜ＰＴＦＥの融点未満の温度に５〜２０分間維持
　　　　用途：薬液貯蔵・輸送用容器、タンク、パイプなどのライニング用のバッキングシート。特に半導体製造関連の薬液輸送、貯蔵容器など。
　　　　効果：薬液透過性が小さく、かつ表面が平滑であるためパーティクルなどの付着が少ない。
　【００７０】
　【実施例】
　つぎに本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定されるものではない。
　【００７１】
実施例１
　回転焼成法（ＰＣＴ／ＪＰ９８／０１１１６号明細書の実施例２に記載の方法）により焼成し切削して得たＰＴＦＥシート（比重２．１９１のＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥシート。幅２００ｍｍ、長さ２００ｍｍ、厚さ３ｍｍ）の一方の表面に、乳化重合で製造したＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥディスパージョン（溶融エネルギー４０Ｊ／ｇ、平均粒径０．３μｍ、濃度６５％）を乾燥後のＰＴＦＥ微粒子の塗布量が３０ｇ／ｍ２となるように刷毛塗り法で塗布し乾燥した。ついでＰＦＡフィルム（幅２００ｍｍ、長さ２００ｍｍ、厚さ０．２５ｍｍ）をＰＴＦＥ微粒子層側に配置し、さらに耐熱ガラスクロス（幅２００ｍｍ、長さ２００ｍｍ、厚さ３ｍｍ）を配した積層物を図１に示す加熱板５と押え板６の間に置き、加熱板温度３８０℃、押え板温度３００℃、加圧圧力１ｋｇｆ／ｃｍ２の条件で加熱した。４分後加熱板の圧力を解放し、２〜３分間で室温まで徐冷して本発明の積層体（バッキングシート）を作製した。
　【００７２】
　この積層体から幅３０ｍｍ、長さ１５０ｍｍのサンプルを切り出し、ＰＴＦＥシートとＰＦＡフィルムとの接着強度（剥離強度）をＪＩＳ　Ｋ　６７７２−９−５に従って測定したところ、３．０ｋｇｆ／ｃｍであった。またＰＴＦＥシート全体の平均比重は２．１８４であった。ＰＴＦＥシートの切断面を観察したところ、ＰＦＡフィルム側から約３０％は溶融したために透明となっていた。
　【００７３】
　さらに得られた積層体を熱プレスで３６０℃にて１分間加熱処理してＰＴＦＥシートの表面を平滑化したが、ＰＴＦＥシートの平均比重は２．１８３と高い値を維持していた。
　【００７４】
実施例２
　従来法で焼成し切削してＰＡＶＥ変性ＰＴＦＥシート（平均比重２．１９１）を作製したが、このシートは波を打っていたため、３６０℃で５分間加熱加圧して平坦化処理をしたところ、平均比重が２．１７８に低下した。この平坦化処理したＰＴＦＥシートを用いたほかは実施例１と同様にして未焼成ＰＴＦＥ微粒子、ＰＦＡフィルム、耐熱ガラスクロスを積層し、同条件で２分間加熱加圧して積層体を作製した。この積層体中のＰＴＦＥシートの平均比重は２．１７７、接着強度（剥離強度）は３．２ｋｇｆ／ｃｍであり、切断面の透明層の割合は１０％であった。
　【００７５】
　さらに実施例１と同様にしてＰＴＦＥシートの表面を平滑化したところ、平均比重は２．１７６と殆ど低下していなかった。
　【００７６】
実施例３
　回転焼成法で作製した未変性のＰＴＦＥシート（平均比重２．１７８）を用いたほかは実施例１と同様にして未焼成ＰＴＦＥ微粒子、ＰＦＡフィルム、耐熱クロスを積層し、同条件で２分間加熱加圧して積層体を作製した。この積層体中のＰＴＦＥシートの平均比重は２．１７７、接着強度（剥離強度）は３．２ｋｇｆ／ｃｍであり、切断面の透明層の割合は１０％であった。
　【００７７】
実施例４
　実施例１において、未焼成ＰＴＦＥディスパージョンを塗布せず加熱加圧時間を８分間に延ばし、３０５℃の熱プレスに移動させ８分間保持したのち圧力を開放し、２〜３分間かけて室温にまで除冷したほかは実施例１と同様にして積層体を作製した。得られた積層体中のＰＴＦＥシートの平均比重は２．１７７であり、接着強度（剥離強度）は３．２ｋｇｆ／ｃｍであった。
　【００７８】
比較例１
　実施例１において未焼成ＰＴＦＥディスパージョンを塗布しなかったほかは同様にして積層し、加熱加圧して比較用の積層体を作製したところ、ＰＦＡフィルムとＰＴＦＥシートは手で簡単に剥がすことができた。
　【００７９】
比較例２
　比較例１において、加熱時間を８分間に延ばしたほかは同様にして積層体を作製したところ、接着強度（剥離強度）が３．５ｋｇｆ／ｃｍの積層体が得られた。しかし、ＰＴＦＥシートは透明化しており、平均比重は２．１７０と小さいものであった。
　【００８０】
　【発明の効果】
　本発明によれば、ＰＴＦＥシートの比重を高い値に維持できかつ充分な接着強度をもつＰＴＦＥ積層体を得ることができ、低薬液透過性に優れたＰＴＦＥ系のバッキングシートを提供できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明のＰＴＦＥ積層体を製造する方法の１実施形態を説明するための概略断面図である。
　【図２】
　本発明のＰＴＦＥ積層体を製造する方法の別の実施形態を説明するための概略断面図である。