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　特願２００８−　７１４７２「描画システム及び描画装置のパラメータ監視方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年１０月　８日出願公開、特開２００９−２３１３３３、請求項の数（５）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成２０年３月１９日を出願日とする出願であって、平成２４年７月１７日付けで手続補正がなされたが、平成２５年２月６日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年５月８日に拒絶査定不服審判が請求されたものである。
　
　
２．本願発明
　本願の請求項に係る発明は、平成２４年７月１７日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された事項により特定されるものであると認められるところ、請求項１に係る発明は次のものである。
「　通信規格の異なる複数の制御ユニットと、
　前記複数の制御ユニットにより制御され、荷電粒子ビームを用いて試料にパターンを描画する描画部と、
　外部の従計算機からパラメータ情報を受信して、記憶する記憶部と、
　受信されたパラメータ情報を前記複数の制御ユニットの少なくとも１つに通信規格に合わせて出力する第１のインターフェース回路群と、
　主計算機と、
　前記主計算機からの要求を受信して、前記記憶部を介さずに前記複数の制御ユニットに設定されているパラメータ情報を前記主計算機が用いる通信規格に変換して、前記主計算機に前記複数の制御ユニットに設定されているパラメータ情報を送信する第２のインターフェース回路群と、
　を備えたことを特徴とする描画システム。」（以下「本願発明」という。）
　
　
３．刊行物の記載事項 
　
（１）原査定の拒絶理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００１−１６８０１８号公報（以下「引用例１」という。）には、下記の事項が記載されている。
　
ア「【００５１】図７は、図１に示す電子ビーム露光装置１００の制御系の構成を示す図である。ＢＡ制御回路１１１は、ブランカアレイＢＡの各ブランカのオン・オフを個別に制御する制御回路であり、その詳細な構成と機能については後に詳しく説明する。ＬＡＵ制御回路１１２は、レンズアレイユニットＬＡＵを構成する電子レンズＥＬの焦点距離を制御する制御回路、Ｄ＿ＳＴＩＧ制御回路１１３は、ダイナミックスティグコイル８を制御して縮小電子光学系４の非点収差を補正するための制御回路、 Ｄ＿ＦＯＣＵＳ制御回路１１４は、ダイナミックフォーカスコイル７を制御して縮小電子光学系４のフォーカスを調整するための制御回路、偏向制御回路１１５は、偏向器６を制御する制御回路、光学特性制御回路１１６は、縮小電子光学系４の光学特性（倍率、歪曲）を調整する制御回路である。反射電子検出回路１１７は、反射電子検出器１２からの信号より反射電子量を演算する回路である。
【００５２】ステージ駆動制御回路１１８は、θ−Ｚステージ９を駆動制御すると共に、ＸＹステージ１１の位置を検出するレーザ干渉計ＬＩＭと共同してＸＹステージ１１を駆動制御する制御回路である。
【００５３】副制御部１２０は、メモリ１２１に格納された露光制御データをインターフェース１２２を介して読み出して、これに基づいて制御回路（制御要素）１１１〜１１６及び１１８を制御する共に、反射電子検出回路１１７を制御する。主制御部１２３は、この電子ビーム露光装置１００の全体を統括的に制御する。」
　
イ 「【００６３】図９は、露光装置を含むシステムの構成を示す図である。このシステムは、図１に示す電子ビーム露光装置１００と、情報処理装置２００とを通信ケーブル２１０で接続してなる。情報処理装置２００は、例えば、露光パターンデータを通信回線２２０を介して他の情報処理装置から取得し、この露光パターンデータに基づいて、電子ビーム露光装置１００に適合した露光制御データを生成し、通信ケーブル２１０を介して電子ビーム露光装置１００に提供する。
【００６４】より具体的には、情報処理装置２００は、通信回線２２０を介して他の情報処理装置から露光パターンデータを取得して格納部２０１に格納する。ここで、露光パターンデータは、それが格納されたメモリ媒体（例えば、磁気テープ、ディスク等）から取得してもよい。
【００６５】次いで、情報処理装置２００は、制御データ生成部２０２において、露光パターンデータに基づいて、電子ビーム露光装置１００を制御するための複数の制御データ（例えば、ブランカを制御するためのドット制御データ又はドーズ量制御データ、偏向器を制御するための偏向制御データ等）を生成する。ここで生成される制御データには、基本露光情報としての基準ドーズデータが含まれる。」
　
　 
ウ　上記ア、イから、引用例には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
「電子ビーム露光装置の制御系であって、副制御部１２０は、メモリ１２１に格納された露光制御データをインターフェース１２２を介して読み出して、これに基づいて制御回路（制御要素）１１１〜１１６及び１１８を制御し、主制御部１２３は、この電子ビーム露光装置の全体を統括的に制御し、通信ケーブル２１０で接続してなる情報処理装置２００から露光制御データの提供を受ける電子ビーム露光装置の制御系。」
　
（２）原査定の拒絶理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００１−５２９９２号公報（以下「引用例２」という。）には、下記の事項が記載されている。
　
ア　「【０００６】図３に、従来の露光制御システムの一例を示す。主制御部であるメインコンピュータ１は、ステージ制御ユニット、アライメントユニット、マスク搬送ユニット、プレート搬送ユニット等の制御ユニット２ａ〜２ｅにデータ通信手段３としてＧＰＩＢ（General Purpose Interface Bus）で接続されている。各制御ユニット２ａ〜２ｅは、メインコンピュータ１から制御命令を受信、実行し、その結果をメインコンピュータ１に送信する。
【０００７】制御ユニット２ａ〜２ｅの中、制御ユニット２ａ、２ｅは、メインコンピュータ１から受信した制御命令を解釈し、さらにその下位に位置する制御ユニット２ｆ、２ｇ、制御ユニット２ｈ、２ｉに対して制御命令を送信するとともに、その結果を受信している。この下位に位置する制御ユニットとしては、例えばステージ制御ユニットの下位制御ユニットとしてのＸＹ軸制御ユニットやθ軸制御ユニット、アライメントユニットの下位制御ユニットとしてのマスク系アライメントユニットやプレート系アライメントユニット等が該当する。ここで、制御ユニット２ａに対する制御ユニット２ｆ、２ｇへのデータ通信手段４としては、ＳＣＳＩ（Small Computer System Interface）が用いられている。また、制御ユニット２ｅに対する制御ユニット２ｈ、２ｉへのデータ通信手段５としては、ＲＳ−２３２Ｃ（Recommended Standard 232C）が用いられている。」
　
　
　
４．対比 
　本願発明と引用発明とを対比する。
　
ア　引用発明の「電子ビーム露光装置の制御系」は、電子ビームによりパターンを描画するものであるので、引用発明と本願発明とは「描画システム」である点で一致する。
　
イ　引用発明の「制御回路（制御要素）１１１〜１１６及び１１８」は、本願発明の「複数の制御ユニット」に相当する。　　　　　　　　　　　　　
　引用発明の「電子ビーム露光装置」は、本願発明の「前記複数の制御ユニットにより制御され、荷電粒子ビームを用いて試料にパターンを描画する描画部」を具備することは明らかである。
　
ウ　本願発明の「パラメータ情報」とは、本願明細書（段落【０００４】〜【０００６】等）を参酌すると、電子描画装置の装置運用情報であり、具体的には描画部を制御する複数の各制御ユニットに設定され、描画を制御するための情報であるから、引用発明の「露光制御データ」は、本願発明の「パラメータ情報」に相当する。
　本願発明の「外部の従計算機からパラメータ情報を受信して、記憶する記憶部」とは、本願明細書（段落【００２４】）等を参酌すると、「描画システム」の外部にあるＰＣ（パーソナルコンピュータ）から「描画システム」に送信された「パラメータ情報」を格納する「描画システム」の「記憶部」のことであるから、引用発明の「通信ケーブル２１０で接続してなる情報処理装置２００」から提供を受けた「露光制御データ」を格納する「メモリ２１」は，本願発明の「外部の従計算機からパラメータ情報を受信して、記憶する記憶部」に相当する。
　
エ　引用発明の「副制御部１２０」は、「露光制御データ」を「インターフェース１２２」を介して「メモリ１２１」から読み出し、「制御回路（制御要素）１１１〜１１６及び１１８」はこれに基づいて制御されるものであるので、引用発明は、本願発明の「受信されたパラメータ情報を前記複数の制御ユニットの少なくとも１つに通信規格に合わせて出力する第１のインターフェース回路群」を具備する。
　
オ　引用発明の「主制御部１２３」は、電子ビーム露光装置の全体を統括的に制御するので、本願発明の「主計算機」に相当する。
　
カ　したがって、本願発明と引用発明とは、
「複数の制御ユニットと、
　前記複数の制御ユニットにより制御され、荷電粒子ビームを用いて試料にパターンを描画する描画部と、
　外部の従計算機からパラメータ情報を受信して、記憶する記憶部と、
　受信されたパラメータ情報を前記複数の制御ユニットの少なくとも１つに通信規格に合わせて出力する第１のインターフェース回路群と、
　主計算機と、
　を備えたことを特徴とする描画システム。」の点で一致し、下記の点で相違する。
　
相違点１：
　本願発明の「複数の制御ユニット」は通信規格の異なるものであるのに対して、引用発明はそのようなものであるか明らかでない点。
　
相違点２：
　本願発明は、「前記主計算機からの要求を受信して、前記記憶部を介さずに前記複数の制御ユニットに設定されているパラメータ情報を前記主計算機が用いる通信規格に変換して、前記主計算機に前記複数の制御ユニットに設定されているパラメータ情報を送信する第２のインターフェース回路群」を備えるの対して、引用発明はそのようなものであるか明らかでない点。
　
　
５．判断
ア　相違点１について
　描画システムにおける制御回路の通信規格は、それぞれの制御回路の通信データ量等に応じて、種々の通信規格から適宜選択するものであることは技術常識であるので、「制御回路（制御要素）１１１〜１１６及び１１８」を相違点１に係る本願発明の構成とすることに格別困難性はない。
　
イ　相違点２について
　相違点２に係る本願発明の構成である「前記主計算機からの要求を受信して、前記記憶部を介さずに前記複数の制御ユニットに設定されているパラメータ情報を前記主計算機が用いる通信規格に変換して、前記主計算機に前記複数の制御ユニットに設定されているパラメータ情報を送信する第２のインターフェース回路群」に相当する構成については，引用例１および引用例２のいずれにも記載されていない。
　また、引用発明において、「制御回路（制御要素）１１１〜１１６及び１１８」に設定されている「露光制御データ」を「主制御部」からの要求で「主制御部」に送信することが技術常識ないしは周知技術であるとする証拠もない。
　したがって、引用発明において相違点２に係る本願発明の構成を得ることが容易想到であるとすることはできない。　
　
　よって、本願発明は、引用発明１及び引用発明２に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
　また、請求項２〜３に係る発明は、請求項１を引用しているので、同様の理由で、引用発明１及び引用発明２に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　請求項５に係る発明も、上記相違点２に係る本願発明の構成を具備するものであるから、同様の理由で、引用発明１及び引用発明２に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。