(57)【要約】【課題】作業者が表示装置の画面上で吸着開始ダイを指定する作業を簡単化する。【解決手段】ダイ供給装置１１がダイ吸着動作を開始する前に、作業者が表示装置５１の画面に表示されたウエハ画像の複数のダイ３１の中から最初に吸着する吸着開始ダイ４８を指定する際に、ダイ供給装置１１の制御部４５は、表示装置５１の画面に表示したウエハ画像の各ダイ３１が基準ダイとなるリファレンスダイ４７から縦方向と横方向にそれぞれダイ何個分だけ離れているかを示す相対位置情報を計測して表示装置５１の画面に表示する。このようにすれば、表示装置５１の画面にリファレンスダイ４７と吸着開始ダイ４７のどちらか一方しか表示されない場合でも、作業者は、表示装置５１の画面に表示された相対位置情報を見るだけで、ウエハ画像の各ダイ３１がリファレンスダイ４７から縦方向と横方向にそれぞれダイ何個分だけ離れているかを容易に知ることができる。【選択図】図８
2018088449.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの少なくとも一部分をカメラで撮像したウエハ画像を表示する表示装置を備え、ダイ供給装置がダイ吸着動作を開始する前に作業者が前記表示装置の画面に表示されたウエハ画像の複数のダイの中から最初に吸着するダイ（以下「吸着開始ダイ」という）を指定して実際の吸着開始ダイの位置を前記ダイ供給装置に教示する吸着開始ダイ教示システムにおいて、
前記ウエハの複数のダイのうち他のダイとは外観が異なるダイの中から指定されたダイを基準位置となる基準ダイとして設定する基準ダイ設定部と、
前記表示装置の画面に表示されたウエハ画像の各ダイが前記基準ダイから縦方向と横方向にそれぞれダイ何個分だけ離れているかを示す相対位置情報を計測して前記表示装置の画面に表示する制御部と
を備える、吸着開始ダイ教示システム。
【請求項２】
前記制御部は、前記表示装置の画面に表示されたウエハ画像の少なくとも縦一列と横一列に並ぶ各ダイにそれぞれ前記相対位置情報を重ねて表示する、請求項１に記載の吸着開始ダイ教示システム。
【請求項３】
前記カメラは、その視野内にウエハの一部分のみを収めて撮像し、
前記基準ダイと前記吸着開始ダイとの位置関係は、どちらか一方が前記カメラの視野内で、他方が前記カメラの視野外となる位置関係に設定され、
前記制御部は、前記カメラと前記ウエハのどちらかを前記基準ダイが含まれる撮像エリアから前記吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させる際に、前記カメラで撮像したウエハ画像を処理して各ダイを分割する縦横のダイシング溝を認識して各ダイの縦方向の列と横方向の列に沿って前記基準ダイからの各ダイの相対位置情報を計測して前記表示装置の画面に表示する、請求項１又は２に記載の吸着開始ダイ教示システム。
【請求項４】
前記カメラは、その視野内にウエハの一部分のみを収めて撮像し、
前記基準ダイと前記吸着開始ダイとの位置関係は、どちらか一方が前記カメラの視野内で、他方が前記カメラの視野外となる位置関係に設定され、
前記制御部は、前記カメラと前記ウエハのどちらかを前記基準ダイが含まれる撮像エリアから前記吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させる際に、前記カメラで撮像したウエハ画像を処理して各ダイを縦方向及び横方向に１つずつ認識して各ダイの縦方向の列と横方向の列に沿って前記基準ダイからの各ダイの相対位置情報を計測して前記表示装置の画面に表示する、請求項１又は２に記載の吸着開始ダイ教示システム。
【請求項５】
前記制御部は、前記基準ダイからの前記吸着開始ダイの相対位置情報を取得して、前記カメラと前記ウエハのどちらかを前記吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させる際に、前記基準ダイからの各ダイの相対位置情報の計測結果を確認しながら前記カメラと前記ウエハのどちらかを前記吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させる、請求項３又は４に記載の吸着開始ダイ教示システム。
【請求項６】
前記基準ダイは、前記ウエハの各ダイの情報を示すウエハマッピングデータ又は生産ジョブによって指定される、請求項１乃至５のいずれかに記載の吸着開始ダイ教示システム。
【請求項７】
前記基準ダイは、前記表示装置の画面に表示されたウエハ画像の複数のダイの中から作業者によって指定される、請求項１乃至５のいずれかに記載の吸着開始ダイ教示システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書は、ダイ供給装置がダイ吸着動作を開始する前に作業者が表示装置の画面に表示されたウエハ画像の複数のダイの中から最初に吸着するダイ（以下「吸着開始ダイ」という）を指定して実際の吸着開始ダイの位置をダイ供給装置に教示する吸着開始ダイ教示システムに関する技術を開示したものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１（国際公開ＷＯ２０１３／１４５２０２号公報）や、特許文献２（特開２０１３−１１０１８２号公報）に記載されているように、部品実装機にダイ（チップ部品）を供給するダイ供給装置は、複数のダイに分割するようにダイシングされた円形のウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシートをダイシングフレームに張設したウエハパレットと、前記ダイシングシートの下方に配置された突き上げピンとを備え、吸着ノズルを下降させて前記ダイシングシート上のダイを吸着してピックアップする際に、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を該突き上げピンで突き上げて該ダイの貼着部分を該ダイシングシートから部分的に剥離させながら、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするようにしている。
【０００３】
この場合、ダイシングシートは、ダイをピックアップしやすいように、円形のウエハの外側方向にエキスパンド（拡張）されて各ダイ間に隙間があけられているため、ダイシングシート上の各ダイの位置は、ダイシングシートの不均一なエキスパンドによって位置ずれして、ダイの配列が歪んだり、円形のウエハのセット位置・角度のずれもある。このため、ダイ供給装置には、ウエハの各ダイの位置を画像認識するためのカメラが搭載されているが、カメラで撮像したウエハ画像の各ダイを画像認識できても、画像認識したダイが円形のウエハのどの位置のダイであるかまでは正確には判断できない。
【０００４】
そこで、特許文献３（特開２００２−２６０４１号公報）や、特許文献４（特開２０１２−２２２０５４号公報）に記載されているように、ウエハに、画像認識により他のダイと区別可能なリファレンスダイを設け、このリファレンスダイの位置を基準位置にしてウエハの各ダイの位置を認識するようにしている。
【０００５】
しかし、リファレンスダイから離れるに従って、ダイシングシートの不均一なエキスパンドによるダイの配列の歪みの影響が大きくなって、リファレンスダイとダイとの相対位置関係のずれが大きくなったり、円形のウエハのセット位置・角度のずれもあるため、ウエハの多数のダイの中から最初に吸着するダイ（吸着開始ダイ）の位置を画像処理のみで正確に認識することは困難である。そこで、ダイ供給装置がダイ吸着動作を開始する前に、カメラで撮像したウエハ画像を表示装置の画面に表示して、作業者が表示装置の画面上で、ウエハ画像の多数のダイの中から吸着開始ダイを指定して実際の吸着開始ダイの位置をダイ供給装置に教示してから、当該吸着開始ダイの吸着動作を開始するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２０１３／１４５２０２号公報
【特許文献２】特開２０１３−１１０１８２号公報
【特許文献３】特開２００２−２６０４１号公報
【特許文献４】特開２０１２−２２２０５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
作業者が表示装置の画面上で吸着開始ダイを指定する際に、リファレンスダイから吸着開始ダイまでの間に存在するダイの個数を数えて、吸着開始ダイを指定するようにしている。しかし、作業者がリファレンスダイから吸着開始ダイまでの間に存在するダイの個数を数える作業が面倒であるばかりか、ダイの個数を数え間違える可能性もあり、間違ったダイを吸着開始ダイに指定してしまう人為的なミスが発生する可能性もある。
【０００８】
更に、表示装置の画面に、ウエハ全体の画像が表示されず、ウエハの一部分のみが拡大表示される場合も多いが、このような場合、リファレンスダイと吸着開始ダイとの間が離れていると、リファレンスダイと吸着開始ダイのどちらか一方しか表示装置の画面に表示されない。このような場合、作業者が表示装置の画面上でリファレンスダイから吸着開始ダイまでの間に存在するダイの個数を数えることが困難であり、吸着開始ダイの指定を間違える人為的ミスが発生しやすい。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの少なくとも一部分をカメラで撮像したウエハ画像を表示する表示装置を備え、ダイ供給装置がダイ吸着動作を開始する前に作業者が前記表示装置の画面に表示されたウエハ画像の複数のダイの中から最初に吸着するダイ（以下「吸着開始ダイ」という）を指定して実際の吸着開始ダイの位置を前記ダイ供給装置に教示する吸着開始ダイ教示システムにおいて、前記ウエハの複数のダイのうち他のダイとは外観が異なるダイの中から指定されたダイを基準位置となる基準ダイとして設定する基準ダイ設定部と、前記表示装置の画面に表示されたウエハ画像の各ダイが前記基準ダイから縦方向と横方向にそれぞれダイ何個分だけ離れているかを示す相対位置情報を計測して前記表示装置の画面に表示する制御部とを備えた構成としたものである。
【００１０】
この構成では、表示装置の画面に表示されたウエハ画像の各ダイが基準ダイから縦方向と横方向にそれぞれダイ何個分だけ離れているかを示す相対位置情報がウエハ画像と共に表示装置の画面に表示されるため、表示装置の画面に基準ダイと吸着開始ダイのどちらか一方しか表示されない場合であっても、作業者は、表示装置の画面に表示された相対位置情報を見るだけで、ウエハ画像の各ダイが基準ダイから縦方向と横方向にそれぞれダイ何個分だけ離れているかを容易に知ることができる。これにより、作業者が基準ダイから吸着開始ダイまでに存在するダイの個数を数える必要がなくなり、表示装置の画面上で吸着開始ダイを指定する作業が簡単になると共に、ダイの個数の数え間違いによる吸着開始ダイの誤指定という人為的ミスを防止できる。
【００１１】
この場合、相対位置情報の表示態様としては、例えば、表示装置の画面に表示されたウエハ画像の少なくとも縦一列と横一列に並ぶ各ダイにそれぞれ相対位置情報を重ねて表示するようにしても良い。このようにすれば、表示装置の画面に表示するウエハ画像の表示スペースを狭めることなく、ウエハ画像の少なくとも縦一列と横一列に並ぶ各ダイにそれぞれ相対位置情報を分かりやすく表示することができる。
【００１２】
また、カメラの視野内にウエハの一部分のみを収めて撮像する場合は、表示装置の画面に表示するウエハ画像に、基準ダイと吸着開始ダイのどちらか一方しか表示されない場合がある。このような場合は、カメラとウエハのどちらかを基準ダイが含まれる撮像エリアから吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させる際に、カメラで撮像したウエハ画像を処理して各ダイを分割する縦横のダイシング溝を認識して各ダイの縦方向の列と横方向の列に沿って基準ダイからの各ダイの相対位置情報を計測して表示装置の画面に表示するようにすれば良い。このようにすれば、表示装置の画面に表示されたウエハ画像に基準ダイが含まれない場合でも、ダイシングシートのエキスパンドによるダイの配列の歪みや各ダイ間の隙間（ダイシング溝）の幅のばらつきの影響を受けずに、制御部が基準ダイからの各ダイの相対位置情報を正確に計測して、表示装置の画面に正確な相対位置情報を表示することができる。
【００１３】
尚、ダイシング溝を認識するのではなく、基準ダイから縦方向と横方向に順に１つずつダイを認識していくことにより、基準ダイからの各ダイの相対位置情報を取得するようにしても良い。
【００１４】
また、表示装置の画面には、基準ダイからの各ダイの相対位置情報が表示されるため、作業者が手動操作でカメラとウエハのどちらかを吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させる場合でも、作業者は、表示装置の画面に表示された各ダイの相対位置情報を見て確認しながらカメラとウエハのどちらかを移動させることで、容易に吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させることができる。
【００１５】
更に、カメラとウエハのどちらかを基準ダイが含まれる撮像エリアから吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ自動的に移動させるように構成しても良く、具体的には、制御部が基準ダイからの吸着開始ダイの相対位置情報を取得して、カメラとウエハのどちらかを吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させる際に、制御部が前記基準ダイからの各ダイの相対位置情報の計測結果を確認しながらカメラとウエハのどちらかを吸着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させるようにすれば良い。このようにすれば、ダイシングシートのエキスパンドによるダイの配列の歪みや各ダイ間の隙間（ダイシング溝）の幅のばらつきによって吸着開始ダイの位置のずれが大きい場合でも、カメラとウエハのどちらかを自動制御によって確実に着開始ダイが含まれる撮像エリアへ移動させることができる。
【００１６】
尚、基準ダイは、ウエハの各ダイの情報を示すウエハマッピングデータ又は生産ジョブで指定されるようにしても良い。
【００１７】
或は、表示装置の画面に表示されたウエハ画像の複数のダイの中から作業者が基準ダイを指定するようにしても良い。このようにすれば、事前にウエハマッピングデータや生産ジョブのデータに基準ダイの位置が指定されていない場合でも、生産開始前に、表示装置の画面上で作業者が基準ダイを簡単に指定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は一実施例を示すダイ供給装置の外観斜視図である。
【図２】図２は突き上げユニットとその周辺部分の外観斜視図である。
【図３】図３はウエハパレットの外観斜視図である。
【図４】図４は突き上げ動作時に突き上げポットを吸着位置まで上昇させた状態を示す一部破断拡大図である。
【図５】図５は突き上げ動作時に突き上げポットから突き上げピンを突出させた状態を示す一部破断拡大図である。
【図６】図６はダイ供給装置の制御系の構成を示すブロック図である。
【図７】図７はウエハのリファレンスダイの位置と吸着開始ダイの位置とカメラの視野との関係を示す図である。
【図８】図８は表示装置の画面に表示したウエハ画像の端に位置する各ダイにリファレンスダイからの相対位置情報をダイの個数で表示する表示例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、一実施例を説明する。
まず、図１に基づいてダイ供給装置１１の構成を概略的に説明する。
【００２０】
ダイ供給装置１１は、マガジン保持部２２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル２３、ＸＹ移動機構２５、パレット引出し機構２６、突き上げユニット２８（図２参照）等を備え、パレット引き出しテーブル２３を部品実装機（図示せず）に差し込んだ状態にセットされる。
【００２１】
ダイ供給装置１１のマガジン保持部２２内に上下動可能に収納されたマガジン（図示せず）には、ウエハ３０をセットしたウエハパレット３２が多段に積載され、生産中にマガジン内のウエハパレット３２がパレット引出し機構２６によってパレット引き出しテーブル２３上に引き出されたり、パレット引き出しテーブル２３上のウエハパレット３２がマガジン内に戻されるようになっている。図３に示すように、ウエハ３０は、伸縮可能なダイシングシート３４上に貼着され、碁盤目状にダイシング溝３６が形成されて多数のダイ３１に分割されている。ダイシングシート３４は、円形の開口部を有するダイシングフレーム３３にエキスパンドした状態で装着され、該ダイシングフレーム３３がパレット本体３５にねじ止め等により取り付けられている。
【００２２】
突き上げユニット２８（図２参照）は、ウエハパレット３２のダイシングシート３４下方の空間領域をＸＹ方向（水平前後左右方向）に移動可能に構成されている。そして、ダイシングシート３４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ３１の貼着部分をその下方から突き上げポット３７の突き上げピン３９（図４、図５参照）で局所的に突き上げることで、当該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させてダイ３１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせるようにしている。
【００２３】
この突き上げユニット２８は、サーボモータ３８（図６参照）を駆動源として突き上げユニット２８全体が上下動するように構成されている。ダイピックアップ動作時には、突き上げユニット２８が上昇して突き上げポット３７の上面がウエハパレット３２のダイシングシート３４にほぼ接触する所定のシート吸着位置まで上昇すると、ストッパ機構（図示せず）によって突き上げユニット２８の上昇が止まり、更に上昇動作を続けると、突き上げポット３７の上面から突き上げピン３９（図４、図５参照）が上方に突出して、ダイシングシート３４のうちのピックアップしようとするダイ３１の貼着部分を突き上げるようになっている。この場合、駆動源となるサーボモータ３８の回転量を調整することで、突き上げピン３９の突き上げ高さ位置（突き上げ量）を調整できるようになっている。
【００２４】
図１に示すように、ＸＹ移動機構２５には、吸着ヘッド４１とカメラ４２とが組み付けられ、該ＸＹ移動機構２５によって吸着ヘッド４１とカメラ４２が一体的にＸＹ方向に移動するように構成されている。吸着ヘッド４１には、ダイシングシート３４上のダイ３１を吸着する吸着ノズル４３（図４、図５参照）が上下動するように設けられている。カメラ４２は、ダイシングシート３４上のダイ３１を上方から撮像してその撮像画像を画像処理することで、吸着ノズル４３に吸着しようとするダイ３１の位置を認識できるようになっている。
【００２５】
ダイ供給装置１１の制御部４５（図６参照）は、コンピュータを主体として構成され、画像処理機能も備え、ダイシングシート３４上のダイ３１のうち、吸着しようとするダイ３１をカメラ４２で撮像して得られた画像を処理して該ダイ３１の位置を認識して、該ダイ３１の突き上げ位置及び吸着位置を決定し、図５に示すように、ダイシングシート３４のうちのピックアップ（吸着）しようとするダイ３１の貼着部分をその下方から突き上げポット３７の突き上げピン３９で局所的に突き上げることで、当該ダイ３１の貼着部分をダイシングシート３４から部分的に剥離させてダイ３１をピックアップしやすい状態に浮き上がらせながら、該ダイ３１を吸着ノズル４３で吸着してピックアップする。そして、今回吸着動作を行ったダイ３１の認識位置を基準にして次に吸着するダイ３１の位置を推定し、推定した次の吸着ダイ３１の位置を目標撮像ダイ位置として該次吸着ダイ３１をカメラ４２で撮像して該次吸着ダイ３１の位置を認識して上述した突き上げ動作及び吸着動作を実行するという処理を繰り返すことで、ダイシングシート３４上のダイ３１を所定の順序で吸着していく。
【００２６】
ダイシングシート３４は、ダイ３１をピックアップしやすいように、円形のウエハ３０の外側方向にエキスパンドされて各ダイ３１間に隙間（ダイシング溝３６）があけられているため、ダイシングシート３４上の各ダイ４１の位置は、ダイシングシート３４の不均一なエキスパンドによって位置ずれしてダイ３１の配列が歪んだり、円形のウエハ３０のセット位置・角度のずれもある。
【００２７】
そこで、本実施例では、ウエハ３０の１箇所又は複数箇所に、他のダイ３１とは形状やパターン等の外観が異なるダイ（画像処理により他のダイ３１と区別して認識可能なダイ）であるリファレンスダイ４７を基準ダイとして設け、このリファレンスダイ４７の位置を基準位置にしてウエハ３０の各ダイ３１の位置を判断するようにしている。
【００２８】
しかし、リファレンスダイ４７から離れるに従って、ダイシングシート３４の不均一なエキスパンドによるダイ３１の配列の歪みの影響が大きくなって、リファレンスダイ４７とダイ３１との相対位置関係のずれが大きくなったり、円形のウエハ３０のセット位置・角度のずれもあるため、ウエハ３０の多数のダイ３１の中から最初に吸着するダイである吸着開始ダイ４８の位置を画像処理のみで正確に認識することは困難である。
【００２９】
そこで、本実施例では、ダイ供給装置１１がダイ吸着動作を開始する前に、カメラ４２で撮像したウエハ画像を表示装置５１の画面に表示して、作業者がキーボード、マウス、タッチパネル等の入力装置５２を操作して、ウエハ画像の多数のダイ３１の中から吸着開始ダイ４８を指定して実際の吸着開始ダイ４８の位置をダイ供給装置１１に教示してから、当該吸着開始ダイ４８の吸着動作を開始するようにしている。
【００３０】
この場合、吸着開始ダイ４８の位置は、ウエハ３０の各ダイ３１の良品、不良品等の情報を示すウエハマッピングデータや生産ジョブ（生産プログラム）等によって事前に決められているため、作業者が表示装置５１の画面に表示されたウエハ画像の多数のダイ３１の中から吸着開始ダイ４８を指定する際に、リファレンスダイ４７と吸着開始ダイ４８との相対位置関係が事前に決められた相対位置関係となるように吸着開始ダイ４８を指定する必要がある。
【００３１】
そこで、本実施例では、作業者がリファレンスダイ４７からの各ダイ３１の相対位置を容易に判断できるようにするために、ダイ供給装置１１の制御部４５は、表示装置５１の画面に表示されたウエハ画像の各ダイ３１がリファレンスダイ４７から縦方向と横方向にそれぞれダイ何個分だけ離れているかを示す相対位置情報を計測して表示装置５１の画面に表示するようにしている（図８参照）。更に、本実施例では、相対位置情報の表示態様として、表示装置５１の画面に表示されたウエハ画像の少なくとも縦一列と横一列に並ぶ各ダイ３１にそれぞれ相対位置情報を重ねて表示するようにしている。
【００３２】
図８の表示例では、ウエハ画像の横一列に並ぶ各ダイ３１に表示された相対位置情報の「１」、「２」、「３」等の数字は、リファレンスダイ４７が含まれる縦列を１列目として何列目の縦列に位置するかを示し、ウエハ画像の縦一列に並ぶ各ダイ３１に表示された相対位置情報の「６」、「７」、「８」等の数字は、リファレンスダイ４７が含まれる横列を１列目として何列目の横列に位置するかを示している。尚、相対位置情報の表示態様は、図８の表示例に限定されず、要は、表示装置５１の画面に表示されたウエハ画像の各ダイ３１がリファレンスダイ４７から縦方向と横方向にそれぞれダイ何個分だけ離れているかを分かりやすく表示するようにすれば良い。
【００３３】
図８に示すように、表示装置５１の画面に表示されたウエハ画像の縦一列と横一列に並ぶ各ダイ３１にそれぞれ相対位置情報を重ねて表示するようにすれば、表示装置５１の画面に表示するウエハ画像の表示スペースを狭めることなく、ウエハ画像の縦一列と横一列に並ぶ各ダイ３１にそれぞれ相対位置情報を分かりやすく表示することができる。但し、表示装置５１の画面サイズが大きい場合は、表示装置５１の画面に表示するウエハ画像の表示スペースを相対位置情報の表示スペース分だけ狭めて、相対位置情報をウエハ画像と重ならないように表示するようにしても良い。
【００３４】
図７に示すように、カメラ４２の視野内にウエハ３０の一部分のみを収めて撮像する場合は、表示装置５１の画面に表示するウエハ画像に、リファレンスダイ４７と吸着開始ダイ４８のどちらか一方しか表示されない場合がある。このような場合、ダイ供給装置１１の制御部４５は、カメラ４２をリファレンスダイ４７が含まれる撮像エリアから吸着開始ダイ４８が含まれる撮像エリアへ移動させる際に、カメラ４２で撮像したウエハ画像を処理して各ダイ３１を分割する縦横のダイシング溝３６を認識して各ダイ３１の縦方向の列と横方向の列に沿ってリファレンスダイ４７からの各ダイ３１の相対位置情報を計測して表示装置５１の画面に表示する。このようにすれば、表示装置５１の画面に表示されたウエハ画像にリファレンスダイ４７が含まれていない場合でも、ダイシングシート３４のエキスパンドによるダイ３１の配列の歪みや各ダイ３１間の隙間（ダイシング溝３６）の幅のばらつきの影響を受けずに、ダイ供給装置１１の制御部４５がリファレンスダイ４７からの各ダイ３１の相対位置情報を正確に計測して、表示装置５１の画面に正確な相対位置情報を表示することができる。
【００３５】
尚、ダイシング溝３６を認識するのではなく、リファレンスダイ４７から縦方向と横方向に順に１つずつダイ３１を認識していくことにより、リファレンスダイ４７からの各ダイ３１の相対位置情報を取得するようにしても良い。
【００３６】
また、表示装置５１の画面には、リファレンスダイ４７からの各ダイ３１の相対位置情報が表示されるため、作業者が手動操作でカメラ４２を吸着開始ダイ４８が含まれる撮像エリアへ移動させる場合でも、作業者は、表示装置４１の画面に表示された各ダイ３１の相対位置情報を見て確認しながらカメラ４２を移動させることで、容易に吸着開始ダイ４８が含まれる撮像エリアへ移動させることができる。
【００３７】
また、ダイ供給装置１１の制御部４５がカメラ４２をリファレンスダイ４７が含まれる撮像エリアから吸着開始ダイ４８が含まれる撮像エリアへ自動的に移動させるようにしても良い。具体的には、ダイ供給装置１１の制御部４５がウエハマッピングデータや生産ジョブ等からリファレンスダイ４７からの吸着開始ダイ４８の相対位置情報を取得して、カメラ４２を吸着開始ダイ４８が含まれる撮像エリアへ移動させる際に、ダイ供給装置１１の制御部４５がリファレンスダイ４７からの各ダイ３１の相対位置情報の計測結果を確認しながらカメラ４２を吸着開始ダイ４８が含まれる撮像エリアへ移動させるようにすれば良い。このようにすれば、ダイシングシート３４のエキスパンドによるダイ３１の配列の歪みや各ダイ３１間の隙間（ダイシング溝３６）の幅のばらつきによって吸着開始ダイ４８の位置のずれが大きい場合でも、カメラ４２を自動制御によって確実に着開始ダイ４８が含まれる撮像エリアへ移動させることができる。
【００３８】
本実施例では、ウエハ３０（ウエハパレット３２）の位置を固定して、カメラ４２を吸着開始ダイ４８が含まれる撮像エリアへ移動させるようにしたが、これとは反対に、カメラ４２の位置を固定して、ウエハ３０（ウエハパレット３２）をカメラ４２の視野内に吸着開始ダイ４８が含まれる撮像エリアへ移動させるようにしても良く、或は、カメラ４２をＸ方向（又はＹ方向）のみに移動させ、且つウエハ３０（ウエハパレット３２）をＹ方向（又はＸ方向）のみに移動させることで、カメラ４２の視野内に吸着開始ダイ４８が含まれる撮像エリアへ移動させるようにしても良い。
【００３９】
また、リファレンスダイ４７に代えて、テスト用ダイを基準ダイとして設定するようにしても良く、要は、ウエハ３０の多数のダイ３１のうち他のダイ３１とは形状やパターン等の外観が異なるダイ（画像処理により他のダイ３１と区別して認識可能なダイ）の中から指定されたダイを基準ダイとして設定するようにすれば良い。
【００４０】
リファレンスダイ４７等の基準ダイは、ウエハマッピングデータ又は生産ジョブで指定されるようにしても良い。
【００４１】
或は、表示装置５１の画面に表示されたウエハ画像の多数のダイ３１のうち他のダイ３１とは外観が異なるダイの中から作業者が基準ダイを指定するようにしても良い。このようにすれば、事前にウエハマッピングデータや生産ジョブのデータに基準ダイの位置が指定されていない場合でも、生産開始前に、表示装置５１の画面上で作業者が基準ダイを指定することができる。
【００４２】
尚、ウエハ３０に複数のリファレンスダイ４７が設けられている場合は、吸着開始ダイ４８を指定する前に、複数のリファレンスダイ４７の中から吸着開始ダイ４８に最も近いリファレンスダイ４７をカメラ４２で撮像して表示装置５１の画面に表示し、作業者が表示装置５１の画面に表示されたリファレンスダイ４７を入力装置５２のマウス操作等で指定して、これを基準ダイとして設定するようにすれば良い。上述したウエハマッピングデータや生産ジョブ又は作業者の指定によって制御部４５が基準ダイを設定する機能が特許請求の範囲でいう基準ダイ設定部に相当する。
【００４３】
以上説明した本実施例によれば、表示装置５１の画面に表示されたウエハ画像の各ダイ３１がリファレンスダイ４７等の基準ダイから縦方向と横方向にそれぞれダイ何個分だけ離れているかを示す相対位置情報がウエハ画像と共に表示装置５１の画面に表示されるため、表示装置５１の画面にリファレンスダイ４７等の基準ダイと吸着開始ダイ４８のどちらか一方しか表示されない場合であっても、作業者は、表示装置５１の画面に表示された相対位置情報を見るだけで、ウエハ画像の各ダイ３１がリファレンスダイ４７等の基準ダイから縦方向と横方向にそれぞれダイ何個分だけ離れているかを容易に知ることができる。これにより、作業者がリファレンスダイ４７等の基準ダイから吸着開始ダイ４８までに存在するダイの個数を数える必要がなくなり、表示装置５１の画面上で吸着開始ダイ４８を指定する作業が簡単になると共に、ダイ３１の個数の数え間違いによる吸着開始ダイ４８の誤指定という人為的ミスを防止できる。
【００４４】
尚、本実施例のダイ供給装置１１は、ＸＹ移動機構２５によって吸着ヘッド４１とカメラ４２が一体的にＸＹ方向に移動するように構成したが、吸着ヘッド４１とカメラ４２がＸ方向のみに移動し、且つ、ウエハパレット３２がパレット引出し機構２６によってＹ方向に移動することで、吸着ヘッド４１とカメラ４２がウエハ３０に対して相対的にＸＹ方向に移動するように構成したり、或は、吸着ヘッド４１とカメラ４２の位置を固定して、ウエハパレット３２をＸＹ方向に移動させるように構成しても良い。
【００４５】
その他、本発明は、ダイ供給装置１１の構成やウエハパレット３２の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４６】
１１…ダイ供給装置、２３…パレット引き出しテーブル、２５…ＸＹ移動機構、２６…パレット引出し機構、２８…突き上げユニット、３０…ウエハ、３１…ダイ、３２…ウエハパレット、３４…ダイシングシート、３６…ダイシング溝、３７…突き上げポット、３９…突き上げピン、４１…吸着ヘッド、４２…カメラ、４３…吸着ノズル、４５…制御部（基準ダイ設定部）、４７…リファレンスダイ（基準ダイ）、４８…吸着開始ダイ、５１…表示装置、５２…入力装置
【図１】
2018088449.tif 000003
【図２】
2018088449.tif 000004
【図３】
2018088449.tif 000005
【図４】
2018088449.tif 000006
【図５】
2018088449.tif 000007
【図６】
2018088449.tif 000008
【図７】
2018088449.tif 000009
【図８】
2018088449.tif 000010