【事件の表示】
　特願２０１１−　２２０４９「自動化ウェハ欠陥検査システムおよびこのような検査を実行する方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　６月　２日出願公開、特開２０１１−１０７１５９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯 
 　本願は，平成１１年７月１５日（パリ条約優先権主張：平成１０年７月１５日（以下，「本願優先日」という。），平成１１年７月１３日　米国）を国際出願日とする特許出願（特願２０００−５６０５３７号）の一部を，平成２１年９月１８日に新たな特許出願（特願２００９−２１８１８３号）としたものの一部を，さらに平成２３年２月３日に新たな特許出願（特願２０１１−２２０４９号）としたものであって，平成２４年６月１５日付けで拒絶理由が通知され，平成２４年１１月１５日に意見書及び手続補正書が提出され，平成２５年５月９日付けで拒絶査定がなされ，同査定の謄本は，同月１４日に出願人に発送された。
　これに対し，平成２５年９月１７日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに，同日付けで手続補正（以下「本件補正」という）がなされたものである。
 　 
第２　平成２５年９月１７日付けの手続補正についての補正の却下の決定
 ［補正の却下の決定の結論］ 
 　平成２５年９月１７日付けの手続補正を却下する。 
 　 
 ［理由］  
１　本件補正について
　　本件補正により，補正前の特許請求の範囲（平成２４年１１月１５日付けの手続補正により補正されたもの。）の請求項１は，次のとおりに補正された。（下線は補正箇所を示す。）
「【請求項１】
　欠陥について基板を検査する自動化システムであって、該基板が、ウェハの少なくとも一部を含み、該システムが、
　検査の間、該基板を移動させるように配置された試験プレートと、
　該基板が視覚検査デバイスに対して移動している間、該基板に関する画像を捕捉するように構成されている視覚検査デバイスと、
　該視覚検査デバイスによって該画像を捕捉することを補助するために、該基板が該視覚検査デバイスに対して移動している間に該基板の少なくとも一部を自動的に照射するように構成されたストロボ照射器と、
　該捕捉された画像を複数の基板の
統計的
データ
　を備えており、
　該ストロボ照射器が、該基板を可変ストロボレートで選択的に照射するように構成されており、該可変ストロボレートおよび該視覚検査デバイスに対する該基板の移動に関する速度のうちの少なくとも一方が、他方に相関するように自動的に調節される、自動化システム。」
 　 
 　特許請求の範囲の請求項１についての上記の補正は，補正前の「該捕捉された画像を複数の基板の画像に基づいて生成された参照モデルと比較して，該基板の欠陥を検出するように構成されたプロセッサ」という，基板の欠陥を検出するプロセッサが捕捉された画像と比較を行う対象である参照モデルについて「該捕捉された画像を複数の基板の
統計的
データ
　そこで，補正後の請求項１に記載された発明（以下，「補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか（同法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）について以下に検討する。
  　 
２　引用刊行物及びその記載事項 
（１）刊行物１（特開平４−３４８０５０号公報）
　原査定の拒絶の理由に引用され，本願優先日前に頒布された刊行物１には，材料表面検査装置に関して，次の事項が図面とともに記載されている。 
ア　特許請求の範囲
「【請求項１】平板状の被検体の表面を観察・検査する材料表面検査装置であって、
　該被検体を載置して移動可能なステージと、
　該ステージ上の被検体を照明する照明手段と、
　該被検体の一部分の像を画像データとして取込む撮像手段と、
　該画像データに基づいて被検体の欠陥を評価する画像処理手段と、
　上記ステージの移動途中において、これに載置された被検体が所定位置に至ったとき、これに同期して、上記照明手段を閃光させるとともに、上記撮像手段により画像データを取込む同期制御手段と
　を具備することを特徴とする材料表面検査装置。」　
　
イ　第２頁右下欄末行〜第３頁左上欄１１行 
「第１９図に、従来のこの種の結晶材料の欠陥を測定および観察する装置の概略構成を示す。
　同図において、１は評価測定対象（被検体）としてのエッチングなどの処理を施したウェハ試料、２はこのウェハ試料１を載置するステージを示す。このステージ２は、縦方向（Ｘ方向、図の紙面に垂直な方向）、横方向（Ｙ方向、図の左右方向）、および高さ方向（Ｚ方向、図の上下方向）に移動できるように、パルスモーター（ステッピングモーター）などを有する駆動機構（各方向のステージ）２ｂ，２ｃ，２ｄを備えている。３はＸ，Ｙ，Ｚ方向の各ステージ２ｂ，２ｃ，２ｄの各パルスモータに対する駆動信号を送出するパルスモータコントローラ、１３はパルスモータコントローラ３からの駆動信号に基づいてパルス信号をパルスモータに出力するパルスモータドライバを示す。
　４はステージ２に載置されたウェハ試料１を観察および計測するための顕微鏡を示す。この顕微鏡４には、試料１を照明する光源である照明ランプ（ハロゲンランプ）５と、試料１の静止画像を撮影するためのＴＶカメラ６とが取付けられている。１４は顕微鏡４の自動焦点機構を制御する顕微鏡コントロールユニットを示す。
　また、７は前記ＴＶカメラ６により静止画像データを入力しこの画像データに基づいて試料１のエッチピットなどの欠陥を評価する画像処理装置、８は前記ステージ２のパルスモータコントローラー３および画像処理装置７などとの間でデータや命令の送受信を行い、取り込んだ画像データの処理などを指示するコンピュータを示す。９は画像処理装置７に取り込んだ画像データを表示するためのモニタである。」
　
ウ　第４頁右下欄１０行〜第５頁左上欄１４行 
「［実施例］
　以下、本発明を図面に示した実施例を用いて詳細に説明する。
　第１図は、本発明の第１の実施例に係る材料表面検査装置の概略構成を示す。同図において、前述した第１９図と同一または相当する部分には、同一の番号を付してその説明は省略する。
　第１図において、２ａはウェハを固定するためのバキュームチャック付きのサンプルステージ、２ｂ，２ｃ，２ｄはそれぞれパルスモーターを有するＸ，Ｙ，Ｚ方向の電動式ステージ駆動機構を示す。サンプルステージ２ａはθ方向（Ｚ方向回りの回転方向）の回転駆動機構（不図示）を内蔵している。これらの駆動機構によりステージをＸ（縦方向），Ｙ（横方向），Ｚ（高さ方向），θ（回転方向）に高速に移動させることができる。
このようなステージ駆動機構２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ、パルスモータードライバ１３、パルスモーターコントローラー３により、ウェハ試料１のいずれの場所も顕微鏡４の視野内に入るように、ステージ２を精密に移動させることができる。
　顕微鏡４には、ＴＶカメラ６、ストロボライト１１、および顕微鏡４の自動焦点機構を制御する顕微鏡コントロールユニット１４が取付けられている。」
　
エ　第５頁右上欄３行〜１７行
「再び第１図を参照して、１２はトリガ発生装置を示す。トリガ発生装置１２は、パルスモーターコントローラ３から取り出した信号に基づいて、ストロボ発光および画像取り込み用のトリガ信号を生成する。ストロボ発光用のトリガ信号はストロボドライバ１０に出力され、これに応じてストロボドライバ１０はストロボ１１を閃光させる。画像取り込み用のトリガ信号は画像処理装置７に出力され、これに応じて画像処理装置７はＴＶカメラ６から画像データを取り込む。したがって、ストロボ閃光タイミングと同期して、ウェハ試料１の高速移動状態でのウェハ表面の顕微鏡瞬時画像を静止画像として取り込むこととなる。画像処理装置７は、コンピュータ８と共働して、この画像データに基づき試料１の欠陥の計測評価を行う。」
　
オ　第５頁右下欄１３行〜末行
「画像処理装置７による画像データの取り込みは、まずストロボ１１の発光下で顕微鏡４を通した試料１の拡大像を得、この拡大像をＴＶカメラ６を介して画像データとして画像処理装置７に画像入力する。次に、画像処理装置７およびコンピュータ８において、この画像データを画像処理し、結晶欠陥の分布、個数、形状および密度などを計測（算出）する。」
　
カ　第６頁左上欄７行〜１５行
「ステージは連続的に移動し、停止せずに、ストロボの発光により画像データを取込み、ステージの移動中に画像処理（計測）を行っているので、従来例のようにステージの移動・停止を繰返すことがなく、ステージの移動中に画像処理を行う分、処理スピードが上がる。ステージの移動速度は画像処理の処理速度まで上げることができ、全体の処理スピードはほぼ画像処理の速度に依存することとなる。」
　
キ　第９頁右下欄１行〜１０行
「［発明の効果］
　以上説明したように、本発明に係わる材料表面検査装置によれば、ステージ上の被検体の表面画像をステージの移動に同期して照明手段を閃光させ同時に画像データを画像処理手段に取り込むようにしているので、ステージを静止させることなく、結晶などの被検体の欠陥の計測を行うことができる。したがって、被検体の欠陥の計測や評価を高速に処理することが可能で、これにより装置の処理能力を増大させるという優れた効果がある。」
　
ク　そして，第１図には，上記記載事項ア〜オに対応する図が記載されている。
　
　これらの記載及び図面を勘案し，補正発明の記載ぶりに倣って整理すると，刊行物１には以下の発明が記載されていると認められる。
「ウエハの表面を観察・検査する表面検査装置であって，
　検査の間，ウエハを載置してＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向に高速に移動させることのできるサンプルステージと，
　該ウエハがＴＶカメラに対して移動している間，該ウエハに関する画像を顕微鏡を介して捕捉するように構成されているＴＶカメラと，
　該ＴＶカメラによって該画像を捕捉することを補助するために，該ウエハが該ＴＶカメラに対して移動している間に該ウエハの少なくとも一部を照射するように構成されたストロボライトと，
　該捕捉された画像から，該ウエハの欠陥の計測評価を行う，画像処理装置とコンピュータと
　を備えており，
　該ストロボライトが，該サンプルステージの駆動機構のパルスモータのパルスモータドライバへパルスモータ駆動信号を出力するパルスモータコントローラから取り出した信号に基づいて生成されたストロボ発光用および画像取り込み用のトリガ信号のうちの，ストロボ発光用のトリガ信号がストロボドライバーに出力されることに応じて閃光するとともに，画像取り込み用のトリガ信号が画像処理装置に出力されることにより，ＴＶカメラからの画像データが画像処理装置に取り込まれ，ストロボ閃光タイミングと同期して，ウエハ試料の高速移動状態での該ウエハ表面の顕微鏡瞬間画像が静止画として取り込まれる，表面検査装置。」（以下，「刊行物１発明」という。）
　
（２）刊行物２（特開平９-３０５７６４号公報）
　同じく，原査定の拒絶の理由に引用され，本願優先日前に頒布された刊行物２には，画像のパターン欠陥検出方法及び装置に関して，次の事項が記載されている。
ア　第２頁左欄２０行〜３１行
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基準パターン画像と被検査パターン画像を比較し、両画像間の異なる部分を欠陥として検出する画像のパターン欠陥検出方法及び装置に係り、特に、工業用テレビカメラ等の画像入力手段により得られる画像を用いて、プリント基板、半導体集積回路等の配線パターンの欠陥を検出する際に用いるのに好適な、基準パターン画像と被検査パターン画像の２画像間のずれを誤検出することなく、且つ、従来ずれの中に埋もれていた微小な欠陥迄も、その欠陥本来の大きさで検出することが可能な、画像のパターン欠陥検出方法及び装置に関する。」
イ　第２頁左欄３２行〜４０行
「【０００２】
【従来の技術】画像のパターンの欠陥を検出する方法の一つとして、基準パターン画像と被検査パターン画像を比較し、両画像間に差異があれば、これを欠陥と見做すパターン比較法が知られている。
【０００３】このパターン比較法で用いる基準パターン画像は、設計図等の図面情報から直接描画する方法や、実際に撮像された複数の正常パターン画像の平均をとる方法等が一般的である」
　
３　補正発明と刊行物１発明との対比
（１）刊行物１の上記記載事項イには「８は前記ステージ２のパルスモータコントローラー３および画像処理装置７などとの間でデータや命令の送受信を行い、取り込んだ画像データの処理などを指示するコンピュータを示す。」と記載されているし，同記載事項エには「画像処理装置７は、コンピュータ８と共働して、この画像データに基づき試料１の欠陥の計測評価を行う。」と，同上記記載事項オには「画像処理装置７による画像データの取り込みは、まずストロボ１１の発光下で顕微鏡４を通した試料１の拡大像を得、この拡大像をＴＶカメラ６を介して画像データとして画像処理装置７に画像入力する。次に、画像処理装置７およびコンピュータ８において、この画像データを画像処理し、結晶欠陥の分布、個数、形状および密度などを計測（算出）する。」と記載されていることから，刊行物１発明の検査は，検査装置へのウェハの設置や検査の開始の指示などにおいては人手を介するとしても，検査中はコンピュータによりパルスモータや画像処理装置などを制御して検査を行うものであるから，自動化されたウエハの表面検査装置といい得る。
　そうすると，刊行物１発明の「ウエハの表面を観察・検査する表面検査装置」は，補正発明の「欠陥について基板を検査する自動化システムであって、該基板が、ウェハの少なくとも一部を含」むものに相当する。
　
（２）また，刊行物１発明の「検査の間、ウエハを載置してＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向に高速に移動させることのできるサンプルステージ」は，補正発明の「検査の間、該基板を移動させるように配置された試験プレート」に相当する。
　
（３）本願の明細書の段落【００６５】，【００６６】に「（項目１５）上記視覚検査デバイスがカメラである、項目１３記載の自動化システム」，「（項目１６）上記視覚検査デバイスがＣＣＤカメラである、項目１３記載の自動化システム」という記載や，段落【００８８】に「カメラシステム２０または他の視覚デバイスは・・・」，段落【００８９】に「本発明により考慮されるカメラシステム２０の１つの例は、２カメラシステムであり、ここで、一方のカメラは検査カメラであり・・・この検査カメラは、高解像度ＣＣＤカメラである」という記載などからみて，本願発明の「視覚検査デバイス」は，ＴＶカメラを含む概念である。
　してみると，刊行物１発明の「ＴＶカメラ」は，補正発明の「視覚検査デバイス」に相当する。
　
（４）刊行物１発明の「該ＴＶカメラによって該画像を捕捉することを補助するために、該ウエハが該ＴＶカメラに対して移動している間に該ウエハの少なくとも一部を照射するように構成されたストロボライト」は，該サンプルステージの駆動機構のパルスモータのパルスモータドライバへパルスモータ駆動信号を出力するパルスモータコントローラから取り出した信号に基づいて生成されたストロボ発光用および画像取り込み用のトリガ信号のうちの，ストロボ発光用のトリガ信号がストロボドライバーに出力されることに応じて閃光するとともに，画像取り込み用のトリガ信号が画像処理装置に出力されることにより，ＴＶカメラからの画像データが画像処理装置に取り込まれ，ストロボ閃光タイミングと同期して，ウエハ試料の高速移動状態での該ウエハ表面の顕微鏡瞬間画像が静止画として取り込まれるものであり，上記記載事項イに「８は前記ステージ２のパルスモータコントローラー３および画像処理装置７などとの間でデータや命令の送受信を行い、取り込んだ画像データの処理などを指示するコンピュータを示す。」と記載されているようにコンピュータによりそのストロボ発光が制御されているものであるから，補正発明の「該視覚検査デバイスによって該画像を捕捉することを補助するために、該基板が該視覚検査デバイスに対して移動している間に該基板の少なくとも一部を自動的に照射するように構成されたストロボ照射器」に相当する。
　
（５）そして，刊行物１発明の「ストロボランプ」のストロボ閃光のタイミングと，サンプルステージの移動，すなわちサンプルステージ上のウエハの移動は，該ストロボライトが，該サンプルステージの駆動機構のパルスモータのパルスモータドライバへパルスモータ駆動信号を出力するパルスモータコントローラから取り出した信号に基づいて生成されたストロボ発光用のトリガ信号に応じて閃光するのであるから，サンプルステージの移動速度とストロボの発光レートは同期していること，すなわち相関するように自動的に調節されることは明らかである。
　なお，ストロボ発光レートがサンプルステージの移動速度に同期している以上，ストロボ発光レートが，サンプルステージ移動の起動や停止に同期して可変レートで発光することとなることも技術的必然といえる。
　してみると，刊行物１発明の「該ストロボライトが、該サンプルステージの駆動機構のパルスモータのパルスモータドライバへパルスモータ駆動信号を出力するパルスモータコントローラから取り出した信号に基づいて生成されたストロボ発光用および画像取り込み用のトリガ信号のうちの、ストロボ発光用のトリガ信号がストロボドライバーに出力されることに応じて閃光するとともに、画像取り込み用のトリガ信号が画像処理装置に出力されることにより、ＴＶカメラからの画像データが画像処理装置に取り込まれ、ストロボ閃光タイミングと同期して、ウエハ試料の高速移動状態での該ウエハ表面の顕微鏡瞬間画像を静止画として取り込む」という構成は，補正発明の「該ストロボ照射器が、該基板を可変ストロボレートで選択的に照射するように構成されており、該可変ストロボレートおよび該視覚検査デバイスに対する該基板の移動に関する速度のうちの少なくとも一方が、他方に相関するように自動的に調節される」という構成に相当する。
　
（６）さらに，刊行物１発明の「該捕捉された画像から、該ウエハの欠陥の計測評価を行う、画像処理装置とコンピュータ」は，補正発明の「該基板の欠陥を検出するように構成されたプロセッサ」に相当する。
　
（７）そこで，補正発明と刊行物１発明とを対比すると，両者は，
（一致点）
「欠陥について基板を検査する自動化システムであって，該基板が，ウェハの少なくとも一部を含み，該システムが，
　検査の間，該基板を移動させるように配置された試験プレートと，
　該基板が視覚検査デバイスに対して移動している間，該基板に関する画像を捕捉するように構成されている視覚検査デバイスと，
　該視覚検査デバイスによって該画像を捕捉することを補助するために，該基板が該視覚検査デバイスに対して移動している間に該基板の少なくとも一部を自動的に照射するように構成されたストロボ照射器と，
　該捕捉された画像により，該基板の欠陥を検出するように構成されたプロセッサと
　を備えており，
　該ストロボ照射器が，該基板を可変ストロボレートで選択的に照射するように構成されており，該可変ストロボレートおよび該視覚検査デバイスに対する該基板の移動に関する速度のうちの少なくとも一方が，他方に相関するように自動的に調節される，自動化システム。」
である点で一致し，次の点で相違する。
（相違点）
　基板の欠陥の検出に関して，補正発明は，「該捕捉された画像を複数の基板の統計的画像データに基づいて生成された参照モデルと比較して，該基板の欠陥を検出するように構成されたプロセッサ」を備えているのに対し，刊行物１発明には，該捕捉された画像を複数の基板の統計的画像データに基づいて生成された参照モデルと比較して，該基板の欠陥を検出するように構成されたプロセッサを備えることは特定されていない点。
　
４　相違点についての検討
　刊行物１には，基板の欠陥の検出に関して，「画像処理装置７およびコンピュータ８において、この画像データを画像処理し、結晶欠陥の分布、個数、形状および密度などを計測（算出）する」ことが記載されている（上記記載事項オ参照）に留まるが，工業用テレビカメラ等により捕捉されたウエハ（基板）の画像を用いてウエハ基板の欠陥検査を行う検査装置の検査対象として，基板上の配線パターンの欠陥検査が含まれることは，本願優先日前の半導体ウエハ検査装置の技術分野において技術常識にすぎない。
　そして，配線パターンの欠陥を検出する際に，被検査パターン画像と基準パターン画像を比較して欠陥を検出することも，刊行物２の上記記載事項２（２）ア及びイに記載されているように本願優先日前に知られている事項である。
　しかも，同記載事項イには「このパターン比較法で用いる基準パターン画像は、・・・や、実際に撮像された複数の正常パターン画像の平均をとる方法等が一般的である」と，複数の基板の画像データを“平均”，すなわち統計的な画像データの取り扱いの一種により処理した基準パターン画像を，被検査パターン画像と比較する参照モデルとして欠陥の検出を行うことも記載されている。
　また，刊行物１発明は，検査の間，サンプルステージ（試験プレート）を静止することなく，ウエハ（基板）の欠陥の計測や評価を高速に処理できる材料表面検査装置である（上記記載２　（１）カ及びキ参照）ところ，人手を要さず高速に欠陥検査が行えるようにすることは，多量の被検体を取り扱う欠陥検査システムにおける一般的な技術課題にすぎない。
　そうすると，刊行物１発明のウエハの表面を観察・検査する表面検査装置を，被検査パターン画像と基準パターン画像を比較して欠陥を検出するパターン欠陥検出用に転用して，「該捕捉された画像を複数の基板の統計的画像データに基づいて生成された参照モデルと比較して，該基板の欠陥を検出するように構成されたプロセッサ」を備える，「欠陥について基板を検査する自動化システム」に変更することは，当業者が必要に応じて適宜に設計変更し得る範囲内の事項である。
　
　以上のとおりであるから，補正発明は，上記刊行物１及び２に記載された発明に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものあって，特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
 　 
５　むすび 
　したがって，本件補正は，平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するものであり，同法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。 
  
第３　本願発明について 
１　本願発明 
　平成２５年９月１７日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので，本願の請求項１ないし６に係る発明は，平成２４年１１月１５日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された事項により特定されるものであって，その請求項１は以下のとおりのものである。（以下，同請求項１に係る発明を「本願発明」という。） 　 
　
「　【請求項１】
　欠陥について基板を検査する自動化システムであって、該基板が、ウェハの少なくとも一部を含み、該システムが、
　検査の間、該基板を移動させるように配置された試験プレートと、
　該基板が視覚検査デバイスに対して移動している間、該基板に関する画像を捕捉するように構成されている視覚検査デバイスと、
　該視覚検査デバイスによって該画像を捕捉することを補助するために、該基板が該視覚検査デバイスに対して移動している間に該基板の少なくとも一部を自動的に照射するように構成されたストロボ照射器と、
　該捕捉された画像を複数の基板の画像に基づいて生成された参照モデルと比較して、該基板の欠陥を検出するように構成されたプロセッサと
　を備えており、
　該ストロボ照射器が、該基板を可変ストロボレートで選択的に照射するように構成されており、該可変ストロボレートおよび該視覚検査デバイスに対する該基板の移動に関する速度のうちの少なくとも一方が、他方に相関するように自動的に調節される、自動化システム。」
　
２　引用刊行物等の記載事項 
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物１及び２の記載事項は，前記第２の２（１）及び（２）においてそれぞれに記載したとおりである。 
　
３　本願発明と刊行物１発明との対比・判断 
　本願発明は，前記第２の３で検討した補正発明において，「該捕捉された画像を複数の基板の
統計的
データ
　そうすると，当該補正発明と同様に，本願発明も刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 
 　 
４　むすび 
 　以上のとおり，本願発明は，本願出願前に頒布された上記刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
 　よって，結論のとおり審決する。