【事件の表示】
　特許第３４２５９９４号「真空容器のリーク装置」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４２５９９４号の訂正後の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許３４２５９９４号の請求項１〜６に係る発明についての出願は、平成５年６月２９日の出願であって、平成１５年５月９日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、その特許について、特許異議申立人東谷満（以下、「申立人」という）より特許異議の申立てがなされた。そして、当審において取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１５年７月９日に訂正請求書（第１回）及び特許異議意見書が提出された。またその後当審において取消理由通知がなされ、再度平成１７年５月１７日に訂正請求書（第２回）が提出され、第１回訂正請求書が取り下げられたものである。
　　　　　　　
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
　本件訂正の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち訂正事項ａ、ｂのとおりに訂正しようとするものである。
訂正事項ａ
　特許明細書の【特許請求の範囲】を次のとおりに訂正する。
「【請求項１】真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空状態から昇圧させるためのリーク装置において、このリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段を有し、前記ガス流減速手段として、前記真空容器の上流側にチャンバーを設け、このチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向とし、さらにチャンバーと真空容器との間にディフューザーを設けたことを特徴とする真空容器のリーク装置。
【請求項２】ディフューザーは、整流機構を備えたことを特徴とする請求項１記載の真空容器のリーク装置。
【請求項３】真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空状態から昇圧させるためのリーク装置において、このリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段を有し、前記ガス流減速手段は、前記真空容器の上流側にチャンバーを設け、このチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向とし、さらに前記リークガスを分流迂回させたのち開口部から導出させるリークガス導入管を設け、このリークガス導入管の対向する開口部をチャンバー内に配置したことを特徴とする真空容器のリーク装置。」
訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【０００６】を次のとおりに訂正する。
「上記従来技術の課題を解決するため本発明は、真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空状態から昇圧させるためのリーク装置において、このリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段を有し、前記ガス流減速手段として、前記真空容器の上流側にチャンバーを設け、このチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向とし、さらにチャンバーと真空容器との間にディフューザーを設けたことを特徴とする。また、本発明は、真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空状態から昇圧させるためのリーク装置において、このリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段を有し、前記ガス流減速手段は、前記真空容器の上流側にチャンバーを設け、このチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向とし、さらに前記リークガスを分流迂回させたのち開口部から導出させるリークガス導入管を設け、このリークガス導入管の対向する開口部をチャンバー内に配置したことを特徴とする。」
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
  訂正事項ａは、（ａ１）訂正後の請求項１は、訂正前の請求項１を、該請求項１を引用する訂正前の請求項２及び該請求項２を引用する訂正前の請求項５に限定するものであり、（ａ２）訂正後の請求項２は、訂正前の請求項５に従属していた訂正前の請求項６を、上記（ａ１）の訂正に伴い、訂正後の請求項１に従属させるものであり、（ａ３）訂正後の請求項３は、訂正前の請求項２を、該請求項２を引用する請求項３に限定して独立項に訂正するものであり、（ａ４）訂正前の請求項３、４及び５を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮又は明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。そして、上記訂正事項ａは、特許明細書の特許請求の範囲の記載に基づくものである。以上のとおりであるから、訂正事項ａは願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　また訂正事項ｂは、訂正事項ａと整合を図るとともに、特許請求の範囲の記載と整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当し、訂正事項ａで見たとおり願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　　　　　　　
３．異議申立てのについての判断
３−１．本件発明
　上記のとおり、訂正は認められるから、本件特許の請求項１〜３に係る発明（以下、「本件発明１」〜「本件発明３」）は、訂正された特許明細書に記載された次のとおりのものである。
【請求項１】真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空状態から昇圧させるためのリーク装置において、このリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段を有し、前記ガス流減速手段として、前記真空容器の上流側にチャンバーを設け、このチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向とし、さらにチャンバーと真空容器との間にディフューザーを設けたことを特徴とする真空容器のリーク装置。
【請求項２】ディフューザーは、整流機構を備えたことを特徴とする請求項１記載の真空容器のリーク装置。
【請求項３】真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空状態から昇圧させるためのリーク装置において、このリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段を有し、前記ガス流減速手段は、前記真空容器の上流側にチャンバーを設け、このチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向とし、さらに前記リークガスを分流迂回させたのち開口部から導出させるリークガス導入管を設け、このリークガス導入管の対向する開口部をチャンバー内に配置したことを特徴とする真空容器のリーク装置。
　　　　　　
３−２．異議申立ての理由
（ｉ）　訂正前の請求項１に係る発明は、甲第１、２、３又は４号証に記載された発明と実質同一であるか、又は甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項又は第２項の規定により特許を受けることができない。
（ｉｉ）訂正前の請求項２に係る発明は、甲第１、３又は４号証に記載された発明と同一であるか、又は甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項又は第２項の規定により特許を受けることができない。
（ｉｉｉ）訂正前の請求項３、４及び６に係る発明は、甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
（ｉｖ）訂正前の請求項５に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と実質同一であるか、又は甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項又は第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　　　
３−３．取消理由通知で引用された刊行物に記載された発明
（１）刊行物１：特開平３−２１７２２４号公報（申立人が提出した甲第１号証）
　刊行物１には、特許請求の範囲に「真空容器内の真空を破壊するため該真空容器内へ気体を導入する真空容器のリーク機構において、真空容器内へ気体を導入する気体導入流路が前記真空容器と接続する導入口部分に気体流制御手段を設け、該気体流制御手段は気体が流れる流路と該流路の内部に設けた流路減少手段とを含んでいることを特徴とする真空容器のリーク機構」と記載され、「流速減少手段」として「前記気体流制御手段内にある気体用の流路に形成した屈折部分或いは拡径部分、該流路中に設置された多孔質体等が好ましい」（第２頁右上欄１〜４行）が記載され、さらに作用として「気体は気体流制御手段の内部に設けた流速減少手段により拡径、衝突、流路抵抗等を受け、気流がコントロールされて低速となり、不必要な乱流を発生することがない。その結果、容器内の汚染物質が舞い上がって内容物に再付着することや、真空容器の内壁に付着していた汚染物質が・・・再付着してしまうことが防止される。」（第２頁右上欄６〜１６）ことが記載されている。また、第２、３図（第３頁）には「接線方向から流入した気体が拡径して流れ、接線方向と直交する方向に流出する」ことが窺える。これらの記載によれば、刊行物１には「真空容器内の真空を破壊するため該真空容器内へ気体を導入する真空容器のリーク機構において、真空容器内へ気体を導入する気体導入流路が前記真空容器と接続する導入口部分に気体流制御手段を設け、該気体流制御手段は気体が流れる流路と該流路の内部に設けた流路減少手段とを含み、該流路減少手段は前記気体流制御手段内にある気体用の流路に形成した屈折部分或いは拡径部分であり、接線方向から流入した気体が拡径して流れ、接線方向と直交する方向に流出する真空容器のリーク機構」という発明（以下、「刊行１発明」という）が記載されていると云える。
（２）刊行物２：特開平４−４１６７３号公報（申立人が提出した甲第２号証）
　刊行物２の特許請求の範囲や第３頁左上欄３〜８行には、「真空装置内に挿入されたリーク用パイプの先端に、リークの流れを拡散させるための多孔質なステンレス・スチールよりなる拡散部材を設ける」ことが記載されている。
（３）刊行物３：特開平４−１０７８０９号公報（申立人が提出した甲第３号証）
　刊行物３の特許請求の範囲請求項１には「ウエハが搬入される真空室部の周りに、該真空室部との間が所定の開口比を有する多孔壁により仕切られた予備真空容器を設け、該予備真空室部に対して真空引き及びリークを行う構成」が記載され、その作用として第４頁左上欄３〜５行に「真空室部内に、その周囲と上面の多数の箇所から略一様に空気が弱い力で入り込む」ことが記載され、第４図（第６頁）から「空気が予備真空室部の下部に送り込まれ、矢印６２のように分流されて、該室部の周囲から多孔壁の孔を通して内部に送り込まれる」ことが窺える。
（４）刊行物４：実公平５−１３００２号公報（申立人が提出した甲第４号証）
　刊行物４の実用新案登録請求の範囲に「チャンバのリーク系の導入口に対向して、リーク用ガスの気流を拡散させるようにした遮蔽板を設け」ることが記載され、このことが第２図に図示されている。
　　　　　
３−４．異議申立ての理由について
３−４−１．本件発明１について
　本件発明１と上記した刊行１発明とを対比すると、刊行１発明の「真空容器内のリーク機構」、「気体流制御手段」及び「流路減少手段」は、本件発明１の「真空容器のリーク装置」、「チャンバー」及び「ガス流減速手段」に相当し、刊行１発明の「接線方向から流入した気体が接線方向と直交する方向に流出する」ことは、実質本件発明１の「チャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向と」することに相当することから、両者は「真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空状態から昇圧させるためのリーク装置において、このリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段を有し、前記ガス流減速手段として、チャンバーを設け、このチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向と」する点で一致し、以下の点で相違している。
相違点ａ：本件発明１では「ガス流減速手段として、前記真空容器の上流側にチャンバーを設け」ているのに対し、刊行１発明では「真空容器内へ気体を導入する気体導入流路が前記真空容器と接続する導入口部分に気体流制御手段を設け」ている点
相違点ｂ：本件発明１では「チャンバーと真空容器との間にディフューザーを設け」ているのに対し、刊行１発明では、「流路減少手段」が気体流制御手段内にある気体用の流路に形成した拡径部分を有しているが、気体流制御手段と真空容器との間にディフューザーを設けるものではない点
　そこで、まず、相違点ｂについて検討すると、
　相違点ｂに関し、刊行物１に「流路の上流側に比較して下流側の管径を拡大した拡径部分が設けられ」ていることが記載されている。この「拡径部分」が「ディフューザー」に相当するかどうか、についてみてみると、刊行１発明では「拡径部分」は「気体流制御手段」内に設けられ、拡径、衝突、流路抵抗等を併せ作用させて減速させるものであるのに対し、本件発明１では、チャンバーで減速されたリークガスをディフューザーを介して真空容器に導入しているのであるから、刊行１発明の「拡径部分」と、本件発明１の「ディフューザー」とは、構成上異なることは明らかである。また、この拡径分部から相違点ｂの構成を何ら困難なく導き出せる根拠も不明である。進歩性に関し、申立人は「ディフューザーは、甲第１号証（刊行物１）に記載されている通り、当業者にとって極めて周知なものであるから、些細な構成が追加されたとして容易に為される」旨主張している（第１１頁２４〜２８行）が、仮に「ディフューザー」そのものがよく知られているとしても、刊行物１に気体流制御手段と真空容器との間にディフューザーを設けることを示唆する記載も何もなく、また、そうすることが技術水準であるともいえないから、この主張も認めることはできない。
　また、他の刊行物をみてみると、刊行物２には、「真空装置内に挿入されたリーク用パイプの先端に拡散部材を設ける」ことが、刊行物３には「真空室部内に、その周囲と上面の多数の箇所から略一様に空気が入り込む」ことや「空気が予備真空室部の下部で分流されて、該室部の周囲から内部に送り込まれる」ことが、また、刊行物４には「チャンバのリーク系の導入口に対向して遮蔽版を設け」ることが記載されているが、ディフューザーに関しては何ら記載も示唆もない。
　そして、本件発明１は、上記相違点の構成を採ることにより、リークガスの流量をアップさせることができる等の本件明細書に記載される効果を奏するものである。
　よって、本件発明１は、上記相違点ａを検討するまでもなく、刊行物１に記載された発明と同一であるとも、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　　　　　
３−４−２．本件発明２について
　本件発明２は、本件発明１を引用する従属形式のものであって、本件発明１にさらに「ディフューザーは、整流機構を備えた」ことを限定するものであり、本件発明１の構成を有するものであるから、上記「３−４−１．本件発明１について」でみたと同じ理由により、本件発明２は、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　　　
３−４−３．本件発明３について、
　本件発明３と上記した刊行１発明とを対比すると、刊行１発明の「真空容器内のリーク機構」、「気体流制御手段」及び「流路減少手段」は、本件発明１の「真空容器のリーク装置」、「チャンバー」及び「ガス流減速手段」に相当し、刊行１発明の「接線方向から流入した気体が接線方向と直交する方向に流出する」ことは、実質本件発明１の「チャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向と」することに相当することから、両者は「真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空状態から昇圧させるためのリーク装置において、このリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段を有し、前記ガス流減速手段は、チャンバーを設け、このチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向と」する点で一致し、以下の点で相違している。
相違点ｃ：本件発明１では「ガス流減速手段として、前記真空容器の上流側にチャンバーを設け」ているのに対し、刊行１発明では「真空容器内へ気体を導入する気体導入流路が前記真空容器と接続する導入口部分に気体流制御手段を設け」ている点
相違点ｄ：本件発明１では「リークガスを分流迂回させたのち開口部から導出させるリークガス導入管を設け、このリークガス導入管の対向する開口部をチャンバー内に配置し」ているのに対し、刊行１発明には、この構成がない点
　そこで、まず、相違点ｄについて他の証拠をみてみると、
　刊行物２には、「真空装置内に挿入されたリーク用パイプの先端に拡散部材を設ける」ことが記載されているが、この拡散部材はガス流減速手段を開示するにとどまるものであり、相違点ｄの構成については何ら記載も示唆もない。また、刊行物３には「真空室部内に、その周囲と上面の多数の箇所から略一様に空気が入り込む」ことや「空気が予備真空室部の下部で分流されて、該室部の周囲から多孔壁の孔を通して内部に送り込まれる」ことが記載される。これら記載から「分流」すること、「周囲から多孔壁の孔を通して真空室に送られる」ことが記載されているといえるが、この分流された流路は、本件発明３の「リークガス導入管」とは異なるものであり、しかも該導入管の開口部がチャンバー内で対向するものではない。また、たとえ刊行物３の「予備真空部」が本件発明３の「チャンバー」に対応するにしても、この「予備真空部」は真空部の周囲を囲むものであり、本件発明３のチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向とするものとは、構造上かけ離れたものであるから、相違点ｄの構成を導出できないばかりか、刊行物３の「分流」や「周囲の多孔壁の孔から送る」を直ちに刊行１発明に適用できるともいえない。また、刊行物４には「チャンバのリーク系の導入口に対向して遮蔽板を設け」ることが記載されている。この遮蔽板は「分流」させることを開示するとはいえるが、リークガス導入管を迂回させ、その導入管の開口部を対向させて導出させることについても何ら記載もない。
　そして、本件発明１は、上記相違点ｄの構成を採ることにより、ガス流速を減速させて塵埃の舞上げを防止する等本件明細書に記載される効果を奏するものである。
　よって、本件発明１は、上記相違点ｃを検討するまでもなく、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
５．結論
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由及び証拠によっては、本件訂正後の請求項１〜３に係る発明についての特許を取り消すことができない。
　また、他に本件訂正後の請求項１〜３に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
  よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年６月７日（２００５．６．７）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
真空容器のリーク装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空状態から昇圧させるためのリーク装置において、このリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段を有し、
前記ガス流減速手段として、前記真空容器の上流側にチャンバーを設け、このチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向とし、さらにチャンバーと真空容器との間にディフューザーを設けた
　【請求項２】
　
ディフューザーは、整流機構を備えた
　【請求項３】
　
真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空状態から昇圧させるためのリーク装置において、このリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段を有し、
前記真空容器の上流側にチャンバーを設け、このチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向とし、さらに前記
開口部から
このリークガス導入管の対向する開口部をチャンバー内に配置した
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、電子ビーム描画装置等の真空容器内へ被加工品を入れる場合、あるいは、真空容器内から被加工品を取り出す場合に、真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空から大気圧に戻すためのリーク装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、リーク装置としては、図９に示すようなものが知られている。
　【０００３】
　このリーク装置１は、真空容器２の上流側にリークガス導入管３を接続し、このリークガス導入管３にバルブ４を設けたものであって、バルブ４を操作することにより真空容器２内にリークガスを導入し真空容器２内を大気圧にしている。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかるに上記のリーク装置１では、リークガス導入管３は、リークガスが真空容器２へまっすぐに導入される位置にあるので、高速流となって導入されたリークガスは、真空容器２内の塵埃を舞い上げ、被加工品に塵埃が付着して被加工品の品質を低下させる。したがって、塵埃が舞い上がらないようにリークガスを少量ずつ導入させる必要があり、このようにするとリーク時間が長くなる等の問題があった。
　【０００５】
　本発明はこれに鑑み、真空容器内の塵埃を舞い上げることのないリーク装置を提供することを目的としてなされたものである。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　上記従来技術の課題を解決するため本発明は、
真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空状態から昇圧させるためのリーク装置において、このリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段を有し、前記ガス流減速手段として、前記真空容器の上流側にチャンバーを設け、このチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向とし、さらにチャンバーと真空容器との間にディフューザーを設けたことを特徴とする。
　また、本発明は、真空容器内にリークガスを導入して真空容器内を真空状態から昇圧させるためのリーク装置において、このリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段を有し、前記ガス流減速手段は、前記真空容器の上流側にチャンバーを設け、このチャンバーへ導入されるリークガスの導入方向を該チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向とし、さらに前記リークガスを分流迂回させたのち対向する開口部から導出させるリークガス導入管を設け、このリークガス導入管の対向する開口部をチャンバー内に配置したことを特徴とする。
　【０００７】
　【作用】
　上記リーク装置においては、リーク装置のガス流減速手段としてのチャンバーに導入されるリークガスの導入方向は、チャンバーより真空容器へ導出されるリークガスの導出方向に対して直交する方向なので、リークガスはチャンバー内で方向をかえる間に十分に衝突、減速され真空容器へ流出される。
　【０００８】
　【実施例】
　以下、本発明のリーク装置の実施例を図１〜図８を参照して説明する。
　【０００９】
　図１及び図２は、本発明のリーク装置１１の一実施例であって、リーク装置１１は、ガス流減速手段としてのチャンバー１２と、リークガス導入管１３と、バルブ１４と、デイフューザー１５とを有している。
　【００１０】
　チャンバー１２は、円筒形形状に形成され、周面の所定の個所にはリークガスをチャンバー１２へ導入させるためのリークガス導入管１３がチャンバー１２の内周面に対し接線方向に向けて接続され、このリークガス導入管１３にはバルブ１４が挿着されている。そして、チャンバー１２の一側面と真空容器２との間には真空容器２側へ拡径するデイフューザー１５が拡径側を真空容器２に固着し、縮径側をチャンバー１２内へ伸長して設けられている。
　【００１１】
　リーク装置１は、このように構成されているので、リークガスはバルブ１４を開くことによりリークガス導入管１３を経てチャンバー１２の接線方向からチャンバー１２内へ導入される。そして、チャンバー１２内においてリークガスは旋回し内壁あるいはリークガスの分子同士が衝突を繰り返し、この衝突でリークガスはエネルギーを消耗して速度は減速しデイフューザー１５を通って真空容器２へ導出されるので、塵埃を舞い上げることはない。
　【００１２】
　図３は、リーク装置１１の他の実施例を示すもので、リークガス導入管１３は、バルブ１４の装着された下流側で１８０°方向へ分岐され、しかるのち、それぞれはＵ字形状に曲げられ間隔を形成して対向する開口部１６を設けたものであって、この開口部１６はチャンバー１２内に位置している。
　【００１３】
　リーク装置１１は、このように構成されているので、リークガスはバルブ１４を開くことによりリークガス導入管１３へ入り、リークガス導入管１３内で衝突を繰り返すとともに方向をかえ開口部１６において再び衝突してエネルギーを消耗する。また、開口部１６から出ずに対向する開口部１６へ入ったリークガスは、逆回りし衝突減速される。このようにして減速したリークガスがチャンバー１２へ入り真空容器２へ導出される。また、リークガス導入管１３の開口部１６を図４に示すように位置させるとリークガスはもう一度方向をかえてチャンバー１２から真空容器２へ導出されるので、さらに、減速される。なお、リークガス導入管１３の開口部１６は図５に示すように真空容器２内に位置させてもよい。
　【００１４】
　図６及び図７は、デイフューザー１５に整流機構としてのフィン１７を流れの方向に平行に拡径側に設けたものであって、このようにしたことによりリークガスがチャンバー１２内で渦流となっていても整流されるとともにデイフューザー１５の拡径側で減速させることができる。なお、図６に示すものは、チャンバー１２のデイフューザー１５に対向する側に接線方向のリークガス導入管１３とは別にリークガス導入管１８とバルブ１９とを設けたものであって、リークガス導入の初期にはリークガス導入管１３から導入し、真空容器２内の圧力がある程度上昇したところで、バルブ１４をしめてリークガス導入管１８を使用するか、あるいは、両方のリークガス導入管１３，１８を併用することによりリークガスの導入量が増大し、真空容器２内を早く大気圧にすることができる。
　【００１５】
　なお、図８は、整流管２０を蜂の巣状に並べた整流機構を示している。
　【００１６】
　【発明の効果】
　以上説明したように本発明による真空容器のリーク装置は、リーク装置に導入したリークガスを減速して真空容器内へ導出させるためのガス流減速手段としてのチャンバーを有しているので、リークガスはチャンバー内において旋回し内壁あるいはリークガスの分子同士が衝突を繰返して減速され真空容器に導入されるので、真空容器内の塵埃を舞い上げることはない。また、チャンバーと真空容器との間にデイフューザーを設けることによりリークガスは減速し、さらに、デイフューザーに整流機構を設けることによりリークガスに乱流が発生することはなく塵埃の舞い上げが抑制されるので、リークガスの流量をアップさせることができるなどの優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明のリーク装置の一実施例を示す断面図。
　【図２】
　チャンバーのＡ視側面図。
　【図３】
　本発明のリーク装置の他の実施例を示す断面図。
　【図４】
　本発明のリーク装置の他の更に実施例を示す断面図。
　【図５】
　本発明のリーク装置の更に他の実施例を示す断面図。
　【図６】
　デイフューザーに整流機構を設けるとともにリークガスの流量を増すようにした構造を示す断面図。
　【図７】
　図６のデイフューザーのＢ−Ｂ視断面図。
　【図８】
　整流機構の他の実施例の断面図。
　【図９】
　従来のリーク装置の断面図。
　【符号の説明】
　１１　リーク装置
　１２　チャンバー
　１３　リークガス導入管
　１４　バルブ
　１５　デイフューザー