【事件の表示】
　平成８年特許願第７０９２８号「クリーン搬送方法及びクリーン搬送装置」拒絶査定に対する審判事件［平成９年９月１９日出願公開、特開平９−２４６３５１］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯、本願発明
　本願は、平成８年３月４日の出願であって、その請求項１乃至３に係る発明を特定するための事項は、平成１０年８月１０日付け手続補正書により補正された明細書及び出願当初の図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載されたとおりのものと認めるところ、請求項２に係る発明を特定するための事項はつぎのとおりである。
「【請求項２】開閉口及び開口縁のフランジ部を有する本体部と前記フランジ部の端面に接して前記開閉口を気密に閉成するシャッター兼用蓋体部とからなり、前記シャッター兼用蓋体部の閉成時に真空状態を維持できる気密性を有していて真空排気手段及び移送手段を持たない真空クリーンボックスと、
　前記シャッター兼用蓋体部を受ける蓋受台と、シャッターと、前記蓋受台及び前記シャッターを駆動する開閉駆動手段と、前記シャッターで開閉自在な開閉口とを有するクリーン装置と、
　前記真空クリーンボックスの前記フランジ部端面と前記クリーン装置との結合部分に配設された２重以上の気密シールと、各シール間の環状溝と、該環状溝に接続されて各シール間を真空排気する真空排気経路とを前記クリーン装置側に具備し、
　前記真空クリーンボックスと前記クリーン装置とは結合時に前記シャッター兼用蓋体部及び前記シャッターが面する気密な密閉空間を構成し、前記シャッターによる前記クリーン装置の前記開閉口を閉成状態としたままで、前記シャッター兼用蓋体部を受ける前記蓋受台を前記開閉駆動手段によって駆動して前記シャッター兼用蓋体部を開く如く構成したことを特徴とするクリーン搬送装置。」（以下、「本願発明２」という。）
２　刊行物記載の発明
　これに対し、原査定の拒絶の理由において引用された、本願出願前日本国内において頒布された刊行物である特開平5-82624号公報及び特開平7-235580号公報（以下これらを「刊行物１」及び「刊行物２」という。）にはそれぞれ次のことが記載されている。
刊行物１：
　(a)（第１欄第４４行〜同欄第４５行）
「【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造プロセスで用いられる機械式インターフェース装置に関する。」
　(b)（第２欄第５行〜同欄第９行）
「【０００３】このＳＭＩＦ装置は、例えば、図４に示すように、ウエハ処理装置（図示しない）を収納し、清浄空気で満たされている装置の本体ケース１と、可搬式タイプのボックス（以下、ポッドＰＯＤという）１０および搬送装置３０を含んでいる。」
　(c)（第５欄第２５行〜同欄第３６行）
「【００２０】ポートプレート３の表面のフランジ１２に対向する部分には、周方向に延びるシール溝３ａと３ｂが周方向と直交する方向に小間隔を隔てて形成されている。このシール溝３ａと３ｂにはシール材（Ｏーリング）５１ａ、５１ｂが嵌着され、両シール材はポートプレート表面に環状の溝状空間Ｙを形成する。ポートプレート３には、更に、一端が上記シール溝３ａ、３ｂとの間からポートプレート３表面に開口し、他端がポートプレート３の外側面に開口する通路孔３Ｃが形成されるとともに、ガス給気口３Ａとガス排気口３Ｂが形成されている。この通路孔３Ｃは配管３Ｄを通して図示しない真空ポンプに連絡される。」
　(d)（第７欄第４〜１３行）
「【００２８】ポットドア２１がポートドア３１へ向かって下降すると、ポッドＰＯＤ１０が開口し、ポッドＰＯＤ１０内がガス供給口３Ａが開口している空間（ポート４とポッドドア２１及びポートドア３１の周側面との間の空間）Ａに連通するが、ポートドア３１はポートプレート３の下面を閉鎖したままであり、ポープレート３とフランジ１２との間はシール材５１ａ、５１ｂで気密に閉鎖されているから、上記空間Ａは本体ケース１外に対しても本体ケース１内にたいしても気密に遮蔽されている。」
　上記(a)〜(d)の記載事項から、刊行物１には、次のものが記載されていると認められる。
　ポッドＰＯＤのフランジ部端面とポートプレートとの結合部分に配設された２重以上のシール材(51a,51b)と、各シール間の環状の溝状空間(Y)と、該環状空間に接続されて各シール間を真空排気する通路孔とをポートプレート側に具備した機械式インターフェイス。
刊行物２：
　(a)（第６欄第２３行〜３２行）
　「【００２７】図１乃至図４で本発明の第１実施例を説明する。この図において、真空クリーンボックス１は、一面に開閉口３を有する本体部２と、開閉口３を気密に閉成するシャッター兼用蓋体部４とからなり、シャッター兼用蓋体部４の閉成時に真空状態を維持できる気密性を有していて真空排気手段及び移送手段を持たない構造である。本体部２は、一面に開閉口３を有し、かつ開閉縁にフランジ部６を有する箱型部材５と、該箱型部材５の上面の開口部７を密閉する透明部材８と、該透明部材８を箱型部材５に固定する固定部材９とからなっている。」
　(b)（第６欄第４９行〜第７欄第９行）
　「【００２９】前記真空クリーンボックス１が合体可能な各種処理装置としてのクリーン装置６０は、上面に開閉口６２を有する気密容器６３と、該気密容器６３の底部の穴部８６を貫通する中空昇降ロッド６４の先端（上端）に一体化もしくは固定されたシャッター６５と、前記中空昇降ロッド６４の内周に摺動自在に挿入された開閉操作ロッド８０と、該開閉操作ロッド８０の先端（上端）に一体化もしくは固定された蓋受台（キャリア）８１と、該蓋受台８１の上面から突出するように当該蓋受台８１に固着された複数本の位置決めピン６１とを有している。」
　(c)（第７欄第２９〜３２行）
「同様に、連結用ブロック６７の真空クリーンボックス側フランジ部６への対接面には溝７０が形成され、該溝７０内に気密封止用のＯリング７１が配設されている。」
　(d)（第９欄４〜１３行）
「【００４０】前記中間エリアＳを真空排気した後は、真空クリーンボックス１のシャッター兼用蓋体部４についての内外圧力差は無くなるから、クリーン装置６０側の開閉操作ロッド８０を僅かに下げ、蓋受台８１を下降させれば、シャッター兼用蓋体部４の自重及びホルダー２２や半導体ウエハ３０の重量が存在するため、図３（Ｃ）の如く、当該シャッター兼用蓋体部４及び半導体ウエハ３０も蓋受台８１と一体的に下降し、真空クリーンボックス１内の空間と中間エリアＳとが連通（連続）状態となる。」
　上記(a)〜(d)の記載事項から、刊行物２には、次のものが記載されていると認められる。
　開閉口(3)及び開口縁のフランジ部(6)を有する本体部(2)と前記フランジ部(6)の端面に接して前記開閉口(3)を気密に閉成するシャッター兼用蓋体部(4)とからなり、前記シャッター兼用蓋体部(4)の閉成時に真空状態を維持できる気密性を有していて真空排気手段及び移送手段を持たない真空クリーンボックス(1)と、
　前記シャッター兼用蓋体部(4)を受ける蓋受台(81)と、シャッター(65)と、前記蓋受台(81)及び前記シャッター(65)を駆動する開閉操作ロッド(80)と、前記シャッター(65)で開閉自在な開閉口(62)とを有するクリーン装置(75)と、
　前記真空クリーンボックス(1)の前記フランジ部(6)端面と前記クリーン装置(75)との結合部分に配設されたＯリング(71)を前記クリーン装置(75)側に具備し、
　前記真空クリーンボックス(1)と前記クリーン装置(75)とは結合時に前記シャッター兼用蓋体部(4)及び前記シャッター(65)が面する気密な密閉空間を構成し、前記シャッター(65)による前記クリーン装置(75)の前記開閉口(62)を閉成状態としたままで、前記シャッター兼用蓋体部(4)を受ける前記蓋受台(81)を前記開閉操作ロッド(80)によって駆動して前記シャッター兼用蓋体部(4)を開く如く構成したことを特徴とするクリーン搬送装置。
３　対比
　そこで、本願発明１（前者）と刊行物２記載の発明（後者）を対比する。
　後者の「開閉操作ロッド(80)」は、前者の「開閉駆動手段」に相当することは明らかである。
　また、後者の「Ｏリング(71)」は外部との気体の流通を遮断するシールであるから「気密シール」といえる。
　以上のことから、両者には次の一致点および相違点があるといえる。
　(a)一致点：
　「開閉口及び開口縁のフランジ部を有する本体部と前記フランジ部の端面に接して前記開閉口を気密に閉成するシャッター兼用蓋体部とからなり、前記シャッター兼用蓋体部の閉成時に真空状態を維持できる気密性を有していて真空排気手段及び移送手段を持たない真空クリーンボックスと、
　前記シャッター兼用蓋体部を受ける蓋受台と、シャッターと、前記蓋受台及び前記シャッターを駆動する開閉駆動手段と、前記シャッターで開閉自在な開閉口とを有するクリーン装置と、
　前記真空クリーンボックスの前記フランジ部端面と前記クリーン装置との結合部分に配設された気密シールを前記クリーン装置側に具備し、
　前記真空クリーンボックスと前記クリーン装置とは結合時に前記シャッター兼用蓋体部及び前記シャッターが面する気密な密閉空間を構成し、前記シャッターによる前記クリーン装置の前記開閉口を閉成状態としたままで、前記シャッター兼用蓋体部を受ける前記蓋受台を前記開閉駆動手段によって駆動して前記シャッター兼用蓋体部を開く如く構成したことを特徴とするクリーン搬送装置。」
　(b)相違点
　真空クリーンボックスのフランジ部端面とクリーン装置との結合部分には、前者においては「２重以上の気密シールと、各シール間の環状溝と、該環状溝に接続されて各シール間を真空排気する真空排気経路」とがクリーン装置側に具備せしめられているのに対して、後者においては単に「Ｏリング」が具備せしめられているのみである点。
４　当審の判断
　そこで、この相違点について検討する。
　刊行物１に記載された機械式インターフェイスは、半導体処理装置におけるパーティクル汚染を防止する可搬式ポッドを搬送する装置であるから、クリーン搬送装置であり、ポッドＰＯＤは、クリーンボックスであるといえる。
　また、刊行物１記載の機械式インターフェイスにおけるポッドＰＯＤのフランジ部端面とポートプレートとの結合部分には、２重の気密シールと、各シール間の環状空間と、該環状空間に接続されて各シール間を真空排気する真空排気経路とがポートプレート側に設けられており、クリーンボックスとポートドア間の空間Ａを本体ケース外の空気に対し気密に遮蔽する機能を果たすためのものであるが、２重の気密シール間の環状空間に十分な容積を持たせるため環状溝を設けることは当業者なら適宜必要に応じてできる単なる設計的事項であるから、クリーン搬送装置において、クリーンボックスをボックス外の空気に対して遮蔽するためのシール構造である刊行物２記載のＯリングに代えて、刊行物１記載のシール構造を適用するに当たりクリーン装置側に環状溝を設けて、本願発明２の相違点における構成のようにすることは当業者ならば容易に想到できたことであり、効果においても予測し得ない効果を奏するとも認められない。
　請求人は、刊行物１記載のポッドＰＯＤ内を真空にすることは意図しておらず、ガス置換を目的としているため、図１の昇降空間Ｘを含む空間Ａは、真空排気することはなく、Ｎ2ガスを充填して内部空気を追い出すもので、工程も相違する。一方刊行物２のものは、真空で被搬送物を保管、移送する真空クリーンボックスを用いる発明であり、前提条件が異なる発明であるから両者を組み合わせる必然性はないと主張している。
　しかし、刊行物１記載のポッドとポートプレートとの結合部分の２重シール構造は、ポッド内外の気圧差のない状態でのポッドドアとポートドア間の空間Ａの気密保持を果たすための構造であり、一方、本願発明が解決しようとする課題即ち「内部にクリーン気体をリークしたとき、真空クリーンボックス１内外の差圧が無くなり、１重の気密シールＰ１部分に対してボックス本体部２のフランジ部2aを押しつける力はボックス本体部２の自重のみとなる。このため、真空クリーンボックス１内が大気圧に戻った瞬間に外部からの空気の急激な漏れが発生し、真空クリーンボックス内で微粒子が浮遊してしまう。」（段落１４参照）という課題もクリーンボックスの内外気圧差が無い状態でのシャッター兼用蓋体部とシャッター間の空間Ｓの気密保持という課題であるから、ポッドの真空排気を行わないにしろ、刊行物１は、大気圧下でのクリーンボックスのシーリングという本願発明２の課題を解決する手段を開示しているといえる。
　したがって、請求人の上記主張は妥当でない。
５　むすび 
　以上のとおりであるから、本願発明２は、本願出願前日本国内において頒布された刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願の他の発明につき検討するまでもなく本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。