【手続補正書】
【提出日】平成27年4月20日(2015.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバアレイを形成する方法であって、この方法は、
第１の面と、対向する第２の面とを有する基板を与えることを具備し、前記基板には、前記第１の面から前記第２の面に前記基板を貫通して延びた複数のアパーチャが設けられており、
この方法は、
前記アパーチャの最小直径よりも小さな直径を備えたファイバ端部を有する複数のファイバを与えることと、
前記基板の前記第１の面に曲げ構造体を与えることと、
各ファイバに対して、前記ファイバ端部が前記第２の面に近接して位置決めされるように、前記基板の前記第１の面の側から対応するアパーチャにファイバを挿入して、前記ファイバが所定の位置で前記アパーチャの側壁と当接するように、前記ファイバを前記曲げ構造体の上で所定の方向に曲げることと、
接着材料を使用して前記曲げられたファイバを互いに結合させることとを具備する方法。
【請求項２】
全てのファイバが同じ方向に曲げられる請求項１の方法。
【請求項３】
前記曲げられたファイバは、所定の空間配置で束にされる請求項１又は２の方法。
【請求項４】
前記接着材料は、にかわ、エポキシ又はエポキシ封止剤を含む請求項１ないし３のいずれか１の方法。
【請求項５】
前記アパーチャ内に前記ファイバ端部を取着することをさらに具備する請求項１ないし４のいずれか１の方法。
【請求項６】
前記アパーチャは、円形部分と、溝の形態の追加部分とからなる横断面形状を有し、
前記ファイバは、前記ファイバが前記アパーチャの側壁と当接する所定の位置が前記追加部分内にあるような方向に曲げられる請求項１ないし５のいずれか１の方法。
【請求項７】
前記曲げられたファイバを互いに結合させることは、
複数の前記曲げられたファイバの周りにモールドを形成することと、
前記モールドを接着剤で充填することと、
前記接着剤を硬化させることとを含む請求項１ないし６のいずれか１の方法。
【請求項８】
第１の面と、対向する第２の面とを有する基板を具備し、前記基板には、前記第１の面から前記第２の面に前記基板を貫通して延びた複数のアパーチャが設けられており、
各々が前記基板の対応するアパーチャの最小直径よりも小さな直径を備えたファイバ端部を有する複数のファイバとを具備し、
各ファイバは、前記ファイバ端部が前記第２の面に近接して位置決めされるように、前記基板の前記第１の面の側から対応するアパーチャに挿入され、前記ファイバは、前記第１の面から出て前記アパーチャから延びている所定の長さを有し、
複数の前記ファイバの前記延びている長さが、所定の方向に曲げられている他の複数の前記ファイバの上で曲げられ、これにより、各ファイバが所定の位置で前記対応するアパーチャの側壁と当接し、
前記ファイバの前記延びている長さは、接着剤を使用して互いに結合される光ファイバの構成体。
【請求項９】
前記基板の前記アパーチャは、感光素子のアレイに対応する位置にアレイ状に配置され、これにより、前記ファイバ端部は、前記ファイバ端部から出射された光が前記感光素子に向けられるように位置決めされる請求項８の光ファイバの構成体。
【請求項１０】
前記ファイバの前記延びている長さは、全て同じ方向に曲げられている請求項８又は９の光ファイバの構成体。
【請求項１１】
前記ファイバの前記延びている長さの少なくとも一部は、接着剤を使用して互いに結合されている請求項８ないし１０のいずれか１の光ファイバの構成体。
【請求項１２】
前記ファイバ端部は、前記アパーチャ内に取着されている請求項８ないし１１のいずれか１の光ファイバの構成体。
【請求項１３】
前記アパーチャは、円形部分と、溝の形態の追加部分とからなる横断面形状を有し、
前記ファイバは、前記ファイバが前記アパーチャの側壁と当接する所定の位置が前記追加部分内にあるような方向に曲げられている請求項８ないし１２のいずれか１の光ファイバの構成体。
【請求項１４】
荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステムで使用する変調装置であって、この変調装置は、
所定のパターンに従って複数の小ビームをパターニングするための小ビームブランカアレイと、
請求項８ないし１３のいずれか１の光ファイバの構成体とを具備し、
前記小ビームブランカアレイは、複数の変調器と、複数の感光素子とを有し、
前記感光素子は、光ビームを伝送するパターンデータを受信して、前記光ビームを電気信号に変換するように構成され、
前記感光素子は、前記少なくとも１つの変調器に前記受信したパターンデータを与えるように、少なくとも１つの変調器に電気的に接続され、
前記光ファイバの構成体内の前記ファイバは、光ビームを伝送する前記パターンデータを与えるように構成されている変調装置。
【請求項１５】
複数の荷電粒子小ビームを使用してターゲット面にパターンを転写するための荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステムであって、このシステムは、
複数の荷電粒子小ビームを発生させるためのビーム発生器と、
所定のパターンに従って前記複数の小ビームをパターニングするための小ビームブランカアレイと、
前記ターゲット面に前記パターニングされた小ビームを投影するための投影システムとを具備し、
前記小ビームブランカアレイは、複数の変調器と、複数の感光素子とを有し、
前記感光素子は、光ビームを伝送するパターンデータを受信して、前記光ビームを電気信号に変換するように構成され、
前記感光素子は、前記少なくとも１つの変調器に前記受信したパターンデータを与えるように、少なくとも１つの変調器に電気的に接続され、
前記小ビームブランカアレイは、請求項８ないし１３のいずれか１の光ファイバの構成体に結合される荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記ファイバは、曲げ構造体の上部で曲げられることができる。前記曲げ構造体は、基板の第１の面の側で基板の一体部分を形成することができるか、前記曲げ構造体は、一時的に取り外し可能な構造体であることができる。ファイバの曲げは、ファイバの部分の曲げられた部分の曲率が曲げ構造体の曲率に追従するように、曲げ構造体の湾曲部分の上でファイバの一部を曲げることによって果たされることができる。基板のアパーチャは、複数の列を有する２次元アレイで配置されることができ、ファイバの各々は、基板の第１の面の側でアパーチャから外に延びているファイバの長さ部分を有し、ファイバの曲げは、アパーチャの第１の列でのファイバの曲げられた部分の曲率が曲げ構造体の曲率に追従するように、曲げ構造体の湾曲部分の上でアパーチャの第１の列に挿入されたファイバを曲げることによって果たされることができる。アパーチャの次の隣接する列に挿入されたファイバの曲げは、アパーチャの第１の列に挿入されたファイバの湾曲部分の上でアパーチャの次の隣接する列に挿入されたファイバを曲げることによって果たされることができる。アパーチャの各列に挿入されたファイバの曲げは、アパーチャの前の列に挿入されたファイバの湾曲部分の上でファイバを曲げることによって果たされることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
図１４Ａは、グリップ装置２００が回転部材２４０と曲げ構造体２５０とを有する比較的大きな装置の一部である状況を示す図である。グリップ装置は、グリップ装置２００がファイバ１６３を曲げることを可能にする方向に回転することができるように、回転部材２４０に装着されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
図示される実施の形態では、グリップ装置は、対応するアパーチャにファイバ１６３を挿入して、曲げ構造体２５０を使用してファイバ１６３を曲げるように構成されている。そして、曲げは、ファイバアレイ基板の第１の面から延びたファイバ１６３の部分が曲げ構造体２５０の上で曲げられることができるか、他のファイバ１６３が既にこの構造体２５０の上部で曲げられている場合には、既に曲げられたファイバ１６３の上で曲げられることができる。曲げ構造体２５０は、所定の曲率での曲げを可能にする。曲げ構造２５０の上での実際の曲げの側面図が、図１４Ｂに示される。