【事件の表示】
　特許第３２２０７２１号「真空ポンプ」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２２０７２１号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３２２０７２１号の請求項１に係る発明は、平成４年８月２５日に特許出願されたものであって、平成１３年８月１７日にその特許権の設定登録がなされ、その後、ライボルト　ヴァークウム　ゲゼルシャフト　ミット　ベシュレンクテル　ハフツング、及び竹野哲雄から、その請求項１に係る発明の特許に対し特許異議の申立てがなされ、平成１４年７月８日付けで取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年９月１３日に訂正請求がなされ、その後平成１４年９月２５日付けで、再度取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年１２月３日に前記訂正請求が取り下げられるとともに、同日に新たな訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の記載について、磁気軸受装置に関し、「磁気軸受装置が、ロータをラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石と、ロータのラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する変位センサと、変位センサの出力に基づいて電磁石を制御する電磁石制御回路とを備えており」と特定する。
訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項１の記載について、ロータの回転数が定常回転数領域内にあるときに関し、「ロータの回転数を検出する回転センサの出力に基づき」検出するように特定する。
訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項１の記載について、モータ入力電圧を低下させることに関し、「低下させて一定の値に保持し、電動モータからのノイズの影響を小さくした」と特定する。
訂正事項ｄ
　明細書の段落【０００６】の記載について、「電動モータを制御するモータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、」の次に「磁気軸受装置が、ロータをラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石と、ロータのラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する変位センサと、変位センサの出力に基づいて電磁石を制御する電磁石制御回路とを備えており」を挿入する。
訂正事項ｅ
　明細書の段落【０００６】の記載について、「モータ制御回路が」の次に、「ロータの回転数を検出する回転センサの出力に基づき」を挿入する。
訂正事項ｆ
　明細書の段落【０００６】の記載について、「モータ入力電圧を低下させるものである」とあるのを、「モータ入力電圧を低下させて一定の値に保持し、電動モータからのノイズの影響を小さくしたことを」と訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、磁気軸受装置に関し、「磁気軸受装置が、ロータをラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石と、ロータのラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する変位センサと、変位センサの出力に基づいて電磁石を制御する電磁石制御回路とを備えており」と特定しており、特許請求の範囲の減縮に該当する。そして、上記の磁気軸受装置については、願書に添付された明細書の段落【００１１】に示されているから、新規事項の追加に該当しない。
  上記訂正事項ｂは、ロータの回転数が定常回転数領域内にあるときに関し、「ロータの回転数を検出する回転センサの出力に基づき」検出するように特定しており、特許請求の範囲の減縮に該当する。そして、ロータの回転数を検出する回転センサの出力に基づきロータの回転数が定常回転数領域内にあることを検出することについては、段落【００１０】、段落【００１２】に示されているから、新規事項の追加に該当しない。
　上記訂正事項ｃは、モータ入力電圧を低下させることに関し、「低下させて一定の値に保持し、電動モータからのノイズの影響を小さくした」と特定しており、特許請求の範囲の減縮に該当する。そして、モータ入力電圧を低下させて一定の値に保持し、電動モータからのノイズの影響を小さくした点については、段落【００１２】、段落【００１３】に示されているから、新規事項の追加に該当しない。
　上記訂正事項ｄ、ｅ、ｆは、上記訂正事項ａ、ｂ、ｃに伴って、発明の詳細な説明の欄の対応箇所を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当するものであるとともに、新規事項の追加に該当しない。
　また、上記訂正事項ａ〜ｆは、いずれも、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
（１）本件の請求項１に係る発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
　
「【請求項１】　ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、ロータを回転駆動する電動モータと、電動モータを制御するモータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、
　磁気軸受装置が、ロータをラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石と、ロータのラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する変位センサと、変位センサの出力に基づいて電磁石を制御する電磁石制御回路とを備えており、モータ制御回路が、ロータの回転数を検出する回転センサの出力に基づきロータの回転数が定常回転数領域内にあるときはモータ入力電圧を低下させて一定の値に保持し、電動モータからのノイズの影響を小さくしたことを特徴とする真空ポンプ。」
　
（２）引用刊行物に記載された発明
　当審で通知した取消しの理由で引用した刊行物である、引用例１〜３には、それぞれ以下のような事項が記載されているものと認められる。
　
ア．引用例１：実願昭６３ー１７０６６３号（実開平２−９２０９２号）のマイクロフィルム
ａ．「ロータを駆動するインダクションモータと、このインダクションモータに給電を行う高周波インバータと、この高周波インバータの少なくとも出力電圧を可変し得る制御手段と、前記ロータの実回転数を検出する検出手段とを具備してなり、この検出手段による検出値が予め設定した定速運転時におけるインバータの出力周波数近傍に達した時に、制御手段によって前記インバータの出力電圧を降圧するように構成したことを特徴とする分子ポンプの駆動装置。」（明細書　実用新案登録請求の範囲の欄）
ｂ．「この実施例の駆動装置は磁気軸受ターボ分子ポンプに適用されたものであって、第１図に示すように回転軸１にロータ２を固着し、該ロータ２とステータ３との間に動翼２ａと静翼３ａとを交互に重合配置してタービン４を構成するとともに、前記回転軸１を、ラジアル磁気軸受５、６とスラスト磁気軸受７とによって５軸制御可能に浮上支持している。また、回転軸１にはインダクションモータ８が取付けてあり」（明細書第５頁第１０〜１８行）
ｃ．「前記回転軸１の軸端部に向けてロータ２の実回転数Ｎを検出する検出手段として回転センサ１１が配設してある。そして、その検出値Ｎを前記制御手段１０に入力するようにしている。・・・回転センサ１１の検出値Ｎが予め設定した定速運転時におけるインバータ出力周波数ｆ０の近傍ｆ１に達するまでは、加速モードにしてインバータ９の出力電圧と出力周波数とを略比例して増加させるようにしている。そして、検出値Ｎがその出力周波数近傍ｆ１に達すると、定速モードに切り換えてインバータ出力周波数を設定値ｆ０に固定するとともに、電圧レベルをその寸前の加速モードにおける値よりも低い値に降圧するようにしている。第３図中Ｉは加速モードによってインダクションモータ８が駆動された場合の該モータ８の速度特性曲線を示しており、実線IIは定速モードによってインダクションモータ８が駆動された場合の該モータ８の速度特性曲線を示している。また、破線IIIは負荷の速度特性曲線を示している。加速モードでは速度特性曲線Ｉ、IIIの交点ａにおいて駆動トルクと負荷トルクが釣合うので、比較的小さい滑りｓ１の下に大きな駆動電圧によって運転される。これに対して、定速モードでは速度特性曲線II、IIIの交点ｂにおいて駆動トルクと負荷トルクが釣合うので、比較的ゆとりのある滑りｓ２の下に小さな駆動電圧によって運転される。・・・そして、このものはインバータ出力周波数近傍ｆ１までは加速モードで駆動し、そこに達した以後は定速モードに切換えて駆動するようにしているので、立ち上がりが速く、しかも、定速モードではモータ８のトルクを維持するために交点ｂまで滑りが自然に大きくなって回転が安定することになり、優れた駆動特性を得ることができる。」（明細書第６頁第３行〜第８頁第７行）
　上記記載事項ａ、ｂ、ｃによれば、引用例１には、「回転軸１に固着したロータ２を浮上支持する磁気軸受と、回転軸１に固着したロータ２を回転駆動するインダクションモータと、インダクションモータを制御する制御手段１０とを備えたターボ分子ポンプにおいて、制御手段１０が、回転軸１に固着したロータ２の回転数を検出する回転センサ１１の出力に基づき回転軸１に固着したロータ２の実回転数Ｎが定速運転時におけるインバータの出力周波数近傍ｆ１に達した時はインバータの出力電圧を降圧するものであるターボ分子ポンプ」が記載されているものと認められる。
　
イ．引用例２：実願昭６２ー１４９８３２号（実開昭６４ー５３４９４号）のマイクロフィルム
ｄ．「磁気軸受制御回路４６は、上部ラジアル磁気軸受１４における上部ラジアル用電磁石１３、下部ラジアル磁気軸受１８における下部ラジアル用電磁石１７に励磁電流を供給し、上部ラジアル磁気センサ１５、下部ラジアル磁気センサ１９の検出信号のフィードバックによってロータ軸２の軸心が所定の軸心に高精度に一致するように制御するように構成されている。この磁気軸受制御回路４６はまた、スラスト磁気軸受２２における上部スラスト用電磁石２０、下部スラスト用電磁石２１に励磁電流を供給し、スラスト磁気センサ２５の検出信号のフィードバックによってロータ軸２が所定の高さに浮揚した状態を保持するように制御する。」（明細書第１３頁第３〜１６行）
　上記記載事項ｄによれば、引用例２には、「磁気軸受装置が、ロータをラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石と、ロータのラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する磁気センサと、磁気センサの出力に基づいて電磁石を制御する電磁石制御回路とを備え」るように構成する技術が記載されているものと認められる。
　
ウ．引用例３：実願平１ー１６５３４号（実開平１ー１６６２９３号）のマイクロフィルム
ｅ．「ロータ１２は、半径方向の位置センサ１７，１７を有する半径方向磁気軸受１３，１３と、軸方向位置センサ１８を有する軸方向磁気軸受１４とで支柱１１に対して浮上して支承され」（明細書第４頁第１３〜１６行）
　ところで、変位センサを有する磁気軸受は一般に、変位センサの出力に基づいて電磁石を制御するものであることを参酌すると、上記記載事項ｅによれば、引用例３には、「磁気軸受装置が、ロータをラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石と、ロータのラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する変位センサと、変位センサの出力に基づいて電磁石を制御する電磁石制御回路とを備え」るように構成する技術が記載されているものと認められる。
　
（３）対比
　本件発明と引用例１記載の発明とを対比する。一般に、真空ポンプのロータは回転軸と一体化されているとともに、軸受は回転軸を支持するものである。してみると、前者における「ロータ」は、「回転軸に固着したロータ」を包含するものであると解される。してみると、後者の「回転軸１に固着したロータ２」は前者の「ロータ」に相当する。また、後者の「浮上支持」は前者の「非接触支持」に相当し、後者の「磁気軸受」は前者の「磁気軸受装置」に相当する。さらに、本件の特許公報第３欄第２３〜３１行に、「真空ポンプは、・・・のロータ（１）を回転駆動する電動モータ（誘導モータ）（３）と・・・インバータ（４）の出力電圧（モータ入力電圧）を制御するモータ制御回路（６）とを備えている。」と記載されており、また、誘導モータとインダクションモータとは同義であるとともに、インダクションモータは、インバータによって回転数可変に駆動される電動モータとして一般的なものであるので、後者の「インダクションモータ」は、前者の「電動モータ」に相当する。また、後者の「制御手段１０」は前者の「モータ制御回路」に相当する。また、後者の「ターボ分子ポンプ」は、真空ポンプの一種であるので、前者の「真空ポンプ」に相当する。また、後者の「回転センサ１１」は前者の「回転センサ」に相当し、後者の「実回転数Ｎ」は前者の「回転数」に相当し、後者の「インバータの出力電圧」は前者の「モータ入力電圧」に相当し、後者の「降圧する」は前者の「低下させる」に相当する。
　さらに、モータ入力電圧を低下させるときの回転数に関し、後者の「ロータの回転数が出力周波数近傍ｆ１」と前者の「ロータの回転数が定常回転数領域内」とは、「所定回転数」である限りにおいて一致する。
　してみると、両者は「ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、ロータを回転駆動する電動モータと、電動モータを制御するモータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、モータ制御回路が、ロータの回転数を検出する回転センサの出力に基づきロータの回転数が所定回転数にあるときはモータ入力電圧を低下させる真空ポンプ」で一致し、以下の点で相違する。
　
ａ．相違点１
　ロータを非接触支持する磁気軸受装置に関し、本件発明では、「ロータをラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石と、ロータのラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する変位センサと、変位センサの出力に基づいて電磁石を制御する電磁石制御装置とを備えている」のに対し、引用例１記載の発明では、そのように制御する電磁石制御装置かどうか明らかでない点。
ｂ．相違点２
　モータ入力電圧を低下させるときの「所定回転数」に関し、本件発明では、「ロータの回転数が定常回転数領域内」であるのに対し、引用例１記載の発明では、「ロータの回転数が出力周波数近傍ｆ１」である点。
ｃ．相違点３
　本件発明では、モータ入力電圧を低下させて「一定の値に保持」するのに対し、本件発明発明では、モータ入力電圧を低下させるものではあるが、一定の値に保持するかどうか明らかでない点。
ｄ．相違点４
　本件発明では、「電動モータからのノイズの影響を小さくした」ものであるのに対し、本件発明では、ノイズの影響を小さくしているかどうか明らかでない点。
　
（４）判断
　上記相違点について検討する。
ａ．相違点１について
　真空ポンプにおいて、磁気軸受装置を、「ロータをラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石と、ロータのラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する変位センサと、変位センサの出力に基づいて電磁石を制御する電磁石制御回路とを備える」ように構成することは、引用例２、３に記載されるように周知の技術である。また、上記周知の技術を引用例１記載の発明に適用することを妨げる根拠も見あたらない。
　してみると、引用例１記載の発明に上記周知の技術を適用して、相違点１に係る本件発明のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
ｂ．相違点２、３について
　引用例１の上記摘記事項ｃ、第３図の記載、及びポンプ運転の基礎知識によれば、モータを加速して定速運転に移行する際に、第３図において、運転点が、（１）速度特性曲線Ｉ上を左端から出力周波数近傍ｆ１まで移動し、（２）出力周波数近傍ｆ１に達すると、速度特性曲線IIの出力周波数近傍ｆ１部分に移り、（３）そこから速度特性曲線II上を速度特性曲線IIIとの交点ｂまで移動し、（４）交点ｂで駆動トルクと負荷トルクが釣合い、小さな駆動電圧によって、安定して回転されて定速運転となる。してみると、引用例１記載の発明において、「ロータの回転数が出力周波数近傍ｆ１」は、ロータの回転数が定常回転数よりも若干上回っているものの、本件発明の「定常回転数領域内」と格別相違するものではない。
　また、引用例１記載の発明では、モータ入力電圧を低下させるものの、電圧を一定の値に保持するかどうか明らかではない。しかしながら、定速運転時においては安定して回転するので、電圧等の回転数に影響を与えるパラメータは、一定に保つのが自然であり、わざわざ、安定を乱す可能性のある電圧変更をしなければならない特段の理由もない。してみると、引用例１記載の発明において、モータ入力電圧を低下させて一定の値に保持するようなことは、当業者が設計において適宜行うことである。（なお、特開平２−２１５９９６号公報（異議申立人　竹野哲雄の提出した甲第１号証）の第３図（ｂ）においても、図面の記載ではあるが、定格運転中は一定の値に保たれている。）
　してみると、相違点２、３に係る本件発明のように構成することに困難性は認められない。また、それによる効果も当業者が予測し得る程度のことである。
ｃ．相違点４について
　磁気軸受装置がノイズの影響を受けやすいことは、周知（例えば、実願昭６０−１１６６８９号（実開昭６２−２４３０９号）のマイクロフィルム（特に、明細書第３頁第３〜７行「位置センサ１０は回転軸１２及び制御コイル１４の近傍に配置されているため、制御コイル１４の電磁力による電磁的ノイズの影響を受け、検出値に誤差が生じる場合があった。」の記載）、実願平１−９４９０７号（実開平３−３３２１９号）のマイクロフィルム（明細書第３頁第１１〜１６行「Ｘ・Ｙ軸間の信号が互いに干渉し合い、例えば、Ｘ軸方向の主磁束φ１の漏れ磁束φ２がＹ軸方向に対するノイズとなって表れ、回転ムラや雑音などを発生させる・・・問題点があった。」の記載）、特開昭５７−６５４１９号公報（第１頁左下欄第１２〜１６行「磁気軸受においては、永久磁石あるいは、制御コイルを使い、磁気センサによる変位検出のさまたげになる磁界を発生する為、磁気を利用したセンサでは、装着場所の制約があった。」の記載）参照。）である。また、真空ポンプにおいて、モータと磁気軸受装置とは、一般に近接配置されるので、モータから発生するノイズが磁気軸受に影響を与えることは、当業者が容易に予測し得ることである。そして、本件特許公報第２欄第８〜１０行に「誘導モータが回転すると、モータからモータ入力電圧に比例するノイズが発生する。」と記載されるように、モータから発生するノイズは、電圧が高ければ大きく、電圧が低ければ小さくなることは周知である。してみると、引用例１記載の発明においても、インバータ出力電圧を降圧する際に、結果的にノイズが小さくなり得るものである。
　してみると、相違点４に係る本件発明のように構成することに、格別困難性は認められない。
　
（４）むすび
　以上のとおりであるから、本件発明は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年２月３日（２００３．２．３）
【訂正の要旨】
ａ．本件特許掲載公報に記載の本件特許明細書の【特許請求の範囲】の【請求項１】に
「ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、ロータを回転駆動する電動モータと、電動モータを制御するモータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、
　モータ制御回路が、ロータの回転数が定常回転数領域内にあるときはモータ入力電圧を低下させるものであることを特徴とする真空ポンプ。」
とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として、
「ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、ロータを回転駆動する電動モータと、電動モータを制御するモータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、磁気軸受装置が、ロータをラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石と、ロータのラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する変位センサと、変位センサの出力に基づいて電磁石を制御する電磁石制御回路とを備えており、モータ制御回路が、ロータの回転数を検出する回転センサの出力に基づきロータの回転数が定常回転数領域内にあるときはモータ入力電圧を低下させて一定の値に保持し、電動モータからのノイズの影響を小さくしたことを特徴とする真空ポンプ。」
と訂正する。
ｂ．本件特許明細書の段落番号【０００６】に
「　【課題を解決するための手段】
　この発明による真空ポンプは、ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、ロータを回転駆動する電動モータと、電動モータを制御するモータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、モータ制御回路が、ロータの回転数が定常回転数領域内にあるときはモータ入力電圧を低下させるものであることを特徴とするものである。」
とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「　【課題を解決するための手段】
　この発明による真空ポンプは、ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、ロータを回転駆動する電動モータと、電動モータを制御するモータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、磁気軸受装置が、ロータをラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石と、ロータのラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する変位センサと、変位センサの出力に基づいて電磁石を制御する電磁石制御回路とを備えており、モータ制御回路が、ロータの回転数を検出する回転センサの出力に基づきロータの回転数が定常回転数領域内にあるときはモータ入力電圧を低下させて一定の値に保持し、電動モータからのノイズの影響を小さくしたことを特徴とするものである。」
と訂正する。
（５４）【発明の名称】
真空ポンプ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、ロータを回転駆動する電動モータと、電動モータを制御するモータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、
　
磁気軸受装置が、ロータをラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石と、ロータのラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する変位センサと、変位センサの出力に基づいて電磁石を制御する電磁石制御回路とを備えており、
ロータの回転数を検出する回転センサの出力に基づき
て一定の値に保持し、電動モータからのノイズの影響を小さくした
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　この発明は、真空ポンプに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　真空ポンプとして、従来、ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、ロータを回転駆動する誘導モータと、モータを制御するモータ制御回路とを備えたものが知られている。
　【０００３】
　モータ制御回路は、図３のグラフに示すように、モータの起動時に、モータ入力電圧を徐々に上昇させることによってロータの回転数を徐々に上昇させ、ロータの回転数が定常回転数に達した後は、モータ入力電圧を一定値Ｖ１に保持するようになっている。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　誘導モータが回転すると、モータからモータ入力電圧に比例するノイズが発生する。このため、従来のようにロータの回転数が定常回転数に達した時間ｔ１以降もモータ入力電圧を高い値Ｖ１に保持していると、たとえばモータからのノイズが磁気軸受装置の変位センサに混入し、回転状態が不安定になることがあった。
　【０００５】
　この発明の目的は、上記の問題を解決し、モータからのノイズの影響の小さい真空ポンプを提供することにある。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　この発明による真空ポンプは、ロータを非接触支持する磁気軸受装置と、ロータを回転駆動する電動モータと、電動モータを制御するモータ制御回路とを備えた真空ポンプにおいて、
磁気軸受装置が、ロータをラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石と、ロータのラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する変位センサと、変位センサの出力に基づいて電磁石を制御する電磁石制御回路とを備えており、
ロータの回転数を検出する回転センサの出力に基づき
て一定の値に保持し、電動モータからのノイズの影響を小さくした
　【０００７】
　【作用】
　真空ポンプは、定常回転数まで立ち上がると、風損、摩擦損がほとんどないので、回転を続けるのにあまり電力を必要としない。したがって、モータ入力電圧を低下させても、ロータの回転を保持することができる。そして、モータ入力電圧を低下させることにより、モータからのノイズの影響が小さくなり、回転状態が非常に安定する。また、モータ入力電圧が低下する分、発熱および振動も小さくなる。
　【０００８】
　【実施例】
　以下、図面を参照して、この発明の実施例について説明する。
　【０００９】
　図１は、真空ポンプの構成を概略的に示している。
　【００１０】
　真空ポンプは、ロータ（１）を非接触支持する磁気軸受装置（２）と、ロータ（１）を回転駆動する電動モータ（誘導モータ）（３）と、モータ（３）を駆動するインバータ（４）と、ロータ（１）の回転数を検出する回転センサ（５）と、回転センサ（５）の出力に基づいてインバータ（４）の出力電圧（モータ入力電圧）を制御するモータ制御回路（６）とを備えている。
　【００１１】
　磁気軸受装置（２）は、ロータ（１）をラジアル方向およびアキシアル方向に非接触支持する複数の電磁石（７）と、ロータ（１）のラジアル方向およびアキシアル方向の変位を検出する変位センサ（８）と、変位センサ（８）の出力に基づいて電磁石（７）を制御する電磁石制御回路（９）とを備えている。電磁石（７）および変位センサ（８）は複数設けられているが、図面にはこれらを１つずつ示している。また、磁気軸受装置（２）は公知のものであるから、詳細な説明は省略する。
　【００１２】
　モータ制御回路（６）は、図２のグラフに示すように、回転センサ（５）の出力すなわちロータ（１）の回転数に基づいてモータ入力電圧を制御する。すなわち、モータ（３）の起動時に、ロータ（１）の回転数が定常回転数に達するまでは、モータ入力電圧を徐々に上昇させることによってロータ（１）の回転数を徐々に上昇させる。ロータ（１）の回転数が定常回転数に達したとき（時間ｔ１）には、モータ入力電圧は前述のＶ１の近傍の値Ｖ２になっている。そして、ロータ（１）の回転数が定常回転数に達した後は、モータ入力電圧を低下させ、Ｖ２より低い一定の値Ｖ３に保持する。
　【００１３】
　真空ポンプは、定常回転数まで立ち上がると、風損、摩擦損がほとんどないので、回転を続けるのにあまり電力を必要としない。したがって、モータ入力電圧をＶ２からＶ３まで低下させても、ロータ（１）の回転を保持することができる。そして、モータ入力電圧を低下させることにより、モータ（３）からのノイズの影響が小さくなり、回転状態が非常に安定する。また、モータ入力電圧が低下する分、発熱および振動も小さくなる。
　【００１４】
　【発明の効果】
　この発明の真空ポンプによれば、上述のように、モータからのノイズの影響を小さくして、回転状態を非常に安定させることができ、また、発熱および振動も小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　この発明の実施例を示す真空ポンプの構成図である。
　【図２】
　実施例の場合の時間とモータ入力電圧との関係を示すグラフである。
　【図３】
　従来例の場合の時間とモータ入力電圧との関係を示すグラフである。
　【符号の説明】
　（１）　　　　　ロータ
　（２）　　　　　磁気軸受装置
　（３）　　　　　電動モータ
　（４）　　　　　インバータ
　（５）　　　　　回転センサ
　（６）　　　　　モータ制御回路
　（７）　　　　　電磁石
　（８）　　　　　変位センサ
　（９）　　　　　電磁石制御回路