【事件の表示】
　特許第３１７０９３２号「誘電体バリヤ放電ランプ」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１７０９３２号の請求項１ないし２に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続きの経緯
　
　特許第３１７０９３２号の請求項１ないし２に係る発明についての出願は、平成５年１月２９日に特許出願され、平成１３年３月２３日にその発明について特許権の設定登録がなされた後、平成１３年１１月２８日に特許異議申立人ヘレーウス・ノーブルライト・ゲーエムベーハーより請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てがなされ、平成１４年１２月９日付けで請求項１ないし２に係る特許に対する取消理由通知がなされたところ、その指定期間内である平成１５年２月１７日に訂正請求書及び特許異議意見書が提出されたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
　
　２−１　訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
　
【訂正事項ａ】
　【特許請求の範囲】中に記載されている
「【請求項１】放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充満し、該エキシマ分子から放射される光をとりだす窓部材を有する誘電体バリヤ放電ランプにおいて、窓部材の少なくとも一部が石英ガラスからなり、その石英ガラスのＯＨ基含有量が重量で１０ｐｐｍ以下で特徴付けられる誘電体バリヤ放電ランプ。」を、
「【請求項１】放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充満し、
この放電容器の外面には電極が設けられるとともに、
放電容器に
に訂正する。
　
【訂正事項ｂ】
　【問題を解決する手段】中に記載されている
「放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、該誘電体バリヤ放電によって発生した該エキシマ分子から放射される光を取り出す窓部材を有する誘電体バリヤ放電ランプにおいて、」を、
「放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、
この放電容器の外面には電極が設けられるとともに、
放電容器に
に訂正する。
　
　２−２　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　
【訂正事項ａ】について
　訂正事項ａ中、「
この放電容器の外面には電極が設けられるとともに、
　また、訂正事項ａ中、「
放電容器に
　そして、この訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
【訂正事項ｂ】について
　訂正事項ｂは、訂正された特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明との整合性を図るためものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、この点は願書に添付した明細書の【０００７】及び図１に記載されており、新規事項の追加にも該当しない。そして、この訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
　２−３　むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申し立てについての判断
　
　３−１　本件発明
　請求項１ないし２に係る発明は、平成１５年２月１７日付けで提出された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし２に記載された次のとおりのものである。
　
【請求項１】放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充満し、
この放電容器の外面には電極が設けられるとともに、
放電容器に
　
【請求項２】放電用ガスとしてハロゲンを含む請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
 　
　３−２　取消理由の概要
　本件の請求項１ないし２に係る発明は、下記の刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　
刊行物１：特開平０４−２２３０３９号公報
刊行物２：「ランプ用ガラス（石英ガラス）」照明学会誌、第６９巻、第１号、８−１０頁、昭和６０年
刊行物３：特開平０２−８０３４３号公報
刊行物４：特開平０２−６４０２８号公報
　
３−３　各刊行物に記載の事項
　
　上記刊行物１には、
　
（１−１）「図１による照射装置は実質的に、誘電材料例えば石英ガラスから成り互いに距離をおいて配置された板１，２により構成されており、これらの板によって放電室３が区切られている。」（第３頁４欄３７行〜同４０行）、
（１−２）「板１と２の間の放電室３は、放電により生じるビームを送出する充填ガス、例えば水銀、希ガス、希ガスと金属蒸気との混合物、希ガスとハロゲンの混合物、で満たされている。」（第４頁６欄５行〜同８行）、
（１−３）「エキサイマービームが生じるガスないしガス混合物による放射器も重要である。実例として希ガスおよび希ガスとハロゲンの混合物を挙げておく。」（第３頁３欄２７〜同３０行）
（１−４）「　　　
充填ガス
ビーム
　　　　　　　　アルゴン　＋弗素　　　　　１８０−２００ｎｍ
　　　　　　　　アルゴン　＋塩素　　　　　１６５−１９０ｎｍ
　　　　　　　　クリプトン＋弗素　　　　　２４０−２２５ｎｍ
　　　　　　　　クリプトン＋塩素　　　　　２００−２４０ｎｍ
　　　　　　　　キセノン　＋弗素　　　　　３４０−３６０ｎｍ
　　　　　　　　キセノン　＋塩素　　　　　３００−３２０ｎｍ」（【００１９】）
（１−５）「なお、内部と外部とに向かって放射する紫外線放射器を備えたシリンダ状の照射装置も実現可能であることを付言しておく。このような装置は、平坦な板ないし電極を管状に変形したものと考えれば、実質的に図１に示された形式の装置に相応する。図５によれば、放電室３は２つの同軸の石英管１ｒ、２ｒにより形成されている。電極４ｒおよび５ｒは、管１ｒないし２ｒの外側ないし内側に設けられており、図１による装置と同じようにそれらの管とは距離をおいて配置されている。」（第５頁７欄３７行〜同８欄４行。）
　
が記載されている。
　
　上記刊行物２には、
　
（２−１）「一般にランプのライフは、・・・石英ガラス管・・・から放出されるガスの影響・・・される。」（第１０頁左欄９行〜同１３行）、
（２−２）「紫外線用のランプの場合、石英ガラス管の材質の選択に注意しなければならない。」（第１０頁左欄１５行〜同１６行）、
（２−３）「特にメタルハライドランプ用の石英ガラス管は、ガス放出の少ない材質の石英ガラス管を選択する必要がある。」（第１０頁左欄２１行〜同２２行）、
（２−４）「ＯＨ基やその他のガスをほとんど完全に除去した石英ガラス管が使用されている。」（第１０頁左欄２４行〜同２６行）、
（２−５）「　石英ガラスの種類　　　　　　　　　　　　ＯＨ基の含有量（ｐｐｍ）　
　　　　　 ［透明石英ガラス］真空溶融法　　　　　　　　　２　　以下　  　　　　
　　　　　　[透明石英ガラス］連続製管法（真空熱処理品）　　２〜６　　 　」（表２。）
　
が記載されている。
　
　上記刊行物３には、
　
（３−１）「特には・・・エキシマレーザーのような高エネルギー照射時にもソーラリゼーションを起こさない・・・エキシマレーザー用窓材・・・として有用とされる耐紫外線用合成石英ガラス」（第１頁左欄最下行〜同右欄第５行）、
（３−２）「したがってこのＯＨ基含有量を１〜５００ｐｐｍ、好ましくは１〜２００ｐｐｍの範囲とすると共にハロゲン基、ＳまたはＮを１０ｐｐｍ以下とすれば１６０ｎｍの短波長での透過率が上がり、このようなソーラリゼーションも防止することができることを確認し、」（第２頁左下欄第１５行〜同右下欄第１行）
　
が記載されている。
　
　上記刊行物４には、
　
（４−１）「特にはエキシマレーザーのような高エネルギー照射時にもソーラリゼイションを起こさない・・・エキシマレーザー用窓材・・・として有用とされる耐紫外線用合成石英ガラス」（第１頁左欄下から４行〜同右欄第２行）、
（４−２）「したがってこのＯＨ基含有量を１〜１，０００ｐｐｍの範囲とすると共に水素ガス溶存量を０．１ｍｌ／１００ｇ以下とすればこのようなソーラリゼーションを防止することができることを確認し、」（第２頁右上欄第７行〜同第１１行）
　
が記載されている。
　
３−４　対比・判断
　
【請求項１について】
　
　請求項１に係る発明
「放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充満し、
この放電容器の外面には電極が設けられるとともに、
放電容器に
　
刊行物１に記載の発明
「同軸の石英管１ｒ、２ｒ（放電容器に相当。）内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する希ガスとハロゲンの混合物（放電用ガスに相当。）を充満し、この同軸の石英管１ｒ、２ｒ（放電容器に相当。）の該管とは距離をおいた外側ないし内側（外面に対応。）には電極４ｒ、５ｒ（電極に相当。）が設けられるとともに、該エキシマ分子から放射される光をとりだす窓部材を同軸の石英管１ｒ、２ｒが兼任する（窓部材を放電容器に有する、に相当。）紫外線照射器（誘電体バリヤ放電ランプに相当。）において、窓部材の少なくとも一部が石英ガラスからなる紫外線照射器（誘電体バリヤ放電ランプに相当。）。」
とを対比すると、
　
【請求項１】に係る発明は、刊行物１に記載の発明と
【一致点】
「放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充満し、この放電容器の外側ないし内側には電極が設けられるとともに、該エキシマ分子から放射される光をとりだす窓部材を放電容器に有する誘電体バリヤ放電ランプにおいて、窓部材の少なくとも一部が石英ガラスからなる誘電体バリヤ放電ランプ。」
で一致し、
　
【相違点１】
請求項１に係る発明では、電極の設けられる位置である放電容器の外側ないし内側が、放電容器の外面であるのに対して、
刊行物１に記載の発明では、それが、石英管１ｒ、２ｒ（放電容器に相当。）とは距離をおいた外側ないし内側、つまり、外面ではない点、
　
【相違点２】
請求項１に係る発明では、石英ガラスのＯＨ基含有量が重量で１０ｐｐｍ以下であるのに対して、
刊行物１に記載の発明では、石英ガラスのＯＨ基含有量が不明である点、
で相違する。
　
　相違点１について検討すると、
「電極を放電容器の外面に接するように配置する」ことは、異議申立人が提出した甲第２号証（特開平２−７３５３号公報）や甲第３号証（特開平１−１４４５６０号公報）に示されているように、周知の技術事項であり、刊行物１に記載の発明において、電極４ｒ、５ｒを石英管１ｒ、２ｒ（放電容器に相当。）の外面に接するように配置することには、何らの困難性も認められない。
　
　相違点２について検討すると、
上記刊行物２には、一般
に
紫外線用のランプ
　上記刊行物３，４には、エキシマレーザーのような
紫外線が透過する、窓材
　
　刊行物１に記載の、
紫外線を放射する紫外線照射器
　刊行物１に記載の、
紫外線が透過する、同軸の石英管１ｒ、２ｒが兼任する窓部材
　
【請求項２について】
　
　請求項２に係る発明
「放電用ガスとしてハロゲンを含む請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプ。」と
　
刊行物１に記載の発明
「同軸の石英管１ｒ、２ｒ（放電容器に相当。）内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する希ガスとハロゲンの混合物（放電用ガスに相当。）を充満し、この同軸の石英管１ｒ、２ｒ（放電容器に相当。）の該管とは距離をおいた外側ないし内側（外面に対応。）には電極４ｒ、５ｒ（電極に相当。）が設けられるとともに、該エキシマ分子から放射される光をとりだす窓部材を同軸の石英管１ｒ、２ｒが兼任する（窓部材を放電容器に有する、に相当。）紫外線照射器（誘電体バリヤ放電ランプに相当。）において、窓部材の少なくとも一部が石英ガラスからなる紫外線照射器（誘電体バリヤ放電ランプに相当。）において、
希ガスとハロゲンの混合物（放電用ガスに相当。）としてハロゲンを含む紫外線照射器（誘電体バリヤ放電ランプに相当。）。」
とを対比すると、
　
【請求項２】に係る発明は、刊行物１に記載の発明と
【一致点】
「放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充満し、この放電容器の外側ないし内側には電極が設けられるとともに、該エキシマ分子から放射される光をとりだす窓部材を放電容器に有する誘電体バリヤ放電ランプにおいて、窓部材の少なくとも一部が石英ガラスからなる誘電体バリヤ放電ランプにおいて、
放電用ガスとしてハロゲンを含む誘電体バリヤ放電ランプ。」
で一致し、
　
上記【相違点１】及び【相違点２】
で相違する。
　
上記相違点については、【請求項１について】で検討したとおりである。
　
３．５　むすび
　以上のとおりであるから、本件請求項１ないし２に係る発明は、刊行物１，２，３，４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１ないし２に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件請求項１ないし２に係る発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものと認める。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年４月１０日（２００３．４．１０）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
誘電体バリヤ放電ランプ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　放電容器内に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充満し、
この放電容器の外面には電極が設けられるとともに、
放電容器に
　【請求項２】　放電用ガスとしてハロゲンを含む請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、例えば、誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成し、該エキシマ分子から放射される光を光化学反応用の紫外線光源として利用するいわゆる誘電体バリヤ放電ランプの改良に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】本発明に関連した技術としては、例えば、日本国公開特許公報平２−７３５３号には放電容器内にエキシマ分子を形成する放電用ガスを充満し、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あるいは無声放電。電気学会発行改訂新版（放電ハンドブック）平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子から放射される光を取り出す放射器、すなわち誘電体バリヤ放電ランプについて記載されている。また、日本国公開特許公報平２−７３５３号には、誘電体バリヤ放電ランプの放電容器に紫外線を別の波長の光に変換するルミネッセンス（例えば蛍光体）を設けた放射器（例えば蛍光ランプ）について記載されている。上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電ランプにはない種々の特徴を有しているため有用である。しかし、上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、点灯時間の経過に従って光出力が低下して行くという問題があった。
　【０００３】
　【本発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、点灯時間の経過にしたがって光出力が低下しない寿命特性が十分である誘電体バリヤ放電ランプを提供することである。
　【０００４】
　【問題を解決するための手段】上記本発明の目的は、放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、
この放電容器の外面には電極が設けられるとともに、
放電容器に
　【０００５】
　【上記手段の有する作用】我々は、誘電体バリヤ放電においては、従来のアーク放電ランプに比較し、不純ガス特に酸素、水素等の分子ガスが存在すると、紫外線出力低下の割合が従来のアーク放電ランプに比較し著しく大きいことを発見した。この機構は必ずしも明確では無いが、以下のようであると考えられる。誘電体バリヤ放電は従来のアーク放電では得られない波長の紫外線を高効率で発生できることである。前記特徴ある紫外線の発生は、以下の機構によっている。すなわち、まず、誘電体バリヤ放電によって従来のアーク放電ランプには無い高エネルギープラズマが発生する。このプラズマが種々の衝突過程を経てエキシマ分子を生成し、このエキシマ分子が特徴のある紫外線を高効率で放射する。従って放電空間に存在する不純ガス、特に酸素、水素、水等の分子ガスは、該エキシマ分子を直接破壊するばかりでなく、該種々の衝突過程にも作用して該エキシマ分子を少なくし、すなわちエキシマ分子の密度を低下させ、従って紫外線出力を低下させる。特に、放電用ガスにハロゲンが含まれている場合、酸素、水等が放出されると石英ガラスへのハロゲンの浸食も起こり、紫外線出力の低下は大きくなる。すなわち、誘電体バリヤ放電ランプにおいては、従来のアーク放電ランプに比較し、不純ガスによる紫外線出力低下の割合が著しく大きい。
　【０００６】我々は、不純ガスの起源を調査し誘電体あるいは取り出し窓に使用される石英ガラスが主な放出源であることを発見した。特に石英中のＯＨ基濃度が多いと水の放出が多い。紫外線により≡Ｓｉ−ＯＨ結合（≡は酸素との結合を表す）が切断され、Ｈ２Ｏとして放出されると考える。我々は種々の石英ガラスを調査し、ＯＨ基濃度が１０ｐｐｍ以下の石英を使用することによって、エキシマ分子の密度の低下を防止し、よって、光出力の低下を防ぐことが出来ることを発見した。
　【０００７】本発明の実施例である同軸円筒形誘電体バリヤ放電ランプの概略図を図１に示す。放電容器１は全長約３００ｍｍの石英ガラス製で外径Ｄ１が６ｍｍの内側管２、内径Ｄ２が８ｍｍの外側管３を同軸に配置して中空円筒状にした物である。内側管２、外側管３は誘電体バリヤ放電の誘電体と取り出し窓部材を兼任しておりＯＨ基が重量で１０ｐｐｍ以下を含む石英ガラスからなる。内側管２、外側管３の外面に光を透過する金属網からなる電極４、５が設けられている。放電用ガスとして放電空間６にキセノンと塩素が充填されている。しかして、かかる誘電体バリヤ放電ランプを交流電源７で点灯すると前述のように、石英ガラスからの放出不純ガスが少なく、従って、塩素による石英ガラスに対する浸食が少ないうえに、放電空間におけるエキシマ分子の密度も高く維持できるので光出力低下の少ない誘電体バリヤ放電ランプが得られる。
　【０００８】次にＯＨ基含有量の異なる石英ガラスでランプを製作し、点灯後１００時間後の光出力の値を１００として、それ以後から１０００時間後までのエキシマ光の減衰率を測定した結果を説明する。用いたランプは図１に示した誘電体バリヤ放電ランプである。その結果、石英中のＯＨ基濃度が１０ｐｐｍ以上では光減衰率が３０％−６０％と大きいのに対し、１０ｐｐｍ以下では２０％以下で小さく、極めて効果的であることが分かった。
　【０００９】
　【発明の効果】以上説明したように本発明は点灯時間の経過に従い、光を取り出す窓部材を形成する石英ガラスがハロゲンによって浸食されるための劣化による光出力の低下が少なく、かつ、ハロゲンを含むエキシマ分子の密度の低下を防止できる誘電体バリヤ放電ランプを提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の誘電体バリヤ放電ランプの一実施例の説明図である。
　【符号の説明】
　２　内側管
　３　外側管
　４，５　電極
　６　放電空間
　７　交流電源