【事件の表示】
　特許第３１３０７５１号「オゾン水製造方法及び装置」の請求項１ないし９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１３０７５１号の請求項１ないし７に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３１３０７５１号の請求項１〜９に係る発明についての出願は、平成７年１月３０日に特許出願され、平成１２年１１月１７日にそれらの発明について特許権の設定登録がなされ、その後株式会社ディスク、株式会社ササクラ、西塚保遠より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年１２月１７日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の
「【請求項１】加圧状態のオゾンガスを中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持することを特徴とするオゾン水製造方法。」を、
「【請求項１】放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスを中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御することを特徴とするオゾン水製造方法。」に訂正する。
イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項５、９を削除する。
ウ．訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項６〜８を、項数を繰り上げ、請求項５〜７と訂正する。
エ．訂正事項ｄ
　段落【０００６】の
「【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、本発明では、加圧状態のオゾンガスを中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持することとしたものである。また、本発明では、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四沸化エチレン系の中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき放電電圧を変化させて制御することとしたものである。さらに、本発明では、加圧状態のオゾンガスを多孔質中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造装置において、該中空糸膜の上流に中空糸内側の水圧を該オゾンガス圧より高く維持し、その水圧及び流量を制御するポンプを設けることとしたものであり、また、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四沸化エチレン系の多孔質中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造装置において、該中空糸膜の上流に中空糸膜内側の水圧を該オゾンガス圧より高く維持し、その水圧及び流量を制御するポンプを設けると共に、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度により放電電圧を変化させて制御する制御機構を設けることとしたものである。本発明の中空糸膜内の水圧は、オゾンガス圧より０．１ｋｇ・ｆ／ｃｍ2 以上高くするのがよい。」を、
「【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、本発明では、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスを中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御することとしたものである。また、本発明では、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四弗化エチレン系の中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき放電電圧を変化させて制御することとしたものである。さらに、本発明では、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四弗化エチレン系の多孔質中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造装置において、該中空糸膜の上流に中空糸内側の水圧を該オゾンガス圧より高く維持し、その水圧及び流量を制御するポンプを設けると共に、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度により放電電圧を変化させて制御する制御機構を設けることとしたものである。本発明の中空糸膜内の水圧は、オゾンガス圧より０．１ｋｇ・ｆ／ｃｍ2 以上高くするのがよい。」と訂正する。
オ．訂正事項ｅ
　請求項２、請求項５、段落【０００２】、【０００７】、【０００８】、【０００９】、【００１４】、【００１９】及び【００２２】の「四沸化」を「四弗化」と訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａに関連する記載として、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスを用いること、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御することは、願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という。）の段落【０００６】及び【００１１】にそれぞれ記載されていた事項である。そうすると、上記訂正事項ａは、特許明細書に記載された事項の範囲内において、使用する加圧状態のオゾンガスを放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスに、また、オゾン水製造方法を処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御する方法に、それぞれ限定したものといえるから、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｂは、請求項５、９を削除するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものである。また、訂正事項ｃ、ｄは訂正事項ａ、ｂに対応して、項数を繰り上げたり、記載を一致させるためのものであって、いずれも明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。さらに、訂正事項ｅは誤記の訂正に該当する。そして、訂正事項ｂ〜ｅのいずれも、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．本件発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件特許第３１３０７５１号の請求項１〜７に係る発明（以下それぞれを、「本件発明１〜７」という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜７に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスを中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御することを特徴とするオゾン水製造方法。
【請求項２】放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四弗化エチレン系の中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき放電電圧を変化させて制御することを特徴とするオゾン水製造方法。
【請求項３】前記水圧は、オゾンガス圧より０．１ｋｇ・ｆ／ｃｍ２以上高くすることを特徴とする請求項１又は２記載のオゾン水製造方法。
【請求項４】前請求項１、２又は３記載のオゾン水製造方法において、オゾン水を非製造時には、オゾン発生機入口から中空糸膜出口に至るガス配管内をドライガスでパージしておくことを特徴とするオゾン水製造方法。
【請求項５】放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四弗化エチレン系の多孔質中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造装置において、該中空糸膜の上流に中空糸膜内側の水圧を該オゾンガス圧より高く維持し、その水圧及び流量を制御するポンプを設けると共に、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度により放電電圧を変化させて制御する制御機構を設けたことを特徴とするオゾン水製造装置。
【請求項６】前記ポンプは、無段階可変速制御方式のポンプであり、中空糸膜上流に流量計及び圧力計を設け、これらからの出力信号値を演算回路で処理して制御する制御機構を設けたことを特徴とする請求項５記載のオゾン水製造装置。
【請求項７】前記オゾン濃度制御機構は、中空糸膜下流に設けたオゾン水濃度計と、該濃度計での測定値を処理する演算回路と、処理した値に基づいて放電型オゾン発生機の放電電圧を変化させる電圧可変装置とからなることを特徴とする請求項５記載のオゾン水製造装置。」
　
４．刊行物記載の発明
（１）当審で通知した取消しの理由で引用し、本件特許の出願前国内で頒布された特開平３ー１８８９８８号公報（以下、「刊行物１」という。）には、
（イ）「第２図において、純度の低下した超純水１３をポンプ１４、バルブ１５、圧力計１６、流量計１７を介して、オゾン・・・溶解装置２７に導入する。該オゾン２３・・・を溶解した水」（第４頁右上欄８行〜１２行）、
（ロ）「第６図に示すように、ガス透過膜３３により膜を介してオゾン２３・・・を溶解させるならば、該オゾン・・・中の微粒子等の不純物を除去できる・・・。ここで、前記ガス透過膜は酸素、窒素、水素、蒸気等のガスを透過し水を透過しない膜であり、一方に水を通水し、他方をガスで加圧するが、膜の素材としては・・・ポリ四弗化エチレン系・・・等の多孔質の疎水性膜を挙げることができる。・・・前記ガス透過膜は使用するガスの種類によりその素材を選択すれば良く、オゾン２３を含有するガスを用いる場合では、ポリ四弗化エチレン系の膜が好ましい。」（第４頁左下欄１３行〜同頁右下欄１０行）、
（ハ）「限外ろ過装置の下流に圧力計１６及びバルブ１５を設ける。通常、半導体製造装置の入口圧は２ｋｇ／ｃｍ２であり、１５及び１６にて最適圧力に調整する。」（第５頁右上欄１４行〜１７行）、
（ニ）「第９図中のガス透過膜３３は、ポリ四弗化エチレン系の中空系であり、膜面積０．８５ｍ２、膜本数６５００本のモジュールを用いた。このガス透過膜３３の一方に被処理水を通水し、他方にオゾン濃度を５００ｐｐｍのオゾン化空気を０．２ｋｇ／ｃｍ２、５０Ｎーｍｌ／ｍｉｎで通気した。」（第６頁左上欄１０行〜１５行）
 と記載され、また、第６図には、
（ホ）「ガス透過膜３３の内側にオゾン２３を、ガス透過膜３３の外側に超純水１３を流すこと」が示されている。
　これらの摘記事項、及び、第２図、第６図、第９図の記載からみて、刊行物１には、
「加圧状態のオゾンガス２３をポリ四弗化エチレン系の中空系のガス透過膜３３の内側に供給して、該ガス透過膜３３を介して、ガス透過膜外側の被処理水１３に溶解する、不純物を除去したオゾン水製造方法」の発明（以下、「刊行物１記載の発明Ａ」という。）、及び、
「加圧状態のオゾンガス２３を、ポリ四弗化エチレン系の多孔質中空系のガス透過膜３３の内側に供給して、該ガス透過膜３３を介して、ガス透過膜外側の被処理水１３に溶解するオゾン水製造装置において、該中空系のガス透過膜３３の上流に流量計１７、水圧を制御する、圧力計１６及びバルブ１５、並びにポンプ１４を設け、不純物を除去したオゾン水製造装置」の発明（以下、「刊行物１記載の発明Ｂ」という。）が、それぞれ記載されているものと認められる。
　
（２）当審で通知した取消しの理由で引用し、本件特許の出願前国内で頒布された実公昭５９ー３３４６１号公報（以下、「刊行物２」という。）には、
（ヘ）「本考案は・・・疎水性多孔質中空糸を用いた気液接触炭酸ガス溶解装置と、該飲料水を該中空糸の内部又は外部へ炭酸ガスの圧力以上で供給する手段と、炭酸ガスを該中空糸の外部又は内部へ加圧供給する手段を有する飲料水への炭酸ガス溶解装置である。本考案に使用する中空繊維は、・・・ポリテトラフルオルエチレンなどの結晶性ポリマー・・・が好ましい。これらの高分子からなる中空繊維は、疎水性、耐薬品性、耐熱性に優れ極めて微細な互に連続した空孔を中空繊維壁に多数有する中空繊維状多孔質膜であって」（第２欄８行〜２３行）、
（ト）「炭酸ガスは中空糸の多孔膜を通して中空糸内部を流れる飲料水へ供給される。」（第３欄１３行〜１５行）、
（チ）「本考案に於ては、疎水性多孔質膜を界して水相側の圧力をガス相と同等又はそれ以上に保たなければならない。万一ガス相の圧が水相より高くなると膜を通して水相側にガスが気泡として浸入し」（第３欄２１行〜２４行）
と記載されている。
　これらの摘記事項からみて、刊行物２には、
「加圧状態の炭酸ガスを、ポリテトラフルオルエチレンからなる中空繊維状多孔質膜を介して飲料水に溶解するに際して、中空繊維状多孔質膜に飲料水を通し、中空繊維状多孔質膜内側の水圧をガス圧と同等又はそれ以上に維持して、気泡の混入を防止すること」が記載されているものと認められる。
　
（３）当審で通知した取消しの理由で引用し、本件特許の出願前国内で頒布された特開平５ー２３５５３号公報（以下、「刊行物３」という。）には、
（リ）「膜式気体溶解法によって液体に気体を溶解させる場合、・・・液体の溶解気体濃度を高くするためには、気体圧力を高くすることが有利である。しかしながら、例えば、液体圧力を常圧に保ち、気体圧力を次第に上げてゆくと、最初は液体中に気泡が発生しない状態で気体が溶解するが、気体圧力を更に上げると少量の気泡が膜表面より発生し出し、さらに圧力を上昇させると、ついには多量の気泡が発生するいわゆる散気状態となる。」（第４欄１９行〜２８行）と記載されている。
　
（４）当審で通知した取消しの理由で引用し、本件特許の出願前国内で頒布された特開平６ー３１２８６号公報（以下、「刊行物４」という。）には、
（ヌ）「オゾナイザで発生させたオゾンガスと水とを混合させて、オゾン水処理槽に供給するオゾン水を製造する装置において、上記処理槽に、オゾン水のオゾン濃度を計測する濃度センサを設けると共に、このセンサからの計測値に基づいて上記オゾナイザへの電力を位相制御して処理槽内のオゾン水濃度を所定の値に維持する制御器を設けたものである。」（第２頁左欄４7行〜同頁右欄３行）、
（ル）「図１〜図３において、１はオゾン水製造装置を示し、このオゾン水製造装置１は、圧縮機２からの空気から酸素を取り出す酸素発生装置３が接続されたオゾナイザ４と、そのオゾナイザ４からのオゾンガスと水とを混合させてオゾン水を生成するオゾンガス溶解装置５とから主に構成されている。・・・オゾナイザ４は、放電により酸素をオゾンガスにするもので、その放電電圧を変えると発生するオゾンガス量が増減するようになっている。・・・その発生したオゾンガスがポンプ６により加圧されてからオゾンガス溶解装置５の気液接触機構７に供給される。」（第２頁右欄２０行〜３２行）、
（ヲ）「処理槽１０には、・・・オゾン水の濃度センサ１３が接続されている。濃度センサ１３は、・・・槽１０内のオゾン水のオゾン濃度を計測し、この計測値を・・・電流信号に変換し、これを制御器１４の支持調節計１５（「指示調節計１５」の誤記と認められる。）に出力するように構成されている。・・・制御器１４は、センサ１３からの信号と設定値の信号とを比較演算する指示調節計１５と、上記オゾナイザ４への電力を指示調節計１５からの制御出力（信号）に基づいて位相制御する電力調整器１６とからなる。・・・電力調整器１６は、オゾナイザ４に接続されその商用電源電圧を調整する」（第２頁右欄４９行〜第３頁左欄２１行）
と記載されている。
　これらの摘記事項及び【図１】〜【図２】の記載からみて、刊行物４には、
「オゾナイザ４で発生させた加圧状態のオゾンガスをオゾンガス溶解装置５で水に溶解してオゾン水を製造するに際して、オゾンガス溶解装置５の下流に設けたオゾン水の濃度センサ１３と、該濃度センサ１３での計測値を処理する指示調節計１５と、処理した値に基づいてオゾナイザ４の放電電圧を変化させる電力調整器１６とからなり、オゾン水中のオゾン濃度をオゾンガス量により放電電圧を変化させて制御する制御器１４を設け、オゾン水濃度を所定値に保つこと」が記載されているものと認められる。
　
（５）当審で通知した取消しの理由で引用し、本件特許の出願前国内で頒布された社団法人化学工学協会編、新版化学工学辞典、丸善株式会社、昭和４９年５月３０日発行、第３４７頁（以下、「刊行物５」という。）の「パージ　ｐｕｒｇｅ」の項に、
（ワ）「装置または流路に新しく流体を送入する場合，・・・他の不活性流体によってそれまで流れていた流体を追出す操作をいう。この操作は二流体の混合による反応あるいは爆発などの悪影響を防止するために行なわれる。したがって，反応装置の使用開始時ならびに終了時，あるいは間欠操作の切換え時になどに行なわれる。」と記載されている。
　
（６）当審で通知した取消しの理由で引用し、本件特許の出願前国内で頒布された実公昭６３ー１８４７８号公報（以下、「刊行物６」という。）には、
（カ）「可変速給水装置では、ポンプ速度制御信号出力部よりの出力の回転速度指令信号たとえば０〜１０Ｖをうけて、ポンプの回転速度を変化させ、吐出側に圧力センサをもうけるなどして給水圧力を一定にたもつなどの制御をおこなうことが一般的である。」（第２欄２行〜７行）と記載されている。
　
５．対比・判断
（１）本件発明１について
　本件発明１と刊行物１記載の発明Ａとを対比すると、後者の「オゾンガス２３」は前者の「オゾンガス」に、後者の「被処理水１３」は前者の「被処理水」に、それぞれ相当する。また、後者の「ポリ四弗化エチレン系の中空系のガス透過膜３３」は、膜面積０．８５ｍ２、膜本数６５００本のモジュールからなるものであるから（上記の摘記事項（ニ）を参照）、前者の「中空糸膜」に相当する。
　してみれば、両者は、
「加圧状態のオゾンガスを中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造法」で一致し、以下の点で相違する。
【相違点１】前者は、放電型オゾン発生機で発生させたオゾンガスを用いるのに対して、後者は、オゾンガスの発生源について明らかではない点。
【相違点２】前者は、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持するのに対して、後者は、被処理水を中空糸膜内側に通すものではなく、また、水圧とガス圧との関係が明らかではない点。
【相違点３】前者は、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御するのに対して、後者は処理水中のオゾン濃度の制御について明らかではない点。
　上記相違点１〜３につき、以下検討する。
【相違点１、３について】
　刊行物４記載の「オゾナイザ４」は、「放電により酸素をオゾンガスにするもの」であるから（上記の摘記事項（ル）を参照）、本件発明１の「放電型オゾン発生機」に、刊行物４記載の「オゾン水」は本願発明１の「処理水」に、それぞれ相当するから、刊行物４には、「放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをオゾンガス溶解装置５を介して被処理水に溶解してオゾン水を製造するに際して、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス量に基づき制御すること」が記載されているものと認められる。
　そして、本願発明１のように、処理水に供給するオゾンガス濃度を高く又は低くすることは、刊行物４記載のように、処理水中に供給するオゾンガス量を多く又は少なくすることに他ならず、また、刊行物４記載の発明は、刊行物１記載の発明Ａと同じく、「オゾン水の製造」という技術分野に属するものである。
　してみれば、刊行物１記載の発明Ａに刊行物４記載の発明を組み合わせ、相違点１、３に係る事項を本願発明１のように設けることは、当業者が容易になし得ることといわざるを得ない。
【相違点２について】
　加圧状態のガスを中空糸膜を介して被処理水に溶解させるに際して、被処理水を中空糸膜内側に通すこと、また、中空糸膜内側の水圧をガス圧と同等又はそれ以上に維持して、気泡が混入しないように設けることは、刊行物２に記載されている。
　そして、刊行物２記載の発明は、刊行物１記載の発明Ａと同じく、「ガスを中空糸膜を介して被処理水に溶解させる」技術に属するものであって、「膜式気体溶解法によって液体に各種気体を溶解させる場合、気体圧力が高すぎると、気泡が発生する」という課題のあることは、刊行物３に記載されているように、本件特許の出願前周知の事項であることも考慮すると、刊行物１記載の発明Ａに、刊行物２記載の発明を組み合わせ、被処理水を中空糸膜内側に通すとともに、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持するように設けることは、当業者が容易になし得ることと認められる。
　また、本件発明１の「被処理水中に気泡ならびに不純物を含まず」（本件特許明細書の【発明の効果】を参照）との作用効果は、刊行物１記載の発明Ａ及び刊行物２記載の発明から、本件発明１の「一定の濃度のオゾン水を・・・供給することが出来る」（本件特許明細書の【発明の効果】を参照）との作用効果は、刊行物４記載の発明から、それぞれ当業者が予測可能な範囲内のものである。
　したがって、本件発明１は、刊行物１記載の発明Ａ、及び、刊行物２、４記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（２）本件発明２について
　本件発明２と刊行物１記載の発明Ａとを対比すると、後者も、中空糸膜がポリ四弗化エチレン系のものであるから、両者は、「加圧状態のオゾンガスをポリ四弗化エチレン系の中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法」で一致し、上記相違点１、２に加えて、下記の点で相違する。
【相違点４】前者は、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき放電電圧を変化させて制御するのに対して、後者は、処理水中のオゾン濃度の制御について明らかではない点。
　相違点１、２については、すでに検討したとおりである。
　そこで、相違点４につき検討するに、オゾンガスを被処理水に溶解させてオゾン水を製造するに際して、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス量に基づき放電電圧を変化させて制御し、オゾン水濃度を一定に保つことは、刊行物４に記載されている。
　そして、本願発明２のように、処理水に供給するオゾンガス濃度を高く又は低くすることは、刊行物４記載のように、処理水中に供給するオゾンガス量を多く又は少なくすることに他ならず、また、刊行物４記載の発明は、刊行物１記載の発明Ａと同じく、「オゾン水の製造」という技術分野に属するものであるから、刊行物１記載の発明Ａの相違点４に係る構成を、刊行物４記載の発明を組み合わせ、本件発明２のように設けることは、当業者が容易になし得ることと認められる。
　また、本件発明２の作用効果は、本件発明１と同様に、刊行物１記載の発明Ａ、及び、刊行物２、４記載の発明から当業者が予測可能な範囲内のものである。
　したがって、本件発明２は、刊行物１記載の発明Ａ、及び、刊行物２、４記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）本件発明３について
　本件発明３は、本件発明１又は本件発明２の構成に欠くことができない事項に加えて、「水圧をオゾンガス圧より０．１ｋｇ・ｆ／ｃｍ２以上高くすること」を、その発明の構成に欠くことができない事項とするものであるが、刊行物１記載の発明Ａが、上記「水圧をオゾンガス圧より０．１ｋｇ・ｆ／ｃｍ２以上高くする」との事項を備えていることについて明らかではない。
　しかしながら、中空糸膜内側の水圧をガス圧と同等又はそれ以上に維持して、気泡が混入しないように設けることは、上述したとおり、刊行物２に記載されており、してみれば、刊行物１記載の発明Ａに刊行物２記載の発明を組み合わせるに際して、気泡の混入防止効果を勘案しながら水圧とオゾンガス圧との最適関係を求め、本件発明３のようにすることは、当業者が容易になし得ることである。
　したがって、本件発明３は、刊行物１記載の発明Ａ、及び、刊行物２、４記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）本件発明４について
　本件発明４は、本件発明１〜３の構成に欠くことができない事項に加えて、「オゾン水を非製造時には、オゾン発生機入口から中空糸膜出口に至るガス配管内をドライガスでパージしておくこと」を、その発明の構成に欠くことができない事項とするものであるが、刊行物１記載の発明Ａが、上記パージについての事項を備えていることについて明らかではない。
　ところで、流体送入の終了時等に不活性流体でパージすることは、刊行物５に記載されているように（上記の摘記事項（ワ）を参照）、流体を送入する装置、管路の技術分野において既知の事項であると認められるから、流体を送入する装置、管路の技術分野に属する刊行物１記載の発明Ａに、上記既知の事項を組み合わせ、本件発明４のように設けることは、当業者が容易になし得ることである。
　そして、本件発明４の「オゾン発生器放電部の劣化、系内への不純物混入を防止しガス側での不純物増加を制御する。」（本件特許明細書の段落【００１２】参照）との作用効果は、刊行物５記載の発明から当業者が予測可能な範囲内のものである。
　したがって、本件発明４は、刊行物１記載の発明Ａ、及び、刊行物２、４、５記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（５）本件発明５について
　本件発明５と刊行物１記載の発明Ｂとを対比すると、両者は、
「加圧状態のオゾンガスをポリ四弗化エチレン系の多孔質中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造装置において、水圧及び流量を制御するとともに、該中空糸膜の上流にポンプを設けた、オゾン水製造装置」で一致し、相違点１、２に加えて、下記の点で相違する。
【相違点５】前者は、被処理水の水圧及び流量をポンプで制御するのに対して、後者は、被処理水の水圧及び流量をバルブで制御する点。
【相違点６】前者は、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度により放電電圧を変化させて制御する制御機構を設けるのに対して、後者は、処理水中のオゾン濃度の制御について明らかではない点。
　相違点１、２については、既に検討したとおりであるので、以下、相違点５、６について検討する。
【相違点５について】
　水の圧力及び流量の制御をポンプで行うことは、例えば、刊行物６にも示されているように、本件特許の出願前に周知の事項である。
　してみれば、刊行物１記載の発明Ｂにおいて、被処理水の水圧及び流量の制御を、バルブに換えてポンプで行うように設けることは、当業者が容易になし得る程度の事項である。
【相違点６について】
　オゾンガスを被処理水に溶解させてオゾン水を製造するに際して、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス量に基づき放電電圧を変化させて制御する制御機構を設け、オゾン水濃度を一定に保つことは、刊行物４に記載されている。
　そして、本願発明５のように、処理水に供給するオゾンガス濃度を高く又は低くすることは、刊行物４記載のように、処理水中に供給するオゾンガス量を多く又は少なくすることに他ならず、また、刊行物４記載の発明は、刊行物１記載の発明Ｂと同じく、「オゾン水の製造」という技術分野に属するものであるから、刊行物１記載の発明Ｂの相違点６に係る構成を、刊行物４記載の発明を組み合わせて、本件発明５のように設けることは、当業者が容易になし得ることと認められる。
　また、本件発明５の作用効果は、刊行物１記載の発明Ｂ、及び、刊行物２、４記載の発明から当業者が予測可能な範囲内のものである。
　したがって、本件発明５は、刊行物１記載の発明Ｂ、及び、刊行物２、４記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（６）本件発明６について
　本件発明６は、本件発明５の構成に欠くことができない事項に加えて、「ポンプは、無段階可変速制御方式のポンプであり、中空糸膜上流に流量計及び圧力計を設け、これらからの出力信号値を演算回路で処理して制御する制御機構を設けたこと」を、その発明の構成に欠くことができない事項とするものである。
　ところで、刊行物１記載の発明Ｂも、「中空糸膜３３の上流に流量計１７、圧力計１６」を設けるものであり、水圧及び流量を制御するバルブを備えているから、「流量計１７及び圧力計１６からの出力信号値を演算回路で処理して水圧及び流量を制御する制御機構」を設けているというべきである。
　してみれば、本件発明６と刊行物１記載の発明Ｂとは、
「加圧状態のオゾンガスをポリ四弗化エチレン系の多孔質中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造装置において、水圧及び流量を制御するとともに、該中空糸膜の上流にポンプを設けた、オゾン水製造装置」で一致し、相違点１、２、５、６に加えて、以下の点で相違する。
【相違点７】前者のポンプが無段階可変速制御方式のものであるのに対して、後者のポンプが無段階可変速制御方式のものか否かが明らかでない点。
　ところで、水圧を一定に保持するための無段階可変速制御方式のポンプは、刊行物６に記載されている。
　してみれば、水圧等を制御するためのポンプを使用する刊行物１記載の発明Ｂにおいて、該ポンプとして刊行物６記載の発明の無段階可変速制御方式のものを用いる程度のことは、当業者が容易に想到し得ることであり、しかも、それによる作用効果は、刊行物１記載の発明Ｂ及び刊行物６記載の発明から当業者が予測可能な範囲内のものである。
　したがって、本件発明６は、刊行物１記載の発明Ｂ、及び、刊行物２、４、６記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（７）本件発明７について
　本件発明７は、本件発明５の構成に欠くことができない事項に加えて、「オゾン濃度制御機構は、中空糸膜下流に設けたオゾン水濃度計と、該濃度計での測定値を処理する演算回路と、処理した値に基づいて放電型オゾン発生機の放電電圧を変化させる電圧可変装置とからなること」を、その発明の構成に欠くことができない事項とするものであるが、刊行物１記載の発明Ｂが、オゾン濃度制御機構を備えていることについて明らかではない。
　ところで、オゾンガスを被処理水に溶解させてオゾン水を製造するに際して、「オゾンガス溶解装置５の下流に設けたオゾン水の濃度センサ１３と、該濃度センサ１３での計測値を処理する指示調節計１５と、処理した値に基づいてオゾナイザ４の放電電圧を変化させる電力調整器１６とからなり」、被処理水中のオゾン濃度を制御する機構を設け、オゾン水濃度を所定値に保つことは、刊行物４に記載されている。
　そして、刊行物４記載の「オゾン水の濃度センサ１３」は、本件発明７の「オゾン水濃度計」に、「濃度センサ１３での計測値を処理する指示調節計１５」は、本件発明７の「濃度計での測定値を処理する演算回路」に、「オゾナイザ４の放電電圧を変化させる電力調整器１６」は、本件発明７の「放電型オゾン発生機の放電電圧を変化させる電圧可変装置」に、それぞれ相当するものであって、刊行物４記載の発明は、刊行物１記載の発明Ｂと同じく、「オゾン水の製造」という技術分野に属するものであるから、刊行物１記載の発明Ｂに、刊行物４記載の発明を組み合わせて、本件発明７のようなオゾン濃度制御機構を設けることは、当業者が容易になし得ることと認められる。
　また、本件発明７の作用効果は、刊行物１記載の発明Ｂ、及び、刊行物２、４、６記載の発明から当業者が予測可能な範囲内のものである。
　したがって、本件発明７は、刊行物１記載の発明Ｂ、及び、刊行物２、４、６記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１〜７は、いずれも特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件発明１〜７についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１月４日（２００２．１．４）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
オゾン水製造方法及び装置
（５７）【特許請求の範囲】
　「【請求項
１
放電型オゾン発生機で発生させた
し、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御
　【請求項２】　放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四
弗
　【請求項３】　前記水圧は、オゾンガス圧より０．１ｋｇ・ｆ／ｃｍ２以上高くすることを特徴とする請求項１又は２記載のオゾン水製造方法。
　【請求項４】　前請求項１、２又は３記載のオゾン水製造方法において、オゾン水を非製造時には、オゾン発生機入口から中空糸膜出口に至るガス配管内をドライガスでパージしておくことを特徴とするオゾン水製造方法。
　【請求項
５
弗
　【請求項
６
５
　【請求項
７
５
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、オゾン水の製造に係り、特に、精密機械、電子工業、医薬・食品工業に用いられる高純度オゾン水を製造するための方法と装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、水中にオゾンを溶解させたオゾン水の製造技術は、食品・医薬品工業あるいは医療分野などで用いられ、用途は殺菌水を主としている。製造装置としては、オゾン発生機に放電型、水電解型のものを用い、発生させたオゾンガスを▲１▼曝気法、▲２▼ラインミキサー或いはエゼクターによる混合溶解法、▲３▼多孔質硝子製あるいはチタン短繊維燃結体製のフィルタや親水化処理したポリ四
弗
　【０００３】
　しかし、従来技術は何れも食品等の殺菌水としての用途を重視したものであり、オゾン水中の不純物量より、寧ろオゾン水濃度を高めることを主眼としている。従来技術の曝気法、エゼクタ法などで高濃度オゾン水を製造する場合、被処理水中に気泡としてガスを散気させるため、水圧よりガス圧を高くすることを特徴としているものが多い。また、散気膜として利用している膜の孔径は、散気効率を重視するため数μｍ〜１０μｍと孔径の大きなものを用いている。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　従来技術では高濃度のオゾン水は得られるものの、放電型オゾン発生機を用いた場合、放電体周辺の部材から重金属等の微粒子が発生し、そのガスを直接被処理水に散気することになり、水中の不純物濃度が増加する。また上記の従来技術では被処理水中に微細気泡が残存し、電子工業、精密機械加工分野などでオゾン水を利用した場合、処理表面上にムラを生じる原因と成り好ましくない。この様な微細気泡を混入させないためには、水側圧力、流量を一定に制御する必要がある。
　【０００５】
　また、ユースポントまで配管で送水する場合や電子工業分野のＲＣＡ洗浄槽に給水し、他の薬品と混合して使用する場合、圧力、流量を一定に維持することが必須と成る。従来の曝気法やエゼクタ法ではガス圧より水圧を下げて利用するため、水側の流量、圧力を制御することが難しく、製造したオゾン水をポンプを介して送水する必要がある。そのためポンプ自体の耐久性、オゾンによる部材からの不純物の溶出などの問題を生じ、精密洗浄あるいは電子工業用には使用することが困難である。
　そこで本発明では、上記のような問題点を解決し、被処理水中に微細気泡ならびに不純物を含まず、なおかつ、濃度及び流量、圧力を一定に制御した高純度オゾン水製造方法及び装置を提供することを課題とする。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決するために、本発明では、
放電型オゾン発生機で発生させた
し、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御
　また、本発明では、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四
弗
　さらに、本発明で
は、放
弗
　本発明の中空糸膜内の水圧は、オゾンガス圧より０．１ｋｇ・ｆ／ｃｍ２以上高くするのがよい。
　【０００７】
　上記装置において、中空糸膜上流に流量計及び圧力計を設け、これらからの出力信号値を演算回路で処理して前記無段階可変速制御方式のポンプを制御する制御機構を設けるのがよい。また前記オゾン濃度制御機構は、中空糸膜下流に設けたオゾン水濃度計と、該濃度計での測定値を処理する演算回路と、処理した値に基づいて放電型オゾン発生機の放電電圧を変化させる電圧可変装置とで構成するのがよい。
　このように、本発明では、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四
弗
　【０００８】
　以下に本発明を詳細に説明する。
　このオゾン水製造装置に用いるガス溶解膜としては、本出願人が先に提案している酸素、窒素等のガスを透過し、水を透過しない膜であり、ポリ四
弗
　図２は、本発明の高純度オゾン水製造装置のフローの説明図である。
　図２において、被処理水１は、ポンプ３、流量計４、圧力計５を介して中空糸膜６に下向流で通水し、中空糸膜出口側で処理水を分岐して、オゾン水濃度計７に導入してオゾン水濃度を測定する。ガスは、原料ガスである酸素ガス９、窒素ガス１３を別途、あるいは混合ガスを放電型オゾン発生機２２に導入しオゾンガス１０を発生させ、中空糸膜外側に上向流で通気し、排ガス１４は下流に設けたオゾンガス分解塔１９で処理する構成から成るものである。
　【０００９】
　上記のポンプ３は無段階可変速制御方式であり、動圧軸受を用い機械的接触が一切なく、ポンプ内部からの微粒子の発生を抑えたものでありかつ、接液部の材質に高純度セラミックス及び四
弗
　【００１０】
　次にオゾン発生機２２は、沿面放電方式、無声放電方式の何れも使用できるが、好ましくは放電部分をトレンチ型構造とし、セラミックスコーティングの電極と誘電体にサファイアを採用した無声放電と沿面放電の複合放電式の発生機を用い、発生するガス中に微粒子、金属不純物などを含まず、１０ｖｏｌ％以上の高濃度オゾンガスを安定して発生するものであり、シーケンサ等の演算回路２１からの外部信号により放電電圧を制御してガス濃度を可変出来るものが良い。
　このオゾン発生機２２に原料ガスであるＯ２ガス９、Ｎ２ガス１３を９９：１の組成比で１．０ｋｇ・ｆ／ｃｍ２以上、好ましくは１．５ｋｇ・ｆ／ｃｍ２程度の加圧下で供給し、オゾンガス１０としたものを中空糸膜外側に通気し、膜を介してガスを被処理水側に拡散溶解させる。
　【００１１】
　図１に示すように中空糸膜へのガスの通気方向は水の流れに対し、順流、向流何れでも良いが、オゾン水とオゾンガス間の濃度勾配を有効に利用するため、好ましくは向流方式とし、中空糸膜下部より上向流で通気してガスを溶解させる。
　オゾンガス濃度とオゾン水濃度の関係を図３に示す。オゾン水濃度はガス濃度に対し直線的に正比例しオゾン水濃度を制御するパラメーターとしてガス濃度は最も好ましいものである。実際のオゾン水濃度制御は中空糸膜出口で分岐したオゾン水の一部を紫外線吸収方式等のオゾン水濃度計に通水して濃度を測定し、その値をシーケンサ等の演算回路で処理したのち、必要に応じてオゾン発生機の放電電圧を変更し、オゾンガス濃度を変化させてオゾン水濃度を制御する。
　【００１２】
　次に中空糸膜を出た排ガスは、後段の排ガス分解塔１９においてオゾンを分解して酸素ガスとしたのち、ガス圧調整弁２０をへて装置系外に排出される。
　また、装置を停止している間は排ガス分解塔下流に設けたガス開放弁２０を開けガス側圧力を大気圧とするか、あるいは加圧状態でガス、パージ弁１７、及びパージガス流量調節器１８を介してＮ２、Ｏ２ガスなどドライガスをパージガスとしてオゾン発生機入口より供給し、オゾン発生機放電部の劣化、系内への不純物混入を防止しガス側での不純物増加を制御する。このガス量は０．１〜０．５Ｎｌ／ｍｉｎ以上であれば良い。
　【００１３】
　【作用】
　本発明によれば、膜を介してガスを溶解する際、被処理水の水圧をポンプにより一定流量、一定圧力としガス圧より高く維持することで水側への気泡としてのガスの混入を抑え、ガスからの不純物の持ち込みを防止し、なおかつオゾン水濃度はオゾン水濃度計測定値に基づく供給ガス濃度可変制御方式により一定に維持し、一定流量、一定圧力、一定濃度の高純度オゾン水を製造することが出来る。
　【００１４】
　【実施例】
　以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
実施例１
　この実施例では図２のフロー説明図に従がう装置を用いた。
　図２のガス溶解膜６はポリ四
弗
　オゾン発生機２２は沿面、無声の複合放電型オゾン発生機を用い、原料ガスは酸素９、窒素ガス１３を９９：１の比で混合したものを１．５ｋｇ・ｆ／ｃｍ２で流量調節器１１、１２、１５、１６を介して２．０Ｎｌ／ｍｉｎでオゾン発生機に供給し、約２６０ｍｇ／ＮＬ（Ｗ／Ｖ）のオゾンガスを発生させ溶解膜に通気した。
　送水ポンプ３には動圧軸受型の無段階可変速制御方式で、吐出し量３０Ｌ／ｍｉｎ、全揚程２２ｍのものを用いた。
　オゾン水濃度計７には紫外線吸収方式のものを用いた。
　【００１５】
　被処理水及びガスの流れを図２で説明する。まず、被処理水１である超純水をポンプ３、発信機付流量計４及び圧力計５を介して中空糸膜６の内空側に通水する。その際、被処理水の流れ方向はガスの流れに対し向流とするため、中空糸膜上部より入り下部に向う下向流とし、一方、ガスはオゾン発生機２２にて発生させたオゾンガス１を中空糸膜の外空側に上向流で通気し、膜を介してオゾンを被処理水に溶解させた。製造したオゾン水２は、更に水圧調整弁８を介してユースポイントに送水した。その際、被処理水の流量は１．０ｍ３／ｈ±１％の誤差に、水圧は２．００±０．０５ｋｇ・ｆ／ｃｍ２と成るようポンプ３及び水圧調整弁８を用いて制御した。ポンプ３はシーケンサ２１で処理したのち、ポンプ回転数を変化させる方式を採用した。
　【００１６】
　オゾン水濃度制御は、中空糸膜出口よりオゾン水を一部分岐してオゾン水濃度計７に通水し、計測値をシーケンサ２１で演算処理したのち、その値に基づきオゾン発生機２２の放電電圧を変え発生オゾンガス濃度を変化させてオゾン水濃度を制御する方式を採用した。運転時の目標オゾン水濃度は７ｍｇ／Ｌ　ａｓ　Ｏ３とし、図３のガス濃度とオゾン水濃度の関係式から初発ガス濃度を２４５ｍｇ／ＮＬ（Ｗ／Ｖ）に設定し、オゾン水製造開始より５分間隙でオゾン水濃度測定値により上述の濃度制御を行なった。
　【００１７】
　図４に原水とした超純水の装置入口圧の変動と装置出口側オゾン水の水圧、流量の変動、更にオゾン水濃度の経時変化を示す。装置入口水圧は図４のごとく１．７ｋｇ・ｆ／ｃｍ２から２．１ｋｇ・ｆ／ｃｍ２まで変動しているが、装置出口水圧は目標値２．０ｋｇ・ｆ／ｃｍ２に対し誤差０．０５ｋｇ・ｆ／ｃｍ２程度、また流量は目標値１．０ｍ３／ｈに対し、誤差０．００５ｍ３／ｈ程度であり誤差率１％以内に収まっている。オゾン水濃度も製造開始３分後には、ほぼ目標値７ｍｇ／Ｌ　ａｓ　Ｏ３に達し、５分後には７．２５ｍｇ／Ｌ　ａｓ　Ｏ３と成り、その値により濃度制御を加えたのちは、ほぼ７ｍｇ／Ｌ　ａｓ　Ｏ３を維持し、一定圧力、一定流量、一定濃度のオゾン水が得られた。
　表１に原水とした超純水、製造したオゾン水の水質分析結果を示す。
　【００１８】
　【表１】
　【００１９】
　表１において、Ｎａ、Ｍｇ等の金属類は原水と同等であり、何れも検出限界以下である。また、ＴＯＣ、微粒子も原水とした超純水と同等レベルの数値を示し不純物の増加は認められない。陰イオンでは、Ｆ−、ＮＯ３−イオンが若干増えているが、Ｆ−イオンはポリ四
弗
　【００２０】
実施例２
　次に、本発明のオゾン水製造装置の出口ユースポイントに、半導体ウェハー洗浄装置を接続した場合を、図５のフローの概略説明図を用いて説明する。
　図５において、オゾン水製造装置２３を出たオゾン水は下流のウェハー洗浄装置２５に供給され、最終的に石英製洗浄槽２７の下部より流入し、上部よりオーバー・フローしながらウェハー洗浄を行う。なお、オゾン水製造装置の起動及び洗浄装置へのオゾン水供給は、洗浄装置側からの起動信号をオゾン水製造装置で受ける自動運転を行った。
　【００２１】
　図６に、原水とした超純水の装置入口圧の変動と装置出口側オゾン水の水圧、流量及びオゾン水濃度の経時変化ならびに運転シーケンスを示す。装置入口圧は、図６のごとく１．７ｋｇ・ｆ／ｃｍ２から２．１５ｋｇ・ｆ／ｃｍ２まで変動しているが、運転時の装置出口水圧は２．２ｋｇ・ｆ／ｃｍ２を中心に０．０５ｋｇ・ｆ／ｃｍ２の誤差範囲に収り、流量は目標値である１．０ｍ３／ｈに対し、変動範囲は０．００５ｍ３／ｈ程度であり、誤差率１％以内に収っている。運転時、装置出口水圧が２．２ｋｇ・ｆ／ｃｍ２を中心としているのは、洗浄装置側の配管、バルブ類のオリフィス、洗浄槽での背圧が０．２ｋｇ・ｆ／ｃｍ２前後掛るためである。
　また、オゾン水濃度経時変化を見ると、濃度制御操作を２分間毎に設定しているため、第１回目では運転開始より４分後に、第３回目の運転では２分後及び４分後に制御操作が行なわれ、ほぼ７ｍｇ／Ｌ　ａｓ　Ｏ３のオゾン水を製造し供給出来ることが分る。
　【００２２】
　【発明の効果】
　以上詳述した通り、本発明のオゾン水製造装置は、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四
弗
　本発明は、高純度の水質を要求する電子工業、医薬品工業等に用いられるプロセス用水、殺菌水、洗浄用水に適用できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明のオゾン水製造装置に用いる中空糸膜の構造概要図。
　【図２】
　本発明を詳しく説明するためのフローの説明図。
　【図３】
　オゾンガス濃度とオゾン水濃度の関係を示すグラフ。
　【図４】
　本発明のオゾン水製造装置を単独使用した際の装置入・出口の水圧、流量及びオゾン水濃度の経時変化を示すグラフ。
　【図５】
　オゾン水製造装置出口側に半導体ウェハー洗浄装置を接続して使用した実施例２のフローの説明図。
　【図６】
　図５のフローで使用した場合の装置入・出口の水圧、流量及びオゾン水濃度の経時変化を運転シーケンスと併記したグラフ。
　【符号の説明】
　１：原水（被処理水）２：オゾン水、３：ポンプ、４：発信機付流量計、５：発信機付圧力計、６：中空糸膜、７：オゾン水濃度計、８：水圧調整弁、９：Ｏ２ガス、１０：オゾンガス、１１、１２：Ｏ２ガス流量調節器、１３：Ｎ２ガス、１４：排ガス、１５、１６：Ｎ２ガス流量調節器、１７：ガスパージ弁、１８：パージガス流量調節器、１９：排ガス分解塔、２０：ガス圧調整弁、２１：制御部、２２：オゾン発生機、２３：オゾン水製造装置、２４：洗浄装置入口・ドレン弁、２５：ウェハー洗浄装置、２６：ウェハー、２７：石英洗浄槽、２８：石英洗浄槽入口弁、１９、３２：薬液タンク、３０、３３：薬液供給ポンプ、３１、３４：薬液供給弁