【事件の表示】
　平成　４年特許願第１８０８５６号「圧電振動子」拒絶査定に対する審判事件［平成　６年１０月１８日出願公開、特開平　６−２９１５８７］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成４年７月８日の出願であって、本願請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成８年２月１６日付け手続補正書及び平成８年５月３１日付け手続補正書によって補正された明細書および図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの、
　「交流電界印加により振動する部分を有する水晶からなる圧電振動基体を、一部に凹部を有し前記凹部内に交流電界印加励振用電極を有する２つの水晶またはガラスまたはシリコンからなる保持部で挟み込んで固定した構成からなり、前記励振用電極は、前記振動する部分の近傍にあって、かつ振動時にも前記振動する部分に直接触れないだけの空隙を有して配され、前記圧電振動基体と前記保持部との固定は、前記圧電振動基体表面および前記保持部表面の親水処理および熱処理により前記両者の表面に付着した水酸基、または酸素による直接接合によりなされていることを特徴とする圧電振動子。」
により特定されるところにあるものと認める。
　
２．引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された特開昭６１−４１２１５号公報（以下、「引用例１」と言う。）の第１図及びその説明の欄には、以下の事項が記載されている。
（１）「第１図は本発明の一実施例の水晶振動子を示す断面図を参照して詳細に説明する。図中１は圧電振動を励振する水晶片である。・・・・そして２は上記水晶片１の両側板面に密着して設けた一対の電極片である。各電極片２は水晶片１との対向面を凹面２１に形成するとともにこの凹面に電極膜２２を形成している。なおこの電極片２は水晶、ガラス等上記水晶片１の熱膨張率に略等しい熱膨張率を有する絶縁材を用いることが望ましい。」（第２頁右上欄第９行〜同頁左下欄第１行目）
（２）「また水晶片１には電極が密着することなく空隙を存して電極膜２２が対面するので水晶片１の振動を阻害することなく（以下略）。」（第２頁左下欄第１７〜１９行目）
と記載されている。
　
　また、原査定において、周知例として引用された特開昭６３−２８５１９５号公報（以下、「引用例２」と言う。）には、
（１）「（産業上の利用分野）
　本発明は、２個以上の単結晶水晶体を何らの結合部材をも用いないで、強固に接合する方法に関するものである。」（第１頁左下欄第１１〜１４行目）
（２）「（問題点を解決するための手段）
　この目的を達成するために、本発明は、２個以上の単結晶水晶体の対応する接合面が鏡面仕上げされ、洗浄し、乾燥された後、清浄な雰囲気中で当該水晶体の面方向を全て合致させて直接密着されしかるのち加熱冷却されて接合される単結晶水晶体の接合方法を採用したものである。」（第２頁左下欄第１８行〜同頁右上欄第４行目）
（３）「第１図は本発明の一実施例の構成説明図で、ＳＡＷ（表面弾性波）形圧力センサに実施せる例を示す。（略）
　センサ部１の接合面１０１とボデー部３０１とを、たとえば、ラッピングと化学エッチングにより鏡面研磨する。接合前に、各接合面にゴミ等が存在しないよう洗浄する。洗浄はたとえば、１１０°Ｃの硫酸過酸化水素混合液に１０分程度浸して行う。しかるのち、純水で洗浄、スピンナ等を用いて乾燥させ、面方位を合せて密着させる。・・・・常温において密着させた水晶同志は、この時点で接合されているが、より強固な接合状態を得るため、加熱後常温に戻す熱処理を行う。たとえば、窒素雰囲気中でゆるやかに、１１００°Ｃまで加熱したのち、室温まで、ゆるやかに冷却する。」（第２頁右上欄第１１行〜同頁左下欄第１２行目）
と記載されている。
　
　また、同じく、原査定において、周知例として引用された特開平３−１２３０１４号公報（以下、「引用例３」と言う。）には、
（１）「（産業上の利用分野）
　本発明は接合シリコン基板の製造方法に関する。
　接着剤などの異種材料を間に用いずにシリコン基板同志を接着させるシリコン直接接合技術は、ＳＯＩ用基板、深い不純物拡散の代替基板、エピキャシタルウエハの代替基板など、様々な応用が考えられ、高い可能性を秘めた技術として注目されている。
（従来の技術）
　従来の一般的な直接接合基板の作成プロセスを第４図に示す。
　接合面における酸化膜（ＳｉＯ２）の有無にかかわらず、まずシリコン基板１，２を洗浄する。
　次に、単純な重ね合わせ法や重ね合わせて静電圧着する方法などにより接着する。
　次に、１１００°Ｃ程度の熱処理により接着面を接合させる。
　その後、片側のシリコン基板を所定の厚さに薄膜化する。
　この時、問題となるのは接合強度であるが、これは接合面の品質、特に清浄度に、大きく依存する。
　従来のプロセスではシリコン基板（ウエハと略称する）をＨ２ＳＯ４とＨ２Ｏ２を含む水溶液で洗浄し、ウエハ表面に親水性を持たせて接着を行っている。ウエハ表面を親水性にするのは、表面にＯＨ基があると、水素結合による弱い接着力がウエハ表面全体に発生し、接合面での付きが良くなるためと考えられている。」（第１頁右上欄第２行〜第２頁左上欄第１２行目）
と記載されている。
　
３．対比
　そこで、本願発明と上記引用例１の発明とを対比すると、上記引用例１の発明における「水晶片」，「電極片」，「凹面」，「電極膜」は、それぞれ本願発明における「圧電振動基体」，「保持部」，「凹部」，「励振用電極」に相当し、また、引用例１の発明においても、水晶振動子を励振するためには、その電極片間に交流電界を印加しなければならないことは明かであるので、本願発明も引用例１の発明も共に、交流電界印加により振動する部分を有する水晶からなる圧電振動基体を、一部に凹部を有し前記凹部内に交流電界印加励振用電極を有する２つの水晶またはガラスからなる保持部で挟み込んで固定した構成からなり、前記励振用電極は、前記振動する部分の近傍にあって、かつ振動時にも前記振動する部分に直接触れないだけの空隙を有して配されていることを特徴とする圧電振動子である点で、両者は一致している。
　ただ、本願発明においては、前記圧電振動基体と前記保持部との固定は、前記圧電振動基体表面および前記保持部表面の親水処理および熱処理により前記両者の表面に付着した水酸基、または酸素による直接接合によりなされているのに対して、引用例１の発明においては、圧電振動基体と保持部との固定をどのような方法で行っているのかについては記載されていない点で、両者は相違している。
　
４．当審の判断
　よって上記相違点について検討すると、引用例２には、共に水晶からなるセンサ部とボデー部の対応する接合面を鏡面仕上げし、洗浄し、乾燥させた後、水晶体の面方向を合致させて直接密着させ、加熱冷却して直接接合する固定方法が記載されており、しかも、引用例３の発明には、水晶と類似の物質であるＳｉＯ２を含むシリコン基板同志を固定する方法として、引用例２の方法と同じく、Ｈ２ＳＯ４とＨ２Ｏ２を含む水溶液で洗浄し、表面にＯＨ基（「水酸基」と同義である。）を形成し、親水性を持たせる処理を行うことが記載されているので、引用例２の発明においても、水晶体の接合面は親水性を有し、その表面には水酸基が存在するように処理されているものと認められる。そして、引用例２の発明は、圧電体分野の固定方法の発明であるので、引用例２の発明を引用例１の発明における圧電振動基体と保持部との固定に適用して本願発明のようにすることは当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　
５．審判請求人の主張について
　審判請求人は、審判請求の理由中で、本願発明と上記引用例２，３との相違点について、要するに、（１）本願発明においては、圧電振動基体と保持部表面を「親水処理および熱処理」して両者を直接接合することを特徴としており、引用例２では、「洗浄し、乾燥された後」と記載されており、親水処理については何ら言及されておらず、また、引用例２には界面の具体的構成については何ら言及されていないが、本願発明では、接合部表面に付着した水酸基またはそこから熱処理によって生じた酸素による接合を用いている点で本願発明は引用例２の発明と相違しており、また、（２）本願発明は、圧電体に関するものであるのに対して、引用例３の発明は、シリコン基板すなわち、半導体分野の技術であって、圧電体分野の技術を有する当業者が、刊行物２の発明と半導体分野の技術である刊行物３の発明を組み合わせて本願発明を着想することは容易ではない、と主張している。
　しかしながら、引用例２の発明の固定方法と引用例３の発明の固定方法とは実質的に同じ固定方法であるものと認められ、引用例２の発明においても、その固定面は親水処理がなされ、熱処理により、表面に付着した水酸基によって直接接合されていることは、当業者にとって自明の事項にすぎないものと認められ、しかも、本願発明は、水晶同志の固定のみではなく、水晶とシリコンとの固定をも包含しており、また、水晶もシリコンも共に珪素を主成分とした類似の物質であるので、その固定方法として同じ方法を用いればよいことは当業者が容易に想到しうることであると認められるので、審判請求人の上記主張（１），（２）は、いずれも根拠がなく、採用することができない。
　
６．むすび
　以上のとおりであるので、本願発明は、上記引用例１の発明に引用例２の発明を適用することによって当業者が容易に発明をすることができたものと認められるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。