【手続補正書】
【提出日】平成27年1月28日(2015.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルを作製する方法であって、
（ａ）複数の複製ノズル穴と、複数の複製平面制御空洞と、を含み、金型の少なくとも一部を画定する微細構造化金型パターンを準備することと、
（ｂ）前記微細構造化金型パターンを用いて第１の材料をノズル形成微細構造化パターンに成形することであり、該ノズル形成微細構造化パターンが、前記複製ノズル穴から成形された複数のノズル穴形成部と、前記複製平面制御空洞から成形された複数の平面制御空洞形成部と、を含むことと、
（ｃ）前記ノズル形成微細構造化パターンを用いて第２の材料をノズルプリフォームに形成することであり、該ノズルプリフォームが、前記ノズル穴形成部から形成された複数のノズルプリフォーム穴と、前記平面制御空洞形成部から形成された複数の犠牲平面制御空洞と、を備えることと、
（ｄ）前記ノズルプリフォームからノズルを形成することであり、前記ノズルプリフォームの上面を前記ノズルの平面的な上面に形成し、前記ノズルプリフォーム穴のそれぞれをノズル貫通穴に形成するように、前記犠牲平面制御空洞を除去するのに十分な前記第２の材料を除去し、前記犠牲平面制御空洞の前記除去によって、前記ノズル貫通穴が所望の方法で開口されることを可能にすることと、
を含む作製方法。
【請求項２】
前記微細構造化金型パターンを準備することが、
（ａ）複数の複製ノズル穴形成部と、複数の複製平面制御空洞形成部と、を含む金型形成微細構造化パターンに第３の材料を形成することと、
（ｂ）前記金型形成微細構造化パターンを用いて、第４の材料を前記微細構造化金型パターンに形成することであり、前記複製ノズル穴形成部が、実質的に前記複製ノズル穴のネガティブ複製であり、前記複製平面制御空洞形成部が、実質的に前記複製平面制御空洞のネガティブ複製であることと、
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ノズルを作製する方法であって、
（ａ）複数の複製ノズル穴形成部と、複数の複製平面制御空洞形成部と、を含む第１の微細構造化パターンに第１の材料を形成することと、
（ｂ）前記第１の微細構造化パターンを用いて、第２の材料を第２の微細構造化パターンに形成することであり、該第２の微細構造化パターンが、金型の少なくとも一部を画定し、実質的に前記第１の微細構造化パターンのネガティブ複製を含むことと、
（ｃ）前記金型の前記第２の微細構造化パターンを用いて第３の材料を第３の微細構造化パターンに形成することであり、該第３の微細構造化パターンが、実質的に前記第２の微細構造化パターンのネガティブ複製を含むことと、
（ｄ）前記第３の微細構造化パターンを用いて第４の材料を第４の微細構造化パターンに形成することであり、該第４の微細構造化パターンが、実質的に前記第３の微細構造化パターンのネガティブ複製を形成する、複数のノズルプリフォーム穴および複数の犠牲平面制御空洞を含むことと、
（ｅ）前記第４の微細構造化パターンからノズルを形成することであり、前記第４の微細構造化パターンの上面を前記ノズルの平面的な上面に形成し、前記ノズルプリフォーム穴のそれぞれをノズル貫通穴に形成するように、前記犠牲平面制御空洞を除去するのに十分な前記第４の材料を除去することと、
を含む方法。
【請求項４】
ノズルを作製する方法であって、
（ａ）複数の複製ノズル穴を含み、金型の少なくとも一部を画定する微細構造化金型パターンを準備することと、
（ｂ）前記微細構造化金型パターンを用いて第１の材料をノズル形成微細構造化パターンに成形することであり、該ノズル形成微細構造化パターンが、複数のノズル穴形成部を含むことと、
（ｃ）前記ノズル形成微細構造化パターンを用いて第２の材料をノズルプリフォームに形成することであり、該ノズルプリフォームが複数のノズルプリフォーム穴を備え、前記第２の材料が複数の異なる第２の材料を含み、前記ノズルプリフォームが、得られる前記ノズルプリフォームが部分毎に異なる第２の材料からなる複数の部分を含むように、前記ノズル形成微細構造化パターンの上に別個の部分として前記異なる第２の材料のそれぞれを堆積させることにより形成されることと、
（ｄ）前記ノズルプリフォームからノズルを形成することであり、前記ノズルプリフォーム穴のそれぞれに出口開口部を開口し、前記ノズルプリフォーム穴のそれぞれをノズル貫通穴に形成するのに十分な前記第２の材料を除去することと、
を含む方法。
【請求項５】
ノズルを作製する方法であって、
（ａ）複数の複製ノズル穴形成部を含む第１の微細構造化パターンに第１の材料を形成することと、
（ｂ）前記第１の微細構造化パターンを用いて第２の材料を第２の微細構造化パターンに形成することであり、該第２の微細構造化パターンが、金型の少なくとも一部を画定し、実質的に前記第１の微細構造化パターンのネガティブ複製を含むことと、
（ｃ）前記金型の第２の微細構造化パターンを用いて第３の材料を第３の微細構造化パターンに形成することであり、該第３の微細構造化パターンが、実質的に前記第２の微細構造化パターンのネガティブ複製を含むことと、
（ｄ）前記第３の微細構造化パターンを用いて第４の材料を第４の微細構造化パターンに形成することであり、該第４の微細構造化パターンが複数のノズルプリフォーム穴を含み、前記第４の材料が複数の異なる第４の材料を含み、前記第４の微細構造化パターンが、得られるノズルプリフォームが層毎に異なる第４の材料からなる多層堆積物を含むように、前記第４の微細構造化パターンの上に層として前記第４の材料のそれぞれを堆積させることによって形成されることと、
（ｅ）前記第４の微細構造化パターンからノズルを形成することであり、前記ノズルプリフォーム穴のそれぞれに出口開口部を開口し、前記ノズルプリフォーム穴のそれぞれをノズル貫通穴に形成するのに十分な前記第４の材料を除去することと、
を含む方法。
【請求項６】
複数のノズルプリフォーム穴と、複数の犠牲平面制御空洞と、外側平面外周部と、を備えるノズルプリフォームを形成するための微細構造化パターンであって、
実質的に前記ノズルプリフォーム穴のネガティブ複製である複数のノズル穴形成部と、
実質的に前記犠牲平面制御空洞のネガティブ複製である複数の平面制御空洞形成部と、
を含む、微細構造化パターン。
【請求項７】
複数のノズル貫通穴を備えるノズルを形成するためのノズルプリフォームであって、
前記ノズル貫通穴のそれぞれが、入口開口部と、内面で画定された空洞によって前記入口開口部に連結されている少なくとも１つの出口開口部と、を備え、
当該ノズルプリフォームが、前記ノズル貫通穴に対応する複数のノズルプリフォーム穴と、複数の犠牲平面制御空洞と、を備え、
前記ノズルプリフォーム穴のそれぞれが、前記犠牲平面制御空洞の少なくとも１つに連結されている、ノズルプリフォーム。
【請求項８】
複数のノズル貫通穴を含む微細構造化パターンを含むノズルであって、
前記ノズル貫通穴のそれぞれが入口開口部と、内面で画定された空洞によって前記入口開口部に連結されている少なくとも１つの出口開口部と、を備え、前記微細構造化パターンが外側周辺部を有し、前記ノズルが層毎に異なる材料からなる多層堆積物を含み、（ａ）前記多層のいずれもが薄い導電性シード層の形態ではない、（ｂ）前記多層が少なくとも３層である、又は（ｃ）（ａ）と（ｂ）の両方である、のいずれかである、ノズル。
【請求項９】
複数のノズル貫通穴を含む微細構造化パターンであり、前記ノズル貫通穴のそれぞれが、入口開口部と、内面で画定された空洞によって前記入口開口部に連結されている少なくとも１つの出口開口部と、を備え、前記微細構造化パターンが外側周辺部を有する、微細構造化パターンと、
少なくとも１つのノズル貫通穴を（ａ）少なくとも１つの他のノズル貫通穴、（ｂ）前記微細構造化パターンの前記外側周辺部の一部、又は（ｃ）（ａ）及び（ｂ）の両方、に連結させる少なくとも１つの流体チャネル部と、を備える、ノズル。
【請求項１０】
複数のノズル貫通穴を含む微細構造化パターンであり、前記ノズル貫通穴のそれぞれが、入口開口部と、内面で画定された空洞によって前記入口開口部に連結されている少なくとも１つの出口開口部と、を備え、前記微細構造化パターンが外側周辺部を有する、微細構造化パターンと、
前記ノズル貫通穴の前記出口開口部を通過して該出口開口部から流出する流体によって形成されるプリュームの形状を制御するための、少なくとも１つの流体プリューム形状制御部と、を備えるノズル。
【請求項１１】
複数のノズル貫通穴を含む微細構造化パターンであり、前記ノズル貫通穴のそれぞれが、入口開口部と、内面で画定された空洞によって前記入口開口部に連結されている少なくとも１つの出口開口部と、を備え、前記微細構造化パターンが外側周辺部を有する、微細構造化パターンと、
前記ノズル貫通穴を通過し、前記ノズル貫通穴の対応する前記出口開口部から流出する流体によって形成される液滴のプリュームに良い影響を及ぼすように、空洞化、乱流を発生させるか、ないしは別の方法で当該ノズルを通過する流体の流れを妨げる、少なくとも１つの流体流影響部を備える内面を有する、少なくとも１つのノズル貫通穴と、を備えるノズル。