【事件の表示】
　特願２００８−５１１５４２「物体の表面測定装置およびその表面測定方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１８年１１月２３日国際公開、ＷＯ２００６／１２２５１９、平成２０年１１月２０日国内公表、特表２００８−５４１１０１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　この審判事件に関する出願（以下、「本願」という。）は、２００５年（平成１７年）５月１７日にドイツ連邦共和国でされた特許出願に基づくパリ条約の優先権を主張して平成１８年５月１０日にされた国際特許出願である。そして、平成２０年６月４日付け手続補正書により明細書、特許請求の範囲及び図面についての補正がされ、平成２３年３月１４日付け手続補正書により特許請求の範囲についての補正がされ、平成２４年１月２６日付け手続補正書により明細書及び特許請求の範囲についての補正がされた。その後、同年３月３０日付けで拒絶査定がされ、同年４月３日に査定の謄本が送達された。
　これに対して、同年８月２日に拒絶査定不服審判が請求された。
　
２．本願に係る発明
　本願の請求項１から１７までのそれぞれに係る発明は、特許請求の範囲の請求項１から１７までのそれぞれに記載された事項によって特定されるとおりのものである。特に、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、以下のとおりのものである。
　
「【請求項１】
　多色光線（２）を発生させる光源を有し、光学部の色収差を利用して結像光学系（１）から異なる距離にある複数の位置に前記結像光学系（１）により多色光線（２）の焦点を合わせ、焦点を合わせた光線（９）を物体の表面（３）上に案内するとともに、センサーを備えて反射光線（１０）を検出する物体の表面測定装置において、
　前記結像光学系（１）が、目標とする色収差を生成するための第１光学部（４）と付加的な第２光学部（６）とを光線の光路上に備えるとともに該第１光学部（４）が１ピッチより長いＧＲＩＮレンズから構成されて、前記結像光学系（１）から放射する焦点を合わせた光線（９）の光路を変化させるように構成されていることを特徴とする物体の表面測定装置。」
　
３．原査定の拒絶の理由
　本願発明に対する原査定の拒絶の理由は、概略以下のとおりである。
　
「本願発明は、その優先日前に日本国内又は外国において頒布された刊行物に記載された発明に基づいて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　　刊行物１：特開２００２−２２４１４号公報
　　刊行物２：特開平４−２６５８１４号公報」
　
４．刊行物に記載された事項
（１）刊行物１
ア．刊行物１の記載
　刊行物１には、以下の記載がある。
　
（ア）段落００３２から００３６まで
「【００３２】つぎに、電極部７に露出されたシリコン基板１の上面から、光導波路４の下面すなわち下部クラッド層４の上面までの段差Ｈを測定する。本実施の形態では、この段差Ｈの測定に、図６の色収差レンズを用いた共焦点顕微鏡を用いる。
　【００３３】図６の色収差レンズを用いた共焦点顕微鏡の構成について説明する。図６の顕微鏡は、光軸８０上に照明光学系８１、ビームスプリッタ８２、ピンホール８３、結像レンズ８５、対物レンズ８６、試料ステージ８７を順に備えている。一方、ビームスプリッタ８２により光軸８０から分離された光軸９４上には、リレーレンズ８８とハーフミラー８９と接眼レンズ９０が配置されている。また、ハーフミラー８９で反射される光束上にはカラーのＣＣＤカメラ９１と演算装置９２とが配置されている。
　【００３４】結像レンズ８５は、光軸８０方向に焦点距離が波長により異なる色収差レンズである。ここでは、図７のように赤波長７８０ｎｍから青波長４００ｎｍまでの焦点距離差が４０μｍのものを用いている。対物レンズ８６の焦点深度は、０．５μｍである。また、ピンホール８３は、ディスク８４上に形成されている。ディスク８４上には穴径の異なる複数のピンホールが配置されており、ディスク８４を回転させることにより、穴径の異なるピンホールを選択して光軸８０上に配置できる。
　【００３５】試料ステージ８７に、上記電極部７が露出された基板１を配置し、図８のように光導波路４とその横のシリコン基板１とが同時に観察できる視野が得られるように試料ステージ８７をＸＹ方向に移動させる。照明光学系８１から白色光を出射させると、白色光はビームスプリッタ８２を通過し、結像レンズ８５でほぼ平行光束となり、対物レンズ８６により集光されて基板１に照射される。基板１から反射された光は、再び対物レンズ８６および結像レンズ８５を通過することによりピンホール８３の近傍に集光され、ピンホール８３を通過した光は、ビームスプリッタ８２で反射され、リレーレンズ８８で結像され、ＣＣＤカメラ９１により画像が撮影される。また、接眼レンズ９０で拡大された画像を肉眼で観察することもできる。
　【００３６】下部クラッド層３の上面とシリコン基板１の上面とは段差があるため、通常の共焦点顕微鏡では対物レンズ８６の焦点位置の試料の反射光のみがピンホールを通過し、対物レンズ８６の焦点位置の試料のみが観察できる。これに対し、本実施の形態の顕微鏡は、結像レンズ８５として色収差のあるレンズを用いているため、焦点位置が、赤〜青までそれぞれの波長毎にずれている。このため、対物レンズ８６の焦点位置９３ａでは、反射光のうち緑色光のみがピンホール８３に合焦し、ピンホール８３を通過するが、前側焦点位置９３ｂでは、反射光のうち赤色光のみがピンホール８３に合焦し、ピンホール８３を通過する。一方、後ろ側焦点位置９３ｃでは、反射光のうち青色光のみがピンホール８３に合焦して通過する。よって、得られる像は、異なる焦点位置の試料が、焦点位置ごとに色分けされた像となる。この像を、ＣＣＤカメラ９１で撮像し、得られた画像の色の差を演算装置で解析することにより、段差Ｈを色の差で測定することができる。」
　
（イ）段落００４５
「【００４５】また、図６の顕微鏡においては、結像レンズ８５として予め定めた色収差を有するレンズを用いているため、対物レンズ８６を倍率の異なるレンズに交換した場合にも、上記方法により色相差による測定を行うことができるという利点がある。しかしながら、本発明は、結像レンズ８５を色収差レンズにした構成に限られるわけではなく、結像レンズ８５として色収差のほとんどないレンズを用い、対物レンズ８６として予め定めた色収差を有するレンズを用いた場合にも上記方法と同様に色相差による測定を行うことができる。」
　
イ．刊行物１に記載された発明（引用発明）
　刊行物１には、色収差のある結像レンズ８５を用いた共焦点顕微鏡が記載されている（上記ア．（ア））。この共焦点顕微鏡の対物レンズ８６の色収差については、記載がない。しかし、色収差のある対物レンズ８６を用いる場合には、色収差のない結像レンズ８５を用いるとされている（上記ア．（イ））。このことから、逆に、色収差のある結像レンズ８５を用いた共焦点顕微鏡では、色収差のない対物レンズ８６を用いることが分かる。
　以上のことを踏まえて、上記ア．（ア）及び（イ）の記載と、図６から８までに示された事項とを総合すると、刊行物１には、以下の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　
「白色光を出射する照明光学系８１を有し、色収差のある結像レンズ８５でほぼ平行光束とされた前記白色光を、色収差のない対物レンズ８６で波長毎にずれた焦点位置に集光してシリコン基板１に照射し、前記シリコン基板１から反射された光をＣＣＤカメラ９１で撮影して、前記シリコン基板１の上面から下部クラッド層４の上面までの段差Ｈを測定する共焦点顕微鏡。」
　
（２）刊行物２
ア．刊行物２の記載
　刊行物２には、以下の記載がある。
　
（ア）段落００１４から００１９まで
「【００１４】図１は、本発明に係る変位測定装置の第１実施例を示したものである。
　【００１５】図において、８は測定範囲において所定レベル以上の発光量を有する光、好ましくは図２・（ａ）に示す如きほぼフラットなスペクトラム分布を有する光を出す光源、９は光源８からの光を集光するレンズよりなる集光器、１０は集光器９で集光された光を伝送する光ファイバ、１１は光ファイバ１０の先端に配置された分岐器である。光源８としては、例えば波長が７００ｎｍ〜９００ｎｍの範囲でほぼフラットなスペクトラム分布を有するものを用いる。光源８の具体例を示せば、発光ダイオード、キセノンランプ、白色ランプ等である。
　【００１６】１２は分岐器１１を経た光を伝送する光ファイバ、１３は光ファイバ１２から出る光を通すマイクロ凸レンズ、１４はマイクロ凸レンズ１３を経た光を通す凸レンズよりなる色収差付レンズ、１５は被測定物にその変位につれて変位するように支持されていて色収差付レンズ１４を経た光が投光される反射鏡である。色収差付レンズ１４としては、色収差の補正をしていないレンズを用いる。
　【００１７】１６は反射鏡１５からの反射戻り光を分岐器１１を経て取り出す光ファイバ、１７は光ファイバ１６から出力される反射戻り光を平行光束とするファイバコリメートレンズ、１８はファイバコリメートレンズ１７から出力される平行光束の反射戻り光を波長に応じて回折させる回折格子、１９は回折格子１８を経て波長の順に並んだ反射戻り光を集光する集光レンズ、２０は集光レンズ１９を経て波長に応じて位置を異にして集光された反射戻り光を波長に応じた電気信号に変換するアレイセンサである。該アレイセンサ２０としては、例えばフォトダイオードアレイやＣＣＤ等の光受光センサアレイ等を用いる。
　【００１８】これら光ファイバ１６，ファイバコリメートレンズ１７，回折格子１８，集光レンズ１９，アレイセンサ２０にて、反射鏡１５からの反射戻り光のスペクトラム分布の変化を検出するスペクトラム分布測定部２１を構成している。
　【００１９】２２はスペクトラム分布測定部２１からのスペクトラム分布の測定結果を元に被測定物の変位を測定する中央処理部（ＣＰＵ）からなる変位測定部である。」
　
（イ）段落００２０から００２４まで
「【００２０】このような変位測定装置においては、光源８から図２・（ａ）に示すようなほぼフラットなスペクトラム分布を有する光を集光器９，光ファイバ１０，分岐器１１，光ファイバ１２，マイクロ凸レンズ１３を介して色収差付レンズ１４に投光すると、該光中の各波長に応じて該色収差付レンズ１４の焦点距離が数μｍ〜数ｍｍ変化する。
　【００２１】一方、反射鏡１５は被測定物の変位に応じて位置が変位している。この反射鏡１５の変位位置に焦点が存在する特定波長の光のみが反射戻り光として反射し、逆のルートを通って光ファイバ１２に戻り、分岐器１１で光ファイバ１６側に分岐される。
　【００２２】このとき、反射鏡１５上に焦点を結ばない光は、拡散して光ファイバ１２には戻らない。
　【００２３】分岐器１１で光ファイバ１６側に分岐された反射戻り光りは、ファイバコリメートレンズ１９で平行光束に変換され、回折格子１８でその波長に応じた方向に回折され、集光レンズ１９でアレイセンサ２０上の特定の位置に集光される。該アレイセンサ２０は、その表面に集光された反射戻り光の波長に応じた電気信号を図２・（ｂ）のように出力する。
　【００２４】この電気信号が変位測定部２２で回折され、反射鏡１５の位置に対応する被測定物の変位が算出される。」
　
（ウ）段落００２５
「【００２５】図３は、本発明に係る変位測定装置の第２実施例を示したものである。本実施例では、色収差付レンズ１４として凸レンズの代りにグリンレンズを用いた例を示したものである。グリレンズは、径方向に屈折率分布が変化する特性を有する円筒形のレンズであり、このようなレンズを用いても第１実施例と同様の変位検出動作を行わせることができる。」
　
イ．刊行物２に記載された技術事項
　刊行物２には、光源８及び色収差付レンズ１４を備えた変位測定装置が記載されている（上記ア．（ア））。光源８は、具体的には白色ランプであり、色収差付レンズ１４は、具体的には色収差のある凸レンズである（同）。
　色収差付レンズ１４は、その焦点距離が、入射する光の波長に応じて変化する（上記ア．（イ））。したがって、色収差付レンズ１４は、光源８からの光を波長ごとに異なる焦点位置に集光することになる。
　以上のことを踏まえて、上記ア．（ア）から（ウ）までの記載と、図１から３までに示された事項とを総合すると、刊行物２には、以下の技術事項が記載されている。
　
「白色ランプ８からの光を、色収差のある凸レンズ１４で波長ごとに異なる焦点位置に集光して被測定物に支持された反射鏡１５に投光し、当該反射鏡１５からの反射戻り光のスペクトラム分布の変化をスペクトラム分布測定部２１で検出して、前記被測定物の変位を測定する変位測定装置において、色収差のある凸レンズ１４に代えて、色収差のあるグリンレンズ１４を使用する。」
　
５．対比
　本願発明と引用発明とを対比すると、以下のとおりである。
　
（１）本願の明細書の段落０００２に、「多くの用途において、物体の製造工程中に形成される刻み目や起伏の許容誤差範囲は、非常に狭い。」、「多くの技術分野では、物体の表面品質に関する情報を得るとともにその表面構造の正確な測定が必要である。」及び「多くの応用分野では、加工部品の孔や切削の深さや位置を知ることに関心がある。」という記載があることから、本願発明における「物体の表面測定」とは、具体的には、物体の表面に形成される刻み目、起伏、孔、切削などのような、物体の表面構造の位置及び寸法の測定である。
　そうすると、引用発明の「前記シリコン基板１の上面から下部クラッド層４の上面までの段差Ｈを測定する共焦点顕微鏡」は、本願発明の「物体の表面測定装置」に相当する。
　
（２）引用発明の「白色光」は、本願発明の「多色光線（２）」に相当する。そして、引用発明の「白色光を出射する照明光学系８１」は、本願発明の「多色光線（２）を発生させる光源」に相当する。
　
（３）引用発明において、「色収差のある結像レンズ８５でほぼ平行光束とされた前記白色光を、色収差のない対物レンズ８６で波長毎にずれた焦点位置に集光」する際、「色収差のある結像レンズ８５」と「色収差のない対物レンズ８６」とは、結像光学系を構成している。そして、結像光学系を構成する「色収差のある結像レンズ８５」が「白色光を…波長毎にずれた焦点位置に集光」するのであるから、引用発明は、結像光学系の光学部の色収差を利用して、結像光学系から異なる距離にある複数の位置に、白色光の焦点を合わせているといえる。
　そうすると、引用発明の「色収差のある結像レンズ８５でほぼ平行光束とされた前記白色光を、色収差のない対物レンズ８６で波長毎にずれた焦点位置に集光して」は、本願発明の「光学部の色収差を利用して結像光学系（１）から異なる距離にある複数の位置に前記結像光学系（１）により多色光線（２）の焦点を合わせ」に相当し、また、本願発明の「前記結像光学系（１）が、…第１光学部（４）と付加的な第２光学部（６）とを光線の光路上に備える」に相当する。
　
（４）引用発明の「集光してシリコン基板１に照射し」は、本願発明の「焦点を合わせた光線（９）を物体の表面（３）上に案内する」に相当する。
　
（５）引用発明の「前記シリコン基板１から反射された光をＣＣＤカメラ９１で撮影して」は、本願発明の「センサーを備えて反射光線（１０）を検出する」に相当する。
　
（６）引用発明の「色収差のある結像レンズ８５」と、本願発明の「１ピッチより長いＧＲＩＮレンズから構成されて、前記結像光学系（１）から放射する焦点を合わせた光線（９）の光路を変化させるように構成されている」「目標とする色収差を生成するための第１光学部（４）」とは、「目標とする色収差を生成するための第１光学部」である点で共通する。
　
（７）引用発明の「色収差のない対物レンズ８６」は、本願発明の「付加的な第２光学部（６）」に相当する。
　
（８）以上のことをまとめると、本願発明と引用発明とは、
　
「多色光線を発生させる光源を有し、光学部の色収差を利用して結像光学系から異なる距離にある複数の位置に前記結像光学系により多色光線の焦点を合わせ、焦点を合わせた光線を物体の表面上に案内するとともに、センサーを備えて反射光線を検出する物体の表面測定装置において、
　前記結像光学系が、目標とする色収差を生成するための第１光学部と付加的な第２光学部とを光線の光路上に備える物体の表面測定装置。」
　
である点で一致し、以下の点で相違する。
　
（相違点）
　本願発明では、「目標とする色収差を生成するための第１光学部」が「１ピッチより長いＧＲＩＮレンズから構成されて、前記結像光学系（１）から放射する焦点を合わせた光線（９）の光路を変化させるように構成されている」のに対し、引用発明では、「目標とする色収差を生成するための第１光学部」が「色収差のある結像レンズ８５」である点。
　
６．判断
　引用発明が測定する「前記シリコン基板１の上面から下部クラッド層４の上面までの段差Ｈ」は、「前記シリコン基板１の上面」までの距離と「下部クラッド層４の上面」までの距離の差である。一方、刊行物２に記載された技術事項の前提となる変位測定装置（以下、「刊行物２の変位測定装置」という。）が測定する「前記被測定物の変位」は、「前記被測定物」までの距離の差分である。したがって、引用発明と刊行物２の変位測定装置とは、対象物までの距離の差を測定する装置である点で共通する。
　また、引用発明と刊行物２の変位測定装置とは、白色光を色収差のあるレンズ（引用発明の「色収差のある結像レンズ８５」、刊行物２の変位測定装置の「色収差のある凸レンズ１４」）で波長ごとに異なる焦点位置に集光して測定対象に照射し、測定対象からの反射光を検出することにより、測定対象までの距離の差を測定する点でも共通する。
　さらに、引用発明も刊行物２の変位測定装置も、検出する反射光の波長が測定対象までの距離に応じて変化することを利用している。
　以上に述べたとおり、引用発明と刊行物２に記載された変位測定装置とは、測定量、装置構成及び測定原理が共通しているから、引用発明に刊行物２に記載された技術事項を適用することは、当業者にとって容易である。すなわち、引用発明の「色収差のある結像レンズ８５」を「色収差のあるグリンレンズ」に変更することは、刊行物２に記載された技術事項に基づき、当業者が容易に思い付くことである。
　グリンレンズの色収差がその長さに依存することは、例えば原査定の拒絶の理由に引用された特開平４−７５０４２号公報（第３ページ左下欄第６行から第７行まで）及び国際公開第２００４／０９７４７９号（段落００２０）に記載されているように本願の優先日前に周知であるから、色収差が必要な大きさになるように「色収差のあるグリンレンズ」の長さを調節することは、当業者が適宜行い得る設計事項である。「色収差のあるグリンレンズ」が「１ピッチより長い」ことや、「色収差のあるグリンレンズ」及び「色収差のない対物レンズ８６」からなる結像光学系から「放射する焦点を合わせた光線（９）の光路を変化させるように構成されている」ことは、そのような調節の単なる結果にすぎない。
　
７．請求人の主張について
　以下に引用する審判請求書の記載は、便宜のため、「刊行物Ａ」及び「刊行物Ｂ」を、それぞれ「刊行物１」及び「刊行物２」に書き替えてある。
　
（１）請求人は、審判請求書の３．＜２＞（４）において、次のように主張する。
　
「即ち、刊行物２の図１は２つの標準レンズを示し、図３は両標準レンズを代替する一つのグリンレンズを示しています。従って、刊行物２は一つのグリンレンズで十分であり、それ以外のレンズは必要ないことを教示しています。当業者が刊行物２の教示を刊行物１の装置の改良に利用するとする場合、当業者はレンズ８５と８６とを一つのグリンレンズと代替するのが自然です。その結果、装置は、目標とする色収差の生成用の（グリンレンズを備えた）第１の光学系と、装置から出る光線の経路を左右する第２の光学系を有することはありません。」
　
　しかし、刊行物２の図１に示された実施例でレンズ１３が設けられているのは、光ファイバ１２で導かれる光源からの光を色収差のある凸レンズ１４に入射させるために必要だからであり、刊行物２の図３に示された実施例でレンズ１３が設けられていないのは、光ファイバ１２で導かれる光源からの光をそのまま色収差のあるグリンレンズ１４に入射させることが可能だからであると認められる。
　刊行物１に記載された共焦点顕微鏡の対物レンズ８６は、光源からの光を色収差のある結像レンズ８５に入射させるために設けられているわけではないから、刊行物２の図１に示された実施例のレンズ１３とは役割が異なる。
　請求人の主張は、刊行物１に記載された対物レンズ８６が、刊行物２の図１に示されたレンズ１３に相当することを前提にしており、採用することができない。
　
（２）請求人はまた、次のように主張する。
　
「当業者がレンズ８５をグリンレンズで代替だけしようとしても、当業者は別の問題に対処しなければならず、グリンレンズの使用を放棄すると思われます。グリンレンズのサイズが細い（通常、ほんの１ないし２ミリ）ことにより、グリンレンズに進入する光線は、むしろ細い径でなければならないです。更に、光線は、効率性の理由から、円柱形のグリンレンズの軸近くでグリンレンズに進入しなければならないです。刊行物２では、光線をグリンレンズに導く、光ファイバに非常に近いグリンレンズを配置することで、それらの要件を満たしています。実際、グリンレンズは光ファイバと接触しているように見えます。しかし、それらの条件は、刊行物１の装置で使用することはできません。 
 　刊行物１の図６では、レンズ８５はピンホール８３の後に配置されています。回転ピンホールディスク８４に形成されたピンホール８３は、共焦顕微鏡の本質的な特徴です。回転するピンホールディスク８４により、ピンホール８３を出る光線はレンズ８５の表面を移動します。この運動故に、移動する光線が確実に適切に結像するよう、レンズ８５は一定の直径を持たなければならないです。小さいレンズでは、光線が移動している間、光に一定の質の左右することはできません。レンズ８５をグリンレンズで代替すれば、この運動はもはや不可能となります。回転ピンホールディスクによりもたらされる運動は、グリンレンズのサイズが小さく、グリンレンズの用途と適合しません。従って、当業者は、偏光装置や各ピンホールに対して一つのグリンレンズといった、更なる光学手段を付け加えなければならないです。しかし、これは複雑で、追加のコストがかかります。従って、当業者は、レンズ８５の可能な代替手段としてのグリンレンズは放棄すると思われます。」
　
　しかし、刊行物１の段落００３４に「ピンホール８３は、ディスク８４上に形成されている。ディスク８４上には穴径の異なる複数のピンホールが配置されており、ディスク８４を回転させることにより、穴径の異なるピンホールを選択して光軸８０上に配置できる。」と記載されているとおり、ディスク８４は、ピンホール８３の穴径を変更するためのものであって、ピンホール８３を出る光線がレンズ８５の表面を移動するようにするためのものではない。
　請求人の主張は、採用することができない。
　
（３）請求人は、さらに次のように主張する。
　
「更に標準レンズは一般にグリンレンズより廉価です。一般に、装置を改良する際の目的の一つは、コストを削減することです。従って、当業者は、一定の必要性がなければグリンレンズを使用しません。本願発明１の装置は、測定装置のサイズを削減するためグリンレンズを使用します。これにより、非常に細い、鉛筆のような装置となります。サイズが小さくなることで、標準光学系に関する結像品質のロスは受容されます。刊行物１の装置は良好な結像品質を必要とするので、当業者はレンズ８５をグリンレンズで代替したりしません。」
　
　しかし、刊行物２には、色収差のある凸レンズ１４に代えて、色収差のあるグリンレンズ１４を使用することが現に示唆されているのであるから、それを採用することは、当業者にとって容易である。
　請求人の主張は、採用することができない。
　
８．むすび
　以上に検討したとおり、本願発明は、刊行物１に記載された発明（引用発明）と刊行物２に記載された技術事項とに基づき、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶をすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。