【事件の表示】
　特許第３１８７６２９号「逆浸透膜処理方法」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１８７６２９号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１.訂正の適否についての判断
１−１訂正の内容
別紙「訂正の内容」参照。
１−２（訂正の適否）
　上記訂正事項ａ〜ｄは、逆浸透膜を合成ポリアミド膜に限定し、さらに、シリカ濃度を限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　以上のとおりであるから、訂正事項ａは、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　また、その他の訂正事項ｅ〜ｋについても特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。 
２.特許異議申立について
２−１本件発明
　上記のとおり、訂正は認められるから、本件特許の発明（請求項１〜２）は、訂正された特許明細書に記載された次のとおりのものである。
【請求項１】少なくとも硬度成分及びシリカを含有する工業用水、市水ま
たは井水からなる被処理水を逆浸透膜処理して透過水とシリカの溶解度以上のシリカ濃度を有する濃縮水とに分離する逆浸透膜処理方法において、逆浸透膜として合成ポリアミド膜を用い、前記濃縮水のｐＨを６以下及びシリカ濃度を２００〜３００ｐｐｍに保って逆浸透膜処理することを特徴とする逆浸透膜処理方法。
【請求項２】少なくとも硬度成分とシリカを含有する工業用水、市水または井水からなる被処理水を第１の逆浸透膜処理して第１の透過水及び第１の濃縮水を得ると共に、得られた前記第１の濃縮水を第２の逆浸透膜処理して第２の透過水及びシリカの溶解度以上のシリカ濃度を有する第２の濃縮水を得る逆浸透膜処理方法において、第２の逆浸透膜処置に用いる逆浸透膜として合成ポリアミド膜を用い、前記第２の濃縮水のｐＨを６以下及びシリカ濃度を２００〜３００ｐｐｍに保って逆浸透膜処理することを特徴とする逆浸透膜処理方法。
２−２取消理由の概要
　取消理由の概要は、請求項１〜２にかかる発明（以下、本件特許発明という。）は刊行物１〜３に記載された発明から、当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものである。
２−２−１取消理由通知で引用された刊行物に記載された発明
刊行物１（「工業用水」第２４９号、第４１〜４７頁、昭和５４年６月）：工業用水を前処理し、硫酸ｐＨ調節した後、逆浸透膜処理し、純水を得ることが記載され、具体的に逆浸透膜としては酢酸セルロースが記載されている（４２〜４３頁）。
刊行物２（特開昭５９−９０６８８号公報）：「シリカ含有水を微細孔膜又は限外濾（以下、便宜上、この字を用いる。）過膜を通過せしめた後の濾過水をシリカの溶解度が約１００ｍｇ/ｌ〜５００ｍｇ/ｌの範囲に達するまで逆浸透膜で濃縮する濾過処理を行うことを特徴とするシリカ含有水処理法。」（特許請求の範囲２）
　、「このように微細粒子の除去処理を経たシリカ含有水を逆浸透膜で濾過処理する。この場合、意外なことに、・・・過飽和状態に溶解し、シリカ濃度の上限は、・・・３５０〜５００ｍｇ/ｌまで過飽和状態により溶解し沈殿を生じないことを知見した。」（２頁左下欄４〜１２行）
刊行物３（「水のリサイクル（応用編）」第９２〜９８頁、（株）地人書館、１９９２年）：「シリカ（ＳｉＯ２）には不溶性のものと可溶性のものがある。不溶性のものは懸濁性又はコロイド状であるから、・・・フィルター（ＭＦ、ＵＦフィルター）による濾過によって除去できる。（第９５頁）
　しかし、これら刊行物には、訂正後の本件発明の構成である「逆浸透膜として合成ポリアミド膜を用い、濃縮水のｐＨを６以下及びシリカ濃度を２００〜３００ｐｐｍに保って逆浸透膜処理すること」については何らの記載がない。
　したがって、本件発明は、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
３.結論
　以上のとおり、本件請求項１〜２に係る発明の特許は、特許異議申立の理由によっては、取り消すことができない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
   したがって、本件発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律(平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令(平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年８月１５日（２００３．８．１５）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
逆浸透膜処理方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　少なくとも硬度成分及びシリカを含有する工業用水、市水または井水からなる被処理水を逆浸透膜処理して透過水とシリカの溶解度以上のシリカ濃度を有する濃縮水とに分離する逆浸透膜処理方法において、
逆浸透膜として合成ポリアミド膜を用い、
及びシリカ濃度を２００〜３００ｐｐｍ
　【請求項２】　少なくとも硬度成分とシリカを含有する工業用水、市水または井水からなる被処理水を第１の逆浸透膜処理して第１の透過水及び第１の濃縮水を得ると共に、得られた前記第１の濃縮水を第２の逆浸透膜処理して第２の透過水及びシリカの溶解度以上のシリカ濃度を有する第２の濃縮水を得る逆浸透膜処理方法において、
第２の逆浸透膜処置に用いる逆浸透膜として合成ポリアミド膜を用い、
及びシリカ濃度を２００〜３００ｐｐｍ
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は半導体産業、医製薬産業等で使用する純水の製造等に適した逆浸透膜処理方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来より、工業用水や市水に凝集濾過、膜濾過、活性炭濾過、脱炭酸処理などの前処理を施した後、逆浸透膜処理を行ない純水を製造することが行なわれている。また、逆浸透膜を透過した透過水を再度イオン交換装置や電気式脱塩イオン水製造装置、逆浸透膜装置等で処理して、更に高純度の純水を製造することも行なわれている。
　【０００３】
　ところで、従来の逆浸透膜装置は、濃縮水中のシリカ濃度が溶解度未満の状態で運転されている。なぜなら、溶解度を越えるシリカ濃度で運転を行なう場合には、濃縮水流路や膜表面にシリカが単独、あるいは被処理水中のカルシウムイオンやマグネシウムイオン等の硬度成分やその他の成分と複合して析出し、透過水量の低下や差圧の上昇等が発生し、安定した運転が困難になるからである。
　【０００４】
　なお、シリカの溶解度は、例えば図１にその一例を示すように、公知の「逆浸透法・限外濾過法ＩＩ応用、膜利用技術ハンドブック」（（株）幸書房、昭和５３年６月３０日発行）の第２９頁に記載のデータ等を利用して求めることができる。
　【０００５】
　濃縮水中のシリカ濃度を溶解度以下にする方法としては、例えば回収率（透過水／被処理水）を調整することにより、シリカ濃度を溶解度未満にする方法がある。日本の工業用水や市水中のシリカ濃度は２０ｐｐｍ（ａｓＳｉＯ２，以下同様）前後の場合が多いので、この場合には回収率は７５〜８０％が上限となり、被処理水量の２０〜２５％に相当する量の濃縮水を廃棄する事になる。このことは被処理水の有効利用の面からは問題である。
　【０００６】
　あるいは、シリカ阻止率が５０％以下というようなシリカ阻止率の低い逆浸透膜を用いる事により、濃縮水中のシリカを溶解度以下の状態に保って運転することもできる。この場合は、回収率を高くすることはできるが、透過水中に含まれるシリカ濃度が比較的高くなり、装置本来の目的である透過水の高純度化が犠牲になる。
　【０００７】
　なお、図１に示したシリカの溶解度は水中にシリカが単独に存在する系のデータであり、シリカと硬度成分が共存した場合のシリカの溶解度は、図１の値よりさらに小さくなると考えられる。
　【０００８】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明者は上記問題を解決するために種々検討した結果、意外にも逆浸透膜装置の濃縮水のｐＨを６以下にした状態で装置を運転すると、濃縮水中のシリカ濃度がその溶解度を越えても、さらに濃縮された硬度成分と共存していてもシリカが濃縮水流路や膜表面に析出発生する事がなく、安定した運転が可能になることを知得して本発明を完成するに至ったもので、その目的とするところは、濃縮水中のシリカ濃度がたとえ溶解度以上となってもシリカが析出することなく安定した運転ができる、したがって被処理水の回収率を高めた運転が可能な逆浸透膜処理方法を提供することにある。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は上記目的を達成するために、少なくとも硬度成分及びシリカを含有する工業用水、市水または井水からなる被処理水を逆浸透膜処理して透過水とシリカの溶解度以上のシリカ濃度を有する濃縮水とに分離する逆浸透膜処理方法において、
逆浸透膜として合成ポリアミド膜を用い、
及びシリカ濃度を２００〜３００ｐｐｍ
　【００１０】
　また本発明は、少なくとも硬度成分とシリカを含有する工業用水、市水または井水からなる被処理水を第１の逆浸透膜処理して第１の透過水及び第１の濃縮水を得ると共に、得られた前記第１の濃縮水を第２の逆浸透膜処理して第２の透過水及びシリカの溶解度以上のシリカ濃度を有する第２の濃縮水を得る逆浸透膜処理方法において、
第２の逆浸透膜処置に用いる逆浸透膜として合成ポリアミド膜を用い、
及びシリカ濃度を２００〜３００ｐｐｍ
　【００１１】
　以下、本発明を詳細に説明する。
　【００１２】
　本発明方法は上述のものであるが、被処理水としては、シリカ及び硬度成分を含む各種の水が利用できる。
　【００１３】
　このような被処理水としては、工業用水、市水、井水等が例示できる。
　【００１４】
　なお、上記工業用水等の被処理水は、予め凝集濾過や膜濾過、活性炭濾過、脱炭酸処理などの前処理を行なったものであることが好ましい。
　【００１５】
　硬度成分としては、一般に硬度成分と称されているものが挙げられ、Ｃａ，Ｍｇ等が例示できる。
　【００１６】
　本発明方法においては、上記被処理水のｐＨを調節して逆浸透膜処理における濃縮水のｐＨが６以下、特にｐＨが４．０〜５．５となるようにする
と共に、シリカ濃度を２００〜３００ｐｐｍとする
　【００１７】
　ｐＨの調節は、被処理水に酸を添加する方法、陽イオン交換樹脂やイオン交換膜を用いた電気透析装置、あるいは隔膜式電解装置を用いて被処理水のｐＨを６以下に調節する方法等が適宜利用できる。酸としては塩酸、硫酸、炭酸（炭酸ガス）等が好ましい。濃縮水のｐＨの測定値をフィードバックして被処理水のｐＨを調節する等の公知の方法で、濃縮水のｐＨ調節を行なうことができる。被処理水のｐＨの変動等が原因で濃縮水ｐＨが変動することもあるが、この場合にはその最大値をｐＨ６以下に調節することが好ましい。
　【００１８】
　なお、被処理水のｐＨではなく濃縮水のｐＨで評価するのは、シリカ等の析出が起るのは、被処理水中ではなく濃縮水中であるからである。
　【００１９】
　逆浸透膜の種類として
は酸
を用いる
　【００２０】
　上記のように構成することにより、濃縮水中のシリカ濃度が
２００〜３００ｐｐｍであるような
　【００２１】
　【実施例】
　（実施例１）
　図２に示すフローの逆浸透膜装置を用いて逆浸透膜処理を行なった。同図中、１は流入菅で、この流入菅１を通って流入した市水は活性炭濾過器２を通過した後、被処理水槽３に流入する。槽３内の被処理水４は、高圧ポンプ５の作動で逆浸透膜モジュール６に流入する。そして、ここで逆浸透膜処理がなされ、逆浸透膜７を透過してシリカ等の低減した透過水と、逆浸透膜７を透過せず、シリカおよび硬度成分等の増加した濃縮水とに分離される。
　【００２２】
　前記透過水は取出管８を通って外部へ流出する。また、前記濃縮水は循環パイプ９を通って水槽３に流入すると共に、その一部は分岐管１０を通り外部に流出する。
　【００２３】
　なお、１１は被処理水圧力計、１２は濃縮水圧力計である。１３は循環パイプ９に介装したｐＨセンサーで、濃縮水のｐＨの測定値に基づいて薬注ポンプ１４の薬注量を制御し、濃縮水のｐＨを４．５に保つように塩酸を被処理水槽３に添加するものである。上記制御はフィードバック方式である。逆浸透膜７は日東電工製ＮＴＲ７５９（シリカ阻止率：約９９％）であった。
　【００２４】
　上記逆浸透膜装置を用いて、水温２０℃で連続運転を実施した。
　【００２５】
　被処理水４のモジュール６への給水圧力は１０ｋｇｆ／ｃｍ２の一定圧力とした。なお、市水中のシリカ濃度が低く、そのままでは濃縮水中のシリカ濃度が溶解度以上にならないので、濃縮水の一部を分岐管１０を介して外部に放出し、残部を循環パイプ９を介して被処理水槽３に返送することにより、被処理水中のシリカ濃度を高めた。この結果、濃縮水中のシリカ濃度は図１から見ると溶解度以上の値である２００〜３００ｐｐｍ、硬度成分は５００〜６２０ｐｐｍになった。なお、濃縮倍率は透過水量に対する分岐管１０から外部に放出される濃縮水量の割合を一定（透過水量：濃縮水量＝９：１）にすることによって設定した。この操作により、濃縮倍率は１０倍になった。
　【００２６】
　結果を図３に示した。図３から、６０日間の連続連転によっても、透過水量（Ｆｌｕｘ）、及びモジュール差圧（ΔＰ）の変動は認められなかった。このことは濃縮水中のシリカ濃度が溶解度以上であったにもかかわらず、シリカのモジュールに対する沈着がなかったことをことを示しているものである。
　【００２７】
　なお、モジュール差圧ΔＰは「被処理水供給圧力−濃縮水圧力」で定義され、具体的には圧力計１１と圧力計１２との差圧で示される。
　【００２８】
　上記実施例においては逆浸透膜モジュールを１箇用いたが、これに限られず、図６に示すようにモジュールを２個用いること、更には３個以上用いる構成とすることもできる。
　【００２９】
　図６中、２０は流入管で、この流入管２０を通って流入する被処理水は、前処理装置２１で適宜処理をなされた後、第１の逆浸透膜モジュール２２に流入し、ここで逆浸透膜処理がなされる。第１の逆浸透膜モジュール２２から得られる第１の透過水は第１の透過水取出管２３を通って次工程に向う。一方、前記モジュール２２の第１の濃縮水は第１の濃縮水取出管２４を通り、第２の逆浸透膜モジュール２５に流入し、ここで逆浸透膜処理がなされるものであるが、この場合第２の濃縮水取出管２６から流出する第２の濃縮水のｐＨが６以下になるように、薬注ポンプ２７を用いて第１の濃縮水に酸を供給するものである。
　【００３０】
　なお、２８は第２の濃縮水取出管２６の途中に付設したｐＨセンサーであり、該ｐＨセンサー２９は薬注ポンプ２７と計装的に接続されている。
　【００３１】
　また、第２のモジュール２５の第２の透過水は返送管２９を通って流入管２０に流入し、ここで被処理水と合流するものである。
　【００３２】
　上記構成において、第１の濃縮水に添加した酸は逆浸透膜を透過し難いとともに、被処理水中には通常Ｍ−アルカリ度成分が存在するので、返送管２９を通って被処理水に流入する第２の透過水は被処理水を大きく酸性にすることがなく、したがって第１の逆浸透膜モジュール２２には、ほぼｐＨ＝７の中性の水が供給される。逆浸透膜の分離性能は一般に酸性領域で低下するが、上記構成では第１の逆浸透膜モジュール２２を酸性側で運転することがないので、該第１の逆浸透膜モジュールの分離性能を高く維持することができて都合が良いものである。更に、シリカやその他の不純物イオンの濃度が被処理水よりも低減された第２のモジュール２５の透過水を被処理水に返送しているので、被処理水の水質が向上し、その結果、第１の逆浸透膜モジュール２２の透過水の水質が向上すると共に、第２の逆浸透膜モジュール２５を、該モジュールの濃縮水中のシリカ濃度が溶解度以上となるような条件で、したがって高回収率条件で運転することができるので、システム全体としての水の回収率が高まるものである。
　【００３３】
　なお、場合によっては、前記第２の透過水を第１の逆浸透膜モジュールの前段に返送せずに、第１の逆浸透膜モジュールの透過水（第１の透過水）と混合して次工程に供給するように構成してもよく、この場合もシステム全体としての水の回収率が高まるのは言うまでもないことである。
　【００３４】
　（比較例１）
　濃縮水のｐＨを６．７とした以外は、実施例１と同様の操作を行なった。結果を図４に示した。実施例１の結果と比較して、Ｆｌｕｘ，ΔＰ共に大きく変動し、逆浸透膜に対する沈着物の析出が見られた。
　【００３５】
　運転終了後、モジュールを解体して沈着物の成分分析を行なったところ、シリカと硬度成分が組成の大部分を占めていた。
　【００３６】
　（検討例１）
　実施例１で用いた装置を用いて、濃縮水のｐＨを種々変化させる以外は実施例と同様に操作して、２０日間の連続運転を行ない、２０日目のＦｌｕｘを測定した。
　【００３７】
　結果を図５に示した。図５から明らかなように、濃縮水のｐＨが６以下の場合にはＦｌｕｘの低下がほとんど認められなかったが、ｐＨが６を越えるとＦｌｕｘの低下が著しくなった。
　【００３８】
　【発明の効果】
　硬度成分とシリカが共存する被処理水を、シリカ阻止率の高い逆浸透膜を用いて、シリカの析出を防止しながら高回収率で処理できる。その結果、シリカ濃度の低い透過水を得ることができると同時に廃棄する濃縮水が減少し、被処理水の有効利用が可能になった。また、透過水をイオン交換装置や逆浸透膜装置、電気式脱イオン水製造装置などでさらに処理する場合、その負荷を低減する事ができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　シリカの溶解度と温度との関係を示すグラフである。
　【図２】
　本発明の実施に用いる逆浸透膜装置の一例を示すフロー図である。
　【図３】
　図２の逆浸透膜装置を用いて本発明を実施したときの、Ｆｌｕｘ及びΔＰと運転日数との関係を示すグラフである。
　【図４】
　比較例１におけるＦｌｕｘ、及びΔＰと運転日数との関係を示すグラフである。
　【図５】
　逆浸透膜処理における濃縮水ｐＨとＦｌｕｘとの関係を示すグラフである。
　【図６】
　本発明の実施に用いる逆浸透膜装置の他の例を示すフロー図である。
　【符号の説明】
　１　流入管
　２　活性炭濾過器
　３　被処理水槽
　４　被処理水
　５　高圧ポンプ
　６　逆浸透膜モジュール
　７　逆浸透膜
　８　取出管
　９　循環パイプ
　１０　分岐管
　１１　被処理水圧力計
　１２　濃縮水圧力計
　１３　ｐＨセンサー
　１４　薬注ポンプ