【手続補正書】
【提出日】平成26年12月9日(2014.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記方法は、
（ｉ．ｉ）上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で、上記試験試料を、上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素と接触させるステップと、
（ｉ．ｉｉ）上記第１の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
（ｉ．ｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第１の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｉｖ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第１の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｖ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の第１の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｖｉ）上記第１の電流及び上記第１の電圧に基づいて第１の抵抗値（ＲＢ）を計算するステップと、
（ｉ．ｖｉｉ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｖｉｉｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第２の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｉｘ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の第２の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘ）上記第２の電流及び上記第２の電圧に基づいて第２の抵抗値（ＲＢ’）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｉ）上記第１の抵抗値と上記第２の抵抗値との間の差に基づいて第１の抵抗差（ΔＲＢＢ’）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｘｉｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第２の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｘｉｖ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘｖ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（ＲＣ）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｖｉ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｘｖｉｉ）上記第３の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｘｖｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘｉｘ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（ＲＣ’）を計算するステップと、そして
（ｉ．ｘｘ）上記第３の抵抗値と上記第４の抵抗値との間の差に基づいて第２の抵抗差（ΔＲＣＣ’）を計算するステップと、そして
（ｉ．ｘｘｉ）上記第１の抵抗差、上記第２の抵抗差及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１のパラメータ、第２のパラメータ及び第３のパラメータを含む第１の関係（ｆ）を定義するステップと、そして
（ｉ．ｘｘｉｉ）上記第１の関係において上記第１のパラメータ及び上記第２のパラメータとして上記第１の抵抗差及び上記第２の抵抗差（ΔＲＢＢ’，ΔＲＣＣ’，ΔＲＢＢ’，２）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）を表す上記第３のパラメータを決定するステップとを備える方法。
【請求項２】
第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記方法は、
（ｉ．ｉ）上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で、上記試験試料を、上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素と接触させるステップと、
（ｉ．ｉｉ）上記第１の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
（ｉ．ｉｉｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第１の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｉｖ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第１の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｖ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の第１の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｖｉ）上記第１の電流及び上記第１の電圧に基づいて第１の抵抗値（ＲＢ）を計算するステップと、
（ｉ．ｖｉｉ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ．ｖｉｉｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第２の電流を測定するステップと、
（ｉ．ｉｘ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の第２の電圧を測定するステップと、
（ｉ．ｘ）上記第２の電流及び上記第２の電圧に基づいて第２の抵抗値（ＲＢ’）を計算するステップと、
（ｉ．ｘｉ）上記第１の抵抗値と上記第２の抵抗値との間の差に基づいて第１の抵抗差（ΔＲＢＢ’）を計算するステップとを備え、
上記マルチポイントプローブは複数個の接触要素を備え、上記複数個の接触要素は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、上記第４の接触要素及び１つ又はそれ以上の付加的な接触要素を備え、上記１つ又はそれ以上の付加的な接触要素のそれぞれは上記試験試料と電気的接触を確立する接触点を定義し、
上記方法は、
（ｉｉ．ｘｉｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第１の構成を定義し、上記複数の接触要素の第１の構成は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素から構成されるステップと、
（ｉｉ．ｘｉｉｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第２の構成を定義し、上記複数の接触要素の第２の構成は第５の接触要素、第６の接触要素、第７の接触要素及び第８の接触要素から構成され、上記複数の接触要素の第２の構成の少なくとも１つの接触要素は上記１つ又はそれ以上の付加的な接触要素の接触要素であるステップと、
（ｉｉ．ｘｉｖ）上記試験試料を上記複数の接触要素の第１の構成の上記複数の接触要素と接触させるのと同時に、上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で上記試験試料を上記複数の接触要素の第２の構成の上記複数の接触要素と接触させるステップと、
（ｉｉ．ｘｖ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、
（ｉｉ．ｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、
（ｉｉ．ｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、
（ｉｉ．ｘｖｉｉｉ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（ＲＢ，２）を計算するステップと、
（ｉｉ．ｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、
（ｉｉ．ｘｘ）上記第６の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、
（ｉｉ．ｘｘｉ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、
（ｉｉ．ｘｘｉｉ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（ＲＢ’，２）を計算するステップと、そして
（ｉｉ．ｘｘｉｉｉ）上記第３の抵抗値と上記第４の抵抗値との間の差に基づいて第２の抵抗差（ΔＲＢＢ’，２）を計算するステップと、そして
（ｉ．ｘｘｉ）上記第１の抵抗差、上記第２の抵抗差及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１のパラメータ、第２のパラメータ及び第３のパラメータを含む第１の関係（ｆ）を定義するステップと、そして
（ｉ．ｘｘｉｉ）上記第１の関係において上記第１のパラメータ及び上記第２のパラメータとして上記第１の抵抗差及び上記第２の抵抗差（ΔＲＢＢ’、ΔＲＣＣ’，ΔＲＢＢ’，２）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）を表す上記第３のパラメータを決定するステップとを備える方法。
【請求項３】
（ｉｉｉ．ｘｘｉｖ）上記第１の抵抗値（ＲＢ）及び上記第２の抵抗値（ＲＢ’）の第１の抵抗平均値
【数１】
2014503114.tif 000001
を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖ）上記第３の抵抗値（ＲＢ，２）及び上記第４の抵抗値（ＲＢ’，２）の第２の抵抗平均値
【数２】
2014503114.tif 000002
を計算するステップと、そして、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｉｘ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（ＲＡ，１）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｉｉ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（ＲＡ’，１）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｖ）上記第５の抵抗値（ＲＡ，１）及び上記第６の抵抗値（ＲＡ’，１）の第３の抵抗平均値
【数３】
2014503114.tif 000003
を計算するステップと、そして、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間に第７の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第７の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第７の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間の第７の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉｉｉ）上記第７の電流及び上記第７の電圧に基づいて第７の抵抗値（ＲＡ，２）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間に第８の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第８の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌ）上記第６の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第８の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間の第８の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｉ）上記第８の電流及び上記第８の電圧に基づいて第８の抵抗値（ＲＡ’，２）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｉｉ）上記第７の抵抗値（ＲＡ，２）及び上記第８の抵抗値（ＲＡ’，２）の第４の抵抗平均値
【数４】
2014503114.tif 000004
を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｖ）上記第１の抵抗平均値
【数５】
2014503114.tif 000005
と、上記第３の抵抗平均値
【数６】
2014503114.tif 000006
と、第１の擬似シート抵抗（ＲＰ，１）をそれぞれ表す第４のパラメータと、第５のパラメータと、第６のパラメータを含む第２の関係を定義するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖ）上記第２の関係において上記第４のパラメータ及び上記第５のパラメータとして上記第１の抵抗平均値
【数７】
2014503114.tif 000007
及び上記第３の抵抗平均値
【数８】
2014503114.tif 000008
をそれぞれ用いて、上記第１の擬似シート抵抗（ＲＰ，１）を表す上記第６のパラメータを決定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉ）上記第２の抵抗平均値
【数９】
2014503114.tif 000009
と、上記第４の抵抗平均値
【数１０】
2014503114.tif 000010
と、第２の擬似シート抵抗（ＲＰ，２）をそれぞれ表す第７のパラメータと、第８のパラメータと、第９のパラメータを含む第３の関係を定義するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉｉ）上記第３の関係において上記第７のパラメータ及び上記第８のパラメータとして上記第２の抵抗平均値
【数１１】
2014503114.tif 000011
及び上記第４の抵抗平均値
【数１２】
2014503114.tif 000012
をそれぞれ用いて、上記第２の擬似シート抵抗（ＲＰ，２）を表す上記第９のパラメータを決定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉｉｉ）上記第１の擬似シート抵抗（ＲＰ，１）、上記第２の擬似シート抵抗（ＲＰ，２）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１０のパラメータ、第１１のパラメータ及び第１２のパラメータを含む第４の関係（ｇＤ）を定義するステップと、そして、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｘ）上記第４の関係（ｇＤ）において上記第１０のパラメータ及び上記第１１のパラメータとして上記第１の擬似シート抵抗及び上記第２の擬似シート抵抗（ＲＰ，１，ＲＰ，２）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の付加的な距離（ｙ２）を表す上記第１２のパラメータを決定するステップとをさらに特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
（ｉｉｉ．ｘｘｉｖ）上記第１の抵抗値（ＲＢ）及び上記第２の抵抗値（ＲＢ’）の第１の抵抗平均値
【数１３】
2014503114.tif 000013
を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖ）上記第３の抵抗値（ＲＢ，２）及び上記第４の抵抗値（ＲＢ’，２）の第２の抵抗平均値
【数１４】
2014503114.tif 000014
を計算するステップと、そして、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｉｘ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（ＲＡ，１）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｉｉ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（ＲＡ’，１）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｖ）上記第５の抵抗値（ＲＡ，１）及び上記第６の抵抗値（ＲＡ’，１）の第３の抵抗平均値
【数１５】
2014503114.tif 000015
を計算するステップと、そして、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間に第７の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第７の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第７の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間の第７の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｖｉｉｉ）上記第７の電流及び上記第７の電圧に基づいて第７の抵抗値（ＲＡ，２）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｘｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間に第８の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第８の電流を発生させるステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌ）上記第６の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第８の電流を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間の第８の電圧を測定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｉ）上記第８の電流及び上記第８の電圧に基づいて第８の抵抗値（ＲＡ’，２）を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｉｉ）上記第７の抵抗値（ＲＡ，２）及び上記第８の抵抗値（ＲＡ’，２）の第４の抵抗平均値
【数１６】
2014503114.tif 000016
を計算するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｉｖ）上記第１の抵抗平均値
【数１７】
2014503114.tif 000017
と、上記第３の抵抗平均値
【数１８】
2014503114.tif 000018
と、第１の擬似シート抵抗（ＲＰ，１）をそれぞれ表す第４のパラメータと、第５のパラメータと、第６のパラメータを含む第２の関係を定義するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖ）上記第２の関係において上記第４のパラメータ及び上記第５のパラメータとして上記第１の抵抗平均値
【数１９】
2014503114.tif 000019
及び上記第３の抵抗平均値
【数２０】
2014503114.tif 000020
をそれぞれ用いて、上記第１の擬似シート抵抗（ＲＰ，１）を表す上記第６のパラメータを決定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉ）上記第２の抵抗平均値
【数２１】
2014503114.tif 000021
と、上記第４の抵抗平均値
【数２２】
2014503114.tif 000022
と、第２の擬似シート抵抗（ＲＰ，２）をそれぞれ表す第７のパラメータと、第８のパラメータと、第９のパラメータを含む第３の関係を定義するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉｉ）上記第３の関係において上記第７のパラメータ及び上記第８のパラメータとして上記第２の抵抗平均値
【数２３】
2014503114.tif 000023
及び上記第４の抵抗平均値
【数２４】
2014503114.tif 000024
をそれぞれ用いて、上記第２の擬似シート抵抗（ＲＰ，２）を表す上記第９のパラメータを決定するステップと、
（ｉｉｉ．ｘｌｖｉｉｉ）上記第１の擬似シート抵抗（ＲＰ，１）、上記第２の擬似シート抵抗（ＲＰ，２）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１０のパラメータ、第１１のパラメータ及び第１２のパラメータを含む第４の関係（ｇＤ）を定義するステップとをさらに備え、
上記第２の構成の上記複数の接触要素は上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の付加的な距離（ｙ２）を表し、上記第１の関係（ｆＤ）は上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離を表す第１３のパラメータをさらに含み、上記第４の関係（ｇＤ）は上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離を表す第１４のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｉｖ．ｘｌｉｘ）上記第４の関係（ｇＤ）において上記第１０のパラメータ及び上記第１１のパラメータとして上記第１の擬似シート抵抗及び上記第２の擬似シート抵抗（ＲＰ，１，ＲＰ，２）をそれぞれ用いて、上記距離（ｙ）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離（ｙ２）をそれぞれ表す上記第１３のパラメータ及び上記第１４のパラメータを同時に決定するステップをさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項５】
複数個の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記複数個の接触要素は第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素、第４の接触要素及び１つ又はそれ以上の付加的な接触要素を備え、上記方法は、
（ｖ．ｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第１の構成を定義し、上記複数の接触要素の第１の構成は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素及び上記第４の接触要素から構成されるステップと、
（ｖ．ｉｉ）上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第２の構成を定義し、上記複数の接触要素の第２の構成は第５の接触要素、第６の接触要素、第７の接触要素及び第８の接触要素から構成され、上記複数の接触要素の第２の構成の少なくとも１つの接触要素は上記１つ又はそれ以上の付加的な接触要素の接触要素であるステップと、
（ｖ．ｉｉｉ−ｉｖ）上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置で、上記試験試料を、上記複数の接触要素の第１の構成及び上記複数の接触要素の第２の構成の上記複数の接触要素と接触させるステップと、
（ｖ．ｖ）上記第１の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
（ｖ．ｖｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第１の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第１の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の第１の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｉｘ）上記第１の電流及び上記第１の電圧に基づいて第１の抵抗値（ＲＢ）を計算するステップと、
（ｖ．ｘ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第２の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第２の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の第２の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｉｉｉ）上記第２の電流及び上記第２の電圧に基づいて第２の抵抗値（ＲＢ’）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｉｖ）上記第１の抵抗値（ＲＢ）及び上記第２の抵抗値（ＲＢ’）の第１の抵抗平均値
【数２５】
2014503114.tif 000025
を計算するステップと、
（ｖ．ｘｖ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間に第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第３の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第３の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間の第３の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｖｉｉｉ）上記第３の電流及び上記第３の電圧に基づいて第３の抵抗値（ＲＢ，２）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第８の接触要素の間に第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第４の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｘ）上記第６の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第４の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｉ）上記第５の接触要素と上記第７の接触要素の間の第４の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｉｉ）上記第４の電流及び上記第４の電圧に基づいて第４の抵抗値（ＲＢ’，２）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｘｖ）上記第３の抵抗値（ＲＢ，２）及び上記第４の抵抗値（ＲＢ’，２）の第２の抵抗平均値
【数２６】
2014503114.tif 000026
を計算するステップと、そして、
（ｖ．ｘｘｖｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第５の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｘｖｉｉ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記第５の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｖｉｉｉ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の第５の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｉｘ）上記第５の電流及び上記第５の電圧に基づいて第５の抵抗値（ＲＡ，１）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｘｘ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第６の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記第６の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉｉ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の第６の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉｉｉ）上記第６の電流及び上記第６の電圧に基づいて第６の抵抗値（ＲＡ’，１）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉｖ）上記第５の抵抗値（ＲＡ，１）及び上記第６の抵抗値（ＲＡ’，１）の第３の抵抗平均値
【数２７】
2014503114.tif 000027
を計算するステップと、そして、
（ｖ．ｘｘｘｖ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間に第７の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第７の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｘｘｖｉ）上記第５の接触要素又は上記第８の接触要素を流れる上記第７の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｖｉｉ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間の第７の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｖｉｉｉ）上記第７の電流及び上記第７の電圧に基づいて第７の抵抗値（ＲＡ，２）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｘｘｉｘ）上記第６の接触要素と上記第７の接触要素の間に第８の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において第８の電流を発生させるステップと、
（ｖ．ｘｌ）上記第６の接触要素又は上記第７の接触要素を流れる上記第８の電流を測定するステップと、
（ｖ．ｘｌｉ）上記第５の接触要素と上記第８の接触要素の間の第８の電圧を測定するステップと、
（ｖ．ｘｌｉｉ）上記第８の電流及び上記第８の電圧に基づいて第８の抵抗値（ＲＡ’，２）を計算するステップと、
（ｖ．ｘｌｉｉｉ）上記第７の抵抗値（ＲＡ，２）及び上記第８の抵抗値（ＲＡ’，２）の第４の抵抗平均値
【数２８】
2014503114.tif 000028
を計算するステップと、
（ｖ．ｘｌｉｖ）上記第１の抵抗平均値
【数２９】
2014503114.tif 000029
と、上記第３の抵抗平均値
【数３０】
2014503114.tif 000030
と、第１の擬似シート抵抗（ＲＰ，１）をそれぞれ表す第４のパラメータと、第５のパラメータと、第６のパラメータを含む第２の関係を定義するステップと、
（ｖ．ｘｌｖ）上記第２の関係において上記第４のパラメータ及び上記第５のパラメータとして上記第１の抵抗平均値
【数３１】
2014503114.tif 000031
及び上記第３の抵抗平均値
【数３２】
2014503114.tif 000032
をそれぞれ用いて、上記第１の擬似シート抵抗（ＲＰ，１）を表す上記第６のパラメータを決定するステップと、
（ｖ．ｘｌｖｉ）上記第２の抵抗平均値
【数３３】
2014503114.tif 000033
と、上記第４の抵抗平均値
【数３４】
2014503114.tif 000034
と、第２の擬似シート抵抗（ＲＰ，２）をそれぞれ表す第７のパラメータと、第８のパラメータと、第９のパラメータを含む第３の関係を定義するステップと、
（ｖ．ｘｌｖｉｉ）上記第３の関係において上記第７のパラメータ及び上記第８のパラメータとして上記第２の抵抗平均値
【数３５】
2014503114.tif 000035
及び上記第４の抵抗平均値
【数３６】
2014503114.tif 000036
をそれぞれ用いて、上記第２の擬似シート抵抗（ＲＰ，２）を表す上記第９のパラメータを決定するステップと、
（ｖ．ｘｌｖｉｉｉ）上記第１の擬似シート抵抗（ＲＰ，１）、上記第２の擬似シート抵抗（ＲＰ，２）及び上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第１０のパラメータ、第１１のパラメータ及び第１２のパラメータを含む第４の関係（ｇＤ）を定義するステップと、そして、
（ｖ．ｘｌｉｘ）上記第４の関係（ｇＤ）において上記第１０のパラメータ及び上記第１１のパラメータとして上記第１の擬似シート抵抗及び上記第２の擬似シート抵抗（ＲＰ，１，ＲＰ，２）をそれぞれ用いて、上記第１の位置と上記電気的境界との間の上記距離（ｙ）の値を表す上記第１２のパラメータを決定するステップとを備える方法。
【請求項６】
試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する方法であって、上記電気的に導通する面部は電気的境界を有し、上記方法は、
（ａ）請求項１に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の距離（ｙ）を決定するステップと、
（ｂ）上記電気的特性及び上記距離（ｙ）を表す第１５のパラメータを含む第５の関係を定義するステップと、
（ｃ）上記第５の関係における上記第１５のパラメータとして上記距離（ｙ）を用いて上記電気的特性を決定するステップとを備える方法。
【請求項７】
試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する方法であって、上記電気的に導通する面部は電気的境界を有し、上記方法は、
（ａ）請求項２〜５のうちのいずれか一項に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第１の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の付加的な距離（ｙ２）を決定するステップと、
（ｂ）上記電気的特性及び上記付加的な距離（ｙ２）を表す第１５のパラメータを含む第５の関係を定義するステップと、
（ｃ）上記第５の関係における上記第１５のパラメータとして上記付加的な距離（ｙ２）を用いて上記電気的特性を決定するステップとを備える方法。
【請求項８】
上記第５の関係は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、及び／又は、上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔をさらに含み、
（ｂ’）上記第５の関係の定義において、上記第５の関係は上記第１の接触要素、上記第２の接触要素、上記第３の接触要素、及び／又は、上記第４の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す第１６のパラメータをさらに含み、
（ｃ’）上記電気的特性の決定において、上記間隔は、上記第１の距離（ｙ）又は付加的な距離（ｙ２）に加えて、上記第５の関係における上記第１６のパラメータとして用いられることを特徴とする請求項６又は７に記載の方法。
【請求項９】
上記電気的特性はホールシート抵抗（ＲＨ）であり、上記第５の関係（ｆ１，ｆ２）は付加的な第１の抵抗差（ΔＲＢＢ’）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第１の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第１の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第１の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第１の電流及び上記付加的な第１の電圧に基づいて付加的な第１の抵抗値（ＲＢ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第１の抵抗値（ＲＢ）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗値（ＲＢ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第２の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第２の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第２の電流及び上記付加的な第２の電圧に基づいて付加的な第２の抵抗値（ＲＢ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第２の抵抗値（ＲＢ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗値（ＲＢ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第１の抵抗値と上記付加的な第２の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲＢＢ’）を計算するステップ、又は
（ｌ’）上記付加的な第１の抵抗差（ΔＲＢＢ’）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗差（ΔＲＢＢ’）を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項６〜８のうちのいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
上記電気的特性はホールシート抵抗（ＲＨ）であり、
上記第５の関係（ｆ２，ｆ３）は付加的な第２の抵抗差（ΔＲＣＣ’）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間に付加的な第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第３の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第２の接触要素を流れる上記付加的な第３の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第３の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第３の電流及び上記付加的な第３の電圧に基づいて付加的な第３の抵抗値（ＲＣ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第３の抵抗値（ＲＣ）として上記距離の上記決定から上記第３の抵抗値（ＲＣ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第４の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第３の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第４の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間の付加的な第４の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第４の電流及び上記付加的な第４の電圧に基づいて付加的な第４の抵抗値（ＲＣ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第４の抵抗値（ＲＣ’）として上記距離の上記決定から上記第４の抵抗値（ＲＣ’）を保持するステップと、そして、
（ｌ）上記付加的な第３の抵抗値と上記付加的な第４の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第２の抵抗差（ΔＲＣＣ’）を計算するステップ、又は
（ｌ’）上記付加的な第２の抵抗差（ΔＲＣＣ’）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗差（ΔＲＣＣ’）を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項６又は８に記載の方法。
【請求項１１】
上記電気的特性はホールシート抵抗（ＲＨ）であり、
上記第５の関係（ｆ２，ｆ３）は付加的な第２の抵抗差（ΔＲＣＣ’）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間に付加的な第３の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第３の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第２の接触要素を流れる上記付加的な第３の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第３の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第３の電流及び上記付加的な第３の電圧に基づいて付加的な第３の抵抗値（ＲＣ）を計算するステップと、
（ｈ）上記第３の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第４の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第４の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第３の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第４の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第２の接触要素の間の付加的な第４の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第４の電流及び上記付加的な第４の電圧に基づいて付加的な第４の抵抗値（ＲＣ’）を計算するステップと、
（ｌ）上記付加的な第３の抵抗値と上記付加的な第４の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第２の抵抗差（ΔＲＣＣ’）を計算するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項８又は９に記載の方法。
【請求項１２】
上記電気的特性はホールシート抵抗（ＲＨ）であり、上記第５の関係（ｆ１）は付加的な第３の抵抗差（ΔＲＡＡ’）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第５の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第５の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第５の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第５の電流及び上記付加的な第５の電圧に基づいて付加的な第５の抵抗値（ＲＡ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第５の抵抗値（ＲＡ）として上記距離の上記決定から上記第５の抵抗値（ＲＡ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第６の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第６の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第６の電圧を測定するステップと、
（ｋ）上記付加的な第６の電流及び上記付加的な第６の電圧に基づいて付加的な第６の抵抗値（ＲＡ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第５の抵抗値（ＲＡ’）として上記距離の上記決定から上記第６の抵抗値（ＲＡ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第５の抵抗値と上記付加的な第６の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲＡＡ’）を計算するステップ、又は
（ｌ’）上記付加的な第３の抵抗差（ΔＲＡＡ’）として上記距離の上記決定から上記第３の抵抗差（ΔＲＡＡ’）を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項６又は７に記載の方法。
【請求項１３】
上記電気的特性はシート抵抗（Ｒ０）であり、上記第５の関係（ｇ）は擬似シート抵抗（ＲＰ）を表す第１７のパラメータをさらに含み、上記方法は、
（ｄ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第５の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第５の電流を発生させるステップと、
（ｅ）上記第１の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第５の電流を測定するステップと、
（ｆ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第５の電圧を測定するステップと、
（ｇ）上記付加的な第５の電流及び上記付加的な第５の電圧に基づいて付加的な第５の抵抗値（ＲＡ）を計算するステップ、又は
（ｇ’）付加的な第５の抵抗値（ＲＡ）として上記距離の上記決定から上記第５の抵抗値（ＲＡ）を保持するステップと、
（ｈ）上記第２の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第６の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第６の電流を発生させるステップと、
（ｉ）上記第２の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第６の電流を測定するステップと、
（ｊ）上記第１の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第６の電圧を測定するステップと、
（ｋ）付加的な第６の電流及び上記付加的な第６の電圧に基づいて付加的な第６の抵抗値（ＲＡ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’）付加的な第５の抵抗値（ＲＡ’）として上記距離の上記決定から上記第６の抵抗値（ＲＡ’）を保持するステップと、
（ｌ）上記付加的な第５の抵抗値（ＲＡ）及び上記付加的な第６の抵抗値（ＲＡ’）の第５の抵抗平均値
【数３７】
2014503114.tif 000037
を計算するステップと、
（ｄ’’）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間に付加的な第１の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第１の電流を発生させるステップと、
（ｅ’’）上記第１の接触要素又は上記第３の接触要素を流れる上記付加的な第１の電流を測定するステップと、
（ｆ’’）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間の付加的な第１の電圧を測定するステップと、
（ｇ’’）上記付加的な第１の電流及び上記付加的な第１の電圧に基づいて付加的な第１の抵抗値（ＲＢ）を計算するステップ、又は
（ｇ’’’）付加的な第１の抵抗値（ＲＢ）として上記距離の上記決定から上記第１の抵抗値（ＲＢ）を保持するステップと、
（ｈ’’）上記第２の接触要素と上記第４の接触要素の間に付加的な第２の電位を印加して上記第１の位置で上記面部において付加的な第２の電流を発生させるステップと、
（ｉ’’）上記第２の接触要素又は上記第４の接触要素を流れる上記付加的な第２の電流を測定するステップと、
（ｊ’’）上記第１の接触要素と上記第３の接触要素の間の付加的な第２の電圧を測定するステップと、
（ｋ’’）上記付加的な第２の電流及び上記付加的な第２の電圧に基づいて付加的な第２の抵抗値（ＲＢ’）を計算するステップ、又は
（ｋ’’’）付加的な第２の抵抗値（Ｒ’Ｂ）として上記距離の上記決定から上記第２の抵抗値（ＲＢ’）を保持するステップと、
（ｌ’’）上記付加的な第１の抵抗値（ＲＢ）及び上記付加的な第２の抵抗値（ＲＢ’）の第６の抵抗平均値
【数３８】
2014503114.tif 000038
を計算するステップと、そして、
（ｍ）上記第５の抵抗平均値
【数３９】
2014503114.tif 000039
と、上記第６の抵抗平均値
【数４０】
2014503114.tif 000040
と、上記擬似シート抵抗（ＲＰ）とをそれぞれ表す第１８のパラメータと、第１９のパラメータと、第２０のパラメータとを含む第６の関係を定義するステップと、
（ｎ）上記第６の関係において上記第１８のパラメータ及び上記第１９のパラメータとして上記第５の抵抗平均値
【数４１】
2014503114.tif 000041
及び上記第６の抵抗平均値
【数４２】
2014503114.tif 000042
をそれぞれ用いて、上記擬似シート抵抗（ＲＰ）を決定するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項６〜８のうちのいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する装置であって、上記装置は、
第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチポイントプローブと、
請求項１〜５のうちのいずれか一項に記載の距離又は付加的な距離を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。
【請求項１５】
試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する装置であって、
第１の接触要素、第２の接触要素、第３の接触要素及び第４の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチポイントプローブと、
請求項６〜１３のうちのいずれか一項に記載の試験試料の電気的に導通する面部上の第１の位置で電気的特性を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。