【事件の表示】
　平成　７年特許願第　５６６９４号「荷電粒子ビーム偏向装置及び方法」拒絶査定に対する審判事件［平成　８年　９月　３日出願公開、特開平　８−２２７８４９　］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．本願は、平成７年２月２１日の出願であって、その請求項１に係る発明は、平成１１年９月２２日付け手続補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、次のとおりのものである。
「荷電粒子ビーム(1)を偏向させてステージ(4)上に投射する荷電粒子ビーム偏向装置において、前記荷電粒子ビームの偏向量(X、Y)を設定する偏向量設定手段(11)と、前記ステージの移動方向に平行な面のヨーイング誤差(εl)を検出するヨーイング誤差検出手段と、前記ステージの移動方向に垂直なローリング誤差(ε2)を検出するローリング誤差検出手段(8)と、前記ステージの移動方向のピッチング誤差(ε3)を検出するピッチング誤差検出手段(9)と、前記ヨーイング誤差により前記偏向量を補正した後に、前記ローリング誤差及前記ピッチング誤差により前記偏向量を補正する補正手段(10)と、該補正された偏向量に基づいて荷電粒子ビーム(1)を偏向させる偏向手段(6X、6Y)とを具備することを特徴とする荷電粒子ビーム偏向装置。」
　なお、平成１１年１２月２４日付の補正は、この審決と同日付けで却下された。
２．当審の拒絶の理由に引用した、引用例１．特開平１−２８６４２０号公報、引用例２．特開平１−３０２８１８号公報及び引用例３．特開平１−２０２８３３号公報の記載内容
２．１　引用例１
　引用例１の第１頁左欄末行〜同頁左欄第３行に、「本発明は、電子ビーム露光装置などにおいて試料が載置されるステージの位置制御装置に関するものであり、詳しくはステージの回転蛇行の補正に関するものである。」と記載されている。
　また、引用例１の第２頁右下欄第１２行〜第３頁左上欄第１２行に、「ステージ１の回転角度の測定について第２図を用いて説明する。・・・このようにして求められた回転角度θを・・・電子ビームなどのビーム偏向系にフィードバックすることによりステージの回転角度を電気的に補正する」旨記載されている。
　そうすると、上記回転蛇行（回転角度）は、ヨーイングに相当するから、上記引用例１には、電子ビーム露光装置において、ステージのヨーイング誤差をレーザ干渉計を用いて検出し、検出したデータに基づいて、電子ビーム偏向量を補正することにより、ヨーイング誤差を補正する発明が記載されている。
２．２　引用例２
　引用例２の第２頁右上欄第８行〜同欄第１０行に、「テーブルの移動誤差によって・・・露光位置ずれ・・・が生ずる。」と記載されている。
　また、引用例２の第２頁左下欄第３行〜同欄第８行に、「この発明に係る電子ビーム露光装置は、高さ検出器によって、少なくとも２箇所以上の露光面の高さを測定して露光面の高さ方向の傾斜を計測するとともに、露光面の傾斜変動によって生ずる露光位置ずれを調整するためのビームの偏向量調整手段を備えたものである。」と記載されている。
　さらに、引用例２の第２頁右下欄第１９行〜第３頁左上欄第４行に、「上記の実施例では・・・したが、３箇所以上の高さ検出を行なってもよい。」と記載されている。　
　そうすると、上記引用例２の露光位置ずれは、ローリング誤差及びピッチング誤差に相当するから、上記引用例２には、電子ビーム露光装置において、ステージのピッチング誤差及びローリング誤差をレーザ干渉計を用いて検出し、検出したデータに基づいて、電子ビーム偏向量を補正することにより、ピッチング誤差及びローリング誤差を補正する発明が記載されている。
２．３　引用例３
　上記引用例３の特許請求の範囲には、「半導体露光装置用ＸＹテーブルにおいて、・・・テーブルの・・・ピッチング角誤差、ローリング角誤差、ヨーイング角誤差を常時検出するための計測手段と、・・・ピッチング角方向、ローリング角方向、ヨーイング角方向に駆動する機構を用いて角度偏動値を零にするようなサーボ機構とを具備した・・・高精度ＸＹステージ装置」と記載されている。
　そうすると、上記引用例３には、高精度ステージを用いる露光装置において、ステージのヨーイング誤差、ピッチング誤差及びローリング誤差を補正する必要性について記載されている。
３．本件請求項１に係る発明と引用例との対比
引用例に記載された電子ビームは、本件請求項１に係る発明の荷電粒子ビームに相当するから、本件請求項１に係る発明と引用例２に記載された発明は、「荷電粒子ビームを偏向させてステージ上に投射する荷電粒子ビーム偏向装置において、前記荷電粒子ビームの偏向量を設定する偏向量設定手段と、前記ステージの移動方向に垂直なローリング誤差を検出するローリング誤差検出手段と、前記ステージの移動方向のピッチング誤差を検出するピッチング誤差検出手段と、前記ローリング誤差及前記ピッチング誤差により前記偏向量を補正する補正手段と、該補正された偏向量に基づいて荷電粒子ビームを偏向させる偏向手段とを具備する荷電粒子ビーム偏向装置。」において一致し、本件請求項１に係る発明が、「ピッチング誤差検出手段、ピッチング誤差により前記偏向量を補正する補正手段及び該補正された偏向量に基づいて荷電粒子ビームを偏向させる偏向手段とを具備」する構成（以下、「請求項１に係る発明の構成１」という。）及び「ヨーイング誤差により偏向量を補正した後に、ローリング誤差及ピッチング誤差により偏向量を補正」する構成（以下、「請求項１に係る発明の構成２」という。）を有するのに対し、引用例２に記載された発明には、請求項１に係る発明の構成１及び２がない点で相違する。
　上記請求項１に係る発明の構成１について検討する。
　引用例３には、光を用いる露光装置において、ステージのヨーイング誤差、ピッチング誤差及びローリング誤差を補正する必要性について記載されており、電子線ビーム露光装置と、光を用いる露光装置のステージは、当該ステージの移動誤差については特に差はなく、電子線ビームの偏向による誤差の補正とステージの制御による誤差の補正とは当業者が困難なく相互に転用できるものであることを考慮すると、電子線ビーム露光装置において、ステージのヨーイング誤差、ピッチング誤差及びローリング誤差を電子ビームの偏向により補正するようにした点に格別の困難性は認められない。
　また、電子ビーム露光装置において、「ピッチング誤差検出手段、ピッチング誤差により前記偏向量を補正する補正手段及び該補正された偏向量に基づいて荷電粒子ビームを偏向させる偏向手段とを具備」することは、引用例１に記載されているように慣用手段である。
　そうすると、当業者が引用例２に記載された発明に引用例１の慣用手段を付加することにより、請求項１に係る発明の構成１とすることに困難性は認められない。
　上記請求項１に係る発明の構成２について検討すると、「ヨーイング誤差により偏向量を補正した後に、ローリング誤差及ピッチング誤差により偏向量を補正」する構成において明細書詳細な説明を参照しても特段の効果は認められず、また、「ヨーイング誤差により偏向量を補正した後に、ローリング誤差及びピッチング誤差により偏向量を補正する」という補正の順序を設定することに特に困難性はない。
　そうすると、請求項１に係る発明は、当業者が、引用例１〜３に基づいて容易に発明できたものである。
４　結び
　従って、請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。