【手続補正書】
【提出日】平成27年5月20日(2015.5.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光エネルギーを検査対象の太陽電池セル（２０４）に向ける発光体（２０２）と、
多数のフィルタ（２１６）のうちの異なるフィルタを、前記発光体と前記検査対象の太陽電池セルとの間の光路（２１８）に選択的に位置決めすることにより、前記太陽電池セルの性能を測定する操作、及び前記太陽電池セルのいずれかの欠陥を検出する操作のうちの少なくとも一方の操作を行なう素子と、を備え、前記多数のフィルタは、第１集合フィルタ（２１６ａ）であって、前記発光体から前記検査対象の太陽電池セルに向かう光エネルギーの強度の所定の割合を透過するように該第１集合フィルタの各フィルタを適合させた第１集合のフィルタ（２１６ａ）と、前記太陽電池セルを、異なるスペクトルの光の下で検査する第２集合のフィルタ（２１６ｂ）と、を備える、太陽電池セル検査装置（２００）。
【請求項２】
前記多数のフィルタ（２１６）は更に、遮光フィルタ（３１６）を備えることにより、前記太陽電池セル（２０４）の電界発光検査を実施して、所定アンペア数の電流が前記太陽電池セルを流れると、前記太陽電池セルからの発光光を検出し、
更に、前記太陽電池セル検査装置は、：
前記遮光フィルタ（３１６）が前記発光体（２０２）と前記太陽電池セルとの間に配置されると、前記電流を前記太陽電池セル（２０４）に流す電流源（２５６）と、
前記電流が前記太陽電池セルに流れて前記太陽電池セルからの発光光が検出されると、前記太陽電池セルの画像を撮影するカメラ（２４０）と、
多接合型太陽電池セルである前記太陽電池セルからの撮像光を、前記太陽電池セルの異なる層に対応する光エネルギーの異なる波長のビームに分離するビームスプリッタ（２３４）と、
を備える、請求項１に記載の太陽電池セル検査装置（２００）。
【請求項３】
前記第１集合のフィルタ（２１６ａ）は：
前記発光体（２０２）から前記太陽電池セル（２０４）に向かう光の強度の全てを透過する１００パーセントフィルタ（３０２）と、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう光の強度の６６パーセントを透過する６６パーセントフィルタ（３０４）と、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう光の強度の３３パーセントを透過する３３パーセントフィルタ（３０６）と、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう光の強度の１０パーセントを透過する１０パーセントフィルタ（３０８）と、
を備える、請求項１に記載の太陽電池セル検査装置（２００）。
【請求項４】
前記第２集合のフィルタ（２１６ｂ）は：
前記発光体（２０２）から前記太陽電池セル（２０４）に向かう赤い部分だけのスペクトルの光を透過する赤色フィルタ（３１２）と、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう青い部分だけのスペクトルの光を透過する青色フィルタ（３１０）と、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう赤外線部分だけのスペクトルの光を透過する赤外線フィルタ（３１４）と、
を備える、請求項１に記載の太陽電池セル検査装置（２００）。
【請求項５】
更に：
前記発光体（２０２）と前記太陽電池セル（２０４）との間の所定位置に現在位置している複数フィルタ（２１６）のうちの１つのフィルタによってフィルタリングされた前記発光体（２０２）からの前記光エネルギーを受光するビームスプリッタ（２３４）と、
内蔵球体（２１４）であって、前記ビームスプリッタが、前記発光体からの前記光エネルギーの１つの構成部分を前記内蔵球体に向け、そして前記光エネルギーの別の構成部分を前記太陽電池セルに向ける、前記内蔵球体と、
前記内蔵球体に連結されて、受光した前記光エネルギーの前記構成部分を分析するスペクトルアナライザ（２５０）と、
を備える、請求項１に記載の太陽電池セル検査装置（２００）。
【請求項６】
更に：
前記発光体（２０２）からの光の強度を測定する光検出器（２５４）と、
各フィルタ（２１６）の下の前記太陽電池セル（２０４）の電流と電圧の関係の曲線（Ｉ−Ｖ曲線）を測定する素子と、
を備える、請求項１に記載の太陽電池セル検査装置（２００）。
【請求項７】
前記異なるフィルタ（２１６）を選択的に位置決めする前記素子（２１４）は：
回転ホイールであって、前記多数のフィルタの各フィルタが、前記ホイールのハブの周りに環状に配置されて、前記ホイールが前記ハブの周りを回転するときに、前記フィルタ群の各フィルタを前記発光体（２０２）と前記太陽電池セル（２０４）との間に位置決めする、前記回転ホイール（２２２）と、
エンコーダ（２２６）及び駆動軸（２３０）を含むモータ（２２４）と、を備え、前記モータの前記駆動軸は、前記ホイールの前記ハブに接続されて、前記ホイールを回転させることにより、前記フィルタ群の各フィルタを前記発光体と前記太陽電池セルとの間に順次位置決めする、
請求項１に記載の太陽電池セル検査装置（２００）。
【請求項８】
更に、前記発光体（２０２）から前記太陽電池セル（２０４）に向かう光の透過を制御する遮光体（２１２）を備える、請求項１に記載の太陽電池セル検査装置（２００）。
【請求項９】
請求項１に記載の太陽電池セル検査装置（２００）であって、さらに、
前記多数のフィルタ（２００）のうちの選択されたフィルタからの光の所定の構成部分を前記太陽電池セル（２０４）に向けて、前記太陽電池セルの性能を測定する操作、及び前記太陽電池セルのいずれかの欠陥を検出する操作のうちの少なくとも一方の操作を行ない、そして前記光エネルギーの別の所定の構成部分を、前記発光体（２０２）と前記太陽電池セルとの間の前記光路（２１８）に位置決めされる前記多数のフィルタのうちの前記選択されたフィルタからの光の特性を測定する装置に向けるビームスプリッタ（２３４）と、
を備える、太陽電池セル検査装置。
【請求項１０】
太陽電池セル（２０４）を検査する方法（４００）であって：
前記太陽電池セルに向けられる光を、多数のフィルタ（２１６）の各フィルタによってフィルタリング（４０８）して、前記太陽電池セルの性能を測定する操作、及び前記太陽電池セルのいずれかの欠陥を検出する操作のうちの少なくとも一方の操作を行なうことと、
光を分解（４１０）して、フィルタリングした光の所定の構成部分を前記太陽電池セルに向け、そして光の別の所定の構成部分を、前記多数のフィルタの各フィルタからの光の特性を測定する装置に向けることと、
を含む、方法。
【請求項１１】
光をフィルタリング（４０８）することでは：
第１集合のフィルタ（２１６ａ）の各フィルタを、発光体（２０２）と前記太陽電池セル（２０４）との間の光路（２１８）に位置決め（４１８）し、該第１集合のフィルタの各フィルタが、光エネルギーの強度の所定の割合を透過して前記太陽電池セルを異なる強度の光の下で検査するように適合させ、
第２集合のフィルタ（２１６ｂ）の各フィルタを、前記発光体と前記太陽電池セルとの間の前記光路に位置決め（４１８）し、該第２集合のフィルタの各フィルタが、前記太陽電池セルを異なるスペクトルの光の下で検査するように適合させ、
遮光フィルタ（３１６）を前記光路（２１８）に位置決め（４２０）して、前記太陽電池セルの電界発光検査を実施することにより、所定のアンペア数の電流が前記太陽電池セルを流れると、前記太陽電池セルからの発光光を検出する、
請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の方法であって、
前記太陽電池セル（１００、２０４）は、光の第１スペクトルに反応する上部半導体材料層（１０２）と、光の第２スペクトルに反応する中間半導体材料層（１０４）と、そして光の第３スペクトルに反応する下部半導体材料層（１０６）と、を備え、そして光をフィルタリング（４０８）することでは： 
光エネルギーの１００パーセントを透過して太陽電池セルを、全電力を受けた状態で検査するように適合させた第１フィルタを位置決め（４１８）し、
光フィルタリング特性を有する第２フィルタを位置決め（４１８）して前記太陽電池セルを、前記第２フィルタを透過する光エネルギーの所定の割合に対応する所定の割合の電力を受けた状態で検査し、
光フィルタリング特性を有する第３フィルタを位置決め（４１８）して前記太陽電池セルを、前記太陽電池セルの前記上部半導体材料層が反応する前記第１スペクトルの光に対応するスペクトルの光をフィルタリングすることにより検査し、
光フィルタリング特性を有する第４フィルタを位置決め（４１８）して前記太陽電池セルを、前記太陽電池セルの前記中間半導体材料層が反応する前記第２スペクトルの光に対応するスペクトルの光をフィルタリングすることにより検査し、
光フィルタリング特性を有する第５フィルタを位置決め（４１８）して前記太陽電池セルを、前記太陽電池セルの前記下部半導体材料層が反応する前記第３スペクトルの光に対応するスペクトルの光をフィルタリングすることにより検査し、
光フィルタリング特性を有する第６フィルタを位置決め（４１８）して前記太陽電池セルを、前記発光体からの光をフィルタリングして、暗電流−電圧特性曲線を測定することにより検査し；そして光フィルタリング特性を有する第７フィルタを位置決め（４２０）して、電界発光検査を前記太陽電池セルに対して実施する、方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
多接合型太陽電池セルは、太陽光スペクトルの利用率を、異なるバンドギャップを有する複数の半導体層を有することにより一層高めることができ、これらの半導体層は、光スペクトルの異なる部分、または異なる光子エネルギー準位に相当する光の異なる波長を吸収するように適合させることができる。多接合型太陽電池セルの各層は、光スペクトルの異なる部分、または光の異なる波長領域を吸収する異なる導電型の半導体材料または異なる不純物が添加された半導体材料により形成することができる。多接合型太陽電池セル１００の一例を図１に示す。多接合型太陽電池セルの１つの形態が、図１に示すような３層太陽電池セルまたは３接合型太陽電池セルである。上部半導体材料層１０２は、ｎ型半導体材料部分１０２ａ及びｐ型半導体材料部分１０２ｂを含むことができ、そして最大のバンドギャップを有するので、大きいエネルギーを持つ光子のみが殆どこの層で吸収され、そして電力に変換される。それよりも小さいエネルギーを持つ光子は、これらの光子が、ＥＨＰ群を上部材料層１０２内に生成するような十分大きいエネルギーを持たないので上部層１０２を通過し、そして上部層部分１０２よりも小さいバンドギャップを持つ中間半導体材料層１０４により吸収することができる。トンネル接合は、上部層１０２と中間層１０４との間に配置される。中間層１０４は、ｎ型半導体材料部分１０４ａ及びｐ型半導体材料部分１０４ｂを含むことができる。同様に、下部層１０６は、中間層１０４よりも小さいバンドギャップを有することにより、ＥＨＰを上部層１０２または中間層１０４内に生成する十分なエネルギーを持たない光子を全て吸収する。別のトンネル接合は、中間層１０４と下部層１０６との間に配置することができる。下部層１０６もまた、ｎ型半導体材料部分１０６ａ及びｐ型半導体材料部分１０６ｂを含むことができる。上部層１０２から下部層１０６に移行する各層１０２〜１０６は、前の層よりも小さいバンドギャップを有することにより、異なるエネルギーを持つ光子を吸収して電力に変換する。各層１０２〜１０６は、該当する層のバンドギャップよりも大きいエネルギーを有し、かつより高位の層のバンドギャップよりも小さいエネルギーを有する光子を吸収する。太陽電池セル群及び多接合型太陽電池セル群についての更に詳細な説明は、２００５年４月２１日に刊行された “Ｓｃｈｏｏｌ  ｏｆ  Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ  ａｎｄ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，  Ｇｅｏｒｇｉａ  Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ  ｏｆ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ”に掲載されたＳｔｅｖｅｎ  Ｌａｎｓｅ  Ｉ著による“Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  ａｎｄ  Ｆｕｔｕｒｅ  ＩＩＩ−Ｖ  Ｍｕｌｔｉ−Ｊｕｎｃｔｉｏｎ  Ｓｏｌａｒ  Ｃｅｌｌｓ”と題する論文に記載されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
フィルタホイール３００は更に、遮光フィルタ３１６を含むことにより、光が太陽電池セルに発光体から入射するのを防止することができる。遮光フィルタ３１６を使用して、太陽電池セルの電界発光検査を実施することにより、太陽電池セルからの発光光を、所定のアンペア数の電流が太陽電池セルに、図２の電流／電圧源２５６のような電流源から流れるときに検出することができる。これまで説明してきたように、図２のカメラ２４０のようなカメラは、電流が太陽電池セルに流れると、太陽電池セルの画像または画像群を撮影することにより、太陽電池セルからの発光光を検出して、太陽電池セルが欠陥を有している可能性があることを通知することができる。太陽電池セルからの撮像光は、多接合型太陽電池セルの異なる層に対応する光エネルギーの異なる波長のビームに分離することができる。太陽電池セルからの撮像光は、ビームスプリッタまたは同様の素子により、異なる波長のビームに分離することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
特定の実施形態を本明細書において示し、そして説明してきたが、この技術分野の当業者であれば、同じ目的を達成するために想定される任意の配置を、開示される特定の実施形態の代わりに用いることができ、そして本明細書における実施形態は、他の適用形態を他の環境において有することができることを理解できるであろう。本出願は、本開示の任意の適応化または変更を包含するものである。以下の請求項は決して、本開示の範囲を、本明細書において記載される特定の実施形態に限定するものではない。
また、本願は以下に記載する態様を含む。
（態様１）
光エネルギーを検査対象の太陽電池セルに向ける発光体と、
多数のフィルタのうちの異なるフィルタを、前記発光体と前記検査対象の太陽電池セルとの間の光路に選択的に位置決めすることにより、前記太陽電池セルの性能を測定する操作、及び前記太陽電池セルのいずれかの欠陥を検出する操作のうちの少なくとも一方の操作を行なう素子と、を備え、多数のフィルタは、前記発光体から前記検査対象の太陽電池セルに向かう光エネルギーの強度の所定の割合を透過するように各フィルタを適合させた第１集合のフィルタと、そして前記太陽電池セルを、異なるスペクトルの光の下で検査する第２集合のフィルタと、を備える、太陽電池セル検査装置。
（態様２）
前記多数のフィルタは更に、遮光フィルタを備えることにより、前記太陽電池セルの電界発光検査を実施して、所定アンペア数の電流が前記太陽電池セルを流れると、前記太陽電池セルからの発光光を検出する、態様１に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様３）
更に：
前記遮光フィルタが前記発光体と前記太陽電池セルとの間に配置されると、前記電流を前記太陽電池セルに流す電流源と、
前記電流が前記太陽電池セルに流れて前記太陽電池セルからの発光光が検出されると、前記太陽電池セルの画像を撮影するカメラと、
多接合型太陽電池セルである前記太陽電池セルからの撮像光を、前記太陽電池セルの異なる層に対応する光エネルギーの異なる波長のビームに分離するビームスプリッタと、
を備える、態様２に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様４）
前記第１集合のフィルタは：
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう光の強度の全てを透過する１００パーセントフィルタと、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう光の強度の６６パーセントを透過する６６パーセントフィルタと、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう光の強度の３３パーセントを透過する３３パーセントフィルタと、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう光の強度の１０パーセントを透過する１０パーセントフィルタと、
を備える、態様１に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様５）
前記第２集合のフィルタは：
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう赤い部分だけのスペクトルの光を透過する赤色フィルタと、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう青い部分だけのスペクトルの光を透過する青色フィルタと、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう赤外線部分だけのスペクトルの光を透過する赤外線フィルタと、
を備える、態様１に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様６）
更に：
前記発光体と前記太陽電池セルとの間の所定位置に現在位置している複数フィルタのうちの１つのフィルタによってフィルタリングされた前記発光体からの前記光エネルギーを受光するビームスプリッタと、
内蔵球体であって、前記ビームスプリッタが、前記発光体からの前記光エネルギーの１つの構成部分を前記内蔵球体に向け、そして前記光エネルギーの別の構成部分を前記太陽電池セルに向ける、前記内蔵球体と、
前記内蔵球体に接続されて、受光した前記光エネルギーの前記構成部分を分析するスペクトルアナライザと、
を備える、態様１に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様７）
更に：
前記発光体からの光の強度を測定する光検出器と、
各フィルタの下の前記太陽電池セルの電流と電圧の関係の曲線（Ｉ−Ｖ曲線）を測定する素子と、
を備える、態様１に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様８）
前記多数のフィルタのうちの異なるフィルタを選択的に位置決めする前記素子は、前記多数のフィルタの各フィルタを、前記発光体と前記太陽電池セルとの間に位置決めすることにより、前記多数のフィルタの各フィルタに対応する前記太陽電池セルの性能特性を測定する機構を備える、態様１に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様９）
前記異なるフィルタを選択的に位置決めする前記素子は：
回転ホイールであって、前記多数のフィルタの各フィルタが、前記ホイールのハブの周りに環状に配置されて、前記ホイールが前記ハブの周りを回転するときに、前記フィルタ群の各フィルタを前記発光体と前記太陽電池セルとの間に位置決めする、前記回転ホイールと、
エンコーダ及び駆動軸を含むモータと、を備え、前記モータの前記駆動軸は、前記ホイールの前記ハブに接続されて、前記ホイールを回転させることにより、前記フィルタ群の各フィルタを前記発光体と前記太陽電池セルとの間に順次位置決めする、
態様１に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様１０）
更に、前記発光体から前記太陽電池セルに向かう光の透過を制御する遮光体を備える、態様１に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様１１）
発光体と、
多数のフィルタのうちの異なるフィルタを、前記発光体と検査対象の太陽電池セルとの間の光路に選択的に位置決めする素子と、
前記多数のフィルタのうちの選択フィルタからの光の所定の構成部分を前記太陽電池セルに向けて、前記太陽電池セルの性能を測定する操作、及び前記太陽電池セルのいずれかの欠陥を検出する操作のうちの少なくとも一方の操作を行ない、そして前記光エネルギーの別の所定の構成部分を、前記発光体と前記太陽電池セルとの間の前記光路に位置決めされる前記多数のフィルタのうちの前記選択フィルタからの光の特性を測定する装置に向けるビームスプリッタと、
を備える、太陽電池セル検査装置。
（態様１２）
更に、前記太陽電池セルの性能特性を測定する操作、及び前記太陽電池セルのいずれかの欠陥を検出する操作のうちの少なくとも一方の操作を行なう素子を備える、態様１１に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様１３）
前記太陽電池セルは、第１スペクトルの光に反応する上部半導体材料層と、第２スペクトルの光に反応する中間半導体材料層と、そして第３スペクトルの光に反応する下部半導体材料層と、を備え、そして前記多数のフィルタのうちの異なるフィルタを、選択的に位置決めする前記素子は：
光エネルギーの１００パーセントを透過して太陽電池セルを、全電力を受けた状態で検査する第１フィルタに対応する第１フィルタ位置と、
太陽電池セルを、前記第２フィルタを透過した光エネルギーの所定の割合に対応する所定の割合の電力を受けた状態で検査する第２フィルタを含む第２フィルタ位置と、
前記太陽電池セルを、前記太陽電池セルの前記上部半導体材料層が反応する前記第１スペクトルの光に対応するスペクトルの光をフィルタリングすることにより検査する第３フィルタを含む第３フィルタ位置と、
前記太陽電池セルを、前記太陽電池セルの前記中間半導体材料層が反応する前記第２スペクトルの光に対応するスペクトルの光をフィルタリングすることにより検査する第４フィルタを含む第４フィルタ位置と、
前記太陽電池セルを、前記太陽電池セルの前記下部半導体材料層が反応する前記第３スペクトルの光に対応するスペクトルの光をフィルタリングすることにより検査する第５フィルタを含む第５フィルタ位置と、
前記太陽電池セルを、前記発光体からの光をフィルタリングして、前記太陽電池セルの電流−電圧特性曲線を暗状態で、または光を前記太陽電池セルが受光しない状態で測定することにより検査する第６フィルタを含む第６フィルタ位置と、
光を遮光して、電界発光検査を前記太陽電池セルに対して実施する第７フィルタを含む第７フィルタ位置と、
を含む、態様１１に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様１４）
前記多数のフィルタは：各フィルタを、前記発光体からの光エネルギーの強度の所定の割合を透過するように適合させた第１集合のフィルタと、
前記太陽電池セルを、異なるスペクトルの光の下で検査する第２集合のフィルタと、
前記太陽電池セルの電界発光検査を実施して、前記太陽電池セルからの発光光を、所定のアンペア数の電流が前記太陽電池セルを流れると検出する遮光フィルタと、
を備える、態様１１に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様１５）
前記第１集合のフィルタは：
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう光の強度の全てを透過する１００パーセントフィルタと、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう光の強度の約６６パーセントを透過する６６パーセントフィルタと、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう光の強度の約３３パーセントを透過する３３パーセントフィルタと、
前記発光体から前記太陽電池セルに向かう光の強度の約１０パーセントを透過する１０パーセントフィルタと、
を備える、態様１４に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様１６）
前記第２集合のフィルタは：
赤色成分のみのスペクトルの光を前記発光体から前記太陽電池セルに向かって透過する赤色フィルタと、
青色成分のみのスペクトルの光を前記発光体から前記太陽電池セルに向かって透過する青色フィルタと、
赤外線成分のみのスペクトルの光を前記発光体から前記太陽電池セルに向かって透過する赤外線フィルタと、
を備える、態様１４に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様１７）
前記異なるフィルタを選択的に位置決めする前記素子は：
回転ホイールであって、前記多数のフィルタの各フィルタが、前記ホイールの前記ハブの周りに環状に配置されて、前記ホイールが前記ハブの周りを回転するときに、前記フィルタ群の各フィルタを前記発光体と前記太陽電池セルとの間に位置決めする、前記回転ホイールと、
エンコーダ及び駆動軸を含むモータと、を備え、前記モータの前記駆動軸は、前記ホイールの前記ハブに接続されて、前記ホイールを回転させることにより、前記フィルタ群の各フィルタを前記発光体と前記太陽電池セルとの間に順次位置決めする、
態様１１に記載の太陽電池セル検査装置。
（態様１８）
太陽電池セルを検査する方法であって：
前記太陽電池セルに向けられる光を、多数のフィルタの各フィルタによってフィルタリングして、前記太陽電池セルの性能を測定する操作、及び前記太陽電池セルのいずれかの欠陥を検出する操作のうちの少なくとも一方の操作を行なうことと、
光を分解して、フィルタリングした光の所定の構成部分を前記太陽電池セルに向け、そして光の別の所定の構成部分を、前記多数のフィルタの各フィルタからの光の特性を測定する装置に向けることと、
を含む、方法。
（態様１９）
光をフィルタリングすることでは：
第１集合のフィルタの各フィルタを、発光体と前記太陽電池セルとの間の光路に位置決めし、各フィルタが、光エネルギーの強度の所定の割合を透過して前記太陽電池セルを異なる強度の光の下で検査するように適合させ、
第２集合のフィルタの各フィルタを、前記発光体と前記太陽電池セルとの間の前記光路に位置決めし、各フィルタが、前記太陽電池セルを異なるスペクトルの光の下で検査するように適合させ、
遮光フィルタを前記光路に位置決めして、前記太陽電池セルの電界発光検査を実施することにより、所定のアンペア数の電流が前記太陽電池セルを流れると、前記太陽電池セルからの発光光を検出する、
態様１８に記載の方法。
（態様２０）
前記太陽電池セルは、光の第１スペクトルに反応する上部半導体材料層と、光の第２スペクトルに反応する中間半導体材料層と、そして光の第３スペクトルに反応する下部半導体材料層と、を備え、そして光をフィルタリングすることでは： 
光エネルギーの１００パーセントを透過して太陽電池セルを、全電力を受けた状態で検査するように適合させた第１フィルタを位置決めし、
光フィルタリング特性を有する第２フィルタを位置決めして前記太陽電池セルを、前記第２フィルタを透過する光エネルギーの所定の割合に対応する所定の割合の電力を受けた状態で検査し、
光フィルタリング特性を有する第３フィルタを位置決めして前記太陽電池セルを、前記太陽電池セルの前記上部半導体材料層が反応する前記第１スペクトルの光に対応するスペクトルの光をフィルタリングすることにより検査し、
光フィルタリング特性を有する第４フィルタを位置決めして前記太陽電池セルを、前記太陽電池セルの前記中間半導体材料層が反応する前記第２スペクトルの光に対応するスペクトルの光をフィルタリングすることにより検査し、
光フィルタリング特性を有する第５フィルタを位置決めして前記太陽電池セルを、前記太陽電池セルの前記下部半導体材料層が反応する前記第３スペクトルの光に対応するスペクトルの光をフィルタリングすることにより検査し、
光フィルタリング特性を有する第６フィルタを位置決めして前記太陽電池セルを、前記発光体からの光をフィルタリングして、暗電流−電圧特性曲線を測定することにより検査し；そして光フィルタリング特性を有する第７フィルタを位置決めして、電界発光検査を前記太陽電池セルに対して実施する、態様１８に記載の方法。