【事件の表示】
　特許第３４２１８３７号「単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置」の請求項１ないし４、７ないし１０に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３４２１８３７号の請求項１ないし４、７ないし１０に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３４２１８３７号の請求項１ないし１０に係る発明の手続きの経緯は、以下のとおりである。
　出願（特願平１０−２８６７９５号）平成１０年１０月８日
　設定登録　　　　　　　　　　　　　平成１５年４月２５日
　特許異議の申立て　　　　　　　　　平成１５年１２月２６日
　（請求項１ないし４、７ないし１０に対して；株式会社　東芝）
　取消理由通知　　　　　　　　　　　平成１６年１０月１４日（起案日）
　意見書　　　　　　　　　　　　　　平成１６年１２月１３日
　
　
２．特許異議の申立ての理由の概要及び取消理由通知の概要について
（１）申立ての理由の概要について
　特許異議申立人は、証拠として本件出願前国内において頒布された甲第１号証（特開平１０−１３９５９９号公報）、甲第２号証（実公平６−２９６３５号公報）、甲第３号証（第５４回　１９９５年度秋季低温工学・超電導学会講演概要集　１９９５年１１月３日発行　Ｐ．４２（Ｂ１−１７））、甲第４号証（特開平６−１３２５６７号公報）、甲第５号証（特開平８−２８８５６０号公報）、甲第６号証（特開平７−１４２２４２号公報）、甲第７号証（特開平８−７８７３７号公報）を提出し、本件請求項１ないし４、７ないし１０に係る発明は、甲第１号証ないし甲第７号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、特許法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべきものである旨主張している。
　
（２）取消理由通知の概要について
　当審で通知した取消理由の概要は、以下のとおりである。
「本件特許の下記の請求項に係る発明は、その出願前日本国内または外国において頒布された下記の刊行物に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
 　　　　　　　　　　　　　　　　　記 
 　 
刊行物１．特開平１０−１３９５９９号公報（申立人の提出した甲第１号証）
刊行物２．実公平６−２９６３５号公報（申立人の提出した甲第２号証）
刊行物３．第５４回　１９９５年度秋季低温工学・超電導学会講演概要集　１９９５年１１月３日発行　Ｐ．４２（Ｂ１−１７）（申立人の提出した甲第３号証）
刊行物４．特開平６−１３２５６７号公報（申立人の提出した甲第４号証）
刊行物５．特開平８−２８８５６０号公報（申立人の提出した甲第５号証）
刊行物６．特開平７−１４２２４２号公報（申立人の提出した甲第６号証）
刊行物７．特開平８−７８７３７号公報（申立人の提出した甲第７号証）
 　 
　本件の請求項１ないし１０に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１ないし１０に記載された事項により特定されるとおりである。 
　上記刊行物１〜７には、特許異議申立書第６頁第１行〜第１０頁第１１行記載の発明が記載されている（ただし、「甲第１号証」〜「甲第７号証」は、それぞれ「刊行物１」〜「刊行物７」と読み替える。）。 
　そして、本件の請求項１ないし４、７ないし１０に係る発明は、特許異議申立書第１０頁第１２行〜第１３頁第１８行記載の理由（ただし、「甲第１号証」〜「甲第７号証」は、それぞれ「刊行物１」〜「刊行物７」と読み替える。）により、上記刊行物１〜７に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 」
　
　
３．本件請求項１ないし４、７ないし１０に係る発明
　本件請求項１ないし４、７ないし１０に係る発明は、特許請求の範囲の請求項１ないし４、７ないし１０に記載された次のとおりのものである。
「　　【請求項１】　溶融シリコンから単結晶半導体を製造する単結晶成長装置における前記溶融シリコンに磁界を与えるための冷凍機冷却型超電導磁石装置において、
　前記単結晶成長装置の周囲に配置され、前記磁界を発生するための超電導コイルを収容した真空容器と、
　前記超電導コイルを冷却するための極低温冷凍機とを備え、
　前記極低温冷凍機、電流導入端子及び真空排気弁を前記真空容器の下部に配置し、
　前記真空容器の下面には前記極低温冷凍機を挿入するための挿入口を設けると共に、該挿入口から前記真空容器内へ延びて前記極低温冷凍機を封止状態で収容するためのスリーブを固定したことを特徴とする単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置。
　　【請求項２】　請求項１記載の冷凍機冷却型超電導磁石装置において、前記極低温冷凍機は第一段、第二段の冷凍ステージを持つ２段冷却式であり、前記超電導コイルは、前記真空容器内で巻枠としてのコイル冷却用熱伝導体で支持されており、前記スリーブにはその先端に前記極低温冷凍機の第二段の冷凍ステージのコールドヘッドと接触する先端伝熱部材を設けると共に、その中間部に前記極低温冷凍機の第一段の冷凍ステージのコールドヘッドと接触する中間伝熱部材を設け、前記極低温冷凍機本体を、前記真空容器内が極低温状態のままで脱着可能な構成としたことを特徴とする単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置。
　　【請求項３】　請求項２記載の冷凍機冷却型超電導磁石装置において、前記真空容器は、前記単結晶成長装置の周囲を囲むことのできる二重円筒構造を有し、前記コイル冷却用熱伝導体は円筒形状を有し、前記超電導コイル及び前記コイル冷却用熱伝導体は、前記スリーブの上部と共に、前記真空容器内に配置された二重円筒型の熱輻射シールド体に収容されており、該熱輻射シールド体と前記スリーブとの間の熱収縮による応力発生を防止するために、前記スリーブの前記中間伝熱部材と前記熱輻射シールド体との間を網線や多層板による可撓性伝熱体で連結したことを特徴とする単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置。
　　【請求項４】　請求項２記載の冷凍機冷却型超電導磁石装置において、前記コイル冷却用熱伝導体と前記スリーブとの間の熱収縮による応力発生を防止するために、前記スリーブの前記先端伝熱部材と前記コイル冷却用熱伝導体に設けられた接続部とを多層板状可撓伝熱体で連結したことを特徴とする単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置。」
「　　【請求項７】　請求項２記載の冷凍機冷却型超電導磁石装置において、前記超電導コイルは、前記溶融シリコンに対してカスプ状磁界を与えるための２つのコイルから成り、各コイルは前記コイル冷却用熱伝導体の上下において該真空容器の中心と同心となるように巻回されていることを特徴とする単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置。
　　【請求項８】　請求項３記載の冷凍機冷却型超電導磁石装置において、前記超電導コイルへ電流を供給するための酸化物超電導体製の電流リードを備え、該電流リードの一端は前記コイル冷却用熱伝導体に熱アンカーをとり、前記電流リードの他端は前記熱輻射シールド体に熱アンカーをとり、前記電流リードの少なくとも一端を自由端とすることを特徴とする単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置。
　　【請求項９】　請求項１記載の冷凍機冷却型超電導磁石装置において、前記真空容器の外周に磁気シールド体を設けて、外周部の漏洩磁界を低減できるようにしたことを特徴とする単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置。
　　【請求項１０】　請求項１記載の冷凍機冷却型超電導磁石装置において、前記極低温冷凍機を少なくとも２つ、互いに隣接させて、あるいは前記真空容器の直径方向に関して対向する位置に配置したことを特徴とする単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置。」
　
　
４．引用刊行物に記載された発明
　当審で通知した取消理由で引用した刊行物１（特開平１０−１３９５９９号公報（申立人の提出した甲第１号証））には、「単結晶引上げ装置用超電導磁石」（発明の名称）であり、「【０００３】これらの要求を満たす単結晶引上げ方法の１つとしてるつぼ内に融解した半導体材料に磁場を印加させることで、その融解液に発生する熱対流を止め、大口径かつ高品質の半導体を製造する方法が知られている。これを一般にチョクラルスキー（ＣＺ）法と称している。」こと、
「【０００６】しかし、融解液の半導体材料６はクライオスタット５に内蔵された超電導コイル４の発生する磁力線７によって力が加えられ、るつぼ２内で対流することなく、ゆっくりと引上げ方向８の向きに引上げられて固体の単結晶９として製造される。」こと、
「【０００８】なお、符号11は２つの超電導コイル４ａ，４ｂに電流を導入する電流リード、12はクライオスタット５ａ内部に納められた輻射シールド（図示せず）を冷却するための小型ヘリウム冷凍機、13はクライオスタット５ａ内のヘリウムガスを放出するガス放出管、14は液体ヘリウムを補給する補給口を有するサービスポートをそれぞれ示している。ボア寸法15内には、図７に示した引上げ炉１が配設される。」こと、
「【００３８】つぎに図３により本発明に係る単結晶引上げ装置用超電導磁石の第２の実施の形態を説明する。なお、図３中図１および図２と同一部分には同一符号を付して重複する部分の説明は省略する。
【００３９】本実施の形態が第１の実施の形態と異なる点は一対のクライオスタット25ａ，25ｂを上下に配置し単結晶９の引上げ方向８と同軸にサポート27を介して設置したことにあり、その他の部分は図２に示した例をそのまま全て縦向きに構成している。
【００４０】すなわち、引上げ炉１はクライオスタット25ａ，25ｂに設けた貫通孔32ａ，32ｂの内側に配置され、超電導コイル26ａ，26ｂは縦方向に磁場を発生できるようになっており、その他の構成は第１の実施の形態と同様である。
【００４１】本実施の形態は第１の実施の形態と同様にヘルムホルツ型またはカスプ型磁場の選択が容易にできる。また、磁場中心を互いの超電導コイル26ａ，26ｂの電流値を変えるだけで、るつぼ２内の半導体用単結晶材料を融解した融解液面33の移動に沿って磁場中心を移動できる。」こと、
「【００４３】本実施の形態が第１の実施の形態と異なる点は図１に示した冷媒補給口のあるサービスポート30ａまたは30ｂを削除したことであり、その他は全て図１と同様の構成となっている。
【００４４】本実施の形態においては、冷媒とそれを収納する冷媒容器を有しておらず、また、超電導コイル26ａ（26ｂ）は小型ヘリウム冷凍機29ａによって冷却されている。超電導コイル26ａ（26ｂ）は輻射シールド17で覆われており、これらは真空容器19内に収納されている。電流リード28ａは超電導コイル26ａに電流を供給する。」ことが、図１〜図１２と共に記載されている。
　
　同刊行物２（実公平６−２９６３５号公報（申立人の提出した甲第２号証））には、「しや蔽体２５は外側真空ジヤケツト２６によつて囲われる。」（第３頁第６欄第３８〜３９行）こと、「銅で造られた内側フランジ３２にその終端を置く３つの同心円筒を含む３重壁３１によつて構成される。３重壁３１は、室温と外側しや蔽体２６との間の伝熱経路の長さを増大させる。フランジ３２は、第２図におけるフランジ１３に相当し、高い伝導性の銅組物リンク３３は、フランジ３２と、輻射しや蔽体２５と連結された別の銅フランジ３４との間に半田付けされる。ハウジング２８は、フランジ３２の半径方向内側面に密封され、その下側においてその外側面に対して密封された銅の先端部分３６を支持する別の内側の、円筒形壁部分３５をもつている。銅組物リンク３７が先端部分３６と、壁２４と連結された銅板３８との半田付けされる。」（第４頁第７欄第１〜１２行）こと、「もし、冷凍ユニツト８を取外しまたは交換することが望まれれば、その外側端においてボルトを弛めて支持ハウジング２８から抜き出す。この取外しは低温保持装置のジヤケツトへの出入口を開けないので、それらのジヤケツト内の真空は破壊されない。」（第４頁第７欄第２４〜２８行）ことが、第１図、第３図と共に記載されている。
　
　同刊行物３（第５４回　１９９５年度秋季低温工学・超電導学会講演概要集　１９９５年１１月３日発行　Ｐ．４２（Ｂ１−１７）（申立人の提出した甲第３号証））には、図１において、超伝導マグネットの下部に電流導入端子及び極低温冷凍機に相当するものが、示唆されている。
　
　同刊行物４（特開平６−１３２５６７号公報（申立人の提出した甲第４号証））には、「【００１９】図１は、伝導冷却型超電導磁石装置１の一部縦断面図であって、この伝導冷却型超電導磁石装置１は、基台２と、真空容器（クライオスタット）３と、熱シールド板４と、超電導コイル５と、正負極一対の高温超電導電流リード６と、蓄冷式冷凍機７と、外部電源８とを有する。
【００２０】真空容器３は、真空としたその内部に熱シールド板４と、超電導コイル５と、高温超電導電流リード６と、蓄冷式冷凍機７の第一段冷却ステージ７Ａおよび第二段冷却ステージ７Ｂとを収容している。」こと、
「【００５１】たとえば、図４に示すような構造である。すなわち、電流リードバルク１５の低温側端部は、ハンダ付けによりこれを低温側電極１６に固定支持している。
【００５２】また高温側端部は、高温側電極１４にこれをハンダ付けするが、この高温側電極１４と第一段冷却ステージ７Ａとの間には、高温側絶縁材２０、銅板１９、熱アンカー銅線１９を介在させてこれを自由端としてある。」ことが、図１、図４と共に記載されている。
　
　同刊行物５（特開平８−２８８５６０号公報（申立人の提出した甲第５号証））には、「【００４６】実施例７．図６はこの発明の実施例７による超電導マグネットを示す断面図であり、図６において、９３は超電導コイル１を冷却する液体ヘリウム、９５は超電導コイル１を収納し、液体ヘリウム９３を貯蔵する第１液体ヘリウム槽である。９７は超電導コイル１を冷却する液体ヘリウム９３を貯蔵する第２液体ヘリウム槽であり、蓄冷型冷凍機１３の低温側ステージ１７によって冷却されている。６９は第１輻射シールド６１及び第１液体ヘリウム槽９５を介して超電導コイル１を第１真空槽６３に保持する支持部材である。７５は第１輻射シールド６１と第２輻射シールド６５とを熱的に接続する可撓体（輻射シールド可撓体）である。７７は第１真空槽６３と第２真空槽６７とを気密に接続する緩衝部材（真空槽緩衝部材）である。９９は第１液体ヘリウム槽９５と第２液体ヘリウム槽９７とを気密に接続する緩衝部材（液体ヘリウム槽緩衝部材）であり、例えば、ベローズで構成されている。」ことが、図６と共に記載されている。
　
　同刊行物６（特開平７−１４２２４２号公報（申立人の提出した甲第６号証））には、「【０００９】
【実施例】以下、図面を参照しながら実施例を説明する。図１には本発明の一実施例に係る超電導磁石装置が示されている。この超電導磁石装置は、内部が真空雰囲気となるように排気された真空容器１を備えている。」こと、
「【００１１】熱シールド板９で囲まれた環状空間１０内には、熱シールド板９とは非接触に、かつ筒体６と同心的に超電導コイル１１，１２が配置されており、これら超電導コイル１１，１２はそれぞれ吸熱部材１３，１４を介して熱伝導部材１５，１６に熱的に接続されている。」こと、
「【００２１】熱伝導部材２７，２８は、図３に示すように、銅やアルミニウム等で厚さが0.05mm程度の帯状に形成された伝熱板３１を互いの間に所定の間隔をあけて複数枚積層し、これら伝熱板３１の両端部のみに銅、アルミニウムあるいはインジウム等で形成されたスペーサ３２を介在させて熱流端子３３ａ，３３ｂを構成したものとなっている。このように構成された熱伝導部材２７，２８の熱流端子３３ａ，３３ｂが、これら端子間に十分な長さの余裕を持たせて対応部分にボルト等を介して熱的および機械的に接続されている。」こと、
「【００３８】また、図８に示すように、性能がほぼ等しい２台のＧＭ冷凍機２２を設け、各ＧＭ冷凍機２２の第１段冷却ステージ２３で熱シールド板９を共通に伝導冷却し、第２段冷却ステージ２４で超電導コイル１１を共通に伝導冷却するようにしてよい。勿論、熱シールド板を二重以上設ける場合には、それに対応した段数の冷却ステージを持つＧＭ冷凍機を用いてもよいし、これら熱シールド板を別々にＧＭ冷凍機で伝導冷却してもよい。」ことが、図１、図３、図８と共に記載されている。
　
　同刊行物７（特開平８−７８７３７号公報（申立人の提出した甲第７号証））には、「【００６７】実施例９．図９は、この発明の実施例９に係るクライストロン用超電導マグネットを示す断面図である。図において、３０は第１真空槽５ａを包囲するように配設した磁気シールドである。２段ＧＭ冷凍機６は磁気シールド３０に対して超電導コイル１と反対側に配設されているため、超電導コイル１の磁場は２段型ＧＭ冷凍機６にほとんど影響を与えない。従って超電導コイル１で強磁場を発生しても２段ＧＭ冷凍機６の冷凍能力、信頼性に影響を及ぼすことはない。また、低温側の電流リード３ａに高温超電導体を使用しており、高温超電導体は磁場の影響が小さい方がより電流が流れるという特性がある。このためこの実施例では、低温側の電流リード３ａを磁気シールド３０に対して超電導コイル１と反対側に配設し、電流リードの中温部と第２輻射シールド４ｂと熱的に接続している。このように構成することにより、性能が向上する。この実施例における超電導マグネットにおいて、真空槽４ａの中空の部分を電子が運動する。この中空の部分には超電導コイル１が発生した磁場が存在するため電子の運動が規制される。」ことが、図９と共に記載されている。
　
　
５．対比・判断
（１）本件請求項１に係る発明について
　本件請求項１に係る発明と上記刊行物１に記載の発明とを対比すると、上記刊行物１に記載の発明には、本件請求項１に係る発明の構成要件である「前記極低温冷凍機、電流導入端子及び真空排気弁を前記真空容器の下部に配置し、
　前記真空容器の下面には前記極低温冷凍機を挿入するための挿入口を設けると共に、該挿入口から前記真空容器内へ延びて前記極低温冷凍機を封止状態で収容するためのスリーブを固定したこと」について、記載されていない点で相違している。
　この相違点について検討すると、上記刊行物２には、低温保持装置に関して、本件請求項１に係る発明の「前記極低温冷凍機を挿入するための挿入口を設けると共に、該挿入口から前記真空容器内へ延びて前記極低温冷凍機を封止状態で収容するためのスリーブを固定したこと」に相当する構成が認められるが、この構成は、真空容器の上面側に相当する部分に設けられたものであり、本件請求項１に係る発明の真空容器の下面に設けたものと相違している。また、上記刊行物２に記載の低温保持装置は、超伝導コイルによる電磁石を備えてはいるが、核磁気共鳴画像処理分野のものであり、単結晶引上げ装置用のものではない。
　上記刊行物３、４には、本件請求項１に係る発明の「前記極低温冷凍機、電流導入端子を前記真空容器の下部に配置し」たことに相当する記載が認められるが、上記刊行物３に記載のものは、Ｘ線回折装置用超伝導マグネットであり、単結晶引上げ装置用のものではなく、また、上記刊行物４に記載のものは、その用途についての記載はないが、図１、図３の構造を参照すると、本件請求項１に係る発明の「前記単結晶成長装置の周囲に配置され、前記磁界を発生するための超電導コイルを収容した真空容器」の構成は備えておらず、単結晶引上げ装置用と認めることはできない。
　さらに、上記刊行物５〜７に記載のものは、いずれも、本件請求項１に係る発明の上記構成要件である「前記極低温冷凍機、電流導入端子及び真空排気弁を前記真空容器の下部に配置し、
　前記真空容器の下面には前記極低温冷凍機を挿入するための挿入口を設けると共に、該挿入口から前記真空容器内へ延びて前記極低温冷凍機を封止状態で収容するためのスリーブを固定したこと」について、記載されておらず、また、単結晶引上げ装置用と認めることはできない。
　してみると、上記刊行物２〜７に記載の発明は、いずれも単結晶引上げ装置用のものではないので、上記刊行物１に記載のような、単結晶引上げ装置用の発明に、単純に適用することはできず、また、上記刊行物１に記載の発明に、単結晶引上げ装置用のものではない、上記刊行物２〜７に記載のものを組み合わせたとしても、単結晶引上げ装置用として、装置の上部が完全にフラットとなり、作業性・安全性の向上を図ることができるという、本件請求項１に係る発明が奏する明細書記載の格別に顕著な作用・効果を得ることはできないものである。
　したがって、本件請求項１に係る発明は、上記刊行物１〜７に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
（２）本件請求項２ないし４、７ないし１０に係る発明について
　本件請求項２ないし４、７ないし１０に係る発明は、少なくとも、本件請求項１に係る発明を、直接的あるいは間接的に引用している発明である。
　したがって、本件請求項２ないし４、７ないし１０に係る発明は、本件請求項１に係る発明と同様な理由により、上記刊行物１〜７に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１ないし４、７ないし１０に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１ないし４、７ないし１０に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年５月３１日（２００５．５．３１）