【事件の表示】
　特許第３０８７３１５号「インクジェットヘッド及びその製造方法」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０８７３１５号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３０８７３１５号（以下、「本件」という。）の請求項１乃至６に係る特許は、平成３年２月１３日（1991.2.13）に特許出願され、平成１２年７月１４日（2000.7.14）にその特許権の設定の登録がなされ、平成１３年３月２日付け斉藤茂から、平成１３年３月８日付け久保田恵美子から、平成１３年３月９日付け渡辺等から、及び平成１３年３月１２日付けザール　テクノロジー　リミテッドから特許異議申立てがなされ、平成１３年６月１１日付け取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１３年８月２０日付け訂正請求（以下「第１回訂正請求」という。）がなされ、平成１４年５月９日付け再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１４年７月２２日付けで第１回訂正請求が取り下げられるとともに同日付け新たに訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
(1)訂正の内容
　訂正請求は、願書に添付した明細書を、以下の１．訂正事項ａ乃至１４．訂正事項ｎのように訂正するものである。
１．訂正事項ａ
　訂正事項ａは、特許請求の範囲において、請求項１乃至請求項３を削除するものである。
２．訂正事項ｂ
　訂正事項ｂは、請求項４を請求項１と規定し、以下のように訂正するものである。
「【請求項１】ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドであって、
　前記流路を形成する圧電物質は、２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように対称に積層することで構成され、
　２枚の圧電基板は厚み方向に貫通されており該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成しているとともに、
　前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、
　前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。」
３．訂正事項ｃ
　訂正事項ｃは、請求項５を請求項２と規定し、以下のように訂正するものである。
「【請求項２】前記ベース基板が、前記圧電物質より誘電率の低い絶縁物質よりなることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。」
４．訂正事項ｄ
　訂正事項ｄは、請求項６を請求項３と規定し、以下のように訂正するものである。
「【請求項３】ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドの製造方法であって、
　厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように接合し、ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程と、
　前記積層基板の両側の表面から、互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と、
　前記積層基板に形成された流路の内面に、電極層を形成する工程と、
　前記流路及び電極層が形成された前記積層基板の表面へ、基板を接合する工程とからなることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。」
５．訂正事項ｅ
　訂正事項ｅは、明細書の段落【００１０】を、明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【００１０】【課題を解決するための手段】本発明のインクジェットヘッドはノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドであって、前記流路を形成する圧電物質は、２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように対称に積層することで構成され、２枚の圧電基板は厚み方向に貫通されており該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成しているとともに、前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることを特徴とする。」
６．訂正事項ｆ
　訂正事項ｆは、明細書の段落【００１１】の内容を、明りょうでない記載の釈明を目的として削除する。
７．訂正事項ｇ
　訂正事項ｇは、明細書の段落【００１２】を、明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【００１２】また、本発明による第２のインクジェットヘッドは、前記ベース基板が、前記圧電物質より誘電率の低い絶縁物質よりなることを特徴とする。」
８．訂正事項ｈ
　訂正事項ｈは、明細書の段落【００１３】を、明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【００１３】さらに、本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドの製造方法であって、厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように接合し、ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程と、前記積層基板の両側の表面から、互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と、前記積層基板に形成された流路の内面に、電極層を形成する工程と、前記流路及び電極層が形成された前記積層基板の表面へ、基板を接合する工程とからなることを特徴とする。」
９．訂正事項ｉ
　訂正事項ｉは、明細書の段落【００１８】、同【００１９】、同【００２１】、および同【００２２】中、「実施例」を明りょうでない記載の釈明を目的として「参考例」と訂正する。
１０．訂正事項ｊ
　訂正事項ｊは、明細書の段落【００２０】を明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【００２０】以後に説明する参考例、実施例においても、基本動作原理は同様である。」
１１．訂正事項ｋ
　訂正事項ｋは、明細書の段落【００２３】の第１行の「第４実施例」を明りょうでない記載の釈明を目的として「実施例」と訂正する。
１２．訂正事項ｌ
　訂正事項ｌは、明細書の段落【００２４】を明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【００２４】【発明の効果】本発明によれば、厚さ方向に分極された圧電基板同士を接合した後に流路を形成することが可能となるため、従来の如く一方の圧電基板と他方の圧電基板の流路の相対的位置合わせの必要がなく、且つ接着剤のはみ出しによって流路を塞ぐようなことがないため、相対位置精度の高い精密な流路を形成できることから、高密度、高ノズル数、そして信頼性の高いインクジェットヘッドを提供できるという効果を有する。」
１３．訂正事項ｍ
　訂正事項ｍは、明細書の段落【００２５】を明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【００２５】また、積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、流路が、積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることにより、圧力発生室となる流路を区画する側壁の圧電物質が、接合部に関して対称である構造を容易に形成できるという効果を有する。」
１４．訂正事項ｎ
　訂正事項ｎは、明細書の段落【図面の簡単な説明】を明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【図面の簡単な説明】
【図1】
インクジェットヘッド及びその製造方法の参考例を示す工程図。
【図2】
同じく工程図。
【図3】
同じく工程図。
【図4】
同じく工程図。
【図5】
参考例のインクジェットヘッドの作動原理説明図。
【図6】
同じく作動原理説明図。
【図7】
インクジェットヘッド及びその製造方法の参考例を示す工程図。
【図8】
同じく工程図。
【図9】
同じく工程図。
【図10】
インクジェットヘッド及びその製造方法の参考例を示す工程図。
【図11】
同じく工程図。
【図12】
同じく工程図。
【図13】
　本発明によるインクジェットヘッド及びその製造方法の実施例を示す工程図。
【図14】
同じく工程図。
【図15】
同じく工程図。
【図16】
従来のインクジェットヘッド及びその製造方法を示す工程図。
【図17】
同じく工程図。
【図18】
同じく工程図。
【符号の説明】
2ノズルプレート
3ノズル
5 圧力発生室
9インク供給手段
20、21、22、23 圧電基板
26 ベース基板
30 基板接合層
35 流路
36 側壁(変形部)
40 電極層
50、51 分極方向」
(2)訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
(2)-1．訂正事項ａ
　特許請求の範囲において、請求項１乃至請求項３を削除する訂正であるから、訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的とし、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
(2)-2．訂正事項ｂ
　訂正事項ｂは、訂正前の請求項４を請求項１と規定し、「【請求項１】ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドであって、前記流路を形成する圧電物質は、２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように対称に積層することで構成され、２枚の圧電基板は厚み方向に貫通されており該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成しているとともに、前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。」と訂正するものであるところ、この訂正事項ｂにおいて、まず、「ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドであって」の事項は、訂正前の請求項４に係る発明が備えていたものである。
　次に、「前記流路を形成する圧電物質は、２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように対称に積層することで構成され、２枚の圧電基板は厚み方向に貫通されており該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成しているとともに」の事項は、訂正前の請求項１に係る発明が備えていた「少なくとも２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を」を「２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を」と規定し、且つ、「少なくとも一枚の圧電基板は」を「２枚の圧電基板は」と規定することによって圧電基板の数を具体化し限定したものである。
　更に、「前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。」は、第１に、「前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され」は、圧電基板のベース基板との関係における配設の態様について、訂正前の請求項４に係る発明の「前記積層された圧電基板がベース基板上に配置され」という記載及び明細書の段落【００２３】における「図１３において、厚さ方向に分極されたチタン酸ジルコン酸鉛の圧電物質からなる厚さの等しい圧電基板２０、２１、２２、２３とベース基板であるアルミナ基板２６とを、その分極方向５０、５１が圧電物質どうしの接合面において互いに反対方向であるようにポリイミドの基板接合層３０で接着し、積層基板１５を構成した。」（本件特許公報第４頁第８欄４〜１０行）という記載並びに本件の訂正前の請求項６に係る発明（訂正前の第４実施例、段落【００２３】）によるインクジェットヘッド及びその製造方法の実施例を示す工程図である図１３乃至図１５に基づいて、ベース基板の「上」という規定から「両側」に規定することによって技術的に具体化し限定したものであり、第２に、「前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていること」は、流路の深さと基板の関係について、訂正前の請求項４に係る発明の「流路がベース基板に到達する深さで設けられている」及び本件の請求項１に係る発明によるインクジェットヘッド及びその製造方法の実施例を示す工程図である図１４と図１５において『流路３５がベース基板２６を削っている程度の深さで形成されている』ことに基づいて、「前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていること」のように技術的に具体化し限定したものである。
　してみると、訂正事項ｂは、特許請求の範囲の減縮を目的とし、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
(2)-3．訂正事項ｃ
　訂正事項ｃは、訂正前の請求項５を請求項２と規定し、「【請求項２】前記ベース基板が、前記圧電物質より誘電率の低い絶縁物質よりなることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。」と訂正するものであるところ、この訂正事項ｃは、訂正前の請求項５に係る発明が備えていた「前記ベース基板が、前記圧電物質より誘電率の低い絶縁物質よりなること」及び明細書の段落【００２３】における「本実施例のような積層基板１１５の両側に圧力発生室５が形成される構成において、ベース基板２６の材料を圧電物質より十分に誘電率の低いアルミナとすることによって（中略）クロストークを十分に小さくすることが可能となった。」（本件特許公報第４頁第８欄２５〜３０行）という記載に基づいて、ベース基板の電気的特性について規定し、訂正後の請求項１に係る発明を技術的に具体化し限定したものである。
　してみると、訂正事項ｃは、特許請求の減縮を目的とし、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
(2)-4．訂正事項ｄ
　訂正事項ｄは、訂正前の請求項６を請求項３と規定し、「【請求項３】ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドの製造方法であって、厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように接合し、ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程と、前記積層基板の両側の表面から、互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と、前記積層基板に形成された流路の内面に、電極層を形成する工程と、前記流路及び電極層が形成された前記積層基板の表面へ、基板を接合する工程とからなることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。」と訂正するものであるところ、この訂正事項ｄは、まず、「ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドであって」の事項は、訂正前の請求項６に係る発明が備えていたものである。
　次に、「厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように接合し、ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程と」は、訂正前の請求項６の「厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層し、積層基板を形成する工程と」において、積層基板を形成する工程として、明細書の段落【００２３】における「図１３において、厚さ方向に分極されたチタン酸ジルコン酸鉛の圧電物質からなる厚さの等しい圧電基板２０、２１、２２、２３とベース基板であるアルミナ基板２６とを、その分極方向５０、５１が圧電物質どうしの接合面において互いに反対方向であるようにポリイミドの基板接合層３０で接着し、積層基板１５を構成した。」（本件特許公報第４頁第８欄４〜１０行）という記載及び本件の訂正前の請求項６に係る発明（訂正前の第４実施例）によるインクジェットヘッド及びその製造方法の実施例を示す工程図である図１３乃至図１５に基づいて、「接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように積層し」の「積層」を「接合」と規定し、且つ、当該積層の態様を「ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程」と規定することによって技術的に具体化し限定したものである。
　更に、「前記積層基板の両側の表面から、互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と」は、訂正前の請求項６の「前記積層基板の表面へ、互いに間隔を有する多数の平行な流路を形成する工程と」において、流路を形成する工程として、訂正前の請求項４に係る発明の「流路がベース基板に到達する深さで設けられている」及び本件の訂正前の請求項６に係る発明（訂正前の第４実施例）によるインクジェットヘッド及びその製造方法の実施例を示す工程図である図１４と図１５において『流路３５がベース基板２６を削っている程度の深さで形成されている』ことに基づいて、「前記積層基板の表面へ」を「前記積層基板の両側の表面から」と規定し、且つ、「互いに間隔を有する多数の平行な流路を形成する工程と」を「互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と」と併せ規定することによって、当該流路の深さを定める事項として「積層基板の両側」の「表面」から始まり「ベース基板」に「到達」してから更に基板を「削るような深さ」迄で流路の深さ工程が終結する態様に技術的に具体化し限定したものである。
　次に、「前記積層基板に形成された流路の内面に、電極層を形成する工程と、前記流路及び電極層が形成された前記積層基板の表面へ、基板を接合する工程とからなることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。」は、訂正前の請求項６に係る発明が備えていたものである。
　そうすると、訂正事項ｄは、特許請求の減縮を目的とし、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
(2)-5．訂正事項ｅ
　訂正事項ｅは、明細書の段落【００１０】を、「【００１０】ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドであって、前記流路を形成する圧電物質は、２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように対称に積層することで構成され、２枚の圧電基板は厚み方向に貫通されており該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成しているとともに、前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることを特徴とする。」と規定するものであるところ、この訂正事項ｅは、訂正事項ｂに整合させるために規定したものであって、当該訂正の根拠は、２．訂正事項ｂにおいて説示したとおりである。
　そうすると、訂正事項ｅは、明りょうでない記載の釈明を目的とし、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
(2)-6．訂正事項ｆ
　訂正事項ｆは、訂正事項ａに整合させるために、明細書の段落【００１１】の内容を削除する訂正であるから、明りょうでない記載の釈明を目的とし、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
(2)-7．訂正事項ｇ
　訂正事項ｇは、明細書の段落【００１２】を、「【００１２】また、本発明による第２のインクジェットヘッドは、前記ベース基板が、前記圧電物質より誘電率の低い絶縁物質よりなることを特徴とする。」と訂正するものであるところ、この訂正事項ｇは、訂正事項ｃに整合させるための訂正であるから、明りょうでない記載の釈明を目的とし、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
(2)-8．訂正事項ｈ
　訂正事項ｈは、明細書の段落【００１３】を、「【００１３】さらに、本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドの製造方法であって、厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように接合し、ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程と、前記積層基板の両側の表面から、互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と、前記積層基板に形成された流路の内面に、電極層を形成する工程と、前記流路及び電極層が形成された前記積層基板の表面へ、基板を接合する工程とからなることを特徴とする。」と規定するものであるところ、この訂正事項ｈは、訂正事項ｄに整合させるために規定したものであって、当該訂正の根拠は、(2
)-４．訂正事項ｄにおいて説示したとおりである。
　そうすると、訂正事項ｈは、明りょうでない記載の釈明を目的とし、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
(2)-9．訂正事項ｉ、訂正事項ｊ、訂正事項ｋ及び訂正事項ｎ
　訂正事項ｉ、訂正事項ｊ、訂正事項ｋ及び訂正事項ｎは、それぞれ訂正事項ｉは、明細書の段落【００１８】、同【００１９】、同【００２１】、及び同【００２２】中、「実施例」を「参考例」と訂正し、訂正事項ｊは、明細書の段落【００２０】を「【００２０】以後に説明する参考例、実施例においても、基本動作原理は同様である。」と訂正し、訂正事項ｋは、明細書の段落【００２３】の第１行の「第４実施例」を「実施例」と訂正し、及び訂正事項ｎは、明細書の段落【図面の簡単な説明】を「【図面の簡単な説明】【図1】インクジェットヘッド及びその製造方法の参考例を示す工程図。【図2】同じく工程図。【図3】同じく工程図。【図4】同じく工程図。【図5】参考例のインクジェットヘッドの作動原理説明図。【図6】同じく作動原理説明図。【図7】インクジェットヘッド及びその製造方法の参考例を示す工程図。【図8】同じく工程図。【図9】同じく工程図。【図10】インクジェットヘッド及びその製造方法の参考例を示す工程図。【図11】同じく工程図。【図12】同じく工程図。【図13】本発明によるインクジェットヘッド及びその製造方法の実施例を示す工程図。【図14】同じく工程図。【図15】同じく工程図。【図16】従来のインクジェットヘッド及びその製造方法を示す工程図。【図17】同じく工程図。【図18】同じく工程図。【符号の説明】2ノズルプレート　3ノズル　5 圧力発生室　9インク供給手段　20、21、22、23 圧電基板　26 ベース基板　30 基板接合層　35 流路　36 側壁(変形部)　40 電極層　50、51 分極方向」と訂正するものであるところ、いずれも訂正後の特許請求の範囲の記載との整合を図るための語句の加除修正・整合に当たるものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とし、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
(2)-10．訂正事項ｌ
　訂正事項ｌは、訂正前の明細書の段落【００２４】における「【００２４】【発明の効果】本発明のインクジェットヘッドは、ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し（中略）該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成していることにより、厚さ方向に分極された圧電基板同士を接合した後に流路を形成することが可能となるため、従来の如く一方の圧電基板と他方の圧電基板の流路の相対的位置合わせの必要がなく、且つ接着剤のはみ出しによって流路を塞ぐようなことがないため、相対位置精度の高い精密な流路を形成できることから、高密度、高ノズル数、そして信頼性の高いインクジェットヘッドを提供できるという効果を有する。また、係るインクジェットヘッドにおいて、厚みの異なる圧電基板を積層させて、（中略）積層された圧電基板が、ベース基板上に配置され、流路が、積層された圧電基板の表面からベース基板に到達する深さで形成されていることにより、圧力発生室となる流路を区画する側壁の圧電物質が、接合部に関して対称である構造を容易に形成できるという効果を有する。（中略）各圧力発生室に形成される電極間の電気的結合を抑えることができるという効果を有する。」（本件特許公報第４頁第８欄３６〜第５頁第９欄２１行）を「【００２４】【発明の効果】本発明によれば、厚さ方向に分極された圧電基板同士を接合した後に流路を形成することが可能となるため、従来の如く一方の圧電基板と他方の圧電基板の流路の相対的位置合わせの必要がなく、且つ接着剤のはみ出しによって流路を塞ぐようなことがないため、相対位置精度の高い精密な流路を形成できることから、高密度、高ノズル数、そして信頼性の高いインクジェットヘッドを提供できるという効果を有する。」と訂正するものであるところ、訂正事項ｌは、訂正前の段落【００２４】の「本発明のインクジェットヘッドは、ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し（中略）該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成していることにより、」（本件特許公報第４頁第８欄３６〜４８行）及び「また、係るインクジェットヘッドにおいて、厚みの異なる圧電基板を積層させて、（中略）各圧力発生室に形成される電極間の電気的結合を抑えることができるという効果を有する。」（本件特許公報第５頁第９欄５〜２１行）のみを削除することによって、訂正事項ｂ、訂正事項ｃ、及び訂正事項ｄに整合させて本件の請求項１乃至３に係る発明の奏する効果を規定したものに帰するから、明りょうでない記載の釈明を目的とし、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
(2)-11．訂正事項ｍ
　訂正事項ｍは、明細書の段落【００２５】を、「【００２５】また、積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され流路が、積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることにより、圧力発生室となる流路を区画する側壁の圧電物質が、接合部に関して対称である構造を容易に形成できるという効果を有する。」と訂正するものであるところ、当該訂正は、明細書の段落【００２５】における記載を全て削除し、明細書の訂正前の段落【００２４】における記載における「積層された圧電基板が、ベース基板上に配置され、流路が、積層された圧電基板の表面からベース基板に到達する深さで形成されていることにより、圧力発生室となる流路を区画する側壁の圧電物質が、接合部に関して対称である構造を容易に形成できるという効果を有する。」（本件特許公報第５頁第９欄１３〜１８行）における「ベース基板上に配置され」を「ベース基板の両側に配置され」と規定し、且つ「積層された圧電基板の表面からベース基板に到達する深さで形成されている」を「流路が、積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることにより」と規定するものであって、いずれも、訂正後の請求項１乃至請求項３における「ベース基板の両側に配置され」（請求項１、２）と「ベース基板の両側に積層して」（請求項３）及び「積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていること」（請求項１，２）と「ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程」（請求項３）という訂正事項ｂ、訂正事項ｃ、及び訂正事項ｄに整合させて効果を規定したものであるから、訂正事項ｍは、明りょうでない記載の釈明を目的とし、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではない。
(2)-12．まとめ
　以上のとおり、訂正事項ａ乃至訂正事項ｎは、特許請求の範囲の減縮、明りょうでなう記載の釈明を目的とするものであって、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてした訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更する訂正ではないから、本件の訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについて
(1)特許異議申立ての理由の概要
ア．ザール　テクノロジー　リミテッドの特許異議申立ての理由の概要
　本件の請求項１、４及び５に係る発明は、その出願前日本国内において頒布された刊行物１（特開昭６３−２５２７５０号公報）に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない。
　本件の請求項２及び３に係る発明は、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物１、２（特開昭６３−２４７０５１号公報）、及び３（欧州特許出願公開第０２７７７０３号明細書）に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　本件の請求項６に係る発明は、その出願前外国において頒布された刊行物３に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない。
　なお、刊行物４（特開平２−１５０３５５号公報）、５（欧州特許出願公開第０２７８５９０号明細書）、６（特開昭５５−８６７６７号公報）、７（特開昭６３−２９７０４８号公報）、及び８（特開昭６３−６４７５９号公報）を提出している。
イ．渡辺等の特許異議申立ての理由の概要
　本件の請求項１、４及び６に係る発明は、その出願前外国において頒布された刊行物９（米国特許第４，８７９，５６８号明細書）に記載された発明である、若しくは、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその出願前外国において頒布された刊行物９に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　本件の請求項２、３に係る発明は、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその出願前外国において頒布された刊行物９（米国特許第４，８７９，５６８号明細書）に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　本件の請求項５に係る発明は、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物９（米国特許第４，８７９，５６８号明細書）及び刊行物１（特開昭６３−２５２７５０号公報）に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　なお、参考資料として、刊行物１０（特開昭５６−１１３４６９号公報）、１０（特開昭６４−６９３５３号公報）、１１（特開昭６１−６３４５６号公報）、１２（特開平２−２０８０５０号公報）、及び１３（特開平２−２３８９５０号公報）を提出している。
ウ．久保田恵美子の特許異議申立ての理由の概要
　本件の請求項１，４、５及び６に係る発明は、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその出願前外国において頒布された刊行物３（欧州特許出願公開第０２７７７０３号明細書）に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　本件の請求項１，２、３及び６に係る発明は、その出願の日前の他の特許出願であってその出願後に出願公告又は出願公開されたもの（刊行物１５（特願平３−１６０５３号、特開平４−２４１９４９号公報））の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない。
　本件の請求項１，４，５及び６に係る発明は、その出願の日前の他の特許出願であってその出願後に出願公告又は出願公開されたもの（刊行物１６（特願平４−５００４６２号、特表平６−５０２８１６号公報））に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない。
エ．斉藤茂の特許異議申立ての理由の概要
　本件の請求項１、４及び６に係る発明は、その出願前外国において頒布された刊行物１７（米国特許第４，９９２，８０８号明細書）に記載された発明である、若しくはその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその出願前外国において頒布された刊行物１７に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号の規定、若しくは特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　本件の請求項２及び３に係る発明は、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその出願前外国において頒布された刊行物１７に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　本件の請求項５に係る発明は、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその出願前外国において頒布された刊行物１７、１８（米国特許第４，８８７，１００号明細書）に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
(2)特許異議申立てについての判断
(2)-1．本件の請求項に係る発明
　本件の請求項１乃至３に係る発明は、符号Ａ乃至Ｍを冠記挿入して分説すると、以下のとおりである。
（請求項１に係る発明）
Ａ．ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドであって、
Ｂ．前記流路を形成する圧電物質は、２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように対称に積層することで構成され、
Ｃ．２枚の圧電基板は厚み方向に貫通されており該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成しているとともに、
Ｄ．前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、
Ｅ．前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていること
Ｆ．を特徴とするインクジェットヘッド。
（請求項２に係る発明）
Ｇ．前記ベース基板が、前記圧電物質より誘電率の低い絶縁物質よりなることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
（請求項３に係る発明）
Ｈ．ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドの製造方法であって、
Ｉ．厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように接合し、ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程と、
Ｊ．前記積層基板の両側の表面から、互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と、
Ｋ．前記積層基板に形成された流路の内面に、電極層を形成する工程と、
Ｌ．前記流路及び電極層が形成された前記積層基板の表面へ、基板を接合する工程とからなること
Ｍ．を特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
(2)-2．刊行物等及び刊行物に記載された発明
（刊行物等）
刊行物１　特開昭６３−２５２７５０号公報（特許異議申立人のザール　テクノロジー　リミテッドの甲第１号証、特許異議申立人渡辺等の甲第２号証）
刊行物２　特開昭６３−２４７０５１号公報（特許異議申立人のザール　テクノロジー　リミテッドの甲第２号証）
刊行物３　欧州特許出願公開第０２７７７０３号明細書（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの甲第３号証、特許異議申立人久保田恵美子の甲第１号証）
刊行物４　特開平２−１５０３５５号公報（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの甲第４号証）
刊行物５　欧州特許出願公開第０２７８５９０号明細書（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの甲第６号証）
刊行物６　特開昭５５−８６７６７号公報（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの回答書に添付された甲第８号証）
刊行物７　特開昭６３−２９７０４８号公報（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの回答書に添付された甲第９号証）
刊行物８　特開昭６３−６４７５９号公報（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの回答書に添付された甲第７号証）
刊行物９　米国特許第４，８７９，５６８号明細書（特許異議申立人渡辺等の甲第１号証）
刊行物１０　特開昭５６−１１３４６９号公報（特許異議申立人渡辺等の平成１３年１１月５日付け回答書に添付された参考資料１）
刊行物１１　特開昭６４−６９３５３号公報（特許異議申立人渡辺等の平成１３年１１月５日付け回答書に添付された参考資料２）
刊行物１２　特開昭６１−６３４５６号公報（特許異議申立人渡辺等の平成１３年１１月５日付け回答書に添付された参考資料３）
刊行物１３　特開平２−２０８０５０号公報（特許異議申立人渡辺等の平成１３年１１月５日付け回答書に添付された参考資料４）
刊行物１４　特開平２−２３８９５０号公報（特許異議申立人渡辺等の平成１３年１１月５日付け回答書に添付された参考資料５）
刊行物１５　特開平４−２４１９４９号公報（特許異議申立人久保田恵美子の甲第２号証）
刊行物１６　特表平６−５０２８１６号公報（特許異議申立人久保田恵美子の甲第３号証）
刊行物１７　米国特許第４，９９２，８０８号明細書（特許異議申立人斉藤茂の甲第１号証）
刊行物１８　米国特許第４，８８７，１００号明細書（特許異議申立人斉藤茂の甲第２号証）
参考資料１　理科年表第６９冊平成８年１９９６国立天文台編（写）（特許異議申立人斉藤茂の参考資料１）
参考資料２　ピエゾエレクトリックプロダクツ住友金属の圧電セラミックス（写）（特許異議申立人斉藤茂の参考資料２）
参考資料３　平成１２年３月１５日付けの特願平３−１９８４５に係る拒絶理由通知書（写）（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの回答書に添付された甲第５号証）
（刊行物に記載された発明）
　刊行物１　特開昭６３−２５２７５０号公報（特許異議申立人のザール　テクノロジー　リミテッドの甲第１号証、特許異議申立人渡辺等の甲第２号証）
　刊行物１には、「アレイは、変形可能な側壁１１を底・天壁２５、２７の間にはさまれ、矢印３３・３５のように互いに逆方向に分極された上部、下部壁２９・３１からなる剪断モードアクチュエータ１５、１７、１９、２１、２３の形に結合する。（中略）電極３７，３９（中略）がそれぞれ対応する流路２の全内壁をおおっている。」（第９頁右下欄５〜１２行）との記載及び図２（ａ）によれば、刊行物１には、「底壁２５と天壁２７との間に互いに逆方向に分極された上部壁２９、下部壁３１を構成する２枚の剪断モードアクチュエータ１５、３１である２枚の圧電基板を積層して配置した構造であって、当該２枚の圧電基板には、当該２枚の圧電基板を垂直に貫通した複数の流路２（電極が全内壁をおおっている）が形成され、上記の底壁２５・天壁２７と２枚の剪断モードアクチュエータ１５、３１とは適宜の接着材で接合されたインクジェットヘッド」（以下、「刊行物１の第１発明」という。）が記載されている。
　更に、刊行物１には、「圧電セラミックの２シートの各々をシートに垂直な方向に分極し、好ましくはガラスのような非活性物質のシートをそれぞれ底壁２５と天壁２７にラミネートすることである。（中略）次に、圧電セラミックのシート内に、ダイアモンドカッティング円板の回転又はレーザーによって平行な溝を切る。これらの溝は天壁又は底壁まで通して伸びるが、ある場合には流路の半分の長さだけ伸びることもある。」（第１１頁右上欄９〜左下欄１行）と記載されており、この記載と第２（ａ）、２（ｂ）、２（ｃ）図によれば、「刊行物１の第１発明」の製造方法として、「２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を、当該分極方向が互いに反対方向となる様に対称に接続して積層体を形成すること、当該２枚の積層された圧電基板には厚み方向に、且つ当該圧電基板の厚み全体に亘って流路となる溝部を切って形成すること」（以下、「刊行物１の第２発明」という。）が記載されている。
　また、「例えば圧電物質については、ＰＺＴが好ましいが、チタン酸バリウムのような他のセラミック、又はモリブデン酸ガドリニウムやロッシェル塩のような圧電結晶を用いることもできる。圧電層の下の基板としては、一例としてガラスが用いられるが、他の多くの物質も使い得る。（中略）圧電壁がガラス又は他の電気的絶縁物質の上に装着されている構造の利点は、流路間の電気的クロストークが、圧電物質からなる底壁の望まない変形を引き起こす漂遊電界が減るのと同様に、減ることである。」（第１７頁右下欄８〜第１８頁左上欄２行）と記載されており、この記載によれば、「ベース基板の物質として圧電物質よりも誘電率の低い絶縁性物質（ガラス）を用いること」（以下、「刊行物１の第３発明」という。）が記載されている。
　刊行物２　特開昭６３−２４７０５１号公報（特許異議申立人のザール　テクノロジー　リミテッドの甲第２号証）
　刊行物２には、「第９（ａ）、９（ｂ）図において、パルス滴インクジェットヘッド６００は底壁６０１，天壁６０２、およびその間の剪断モードアクチュエータ壁６０３からなり、アクチュエータ壁６０３は、矢印６０９，６１１で示すように天壁・底壁に垂直な方向に互いに逆に分極されている上部壁６０５，下部壁６０７からなっている。アクチュエータ壁６０３は一対となってその間に流路６１３を形成し、かつ、次の一対のアクチュエータ壁６０３の間には、流路６１３よりも狭い空間６１５を形成している。各流路の一端はノズル６１８を有するノズルプレート６１７がそれぞれ固着され、各アクチュエータ壁６０３の両側には電極６１９，６２１が金属化層として設けられている。」（第１１頁右上欄７〜左下欄３行）、「プリントヘッド６００は、まず、圧電セラミックの分極層を底壁６０１・天壁６０２にラミネートすることにより作られる。各セラミック層の厚みは上部壁６０５・下部壁６０７の高さに等しい。次に、平行な溝がダイアモンド屑を平行に散らした円盤の回転によってカットされ、（中略）次に、真空蒸着によって電極が分極壁面に形成され、続いて絶縁層が設けられ、上部壁６０５と下部壁６０７が接合・固着されて流路６１３と空間６１５が形成される。次に、（中略）ノズルプレート６１７が（中略）接合され」（第１１頁右下欄６〜第１２頁左上欄３行）、「第９（ａ）、９（ｂ）図の構造の変形として、圧電物質の単シートが垂直に分極され、分極は隣の上面と下面では逆方向になている。逆方向に分極された中間域は非変形域である。シートが底層にラミネートされ、次に流路がカットされ、空間溝が間に設けられ、対向分極層が底層にラミネートされ、その中に溝が作られる。底壁と天壁は交互に、それにラミネートされる圧電物質のシートを有し、圧電物質はそれが固着されるべき天壁の底に対し垂直に分極されている。圧電物質の各シートにさらに非変形物質のシートがラミネートされるので、それぞれ３層のアセンブリーが与えられ、その中で剪断モードアクチュエータ壁を形成すべき溝が切られる。次に、電極がアクチュエータ壁に設けられ、アセンブリーが互いに溝同士を固着することにより流路を形成し、流路の間に空間を形成する。」（第１２頁左下欄１１〜右下欄９行）と記載されている。
　これらの記載によれば、刊行物２には、「底壁６０１，天壁６０２、及びその間の天壁、底壁に垂直な方向に互いに逆に分極されている上部壁６０５，下部壁６０７からなっている剪断モードアクチュエータ壁６０３が一対となってその間に流路６１３を形成し、かつ、次の一対のアクチュエータ壁６０３の間には、流路６１３よりも狭い空間６１５を形成し、各流路の一端はノズル６１８を有するノズルプレート６１７がそれぞれ固着され、各アクチュエータ壁６０３の両側には電極６１９，８２１が金属化層として設けられているパルス滴インクジェットヘッド６００」（以下、「刊行物２の第１発明」という。）が記載されている。
　また、刊行物２には、「圧電セラミックの分極層を底壁６０１，天壁６０２にラミネートすることにより作られ、各セラミック層の厚みは上部壁６０５と下部壁６０７の高さに等しく形成され、次に、平行な溝がダイアモンド屑を平行に散らした円盤の回転によってカットされ、更に、真空蒸着によって電極が分極壁面に形成され、続いて絶縁層が設けられ、上部壁６０５，下部壁６０７が接合・固着されて流路６１３と空間６１５が形成され、次に、ノズルプレートが接合されてなるプリントヘッド６００の製造方法。」（以下、「刊行物２の第２発明」という。）が記載されている。
　更に、刊行物２には、「圧電物質の単シートが垂直に且つ隣の上面と下面では逆方向に分極され（その中間域は非変形域である。）、シートが底層にラミネートされ、次に流路がカットされ、空間溝が間に設けられ、対向分極層が底層にラミネートされ、その中に溝が作られ、次に底壁と天壁は交互にラミネートされる圧電物質のシートを有し、圧電物質はそれが固着されるべき天壁の底に対し垂直に分極されており、圧電物質の各シートにさらに非変形物質のシートがラミネートされてそれぞれ３層のアセンブリーが与えられ、その中で剪断モードアクチュエータ壁を形成すべき溝が切られ、次に、電極がアクチュエータ壁に設けられ、アセンブリーが互いに溝同士を固着することにより流路を形成し、流路の間に空間を形成してなるプリントヘッド６００の製造方法。」（以下、「刊行物２の第３発明」という。）が記載されている。
　刊行物３　欧州特許出願公開第０２７７７０３号明細書（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの甲第３号証、特許異議申立人久保田恵美子の甲第１号証）
　刊行物３には、「パルス液滴インクジェットプリンタは、ノズル（４０）と連通した少なくとも１つのチャンネル（２４）を有する。そのチャンネルの側壁（３０）は、シェアモードピエゾ−エレクトリックアクチュエータとして形成されている。そのアクチュエータに設けられた電極（３８，３９）は、電界の供給が可能にされ、アクチュエータは、電界の方向に動作して、チャンネル内の液体圧力を変え、ノズル（４０）から液滴を噴射する。アクチュエータは、断面においてシェブロン型に変形するように２つの部分（３２，３３）で形成されることができる。」（第１頁の要約欄）及び「（第９（ａ）図に示されるインクジェットヘッドを製造する方法の一例として）例えば、それぞれ反対方向に分極された層を互いに接合し、次いで当該積層体を底壁又は天壁の何れかに接合する。次いで、流路と空間溝部６１３、６１５が、ディスク或いはレーザーを使用してカッティングにより形成される。その後、電極と絶縁層がノズルプレート６１７を取り付ける前に搭載され、次いで接地とシリコンチップの接続が行われる。」（第１５欄２７〜３４行）、と記載されており、これらの記載によれば、刊行物３には、
「ノズルと連通した少なくとも１つのチャンネルの側壁は、シェアモードピエゾ−エレクトリックアクチュエータとして形成され、そのアクチュエータに設けられた電極に供給された電界の方向に動作して、チャンネル内の液体圧力を変え、ノズルから液滴を噴射するものであって、アクチュエータは、断面においてシェブロン型に変形するように２つの部分で形成されることができ、２枚の分極方向が異なる圧電基板を積層し、（更に当該積層体を例えば底壁に接合した上で）当該圧電基板の積層体に当該圧電基板の厚さ方向に溝をカッティング方式で形成してなるパルス液滴インクジェットプリンタ。」（以下、「刊行物３の第１発明」という。）が記載されている。
　更に、「図９（ａ）と９（ｂ）を参照して説明したパルス液滴インクジェットアレイ印刷ヘッドの構造と製造方法のさらなる変形例において、ピエゾ−エレクトリック材料の単シートは、該シートの上面と底面に直角に分極され、分極は、隣り合った上面と底面にそれぞれ反対方向にある。（中略）成功した製法のステップは、反対方向に分極された複数層は、ベース層に積層され、複数の溝がそれらに形成される。」（第９頁第１５欄３５〜４９行）、及び「５２．以下のステップからなる、マルチーチャンネルアレイのパルス液滴噴射装置の製造方法、（ａ）１つのピエゾ−エレクトリック材料の層をもつ１つのベース壁を形成するステツプ、（ｂ）連続する溝間にピエゾ−エレクトリック材料の壁を与え、一対の対向する壁が、それらの間にそれぞれ液体チャンネルを画定するように、前記ピエゾーエレクトリック材料の層を貫通して延びる多数の平行な溝を、前記ベース壁に形成するステップ、（ｃ）前記チャンネルに対して横切る方向の前記壁のシェアモード変形を生じさせるように、電界を供給可能とするため、前記複数の壁に関係して複数の電極を配置するステップ、（ｄ）前記複数の電極に、電気的駆動回路手段を接続するステップ、（ｅ）前記複数の壁にトップ壁を、前記液体チャンネルを閉るように固着するステップ、（ｆ）複数のノズルと液体供給手段を、前記液体チャンネルに対して設けるステップ。」（第１３頁第２３欄３１〜５１行）と記載されており、これらの記載事実のとおりの発明（以下、「刊行物３の第２発明」という。）及び「５３．さらに以下のステップを含む請求項５２にクレームされた方法、前記ベース壁の上に２つのピエゾーエレクトリック材料の層を設けるステップと、上部と下部をもつ上記立ち上がり壁を形成するため、前記両層の両方を貫通して延びるように前記複数の溝を形成するステップであって、各立ち上がり壁の−上部と下部が、それらに前記電極が配置されかつ電界が供給されたときに、前記チャンネルに対して同じ方向に横切る前記壁のシェアモード変形を生じさせるように適合された上記上部と下部をもつ上記立ち上がり壁を形成するため、上記複数の溝を形成するステップ。」（第１３頁第２３欄５２〜第２４欄３行）と記載されており、この記載事実のとおりの発明（以下、「刊行物３の第３発明」という。）が記載されている。
　刊行物４　特開平２−１５０３５５号公報（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの甲第４号証）
　刊行物４には、「ピエゾ電気材料の同様の上部シート及び下部シートに金属化電極（３４）付きの対応する溝（１２）を形成し、上部シートを下部シートに対して逆さにすることによってこれらのシートを一緒に締着させ、対応する溝の側壁の頂部間に結合層（２２）を与える。（中略）極性のシートが両シートにおいて逆である」（第７頁右下欄９〜１５行）とする「高密度多重溝配列の電気パルス式液滴堆積装置」（第１頁左下欄５行）が記載されている。
　刊行物５　欧州特許出願公開第０２７８５９０号明細書（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの甲第６号証）
　刊行物５には、「図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）で開示された本発明に於ける具体例の製造方法は、２枚のピエゾ圧電材料をそれぞれ当該シートに対して垂直な方向に分極される工程と当該個々のピエゾ圧電材料を、非活性材料である好ましくはガラスで構成された底壁２５と天壁２７にそれぞれ個別に接続させる工程とを含んでいる。双方に於ける分極方向は、いずれもガラス基板の方向である。ダイアモンドカッティング板による切削或いはレーザーによるカッティング方法を使用して当該ピエゾ圧電セラミック材料のシートに平行な複数の溝部が形成される。」（第６頁１５〜１９行）、「電極３７、３９（中略）はそれぞれ流路２の内壁をおおう」（第５頁６〜７行）と記載され、また、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）はそれぞれ刊行物１の図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）と同一であって、これらの記載及び図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）によれば、「底壁２５と天壁２７との間に互いに逆方向に分極された上部壁２９、下部壁３１を構成する２枚の剪断モードアクチュエータ１５、３１である２枚の圧電基板を積層して配置した構造であって、当該２枚の圧電基板には、当該２枚の圧電基板を垂直に貫通した複数の流路２（電極が内壁をおおう）が形成され、上記の底壁２５・天壁２７と２枚の剪断モードアクチュエータ１５、３１とは適宜の接着材で接合されたインクジェットヘッド」（以下、「刊行物５の第１発明」という。前示の「刊行物１の第１発明」と同じである。）、
及び「刊行物５の第１発明」の製造方法として、
「２枚のピエゾ圧電材料をそれぞれ当該シートに対して垂直な方向に分極される工程と当該個々のピエゾ圧電材料を、非活性材料である好ましくはガラスで構成された底壁２５と天壁２７にそれぞれ個別に接続させる工程とを含んでいる。双方に於ける分極方向は、いずれもガラス基板の方向である。ダイアモンドカッティング板による切削或いはレーザーによるカッティング方法を使用して当該ピエゾ圧電セラミック材料のシートに平行な複数の溝部が形成されるとする製造方法」（以下、「刊行物５の第２発明」という。）が記載されている。
　刊行物６　特開昭５５−８６７６７号公報（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの回答書に添付された甲第８号証）
　刊行物６には、「電気機械変換素子により加圧室の容積を変化させ、インクの射出を行なうインクオンデマンド型インクジェットプリンタにおいて、中間基板と該中間基板の左右に配置された外基板の３層の基板からなり、前記中間基板と左右外基板の間にそれぞれ複数の加圧室と該加圧室に連通するノズルが形成され、左右のノズルは上下方向に１／２ピッチずれて配置されていることを特徴とするプリントヘッド。」（特許請求の範囲）が記載されている。
　刊行物７　特開昭６３−２９７０４８号公報（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの回答書に添付された甲第９号証）
　刊行物７には、「基板の両側に振動板を接合し、該基板と該振動板の間に同一ピッチで並んだ複数のノズルと該ノズルに連通した流路を有し、前記基板両面のノズルは同数であるサブヘッドを２個備え、（中略）前記２個のサブヘッドのノズルが互いに半ピッチずれるように位置調整するための調整手段とを備えたことを特徴とする。」（第２頁左上欄５〜１６行）「インクオンデマンド型インクジェット記録装置」（第１頁右下欄２〜３行）として「両側のノズル位置が、一つの面のノズル中心間距離ｔの１／２だけずらして構成されている。」（第２頁右上欄１４〜１６行）とする事項が記載されている。
　刊行物８　特開昭６３−６４７５９号公報（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの回答書に添付された甲第７号証）
　刊行物８には、「複数本の平行な溝列を基板の表裏に平行に２層形成し、（中略）前記基板の上下に各々別の基板を配置し」（特許請求の範囲）、「２列配列のインクジェットノズルアレーの製造方法」（第１頁右下欄７〜８行）、「第３図に示したように千鳥配列のものが使用され」（第３頁左上欄１２行）と記載されている。
　刊行物９　米国特許第４，８７９，５６８号明細書（特許異議申立人渡辺等の甲第１号証）
　刊行物９には、「図９（ａ）、図９（ｂ）において、パルス滴インクジェットプリントヘッド６００は底壁６０１、天壁６０２、およびその間の剪断アクチュエータ壁６０３からなり、アクチュエータ壁６０３は、矢印６０９、６１１で示すように底壁・天壁に垂直な方向に互いに逆に分極されている上部壁６０５、下部壁６０７からなっている。アクチュエータ壁６０３は一対となってその間に流路６１３を形成し、かつ次の一対のアクチュエータ壁６０３の間には、流路６１３よりも狭い空間６１５を形成している。各流路６１３の一端はノズル６１８を有するノズルプレート６１７がそれぞれ固着され、各アクチュエータ壁６０３の両側には電極６１９、６２１が金属化層として設けられている。各電極は絶縁材（図示せず）で受けられ、空間６１５に面している電極はアース６２３に接続され、流路６１３内に設けられている電極は、アクチュエータ駆動回路を与えるシリコンチップ６２４に接続されている。既に図１〜図５で説明したように、電極を設けられるアクチュエータ壁の壁面は厚みを増すかコーティングすることにより増強され、又は第７図のように波形に湾曲させる事により補強され得る。各流路の電極に印加された電圧によって、流路に面した各壁が流路に向かって変形し，流路内のインクに圧力が加えられる。この圧力分散によって、周期Ｌ／ａ（Ｌ：流路長さａ：音響圧力波の速度）で流路からインク滴が噴射される。」（第８欄５３〜第９欄１８行）とする事項（以下、「刊行物９の第１発明」という。）、及び「図９（ａ）と９（ｂ）そして図１０（ａ）と１０（ｂ）を参照して記述された態様の構成が上記方法から若干修正された方法によって達成可能であることは、当業者にとっては明白であろう。例えば、反対方向に分極された層は互いに接合・固着されて底壁または天壁に接合され、その後、溝や間隔溝６１３及び６１５がディスクまたはレーザーでカットされることにより形成される。電極とそれらの絶縁層はその後、ノズルプレート６１７の確保及びアースとシリコンチップの結合に先立って、適用される。図９（ａ）と９（ｂ）を参照して記述された拍出される液滴インクによるインクジェットアレープリントヘッドの構造の構成と方法に於ける更なる修正に於ては、ピエゾ電気タイプの材料の一枚のシートが、そのシートの反対側の上面と底面に対し、垂直方向に分極され、その分極の方向は上記上面と底面に近接したそれぞれ反対方向の向きとなっている。反対方向に分極された領域の間には、非作動の領域が存在しうる。上記シートはベース層に積層され、次に溝と間隔溝のカッティングが続き、それに続く工程のステップは、互いに反対向きに分極された層がベース層とその中に形成された溝とに積層されるような修正に対し記述される如くなっている。底壁と天壁はそれぞれ交互に、それに積層された一枚の分極されたピエゾ電気タイプの材料をもつことができ、そのピエゾ電気タイプの材料は上部壁のベースに垂直に分極され保持されている。ピエゾ電気タイプの材料の各シートには、更に非作動タイプのシートが積層されて、それぞれ三層の組み立て部品が装備され、その中で剪断方式のアクチュエータ一壁を形成する溝が切られるか、または別の方法で形作られる。その後、電極が必要に応じてアクチュエーター壁に適用され、組み立て部品は、他の組み立て部品と向き合う関係位置で、他の組み立て部品の溝によって互いに保持され、それによってインク溝及びそのインク溝間の空のスペースが形作られる。」（第１０欄１９〜５６行）とする事項（以下、「刊行物９の第２発明」という。）が記載されている。
　刊行物１０　特開昭５６−１１３４６９号公報（特許異議申立人渡辺等の平成１３年１１月５日付け回答書に添付された参考資料１）
　刊行物１０には、「複数個のノズルを千鳥状に配列し（中略）基板にガラス・セラミック複合体ないしガラスを用い、該基板の両面よりエッチングすることにより、両面に複数個の溝を作成し、両面に前記溝の開口を塞ぐように蓋板を設けたことを特徴とするインクジェットプリンタのノズル作成方法。」（特許請求の範囲）が記載されている。
　刊行物１１　特開昭６４−６９３５３号公報（特許異議申立人渡辺等の平成１３年１１月５日付け回答書に添付された参考資料２）
　刊行物１１には、「インク噴射口と対向電極との間に電圧を印加してインクを静電的に吸引して記録体に記録するインクジェット記録装置において、（中略）インク噴射口を有する第１の基板と（中略）第２の基板の間にインクに対して接触角の大きい材料よりなる中間部材を配置したことを特徴とするインクジェット記録装置。」（特許請求の範囲）及び「第３図に示すように、（中略）基板１，２に独立に設けられたインク噴射口６を千鳥状に配置」（第２頁左上欄１０〜１１行）と記載されている。
　刊行物１２　特開昭６１−６３４５６号公報（特許異議申立人渡辺等の平成１３年１１月５日付け回答書に添付された参考資料３）
　刊行物１２には、「複数の部材を積層して構成したインクジェット記録ヘッドユニットのうち、少なくとも２個の部材が共通化できるよう少なくとも一部を同一形状となしたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。」（特許請求の範囲）、「３枚の基板を積層して２列のマルチノズルを形成し」（第４頁左下欄６〜７行）、「千鳥配列による２列複数個ノズルを実装したマルチノズル記録ヘッド」（第２頁右上欄７〜８行）と記載されている。
　刊行物１３　特開平２−２０８０５０号公報（特許異議申立人渡辺等の平成１３年１１月５日付け回答書に添付された参考資料４）
　刊行物１３には、「インクジェット記録装置に関し、（中略）記録ヘッド及び振動子電圧印加方法に関する。」（第１頁左下欄下から２〜右下欄１行）、「第１図は（中略）１はインク流路、２はノズル、３は基板Ａ、４，６は電極、５は振動子の分極方向、７は絶縁保護膜、８は基板Ｂ、９は圧電振動子である。基板Ａ上に圧電振動子９を接合する。（中略）これに（中略）溝加工を施す。（中略）溝深さは（溝幅＋α）でよい（αは電極の切断しろ）。」（第２頁左上欄７〜右上欄１行）、及び「特に、振動子の厚みと横幅をほぼ同じにとればＸ方向変位とＹ方向変位との比は１対２となり、Ｙ方向変位が２面あるのでほぼ容積変化は０となる。この様子は第３図（ｃ）に示されている。」（第２頁左下欄１３〜１７行）、と記載されている。
　刊行物１４　特開平２−２３８９５０号公報（特許異議申立人渡辺等の平成１３年１１月５日付け回答書に添付された参考資料５）
　刊行物１４には、「インクジェット記録装置のヘッド機構に関する。」（第１頁右下欄１〜２行）、「圧電振動子２に切削加工等の機械加工や、各種エッチング加工（中略）などを単独又は組み合わせて適当に用いることにより、溝加工を施し、スリット９を形成する。（中略）また第５図のように基板３の部分までスリット９を施してもよい。」（第３頁右上欄１行〜９行）、及び「第５図は基板３の部分までスリット９を施した場合である。」（第４頁左上欄６〜７行）とする事項が記載されている。
　刊行物１５　特開平４−２４１９４９号公報（特許異議申立人久保田恵美子の甲第２号証特願平３−１６０５３号（特開平４−２４１９４９号）の願書に添付された明細書及び図面）
　刊行物１５には、「インクジェットヘッド」（公報第２頁第１欄２６行）、「インク室兼インク流路の細長い溝９２ａ、９２ｂ、９２ｃが多数形成され、（中略）隔壁としては例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）の様な圧電素材を用い、（中略）隔壁の壁面には電極９４ａ２、９４ｂｌ、９４ｂ２、９４ｃ１などを形成する。次に図９（ａ）の電極９４ａ２に電極９４ｂｌに対し十分大きな正の電位を与えるならば隔壁９５ａｂは図９（ｂ）のようにせん断モードの変形をおこす。（中略）溝の体積減少によってインクの圧力は瞬間的に上昇し、インク滴がノズル穴９３ｂより飛び出す。」（公報段落【０００３】、第２頁第１欄４７〜第２欄１７行）、「図４は、本発明の第３の実施例で、（中略）図５は、図４のＢ−Ｂ’での断面図である。本構造はほぼ図３に対応しているが、図３において用いた圧電性素材の基板３１を、分極方向が４３、４４のように逆転した２種の圧電性素材４０、４２を一体化してなる基板４１に置き換えたものである。この場合隔壁４５は”く”の字型の変形をする点で図３とは異なる」（公報段落【００１４】、第３頁第４欄４５〜第４頁第５欄２行）、「インク室兼インク流路の溝２は通常ダイシングソーによる切削加工を行う。（中略）隔壁３５の側面の電極とを導通すべく形成する」（公報の図３について、段落【００１３】、第３頁第４欄３０〜３８行）、「隔壁の側面には、蒸着により（中略）電極を形成した。そして、（中略）上板８を（中略）前記隔壁と接着した。」（公報段落【００１２】、第３頁第４欄２０〜２４行）と記載されている。
　刊行物１６　特表平６−５０２８１６号公報（特許異議申立人久保田恵美子の甲第３号証特願平４−５００４６２号（特表平６−５０２８１６号）の願書に添付された明細書及び図面）
　刊行物１６には、「本発明の一つの目的は、その製造がアレイの一面から生じることができるようなシエブロン型のアレイプリントヘッドの製造に使用されるラミネートを提供することである。本発明は、相対する方向に厚さポーリングされた（ｐｏｌｅｄ）圧電気セラミック物質の二つの内層及び不活性セラミック物質の二つの外層を含む。」（公報第２頁右下欄下から９〜５行）、「ラミネート１０は、５層１１−１５よりなり、そのそれぞれは、強誘電性セラミックである。（中略）外層１１及び１５は（中略）圧電気セラミック（ＰＺＴ）の内層１２及び１４と共焼成されるのに好適な不活性物質よりなる。（中略）中心層１３は任意にテープキャストの形で、又は層１２及び１４の向い合った表面の一つに被覆されるスラリーとして適用できるド−プされたセラミックの薄い層である。（中略）チャンネルは、次に層１２、１３及び１４を通して切断され、そして操作電極は、（中略）側壁を分離するチャンネル上に沈着される。」（公報第３頁右上欄１３〜左下欄１５行）、「層１１及び１５は圧電物質よりなり（中略）滅ボーリングされ、もしこれらの層が非圧電気である絶縁セラミック」（公報第４頁左下欄１５〜１８行）、及び「インクチャンネル２０は、次に中心の部分で説明されたようにラミネートに切り込まれる。（中略）層１２及び１４は相対してポーリングされているので、ウオールアクチュエータは、いわゆる「シエブロン」型例えばヨーロッパ特許第０２７７７０３及び０２７８５９０の主題であるものである。（中略）図２（ｂ）に示されているようにチャンネルを形成した後、ウオールアクチュエータは、不活性化被膜が適用される右手部分に示された電極３０によりメッキされる。インクジェットアレイプリントヘッドを形成する次の操作は、当業者に周知である。」（公報第４頁左下欄下から２〜右下欄下から１行）、と記載されている。
　刊行物１７　米国特許第４，９９２，８０８号明細書（特許異議申立人斉藤茂の甲第１号証）
　刊行物１７には、「ドロップオンディマンド型インクジェットプリンタ」（第１欄１２〜１３行）、「図９（ａ）、９（ｂ）、１０（ａ）、１０（ｂ）を参照して述べた実施例の構成は、記述されたそれらからいくらか修正された方法により達成できることは、当業者に明白となる。たとえば、対向して分極された層は、互いに接合され、そして底壁または天壁に接合され、その後、チャネルとスペース溝６１３および６１５がディスクあるいはレーザを用いたカッティングにより形成される。その後、電極とそれらの絶縁層がノズル板６１７を接合する前に設けられ、そしてアースとシリコンの接続が成される。」（第１０欄２５〜３５行）、「プリントヘッド６００は、圧電セラミックの予め分極された層を底壁と天壁６０１，６０２にラミネートすることにより製造される。これらの層の厚みは、壁部分６０５，６０７の高さと同じである。」（第９欄３１〜３４行）と記載されている。
　刊行物１８　米国特許第４，８８７，１００号明細書（特許異議申立人斉藤茂の甲第２号証）
　刊行物１８には、「ドロップオンディマンド型インクジェットプリンタ」（第１欄９〜１０行）、「圧電材料はガラス基板上に層として用いられてもよい。このガラス基板は一例として既述されているが、多数の代替物が当業者に明らかとなる。代替的に圧電壁による記述の層状のあるいはラミネート構造の代わりに圧電材料のブロックを用いることが出来、そしてそれは支持底壁と一体となる。圧電側壁がガラスあるいはたの電気的に絶縁された基板上にマウントされている構成の優位点は、圧電材料で形成された底壁の好ましくない歪を引き起こす浮遊電界の問題であるチャネル配列間の電気的クロストークが減少されることである。」（第１５欄６３〜第１６欄８行）と記載されている。
　参考資料１　理科年表第６９冊平成８年１９９６国立天文台編（写）（特許異議申立人斉藤茂の参考資料１）
　参考資料１には、「ソーダガラス、鉛ガラスの比誘電率が１桁の値（７．５、６．９）であること」（物１１０（５３０）の誘電体、固体の項の表）が記載されている。
　参考資料２　ピエゾエレクトリックプロダクツ住友金属の圧電セラミックス（写）（特許異議申立人斉藤茂の参考資料２）
　参考資料２には、「圧電材料の比誘電率の定義」（第８〜１０頁）について記載されている。
　参考資料３　平成１２年３月１５日付けの特願平３−１９８４５に係る拒絶理由通知書（写）（特許異議申立人ザール　テクノロジー　リミテッドの回答書に添付された甲第５号証）
　参考資料３には、「平成１２年３月１５日付けの特願平３−１９８４５に係る拒絶理由通知」が記載されている。
(2)-3．対比・判断
ア．請求項１に係る発明
　本件の請求項１に係る発明と刊行物１乃至１８の発明及び参考資料１乃至３に係る事項を対比すると、刊行物１乃至１８の発明は、インクジェットヘドとして、いずれも本件の請求項１に係る発明の「Ａ．ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドであって、Ｂ．前記流路を形成する圧電物質は、２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように対称に積層することで構成され、Ｃ．２枚の圧電基板は厚み方向に貫通されており該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成しているとともに、Ｄ．前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、Ｅ．前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていること」において、「Ｂ．前記流路を形成する圧電物質は、２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように対称に積層することで構成され」、「Ｃ．２枚の圧電基板は厚み方向に貫通されており該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成しているとともに」、「Ｄ．前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され」、及び「Ｅ．前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていること」のいずれかの事項を備えているものではない。
　すなわち、刊行物１の発明は、「底壁２５と天壁２７との間に互いに逆方向に分極された上部壁２９、下部壁３１を構成する２枚の剪断モードアクチュエータ１５、３１である２枚の圧電基板を積層して配置した構造であって、当該２枚の圧電基板には、当該２枚の圧電基板を垂直に貫通した複数の流路２（電極が全内壁をおおっている）が形成され、上記の底壁２５・天壁２７と２枚の剪断モードアクチュエータ１５、３１とは適宜の接着材で接合されたインクジェットヘッド」（「刊行物１の第１発明」）であって、前示のＡ．Ｂ．及びＣ．の事項を充足するものであるが、Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物２の発明は、「底壁６０１，天壁６０２、及びその間の天壁、底壁に垂直な方向に互いに逆に分極されている上部壁６０５，下部壁６０７からなっている剪断モードアクチュエータ壁６０３が一対となってその間に流路６１３を形成し、かつ、次の一対のアクチュエータ壁６０３の間には、流路６１３よりも狭い空間６１５を形成し、各流路の一端はノズル６１８を有するノズルプレート６１７がそれぞれ固着され、各アクチュエータ壁６０３の両側には電極６１９，８２１が金属化層として設けられているパルス滴インクジェットヘッド６００」（「刊行物２の第１発明」。）」であって、前示のＡ．Ｂ．及びＣ．の事項を充足するものであるが、Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物３の発明は、「ノズルと連通した少なくとも１つのチャンネルの側壁は、シェアモードピエゾ−エレクトリックアクチュエータとして形成され、そのアクチュエータに設けられた電極に供給された電界の方向に動作して、チャンネル内の液体圧力を変え、ノズルから液滴を噴射するものであって、アクチュエータは、断面においてシェブロン型に変形するように２つの部分で形成されることができ、２枚の分極方向が異なる圧電基板を積層し、（更に当該積層体を例えば底壁に接合した上で）当該圧電基板の積層体に当該圧電基板の厚さ方向に溝をカッティング方式で形成してなるパルス液滴インクジェットプリンタ。」（「刊行物３の第１発明」）であって、前示のＡ．Ｂ．及びＣ．の事項を充足するものであるが、Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物４の発明は、「ピエゾ電気材料の同様の上部シート及び下部シートに金属化電極付きの対応する溝を形成し、上部シートを下部シートに対して逆さにすることによってこれらのシートを一緒に締着させ、対応する溝の側壁の頂部間に結合層を与え、極性のシートが両シートにおいて逆である」とする「高密度多重溝配列の電気パルス式液滴堆積装置」であって、前示のＡ．Ｂ．及びＣ．の事項を充足するものであるが、Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物５の発明は、「底壁２５と天壁２７との間に互いに逆方向に分極された上部壁２９、下部壁３１を構成する２枚の剪断モードアクチュエータ１５、３１である２枚の圧電基板を積層して配置した構造であって、当該２枚の圧電基板には、当該２枚の圧電基板を垂直に貫通した複数の流路２（電極が内壁をおおう）が形成され、上記の底壁２５・天壁２７と２枚の剪断モードアクチュエータ１５、３１とは適宜の接着材で接合されたインクジェットヘッド」（「刊行物５の第１発明」）を備えるものであって、前示のＡ．Ｂ．及びＣ．の事項を充足するものであるが、Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物６の発明は、「電気機械変換素子により加圧室の容積を変化させ、インクの射出を行なうインクオンデマンド型インクジェットプリンタにおいて、中間基板と該中間基板の左右に配置された外基板の３層の基板からなり、前記中間基板と左右外基板の間にそれぞれ複数の加圧室と該加圧室に連通するノズルが形成され、左右のノズルは上下方向に１／２ピッチずれて配置されていることを特徴とするプリントヘッド。」であって、前示のＡ．の事項を推認させるものであるが、Ｂ．の事項については、刊行物６の発明は分極された圧電基板を対称に積層するものではなく、且つ、Ｃ．Ｄ．及びＥ．の事項については、刊行物６の発明は積層ではなく単板をもって「両側に配置」される態様のものではあるが、流路をベース基板に到達し、該基板を削るような深さで形成されている事項を併せ備えるものではない。
　刊行物７の発明は、「基板の両側に振動板を接合し、該基板と該振動板の間に同一ピッチで並んだ複数のノズルと該ノズルに連通した流路を有し、前記基板両面のノズルは同数であるサブヘッドを２個備え、前記２個のサブヘッドのノズルが互いに半ピッチずれるように位置調整するための調整手段とを備えるインクオンデマンド型インクジェット記録装置」であって、前示のＡ．の事項を推認させるものであるが、Ｂの事項については、刊行物７の発明は分極された圧電基板を対称に積層するものではなく、且つ、Ｃ．Ｄ．及びＥ．の事項については、刊行物７の発明は積層ではなく単板をもって「両側に配置」される態様のものではあるが、流路をベース基板に到達し、該基板を削るような深さで形成されている事項を併せ備えるものではない。
　刊行物８の発明は、「複数本の平行な溝列を基板の表裏に平行に２層形成し、前記基板の上下に各々別の基板を配置し、２列配列のインクジェットノズル」であって、前示のＡ．の事項を推認させるものであるが、Ｂ．の事項については分極された圧電基板を対称に積層するものではなく、且つ、Ｃ．及びＤ．の事項については積層ではなく単板をもって「両側に配置」される態様のものではあるが、Ｅ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物９の発明は、「（図９（ａ）、図９（ｂ）と共に）、パルス滴インクジェットプリントヘッド６００は底壁６０１、天壁６０２、及びその間に底壁・天壁に垂直な方向に互いに逆に分極されている上部壁６０５、下部壁６０７からなっている一対の剪断アクチュエータ壁６０３の間に流路６１３を形成し、かつ次の一対のアクチュエータ壁６０３の間には、流路６１３よりも狭い空間６１５を形成し、各流路６１３の一端はノズル６１８を有するノズルプレート６１７がそれぞれ固着され、各アクチュエータ壁６０３の両側には電極６１９、６２１が金属化層として設けられ、各電極は絶縁材で受けられ、空間６１５に面している電極はアース６２３に接続され、流路６１３内に設けられている電極は、アクチュエータ駆動回路を与えるシリコンチップ６２４に接続され、各流路の電極に印加された電圧によって、流路に面した各壁が流路に向かって変形し，流路内のインクに圧力が加えられることによって、流路からインク滴が噴射される」とする事項（「刊行物９の第１発明」）を備えるものであって、前示のＡ．Ｂ．及びＣ．の事項を充足するものであるが、Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１０の発明は、「複数個のノズルを千鳥状に配列し、基板にガラス・セラミック複合体ないしガラスを用い、該基板の両面よりエッチングすることにより、両面に複数個の溝を作成し、両面に前記溝の開口を塞ぐように蓋板を設けたことを特徴とするインクジェットプリンタのノズル」であって、前示のＡ．の事項を充足するものであるが、Ｂ．Ｃ．Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１１の発明は、「インク噴射口と対向電極との間に電圧を印加してインクを静電的に吸引して記録体に記録するインクジェット記録装置において、インク噴射口を有する第１の基板と第２の基板の間にインクに対して接触角の大きい材料よりなる中間部材を配置したことを特徴とするインクジェット記録装置」であって、前示のＡ．の事項を充足するものであるが、Ｂ．Ｃ．Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１２の発明は、「複数の部材を積層して構成したインクジェット記録ヘッドユニットのうち、少なくとも２個の部材が共通化できるよう少なくとも一部を同一形状となしたインクジェット記録ヘッドとして、３枚の基板を積層して２列のマルチノズルを形成し、千鳥配列による２列複数個ノズルを実装したマルチノズル記録ヘッド」であって、前示のＡ．の事項を充足するものであるが、Ｂ．Ｃ．Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１３の発明は、「（第１図と共に）インク流路１、ノズル２、基板Ａ、電極４，６、振動子の分極方向５、絶縁保護膜７、基板Ｂ、圧電振動子９を有し、基板Ａ上に圧電振動子９を接合し、これに溝深さを（溝幅＋α、但しαは電極の切断しろ）として溝加工をなしてなるインクジェット記録装置の記録ヘッド」であって、前示のＡ．の事項を充足するものであるが、刊行物１３の発明の当該溝は、流路の容積の変化量を制御する目的で、「振動子の厚みと横幅をほぼ同じにとればほぼ容積変化は０となるように設けてなるもの」であって、Ｂ．Ｃ．Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１４の発明は、「圧電振動子２に切削加工等の機械加工や、各種エッチング加工などを単独又は組み合わせて適当に用いることにより、溝加工を施し、スリット９を形成すし、その際基板３の部分までスリット９を施してもよいとするインクジェット記録装置のヘッド機構」の発明であって、前示のＡ．の事項を充足するものであるが、刊行物１４の発明にあっては、基板への当該溝加工は、「スリット９」に対する場合であって、流路に対するものではなく、且つＢ．Ｃ．Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１５の発明は、「インク室兼インク流路の細長い溝９２ａ、９２ｂ、９２ｃが多数形成され、隔壁としてＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）の様な圧電素材を用い、隔壁の壁面には電極９４ａ２、９４ｂｌ、９４ｂ２、９４ｃ１などを形成し、電極９４ａ２に電極９４ｂｌに対し十分大きな正の電位を与えるならば隔壁９５ａｂはせん断モードの変形をおこし、溝の体積減少によってインクの圧力は瞬間的に上昇し、インク滴がノズル穴９３ｂより飛び出すインクジェットヘッドとして、圧電性素材の基板３１を、分極方向が４３、４４のように逆転した２種の圧電性素材４０、４２を一体化してなる基板４１に置き換えたもの」であって、前示のＡ．の事項を充足するものであるが、Ｂ．Ｃ．Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１６の発明は、「アレイの一面から生じることができるようなシエブロン型のアレイプリントヘッドの製造に使用されるラミネートを提供することを目的として、相対する方向に厚さポーリングされた圧電気セラミック物質の二つの内層及び不活性セラミック物質の二つの外層を含み、５層１１−１５よりなるラミネート１０それぞれは、強誘電性セラミックであり、外層１１及び１５は圧電気セラミックの内層１２及び１４と共に焼成されるのに好適な不活性物質よりなり、中心層１３は任意にテープキャストの形で、又は層１２及び１４の向い合った表面の一つに被覆されるスラリーとして適用できるド−プされたセラミックの薄い層であり、チャンネルは、層１２、１３及び１４を通して切断され、操作電極は、側壁を分離するチャンネル上に沈着されるてなるインクジェットアレイプリントヘッド。」であって、前示のＡ．の事項を充足するものであるが、Ｂ．Ｃ．Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１７の発明は、「対向して分極された層は、互いに接合され、そして底壁または天壁に接合され、その後、チャネルとスペース溝６１３および６１５がディスクあるいはレーザを用いたカッティングにより形成され、その後、電極とそれらの絶縁層がノズル板６１７を接合する前に設けられ、アースとシリコンの接続が成され、プリントヘッドは、圧電セラミックの予め分極された層を底壁と天壁にラミネートすることにより製造され、これらの層の厚みは、壁部分高さと同じであるとする構成のドロップオンディマンド型インクジェットプリンタ」であって、前示のＡ．の事項を充足するものであるが、Ｂ．Ｃ．Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１８の発明は、「圧電材料はガラス基板上に層として用いられ、このガラス基板は代替物として圧電壁による層状のあるいはラミネート構造の代わりに圧電材料のブロックを用いることが出来、支持底壁と一体となるように構成されたドロップオンディマンド型インクジェットプリンタ」であって、前示のＡ．の事項を充足するものであるが、Ｂ．Ｃ．Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えるものではない。
　なお、参考資料１乃至３は、本件の請求項１に係る発明のＡ．Ｂ．Ｃ．Ｄ．Ｅ．及びＦ．を備えるものではない。
　してみると、刊行物１乃至１８の発明は、いずれも本件の請求項１に係る発明の「Ｄ．前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され」、及び「Ｅ．前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていること」の事項を備えているものではなく、且つ、刊行物１乃至１８の発明及び参考資料１乃至３の事項に基いて本件の請求項１に係る発明のＡ．Ｂ．Ｃ．Ｄ．及びＥ．の事項を併せ備えることに至る基因を見出すことはできない。
　そして、本件の請求項１に係る発明がＡ．Ｂ．Ｃ．Ｄ．Ｅ．及びＦ．を備えることによって奏する「厚さ方向に分極された圧電基板同士を接合した後に流路を形成することが可能となるため、従来の如く一方の圧電基板と他方の圧電基板の流路の相対的位置合わせの必要がなく、且つ接着剤のはみ出しによって流路を塞ぐようなことがないため、相対位置精度の高い精密な流路を形成できることから、高密度、高ノズル数、そして信頼性の高いインクジェットヘッドを提供できる」（【００２４】）という効果及び「積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、流路が、積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることにより、圧力発生室となる流路を区画する側壁の圧電物質が、接合部に関して対称である構造を容易に形成できる」（【００２５】）という効果は刊行物１乃至１８の発明によっては奏し得ないものである。
　したがって、本件の請求項１に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物１乃至１４、１７、及び１８に記載された発明ではなく、また、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物１乃至１４、１７、及び１８に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではなく、更に、その出願の日前の他の特許出願であってその出願後に出願公告又は出願公開されたもの（刊行物１５（特開平４−２４１９４９号公報）、刊行物１６（特表平６−５０２８１６号公報））の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明と同一ではない。
イ．請求項２に係る発明
　本件の請求項２に係る発明は「Ｇ．前記ベース基板が、前記圧電物質より誘電率の低い絶縁物質よりなることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。」と請求項１に係る発明の「ベース基板」を技術的に限定したものであるところ、当該「前記ベース基板が、前記圧電物質より誘電率の低い絶縁物質よりなること」とする事項は、刊行物１の発明が「ベース基板の物質として圧電物質よりも誘電率の低い絶縁性物質（ガラス）を用いること」（刊行物１の第３発明）として備えているものであるから、当該事項のみについては当業者が想到することに困難性は存しないが、前示のア．において説示したとおり、刊行物１乃至１８の発明は、請求項２に係る発明が引用する請求項１に係る発明Ｂ．Ｃ．Ｄ．及びＥ．のいずれかの構成を欠くものである。
　そうすると、本件の請求項２に係る発明は、前示のア．の説示を援用し、その出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物１乃至１４、１７、及び１８に記載された発明ではなく、また、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物１乃至１４、１７、及び１８に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではなく、更に、その出願の日前の他の特許出願であってその出願後に出願公告又は出願公開されたもの（刊行物１５（特開平４−２４１９４９号公報）、刊行物１６（特表平６−５０２８１６号公報））の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明と同一ではない。
ウ．請求項３に係る発明
　本件の請求項３に係る発明は、請求項１に係る発明が「インクジェットヘッド」であるのに対し、当該「インクジェットヘッド」の製造方法に係る発明であって、請求項３に係る発明の「Ｈ．ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドの製造方法であって、Ｉ．厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように接合し、ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程と、Ｊ．前記積層基板の両側の表面から、互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と、Ｋ．前記積層基板に形成された流路の内面に、電極層を形成する工程と、Ｌ．前記流路及び電極層が形成された前記積層基板の表面へ、基板を接合する工程とからなること」におけるＨ．Ｉ．Ｊ．Ｋ．及びＬ．の各事項は、請求項１に係る発明のＡ．Ｂ．Ｃ．Ｄ．及びＥ．から成るＦ．インクジェットヘッドを、発明の範疇を替えて方法として規定したものであるから、請求項３に係る発明と刊行物１乃至１８の発明及び参考資料１乃至３に係る事項を対比すると、前示のア．の説示がおおむね該当し、刊行物１乃至１８の発明及び参考資料１乃至３に係る事項は、インクジェットヘッドの製造方法として、いずれも、本件の請求項３に係る発明における「Ｉ．厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように接合し、ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程と」、「Ｊ．前記積層基板の両側の表面から、互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と」、「Ｋ．前記積層基板に形成された流路の内面に、電極層を形成する工程と」、及び「Ｌ．前記流路及び電極層が形成された前記積層基板の表面へ、基板を接合する工程とからなること」のいずれかの事項を備えているものではない。
  すなわち、刊行物１の発明は、「刊行物１の第１発明の製造方法」として「２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を、当該分極方向が互いに反対方向となる様に対称に接続して積層体を形成すること、当該２枚の積層された圧電基板には厚み方向に、且つ当該圧電基板の厚み全体に亘って流路となる溝部を切って形成する」（「刊行物１の第２発明」）というものであって、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を充足するものであるが、Ｉ．のうちの「ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程」及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物２の発明は、「刊行物２の第１発明」の製造方法として、「圧電セラミックの分極層を底壁６０１，天壁６０２にラミネートすることにより作られ、各セラミック層の厚みは上部壁６０５・下部壁６０７の高さに等しく形成され、次に、平行な溝がダイアモンド屑を平行に散らした円盤の回転によってカットされ、更に、真空蒸着によって電極が分極壁面に形成され、続いて絶縁層が設けられ、上部壁６０５，下部壁６０７が接合・固着されて流路６１３と空間６１５が形成され、次に、ノズルプレートが接合されてなるプリントヘッド６００の製造方法。」（「刊行物２の第２発明」）及び「圧電物質の単シートが垂直に且つ隣の上面と下面では逆方向に分極され（その中間域は非変形域である。）、シートが底層にラミネートされ、次に流路がカットされ、空間溝が間に設けられ、対向分極層が底層にラミネートされ、その中に溝が作られ、次に底壁と天壁は交互にラミネートされる圧電物質のシートを有し、圧電物質はそれが固着されるべき天壁の底に対し垂直に分極されており、圧電物質の各シートにさらに非変形物質のシートがラミネートされてそれぞれ３層のアセンブリーが与えられ、その中で剪断モードアクチュエータ壁を形成すべき溝が切られ、次に、電極がアクチュエータ壁に設けられ、アセンブリーが互いに溝同士を固着することにより流路を形成し、流路の間に空間を形成してなるプリントヘッド６００の製造方法。」（「刊行物２の第３発明」）の発明であって、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を充足するものであるが、Ｉ．のうちの「ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程」及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物３の発明は、「パルス液滴インクジェットアレイ印刷ヘッドの製造方法において、ピエゾ−エレクトリック材料の単シートは、該シートの上面と底面に直角に分極され、分極は、隣り合った上面と底面にそれぞれ反対方向にあり、反対方向に分極された複数層は、ベース層に積層され、複数の溝がそれらに形成される（図９（ａ）と９（ｂ））」（第９頁第１５欄３５〜４９行）、及び「（ａ）１つのピエゾ−エレクトリック材料の層をもつ１つのベース壁を形成するステツプ、（ｂ）連続する溝間にピエゾ−エレクトリック材料の壁を与え、一対の対向する壁が、それらの間にそれぞれ液体チャンネルを画定するように、前記ピエゾ−エレクトリック材料の層を貫通して延びる多数の平行な溝を、前記ベース壁に形成するステップ、（ｃ）前記チャンネルに対して横切る方向の前記壁のシェアモード変形を生じさせるように、電界を供給可能とするため、前記複数の壁に関係して複数の電極を配置するステップ、（ｄ）前記複数の電極に、電気的駆動回路手段を接続するステップ、（ｅ）前記複数の壁にトップ壁を、前記液体チャンネルを閉るように固着するステップ、（ｆ）複数のノズルと液体供給手段を、前記液体チャンネルに対して設けるステップ、から成るマルチーチャンネルアレイのパルス液滴噴射装置の製造方法。」（「刊行物３の第２発明」）及び「刊行物３の第２発明」に加えて「前記ベース壁の上に２つのピエゾ−エレクトリック材料の層を設けるステップと、上部と下部をもつ上記立ち上がり壁を形成するため、前記両層の両方を貫通して延びるように前記複数の溝を形成するステップであって、各立ち上がり壁の−上部と下部が、それらに前記電極が配置されかつ電界が供給されたときに、前記チャンネルに対して同じ方向に横切る前記壁のシェアモード変形を生じさせるように適合された上記上部と下部をもつ上記立ち上がり壁を形成するため、上記複数の溝を形成するステップ、から成るステップを含むマルチ−チャンネルアレイのパルス液滴噴射装置の製造方法。」（「刊行物３の第３発明」）であって、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を充足するものであるが、Ｉ．のうちの「ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程」及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物４の発明は、「ピエゾ電気材料の同様の上部シート及び下部シートに金属化電極（３４）付きの対応する溝（１２）を形成し、上部シートを下部シートに対して逆さにすることによってこれらのシートを一緒に締着させ、対応する溝の側壁の頂部間に結合層（２２）を与える。極性のシートが両シートにおいて逆である」とする「高密度多重溝配列の電気パルス式液滴堆積装置」であって、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を充足するものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物５の発明は、「刊行物５の第１発明」の製造方法として、「２枚のピエゾ圧電材料をそれぞれ当該シートに対して垂直な方向に分極される工程と当該個々のピエゾ圧電材料を、非活性材料である好ましくはガラスで構成された底壁２５と天壁２７にそれぞれ個別に接続させる工程とを含んでいる。双方に於ける分極方向は、いずれもガラス基板の方向である。ダイアモンドカッティング板による切削或いはレーザーによるカッティング方法を使用して当該ピエゾ圧電セラミック材料のシートに平行な複数の溝部が形成されるとする製造方法」（以下、「刊行物５の第２発明」）であって、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を充足するものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物６の発明は、「電気機械変換素子により加圧室の容積を変化させ、インクの射出を行なうインクオンデマンド型インクジェットプリンタにおいて、中間基板と該中間基板の左右に配置された外基板の３層の基板からなり、前記中間基板と左右外基板の間にそれぞれ複数の加圧室と該加圧室に連通するノズルが形成され、左右のノズルは上下方向に１／２ピッチずれて配置されていることを特徴とするプリントヘッド。」であって、これを製造方法として把握すると、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を推認させるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物７の発明は、「基板の両側に振動板を接合し、該基板と該振動板の間に同一ピッチで並んだ複数のノズルと該ノズルに連通した流路を有し、前記基板両面のノズルは同数であるサブヘッドを２個備え、前記２個のサブヘッドのノズルが互いに半ピッチずれるように位置調整するための調整手段とを備えるインクオンデマンド型インクジェット記録装置」であって、これを製造方法として把握すると、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を推認させるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物８の発明は、「複数本の平行な溝列を基板の表裏に平行に２層形成し、前記基板の上下に各々別の基板を配置し、２列配列のインクジェットノズル」であって、これを製造方法として把握すると、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を推認させるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物９の発明は、「（図９（ａ）、図９（ｂ）と共に）、パルス滴インクジェットプリントヘッド６００は底壁６０１、天壁６０２、及びその間に底壁・天壁に垂直な方向に互いに逆に分極されている上部壁６０５、下部壁６０７からなっている一対の剪断アクチュエータ壁６０３の間に流路６１３を形成し、かつ次の一対のアクチュエータ壁６０３の間には、流路６１３よりも狭い空間６１５を形成し、各流路６１３の一端はノズル６１８を有するノズルプレート６１７がそれぞれ固着され、各アクチュエータ壁６０３の両側には電極６１９、６２１が金属化層として設けられ、各電極は絶縁材で受けられ、空間６１５に面している電極はアース６２３に接続され、流路６１３内に設けられている電極は、アクチュエータ駆動回路を与えるシリコンチップ６２４に接続され、各流路の電極に印加された電圧によって、流路に面した各壁が流路に向かって変形し，流路内のインクに圧力が加えられることによって、流路からインク滴が噴射される」とする事項（「刊行物９の第１発明」）を備えるものであって、これを製造方法として把握すると、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を備えるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１０の発明は、「複数個のノズルを千鳥状に配列し、基板にガラス・セラミック複合体ないしガラスを用い、該基板の両面よりエッチングすることにより、両面に複数個の溝を作成し、両面に前記溝の開口を塞ぐように蓋板を設けたことを特徴とするインクジェットプリンタのノズル」であって、これを製造方法として把握すると、前示のＨ．Ｋ．の「電極層を形成する工程」及びＬ．の「基板を接合する工程」の事項を備えるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１１の発明は、「インク噴射口と対向電極との間に電圧を印加してインクを静電的に吸引して記録体に記録するインクジェット記録装置において、インク噴射口を有する第１の基板と第２の基板の間にインクに対して接触角の大きい材料よりなる中間部材を配置したことを特徴とするインクジェット記録装置」であって、これを製造方法として把握すると、前示のＨ．Ｋ．の「電極層を形成する工程」及びＬ．の「基板を接合する工程」の事項を備えるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１２の発明は、「複数の部材を積層して構成したインクジェット記録ヘッドユニットのうち、少なくとも２個の部材が共通化できるよう少なくとも一部を同一形状となしたインクジェット記録ヘッドとして、３枚の基板を積層して２列のマルチノズルを形成し、千鳥配列による２列複数個ノズルを実装したマルチノズル記録ヘッド」であって、これを製造方法として把握すると、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を備えるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１３の発明は、「（第１図と共に）インク流路１、ノズル２、基板Ａ、電極４，６、振動子の分極方向５、絶縁保護膜７、基板Ｂ、圧電振動子９を有し、基板Ａ上に圧電振動子９を接合し、これに溝深さを（溝幅＋α、但しαは電極の切断しろ）として溝加工をなしてなるインクジェット記録装置の記録ヘッド」であって、これを製造方法として把握すると、刊行物１３の発明の当該溝は、流路の容積の変化量を制御する目的で、「振動子の厚みと横幅をほぼ同じにとればほぼ容積変化は０となるように設けてなるもの」であって、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を備えるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１４の発明は、「圧電振動子２に切削加工等の機械加工や、各種エッチング加工などを単独又は組み合わせて適当に用いることにより、溝加工を施し、スリット９を形成すし、その際基板３の部分までスリット９を施してもよいとするインクジェット記録装置のヘッド機構」の発明であって、これを製造方法として把握すると、刊行物１４の発明にあっては、基板への当該溝加工は、「スリット９」に対する場合であって、流路に対するものではなく、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を備えるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１５の発明は、「インク室兼インク流路の細長い溝９２ａ、９２ｂ、９２ｃが多数形成され、隔壁としてＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）の様な圧電素材を用い、隔壁の壁面には電極９４ａ２、９４ｂｌ、９４ｂ２、９４ｃ１などを形成し、電極９４ａ２に電極９４ｂｌに対し十分大きな正の電位を与えるならば隔壁９５ａｂはせん断モードの変形をおこし、溝の体積減少によってインクの圧力は瞬間的に上昇し、インク滴がノズル穴９３ｂより飛び出すインクジェットヘッドとして、圧電性素材の基板３１を、分極方向が４３、４４のように逆転した２種の圧電性素材４０、４２を一体化してなる基板４１に置き換えたもの」であって、これを製造方法として把握すると、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を備えるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１６の発明は、「アレイの一面から生じることができるようなシエブロン型のアレイプリントヘッドの製造に使用されるラミネートを提供することを目的として、相対する方向に厚さポーリングされた圧電気セラミック物質の二つの内層及び不活性セラミック物質の二つの外層を含み、５層１１−１５よりなるラミネート１０それぞれは、強誘電性セラミックであり、外層１１及び１５は圧電セラミックの内層１２及び１４と共に焼成されるのに好適な不活性物質よりなり、中心層１３は任意にテープキャストの形で、又は層１２及び１４の向い合った表面の一つに被覆されるスラリーとして適用できるド−プされたセラミックの薄い層であり、チャンネルは、層１２、１３及び１４を通して切断され、操作電極は、側壁を分離するチャンネル上に沈着されるてなるインクジェットアレイプリントヘッド。」であって、これを製造方法として把握すると、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を備えるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　刊行物１７の発明は、「対向して分極された層は、互いに接合され、そして底壁または天壁に接合され、その後、チャネルとスペース溝６１３および６１５がディスクあるいはレーザを用いたカッティングにより形成され、その後、電極とそれらの絶縁層がノズル板６１７を接合する前に設けられ、アースとシリコンの接続が成され、プリントヘッドは、圧電セラミックの予め分極された層を底壁と天壁にラミネートすることにより製造され、これらの層の厚みは、壁部分高さと同じであるとする構成のドロップオンディマンド型インクジェットプリンタ」であって、これを製造方法として把握すると、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を備えるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　及び、刊行物１８の発明は、「圧電材料はガラス基板上に層として用いられ、このガラス基板は代替物として圧電壁による層状のあるいはラミネート構造の代わりに圧電材料のブロックを用いることが出来、支持底壁と一体となるように構成されたドロップオンディマンド型インクジェットプリンタ」であって、これを製造方法として把握すると、前示のＨ．Ｋ．及びＬ．の事項を備えるものであるが、Ｉ．及びＪ．の事項を併せ備えるものではない。
　なお、参考資料１乃至３は、本件の請求項１に係る発明のＨ．Ｉ．Ｊ．Ｋ．Ｌ．及びＭ．を備えるものではない。
　してみると、刊行物１乃至１８の発明は、いずれも「Ｉ．厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように接合し、ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程と、Ｊ．前記積層基板の両側の表面から、互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と」の事項を備えているものではなく、且つ、刊行物１乃至１８の発明及び参考資料１乃至３の事項に基いて本件の請求項１に係る発明のＨ．Ｉ．Ｊ．Ｋ．及びＬ．の事項を併せ備えることに至る基因を見出すことはできない。
　そして、本件の請求項３に係る発明がＨ．Ｉ．Ｊ．Ｋ．Ｌ．及びＭ．を備えることによって奏する「厚さ方向に分極された圧電基板同士を接合した後に流路を形成することが可能となるため、従来の如く一方の圧電基板と他方の圧電基板の流路の相対的位置合わせの必要がなく、且つ接着剤のはみ出しによって流路を塞ぐようなことがないため、相対位置精度の高い精密な流路を形成できることから、高密度、高ノズル数、そして信頼性の高いインクジェットヘッドを提供できる」（【００２４】）という効果及び「積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、流路が、積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることにより、圧力発生室となる流路を区画する側壁の圧電物質が、接合部に関して対称である構造を容易に形成できる」（【００２５】）という効果は刊行物１乃至１８の発明によっては奏し得ないものである。
　したがって、本件の請求項３に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物１乃至１４、１７、及び１８に記載された発明ではなく、また、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物１乃至１４、１７、及び１８に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではなく、更に、その出願の日前の他の特許出願であってその出願後に出願公告又は出願公開されたもの（刊行物１５（特開平４−２４１９４９号公報）、刊行物１６（特表平６−５０２８１６号公報））の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明と同一ではない。
エ．まとめ
　以上のとおりであるから、本件の請求項１乃至３に係る発明は、その出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物１乃至１４、１７、及び１８に記載された発明ではなく、また、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者がその出願前日本国内又は外国において頒布された刊行物１乃至１４、１７、及び１８に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではなく、更に、その出願の日前の他の特許出願であってその出願後に出願公告又は出願公開されたもの（刊行物１５、刊行物１６）の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明と同一ではないから、本件の請求項１乃至３に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものではなく、また、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものではなく、更に、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものではない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、本件の訂正請求については、これを認め、本件の特許異議申立てについては、特許異議申立人の証拠及び理由によっては本件の請求項１乃至３に係る発明の特許を取り消すことはできず、また、他に本件の本件の請求項１乃至３に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件の請求項１乃至３に係る発明の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものとは認めない。
　よって結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１０月９日（２００２．１０．９）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第３０８７３１５号の訂正は、特許請求の範囲の減縮、明りょうでない記載の釈明を目的として、願書に添付した明細書を、以下の１．（訂正事項ａ）乃至１４．（訂正事項ｎ）のように訂正するものである。
１．訂正事項ａ
　特許請求の範囲を、特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項１乃至請求項３を削除するものである。
２．訂正事項ｂ
　請求項４を請求項１と規定し、特許請求の範囲の減縮を目的として、以下のように訂正するものである。
「【請求項１】ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドであって、
　前記流路を形成する圧電物質は、２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように対称に積層することで構成され、
　２枚の圧電基板は厚み方向に貫通されており該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成しているとともに、
　前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、
　前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。」
３．訂正事項ｃ
　請求項５を請求項２と規定し、特許請求の範囲の減縮を目的として、以下のように訂正するものである。
「【請求項２】前記ベース基板が、前記圧電物質より誘電率の低い絶縁物質よりなることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。」
４．訂正事項ｄ
　請求項６を請求項３と規定し、特許請求の範囲の減縮を目的として、以下のように訂正するものである。
「【請求項３】ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドの製造方法であって、
　厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように接合し、ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程と、
　前記積層基板の両側の表面から、互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と、
　前記積層基板に形成された流路の内面に、電極層を形成する工程と、
　前記流路及び電極層が形成された前記積層基板の表面へ、基板を接合する工程とからなることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。」
５．訂正事項ｅ
　明細書の段落【００１０】を、明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【００１０】【課題を解決するための手段】本発明のインクジェエットヘッドはノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドであって、前記流路を形成する圧電物質は、２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように対称に積層することで構成され、２枚の圧電基板は厚み方向に貫通されており該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成しているとともに、前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることを特徴とする。」
６．訂正事項ｆ
　明細書の段落【００１１】の内容を、明りょうでない記載の釈明を目的として削除する。
７．訂正事項ｇ
　明細書の段落【００１２】を、明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【００１２】また、本発明による第２のインクジェットヘッドは、前記ベース基板が、前記圧電物質より誘電率の低い絶縁物質よりなることを特徴とする。」
８．訂正事項ｈ
　明細書の段落【００１３】を、明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【００１３】さらに、本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドの製造方法であって、厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように接合し、ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程と、前記積層基板の両側の表面から、互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と、前記積層基板に形成された流路の内面に、電極層を形成する工程と、前記流路及び電極層が形成された前記積層基板の表面へ、基板を接合する工程とからなることを特徴とする。」
９．訂正事項ｉ
　明細書の段落【００１８】、同【００１９】、同【００２１】、および同【００２２】中、「実施例」を明りょうでない記載の釈明を目的として「参考例」と訂正する。
１０．訂正事項ｊ
　明細書の段落【００２０】を明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【００２０】以後に説明する参考例、実施例においても、基本動作原理は同様である。」
１１．訂正事項ｋ
　明細書の段落【００２３】の第１行の「第４実施例」を明りょうでない記載の釈明を目的として「実施例」と訂正する。
１２．訂正事項ｌ
　明細書の段落【００２４】を明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【００２４】【発明の効果】本発明によれば、厚さ方向に分極された圧電基板同士を接合した後に流路を形成することが可能となるため、従来の如く一方の圧電基板と他方の圧電基板の流路の相対的位置合わせの必要がなく、且つ接着剤のはみ出しによって流路を塞ぐようなことがないため、相対位置精度の高い精密な流路を形成できることから、高密度、高ノズル数、そして信頼性の高いインクジェットヘッドを提供できるという効果を有する。」
１３．訂正事項ｍ
　明細書の段落【００２５】を明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【００２５】また、積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、流路が、積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることにより、圧力発生室となる流路を区画する側壁の圧電物質が、接合部に関して対称である構造を容易に形成できるという効果を有する。」
１４．訂正事項ｎ
　明細書の段落【図面の簡単な説明】を明りょうでない記載の釈明を目的として以下のように訂正する。
「【図面の簡単な説明】
　【図１】
インクジェットヘッド及びその製造方法の参考例を示す工程図。
　【図２】
同じく工程図。
　【図３】
同じく工程図。
　【図４】
同じく工程図。
　【図５】
参考例のインクジェットヘッドの作動原理説明図。
　【図６】
同じく作動原理説明図。
　【図７】
インクジェットヘッド及びその製造方法の参考例を示す工程図。
　【図８】
同じく工程図。
　【図９】
同じく工程図。
　【図１０】
インクジェットヘッド及びその製造方法の参考例を示す工程図。
　【図１１】
同じく工程図。
　【図１２】
同じく工程図。
　【図１３】
　本発明によるインクジェットヘッド及びその製造方法の実施例を示す工程図。
　【図１４】
同じく工程図。
　【図１５】
同じく工程図。
　【図１６】
従来のインクジェットヘッド及びその製造方法を示す工程図。
　【図１７】
同じく工程図。
　【図１８】
同じく工程図。
　【符号の説明】
　２ノズルプレート
　３ノズル
　５圧力発生室
　９インク供給手段
　２０、２１、２２、２３圧電基板
　２６ベース基板
　３０基板接合層
　３５流路
　３６側壁（変形部）
　４０電極層
　５０、５１分極方向」
（５４）【発明の名称】
インクジェットヘッド及びその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドであって、
　前記流路を形成する圧電物質は、２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように対称に積層することで構成され、
　２枚の圧電基板は厚み方向に貫通されており該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成しているとともに、
　前記積層された圧電基板がベース基板
の両側に
　
前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような
　【請求項２】
請求項１記載
　【請求項３】
　厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように
接合し、ベース基板の両側に積層して
　前記積層基板
の両側の表面から
、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで
　前記積層基板に形成された流路の内面に、電極層を形成する工程と、
　前記流路及び電極層が形成された前記積層基板の表面へ、基板を接合する工程とからなることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、インク液滴を画像記録媒体上へ選択的に付着させるインクジェットヘッドに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来のインクジェットヘッドの構造は、特開昭６３−２５２７５０号公報、あるいは特開昭６３−２４７０５１号公報に開示されてある。
　【０００３】
　これらのインクジェットヘッドは図１６に示すように、ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路２３５を有しており、これら流路は流路の長手方向及び長手方向とノズル並び方向の両方に垂直に伸びる側壁２３６により区画されている。これら流路の一端は複数のノズル３を有するノズルプレート２に接続され、他の一端はインクを各チャンネルに補充するインク供給手段２０９に接続されている。側壁２３６はその一部あるいは全体が圧電物質で構成され、電気的アクチュエート手段により剪断モードなどのアレイ方向に平行な変形を引き起こし、流路を圧力発生室５としてインクの圧力を変化させノズル３からインク滴を噴射させるものであった。また、その製造方法は、図１７に示すように、厚さ方向に分極された圧電セラミクス基板２２０上に平行な流路２３５を複数加工する工程と、図１８に示すように、隣接する流路２３５を区画する側壁２３６に、電極層２４０を流路ごとに形成する工程と、図１６に示すように、上記工程を施した圧電セラミクス基板からなる上部基板２２１と下部基板２２２を、両基板の流路同士が対向して重なり、上部基板の電極層２４１と下部基板の電極層２４２が両基板の表面部２４３で電気的に接続されるように、接合・固着して、圧力発生室５を形成する工程からなるものであった。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、上部基板と下部基板とに圧力発生室となる流路をそれぞれ加工し、各圧力発生室を区画する側壁に変形を引き起こすための電極層を形成した後、上部基板と下部基板をその流路が重なるように接合・固着する従来技術では、次のような問題点があった。
　【０００５】
（ｉ）両部材間の相対的位置精度を十分に高くしなければならない。
　【０００６】
（ｉｉ）接合・固着時に強度的に弱い側壁部の破壊が生じ易い。
　【０００７】
（ｉｉｉ）接合・固着時に接着材が流路を塞いでしまう。
　【０００８】
（ｉｖ）上部と下部の電極を接続しなければならない。
　【０００９】
　そこで本発明の課題は、これらの問題点を解決することで、その目的とするところは、流路及び電極を形成した上部基板と下部基板とを接合する必要性をなくすことにより、高密度、高ノズル数、そして信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することにある。
　【００１０】
　【課題を解決するための手段】
　本発明のインクジェットヘッドは、
ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドであって、
前記流路を形成する圧電物質は、２枚の厚さ方向に分極された圧電基板を接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように対称に積層することで構成され、２枚の圧電基板は厚み方向に貫通されており該圧電基板の厚み全体にわたって流路を形成しているとともに、前記積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、前記流路は前記積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることを特徴とする。
　【００１１】
　【００１２】
　また、本発明による第２のインクジェットヘッドは、前記ベース基板が、前記圧電物質より誘電率の低い絶縁物質よりなることを特徴とする。
　【００１３】
　さらに、本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、ノズルの並び方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を有し、これら流路の側壁の一部または全表面に電極が形成され、前記側壁はその一部または全体が圧電物質で構成され、この側壁の電気的アクチュエート手段による変形により前記流路内の圧力を変化させて、流路の一端に形成されたノズルからインク滴を噴射せしめるインクジェットヘッドの製造方法であって、厚さ方向に分極された圧電物質からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向が互いに反対方向となるように接合し、ベース基板の両側に積層して積層基板を形成する工程と、前記積層基板の両側の表面から、互いに間隔を有する多数の平行な流路を、ベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成する工程と、前記積層基板に形成された流路の内面に、電極層を形成する工程と、前記流路及び電極層が形成された前記積層基板の表面へ、基板を接合する工程とからなることを特徴とする。
　【００１４】
　【作用】
　本発明のインクジェットヘッドの上記の構成によれば、圧力発生室となる流路を区画する側壁を構成する圧電物質が、その接合部に関して対称に構成されるため、側壁の変形時に力学的に効率の良いアクチュエータを構成できる。また、ベース基板を圧電物質より誘電率の低い絶縁物質とすることで、各圧力発生室に形成される電極間の結合を押さえることができる。
　【００１５】
　また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法によれば、圧力発生室となる流路を区画する側壁が、圧電基板を接合した後に形成されるため、加工時に相対的位置精度が自動的に保証される。また、圧電基板の接着層が流路を塞ぐことがなく、しかも、接合・固着時の基板強度が高く十分な接着強度を確保できる。また、側壁が形成された後に電極層が形成されるため、圧力発生室内で電極層を結合する必要がない。
　【００１６】
　【実施例】
　本発明の実施例を以下で詳細に説明する。
　【００１７】
　以後の説明に用いる図面において、圧電材料内の矢印は分極方向を示す。
　【００１８】
（第１参考例）
　図１において、厚さ方向に分極されたチタン酸ジルコン酸鉛の圧電物質からなる、厚さ４００μｍの圧電基板２０と厚さ１ｍｍの圧電基板２１をその分極方向５０、５１が互いに反対方向であるようにポリイミドの基板接合層３０で接着し、積層基板１１を構成した。積層基板１１には、図２に示すように、ダイヤモンドカッティング円板を用いて深さ８００μｍ、幅１００μｍの平行溝を互いに平行に１６９μｍのピッチで多数加工し、多数の平行流路３５を形成した。カッティングを積層基板１１を構成する薄い圧電基板２０側から行ない、溝の深さを薄い圧電基板２０の厚さ４００μｍの２倍とすることにより、隣接する流路を区画する側壁である変形部３６が基板接合層３０に関して対称となるよう形成できる。
本参考例
　【００１９】
　次に、
本参考例
　【００２０】
　以後に説明する
参考例、
　【００２１】
（第２参考例）
　図７において、厚さ方向に分極されたチタン酸ジルコン酸鉛の圧電物質からなる、厚さ４００μｍの圧電基板２０、２２と厚さ１．５ｍｍの圧電基板２１をその分極方向５０、５１が接合面において互いに反対方向であるようにポリイミドの基板接合層３０で接着し、積層基板１３を構成した。積層基板１３には、図８に示すように、ダイヤモンドカッティング円板を用いて、積層基板１３の両面に深さ８００μｍ、幅１００μｍの平行溝を互いに平行に１６９μｍのピッチで、積層基板１３の両面で１／２ピッチ位置をずらして多数加工し、多数の平行流路３５を形成した。カッティング溝の深さを薄い圧電基板２０、２２の厚さ４００μｍの２倍とすることにより、隣接する流路を区画する側壁である変形部３６が基板接合層３０に関して対称となるよう形成できる。溝を形成した積層基板１１３には、図９に示すように、流路３５の内面に電極層４０を蒸着形成し、不要な電極部を除去した後、インク液密性を持つポリイミドのストリップシールからなる接合シール層４５を用いて、厚さ４００μｍのアルミナ基板２５を接合し、圧力発生室５を形成した。
　【００２２】
（第３参考例）
　図１０において、厚さ方向に分極されたチタン酸ジルコン酸鉛の圧電物質からなる、厚さ４００μｍの圧電基板２０、２３と厚さ６００μｍの圧電基板２１、２２をその分極方向５０、５１が接合面において互いに反対方向で、ベース基板であるアルミナ基板２６を挟んで対称になるようポリイミドの基板接合層３０で接着し、積層基板１４を構成した。積層基板１４には、図１１に示すように、ダイヤモンドカッティング円板を用いて、積層基板１４の両面に深さ８００μｍ、幅１００μｍの平行溝を互いに平行に１６９μｍのピッチで、積層基板１４の両面で１／２ピッチ位置をずらして多数加工し、多数の平行流路３５を形成した。溝を形成した積層基板１１４には、図１２に示すように、流路３５の内面に電極層４０を蒸着形成し、不要な電極部を除去した後、インク液密性を持つポリイミドのストリップシールからなる接合シール層４５を用いて、厚さ４００μｍのアルミナ基板２５を接合し、圧力発生室５を形成した。
本参考例
　【００２３】
（実施例）
　図１３において、厚さ方向に分極されたチタン酸ジルコン酸鉛の圧電物質からなる厚さの等しい圧電基板２０、２１、２２、２３とベース基板であるアルミナ基板２６とを、その分極方向５０、５１が圧電物質どうしの接合面において互いに反対方向であるようにポリイミドの基板接合層３０で接着し、積層基板１５を構成した。積層基板１５には、図１４に示すように、ダイヤモンドカッティング円板を用いて、アルミナ基板２６に達する深さに、積層基板１５の両面に平行溝を互いに平行に、積層基板１５の両面で１／２ピッチ位置をずらして多数加工し、多数の平行流路３５を形成した。互いに接合された圧電物質からなる圧電基板２０、２１、２２、２３の厚さを等しくし、圧電基板２０、２１、２２、２３の厚さにわたってカッティングすることにより、隣接する流路を区画する側壁の一部である変形部３６が基板接合層３０に関して対称となるよう形成できる。溝を形成した積層基板１１５には、図１５に示すように、流路の内面に電極層４０を蒸着形成し、不要な電極部を除去した後、インク液密性を持つポリイミドのストリップシールからなる接合シール層４５を用いてアルミナ基板２５を接合し、圧力発生室５を形成した。本実施例のような積層基板１１５の両側に圧力発生室５が形成される構成において、ベース基板２６の材料を圧電物質より十分に誘電率の低いアルミナとすることによって、ベース基板２６の両側の圧力発生室５間の電気的結合が小さくなり、クロストークを十分に小さくすることが可能となった。また、圧電物質が変形部３６にのみ使用されているため経済的で、強度と加工安定性をもたらす事ができた。また、圧力発生室５の体積変化量と独立に流路深さを設計できるため、流路抵抗設計の自由度が増え、最適化設計が容易となった。
　【００２４】
　【発明の効果】
　本発明によれば、厚さ方向に分極された圧電基板同士を接合した後に流路を形成することが可能となるため、従来の如く一方の圧電基板と他方の圧電基板の流路の相対的位置合わせの必要がなく、且つ接着剤のはみ出しによって流路を塞ぐようなことがないため、相対位置精度の高い精密な流路を形成できることから、高密度、高ノズル数、そして信頼性の高いインクジェットヘッドを提供できるという効果を有する。
　【００２５】
　また、積層された圧電基板がベース基板の両側に配置され、流路が、積層された圧電基板の表面からベース基板に到達し、ベース基板を削るような深さで形成されていることにより、圧力発生室となる流路を区画する側壁の圧電物質が、接合部に関して対称である構造を容易に形成できるという効果を有する。
　【００２６】
　さらに、ベース基板の材料を圧電物質より誘電率の低い絶縁物質とすることにより、各圧力発生室に形成される電極間の電気的結合を押さえることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　
インクジェットヘッド及びその製造方法の参考例を示す工程図。
　【図２】
　同じく工程図。
　【図３】
　同じく工程図。
　【図４】
　同じく工程図。
　【図５】
　
参考例のインクジェットヘッドの作動原理説明図。
　【図６】
　同じく作動原理説明図。
　【図７】
　
インクジェットヘッド及びその製造方法の参考例を示す工程図。
　【図８】
　同じく工程図。
　【図９】
　同じく工程図。
　【図１０】
　
インクジェットヘッド及びその製造方法の参考例を示す工程図。
　【図１１】
　同じく工程図。
　【図１２】
　同じく工程図。
　【図１３】
　本発明によるインクジェットヘッド及びその製造方法の
実施例
　【図１４】
　同じく工程図。
　【図１５】
　同じく工程図。
　【図１６】
　従来のインクジェットヘッド及びその製造方法を示す工程図。
　【図１７】
　同じく工程図。
　【図１８】
　同じく工程図。
　【符号の説明】
　２　ノズルプレート
　３　ノズル
　５　圧力発生室
　９　インク供給手段
　２０、２１、２２、２３　圧電基板
　２６　ベース基板
　３０　基板接合層
　３５　流路
　３６　側壁（変形部）
　４０　電極層
　５０、５１　分極方向