【事件の表示】
　特許第３２６４２６３号「重ね合わせ精度測定装置および測定方法」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３２６４２６３号の請求項１に係る特許を取り消す。
　同請求項２ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３２６４２６３号の請求項１ないし５に係る発明についての出願は、平成１１年２月２５日に特許出願され、平成１３年１２月２８日にその特許権の設定登録がされ、その後、全請求項に係る特許に対して、特許異議申立人横田貞則より特許異議の申立てがなされた。
　これに対し、平成１６年４月２２日付け（発送日平成１６年５月１１日）で請求項１に係る特許について取消しの理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者からは何らの応答もない。
　
２．本件発明
　本件の請求項１ないし５に係る発明は、その特許明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】測定マークのマーク波形を得るための光学系に共焦点走査法を用いた光学顕微鏡とＣＣＤカメラの組み合わせを用いた重ね合わせ精度測定装置であって、ウェハの表面で反射された光を、対物レンズを経て、ニプコウディスク上のピンホールで結像して、ウェハ上の焦点以外の位置から反射された光を遮断し、ピンホールで結像した光を、イメージレンズを経た後に前記ＣＣＤカメラのイメージセンサ上で再結像し、画像データとして取り込むことを特徴とする重ね合わせ精度測定装置。
【請求項２】請求項１に記載の重ね合わせ精度測定装置を用い、おおよその焦点位置を求めた後に、ＣＣＤカメラで得られるマーク波形のピーク強度を参照しながら焦点位置を移動させ、真の焦点位置を定義して重ね合わせ精度の測定を行うことを特徴とする重ね合わせ精度測定方法。
【請求項３】前記ウェハに対して垂直方向に変化させてもピーク強度の変化が比較的小さい線形領域と、前記ウェハに対して垂直方向に変化させるとピーク強度が大きく変化する非線形領域との境界を前記真の焦点位置とすることを特徴とする請求項２に記載の重ね合わせ精度測定方法。
【請求項４】請求項１に記載の重ね合わせ精度測定装置を用い、おおよその焦点位置を求めた後に、ＣＣＤカメラで得られるマーク波形のピーク位置を参照しながら焦点位置を移動させ、真の焦点位置を定義して重ね合わせ精度の測定を行うことを特徴とする重ね合わせ精度測定方法。
【請求項５】前記ウェハに対して垂直方向に変化させてもピーク位置の変化が比較的小さい線形領域と、前記ウェハに対して垂直方向に変化させるとピーク位置が大きく変化する非線形領域との境界を前記真の焦点位置とすることを特徴とする請求項４に記載の重ね合わせ精度測定方法。」
　
３．特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人横田貞則は、
（１）証拠として甲第１号証（特開平７−２２５１０９号公報、以下「刊行物１」という）、甲第２号証（特許第２８３６８２９号公報、以下「刊行物２」という）、甲第３号証（特開平７−２６１０９０号公報、以下「刊行物３」という）、甲第４号証（特開平６−９４６４１号公報、以下「刊行物４」という）を提出し、請求項１に係る発明は刊行物１ないし４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、請求項１に係る発明の特許は取り消すべき旨、
（２）また、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載について、ア．照明光源２１からニプコウディスク２７へ向かう光を反射するダイクロイックミラー２４であれば、当然ウェハ２２からの反射光も照明光と同じ波長であるためニプコウディスク２７を通過した後にこのダイクロイックミラーで反射されて、イメージレンズ２５へは向かわないから、ウェハ２２で反射された光をＣＣＤイメージセンサへ導くことができない、イ．「おおよその焦点位置をレーザ光などを用いて求める」という記載のみでは、どのようにしておおよその焦点位置を求めるのか開示がない、ことから、発明の詳細な説明は、当業者が請求項１ないし５に係る発明を実施をすることができる程度に明確かつ十分に記載されておらず、請求項１ないし５に係る特許は特許法第３６条第４項の規定に違反してされたものであるから、請求項１ないし５に係る発明の特許は取り消すべき旨、それぞれ、主張している。
　
４．当審における判断
（１）理由（１）（２９条２項違反）について
　当審において、平成１６年４月２２日付けで、請求項１に係る発明は、上記刊行物１に記載された発明及び刊行物２ないし４に記載された周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、取り消すべきものである旨の取消しの理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者からは何らの応答もない。
　そして、上記取消しの理由は妥当なものと認められるので、請求項１に係る特許はこの取消しの理由によって取り消すべきものである。
　
（２）理由（２）（３６条違反）について
　特許異議申立人の上記主張「２．（２）」のア．については、ダイクロミックミラーは、光の反射率、言い換えれば透過率が、光の波長により変化するものであって、特定の領域の波長の光についてはその大部分を反射するもの、言い換えればほとんど透過しないものであるが、それ以外の領域の波長の光については一部を反射し一部を透過するものである。そうすると、照明光源が全ての波長の光を含んだ白色の照明光源の場合、照明光源２１からの光の一部が、ダイクロミックミラー２４で反射され、さらにウェハ２２の表面で反射され、ウェハ２２からの反射光の一部がダイクロミックミラー２４を透過してイメージレンズ２５に到ることは明らかであり、また、照明光源が特定の波長の光となる単色の照明光源の場合であっても、光源とダイクロミックミラーの特性を適宜選択することにより、照明光源２１からの光の一部が、ダイクロミックミラー２４で反射され、さらにウェハ２２からの反射光の一部がダイクロミックミラー２４を透過してイメージレンズ２５、ＣＣＤイメージセンサ２６上に到達するようにできることは明らかであるから、当業者が実施できる程度に記載されているというべきである。
　次に、特許異議申立人の上記主張「２．（２）」のイ．については、特許明細書の段落【００１９】に「まず、ウェハステージ２８をｚ軸方向に上下動させ、おおよその焦点距離をレーザ光などを用いて求める」、段落【００２８】に「まず、ウェハステージ２８をｚ軸方向に上下動させ、おおよその焦点距離をレーザ光などを用いて求め、・・・」と記載されており、これらの記載からみてレーザ光を用いることはこれに限定した記載ではなく単なる例示にすぎないというべきであるから、おおよその焦点距離を求める手段として、従来公知のどのような手段を用いてもよく、あるいは本件特許明細書記載の光学系からニプコウディスク２７のみを光の経路から待避させたものを用いることもできるから、当業者が実施できる程度に記載されているというべきである。
　したがって、特許異議申立人の上記主張「２．（２）」は採用することができず、本件特許明細書の発明の詳細な説明の記載は当業者が発明を実施できる程度に明確かつ十分に記載されているというべきであるから、請求項２ないし５に係る発明の特許は、特許異議申立人ての理由及び証拠によっては取り消すことができない。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　また、請求項２ないし５に係る発明の特許については、取消しの理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年８月２７日（２００４．８．２７）