【事件の表示】
　特許第３２０２５９０号「ワイヤーソー及び円柱形ワークを切断する方法」の請求項１ないし１１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２０２５９０号の請求項１ないし９に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第３２０２５９０号に係る発明は、平成８年３月２６日に特許出願され、平成１３年６月２２日にその特許権の設定登録がなされ、その後、後田春紀より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年７月１９日に訂正請求がなされ、訂正拒絶の理由が通知され、その指定期間内である平成１４年１０月２１日に、意見書が提出されたものである。
　
第２　特許異議の申立ての理由の概要
　異議申立人後田春紀は、証拠として甲第１号証（特開平５−２００７３４号公報）及び甲第２号証（特開平６−１５５４５０号公報）、甲第３号証（特開平２−２７４４６０号公報）、甲第４号証（特開昭６１−１２１８７０号公報）を提出し、本件請求項１乃至１１にかかる発明の特許は、特許法第２９条第１項又は同法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、特許を取り消すべき旨主張している。
　
第３　訂正の適否についての判断
　平成１４年７月１９日付けの訂正請求は、願書に添付した明細書を以下、（１）〜（６）のとおり訂正するものである。
１　訂正の内容
（１）　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の記載
「【請求項１】　ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させる、ことを特徴とする円柱形ワークを切断する方法。
【請求項２】　前記円柱形ワークの切断長の増加とともにワークに対するスラリー供給量を増加させ、次いで切断長の減少とともにワークに対するスラリー供給量を減少させる、ことを特徴とする請求項１に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項３】　前記スラリー供給量の変化率の大きさを、前記円柱形ワークの切断開始時から円柱形ワークの中心部切断時までのスラリー供給量増加率に比べ、円柱形ワークの中心部切断時から切断終了時までのスラリー供給量減少率を小さくする、ことを特徴とする請求項１または請求項２のいずれか一項に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項４】　前記円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの流量を変化させることにより行う、ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項５】　前記円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの供給位置を変化させることにより行う、ことを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項６】　前記円柱形ワークへのスラリー供給位置の変化は、スラリー供給位置をワーク近接位置からワークと反対方向のローラ直径末端位置の範囲で、ワイヤーに沿って移動させるものである、ことを特徴とする請求項５に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項７】　前記円柱形ワークへのスラリー供給位置の変化は、スラリー供給位置を、切断開始時にワークからの距離が最大とし、切断長の増加とともにワーク側へ移動させ、切断長が最大となったときにスラリー供給位置を最もワークに近接するようにし、次いで切断長の減少とともにワークと反対方向へ移動させるものである、ことを特徴とする請求項５または請求項６のいずれか一項に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項８】　円柱形ワークを切断するワイヤーソーにおいて、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させる手段を備えた、ことを特徴とする円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
【請求項９】　前記切断用スラリーの供給量を変化させる手段が、スラリーの流量を変化させるものである、ことを特徴とする請求項８に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
【請求項１０】　前記切断用スラリーの供給量を変化させる手段が、スラリーの供給位置を変化させるものである、ことを特徴とする請求項８または請求項９のいずれか一項に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
【請求項１１】　前記スラリーの供給位置を変化させる手段が、スラリー供給ノズルをワイヤーに沿ってワークに対し遠近動させるものである、ことを特徴とする請求項１０に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。」
を
「【請求項１】 ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤ一とワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させ、該スラリー供給量の変化率の大きさを、前記円柱形ワークの切断開始時から円柱形ワークの中心部切断時までのスラリー供給量増加率に比べ，円柱形ワークの中心部切断時から切断終了時までのスラリー供給量減少率を小さくする、ことを特徴とする円柱形ワークを切断する方法。
【請求項２】 前記円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの流量を変化させることにより行う、ことを特徴とする請求項１に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項３】 ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させ、該円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの供給位置を変化させることにより行う、ことを特徴とする円柱形ワークを切断する方法。
【請求項４】前記円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの供給位置を変化させることにより行う、ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項５】前記円柱形ワークへのスラリー供給位置の変化は、スラリー供給位置をワーク近接位置からワークと反対方向のローラ直径末端位置の範囲で、ワイヤーに沿って移動させるものである、ことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項６】 前記円柱形ワークへのスラリー供給位置の変化は、スラリー供給位置を、切断開始時にワークからの距離が最大とし、切断長の増加とともにワーク側へ移動させ、切断長が最大となったときにスラリー供給位置を最もワークに近接するようにし、次いで切断長の減少とともにワークと反対方向へ移動させるものである、ことを特徴とする請求項３ないし請求項５のいずれか一項に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項７】 円柱形ワークを切断するワイヤーソーにおいて、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤ一とワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させる手段を備え、該切断用スラリーの供給量を変化させる手段が、スラリーの供給位置を変化させるものである、ことを特徴とする円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
【請求項８】前記切断用スラリーの供給量を変化させる手段が、スラリーの流量を変化させるものである、ことを特徴とする請求項７に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
【請求項９】前記スラリーの供給位置を変化させる手段が、スラリー供給ノズルをワイヤーに沿ってワークに対し遠近動させるものである、ことを特徴とする請求項７または請求項８に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。」
と訂正。
　
（２）　訂正事項ｂ
　発明の詳細な説明の段落【０００６】の記載
「【０００６】
【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成すべく本発明の請求項１に記載した発明は、ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させることを特徴とする。」
を
「【０００６】
【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成すべく本発明に記載した発明は、ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させることを特徴とする。」
と訂正。
　
（３）　訂正事項ｃ
　発明の詳細な説明の段落【０００７】の記載
「【０００７】
　より詳細には、本発明の円柱形ワークを切断する方法は、円柱形ワークの切断長の増加とともにワークに対するスラリー供給量を増加させ、次いで切断長の減少とともにワークに対するスラリー供給量を減少させるのが好ましく（請求項２）、また、スラリー供給量の変化率の大きさを円柱形ワークの切断開始時から円柱形ワークの中心部切断時までのスラリー供給量増加率に比べ、円柱形ワークの中心部切断時から切断終了時までのスラリー供給量減少率を小さくするのが好ましい（請求項３）。」
を
「【０００７】
　より詳細には、本発明の円柱形ワークを切断する方法は、円柱形ワークの切断長の増加とともにワークに対するスラリー供給量を増加させ、次いで切断長の減少とともにワークに対するスラリー供給量を減少させるのが好ましく、また、スラリー供給量の変化率の大きさを円柱形ワークの切断開始時から円柱形ワークの中心部切断時までのスラリー供給量増加率に比べ、円柱形ワークの中心部切断時から切断終了時までのスラリー供給量減少率を小さくするのが好ましい。」
と訂正。
　
（４）　訂正事項ｄ
　発明の詳細な説明の段落【０００８】の記載
「【０００８】
　そして、上記円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの流量あるいはスラリーの供給位置を変化させることにより行うことができる（請求項４、請求項５）。」
を
「【０００８】
　そして、上記円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの流量あるいはスラリーの供給位置を変化させることにより行うことができる。」
と訂正。
　
（５）　訂正事項ｅ
　発明の詳細な説明の段落【０００９】の記載
「【０００９】
　また、円柱形ワークへのスラリー供給位置の変化は、スラリー供給位置をワーク近接位置からワークと反対方向のローラ直径末端位置の範囲で、ワイヤーに沿って移動させることにより行うのが有効であり（請求項６）、この場合にはスラリー供給位置を、切断開始時にワークからの距離が最大とし、切断長の増加とともにワーク側へ移動させ、切断長が最大となったときにスラリー供給位置を最もワークに近接するようにし、次いで切断長の減少とともにワークと反対方向へ移動させるのがよい（請求項７）。」
を
「【０００９】
　また、円柱形ワークへのスラリー供給位置の変化は、スラリー供給位置をワーク近接位置からワークと反対方向のローラ直径末端位置の範囲で、ワイヤーに沿って移動させることにより行うのが有効であり、この場合にはスラリー供給位置を、切断開始時にワークからの距離が最大とし、切断長の増加とともにワーク側へ移動させ、切断長が最大となったときにスラリー供給位置を最もワークに近接するようにし、次いで切断長の減少とともにワークと反対方向へ移動させるのがよい。」
と訂正。
　
（６）　訂正事項ｆ
　発明の詳細な説明の段落【００１０】の記載
「【００１０】
　また、本発明のワイヤーソーは、円柱形ワークを切断するワイヤーソーにおいて、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させる手段を備えたことを特徴とするものであり（請求項８）、ワークへの切断用スラリー供給量を変化させる手段は、スラリーの流量を変化させる手段もしくはスラリーの供給位置を変化させる手段を用いることができる（請求項９、請求項１０）。そして、このスラリーの供給位置を変化させる手段は、スラリー供給ノズルをワイヤーに沿ってワークに対し遠近動させるものとすることができる（請求項１１）。」
を
「【００１０】
　また、本発明のワイヤーソーは、円柱形ワークを切断するワイヤーソーにおいて、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させる手段を備えたことを特徴とするものであり、ワークへの切断用スラリー供給量を変化させる手段は、スラリーの流量を変化させる手段もしくはスラリーの供給位置を変化させる手段を用いることができる。そして、このスラリーの供給位置を変化させる手段は、スラリー供給ノズルをワイヤーに沿ってワークに対し遠近動させるものとすることができる。」
と訂正。
　
２　訂正の目的の適否
　上記訂正事項ａは、請求項１、２及び８，９を削除すると同時に、各請求項間の従属関係を整理したものであるから、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　また、上記訂正事項ｂ〜ｆは、いずれも、上記訂正された特許請求の範囲に整合させるため、発明の詳細な説明の記載を訂正したものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　
３　新規事項の有無及び実質的な拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａ〜ｆは、特許請求の範囲の削除及びこれに伴って生じた明りょうでない記載を訂正するものであり、いずれも、新規事項の追加には該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　
４　むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書並びに同条第３項で準用する第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第４　特許異議の申立てについての判断
１　本件発明
　上記「第３」で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１ないし９に係る発明は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし９に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
「【請求項１】 ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤ一とワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させ、該スラリー供給量の変化率の大きさを、前記円柱形ワークの切断開始時から円柱形ワークの中心部切断時までのスラリー供給量増加率に比べ，円柱形ワークの中心部切断時から切断終了時までのスラリー供給量減少率を小さくする、ことを特徴とする円柱形ワークを切断する方法。
【請求項２】 前記円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの流量を変化させることにより行う、ことを特徴とする請求項１に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項３】 ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させ、該円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの供給位置を変化させることにより行う、ことを特徴とする円柱形ワークを切断する方法。
【請求項４】前記円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの供給位置を変化させることにより行う、ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項５】前記円柱形ワークへのスラリー供給位置の変化は、スラリー供給位置をワーク近接位置からワークと反対方向のローラ直径末端位置の範囲で、ワイヤーに沿って移動させるものである、ことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項６】 前記円柱形ワークへのスラリー供給位置の変化は、スラリー供給位置を、切断開始時にワークからの距離が最大とし、切断長の増加とともにワーク側へ移動させ、切断長が最大となったときにスラリー供給位置を最もワークに近接するようにし、次いで切断長の減少とともにワークと反対方向へ移動させるものである、ことを特徴とする請求項３ないし請求項５のいずれか一項に記載の円柱形ワークを切断する方法。
【請求項７】 円柱形ワークを切断するワイヤーソーにおいて、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤ一とワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させる手段を備え、該切断用スラリーの供給量を変化させる手段が、スラリーの供給位置を変化させるものである、ことを特徴とする円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
【請求項８】前記切断用スラリーの供給量を変化させる手段が、スラリーの流量を変化させるものである、ことを特徴とする請求項７に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
【請求項９】前記スラリーの供給位置を変化させる手段が、スラリー供給ノズルをワイヤーに沿ってワークに対し遠近動させるものである、ことを特徴とする請求項７または請求項８に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。」
　
２　証拠の認定
（１）　甲第１号証
　甲第１号証（特開平５−２００７３４号公報）には、ワイヤソーを用いて円柱形ワークである被加工物１０を切断するにあたり、該円柱形ワークの切断長さに相当する接触長さ２Ｌの変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させること、及び、そのスラリー供給量の変化を加工液汲み上げ用ポンプの容量Ｐの変化すなわちスラリー流量の変化によって行うことが記載されていると認められる。
　
（２）　甲第２号証
　甲第２号証（特開平６−１５５４５０号公報）には、ワイヤソーを用いて円柱形ワーク６を切断するにあたり、該円柱形ワーク６の切断長さに相当するワイヤ長さＬの増加と共に砥液すなわちスラリーの供給量を増加させ、ワイヤ長さＬの減少と共にスラリー供給量を減少させること、及び、そのスラリー供給量の変化をスラリー流量の変化によって行うことが記載されていると認められる。
　
（３）　甲第３号証
　甲第３号証（特開平２−２７４４６０号公報）の第３頁左下欄第５〜１８行には、「また、第３図はシリコン単結晶のようなほぼ円形大口径断面の押し上げ速度パターン例である。このような大口径断面の被切断部分の場合は、第２図のＡパターンのように押し上げても一定速度で切断する場合と比較して切断精度は向上するが、より切断精度を向上させるためには、切断終了時の切断速度Ｖendは初期の切断速度Ｖmaxと同じとせず、Ｖmin＜Ｖend＜Ｖmaxとする方がより切断精度を向上できる。
　つまり、単に切断中のワイヤ摺動面長さにより押し上げパターンを決めると第２図のＡパターンのようになるが、第３図Ｃパターンのように非対称的な押し上げパターンの方が砥粒の供給条件等の要因により有効と考えられる。」と記載されている。
　
（４）　甲第４号証
　甲第４号証（特開昭６１−１２１８７０号公報）の第１頁右欄第９〜１７行には、「加工液供給多孔ノズル（４）は、被切断部材（３）に沿って一定間隔に多数の孔が穿設されたものであり、各孔より加工液がいわば線状に落下して被切断部材の上に供給されるようになっている。
　しかし、このような加工液供給ノズルを用いて切断加工する方法では、切断用ワイヤ（２）と被切断部材（３）の摺接部に均一かつ十分な加工液の供給がおこなわれず」と記載され、同号証第２頁左上欄第９〜１５行には、「この発明に係る脆性材料の切断方法は、ワイヤを被切断部材に摺接せしめつつ、加工液を供給して切断する方法において、被切断部材に沿ってスリット状の流出孔を有するホッパー形スリットノズルを用い、該スリットノズルを被切断部材の周面に沿ってワイヤ走行方向と平行に移動させながら加工液を供給することを特徴とするものである。」と記載され、同頁右下欄第３〜８行には、「上記のごとく、この発明方法は加工液を水幕状に吐出するホッパー形スリットノズルを用い、被切断部材の周面に沿って移動させながら加工液を被切断部材とワイヤとの摺接部に供給して切断する方法であるから、被切断部材の切込み部に加工液が均一かつ十分に供給される。」と記載されている。
　
３　当審の判断
（１）　請求項１に係る発明について
　本件の請求項１に係る発明と甲第３号証に記載された発明とを比較すると、両者は、円柱状ワークの切断開始時と切断終了時の切断条件を異ならせるという点で一致しているが、前者の切断条件は、切断用スラリー供給量であるのに対して、後者の切断条件は、切断速度である点で相違している。
　さらに、切断速度と切断用スラリー供給量の関係が明確でなく、技術常識を参酌しても、甲第３号証に記載された発明において、切断速度の変更に代えて切断用スラリー供給量を変化させることが、当業者において自明だと認めることは出来ない。
　そして、甲第１，２号証及び甲第４号証には、円柱状ワークの切断開始時と切断終了時の切断条件を異ならせるという構成が記載されていない。
　そうすると、甲第１〜４号証には、円柱形ワークの切断開始時から円柱形ワークの中心部切断時までのスラリー供給量増加率に比べ，円柱形ワークの中心部切断時から切断終了時までのスラリー供給量減少率を小さくするという技術的思想が開示されていない。
　
（２）　請求項３に係る発明について
　本件の請求項３に係る発明と甲第４号証に記載された発明とを比較すると、両者は、スラリーの供給位置を変化させるという構成を備えている点で一致しているが、前者は、ワイヤ列に供給するスラリーの供給位置を変化させることによって、ワークへのスラリー供給量を変化させているのに対して、後者は、常にスラリーをワークとワイヤの摺接部に供給することにより、ワークとワイヤの摺接部に均一かつ十分なスラリーを供給しているものである。
　つまり、後者は、円柱状ワークの切断においてワークとワイヤの摺接部がワイヤ走行方向と平行に移動するのに応じて、スラリーの供給位置を変化させるものであり、スラリー供給量を積極的に変化させているものではない。
　そして、甲第１〜３号証には、ワイヤー列に供給するスラリーの供給位置を変化させるという構成が記載されていない。
　そうすると、甲第１〜４号証には、スラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの供給位置を変化させることにより行うという技術的思想が開示されていない。
　
（３）　むすび
　してみると、甲第１〜４号証には、本件特許の請求項１に係る発明及び該請求項１を引用する請求項２，４に係る発明がそれぞれ必須の構成とする「円柱形ワークの切断開始時から円柱形ワークの中心部切断時までのスラリー供給量増加率に比べ，円柱形ワークの中心部切断時から切断終了時までのスラリー供給量減少率を小さくする」という構成、及び、本件特許の請求項３に係る発明及び該請求項３を引用する請求項５〜９に係る発明がそれぞれ必須の構成とする「スラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの供給位置を変化させることにより行う」という構成が記載されておらず、かつ、それらの構成が示唆されているとすることもできない。
　したがって、本件特許の請求項１ないし９に係る発明は、甲第１〜４号証に記載された発明であるとすることはできないし、また、甲第１〜４号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　
第５　むすび
　以上のとおりであるから、異議申立人の主張する理由及び証拠によっては、本件特許の請求項１ないし９に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件特許の請求項１ないし９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１１月６日（２００２．１１．６）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的として、特許請求の範囲の記載を、
「【請求項１】　ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤ一とワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させ、該スラリー供給量の変化率の大きさを、前記円柱形ワークの切断開始時から円柱形ワークの中心部切断時までのスラリー供給量増加率に比べ，円柱形ワークの中心部切断時から切断終了時までのスラリー供給量減少率を小さくする、ことを特徴とする円柱形ワークを切断する方法。
　【請求項２】　前記円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの流量を変化させることにより行う、ことを特徴とする請求項１に記載の円柱形ワークを切断する方法。
　【請求項３】　ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させ、該円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの供給位置を変化させることにより行う、ことを特徴とする円柱形ワークを切断する方法。
　【請求項４】前記円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの供給位置を変化させることにより行う、ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の円柱形ワークを切断する方法。
　【請求項５】前記円柱形ワークへのスラリー供給位置の変化は、スラリー供給位置をワーク近接位置からワークと反対方向のローラ直径末端位置の範囲で、ワイヤーに沿って移動させるものである、ことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の円柱形ワークを切断する方法。
　【請求項６】　前記円柱形ワークへのスラリー供給位置の変化は、スラリー供給位置を、切断開始時にワークからの距離が最大とし、切断長の増加とともにワーク側へ移動させ、切断長が最大となったときにスラリー供給位置を最もワークに近接するようにし、次いで切断長の減少とともにワークと反対方向へ移動させるものである、ことを特徴とする請求項３ないし請求項５のいずれか一項に記載の円柱形ワークを切断する方法。
　【請求項７】　円柱形ワークを切断するワイヤーソーにおいて、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させる手段を備え、該切断用スラリーの供給量を変化させる手段が、スラリーの供給位置を変化させるものである、ことを特徴とする円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
　【請求項８】前記切断用スラリーの供給量を変化させる手段が、スラリーの流量を変化させるものである、ことを特徴とする請求項７に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
　【請求項９】前記スラリーの供給位置を変化させる手段が、スラリー供給ノズルをワイヤーに沿ってワークに対し遠近動させるものである、ことを特徴とする請求項７または請求項８に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。」
と訂正。
イ．訂正事項ｂ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、発明の詳細な説明の段落【０００６】乃至【００１０】の記載を、
「【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成すべく本発明に記載した発明は、ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させることを特徴とする。
　【０００７】
　より詳細には、本発明の円柱形ワークを切断する方法は、円柱形ワークの切断長の増加とともにワークに対するスラリー供給量を増加させ、次いで切断長の減少とともにワークに対するスラリー供給量を減少させるのが好ましく、また、スラリー供給量の変化率の大きさを円柱形ワークの切断開始時から円柱形ワークの中心部切断時までのスラリー供給量増加率に比べ、円柱形ワークの中心部切断時から切断終了時までのスラリー供給量減少率を小さくするのが好ましい。
　【０００８】
　そして、上記円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの流量あるいはスラリーの供給位置を変化させることにより行うことができる。
　【０００９】
　また、円柱形ワークへのスラリー供給位置の変化は、スラリー供給位置をワーク近接位置からワークと反対方向のローラ直径末端位置の範囲で、ワイヤーに沿って移動させることにより行うのが有効であり、この場合にはスラリー供給位置を、切断開始時にワークからの距離が最大とし、切断長の増加とともにワーク側へ移動させ、切断長が最大となったときにスラリー供給位置を最もワークに近接するようにし、次いで切断長の減少とともにワークと反対方向へ移動させるのがよい。
　【００１０】
　また、本発明のワイヤーソーは、円柱形ワークを切断するワイヤーソーにおいて、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させる手段を備えたことを特徴とするものであり、ワークへの切断用スラリー供給量を変化させる手段は、スラリーの流量を変化させる手段もしくはスラリーの供給位置を変化させる手段を用いることができる。そして、このスラリーの供給位置を変化させる手段は、スラリー供給ノズルをワイヤーに沿ってワークに対し遠近動させるものとすることができる。」
と訂正。
（５４）【発明の名称】
ワイヤーソー及び円柱形ワークを切断する方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させ
、該スラリー供給量の変化率の大きさを、前記円柱形ワークの切断開始時から円柱形ワークの中心部切断時までのスラリー供給量増加率に比べ、円柱形ワークの中心部切断時から切断終了時までのスラリー供給量減少率を小さくする、
　【請求項
２
請求項１
　【請求項
３
、該円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの供給位置を変化させることにより行う、
　【請求項
４
または請求項２
　【請求項
５
請求項３または請求項４
　【請求項
６
請求項３ないし請求項５
　【請求項
７
該切断用スラリーの供給量を変化させる手段が、スラリーの供給位置を変化させるものである、
　
【請求項８】　前記切断用スラリーの供給量を変化させる手段が、スラリーの流量を変化させるのである、ことを特徴とする請求項７に記載の円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
　【請求項
９
請求項７または請求項８
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、シリコンやガリウム砒素に代表される半導体インゴット等の脆性材料の円柱形ワークを切断してウエーハを形成する、ワイヤーソー及びその切断する方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　ワイヤーソーは、複数のローラー間に螺旋状に巻回され、ワークに対して互いに平行で一定ピッチの列となっているワイヤーに、半導体インゴット等の円柱形ワークあるいは合成石英インゴット等の角形ワークを押圧し、該ワークとワイヤーとの間に砥粒を含む加工液（以下スラリーと称す）を供給しながら、ワイヤーを線方向に移動させて、該ワークをウエーハ状に切断する装置であって、一定の厚さのウエーハを多数枚（例えば数１００枚）同時に切断することができる。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、上記ワイヤーソーによる半導体インゴット等の円柱形ワークの切断においては、上記合成石英インゴット等の角形ワークの切断と相違して、該円柱形ワークの切断開始時とワーク中心部の切断時、そして切断終了時とでは、得られたウエーハの厚さが異なってしまうという問題がある。
　【０００４】
　即ち、図１の（ａ）に示すように、切断開始時及び終了時にはウエーハの厚さが相対的に薄くなり、他方、ワーク中心部ではウエーハの厚さが相対的に厚くなってしまう。すなわち、１枚のウエーハにおいて、切断面の真ん中が凸となり、厚さばらつきが生じてしまうという現象であり、この現象は１回の切断で得られるウエーハのほとんど全てのウエーハに発生する。この厚さばらつきの発生は、ワイヤーソーによる円柱形ワークの切断に固有の問題であるとともに、切断される円柱形ワークの直径の増大に伴ってこの厚さばらつきも大きくなる傾向となるので、例えば厚さの均一性が特に要求され、今後ますますデバイスの集積度が進み２００ｍｍや３００ｍｍ以上へと大直径化する、半導体シリコン単結晶ウエーハの切断において特に問題となっている。
　【０００５】
　本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、ワイヤーソーによって円柱形のワークを切断する場合において、特に厚さばらつきの少ないウエーハを得ることができる、円柱形ワークを切断する方法及び装置を提供することを目的とする。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成すべく本発明
に
　【０００７】
　より詳細には、本発明の円柱形ワークを切断する方法は、円柱形ワークの切断長の増加とともにワークに対するスラリー供給量を増加させ、次いで切断長の減少とともにワークに対するスラリー供給量を減少させるのが好まし
く
い。
　【０００８】
　そして、上記円柱形ワークへのスラリー供給量の変化は、ワイヤー列に供給するスラリーの流量あるいはスラリーの供給位置を変化させることにより行うことができ
る。
　【０００９】
　また、円柱形ワークへのスラリー供給位置の変化は、スラリー供給位置をワーク近接位置からワークと反対方向のローラ直径末端位置の範囲で、ワイヤーに沿って移動させることにより行うのが有効であ
り
い。
　【００１０】
　また、本発明のワイヤーソーは、円柱形ワークを切断するワイヤーソーにおいて、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させる手段を備えたことを特徴とするものであ
り
る。
る。
　【００１１】
　以下、本発明を更に詳述する。
　本発明者は、前記円柱形ワークを切断する場合に、厚さのばらつきが発生する原因を調査、検討した結果、半導体インゴット等の円柱形ワークの切断においては、該円柱形ワークの切断開始時とワーク中心部の切断時、そして切断終了時とでは、ワイヤーとワークとの接触長さ、即ち切断長が異なるため、ワイヤー及びスラリーのワークに対する仕事量が異なるようになるのではないかと考えた。即ち、切断開始時及び終了時には切断長が短いために、ワイヤー及びスラリーのワークに対する仕事量が相対的に多くなり、その結果切断時の切削代が多くなるために、ウエーハの厚さが薄くなってしまうのである。他方、ワーク中心部では切断長が長くなるために、ワークに対する仕事量が相対的に少なくなり、その結果切断時の切削代が少なくなるために、ウエーハの厚さが厚くなってしまうものと考えられる。
　【００１２】
　また、ワイヤーとワーク外周のなす角度は切断開始時からワーク中心部までは鋭角であり、ワーク中心部から切断終了時までは鈍角となる。特に、切断開始時にはワイヤーとワーク外周とのなす角度が鋭く楔形状となるため、切断加工部にはスラリーが容易に引き込まれる。これに対してワーク中心部から切断終了時にかけてはワイヤーとワーク外周とのなす角度が鈍角となるため、切断加工部へのスラリーの引き込みが悪化する傾向にある。このため、切断開始時にはワイヤー及びスラリーのワークに対する仕事量が特に多くなり、その結果切断開始時の切削量は特に多くなるために、ウエーハの厚さが、切断長がほぼ等しい切断終了時よりも薄くなってしまい、前記図１（ａ）のような形状のウエーハが切り出されてしまうものと考えられる。
　【００１３】
　本発明者は、切断長の長短あるいはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化に係わらず、円柱形ワークに対する仕事量を一定にすることでウエーハの厚さばらつきを抑制することを着想し、ワークに対する仕事量を一定にするためには、ワークの切断長またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化に応じてワークに対するスラリーの供給量を変化させることが有効であることを確認して本発明を完成させた。
　【００１４】
　【発明の実施の形態】
　以下に本発明の実施の形態を図面を参照して説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
　ここで、図１はワイヤーソーにより切断されたウエーハの断面形状を示す概念図であり、（ａ）は従来の装置及び方法により切断したウエーハを、（ｂ）は本発明の装置及び方法により切断したウエーハを示す。また、図２はワイヤーソーの概要図である。図３は本発明の第１の実施形態におけるワイヤーソーの断面を示す概略図である。さらに、図４は本発明の第２の実施形態におけるワイヤーソーの断面を示す概略図である。
　【００１５】
　図２はワイヤーソーの概略の構成を示す概要図である。このワイヤーソーは、それぞれトルクモーター２４、３４で駆動される２つのワイヤー巻き取りドラム２２と３２に巻かれたワイヤー１２が、３本のローラー１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃの間で螺旋状に巻かれており、２本のローラー１０Ａと１０Ｂとの間ではワイヤー１２は一定のピッチで互いに平行となっていて、この部分でワークが切断されるようになっている。ワイヤー１２がワイヤー巻き取りドラム２２から他方のワイヤー巻き取りドラム３２へ、もしくはその逆方向に、張力調節機構２０、３０を介して一定の線速で巻き取られる時に、図示しない研磨スラリー供給装置からスラリーをワイヤー１２を介してワーク切断部に供給しつつ、ワークホルダー４２に保持された円柱形ワーク４０を２本のローラー１０Ａと１０Ｂとの間のワーク切断部に押圧することによって、ワーク４０が切断される。
　【００１６】
　図３は図２のワイヤーソーをＡ方向から見た、本発明の第１の実施形態を示した断面概略図である。研磨スラリーは、２本のローラー１０Ａと１０Ｂの中心線の直上にある、スラリー供給ノズル５０Ａ、５０Ｂから供給される。円柱形ワークの切断時には、ワイヤー１２がローラー１０Ａからローラー１０Ｂの方向に送られているときには、スラリーは供給ノズル５０Ａから供給され、その逆方向に送られているときにはスラリーは供給ノズル５０Ｂから供給される。スラリー供給ノズル５０Ａと５０Ｂとは、ローラー１０Ａあるいは１０Ｂの長手方向に多数のノズルが配置されており、スラリーの流れがカーテン状になるようになっている。
　【００１７】
　本発明の第１の実施形態においては、このスラリー供給ノズル５０Ａあるいは５０Ｂから供給されるスラリーの流量を、ワーク４０の切断長またはワイヤーとワーク外周のなす角度に応じて変化させることによって、ワークへのスラリー供給量を変化させる。スラリーの流量は切断開始時に最も少ない量とし、切断長の増加に伴って増加させ、次いで切断長の減少に伴って減少させるように変化させる。切断長の検出は、ワイヤー１２に対するワーク４０の位置関係から検出することができ、例えば、ワークホルダー４２をワイヤー１２に押圧した距離とワークの直径から簡単に割り出すことができる。スラリー流量の変化は、スラリータンク（図示せず）からスラリー供給ノズル５０Ａあるいは５０Ｂへスラリーを圧送するスラリー供給ポンプの吐出量を変化させる、あるいはスラリータンクとスラリー供給ノズル５０Ａあるいは５０Ｂとの間に流量制御装置を設けることによって行うことができる。
　【００１８】
　本発明の第２の実施形態においては、図４に示すようにスラリー供給ノズル５０Ａあるいは５０Ｂを、ワイヤーに沿って、ワークに対して遠近動が可能な構造とし、スラリーの供給位置をワーク４０の切断長に応じて変化させることによって、ワークへのスラリー供給量を変化させるものである。スラリー供給ノズル５０Ａあるいは５０Ｂの位置は、切断開始時に最もワーク４０の反対方向に遠ざけた位置（例えば、５２Ａあるいは５２Ｂの位置）とし、切断長の増加に伴ってワーク側に移動させ、ワーク中心部を切断するときに最もワークに近接する位置（例えば、５４Ａあるいは５４Ｂの位置）にして、次いで切断長の減少に伴いワーク４０の反対方向に移動させる。切断長の検出は、前述と同様にワイヤー１２に対するワーク４０の位置関係から検出する。スラリー供給ノズルの移動機構５６Ａあるいは５６Ｂとしては、それぞれのノズルに取り付けた駆動用モーターと移動位置確認用エンコーダーの組み合わせ等によって行うことが好ましい。
　【００１９】
　スラリー供給ノズル５０Ａあるいは５０Ｂを、ローラ１０Ａ、１０Ｂの中心線の直上の位置から、ワーク４０と反対方向に移動することによって、スラリーの落下位置がローラー１０Ａあるいは１０Ｂの外側になり、滴下されたスラリーの一部がローラーの回転の遠心力によって飛散し、ワーク４０に供給されるスラリーの量が、スラリーをローラー１０Ａあるいは１０Ｂの中心線の直上に落下させた場合に比べ減少する。ワーク４０の切断部に供給されるスラリー量は、スラリーの落下位置をローラー１０Ａ、１０Ｂ直径末端位置（５２Ａあるいは５２Ｂの位置）としたときに最小となるが、切断開始時に必要なスラリーの供給量を確保するためにはローラー中心線上から０．９ｒ程度外側までにすることが好ましい（ｒはローラー１０Ａ、１０Ｂの半径）。スラリーの飛散量は、例えば、スラリーの落下位置をローラー中心線から０．５ｒ外側の位置としたときに、ノズルからの供給量の約５０％となる。
　【００２０】
　また、スラリー供給ノズル５０Ａ、５０Ｂを、ワーク４０方向に移動することによって、ワーク４０の切断部に供給されるスラリー量を増加させることができる。そして、スラリー供給ノズルをワーク近接位置５４Ａ、５４Ｂの位置にした時、ワークへのスラリー供給量は最大となる。このように、スラリー供給位置をワーク近接位置からワークと反対方向のローラ直径末端位置の範囲で、ワイヤーに沿って移動させることによって、ワークの切断部へ供給するスラリー量を自在に調整、変化させることができる。
　【００２１】
　【実施例】
　以下、本発明の実施例をあげる。
　（実施例１）
　上述した第１の実施形態のワイヤーソーを用いて、直径が約２００ｍｍの半導体シリコン単結晶インゴットの切断を行った。図５に示すようなスラリー流量変化のパターンで行ったが、このパターンはスラリー供給ポンプの吐出量を、切断開始時には５０ｌ／分、インゴット中心部の切断時には１２０ｌ／分、切断終了時には７０ｌ／分と変化させたものである。この図５に示す条件でインゴット１０本の切断を行い、約２５００枚のウエーハを切り出した。得られたウエーハの厚さを、図６に示すようにウエーハ中心と周辺部（各方向で周辺から３ｍｍ）４点の計５点で測定し、最大値と最小値の差ＴＶ５を求めた。
　【００２２】
　（実施例２）
　上述した第２の実施形態のワイヤーソーを用いて、直径が約２００ｍｍの半導体シリコン単結晶インゴットの切断を行った。スラリーの流量は切断開始から終了まで１２０ｌ／分で一定とし、図７に示すようなスラリー供給位置のパターンで行ったが、このパターンはスラリー供給位置を、切断開始時にはローラー中心線上からワークの反対方向に０．９ｒの距離の位置とし、インゴット中心部の切断時にはローラー中心線上とし、切断終了時にはローラー中心線上からワークの反対方向に０．６ｒの距離の位置としたものである。この条件でインゴット１０本の切断を行い、約２５００枚のウエーハを切り出した。得られたウエーハの厚さを、前記同様図６に示すようにウエーハ中心と周辺部（各方向で周辺から３ｍｍ）４点の計５点で測定し、最大値と最小値の差ＴＶ５を求めた。
　【００２３】
　（比較例）
　上述した第１の実施形態のワイヤーソーを用いて、スラリー流量を切断開始から終了まで１２０ｌ／分で一定とした以外は実施例１と同様にして、直径が約２００ｍｍの半導体シリコン単結晶インゴット５本の切断を行い、約１０００枚のウエーハを切り出した。得られたウエーハの厚さを、上記同様図６に示すようにウエーハ中心と周辺部（各方向で周辺から３ｍｍ）４点の計５点で測定し、最大値と最小値の差ＴＶ５を求めた。
　【００２４】
　以上の実施例１、実施例２及び比較例の結果を、まとめて表１に示す。
　【表１】
　【００２５】
　本発明の方法および装置によって切断されたウエーハの断面形状は、図１（ｂ）のようになり、従来および比較例で切断されたウエーハのごとき、切断面が真ん中凸となる図１（ａ）に比し、著しい改善がみられた。そして、表１からわかるように、本発明によれば、ウエーハ面内の厚さばらつきの指標であるＴＶ５が比較例に比べて大きく低減される。さらにまた、図１（ｂ）に示したように切断面が均一でスムースとなるためか、ウエーハの割れ発生率も大幅に改善された。したがって、本発明によれば、厚さのばらつきの改善のみならず、切断歩留、生産性も向上させることができる。
　【００２６】
　なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
　【００２７】
　例えば、本発明で言う「円柱形ワーク」とは、完全に切断面が円である柱状ワークのみを言うものではなく、切断面が楕円であったり、あるいは円ではあるが、一部切り欠き部（いわゆる、オリエンテーションフラット）がある場合等も含むものであり、切断の進行と共に切断長あるいはワイヤーとワーク外周のなす角度が変化するワークの切断であれば、その形態に応じて同様に適用できる。
　【００２８】
　また、上記実施形態では、スラリーの流量を変化させる場合と、スラリーを供給する位置を変化させる場合とを、区別して実施例をあげて説明したが、スラリー流量の変化と、供給位置の変化を同時に行い、よりきめ細かなスラリー供給量の制御をしてもよい。
　【００２９】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明のワイヤーソー及び円柱形ワークの切断方法では、ワークに供給するスラリーの量を円柱形ワークの切断長またはワイヤーとワーク外周のなす角度に応じて変化させることにより、ウエーハ面内の厚さばらつきが大きく改善されるのみならず、副次的な効果として切断時のウエーハの割れ発生率が低減され、切断歩留、生産性の改善をも図ることができる。
　よって、本発明の産業界における利用価値は、すこぶる高い。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　ワイヤーソーにより切断されたウエーハの断面形状を示す概念図であり、（ａ）は従来の装置及び方法により切断したウエーハを、（ｂ）は本発明の装置及び方法により切断したウエーハを示す。
　【図２】
　ワイヤーソーの概要図である。
　【図３】
　本発明の第１の実施形態におけるワイヤーソーの断面を示す概略図である。
　【図４】
　本発明の第２の実施形態におけるワイヤーソーの断面を示す概略図である。
　【図５】
　実施例１における、円柱形ワークの切断時におけるスラリー流量の変化のパターンを示す図である。
　【図６】
　切断後のウエーハの厚さ測定位置を示した説明図である。
　【図７】
　実施例２における、円柱形ワークの切断時のスラリー供給位置の変化のパターンを示す図である。
　【符号の説明】
　１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ…ローラー、
　１２…ワイヤー、
　２０、３０…張力調節機構、
　２２、３２…ワイヤー巻き取りドラム、
　２４、３４…トルクモーター、
　４０…円柱形ワーク、
　４２…ワークホルダー、
　５０Ａ、５０Ｂ、５２Ａ、５２Ｂ、５４Ａ、５４Ｂ…スラリー供給ノズル、
　５６Ａ、５６Ｂ…スラリー供給ノズル移動機構。
　ｒ…ローラー半径。