【事件の表示】
　特許第３３４８９２３号「ウェハ貼着用粘着シート」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３３４８９２３号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．本件発明
　本件特許第３３４８９２３号（平成５年７月２７日出願、平成１４年９月１３日設定登録）の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、設定登録時の願書に添付した明細書及び図面（以下、「本件特許明細書等」という。）の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項１】 基材面上に、粘着剤と放射線重合性オリゴマーとからなる放射線硬化型粘着剤層と、ダイ接着用接着剤層とがこの順に形成されてなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、
　該放射線硬化型粘着剤層中において、該放射線重合性オリゴマーが、１〜３０μｍの分散粒径を有し、かつ均一に分散されてなり、
　該放射線硬化型粘着剤層の放射線硬化後における弾性率が１×１０６(dynes/cm２)〜１×１０８(dynes/cm２)であることを特徴とするウェハ貼着用粘着シート。」
　
２．刊行物記載の発明（事項）
　これに対し、平成１６年８月１６日付けで通知した取消しの理由に引用した、本願出願前に日本国内で頒布された刊行物である特開平５−１７９２１１号公報（以下、「刊行物１」という。）、特開昭６３−１９３９８１号公報（以下、「刊行物２」という。）には、それぞれ以下の事項が記載されていると認められる。
（１）刊行物１
（ア）第１欄第２３−５０行
「このため、特開昭６０−５７６４２号公報では、ダイシング工程で半導体ウエハを接着保持するとともに、マウント工程に必要なチツプ固着用の接着剤層をも付与するダイシング・ダイボンドフイルムを提案している。
【０００４】このダイシング・ダイボンドフイルムは、支持基材上に導電性接着剤層を剥離可能に設けてなるものであり、その接着剤層による保持下に半導体ウエハをダイシングしたのち、支持基材を延伸して形成チツプを接着剤層とともに剥離し、これを個々に回収してその接着剤層を介してリ―ドフレ―ムなどの被着体に固着させるようにしたものである。
【０００５】この種のフイルムにおいては、ダイシング不能や寸法ミスなどが生じないように半導体ウエハに対する良好な保持力と、ダイシング後の形成チツプを導電性接着剤層と一体に剥離しうるように良好な剥離性が望まれるが、この両特性をバランスさせることは決して容易なことではなかつた。特に、半導体ウエハを回転丸刃などでダイシングする方式などのように、大きな保持力が要求される場合に、上記特性を満足するフイルムを得ることは困難であつた。
【０００６】そこで、このような問題を克服するために、種々の改良法が提案されている。たとえば、特開平２−２４８０６４号公報には、支持基材と接着剤層との間に紫外線硬化可能な粘着剤層を介在させ、これをダイシング後に紫外線硬化して、粘着剤層と接着剤層との間の接着力を低下させ、両者間の剥離により形成チツプのピツクアツプを容易にする方法が提案されている。」
　上記摘記事項（ア）の記載からみて、刊行物１には、
「支持基材上に、紫外線硬化可能な粘着剤層と、接着剤層とがこの順に形成されてなるウエハ接着保持用ダイシング・ダイボンドフイルム。」（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
（２）刊行物２
（ア）第１頁左下欄第１８行−右下欄第２行
「発明の技術分野
　本発明はウエハ貼着用粘着シートに関し、さらに詳しくは、半導体ウエハを小片に切断分離する際に用いられるウエハ貼着用粘着シートに関する。」
（イ）第２頁右上欄第４−１６行
「発明の目的
　本発明は、・・・粘着シート上に貼着されたウエハをダイシング工程に付した後に、該シートをエキスパンディング工程に付す際に、たとえ粘着剤層中に放射線重合性化合物を共存させて粘着剤層に紫外線などの放射線を照射して粘着剤層を硬化させた後であっても、重合体フィルムなどの基材とともに粘着剤層が充分に伸びて、ピックアップすべきチップ間に充分な間隔を提供でき、このためチップのピックアップ時に誤動作が生じないようなウエハ貼着用粘着シートを提供することを目的としている。」
（ウ）第２頁左下欄第１８−２０行
「本発明に係るウエハ貼着用粘着シート１は、その断面図が第１図に示されるように、基材２とこの表面に塗着された粘着剤層３とからなっており、」
（エ）第３頁左上欄第７行−右上欄第３行
「粘着剤としてはゴム系あるいはアクリル系粘着剤などの従来公知のものが広く用いられうるが、アクリル系粘着剤が好ましく、具体的には、アクリル酸エステルを主たる構成単量体単位とする単独重合体および共重合体から選ばれたアクリル系重合体その他の官能性単量体との共重合体およびこれら重合体の混合物である。たとえば、モノマーのアクリル酸エステルとして、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸-2-エチルヘキシル、メタアクリル酸グリシジル、メタアクリル酸-2-ヒドロキシエチルなど、また上記のメタアクリル酸をたとえばアクリル酸に代えたものなども好ましく使用できる。
　さらに後述するオリゴマーとの相溶性を高めるため、メタクリル酸、アクリル酸、アクリロニトリル、酢酸ビニルなどのモノマーを共重合させてもよい。」
（オ）第３頁左下欄第１０行−右下欄第１６行
「さらに放射線重合性化合物として、上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。・・・
　このようなウレタンアクリレート系オリゴマーとして、特に分子量が３０００〜１００００好ましくは４０００〜８０００であるものを用いると、半導体ウェハ表面が粗い場合にも、ウエハチップのピックアップ時にチップ面に粘着剤が付着することがないため好ましい。」
（カ）第４頁左上欄第３−１１行
「本発明における粘着剤中のアクリル系粘着剤と放射線重合性化合物好ましくはウレタンアクリレート系オリゴマーとの配合比は、アクリル系粘着剤１００重量部に対して放射線重合性化合物は５０〜９００重量部の範囲の量で用いられることが好ましい。この場合には、得られる粘着シートは初期の接着力が大きくしかも放射線照射後には粘着力は大きく低下し、容易にウエハチップを該粘着シートからピックアップすることができる。」
（キ）第６頁左上欄第５行−左下欄第４行
「・・・粘着シート１の粘着剤層３を上向きにし、第３図に示すようにして、この粘着剤層３の上面にダイシング加工すべき半導体ウエハＡを貼着する。この貼着状態でウエハＡにダイシング、洗浄、乾燥、エキスパンディングの諸工程が加えられる。この際、粘着剤層３によりウエハチップは粘着シートに充分に接着保持されているので、上記各工程の間にウエハチップが脱落することはない。
　次に、各ウエハチップを粘着シートからピックアップしてリードフレームにマウンティングするが、この際、ピックアップに先立ってあるいはピックアップ時に、第４図に示すようにして、紫外線（ＵＶ）あるいは電子線（ＥＢ）などの電離性放射線Ｂを粘着シート１の粘着剤層３に照射する。
　このように粘着剤層３に放射線を照射して放射線重合性化合物を重合硬化せしめると、粘着剤の有する接着力は大きく低下し、わずかの接着力が残存するのみとなる。
　・・・
　このようにウエハチップＡ１、Ａ２、……が設けられた部分の粘着剤層３に放射線を照射して、粘着剤層３の接着力を低下せしめた後、この粘着シートをピックアップステーション（図示せず）に移送し、第５図に示すように、ここで常法にしたがって基材２の下面から突き上げ針扞５によりピックアップすべきＡ１……を突き上げ、このチップＡ１……をたとえばエアピンセット６によりピックアップし、これを所定の基台上にマウンティングする。このようにしてウエハチップＡ１、Ａ２……のピックアップを行なうと、ウエハチップ面上には粘着剤が全く付着せずに簡単にピックアップすることができ、汚染のない良好な品質のチップが得られる。」
（ク）第７頁左上欄第３行−右上欄第１８行
「実施例１
　アクリル系粘着剤（n-ブチルアクリレートと酢酸ビニルとの共重合体）１００重量部と、分子量約７０００のウレタンアクリレート系オリゴマー（商品名セイカビーム　ＰＵ−４　大日精化工業社製）５０重量部と、硬化剤（エチレンイミン系）５重量部と、ＵＶ硬化開始剤（ベンゾフェノン系）２重量部とを混合し、さらにエキスパンディング剤としてのオレイン酸３重量部を添加して、粘着剤層形成用組成物を調整した。
　この組成物を基材である・・・フィルムの片面に・・・塗布し、・・・ウエハ貼着用粘着シートを形成した。
　得られたウエハ貼着用粘着シートに・・・シリコンウエハを貼付し、ダイシングソーにて・・・切断分離した。次いでこの粘着シートの粘着剤層に紫外線（ＵＶ）を空冷式高圧水銀灯（８０Ｗ／cm、照射距離１０cm）により１秒間照射した。
　次いで、この粘着シートを全方向に５％伸張（エキスパンディング）した。このようにして粘着シートを伸張したところ、各々のチップ間隔は平均１２０μｍ開き、最小でも、１００μｍ以上の間隔を有していた。
　この後に行なわれたピックアップ工程でも、上記のようにチップ間隔が十分に開いているため、センサーによるチップの位置決めが容易に行なわれ、ピックアップする際にもチップ同士が接触することなく、スムーズに行なわれ取り出された各チップも、ピックアップの際にワレやカケが発生し不良となるものはなかった。
　また剥離されたシリコンウエハの表面（粘着シートが貼られていた側）には、目視したところでは、粘着剤は全く付着していなかった。」
　上記摘記事項（ア）−（ク）および第１図、第３−５図の記載からみて、引用例２には、
「ウエハ貼着用粘着シートにおいて、基材面上に、粘着剤とウレタンアクリレート系オリゴマーとからなる放射線硬化型粘着剤層を形成すること。」（以下、「刊行物２記載の事項」という。）が記載されていると認められる。
　
３．対比
　本件発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「支持基材上」、「接着剤層」、「ウエハ接着保持用ダイシング・ダイボンドフイルム」は、ぞれぞれ前者の「基材面上」、「ダイ接着用接着剤層」、「ウェハ貼着用粘着シート」に相当する。また、紫外線は概念的に放射線に含まれるものであることから、後者の「紫外線硬化可能な粘着剤層」は前者の「放射線硬化型粘着剤層」に相当する。
　そうすると、両者は、
「基材面上に、放射線硬化型粘着剤層と、ダイ接着用接着剤層とがこの順に形成されてなるウェハ貼着用粘着シート。」
である点で一致し、以下の点で相違する。
〈相違点１〉本件発明は、放射線硬化型粘着剤層が粘着剤と放射線重合性オリゴマーとからなるのに対し、刊行物１記載の発明は、放射線硬化型粘着剤層が粘着剤と放射線重合性オリゴマーとからなるのか明らかでない点。
〈相違点２〉本件発明は、放射線硬化型粘着剤層中において、放射線重合性オリゴマーが、１〜３０μｍの分散粒径を有し、かつ均一に分散されてなり、放射線硬化型粘着剤層の放射線硬化後における弾性率が１×１０６(dynes/cm２)〜１×１０８(dynes/cm２)であるのに対し、刊行物１記載の発明は、そのようになっているか明らかでない点。
　
４．当審の判断
　上記相違点について検討する。
（１）相違点１について
　刊行物２には、ウエハ貼着用粘着シートにおいて、基材面上に、粘着剤とウレタンアクリレート系オリゴマーとからなる放射線硬化型粘着剤層を形成する技術が記載されている。また、本件特許明細書等の段落【００３３】の記載を参酌するに、当該刊行物２に記載された「ウレタンアクリレート系オリゴマー」が本件発明の「放射線重合性オリゴマー」に相当するものであることは明らかである。
　そうすると、刊行物１記載の発明に、ウエハ貼着用粘着シートとして同一の技術分野に属する刊行物２記載の事項を適用し、相違点１に係る本件発明の構成とすることは当業者が容易になし得るものである。
（２）相違点２について
　４．（１）の検討のとおり、刊行物２には、本件発明と同様の構成を有する放射線硬化型粘着剤層が基材面上に形成された、ウエハ貼着用粘着シートが記載されているところ、特許異議申立人日東電工株式会社は、刊行物２に記載された実施例１（２．（２）（ク）参照）について追試を行い、放射線硬化型粘着剤層中におけるウレタンアクリレート系オリゴマーの分散粒径、および放射線硬化型粘着剤層の放射線硬化後における弾性率を測定し、その結果を甲第６号証に実験成績証明書として提出しているので、その内容について検討する。
　刊行物２の実施例１に記載されたウエハ貼着用粘着シートは、アクリル系粘着剤としてn-ブチルアクリレート（アクリル酸エステル）と酢酸ビニルとの共重合体を用いるものであるが、その共重合比について特には記載されていない。一方、刊行物２には、モノマーのアクリル酸エステルと共重合させるその他のモノマーについて、「オリゴマーとの相溶性を高めるため、メタクリル酸、アクリル酸、アクリロニトリル、酢酸ビニルなどのモノマーを共重合させてもよい。」（２．（２）（エ）参照）と記載されているところ、刊行物２に放射性硬化型粘着剤層に関する一般的技術として例示され、上記異議申立人も提出している甲第４号証（特開昭６０−１９６９５６号公報、第４欄右上欄第３−６行参照）および甲第５号証（特開昭６０−２２３１３９号公報、第４頁左上欄第１−４行参照）には、放射線硬化型粘着剤層を構成するアクリル系粘着剤について、アクリル酸ブチル（アクリル酸エステル）と、アクリロニトリルおよびアクリル酸とを、１００：１０の割合で共重合させる旨記載されている。
　そうすると、甲第４および５号証に記載された、アクリル酸エステルとその他のモノマーとの共重合比を参酌し、刊行物２の実施例１について、n-ブチルアクリレート（アクリル酸エステル）と酢酸ビニルとの共重合体の重合比を、それぞれ「１００：１０」，「１００：２０」とした追試のサンプル１，２の設定は、妥当なものと云うべきである。
　また、刊行物２の実施例１には、分子量約７０００のウレタンアクリレート系オリゴマーを用いる旨記載されているのに対し、追試のサンプル１，２では分子量約６７００のウレタンアクリレート系オリゴマーを用いている。しかしながら、刊行物２には、ウレタンアクリレート系オリゴマーの分子量について、「ウレタンアクリレート系オリゴマーとして、特に分子量が３０００〜１００００好ましくは４０００〜８０００であるものを用いる」（２．（２）（オ）参照）と記載されており、当該記載からみて、分子量約６７００は適切な分子量の範囲内のものであり、かつ約７０００とほぼ同程度のものである。
　そうすると、追試のサンプル１，２に分子量約６７００のウレタンアクリレート系オリゴマーを用いたことも特に問題とすべきものではない。
　そして、実験成績証明書の追試およびその結果について、特許権者は何ら反論するものではないことを勘案すれば、当該実験成績証明書の内容は信用に足るものと解することが相当である。
　そこで、その結果について検討するに、サンプル１，２とも相違点２に係る本件発明の構成をことごとく満たすものである。
　そうすると、相違点２に係る本件発明の構成は、本件特許出願時に公然と存在していた、刊行物２に記載された放射線硬化型粘着剤層における放射線硬化型オリゴマーの分散粒径、分散状態、放射線硬化後の弾性率を単に確認したにすぎないものと云うべきであって、４．（１）で検討したとおり、刊行物１記載の発明に刊行物２記載の事項を適用した際、自ずと具備するものである。
（３）作用効果について
　本件発明の作用効果は、刊行物１記載の発明および刊行物２記載の事項から、当業者が予測できる程度のものあって、格別なものではない。
　
　したがって、本件発明は、刊行物１記載の発明および刊行物２記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、本件の請求項１に係る特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年３月７日（２００５．３．７）