【手続補正書】
【提出日】平成27年6月19日(2015.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塔状反応容器においてシランを製造する方法であって、
当該容器が下側入口、下側出口、上側入口、および上側出口を含み、反応混合物をその内部に有するものであり、
当該方法が、
反応容器の上側入口に水素化物を含む水素化物のフィードを導入すること、
ハロシランを含むフィードガスを反応容器の下側入口に導入して、フィードガスを泡立てて反応混合物を経由させ、水素化物をハロシランと反応させてシランおよびハロゲン化塩を生成すること、
シランを含む生成物ガスを上側出口から排出させること、および
ハロゲン化塩を含む流出物を下側出口から排出させること
を含む、方法。
【請求項２】
水素化物が、アルカリまたはアルカリ土類金属の水素化物、四水素化アルミニウムのアルカリまたはアルカリ土類金属の塩、およびそれらの組み合わせから成る群より選択される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
水素化物が、四水素化アルミニウムのアルカリまたはアルカリ土類金属の塩であり、ハロシランが四ハロゲン化ケイ素であり、ハロゲン化塩が四ハロゲン化アルミニウムのアルカリまたはアルカリ土類金属の塩である、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
排出される流出物がスラリーである、請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
水素化物のフィードおよびフィードガスが連続的に反応容器に導入され、生成物ガスおよび流出物が反応容器から連続的に排出される、請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
反応容器が機械的に撹拌されていない、請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
水素化物のフィードが、溶媒および水素化物を含む溶液である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
水素化物の転化が少なくとも約８０％である、請求項１〜７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
ハロシランの転化が少なくとも約８０％である、請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
反応混合物を内部に有する反応容器にてシランを製造する方法であって、容器が一または複数のバッフルを有し、バッフルが直列に接続された２またはそれよりも多い反応ゾーンを形成し、当該方法が、
水素化物を含む水素化物のフィードを反応容器に導入すること、
ハロシランを含むフィードガスを反応容器に導入して、フィードガスを泡立てて反応混合物を経由させ、水素化物をハロシランと反応させて、シランおよびハロゲン化物の塩を生成すること、
シランを含む生成物ガスを反応容器から排出させること、
ハロゲン化塩を含む流出物を反応容器から排出させること、および
反応混合物を撹拌すること
を含む、方法。
【請求項１１】
機械的な攪拌機が反応容器内に配置されている、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
攪拌機が容器の一または複数の反応ゾーンの内容物を撹拌し、各撹拌された反応ゾーンにおける水素化物とハロシランとの間の反応が、連続理想撹拌タンク反応器に近づく条件下で実施される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
機械的な攪拌機が、各撹拌された反応ゾーン内に配置された一または複数のブレードを有するインペラである、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
容器が、水素化物のフィードが導入される上側入口、フィードガスが導入される下側入口、生成物ガスが排出される上側出口、および流出物が排出される下側出口を含み、
水素化物のフィードおよびフィードガスを反応容器に連続的に導入し、生成物ガスおよび流出物が反応容器から連続的に排出させられる、
請求項１０〜１３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１５】
水素化物のフィードが溶媒および水素化物を含む溶液である、請求項１０〜１４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１６】
溶媒が、ポリエーテル、炭化水素、およびそれらの混合物から成る群より選択される、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
水素化物のフィードが固体の水素化物を含む、請求項１０〜１６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１８】
反応混合物を少なくとも一つの反応ゾーンにおいて冷却する、請求項１０〜１７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１９】
反応容器が、下側反応ゾーンおよび上側反応ゾーンを規定するバッフルを含む、請求項１０〜１８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２０】
上側反応ゾーンにて反応混合物を冷却する、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
反応容器が下側反応ゾーン、中間反応ゾーン、および上側反応ゾーンを規定する、２つのバッフルを含む、請求項１０〜２０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２２】
上側反応ゾーンおよび中間ゾーンにて反応混合物を冷却する、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
反応混合物を気相の気泡作用により撹拌する、請求項１０に記載の方法。
【請求項２４】
排出される流出物がスラリーである、請求項１０〜２３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２５】
反応ゾーンの一つの内部の反応混合物の温度をモニターして、水素化物およびフィードガスの少なくとも一方の流量を制御する、請求項１０〜２４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２６】
二つの反応ゾーンの間の温度差をモニターして、水素化物のフィードおよびフィードガスの少なくとも一方の流量を制御する、請求項１０〜２５のいずれか１項に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
開示の範囲を逸脱しない限度で上記の装置および方法において種々の変更がなされ得るので、上記説明に含まれ、かつ添付した図面に示されるすべての事項は、例示的なものとして解釈されるべきであり、限定的な意味で解釈されるべきではないことを意図している。
本発明の実施態様には以下のものが含まれる。
（態様１）
塔状反応容器においてシランを製造する方法であって、
当該容器が下側入口、下側出口、上側入口、および上側出口を含み、反応混合物をその内部に有するものであり、
当該方法が、
反応容器の上側入口に水素化物を含む水素化物のフィードを導入すること、
ハロシランを含むフィードガスを反応容器の下側入口に導入して、フィードガスを泡立てて反応混合物を経由させ、水素化物をハロシランと反応させてシランおよびハロゲン化塩を生成すること、
シランを含む生成物ガスを上側出口から排出させること、および
ハロゲン化塩を含む流出物を下側出口から排出させること
を含む、方法。
（態様２）
水素化物が、アルカリまたはアルカリ土類金属の水素化物、四水素化アルミニウムのアルカリまたはアルカリ土類金属の塩、およびそれらの組み合わせから成る群より選択される、態様１の方法。
（態様３）
ハロシランが、四ハロゲン化ケイ素、トリハロシラン、ジハロシラン、モノハロシランおよびそれらの組み合わせから成る群より選択される、態様１または２の方法。
（態様４）
水素化物が、四水素化アルミニウムのアルカリまたはアルカリ土類金属の塩であり、ハロシランが四ハロゲン化ケイ素であり、ハロゲン化塩が四ハロゲン化アルミニウムのアルカリまたはアルカリ土類金属の塩である、態様１の方法。
（態様５）
水素化物が四水素化アルミニウムのナトリウム塩であり、ハロシランが四フッ化ケイ素であり、ハロゲン化塩が四フッ化アルミニウムのナトリウム塩である、態様１の方法。
（態様６）
排出される流出物がスラリーである、態様１〜５のいずれかの方法。
（態様７）
水素化物のフィードおよびフィードガスが連続的に反応容器に導入され、生成物ガスおよび流出物が反応容器から連続的に排出される、態様１〜６のいずれかの方法。
（態様８）
反応容器が機械的に撹拌されていない、態様１〜７のいずれかの方法。
（態様９）
水素化物のフィードが、溶媒および水素化物を含む溶液である、態様１〜８のいずれかの方法。
（態様１０）
溶媒が、ポリエーテル、炭化水素およびそれらの混合物から成る群より選択される、態様９の方法。
（態様１１）
ポリエーテルが、ジグリム、モノグリム、ジオキサンおよびそれらの混合物から成る群より選択され、炭化水素が、トルエン、ペンタンおよびそれらの混合物から選択される、態様１０の方法。
（態様１２）
水素化物のフィードが固体の水素化物を含む、態様１〜８のいずれかの方法。
（態様１３）
水素化物の転化が少なくとも約８０％、少なくとも約８５％、少なくとも約９０％、少なくとも約９５％、少なくとも約９９％、少なくとも約９９．９％、または約１００％である、態様１〜１２のいずれかの方法。
（態様１４）
ハロシランの転化が少なくとも約８０％、少なくとも約８５％、少なくとも約９０％、少なくとも約９５％、少なくとも約９９％、少なくとも約９９．９％、または約１００％である、態様１〜１３のいずれかの方法。
（態様１５）
反応混合物を内部に有する反応容器にてシランを製造する方法であって、容器が一または複数のバッフルを有し、バッフルが直列に接続された２またはそれよりも多い反応ゾーンを形成し、当該方法が、
水素化物を含む水素化物のフィードを反応容器に導入すること、
ハロシランを含むフィードガスを反応容器に導入して、フィードガスを泡立てて反応混合物を経由させ、水素化物をハロシランと反応させて、シランおよびハロゲン化物の塩を生成すること、
シランを含む生成物ガスを反応容器から排出させること、
ハロゲン化塩を含む流出物を反応容器から排出させること、および
反応混合物を撹拌すること
を含む、方法。
（態様１６）
機械的な攪拌機が反応容器内に配置されている、態様１５の方法。
（態様１７）
攪拌機が容器の一または複数の反応ゾーンの内容物を撹拌し、各撹拌された反応ゾーンにおける水素化物とハロシランとの間の反応が、連続理想撹拌タンク反応器に近づく条件下で実施される、態様１６の方法。
（態様１８）
機械的な攪拌機が、各撹拌された反応ゾーン内に配置された一または複数のブレードを有するインペラである、態様１６の方法。
（態様１９）
各反応容器の各反応ゾーンを撹拌する、態様１６〜１８のいずれかの方法。
（態様２０）
容器が、水素化物のフィードが導入される上側入口、フィードガスが導入される下側入口、生成物ガスが排出される上側出口、および流出物が排出される下側出口を含む、態様１５〜１９のいずれかの方法。
（態様２１）
水素化物のフィードおよびフィードガスを反応容器に連続的に導入し、生成物ガスおよび流出物が反応容器から連続的に排出させられる、態様１５〜２０のいずれかの方法。
（態様２２）
水素化物のフィードが溶媒および水素化物を含む溶液である、態様１５〜２１のいずれかの方法。
（態様２３）
溶媒が、ポリエーテル、炭化水素、およびそれらの混合物から成る群より選択される、態様２２の方法。
（態様２４）
ポリエーテルが、ジグリム、モノグリム、ジオキサンおよびそれらの混合物からなる群より選択され、炭化水素が、トルエン、ペンタンおよびそれらの混合物から選択される、態様２３の方法。
（態様２５）
水素化物のフィードが固体の水素化物を含む、態様１５〜２１のいずれかの方法。
（態様２６）
反応混合物を少なくとも一つの反応ゾーンにおいて冷却する、態様１５〜２５のいずれかの方法。
（態様２７）
反応容器が、下側反応ゾーンおよび上側反応ゾーンを規定するバッフルを含む、態様１５〜２６のいずれかの方法。
（態様２８）
上側反応ゾーンにて反応混合物を冷却する、態様２７の方法。
（態様２９）
下側反応ゾーンにて反応混合物を冷却しない、態様２８の方法。
（態様３０）
反応容器が下側反応ゾーン、中間反応ゾーン、および上側反応ゾーンを規定する、２つのバッフルを含む、態様１５〜２６のいずれかの方法。
（態様３１）
上側反応ゾーンにて反応混合物を冷却する、態様３０の方法。
（態様３２）
中間反応ゾーンにて反応混合物を冷却する態様３１の方法。
（態様３３）
下側反応ゾーンにて反応混合物を冷却しない、態様３２の方法。
（態様３４）
反応容器が円筒形であり、バッフルが環状である、態様１５〜３３のいずれかの方法。
（態様３５）
水素化物の転化が少なくとも約８０％、少なくとも約８５％、少なくとも約９０％、少なくとも約９５％、少なくとも約９９％、少なくとも約９９．９％、または約１００％である、態様１５〜３４のいずれかの方法。
（態様３６）
ハロシランの転化が少なくとも約８０％、少なくとも約８５％、少なくとも約９０％、少なくとも約９５％、少なくとも約９９％、少なくとも約９９．９％、または約１００％である、態様１５〜３５のいずれかの方法。
（態様３７）
反応混合物を気相の気泡作用により撹拌する、態様１５の方法。
（態様３８）
水素化物が、アルカリまたはアルカリ土類金属の水素化物、四水素化アルミニウムのアルカリまたはアルカリ土類金属の塩、およびそれらの組み合わせから成る群より選択される、態様１５〜３７のいずれかの方法。
（態様３９）
ハロシランが、四ハロゲン化ケイ素、トリハロシラン、ジハロシラン、モノハロシラン、およびそれらの組み合わせから成る群より選択される、態様１５〜３８のいずれかの方法。
（態様４０）
水素化物が、四水素化アルミニウムのアルカリまたはアルカリ土類金属の塩であり、ハロシランが四ハロゲン化ケイ素であり、ハロゲン化塩が四ハロゲン化アルミニウムのアルカリまたはアルカリ土類金属の塩である、態様１５〜３７のいずれかの方法。
（態様４１）
水素化物が、四水素化アルミニウムのナトリウム塩であり、ハロシランが四フッ化ケイ素であり、ハロゲン化塩が四フッ化アルミニウムのナトリウム塩である、態様１５〜３７のいずれかの方法。
（態様４２）
排出される流出物がスラリーである、態様１５〜４１のいずれかの方法。
（態様４３）
反応ゾーンの一つの内部の反応混合物の温度をモニターして、水素化物およびフィードガスの少なくとも一方の流量を制御する、態様１５〜４２のいずれかの方法。
（態様４４）
温度を、各反応体の流量に基づいて１００％の転化が達成される温度Ｔ１００と比較する、態様４３の方法。
（態様４５）
二つの反応ゾーンの間の温度差をモニターして、水素化物のフィードおよびフィードガスの少なくとも一方の流量を制御する、態様１５〜４２のいずれかの方法。
（態様４６）
温度差を、各反応体の流量に基づいて１００％の転化が達成される温度差Ｔ△と比較する、態様４５の方法。