【事件の表示】
　特願２００８−１６２５７５「光走査用マイクロミラーデバイス、光走査装置、画像形成装置、表示装置および入力装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年　１月　７日出願公開、特開２０１０−　　２７７７、請求項の数（１０）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２０年６月２０日の出願であって、平成２５年５月２２日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年７月１７日に拒絶査定不服審判請求がなされるとともに、これと同時に手続補正がなされたものである。
　そして、当審において、平成２５年９月１９日付けで審査官により作成された前置報告書について、同年１０月９日付けで審尋を行ったところ、審判請求人は同年１２月１０日に回答書を提出した。
　
第２　平成２５年７月１７日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）の適否
１　補正の内容
　本件補正は、明細書を補正するとともに、特許請求の範囲を以下のとおり補正するものである。
　
　「【請求項１】
　捩りバネであるトーションバーと、　
　前記トーションバーの一端に支持された、反射面を有すると共にダイヤモンドライクカーボン膜によって総体としての剛性が高められた可動ミラーと、　
　前記トーションバーの他端が結合された基板と、　
　前記基板に設けられ、前記可動ミラーを揺動させる揺動部と　
を備え、　
　前記可動ミラーは、　
　母材と、　
　前記母材の表面粗さを平滑化するための反射面平滑化層と、　
　前記反射面平滑化層の上に蒸着によって形成された前記反射面を有する蒸着膜と　
を備え、　
　前記トーションバーと、前記可動ミラーを支持する部分と、前記基板とが、１枚の金属板を打ち抜くことで形成され、　
　前記蒸着膜が前記反射面平滑化層の平坦な平面上に形成されていることを特徴とする光走査用マイクロミラーデバイス。
　　【請求項２】
　捩りバネであるトーションバーと、　
　前記トーションバーに支持された、反射面を有すると共にダイヤモンドライクカーボン膜によって総体としての剛性が高められた可動ミラーと、
　前記トーションバーが結合された基板と、　
　前記可動ミラーを揺動させる揺動部と　
を備え、　
　前記可動ミラーは、　
　母材と、　
　前記母材の表面粗さを平滑化するための反射面平滑化層と、　
　前記平滑化層の上に蒸着によって形成された前記反射面を有する蒸着膜と
を備え、　
　前記トーションバーと、前記可動ミラーを支持する部分と、前記基板とが、１枚の金属板から形成され、　
　前記蒸着膜が前記反射面平滑化層の平坦な平面上に形成されていることを特徴とする光走査用マイクロミラーデバイス。
　　【請求項３】
　前記金属板は、ＳＵＳであることを特徴とする請求項１または２に記載の光走査用マイクロミラーデバイス。
　　【請求項４】
　前記揺動部は、前記可動ミラーを揺動させるための板波を前記基板に発生させる板波発生素子であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の光走査用マイクロミラーデバイス。
　　【請求項５】
　前記板波発生素子は、圧電素子であることを特徴とする請求項４に記載の光走査用マイクロミラーデバイス。
　　【請求項６】
　前記揺動部は、前記基板の変形を伴う板波によって前記可動ミラーを揺動させることを特徴とする請求項１または２に記載の光走査用マイクロミラーデバイス。
　　【請求項７】
　光走査装置であって、
　光ビームを射出する光源と、
　前記光ビームを走査する、請求項１ないし６のいずれか１項に記載の光走査用マイクロミラーデバイスと
を含むことを特徴とする光走査装置。
　　【請求項８】
　画像形成装置であって、
　請求項７に記載の光走査装置と、
　前記光走査装置により画像信号に応じた潜像を表面に形成される像担持体と、
　前記潜像を現像しトナー像を形成する現像装置と、
　前記トナー像を記録媒体上に転写する転写装置と、
　前記トナー像を前記記録媒体に定着させる定着装置と
を含むことを特徴とする画像形成装置。
　　【請求項９】
　請求項１ないし６のいずれか１項に記載の光走査用マイクロミラーデバイスを備えたことを特徴とする表示装置。
　　【請求項１０】
　請求項１ないし６のいずれか１項に記載の光走査用マイクロミラーデバイスを備えたことを特徴とする入力装置。」
　
２　補正の適否
　本件補正は、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであり、特許法第１７条の２第３項の規定に適合する。
　本件補正における特許請求の範囲の補正は、補正前の請求項１及び２に記載された発明を特定するために必要な事項である「トーションバー」について「捩りバネである」との限定を付加し、同じく「ミラー」について「ダイヤモンドライクカーボン膜によって総体としての剛性が高められた」及び「可動」との限定を付加し、同じく「マイクロミラーデバイス」について「光走査用」との限定を付加したものであって、当該補正は、特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。また、同第４項に違反するところはない。
　そこで、本件補正後の請求項１ないし１０（以下「本願補正発明１ないし１０」という。）が特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について以下に検討する。
　
（１）刊行物の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平９−１０１４７４号公報（以下「引用文献」という。）には、以下の記載がある（下線は当審にて付した。）。
　
ア　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、バーコードリーダ，レーザプリンタ，レーザレーダ等において、光源から出力された所定の光を反射して所定対象物に照射すると共に、その照射光を１次元又は２次元方向に走査するのに使用される光スキャナ装置に関する。」
　
イ　「【００２２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を図面と共に説明する。
（第１実施例）図２は、第１実施例の光スキャナ装置のスキャナ部１の全体構成を表わす概略構成図である。
【００２３】図２に示す如く、
スキャナ部１は、薄板バネ材にて形成されたプレート３と、プレート３の表面側の中央に設置された反射ミラー５と、同じくプレート３の表面側の四隅に配置された圧電ユニモルフ６，７，８，９とから構成されている。ここで、プレート３は、薄板状（厚さ０．０５mm程度）の導電性金属からなるバネ材料（ベリリウム銅，バネ用ステンレス等）を、エッチング、放電加工等を利用して打ち抜くことにより、図３に示すように形成されている
【００２４】即ち、
プレート３は、表面に反射ミラー５が形成される略正方形のミラー部１１と、ミラー部１１の対角部から上下方向に延出され、ミラー部１１の左右幅方向の中心を通る中心軸（Ｚ軸）を中心に矩形波状に変化する折り返し形状をした一対のバネ部１３，１５と、バネ部１３，１５の外側端部に各々結合され、バネ部１３，１５及びミラー部１１を囲むフレーム２０と、前記各圧電ユニモルフ６〜９が夫々形成される圧電ユニモルフ構成部１６，１７，１８，１９と、これら４個の圧電ユニモルフ構成部１６〜１９の内、プレート３の上方及び下方で互いに対向する圧電ユニモルフ構成部１６，１７及び１８，１９の先端を連結する連結部２１，２３と、この連結部２１，２３とフレーム２０の上下両端部とをミラー部１１のＺ軸上で接続する接続部２５，２７と、圧電ユニモルフ構成部１６〜１９の上記連結部２１，２３に接続されない側の端部をプレートの左右端部側にて接続し、プレート３が座屈するのを防止する接続部２８，２９とから構成されている
【００２５】また、反射ミラー５は、アルミ蒸着で高反射コ一ティングを施したシリコン製のミラーを、ミラー部１１に接着することにより形成され、各圧電ユニモルフ６〜９は、圧電ユニモルフ構成部１６〜１９に板状の圧電素子を接着することにより形成されている。
【００２６】そして上記４個の圧電ユニモルフ６〜９の内、プレート３の上方で先端が連結部２１により連結される圧電ユニモルフ６，７は、連結部２１，接続部２５を介してバネ部１３を捩り振動させる駆動手段（以下、駆動用圧電ユニモルフという）として使用され、プレート３の下方で先端が連結部２３より連結される圧電ユニモルフ８，９は、バネ部１５の捩り振動を、接続部２７，連結部２３を介して検出する検出手段（以下、センサ用圧電ユニモルフという）として使用される。
【００２７】つまり、本実施例では、プレート３が導電性金属からなるバネ材料にて形成されているため、圧電ユニモルフ構成部１６〜１９に板状の圧電素子を接着すれば、プレート３がこれら各圧電素子の共通電極となる。そして、各圧電素子の圧電ユニモルフ構成部１６〜１９とは反対側面に電極を設けて、この電極とプレート３との間に電圧を印加すれば、圧電素子は、その分極方向に応じた所定方向に変位し、逆にその電極とプレート３との間に発生した電圧を検出すれば、圧電素子の変位量を検出できる。
【００２８】そこで、本実施例では、各圧電ユニモルフ６〜９を構成する圧電素子の両面に電極形成用の導電材（例えば銀ペースト）を塗布し、駆動用圧電ユニモルフ６，７及びセンサ用圧電ユニモルフ８，９を夫々構成する一対の圧電素子６ａ，７ａ及び８ａ，９ａの分極方向が、図４（ａ）に矢印で示す如く、圧電ユニモルフ構成部１６〜１９に対して直交し且つ互いに逆向きとなるように、各圧電素子６ａ〜９ａを圧電ユニモルフ構成部１６〜１９に接着し、更に、図４（ａ）に示す如く、各圧電素子６ａ〜９ａの圧電ユニモルフ構成部１６〜１９とは反対側面の外側端部に電極３６，３７，３８，３９を設け、この電極３６〜３９を設けた各圧電ユニモルフ６〜９の外側端部を所定の固定部材３２にて固定するようにしている。
【００２９】この結果、本実施例のスキャナ部１において、各圧電ユニモルフ６〜９は、固定部材３２にて固定された一端部を中心に曲げ運動可能な片持ち梁となり、図４（ｂ）に示す如く、駆動用圧電ユニモルフ６，７の電極３６，３７と共通電極となるプレート３との間に駆動電圧を印加すれば、図に矢印で示すように、駆動用圧電ユニモルフ６，７を、その外側の固定端を中心に互いに逆方向に変位させて、Ｚ軸回りにトルクを発生させることができる。
【００３０】従って、
駆動用圧電ユニモルフ６，７に印加する駆動電圧を交流（正弦波）にすれば、連結部２１のＺ軸回りに振動トルクを発生させて、接続部２５，バネ部１３，ミラー部１１，バネ部１５，接続部２７からなる振動系（弾性変形部材に相当する）をＺ軸を中心に捩り振動させ、その捩り振動により反射ミラー５を１次元方向に走査することができ、
【００３１】またこのように駆動用圧電ユニモルフ６，７を駆動して、振動系を振動させた場合、その振動は、連結部２３を介して、センサ用圧電ユニモルフ８，９に伝達され、センサ用圧電ユニモルフ８，９は、振動系の振動周波数及び振幅に応じて曲げ運動し、その変位量に比例した電圧を発生する。従って、このセンサ用圧電ユニモルフ８，９の電極３８，３９とプレート３との間に発生した電圧を検出すれば、振動系の振動周波数及び振幅（延いては走査角度）を、リアルタイムで知ることができる。
【００３２】次に図１は、上記のように構成された
スキャナ部１を駆動して、反射ミラー５からの反射光を１次元方向に走査させる、本実施例の光スキャナ装置
……
【００４５】また更に、上記説明では、プレート３のミラー部１１に、シリコンからなる反射ミラー５を設けるものとして説明したが、この反射ミラー５としては、ガラスや樹脂等に鏡面加工を施したものを使用してもよい。また、
ミラー部１１自体に鏡面加工を施し、その上に、直接、アルミ蒸着等で高反射コーティングを施すことにより、反射ミラーを形成してもよい
　
ウ　図２及び図３は、以下のとおりのものである。
　
　
（２）引用発明
　上記（１）によると、引用文献には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　
　「薄板バネ材にて形成されたプレート３と、プレート３の表面側の中央に設置された反射ミラー５と、プレート３の表面側の四隅に配置された圧電ユニモルフ６，７，８，９とから構成され、反射ミラー５からの反射光を１次元方向に走査させる光スキャナ装置のスキャナ部１であって、
プレート３は、薄板状の導電性金属からなるバネ材料を、打ち抜くことにより形成され、表面に反射ミラー５が形成される略正方形のミラー部１１と、ミラー部１１の対角部から上下方向に延出され、ミラー部１１の左右幅方向の中心を通る中心軸を中心に矩形波状に変化する折り返し形状をした一対のバネ部１３，１５と、バネ部１３，１５の外側端部に各々結合され、バネ部１３，１５及びミラー部１１を囲むフレーム２０と、各圧電ユニモルフ６〜９が夫々形成される圧電ユニモルフ構成部１６，１７，１８，１９と、圧電ユニモルフ構成部１６〜１９の内、プレート３の上方及び下方で互いに対向する圧電ユニモルフ構成部１６，１７及び１８，１９の先端を連結する連結部２１，２３と、この連結部２１，２３とフレーム２０の上下両端部とをミラー部１１の中心軸上で接続する接続部２５，２７と、圧電ユニモルフ構成部１６〜１９の連結部２１，２３に接続されない側の端部をプレートの左右端部側にて接続し、プレート３が座屈するのを防止する接続部２８，２９とから構成され、
ミラー部１１に鏡面加工を施し、その上に、直接、アルミ蒸着等で高反射コーティングを施すことにより、反射ミラー５が形成され、
駆動用圧電ユニモルフ６，７に印加する駆動電圧を交流にすることにより、連結部２１の中心軸回りに振動トルクを発生させて、接続部２５，バネ部１３，ミラー部１１，バネ部１５，接続部２７からなる振動系を中心軸を中心に捩り振動させ、その捩り振動により反射ミラー５を１次元方向に走査するスキャナ部１。」
　　
（３）本願補正発明２について
ア　対比
　本願補正発明２と引用発明とを対比する。
　
（ア）引用発明は、「駆動用圧電ユニモルフ６，７に印加する駆動電圧を交流にすることにより、連結部２１の中心軸回りに振動トルクを発生させて、接続部２５，バネ部１３，ミラー部１１，バネ部１５，接続部２７からなる振動系を中心軸を中心に捩り振動させ、その捩り振動により反射ミラー５を１次元方向に走査する」から、引用発明の「駆動用圧電ユニモルフ６，７」及び「反射ミラー５」は、本願補正発明２の「揺動部」及び「可動ミラー」にそれぞれ相当し、本願補正発明２の「接続部２５」と「バネ部１３」を併せたものと本願補正発明２の「トーションバー」は、「捩りバネ」である点で共通する。そして、引用発明は、「捩りバネに支持された、反射面を有すると可動ミラーと、可動ミラーを揺動させる揺動部とを備え」るとの構成を備える。
　
（イ）引用発明は、「プレート３は、薄板状の導電性金属からなるバネ材料を、打ち抜くことにより形成され」、「表面に反射ミラー５が形成される略正方形のミラー部１１」、「一対のバネ部１３，１５」、「接続部２５，２７」、「圧電ユニモルフ構成部１６，１７，１８，１９」、「連結部２１，２３」、「接続部２５，２７」及び「接続部２８，２９」とから構成されるから、引用発明の「ミラー部１１」は、本願補正発明２の「可動ミラーを支持する部分」に相当し、引用発明の「圧電ユニモルフ構成部１６，１７，１８，１９」、「連結部２１，２３」、「接続部２５，２７」及び「接続部２８，２９」を併せたものが本願補正発明２の「基板」に相当し、引用発明は「捩りバネと、可動ミラーを支持する部分と、基板とが、１枚の金属板から形成され」との構成、及び「捩りバネが結合された基板を備え」るとの構成を備える。
　
（ウ）引用発明の「ミラー部１１」を構成する「導電性金属」は、引用発明の「母材」に相当し、引用発明の「アルミ蒸着」で施される「高反射コーティング」は、引用発明の「蒸着によって形成された反射面を有する蒸着膜」に相当する。
　
（エ）引用発明の「スキャナ部１」は、「プレート３の表面側の中央に設置された反射ミラー５と、プレート３の表面側の四隅に配置された圧電ユニモルフ６，７，８，９とから構成され」、「反射ミラー５からの反射光を１次元方向に走査させる光スキャナ装置」の一部であるから、本願補正発明２の「光走査用マイクロミラーデバイス」に相当する。
　
（オ）以上によれば、両者は、
　
「捩りバネと、
　捩りバネに支持された、反射面を有する可動ミラーと、
　捩りバネが結合された基板と、
　可動ミラーを揺動させる揺動部と
を備え、
　可動ミラーは、
　母材と、
　蒸着によって形成された反射面を有する蒸着膜と
を備え、
　捩りバネと、可動ミラーを支持する部分と、基板とが、１枚の金属板から形成されている光走査用マイクロミラーデバイス。」
　
で一致し、以下の点で相違するものと認められる。
　
（カ）本願補正発明２は、「捩りバネ」が「トーションバー」であるのに対し、引用発明は、「接続部２５」及び「バネ部１３」である点（以下「相違点１」という。）。
　
（キ）本願補正発明２は、母材の表面粗さを平滑化するための反射面平滑化層を備え、平滑化層の上に蒸着膜を備えるのに対し、引用発明は、鏡面加工を施したミラー部１１上にアルミ蒸着による高反射コーティングを備える点（以下「相違点２」という。）。
　
（ク）本願補正発明２では、可動ミラーは、ダイヤモンドライクカーボン膜によって総体としての剛性が高められるのに対し、引用発明では、そのような構成を有しない点（以下「相違点３」という。）。
　
イ　判断
（ア）相違点３について検討する。
ａ　反射鏡において、反射面を形成する金属膜上に保護膜としてダイヤモンドライクカーボン膜を形成することは、本願出願時点で周知である（例えば、特開平４−２６４５１３号公報の請求項１には、高反射率の金属薄膜上にダイヤモンド状炭素膜を形成することが記載されている。また、特開２００８−１２９１５３号公報の段落【００１３】ないし【００１８】には、銀膜からなる反射膜上にダイヤモンドライクカーボンからなる保護膜を形成することが記載されている。）。
　
ｂ　上記周知の保護膜は反射面を形成する金属膜上に形成することから、反射鏡の反射率を低下させない程度の膜厚に形成する必要があるものと認められる（例えば、上記特開２００８−１２９１５３号公報の段落【００２２】には、保護膜の膜厚が２０ｎｍを超えると可視光領域での反射率が低くなるおそれがあることが記載されている。）。
　
ｃ　他方、引用文献の段落【００２２】には、プレート３は、薄板状厚さ０．０５mm程度の薄板状の導電性金属からなるベリリウム銅，バネ用ステンレス等のバネ材料からなることが記載されていることに照らせば、引用発明において、ミラー部１１の高反射コーティング上に保護膜として膜厚２０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン膜を形成したとしても、反射ミラー５の剛性に実質的な違いはないものと認められる。
　
ｄ　よって、上記周知技術を踏まえても、引用発明において、ダイヤモンドライクカーボン膜によって反射ミラー５の総体としての剛性を高め、相違点３に係る本願補正発明２の構成とすることが当業者にとって容易に想到し得たものとはいえない。
　
ｅ　そして、本願補正発明２は、相違点３に係る上記構成を備えることにより、動撓みの発生を低減するという明細書の段落【００５１】に記載の顕著な効果を奏するものである。
　
（イ）したがって、相違点１及び２について検討するまでもなく、本願補正発明２は、引用文献に記載された発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
（４）本願補正発明１について
　本願補正発明１は、本願補正発明２において、「可動ミラーを揺動させる揺動部」が「基板に設けられ」るとの構成を追加したものに相当するから、上記本願補正発明２についての判断と同様の理由により、引用文献に記載された発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
（５）本願補正発明３ないし１０について
　本願補正発明３ないし１０は、本願補正発明２又は本願補正発明１を引用してさらに限定したものであるから、上記本願補正発明２及び本願補正発明１についての判断と同様の理由により、引用文献に記載された発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
（６）小括
　よって、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合する。
　
３　むすび
　本件補正は、特許法第１７条の２第３項ないし第６項の規定に適合する。
　
第３　本願発明
　上記のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第３項ないし第６項の規定に適合するから、本願の請求項１ないし１０に係る発明は、本件補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１０に記載された事項により特定されるとおりのものである。
　そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 
　よって、結論のとおり審決する。