【事件の表示】
　特許第３１７９７００号「ガス不純物の除去装置」の請求項８、９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１７９７００号の請求項８ないし９に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件の経緯
　本件特許第３１７９７００号は、平成８年３月６日の出願であって、平成１３年４月１３日（公報発行平成１３年６月２５日）に設定登録され、平成１３年１２月２５日に恒本昌美から特許異議の申立を受けたものであって、その後平成１４年４月３日（発送日平成１４年４月１６日）付で取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年６月１４日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の要旨
（１）訂正事項ａ：本件明細書中特許請求の範囲の【請求項８】及び【請求項９】における「吸水性素材」を、「気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ：本件明細書中発明の詳細な説明の段落【0007】及び【0015】における「吸水性素材」（特許公報第5欄13，18行，第6欄33行；３個所）を、「気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材」と訂正する。
　
３．訂正の適否についての検討
（１）上記訂正事項ａは、「吸水性素材」を、「気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材」に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とした訂正に該当する。
　そして、「吸水性素材」として、「気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材」を用いることは、本願特許明細書の段落【0010】に記載された事項であり新規事項の追加に該当しない。
（２）上記訂正事項ｂは、訂正事項ａに伴う特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明との不整合を正すものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
　また、これらの訂正事項は、いずれも実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するものであるから、当該訂正は認める。
　
４．特許異議申立人の主張の概要
　特許異議申立人は、下記甲第１〜３号証を提出し、訂正前の本件請求項８，９に係る発明は、甲第１〜３号証の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項８，９に係る特許は、同法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべきものである旨主張している。
　
　甲第１号証：特開平４−２１０２０５号公報
　甲第２号証：特開平７−２９９８９３号公報
　甲第３号証：特開平７−１９４９１４号公報
　
５．特許異議申立人の主張についての検討
５−１．本件発明の認定
　本件発明は、上記のとおり訂正が認められるから、平成１４年６月１４日付訂正請求書に添付された明細書の請求項８，９に記載された事項により特定された次のとおりのものである（以下「本件発明８」ないし「本件発明９」という）。
「【請求項８】 ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，このチャンバ内に設けられる気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材からなるエリミネータと，このエリミネータの上方から水を直接垂らして給水する給水手段とを備えてなるガス不純物の除去装置。
【請求項９】ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，このチャンバ内に設けられる気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材からなるエリミネータと，このエリミネータに直接給水する給水手段とを備え，前記給水手段の給水口は前記エリミネータに接触しているガス不純物の除去装置。」
　
５−２．取消理由通知に引用された刊行物記載の発明
　ア．刊行物１（甲第１号証）
　ア−１．「本発明は主として工場内の空気に含まれているオイルミストや熱処理時に発生する白煙及び食品工場における粉塵等を取り除く除去装置に関する。」（第2頁1欄25〜28行）
　ア−２．「しかして本発明は、被処理空気の入口（１３）と出口（１４）とをもち、これら入口（１３）及び出口（１４）間に空気通路（Ｓ１）をもつケ?シング（１）の前記空気通路（Ｓ１）に、一次フィルタ（３）を内装すると共に、該一次フィルタ（３）の下流側に、微小通路をもった衝突体（４）とこの衝突体（４）に散水する散水装置（５）とを備え、前記衝突体（４）に水膜層を形成する二次フィルタ（６）を内装したことを特徴とするものである。」（第2頁2欄14〜22行）
　ア−３．「前記衝突体（４）としては、多数の通路孔（４１）をもった複数の衝突板（４０）を用いて、これら衝突板（４０）を所定間隔置いて積層するのが好ましい。」（第2頁2欄23〜26行）
　ア−４．「また前記被処理空気の前記二次フィルタ（６）通過に伴い、捕捉された微粒子粉塵を含む水滴が前記二次フィルタ（６）の下流側に一部飛散するが、かかる水滴は前記デミスタ（７）で捕捉されるのであって、従って前記出口（１４）からは、オイルミストや粉塵の除去されたクリーンな空気が吹き出すこととなる。」（第4頁第5欄11〜16行）
　ア−５．「以上の実施例では、前記二次フィルタ（６）を構成する衝突板（４）にステンレス材から成るプレート状の衝突板を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば多孔板や金網でもよいしあるいはステンレスウールを用いてもよい。」（第4頁5欄48行〜6欄2行）
　イ．刊行物２（甲第２号証）
　イ−１．「ポリエステル繊維シートがポリエステル繊維とフェノール樹脂から構成されていることを特徴とする請求項１記載又は請求項２記載の加湿器用保水材。」（特許請求の範囲【請求項３】）
　イ−２．「加湿器用保水材として使用されている多孔性シートはポリエステル繊維等の高分子繊維あるいはアクリル、エポキシ等の高分子バインダーを使用したガラス繊維、セラミック繊維を主材として用い、これに親水剤として吸着剤を添着したものを使用しているが、これが運転中に水ばかりでなく、大気の臭気を吸着し周期的に脱着して悪臭を発生する。」（段落【0002】）
　イ−３．「上記多孔シートを加湿器用保水材として使用するには例えば図１のようにユニット化して利用する。すなわち、図１は、本発明の加湿器用保水材の実施態様を示す斜視図である。１は天材、２は保水材、３は給水パイプである。ここで天材は保水材と同様吸水性に富んだシートが使用される。具体的には次のように使用される。給水パイプ３から天材１上に水を供給し、天材１から保水材２全体に水が伝搬し、保水材２全体に水が拡散する。そして図１中の風下側から風を供給すると保水材２に浸透された水によって加湿され、風上側に送られる。保水材２は適当な間隔を空けて設置される。」（段落【0023】）
　イ−４．【図１】には、加湿器用保水材の実施態様を示す斜視図が示されている。
　ウ．刊行物３（甲第３号証）
　ウ−１．「水と馴染み易いレーヨン、布等の不織布を用いた含湿フィルターが殺菌、脱臭した水を吸収した状態となり、この含湿フィルターに外部の空気を通過させると、レーヨン、布等の不織布を用いた含湿フィルターで細かい埃や細菌が除去されるとともに、この含湿フィルターに吸収された殺菌、脱臭効果を有する水が、空気中の炭酸ガス、アンモニア、シンナー、硫化水素、窒素酸化物、又は煙草の煙のニコチン等を溶解して除去し、脱臭効果をも有するのである。」（段落【0012】）
　ウ−２．「第２実施例の空気の浄化方法は、図２に示すように第１実施例の空気の浄化方法と同様に水タンク４内の殺菌・脱臭固形物３により殺菌、脱臭した水を吸収させた含湿フィルター２に空気を通過させることにより、空気の殺菌、脱臭を行うのであるが、板状の含湿フィルター２を固定した状態とし、ポンプ６で該含湿フィルター２の上方まで吸い上げて殺菌、脱臭した水を供給することにより含湿フィルター２に常に水を吸収させた状態としている。」（段落【0021】）
　ウ−３．「こうして殺菌、脱臭して殺菌、脱臭効果を有する水に、空気を接触させることにより細かい埃や細菌を除去するとともに、空気中の炭酸ガス、アンモニア、シンナー、硫化水素、窒素酸化物、又は煙草の煙のニコチン等を溶解して除去して脱臭効果をも有し、空気の浄化を行うことができる。」（段落【0041】）
　
５−３．対比・判断
【本件発明８】
　記載ア−１ないし記載ア−３を総合すると、刊行物１には「ケーシング（１）の空気通路（Ｓ１）に、多数の通路孔（４１）をもった複数の衝突板（４０）を所定間隔置いて積層して微小通路を形成した衝突体（４）とこの衝突体（４）に散水する散水装置（５）とを備えた、工場内の空気に含まれているオイルミストや熱処理時に発生する白煙及び食品工場における粉塵等を取り除く除去装置」が記載されている。
　ここで、刊行物１における「衝突体（４）」と本件発明１における「エリミネータ」は、空気中の汚染物質を捕捉除去する機能を有する点で同一といえ、刊行物１における「ケーシング（１）」が本件発明８における「チャンバ」に相当し、刊行物１における「散水装置（５）」は、前記「衝突体」に散水、すなわち直接垂らしているのであるから、その機能に照らし本件発明８における「給水装置」に相当する。
　したがって、本件発明８と刊行物１記載の発明を対比すると、両者は「対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，このチャンバ内に設けられる汚染物捕捉除去手段と，この汚染物捕捉除去手段の上方から水を直接垂らして給水する給水手段とを備えてなる汚染物の除去装置」である点で一致し、以下の点で相違する。
　相違点ａ：対象空気流の汚染物質が、本件発明８ではガス不純物であるのに対し、刊行物１記載の発明では「工場内の空気に含まれているオイルミストや熱処理時に発生する白煙及び食品工場における粉塵等」である点。
　相違点ｂ：「汚染物捕捉除去手段」が、本件発明８では「気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材からなるエリミネータ」であるのに対し、刊行物１記載の発明では「衝突体（４）」であり、吸水性素材でもない点。
　上記相違点につき検討する。
　相違点ａについて：オイルミストを含む工場内の空気や食品工場などの空気中に微量の揮発性の臭気成分が含まれていること、またこれらの臭気成分のほとんどが水に吸収捕捉されることは技術常識であり、具体的な記載はないものの刊行物１記載の装置で臭気成分などのガス不純物が捕集除去されていることは自明といえる。
　相違点ｂについて：本件発明８における「エリミネータ」と刊行物１記載の「衝突体」とは、慣性力を利用し気流中のミストを捕捉分離する点で軌を一にするものであり、本件発明８でいう「エリミネータ」は、本件特許明細書の記載「エリミネータ構成であるから、液滴粒子が下流側に飛散することは防止される」（特許公報第3頁5欄50行〜6欄2行）によれば、液滴粒子を下流側に飛散させないものと解されのに対し、記載ア−４によれば刊行物１記載の「衝突体」では水滴の一部が下流側に飛散しているものの、液滴が飛散するか否かは、空気の透過速度、ミストの含有量、液の供給量等に左右されるのであるから、刊行物１記載の衝突体も、操作条件によっては本件発明でいう「エリミネータ」の構成を充足する可能性があるといえる。
　しかしながら、例え上記「衝突体」が本件発明８における「エリミネータ」と云えたとしても、刊行物１には、記載ア−５を勘案しても、上記「衝突体」を、気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材で構成することを示唆する記載はない。
　また、刊行物２及び３には、親水性素材からなる加湿器用保水材やフィルターが記載されているが、これらのものは、刊行物１記載の「衝突体」や本件発明の「エリミネータ」とは、気液接触機構を異にするものであり、刊行物１記載の「衝突体」や本件発明の「エリミネータ」自体を保水性素材で構成することを示唆するものではない。
　さらに異議申立人は、平成１４年９月３日付回答書の添付資料として、気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材である「ユニベックス−ＳＢ」のカタログを提出しているが、その頒布日が不明であって、その記載内容も刊行物１記載の「衝突体」や本件発明の「エリミネータ」自体を保水性素材で構成することを示唆するものではない。
　本件発明８は、上記の構成により「湿式法の欠点を解決すると同時に、乾式法と同等の性能を有しながら乾式法の欠点も解消」（特許公報第2頁4欄16〜17行）するという明細書記載の作用効果を奏するものである。
　よって、本件発明８は、刊行物１ないし３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
【本件発明９】
　本件発明９は、本件発明８における「エリミネータの上方から水を直接垂らして給水する給水手段」を「供給口がエリミネータに接触し、該エリミネータに直接給水する給水手段」に変更しただけの発明であるから、本件発明８と同じ理由が当てはまり、刊行物１ないし３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
６．結び
　以上のとおりであるから、本件発明８ないし９に係る特許は、特許異議申立の理由および証拠によっては取り消すことができない。
　また、他に訂正後の本件発明８ないし９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する
【異議決定日】
平成１４年１１月２１日（２００２．１１．２１）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
１．特許第３１７９７００号の明細書中特許請求の範囲の【請求項８】「ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，このチャンバ内に設けられる吸水性素材からなるエリミネータと，このエリミネータの上方から水を直接垂らして給水する給水手段とを備えてなるガス不純物の除去装置。」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として「ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，このチャンバ内に設けられる気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材からなるエリミネータと，このエリミネータの上方から水を直接垂らして給水する給水手段とを備えてなるガス不純物の除去装置。」と訂正する。
２．特許第３１７９７００号の明細書中特許請求の範囲の【請求項９】「ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，このチャンバ内に設けられる気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材からなるエリミネータと，このエリミネータに直接給水する給水手段とを備え，前記給水手段の給水口は前記エリミネータに接触しているガス不純物の除去装置。」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として「ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，このチャンバ内に設けられる気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材からなるエリミネータと，このエリミネータに直接給水する給水手段とを備え，前記給水手段の給水口は前記エリミネータに接触しているガス不純物の除去装置。」と訂正する。
３．特許第３１７９７００号の明細書中詳細な説明の段落【０００７】及び【００１５】における「吸水性素材」（特許公報第５欄１３，１８行，第６欄３３行；３個所）を、明瞭でない記載の釈明を目的として「気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の吸水性素材」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
ガス不純物の除去装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，
平均直径が１０μｍ〜１００μｍの粒径の液体粒子を前記チャンバ内に霧状に発生させるノズル及びこのノズルから下流側に所定間隔離れて位置した不純物除去手段とを夫々前記チャンバ内に有し，
　前記不純物除去手段は，吸水性素材からなるエリミネータからなり，当該エリミネータが濡れた状態に保持されていることを特徴とする，ガス不純物の除去装置。
　【請求項２】　ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，
液体粒子を前記チャンバ内に霧状に発生させるノズル及びこのノズルから下流側に所定間隔離れて位置した不純物除去手段とを夫々前記チャンバ内に有し，
　前記不純物除去手段は，吸水性素材からなるエリミネータであって，慣性衝突原理によって水滴を回収できる構造を有していることを特徴とする，ガス不純物の除去装置。
　【請求項３】　ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，
液体粒子を前記チャンバ内に霧状に発生させるノズル及びこのノズルから下流側に所定間隔離れて位置した不純物除去手段とを夫々前記チャンバ内に有し，
　前記不純物除去手段は，吸水性素材からなるエリミネータであって，前記エリミネータは気流の流れに沿って配置されていることを特徴とする，ガス不純物の除去装置。
　【請求項４】　前記エリミネータが濡れた状態で保持されていることを特徴とする，請求項２又は３に記載のガス不純物の除去装置。
　【請求項５】　前記吸水性素材は，気孔率が５０ｖｏｌ．％以上であるであることを特徴とする，請求項１，２，３又は４のいずれかに記載のガス不純物の除去装置。
　【請求項６】　液体粒子は，純水の粒子であることを特徴とする，請求項１，２，３，４又は５のいずれかに記載のガス不純物の除去装置。
　【請求項７】　不純物除去手段からの液体を回収する液体回収手段と，純水製造手段とを備え，前記液体回収手段によって回収した液体を前記純水製造手段を経た後に再びノズルへと供給するようにしたことを特徴とする，請求項６に記載のガス不純物の除去装置。
　【請求項８】　ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，このチャンバ内に設けられる
気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の
　【請求項９】　ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，このチャンバ内に設けられる
気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】本発明は、空気中に含まれるガス不純物、とりわけ空気中に微量（ｐｐｔ〜ｐｐｍの濃度）含まれる水溶性ガス状不純物（以下、「ガス状不純物」という）の除去に適したガス不純物の除去装置に関するものであり、例えば対象となる施設内に供給する外気の清浄化処理や、特殊施設から発生する排ガスの清浄化処理に利用される。
　【０００２】
　【従来の技術】
　空気中に含まれるガス不純物の除去手段としては、従来からケミカルフィルタ処理（乾式法）による除去方法と、気液接触による除去方法とが知られている。前者の乾式法は、気中のガス不純物を化学結合により取り込み除去するもので、ガス不純物の種類により濾材の種類や処理方法および濾材に添着する化学物質の種類が異なる。一方後者の気液接触による除去は、液滴の噴霧や空隙率の高い、即ち表面積の大きい充填材に液状物資を供給することにより、気中のガス状不純物を除去するものである。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、前記従来の除去方法では、次のような問題点がある。まず、ケミカルフィルタを用いた乾式法によれば、（ａ）寿命が短くランニングコストが高い、そのため従来は寿命をチェックできないために、約６カ月で交換していたのが実状である。さらに（ｂ）除去性能が連続的に低下していく、（ｃ）再利用できないために、産業廃棄物として処理しなければならない、（ｄ）交換作業が必要となる、（ｅ）送風抵抗（圧力損失）が大きく送風コストが上昇する、（ｆ）化学添加物自身が給気室内の汚染源となる危険性があるといった問題がある。次に気液接触による除去方法では、（ｇ）給水性の低い充填材を使用して、気液接触面積を大きくしようとするために、大量の液状物質を供給しなければならずランニングコストが高くなる、（ｈ）液滴径が大きいために（従来の粒径は、平均粒径が１００μｍを越えていた）、大量の液状物質を供給しなければならずこの点からもランニングコストが高くなっていたのである。
　【０００４】
　本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、前記した湿式法の欠点を解決すると同時に、乾式法と同等の性能を有しながら乾式法の欠点も解消して、上記問題の解決を図ることを目的としている。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　前記目的を達成するため，請求項１の発明によれば，ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，平均液滴径が１０μｍ〜１００μｍの粒径の液体粒子を上記気流内に霧状に発生させるノズル及びこのノズルから下流側に所定間隔離れて位置した不純物除去手段とを夫々前記チャンバ内に有し，前記不純物除去手段は，吸水性の素材からなるエリミネータからなり，当該エリミネータが濡れた状態で保持されていることを特徴とする，ガス不純物の除去装置が提供される。また請求項２によれば，ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，液体粒子を前記チャンバ内に霧状に発生させるノズル及びこのノズルから下流側に所定間隔離れて位置した不純物除去手段とを夫々前記チャンバ内に有し，前記不純物除去手段は，吸水性素材からなるエリミネータであって，慣性衝突原理によって水滴を回収できる構造を有していることを特徴とする，ガス不純物の除去装置が提供される。さらに請求項３によれば，ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，液体粒子を前記チャンバ内に霧状に発生させるノズル及びこのノズルから下流側に所定間隔離れて位置した不純物除去手段とを夫々前記チャンバ内に有し，前記不純物除去手段は，吸水性素材からなるエリミネータであって，前記エリミネータは気流の流れに沿って配置されていることを特徴とする，ガス不純物の除去装置が提供される。請求項２，３の場合，請求項４のように，エリミネータが濡れた状態で保持されていることが好ましい。そして以上の各ガス不純物の除去装置において使用される吸水性素材は，請求項５のように，気孔率が５０ｖｏｌ．％以上であることが好ましい。
　【０００６】
　この場合，使用する液体粒子は，請求項６に記載したように，純水の粒子，即ちノズルから純水を噴出させるようにしてもよい。このとき，請求項７に記載したように，不純物除去手段からの液体を回収する液体回収手段と，純水製造手段とを備え，前記液体回収手段によって回収した液体を前記純水製造手段を経た後に再びノズルへと供給するようにすれば，さらに好ましい効果が得られる。
　【０００７】
　請求項８に記載のガス不純物の除去装置によれば，ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，このチャンバ内に配置される
気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の
気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の
　【０００８】
　請求項１の発明は、まずノズルから噴霧させる液体粒子の平均粒径を、１０μｍ〜１００μｍに設定すると共に、下流側に吸水性の素材からなるエリミネータを設置している。かかる手段により、従来より極めて少量のガス吸収液で従来と同等若しくはそれ以上の気液接触面積を得ることができる。
　【０００９】
　即ち、液体粒子の平均粒径を１０μｍ〜１００μｍにすることにより、液滴との気液接触面積が単純に大きくなり、例えば従来の液滴径数百μｍ以上に対して、同じ液量での気液接触面積は、最大で１００倍も大きくなっている。
　【００１０】
　そして下流側に吸水性素材からなるエリミネータを設置しているので、前記小径の液滴粒子はその小径ゆえにこのエリミネータの表面の広範囲に行き渡りやすくなり、少液量で大面積のエリミネータを常にウェットの状態にできる。また吸水性素材を利用したことにより、液滴の到達しない面にも素材内部での液体の移動によって液体が到達し、より広い面積をウェットな状態にできる。その結果このウェット面での気液接触によっても高いガス吸収効率を得られる。かかる点を鑑みると、吸水性素材の材質自体は高吸液（水）性の材質（気孔率５０ｖｏｌ．％以上）が好ましく、それによって構成されるエリミネータの材料は、プレート状のものとして、ポリエステル繊維をフェノール樹脂をバインダーとして０．５ｍｍ〜５ｍｍｔの厚さに成形したものが好ましい。例えばフェノール系熱硬化性樹脂とポリエステル不織布等の強化素材で複合化した、商品名「ユニベックス−ＳＢ」が適している。もちろんエリミネータ構成であるから、液滴粒子が下流側に飛散することは防止される。
　【００１１】
　なおかかるエリミネータ自体に、スポンジ状の多孔質ブロックを設置することも考えられるが、圧力損失が大きくなって好ましくない。この点本発明では容易に低圧損化が図れる。また吸水性の素材を採用しているので、表面に付着する不純物も、付着した液滴粒子によって容易に洗い流すことができる。従って、例えば後述の実施形態のように、吸水性の素材を板状に成形した吸水性の板を適宜組み合わせ配置したエリミネータの方が、圧力損失、メンテナンスの点ではるかに有利である。このような観点から、本願請求項１〜４の発明に使用する吸水性素材の形態はプレート状のものが適している。
　【００１２】
　なおノズルからの噴霧方向は、より好ましくは、下流側に向けるとよい。それは、例えば上流側に向ける場合よりも、ノズルに水等を供給する配管等に液滴が付着してチャンバ内に落下することを防止できるからである。もちろん上流側に向けてもガス吸収効率は高い。
　【００１３】
　そして請求項６のように，ノズルから純水を噴霧するようにすれば，特に水溶性ガス不純物を効率よく除去することができる。
　【００１４】
　また請求項７のように，液体回収手段と，純水製造手段（例えば逆浸透膜を利用した純水製造装置）とを備え，前記液体回収手段によって回収した液体を前記純水製造手段を経た後に再びノズルへと供給するようにすれば，純水を再利用することができ，ランニングコストを抑えることが可能である。
　【００１５】
　さらに請求項８，９のガス不純物の除去装置によれば，ガス不純物を含む対象空気流をその内部で上流から下流に流通させることが可能なチャンバと，このチャンバ内に設けられる
気孔率が５０ｖｏｌ．％以上の
　【００１６】
　【発明の実施の形態】
　図１は、本発明の実施形態にかかるガス不純物の除去装置１を組み込んだクリーンルーム（ＣＲ）用の外気処理空調機２の全体を示しており、チャンバ３内には、上流側（入口側）から順に、プレフィルタ４、除塩フィルタ５、加熱コイル６、冷却コイル７、及びガス不純物の除去装置１、ファン８、再熱コイル９、ＵＬＰＡフィルタなどの超高性能微粒子除去フィルタ１０が配置されている。
　【００１７】そして本実施形態にかかるガス不純物の除去装置１は、チャンバ３外に設置されている純水製造装置１１から往管１２を通じて純水が供給され、これを下流側に向けて噴霧する複数のノズル１３と、このノズル１３から所定の距離１を隔てて位置しているエリミネータとなるウェットプレート群１４とを有している。
　【００１８】
　各ノズル１３は、処理空気の下流側に１００μｍ以下の粒径の水滴を発生できる機能を有しており、所定の間隔で設置されている。図２に示したように、各ノズル１３の設置間隔ｄは、処理空気の流速によって決定する。例えば２ｍ／ｓｅｃ程度の風速（＝面風速）では、１５〜３０ｃｍ間隔程度が望ましい。さらに各ノズル１３は、図２に示したように、チャンバ３に対して同一垂直面内に位置するように設置することで、水滴が偏ることなくウェットプレート群１４に衝突して回収される。なおノズル１３とウェットプレート群１４の下部は共通のドレンパンになっている。
　【００１９】
　ノズル１３とウェットプレート群１４間の距離ｌの最適値も、処理風速により決定される。水滴と空気との気液接触率を向上させるためには長い程良いが、他方ウェットプレート群１４に均一に水滴が到達させるためには、ある程度短い方がよい。従って、ノズル１３とウェットプレート群１４間の距離ｌは、その双方のバランスと処理風速とを考慮して決定し、例えば処理風速２ｍ／ｓｅｃ程度では、５０〜１７０ｃｍ程度が望ましい。
　【００２０】
　ウェットプレート群１４は、複数のウェットプレート１５によって構成されており、ノズル１３によって上流部に発生させた小径の水滴を回収し、かつ直接気中のガス不純物を吸収除去できる機能を有している。ウェットプレート群１４の構成については、後述のように様々なものが考えられるが、実際の構造設計は、次の４項目の機能の向上を考えて行われる。即ち、１．水滴を慣性衝突原理により効率よく回収できる構造であること、２．送風圧力損失が低くなる構造であること、３．ウェットプレート群の表面積（＝気液接触面積）が大きくできること、４．ウェットプレート群の場所により水滴の付着密度に差があっても（例えば上流部に集中する場合）、ウェットプレート群全体が常に濡れた状態に保持できる構造であること、である。
　【００２１】
　本実施形態で採用したウェットプレート群１４は、平面からみて、つづら折りした複数のウェットプレート１５を気流の流れに沿って平行に配置した構成をとっている。より詳述すれば、水滴の慣性力による回収性能を向上させるため、各ウェットプレート１５が気流方向に対してある角度θをなすようにの折り角をつけている。この角度θは、処理風速、ウェットプレートの段数（折れている数のこと。本実施形態においては、６段折りである）、ウェットプレート１５の設置間隔（＝ピッチａ）、折れ長さｂによって最適値が設定されるが、１２０°〜１７０°範囲が好ましい。本実施形態では、角度θは１３５°である。
　【００２２】
　送風圧損については、ウェットプレート１５の厚さを薄くし、前記角度θを水滴を回収できる角度より小さくしないように最適値に設定することで、従来のケミカルフィルタよりもかなり低くできる。またそのようにウェットプレート１５の厚さを薄くすることによっても低圧損化が図られる。いずれにしろ、送風圧損を最適なものに設定することが極めて容易である。具体的にいえば、ウェットプレート１５の厚さとしては１〜３ｍｍ程度が適している。本実施形態におけるウェットプレート１５の厚さは１ｍｍであり、面風速２ｍ／ｓｅｃでの圧力損失は６ｍｍＡｑである。
　【００２３】
　ウェットプレート群１４での気液接触面積の大面積化については、ピッチａを小さくかつ段数を多くすることによって容易に達成できる。ただし、これは圧力損失との兼ね合いもあり、必要なガス状不純物除去性能と圧力損失の上限値から決定される。
　【００２４】
　なおよりウェットプレート群１４のガス吸収面積をより大きくとりたい場合は、ウェットプレート群１４の上部から、純水を垂らして直接給水をする手段をとってもよい。この場合はノズル１３が不要となり、配管系も簡素化される。
　【００２５】
　ウェットプレート群１４全体が常に濡れた状態に保持するためには、水滴の付き易い部分（例えば最上流側）と付きにくい部分（例えば最下流側）とが吸水性の高い材質でつながっている構造にすればよい。本実施形態におけるウェットプレート群１４の場合、気流方向には１枚のウェットプレート１５を５ヶ所で折った構造であるから、最上流側と最下流側とは完全につながっており、各ウェットプレート１５、即ちウェットプレート群１４全体を容易にそのような濡れた状態に保持できる。
　【００２６】
　なおそのように構造的に上流側と下流側とがつながっていない場合は、下流側のウェットプレート１５まで水滴が到達するように、ウェットプレートの形状及び設置間隔などを設計すれば、全体を常に濡れた状態に保持できる。
　【００２７】
　そしてウェットプレート群１４の各ウェットプレート１５を伝ってチャンバ３内の下面に溜まる水は、回収手段としての還管１６によって純水製造装置１１へと戻され、そこで再び純水が製造されて、ノズル１３へと供給されるようになっている。従って、純水の再利用が図れる。なおこの純水製造装置１１へは、適宜損失分（蒸発分）にみあった水が補給されるようになっている。
　【００２８】
　本実施形態にかかるガス不純物の除去装置１を組み込んだクリーンルーム（ＣＲ）用の外気処理空調機２は、以上のような構成を有しており、次にその運転例について説明すると、この外気処理空調機２は既述したように、クリーンルームに供給する外気の処理に使われるもので、クリーンルーム内の絶対湿度に等しく制御した清浄空気を供給することができる。例えば、２３℃、ＲＨ４５％のクリーンルームに１２℃、ＲＨ９０％の空気を供給する場合について、冬期の加湿モードの場合と夏期の除湿モードの場合とに分けてそれぞれ説明する。
　【００２９】
　外気が５℃、７０％（図３中の▲１▼）の冬期の加湿モードにおいては、図４にも示したように、まずプレフィルタ４、除塩フィルタ５を介して、チャンバ３内に前処理した外気を取り入れる。そしてそのようにして粒子を除去した空気を加熱コイル６によって、２０．５℃まで加熱する（図３中の▲２▼）。そしてガス不純物除去装置１によってガス状不純物を除去する。このとき水加湿も行われるので、処理空気は１０．３℃、ＲＨ１００％となる（図３中の▲３▼）。そしてファン８によって送風されて再熱コイル９で加熱されると共に、超高性能微粒子除去フィルタ１０によって微粒子を除去し、所期の１２℃、ＲＨ９０％の清浄空気がチャンバ３から送り出される（図３中の▲４▼）。そして当該清浄空気は、クリーンルーム（２３℃、ＲＨ４５％：図３中の▲５▼）に供給される。
　【００３０】
　以上のようないわば加湿モードでは、ガス不純物除去装置１は加湿器としても機能しており、加湿しながらガス状不純物を除去する作用を奏する。加湿により蒸発する水量は、最高でも給水量の２０％以下である。なお加湿専用装置としてガス不純物除去装置１の上流側に蒸気加湿器等の加湿器を設けてもよい。
　【００３１】
　一方外気が、３０℃、ＲＨ７０％（図５中の▲１▼）の夏期の減湿モードにおいては、まずプレフィルタ４、ＨＥＰＡフィルタなどの除塩フィルタ５を介して、チャンバ３内に前処理した外気を取り入れる。そのようにして粒子を除去した空気を冷却コイル７によって、１０．３℃、ＲＨ１００％まで冷却する（図５中の▲２▼）そしてガス不純物除去装置１によってガス状不純物を除去する（図５中の▲３▼）。次いでファン８によって送風され、再熱コイル９で加熱されると共に、超高性能微粒子除去フィルタ１０によって微粒子を除去し、所期の１２℃、ＲＨ９０％の清浄空気がチャンバ３から送り出される（図５中の▲４▼）。そして当該清浄空気は、クリーンルーム（２３℃、ＲＨ４５％：図５中の▲５▼）に供給される。
　【００３２】
　以上のようないわば減湿モードでは、ガス不純物除去装置１へは露点に達した空気が供給されることから、給水される水は一切蒸発しないで純水製造装置１１に戻され純水に再生される。この不純物除去に使用された純水は、微量の水溶性のガス不純物だけが溶解しているだけで一般水に比べた場合はるかに不純物レベルの低い水である。従って純水製造装置１１に再び戻すことによって容易に再生でき、このような再生循環形式を採用することにより、純水コストを大幅に低減できる。
　【００３３】
　このような冬期の加湿モード、夏期の減湿モードのいずれにおいても、ガス不純物除去装置１は、処理空気中のガス状不純物を高効率で除去している。即ちノズルから噴霧される純水の小径粒子によって、気液接触効率が従来より大幅に向上して不純物が取り込まれ、そのままウェットプレート群１４に衝突し、そこで捕集される。そしてこのウェットプレート群１４を構成している各ウェットプレート１５は、つづら折りされたエリミネータを構成しているから、効率よく純水の小径粒子を捕集することができる。しかも各ウェットプレート１５は、極めて吸水率の高いプレートであるから、偏ることなく表面の広範囲に純水が行き渡り、このウェット面での気液接触によっても高いガス吸収効率を得られる。従って、処理空気中のガス状不純物を高い効率で除去できる。そのうえ純水粒子は、記述したように、１０μｍ〜１００μｍという極めて小径のものであるから、少ない液量で大面積の各ウェットプレート１５を常にウェットの状態にできる。
　【００３４】
　もちろんウェットプレート群１４は、エリミネータの構成をとっているから、下流側への純水粒子の飛散の心配はない。しかも送風圧損の調整についても、ウェットプレート群１４を構成する各ウェットプレート１５の折れ角度θ、段数、設置間隔（＝ピッチａ）、折れ長さｂ、ウェットプレート１５自体の厚さを適宜変更することにより、極めて容易にこれを行うことができる。
　【００３５】
　なお本発明のエリミネータとなる前記ウェットプレート群１４は、つづら折りしたウェットプレート１５を複数配置することで構成していたが、これに限らず、本発明においては、図７〜図１０に示したように、種々の形態のウェットプレート群を提案できる。
　【００３６】
　図７に示した例は、平面からみてその頂部２１ａがノズル１３側になるように略Ｖ字形に折った複数ウェットプレート２１を、適宜の空隙Ｌを設けて気流方向と垂直に横一列配置し、さらに次列を構成する複数のウェットプレート２１は、その頂部２１ａが、前列の空隙Ｌの後方に位置するように配置し、以後気流方向に沿って交互に頂部２１ａと空隙Ｌを位置させるようにして、ウェットプレート２１を４列に配置したものである。かかる構成のウェットプレート群２２によっても、前記実施形態におけるウェットプレート群１４と同様な作用効果が得られる。
　【００３７】
　図８に示した例は、前記図７の平面略Ｖ字形のウェットプレート２１に代えて、平面が略半円形のウェットプレート３１を用いてウェットプレート群３２を構成した例である。
　【００３８】
　図９に示した例は、細幅でフラットなウェットプレート４１を用いて、ウェットプレート群４２を構成したものである。この場合、ウェットプレート４１自体は、湾曲させたり、折ったりする必要がないので、より容易にウェットプレート群４２を構成することができる。
　【００３９】
　そして図１０に示した例は、気流方向に沿って配置される一の長幅のフラットな多孔板５１に、複数の短い幅の多孔板５２を所定の間隔Ｍで直交させる形で組み合わせたウェットプレート５３を、気流方向と平行にチャンバ３に沿って複数配置し、隣接する他のウェットプレート５３における多孔板５２の端部が、前記間隔Ｍの間に位置するように配設した構成したものである。かかる構成のウェットプレート群５４によれば、ウェットプレート群を配置する長さ（チャンバ３の気流方向の長さ）が小さくても、極めて大きい面積のウェット面を創出することができる。
　【００４０】
　さらに前記実施形態では、純水を使用したが、用途に応じて、例えば排気ガスに対処するため、純水以外の吸収液、反応吸収液を用いてもよい。さらに露点制御できる装置を併用してもよい。
　【００４１】
　【実施例】
　前記実施形態にかかる外気処理空調機２を用いて、減湿モード（夏期）において、空気中に含まれるＳＯ２ガスとＮＨ３ガスの除去を実施した結果を表１に示す。
　【００４２】
　【表１】
　【００４３】
　この結果からもわかるように、処理風速が１．５ｍ／ｓのとき、ＳＯ２ガスについては、除去率が９１．０％、ＮＨ３ガスについては、同９５．３％という高い除去率が確認された。またそのときの送風圧損は３．５ｍｍＡｑという低い値であった。
　【００４４】
　【発明の効果】
　請求項１〜９にかかる本発明によれば，乾式法と同等のガス不純物の除去効率が得られ，しかも気液接触法の併用により性能の経時変化を克服した。また実施形態で記載したような長寿命の素材を用いることにより，交換作業などのメンテナンス作業も極めて少なくでき，発生する産業廃棄物も非常に少量である。そして液滴平均粒径が１０μｍ〜１００μｍという小径の場合，液体の使用量の大幅な低減が図れ，ランニングコストを低く抑えることができる。同時に吸水性エリミネータを採用したことにより，全気液接触面積を大幅に向上させることが可能であり，少量の液体（例えば水や純水など）で高い除去効率を達成できる。
　【００４５】
　さらに噴霧液滴の小径化は冬季のように処理空気への加湿が必要な場合に、加湿効率の向上という副次効果を生む。つまり液滴の小径化により蒸発が容易となり加湿効率が向上するのである。またエリミネータ面に吸水特性を付加したことも、少ない液量（例えば水量）で濡れ面積を大きくできる結果、エリミネータでの加湿効率も向上する。その他エリミネータ構成であるから下流側への液滴粒子の飛散は防止され、プレート形状を採用することにより、所望の送風圧損を考慮した設計も容易である。
　【００４６】
　また請求項６のようにノズルから純水を発生させることにより，添加物による問題も生じない。さらに請求項７のように純水を再利用することにより，新たな水の補給量を減らしてより一層ランニングコストを抑えることができる。
　【００４７】
　請求項８，９によれば，ノズルによる噴霧がなくとも，エリミネータの表面を常にウェットな状態にすることができ，高いガス吸収効率が得られる。またノズルを不要とすることから，ガス吸収面積をより大きくとることができ，構成もより簡素化されるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の実施形態にかかるガス不純物除去装置を組み込んだ外気処理空調機の構成を示す斜視図である。
　【図２】
　図１のガス不純物除去装置の平面図である。
　【図３】
　図１の外気処理空調機を用いた冬期の運転例の空気線図である。
　【図４】
　図１の外気処理空調機を用いた冬期の運転例の処理フローを示す説明図である。
　【図５】
　図１の外気処理空調機を用いた夏期の運転例の空気線図である。
　【図６】
　図１の外気処理空調機を用いた夏期の運転例の処理フローを示す説明図である。
　【図７】
　平面略Ｖ字形のウェットプレートを用いたガス不純物除去装置の平面図である。
　【図８】
　平面略半円形のウェットプレートを用いたガス不純物除去装置の平面図である。
　【図９】
　フラットな細幅のウェットプレートを用いたガス不純物除去装置の平面図である。
　【図１０】
　フラットな長幅及び短幅の多孔板を組み合わせたウェットプレートを用いたガス不純物除去装置の平面図である。
　【符号の説明】
　　１　　ガス不純物除去装置
　　２　　外気処理空調機
　　３　　チャンバ
　　８　　ファン
　１１　　純水製造装置
　１３　　ノズル
　１４　　ウェットプレート群
　１５　　ウェットプレート
　１６　　還管