【事件の表示】
特許第３１９７００１号「ウエハ試験および自動較正システム」の請求項
３，４，７，９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
特許第３１９７００１号の請求項３，４，７，９に係る特許を維持する。
【理　由】
【１】本件特許発明
特許第３１９７００１号（平成９年２月２５日出願（パリ条約による優先権主張；１９９６年２月２６日アメリカ合衆国）、平成１３年６月８日設定登録。）の請求項１〜１１に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１〜１１に記載された事項により特定されるとおりのものである。
そして、その請求項３，４，７，９に係る発明（以下、「本件発明１ないし４」という。）は、次のとおりである。
「【請求項３】ウエハの少なくとも一つの物理特性を計測することのできるウエハ計測ステーションにおいて、固定されたステータと、前記ステータの内側に配設され、そのステータとロータとの間に配設された空気軸受によってステータと同一の面内で回転するそのロータと、前記ロータの上に配設され、計測の最中に前記ウエハを垂直に把持する複数のグリッパと、直線空気軸受の上に配設され、前記ロータの回転面にほぼ平行の軸に沿って移動可能なセンサと、を有し、これにより、前記ウエハが、グリッパによって前記計測ステーション内に保持され、ある面内で回転され、前記走査軸内で直線的に移動するセンサによって走査され、それによって螺旋状走査経路が得られるように構成されている、計測ステーション。
【請求項４】請求項３の計測ステーションにおいて、計測中に、前記グリッパの少なくとも二つは静止しており、少なくとも一つは移動可能であることを特徴とする計測ステーション。
【請求項７】請求項３の計測ステーションにおいて、前記ウエハが前記グリッパに保持されたときにほぼそのウエハの面内にあるように前記ロータの上に配設された複数の較正ゲージを有することを特徴とする計測ステーション。
【請求項９】請求項３の計測ステーションにおいて、前記センサが動的取付体の上に配設されていることを特徴とする計測ステーション。」
【２】特許異議の申立て理由の概要
特許異議申立人　松下電器産業株式会社は、甲第１〜１１号証を提示し、[１]本件発明１〜４は、本件特許出願の優先権主張日前に特許出願され、本件特許出願の優先権主張日後に出願公開された特願平６−３１６０５８号の願書に最初に添付した明細書又は図面（特開平８−１５２３１９号公報；甲第１号証参照、以下「先願明細書等」という。）に記載された発明と同一であるから、本件発明１〜４に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきであると主張し、また、[２]本件発明１〜４は、甲第７号証(または甲第８号証)、甲第９号証に記載された発明および周知慣用の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、その特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、取り消されるべきであると主張している。
【３】証拠方法
甲第１号証；特開平８−１５２３１９号公報
甲第２号証；実開平６−４９９５８号公報
甲第３号証；「センサ技術　１９９３年２月号」株式会社情報調査会、
１９９３年１月１１日発行、表紙，奥付および２７〜３１頁
甲第４号証；「技能と訓練　測定技術」浜本達保著　日刊工業新聞社、
昭和５２年２月１日発行、表紙，奥付および４８〜５９頁
甲第５号証；特開平５−２２３５４６号公報
甲第６号証；特開平６−２９４６４１号公報
甲第７号証；特開平７−２８０７４１号公報
甲第８号証；特開昭６２−２８４２４８号公報
甲第９号証；特開平５−４００１８号公報
甲第10号証；特開平８−２５１６５号公報
甲第11号証；特開平６−２０１３６０号公報
【４】特許異議の申立てについての判断
【４-1】申立理由[１]について、
甲第１号証の先願明細書等には「ウェーハの少なくとも一つの物理特性である表面形状を測定することのできるウェーハ測定装置において、水平に設けられた測定ベース上に、回転テーブルが、台座上に植設された支柱の上部に設けられたエアベアリングを介して、モータにより回転駆動されるように配設され、前記回転テーブルの表面にはウェーハを保持する三個の固定部材が設けられ、測定の最中に前記ウェーハが前記三個の固定部材によって垂直に把持され、測定ベース上の取付台には、前記回転テーブルの回転面にほぼ平行の軸に沿って摺動可能な測定部を有し、これにより、前記ウェーハが、前記三個の固定部材によって前記ウェーハ測定装置内に保持され、ある面内で回転され、前記軸内で直線的に摺動する測定部によって走査され、それによって螺旋状走査経路が得られるように構成されているウェーハ測定装置」の発明（以下、「先願発明」という。）が記載されている。
本件発明１と先願発明とを対比すると、
両者は「ウエハの少なくとも一つの物理特性を計測することのできるウエハ計測ステーションにおいて、空気軸受を介して回転するロータと、前記ロータの上に配設され、計測の最中に前記ウエハを垂直に把持する複数のグリッパと、前記ロータの回転面にほぼ平行の軸に沿って移動可能なセンサと、を有し、これにより、前記ウエハが、グリッパによって前記計測ステーション内に保持され、ある面内で回転され、前記走査軸内で直線的に移動するセンサによって走査され、それによって螺旋状走査経路が得られるように構成されている、計測ステーション」であることで一致する。
しかし、先願発明は、本件発明１の発明特定事項である(本1)「固定されたステータと、前記ステータの内側に配設され、そのステータとロータとの間に配設された空気軸受によってステータと同一の面内で回転するそのロータ」と、(本2)「直線空気軸受の上に配設され、前記ロータの回転面にほぼ平行の軸に沿って移動可能なセンサ」とを有していない。
(本1)の事項について、
先願明細書等における「エアベアリング３」がどのような構造のものか明らかではなく、さらにまた、本件発明１では「空気軸受によってステータと同一の面内で回転するそのロータ」として特定されているのに対して、先願明細書等にはこの点に関してなんらの記載も示唆もない。
(本2)の事項について、
先願明細書等の測定部８は取付台７に摺動(移動)可能に配設されているにすぎず、ガイド体上を単にスライドするのか、ボールベアリング又はローラベアリングを介して移動するのか、リニアモータ機構により移動可能なのか、要するにどのようなメカニズムによって「摺動(移動)可能」に配設されているのかは不明である。
してみれば、甲第２号証に「距離センサ７，８を所定の方向に移動可能に支持する駆動装置付きのエアースライド10」が、また甲第３号証に「Ｘ軸ガイドにエアスライダを介して移動可能な、変位計を有するＸ軸テーブル」がそれぞれ記載され、このような手段がいわゆる周知慣用のものであるにしても、本件発明１の「直線空気軸受の上に配設され、・・・軸に沿って移動可能なセンサ」という事項が、直ちに先願明細書等において自明であるとはいえない。
ゆえに、本件発明１が先願明細書等に記載された発明と同一であるとは認められない。そして、本件発明２，４は本件発明１を引用するものであるから、当然の帰結として、これらの発明も先願明細書等に記載された発明と同一とはならない。
さらに、甲第４号証に「製品の形状および長さの模範(基準・標準)となるブロックゲージ」が、甲第５号証に「レーザー変位計について、ブロックゲージの位置でそのゼロ点校正を行うこと」が、甲第６号証に「同一定盤上に被測定物(ワーク)とブロックゲージを配設して、・・・両者の所要寸法値を計測し、・・・ワーク所要の絶対寸法及び誤差値を表示すること」および「ブロックゲージの数量は、ワーク６の測定必要箇所数に応じて随時増減すること」がそれぞれ記載され、そのようなことがいわゆる周知慣用のものであるにしても、本件発明３は本件発明１を引用するものである以上、本件発明３が先願明細書等に記載された発明と同一とはならない。
したがって、本件発明１〜４は先願明細書等に記載された発明と同一とはいえない。
【４-2】申立理由[２]について、
甲第７号証に「ウエハの表面検査装置において、ウエハを装着して回転させるスピンドルを備え、ウエハをスピンドル上にエア吸着によって水平装着し、スピンドルの回転面にほぼ平行の軸に沿って移動可能な検出光学系を有し、これにより、ウエハがスピンドルによって表面検査装置内に保持され、ある面内で回転され、回転するウエハは、前記軸内で直線的に移動する検出光学系によって走査され、それによってスパイラル状走査経路が得られるように構成されている表面検査装置」が開示されている。
また、甲第８号証にも「ウエハの表面疵検査装置において、ウエハを装着して回転させるターンテーブルを備え、ウエハをターンテーブル上に水平装着し、ターンテーブルの回転面にほぼ平行の軸に沿って移動可能な検査ヘッドを有し、これにより、ウエハがターンテーブルによって表面疵検査装置内に保持され、ある面内で回転され、回転するウエハは、前記軸内で直線的に移動する検査ヘッドによって走査され、それによってスパイラル状走査経路が得られるように構成されている表面疵検査装置」が開示されている。
そこで、甲第７号証又は甲第８号証に開示されたものと、本件発明１とを比較すると、
それらは「ウエハの少なくとも一つの物理特性を計測することのできるウエハ計測ステーションにおいて、ウエハを装着して回転させるロータを備え、ロータの回転面にほぼ平行の軸に沿って移動可能なセンサを有し、これにより、前記ウエハが、ロータで前記計測ステーション内に保持され、ある面内で回転され、前記走査軸内で直線的に移動するセンサによって走査され、それによって螺旋状走査経路が得られるように構成されている計測ステーション」である点で一致している。
しかし、前記甲第７，８号証には、本件発明１の発明特定事項である、(本a)「固定されたステータと、前記ステータの内側に配設され、そのステータとロータとの間に配設された空気軸受によってステータと同一の面内で回転するそのロータ」と、(本b)「前記ロータの上に配設され、計測の最中に(前記)ウエハを垂直に把持する複数のグリッパ」とについて、なんら記載ないし示唆されていない。
ところで、甲第９号証には(甲9a)「厚みを測定する円盤を垂直を含む所定平面内に保持する保持手段と、保持手段は円盤の周縁に転動する複数の転動ローラを備え、駆動手段は円盤の周縁を周方向に駆動する少なくとも一個の駆動ローラを備え、これらの駆動ローラおよび転動ローラにより保持手段が構成され、円盤は本体の正面に沿った所定平面内に保持され、駆動ローラの回転に伴って転動ローラと転動し、保持された所定平面内で回転し、駆動ローラの回転軸および転動ローラのガイドレールは同じ昇降フレームに設置されおり、昇降フレームは本体の正面に沿って昇降自在にガイドされ、本体に内蔵された伝達機構を介して本体上部のステップモータで駆動され、本体の正面に沿って昇降可能であり、駆動ローラおよび転動ローラで保持された円盤も昇降フレームとともに昇降可能である。これらの昇降フレームおよびステップモータにより径方向送り手段が構成され、円盤は直下で対向する各レーザ変位計に対して径方向に相対移動され、各レーザ変位計の計測部は円盤の外周から中心まで任意の径方向位置に対面できるようになっている円盤厚み測定器」が開示され、
また、同９号証には(甲9b)「レーザ変位計と円盤とを径方向に相対移動させる構成は、駆動ローラおよび転動ローラが一体に設けられた昇降フレームによる円盤側の移動に限らず、レーザ変位計側を移動させるようにしてもよい」ことが記載されている。
とはいえ、当該甲第９号証の開示ないし記載内容である、(甲9a),(甲9b)を参酌しても、その内容が「被測定物である円盤を駆動ローラと転動ローラとで保持し、駆動ローラで直接に円盤を駆動する」というものであるから、結局のところ、前記甲第９号証にも本件発明１の発明特定事項である前記(本a),(本b)は開示ないし示唆されていない。
そして、甲第10号証には「磁気ヘッドの鏡面研削加工をする高精度スライサに連結する主軸の移動方法に関して、径方向をラジアル軸受で支持し、スラスト方向に空気圧で軸受を構成すると共に、該空気圧を制御することによって主軸をその軸方向に微小移動可能にする」技術が開示されており、また、甲第11号証には「複数のウエハＷがプレート１上に貼り付けられている。プレート１は空気軸受２にて回転自在に支持された回転テーブル３上に設置されている。詳細には、空気軸受２にて回転自在に支持された回転体４の上端部外周に鍔部５が設けられ、この鍔部５に取付けられた３個のマイクロメータ６を介して回転テーブル３が支持されており、マイロクメータ６にて回転テーブル３が水平調整可能に３点支持された」構造が開示されている。
しかし、これら甲第10，11号証の前記開示内容と、本件発明１の発明特定事項である(本a)、すなわち「固定されたステータと、前記ステータの内側に配設され、そのステータとロータとの間に配設された空気軸受によってステータと同一の面内で回転するそのロータ」という事項とが同様のものであるとは到底認められない。
さらにまた、特許異議申立人が提示した、特開平７−１９０７４４号公報，特開平１−１８１４２０号公報において「方形の板状体を垂直に保持する」ことが、おなじく、特許異議申立人が提示した、特開平７−５８１８６号公報，特開平３−３８０５１号公報，特開平５−６２２５１号公報において「円形の板状体を複数点で保持する」ことが、ともに周知慣用の技術であるにしても、当該周知慣用の技術を甲第７号証又は甲第８号証に開示されたものにどのように適用・転用するのかはまったく不明である。
したがって、甲第７号証又は甲第８号証に、甲第10，11号証の内容及び周知慣用の技術をいかように勘案しても、甲第９号証を適用して本件発明１を容易に想起することはできない。そして、本件発明２〜４は本件発明１を引用するものであるから、当然の帰結として、これらの発明も甲第７〜11号証の記載及び周知慣用の技術から容易に想到できたものであるということはできない。
【５】むすび
以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由および証拠によっては、本件発明１〜４に係る特許を取り消すことはできない。
また、他に本件発明１〜４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１２月１２日（２００２．１２．１２）