【手続補正書】
【提出日】平成27年7月2日(2015.7.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下縁部（１５８）を有する洗浄ヘッド（１５０）であって：
真空チャンバ（１６０）を包み込む環状スチームチャンバ（２００）であって、前記下縁部（１５８）から離間した関係で垂直に配置される複数の開口部（２１０）を有する環状スチームチャンバ（２００）と；
前記開口部（２１０）を経由して前記真空チャンバ（１６０）内へ放出するため、スチームを前記環状スチームチャンバ（２００）へ供給するように構成されているスチームノズル（１８６）と
を含む洗浄ヘッド（１５０）、を備える洗浄装置。
【請求項２】
前記真空チャンバ（１６０）内へスチームを直接放出するように構成されているノズル主排出口（１８８）を有するノズル（１８６）
をさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記下縁部（１５８）は、前記真空チャンバ（１６０）が据付面（２５４）と実質的に密封係合された状態に維持可能であるように構成されている、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記洗浄ヘッド（１５０）は真空源（１１８）と流体結合するように構成されており、且つ
前記真空源（１１８）は前記真空チャンバ（１６０）から前記スチームを吸引するように構成されている
請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記真空チャンバ（１６０）内へのスチームの流れを調整するように構成されたスチームバルブ（１７６）をさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記洗浄ヘッド（１５０）へ供給される前記スチームに流体の注入を行うように構成されている流体注入ユニット（１２２）と；
水、洗剤、及び化学薬品のうちの少なくとも１つを含む前記流体と
をさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
スチーム源（１１２）を前記洗浄ヘッド（１５０）に結合するスチームホース（１１４）；
前記スチームホースに注入するため、水、洗剤、及び化学薬品のうちの少なくとも１つを含む流体を収納する流体注入ユニット（１２２）；
真空源（１１８）を前記洗浄ヘッド（１５０）に結合する真空ホース（１２０）；並びに
スチーム及び残屑のうちの少なくとも１つを受け取るため、前記真空ホース（１２０）に結合された廃棄物容器（１２４）
のうちの少なくとも１つを含む筐体（１０６）
をさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
スチーム源（１１２）を有する筐体と；
請求項１から７のいずれか一項に記載の洗浄装置と
を備える洗浄システム。
【請求項９】
下縁部及び前記下縁部から離間した関係で垂直に配置される複数の分離された開口部（２１０）を有する環状スチームチャンバ（２００）を提供するステップと；
前記開口部（２１０）を経由して真空チャンバ（１６０）内へスチームを放出するステップと；
前記真空チャンバ（１６０）から残屑及び前記スチームを吸引するステップと
を含む、洗浄方法。
【請求項１０】
ノズル主排出口（１８８）から前記真空チャンバ（１６０）内へスチームを直接放出するステップをさらに含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記開口部（２１０）を経由して前記真空チャンバ（１６０）内へ概して横内側方向に沿ってスチームを放出するステップをさらに含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
据付面（２５４）と実質的に密封係合された状態に前記下縁部（１５８）を維持するステップと；
前記下縁部（１５８）が前記据付面（２５４）と係合しているとき、洗浄ヘッド（１５０）内に前記スチームを実質的に含むステップと
をさらに含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
スチームバルブ（１７６）を選択的に開閉すること；
前記スチームバルブ（１７６）を調節することによって前記真空チャンバ（１６０）内に流れ込む前記スチームの圧力を選択的に調節すること
のうちの少なくとも１つによって、前記真空チャンバ（１６０）内へのスチームの流れを調整する前記ステップをさらに含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
前記真空チャンバ（１６０）に供給される前記スチームに流体を注入するステップと；
前記流体が、水、洗剤、及び化学薬品のうちの少なくとも１つを含むステップと
をさらに含む、請求項９に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
上述の説明及び関連する図面に示した教示の利点を有する本開示に関連する当業者であれば、本開示の多数の変形例および他の実施形態が想起されよう。本明 細書に記載した実施形態は、例示することを意図したものであって、限定的又は網羅的であることを意図していない。本明細書では特定の用語が使用されるが、 それらは、一般的及び説明的な意味でのみ使用されており、限定を目的とするものではない。
また、本願は以下に記載する態様を含む。
（態様１）
下縁部（１５８）を有する洗浄ヘッド（１５０）であって：
真空チャンバ（１６０）を包み込む環状スチームチャンバ（２００）であって、前記下縁部（１５８）から離間した関係で垂直に配置される複数の開口部（２１０）を有する環状スチームチャンバ（２００）と；
前記開口部（２１０）を経由して前記真空チャンバ（１６０）内へ放出するため、スチームを前記環状スチームチャンバ（２００）へ供給するように構成されているスチームノズル（１８６）と
を含む洗浄ヘッド（１５０）、を備える洗浄装置。
（態様２）
前記真空チャンバ（１６０）内へスチームを直接放出するように構成されているノズル主排出口（１８８）を有するノズル（１８６）
をさらに備える、態様１に記載の装置。
（態様３）
前記下縁部（１５８）は、前記真空チャンバ（１６０）が据付面（２５４）と実質的に密封係合された状態に維持可能である、態様１に記載の装置。
（態様４）
前記据付面（２５４）が非平面である、態様３に記載の装置。
（態様５）
前記洗浄ヘッド（１５０）は真空源（１１８）と流体結合するように構成されており、且つ
前記真空源（１１８）は前記真空チャンバ（１６０）から前記スチームを吸引するように構成されている
態様１に記載の装置。
（態様６）
前記真空チャンバ（１６０）内へのスチームの流れを調整するように構成されたスチームバルブ（１７６）をさらに備える、態様１に記載の装置。
（態様７）
前記洗浄ヘッド（１５０）へ供給される前記スチームに流体の注入を行うように構成されている流体注入ユニット（１２２）と；
水、洗剤、及び化学薬品のうちの少なくとも１つを含む前記流体と
をさらに備える、態様１に記載の装置。
（態様８）
スチーム源（１１２）を前記洗浄ヘッド（１５０）に結合するスチームホース（１１４）；
前記スチームホースに注入するため、水、洗剤、及び化学薬品のうちの少なくとも１つを含む流体を収納する流体注入ユニット（１２２）；
真空源（１１８）を前記洗浄ヘッド（１５０）に結合する真空ホース（１２０）；並びに
スチーム及び残屑のうちの少なくとも１つを受け取るため、前記真空ホース（１２０）に結合された廃棄物容器（１２４）
のうちの少なくとも１つを含む筐体（１０６）
をさらに備える、態様１に記載の装置。
（態様９）
スチーム源（１１２）を有する筐体と；
下縁部（１５８）を有し、前記スチーム源に結合されている洗浄ヘッド（１５０）であって、
下縁部（１５８）で開放され且つ真空チャンバ（１６０）を包み込む環状スチームチャンバ（２００）であって、前記真空チャンバ（１６０）内へ前記開口 部（２１０）を経由してスチームを放出するため、前記下縁部（１５８）から離間した関係で垂直に配置される複数の分離された開口部（２１０）を有する環状 スチームチャンバ（２００）；並びに
前記真空チャンバ（１６０）内へスチームを直接放出するように構成されたノズル主排出口（１８８）を有するノズル（１８６）；
を含む洗浄ヘッド（１５０）と；
前記真空チャンバ（１６０）が据付面（２５４）と実質的に密封係合された状態に維持可能であるように構成された前記下縁部（１５８）と
を備える洗浄システム。
（態様１０）
前記真空チャンバ（１６０）から前記スチームを吸引するように構成されている真空源（１１８）をさらに備える、態様９に記載のシステム。
（態様１１）
前記据付面（２５４）が非平面である、態様９に記載のシステム。
（態様１２）
前記真空チャンバ（１６０）内への前記スチームの流れを調整するように構成されたスチームバルブ（１７６）をさらに備える、態様９に記載のシステム。
（態様１３）
前記洗浄ヘッド（１５０）へ供給される前記スチームに流体の注入を行うように構成されている流体注入ユニット（１２２）と；
水、洗剤、及び化学薬品のうちの少なくとも１つを含む前記流体と
をさらに備える、態様９に記載のシステム。
（態様１４）
下縁部及び前記下縁部から離間した関係で垂直に配置される複数の分離された開口部（２１０）を有する環状スチームチャンバ（２００）を提供するステップと；
前記開口部（２１０）を経由して真空チャンバ（１６０）内へスチームを放出するステップと；
前記真空チャンバ（１６０）から残屑及び前記スチームを吸引するステップと
を含む、洗浄方法。
（態様１５）
ノズル主排出口（１８８）から前記真空チャンバ（１６０）内へスチームを直接放出するステップをさらに含む、態様１４に記載の方法。
（態様１６）
前記開口部（２１０）を経由して前記真空チャンバ（１６０）内へ概して横内側方向に沿ってスチームを放出するステップをさらに含む、態様１４に記載の方法。
（態様１７）
据付面（２５４）と実質的に密封係合された状態に前記下縁部（１５８）を維持するステップと；
前記下縁部（１５８）が前記据付面（２５４）と係合しているとき、前記洗浄ヘッド（１５０）内に前記スチームを実質的に含むステップと
をさらに含む、態様１４に記載の方法。
（態様１８）
前記据付面（２５４）が非平面である、態様１７に記載の方法。
（態様１９）
スチームバルブ（１７６）を選択的に開閉すること；
前記スチームバルブ（１７６）を調節することによって前記真空チャンバ（１６０）内に流れ込む前記スチームの圧力を選択的に調節すること
のうちの少なくとも１つによって、前記真空チャンバ（１６０）内へのスチームの流れを調整する前記ステップをさらに含む、態様１４に記載の方法。
（態様２０）
前記真空チャンバ（１６０）に供給される前記スチームに流体を注入するステップと；
前記流体が、水、洗剤、及び化学薬品のうちの少なくとも１つを含むステップと
をさらに含む、態様１４に記載の方法。