【事件の表示】
　特願２０１０−２８６０１４「ウエハ取扱い方法及びシステム」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　５月　６日出願公開、特開２０１１−　９１４３０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯  
　本願は、２００４年１０月７日を国際出願日とする特願２００６−５３５５５８号（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００３年１０月１６日、アメリカ合衆国）の一部を、平成２２年１２月２２日に新たに特願２０１０−２８６０１４号として分割した特許出願であって、同２４年６月６日付けで拒絶の理由が通知され、同２４年１２月１１日に意見書とともに特許請求の範囲について手続補正書が提出されたが、同２４年１２月２８日付けで拒絶をすべき旨の査定がなされた。これに対し、平成２５年５月８日に該査定の取消を求めて本件審判の請求がなされたものである。  
       
第２　本願発明  
　本願の請求項１ないし２０に係る発明は、平成２４年１２月１１日提出の手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１ないし２０に記載された事項により特定されるとおりのものと認めるところ、その請求項１の記載は以下のとおりである。（以下、請求項１に係る発明を「本願発明」という。）  
「【請求項１】
　少なくとも２つのロードロックからのウエハを処理するための方法であって、
　第１ロードロック内の第１ウエハカセットに保管された第１ウエハを処理チャンバで処理するために、第１ロードロックに関連付けられた２つのアームを用いて、第１ウエハを第１ウエハカセットから取り出して処理チャンバに引き渡す段階と、
　処理チャンバで第１ウエハを処理する間に、少なくとも第２ロードロックでロードロック処理を実行する段階と、
　処理チャンバで第１ウエハの処理を完了する段階と、
　第２ロードロック内の第２ウエハカセットに保管された第２ウエハを処理チャンバで処理するために、第２ロードロックに関連付けられた２つのアームを用いて、第２ウエハを第２ウエハカセットから取り出して処理チャンバに引き渡す段階と、を含む方法。」  
　
第３　引用刊行物に記載の発明及び事項等  
　これに対して、原審の平成２４年６月６日付け拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された下記刊行物には、以下の発明、あるいは事項が記載されていると認められる。  
      
　刊行物１：特開平８−１８１１８９号公報（原審の引用文献１） 
　刊行物２：実願昭６１−１１２０３２号（実開昭６３−１８８４１号）の　　　　　　マイクロフィルム（原審の引用文献３） 
      
１　刊行物１  
（１）刊行物１に記載された事項  
　刊行物１には、「真空中処理における加工物の高速度移動」に関して、図面とともに、以下の事項が記載されている。なお、下線は理解の便のため、当審で付したものである。 
   
ア　【特許請求の範囲】の【請求項１】
「【請求項１】真空中において、カセットから半導体ウエーハを取り出して処理する装置において、
第１ロボット、第２ロボット、及びウエーハ転送部を内部に有する真空室と、
ウエーハのカセットを大気中から真空室内に送入し、そこから送出するための第１エアロック及び第２エアロックと、
前記各エアロックを排気及び通気する排気・通気手段と、
前記真空室にあって、前記第１及び第２ロボットからウエーハを受取って処理する処理部と、
前記排気・通気手段が前記他方のエアロックを排気・通気している間に、前記第１及び第２ロボットが一方のエアロックからウエーハを順次連続的に処理部に移動させまた処理部からエアロックへ戻させるように前記第１及び第２ロボットを制御する制御手段と、からなる半導体ウエーハの処理装置。」
     
イ　段落【００１２】 
「【００１２】
【実施例の説明】従来技術とは異なり、図３に示す本発明の処理装置１００は、平坦で薄い加工物（主としてウエーハ）を、逐次動作に伴う遅れを導入することなく、ほぼ連続流れとして真空室に導入して高速処理を行うことを可能にする。本発明の処理装置１００は２個のカセットを有し、加工物またはウエーハは一度に一個づつ処理され、各々は元の移送台またはカセットに戻される。第１のカセットからのすべての加工物が処理されたら、そのカセットは、第２エアロックからの次のカセットが処理されている間に、第１のエアロックにおいて大気圧に戻される。
一方のカセットの排気と通気は処理工程に続いて行われるのではなくて、他のカセットからのウエーハが処理されている間に行われる。
     
ウ　段落【００１６】 
「【００１６】
【作用】処理装置１００の動作は次の通りである。
ウエーハ
第１エアロック２２ａ
真空室４０
第１ロボット６２
第１カセット３０ａから取り出して
第２ロボット６４
処理部２５
処理
     
エ　段落【００１７】 
「【００１７】こうして、第１カセットからのウエーハを処理するには、第１ロボットは各ウエーハの移動経路を３つに分割した場合の第１脚（区分）すなわち第１エアロック内の第１カセットから転送部５０までの経路、及び第３脚（区分）すなわち処理部２５から第１カセットまでの経路を実行し、第２ロボットは中間の第２脚（区分）、すなわち転送部５０から処理部２５までの経路を実行する。特に、少なくとも１つのロボット及び多くは２つのロボットが各瞬間に作業に従事し、２つのウエーハが任意の時間に真空室内を移動しており、また両ロボットは同時に処理部への送入とそこからの取り出しに従事し、そのためイオン注入処理部はほんの短い時間だけ中断するに過ぎずない。これらの工程は
第１エアロックのカセット３０ａのすべてのウエーハが処理されるまで反復される
   
オ　段落【００１８】 
「【００１８】次いで、２つのロボットは役割を交替して、
第２エアロック２２ｂ
処理
第２ロボット
第２カセット３０ｂ
一方第１ロボットは単に転送部５０で待機している未処理ウエーハを処理部２５に移行させるだけ
      
カ　段落【００１９】
「【００１９】特に、一方のエアロックからのウエーハが処理されている間に、他方の
ロックが通気され、そこから処理済のウエーハは取り除かれ、新たな半導体ウエーハのカセットがエアロック内に送入され、ドアが閉じられ、排気され、転送室（中間に使用する場合）または真空室に通じる弁が開かれる。
   
キ　段落【００２４】 
「【００２４】
【発明の変形例】しかし、特別の処理を考慮すると移送工程の速度が制限されることがあり得る。例えば、・・・（中略）・・・処理部２５が極端に短い処理時間で動作する場合には、本発明は更に追加のロボットを使用するか、または追加の転送部と追加のロボットの組み合わせを使用して、２個以上のウエーハを、ロボットの過度に急激な運動を要することなく、或いは微妙なウエーハ取扱に必要な低慣性の要件と相容れない加速を生じることなく、或いは処理部に遅延または休止時間を生じることなく、連続的に移送することを可能にすることも意図する。・・・（後略）」 
   
ク　図３
　以下に示す図３によれば、第１ロボット６２は、第１エアロック２２ａ付近に設けられ、第２ロボット６４は、第２エアロック２２ｂ付近に設けられていることが看取できる。
　　
（２）刊行物１記載の発明  
　上記摘記事項カにおける「ロックが通気され、そこから処理済のウエーハは取り除かれ、新たな半導体ウエーハのカセットがエアロック内に送入され、ドアが閉じられ、排気され、転送室（中間に使用する場合）または真空室に通じる弁が開かれる」ことは、技術常識を踏まえれば、ロードロック処理、が行われるということができる。
　また、上記摘記事項エにおける「第１エアロックのカセット３０ａのすべてのウエーハが処理されるまで反復される。」ことは、（処理が行われる）真空室４０でウエーハの処理を完了する段階、を経ることといえる。
  
　そこで、刊行物１の上記摘記事項アないしキ及び認定事項クを、図面を参照しつつ技術常識を踏まえて本願発明に照らして整理すると、刊行物１には以下の発明が記載されていると認められる。（以下、「刊行物１発明」という。）  
「２つのエアロックからのウエーハを処理するための方法であって、
　第１エアロック２２ａ内の第１カセット３０ａに保管されたウエーハを真空室４０で処理するために、第１エアロック２２ａ付近に設けられた第１ロボット６２に加え第２エアロック２２ｂ付近に設けられた補助的な第２ロボット６４を用いて、ウエーハを第１カセット３０ａから取り出して真空室４０の処理部２５に引き渡す段階と、
　真空室４０でウエーハを処理する間に、第２エアロック２２ｂでロードロック処理を実行する段階と、
　真空室４０でウエーハの処理を完了する段階と、
　第２エアロック２２ｂ内の第２カセット３０ｂに保管されたウエーハを真空室４０で処理するために、第２エアロック２２ｂ付近に設けられた第２ロボット６４に加え第１エアロック２２ａ付近に設けられた補助的な第１ロボット６２を用いて、ウエーハを第２カセット３０ｂから取り出して真空室４０の処理部２５に引き渡す段階と、を含む方法。」  
    
（３）刊行物１事項
　さらに、刊行物１には、以下の記載がある。
ケ　段落【００１１】
「【００１１】図２は従来の第２のウエーハ処理装置２０を示す。この装置では第１及び第２ウエーハ移送台３０ａ、３０ｂが個々のエアロック２２ａ、２２ｂに送入される。これらのエアロックは主真空室４０に隔離弁２３ａ、２３ｂを介して連通しており、また別々に排気及び通気される。イオン注入部のような単一の処理部２５が中央に配置されていて、１対のロボットないしウエーハ移送機構２６ａ、２６ｂがこれに関連している。各移送機構は部材２８ａ、２８ｂに沿って軸方向に移動でき、また枢動腕２９ａ、２９ｂにより枢動できる。軸方向の並進運動はウエーハを真空室とエアロック内にある移動台との間で移動させるために使用させる。一方腕の枢動運動は真空室内でのより制限された運動、例えば中間位置２７ａ、２７ｂからイオン注入部２５までの運動を行わせるために使用される。この装置の動作は次の通りである。エアロック２２ａにある移送台の単一ウエーハに対して、対応した移送機構２６ａが直線状に移動してウエーハを掴み、後退して整列ターンテーブル２７ａ上に置く。ウエーハの周縁の面が適正な向きに配向した後、腕２９ａはウエーハを持ち上げて枢動してそれを処理部２５にもたらす。逆に、ウエーハを処理部２５から取り除くには、腕を逆方向に枢動させ、整列ターンテーブル上に静止しないで並進させて移送台３０ａに戻す。次いで移送台は１スペースだけ上昇して次のウエーハを移送機構に接近可能な位置に移動させる。Ａ側のウエーハ（移送台３０ａからのウエーハ）がイオン注入部で処理されている間に、第２のロボット２６ｂは第２のウエーハ移送台３０ｂからＢ側のウエーハを送入し且つ配向している。次にこのウエーハを、Ａ側ウエーハがそこから取り外されている丁度その間に、イオン注入部２５に移送される。こうして、ウエーハは２つのカセットないし移送台３０ａ、３０ｂからのウエーハを交互にイオン注入部２５に移動させる連続した流れを形成する。・・・（後略）」
　
　上記摘記事項ケにおける「ウエーハ移送機構２６ａ」は、それ１台のみで「第１エアロック２２ａ」のウエーハを移送する専属的なものであるから、第１エアロック２２ａに関連付けられた１つのウエーハ移送機構２６ａ、ということができる。同様に、「ウエーハ移送機構２６ｂ」は、第２エアロック２２ｂに関連付けられた１つのウエーハ移送機構２６ｂ、といえる。
　そこで、刊行物１の上記摘記事項ケを関連する図２を参照しつつ、技術常識を踏まえて本願発明の用語に倣って整理すると、刊行物１にはさらに以下の事項が記載されていると認められる。（以下、「刊行物１事項」という。）
「２つのエアロックからのウエーハを処理するための方法において、
　第１エアロック２２ａ内の第１のウエーハ移送台３０ａに保管された第１ウエーハを主真空室４０で処理するために、第１エアロック２２ａに関連付けられた１つのウエーハ移送機構２６ａを用いて、第１ウエーハを第１のウエーハ移送台３０ａから取り出して主真空室４０の処理部２５に引き渡す段階と、
　第２エアロック２２ｂ内の第２のウエーハ移送台３０ｂに保管された第２ウエーハを主真空室４０で処理するために、第２エアロック２２ｂに関連付けられた１つのウエーハ移送機構２６ｂを用いて、第２ウエーハを第２のウエーハ移送台３０ｂから取り出して主真空室４０の処理部２５に引き渡す段階と、を含むこと。」
　
２　刊行物２  
（１）刊行物２記載の事項  
　刊行物２には、「ウエハ搬送装置」に関して、図面とともに、以下の事項が記載されている。
      
ア　明細書第４ページ第２〜１３行 
「第１図は枚葉式ドライエッチング装置に適用した場合の平面図を示す。
　本装置は、ロード側カセット室１ａ，アンロード側カセット室１ｂ，バッファ室２、および処理室３より構成されている。
　バッファ室２内にはウェハ搬送装置が二組設けられている。
　ウェハ搬送装置のアーム部は、ガイドアーム６，アーム７，リニアベアリングユニット８およびアーム７の駆動用のワイヤロープ９が、旋回中心上に設けたシーブ１０ａとガイドアーム６の先端に設けられたシーブ１０ｂより構成されている。」  
         
イ　明細書第５ページ第１３行〜第６ページ第３行
「上記構成のウェハ搬送装置により、ロードカセット室１ａ内のカセット４に収納されているウェハ５はアーム７により受取り、（ａ）点から（ｂ）までをアーム７の伸縮により直線的に搬送を行ない、（ｂ）点から（ｃ）点まではアーム７を旋回してウェハ５を搬送し、（ｃ）点にてオリフラ合せを行なった後、アーム７を旋回させて（ｄ）点の処理室３へ搬送する。処理室３にて処理されたウェハ５は、別に設けたウェハ搬送装置により（ｄ）点から（ｅ）点を経由しアンロードカセット室１ｂの（ｆ）点へ搬出される。」  
   
（２）刊行物２事項  
　上記摘記事項ア及びイにおける「アーム７」は、それ１台のみで「ロード側カセット室１ａ」のウェハを搬送する専属的なものであるから、ロード側カセット室１ａに関連付けられた１つのウェハ搬送装置、ということができる。同様に、摘記事項イの「別に設けたウェハ搬送装置」は、それ１台のみで「アンロードカセット室１ｂ」へウェハを搬出する専属的なものであるから、アンロードカセット室１ｂに関連付けられた１つのウェハ搬送装置、といえる。
　また、摘記事項ア及びイにおける「ロード側カセット室１ａ」及び「アンロード側カセット室１ｂ」は、技術常識を踏まえればいずれも、ロードロック、ということができる。
　そこで、刊行物２の上記摘記事項ア及びイを図面（特に第１図）を参照しつつ整理すると、刊行物２には以下の事項が記載されていると認められる。（以下、「刊行物２事項」という。）  
「２つのロードロックを備えたウェハを処理するための方法において、２つのロードロックのそれぞれに関連付けられたウェハ搬送装置を設けること。」
　
第４　対比  
　本願発明と刊行物１発明とを対比すると以下のとおりである。  
　刊行物１発明の「エアロック」が本願発明の「ロードロック」に相当することは、技術常識に照らして明らかであり、以下同様に、「ウエーハ」は「ウエハ」に、「第１エアロック２２ａ」は「第１ロードロック」に、「第１カセット３０ａ」は「第１ウエハカセット」に、「真空室４０」及び「真空室４０の処理部２５」はいずれも「処理チャンバ」に、「第２エアロック２２ｂ」は「第２ロードロック」に、「第２カセット３０ｂ」は「第２ウエハカセット」にそれぞれ相当することも明らかである。  
　また、刊行物１発明の「ウエーハ」に関し、「第１カセット３０ａに保管され」る「ウエーハ」は、「第１カセット３０ａ」が「第１ウエハカセット」に相当することを踏まえ、本願発明の「第１ウエハ」に相当するということができ、同様に、刊行物１発明の「第２カセット３０ｂに保管され」る「ウエーハ」は、本願発明の「第２ウエハ」に相当するということができる。
　  
　次に、刊行物１発明の「第１エアロック２２ａ付近に設けられた第１ロボット６２に加え第２エアロック２２ｂ付近に設けられた補助的な第２ロボット６４」と、本願発明の「第１ロードロックに関連付けられた２つのアーム」とは、一般に「ロボット」は「アーム」に対応すること及び上記対応関係を踏まえれば、第１ロードロックに対して移載作業を行う２つのアーム、である限りにおいて共通する。同様に、刊行物１発明の「第２エアロック２２ｂ付近に設けられた第２ロボット６４に加え第１エアロック２２ａ付近に設けられた補助的な第１ロボット６２」と、本願発明の「第２ロードロックに関連付けられた２つのアーム」とは、第２ロードロックに対して移載作業を行う２つのアーム、である限りにおいて共通する。
      
　したがって、本願発明と刊行物１発明とは、以下の点で一致しているということができる。  
＜一致点＞  
「２つのロードロックからのウエハを処理するための方法であって、
　第１ロードロック内の第１ウエハカセットに保管された第１ウエハを処理チャンバで処理するために、第１ロードロックに対して移載作業を行う２つのアームを用いて、第１ウエハを第１ウエハカセットから取り出して処理チャンバに引き渡す段階と、
　処理チャンバで第１ウエハを処理する間に、第２ロードロックでロードロック処理を実行する段階と、
　処理チャンバで第１ウエハの処理を完了する段階と、
　第２ロードロック内の第２ウエハカセットに保管された第２ウエハを処理チャンバで処理するために、第２ロードロックに対して移載作業を行う２つのアームを用いて、第２ウエハを第２ウエハカセットから取り出して処理チャンバに引き渡す段階と、を含む方法。」　  
　
　そして、本願発明と刊行物１発明とは、以下の点で相違している。  
１　＜相違点１＞  
　第１ロードロックに対して移載作業を行う２つのアームに関し、本願発明は、第１ロードロックに関連付けられた２つのアームを用いるのに対し、刊行物１発明は、第１エアロック２２ａ付近に設けられた第１ロボット６２に加え第２エアロック２２ｂ付近に設けられた補助的な第２ロボット６４を用い、また、第２ロードロックに対して移載作業を行う２つのアームに関し、本願発明は、第２ロードロックに関連付けられた２つのアームを用いるのに対し、刊行物１発明は、第２エアロック２２ｂ付近に設けられた第２ロボット６４に加え第１エアロック２２ａ付近に設けられた補助的な第１ロボット６２を用いるものである点。 
  
第５　相違点の検討  
１　＜相違点１＞について  
ア　本願発明の「第１」または「第２」「ロードロックに関連付けられた２つのアーム」なる特定事項については、請求人が審判請求書（平成２５年６月２０日提出の手続補正書）にて「本願発明において、ロードロックとアームの関連付けは排他的であり、第１ロードロック１２に関連付けられたアーム１８，３０が第２ロードロック１４にアクセスすることはなく、第２ロードロック１４に関連付けられたアームが第１ロードロック１２にアクセスすることもない。」と主張するように、２つのアームが「第１」または「第２」「ロードロックに」それぞれ専属的に設けられているという意味と解釈するのが妥当と考えられるので、以下この解釈に沿って検討する。
　
イ　上記第３の１（３）にて指摘したように、刊行物１事項は、  
「２つのエアロックからのウエーハを処理するための方法において、
　第１エアロック２２ａ内の第１のウエーハ移送台３０ａに保管された第１ウエーハを主真空室４０で処理するために、第１エアロック２２ａに関連付けられた１つのウエーハ移送機構２６ａを用いて、第１ウエーハを第１のウエーハ移送台３０ａから取り出して主真空室４０の処理部２５に引き渡す段階と、
　第２エアロック２２ｂ内の第２のウエーハ移送台３０ｂに保管された第２ウエーハを主真空室４０で処理するために、第２エアロック２２ｂに関連付けられた１つのウエーハ移送機構２６ｂを用いて、第２ウエーハを第２のウエーハ移送台３０ｂから取り出して主真空室４０の処理部２５に引き渡す段階と、を含むこと。」というものであるところ、これを本願発明の用語に倣って表現すれば、「エアロック」は「ロードロック」と表現でき、以下同様に、「ウエーハ」は「ウエハ」と、「第１エアロック２２ａ」は「第１ロードロック」と、「第１のウエーハ移送台３０ａ」は「第１ウエハカセット」と、「第１ウエーハ」は「第１ウエハ」と、「主真空室４０」及び「主真空室４０の処理部２５」はいずれも「処理チャンバ」と、「ウエーハ移送機構２６ａ」は「アーム」と、「第２エアロック２２ｂ」は「第２ロードロック」と、「第２のウエーハ移送台３０ｂ」は「第２ウエハカセット」と、「第２ウエーハ」は「第２ウエハ」と、「ウエーハ移送機構２６ｂ」は「アーム」と表現できる。したがって、刊行物１事項は、  
「２つのロードロックからのウエハを処理するための方法において、
　第１ロードロック内の第１ウエハカセットに保管された第１ウエハを処理チャンバで処理するために、第１ロードロックに関連付けられた１つのアームを用いて、第１ウエハを第１ウエハカセットから取り出して処理チャンバに引き渡す段階と、
　第２ロードロック内の第２ウエハカセットに保管された第２ウエハを処理チャンバで処理するために、第２ロードロックに関連付けられた１つのアームを用いて、第２ウエハを第２ウエハカセットから取り出して処理チャンバに引き渡す段階と、を含むこと。」と言い換えることができる。 
　ここで、刊行物１発明と刊行物１事項は、いずれも、２つのエアロックからのウエーハを搬送するための方法に関する点で共通するものである。また、上記第３の２（２）にて指摘したように、刊行物２事項は、「２つのロードロックを備えたウェハを処理するための方法において、２つのロードロックのそれぞれに関連付けられたウェハ搬送装置を設けること。」というものであるところ、刊行物１事項と同様に、それぞれのエアロックに専属的なロボットを設けるものといえるから、このような技術は従来周知の事項ということもできる。
　そうしてみると、「第１ロボット６２」及び「第２ロボット６４」を２つのエアロックからのウエーハ搬送で共用する刊行物１発明において、刊行物１事項及び従来周知の事項を適用することによって、共用することに代えそれぞれのエアロックに専属的なロボット（アーム）とすることに、格別困難性はないというべきである。
　
ウ　そして、上記摘記事項第３の１（１）キにて指摘したように、刊行物１には、「本発明は更に追加のロボットを使用するか、または追加の転送部と追加のロボットの組み合わせを使用して・・・」との記載があり、当該記載は、刊行物１発明における「第１ロボット６２」及び「第２ロボット６４」に加え、さらにロボット（アーム）を追加することを示唆するものといえる。また、装置のコンパクト性よりもロボット作業の迅速性を重視すれば、それぞれ２つずつのロボットとすることも、当業者が適宜なし得る設計変更ともいうべきものである。これらを併せ考えれば、各エアロックに専属的にロボット（アーム）を設ける際に、それぞれ２つの専属的なアームとすることも、想到容易である。
　
エ　以上を総合すると、刊行物１発明に刊行物１事項及び従来周知の事項を適用して、それぞれのエアロックに専属的にロボット（アーム）を設けることとし、その上で、それぞれ２つずつの専属的なロボットとして、相違点１に係る本願発明の特定事項とすることは、当業者が容易に想到し得るものと解するのが相当である。  
   
２　効果　
　本願発明によってもたらされる効果も、刊行物１発明、刊行物１事項及び従来周知の事項から当業者であれば予測できる程度のものに過ぎない。
   
３　小括  
　したがって、本願発明は、刊行物１発明、刊行物１事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。  
      
第６　むすび  
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１発明、刊行物１事項及び従来周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。  
　したがって、本願はその余の請求項２ないし２０に係る発明について検討するまでもなく、拒絶されるべきものである。  
　よって、結論のとおり審決する。