【事件の表示】
　特許第３４４５５６９号「パイロット式２ポート真空バルブ」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４４５５６９号の請求項１ないし３に係る特許を取り消す。
【理　由】
【１】手続の経緯
　本件特許第３４４５５６９号（以下、「本件特許」という。）の請求項１〜３に係る発明は、平成１２年９月１８日に特許出願され、平成１５年６月２７日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、その特許について、異議申立人森下芙佐枝より特許異議の申立てがなされ、当審より平成１６年８月１２日に取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１６年１０月２５日に特許異議意見書と共に訂正請求書が提出され、当審より平成１６年１２月１７日に再度取消しの理由が通知され、これに対して特許権者からは何らの応答もなかったものである。
　
【２】訂正請求の可否
１．訂正の要旨
　本件特許異議申立てに係る訂正請求における訂正の要旨は、次のａ．〜ｃ．のとおりである。
　ａ．明細書の特許請求の範囲の請求項１において「あるいは上記主弁体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成されたことを特徴とする」とあるを、「あるいは上記主弁体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成され、
　上記操作ポート（２１）には圧力流体を徐々に加圧しながら供給する電空レギュレータが接続され、
　該圧力流体は、まず、副圧力作用室（４８）に導入されて第２のピストン（３７）が第２の弾性部材（４０）の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室（２０）に供給されることにより、第１のピストン（９）が第１の弾性部材（２３，２４，７３）の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動し、上記複数のテーパ面または曲面により上記主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定されている、
ことを特徴とする」と訂正する。
　ｂ．明細書の特許請求の範囲の請求項２において「あるいは上記主弁体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成されたことを特徴とする」とあるを、「あるいは上記主弁体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成され、
　上記第１の操作ポート（２１）および第２の操作ポート（７０）には圧力流体を徐々に加圧しながら供給する電空レギュレータが接続され、
　該圧力流体は、まず、第２の操作ポート（７０）から副圧力作用室（４８）に導入されて第２のピストン（３７）が第２の弾性部材（４０）の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、第１の操作ポート（２１）さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室（２０）に供給されることにより、第１のピストン（９）が第１の弾性部材（２３，２４，７３）の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動し、上記複数のテーパ面または曲面により上記主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定されている、
ことを特徴とする」と訂正する。
　ｃ．明細書の段落【０００５】、【０００６】における上記訂正ａ．ｂ．との対応箇所を、上記訂正ａ．ｂ．の通り訂正する。
　
２．訂正の目的、新規事項の有無及び特許請求の範囲の実質的拡張・変更の存否
（１）訂正事項ａ．及びｂ．について
  上記訂正事項ａ．及びｂ．は、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２において、操作ポート（２１）または操作ポート（２１，７０）に、「圧力流体を徐々に加圧しながら供給する電空レギュレータが接続される」ことを限定し、更に、該電空レギュレータにおいて出力される圧力流体がどのように設定されているかについて限定するものであり、上記訂正事項ａ．については、明細書の段落【００１４】、【００２３】、【００２４】、【００２５】に記載され、上記訂正事項ｂ．については、明細書の段落【００１４】、【００２８】、【００２９】記載されているから、この訂正事項は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
（２）訂正事項ｃ．について
  上記訂正事項ｃ．は、訂正事項ａ．及びｂ．の特許請求範囲の訂正によって生じる特許明細書の発明の詳細な説明と特許請求の範囲との齟齬を解消しようとするもので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものといえ、上記訂正事項ａ．及びｂ．と同じく願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
３．訂正請求の認容について
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
【３】本件特許発明の認定
　上記のとおり、平成１６年１０月２５日付けの訂正請求は認められるので、本件特許の請求項１〜３に係る発明は、平成１６年１０月２５日付けの訂正請求書に添付された全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された事項によって特定される次のとおりのものと認める（以下、請求項１に係る発明を「本件発明」という。）。
  「【請求項１】　真空チャンバに接続されるチャンバポート（３）と真空ポンプに接続されるポンプポート（４）とを結ぶ主流路（Ｂ）中に位置する主弁座（７）および上記主流路を開閉する主弁体（６，８，３４，７４）を有する主弁と、
　上記チャンバポートおよび上記ポンプポートを結び上記主流路より開口面積の小さい副流路（Ａ）中に位置する副弁座（３５）および上記副流路を開閉する副弁体（３６，４１）を有する副弁と、
　上記主弁体に第１のシャフト（１０）を介して連結された第１のピストン（９）および圧力流体が供給される主圧力作用室（２０）を有し、流体圧による上記第１のピストンの往復動によって上記主弁体を開閉させる主弁駆動部（９，１０，２０）と、
　上記第１のシャフトを上記主弁体が閉じる方向に付勢する第１の弾性部材（２３，２４，７３）と、
　上記副弁体に第２のシャフト（３８）を介して連結された第２のピストン（３７）および上記圧力流体が供給される副圧力作用室（４８）を有し、流体圧による上記第２のピストンの往復動によって上記副弁体を開閉させる副弁駆動部（３７，３８，４８）と、
　上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第２の弾性部材（４０）と、
　上記主圧力作用室と上記副圧力作用室とを連通する導通孔（４９）と、
　上記主圧力作用室および上記副圧力作用室に上記圧力流体を導入する操作ポート（２１）と、
　を具備し、
　上記主弁体の外周部に上記主弁体が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，７４ａ，７４ｂ）が連続して形成され、あるいは上記主弁体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成され、
　上記操作ポート（２１）には圧力流体を徐々に加圧しながら供給する電空レギュレータが接続され、
　該圧力流体は、まず、副圧力作用室（４８）に導入されて第２のピストン（３７）が第２の弾性部材（４０）の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室（２０）に供給されることにより、第１のピストン（９）が第１の弾性部材（２３，２４，７３）の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動し、上記複数のテーパ面または曲面により上記主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定されている、
ことを特徴とするパイロット式２ポート真空バルブ。
　　【請求項２】　真空チャンバに接続されるチャンバポート（３）と真空ポンプに接続されるポンプポート（４）とを結ぶ主流路（Ｂ）中に位置する主弁座（７）および上記主流路を開閉する主弁体（６，８，３４，７４）を有する主弁と、
　上記チャンバポートおよび上記ポンプポートを結び上記主流路より開口面積の小さい副流路（Ａ）中に位置する副弁座（３５）および上記副流路を開閉する副弁体（３６，４１）を有する副弁と、
　上記主弁体に第１のシャフト（１０）を介して連結された第１のピストン（９）および圧力流体が供給される主圧力作用室（２０）を有し、流体圧による上記第１のピストンの往復動によって上記主弁体を開閉させる主弁駆動部（９，１０，２０）と、
　上記第１のシャフトを上記主弁体が閉じる方向に付勢する第１の弾性部材（２３，２４，７３）と、
　上記副弁体に第２のシャフト（３８）を介して連結された第２のピストン（３７）および上記圧力流体が供給される副圧力作用室（４８）を有し、流体圧による上記第２のピストンの往復動によって上記副弁体を開閉させる副弁駆動部（３７，３８，４８）と、
　上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第２の弾性部材（４０）と、
　上記主圧力作用室に上記圧力流体を導入する第１の操作ポート（２１）と、
　上記副圧力作用室に上記圧力流体を導入する第２の操作ポート（７０）と、
　上記第２のピストンと螺回により進退自在の調節棒（６０）との間に設けられ、上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第３の弾性部材（５４）と、
　上記調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒を移動させて、上記第３の弾性部材を変位させ、その弾発力を調節する操作部材（５６）と、
　を具備し、
　上記主弁体の外周部に上記主弁体が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，７４ａ，７４ｂ）が連続して形成され、あるいは上記主弁体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成され、
　上記第１の操作ポート（２１）および第２の操作ポート（７０）には圧力流体を徐々に加圧しながら供給する電空レギュレータが接続され、
　該圧力流体は、まず、第２の操作ポート（７０）から副圧力作用室（４８）に導入されて第２のピストン（３７）が第２の弾性部材（４０）の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、第１の操作ポート（２１）さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室（２０）に供給されることにより、第１のピストン（９）が第１の弾性部材（２３，２４，７３）の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動し、上記複数のテーパ面または曲面により上記主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定されている、
ことを特徴とするパイロット式２ポート真空バルブ。
　　【請求項３】　上記第２のピストンと螺回により進退自在の調節棒（６０）との間に設けられ、上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第３の弾性部材（５４）と、
　上記調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒を移動させて、上記第３の弾性部材を変位させ、その弾発力を調節する操作部材（５６）と、
　を具備したことを特徴とする請求項１に記載のパイロット式２ポート真空バルブ。」
　
【４】特許法第２９条第２項違反について
１．引用例の発明
　当審における平成１６年１２月１７日付けで通知した取消の理由に引用した、本件特許の出願前である平成９年５月２７日に日本国内において頒布された特開平９−１３７８７９号公報（以下、「刊行物１」という。）には、「真空圧制御用スロー排気バルブ」に関して、第１〜４図とともに次のような記載がある。
　Ａ）「【０００７】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係るスロー排気バルブの一実施例を示すもので、この実施例のバルブは、第１ボディ部材２及び第２ボディ部材３からなるバルブボディ１を有しており、・・・上記第１ボディ部材２には、真空チャンバに接続するためのチャンバポート５と、真空ポンプに接続するためのポンプポート６とが設けられ、バルブボディ１の内部には、上記両ポート５，６を結ぶ流路を全開閉する主弁機構７と、両ポート５，６を結ぶ流路を制限的に開閉する副弁機構８とが設けられている。
【０００８】上記主弁機構７は、両ポート５，６を結ぶ流路中の主弁座１０を開閉する主弁体１１と、流体圧の作用により作動して該主弁体１１を駆動する主弁体駆動部材１２と、上記主弁体１１及び主弁体駆動部材１２を相互に連結する主軸１３とを有している。・・・
【０００９】上記主軸１３の上端部は、第２ボディ部材３の隔壁部３ａを気密に且つ摺動自在に貫通して該第２ボディ部材３の内部の主駆動室１６内に突出し、該主駆動室１６内に配設された上記主弁体駆動部材１２に気密に連結されている。・・・
【００１０】上記主弁体駆動部材１２は、主駆動室１６内を摺動自在のピストンにより構成され、その外周には該主駆動室１６の内壁に気密に摺接するシール部材１９を有しており、該主弁体駆動部材１２と上記隔壁部３ａとの間に区画形成された主圧力作用室２０に、第２ボディ部材３の側面に開口する主操作ポート２１から圧縮空気等の圧力流体が供給されると、図３に示すように該主弁体駆動部材１２が上動し、上記主弁体１１が主弁座１０を開放するようになっている。
【００１１】また、上記第１ボディ部材２の内部には、主弁体１１と隔壁部３ａとの間に、該主弁体１１を閉鎖方向に付勢する復帰ばね２３が縮設されると共に、両ボディ部材２，３の間に挟着されたプレート２４と主弁体１１との間に、主軸１３及び復帰ばね２３を内包するベローズ２５が設けられている。」
　Ｂ）「【００１２】一方、上記副弁機構８は、主弁座１０より開口面積の小さい副弁座３０と、該副弁座３０を開閉する副弁体３１と、流体圧の作用により作動して該副弁体３１を駆動する副弁体駆動部材３２と、上記副弁体３１と副弁体駆動部材３２とを連結する副軸３３とを有し、これらが上記主弁機構７内に完全に内蔵された形で組み込まれている。
【００１３】即ち、上記主弁体１１には、中央部に通気穴を備えた副弁座体３０ａが着脱自在に取り付けられ、該副弁座体３０ａの通気穴の回りにシール部材からなる上記副弁座３０が形成されると共に、該副弁座３０をチャンバポート５に連通させるための流路３５が形成され、また、主軸１３の下端部には弁室３６が形成されていて、該弁室３６内に、ニードル弁として構成された上記副弁体３１がシール部材３７を介して気密に摺動自在なるように配設されると共に、該副弁体３１を閉弁方向に付勢する復帰ばね３８が縮設されている。図中３９は、上記復帰ばね３８が配設された副弁体３１の背室を外部に連通させるための呼吸孔である。
【００１４】また、上記副軸３３の上端部は、主軸１３の内部を気密且つ摺動自在に貫通して主弁体駆動部材１２の内部の副駆動室４１内に突出し、該副駆動室４１内に配設された上記副弁体駆動部材３２に気密に連結されている。・・・
【００１５】上記副弁体駆動部材３２は、副駆動室４１の内部を摺動自在のピストンにより構成され、その外周には該副駆動室４１の内壁に気密に摺接するシール部材４４を有しており、該副弁体駆動部材３２と主弁体駆動部材１２との間には副圧力作用室４６が区画形成され、該副圧力作用室４６と第２ボディ部材３の側面に開口する副操作ポート４７とが、通孔４８によって相互に連通している。・・・
【００１６】そして上記副弁機構８は、上記通孔４８を通じて副圧力作用室４６に圧縮空気等の圧力流体が供給されると、図２に示すように、上記副弁体駆動部材３２が副圧力作用室４６の上端部に固定された調整ねじ５４に当接する位置まで上動し、それによって上記副弁体３１が副弁座３０を開放するようになっている。」
　Ｃ）「【００２０】上記バルブにはまた、副弁機構８の開度を外部から調節可能な開度調節機構５２が設けられている。この開度調節機構５２は、副弁体駆動部材３２の開放ストローク端を規定する調整ねじ５４と、該調整ねじ５４の位置を調整する操作部材５５とからなるもので、上記調整ねじ５４は、上記ストッパ５０に螺回により進退（上下動）自在なるようにねじ付けられ、一方、操作部材５５は、バルブボディ１のボンネット４に上下動自在且つ回動自在に取り付けられた筒部５７と、該筒部５７の上端部に一体的に結合され、ボンネット４の外部において回転操作可能な摘み部５８と、該操作部材５５を摘み部５８がボンネット４の外部に突出する方向に弾力的に付勢するばね部材５９とからなっており、上記筒部５７内に調整ねじ５４が、回転方向には相互に係止関係にあるが軸方向には相対的に移動自在であるように挿入されている。」
　Ｄ）「【００２５】いま、副操作ポート４７から流路４８を通じて副圧力作用室４６内に圧力流体が供給されると、図２に示すように、副弁体駆動部材３２が調整ねじ５４に当接する位置まで上動し、副軸３３及び副弁体３１を復帰ばね３８の付勢力に抗して引き上げるため、副弁座３０が開放する。従って、チャンバポート５からの気体は制限的に開口する上記副弁座３０を通ってポンプポート６へと徐々に流れ、チャンバは緩速で排気される。このため、上記チャンバ内で急速排気を行う場合のような気体の乱流が発生せず、乱流に伴う塵埃の巻き上げも生じない。また、真空ポンプが一時的に大量の空気を吸引することにより過負荷になることもない。
【００２６】チャンバ内の圧力が十分に低下し、塵埃を巻き上げるほどの空気の乱流が生じない程度の圧力に達すると、図３に示すように、主操作ポート２１から主圧力作用室２０内に圧力流体が供給され、主弁体駆動部材１２がボンネット４に当接する位置まで上動することにより、主軸１３及び主弁体１１を引き上げる。」
　
　上記Ａ）、Ｂ）の記載からみて、上記刊行物１の真空圧制御用スロー排気バルブは、真空チャンバに接続されるチャンバポート５と真空ポンプに接続されるポンプポート６とを結ぶ流路中に設けられた主弁機構７と、主弁機構７内に組み込まれた副弁機構８とを具備するパイロット式２ポート真空バルブであって、主弁機構７は、該流路中に位置する主弁座１０と、該流路を開閉する主弁体１１と、主弁体１１に主軸１３を介して連結された主弁体駆動部材１２と、主操作ポート２１から主圧力作用室２０に供給される圧力流体によって該主弁体駆動部材１２を往復動させて主弁体１１を開閉させる主弁駆動部と、主軸１３を上記主弁体１１が閉じる方向に付勢する復帰ばね２３とを有し、副弁機構８は、主弁体１１を貫通して形成されたチャンバポート５とポンプポート６を結ぶ通気穴の流路（該通気穴の流路が前記流路より開口面積が小さいことは当然である。）中に位置する副弁座３０と、該通気穴の流路を開閉する副弁体３１と、副弁体３１に副軸３３を介して連結された副弁体駆動部材３２と、副操作ポート４７から副圧力作用室４６に供給される圧力流体によって該副弁体駆動部材３２を往復動させ、副弁体３１を開閉させる副弁駆動部と、副軸３３を上記副弁体３１が閉じる方向に付勢する復帰ばね３８とを有しているものと認められ、さらに上記Ｃ）の記載からみて、上記刊行物１の真空圧制御用スロー排気バルブは、螺回により進退自在な調整ねじ５４と、副弁体駆動部材３２と調整ねじ５４との間に設けられたストッパ５０と、調整ねじ５４に外部から回動操作可能に取り付けられた操作部材５５とからなる開度調節機構５２を具備し、これにより副弁機構８の開度を外部から調節可能としているものと認める。
　また、上記Ｄ）の記載からみて、主操作ポート２１および副操作ポート４７には圧力流体を供給する手段が接続され、圧力流体は、まず、副操作ポート４７から副圧力作用室４６に導入されて副弁体駆動部材３２が復帰ばね３８の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、主操作ポート２１から、さらに圧力流体が主圧力作用室２０に供給されることにより、主弁体駆動部材１２が復帰ばね２３の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動しているものと認める。
　したがって、上記刊行物１には、
　「真空チャンバに接続されるチャンバポート５と真空ポンプに接続されるポンプポート６とを結ぶ流路中に位置する主弁座１０および上記流路を開閉する主弁体１１を有する主弁機構７と、
　上記チャンバポート５および上記ポンプポート６を結び上記流路より開口面積の小さい通気穴の流路中に位置する副弁座３０および上記通気穴の流路を開閉する副弁体３１を有する副弁機構８と、
　上記主弁体１１に主軸１３を介して連結された主弁体駆動部材１２および圧力流体が供給される主圧力作用室２０を有し、流体圧による上記主弁体駆動部材１２の往復動によって上記主弁体１１を開閉させる主弁駆動部と、
　上記主軸１３を上記主弁体１１が閉じる方向に付勢する復帰ばね２３と、
　上記副弁体３１に副軸３３を介して連結された副弁体駆動部材３２および上記圧力流体が供給される副圧力作用室４６を有し、流体圧による上記副弁体駆動部材３２の往復動によって上記副弁体３１を開閉させる副弁駆動部と、
　上記副軸３３を上記副弁体３１が閉じる方向に付勢する復帰ばね３８と、
　上記主圧力作用室２０に上記圧力流体を導入する主操作ポート２１と、
　上記副圧力作用室４６に上記圧力流体を導入する副操作ポート４７と、
　上記副弁体駆動部材３２と螺回により進退自在の調整ねじ５４との間に設けられたストッパ５０と、
　上記調整ねじ５４に外部から回動操作可能に取り付けられた操作部材５５と、
　を具備し、
　上記主操作ポート２１および副操作ポート４７には圧力流体を供給する手段が接続され、
　該圧力流体は、まず、副操作ポート４７から副圧力作用室４６に導入されて副弁体駆動部材３２が復帰ばね３８の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、主操作ポート２１から、さらに圧力流体が主圧力作用室２０に供給されることにより、主弁体駆動部材１２が復帰ばね２３の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動し、主弁の開放量を拡大するものとして設定されている、
　パイロット式２ポート真空バルブ。」の発明（以下「刊行物１の発明」という。）が記載されているものと認める。
　
　同じく引用した、本件特許の出願前である平成１２年６月１６日に日本国内において頒布された特開２０００−１６３１３７号公報（以下、「刊行物２」という。）には、「真空圧力制御システム」に関して、第１〜１４図とともに次のような記載がある。
　Ｅ）「【００１３】・・・請求項１に係る発明は、真空容器と真空ポンプとを接続する配管上にあって開度を変化させることにより前記真空容器内の真空圧力を変化させる真空比例開閉弁と、前記真空容器内の真空圧力を計測する真空圧力センサーとを有し、前記真空圧力センサーの出力に基づいて前記真空比例開閉弁の開度を制御する真空圧力制御システムであって、前記真空容器内の真空圧力を変化させる真空比例開閉弁を遮断状態から微小な開度に制御して、前記真空容器内から排出するガス流量を少なくし、前記真空容器内のガス流れの速度を小さく抑えることにより、前記真空容器内でパーティクルが巻き上ることを防止することを特徴とする。」
　Ｆ）「【００３１】空気圧制御部３０は、位置制御回路３１、パルスドライブ回路３２、時間開閉動作弁３３、第１電磁弁３４、第２電磁弁３５からなる。・・・パルスドライブ回路３２は、位置制御回路３１からの制御信号に基づいて、時間開閉動作弁３３へパルス信号を送信するものである。
【００３２】時間開閉動作弁３３は、図示しない給気側比例弁及び排気側比例弁を内蔵するものであって、パルスドライブ回路３２からのパルス信号に応じて、給気側比例弁及び排気側比例弁を時間開閉動作させるものであり、第１電磁弁３４を介して、真空比例開閉弁１６の空気圧シリンダ４１・・・内の空気圧力を調整するものである。」
　Ｇ）「【００３３】操作部４０である真空比例開閉弁１６は、・・・その中央には、ピストンロッド４３が設けられている。そして、ピストンロッド４３に対し、真空比例開閉弁１６の上部である空気圧シリンダ４１内において、ピストン４４が固設され、真空比例開閉弁１６の下部であるベローズ式ポペット弁４２内において、ポペット弁体４５が固設されている。従って、空気圧シリンダ４１によりポペット弁体４５を移動させることができる。
【００３４】この真空比例開閉弁１６では、空気圧シリンダ４１内に供給ポート１８Ａを介して圧縮空気が供給されず、空気圧シリンダ４１内が排気ポート１８Ｂを介して排気ラインと連通するときは、空気圧シリンダ４１内の復帰バネ４６による下向きの付勢力がピストン４４に作用するので、図３に示すように、ポペット弁体４５は弁座４７に密着し、真空比例開閉弁１６は遮断した状態となる。
【００３５】一方、空気圧シリンダ４１内に給気ポート１８Ａを介して圧縮空気が供給されるときは、空気圧シリンダ４１内の復帰バネ４６による下向きの付勢力と、空気圧シリンダ４１内の圧縮空気による上向きの圧力とがピストン４４に同時に作用するので、そのバランスに応じて、図４に示すように、ポペット弁体４５は弁座４７から離間し、真空比例開閉弁１６は開いた状態となる。
【００３６】よって、ポペット弁体４５が弁座４７から離間する距離は、弁のリフト量として、空気圧シリンダ４１に対する圧縮空気の供給と排気で操作することができる。」
　Ｈ）「【００３９】また、動作モードとして、真空圧力コントロールモード（ＰＲＥＳＳ）を、コントローラ２０で選択すると、シーケンス制御回路２３は、第１電磁弁３４を動作させることによって、時間開閉動作弁３３と空気圧シリンダ４１とを連通させる。これにより、真空比例開閉弁１６の空気圧シリンダ４１内の空気圧力が調整され、弁のリフト量が、空気圧シリンダ４１で操作できる状態となる。
【００４０】また、このとき、真空圧力制御回路２２は、現場入力又は遠隔入力で指示された目標真空圧力値を目標値とするフィードバック制御を開始する。」
　Ｉ）「【００４４】さらに、第１実施の形態の真空圧力制御システムでは、動作モードとして、真空圧力変化速度コントロールモード（ＳＶＡＣ）を、コントローラ２０で選択すると、反応室１０内の真空圧力を目標真空圧力に到達させる際に、反応室１０内の真空圧力変化速度までも制御することができる。」
　Ｊ）「【００５６】また、真空圧力変化速度コントロールモード（ＳＶＡＣ）では、目標真空圧力変化速度を任意に変化させることもできる。例えば、図７に示すように、反応室１０内の真空圧力を大気圧Ｖ０から所望の真空圧力の値Ｖ６に到達させ、さらに維持させる際において、反応室１０内の目標真空圧力変化速度を、反応室１０内の真空圧力に基づいて、複数の目標真空圧力変化速度の値Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５で制御することができる。
【００５７】そのためには、図１のＳ２４で、目標真空圧力変化速度を取得する際において、反応室１０内の真空圧力が値Ｖ０のときは目標真空圧力変化速度が値Ｒ１に、反応室１０内の真空圧力が値Ｖ２のときは目標真空圧力変化速度が値Ｒ２に、反応室１０内の真空圧力が値Ｖ３のときは目標真空圧力変化速度が値Ｒ３に、反応室１０内の真空圧力が値Ｖ４のときは目標真空圧力変化速度が値Ｒ４に、反応室１０内の真空圧力が値Ｖ５のときは目標真空圧力変化速度が値Ｒ５に変化するようにする。
【００５８】上述したように、目標真空圧力変化速度は、０〜５（Ｖ）の範囲の電圧で内部コマンド発生回路１１１（図１２参照）に出力されるので、その出力電圧を変化させることによって、目標真空圧力変化速度を変化させることができる。」
　
　上記Ｅ）〜Ｊ）の記載からみて、上記刊行物２の真空圧力制御システムに用いられるバルブは、反応室１０に接続されるポートと真空ポンプに接続されるポートとを結ぶ流路中に位置する弁座４７および上記流路を開閉するポペット弁体４５を有するパイロット式２ポート真空バルブ弁であって、上記ポペット弁体４５にピストンロッド４３を介して連結されたピストン４４と、空気圧制御部３０から圧力流体が供給されるピストン４４下面の圧力作用室と、流体圧によるピストン４４の往復動によって上記ポペット弁体４５を開閉させる空気圧シリンダ４１と、上記ピストンロッド４３を上記ポペット弁体４５が閉じる方向に付勢する復帰バネ４６と、上記圧力作用室に上記圧力流体を導入する操作ポートと、を具備しているものと認められる（上記刊行物２には圧力作用室と操作ポートに関する明瞭な記載はないが、ピストン４４の下面が圧力作用室として機能していることと該圧力作用室に圧力流体を導入する操作ポートが形成されることは、それぞれ自明である。）。
　また上記Ｆ）、Ｇ）の記載からみて、空気圧制御部３０は、位置制御回路３１からの電気的な制御信号に基づいて時間開閉動作弁３３へパルス信号を送信し、これにより空気圧シリンダ４１内の空気圧力を調整しているから、該空気圧制御部３０は、電気的な制御信号に基づいて任意の圧力の圧力流体を操作ポートに供給することのできる電空レギュレータとして機能しているものと認められ、さらにＨ）〜Ｊ）の記載からみて、該電空レギュレータ（空気圧制御部３０）は、圧力流体を図７のように徐々に加圧しながら操作ポートに供給することにより、ポペット弁体４５の開放量を段階的に拡大可能にしているものと認める。
　したがって刊行物２には、
「反応室に接続されるポートと真空ポンプに接続されるポートとを結ぶ流路中に位置する弁座および上記流路を開閉するポペット弁体を有する弁と、上記ポペット弁体にピストンロッドを介して連結されたピストンおよび圧力流体が供給される圧力作用室を有し、流体圧によるピストンの往復動によって上記ポペット弁体を開閉させる空気圧シリンダと、上記ピストンロッドを上記ポペット弁体が閉じる方向に付勢する復帰バネと上記圧力作用室に上記圧力流体を導入する操作ポートと、を具備するパイロット式２ポート真空バルブにおいて、
　ポペット弁を開閉する空気圧シリンダ４１に圧力流体を導入するのに、圧力流体を電空レギュレータによって徐々に加圧しながら操作ポートに供給し、ポペット弁体の開放量を段階的に拡大するパイロット式２ポート真空バルブ。」の発明が記載されているものと認める。
　
２．本件発明と刊行物１の発明との対比
　　本件発明と刊行物１の発明とを対比すれば、刊行物１の発明の「チャンバポート５」、「ポンプポート６」、チャンバポート５とポンプポート６とを結ぶ「流路」、「主弁座１０」、「主弁体１１」、「主弁機構７」、「通気穴の流路」、「副弁座３０」、「副弁体３１」、「副弁機構８」、「主軸１３」、「主弁体駆動部材１２」、「主圧力作用室２０」、「復帰ばね２３」、「副軸３３」、「副弁体駆動部材３２」、「副圧力作用室４６」、「復帰ばね３８」は、それぞれ本件発明の「チャンバポート（３）」、「ポンプポート（４）」、「主流路（Ｂ）」、「主弁座（７）」、「主弁体（６，８，３４，７４）」、「主弁」、「副流路（Ａ）」、「副弁座（３５）」、「副弁体（３６，４１）」、「副弁」、「第１のシャフト（１０）」、「第１のピストン（９）」、「主圧力作用室（２０）」、「第１の弾性部材（２３，２４，７３）」、「第２のシャフト（３８）」、「第２のピストン（３７）」、「副圧力作用室（４８）」、「第２の弾性部材（４０）」に相当し、さらに刊行物１の発明は、圧力流体を主操作ポート２１と副操作ポート４７から主圧力作用室と副圧力作用室に個別に導入するか否かは別として、主圧力作用室および副圧力作用室に圧力流体を導入する操作ポートを具備しているという点においては、本件発明と異ならない。
　したがって、本件発明は刊行物１の発明と、
　「真空チャンバに接続されるチャンバポートと真空ポンプに接続されるポンプポートとを結ぶ主流路中に位置する主弁座および上記主流路を開閉する主弁体を有する主弁と、
　上記チャンバポートおよび上記ポンプポートを結び上記主流路より開口面積の小さい副流路中に位置する副弁座および上記副流路を開閉する副弁体を有する副弁と、
　上記主弁体に第１のシャフトを介して連結された第１のピストンおよび圧力流体が供給される主圧力作用室を有し、流体圧による上記第１のピストンの往復動によって上記主弁体を開閉させる主弁駆動部と、
　上記第１のシャフトを上記主弁体が閉じる方向に付勢する第１の弾性部材と、
　上記副弁体に第２のシャフトを介して連結された第２のピストンおよび上記圧力流体が供給される副圧力作用室を有し、流体圧による上記第２のピストンの往復動によって上記副弁体を開閉させる副弁駆動部と、
　上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に付勢する第２の弾性部材と、
　上記主圧力作用室および上記副圧力作用室に上記圧力流体を導入する操作ポートを具備し、
　上記操作ポートには圧力流体を供給する手段が接続され、
　該圧力流体は、まず、副圧力作用室に導入されて第２のピストンが第２の弾性部材の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、主圧力作用室から、さらに圧力流体が主圧力作用室に供給されることにより、第１のピストンが第１の弾性部材の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動し、主弁の開放量を拡大するものとして設定されている、パイロット式２ポート真空バルブ。」
　で一致し、以下の相違点で相違しているものと認める。
＜相違点＞
　１）本件発明では、主圧力作用室と副圧力作用室が導通孔で連通しており、圧力流体を導入する操作ポートは一つであるとともに、第２の弾性部材の付勢力が第１の弾性部材の付勢力より小さく、操作ポートには圧力流体を徐々に加圧しながら供給する電空レギュレータが接続され、圧力流体は、まず、副圧力作用室に導入されて第２のピストンが第２の弾性部材の付勢力に抗して副弁体を開放し、次いで、さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室に供給されることにより、第１のピストンが第１の弾性部材の付勢力に抗して主弁体を開放側に駆動しているのに対し、上記刊行物１の発明では、主圧力作用室と副圧力作用室は連通しておらず、圧力流体をそれぞれ個別の操作ポート２１，４７から導入するようになっているとともに、復帰ばね３８の付勢力が復帰ばね２３の付勢力より小さいか否かについては明らかでなく、また、該圧力流体は、まず、副操作ポート４７から副圧力作用室４６に導入されて副弁体駆動部材３２が復帰ばね３８の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、主操作ポート２１から、さらに圧力流体が主圧力作用室２０に供給されることにより、主弁体駆動部材１２が復帰ばね２３の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動してはいるものの、それが徐々に加圧されるものなのか否か明らかでない点。
　２）本件発明では、主弁体の外周部に主弁体が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面を連続して形成するか、主弁体の外周部を曲面状に形成して、該複数のテーパ面または曲面により主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定し、これにより排気量が急激に変化しないようにしているのに対し、上記刊行物１の発明では、主弁体の外周部がこのような形状には形成されていない点。
　
３．相違点の検討
（１）相違点１）に関して
　２つのピストンを順次動作させるとき、各ピストンを付勢するバネの付勢力を順次大きくなるようにした上で、加圧室を連通させて加圧流体を１つの操作ポートから導入することは周知技術（例えば、特開昭４８−７４４８号公報、実願昭４９−５２４２３号（実開昭５０−１３９８８９号）のマイクロフィルムを参照。）であって、このようなピストン装置において、ピストンの動作順序が、各ピストンを付勢するバネのセット荷重を受圧面積で除したものによって決まってくることは、例えば実願昭５８−１７５２１８号（実開昭６０−８２５２９号）のマイクロフィルムにみられるように当業者が熟知するところであるところ、刊行物２には、刊行物１と同じようなパイロット式２ポート真空バルブにおいて、ポペット弁を開閉する空気圧シリンダに圧力流体を導入するのに、圧力流体を電空レギュレータによって徐々に加圧しながら操作ポートに供給し、ポペット弁体の開放量を段階的に拡大する発明が記載されており、この発明を刊行物１の発明に適用することには格別な困難性が認められない。
　してみれば、上記刊行物１の発明で、主圧力作用室と副圧力作用室を導通孔で連通して、圧力流体を１個の操作ポートから導入するとともに、第２の弾性部材の付勢力を第１の弾性部材の付勢力より小さくし、圧力流体を電空レギュレータによって徐々に加圧しながら供給することにより、圧力流体を、まず、副圧力作用室に導入して第２のピストンが第２の弾性部材の付勢力に抗して副弁体を開放し、次いで、さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室に供給されることにより、第１のピストンが第１の弾性部材の付勢力に抗して主弁体を開放側に駆動するようにすることは、刊行物１の発明に刊行物２の発明と上記周知技術を適用することにより当業者が容易に行うことができたものである。
　なお、この点につき、特許権者は平成１６年１０月２５日付けの意見書の第７頁３〜１０行で、「本件発明１は・・・主弁及び副弁に一定の順序で動作を行わせるにも拘わらず、単一の操作ポートから圧力流体を供給できるようにしたものであり、・・・本件発明１の構成は、周知技術１や周知技術２のように、単純に２つのピストンを動作させるときに各加圧室を相互に連通させて、加圧流体を１つの操作ポートから、導入するものとは明らかに相違している。」と主張しているが、上で挙げた各周知例は、本件発明１と同様に、２つのピストンに一定の順序で動作を行わせるにも拘わらず、単一の操作ポートから圧力流体を供給できるようにしているのであるから、特許権者の主張には理由がない。
（２）相違点２）に関して
　弁の開閉に伴う流量の急激な変化を避けるため、弁の外周部に弁体が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面を連続して形成するか、弁体の外周部を曲面状に形成して、該複数のテーパ面または曲面により主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定し、これにより弁の開閉に伴う流量の急激な変化を避けることは周知技術（例えば、実願平４−３２８９５号（実開平５−９００５７号）のＣＤ−ＲＯＭ、特開平４−３３３７１３号公報、審査における拒絶の理由に引用した特開平４−１８１０７７号公報参照。）である。してみれば、上記刊行物１の発明で、主弁体が開くとき排気量が急激に変化しないようにするために、主弁体の外周部に主弁体が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面を連続して形成するか、主弁体の外周部を曲面状に形成して、該複数のテーパ面または曲面により主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定することは、刊行物１の発明に上記周知技術を適用することにより当業者が容易に行うことができたものである。
　なお、この点につき、特許権者は平成１６年１０月２５日付けの意見書の第７頁１７〜２１行で、「それらの周知技術は、本件発明１とは用途が全く異なる技術分野において使用されるもの」であるから、パイロット式２ポート真空バルブの主弁体に容易に適用できるものではない、と主張しているが、上で挙げた各周知例は、弁の開閉に伴う流量の急激な変化を避けるために、弁の外周部に弁体が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面を連続して形成するか、弁体の外周部を曲面状に形成することが、弁の技術分野において広く周知技術であることを示すものであるから、本件発明において、主弁の立上げ時の流量の急激な変化にともなう乱流の発生が予想される以上、これを防止するために上記周知技術を適用することは当業者が容易に行い得たものと言いうるのである。
　
４．請求項２の発明と刊行物１の発明との対比
　請求項２の発明と刊行物１の発明とを対比すれば、刊行物１の発明の「主操作ポート２１」、「副操作ポート４７」は、それぞれ請求項２の発明の、「第１の操作ポート（２１）」、「第２の操作ポート（７０）」に相当しているから、両者は、「２．」で摘記した一致点に加えてこれらの点においても一致している。
　したがって、請求項２の発明は刊行物１の発明と
　「真空チャンバに接続されるチャンバポートと真空ポンプに接続されるポンプポートとを結ぶ主流路中に位置する主弁座および上記主流路を開閉する主弁体を有する主弁と、
　上記チャンバポートおよび上記ポンプポートを結び上記主流路より開口面積の小さい副流路中に位置する副弁座および上記副流路を開閉する副弁体を有する副弁と、
　上記主弁体に第１のシャフトを介して連結された第１のピストンおよび圧力流体が供給される主圧力作用室を有し、流体圧による上記第１のピストンの往復動によって上記主弁体を開閉させる主弁駆動部と、
　上記第１のシャフトを上記主弁体が閉じる方向に付勢する第１の弾性部材と、
　上記副弁体に第２のシャフトを介して連結された第２のピストンおよび上記圧力流体が供給される副圧力作用室を有し、流体圧による上記第２のピストンの往復動によって上記副弁体を開閉させる副弁駆動部と、
　上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に付勢する第２の弾性部材と、
　上記主圧力作用室に上記圧力流体を導入する第１の操作ポートと、
　上記副圧力作用室に上記圧力流体を導入する第２の操作ポートと、
を具備し、
　上記第１の操作ポートおよび第２の操作ポートには圧力流体を供給する手段が接続され、
　該圧力流体は、まず、第２の操作ポートから副圧力作用室に導入されて第２のピストンが第２の弾性部材の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、第１の操作ポートから、さらに圧力流体が主圧力作用室に供給されることにより、第１のピストンが第１の弾性部材の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動し、主弁の開放量を拡大するものとして設定されている、パイロット式２ポート真空バルブ。」
　で一致し、以下の相違点で相違しているものと認める。
＜相違点＞
　１）請求項２の発明では、第２の弾性部材の付勢力が第１の弾性部材の付勢力より小さいのに対し、上記刊行物１の発明では、復帰ばね３８の付勢力が復帰ばね２３の付勢力より小さいか否かについては明らかでない点。
　２）請求項２の発明では、主弁体の外周部に主弁体が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面を連続して形成するか、主弁体の外周部を曲面状に形成して、該複数のテーパ面または曲面により主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定し、これにより排気量が急激に変化しないようにしているのに対し、上記刊行物１の発明では、主弁体の外周部がこのようには形成されていない点。
　３）請求項２の発明では、第２のピストンと螺回により進退自在の調節棒との間に、第２のシャフトを副弁体が閉じる方向に第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第３の弾性部材を設け、該第３の弾性部材の弾発力を、調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられた操作部材（５６）で調節できるようにしているのに対し、上記刊行物１の発明では、副弁体駆動部材３２と螺回により進退自在の調整ねじ５４との間に設けられたストッパ５０と、調整ねじ５４に外部から回動操作可能に取り付けられた操作部材５５とを設けて、副弁機構８の開度を外部から調節可能としてはいるものの、弾発力を調節できる第３の弾性部材を設けたものではない点。
　４）請求項２の発明では、第１の操作ポートおよび第２の操作ポートには圧力流体を徐々に加圧しながら供給する電空レギュレータが接続され、該圧力流体は、まず、第２の操作ポートから副圧力作用室に導入されて第２のピストンが第２の弾性部材の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、第１の操作ポートから、さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室に供給されることにより、第１のピストンが第１の弾性部材の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動しているのに対し、上記刊行物１の発明では、圧力流体が、まず、副操作ポート４７から副圧力作用室４６に導入されて副弁体駆動部材３２が復帰ばね３８の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、主操作ポート２１から、さらに圧力流体が主圧力作用室２０に供給されることにより、主弁体駆動部材１２が復帰ばね２３の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動してはいるものの、それが徐々に加圧されるものなのか否か明らかでない点。
　
５．相違点の検討
（１）相違点１）に関して
　刊行物１の発明で、小さい弁を付勢する復帰ばね３８の付勢力を大きいバネを付勢する復帰ばね２３の付勢力より小さくすることは、当業者が適宜なし得る設計事項である。
（２）相違点２）に関して
　刊行物１の発明で、主弁体が開くとき排気量が急激に変化しないようにするために、主弁体の外周部に主弁体が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面を連続して形成するか、主弁体の外周部を曲面状に形成して、該複数のテーパ面または曲面により主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定することは、「３．（２）」で前述したように当業者が容易に行うことができたものである。
（３）相違点３）に関して
　弁を開閉させるピストンと、このピストンを付勢する弾性部材を有する弁装置において、弁の行程を変化させるために弾発力の調節できる弾性部材を、上記弾性部材の他に設けることは周知技術（例えば、実願平５−３０９号（実開平６−５４９７５号）のＣＤ−ＲＯＭ（甲第４号証）、実願平７−８７３８号（実開平８−６２０号）のＣＤ−ＲＯＭ参照。）である。してみれば、上記刊行物１の発明で、副弁体駆動部材３２（第２のピストン）と螺回により進退自在の調整ねじ５４（調節棒）との間に、副軸３３（第２のシャフト）を副弁体が閉じる方向に復帰ばね２３（第１の弾性部材）より小さな付勢力で付勢する第３の弾性部材（第３の弾性部材の付勢力を復帰ばね２３の付勢力より小さくすることは、当業者が適宜なし得る設計事項である。）を設け、該第３の弾性部材の弾発力を、調整ねじ５４（調節棒）に外部から回動操作可能に取り付けられた操作部材で調節できるようにすることは、刊行物１の発明に上記周知技術を適用することにより当業者が容易に行うことができたものである。
（４）相違点４）に関して
　刊行物２には、刊行物１と同じようなパイロット式２ポート真空バルブにおいて、ポペット弁を開閉する空気圧シリンダに圧力流体を導入するのに、圧力流体を電空レギュレータによって徐々に加圧しながら操作ポートに供給し、ポペット弁体の開放量を段階的に拡大する発明が記載されており、この発明を刊行物１の発明に適用することには格別な困難性が認められない。してみれば、上記刊行物１の発明で、圧力流体を電空レギュレータによって徐々に加圧しながら供給し、該圧力流体を、まず、副圧力作用室に導入して第２のピストンが第２の弾性部材の付勢力に抗して副弁体を開放し、次いで、さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室に供給されることにより、第１のピストンが第１の弾性部材の付勢力に抗して主弁体を開放側に駆動して該弁の開放量を段階的に拡大するようにすることは、刊行物１の発明に刊行物２の発明と上記各周知技術を適用することにより当業者が容易に行うことができたものである。
　
６．請求項３の発明に関して
　請求項３の発明は、本件発明において、第２のピストンと螺回により進退自在の調節棒との間に、第２のシャフトを副弁体が閉じる方向に第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第３の弾性部材を設け、該第３の弾性部材の弾発力を、調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられた操作部材（５６）で調節できるようにしたものであるが、この点は「５．（３）」で前述したのと同じ理由により、当業者が容易に行うことができたものである。
　
　そして、本件の請求項１〜３に係る発明が奏する作用効果は、上記刊行物１、２に記載された発明と上記各周知技術から予測される程度以上のものではない。
　したがって、本件の請求項１〜３に係る発明は、上記刊行物１、２に記載された発明と上記各周知技術とに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
【５】特許法第３６条第６項第２号違反について
　１．請求項２の発明において、「第１の操作ポート（２１）さらに高圧の圧力流体が」との記載は不明瞭である。従って、請求項２の発明は、特許を受けようとする発明が明確でない。
　２．請求項１，２の発明において、「主弁の開放量を段階的に拡大」の「段階的」とは、どういうことをいうのか不明瞭である（曲面では主弁の開放量を「段階的」に拡大することはできない。）。従って、請求項２の発明は、特許を受けようとする発明が明確でない。
　３．請求項１、２の発明において、操作ポートに、圧力流体を徐々に加圧しながら供給する電空レギュレータを接続した理由が不明瞭である（圧力流体を、電空レギュレータによって徐々に加圧しながら供給することにより、まず、第２のピストン３７を移動させてから次に第１のピストン９を移動させるのであれば、２つのピストンを付勢するバネのセット荷重を受圧面積で除したものを異ならせることは、請求項１、２の発明の必須事項であるのに、請求項１、２には単に付勢力の大小に言及するのみで、それに対応する構成が明記されていない。しかも、そのようなことは【４】３．で指摘したように当業者が熟知する事項であると共に、圧力流体を２つのピストンに別々に導入する請求項２の発明には全く必要のない事項である。また、請求項１、及び段落【００２３】〜【００２５】の記載によれば、圧力流体は、電空レギュレータによって徐々に加圧されながら主圧力作用室２０に供給された後、まず、副圧力作用室４８に導入され、その後、さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室２０に供給されるとされているが、圧力流体は、主圧力作用室２０と副圧力作用室４８に同時に導入されるものであるから、請求項１、及び段落【００２３】〜【００２５】におけるこれらの記載もまた不明瞭である。）。
　従って、請求項１、２の発明は、特許を受けようとする発明が明確でない。
　４．上記「３．」とも関連するが、開弁の順番は弾性部材の付勢力で決定されるものではないから、請求項１、２の発明において、第２の弾性部材の付勢力を第１の弾性部材より小さくした理由が不明瞭であるとともに、このようなことは、圧力流体を２つのピストンに別々に導入する請求項２の発明には全く必要のない事項であるから、請求項１、２の発明は、特許を受けようとする発明が明確でない。
　
【６】むすび
　以上のとおり、本件の請求項１〜３に係る発明は、上記刊行物に記載された発明と、上記各周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項１〜３に係る発明についての特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるとともに、本件の請求項１、２に係る発明は、特許を受けようとする発明が明確でないから、本件の請求項１、２に係る発明についての特許は特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものである。
　したがって、本件の請求項１〜３に係る発明についての特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、さらに、本件の請求項１、２に係る発明についての特許は、特許法第１１３条第４号に該当し、それぞれ取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年３月３０日（２００５．３．３０）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
パイロット式２ポート真空バルブ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　真空チャンバに接続されるチャンバポート（３）と真空ポンプに接続されるポンプポート（４）とを結ぶ主流路（Ｂ）中に位置する主弁座（７）および上記主流路を開閉する主弁体（６，８，３４，７４）を有する主弁と、
　上記チャンバポートおよび上記ポンプポートを結び上記主流路より開口面積の小さい副流路（Ａ）中に位置する副弁座（３５）および上記副流路を開閉する副弁体（３６，４１）を有する副弁と、
　上記主弁体に第１のシャフト（１０）を介して連結された第１のピストン（９）および圧力流体が供給される主圧力作用室（２０）を有し、流体圧による上記第１のピストンの往復動によって上記主弁体を開閉させる主弁駆動部（９，１０，２０）と、
　上記第１のシャフトを上記主弁体が閉じる方向に付勢する第１の弾性部材（２３，２４，７３）と、
　上記副弁体に第２のシャフト（３８）を介して連結された第２のピストン（３７）および上記圧力流体が供給される副圧力作用室（４８）を有し、流体圧による上記第２のピストンの往復動によって上記副弁体を開閉させる副弁駆動部（３７，３８，４８）と、
　上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第２の弾性部材（４０）と、
　上記主圧力作用室と上記副圧力作用室とを連通する導通孔（４９）と、
　上記主圧力作用室および上記副圧力作用室に上記圧力流体を導入する操作ポート（２１）と、
を具備し、
　上記主弁体の外周部に上記主弁体が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，７４ａ，７４ｂ）が連続して形成され、あるいは上記主弁体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成さ
れ、
　
上記操作ポート（２１）には圧力流体を徐々に加圧しながら供給する電空レギュレータが接続され、
　
該圧力流体は、まず、副圧力作用室（４８）に導入されて第２のピストン（３７）が第２の弾性部材（４０）の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室（２０）に供給されることにより、第１のピストン（９）が第１の弾性部材（２３，２４，７３）の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動し、上記複数のテーパ面または曲面により上記主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定されている、
ことを特徴とするパイロット式２ポート真空バルブ。
　【請求項２】
　真空チャンバに接続されるチャンバポート（３）と真空ポンプに接続されるポンプポート（４）とを結ぶ主流路（Ｂ）中に位置する主弁座（７）および上記主流路を開閉する主弁体（６，８，３４，７４）を有する主弁と、
　上記チャンバポートおよび上記ポンプポートを結び上記主流路より開口面積の小さい副流路（Ａ）中に位置する副弁座（３５）および上記副流路を開閉する副弁体（３６，４１）を有する副弁と、
　上記主弁体に第１のシャフト（１０）を介して連結された第１のピストン（９）および圧力流体が供給される主圧力作用室（２０）を有し、流体圧による上記第１のピストンの往復動によって上記主弁体を開閉させる主弁駆動部（９，１０，２０）と、
　上記第１のシャフトを上記主弁体が閉じる方向に付勢する第１の弾性部材（２３，２４，７３）と、
　上記副弁体に第２のシャフト（３８）を介して連結された第２のピストン（３７）および上記圧力流体が供給される副圧力作用室（４８）を有し、流体圧による上記第２のピストンの往復動によって上記副弁体を開閉させる副弁駆動部（３７，３８，４８）と、
　上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第２の弾性部材（４０）と、
　上記主圧力作用室に上記圧力流体を導入する第１の操作ポート（２１）と、
　上記副圧力作用室に上記圧力流体を導入する第２の操作ポート（７０）と、
　上記第２のピストンと螺回により進退自在の調節棒（６０）との間に設けられ、上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第３の弾性部材（５４）と、
　上記調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒を移動させて、上記第３の弾性部材を変位させ、その弾発力を調節する操作部材（５６）と、
　を具備し、
　上記主弁体の外周部に上記主弁体が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，７４ａ，７４ｂ）が連続して形成され、あるいは上記主弁体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成さ
れ、
　
上記第１の操作ポート（２１）および第２の操作ポート（７０）には圧力流体を徐々に加圧しながら供給する電空レギュレータが接続され、
　
該圧力流体は、まず、第２の操作ポート（７０）から副圧力作用室（４８）に導入されて第２のピストン（３７）が第２の弾性部材（４０）の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、第１の操作ポート（２１）さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室（２０）に供給されることにより、第１のピストン（９）が第１の弾性部材（２３，２４，７３）の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動し、上記複数のテーパ面または曲面により上記主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定されている、
ことを特徴とするパイロット式２ポート真空バルブ。
　【請求項３】
　上記第２のピストンと螺回により進退自在の調節棒（６０）との間に設けられ、上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第３の弾性部材（５４）と、
　上記調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒を移動させて、上記第３の弾性部材を変位させ、その弾発力を調節する操作部材（５６）と、
　を具備したことを特徴とする請求項１に記載のパイロット式２ポート真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、真空チャンバと真空ポンプとの間に接続して真空チャンバ内を真空圧に徐々に減圧するために使用されるパイロット式２ポート真空バルブに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　一般に、真空チャンバの内圧を真空ポンプで真空圧に下げる場合、大気圧や高圧の状態にある真空チャンバ内の気体を急激に排気すると、一時的に大量の気体が流動するので、真空チャンバ内で気体の乱流が生じ、真空チャンバ内壁等に付着したパーティクルが巻き上げられてワーク、例えばウエハに付着したり、ウエハが移動しそのセット位置がずれたりすることがある。
　そこで、真空チャンバと真空ポンプとを結ぶ流路に、流体圧（操作圧力）で作動する、開口面積が大きい主弁および開口面積の小さい副弁を有する真空排気弁を設置し、図７に示すように、小さい方の副弁を開け初期排気を行った後、大きい方の主弁を開け、気体の吸引量を段階的に変化させるものがある。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　ところで、従来の真空排気では、副弁による初期排気の後、主弁を開弁し、排気量を段階的に増加させているが、主弁の開口面積は副弁の開口面積に比べて大きいため、主弁の立上げ時には多量の気体が急に吸引されることになり、真空チャンバ内で気体の乱流を発生する恐れがあるという問題点がある。
　【０００４】
　本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、主弁の弁開度を段階的に大きくして、真空チャンバ内の気体の乱流を確実に防止し、真空排気を安定的に行なうことができるパイロット式２ポート真空バルブを提供することにある。
　本発明の上記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成すべく、本発明に係る第１のパイロット式２ポート真空バルブは、真空チャンバに接続されるチャンバポート（３）と真空ポンプに接続されるポンプポート（４）とを結ぶ主流路（Ｂ）中に位置する主弁座（７）および上記主流路を開閉する主弁体（６，８，３４，７４）を有する主弁と、上記チャンバポートおよび上記ポンプポートを結び上記主流路より開口面積の小さい副流路（Ａ）中に位置する副弁座（３５）および上記副流路を開閉する副弁体（３６，４１）を有する副弁と、上記主弁体に第１のシャフト（１０）を介して連結された第１のピストン（９）および圧力流体が供給される主圧力作用室（２０）を有し、流体圧による上記第１のピストンの往復動によって上記主弁体を開閉させる主弁駆動部（９，１０，２０）と、上記第１のシャフトを上記主弁体が閉じる方向に付勢する第１の弾性部材（２３，２４，７３）と、上記副弁体に第２のシャフト（３８）を介して連結された第２のピストン（３７）および上記圧力流体が供給される副圧力作用室（４８）を有し、流体圧による上記第２のピストンの往復動によって上記副弁体を開閉させる副弁駆動部（３７，３８，４８）と、上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第２の弾性部材（４０）と、上記主圧力作用室と上記副圧力作用室とを連通する導通孔（４９）と、上記主圧力作用室および上記副圧力作用室に上記圧力流体を導入する操作ポート（２１）と、を具備し、上記主弁体の外周部に上記主弁体が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，７４ａ，７４ｂ）が連続して形成され、あるいは上記主弁体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成され
、上記操作ポート（２１）には圧力流体を徐々に加圧しながら供給する電空レギュレータが接続され、該圧力流体は、まず、副圧力作用室（４８）に導入されて第２のピストン（３７）が第２の弾性部材（４０）の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室（２０）に供給されることにより、第１のピストン（９）が第１の弾性部材（２３，２４，７３）の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動し、上記複数のテーパ面または曲面により上記主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定されている
　【０００６】
　また、本発明に係る第２のパイロット式２ポート真空バルブは、真空チャンバに接続されるチャンバポート（３）と真空ポンプに接続されるポンプポート（４）とを結ぶ主流路（Ｂ）中に位置する主弁座（７）および上記主流路を開閉する主弁体（６，８，３４，７４）を有する主弁と、上記チャンバポートおよび上記ポンプポートを結び上記主流路より開口面積の小さい副流路（Ａ）中に位置する副弁座（３５）および上記副流路を開閉する副弁体（３６，４１）を有する副弁と、上記主弁体に第１のシャフト（１０）を介して連結された第１のピストン（９）および圧力流体が供給される主圧力作用室（２０）を有し、流体圧による上記第１のピストンの往復動によって上記主弁体を開閉させる主弁駆動部（９，１０，２０）と、上記第１のシャフトを上記主弁体が閉じる方向に付勢する第１の弾性部材（２３，２４，７３）と、上記副弁体に第２のシャフト（３８）を介して連結された第２のピストン（３７）および上記圧力流体が供給される副圧力作用室（４８）を有し、流体圧による上記第２のピストンの往復動によって上記副弁体を開閉させる副弁駆動部（３７，３８，４８）と、上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第２の弾性部材（４０）と、上記主圧力作用室に上記圧力流体を導入する第１の操作ポート（２１）と、上記副圧力作用室に上記圧力流体を導入する第２の操作ポート（７０）と、上記第２のピストンと螺回により進退自在の調節棒（６０）との間に設けられ、上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第３の弾性部材（５４）と、上記調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒を移動させて、上記第３の弾性部材を変位させ、その弾発力を調節する操作部材（５６）と、を具備し、上記主弁体の外周部に上記主弁体が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面（６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，７４ａ，７４ｂ）が連続して形成され、あるいは上記主弁体の外周部が曲面（６ｆ）状に形成され
、上記第１の操作ポート（２１）および第２の操作ポート（７０）には圧力流体を徐々に加圧しながら供給する電空レギュレータが接続され、該圧力流体は、まず、第２の操作ポート（７０）から副圧力作用室（４８）に導入されて第２のピストン（３７）が第２の弾性部材（４０）の付勢力に抗して上記副弁体を開放し、次いで、第１の操作ポート（２１）さらに高圧の圧力流体が主圧力作用室（２０）に供給されることにより、第１のピストン（９）が第１の弾性部材（２３，２４，７３）の付勢力に抗して上記主弁体を開放側に駆動し、上記複数のテーパ面または曲面により上記主弁の開放量を段階的に拡大するものとして設定されている
　【０００７】
　また、上記第１のパイロット式２ポート真空バルブの好ましい実施態様においては、上記第２のピストンと螺回により進退自在の調節棒（６０）との間に設けられ、上記第２のシャフトを上記副弁体が閉じる方向に上記第１の弾性部材より小さな付勢力で付勢する第３の弾性部材（５４）と、上記調節棒に外部から回動操作可能に取り付けられ、上記調節棒を移動させて、上記第３の弾性部材を変位させ、その弾発力を調節する操作部材（５６）とを具備することができる。
　【０００８】
　従って、本発明では、主弁体の外周部に、その閉じる方向に縮径する複数のテーパ面を連続して有することから、主弁体は、主弁座との間隔を段階的に大きくしながら開弁し、排気量が緩速的に増加するので、真空チャンバ内の気体の乱流が確実に回避される。
　また、主弁体の外周部が曲面状に形成されたことでも、主弁体は主弁座との間隔を徐々に大きくしながら開弁されるので、排気量が緩速的に増加され、真空チャンバ内の気体の乱流の発生が回避される。
　【０００９】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。実施の形態を説明するに当たって、同一機能を奏するものは同じ符号を付して説明する。
　図１は、本発明の一実施の形態に係るパイロット式２ポート真空バルブにおけるニードル弁の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面図、図２および図３は、本発明の他の実施の形態に係るパイロット式２ポート真空バルブにおけるニードル弁の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面図、図４は、本発明の実施の形態に係るパイロット式２ポート真空バルブにおける操作圧力と排気量との特性図、図５および図６は、本発明の他の実施の形態に係るパイロット式２ポート真空バルブにおける弁ホルダの形状を示す要部断面図である。
　【００１０】
　図１に示すパイロット式２ポート真空バルブは、略円筒状の弁ボディ１を有し、この弁ボディ１の軸線方向後端部にはこれを塞ぐようにカバー２が固着され、先端部には真空チャンバ（図示略す）に接続するためのチャンバポート３が形成され、弁ボディ１の軸線方向と直交する方向には真空ポンプ（図示略す）に接続するためのポンプポート４が開設され、弁ボディ１の内部には、両ポート３，４を結ぶ第１の流路Ａ（副流路となる流路）を開閉する副弁機構と、両ポート３，４を結ぶ第２の流路Ｂ（主流路となる流路）を開閉する主弁機構とがそれぞれ設けられている。
　【００１１】
　主弁機構は、中央部を開口した第１の弁ホルダ６と、第１の弁ホルダ６の周縁部に保持され、両ポート３，４を結ぶ第２の流路Ｂ中の弁座７を開閉する第１の弁体８と、中央部が開口され第１の弁ホルダ６に固定ボルト３３によって同軸状に固定された第２の弁ホルダ３４とからなる主弁体と、圧縮空気等の圧力流体の作用により作動して第１の弁体８を、その軸線方向に往復動させ、開閉させる第１のピストン９と、第１の弁体８および第１のピストン９を相互に連結する第１のシャフト１０とを有している。そして、上記主弁体と上記弁座７（主弁座）とにより上記主弁機構の主弁が構成されている。
　【００１２】
　第１の弁ホルダ６の開口部は、導通路７２を介してポンプポート４に連通し、第１のシャフト１０の先端部は、第１の弁ホルダ６の中央部に嵌入され止め輪１１によって抜脱しないように固定され、第１の弁ホルダ６の第１の弁体８より先端側の外周部には、第１の弁体８が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面６ａ，６ｂが連続して形成され、第１の弁ホルダ６と第１のシャフト１０との間には気密を保つシール部材１２が装着されている。
　【００１３】
　第１のシャフト１０の後端部は、弁ボディ１において、カバー２よりに形成されたシリンダ１５の隔壁部である台座１３を、ガイドブッシュ１４を介して気密かつ摺動自在に貫通し、シリンダ１５内の第１のシリンダ室１６の内壁に摺動自在に配設された第１のピストン９に固定ナット１７によって気密に連結されている。
　【００１４】
　第１のピストン９は、その外周に第１のシリンダ室１６の内壁に気密に摺接するパッキン１８およびガイドリング１９を有しており、第１のピストン９と台座１３との間に区画形成された主圧力作用室２０は、シリンダ１５の上壁に開設され、電空レギュレータ（図示略す）によって圧力制御された圧力流体が供給される操作ポート２１に連通している。
　操作ポート２１から主圧力作用室２０に圧力流体が供給されると、第１のピストン９がカバー２側に移動し、第１の弁体８が開くようになっている。
　【００１５】
　弁ボディ１の内部には、第１の弁ホルダ６に装着されたバネ受け２２と台座１３との間に、第１の弁体８を閉鎖方向に付勢する第１の弾性部材を構成する第１および第２のスプリング２３，２４が縮設されると共に、弁ボディ１の内壁片と台座１３間に挟着されたベローズホルダ２５と第１の弁ホルダ６との間に第１のシャフト１０、第１および第２のスプリング２３，２４を内包するベローズ２７が設けられている。なお、図中、２８は、弁ボディ１とべローズホルダ２５との間の気密を保つシール部材であり、３０は、第１のシャフト１０と台座１３との間の気密を保つパッキンである。また、３１は、ベローズ２７内を外部に連通する呼吸ポート、３２は第１のシリンダ室１６を外部に連通する呼吸孔である。
　【００１６】
　副弁機構は、弁座７より開口面積が小さく第２の弁ホルダ３４の開口縁部に保持された第２の弁体３５と、この第２の弁体３５を開閉するニードル弁３６と、流体圧の作用により作動してニードル弁３６を軸線方向に往復駆動する第２のピストン３７と、ニードル弁３６と第２のピストン３７とを連結する第２のシャフト３８とを有し、主弁機構内に完全に内蔵されている。
　【００１７】
　第１のシャフト１０の内部には、バネ座３９とニードル弁３６との間にニードル弁３６を閉弁方向に付勢する第２の弾性部材を構成する第３のスプリング４０が縮設され、ニードル弁３６の外周部には弁シール部４１が形成され、閉弁時には弁シール部４１が第２の弁体３５に密着するようになっている。なお、第２の弁体３５は、ニードル弁３６の弁座としての機能を有し、該第２の弁体３５および上記弁シール部４１を有するニードル弁３６により上記副弁機構の副弁の副弁座および副弁体が構成されている。
　第１のシャフト１０の上部には第３のスプリング４０が配設されたニードル弁３６の背室を外部に連通させるための呼吸孔４２が開設され、ニードル弁３６の背室に近接する位置には、第２のシャフト３８と第１のシャフト１０との間の気密を保つＯリング４５が装着されている。
　第２のシャフト３８は、ニードル弁３６の背室の近傍でブッシュ６６を介して第１のシャフト１０に摺動自在に貫通され、第２のシャフト３８の振れを抑制している。なお、図中、４３は、第１のシャフト１０とニードル弁３６との間の気密を保つＯリングである。
　【００１８】
　第２のシャフト３８の後端部は、第１のシャフト１０の内部を気密且つ摺動自在に貫通して第１のピストン９内の第２のシリンダ室４４内に突出し、第２のシリンダ室４４内に摺動自在に配設された第２のピストン３７に気密に連結されている。なお、図中、４６は、第２のシャフト３８と第２のピストン３７との間の気密を保つシール部材である。
　【００１９】
　第２のピストン３７は、その外周に第２のシリンダ室４４の内壁に気密に摺接するパッキン４７を有しており、後端部には凹部５２が周方向に形成されている。第２のピストン３７と第１のピストン９との間には副圧力作用室４８が区画形成され、副圧力作用室４８と主圧力作用室２０とが第１のピストン９に形成された導通孔４９によって相互に連通している。
　第１のピストン９の後端部には断面略コ字形のピストンカバー５０の両端が固着され、第２のピストン３７は、ピストンカバー５０の肩部５１に当接することで、そのストローク端が規定されるようになっている。
　【００２０】
　カバー２の中央部には、外周にローレット加工が施された操作部材となるダイヤル５６が止め輪５７によって不用意に抜脱しないように組み込まれ、ピストンカバー５０の中央部にはネジ部５８を有するリティナ５９が固定されている。
　調節棒６０は、リティナ５９のネジ部５８に螺回により進退自在にねじ付けられており、調節棒６０の先端部には、バネ座５３がピストンカバー５０内の凹室５５において固定され、後端部が回転方向にのみ結合するようにダイヤル５６に挿入されている。
　【００２１】
　バネ座５３と第２のピストン３７の凹部５２との間には第３の弾性部材を構成する第４のスプリング５４が縮設され、ニードル弁３６は第４のスプリング５４によって第２のピストン３７，第２のシャフト３８を順次介して閉じる方向に付勢され、第１のピストン９とカバー２との間には第１の弁体８を閉弁方向に付勢し、圧力流体の操作圧力に対する排気量の変化量を小さくするための第１の弾性部材を構成する第５のスプリング７３が縮設されている。なお、図中、６１は、ピストンカバー５０に形成され、第２のシリンダ室４４を凹室５５を通して第１のシリンダ室１６に連通する呼吸孔であり、６２は、調節棒６０のリティナ５９からの抜脱を防止する止め輪である。
　【００２２】
　カバー２の上部にはスプリング６３によって一方向に付勢するニードル６４が挿入され、ニードル６４をスプリング６３の付勢力に抗してダイヤル５６に押し付け、止めネジ６５で固定することでダイヤル５６の不本意な自然回転を阻止するようになっており、調節棒６０とダイヤル５６とが回転方向にのみ結合するようになっている。
　【００２３】
　パイロット式２ポート真空バルブは、以上の如く構成されているので、通常、ニードル弁３６および第１の弁体８は、第１および第２の流路Ａ，Ｂをそれぞれ閉鎖しており、この状態では真空ポンプを運転しても真空チャンバ内の気体は第１のポート３から第２のポート４へと排出されない。
　ここで、圧縮空気等の圧力流体が電空レギュレータによって徐々に加圧されながら操作ポート２１から主圧力作用室２０に供給されると、まず、圧力流体は導通孔４９を通して副圧力作用室４８に導入される。
　【００２４】
　その後、第２のピストン３７は、副圧力作用室４８の流体圧の上昇に伴って第３および第４のスプリング４０，５４の弾発力に抗してピストンカバー２の肩部５１に当接する位置まで移動し、第２のシャフト３８を介してニードル弁３６を開く。
　従って、真空チャンバ内の気体は制限的に開口する第１の流路Ａを通ってポンプポート４へと徐々に流れ込み、真空チャンバは緩速で排気される。
　このため、真空チャンバ内で急速排気を行う場合のような気体の乱流が発生せず、乱流に伴うパーティクルの巻き上げが生じない。
　【００２５】
　その後、操作ポート２１からさらに高圧の圧力流体が主圧力作用室２０に供給されることで、主圧力作用室２０内の流体圧が上昇し、第１のピストン９は第１および第２のスプリング２３，２４ならびに第５のスプリング７３の弾発力に抗してピストンカバー５０がカバー２に当接する位置まで移動する。
　これにより、第１の弁体８が開き、残りの排気が行われる。この場合、第１の弁ホルダ６の外周部に複数のテーパ面６ａ，６ｂが形成されているため、第１の弁体８の移動に伴って第１の弁ホルダ６と弁座７との間隔が段階的に拡大し、第１の弁体８と弁座７との間を通過する排気量が段階的に増加するので、急激な排気が抑制され真空チャンバ内の気体の乱流は発生せず、パーティクルの巻き上げは起こらない。
　また、電空レギュレータの出力圧は、真空チャンバ内の真空圧を任意の大きさに維持または変更するように自動的に調節され、真空チャンバ内の真空圧は、チャンバポート３または真空チャンバとチャンバポート３とを連通する配管部あるいは真空チャンバ内に圧力センサ（図示略す）を設置して検出する。
　【００２６】
　真空チャンバが所要の真空圧になると、主圧力作用室２０および副圧力作用室４８内の圧力流体が操作ポート２１から排出され、第１の弁体８が第１および第２のスプリング２３，２４ならびに第５のスプリング７３の付勢力で復帰した後、ニードル弁３６が第３および第４のスプリング４０，５４の付勢力で復帰し、ニードル弁３６および第１の弁体８により第１および第２の流路Ａ，Ｂがそれぞれ閉鎖されることになる。
　【００２７】
　図２に示すパイロット式２ポート真空バルブは、第１の弁ホルダ６に形成されたテーパ面６ａ，６ｂに代えて、第１の弁ホルダ６の先端面に固定され、第２の弁体３５を保持する第２の弁ホルダ７４の外周部に、第１の弁体８が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面７４ａ，７４ｂを連続して形成したものであり、その他の構成および作用は、図１に示すパイロット式２ポート真空バルブと同様なので、同一構成部分には同一符号を付してその説明を割愛する。なお、第２の弁ホルダ７４と図１の第２の弁ホルダ３４とは形状を異にするが、同様のものである。
　【００２８】
　図３に示すパイロット式２ポート真空バルブは、圧力流体を主圧力作用室２０および副圧力作用室４８に個別に導入する２つの操作ポート２１，７０を有し、圧力流体を操作ポート７０より副圧力作用室４８に導入した後、操作ポート２１より主圧力作用室２０に導入するようにしたものであり、その他の構成および作用は、図１に示すパイロット式２ポート真空バルブと同様なので、同一構成部分には同一符号を付してその説明を割愛する。なお、かかるパイロット式２ポート真空バルブでは、２つの操作ポート２１，７０を有することで、第１の弁体８を開弁し所定量の排気を行ないながら、ニードル弁３６を開閉し排気量を微妙に調節することが可能である。
　【００２９】
　このように、本実施の形態のパイロット式２ポート真空バルブでは、第１の弁ホルダ６または第２の弁ホルダ７４の外周部に、第１の弁体８が閉じる方向に縮径する複数のテーパ面６ａ，６ｂまたは７４ａ，７４ｂが連続して形成されたので、図４に示すように、操作圧力を徐々に加圧すると、ニードル弁３６の開弁の後、第１の弁体８は、その移動に伴って第１の弁ホルダ６または第２の弁ホルダ７４と弁座７との間隔を段階的に大きくしながら開弁し、排気量が段階的に増加され、真空チャンバは緩速で排気される。これにより、真空チャンバ内の気体の乱流が確実に防止され、乱流に伴うパーティクルの巻き上げを確実に防止することができる。
　【００３０】
　以上、本発明の実施の形態のパイロット式２ポート真空バルブについて詳述したが、本発明は、上記実施の形態記載のパイロット式２ポート真空バルブに限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲に記載されている発明の精神を逸脱しない範囲で、設計において種々の変更ができるものである。
　たとえば、図５に示すように、第１の弁ホルダ６の外周部に、第１の弁体８が閉じる方向に縮径する３つのテーパ面６ｃ，６ｄ，６ｅを連続して形成する他、４つ以上の多数のテーパ面を連続して形成してもよく、また、図６に示すように、第１の弁ホルダ６の外周部に曲面６ｆを形成することでも、同様の効果を期待することができる。
　また、かかるテーパ面あるいは曲面を、第１の弁ホルダ６に代えて、第２の弁ホルダ７４に形成してもよい。
　また、請求項の記載内容を理解しやすくするために、請求項中に図面で使用した符号を括弧付きで記入したが、該符号は請求項の記載内容を理解しやすくするために記載したものであるから、該符号の記載によって本発明が限定解釈されるものではない。
　例えば、本発明の実施例では、第１の弁体８を閉じる方向に付勢する第１の弾性部材として第１、第２および第５のスプリング２３，２４，７３を用いているが、必ずしも３つのスプリングを用いた実施例に限定される必要はない。
　【００３１】
　【発明の効果】
　以上の説明から理解されるように、本発明のパイロット式２ポート真空バルブによれば、主弁体の外周部に、その閉じる方向に縮径する複数のテーパ面が連続して形成されたので、主弁体は、弁開度を段階的に大きくしながら開弁し、排気量を段階的に増加させ、真空チャンバ内は緩速で排気される。
　また、主弁体の外周部が曲面状に形成されたことでも、主弁体は弁開度を徐々に大きくしながら開弁されるので、排気量が緩速的に増加される。
　これによって、真空チャンバ内の気体の乱流の発生を確実に防止することができるので、パーティクルの巻き上げを防止することができ、パーティクルがウエハ等のワークに付着したり、ワークの位置がずれるなどの不具合を回避することができ、真空排気を安定的に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施の形態であるパイロット式２ポート真空バルブにおけるニードル弁の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面図。
　【図２】
　本発明の他の実施の形態であるパイロット式２ポート真空バルブにおけるニードル弁の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面図。
　【図３】
　本発明の他の実施の形態であるパイロット式２ポート真空バルブにおけるニードル弁の開状態および閉状態をそれぞれ示す断面図。
　【図４】
　本発明の実施の形態のパイロット式２ポート真空バルブにおける操作圧力と排気量との特性図。
　【図５】
　本発明の他の実施の形態であるパイロット式２ポート真空バルブにおける弁ホルダの形状を示す要部断面図。
　【図６】
　本発明の他の実施の形態であるパイロット式２ポート真空バルブにおける弁ホルダの形状を示す要部断面図。
　【図７】
　従来の真空排気弁における操作圧力と排気量との特性図。
　【符号の説明】
　１　弁ボディ
　２　カバー
　３　チャンバポート
　４　ポンプポート
　６　第１の弁ホルダ
　６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，７４ａ，７４ｂ　テーパ面
　６ｆ　曲面
　７　弁座
　８　第１の弁体
　９　第１のピストン
　１０　第１のシャフト
　１５　シリンダ
　１６　第１のシリンダ室
　２０　主圧力作用室
　２１，７０　操作ポート
　２３　第１のスプリング
　２４　第２のスプリング
　２７　ベローズ
　３４，７４　第２の弁ホルダ
　３５　第２の弁体
　３６　ニードル弁
　３７　第２のピストン
　３８　第２のシャフト
　４０　第３のスプリング
　４４　第２のシリンダ室
　４８　副圧力作用室
　４９　導通孔
　５０　ピストンカバー
　５１　肩部
　５３　バネ座
　５４　第４のスプリング
　５８　ネジ部
　７３　第５のスプリング