【事件の表示】
　平成４年特許願第４２６３１号「弾性表面波装置の製造方法」拒絶査定に対する審判事件［平成５年９月２１日出願公開、特開平５−２４３８８７］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ａ　本願発明
　本件審判請求に係る特許願は平成４年２月２８日になされており，明細書及び図面の記載からみて，
　その特許請求の範囲の欄の請求項１の記載に係る発明（以下，「本願発明」という）の目的，効果は，「入出力損失」を「低下」することであり，
　本願発明の構成は，
　「圧電基板上に金属薄膜を成長した後，フォトリソグラフィ及びエッチングによって櫛形電極をパターンニングして形成する弾性表面波装置の製造方法において，前記金属薄膜のパターンニングする際のエッチングとして，前記電極パターン側面の片側をウェットエッチングによるサイドエッチングを用いて連続した傾斜形状に形成し，他側の側面をエッチングにより前記圧電基板に対してほぼ垂直の形状に形成して左右非対称の電極指形状とすることを特徴とする強性表面波装置の製造方法」
である。
（特許請求の範囲の欄或いは【課題を解決するための手段】の欄の記載参照）
Ｂ　周知発明
　圧電基板上に金属薄膜を成長した後，フォトリソグラフィ及びエッチングによって櫛形電極をパターンニングして形成する弾性表面波装置の製造方法は，例えば特開昭６３−３０２６１０号公報（昭和６３年１２月９日特許庁発行）或いは実願昭６０−８４４５１号（実開昭６１−１９９９２７号公報、昭和６１年１２月１５日特許庁発行）のマイクロフィルムにも記載されているように，当業者に周知の発明（以下「周知発明」という）である。
Ｃ　刊行物記載の発明
１　原査定の理由において提示された，特開昭６３−２６０２１１号公報（昭和６３年１０月２７日特許庁発行，以下「刊行物１」という）には，
　圧電「基板１」上に，櫛形の（「インターデジタル」）「電極」の両側面を，フォトリソグラフィ及びエッチングによってパターンニングし，「電極」側面の片側（第２図，第４図の右側面）をその肉厚を変えて階段形状に形成し，他側の側面（第２図，第４図の左側面）を前記圧電「基板１」に対してほぼ垂直の形状に形成して，（「一方向性化」された）左右非対称の電極指形状とする弾性表面波装置，
であって，
　入出力損失を低下させることができる，
という発明（以下，「第１の発明」という）が記載されている。
２　同様に，原査定の理由において提示された，特開昭６１−２４７１１３号公報（昭和６１年１１月４日特許庁発行，以下「刊行物２」という）には，
　「圧電・電歪性の基板１」上に，櫛形（「すだれ状」）「電極」側面の片側（第１図（ヘ）の右側面）を連続した傾斜形状（略円弧状）に形成し，他側の側面（第１図（ヘ）の左側面）を前記圧電「基板１」に対して（右側面に比較して）ほぼ垂直の形状に形成して，（「一方向性化」された）左右非対称の電極指形状とする弾性表面波装置，
であって，
　入出力損失を低下させることができる，
という発明（以下，「第２の発明」という）が記載されている。
３　同様に，原査定の理由において提示された，特開昭５１−３０４８９号公報（昭和５１年３月１５日特許庁発行，以下「刊行物３」という）には，
　圧電「基体１」上に，櫛形「電極Ｅ」側面の両側を連続した傾斜形状（略円弧状，直線状，ガウス曲線状）に形成して，左右対称の電極指形状とする弾性表面波装置，
であって，
　反射損失を低下させることができる，
という発明（以下，「第３の発明」という）が記載されている。
Ｄ　本願発明の創作可能性
　本願発明（以下，「前者」という）と前記周知発明（以下，「後者」という）とを比較すると，
　両者が，
　圧電基板上に金属薄膜を成長した後，フォトリソグラフィ及びエッチングによって櫛形電極をパターンニングして形成する弾性表面波装置の製造方法，
を構成要件としている点で一致しており，
(1)　前者が，入出力損失を低下させるために，前記電極パターン側面の片側を連続した傾斜形状に形成し，他側の側面を前記圧電基板に対してほぼ垂直の形状に形成して，左右非対称の電極指形状と為しているのに対して，後者が左右非対称の電極指形状と為していない点，
(2)　前記金属薄膜の前記傾斜形状の形成（パターンニング）を，前者が，ウェットエッチングによるサイドエッチングを用いて行っているのに対して，後者が左右非対称の電極指形状と為していない点，
(3)　前記金属薄膜の前記垂直形状の形成（パターンニング）を，前者が，エッチングを用いて行っているのに対して，後者が左右非対称の電極指形状と為していない点，
で相違している。
　従って，本願発明は，前記周知発明において，(1)′入出力損失を低下させるために，前記電極パターン側面の片側を連続した傾斜形状に形成し，他側の側面を前記圧電基板に対してほぼ垂直の形状に形成して，左右非対称の電極指形状と為し，(2)′前記金属薄膜の前記傾斜形状の形成（パターンニング）を，ウェットエッチングによるサイドエッチングを用いて行ない，(3)′前記金属薄膜の前記垂直形状の形成（パターンニング）を，エッチングを用いて行うことにより，発明をすることができたものである。
Ｅ　本願発明の創作容易性
　上記(1)′〜(3)′について検討する。
(1)′について，
　入出力損失を低下させるために，弾性表面波装置の櫛形電極の両側面を，フォトリソグラフィ及びエッチングによってパターンニングし，（「一方向性化」された）左右非対称の電極指形状と為すこと，及びその際，電極側面の片側を階段形状に形成し，他側の側面を圧電基板に対してほぼ垂直の形状に形成することは，刊行物１に第１の発明として，
　また，入出力損失を低下させるために，弾性表面波装置の櫛形電極の片側を連続した傾斜形状に形成し，他側の側面を圧電基板に対して（前記片側に比較して）ほぼ垂直の形状に形成して，（「一方向性化」された）左右非対称の電極指形状と為すことは，刊行物２に第２の発明として，
　また，反射損失を低下させるために，弾性表面波装置の櫛形電極の側面を連続した傾斜形状に形成して，電極指形状と為すことは，刊行物３に第３の発明として記載されているので，
　前記周知発明において，
　入出力損失を低下させるために，前記電極パターン側面の片側を連続した傾斜形状に形成し，他側の側面を前記圧電基板に対してほぼ垂直の形状に形成して，左右非対称の電極指形状と為して本願発明のようにすることは，当業者が容易になし得たことである。
(2)′，(3)′について，
　弾性表面波装置の分野では，櫛形電極のパターンニングに於いて，エッチングは例示するまでもなく周知であり，またウェットエッチングによるサイドエッチングは例えば特開昭６３−１７８６１５号公報や特開昭６３−２８５０１１号公報にも記載されているように周知であるので，
　前記周知発明において，
　(1)′のように，櫛形電極の両側面を，フォトリソグラフィ及びエッチングによってパターンニングし，左右非対称の電極指形状と為す際，前記金属薄膜の，前記傾斜形状の形成をウェットエッチングによるサイドエッチングを用い，前記垂直形状の形成をエッチングを用いて本願発明のようにすることは，当業者が容易になし得たことである。
Ｆ　結び
　以上Ａ〜Ｅ項を総合して判断すると，本願明細書の特許請求の範囲の欄の請求項１の記載に係る発明は，前記周知発明に基づき刊行物１，２，３に記載された第１，第２，第３の発明を用いて当業者が容易に発明をすることができたものであるので，特許法第２９条第２項の規定により，本件審判請求人である本願出願人は本願明細書の特許請求の範囲の欄の請求項１の記載に係る発明について特許を受けることができない。
  よって，結論の通り審決する。