【事件の表示】
　特願２００７−２８１３１６「透過形電子顕微鏡」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年　５月２１日出願公開、特開２００９−１１０７８８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１９年１０月３０日の出願であって、平成２４年６月４日に手続補正がなされ、同年７月２４日付けで最後の拒絶理由の通知がなされ、これに対して、同年１０月１１日に手続補正がなされたが、同年１１月５日付けで当該補正についての補正の却下の決定がなされるとともに拒絶査定がなされた。これに対し、平成２５年２月２８日に拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。
　
第２　本願発明
１．本願発明
　本願の請求項１に係る発明は、平成２４年６月４日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
　
「試料に電子線を照射する手段と、試料を透過した透過電子線による像を取得する手段と、透過電子線の一部を通過させるための開口を有する絞り手段と、透過電子線に基づいて取得された像を表示する表示手段と、これらの制御及び所定の演算処理を行うとともに、メモリを備える制御手段とを有する透過型電子顕微鏡であって、制御手段が、絞り手段を介さずに取得された前記試料の回折像をメモリに記憶し、絞り手段を介して取得された画像と、メモリに記憶された前記回折像とを重ね合わせて表示手段に表示させることを特徴とする透過形電子顕微鏡。」（以下「本願発明」という。）　
　
２．引用刊行物及び該刊行物に記載の発明
（１）引用文献１
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願出願前に頒布された刊行物である、特開平４−３６６５３９号公報（以下「引用文献１」という。）には、以下の事項が記載されている。
（１ａ）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）における対物絞りの駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＴＥＭにおいては、試料の拡大像（以下、単に像と称す）を観察する像観察モードと、当該試料の回折パターンを観察する回折パターン観察モードを備えており、明視野像または暗視野像の観察が可能となされている。そして、明視野像または暗視野像を観察する場合には、まず回折パターン観察モードにおいてスクリーン上で観察される回折パターンの中から所望のスポットを対物絞りで選択し、像観察モードに変更することが行われる。所望のスポットを選択するときの対物絞りの位置調整は、従来、スクリーンを観察しながら対物絞り位置調整摘みを操作して対物絞りを光軸と直交する面内でＸ及びＹ方向に移動させることによって行っていたが、近年ではジョイスティックまたはマウス等のポインティングデバイスを用いて行うことが提案されている。」
（１ｂ）「【００１３】また制御装置３は、コンデンサーレンズおよび／または対物レンズの励磁電流を取り込み、その励磁条件に基づいて回折パターンが結像される後焦点面の位置が対物絞り１の電子銃側にあるか、またはスクリーン側にあるかを判断して対物絞り駆動部２に指示する移動方向をマウス４の移動方向と同じとするか、反転させるかを決定する。即ち、像観察モード時において、図２のＡで示すように、後焦点面が対物絞り１の位置および対物絞り１よりスクリーン側（図２では下側）に形成されている場合には上記の動作を行うことによって、スクリーン上での対物絞りによってできる影の移動方向とマウス４の移動方向とを一致させることができるが、後焦点面が図２のＢで示すように対物絞り１より電子銃側に形成される場合には、対物絞り１が電子線を遮る方向が逆になるので、制御装置３が上記の処理を行った場合には、スクリーン上での対物絞り１によってできる影の移動方向はマウス４の移動方向とは反対になる。なお、図２においてＥＢは電子線を示している。」
（１ｃ）「【図１】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（１ｄ）「【図２】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（１ｅ）上記摘記事項（１ｂ）及び図２の記載を参酌すれば、対物絞り１は、電子線ＥＢの流れに対して試料の下流側にあることがわかる。
　
　これらの記載事項を含む引用文献１全体の記載及び当業者の技術常識を総合すれば、引用文献１には、以下の発明が記載されている。
　
　「電子銃とスクリーンと試料の下流側にある対物絞りとを有し、
　明視野像または暗視野像を観察する場合に、まず回折パターン観察モードにおいてスクリーン上で観察される回折パターンの中から所望のスポットを対物絞りで選択し、像観察モードに変更することが行われる透過型電子顕微鏡において、
　所望のスポットを選択するときの対物絞りの位置調整を、スクリーンを観察しながら対物絞り位置調整摘みを操作して対物絞りを光軸と直交する面内でＸ及びＹ方向に移動させることによって行う、
　透過型電子顕微鏡。」（以下「引用発明」という。）
　
（２）引用文献２
　同じく、特開平１０−１２１７８号公報（以下「引用文献２」という。）には、以下の事項が記載されている。
（２ａ）「【００２０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は投影イオンビーム装置において試料の像の検出、およびアパーチャ投影像と試料との位置合わせに関し適切な手段を提供することをその目的としている。」
（２ｂ）「【００２３】
【発明の実施の形態】図７を用いて、本発明の構成と作用を説明する。イオン源701からイオンを引き出し試料701の上に可変アパーチャの像を結像照射するまでは、図３と全く同じである。ここで、イオンビームを照射した試料の各点からは、各点の状態を反映して２次電子が放出される。２次電子はイオンビ−ムとは逆の電荷をもっているため、特に引込みや加速のための電極などを設けない場合においても、光学系を逆に進ませることができる。また、第2レンズの最下段電極701cと試料712の間が加速空間になっているような光学系の構成とすれば、試料からの2次電子は加速されて第2レンズ709に引き込まれ、第2レンズの作用により平行ビームとなって上方へ進む。あるいはまた、図示しないが、試料と最終段のレンズ電極の間に引き込み電極を設け弱い正電界をかけることにより、高速のイオンビームの軌道にはほとんど影響を与えずに、２次電子を上方へ引き込むこともできる。ここでブランキングアパーチャの手前にウィーンフィルタを設ける。ウィーンフィルタはビーム軸に対し直角に、互いに直交する磁界Bと電界Eを印加する磁極721と電極702およびこれらの駆動電源723とからなる。」
（２ｃ）「【００２９】そこで701のイオン源のイオンにたいしては直進するようにE,Bを設定しその条件において電子が進行する方向に光軸724を設定して第3の静電レンズを設け、これによりその先に設けた蛍光板726の上に結像投影を行う。こうすれば蛍光板に現れた像をそのまま観察することもでき、またその背面にフォトダイオードアレイ等の光電変換素子を設置すればこの像を電気信号に変換し増幅器715により増幅されてディスプレイ716上に像を表示することもできる。この場合において調整用電極728はウィーンフィルタの影響で電子のビームに生じた拡散、偏向、その他様々の影響を除いて正しく蛍光板上に結像させィィるためのものである。」
（２ｄ）「【００３２】この装置構成を用いた場合、試料の処理すべき箇所の検出、位置合わせ、可変アパーチャの位置および寸法の設定は以下のように行われる。まず可変アパーチャを大きく開いた状態で第3の静電レンズ725の拡大倍率を小さく取ると、第８図ａのように配線パターンの広い領域が見える。ここに801のようにハッチングを施した部分が配線である。徐々に倍率を大きくしていくことにより図８ｂ、図８ｃのように拡大して、処理すべき箇所を検出することができる。ここで可変アパーチャ708とその像803から805へと徐々に小さくしていきその位置を調整すると共に、偏向器707、708により加工箇所の像の位置も調整し、最終的に図８ｄ、あるいはそれをディスプレイ上で拡大した図８ｅのような状態にしてアパーチャの寸法と位置の設定を完了する。
【００３３】上記においてさらに第4のレンズを電子ビーム側の光軸の途中に設置し倍率の設定などにより自由度を持たせることも可能である。
【００３４】・・・図７の例においてはアパーチャと試料とを同時に観察することは困難であり、試料はアパーチャの開口部分から見えるのみであった。画像記憶装置720を設置し一方の像を記憶させて置き、他方の像を表示したときに、記憶した像を同時に表示させて、これらの像を重ね合わせて見ることはできる・・・」
（２ｅ）「【図８】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（２ｆ）上記摘記事項（２ｄ）及び図８の（ａ）、（ｂ）、（ｅ）を参酌すれば、「可変アパーチャを大きく開いた状態」は、可変アパーチャを視野から退避させた状態であることがわかる。
　
　これらの記載事項を含む引用文献２全体の記載及び当業者の技術常識を総合すれば、引用文献２には、以下の発明が記載されている。
　
　「試料の処理すべき箇所の検出、位置合わせ、可変アパーチャの位置および寸法の設定手段を有する投影イオンビーム装置において、
　まず可変アパーチャを大きく開いた、可変アパーチャを視野から退避させた状態で静電レンズの拡大倍率を小さく取ることにより配線パターンの広い領域を観察し、徐々に倍率を大きくしていくことにより拡大して、処理すべき箇所を検出し、
　次に可変アパーチャの像を徐々に小さくしていきその位置を調整すると共に、加工箇所の像の位置も調整し、最終的にアパーチャの寸法と位置の設定を完了するようにした投影イオンビーム装置であって、
　画像記憶装置を設置し、可変アパーチャを視野から退避させた状態で取得した試料の像を記憶させて置き、アパーチャの像を表示したときに、記憶した像を同時に表示させて、これらの像を重ね合わせて見ることができる、
投影イオンビーム装置。」（以下「引用２発明」という。）
　
３．対比
　本願発明と引用発明を対比する。
（１）引用発明の「電子銃」、「試料の下流側にある対物絞り」及び「透過型電子顕微鏡」は、それぞれ本願発明の「試料に電子線を照射する手段」、「透過電子線の一部を通過させるための開口を有する絞り手段」及び「透過形電子顕微鏡」に相当する。
（２）引用発明はスクリーン上で回折パターンが観察されるから、引用発明の「スクリーン」は本願発明の「透過電子線に基づいて取得された像を表示する表示手段」に相当する。
（３）引用発明は透過型電子顕微鏡であるから、「試料を透過した透過電子線による像を取得する手段」を有することは自明である。
　また、当業者の技術常識に照らして、引用発明が「これらの制御及び所定の演算処理を行う制御手段」を有することも明らかである。
　
　そうすると、両者は、
　「試料に電子線を照射する手段と、試料を透過した透過電子線による像を取得する手段と、透過電子線の一部を通過させるための開口を有する絞り手段と、透過電子線に基づいて取得された像を表示する表示手段と、これらの制御及び所定の演算処理を行う制御手段とを有する透過形電子顕微鏡。」
の点で一致し、次の点で相違している。
　
（相違点）
　本願発明では、制御手段が「メモリを備え」「絞り手段を介さずに取得された前記試料の回折像をメモリに記憶し、絞り手段を介して取得された画像と、メモリに記憶された前記回折像とを重ね合わせて表示手段に表示させる」のに対して、引用発明ではそのような制御手段を有していない点。
　
４．判断 
（１）上記相違点に係る構成と引用２発明を対比すると、引用２発明の「画像記憶装置」は相違点に係る構成の「メモリ」に相当する。
（２）本願発明の「絞り手段を介さずに取得された前記試料の回折像」とは、本願明細書の記載（特に段落【０００２】〜【０００５】）を総合的に勘案すれば、「絞り手段を視野から退避させた状態で取得された前記試料の回折像」にほかならない。
　また、引用２発明の「可変アパーチャを視野から退避させた状態で取得した試料の像」は、「可変アパーチャを介さずに取得された試料の像」である。
（３）引用２発明の「可変アパーチャ」は照明するビームを絞ることにより、観察する試料の視野を絞るものであるから、その意味において、本願発明の「絞り手段」と共通する。
（４）以上のことを考慮すれば、引用２発明の「可変アパーチャを視野から退避させた状態で取得した試料の像」と、本願発明の「絞り手段を介さずに取得された前記試料の回折像」とは、ともに「絞り手段を介さずに取得された試料の像」である点で共通する。
（５）また、引用２発明の「アパーチャの像」は相違点に係る構成の「絞り手段を介して取得された画像」に相当する。
　同様に、引用２発明の「アパーチャの像を表示したときに、記憶した像を同時に表示させて、これらの像を重ね合わせて見ること」は、相違点に係る構成の「絞り手段を介して取得された画像と、メモリに記憶された前記像とを重ね合わせて表示手段に表示させる」に相当する。
（６）以上のことから、引用２発明は上記相違点に係る構成の「メモリを備え」「絞り手段を介さずに取得された試料の像をメモリに記憶し、絞り手段を介して取得された画像と、メモリに記憶された前記像とを重ね合わせて表示手段に表示させる」構成を有する。
（７）引用発明も引用２発明も、ともに荷電粒子ビームを用いて試料を観察するものにおいて、試料の特定の領域に絞り手段の位置を合わせることを目的とするものであるから、引用２発明を引用発明に適用することに格別の阻害要因はない。また、その場合に格別の技術的困難性も認められない。
　なお、請求人は審判請求書において「引用文献２には、「アパーチャを通した試料像と通さない試料像をメモリを用いて重畳させる」ことは記載されていない」旨主張するが、上記のとおりであるから、請求人の当該主張には理由がない。
　そして、引用２発明を引用発明に適用した場合に、「絞り手段を介さずに取得された像」が「回折像」であることは自明である。
（８）してみると、引用２発明を引用発明に適用することにより相違点に係る構成を得ることは、当業者が容易になしうる事項である。
（９）そして、本願発明全体の効果も、引用発明及び引用２発明から当業者が予測し得る範囲のものであって格別なものではない。
　
　したがって、本願発明は、引用発明及び引用２発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第３　むすび 
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び引用２発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、本願は、拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。