【事件の表示】
　特許第３０４４７２９号「インクジェットヘッド」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０４４７２９号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第３０４４７２９号は、平成２年２月１５日に出願され、平成１２年３月１７日にその特許権の設定登録がなされたところ、林清美より特許異議の申立てがなされたものであり、その後、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年４月９日に訂正請求がなされたものである。
　
II．訂正の適否についての判断
１．訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のＡ、Ｂのとおりである。
Ａ．特許請求の範囲の請求項１、２を、
「【請求項１】インク滴を吐出する複数のノズル開口が形成されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズルプレートは、複数の円形穴が形成された板状部材と、この円形穴の穴径よりも小さく、かつこの円形穴に対応する位置に形成された複数の穴を有する高分子樹脂フィルム状部材とを積層して形成され、前記ノズル開口における前記板状部材と前記フィルム状部材の接合部に段差を有するとともに、前記板状部材のインク供給側の穴径がインク吐出側の穴径よりも大きいことを特徴とするインクジェットヘッド。」と訂正する。
　
Ｂ．明細書第３頁第６〜１６行（特許公報第３欄第１２〜２２行）の、
「本発明のインクジェットヘッドは・・・・・特徴とする。」との記載を、
「本発明のインクジェットヘッドは、インク滴を吐出する複数のノズル開口が形成されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記ノズルプレートは、複数の円形穴が形成された板状部材と、この円形穴の穴径よりも小さく、かつこの円形穴に対応する位置に形成された複数の穴を有する高分子樹脂フィルム状部材とを積層して形成され、前記ノズル開口における前記板状部材と前記フィルム状部材の接合部に段差を有するとともに前記板状部材のインク供給側の穴径がインク吐出側の穴径よりも大きいことを特徴とする特徴とする。」
と訂正する。
　
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　訂正事項Ａは、請求項１において、板状部材の穴を、板状部材のインク供給側の穴径がインク吐出側の穴径よりも大きいものに特定するとともに、請求項２を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　また、訂正事項Ａは、願書に添付された明細書の第６頁第２〜７行（特許公報第４欄第１２〜１６行）に「又、インク供給側の穴径をインク吐出側よりも大きくとる事により、インク流路抵抗を増大させる事なくノズルプレートが実現でき、さらにインク吐出側の穴径を精度良く作れる為インク飛翔時の特性を向上させる事が出来る。」の記載及び図３により、支持されているから、この訂正は、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内の訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項Ｂは、特許請求の範囲の訂正に伴って生じた記載上の不整合部分を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　また、この訂正は、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内の訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
III．本件発明
　上記のとおり、本件明細書の訂正は認められるから、本件請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、訂正請求書に添付された全文訂正明細書及び図面からみて、その特許請求の範囲の請求項に記載され以下のとおりのものである。
「【請求項１】インク滴を吐出する複数のノズル開口が形成されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズルプレートは、複数の円形穴が形成された板状部材と、この円形穴の穴径よりも小さく、かつこの円形穴に対応する位置に形成された複数の穴を有する高分子樹脂フィルム状部材とを積層して形成され、前記ノズル開口における前記板状部材と前記フィルム状部材の接合部に段差を有するとともに、前記板状部材のインク供給側の穴径がインク吐出側の穴径よりも大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。」
　
IＶ．引用文献等及びその記載事項
　先の取消理由通知において引用した、特開昭５７−２０８２５０号公報（以下、「刊行物１」という。）及び、特開昭５７−７２８６６号公報（以下、「刊行物２」という。）には、以下の事項が記載されている。
（刊行物１）
(1a)．「ａ、パンチプレス法により、金属シートにその深さが少なくとも該シートの厚みに達し、その底から上方に向かって単葉双曲面的広がりをもつ凹部を形成し、ついで該シートの裏面側に突出した凸部を研削除去して微細孔を有するオリフィスバックシートを得る工程、ｂ、パンチプレス法により、金属シートに上記バックシートの微細孔の最小直径に等しいかそれよりやゝ小さい微細孔を形成し、ついで該シートの裏側に突出したバリを研削除去してオリフィスシートを得る工程、および、ｃ、上記両シートの微細孔を位置合わせして両シートを拡散溶接により積層一体化する工程とからなることを特徴とするインクジェットノズルの製作方法。」（特許請求の範囲）
(1b)．「インクジェットノズルから噴出されるインクジェットは乱流のない層流状態とすることが望ましく、そのためこのインクジェットノズルは、ノズル先端部に一定直径のストレート部を有し、後方に向って単葉双曲面的な広がりをもつ形状が理想的なものと考えられている。」（第１頁右下欄第１０〜１５行）
(1c)．「従来法のように単一プレートにノズルを形成するのではなく２枚の金属シートを積層一体化することによって所望の形状を有するインクジェットノズルを形成しようとするものである。」（第２頁右下欄第２〜５行）
(1d)．「上述のようにして得られたオリフィスバックシート１とオリフィスシート１１とは、第４図に示すように、それぞれ微細孔２および１２を位置合せした上で、従来公知の拡散溶接法によって、積層一体化して本発明のインクジェットノズルの製作方法は完了する。・・・・・通常インクジェットプリンタのヘッドにおけるインクジェットノズルは、複数個設けられているものであって、・・・・・本発明においてはバツクシートの微細孔２の最小径ｄ１に対して、オリフィスシートの微細孔１２の孔径ｄ３を１〜２μｍ小さく形成して上記位置合せを容易なものとすることが望ましく」（第３頁右下欄第１４行〜第４頁左上欄第１６行）
(1e)．インクジェットノズルの形状を示す断面図である第４図には、オリフィスバックシート１とオリフィスシート１１との接合部に段差がある状態が図示されている。
　
　これらの記載からみて、刊行物１には、次の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されているといえる。
「インクジェットプリンタのヘッドにおけるインクジェットノズルとして、シートの一方の面から他方の面に向けて単葉双曲面的広がりをもつ微細孔を有するオリフィスバックシートとオリフィスバックシートの微細孔の最小直径よりやや小さい一定直径の微細孔を有するオリフィスシートとを、両シートの微細孔を位置合わせして、接合部に段差がある状態で拡散溶接により積層一体化して形成したインクジェットノズルが、複数個設けられたインクジェットプリンタのヘッド。」
　
（刊行物２）
(2a)．「インク流またはインク小滴形成の安定性には種々の要因が関係するが特にインク噴出口形成面のインク噴出側における前記形成面へのインクの濡れが問題となる。インク噴出口から前記形成面への濡れが生ずるとインクの噴出方向が変えられたり、著しい場合にはインクの滴化が不可能となり、記録品質の劣化あるいは記録不可能となる。・・・・・また、平面にインク噴出口を有する構造は、多数のインク噴出口を高密度に配置するのに適している。しかし実用上、数１０μｍのインク噴出口を数１００μｍピッチで形成する必要があり、その形成はかなり困難である。本提案者はこのような問題を解決する、インクジェット記録用ヘッドを提案している。（総研−1379Z071）第１図はそのインク噴出口周辺の概略説明図である。端面にインク通路となる櫛歯状溝を設けた薄板(1)と平板Ａ(2)と平板Ｂ(3)を一体に接着する。独立したインク通路(4)が形成されている端面にフツ素樹脂シート(5)を接着し、フオトレジストをコートした後、インク通路口(4)に合せてインク噴出口(6)をパターニングする。パターニングされたフツ素樹脂シートを酸素雰囲気下でプラズマによりドライエッチングし、インク噴出口を開口させた後、フオトレジストを除去する。このように得られたヘッドはインク噴出口のサイズ、ピッチの精度に優れ、またフツ素樹脂の効果によりインク噴出口周辺の撥水性にも優れている。」（第１頁左下欄下から第３行〜２頁左上欄第１４行）
(2b)．「80μｍ径の貫通孔(24)を１２ケ有する５μ厚の金メッキ処理された厚さ60μｍの銅板(25)をインク通路(23)と貫通孔(24)を対向させて、加圧、加熱下で圧着一体化した。この銅板(25)の外側面に１２．５μ厚のフッ素樹脂であるＦＥＰ（商品名、DuPont社）シート(26)を熱融着した。このシート(26)に貫通孔(24)に対向させて貫通孔(27)をドライエッチングにより設けた。」（第２頁左下欄第６行〜第１３行）
　
Ｖ．対比・判断
　本件発明と刊行物１発明とを対比すると、刊行物１発明の「オリフィスバックシート」、「オリフィスシート」、「オリフィスバックシートとオリフィスシートを積層したもの」、「インクジェットノズル」は、それぞれ本件発明の「板状部材」、「フィルム状部材」、「ノズルプレート」、「インク滴を吐出するノズル開口」に相当し、また、刊行物１発明の「その底から上方に向かって単葉双曲面的広がりをもつ微細孔を有する」とは、本件発明の「板状部材のインク供給側の穴径がインク吐出側の穴径よりも大きい」ことの一種であるから、両者は、以下の点で一致、あるいは、相違する。
（一致点）
「インク供給側の穴径がインク吐出側の穴径よりも大きい複数の円形穴が形成された板状部材（オリフィスバックシート）と、この円形穴の穴径よりも小さく、かつこの円形穴に対応する位置に形成された複数の穴を有するフィルム状部材（オリフィスシート）とを積層して形成され、ノズル開口における前記板状部材と前記フィルム状部材の接合部に段差を有するとともに、インク滴を吐出する複数のノズル開口（インクジェットノズル）が形成されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッド」
（相違点）
　板状部材（オリフィスバックシート）と積層するオリフイスシート（フィルム状部材）として、本件発明は、「高分子樹脂フィルム状部材」としているのに対し、刊行物１発明が、「金属シート」としている点。
　
そこで、相違点について検討する。
　刊行物２の従来技術の説明として、インクヘッドのインク噴出口周辺の撥水性を向上するために、フッ素樹脂シート（高分子樹脂フィルム状部材の一種）を用いることが記載されている（摘記事項(2a)参照）ように、高分子樹脂フィルムをインクヘッドのインク噴出口が形成される最外表面となる部材として用いることは従来より知られているし、また、刊行物２には、該高分子樹脂フィルムは、金属よりなる支持部材に融着により接着した実例が記載される（摘記事項(2b)参照）ように、高分子フィルムを、金属材料よりなるものと積層（接着）することも従来より知られているものと認められる。
　してみると、刊行物１に記載の、金属シートよりなるオリフィスシート（フィルム状部材）をオリフィスバックシート（板状部材）に積層するものにおいて、オリフィスシート（フィルム状部材）として、金属シートよりなるものに代えて、刊行物２等により、金属材料よりなるものと積層（接着）して用いることが知られている高分子樹脂フィルムよりなるものとすることに当業者が格別の創意を要したものとすることはできない。
　なお、特許権者は、平成１３年４月９日付けの意見書において、刊行物２には穴径精度向上のために樹脂を用いることが好適であることを示す記載は一切ないから、刊行物２のノズル形成部材を刊行物３の樹脂とすることで本件発明に想到する動機付けとはならない旨主張しているので、この主張について検討すると、刊行物２には、従来技術の説明で、「平面にインク噴出口を有する構造は・・・その形成はかなり困難である。本提案者はこのような問題を解決する、インクジェット記録用ヘッドを提案している。」とし、「独立したインク通路(4)が形成されている端面にフツ素樹脂シート(5)を接着し、フオトレジストをコートした後、インク通路口(4)に合せてインク噴出口(6)をパターニングする。パターニングされたフツ素樹脂シートを酸素雰囲気下でプラズマによりドライエッチングし、インク噴出口を開口させた後、フオトレジストを除去する。このように得られたヘッドはインク噴出口のサイズ、ピッチの精度に優れ、またフツ素樹脂の効果によりインク噴出口周辺の撥水性にも優れている。」（摘記事項(2a)参照）と記載されている。
　すなわち、「噴出口のサイズ、ピッチの精度」は、「穴径精度」に相当するから、刊行物２には、フツ素樹脂シート（高分子樹脂フィルム）を用いることで、穴径精度に優れたインク噴出口を形成できることが記載（少なくとも示唆）されている。
　そうすると、刊行物２には穴径精度向上のために樹脂を用いることが好適であることを示す記載は一切ないことを前提とする、上記特許権者の主張を採用することができない。
　そして、刊行物１に記載のオリフィスシート（フィルム状部材）として、金属シートよりなるものに代えて、高分子樹脂フィルムよりなるものとしたことによる、穴を設ける場合に、穴径精度よく設けることが可能であるという、特許権者が主張する本件の効果も、上記刊行物２の記載等から、当業者が容易に予期し得る程度のものと認められる。
　
（３）むすび
　したがって、本件発明は、上記刊行物２及び３記載の発明に基いて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものである。
　よって、本件発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　
ＶI．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明に係る特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものである。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の一部の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第１項及び第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年４月２５日（２００３．４．２５）
【訂正の要旨】
訂正事項
ｉ．特許請求の範囲の減縮を目的として請求項１を
「【請求項１】インク滴を吐出する複数のノズル開口が形成されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズルプレートは、複数の円形穴が形成された板状部材と、この円形穴の穴径よりも小さく、かつこの円形穴に対応する位置に形成された複数の穴を有する高分子樹脂フィルム状部材とを積層して形成され、前記ノズル開口における前記板状部材と前記フィルム状部材の接合部に段差を
有するとともに、前記板状部材のインク供給側の穴径がインク吐出側の穴径よりも大きいことを特徴とする
と訂正する。
ｉｉ．特許請求の範囲の記載と明細書の発明の詳細な説明との整合を図るため、明瞭でない記載の釈明として、
▲１▼明細書第３ページ６行目から１６行目（特許公報第３欄１２行目から同欄２２行目）「本発明のインクジェットヘッドは…特徴とする。」を次のように訂正する。
「本発明のインクジェットヘッドは、インク滴を吐出する複数のノズル開口が形成されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記ノズルプレートは、複数の円形穴が形成された板状部材と、この円形穴の穴径よりも小さく、かつこの円形穴に対応する位置に形成された複数の穴を有する高分子樹脂フィルム状部材とを積層して形成され、前記ノズル開口における前記板状部材と前記フィルム状部材の接合部に段差を有するとともに前記板状部材のインク供給側の穴径がインク吐出側の穴径よりも大きいことを特徴とする。」
（５４）【発明の名称】
インクジェットヘッド
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】インク滴を吐出する複数のノズル開口が形成されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズルプレートは、複数の円形穴が形成された板状部材と、この円形穴の穴径よりも小さく、かつこの円形穴に対応する位置に形成された複数の穴を有する高分子樹脂フィルム状部材とを積層して形成され、前記ノズル開口における前記板状部材と前記フィルム状部材の接合部に段差を
有するとともに、前記板状部材のインク供給側の穴径がインク吐出側の穴径よりも大きいことを特徴とする
【発明の詳細な説明】
　［産業上の利用分野］
　本発明はインクジェット記録を行うインクジェット記録ヘッドに関するもので、特にノズル開口が形成されたノズルプレートに関するものである。
　［従来の技術］
　特公昭６０−８９５３号公報等に開示されているように従来のインクジェットヘッドのノズル形成部材は、電鋳法、エッチング法、ワイヤー放電法などにより形成されていた。または導体板上に選択的にレジストを施したあと、板状部材を形成していくフォト電鋳法、あるいはマスター形状を形成した後、その形状を転写して形成するマスター電鋳法とのいずれかの製法により形成されており、全て一枚の金属部材により形成されていた。
　［発明が解決しようとする課題］
　しかし、前述の従来技術においては、フォト電鋳法あるいはエッチング法においてはノズルの入り口側と出口側の形状は相似形状になってしまい、ノズル間隔を細密に配列することが困難であり、これらの製法ではインク吐出部のノズル開口径が精度よく形成できない、あるいはインク吐出特性がよくないという欠点があった。また、マスター電鋳法においては、そのマスターの製造に膨大な費用を要し、更にマスターが短寿命であるため、非常に高価になってしまい、ワイヤー放電法で製造したものも製造時間が非常に長いため、高価なものになってしまうという欠点があった。
　［課題を解決するための手段］
　本発明のインクジェットヘッドは、インク滴を吐出する複数のノズル開口が形成されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記ノズルプレートは、複数の円形穴が形成された板状部材と、この円形穴の穴径よりも小さく、かつこの円形穴に対応する位置に形成された複数の穴を有する高分子樹脂フィルム状部材とを積層して形成され、前記ノズル開口における前記板状部材と前記フィルム状部材の接合部に段差を有するとともに前記板状部材のインク供給側の穴径がインク吐出側の穴径よりも大きいことを特徴とする。
　［実施例］
　次に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
　第１図は本発明の印字記録装置の構成を示す１実施例である。ガイド軸６，７によって案内されて記録媒体１の幅方向（１０方向）に移動するキャリッジ８に搭載されたインクジェットヘッド９と、記録媒体１を５方向に移動させる紙送りローラ２，３とプラテン４とによって構成されている。
　第２図は本発明のインクジェットヘッドの１実施例を示す主要断面図であるが、本発明はこれに限定されるものではない。複数本の互いに平行に配置された棒状の圧電変換器１３と、棒状の圧電変換器１３を接着剤によって固定される突起物１５が形成された支持基板１４と、圧電変換器１３に対向して配置された接着剤１８により固定されたノズル開口を有するノズルプレート１６と、圧電変換器１３に動作電気信号を伝える信号入力用ケーブル１７とによって構成されている。この圧電変換器１３は、電圧印加により変位してノズル開口近傍のインク圧力を高めてノズル開口よりインク滴を吐出させる。
　支持基板１４およびノズルプレート１６は圧電変換器１３の熱膨張と近似する材料として３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金からなる。
　第３図は本実施例のノズルプレート１６の断面図を示すものであり、大きな穴径を有するノズルプレート１６Ａと、前記穴径より小さな穴径を有するノズルプレート１６Ｂとが接合されて構成されている。インクはノズルプレート１６Ａ上面から供給され、ノズルプレート１６Ｂ下面から吐出される。
　インクが吐出される面の穴径は印字品質に大きく影響するため高精度を要求されるが、そのために従来の方法ではノズルプレートはできるだけ薄くする必要がある。一方、吐出時のインクの圧力によるノズルプレートの振動、変形、ノズルプレートの接合時の変形、あるいは紙との接触などの外力による変形等が生じないようにするためには、ノズルプレートは厚くしなければならない。したがって従来は穴径精度を犠牲にしてノズルプレートを厚くしていた。そこで本発明では、穴径精度のよい高分子樹脂フィルムと、インク吐出側の孔よりも大きい孔が形成されている剛性部材を接合し、積層構造とすることによって、剛性と穴径精度を同時に持たせることが可能となる。またインク供給側の穴径をインク吐出側よりも大きくとることにより、インク流路抵抗を増大させることなくノズルプレートが実現でき、更にインク吐出側の穴径を精度よく作れるためインク飛翔時の特性を向上させることができる。
　ここで、高分子樹脂フィルム１６Ｂと前記剛性部材１６Ａとの接着方法はポリイミド接着剤、エポキシ接着剤、アクリル系接着剤等を使って接着できる。なお、接着剤層の厚さは０．１μｍ〜５０μｍであれば良好な状態での形成が可能である。また、高分子樹脂フィルムに高精度な穴をあける方法は、
　１．プレス加工法
　２．レーザー加工法
　３．ドリル加工法
　４．射出形成法
などによって達成できる。特にプレス加工では、金属部材にプレス加工した場合と比較してプレス型寿命が長くなる。また、レーザー加工法においては波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザによる加工で高精度な穴径が得られる。
　なお、本実施例においては、ノズルプレート１６Ａの材質を３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金を用いたが、これに限るものではなく、要求特性に応じた材料を任意に選定できる。
　［発明の効果］
　以上述べたように本発明によれば、ノズル形成基板を２つの部材の張り合わせ構造としたことにより、インク吐出部材の高分子樹脂フィルムに高精度な穴をあけることが可能であり、インク供給側の部材として、前記インク吐出側の穴径より大きな穴径の穴をあけて構成することが可能となった。上記構造が達成できた事により、インク流路抵抗が小さく、印字品質の優れたインクジェットヘッドを安価に提供することができるようになった。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明のインクジェットヘッドを搭載した記録装置の１実施例を示す図である。
　第２図は本実施例のインクジェット部を示す主要断面図である。
　第３図は本発明のノズル形成基板のノズル部の詳細断面図である。
　１　　　　記録媒体
　２，３　　送りローラ
　４　　　　プラテン
　６，７　　ガイド軸
　８　　　　キャリッジ
　９　　　　インクジェットヘッド
　１０　　　インクジェットヘッド移動方向
　１３　　　圧電変換器
　１４　　　支持基板
　１５　　　突起物
　１６　　　ノズルプレート
　１６Ａ　　大きな穴径を有する板状部材
　１６Ｂ　　精度のよい小さな穴径を有する高分子樹脂フィルム
　１７　　　信号入力用ケーブル
　１８　　　接着剤