【事件の表示】
　特許第３２０６５６６号「熱処理装置及び熱処理方法」の請求項１ないし１０に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３２０６５６６号の請求項１ないし１０に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３２０６５６６号の請求項１ないし１０に係る発明についての出願は、平成２年２月６日（優先権主張平成１年２月１４日）に出願した特願平２−２６８７１号の一部を平成１０年１０月１５日に新たな特許出願としたものであって、平成１３年７月６日にその発明について特許権の設定登録がされ、その後平成１４年３月１１日に、その特許について、特許異議申立人藤野研治により特許異議の申立てがなされ、平成１４年６月６日に取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年８月８日に訂正請求がなされ、平成１４年１１月１２日に訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１５年１月２１日に手続補正書が提出されたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正請求に対する補正の適否についての判断
２−１−１．訂正請求に対する補正の内容
　特許権者は、平成１５年１月２１日付けの手続補正書によって、平成１４年８月８日付けの訂正請求書の「(３）訂正の要旨」の欄の訂正事項ａ〜訂正事項ｆの記載を、以下（１）〜（６）のとおり補正するものである。
（１）訂正請求書の第２頁第１７〜２０行に記載された「板状の被加熱材の少なくとも表面に対向して前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり配置される複数の点状光源と、前記複数の点状光源を前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」を「板状の被加熱材の少なくとも一方の板面に対向して前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり配置される複数の点状光源と、前記複数の点状光源を前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」と補正する。
（２）訂正請求書の第２頁第２４〜２６行に記載された「板状の被加熱材の少なくとも表面に対向して前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり配置された複数の球状ランプと、前記複数の球状ランプを前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」を「板状の被加熱材の少なくとも一方の板面に対向して前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり配置された複数の球状ランプと、前記複数の球状ランプを前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」と補正する。
（３）訂正請求書の第２頁第３１行〜第３頁第２行に記載された「板状の被加熱材の少なくとも表面に前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり複数の点状光源を対向して配置し、前記複数の点状光源を前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」を「板状の被加熱材の少なくとも一方の板面に前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり複数の点状光源を対向して配置し、前記複数の点状光源を前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」と補正する。
（４）訂正請求書の第３頁第７〜１１行に記載された「板状の被加熱材の少なくとも表面に、光を反射する筒状反射部に包囲された球状ランプを前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり複数対向させて配置し、前記複数の球状ランプを前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」を「板状の被加熱材の少なくとも一方の板面に、光を反射する筒状反射部に包囲された球状ランプを前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり複数対向させて配置し、前記複数の球状ランプを前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」と補正する。
（５）訂正請求書の第３頁第１５〜１７行に記載された「板状の被加熱材の少なくとも表面に前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり複数の点状光源を対向して配置し、前記複数の点状光源を前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」を「板状の被加熱材の少なくとも一方の板面に前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり複数の点状光源を対向して配置し、前記複数の点状光源を前記被加熱材の形状に合わせて略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」と補正する。
（６）訂正請求書の第３頁第２１〜２４行に記載された「板状の被加熱材の少なくとも表面に、光を反射する筒状反射部に包囲された球状ランプを被加熱材の形状に合わせて全面にわたり複数対向させて配置し、前記複数の球状ランプを被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」を「板状の被加熱材の少なくとも一方の板面に、光を反射する筒状反射部に包囲された球状ランプを前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり複数対向させて配置し、前記複数の球状ランプを前記被加熱材の形状に合わせて略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」と補正する。
　
２−１−２．訂正請求に対する補正の適否
　この訂正請求に対する上記補正（１）〜（６）は、特許請求の範囲中の記載及び対応する明細書中の記載である「板状の被加熱材の少なくとも表面」を全く意味の異なる「板状の被加熱材の少なくとも一方の板面」と変更するものである。これは、訂正事項の削除、及び請求書の要旨を変更しない範囲での軽微な瑕疵の補正のいずれにも該当しないから、この訂正請求に対する補正は訂正請求書の要旨を変更するものである。（「補正に関する運用変更のお知らせ」参照のこと）
　したがって、この訂正請求に対する上記補正は、特許法第１２０条の４の第３項において準用する同法第１３１条第２項の規定に適合していない。
　よって、本件訂正請求に対する当該補正は認められない。
　
２−２．訂正の内容
　本件訂正請求に対する当該補正が認められないので、本件訂正の内容は、平成１４年８月８日付けの訂正請求書の「（３）訂正の要旨」に記載された以下のとおりのものである。
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１中の「板状の被加熱材の少なくとも一方の面に対向して配置される複数の点状光源と、前記複数の点状光源を略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」を「板状の被加熱材の少なくとも表面に対向して前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり配置される複数の点状光源と、前記複数の点状光源を前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項５中の「板状の被加熱材に対向して配置された複数の球状ランプと、前記複数の球状ランプを略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」を「板状の被加熱材の少なくとも表面に対向して前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり配置された複数の球状ランプと、前記複数の球状ランプを前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項６中の「板状の被加熱材の少なくとも一方の面に複数の点状光源を対向して配置し、前記複数の点状光源を略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」を「板状の被加熱材の少なくとも表面に前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり複数の点状光源を対向して配置し、前記複数の点状光源を前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」と訂正する。
（４）訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の請求項１０中の「板状の被加熱材の少なくとも一方の面に、光を反射する筒状反射部に包囲された球状ランプを複数対向させて配置し、前記複数の球状ランプを略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」を「板状の被加熱材の少なくとも表面に、光を反射する筒状反射部に包囲された球状ランプを前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり複数対向させて配置し、前記複数の球状ランプを前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　段落番号【０００７】の「板状の被加熱材の少なくとも一方の面に複数の点状光源を対向して配置し、前記複数の点状光源を略略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」を「板状の被加熱材の少なくとも表面に前記被加熱材の形状に合わせて全面にわたり複数の点状光源を対向して配置し、前記複数の点状光源を前記被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」と訂正する。
（６）訂正事項ｆ
　段落番号【００１１】の「板状の被加熱材の少なくとも一方の面に、光を反射する筒状反射部に包囲された球状ランプを複数対向させて配置し、前記複数の球状ランプを略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」を「板状の被加熱材の少なくとも表面に、光を反射する筒状反射部に包囲された球状ランプを被加熱材の形状に合わせて全面にわたり複数対向させて配置し、前記複数の球状ランプを被加熱材の形状に合わせた略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、」と訂正する。
　
２−３．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　当審において通知した訂正拒絶理由の概要は、以下の通りである。
『２．訂正についての拒絶の理由
２−１．訂正事項ａについて
　訂正事項ａには、請求項１の記載に関して、「板状の被加熱材の少なくとも表面」とする訂正が含まれているが、訂正明細書の特許請求の範囲の記載からは、当該訂正に係る「表面」が「ひょう面」を意味するものとして用いられているのか（以下、「表（ひょう）面」という。）、「おもて面」を意味するものとして用いられているのか（以下、「表（おもて）面」という。）明らかでないので、以下（１）、（２）の場合に分けて検討する。
　
（１）特許明細書の記載に基づいて「表（ひょう）面」と解釈する場合
・・・
　したがって、段落【０００２】及び【０００４】の記載に基づいて「表面」が「表（ひょう）面」を意味するものと解すれば、訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正、誤記又は誤訳の訂正を目的とする訂正、明りようでない記載の釈明を目的とする訂正のいずれにも該当しない。また、訂正事項ａは願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内でしたものではなく、実質上特許請求の範囲を変更するものである。
　
（２）特許異議意見書の記載に基づいて表（おもて）面と解釈する場合
・・・
　したがって、特許異議意見書の記載に基づいて「表面」が「表（おもて）面」の意味であるものと解すれば、訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正、誤記又は誤訳の訂正を目的とする訂正、明りようでない記載の釈明を目的とする訂正のいずれにも該当しない。また、訂正事項ａは願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内でしたものではなく、実質上特許請求の範囲を変更するものである。
　
　以上（１）及び（２）の検討から、「表面」が「表（ひょう）面」又は「表（おもて）面」のいずれを意味するものであったとしても、訂正事項ａは、許請求の範囲の減縮を目的とする訂正、誤記又は誤訳の訂正を目的とする訂正、明りようでない記載の釈明を目的とする訂正のいずれにも該当せず、また、訂正事項ａは願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内でしたものではなく、実質上特許請求の範囲を変更するものである。
　
２−２．訂正事項ｂ〜ｄについて
　訂正事項ｂ〜ｄはいずれも、請求項の記載に関して、「板状の被加熱材の少なくとも表面」とする訂正を含むので、訂正事項ａと同様の理由により、特許請求の範囲の減縮を目的とした訂正、誤記又は誤訳の訂正を目的とした訂正、明りようでない記載の釈明を目的とした訂正のいずれにも該当せず、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内でしたものではなく、また、実質上特許請求の範囲を変更するものである。
　
２−３．訂正事項ｅ及びｆについて
　訂正事項ｅ及びｆは、訂正事項ａ〜ｄに対応して、請求項１、５、６、１０に係る発明についての説明を訂正するものであって、「板状の被加熱材の少なくとも表面」とする訂正を含むので、訂正事項ａと同様の理由により、訂正事項ｅ及びｆはいずれも、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内でしたものではない。また、特許請求の範囲の減縮を目的とした訂正、誤記又は誤訳の訂正を目的とした訂正、明りようでない記載の釈明を目的とした訂正のいずれにも該当しない。』
　
　そして、本件訂正請求に対する当該補正は認められないので、上記の訂正拒絶理由は依然として解消されておらず、かつ、上記訂正拒絶理由を精査してみてもこれを変更する特段の理由もない。したがって、上記訂正事項ａ〜訂正事項ｆはいずれも、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書又は図面の訂正でもなく、誤記又は誤訳の訂正を目的とした明細書又は図面の訂正でもなく、明りようでない記載の釈明を目的とした明細書又は図面の訂正でもなく、さらに、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものである。
　
２−４．訂正の適否のむすび
　以上のとおりであるから、当該訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するものではないので、当該訂正は認められない。
　
３．　特許異議申立て及びこれについての判断
３−１．特許異議申立人藤野研治による特許異議申立の理由の概要
　特許異議申立人藤野研治は、証拠として本件出願前国内又は国外において頒布された
　１）甲第１号証（欧州特許出願公開第０２９９２４５号明細書）、
　２）甲第２号証（特開平２−３２０号公報）
を提出し、本件請求項１〜１０に係る発明の特許は、その出願前に頒布された甲第１号証に記載された発明と同一であるか、或いは甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明を行うことができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号又は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきものである旨主張している。
　
３−２．取消理由通知の概要
　当審で通知した取消理由の概要は、以下の通りである。
「１．本件発明
　本件の請求項１〜１０に係る発明は、それぞれ本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１〜１０に記載されたとおりのものである。
２．刊行物に記載された発明
　刊行物１（甲第１号証）：欧州特許出願公開第０２９９２４５号明細書
　　　　　　　　　　　（１９８９年１月１８日公開）
　刊行物１には、特許異議申立書の「（４−２）証拠の説明」の欄（第１２頁第２２行〜第１４頁第１３行）に記載された発明が記載されている（甲第２号証は甲第１号証の出願に対応する日本出願の公開公報であり、両者の記載内容は実質的に同一であるので、甲第２号証に関する引用は該引用に対応する甲第１号証の箇所を引用したものとして認定し、「甲第２号証」は「刊行物１」と読み替える。）。
３．対比、判断
　特許異議申立書の「（４−３）本件特許請求項１に係る発明と甲第２号証の対比」の欄〜「（４−１３）本件特許各請求項と甲第２号証（甲第１号証）との対比結果について」の欄（第１４頁第１４行〜第２４頁第８行）に記載された理由により（甲第２号証は甲第１号証の出願に対応する日本出願の公開公報であり、両者の記載内容は実質的に同一であるので、甲第２号証に関する引用は該引用に対応する甲第１号証の箇所を引用したものとして認定し、「甲第２号証」は「刊行物１」と読み替える。）、本件請求項１、２、４、５、６、７、９、１０に係る発明は、その出願前に頒布された上記刊行物１に記載された発明と同一であり、また、本件請求項３、４、５、８、９、１０に係る発明はその出願前に頒布された上記刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　よって、本件請求項１、２、４、５、６、７、９、１０に係る発明は、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当し、特許を取り消されるべきものである。
　また、本件請求項３、４、５、８、９、１０に係る発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。」
　
３−３．本件請求項１ないし１０に係る発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められないから、本件請求項１ないし１０に係る発明（以下、それぞれ本件発明１ないし本件発明１０と言う）は、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし１０に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　板状の被加熱材の少なくとも一方の面に対向して配置される複数の点状光源と、前記複数の点状光源を略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、前記制御ゾーン毎に前記複数の点状光源の光照射量を設定する照射量設定手段とを備え、前記複数の点状光源の照射する光により前記被加熱材を加熱する熱処理装置であって、
　前記複数の制御ゾーンのうちの少なくとも一つの制御ゾーンは、当該一つの制御ゾーンを構成する前記複数の点状光源のうちの隣接する夫々の点状光源の離間距離と前記点状光源の直径とを比較した場合に、前記隣接する夫々の点状光源の離間距離の方が小さくなるように、前記複数の点状光源が配置されてなるとともに、
　前記被加熱材の周縁において前記被加熱材の中心に対して点対称となる複数箇所に対向する位置には、前記被加熱材の周縁に接する面であって当該被加熱材に垂直な面にて横切られるように配置される前記点状光源を有していることを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】　前記一つの制御ゾーンは前記被加熱材の周縁部に対向する制御ゾーンを含むことを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
【請求項３】　前記点状光源はフィラメントを内包するガラス球を有し、当該ガラス球と前記隣接する点状光源のガラス球との離間距離と、前記ガラス球の直径とを比較した場合に、前記隣接する夫々のガラス球の離間距離の方が小さくなるように、前記複数のガラス球が配置されてなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の熱処理装置。
【請求項４】　前記点状光源はフィラメントを内包するガラス球と、該ガラス球を包囲するとともに前記フィラメントからの光を反射する筒状反射部とからなり、前記複数の制御ゾーンのうちの少なくとも一つの制御ゾーン内において、特定の点状光源の筒状反射部及び前記特定の点状光源に隣接する点状光源の筒状反射部の離間距離と、前記筒状反射部の内径とを比較した場合に、前記離間距離の方が小さくなるように、前記筒状反射部が配置されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の熱処理装置。
【請求項５】　光を反射する筒状反射部に包囲され板状の被加熱材に対向して配置された複数の球状ランプと、前記複数の球状ランプを略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、前記制御ゾーン毎に前記複数の球状ランプの光照射量を設定する照射量設定手段とを備え、前記複数の球状ランプの照射する光により前記被加熱材を加熱する熱処理装置であって、
　前記複数の制御ゾーンのうちの少なくとも一つの制御ゾーン内において、特定の球状ランプの筒状反射部及び前記特定の球状ランプに隣接する球状ランプの筒状反射部の離間距離と、前記筒状反射部の内径とを比較した場合に、前記離間距離の方が小さくなるように、前記筒状反射部が配置されるとともに、
　前記被加熱材の周縁において前記被加熱材の中心に対して点対称となる複数箇所に対向する位置には、前記被加熱材の周縁に接する面であって当該被加熱材に垂直な面にてその内部が横切られるように配置される前記筒状反射部を有していることを特徴とする熱処理装置。
【請求項６】　板状の被加熱材の少なくとも一方の面に複数の点状光源を対向して配置し、前記複数の点状光源を略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、前記制御ゾーン毎に前記複数の点状光源の光照射量を設定することで前記被加熱材を加熱する熱処理方法であって、
　前記複数の制御ゾーンのうちの少なくとも一つの制御ゾーンにおいて、当該一つの制御ゾーンを構成する前記複数の点状光源のうちの隣接する夫々の点状光源の離間距離と前記点状光源の直径とを比較した場合に、前記隣接する夫々の点状光源の離間距離の方が小さくなるように前記複数の点状光源を配置させるとともに、
　前記被加熱材の周縁において前記被加熱材の中心に対して点対称となる複数箇所に対向する位置に、前記被加熱材の周縁に接する面であって当該被加熱材に垂直な面にて横切られるように、前記点状光源を配置させて、前記被加熱材を加熱することを特徴とする熱処理方法。
【請求項７】　前記一つの制御ゾーンは前記被加熱材の周縁部に対向する制御ゾーンを含むことを特徴とする請求項６記載の熱処理方法。
【請求項８】　前記点状光源はフィラメントを内包するガラス球を有し、当該ガラス球と前記隣接する点状光源のガラス球との離間距離と、前記ガラス球の直径とを比較した場合に、前記隣接する夫々のガラス球の離間距離の方が小さくなるように前記複数のガラス球を配置させることを特徴とする請求項６または請求項７に記載の熱処理方法。
【請求項９】　前記点状光源をフィラメントを内包するガラス球と、該ガラス球を包囲するとともに前記フィラメントからの光を反射する筒状反射部とにより構成させ、前記複数の制御ゾーンのうちの少なくとも一つの制御ゾーン内において、特定の点状光源の筒状反射部及び前記特定の点状光源に隣接する点状光源の筒状反射部の離間距離と前記筒状反射部の内径とを比較した場合に、前記離間距離の方が小さくなるように前記筒状反射部を配置させることを特徴とする請求項６または請求項７に記載の熱処理方法。
【請求項１０】　板状の被加熱材の少なくとも一方の面に、光を反射する筒状反射部に包囲された球状ランプを複数対向させて配置し、前記複数の球状ランプを略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、前記制御ゾーン毎に前記複数の球状ランプの光照射量を設定することで前記被加熱材を加熱する熱処理方法であって、
　前記複数の制御ゾーンのうちの少なくとも一つの制御ゾーン内において、特定の球状ランプの筒状反射部及び前記特定の球状ランプに隣接する球状ランプの筒状反射部の離間距離と前記筒状反射部の内径とを比較した場合に、前記離間距離の方が小さくなるように前記筒状反射部を配置させるとともに、
　前記被加熱材の周縁において前記被加熱材の中心に対して点対称となる複数箇所に対向する位置に、前記被加熱材の周縁に接する面であって当該被加熱材に垂直な面にてその内部が横切られるように、前記筒状反射部を配置させて、前記被加熱材を加熱することを特徴とする熱処理方法。」
　
３−４．取消理由通知で引用した刊行物等に記載された発明
１）刊行物１：欧州特許出願公開第０２９９２４５号明細書（特許異議申立人藤野研治の提出した甲第１号証）
２）刊行物２：特開平２−３２０号公報（特許異議申立人藤野研治の提出した甲第２号証）
（なお、刊行物２は刊行物１の出願に対応する日本出願の公開公報であり、刊行物２の明細書は刊行物１の明細書を翻訳したものであって両者の記載内容は実質的に同一であるから、刊行物１の引用に際して、該引用の個所に対応する刊行物２の記載を参照する。）
　刊行物１は、「処理装置及び方法」（発明の名称）に関するものであって、Ｆｉｇ３７及びＦｉｇ３８と共に以下の点が記載されている。
　「加熱モジュール２０５０が室２００２の上方に位置する。透明プレート２０５２が、加熱モジュール２０５０及び室２００２を分離している。加熱モジュール２０５０からの熱は、プレート２０５２を介し放射によってウエハ４８へ導かれる。プレート２０５２が、第３７図に示した閉位置において室の頂部を形成する。面５４を下向きにしたウエハ４８が、プレート２０５２のすぐ下に位置する。
　加熱モジュール２０５０は、加熱要素からなる２つのリング２０６０と２０６２を備えている。リング２０６０がリング２０６２の外側に位置する。各リングは複数の加熱ランプ、例えばリング２０６０では２４個で、リング２０６２では１２個でそれぞれ構成されている。両リングは別々に制御可能である。反射器２０７０が、リング２０６０と２０６２からの熱をプレート２０５２を介して差し向ける。」（刊行物１の第４６頁第９０欄第３７〜５３行；刊行物２の第５９頁右上欄第２〜１９行）
　「第３８図は、加熱モジュール２０５０、リング２０６０の内の２つのランプ２１００と２１０２、及びリング２０６２の内の２つのランプ２１０４と２１０６を備えた処理モジュール２０００を示す。反射器２０７０も第３８図に示してある。リング２０６０とリング２０６２の各ランプに接続されたそれぞれの電源が、コンピュータ制御システム２０６によって別々に制御される。これが、必要に応じた多種類の加熱形態を可能とする。」（刊行物１の第４７頁第９１欄第２〜１０行；刊行物２の第５９頁左下欄第５〜１３行）
　「垂直軸２１２０は、モジュール２０００の中心部を通って延びている。・・・リング２１００と２１０２は、軸２１２０を中心に同心円状に位置する。」（刊行物１の第４７頁第９１欄第１７〜２１行；刊行物２の第５９頁右下欄第１〜６行）
　「反射器２０７０は平らな先端２２７２を含む円錐台状の部分を有し、円錐状の表面２２７４が平らな先端２２７２から離れて上方に延びている。平らな先端２２７２の中心は軸２１２０と一致している。次に反射器２０７０の表面について論じるが、これら表面は第３８図では断面で示してある。また別の円錐状表面２２７６が、表面２２７４より大きい角度で軸２１２０から離れるように更に上方に延びている。表面２２７６からは、水平な表面２２７８が軸２１２０と直角に円錐状の表面２２８０へと延びている。表面２２８０は、水平表面２２７８から、下方に且つ軸２１２０に対して外側へと水平表面２２８２まで延びている。水平表面２２８２は、表面２２８０から、軸２１２０に対し直角に外側へと更に別の円錐状表面２２８４まで延びている。表面２２８４は、表面２２８２から、下方に且つ軸２１２０に対し外側に向かって延びている。表面２２８４の最外部は、軸２１０２に沿って先端２２７２とほぼ同じ距離にある。表面２２７４と２２７６は、軸２１０２に沿って表面２２８２の位置とほぼ同じ距離で接している。先端２２７２及び各表面２２７４、２２７６、２２７８、２２８０、２２８２と２２８４が、反射器２０７０の上部を形成している。先端２２７２はプレート２０５２から離間している。」（刊行物１の第４７頁第９２欄第５〜３１行；刊行物２の第６０頁右上欄第６行〜左下欄第１０行）
　「反射器の上下両部は、各々連続状の表面を形成しているが、相互には接続されていない。表面２２８４は、表面２２７４とランプ２１００、２１０２の加熱要素と、軸２１２０に沿ってほぼ同じ距離にある。表面２２８４は、ランプ２１００と２１０２からの熱を表面２３００とほぼ平行にウエハに向かって反射させる角度とし、より多くの熱集中がウエハの外周に近い領域に向かうようにする。ランプ２１０４、２１０６の加熱要素は、表面２２７６、２２８０と、軸２１２０に沿ってほぼ同じ距離にある。表面２２７６と２２８０は、ランプ２１０４と２１０６からの熱をウエハ４８へと反射し、両ランプからの熱のより多くの集中がウエハの中心領域に向かうようにしている。表面２３００は、上方且つ軸２１２０に向かう方向で表面２２７６へ熱を反射させる角度にできる。表面２３０２も熱を上方に差し向け、下向きに反射させる。表面２２９０は軸２１２０に向かって、且つ、ウエハのエッジ上に追加の熱を水平方向に差し向ける。全体として、反射器２０７０の各表面及び先端が、最大の熱量をウエハ４８に与えるように、空間２１１０を介して熱を方向付け及び再方向付けする。ここに示した特定の反射器２０７０は、加熱モジュール２０５０用の反射器を実施するための一つの方法に過ぎない。」（刊行物１の第４７頁第９２欄第４７行〜第４８頁第９３欄第１４行；刊行物２の第６０頁右下欄第５行〜第６１頁左上欄第１０行）
　Ｆｉｇ３８は、「モジュール２０００の中心部を通って延びている（刊行物１の第４７頁第９１欄第１７〜１９行；刊行物２の第５９頁右下欄第１〜２行）」垂直軸２１２０を通る面で切断された処理モジュール２０００の断面が記載された詳細図であって、ウエハ４８の周縁において該ウエハの中心に対して点対称となる複数個所（即ち、図中のウエハ４８の右端と左端）の上方に、連続状の表面（２２７４、２２７６、２２７８、２２８０）からなる反射器（２０７０）が形成されている様子が記載されている。
　以上、刊行物１に記載の発明を、Ｆｉｇ３７及びＦｉｇ３８の記載を参照してまとめると、
　「ウエハの少なくとも一方の面に対向して配置される複数の加熱ランプと、前記複数の加熱ランプを略同心状の複数のリングに区分けし、前記リング毎に前記複数の加熱ランプの光照射量を設定するコンピュータ制御システムとを備え、前記複数の加熱ランプの照射する光により前記ウエハを加熱する処理モジュールであって、
　前記複数のリングのうちの少なくとも一つのリングは、前記複数の加熱ランプが配置されてなるとともに、
　前記ウエハの周縁において前記ウエハの中心に対して点対称となる複数箇所に対向する位置には、前記ウエハの周縁に接する面であって当該ウエハに垂直な面にて横切られるように配置される連続状の表面からなる反射器を有していることを特徴とする処理モジュール。」が記載されている。
　
３−５．本件発明と刊行物記載の発明との対比・判断
３−５−１．本件発明１について
　本件発明１と刊行物１に記載の発明とを対比すると、刊行物１に記載された「ウエハ」、「リング」はそれぞれ本件発明１の「（板状の）被加熱材」、「制御ゾーン」に相当する。
　本件発明１の「点状光源」については、その定義はなされていないが、本件特許明細書の段落【００１８】には「点状光源たる球状ハロゲンランプ」と、同段落【００１９】には「本発明でいう「点状光源」は、ウエハ２側から見た時に略円形の射影を有する形状の光源であることが好ましい。」と記載されており、また、請求項１には「点状光源の直径」と記載されており、請求項１を引用する請求項３には「点状光源はフィラメントを内包するガラス球を有し」と、同じく請求項１を引用する請求項４には「点状光源はフィラメントを内包するガラス球と、該ガラス球を包囲するとともに前記フィラメントからの光を反射する筒状反射部とからなり」と記載されていることから見て、点状光源とはランプもしくはランプ及び反射部からなる光源であって、直径が定義できるような球形または円形の形状を有する光源であるものと認められる。そして、刊行物１に記載された加熱ランプは、Ｆｉｇ３７及びＦｉｇ３８から見て、その形状はほぼ円筒状のものであり、その断面において直径が定義できるものである。したがって、刊行物１に記載された「加熱ランプ」は本件発明１の「点状光源」に相当する。（なお、刊行物１に記載された反射器については、光源の一部を構成するものではあるが、該反射器は連続状の表面から構成されており、複数の加熱ランプに共通に形成されているため、その形状が円形または球状であるとは言えず、直径も定義できない。したがって、反射器もしくは反射器に加熱ランプを含めたものが点状光源に相当するとは認められない。）
　また、「リング２０６０とリング２０６２の各ランプに接続されたそれぞれの電源が、コンピュータ制御システム２０６によって別々に制御される。」（刊行物１の第４７頁第９１欄第６〜８行；刊行物２の第５９頁左下欄第９〜１２行）と記載されており、電源が制御されると該電源に接続されたランプの照射量が変わるのは自明であるから、刊行物１に記載の「コンピュータ制御システム２０６」は、本件発明１の「照射量設定手段」に相当する。
　また、刊行物１に記載の「処理モジュール２０００」は、複数の加熱ランプ及び反射器等を備えた加熱モジュール２０５０を含むのであるから、ウエハを加熱するための装置でもあるので、本件発明１の「熱処理装置」に相当する。
　したがって、本件発明１と刊行物１に記載の発明とは、「板状の被加熱材の少なくとも一方の面に対向して配置される複数の点状光源と、前記複数の点状光源を略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、前記制御ゾーン毎に前記複数の点状光源の光照射量を設定する照射量設定手段とを備え、前記複数の点状光源の照射する光により前記被加熱材を加熱する熱処理装置であって、
  前記複数の制御ゾーンのうちの少なくとも一つの制御ゾーンは、前記複数の点状光源が配置されてなることを特徴とする熱処理装置」の点で一致しているが、刊行物１には、本件発明１の必須の構成要件である「一つの制御ゾーンを構成する前記複数の点状光源のうちの隣接する夫々の点状光源の離間距離と前記点状光源の直径とを比較した場合に、前記隣接する夫々の点状光源の離間距離の方が小さくなるように、前記複数の点状光源が配置される」点（以下、構成要件１と言う）、及び「前記被加熱材の周縁において前記被加熱材の中心に対して点対称となる複数箇所に対向する位置には、前記被加熱材の周縁に接する面であって当該被加熱材に垂直な面にて横切られるように配置される前記点状光源を有している」点（以下、構成要件２と言う）については、記載も示唆もされていない点で相違している。
　すなわち、刊行物１には、一つのリングが複数の加熱ランプで構成されることは記載されているが、一つのリング内で隣接する夫々の加熱ランプの離間距離が加熱ランプの直径よりも小さくなるように配置する点については、記載も示唆もされていない。また、刊行物１に記載の発明は、ウエハの周縁において前記ウエハの中心に対して点対称となる複数箇所に対向する位置に、前記ウエハの周縁に接する面であって当該ウエハに垂直な面にて横切られるように配置される反射器を有しているが、そのような位置に加熱ランプを配置することについては、記載も示唆もされていない。
　また、上記構成要件１及び上記構成要件２の点については、当該技術分野の周知・慣用の技術とも認められない。
　そして、本件発明１は、上記構成要件１及び上記構成要件２によって、本件特許明細書の段落【００１２】、【００１３】に記載の顕著な作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、刊行物１に記載された発明と同一ではなく、また、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　
３−５−２．本件発明２〜４について
　本件発明２〜４は、本件発明１を直接または間接に引用してさらにその構成要件を限定したものであるから、上記限定の内容について刊行物１に記載の発明と更なる対比・判断をするまでもなく、本件発明１と同様の理由により、刊行物１に記載の発明と同一ではなく、また、刊行物１記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　
３−５−３．本件発明５について
　上記「３−４．」の欄で刊行物１について引用したことに加えて、刊行物１のＦｉｇ３７、３８には、加熱ランプが略円筒状であることが記載されているので、刊行物１には次の発明が記載されている。
「光を反射する連続状の表面からなる反射器に包囲されウエハに対向して配置された複数の略円筒状加熱ランプと、前記複数の略円筒状加熱ランプを略同心状の複数のリングに区分けし、前記リング毎に前記複数の略円筒状加熱ランプの光照射量を設定するコンピュータ制御システムとを備え、前記複数の略円筒状加熱ランプの照射する光により前記ウエハを加熱する処理モジュールであって、
　前記複数のリングのうちの少なくとも一つのリング内において、前記連続状の表面からなる反射器が配置されるとともに、
　前記ウエハの周縁において前記ウエハの中心に対して点対称となる複数箇所に対向する位置には、前記ウエハの周縁に接する面であって当該ウエハに垂直な面にてその内部が横切られるように配置される前記連続状の表面からなる反射器を有していることを特徴とする処理モジュール」
　そこで、本件発明５と刊行物１に記載の発明を対比すると、刊行物１に記載された「反射器」、「ウエハ」、「加熱ランプ」「リング」、「コンピュータ制御システム」、「処理モジュール」はそれぞれ本件発明１の「反射部」、「（板状の）被加熱材」、「ランプ」「制御ゾーン」、「照射量設定手段」、「熱処理装置」に相当する。
　したがって、本件発明５と刊行物１に記載の発明とは、
「光を反射する反射部に包囲され板状の被加熱材に対向して配置された複数のランプと、前記複数のランプを略同心状の複数の制御ゾーンに区分けし、前記制御ゾーン毎に前記複数のランプの光照射量を設定する照射量設定手段とを備え、前記複数の球状ランプの照射する光により前記被加熱材を加熱する熱処理装置であって、
　前記複数の制御ゾーンのうちの少なくとも一つの制御ゾーン内において、前記反射部が配置されるとともに、
　前記被加熱材の周縁において前記被加熱材の中心に対して点対称となる複数箇所に対向する位置には、前記被加熱材の周縁に接する面であって当該被加熱材に垂直な面にてその内部が横切られるように配置される前記反射部を有していることを特徴とする熱処理装置」の点で一致しているが、刊行物１には、本件発明５の必須の特許要件である、「筒状反射部」を備える点（以下、構成要件３と言う）、「球状ランプ」を備える点（以下、構成要件４と言う）、「特定の球状ランプの筒状反射部及び前記特定の球状ランプに隣接する球状ランプの筒状反射部の離間距離と、前記筒状反射部の内径とを比較した場合に、前記離間距離の方が小さくなるように、前記筒状反射部が配置される」点（以下、構成要件５と言う）については、記載も示唆もされていない点で相違している。
　特に、加熱装置においてランプを包囲する反射部を「筒状反射部」とする点（構成要件３）については刊行物１に記載も示唆もされていないし、当該技術分野における周知・慣用の技術とも認められない。（例えば、特開昭５９−３６９２７号公報（参考文献１）、実願昭６２−５２５１０号（実開昭６３−１５９２９２号）のマイクロフィルム（参考文献２）には断面が放物線状の反射部が、米国特許第３７６１６７８号明細書（参考文献３）には球状（ｓｐｈｅｒｉｃａｌ）の反射部が記載されているが、筒状、すなわち、円柱状の反射部は記載されていない。）
　そして、本件発明５は、上記構成要件１〜３によって、本件特許明細書の段落【００１６】、【００１７】に記載の顕著な作用効果を奏するものである。
　したがって、本件請求項５に係る発明は、刊行物１に記載された発明と同一ではなく、また、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　
３−５−４．本件発明６〜１０について
　本件発明６〜１０は、それぞれ本件発明１〜５において、装置についての発明の各構成を方法的な記載とすることにより、発明のカテゴリーを装置から方法に書き替えたものである。また、発明のカテゴリーを方法とすることにより、発明の目的又は効果が格別なものとなるものとも認められない。
　したがって、本件発明６〜１０は、それぞれ本件発明１〜５と同様の理由によって、刊行物１に記載の発明と同一ではなく、また、刊行物１記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　
３−６．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び取消理由によっては本件請求項１〜１０に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜１０に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項１〜１０に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年３月３１日（２００３．３．３１）