【誤訳訂正書】
【提出日】平成27年1月15日(2015.1.15)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置であって、
その中に隔離雰囲気を保持することができ、基板を前記装置に搬入および搬出するための搬入出ステーションに連通接続された搬送室と、
前記基板を搬送するための前記搬送室内部の搬送システムと、
前記搬送室に沿って分散され、前記基板がその間を移動できるように前記搬送室に連通接続された処理室モジュールの配列と、を備え、
前記搬送室は、縦方向に直線的に伸張することが可能であり、
前記搬送室は、少なくとも１つの搬送室モジュールと、前記少なくとも１つの搬送室モジュールに連通接続されて、前記基板を滞留させる基板バッファと、を備え、
前記少なくとも１つの搬送室モジュールの各々は、モジュール参照基準面と所定の関係を有する制御特徴を備え、前記制御特徴は前記基板処理装置のグローバル参照基準面に基づいて設けられ、前記制御特徴は、前記少なくとも１つの搬送室モジュールが前記少なくとも１つの搬送室モジュールの他の搬送室モジュールと完全に互換性を有し、且つ、位置決定特徴を画定するように構成され、当該位置決定特徴とは、前記搬送システム前記搬送室を介した基板の取り扱いを可能にする設置の際に前記搬送室モジュールの各々を最終的に位置決めしてアラインメントするものであり、それによって前記少なくとも１つの搬送室モジュールの各々を前記制御特徴によって前記搬送室の少なくとも１つの他の搬送室モジュールと順次連通接続させて前記搬送室を伸張させることが可能であり、かつ前記基板処理装置の少なくとも２つの室モジュールを、前記少なくとも１つの搬送室モジュールの各々の１つの共通側部において、かつ任意的に前記少なくとも１つの搬送室モジュールの各々の両側において互いに結合させることが可能であり、各搬送室モジュールは前記搬送室モジュールと前記少なくとも２つの室モジュールとの間で前記基板を搬送するために、その間に内在する基板搬送アームを有することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記基板バッファは、前記搬送システムの所定の移動速度において前記搬送室を介した最大の基板搬送処理能力をもたらすために前記基板を滞留させることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記基板バッファは、パススルーバッファであり、前記少なくとも１つの搬送室モジュールと前記少なくともその他の搬送室モジュールとの間で前記基板を滞留させることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記基板バッファは真空ポンプを有する請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記搬入出ステーションは、基板搬送コンテナインターフェースと、ポートとを有し、前記基板は、前記装置と前記搬送コンテナとの間を移動する請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記２つの室モジュールのうちの少なくとも１つは、基板処理室モジュールである請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記２つの室モジュールのうちの少なくとも１つは、前記少なくとももう１つの搬送室モジュールである請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記少なくとも１つの搬送室モジュールは、前記少なくとも２つの室モジュールの各々から隔離されることができる請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記少なくとも１つの搬送室モジュールは、前記少なくとも２つの室モジュールの各々に対応する基板移動開口部を有し、各開口部は、前記少なくとも１つの搬送室モジュールと前記室モジュールとの間の前記開口部を介して、前記基板を移動できるように適合されている請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記基板移動開口部は、前記室モジュールから前記少なくとも１つの搬送室モジュールを隔離するように閉じることが可能である請求項９に記載の基板処理装置。
【請求項１１】
前記少なくとも１つの搬送室モジュールは、その中に隔離雰囲気を保持することができるハウジングを有し、前記２つの室モジュールのうちの少なくとも１つから隔離される請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項１２】
前記少なくとも１つの搬送室モジュールは、多くの異なった交換可能な搬送室モジュールから選択可能である請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項１３】
前記搬送室は、所定の参照基準面を１つ有し、前記少なくとも１つの搬送室モジュールは、前記参照基準面に対して相対的に前記少なくとも１つの搬送室モジュールの位置を繰り返し可能に決定するために、前記参照基準面に対して相対的に位置を決定する機能を有する請求項１２に記載の基板処理装置。
【請求項１４】
前記少なくとも１つの搬送室モジュールは、前記少なくとも２つの室モジュールが、前記搬送室モジュールの反対側にある前記少なくとも１つの搬送室モジュールに結合できるように適合される請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項１５】
前記少なくとも１つの搬送室モジュールは、前記少なくとも２つの室モジュールが、前記ノードの隣接側にある前記少なくとも１つの搬送室モジュールに結合できるように適合される請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項１６】
前記基板搬送アームは、前記基板を保持および搬送するためのエンドエフェクタを有し、前記基板搬送アームは、前記少なくとも１つの搬送室モジュールから、前記少なくとも２つの処理モジュールの各々へ、前記エンドエフェクタを移動することができる請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項１７】
前記搬送室、搬送システム、および処理モジュールの配列に制御可能に接続されるコントローラを更に備え、前記コントローラは分散制御クラスタアーキテクチャを有する請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項１８】
基板処理装置であって、
基板を搬送室に搬入、および搬送室から搬出するための開口部を備えた搬送室であって、第１の搬送室モジュールと、第２の搬送室モジュールと、第３の搬送室モジュールと、
を備え、前記第１、第２および第３の搬送室モジュールの各々は、それぞれの搬送室モジュール参照基準面と所定の関係を有する制御特徴を備え、前記制御特徴は前記基板処理装置のグローバル参照基準面に基づいて設けられ、前記制御特徴は、前記第１、第２および第３の搬送室モジュールが互いに完全に互換性を有し、且つ、位置決定特徴を画定するように構成され、当該位置決定特徴とは、搬送システムが前記搬送室を介して基板を取り扱うことができるようにする位置に、それぞれの搬送室モジュールを最終的に一致整列させる特徴であり、前記第１、第２および第３の搬送室モジュールの各々は、その中に隔離雰囲気を保持することができ、前記基板をその間で移動するために互いに連通接続され、前記第１と第２の搬送室モジュールが互いに接続されると、前記搬送室は縦方向に直線状に伸張した形状を有する搬送室と、
前記搬送室に配置され、前記第１、第２および第３の搬送室モジュールの各々内に縦方向に固定された場所に移動可能に取り付けられた基板搬送アームを有する搬送システムと、
前記搬送室に沿って分散され、前記基板がその間を移動できるように前記搬送室に連通接続された処理室モジュールの配列と、
前記第１、第２または第３の搬送室モジュールのうちの少なくとも１つに対して選択的に接続可能な少なくとも１つの基板バッファモジュールと、を備え、
前記搬送室の前記縦方向に直線的に伸張した形状は、前記第２と前記第３の搬送室モジュールのうちの少なくとも１つが前記第１の搬送室モジュールに選択的に接続することによって、影響を受ける選択的に可変の縦方向の長さを有し、前記第３の搬送室モジュールが前記第１または第２の搬送室モジュールのいずれに接続するかは、前記第１と第２の搬送室モジュールとの間に接続されている前記基板バッファモジュールに依存する基板処理装置。
【請求項１９】
前記バッファモジュールはパススルーバッファモジュールである請求項１８に記載の基板処理装置。
【請求項２０】
基板処理装置であって、
前記装置から基板を搬入および搬出するためのポートを備える搬入出ステーションと、
その中に隔離雰囲気を保持でき、その間を前記基板が通過できるように、前記搬入出ステーションに連通接続された搬送室と、
前記基板を搬送するための前記搬送室内部の搬送システムと、
前記搬送室に沿って分散され、前記基板がその間を移動できるように前記搬送室に連通接続された処理室モジュールの配列と、を備え、
前記搬送室は、縦方向に直線的に伸張することが可能であり、
前記搬送室は、少なくとも１つの搬送室モジュールとパススルー基板バッファとを備え、
前記少なくとも１つの搬送室モジュールは、その中に常に内在する基板搬送アームを備え、前記搬送室モジュールが前記搬入出ステーションに連結されて連通接続され、少なくとも１つの他の搬送室モジュールに連通接続されることができ、前記搬入出ステーション、前記少なくとも１つの搬送モジュールおよび前記少なくとも１つの他の搬送室モジュールが縦方向に連続して配置されるようになり、前記少なくとも１つ搬送室モジュールと前記少なくとも１つの他の搬送室モジュールの各々は、それぞれの搬送室モジュール参照基準面と所定の関係を有する制御特徴を備え、前記制御特徴は前記基板処理装置のグローバル参照基準面に基づいて設けられ、前記制御特徴は、前記少なくとも１つの搬送室モジュール及び前記少なくとも１つの他の搬送室モジュールが互いに完全に互換性を有すると共に前記少なくとも１つの搬送室モジュールの他の搬送室モジュールとも完全に互換性を有するように構成され、且つ、前記少なくとも１つの搬送室モジュールと前記少なくとも１つの他の搬送室モジュールが位置決定特徴を画定するように構成され、当該位置決定特徴とは、搬送システムが前記搬送室を介して基板を取り扱うことができるようにする位置に、それぞれの搬送室モジュールを最終的に一致整列させる特徴であり、
前記パススルー基板バッファは、前記少なくとも１つの搬送室モジュールに結合されて連通接続され、前記少なくとも１つの搬送室モジュールは、前記搬入出ステーションと前記パススルー基板バッファとの間に配されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２１】
前記少なくとも１つの搬送室モジュールは、前記処理室モジュールの配列のうちの少なくとも１つに連結されて連通接続される請求項２０に記載の基板処理装置。
【請求項２２】
前記少なくとも１つの他の搬送室モジュールは、２つの他の搬送室モジュールを含み、前記搬送室は、前記２つの他の搬送室モジュールに連通接続され、その間に縦方向に連続して配置される、もう１つのパススルー基板バッファをさらに備える請求項２０に記載の基板処理装置。
【請求項２３】
基板処理装置であって、
外部雰囲気から隔離できる室を備え、前記室内に取り付けられた搬送アームを有する搬送室モジュールであって、前記搬送アームは、基板を保持および移動するためのエンドエフェクタを有するとともに、前記搬送室モジュールに対して実質的に固定された位置に配置されたピボットジョイントを有する、搬送室モジュールと、
もう１つの搬送室モジュールであって、外部雰囲気から隔離できるもう１つの室を備え、前記もう１つの他の室内部に取り付けられたもう１つの搬送アームを有し、別の搬送アームは前記基板を保持および搬送するためにもう１つのエンドエフェクタを有するとともに、別の搬送室モジュールに対して実質的に固定された位置に配置されたもう１つのピボットジョイントを有し、前記別の搬送室モジュールは、直線的に伸張された搬送室を形成するように前記搬送室モジュールに接続可能であり、前記搬送室モジュールと前記別の搬送室モジュールの各々は、それぞれの搬送室モジュール参照基準面と所定の関係を有する制御特徴を備え、前記制御特徴は、前記基板処理装置のグローバル参照基準面に基づいて設けられ、前記制御特徴は、前記少なくとも１つの搬送室モジュールと前記もう１つの搬送室モジュールが互いに完全に互換性を有すると共に前記基板処理装置の他の搬送室モジュールとも完全に互換性を有するように構成され、且つ、位置決定特徴を画定するように構成され、前記位置決定特徴とは、搬送システムが前記搬送室モジュールを介して基板を取り扱うことができるようにする位置に、それぞれの搬送室モジュールを最終的に一致整列させる特徴である、もう１つの搬送室モジュールと、
前記直線的に伸張された搬送室に沿って延長して接続された処理モジュールの直線配列であって、前記基板が、前記直線的に伸張された搬送室と前記直線配列のうちの少なくとも１つの処理モジュールとの間で搬送できるようになる、処理モジュールの直線配列と、を備え、
前記搬送アームおよび前記別の他の搬送アームは、進行レーンを形成するように互いに協働し、前記直線的に伸張された搬送室から縦方向に延長し、これに沿って前記基板が搬送される基板処理装置。
【請求項２４】
前記搬送室および／または１つ以上の処理室モジュールに連通接続されたコントローラをさらに備え、前記１つ以上の処理室モジュールのうちの少なくとも１つは、前記コントローラとのインターフェース時に、前記コントローラに対して、前記少なくとも１つの搬送室モジュールの所定の特徴を自動的に特定するようにプログラムされた電子的インターフェースを有する請求項１に記載の基板処理装置。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【発明の詳細な説明】
【発明の名称】直線状に分布された半導体部品処理ツール
【技術分野】
【０００１】
本明細書において説明される典型的実施形態は、半導体部品（ワークピース）処理ツールに関し、より具体的には、直線的配置を有する処理ツールに関する。
【背景技術】
【０００２】
新しい電子機器を求める消費者に影響を与える因子のうちの１つは、必然的に、機器の価格である。逆に、コスト、従って新しい電子機器の価格を低下することが可能であれば、新しい機器を求める消費者において有益な効果が達成されると思われる。電子機器の製造コストのうちの大部分は、電子部品またはディスプレイを製造するために使用されるパネルを製造する場合に使用されるような半導体基板の製造および処理に伴う電子機器製造のコストである。基板の処理コストは、部分的に、装置の処理コスト、処理装置が設置される施設のコストによって影響されるが、大部分は、処理装置（単位価格に顕著な影響を有する）の処理能力によって、影響される。直ちに理解できるように、処理装置自体のサイズは、前述の因子の全てに影響を与える。しかしながら、従来の処理装置は、サイズの減少という点においては、行き詰まったようである。さらに、従来の処理装置は、単位あたりの処理能力を増加するという点においても限界に到達したようである。例えば、従来の処理装置は、放射状の処理モジュール配置を使用する場合がある。放射状の処理モジュール配置の場合、装置の処理モジュールは、処理装置の搬送室の周囲に放射状に配置されている。搬送装置は、従来の２または３軸の移動装置（例えば、Ｚ、θ、Ｔ軸）であるが、処理モジュール間で基板を搬送する搬送室の中心に配置される。従来の処理装置の処理能力は、搬送装置の処理速度によって限定される。つまり、搬送装置が処理速度のピークに達すると、これは、処理能力に対する制御因子になるので、従来の装置の処理能力は、装置に処理モジュールを追加することだけによっては、増加できない。従来の技術の問題を克服する本発明の装置は、以下に詳細が説明される。
【発明の概要】
【０００３】
典型的実施例に従い、基板処理装置が提供される。基板処理装置は、その中に隔離雰囲気を保持することができ、基板を装置に搬入および装置から搬出するための装填ステーション（Charging station）に連通可能に接続された搬送室と、搬送室内部に基板を搬送するための搬送システムと、搬送室に沿って分散され、基板がその間を移動できるように搬送室に伝達可能に接続された処理室モジュールの配列と、を含む。ここで、搬送室は縦方向に直線的に伸張することができ、その各々は伸張を実現するために搬送室の少なくとももう１つの搬送室モジュールに連続して伝達可能に接続することと、装置の少なくとも２つの室モジュールを互いに繋ぐことができ、各搬送室モジュールは、搬送室モジュールと少なくとも２つの室モジュールとの間で基板を搬送するために、その中に内在する基板搬送アームを有する、少なくとも１つの搬送室モジュールと、少なくとも１つの搬送室モジュールに連通可能に接続され、基板を一時的に保管する、基板バッファと、を含む。
【０００４】
別の典型的実施例に従い、基板処理装置が提供される。基板処理装置は、基板を搬送室に搬入および搬出するための開口部を備えた搬送室を含み、搬送室は、第１の搬送室モジュールと、第２の搬送室モジュールと、第３の搬送室モジュールと、を備え、各々は、その中に隔離雰囲気を保持することができ、基板をその間で移動するために互いに伝達可能に接続され、第１と第２の搬送室モジュールが互いに接続されると、搬送室は縦方向に直線状に伸張された形状を有する。処理装置は、搬送室に配置され、第１、第２および第３の搬送室モジュールの各々の内部に縦方向に固定された位置に移動可能に取り付けられた基板搬送アームを有する搬送システムと、搬送室に沿って分散され、基板がその間を移動できるように、搬送室に伝達可能に接続された処理室モジュールの配列と、第１、第２、または第３の搬送室モジュールのうちの少なくとも１つに選択可能に接続可能な少なくとも１つの基板バッファモジュールとをさらに含み、搬送室の縦方向に直線的に伸張された形状は、第２と第３の搬送室モジュールのうちの少なくとも１つが第１の搬送室モジュールに選択可能に接続することによって影響を受ける選択可能な可変の縦方向の長さを有し、第３の搬送室モジュールを第１または第２の搬送室モジュールに選択可能に接続することは、第１と第２の搬送室モジュールの間で接続されている基板バッファモジュールに依存する。
【０００５】
また別の典型的実施例に従い、基板処理装置が提供される。基板処理装置は、装置から基板を搬入および搬出するためのポートを備えた装填ステーションと、その中に隔離雰囲気を保持でき、基板がその間で通過できるように装填ステーションに伝達可能に接続された搬送室と、搬送室内部に基板の搬送のための搬送システムと、搬送室に沿って分散され、基板がその間を搬送できるように搬送室に伝達可能に接続された処理室モジュールの配列と、を含む。ここで、搬送室は、縦方向に直線的に伸張することができ、その中に常に内在する基板搬送アームを備え、装填ステーションにインターフェースして伝達可能に接続され、装填ステーション、少なくとも１つの搬送室モジュール、および少なくとももう１つの搬送室モジュールは、縦方向に連続して配置されるように少なくとももう１つの搬送室モジュールに伝達可能に接続することができる、搬送室モジュールと、少なくとも１つの搬送室モジュールが装填ステーションと少なくとも１つの搬送室モジュールとの間に介在するように、少なくとも１つの搬送室モジュールにインターフェースして伝達可能に接続された、パススルー基板バッファと、を含む。
【０００６】
さらに別の典型的実施例に従い、基板処理装置が提供される。基板処理装置は、外部の雰囲気から隔離できる室を備え、室内に取り付けられた搬送アームを有する搬送室モジュールを含み、搬送アームは、基板を保持および移動するためのエンドエフェクタを有するとともに、搬送室モジュールに対して実質的に固定された位置に配置されたピボットジョイントを有する。基板処理装置は、外部雰囲気から隔離することができるもう１つの室を備え、もう１つの室内部に取り付けられたもう１つの搬送アームを有する、もう１つの搬送室モジュールをさらに含み、もう１つの搬送アームは基板を保持および搬送するためのもう１つのエンドエフェクタを有するとともに、もう１つの搬送室モジュールに対して実質的に固定された位置に配置されたもう１つのピボットジョイントを有し、もう１つの搬送室モジュールは、直線的に伸張された搬送室を形成するように室モジュールに接続され、処理モジュールの直線配列は、基板が直線的に伸張された搬送室と直線配列のうちの少なくとも１つの処理モジュールとの間で搬送できるように、直線的に伸張された搬送室に沿って伸張して接続される。ここで、搬送アームおよびもう１つの搬送アームは、進行レーンを形成するように互いに協働し、直線的に伸張された搬送室から縦方向に延長し、これに沿って基板が搬送される。
【０００７】
本発明の前述の態様およびその他の特徴は、添付の図面と関連させながら、以下の詳細説明において説明される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、第１の典型的実施形態に従い、本発明の特徴を組み入れる基板処理装置の模式的平面図である。
【図２】図２は、図１の処理装置の搬送室モジュールの模式的平面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、図２の搬送室モジュールの正面図である。
【図３】図３は、図１の処理装置の搬送室モジュールの一部の模式的平面図である。
【図４】図４は、別の典型的実施形態に従う処理装置の搬送室の模式的平面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、図４の搬送室の模式的正面図である。図４Ｂは、図４Ａの図方向に直交する別の方向から見た搬送室の別の正面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、別の典型的実施形態に従う搬送室の別の模式的正面図である。
【図４Ｃ】図４Ｃは、別の典型的実施形態に従う搬送室のまた別の模式的正面図である。
【図４Ｄ】図４Ｄは、別の典型的実施形態に従う搬送室のさらに別の模式的正面図である。
【図５】図５は、別の典型的実施形態に従う処理装置の模式的平面図である。
【図６】図６は、別の典型的実施形態に従う処理装置の別の模式的平面図である。
【図７】図７は、別の典型的実施形態に従う処理装置のまた別の模式的平面図である。
【図８】図８は、別の典型的実施形態に従う装置の模式的正面図である。
【図９】図９は、またさらに別の典型的実施形態に従う処理装置の模式的正面図である。
【図１０】図１０は、装置の別の部分の別の模式的正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図２を参照すると、本発明の特徴を組み入れる基板処理装置１０の模式的平面図が示される。本発明は図面に示された実施形態を参照しながら説明されるが、本発明は、多数の代替形式の実施形態で実施することが可能であることを理解されたい。さらに、任意の適切なサイズ、形状または種類の要素または材料が使用される。
【００１０】
部品（ワークピース）処理システム１０またはツールは、概して、処理セクション１３とインターフェースセクション１２を有する。ツール１０のインターフェースと処理セクションは互いに接続され、その間の部品の搬送を可能にする。図面に図説された部品Ｓは、典型例であり、例えば、４５０ｍｍ、３００ｍｍまたは２００ｍｍのウエハ、レチクル、マスク、ディスプレイ用フラットパネル、またはその他任意の望ましい部品項目にすることができる。ツールの処理セクション１３は、望ましい処理プロトコルに従い部品Ｓを処理するための材料蒸着（ＣＶＤ、ＰＶＤ、銅注入、エピタキシャルシリコン、誘電体蒸着、急速加熱処理、イオン注入、エッチング、化学機械的研磨、計測、電気めっきなど）のような処理モジュールまたは室を有することができる。処理モジュールは、部品搬送室１６（図５も参照）によって連結することができ、この中で部品を処理プロトコルに従い望ましい処理モジュール間で搬送することができる。搬送室は、その中および処理モジュールへ部品を移動することができる搬送ロボット２０を有する。処理モジュールと搬送室は、搬送室内部に、処理モジュールと同じように、または、処理モジュール間で搬送されている部品に適切な雰囲気を維持するために、外部雰囲気から雰囲気を隔離することができる。例えば、搬送室は、不活性ガス（例えばＮ２）雰囲気を有する場合や、真空（またはほぼ真空の雰囲気）を保持する場合がある。ツールインターフェースセクション１２は、ツール処理セクション１３とその隔離雰囲気およびツール外部との間に部品搬入／搬出インターフェースを提供する。このように、ツールインターフェースセクションによって、ツールの外側のキャリアで搬送される場合がある部品が、キャリアからツールへ、またはこの逆に搬出されるようになる。搬送室は、搬送室モジュールから構成することができ、例えば、直線的に伸張した搬送室を形成するように、端と端を接続することができる。このように、搬送室の長さは、搬送室モジュールを追加または削減することによって、可変である。搬送室モジュールは、望ましい搬送室モジュールを搬送室の隣接部分から隔離することができる入口／出口ゲート弁を有することができる。セクション１２に類似したツールインターフェースセクションは、以下に説明するように、直線的に伸張した搬送室に沿った望ましい位置に配置することができ、部品がツールの望ましい位置で搬入または搬出できるようにする。処理モジュールは、搬送室の長さに沿って分散される場合がある。処理モジュールは、室の長さに対して角度のある方向に積み重ねることができる。搬送室モジュールは、望ましい搬送室モジュールを処理モジュールから隔離する入口／出口ゲート弁を有することができる。搬送システム２０は、搬送室全体に分散される。いくつかの搬送室モジュールは、それぞれ、モジュールに固定されたインターフェース／取り付けを有する統合型可動アームと、搬送室に沿っておよび搬送室と処理モジュールの間で部品を保持および移動することができる可動エンドエフェクタを有することができる。異なる搬送室モジュールの搬送アームは、直線的に分散された搬送システムの少なくとも１部分を形成するように協働することができる。ツールの搬送システム、処理モジュール、処理セクション、インターフェースセクションおよびその他任意の部分の操作は、コントローラ４００によって制御することができる。図１に模式的に示されたコントローラ４００は、分散型またはクラスタ型制御アーキテクチャを有することができ、その適切な例は、２００５年７月１１日出願の米国特許番号第１１／１７８，６１５号に示されており、参照することによりその全体を本明細書に組み込まれる。搬送室とその中の搬送システムは、以下に詳細を説明するように、搬送室内に複数の部品進行レーンを画定するように配置することができる。進行レーンは、部品の前進および返送のために搬送室内に分極化される、または専用にすることができる。搬送室は、搬送室の異なるセクションが異なる雰囲気を保持できる中間搬送ロックも有することができ、部品が搬送室の異なる雰囲気セクション間を通過できるようにする。以下に詳細を説明するように、搬送室は、部品が搬送室の望ましい位置から挿入／取り出すことができる入口／出口ステーションを有することができる。例えば、入口／出口ステーションは、インターフェースセクション１２の反対端または搬送室のその他の望ましい位置に配置することができる。搬送室の入口／出口ステーションは、リモートツールインターフェースセクション１２を備える搬送室の入口／出口ステーションに連結している部品の急速通過経路によって通信することができる（図５および８も参照）。急速通過経路は、搬送室１６とは独立的で隔離可能にすることができる。急速通過経路は、部品がインターフェースセクションと通過経路との間を搬送できるように、１つ以上のインターフェース１２と通信できる。部品は、搬送室に影響を与えずに、急速通過経路を経過して、急速に、ツールの前進セクションに配置および処理後インターフェースセクション１２に返却することができるので、処理の作業（ＷＩＰ）が削減される。また、搬送室は、中間の入口／出口ステーションも有することができ、これらのいくつかは、部品がその間を搬送できるように、急速通過経路と通信することができる。これによって、部品は、以下に詳細を説明するように、処理の流れに影響を与えずに、処理の望ましい中間部分で挿入または取り出すことができるようになる。
【００１１】
さらに図１を参照すると、インターフェースセクション１２は、ツール１０の搬送室のエンドに例示目的として示されている。代替実施形態では、ツールのインターフェースセクションは、例えば、搬送室に沿った中間位置、搬送室の端の間で、望むように配置することができる。図１は、搬送室に接続された１つのインターフェースセクションを備えるツール１０を示している。代替実施形態では、ツールは、搬送室に接続された任意の希望の数のインターフェースセクションを有することができる。図１に示されたインターフェースセクション１２は、典型的な構成を有し、代替実施形態では、インターフェースセクションは任意の希望の構成／配置を有することができる。インターフェースセクション１２は、概して、閉塞部または室１４と、搬入ポートＬＰ（１つが示されているのは、例示目的のためだけであり、搬送室は任意の希望の数の搬入ポートを有することができる）と、を有する。室１４は、部品がインターフェースセクション室１４と搬送室１６の間で搬送できるように、搬送室１６に伝達可能に接続される。インターフェースセクション室１４は、室１４内部で望ましい清浄度を維持するように、例えば、ファンと特定のフィルタを有する制御型空調システムを備えた環境モジュールにすることができる。インターフェースセクション室は、環境室と呼ばれる場合もある。搬入ポートＬＰは、環境室１４内部の制御された環境条件および環境に悪影響を与えることなく、部品がインターフェースセクション室１４から搬入および搬出できる制御型ポート（非表示）を提供する。搬入ロック（図１では非表示、図４を参照）は、環境室１４と搬送室１６との間で遷移するように提供される場合がある。適切な環境インターフェースセクションの１例は、２００５年７月１１日出願の米国特許番号第１１／１７８，８３６号に開示されており、参照することによりその全体が本明細書に組み込まれる。示された実施形態では、搬入ポートの制御型ポートは、部品がインターフェースセクションの内部および外部、つまり、ツール１０の内部および外部へ搬送されるインターフェースセクションに、開口部を提供する。制御型ポートの開口部は、部品がインターフェースセクションから搬入／搬出されていない場合にインターフェースセクション１２の制御された環境を維持するように、ドアまたは閉塞部（非表示）の閉鎖を有する、または少なくとも部分的に開口部を妨害することができる。ポートドアは、部品が搬入／搬出されていない場合は閉じられる。示された実施形態では、部品は、ＦＯＵＰ（Ｓ）、ＳＭＩＦ（ｓ）またはその他の部品コンテナなどのキャリアまたはコンテナ内部のツール外側に搬送することができる。図１は、搬入ポートに嵌合されたＦＯＵＰ Ｃを示す。代替実施形態では、搬入ポートは、任意の望ましいキャリアと嵌合するように配置することができる。図１から理解され得るように、部品コンテナＣが搬入ポートと嵌合されると、コンテナは、ポートドアを開くことができるように、搬入ポートの制御型ポートを密閉することができる。コンテナにより密閉されたポートによって、ポートドアおよびコンテナＣの閉塞部（非表示）（部品がコンテナに搬入されるコンテナ開口部を��じる）は、例えば、汚染される可能性がある閉塞部が室内部を汚染することなく、同時に、取り外すことができるので、容器Ｃは環境室１４に開かれる。図１に示された実施形態では、環境室１４は、室の表面１４Ｒで搬送室１６に接続され、搬入ポートＬＰは、表面１４Ｆの反対側に配置される。搬入ポートＬＰは、搬入ポートに嵌合されたコンテナをサポートするためのコンテナサポートＣＳを有することができる。図１に示された実施形態では、コンテナサポートＣＳは、室表面１４Ｆから延長して、搬送室１６、環境室１４、および搬入ポートＬＰは、例示目的のために、軸Ｘに実質的に直線上に配置される。代替実施形態では、搬送室、環境室および搬入ポートは位置が合わない場合がある。例えば、搬入ポート（およびそのコンテナサポート）は、インターフェースセクションと搬送室の整列軸に対して直交または角度があるように搬入ポートの位置を決める環境室の表面に配置できる。理解され得るように、コンテナサポートは、天井または床取り付け型自動材料処置システム（ＡＭＨＳ）、コンベヤシステムまたは自立型またはレール誘導式キャリア等、適切な自動コンテナ搬送システム（非表示）を備えるコンテナインターフェースを可能にするように配置される場合がある。コンテナは、搬入ポートコンテナサポート上で手動で搬入することもできる。部品コンテナは、縮小されたＷＩＰコンテナにすることができ、この適切な例は、２００５年８月１９日出願の米国特許申請番号第１１／２０７，２３１号に説明および示されているが、参照することによりその全体が本明細書に組み込まれる。搬入ポートドアおよびコンテナ閉塞部は、受身型（つまり、移動可能機能を持たない受身型ロッキング機能）にすることができ、適切な例は、２００５年１１月３日付の米国特許申請書「Ｒｅｄｕｃｅｄ Ｃａｐａｃｉｔｙ Ｃａｒｒｉｅｒ， Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ， Ｌｏａｄ Ｐｏｒｔ， Ｂｕｆｆｅｒ Ｓｙｓｔｅｍ」に記述および示されている。ポートドアが受身型である実施形態においては、インターフェースセクション室は、例えば、インターフェースセクションが搬入ロック（つまり、搬送室１６内部の雰囲気と部品コンテナＣ内部の雰囲気との間の遷移が可能）として操作できるように、適切な環境制御システム（例えば、吸引源／粗引きポンプ、雰囲気への排出口、搬送室への排出口）に接続することができる。この実施形態では、インターフェースセクション１２は、介在搬入ロックを全く有さず、搬送室に（図１に示されているように）直接嵌合する。図１に示された典型的な実施例では、インターフェースセクションは、搬入ポートに組み合わされたコンテナＣから、搬送室１６に部品を移動するための部品搬送１５を有する。搬送１５は、インターフェースセクション室１４内部に配置され、例えば、複数の部品を独立的に移動するための複数の独立的に移動可能なエンドエフェクタを有することができる。図１に示された実施形態では、搬送１５は、例えば、３、４、５または６度の自由度（例えば、２つの独立的に移動可能なエンドエフェクタ（θ、ｒ）と組み合わされたＺ運動）を有することができる、複数の連接された連結アームとして、図説される。代替実施形態では、インターフェー��セクションは、任意の適切な部品搬送装置を備えて提供されることができる。示された典型的な実施形態では、インターフェースセクションは、アライナステーション、バッファステーション、計測ステーションおよび部品Ｓのためのその他任意の望ましい処置ステーションのような部品ステーションＡも含むことができる。
【００１２】
ここで図２を参照すると、部品搬送室１６の典型的な搬送室モジュール１８の模式的平面図がある。以下に詳細を説明するように、モジュール１８は、例えば、インターフェースセクション（セクション１２に類似）、搬入ロックモジュール、処理モジュール、部品ステーションモジュール、その他搬送室モジュール、またはその他任意の望ましいモジュールと嵌合するために、複数のインターフェースを有することができ、さらに、個別のモジュール内および個別のモジュールと隣接する搬送室モジュールとの間で部品Ｓに複数の独立的な進行レーンを提供するように、モジュールに配置された統合型部品搬送装置を有することができる。搬送室モジュール１８は、以下に説明するように、隔離雰囲気を保持することができる筐体２４を有する。示された実施形態では、筐体２４は、一般的な六面体形状を有するが、代替実施形態では、筐体は任意の適切な形状を有することができる（例えば、側面がこれより多いまたは少ない、または、周辺が丸い）。筐体２４は、モジュールシステムと構成要素の構造サポートのためのフレーム２２Ｆを含むことができる。典型的な実施例では、フレームは、ステンレス鋼またはアルミニウム合金等の金属で作製された一部材（つまり単一構造）にすることができ、鋳造等の任意の適切な形成処理によって形成されることができる。室筐体の適切な例は、２００５年３月２日出願の米国特許申請番号第１１／０７０，４４３号に開示されており、参照することによりその全体が本明細書に組み込まれる。この典型的な実施例では、フレーム２２Ｆは、外部の雰囲気から室内雰囲気を隔離する筐体部分（例えば、圧力境界）を画定することができる。また、フレームは、隣接するモジュールへの通信および部品の通過のための、モジュールインターフェースと筐体の開口部のあわせ面も画定することができる。フレームは、以下に説明するように、モジュールの内部にユーザがアクセスするためのアクセス開口部２４Ｏもさらに画定することができる。代替実施形態では、搬送室モジュールの筐体フレームは、その他任意の望ましい形状および配置を有することができる。
【００１３】
図２に示されるように、この典型的な実施形態の搬送室モジュールの筐体２４は、筐体の側面上にインターフェース２８Ｆ、２８Ｂ、２８Ｌ、２８Ｒを有する。代替実施形態では、これより多いまたは少ないインターフェースが存在することができる。モジュール筐体２４およびその上のインターフェース２８Ｆ、２８Ｂ、２８Ｌ、２８Ｒは、ＸとＹの両方の対称軸に対して実質的に対称として示されている。さらに、インターフェース２８Ｆ、２８Ｂ、２８Ｌ、２８Ｒは、互いに対称にすることができる。これによって、モジュール１８は、どの方向においても搬送室のその他の部分／モジュールに接合することができる。従って、例えば、モジュールは、隣接する搬送室モジュールと嵌合するように、現在のインターフェース２８Ｆ，２８Ｂに対して配向することができる（例えば図１および３を参照）。代替実施形態では、モジュールの配向は、インターフェース２８Ｌ、２８Ｒが、他の一列に並んだ搬送室モジュールと互いに嵌合するように、回転されてもよい（この例では約９０°）。逆に、モジュール筐体上のインターフェースの配置対称性および個別のインターフェースの互いの類似性によって、補完する嵌合されたインターフェースを有する任意のモジュールは、搬送室モジュール１８の任意のインターフェースに嵌合することができる。従って、別の搬送モジュールまたは処理モジュール等、保管する対のインターフェースを有する任意の望ましいモジュールは、モジュール１８に類似の任意の指定の搬送室モジュールの対のインターフェース２８Ｌ、２８Ｒ、２８Ｆ，２８Ｂのうちの任意の１つに嵌合／接合されることができる。例えば、指定の直線的に分散されたツールにおいて、１つの搬送室モジュール１８は、インターフェース２８Ｒに嵌合された別の搬送室モジュールを有することができ、他の搬送室モジュールは、インターフェース２８Ｒに類似のインターフェースで、処理モジュールＰＭと嵌合させることができるが、インターフェース２８Ｆに類似のインターフェースで、また別の搬送室モジュールに嵌合させることはできない。これは、以下に詳細を説明する。
【００１４】
モジュール筐体２４およびインターフェース２８Ｌ，２８Ｒ、２８Ｆ、２８Ｂは、モジュール間で真の互換性を提供するように配置することもできる。例えば、各インターフェース２８Ｌ，２８Ｒ、２８Ｆ、２８Ｂは、直線ＦＬ、ＦＲとして、図２に模式的に示されている、位置と傾斜制御面および特徴を備えて提供することができる（例として、図２では直線ＦＬ、ＦＲだけが示される）。モジュール上の位置および傾斜面および特徴ＦＬ、ＦＲは、キネマティックカップリング構造体（kinematic coupling features）のような任意の適切なタイプにすることができ、適切な例は、２００５年６月１５日出願の米国特許申請番号第１１／１５４，７８７号に説明および示されており、参照することによりその全体が本明細書に組み込まれる。理解され得るように、各互換性搬送室モジュールは、配置特徴および嵌合面に関して、モジュール１８に実質的に類似しているので、以下の説明は、便宜上、モジュール１８として、このような全てのモジュールを参照する。それぞれのインターフェースの位置／傾斜制御面および特徴ＦＬ、ＦＲは、各互換性搬送室モジュールの指定のインターフェース２８Ｆ、２８Ｂ，２８Ｌ、２８Ｒの反復可能な空間位置（例えば、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸に沿って、Ｚ軸は図２のページ外）および姿勢（Ｘ、Ｙ、Ｚ軸周囲の回転）を画定する。例えば、モジュール１８の各々は、モジュール参照基準面を有することができ、制御面／特徴ＦＬ、ＦＲは、モジュール参照基準面に対して確立されることができる。参照基準面は、例えば、部品搬送平面Ｗ（図２Ａを参照）とすることができるが、モジュールに対して共通のその他任意の望ましい参照基準面を使用することができる。上述および以下にも詳細を説明するように、搬送室モジュールは、複数の部品進行レーンＡ、Ｒを画定する。図２Ａに示された典型的な実施形態においては、部品平面Ｗは、例のために、レーンＡに対応し、代替実施形態では、任意の進行レーンに対応する部品搬送平面は、モジュールの参照基準面として使用することができる。モジュール参照基準面Ｗは、以下に説明するように、グローバル参照基準面Ｇから確立することができる（各モジュール１８に対して）。理解され得るように、結果は、各モジュール参照基準面Ｗ、およびモジュールインターフェースの制御面／特徴ＦＬ、ＦＲの位置および傾斜の一致性または反復性である。各モジュールインターフェース上の制御面／特徴は、例えば、参照ベンチまたはジグ（図９を参照）を使用して、適切な基準面特徴を備えた、モジュール参照基準面に対して確立することができる。参照ジグは、モジュール参照基準面の基底を提供する１つ以上のベース基準面を有することができる（例えば、部品搬送平面Ｗ）。ベース基準面（または特徴）は、ＦＡＢ（foundry（工場））施設フロアのような望ましいグローバル参照基準面Ｇから決定することができる。また、参照ジグは、ジグのベース基準面に対して固定された規定の位置および傾斜で、基準面、レーザー位置登録システムまたは光学位置登録システム等の登録基準面特徴も有することができる。登録基準面特徴は、各モジュール１８のインターフェース２８Ｌ、２８Ｒ、２８Ｆ、２８Ｂの制御面／特徴ＦＬ、ＦＲを設定するために使��される。指定のモジュールのインターフェース制御面／特徴ＦＬ、ＦＲを設定するために、モジュールは、参照ジグの基底基準面に対して望ましい位置にあるように、参照ジグ上に配置することができる。モジュール上の各望ましいインターフェース２８Ｌ、２８Ｒ、２８Ｆ，２８Ｂのインターフェース制御面／特徴ＦＬ、ＦＲは、次に、登録基準面特徴を使用して、最終位置に配置することができる。例えば、制御特徴ＦＬ、ＦＲが、縦方向の平面である場合（モジュールを平坦にするために３点の接触結合によって使用することができるような）、平面性および縦方向の平面方向が、参照ジグの対応する参照基準面特徴の位置および傾斜に一致するように、面を調整することができる（機械加工台または調整機械接合のような適切な形成処理を使用して）。従って、理解され得るように、各モジュール１８の各インターフェースの類似の制御面／特徴は、モジュール参照基準面に対して、実質的に同じ位置および角度配向を有するようになり、従って、全てのモジュールに実質的に共通である。さらに、モジュール参照基準面に対して、モジュール内部に部品のインターフェース構成要素の位置および角度配向を設定すると、構成要素の位置が一致して反復され、さらに、上述のように真に互換性のモジュールとなる。従って、モジュールのインストール時のモジュールまたは内部モジュール構成要素のカスタム配置および配列が排除される。さらに、これによって、搬送ロボットの教示処理が簡素化されて、教示時間も削減されることが可能になる。代替実施形態では、モジュールインターフェースの制御面／特徴を繰り返して確立するために、任意の適切な参照基準面システムを使用することができる。
【００１５】
引き続き図２を参照すると、搬送室モジュール１８は、統合型部品搬送装置２６を有する。装置２６は、部品を望みどおりに（例えば、矢印γ、θによって示された方向およびＺ（縦方向／方向）にも）に保持および移動することができる１つ以上のエンドエフェクタ３２（例として図２に表示）を有することができる。示された典型的な実施形態では、搬送装置は、以下で説明されることを除いては、インターフェースセクション１２のロボットアーム１５に類似した複数作動連結搬送アームである。代替実施形態では、搬送室モジュールの部品搬送装置は、その他任意の適切な構成にすることができる。この典型的な実施形態の搬送装置２６は、例えば、３、４、５、６度以上の自由度を備えたアームを提供するように、搬送アームの望ましい連結に操作可能に接合された駆動セクションを有することができる。自由度は、独立的に駆動される連結の数、アームエンドエフェクターの数、および、アームが、指標または縦方向（Ｚ軸、図２の平面外）の運動ができるかどうか、に依存する。例えば、単独のエンドエフェクタ、２つの独立的に運動可能な連結（例えばショルダー２６Ｓの周囲の独立的な回転およびエルボー２６Ｅ周囲の独立的な回転）およびインデクス機能（Ｚ軸）を備える搬送アームは、３の自由度を有する。搬送アームおよびその駆動セクションは、搬送室モジュール１８のフレーム２２Ｆに取り付けるためのモジュール２６Ｍとしてパッケージ化することができる。例えば、搬送アームモジュール２６Ｍは、アクセス開口部２４Ｏ（図２を参照）経由のようなユニットとしてインストールまたは取り外すことができる「ドロップイン」モジュールにすることができる。搬送アームモジュール２６Ｍは、搬送室モジュールフレーム２２Ｆ上の望ましい取り付けセクション（非表示）にかみ合う取り付け具（非表示）を有することができる。また、統合型部品搬送装置２６は、フレーム２２Ｆ上の相補的な特徴である補間特徴３６と協働する動的カップリング（キネマティックカップリング）（kinematic couplings）のような決定的な位置制御特徴を有して、搬送室モジュール内の搬送アームモジュール２６Ｍの繰り返し可能な位置決め配置をもたらしてもよい。これによって、搬送室モジュール内の搬送アームモジュール２６Ｍは、その他の類似の搬送アームモジュールと自由に互換できるようになり、逆に、搬送アームモジュールは、実質的に設置後の調整を行わずに、任意の搬送室モジュール内に設けることが可能になる。搬送アームモジュールの位置制御特徴３４およびモジュールフレーム２２Ｆの補完特徴３６は、部品搬送平面Ｗのような、モジュール参照基準面に対して再配置可能な位置に設けられる（図２Ａも参照）。搬送室モジュールフレーム２２Ｆの補完特徴３６は、モジュール外部インターフェース２８Ｌ、２８Ｒ、２８Ｆ、２８Ｂの制御特徴ＦＬ、ＦＲで前述したのと同様な方式で、参照ジグ２００（図９も参照）を使用して設定することができる。アームモジュール２６Ｍ上の制御特徴３４も同様な方式で確立することができる。例えば、モジュールフレームに使用された参照ジグ２００と同じ種類またはその他任意の望ましい異なる種類の参照ジグ２００Ａ（図１０を参照）を使用すること���できる。参照ジグ２００Ａは、グローバル参照基準面Ｇ’から確立されたベース参照基準面Ｗ’（任意の適切な手法で提供される）を有することができる。搬送アームモジュール２６Ｍのためのジグ２００Ａのベース参照基準面Ｗ’とグローバル参照基準面Ｇ’は、室モジュールフレーム２２Ｆのために使用された参照ジグ２００のベース参照Ｗ’とグローバル参照基準面Ｇ’と同じである。例えば、典型的な実施形態では、両方のジグのグローバル参照基準面は、ＦＡＢフロアにすることができ、表現位置のベース参照基準面は、部品搬送平面Ｗになる（図２Ａを参照）。従って、ベース参照基準面は、位置決定特徴３６，３４をそれぞれ室モジュールフレーム２２Ｆ上に確立するために使用されて、アームモジュール２６Ｍは実質的に同じまたは共通の基準面である。搬送アームモジュール２６Ｍの参照ジグは、制御特徴３４をアームモジュール２６Ｍ上に設定するために使用された登録基準面特徴Ｒ３４も有する。搬送アームモジュール２６Ｍは、部品サポート面（非表示）のようなエンドエフェクタ３２の望ましい部分が（図２も参照）ベース参照基準面Ｗ’（前述のように、この実施形態では部品搬送平面Ｗに対応する）と並ぶように、参照ジグ２００Ａ上に配置することができる（図１０を参照）。典型的な実施形態では、モジュールが参照ジグ上にある場合、ピボットリンクのピボット軸Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３（例えば、ショルダー２６Ｓで軸Ｚ１、エルボー２６Ｅで軸Ｚ２、リスト２６Ｗで軸Ｚ３、図１０を参照）は、アーム２６のγ、θ運動中（図２を参照）エンドエフェクタ３２（つまり、その部品サポート面／平面）がベース参照基準面Ｗ’とアラインメントされ続けることを保証するように設けることができる。アームモジュール２６Ｍ上の制御特徴３４は、ジグ２００Ａ上の登録基準面特徴構造Ｒ３４の位置と合致するように、任意の適切な生成または調整処理で画定される。この結果、理解され得るように、各アームモジュール２６Ｍの制御特徴３４は、繰り返し配置可能な位置に置かれる。室フレーム２２Ｆおよびアームモジュール２６Ｍ上のそれぞれの協働的な制御特徴３６、３４の決定論的位置決めの構成および繰り返し配置可能な位置は、アーム２６の適切な位置への配置調整をすることなく、搬送室モジュール１８内においてアームモジュール２６Ｍを正確な配置位置に迅速に設置することを可能とするだけではない。さらに、当該決定論的位置決めの構成および繰り返し配置可能な位置は、搬送室モジュール１８内のアームモジュール２６Ｍの互換性を促進しかつアームモジュールの制御特徴３４に類似した配置制御特徴を有する搬送室モジュール１８内部に取り付けることができるその他任意の構成要素モジュール（例えば、アライナ構成要素モジュール、またはその他任意の望ましい部品ステーション、バッファモジュール、計測モジュール、室）とのアームモジュール２６Ｍの互換性を許容する。このように、搬送室モジュール１８は、再構成可能、例えば、搬送モジュールからアライナモジュール、計測モジュールまたはそのほか任意のステーションモジュールへ、内部の構成要素モジュールを交換するだけで、変換することが可能である。前述のように、搬送室モジュール１８のインターフェース２８Ｌ、２８Ｒ、２８Ｆ、２８Ｂは、開口部２８Ｏを有して、その中から、部品をモジュール内外に搬送することができる。図２Ａは、代表モジュール１８の部分的断面図で、モジュールのインターフェース２８Ｌ、２８Ｒ，２８Ｂが表示されている。この実施形態では、インターフェース２８Ｌ、２８Ｒ、２８Ｂ、２８Ｆは類似しているが、代替実施形態では、異なるインターフェースをモジュールの異なる側面に提供することができる。各インターフェースの開口部は、搬送装置により、複数の異なる個別の進行レーンＡ，Ｒに沿って、開口部から部品が搬送できるようなサイズに決定される。示された典型的な実施形態では、インターフェース開口部２８Ｏは、単独の開口部で、互いに縦方向に分割される２つの進行レーンＡ，Ｒを持つことができる。代替実施形態では、開口部は、３つ以上の異なる個別の進行レーンを持つようにサイズを決定することができる。その他の異なる実施形態では、部品を搬送するための異なる進行レーンは、任意の望ましい方向で分割することができる。さらに他の代替実施形態では、複数の進行レーンの各々に対する開口部のように、インターフェースに複数の個別の部品搬送開口部が存在することができる。このように、各進行レーンは、専用搬送開口部から伸張することができる。さらにまた他の代替実施形態では、１つ以上のインターフェースの開口部は、単独の進行レーンだけを持つことができる。一般的に、このようなインターフェースは、１つだけの処理モジュールが嵌合されるモジュール側面上に配置することができる。個別の進行レーンＡ，Ｒの間の分割（図２Ａを参照）は、概して、互いに通過するように、同じまたは異なる搬送装置の異なるエンドエフェクタによって（例えば、１つのエンドエフェクタによって１つの部品がレーンＡに沿って搬送され、別のエンドエフェクタによってもう１つの部品がレーンＲに沿って搬送される）、部品Ｓが、それぞれ、異なる進行レーンに沿って搬送することができるために十分である。モジュールインターフェースの開口部２８Ｏは、モジュール内部が、指定のインターフェースのその他の側面上の雰囲気から隔離できるように、閉じることが可能な場合がある。例えば、インターフェースの開口部２８Ｏを密閉するように、スロット弁をモジュール上に取り付けることができる。スロット弁は、空気圧または機械的にまたはその他任意の適切な作動システムによって、作動することができる。スロット弁作動および搬送室モジュール１８のその他の操作可能なシステム（例えば、搬送アーム２６）の制御は、コントローラ４００によって提供することができる（図１を参照）。モジュール１８は、モジュール１８の操作可能システムをコントローラ４００にインターフェースするための、図２に模式的に示された通信と電力のインターフェース２０、および、以下に詳細を説明するように適切な電力または作動システム（例えば、電気、空気圧、真空、熱など）を有する。理解され得るように、スロット弁を閉じると、進行レーンＡ、Ｒをブロックする。単独のスロット弁が、両方の進行レーンに使用することができ、または、進行レーンＡ、Ｒの各々は、異なる別々に作動可能なスロット弁を有することができる。この配列は、以下に説明するように、複数の重なり合った搬入ロックまたは処理モジュールが、１つのインターフェースに対になる場合に使用することができる。開口部を介して未使用の進行レーンは、開口部の境界に取り付けられた閉塞部によって密閉して、未使用の進行レーンが取り決められる開口部の部分を密閉することができる。
【００１６】
さらに図２−２Ａを参照すると、典型的な実施形態では、搬送室モジュール１８は、そこに統合された部品ステーション３０を有することができる。部品ステーションは、例えば、アライナ、バッファ、計測ステーション、加熱ステーション、搬入ロックまたは、その他任意の望ましいステーションまたはステーションの組み合わせにすることができる。部品ステーションは、搬送室モジュールフレーム２２Ｆへのモジュラーユニットとして取り付けおよび取り外しができるサブモジュール３０Ｍとして構成することができる。示された典型的な実施形態では、部品ステーションモジュール３０Ｍは、嵌合インターフェース２８Ｒのうちの１つに対になる（図２−２Ａは、インターフェース２８Ｒのモジュール３０Ｍを示し、代替実施形態では、部品ステーションモジュールは任意のインターフェースに配置することができる）。理解され得るように、部品ステーションモジュール３０Ｍは、部品搬送平面Ｗに対して望ましい位置の部品ステーションモジュール内に、部品サポート面ＳＳＡ、ＳＳＲを配置および配列するように、対応するインターフェース２８Ｒ上の特徴ＦＲと協働するように、反復可能および位置決定論的特徴（前述のフレーム２２Ｆのインターフェース２８Ｌ、２８Ｒ，２８Ｆ、２８Ｂ上の特徴ＦＬ、ＦＲに類似）によって提供することができる。これによって、前述のように、実質的に搬送アームモジュール２６Ｍに同様に取り付け後の位置調整がなくても、部品ステーションモジュールの真の互換性も実現する。また、組み合わせられたユニット１８Ｓとして、搬送室モジュール１８やステーションモジュール３０Ｍのツール１０へのインストールも促進する。図２Ａに示された実施形態では、部品ステーション３０は、バッファステーションである。この実施形態のバッファステーションは、２つのサポートシェルフ／表面ＳＳＡ，ＳＳＲを有し、１つは、室１８から各進行レーンに対応する。代替実施形態では、バッファステーションは、これより多いまたは少ないサポートシェルフを有することができる。その他の代替実施形態では、部品ステーションモジュールは、搬送室モジュールフレーム上のその他任意の位置に取り付けることができ、室モジュールインターフェースの部品搬送開口部から専用開口部を介して、室と通信することができる。その他の代替実施形態では、部品ステーションは、搬送室モジュールフレーム上のその他任意の位置に取り付けることができ、室モジュールインターフェースの部品搬送開口部から専用開口部を介して、室と通信することができる。その他の代替実施形態では、部品ステーション構造は、搬送室モジュールのフレームに統合することができ、モジュールとして取り外すことはできない。典型的な実施形態では、部品ステーション３０の制御および電力システム（非表示）は、次にツールコントローラおよび電力供給に接続される搬送室モジュール１８の制御および電力分散システム（非表示）の適切な結合を経由してインターフェースされる。このように、制御通信信号、および電力は、搬送室モジュール１８からステーションされる部品の適切なシステムに向けることができる。ツールコントローラおよび電力供給への部品ステーションシステムの結合は、以下に説明するように搬送室モジュール１８がコントローラおよび電力供給に繋がれると、自動的に発生することができる。代替実施形態では、部品ステーションは、ツールコントローラおよび電力システムに別々に接続することができる。図２Ａに示されるように、この実施形態の部品ステーション３０は、閉じることが可能な開口部３０Ａを有することができ、ここから、部品ステーション３０がモジュール１８と通信する。搬送室モジュール１８に対する連通アクセス開口部３０Ａ（側面３０Ｃの）と反対側の側面３０Ｒは、別の閉じることが可能な開口部３０Ｏを有することができる。開口部３０Ａ、３０Ｏは、互いに、および以下に説明するようにモジュール１８の開口部２８Ｏに類似することができ、複数の部品進行レーン（進行レーンＡ、Ｒに類似するが、角度を持って配向される）と同様なゲート／スロット弁を備えた閉鎖を可能にするようにサイズを決めることができる。ワークステーション３０は、このように、搬送室モジュールから隔離することができる（例えば、アクセス開口部３０Ａを閉じることによって）。対応して、ワークステーション３０の内部雰囲気は、搬送室モジュールに対して変化し、またその反対も可能である。例えば、部品ステーション３０は、部品ステーションの雰囲気を排出するための、Ｈｅｌｉｘ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｃｏｒｐから販売されているような真空または粗引きポンプ３０Ｖによって提供することができる。アクセス開口部３０Ａが閉じられると、それによって、部品ステーション３０はモジュール１８から隔離され、部品ステーション内の雰囲気は、モジュールに独立して送ることができる。モジュール１８とステーション３０の間の制御可能な通気管路（非表示）によって、モジュールとステーション間の排気が制御できる。典型的な実施形態では、真空ポンプ３０Ｖ（図２を参照）は、モジュール１８とステーション３０の両方の雰囲気を同時に排出するためにも使用することができる。例えば、アクセス／開口部２０Ａを開くことができ、ポンプ８０Ｖはワークステーション３０から、モジュール１８にて真空にすることができる。開口部３０Ｏは、このように、ステーションモジュール３０Ｍがモジュール１８に取り付けられて、アクセス開口部３０Ａから通信している場合、モジュール１８の外側の閉鎖可能境界を形成することができる。代替実施形態では、搬送室モジュールは、真空ポンプによって提供することができ、ワークステーションは、真空ポンプを持つことはできない。その他の代替実施形態では、ステーションモジュールは、その他任意の望ましいモジュール側面上にこれより多いまたは少ない開口部を有することができる。この典型的な実施形態では、ステーションモジュールは、ステーションモジュールに対する反復可能な嵌合またはその他のモジュールのために、前述のモジュールフレーム２２Ｆ上の位置制御ＦＲに類似した、位置決定論的で、反復可能に配置された嵌合インターフェースＣＲ１を有することができる。理解され得るように任意の望ましいモジュールは、別のツールインターフェースセクションモジュール（モジュール１４に類似、図１を参照）またはモジュール１８に類似の別の搬送室モジュール、または処���モジュールのような、このステーションモジュールの側面３０Ｒに嵌合することができる。
【００１７】
搬送室モジュール１８は、ツールの直線的に分散された搬送室１６を形成するように、その他類似の室モジュールに結合することができる。モジュール１８の各々は、ツールのいくつかのモジュールを、以下に詳細を説明するように、構造的および操作的に互いに連結するツールノードを形成することができる。以下に説明するように、典型的な実施形態では、搬送室１６やツール自体は、決定論的配置手法を使用して形成され、当該決定論的配置手法は、ツールモジュールを嵌合させる場合の過度な制約事項を排除する。例えば、ツール１０の初期のセクションまたはモジュールは、モジュール１８に類似の搬送室モジュール、またはセクション１２に類似のインターフェースセクション、または、ツール１０のその他任意の望ましいモジュールまたはセクションにすることができるが、ツール１０のその他のセクションおよびモジュールと共通の参照基準面（例えば、ウエハ搬送平面Ｗ、図２Ａを参照）を有し、グローバル基準面（この実施形態では、ＦＡＢフロア）に対して、望ましい位置／配向に参照基準面Ｗを配置するように位置付けることができる。図３に示された典型的な実施形態では、モジュール１８は、初期モジュールＭＯの初期モジュールは位置決定として示されているが、任意の望ましい手法で実現することができる。例えば、サポートフレームまたはその他の構造またはデバイスは、モジュール位置ベースＭＰＢを形成するように使用することができる。サポートフレームは、すでに参照することによりその全体が本明細書に組み込まれた、２００５年６月１５日出願の米国特許申請番号第１１／１５４，７８７号に記述および示された自動化エンジンサポートフレームと類似のものとすることができる。フレームは、ＦＡＢフロアに基づいた３点支持部を有し、軸Ｘ、Ｙのまわりにフレームをグローバルに回転して調整することが可能である（例えば、傾斜と回転、図３を参照）。また、サポートフレームは、グローバル基準面から位置が決められる決定論的結合特徴も有することができ、モジュール１８のインターフェース２８Ｌ、２８Ｒ、２８Ｆ，２８Ｂの位置および傾斜制御特徴と、または、モジュールのその他任意の望ましい部分と嵌合させることができる。代替実施形態では、フレームサポートは、調整不可にすることができ、任意の取り付け調整は、初期モジュールと係合するサポートで提供することができる（例えば、調整可能取り付け具、シムなど）。初期モジュールは、配置ベースＭＰＢと嵌合され、グローバル基準面に対する参照基準面Ｗ配列が検証される。誤った配置は、配置ベースＭＰＢの内蔵調整能力を使用することによって排除することができる。典型的な実施形態では、部品搬送平面がＦＡＢフロアに対して実質的に平行な場合に、位置あわせが確立される。望ましい配向に並んだツールの初期モジュール／セクションＭＯによって、ツールのその他のモジュールおよびセクションを初期モジュールに結合することができる。モジュールインターフェースでの位置が決定論的および反復可能に配置された制御および配置特徴（前述）は、以降のモジュール／セクション、および内部の構成要素を、初期モジュールＭＯに嵌合させる望ましい反復可能な配向／位置に、配置する。これによって、結合されるモジュール間の位置あわせを確立する嵌合後の調整が実質的に排除される。図３は、別の搬送モジュール１８Ａ（モジュール１８に類似）が、初期モジュールＭＯ上でステーション３０の側面３０Ｒに嵌合される例を示す。初期モジュールＭＯ上のそれぞれの協働的配置および制御特徴ＦＲ’、ＬＡと追加モジュール１８Ａの係合によって、追加モジュールは、望ましい位置に設定されるので、２つのモジュールの部品搬送平面Ｗは、実質的に初期のインストールに並ぶ。従って、各モジュールの搬送アーム２６によって確立され、前述のように参照平面Ｗに並んだ進行レーンＡ、Ｒは、嵌合された搬送室モジュール１８、１８Ａによって、連続した進行レーンＡ、Ｒを有効に形成する場合に、一緒に結合することができる。このように、部品は、以下に詳細を説明するように、あるモジュールから別のモジュールへと、搬送室を通って、進行レーンＡ，Ｒに沿って搬送することができる。典型的な実施例において、図３に示された連続的に結合したモジュール１８、１８Ａは、一緒に、直線的に伸張した搬送室１６を形成することができ、Ｘ軸は室の縦方向軸になり、部品進行レーン（図２ＡのレーンＡ，Ｒに類似）は室で縦方向に伸張する。搬送室の伸張は、モジュール１８Ａを初期モジュールに嵌合するための方式と類似の方式で、モジュールを室の自由／未使用の側面のうちのいずれかにさらに嵌合させることによって、望むように続けることができる。嵌合されているモジュールの嵌合インターフェースでの協働的配置および制御特徴（図２に示された特徴Ｌ、Ｒに類似）は、前述のようにモジュール間の位置的一致を確立する。部品進行レーンＡ，Ｒは、このように、搬送室１６のモジュール全体に伸張することができる。
【００１８】
初期モジュールＭＯの側面３０Ｒに追加されている搬送モジュール１８Ａは、例示目的のために示されているので、理解され得るように、その他の搬送室モジュールは、初期モジュールの任意の望ましい側面に嵌合させることができる。また、モジュールは、初期モジュールＭＯの複数の側面に嵌合させることができる。さらに、搬送室モジュールは、搬送室１６を任意の望ましい長さおよび構成に直線的に伸張するように、搬送室のその他のモジュールＭＩ（図３を参照）の任意の１つ以上の望ましい側面に嵌合させることができる。図３は、別の典型的な実施形態に従う搬送室の配置を図説するにも役立ち、各モジュールは、様々な直線的に伸張した搬送室の部分であり、例えば、図３に示されたＹ軸の方向に実質的に平行な縦方向の軸を有する平行な搬送室１６、１６Ｉである。この場合、モジュール１８Ａと１８の嵌合は、別の搬送室（モジュール１８とモジュール１８Ａによってそれぞれ表現される）間のシャント１６Ｓを提供することができる。シャントは、搬送アーム２６、２６Ａによって、搬送室間で部品（レーンＡ、Ｒに類似の別の進行レーンに沿うことが望まれる場合）を搬送することを可能にする。モジュール１８、１８Ａのそれぞれの嵌合インターフェース上の配置および制御特徴によって、搬送室の部品平面（平面Ｗに類似）の互いの配置あわせが容易に検証できる。例えば、位置制御特徴が正しく係合されると、様々な室の部品搬送平面が互いに並ぶ。様々な搬送室は、図２Ａの開口部３０Ｏのスロット弁に類似のスロット弁によって、互いに隔離することができる。また、搬送室モジュール１８、１８Ａのうちの１つの部品ステーションは、搬送ロックとして構成することができる（つまり、不活性ガス、真空のような様々な雰囲気間を循環する適切なシステムが提供される）。これによって、異なる搬送室では異なる雰囲気が維持できるようになる。代替実施形態では、搬送室は、縦方向に積み重ねられる、または、１つの室がもう１つに交差して、縦方向にオフセットすることができる。縦方向にオフセットした搬送室は、部品が室間をシャトルできる縦方向の通路のような、通路によって互いに結合することができる。例えば、搬送アームは、部品が１つの搬送室から別の搬送室へ搬送できるように、十分なＺ軸進行を提供することができる。
【００１９】
再度図１を参照すると、搬送室モジュール１８に嵌合されたツールインターフェースセクション１２（前述）が示されている。この典型的な実施形態では、搬送室モジュール１８は、例の目的に限定して、ツールの初期またはベースモジュールＭＯを形成すると説明されている。従って、この実施形態では、インターフェースセクション１２は、ツール搬送室１８のベースモジュールＭＯに嵌合することができる。代替実施形態では、インターフェースセクションは、ツールの任意の望ましい搬送室モジュールに嵌合することができる。１つ以上のインターフェースセクション１２、１２’は、搬送室１６の長さに沿って、異なる搬送室モジュールに嵌合させることができる（図５も参照）。インターフェースセクションは、前述の搬送室モジュール１８の特徴ＦＬ、ＦＲに類似した、位置および傾斜制御特徴を有することができ、モジュール１８上の嵌合制御特徴ＦＬ、ＦＲと協働することができて、インターフェースセクションとモジュールが結合されると、搬送室モジュール１８、つまり、搬送室１６全体に対して、望ましい位置および配向にインターフェースセクションの少なくともサポートフレームを配置する。従って、ツールインターフェースセクション１２と搬送室１６（つまり搬送室を形成するモジュール）の部品搬送平面（図２の平面Ｗに類似）は、インターフェースセクションと搬送室モジュールが互いに結合すると、実質的に互いに並ぶ。このように、１つ以上の部品進行レーンは、搬送室１６からツールインターフェースセクションに伸張することができる。代替実施形態では、インターフェースセクションの搬送アーム１５の部品搬送平面は、搬送室１６の進行レーンＡ，Ｒに並ぶだけでなく、オフセット（例えば、縦方向にオフセット）できる。前述のように、図１に示された配置は例に過ぎない。ツールインターフェースセクション１２は、搬送室モジュール１８の任意の望ましいインターフェース２８Ｌ、２８Ｒ、２８Ｆ、２８Ｂに嵌合させることができる。このように、ツールインターフェースセクション１２は、直線的な室１６の縦方向軸Ｘと概して並ぶように配置できる。または、縦方向の室軸Ｘからの位置オフセットで搬送室に嵌合させることができる。例えば、図１に示された実施形態では、ツールインターフェースセクション１２は、搬送室１６の端１６Ｅ、または、搬送室の部分の少なくとも端（つまり、図１のモジュール１８はエンドモジュールの場合がある）、および室１６（単独の搬送室モジュール１８が図１に示されているが、追加の搬送室モジュールをモジュール１８に追加して、点線で示されているように、軸Ｘによって示されている方向に、搬送室を直線的に伸張することができる）の縦方向軸Ｘに、ツールインターフェースセクション１２を介して接合することができる。代替実施形態では、インターフェースセクションまたはそのカセットサポートＣＳは、概して、搬送室の縦方向軸Ｘからのオフセット（例えば水平方向）に面する。
【００２０】
ここで図６を参照すると、システム１０に類似する、部品処理システム３１０の模式的平面図が示されていて、ここで、ツールインターフェースセクション３１２（実質的にセクション１２に類似）は、インターフェースセクション３１２が、概して（例えば内向き）搬送室３１６の縦方向軸Ｘに面するが、搬送室３１６の縦方向軸Ｘからオフセットするように、インターフェースセクション３１２が搬送室３１８（モジュール１８に実質的に類似）に取り付けられる。理解され得るように、図６に示された典型的な実施形態では、搬送室３１６は、その他の搬送室モジュール３１８Ａ、３１８Ｉをインターフェース３２８Ｒ，３２８Ｌに取り付けることによって、伸張することができる（つまり、搬送室モジュールのインターフェースは、ツールインターフェースセクション３１２が嵌合されるインターフェース３２８Ｆに対して、角度をつけて面する）。示された実施形態では、搬送室モジュール３１８Ａは、例のためにモジュール３１８のインターフェース３２８Ｒに接続される（そして、モジュール３１８Ｉは、類似の方式で連続して接続される）。別のモジュールＸＭ（図６に点線で表示）は、インターフェース３２８Ｌに接続することができ、この実施形態では、概して、モジュール３１８のインターフェース３２８Ｒで反対側モジュール３１８Ａに、接続することができる。モジュールＸＭは、モジュール３１８に類似の別の搬送室モジュール、または、モジュール３１８が軸Ｘに沿って搬送室の伸張を連続することが望ましい場合は、部品搬送ステーションまたは搬入ロックモジュールにすることができる。この実施形態では、搬送室３１６は、ツールインターフェースセクション３１２を横断して、インターフェースセクション３１２の両面上で伸張する。代替実施形態では、搬送室モジュール３１８のインターフェース３２８ＬのモジュールＸＭは、処理モジュールにすることができる（計測、誘電体蒸着、エッチング、パターン転写等で、搬送室モジュールではない）。図６に示された典型的な実施形態では、モジュール３１８は、インターフェース３２８Ｂに嵌合された、実質的にツールインターフェースセクション３１２の反対側のまだ別のモジュールＸＭ（点線で表示）を有することができる。インターフェース３２８ＬのモジュールＸＭのように、インターフェース３２８ＢのモジュールＸＭは、軸Ｙの方向で直線的に細長い搬送室３１６を伸張することが望ましい場合は、モジュール３１８に結合された搬送室モジュール（例えば、モジュール３１８に類似、または、搬送、バッファステーションまたは搬入ロックモジュール）にすることができる（図６を参照）。つまり、理解され得るように、典型的な実施形態の直線的に細長い搬送室は、任意の望ましい構成を与えることができる。モジュール３１８に類似の追加の搬送室モジュールＸＭは、任意の望ましい方向に搬送室を直線的な伸張を継続するように、モジュールＸＭのインターフェース３２８Ｌ，３２８Ｒ、３２８Ｂに類似のインターフェースに結合することができる。図６に示された典型的な実施形態では、モジュール３１８Ａは、モジュールＸＭ１を有することができ、モジュールインターフェース３２８ＢＡに接続される。図６にて点線で示されているモジュールＸＭ１は、モジュールＸＭに類似の搬送室モジュールにすることができる（例えば、搬送室モジュール３１８に類似のモジュール、または部品搬送ステーション、バッファステーション、または部品の通過を可能にする搬入ロックモジュール）。この実施形態では、望ましい場合は軸Ｙ１に沿って搬送室を伸張することができる（図６を参照）。代替実施形態では、モジュールＸＭ、ＸＭ１は、搬送室モジュールではなく、部品処理モジュール（例えば、計測、材料蒸着、パターン転写、エッチングなど）にできる。理解され得るように、図６に示された典型的な実施形態では、直線的搬送室３１６の分散部品搬送システム３２０（搬送アーム２６に類似の搬送アーム３２６、３２６Ａ、３２６ｉによって形勢される）（図２も参照）は、以下に説明するように直線的搬送室３１６の長さ全体で、縦方向軸Ｘ、Ｙ，Ｙ１に沿って、部品の搬送ができる。以下に詳細を説明するように、搬送システム３２０は、複数の独立した進行レーンに沿って、搬送室から部品を搬送することができ、部品が、様々な方向に移動して、直線的に細長い搬送室全体で、１つずつ通過することを可能にする。
【００２１】
さらに、搬送システム３２０は、細長い搬送室３１６の側面に沿って配列された処理モジュールＰＭの内側／外側に部品を搬送できる。図６に示された典型的な実施形態では、処理モジュールＰＭは、搬送室モジュール３１８ｉのインターフェース３２８Ｂｉ、３２８Ｆｉ、３２８Ｒｉに接続される。搬送室モジュール３１８Ｉに取り付けられた搬送アーム３２６Ｉは、示されているように、部品Ｓを対応する処理モジュールの内外に搬送することができる。処理モジュールＰＭは、任意の望ましい種類にすることができる（例えば、エピタキシャルシリコン、材料蒸着、イオン注入、パターン転写、エッチング、急速熱処理、研磨など）。直線的な搬送室の側面に沿って配置された処理モジュールＰＭは、任意の望ましい順番で直線的な処理モジュール配列に配置された異なる種類にすることができる。例えば、配列順番は、搬送室を介して、望ましい部品搬送方向（例えば、図６の矢印Ａにより示された方向）に関連付けられたプロトコルで、望ましい部品加工に従うことができる。前述のように、搬送室のモジュール３１８、３１８Ａ、３１８Ｉは、搬送室モジュールを隔離するためのスロット弁ＳＶ（図２Ａのモジュール開口部２８Ｏを閉じるためのスロット弁に類似）を有することができるので、搬送室は処理モジュールＰＭからそこに隣接する。また、スロット弁ＳＶは、隔離されたモジュール／部分は異なる雰囲気を保持することができるように、モジュール３２８、３２８Ａ、３２８Ｉ、または、搬送室の部分を互いに隔離することができる。搬送室３１６Ａの部分は、例えば、搬送室の部分に直接結合および連通する処理モジュールＸＭ１の雰囲気に対応する、不活性ガス（Ｎ２）または高純度の空気等、雰囲気を有することができる。さらに、搬送室３１６Ｂの隣接部分は、真空など、搬送室のその部分に結合および通信する対応するモジュールＰＭに対応することができる、異なる雰囲気を保持することができる。典型的な実施形態では、搬送室は、搬送室モジュール３２８Ａ、３２８ｉの間に、異なる内部雰囲気を備えた搬入ロック３１６ＬＬ（図６を参照）を有することができるので、部品が、異なる内部雰囲気を混合することなく、搬送室モジュール間を通過することができるようになる。搬入ロック３１６ＬＬは、例えば、ステーションモジュール３０Ｍ（図２を参照）に類似したモジュールセクションにすることができるが、代替実施形態では、搬入ロック３１６ＬＬは、その他任意の望ましい構成を有することができる。スロット弁ＳＶは、搬送経路開口部を閉じることができるので、搬入ロックモジュール３１６ＬＬに結合した搬送室モジュール３１８Ａ、３１８Ｉから搬入ロックモジュールを隔離する。搬入ロックモジュール３１６ＬＬは、隣接する搬送室セクションの雰囲気に一致するように、雰囲気を循環するための適切なシステム（例えば、真空接続、通気孔等）を有することができる。搬送室は、搬入ロックモジュール３１６ＬＬに類似の搬入ロックを任意の望ましい数を含むことができる。
【００２２】
図６をまだ参照しながら、典型的実施形態では、処理システム３１０は、部品Ｓを処理システムに挿入および処理システムから取り出すための１つ以上の入口／出口ステーションを有することができる。図６の典型的な実施形態では、１つの入口／出口ステーションは、インターフェースセクション３１２によって提供され、別の入口／出口ステーションは、インターフェースセクション３１２Ａによって提供される。代替実施形態では、部品を処理システムまたは搬送室に挿入／から取り出すためのもっと多い入口／出口ステーションが存在する場合がある。典型的な実施形態では、インターフェースセクション３１２Ａは、概して、前述のインターフェースセクション１２、３１２に類似する（図１も参照）。代替実施形態では、インターフェースセクションは、その他任意の望ましい構成を有することができるので、搬送室内部の隔離雰囲気に影響を与えることなく、部品を直線的な搬送室および処理システムに挿入／取り外すことができるようになる。追加のインターフェースセクション３１２Ａは、材料処置システム（例えば、オーバーヘッドＡＭＨＳ、コンベアシステム、地上車両など）と通信することができるので、部品は、追加のインターフェースセクション３１２Ａに搬入および搬出することができるようになる。前述のように、ツールインターフェースセクション３１２は、搬送室３１６の端に配置することができる（例えば、搬送室モジュール３１８に接続されたイベントモジュールＸＭは処理モジュール、または、搬送室モジュールに接続されたモジュールＸＭがない場合）。あるいは、搬送室３１６がインターフェースセクションの両面に伸張する場合、直線的な搬送室上の中間位置で配置することができる（例えば、少なくとも１つのモジュールＸＭが搬送室モジュール）。同様に、追加のインターフェースセクション３１２Ａは、搬送室の端（例えば、インターフェースセクション３１２の端の反対）、または、搬送室に沿った中間位置に配置することができる。理解され得るように、搬送室とツール上に複数の入口／出口ステーションを有することによって、１つのステーションからの部品の挿入や、入口のステーションよりも処理後の部品に近い場合がある異なる入口／出口ステーションからの部品の処理後の取り出しができるようになる。例えば、部品は、インターフェースセクション３１２から、搬送室３１６（およびツール３１０）に挿入して、矢印Ａによって示された方向に、処理のために搬送室３２０のアーム３２６、３２６Ａ、３２６Ｉによって、搬送することができる。望ましい処理が完了したら、部品は、入口のインターフェースセクション３１２よりも、インターフェースセクション３１２Ａに近い場所に配置することができる。従って、部品は、最も近い望ましいインターフェースステーション３１２、３１２Ａに、分散搬送システム３２０によって（例えば、矢印Ａによって示された方向に進行、または、部品がインターフェースセクション３１２Ａを通過した場合に、以下に詳細を説明するように、複数のレーンの搬送室の返却レーン上の矢印Ｒによって示された方向に戻る）搬送することができる。また、理解され得るように、インターフェースセクション３１２、３１２Ａの中間配置によって、部品は、処理システムへの進入は、望ましい処理モジュールに望むように近くなり、搬送室／処理システムの望ましくない部分を迂回することができるようになる。これによって、システムの処理能力が改善され、ＷＩＰが少なくなり（従来のシステムに比較して）、「ターンアラウンド」（例えば、単一のキャリアロットまたは「ホットロット」を処理する時間）時間が短くなる。
【００２３】
再度図１を参照すると、理解され得るように、搬送室１６、３１６は、任意の望ましい数の処理モジュールを追加するように、任意の望ましい長さで提供することができる。例えば、搬送室１６、３１６の長さは、以下に説明するように、処理システムの処置容量に対して、最適な数の処理モジュールを提供するように確立することができ、処理システムの最高処理能力を実現することができる。搬送室は、図５に示された典型的な実施形態に示されているように、処理施設の一部を介して伸張するように形成することができる。図５は、概してシステム１０、３１０に類似の処理システム５１０の模式的平面図である。搬送システム２０、３２０に類似の分散搬送システムが、搬送室５１６Ａ−５１６Ｊを介して、加工施設５１０内の処理ステップによって、基板または部品Ｓを搬送する。搬送室５１６Ａ−５１６Ｊは、前述のモジュール１８に類似の連続的に接続された搬送室モジュール５１８から形成される。処理ステップは、エピタキシャルシリコン６３０、誘電体蒸着６３２、フォトリソグラフィ６３４、エッチング６３６、イオン注入６３８、急速熱処理６４０、計測６４２、誘電体蒸着６４４、金属蒸着６４８、金属電気めっき６５０、化学機械的研磨６５２を含むことができる。代替実施形態では、エッチング、金属蒸着、加熱および冷却操作等、同じ順序で、これより多いまたは少ない処理を含むまたは混合することができる。以下に説明されるように、搬送システムは、単一または複数の部品を運ぶことができる場合や、搬送システムの搬送アーム５２６が処理された部品をつまんで、同じ処理または搬送室モジュールに未処理のウエハを置く機能を有する場合等、搬送機能を有することができる場合がある。弁６５４は、指定の弁６５４のいずれかの側面上の圧力の差または気体の種類の差に応じて、密閉弁または、簡単な伝導タイプの弁にすることができる。この手法では、部品は、ある処理ステップから次の処理ステップへ搬送することができる。このような圧力または種類の違いの例は、例えば、片側に清浄空気でもう片側に窒素、または、片側に粗圧真空レベルでもう片側に高真空、または、片側に真空でもう片側に窒素の可能性がある。図２の室１８に類似の搬入ロック６５６は、例えば、真空と窒素またはアルゴンとの間のように、ある環境から別の環境へと遷移するために使用することができる。代替実施形態では、その他の圧力または種類を任意の数の組み合わせで提供することができる。搬入ロック６５６は、複数の部品進行レーン上で複数の部品を遷移することができる場合がある。例えば、基板は、シェルフ（非表示）の搬入ロック６５６に搬送、または、そうでなければ、望ましい進行方向に専念する場合がある。位置合わせモジュールなど、追加の特徴６５８、計測モジュール、清浄モジュール、処理モジュール（例えば、エッチング、蒸着、研磨等）、熱調整モジュールなど、は、ロック６５６または搬送室に組み入れることができる。搬送室は、ツールにウエハを挿入／取り出すことが望ましいように、室の長さに沿って配置された複数の入口／出口ステーションを有する。図５に示された例示の実施形態では、搬送室は、処理基板及び／またはテスト基板を保管して滞留させるウエハまたはキャリアストッカー６６２、６６４と直接連通していてもよい。代替実施形態では、ストッカー６６２、６６４は、搬送室がリソグラフィーツール６３４と直接連通する場合には、提供されない場合がある。
【００２４】
図５に示された典型的な実施形態では、処理ツール５１０は、急速移動経路または室５７０を有することができる。移動経路５７０は、望ましい場所で、搬送室５１６と、１つ以上のツールインターフェース５１２にも接続される。移動経路５７０は、移動経路の長さを横断することができる搬送シャトルまたは車両５７２を有することができる。シャトル５７２は、部品または部品キャリアの保持、および、部品または部品キャリアを移動経路５７０の長さだけ搬送することができる場合がある。移動経路５７０は、Ｎまたは真空など隔離雰囲気を保持することができる直線的に細長い管にすることができる。または、望ましいろ過によって循環することができる、高度に清浄された空気の雰囲気を有することができる。図５に示された典型的な実施例では、移動経路５７０は、搬送室５１６に沿って伸張されているように、模式的に示されている。移動経路５７０は、移動経路管を搬送室５１６の望ましいモジュール６５６、６５４に接続している相互接続経路５７６、５７８（２つは例のために示され、代替実施形態では、これより多いまたは少ない相互接続経路が存在する場合がある）を有する。示された典型的な実施形態では、相互接続経路５７６は、中間搬入ロック（ＬＬ）モジュール６５６に接合され、別の相互接続経路５７８は、搬送室の直線部分５１６Ｃの端に配置された別のＬＬモジュール６５４に結合することができる。代替実施形態では、相互接続通路は、搬送室モジュール５１８のような搬送室５１６の任意の望ましい部分に結合することができる。相互接続経路は、搬送室５１６と移動経路５７０の間で１つ以上の部品が通過できるようなサイズに決定される。相互接続経路から部品を移動経路と搬送室の間で移動するための移動システム（非表示）は、以下に詳細を説明するように、移動経路または搬送室に提供することができる。搬送経路５７０は、相互接続経路が搬送室に結合できるように、直線的な搬送室５１６に対して、任意の望ましい位置に配置することができる。例えば、移動経路は、搬送室の上、側面に、または下に配置することができる。相互接続経路は、インターフェース２８Ｌ、２８Ｒ、２８Ｆ、２８Ｂの閉じることができる開口部２８Ｏに類似の側面開口部（図２、２Ａを参照）または、開口部２４Ｏ（図２を参照）に類似のトップ開口部等、搬送室モジュールの任意の望ましい部品移動開口部に嵌合することができる。移動開口部は、搬送室の雰囲気を移動経路から隔離するように、適切な弁（側面開口部のスロット弁６５４に類似）によって閉じることができる。代替実施形態では、移動経路は、搬送室に対して角度があるなど、その他任意の望ましい配向を有することができる。図５に示された典型的な実施形態では、移動経路は、部品が、インターフェースセクションからシャトル５７２に搬入／搬出できるように、ツールインターフェースセクション５１２に通信する経路５７４を有する。理解され得るように、シャトル５７２は、例えば、インターフェースセクション５１２と相互接続経路５７６、５７８の間の移動経路５７０内部で実質的に妨げられない移動ができ、従って、インターフェースセクション５１２と相互接続経路５７６、５７８または経路５７６、５７８の間の移動経路の管理された雰囲気内で部品を移動することができるので、搬送室の部分の部品の搬送を迂回することができる。シャトル５７２は、任意の望ましい車両構成を有することができるが、分散搬送システム５２０よりも高い部品搬送速度を生成することができる。さらに、搬送室５１６の部分を迂回することによって、処理ツール５１０の処理能力が増加して、ＷＩＰが減少する。理解され得るように、「ホットロット」のターンアラウンド時間も減少する。例えば、単一の部品（「ホットロット」）キャリアは、「ホットロット」部品が処理モジュールＰＭ１とＰＭ２で処理され、適切な移動システム（インターフェースセクションのインデクサ等）によって、部品がインターフェースセクション５１２Ｏから取り上げられて、シャトル５７２に置かれる場合、ツールインターフェースセクション５１０ＯでＦＡＢ ＡＭＨＳ（非表示）によって搬入することができる。シャトル５７２は、経路５７０から相互接続経路５７６に移動することができ、部品は、別の適切な移動システム（非表示）によって、搬入ロック６５６に移動することができる。従って、部品は、搬入場所から、望ましい処理ステップの近くのツール５１０の部分に、短時間で運ばれる。ＬＬ６５６は、搬送システム５２０が部品にアクセスできるように循環することができる。部品は、搬送システム５２０によって、搬送室５１６Ｃから移動して、処理のために望ましい処理モジュールＰＭ１、ＰＭ２に搬入および搬出することができる。望ましい処理ステップの完了後、部品は、例えば、相互接続経路５７８が接続されるＬＬ近辺に配置することができる。従って、部品は、シャトル５７２に搬入するために、搬送システム５２０によってこのＬＬに搬入することができる。ＬＬは、搬送室５１６Ｃの異なる雰囲気に影響を与えずに、移動経路のシャトル５７２に処理された部品を搬入するためのアクセスを促進するように循環することができる。シャトル５７２は、処理された部品を、ツールインターフェースセクション５１２Ｏ（経路５７４経由）またはインターフェースセクション５１２Ｉ（経路５７６経由）等、搬出のために、望ましい場所に短時間で運ぶことができる。代替実施形態では、急速移動経路は、任意の望ましい長さと構成を有することができ、例えば、計測、部品ストッカー（ＷＳ）またはキャリアストッカー（ＣＳ）セクション、リソグラフィーセクション６３４等、処理ツール５１０の任意の望ましい部分で部品が移動できるように、通信することができる。
【００２５】
図４を参照すると、前述の処理システム／ツール１０、３１０、５１０の一部のような処理システム／ツールの典型部分４１０の模式平面図が示されている。ツールの典型部分４００は、この後ツール４１０と呼ぶが、このように前述のツール１０、３１０、５１０に類似で、同様な番号の特徴に類似である。ツール４１０は、軸Ｘに沿って伸張する直線的な搬送室４１６を有することができる。室４１６は、連続的に接続している搬送室モジュール１８Ｂ、１８ｉ（前述の搬送室モジュール１８、１８Ａに類似）によって、搬送室１６、３１６で説明した方式で、形成することができる。対応する搬送室モジュール１８Ｂ、１８ｉにピボット式に取り付けられた搬送アーム２６Ｂ、２６ｉによって形成される部品搬送システム４２０（搬送システム２０、３２０、５２０に類似）は、搬送室全体に直線的に分散される。搬送室４１６は、図１に示したインターフェースセクション１２に類似の方式で、または、図６に示されたインターフェースセクション３１２、３１２Ａは、前述のように１つ以上の部品入口／出口ステーションを提供するように、ツールインターフェースセクション（非表示）に接続することができる。図４に示した典型的な実施形態では、部品ステーション３０Ｂ、３０ｉ（前述の部品ステーション３０に類似）は、搬送室モジュール１８Ｂ、１８ｉの間の隙間に配置される。この典型的実施形態のツール４１０は、搬入ロックモジュール５６の反対側面上の搬送室モジュール１８Ｂ、１８ｉが異なる内部雰囲気を持つことができるようにする搬入ロックモジュール５６も含む。図４に示された搬入ロックモジュールの構成は、典型であり、搬入ロックモジュールは、対応するそれぞれのモジュールの搬送アームを使用して、隣接の搬送室モジュール間で、部品を通過できる任意の望ましい構成を有することができる。搬入ロックモジュールの構成は、搬送室モジュール１８（例えば、図２に示された前述の類似の配置制御特徴ＦＬ、ＦＲを備える類似のフレーム／筐体を利用）または部品ステーション３０に類似にすることができる。この典型的な実施形態では、搬入ロックモジュールは、統合型部品搬入がなく、搬入ロックモジュールの部品移動は、隣接の室モジュールの搬送アーム２６ｂ、２６ｉで有効になる。代替実施形態では、搬入ロックモジュールは、搬送室に対して部品を移動することができる統合型搬送アーム／メカニズムを有することができる。搬入ロックまたは隣接の搬送室モジュールは、隣接の搬送室モジュールの雰囲気から搬入ロックを選択的に隔離するように、開口部２８Ｏ（図２Ａを参照）に類似の移動開口部を閉じることができるスロット弁５４を有することができる。処理モジュールＰＭ、ＰＭＡ、ＰＭＢは、搬送室の搬送室モジュール１８Ｂ、１８ｉの側面インターフェースに接続することができる。図４に見られるように、搬送室モジュールに接続された処理モジュールは、直線的配列を形成する。搬送室に接続された処理モジュールも、縦方向のスタックまたはカラムに配置することができる。図４に示された典型的な実施形態では、処理モジュールＰＭＡ、ＰＭＲのスタックＳＰＭは、搬送室モジュール１８Ｂに接続することができる。代替実施形態では、スタックされた処理モジュールは、任意の望ましい搬送室モジュールの任意の望ましい側面インターフェースに結合することができる。図４Ｂは、搬送室モジュール１８Ｂと、搬送室モジュールの側面インターフェース２８ＬＢに結合されたスタックされた処理モジュールＰＭＡ、ＰＭＲの模式的断面図を示す。この実施形態では、搬送室モジュール１８Ｂの側面取り付けインターフェース２８ＬＢは、処理モジュールの対応する嵌合をサポートするように、複数の縦方向にオフセットする部品移動開口部ＴＯを有する。側面インターフェース２８ＬＢは、例の目的として、２つの縦方向にオフセットする部品移動開口部ＴＯを有するように示されるが、代替実施形態では、モジュールインターフェースは、搬送室モジュールの指定のインターフェースに対して、相応する数の処理モジュールの嵌合をサポートするもっと多い部品移動開口部を有することができる。理解され得るように、処理モジュールは、一部の部品移動開口部で接続されない場合がある。従って、代替実施形態では、例えば、処理モジュールは、移動開口部の１つに接続されるが、他には接続されない場合がある。
【００２６】
図４Ｂに示されているように、この典型的な実施形態では、搬送室モジュール１８Ｂの搬送アーム２６Ｂは、アームを、特に矢印Ｚで示された方向に、エンドエフェクタ３２Ｂを上下に、インデクスまたは移動することができる適切なＺドライブ２６０Ｚを有する。従って、エンドエフェクタ３２Ｂは、模式的にあらわされているが、１つまたは多数の部品を保持することができる場合があり、移動開口部ＴＯに位置を合わせるようにインデクスすることができる。搬送室モジュール１８Ｂと処理モジュールＰＭＡ、ＰＭＲの間の部品の移動は、図４Ｂの矢印Ｙ２、Ｙ１によってそれぞれ示された方向にエンドエフェクタ３２Ｂ（例えば、θ、γアーム作動から）を動かすことによって有効にすることができる。図４Ｂに示された典型的な実施形態では、移動開口部ＴＯおよび従ってそれぞれの処理モジュールＰＭＡ、ＰＭＲに対する部品移動平面は、以下に説明するように、搬送システム４２０が提供することによって、搬送室４１６の対応する部品進行レーンＡ、Ｒと実質的に位置を合わせることができる。これによって、進行レーンＡ、Ｒに沿って搬送室モジュール１８Ｂから部品を移動する搬送アーム２６Ｂは、エンドエフェクタ３２Ｂをインデクス（Ｚ運動）することなく、部品を処理モジュールＰＭＡ、ＰＭＲに移動、およびこの反対に移動することができる（例えば、進行レーンＡ，Ｒにそって移動するために処理モジュールＰＭＡ、ＰＭＲから部品を持ち上げる）。これによって、前述のようにツールの処理能力が向上し、典型的実施形態では、搬送室４１６の部品進行レーンＡ，Ｒは分極することができて、進行レーンＡに沿って搬送されている部品が１方向、例えば、入口／出口等、望ましい原点から進行して、進行レーンＲに沿って搬送されている部品は、例えば、望ましい原点に対して戻る等、反対方向に移動する。典型的な実施形態では、それぞれの進行レーンＡ，Ｒと実質的に位置を合わせた処理モジュールＰＭ、ＰＭＡ、ＰＭＲは、位置が合わせられた進行レーンの進行方向（例えば、処理方向）に対応する処理ステップを実施するように構成することができる。このように、典型的な実施形態では、モジュールＰＭ、ＰＭＡ、ＰＭＲの処理ステップは、室進行レーンＡ，Ｒに関連することができて、これによって、それぞれの処理モジュールＰＭ、ＰＭＡ、ＰＭＲは実質的に位置が合う。一例として、レーンＡの進行方向が前進で、レーンＲの進行方向が（一部の入口ステーションに）戻る場合は、材料蒸着等、モジュールＰＭＡ、ＰＭ（図４Ｂに示されるようにレーンＡに実質的に位置が合わされた）によって実施される処理は、レーンＡによって画定された処理方向に対応して、イオン注入、エッチング等、モジュールＰＭＲによって実施される処理は、レーンＲによって画定される処理方向に対応する。理解され得るように「前進」、「戻り」の用語は、単に、異なるレーンに沿った進行方向が互いに対して異なってもよいことを特定することを助けるために、本明細書において使用されているに過ぎない。レーンＡ、Ｒに沿った進行方向は、搬送室４１６に対して望ましいように確立することができる。代替実施形態では、搬送室に取り付けられたモジュールの処理は、室の進行レーンＡ，��とは独立な場合がある。
【００２７】
ここでも図４を参照すると、ツール４１０の構成要素（例えば、搬送室モジュール１８Ｂ、１８ｉ、搬送アーム２６Ｂ、２６ｉ、部品ステーション３０Ｂ、３０ｉ、搬入ロックモジュール５６、スロット弁等）のための制御信号、電力、真空、空気圧等のユーティリティは、模式的に表現されているユーティリティシステム８０から提供することができる。図４のユーティリティ８０に実質的に類似のユーティリティシステム６８０を示す図５も参照すると、コントローラＣは、ユーティリティ８０、６８０に通信可能に接続することができる。ユーティリティは、コントローラをツール４１０、５１０の構成要素に接続するための適切な通信リンクを含むことができる。ユーティリティ８０は、搬送室４１６を形成するように接続される搬送室モジュール２１Ｂ、２１ｉの通信および電力インターフェース２１Ｂ、２１ｉを受けるように構成された結合部８０ｃを有していてもよい。結合部８０Ｃとインターフェース２１Ｂ、２１ｉは、対応する結合部に対するそれぞれのインターフェース２１Ｂ、２１ｉの接続において「プラグアンドプレイ」機能を自動的に提供するように、統合型プログラミングとともに提供することができる。例えば、結合部とインターフェースは、それぞれ、ＵＳＢポートとコネクタにすることができる。結合部へのインターフェース２１Ｂ、２１ｉの嵌合は、コントローラＣに対して、モジュール構成を自動的に特定することができ、例えば、モジュール２８Ｂは、搬送室モジュールで、（Ｍ）度の自由度と搬送アームドライブセクションモーターの制御パラメータを有する搬送アーム、制御計測、モジュール２８Ｂ上のその他任意の制御可能なシステムのための識別および制御パラメータ、望ましい参照フレームに対するモジュールの位置（例えば、搬送室の６番目のモジュール）を備える。情報は、嵌合インターフェース２１Ｂ、２１ｉおよび結合８０Ｃ上のコントローラＣによって自動的にダウンロードされるが、このように、コントローラが、結合上と実質的に直後にモジュールの制御可能システムに通信および制御操作できるように、コントローラＣによって制御されているモジュールの全ての制御可能システムのためのシステム情報および制御パラメータをコントローラに提供することができる。また、情報は、コントローラＣに、搬送室４１６の搬送「空間」を画定する幾何学的パラメータを提供することができ、運動学的等式やコマンドを制御する搬送運動を確立するための特定の搬送室モジュール２８Ｂ、２８ｉを組み込む。例えば、ダウンロードされた情報によって、コントローラは、搬送室アーム２６Ｂのピボット軸（図２Ａを参照）、搬送開口部２８０Ｏ、ＴＯ、室境界、部品の中心の持ち上げ、配置など、多様な特徴の空間座標（Ｘ，Ｙ、Ｚ）を確立することができるようにする場合がある。理解され得るように、インターフェース２１Ｂ、２１ｉにプログラムされた情報は、コントローラが、制御情報があらかじめプログラムされていた場合があるコントローラのメモリ場所（非表示）から情報を参照／読み取るに十分な部分または識別子だけにすることができる。一例として、コントローラは、搬送アーム２６Ｂ、２６ｉのピボット軸、部品移動開口部の場所、（ｉからＭ）搬送室モジュールのモジュール室壁等、運動学的関連特徴のＸ，Ｙ，Ｚ座標を確立する、参照テーブルまたはアルゴリズムでプログラムすることができる。これは、異なる搬送室モジュールの相互接続可能性や位置制御特徴によって促進される。指定のモジュールのインターフェース２１Ｂ、２１ｉの結合後、コントローラには、（ｍ）モジュールが搬送室のその他のモジュールに結合されていて、コントローラによって既に登録されているという指示が提供され、コントローラがモジュールの運動学的特性にアクセス（参照テーブル／アルゴリズムから）するようになる。同様に、コントローラＣも、「粗」運動学的コマンドアーキテクチャと、それぞれの（ｉからＭ）搬送室モジュールの対応する搬送アーム（アーム２６Ｂに類似）上のエンドエフェクタの運動を制御するための微細な教示プロトコルでプログラムすることができる。理解され得るように、搬送室モジュールの相互接続性と位置制御特徴によって、アーム制御のための「粗」運動学的コマンドアーキテクチャは演算方法によって、または搬送室から切断された搬送室モジュールで物理的に（例えば、製造施設で）確立して、運動学的コマンドがシステムコントローラＣに保管されている望ましい媒体上に保管できるようになる。「粗」という用語は、単に、搬送室の残りに嵌合された搬送室モジュールで、アーム制御を教示することなく、確立される運動学的コマンドを示すために、本明細書において使用される。指定のインターフェース２１Ｂ、２１ｉが結合後、対応する搬送アーム、つまり、分散搬送システムの運動を制御するための微細な教示プロトコルが望ましい場合は、（Ｍ）モジュールが搬送室に取り付けられているというコントローラへの指示によって、コントローラは、対応する「粗」運動学的コマンドアーキテクチャにアクセスできるようになる。代替実施形態では、モジュールインターフェース２１Ｂ、２１ｉは、結合上にコントローラによってダウンロードされるその他の望ましい情報でプログラムすることができる。（Ｍ）搬送室モジュールが結合されたことが登録後、コントローラＣは、それぞれの操作可能なシステム／構成要素および多様なシステム（例えば、スロット弁開／閉、搬送エンコーダ位置など）のクエリーステータスを初期化するプログラミングに対応する操作者に、さらに自動的にアクセスまたは自動的に利用できるようになる。同様に、コントローラＣは、追加モジュールのシステム（ハードウェア、ソフトウェア）が名目上操作されていることと、望ましい動作モジュールシステムが「ゼロ」位置をもたらすかどうかを検証するために、適切なテストプロトコルを自動的に参照および初期化できる。さらに、コントローラは、例えば、望ましいユーザーインターフェースを介して、追加システム上のシステムを操作、または、追加モジュールから新規に利用可能な特徴を組み入れるツールによって実行される部品処理プロトコルを変更するように、操作者にモジュールの追加、搬送室およびツールの現時点の構成、および、操作者のコマンド入力を可能にするコマンドプロトコル等、ディスプレイ特徴（非表示）を有効にすることができる。例えば、搬送室モジュールの結合の登録上では、コントローラは、その他のモジュールおよび任意のモジュールシステムの存在およびステータスに対して、モジュールおよび搬送室の相対的位置を模式的に表すディスプレイ（非表示）上の特徴を追加または有効にすることができる。また、テストプログラム、または、モジュールシステムの教示プログラム（例えば、アーム２６Ｂの詳細教示プログラム）を初期化するための「ソフトキー」のようなユーザ選択可能特徴も有効にできる。理解され得るように、任意の望ましいユーザーインターフェースアーキテクチャを採用することができ、代替実施形態では、これより多いまたは少ない特徴を、結合時にコントローラによって有効にすることができる。
【００２８】
ここで図４Ａも参照すると、直線的搬送室４１６の縦方向軸Ｘに沿って取ることができるような処理ツール４１０の模式的正面図が示される。図４Ａは、搬送室４１６に典型的に接続されたツールインターフェースセクション１２を示す。この典型的実施形態では、インターフェースセクション１２は、ツール搬送室４１６の１端を画定することができる。図４Ａに見られるように、搬送室４１６は、例えば、インターフェースセクション１２から反対端に別の部品入口／出口ステーション４１２を有することができる。ステーション４１２は、インターフェースセクション１２（図１も参照）に類似する場合があるが、代替実施形態では、入口／出口ステーションはその他任意の望ましい構成を有することができる。その他の代替実施形態では、部品を搬送室に挿入／取り出すためのその他の入口／出口ステーションを提供することができる。典型的な実施形態では、インターフェースセクション１２と入口／出口ステーション４１２によって、ツールに部品を搬入および搬出することができる場合がある。代替実施形態では、部品は、一端に挿入して、他端から取り出すことができる。前述のように、図４Ａに示された搬送室４１６を形成するための搬送室モジュール１８Ｂ、１８ｉ、搬入ロックモジュール５６Ａ、５６Ｂおよび部品ステーションの構成／配置は、例にしか過ぎず、代替実施形態では、搬送室はその他望ましいモジュール配置を有することができる。示された実施形態では、ステーション４１２は、搬入ロックにすることができる。代替実施形態では、搬入ロックモジュールは、端入口／出口ステーション（ステーション４１２に類似）の間に配置できる。または、隣接する搬送室モジュール（モジュール１８ｉに類似）は、搬入ロックとして操作するように構成することができる。前述のように、搬送室モジュール１８Ｂ、１８ｉは、その中に配置された対応する搬送アーム２６Ｂ、２６ｉを有する。それぞれの搬送室モジュール１８Ｂ、１８ｉの搬送アーム２６Ｂ、２６ｉは、搬送室に直線的に分散された部品搬送システム４２０を提供するように協働することができる。典型的な実施形態では、それぞれの搬送室モジュール１８Ｂ、１８ｉの搬送アーム２６Ｂ、２６ｉは互いに類似することができる。従って、搬送アームは、アーム２６Ｂを特に参照して、以下に説明される。代替実施形態では、それぞれの室モジュールの搬送アーム／装置は、異なる構成を有することができる。この実施形態では、搬送アーム２６Ｂは、図２で最もよくわかるアーム２６に類似の一般的なスカラー構成を有することができる。代替実施形態では、搬送アームは、「かえる脚」のようなその他望ましい構成を有することができ、その他の代替実施形態では、搬送室に対して位置的に固定されたその他任意の望ましい搬送装置で置換可能なエンドエフェクタを使用することができる。図４Ａに示された典型的な実施形態では、搬送アーム２６Ｂは、上のアーム（図２の上のアーム２６Ｕに類似）にピボット式に取り付けられた単一のフォアアーム（図２のフォアアーム２６Ｆに類似）を有することができ、そこからに応じてエンドエフェクタ３２Ｂを備える。搬送アーム２６Ｂは、３（例えば、図２のジョイント２６Ｓ，２６Ｅに類似のショルダーおよびエルボージョイントの周囲の独立的な回転およびＺ軸運動）または４（例えば、Ｚ軸運動でショルダー、エルボーおよびリストジョイントの周囲の独立的な回転）度の自由度を備えるアームを提供するための適切なドライブセクションを有することができる。図４Ａに見られるように、この実施形態では、搬送してモジュール１８Ｂ，１８ｉの間の隙間に配置されたモジュール５６Ａ，５６、３０ｉは、搬送室４１６内に直線的に分散された搬送システム４２０の受身部分を画定することができる。搬入ロック５６Ａ，５６および部品ステーション３０ｉのような隙間モジュールは、それぞれ、搬送室の直線軸Ｘに沿って、搬送室の長さだけ搬送または部品を有効にするように、搬送アームと協働するステーションの部品サポート／シェルフ５６Ｓ、５６Ｓ１、５６Ｓ２、３０Ｓ１、３０Ｓ２を有することができる。一例として、部品は、インターフェースセクション１２によって搬送室４１６に搬入することができる。部品は、インターフェースセクションの搬送アーム１５によって、搬入ロックモジュール５６Ａのサポート上に配置することができる。搬入ロックモジュール５６Ａの部品は、モジュール１８Ｂの搬送アーム２６Ｂによって、アーム２６ｉ（モジュール１８ｉ内）によって搬入ロック５６と部品ステーション３０ｉの間、およびモジュール１８ｉのアーム２６ｉによってステーション３０ｉとステーション４１２の間の類似した連続的な手法で、搬入ロックモジュール５６Ａと搬入ロックモジュール５６の間を移動することができる。処理は、部品を反対方向に移動するように、全体的または部分的に逆になる場合がある。このように、部品は、軸Ｘに沿って任意の方向に、および搬送室に沿って任意の位置に移動することができ、搬送室と通信している任意の望ましいモジュール（処理またはその他）に搬入および搬出することができる。代替実施形態では、静的部品サポートまたはシェルフを備えた隙間の搬送室モジュールは、搬送室モジュール１８Ｂ、１８ｉ間には提供されない場合がある。このような実施形態では、隣接する搬送室モジュールの搬送アームは、エンドエフェクタから直接、またはある搬送アームから別の搬送アームのエンドエフェクタに部品を渡して、搬送室から部品を移動させることができる。
【００２９】
さらに図４Ａを参照すると、搬送アーム２６Ｂ、２６ｉと部品シェルフ５６Ｓ、５６Ｓ１、５６Ｓ２，３０Ｓ１、３０Ｓ２は、総合的に分散搬送システム４２０を提供するが、この実施形態では、搬送システム４２０が、互いから離れた複数の部品進行レーンＡ、Ｒを定義できるように構成される。典型的な実施形態では、２つの進行レーンＡ、Ｒは、例の目的のために示されている。代替実施形態では、これより多いまたは少ない進行レーンが存在することができる。前述のように、搬送室モジュール１８Ｂ、１８ｉの部品搬送開口部（図２Ａの開口部２８Ｏに類似）とモジュールが互いに通信する隙間モジュール５６Ａ，５６、３０ｉ、および部品がモジュール間を移動するその他は、複数の進行レーンＡ，Ｒに沿って部品が移動できるようなサイズに決定される。典型的実施例の搬送アーム２６Ｂ，２６ｉは、１つの進行レーンＡ，Ｒに沿った移動を有効にするあるＺ位置にインデクスすることができ、その他の進行レーンＡ、Ｒに沿った移動を有効にする別のＺ位置にインデクスすることができる。同様に、この実施形態では、隙間モジュールの静的部品シェルフ５６Ｓ、５６Ｓ１、５６Ｓ２、３０Ｓ１、３０Ｓ２は、図４Ａに示されたそれぞれの進行レーンＡ、Ｒと実質的に位置が合うように配置することができる。理解され得るように、部品シェルフ５６Ｓ、５６Ｓ１、５６Ｓ２，３０Ｓ１、３０Ｓ２の容量は、搬送アーム上のエンドエフェクタ３２Ｂ、３２ｉの部品容量に比例する場合がある。従って、エンドエフェクタ３２Ｂ、３２ｉと部品シェルフ５６Ｓ、５６Ｓ１、５６Ｓ２、３０Ｓ１、３０Ｓ２との間の移動は、単一の持ち上げ／配置ステップで実現することができる。図４Ａに示された典型的な実施形態では、バッファシェルフＢＡ、ＢＲは、進行レーンＡ、Ｒに沿って搬送された部品を一時的に保管するように、隙間モジュール５６Ａ、５６，３０ｉに提供することができる。図４Ａに示されたバッファシェルフの位置と数は例に過ぎず、代替実施形態では、隙間モジュールは任意の望ましい方式に配置された任意の望ましい数のバッファシェルフを有することができる。
【００３０】
前述のように、典型的な実施形態では、搬送室４１６に画定された進行レーンは、対応する進行レーンに対して矢印Ａ、Ｒによってそれぞれ示された分極された進行方向を有することができる。例えば、レーンＡに沿った進行方向は、ツールインターフェースセクションから「前進」／離れて、レーンＲに沿った方向は、ツールインターフェースセクション１２に「戻る」／向かう。図４Ａに示されたそれぞれのレーンの進行方向は例に過ぎず、代替実施形態では、進行レーンは異なる進行方向を有することができる。理解され得るように、進行方向は、レーンＡから離れる／「前進」、およびレーンＲに沿って、搬送室の望ましい参照位置に「戻る」／向かう、として図４Ａで模式的に示される（この実施形態では、ツールインターフェースセクション１２）。方向スキームは、搬送室の構成に関係なく、搬送室のそれぞれのレーンＡ，Ｒに沿った進行方向を示すように、説明全体で使用される（例えば、搬送室によって画定される曲がり、隅、回転、図５−６を参照）。示された典型的な実施形態では、それぞれのレーンＡ、Ｒの進行方向は、搬送室４１６全体で実質的に一定である。例えば、レーンＡに沿った進行方向は、室４１６全体でインターフェース１２から離れて、レーンＲに沿った進行方向は、室全体でインターフェース１２に向かう。代替実施形態では、進行レーンの異なる部分は異なる方向を有することができる（例えば、レーンの一部の進行は離れて、進行レーンの隣接部分の進行は参照場所に向かう）。図４Ａに示された典型的な実施形態では、部品シェルフ５６Ｓ、５６Ｓ１、５６Ｓ２、３０Ｓ１、３０Ｓ２は、対応する進行レーンＡ、Ｒの方向分極に従って分極することもできる。例えば、部品シェルフ５６Ｓ１、３０Ｓ１（この実施形態では、前述のように進行レーンＡと実質的に位置を合わせることができる）は、レーンＡに沿って進行する部品を保持することができ、部品シェルフ５６Ｓ２，３０Ｓ２（進行レーンＲと実質的に位置を合わせる）は、レーンＲに沿って進行する部品を維持することができる。このように、レーンＡに沿って部品を移動する場合、搬送アーム２６Ｂ、２６ｉは、レーンＡに対応するシェルフ５６Ｓ１、３０Ｓ１の部品を持ち上げ／置くことができて、レーンＲに沿って部品を移動する場合、搬送アーム２６Ｂ、２６ｉは、シェルフ５６Ｓ２，３０Ｓ２の部品を持ち上げ／置くことができる。同様に、典型的実施形態の隙間モジュール５６、３０ｉのバッファシェルフＢＡ、Ｂｒも、対応する進行レーンＡ，Ｒの方向分極に従って分極することができる。バッファシェルフＢＡは、レーンＡに沿って進行する部品を一時的に保管することができ、バッファシェルフＢＲは、レーンＲに沿って進行する部品を一時的に保管することができる。典型的な実施形態では、部品は、望むように、搬送アーム２６Ｂ，２６ｉをインデクスすることによって、進行レーン間を移動することができる。ツール４１０による部品の処理は、例えば、ツールインターフェースセクション１２に部品を搬入することによって、実施することができる。理解され得るように、部品は、キャリアＣＡＡのツールインターフェースセクション１２に運ぶことができる。前述および図１に示されているように、望ましいＡＭＨＳシステムによって搬送されて、インターフェースセクション１２にドッキングする。部品は、キャリアＣＡから、搬入ロック５６Ａ経由で搬送アーム１５の搬送室４１６に搬入できる。部品処理プロトコルは、前述のように、進行レーンＡに対応、つまり進行レーンに沿って配置される処理ステップ（処理モジュールＰＭによって提供される。図４を参照）を使用することができる。部品は、レーンＡに沿って進行するために、搬入ロック５６Ａのシェルフ５６Ｓ１に置くことができる。前述のように、搬入ロック室は、計測ステーションまたは加熱／冷却ステーションとして構成されたワークステーションモジュール（ステーション３０Ｍに類似）にすることができる。例えば、１つ以上の搬入ロック作業シェルフ（バッファシェルフＢＡ、ＢＲに類似）は、その上に置かれた基板上で操作するための加熱／冷却エレメントを有することができる。従って、シェルフ上にあると、基板は加熱／冷却できる。搬入ロック５６Ａから、部品は、アーム２６Ｂ、２６ｉによって進行レーンＡ（例えば、ツールインターフェースセクション１２から離れる）に沿っておよび方向に、望ましい処理ステップに移動する。図４Ａに示された典型的な実施形態では、進行レーンＡの方向は、部品を、ツールインターフェースセクション１２から離れて、入口／出口ステーション４１２に向かって移動する。前述のように、入口／出口ステーション４１２は、望ましい場合は処理した部品を移動するために使用できるので、処理された部品は、ツールから搬出するために、進行レーンの方向に沿って、ステーション４１２に移動することができる。部品処理プロトコルが進行レーンＲに対応してこれに沿って配列された処理ステップでさらに処理を要求する場合は、部品は、前述のように、進行レーンＡから進行レーンＲにインデクスされて、レーンＲの方向に沿って望ましい処理ステップへ移動することができる。インターフェースセクション１２を経由してツール４１０から取り除くことが望ましい場合は、処理された部品は、搬出するために、レーンＲに沿ってインターフェースセクション１２に搬送できる。
【００３１】
ここで図４Ｃを参照すると、処理ツール４１０’の模式的断面図が示されている。ツール４１０’は、特に記載されている点を除き、前述のツール４１０（およびツール１０、３１０、５１０）に類似している。同様な特徴は同様な番号をつけられている。ツール４１０’は、搬送室モジュール１８Ｂ’、１８ｉ’と、示されているように連続的に接続された搬入ロックモジュール５６Ａ’、５６’と部品ステーション３０ｉ’のような隙間モジュールとによって形成された直線的搬送室４１６’を有することができる。搬送室モジュール１８Ｂ’、１８ｉ’は互いにおよび前述の搬送室モジュール１８、１８Ａ、１８Ｂ、１８ｉに類似している。搬送室モジュール１８Ｂ’、１８ｉ’は搬送アーム２６Ｂ’、２６ｉを有する。示された典型的な実施形態では、搬送アーム２６Ｂ’、２６ｉ’は、互いに類似することができ、特にアーム２６Ｂ’に関して以下に詳細を説明する。代替実施形態では、搬送室モジュールは、異なる構成のある搬送アームを有することができる。この実施形態の搬送アーム２６Ｂ’は、特に記載される点を除き、図２によく示されているアーム２６に類似の、一般的なスカラアーム構成を有する。代替実施形態では、搬送アームはその他任意の望ましい構成を有することができる。図４Ｃに示されるように、この実施形態では、アーム２６Ｂ’は、上部アームに独立的なピボット式に（図２に示された上部アーム２６Ｕへのフォアアーム２６Ｆの取り付けに類似）それぞれ取り付けられて、それぞれがその場所に依存してエンドエフェクタ３２ＢＡ’、３２ＢＲ’を有する、複数のフォアアーム（例として２つが示される）を有することができる。スカラアーム２６Ｂ’は、３（例えば、ショルダージョイントの周囲で上部アームの独立的な回転（図２のショルダー２６Ｓに類似）および対応するエルボージョイントの周囲で各フォアアームの独立的な回転（図２のエルボー２６Ｅに類似））または５度の自由度（例えば、前述の３度の自由度に加えてリストジョイントの周囲にそれぞれのエンドエフェクタが独立的に回転する）を有することができる。代替実施形態では、アームは、これより多いまたは少ない自由度を有することができる。図４Ｃに示された典型的な実施形態では、搬送アーム２６Ｂ’は、インデクスできない場合がある。代替実施形態では、搬送室の搬送室モジュールの１つ以上の搬送アームは、インデクスをできる場合がある。典型的な実施形態では、インデクサ４５６Ｉ’、４３０Ｉ’は、隙間モジュール内に配置することができる。例えば、搬入ロックモジュール５６Ａ’と部品ステーション３０ｉ’は、それぞれ、その中に配置された対応するインデクサ４５６Ｉ’、４３０Ｉ’を有することができる。図４Ｃに示された搬送室４１６’のインデクサの数と配置は例である。代替実施形態では、インデクサを備えたこれより多いまたは少ないモジュールを提供することができる。その他の代替実施形態では、インデクサを備えた隙間モジュールを任意の望ましい構成で搬送室内に配置することができる。図４Ｃで理解され得るように、インデクサ４５６Ｉ’は、部品を直線的な搬送室４１６’で搬送するように、隣接する搬送室モジュール内に搬送アーム２６Ｂ’と協働する（配置が静的なシェルフ５６Ｓ１、５６Ｓ２に類似の）部品シェルフサポート５６Ｓ１’、５６Ｓ２’を有することができる。代替実施形態では、インデクサはこれより多いまたは少ないシェルフを有することができる。実施形態のインデクサ４５６Ｉ’は、搬入ロック５６Ａ’の部品を一時的に保管するように、バッファシェルフＢＡ’、ＢＲ’も有することができる。部品ステーション３０ｉ’のインデクサ４３０Ｉ’は、概して、インデクサ４５６Ｉ’に類似して、例えば、部品シェルフ３０Ｓ１’、３０Ｓ２’、およびバッファシェルフＢ’を備える。代替実施形態では、インデクサはその他任意の望ましい構成を有することができる。典型的な実施形態では、搬入ロックモジュール５６’は、位置的に静的な部品サポートシェルフ４５６Ｓ１’、４５６Ｓ２’を有することができる。部品サポートシェルフ４５６Ｓ１’、４５６Ｓ２’は、図４Ａの示された部品シェルフ５６Ｓ１、５６Ｓ２に実質的に類似することができる。代替実施形態では、搬送室のこれより多いまたは少ない隙間モジュールが、理解され得るように、位置的に静的な部品シェルフを有することができ、ツールコントローラ（図５のコントローラＣに類似）は、前述のように、どの隙間モジュール５６Ａ’、５６’、３０ｉ’がインデクサ４５６Ｉ’、４３０Ｉ’を有するか、対応するインデクサの操作パラメータ（例えば、それぞれのインデクサの部品とバッファシェルフの数と位置）、およびどの隙間モジュールが静的な部品シェルフを有することができるか（さらにシェルフの相対的パラメータ）を自動的に登録することができる。同様に、ツールコントローラは、搬送室モジュールの搬送アーム２６Ｂ’、２６ｉの構成（例えば、インデクスするかどうかの機能、複数のフォアアーム）と、アームの操作のための関連パラメータを自動的に登録することができる。
【００３２】
さらに図４Ｃを参照すると、搬送アーム２６Ｂ’、２６ｉ’および部品シェルフ５６Ｓ１、５６Ｓ２、３０Ｓ１’、３０Ｓ２’（インデクサ４５６Ｉ’、４３０Ｉ’上）と静的部品シェルフ４５６Ｓ１’、４５６Ｓ２’は、互いに協働して、分散搬送システム４２０’を画定して、図４Ａのツール４１０を参照して前述したように、矢印Ａ、Ｒによって示された方向に、搬送室から部品の搬送を有効にする。搬送システム４２０’は、複数の進行レーンＡ、Ｒを画定するようにも配置される。理解され得るように、エンドエフェクタ３２ＢＡ’、３２ＢＲ’、３２ｉＡ’、３２ｉＲ’（より具体的には運動平面）の運動は、進行レーンＡ、Ｒの位置（例えば、高さ、場所）を確立する。典型的な実施形態では、搬送アーム２６Ｂ’、２６ｉ’のエンドエフェクタ３２ＢＡ’、３２ｉＡ‘は進行レーンＡを配置して、その他のエンドエフェクタ３２ＢＲ’、３２ｉＲ’は進行レーンＲを配置する。静的シェルフ４５６Ｓ１’、４５６Ｓ２’は、それぞれ、進行レーンＡ，Ｒと実質的に位置をあわすことができる。インデクサ４５６Ｉ’，４３０Ｉ’上の部品とバッファシェルフ５６Ｓ１’、５６Ｓ２’、ＢＡ’、ＢＲ’、３０Ｓ１’、３０Ｓ２’、Ｂは、望むように配置することができる。インデクサ４５６Ｉ’、４３０Ｉ’は、部品シェルフとバッファシェルフを進行レーンＡ，Ｒと実質的に位置を合わせた位置の間で移動するように、十分なインデクスを有することができる。インデクサは、各進行レーンＡ、Ｒに位置を合わせた部品／バッファシェルフを維持するように、インデクサのインデクス位置に関係なく（図４Ｃに示されているように）十分な数の部品またはバッファシェルフを有することができる。これは、理解され得るように、インデクサの位置が搬送容量から切り離すように働く場合がある。部品を持ち上げまたは置くためのインデクサの適切なシェルフは、エンドエフェクタの運動がインデクサに依存しないように、対応するエンドエフェクタの到着のために正しく配置することができる。
【００３３】
典型的な実施形態では、搬送室４１６’の搬送システム４２０’によって画定される進行レーンＡ，Ｒは、二極化した進行方向を有することができる。図４Ｃの進行レーンＡ、Ｒのために使用される進行方向の慣例は、例にしか過ぎず、図４Ａの慣例に類似する（例えば、レーンＡは、ツールインターフェースセクション１２’から遠ざかり、レーンＲは、ツールインターフェース１２’に向かう）。代替実施形態では、進行レーンは、二方向の進行のために使用することができる。この実施形態では、それぞれの進行レーンに対応するアーム２６Ｂ’、２６ｉ上のエンドエフェクタは、対応する進行レーンの方向二極化に応じて二極化することができる。例えば、エンドエフェクタ３２ＢＡ’、３２ｉＡ’は、レーンＡ上の部品をレーンＡの方向（例えば、インターフェースセクション１２’から遠ざかる）に搬送することができて、エンドエフェクタ３２ＢＲ’、３２ｉＲ’は、レーンＲの部品をレーンＲの方向（例えば、インターフェースセクション１２’に向かって）に搬送することができる。静的部品シェルフ４５６Ｓ１’、４５６Ｓ２’も、図４Ｃに示されているように、対応する進行レーンの方向分極化に従って分極化することもできる（そして図４Ａのシェルフ５６Ｓ１、５６Ｓ２に類似）。進行レーンＡ、Ｒ間の部品の遷移は、インデクサ４５６Ｉ’、４３０Ｉ’によって実現することができる。理解され得るように、典型的な実施形態では、搬送アーム２６Ｂ’、２６ｉは、十分なしかし限定されたＺ運動によって提供することができて、静的部品シェルフ４５６Ｓ１’、４５６Ｓ２’上に部品を持ち上げ／置くことが有効になる。代替実施形態では、静的シェルフは、搬送アームのエンドエフェクタ上に部品を持ち上げ／置くことができるように、限定されたＺ運動を有することができる。ツール４１０’による部品の処理は、レーンＡ、Ｒの間の部品の移動がインデクサ４５６Ｉ’、４３０Ｉ’で有効になる点を除けば、ツール４１０（図４Ａを参照）に関して前述したのと同じ方式で実現することができる。
【００３４】
図８を参照すると、別の典型的実施形態に従い、ツール８１０の別の模式的正面図が示される。ツール８１０は、前述および図４Ｃに示されたツール４１０’に概して類似している。ツール８１０は、搬送室４１６’に実質的に類似の搬送室８１６を有する。搬送室８１６は、搬送アーム８２６Ｂ、８２６ｉ（アーム２６、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｂ１に類似）、インデクサ８５６Ｉ（インデクサ４５６Ｉ、４３０Ｉに類似）および部品シェルフ８５６Ｓによって画定される分散搬送システム８２０を有することができる。搬送システム８２０は、搬送室内を部品が搬送される複数の進行レーンＡ，Ｒを有することができる。進行レーンＡ、Ｒは、二極化した進行方向を有することができる（図４Ａ−４ＣのレーンＡ、Ｒに類似）。典型的な実施形態では、ツール８１０は、前述の図５に示された経路５７０に類似の「急速」移動経路８７０を有することができる。経路５７０に類似の、この実施形態の経路８７０は、隔離雰囲気（例えば、Ｎ、真空）または管理された雰囲気（例えば非常に清浄な空気）を保持することができる直線的に細長い管にすることができる。車両またはシャトルは示されているように管の内側に配置される。管は、モジュール式管セクション（非表示）から形成できる。代替実施形態では、搬送室モジュール（モジュール８１８Ｂ、８１８Ｒ）および隙間モジュール（モジュール８５６Ａ、８５６、８５６Ｃ）は、統合移動管セクションを有することができる。搬送室を形成するモジュールの組み立ては、連続的な移動経路を同時に形成する。管は、モジュール８５６、８１８ｉ、８５６Ｃと通信することができるように示されているアクセス開口部／経路８７６、８７６’、８７８を有する。代替実施形態では、図８に示された搬送室８１６に対する経路８７０の部分は、例であって、経路は、搬送室に対して任意の望ましい位置／配向に配置することができる（例えば、その上、その下、隣等）。管と搬送室との間の通信経路は説明のように配置することができる。この実施形態では、経路８７６は、搬送室の一般的に中間モジュール８５６、８１８ｉに接続することができ、経路８７８は、搬送室８１８の端または端近似のモジュールに接続することができる。典型的な実施形態では、モジュール８５６、８５６Ｃは、搬入ロックモジュールで、モジュール８１８ｉは、前述のモジュール１８、１８ｉ、１８ｉ’に類似の搬送室モジュールにすることができる。この実施形態では、モジュール８１８ｉの搬送アーム８２６ｉは、経路８７６’から経路８７０の搬送室とシャトル８７２との間で部品を搬送するために十分なＺ方向にインデクスすることができる場合がある。また、搬入ロックモジュール８５６のインデクサ８５６Ｉは、経路８７６を介して、搬送室と経路８７０のシャトル８７２との間の部品の移動を有効にするように、Ｚ方向にインデクスできる場合がある。接続経路８７６、８７６’、８７８は、例えば、移動経路８７０内部の雰囲気から搬送室内部を隔離するように、適切な作動ドア８５４によって閉じることが可能な場合がある。従って、異なる雰囲気、気体の種類、および／または圧力が、移動経路と搬送室８１６との間で維持することができる。例えば、経路８７０は、環境インターフェースセクション８１２に類似（または共有される）管理／純化された高度に清浄な空気気体を有することができる。搬送室は、前述のように、処理ステップに比例して真空、内部気体などを保持する部分を有することができる。内部雰囲気に影響を与えることのない部品の移動経路と搬送室との間の移動は、搬入ロック８５６、８５６Ｃによって有効になる。シャトル８７２は、矢印Ｘ１によって示された方向に、移動経路５７０の長さを横断することができる。シャトル８７２は、任意の適切な車両／台車構成を有することができる。車両／台車の適切な例は、米国特許申請番号第１０／６２４，９８７号に説明されており、参照することによりその全体が本明細書に組み込まれる。代替実施形態では、シャトルは、運動平面（水平または縦方向の平面）で、移動経路に対して、移動することができる場合がある。例えば、代替実施形態では、移動経路は、複数の（例えば、横方向に配置された）搬送室を通信するように、横方向に（経路の縦方向軸に対して実質的に直交する方向）伸張することができ、シャトルは、経路の長さと幅を横断することができる。図８に示されているように、シャトル８７２は、部品を保持するためのグリップまたはエンドエフェクタ８８８を有することができる。代替実施形態では、シャトルのグリップは、部品を保管するためのカセットを保持することができて、部品をツールの外に搬送する場合がある。典型的実施形態のシャトル８７２は、搬入ロック８５６Ｃのような常在インデクサなしでも移動経路８７０と搬送室との間で部品を移動するために、グリップ８８８をインデクス（Ｚ運動）することができる統合型インデクサ８９０を有することができる。図８から理解され得るように、移動経路は、適切な開口部／経路８７４を介して、この典型的実施形態では、搬送室８１６の部品入口／出口ステーションを形成するツールインターフェースセクション８１２（前述のツールインターフェースセクション１２、５１２に類似）と通信することができる。理解され得るように、部品は、インターフェースセクション８１２の搬送アームによって、シャトル８７２に搬入／搬出することができる。このように、移動経路８７０は、図５の移動経路５７０に関して前述した方式に類似の方式で、ツール８１０で処理された部品のために急速迂回／返却を提供することができる。
【００３５】
ここで図４Ｄを参照すると、さらに別の典型的実施形態に従い、ツール４１０”の別の模式的正面図が示される。ツール４１０”は、前述および図４Ａ−４Ｃに示されたツール４１０、４１０’に概して類似している。ツール４１０”は、前述の搬送室４１６、４１６’に類似の搬送室４１６”を有する。ツール４１０”は、図８に示された移動経路８７０に類似の急速移動経路（非表示）も有することができる。理解され得るように、経路５７０、８７０（図５、８を参照）に類似の急速移動経路は、処理ツール１０、３１０、４１０、４１０’の前述の任意の実施形態に提供することができる。搬送室４１６”は、例えば、図４Ｄに示された方式で、直線状に配置された搬送室モジュール１８Ｂ”、１８ｉ”および隙間モジュール５６Ａ”、５６”、３０ｉ”を有することができる。搬送システム４１０”は、以下に詳細を説明するように、搬送室４１６”全体に分散される。搬送室モジュール１８Ｂ”、１８ｉ”は、この実施形態では、互いに類似するとともに、後述する点を除いては、前述の搬送室モジュール１８、１８Ｂ”、１８ｉにも類似する。代替実施形態では、搬送室モジュールは、異なる構成を有することができる。類似点という観点では、この実施形態では、搬送室モジュール１８Ｂ”、１８ｉ”は、特に搬送室モジュール１８Ｂ”を参照して説明する。図４Ｄに示された典型的な実施形態では、搬送室モジュール１８Ｂ”は、複数の独立した搬送アーム２６ＢＡ”、２６ＢＲ”を有する。搬送アーム２６ＢＡ”、２６ＢＲ”は、搬送室モジュールフレームに独立して取り付けることができる（モジュールフレーム２２Ｆに類似、図２を参照）。図４Ｄは、例として、２つの独立的に取り付けられたアーム２６ＢＡ”、２６ＢＲ”を示すが、代替実施形態では、搬送室モジュール内に独立的に取り付けられた搬送アームは２つより多く存在することができる。複数の搬送アーム２６ＢＡ”、２６ＢＲ”は、搬送室モジュール内の異なる壁、側面に取り付けることができる。例えば、図４Ｄで理解され得るように、搬送アーム２６ＢＡ”、２６ＢＲ”は、搬送室モジュールフレームの上下の壁のように対向する壁に取り付けることができる。代替実施形態では、搬送アームは、搬送室モジュールの対向する壁、または隣接壁（１つの搬送アームが底壁に取り付けられて、別の搬送アームが隣接の側壁に取り付けられる、または、各搬送アームは隣接の側壁に独立的に取り付けられる等）に取り付けることができる。典型的な実施形態では、搬送室モジュール１８Ｂ”の搬送アーム２６ＢＡ”、２６ＢＲ”は、実質的に互いに類似していてもよく、特にアーム２６ＢＡ”を参照して本明細書に説明する。代替実施形態では、搬送室モジュールに独立的に取り付けられた搬送アームは、異なるタイプにすることができる。搬送アーム２６ＢＡ”は、図４Ｃに模式的に示されているが、前述で図２に示した搬送アーム２６に類似のスカラタイプのアームにすることができる。搬送アーム２６ＢＡ”は、エンドエフェクタ３２ＢＡ“の２または３度の自由運動を有することができる（例えば、θ、γ運動を提供、図２を参照）。代替実施形態では、搬送アームは、インデクスすることもできる場合がある（Ｚ運動）。その他��代替実施形態では、搬送アームはその他任意の望ましい構成を有することができる。搬送アーム２６ＢＡ”は、前述の搬送アームモジュール２６Ｍ（図２を参照）に類似のモジュール式構成を有することができるので、搬送アーム２６ＢＡ”（例えば、アーム連結や駆動セクション）は、モジュール式ユニットとして搬送室モジュール１８Ｂ”にインストール／取り外すことができる。搬送アーム２６ＢＡ”と搬送室モジュールフレームは、それぞれ、前述の特徴３４、３６（図２を参照）に類似の補完位置制御特徴３４Ａ”、３６Ａ”を有することができるので、モジュールに対して搬送室の反復配置が可能になる。同様に、搬送室モジュールのその他の独立的に取り付けられた搬送アーム２６ＢＲ”も、モジュールに対して各搬送アームを反復配置できるようにする位置制御特徴３４Ｒ”、３６Ｒ”を有することができる。図４Ｄに示された典型的な実施形態では、搬送アーム２６ＢＡ”、２６ＢＲ”の位置によって、対応するエンドエフェクタ３２ＢＡ”、３２ＢＲ”は、異なる搬送平面に沿って移動することができるようになる場合がある。この実施形態では、エンドエフェクタが変換する搬送平面は関係付けられることができ、例えば、部品は、前述およびこの典型的実施形態を特に参照して詳細を後述するように、進行レーンＡ、Ｒの間での部品の搬送に類似して、搬送平面間を搬送することができる。従って、この実施形態では理解され得るように、それぞれの搬送アーム２６ＢＡ”、２６ＢＲ”に対応するモジュールフレーム（フレーム２２Ｆに類似）上の位置制御特徴３６Ａ”、３６Ｒ”は、それぞれ、位置制御特徴３６（図９も参照）に類似の方式で、共通の参照基準面から確立することができる。これによって、互いの搬送アーム、つまり、部品搬送平面の配置に関して制約が生まれることが回避される。同様に、室１６に関する前述に類似の方式で、搬送室４１６”の形成中に、その他の搬送室モジュールや隙間モジュールの配置に関する制約の多さを避けることができる。
【００３６】
さらに図４Ｄを参照すると、この典型的な実施形態では、隙間モジュール５６Ａ”、５６”は、搬入ロック室にすることができる。典型的な実施形態では、モジュール５６Ａ”、５６”は、互いに類似することができ、従ってモジュール５６Ａ”を特に参照して後述する。代替実施形態では、隙間モジュールは、異なる搬入ロック室構成を有することができる。図４Ｄから理解され得るように、モジュール５６Ａ”は、複数の独立的に隔離可能および独立的に操作可能な搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”を有する。図４Ｄは、例として、２つの搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”を示す。代替実施形態では、望みに応じて、これより多い搬入ロック室を提供することができる。各搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”は、搬入ロック室が遷移する間の搬送室モジュール１８Ｂ”とその他任意の搬入モジュール（例えば、ツールインターフェースセクション１２）と独立的に連通してもよい。この典型的な実施形態では、搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”は、縦方向のスタックのように縦方向に配列することができる。代替実施形態では、搬送室と連通する搬入ロック室は、縦方向と水平方向にオフセットすることができる。前述のように、複数の搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”は、共通モジュール５６Ａ”に組み入れることができるので、複数の搬入ロック室は、望む場合は、ユニットとしてインストールおよび取り外すことができる。各搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”は、例えば、統合型組み立てとして、その他の搬送室モジュールに接続できる搬入ロック室モジュール組み立てを形成するように、例えば、縦方向のスタックのような、その他の搬入ロック室サブモジュールに嵌合することができるサブモジュールとして構成することができる。個別の搬入ロック室サブモジュールも、搬送室に別々の取り付け、または取り外すことができる。各モジュール５６Ａ”、および各搬入ロック室サブモジュールは、搬入ロック室をツールコントローラ（コントローラＣに類似、図５を参照）およびその他のユーティリティに接続するために、インターフェース／結合２１（図２を参照）に類似の、適切なユーティリティインターフェース（非表示）を有することができるので、ツールコントローラは、ツール構成やツールからの搬入ロックモジュール／サブモジュールのインストールまたは取り外しに関する処理プロトコルを自動的に更新できるようになる。代替実施形態では、複数の搬入ロック室は、共通のモジュールフレームに統合的に形成することができる。その他の実施形態では、各搬入ロック室は、独立モジュールにすることができる。理解され得るように、複数の独立的に隔離可能／操作可能な搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”の組み入れによって、搬送室モジュール１８Ｂ”とツールインターフェースセクション１２のような搬送室の隔離可能なモジュール間の「平行」連通連結を提供する。ここでは、「平行」という用語は、連通連結の特定の空間指向を画定するために使用されず、相互接続されたモジュール１８Ｂ”、１２の間の各搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”を介する部品の進行経路は、空間的に平行ではない場合がある。そうではなく、ここでの「平行」連通連結は、共通の基点／終点モジュールを共有して、互いに沿って概して伸張する連通連結を意味する。「平行」連通連結の可用性によって、移動処理の部分（つまり、モジュール１８Ｂ”、１２の間の部品の移動処理）が実質的に同時に実施することができるように、複数の搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”によって接合された隔離された搬送室モジュール１８Ｂ”、１２の間の連通の離散化または再分割が可能になる。例えば、搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”は、それぞれ、異なる雰囲気と実質的に同時に連通してもよい（例えば、室４５６ＡＡ’は、ツールインターフェースセクション１２に開くことができて、室４５６ＡＲ”は、搬送室モジュール１８Ｂ”に実質的に同時に開くことができる）。従って、搬送室モジュール１８Ｂ’をツールインターフェースセクション１２に接合するモジュール５６Ａ”は、同時に搬入および搬出することができる（例えば、一方の端から搬入し、他方から搬出、または、両端から搬入または両端から搬出）。また理解され得るように、（複数の搬入ロック室４５６Ａ”、４５６ＡＲ”により）相互接続されたモジュール１８Ｂ”、１２の間の純粋な連通または移動量（モジュール５６Ａ”により提供される）は、より小さい送量を生成するので、実質的に同時に異なる循環の移動量雰囲気が可能になる（例えば、室４５６ＡＡ"は、インターフェースセクション１２に排出され、室４５６ＡＲ’は、送り込まれる、またはその反対）。結果として、理解され得るように、搬送室４１６”の搬送量は増加して、ツール４１０”の処理能力が増加する。
【００３７】
図４Ｄに示された典型的な実施形態では、各搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”は、ツールインターフェースセクションと搬送室モジュールの間のそれぞれの搬入ロック室を介して移動する部品を保持するための部品シェルフを有することができる。例えば、各搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”は、搬送室４１６”を介して部品を搬送するように、隣接する搬送室モジュール１８Ｂ”で搬送アーム２６ＢＡ”、２６ＢＲ”と協働できる（１つ以上の）シェルフ４５６Ｓ１”、４５６Ｓ２”（前述の図４Ａ、４Ｃで示されたシェルフ５６Ｓ１、５６Ｓ２、５６Ｓ１’、５６Ｓ２’に類似）を有することができる。この典型的な実施形態では、各搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”は、バッファシェルフＢＡ’、ＲＡ’（図４Ｃを参照）に類似の、部品を一時的に保管するための（１つ以上の）バッファシェルフ４５６ＢＡ”、４５６ＢＲ”も有することができる。部品シェルフ４５６Ｓ１”、４５６Ｓ２”およびバッファシェルフ４５６ＢＡ”、４５６ＢＲ”は、それぞれの搬入ロック室に対して、対応するシェルフをＺ方向に移動可能なインデクサ（インデクサ４５６Ｉ’に類似）上に取り付けることができる。この実施形態では、各搬入ロック室は、部品とその中のバッファシェルフをインデクスするためのインデクサを有することができる。代替実施形態では、搬入ロック室の１つ以上のシェルフは、位置的に静的にすることができ、搬送室モジュールの搬送アームは、インデクスすることができる場合がある。その他の実施形態では、１つまたは両方の搬送アームは、アームが各搬入ロック室の１つ以上のシェルフ上の部品にアクセス（搬入／搬出）できるように、十分にインデクスできる場合がある。前述のツール４１０、４１０’、８１０に類似して、搬送アーム２６ＢＡ”、２６ＢＲ”、２６ｉＡ”、２６ｉＲ”（搬送室モジュール１８Ｂ’、１８ｉ”内）とシェルフ４５６Ｓ１”、４５６Ｓ２”（搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６ＡＲ”、４５６Ａ”、４５６Ｒ”内）は、ツール４１０”の搬送室４１６”に複数の進行レーンＡ、Ｒを画定するように配置される。例えば、シェルフ４５６Ｓ１”（隙間搬入ロック室４５６ＡＡ”、４５６Ａ”の）と協働する搬送アーム２６ＢＡ”、２６ｉＡ”は、直線的な搬送室を介して、および前述のように進行レーンＡに対応する処理モジュール（処理モジュールＰＭＡ、ＰＭＲ、図４Ｄも参照）へ／から搬送できる。同様に、シェルフ４５６Ｓ２”（搬入ロック室４５６ＡＲ”、４５６Ｒ”の）と協働する搬送アーム２６ＢＲ”、２６ｉＲ”は、進行レーンＲを画定することができる。理解され得るように、バッファシェルフ４５６ＢＡ”、４５６ＢＲ”は、対応する進行レーンＡ、Ｒに沿って部品を一時的に保管することができる。
【００３８】
図４Ｄに示された典型的な実施形態では、隙間モジュール３０ｉ”は、インデクサ４３０Ｉ”を有することができる。インデクサ４３０Ｉ”は、前述および図４Ｃに示されたインデクサ４３０Ｉ’に実質的に類似する。インデクサ４３０Ｉ”は、部品シェルフ３０Ｓ１”、３０Ｓ２”および１つ以上のバッファシェルフを有することができる。インデクサ４３０Ｉ”は、進行レーンＡ、Ｒの間のシェルフを横断することができる場合があるので、１つの進行レーンから別の進行レーンに部品をスイッチできるようにするスイッチを画定することができる。代替実施形態では、搬送室はこれより多いスイッチを有することができ、スイッチは任意の望ましい構成を有することができる。典型的な実施形態の進行レーンは、二極化された進行方向を有することができる。従って、それぞれの進行レーンＡ、Ｒに対応する搬送アームと部品シェルフは、対応する進行レーンの方向二極化に従って二極化することができる。一例として、搬送アーム２６ＢＡ”、２０ｉＡ”およびシェルフ４５６Ｓ１”、４５６ＢＲ”は、レーンＡの専用方向にレーンＡ上の部品を搬送することができる（例えば、図４Ｄに示された典型的な実施形態では、ツールインターフェースセクション１２から遠ざかる）。搬送アーム２６ＢＲ”、２６ｉＲ”およびシェルフ４５６Ｓ２”、４５６ＢＲ”は、レーンＲの専用方向にレーンＲ上の部品を搬送することができる（例えば、ツールインターフェースセクション１２に向かう）。理解され得るように、部品は、例えば、前述のようにモジュール３０ｉ”のインデクサ４３０Ｉ”経由で、進行レーンをスイッチすることによって、進行方向をスイッチすることができる（例えば、レーンＡの方向からレーンＲの方向、またはこの反対）。
【００３９】
本明細書に説明された典型的な実施形態から理解され得るように、ツール１０、３１０、４１０、４１０’、４１０”、８１０は、縮尺可能で、望みどおりにモジュールを追加または削減することによって、サイズを増大または減少することができる。また、ツールは、望ましい構成に搬送室を形成するように、モジュールを接続することによって、任意の望ましい構成で提供することができる。これは、図７に示された典型的な実施形態に図説されている。この実施形態のツール７１０は、その他のこれまでに説明した実施形態のツール１０、３０、４１０、４１０’、８１０に実質的に類似する。ツール７１０は、直線的な搬送室７１６を有する。ツールインターフェースセクション１２、７１２Ａは、任意の位置または任意の隙間モジュール７５６の任意の搬送室モジュール７１８に接合することができる。同様に、その他任意のモジュール（例えば、搬送室モジュール、隙間モジュール、処理モジュール等）は、ツールに望ましい構成を提供するように、ブロックを積み上げる方式で、搬送室モジュールに接合または取り外すことができる。コントローラは、前述のように、ツール構成と得られるツールの処理プロトコルを自動的に更新する。
【００４０】
前述の説明は本発明の実例に過ぎないことを理解されるべきである。本発明を逸脱せず、当業者により、多様な代替および修正が考案可能である。従って、本発明は、添付の特許請求の範囲の範囲に含まれる、かかる代替、修正および変更を包含することを意図する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図６】
2009538541.tif 000001