【事件の表示】
　平成　２年特許願第　４９２５８号「薄片吸着保持装置」拒絶査定に対する審判事件［平成　３年１１月１５日出願公開、特開平　３−２５６６７７］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯・本願発明
　本願は、平成２年３月２日に出願されたものであって、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成１０年１２月２５日付け及び平成１２年５月１２日付けの手続補正書によって補正された明細書並びに願書に最初に添付された図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項１】　回転中心軸に設けられた第一の吸着口と、前記第一の吸着口近傍に設けられた第二の吸着口と、前記第二の吸着口に接続され且つ盤面上に設けられた第一の吸着溝とを有するスピンチャックと、
　前記回転中心軸に設けられるとともに、前記第一の吸着口に接続される第三の吸着口と、前記第三の吸着口に接続され且つ盤面上に設けられた第二の吸着溝とを有するクリーンパッドとを有し、
　前記クリーンパッドがクリーンパッド搬送装置により前記スピンチャックまで搬送され、前記第一の吸着口と前記第三の吸着口が位置合わせされ、前記スピンチャック上に置かれると、前記第二の吸着口からの吸引により、前記第一の吸着溝を介して前記クリーンパッドを前記スピンチャック上に吸着保持し、
　薄片が薄片搬送装置により前記スピンチャック上に吸着保持されたクリーンパッドまで搬送され、前記クリーンパッド上に置かれると、前記第三の吸着口からの吸引により、前記第二の吸着溝を介して前記クリーンパッド上に前記薄片を吸着保持可能とし、
　前記クリーンパッド上に薄片が置かれていない状態にて前記第二の吸着口からの吸引を解除することで、前記クリーンパッド搬送装置が当該クリーンパッドを前記スピンチャック上から取り外し得るようにしたこと
　を特徴とする薄片吸着保持装置。」
　
２　引用例
　これに対し、原査定の拒絶の理由で引用された特開昭６３−６９２５０号公報（以下「引用例」という。）には、次の記載がある。
ａ　第１頁左下欄第１３から１６行
「［産業上の利用分野］
　この発明は、例えば半導体ウエハなどの物品を負圧吸着により保持しつつ移動させる移動ステージ機構に関する。」
ｂ　第１頁右下欄第１５から１８行
「半導体ウエハの裏面に付着した異物がチャック板の表面に付着して堆積するので、チャック板を洗浄のために定期的に交換する必要がある。」
ｃ　第２頁右上欄第１８から２０行
「この図において、１０はチャック板であり、Ｚステージ（移動台）１２に交換可能に固定されるものである。」
ｄ　第２頁左下欄第１０行から右下欄第２行
「従来の移動ステージ機構においては、チャック板（１０）を移動台部材（１２）にボルトで締め付けて固定していたが、この移動ステージ機構においては、負圧吸着によってチャック板１０をＺステージ１２に固定する。
　その負圧吸着による固定のための手段について説明すれば、Ｚステージ１２の上面に、リング状溝２０が形成されている。また、このリング状溝２０の一部とＺステージ１２の外周面に連通する孔２２がＺステージ１２の内部に形成されている。Ｚステージ１２の外周面に開口する孔２２の端部に、真空ポンプがチューブを介して接続されるが、これは図中省略されている。」
ｅ　第２頁右下欄第９から１５行
「このような構成において、チャック板１０を位置決め孔２６および位置決めピン２４によって位置決めしてＺステージ１２に載置し、前記真空ポンプによってリング溝２０内のエアーを引けば、Ｚステージ１２の表面と、それに接しているチャック板１０の下面部分との間は負圧となり、チャック板１０は固定される。
ｆ　第３頁左上欄第６行から右上欄第１３行
「他方、エアーの吸引を停止して負圧状態を解くだけで、チャック板１０をＺステージ１２から取り外すことができる。
　このように、この移動ステージ機構は、チャック板１０の交換が極めて容易である。
　さて、チャック板１０の上面には、例えば半導体ウエハ３０などが負圧吸着によって保持される。この吸着のために、チャック板１０の表面に格子状の溝３２が形成されている。ただし、この溝３２は、同心円状などの溝としてもよい。また、チャック板１０の中央部には前記溝３２に連通した給気孔３４が表裏に貫通して設けられている。
　他方、Ｚステージ１２の上面の中央に孔３６が穿たれており、それにはパイプ３８が嵌挿されている。Ｚステージ１２の内部には、その外周面と前記孔３６とに連通した孔４０が形成されており、その外方の開放端には図示しない真空ポンプ（前記のチャック板吸着用の真空ポンプと同じものでもよい）がチューブを介して接続される。
　チャック板１０が取り付けられた状態において、パイプ３８が図示のようにチャック板１０の吸気孔３４の下端部に入り込む。したがって、半導体ウエハ３０などをチャック板１０に載せた状態で、前記真空ポンプを作動させて吸気孔３４からエアーを抜けば、チャック板１０の上面と半導体ウエハ３０などの下面との間が負圧状態となり、半導体ウエハ３０などはチャック板１０に強固に負圧吸着される。」
　これらの記載及び第１図から、引用例には、次の発明が記載されていると認める。
　中央に穿たれた孔３６と、外周と中央とのほぼ真ん中に位置する孔２２と、孔２２に連通し且つ上面に形成されたリング状溝を有するＺステージと、
　中央に設けられるとともに、前記孔３６に接続される吸気孔と、前記吸気孔に連通し且つ表面に形成された溝３２とを有するチャック板とを有し、
　チャック板は、洗浄のために定期的な交換が可能であり、チャック板が取り付けられた状態において孔３６に嵌挿されたパイプ３８が吸気孔の下端部に入り込み、真空ポンプによってリング溝内のエアーを引けば、負圧吸着によってチャック板をＺステージに固定され、
　半導体ウエハなどをチャック板に載せた状態で、真空ポンプを作動させて前記吸気孔からエアを抜くと、半導体ウエハ等はチャック板に強固に負圧吸着され、
　リング溝内のエアーの吸引を停止して負圧状態を解くだけで、チャック板をＺステージから取り外すことができる
　移動ステージ機構。
　
３　対比
　そこで、本願発明と引用例記載の発明を対比すると、引用例記載の発明における「半導体ウエハ」が、本願発明の「薄片」に相当することは明らかであり、引用例記載の発明における「移動ステージ機構」は、半導体を吸着保持する装置であるから、「薄片吸着保持装置」であると言うことができる。そして、引用例記載の発明における「Ｚステージ」は、半導体ウエハを載置状態で操作する台座という限りにおいて、本願発明の「スピンチャック」と共通する。また、引用例記載の発明における「チャック板」は、半導体ウエハの吸着面を汚染させないよう交換可能な板状体であるから、本願発明の「クリーンパッド」に相当する。そして、引用例記載の発明において「孔３６に嵌挿されたパイプが吸気孔の下端部に入り込」むことは、孔３６と吸気孔が位置合わせされることを意味するから、本願発明において「第一の吸着口」と「第三の吸着口」が「位置合わせされ」ることに相当する。更に、引用例記載の発明における「リング状溝」及び「溝３２」は、それぞれ板状体及び半導体ウエハを負圧を用いて吸着するとの機能の共通性から、本願発明における「第一の吸着溝」及び「第二の吸着溝」に相当する。また、引用例記載の「孔３６」、「孔２２」及び「吸気孔」は、負圧を伝えるとの機能の共通性から、本願発明における「第一の吸着口」、「第二の吸着口」及び「第三の吸着口」に相当する。
　したがって、両発明は次の点で一致する。
　中央に設けられた第一の吸着口と、第二の吸着口と、前記第二の吸着口に接続され且つ上面に設けられた第一の吸着溝とを有する半導体ウエハを載置状態で操作する台座と、
　中央に設けられるとともに、前記第一の吸着口に接続される第三の吸着口と、前記第三の吸着口に接続され且つ上面に設けられた第二の吸着溝とを有するクリーンパッドとを有し、
　前記第一の吸着口と前記第三の吸着口が位置合わせされ、上記クリーンパッドが、上記台座の上に置かれると、前記第三の吸着口からの吸引により、第二の吸引溝を介して前記クリーンパッドを前記台座上に吸着保持し、
　薄片が台座上に吸着保持されたクリーンパッド上に置かれると、前記第三の吸着吸着口からの吸引により、前記第二の吸着溝を介して前記クリーンパッド上に吸着保持可能とし、
　前記吸気孔から吸引を解除することで、前記クリーンパッドを前記台座上から取り外し得るようにした薄片吸着保持装置。
　一方、両発明は次の４点で相違する。
相違点１：本願発明では、スピンチャック及びクリーンパッドが回転させられるものであるのに対し、引用例記載の発明では、台座及び板状体はＸＹＺ方向に移動させられるものである点。
相違点２：本願発明では、第一の吸着口及び第三の吸着口が回転中心軸に設けられ、第二の吸着口が第一の吸着口の近傍に設けられているのに対し、引用例記載の発明では、孔３６及び吸気孔はそれぞれチャック板及びＺステージの中央に設けられ、孔２２はＺステージ外周と中央とのほぼ真ん中に位置するものである点。
相違点３：本願発明では、クリーンパッド及び薄片がそれぞれの搬送装置により搬送されるものであるのに対し、引用例記載の発明では、チャック板及び半導体ウエハを搬送する手段が示されていない点。
相違点４：本願発明では、クリーンパッド上に薄片が置かれていない状態でクリーンパッド搬送装置がクリーンパッドをスピンチャック上から取り外し得るようにしたのに対し、引用例記載の発明では、チャック板を取り外す際のチャック板上の半導体ウエハの載置の有無及びチャック板を取り外す手段が示されていない点。
　
４　当審の判断
　上記各相違点について検討する。
　相違点１に関し、本件発明は、本願の出願以前から広く知られていたスピンコータに係るものであって、スピンコータは引用例記載の発明に係る移動ステージ機構と同様に、半導体の製造に用いられるものであるから、移動ステージ機構における半導体ウエハのチャックに係る技術を、スピンコータに適用することに何ら困難性があったとは認められない。そして、引用例記載の移動ステージ機構に係る発明を、スピンコータに適用した場合に、薄片を載置する部位となるスピンチャック及びクリーンパッドを回転させるようにすることは必然的な事項である。
　次に、相違点２に関し、負圧によって薄片をチャックするスピンコータにおいて、該負圧を伝える孔を回転軸内に設けることは、本願の出願以前から慣用的に行われている事項である。そして、本願発明において、同一回転軸内に設けられた第一の吸気口及び第二の吸気口が近接することは、構造上必然的な事項に過ぎない。
　また、相違点３に関し、本願発明において、クリーンパッドがどんな手段によりスピンチャックまで搬送されるかは、薄片吸着保持装置自体に何ら影響を与えるものではなく、「前記クリーンパッドがクリーンパッド搬送装置により前記スピンチャックまで搬送され」るとの構成によって、装置の構成は実質的に変わらない。
　そして、相違点４に関し、クリーンパッドの取り外しに際して、できるだけ汚染を避けたい半導体ウエハ等の薄片を、前もって搬送しておくことは、ごく当然の事項に過ぎない。また、チャック板をどんな手段により取り外すことも、薄片吸着保持装置自体に何ら影響を与えるものではなく、「前記クリーンパッド搬送装置が当該クリーンパッドを前記スピンチャック上から取り外し得るようにした」構成によって、装置の構成は実質的に変わらない。
　結局、上記相違点は、いずれも格別なものとは言えず、本願発明によって奏する効果は、引用例記載の発明から、当業者が当然に予想できる範囲内のものである。
　
５　むすび
　したがって、本願発明は、引用例記載の発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって結論のとおり審決する。