【事件の表示】
　特許第３３３１４９１号「無機質球状化粒子の製造装置」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３３１４９１号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３３３１４９１号の請求項１乃至請求項３に係る発明についての出願は、平成８年９月１８日に特許出願され、平成１４年７月２６日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、その特許について、特許異議申立人吉田　匠より特許異議の申立てがなされた後、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１６年６月７日に意見書が提出されるとともに、訂正請求がされたものであるが、特許異議申立人は、当該意見書及び訂正請求についての審尋に対して回答書を提出しなかったものである。
　
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正の内容
　平成１６年６月７日になされた訂正の内容は、以下のとおりである。
・訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１を、
「無機質粉体原料を火炎中に供給して無機質球状化粒子を生成する球状化バーナーを炉頂部に垂直方向下向きに備えた竪型球状化炉と、該竪型球状化炉で生成した球状化粒子を回収する球状化粒子捕集手段とを備えた無機質球状化粒子の製造装置において、
　前記竪型球状化炉は、円筒状の炉内壁に沿って接線方向下向きに遮断空気を導入する遮断空気導入孔を有し、
　前記竪型球状化炉の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する粒子出口孔と、該粒子出口孔に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する空気入口孔とを水平方向の同軸上に対向配置するとともに、前記粒子出口孔の開口径を前記空気入口孔の開口径より大きく形成し、
　前記竪型球状化炉の底部には、補助搬送空気の導入孔を有し、
　前記球状化バーナーは、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして無機質粉体原料を供給する中心部の原料粉体供給路と、該原料粉体供給路の外周に配置された燃料ガス供給路と、該燃料ガス供給路の外周に配置された一次酸素供給路と、該一次酸素供給路の外周に配置された二次酸素供給路と、各供給路の先端に接続する出口側が拡径した燃焼室とを備えるとともに、前記一次酸素供給路は、燃焼室の側面から燃焼室内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第一噴出口を有し、前記二次酸素供給路は、第一噴出口の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第二噴出口を有しており、
　前記球状化粒子捕集手段は、サイクロンとその下流に直列に設けられたバグフィルターとを備えるとともに、サイクロンとバグフィルターとの間に、流量調節機構を備えた冷却空気導入部を備えていることを特徴とする無機質球状化粒子の製造装置。」
と訂正する。
・訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項２及び請求項３を削除する。
・訂正事項３
　明細書段落【０００８】を、
「【課題を解決するための手段】
　本発明は、無機質粉体原料を火炎中に供給して無機質球状化粒子を生成する球状化バーナーを炉頂部に垂直方向下向きに備えた竪型球状化炉と、該竪型球状化炉で生成した球状化粒子を回収する球状化粒子捕集手段とを備えた無機質球状化粒子の製造装置に関するものである。」
と訂正する。
・訂正事項４
　明細書段落【０００９】を、
「そして、上記目的を達成するため、その特徴とするところは、前記竪型球状化炉は、円筒状の炉内壁に沿って接線方向下向きに遮断空気を導入する遮断空気導入孔を有し、前記竪型球状化炉の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する粒子出口孔と、該粒子出口孔に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する空気入口孔とを水平方向の同軸上に対向配置するとともに、前記粒子出口孔の開口径を前記空気入口孔の開口径より大きく形成し、前記竪型球状化炉の底部には、補助搬送空気の導入孔を有し、前記球状化バーナーは、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして無機質粉体原料を供給する中心部の原料粉体供給路と、該原料粉体供給路の外周に配置された燃料ガス供給路と、該燃料ガス供給路の外周に配置された一次酸素供給路と、該一次酸素供給路の外周に配置された二次酸素供給路と、各供給路の先端に接続する出口側が拡径した燃焼室とを備えるとともに、前記一次酸素供給路は、燃焼室の側面から燃焼室内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第一噴出口を有し、前記二次酸素供給路は、第一噴出口の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第二噴出口を有しており、前記球状化粒子捕集手段は、サイクロンとその下流に直列に設けられたバグフィルターとを備えるとともに、サイクロンとバグフィルターとの間に、流量調節機構を備えた冷却空気導入部を備えていることにある。」
と訂正する。
・訂正事項５
　明細書段落【００２１】を、
「炉下部の球状化処理物取出部３２には、粒子出口孔３６と空気入口孔３７とが設けられている。粒子出口孔３６と空気入口孔３７とは、炉中心軸に対して直交する水平方向の同軸上に、相対向するように配置されており、粒子出口孔３６の開口径は、空気入口孔３７の開口径より大きく形成されている。これにより、空気入口孔３７から粒子出口孔３６に向かって流れるガスが効率よく粒子出口孔３６内に流入し、その流れにエジェクターと同様の作用が発生し、球状化処理物を粒子出口孔３６内に効率よく送込むことが可能となる。」
と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項１は、特許請求の範囲の訂正であって、具体的には、特許請求の範囲の請求項１について、以下の訂正をするものである。
・訂正事項１−１
　請求項１の「無機質粉体原料を火炎中に供給して無機質球状化粒子を生成する球状化バーナーを炉頂部に垂直方向下向きに備えた竪型球状化炉により無機質球状化粒子を製造する装置において、」という記載を、「無機質粉体原料を火炎中に供給して無機質球状化粒子を生成する球状化バーナーを炉頂部に垂直方向下向きに備えた竪型球状化炉と、該竪型球状化炉で生成した球状化粒子を回収する球状化粒子捕集手段とを備えた無機質球状化粒子の製造装置において、」と訂正する。
・訂正事項１−２
　請求項１の「無機質球状化粒子を製造する装置において、」と「前記竪型球状化炉の下部に、」の間に、「前記竪型球状化炉は、円筒状の炉内壁に沿って接線方向下向きに遮断空気を導入する遮断空気導入孔を有し、」という記載を追加する。
・訂正事項１−３
　請求項１の「前記竪型球状化炉の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する粒子出口孔と、該粒子出口孔に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する空気入口孔とを水平方向に対向配置するとともに、前記粒子出口孔の開口径を前記空気入口孔の開口径より大きく形成した」という記載を、「前記竪型球状化炉の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する粒子出口孔と、該粒子出口孔に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する空気入口孔とを水平方向の同軸上に対向配置するとともに、前記粒子出口孔の開口径を前記空気入口孔の開口径より大きく形成し、」と訂正する。
・訂正事項１−４
　請求項１の「ことを特徴とする無機質球状化粒子の製造装置」の前に、「前記竪型球状化炉の底部には、補助搬送空気の導入孔を有し、前記球状化バーナーは、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして無機質粉体原料を供給する中心部の原料粉体供給路と、該原料粉体供給路の外周に配置された燃料ガス供給路と、該燃料ガス供給路の外周に配置された一次酸素供給路と、該一次酸素供給路の外周に配置された二次酸素供給路と、各供給路の先端に接続する出口側が拡径した燃焼室とを備えるとともに、前記一次酸素供給路は、燃焼室の側面から燃焼室内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第一噴出口を有し、前記二次酸素供給路は、第一噴出口の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第二噴出口を有しており、前記球状化粒子捕集手段は、サイクロンとその下流に直列に設けられたバグフィルターとを備えるとともに、サイクロンとバグフィルターとの間に、流量調節機構を備えた冷却空気導入部を備えている」という記載を追加する。
　そして、訂正事項１−１は、無機質球状化粒子の製造装置を、竪型球状化炉に加えて球状化粒子捕集手段を備えた構成とするものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　訂正事項１−２は、竪型球状化炉を、円筒状の炉内壁に沿って接線方向下向きに遮断空気を導入する遮断空気導入孔を有するものに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　訂正事項１−３は、竪型球状化炉の下部の粒子出口孔と空気入口孔とを、水平方向の同軸上に対向配置するとともに、前記粒子出口孔の開口径を前記空気入口孔の開口径より大きく形成したものに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　訂正事項１−４は、竪型球状化炉を、底部に補助搬送空気の導入孔を有するものに限定し、球状化バーナーを、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして無機質粉体原料を供給する中心部の原料粉体供給路と、該原料粉体供給路の外周に配置された燃料ガス供給路と、該燃料ガス供給路の外周に配置された一次酸素供給路と、該一次酸素供給路の外周に配置された二次酸素供給路と、各供給路の先端に接続する出口側が拡径した燃焼室とを備えるとともに、前記一次酸素供給路は、燃焼室の側面から燃焼室内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第一噴出口を有し、前記二次酸素供給路は、第一噴出口の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第二噴出口を有しているものに限定し、更に、球状化粒子捕集手段を、サイクロンとその下流に直列に設けられたバグフィルターとを備えるとともに、サイクロンとバグフィルターとの間に、流量調節機構を備えた冷却空気導入部を備えているものに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至請求項３の記載、及び、本件特許明細書の「粒子出口孔３６と空気入口孔３７とは、炉中心軸に対して直交する水平方向の同軸上に、相対向するように配置されており、粒子出口孔３６の開口径は、空気入口孔３７の開口径より大きく形成されている。」（段落【００２１】）という記載からみて、上記訂正事項１は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項２は、特許請求の範囲の請求項２及び請求項３を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項３及び訂正事項４は、発明の詳細な説明の訂正であって、訂正事項１及び訂正事項２により特許請求の範囲が訂正されたことに伴って、本件特許明細書の発明の詳細な説明における特許請求の範囲に対応する記載を訂正するとともに、当該発明の詳細な説明の記載内容を特許請求の範囲の記載に整合させるものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　そして、上記のとおり、訂正事項１及び訂正事項２の訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであるから、訂正事項３及び訂正事項４の訂正もまた、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　訂正事項５は、発明の詳細な説明の訂正であって、具体的には、本件特許明細書の段落【００２１】の「球状化処理物を空気入口孔３７内に効率よく送込むことが可能となる。」という記載を、「球状化処理物を粒子出口孔３６内に効率よく送込むことが可能となる。」と訂正するものであるが、例えば、本件特許明細書の「したがって、球状化処理物取出部３２に到達した球状化処理物は、空気入口孔３７から流入して粒子出口孔３６に向かって流れる球状化粒子搬送用の空気に乗って略全量が粒子出口孔３６から炉外に取出される。」（段落【００２２】）という記載からみて、炉の下部において「球状化処理物」が送り込まれるのが「粒子出口孔３６」内であることは明らかであるから、上記訂正事項５は、誤記の訂正を目的とするものであり、かつ、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　そして、これらの訂正は、実質上特許請求の範囲の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
２−３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立についての判断
３−１．本件発明
　上記「２．訂正の適否についての判断」で示したように、平成１６年６月７日に提出の訂正請求書による訂正は認められるから、訂正後の本件請求項１に係る発明（以下、「本件訂正発明」という）は、上記訂正に係る訂正明細書（以下、「本件訂正明細書」という）の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項に特定される、以下のとおりのものと認める。
「【請求項１】　無機質粉体原料を火炎中に供給して無機質球状化粒子を生成する球状化バーナーを炉頂部に垂直方向下向きに備えた竪型球状化炉と、該竪型球状化炉で生成した球状化粒子を回収する球状化粒子捕集手段とを備えた無機質球状化粒子の製造装置において、
　前記竪型球状化炉は、円筒状の炉内壁に沿って接線方向下向きに遮断空気を導入する遮断空気導入孔を有し、
　前記竪型球状化炉の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する粒子出口孔と、該粒子出口孔に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する空気入口孔とを水平方向の同軸上に対向配置するとともに、前記粒子出口孔の開口径を前記空気入口孔の開口径より大きく形成し、
　前記竪型球状化炉の底部には、補助搬送空気の導入孔を有し、
　前記球状化バーナーは、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして無機質粉体原料を供給する中心部の原料粉体供給路と、該原料粉体供給路の外周に配置された燃料ガス供給路と、該燃料ガス供給路の外周に配置された一次酸素供給路と、該一次酸素供給路の外周に配置された二次酸素供給路と、各供給路の先端に接続する出口側が拡径した燃焼室とを備えるとともに、前記一次酸素供給路は、燃焼室の側面から燃焼室内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第一噴出口を有し、前記二次酸素供給路は、第一噴出口の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第二噴出口を有しており、
　前記球状化粒子捕集手段は、サイクロンとその下流に直列に設けられたバグフィルターとを備えるとともに、サイクロンとバグフィルターとの間に、流量調節機構を備えた冷却空気導入部を備えていることを特徴とする無機質球状化粒子の製造装置。」
３−２．取消理由通知に記載した引用刊行物及び取消理由通知の概要
　当審が平成１６年３月３０日付けで通知した取消しの理由に記載した引用刊行物等は、以下のとおりである。
引用刊行物１：特開平７−４８１１８号公報（特許異議申立人吉田　匠が提出した甲第３号証）
引用刊行物２：特開平８−９２６１３号公報（特許異議申立人吉田　匠が提出した甲第２号証）
引用刊行物３：特開昭６０−１５６５４１号公報（特許異議申立人吉田　匠が提出した甲第４号証）
引用刊行物４：特開昭６２−２４１５４１号公報（特許異議申立人吉田　匠が提出した甲第１号証）
引用刊行物５：特開平８−９１８７４号公報（特許異議申立人吉田　匠が提出した甲第５号証）
引用刊行物６：特開平４−１２６５３８号公報（特許異議申立人吉田　匠が提出した甲第６号証）
　そして、取消しの理由の概要は、本件請求項１乃至請求項３に係る発明は、その出願前日本国内または外国において頒布された引用刊行物１乃至引用刊行物６に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
３−３．取消理由通知で引用された刊行物の記載内容
　引用刊行物１（特開平７−４８１１８号公報（特許異議申立人吉田　匠が提出した甲第３号証））には、以下の事項が記載されている。
（１−Ａ）「【請求項１】　酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして原料粉体を供給する原料粉体供給路と、該原料粉体供給路の外周に配置された燃料ガス供給路と、該燃料ガス供給路の外周に配置された酸素供給路と、各供給路の先端に接続する出口側が拡径した燃焼室とを備えるとともに、前記原料粉体供給路は、多数の小孔を有する粉体分散板を介して燃焼室に接続し、前記酸素供給路は、燃焼室の側面から燃焼室内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第１噴出口と、該第１噴出口の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第２噴出口とを備えたことを特徴とする無機質球状化粒子製造用バーナー。」（特許請求の範囲）
（１−Ｂ）「【請求項４】　前記酸素供給路は、前記第１噴出口に連通する１次酸素供給路と、前記第２噴出口に連通する２次酸素供給路とを有するとともに、前記１次酸素供給路と前記２次酸素供給路とに供給する酸素量を、個別に制御する制御手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の無機質球状化粒子製造用バーナー。」（特許請求の範囲）
（１−Ｃ）「【産業上の利用分野】
　本発明は無機質球状化粒子を製造する際に使用するバーナーに関する。」（段落【０００１】）
（１−Ｄ）「例えば、図４は、無機質球状化粒子の製造装置の一例を示す系統図で、原料粉体は、通常のフィーダーＡから切り出され、経路Ａ′から供給されるキャリアガスに同伴されて酸素・ガス燃焼バーナーＢに搬送される。この酸素・ガス燃焼バーナーＢには、酸素供給設備Ｃからの酸素と、ＬＰＧ供給設備Ｄからの燃焼ガスとが供給されており、炉Ｅ内の火炎中で球状化された粒子は、経路Ｆから炉Ｅ内に導入された空気により温度希釈温度希釈され、後段のサイクロンＧや、バグフィルターＨで回収される。」（段落【０００３】）
（１−Ｅ）「【実施例】
　以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。　
　図１及び図２は、本発明の無機質球状化粒子製造用バーナーの第１実施例を示すもので、図１は無機質球状化粒子製造用バーナーの断面図、図２はノズル先端側から見た正面図である。本実施例に示す無機質球状化粒子製造用バーナー（以下、単にバーナーという）１０は、中心から順に、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして原料粉体を供給する原料粉体供給路１１と、該原料粉体供給路１１の外周に配置された燃料ガス供給路１２と、該燃料ガス供給路１２の外周に配置された酸素供給路１３と、該酸素供給路１３の外周に設けられた冷却水通路１４，１５とを有する同心５重管構造に構成されており、先端部には、原料粉体供給路１１，燃料ガス供給路１２及び酸素供給路１３にそれぞれ噴出口を介して接続する燃焼室１６が設けられている。」（段落【００１９】）
（１−Ｆ）「上記燃焼室１６は、出口側が拡径したコーン形状に形成されており、該燃焼室１６と原料粉体供給路１１との間には、小孔からなる原料粉体噴出口１７を多数有する粉体拡散板１８が装着されている。また、燃焼室１６と燃料ガス供給路１２との間には、燃料噴出口１９が設けられ、燃焼室１６と酸素供給路１３との間には、上流側の第１噴出口２０と下流側の第２噴出口２１とが設けられている。」（段落【００２０】）
（１−Ｇ）「また、酸素供給路１３から供給される酸素を燃焼室１６内に噴出する前記上流側の第１噴出口２０は、燃焼室１６の側面に接線方向に多数の小孔を形成したものであり、燃焼室１６内に旋回流を形成するように酸素を噴出させる。また、下流側の第２噴出口２１は、燃焼室１６の側面に放射状に多数の小孔を形成したものであり、中心軸方向に収斂するように酸素を噴出する。この第１噴出口２０及び第２噴出口２１の小孔の数や段数は、バーナー１０の容量に応じて適宜に設定することができる。」（段落【００２４】）
（１−Ｈ）「図３は、本発明の無機質球状化粒子製造用バーナーの第２実施例を示す断面図であって、このバーナー３０は、前記第１実施例に示したバーナーにおいて、前記燃料ガス供給路１２の外周に配置された酸素供給路１３を、内周側の１次酸素供給路１３ａと、外周側の２次酸素供給路１３ｂとで構成し、前記１次酸素供給路１３ａを前記第１噴出口２０に、前記２次酸素供給路１３ｂを前記第２噴出口２１に、それぞれ連通させたものである。なお、前記実施例と同一要素のものには同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。」（段落【００２７】）
（１−Ｉ）【図３】
（１−Ｊ）【図４】
　引用刊行物２（特開平８−９２６１３号公報（特許異議申立人吉田　匠が提出した甲第２号証））には、以下の事項が記載されている。
（２−Ａ）「【請求項５】 炉、炉の一端に設けた噴霧手段、当該噴霧手段の近傍に設けた着火手段、炉の外側面に設けた保炎手段、及び炉の他端近傍に設けた冷却手段より構成される金属粉末の製造装置であって、
　当該着火手段により金属塩溶液の液滴から気化する可燃性溶剤に点火し、当該保炎手段が燃焼を持続させることにより、金属塩あるいは生成した金属酸化物の分解及び金属の溶融を行い、溶融した金属を当該冷却手段により固化することを特徴とする金属粉末の製造装置。」（特許請求の範囲）
（２−Ｂ）「本発明においては、燃焼熱による加熱により金属塩溶液の液滴中の溶媒を除き、金属塩を分解した後に金属の溶融が起こるため、液状の金属が表面張力により球形となり、緻密で平滑な表面を有する球状粉末を得ることができる。
　一方、従来の方法では、外部からの加熱により炉内を高温にすることにより、金属の粒子化を行うので、運転費も高くなり装置も高価となる。」（段落【００１０】）
（２−Ｃ）「図２に金属粉末の製造を行う装置の一例を示す。
　図２の概略図において、炉２４はその上部に噴霧器１３及びパイロットバーナー１４を有し、下部はバグフィルタ１８と連結しており、上部に、流入孔２１を有する。噴霧器１３の周囲に保炎バーナータイル１６が設けられ、胴部外周面には保温材１７が設けられている。噴霧器１３は二重管構造を有し、原液タンク１１と噴霧用圧力ガス流入孔２０とに連結している。」（段落【００２２】）
（２−Ｄ）「金属塩溶液１９は金属塩溶液タンク１１より噴霧器１３に送られ、流入孔２０より流入する圧縮空気あるいは圧縮酸素等の圧力ガスにより炉２４内の反応ゾーン２６に噴霧される。又、燃料用ガスは流入孔２１より供給される。パイロットバーナー１４は、噴霧された液滴より放出する可燃性ガスに点火し、燃焼は保炎バーナータイル１６により持続される。燃焼熱により溶融した金属粒子は、炉２４の下部に送られ、流入孔２２より流入する空気により冷却され金属粉末となる。金属粉末は、流入孔２３より流入する空気あるいは窒素（Ｎ２）等により、捕集のために設けられたバグフィルター１８に送られ、排ガスは流出孔２５より流出する。」（段落【００２３】）
（２−Ｅ）【図２】
　引用刊行物３（特開昭６０−１５６５４１号公報（特許異議申立人吉田　匠が提出した甲第４号証））には、以下の事項が記載されている。
（３−Ａ）「溶融帯と冷却帯とからなる竪型溶融炉において、内壁面の温度が原料の融点付近である箇所に遮断用ガス導入口を設けることを特徴とする無機質溶融球状体の製造用溶融炉。」（特許請求の範囲）
（３−Ｂ）「本発明は無機質溶融球状体（以下球状体という）の製造用溶融炉に関し、さらに詳しく説明すると炉上部より原料を可燃ガス及び酸素含有ガスと共に噴射して球状体を製造するための竪型溶融炉に関する。」（第１頁左下欄第１０行〜第１４行）
（３−Ｃ）「球状体等の付着を防止するため、原料の融点付近の温度となる溶融帯及び／又は冷却帯の内壁面の適切な箇所に、遮断用ガス導入口２を設ける。設置にあたっては遮断用ガスが溶融炉の内壁付近を旋回するように、例えば第２図のように溶融炉の接線方向に設ける。」（第２頁右下欄第１０行〜第１５行）
（３−Ｄ）「遮断用ガス導入口２の設置方向は、種々考えられる。水平方向では下向きの旋回流が出来にくく、水平面に対して４５°以上の角度では下向きの旋回流は出来るものの、遮断用ガスが流れない部分が生じやすい。必要量低限のガス量で最大の効果を得るためには、０°より大きく４５°より小さい角度、好ましくは５〜１０°の角度がよい。」（第３頁左上欄第８行〜第１４行）
（３−Ｅ）第１図
（３−Ｆ）第２図
　引用刊行物４（特開昭６２−２４１５４１号公報（特許異議申立人吉田　匠が提出した甲第１号証））には、以下の事項が記載されている。
（４−Ａ）「（１）頂部に高温火炎及び無機質粉末原料を噴射するバーナーを有し胴部に耐火物壁を有する球状化室の下部に、内部に冷却気体が供給され下端に球状化処理物の排出口を有する冷却室を接続した球状化装置（Ａ）と、上記冷却室の球状化処理物排出口に接続した、上方から順次球状化粒子の取出口、球状化粒子浮遊気体が供給される球状化処理物溜り部及び排出弁を有する球状化処理物分離排出装置（Ｂ）とよりなることを特徴とする無機質球状化粒子の製造処理装置。」（特許請求の範囲）
（４−Ｂ）「本発明は、無機質粉末原料から球状化粒子を長時間にわたって連続して製造可能な経済的製造処理装置に関するものである。」（第２頁左上欄第５行〜第７行）
（４−Ｃ）「第１図においてＡは球状化装置、Ｂは球状化処理物分離排出装置である。無機質粉末原料は炉の上部のホッパー１に貯蔵される。下部ホッパー２は秤量機能を備えており、下部の定量切出し装置との組合せにより、粉末噴射量の燃焼ガス量に対する比（Ｐ／Ｖ）を予め設定された条件を維持するようバーナーに精密に粉体を定量供給する。バーナー３へは、配管及びホース４を通じて原料が送られ、球状化室５の中の火炎中で溶融する。即ち、バーナー３からは、原料粉末を竪型炉にＬＰＧ等の可燃ガス及び酸素ガスと共に炉内に噴射し、温度２０００度以上の火炎中に分散させ、溶融し球状化粒子を得る。」（第３頁左上欄第９行〜右上欄第１行）
（４−Ｄ）「そこで本発明では、第１図及び第２図に示す如く、溜り部１０の弁１２の上に気体供給管１１を設けて溜り部１０内へ所定流量、所定流速の気体（空気）を吹込み、塊状物に混合している球状化粒子（たとえば１００μ以下）を積極的に浮遊させることにより取出口９へ導くものである。」（第３頁右上欄第１７行〜左下欄第２行）
（４−Ｅ）第１図
　引用刊行物５（特開平８−９１８７４号公報（特許異議申立人吉田　匠が提出した甲第５号証））には、以下の事項が記載されている。
（５−Ａ）「【産業上の利用分野】　本発明は、ガラス球状粉末及びその製造方法に関する。」（段落【０００１】）
（５−Ｂ）「図１に本実施例で用いた噴霧熱分解装置の概略図を示す。炉本体は、耐火材を張った縦型管状炉であり、最上部に二流体ノズルが設置されており、その直下部にはＬＰガスバーナーが設けられている。ＬＰガスを燃焼させたバーナーの火炎は、縦型炉内に切線方向に入るようになっており、二流体ノズルより噴霧された微細液滴は直接火炎中に投入される。炉下部には、空気取り入れ口が設けられ、外気を吸い込むことにより、急冷を行うことができる。噴霧熱分解されたガラス粉末はサイクロンを通過して分級され、バグフィルターで捕集される。」（段落【００３７】）
（５−Ｃ）【図１】
引用刊行物６（特開平４−１２６５３８号公報（特許異議申立人吉田　匠が提出した甲第６号証））には、以下の事項が記載されている。
（６−Ａ）「炉内に高温火炎を形成し、その中で無機質原料粉末を溶融球状化してこれを排気ガス中から捕集する装置において、溶融球状化粒子の捕集装置の後流側に排風機を設け、炉体からの排気ガスを前記捕集装置に導く接続管には空気吸引口を設けたことを特徴とする無機質球状化粒子の製造装置。」（特許請求の範囲）
（６−Ｂ）「溶融炉の出口側には排気ガスを捕集装置に導く接続管が取付けられる。従来はこの接続管の前又は後に冷却用熱交換器が設置されていたが本発明においては、この熱交換器の代わりに接続管に空気吸引口を設けたところに特徴がある。空気吸引口は高温の排気ガスと空気とが十分混合するように接続管の周方向に均等に設け、回収装置までの混合距離を十分にとることが望ましい。空気吸引口の数、開口面積等は排気ガスが所定程度、例えば２００℃以下、好ましくは１２０℃以下にまで冷却され、かつ排風機による炉からの排気ガスの吸引力がなるべく損なわれないように設定される。」(第２頁右上欄第１９行〜左下欄第１０行）
３−４．対比及び判断
　引用刊行物１には、（１−Ａ）及び（１−Ｂ）の記載からみて、「酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして原料粉体を供給する原料粉体供給路と、該原料粉体供給路の外周に配置された燃料ガス供給路と、該燃料ガス供給路の外周に配置された酸素供給路と、各供給路の先端に接続する出口側が拡径した燃焼室とを備えるとともに、前記原料粉体供給路は、多数の小孔を有する粉体分散板を介して燃焼室に接続し、前記酸素供給路は、燃焼室の側面から燃焼室内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第１噴出口と、該第１噴出口の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第２噴出口とを備えたことを特徴とする無機質球状化粒子製造用バーナー」であって、「前記酸素供給路は、前記第１噴出口に連通する１次酸素供給路と、前記第２噴出口に連通する２次酸素供給路とを有するとともに、前記１次酸素供給路と前記２次酸素供給路とに供給する酸素量を、個別に制御する制御手段を備えている」ことを特徴とする、「無機質球状化粒子製造用バーナー」が記載されている。
　そして、（１−Ｃ）の記載からみて、上記「無機質球状化粒子製造用バーナー」は「無機質球状化粒子を製造する際に使用するバーナー」であって、（１−Ｄ）の記載からみて、当該「無機質球状化粒子」を製造する装置においては、「原料粉体」は、通常の「フィーダーＡ」から切り出され、「経路Ａ′」から供給されるキャリアガスに同伴されて「酸素・ガス燃焼バーナーＢ」に搬送され、この「酸素・ガス燃焼バーナーＢ」には、「酸素供給設備Ｃ」からの酸素と、「ＬＰＧ供給設備Ｄ」からの燃焼ガスとが供給されており、「炉Ｅ内」の火炎中で球状化された粒子は、「経路Ｆ」から「炉Ｅ」内に導入された空気により温度希釈温度希釈され、後段の「サイクロンＧ」や、「バグフィルターＨ」で回収されるものである。
　ここで、上記（１−Ｃ）及び（１−Ｄ）の記載からみて、引用刊行物１に記載された「無機質球状化粒子製造用バーナー」は、原料粉体を火炎中に供給して無機質球状化粒子を生成するものであって、上記「無機質球状化粒子」を製造する装置における「酸素・ガス燃焼バーナーＢ」として使用されるものであり、「炉Ｅ」には、その下部に、当該「炉Ｅ」内に空気を導入する「経路Ｆ」と、生成した球状化粒子を炉内から導出する「粒子出口孔」が形成されていることは明らかであり、かつ「サイクロンＧ」及び「バグフィルターＨ」は、上記「炉Ｅ」で生成した球状化粒子を回収する「球状化粒子捕集手段」と云えるものであって、（１−Ｊ）の【図４】の記載からみて、「バグフィルターＨ」は「サイクロンＧ」の下流に直列に設けられたものである。
　更に、（１−Ｅ）乃至（１−Ｉ）の記載からみて、上記「無機質球状化粒子製造用バーナー」は、中心から順に、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして原料粉体を供給する「原料粉体供給路１１」と、該「原料粉体供給路１１」の外周に配置された「燃料ガス供給路１２」と、該「燃料ガス供給路１２」の外周に配置された「酸素供給路１３」と、該「酸素供給路１３」の外周に設けられた「冷却水通路１４，１５」とを有する同心５重管構造に構成されており、先端部には、「原料粉体供給路１１」、「燃料ガス供給路１２」及び「酸素供給路１３」にそれぞれ噴出口を介して接続する「燃焼室１６」が設けられていて、上記「燃焼室１６」は、出口側が拡径したコーン形状に形成されており、「燃焼室１６」と「酸素供給路１３」との間には、上流側の「第１噴出口２０」と下流側の「第２噴出口２１」とが設けられているものであって、前記上流側の「第１噴出口２０」は、「燃焼室１６」の側面に接線方向に多数の小孔を形成したものであり、「燃焼室１６」内に旋回流を形成するように酸素を噴出させ、下流側の「第２噴出口２１」は、「燃焼室１６」の側面に放射状に多数の小孔を形成したものであり、中心軸方向に収斂するように酸素を噴出し、更に、「酸素供給路１３」を、内周側の「１次酸素供給路１３ａ」と、外周側の「２次酸素供給路１３ｂ」とで構成し、前記「１次酸素供給路１３ａ」を前記「第１噴出口２０」に、前記「２次酸素供給路１３ｂ」を前記「第２噴出口２１」に、それぞれ連通させたものである。
　以上の記載事項に基づいて、引用刊行物１に記載された発明を本件訂正発明の記載ぶりに則って整理すると、引用刊行物１には、
「原料粉体を火炎中に供給して無機質球状化粒子を生成する無機質球状化粒子製造用バーナーを備えた炉と、該炉で生成した球状化粒子を回収する球状化粒子捕集手段とを備えた無機質球状化粒子の製造装置において、
　前記炉の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する粒子出口孔と、炉内に空気を導入する経路とを形成し、
　前記無機質球状化粒子製造用バーナーは、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして無機質粉体原料を供給する中心部の原料粉体供給路と、該原料粉体供給路の外周に配置された燃料ガス供給路と、該燃料ガス供給路の外周に配置された１次酸素供給路と、該１次酸素供給路の外周に配置された２次酸素供給路と、各供給路の先端に接続する出口側が拡径した燃焼室とを備えるとともに、前記１次酸素供給路は、燃焼室の側面から燃焼室内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第１噴出口を有し、前記２次酸素供給路は、第１噴出口の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第２噴出口を有しており、
　前記球状化粒子捕集手段は、サイクロンとその下流に直列に設けられたバグフィルターとを備えていることを特徴とする無機質球状化粒子の製造装置」の発明が記載されていると云える。
　ここで、「原料粉体」は「無機質原料粉体」であり、「無機質球状化粒子製造用バーナー」は、「原料粉体」火炎中に供給して球状化するものであるから、「球状化バーナー」と云えるものである。
　また、（１−Ｊ）の【図４】の記載からみて、「炉Ｅ」は、「無機質球状化粒子製造用バーナー」を炉頂部に垂直下方下向きに備えたものであるから、「球状化バーナー」を炉頂部に垂直下方下向きに備えた「竪型球状化炉」と云えるものである。
　かつ、上記「炉Ｅ」において「経路Ｆ」により導入された空気が、球状化粒子を「サイクロンＧ」や「バグフィルターＨ」に搬送することは明らかであるから、当該空気は「粒子出口孔」に向けて球状化粒子を搬送するものと云え、すると、「経路Ｆ」は、「粒子出口孔」に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する「空気入口孔」と云えるから、上記「炉Ｅ」は、その下部に、「生成した球状化粒子を炉内から導出する粒子出口孔」と、「粒子出口孔に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する空気入口孔」とが配置されたものと云える。
　更に、引用刊行物１記載の「無機質球状化粒子製造用バーナー」における「原料粉体供給路」、「燃料ガス供給路」、「１次酸素供給路」、「２次酸素供給路」、「燃焼室」、「第１噴出口」及び「第２噴出口」は、その構成及び作用からみて、本件訂正発明の「球状化バーナー」における「原料粉体供給路」、「燃料ガス供給路」、「一次酸素供給路」、「二次酸素供給路」、「燃焼室」、「第一噴出口」及び「第二噴出口」にそれぞれ対応するものであるから、そうすると、引用刊行物１には、
「無機質粉体原料を火炎中に供給して無機質球状化粒子を生成する球状化バーナーを炉頂部に垂直方向下向きに備えた竪型球状化炉と、該竪型球状化炉で生成した球状化粒子を回収する球状化粒子捕集手段とを備えた無機質球状化粒子の製造装置において、
　前記竪型球状化炉の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する粒子出口孔と、該粒子出口孔に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する空気入口孔とを配置し、
　前記球状化バーナーは、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして無機質粉体原料を供給する中心部の原料粉体供給路と、該原料粉体供給路の外周に配置された燃料ガス供給路と、該燃料ガス供給路の外周に配置された一次酸素供給路と、該一次酸素供給路の外周に配置された二次酸素供給路と、各供給路の先端に接続する出口側が拡径した燃焼室とを備えるとともに、前記一次酸素供給路は、燃焼室の側面から燃焼室内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第一噴出口を有し、前記二次酸素供給路は、第一噴出口の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第二噴出口を有しており、
　前記球状化粒子捕集手段は、サイクロンとその下流に直列に設けられたバグフィルターとを備えているとを特徴とする無機質球状化粒子の製造装置」
の発明が記載されていると云える。
　そこで、本件訂正発明と引用刊行物１に記載された発明とを比較すると、両者は、「無機質粉体原料を火炎中に供給して無機質球状化粒子を生成する球状化バーナーを炉頂部に垂直方向下向きに備えた竪型球状化炉と、該竪型球状化炉で生成した球状化粒子を回収する球状化粒子捕集手段とを備えた無機質球状化粒子の製造装置において、前記竪型球状化炉の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する粒子出口孔と、該粒子出口孔に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する空気入口孔とを配置し、前記球状化バーナーは、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして無機質粉体原料を供給する中心部の原料粉体供給路と、該原料粉体供給路の外周に配置された燃料ガス供給路と、該燃料ガス供給路の外周に配置された一次酸素供給路と、該一次酸素供給路の外周に配置された二次酸素供給路と、各供給路の先端に接続する出口側が拡径した燃焼室とを備えるとともに、前記一次酸素供給路は、燃焼室の側面から燃焼室内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第一噴出口を有し、前記二次酸素供給路は、第一噴出口の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第二噴出口を有しており、前記球状化粒子捕集手段は、サイクロンとその下流に直列に設けられたバグフィルターとを備えているとを特徴とする無機質球状化粒子の製造装置」である点で一致し、「無機質球状化粒子の製造装置」の構成が、
相違点１
　前者は、「竪型球状化炉」が、円筒状の炉内壁に沿って接線方向下向きに遮断空気を導入する「遮断空気導入孔」を有するのに対して、後者は上記の構成を有しない点、
相違点２
　前者は、「竪型球状化炉」の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する「粒子出口孔」と、該「粒子出口孔」に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する「空気入口孔」とを水平方向の同軸上に対向配置するとともに、前記「粒子出口孔」の開口径を前記「空気入口孔」の開口径より大きく形成しているのに対して、後者は上記の構成を有しない点、
相違点３
　前者は、「竪型球状化炉」の底部には、「補助搬送空気の導入孔」を有しているのに対して、後者は上記の構成を有しない点、
相違点４
　前者は、「サイクロン」と「バグフィルター」との間に、「流量調節機構」を備えた「冷却空気導入部」を備えているのに対して、後者は上記の構成を有しない点、
で相違している。
　以下、上記相違点１乃至相違点４のうち、相違点２について検討する。
　引用刊行物２には、（２−Ａ）の記載からみて、「炉、炉の一端に設けた噴霧手段、当該噴霧手段の近傍に設けた着火手段、炉の外側面に設けた保炎手段、及び炉の他端近傍に設けた冷却手段より構成される金属粉末の製造装置であって、当該着火手段により金属塩溶液の液滴から気化する可燃性溶剤に点火し、当該保炎手段が燃焼を持続させることにより、金属塩あるいは生成した金属酸化物の分解及び金属の溶融を行い、溶融した金属を当該冷却手段により固化することを特徴とする金属粉末の製造装置」の発明が記載されており、（２−Ｂ）の記載からみて、当該発明は、「緻密で平滑な表面を有する球状粉末を得る」ためのものである。
　具体的には、（２−Ｃ）の記載からみて、上記「金属粉末の製造装置」においては、「炉２４」は、その上部に「噴霧器１３」及び「パイロットバーナー１４」を有し、下部は「バグフィルタ１８」と連結しており、上部に「流入孔２１」を有していて、「噴霧器１３」の周囲に「保炎バーナータイル１６」が設けられ、胴部外周面には「保温材１７」が設けられており、「噴霧器１３」は、二重管構造を有し、「原液タンク１１」と「噴霧用圧力ガス流入孔２０」とに連結しているものである。
　そして、（２−Ｄ）の記載からみて、当該装置においては、「金属塩溶液１９」は、「金属塩溶液タンク１１」より「噴霧器１３」に送られ、「流入孔２０」より流入する圧縮空気あるいは圧縮酸素等の圧力ガスにより「炉２４」内の「反応ゾーン２６」に噴霧され、燃料用ガスは、「流入孔２１」より供給され、「パイロットバーナー１４」は、噴霧された液滴より放出する可燃性ガスに点火し、燃焼は「保炎バーナータイル１６」により持続されて、燃焼熱により溶融した金属粒子は「炉２４」の下部に送られ、「流入孔２２」より流入する空気により冷却され金属粉末となり、当該金属粉末は、「流入孔２３」より流入する空気あるいは窒素（Ｎ２）等により、捕集のために設けられた「バグフィルター１８」に送られ、排ガスは「流出孔２５」より流出するものである。
　ここで、引用刊行物２に記載された「金属粉末の製造装置」は、「緻密で平滑な表面を有する球状粉末を得る」ものであるから、「無機質球状化粒子の製造装置」であると云え、「炉２４」において燃焼熱により溶融した金属粒子は、当該「炉２４」の下部に送られ、「流入孔２２」より流入する空気により冷却され金属粉末となるのであるから、上記「炉２４」は「竪型球状化炉」と云え、製造された金属粉末は、「炉２４」の下部に「流入孔２３」より流入する空気あるいは窒素（Ｎ２）等により、捕集のために設けられた「バグフィルター１８」に送られるものであるから、上記「金属粉末の製造装置」は、「炉２４」の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する「粒子出口孔」と、該粒子出口孔に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する「空気入口孔」とが配置されたものであり、かつ、「球状化粒子捕集手段」を備えたものと云える。
　更に、（２−Ｅ）の【図２】には、「炉２４」の下部の「粒子出口孔」及び「空気入口孔」の構成及び位置関係が概略的に開示されており、当該（２−Ｅ）の【図２】の記載から、生成した球状化粒子を炉内から導出する「粒子出口孔」と、該「粒子出口孔」に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する「空気入口孔」とが、水平方向に対向配置されるとともに、前記「粒子出口孔」の開口径を前記「空気入口孔」の開口径より大きく形成した構成が読み取れるから、そうすると、引用刊行物２には、「竪型球状化炉」と「球状化粒子捕集手段」を備えた「無機質球状化粒子の製造装置」において、前記「竪型球状化炉」の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する「粒子出口孔」と、当該「粒子出口孔」に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する「空気入口孔」とを、水平方向に対向配置するとともに、前記「粒子出口孔」の開口径を前記「空気入口孔」の開口径より大きく形成することが開示されていると云える。
　ところが、上記引用刊行物２に、上記「粒子出口孔」及び「空気入口孔」を「水平方向の同軸上」に対向配置することが記載されているとは云えない。
　すなわち、上記のとおり、（２−Ｅ）の【図２】は、「炉２４」の下部の「粒子出口孔」及び「空気入口孔」の構成及び位置関係を概略的に開示するものにすぎないのであって、上記（２−Ｅ）の【図２】の記載からは、「粒子出口孔」及び「空気入口孔」を「水平方向の同軸上」に対向配置した構成まで読み取ることはできないし、上記引用刊行物２には、その他に、「粒子出口孔」及び「空気入口孔」を「水平方向の同軸上」に対向配置した構成を開示する記載はなされていない。
　そうすると、上記引用刊行物２に、「炉２４」の下部の「粒子出口孔」及び「空気入口孔」を「水平方向の同軸上」に対向配置することが記載されているとは云えないから、引用刊行物２は、「無機質球状化粒子の製造装置」において、「竪型球状化炉」の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する「粒子出口孔」と、当該「粒子出口孔」に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する「空気入口孔」とを、「水平方向の同軸上」に対向配置するとともに、前記「粒子出口孔」の開口径を前記「空気入口孔」の開口径より大きく形成する構成を開示するものとは云えないのである。
　また、引用刊行物５には、（５−Ａ）の記載からみて、「ガラス球状粉末及びその製造方法」が記載されており、（５−Ｂ）の記載からみて、そのための装置は、「噴霧熱分解装置」であって、その炉本体は、耐火材を張った「縦型管状炉」であり、最上部に「二流体ノズル」が設置されており、その直下部には「ＬＰガスバーナー」が設けられていて、ＬＰガスを燃焼させたバーナーの火炎は、「縦型炉」内に切線方向に入るようになっており、「二流体ノズル」より噴霧された微細液滴は直接火炎中に投入され、炉下部には、「空気取り入れ口」が設けられ、外気を吸い込むことにより、急冷を行うことができ、噴霧熱分解されたガラス粉末は「サイクロン」を通過して分級され、「バグフィルター」で捕集されるものである。
　ここで、引用刊行物５に記載された「噴霧熱分解装置」の「縦型管状炉」は、「ガラス球状粉末」を製造するものであるから、本件訂正発明における「無機質球状化粒子の製造装置」の「竪型球状化炉」に相当し、「空気取り入れ口」は、粒子出口孔に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入するものであるから、本件訂正発明における「空気入口孔」に相当し、「バグフィルター」は、ガラス粉末を捕集するものであるから、本件訂正発明における「球状化粒子捕集手段」に相当するものである。
　更に、（５−Ｃ）の【図１】には、引用刊行物５に記載された「噴霧熱分解装置」の構成が概略的に開示されており、上記（５−Ｃ）の【図１】の記載から、炉下部の「空気取り入れ口」に、生成した球状化粒子を炉内から導出する「粒子出口孔」を水平方向に対向配置した構成が読み取れるから、そうすると、引用刊行物５には、「竪型球状化炉」と「球状化粒子捕集手段」を備えた「無機質球状化粒子の製造装置」において、前記「竪型球状化炉」の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する「粒子出口孔」と、当該「粒子出口孔」に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する「空気入口孔」とを、水平方向に対向配置することが開示されていると云える。
　ところが、引用刊行物５にも、「粒子出口孔」及び「空気入口孔」を、「水平方向の同軸上」に対向配置するとともに、「粒子出口孔」の開口径を「空気入口孔」の開口径より大きく形成することが、記載されているとは云えない。
　すなわち、（５−Ｃ）の【図１】もまた、「噴霧熱分解装置」の構成を概略的に開示するものにすぎないのであって、上記（５−Ｃ）の【図１】の記載からは、上記「粒子出口孔」及び「空気入口孔」が、「水平方向の同軸上」に対向配置されていることも、「粒子出口孔」の開口径を「空気入口孔」の開口径より大きく形成することも、読み取ることはできないし、上記引用刊行物５には、その他に、上記の構成を開示した記載はなされていないから、引用刊行物２の場合と同様に、上記引用刊行物５も、「無機質球状化粒子の製造装置」において、「竪型球状化炉」の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する「粒子出口孔」と、当該「粒子出口孔」に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する「空気入口孔」とを、「水平方向の同軸上」に対向配置するとともに、前記「粒子出口孔」の開口径を前記「空気入口孔」の開口径より大きく形成する構成を開示するものとは云えないのである。
　更に、引用刊行物３、引用刊行物４及び引用刊行物６に記載された発明は、それぞれの記載内容からみて、「無機質球状化粒子の製造装置」における「竪型球状化炉」の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する「粒子出口孔」と、当該「粒子出口孔」に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する「空気入口孔」とを設けたものではないから、上記引用刊行物３、引用刊行物４及び引用刊行物６もまた、「粒子出口孔」及び「空気入口孔」を水平方向の同軸上に対向配置するとともに、「粒子出口孔」の開口径を「空気入口孔」の開口径より大きく形成することを開示するものではない。
　そして、本件訂正発明は、上記の構成を採用することにより、特許明細書に記載の効果を奏するものである。
　そうすると、引用刊行物１に記載された発明において、上記相違点２に記載の構成を採用することを、引用刊行物２乃至引用刊行物６に記載された発明に基づいて、当業者が容易になし得るとは云えない。
　したがって、他の相違点について検討するまでもなく、本件訂正発明を、引用刊行物１乃至引用刊行物６に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとは云えないから、上記取消しの理由により、本件訂正発明を取り消すことはできない。　
３−５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件訂正発明を取り消すことはできない。
　また、他に本件訂正発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年９月２４日（２００４．９．２４）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
無機質球状化粒子の製造装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　無機質粉体原料を火炎中に供給して無機質球状化粒子を生成する球状化バーナーを炉頂部に垂直方向下向きに備えた竪型球状化炉
と、該竪型球状化炉で生成した球状化粒子を回収する球状化粒子捕集手段とを備えた
　
前記竪型球状化炉は、円筒状の炉内壁に沿って接線方向下向きに遮断空気を導入する遮断空気導入孔を有し、
　前記竪型球状化炉の下部に、生成した球状化粒子を炉内から導出する粒子出口孔と、該粒子出口孔に向けて球状化粒子搬送用の空気を導入する空気入口孔とを水平方向
の同軸上
　
前記竪型球状化炉の底部には、補助搬送空気の導入孔を有し、
　
前記球状化バーナーは、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして無機質粉体原料を供給する中心部の原料粉体供給路と、該原料粉体供給路の外周に配置された燃料ガス供給路と、該燃料ガス供給路の外周に配置された一次酸素供給路と、該一次酸素供給路の外周に配置された二次酸素供給路と、各供給路の先端に接続する出口側が拡径した燃焼室とを備えるとともに、前記一次酸素供給路は、燃焼室の側面から燃焼室内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第一噴出口を有し、前記二次酸素供給路は、第一噴出口の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第二噴出口を有しており、
　
前記球状化粒子捕集手段は、サイクロンとその下流に直列に設けられたバグフィルターとを備えるとともに、サイクロンとバグフィルターとの間に、流量調節機構を備えた冷却空気導入部を備えている
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、無機質球状化粒子の製造装置に関し、詳しくは、無機質粉体原料を火炎中に供給して無機質球状化粒子を製造する装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来から、無機質粉体原料を火炎中に供給することにより、無機質球状化粒子を製造することが行われており、その装置構成についても、様々な改善案が提案されている。例えば、特公平５−５９７８４号公報に記載された製造処理装置では、球状化バーナーや炉から不可避に発生する塊状物を確実に排除して無機質球状化粒子を回収する構成が記載されている。
　【０００３】
　上記製造処理装置は、球状化バーナーを備えた炉からなる球状化室と、内部に冷却気体が供給され、下端に球状化処理物の排出口を有する冷却室と、球状化処理物分離排出装置とから構成されている。また、炉の内壁には、炉材による製品の汚染を防ぐため、一定量のセルフライニング層を形成させ、セルフライニング層の厚さの調整は、炉の外面に設けた水冷ジャケットの水量による炉壁温度の調整により行っている。この構造によると、炉からの塊状物の発生は不可避であり、これを確実に排除して球状化粒子のみを回収するため、上述のような複雑な構成の球状化処理物分離排出装置を設けることが必須となっている。
　【０００４】
　また、特開平４−１２６５３８号公報には、球状化炉と球状化粒子捕集装置とを接続する接続管に、球状化炉から排出されるガスの温度を下げるための空気吸引口を設けた装置が記載されている。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　前記特公平５−５９７８４号公報に記載された構造の装置を用いることにより、球状化室で発生した塊状物を確実に排除でき、球状化粒子を効率的に回収することができるが、そもそも炉内壁に付着物を一定量成長させて維持することから、球状化処理物を分離排出するために複雑な装置構造が必要となっている。また、炉の内壁に一定の厚さの付着層を保持するためには高度の技術を必要とし、条件を逸脱し、炉壁に余計な付着物が発生すると、その表面の突起点が優先的に加熱されて次々に付着が進行するため、最悪の場合には炉が閉塞してしまうおそれもある。
　【０００６】
　また、後者の装置では、球状化粒子を回収する捕集装置、例えば、サイクロンやバグフィルターの前段に空気吸引口を設けているが、これをサイクロンの前段に設けた場合は、燃焼ガスを冷却するための多量の空気と燃焼ガスとが合算された大量のガスがサイクロンに導入されるため、サイクロンが必要以上に大型なものとなってしまう。
　【０００７】
　そこで本発明は、球状化バーナーや球状化炉からの塊状物の発生を抑えるとともに、球状化炉の下方に移動する球状化処理物の略全量を効果的に捕集装置に導くことができ、効率よく無機質球状化粒子を製造することができる無機質球状化粒子の製造装置を提供することを目的としている。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　
本発明は、
と、該竪型球状化炉で生成した球状化粒子を回収する球状化粒子捕集手段とを備えた
に関するものである
　【０００９】
　そして、上記目的を達成するため、その特徴とするところは、
前記竪型球状化炉は、円筒状の炉内壁に沿って接線方向下向きに遮断空気を導入する遮断空気導入孔を有し、
の同軸上
前記竪型球状化炉の底部には、補助搬送空気の導入孔を有し、前記球状化バーナーは、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして無機質粉体原料を供給する中心部の原料粉体供給路と、該原料粉体供給路の外周に配置された燃料ガス供給路と、該燃料ガス供給路の外周に配置された一次酸素供給路と、該一次酸素供給路の外周に配置された二次酸素供給路と、各供給路の先端に接続する出口側が拡径した燃焼室とを備えるとともに、前記一次酸素供給路は、燃焼室の側面から燃焼室内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第一噴出口を有し、前記二次酸素供給路は、第一噴出口の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第二噴出口を有しており、前記球状化粒子捕集手段は、サイクロンとその下流に直列に設けられたバグフィルターとを備えるとともに、サイクロンとバグフィルターとの間に、流量調節機構を備えた冷却空気導入部を備えていることにある
　【００１０】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明を、図面を参照してさらに詳細に説明する。図１は、本発明の無機質球状化粒子の製造装置の一例を示す概略図、図２は球状化バーナーの要部の断面図、図３は球状化炉の概略平面図である。
　【００１１】
　本形態例に示す無機質球状化粒子の製造装置は、球状化バーナー１を備えた竪型の球状化炉２と、該球状化炉２で生成した球状化処理物（球状化粒子）を捕集する球状化粒子捕集手段３とを備えている。
　【００１２】
　前記球状化バーナー１は、球状化炉２の頂部に、火炎を垂直方向下向きに噴出するように設置されている。図２に示すように、この球状化バーナー１は、多重管構造を有しており、中心から順に、原料粉体供給路１１，燃料ガス供給路１２，一次酸素供給路１３，二次酸素供給路１４、冷却水通路１５，１６が形成されている。原料粉体供給路１１には、酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして無機質の原料粉体が供給され、燃料ガス供給路１２には、天然ガスやプロパンガス等のガス状燃料が供給される。また、一次酸素供給路１３及び二次酸素供給路１４には、酸素や酸素富化ガスが供給される。
　【００１３】
　各供給路の先端には、出口側が拡径した燃焼室１７が設けられている。この燃焼室１７と原料粉体供給路１１との間には、小孔からなる原料粉体噴出口１８を多数設けた粉体拡散板１９が設けられている。また、燃焼室１７と燃料ガス供給路１２との間には、多数の小孔からなる燃料噴出口２０が設けられている。そして、一次酸素供給路１３の先端には、燃焼室１７の側面から燃焼室１７内に旋回流を形成する方向に酸素を噴出する複数の第一噴出口２１が設けられ、二次酸素供給路１４の先端には、前記第一噴出口２１の下流側で中心軸方向に向けて酸素を噴出する複数の第二噴出口２２が設けられている。
　【００１４】
　上記構成の球状化バーナー１は、拡散型のバーナーであるので、逆火を生じることがない。また、原料粉体は、原料粉体供給路１１から酸素又は酸素富化空気をキャリアガスとして供給するので、配管の自然摩耗によるリークを考えた場合に安全性が高く取扱いが容易になる。さらに、燃焼室１７では、中心部の多数の小孔からなる原料粉体噴出口１８から酸素又は酸素富化空気と共に原料粉体が拡散するように噴出し、その外周の燃料噴出口２０から燃料ガスが噴出し、さらにその外周の第一噴出口２１から一次酸素ガスが旋回流を形成する方向に、第二噴出口２２から二次酸素ガスが中心軸方向にそれぞれ噴出するので、燃料ガスと酸素ガスとが十分に混合し、安定した高温燃焼火炎が得られる。しかも、一次酸素ガスの旋回流により、球状化バーナー１の先端部に球状化処理物が付着することも防止できる。
　【００１５】
　また、原料粉体噴出口１８を噴出方向に広がる方向に設けて原料粉体を放射状に広がるように拡散させることにより、原料粉体を火炎中に分散させることができ、効率よく加熱できる。加えて、燃焼室１７の外周に冷却水通路１５，１６を設けて冷却水で冷却することにより、ノズル部の溶損を防止できるとともに、燃焼室１７の内面が過熱状態になることがなく、表面に形成される酸化被膜が剥離して汚染されることも防止できる。
　【００１６】
　さらに、酸素供給路を一次酸素供給路１３と二次酸素供給路１４とで構成し、各酸素供給路から供給する酸素量の割合を調節することにより、球状化粒子を製造するのに最適な燃焼状態が得られる。例えば、一次酸素供給路１３から供給する一次酸素の比率を上げると、二次酸素供給路１４から供給される二次酸素との混合が緩慢になり、ノズル出口近傍で温度が低く、下流域で温度が高い火炎が得られる。逆に一次酸素の比率を下げると燃焼室１７での二次酸素との混合が促進され、ノズル出口近傍で比較的温度の高い火炎を得ることができる。
　【００１７】
　したがって、平均粒径の小さな原料粉体を処理するときには、凝集状態を開放する段階では過度な高温域を必要とせず、分散した状態で高温域を通過させるのが有効であるから、一次酸素の比率を上げればよく、一方、平均粒径の大きな原料粉体を処理する場合は、火炎温度が高いことが重要なため、一次酸素の比率を小さくすればよい。これにより、原料粉体の平均粒径に応じて効率よく原料粉体を球状化することができる。
　【００１８】
　また、燃料ガスと酸素ガスとを別の供給路から供給する方式の拡散型のバーナーであることから、燃料ガス及び酸素ガスの供給量を減らして燃焼量を下げることができ、生産量に応じた減量運転を容易に行うことができる。
　【００１９】
　前記球状化炉２は、円筒状の炉本体部３１と、この炉本体部３１の下部に連設した球状化処理物取出部３２とを有している。図３に示すように、炉本体部３１には、複数の遮断空気導入孔３３が設けられている。この遮断空気導入孔３３は、送風機３４から遮断空気導入管３５を介して供給される遮断空気を炉内壁に沿って接線方向下向きに導入するものであり、球状化処理が行われる炉内壁全体にわたって遮断空気を導入できるように、本形態例では、炉の周方向に９０度間隔で４列、上下方向に５段の計２０箇所に遮断空気導入孔３３を設けている。この遮断空気導入孔３３から炉内に導入する空気量は、炉の大きさや炉内温度の低下状態等を考慮して設定すればよい。
　【００２０】
　このように、球状化炉２の炉内壁に沿って遮断空気を導入することにより、炉内壁の表面に渦巻状の下降気流からなる空気層を形成できるため、炉内で生成した球状化処理物が炉内壁に付着して堆積することを防止できる。
　【００２１】
　炉下部の球状化処理物取出部３２には、粒子出口孔３６と空気入口孔３７とが設けられている。粒子出口孔３６と空気入口孔３７とは、炉中心軸に対して直交する水平方向の同軸上に、相対向するように配置されており、粒子出口孔３６の開口径は、空気入口孔３７の開口径より大きく形成されている。これにより、空気入口孔３７から粒子出口孔３６に向かって流れるガスが効率よく粒子出口孔３６内に流入し、その流れにエジェクターと同様の作用が発生し、球状化処理物を
粒子出口孔３６
　【００２２】
　したがって、球状化処理物取出部３２に到達した球状化処理物は、空気入口孔３７から流入して粒子出口孔３６に向かって流れる球状化粒子搬送用の空気に乗って略全量が粒子出口孔３６から炉外に取出される。両孔の開口径や開口比は、無機質球状化粒子の生産能力、即ち球状化炉２の大きさや燃焼ガスの量及び温度等の条件に応じて設定すればよく、空気入口孔３７からの空気量や流速も任意に設定することができる。また、空気入口孔３７から導入される空気は、球状化バーナー１の燃焼ガスの温度を、次の球状化粒子捕集手段３における処理に適した温度に下げる機能も有しているが、温度を下げるために空気量を多くすると、球状化粒子捕集手段３の容量を大きくする必要が生じるため、必要最小限の量とすべきである。
　【００２３】
　さらに、球状化処理物取出部３２の下部の炉底部には、補助搬送空気導入孔３８が設けられている。この補助搬送空気導入孔３８は、炉底部を熱的に保護することを主目的としながら、導入空気により炉底部に上昇気流を形成して球状化処理物が炉底部に落下するのを防止する作用も有している。この落下防止作用により、球状化処理物が炉底部に落下することがなくなり、生成した球状化処理物の全量を前記粒子出口孔３６から取出して球状化粒子捕集手段３に送ることができる。
　【００２４】
　したがって、前述の球状化バーナー１への球状化処理物の付着防止と、炉内壁への球状化処理物の付着防止とにより、球状化バーナー１で生成した球状化処理物の全量を球状化処理物取出部３２に移動させることができるとともに、球状化処理物の付着堆積による塊状物の発生がなくなるので、上述のような簡単な構造の球状化処理物取出部３２で確実に球状化処理物を球状化粒子捕集手段３に送ることができ、設備コストの低減や無機質球状化粒子の回収率の向上を図ることができる。
　【００２５】
　また、炉底部には、炉内を観察するための観察窓３９が略垂直方向上向きにに向けて設けられている。無機質球状化粒子の製造装置においては、製品の無機質球状化粒子が一定のレベル以上の純度であること（不純物の混入を極小におさえること）が要求されるため、球状化炉２は、密閉構造で形成するようにしている。このような密閉構造の炉においては、操業中に炉内を点検するための観察窓は必要不可欠であり、観察窓の位置は、操業上重要な意味を持つ。しかし、この観察窓を炉頂に設けたのでは、球状化バーナー１の火炎の状況やバーナー先端の状態を観察することができず、また、炉側壁に設けたのでは、観察窓に対向した炉内の一部しか観察することができない。これに対し、上述のように炉底部（閉蓋部）に上向きに観察窓３９を設けることにより、操業中に球状化炉２の炉内全体を一度に見渡すことが可能となり、一つの観察窓３９のみで、球状化バーナー１の先端部の状況や火炎の状況、炉壁の状況を確実に点検することができる。
　【００２６】
　なお、炉底部に設けたバルブ４０は、メンテナンス等の際に用いるものであり、通常の運転中は、常に閉じ状態となっている。
　【００２７】
　前記球状化粒子捕集手段３は、サイクロン４１とその下流に直列に設けられたバグフィルター４２とを有している。球状化炉２の粒子出口孔３６から取出された球状化処理物は、球状化粒子捕集手段３のサイクロン４１で粗大粒が固気分離された後、下流のバグフィルター４２で微細粒が捕集されてそれぞれ回収される。このとき、サイクロン４１に流入するガスは、球状化バーナー１の燃焼ガス、遮断空気導入孔３３からの遮断空気及び空気入口孔３７からの球状化粒子搬送用の空気が混合したガスであって、前述のように、球状化粒子搬送用の空気量を適当に設定することにより、通常の構造のサイクロン４１で処理可能な４００℃以下の温度に下げられている。
　【００２８】
　そして、サイクロン４１のガス出口部には、サイクロン４１からバグフィルター４２に向かうガスの温度を下げるための冷却空気導入部４３が設けられている。この冷却空気導入部４３には、冷却空気の導入量を調節するための流量調節機構としてダンパー４４が設けられている。このように冷却空気導入部４３にダンパー４４を設けることにより、ガス量の増加を最小限に抑えながら、バグフィルター４２に流入するガスの温度を、通常のバグフィルターの濾布の耐熱温度である１８０℃以下で、ガス中の水分が結露して濾布に付着することのない１００℃以上の範囲に調節することができる。また、冷却空気導入部４３を設ける位置は、高温のガスと冷却空気とが十分に混合して温度が低下してからバグフィルター４２に流入するように、サイクロン４１のガス出口部直近に設けることが好ましい。
　【００２９】
　上述のように、球状化処理物取出部３２の空気入口孔３７から導入する球状化粒子搬送用の空気で第１段階の温度希釈を行い、サイクロン４１のガス出口部に設けた冷却空気導入部４３から導入する冷却空気で第２段階の温度希釈を行うことにより、サイクロン４１やバグフィルター４２に流入するガスの温度を、各装置における最適な温度範囲に調節できるとともに、サイクロン４１に流入するガス量を球状化処理物の搬送に必要十分な量にすることができ、ガス量の増加を抑えてサイクロン４１を必要以上に大きく形成する必要がなくなり、設備コストの低減が図れる。
　【００３０】
　なお、空気入口孔３７からの球状化粒子搬送用の空気や冷却空気導入部４３からの冷却空気は、最下流に設けた吸引ブロワー４５による吸引力で吸引するようにしてもよく、空気入口孔３７や冷却空気導入部４３の上流に適宜な送風機を設けて空気を押込むようにしてもよく、これらを併用するようにしてもよい。
　【００３１】
　【実施例】
　図１に示す装置構成の製造装置に、図２に示す構造の球状化バーナーを用いて球状化粒子の製造実験を行った。まず、球状化バーナーには、燃料としてＬＰＧガスを３０Ｎｍ３／ｈ、無機質粉体原料のキャリアガスとして酸素ガスを３０Ｎｍ３／ｈ、無機質粉体原料として天然石英粉砕粉を１８０ｋｇ／ｈでそれぞれ供給した。そして、一次酸素と二次酸素の流量を、１０Ｎｍ３／ｈと１１０Ｎｍ３／ｈとの組合わせから、６０Ｎｍ３／ｈと６０Ｎｍ３／ｈとの組合わせまで、１０Ｎｍ３／ｈ刻みで流量比を変化させて球状化処理を行ったところ、一次酸素が５０Ｎｍ３／ｈで二次酸素が７０Ｎｍ３／ｈの組合わせが最適であることが確認できた。すなわち、一次酸素量が少ないときには、バーナー燃焼室内に溶融した付着塊が成長し、定期的に落下する現象が観察されたが、前記５０：７０の流量条件のときは、バーナー燃焼室内への付着はほとんど見られなかった。また、このとき、サイクロンにて捕集した試料の真比重は、石英ガラスの真比重と略等しく、十分溶融されていることが確認できた。
　【００３２】
　竪型球状化炉は、内径６００ｍｍ、長さ（高さ）３０００ｍｍであって、炉内壁には、遮断空気導入孔を円周方向４列×上下方向５段に設け、各遮断空気導入孔から、それぞれ１００Ｎｍ３／ｈで空気を噴出させて遮断空気が炉壁に満遍なく行き渡るようにした。その結果、炉壁への付着物はほとんど発生せず、長時間の連続運転が可能であった。なお、遮断空気を止めた場合は、炉内壁の一部が石英の融点以上の温度となり、その部分を中心として付着物が成長し、塊状物が炉底に落下し、最悪の場合は炉閉塞に至った。
　【００３３】
　球状化炉の下部には、内径３００ｍｍの空気入口孔と内径６５０ｍｍの粒子出口孔とを同一軸上に対向配置し、空気入口孔から球状化粒子搬送用の空気を３０００Ｎｍ３／ｈで導入した。また、炉底部の補助搬送空気導入孔からは、３００Ｎｍ３／ｈで空気を導入した。その結果、球状化炉の内部には球状化粒子が全く残存せず、炉内で生成した球状化粒子の全量を、粒子出口孔から球状化粒子捕集手段に送出すことができた。
　【００３４】
　このとき、球状化粒子捕集手段のサイクロン入口部のガスの温度は３８０℃であり、ガス量も、内径６２０ｍｍのサイクロンで十分に捕集回収処理を行うことができる量であった。また、サイクロンで回収した球状化粒子は、粒度分布、溶融状態等、全て満足のいくものであった。
　【００３５】
　さらに、サイクロン出口部の冷却空気導入部から６４００Ｎｍ３／ｈで冷却空気を導入した。その結果、バグフィルター入口部のガスの温度は１８０℃となった。比較として、図１に想像線で示すように、サイクロン入口側の配管途中に冷却空気導入部Ａを設け、ここから６４００Ｎｍ３／ｈの冷却空気を導入すると、サイクロン入口部のガスの温度は、１７０℃となるが、このときのガス量に応じて通常のサイクロンを設計すると、内径が約２０００ｍｍという、非現実的な長大なものとなる。
　【００３６】
　また、炉底部に、直径４５ｍｍの石英製窓材を装着した観察窓を設けて炉内を観察したところ、原料の供給中は、粒子出口孔に向かって流れる球状化処理物により視界が遮られるために炉内を観察することができなかったが、原料粉体の供給を停止すると、炉内壁及び球状化バーナーを一望でき、付着や炉材の損耗状況等が即座に判断できた。炉頂部にも同様の観察窓を設けて観察したが、この場合は、炉壁部の下側や炉底部の観察及び火炎の下部の状況が観察できるのみで、バーナー先端の状況、炉天井部及び炉壁上部の観察ができなかった。また、炉側壁部に観察窓を設けた場合は、観察窓対面の炉壁部は観察できるが、観察窓側の炉壁の大半は観察することができなかった。
　【００３７】
　さらに、球状化バーナーに供給する天然石英粉砕粉を７０ｋｇ／ｈとし、ＬＰＧガスを１７Ｎｍ３／ｈ、一次酸素と二次酸素を、流量比はそのままで合計８５Ｎｍ３／ｈにそれぞれ下げて約４０％のターンダウン運転を行ったが、冷却空気導入量をバグフィルター入口部のガスの温度が１００℃以下にならないよう調節した以外は、問題なく運転を行うことができた。
　【００３８】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明の無機質球状化粒子の製造装置によれば、球状化バーナーで生成した球状化処理物の全量を効果的にサイクロン等の捕集装置に導くことができるので、一定の付着層を維持するための複雑な制御や、複雑な構造の球状化処理物分離排出装置を採用する必要がなく、設備コストの低減が図れる。
　【００３９】
　また、サイクロンとバグフィルターとの間で冷却空気を導入することにより、サイクロンを必要以上に大型なものとすることなく経済的な装置を提供することが可能となる。さらに、炉底部に上向きに観察窓を設けることにより、操業中に炉内全体を一度に見渡すことが可能となり、バーナー先端の状況、火炎の状況、炉壁の状況等の点検を効果的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の無機質球状化粒子の製造装置の一例を示す概略図である。
　【図２】　球状化バーナーの要部の断面図図である。
　【図３】　球状化炉の概略平面図である。
　【符号の説明】
　１…球状化バーナー、２…球状化炉、３…球状化粒子捕集手段、１１…原料粉体供給路、１２…燃料ガス供給路、１３…一次酸素供給路、１４…二次酸素供給路、１５，１６…冷却水通路、１７…燃焼室、１８…原料粉体噴出口、１９…粉体拡散板、２０…燃料噴出口、２１…第一噴出口、２２…第二噴出口、３１…炉本体部、３２…球状化処理物取出部、３３…遮断空気導入孔、３４…送風機、３５…遮断空気導入管、３６…粒子出口孔、３７…空気入口孔、３８…補助搬送空気導入孔、３９…観察窓、４１…サイクロン、４２…バグフィルター、４３…冷却空気導入部、４４…ダンパー、４５…吸引ブロワー