(57)【要約】【課題】電子部品を検査する際の作業性（操作性）に優れた電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品を検査する検査部が接続可能で、前記電子部品を搬送する搬送部と、前記電子部品の検査に関する電子部品検査情報に基づいた前記搬送部の作動条件に関する第１信号を受信可能な少なくとも１つの搬送部側受信部と、を備え、前記電子部品検査情報を読み取る少なくとも１つの情報読み取り部は、搬送部側受信部と接続可能であり、前記情報読み取り部は、前記電子部品検査情報に基づいた前記検査部の作動条件に関する第２信号を受信可能な少なくとも１つの検査部側受信部と接続可能であり、前記搬送部側受信部の数と前記検査部側受信部の数との合計は、前記情報読み取り部の数より多いことを特徴とする電子部品搬送装置。【選択図】図１
2018205009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を検査する検査部が接続可能で、
前記電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品の検査に関する電子部品検査情報に基づいた前記搬送部の作動条件に関する第１信号を受信可能な少なくとも１つの搬送部側受信部と、を備え、
前記電子部品検査情報を読み取る少なくとも１つの情報読み取り部は、搬送部側受信部と接続可能であり、
前記情報読み取り部は、前記電子部品検査情報に基づいた前記検査部の作動条件に関する第２信号を受信可能な少なくとも１つの検査部側受信部と接続可能であり、
前記搬送部側受信部の数と前記検査部側受信部の数との合計は、前記情報読み取り部の数より多いことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記情報読み取り部から前記電子部品検査情報を受信する受信部と、前記搬送部側受信部に前記第１信号を送信する第１送信部と、前記検査部側受信部に前記第２信号を送信する第２送信部と、を有する分配部は、前記情報読み取り部と前記受信部が接続可能であり、前記搬送部側受信部と前記第１送信部とが接続可能であり、前記検査部側受信部と第２送信部とが接続可能である請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記分配部には、前記第１信号と前記第２信号とが予め記憶されている請求項２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記分配部では、１つの前記第１信号に対して、前記第２信号が複数あり、前記複数の前記第２信号中から１つの前記第２信号が選択される請求項２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記分配部には、前記第１信号および前記第２信号のうちの少なくとも前記第２信号が予め記憶されている請求項４に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記分配部では、１つの前記第２信号に対して、前記第１信号が複数あり、前記複数の前記第１信号中から１つの前記第１信号が選択される請求項２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記分配部には、前記第１信号および前記第２信号のうちの少なくとも前記第１信号が予め記憶されている請求項６に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記電子部品検査情報は、バーコードであり、前記情報読み取り部は、バーコードリーダーである請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
電子部品を検査する検査部と、
前記電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品の検査に関する電子部品検査情報を読み取る少なくとも１つの情報読み取り部と、
前記情報読み取り部からの前記電子部品検査情報に基づいた前記搬送部の作動条件に関する第１信号を受信可能な少なくとも１つの搬送部側受信部と、
前記情報読み取り部からの電子部品検査情報に基づいた前記検査部の作動条件に関する第２信号を受信可能な少なくとも１つの検査部側受信部と、を備え、
前記搬送部側受信部の数と前記検査部側受信部の数との合計は、前記情報読み取り部の数より多いことを特徴とする電子部品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばＩＣデバイス等のような電子部品の検査（電気特性の検査）をする部品検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の部品検査装置では、電子部品に対して検査を行なう際、電子部品を検査用ソケットまで搬送し、検査用ソケットに載置して、その検査を行なうよう構成されている。
【０００３】
また、特許文献１には、電子部品に付されたバーコードを読み取るバーコードリーダーを内蔵した（備えた）部品検査装置が開示されている。このバーコードには、電子部品の品種表示名を表示するものや、電子部品の個体識別番号を表示するものがある。そして、バーコードリーダーによって読み取られたバーコードを、電子部品の検査に用いることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−０２０９８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、部品検査装置には、特許文献１に記載の部品検査装置のようにバーコードリーダーが内蔵されたもの以外にも、いわゆるハンドラーとテスターとを有し、それぞれに、バーコードリーダーを別途接続して用いられるものもある（以下、ハンドラーに接続されたバーコードリーダーを「第１バーコードリーダー」と言い、テスターに接続されたバーコードリーダーを「第２バーコードリーダー」と言う）。このような部品検査装置では、例えば、ハンドラー用のバーコードとテスター用のバーコードとがそれぞれ２枚の電子部品検査用指示書に付されて用意されている。そして、ハンドラー用のバーコードを第１バーコードリーダーで読み取り、テスター用のバーコードを第２バーコードリーダーで読み取っていた。このため、バーコードを読み込むごとにバーコードリーダーを持ち替えねばならず、手間であった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下のものとして実現することが可能である。
【０００７】
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を検査する検査部が接続可能で、
前記電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品の検査に関する電子部品検査情報に基づいた前記搬送部の作動条件に関する第１信号を受信可能な少なくとも１つの搬送部側受信部と、を備え、
前記電子部品検査情報を読み取る少なくとも１つの情報読み取り部は、搬送部側受信部と接続可能であり、
前記情報読み取り部は、前記電子部品検査情報に基づいた前記検査部の作動条件に関する第２信号を受信可能な少なくとも１つの検査部側受信部と接続可能であり、
前記搬送部側受信部の数と前記検査部側受信部の数との合計は、前記情報読み取り部の数より多いことを特徴とする。
【０００８】
これにより、共通の情報読み取り部を搬送部側受信部と検査部側受信部とに接続することができる。そして、この接続状態で情報読み取り部を操作することにより、検査情報が読み取られて、検査情報に基づいた信号を搬送部側受信部で受信することができるとともに、検査情報に基づいた別の信号を検査部側受信部で受信することができる。このような構成は、例えばバーコードリーダーを２つ用意して、一方のバーコードリーダーを搬送部側受信部に接続し、他方のバーコードリーダーを検査部側受信部に接続して、各バーコードをそれぞれ独立して操作する場合に比べて、作業性（操作性）に優れる。
【０００９】
本発明の電子部品搬送装置では、前記情報読み取り部から前記電子部品検査情報を受信する受信部と、前記搬送部側受信部に前記第１信号を送信する第１送信部と、前記検査部側受信部に前記第２信号を送信する第２送信部と、を有する分配部は、前記情報読み取り部と前記受信部が接続可能であり、前記搬送部側受信部と前記第１送信部とが接続可能であり、前記検査部側受信部と第２送信部とが接続可能であるのが好ましい。
【００１０】
これにより、第１信号と第２信号とを迅速に送信することができ、よって、例えば電子部品に対して電気的な検査を行なう際、その検査時間をできる限り短縮することができる。
【００１１】
本発明の電子部品搬送装置では、前記分配部には、前記第１信号と前記第２信号とが予め記憶されているのが好ましい。
【００１２】
これにより、第１信号と第２信号とを迅速に送信することができ、よって、例えば電子部品に対して電気的な検査を行なう際、その検査時間をできる限り短縮することができる。
【００１３】
本発明の電子部品搬送装置では、前記分配部では、１つの前記第１信号に対して、前記第２信号が複数あり、前記複数の前記第２信号中から１つの前記第２信号が選択されるのが好ましい。
【００１４】
これにより、１つの第１信号と複数の第２信号との全ての組み合わせの電子部品検査情報を付与したものを、その組合せの数分だけ作成するのを省略することができる。
【００１５】
本発明の電子部品搬送装置では、前記分配部には、前記第１信号および前記第２信号のうちの少なくとも前記第２信号が予め記憶されているのが好ましい。
【００１６】
これにより、複数の第２信号中から選択された１つの第２信号を迅速に送信することができ、よって、例えば電子部品に対して電気的な検査を行なう際、その検査時間をできる限り短縮することができる。
【００１７】
本発明の電子部品搬送装置では、前記分配部では、１つの前記第２信号に対して、前記第１信号が複数あり、前記複数の前記第１信号中から１つの前記第１信号が選択されるのが好ましい。
【００１８】
これにより、１つの第２信号と複数の第１信号との全ての組み合わせの電子部品検査情報を付与したものを、その組合せの数分だけ作成するのを省略することができる。
【００１９】
本発明の電子部品搬送装置では、前記分配部には、前記第１信号および前記第２信号のうちの少なくとも前記第１信号が予め記憶されているのが好ましい。
【００２０】
これにより、複数の第１信号中から選択された１つの第１信号を迅速に送信することができ、よって、例えば電子部品に対して電気的な検査を行なう際、その検査時間をできる限り短縮することができる。
【００２１】
本発明の電子部品搬送装置では、前記電子部品検査情報は、バーコードであり、前記情報読み取り部は、バーコードリーダーであるのが好ましい。
【００２２】
これにより、電子部品の検査に関する情報としては、例えば電子部品の品種等があるが、それ以外にも多数の情報がある。バーコードには、このような多数の情報を含ませることができる。そして、この検査情報を読み取る情報読み取り部として、バーコードリーダーを用いることにより、検査情報を正確かつ迅速に読み取ることができる。
【００２３】
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を検査する検査部と、
前記電子部品を搬送する搬送部と、
前記電子部品の検査に関する電子部品検査情報を読み取る少なくとも１つの情報読み取り部と、
前記情報読み取り部からの前記電子部品検査情報に基づいた前記搬送部の作動条件に関する第１信号を受信可能な少なくとも１つの搬送部側受信部と、
前記情報読み取り部からの電子部品検査情報に基づいた前記検査部の作動条件に関する第２信号を受信可能な少なくとも１つの検査部側受信部と、を備え、
前記搬送部側受信部の数と前記検査部側受信部の数との合計は、前記情報読み取り部の数より多いことを特徴とする。
【００２４】
これにより、共通の情報読み取り部を搬送部側受信部と検査部側受信部とに接続することができる。そして、この接続状態で情報読み取り部を操作することにより、検査情報が読み取られて、検査情報に基づいた信号を搬送部側受信部で受信することができるとともに、検査情報に基づいた別の信号を検査部側受信部で受信することができる。このような構成は、例えばバーコードリーダーを２つ用意して、一方のバーコードリーダーを搬送部側受信部に接続し、他方のバーコードリーダーを検査部側受信部に接続して、各バーコードをそれぞれ独立して操作する場合に比べて、作業性（操作性）に優れる。
【００２５】
また、検査部まで電子部品を搬送することができ、よって、当該電子部品に対する検査を検査部で行なうことができる。また、検査後の電子部品を検査部から搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明の電子部品検査装置（第１実施形態）を正面側から見た概略斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す電子部品検査装置の動作状態を示す概略平面図である。
【図３】図３は、図１に示す電子部品検査装置に接続される情報読み取り部のブロック図である。
【図４】図４は、１に示す電子部品検査装置で用いられるＩＣデバイス検査用指示書の一例を示す図である。
【図５】図５は、本発明の電子部品検査装置（第２実施形態）の概略平面図である。
【図６】図６は、図５に示す電子部品検査装置における制御プログラムを示すフローチャートである。
【図７】図７は、本発明の電子部品検査装置（第３実施形態）における制御プログラムを示すフローチャートである。
【図８】図８は、本発明の電子部品検査装置（第４実施形態）における制御プログラムを示すフローチャートである。
【図９】図９は、本発明の電子部品検査装置（第５実施形態）の概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２８】
＜第１実施形態＞
以下、図１および図２を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第１実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向（第１の方向）」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向（第２の方向）」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向（第３の方向）」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いた状態も含む。また、図１中の上側、すなわち、Ｚ軸方向正側を「上」または「上方」、下側、すなわち、Ｚ軸方向負側を「下」または「下方」と言うことがある。
【００２９】
本発明の電子部品搬送装置１０は、図１に示す外観を有するものである。電子部品搬送装置１０は、電子部品を検査する検査部１６が接続可能である。また、この電子部品搬送装置１０は、電子部品を搬送する搬送部２５と、電子部品の検査に関する検査情報（電子部品検査情報）１０１に基づいた搬送部２５の作動条件に関する第１信号Ｍを受信可能な少なくとも１つの搬送部側受信部８０１と、を備えている。検査情報（電子部品検査情報）１０１を読み取る少なくとも１つの情報読み取り部２６は、搬送部側受信部８０１と接続可能である。この情報読み取り部２６は、検査情報（電子部品検査情報）１０１に基づいた検査部１６の作動条件に関する第２信号Ｎを受信可能な少なくとも１つの検査部側受信部９０２と接続可能である。そして、搬送部側受信部８０１の数と検査部側受信部９０２の数との合計は、情報読み取り部２６の数より多い。
【００３０】
これにより、後述するように、共通の情報読み取り部２６を搬送部側受信部８０１と検査部側受信部９０２とに接続することができる。そして、この接続状態で情報読み取り部２６を操作することにより、検査情報１０１が読み取られて、検査情報１０１に基づいた第１信号Ｍを搬送部側受信部８０１で受信することができるとともに、検査情報１０１に基づいた第２信号Ｎを検査部側受信部９０２で受信することができる。
【００３１】
このような構成は、例えばバーコードリーダーを２つ用意して、一方のバーコードリーダーを搬送部側受信部８０１に接続し、他方のバーコードリーダーを検査部側受信部９０２に接続して、各バーコードをそれぞれ独立して操作する場合に比べて、作業性（操作性）に優れる。
【００３２】
また、図２に示すように、本発明の電子部品検査装置１は、電子部品搬送装置１０を有し、さらに、電子部品を検査する検査部１６等を有する。すなわち、本発明の電子部品検査装置１は、電子部品を検査する検査部１６と、電子部品を搬送する搬送部２５と、電子部品の検査に関する検査情報（電子部品検査情報）１０１を読み取る少なくとも１つの情報読み取り部２６と、情報読み取り部２６からの検査情報（電子部品検査情報）１０１に基づいた搬送部２５の作動条件に関する第１信号Ｍを受信可能な少なくとも１つの搬送部側受信部８０１と、情報読み取り部２６からの検査情報（電子部品検査情報）１０１に基づいた検査部１６の作動条件に関する第２信号Ｎを受信可能な少なくとも１つの検査部側受信部９０２と、を備えている。そして、搬送部側受信部８０１の数と検査部側受信部９０２の数との合計は、情報読み取り部２６の数より多い。
【００３３】
これにより、前述した電子部品搬送装置１０の利点を持つ電子部品検査装置１が得られる。また、検査部１６にまで電子部品を搬送することができ、よって、当該電子部品に対する検査を検査部１６で行なうことができる。また、検査後の電子部品を検査部１６から搬送することができる。
【００３４】
以下、各部の構成について詳細に説明する。
図１、図２に示すように、電子部品搬送装置１０を有する電子部品検査装置１は、例えばＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージであるＩＣデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。ＩＣデバイス９０は、本実施形態では平板状をなすものとなっている。
【００３５】
なお、ＩＣデバイスとしては、前記のものの他に、例えば、「ＬＳＩ（Large Scale Integration）」「ＣＭＯＳ（Complementary MOS）」「ＣＣＤ（Charge Coupled Device）」や、ＩＣデバイスを複数モジュールパッケージ化した「モジュールＩＣ」、また、「水晶デバイス」、「圧力センサー」、「慣性センサー（加速度センサー）」、「ジャイロセンサー」、「指紋センサー」等が挙げられる。
【００３６】
電子部品検査装置１（電子部品搬送装置１０）は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域Ａ２と、検査領域Ａ３と、デバイス回収領域Ａ４と、トレイ除去領域Ａ５とを備え、これらの領域は、後述するように各壁部で分けられている。そして、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで前記各領域を矢印α９０方向に順に経由し、途中の検査領域Ａ３で検査が行われる。このように電子部品検査装置１は、各領域を経由するようにＩＣデバイス９０を搬送する搬送部２５を有する電子部品搬送装置１０と、検査領域Ａ３内で検査を行なう検査部１６と、制御部８００とを備えたものとなっている。また、その他、電子部品検査装置１は、モニター３００と、シグナルランプ４００と、操作パネル７００とを備えている。
【００３７】
また、電子部品検査装置１は、ＩＣデバイス９０の種類ごとに交換される「チェンジキット」と呼ばれるものを予め搭載して用いられる。このチェンジキットには、ＩＣデバイス９０（電子部品）が載置される載置部（電子部品載置部）がある。本実施形態の電子部品検査装置１では、この載置部は、複数の箇所に設置されており、例えば、後述する温度調整部１２と、デバイス供給部１４と、デバイス回収部１８とがある。また、ＩＣデバイス９０（電子部品）が載置される載置部（電子部品載置部）には、前記のようなチェンジキットとは別に、ユーザーが用意するトレイ２００と、回収用トレイ１９と、その他、検査部１６もある。
【００３８】
トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が供給される給材部である。トレイ供給領域Ａ１は、トレイ２００を複数積み重ねて搭載可能な搭載領域と言うこともできる。なお、本実施形態では、各トレイ２００には、複数の凹部（ポケット）が行列状に配置されている。各凹部には、ＩＣデバイス９０を１つずつ収納、載置することができる。
【００３９】
デバイス供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１から搬送されたトレイ２００上の複数のＩＣデバイス９０がそれぞれ検査領域Ａ３まで搬送、供給される領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１とデバイス供給領域Ａ２とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂが設けられている。トレイ搬送機構１１Ａは、搬送部２５の一部であり、トレイ２００を、当該トレイ２００に載置されたＩＣデバイス９０ごとＹ方向の正側、すなわち、図２中の矢印α１１Ａ方向に移動させることができる。これにより、ＩＣデバイス９０を安定してデバイス供給領域Ａ２に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構１１Ｂは、空のトレイ２００をＹ方向の負側、すなわち、図２中の矢印α１１Ｂ方向に移動させることができる移動部である。これにより、空のトレイ２００をデバイス供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に移動させることができる。
【００４０】
デバイス供給領域Ａ２には、温度調整部（ソークプレート（英語表記：soak plate、中国語表記（一例）：均温板））１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、トレイ搬送機構１５とが設けられている。また、デバイス供給領域Ａ２と検査領域Ａ３とを跨ぐように移動するデバイス供給部１４も設けられている。
【００４１】
温度調整部１２は、複数のＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、当該載置されたＩＣデバイス９０を一括して加熱または冷却することができる「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部１６で検査される前のＩＣデバイス９０を予め加熱または冷却して、当該検査（高温検査や低温検査）に適した温度に調整することができる。
【００４２】
このような載置部としての温度調整部１２は、固定されている。これにより、当該温度調整部１２上でのＩＣデバイス９０に対して安定して温度調整することができる。
また、温度調整部１２は、グランドされて（接地されて）いる。
【００４３】
図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ方向に２つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２まで搬送される。
【００４４】
デバイス搬送ヘッド１３は、ＩＣデバイス９０を把持する把持部であり、デバイス供給領域Ａ２内でＸ方向およびＹ方向に移動可能に支持され、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。このデバイス搬送ヘッド１３は、搬送部２５の一部でもあり、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と後述するデバイス供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担うことができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド１３のＸ方向の移動を矢印α１３Ｘで示し、デバイス搬送ヘッド１３のＹ方向の移動を矢印α１３Ｙで示している。
【００４５】
デバイス供給部１４は、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、当該ＩＣデバイス９０を検査部１６近傍まで搬送することができる「供給用シャトルプレート」または単に「供給シャトル」と呼ばれるものである。このデバイス供給部１４も、搬送部２５の一部となり得る。このデバイス供給部１４は、ＩＣデバイス９０が収納、載置される凹部（ポケット）を有している。
【００４６】
また、載置部としてのデバイス供給部１４は、デバイス供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ方向、すなわち、矢印α１４方向に沿って往復移動可能（移動可能）に支持されている。これにより、デバイス供給部１４は、ＩＣデバイス９０をデバイス供給領域Ａ２から検査領域Ａ３の検査部１６近傍まで安定して搬送することができ、また、検査領域Ａ３でＩＣデバイス９０がデバイス搬送ヘッド１７によって取り去られた後は再度デバイス供給領域Ａ２に戻ることができる。
【００４７】
図２に示す構成では、デバイス供給部１４は、Ｙ方向に２つ配置されており、Ｙ方向負側のデバイス供給部１４を「デバイス供給部１４Ａ」と言い、Ｙ方向正側のデバイス供給部１４を「デバイス供給部１４Ｂ」と言うことがある。そして、温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、デバイス供給領域Ａ２内でデバイス供給部１４Ａまたはデバイス供給部１４Ｂまで搬送される。また、デバイス供給部１４は、温度調整部１２と同様に、当該デバイス供給部１４に載置されたＩＣデバイス９０を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０に対して、その温度調整状態を維持して、検査領域Ａ３の検査部１６近傍まで搬送することができる。また、デバイス供給部１４も、温度調整部１２と同様に、グランドされている。
【００４８】
トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００をデバイス供給領域Ａ２内でＸ方向の正側、すなわち、矢印α１５方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによってデバイス供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。
【００４９】
検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０を検査する領域である。この検査領域Ａ３には、ＩＣデバイス９０に対して検査を行なう検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７とが設けられている。
【００５０】
デバイス搬送ヘッド１７は、搬送部２５の一部であり、温度調整部１２と同様に、把持したＩＣデバイス９０を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、前記温度調整状態が維持されたＩＣデバイス９０を把持して、前記温度調整状態を維持したまま、ＩＣデバイス９０を検査領域Ａ３内で搬送することができる。
【００５１】
このようなデバイス搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内でＹ方向およびＺ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド１７は、デバイス供給領域Ａ２から搬入されたデバイス供給部１４から、ＩＣデバイス９０を持ち上げて、検査部１６上に搬送し、載置することができる。
【００５２】
なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド１７のＹ方向の往復移動を矢印α１７Ｙで示している。また、デバイス搬送ヘッド１７は、Ｙ方向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、Ｘ方向にも往復移動可能に支持されていてもよい。また、図２に示す構成では、デバイス搬送ヘッド１７は、Ｙ方向に２つ配置されており、Ｙ方向負側のデバイス搬送ヘッド１７を「デバイス搬送ヘッド１７Ａ」と言い、Ｙ方向正側のデバイス搬送ヘッド１７を「デバイス搬送ヘッド１７Ｂ」と言うことがある。デバイス搬送ヘッド１７Ａは、検査領域Ａ３内で、ＩＣデバイス９０のデバイス供給部１４Ａから検査部１６への搬送を担うことができ、デバイス搬送ヘッド１７Ｂは、検査領域Ａ３内で、ＩＣデバイス９０のデバイス供給部１４Ｂから検査部１６への搬送を担うことができる。
【００５３】
検査部１６（ソケット）は、電子部品であるＩＣデバイス９０を載置して、当該ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査する載置部（電子部品載置部）である。この検査部１６は、ＩＣデバイス９０が収納、載置される凹部（ポケット）を有し、その凹部の底部に、複数のプローブピン（載置部側端子）が設けられている。そして、ＩＣデバイス９０の端子とプローブピンとが導電可能に接続される、すなわち、接触することにより、ＩＣデバイス９０の検査を行なうことができる。ＩＣデバイス９０の検査は、検査部１６を有するテスター９００に内蔵されている検査制御部９０１に記憶されているプログラムに基づいて行われる。
【００５４】
このような検査部１６は、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００５５】
デバイス回収領域Ａ４は、検査領域Ａ３で検査され、その検査が終了した複数のＩＣデバイス９０が回収される領域である。このデバイス回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１とが設けられている。また、検査領域Ａ３とデバイス回収領域Ａ４とを跨ぐように移動するデバイス回収部１８も設けられている。また、デバイス回収領域Ａ４には、空のトレイ２００も用意されている。
【００５６】
デバイス回収部１８は、検査部１６で検査が終了したＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０をデバイス回収領域Ａ４まで搬送することができる載置部であり、「回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。このデバイス回収部１８も、搬送部２５の一部となり得る。
【００５７】
また、デバイス回収部１８は、検査領域Ａ３とデバイス回収領域Ａ４との間をＸ方向、すなわち、矢印α１８方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス回収部１８は、デバイス供給部１４と同様に、Ｙ方向に２つ配置されており、Ｙ方向負側のデバイス回収部１８を「デバイス回収部１８Ａ」と言い、Ｙ方向正側のデバイス回収部１８を「デバイス回収部１８Ｂ」と言うことがある。そして、検査部１６上のＩＣデバイス９０は、デバイス回収部１８Ａまたはデバイス回収部１８Ｂに搬送され、載置される。なお、ＩＣデバイス９０の検査部１６からデバイス回収部１８Ａへの搬送は、デバイス搬送ヘッド１７Ａが担い、検査部１６からデバイス回収部１８Ｂへの搬送は、デバイス搬送ヘッド１７Ｂが担う。また、デバイス回収部１８も、温度調整部１２やデバイス供給部１４と同様に、グランドされている。
【００５８】
回収用トレイ１９は、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、デバイス回収領域Ａ４内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０等の各種可動部が比較的多く配置されたデバイス回収領域Ａ４であっても、回収用トレイ１９上では、検査済みのＩＣデバイス９０が安定して載置されることとなる。なお、図２に示す構成では、回収用トレイ１９は、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。
【００５９】
また、空のトレイ２００も、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。この空のトレイ２００も、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部となる。そして、デバイス回収領域Ａ４に移動してきたデバイス回収部１８上のＩＣデバイス９０は、回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
【００６０】
デバイス搬送ヘッド２０は、デバイス回収領域Ａ４内でＸ方向およびＹ方向に移動可能に支持され、さらにＺ方向にも移動可能な部分を有している。このデバイス搬送ヘッド２０は、搬送部２５の一部であり、ＩＣデバイス９０をデバイス回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド２０のＸ方向の移動を矢印α２０Ｘで示し、デバイス搬送ヘッド２０のＹ方向の移動を矢印α２０Ｙで示している。
【００６１】
トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００をデバイス回収領域Ａ４内でＸ方向、すなわち、矢印α２１方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。
【００６２】
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００６３】
また、デバイス回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつＹ方向に搬送するトレイ搬送機構２２Ａ、トレイ搬送機構２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、搬送部２５の一部であり、トレイ２００をＹ方向、すなわち、矢印α２２Ａ方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのＩＣデバイス９０をデバイス回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送することができる。また、トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００をＹ方向の正側、すなわち、矢印α２２Ｂ方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５からデバイス回収領域Ａ４に移動させることができる。
【００６４】
制御部８００は、例えば、トレイ搬送機構１１Ａと、トレイ搬送機構１１Ｂと、温度調整部１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、デバイス供給部１４と、トレイ搬送機構１５と、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７と、デバイス回収部１８と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１と、トレイ搬送機構２２Ａと、トレイ搬送機構２２Ｂの作動を制御することができる。
【００６５】
電子部品検査装置１（電子部品搬送装置１０）を操作するオペレーターは、モニター３００を介して、電子部品検査装置１の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター３００は、例えば液晶画面で構成された表示画面３０１を有し、電子部品検査装置１の正面側上部に配置されている。図１に示すように、トレイ除去領域Ａ５の図中の右側には、マウスを載置するマウス台６００が設けられている。このマウスは、モニター３００に表示された画面を操作する際に用いられる。
【００６６】
また、モニター３００に対して図１の右下方には、操作パネル７００が配置されている。操作パネル７００は、モニター３００とは別に、電子部品検査装置１に所望の動作を命令するものである。
【００６７】
また、シグナルランプ４００は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置１の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ４００は、電子部品検査装置１の上部に配置されている。なお、電子部品検査装置１には、スピーカー５００が内蔵されており、このスピーカー５００によっても電子部品検査装置１の作動状態等を報知することもできる。
【００６８】
電子部品検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１とデバイス供給領域Ａ２との間が第１隔壁２３１によって区切られており、デバイス供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間が第２隔壁２３２によって区切られており、検査領域Ａ３とデバイス回収領域Ａ４との間が第３隔壁２３３によって区切られており、デバイス回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５との間が第４隔壁２３４によって区切られている。また、デバイス供給領域Ａ２とデバイス回収領域Ａ４との間も、第５隔壁２３５によって区切られている。
【００６９】
電子部品検査装置１は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー２４１、サイドカバー２４２、サイドカバー２４３、リアカバー２４４、トップカバー２４５がある。
【００７０】
さて、電子部品検査装置１では、ＩＣデバイス９０に対する検査は、ＩＣデバイス９０（電子部品）の検査に関する検査情報（電子部品検査情報）１０１に基づいて行われる。この検査情報１０１（セットアップデーター）は、ＩＣデバイス９０の種類ごとに予め決められており、例えば、以下の情報（レシピデーター）が含まれている。
・ＩＣデバイス９０の品種（例えばＢＧＡやＱＦＰ等）
・ＩＣデバイス９０の外形形状
・ＩＣデバイス９０の大きさ
・ＩＣデバイス９０の搬送速度
・ＩＣデバイス９０の検査時の温度
・ＩＣデバイス９０の検査結果に応じたＩＣデバイス９０の分類の仕方
・ＩＣデバイス９０の検査結果に応じた通信方式
【００７１】
このような検査情報１０１は、例えば、予め用意されているＩＣデバイス検査用指示書１００に付されている（図１、図４参照）。ＩＣデバイス検査用指示書１００は、電子部品検査装置１を操作するオペレーターに渡される。
【００７２】
また、本実施形態では、検査情報（電子部品検査情報）１０１は、１次元バーコード（以下単に「バーコード」と言う）である。この検査情報１０１は、バーコードリーダーである情報読み取り部２６によって読み取られる。
【００７３】
図４に示すように、バーコードである検査情報１０１は、クワイエットゾーン１０２と、スタートコード１０３と、データーキャラクター１０４と、センターバー１０５と、データーキャラクター１０６と、チェックデジット（チェックキャラクター）１０７と、ストップコード１０８と、クワイエットゾーン１０９とで構成されている。
【００７４】
クワイエットゾーン１０２とクワイエットゾーン１０９とは、情報読み取り部２６が検査情報１０１を読み取る際に、その検査情報１０１が付されている範囲を情報読み取り部２６に認識させる部分である。
スタートコード１０３は、検査情報１０１の始まり（開始位置）を示す部分である。
【００７５】
データーキャラクター１０４は、本実施形態では、ＩＣデバイス９０の検査に際し、電子部品搬送装置１０の作動に関する必要なデーターを担持する（シンボル化した）部分である。そのデーターとしては、例えば、前述したＩＣデバイス９０の品種、ＩＣデバイス９０の外形形状、ＩＣデバイス９０の大きさ、ＩＣデバイス９０の搬送速度、ＩＣデバイス９０の検査結果に応じたＩＣデバイス９０の分類の仕方等が挙げられる。
【００７６】
センターバー１０５は、データーキャラクター１０４とデーターキャラクター１０６とを区切る部分である。
【００７７】
データーキャラクター１０６は、本実施形態では、ＩＣデバイス９０の検査に際し、テスター９００の作動に関する必要なデーターを担持する（シンボル化した）部分である。そのデーターとしては、例えば、前述したＩＣデバイス９０の品種、ＩＣデバイス９０の検査時の温度、ＩＣデバイス９０の検査結果に応じた通信方式等が挙げられる。
【００７８】
チェックデジット１０７は、情報読み取り部２６が検査情報１０１を正確に読み取ったか否かを確認する部分である。
ストップコード１０８は、検査情報１０１の終わり（終了位置）を示す部分である。
【００７９】
検査情報（電子部品検査情報）１０１は、前述したように本実施形態ではバーコードである。ＩＣデバイス９０の検査に関する情報としては、前述したＩＣデバイス９０の品種等があるが、これらはあくまでも例示であり、これら以外にも多数の情報がある。バーコードには、このような多数の情報を含ませることができる。
【００８０】
そして、この検査情報１０１を読み取る情報読み取り部２６は、バーコードリーダーである。これにより、検査情報１０１を正確かつ迅速に読み取ることができる。
【００８１】
図１に示すように、情報読み取り部２６は、電子部品搬送装置１０（ハンドラー）と、テスター９００とに接続して用いられる。図３に示すように、情報読み取り部２６は、制御部２６１と、発光部２６２と、受光部２６３と、アナログ増幅部２６４と、デジタル変換部２６５と、インターフェース部２６６とを有している。
【００８２】
制御部２６１は、ＣＰＵを有し、発光部２６２と、受光部２６３と、アナログ増幅部２６４と、デジタル変換部２６５の作動を制御することができる。
【００８３】
発光部２６２は、赤色発光ダイオードで構成されている。発光部２６２は、一方向に走査されながら、ＩＣデバイス検査用指示書１００上の検査情報１０１に向かって赤色光を照射することができる。なお、発光部２６２の走査方式は、特に限定されず、例えば、マニュアルスキャン方式、ＣＣＤスキャン方式、レーザースキャン方式、イメージャ方式等が用いられる。
【００８４】
受光部２６３は、フォトダイオードで構成されている。受光部２６３は、発光部２６２からの赤色光が検査情報１０１で反射した反射光を受光することができる。また、この受光部２６３では、受光した光信号をアナログの電気信号（以下「アナログ信号」と言う）に変換することができる。
【００８５】
アナログ増幅部２６４は、オペアンプで構成され、受光部２６３で変換されたアナログ信号を増幅することができる。
【００８６】
デジタル変換部２６５は、アナログ信号をデジタル信号に変換することができる。アナログ信号の状態では、検査情報１０１中の太エレメント（太いバーやスペース）の信号に比べて、細エレメント（細いバーやスペース）の信号の方が小さいことが多い。この場合、情報読み取り部２６による検査情報１０１の読み取りが困難となるおそれがある。そこで、アナログ信号をデジタル信号に変換することにより、検査情報１０１を安定して正確に読み取ることができる。
【００８７】
そして、制御部２６１では、デジタル信号に変換されたバーコードのパターンを、バーの太さに応じて、例えば、細バーと、太バーと、細スペースと、太スペースとに分類する。その後、制御部２６１は、予め記憶されているバーコードのコードテーブルから、今回読み取ったバーコードのパターンに適したバーコードを見つけて、バーコードの読み取りを行なうことができる。
【００８８】
インターフェース部２６６は、制御部２６１と電子部品搬送装置１０（制御部８００）との間と、制御部２６１とテスター９００（検査制御部９０１）との間とで信号を送受信する部分である。図１に示すように、インターフェース部２６６は、電子部品搬送装置１０に接続される搬送部側送信部２６７と、テスター９００に接続される検査部側送信部２６８とを有している。
【００８９】
また、電子部品搬送装置１０の制御部８００には、情報読み取り部２６の搬送部側送信部２６７と通信可能に（電気的に）接続される搬送部側受信部８０１が設けられている。この搬送部側受信部８０１は、情報読み取り部２６の搬送部側送信部２６７が挿入されて接続された状態で、情報読み取り部２６で読み取れた検査情報１０１に基づいた第１信号Ｍを受信することができる。第１信号Ｍは、検査情報１０１のデーターキャラクター１０４が担持していた前記各種データー、すなわち、搬送部２５を作動させるのに要する各種諸条件である。
【００９０】
このような搬送部側受信部８０１は、電子部品搬送装置１０のＸ軸方向正側にあるサイドカバー２４３側に配置されている。
【００９１】
また、テスター９００の検査制御部９０１には、情報読み取り部２６の検査部側送信部２６８と通信可能に（電気的に）接続される検査部側受信部９０２が設けられている。この検査部側受信部９０２は、情報読み取り部２６の検査部側送信部２６８が挿入されて接続された状態で、情報読み取り部２６で読み取れた検査情報１０１に基づいた第２信号Ｎを受信することができる。第２信号Ｎは、検査情報１０１のデーターキャラクター１０６が担持していた前記各種データー、すなわち、検査部１６を作動させるのに要する各種諸条件である。
【００９２】
このような検査部側受信部９０２は、テスター９００のＸ軸方向正側、すなわち、搬送部側受信部８０１と同じ側に配置されている。
【００９３】
なお、搬送部側受信部８０１と、検査部側受信部９０２とは、いずれも、シリアルポートであり、そのシリアルバス規格（インターフェース規格）は、情報読み取り部２６の搬送部側送信部２６７や検査部側送信部２６８の規格にもよるが、特に限定されない。例えば、搬送部側受信部８０１を「ＵＳＢ」、検査部側受信部９０２を「ＲＳ−２３２Ｃ」としたり、これと反対に、搬送部側受信部８０１を「ＲＳ−２３２Ｃ」、検査部側受信部９０２を「ＵＳＢ」とすることができる。このように搬送部側受信部８０１の規格と検査部側受信部９０２の規格とが異なることにより、搬送部側受信部８０１に検査部側送信部２６８を接続し、検査部側受信部９０２に搬送部側送信部２６７を接続するのを防止する、すなわち、逆差しを防止することができる。
【００９４】
図１に示すように、情報読み取り部２６の数と比べて、搬送部側受信部８０１と検査部側受信部９０２とを合わせた数の方が多い。すなわち、本実施形態では、情報読み取り部２６の数が「１」に対して、搬送部側受信部８０１と検査部側受信部９０２との総数は、「２」であり、「前者の数（１）＜後者の数（２）」となっている。これにより、共通の１つの情報読み取り部２６を電子部品搬送装置１０の搬送部側受信部８０１と、テスター９００の検査部側受信部９０２とに接続することができる。そして、この接続状態で情報読み取り部２６を操作することにより、ＩＣデバイス検査用指示書１００の検査情報１０１を読み取って、第１信号Ｍを電子部品搬送装置１０に、第２信号Ｎをテスター９００に一括して送信することができる。
【００９５】
このような構成は、例えばバーコードリーダーを２つ用意して、一方のバーコードリーダーを電子部品搬送装置１０に接続して、電子部品搬送装置１０作動用のバーコードを読み込み、他方のバーコードリーダーをテスター９００に接続して、テスター９００作動用のバーコードを別途読み込む場合に比べて、作業性（操作性）に優れる。
【００９６】
また、第１信号Ｍを電子部品搬送装置１０に正確に送信することができるとともに、第２信号Ｎをテスター９００に正確に送信することができる。これにより、例えば、第１信号Ｍが誤ってテスター９００に送信され、第２信号Ｎが誤って電子部品搬送装置１０に送信されるのを防止することができる。
【００９７】
なお、電子部品搬送装置１０に設置される搬送部側受信部８０１の設置数は、本実施形態では１つであるが、これに限定されず、２つ以上であってもよい。
【００９８】
また、テスター９００に設置される検査部側受信部９０２の設置数は、本実施形態では１つであるが、これに限定されず、２つ以上であってもよい。
【００９９】
また、搬送部側受信部８０１の設置数と検査部側受信部９０２の設置数とは、本実施形態では同じであるが、これに限定されず、異なっていてもよい。
【０１００】
また、搬送部側受信部８０１の設置箇所や検査部側受信部９０２の設置箇所も、図１に示す箇所に限定されない。
【０１０１】
また、電子部品搬送装置１０とテスター９００とに共通に用いられる情報読み取り部２６の数は、本実施形態では１つであるが、これに限定されず、２つ以上であってもよい。
【０１０２】
＜第２実施形態＞
以下、図５および図６を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１０３】
本実施形態は、電子部品搬送装置が分配部を備えること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１０４】
図５に示すように、本実施形態では、電子部品搬送装置１０（電子部品検査装置１）は、分配部２７を備えている。分配部２７は、電子部品搬送装置１０の搬送部側受信部８０１と、テスター９００の検査部側受信部９０２とに接続されている。
【０１０５】
また、情報読み取り部２６は、分配部２７に接続される。これにより、情報読み取り部２６は、分配部２７を介して、電子部品搬送装置１０の搬送部側受信部８０１と、テスター９００の検査部側受信部９０２とに接続されることとなる。なお、情報読み取り部２６は、インターフェース部２６６としての送信部２６９を有している。
【０１０６】
一方、分配部２７は、送信部２６９と通信可能に接続される接続部２７１を有している。また、分配部２７には、第１信号Ｍと第２信号Ｎとが予め記憶されている。
【０１０７】
そして、情報読み取り部２６を分配部２７に接続した状態で、情報読み取り部２６に検査情報１０１を読み取らせることができる。この検査情報１０１のデーターキャラクター１０４により、分配部２７に対して、第１信号Ｍを搬送部側受信部８０１に送信して受信させるよう指示がなされる。また、検査情報１０１のデーターキャラクター１０６により、分配部２７に対して、第２信号Ｎを検査部側受信部９０２に送信して受信させるよう指示がなされる。このように、分配部２７は、第１信号Ｍを電子部品搬送装置１０に分配し、テスター９００に第２信号Ｎを分配することができる。
【０１０８】
このように本実施形態では、分配部２７は、情報読み取り部２６から検査情報（電子部品検査情報）１０１を受信する接続部２７１（受信部）と、搬送部側受信部８０１に第１信号Ｍを送信する第１送信部（図示せず）と、検査部側受信部９０２に第２信号Ｎを送信する第２送信部（図示せず）と、を有している。そして、情報読み取り部２６と接続部２７１（受信部）が接続可能であり、搬送部側受信部８０１と第１送信部とが接続可能であり、検査部側受信部９０２と第２送信部とが接続可能である。また、前述したように、この分配部２７には、第１信号Ｍと第２信号Ｎとが予め記憶されている。これにより、例えば、第１信号Ｍと第２信号Ｎとを迅速に送信することができ、よって、ＩＣデバイス９０に対する検査時間をできる限り短縮することができる。
【０１０９】
次に、情報読み取り部２６を作動させてからの制御プログラムを図６に示すフローチャートに基づいて説明する。
【０１１０】
情報読み取り部２６を作動させると、情報読み取り部２６が検査情報１０１を読み取って（ステップＳ１０１）、この検査情報１０１が分配部２７に送信される。
【０１１１】
分配部２７では、検査情報１０１が受信され、検査情報１０１のデーターキャラクター１０４により、第１信号Ｍが呼び出される（ステップＳ１０２）。この第１信号Ｍは、電子部品搬送装置１０の制御部８００に送信される（ステップＳ１０３）。
【０１１２】
また、検査情報１０１のデーターキャラクター１０６により、第２信号Ｎが呼び出される（ステップＳ１０４）。この第２信号Ｎは、テスター９００の検査制御部９０１に送信される（ステップＳ１０５）。
【０１１３】
そして、制御部８００が第１信号Ｍを受信し、検査制御部９０１が第２信号Ｎを受信した後、ＩＣデバイス９０に対する検査を行なうことができる。
【０１１４】
なお、制御部８００と分配部２７とは、図５に示す構成では別体のものとなっているが、これに限定されず、例えば、制御部８００に分配部２７が内蔵されていてもよい。
【０１１５】
＜第３実施形態＞
以下、図７を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１１６】
本実施形態は、１つの第１信号に対して、第２信号が複数あること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１１７】
表１に示すように、本実施形態では、１つの第１信号Ｍに対して、第２信号Ｎが複数（３つ）ある。以下、１つの第１信号Ｍを「第１信号Ｍ１」と言い、３つの第２信号Ｎをそれぞれ「第２信号Ｎ１」、「第２信号Ｎ２」、「第２信号Ｎ３」と言う。第２信号Ｎ１と、第２信号Ｎ２と、第２信号Ｎ３とは、例えば、ＩＣデバイス９０の品種は共通であるが、ＩＣデバイス９０の検査時の温度がそれぞれと異なった条件となっている。
【０１１８】
【表１】
2018205009.tif 000003
【０１１９】
次に、第２信号Ｎが複数ある場合の制御プログラムを図７に示すフローチャートに基づいて説明する。
【０１２０】
情報読み取り部２６を作動させると、情報読み取り部２６が検査情報１０１を読み取って（ステップＳ２０１）、この検査情報１０１が分配部２７に送信される。
【０１２１】
分配部２７では、検査情報１０１が受信され、第１信号Ｍ１が呼び出される（ステップＳ２０２）。この第１信号Ｍ１は、電子部品搬送装置１０の制御部８００に送信される（ステップＳ２０３）。
【０１２２】
また、第１信号Ｍ１に対応する第２信号Ｎ１、第２信号Ｎ２、第２信号Ｎ３が呼び出される（ステップＳ２０４）。そして、第２信号Ｎ１、第２信号Ｎ２、第２信号Ｎ３のうちの１つの第２信号Ｎを選択するよう、オペレーターにボタン操作を指示するメッセージがモニター３００に表示される（ステップＳ２０５）。例えばオペレーターが第２信号Ｎ１をモニター３００上でマウスを用いて選択したとする。この場合、選択された第２信号Ｎ１がテスター９００の検査制御部９０１に送信される（ステップＳ２０６）。
【０１２３】
そして、制御部８００が第１信号Ｍ１を受信し、検査制御部９０１が第２信号Ｎ１を受信した後、ＩＣデバイス９０に対する検査を行なうことができる。
【０１２４】
以上のように、分配部２７では、１つの第１信号Ｍに対して、第２信号Ｎが複数あり、複数の第２信号Ｎ中から１つの第２信号Ｎが選択される。これにより、１つの第１信号Ｍと複数の第２信号Ｎとの全ての組み合わせの検査情報１０１を付与したＩＣデバイス検査用指示書１００を、その組合せの数分だけ作成するのを省略することができる。
【０１２５】
また、分配部２７には、第１信号Ｍおよび第２信号Ｎのうちの少なくとも第２信号Ｎが予め記憶されており、本実施形態では、第１信号Ｍおよび第２信号Ｎの双方が記憶されている。これにより、複数の第２信号Ｎ中から選択された１つの第２信号Ｎを迅速に送信することができ、よって、ＩＣデバイス９０に対して検査を行なう際、その検査時間をできる限り短縮することができる。
【０１２６】
なお、分配部２７には、本実施形態では第１信号Ｍおよび第２信号Ｎの双方が記憶されているが、これに限定されず、第２信号Ｎの方だけが記憶されていてもよい。この場合、第１信号Ｍを情報読み取り部２６から送信することができる。
【０１２７】
また、１つの第１信号Ｍに対する第２信号Ｎの数は、本実施形態では３つであったが、これに限定されず、例えば、２つまたは４つ以上であってもよい。
【０１２８】
＜第４実施形態＞
以下、図８を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第４実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１２９】
本実施形態は、１つの第２信号に対して、第１信号が複数あること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１３０】
表２に示すように、本実施形態では、１つの第２信号Ｎに対して、第１信号Ｍが複数（３つ）ある。以下、１つの第２信号Ｎを「第２信号Ｎ４」と言い、３つの第１信号Ｍをそれぞれ「第１信号Ｍ２」、「第１信号Ｍ３」、「第１信号Ｍ４」と言う。第１信号Ｍ２と、第１信号Ｍ３と、第１信号Ｍ４とは、例えば、ＩＣデバイス９０の品種は共通であるが、ＩＣデバイス９０の外形形状がそれぞれ異なった条件となっている。
【０１３１】
【表２】
2018205009.tif 000004
【０１３２】
次に、第１信号Ｍが複数ある場合の制御プログラムを図８に示すフローチャートに基づいて説明する。
【０１３３】
情報読み取り部２６を作動させると、情報読み取り部２６が検査情報１０１を読み取って（ステップＳ３０１）、この検査情報１０１が分配部２７に送信される。
【０１３４】
分配部２７では、検査情報１０１が受信され、第２信号Ｎ４が呼び出される（ステップＳ３０２）。この第２信号Ｎ４は、テスター９００の検査制御部９０１に送信される（ステップＳ３０３）。
【０１３５】
また、第２信号Ｎ４に対応する第１信号Ｍ２、第１信号Ｍ３、第１信号Ｍ４が呼び出される（ステップＳ３０４）。そして、第１信号Ｍ２、第１信号Ｍ３、第１信号Ｍ４のうちの１つの第１信号Ｍを選択するよう、オペレーターにボタン操作を指示するメッセージがモニター３００に表示される（ステップＳ３０５）。例えばオペレーターが第１信号Ｍ２をモニター３００上でマウスを用いて選択したとする。この場合、選択された第１信号Ｍ２が電子部品搬送装置１０の制御部８００に送信される（ステップＳ３０６）。
【０１３６】
そして、制御部８００が第１信号Ｍ２を受信し、検査制御部９０１が第２信号Ｎ４を受信した後、ＩＣデバイス９０に対する検査を行なうことができる。
【０１３７】
以上のように、分配部２７では、１つの第２信号Ｎに対して、第１信号Ｍが複数あり、複数の第１信号Ｍ中から１つの第１信号Ｍが選択される。これにより、１つの第２信号Ｎと複数の第１信号Ｍとの全ての組み合わせの検査情報１０１を付与したＩＣデバイス検査用指示書１００を、その組合せの数分だけ作成するのを省略することができる。
【０１３８】
また、分配部２７には、第１信号Ｍおよび第２信号Ｎのうちの少なくとも第１信号Ｍが予め記憶されており、本実施形態では、第１信号Ｍおよび第２信号Ｎの双方が記憶されている。これにより、複数の第１信号Ｍ中から選択された１つの第１信号Ｍを迅速に送信することができ、よって、ＩＣデバイス９０に対して検査を行なう際、その検査時間をできる限り短縮することができる。
【０１３９】
なお、分配部２７には、本実施形態では第１信号Ｍおよび第２信号Ｎの双方が記憶されているが、これに限定されず、第１信号Ｍの方だけが記憶されていてもよい。この場合、第２信号Ｎを情報読み取り部２６から送信することができる。
【０１４０】
また、１つの第２信号Ｎに対する第１信号Ｍの数は、本実施形態では３つであったが、これに限定されず、例えば、２つまたは４つ以上であってもよい。
【０１４１】
＜第５実施形態＞
以下、図９を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１４２】
図９に示すように、本実施形態では、情報読み取り部２６は、送信部２６９が制御部８００の搬送部側受信部８０１と接続されている。また、制御部８００は、検査制御部９０１の検査部側受信部９０２と接続されている。従って、情報読み取り部２６は、制御部８００を介して、検査制御部９０１と接続された状態となっている。
【０１４３】
また、搬送部側受信部８０１は、第１信号Ｍの他に、第２信号Ｎも受信することができる。そして、第２信号Ｎは、制御部８００から送信され、検査部側受信部９０２で受信される。
【０１４４】
このような構成により、例えば前記第２実施形態で述べたような分配部２７を省略することができ、よって、電子部品搬送装置１０の構成を簡単なものとすることができる。
【０１４５】
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１４６】
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１４７】
また、電子部品搬送装置の搬送部側受信部の規格と、テスターの検査部側受信部の規格とは、前記第１実施形態では異なっていたが、これに限定されず、同じであってもよい。
【０１４８】
また、電子部品搬送装置の搬送部側受信部と、テスターの検査部側受信部とは、信号を受信するものであったが、これに限定されず、例えば、さらに、信号を送信可能に構成されていてもよい。
【０１４９】
また、前記各実施形態では、電子部品搬送装置は、第１信号を受信し、テスターは、第２信号を受信しているが、これに限定されない。例えば、電子部品搬送装置とテスターとの双方が、第１信号と第２信号とを含む第３信号を受信してもよい。この場合、電子部品搬送装置は、第３信号から第１信号を抽出するよう構成され、テスターは、第３信号から第２信号を抽出するよう構成されているのが好ましい。
【０１５０】
また、情報読み取り部は、前記各実施形態では検査情報を光学的に読み取るバーコードリーダーであったが、これに限定されず、例えば、接触式で検査情報を読み取るものであってもよい。
【０１５１】
また、検査情報は、前記各実施形態では１次元バーコードであったが、これに限定されず、例えば、ＱＲコード（登録商標）のような２次元バーコードや、ＩＣタグに担持されたものであってもよい。検査情報がＩＣタグに担持されている場合、そのＩＣタグは、例えば、電子部品が載置されるトレイに設置されて（埋め込まれて）いてもよい。また、検査情報としては、バーコードの他に、例えば、電子部品の種類や検査時の温度条件等が入った文字列としてもよい。この場合、検査情報は、ヒューマンインターフェイスに優れるものとなり、よって、検査情報が担持する各種情報を目視で確認することができる。
【０１５２】
また、情報読み取り部は、前記各実施形態では有線で電子部品搬送装置とテスターとに接続されていたが、これに限定されず、例えば、Ｗｉ−Ｆｉや赤外線通信等のように無線で電子部品搬送装置とテスターとに接続されていてもよい。また、例えば、情報読み取り部は、電子部品搬送装置とは有線で接続され、テスターとは無線で接続されていてもよいし、これと反対に、電子部品搬送装置とは無線で接続され、テスターとは有線で接続されていてもよい。
【０１５３】
また、搬送部側受信部は、搬送部の作動を制御する制御部（制御部８００）とし、検査部側受信部は、検査部の作動を制御する検査制御部（検査制御部９０１）としてもよい。
【０１５４】
また、分配部は、第１信号または第２信号の少なくとも一方を記憶する記憶装置を少なくとも備える。さらに、当該記憶装置を制御する制御部を備えるものとしてもよい。
【０１５５】
また、分配部は、情報読み取り部の作動を制御する制御部（制御部２６１）としてもよい。
【符号の説明】
【０１５６】
１…電子部品検査装置、１０…電子部品搬送装置、１１Ａ…トレイ搬送機構、１１Ｂ…トレイ搬送機構、１２…温度調整部、１３…デバイス搬送ヘッド、１４…デバイス供給部、１４Ａ…デバイス供給部、１４Ｂ…デバイス供給部、１５…トレイ搬送機構、１６…検査部、１７…デバイス搬送ヘッド、１７Ａ…デバイス搬送ヘッド、１７Ｂ…デバイス搬送ヘッド、１８…デバイス回収部、１８Ａ…デバイス回収部、１８Ｂ…デバイス回収部、１９…回収用トレイ、２０…デバイス搬送ヘッド、２１…トレイ搬送機構、２２Ａ…トレイ搬送機構、２２Ｂ…トレイ搬送機構、２３１…第１隔壁、２３２…第２隔壁、２３３…第３隔壁、２３４…第４隔壁、２３５…第５隔壁、２４１…フロントカバー、２４２…サイドカバー、２４３…サイドカバー、２４４…リアカバー、２４５…トップカバー、２５…搬送部、２６…情報読み取り部、２６１…制御部、２６２…発光部、２６３…受光部、２６４…アナログ増幅部、２６５…デジタル変換部、２６６…インターフェース部、２６７…搬送部側送信部、２６８…検査部側送信部、２６９…送信部、２７…分配部、２７１…接続部、９０…ＩＣデバイス、１００…ＩＣデバイス検査用指示書、１０１…検査情報（電子部品検査情報）、１０２…クワイエットゾーン、１０３…スタートコード、１０４…データーキャラクター、１０５…センターバー、１０６…データーキャラクター、１０７…チェックデジット（チェックキャラクター）、１０８…ストップコード、１０９…クワイエットゾーン、２００…トレイ、３００…モニター、３０１…表示画面、４００…シグナルランプ、５００…スピーカー、６００…マウス台、７００…操作パネル、８００…制御部、８０１…搬送部側受信部、９００…テスター、９０１…検査制御部、９０２…検査部側受信部、Ａ１…トレイ供給領域、Ａ２…デバイス供給領域、Ａ３…検査領域、Ａ４…デバイス回収領域、Ａ５…トレイ除去領域、Ｍ…第１信号、Ｍ１…第１信号、Ｍ２…第１信号、Ｍ３…第１信号、Ｍ４…第１信号、Ｎ…第２信号、Ｎ１…第２信号、Ｎ２…第２信号、Ｎ３…第２信号、Ｎ４…第２信号、Ｓ１０１〜Ｓ１０５…ステップ、Ｓ２０１〜Ｓ２０６…ステップ、Ｓ３０１〜Ｓ３０６…ステップ、α１１Ａ…矢印、α１１Ｂ…矢印、α１３Ｘ…矢印、α１３Ｙ…矢印、α１４…矢印、α１５…矢印、α１７Ｙ…矢印、α１８…矢印、α２０Ｘ…矢印、α２０Ｙ…矢印、α２１…矢印、α２２Ａ…矢印、α２２Ｂ…矢印、α９０…矢印
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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