【事件の表示】
　平成　５年特許願第２０２８２７号「基板端縁洗浄装置」拒絶査定に対する審判事件［平成　７年　２月　７日出願公開、特開平　７−　３７８０４］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成５年７月２２日の出願であって、その請求項１に係る発明（以下、本願発明という）は、明細書及び図面の記載からみて、本願の特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの、
「表面に薄膜が形成され、直線状の端縁を有する基板を保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤ノズルと、溶剤によって溶解された溶解物をガスの吹き付けにより前記基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズルと、溶剤および溶解物を吸引する排気管とを備えた基板端縁洗浄装置において、前記ガスを前記基板の表面にスポット状に吹き付けるガスノズルを複数設けるとともに、前記溶剤を前記基板の表面にスポット状に吹き付ける溶剤ノズルを複数設け、前記複数の溶剤ノズルを、基板の前記直線状の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い固定部材に対して、前記端縁に沿った長さ方向に沿って固定するとともに、前記複数のガスノズルを、前記複数の溶剤ノズルよりも基板の中心側の前記端縁に沿った長さ方向に沿って固定し、前記固定部材を前記直線状の端縁に対して該直線状の端縁に沿った方向に移動させる移動手段を設けたことを特徴とする基板端縁洗浄装置。」にあるものと認める。
　
２．引用刊行物記載の発明
　これに対して、当審における拒絶の理由で引用した実願平２−２１７３７号（実開平３−１１２９２８号）のマイクロフィルム（刊行物１）には、次の事項が記載されている。
（１）「モータ（２）により回転するウエハ（１）の中心部にレジストを滴下するレジスト滴下ノズル（４）と、回転するウエハ（１）の外周部に位置し、レジスト除去液を供給する第１のレジスト除去液供給ノズル（５）と、該ノズル（５）と連動してレジスト除去液の中心方向への流れ込みを防ぐエアを供給する第１のエア吹き出しノズル（７）と、所定位置に停止したウエハのオリエンタルフラット（６）に沿って連動して直線運動する第２のレジスト供給ノズル（９）および第２のエア吹き出しノズル（１０）と、を少なくとも備えて構成されていることを特徴とするレジスト塗布装置。」（実用新案登録請求の範囲）
（２）「半導体素子の製造に当たっては、製造工程の自動化が行われているために、ウエハ上に均一にレジストを塗布した後、後の工程での擦れによる発塵を抑えることを目的として、ウエハの外周に沿って一定幅のレジストの除去が行われている。」（明細書第５頁第１〜６行）
（３）「本考案になるレジスト塗布装置においては、レジスト除去液供給ノズルに隣接してエア吹き出しノズルを設け、除去液の滴下に同期させてエアを吹き出させながら回転することによりウエハの中心方向へのレジスト除去液の侵入を防止しながら、剥離したレジストを除去する。次に、オリエンテーションフラット部のレジスト除去としては、連動して直線運動するレジスト除去液供給ノズルとエア吹き出しノズルとを設け、レジスト塗布が終わったウエハのオリエンテーションフラット部を、レジスト除去液供給ノズルとエア吹き出しノズルが設けてある位置に正しく止めた後、レジスト除去液供給ノズルから溶剤を、またエア吹き出しノズルからはエアを吹き出させてウエハのフラット部に沿って直線運動させることによりレジストを溶解除去するもので」（明細書第８頁第１２行〜同第９頁第７行）
（４）「〔実施例〕第１図は本考案にかゝるレジスト塗布装置の平面図Ａと側面図Ｂである。同図において、ウエハ１は従来のようにモータ２の回転軸上に設けてある真空チャック３により固定されており、・・また停止したウエハ１のオリエンテーションフラット６に対向して連動して直線運動する移動機構８があり、これには第２のレジスト除去液供給ノズル９と第２のエア供給ノズル１０とが設けられている。このような構成をとり、真空チャックしてあるウエハ１の中心にレジスト塗布ノズル４よりレジストを滴下して塗膜を形成した後、・・次に、所定位置に停止させたオリエンテーションフラット６に対し、第２のエア供給ノズル１０と第２のレジスト除去液供給ノズル９が連動してエアと溶剤を吹き出してレジストを溶解した後、再びウエハ１を回転させて、レジストを除去する。このような工程をとることによりオリエンテーションフラット部を含め、ウエハ周辺部のレジストを除去することができる。」（明細書第９頁第１１行〜同第１０頁第２０行）
（５）第１図には、エア供給ノズルとレジスト除去液供給ノズルの断面がスポット状である構成、エア供給ノズルがレジスト供給ノズルよりもウエハの中心側に配置された構成、および、エア供給ノズルの先端がウエハの外方を向いている構成が記載されている。
　以上の記載事項において、「レジスト塗布装置」は、レジストをウエハに塗布した後に、ウエハの外周部とオリエンテーションフラットのレジストを除去する装置であるから、レジスト除去装置ということもできる。また、エア供給ノズルとレジスト除去液供給ノズルの断面がスポット状であるから、当然に、エア供給ノズルからはエアがスポット状に吹き出され、レジスト除去液供給ノズルからは溶剤がスポット状に吹き出されるものと認められる。
　すると、刊行物１には、
「表面にレジストが塗布され、オリエンテーションフラットを有するウエハを固定する真空チャックと、その真空チャックによって固定されたウエハのオリエンテーションフラットの表面に溶剤を吹き出してオリエンテーションフラットのレジストを溶解するレジスト除去液供給ノズルと、エアの吹き出しによりウエハのオリエンテーションフラットの溶剤の中心方向への流れ込みを防ぐエア供給ノズルとを備えたレジスト除去装置において、エアをウエハのオリエンテーションフラットの表面にスポット状に吹き出すエア供給ノズルを１つ設けるとともに、溶剤をウエハのオリエンテーションフラットの表面にスポット状に吹き出すレジスト除去液供給ノズルを１つ設け、エア供給ノズルをレジスト除去液供給ノズルよりもウエハの中心側とし、エア供給ノズルとレジスト除去液供給ノズルとをウエハのオリエンテーションフラットに対してウエハのオリエンテーションフラットに沿った方向に移動させる移動手段を設けたレジスト除去装置。」という発明（以下、引用発明という）が記載されていると認められる。
　
３．対比
　引用発明の「レジスト」、「塗布され」、「オリエンテーションフラット」、「ウエハ」、「固定する」、「真空チャック」、「オリエンテーションフラットのレジスト」、「レジスト除去液供給ノズル」、「エア」、「エア供給ノズル」、「レジスト除去装置」は、それぞれ、本願発明の「薄膜」、「形成され」、「直線状の端縁」、「基板」、「保持する」、「基板保持手段」、「不要薄膜」、「溶剤ノズル」、「ガス」、「ガスノズル」、「基板端縁洗浄装置」に相当するから、
本願発明と引用発明とを対比すると、両者は、「表面に薄膜が形成され、直線状の端縁を有する基板を保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された基板の端縁の表面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤ノズルと、ガスノズルとを備えた基板端縁洗浄装置において、ガスを基板の表面にスポット状に吹き付けるガスノズルを設けるとともに、溶剤を基板の表面にスポット状に吹き付ける溶剤ノズルを設け、ガスノズルを溶剤ノズルよりも基板の中心側に設けるとともに、ガスノズルと溶剤ノズルとを直線状の端縁に対して直線状の端縁に沿った方向に移動させる移動手段を設けた基板端縁洗浄装置。」である点で一致し、
イ．本願発明では、溶剤によって溶解された溶解物をガスの吹き付けにより前記基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズルであるのに対して、引用発明では、エアの吹き出しによりウエハのオリエンテーションフラットの溶剤の中心方向への流れ込みを防ぐエア供給ノズルである点、
ロ．本願発明では、溶剤および溶解物を吸引する排気管を備えるのに対して、引用発明では、そのような構成を備えていない点、
ハ．本願発明では、ガスノズル、溶剤ノズルを直線状の端縁に対して複数設けるのに対して、引用発明では、エア供給ノズル、レジスト除去液供給ノズルをオリエンテーションフラットに対して１つ設ける点、
ニ．本願発明では、溶剤ノズルを基板の直線状の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い固定部材に対して、端縁に沿った長さ方向に沿って固定するとともに、ガスノズルを端縁に沿った長さ方向に沿って固定するのに対して、引用発明では、エア供給ノズル、レジスト除去液供給ノズルの固定構造が明記されていない点
で、相違する。
　
４．当審の判断
・相違点イについて
　引用発明において、レジスト除去液供給ノズルから溶剤がウエハ表面に吹き出されて、ウエハ表面のレジストが溶解するのであるから、溶剤が吹き出された部分のウエハ表面には、溶剤と溶剤により溶解されたレジストが存在することは当然のことである。また、刊行物１の第１図のエア供給ノズルの先端がウエハの外方を向いている構成を参照すると、引用発明のエアの吹き出しによりウエハのオリエンテーションフラットの溶剤の中心方向への流れ込みを防ぐという構成は、エア供給ノズルによりエアがウエハの中心から外方に向けて吹き出される構成を意味することが明かであり、この構成によればエアの吹き出しにより溶剤がウエハの中心から外方に向けて吹き飛ばされることも、また、当然のことというべきである。すると、溶剤が吹き出された部分のウエハ表面にエア供給ノズルによりエアが吹き出されると、溶剤と併せて、溶剤により溶解されたレジストも、ウエハより外方に吹き飛ばされることとなるから、引用発明の「エアの吹き出しによりウエハのオリエンテーションフラットの溶剤の中心方向への流れ込みを防ぐエア供給ノズル」と、本願発明の「溶剤によって溶解された溶解物をガスの吹き付けにより前記基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズル」は、実質的に同一であるということができる。
・相違点ロについて
　当審の拒絶の理由で引用した特開平５−１７５１１７号公報（刊行物２）には、「第３の支持枠２３に、排気路形成部材４８が設けられ、この排気路形成部材４８の、第１および第２の溶剤ノズル２６ａ，２６ｂ、ならびに、第１および第２のガスノズル２７ａ，２７ｂ側の箇所に、外拡がりの排気口４９が形成されるとともに、排気路形成部材４８に、排気手段（図示せず）に接続された排気管５０が接続され、ガスとともにそれによって吹き飛ばされた溶解物を吸引排出し、吹き飛ばされた溶解物が不測に角形基板１の外面に飛散付着することを確実に防止できるように構成されている。」（【００２３】）と記載されるように、基板端縁洗浄装置において、溶剤および溶解物を吸引する排気管を備える構成が示されており、この構成を引用発明にも備えることは、当業者が容易になし得ることである。
・相違点ハについて
　当審の拒絶の理由で引用した特開平４−６５１１５号公報（刊行物３）には、その明細書又は図面からみて、パッドと該パッドの上面にレジスト除去液を供給する複数のノズルとからなるクリーニングヘッドを備え、該クリーニングヘッドを、直線状の基板の端面に接触したまま、該端面の接線方向に沿って、レジスト除去液を供給しながら移動させて、該端面の不要レジストを除去する、不要レジスト除去装置において、該クリーニングヘッドが、該端面の長さよりも短く、ノズル複数本分の長さを有する構成が記載されている。ここで、洗浄一般において、洗浄具を直線上に移動させて洗浄する構成において、洗浄具の移動方向に沿った長さが長いほど、効率よく洗浄できることは常識程度の事項であり、同様に、不要レジストの除去において、刊行物３に記載されたノズル複数本分の長さを有するクリーニングヘッドは、周知のノズル１本分程度の長さを有するクリーニングヘッド（特開昭６１−２１９１３５号公報参照）よりも、効率よく洗浄できることもまた、自明のことということができる。
　してみると、引用発明においても、効率よく洗浄するために、洗浄具の移動方向に沿った長さがより長い洗浄具とすることは、洗浄一般の技術を単に適用するにすぎず、その具体的構成としては、刊行物３に記載された、端面に沿った方向にレジスト除去液を供給するノズルを複数本配置した構成を参照すれば、引用発明の、レジスト除去液供給ノズルとエア供給ノズルとからなる洗浄具を、直線状の端縁に沿って複数配置する、すなわち、レジスト除去液供給ノズルとエア供給ノズルを直線状の端縁に沿って複数本配置する構成とすることは、当業者が容易に想到し得ることである。
・相違点ニについて
　刊行物２には、「その第３の支持枠２３に第４および第５の支持枠支持枠２４，２５が一体的に取り付けられ、・・第４の支持枠２４に、角形基板１の端縁の表面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する第２の溶剤ノズル２６ｂが設けられるとともに、第５の支持枠２５にガスを吐出して溶解物を角形基板１の端縁よりも外方に吹き飛ばす第２のガスノズル２７ｂが設けられ」（【００１８】）と記載され、図１には、第３の支持枠２３、第４の支持枠２４および第５の支持枠支持枠２５からなるガスノズルおよび溶剤ノズルの固定部材の基板の直線状の端縁に沿った長さが、基板の直線状の端縁の長さよりも短い構成が記載されている。よって、引用発明において、レジスト除去液供給ノズルとエア供給ノズルを、刊行物２に記載されたような固定部材に固定するよう構成することは、当業者が容易になし得たことである。
　そして、上記相違点ハについて記載したように、引用発明の、レジスト除去液供給ノズルとエア供給ノズルを、直線状の端縁に沿って複数本配置する構成とするとき、固定部材に基板の端縁に沿った長さ方向に沿って固定することは、至極当然の設計である。
　したがって、本願発明は、刊行物１、２、３に記載された発明から、当業者が容易に発明し得たものであり、その効果についても、刊行物１、２、３に記載された発明が奏し得る効果以上のものは認められない。
　
５．出願人の主張について
（１）平成１３年４月１０日付意見書第５頁第２１〜２３行において、「刊行物２中の「ノズル２３ａ」が複数であったとしても、「除去装置の長さが長く」なることとは無関係であります。」と主張する。しかし、一般に、スポンジのようなパッドに液体をノズルにより供給するとき、１本のノズルで充分に液体を供給できるパッドの大きさには限界があり、大きいパッドには複数本のノズルが必要となることは物理的に自明であり、刊行物２のクリーニングヘッドでは、パッドの長さが長いから複数本のノズルが設けられていることは当業者には容易に理解し得るところである。したがって、ノズルが複数設けられることとパッド（除去装置）の長さとが無関係であるということはできない。
（２）平成１３年４月１０日付意見書第６頁第２〜４行「例えば刊行物１の第２のレジスト除去液供給ノズル９を幅が広いスリット状のノズルに置き換えるといったことは考え至るかもしれませんが、「長さを長くする」ことと「数を増加させる」こととは構成の質的に全く異なることであります。」と主張する。しかし、引用発明のレジスト除去液供給ノズル１本とエア供給ノズル１本とからなる洗浄具を、上記相違点ニで記載したように、効率よく洗浄するために、より長い洗浄具とするには、上記意見書に記載されたようなスリット状のノズルに置き換えることも１つの手段として想到し得ると思われるが、上記相違点ハについて記載したように、端面に沿ってノズルを複数本配置した構成も、１つの手段として想到し得るものであり、「数を増加させる」ことは、「長さを長くする」ことの１つの手段であるというべきである。
（３）平成１３年４月１０日付意見書第６頁第２７〜２９行「レジスト除去液を含んだパッドで不要薄膜をこすりとるものである以上、パッドには溶解されまたはこすり取られた不要薄膜が付着することが不可避です。」と記載された事項について、これは、パッドによる洗浄具が、レジスト除去液供給ノズルとエア供給ノズルとからなる洗浄具に対して有する短所であり、パッドの長さ、レジスト除去液供給ノズルとエア供給ノズルとからなる洗浄具の数によらないものであって、引用発明により解消されている短所であるから、本願発明の溶剤ノズルとガスノズルを複数本設けた構成が新たに解消したものではない。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。