【事件の表示】
　平成　８年特許願第１１５７１２号「イオン発生方法」拒絶査定に対する審判事件［平成　９年１０月３１日出願公開、特開平　９−２８３０３８］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯・本願発明
　本願は、平成８年４月１２日の出願であって、平成１０年７月２８日付け、平成１１年１月７日付け及び平成１２年７月１７日付けの手続補正書によって補正された明細書並びに図面の記載から見て、その請求項１に係る発明は、特許請求の範囲に記載された次のとおりのものと認める。
　
　請求項１「金属又は合金から成るターゲットを一方の電極とし、それに対向させて配置した細孔板引出電極を他方の電極として、両者の間に５〜１００Ｖの範囲の安定化した電圧を印加しながら、ターゲットに１パルス当り１０〜５００ｋＪ／ｍ２のエネルギー密度をもつパルスレーザビームを照射してプルームを発生させ、そのプルームから細孔板引出電極の細孔を通してイオンを引き出すことを特徴とするイオン発生方法。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２．引用刊行物記載の発明
　これに対して、当審における、平成１２年４月２６日付けで通知した拒絶の理由に引用した本願の出願の日前である昭和６０年８月２日に頒布された特開昭６０−１４６４３８号公報（以下、「引用刊行物１」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
（１）「目的のイオン種の元素を含むターゲットをレーザービームで照射し、レーザービームの照射点からイオンを発生させる…
ターゲットを構成している物質は直ちに気化原子化し、更に相当部分の原子はイオン化してレーザビーム照射点にはプラズマが形成される。そこでイオン引出し電極を配置してこのプラズマからイオンを引出すことによりイオンビームを得るものである。」（第２頁左上欄第７行〜同１９行）
（２）「ターゲット１の表面には目的とするイオン種の元素の層が蒸着によって形成してある。この層は元素の単体で形成されていることが望ましいが、化合物或いは合金のような混合物でもよいのである。２はレーザーで例えばＮｄ−ＹＡＧレーザが用いられる。」（第２頁右上欄第３行〜同８行）
（３）「４はターゲット１と対向させて配置したイオン引出し及び加速電極であり、」（第２頁右上欄第１４行〜同１６行）
　
　この記載事項によると、引用刊行物１には、
「元素の単体、化合物或いは合金から成る層と、それに対向させて配置したイオン引出し及び加速電極４とを具備し、ターゲットにレーザビームを照射して（ターゲットを構成している物質を直ちに気化原子化させ、更に相当部分の原子をイオン化してレーザビーム照射点にプラズマ）を発生させ、その（ターゲットを構成している物質を直ちに気化原子化させ、更に相当部分の原子をイオン化してレーザビーム照射点にプラズマ）からイオン引出し及び加速電極４を通してイオンを引き出すことを特徴とするイオン発生方法。」（以下、「引用刊行物１に記載の発明」という。）
が記載されていると認められる。
　
　また、同じく当審における、平成１２年４月２６日付けで通知した拒絶の理由に引用した本願の出願の日前である平成３年１２月２０日に頒布された特開平０３−２９１３７１号公報（以下、「引用刊行物２」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
（１）「…ターゲットにレーザを照射してプルームを発生させ、…プルーム内の励起粒子…プルームとは、ターゲットに固有のプラズマをいい、プラスイオンと電子とが併存した状態をいう。」（第４頁第１行〜同第７行）
（２）「製造条件は以下のようにして製造した。
【００２５】
　ターゲット：…
　レーザ：ＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）
　エネルギ密度：２Ｊ／ｃｍ２　　繰り返し周波数：１Ｈｚ」（第７頁第１行〜第７行）
（３）「製造条件は以下のようにして製造した。
【００３９】
　ターゲット：…
　レーザ：ＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）
　エネルギ密度：３．２Ｊ／ｃｍ２　　繰り返し周波数：５Ｈｚ」（第１０頁第１行〜第１０行）
　
　さらに、同じく当審における、平成１２年４月２６日付けで通知した拒絶の理由に引用した本願の出願の日前である昭和６３年１２月２６日に頒布された特開昭６３−３１８０６１号公報（以下、「引用刊行物３」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
（１）「次に、第２図に示すように、固体マトリックスを塗布した薄層プレート３を、…薄層プレート３と引き出し電極４との間に所定の引き出し電圧Ｖを印加する。この状態で、パルスレーザ光６を照射して個体試料をイオン化する。」（第３頁左上欄第６行〜同第１１行）
（２）「こうして発生されたイオンは、引き出し電圧Ｖにより引き出されて」（第３頁右上欄第９行〜同第１０行）
　
　この記載事項によると、引用刊行物３には、
「パルスレーザ光６が照射されて発生したイオンを引き出すために、薄層プレート３つまり固体マトリックスと引き出し電極４との間に所定の引き出し電圧Ｖを印加する」
という技術思想が記載されていると認められる。
　
　さらに、同じく当審における、平成１２年４月２６日付けで通知した拒絶の理由に引用した本願の出願の日前である平成７年６月１６日に頒布された特開平０７−１５３６００号公報（以下、引用刊行物４という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
（１）「従来より、イオン源には、一個の孔より引き出された一本のイオンビーム、すなわちシングルイオンビームを用いるものと、多孔電極より引き出された多数本のイオンビーム、すなわちマルチイオンビームを用いるものとがある。」（第２頁左欄第３１行〜同第３６行）
（２）「電極板に透孔を加工する」（第２頁右欄第２８行〜同第２９行）
　
　さらに、同じく当審における、平成１２年４月２６日付けで通知した拒絶の理由に引用した本願の出願の日前である平成４年２月２８日に頒布された特開平０４−６３３２５号公報（以下、引用刊行物５という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
（１）「８はイオン引き出しメッシュ電極で、」（第２頁左下欄第７行〜同第８行）
　
　さらに、同じく当審における、平成１２年４月２６日付けで通知した拒絶の理由に引用した本願の出願の日前である平成６年１０月２１日に頒布された特開平０６−２９３９５９号公報（以下、引用刊行物６という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
（１）「パルス幅２７ｎｓｅｃのレーザ光２を、例えば酸化亜鉛のターゲット７に集光すると、物質はたたき出され、励起した亜鉛粒子を含んだプルーム１０が発生する。」（第２頁右欄第１２行〜同第１６行）
　
３．対比
　本願請求項１に係る発明と引用刊行物１に記載の発明とを対比すると、
引用刊行物１に記載の発明における「元素の単体、化合物或いは合金から成る層」、「イオン引出し及び加速電極４」、「レーザビーム」、「イオン発生方法」は、それぞれ、請求項１に係る発明における「金属又は合金から成るターゲット」、「引出電極」、「レーザビーム」、「イオン発生方法」に相当する。
　また、引用刊行物２に記載の事項（１）から、「プルームとは、ターゲットにレーザを照射することによって発生する、ターゲットに固有のイオン化した励起粒子を含んだプラズマ状態の領域」と定義できるから、引用例１に記載の発明における「ターゲットを構成している物質を直ちに気化原子化させ、更に相当部分の原子をイオン化してレーザビーム照射点に発生させたプラズマ」は、「プルーム」と認定できる。
　
　したがって、本願請求項１に係る発明と引用刊行物１に記載の発明とは、
「金属又は合金から成るターゲットと、それに対向させて配置した引出電極とを具備し、ターゲットにレーザビームを照射してプルームを発生させ、そのプルームから引出電極を通してイオンを引き出すことを特徴とするイオン発生方法。」で一致し、
１．本願請求項１に係る発明では、引出電極が、細孔板より成り、ターゲットと引出電極との間に５〜１００Ｖの範囲の安定化した電圧を印加しているのに対し、引用刊行物１に記載の発明では、かかる引出電極の構成が記載されていない点、
２．本願請求項１に係る発明では、レーザビームが１パルス当り１０〜５００ｋＪ／ｍ２のエネルギー密度をもつパルスであるのに対し、引用刊行物１に記載の発明では、レーザビームがどのようなものか記載されていない点、で相違する。
　
４．当審の判断
　上記相違点１について検討すると、
引用刊行物３における「固体マトリックス」、「引き出し電極４」、「所定の引き出し電圧Ｖ」は、それぞれ、本願請求項１に係る発明における「ターゲット」、「引出電極」、「安定化した電圧」に相当するから、引用刊行物３にはターゲットと引出電極の間に安定化した電圧を印加している点が記載されている。
　そして、ターゲットと引出電極との間に印加される電圧を５〜１００Ｖとすることは、本願の出願当初の明細書に「通常５〜１００Ｖの範囲で選ばれる」と記載され、特開平５−１３９７３５号公報にも「−１０〜１００Ｖ」と記載されているように、通常選定される範囲を限定したにすぎない。
　更に、引用刊行物４や引用刊行物５に記載されているように、「引出電極を、イオンを引き出す、一つの孔板、多孔板、メッシュ電極といった細孔板で構成すること」は周知である。
　よって、相違点１は、引用刊行物１に記載の発明におけるターゲットと引出電極との電圧を、引用刊行物３に記載されたように安定化した電圧とし、その電圧を通常選定される数値範囲にすると共に、引出電極を周知の構成にしたにすぎず、このようなことは当業者が適宜なし得る程度のことにすぎない。
　　
　次に、上記相違点２について検討すると、
引用刊行物６に記載されているように、プルームを発生させるレーザとしてパルスレーザを用いることは従来周知であり、その際にレーザビームパルスがもつエネルギー密度を１パルス当り１０〜５００ｋＪ／ｍ２とすることも、引用刊行物２の（１）、（２）にレーザのエネルギー密度として「２Ｊ／ｍ２（＝２０ｋＪ／ｍ２）」、「３．２Ｊ／ｍ２（＝３２ｋＪ／ｍ２）」とした記載がみられることからして、エネルギー密度を上記数値範囲にした点は格別なものとは認められず、引用刊行物１に記載の発明を相違点２の如くすることに格別の困難性はない。
　そして、本願請求項１に係る発明の奏する効果は、引用刊行物１乃至３に記載の発明及び前記周知技術から予測しうる程度のものにすぎない。
　
５．むすび
　したがって、本願請求項１に係る発明は、引用刊行物１及び３に記載の発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。