【手続補正書】
【提出日】平成27年10月16日(2015.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの基板キャリア（１２，１３）と、
基板キャリア（１２，１３）上に受け取った基板（Ｗ）を加熱するための少なくとも１つの第一放射源（８）と、
第一放射源の放射線の実質的な部分を通さない格子線（１８）を有し、装置の稼働中に前記第一放射源の放射線の格子構造に対応する陰影パターンが基板キャリア上に受け取った基板上に形成されるように、第一放射源と基板キャリアとの間に配置された第一格子構造（１６）と、
装置の稼働中に前記陰影パターンが基板を横切って移動するように、第一格子構造（１６）を移動させる駆動ユニットと、
格子構造（１６）に面している基板（Ｗ）の表面に直接に向いている第一放射線検出器
（２０）と、
基板自体の温度によって基板（Ｗ）から放出される放射線を求めて前記第一放射線検出器によって検出された放射線に基づいて基板（Ｗ）の温度を求める装置とを備えたことを特徴とする基板の温度を測定する装置。
【請求項２】
第一格子構造（１６）を通して少なくとも１つの第一放射源（８）に向いている第二放射線検出器（２２）と、
第一放射源（８）から放出された放射線強度を求める装置とを備えたことを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
少なくとも１つの第一放射源（８）から放出された放射線を実質的に透過可能であるシールド（５，２６）を備え、シールド（５，２６）は、少なくとも１つの第一放射源と基板／基板キャリアとの間に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載の装置。
【請求項４】
格子構造（１６）はシールド（５，２６）上に形成されていることを特徴とする請求項３記載の装置。
【請求項５】
シールドは発振器として形成され、駆動ユニットを構成することを特徴とする請求項４記載の装置。
【請求項６】
駆動ユニットは圧電アクチュエータまたは音声コイルからなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の装置。
【請求項７】
駆動ユニットは格子構造（１６）を移動させるように構成され及び配置されており、前記格子構造は基板キャリア（１２，１３）上に受け取った基板（Ｗ）の表面に実質的に平行に配置され、基板の表面は格子構造（１６）に面していることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の装置。
【請求項８】
前記少なくとも１つの第一放射源は閃光灯からなることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項記載の装置。
【請求項９】
少なくとも１つの第二放射源（１０）と、
第二放射源（１０）の放射線の実質的な部分を通さない格子線（１８）を有し、少なくとも１つの第二放射源（１０）と基板（Ｗ）との間に配置された第二格子構造（１６）と、
第二格子構造（１６）を移動させる少なくとも１つの駆動ユニットとを備え、
前記少なくとも１つの第一放射源と前記少なくとも１つの第二放射源は、基板（Ｗ）がこれらの放射源の間に受け入れられるように配置されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１０】
基板を熱的に処理する方法であって、
少なくとも１つの第一放射源から放出される第一放射線によって基板を加熱し、第一放射線は少なくとも1つの第一放射源から第一格子構造を通って基板の第一の側に入り、それによって基板の第一の側上に陰影パターンを形成し、前記陰影パターンは格子構造に対応しており；
格子構造を移動させて基板の第一の側上の陰影パターンを移動させ、基板に当たる第一の放射源の放射線は前記移動に相当する変調を含み；
第一放射線検出器によって基板から来る放射線を検出し、第一放射線検出器は基板の第一の側に向いており、検出された放射線は少なくとも第一放射線部分と第二放射線部分とからなり、第一放射線部分は基板自体の温度によって基板から放出された放射線からなり、第二の放射線部分は基板で反射された少なくとも1つの第一の放射源の放射線からなり、この第一の放射源の放射線は格子構造の移動に相当する変調を含み；
第一放射線検出器で検出された放射線から、第二放射線部分の変調を考慮することによって第一放射線部分を求め、
第一放射線部分に基づいて基板の温度を求めることを特徴とする基板を熱的に処理する方法。
【請求項１１】
格子構造の移動は所定の周波数を有した周期的な移動であり、前記第一放射線部分を求めるために第二放射線部分は検出された総放射線の周波数フィルタリングによって抑制されることを特徴とする請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
放射源から放出されて変調を含む放射線は第二の放射線検出器によって検出され、第二の放射線検出器は格子構造を通して前記少なくとも1つの第一放射源に向いており、この検出の結果は、基板の温度を求めることに用いられることを特徴とする請求項１０または１１記載の方法。
【請求項１３】
格子構造は発振器上に形成され、格子構造の移動は発振器の振動によって起こることを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
格子構造の移動は、実質的に基板（Ｗ）の表面に平行であり、基板は格子構造に面していることを特徴とする請求項１０乃至１３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１５】
第一放射線は少なくとも１つの閃光灯から発生することを特徴とする請求項１０乃至１４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１６】
少なくとも１つの第二放射源から放出される第二放射線によって基板を加熱し、第二放射線は少なくとも１つの第二放射源から第二格子構造を通って基板の第二の側上に当たり、それによって基板の第二の側上に陰影パターンを形成し、前記陰影パターンは第二格子構造に対応しており；
基板に当たる第二放射源の放射線が第二格子構造の移動に相当する変調を含むように、第二格子構造を移動させ；
第一放射線検出器で検出された放射線は少なくとも第三の放射線部分からなり、第三の放射線部分は少なくとも１つの第二の放射源の放射線からなり、基板を通って透過し、第二の格子構造の移動に相当する変調を含み；
第一の放射線検出器で検出された総放射線から第一の放射線部分を求める際に、第三の放射線部分の変調を考慮に入れることを特徴とする請求項１０乃至１５のいずれか１項に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板を熱的に処理する装置及び方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明によれば、この目的は、請求項１に規定された基板を熱的に処理する装置、及び請求項１０に規定された基板を熱的に処理する方法によって達成される。また、本発明の実施形態は、各従属項及び詳細な説明に示される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の基板を熱的に処理する装置は、基板特に半導体基板を熱的に処理する装置であって、少なくとも１つの基板キャリアと、基板キャリア上に受け取った基板を加熱するための少なくとも１つの第一放射源と、第一放射源の放射線の実質的な部分を通さない格子線を有し、第一放射源と基板との間に配置された第一格子構造と、第一格子構造を移動させる駆動ユニットと、格子構造に面している基板の表面に直接に（すなわち、格子構造を介さず）向いている第一放射線検出器と、基板自体の温度によって基板から放出される放射線を求めて前記第一放射線検出器によって検出された放射線に基づいて基板の温度を求める装置とを備えたことを特徴とする。
このような装置によれば、放射加熱による基板の熱処理が可能であり、また、第一の放射源の制御によらないで、基板に当たる第一放射源からの放射線の変調を発生させることによって基板の加熱中に、放射線に基づく基板の温度測定を行うことが出来る。変調は、基板自体の温度によって基板から放出された放射線と基板で反射及び／又は基板を透過した放射線とを区別するために使用可能であるため、公知の方法において変調が基板の温度を求めるために使用されている。本発明は、特に、ランプの放射線がコントローラによって変調出来ない放射源、例えば直流によって動作する閃光灯等の放射源にとって有利である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】