【手続補正書】
【提出日】平成27年10月26日(2015.10.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射ビームをリソグラフィ装置のイルミネータに提供するのに適する放射源であって、
前記放射源が、燃料液滴のストリームを軌道に沿ってプラズマ形成位置に向けて誘導するノズルを備え、
前記放射源が、使用時に、第１の分量の放射がプラズマ形成位置で燃料液滴に入射するように、前記第１の分量の放射を受け、
前記放射源が、第１のセンサ配置と第２のセンサ配置とを有するアライメント検出器をさらに備え、
前記第１のセンサ配置が、前記第１の分量の放射の合焦位置を示す第３の分量の放射の特性を測定し、
前記第２のセンサ配置が、前記第１の分量の放射が入射する前記燃料液滴によって反射される前記第１の分量の放射の一部である第４の分量の放射の特性を測定する、放射源。
【請求項２】
前記第２のセンサ配置によって測定された前記第４の分量の放射の特性が、前記燃料液滴の位置を示す、請求項１に記載の放射源。
【請求項３】
前記アライメント検出器が、ビーム分割装置を備え、
前記放射源が、前記第１の分量の放射の少なくとも一部が前記ビーム分割装置の少なくとも一部に入射するように構成され、前記ビーム分割装置が、前記第１の分量の放射の前記少なくとも一部のうちの前記少なくとも一部分が前記第１のセンサ配置に入射するように前記第１の分量の放射の前記少なくとも一部のうちの前記少なくとも一部分を誘導し、前記第１のセンサ配置に入射するように前記ビームスプリッタ装置によって誘導される前記第１の分量の放射の前記少なくとも一部のうちの前記少なくとも一部分が前記第３の分量の放射であり、前記放射源が、前記第４の分量の放射の前記少なくとも一部が前記ビーム分割装置の少なくとも一部に入射するように構成され、前記ビーム分割装置が、前記第４の分量の放射の前記少なくとも一部のうちの前記少なくとも一部分が前記第２のセンサ配置に入射するように、前記第４の分量の放射の前記少なくとも一部のうちの前記少なくとも一部分を誘導する、請求項１又は２に記載の放射源。
【請求項４】
前記ビーム分割装置が、ビームスプリッタであるか、又はビームスプリッタを備える、請求項３に記載の放射源。
【請求項５】
ビーム分割位置で、前記ビーム分割装置が、前記第１の分量の放射の前記少なくとも一部のうちの前記少なくとも一部分が前記前記第１のセンサ配置に入射するように前記第１の分量の放射の前記少なくとも一部のうちの前記少なくとも一部分の伝搬方向を変更し、前記第４の分量の放射の一部のうちの前記少なくとも一部分が前記第２のセンサ配置に入射するように前記第４の分量の放射の一部のうちの前記少なくとも一部分の伝搬方向を変更する、両方を行うように前記放射源が構成された、請求項３又は４に記載の放射源。
【請求項６】
前記放射源が、前記第１の分量の放射を生成する二次放射源と、前記二次放射源に接続され、前記二次放射源が前記第１の分量の放射を生成するタイミングを制御するタイミングコントローラと、を備える、請求項１から５のいずれか一項に記載の放射源。
【請求項７】
前記アライメント検出器が、前記第３の分量の放射を生成するアライメント放射源を備え、
前記アライメント放射源が、前記第３の分量の放射の伝搬方向が前記第１の分量の放射の伝搬方向と実質的に平行であるように前記二次放射源に装着され、
前記放射源が、前記第３の分量の放射の少なくとも一部が前記第１のセンサ配置に入射するように構成された、請求項１又は２のいずれかに従属する請求項６に記載の放射源。
【請求項８】
前記アライメント検出器が、ビームスプリッタ装置を備え、
前記放射源が、前記第４の分量の放射の少なくとも一部が前記ビーム分割装置の少なくとも一部に入射するように構成され、
前記ビーム分割装置が、前記第４の分量の放射の前記少なくとも一部のうちの前記少なくとも一部分が前記第２のセンサ配置に入射するように前記第４の分量の放射の前記少なくとも一部のうちの前記少なくとも一部分を誘導する、請求項７に記載の放射源。
【請求項９】
前記放射源が、前記第１の分量の放射を誘導し、それによって前記第１の分量の放射の合焦位置を判定する放射誘導デバイスをさらに備える、請求項１から８のいずれか一項に記載の放射源。
【請求項１０】
前記放射誘導デバイスが、使用時に少なくとも一部が前記第１の分量の放射の経路内に位置する第１の誘導リフレクタと、前記第１の誘導リフレクタに機械的に連結された少なくとも１つの第１のリフレクタアクチュエータと、を備え、それによって前記少なくとも１つの第１のリフレクタアクチュエータの運動が、前記第１の分量の放射の前記経路に対する前記第１の誘導リフレクタの向き及び／又は位置を変化させる、請求項９に記載の放射源。
【請求項１１】
前記ビーム分割装置が、前記第４の分量の放射の伝搬方向に対して前記第１の誘導リフレクタの下流に位置する、請求項１０に記載の放射源。
【請求項１２】
前記ビーム分割装置が、前記第４の分量の放射の伝搬方向に対して前記第１の誘導リフレクタの上流に位置する、請求項１０に記載の放射源。
【請求項１３】
前記放射誘導デバイスが、使用時に少なくとも一部が前記第１の分量の放射の経路内に位置する第２の誘導リフレクタと、前記第２の誘導リフレクタに機械的に連結された少なくとも１つの第２のリフレクタアクチュエータと、を備え、それによって前記少なくとも１つの第２のリフレクタアクチュエータの運動が、前記第１の分量の放射の前記経路に対する前記第２の誘導リフレクタの向き及び／又は位置を変化させる、請求項１０から１２のいずれか一項に記載の放射源。
【請求項１４】
前記ビーム分割装置が、前記第４の分量の放射の伝搬方向に対して前記第２の誘導リフレクタの上流に位置する、請求項１３に記載の放射源。
【請求項１５】
前記放射源が、コントローラをさらに備え、
前記第１のセンサ配置が、第１のセンサ信号を前記コントローラに提供し、前記第２のセンサ配置が、第２のセンサ信号を前記コントローラに提供し、
前記コントローラが、前記第１及び第２のセンサ信号に基づいて前記燃料液滴と前記第１の分量の放射の合焦位置との相対的アライメントを制御する、請求項１から１４のいずれか一項に記載の放射源。
【請求項１６】
リソグラフィ装置のイルミネータに放射ビームを提供するのに適した放射源を動作する方法であって、前記放射源が、ノズルと、コントローラと、第１のセンサ配置と第２のセンサ配置とを有するアライメント検出器と、を備え、前記方法が、
燃料液滴のストリームを前記ノズルから軌道に沿ってプラズマ形成位置へと誘導するステップと、
第１の分量の放射が前記プラズマ形成位置で前記燃料液滴に入射するように、前記第１の分量の放射を前記燃料液滴に誘導するステップと、
前記第１のセンサ配置が、前記第１の分量の放射の合焦位置を示す第３の分量の放射の特性を測定するステップと、
前記第２のセンサ配置が、前記第１の分量の放射が入射する前記燃料液滴によって反射される前記第１の分量の放射の一部である第４の分量の放射の特性を測定するステップと、
前記第１のセンサ配置が、前記第１の分量の放射の合焦位置を示す第１のセンサ信号を前記コントローラに提供するステップと、
前記第２のセンサ配置が、第２の信号を前記コントローラに提供するステップと、
前記コントローラが、前記第１及び第２のセンサ信号に基づいて前記燃料液滴と前記第１の分量の放射の合焦位置との相対的アライメントを判定するステップと、を含む、方法。