【手続補正書】
【提出日】平成27年6月24日(2015.6.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明を生成するように構成された照明光源と、
ガス体積を収容するためのバルブを備えたプラズマセルと、
前記照明光源からの照明の焦点を前記ガス体積に合わせることによって、前記ガス体積内にプラズマを生成するように構成された楕円体と、
一つ以上の光学部品に伴い発生した収差を補正するように構成されており、前記照明光源と前記プラズマセルとの間の照明経路に沿って位置付けられた一つ以上の適応光学素子と、を含む、プラズマセルに生み出された収差を修正するための装置。
【請求項２】
前記収差が前記プラズマセルの前記バルブに伴い発生する、請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記収差が前記照明経路における一つ以上の光学部品に伴い発生する、請求項１記載の装置。
【請求項４】
前記収差が、前記プラズマセルとターゲットとの間の収集経路における一つ以上の光学部品に伴い発生する、請求項１記載の装置。
【請求項５】
前記収差が、前記プラズマセルの前記バルブ、前記照明経路における前記一つ以上の光学部品、または収集経路における一つ以上の光学部品の少なくとも一つの製造特性によって少なくとも生成される、請求項１記載の装置。
【請求項６】
前記収差が、前記プラズマセルの前記バルブ、前記照明経路における前記一つ以上の光学部品、または収集経路における一つ以上の光学部品の少なくとも一つの動作状態によって生成される、請求項１記載の装置。
【請求項７】
前記動作状態が変形または応力の少なくともいずれかを含む、請求項６記載の装置。
【請求項８】
前記プラズマセルの前記バルブ内に収容された前記プラズマの一つ以上の特性を測定するように構成された一つ以上のセンサをさらに含む、請求項１記載の装置。
【請求項９】
前記センサに通信的に連結されており、前記一つ以上のセンサによって測定した前記一つ以上の特性を利用して、前記プラズマセルの前記バルブ内に収容された前記プラズマの一つ以上のメリット関数を生成するように構成された一つ以上のコンピューティングシステムをさらに含む、請求項１記載の装置。
【請求項１０】
前記メリット関数が、プラズマの輝度、前記プラズマの選択された輝線の振幅、プラズマ温度、プラズマサイズ、プラズマ形状、前記バルブを通って伝送される照明のビームプロフィルの少なくとも一つを含む、請求項９記載の装置。
【請求項１１】
前記一つ以上の適応光学系が可変ミラーを含む、請求項１記載の装置。
【請求項１２】
前記可変ミラーが、前記一つ以上の光学部品に伴い発生した波面誤差を修正するように構成される、請求項１１記載の装置。
【請求項１３】
前記一つ以上の適応光学系が、前記可変ミラーの先端傾斜を調整するように構成された先端傾斜調整装置を含む、請求項１２記載の装置。
【請求項１４】
前記一つ以上の光学部品に伴い発生した波面誤差を修正するように構成された修正プレートをさらに含む、請求項１記載の装置。
【請求項１５】
前記照明光源が一つ以上のレーザーを含む、請求項１記載の装置。
【請求項１６】
前記一つ以上のレーザーが、ダイオードレーザー、連続波レーザー、または広帯域レーザーの少なくとも一つを含む、請求項１５記載の装置。
【請求項１７】
前記ガスが一つ以上の不活性ガスを含む、請求項１記載の装置。
【請求項１８】
前記ガスがアルゴンまたはキセノンの少なくともいずれかを含む、請求項１７記載の装置。
【請求項１９】
前記ガスが一つ以上の非不活性ガスを含む、請求項１記載の装置。
【請求項２０】
前記ガスが水銀を含む、請求項１９記載の装置。
【請求項２１】
照明を生成するように構成された照明光源と、
ガス体積を収容するためのバルブを備えたプラズマセルと、
前記照明光源からの照明の焦点を前記ガス体積に合わせることによって、前記ガス体積内にプラズマを生成するように構成された楕円体と、
一つ以上の光学部品に伴い発生した収差を補正するように構成されており、前記プラズマセルと前記プラズマセルからの照射ターゲットとの間の収集経路に沿って位置付けられた一つ以上の適応光学素子と、を含む、プラズマセルにおける収差を修正するための装置。
【請求項２２】
照明を生成するように構成された照明光源と、
ガス体積を収容するためのバルブを備えたプラズマセルと、
前記照明光源からの照明の焦点を前記ガス体積に合わせることによって、前記ガス体積内にプラズマを生成するように構成された楕円体と、
対流により発生した収差を補正するように構成されており、前記照明光源と前記プラズマセルとの間の照明経路に沿って位置付けられた一つ以上の適応光学素子と、を含む、対流に基づく収差を修正するための装置。
【請求項２３】
前記一つ以上の適応光学素子が、前記照明経路または収集経路の少なくともいずれかの内部のガスの対流により発生した収差を補正するように構成されている、請求項２２記載の装置。
【請求項２４】
前記一つ以上の適応光学素子が、前記プラズマセルの前記バルブの前記ガス体積内の対流により発生した収差を補正するように構成されている、請求項２２記載の装置。
【請求項２５】
前記照明経路または収集経路に位置付けられた波面センサと、
前記波面センサに通信的に連結されており、前記波面センサから受信した一つ以上の測定値に応じて前記一つ以上の適応光学系を制御するように構成された制御器と、をさらに含む、請求項２２記載の装置。
【請求項２６】
ガス体積を収容するためのバルブを備えたプラズマセルを提供することと、
照明を生成することと、
前記照明の焦点を前記ガス体積に合わせることによって、前記ガス体積内にプラズマを生成することと、
前記ガス体積に焦点を合わせた前記照明の波面に関係する一つ以上の特性を調整することによって、一つ以上の光学部品に伴い発生した収差効果を補正することと、を含む、プラズマセル内の収差を修正する方法。
【請求項２７】
前記照明を生成することが、一つ以上のレーザーを利用してレーザー光線を生成することを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項２８】
前記一つ以上のレーザーが、ダイオードレーザー、連続波レーザー、または広帯域レーザーの少なくとも一つを含む、請求項２７記載の方法。
【請求項２９】
前記ガス体積に焦点を合わせた前記照明の波面に関係する一つ以上の特性を調整することによって一つ以上の光学部品に伴い発生した収差効果を補正することが、一つ以上の適応光学素子を利用して、前記ガス体積に焦点を合わせた前記照明の波面に関係する一つ以上の特性を調整することによって前記一つ以上の光学部品に伴い発生した収差を補正することを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３０】
前記一つ以上の適応光学素子を利用して、前記ガス体積に焦点を合わせた前記照明の波面に関係する一つ以上の特性を調整することによって前記一つ以上の光学部品に伴い発生した収差を補正することが、可変ミラーを利用して、前記ガス体積に焦点を合わせた前記照明の波面に関係する一つ以上の特性を調整することによって前記一つ以上の光学部品に伴い発生した収差を補正することを含む、請求項２９記載の方法。
【請求項３１】
前記一つ以上の適応光学素子を利用して、前記ガス体積に焦点を合わせた前記照明の波面に関係する一つ以上の特性を調整することによって前記プラズマセルの前記バルブに伴い発生した収差を補正することが、修正プレートを利用して、前記ガス体積に焦点を合わせた前記照明の波面に関係する一つ以上の特性を調整することによって前記プラズマセルの前記バルブに伴い発生した収差を補正することを含む、請求項２９記載の方法。
【請求項３２】
前記一つ以上の適応光学素子を利用して、前記ガス体積に焦点を合わせた前記照明の波面に関係する一つ以上の特性を調整することによって前記一つ以上の光学部品に伴い発生した収差を補正することが、先端傾斜調整装置を利用して、前記ガス体積に焦点を合わせた前記照明の波面に関係する一つ以上の特性を調整することによって前記プラズマセルの前記バルブに伴い発生した収差を補正することを含む、請求項２９記載の方法。
【請求項３３】
前記ガスが一つ以上の不活性ガスを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３４】
前記ガスが一つ以上の非不活性ガスを含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３５】
前記プラズマセルの前記バルブ内に収容された前記プラズマの一つ以上の特性を測定することをさらに含む、請求項２６記載の方法。
【請求項３６】
前記プラズマの前記測定した一つ以上の特性を利用して、前記プラズマセルの前記バルブ内に収容された前記プラズマの一つ以上のメリット関数を生成することをさらに含む、請求項３５記載の方法。
【請求項３７】
前記一つ以上のメリット関数が、前記プラズマの輝度、前記プラズマの選択された輝線の振幅、プラズマ温度、プラズマサイズ、プラズマ形状、前記バルブを通って伝送される照明のビームプロフィルの少なくとも一つを含む、請求項３６記載の方法。
【請求項３８】
ガス体積を収容するためのバルブを備えたプラズマセルを提供することと、
照明を生成することと、
前記照明の焦点を前記ガス体積に合わせることによって、前記ガス体積内にプラズマを生成することと、
前記照明経路内のガス体積または前記プラズマセルの前記バルブ内の前記ガス体積内の少なくともいずれかの内部の対流に伴い発生した収差を補正することと、を含む、対流に基づく収差を修正する方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
対流に基づく収差を修正するための装置を開示する。一態様では、装置は、これらに制限されないが、照明を生成するように構成された照明光源と、ガス体積を収容するためのバルブを備えたプラズマセルと、照明光源からの照明の焦点をガス体積に合わせることによって、ガス体積内にプラズマを生成するように構成された楕円体と、対流により発生した収差を補正するように構成されており、照明光源とプラズマセルとの間の照明経路に沿って位置付けられた一つ以上の適応光学素子と、を備えることができる。機械は、照明経路または収集経路に位置付けられた波面センサと、波面センサに通信的に連結されており、波面センサから受信した一つ以上の測定値に応じて一つ以上の適応光学系を制御するように構成された制御器と、をさらに備えることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
対流に基づく収差を修正する方法を開示する。一態様では、方法は、これらに制限されないが、ガス体積を収容するためのバルブを備えたプラズマセルを提供することと、照明を生成することと、照明の焦点をガス体積に合わせることによって、ガス体積内にプラズマを生成することと、照明経路内のガス体積またはプラズマセルのバルブ内のガス体積の少なくともいずれかの対流に伴い発生した収差を補正することと、を含むことができる。