【手続補正書】
【提出日】平成27年10月20日(2015.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置され、物体の上面が第１間隙を介して対向し、前記物体の上面との間で前記液体を保持する第１面を有する第１部材と、
前記光路に対して前記第１面の外側に配置され、前記物体の上面が第２間隙を介して対向する第２面を有する第２部材と、
前記光路に対して前記第２面の外側に配置され、液体を供給可能な第１供給口と、
前記第１面と前記第２面との間に配置され、前記光路に対して前記第２部材の外側の空間の気体の少なくとも一部を、前記第２間隙を介して吸引可能な吸引口と、を備え、
前記第１供給口を介した前記供給と、前記吸引口を介した前記吸引とに伴い、前記第１供給口から供給された前記液体が前記第２面を流れて前記液体の表面と前記物体の上面との間に間隙が形成される露光装置。
【請求項２】
少なくとも前記露光光を射出する光学部材、前記第１部材、及び前記第２部材が配置される内部空間に気体を供給する環境制御装置を有するチャンバ装置をさらに備え、
前記吸引口は、前記環境制御装置からの前記気体を吸引する請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記光路に対して前記第２部材の外側に配置され、前記第２間隙に気体を供給する第２供給口をさらに備え、
前記吸引口は、前記第２供給口からの前記気体を吸引する請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記第１供給口は、前記第２部材に配置される請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
前記第２供給口は、前記光路に対して前記第１供給口の外側に配置される、請求項３又は４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記第１供給口から供給される前記液体は、前記露光光が通過する前記液体とは異なる請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項７】
前記第１供給口から供給される前記液体は、前記露光光が通過する前記液体よりも高い粘度を有する請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記吸引口は、前記物体上に保持された前記液体を吸引する請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項９】
前記吸引口は、前記物体上に保持された前記液体と、前記第１供給口から供給された前記液体を吸引する請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記吸引口は、前記物体上に保持された前記液体を吸引する第１吸引口と、前記第１吸引口と前記第２面との間に配置され、前記第１供給口から供給された前記液体を回収する第２吸引口とを有する請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記吸引口は、前記物体上に形成された液浸空間の液体を吸引する請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１２】
前記物体上に液浸空間を形成するために液体を供給する第３供給口をさらに備え、
前記吸引口は、前記第１供給口から供給された液体とともに、前記第３供給口から供給された液体を吸引する請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１３】
前記物体上に液浸空間を形成するために液体を供給する第３供給口をさらに備え、
前記吸引口は、前記第３供給口から供給された液体を吸引する第１吸引口と、前記第１吸引口と前記第２面との間に配置され、前記第１供給口から供給された液体を吸引する第２吸引口とを有する請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１４】
前記物体は、前記基板を含み、
前記基板上に形成された液浸空間の液体を介して前記基板に露光光を照射する請求項９〜１３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１５】
前記吸引口は、前記第２面を流れる前記液体の表面と前記物体の上面との間の前記間隙を介して前記気体を吸引する請求項１〜１４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１６】
前記液体の表面と前記物体の上面との間の前記間隙の寸法は、０．２ｍｍ以下である請求項１５に記載の露光装置。
【請求項１７】
前記液体の表面と前記物体の上面との間の前記間隙の寸法は、０．１ｍｍ以上、０．２ｍｍ以下である請求項１６に記載の露光装置。
【請求項１８】
前記液体の表面と前記物体の上面との間の前記間隙の寸法は、前記第１間隙の寸法よりも小さい請求項１５〜１７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１９】
前記吸引口は、前記物体が対向するように配置され、
前記吸引口と前記物体の上面との間の第３間隙の寸法は、前記液体の表面と前記物体の上面との間の前記間隙の寸法よりも大きい請求項１５〜１８のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２０】
前記吸引口は、前記第１部材に配置される請求項１〜１９のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２１】
吸引流路を介して前記吸引口と接続される流体吸引装置をさらに備え、
前記流体吸引装置は、前記吸引流路において前記気体の通路が維持されるように、前記液体を吸引する請求項１〜２０のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２２】
前記第１間隙は、前記第２間隙よりも小さい請求項１〜２１のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２３】
前記第１供給口から供給された前記液体が、前記物体の上面と接触せずに前記第２面を前記吸引口に向かって流れるように、前記第１供給口からの前記液体の単位時間当たりの供給量と、前記吸引口からの前記気体の単位時間当たりの吸引量との少なくとも一方が設定される請求項１〜２２のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２４】
前記第１供給口から供給され、前記第２面を前記吸引口に向かって流れる前記液体と前記物体の上面との間に前記間隙が形成されるように、前記第１供給口からの前記液体の単位時間当たりの供給量と、前記吸引口からの前記気体の単位時間当たりの吸引量との少なくとも一方が設定される請求項１〜２３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２５】
前記第１部材と前記第２部材とを少なくともＺ軸方向に可動可能な駆動装置を備える請求項１〜２４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２６】
前記第１部材と前記第２部材とは一体的に設けられている請求項１〜２５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２７】
第１液浸空間の第１液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が射出される射出面を有する光学部材と、
前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置され、前記第１液体の前記第１液浸空間を形成する第１液浸部材と、
前記光路に対して前記第１液浸部材の外側に配置され、前記第１液浸空間から離れて、第２液体の第２液浸空間を形成可能な第２液浸部材と、を備え、
前記第２液浸部材は、
物体の上面が第１間隙を介して対向し、前記物体の上面との間で前記液体を保持する第１面と、
前記第１面の中心に対して前記第１面の外側に配置され、前記物体の上面が第２間隙を介して対向する第２面と、
前記第１面の中心に対して前記第２面の外側に配置され、液体を供給可能な第１供給口と、
前記第１面と前記第２面との間に配置され、前記第２面の外側の空間の気体の少なくとも一部を、前記第２間隙を介して吸引可能な吸引口と、を有し、
前記第１供給口を介した前記供給と、前記吸引口を介した前記吸引とに伴い、前記第１供給口から供給された前記液体が前記第２面を流れて前記液体の表面と前記物体の上面との間に間隙が形成される露光装置。
【請求項２８】
少なくとも前記露光光を射出する光学部材、前記第１液浸部材、及び前記第２液浸部材が配置される内部空間に気体を供給する環境制御装置を有するチャンバ装置をさらに備え、
前記吸引口は、前記環境制御装置からの前記気体を吸引する請求項２７に記載の露光装置。
【請求項２９】
前記第１供給口から供給される前記液体は、前記第２液浸空間の前記第２液体とは異なる請求項２７又は２８に記載の露光装置。
【請求項３０】
前記第１供給口から供給される前記液体は、前記第２液浸空間の前記第２液体よりも高い粘度を有する請求項２９に記載の露光装置。
【請求項３１】
前記吸引口は、前記第１供給口から供給され、前記第２面を流れる前記液体の表面と前記物体の上面との間の前記間隙を介して前記気体を吸引する請求項２７〜３０のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項３２】
前記吸引口は、前記第１面と前記物体との間の前記液体の少なくとも一部も吸引する請求項２７〜３１のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項３３】
吸引流路を介して前記吸引口と接続される流体吸引装置をさらに備え、
前記流体吸引装置は、前記吸引流路において前記気体の通路が維持されるように、前記液体を吸引する請求項２７〜３２のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項３４】
前記第１供給口から供給された前記液体が、前記物体の上面と接触せずに前記第２面を前記吸引口に向かって流れるように、前記第１供給口からの前記液体の単位時間当たりの供給量と、前記吸引口からの前記気体の単位時間当たりの吸引量との少なくとも一方が設定される請求項２７〜３３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項３５】
前記第１供給口から供給され、前記第２面を前記吸引口に向かって流れる前記液体と前記物体の上面との間に前記間隙が形成されるように、前記第１供給口からの前記液体の単位時間当たりの供給量と、前記吸引口からの前記気体の単位時間当たりの吸引量との少なくとも一方が設定される請求項２７〜３４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項３６】
請求項１〜３５のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【請求項３７】
基板上の液体を介して露光光で前記基板を露光する露光装置で用いられる液体保持方法であって、
前記露光光の光路の周囲の少なくとも一部に配置され、物体の上面が第１間隙を介して対向する第１部材の第１面と、前記物体の上面との間で前記液体を保持することと、
前記光路に対して前記第１面の外側に配置され、前記物体の上面が第２間隙を介して対向する第２部材の第２面の外側に配置された第１供給口から液体を供給することと、
前記第１面と前記第２面との間に配置された吸引口から、前記光路に対して前記第２部材の外側の空間の気体の少なくとも一部を、前記第２面を流れる前記液体の表面と前記物体の上面との間の間隙を介して吸引することと、
前記第１供給口を介した前記供給と、前記吸引口を介した前記吸引とに伴って、前記第２面を流れる前記液体の表面と前記物体の上面との間に前記間隙を形成することと、
を含む液体保持方法。
【請求項３８】
前記第１供給口から供給された前記液体は、前記光路に向かって前記第２面上を流れる請求項３７に記載の液体保持方法。
【請求項３９】
前記吸引口から吸引される前記気体は、前記第２面上を流れる前記液体と前記物体の上面との間の前記間隙を通過する請求項３７又は３８に記載の液体保持方法。
【請求項４０】
前記物体上に保持された前記液体は、前記吸引口から吸引される請求項３７〜３９のいずれか一項に記載の液体保持方法。
【請求項４１】
前記物体上に保持された前記液体と、前記第１供給口から供給された前記液体とは、前記吸引口から吸引される請求項３７〜３９のいずれか一項に記載の液体保持方法。
【請求項４２】
前記物体上に保持された前記液体は、前記吸引口が有する第１吸引口から回収され、
前記第１供給口から供給された前記液体は、前記第１吸引口と前記第２面との間に配置された前記吸引口が有する第２吸引口から回収される請求項３７〜３９のいずれか一項に記載の液体保持方法。
【請求項４３】
前記吸引口からの前記吸引を開始した後に、前記第１供給口からの前記液体の前記供給を開始する請求項３７〜４２のいずれか一項に記載の液体保持方法。
【請求項４４】
前記第１供給口から供給された前記液体が、前記物体の上面と接触せずに前記第２面を前記吸引口に向かって流れるように、前記第１供給口からの前記液体の単位時間当たりの供給量と、前記吸引口からの前記気体の単位時間当たりの吸引量との少なくとも一方が設定される請求項３７〜４３のいずれか一項に記載の液体保持方法。
【請求項４５】
前記第１供給口から供給され、前記第２面を前記吸引口に向かって流れる前記液体と前記物体の上面との間に前記間隙が形成されるように、前記第１供給口からの前記液体の単位時間当たりの供給量と、前記吸引口からの前記気体の単位時間当たりの吸引量との少なくとも一方が設定される請求項３７〜４４のいずれか一項に記載の液体保持方法。
【請求項４６】
請求項３７〜４５のいずれか一項に記載の液体保持方法により保持された液体の少なくとも一部を介して物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置、液体保持方法、及びデバイス製造方法