【事件の表示】
　特許第３２４４０２１号「走査型プローブ顕微鏡」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３２４４０２１号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
　特許第３２４４０２１号の請求項１に係る発明についての特許は平成１３年１０月２６日にその発明について特許の設定登録がなされた後、その特許について特許異議申立人今井　文より特許異議の申立てがなされ、取消理由が通知され、特許権者より意見書が提出された。
［１］本件発明
　本件請求項１に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。（以下、本件発明という。）
「複数の測定モードを有する走査型プローブ顕微鏡において、検出信号増幅部と当該検出信号増幅部の増幅信号を信号処理する信号処理部を備え、前記検出信号増幅部は、前記複数の測定モードに応じて、信号強度が小さく、信号変化が試料表面の凹凸変化に対して大きな検出信号に対して対数増幅し、信号強度が大きく、信号変化と試料表面の凹凸との比率が線形な信号に対して比例増幅することを特徴とする、走査型プローブ顕微鏡。」
　
［２］取消理由通知で引用した刊行物に記載された内容
刊行物１；特開平5-223520号公報（異議申立人提出の甲第１号証）
1-a「【産業上の利用分野】本発明は、試料に接近させた探針を走査することにより試料の微視的な表面情報を得る走査型プローブ顕微鏡に関する。」（【0001】）
　
1-b「【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡としては、走査型トンネル顕微鏡（Scanning TunnelingMicroscope：ＳＴＭ）や原子間力顕微鏡（Atomic ForceMicroscope：ＡＦＭ）などが知られている。
　ＳＴＭは、１９８２年に・・・このトンネル電流ＩＴは次式で示される。・・・探針試料間距離が0.1nm変化すると、トンネル電流ＩTは１桁程度変化することが（１）式から分かる。・・・試料表面の微細な凹凸を示すＳＴＭ像が得られる。・・・試料の凹凸情報を得ることができる。
　また、ＡＦＭは特開昭６２−１３０３０２号公報等に開示されている。・・・ＡＦＭは、カンチレバーのたわみ量または振動振幅に基づいて、原子間力あるいはその微分に該当する信号を検出し、この信号を一定に保つように探針試料間距離を制御しながら探針を走査し、得られる探針の位置情報をＳＴＭと同様に処理することにより、試料の表面形状を原子レベルの分解能で示す像が得られる。ＡＦＭは、ＳＴＭ装置の様に導電性試料に限らず、絶縁性試料も測定できる。このように、カンチレバーを用いて試料と探針の間に働く力を検出して試料の測定を行なう走査型プローブ顕微鏡を総称してＳＦＭ（Scanning Force Microscope）と呼び、ＡＦＭはＳＦＭの一つの形である。」（【0002】〜【0009】）
　
1-c「【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。・・・（１）式によれば、トンネル電流ＩTの距離微分であるバリアハイトφの平方根は次式で与えられる。・・・カンチレバーの自由端の振動の振幅である。」（【0021】〜【0025】）
　
1-d「試料２６にはバイアス電源３０からバイアス電圧・・・この電位差ＶTに応じて（１）式で示されるトンネル電流ＩTが探針１４と試料２６の間に流れる。・・・トンネル電流の振幅ΔＩTを検出し出力する。
　また、変位検出器２４で検出されたカンチレバー１２の変位ＺTIPはロックインアンプ２０に入力される。・・・試料表面のバリアハイト像が得られる。
　最後に試料表面と探針先端との間の接触電位差の測定・・・この信号をＸＹ走査信号と同期させて記録することにより、試料表面の接触電位差の分布が得られる。」（【0026】〜【0027】）
　
刊行物２；特開平3-175302号公報（同甲第２号証）
2-a「実空間で物体表面を原子スケールの分解能で観察することができる走査型トンネル顕微鏡（以後ＳＴＭと略す）は、・・・手軽に使用されはじめた。」（１頁右欄下から５行〜２頁左上欄２行）
　
2-b「第３図は、本発明の電気系を示すブロック図である。探針と試料の距離を一定に保つ制御回路部分は、探針・試料間を流れるトンネル電流を電流電圧変換器１０１で電圧に変換し、対数変換器１０２を通した値と制御するトンネル電流のレベルを設定した標準電源１０３の出力値とを比較器１０４で比較する。・・・探針と試料の距離を制御する。」（３頁左下欄１１行〜右下欄２行）
　
刊行物３；特開平3-259728号公報（同甲３号証）
3-a「第４図はこのような原子間力測定顕微鏡の従来例を示すもので、・・・被測定物１の表面形状の変化に伴い力検出カンチレバー２が上下方向に変位すると、ディテクタ７の各受光素子・・・差動増幅器９のプラス端子とマイナス端子に入力して、その差電圧を取り出し、撮像管に導くと、被測定物１の表面の凹凸画像が得られる。」（２頁左上欄８行〜右上欄５行）
　
刊行物４；特開平6-281447号公報（同甲４号証）
4-a「本発明はＳＴＭ（走査型トンネル顕微鏡）、ＡＦＭ（走査型原子間力顕微鏡）等の原理を利用した走査型プローブ顕微鏡の計測制御部に利用される。・・・図２は従来技術のノンコンタクトＡＦＭ計測制御系のブロック図である。・・・走査型プローブ顕微鏡の一般的な制御系により走査用圧電素子１０８が駆動される構成である。」（２頁左欄１３行〜４１行）
　
刊行物５；特開平5-308522号公報
5-a「原稿から画像情報を読み取る画像読取手段と，前記原稿読取手段により読み取った画像情報信号をリニア増幅するリニア増幅手段と，前記リニア増幅手段と並列に配置され，前記原稿読取手段により読み取った画像情報信号を対数増幅する対数増幅手段と，前記リニア増幅手段と対数増幅手段とを切り換える切換手段と，前記画像情報の濃度分布に応じて前記切換手段を制御する制御手段とを具備することを特徴とする画像読取装置。」（特許請求の範囲、請求項１）
　
［３］対比・判断
　刊行物１においてはバリアハイトを測定することが主として記載されているが、1-c、1-dの記載と図１では、カンチレバー先端の変位はＺＴＩＰとして出力され、トンネル電流はＩＴとして出力されているのであって、刊行物１の記載によれば、ＺＴＩＰ、ＩＴを処理して、刊行物２〜４に記載されたような各種走査型プローブ顕微鏡としても利用できるようになっていること、すなわち、複数の測定モードを有する走査型プローブ顕微鏡の構成を有し、検出信号増幅部と当該検出信号増幅部の増幅信号を信号処理する信号処理部を備えていることは、当業者にとって明らかである。（複数の測定モードを有する走査型プローブ顕微鏡は周知技術でもある。例えば、特開平5-231859号公報参照）
　したがって、本件発明と刊行物１に記載された走査型プローブ顕微鏡とは、「複数の測定モードを有する走査型プローブ顕微鏡において、検出信号増幅部と当該検出信号増幅部の増幅信号を信号処理する信号処理部を備える走査型プローブ顕微鏡。」として一致し、次の点で相違する。
相違点；本件発明の検出信号増幅部は、「複数の測定モードに応じて、信号強度が小さく、信号変化が試料表面の凹凸変化に対して大きな検出信号に対して対数増幅し、信号強度が大きく、信号変化と試料表面の凹凸との比率が線形な信号に対して比例増幅」するものであるのに対し、刊行物１に記載された検出信号増幅部は、カンチレバー先端の変位信号を増幅し、トンネル電流を増幅するものであるが、比例増幅であるか、対数増幅であるか具体的な記載がない点。
　上記相違点について検討するに、
　刊行物５に記載されているように、検出信号の性質に応じて比例増幅と対数増幅を使い分けることは公知の技術であって、走査型プローブ顕微鏡においても、カンチレバー先端のトンネル電流検出信号を対数増幅することが刊行物２の記載2-a、2-bから認められるとともに、カンチレバー先端の変位検出信号を比例増幅することが刊行物３の記載（3-a）及び刊行物４の記載（4-a）から認められる。
　走査型プローブ顕微鏡において、このように対数増幅と比例増幅を使い分けるのはトンネル電流検出信号が「信号強度が小さく、信号変化が試料表面の凹凸変化に対して大きな検出信号」であり、カンチレバー先端の変位検出信号が「信号強度が大きく、信号変化と試料表面の凹凸との比率が線形な信号」であることが当業者にとって技術常識である（刊行物１の記載や周知技術（例えば、特開平5-133709号公報の【0014】と【0015】の記載）参照）からである。
　検出信号の性質に応じて比例増幅と対数増幅を使い分けること、走査型プローブ顕微鏡においても検出信号に応じて上記のような対応関係の増幅を使い分けることが公知であることからすれば、刊行物１に記載された複数の測定モードを有する走査型プローブ顕微鏡において、検出信号増幅部を複数の測定モードに応じて、信号強度が小さく、信号変化が試料表面の凹凸変化に対して大きな検出信号に対して対数増幅し、信号強度が大きく、信号変化と試料表面の凹凸との比率が線形な信号に対して比例増幅するように構成することは、当業者が容易になし得たことである。
　
［４］結論
　以上のとおり、本件発明は、刊行物１〜５に記載された発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものと認められ、本件発明についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年３月２８日（２００３．３．２８）