【手続補正書】
【提出日】平成27年7月28日(2015.7.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の熱素子と、複数の電力ノードを備える制御システムと、を有する加熱システムにおいて、
各熱素子は前記複数の電力ノードの間に接続されており、
前記制御システムは、
（ａ）前記複数の電力ノードのうち少なくとも一つの電力ノードに電力を、別の電力ノードにリターンを供給することで前記熱素子に電力を供給するため、
（ｂ）前記熱素子に接続された電力ノードの電気的特性を計測することで前記熱素子の電気的特性を検出するため、および
（ｃ）前記検出した前記電気的特性に基づき前記熱素子が熱素子の目標設定値を超えたかを判断するために、
ユーザから提供される温度設定値に基づいて各熱素子に対し目標設定値を算出して前記各熱素子に指数付けを行うことを特徴とする加熱システム。
【請求項２】
前記制御システムは、各熱素子の目標設定値に基づいて複数の熱素子のそれぞれに電力を供給するための時間窓を算出することを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記制御システムは、前記目標設定値を超えた場合、前記時間窓の残りの部分において、前記熱素子に対する電力供給を中止することを特徴とする請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記制御システムは、前記目標設定値を超えた場合、所定の時間遅延後、前記熱素子に対する電力供給を中止して次の時間窓に移動することを特徴とする請求項２に記載のシステム。
【請求項５】
前記目標設定値の算出が、前記熱素子に対する基準抵抗値の測定を含み、前記制御システムは、前記熱素子に接続された前記電力ノードの電気的特性を計測することを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記目標設定値の算出が、前記各熱素子に対する前記基準抵抗値、温度変化、および抵抗の温度係数（Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ  ｏｆ  Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ：ＴＣＲ）に基づく目標抵抗値の算出を含むことを特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記熱素子が放散素子であることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記熱素子が抵抗素子であることを特徴とする請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記熱素子が温度依存性の電気抵抗を有する電気伝導性材料より成ることを特徴とする請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記制御システムは、前記抵抗素子の温度を測定するために前記抵抗素子に接続された前記電力ノードの抵抗を測定することを特徴とする請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記複数の熱素子の内の第１の熱素子および第２の熱素子が、第１のノードと第２のノードの間に接続され、前記制御システムは、各前記電力ノードの極性を特定比較し、
前記第２のノードに関連する前記第１のノードの第１の極性により前記第１の熱素子を起動し前記第２の熱素子の動作を停止させ、
前記第２のノードに関連する前記第１のノードの第２の極性により前記第１の熱素子の動作を停止させ前記第２の熱素子を起動することを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項１２】
前記複数の熱素子の内の一つの熱素子が、電力ノードの各対の間に接続されていることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記複数の熱素子が複数の群に分けられており、
前記群は少なくとも第１の群と第２の群とを含み、
前記複数の熱素子は少なくとも第１の熱素子、第２の熱素子、第３の熱素子、および第４の熱素子を含み、
前記第１の群は前記第１および第２の熱素子を含み、
前記第２の群は前記第３および第４の熱素子を含み、
前記第１の群の各熱素子は第１のノードに接続されており、
前記第２の群の各熱素子は第２のノードに接続されており、
前記第１および第３の熱素子は第３のノードに接続されており、
前記第２および第４の熱素子は第４のノードに接続されていることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項１４】
前記制御システムは、前記第１のノードを前記供給電力に接続し、前記第３のノードをリターン電力に接続して、前記第１の熱素子を起動することを特徴とする請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記制御システムは、前記第１のノードを前記供給電力に接続し、前記第４のノードをリターン電力に接続して、前記第２の熱素子を起動することを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記制御システムは、
前記第２のノードを前記供給電力に接続し、前記第３のノードをリターン電力に接続して、前記第３の熱素子を起動すると共に、
前記第２のノードを前記供給電力に接続し、前記第４のノードをリターン電力に接続して、前記第４の熱素子を起動することを特徴とする請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
複数の熱素子と、複数の電力ノードを備える制御システムと、を有する加熱システムにおいて、
各熱素子は前記複数の電力ノードの間に接続されており、
前記制御システムが、前記複数の熱素子を起動するための複数の電力モードを定義し、かつ、
前記制御システムは、
（ａ）前記複数の電力ノードのうち少なくとも一つの電力ノードに電力を、別の電力ノードにリターンを供給することで前記モードに基づき前記熱素子に電力を供給するため、
（ｂ）前記熱素子に接続された電力ノードの電気的特性を計測することで前記モードの電気的特性を検出するため、および
（ｃ）前記検出した前記電気的特性に基づき前記熱素子が熱素子の目標設定値を超えたかを判断するために、
ユーザから提供される温度設定値に基づいて各熱素子に対し目標設定値を算出して前記各モードに指数付けを行うことを特徴とする加熱システム。
【請求項１８】
ベースプレートと、
前記ベースプレートに固定したベースヒータと、
前記ベースヒータに固定した基板と、
前記基板に固定されており、複数の発熱体から成るチューニングヒータと、
前記チューニングヒータに固定したチャックと、
複数の電力ノードを備えた制御システムと、
を含むヒータにおいて、
各発熱体は前記複数の電力ノードの間に接続されており、
前記制御システムは、
（ａ）前記複数の電力ノードのうち少なくとも一つの電力ノードに電力を、別の電力ノードにリターンを供給することで前記発熱体に電力を供給するため、
（ｂ）前記熱素子に接続された電力ノードの電気的特性を計測することで前記発熱体の電気的特性を検出するため、および
（ｃ）前記検出した前記電気的特性に基づき前記発熱体が発熱体の目標設定値を超えたかを判断するために、
ユーザから提供される温度設定値に基づいて各発熱体に対し目標設定値を算出して前記各発熱体に指数付けを行うことを特徴とする加熱システム。
【請求項１９】
前記制御システムは、各熱素子の目標設定値に基づいて複数の熱素子のそれぞれに電力を供給するための時間窓を算出することを特徴とする請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記制御システムは、前記目標設定値を超えた場合、前記時間窓の残りの部分において、前記熱素子に対する電力供給を中止することを特徴とする請求項１９に記載のシステム。
【請求項２１】
前記制御システムは、前記目標設定値を超えた場合、所定の時間遅延後、前記熱素子に対する電力供給を中止して次の時間窓に移動することを特徴とする請求項１９に記載のシステム。
【請求項２２】
サーマルアレイを制御する方法であって、
複数の熱素子のそれぞれに対し目標設定値を算出し、
各熱素子に電力を供給し、
各熱素子の電気的特性を検出し、
前記検出した前記電気的特性に基づき各熱素子が熱素子の目標設定値を超えたかを判断することを特徴とする方法。