【事件の表示】
　特許第３３４９６７９号「磁気軸受装置及びこれを備えた真空ポンプ」の請求項１〜４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３３４９６７９号の請求項１〜４に係る特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続きの経緯
　本件特許３３４９６７９号の請求項１〜４に係る発明についての出願は、平成１１年３月３１日に出願され、平成１４年９月１３日に、その発明について特許権の設定登録がなされ、その特許について、平成１５年５月２６日に特許異議申立人・竹野哲雄（以下、「申立人」という。）により特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１５年１０月２１日に特許異議意見書が提出されたものである。
　
II．特許異議の申立てについての判断
１．特許異議の申立ての理由の概要
　申立人は、本件特許の請求項１〜４に係る発明は、下記甲第１〜５号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである、と主張している。
(１)甲第１号証：特開昭５２−６０４９２号公報
(２)甲第２号証：特開平１１−３７０８７号公報
(３)甲第３号証：特開平１０−２５９７９３号公報
(４)甲第４号証：特開昭６０−４５７９２号公報
(５)甲第５号証：特開平４−１６４１８７号公報
　
２．本件特許発明
　本件特許の請求項１〜４に係る発明（以下、それぞれ「本件特許発明１」〜「本件特許発明４」という。また、それらを総称して、「本件特許発明」という。）は、明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された事項により特定される下記のとおりのものである。
「【請求項１】
　ステータコイルを有するモータで回転駆動されるロータシャフトを能動型磁気軸受を含む磁気軸受で回転自在に支持した磁気軸受装置において、前記能動型磁気軸受の電磁石並びにその変位センサとを環状保持部材に装着し且つ樹脂モールドで被覆成形して構成した電磁石ユニットと、前記ステータコイルをその環状保持部材に装着し且つ樹脂モールドで被覆成形して構成したステータコイルユニットを、円筒状ステータコラム内に順に嵌合して配置したことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項２】
　ステータコイルを有するモータで回転駆動されるロータシャフトを能動型スラスト磁気軸受と第１と第２の能動型ラジアル磁気軸受で回転自在に支持した磁気軸受装置において、前記第１の能動型ラジアル磁気軸受の電磁石並びにその半径方向変位センサとを第１の環状保持部材内に装着し且つ樹脂モールドで被覆成形して構成した第１の電磁石ユニットと、前記ステータコイルを環状ヨーク部材内に装着し且つ樹脂モールドで被覆成形して構成したステータコイルユニットと、前記第２の能動型ラジアル磁気軸受の電磁石並びにその半径方向変位センサとを第２の環状保持部材内に装着し且つ樹脂モールドで被覆成形して構成した第２の電磁石ユニットを、円筒状ステータコラム内に順に嵌合して配置したことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項３】
　成形された樹脂モールドの軸方向の厚みを前記環状保持部材の軸方向の長さよりもわずかに薄くしたことを特徴とする請求項１又は請求項２の磁気軸受装置。
【請求項４】
　軸受に請求項１又は請求項２の磁気軸受装置を備えたことを特徴とする真空ポンプ。」
　
３．通知した取消しの理由に引用した本件の出願の日前に頒布された刊行物に記載された発明及び記載事項
(１)刊行物１：特開昭５２−６０４９２号公報（申立人が甲第１号証として提出）
(２)刊行物２：特開平１１−３７０８７号公報（同甲第２号証）
(３)刊行物３：特開平１０−２５９７９３号公報（同甲第３号証）
(４)刊行物４：特開昭６０−４５７９２号公報（同甲第４号証）
(５)刊行物５：特開平４−１６４１８７号公報（同甲第５号証）
　
（刊行物１）
　刊行物１には、「研削盤用工具保持スピンドル装置」に関し、下記の技術的事項が記載されている。
(ａ)「本発明は特に研削盤用工具保持スピンドル装置に関する。」（第１頁右下欄第３〜４行）
(ｂ)「外被１３はといし車１５側に位置するその前端に環状当接肩部１３ａが設けられ、これに外被１３の内側表面にねじ付けられたリング１７によって電磁ラジアル軸受１６の環状電機子１６ａの強磁性部分が当接する。」（第２頁右下欄第１６〜２０行）
(ｃ)「外被１３はその後部に内方当接肩部１３ｂを具え、これに第２電磁ラジアル軸受２３の環状電機子の強磁性部分が当てられる。」（第３頁左上欄第１６〜１８行）
(ｄ)「スラスト軸受２８の・・・強磁体２８ｄは一方の側は絶縁リング３２を介在させてラジアル軸受２３の電機子２３ａと、また他側は絶縁リング３４を介して外被１３にスクリュ付されたリング３３とに対し軸方向に保持される。」（第３頁左下欄第１〜１１行）
(ｅ)「ラジアル軸受１６および２３の電機子１６ａおよび２３ａ間の外被の中間部分にはチューブ体３５が取付けられている。ラジアル軸受１６と組合わされた電磁半径方向検知器３６の電機子３６ａ、電気モータ３７の誘導子３７ａおよびラジアル軸受２３と組合わされた電磁半径方向検知器の電機子３８ａはチューブ体３５の内側円筒表面に前方から後方へ上記の順序で取付けられる。」（第３頁左下欄第１２〜２０行）　
　刊行物１に記載の磁気軸受装置は、電気モータ３７の誘導子３７ａと電磁半径方向検知器３６、３８の電機子３６ａ、３８ａとをチューブ体３５に組付けてステータコイルユニットとして外被１３内に嵌合して配置し、その両側にラジアル軸受１６、２３の電磁石１６ａ、２３ａとを外被１３の内面に嵌合して、スクリュ付けされたリング１７、３３などにより位置決めする構成となっている。この際、スクリュウネジ等により位置決めする以上、外被１３内に、「焼ばめ」によらず、ステータコイルユニット及び両側の電磁石を嵌合して配置したものであることが明らかである。
　したがって、刊行物１には、上記摘記事項(ａ)〜(ｅ)の記載からみて、下記の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
【引用発明】
　電気モータ３７により回転駆動される軸１１をラジアル磁気軸受１６、２３とスラスト軸受２８により回転自在に支持する磁気軸受装置において、第１のラジアル磁気軸受１６の電磁石と、電磁半径方向検出器３６、３８の電機子３６ａ、３８ａと電気モータ３７の誘導子３７ａをチューブ体３５に装着して構成したステータコイルユニットと、第２のラジアル磁気軸受２３の電磁石とを、外被１３内に嵌合して配置した磁気軸受装置。
　
（刊行物２）
　刊行物２には、「分子ポンプ」に関し、下記の技術的事項が記載されている。
(ｆ)「本発明は薄膜製造装置等に必要な高真空を発生させる分子ポンプ、特に大きな熱負荷を受ける用途に好適な分子ポンプに関する。
　分子ポンプにはターボ分子ポンプ、ねじ溝真空ポンプ及びこれら両者を組合わせた複合分子ポンプが知られている。」（第２頁第１欄第３６〜４２行、段落【０００１】、【０００２】参照）
(ｇ)図１（特許異議申立書（以下、「申立書」という。）の末尾に添付された甲第２号証の図１の拡大図を参照）の記載から、ラジアル磁気軸受電磁石５ａ、モータステータ５ｂ、ハウジング５等が記載され、モータステータ（コイル）５ｂは環状保持部材(１)（○の中に数字の１、以下同様）に装着されてハウジング５の内面に嵌合されて配置されているとともに、ラジアル磁気軸受の電磁石５ａも、モータステータ（コイル）５ｂの両側に、ハウジングの内面に嵌合されて配置されていることが看取できる。
　図２には、ラジアル磁気軸受の電磁石コイル（図中×印で示されている）の周囲にハッチングが施されていることが看取できる。
　同様に、図１には、磁気軸受の電磁石コイル（図中×印で示されている）とモータのステータコイル（図中×印で示されている）の周囲(２)（○の中に数字の２、以下同様）にハッチングが施されていることが看取できる。
　また、図１から、上側電磁石５ａのコイル（図中×印で示されている）を覆うハッチング部分(２)Ａとステータ５ｂのコイル（図中×印で示されている）を覆うハッチング部分(２)Ｂの間には線が入っていること、及び、同様に、下側電磁石５ａのハッチング部分(２)Ｄと、ステータ５ｂのハッチング部分(２)Ｃとの間にも線が入っていることから、それぞれ独立した部材であることが看取できる。
(ｈ)また、図１（申立書の末尾に添付された甲第２号証の図１の拡大図を参照）の記載からみて、ラジアル磁気軸受電磁石５ａは、その鉄心をハウジング５の内周面に当接して配置されていることが看取できる。
　
（刊行物３）
　刊行物３には、「分子ポンプ」に関し、下記の技術的事項が記載されている。
(ｉ)「本発明はエッチング装置やＣＶＤ装置等において凝縮性を有する気体を排気するのに好適なターボ分子ポンプ又は複合分子ポンプ等の分子ポンプに関する。」（第２頁第１欄第２２〜２５行、段落【０００１】参照）
(ｊ)図１（申立書の末尾に添付された甲第３号証の【図１】の拡大図を参照）の記載から、シャフト５の周囲には上から、上部ラジアル磁気軸受の電磁石(４)（○の中に数字の４、以下略）、モータステータ(５)、下部ラジアル磁気軸受の電磁石(６)がハウジング７の内周面に嵌合して配置されていることが看取できる。
(ｋ)また、図１（申立書の末尾に添付された甲第３号証の図１の拡大図を参照）の記載からみて、上部ラジアル磁気軸受の電磁石(４)は、その鉄心をハウジング７の内周面に当接して配置されていることが看取できる。
　
（刊行物４）
　刊行物４には、「ターボ分子ポンプ」に関し、下記の技術的事項が記載されている。
(ｌ)「本発明は核物理研究用の粒子加速器、核融合研究実験装置、電子顕微鏡、表面分析装置、半導体製造装置としてのイオン注入装置やスパッタリング装置等種々の装置において高真空を得るためのターボ分子ポンプに関する。」（第１頁右下欄第２〜７行）
(ｍ)「６、７はラジアル磁気軸受、８はスラスト磁気軸受を示し、該ラジアル磁気軸受６は前記内部ハウジング２内の上方部に、ラジアル磁気軸受７は該内部ハウジング２内の中間部に、スラスト磁気軸受８は該内部ハウジング２内でこれら磁気軸受６、７の中間にそれぞれ設けられており、又前記ラジアル磁気軸受６及び７にはそれぞれ互いに直角方向の位置のずれを検出するセンサー６ａ及び７ａを一組ずつ備え、前記スラスト磁気軸受８には軸方向の位置ずれを検出するセンサー８ａを備えており」と記載されている（部品番号のカッコ書きを省略。第２頁左下欄第５〜１８行）。
(ｎ)第２図（申立書の末尾に添付された甲第４号証の図２の拡大図を参照）から、このラジアル磁気軸受の電磁石６および変位センサ６ａはそれぞれ環状保持部材(１４)(１５)（○の中に数字の１４、１５、以下略）に装着されて内部ハウジング２の上半部ハウジング２ａに取り付けられていること、ラジアル磁気軸受の電磁石７および変位センサ７ａは環状保持部材(１６)(１７)に装着されて、内部ハウジング２の下半部ハウジング２ｂに取り付けられていること、及び、ラジアル磁気軸受の電磁石６は、ラジアル磁気軸受の電磁石７の上部に位置決めされるスラスト磁気軸受８にバネ状部材(１８)を介して付勢されることにより、上半部ハウジング２ａの端面に押し付けられて位置決めされていることが看取できる。
(ｏ)第２図（申立書の末尾に添付された甲第４号証の図２の拡大図を参照）から、環状保持部材(１４)(１５)は、電磁石６用の環状の保持部材(１４)、及びそれとは別体の変位センサ用の環状の保持部材(１５)であることが看取できる。また、環状保持部材(１６)(１７)は、電磁石７用の環状の保持部材(１６)、及びそれとは別体の変位センサ用の環状の保持部材(１７)であることが看取できる。
　
（刊行物５）
　刊行物５には、「ターボ分子ポンプ」に関し、下記の技術的事項が記載されている。
(ｐ)「本発明は、ドライエッチングを行う半導体製造装置などに使用されるターボ分子ポンプに係り、特にポンプ本体内に堆積し易い凝縮性ガスを排気する際、あるいは多量のガスを排気する際に好適となる磁気軸受方式のターボ分子ポンプに関するものである。」（第１頁左下欄第１４〜１９行）
(ｑ)「シャフト５は、上下一対のラジアル磁気軸受６、７および軸端部のスラスト磁気軸受８によって完全非接触に支持されている。６ａ、７ａ、８ａはこれらの軸受６、７、８を制御するためのギャップセンサである。また、Ｍはモータである。」（第１頁右下欄第１８行〜第２頁左上欄第３行）
(ｒ)第５図の記載からみて、このラジアル磁気軸受６の電磁石およびギャップ（変位）センサ６ａはキャップ形状の環状保持部材に装着されて内部ハウジングの上部に取り付けられており、ラジアル磁気軸受７の電磁石およびギャップセンサ７ａは円筒形状の環状保持部材に装着されて内部ハウジング内に挿入されてモータＭのステータの下部に取り付けられていることが看取できる。
　また、ラジアル磁気軸受６は、キャップ形状の環状保持部材に形成されている肩部に電磁石を当接させるとともに、その環状保持部材を内部ハウジングに形成されている肩部に当接させることにより嵌合・位置決めされている。同様に、ラジアル磁気軸受７は、円筒形状の環状保持部材に形成されている肩部に電磁石を当接させるとともに、その円筒形状の環状保持部材を内部ハウジングに形成されている肩部に当接させることにより嵌合・位置決めされていることが看取できる。
　　
４．対比・判断
(１)本件特許発明１について
　本件特許発明１と引用発明とを対比すると、それぞれの有する機能に照らして、引用発明の「電気モータ３７」は本件特許発明１の「モータ」に相当し、以下同様に、「軸１１」は「ロータシャフト」に、「ラジアル磁気軸受１６、２３とスラスト軸受２８」は「能動型磁気軸受」に、「電磁半径方向検出器３６、３８の電機子３６ａ、３８ａ」は「変位センサ」に、「電気モータ３７の誘導子３７ａ」は「電機モータのステータコイル」に、「チューブ体３５」は「環状保持部材」に、「外被１３」は「円筒状ステータコラム」に、それぞれ相当するので、両者は下記の一致点及び相違点を有する。
＜一致点＞
　ステータコイルを有するモータで回転駆動されるロータシャフトを能動型磁気軸受を含む磁気軸受で回転自在に支持した磁気軸受装置において、前記能動型磁気軸受の電磁石と、前記ステータコイルをその環状保持部材に装着したステータコイルユニットとを、円筒状ステータコラム内に嵌合して配置した磁気軸受装置。
＜相違点＞
（相違点１）
　電磁石に関し、本件特許発明１は、「能動型磁気軸受の電磁石並びにその変位センサとを環状保持部材に装着し且つ樹脂モールドで被覆成形して構成した電磁石ユニット」であるのに対し、引用発明は、ラジアル磁気軸受１６、２３の電磁石並びにその電磁半径方向検出器３６、３８の電機子３６ａ、３８ａを具備する点。
（相違点２）
　ステータコイルユニットに関し、本件特許発明１は、「ステータコイルをその環状保持部材に装着し且つ樹脂モールドで被覆成形して構成したステータコイルユニット」であるのに対し、引用発明は、電気モータ３７の誘導子３７ａをチューブ体３５に装着して構成した点。
（相違点３）
　本願特許発明１は、「電磁石ユニット」と「ステータコイルユニット」を「円筒状ステータコラム内に順に嵌合して配置し」ているのに対し、引用発明は、電磁石とステータコイルユニットを外被１３内に嵌合して配置した点。
　そこで、まず、上記相違点１について検討する。
（相違点１について）
　申立人は、刊行物２の記載に関し、「これらのハッチングは、当業者の常識からすると、樹脂モールドを意味する。」（申立書第７頁第２７、２８行）、「このことから、磁気軸受電磁石５ａとモータのステータ５ｂは、個々に樹脂モールドされてユニット化され、ハウジング５内に順に嵌合して配置されていることが推認される。」（申立書第８頁第６〜８行参照）、「甲第２号証には『電磁石ユニット』や『ステータコイル』を分割ユニット毎に樹脂モールドすることが記載されている。このように真空ポンプの磁気軸受装置において、部品を樹脂モールドしてユニット化することは、公知・慣用の技術である。」（申立書第１３頁第１７〜２０行参照）等と主張しているが、刊行物２において、図１の記載からみて、磁気軸受５ａの電磁石は、その鉄心をハウジング５の内周面に当接して配置されている（上記摘記事項(ｈ)参照）ことから、磁気軸受５ａの電磁石を装着するためのユニット化に不可欠な環状保持部材を具備していない。したがって、刊行物２には能動型磁気軸受の電磁石並びにその変位センサとを環状保持部材に装着し且つ樹脂モールドで被覆成形して構成した電磁石ユニットの構成、すなわち、上記相違点１に係る本件特許発明１に係る構成は記載も示唆もされていない。
　
　申立人は、刊行物３の記載に関し、「電磁石(４)の上には、変位センサと見られる部材(７)が配置されている。また同様に、電磁石(６)の下には、変位センサと見られる部材(１０)が配置されている。なお、『変位センサ』はラジアル磁気軸受には必須の部材であり、電磁石の近辺に配置されていることから、この部材(７)(１０)は変位センサであると考えざるを得ない。そして、電磁石(４)と変位センサ(７)とは環状保持部材(８)により一体化（ユニット化）されている。同様に、電磁石(６)と変位センサ(１０)は環状保持部材(１１)により一体化（ユニット化）されている。」（申立書第８頁第１６〜２３行参照）、「甲第３号証及び甲第５号証には、『ラジアル磁気軸受の電磁石と変位センサとを環状保持部材に装着し、ユニット化した』例が開示されている。」（申立書第１３頁第４〜６行参照）等と主張しているが、刊行物３において、図１の記載からみて、部材(７)及び部材(１０)は、ハッチングをされた部材であることは理解できるものの、変位センサ(７)(１０)かどうかは必ずしも明確であるとはいえないし、また、磁気軸受電磁石(４)は、その鉄心をハウジング７の内周面に当接して配置されている（上記摘記事項(ｋ)参照）ことから、磁気軸受電磁石(４)を装着するためのユニット化に不可欠な環状保持部材を具備していない。したがって、刊行物３には能動型磁気軸受の電磁石並びにその変位センサとを環状保持部材に装着し且つ樹脂モールドで被覆成形して構成した電磁石ユニットの構成、すなわち、上記相違点１に係る本件特許発明１に係る構成は記載も示唆もされていない。
　
　申立人は、刊行物４の記載に関し、「このことから、これらラジアル磁気軸受６の環状保持部材(１４)(１５)とスラスト磁気軸受８とラジアル磁気軸受の電磁石７の環状保持部材(１６)(１７)は順に突き当たるまで挿入して、バネ状部材１８により軸方向に位置決めする嵌合構造となっていることが推認される。」（申立書第９頁第２３〜２７行参照）、「甲第３号証及び甲第５号証には、『ラジアル磁気軸受の電磁石と変位センサとを環状保持部材に装着し、ユニット化した』例が開示されている。」（申立書第１３頁第４〜６行参照）等と主張しているが、刊行物４において、環状保持部材(１４)(１５)は、電磁石６用の環状の保持部材(１４)、及びそれとは別体の変位センサ用の環状の保持部材(１５)であり、電磁石並びにその変位センサを１つのユニットとするための環状保持部材ではない。また、環状保持部材(１６)(１７)についても同様の理由により電磁石並びにその変位センサを１つのユニットとするための環状保持部材ではない（上記摘記事項(ｏ)参照）。したがって、刊行物４には能動型磁気軸受の電磁石並びにその変位センサとを環状保持部材に装着し且つ樹脂モールドで被覆成形して構成した電磁石ユニットの構成、すなわち、上記相違点１に係る本件特許発明１に係る構成は記載も示唆もされていない。
　
　申立人は、刊行物５の記載に関し、「ラジアル磁気軸受６、７とモータＭのステータはユニット化されて、内部ハウジングにキャップ形状の環状保持部材と円筒形状の環状保持部材をオス・メス嵌合することにより軸方向に位置決めする嵌合構造となっていることが推認される。」（申立書第１０頁第２１〜２４行参照）、「甲第３号証及び甲第５号証には、『ラジアル磁気軸受の電磁石と変位センサとを環状保持部材に装着し、ユニット化した』例が開示されている。」（申立書第１３頁第４〜６行参照）等と主張しているが、刊行物５には、ラジアル磁気軸受６、７とモータＭのステータを樹脂モールドで被覆成形してユニット化したことは記載も示唆もされていない。したがって、刊行物５には能動型磁気軸受の電磁石並びにその変位センサとを環状保持部材に装着し且つ樹脂モールドで被覆成形して構成した電磁石ユニットの構成、すなわち、上記相違点１に係る本件特許発明１に係る構成は記載も示唆もされていない。
　
　上記相違点１に係る本件特許発明１の構成を有することにより、本件特許発明１は特許明細書に記載の格別顕著な作用効果を奏するものであるから、上記相違点２及び３について審究するまでもなく、本件特許発明１は、刊行物１〜５に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
(２)本件特許発明２〜４について
　本件特許の請求項２は、実質的に、本件特許発明１の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加して構成を限定したものに相当するものである。
　また、本件特許の請求項３及び４は、独立請求項である請求項１又は２の従属請求項であり、本件特許発明３及び４は、本件特許発明１又は２の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加して構成を限定したものに相当するものである。
　そして、本件特許発明１は、上記「(１)本件特許発明１について」に示した理由により、刊行物１〜５に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえないから、本件特許発明２〜４に係る発明も、同様の理由により、刊行物１〜５に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
５．特許異議の申立てについてのむすび
　以上のとおり、本件特許の請求項１〜４に係る発明は、上記刊行物１〜５（申立人が提出した甲第１号証〜甲第５号証刊行物）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
III．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件特許の請求項１〜４に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件特許の請求項１〜４に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年４月１９日（２００５．４．１９）