【事件の表示】
　特許第３３１６６２１号「セラミック材料粉末の製造方法」の請求項１及び２に係る発明の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３１６６２１号の請求項１及び２に係る発明の特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第３３１６６２１号の出願は、平成８年９月２日に出願され、平成１４年６月１４日に特許の設定登録がなされたものであって、その特許につき、雨宮範子より特許異議の申立がなされ、これに基づき取消理由を通知したところ、その指定期間内である平成１５年１０月６日に訂正請求書が提出されたものである。
　
II．訂正の適否
II−１．訂正事項
　本件明細書につき、訂正請求書に添付された訂正明細書に記載されるとおりの、次の〈イ〉〜〈ハ〉の訂正を求めるものである
　以下、必要に応じて、訂正前の明細書を「特許明細書」といい、当該訂正請求書に添付された訂正明細書を「訂正明細書」という。
〈イ〉特許明細書の請求項１における、
「【請求項１】組成の異なる複数の未完成原材料粉末を湿式混合して得られるスラリーを乾燥して混合粉末を得る工程と、該混合粉末を熱処理する工程を有するセラミック材料粉末の製造方法において、上記スラリーの乾燥は該スラリーに使用の溶媒に溶解しない上記熱処理により容易に揮散除去できる化合物を分散質に有する分散液を該スラリーに加えた後行なうセラミック材料粉末の製造方法」を、
「【請求項１】組成の異なる複数の未完成原材料粉末を湿式混合して得られるスラリーを乾燥して混合粉末を得る工程と、該混合粉末を熱処理する工程を有するセラミック材料粉末の製造方法において、上記スラリーの乾燥は該スラリーに使用の溶媒に溶解しない上記熱処理により容易に揮散除去できる化合物を分散質に有する分散液を該スラリーに加えた後行ない、乾燥する際に該スラリー中の上記未完成原材料粉末の各分散粒子の間に上記化合物を介在させ、当該各分散粒子間の結合は弱く容易に壊れやすい構造とするセラミック材料粉末の製造方法。」に訂正する。
〈ロ〉特許明細書の段落０００７における、
「・・・化合物を分散質に有する分散液を該スラリーに加えた後行なう
セラミック材料粉末の製造方法を提供するものである。・・・」を、
「・・・化合物を分散質に有する分散液を該スラリーに加えた後行ない、乾燥する際に該スラリー中の上記未完成原材料粉末の各分散粒子の間に上記化合物を介在させ、当該各分散粒子間の結合は弱く容易に壊れやすい構造とするセラミック材料粉末の製造方法を提供するものである。・・・」に訂正する。
〈ハ〉特許明細書の段落００２０における、
「・・・その乾燥を行うようにしたので、凝集がなく・・・」を、
「・・・その乾燥を行うようにし、その乾燥する際に該スラリー中の混合粉末の各分散粒子の間に上記化合物を介在させ、当該各分散粒子間の結合は弱く容易に壊れやすい構造としたので、凝集がなく・・・」に訂正する。
　
II−２．訂正の適否の判断
II−２−１．訂正の目的
　上記〈イ〉の訂正は、特許明細書の請求項１において、そのスラリーの乾燥につき、「乾燥する際に該スラリー中の上記未完成原材料粉末の各分散粒子の間に上記化合物を介在させ、当該各分散粒子間の結合は弱く容易に壊れやすい構造とする」と限定するものであり、この訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　上記〈ロ〉及び〈ハ〉の訂正は、上記特許請求の範囲の訂正に伴って、発明の詳細な説明の項の記載を、それに整合させるものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
II−２−２．新規事項の有無
　上記〈イ〉〜〈ハ〉の訂正により付加する事項は、「乾燥する際に分散粒子１、１・・が集まって一つの乾燥粒子５を形成するが、各分散粒子１、１・・の間には化合物４が介在しているので、分散粒子相互間の結合は弱く、容易に壊れ易い構造になっている。」（特許明細書段落０００８）等の記載から自明なこととして導き出せるものである。
II−２−３．拡張・変更の存否
　上記〈イ〉〜〈ハ〉の訂正は、上記記載からみて明らかなように、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものには該当しない。
II−３．訂正の適否の結論
　よって、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項、及び、同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
III．本件発明
　本件明細書は、前記のとおり訂正請求がなされ、その請求どおり訂正されたものであって、訂正後の本件特許第３３１６６２１号の請求項１及び２に係る発明（以下、必要に応じて、「本件発明１」及び「本件発明２」という）は、訂正明細書の特許請求の範囲に記載される次のとおりのものである。
【請求項１】組成の異なる複数の未完成原材料粉末を湿式混合して得られるスラリーを乾燥して混合粉末を得る工程と、該混合粉末を熱処理する工程を有するセラミック材料粉末の製造方法において、上記スラリーの乾燥は該スラリーに使用の溶媒に溶解しない上記熱処理により容易に揮散除去できる化合物を分散質に有する分散液を該スラリーに加えた後行ない、乾燥する際に該スラリー中の上記未完成原材料粉末の各分散粒子の間に上記化合物を介在させ、当該各分散粒子間の結合は弱く容易に壊れやすい構造とするセラミック材料粉末の製造方法。
【請求項２】スラリーは溶媒に水を使用し、熱処理により容易に揮散除去できる化合物は樹脂であり、分散液はエマルジョンである請求項１記載のセラミック材料粉末の製造方法。
　
IV．特許異議申立及び取消理由の概要
IV−１．特許異議申立の概要
　特許異議申立人は、以下の証拠を提示し、次のように主張する。
【理由−１】特許明細書の本件請求項１及び２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当する。
　したがって、特許明細書の本件請求項１及び２に係る発明の特許は取り消されるべきものである。
甲第１号証：特開平３−１５９９５３号公報
参考資料１：特開昭６４−６２３４７号公報
IV−２．取消理由の概要
　特許明細書の本件請求項１及び２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、また、同本件請求項１及び２に係る発明は、甲第１号証及び参考資料１に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
Ｖ．証拠の記載内容
Ｖ−Ａ．甲第１号証（特開平３−１５９９５３号公報）には、以下のことが記載される。
（Ａ−１）「本発明は、固体反応技術による超伝導セラミック材料の作成に関する。」（第３頁右上欄第１〜２頁）
（Ａ−２）「かくして、焼結時に、ほぼ単一相の材料よりなる物体を首尾一貫して生成させることができるほぼ均質で、９５％以上の単一相Ｂａ２ＹＣｕ３Ｏ７よりなる粉末を生成させる簡単で容易に制御可能、かつ、効率的な方法を設計することは以前として望ましい。」（第４頁右上欄第８〜１３行）
（Ａ−３）「（発明の概要）
　本発明は、固体反応技術によって、
Ｂａ２ＹＣｕ３Ｏｘ（ｘは６ないし７）を含む粉末を製造する方法に関する。この方法は、ＢａＣＯ３とＹ２Ｏ３及びＣｕＯのような酸化物及び（または）炭酸塩を含む出発物質の原料粉末の湿式粉砕、スラリからの液体の除去、及び酸素雰囲気内で、結果として生じる固体の予備反応（か焼）を含む。」（第４頁右上欄第１４行〜左下欄第２行）
（Ａ−４）「これらの欠点は、本発明により、スラリ内の固体から液体を除去する前及びその除去中に粉砕スラリを連続的に攪拌することにより回避された。・・・・驚くべきことに、このスプレー乾燥粉末は、９５％以上の単一相材料をもつ非常に均質なか焼組成物をもたらし、・・・首尾一貫して約９９％以上の単一相材料をもつ組成物が得られた。」（第５頁右上欄第４〜１７行）
（Ａ−５）「３０００ｇの主バッチの場合４５５ｇのＹ２Ｏ３、１５７９ｇのＢａＣＯ３及び９５９ｇのＣｕＯを単一ロットに含めてもよい。・・・原料粉末は、種々の方面から市販で入手可能である。・・・調製したこれらの原料は、最初、外見が全体的に一様となるまで引っくり返し乾燥混合された。
この混合は、半分ジルコニア研磨媒体を充填された、３．８Ｌ（・・・）ポリプロピレンのジャーを用いてボールミル上で続行された。５０ＲＰＭないし１００ＲＰＭでのこの粉砕動作も適当であろう。ジャーの内容は、例えば、結合剤、泡消し剤及び分散剤の各々を例えば１重量％とした希釈用液と供に１２０ｍｌの脱塩（・・・）水を含んでいた。結合剤は、アクリル重合体、アクリル重合体乳濁液、酸化エチレン重合体、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセルロース、ポリビニルアルコール、ＴＲＩＳイソシアニド及びワックス潤滑剤から選んでもよい。その好適な結合剤はポリビニルアルコールである。・・・好適な分散剤は、・・・・から市販されているポリアクリレートアンモニアである。
　この粉砕方法の主な機能は、か焼中に原料の反応性を促進するために混合及び細分化として役立つことである。」（第５頁左下欄第４行〜第６頁左上欄第１４行）
　
VI．当審の判断（特許異議申立の理由、及び、取消理由について）
VI−１．本件発明１
　甲第１号証には、その前記摘示（Ａ−１）、（Ａ−３）及び（Ａ−５）によれば、「ＢａＣＯ３とＹ２Ｏ３及びＣｕＯからなる原料を、ジャーを用いてボールミルにより粉砕し、この粉砕動作完了時に、得られたスラリーをスプレー乾燥し、仮焼する、超伝導セラミックス粉末の製造方法」に関する発明であって、当該ジャーの内容が「アクリル重合体乳濁液等の結合剤、泡消し剤及びポリアクリレートアンモニア等の分散剤の各々を１重量％とした希釈用液と供に１２０ｍｌの脱塩水を含んでいた」という発明（以下、適宜、「甲第１号証の発明」という）が記載されているものである。
　そこで、本件発明１と甲第１号証に記載の発明とを対比する。
　甲第１号証の発明における「超伝導セラミックス粉末」、「粉砕の処理」、「仮焼」、「乾燥」は、本件発明１の「セラミック材料粉末」、「湿式混合」、「熱処理」、「乾燥」に、それぞれ、相当する。また、甲第１号証の発明では、その原料として、ＢａＣＯ３、Ｙ２Ｏ３及びＣｕＯを用いるのであるから、本件発明１と同じように、組成の異なる複数の未完成原材料粉末を出発原料として用いるものである。
　よって、両者は、
「組成の異なる複数の未完成原材料粉末を湿式混合して得られるスラリーを乾燥して混合粉末を得る工程と、該混合粉末を熱処理する工程を有するセラミック材料粉末の製造方法」である点で一致し、以下の点で相違する。
【相違点１】該セラミック材料粉末の製造方法につき、本件発明１は、「上記スラリーの乾燥は該スラリーに使用の溶媒に溶解しない上記熱処理により容易に揮散除去できる化合物を分散質に有する分散液を該スラリーに加えた後行なう」（この場合のスラリーとは「湿式混合して得られるスラリー」である）との特定事項を具備するのに対し、甲第１号証の発明では、アクリル重合体乳濁液及びポリアクリレートアンモニア（本件発明１の化合物に相当）の成分を用いるものの、これら成分は、粉砕時に存在するものであって、粉砕後に、即ち、湿式混合して得られるスラリーに、加えるものではなく、したがって、当該特定事項を有さない点
【相違点２】該セラミック材料粉末の製造方法につき、本件発明１は、「乾燥する際に該スラリー中の上記未完成原材料粉末の各分散粒子の間に上記化合物を介在させ、当該各分散粒子間の結合は弱く容易に壊れやすい構造とする」との特定事項を具備するのに対し、甲第１号証の発明ではそのことが明記されず、したがって、上記特定事項を有さない点
　以下、上記相違点１につき検討する。
　訂正明細書の記載（特に、段落０００８、００１３）によれば、セラミック材料粉末の製造方法において、当該相違点にかかる「上記スラリーの乾燥は該スラリーに使用の溶媒に溶解しない上記熱処理により容易に揮散除去できる化合物を分散質に有する分散液を該スラリーに加えた後行なう」（この場合のスラリーとは「湿式混合して得られるスラリー」である）との特定事項を採択することにより、その余の特定事項と相俟って、その乾燥時には未完成原材料粉末の間にその化合物が介在することにより当該未完成原料粉末相互の凝集を避けられることから、熱処理時において各粒子毎に反応を行うことができるだけでなく、熱処理後の各粒子を容易に解砕することができるので、組成が均一でそのバラツキの少ないセラミック材料粉末を得ることができるという有用な効果を奏したものである。
　これに対して、甲第１号証の発明では、前記したとおり、粉砕時に、アクリル重合体乳濁液及びポリアクリレートアンモニアの成分を用いるものの、これら成分は、粉砕後に（湿式混合して得られたスラリーに）添加することが示されものではなく、更には、当該成分を、ＢａＣＯ３、Ｙ２Ｏ３及びＣｕＯ原料粉末の間に介在させることにより乾燥時の凝集を防ぐことまで意識するものではない。
　したがって、甲第１号証の発明から、上記相違点１にかかる特定事項が示唆されないことはもとより、当該特定事項を当業者が容易に導き出すことはできない。
　次に、参考資料１の記載についてみてみると、そこには、酢酸ビニルエマルジョンの粒子径等につき示されるものの、上記相違点１につき、教示されるものは何もない。
　
　そうすると、他の相違点２については検討するまでもなく、本件発明１は、上記相違点１にかかる特定事項を具備する点で、甲第１号証に記載された発明であるということはできず、また、甲第１号証及び参考資料１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということができない。
　
VI−２．本件発明２
　本件発明２は、本件発明１に対して、その溶媒、化合物及び分散液につき更に限定するものであって、本件発明１の特定事項の全てを具備するものである。
　したがって、上記VI−１．で説示した理由と同じ理由により、本件発明２は、甲第１号証に記載された発明であるということはできず、また、甲第１号証及び参考資料１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるということができない。
　
VII.　まとめ
　特許異議申立の理由及び証拠によっては、訂正後の本件請求項１及び２に係る発明の特許を取り消すことができない。
　また、他に訂正後の本件請求項１及び２に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年１２月９日（２００４．１２．９）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
セラミック材料粉末の製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　組成の異なる複数の未完成原材料粉末を湿式混合して得られるスラリーを乾燥して混合粉末を得る工程と、該混合粉末を熱処理する工程を有するセラミック材料粉末の製造方法において、上記スラリーの乾燥は該スラリーに使用の溶媒に溶解しない上記熱処理により容易に揮散除去できる化合物を分散質に有する分散液を該スラリーに加えた後行な
い、乾燥する際に該スラリー中の上記未完成原材料粉末の各分散粒子の間に上記化合物を介在させ、当該各分散粒子間の結合は弱く容易に壊れやすい構造とする
　【請求項２】　スラリーは溶媒に水を使用し、熱処理により容易に揮散除去できる化合物は樹脂であり、分散液はエマルジョンである請求項１記載のセラミック材料粉末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、セラミック材料粉末を得る際に複数の未完成原材料粉末を湿式混合して得られるスラリーを乾燥して混合粉末を得る工程において、その乾燥方法を改善したセラミック材料粉末の製造方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　セラミックスは電子部品に幅広く用いられているが、そのセラミックスを得るにはセラミック誘電体材料、セラミック磁性体材料等が製造される。
　例えばセラミック誘電体材料は、例えば炭酸バリウム、酸化チタン等の複数の誘電体原料粉末を所定の比率で混合粉砕し、ついでこれを仮焼し、ＢａＴｉＯ３の組成の金属酸化物の材料粉末を得る。この材料粉末に有機バインダーを加えてボールミル等により解砕して造粒し、この造粒物を例えば板状に圧縮成形するいわゆる乾式成形を行ない、その得られた成形物を焼成し、さらにこの焼成体に電極を形成してセラミックコンデンサを作成したり、あるいはその材料粉末に有機バインダー等を含有させてボールミル等により解砕して分散させたスラリーを用いてシート状体を作成するいわゆる湿式成形を行って多数のグリーンシートを形成し、それぞれのグリーンシートに内部電極材料ペースト膜を形成して積層し、焼成することにより積層セラミックコンデンサを作成している。また、磁性材料として、例えばＮｉ−ＺｎフェライトやＭｎ−Ｚｎ等のフェライトの粉末を得るには、構成金属原子の酸化物や炭酸塩の原料粉末を混合し、その混合物に熱処理を行なう。これにより得られたフェライト粉末は電子部品用材、例えば磁性材としてのフェライト焼成体の材料とすることが行われている。
　【０００３】
　上記のセラミック誘電体材料粉末、セラミック磁性材料粉末が得られる製造工程においては、上述したように、誘電体原料粉末を混合粉砕したり、酸化物や炭酸塩の原料粉末を混合する等、組成の異なる複数の原料粉末を混合することが行われるが、これらの混合は水を溶媒にしてボールミル等で機械的に行なわれ、その得られたスラリーは乾燥され、その乾燥した混合粉末が仮焼等の熱処理を施されてそれぞれのセラミック材料粉末が得られる。この際、例えばセラミック誘電体材料粉末の場合には、得られた例えばＢａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３等のチタン酸塩の主成分にＴｉＯ２、ＳｉＯ２、Ｂｉ２Ｏ３等の酸化物の副成分を溶媒の水等とともに加え、湿式混合を行なってスラリーを得、以下上述したことと同様に脱水乾燥後仮焼し、所定の金属原子組成比のチタン酸塩である完成セラミック誘電体材料粉末とし、これを用いて乾式成形あるいは湿式成形を行ない、さらにその成形物を用いて焼成体とすることも行われている。
　【０００４】
　これらの原料粉末の混合物のスラリーや、未完成材料粉末の主成分と副成分の混合物のスラリーを乾燥させて混合粉末を得るには、乾燥効率等の点からスプレードライヤーが良く用いられる。これは、乾燥室に加熱乾燥空気を供給し、室内に加熱乾燥空気が流通するようにしておいた状態で、アトマイザーと呼ばれる噴霧器からスラリーを噴霧し、乾燥した粒子を自重により落下させて回収するものであるが、一般には、粒径の大きいものはこれで回収できるが、粒径の小さいものは流通空気とともにサイクロンに導きここで捕集し、さらに捕集し切れない細かい粒径のものはバブフィルターにより濾し採るとることが行われている。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、このようなスプレードライヤーによるスラリーの乾燥は、熱による瞬間乾燥になるので、分散媒の水が急激に除かれる結果、乾燥粒子間の密度が急激に上昇して凝集し易く、その凝集力も強くなり易い。このような乾燥粉末は粒子が非常に固く結び付いており、例えばセラミック誘電体材料を得る場合の後工程において有機バインダーを加えて解砕して造粒したり、あるいはその解砕した粒子の分散物であるスラリーを得る際に、その解砕性、分散性が劣化し、乾式成形の場合には造粒物の金型に対する充填性、すなわち均一かつ高密度に充填させる性能が低下し、その成形物の焼成体からなるセラミック素体の焼結性が低下し易く、また、湿式成形の場合も均一かつ高密度に充填したグリーンシートが得られず、これを用いた積層体の焼成体からなるセラミック素体の焼結性が低下し易い。このように焼結性が低下すると、最近の小型化、高性能化が期待されているセラミック電子部品の部材としての要求に応えることができない。
　また、このように凝集した粒子が多いと、上述した仮焼を行ったときに、粒子が反応して反応物が得られる際にその隣接する成分比が一定にならず、例えば得られるチタン酸塩の組成が異なるというような問題も起こり、高性能、高精度のセラミック素体、ひいてはセラミック電子部品が得られないという問題もある。
　【０００６】
　本発明の第１の目的は、未完成原材料粉末のスラリーの乾燥において凝集がなく解砕性、分散性の良い粉末粒子を得ることができるようにしたセラミック材料粉末の製造方法を提供することにある。
　本発明の第２の目的は、未完成原材料粉末のスラリーの乾燥において後工程の仮焼等により得られる化合物に不純物が残留することがないようにしたセラミック材料粉末の製造方法を提供することにある。
　本発明の第３の目的は、組成比が一定かつバラツキを少なくできるようにしたセラミック材料粉末の製造方法を提供することにある。
　本発明の第４の目的は、高性能、高精度のセラミック電子部品が得られるようなセラミック材料粉末の製造方法を提供することにある。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、上記課題を解決するために、（１）、組成の異なる複数の未完成原材料粉末を湿式混合して得られるスラリーを乾燥して混合粉末を得る工程と、該混合粉末を熱処理する工程を有するセラミック材料粉末の製造方法において、上記スラリーの乾燥は該スラリーに使用の溶媒に溶解しない上記熱処理により容易に揮散除去できる化合物を分散質に有する分散液を該スラリーに加えた後行な
い、乾燥する際に該スラリー中の上記未完成原材料粉末の各分散粒子の間に上記化合物を介在させ、当該各分散粒子間の結合は弱く容易に壊れやすい構造とする
　また、本発明は、スラリーは溶媒に水を使用し、熱処理により容易に揮散除去できる化合物は樹脂であり、分散液はエマルジョンである上記（１）のセラミック材料粉末の製造方法を提供するものである。
　【０００８】
　本発明の原理を簡単に説明すると、図１において、（イ）に示すように分散させた分散粒子１、１・・（組成の異なる複数の未完成原材料粉末の混合体を○印で単純化して示す）と、水２からなるスラリー３に水に溶解しない化合物４、４・・（●印）を混合すると、この混合物を乾燥させるときは、（ロ）に示すように、乾燥する際に分散粒子１、１・・が集まって一つの乾燥粒子５を形成するが、各分散粒子１、１・・の間には化合物４が介在しているので、分散粒子相互間の結合は弱く、容易に壊れ易い構造になっている。この乾燥粒子を熱処理すると各分散粒子毎に反応を行うことができる。この化合物が水に溶解するものでは、分散粒子はこの化合物の薄い膜で覆われるので相互の結び付きは緩くはならない。
　【０００９】
　本発明において、「熱処理により容易に揮散除去できる化合物」とは、仮焼等の熱処理、例えば４００℃程度で揮散又は分解して揮散する化合物をいい、例えば樹脂、ゴム等の有機化合物が挙げられ、樹脂には酢酸ビニル系樹脂（酢酸ビニルの単独重合体あるいは酢酸ビニルを共重合成分に有する共重合体樹脂）、アクリル系樹脂（（メタ）アクリル酸エスルルの単独重合体あるいは（メタ）アクリル酸エスルルを共重合成分に有する共重合体樹脂）等が挙げられ、これらは１種又は２種以上混合して用いられる。
　このような化合物は、「組成の異なる複数の未完成原材料粉末を湿式混合して得られるスラリーに使用の溶媒に溶解しない」ことが必要である。この場合のスラリーは、水が使用されることが多いが、これに溶解する溶剤を使用しても良いが、上記化合物はこれに溶解しないものである必要がある。「溶解しない」とは膨潤する程度のものも含む。「化合物を分散質に有する分散液」とは、溶媒に分散させた上記化合物を有する分散液であり、この溶媒に上記スラリーに使用の溶媒と同じものあるいは類似のものを用いることがその化合物をスラリーに加えたときに溶解しない点で好ましい。このような分散液としては、エマルジョンが挙げられるが、懸濁重合法による分散液、ラテックス等も用いられ、これはそれぞれあるいは相互に２種以上混合して用いても良い。
　【００１０】
　スラリー中の未完成原材料粉末の分散粒子に対する上記化合物の混合割合は、５〜３０重量％が好ましく、これより少ないと乾燥粒子において分散粒子の凝集が起こり易く、これより多いと乾燥粒子における分散粒子の密度が小さくなり、仮焼等の熱処理効率が悪くなる。
　また、スラリーに加える分散液の上記化合物の粒度分布は、０．１μｍ〜１．５μｍであることが好ましい。このようにすると、スラリー中の分散粒子の粒度分布が例えば０．１μｍ〜１．０μｍであるので、図１（ロ）に示すように、分散粒子の各粒径毎にこれに合った粒径の化合物の粒子が配置され、乾燥粒子そのものの密度を高くでき、後の工程の仮焼等の熱処理効率を良くすることができる。
　このことから、本発明において「化合物」に「０．１μｍ〜１．５μｍの粒度分布を有する」の限定を付しても良く、また、「組成の異なる複数の未完成原材料粉末を湿式混合」を「組成の異なる粒度分布が０．１μｍ〜１．０μｍの複数の未完成原材料粉末を湿式混合」のように限定しても良い。
　スラリーに分散液を加える方法には、攪拌機にて混合する方法で良いが、スラリーを得るには、最初攪拌機で粗分散を行い、ついでビーズミルで高分散させることが好ましい。
　【００１１】
　本発明において、「組成の異なる複数の未完成原材料粉末」とは、上記の「従来の技術」の項で説明したように、セラミック誘電体材料粉末、セラミック磁性体材料粉末を得る際の当初の原料粉末のみならず、例えばチタン酸塩の粉末に副成分の粉末を混合するときのように未完成セラミック材料粉末に他の成分を加える場合、その他セラミック基板を製造する場合等、セラミック材料粉末を得る過程で使用され混合されるいずれの粉末もこれに含まれる。「未完成原材料粉末」は「未完成セラミック原材料粉末」、「セラミック焼成体用未完成原材料粉末」としてもよく、「原材料」は、原料と材料を総括した上位概念である。
　【００１２】
　スラリーの乾燥を行うには、詳細は後述するスプレードライヤー法に限らず、フィルタープレスを行った後、バット乾燥する方法、回転する加熱金属ドラム上にスラリーをスプレーし乾燥粉末をスクレーパーで掻き採る方法、スラリーを減圧乾燥式に噴霧し水を蒸発させて乾燥させるフリーズドライ法、傾斜したロータ中にスラリーを上から流し、下から加熱空気を送って加熱乾燥させるロータリーキルン法、マイクロウェーブで乾燥させるマイクロウェーブ乾燥法等粉末のスラリーから乾燥粉末を得るいずれの方法も用いることができる。
　このようにして得られる乾燥した粉体の粒度分布は１０μｍ〜５００μｍであることが好ましい。
　この粉体については上記の「従来の技術」の項で説明したと同様にその後の処理が施され、セラミック材料粉末（完成セラミック材料粉末）が得られ、さらにこれを用いてセラミック素体が得られ、小型化、高性能、高精度のセラミック電子部品とすることができる。
　【００１３】
　【発明の実施の形態】
　詳細は以下の実施例により説明するが、スラリーの溶媒に溶解性を有しない化合物として酢酸ビニル樹脂を用い、溶媒に水を使用したエマルジョンを用いると、図１に示すように、組成の異なる複数の粉末の混合体からなる分散粒子の間にその樹脂粒子が介在し、その分散粒子の凝集を避けることができ、その状態で熱処理すると、各粒子毎に反応を行うことができ、しかも樹脂粒子は加熱により分解除去されるので残留せず、その隙間が生じるので各粒子は容易に解砕され、分散性を良くできる。また、各分散粒子は複数の成分が一定比率で混ぜ合わされた状態のスラリーにおけると同様あるいはこれに近い状態にできるので、仮焼等の熱処理を行うと組成が均一でそのバラツキの少ない反応生成物を得ることができる。
　【００１４】
　【実施例】
　実施例１
　ＢａＴｉＯ３を得るために、０．１μｍ〜１．０μｍの粒度分布を持つ原料粉末としてＢａＣＯ３７０．２１ｇ、ＴｉＯ２３０．１６ｇを正確に秤量し、これらの粉末と溶媒である水を１：１の重量比になるように計量した後、この配合物をディスパーミル（攪拌機）にて１６時間混合した。
　ついで得られたスラリーをビーズミルにて所定の条件で湿式分散を行った。
　このようにして得られたスラリーに酢酸ビニル樹脂エマルジョン（粒度分布０．１μｍ〜１．５μｍの樹脂分５０重量％の水中分散液）をスラリー中の固形分（粉末全体）に対して０．５重量％混合し、１時間ディスパーミルで分散した。
　【００１５】
　その後、図２に示すように、乾燥室６の上端にアトマイザー（噴霧ノズル）７、そのアトマイザーの下端側に加熱乾燥空気供給口８を有し、さらに乾燥粉体取り出し口９を有するスプレードライヤー装置１０に、補助回収手段としてサイクロン１１、バグフィルター１２を順次接続し、所定の条件によりスプレー乾燥を行い、乾燥粉末を得た。
　このようにしてスプレードライヤー装置１０、サイクロン１１、バグフィルター１２から乾燥粉末を得たが、スプレードライヤー装置１０から得られた乾燥粉末の粒度分布は３０μｍ〜６０μｍであった。
　【００１６】
　次に、スプレードライヤー装置９から得られた乾燥粉末をトンネル炉にて５００℃、２時間の条件で熱処理（仮焼）を行なった。
　このようにして得られた粉体のタップ密度を測定した結果（○印）を図３に示す。
　なお、タップ密度は、１００ｍｌのメスシリンダーに上記の試料の粉体５０ｇを投入し、タップ回数１０回を加えるごとの嵩容積を測定し、その粉体５０ｇと嵩容積から算出した。
　また、溶媒中での粉体の解砕性、分散性を調べるために、０．１リットルの水中に上記の試料の粉体を１ｇ投入し、超音波（出力２００μＡ、周波数２０ＫＨｚ）の照射時間による粒度分布（レーザー回折粒度分布Ｄ５０％値（μｍ））を調べた。その結果（○印）を図４に示す。レーザー回折粒度分布Ｄ５０％値とは、累積粒度分布を体積換算したときの全体の５０％に達したときの粒径（直径）である。
　【００１７】
　実施例２
　実施例１において、酢酸ビニル樹脂エマルジョンをスラリーの固形分に対して２．０重量％加えた以外は同様にしてスプレードライヤーにて乾燥した粉体を得、これついても実施例１と同様に試験した結果（△印）を図３、４に示す。
　【００１８】
　比較例１
　実施例１において、酢酸ビニル樹脂エマルジョンをスラリーに加えなかった以外は同様にしてスプレードライヤーにて乾燥した粉体を得、これついても実施例１と同様に試験した結果（□印）を図３、４に示す。
　【００１９】
　図３の結果から、酢酸ビニルエマルジョンの添加量が増加するほど粉体密度が低下していくことが分かる。また、図４から、酢酸ビニルエマルジョンの添加量が増加するほど解砕性が良く、その結果分散性が向上することが分かる。
　【００２０】
　【発明の効果】
　本発明によれば、混合粉末のスラリーの乾燥においてその溶媒に溶解性を有しない化合物を添加してその乾燥を行うようにし
、その乾燥する際に該スラリー中の混合粉末の各分散粒子の間に上記化合物を介在させ、当該各分散粒子間の結合は弱く容易に壊れやすい構造とし
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本願発明の原理を示す説明図である。
　【図２】
　スプレードライヤー装置を用いた乾燥装置の説明図である。
　【図３】
　本発明の実施例と比較例によるスラリーの乾燥粉末の密度を示すグラフである。
　【図４】
　本発明の実施例と比較例によるスラリーの乾燥粉末の解砕性を示すグラフである。
　【符号の説明】
　１　混合粉末の粒子
　２　溶媒の水
　３　スラリー
　４　化合物の粒子
　５　乾燥粒子