【事件の表示】
　特許第３２０８５５１号「非接触型移動テーブル」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　本件特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第３２０８５５１号の請求項１乃至請求項４に係る発明についての出願は、平成４年９月２日に特許出願され、同１３年７月１３日にその特許権の設定の登録がされ、その後、同１４年３月１５日に横田貞則より本件の請求項１に係る特許について特許異議の申立てがされ、同１４年７月９日付で取消しの理由の通知がされ、その指定期間内である同１４年９月６日に明細書について訂正の請求がされた。
第２　訂正の適否についての判断
１　訂正の内容
　特許権者は、本件登録時の明細書（以下「登録明細書」という。）を訂正請求書に添付した明細書に記載のとおり以下のように訂正しようとするものである。
(1) 訂正事項ａ
　登録明細書における特許請求の範囲の【請求項１】を削除し、【請求項２】乃至【請求項４】を、【請求項１】乃至【請求項３】に繰り上げる。
(2) 訂正事項ｂ
　登録明細書の段落【０００９】を削除する。
(3) 訂正事項ｃ
　登録明細書の段落【００１０】、【００１１】、【００１２】、【００１５】、【００１６】及び【００１７】を下記のとおり訂正する。
　　　　　　　　　　　　　　　　　記　
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するための本発明の第１の手段は、平面な上面と該上面に直角又はある角度を有するＸ軸方向に平行な平面とからなる２面をＸ軸ガイド面とするＸ軸ガイドテーブルと、このＸ軸ガイドテーブルの２面のＸ軸ガイド面に対応した２面をＸ軸移動面とし、また上面と該上面に直角又はある角度を有するＹ軸方向に平行な平面よりなる２面をＹ軸ガイド面として有し、Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面にＸ軸移動面が対向して配置されたＸ軸移動テーブルと、このＸ軸移動テーブルの２面のＹ軸ガイド面に対応した２面のＹ軸移動面を有し、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面にＹ軸移動面が対向して配置されたＹ軸移動テーブルとを備え、Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルのＸ軸移動面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、Ｘ軸移動面又はＸ軸ガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、Ｘ軸ガイドテーブルの２面のＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルの２面のＸ軸移動面とで非接触剛性軸受を持ったＸ軸テーブルを成し、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルのＹ軸移動面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、Ｙ軸移動面又はＹ軸ガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、Ｙ軸ガイドテーブルの２面のＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルの２面のＹ軸移動面とで非接触剛性軸受を持ったＹ軸テーブルを成し、Ｘ軸テーブルとＹ軸テーブルとでＸＹテーブルを構成することを特徴とする。
【００１１】上記目的を達成するための本発明の第２の手段は、上面が平面よりなるＸＹ軸ガイド面と上面に直角又はある角度を有するＸ軸方向に平行な平面のＸ軸ガイド面とを有するガイドテーブルと、このガイドテーブルの２面のＸＹ軸ガイド面とＸ軸ガイド面に対応した２面のＸ軸移動面を有し、更に上面に直角又はある角度を有するＹ軸方向に平行な平面よりなるＹ軸ガイド面を有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面にＸ軸移動面が対向して配置されたＸＹ軸ガイドテーブルと、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面に対応した２面のＹ軸移動面を有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面にＹ軸移動面が対向して配置されたＸＹ軸移動テーブルとを備え、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテーブルの２面のＸ軸移動面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、２面のＸ軸移動面又は２面のＸＹ軸ガイド面、Ｘ軸ガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテーブルの２面のＸ軸移動面とで構成する２面の非接触剛性軸受を成し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面とＸＹ軸移動テーブルの２面のＹ軸移動面とは、それぞれ何れか一方の面より
他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、２面のＹ軸移動面又は２面のＸＹ軸ガイド面、Ｙ軸ガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面とＸＹ軸移動テーブルの２面のＹ軸移動面とで構成する２面の非接触剛性軸受を成し、ＸＹテーブルを構成したことを特徴とする。
【００１２】上記目的を達成するための本発明の第３の手段は、上面が平面なＸＹ軸ガイド面と上面に直角又はある角度を有するＸ軸方向に平行なＸ軸ガイド面と上面に直角又はある角度を有するＹ軸方向に平行なＹ軸ガイド面とを有するガイドテーブルと、このガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＸ軸ガイド面に対応した２面のＸ軸移動面を有し、更に上面に直角又はある角度を有するＹ軸方向に平行な平面よりなるＹ軸ガイド面を有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面にＸ軸移動面が対向して配置されたＸ軸移動テーブルと、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＹ軸ガイド面に対応した２面のＹ軸移動面を有し、更に上面に直角又はある角度を有するＸ軸方向に平行な平面よりなるＸ軸ガイド面を有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＹ軸ガイド面にＹ軸移動面が対向して配置されたＹ軸移動テーブルと、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面、Ｙ軸移動テーブルのＸ軸ガイド面及びガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面に対応したＹ軸移動面、Ｘ軸移動面及びＸＹ軸移動面とを有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面に載置されたＸＹ軸移動テーブルとを備え、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルの２面のＸ軸移動面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、２面のＸ軸移動面又は２面のＸＹ軸ガイド面、Ｘ軸ガイド面の何れか一方より真空吸引す
る真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルの２面のＸ軸移動面とで構成する２面の非接触剛性軸受を成し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルの２面のＹ軸移動面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、２面のＹ軸移動面又は２面のＸＹ軸ガイド面、Ｙ軸ガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルの２面のＹ軸移動面とで構成する２面の非接触剛性軸受を成し、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面及びＸＹ軸移動面とＹ軸移動テーブルのＸ軸ガイド面及びガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とＸ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、移動面又はガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ＸＹ軸移動テーブルの２面とガイドテーブルの２面、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とＸ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面とで非接触剛性軸受を構成して成ることを特徴とする。
【００１５】更に第１の手段によれば、Ｘ軸移動テーブルは、Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルのＸ軸移動面とでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面とＸ軸移動面の面に直角な方向）の移動が拘束されているので、Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面に沿ってＸ軸方向のみに移動可能である。またＹ軸移動テーブルは、Ｘ軸移動テーブルに対し、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルのＹ軸移動面とでＹ軸方向（Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の面に直角な方向）の移動が拘束されているので、前記のようにＸ軸移動テーブルがＸ軸方向に移動させられると、Ｙ軸移動テーブルも共にＸ軸方向に移動する。またＹ軸移動テーブルは、前記したようにＹ軸ガイド面とＹ軸移動面とでＹ軸方向の移動が拘束されているので、Ｙ軸方向のみに移動可能である。従って、Ｘ軸移動テーブルのＸ軸方向の移動とＹ軸移動テーブルとのＹ軸方向の移動の組み合わせにより、Ｙ軸移動テーブルをＸＹ軸方向の任意の位置に移動させることができる。即ち、Ｘ軸ガイド面とＸ軸移動面の直角な２対の２面、Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の直角な２対の２面の計４対の４面で非接触剛性軸受を構成し、２軸移動テーブルが得られる。
【００１６】第２の手段によれば、ＸＹ軸ガイドテーブルは、ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテーブルのＸ軸移動面とでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面とＸ軸移動面の面に直角な方向）が拘束されているので、ガイドテーブルのＸ軸ガイド面に沿ってＸ軸方向のみに移動可能である。またＸＹ軸移動テーブルは、ＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面とＸＹ軸移動テーブルのＹ軸移動面とでＸ軸方向（Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の面に直角な方向）が拘束されているので、前記のようにＸＹ軸ガイドテーブルをＸ軸方向に移動させると、ＸＹ軸移動テーブルはＸＹ軸ガイドテーブルと共にＸ軸方向のみに移動する。そこで、逆にＸＹ軸移動テーブルをＸ軸方向に移動させてもＸＹ軸ガイドテーブルはＸＹ軸移動テーブルと共に移動する。またＸＹ軸移動テーブルは、前記したようにＸ軸方向はＸＹ軸ガイドテーブルと共に移動可能であるので、ＸＹ軸移動テーブルをＹ軸方向に移動させると、ＸＹ軸移動テーブルはＹ軸方向のみに移動可能である。従って、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸方向の移動とＸＹ軸移動テーブルのＹ軸方向の移動の組み合わせ、又はＸＹ軸ガイドテーブルのＸ軸方向の移動とＸＹ軸移動テーブルのＹ軸方向の組み合わせにより、ＸＹ軸移動テーブルをＸＹ軸方向の任意の位置に移動させることができる。即ち、前記第１の手段の場合と同様に、４面で非接触の２軸移動テーブルであるＸＹテーブルを構成することができる。
【００１７】第３の手段によれば、ＸＹ軸ガイド面、Ｘ軸ガイド面は前記第１の手段のＸ軸ガイドテーブルの直角又はある角度を有する２面のＸ軸ガイド面に相当し、直角又はある角度を有する２面のＸ軸移動面は第２の手段のＸ軸移動テーブルの直角又はある角度を有する２面のＸ軸移動面に相当する。またＸＹ軸ガイド面、Ｙ軸ガイド面と直角又はある角度を有する２面のＹ軸移動面との関係は、前記ＸＹ軸ガイド面、Ｘ軸ガイド面と直角又はある角度を有する２面のＸ軸移動面との関係と同じで、軸がＹ軸方向に変わったのみである。従って、Ｘ軸移動テーブルは、ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルのＸ軸移動面とでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面とＸ軸移動面の面に直角な方向）の移動が拘束されているので、ガイドテーブルのＸ軸ガイド面に沿ってＸ軸方向のみに移動可能である。同様に、Ｙ軸移動テーブルは、ガイドテーブルのＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルのＹ軸移動面とでＸ軸方向（Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の面に直角な方向）の移動が拘束されているので、ガイドテーブルのＹ軸ガイド面に沿ってＹ軸方向のみに移動可能である。またＸＹ軸移動テーブルは、Ｙ軸ガイド部のＸ軸ガイド面とＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とでＹ軸方向の移動が拘束されているので、Ｘ軸移動テーブルがＸ軸方向に移動すると、ＸＹ軸移動テーブルはＸ軸移動テーブルと共にＸ軸方向に移動する。また同様に、ＸＹ軸移動テーブルは、Ｘ軸ガイド部のＹ軸ガイド面とＸＹ軸移動テーブルのＹ軸移動面とでＸ軸方向の移動が拘束されているので、Ｙ軸移動テーブルがＹ軸方向に移動すると、ＸＹ軸移動テーブルはＹ軸移動テーブルと共にＹ軸方向に移動する。従って、Ｘ軸移動テーブルのＸ軸方向の移動とＹ軸移動テーブルの移動の組み合わせにより、ＸＹ軸移動テーブルをＸＹ軸方向の任意の位置に移動させることができる。このように、ＸＹ軸ガイド面とＸ軸移動面、Ｘ軸ガイド面とＸ軸移動面の２対の２面でＸ軸移動テーブルを構成し、ＸＹ軸ガイド面とＹ軸移動面、Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の２対の２面でＹ軸移動テーブルを構成し、Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面とＸ軸ガイド面とＸ軸移動面とＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸移動面の３対の３面でＸＹ移動テーブルを構成する。即ち、７面で非接触の２軸移動テーブルであるＸＹテーブルを構成する。
２　訂正の目的の適否、新規事項の追加の有無及び拡張・変更の存否
(1)  訂正事項ａについて
　訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明に該当し、且つ、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であって、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
(2)  訂正事項ｂ及び訂正事項ｃについて
　訂正事項ｂ及び訂正事項ｃは、訂正事項ａに伴って特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るものであって、明りょうでない記載の釈明に該当し、且つ、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であって、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
３　むすび
　以上のとおりであるから、本件の訂正は、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
第３　特許異議の申立てについての判断　
　登録時の請求項１に係る発明は、訂正の結果削除され、特許異議の申立ての対象が存在しないので、この特許異議の申立ては、不適法な申立であってその補正をすることができないものである。
　したがって、本件特許異議の申立ては、特許法第１２０条の６第１項において準用する第１３５条の規定によって却下すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年９月１３日（２００２．９．１３）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第３２０８５５１号の登録時の明細書（以下「登録明細書」という。）を、本件に係る訂正請求書に添付した明細書のとおり、すなわち、次の訂正事項ａ乃至訂正事項ｃのとおりに訂正する。
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的として、登録明細書における特許請求の範囲の【請求項１】を削除し、【請求項２】乃至【請求項４】を【請求項１】乃至【請求項３】に繰り上げる。
（２）訂正事項ｂ
　訂正事項ａに伴って特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として、登録明細書の段落【０００９】を削除する。
（３）訂正事項ｃ
　訂正事項ａに伴って特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的として、登録明細書の段落【００１０】、【００１１】、【００１２】、【００１５】、【００１６】及び【００１７】を下記のとおり訂正する。
　　　記
　【００１０】
　【課題を解決するための手段】上記目的を達成するための本発明の第１の手段は、平面な上面と該上面に直角又はある角度を有するＸ軸方向に平行な平面とからなる２面をＸ軸ガイド面とするＸ軸ガイドテーブルと、このＸ軸ガイドテーブルの２面のＸ軸ガイド面に対応した２面をＸ軸移動面とし、また上面と該上面に直角又はある角度を有するＹ軸方向に平行な平面よりなる２面をＹ軸ガイド面として有し、Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面にＸ軸移動面が対向して配置されたＸ軸移動テーブルと、このＸ軸移動テーブルの２面のＹ軸ガイド面に対応した２面のＹ軸移動面を有し、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面にＹ軸移動面が対向して配置されたＹ軸移動テーブルとを備え、Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルのＸ軸移動面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、Ｘ軸移動面又はＸ軸ガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、Ｘ軸ガイドテーブルの２面のＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルの２面のＸ軸移動面とで非接触剛性軸受を持ったＸ軸テーブルを成し、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルのＹ軸移動面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、Ｙ軸移動面又はＹ軸ガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、Ｙ軸ガイドテーブルの２面のＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルの２面のＹ軸移動面とで非接触剛性軸受を持ったＹ軸テーブルを成し、Ｘ軸テーブルとＹ軸テーブルとでＸＹテーブルを構成することを特徴とする。
　【００１１】上記目的を達成するための本発明の第２の手段は、上面が平面よりなるＸＹ軸ガイド面と上面に直角又はある角度を有するＸ軸方向に平行な平面のＸ軸ガイド面とを有するガイドテーブルと、このガイドテーブルの２面のＸＹ軸ガイド面とＸ軸ガイド面に対応した２面のＸ軸移動面を有し、更に上面に直角又はある角度を有するＹ軸方向に平行な平面よりなるＹ軸ガイド面を有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面にＸ軸移動面が対向して配置されたＸＹ軸ガイドテーブルと、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面に対応した２面のＹ軸移動面を有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面にＹ軸移動面が対向して配置されたＸＹ軸移動テーブルとを備え、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテーブルの２面のＸ軸移動面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、２面のＸ軸移動面又は２面のＸＹ軸ガイド面、Ｘ軸ガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテーブルの２面のＸ軸移動面とで構成する２面の非接触剛性軸受を成し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面とＸＹ軸移動テーブルの２面のＹ軸移動面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、２面のＹ軸移動面又は２面のＸＹ軸ガイド面、Ｙ軸ガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面とＸＹ軸移動テーブルの２面のＹ軸移動面とで構成する２面の非接触剛性軸受を成し、ＸＹテーブルを構成したことを特徴とする。
　【００１２】上記目的を達成するための本発明の第３の手段は、上面が平面なＸＹ軸ガイド面と上面に直角又はある角度を有するＸ軸方向に平行なＸ軸ガイド面と上面に直角又はある角度を有するＹ軸方向に平行なＹ軸ガイド面とを有するガイドテーブルと、このガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＸ軸ガイド面に対応した２面のＸ軸移動面を有し、更に上面に直角又はある角度を有するＹ軸方向に平行な平面よりなるＹ軸ガイド面を有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面にＸ軸移動面が対向して配置されたＸ軸移動テーブルと、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＹ軸ガイド面に対応した２面のＹ軸移動面を有し、更に上面に直角又はある角度を有するＸ軸方向に平行な平面よりなるＸ軸ガイド面を有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＹ軸ガイド面にＹ軸移動面が対向して配置されたＹ軸移動テーブルと、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面、Ｙ軸移動テーブルのＸ軸ガイド面及びガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面に対応したＹ軸移動面、Ｘ軸移動面及びＸＹ軸移動面とを有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面に載置されたＸＹ軸移動テーブルとを備え、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルの２面のＸ軸移動面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、２面のＸ軸移動面又は２面のＸＹ軸ガイド面、Ｘ軸ガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルの２面のＸ軸移動面とで構成する２面の非接触剛性軸受を成し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルの２面のＹ軸移動面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、２面のＹ軸移動面又は２面のＸＹ軸ガイド面、Ｙ軸ガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルの２面のＹ軸移動面とで構成する２面の非接触剛性軸受を成し、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面及びＸＹ軸移動面とＹ軸移動テーブルのＸ軸ガイド面及びガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とＸ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面とは、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、移動面又はガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ＸＹ軸移動テーブルの２面とガイドテーブルの２面、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とＸ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面とで非接触剛性軸受を構成して成ることを特徴とする。
　【００１５】更に第１の手段によれば、Ｘ軸移動テーブルは、Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルのＸ軸移動面とでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面とＸ軸移動面の面に直角な方向）の移動が拘束されているので、Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面に沿ってＸ軸方向のみに移動可能である。またＹ軸移動テーブルは、Ｘ軸移動テーブルに対し、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルのＹ軸移動面とでＹ軸方向（Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の面に直角な方向）の移動が拘束されているので、前記のようにＸ軸移動テーブルがＸ軸方向に移動させられると、Ｙ軸移動テーブルも共にＸ軸方向に移動する。またＹ軸移動テーブルは、前記したようにＹ軸ガイド面とＹ軸移動面とでＹ軸方向の移動が拘束されているので、Ｙ軸方向のみに移動可能である。従って、Ｘ軸移動テーブルのＸ軸方向の移動とＹ軸移動テーブルとのＹ軸方向の移動の組み合わせにより、Ｙ軸移動テーブルをＸＹ軸方向の任意の位置に移動させることができる。即ち、Ｘ軸ガイド面とＸ軸移動面の直角な２対の２面、Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の直角な２対の２面の計４対の４面で非接触剛性軸受を構成し、２軸移動テーブルが得られる。
　【００１６】第２の手段によれば、ＸＹ軸ガイドテーブルは、ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテーブルのＸ軸移動面とでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面とＸ軸移動面の面に直角な方向）が拘束されているので、ガイドテーブルのＸ軸ガイド面に沿ってＸ軸方向のみに移動可能である。またＸＹ軸移動テーブルは、ＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面とＸＹ軸移動テーブルのＹ軸移動面とでＸ軸方向（Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の面に直角な方向）が拘束されているので、前記のようにＸＹ軸ガイドテーブルをＸ軸方向に移動させると、ＸＹ軸移動テーブルはＸＹ軸ガイドテーブルと共にＸ軸方向のみに移動する。そこで、逆にＸＹ軸移動テーブルをＸ軸方向に移動させてもＸＹ軸ガイドテーブルはＸＹ軸移動テーブルと共に移動する。またＸＹ軸移動テーブルは、前記したようにＸ軸方向はＸＹ軸ガイドテーブルと共に移動可能であるので、ＸＹ軸移動テーブルをＹ軸方向に移動させると、ＸＹ軸移動テーブルはＹ軸方向のみに移動可能である。従って、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸方向の移動とＸＹ軸移動テーブルのＹ軸方向の移動の組み合わせ、又はＸＹ軸ガイドテーブルのＸ軸方向の移動とＸＹ軸移動テーブルのＹ軸方向の組み合わせにより、ＸＹ軸移動テーブルをＸＹ軸方向の任意の位置に移動させることができる。即ち、前記第１の手段の場合と同様に、４面で非接触の２軸移動テーブルであるＸＹテーブルを構成することができる。
　【００１７】第３の手段によれば、ＸＹ軸ガイド面、Ｘ軸ガイド面は前記第１の手段のＸ軸ガイドテーブルの直角又はある角度を有する２面のＸ軸ガイド面に相当し、直角又はある角度を有する２面のＸ軸移動面は第２の手段のＸ軸移動テーブルの直角又はある角度を有する２面のＸ軸移動面に相当する。またＸＹ軸ガイド面、Ｙ軸ガイド面と直角又はある角度を有する２面のＹ軸移動面との関係は、前記ＸＹ軸ガイド面、Ｘ軸ガイド面と直角又はある角度を有する２面のＸ軸移動面との関係と同じで、軸がＹ軸方向に変わったのみである。従って、Ｘ軸移動テーブルは、ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルのＸ軸移動面とでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面とＸ軸移動面の面に直角な方向）の移動が拘束されているので、ガイドテーブルのＸ軸ガイド面に沿ってＸ軸方向のみに移動可能である。同様に、Ｙ軸移動テーブルは、ガイドテーブルのＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルのＹ軸移動面とでＸ軸方向（Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の面に直角な方向）の移動が拘束されているので、ガイドテーブルのＹ軸ガイド面に沿ってＹ軸方向のみに移動可能である。またＸＹ軸移動テーブルは、Ｙ軸ガイド部のＸ軸ガイド面とＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とでＹ軸方向の移動が拘束されているので、Ｘ軸移動テーブルがＸ軸方向に移動すると、ＸＹ軸移動テーブルはＸ軸移動テーブルと共にＸ軸方向に移動する。また同様に、ＸＹ軸移動テーブルは、Ｘ軸ガイド部のＹ軸ガイド面とＸＹ軸移動テーブルのＹ軸移動面とでＸ軸方向の移動が拘束されているので、Ｙ軸移動テーブルがＹ軸方向に移動すると、ＸＹ軸移動テーブルはＹ軸移動テーブルと共にＹ軸方向に移動する。従って、Ｘ軸移動テーブルのＸ軸方向の移動とＹ軸移動テーブルの移動の組み合わせにより、ＸＹ軸移動テーブルをＸＹ軸方向の任意の位置に移動させることができる。このように、ＸＹ軸ガイド面とＸ軸移動面、Ｘ軸ガイド面とＸ軸移動面の２対の２面でＸ軸移動テーブルを構成し、ＸＹ軸ガイド面とＹ軸移動面、Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の２対の２面でＹ軸移動テーブルを構成し、Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面とＸ軸ガイド面とＸ軸移動面とＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸移動面の３対の３面でＸＹ移動テーブルを構成する。即ち、７面で非接触の２軸移動テーブルであるＸＹテーブルを構成する。
（５４）【発明の名称】
非接触型移動テーブル
（５７）【特許請求の範囲】
　【
請求項１
　【
請求項２
　【
請求項３
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は非接触型移動テーブルに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、非接触型１軸移動テーブルとして、図２３及び図２４に示す圧縮エアー方式と、図２５に示す圧縮エアー・磁気併用方式とが知られている。
　【０００３】
　図２３の圧縮エアー方式は、上下及び左右の４面にガイド面８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄを有するガイドテーブル８０と、ガイド面８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄに数μｍの間隔（エアーギャップ）を保つ移動面８１ａ、８１ｂ、８１ｃ、８１ｄを有する移動テーブル８１とから成り、移動テーブル８１の移動面８１ａ乃至８１ｄよりガイドテーブル８０のガイド面８０ａ乃至８０ｄに圧縮エアー８２を吹き付けて移動テーブル８１をガイドテーブル８０より浮かせて非接触型１軸移動テーブルとしている。そこで、移動テーブル８１に紙面に垂直な方向より外力を加えると、移動テーブル８１は非接触で紙面に垂直な１軸方向に移動することができる。
　【０００４】
　図２４の圧縮エアー方式は、ガイド部８５、８６を有するガイドテーブル８７と移動テーブル８８とから成っている。ガイド部８５は上下左面にガイド面８５ａ、、８５ｂ、８５ｃを有し、ガイド部８６は上下右面にガイド面８６ａ、８６ｂ、８６ｃを有する。移動テーブル８８は、前記ガイド面８５ａ、８５ｂ、８５ｃ及び８６ａ、８６ｂ、８６ｃに数μの隙間を保つ移動面８８ａ、８８ｂ、８８ｃ、８８ｄ、８８ｅを有する。そして、移動テーブル８８の移動面８８ａ乃至８８ｅよりガイドテーブル８７のガイド面８５ａ、８５ｂ、８５ｃ及び８６ａ、８６ｂ、８６ｃに圧縮エアー８９を吹き付けて移動テーブル８８を浮かせて非接触型１軸移動テーブルとしている。そこで、移動テーブル８８に紙面に垂直な方向より外力を加えると、移動テーブル８８は非接触で紙面に垂直な１軸方向に移動することができる。
　【０００５】
　図２５の圧縮エアー・磁気併用方式は、図２４の方式における下方部の軸受部を改良したもので、移動テーブル８８の下面に永久磁石９０、９１を設け、ガイドテーブル８７にも前記永久磁石９０、９１と吸引する磁極を有する永久磁石９２、９３を設けたものである。そこで、移動テーブル８８よりガイドテーブル８７のガイド面に圧縮エア８９を吹き付けると、水平方向は圧縮エアどうしで反発し合い水平方向の剛性が得られ、垂直方向は圧縮エアと永久磁石（９０、９１と９２、９３）の吸引力により反発し合い垂直方向の剛性が得られ、非接触型１軸移動テーブルと成る。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記従来技術は、上下方向の圧縮剛性及び引張剛性を得るには、図２３の場合はガイド面８０ａ、移動面８１ａとガイド面８０ｂ、移動面８１ｂの上下２面、図２４の場合はガイド面８５ａ、移動面８８ａとガイド面８６ａ、移動面８８ａ，ガイド面８５ｂ、移動面８８ｂとガイド面８６ｂ、移動面８８ｄの上下４面、図２５の場合はガイド面８５ａ、移動面８８ａとガイド面８６ａ、移動面８８ａと永久磁石９０、９２と永久磁石９１、９３の上下４面を圧縮エアーで拘束するか、圧縮エアーと永久磁石で拘束している。また１軸移動テーブルを構成するためには、前記した上下方向の圧縮剛性及び引張剛性の他に、左右方向の圧縮剛性及び引張剛性を得るための左右２面（図２３の場合はガイド面８０ｃ、移動面８１ｃとガイド面８０ｄ、移動面８１ｄ、図２４及び図２５の場合はガイド面８５ｃ、移動面８８ｄとガイド面８６ｃ、移動面８８ｅ）を圧縮エアーで拘束する必要があるので、少なくとも上下左右の４面の軸受面を必要とする。また２軸移動テーブルであるＸＹテーブルを構成する場合には、前記１軸移動テーブルを２組用い、移動テーブルが直交するように重ね合わせる手段を採る必要がある。
　【０００７】
　前記したように、従来技術は軸受面の数が多く、また非常に小さい数μｍのエアーギャップを保持するようにする必要があるので、高加工精度を必要とすると共に、組立調整が非常に困難でありコスト高になる。また軸受面の数が多いことにより、移動テーブルが大型化、重量化及び複雑化し、この点からもコスト高になる。またエアーギャップが非常に小さいことにより、熱膨張の影響が大きく使用する材料が限定される。
　【０００８】
　本発明の目的は、構造が簡単で軸受面が少なく、小型化、軽量化及びコスト低減並びに使用材料の範囲が広い非接触型移動テーブルを提供することにある。
　【０００９】
　【００１０】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するための本発明の
第１の
　【００１１】
　上記目的を達成するための本発明の
第２の
　【００１２】
　上記目的を達成するための本発明の
第３の
　【００１３】
　【作用】
　第１の手段による１組のガイド面と移動面との構成によれば、エアー供給穴より供給する圧縮エアーにより、移動テーブルはガイドテーブルのガイド面より浮き上がる。この時、移動テーブルは、移動テーブルの重量と圧縮エアの吹き出し圧力によってバランスを採っている。しかし、移動テーブルは、空中に浮かんだ状態で拘束力がなく、非常に不安定である。そこで、真空吸引穴より真空圧を供給すると、ガイドテーブルのガイド面と移動テーブルの移動面との隙間が少なくなり、ガイド面及び移動面に垂直な方向からの圧縮力及び引張力に耐えられるようになり、平面移動剛性軸受が得られる。そこで、移動テーブルにガイド面及び移動面に平行な方向から外力を加えると、移動テーブルはその加えられた外力の方向に軽く移動する。このように、ガイド面と移動面との１対の１面で圧縮及び引張剛性を有する非接触剛性軸受を構成し、非接触平面移動テーブルが得られる。
　【００１４】
　そこで、第１の手段のようにガイド面と移動面を２組直角又はある角度に組み合わせた構成にすると、移動テーブルは、上下方向及び左右方向からの圧縮力及び引張力に耐える剛性軸受となる。即ち、移動テーブルは、上下方向及び左右方向（ガイド面と移動面に直角な方向）が拘束され、１軸方向に非接触で移動することができる。このように、２対の２面より成る少ない軸受面で非接触剛性軸受を構成し、１軸移動テーブルが得られる。また軸受面の数が少ないことにより、移動テーブルが軽量化できると共に、コストの低減が図れる。また直角又はある角度を有する２面で軸受を構成するので、熱膨張によるエアギャップへの影響が少なく、ガイドテーブル及び移動テーブルの使用材料の範囲が広い。更にエアギャップを高精度に管理する必要がないので、組立調整が容易である。
　【００１５】
　
更に第１の
即ち、Ｘ軸
　【００１６】
　
第２の
第１の
　【００１７】
　
第３の
第１の
　【００１８】
　【実施例】
　以下、本発明の基本構成の一実施例を図１乃至図７により説明する。図７に示すように、ガイドテーブル１の上面はガイド面１ａとなっており、このガイド面１ａ上には移動テーブル２が載置されている。移動テーブル２の下面は移動面２ａとなっており、この移動面２ａには、図１に示すように、外周部にエアー供給溝２ｂが設けられ、エアー供給溝２ｂに対応した部分には、図３に示すように側面２ｃから内部に向けてエアー通路穴２ｅが設けられ、このエアー通路穴２ｅに連通するように側面２ｄにエアー通路穴２ｆが設けられ、これらのエアー通路穴２ｅ、２ｆの側面２ｃ、２ｄは側は栓３で密閉されている。そして、図１、図２、図４に示すように、エアー供給溝２ｂとエアー通路穴２ｅ、２ｆが連通するようにエアー供給溝２ｂの各辺にはエアー供給穴２ｇが設けられている。前記エアー供給溝２ｂの内側部分には、多数の真空吸引穴２ｈが設けられている。そして、真空吸引穴２ｈに連通するように側面２ｃよりエアー通路穴２ｉが設けられ、またエアー通路穴２ｉに連通するように側面２ｊにはエアー通路穴２ｋが設けられ、これらエアー通路穴２ｉ、２ｋの側面２ｃ、２ｊ側は栓４で密閉されている。またエアー通路穴２ｋに連通するように側面２ｃにはエアー通路穴２ｐが設けられている。また移動テーブル２には、エアー通路穴２ｅ、２ｆにエアを供給するエアー供給パイプ５と、エアー通路穴２ｐ、２ｋ、２ｉ、２ｈより真空吸引するエアー吸引パイプ６が接続されている。
　【００１９】
　前記エアー供給パイプ５及びエアー吸引パイプ６には、図８に示すように、それぞれホース１０、１１が接続され、ホース１０には流量自動調節部１２、圧力計１３を介してエアーコンプレッサ１４が接続され、ホース１１には真空ポンプ又はベンチュリ形真空発生機１５及び真空圧センサ１６が接続されている。ここで、ホース１０、１１のエアー供給パイプ５、エアー吸引パイプ６側の部分は、移動テーブル２への抵抗を少なくするために柔軟性のあるものを用いるのが良い。そして、エアーコンプレッサ１４及び真空ポンプ１５は制御部１７によって制御され、また流量自動調節部１２の流量は、真空圧センサ１６の真空度によって制御部１７より制御されるようになっている。
　【００２０】
　次に作用について説明する。エアー供給パイプ５に圧縮エアを供給すると、この圧縮エアは、エアー通路穴２ｅ、２ｆを通ってエアー供給穴２ｇよりエアー供給溝２ｂに供給する。これにより、移動テーブル２はガイドテーブル１のガイド面１ａより浮き上がる。この時、移動テーブル２は、移動テーブル２の重量と圧縮エアの供給圧力によってバランスを採っている。しかし、移動テーブル２は、空中に浮かんだ状態で拘束力がなく、非常に不安定である。そこで、エアー吸引パイプ６より真空吸引を行なうと、この真空吸引力は、エアー通路穴２ｐ、２ｋ、２ｉを通して真空吸引穴２ｈよりガイドテーブル１のガイド面１ａと移動テーブル２の移動面２ａ間のエアの吸引を行なう。これにより、ガイドテーブル１のガイド面１ａと移動テーブル２の移動面２ａとの隙間が少なくなり、移動テーブル２の上方（ガイド面１ａ、移動面２ａに垂直な方向）からの圧縮力及び引張力に耐えられるようになり、平面移動剛性軸受が得られる。そこで、移動テーブル２に横方向（ガイド面１ａ、移動面２ａに平行な方向）から外力を加えると、移動テーブル２はその加えられた外力の方向に軽く移動する。この場合、移動テーブル２は数ｇの力で移動させることができる。
　【００２１】
　このように、ガイド面１ａと移動面２ａとの１対の１面で圧縮及び引張剛性を有する非接触剛性軸受を構成し、非接触平面移動テーブルが得られる。また対の面でエア供給及びエア吸引を行なうので、エアの自己循環性があり、エアが他部に殆ど漏れなくクリーンである。
　【００２２】
　図９はエアー供給パイプ５に供給するエアー流量に従ってエアー吸引パイプ６より吸引する真空圧を高めた場合における引張剛性と圧縮剛性を実験によって求めた結果を示す。例えばエアー流量を２．５Ｌ／ｍｉｎとし、その時の真空圧を−６５ｃｍＨｇとすると、引張剛性は約８Ｋｇｆ／μｍとなり、圧縮剛性は約２４Ｋｇｆ／μｍとなった。ここで、移動テーブル２に搭載する物の重量によって圧縮剛性をどの程度にするかは実験によって設定する必要がある。
　【００２３】
　次に本発明に成る非接触型移動テーブルの一実施例について説明する。図１０は１軸移動テーブルを構成した第１実施例を示す。ガイドテーブル２０の上面及びこの上面に垂直な側面はガイド面２０ａ、２０ｂとなっており、移動テーブル２１はガイド面２０ａ、２０ｂに対応して移動部２２、２３を有する。そして、移動部２２、２３はそれぞれ図１乃至図６に示す移動テーブル２と同じ構成よりなるエア吹き出し手段及びエア吸引手段が形成されている。即ち、ガイドテーブル２０のガイド面２０ａと移動部２２の移動面２２ａは、ガイドテーブル１のガイド面１ａと移動テーブル２の移動面２ａと同じ構成より成る剛性軸受をなし、ガイドテーブル２０のガイド面２０ｂと移動部２３の移動面２３ａは、ガイドテーブル１のガイド面１ａと移動テーブル２の移動面２ａと同じ構成より成る剛性軸受となっている。
　【００２４】
　従って、移動部２２は、前記実施例と同様に、上下方向（ガイド面２０ａ、移動面２２ａに垂直な方向）からの圧縮力及び引張力に耐える剛性軸受となり、移動部２３も前記実施例と同じように、左右方向（ガイド面２０ｂ、移動面２３ａに垂直な方向）からの圧縮力及び引張力に耐える剛性軸受となる。即ち、移動テーブル２１は、上下方向及び左右方向（ガイド面２０ａと移動面２２ａ及びガイド面２０ｂと移動面２３ａに垂直な方向）が拘束され、紙面に垂直な方向（ガイド面２０ａ、２０ｂ、移動面２２ａ、２３ａに平行な方向）のみに非接触で移動することができる。
　【００２５】
　このように、移動部２２、２３を直角に組み合わせ、直角なガイド面２０ａ、２０ｂを有するガイドテーブル２０に載置することにより、ガイド面２０ａと移動面２２ａ及びガイド面２０ｂと移動面２３ａの２対の２面より成る少ない軸受面で非接触剛性軸受を構成し、１軸移動テーブルが得られる。また軸受面の数が少ないことにより、移動テーブル２が軽量化できると共に、コストの低減が図れる。また直角な２面で軸受を構成するので、熱膨張による影響が少なく、ガイドテーブル１及び移動テーブル２の使用材料の範囲が広い。更にエアギャップを高精度に管理する必要がないので、組立調整及び加工が容易である。
　【００２６】
　図１１は前記第１実施例の変形例である１軸移動テーブルの第２実施例を示す。本実施例は、前記第１実施例におけるガイドテーブル２０の側面であるガイド面２０ｂに代え、ガイドテーブル２０の上面より上方に伸びたガイド部２５を設け、このガイド部２５に垂直なガイド面２５ａを設けて成る。従って、移動テーブル２２の移動部２３も上方に伸び、この移動部２３に垂直な移動面２３ａを設けて成る。このように構成しても前記実施例と同様の効果が得られる。
　【００２７】
　図１２は本発明の２軸移動テーブルの第１実施例を示す。Ｘ軸ガイドテーブル３０の上面及び奥側面はＸ軸ガイド面３０ａ、３０ｂとなっており、Ｘ軸ガイド面３０ａ、３０ｂは図１０のガイドテーブル２０の上面及び側面のガイド面２０ａ、２０ｂに相当する。Ｘ軸ガイドテーブル３０上にはＸ軸移動テーブル３１が載置されており、Ｘ軸移動テーブル３１はＸ軸ガイド面３０ａ、３０ｂにそれぞれ対応したＸ軸移動面３２ａ、３３ａを有するＸ軸移動部３２、３３と、Ｘ軸ガイド面３０ａに垂直でＹ軸方向に平行な平面より成るＹ軸ガイド面３４ａを有するＹ軸ガイド部３４とから成っている。またＸ軸移動部３２の上面は水平面より成るＹ軸ガイド面３２ｂと成っている。そして、Ｘ軸移動面３２ａ、３３ａは図１０の移動テーブル２１の下面及び側面の移動面２２ａ、２３ａに相当する。即ち、Ｘ軸ガイドテーブル３０とＸ軸移動テーブル３１とでＸ軸テーブルを構成している。Ｘ軸移動テーブル３１上にはＹ軸移動テーブル３５が載置されており、前記Ｙ軸ガイド面３２ｂ、３４ａに対応した面にＹ軸移動面３６ａ、３７ａを有するＹ軸移動部３６、３７から成っている。即ち、Ｘ軸移動テーブル３１のＹ軸ガイド面３２ｂ、３４ａはそれぞれ図１１のガイドテーブル２０のガイド面２０ａ、２５ａに相当し、Ｙ軸移動テーブル３５のＹ軸移動面３６ａ、３７ａは図１１の移動テーブル２１の移動面２２ａ、２３ａに相当し、Ｘ軸移動テーブル３１とＹ軸移動テーブル３５とでＹ軸テーブルを構成している。
　【００２８】
　従って、Ｘ軸移動テーブル３１は、Ｘ軸ガイドテーブル３０のＸ軸ガイド面３０ｂとＸ軸移動テーブル３１のＸ軸移動面３３ａとでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面３０ｂとＸ軸移動面３３ａの面に垂直な方向）の移動が拘束されているので、Ｘ軸ガイドテーブル３０のＸ軸ガイド面３０ｂに沿ってＸ軸方向のみに移動可能である。またＹ軸移動テーブル３５は、Ｘ軸移動テーブル３１に対し、Ｘ軸移動テーブル３１のＹ軸ガイド面３４ａとＹ軸移動テーブル３５のＹ軸移動面３７ａとでＹ軸方向（Ｙ軸ガイド面３４ａとＹ軸移動面３７ａの面に垂直な方向）の移動が拘束されているので、前記のようにＸ軸移動テーブル３１がＸ軸方向に移動させられると、Ｙ軸移動テーブル３５も共にＸ軸方向に移動する。またＹ軸移動テーブル３５は、前記したようにＹ軸ガイド面３４ａとＹ軸移動面３７ａとでＹ軸方向の移動が拘束されているので、Ｙ軸方向のみに移動可能である。従って、Ｘ軸移動テーブル３１のＸ軸方向の移動とＹ軸移動テーブル３５とのＹ軸方向の移動の組み合わせにより、Ｙ軸移動テーブル３５をＸＹ軸方向の任意の位置に移動させることができる。即ち、図１０と図１１の移動テーブル２１を２組組み合わせることにより、Ｘ軸ガイド面３０ａとＸ軸移動面３２ａ、Ｘ軸ガイド面３０ｂとＸ軸移動面３３ａ、Ｙ軸ガイド面３２ｂとＹ軸移動面３６ａ、Ｙ軸ガイド面３４ａとＹ軸移動面３７ａの４対の４面で非接触剛性軸受を構成し、２軸移動テーブルが得られる。
　【００２９】
　前記Ｘ軸移動テーブル３１のＹ軸ガイド部３４のＹ軸ガイド面３４ａと反対側面にＸ軸ボイスコイルモータ４０のコイル部４０ａを固定し、Ｘ軸ボイスコイルモータ４０の磁石部４０ｂをＸ軸モータ台４１に固定する。またＹ軸移動テーブル３５のＹ軸方向に垂直な面にＹ軸ボイスコイルモータ４２のコイル部４２ａを固定し、Ｙ軸ボイスコイルモータ４２の磁石部４２ｂをＹ軸モータ台４３に固定する。これにより、Ｘ軸移動テーブル３１はＸ軸ボイスコイルモータ４０によってＸ軸方向に移動させられ、Ｙ軸移動テーブル３５はＹ軸ボイスコイルモータ４２によってＹ軸方向に移動させられ、Ｘ軸移動テーブル３１及びＹ軸移動テーブル３５の移動を自動制御できる。前記したように、コイル部４２ａはＹ軸移動テーブル３５に固定され、Ｙ軸移動テーブル３５がＸ軸方向に移動すると共に移動するが、磁石部４２ｂはＹ軸モータ台４３に固定されて移動しないので、磁石部４２ｂのコイル部４２ａ内に配設された部分４２ｃとコイル部４２ａ間には、Ｘ軸方向にＹ軸移動テーブル３５が移動できる範囲の間隔が設けられている。
　【００３０】
　図１３は２軸移動テーブルの第２実施例で、前記第１実施例の変形例を示す。ガイドテーブル４５は、上面がＸＹ軸ガイド面４５ａに、奥側面がＸ軸ガイド面４５ｂに成っている。ガイドテーブル４５上にはＸＹ軸ガイドテーブル４６が載置されており、ＸＹ軸ガイドテーブル４６は、ＸＹ軸ガイド面４５ａ、Ｘ軸ガイド面４５ｂにそれぞれ対応したＸ軸移動面４７ａ、４８ａを有するＸ軸移動部４７、４８と、ＸＹ軸ガイド面４５ａに垂直でＹ軸方向に平行な平面より成るＹ軸ガイド面４９ａを有するＹ軸ガイド部４９とから成っている。またガイドテーブル４５上にはＸＹ軸移動テーブル５０が載置されており、ＸＹ軸移動テーブル５０は、ＸＹ軸ガイド面４５ａ、Ｙ軸ガイド面４９ａにそれぞれ対応したＹ軸移動面５１ａ、５２ａを有するＹ軸移動部５１、５２とＸ軸方向に垂直なＸ軸モータ取付部５３と、Ｙ軸方向に垂直なＹ軸モータ取付部５４とから成っている。そして、ＸＹ軸ガイド面４５ａ、Ｘ軸ガイド面４５ｂは図１２のＸ軸ガイドテーブル３０のＸ軸ガイド面３０ａ、３０ｂに相当し、Ｘ軸移動面４７ａ、４８ａは図１２のＸ軸移動テーブル３１のＸ軸移動面３２ａ、３３ａに相当する。即ち、ガイドテーブル４５とＸＹ軸ガイドテーブル４６とでＸ軸テーブルを構成している。またＸＹ軸ガイド面４５ａ、Ｙ軸ガイド面４９ａは図１２のＸ軸移動テーブル３１のＹ軸ガイド面３２ｂ、３４ａに相当し、Ｙ軸移動面５１ａ、５２ａは図１２のＹ軸移動面３６ａ、３７ａに相当する。即ち、ガイドテーブル４５とＸＹ軸ガイドテーブル４６のＹ軸ガイド部４９とＸＹ軸移動テーブル５０とでＹ軸テーブルを構成している。
　【００３１】
　従って、ＸＹ軸ガイドテーブル４６は、ガイドテーブル４５のＸ軸ガイド面４５ｂとＸＹ軸ガイドテーブル４６のＸ軸移動面４８ａとでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面４５ｂとＸ軸移動面４８ａの面に垂直な方向）が拘束されているので、ガイドテーブル４５のＸ軸ガイド面４５ｂに沿ってＸ軸方向のみに移動可能である。またＸＹ軸移動テーブル５０は、ＸＹ軸ガイドテーブル４６のＹ軸ガイド面４９ａとＸＹ軸移動テーブル５０のＹ軸移動面５２ａとでＸ軸方向（Ｙ軸ガイド面４９ａとＹ軸移動面５２ａの面に垂直な方向）が拘束されているので、前記のようにＸＹ軸ガイドテーブル４６をＸ軸方向に移動させると、ＸＹ軸移動テーブル５０はＸＹ軸ガイドテーブル４６と共にＸ軸方向のみに移動する。そこで、逆にＸＹ軸移動テーブル５０をＸ軸方向に移動させてもＸＹ軸ガイドテーブル４６はＸＹ軸移動テーブル５０と共に移動する。またＸＹ軸移動テーブル５０は、前記したようにＸ軸方向はＸＹ軸ガイドテーブル４６と共に移動可能であるので、ＸＹ軸移動テーブル５０をＹ軸方向に移動させると、ＸＹ軸移動テーブル５０はＹ軸方向のみに移動可能である。従って、ＸＹ軸移動テーブル５０のＸ軸方向の移動とＸＹ軸移動テーブル５０のＹ軸方向の移動の組み合わせ、又はＸＹ軸ガイドテーブル４６のＸ軸方向の移動とＸＹ軸移動テーブル５０のＹ軸方向の組み合わせにより、ＸＹ軸移動テーブル５０をＸＹ軸方向の任意の位置に移動させることができる。即ち、前記実施例の場合と同様に、４面で非接触の２軸移動テーブルであるＸＹテーブルを構成することができる。
　【００３２】
　そこで、ＸＹ軸移動テーブル５０のＸ軸モータ取付部５３にＸ軸ボイスコイルモータ４０のコイル部４０ａを固定し、Ｘ軸ボイスコイルモータ４０の磁石部４０ｂをガイドテーブル４５に固定し、またＹ軸モータ取付部５４にＹ軸ボイスコイルモータ４２のコイル部４２ａを固定し、Ｙ軸ボイスコイルモータ４２の磁石部４２ｂをＹ軸モータ台４３に固定すると、図１２の場合と同様にＸＹ軸移動テーブル５０をＸＹ軸方向の任意の位置に自動制御できる。なお、上記実施例はＸＹ軸移動テーブル５０をＸ軸ボイスコイルモータ４０でＸ軸方向に移動させるようにしたが、ＸＹ軸ガイドテーブル４６をＸ軸ボイスコイルモータ４０でＸ軸方向に移動させてもよい。
　【００３３】
　図１４は２軸移動テーブルの第３実施例で、前記第２実施例の変形例を示す。なお、図１３と同じ又は相当部材には同一符号を付して説明する。前記第２実施例におけるガイドテーブル４５とＸＹ軸移動テーブル４６とで構成するＸ軸テーブルは、図１０の構成より成っている。本実施例は、ガイドテーブル４５に垂直で上方に伸びたＸ軸ガイド部５５にＸ軸方向に平行なＸ軸ガイド面５５ａを設けて成る。従って、ＸＹ軸ガイドテーブル４６のＸ軸移動部４８も垂直に上方に伸び、このＸ軸移動部４８にＸ軸方向に平行なＸ軸移動面４８ａを設けて成る。即ち、ガイドテーブル４５とＸＹ軸移動テーブル４６とで構成するＸ軸テーブルは、図１１の構成より成っている。このように構成しても前記実施例と同様な作用を有する。
　【００３４】
　図１５は２軸移動テーブルの第４実施例を示す。ガイドテーブル６０は、上面が平面より成るＸＹ軸ガイド面６０ａと、側面が垂直でＸ軸方向に平行なＸ軸ガイド面６０ｂと、側面が垂直でＹ軸方向に平行なＹ軸ガイド面６０ｃとを有する。ガイドテーブル６０上にはＸ軸移動テーブル６１が載置されており、Ｘ軸移動テーブル６１は、ＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｘ軸ガイド面６０ｂにそれぞれ対応したＸ軸移動面６２ａ、６３ａを有するＸ軸移動部６２、６３と、ＸＹ軸ガイド面６０ａに垂直でＹ軸方向に平行な平面より成るＹ軸ガイド面６４ａを有するＹ軸ガイド部６４とから成っている。またガイドテーブル６０上にはＹ軸移動テーブル６５が載置されており、Ｙ軸移動テーブル６５は、ＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｙ軸ガイド面６０ｃにそれぞれ対応したＹ軸移動面６６ａ、６７ａを有するＹ軸移動部６６、６７と、ＸＹ軸ガイド面６０ａに垂直でＸ軸方向に平行な平面より成るＸ軸ガイド面６８ａを有するＸ軸ガイド部６８とから成っている。更にガイドテーブル６０上には、Ｙ軸ガイド部６４のＹ軸ガイド面６４ａ、Ｘ軸ガイド部６８のＸ軸ガイド面６８ａ、ガイドテーブル６０のＸＹ軸ガイド面６０ａにそれぞれ対応したＹ軸移動面６９ａ、Ｘ軸移動面６９ｂ、ＸＹ軸移動面６９ｃを有するＸＹ軸移動テーブル６９が載置されている。
　【００３５】
　そして、ＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｘ軸ガイド面６０ｂは図１２のＸ軸ガイドテーブル３０のＸ軸ガイド面３０ａ、３０ｂに相当し、Ｘ軸移動面６２ａ、６３ａは図１２のＸ軸移動テーブル３１のＸ軸移動面３２ａ、３３ａに相当する。またＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｙ軸ガイド面６０ｃとＹ軸移動面６６ａ、６７ａとの関係は、前記ＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｘ軸ガイド面６０ｂとＸ軸移動面６２ａ、６３ａとの関係と同じで、軸がＹ軸方向に変わったのみである。従って、Ｘ軸移動テーブル６１は、ガイドテーブル６０のＸ軸ガイド面６０ｂとＸ軸移動テーブル６１のＸ軸移動面６３ａとでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面６０ｂとＸ軸移動面６３ａの面に垂直な方向）の移動が拘束されているので、ガイドテーブル６０のＸ軸ガイド面６０ｂに沿ってＸ軸方向のみに移動可能である。同様に、Ｙ軸移動テーブル６５は、ガイドテーブル６０のＹ軸ガイド面６０ｃとＹ軸移動テーブル６５のＹ軸移動面６７ａとでＸ軸方向（Ｙ軸ガイド面６０ｃとＹ軸移動面６７ａの面に垂直な方向）の移動が拘束されているので、ガイドテーブル６０のＹ軸ガイド面６０ｃに沿ってＹ軸方向のみに移動可能である。
　【００３６】
　またＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｘ軸ガイド面６８ａは図１２のＸ軸移動テーブル３１のＹ軸ガイド面３２ｂ、３４ａに相当し、ＸＹ軸移動面６９ｃ、Ｘ軸移動面６９ｂは図１２のＹ軸移動部３６、３７のＹ軸移動面３６ａ、３７ａに相当し、ＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｙ軸ガイド面６４ａとＸＹ軸移動面６９ｃ、Ｙ軸移動面６９ａとの関係は、前記ＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｘ軸ガイド面６８ａとＸＹ軸移動面６９ｃ、Ｘ軸移動面６９ｂとの関係と同じで、軸がＹ軸方向に変わったのみである。従って、ＸＹ軸移動テーブル６９は、Ｙ軸移動テーブル６５のＸ軸ガイド面６８ａとＸＹ軸移動テーブル６９のＸ軸移動面６９ｂとでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面６８ａとＸ軸移動面６９ｂの面に垂直な方向）の移動が拘束されているので、Ｘ軸移動テーブル６１がＸ軸方向に移動すると、ＸＹ軸移動テーブル６９はＸ軸移動テーブル６１と共にＹ軸移動テーブル６５のＸ軸ガイド面６８ａに沿ってＸ軸方向に移動する。また同様に、ＸＹ軸移動テーブル６９は、Ｘ軸移動テーブル６１のＹ軸ガイド面６４ａとＸＹ軸移動テーブル６９のＹ軸移動面６９ａとでＸ軸方向（Ｙ軸ガイド面６４ａとＸＹ軸移動面６９ａの面に垂直な方向）の移動が拘束されているので、Ｙ軸移動テーブル６５がＹ軸方向に移動すると、ＸＹ軸移動テーブル６９はＹ軸移動テーブル６５と共にＸ軸移動テーブル６１のＹ軸ガイド面６４ａに沿ってＹ軸方向に移動する。従って、Ｘ軸移動テーブル６１のＸ軸方向の移動とＹ軸移動テーブル６５の移動の組み合わせにより、ＸＹ軸移動テーブル６９をＸＹ軸方向の任意の位置に移動させることができる。
　【００３７】
　このように、ＸＹ軸ガイド面６０ａとＸ軸移動面６２ａ、Ｘ軸ガイド面６０ｂとＸ軸移動面６３ａの２対の２面でＸ軸移動テーブルを構成し、ＸＹ軸ガイド面６０ａとＹ軸移動面６６ａ、Ｙ軸ガイド面６０ｃとＹ軸移動面６７ａの２対の２面でＹ軸移動テーブルを構成し、Ｙ軸ガイド面６４ａとＹ軸移動面６９ａとＸ軸ガイド面６８ａとＸ軸移動面６９ｂとＸＹ軸ガイド面６０ｃとＸＹ軸移動面６９ｃの３対の３面でＸＹ移動テーブルを構成する。即ち、７面で非接触の２軸移動テーブルであるＸＹテーブルを構成する。
　【００３８】
　そこで、Ｘ軸移動テーブル６１のＹ軸ガイド部６４にＸ軸ボイスコイルモータ４０のコイル部４０ａを固定し、Ｘ軸ボイスコイルモータ４０の磁石部４０ｂをガイドテーブル６０に固定し、またＹ軸移動テーブル６５のＸ軸ガイド部６８にＹ軸ボイスコイルモータ４２のコイル部４２ａを固定し、Ｙ軸ボイスコイルモータ４２の磁石部４２ｂをガイドテーブル６０に固定すると、ＸＹ軸移動テーブル６９をＸＹ軸方向の任意の位置に自動制御できる。
　【００３９】
　図１６は図１５の変形例である第５実施例を示す。なお、図１５と同じ又は相当部材には同一符号を付して説明する。本実施例は、前記第４実施例におけるガイドテーブル６０のＸ軸ガイド面６０ｂ、Ｙ軸ガイド面６０ｃに代え、ガイドテーブル６０に垂直で上方に突出したＸＹ軸ガイド部７０を設け、このＸＹ軸ガイド部７０に、Ｘ軸方向に平行なＸ軸ガイド面７０ａと、Ｙ軸方向に平行なＹ軸ガイド面７０ｂを設けて成る。従って、Ｘ軸移動テーブル６１のＸ軸移動部６３も垂直に上方に伸び、Ｙ軸移動テーブル６５のＹ軸移動部６７も垂直に上方に伸び、Ｘ軸移動部６３にＸ軸方向に平行なＸ軸移動面６３ａを設け、Ｙ軸移動部６７にＹ軸方向に平行なＹ軸移動面６７ａを設けて成る。このように構成しても前記実施例と同様な作用を有する。
　【００４０】
　図１７は本発明の第６実施例を示す。本実施例は図１２に適用した例を示し、Ｙ軸移動テーブル３５は箱型と成っている。図１２において、Ｘ軸ボイスコイルモータ４０及びＹ軸ボイスコイルモータ４２がオフになった時、Ｘ軸移動テーブル３１及びＹ軸移動テーブル３５は、Ｘ軸ボイスコイルモータ４０及びＹ軸ボイスコイルモータ４２による拘束力が無くなり軸方向に動き易くなる。これを防止するため、Ｙ軸移動テーブル３５をクランプするように、支柱７５にエアシリンダ７６を設けたものである。なお、図１３及び図１４の場合には、ＸＹ軸移動テーブル５０とＸＹガイドテーブル４６をクランプするようにし、図１５及び１６の場合はＸＹ軸移動テーブル６９とＸ軸移動テーブル６１とＹ軸移動テーブル６５をクランプするようにする。
　【００４１】
　図１８乃至図２０は本発明の基本構成の他の実施例を示す。図１乃至図７においては、移動テーブル２の下面の移動面２ａの外周部にエアー供給溝２ｂを設け、このエアー供給溝２ｂの部分にエアー供給穴２ｇを設け、更にエアー供給溝２ｂの内側部分に多数の真空吸引穴２ｈを設けている。本実施例は、前記実施例と逆に、移動面２ａの外周部に多数の真空吸引穴２ｈを設け、これらの真空吸引穴２ｈの内側部分にエアー供給溝２ｂを設け、このエアー供給溝２ｂの部分にエアー供給穴２ｇを設けて成る。即ち、真空吸引穴２ｈに連通するように側面２ｃ、２ｊよりそれぞれエアー通路穴２ｍ、２ｎが設けられ、これらエアー通路穴２ｍ、２ｎは、側面２ｃ側の１個のエアー通路穴２ｍを残して側面２ｃ、２ｊ側は栓４で密閉されている。そして、前記密閉されていないエアー通路穴２ｍにはエアー吸引パイプ６が接続されている。またエアー供給穴２ｇに連通するように、側面２ｃ、２ｊにはエアー通路穴２ｏ、２ｐが設けられ、エアー通路穴２ｐの側面２ｊは栓３で密閉され、エアー通路穴２ｏにはエアー供給パイプ５が接続されている。このように移動テーブル２を構成しても同様の効果が得られる。
　【００４２】
　図２１及び２２は本発明の基本構成の更に他の実施例を示す。本実施例においては、移動面２ａには、複数個のエアー供給穴２ｇ及び真空吸引穴２ｈがそれぞれ横１列でかつエアー供給穴２ｇ列と真空吸引穴２ｈ列は交互に設けられている。即ち、エアー供給穴２ｇに連通するように側面２ｊよりエアー通路穴２ｑが設けられ、エアー通路穴２ｑに連通するように側面２ｃよりエアー通路穴２ｒが設けられている。そして、エアー通路穴２ｑの側面２ｊ側は栓３で密閉され、エアー通路穴２ｒにはエアー供給パイプ５が接続されている。また真空吸引穴２ｈに連通するように側面２ｄよりエアー通路穴２ｓが設けられ、エアー通路穴２ｓに連通するように側面２ｃよりエアー通路穴２ｔが設けられている。そして、エアー通路穴２ｓの側面２ｄ側は栓４で密閉され、エアー通路穴２ｔにはエアー供給パイプ５が接続されている。このように移動テーブル２を構成しても同様の効果が得られる。なお、本実施例においては、エアー供給穴２ｇ及び真空吸引穴２ｈはそれぞれ横１列ではなく、縦１列に設けてもよい。
　【００４３】
　なお、上記した１軸移動テーブル及び２軸移動テーブルの各実施例における移動部の組み合わせは、直角なガイド面と直角な移動面より成るが、直角ではなくある角度を持っても良い。また上記実施例においては、エアー供給溝２ｂ、エアー供給穴２ｇ及び真空吸引穴２ｈは、移動面２ａに設けたが、ガイド面１ａに設けてもよい。またエアー供給溝２ｂ、エアー供給穴２ｇを移動面２ａ又はガイド面１ａの何れか一方の面に設け、真空吸引穴２ｈを他方の面に設けてもよい。また図１乃至図６、図１８乃至図２０においては、エアー供給溝２ｂを設けたが、このエアー供給溝２ｂは設けなく、エアー供給溝２ｂの部分に多数のエアー供給穴２ｇを設けてもよい。
　【００４４】
　【発明の効果】
　本発明によれば、平面な上面と該上面に直角又はある角度を有する平面との２面をガイド面とするガイドテーブルと、このガイドテーブルの２面のガイド面に対応した２面の移動面を有し、ガイド面に移動面が対向して配置された移動テーブルとを備え、ガイドテーブルのガイド面とこのガイド面に対向した移動テーブルの移動面の対応した両面には、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、移動面又はガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルの２面のガイド面と移動テーブルの２面の移動面とで非接触剛性軸受を構成した２面の非接触剛性軸受を有して成るので、構造が簡単で軸受面が少なく、小型化、軽量化及びコスト低減並びに使用材料の範囲が広い非接触型移動テーブルが得られる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明に成る非接触型移動テーブルの基本構成の一実施例を示す移動テーブルの移動面の平面図である。
　【図２】
　図１の上方の側面より見た側面図である。
　【図３】
　図２のＡーＡ線断面図である。
　【図４】
　図１のＢーＢ線断面図である。
　【図５】
　図１のＣーＣ線断面図である。
　【図６】
　図１のＤーＤ線断面図で、９０度時計方向に回転して図示したものである。
　【図７】
　本発明に成る非接触型移動テーブルの基本構成の一実施例を示す説明図である。
　【図８】
　移動テーブルへの圧縮エアー供給及びエアー吸引装置のブロック図である。
　【図９】
　エアー流量及び真空圧と圧縮剛性及び引張剛性の関係を示す図である。
　【図１０】
　本発明に成る非接触型１軸移動テーブルの一実施例を示す説明図である。
　【図１１】
　本発明に成る非接触型１軸移動テーブルの他の実施例を示す説明図である。
　【図１２】
　本発明に成る非接触型２軸移動テーブルの第１実施例を示す説明図である。
　【図１３】
　本発明に成る非接触型２軸移動テーブルの第２実施例を示す説明図である。
　【図１４】
　本発明に成る非接触型２軸移動テーブルの第３実施例を示す説明図である。
　【図１５】
　本発明に成る非接触型２軸移動テーブルの第４実施例を示す説明図である。
　【図１６】
　本発明に成る非接触型２軸移動テーブルの第５実施例を示す説明図である。
　【図１７】
　本発明に成る非接触型２軸移動テーブルの第６実施例を示す説明図である。
　【図１８】
　本発明に成る非接触型移動テーブルの基本構成の他の実施例を示す移動テーブルの移動面の平面図である。
　【図１９】
　図１８のＥーＥ線断面図である。
　【図２０】
　図１８のＦーＦ線断面図で、９０度時計方向に回転して図示したものである。
　【図２１】
　本発明に成る非接触型移動テーブルの基本構成の更に他の実施例を示す移動テーブルの移動面の平面図である。
　【図２２】
　図２１の下方の側面より見た側面図である。
　【図２３】
　従来の非接触型１軸移動テーブルの第１例を示す説明図である。
　【図２４】
　従来の非接触型１軸移動テーブルの第２例を示す説明図である。
　【図２５】
　従来の非接触型１軸移動テーブルの第３例を示す説明図である。
　【符号の説明】
　１　　　ガイドテーブル
　１ａ　　ガイド面
　２　　　移動テーブル
　２ａ　　移動面
　２ｂ　　エアー供給溝
　２ｇ　　エアー供給穴
　２ｈ　　真空吸引穴
　２０　　ガイドテーブル
　２０ａ、２０ｂ　ガイド面、
　２１　　移動テーブル
　２２、２３　移動部
　２２ａ、２３ａ　移動面
　２５　　ガイド部
　２５ａ　ガイド面
　３０　Ｘ軸ガイドテーブル
　３０ａ、３０ｂ　Ｘ軸ガイド面
　３１　　Ｘ軸移動テーブル
　３２、３３、Ｘ軸移動部
　３２ａ、３３ａ　Ｘ軸移動面
　３２ｂ　Ｙ軸ガイド面
　３４　　Ｙ軸ガイド部
　３４ａ　Ｙ軸ガイド面
　３５　　Ｙ軸移動テーブル
　３６、３７　Ｙ軸移動部
　３６ａ、３７ａ　Ｙ軸移動面
　４５　　ガイドテーブル
　４５ａ　ＸＹ軸ガイド面
　４５ｂ　Ｘ軸ガイド面
　４６　　ＸＹ軸ガイドテーブル
　４７、４８　Ｘ軸移動部
　４７ａ、４８ａ　Ｘ軸移動面
　４９　　Ｙ軸ガイド部
　４９ａ　Ｙ軸ガイド面
　５０　　ＸＹ軸移動テーブル
　５１、５２　Ｙ軸移動部
　５１ａ、５２ａ　Ｙ軸移動面
　５５　　Ｘ軸ガイド部
　５５ａ　Ｘ軸ガイド面
　６０　　ガイドテーブル
　６０ａ　ＸＹ軸ガイド面
　６０ｂ　Ｘ軸ガイド面
　６０ｃ　Ｙ軸ガイド面
　６１　Ｘ軸移動テーブル
　６２、６３　Ｘ軸移動部
　６２ａ、６３ａ　Ｘ軸移動面
　６４　　　Ｙ軸ガイド部
　６４ａ　　Ｙ軸ガイド面
　６５　　　Ｙ軸移動テーブル
　６６、６７　Ｙ軸移動部
　６６ａ、６７ａ　Ｙ軸移動面
　６８　　Ｘ軸ガイド部
　６８ａ　Ｘ軸ガイド面
　６９　　ＸＹ軸移動テーブル
　６９ａ　Ｙ軸移動面
　６９ｂ　Ｘ軸移動面
　６９ｃ　ＸＹ軸移動面
　７０　　ＸＹ軸ガイド部
　７０ａ　Ｘ軸ガイド面
　７０ｂ　Ｙ軸ガイド面