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　特願２０１１−　２５７８５「移動装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　８月３０日出願公開、特開２０１２−１６１８９６、請求項の数（４）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２３年２月９日の出願であって、平成２５年７月２９日付けで拒絶の理由が通知され、平成２５年９月２０日に意見書とともに手続補正書が提出され、特許請求の範囲について補正がなされたが、平成２５年１２月２日付けで拒絶査定がされた。これに対して、平成２６年２月２５日に拒絶査定不服審判が請求されると同時に手続補正がなされたものである。
　
第２　平成２６年２月２５日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成２６年２月２５日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
１．補正の内容
　平成２６年２月２５日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）は、特許請求の範囲の請求項１に関する以下の補正を含むものである。（下線部は、補正箇所である。）
　「移動体と、
　該移動体に取り付けた可動子を有し、該可動子を１軸方向に移動させるリニアモータと、
　前記移動体に固定された回転型モータであって、該回転型モータの回転子の回転軸が、前記移動体と前記可動子と前記回転型モータからなる移動合体の重心を通り、且つ該重心と前記可動子の移動軌跡とを含む平面と交差するよう、前記移動体に固定された回転型モータと、
　
前記リニアモータを制御するリニアモータ制御部と、該リニアモータ制御部により制御される
て前記
する
し前記目標角加速度に従って
の回転を制御して
回転型モータ制御部とを有する
、
　そして、請求項１に関する補正は、以下のものを含んでいる。
（１）制御部が、「リニアモータを制御するリニアモータ制御部」と移動合体の姿勢を制御する「回転型モータ制御部」とを有することを特定した。
（２）「目標角加速度を算出し、該目標角加速度となるように」「回転型モータの回転子の角加速度を制御する」としていた制御装置の機能を、「前記目標角加速度に従って前記回転型モータの回転子の回転を制御して」いるものと変更した。
　
２．補正の適否
　上記（１）の補正事項は、「制御装置」について「リニアモータ制御部」と「回転型モータ制御部」を有するように限定したものであって、特許請求の範囲の限定的減縮を目的とするものである。
　また、上記（２）の補正事項は、補正前の記載において「該目標角加速度となるように」としていたものを「前記目標角加速度に従って」とし、「回転型モータの回転子の角加速度を制御することにより、」としていたものを「回転型モータの回転子の回転を制御して」とするものであるが、制御対象を「回転子の角加速度」から「回転子の回転」に変更するものであり、上位概念的な記載に置換したものであって、特許請求の範囲の限定的減縮を目的とするものではなく、また、請求項の削除、誤記の訂正、明瞭でない記載の釈明のいずれをも目的とするものではない。
　したがって、本件補正は、特許法１７条の２第５項の各号に掲げる何れの事項を目的とするものにも該当せず、同法１７条の２第５項の規定に違反するものであるから、同法１５９条１項において読み替えて準用する同法５３条１項の規定により却下すべきものである。
　よって、上記［補正却下の決定の結論］のとおり、決定する。
　
第３　本願発明について
１．本願発明
　平成２６年２月２５日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜４に係る発明は、平成２５年９月２０日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された事項により特定されるものと認められるところ、本願の請求項１〜４に係る発明（以下、「本願発明１」〜「本願発明４」という。）は以下のとおりである。
「【請求項１】　
　移動体と、　
　該移動体に取り付けた可動子を有し、該可動子を１軸方向に移動させるリニアモータと、　
　前記移動体に固定された回転型モータであって、該回転型モータの回転子の回転軸が、前記移動体と前記可動子と前記回転型モータからなる移動合体の重心を通り、且つ該重心と前記可動子の移動軌跡とを含む平面と交差するよう、前記移動体に固定された回転型モータと、　
　前記リニアモータの推力に基づいて前記可動子の移動によって前記移動合体に作用する回転トルクを求め、該回転トルクの少なくとも一部を相殺する反回転トルクを発生させる目標角加速度を算出し、該目標角加速度となるように前記回転型モータの回転子の角加速度を制御することにより、前記移動合体の姿勢を制御する制御装置とを備えていることを特徴とする移動装置。
　【請求項２】
　前記リニアモータが、前記可動子を水平１軸方向または垂直１軸方向に移動させるものであり、
　前記回転型モータの回転軸が、水平面または垂直面に直交するものであることを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
　【請求項３】
　前記回転型モータが、前記回転子にイナーシャホイールを備え、該イナーシャホイールの重心が前記回転軸上にあることを特徴とする請求項１または２に記載の移動装置。
　【請求項４】
　前記可動子の加速度を検出する加速度検出手段を備え、
　前記制御装置が、前記加速度検出手段により検出された加速度に基づいて前記推力を算出するものであることを特徴とする請求項１に記載の移動装置。」
　
２．原査定の理由の概要
　本願発明１〜４は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　
刊行物１：特開２００１−３０４３３２号公報　
刊行物２：特開平０５−２２８７６１号公報　
　
　刊行物１に記載のフライホイールを同じくステージ装置の高精度位置決めに関する刊行物２に記載のものに適用する場合、フライホイールの取り付け位置が水平方向ガイドや鉛直方向ガイド等の固定部でなく、フライホイールの回転トルクによる変位が可能な精密位置決め対象部位である移動体に取り付けられることは必然であり、その点に技術的困難性はない（精密位置決め部材にフライホイールを取り付ける点については、必要に応じ、同じく精密位置決め機構に関する特開２００４−３４１６０８号公報の段落【００４０】、【００４５】、第２図等の記載などを参照）。　
　
３．刊行物等の記載事項
（１）刊行物１
　原査定の拒絶の理由に引用された上記刊行物１には、図面とともに、次の記載がある。　
（１−ア）　「【請求項１】  除振台に搭載され、振動に対し保護すべき保護対象に伝達される振動を低減する能動制振装置であって、前記除振台は支持機構により防振支持されており、前記除振台に固定される回転アクチュエータと、前記回転アクチュエータに接続され前記除振台に対して相対的に回転方向に運動する回転慣性要素とを有し、前記回転アクチュエータが前記回転慣性要素を回転方向に駆動する際に発生する駆動反力によって前記除振台にトルクを加える回転質量ユニットと、駆動指令信号に応じて前記回転アクチュエータを駆動する駆動回路とを備えたことを特徴とする能動制振装置。」
（１−イ）　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、除振性能を損なうことなく制振性能を向上させることが可能であり、特に、半導体露光装置などのように、除振台上にＸＹステージのような駆動手段を有する機器が搭載された場合でも、装置に発生するピッチング、ローリング、ヨーイングなどの回転振動を迅速に制振することができる精密機器用の能動制振装置に関する。」
（１−ウ）　「【００１７】一方、半導体露光装置では、ＸＹステージの駆動反力、荷重移動により、露光装置本体の並進方向の振動だけでなく、ピッチング、ローリング、ヨーイングなどの回転振動が発生する。しかし、このような回転振動を、先に説明した直動アクチュエータを用いたタイプの能動制振装置を用いて効果的に制振するには、一つの回転モードに対して、少なくとも二つ以上の制振手段や、アクチュエータが必要である。しかし、質量、ストロークの大きい直動型の能動制振装置を数多く用いることは、装置規模の増大を伴うため、望ましいことではない。並進、回転の各運動モードを適切に抑制できる、よりコンパクトで効率のよい能動制振装置の実現が望まれている。」
（１−エ）　「【００４３】前記除振台上にＸＹステージなどの駆動手段を有する機器が搭載される場合は、ＸＹステージなどの駆動手段を備えた機器の動作状態、または、
その制御手段からの信号に適切な補償演算を施して、前記除振台の回転運動モードに対するトルク指令信号を算出し、該補償信号に基づき、前記回転質量ユニットを駆動して
（１−オ）　「【００５８】図３は、回転アクチュエータ５１、およびフライホイール５２を示す斜視図である。フライホイール５２は、回転アクチュエータ５１が発生するトルクによって、回転方向に駆動される。
回転アクチュエータ５１は、固定子と回転子とからなるが、除振台１にはそのいずれか一方が剛に締結されており、他方にはフライホイール５２が締結されて除振台１に対して回転方向に可動な構造になっている。回転質量ユニット５０は、その作用中心軸の延長線が、振動に対して保護すべき対象物の重心を通るように配置することが望ましい
（１−カ）　「【００７８】なお、ここでは、補償演算手段５における補償演算を、除振台１の回転振動に減衰特性を付与する場合を例にして説明したが、
角加速度と角速度の複合フィードバックなど、
（１−キ）　「【００８１】図１に示すように、除振台１に、ＸＹステージ４５などの駆動手段を備えた機器が搭載されているとする。
このＸＹステージ４５は電磁駆動リニアモータなどにより、Ｘ、Ｙの２自由度方向に運動可能である。
ＸＹステージ４５は必ずしも、除振台１およびその搭載機器からなる装置全体の重心位置に設置できないため、その駆動反力によって、並進方向の反作用推力とともに、水平軸、鉛直軸まわりの回転方向のモーメントを発生する。そこで、このモーメントの影響を抑制し、除振台１の回転振動を効果的に抑制、除去するために、前向き補償演算手段６を用いて、ＸＹステージ制御手段４６からの信号、または、ＸＹステージ４５の駆動状態に関する信号に適切な演算処理を施し、その演算結果に基いて回転質量ユニット５０を駆動する
（１−ク）　【００８２】「この前向き補償演算には以下のようなものがある。
一つは、ＸＹステージ４５の駆動反力によって発生するモーメントを打ち消すように制御を行うための補償演算、
（１−ケ）　「【００８５】これらの演算処理の結果として得られた補償信号を、前述の補償演算手段５から得られる信号などと加算して、
回転質量ユニット５０に送り、それを駆動することにより、ＸＹステージ４５の動作によって発生する除振台１の回転振動を効果的に低減、抑制することができる
（１−コ）　「【００９１】ここでは、除振台１の振動に基いて補償演算手段５で得た補償信号による振動制御、前向き補償演算手段６で得た補償信号による振動制御、各々の例を個別に説明したが、
これまでに説明したすべての補償信号を加算して振動制御を行ってもよい
（１−サ）　「【００９３】回転運動方向に対するモーメントは、図９や図１０を用いて説明したような直動アクチュエータを複数台数用いれば、発生することができるが、その場合、必要アクチュエータ数や、直動方向のストロークの増大などの問題で、制振装置、アクチュエータのサイズが大きくなってしまう問題があった。これに対し、本実施例に係る能動制振装置によれば、回転運動方向の制振を行うための装置として、回転アクチュエータとフライホイールとからなる回転質量ユニットを用いるため、回転運動モードヘの作用力の発生機構をよりコンパクトにすることができ、この種の機器を搭載する空間にサイズ的、重量的な制約がある精密機器においても、良好な制振効果を得ることができる。」　
　刊行物１の上記記載事項を、技術常識を踏まえ本願発明１に照らして整理すると、刊行物１には、「ＸＹステージと、　
　該ＸＹステージをＸ、Ｙの２自由度方向に移動させる電磁駆動リニアモータと、　
　除振台に固定された回転アクチュエータと、　
　回転アクチュエータを含む回転質量ユニットは、その作用中心軸の延長線が、振動に対して保護すべき対象物の重心を通るように配置し、
　ＸＹステージの駆動反力によって、並進方向の反作用推力とともに、水平軸、鉛直軸まわりの回転方向に発生するモーメントの影響を抑制するように制御する制御装置とを備えている能動制振装置であって、
　ＸＹステージの駆動反力によって発生するモーメントを打ち消すように制御を行うための補償演算を行い、ＸＹステージなどの駆動手段を備えた機器の動作状態に適切な補償演算を施して、除振台の回転モードに対するトルク信号を算出し、角加速度と角速度の複合フィードバックを行う能動制振装置」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。　
　
（２）刊行物２
　同じく、原査定の拒絶の理由に引用された上記刊行物２には、図１，２，４と共に、　
「【００３２】本実施例の移動ステージ上の重心が存在するＧ点を原点としてｙｚ座標を取り、第１ないし第３のリニアアクチュエータ１０ａ，１０ｂ，１０ｃの位置をそれぞれ（ｙA 、ｚA ），（ｙB 、ｚB ），（ｙC 、ｚC ）（既知）とし、推力をそれぞれｆA ，ｆB ，ｆC （未知）とすれば、幾何学的な関係（下式）が成り立つ。　
【００３３】ｆA ｙA ＋ｆB ｙB ＋ｆC ｙC ＝０　
ｆA ｚA ＋ｆB ｚB ＋ｆC ｚC ＝０　
上式は未知数３個に対して式２個であり、推力ｆA ，ｆB ，ｆC は比の形で求められる。
【００３４】例えば、第１リニアアクチュエータ１０ａの推力ｆA を基準にして他の第２，第３のリニアアクチュエータ１０ｂ，１０ｃの推力ｆB とｆC を決定できる。これによって、前記コントローラ３０において、移動体１の水平方向と鉛直方向について第１ないし第３のリニアアクチュエータ１０ａ，１０ｂ，１０ｃの推力ｆA ，ｆB ，ｆC をそれぞれ適切に配分して移動体１の駆動点Ｇ0 と重心Ｇを一致させることで、該移動体１の姿勢精度を補償することが可能となる。　
」と記載されている。
　刊行物２の上記記載事項を技術常識を踏まえ、整理すると、刊行物２には、下記の事項が記載されていると認められる。　
「複数のリニアモータによって高速移動する移動体自体の回転振動を制振すること」（以下、「刊行物２事項」という。）　
　
４．対比
　本願発明１と引用発明とを比較すると、引用発明の「ＸＹステージ」が本願発明１の「移動体」に相当し、引用発明の「回転アクチュエータ」は本願発明１の「回転型モータ」に相当する。そして、引用発明の「該ＸＹステージをＸ、Ｙの２自由度方向に移動させる」は、Ｘ、Ｙの自由度方向に移動させれば、当然に、１軸方向にも移動させることになるから、「移動体を１軸方向に移動させる」と読み替えることができる。引用発明の「電磁駆動リニアモータ」は本願発明１の「リニアモータ」に相当し、リニアモータにおいて、可動子を有し、移動体に可動子を取り付け、当該可動子を移動させることは、自明であるから、引用発明の「電磁駆動リニアモータ」は本願発明１の「該移動体に取り付けた可動子を有し、該可動子を移動させるリニアモータ」に相当する。
　引用発明の「ＸＹステージの駆動反力によって、並進方向の反作用推力とともに、水平軸、鉛直軸まわりの回転方向に発生するモーメントの影響を抑制するように制御する制御装置とを備えている」のうち、「ＸＹステージの駆動反力によって生じる、水平軸、鉛直軸まわりの回転方向に発生するモーメント」は、本願発明１の「回転トルク」に相当し、同じく「その影響を抑制する」は、「少なくとも一部を相殺する」ことに相当すると認められる。また、引用発明の「能動制振装置」は、ＸＹステージを移動する移動装置でもあるから、本願発明１の「移動装置」に相当する。
　そうすると、両者は、「移動体と、該移動体に取り付けた可動子を有し、該可動子を１軸方向に移動させるリニアモータと、回転型モータと、回転トルクの少なくとも一部を相殺するよう制御する制御装置とを備えている移動装置。」の点で一致し、以下の点にて相違する。　
［相違点１］本願発明１は、「該回転型モータの回転子の回転軸が、前記移動体と前記可動子と前記回転型モータからなる移動合体の重心を通り、且つ該重心と前記可動子の移動軌跡とを含む平面と交差するよう、前記移動体に固定された回転型モータである」のに対し、引用発明は、「除振台に固定された回転アクチュエータと、回転アクチュエータを含む回転質量ユニットは、その作用中心軸の延長線が、振動に対して保護すべき対象物の重心を通るように配置し」た点。　
［相違点２］本願発明１は、「前記リニアモータの推力に基づいて前記可動子の移動によって前記移動合体に作用する回転トルクを求め、該回転トルクの少なくとも一部を相殺する反回転トルクを発生させる目標角加速度を算出し、該目標角加速度となるように前記回転型モータの回転子の角加速度を制御することにより、前記移動合体の姿勢を制御する」のに対し、引用発明は、「ＸＹステージの駆動反力によって発生するモーメントを打ち消すように制御を行うための補償演算を行い、ＸＹステージなどの駆動手段を備えた機器の動作状態に適切な補償演算を施して、除振台の回転モードに対するトルク信号を算出し、角加速度と角速度の複合フィードバックを行」っている点。　
　
５．判断
［相違点１］について検討する。　
　引用発明は、回転アクチュエータ５１を除振台１に固定していることから、回転アクチュエータ５１が装置設置基礎の上に実質的に固定される、すなわち、略静止物体の振動を抑制するものである。これに対して、本願発明１は、ガイド機構によって案内支持され高速で移動する移動合体、すなわち高速移動体の姿勢偏向を防止する点で、技術思想が大きく異なる。そして、略静止した除振台を制振する引用発明と、高速移動する移動体自体の回転振動を制振する刊行物２事項とも、技術思想が異なる。よって、略静止した除振台を制振する引用発明に、高速移動する移動体自体の回転振動を制振する刊行物２発明を適用することは困難である。さらに、原査定で提示された特開２００４−３４１６０８号公報には、三次元測定装置において、測定中のプローブの微細な固有振動を制振するため、当該プローブ上にフライホイールを設けることが記載されているものの、このことを理由として、高重量の加工ヘッドからなる移動体上にフライホイールを設けることまでを必然であるとまでは言えない。　
　また、引用発明の「回転質量ユニット５０は、その作用中心軸の延長線が、振動に対して保護すべき対象物の重心を通るように配置し」の「振動に対して保護すべき対象物」とは、刊行物１の記載全体から見て、除振台１を含むものである。したがって、「振動に対して保護すべき対象物」は、本願発明１の「前記移動体と前記可動子と前記回転型モータからなる移動合体」とは異なるものであるから、刊行物１のこの記載をもって、「該回転型モータの回転子の回転軸が、前記移動体と前記可動子と前記回転型モータからなる移動合体の重心を通る」ことが容易に想到できるものとはいえない。　
［相違点２］について検討する。　
　引用発明が、ＸＹステージ４５の駆動反力によって発生するモーメントを打ち消すように制御を行うための補償演算を行うものであっても、このモーメントは、「除振台１」に生じるモーメントであって、本願発明１のような、リニアモータの推力に基づいて前記可動子の移動によって「前記移動合体」に作用する回転トルクとは、異なるものであり、この点でも、技術思想が大きく異なる。よって、相違点２に係る構成は、当業者が容易に想到し得たものとはいえない。
　したがって、本願発明１は、当業者が引用発明及び刊行物２事項に基づいて容易に発明をすることができたとはいえない。　
　本願発明２〜４は、本願発明１をさらに限定したものであるので、本願発明１と同様に、当業者が引用発明及び刊行物２事項に基づいて容易に発明をすることができたとはいえない。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明１〜４は、当業者が引用発明及び刊行物２事項に基づいて容易に発明をすることができたものではないから、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。　
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。  　
　よって、結論のとおり審決する。