【事件の表示】
　特願２０１２−１３６３０８「筐体、半導体製造装置および搬送ロボット」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　９月２０日出願公開、特開２０１２−１８２５０２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　この出願は、平成２０年１１月１０日（優先権主張平成１９年１１月２１日、日本国）を国際出願日とする特願２００９−５４２５２１号の一部を平成２４年６月１５日に新たな特許出願としたものであって、同２４年９月２４日付けで拒絶の理由が通知され、同２４年１１月１２日に意見書及び手続補正書が提出されたが、同２５年２月７日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、これに対し、同２５年５月１日に本件審判の請求がされ、同時に特許請求の範囲及び明細書を補正対象書類とする手続補正（以下「本件補正」という。）がされ、その後、当審の平成２５年７月２９日付け審尋に対して回答書が提出されなかったものである。
　
第２　本件補正の内容とその適否
１　補正の内容の概要
　本件補正は、特許請求の範囲及び明細書について補正をするものであって、補正前後の請求項１の記載を、補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
（１）　補正前の請求項１
「　　【請求項１】
　上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体であって、
　昇降機構を有する胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、前記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、前記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドとを有しており前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットを前記筐体における正面側または背面側の側壁である第１の側壁寄りの内部に備え、
　前記筐体は、
　平面視した場合に略矩形であり、
　前記第１アームの長さである第１アーム長は、
　前記第１アームの回転軸である第１アーム回転軸と前記第１の側壁との距離よりも長く、かつ、前記第１の側壁と対向する第２の側壁
と接触しない程度に該第２の側壁に近づけられ
　前記昇降機構の昇降軸は、
　前記第１アームの旋回範囲内、かつ、前記第１の側壁からみて前記第１アーム回転軸よりも前記筐体内の奥側に配置されること
　を特徴とする筐体。」
（２）　補正後の請求項１
「　　【請求項１】
　上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体であって、
　昇降機構を有する胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、前記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、前記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドとを有しており前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットを前記筐体における正面側または背面側の側壁である第１の側壁寄りの内部に備え、
　前記筐体は、
　平面視した場合に略矩形であり、
　前記第１アームの長さである第１アーム長は、
　前記第１アームの回転軸である第１アーム回転軸と前記第１の側壁との距離よりも長く、かつ、前記第１の側壁と対向する第２の側壁
の近傍へ到達する長さであり
　前記昇降機構の昇降軸は、
　前記第１アームの旋回範囲内、かつ、前記第１の側壁からみて前記第１アーム回転軸よりも前記筐体内の奥側に配置されること
　を特徴とする筐体。」
２　補正の適否
　請求項１における補正は、第１アーム長を「第２の側壁と接触しない程度に該第２の側壁に近づけられ」るものから、「第２の側壁の近傍へ到達する長さであ」るものとしたものであって、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであることは明らかである。
　以上のとおり、審判請求時の補正は、明りょうでない記載の釈明であると認めることができ、適法である。
　
第３　本件出願の発明と引用発明
１　本件発明
　本件出願の請求項１ないし１７に係る発明は、本件補正により補正がされた特許請求の範囲及び明細書、出願当初の図面の記載からみて、その請求項１ないし１７に記載されたとおりの発明であると認められるところ、請求項１に記載された発明（以下、「本件発明」という。）は、上記第２の１（２）に記載されたとおりである。
２　刊行物記載事項及び刊行物に記載された発明
　この出願の原出願における優先日前に頒布された刊行物である特開２００３−１８８２３１号公報（以下「刊行物１」という。）及び特開２００５−１９７５４２号公報（以下「刊行物２」という。）に記載された事項及び発明は、以下の通りである。
（１）　刊行物１
　刊行物１には以下の記載がある。
ア　段落【０００１】
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板製造装置や半導体製造装置等において、基板やウェーハ等のワークを搬送するために用いるワーク搬送用ロボット及びこのロボットを備えたワーク加工装置に関するものである。」
イ　段落【００５３】〜【００６１】
「【００５３】図１ないし図３において、Ａはアーム機構駆動装置、Ｂ及びＣはそれぞれ前段側アーム機構及び後段側アーム機構、Ｄはハンドであり、これらによりワーク搬送用ロボットＲが構成されている。なお図２に示したＷは、ハンドＤの上に保持されたワーク（例えば半導体ウェハ）である。
【００５４】図３に示したように、アーム機構駆動装置Ａは、円筒状に形成されたケーシング１を備えている。ケーシング１は駆動装置Ａの機構部を収容するためのもので、図示のケーシング１は、正方形状に形成された底板１０１と、該底板に下端が着脱可能に固定された円筒状の筒状部１０２とからなり、筒状部１０２はその軸線Ｏ−Ｏを垂直方向に向けた状態で配置されている。ケーシング１の底板１０１の四隅には、ロボットを取付け箇所に固定するためのボルトを挿通する取付け孔１０３が形成されている。またケーシング１の筒状部１０２の下端寄りの部分の外面には、１対の把手１０４，１０４が固定されている。
【００５５】ケーシング１の内側には、上下方向に延びる支柱２が設けられていて、この支柱２に昇降フレーム３が昇降自在に支持され、ケーシング１と昇降フレーム３とにより、アーム機構を支持する支持フレーム４が構成されている。
【００５６】更に詳述すると、支柱２は、図５に示されているように、ケーシング１と中心軸線を共有する円筒面の形状を呈する外周面２０１と、ケーシングの中心軸線と平行に延びる平坦な側面２０２と、ケーシングの軸線方向に延びる溝２０３とを有している。溝２０３は、側面２０２側に開口するように設けられていて、該溝２０３の両側に、ケーシングの中心軸線と平行に延びる対のレール取付け面２０２ａ，２０２ａが形成されている。支柱２は、その下端をケーシングの底板１０１に固定することにより、ケーシング１に対して固定され、対のレール取付け面２０２ａ，２０２ａに、互いに平行に配置された対のガイドレール５，５が固定されている。支柱２の上端及び下端寄りの位置には、溝２０３の上端及び下端をそれぞれ終端する端部壁２０４及び２０５が形成されている。
【００５７】ガイドレール５，５にはそれぞれスライダ６，６がスライド自在に結合され、これらのスライダ６，６に昇降フレーム３が固定されている。図示の例では、ガイドレール５，５がそれぞれ鳩尾状の断面形状を有するように形成されていて、昇降フレーム３に固定されたスライダ６，６にそれぞれ設けられた断面鳩尾状の溝にガイドレール５，５がスライド自在に嵌合されている。
【００５８】この例では、支柱２と、ガイドレール５，５と、スライダ６，６とにより、昇降フレーム３をケーシング１に対して昇降自在に支持する昇降フレーム支持機構が構成されている。
【００５９】支柱２の上端側及び下端側の端部壁２０４及び２０５にはそれぞれ軸受８及び９（図３及び図６参照）が取り付けられ、これらの軸受により、支柱２の溝２０３内を上下方向（垂直方向）に延びるネジ棒（図示の例ではボールネジ）１０が支持されている。昇降フレーム３の下端には、溝２０３内に挿入された張り出し部３０１が形成され、この張り出し部３０１に固定されたナット（図示の例ではボールナット）１１にネジ棒１０が螺合されている。ケーシング１内の下部には昇降用モータ１２が、その出力軸を下方に向けた状態で配置されている。昇降用モータ１２は、ケーシング１の底板１０１に架台１３を介して固定され、モータ１２の回転軸に取り付けられた歯付きプーリ１４と、ボールネジ１０の下端に取り付けられた歯付きプーリ１５とに歯付きベルト１６が巻き掛けされている。
【００６０】したがって、モータ１２が駆動されると、その回転がプーリ１４とベルト１６とプーリ１５とを介してネジ棒１０に伝達され、このネジ棒の回転により、ナット１１が昇降フレーム３とともに昇降させられる。この例では、ネジ棒１０及びナット１１からなる螺進機構と、昇降用モータ１２と、プーリ１４及び１５と、ベルト１６とにより、昇降フレーム３をケーシングの中心軸線に沿って昇降させる昇降機構が構成されている。
【００６１】上記のように、対のガイドレール５，５に対して共通に支柱２を設けて、この支柱２に対のガイドレールを取り付ける構造にしておくと、対のガイドレール５，５をケーシング１内に組み込む前に、支柱２を衝として所定の位置関係に位置決め固定した後に、支柱２をガイドレール５，５とともにケーシング１内に挿入する組み立て方法をとることができるため、２本のガイドレールを位置決めしたり、固定したり、ガイドレール相互間の位置関係の微調整を行ったりする面倒な作業を狭いケーシング内で行う必要がなく、対のガイドレールを精度良く位置決めして取り付ける作業を容易に行うことができる。」
ウ　段落【００８２】〜【００８６】
「【００８２】図４及び図５に示したように、昇降フレーム３の上部に前段側アーム駆動用モータ６０がその出力軸を上方に向けた状態で取り付けられ、モータ６０の出力軸に歯付きプーリ６１が取り付けられている。歯付きプーリ６１とプーリ２３とに歯付きベルト６２が巻き掛けされ、モータ６０の回転がプーリ６１とベルト６２とプーリ２３とを介して減速機２０の入力部に伝達されている。この例では、プーリ２３及び６１とベルト６２とにより、前段側アーム駆動用モータ６０の回転を前段側アーム用減速機２０の入力部に伝達する前段側アーム用伝導機構が構成され、この伝導機構と減速機２０とにより、モータ６０の回転を前段側アームＢの一端に伝達する前段側アーム用動力伝達装置が構成されている。
【００８３】昇降フレーム３の上部にはまた、ハンド駆動用モータ６５（図３参照）が取り付けられ、このハンド駆動用モータ６５の出力軸に歯付きプーリ６６が取り付けられている。歯付きプーリ６６とハンド駆動軸の下端に取り付けられた歯付きプーリ２７とに歯付きベルト６７が巻き掛けされ、ハンド駆動用モータ６５の回転がプーリ６６とベルト６７とプーリ２７とを介してハンド用駆動軸２４に伝達されている。
【００８４】本実施形態では、プーリ２７及び６６とベルト６７とにより、ハンド駆動用モータ６５の回転をハンド用駆動軸２４に伝達する第１のハンド用伝導機構が構成され、前段側アームＢの中空部内に配置されたプーリ２８及び４８とベルト５６とにより、前段側アームの中空部内でハンド用駆動軸２４の回転をハンド用中継軸４５に伝達する第２のハンド用伝導機構が構成されている。また、後段側アームＣの中空部内に配置されたプーリ４６及び５３とベルト５７とにより、後段側アームの中空部内でハンド駆動用中継軸４５の回転をハンド用減速機５０の入力部に伝達する第３のハンド用伝導機構が構成され、上記第１ないし第３のハンド用伝導機構と減速機５０とにより、ハンド駆動用モータ６５の回転を前段側アームの中空部内及び後段側アームの中空部内を通してハンドＤの一端に伝達するハンド用動力伝達装置が構成されている。
【００８５】図４及び図５に示すように、昇降フレーム３の上部には、後段側アーム駆動用モータ７０が取り付けられ、このモータ７０の出力軸に歯付きプーリ７１が取り付けられている。歯付きプーリ７１と後段側アーム用駆動軸３０の下端に取り付けられた歯付きプーリ３５とに歯付きベルト７２が巻き掛けされ、モータ７０の回転がプーリ７１とベルト７２とプーリ３５とを介して後段側アーム用駆動軸３０に伝達されるようになっている。
【００８６】この例では、プーリ３５及び７１とベルト７２とにより、後段側アーム駆動用モータ７０の回転を後段側アーム用駆動軸３０に伝達する第１の後段側アーム用伝導機構が構成されている。またプーリ３６と、ベルト５５と、プーリ４４とにより、前段側アームＢの中空部内で後段側アーム用駆動軸３０の回転を後段側アーム用減速機４３の入力部に伝達する第２の後段側アーム用伝導機構が構成され、上記第１及び第２の後段側アーム用伝導機構と減速機４３とにより、後段側アーム駆動用モータ７０の回転を前段側アームの中空部内で後段側アーム用減速機の入力部に伝達する後段側アーム用動力伝達装置が構成されている。」
エ　段落【００８９】〜【００９０】
「【００８９】上記のワーク搬送用ロボットにおいては、前段側アーム駆動用モータ６０を駆動することにより、前段側アームＢをエンドレスに回動させることができる。また後段側アーム駆動用モータ７０（図４参照）を駆動することにより、後段側アームＣを、エンドレスに回動させることができる。更に、ハンド駆動用モータ６５（図３参照）を回転させることにより、ハンドＤをエンドレスに回動させることができる。
【００９０】したがって、前段側アームＢ，後段側アームＣ及びハンドＤのそれぞれの回動量と回動方向とを適宜に制御することにより、ハンドＤを種々の方向に移動させることができる。」
オ　段落【０１１２】〜【０１２１】
「【０１１２】本発明に係わるワーク搬送用ロボットは、半導体製造装置や液晶製造装置等のワーク加工装置において、ウェハや液晶基板等のワークを搬送するために用いられる。図９は本実施形態のワーク搬送用ロボットを備えたワーク加工装置の一例を示したもので、同図において８０は長手方向に対向する対の側壁８０ａ，８０ｂと、これらの側壁の対向方向に対して直角な方向（奥行き方向）に相対する対の側壁８０ｃ，８０ｄとを有する直方体状のトランスファチャンバ、８１はトランスファチャンバ８０の一つの側壁８０ａに接続されたロードロックチャンバ、８２Ａ及び８２Ｂは一定の距離を隔てた状態で水平方向に並設されて、ロードロックチャンバ８１が接続されたトランスファチャンバの側壁８０ａと直交する他の側壁８０ｃに接続された２つのプロセスチャンバであり、トランスファチャンバ８０内に本発明に係わるロボットＲが配置されている。
【０１１３】図示のロボットＲは、２つのプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂの中心Ｏａ，Ｏａ´間の水平方向距離を２等分する位置を両プロセスチャンバの並設方向に対して直角な方向に延びる直線Ｏｃ−Ｏｃ上の位置で、かつトランスファチャンバの相対する側壁８０ｃ，８０ｄの対向方向の片側（図示の例ではプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側）に偏った位置に前段側アームＢの回動中心（第１の軸線Ｏ１−Ｏ１）を位置させた状態で配置されている。
【０１１４】半導体製造装置等のワーク加工装置において、ワークの中心位置及び向きを常に一定にしてプロセスチャンバー内に搬入する必要がある場合には、トランスファチャンバ８０内にまちまちの向きで搬入されるワークの向きを一定の向きに揃えるための装置（アライナ装置と呼ばれる。）をトランスファチャンバ内に配置しておく必要がある。図９に示した例では、ロボットＲの側方のデッドペースにアライナ装置８３が配置されている。図示のアライナ装置８３は、半導体ウェハを保持して回転させるターンテーブル８３Ａと、該ターンテーブルを回転させる駆動機構と、ターンテーブル８３Ａに保持されたウェハのノッチ（Ｖ字形の切欠）またはオリフラ（オリエンテーションフラット）の位置を検出するセンサと、検出したウェハのノッチまたはオリフラの位置を規定の方向に向けるようにターンテーブル８３Ａの回転を制御する制御装置とを備えたものである。アライナ装置８３は、ロボットＲによりウェハを保持してプロセスチャンバに搬入、搬出する際に、ロボットのハンドの移動を妨げることがないように、そのターンテーブル８３Ａをロードロックチャンバ８１及びプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂのそれぞれの搬入、搬出口よりも下方に位置させた状態で設けられている。
・・・
【０１１６】図１０（Ａ）ないし（Ｅ）は、図９のワーク加工装置において、一方のプロセスチャンバ８２Ａ内のウェハ（ワーク）Ｗを他方のプロセスチャンバ８２Ｂ内に搬送する際のロボットの動きを順を追って示している。なお図１０においてはアライナ装置８３の図示が省略されている。
【０１１７】この例では、図１０（Ａ）の過程で一方のプロセスチャンバ８２Ａ内のウェハＷを受け取り、図１０（Ｂ）の過程でウェハＷをプロセスチャンバ８２Ａから搬出している。その後、図１０（Ｃ）及び（Ｄ）の過程でウェハＷを横方向（プロセスチャンバの並設方向）に平行移動させて、他方のプロセスチャンバ８２Ｂの前まで移動させ、図１０（Ｅ）の過程でウェハをプロセスチャンバ８２Ｂ内に搬入している。
【０１１８】上記のように、本実施形態によれば、ロボットをチャンバの並設方向に移動させることなく、定位置に固定したままで複数のチャンバ内へのワークの搬入、搬出を行わせることができるため、ロボットをチャンバの並設方向に移動させる移動台を省略して搬送装置の構成を簡単にすることができ、半導体等の製造装置の小形化を図ることができる。
【０１１９】ワークを一方向にのみ移動させるように構成されていた従来のロボットを図９に示すようなワーク加工装置に用いる場合には、ロボットをトランスファチャンバ内でプロセスチャンバの並設方向に移動させる必要があるため、アライナ装置８３を配置するためにトランスファチャンバ内に余分のスペースを確保する必要があり、製造装置が大形になるのを避けられなかったが、本実施形態のように、前段側アーム及び後段側アームとハンドとをエンドレスに回動させるように構成した場合には、上記のように、ロボットをチャンバの並設方向に移動させることなく、定位置に固定したままで複数のチャンバ内へのワークの搬入、搬出を行わせることができるため、図９に示したように、ロボットＲの側方に形成されたデッドスペースにアライナ装置を配置することで、トランスファチャンバの小形化を図ることができる。
【０１２０】更に、本実施形態のように、各アームＢ，Ｃ及びハンドＤをエンドレスに回動させることができるようにしておくと、各アーム及びハンドの変位の自由度を高めることができるため、常にワークを許容される最短の経路で目標位置に移動させるように各アーム及びハンドを制御して、ワークの移動に要する時間を短縮することができる。
【０１２１】また本実施形態のように、前段側アームＢの回動中心である第１の軸線Ｏ１−Ｏ１がケーシング１の中心軸線Ｏ−Ｏに対して一定の偏倚距離ΔＤだけ偏倚した位置を垂直方向に延びるように前段側アームの回動中心を設定すると、ロボットをワーク加工装置のトランスファチャンバ内に配置して、トランスファチャンバとロードロックチャンバとの間でのワークの受け渡しと、トランスファチャンバとプロセスチャンバとの間でのワークの受け渡しとを行わせるために用いる場合に、前段側アームＢの回動中心とケーシング１の中心とを結ぶ直線の方向に相対するチャンバの対向壁部間の距離Ｌ（トランスファチャンバの奥行き方向の内法寸法、図９参照）を、前段側アームの回動中心をケーシングの中心に一致させた場合に比べて、偏倚距離ΔＤ分だけ短縮することができるため、ワーク加工装置のトランスファチャンバの小形化を図ることができる。またワーク加工装置がクリーンルーム内に配置される場合には、クリーンルームの容積の縮小を図ることができる。」
カ　段落【００４８】〜【００５１】
「【００４８】本発明に係わるロボットは特に、直方体状に形成されたトランスファチャンバと、トランスファチャンバの長手方向に相対する２つの側壁の少なくとも一方に接続されたロードロックチャンバと、水平方向に並べて配置されてトランスファチャンバの奥行き方向に相対する２つの側壁の一方に接続された複数のプロセスチャンバとを備えたワーク加工装置において、トランスファチャンバとロードロックチャンバとの間でのワークの受け渡しと、トランスファチャンバと各プロセスチャンバとの間でのワークの受け渡しとを行わせるために用いるのに適している。この場合、本発明に係わるワーク搬送用ロボットを、トランスファチャンバの奥行き方向に相対する２つの側壁の他方にケーシングを近接させた状態で配置すると、トランスファチャンバの奥行き寸法を短縮することができるため、トランスファチャンバの容積の縮小を効果的に図ることができる。
【００４９】またロボット設置ステーションと、ロボット設置ステーションの近傍に配置されたワーク加工部と、該ワーク加工部へのワークの搬入及び該ワーク加工部からのワークの搬出を行うためにロボット設置ステーションの上に設置されたワーク搬送用ロボットとを備えたワーク加工装置が用いられる場合もある。
【００５０】このように、トランスファーチャンバを持たないワーク加工装置においても、本発明のロボットを用いることにより、ワーク加工部とロボットとの間の距離を短縮することができるため、ワーク加工装置の小形化を図って、クリーンルームの容積の縮小を図ることができる。
【００５１】例えば、ロボット設置ステーションとして、長方形を呈するものを用い、該ロボット設置ステーションの一方の長辺の近傍に少なくとも一つのワーク加工部を配置する場合には、本発明のワーク搬送用ロボットを、そのケーシングをロボット設置ステーションの他方の長辺に近接させた状態で配置することにより、ロボット設置ステーションの奥行き寸法の縮小を図って、ワーク加工装置の小形化を図ることができる。」
キ　ここで、ワーク搬送用ロボットＲの前段側アーム機構Ｂ、後段側アーム機構Ｂ、ハンドＤが水平方向に回動自在なものであり、また、前段側アーム機構Ｂの先端上に後段側アームＣが設けられ、後段側アームＣの先端上にハンドＤが設けられていることは明らかである。
　また、図面の図９、図１０を参照すると、トランスファチャンバ８０の一対の側壁８０ｃ、８０ｄは、他方の一対の側壁８０ａ、８０ｂよりも長いことが見て取れる。一方、摘記事項カの「このように、トランスファーチャンバを持たないワーク加工装置においても、本発明のロボットを用いることにより、ワーク加工部とロボットとの間の距離を短縮することができるため、ワーク加工装置の小形化を図って、クリーンルームの容積の縮小を図ることができる。例えば、ロボット設置ステーションとして、長方形を呈するものを用い、該ロボット設置ステーションの一方の長辺の近傍に少なくとも一つのワーク加工部を配置する場合には、本発明のワーク搬送用ロボットを、そのケーシングをロボット設置ステーションの他方の長辺に近接させた状態で配置することにより、ロボット設置ステーションの奥行き寸法の縮小を図って、ワーク加工装置の小形化を図ることができる。」の記載から、図９、図１０に記載された装置において、トランスファチャンバ８０の代わりにクリーンルームを有するロボット設置ステーションを用いることができる。
　さらに、摘記事項オに「図示のロボットＲは、２つのプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂの中心Ｏａ，Ｏａ´間の水平方向距離を２等分する位置を両プロセスチャンバの並設方向に対して直角な方向に延びる直線Ｏｃ−Ｏｃ上の位置で、かつトランスファチャンバの相対する側壁８０ｃ，８０ｄの対向方向の片側（図示の例ではプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側）に偏った位置に前段側アームＢの回動中心（第１の軸線Ｏ１−Ｏ１）を位置させた状態で配置されている。」とあるところ、ロボットＲの前段側アームＢの回動中心と反対側にネジ棒１０が設けられていることは図５、図６を参照することにより明らかであるから、図９に示されたトランスファチャンバ８０内において、ワーク搬送用ロボットＲを偏らせた側の側壁８０ｄに対して、ロボットＲの前段側アームＢの回動中心よりも遠い側にネジ棒１０が設けられていることは明らかである。
　そして、図面の図１０を参照すると、前段側アームＢの先端はワーク搬送用ロボットＲのケーシング１の外側に設定されていることが見て取れるから、ネジ棒１０が設けられているのは、前段側アームＢの旋回範囲内であることは明らかである。
ク　刊行物１記載の発明
　上記アないしカの摘記事項、及びキの認定事項より、刊行物１には、次の発明が記載されていると認める。
「クリーンルームを有するロボット設置ステーションであって、
　昇降フレーム３と、昇降フレーム３の上部で水平方向に回転自在な前段側アームＢと、前記前段側アームＢの先端上で水平方向に回転自在な後段側アームＣと、前記後段側アームＣの先端上で水平方向に回転自在なハンドＤとを有しており前記ハンドＤ上に保持された半導体ウエハＷを搬送するワーク搬送用ロボットＲを前記ロボット設置ステーション内の側壁８０ｄ側に偏らせて備え、
　前記ロボット設置ステーションは、
　一対の側壁８０ｃ、８０ｄが、他方の一対の側壁８０ａ、８０ｂよりも長い直方体状であり、
　前記昇降フレーム３を昇降させるネジ棒１０は、
　前記前段側アームＢの旋回範囲内、かつ、前記側壁８０ｄからみて前記前段側アームＢの回動中心よりもロボット設置ステーション内の遠い側に配置されているロボット設置ステーション。」（以下「刊行物１記載の発明」という。）
（２）　刊行物２
　刊行物２には以下の記載がある。
ケ　段落【０００１】
「【０００１】
　本発明は、半導体製造技術、特に、被処理基板を処理室に収容してヒータによって加熱した状態で処理を施す熱処理技術に関し、例えば、半導体集積回路装置が作り込まれる半導体ウエハに酸化処理や拡散処理、イオン打ち込み後のキャリア活性化や平坦化のためのリフローやアニール及び熱ＣＶＤ反応による成膜処理などに使用される基板処理装置に利用して有効なものに係わる。」
コ　段落【００２０】〜【００２２】
「【００２０】
　予備室１２２および予備室１２３の前側には、略大気圧下で用いられる第二の搬送室１２１がゲートバルブ１２８、１２９を介して連結されている。第二の搬送室１２１にはウエハ２００を移載する第二のウエハ移載機１２４が設置されている。第二のウエハ移載機１２４は第二の搬送室１２１に設置されたエレベータ１２６によって昇降されるように構成されているとともに、リニアアクチュエータ１３２によって左右方向に往復移動されるように構成されている。
【００２１】
　図２に示されているように、第二の搬送室１２１の左側にはオリフラ合わせ装置１０６が設置されている。また、図３に示されているように、第二の搬送室１２１の上部にはクリーンエアを供給するクリーンユニット１１８が設置されている。
【００２２】
　図２および図３に示されているように、第二の搬送室１２１の筐体１２５には、ウエハ２００を第二の搬送室１２１に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口１３４と、前記ウエハ搬入搬出口を閉塞する蓋１４２と、ポッドオープナ１０８がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１０８は、ＩＯステージ１０５に載置されたポッド１００のキャップ及びウエハ搬入搬出口１３４を閉塞する蓋１４２を開閉するキャップ開閉機構１３６とを備えており、ＩＯステージ１０５に載置されたポッド１００のキャップ及びウエハ搬入搬出口１３４を閉塞する蓋１４２をキャップ開閉機構１３６によって開閉することにより、ポッド１００のウエハ出し入れを可能にする。また、ポッド１００は図示しない工程内搬送装置（ＲＧＶ）によって、前記ＩＯステージ１０５に、供給および排出されるようになっている。」 
サ　ここで、図面の図２を参照すると、第二の搬送室１２１の筐体１２５は、平面視した場合に略矩形であることが見て取れる。
　図面の図３を参照すると、上部にクリーンユニット１１８が設けられているのが見て取れる。クリ−ンユニット１１８にフィルタが備えられていること、及びクリーンユニット１１８からのクリーンエアは、ダウンフローの気流により、筐体１２５内部の第二の搬送室１２１を外部と隔離するものであることは明らかである。
シ　刊行物２記載の発明
　上記ケないしコの摘記事項、及びサの認定事項より、刊行物２には、次の発明が記載されていると認める。
「上部に設置したクリーンユニット１１８のフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体１２５であって、
　エレベータ１２６によって昇降され、リニアアクチュエータ１３２によって左右方向に往復移動されるように構成されている、ウエハ２００を移載する第二のウエハ移載機１２４を筐体１２５内に備え、
　前記筐体１２５は、平面視した場合に略矩形状である筐体１２５。」（以下「刊行物２記載の発明」という。）
　
第４　対比
　本件発明と刊行物１記載の発明とを対比する。
　刊行物１記載の発明の「クリーンルームを有するロボット設置ステーション」、「前段側アームＢ」、「後段側アームＣ」、「ハンドＤ」、「ワーク搬送用ロボットＲ」は、それぞれ、本件発明の「筐体」、「第１アーム」、「第２アーム」、「ハンド」、「搬送ロボット」に相当する。
　刊行物１記載の発明の「昇降フレーム３」、「上部」、「ネジ棒１０」は、それぞれ、本件発明の「胴体」、「上」、「昇降軸」に相当する。したがって、刊行物１記載の発明の「昇降フレーム３」は「昇降機構を有する胴体」と呼ぶことができ、刊行物１記載の発明の「昇降フレーム３を昇降させるネジ棒１０」は「昇降機構の昇降軸」と呼ぶことができる。
　刊行物１記載の発明の「一対の側壁８０ｃ、８０ｄが、他方の一対の側壁８０ａ、８０ｂよりも長い直方体状」は、本件発明の「平面視した場合に略矩形」に相当する。
　刊行物１記載の発明の「側壁８０ｄ」は本件発明の「筐体における正面側または背面側の側壁である第１の側壁」に相当する。したがって、刊行物１記載の発明の「ロボット設置ステーション内の側壁８０ｄ側に偏らせて備え」ることは、本件発明の「筐体における正面側または背面側の側壁である第１の側壁寄りの内部に備え」ることに相当する。
　刊行物１記載の発明の「側壁８０ｄからみて前段側アームＢの回動中心よりもロボット設置ステーション内の遠い側に配置」されることは、本件発明の「第１の側壁からみて第１アーム回転軸よりも筐体内の奥側に配置」されることに相当する。
　以上のとおりであるので、両者は、次の「筐体」で一致している。
「筐体であって、
　昇降機構を有する胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、前記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、前記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドとを有しており前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットを前記筐体における正面側または背面側の側壁である第１の側壁寄りの内部に備え、
　前記筐体は、
　平面視した場合に略矩形であり、
　前記昇降機構の昇降軸は、
　前記第１アームの旋回範囲内、かつ、前記第１の側壁からみて前記第１アーム回転軸よりも前記筐体内の奥側に配置される筐体。」
　そして、両者は、次の点で相違している。
（１）　＜相違点１＞
　筐体内の雰囲気に関して、本件発明では、「上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する」ものであると特定しているのに対し、刊行物１記載の発明では、クリーンルームは有するものの、そのようなダウンフローの気流があるのかどうか不明な点。
（２）　＜相違点２＞
　搬送ロボットの第１アーム長に関して、本件発明では、「第１アームの長さである第１アーム長は、前記第１アームの回転軸である第１アーム回転軸と第１の側壁との距離よりも長く、かつ、前記第１の側壁と対向する第２の側壁の近傍へ到達する長さであ」ると特定しているのに対し、刊行物１記載の発明では、第１アームに相当する前段側アームＢの長さについて不明な点。
　
第５　相違点の検討
　上記各相違点について、以下検討する。
（１）　＜相違点１＞について
　刊行物２記載の発明は、「上部に設置したクリーンユニット１１８のフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体１２５であって、エレベータ１２６によって昇降され、リニアアクチュエータ１３２によって左右方向に往復移動されるように構成されている、ウエハ２００を移載する第二のウエハ移載機１２４を筐体１２５内に備え、前記筐体１２５は、平面視した場合に略矩形状である筐体１２５。」である。ここで、刊行物２記載の発明の「筐体１２５」、「エレベータ１２６よって昇降され」、「ウエハ２００を移載する第二のウエハ移載機１２４」は、それぞれ、本件発明の「筐体」、「昇降機構を有し」、「基板を搬送する搬送ロボット」に相当するから、刊行物２記載の発明は、「上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体であって、昇降機構を有し、基板を搬送する搬送ロボットを筐体内部に備え、前記筐体は、平面視した場合に略矩形状である筐体。」と言い換えることができる。すなわち、基板を搬送する搬送ロボットを有する筐体内を、上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流により外部と隔離することは刊行物２記載の発明に見られるように従来知られている。
　そして、刊行物１記載の発明も、刊行物２記載の発明も、基板を搬送する搬送ロボットを内部に有する筐体であって、基板の搬送は清浄な雰囲気で行われなければならないことがこの種の装置において当然望まれていることであること、刊行物１記載の発明も、クリーンルームを有すること、以上のことからすれば、刊行物２記載の発明におけるクリーンユニット１１８の構成を刊行物１記載の発明に適用し、筐体であるロボット設置ステーションの上部にもクリーンユニットを設置し、それにより上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流によりロボット設置ステーション内を外部と隔離することは、当業者にとって格別困難なことではない。
（２）　＜相違点２＞について
　刊行物１には、第１アームに相当する前段側アームＢの長さについての記載はない。
　しかしながら、刊行物１記載の発明において、ワーク搬送用ロボットＲはロボット設置ステーション内の一方の側壁８０ｄに偏った位置に設けられたものであることから、側壁８０ｄと対向する側壁８０ｃとの距離が、ワーク搬送用ロボットＲをロボット設置ステーション内の中心に設置した場合よりも遠くなることは明らかである。してみると、ロボット設置ステーション内の遠くなった側壁８０ｃ側に半導体ウエハを搬送するためには、遠くなった分だけワーク搬送用ロボットＲのアームの長さを全体として長くすべきことは当然の設計変更である。ワーク搬送用ロボットＲのアームの長さを全体として長くすれば、当然、前段側アームＢの長さも長くなる。そして、前段側アームＢの長さを長くすれば、前段側アームＢの先端は、（側壁８０ｄと対向する）側壁８０ｃに近づくようになる。逆に、前段側アームＢの長さが長くした場合に、ワーク搬送用ロボットＲを近づけて設置した側の側壁８０ｄは、前段側アームＢの回動中心と近くなるのであるから、前段側アームＢの長さは側壁８０ｄと前段側アームＢの回動中心との距離よりも長くなる。
　してみると、刊行物１記載の発明において、前段側アームＢのアーム長を、前記前段側アームＢの回動中心と側壁８０ｄとの距離よりも長く、かつ、側壁８０ｄと対向する側壁８０ｃに近づく長さとすることは、当然の設計事項である。
　なお、本件発明では、第１のアーム長は、第１の側壁と対向する第２の側
壁の「近傍に到達する長さ」と特定している。
　しかしながら、第１のアームに相当する前段側アームＢのアーム長を側壁８０ｃの「近傍に到達する」長さと特定しても、前段側アームＢのアーム長を側壁８０ｃに近づく長さとしたものに比較してその差異が明確ではなく、しかも、「近傍」と特定したことによる特別な作用ないし効果が認められず、また、ロボットアームのアーム長は、回動可能な範囲でできるだけ長くすればそれだけロボットアームで搬送できる距離が長くなることが自明の事項であることからすれば、上記「近傍に到達する」長さと特定することは、技術的に有意義な特定であるとすることはできない。
（３）　本件発明の作用効果について
　本件発明が奏する作用効果は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の発明から当業者が予測できる程度のものであって格別のものではない。
　
第６　むすび
　以上のとおり、本件発明は、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、この出願の請求項２ないし１７に係る発明について判断するまでもなく、この出願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。