【事件の表示】
　特許第３０３４４８４号「基板処理装置」の請求項１及び２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０３４４８４号の請求項１及び２に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３０３４４８４号（以下「本件特許」という。）の請求項１及び２に係る発明（以下、「本件発明」という。）についての出願は、平成２年５月２８日に特許出願した特願平２−１３７４９０号の一部を平成９年５月２７日に新たな特許出願とし、平成１２年２月１８日にその発明について特許権の設定登録がなされたものであり、その後、その特許について、特許異議申立人永田大樹より、特許異議の申立てがなされ、平成１２年１２月２２日付けで取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年３月１３日に特許異議意見書が提出されたものである。
　
２．本件発明
　特許第３０３４４８４号の請求項１及び２に係る発明は、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項により特定される以下のとおりのものと認める。
「　【請求項１】　基板を多段に収納する複数個のカセットを載置する静止したカセット載置用の基台と、前記カセット載置用の基台に沿って移動し、かつ基板を上下多段に収納しているカセットの収納高さを昇降して、カセットから基板を取り出すインデクサー搬送ユニットと、複数個の処理ユニットへ基板を搬送するプロセス搬送ユニットと、前記インデクサー搬送ユニットと前記プロセス搬送ユニットとの間であって、前記インデクサー搬送ユニットの移動域の外に設定された基板待機位置で基板を載置して、基板の位置合わせを行う基板位置合わせ機構とを備え、前記インデクサー搬送ユニットは、カセットから取り出した基板を、前記基板待機位置にある基板位置合わせ機構に移載し、前記基板位置合わせ機構は、移載された基板の位置合わせを行い、前記プロセス搬送ユニットは、位置合わせされた基板を受け取って、前記複数個の処理ユニットへ搬送することを特徴とする基板処理装置。
　　【請求項２】　基板を多段に収納する複数個のカセットを載置する静止したカセット載置用の基台と、前記カセット載置用の基台に沿って移動し、かつ基板を上下多段に収納しているカセットの収納高さを昇降して、カセットから基板を取り出すインデクサー搬送ユニットと、複数個の処理ユニットに沿って移動し、これらの処理ユニットへ基板を搬送するプロセス搬送ユニットと、前記インデクサー搬送ユニットと前記プロセス搬送ユニットとの間であって、前記インデクサー搬送ユニットの移動域の外で、かつ前記プロセス搬送ユニットの処理ユニットに沿った移動域の外に設定された基板待機位置で基板を載置して、基板の位置合わせを行う基板位置合わせ機構とを備え、前記インデクサー搬送ユニットは、カセットから取り出した基板を、前記基板待機位置にある基板位置合わせ機構に移載し、前記基板位置合わせ機構は、移載された基板の位置合わせを行い、前記プロセス搬送ユニットは、位置合わせされた基板を受け取って、前記複数個の処理ユニットへ搬送することを特徴とする基板処理装置。」
　
３．先願明細書記載の発明及び周知例の記載事項
３−１．先願明細書記載の発明
　先の取消理由通知において引用した、本件特許の遡及する出願日前の他の出願であって、その出願後に公開された特願平２−１２６４０７号（特開平４−２４９１５号公報参照）の願書に最初に添付した明細書及び図面（以下、「先願明細書」という。）には、以下の事項が記載されている。
（ア）「第１図に示すように、塗布・現像装置１には、半導体ウエハ２にフォトレジストの塗布、現像処理等を施す塗布・現像処理部３が設けられており、この塗布・現像処理部３の側方には、複数枚（例えば２５枚）の半導体ウエハ２を収容可能に構成されたウエハカセット４が複数個配置されるカセットステーション５が設けられている。」（上記公報第２頁右上欄第２０行〜左下欄第６行）
（イ）「また、この塗布・現像処理部３の中央部には、上記処理機器６ａ〜６ｈの間で半導体ウエハ２の搬送を行う搬送機構７が設けられている。この搬送機構７は、円弧状に形成されたウエハピンセット７ａで半導体ウエハ２裏面の周縁部を支持し、後述するバッファーステーション１０から各処理機器６ａ〜６ｈに順次搬送し、処理の終了した半導体ウエハ２を最後にバッファーステーション１０へ搬送する如く構成されている。
　一方、上記カセットステーション５には、ウエハカセット４を昇降させるカセットエレベータ（図示せず）が複数例えば４つ配列されており、これらのカセットエレベータにそれぞれウエハカセット４が載置される。」（上記公報第２頁左下欄第１５行〜右下欄第９行）
（ウ）「また、これらのウエハカセット４の前方には、ウエハ受け渡し機構が設けられている。このウエハ受け渡し機構には、半導体ウエハ２を支持する第１の基板支持機構としてのバッファーステーション１０と、半導体ウエハ２を支持し、バッファーステーション１０に受け渡しするための第２の基板支持機構としての吸着アーム１１が設けられている。」（上記公報第２頁右下欄第９〜１６行）
（エ）「この吸着アーム１１は、図示しない駆動機構によりＸ−Ｙ−Ｚ−θ方向に移動可能に構成された移動台１２上に設けられている。」（上記公報第３頁左上欄第１〜３行）
（オ）「また、第１図に示すように、バッファーステーション１０の上部には、吸着アーム１１で半導体ウエハ２を載置する際に、半導体ウエハ２の周縁部を両側から押圧して位置決めするための位置決め機構１３が設けられている。
　上記構成のこの実施例では、カセットステーション５のカセットエレベータ７上に載置されたウエハカセット４から、吸着アーム１１により一枚ずつ半導体ウエハ２を取り出し、バッファーステーション１０に載置する。」（上記公報第３頁右上欄第１３〜左下欄第２行）
　そして、第１図には、
（カ）「移動台１２」が、「カセットステーション５」に沿って移動する旨の図示、「搬送機構７」が、「処理機器６ａ〜６ｈ」に沿って移動する旨の図示、及び「移動台１２」と「搬送機構７」との間であって、「移動台１２」の移動域の外で、かつ「搬送機構７」の「処理機器６ａ〜６ｈ」に沿った移動域の外に「バッファーステーション１０」を設ける旨の図示がある。
　上記（ア）〜（オ）の記載及び上記（カ）の図示からみて、先願明細書には、
”「半導体ウエハ２」を多段に収納する複数個の「ウエハカセット４」を「カセットエレベータ」を介して載置する「カセットステーション５」と、前記「ウエハカセット４」に沿って移動し、かつ「ウエハカセット４」から「半導体ウエハ２」を取り出す「吸着アーム１１」及び「移動台１２」と、複数個の「処理機器６ａ〜６ｈ」に沿って移動し、これらの「処理機器６ａ〜６ｈ」へ「半導体ウエハ２」を搬送する「搬送機構７」と、前記「吸着アーム１１」及び「移動台１２」と前記「搬送機構７」との間であって、前記「吸着アーム１１」及び「移動台１２」の移動域の外で、かつ前記「搬送機構７」の「処理機器６ａ〜６ｈ」に沿った移動域の外に設定された位置で「半導体ウエハ２」を載置して、「半導体ウエハ２」の位置決めを行う「バッファーステーション１０」及び「位置決め機構１３」とを備え、前記「吸着アーム１１」及び「移動台１２」は、「ウエハカセット４」から取り出した「半導体ウエハ２」を、前記設定された位置にある「位置決め機構１３」に移載し、前記「バッファーステーション１０」及び「位置決め機構１３」は、移載された「半導体ウエハ２」の位置決めを行い、前記「搬送機構７」は、位置決めされた「半導体ウエハ２」を受け取って、前記複数個の「処理機器６ａ〜６ｈ」へ搬送する「半導体ウエハ２」処理装置”
が記載されていると認める。
　
３−２．周知例１の記載
　先の取消理由通知において引用した、特開昭６３−１３３５２１号公報（以下、「周知例１」という。）には、以下の事項が記載されている。
（キ）「ウェーハ収納カセット１内にある最上段のウェーハ１１を搬出する場合は、まず、第１アーム２６をカセット１内の最上段ウェーハとその真下の段のウェーハとの間の隙間に第２アーム２７の先端真空吸着部２７ａが挿入できる位置（第１図の仮想線部で示す）まで上昇させる。このとき第２アーム２７は第１アーム２６の最後端位置まで引込んだ状態にある。この上昇と同時またはその後に第１アーム２６をカセット１の中心線に一致する位置θ１（第２図参照）まで回転させる。次いで第２アーム２７を前進させ、その先端の真空吸着部２７ａにウェーハ１１が吸着できる状態になったところで停止させる。第１アーム２６をわずかに上昇させて第２アーム２７の先端真空吸着部２７ａをカセット１内の最上段ウェーハ１１に対接させ、当該ウェーハ１１を真空吸着部２７ａに吸着させる。ウェーハの吸着時点で上昇を停止し、第２アーム２７を後退させ、後退完了後に第１アーム２６をロードロック室４へウェーハを搬入できる位置θ２まで回転させる。」（上記公報第６頁左下欄第９行〜右下欄第７行）
　
３−３．周知例２の記載
　異議申立人が、異議申立書において周知技術の証拠として提出した甲第５号証、即ち特開昭６２−２２２９０６号公報（以下、「周知例２」という。）には、以下の事項が記載されている。
（ク）「この発明においては、上記の連結アーム把手をターンテーブルの上におき、その周囲に検査装置、ウエーハを収容したカセットを配置し、・・・目的とするウエーハを吸着把持し、カセットと検査装置の間を搬送するものである。なお任意のウエーハを搬送するため、カセットに対して、ターンテーブルを上下に移動することにより、連結アーム把手を任意のウエーハの位置に停止できる機構を持つものである。」（上記公報第３頁左上欄第１３行〜右上欄第２行）
（ケ）「カセット内の任意のウエーハを搬送するために、カセットに対して連結アーム把手は上下方向に移動できるものである。」（上記公報第３頁右上欄第１５〜１７行）
　
４．対比及び判断
４−１．請求項１に係る発明について
  特許第３０３４４８４号の請求項１に係る発明（以下、「前者」という。）と、特願平２−１２６４０７号の願書に最初に添付した明細書及び図面に記載された発明（以下、「後者」という。）とを対比すると、前者の「基板」は、特許第３０３４４８４号公報の【０００１】段落に「半導体ウエハ等の基板」と記載されているように、半導体ウエハを含むものであるから、後者の「半導体ウエハ２」が、前者の「基板」に相当する。また、後者の「カセット４」が、前者の「カセット」に相当することは明らかであって、後者の「カセットステーション５」は、「カセットエレベータ」を介して「カセット４」を複数個配置するから、静止されているかどうかを除けば、前者の「カセット載置用の基台」に相当する。また、後者の「吸着アーム１１」及び「移動台１２」は、「カセットステーション５」に沿って移動し、「カセット４」から「半導体ウエハ２」を取り出すものであって、「カセット４」の収納高さを昇降するかどうかを除けば、前者の「インデクサー搬送ユニット」に相当する。そして、後者の「処理機器６ａ〜６ｈ」「搬送機構７」が、前者の「処理ユニット」「プロセス搬送ユニット」に相当することは明らかだし、後者の「バッファーステーション１０」及び「位置決め機構１３」は、「移動台１２」の移動域の外に設定された位置で「半導体ウエハ２」を載置し、上記（オ）にあるように「半導体ウエハ２」の位置合わせを行うから、前者の「基板位置合わせ機構」に相当し、後者の「バッファーステーション１０」及び「位置決め機構１３」が設けられた位置が、前者の「基板待機位置」に相当する。
　そうすると、両者は、
　基板を多段に収納する複数個のカセットを載置するカセット載置用の基台と、前記カセット載置用の基台に沿って移動し、カセットから基板を取り出すインデクサー搬送ユニットと、複数個の処理ユニットへ基板を搬送するプロセス搬送ユニットと、前記インデクサー搬送ユニットと前記プロセス搬送ユニットとの間であって、前記インデクサー搬送ユニットの移動域の外に設定された基板待機位置で基板を載置して、基板の位置合わせを行う基板位置合わせ機構とを備え、前記インデクサー搬送ユニットは、カセットから取り出した基板を、前記基板待機位置にある基板位置合わせ機構に移載し、前記基板位置合わせ機構は、移載された基板の位置合わせを行い、前記プロセス搬送ユニットは、位置合わせされた基板を受け取って、前記複数個の処理ユニットへ搬送する基板処理装置。
である点で一致し、以下の点で一応相違する。
　＜一応相違する点＞：特許第３０３４４８４号の請求項１に係る発明では、「カセット載置用の基台」が静止しているものであって、「インデクサー搬送ユニット」が「カセットの収納高さを昇降」するのに対して、先願明細書に記載された発明では、「カセットステーション５」が「カセットエレベータ」により「カセット４」を上下方向に移動させるものであって、「吸着アーム１１」及び「移動台１２」が「カセット４」の収納高さを昇降するものでない点。
　そこで、上記一応相違する点を検討すると、カセットからの基板の取り出しやカセットへの基板の収納の際に、カセットを静止させる一方、基板の取り出しや収納を行うアームを、カセットの収納高さに沿って昇降させるように構成することは、上記周知例１及び２の上記（キ）〜（ケ）の記載からみて、本件特許の遡及する出願日前周知の技術的手段である。そして、この周知の技術的手段は、カセットからの基板の取り出しやカセットへの基板の収納の際に、カセット自体を昇降させないのだから、基板の取り出しや収納の際に、カセットが振動して塵埃が発生することがないという効果を当然に奏するものである。
　したがって、上記一応相違する点は、カセットからの基板の取り出しやカセットへの基板の収納を行うための手段を具体化する上で、周知の技術的手段を転換したという程度の微差にすぎず、特許第３０３４４８４号の請求項１に係る発明と、特願平２−１２６４０７号の願書に最初に添付した明細書及び図面に記載された発明とは、実質的に同一である。
　
４−２．請求項２に係る発明について
　特許第３０３４４８４号の請求項２に係る発明（以下、「前者」という。）と、特願平２−１２６４０７号の願書に最初に添付した明細書及び図面に記載された発明（以下、「後者」という。）とを対比すると、上記４−１で記載したように、後者の「半導体ウエハ２」「カセット４」「処理機器６ａ〜６ｈ」は、前者の「基板」「カセット」「処理ユニット」に相当する。また、上記４−１で記載したように、後者の「カセットステーション５」は、静止されているかどうかを除けば、前者の「カセット載置用の基台」に相当し、後者の「吸着アーム１１」及び「移動台１２」は、「カセット４」の収納高さを昇降するかどうかを除けば、前者の「インデクサー搬送ユニット」に相当する。また、後者の「搬送機構７」は、「処理機器６ａ〜６ｈ」に沿って移動し、これらの「処理機器６ａ〜６ｈ」へ「半導体ウエハ２」を搬送するから、前者の「プロセス搬送ユニット」に相当する。そして、後者の「バッファーステーション１０」及び「位置決め機構１３」は、「移動台１２」の移動域の外で、かつ「搬送機構７」の「処理機器６ａ〜６ｈ」に沿った移動域の外に設定された位置で「半導体ウエハ２」を載置し、「半導体ウエハ２」の位置合わせを行うから、前者の「基板位置合わせ機構」に相当し、後者の「バッファーステーション１０」及び「位置決め機構１３」が設けられた位置が、前者の「基板待機位置」に相当する。
　そうすると、両者は、上記４−１で記載した上記一応相違する点で一応相違し、その他の点で一致しており、上記一応相違する点は、上記４−１で記載したとおり、カセットからの基板の取り出しやカセットへの基板の収納を行うための手段を具体化する上での微差にすぎず、特許第３０３４４８４号の請求項２に係る発明と、特願平２−１２６４０７号の願書に最初に添付した明細書及び図面に記載された発明とは、実質的に同一である。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許第３０３４４８４号の請求項１及び２に係る発明は、いずれも、特願平２−１２６４０７号の願書に最初に添付した明細書及び図面に記載された発明と同一であり、しかも、本件発明の発明者が先願明細書に記載された発明の発明者と同一であると認められず、また、本件特許の遡及する出願時に、その出願人が上記他の出願の出願人と同一であるとも認められないので、特許第３０３４４８４号の請求項１及び２に係る発明は、いずれも、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない。
　したがって、特許第３０３４４８４号の請求項１及び２に係る発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものである。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により適用される特許法第１１４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年４月４日（２００１．４．４）