【事件の表示】
　特許第３１２５２７９号「真空蒸着用黒鉛ルツボ」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１２５２７９号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３１２５２７９号は、平成３年２月２５日に特許出願され、平成１２年１１月２日にその特許の設定登録がなされ、その後、東洋炭素株式会社から特許異議の申立てがあり、取消理由が通知されたところ、その指定期間内である平成１４年６月１４日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否について
（１）訂正の内容
　本件訂正請求書における訂正の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正しようとするものである。すなわち、
訂正事項（ａ−１）：特許請求の範囲の請求項１において、「等方性黒鉛からなることを特徴とする」とあるのを、「等方性黒鉛からなり、該等方性黒鉛から幅１４０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ、長さ１９００ｍｍの長尺ボード形状のルツボを作製し、該ルツボを周辺を取り巻くように形成された誘導加熱コイル中にセットし、約１ＫＨＺの高周波電流によって１５００℃に加熱した際、ルツボの温度分布のバラツキが２０℃未満であることを特徴とする」と訂正する。
訂正事項（ａ−２）：明細書段落【０００６】に「等方性黒鉛からなることを構成上の特徴とする。」とあるのを、「等方性黒鉛からなり、該等方性黒鉛から幅１４０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ、長さ１９００ｍｍの長尺ボード形状のルツボを作製し、該ルツボを周辺を取り巻くように形成された誘導加熱コイル中にセットし、約１ＫＨＺの高周波電流によって１５００℃に加熱した際、ルツボの温度分布のバラツキが２０℃未満であることを特徴とする。」と訂正する。
訂正事項（ｂ−１）：明細書の【図面の簡単な説明】の欄において、「【図１】従来の丸型黒鉛ルツボを用いた場合の真空蒸着方式を模式的に示した斜視図である。」とあるのを、「【図１】本発明の長尺ボート形状黒鉛ルツボを用いた場合の真空蒸着方式を模式的に示した斜視図である。」と訂正する。
訂正事項（ｂ−２）：明細書の【図面の簡単な説明】の欄において、「【図２】本発明の長尺ボート形状黒鉛ルツボを用いた場合の真空蒸着方式を模式的に示した斜視図である。」とあるのを、「【図２】従来の丸型黒鉛ルツボを用いた場合の真空蒸着方式を模式的に示した斜視図である。」と訂正する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（イ）訂正事項（ａ−１）は、請求項１の真空蒸着用黒鉛ルツボにつき、その形状及び作製を「等方性黒鉛から幅１４０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ、長さ１９００ｍｍの長尺ボード形状のルツボを作製し」と、その温度分布のバラツキを「ルツボを周辺を取り巻くように形成された誘導加熱コイル中にセットし、約１ＫＨＺの高周波電流によって１５００℃に加熱した際、ルツボの温度分布のバラツキが２０℃未満である」と特定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
　そして、明細書段落【００１５】の実施例２に「平均気孔径および気体透過度が異なる等方性黒鉛を基材として実施例１と同一の長尺ボート形状の真空蒸着用ルツボに加工形成し、これをアルミナゾルに浸漬して含浸処理を施したのち乾燥した。このようにしてアルミナ処理を施した各真空蒸着用ルツボにつき、実施例１と同一の条件でアルミニウムの真空蒸着をおこなって耐久寿命を試験した。」とアルミナ処理を施した真空蒸着用ルツボが実施例１と同一形状に作製されることが記載され、また、ルツボ基材である等方性黒鉛の電気比抵抗及び電気比抵抗分布のバラツキについては明記されていないが、実施例１において温度分布及び蒸着膜厚のバラツキを測定し、更に、実施例２で平均気孔径及び気体透過度を異ならせて耐久寿命を測定したという趣旨からみて、他の条件は同じ、即ち、電気比抵抗及び電気比抵抗分布のバラツキが実施例１と同じ等方性黒鉛を用いていることは明らかである。そこで実施例１をみてみると、明細書段落【００１２】に「等方性黒鉛材を加工して幅１４０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ、長さ１９００ｍｍの長尺ボート形状の真空蒸着用黒鉛ルツボを作製した。この真空蒸着用ルツボを、周辺を取り巻くように形成された誘導加熱コイル中にセットし、約１ＫＨＺの高周波電流によって１５００℃に加熱した際の温度分布を測定したところ、２０℃未満であることが確認された。」と記載されているから、実施例２記載のアルミナ処理を施した真空蒸着用黒鉛ルツボの形状及び作製は実施例１と同一の「等方性黒鉛材を加工して幅１４０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ、長さ１９００ｍｍの長尺ボート形状に作製」されたものであり、温度分布に影響を及ぼす電気比抵抗及び電気比抵抗分布のバラツキが実施例１と同じであるから、温度分布も実施例１と同様に「真空蒸着用ルツボを、周辺を取り巻くように形成された誘導加熱コイル中にセットし、約１ＫＨＺの高周波電流によって１５００℃に加熱した際の温度分布を測定したところ、２０℃未満である」ことは明らかである。よって、本件特許明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてなされたものである。
（ロ）訂正事項（ａ−２）は、上記訂正事項（ａ−１）の訂正に伴うものであり、訂正された請求項１の記載と明細書の記載とを整合させるためにするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当し、本件特許明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてなされたものである。
（ハ）訂正事項（ｂ−１）及び（ｂ−２）は、図面及び【発明の詳細な説明】欄の記載から入れ替わっていることが明らかな【図面の簡単な説明】欄の図面の説明を、入れ替えて正しくしたものであるから、誤記の訂正を目的とするものであり、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてなされたものである。
（ニ）また、上記訂正事項（ａ−１）〜（ｂ−２）は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（３）まとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．訂正後の本件発明
　本件訂正後の請求項１に係る発明（以下「本件訂正発明」という）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】連続走行するフィルム状物の下部に設置し、真空下の誘導加熱により溶融金属を前記フィルム状物に蒸着させるためのルツボであって、少なくともフィルム状物の幅と同等以上の長さをもつ長尺ボート形状を備え、電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内に収まり、平均気孔径１μｍ以下、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ以下の特性を有し、かつアルミナ処理が施された等方性黒鉛からなり、該等方性黒鉛から幅１４０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ、長さ１９００ｍｍの長尺ボード形状のルツボを作製し、該ルツボを周辺を取り巻くように形成された誘導加熱コイル中にセットし、約１ＫＨＺの高周波電流によって１５００℃に加熱した際、ルツボの温度分布のバラツキが２０℃未満であることを特徴とする真空蒸着用黒鉛ルツボ。」
４．申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、証拠方法として甲第１ないし６号証を提出し、本件請求項１に係る発明は、甲第１ないし６号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件請求項１係る発明の特許は取り消されるべきものである旨主張している。
５．甲第１ないし６号証の記載内容
　甲第１号証｛「三菱重工技報，Ｖｏｌ．２７，Ｎｏ．３，１９９０」第２０１〜２０６頁｝には以下の事項が記載されている。
（ａ）「食品包装フィルム用連続真空蒸着装置の開発」（第２０１頁表題）
（ｂ）図７には蒸着装置の構造が記載され、フィルム幅ｍａｘ８８０の下部に設置された幅１００で長さ１１００の長尺一体るつぼが図示されている。
（ｃ）「（１）均一膜厚分布
　るつぼを長尺一体るつぼとし、フィルム幅方向の蒸着膜厚分布の均一化を図った。フィルムへのＡｌ蒸着量は，Ａｌ浴温度と対応しているため，一体るつぼ内で幅方向の温度分布の少ないＡｌ浴が形成される本構造によれば，幅方向に均一な膜厚の蒸着膜が得られる。るつぼは，これを取り巻くように設置された長尺の誘導加熱コイル中を流れる約１ｋＨＺの高周波電流により誘導加熱される。誘導加熱コイルによる均一加熱性を確認するため，るつぼが設置される空間に形成される磁束密度分布と，そこに設置され加熱されたるつぼの温度分布を測定した。…（中略）…測定結果は，図８に示すように，るつぼに渦電流を誘起する磁束密度の分布は有効幅内でほぼ均一であり，渦電流のジュール熱によって加熱されたるつぼの温度分布も均一であることが確認できた。…（中略）…蒸着膜厚の測定結果は，後述するように，平均値に対して±５％以下の良好な均一性を持つことが確認された。」（第２０４頁左欄第１〜２２行）
（ｄ）「３．３　長尺るつぼの耐久性
　高温の溶融Ａｌに対する耐反応性に優れた長尺るつぼについて，適正な素材，製造方法，形状の開発を行い，ち密で気孔率の少ないグラファイト製るつぼを完成した。パイロットテスト装置を使用して，６０時間の耐久性を確認した。」（第２０６頁右欄第１〜５行）
　甲第２号証（特開昭６４−５２６７４号公報）には以下の事項が記載されている。
（ｅ）「かさ密度が１．５〜２．０ｇ／ｃｍ３、固有抵抗が５００〜１９００μΩｃｍ、曲げ強さが３００Ｋｇ／ｃｍ２以上、見掛け気孔率が０．１〜７．０％、真比重が２．１０以下であることを特徴とするカーボン部材。」（特許請求の範囲）
（ｆ）「この発明の目的は寿命の長いカーボン部材を提供することである。」（第２頁左上欄第３〜４行）
（ｇ）「５００〜１９００μΩｃｍの固有抵抗を有することによりカーボン粒子の結晶性が良好となり過ぎ、ひいては柔軟となり過ぎること、および発熱量が過大となって温度制御が困難になることを防止している。 」（第２頁左上欄第１６行〜右上欄第２行）
（ｈ）「またカーボン部材の一例をあげれば、アルミ蒸着用又はＣＺ用の黒鉛ルツボやヒータ、サセプタ用基材、液相成長用ポート、プラズマＣＶＤ用電極などである。」（第２頁左下欄第６〜９行）
（ｉ）「出発原料のカーボン成形体の一例として表−１に示す４種類の炭素成形体を使用し、第１図に示す冷間静水圧プレス式の含浸装置１を使用して、それらの炭素成形体にフルフリルアルコールを含浸して黒鉛ルツボをつくりった。」（第２頁右下欄第７〜１２行）
　甲第３号証（特開昭６４−５２６７５号公報）には以下の事項が記載されている。
（ｊ）「かさ密度が１．５〜２．０ｇ／ｃｍ３、見掛け気孔率が０．１〜７．０％、空気透過率が０〜１．０×１０−４ｍｌ・ｃｍ／ｃｍ２・ｓｅｃ・ｃｍであることを特徴とするカーボン材料。」（特許請求の範囲）
（ｋ）「要するに、本発明のカーボン材料では、見掛け気孔は存在するが、空気透過はほとんどない。即ち、密閉気孔だけが存在する。そのため耐スポーリング性にすぐれているのである。」（第２頁右上欄第８〜１２行）
（ｌ）「カーボン材料の具体例をあげればアルミ蒸着用又はＣＺ用の黒鉛ルツボやヒータ、サセプタ用基材、液相成長用ポート、プラズマＣＶＤ用電極などである。」（第２頁左下欄第１〜４行）
（ｍ）「カーボン成形体の一例として表−１に示す４種類の炭素成形体を使用し、第１図に示す冷間静水圧プレス式の含浸装置１を使用して、それらの炭素成形体にフルフリルアルコールを含浸して黒鉛ルツボをつくった。」（第２頁右下欄第２〜６行）
　甲第４号証（特開昭５０−３０７４７号公報）には以下の事項が記載されている。
（ｎ）「気孔率１０〜３０％を有しかつ全気孔のうち孔径１μ以下の微細孔を少くとも５０％占有してなる孔径分布を備えた炭素質材料から構成されることを特徴とするアルミニウム蒸着用炭素質坩堝。」（特許請求の範囲）
（ｏ）「本発明に係る炭素質坩堝は２０回以上の繰返し使用にも十分耐え、従来品の１〜４回の使用寿命に比べ大巾なる改善効果を発揮する。」（第２頁右上欄第９〜１１行）
　甲第５号証（特公昭５８−５１９１４号公報）には以下の事項が記載されている。
（ｐ）「１　カーボン材に、アルミニウム塩溶液とアルミナ微粉末の分散液（アルミナゾルを含む）を含浸し、熱処理して、開気孔をアルミナで被覆することを特徴とする耐酸化性の向上されたカーボン材の製造法。」（特許請求の範囲第１項）
（ｑ）「従って本発明は耐酸化性を要する高温で使用される、黒鉛製品（黒鉛発熱体、ガラス封着治具、ルツボ、冶金用・電気用・機械用摺動部品等）に適用すると効果がある。例えばアルミニウム真空蒸着用黒鉛ルツボの場合、溶融アルミが気孔内に浸透して炭化アルミニウムを生成し、侵食されてゆくが、気孔表面にアルミナが存在すると、溶融アルミの浸透を防止することが知られており、本発明による含浸処理によって得られたルツボは、アルミニウム塩溶液を含浸処理しただけのルツボより、寿命が１．５倍に改善されることが可能となった。」（第３頁左欄第６行〜右欄第８行）
　甲第６号証｛「日本ガラス技術研究会誌，Ｎｏ．２７」（平成元年７月発行）第３５〜５０頁｝には以下の事項が記載されている。
（ｒ）「これに対して等方性黒鉛は、ＣＩＰ成形によってあらゆる方向から加圧して成形するため、黒鉛粒子は、ランダム配向し、等方性となっている。黒鉛材料が等方性であるかどうかは、材料の三方向から試験片を採取し、各方向での特性（熱膨張係数、固有抵抗、機械的強度など）を測定し、この内の最大値を最小値で除した値を異方比として判定するが、通常は、熱膨張係数の異方比で表すことが多い。等方比か否かの基準については、明確な定義はないが、便宜上、下記の数値を目安としている。
　　　　　　　　　　　　等方比
　　　　　等方性　　　１．０〜１．１　　　　」（第３６頁第２３行〜第３７頁第６行）
（ｓ）表１に、等方性高密度黒鉛として、異方比１．０２〜１．０６、密度１．７５〜１．９０のものが記載されている。
（ｔ）「（５）成形　成形材料をラバーモールドに充顛し、冷間圧縮して所定の形状の成形体とする。」（第４９頁第１０〜１２行）
（ｕ）表２に、等方性高密度黒鉛の特性として固有抵抗が９５０及び１０００μΩｃｍのものが記載されている。
６．当審の判断
　甲第１号証には、上記摘示事項（ａ）〜（ｄ）より「幅ｍａｘ８８０のフィルムの下部に設置され、真空下の誘導加熱により溶融Ａｌを前記フィルムに蒸着させるためのるつぼであって、幅１００で長さ１１００の長尺一体形状で、ち密で気孔率の少ないグラファイトからなり、るつぼを取り巻くように設置された誘導加熱コイル中で約１ｋＨＺの高周波電流により誘導加熱した際るつぼの温度分布が均一である、連続真空蒸着用グラファイト製るつぼ」の発明（以下「甲１発明」という）が記載されていると云える。
　そこで、本件訂正発明と甲１発明とを対比すると、甲１発明の「フィルム」は本件訂正発明の「フィルム状物」に、同じく「溶融Ａｌ」は「溶融金属」、「長尺一体形状」は「長尺ボート形状」に、それぞれ相当し、また、甲１発明は連続真空蒸着用であるからフィルムは連続走行すること、るつぼ長さ１１００でフィルム幅はｍａｘ８８０であるから甲１発明のるつぼ長さは少なくともフィルムの幅と同等以上の長さであること、ち密で気孔率の少ないとは平均気孔径及び気体透過度が小さいこと、るつぼの温度分布が均一とは温度分布のバラツキが小さいことを意味することは、明らかである。よって、両者は「連続走行するフィルム状物の下部に設置し、真空下の誘導加熱により溶融金属を前記フィルム状物に蒸着させるためのルツボであって、少なくともフィルム状物の幅と同等以上の長さをもつ長尺ボート形状を備え、平均気孔径及び気体透過度が小さく、該ルツボを周辺を取り巻くように形成された誘導加熱コイル中にセットし、約１ＫＨＺの高周波電流によって加熱した際、ルツボの温度分布のバラツキが小さい、真空蒸着用黒鉛ルツボ」である点で一致し、以下の点で相違している。
（イ）本件訂正発明は電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内に収まるのに対し、甲第１号証には電気比抵抗及び電気比抵抗分布のバラツキについては記載されていない点。
（ロ）本件訂正発明は平均気孔径１μｍ以下、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ以下であるのに対し、甲１発明はち密で気孔率の少ないものであり、甲第１号証には平均気孔径及び気体透過度について言及されておらず、その具体的数値も記載されていない点。
（ハ）ルツボ素材が、本件訂正発明はアルミナ処理が施された等方性黒鉛であるのに対し、甲１発明は黒鉛であり、甲第１号証には黒鉛のアルミナ処理及び等方性について言及されていない点。
（ニ）ルツボ形状が、本件訂正発明は幅１４０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ、長さ１９００ｍｍであるのに対し、甲１発明は幅１００で長さ１１００であり、甲第１号証には高さについては記載されていない点。
（ホ）ルツボの温度分布のバラツキが、本件訂正発明は１５００℃に加熱した際に２０℃未満であるのに対し、甲第１号証にはルツボの温度分布が均一であることは記載されているが、温度分布のバラツキについての具体的数値は記載されていない点。
　以下、上記相違点につき検討するにあたり、まず、相違点（イ）について検討する。
　甲第２号証には、上記摘示事項（ｅ）〜（ｉ）より、アルミ蒸着用黒鉛ルツボにおいて、その黒鉛の固有抵抗（本件訂正発明の電気比抵抗に相当する）を、本件訂正発明の範囲を含む、５００〜１９００μΩｃｍとすることが記載されている。しかしながら、本件訂正発明の範囲内の電気比抵抗のものが比較例として挙げられていることからも解るように、甲第２号証記載の発明は、固有抵抗と曲げ強さ等の数値範囲を適切に組合わせることによってルツボ寿命を長くするものである。してみると、電気比抵抗の数値範囲の技術的意義が異なっているから、甲第２号証の記載から、本件訂正発明のルツボの温度分布が均一性を目的として電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内に収まるように構成することを導き出すことはできない。
　また、甲第６号証には、上記摘示事項（ｒ）〜（ｕ）より、等方性黒鉛において固有抵抗が９５０と１０００μΩｃｍ、異方比（本件訂正発明の電気比抵抗分布のバラツキに相当する）が１．０２〜１．０６と、本件訂正発明の電気比抵抗及び電気比抵抗分布のバラツキの数値範囲内又は重複するものが記載されているが、甲第６号証は等方性黒鉛の種々の特性を個別列挙したものであって、誘導加熱する際のルツボの温度分布の均一性との関係が示唆されていないから、温度分布の均一性を目的として本件訂正発明の数値範囲内の前記特性を選択し甲１発明のルツボに適用する動機付けがない。
　さらに、甲第３号証には空気透過率が０〜１．０×１０−４ｍｌ・ｃｍ／ｃｍ２・ｓｅｃ・ｃｍのアルミ蒸着用黒鉛ルツボが、甲第４号証には気孔率１０〜３０％を有しかつ全気孔のうち孔径１μ以下の微細孔を少くとも５０％占有してなる孔径分布を備えたアルミニウム蒸着用炭素質坩堝が、甲第５号証には開気孔をアルミナで被覆したアルミニウム真空蒸着用黒鉛ルツボが、それぞれ記載されていると云えるが、甲第３〜５号証には、電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内であることは記載ないし示唆されていない。
　そして、本件訂正発明の、電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内とする構成は、その余の構成と相俟って、明細書記載の顕著な効果を奏するものである。
　上記のとおり、少なくとも相違点（イ）が甲第１ないし６号証の記載から容易に導けるものではないから、その余の相違点について検討するまでもなく、本件訂正発明が甲第１ないし６号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
７．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、訂正後の本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に訂正後の本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年３月１４日（２００３．３．１４）
【訂正の要旨】
▲１▼訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の記載
「【請求項１】　連続走行するフィルム状物の下部に設置し、真空下の誘導加熱により溶融金属を前記フィルム状物に蒸着させるためのルツボであって、少なくともフィルム状物の幅と同等以上の長さをもつ長尺ボード形状を備え、電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内に収まり、平均気孔径１μｍ以下、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ以下の特性を有し、かつアルミナ処理が施された等方性黒鉛からなることを特徴とする真空蒸着用黒鉛ルツボ。」
を、特許請求の範囲の減縮を目的として、
「【請求項１】　連続走行するフィルム状物の下部に設置し、真空下の誘導加熱により溶融金属を前記フィルム状物に蒸着させるためのルツボであって、少なくともフィルム状物の幅と同等以上の長さをもつ長尺ボード形状を備え、電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内に収まり、平均気孔径１μｍ以下、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ以下の特性を有し、かつアルミナ処理が施された等方性黒鉛からなり、
該等方性黒鉛から幅１４０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ、長さ１９００ｍｍの長尺ボード形状のルツボを作製し、該ルツボを周辺を取り巻くように形成された誘導加熱コイル中にセットし、約１ＫＨｚの高周波電流によって１５００℃に加熱した際、ルツボの温度分布のバラツキが２０℃未満である
と訂正します。
　また、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合性を図るために、
　本件特許の明細書第２頁第１９行〜第２４行（【０００６】段落）
「上記の目的を達成するための本発明による真空蒸着用黒鉛ルツボは、連続走行するフィルム状物の下部に設置し、真空下の誘導加熱により溶融金属を前記フィルム状物に蒸着させるためのルツボであって、少なくともフィルム状物の幅と同等以上の長さをもつ長尺ボード形状を備え、電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内に収まり、平均気孔径１μｍ以下、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ以下の特性を有し、かつアルミナ処理が施された等方性黒鉛からなることを特徴とする。」
を、
「上記の目的を達成するための本発明による真空蒸着用黒鉛ルツボは、連続走行するフィルム状物の下部に設置し、真空下の誘導加熱により溶融金属を前記フィルム状物に蒸着させるためのルツボであって、少なくともフィルム状物の幅と同等以上の長さをもつ長尺ボード形状を備え、電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内に収まり、平均気孔径１μｍ以下、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ以下の特性を有し、かつアルミナ処理が施された等方性黒鉛からなり、
該等方性黒鉛から幅１４０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ、長さ１９００ｍｍの長尺ボード形状のルツボを作製し、該ルツボを周辺を取り巻くように形成された誘導加熱コイル中にセットし、約１ＫＨｚの高周波電流によって１５００℃に加熱した際、ルツボの温度分布のバラツキが２０℃未満である
と訂正します。
▲２▼訂正事項ｂ
　明細書第６頁第４行〜第５行
「従来の丸型黒鉛ルツボを用いた場合の真空蒸着方式を模式的に示した斜視図である。」
を、誤記の訂正を目的として、
「
本発明の長尺ボード形状黒鉛ルツボを用いた場合の真空蒸着方式を模式的に示した斜視図である。
と訂正し、
　明細書第６頁第７行〜第８行
「本発明の長尺ボード形状黒鉛ルツボを用いた場合の真空蒸着方式を模式的に示した斜視図である。」
を、誤記の訂正を目的として、
「
従来の丸型黒鉛ルツボを用いた場合の真空蒸着方式を模式的に示した斜視図である
と訂正します。
（５４）【発明の名称】
真空蒸着用黒鉛ルツボ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　連続走行するフイルム状物の下部に設置し、真空下の誘導加熱により溶融金属を前記フイルム状物に蒸着させるためのルツボであって、少なくともフイルム状物の幅と同等以上の長さをもつ長尺ボート形状を備え、電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内に収まり、平均気孔径１μｍ以下、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ以下の特性を有し、かつアルミナ処理が施された等方性黒鉛からなり、該等方性黒鉛から幅１４０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ、長さ１９００ｍｍの長尺ボード形状のルツボを作製し、該ルツボを周辺を取り巻くように形成された誘導加熱コイル中にセットし、約１ＫＨｚの高周波電流によって１５００℃に加熱した際、ルツボの温度分布のバラツキが２０℃未満であることを特徴とする真空蒸着用黒鉛ルツボ。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、金属を真空蒸着処理する場合に溶融金属の容器として用いられる黒鉛製のルツボに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　アルミニウムや銀などの金属溶湯を真空下に蒸発させてプラスチックまたは紙のようなフイルム状物の表面に金属薄膜層として蒸着形成する真空蒸着法においては、金属融解用に黒鉛ルツボが有用されている。
　【０００３】
　操業時、黒鉛ルツボは連続的に走行するフイルム状物の下部に設置され、誘導加熱によって高温に保持されるが、蒸着はフイルム状物の全体に均質におこなわれねばならない。このため、従来はフイルム状物の幅に対して十分な金属蒸発面を確保する目的から、図２に示すように走行するフイルム状物１の下部に底付円筒状を呈する丸型形状（典型的なサイズは内径１００ｍｍ、外径１２０ｍｍ、高さ９０〜１００ｍｍ）の黒鉛ルツボ２を走行方向と直角に且つフイルム幅長に相当する個数を並べて設置する方式が採られている。この場合、均一な蒸着膜を得るためには個々の黒鉛ルツボからの金属蒸発量が均等になるように制御する必要があり、各黒鉛ルツボについて投入電気量の調整がおこなわれる。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　ところが上記の処理方式においては、蒸着対象となるフイルム状物の幅広のケースでは２０個程度の丸型黒鉛ルツボを整列させて使用することになる関係で、投入電気量の調整操作が煩雑化すると共に、各黒鉛ルツボ間に不可避的な間隔が介在するためもあって金属蒸発量に位置的なムラが生じ、結果的に均質な蒸着層の形成化が阻害される難点がある。そのうえ、一個の黒鉛ルツボにおいて溶融金属が蒸発し切った際には、その時点で処理を終了するバッチ操業とならざるを得ないため、最近、開発された連続式アルミニウム蒸着装置（フイルム巻出・巻取り装置を真空系外に設置する設備）には適用できない問題点もある。
　【０００５】
　本発明は上記従来技術の問題点を解消するために開発されたもので、容易に投入電気量の調整ができ、フイルム状物の幅に係わらず常に蒸着ムラのない均一な金属膜を連続的に形成することができる真空蒸着用黒鉛ルツボの提供を目的としている。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　上記の目的を達成するための本発明による真空蒸着用黒鉛ルツボは、連続走行するフイルム状物の下部に設置し、真空下の誘導加熱により溶融金属を前記フイルム状物に蒸着させるためのルツボであって、少なくともフイルム状物の幅と同等以上の長さをもつ長尺ボート形状を備え、電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内に収まり、平均気孔径１μｍ以下、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ以下の特性を有し、かつアルミナ処理が施された等方性黒鉛からなり、該等方性黒鉛から幅１４０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ、長さ１９００ｍｍの長尺ボード形状のルツボを作製し、該ルツボを周辺を取り巻くように形成された誘導加熱コイル中にセットし、約１ＫＨｚの高周波電流によって１５００℃に加熱した際、ルツボの温度分布のバラツキが２０℃未満であることを特徴とする。
　【０００７】
　最も好適な長尺ボート形状は、真空蒸着用黒鉛ルツボを走行するフイルム状物の下部に直角に設置したときにフイルム状物の幅の左右にルツボの両端部が出る程度の長さを有し、長さ方向の溝幅がフイルム状物の幅長範囲において実質的に平行となるように設計することである。この形態を模式的に示すと図１のようになり、フイルム状物１の幅全体が長尺ボート形状の黒鉛ルツボ３における長さ範囲内の上面を走行する。
　【０００８】
　本発明の真空蒸着用黒鉛ルツボの材質は等方性黒鉛とすることが好ましく、とくに電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内に収まり、かつ平均気孔径１μｍ以下、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ以下の等方性黒鉛を基材として構成することが望ましい。電気比抵抗が７００〜１０００μΩｃｍで電気比抵抗分布のバラツキが５％以内の特性は、誘導加熱時、ルツボ全体に均一な温度分布を付与するために必要で、この設定要件を満たさないと温度分布の変動が大きくなって蒸着ムラの原因となる。また、平均気孔径が１μｍを越え、気体透過度が０．０２ｃｍ２／ｓｅｃを上廻ると黒鉛材組織の緻密度が低下してルツボの耐久寿命が短くなる。
　【０００９】
　上記の真空蒸着用黒鉛ルツボを、アルミナ、シリカ等のセラミックス材料で処理すると耐久寿命が一層改善される。とくにアルミナ処理を施して黒鉛組織の微細孔にアルミナを充填して材料改質をおこなうと、組織内部への溶融金属の侵入が防止され、材質組織を脆弱化する金属炭化物の生成を効果的に抑制することができる。アルミナ処理は、例えばアルミナゾルを黒鉛ルツボに含浸したのち乾燥する方法でおこなうことができる。
　【００１０】
　【作用】
　本発明に係る真空蒸着用黒鉛ルツボは少なくともフイルム状物の幅と同等以上の長さをもつ長尺ボート形状として形成されているから、、従来数個から数十個単位の丸型黒鉛ルツボを整列させて使用していた方式を１個のルツボ設置で賄うことができる。このため、誘導加熱時の投入電力量のコントロールが簡単になり、また処理すべきフイルム状物の幅方向における位置ムラのない極めて均等な金属蒸発が発現する。
　【００１１】
　とくにるつぼ材質が電気比抵抗７００〜１０００μΩｃｍでその分布のバラツキが５％以内にある等方性黒鉛である場合には、ルツボ全体として均一な温度分布が得られる。したがって、上記の作用と併せて常に均質は金属蒸着被膜の形成が可能となる。
　ルツボ材質として平均気孔径１μｍ以下、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ以下の等方性黒鉛を適用すると耐久寿命が向上し、更にアルミナ処理を施すと一層の長期安定性が確保される。
　なお、本発明の真空蒸着用黒鉛ルツボを使用すれば、溶融金属が減少した段階でルツボ端部から蒸着金属を小塊、フレーク粉末、線材、溶湯など種々の性状形態で補充することができるから、その都度処理を停止することなく連続的に操業を継続することが可能となる。したがって、処理効率が大幅に改善される。
　【００１２】
　【実施例】
　以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
実施例１
　嵩比重１．９０ｇ／ｃｃ、電気比抵抗９００μΩｃｍ、電気比抵抗分布のバラツキ５％、曲げ強さ５９０ｋｇｆ／ｃｍ２、気体透過度０．０２ｃｍ２／ｓｅｃ、熱膨張係数（ＲＴ〜１０００℃）５．０×１０−６／℃、気孔率１０．０ｖｏｌ％、平均気孔径１．０μｍの特性をもつ等方性黒鉛材を加工して幅１４０ｍｍ、高さ１６０ｍｍ、長さ１９００ｍｍの長尺ボート形状の真空蒸着用黒鉛ルツボを作製した。この真空蒸着用ルツボを、周辺を取り巻くように形成された誘導加熱コイル中にセットし、約１ＫＨｚの高周波電流によって１５００℃に加熱した際の温度分布を測定したところ、２０℃未満であることが確認された。
　【００１３】
　上記の真空蒸着用黒鉛ルツボにより、蒸着金属にアルミニウム、被覆対象に膜厚４０μｍ、幅７４０ｍｍのポリ塩化ビニルを用い、真空度５×１０−４Ｔｏｒｒ、温度１３６０℃の条件でアルミニウム蒸着膜厚が４００オングストロームになるまで真空蒸着処理をおこなった。得られた蒸着膜厚のバラツキは、平均値に対し±５％以内で優れた均質性を備えていることが認められた。
　【００１４】
　これに対し、電気比抵抗分布のバラツキが１５％のほかは上記と同等特性の等方性黒鉛材から作製した真空蒸着用黒鉛ルツボでは、温度分布が６０℃と大きくなり、形成されたアルミニウム蒸着膜のバラツキも若干拡大する傾向を示した。
　【００１５】
実施例２
　平均気孔径および気体透過度が異なる等方性黒鉛を基材として実施例１と同一の長尺ボート形状の真空蒸着用ルツボに加工形成し、これをアルミナゾルに浸漬して含浸処理を施したのち乾燥した。このようにしてアルミナ処理を施した各真空蒸着用ルツボにつき、実施例１と同一の条件でアルミニウムの真空蒸着をおこなって耐久寿命を試験した。耐久寿命の終点は、ルツボ上端面の一部にクラックが発生したときの時間とした。各耐久時間をルツボ材料の平均気孔径および気体透過度と対比して表１に示した。
　【００１６】
　【００１７】
　表１の結果から、平均気孔径が１μｍを越え、また気体透過度が０．０２ｃｍ２／ｓｅｃを上廻ると耐久性が低下することが認められた。
　【００１８】
　【発明の効果】
　以上のとおり、本発明により提供される真空蒸着用黒鉛ルツボは従来の丸型黒鉛ルツボと異なる長尺ボート形状の一体化構造を呈するから、被覆対象となるフイルム状物の幅に係わりなく連続操業として常に均質な金属蒸着膜を形成することができる。とくにルツボ材質を特定の等方性黒鉛材とし、またアルミナ処理を施した場合には形成される蒸着膜のバラツキは一層軽減され、同時に耐久寿命の改善を図ることが可能となるから、実用性能を極めて増大する。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の長尺ボート形状黒鉛ルツボを用いた場合の真空蒸着方式を模式的に示した斜視図である。
　【図２】
　従来の丸型黒鉛ルツボを用いた場合の真空蒸着方式を模式的に示した斜視図である。
　【符号の説明】
　１　フイルム状物
　２　丸型形状の黒鉛ルツボ
　３　長尺ボート形状の黒鉛ルツボ