【事件の表示】
　特願２０１２−１３６２７８「筐体、半導体製造装置および搬送ロボット」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　９月２０日出願公開、特開２０１２−１８２５０１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　本願は、２００８年１１月１０日を国際出願日とする特願２００９−５４２５２１号（優先権主張２００７年１１月２１日、日本国）の一部を、平成２４年６月１５日に新たに特願２０１２−１３６２７８号として特許出願したものであって、同２４年９月２４日付けで拒絶の理由が通知され、同２４年１１月１２日に意見書とともに手続補正書が提出されたが、同２５年２月７日付けで拒絶をすべき旨の査定がなされた。 
　これに対し、平成２５年５月２日に該査定の取消を求めて本件審判の請求がされるとともに特許請求の範囲及び明細書について手続補正書が提出され、同２５年１１月７日付けで当審から拒絶の理由が通知され、同２５年１２月１９日に意見書とともに手続補正書が提出され特許請求の範囲及び明細書についてさらに補正がなされたものである。 
　
第２　本願発明 
　本願の請求項１ないし２０に係る発明は、上記平成２５年１２月１９日提出の手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１ないし２０に記載された事項により特定されるとおりのものと認めるところ、その請求項１の記載は以下のとおりである。（以下、請求項１に係る発明を「本願発明」という。） 
「　【請求項１】
　上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体であって、
　昇降機構を有する胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、前記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、前記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドとを有しており前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットを内部に備え、
　前記筐体には、
　カセットオープナを取り付けるための開口が設けられ、
　前記搬送ロボットは、
　前記カセットオープナ寄りであって該カセットオープナの正面で対向する位置に壁掛けされるように配置され、
　前記第１アームの回転軸は、
　前記胴体における前記カセットオープナ寄りに配置されること
　を特徴とする筐体。」 
　
第３　引用刊行物記載の発明 
　これに対して、当審での平成２５年１１月７日付けの拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された下記刊行物には、以下の発明、あるいは事項が記載されていると認められる。 
　刊行物２： 特開２００３−１８８２３１号公報
　刊行物１： 特開２００３−１７０３８４号公報
　
１　刊行物２
（１）刊行物２に記載された事項 
　刊行物２には、「ワーク搬送用ロボット及びこのロボットを備えたワーク加工装置」に関して、図面とともに、以下の事項が記載されている。なお、下線は理解の便のため、当審で付したものである。
　
ア　「【００４６】本発明に係わるワーク搬送用ロボットは、特に半導体製造装置や、液晶基板製造装置などのワーク加工装置に用いるのに好適である。この種のワーク加工装置は、トランスファチャンバと、このトランスファチャンバに接続されたロードロックチャンバ及びプロセスチャンバとを備えていて、トランスファチャンバとロードロックチャンバとの間でのワークの受け渡しと、トランスファチャンバとプロセスチャンバとの間でのワークの受け渡しとを行わせるためにトランスファチャンバ内にワーク搬送用ロボットを配置している。
【００４７】この種のワーク加工装置において、ワーク搬送用ロボットを本発明のように構成すると、前段側アームの回動中心である第１の軸線がケーシングの中心軸線に対して一定の偏倚距離だけ偏倚している分、ロボットとトランスファチャンバの壁部との間の内法寸法を短縮することができるため、トランスファチャンバの容積の縮小を図ることができる。したがって、ワーク加工装置をクリーンルーム内に配置する場合に、該クリーンルームの容積の縮小を図って、クリーンルームの建設費の低減と、そのランニングコストの低減とを図ることができる。またトランスファチャンバ内が真空に保たれる場合には、該トランスファチャンバの容積の縮小により、その内部の真空引きを行うために要する時間を短縮することができるので、加工作業の能率を向上させることができる。」
　
イ　「【００５３】図１ないし図３において、
Ａはアーム機構駆動装置、Ｂ及びＣはそれぞれ前段側アーム機構及び後段側アーム機構、Ｄはハンド
ワーク搬送用ロボットＲ
Ｗ
保持されたワーク（例えば半導体ウェハ）
【００５４】図３に示したように、アーム機構駆動装置Ａは、円筒状に形成されたケーシング１を備えている。ケーシング１は駆動装置Ａの機構部を収容するためのもので、図示のケーシング１は、正方形状に形成された底板１０１と、該底板に下端が着脱可能に固定された円筒状の筒状部１０２とからなり、筒状部１０２はその軸線Ｏ−Ｏを垂直方向に向けた状態で配置されている。ケーシング１の底板１０１の四隅には、ロボットを取付け箇所に固定するためのボルトを挿通する取付け孔１０３が形成されている。またケーシング１の筒状部１０２の下端寄りの部分の外面には、１対の把手１０４，１０４が固定されている。
【００５５】ケーシング１の内側には、上下方向に延びる支柱２が設けられていて、この支柱２に昇降フレーム３が昇降自在に支持され、
ケーシング１と昇降フレーム３とにより、アーム機構を支持する支持フレーム４が構成されている。
　
ウ　「【００６０】したがって、モータ１２が駆動されると、その回転がプーリ１４とベルト１６とプーリ１５とを介してネジ棒１０に伝達され、このネジ棒の回転により、ナット１１が昇降フレーム３とともに昇降させられる。この例では、ネジ棒１０及びナット１１からなる螺進機構と、昇降用モータ１２と、プーリ１４及び１５と、ベルト１６とにより、昇降フレーム３をケーシングの中心軸線に沿って昇降させる
昇降機構
　
エ　「【００６５】
前段側アームＢ
長手方向を水平方向に向けた状態で前記第１の軸線Ｏ
１
−Ｏ
１
を中心に回動
第１の軸線Ｏ
１
−Ｏ
１
がケーシング１の中心軸線Ｏ−Ｏに対して支柱２と反対側に一定の偏倚距離ΔＤだけ偏った位置を垂直方向に延びるように、前段側アームＢの回動中心が設定されている
　
オ　「【００７２】
後段側アームＣ
前段側アームＢ
他端Ｂｂ側の天板部２１ａに軸受４２を介して支持されている。
　
カ　「【００７８】
ハンドＤ
後段側アームＣの他端Ｃｂ側の突起４１
Ａ１
に軸受５２を介して回動自在に支持される
　
キ　「【０１１２】本発明に係わるワーク搬送用ロボットは、半導体製造装置や液晶製造装置等のワーク加工装置において、ウェハや液晶基板等のワークを搬送するために用いられる。図９は本実施形態のワーク搬送用ロボットを備えたワーク加工装置の一例を示したもので、同図において
８０
長手方向に対向する対の側壁８０ａ，８０ｂ
（奥行き方向）に相対する対の側壁８０ｃ，８０ｄ
トランスファチャンバ
トランスファチャンバ８０内に本発明に係わるロボットＲが配置されている
【０１１３】図示のロボットＲは、２つのプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂの中心Ｏａ，Ｏａ´間の水平方向距離を２等分する位置を両プロセスチャンバの並設方向に対して直角な方向に延びる直線Ｏｃ−Ｏｃ上の位置で、かつトランスファチャンバの相対する
側壁８０ｃ，８０ｄの対向方向の片側（図示の例ではプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側）に偏った位置に前段側アームＢの回動中心（第１の軸線Ｏ
１
−Ｏ
１
）を位置させた状態で配置されている。
　
ク　「【０１１６】図１０（Ａ）ないし（Ｅ）は、図９のワーク加工装置において、一方のプロセスチャンバ８２Ａ内のウェハ（ワーク）Ｗを他方のプロセスチャンバ８２Ｂ内に搬送する際のロボットの動きを順を追って示している。なお図１０においてはアライナ装置８３の図示が省略されている。
【０１１７】この例では、図１０（Ａ）の過程で一方のプロセスチャンバ８２Ａ内のウェハＷを受け取り、図１０（Ｂ）の過程でウェハＷをプロセスチャンバ８２Ａから搬出している。その後、図１０（Ｃ）及び（Ｄ）の過程でウェハＷを横方向（プロセスチャンバの並設方向）に平行移動させて、他方のプロセスチャンバ８２Ｂの前まで移動させ、図１０（Ｅ）の過程でウェハをプロセスチャンバ８２Ｂ内に搬入している。」
　
ケ　「【０１２１】また本実施形態のように、前段側アームＢの回動中心である第１の軸線Ｏ１−Ｏ１がケーシング１の中心軸線Ｏ−Ｏに対して一定の偏倚距離ΔＤだけ偏倚した位置を垂直方向に延びるように前段側アームの回動中心を設定すると、・・・前段側アームの回動中心をケーシングの中心に一致させた場合に比べて、・・・ワーク加工装置のトランスファチャンバの小形化を図ることができる。・・・（後略）」
　
コ　図１及び図１０（Ａ）等
　以下に示す図１と（図９を説明する図たる）図１０（Ａ）を、上記摘記事項キないしケの記載と合理的に併せ見れば、前段側アームＢの回動軸線Ｏ１−Ｏ１は、支持フレーム４の中心軸線Ｏ−Ｏに対して一定の偏倚距離ΔＤだけプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側に偏った位置に配置されているものと認められる。
　また、図９及び図１０（Ａ）の記載等から、ワーク搬送用ロボットＲは、奥行き方向に相対する対の側壁８０ｃ，８０ｄのうち、プロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側に偏った位置に配置されているものと認められる。
　
（２）刊行物２発明 
　刊行物２の上記摘記事項アないしケ及び認定事項コを技術常識を踏まえ本願発明に照らして整理すると、刊行物２には以下の発明が記載されていると認められる。（以下、「刊行物２発明」という。） 
「トランスファチャンバ８０であって、
　昇降機構を有する支持フレーム４と、前記支持フレーム４の上で水平方向に回転自在な前段側アームＢと、前記前段側アームＢの先端上で水平方向に回転自在な後段側アームＣと、前記後段側アームＣの先端上で水平方向に回転自在なハンドＤとを有しており前記ハンドＤに保持された半導体ウェハＷを搬送するワーク搬送用ロボットＲを内部に備え、
　前記トランスファチャンバ８０には、
　長手方向に対向する側壁の１つの側壁８０ａにロードロックチャンバ８１が取り付けられ、
　前記ワーク搬送用ロボットＲは、
奥行き方向に相対する対の側壁８０ｃ，８０ｄのうち、プロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側に偏った位置に配置され、
　前記前段側アームＢの回動軸線Ｏ１−Ｏ１は、
　前記支持フレーム４の中心軸線Ｏ−Ｏに対して一定の偏倚距離ΔＤだけプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側に偏った位置に配置されるトランスファチャンバ８０。」
　
２　刊行物１
（１）刊行物１に記載された事項
　刊行物１には、「平板状物の搬送用スカラ型ロボットおよび平板状物の処理システム」に関して、図面とともに、以下の事項が記載されている。なお、下線は理解の便のため、当審で付したものである。
　
ア　「【００１９】
【発明の実施の形態】以下に、この発明の実施の形態を実施例によって、図面に基づき詳細に説明する。ここに、図１は、本発明のスカラ型ロボットの一実施例を配した、本発明の平板状物の処理システムの一実施例としてのウエハ処理システムを示す一部切欠き斜視図である。上記実施例の
スカラ型ロボット１
ファンフィルターユニットを有する図示しない天井が上側に設けられる
ウエハ７の収納用の清浄容器３
ロードポート２
　
イ　「【００２０】図２は、上記実施例のスカラ型ロボット１の外観を示す斜視図である。このロボット１は、床面に固定された基部１１上に胴体１２をその基部１１に対し回動可能に具えており、その胴体１２は、ア−ム体１４の第１アー１４ａに固定された胴体カバー１２ａと、第１アーム１４ａの基端部に一体的に結合された胴体フレ−ム１２ｂとを有し、その第１アーム１４ａの先端部にはア−ム体１４の第２アーム１４ｂの基端部が回動可能に連結されている。そして第２アーム１４の先端部には、上側および下側の二つのフィンガ部１６ａ，１６ｂがそれぞれ固定された二つのリスト部１５ａ，１５ｂが互いに同一回動軸線状で回動可能に支持されている。しかして図１では、それらのフィンガ部のうち下側フィンガ部１６ｂが処理済みのウエハ７を受け取るために待機し、上側フィンガ部１６ａが未処理のウエハ７を奥側の清浄容器３から取り出さんとしている。」
　
ウ　「【００２１】図１では右側の壁の右側には、複数のウエハ処理機５を有するウエハ処理装置４が配置され、図１では右側の壁には、そのウエハ処理装置４の、ウエハ７の搬入用窓８と搬出用窓９とが設けられており、これらの搬入出用窓８，９の二つのドア８ａ，９ａは図では開かれている。そして図示のウエハ処理装置４では、ウエハ処理機５で処理されたウエハ７を搬送機６が受け取り、右奥側の搬出用窓９を通して挿入されるロボット１の下側フィンガ１６ｂに受け渡すべく待機している。このウエハ処理装置４は、図示しない蓋が取り付けられ、上記ファンフィルターユニットから搬入用窓９および搬出用窓８を通して高清浄空気が送り込まれて内部が高清浄領域となっている。なお、ウエハ処理装置４には、ロボット１側に空気が逆流しないように構成して、別のファンフィルターユニットを設けてもよい。」
　
エ　「【００２２】図３は、上記実施例のスカラ型ロボット１のアーム体１４および、例えば加工や処理前のウエハ７を専門に扱うように設定された上側フィンガ部１６ａの動作例を、下側フィンガ部１６ｂをリスト部１５ｂとともに省略した状態で示す平面図であり、図示のように、ウエハ７を載置した上側フィンガ部１６ａは、清浄容器３の、ロードポート２に連結された入口面に対し垂直方向に延在する直線状径路とそれに続く円弧状径路とを組み合わせた移動径路Ｐ上を移動する。・・・（後略）」
　
オ　図３
　以下に示す図３によれば、スカラ型ロボット１は、（図面で上から２番目の）ウエハ７の収納用の清浄容器３の正面で対向する位置に配置されていることが看取できる。
　
（２）刊行物１事項Ａ
　刊行物１の上記摘記事項アないしエ及び認定事項オを図面を参照しつつ、技術常識を踏まえて整理すると、刊行物１には以下の事項が記載されていると認められる。（以下、「刊行物１事項Ａ」という。） 
「高清浄領域とされる部屋であって、
　ウエハ７を搬送するスカラ型ロボット１を内部に備え、
　前記部屋には、
　ウエハ７の収納用の清浄容器３を取り付けるためのロードポート２が設けられ、前記スカラ型ロボット１は、
　該ウエハ７の収納用の清浄容器３の正面で対向する位置に配置される部屋。」
　
（３）刊行物１事項Ｂ
　さらに、刊行物１の特に上記摘記事項（１）アに着目して技術常識を踏まえて整理すると、刊行物１には以下の事項が記載されていると認められる。（以下、「刊行物１事項Ｂ」という。）
「ファンフィルターユニットを有する天井が上側に設けられ高清浄領域とされる部屋であって、ウエハ７を搬送するスカラ型ロボット１を内部に備えるもの。」
　　
第４　対比 
　本願発明と刊行物２発明とを対比すると以下のとおりである。 
　刊行物２発明の「トランスファチャンバ８０」は本願発明の「筐体」に相当することは、その機能及び技術常識に照らして明らかであり、以下同様に、「支持フレーム４」は「胴体」に、「前段側アームＢ」は「第１アーム」に、「後段側アームＣ」は「第２アーム」に、「ハンドＤ」は「ハンド」に、「保持された」は「搭載した」に、「半導体ウェハＷ」は「基板」に、「ワーク搬送用ロボットＲ」は「搬送ロボット」に、「前段側アームＢの回動軸線Ｏ１−Ｏ１」は「第１アームの回転軸」にそれぞれ相当することも明らかである。 
　
　次に、刊行物２発明の「ロードロックチャンバ８１」は、技術常識を踏まえ、本願発明の「カセットオープナ」と、基板を出し入れるするための装置、である限りにおいて共通する。
　また、刊行物２発明の「トランスファチャンバ８０には」「長手方向に対向する側壁の１つ側壁８０ａにロードロックチャンバ８１が取り付けられ」ることは、上記対比を踏まえ、筐体には、長手方向に対向する側壁の１つ側壁８０ａに基板を出し入れるすための装置が取り付けられ、と言い換えられるところ、これは、本願発明における「筐体には、カセットオープナを取り付けるための開口が設けられ」ることと、筐体には、基板を出し入れるすための装置が取り付けられ、るものである限りにおいて共通する。
　また、刊行物２発明の「ワーク搬送用ロボットＲは、奥行き方向に相対する対の側壁８０ｃ，８０ｄのうち、プロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側に偏った位置に配置され」ることは、本願発明における「搬送ロボットは、前記カセットオープナ寄りであって該カセットオープナの正面で対向する位置に壁掛けされるように配置され」ることと、搬送ロボットは一方の壁寄りに配置される、ものである限りにおいて共通する。
　さらに、刊行物２発明の「前段側アームＢの回動軸線Ｏ１−Ｏ１は、前記ケーシング１の中心軸線Ｏ−Ｏに対して一定の偏倚距離ΔＤだけプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側に偏った位置に配置される」ことは、上記対比を踏まえ、第１アームの回転軸は、前記胴体の中心軸線Ｏ−Ｏに対して一定の偏倚距離ΔＤだけプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側に偏った位置に配置される、ことと言い換えられるところ、これは、本願発明における「第１アームの回転軸は、前記胴体における前記カセットオープナ寄りに配置されること」と、第１アームの回転軸は、胴体の中心に対して偏った位置に配置され、るものである限りにおいて共通する。
　
　したがって、本願発明と刊行物２発明とは、以下の点で一致しているということができる。 
＜一致点＞ 
「筐体であって、
　昇降機構を有する胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、前記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、前記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドとを有しており前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットを内部に備え、
　前記筐体には、
　基板を出し入れるすための装置が取り付けられ、
　搬送ロボットは
一方の壁寄りに配置され、
前記第１アームの回転軸は、
胴体の中心に対して偏った位置に配置される筐体。」　 
　
　そして、本願発明と刊行物２発明とは、以下の４点で相違している。 
＜相違点１＞ 
　本願発明の筐体は、上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離するものであるのに対し、刊行物２発明のトランスファチャンバ８０（筐体）は、そのようなものか不明である点。 
＜相違点２＞
　本願発明の筐体は、（基板を出し入れるすための装置たる）カセットオープナを取り付けるための開口が設けられるのに対し、刊行物２発明のトランスファチャンバ８０（筐体）は、長手方向に対向する側壁の１つの側壁８０ａに基板を出し入れるすための装置たるロードロックチャンバ８１が取り付けられる点。
＜相違点３＞
　搬送ロボットが一方の壁寄りに配置されることに関し、本願発明の搬送ロボットは、カセットオープナ寄りであって該カセットオープナの正面で対向する位置に壁掛けされるように配置されるのに対し、刊行物２発明のワーク搬送用ロボットＲ（搬送ロボット）は、奥行き方向に相対する対の側壁８０ｃ，８０ｄのうち、プロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側に偏った位置に配置される点。
＜相違点４＞
　第１アームの回転軸が胴体の中心に対して偏った位置に配置されることに関し、本願発明の第１アームの回転軸は、胴体におけるカセットオープナ寄りに配置されるのに対し、刊行物２発明の前段側アームＢの回動軸線Ｏ１−Ｏ１（第１アームの回転軸）は、支持フレーム４（胴体）の中心軸線Ｏ−Ｏに対して一定の偏倚距離ΔＤだけプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側に偏った位置に配置される点。
　
第５　相違点の検討 
１　＜相違点１＞について 
　まず、上記摘記事項第３の１（１）（ア）を参酌するに、刊行物２発明のトランスファチャンバ８０内は、真空雰囲気またはクリーンな雰囲気いずれをも対象とし得るものであるが、真空雰囲気とするものであるとしても、これをクリーンな雰囲気のものとして用いることは、設計的な変更事項に過ぎない。
　次に、上記第３の２（３）にて指摘したように、刊行物１事項Ｂは、「ファンフィルターユニットを有する天井が上側に設けられ高清浄領域とされる部屋であってウエハ７を搬送するスカラ型ロボット１を内部に備えるもの。」というものであるところ、これは、本願発明の用語に倣って、上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体であって、基板を搬送する搬送ロボットを内部に備えるもの、ということができる。
　また、このような清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体に用いることは、刊行物１事項Ｂのみならず、原審の平成２４年９月２４日付け拒絶理由通知にて示された特開２００５−１９７５４２号公報（段落【００２１】、図３等参照）に示されるように従来周知の事項である。
　そして、刊行物２発明にかかる従来周知の事項を適用して、相違点１に係る本願発明の特定事項とすることは、何ら困難なことではない。
　
２　＜相違点２＞ないし＜相違点４＞について
　相違点２ないし４について検討する。
（１）まず、刊行物２発明は、「長手方向に対向する側壁の１つの側壁８０ａにロードロックチャンバ８１が取り付けられ」るものであるところ、「ロードロックチャンバ８１」を「長手方向に対向する側壁の１つの側壁８０ａ」ではなく、奥行き方向に相対する対の側壁８０ｃ，８０ｄのうち、プロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄに取り付けることは、当業者が容易に考える設計的な変更事項であると考えられる上、そのように、基板を出し入れるすための装置とプロセスチャンバを奥行き方向に相対する対の側壁にそれぞれ配置することは、上記刊行物１の図１、上記特開２００５−１９７５４２号公報の図２に示されるように従来周知の事項であり、これを適用してそのような対向配置にすることは容易に想到し得ることでもある。
　
（２）次に、上記第３の２（２）にて指摘したように、刊行物１事項Ａは、「高清浄領域とされる部屋であって、ウエハ７を搬送するスカラ型ロボット１を内部に備え、前記部屋には、ウエハ７の収納用の清浄容器３を取り付けるためのロードポート２が設けられ、前記スカラ型ロボット１は、該ウエハ７の収納用の清浄容器３の正面で対向する位置に配置される部屋。」というものであるところ、これを本願発明の用語に倣って表現すれば、刊行物１事項Ａの「高清浄領域とされる部屋」は「外部と隔離する筐体」と表現でき、以下同様に、「ウエハ７」は「基板」と、「スカラ型ロボット１」は「搬送ロボット」と、「部屋」は「筐体」と、「ウエハ７の収納用の清浄容器３」は「カセット」と、「ロードポート２」は「開口」と表現できる。 
　したがって、刊行物１事項Ａは、 
「外部と隔離する筐体であって、基板を搬送する搬送ロボットを内部に備え、前記筐体には、カセットを取り付けるための開口が設けられ、前記搬送ロボットは、該カセットの正面で対向する位置に配置される筐体。」と言い換えることができる。 
　
（３）ここで、刊行物２発明と刊行物１事項Ａは、搬送ロボットを内部に備える基板を出し入れるすための装置が取り付けられた筐体である点で共通しており、刊行物１に接した当業者が、これを刊行物２発明に適用することを試みることも、格別困難なことではないというべきである。
　そして、上記（１）で指摘したように、刊行物２発明において「ロードロックチャンバ８１」（基板を出し入れるすための装置）を「長手方向に対向する側壁の１つの側壁８０ａ」ではなく、奥行き方向に相対する対の側壁８０ｃ，８０ｄのうち、プロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄに取り付けることとした上で、かかる刊行物１事項Ａを適用すれば、
ア　刊行物２発明のトランスファチャンバ８０（筐体）は、高清浄領域とされる（必ずしもロードロックチャンバを必要としない非真空の）部屋となりイ　（相違点２に係る本願発明のように）プロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄに、カセットオープナを取り付けるための開口が設けられ、
ウ　（相違点３に係る本願発明と部分的に同じく）搬送ロボットは、該側壁８０ｄ側に偏った位置、すなわちカセットオープナ寄り、であって該カセットオープナの正面で対向する位置に配置され、
エ　（相違点４に係る本願発明のように）前段側アームＢの回動軸線Ｏ１−Ｏ１（第１アームの回転軸）は、支持フレーム４（胴体）の中心に対してカセットオープナ寄りに配置されることとなる。
　
（４）そうした上で本願発明は、搬送ロボットを壁掛けされるように配置される点で、なお刊行物２発明と相違する。これに関し、本願明細書（段落【００２１】等）を参酌するに、搬送ロボットを「壁掛けされるように配置される」ことについては、ロボットの取り外しを容易にすること、ロボット下部に空間を生じさせる程度の技術的意義しかなく、一方で、搬送ロボットを壁掛け配置することは、特開２００１−３５８９９号公報（図４等参照）に示されるように従来周知の事項であり、かかる事項を適用することに格別困難性はない。
　
（５）そうしてみると、刊行物２発明に刊行物１事項Ａ及び上記従来周知の事項を適用して、上記相違点２ないし４に係る本願発明の特定事項とすることは、当業者が容易に想到し得るものと解するのが相当である。 
　
４　本願発明の効果について
　上記相違点１ないし相違点４を総合的に勘案しても、刊行物２発明、刊行物１事項Ａ及び上記従来周知の事項から当業者が予測できない格別な効果が生じるとは考えられない。
　
５　小括 
　したがって、本願発明は、刊行物２発明、刊行物１事項Ａ及び上記従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 
　
第６　むすび 
　以上のとおり、本願発明は、刊行物２発明、刊行物１事項Ａ及び従来周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。