【事件の表示】
　特許第２９８１９９９号「半導体製造装置におけるモータ駆動装置及びＸＹテーブル」の請求項１〜８に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９８１９９９号の請求項１〜８に係る特許を取り消す。
【理　由】
［１］手続の経緯
　本件特許第２９８１９９９号（平成１０年６月１６日出願、平成１１年９月２４日設定登録）は、特許異議申立人　桑田　勉より、請求項１〜８に係る特許について特許異議の申立てがなされ、取消理由が通知され、平成１３年８月２１日付で訂正請求がなされ、当審が通知した平成１３年１２月２１日付訂正拒絶理由に対して、平成１４年２月２１日付手続補正書が提出された。
　　
［２］訂正の適否について
［２−１］平成１４年２月２１日付手続補正について
［２−１−１］補正の内容
　平成１４年２月２１日付手続補正書 による補正（以下、「本件補正」という。）は、平成１３年８月２１日付訂正請求書に添付した全文訂正明細書（以下、「訂正明細書」という。）について、以下の補正事項（１）のとおり補正する（平成１４年２月２１日付手続補正書第１頁の「６　補正の内容（１）」参照）ことを、その補正内容の一部として含む補正である。
補正事項（１）
  訂正明細書の請求項１における「前記第２駆動体を前記第２モータの直線可動部の軸心より下方位置に配設して該第２モータの直線可動部に連結し、前記連結手段を前記第２モータの直線可動部の軸心より上方位置に配設して前記第２駆動体に連結し、前記第１駆動体」を「前記第２駆動体を前記第２モータの直線可動部の軸心より下方位置に配設して該第２モータの直線可動部に連結し、前記第１駆動体」と補正する。
　　
［２−１−２］補正の適否について
　上記補正事項（１）は、訂正明細書の請求項１における「前記連結手段を前記第２モータの直線可動部の軸心より上方位置に配設して前記第２駆動体に連結し、」の記載を削除して、第２モータの第２駆動体と上部テーブルとを連結する連結手段を、第２モータの直線可動部の軸心より上方位置に配設することにしていたものを、同軸心より上方位置には配設することなく、同軸心の位置、又は同軸心より下方位置に配設することができるように変更するものであるから、該補正事項（１）は、平成１３年８月２１日付訂正請求における訂正事項を新たな訂正事項に変更する補正であると認められる。
　したがって、他の補正事項について検討するまでもなく、本件補正は、新たな訂正事項を含むものであって、訂正請求書の要旨を変更するものと認められる。
　よって、本件補正は、特許法１２０条の４第３項において準用する同法第１３１条第２項の規定に違反するものであるから、採用しない。
　　
［２−２］平成１３年８月２１日付訂正請求について
［２−２−１］訂正の内容
　平成１３年８月２１日付訂正請求書による訂正は、願書に添付した明細書を訂正明細書のとおり訂正することを求めるものであり、そして、以下の訂正事項（１）、（２）のとおり訂正する（平成１３年８月２１日付訂正請求書第１〜３頁の「（３）訂正の要旨（３−１）訂正事項ａ、（３−２）訂正事項ｂ」参照）ことを、その訂正内容の一部として含むものである。
訂正事項（１）
　特許請求の範囲を次のとおり訂正する。
「【請求項１】モータにより駆動体を駆動するモータ駆動装置を平面二次元方向に２組配設し、一方の第１モータ駆動装置の第１駆動体上には、他方の第２モータ駆動装置による第２駆動体の駆動軸方向に移動可能に上部テーブルが設けられ、前記第２モータ駆動装置の第２駆動体の移動を前記第１モータ駆動装置の上部テーブルに伝達すると共に、前記上部テーブルが前記第１駆動体との移動方向に移動可能に前記上部テーブルと前記第２駆動体とを連結手段で連結したワイヤボンディング装置におけるＸＹテーブルにおいて、前記第１モータ駆動装置の第１モータ本体の重量を第１モータの直線可動部と前記第１駆動体との重量より大きくし、更に前記第１モータ駆動装置全体が前記第１モータの直線可動部の軸心を中心として左右対称に構成し、前記第２モータ駆動装置の第２モータ本体の重量を第２モータの直線可動部と前記第２駆動体との重量より大きくし、更に前記第２モータ駆動装置全体が前記第２モータの直線可動部の軸心を中心として左右対称に構成し、また前記第２駆動体を前記第２モータの直線可動部の軸心より下方位置に配設して該第２モータの直線可動部に連結し、前記連結手段を前記第２モータの直線可動部の軸心より上方位置に配設して前記第２駆動体に連結し、前記第１駆動体を駆動した時に、前記第１モータ駆動装置のモータ本体が前記第１駆動体と反対方向に動けるようにし、また前記第２駆動体を駆動した時に、前記第２モータ駆動装置のモータ本体が前記第２駆動体と反対方向に動けるようにし、前記第１駆動体及び第２駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成し、前記第１及び第２モータにより前記第１駆動体及び第２駆動体を所定位置に移動させて位置決めさせるようにしたことを特徴とするワイヤボンディング装置におけるＸＹテーブル。」
訂正事項（２）
　段落【００１３】を次のとおり訂正する。
「【００１３】【課題を解決するための手段】上記課題を解決するための本発明の手段は、モータにより駆動体を駆動するモータ駆動装置を平面二次元方向に２組配設し、一方の第１モータ駆動装置の第１駆動体上には、他方の第２モータ駆動装置による第２駆動体の駆動軸方向に移動可能に上部テーブルが設けられ、前記第２モータ駆動装置の第２駆動体の移動を前記第１モータ駆動装置の上部テーブルに伝達すると共に、前記上部テーブルが前記第１駆動体との移動方向に移動可能に前記上部テーブルと前記第２駆動体とを連結手段で連結したワイヤボンディング装置におけるＸＹテーブルにおいて、前記第１モータ駆動装置の第１モータ本体の重量を第１モータの直線可動部と前記第１駆動体との重量より大きくし、更に前記第１モータ駆動装置全体が前記第１モータの直線可動部の軸心を中心として左右対称に構成し、前記第２モータ駆動装置の第２モータ本体の重量を第２モータの直線可動部と前記第２駆動体との重量より大きくし、更に前記第２モータ駆動装置全体が前記第２モータの直線可動部の軸心を中心として左右対称に構成し、また前記第２駆動体を前記第２モータの直線可動部の軸心より下方位置に配設して該第２モータの直線可動部に連結し、前記連結手段を前記第２モータの直線可動部の軸心より上方位置に配設して前記第２駆動体に連結し、前記第１駆動体を駆動した時に、前記第１モータ駆動装置のモータ本体が前記第１駆動体と反対方向に動けるようにし、また前記第２駆動体を駆動した時に、前記第２モータ駆動装置のモータ本体が前記第２駆動体と反対方向に動けるようにし、前記第１駆動体及び第２駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成し、前記第１及び第２モータにより前記第１駆動体及び第２駆動体を所定位置に移動させて位置決めさせるようにしたことを特徴とする。」
　　
［２−２−２］当審の判断
　上記訂正事項（１）及び（２）によると、上部テーブルが第１駆動体との移動方向に移動可能に、該上部テーブルと第２駆動体とを連結する連結手段を、第２モータの直線可動部の軸心より上方位置に配設することとなる。
　しかしながら、上記連結手段に関して、願書に添付した明細書中には、「前記第２モータ駆動装置の第２駆動体の移動を前記第１モータ駆動装置の上部テーブルに伝達すると共に、前記上部テーブルが前記第１駆動体との移動方向に移動可能に前記上部テーブルと前記第２駆動体とを連結手段で連結した半導体製造装置‥‥‥」（【請求項５】、【請求項６】、段落【００１２】〜【００１３】）、
「上部テーブル４１上には、駆動体１０Ｘの駆動軸方向（Ｘ軸方向）に延在するガイド部材４２が固定されている。ガイド部材４２の直上には、他方のＹ軸に配設されたリニアモータ駆動装置１Ｙの駆動体１０Ｙの端部が位置するように配設されている。そして、駆動体１０Ｙの移動を上部テーブル４１に伝達すると共に、上部テーブル４１が駆動体１０Ｘとの移動方向に移動可能に、駆動体１０Ｙに固定された連結部材４３がガイド部材４２に嵌挿されている。なお、駆動体１０Ｘと上部テーブル４１との構造、上部テーブル４１と駆動体１０Ｙとの連結手段（ガイド部材４２、連結部材４３）は、例えば特公昭５９−５２５４０号公報に示すように公知である。」（段落【００３１】）と記載されているのみであり、上記連結手段を第２モータの直線可動部の軸心より上方位置に配設する旨の記載は同明細書にはない。また、同じく願書に添付した、半導体製造装置のＸＹテーブルを示す図面（【図３】）をみても、上記段落【００３１】の「上部テーブル４１と駆動体１０Ｙとの連結手段（ガイド部材４２、連結部材４３）は」の記載により「連結手段」に該当するとみられる「ガイド部材４２」及び「連結部材４３」は、【図３】に記載された図のどの部分の範囲を指しているのかも分からず、それらの配設位置が第２モータの直線可動部の軸心より上方であるか否かははっきりしていないので、上記連結手段を第２モータの直線可動部の軸心より上方位置に配設することが、同図面に記載されているとはいえない。 更にまた、当該訂正事項が本件特許に係る出願時の技術常識であるとも認められない。
　したがって、上記訂正事項（１）及び（２）についての訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正ではない。
　　
［２−２−３］むすび
　以上のとおりであるから、他の訂正事項について検討するまでもなく、本件訂正は、特許法第１２０条の４第３項において準用する同第１２６条第２項の規定に適合しないので、当該訂正は認められない。
　　
［３］特許異議の申立てについての判断
［３−１］本件発明
　上記［２］に記載したとおり、特許権者が行った平成１４年２月２１日付手続補正及び平成１３年８月２１日付訂正請求はいずれも認められないので、本件特許の請求項１〜８に係る発明（以下、「本件発明１〜８」という。）は、設定登録時の明細書の特許請求の範囲の請求項１〜８に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。
「【請求項１】モータにより駆動体を駆動する半導体製造装置におけるモータ駆動装置において、前記モータのモータ本体及び前記駆動体を同一駆動軸方向に移動可能に架台上に設け、前記モータの直線可動部と前記駆動体を連結し、該駆動体を駆動した時に前記モータ本体が前記駆動体と反対方向に動けるようにし、前記駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成したことを特徴とする半導体製造装置におけるモータ駆動装置。
【請求項２】モータにより駆動体を駆動する半導体製造装置におけるモータ駆動装置において、前記モータのモータ本体及び前記駆動体を同一駆動軸方向に移動可能に架台上に設け、前記モータの直線可動部と前記駆動体を連結し、該駆動体を駆動した時に前記モータ本体が前記駆動体と反対方向に動けるようにし、前記駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成し、前記モータにより前記駆動体を所定位置に移動させて位置決めさせるようにしたことを特徴とする半導体製造装置におけるモータ駆動装置。
【請求項３】前記駆動体を駆動した時に前記モータ本体が反対方向に移動するのを元の位置に戻すダンパーを前記モータ本体に設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の半導体製造装置におけるモータ駆動装置。
【請求項４】前記架台又は前記駆動体には、前記架台に対する前記駆動体の位置及び速度を検知するための駆動体検知手段を付加し、前記架台又は前記モータ本体には、前記架台に対する前記モータ本体の速度を検知するためのモータ本体速度検知手段を付加したことを特徴とする請求項１、２又は３記載の半導体製造装置におけるモータ駆動装置。
【請求項５】モータにより駆動体を駆動するモータ駆動装置を平面二次元方向に２組配設し、一方の第１モータ駆動装置の第１駆動体上には、他方の第２モータ駆動装置による第２駆動体の駆動軸方向に移動可能に上部テーブルが設けられ、前記第２モータ駆動装置の第２駆動体の移動を前記第１モータ駆動装置の上部テーブルに伝達すると共に、前記上部テーブルが前記第１駆動体との移動方向に移動可能に前記上部テーブルと前記第２駆動体とを連結手段で連結した半導体製造装置におけるＸＹテーブルにおいて、前記第１駆動体を駆動した時に、前記第１モータ駆動装置のモータ本体が前記第１駆動体と反対方向に動けるようにし、また前記第２駆動体を駆動した時に、前記第２モータ駆動装置のモータ本体が前記第２駆動体と反対方向に動けるようにし、前記第１駆動体及び第２駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成したことを特徴とする半導体製造装置におけるＸＹテーブル。
【請求項６】モータにより駆動体を駆動するモータ駆動装置を平面二次元方向に２組配設し、一方の第１モータ駆動装置の第１駆動体上には、他方の第２モータ駆動装置による第２駆動体の駆動軸方向に移動可能に上部テーブルが設けられ、前記第２モータ駆動装置の第２駆動体の移動を前記第１モータ駆動装置の上部テーブルに伝達すると共に、前記上部テーブルが前記第１駆動体との移動方向に移動可能に前記上部テーブルと前記第２駆動体とを連結手段で連結した半導体製造装置におけるＸＹテーブルにおいて、前記第１駆動体を駆動した時に、前記第１モータ駆動装置のモータ本体が前記第１駆動体と反対方向に動けるようにし、また前記第２駆動体を駆動した時に、前記第２モータ駆動装置のモータ本体が前記第２駆動体と反対方向に動けるようにし、前記第１駆動体及び第２駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成し、前記第１及び第２モータにより前記第１駆動体及び第２駆動体を所定位置に移動させて位置決めさせるようにしたことを特徴とする半導体製造装置におけるＸＹテーブル。
【請求項７】前記第１駆動体及び第２駆動体を駆動した時に対応するモータ本体が反対方向に移動するのを元の位置に戻すダンパーを前記第１及び第２モータ本体に設けたことを特徴とする請求項５又は６記載の半導体製造装置におけるＸＹテーブル。
【請求項８】前記架台又は前記第１駆動体と前記架台又は第２駆動体には、前記架台に対する前記第１駆動体及び第２駆動体の位置及び速度を検知するための駆動体検知手段をそれぞれ付加し、前記架台又は前記第１及び第２モータ本体には、前記架台に対する前記モータ本体の速度を検知するためのモータ本体速度検知手段をそれぞれ付加したことを特徴とする請求項５又は６記載の半導体製造装置におけるＸＹテーブル。」
　　
［３−２］引用刊行物に記載された発明
　当審で通知した取消理由で引用した、本件特許に係る出願の出願前に頒布された刊行物である次の引用刊行物１〜４には、それぞれ以下の事項が記載されている。
引用刊行物１：特開平３−２３０７４６号公報（異議申立人桑田努が提示した甲第３号証）
引用刊行物２：特開平２−２７６４５４号公報（同、甲第２号証）
引用刊行物３：特開平９−２１９３５３号公報（同、甲第４号証）
引用刊行物４：特公昭５９−５２５４０号公報
　　
［３−２−１］引用刊行物１：特開平３−２３０７４６号公報
　引用刊行物１には、「本発明は精密な位置決め制御することを要するウエハー露光用Ｘ−Ｙステージ等としての利用が可能な直線駆動装置に関する。」（第１頁左下欄１４〜１６行）、
「ここに掲げる直線駆動装置はウエハー露光用Ｘ−Ｙステージ用のリニアモータであって、第１図及び第２図では、被移動対象としてのウエハー（……）をＸ方向に移動させるに要する構成を模式的に示した図であり、Ｙ方向に移動させるに要する構成は図示省略されている。図中１は直方形をなした除振台である。除振台１の裏面側縁部には、空気バネの振動吸収部材４が複数個（図中では４個）設けられており、振動吸収部材４により床面５からの振動を吸収し除振台１には伝達されないようにしている。この除振台１上にはリニアモータの主要構成である可動子３と磁場形成部材２の双方が設けられている。可動子３は図示されていないが継鉄に多相コイルを取り付けた構造となっており、ガイド軸によりＸ方向に直線移動自在にされている。これに対して、磁場形成部材２は図示されていないが固定子継鉄に永久磁石をＮ極、Ｓ極と交互に着磁せしめた構造となっており、別のガイド機構により、同じくＸ方向に直線移動自在にされている。即ち、直線駆動装置は、磁場形成部材２からの磁束が鎖交した状態で可動子３に所定の励磁電流が供給されると、可動子３に推進力Ｆが作用し可動子３に連結された被移動対象がＸ方向に移動するようになっている。移動対象をＹ方向（図面手前方向）に移動させる構成についても上記と同様であり、可動子３に供給する励磁電流が調節されることにより、被移動対象がＸ−Ｙ平面内で位置決め制御されるような基本構成となっている。……………………
第１図は可動子３の初期状態を示している。ここで、被移動対象を含めた可動子３の質量をＭ３、磁場形成部材２の質量をＭ２、両者を含めたものについての重心位置をＧとする。また、可動子３の重心位置と重心位置Ｇとの距離をＬ３、磁場形成部材２の重心位置と重心位置Ｇとの距離をＬ２とすると、次の関係式が成立する。Ｍ２・Ｌ２＝Ｍ３・Ｌ３………この状態で、可動子３の多相コイルに所定の励磁電流が供給されると、可動子３に推進力Ｆが作用し、可動子３とともに被移動対象が推進力方向（Ｘ方向）に直線移動する。第２図は可動子３の作動後の状態を示している。上記した可動子３の移動とともに、推進力Ｆの反作用として、磁場形成部材２には反力Ｆｒが作用し、磁場形成部材２が反推進力方向（Ｘ方向）に直線移動する。それ故、除振台１には反力Ｆｒが伝達されず、除振台１に振動が発生するということはない。」（第２頁左下欄５行〜第３頁左上欄１８行）と記載され、更に、第１図、第２図には、上記内容のものが図示されている。
　　
［３−２−２］引用刊行物２：特開平２−２７６４５４号公報
　引用刊行物２には、「本発明のリニアモータ装置は、図示の如く、ベースフレーム４上を直線移動自在に設けられた可動体１ａ，１ｂに固定された可動子２と、該可動子２に対向して配された磁場形成部材３とを備えたリニアモータ装置において、前記磁場形成部材３に、前記可動子２の駆動によって生ずる反力によりベースフレーム４上を可動子２の移動方向と反対方向に移動可能とする移動手段５が設けられたものである。」（第２頁右下欄１０〜１８行）、
「駆動に際し、可動子２ａ，２ｂに推力Ｆａ（ｔ），Ｆｂ（ｔ）を発生させると、可動体１ａ，１ｂは第１図に示すスキャン方向Ａに移動し、この際に磁場形成部材３には反力Ｆｒ（ｔ）（Ｆｒ（ｔ）＝−Ｆａ（ｔ）−Ｆｂ（ｔ））が発生するが、磁場形成部材３はベースフレーム４に対して移動可能に設けられているので、磁場形成部材３は可動体１ａ，１ｂと逆の方向Ｂに移動し、磁場形成部材３に発生する反力Ｆｒ（ｔ）はベースフレーム４に伝達されない。」（第３頁左下欄１９行〜右下欄７行）、
「第５図は本発明の第二実施例を示すリニアモータ装置の要部拡大図である。本実施例のリニアモータ装置は、図示の如く、軸受の摺動負荷等により磁場形成部材３の復帰位置の変動に対策したものであり、移動手段５により移動された磁場形成部材３を、元の位置に復帰させるための復帰手段１７が設けられている。そして、前記復帰手段１７は、コイルばね１８が軸１０を介してその一端をホルダー９ｂに固定し、他端を固定ヨーク１３ａの連結板１４ｂに固定したものであり、磁場形成部材３が正規の待機位置にある場合、コイルばね１８は中立点であるようにばね定数が設定されている。なお、他の構成は上記第一実施例と同様である。上記構成において、可動体１ａ，１ｂのスキャン動作に応じて、磁場形成部材３は移動手段５により逆方向に移動する。そして、可動体１ａ，１ｂのリターン動作で磁場形成部材３は再び逆方向に移動して、元の待機位置に復帰する。しかし、スキャン動作とリターン動作を繰り返すことにより、磁場形成部材用軸受１５ａ，１５ｂと移動軸１０との摩擦、移動用ローラ１６ａ，１６ｂとベースフレーム４との摩擦等のため、磁場形成部材３の待機位置の変動を生ずる。このとき、コイルばね１８は、圧縮もしくは伸縮した状態となり、ばね力により磁場形成部材３を正規の待機位置に復元させる。………………したがって、復帰手段１７を設けることにより、磁場形成部材３は常に正規の待機位置に復元するため、磁場形成部材３の永久磁石１２ａ，１２ｂと可動子２ａ，２ｂのコイル６ａ，６ｂ，６ｃとの対向位置は常に安定し、リニアモータ装置の動作を安定にすることができる。」（第４頁左上欄１４行〜左下欄９行）と記載され、更に、第１〜３図、第５図には、上記内容のものが図示されている。
　　
［３−２−３］引用刊行物３：特開平９−２１９３５３号公報
  引用刊行物３には、「本発明は、各種測定器及び半導体リソグラフィ工程で用いる投影露光装置等に好適な、高精度で物体の移動及び位置決めをするステージ装置、ならびにこれを用いた露光装置やデバイス生産方法に関するものである。」（段落【０００１】）、
「９ａ，９ｂはレーザ測長器用の反射ミラーであり、移動ステージ５に固設している。８ａ，８ｂは移動ステージ５の位置を検出するレーザ測長器の干渉計であり、取り付け台１０，取り付け基盤３１を介して定盤１と実質一体となるように固定している。移動ステージ５の測定手段である干渉計８ａ，８ｂを定盤１を基準に設けることで、定盤１が変位しても移動ステージ５の動きを正確に測定することができるようにしている。」（段落【００１２】）、
「７は移動ステージ５を非接触でＸ方向に駆動するためのリニアモータであり、可動子７ａを移動ステージ５に結合し、固定子７ｂを４枚の板ばね１４を介して可動ガイド３に結合している。」（段落【００１４】）、
「図４は固定子７ｂを可動ガイドに取り付ける機構の拡大図である。板ばね１４を、一端をリニアモータ固定子７ｂに他端を可動ガイド３に設けた固定部材１５に固定しており、同様の板バネ機構をリニアモータ７ｂの他端側にも設け、計４枚の板バネを用いている。これによって可動ガイド３に対して固定子７ｂをＸ方向にのみ微小に移動可能とする平行移動機構を構成する。この構成によって、移動ステージ５をリニアモータ７ｂでＸ方向に駆動する際の反力を板バネ機構で逃がして、可動ガイド３への力の伝達を軽減している。」（段落【００１５】）、
「図７は本実施例の装置の駆動制御系を表すブロック図である。図中、１００は移動ステージ５の駆動の補償を行うコントローラ、１０１はリニアモータコイルに電流を供給するリニアモータドライバである。リニアモータドライバ１０１に各々のコイルを接続して、供給する電流量に応じて移動ステージ５をＸ及びＹ方向に駆動する。電流量は前記レーザ測長器の出力信号をコントローラ１００にフィードバックすることにより移動ステージ５の目標位置偏差に応じた値となる。」（段落【００１８】）、
「露光装置を利用したデバイスの生産方法の実施例を説明する。
　図８は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造のフローを示す。……………………ステップ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、……………………こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷（ステップ７）される。」（段落【００２５】〜【００２６】）と記載され、そして、図１〜４、７、８には、上記内容のものが図示されており、また、同図７には、駆動制御系に移動体位置、移動体速度、及びリニアモータ固定子速度の各信号を送ってリニアモータの駆動制御をすることも示されている。
　　
［３−２−４］引用刊行物４：特公昭５９−５２５４０号公報
　引用刊行物４には、「支持台に固定されたモータと、このモータによって駆動されて回転する送りねじと、この送りねじに螺合するナットと、このナットにより直線的に移動させられる移動台とより構成された送り軸系を２組有し、これら２組の送り軸系を前記支持台に平面的に、かつ前記２本の送りねじが直交するように配設してなるボンディング装置における移動台送り装置において、前記２組の送り軸系の一方の第２の移動板にこの第２の移動板と直交する方向に移動可能に移動台を載置し、この移動台と他方の第１の移動板とを前記移動台が前記一方の第２の移動板の移動方向に移動可能に連結してなるボンディング装置における移動台送り装置」（特許請求の範囲）、
「本発明はボンディング装置においてボンディングアームを載架してＸ−Ｙ平面上を移動する移動台の送り装置に関するものである。周知の様に、ワイヤボンディング装置は半導体部品のボンディング点にボンディング工具を位置決めするための移動台を有する。この移動台は互いに直交する送り方向を持つ２本の送り軸のそれぞれ独立した送り動作する２個の移動板の移動を複合して一つの作業平面内における任意の座標位置へボンディング工具を位置決めすることを可能ならしめる…………………それぞれの送りねじに過大な負荷を与えず、各送り軸系が最適条件下で動作することが可能なボンディング装置の移動台送り装置を提供することを目的とする。」（第１頁第２欄６〜３３行）と記載され、更に、第１〜３図には上記装置が図示されている。
　　
［３−３］対比・判断
［３−３−１］本件発明１について
　 ［３−２−１］に摘記した事項を総合すると、引用刊行物１には、ウエハー露光用Ｘ−Ｙステージ用のリニアモータであって、該リニアモータの主要構成である磁場形成部材及び可動子をＸ又はＹ方向の同一駆動軸方向に直線移動可能に除振台上に設け、該可動子を駆動した時には該磁場形成部材に反力Ｆｒが作用するが、該磁場形成部材は反推進力方向に直線移動するため、除振台には反力Ｆｒが伝達されず、除振台に振動が発生しない直線駆動装置であって、更に第１図、第２図から明らかなように、上記可動子は、上記磁場形成部材に出入りする棒状の部分と、それに連結される台車状の部分とを具備している発明が記載されているといえる。
　本件発明１と引用刊行物１に記載された発明とを対比すると、後者における「磁場形成部材」、「可動子」、「除振台」、「可動子を駆動した時には該磁場形成部材に反力Ｆｒが作用するが、該磁場形成部材は反推進力方向に直線移動するため、除振台には反力Ｆｒが伝達されず、除振台に振動が発生しない」、「直線駆動装置」はそれぞれ、前者における「モータ本体」、「モータの直線可動部、及び駆動体」、「架台」、「駆動体を駆動した時に前記モータ本体が前記駆動体と反対方向に動けるようにし、前記駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成した」、「モータ駆動装置」に相当し、更に、半導体製造工程においてウエハ上に回路を形成するためにウエハー露光を行い、該ウエハー露光工程においてＸ−Ｙステージの駆動乃至位置合わせを行うことは本件出願前周知である（例えば、引用刊行物３、実開平４−１２７６３８号公報参照）から、後者における「ウエハー露光用Ｘ−Ｙステージ用のモータ駆動装置」は、半導体製造工程においてウエハ上に回路を形成するためのウエハー露光を行い、該ウエハー露光工程においてＸ−Ｙステージの駆動乃至位置合わせを行う「半導体製造装置におけるモータ駆動装置」といえるものを含み、前者における「半導体製造装置におけるモータ駆動装置」と重複することが明らかであるから、両者は、「モータにより駆動体を駆動する半導体製造装置におけるモータ駆動装置において、前記モータのモータ本体及び前記駆動体を同一駆動軸方向に移動可能に架台上に設け、前記モータの直線可動部と前記駆動体を連結し、該駆動体を駆動した時に前記モータ本体が前記駆動体と反対方向に動けるようにし、前記駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成した半導体製造装置におけるモータ駆動装置」の点で一致し、実質的な差異が認められない。
　したがって、本件発明１は引用刊行物１に記載された発明であると認められる。
　　
［３−３−２］本件発明２について
　本件発明２は、本件発明１を特定するために必要な事項（以下、「本件発明１の特定事項」という。）を全て具備する上に、モータにより駆動体を所定位置に移動させて位置決めさせることを付加したものであるが、本件発明１の特定事項が全て引用刊行物１に記載されていることは、上記［３−３−１］で述べたとおりである。
　また、引用刊行物１には、「本発明は精密な位置決め制御することを要するウエハー露光用Ｘ−Ｙステージ等としての利用が可能な直線駆動装置に関する。」（第１頁左下欄１４〜１６行）、「可動子３に供給する励磁電流が調節されることにより、被移動対象がＸ−Ｙ平面内で位置決め制御されるような基本構造となっている。」（第２頁右下欄１２〜１４行）により、可動子の移動を制御して被移動対象を所定位置に位置決めすることも記載されている。
　してみると、本件発明２は、引用刊行物１に記載された発明であると認められる。
　　
［３−３−３］本件発明３について
　本件発明３は、本件発明１又は２を特定するために必要な事項（以下、「本件発明１又は２の特定事項」という。）を全て具備する上に、駆動体を駆動した時にモータ本体が反対方向に移動するのを元の位置に戻すダンパーを前記モータ本体に設けることを付加したものであるが、本件発明１又は２の特定事項が全て引用刊行物１に記載されていることは、上記［３−３−１］［３−３−２］で述べたとおりである。
　そして、引用刊行物２には、可動子を駆動した時に磁場形成部材が反対方向に移動するのを元の位置に戻すコイルばねを該磁場形成部材に設けることが、また、引用刊行物３には、可動子を駆動した時に固定子が反対方向に移動するのを元の位置に戻す板ばねを該固定子に設けることがそれぞれ記載されており、一方、引用刊行物１に記載された直線駆動装置の磁場形成部材も上記磁場形成部材乃至固定子と同様に動くことは明らかであるから、かかる直線駆動装置の磁場形成部材に上記コイルばね乃至板ばねと同様のダンパーを設けることは、当業者が容易に想到できることであると認められる。
　そして、これによって奏される効果も、引用刊行物１〜３の記載から当然予測できる程度のものであって、格別なものはみられない。
　したがって、本件発明３は、引用刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　　
［３−３−４］本件発明４について
　本件発明４は、本件発明１、２又は３を特定するために必要な事項を全て具備する上に、架台又は駆動体に、該架台に対する該駆動体の位置及び速度を検知するための駆動体検知手段を付加し、架台又はモータ本体に、該架台に対する該モータ本体の速度を検知するためのモータ本体速度検知手段を付加したものであるが、本件発明１又は２の特定事項が全て引用刊行物１に記載されていることは、上記［３−３−１］［３−３−２］で述べたとおりである。
　そして、引用刊行物３の段落【００１２】には、リニアモータ駆動装置の駆動制御について、「９ａ，９ｂはレーザ測長器用の反射ミラーであり、移動ステージ５に固設している。８ａ，８ｂは移動ステージ５の位置を検出するレーザ測長器の干渉計であり、取り付け台１０，取り付け基盤３１を介して定盤１と実質一体となるように固定している。移動ステージ５の測定手段である干渉計８ａ，８ｂを定盤１を基準に設けることで、定盤１が変位しても移動ステージ５の動きを正確に測定することができるようにしている。」と記載されており、更に図７には、該リニアモータ駆動装置の駆動制御系に、移動体位置の信号ばかりか、移動体速度及びリニアモータ固定子速度の信号も同時に送り、これら全ての信号に基づいて該リニアモータの駆動を制御することが示されているから、引用刊行物３には、移動体位置の検知手段を、引用刊行物１の除振台に相当する定盤にそれが変位しても正確に測定できるように設けることが記載されているとともに、移動体速度及びリニアモータ固定子速度の検知手段を移動体位置の検知手段と同様に設けることも示唆されているといえる。一方、引用刊行物１に記載された直線駆動装置の動作が上記リニアモータ駆動装置のそれと共通しており、同様の制御を要することは当業者に明らかであるから、かかる直線駆動装置に引用刊行物３に記載乃至示唆された検知手段を同様に設けることは、当業者が容易に想到できることであると認められる。
　そして、これによって奏される効果も、引用刊行物１、３の記載から当然予測できる程度のものであって、格別なものはみられない。
　したがって、本件発明４は、引用刊行物１、３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　　 
［３−３−５］本件発明５について
　引用刊行物１には、「本発明は精密な位置決め制御することを要するウエハー露光用Ｘ−Ｙステージ等としての利用が可能な直線駆動装置に関する。」（第１頁左下欄１４〜１６行）、「ここに掲げる直線駆動装置はウエハー露光用Ｘ−Ｙステージ用のリニアモータであって」（第２頁左下欄５〜６行）、「被移動対象がＸ−Ｙ平面内で位置決め制御されるような基本構成となっている。」（第２頁右下欄１３〜１４行）により、直線駆動装置によって被移動対象をＸ−Ｙ平面内で移動、位置決め制御するＸ−Ｙステージを構成することが記載されており、また、「第１図及び第２図では、被移動対象としてのウエハー（……）をＸ方向に移動させるに要する構成を模式的に示した図であり、Ｙ方向に移動させるに要する構成は図示省略されている。……………………除振台１上にはリニアモータの主要構成である可動子３と磁場形成部材２の双方が設けられている。……………………可動子３に連結された被移動対象がＸ方向に移動するようになっている。移動対象をＹ方向（図面手前方向）に移動させる構成についても上記と同様であり、可動子３に供給する励磁電流が調節されることにより、被移動対象がＸ−Ｙ平面内で位置決め制御されるような基本構成となっている。」（第２頁左下欄６行〜右下欄１４行）、「可動子３の移動とともに、推進力Ｆの反作用として、磁場形成部材２には反力Ｆｒが作用し、磁場形成部材２が反推進力方向（Ｘ方向）に直線移動する。それ故、除振台１には反力Ｆｒが伝達されず、除振台１に振動が発生するということはない。」（第３頁左上欄１３〜１８行）により、可動子と磁場形成部材を主要構成とするリニアモータによって該可動子に連結された被移動対象を駆動する直線駆動装置をＸ方向に設け、該可動子を駆動した時には、その反対方向に磁場形成部材が動けるように構成し、且つ、Ｙ方向にも同じ構成のものを設けて同様に動作するように構成し、それにより、両可動子の駆動による反力Ｆｒが除振台には伝達されず、除振台に振動が発生しないようにすることが記載されているから、これらの記載事項を総合すると、引用刊行物１には、リニアモータにより可動子に連結された被移動対象を駆動する直線駆動装置をＸ方向及びＹ方向に２組配設したウエハー露光用Ｘ−Ｙステージにおいて、一方の直線駆動装置の可動子を駆動した時に、該直線駆動装置の磁場形成部材がその可動子と反対方向に動けるようにし、また他の直線駆動装置の可動子を駆動した時に、該直線駆動装置の磁場形成部材がその可動子と反対方向に動けるようにし、該両可動子の駆動による反力Ｆｒが除振台には伝達されず、除振台に振動が発生しないウエハー露光用Ｘ−Ｙステージの発明が記載されているといえる。
　本件発明５と上記引用刊行物１に記載された発明とを対比すると、後者における「直線駆動装置」、「磁場形成部材」、「可動子」、「除振台」、「可動子の駆動による反力Ｆｒが除振台には伝達されず、除振台に振動が発生しない」、「Ｘ−Ｙステージ」はそれぞれ、前者における「モータ駆動装置」、「モータ本体」、「駆動体」、「架台」、「駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成した」、「ＸＹテーブル」に相当し、また、上記［３−３−１］で述べたように、「ウエハー露光用Ｘ−Ｙステージ用のモータ駆動装置」は、半導体製造工程においてウエハ上に回路を形成するためのウエハー露光を行い、該ウエハー露光工程においてＸ−Ｙステージの駆動乃至位置合わせを行う「半導体製造装置におけるモータ駆動装置」といえるものを含むので、後者における「ウエハー露光用」と前者における「半導体製造装置における」とは重複していることが明らかである。
　してみると、両者は、「モータにより駆動体を駆動するモータ駆動装置を二次元方向に２組配設した半導体製造装置におけるＸＹテーブルにおいて、第１駆動体を駆動した時に、その第１モータ駆動装置のモータ本体が前記第１駆動体と反対方向に動けるようにし、また第２駆動体を駆動した時に、その第２モータ駆動装置のモータ本体が前記第２駆動体と反対方向に動けるようにし、前記第１駆動体及び第２駆動体の駆動による反力を打ち消すように構成した半導体製造装置におけるＸＹテーブル」の点で一致し、下記の点のみで相違する。
（イ）本件発明５が、平面二次元方向に２組配設した一方の第１モータ駆動装置の第１駆動体上に、他方の第２モータ駆動装置の第２駆動体の駆動軸方向に移動可能に上部テーブルを設け、該上部テーブルと該第２駆動体とを、該第２駆動体の移動に伴う駆動力が該上部テーブルに伝達されると共に、前記第１駆動体の移動方向に移動可能に連結手段で連結しているのに対し、引用刊行物１に記載された発明では、そのようなＸＹテーブルの構造については記載されていない点。
　　
　そこで、相違点（イ）について検討する。
　引用刊行物４には、モータによって駆動される２組の送り軸系を平面的に直交するように配設し、一方の送り軸系の移動板上に、該移動板の移動方向と直交する方向に移動可能に移動台を設け、該移動台と他方の送り軸系の移動板とを、該移動台が前記一方の送り軸系の移動板の移動方向に移動可能に連結した移動台送り装置が記載されており、該「２組の送り軸系を平面的に直交するように配設し」、「一方の送り軸系の移動板」、「他方の送り軸系の移動板」、「移動台」はそれぞれ、上記相違点（イ）に係るＸＹテーブルの「平面二次元方向に２組配設し」、「一方の第１モータ駆動装置の第１駆動体」、「他方の第２モータ駆動装置の第２駆動体」、「上部テーブル」に相当し、上記移動台送り装置の構造は、上記相違点（イ）に係るＸＹテーブルの構造と実質的に相違するところはなく、このように２組のモータ駆動装置を連結したＸＹテーブの構造は本件出願前周知であると認められるから（必要であれば、特開平５−１０００６２号公報、特開平９−１２３０３４号公報参照）、かかるＸＹテーブルの構造を引用刊行物１に記載されたＸＹテーブルに採用することは、当業者にとって適宜にできることであると認められる。
　そして、その効果も、引用刊行物１の記載及び上記周知技術から当然予測できる程度のものであって、格別なものはみられない。
　したがって、本件発明５は、引用刊行物１に記載された発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　　
［３−３−６］本件発明６について
  本件発明６は、本件発明５を特定するために必要な事項（以下、「本件発明５の特定事項」という。）を全て具備する上に、第１及び第２モータにより第１及び第２駆動体を所定位置に移動させて位置決めさせるようにしたものであるが、引用刊行物１には、上記相違点（イ）以外の本件発明５の特定事項が全て記載されていることは、上記［３−３−５］で述べたとおりであり、また、引用刊行物１には更に、「本発明は精密な位置決め制御することを要するウエハー露光用Ｘ−Ｙステージ等としての利用が可能な直線駆動装置に関する。」（第１頁左下欄１４〜１６行）、「可動子３に供給する励磁電流が調節されることにより、被移動対象がＸ−Ｙ平面内で位置決め制御されるような基本構造となっている。」（第２頁右下欄１２〜１４行）により、可動子の移動を制御して被移動対象を所定位置に位置決めすることも記載されている。
　そして、本件発明５の上記相違点（イ）に係るＸＹテーブルの構造は本件出願前周知であり、かかるＸＹテーブルの構造を引用刊行物１に記載されたＸＹテーブルに採用することは、当業者にとって適宜にできることであって、その効果も格別なものではないことは、これまた上記［３−３−５］で述べたとおりであるから、本件発明６は、引用刊行物１に記載された発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　　
 ［３−３−７］本件発明７について
　本件発明７は、本件発明５又は６を特定するために必要な事項（以下、「本件発明５又は６の特定事項」という。）を全て具備する上に、第１及び第２駆動体を駆動した時にモータ本体が反対方向に移動するのを元の位置に戻すダンパーを第１及び第２モータ本体に設けたものである。
　しかしながら、本件発明５又は６と引用刊行物１に記載された発明とは上記相違点（イ）のみで相違し、該相違点（イ）に係るＸＹテーブルの構造は本件出願前周知であって、かかるＸＹテーブルの構造を引用刊行物１に記載されたＸＹテーブルに採用することが当業者にとって適宜にできることは、上記［３−３−５］［３−３−６］で述べたとおりである。
　そして、引用刊行物２には、可動子を駆動した時に磁場形成部材が反対方向に移動するのを元の位置に戻すコイルばねを該磁場形成部材に設けることが、また、引用刊行物３には、可動子を駆動した時に固定子が反対方向に移動するのを元の位置に戻す板ばねを該固定子に設けることがそれぞれ記載されており、一方、引用刊行物１に記載されたＸＹテーブルが上記周知の構造をとる場合も、その２組の直線駆動装置の各磁場形成部材が上記磁場形成部材乃至固定子と同様に動くことは当業者に明らかであるから、かかる２組の直線駆動装置の各磁場形成部材に上記コイルばね乃至板ばねと同様のダンパーを設けることは、当業者が容易に想到できることであると認められる。
　そして、これによって奏される本件発明７の効果も、引用刊行物１〜３の記載及び上記周知技術から当然予測できる程度のものであって、格別なものはみられない。
　したがって、本件発明７は、引用刊行物１〜３に記載された発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
［３−３−８］本件発明８について
　本件発明８は、本件発明５又は６の特定事項を全て具備する上に、、架台又は第１駆動体と架台又は第２駆動体には、該架台に対する該第１駆動体及び第２駆動体の位置及び速度を検知するための駆動体検知手段をそれぞれ付加し、架台又は第１及び第２モータ本体には、該架台に対する該モータ本体の速度を検知するためのモータ本体速度検知手段をそれぞれ付加したものである。
　しかしながら、本件発明５又は６と引用刊行物１に記載された発明とは上記相違点（イ）のみで相違し、該相違点（イ）に係るＸＹテーブルの構造は本件出願前周知であって、かかるＸＹテーブルの構造を引用刊行物１に記載されたＸＹテーブルに採用することが当業者にとって適宜にできることは、上記［３−３−５］［３−３−６］で述べたとおりである。
　そして、引用刊行物３の段落【００１２】には、リニアモータ駆動装置の駆動制御について、「９ａ，９ｂはレーザ測長器用の反射ミラーであり、移動ステージ５に固設している。８ａ，８ｂは移動ステージ５の位置を検出するレーザ測長器の干渉計であり、取り付け台１０，取り付け基盤３１を介して定盤１と実質一体となるように固定している。移動ステージ５の測定手段である干渉計８ａ，８ｂを定盤１を基準に設けることで、定盤１が変位しても移動ステージ５の動きを正確に測定することができるようにしている。」と記載されており、更に図７には、該リニアモータの駆動制御系に、移動体位置の信号ばかりか、移動体速度及びリニアモータ固定子速度の信号も同時に送り、これら全ての信号に基づいて該リニアモータの駆動を制御することが示されているから、引用刊行物３には、移動体位置の検知手段を、引用刊行物１の除振台に相当する定盤にそれが変位しても正確に測定できるように設けることが記載されているとともに、移動体速度及びリニアモータ固定子速度の検知手段を移動体位置の検知手段と同様に設けることも示唆されているといえる。一方、引用刊行物１に記載されたＸＹテーブルが上記周知の構造をとる場合も、その２組の直線駆動装置の動作が上記リニアモータ駆動装置のそれと共通しており、同様の制御を要することは当業者に明らかであるから、かかる２組の各直線駆動装置に引用刊行物３に記載乃至示唆された検知手段を同様に設けることは、当業者が容易に想到できることであると認められる。
　そして、これによって奏される本件発明８の効果も、引用刊行物１、３の記載及び上記周知技術から当然予測できる程度のものであって、格別なものはみられない。
　したがって、本件発明８は、引用刊行物１、３に記載された発明及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　　
［４］むすび
　以上のとおり、本件発明１、２についての特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してされたものであり、また、本件発明３〜８についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件発明１〜８についての特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年３月２７日（２００３．３．２７）