【手続補正書】
【提出日】平成27年7月1日(2015.7.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線移動によってガスが漏れない方法で流路（Ｆ）を閉鎖するための真空バルブ（１）であり、
・流路（Ｆ）のための開口（３）を有するバルブハウジング（２）であって、開口（３）が流路（Ｆ）に沿った幾何学的開口軸（４）を有するバルブハウジング（２）と、
・□開口（３）を開放する開放位置（Ｏ）から、
□開口（３）を覆うように直線的に押される閉鎖位置（Ｃ）に、
閉鎖部材面（７）で、開口軸（４）に対して横断方向に延びる幾何学的調整軸（６）に沿って、閉じる方向（８）に直線的な方法で移動可能で、そして、開く方向（９）へと逆に移動可能な閉鎖部材（５）と、
・開口（３）を取り囲み、そして、少なくとも部分的に曲線状であるバルブハウジング（２）の第１シール面（１０）と、
・第１シール面（１０）と対応し、そして、第１シール面（１０）と対応する形状を有する閉鎖部材（５）の第２シール面（１１）と、
を含む真空バルブ（１）であって、
・第１シール面（１０）が、いずれも調整軸（６）と平行ではない、様々に成形された部分（１２ａ、１２ｂ、１４ａ、１４ｂ、１７ａ、１７ｂ）から組み立てられ、
・第１シール面（１０）の部分（１２ａ、１２ｂ、１４ａ、１４ｂ、１７ａ、１７ｂ）の各面法線が、いずれも調整軸（６）と平行な方向成分を有し、その結果、第１シール面（１０）が、開く方向（９）に垂直又は傾斜して配向され、
・第１シール面（１０）の第１主要部分（１２ａ）が、幾何学的第１主要面（１３ａ’）に沿って実質的に広がり、
・第１シール面（１０）の第２主要部分（１２ｂ）が、幾何学的第２主要面（１３ｂ’）に沿って実質的に広がり、
・第１主面（１３ａ’）及び第２主面（１３ｂ’）が、調整軸（６）と平行に広がり、互いに間隔を置いて配置され、そして、閉鎖部材平面（７）と実質的に平行に広がり、その結果、第１主要部分（１２ａ）及び反対の第２主要部分（１２ｂ）が、調整軸（６）に対して横断方向に、互いに対して、幾何学的オフセットを有し、
・開口（３）が、２つの対向する主要部分（１２ａ、１２ｂ）の間に、配置され、
・第１シール面（１０）の横断方向の第１Ｕ字状側部（１４ａ）が、第１シール面（１０）の一方の側で第１主要部分（１２ａ）及び第２主要部分（１２ｂ）を接続し、
・第１シール面（１０）の横断方向の第２Ｕ字状側部（１４ｂ）が、第１シール面（１０）の他方の側で第１主要部分（１２ａ）及び第２主要部分（１２ｂ）を接続し、
・第１Ｕ字状側部（１４ａ）及び第２Ｕ字状側部（１４ｂ）が、いずれも、第１主要部分（１２ａ）と連なった第１脚部（１５ａ）、第２主要部分（１２ｂ）と連なった第２脚部（１５ｂ）、及び、基部（１５ｃ）、特に曲線として実現される、を含み、
・第１脚部（１５ａ）及び第２脚部（１５ｂ）が、調整軸（６）に対して横断方向に、互いに対して、幾何学的オフセットを有し、
・それぞれの基部（１５ｃ）が、いずれも、第１脚部（１５ａ）及び第２脚部（１５ｂ）を接続し、調整軸（６）に対して横断方向に幾何学的オフセットを橋絡し、
・閉鎖位置（Ｃ）では、第２シール面（１１）が、閉じる方向（８）に第１シール面（１０）上を押圧しながら、第１シール面（１０）と封止する接触をし、そして、閉鎖部材（５）が、ガスが漏れない方法で、開口（３）を閉鎖する、
真空バルブ（１）において、
・バルブハウジング（２）が、開口（３）及び第１シール面（１０）の間の領域に、開口（３）を取り囲む第１傾斜面（２２）を有し、
・閉鎖部材（５）が、第１傾斜面（２２）と平行に広がり、第１傾斜面（２２）と対応し、そして、第１傾斜面（２２）と対応する形状を有する第２傾斜面（２３）を有し、
・第１傾斜面（２２）及び第２傾斜面（２３）が、第１傾斜面（２２）が傾斜して開く方向（９）に向くように、いずれも、閉鎖部材面（７）に対して、傾斜角（２４）で傾斜し、そして、第１傾斜面（２２）及び第２傾斜面（２３）が、傾斜角（２４）で、幾何学的調整軸（６）と、幾何的広がりで交差し、
・傾斜角（２４）が、３度から１５度の間であり、
・第１傾斜面（２２）及び第２傾斜面（２３）が、閉鎖部材（５）の閉鎖位置（Ｃ）での第２傾斜面（２３）が、第１傾斜面（２２）と対向する平行な位置に、互いに０mmと０．６mmの間の間隔（ｖ）で配置されるように、互いに位置する、
ことを特徴とする真空バルブ（１）。
【請求項２】
・第１傾斜面（２２）及び第２傾斜面（２３）が、非弾性的な方法で実現され、そして、
・閉鎖部材（５）の閉鎖位置（Ｃ）での間隔（ｖ）が、０．０５mmと０．６mmの間となり、特に０．０５mmと０．３mmの間となる、
ことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ（１）。
【請求項３】
第１傾斜面（２２）及び第２傾斜面（２３）が、金属面として実現される、
ことを特徴とする請求項２に記載の真空バルブ（１）。
【請求項４】
・第１傾斜面（２２）が、電位に関してバルブハウジング（１）と結合する導電性金属面として、実現され、
・第２傾斜面（２３）が、閉鎖位置（Ｃ）で、開口（３）を完全に覆い、バルブハウジング（１）と保護シールド（２３ａ）の電位的な結合のために、開口（３）周辺全体で、第１傾斜面（２２）に電気的に接続される、閉じた導電性保護シールド（２３ａ）として実現され、
・閉鎖位置（Ｃ）の間隔（ｖ）が、電気接触をもたらすために、０に等しい、
ことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ（１）。
【請求項５】
・第１傾斜面（２２）及び／又は第２傾斜面（２３）が追加的な弾性シール（２５ａ、２５ｂ、２５ｃ）によって形成され、
・閉鎖部材（５）の閉鎖位置（Ｃ）での間隔（ｖ）が、０に等しい、
ことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ（１）。
【請求項６】
追加的な弾性シール（２５ａ、２５ｂ、２５ｃ）が、溝（２６）に配置されるＯ−リングによって形成され、前記Ｏ−リングが、特に、円形断面（２５ａ）、腎臓形断面（２５ｂ）、又は、Ｘ字状断面（２５ｃ）を有する
ことを特徴とする請求項５に記載の真空バルブ（１）。
【請求項７】
追加的な弾性シール(２５ａ、２５ｂ、２５ｃ)が、バルブハウジング（２）及び／又は閉鎖部材（５）上に加硫されるシールにより、形成される
ことを特徴とする請求項５に記載の真空バルブ（１）。
【請求項８】
バルブハウジング（２）及び／又は閉鎖部材（５）が、第１傾斜面（２２）及び第１シール面（１０）間の領域に、第１傾斜面（２２）を取り囲み、バルブハウジング（２）及び閉鎖部材（５）間の間隔（ｚ）が、凹部（２７）の領域で、少なくとも０．８mm、特に０．８mmと６mmの間、となるように配置及び展開される凹部（２７）を有する
ことを特徴とする請求項１から７のうちのいずれか一項に記載の真空バルブ（１）。
【請求項９】
・２つの第１脚部（１５ａ）が、いずれも、調整軸（６）と平行な各第１脚部平面（１６ａ）に実質的に沿って広がり、
・２つの第２脚部（１５ｂ）が、調整軸（６）と平行な各第２脚部平面（１６ｂ）に実質的に沿って広がり、
・第１主要面（１３ａ’）、第２主要面（１３ｂ’）、閉鎖部材面（７）、第１傾斜面（２２）及び第２傾斜面（２３）が、いずれも幾何学的平面によって形成され、
・各第１脚部平面（１６ａ）が第１主要面（１３ａ’）の幾何学的平面上に設けられ、そして、各第２脚部平面（１６ｂ）が第２主要面（１３ｂ’）の幾何学的平面上に設けられる
ことを特徴とする請求項１から８のうちのいずれか一項に記載の真空バルブ（１）。
【請求項１０】
・２つの第１脚部（１５ａ）が、いずれも、調整軸（６）と平行な各第１脚部平面（１６ａ）に実質的に沿って広がり、
・第１シール面（１０）の第１湾曲部分（１７ａ）が、第１主要部分（１２ａ）及び２つの第１脚部（１５ａ）の間に配置され、
・第１主要面（１３ａ’）に沿った第１主要部分（１２ａ）に広がる、第１シール面（１０）が、いずれも、各第１湾曲部分（１７ａ）となり、第１主要部分（１２ａ）からそれぞれの第１湾曲部分（１７ａ）へのそれぞれの遷移が、いずれも、第１主要面（１３ａ’）に対する幾何学的第１接平面（１３ａ）で、実行され、
・２つの第１脚部平面（１６ａ）が、いずれも、それぞれの第１接平面（１３ａ）に対して少なくとも１５度の角度をつけられ、
・第１主要面（１３ａ’）に沿った第１主要部分（１２ａ）に広がる第１シール面（１０）が、第１湾曲部分（１７ａ）では、前記少なくとも１５度により、特に幾何学的湾曲によって、第１主要面（１３ａ’）から外へ誘導され、第１脚部平面（１６ａ）となり、
・特に、第１主要面（１３ａ’）、第２主要面（１３ｂ’）及び閉鎖部材面（７）が、湾曲軸（２１）、特に調整軸（６）と実質的に平行である、のまわりで、少なくとも一部位で曲線状となる、
ことを特徴とする請求項１から８のうちのいずれか一項に記載の真空バルブ（１）。
【請求項１１】
直線移動によってガスが漏れない方法で流路（Ｆ）を閉鎖するための閉鎖部材（５）、特に請求項１から１０のうちのいずれか一項に記載の真空バルブのためのもの、であり、
・閉鎖部材面（７）内の、幾何学的調整軸（６）と、
・第２シール面（１１）と、
を含む閉鎖部材（５）であって、
・第２シール面（１１）が、いずれも調整軸（６）と平行ではない、様々に成形された各部分（１２ａ’、１２ｂ’、１４ａ’、１４ｂ’、１７ａ’、１７ｂ’）から組み立てられ、
・第２シール面（１１）の各部分（１２ａ’、１２ｂ’、１４ａ’、１４ｂ’、１７ａ’、１７ｂ’）の各面法線が、いずれも調整軸（６）と平行な方向成分を有し、その結果、第２シール面（１１）が、調整軸（６）の開く方向（９）に垂直又は傾斜して配向され、
・第２シール面（１１）の第１主要部分（１２ａ’）が、幾何学的第１主要面（１３ａ’）に沿って実質的に広がり、
・第２シール面（１１）の第２主要部分（１２ｂ’）が、幾何学的第２主要面（１３ｂ’）に沿って実質的に広がり、
・第１主面（１３ａ’）及び第２主面（１３ｂ’）が、調整軸（６）と平行に広がり、互いに間隔を置いて配置され、そして、閉鎖部材平面（７）と実質的に平行に広がり、その結果、第１主要部分（１２ａ’）及び反対の第２主要部分（１２ｂ’）が、調整軸（６）に対して横断方向に、互いに対して、幾何学的オフセットを有し、
・第２シール面（１１）の横断方向の第１Ｕ字状側部（１４ａ’）が、第２シール面（１１）の一方の側で第１主要部分（１２ａ’）及び第２主要部分（１２ｂ’）を接続し、
・第２シール面（１１）の横断方向の第２Ｕ字状側部（１４ｂ’）が、第２シール面（１１）の他方の側で第１主要部分（１２ａ’）及び第２主要部分（１２ｂ’）を接続し、
・第１Ｕ字状側部（１４ａ’）及び第２Ｕ字状側部（１４ｂ’）が、いずれも、第１主要部分（１２ａ’）と連なった第１脚部（１５ａ’）、第２主要部分（１２ｂ’）と連なった第２脚部（１５ｂ’）、及び、基部（１５ｃ’）を含み、
・第１脚部（１５ａ’）及び第２脚部（１５ｂ’）が、調整軸（６）に対して横断方向に、互いに対して、幾何学的オフセットを有し、
・それぞれの基部（１５ｃ’）が、いずれも、第１脚部（１５ａ’）及び第２脚部（１５ｂ’）を接続し、調整軸（６）に対して横断方向に幾何学的オフセットを橋絡し、
・閉鎖部材（５）の閉鎖位置（Ｃ）での第２シール面（１１）によって、ガスが漏れない方法で真空バルブ（１）の開口（３）を閉鎖するための真空バルブ（１）の第１シール面（１０）との封止する接触が、調整軸（６）の閉じる方向（８）に第１シール面（１０）上へ第２シール面（１１）を直線的に押圧することによりもたらされる、
閉鎖部材（５）において、
・閉鎖部材（５）の第２傾斜面（２３）が、第２シール面（１１）の各部分（１２ａ’、１２ｂ’、１４ａ’、１４ｂ’、１７ａ’、１７ｂ’）との間の領域に配置され、
・第２傾斜面（２３）が、閉じる方向（８）の反対である開く方向（９）に第１傾斜面（２２）が傾斜して向くように、閉鎖部材面（７）に対して、傾斜角（２４）で傾斜し、そして、第１傾斜面（２２）が、傾斜角（２４）で、幾何学的調整軸（６）と、幾何的広がりで交差し、
・傾斜角（２４）が、３度から１５度の間であり、
・第２傾斜面（２３）が、開口（３）を取り囲みそして開口（３）及び第１シール面（１０）の間の領域に配置される第１傾斜面（２２）と対向する平行な位置に、閉鎖部材（５）の閉鎖位置（Ｃ）での第２傾斜面（２３）が移動可能なように、実現される
ことを特徴とする閉鎖部材（５）。
【請求項１２】
第２傾斜面（２３）が、閉じた導電性保護シールド（２３ａ）として実現され、この導電性保護シールド（２３ａ）により、閉鎖位置（Ｃ）で、開口（３）が完全に覆われる、  ことを特徴とする請求項１１に記載の閉鎖部材（５）。
【請求項１３】
第２傾斜面（２３）が、追加的な弾性シール（２５ａ、２５ｂ、２５ｃ）によって形成され、特に、
・溝（２６）に配置されるＯ−リングであって、前記Ｏ−リングが、特に、円形断面（２５ａ）、腎臓形断面（２５ｂ）、又は、Ｘ字状断面（２５ｃ）を有する、によって、又は、
・閉鎖部材（５）上に加硫されるシールによって、
形成される
ことを特徴とする請求項１１に記載の閉鎖部材（５）。
【請求項１４】
・２つの第１脚部（１５ａ’）が、いずれも、調整軸（６）と平行な各第１脚部平面（１６ａ）に実質的に沿って広がり、
・２つの第２脚部（１５ｂ’）が、調整軸（６）と平行な各第２脚部平面（１６ｂ）に実質的に沿って広がり、
・第１主要面（１３ａ’）、第２主要面（１３ｂ’）、閉鎖部材面（７）、第１傾斜面（２２）及び第２傾斜面（２３）が、いずれも幾何学的平面によって形成され、
・第１脚部平面（１６ａ）が第１主要面（１３ａ’）の幾何学的平面上に設けられ、そして、第２脚部平面（１６ｂ）が第２主要面（１３ｂ’）の幾何学的平面上に設けられる、
ことを特徴とする請求項１１から１３のうちのいずれか一項に記載の閉鎖部材（５）。
【請求項１５】
・２つの第１脚部（１５ａ’）が、いずれも、調整軸（６）と平行な各第１脚部平面（１６ａ）に実質的に沿って広がり、
・第２シール面（１１）の第１湾曲部分（１７ａ’）が、第１主要部分（１２ａ’）及び２つの第１脚部（１５ａ’）の間に配置され、
・第１主要面（１３ａ’）に沿った第１主要部分（１２ａ’）に広がる、第２シール面（１１）が、いずれも、第１湾曲部分（１７ａ’）となり、第１主要部分（１２ａ’）からそれぞれの第１湾曲部分（１７ａ’）へのそれぞれの遷移が、いずれも、第１主要面（１３ａ’）に対する幾何学的第１接平面（１３ａ）で、実行され、
・２つの第１脚部平面（１６ａ）が、いずれも、それぞれの第１接平面（１３ａ）に対して少なくとも１５度の角度をつけられ、
・第１主要面（１３ａ’）に沿った第１主要部分（１２ａ’）に広がる第２シール面（１１）が、第１湾曲部分（１７ａ’）では、前記少なくとも１５度により、特に幾何学的湾曲によって、第１主要面（１３ａ’）から外へ誘導され、第１脚部平面（１６ａ）となり、
・特に、第１主要面（１３ａ’）、第２主要面（１３ｂ’）及び閉鎖部材面（７）が、湾曲軸（２１）、特に調整軸（６）と実質的に平行である、のまわりで、少なくとも一部位で曲線状となる、
ことを特徴とする請求項１１から１３のうちのいずれか一項に記載の閉鎖部材（５）。