【事件の表示】
　平成２年特許願第２３８６６８号「ケイ光Ｘ線膜厚計」拒絶査定に対する審判事件［平成４年４月２０日出願公開、特開平４−１１８５１０］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯、本願発明
　本願は、平成２年９月７日の出願であって、その請求項に係る発明は、平成１１年８月４日及び平成１１年１１月２６日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲のとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明は次のものである。
「（１）試料に照射する１次Ｘ線を発生するＸ線発生系と、前記１次Ｘ線を照射した時試料から放出されるケイ光Ｘ線を検出する検出器と、前記検出器からの信号を演算処理する演算処理部とからなり、前記試料が多層膜である各膜の膜厚を測定するケイ光Ｘ線膜厚計において、前記検出器を２個以上用い、前記検出器の各々は、前記多層膜の各膜から放出されるケイ光Ｘ線強度を検出し、前記検出器の各々に対して、該検出器で検出した前記多層膜の各膜からのケイ光Ｘ線強度と、各膜の物質固有の吸収係数と並びに各膜の膜厚との関係式を求め、該関係式より各膜の膜厚を得ることを特徴とするケイ光Ｘ線膜厚計。」（以下、「本願発明」という）
　
２．引用例に記載された事項
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された特開平１−１２１７４３号公報（以下、「引用例」という）には、次のことが図面とともに記載されている。
イ．「定量対象物、即ち被検材の元素含有率、付着量及び被膜厚さの現れる範囲が比較的狭い場合には、検量線はほぼ直線近似され、例えば、元素含有率Ｐｃ、付着量Ｍｃｚ、被膜厚さδについて、それぞれ次の（１）〜（３）式で与えられていた。
Ｐｃ＝ａｘ＋ｂｘ・Ｘ　………（１）
Ｍｃｚ＝ａｙ＋ｂｙ・Ｙ　……（２）
δ＝ｃｙ＋ｄｙ・Ｙ　…………（３）
　ここで、ａｘ、ｂｘ、ａｙ、ｂｙ、ｃｙ、ｄｙは重回帰係数であり、一方、代表記号Ｘ、Ｙについては、Ｘ線強度値を用いて、下記第１表に示す如く、種々の形で与えられていた。」（１頁右下欄２０行〜２頁左上欄１１行）、
ロ．「本来、元素含有率Ｐｃ、付着量Ｍｃｚ、被膜厚さδとＸ線強度との理論的な関係は、それぞれ唯一の表式で表されるべきものである。
　又、一般に第６図に示す如く、或る元素の付着量とＸ線強度の関係は、他の元素の含有率にも依存するものであり、元素含有率の取り得る範囲が充分に狭く、且つ要求精度が厳しくなければ、他の元素含有率のの影響を無視することも可能であるが、近年の産業界における高精度化指向に対処するためには満足できるものではなかった。
　即ち、従来技術では、２元合金被膜の蛍光Ｘ線分析において、Ｘ線強度、元素含有率、付着量及び被膜厚さの４者が互いに連関をもっているにもかかわらず、元素含有率を定量する場合には、付着量又は被膜厚さが或る特定値（検量線決定時のレベル）で一定と見做して、Ｘ線強度のみの関数として処理し、一方、付着量又は被膜厚さを定量する場合には、逆に元素含有率が或る特定値（同じく検量線決定時のレベル）で一定と見做して、Ｘ線強度のみの関数として処理し、いずれも重回帰検量線より求めていたことになり、高精度定量の大きな阻害要因となっていた。
　更に、２元合金、例えば銅−亜鉛の順次めっきの場合、下層にある銅のＸ線強度は小さめに計測されるので、遮蔽係数で補正する必要があるが、前出（１）〜（３）式で示すような従来の検量線では、遮蔽係数が未知のまま重回帰されており、これも定量精度低下の一因となっていた。」（２頁左下欄７行〜同頁右下欄１４行）、
ハ．「基本的な原理として、２元合金被膜の元素含有率、付着量、被膜厚さはそれぞれ相関を有し、それらの影響によって蛍光Ｘ線分析強度値が左右されること、加えて２層被膜の場合、下層の元素については遮蔽効果によって、検出されるＸ線強度が弱まることが明らかである。これらの事情を踏まえた上で、蛍光Ｘ線分析により、２元合金被膜の元素含有率、付着量、被膜厚さを、例えば第１図に示すような手順によって同時に決定することができる。」（３頁左下欄７行〜１６行）、
ニ．「第３図は、本発明が実施可能な、一般的な二次Ｘ線検出による２層被膜の蛍光Ｘ線分析装置の概略を示したものである。
　この装置は、一次Ｘ線を発生するためのＸ線発生電源部２０及びＸ線管２２と、例えば鉄母材１２の上に銅被膜１４と亜鉛被膜１６が順次形成されたサンプル１０から発生された二次Ｘ線をそれぞれ分光結晶２４、２８に導くための第１スリット２３、２６と、第２スリット３０を介して入射される銅の二次Ｘ線（銅Ｋα線）の強度を検出するためのＸ線検出器３２と、第２スリット３４を介して入射される亜鉛の二次Ｘ線（亜鉛Ｋα線）の強度を検出するためのＸ線検出器３６と、前記各Ｘ線検出器３２、３６の出力を計数し積分強度値として計測して、標準サンプル及び任意サンプルの銅と亜鉛のＸ線強度・・・を得ると共に、必要な信号処理及び演算を行なう計数・信号処理・演算部３８とから構成されている。」（５頁左上欄１５行〜同頁右上欄１２行）、
ホ．「次いでステップ１２４に進み、対象サンプルの形状パラメータΛ、同じく材料外径ｄ、鉄、銅、亜鉛の密度ρＦ、ρＣ、ρＺ及び銅の選択含有率Ｐｃ’及び計算済みの付着量Ｍｃｚ’を前出（９）、（１０）式に代入して被膜厚さδ’を計算する。・・・
　Δ＜０．０１となった時点で、ステップ１３０に進み、その時点の選択銅含有率Ｐｃ’、計算付着量Ｍｃｚ’、計算被膜厚さδ’をそれぞれ求めるべき銅含有率Ｐｃ、付着量Ｍｃｚ、及び被膜厚さδとして同時決定する。」（５頁右下欄９行〜６頁左上欄８行）
　
３．対比・判断
　そこで、本願発明と引用例に記載された発明とを対比する。
（１）引用例の「サンプル１０」「Ｘ線管２２」「二次Ｘ線」「Ｘ線検出器３２、３６」「計数・信号処理・演算部３８」「銅被膜１４と亜鉛被膜１６」「遮蔽係数」「被膜厚さ」が、それぞれ本願発明の「試料」「Ｘ線発生系」「ケイ光Ｘ線」「検出器」「演算処理部」「多層膜」「吸収係数」「膜厚」に相当することは明らかである。
（２）引用例に、「第２スリット３０を介して入射される銅の二次Ｘ線（銅Ｋα線）の強度を検出するためのＸ線検出器３２と、第２スリット３４を介して入射される亜鉛の二次Ｘ線（亜鉛Ｋα線）の強度を検出するためのＸ線検出器３６」（上記ニ）と記載されており、これは本願発明の「検出器を２個以上用い」との技術的事項を示すものである。
（３）引用例に、「定量対象物、即ち被検材の元素含有率、付着量及び被膜厚さの現れる範囲が比較的狭い場合には・・・次の（１）〜（３）式で与えられていた」（上記イ）、「本来、元素含有率Ｐｃ、付着量Ｍｃｚ、被膜厚さδとＸ線強度との理論的な関係は、それぞれ唯一の表式で表されるべきものである。」（上記ロ）、「基本的な原理として、２元合金被膜の元素含有率、付着量、被膜厚さはそれぞれ相関を有し、それらの影響によって蛍光Ｘ線分析強度値が左右されること、加えて２層被膜の場合、下層の元素については遮蔽効果によって、検出されるＸ線強度が弱まること・・・を踏まえた上で、蛍光Ｘ線分析により、２元合金被膜の元素含有率、付着量、被膜厚さを・・・同時に決定することができる。」（上記ハ）、「その時点の選択銅含有率Ｐｃ’、計算付着量Ｍｃｚ’、計算被膜厚さδ’をそれぞれ求めるべき銅含有率Ｐｃ、付着量Ｍｃｚ、及び被膜厚さδとして同時決定する。」（上記ホ）と記載されていることから、引用例の上記記載は本願発明の「該検出器で検出した前記多層膜の各膜からのケイ光Ｘ線強度と、各膜の物質固有の吸収係数と並びに各膜の膜厚との関係式を求め、該関係式より各膜の膜厚を得る」との技術的事項を示すものであるとともに、引用例の「蛍光Ｘ線分析装置」は膜厚を測定していることが明らかであるから、該装置は本願発明の「ケイ光Ｘ線膜厚計」に相当する。
　
　上記（１）〜（３）の考察から、両者は、「試料に照射する１次Ｘ線を発生するＸ線発生系と、前記１次Ｘ線を照射した時試料から放出されるケイ光Ｘ線を検出する検出器と、前記検出器からの信号を演算処理する演算処理部とからなり、前記試料が多層膜である各膜の膜厚を測定するケイ光Ｘ線膜厚計において、前記検出器を２個以上用い、前記検出器の各々に対して、該検出器で検出した前記多層膜の各膜からのケイ光Ｘ線強度と、各膜の物質固有の吸収係数と並びに各膜の膜厚との関係式を求め、該関係式より各膜の膜厚を得るケイ光Ｘ線膜厚計」である点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点：本願発明のものは、「前記検出器の各々は、前記多層膜の各膜から放出されるケイ光Ｘ線強度を検出」しているのに対し、引用例のものは、上記の点についての明確な記載はない点。
　
　上記相違点について検討すると、引用例のものは、「鉄母材１２の上に銅被膜１４と亜鉛被膜１６が順次形成されたサンプル１０から発生された二次Ｘ線を・・・銅の二次Ｘ線（銅Ｋα線）の強度を検出するためのＸ線検出器３２と、・・・亜鉛の二次Ｘ線（亜鉛Ｋα線）の強度を検出するためのＸ線検出器３６」で測定するものであるが、該Ｘ線検出器３２、３６が検出したい膜からの波長（銅Ｋα線、亜鉛Ｋα線）をそれぞれ測定するよう構成されているとしても、検出したい検出器で検出されるべき膜からのケイ光Ｘ線（例えば銅の膜のケイ光Ｘ線である銅Ｋα線に対してはＸ線検出器３２）以外のケイ光Ｘ線が多少なりとも他の膜から発生し検出されること及びそのケイ光Ｘ線が検出されるべき膜の検出結果に影響を及ぼすことは、技術水準を勘案すれば自明のことにすぎない。（必要であれば、技術水準を示す文献である特開昭６１−２１０９３２号公報（特に式（１）及びそれに関する記載）、及び引用例の記載ロ（「或る元素の付着量とＸ線強度の関係は、他の元素の含有率にも依存するものであり」）を参照されたい。）
　したがって、技術水準を勘案すれば引用例のＸ線検出器も各膜のケイ光Ｘ線強度を検出するものといえるから、上記相違点の事項は、引用例の検出器において必然的に生ずる事項を単に記載したものであって、当業者が適宜設計し得る程度の事項である。
　なお、審判請求人は請求理由において、「本発明では第１層からのケイ光Ｘ線の強度、第２層からのケイ光Ｘ線の強度の両方を第１の検出器でも、第２の検出器でも検出しているということに示されるように、一つの検出器で各層からのＸ線の強度を分離して検出していますので、ひとつの検出器で表面層からのＸ線と中間層からのＸ線の両方を測定することができます」と主張しているが、「一つの検出器で各層からのＸ線の強度を分離して検出」するとの事項は本願発明の事項ではないから、上記主張は特許請求の範囲に基づかない主張である。また、「本願発明においては、仮に検出器を２個とすると、各層からのＸ線を（それぞれ別ではなく）両方の検出器で検出しております。こうすれば、検量線を作成するための標準物質をひとつ減らすことができるからです。」と主張しているが、「検量線を作成するための標準物質をひとつ減らすこと」との事項は本願発明の事項ではないばかりでなく、明細書にも記載されていない事項である。よって、審判請求人の主張は採用するに足らないものである。
　
　そして、本願発明が奏する作用効果は、引用例に記載された発明及び周知技術から予測し得る程度のものである。
　
４．むすび
　したがって、本願発明は、引用例に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。