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【手続補正書】
【提出日】平成26年12月19日(2014.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一体にされた照明源をもつ入れ子式の細長の支持要素を備える照明装置。
【請求項２】
前記細長の支持要素は、収縮形態と伸張形態との間で往復移動するように適合した複数のセクションを含む請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記照明源は、前記セクションのうちの１つに一体にされる請求項２に記載の照明装置。
【請求項４】
前記照明源は、前記細長の支持要素における長手方向に延在するチャネル又は溝内で保持される請求項１〜３のいずれか一項に記載の照明装置。
【請求項５】
前記照明源は、複数の発光ダイオードである請求項１〜４のいずれか一項に記載の照明装置。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月25日(2014.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を発生する少なくとも１つの光源と、
電気絶縁性ヒートシンクエレメントと、
導電層と、を有する照明装置であって、
前記少なくとも１つの光源は、前記導電層に接触して配置され、該導電層は、前記ヒートシンクエレメントに機械的固定手段により取り付けられ、該導電層は、前記ヒートシンクエレメントの周囲に、折り曲げ軸の周りに折り曲げられている、
照明装置。
【請求項２】
前記固定手段は機械力を所定の位置に分散させる、請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記固定手段がクランプである、請求項１に記載の照明装置。
【請求項４】
前記導電層が前記少なくとも１つの光源の給電のためのリード線を有する、請求項１に記載の照明装置。
【請求項５】
前記導電層が可撓性である、請求項１に記載の照明装置。
【請求項６】
前記導電層に配置された絶縁層を更に有する、請求項１に記載の照明装置。
【請求項７】
存在する場合の前記絶縁層及び／又は前記固定手段が反射性である、請求項１に記載の照明装置。
【請求項８】
前記導電層が前記固定手段に配置される、請求項１に記載の照明装置。
【請求項９】
前記導電層と前記固定手段が一致する、請求項１又は３に記載の照明装置。
【請求項１０】
前記固定手段が、前記ヒートシンクエレメントにおける前記導電層の形状に対応する形状を持つ凹部であり、
前記導電層が前記ヒートシンクエレメントに接着される、
請求項１に記載の照明装置。
【請求項１１】
前記少なくとも１つの光源まで延びる可撓性の線状電気接続手段を更に有する、請求項９又は１０に記載の照明装置。
【請求項１２】
前記線状電気接続手段の各々が、前記ヒートシンクエレメントにおける当該線状電気接続手段が延びる光源とは反対の側に配置される、請求項１１に記載の照明装置。
【請求項１３】
前記ヒートシンクエレメントが、間に重なり領域が画定される２つの重なり合う部分を有し、前記重なり領域に前記線状電気接続手段が配置される、請求項１２に記載の照明装置。
【請求項１４】
前記光源及び前記ヒートシンクエレメントを包囲する外囲体を更に有する、請求項１に記載の照明装置。
【請求項１５】
照明装置を提供する方法であって、
導電層を準備することと、
前記導電層の上面に少なくとも１つの光源を取り付けることと、
前記導電層を折り曲げ軸の周りに折り曲げることと、
前記導電層を電気的に絶縁性のヒートシンクエレメントに、該導電層の下面が前記ヒートシンクエレメントに直接接触するように固定することと、を含み、
前記導電層を前記ヒートシンクエレメントに固定することが、機械的固定手段により実行され、該導電層は、前記ヒートシンクエレメントの周囲に折り曲げられる、
方法。
【手続補正書】
【提出日】平成27年2月27日(2015.2.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源コントローラであって、
複数のレジスタを有する第１のメモリと、
前記複数のレジスタに接続されるマルチプレクサであって、利得選択メッセージを受け取り、前記利得選択メッセージに応答して前記複数のレジスタの１つからのオフセットデジタルワードを通過させる、前記マルチプレクサと、
検出されたパワーを表す検出されたデジタルワードと前記オフセットデジタルワードとを共に加算し、応答して加算されたデジタルワードを生成するように前記マルチプレクサに接続される加算器と、
前記加算されたデジタルワードを受け取るように前記加算器に接続される第２のメモリであって、前記加算されたデジタルワードをアドレスとして受け取り、前記アドレスで前記第２のメモリにストアされた電圧デジタルワードを出力する、前記第２のメモリと、
を含む、電源コントローラ。
【請求項２】
請求項１に記載の電源コントローラであって、
検出されたパワー信号を前記検出されたデジタルワードに変換するように前記加算器に接続されるアナログデジタル（Ａ／Ｄ）コンバータを更に含む、電源コントローラ。
【請求項３】
請求項２に記載の電源コントローラであって、
前記第２のメモリから出力される前記電圧デジタルワードを制御電圧に変換するように前記第２のメモリに接続されるデジタルアナログ（Ｄ／Ａ）コンバータを更に含む、電源コントローラ。
【請求項４】
請求項３に記載の電源コントローラであって、
フィルタされていない供給電圧を生成するように前記Ｄ／Ａコンバータに接続されるＤＣ−ＤＣコンバータを更に含み、前記フィルタされていない供給電圧の大きさが前記制御電圧により定義される、電源コントローラ。
【請求項５】
請求項４に記載の電源コントローラであって、
前記フィルタされていない供給電圧をフィルタし、電源電圧を通過させるように前記ＤＣ−ＤＣコンバータに接続されるＬＣフィルタを更に含む、電源コントローラ。
【請求項６】
パワー回路であって、
電源コントローラであって、
複数のレジスタを有する第１のメモリと、
前記複数のレジスタに接続されるマルチプレクサであって、利得選択メッセージを受け取り、前記利得選択メッセージに応答して前記複数のレジスタの１つからのオフセットデジタルワードを通過させる、前記マルチプレクサと、
検出されたデジタルワードと前記オフセットデジタルワードとを共に加算し、応答して加算されたデジタルワードを生成するように前記マルチプレクサに接続される加算器であって、前記検出されたデジタルワードが検出された電力を表す、前記加算器と、
前記加算されたデジタルワードを受け取るように前記加算器に接続される第２のメモリであって、前記加算されたデジタルワードをアドレスとして受け取り、前記アドレスで前記第２のメモリにストアされた電圧デジタルワードを出力する、前記第２のメモリと、
を含む、前記電源コントローラと、
前記利得選択メッセージを受け取るように接続されるマルチゲインステップパワーアンプであって、前記利得選択メッセージにより定義される利得により入力信号パワーを増幅する、前記マルチゲインステップパワーアンプと、
を含む、パワー回路。
【請求項７】
請求項６に記載のパワー回路であって、
前記電源コントローラが、検出されたパワー信号を前記検出されたデジタルワードに変換するように前記加算器に接続されるアナログデジタル（Ａ／Ｄ）コンバータを更に含む、パワー回路。
【請求項８】
請求項７に記載のパワー回路であって、
前記電源コントローラが、前記第２のメモリから出力される前記電圧デジタルワードを制御電圧に変換するように前記第２のメモリに接続されるデジタルアナログ（Ｄ／Ａ）コンバータを更に含む、パワー回路。
【請求項９】
請求項８に記載のパワー回路であって、
前記電源コントローラが、フィルタされていない供給電圧を生成するように前記Ｄ／Ａコンバータに接続されるＤＣ−ＤＣコンバータを更に含み、前記フィルタされていない供給電圧の大きさが前記制御電圧により定義される、パワー回路。
【請求項１０】
請求項９に記載のパワー回路であって、
前記電源コントローラが、前記フィルタされていない供給電圧をフィルタし、電源電圧を前記マルチゲインステップパワーアンプに通過させるように前記ＤＣ−ＤＣコンバータに接続されるＬＣフィルタを更に含む、パワー回路。
【請求項１１】
請求項１０に記載のパワー回路であって、
前記マルチゲインステップパワーアンプのパワーを検出し、応答して前記検出されたパワー信号を出力する、パワー検出器を更に含む、パワー回路。
【請求項１２】
電源電圧を制御する方法であって、
利得選択信号に応じて複数のオフセットデジタルワードのオフセットデジタルワードを通過させることと、
加算されたデジタルワードを形成するため前記オフセットデジタルワードを検出されたデジタルワードに付加することと、
前記加算されたデジタルワードをメモリへのアドレスとして受け取ることであって、前記メモリが前記アドレスで前記メモリにストアされた電圧デジタルワードを出力する、前記受け取ることと、
を含む、方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の方法であって、
アナログの検出されたパワー信号を前記検出されたデジタルワードに変換することを更に含む、方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の方法であって、
前記電圧デジタルワードをアナログ制御信号に変換することを更に含む、方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の方法であって、
前記アナログ制御信号の大きさに応答してフィルタされていない電源電圧を生成することを更に含む、方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の方法であって、
フィルタされた電源電圧を出力するため前記フィルタされていない電源電圧をフィルタすることを更に含む、方法。
【手続補正書】
【提出日】平成26年11月21日(2014.11.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディジタルライブネットワークアライアンス階層の所定のサブカテゴリを用いて分類されたデータを細分類するステップと、
所望の検索結果を取得するために限定されたフィルタリング処理が要求側のクライアントにより実行されなければならず、かつ分類されたデータの細分類を行わない場合と比較して要求側のクライアントに検索結果を通知するために前記検索結果が少ない帯域幅しか必要としないように、前記ディジタルライブネットワークアライアンス階層の表示されるサブカテゴリを用いて、再分類されたデータの検索の開始を可能にするために、再分類されたデータを階層的な形式で表示するステップと
を有するデータ分類方法。
【請求項２】
前記サブカテゴリが、低、中及び高ビットレートビデオファイルを含む、請求項１に記載のデータ分類方法。
【請求項３】
前記分類されたデータが電子番組ガイドのデータを含む、請求項１に記載のデータ分類方法。
【請求項４】
前記細分類がコンテンツディレクトリサービスの側で実行される、請求項１に記載のデータ分類方法。
【請求項５】
前記分類されたデータを細分類したデータを探すために、少なくとも１つのユニバーサルプラグアンドプレイ属性が使用される、請求項１に記載のデータ分類方法。
【請求項６】
データ分類装置であって、
プログラムルーチン及びデータを保存するメモリと、
前記プログラムルーチンを実行するプロセッサと
を有し、前記プロセッサは、前記プログラムルーチンを実行する場合に、データ分類方法を実行し、前記データ分類方法は、
ディジタルライブネットワークアライアンス階層の所定のサブカテゴリを用いて分類されたデータを細分類するステップと、
所望の検索結果を取得するために限定されたフィルタリング処理が要求側のクライアントにより実行されなければならず、かつ分類されたデータの細分類を行わない場合と比較して要求側のクライアントに検索結果を通知するために前記検索結果が少ない帯域幅しか必要としないように、前記ディジタルライブネットワークアライアンス階層の表示されるサブカテゴリを用いて、再分類されたデータの検索の開始を可能にするために、再分類されたデータを階層的な形式で表示するステップと
を有する、データ分類装置。
【請求項７】
当該データ分類装置がセットトップボックスを形成する、請求項６に記載のデータ分類装置。
【請求項８】
当該データ分類装置がパーソナルビデオレコーダを形成する、請求項７に記載のデータ分類装置。
【請求項９】
当該データ分類装置がディジタルビデオレコーダを形成する、請求項７に記載のデータ分類装置。  
【請求項１０】
当該データ分類装置がコンテンツプロバイダサーバを形成する、請求項７に記載のデータ分類装置。
【手続補正書】
【提出日】平成27年2月6日(2015.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
特にＥＵＶ投影露光装置において光学素子を取り付ける機構であって、
前記光学素子に制御可能な力を加える少なくとも１つのアクチュエータ（３５０、４５０、５５０）であり、
該アクチュエータ（３５０、４５０、５５０）と前記光学素子との間にピン（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０）の形態の機械的結合を、前記アクチュエータ（３５０、４５０、５５０）の駆動軸に対して横方向の剛性に対する前記機械的結合の軸方向の剛性の比が少なくとも１００であるよう具現したアクチュエータ（３５０、４５０、５５０）と、
横方向の前記ピン（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０）の固有振動形態の減衰をもたらす少なくとも１つの減衰要素（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）と
を備え、
前記減衰要素（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）は、軸方向の前記ピン（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０）の固有振動形態を少なくとも実質的に減衰させないよう配置されたことを特徴とする機構。
【請求項２】
請求項１に記載の機構において、軸方向のＬｅｈｒ減衰係数は、好ましくは１％以下であることを特徴とする機構。
【請求項３】
請求項１または２に記載の機構において、前記減衰要素（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）は、前記固有振動形態の臨界減衰の少なくとも１％である減衰度を有することを特徴とする機構。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の機構において、前記減衰要素（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）を、ゴム、特にフッ素ゴム（ＦＫＭ）、フッ素系エラストマー、又はパーフルオロゴム（ＦＦＫＭ）を含む群に属する材料から製造したことを特徴とする機構。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の機構において、前記減衰要素（１３０、３３０）は、前記ピン（１１０、３１０）の外面上に配置され、好ましくは鍔状又はリング状に前記ピン（１１０、３１０）を囲むことを特徴とする機構。
【請求項６】
請求項５に記載の機構において、前記減衰要素（３３０）を、前記ピン（３１０）とさらに別のコンポーネント、特に前記ピン（３１０）を囲むスリーブ（３４０）との間に配置したことを特徴とする機構。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の機構において、前記減衰要素（４３０、５３０）を、前記アクチュエータ（３５０、５５０）上で支持されるよう配置したことを特徴とする機構。
【請求項８】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の機構において、前記減衰要素（４３０、５３０）を、前記アクチュエータ（３５０、５５０）と固定構造（４６０、５６０）、特にアクチュエータハウジングとの間に配置したことを特徴とする機構。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の機構において、前記減衰要素（４３０、５３０、６３０）を、前記アクチュエータ（４５０、０５５０）の駆動軸に対する前記アクチュエータ（３５０、５５０）の横方向運動の減衰をもたらすよう配置したことを特徴とする機構。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の機構において、前記減衰要素（６３０）は、前記アクチュエータの駆動軸に対して軸方向の該アクチュエータ用のガイドを形成することを特徴とする機構。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の機構において、前記減衰要素（６３０）は、横方向の剛性を高める構造を有することを特徴とする機構。
【請求項１２】
請求項１１に記載の機構において、前記構造はビードを有することを特徴とする機構。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の機構において、前記減衰要素（１３０）を膜の形態で具現したことを特徴とする機構。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか１項に記載の機構において、前記ピン（１１０、２１０、３１０）は、少なくとも２つの自在継手（１２０、１２１、２２０、２２１、３２０、３２１）を有することを特徴とする機構。
【請求項１５】
請求項１４に記載の機構において、前記減衰要素（１３０、２３０、３３０）を、前記自在継手（１２０、１２１、２２０、２２１、３２０、３２１）の１つから前記ピン（１１０、２１０、３１０）の全長の５％未満、特に１％未満である距離に配置したことを特徴とする機構。
【請求項１６】
請求項１４又は１５に記載の機構において、前記自在継手の少なくとも１つ（２２１）は、前記減衰要素（２３０）を配置する切欠（２２１ａ）を有することを特徴とする機構。
【請求項１７】
請求項１６に記載の機構において、前記切欠（２２１ａ）は、前記自在継手（２２１）を貫通する貫通孔であることを特徴とする機構。
【請求項１８】
請求項１〜１７のいずれか１項に記載の機構において、前記光学素子はミラーであることを特徴とする機構。
【請求項１９】
光学素子を取り付ける機構を備えるＥＵＶ投影露光装置であって、該機構は、
前記光学素子に制御可能な力を加える少なくとも１つのアクチュエータ（３５０、４５０、５５０）であり、
該アクチュエータ（３５０、４５０、５５０）と前記光学素子との間にピン（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０）の形態の機械的結合を、前記アクチュエータ（３５０、４５０、５５０）の駆動軸に対して横方向の剛性に対する前記機械的結合の軸方向の剛性の比が少なくとも１００であるよう具現したアクチュエータ（３５０、４５０、５５０）と、
横方向の前記ピン（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０）の固有振動形態の減衰をもたらす少なくとも１つの減衰要素（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）と
を備えたＥＵＶ投影露光装置。
【請求項２０】
特にＥＵＶ投影露光装置において光学素子を取り付ける機構であって、
前記光学素子に制御可能な力を加える少なくとも１つのアクチュエータ（３５０、４５０、５５０）であり、
該アクチュエータ（３５０、４５０、５５０）と前記光学素子との間にピン（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０）の形態の機械的結合を、前記アクチュエータ（３５０、４５０、５５０）の駆動軸に対して横方向の剛性に対する前記機械的結合の軸方向の剛性の比が少なくとも１００であるよう具現したアクチュエータ（３５０、４５０、５５０）と、
横方向の前記ピン（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０）の固有振動形態の減衰をもたらす少なくとも１つの減衰要素（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）と
を備え、
少なくとも１つのピンが、前記光学素子の重さの少なくとも一部を支える機構。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月29日(2015.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ローラシェードにおいて、
ほぼ円筒形の外面と中空の内側とを有するチューブロールと、
前記チューブロールに取り付けられたシェードと、
前記チューブロールの中空の内側に配置されたスリーブであって、ある長さで延在し、内面と外面を有し、可撓性があるスリーブとを具え、
前記スリーブが、前記スリーブ内に設けられ当該スリーブの長さで延在する連続的な中空のバッテリ受容空間を有し、前記バッテリ受容空間が拡張し、前記スリーブの内面が少なくとも部分的に前記複数のバッテリと接触するように前記スリーブが撓んで前記バッテリ受容空間内に複数のバッテリを収容しており、
前記チューブロールが回転されると、前記シェードが前記チューブロールの周囲に巻き付けられるか巻き戻されて前記シェードが開閉され、
前記チューブロールが回転されるとき、前記スリーブが前記複数のバッテリをその位置に保持し、これにより前記チューブロールに対する前記複数のバッテリの動きが低減されることを特徴とするバッテリ保持装置。
【請求項２】
請求項１に記載の発明において、さらに、前記スリーブ内に形成された１以上の接続手段を具えることを特徴とする発明。
【請求項３】
請求項１に記載の発明において、さらに、前記スリーブ内に形成された１以上の接続手段を具え、前記接続手段は前記チューブロールの中空の内側の内面に連結することを特徴とする発明。
【請求項４】
請求項１に記載の発明において、さらに、前記スリーブ内に形成された１以上の接続手段を具え、当該スリーブ内に形成された接続手段は、前記チューブロール内のチューブロール接続手段と協働して前記チューブロールに対する前記スリーブの動きを低減することを特徴とする発明。
【請求項５】
請求項１に記載の発明において、
前記スリーブ内の切欠きをさらに含むことを特徴とする発明。
【請求項６】
ローラシェードにおいて、
ほぼ円筒形の外面と中空の内側とを有するチューブロールと、
前記チューブロールに取り付けられたシェードと、
前記チューブロールの中空の内側に配置され、中空の内側を有するバッテリチューブと、
前記バッテリチューブ内に配置されたスリーブであって、ある長さで延在し、内面と外面を有し、可撓性があるスリーブとを具え、
前記スリーブが、前記スリーブ内に設けられ当該スリーブの長さで延在する連続的な中空のバッテリ受容空間を有し、前記バッテリ受容空間が拡張し、前記スリーブの内面が少なくとも部分的に前記複数のバッテリと接触するように前記スリーブが撓んで前記バッテリ受容空間内に複数のバッテリを収容しており、
前記チューブロールが回転されると、前記シェードが前記チューブロールの周囲に巻き付けられるか巻き戻されて前記シェードが開閉され、
前記チューブロールが回転されるとき、前記スリーブが前記複数のバッテリをその位置に保持し、これにより前記チューブロールに対する前記複数のバッテリの動きが低減されることを特徴とするバッテリ保持装置。
【請求項７】
請求項６に記載の発明において、前記スリーブはＣ字形であり、第１の指状部と第２の指状部とを具えることを特徴とする発明。
【請求項８】
請求項６に記載の発明において、さらに前記スリーブ内に１以上の接続手段を具え、当該接続手段は突起であることを特徴とする発明。
【請求項９】
請求項６に記載の発明において、
前記スリーブ内の切欠きをさらに含むことを特徴とする発明。
【請求項１０】
請求項１に記載の機器において、前記スリーブ内に端と端を接して配列された１より多いバッテリを有し、前記スリーブがチューブロールの回転時にバッテリの動きを低減することを特徴とする機器。
【請求項１１】
請求項１に記載の機器において、前記スリーブは端部開口を有し、前記複数のバッテリが前記スリーブの端部開口から出し入れされることを特徴とする機器。
【請求項１２】
請求項１に記載の機器において、さらに、前記チューブロール内に配置されたバッテリチューブを具え、前記スリーブは前記チューブロール内のバッテリチューブ内に配置されることを特徴とする機器。
【請求項１３】
請求項１に記載の機器において、前記チューブロールの回転が、前記スリーブと前記複数のバッテリを同時に回転させることを特徴とする機器。
【請求項１４】
請求項６に記載の機器において、前記スリーブ内の複数のバッテリは、端と端を接して配置されることを特徴とする機器。
【請求項１５】
請求項６に記載の機器において、前記スリーブは端部開口を有し、前記複数のバッテリが前記スリーブの端部開口から出し入れされることを特徴とする機器。
【請求項１６】
請求項６に記載の機器において、前記バッテリチューブの外面が前記チューブロールの内面と接することを特徴とする機器。
【請求項１７】
請求項１６に記載の機器において、前記チューブロールの回転が、前記スリーブと前記複数のバッテリを同時に回転させることを特徴とする機器。
【手続補正書】
【提出日】平成26年11月7日(2014.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像編成方法であって、ユーザコンピューティング装置において、  複数の画像を備える画像セットを受信するステップと、  前記画像セット内の各画像の部分を、異なる地理的位置タグに対応する複数の視覚キューを含む検証済みのキューライブラリと比較するステップであって、    前記画像セットの選択された画像についてユーザ提供の位置タグを受信するステップと、    前記画像セットの他の各画像の部分を、前記ユーザ提供の位置タグに対応する視覚キューと比較するステップと  を含むステップと、  前記部分と合致する視覚キューに対応する推奨された位置タグを含む、推奨パネルを表示するステップと、  前記ユーザ提供の位置タグを、前記ユーザ提供の位置タグに対応する前記視覚キューに合致する部分を有する画像に割り当てる、という推奨を含む推奨ウィンドウを表示するステップと  を含む、方法。
【請求項２】
前記推奨された位置タグが前記画像セットの１つ又は複数の画像に合致するとの検証を受け取ったことに応答して、前記推奨された位置タグを前記１つ又は複数の画像に割り当てるステップを更に含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記検証済みのキューライブラリ内の前記視覚キューは、前記ユーザコンピューティング装置に格納された検証済みの画像から抽出される、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記検証済みのキューライブラリ内の前記視覚キューは、複数のコンピューティング装置から収集された検証済みの画像から抽出され、前記ユーザコンピューティング装置によってアクセス可能なリモートのコンピューティング装置クラウドのデータストアに格納される、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記検証済みのキューライブラリは、異なる地理的位置タグに対応する複数の位置名キューを備え、当該方法は更に、  前記画像セット内の各画像のファイル名を前記位置名キューと比較するステップと、  前記推奨パネル内に、前記ファイル名に合致する位置名キューと対応する推奨された位置タグを表示するステップと  を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記推奨パネルは、推奨された位置タグの順位付けされたリストを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記画像セット内の前記複数の画像のうち１つ又は複数は、割り当てられた位置タグを有さない、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記検証済みのキューライブラリは、前記ユーザコンピューティング装置によって実行可能な他のアプリケーションから提供される、異なる地理的位置タグに対応する複数の補助キューを含み、当該方法は更に、  前記画像セット内の各画像のタイムスタンプを前記補助キューと比較するステップと、  前記推奨パネル内に、前記タイムスタンプと合致する前記補助キューに対応する推奨された位置タグを表示するステップと  を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記ユーザコンピューティング装置は携帯電話であり、前記補助キューは、前記画像セット内の１つ又は複数の画像のタイムスタンプと時間的に近接して行った通話から決定される前記携帯電話の地理的位置を含む、請求項８に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月26日(2015.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
編集に基づいてデーターをフォーマットするための方法であって、
文書内のそれぞれ関連を有する異なる項目に対して編集が行われたときを判定するステップと、
前記文書内で前記編集が行われる前の前記項目のそれぞれに対するデーターの入力状態と前記文書内で前記編集が行われた後の前記項目のそれぞれに対する前記データーの後状態との間の相違に基づいてデーター・フォーマット規則を自動的に作成するステップと、
前記データー・フォーマット規則を前記文書内において同じデーター・タイプである他の項目に自動的に適用するステップであって、前記データー・フォーマット規則は、前記異なる項目に対して行われた前記編集によって定義されるフォーマットに前記項目をフォーマットすることを試みるものである、ステップと、
前記データー・フォーマット規則の適用を反映した前記項目を表示するステップと、
を含む、方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法において、前記編集に基づいて前記データー・フォーマット規則を得るステップは、前記編集の各々に関係する情報を、前記データー・フォーマット規則を作成する機械学習発見的方法に提出するステップを含む、方法。
【請求項３】
請求項１記載の方法において、前記文書はスプレッドシート文書であり、前記編集は、前記スプレッドシートの同じ列内にある異なるセルに対して行われる、方法。
【請求項４】
請求項１記載の方法であって、更に、前記データー・フォーマット規則によってフォーマットされた前記項目の少なくとも１つの隣りにグラフィカル・ユーザー・インターフェースを表示し、前記グラフィカル・ユーザー・インターフェースが選択されると、前記フォーマットされた項目に関する動作を実行する選択肢を提示するステップを含み、前記フォーマットの取り消し、前記フォーマットのやり直し、前記フォーマットの中止、潜在的な誤りの検討、および誤りの無視を行うための選択肢を含む、方法。
【請求項５】
請求項１記載の方法であって、更に、信頼度が所定の閾値よりも低いとき、前記フォーマットした項目と共にインディケーターを表示するステップを含む、方法。
【請求項６】
請求項１記載の方法において、前記データー・フォーマット規則を前記データー項目に適用するステップは、同じ列および同じ行の少なくとも１つの中にあるデーター項目にデーター・フォーマット規則を適用するステップを含む、方法。
【請求項７】
請求項１記載の方法において、前記編集が同じデーター・タイプの項目に対して行われたときを判定するステップは、第２列および第３列にも含まれているデーターを含む第１列に対して前記編集が行われたときを判定するステップを含む、方法。
【請求項８】
例に基づいてデーターをフォーマットするためのコンピューター実行可能命令を格納するコンピューター読み取り可能記憶媒体であって、前記命令は、
スプレッドシート文書の同じ列内の異なる項目から例を決定するステップと、
前記スプレッドシート文書の前記同じ列内の前記例に基づいてデーター・フォーマット規則を自動的に作成するステップと、
前記スプレッドシート文書の前記同じ列内の他の項目に前記データー・フォーマット規則を自動的に適用するステップであって、前記データー・フォーマット規則は、前記例によって定義されるフォーマットに前記項目をフォーマットすることを試みるものである、ステップと、
前記データー・フォーマット規則の適用を反映した前記項目を表示するステップと、
を含む、コンピューター読み取り可能記憶媒体。
【請求項９】
編集に基づいてデーターをフォーマットするためのシステムであって、
ネットワークに接続するように構成されたネットワーク接続と、
プロセッサー、メモリー、およびコンピューター読み取り可能記憶媒体と、
前記コンピューター読み取り可能記憶媒体上に格納され前記プロセッサー上で実行する動作環境と、
ディスプレイと、
スプレッドシート・アプリケーションと、
行および列に配列された項目を含むスプレッドシートと、
前記スプレッドシート・アプリケーションと共に動作するフォーマット処理マネージャーと、
を備え、前記フォーマット処理マネージャーは、
前記スプレッドシートの同じ列内の異なる項目に対して編集が行われたときを判定する動作と、
前記スプレッドシートの前記同じ列内における前記編集に基づいてデーター・フォーマット規則を自動的に作成する動作と、
前記スプレッドシート文書の前記同じ列内の項目に前記データー・フォーマット規則を自動的に適用する動作であって、前記データー・フォーマット規則は、前記スプレッドシートの前記同じ列内の前記異なる項目に対して行われた前記編集によって定義されるフォーマットに前記項目をフォーマットすることを試みるものである、動作と、
前記データー・フォーマット規則の適用を反映した前記項目を前記ディスプレイ上に表示する動作と、
を実行するように構成されている、システム。
【請求項１０】
請求項９記載のシステムであって、前記データー・フォーマット規則によってフォーマットされた前記項目の少なくとも１つの隣りにグラフィカル・ユーザー・インターフェースを表示する動作であって、前記グラフィカル・ユーザー・インターフェースは、選択されると、フォーマット変更を検討するための選択肢を提示する、動作を更に含む、システム。
【手続補正書】
【提出日】平成27年3月9日(2015.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露出された酸化ケイ素領域を有するパターン付きの基板を基板処理チャンバの基板処理領域内でエッチングする方法であって、
遠隔プラズマ領域内で遠隔プラズマを形成しながら、シャワーヘッド内の孔を通って前記基板処理領域に流動的に結合された前記遠隔プラズマ領域内へフッ素含有前駆体を流し込み、プラズマ廃水を生じさせることと、
最初に前記遠隔プラズマ領域に水蒸気を通さずに、プラズマがない前記基板処理領域内へ前記水蒸気を流し込むことと、
前記シャワーヘッド内の前記孔を通って前記基板処理領域内へ前記プラズマ廃水を流し込むことによって、前記露出された酸化ケイ素領域をエッチングすることとを含み、前記プラズマ廃水が前記水蒸気と混合および反応し、前記水蒸気が前記プラズマ廃水との相互作用だけによって励起される、方法。
【請求項２】
前記露出された酸化ケイ素領域をエッチングする動作の前に、前記露出された酸化ケイ素領域が、導電性材料を含む導電性カラムを取り囲んでいる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記露出された酸化ケイ素領域をエッチングする動作の後に、前記露出された酸化ケイ素領域の除去の結果、前記導電性カラムが実質上外側へ反らない、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記導電性材料がチタンを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記導電性材料が窒化チタンを含む、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記導電性カラムが円筒形の形状である、請求項２に記載の方法。
【請求項７】
前記導電性カラムの直径が約７０ｎｍ以下である、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記基板処理領域内へ水蒸気を流し込む動作が、最初に前記遠隔プラズマ領域にアルコールも通さずに、前記基板処理領域内へ前記アルコールを流し込むことをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記基板処理領域にプラズマがない、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記水蒸気が、前記基板処理領域の外側に形成されたいかなる遠隔プラズマでも励起されない、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記アルコールが、前記基板処理領域の外側に形成されたいかなる遠隔プラズマでも励起されない、請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
前記アルコールが、メタノール、エタノール、およびイソプロピルアルコールからなる群から選択される、請求項８に記載の方法。
【請求項１３】
前記フッ素含有前駆体が、原子フッ素、２原子フッ素、３フッ化窒素、４フッ化炭素、フッ化水素、および２フッ化キセノンからなる群から選択される前駆体を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記フッ素含有前駆体および前記プラズマ廃水が、本質的に水素を欠いている、請求項１に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成26年11月28日(2014.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マルチビュー画像データを有する三次元画像信号を出力するための3Dソース装置であって、
画像データを受信するための入力、
前記画像データに基づいて前記三次元画像信号を生成するために用意される生成器、
を有し、
前記三次元画像信号は、
立体視表示に用いるための複数の2D画像を有する第１コンポーネント、
オーバレイ・データを有する第２コンポーネント、
前記複数の2D画像のそれぞれに画像データをオーバレイするために用いるための視差シグナリング情報を定める第３コンポーネントであって、時間変動する視差プロファイル持つ視差情報を定めるパラメータを有する第３コンポーネント、及び
前記第３コンポーネントよりも前記三次元画像信号中の後の時刻において前記複数の2D画像のそれぞれに画像データをオーバレイするために用いるための新たな視差シグナリング情報を定める更なる第３コンポーネントであって、新たな時間変動する視差プロファイルを持つ新たな視差情報を定める更なるパラメータを有する更なる第３コンポーネント、
を有し、
前記更なる第３コンポーネント中の前記新たな視差シグナリング情報は、前記第３コンポーネント中の前記視差シグナリング情報を覆す、3Dソース装置。
【請求項２】
前記第３コンポーネントは、前記複数の2D画像のそれぞれの領域にオーバレイ・データをオーバレイするために用いるための視差シグナリング情報を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第３コンポーネントは複数の分離領域及び/又は部分領域に対するシグナリングを可能にする、請求項１又は請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記時間変動する視差プロファイルのための前記視差シグナリング情報は、視差シグナリング・セグメント中に提供され、セグメントは１つの予測値を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
マルチビュー画像データを有する三次元画像信号を受信するための3Dターゲット装置であって、
前記三次元画像信号を受信するための受信機、
前記三次元画像信号を、少なくとも、
立体視表示に用いるための複数の2D画像を有する第１コンポーネント、
オーバレイ・データを有する第２コンポーネント、
前記複数の2D画像のそれぞれに画像データをオーバレイするために用いるための視差シグナリング情報を定める第３コンポーネントであって、時間変動する視差プロファイル持つ視差情報を定めるパラメータを有する第３コンポーネント、及び
前記第３コンポーネントよりも前記三次元画像信号中の後の時刻において前記複数の2D画像のそれぞれに画像データをオーバレイするために用いるための新たな視差シグナリング情報を定める更なる第３コンポーネントであって、新たな時間変動する視差プロファイルを持つ新たな視差情報を定める更なるパラメータを有する更なる第３コンポーネント、へと逆多重化するための逆多重化装置、並びに
立体視表示に用いるためのそれぞれの2D画像を生成するための生成器、
を有し、
前記更なる第３コンポーネント中の前記新たな視差シグナリング情報は、前記第３コンポーネント中の前記視差シグナリング情報を覆し、
前記オーバレイ・データは、前記視差シグナリング情報内で定められるようにオーバレイされる、3Dターゲット装置。
【請求項６】
前記第３コンポーネントは、前記複数の2D画像のそれぞれの領域にオーバレイ・データをオーバレイするために用いるための視差シグナリング情報を有する、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記第３コンポーネントは複数の分離領域及び/又は部分領域に対するシグナリングを可能にする、請求項５又は請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記時間変動する視差プロファイルのための前記視差シグナリング情報は、視差シグナリング・セグメント中に提供され、セグメントは１つの予測値を有する、請求項５に記載の装置。
【請求項９】
前記受信機は、
3D IP TV受信機、
3D ATSC 受信機、
3D DVB受信機、
3D MDMI受信機インタフェイス、
のうちのいずれかである、請求項５から請求項８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
三次元画像信号を生成する方法であって、
画像データを受信し、
前記画像データに基づいて三次元画像信号を生成し、前記三次元画像信号は、
立体視表示に用いるための複数の2D画像を有する第１コンポーネント、
オーバレイ・データを有する第２コンポーネント、
前記複数の2D画像のそれぞれに画像データをオーバレイするために用いるための視差シグナリング情報を定める第３コンポーネントであって、時間変動する視差プロファイル持つ視差情報を定めるパラメータを有する第３コンポーネント、及び
前記第３コンポーネントよりも前記三次元画像信号中の後の時刻において前記複数の2D画像のそれぞれに画像データをオーバレイするために用いるための新たな視差シグナリング情報を定める更なる第３コンポーネントであって、新たな時間変動する視差プロファイルを持つ新たな視差情報を定める更なるパラメータを有する更なる第３コンポーネント、
を有し、
前記更なる第３コンポーネント中の前記新たな視差シグナリング情報は、前記第３コンポーネント中の前記視差シグナリング情報を覆す、方法。
【請求項１１】
三次元画像信号を使用する方法であって、
前記三次元画像信号を受信し、
前記三次元画像信号を、少なくとも、
立体視表示に用いるための複数の2D画像を有する第１コンポーネント、
オーバレイ・データを有する第２コンポーネント、
前記複数の2D画像のそれぞれに画像データをオーバレイするために用いるための視差シグナリング情報を定める第３コンポーネントであって、時間変動する視差プロファイル持つ視差情報を定めるパラメータを有する第３コンポーネント、及び
前記第３コンポーネントよりも前記三次元画像信号中の後の時刻において前記複数の2D画像のそれぞれに画像データをオーバレイするために用いるための新たな視差シグナリング情報を定める更なる第３コンポーネントであって、新たな時間変動する視差プロファイルを持つ新たな視差情報を定める更なるパラメータを有する更なる第３コンポーネント、へと逆多重化し、
立体視表示に用いるためのそれぞれの2D画像を生成し、
前記更なる第３コンポーネント中の前記新たな視差シグナリング情報は、前記第３コンポーネント中の前記視差シグナリング情報を覆し、
前記オーバレイ・データは、前記視差シグナリング情報内で定められるようにオーバレイされる、方法。
【請求項１２】
コンピュータ上で実行されて、当該コンピュータに請求項１０又は請求項１１に記載の方法を実行させる命令を有するコンピュータ・プログラム。
【請求項１３】
コンピュータ上で実行されて、当該コンピュータに請求項１０又は請求項１１に記載の方法を実行させる命令を有するコンピュータ・プログラムが記録されたコンピュータ可読媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月22日(2014.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と安全ユニットとを有する装置であって、
前記安全ユニットは、前記レーザ光源に対する認可されていないアクセスを検出するための検出器を有し、
前記安全ユニットは、前記レーザ光源に対する認可されていないアクセスに応じて、前記レーザ光源が永続的にディスエーブルになるように、前記レーザ光源を動作不能化するか、又は、前記レーザ光源の出力可能なパワーを低減するように構成された、装置。
【請求項２】
前記装置の外部に対するインタフェースを更に有し、
前記インタフェースは、前記安全ユニットが前記レーザ光源を動作不能化すること及び前記レーザ光源の出力可能なパワーを低減することを防止するため、認可動作を提供し、前記レーザ光源に対する認可されたアクセスを可能とするように構成された、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記インタフェースは、ユーザ入力を受けるように構成されたユーザインタフェースを有し、前記インタフェースは、前記ユーザ入力が所定のアクセスコードに対応する場合に、認可動作を提供するように構成された、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記インタフェースは、外部認可装置に結合されるように構成され、前記インタフェースは、前記外部認可装置が前記インタフェースに所定のアクセスコードを供給した場合に、認可動作を提供するように構成された、請求項２に記載の装置。
【請求項５】
前記認可動作は、前記インタフェースから前記安全ユニットへ認可コードを出力することを含む、請求項２に記載の装置。
【請求項６】
前記認可動作は、前記安全ユニットを一時的に停止させること、前記安全ユニットの影響下の領域から前記レーザ光源を一時的に取り外すこと、及び／又は前記レーザ光源を含まないように前記影響下の領域を一時的に制限することを含む、請求項２に記載の装置。
【請求項７】
前記安全ユニットは、前記レーザ光源に対するいずれのアクセスにも応じて、
前記レーザ光源を動作不能化すること、又は
前記レーザ光源の出力可能なパワーを低減すること
を実行するように構成された、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記レーザ光源のための筺体及び／又は構造的支持部を更に有し、
前記検出器は、前記筺体が開けられたこと及び／又は前記構造的支持部からの前記レーザ光源の切断を検出することにより、前記レーザ光源に対するアクセスを検出するように構成された、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記安全ユニットは、前記レーザ光源に対して破壊的電圧及び／又は電流を入力することにより、前記レーザ光源を動作不能化するように構成された、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記安全ユニットは、前記レーザ光源を動作不能化する際に、前記レーザ光源を破壊するように構成された、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
前記安全ユニットは、前記レーザ光源を機械的及び／又は化学的に破壊するように構成された、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記安全ユニットは、前記レーザ光源のレーザ光の出力経路を不透明化する及び／又は遮断することにより、前記レーザ光源を動作不能化する及び／又は前記レーザ光源の出力可能なパワーを低減するように構成された、請求項１に記載の装置。
【請求項１３】
レーザ光源を提供する方法であって、前記方法は、
前記レーザ光源に対する認可されていないアクセスを検出するための検出器を有する安全ユニットを提供するステップを含み、
前記安全ユニットは、前記レーザ光源に対する認可されていないアクセスに応じて、前記レーザ光源が永続的にディスエーブルになるように、前記レーザ光源を動作不能化するステップ、又は、前記レーザ光源の出力可能なパワーを低減するステップを実行するように構成された、方法。
【請求項１４】
レーザ光源の悪用を防止する方法であって、
前記レーザ光源に対する認可されていないアクセスを検出器により検出するステップと、
前記レーザ光源に対する認可されていないアクセスに応じて、前記レーザ光源を動作不能化するか、又は、前記レーザ光源の出力可能なパワーを低減することにより、前記レーザ光源を永続的にディスエーブルにするステップとを含む、方法。
【手続補正書】
【提出日】平成26年12月19日(2014.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リソグラフィ装置用の基板サポートであって、
基板を保持する基板テーブル（５００）と、
前記基板テーブル用のサポートブロック（５１０）と、を備え、
動作中、前記基板テーブルは、前記サポートブロックによって支持され、かつ前記サポートブロックにクランプされ、
前記サポートブロックの表面上には、前記クランプ中、前記基板テーブルに対して当接するための細長い要素のアレイ（５３０）が設けられ、
前記基板テーブルの表面上には、前記クランプ中、前記サポートブロックに対して当接するための一組のバール（５２０）が設けられ、
前記細長い要素のアレイが延在する表面と前記一組のバールが延在する表面との間の距離は、それぞれが延在する表面から測定した前記細長い要素のアレイの高さと前記一組のバールの高さとの合計によって規定されることを特徴とする、
基板サポート。
【請求項２】
前記基板テーブルは、静電クランプを備え、前記基板テーブルの前記サポートブロックへのクランプは、静電的に実行される、請求項１に記載の基板サポート。
【請求項３】
前記静電クランプの電極（５５０）は、単一の連続的な導電層を備える、請求項２に記載の基板サポート。
【請求項４】
前記サポートブロックの上面は、細長い要素間に金属導電層を備え、前記一組のバールが延在する表面から測定した前記一組のバールの高さと、前記クランプ電極と前記一組のバールとの間の第１ガラス層（５０５）の高さとの合計により、静電ギャップが規定される、請求項２または３に記載の基板サポート。
【請求項５】
前記細長い要素のアレイは、該細長い要素が延在する表面から測定した場合に、前記一組のバールよりも１０倍以上高い、請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板サポート。
【請求項６】
前記細長い要素のアレイは、該細長い要素が延在する表面から測定した場合に、前記一組のバールよりも１００倍以上高い、請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板サポート。
【請求項７】
前記基板サポートの横方向の加速中、前記基板テーブルと前記サポートブロックとの間のスリップを最小限に抑えるように、前記細長い要素のアレイは、各細長い要素が０．５ｍｍを超える高さである、請求項１〜６のいずれか１項に記載の基板サポート。
【請求項８】
前記一組のバールは、それぞれ、１００μｍ未満の高さである、請求項１〜７のいずれか１項に記載の基板サポート。
【請求項９】
前記サポートブロックは、ミラーブロックを備える、請求項１〜８のいずれか１項に記載の基板サポート。
【請求項１０】
前記一組のバールは、クランプ中、前記基板テーブルと前記サポートブロックとの間の接触面積を最小限に抑えるように構成される、請求項１〜９のいずれか１項に記載の基板サポート。
【請求項１１】
前記細長い要素のアレイの各細長い要素は、前記サポートブロックの前記表面から中空円筒状の栓を除去することにより形成されている、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の基板サポート。
【請求項１２】
放射ビームを調整する照明システムと、
前記放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付き放射ビームを形成することが可能なパターニングデバイスを支持するサポートと、
前記パターン付き放射ビームを前記基板のターゲット部分上に投影する投影システムと、
請求項１〜１１に記載の基板サポートと、を備えた
リソグラフィ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板サポートおよびリソグラフィ装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
[0012]   本発明の一態様によると、リソグラフィ装置用の基板サポートであって、基
板を保持するように構築された基板テーブルと、基板テーブル用のサポートブロックと、を備え、動作中、基板テーブルは、前記サポートブロックによって支持され、かつサポートブロックにクランプされ、サポートブロックの表面上には、クランプ中、基板テーブルに対して当接するための細長い要素のアレイが設けられ、基板テーブルの表面上には、クランプ中、サポートブロックに対して当接するための一組のバールが設けられ、細長い要素のアレイが延在する表面と一組のバールが延在する表面との間の距離は、それぞれが延在する表面から測定した細長い要素のアレイの高さと一組のバールの高さとの合計によって規定されることを特徴とする、基板サポートが提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2014507070.tif 000001