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　特願２００７−５５７５７０「機械加工スピンドル」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年　９月　８日国際公開、ＷＯ２００６／０９２５６８、平成２０年　８月１４日国内公表、特表２００８−５３１３１２、請求項の数（２６）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１８（２００６）年２月２７日（パリ条約による優先権主張外国庁受理　平成１７（２００５）年３月１日、英国）を国際出願日とする出願であって、平成２３年９月１５日付けで拒絶理由が通知され、これに対し、平成２４年２月２７日付けで意見書及び手続補正書が提出され、同年３月１５日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年７月２７日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同日付で手続補正書が提出されたものである。
　
第２　平成２４年７月２７日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）の適否
１．補正の内容
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項１を、
「
シリコンウエハーの研削を行うための
前記シリコンウエハーの研削を行うための
前記シリコンウエハーの研削を行うための
　前記内側シャフト及び前記外側シャフトは、第１の状態と第２の状態との間で、互いに対して移動可能であり、前記内側シャフトは、前記第２の状態では、前記第１の状態よりも前記外側シャフトに対して引き込まれ、当該機械加工スピンドルは、前記内側シャフト及び前記外側シャフトを前記第１の状態から前記第２の状態へと駆動するための、及び、前記内側シャフト及び前記外側シャフトを前記第２の状態から前記第１の状態へと駆動するための空気式の流体圧力駆動アクチュエータ構成を備え、前記内側シャフト及び前記外側シャフトのうちの少なくとも一方は、前記空気式の流体圧力駆動アクチュエータ構成に空気を送り込むための空気供給経路の少なくとも一部を備えていることを特徴とする機械加工スピンドル。」
とする補正（以下「補正事項１」という。）を含んでいる。
　
２．補正の適否
　本件補正の補正事項１は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項であり、その前提となる「機械加工スピンドル」並びに「第１の工具」及び「第２の工具」について、「シリコンウエハーの研削を行うための」との限定を付加するものであって、補正前の請求項１に記載された発明と補正後の請求項１に記載された発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下「改正前特許法」という。）第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　また、改正前許法第１７条の２第３項に違反するところはない。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下「補正発明」という。）が、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について以下に検討する。
　
（１）刊行物の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された特開２０００−１４１２１５号公報（以下「刊行物１」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
（ア）
「研磨物の表面を平坦に研磨する平坦化研磨装置において、
　同軸に配設された第１の研磨手段及び第２の研磨手段と、
　前記各研磨手段を軸方向に相対移動させる移動手段と、
　前記各研磨手段を軸周りで回転させる回転手段とを備えたことを特徴とする平坦化研磨装置。」（【請求項１】）
　
（イ）
「図１は、本発明の平坦化研磨装置の実施形態の全体構成を示す平面図である。この平坦化研磨装置１００は、研磨対象のウェハ１０１が投入されるカセットポート１１０、このカセットポート１１０から取出されたウェハ１０１を位置決めするハンドリングシステム１２０、このハンドリングシステム１２０で位置決めされたウェハ１０１を化学的機械研磨するポリッシングヘッド１３０及びポリッシングヘッド１３０で化学的機械研磨されたウェハ１０１を洗浄するクリーナ１４０で大略構成されている。尚、各部間のウェハ１０１の搬送は、図示しないロボットにより行われるようになっている。
　このような構成において、平坦化研磨装置１００内における研磨工程について説明する。先ず、複数枚のウェハ１０１が、カセット１０２内に並列に収納され、このカセット１０２が、カセットポート１１０にセットされる。そして、１枚のウェハ１０１が、カセット１０２から取出されて、ハンドリングシステム１２０に搬送される。
　搬送されてきたウェハ１０１は、コンベア１２１で位置決め部１２２に移送されて、センタリング及びオリフラ合わせが行われ、再びコンベア１２１で元の位置まで移送される。再移送されてきたウェハ１０１は、ポリッシングヘッド１３０に搬送される。搬送されてきたウェハ１０１は、バッファ１３１に一旦投入された後、加工部１３２にセットされて化学的機械研磨される。研磨が完了したウェハ１０１は、ウェットステーション１３３に一旦取出された後、クリーナ１４０に搬送される。」（段落【００１６】〜【００１８】）
　
（ウ）
「図２は、図１の平坦化研磨装置１００における加工部１３２の詳細を示す一部断面側面図である。この加工部１３２は、加工テーブル１５０と加工ヘッド１６０で大略構成されている。加工テーブル１５０は、ウェハ１０１を載置固定して回転させると共にＸ方向に移動させる機能を有する。台盤１５１の上面には、ウェハ１０１を真空吸着するウェハチャック１５２が配設され、台盤１５１の下面には、Ｘ軸ボールナット１５３を有する支持部１５４が配設されている。」（段落【００２０】）
　
（エ）
「加工ヘッド１６０は、Ｚ方向に移動して、加工テーブル１５０に固定されているウェハ１０１を２段階で化学的機械研磨する機能を有する。ウェハ１０１と略同径の円盤状のバフ（第１の研磨手段）１６１と、このバフ１６１の径より大きい内径を有する円環状のホイール（第２の研磨手段）１６２が、同軸、即ち同心円状に配設されている。そして、バフ１６１は、円環状のメタル定盤（第１の研磨手段）１６３の下面に接着固定され、ホイール１６２は、円環状のメタルツールフランジ（第２の研磨手段）１６４の下面に接着固定されている。
　メタル定盤１６３の中央孔には、シャフト（固定軸）１６５の一端が、軸受１６６を有するフランジ１６７を介して固定されている。このフランジ１６７は、外周面がテーパ形状に形成されており、同様のテーパ形状に形成されているメタル定盤１６３の中央部の穴の内周面に嵌合して固定されている。メタルツールフランジ１６４の上面側には、等角度間隔で座ぐり１６８が設けられている。
　この座ぐり１６８の内部には、バネ１６９を有するピン１７０が、メタルツールフランジ１６４の下面側へ突き抜けるように挿入されている。そして、ピン１７０の先端は、メタル定盤１６３の上面に螺合されている。メタルツールフランジ１６４の上面には、主軸スピンドルモータ（回転手段）１７１を有する主軸スピンドル（回転手段）１７２が固定され、さらに主軸スピンドルモータ１７１の上部には、エアシリンダ（移動手段）１７３が固定されている。
　シャフト１６５は、メタルツールフランジ１６４の中央孔から主軸スピンドル１７２、主軸スピンドルモータ１７１及びエアシリンダ１７３の中央部を通って突き抜けるように配設されている。そして、シャフト１６５の他端には、エアシリンダ１７３のピストン１７３ａが固定されている。そして、シャフト１６５は、研磨液を供給するために中空円筒状に形成されている。」（段落【００２２】〜【００２５】）
　
（オ）
「以上のような構成において、その動作例を図６及び図７を参照して説明する。ここで、バフ１６１としては、例えば軟質バフ、その研磨液としては、例えば硝酸（ＨＮＯ３）等のエッチャントの薬液が使用される。また、ホイール１６２としては、例えば硬質アルミナ砥粒が固定化された硬質ホイール、その研磨液としては、例えばアルミナ砥粒を弱酸で分散させたスラリが使用される。第１段階として、バフ１６１を用いた研磨を行い（図６参照）、第２段階として、ホイール１６２を用いた研磨を行う（図７参照）。」（段落【００３２】）
　
（カ）
「次に、Ｚ軸サーボモータ１７７を駆動してＺ軸ボールネジ１７８を回転させ、ホイール１６２の研磨面が、ウェハチャック１５２に真空吸着されているウェハ１０１の表面から所定の間隔を開けた状態になるまで、支持部１７５をＺ軸ガイド１７６に沿って下降させる。そして、薬液を図示しない供給装置からシャフト１６５の中空部及びメタル定盤１６３の溝１６３ａを介してバフ１６１へ供給する。同時に、エアシリンダ１７３のシリンダ１７３ｂに設けられている加圧側供給口１７３ｃにエアーを供給し、ピストン１７３ａ及びシャフト１６５を介してメタル定盤１６３を下降させる。
　このとき、メタル定盤１６３は、バネ１６９を圧縮し、バフ１６１の研磨面は、ホイール１６２の研磨面よりも突き出た状態となる。そして、バフ１６１の研磨面をウェハ１０１の表面に押しつけ、Ｘ軸サーボモータ１５５を駆動してＸ軸ボールネジ１５６を回転させ、支持部１５４を介して台盤１５１を往復移動させ、ウェハ１０１を化学的機械研磨する。尚、このときの研磨量の絶対値は、主にエアシリンダ１７３の圧力とバフ１６１のウェハ１０１に対する通過速度で制御することができる。そして、研磨終了後は、薬液の供給を停止し、図示しないノズルを介してウェハ１０１の表面に純水を供給し、ウェハ１０１の表面に残存している薬液を洗浄除去する。
　以上のように、この第１段階の研磨工程は、軟質バフを用いていることや、酸によるエッチングであること等の理由により、選択比、即ち例えばウェハ１０１がメタル配線型基板の場合は積層配線パターン用膜７とバリヤ膜５の研磨レートの比、素子分離型基板の場合は絶縁膜１５とストッパ膜１３の研磨レートの比は大きくなり、バリヤ膜５やストッパ膜１３での停止精度は高くなる。」（段落【００３４】〜【００３６】）
　
（キ）
「続いて、エアシリンダ１７３のシリンダ１７３ｂに設けられている退避側供給口１７３ｄにエアーを供給し、ピストン１７３ａ及びシャフト１６５を介してメタル定盤１６３を上昇させ、バフ１６１の研磨面をウェハ１０１の表面から離す。このとき、メタル定盤１６３の上面は、メタルツールフランジ１６４の下面にバネ１６９の復元力により押しつけられており、バフ１６１の研磨面は、ホイール１６２の研磨面よりも引っ込んた状態となる。
　そして、スラリを図示しない供給装置からノズル１５７を介してウェハ１０１の表面へ供給する。同時に、Ｚ軸サーボモータ１７７を先程とは逆方向に駆動してＺ軸ボールネジ１７８を回転させて、支持部１７５をＺ軸ガイド１７６に沿って下降させる。そして、ホイール１６２の研磨面をウェハ１０１の表面に押しつけ、Ｘ軸サーボモータ１５５を駆動してＸ軸ボールネジ１５６を回転させ、支持部１５４を介して台盤１５１を往復移動させ、ウェハ１０１を化学的機械研磨する。尚、このときの研磨量の絶対値は、主にＺ軸サーボモータ１７７による押し込み量とホイール１６２のウェハ１０１に対する通過速度で制御することができる。そして、研磨終了後は、スラリの供給を停止し、図示しないノズルを介してウェハ１０１の表面に純水及び薬液を供給し、ウェハ１０１の表面に残存しているスラリやパーティクルを洗浄除去する。」（段落【００３８】〜【００３９】）
　
　そうすると、上記記載事項（ア）〜（キ）によれば、上記刊行物には、下記の発明が記載されている。
　
「ウェハ１０１の研磨を行うための加工ヘッド１６０であって、前記ウェハ１０１の研磨を行うためのバフ１６１を搭載するように構成されたシャフト１６５と、前記ウェハ１０１の研磨を行うためのホイール１６２を搭載するように構成された主軸スピンドル１７２とを備え、前記主軸スピンドル１７２は回転するとともに、前記シャフト１６５及び前記主軸スピンドル１７２は、互いに対して軸方向に移動するように搭載され、前記シャフト１６５は前記主軸スピンドル１７２の内部に搭載される加工ヘッド１６０であって、
　前記シャフト１６５及び前記主軸スピンドル１７２は、第１の段階と第２の段階との間で、互いに対して移動可能であり、前記シャフト１６５は、前記第２の段階では、前記第１の段階よりも前記主軸スピンドル１７２に対して引き込まれ、当該加工ヘッド１６０は、前記シャフト１６５及び前記主軸スピンドル１７２を前記第１の段階から前記第２の段階へと駆動するための、及び、前記シャフト１６５及び前記主軸スピンドル１７２を前記第２の段階から前記第１の段階へと駆動するためのエアシリンダ１７３を備えた加工ヘッド１６０。」（以下「引用発明」という。）
　
（２）対比
　補正発明と引用発明とを対比すると、その機能及び作用からみて、引用発明の「ウェハ１０１」、「加工ヘッド１６０」、「バフ１６１」、「シャフト１６５」、「ホイール１６２」、「主軸スピンドル１７２」、「第１の段階」、「第２の段階」、「エアシリンダ１７３」は、それぞれ、補正発明の「シリコンウエハー」、「機械加工スピンドル」、「第１の工具」、「内側シャフト」、「第２の工具」、「外側シャフト」、「第１の状態」、「第２の状態」、「空気式の流体圧力駆動アクチュエータ構成」に相当する。
　また、引用発明の「研磨」と補正発明の「研削」は、「表面加工」である点で共通している。
　
　そうすると、両者は、
「シリコンウエハーの表面加工を行うための機械加工スピンドルであって、前記シリコンウエハーの表面加工を行うための第１の工具を搭載するように構成された内側シャフトと、前記シリコンウエハーの表面加工を行うための第２の工具を搭載するように構成された外側シャフトとを備え、前記外側シャフトは回転するとともに、内側シャフト及び前記外側シャフトは、互いに対して軸方向に移動するように搭載され、前記内側シャフトは前記外側シャフトの内部に搭載される機械加工スピンドルであって、
　前記内側シャフト及び前記外側シャフトは、第１の状態と第２の状態との間で、互いに対して移動可能であり、前記内側シャフトは、前記第２の状態では、前記第１の状態よりも前記外側シャフトに対して引き込まれ、当該機械加工スピンドルは、前記内側シャフト及び前記外側シャフトを前記第１の状態から前記第２の状態へと駆動するための、及び、前記内側シャフト及び前記外側シャフトを前記第２の状態から前記第１の状態へと駆動するための空気式の流体圧力駆動アクチュエータ構成を備えた機械加工スピンドル。」
の点で一致し、次の点で相違している。
　
〈相違点１〉
　「表面加工」について、補正発明が「研削」であるのに対し、引用発明では「研磨」である点。
　
〈相違点２〉
　補正発明では、内側シャフト及び外側シャフトが、共通軸を回転軸にしてともに回転するのに対し、引用発明では、内側シャフト（シャフト１６５）は回転せず、外側シャフト（主軸スピンドル１７２）のみが回転する点。
　
〈相違点３〉
　補正発明では、機械加工スピンドルは、内側シャフト及び外側シャフトを内部で軸支する本体を備え、外側シャフトは、本体内のラジアル空気軸受の内部で軸支されているのに対し、引用発明では、そのような構成を有していない点。
　
〈相違点４〉
　補正発明では、内側シャフト及び外側シャフトのうちの少なくとも一方は、空気式の流体圧力駆動アクチュエータ構成に空気を送り込むための空気供給経路の少なくとも一部を備えているのに対し、引用発明では、そのような構成を有していない点。
　
（３）判断
　上記相違点について検討する。
　
〈相違点１について〉
　工作物について、表面の加工をするにあたり、「研削加工」とするか「研磨加工」とするかは、必要に応じて適宜選択されるものであり、格別の顕著性はない。
　よって、上記相違点１は実質上の相違点ではない。
　
〈相違点２について〉
　原査定の拒絶の理由に引用された米国特許第２８３５２２７号明細書（以下「刊行物２」という。）及び特開昭６３−２８３８１０号公報（以下「刊行物３」という。）には、内側シャフト及び外側シャフトに相当するものが、共通軸を回転軸にしてともに回転し得るものとして開示されている。
　しかしながら、引用発明において、回転しない固定軸である内側シャフト（シャフト１６５）を回転させる動機付けについて刊行物２及び刊行物３を参酌しても見出すことはできない。
　よって、上記相違点２の構成を得るための動機付けの提示がないので、引用発明に基づいて、上記相違点２に係る構成を採用することは容易であるということはできない。
　
〈相違点３について〉
　空気軸受自体については、従来周知の構成である（前置審査で提示された特開平６−１５５２１２号公報（以下「刊行物４」という。）及び特開２００１−３２８０２１号公報（以下「刊行物５」という。）等参照）。
　しかしながら、補正発明では、機械加工スピンドルは、内側シャフト及び外側シャフトを内部で軸支する本体を備えているところ、当該構成を開示ないし示唆しているものは、刊行物２〜５を参酌しても見出すことはできない。
　よって、上記相違点３の構成を得るための証拠の提示がないので、引用発明に基づいて、上記相違点３に係る構成を採用することは容易であるということはできない。
　
〈相違点４について〉
　シャフトに流体供給経路を設ける点については、刊行物２及び刊行物３に記載されている。
　しかしながら、補正発明では、相違点２にもあるように、内側シャフト及び外側シャフトが共通軸を回転軸にしてともに回転するものであり、また、流体供給経路は空気供給経路であって、油を供給する刊行物２及び刊行物３のものとは異なっている。
　また、引用発明において、回転しない固定軸である内側シャフト（シャフト１６５）を回転させ、さらに、シャフト内に空気供給経路を設ける動機付けについて刊行物２及び刊行物３を参酌しても見出すことはできない。
　よって、上記相違点４の構成を得るための証拠及び動機付けの提示がないので、引用発明に基づいて、上記相違点４に係る構成を採用することは容易であるということはできない。
　
　したがって、補正発明は、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　よって、本件補正の補正事項１は、改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合する。
　
　本件補正のその余の補正事項についても、改正前特許法第１７条の２第３項ないし第５項に違反するところはない。
　
３．むすび
　本件補正は、改正前特許法第１７条の２第３項ないし第５項の規定に適合する。
　
第３　本願発明
　本件補正は上記のとおり、改正前特許法第１７条の２第３項ないし第５項の規定に適合するから、本願の請求項１〜２６に係る発明は、本件補正により補正された特許請求の範囲の請求項１〜２６に記載された事項により特定されるとおりのものである。
　そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 
　よって、結論のとおり審決する。