(57)【要約】【課題】サイズを小型化しながらも、基本波に加えて高調波の負荷インピーダンスを、効率が最大となるように設定できることが可能な高周波電力増幅器を提供する。【解決手段】所定の信号周波数において信号を増幅するトランジスタと、前記トランジスタの出力に接続される、プリント基板上に形成される第１の線路と、前記第１の線路の後段において分岐してプリント基板上に形成される第２の線路及び第３の線路と、を備え、前記第２の線路は、前記信号周波数または前記信号周波数の２倍波周波数に対するインピーダンスを設定することを特徴とする、高周波電力増幅器が提供される。【選択図】図１
2018088638.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の信号周波数において信号を増幅するトランジスタと、
前記トランジスタの出力に接続される、プリント基板上に形成される第１の線路と、
前記第１の線路の後段において分岐してプリント基板上に形成される第２の線路及び第３の線路と、
を備え、
前記第２の線路は、前記信号周波数または前記信号周波数の２倍波周波数に対するインピーダンスを設定することを特徴とする、高周波電力増幅器。
【請求項２】
前記第２の線路は、
第１マイクロストリップラインと、
前記第１マイクロストリップラインと並列に設けられるキャパシタと、
を備えることを特徴とする、請求項１に記載の高周波電力増幅器。
【請求項３】
前記第１マイクロストリップラインと前記キャパシタとの定数は、前記信号周波数の０．８倍以上、１．２倍以下の範囲のいずれかの周波数で共振するよう設定されることを特徴とする、請求項２に記載の高周波電力増幅器。
【請求項４】
前記第２の線路と前記第３の線路とに分岐する分岐点から見た前記第２の線路のインピーダンスの虚数の絶対値が前記信号周波数において５０Ω以上、または、該インピーダンスの実数の絶対値が前記信号周波数において１００Ω以上であり、前記第２の線路のインピーダンスの虚数の絶対値が前記信号周波数の２倍波周波数において２５Ω以下であることを特徴とする、請求項３に記載の高周波電力増幅器。
【請求項５】
前記第２の線路は、前記第１マイクロストリップラインの電源電位側に前記第１マイクロストリップラインと直列に設けられる第２マイクロストリップラインを備えることを特徴とする、請求項２〜４のいずれかに記載の高周波電力増幅器。
【請求項６】
前記第１マイクロストリップラインと前記第２マイクロストリップラインとの定数は、前記信号周波数の２倍波周波数の０．７倍以上、１．３倍以下の範囲のいずれかの周波数においてショートするよう設定されることを特徴とする、請求項５に記載の高周波電力増幅器。
【請求項７】
前記第３の線路は、一方の端子を設置したキャパシタを備え、前記第３の線路の端部は前記信号の出力となることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載の高周波電力増幅器。
【請求項８】
前記トランジスタは、ＧａＡｓ基板上のヘテロ接合バイポーラトランジスタであることを特徴とする、請求項１〜７のいずれかに記載の高周波電力増幅器。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の高周波電力増幅器を備える、無線通信装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波電力増幅器及び無線通信装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話やスマートフォン（Ｓｍａｒｔｐｈｏｎｅ）、タブレット（Ｔａｂｌｅｔ）端末等に代表される携帯型の通信装置は、通信装置間で無線通信を実行する際に、中継装置となる基地局との間で定常的に通信を実行する。通常、通信装置は、基地局との距離に応じて高周波信号の送信電力及び受信感度を調整しながら通信を行う。
【０００３】
そして、携帯型の通信装置の飛躍的な普及に伴って、マイクロ波（ｍｉｃｒｏｗａｖｅ）帯の高周波電力増幅器への需要が高まっている。このような高周波電力増幅器への需要の高まりに伴って、高周波電力増幅器に対する低電圧動作化、高効率化、小型・軽量化の要望が一段と強くなっている。また、高効率化を図る高周波電力増幅器は、用いられるトランジスタの信号の基本波周波数の出力に対して、電力と効率がともに最大となるよう、つまり、いわゆる電力整合及び効率整合の状態となるよう、負荷インピーダンスを設定することで実現している。さらに、２倍波周波数、３倍波周波数といった高調波の負荷インピーダンスを、効率が最大となるように設定することで、より高効率な動作が実現できる。基本波を含んだ高調波周波数の負荷インピーダンスを適切に調整して高効率の高周波電力増幅器を実現した技術が、例えば非特許文献１で開示されている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】Tomohiro  Yao;  Ryo  Ishikawa;  Yoichiro  Takayama;  Kazuhik  Honjo;  Hiroyoshi  Kikuchi;  Takashi  Okazaki;  Kazuhiro  Ueda;  Eiichiro  Otobe  2013  Asia-Pacific  Microwave  Conference  Proceedings  (APMC)  Pages:  745-747
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、非特許文献１で記載されている高周波電力増幅器を携帯電話に用いようとするとサイズが大きくなり、小型化が要求される携帯電話に対して適用が困難であるという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、サイズを小型化しながらも、基本波に加えて高調波の負荷インピーダンスを、効率が最大となるように設定できることが可能な、新規かつ改良された高周波電力増幅器及び無線通信装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、所定の信号周波数において信号を増幅するトランジスタと、前記トランジスタの出力に接続される、プリント基板上に形成される第１の線路と、前記第１の線路の後段において分岐してプリント基板上に形成される第２の線路及び第３の線路と、を備え、前記第２の線路は、前記信号周波数または前記信号周波数の２倍波周波数に対するインピーダンスを設定することを特徴とする、高周波電力増幅器が提供される。
【０００８】
前記第２の線路は、第１マイクロストリップラインと、前記第１マイクロストリップラインと並列に設けられるキャパシタと、を備えていてもよい。
【０００９】
前記第１マイクロストリップラインと前記キャパシタとの定数は、前記信号周波数の０．８倍以上、１．２倍以下の範囲のいずれかの周波数において共振するよう設定されてもよい。
【００１０】
前記第２の線路と前記第３の線路とに分岐する分岐点から見た前記第２の線路のインピーダンスの虚数の絶対値が前記信号周波数において５０Ω以上、または、該インピーダンスの実数の絶対値が前記信号周波数において１００Ω以上であり、前記第２の線路のインピーダンスの虚数の絶対値が前記信号周波数の２倍波周波数において２５Ω以下であってもよい。この場合、前記第２の線路のインピーダンスの虚数の絶対値が前記信号周波数の２倍波周波数において０Ωであってもよい。
【００１１】
前記第２の線路は、前記第１マイクロストリップラインの電源電位側に前記第１マイクロストリップラインと直列に設けられる第２マイクロストリップラインを備えていてもよい。この場合、前記第１マイクロストリップラインと前記第２マイクロストリップラインとの定数は、前記信号周波数の２倍波周波数の０．７倍以上、１．３倍以下の範囲のいずれかの周波数においてショートするよう設定されてもよい。
【００１２】
前記第３の線路は、一方の端子を設置したキャパシタを備え、前記第３の線路の端部は前記信号の出力となっていてもよい。
【００１３】
前記トランジスタは、ＧａＡｓ基板上のヘテロ接合バイポーラトランジスタであってもよい。
【００１４】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、上記高周波電力増幅器を備える、無線通信装置が提供される。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように本発明によれば、サイズを小型化しながらも、基本波に加えて高調波の負荷インピーダンスを、効率が最大となるように設定できることが可能な、新規かつ改良された高周波電力増幅器及び無線通信装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】高周波電力増幅器（パワーアンプ）の構成を示す説明図である。
【図２】図１に示した高周波電力増幅器において、３次高調波周波数におけるインピーダンスをスミスチャート上に表した説明図である。
【図３】図１に示した高周波電力増幅器において、２次高調波周波数におけるインピーダンスをスミスチャート上に表した説明図である。
【図４】図１に示した高周波電力増幅器において、信号周波数におけるインピーダンスをスミスチャート上に表した説明図である。
【図５】本発明の実施形態に係る高周波電力増幅器１００の構成例を示す説明図である。
【図６】図５におけるノードＮ１２からＶＤＤ１１までの分岐路を抜き出して示す説明図である。
【図７】図５におけるノードＮ１２からＶＤＤ１１側を見たときのインピーダンスＺをスミスチャートで示す説明図である。
【図８】２次高調波周波数のインピーダンスをスミスチャートで示す説明図である。
【図９】図５に示した高周波電力増幅器１００において、信号周波数におけるインピーダンスをスミスチャート上に表した説明図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る高周波電力増幅器１００を備える無線通信装置１０００の構成例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１８】
＜１．背景技術＞
本発明の実施形態について詳細に説明する前に、本発明の実施形態の背景技術について説明する。
【００１９】
上述したように、基本波を含んだ高調波周波数の負荷インピーダンスを適切に調整して高効率の高周波電力増幅器（パワーアンプ）を実現した技術が、例えば非特許文献１で開示されている。非特許文献１には、信号周波数に対する２倍波、３倍波といった高調波周波数における負荷インピーダンスＺｌをＲ＋ｊＸ［Ω］と書くときに、Ｒ＝０に設定することによって、主にトランジスタから発生する高調波周波数における電流と電圧の位相を９０度ずらし、電力消費を０Ｗ（リアクティブ）とすることができ、パワーアンプの高効率化を図ることができるとの記述がある。なおＲ＝０とすると、負荷インピーダンスはスミスチャート上の円周上に位置する。また、効率が最大となるような最適なＸは、一般的にはトランジスタの特性やバイアス電圧に依存し、信号周波数の負荷インピーダンスと同様にロードプルを用いて最適なＸの値が確認できる。
【００２０】
図１は、非特許文献１で開示されている高周波電力増幅器（パワーアンプ）の構成を示す説明図である。図１に示したのは、電力を増幅するトランジスタの後段の構成である。
【００２１】
図１には、パワーアンプのトランジスタＰＡ１と、トランジスタと基板上の線路とを結合するボンドワイヤＷ１と、基板上に形成されるマイクロストリップラインｌ１〜ｌ６及び基本波周波数の１／４波長（λ）バイアスラインと、容量Ｃ１、Ｃ２と、を含んで構成される。これらの構成要素を用いて、高調波周波数（２次、３次）においてＺｌをリアクティブにする方法を説明する。
【００２２】
まず、３次高調波をリアクティブにする方法を説明する。３次高調波をリアクティブにするためには、マイクロストリップラインｌ３の長さを３次高調波周波数の波長の１／４のオープンスタブとする。マイクロストリップラインｌ３の長さをこのように設定することによって、ノードＮ２からマイクロストリップラインｌ３を見たときのインピーダンスはショートとなる。さらに、ノードＮ２からノードＮ１までのマイクロストリップラインｌ１とボンドワイヤＷ１の長さを調整することよって、３次高調波周波数にとって最適なＸに設定できる。
【００２３】
図２は、図１に示した高周波電力増幅器において、３次高調波周波数におけるインピーダンスをスミスチャート上に表した説明図である。マイクロストリップラインｌ３の長さ適切に設定すると、ノードＮ２からマイクロストリップラインｌ３を見たときのインピーダンスをショート（すなわちスミスチャート上の円周上に位置する）にできる。さらにマイクロストリップラインｌ１及びボンドワイヤＷ１によるシフト分により、３次高調波周波数におけるインピーダンスをスミスチャート上の円周上に表せる。
【００２４】
次に、２次高調波をリアクティブにする方法を説明する。２次高調波をリアクティブにするためには、マイクロストリップラインｌ４の長さを２次高調波周波数の波長の１／４のオープンスタブとする。マイクロストリップラインｌ４の長さをこのように設定することによって、ノードＮ３からマイクロストリップラインｌ４を見たときのインピーダンスはショートとなり、さらにノードＮ３からノードＮ２までのマイクロストリップラインｌ２の長さを調整することよって、２次高調波周波数にとって最適なＸに設定できる。
【００２５】
図３は、図１に示した高周波電力増幅器において、２次高調波周波数におけるインピーダンスをスミスチャート上に表した説明図である。マイクロストリップラインｌ４の長さ適切に設定すると、ノードＮ３からマイクロストリップラインｌ４を見たときのインピーダンスをショート（すなわちスミスチャート上の円周上に位置する）にできる。さらにマイクロストリップラインｌ１〜ｌ３及びボンドワイヤＷ１によるシフト分により、２次高調波周波数におけるインピーダンスをスミスチャート上の円周上に表せる。
【００２６】
最後に信号周波数の負荷インピーダンスの最適化について説明する。信号周波数の負荷インピーダンスは、マイクロストリップラインｌ５、ｌ６を調整することによって、ロードプルによって確認されている最適なインピーダンスに設定することができる。図４は、図１に示した高周波電力増幅器において、信号周波数におけるインピーダンスをスミスチャート上に表した説明図である。
【００２７】
図１に示した高周波電力増幅器は、マイクロストリップラインの長さなどの設定により、基本波、２倍波、３倍波の最適な負荷インピーダンスを設定することができ、高効率なパワーアンプを実現できる。
【００２８】
しかしながら、図１に示した高周波電力増幅器における各マイクロストリップラインは構成要素として非常に大きい。例えば、携帯電話で使われる２ＧＨｚ程度の周波数においては、プリント基板（ＰＣＢ）の誘電率を４とした場合、波長短縮率も考慮に入れて、１／４波長バイアスラインの長さは１．９ｃｍ程度にもなり、またマイクロストリップラインｌ３、ｌ４の長さは、それぞれその１／２、１／３の長さとなる。小型化が要求される携帯電話に対しては、この図１に示した高周波電力増幅器を適用することが非常に困難となる。
【００２９】
そこで本件発明者は、上述した点に鑑み、サイズを小型化しながらも、基本波に加えて高調波の負荷インピーダンスを、効率が最大となるように設定できることが可能な高周波電力増幅器について鋭意検討を行った。その結果、本件発明者は、以下で説明するように、サイズを小型化しながらも、基本波に加えて高調波の負荷インピーダンスを、効率が最大となるように設定できることが可能な高周波電力増幅器を考案するに至った。
【００３０】
＜２．本発明の実施形態＞
続いて、本発明の実施形態について詳細に説明する。図５は、本発明の実施形態に係る高周波電力増幅器１００の構成例を示す説明図である。
【００３１】
図５に示した高周波電力増幅器１００は、集積回路に設けられ、所定の信号周波数の信号の電力を増幅するトランジスタＰＡ１１と、集積回路と基板上の線路とを結合するボンドワイヤＷ１１と、基板上に形成されるマイクロストリップラインｌ１１〜ｌ１５と、容量Ｃ１１〜Ｃ１４と、を含んで構成される。
【００３２】
高周波電力増幅器１００は、一例として、信号周波数が７００ＭＨｚから９５０ＭＨｚまで、あるいは１２００ＭＨｚから３８００ＭＨｚの範囲で動作する。トランジスタＰＡ１１は、例えばＧａＡｓ基板上のヘテロ接合バイポーラトランジスタである。一例として、トランジスタＰＡ１１のエミッタサイズは、1500um2から5000um2である。
【００３３】
図５に示した高周波電力増幅器１００において、高調波周波数、特に、効率に強く影響する２次高調波において、トランジスタＰＡ１１の負荷インピーダンスＺｌ１１をリアクティブにする方法を説明する。
【００３４】
図６は、図５におけるノードＮ１２からバイアス電圧を印加する電源ＶＤＤ１１までの分岐路を抜き出して示す説明図である。ノードＮ１２からＶＤＤ１１までの分岐路において、例えば信号周波数ｆ０を２ＧＨｚとした場合に、マイクロストリップラインをインダクタに見立て、例えば図６に示すような定数で設計する。容量Ｃ１１と、マイクロストリップラインＬ１３との定数は、信号周波数ｆ０でほぼ共振するような値である。なお容量Ｃ１１と、マイクロストリップラインＬ１３との定数は、信号周波数ｆ０で共振するような値であるのが望ましいが、信号周波数ｆ０の０．８倍以上、１．２倍以下の範囲のいずれかの周波数において共振するような値であってもよい。
【００３５】
図７は、ノードＮ１２からＶＤＤ１１側を見たときの２倍波周波数のインピーダンスＺをスミスチャートで示す説明図である。ノードＮ１２からＶＤＤ１１側を見たときの２倍波周波数のインピーダンスＺは、図７でスミスチャート上に示した通りとなる。なお、マイクロストリップラインｌ１２〜ｌ１４と、容量Ｃ１１、Ｃ１４の定数は、マイクロストリップラインＬ１３と容量Ｃ１１とにより、信号周波数ｆ０でほぼ共振するように設定し、また、マイクロストリップラインＬ１３とマイクロストリップラインＬ１４とで２倍波周波数２ｆ０がショートになるように調節する。その結果、図７で示すように、インピーダンスＺは、信号周波数ｆ０において、オープン（チョーク）となり、２倍波周波数２ｆ０においてショートとすることができる。なお、マイクロストリップラインＬ１３とマイクロストリップラインＬ１４との定数は、２倍波周波数２ｆ０でショートするような値であることが望ましいが、２倍波周波数２ｆ０の０．７倍以上、１．３倍以下の範囲のいずれかの周波数においてショートするような値であってもよい。
【００３６】
ノードＮ１２からＶＤＤ１１側を見たときのインピーダンスの虚数の絶対値が信号周波数において５０Ω以上、または、そのインピーダンスの実数の絶対値が信号周波数において１００Ω以上となるように、マイクロストリップラインｌ１２〜ｌ１４と、容量Ｃ１１、Ｃ１４の定数とを調節することが望ましい。
【００３７】
図８は、２次高調波周波数のインピーダンスをスミスチャートで示す説明図である。マイクロストリップラインｌ１１とボンドワイヤＷ１１の長さを調整することよって、図８に示すように、ロードプルによって確認されている２次高調波周波数にとって最適なＸに設定できる。それと同時に、ＶＤＤ１１からバイアス電圧を配給することにより、図１に示したでの１／４波長バイアスラインが果たしていた機能も果たすことができる。つまり、図６のノードＮ１２からＶＤＤ１１の分岐路が、図１における１／４波長バイアスラインとマイクロストリップラインｌ４の代わりとなる。
【００３８】
２次高調波周波数のインピーダンスの虚数の絶対値が２５Ω以下となるように、ワイヤＷ１１及びマイクロストリップラインｌ１１を調節することが望ましい。
【００３９】
なお、実際に図６に示した定数をプリント基板（ＰＣＢ）上に実装した場合、誘電率４、ＰＣＢの厚み０．３ｍｍとしたときに、マイクロストリップラインｌ１３は長さ５．４ｍｍ／幅０．１３ｍｍ、マイクロストリップラインｌ１２、ｌ１４は長さ０．４５ｍｍ／幅０．１３ｍｍとなる。また、容量Ｃ１１、Ｃ１４はＰＣＢ平面上で面積０．４ｍｍ×０．２ｍｍ、または０．６ｍｍ×０．３ｍｍの表面実装型部品で実現できる。以上から、図１に示した回路における、１／４波長バイアスラインとマイクロストリップラインｌ４の面積と比較して、３分の１以上小型化することが可能である。
【００４０】
図９は、図５に示した高周波電力増幅器１００において、信号周波数におけるインピーダンスをスミスチャート上に表した説明図である。信号周波数の負荷インピーダンスは、容量Ｃ１２及びマイクロストリップラインｌ１５の定数を調整することによって、図９に示すようにロードプルによって確認されている最適なインピーダンスに設定することができる。ちなみに容量Ｃ１３はＤＣカット用の容量が大きいコンデンサであるため、負荷インピーダンスには寄与しない。
【００４１】
本発明の一実施形態に係る高周波電力増幅器１００は、信号周波数におけるインピーダンスを、ノード１２においてハイインピーダンスとすることで、ノード１２から電源ＶＤＤ１１までの存在を無視しうる。
【００４２】
以上説明したように、本発明の一実施形態に係る高周波電力増幅器１００は、サイズを小型化しながらも、基本波に加えて高調波の負荷インピーダンスを、効率が最大となるように設定できることが可能となる。このような高周波電力増幅器１００は、回路や装置そのものの小型化が要求される携帯電話その他の無線通信装置に適用することで、無線通信装置そのものや、無線通信装置に搭載される回路の小型化に寄与することが可能となる。
【００４３】
続いて、本発明の一実施形態に係る高周波電力増幅器１００を備える無線通信装置の構成例について説明する。図１０は、本発明の一実施形態に係る高周波電力増幅器１００を備える無線通信装置１０００の構成例を示す説明図である。
【００４４】
図１０に示した無線通信装置１０００は、シンセサイザ１０１０と、変調回路１０２０と、高周波増幅器１０３０、１０７０と、フィルタ１０４０、１０８０と、アイソレータ１０５０と、デュプレクサ１０６０と、復調回路１０９０と、アンテナ１１００と、を含んで構成される。
【００４５】
シンセサイザ１０１０は、変調回路１０２０での送信信号の変調や、復調回路１０９０での受信信号の復調に用いられる信号を出力する。変調回路は、供給される送信信号を所定の送信周波数の送信信号に変換する。高周波増幅器１０３０は、変調回路１０２０の出力信号を増幅する。フィルタ１０４０は、例えばバンドパスフィルタで構成され、高周波増幅器１０３０で増幅された高周波信号から、送信波帯域の信号を抽出する。アイソレータ１０５０は、フィルタ１０４０の出力信号をデュプレクサ１０６０へ一方向で供給する。
【００４６】
デュプレクサ１０６０は、アイソレータ１０５０の出力端子に接続される端子、高周波増幅器１０７０の入力端子に接続される端子、アンテナ１１００に接続される端子の３端子を有する。
【００４７】
高周波増幅器１０７０は、アンテナ１１００で受信され、デュプレクサ１０６０から出力される信号を増幅する。フィルタ１０８０は、例えばバンドパスフィルタで構成され、高周波増幅器１０７０の出力信号から送信波帯域の信号を抽出する。復調回路１０９０は、フィルタ１０８０で抽出された信号と、シンセサイザ１０１０から供給される局部発振信号と、を混合することで信号を復調する。
【００４８】
本発明の一実施形態に係る高周波電力増幅器１００を備える無線通信装置は係る例に限定されるものではない。マイクロ波帯の信号を増幅する高周波電力増幅器が用いられるものであれば図１０に示したもの以外にも適用が可能である。本発明の一実施形態に係る高周波電力増幅器１００を備える無線通信装置は、低電圧動作化、高効率化、小型・軽量化を図ることが可能となる。
【００４９】
＜３．まとめ＞
以上説明したように本発明の実施形態によれば、パワーアンプの出力整合回路において、出力バイアス電圧ライン上に数ｐＦ程度の小さな容量を追加し、信号周波数に対する並列共振回路を形成することによって、非常に小さいサイズで出力バイアス電圧を配給しつつ、２次高調波を高効率なインピーダンスに設定することができる。
【００５０】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００５１】
例えば、上述した高周波電力増幅器１００は、基本波及び２倍波周波数のインピーダンスを最適なものになるような構成を有していたが、例えば、さらに３倍波周波数のインピーダンスを最適なものとなるように、ボンドワイヤＷ１１とノードＮ１２との間に、図１で示したような１／４波長板や新たな共振回路を追加しても良い。
【符号の説明】
【００５２】
１００    高周波電力増幅器
１０００    無線通信装置
【図１】
2018088638.tif 000003
【図２】
2018088638.tif 000004
【図３】
2018088638.tif 000005
【図４】
2018088638.tif 000006
【図５】
2018088638.tif 000007
【図６】
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【図７】
2018088638.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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