【事件の表示】
　上記当事者間の特許第２６１３１７１号発明「ゲートバルブ」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　本件審判の請求は、成り立たない。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
（当事者の求めた審判）
１．請求の趣旨
　特許第２６１３１７１号の請求項２，３及び４に係る発明についての特許を無効とする、審判費用は被請求人の負担とする、との審決を求める。
２．答弁の趣旨
　結論と同旨の審決を求める。
（当事者の主張）
１．請求人の主張
　1)　本件特許の願書に添付した明細書の発明の詳細な説明の段落【0027】において、「図９は本発明の更に他の実施例を示し、この例においては板状カム17やリンク18を用いずブロック10の上部に上記枢軸11の向きと直角の向きに突出するピン19を設け、このピン19に係合する斜めの長孔20を有する袖片21を上記ヨーク7の下端から垂下せしめる。」　と記載され、図面の簡単な説明において、図９について、「本発明のゲートバルブの更に他の実施例を示す一部の正面図である。」と記載されている。
　しかしながら、このように明細書及び図面に記載された、枢軸11の向きと直角の向きに突出するピン19を、ヨーク７の下端から垂下した袖片21の斜めの長孔20と係合させた構成によっては、所期の弁デスクの開閉の目的を達成できない。
　したがって、本件特許の願書に添付した明細書の発明の詳細な説明は、当業者が容易に請求項３及び請求項４に係る発明の実施をすることができる程度に記載していないから、請求項３及び請求項４に係る発明についての特許は、特許法第36条第４項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであるので、特許法第123条第１項第４号の規定に該当する。（以下、「請求の理由１」という。）
　2)　請求項３には、「…ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔と、…上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになることを特徴とするゲートバルブ。」と記載され、請求項４には、「…請求項２または３記載のゲートバルブ。」と記載されている。
　しかしながら、本件特許の願書に添付した明細書の段落【0027】には、「図９は本発明の更に他の実施例を示し、この例においては板状カム17やリンク18を用いずブロック10の上部に上記枢軸11の向きと直角の向きに突出するピン19を設け、このピン19に係合する斜めの長孔20を有する袖片21を上記ヨーク7の下端から垂下せしめる。」　と記載され、この明細書の段落【0027】に記載された構成によっては、「ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる」ものではない。
　したがって、本件特許の請求項３及び請求項４に係る発明は、願書に添付した明細書の発明の詳細な説明に記載した発明とはいえないから、請求項３及び請求項４に係る発明についての特許は、特許法第36条第５項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであるので、特許法第123条第１項第４号の規定に該当する。（以下、「請求の理由２」という。）
　3)　請求項２及び請求項３に係る発明は、「弁デスク３は弁座２に対向する位置迄下降した後これに直角に押圧される」ことのない構成、すなわち、枢軸11及びガイドを、ブロック10及びピストンシリンダ４の側面の中央部、更には弁座２から離隔する側に設けることにより、弁デスク３を弁座２に斜め方向に当接させる構成を含んでおり、このような構成では、必ずしも、デスク３の弁座２に対するこすれによる不純物の発生を防止することはできない。即ち、請求項２，３に係る発明は、シール材の磨耗により発生する不純物で通路内を汚染する構成をも包含するものであり、本件特許の願書に添付した明細書の【発明が解決しようとする課題】に「従来の後者のものではゲートバルブを斜めに下向せしめてこれをシール材に当接し閉塞するものであり、僅かではあるが両者が互いに摺動するようになる。従ってシール材の摩耗による通路内の汚染はまぬがれない。」と記載された課題を解決し、明細書の【発明の効果】に記載された「弁デスク３は弁座２に対向する位置迄下降した後これに直角に押圧されるので従来のもののように弁箱１内で磨耗その他による不純物を発生するおそれが無い」という効果を得るための構成要件を備えていない。
　したがって、本件特許の願書に添付した明細書の請求項２及び請求項３は、特許を受けようとする発明の構成に欠くことができない事項のみを記載していないから、請求項２及び請求項３に係る発明についての特許は、特許法第36条第５項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであるので、特許法第123条第１項第４号の規定に該当する。（以下、「請求の理由３」という。）
　4)（イ）本件特許の請求項２に係る発明は、ヨーク７、ブロック10の形状等については何ら記載されていない。また、本件特許の請求項２に係るブロック10も甲第８号証における固定ブロック54も弁ロッド８、40と一体に回動（傾動）し、機能は同じであるから、本件特許の請求項２に係る発明におけるブロック10の取付位置、形状等の相違については、当業者が必要に応じて適宜選択し得る事項にすぎない。更に、甲第10号証には、本件特許の請求項２に係る発明のブロックに相当する内部旋回枠20を弁体操作棒（弁ロッド）15の上部に連結し、この内部旋回枠20を回動可能に支持する構成が記載されているので、本件特許の請求項２に係る発明のように、弁ロッドの上部にブロックを連結し、このブロックを回動可能に支持する構成については、甲第８号証、甲第10号証に基づき当業者が容易に想到することができた程度のものにすぎない。
（ロ）ガイドを移動体の隣接する部材に設けることは周知技術であり、ガイドを設ける場所については当業者が必要に応じて任意に選択し得る事項にすぎない。甲第10号証には、本件特許の請求項２に係る発明のブロックに相当する内部旋回枠20を上下動及び傾動させるガイドを弁箱１上の固定側である支持架台５に設けた構成が記載されている。したがって、ガイドを弁箱上の固定側であり弁ロッド８に隣接するピストンシリンダ４の側面に形成する構成は、甲第８号証に記載のガイドに替えて甲第10号証に記載されたガイドを適用することにより、当業者が容易に想到することができた程度のものにすぎない。
（ハ）「高さを低くし、ゲートバルブ全体の形状を小型化する」という作用効果は、本件特許の請求項２に係る発明の特有の作用効果であるとはいえない。
　したがって、本件特許の請求項２に係る発明は、本件特許出願前に外国において頒布された刊行物である甲第８号証に記載された発明であり、また、本件特許出願前に外国及び日本国内において頒布された刊行物である甲第８〜11号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項２に係る発明についての特許は、特許法第29条の規定に違反してなされたものであるので、特許法第123条第１項第２号の規定に該当する。（以下、「請求の理由４」という。）
 5)上記「4)」の（イ）、（ロ）、（ハ）、
（ニ）弁ロッドの上昇に伴い、ピンと傾斜長孔を介して弁デスクを弁座に対して開閉させる構成は甲第12号証〜甲第14号証に記載され、特に、甲第12号証にはピストンシリンダの作動により弁デスクを昇降させるとともに、ピン及び傾斜長孔を介して弁デスクを揺動（回動）させて弁座に押圧させ、もしくは弁座から離隔させる構成が記載されている。また、ピンと傾斜長孔を介して所望部材を回動（傾動）させる技術は、甲第15号証からも明らかなように、本件特許の出願前周知である。
　したがって、本件特許の請求項３に係る発明は、特許出願前に外国及び日本国内において頒布された刊行物である甲第８〜15号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項３に係る発明についての特許は、特許法第29条第２項の規定に違反してなされたものであるので、特許法第123条第１項第２号の規定に該当する。（以下、「請求の理由５」という。）
　6)　請求人が提出した証拠及び参考資料
・甲第１号証…本件特許公報
・甲第２号証…本件特許出願時の願書、明細書、図面及び要約書
・甲第３号証…本件特許の出願手続き中の拒絶理由通知書
・甲第４号証…甲第３号証の拒絶理由通知書で引用された実願昭51-1348号（実開昭52-93930号)のマイクロフィルム
・甲第５号証…甲第３号証の拒絶理由通知書で引用された実願昭50-34611号(実開昭51-115639号)のマイクロフィルム
・甲第６号証…甲第３号証の拒絶理由通知書で指定された期間内に提出された意見書
・甲第７号証…甲第３号証の拒絶理由通知書で指定された期間内に提出された手続き補正書
・甲第８号証…米国特許第4721282号明細書
・甲第９号証…特開平2-190691号公報
・甲第10号証…特開平2-229967号公報
・甲第11号証…特開平3-204483号公報
・甲第12号証…特開昭60-91068号公報
・甲第13号証…実願昭57-88172号（実開昭58-191533号）のマイクロフィルム
・甲第14号証…実願昭47-124186号（実開昭49-80428）のマイクロフィルム
・甲第15号証…「メカニズムの辞典」理工学社（1983年５月10日発行）表紙、はしがき、第145頁、奥付
・参考資料１…特許第2649662号公報  
・参考資料２…特許第2657778号公報   
・参考資料３…特開昭60-222670号公報   
・参考資料４…特開平4-107376号公報
・参考資料５…実公昭46-12625号公報
２．被請求人の主張
　1)　本件特許明細書の段落【0027】中「直角の」は誤記であり、訂正請求により「同じ」と訂正する。したがって、請求項３、４に係る発明についての特許は、特許法第３６条第４項、第５項第１号の規定に違反してなされたものではない。
　2)　審判請求人はシール材の変位（シールのこすれ量）による摩耗を問題としているが、シール面の線上に枢軸11が位置しない場合でも弁デスクの上下方向の移動が僅かであればシール材は弾性変形して弁座に対する上下変位は零となるものである。したがって、請求項２、３に係る発明についての特許は、特許法第３６条第５項第２号の規定に違反してなされたものではない。
　3)　請求項２に係る発明は、その構成要件中特に、ブロックを弁ロッドの上部に連結した構成、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするためピストンシリンダの側面にガイドを形成した構成、上記ブロックを中心として上記弁ロッドを傾動するための傾斜リンクの構成を有することを特徴とし、この構成によって特に「高さを低くでき、ゲートバルブ全体の形状を小形化できる」という効果が得られるものである。
　4)　請求項３に係る発明は、その構成要件中特に、ブロックを弁ロッドの上部に連結した構成、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするためピストンシリンダの側面にガイドを形成した構成、上記ブロックを中心として上記弁ロッドを傾動するためのヨークと上記ブロックを互いに連結するピン及びこのピンに係合する傾斜長孔の構成を有することを特徴とし、この構成によって特に「高さを低くでき、ゲートバルブ全体の形状を小形化できる」という効果が得られるものである。
　
（手続の経緯）
　本件特許第２６１３１７１号は、平成５年１２月１６日(優先権主張：平成５年７月２２日、日本国)に特許出願され、平成９年２月２７日に設定登録されたものであり、その後、本件審判請求がなされ、答弁書の提出期間内である平成11年11月９日付けで願書に添付した明細書について訂正請求がなされたものである。
　
（訂正請求について）
１．訂正請求の要旨
　上記訂正請求の要旨は、願書に添付した明細書中の段落【0027】における「直角の」を「同じ」と訂正することを求めるものである。
２．訂正の適否
　願書に添付した明細書には、「ブロック10を図１に示す矢印Ａ方向に押せば上記枢軸11を中心として上記弁ロッド８が傾動し、この弁ロッド８の下端に連結された上記弁デスク３が図１の矢印Ｂ方向に移動し上記弁座２に押圧されるようにする。」（段落【0014】参照）、「カム17やリンク18を用いずブロック10上部に上記枢軸11の向きと直角の向きに突出するピン19を設け、このピン19に係合する斜めの長孔20を有する袖片21を上記ヨーク７の下端から垂下せしめる。」（段落【0027】参照）、「ヨーク７をブロック10に接近するように移動せしめた際、上記斜めの長孔20によって、ブロック10の上部が上記各実施例と同様横方向に移動されるようになる。」（段落【0028】参照）と記載されている。
　しかしながら、上記段落【0014】、【0028】に記載された動作は、段落【0027】に記載のように「枢軸11の向きと直角の向きに突出ピン19を設け」る構成では実現できず、また、「枢軸11の向きと同じ向きに突出ピン19を設け」る構成によって、上記動作が実現できることは、当業者にとって技術常識であるから、「直角の」が「同じ」の単なる誤記であることは、明細書に記載から明白な事項と認める。
　したがって、上記「直角の」を「同じ」とする訂正は、単なる誤記の訂正と認められ、また、上記訂正は、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　よって、上記訂正請求による訂正は、特許法等の一部を改正する法律・平成６年法律第116号附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、同法による改正前の特許法第134条第２項、及び同法同条第５項の規定により準用する同法126条第２〜４項の規定に適合するから、当該訂正を認める。
　
（本件特許発明）
　本件特許の請求項２，３，４に係る発明は、上記訂正請求による訂正が認められるから、それぞれ上記訂正請求による訂正後の明細書の特許請求の範囲の請求項２〜４の記載からみて、次のとおりのものと認める。
「【請求項２】 弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、このピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨークと、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、上記ヨークとブロック間に夫々その端部を回動自在に枢支した傾斜リンクと、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばねと、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイドとより成り、上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記リンクが水平状となって上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項３】 弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、このピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨークと、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、上記ヨークとブロックを互いに連結する、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔と、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばねと、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイドとより成り、上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項４】 上記ブロックが上記ガイドによってガイドされる枢軸を有し、この枢軸及びそのガイドが上記弁デスクに対向する上記弁座の面に対応する線上またはその近傍に位置することを特徴とする請求項２または３記載のゲートバルブ。」
　なお、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項２及び３における、「上記弁デクスを上記弁座に対向する」の記載のうち「弁デクス」は「弁デスク」の誤記と認め、上記のとおり認定した。
　
（請求の理由１及び２について）
　上記「（訂正請求について）」の「２．訂正の適否」に記載のとおり、上記平成11年11月９日付け訂正請求は認められるので、願書に添付した明細書の段落【0027】における「直角の」という記載は、「同じ」という記載に訂正されることとなった。そして、段落【0027】の「枢軸11の向きと同じ向きに突出ピン19を設け」という記載と請求項３の「ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる」との記載は整合するものである。 
　また、図９を「正面図である。」とした点は、表現が正確でないものと認められるが、発明の詳細な説明に、「枢軸」と「ピン」との向きについて、明瞭に記載されていないということはできない。
　したがって、本件請求項３、４に係る発明についての特許が、特許法第３６条第４項、第５項第１号の規定に違反してなされたものとすることはできず、請求人が主張する上記請求の理由１及び２によって、本件請求項３、４に係る発明についての特許を無効とすることはできない。
　
（請求の理由３について）
　願書に添付した明細書には「【0011】【実施例】以下図面によって本発明の実施例を説明する。【0012】図１〜図５において、……【0015】なお、上記ガイド溝12及び枢軸11が上記弁デスク３に対向する上記弁座２の面に対応する線上またはその近傍に位置せしめるようにする。……【0024】また、この実施例によれば、上記弁デスク３が上記弁座２に接する位置で弁デスク３の移動の軌跡が弁座２の面に対し略直角となり、片当たりがないようになる。【0025】本発明の他の実施例においては図６〜図８に示すようにブロック10の両側に枢軸11とこれをガイドする所定長さのガイド溝12を上記ブロック10の側面と上記２つのピストンシリンダ４の側面の中央部に夫々設け、また、上記段部16a，16b及び板状カム17を用いる代わりに上記ヨーク７の下部とブロック10の上部に夫々その端部を回動自在に枢支した傾斜リンク18を用いる。【0026】この実施例の作用効果は上記実施例と略同様である。」と記載されており、これらの記載から、図１〜図５及び図６〜図８に記載される夫々の実施例のものは、「上記弁デスク３が上記弁座２に接する位置で弁デスク３の移動の軌跡が弁座２の面に対し略直角」となるものであって、これらの実施例の作用効果は「略同様」と認められるので、「弁デスク３は弁座２に対向する位置迄下降した後これに直角に押圧される」（段落【0029】）との記載における「直角」は、幾何学的に正確な直角のみを意味するものではなく、「直角または略直角」を意味するものと認められる。このことは、上記図１〜図５及び図６〜図８に示される実施例の構成からも、当業者にとって明白なことと認められる。
　そして、弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる際の、傾斜角（傾動角）は、弁デスク３が弁座２にこれから離間して対向する位置となった時の、弁デスク３と弁座２との離間距離、枢軸11と弁デスク３との距離等に依存し、上記離間距離が小さくまた枢軸11と弁デスク３との距離が大きいとき、上記傾斜角（傾動角）は小さくなって、弁デスク３が上記弁座２に接する位置で弁デスク３の移動の軌跡が弁座２の面に対し略直角となり、デスク３の弁座２に対するこすれによる不純物の発生を防止或いは低減することができることは技術常識と認められる。このように、「枢軸及びそのガイドが上記弁デスクに対向する上記弁座の面に対応する線上またはその近傍に位置」する構成を備えない場合でも、必要な「略直角」の程度に応じて、弁デスク３が弁座２にこれから離間して対向する位置となった時の、弁デスク３と弁座２との離間距離、枢軸11と弁デスク３との距離等を適宜選択することにより、前記の必要な「略直角」を実現できるものであるから、請求項２、３には、弁デスク３が弁座２に対向する位置迄下降した後これに略直角に押圧される発明を含むまとまりのある一つの技術思想が記載されているものと認められる。
　したがって、請求項２、３の記載が、弁デスク３が、弁座２に対向する位置迄下降した後、これに正確に直角に押圧される構成に限定されていないとして、特許を受けようとする発明の構成に欠くことができない事項のみを記載していないとすることはできない。
　よって、本件請求項２、３に係る発明についての特許が、特許法第36条第５項第２号の規定に違反してなされたものとすることはできず、請求人が主張する上記請求の理由３によって、本件請求項２、３に係る発明についての特許を無効とすることはできない。
　
（請求の理由４について）
１．甲各号証記載の発明
(1)甲第８号証
　甲第８号証には、
（イ）「ハウジングと、このハウジング内に設けた軸方向に延びる軸と、この軸の一端に固定したゲート部材とより成るゲートバルブ組立体。処理室内の開口にシール係合するようゲート部材を移動するため軸を軸方向に延ばし、回動するための機構がハウジング内に設けられている。軸のまわりに伸張可能なシールを設け、ハウジングに固定することによってバルブの機械的駆動部分が処理室内から絶縁されている。このバルブは、ロードロックや他の低圧室に好適である。」（アブストラクト参照）
（ロ）「ロードロックはシール可能な室であり、したがって、その内圧を1つ以上の開口からの外圧と適合するよう調節可能である。」（第1欄第14行〜第17行参照）
（ハ）「公知例、特に、米国特許第4，433，951号明細書記載のバルブ駆動機構は多くの欠点を有している。第1に、バルブ駆動機構は、付勢されたとき粒子を発生する多数の露出された接手、軸受、ヒンジ部等を含んでいる。このような粒子は、ウェハ上に付着し、所望の処理操作に悪影響を及ぼすようになる。更に、低圧状態では潤滑剤は急速に蒸発するため、接手を潤滑するのは困難である。更にまた、ロードロック内にゲートバルブ駆動機構を設ければ、所望の用途におけるロードロックのサイズが大きくなる。このようなサイズ増大は、真空とするための時間と動力を増大し、ロードロック製造に関連するコストが大きくなる。このような理由から、低圧ロードロックに用いるゲートバルブ組立体としては、ロードロック内の低圧部分に対して露出される接手、軸受、ヒンジ部等を有しないものが望まれている。特に、ロードロック内での占有体積が少なく、ゲート部材を開口から本質的に完全に離脱でき、開口を通してのアクセスに支障がないようになるゲートバルブ組立体が望まれる。」（第1欄第37〜62行参照）
（ニ）「ロードロック装置外に設けられる本発明のゲートバルブ組立体は、ロードロックの外側に固定できるハウジングと、このハウジング内に軸方向に設けられ、開口を介してロードロック内に延びる往復動軸と、ロードロック内において軸の端部に取り付けられたゲー卜部材とを有する。軸を往復動させ、ゲート部材を開位置と閉位置との間で移動するための機構が、全体としてハウジング内に設けられている。伸張可能なシール部材、特に、メタルベローズが軸とハウジング間に設けられ、すべての機械的接手、軸受、ヒンジ部等が全体としてロードロックの内側から絶縁されている。この構成により、ロードロック内での潤滑剤のロスおよび粒子の発生が阻止される。その上、軸駆動機構が露出され、これに接近可能なため、定形的メンテナンスおよびバルブ部材の修理が極めて容易である。なおその上に、故障の場合には、ゲートバルブ組立体を全体として容易に除去、交換することができ、ロードロックおよび関連する処理装置のための高価となる故障時間を避けることができる。本発明の駆動機構は、ロードロックの開口が閉じたとき極めて強力なシールが形成され、開いたとき開口の間隙が最大となるように特に設計されている。軸は、ハウジング内に回動自在に設けられた軸受ブロック内に設けられ、ピストンおよびシリンダ組立体のような適当な駆動体によって軸方向に駆動される。駆動体は横方向リンクを介して軸に取り付けられ、軸が引き込まれたときリンクに相対的な第1の方向にこの軸をスプリングによって保持される。リンクの移動は軸方向ガイドトラックによって軸方向に規制され、軸の移動もまた駆動体の移動の第1部分の間、軸方向に規制される。しかしながら、あらかじめ設定された点においては軸上の停止体によって軸方向の移動が阻止されるようになる。駆動体の移動の第2部分を越えて、リンクは駆動体によって軸方向に連続して移動される。しかしながら、リンクは軸に回動自在に連結されているため、リンクの軸方向移動は軸の横方向移動に変換される。この構成の場合、軸の最初の軸方向移動によって、処理室の開口に向かって(または離間するよう)ゲート部材が初めに移動する。第2の横方向移動によって、ゲート部材が開口を能動的にシールするようになる。圧力および真空の両者に対してシールを達成できるオーバーセンター揺動機構を用いて上記第2の横方向移動を行うことにより、ピストンおよびシリンダ組立体の圧力が失われたときでも弁が開くのが阻止される。軸方向の移動長さは本質的には制限されず、横方向移動によるシール力は広い範囲で変更可能であるため、本発明のゲートバルブ組立体は、体積と粒子発生による汚損を最小にすることが望まれる任意のタイプのロードロックまたは他の室に外部的に実質上適用することができる。」（第１欄第65行〜第２欄第53行参照）
（ホ）「Ｏリング26は区画部22の周囲で頂板18の表面に設置されている。Ｏリング26はハウジング12を圧力容器、代表的には第2図および第3図に一部のみ示されているロードロック32の壁30にシール状態に設ける。圧力容器壁30は以下に詳述するようにゲートバルブ組立体10を挿入する開口34を含んでいる。区画部22の周囲の形状と大きさは、通常、開口34のそれらに対応し、それにより開口と区画部が共にロードロック32の内部を真空に維持することができるシールユニットを形成することができる。軸40はハウジング12の側壁14と16の間で方向を変えて回転し得るように支持されている軸受ブロック42に摺動可能に支持されている。このように、軸40は、通常、ハウジング12内で軸方向に自由に移動することができ、かつ軸受ブロック42により規制された軸のまわりで回転することができるように支持されている。ピストンおよびシリンダ組立体は、第1図から明らかなように、底板20に回転可能に設けられた一対の複動式のピストンとシリンダ44と46とを含んでいる。ピストンロッド48と50はリンク部材52の一端に回転可能に取付けられている。リンク部材52は、その他端部において軸40の中間部外周に強固に取付けられた固定ブロック54に回転可能に取付けられている。カム従動子56(図においては一方のみ示されている)は、ピストンロッド48と50が取付けられた同じ端部でリンク部材52の背中合わせの側に支持されている。カム従動子56は側壁14と16のそれぞれに沿って形成されたガイドトラック58に沿って移動する。それによりカム従動子56とガイドトラック58が通常、リンク部材52の軸方向への移動を規制することが理解される。ゲート部材60は軸40の上端部に設けられている。図示のように、ゲート部材60は、軸40の上端部に固定されたブロック62に回転可能に設けられた細長いゲート板である。このようなゲート部材は溝状の開口をシールするのに適している。」（第３欄第10〜49行参照）
（ヘ）「ベローズ68は軸40と頂板18の区画部22との間で伸長可能なシールを与え、そして、ベローズキャップ64はべローズ68を機械的損傷から保護する。べローズ68は高真空度を与えるようにガス漏れを防止することができるような方法で軸40の上端部のまわりで接続される。同様に、ベローズ68の下端部は同様の真空状態で隙間を生じない方法を用いて開口24のまわりで区画部22にシールされている。軸40はこれにより開口34のまわりで構成されたシールを損傷することなく、開口24内で軸方向と横方向に向きが変えられる。」（第3欄第52〜62行参照）
（ト）「調整可能な停止部材70は軸40の下端部に挿通状態で設けられている。板72もナット74により軸40の底部に接続されている。停止部材70は、第3図に示すように、軸受ブロック42の底面に当接すると軸40の軸方向上方への移動を停止する。軸40の軸方向移動における下方への限界は、第2図に示すように、軸の下端が底板20の上面に当接することで定められる。第1図から明らかなように、軸40の下端部は鉛直方向のタブ82で板72に取り付けられた一対のスプリング80によりリンク部材52に支持されている。スプリング80は第1図および第2図に示すように、そして、第3図に実線で示すように、下方への張力を有し、ピストンおよびシリンダ組立体44と46によりリンク部材52が上方へ移動されたときに軸40を上昇させる。」（第３欄第66行〜第4欄第13行参照）
（チ）「ところで、第4図において、本発明のゲートバルブ組立体10は低圧処理加工室Cに接続されて使用されるロードロック32に設けられている。図示のように、処理加工室Cは両側に一対のアクセス通路Pを持つ一対の対立した電極Eを含むプラズマエッチャーである。ウェハ移送機構Mは出入口とアクセス通路ENとPを通ってウェハを受け取り、また排出するために各ロードロックLに供給する。」（第４欄第23行〜32行参照）
（リ）「特に第2図、第3図を再び参照してゲートバルブ組立体10の操作を詳細に説明する。第2図においては、軸40は下降し、ゲート部材60は室32内の開口Pの下側で僅か左方にずれた状態である。ゲート部材60によって開口Pを閉じるため、初めピストンとシリンダ44、46を付勢することによって軸40を上昇させる。初めは軸は、軸40とバルブの残りの部品に相対的に固定されている傾斜リンク部材52と共にほぼ軸方向に上昇する。軸40は、停止部材70が軸受ブロック42の下面に係合するまで軸方向に移動し続ける。上記下面に係合する状態となった場合には、軸40の更なる軸方向移動は阻止される。しかしながら、ガイドトラック58によりカム従動子56が更に移動できるため、ピストンの棒状部材48、50とシリンダ44、46は上昇を続けるようになる。特に、第3図において停止部材70がブロック42にちょうど係合した状態を実線で示す。ピストンロッド50が更に移動した状態を点線で示す。リンク部材52の左側は伸長スプリング80によって軸40に相対的に上昇している。軸40に相対的なリンク部材52の傾斜により枢支点53が第3図に示すように横方向右方に移動する。このような移動によって、軸40は軸受ブロック42によって定められている軸のまわりに時計方向に数度回動する。このような回動によって、ゲート部材60が右方に開口Pに向かって移動し、この開口のまわりのＯリングが圧縮されて強力なシールが形成される。トラック58が長いためリンク部材52の左側が枢支点53を越えて僅か上昇する。このようなオーバーセンター移動によって、たとえピストンおよびシリンダ48、50の力が消失してバルブ組立体10が偶発的に開くことが阻止されるようになる。」（第４欄第41行〜第５欄第７行参照）
（ヌ）「バルブ組立体10は、第2図に示される位置ヘリンク部材52を後退させるとともに、軸40を下降させるため、ピストンおよびシリンダ組立体44と46を下方へ作動させることにより開放される。」（第５欄第19行〜22行参照）
旨の記載があり、これらの記載及び図面等を参照すると、甲第８号証には、
“ロードロック32と、このロードロック32と処理加工室Ｃとの間のアクセス通路Ｐのロードロック側開口周囲面に対接されるよう上記ロードロック32内に配置したゲート部材60と、このゲート部材60に連結した、上記ロードロック32内からロードロック32外にベローズ68を介して上下動及び傾動自在に気密に突出する軸40と、この軸40を介して上記ゲート部材60を上記アクセス通路Ｐのロードロック側開口周囲面に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記ゲート部材60が上記アクセス通路Ｐのロードロック側開口周囲面にこれから離間して対向する位置となった後、上記軸40を傾動して上記ゲート部材60が上記アクセス通路Ｐのロードロック側開口周囲面に押圧されるようにした、ロードロック32外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストン及びシリンダ組立体44，46と、このピストン及びシリンダ組立体44，46のピストンロッド48，50の先端に設けられた円板状部と、上記軸40の中間部に連結された固定ブロック54と、上記ピストンロッド48，50の先端円板状部に一端部を回動自在に枢支し、他端部を固定ブロック54に回動自在に枢支したリンク部材52と、上記ピストンロッド48，50の先端の円板状部と固定ブロック54との軸方向の相対移動を抑制するようリンク部材52と軸40端部の板72を互いに連結するスプリング80と、上記軸40を上下動及び傾動自在にガイドするため上記ロードロック32上のハウジング側壁14、16に回動自在に設けた軸受ブロック42とより成り、上記ピストンロッド48，50の先端円板状部を上記固定ブロック54に対して接近するように押圧した際、上記リンク部材52が水平状となって上記軸40が軸受ブロック42に支持された軸端部を中心として傾斜し、上記ゲート部材60が上記アクセス通路Ｐのロードロック側開口周囲面に押圧されるようになるゲートバルブ組立体10”、
が記載されているものと認められる。
(2)甲第９号証  
　第９号証には、
（イ）「従来の真空バルブを真空処理装置に用いて半導体等を製造する場合には、ダストによる悪影響が生じる等の問題があった。この発明は、上記問題を解決して、ダストの発生しない真空バルブを提供することを目的としている。」（第２頁上左欄第14〜19行）
（ロ）「箱型の弁箱１の側壁1a、1bには長方形の開口部2a、2bが設けられ、開口部2aには弁座３が取付けられている。弁座３に着座する弁箱１内の弁体４には平行な２本の弁棒５の一端部が取付けられている。各弁棒５は弁箱１外に延び、その他端部は、連接棒６の穴6aに遊嵌され、先端5aにおいて、ベアリング７を付けたシャフト８が設けられ、各弁棒５の弁箱１外の他端部が連接棒６と移動自在に結合されている。連接棒６の中央部には、シリンダ7aと、ロッド7bとを備えた弁棒上下移動用駆動機７が取付けられ、その弁棒上下移動用駆７は弁箱１の外面に固定されている。弁箱１には、弁箱１内に挿入された筒状の第１の軸受け支持体８が取付けられ、その第１の軸受支持体８の弁箱１内の一端部には第１の球面軸受９が設けられ、その第１の球面滑り軸受９が弁棒５を軸支している。」（第２頁下左欄第19行〜同頁下右欄第16行）、
（ハ）「伸縮ベローズ12が、ベローズ固定用上板10とベローズ固定用下板11との間において、第１の軸受支持体８と第１の球面滑り軸受９との周囲に設けられ、これらを弁箱１内の雰囲気と遮断している。」（第３頁上左欄第７〜11行）、
（ニ）「第２の球面滑り軸受13は、弁棒５の外周に位置するスリーブ13aと、このスリーブ13aの外側に位置し、凸状外周球面をもった球面回転体13bと、この球面回転体13bの外側に位置し、球面回転体13bの凸状外周球面と接する凹状内周面をもったケース13cとからできている。そして、第２の球面滑り軸受13は弁箱１は第２の軸受支持体14が設けられ、その第２の軸受支持体14は直接弁箱１に固定されていない。しかしながら、第２の軸受支持体14は、弁箱１にブラレット16を介して固定された弁棒回動用駆動機15に取付けられている。なお、弁棒回動用駆動機15はシリンダ15aと、ロッド15bとを備えている。」（第３頁上左欄第15行〜同頁上右欄第８行）、
（ホ）「弁を閉じる場合、弁棒上下移動用駆動機７を作動させて、連接棒６を上方に移動させると、弁棒５は第１の球面滑り軸受９のスリーブ9aと、第２の球面滑り軸受13のスリーブ13aとにおいて摺動しらがら第４図のＣ１方向、即ち上方に移動し、伸縮ベローズ12が伸びながら、弁体４が弁座３の近傍にくるようになる。そして、次に弁棒回動用駆動機15を作動させると、弁棒５は第１の球面滑り軸受９を支点として、第４図Ｄ１方向に回動し、弁体４が弁座３に着座するようになる。弁棒５がＤ１方向に回動するとき、第１の球面滑り軸受９では球面回転体9bの凸状外周球面とケース9cの凹状内周面とで摺動し、また第２の球面滑り軸受13でも球面回転体13bの凸状外周球面とケース13cの凹状内周面とで摺動するようになる。反対に弁を開く場合、弁棒回動用駆動機15を作動させて、弁棒５を、第１の球面滑り軸受９を支点として、第４図のＤ１方向に回動し、弁体４を弁座３より離す。そして、次に弁棒上下移動用駆動機７を作動させて、連接棒６を下方に移動させ、弁棒５を第４図のＣ２方向、即ち下方に移動し、伸縮ベローズ12を縮めながら、弁体４を弁座３の近傍より離す。」（第３頁上右欄第11行〜同頁下左欄第14行）、
（ヘ）「特に伸縮ベローズによって、第１の球面滑り軸受を弁箱内の雰囲気と遮断するようにしているので、第１の球面滑り軸受の摩耗等によって生じるダストが弁箱内に発生するのが防止され、そのため、このバルブを真空処理装置に用いて半導体等を製造するときには、ダストによる悪影響が生じなくなる。」（第３頁下右欄第３〜９行）
との記載があり、これらの記載、図面の簡単な説明、図面等を参照すると、甲第９号証には、
“弁箱１と、この弁箱１内に設けた弁座３に対接されるよう上記弁箱１内に配置した弁体４と、この弁体４に連結した、上記弁箱１内から弁箱１外に伸縮ベローズ12を介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁棒５と、この弁棒５を介して上記弁体４を上記弁座３に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁体４が上記弁座３にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁棒５を傾動して上記弁体４が上記弁座３に押圧されるようにした、弁箱１外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、シリンダ7aとロッド7bを備えた弁棒上下移動用駆動機７と、シリンダ15aとロッド15bを備えた弁棒回動用駆動機15と、この弁棒上下移動用駆動機７のロッド7bに連結された連接棒６と、上記弁棒５の中間部を支持する第１の球面滑り軸受９、第２の球面滑り軸受13と、上記連接棒６と弁棒５とを軸方向の相対移動を抑制するよう、上記連接棒６の穴6aと弁棒５の先端5a間を互いに遊嵌して連結するベアリング７を付けたシャフト８と、上記弁棒５を上下動及び傾動自在にガイドするため上記第１の球面軸受９を支持する第１の軸受支持体８とより成り、上記弁体４が上記弁座３にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁棒回動用駆動機15の上記ロッド15bが上記第２の球面滑り軸受13を介して弁棒５を押圧して、上記弁棒５が上記第１の球面軸受９を中心として傾斜し、上記弁体４が上記弁座３に押圧されるようになる真空バルブ、”
が記載されているものと認める。
(3)甲第10号証
　甲第10号証には、
（イ）「本発明は、弁体の操作のために必要な運動機構の内で、摩擦を必要とする部分は、すべて真空雰囲気の外部に設置し、真空雰囲気内においては、回動ないしはしゅう動する部材を無くし、しかも、全体として小形である、高度の清浄度を要求される真空雰囲気内において使用するのに適している無しゅう動ゲート弁を得ることを、その課題とするものである。」（第２頁下左欄第８〜15行）、
（ロ）「外部に対して内部を気密に保持可能となっている弁箱と、その１側壁にあけられた開口部と、弁箱内に置かれ、その開口部の周辺に形成された弁座をシール自在に開閉するための弁体とから成り立っている無しゅう動真空ゲート弁において、弁箱の外部に、弁体の弁座に対するシール自在な開閉運動を行わせるための弁体開閉機構を設け、この弁体開閉機構が、弁体を弁座の面に対してほぼ垂直な方向に動かす運動と、弁体をこの弁座の面に対してほぼ垂直な方向の運動により弁座から間隔を置かれた状態において、この方向に対してほぼ垂直な方向に動かす運動とを連続して行わせるようになっている無しゅう動真空ゲートバルブを特徴とするものである。」（第２頁下左欄第17行〜同頁下右欄第11行）、
（ハ）「このようなゲート弁は、現在、半導体ウエフェハーの製造ラインにおける使用の需要が高いもの」（第２頁下右欄第16〜18行）
（ニ）「横断面が長方形状の中空箱状の気密にシールされた弁箱１を有しており、この弁箱１が、その頂壁１０，長短の側壁１１，１２及び底壁１３から成り立っており」（第３頁上左欄第２〜４行）、
（ホ）「弁箱１の長い方の側壁１１の一つの下部には、弁箱１の垂直中心線ｘ-ｘに対して対称的に、長方形状の開口部２が、その長い辺２１を底壁１３に対して平行にあけられており、この開口部２の周囲には、弁座３が形成されている」（第３頁上左欄第９〜13行）、
（ヘ）「弁箱１の内部には、その弁座３と協同して開口部２をシールして閉鎖するために、この開口部２の平面輪郭に対応する平面輪郭を有している長方形の盤状の弁体10が、その一つの面が、弁座３の面に対して、ほぼ平行となるように配置されており、その弁座３に対向する面には、開口部２の周囲において弁座３に弾性的に接触するように、無端状にＯリング11が取り付けられている。なお、第図２には，弁体10が弁座３から離れ且つそれに対向している開口部２の開口状態において示されている。」（第３頁上左欄第19行〜同頁上右欄第８行）、
（ト）「弁体保持部材12は、その上面に、弁箱１の垂直中心線ｘ-ｘ内に軸心を有している丸棒状の弁体操作棒15に、その下端部において固着されており、この弁体操作棒15は、弁箱1の頂壁１０の中心線にあけられた開口looを緩く貫通して上方に延長され、その上端部の近くにおいて、水平な腕部材20１及び各支持架台5と平行に且つこれから間隔を置かれた1対の垂直な脚部材20２とから成り立っている縦断面がコの字状の板部材から形成されている内部旋回枠20の水平な腕部材201の中心部に、固着されている。この内部旋回枠20は、その各垂直な脚部材202の下方部に、その垂直中心線に対して対称的にＵ字状の垂直なスロット21があけられており、その半円形状の底部21oは、その半径と同一の半径を有し且つ弁箱１の長い方の側壁11と平行な水平線上に軸心を有している各１本のピン25により、旋回自在に保持されているが（第４図参照）、これらのピン25は、それぞれ、各支持架台５に、その下部において固着されている。」（第３頁下左欄第１〜19行）、
（チ）「この外部旋回枠30の水平な腕部材301には、弁箱1の垂直中心線x-xと同一の軸心を有している空気シリンダ35が、そのシリンダ端部において下方に向けて垂直に固着されており、そのピストン棒36は、その下端部において、内部旋回枠20の水平な腕部材201に固着されている弁体操作棒15の上端部に固着されている。なお、弁箱1の頂壁loにあげられた開口looの内周壁と、内部旋回枠20の水平な腕部材201の下面との間には、弁体操作棒15を緩く包囲してシール部材としてのべローズ38が、各端部において固着されており、弁箱１の内部を気密に保持するようにしてある。また、各支持架台5の上端部近くには、それらに同一水平線上において、ほぼだ円形の板状の空気シリンダ保持板40が、それぞれ、同一水平線に配置された空気シリンダ回転軸41を介して旋回可能に取り付けられており、この空気シリンダ保持板40には、弁体操作棒15に連結されたピストン棒36を有している空気シリンダ30の両側において、各１個の空気シリンダ42が、弁箱１の垂直中心線x-xに対称的にシリンダ端部において、空気シリンダ保持板40に対して垂直に取り付けられており、また、各空気シリンダ42のピストン棒43は、その自由端部において、内部旋回枠20の水平な腕部材201の上に、それぞれ、弁箱１の垂直中心線x-xに対して対称的に配置され且つ下端部において固着された、ほぼ長方形状の１対の板451から成り立っているピストン棒保持部材45の上端部近くに、ピン46を介して旋回自在に取り付けられている。」（第３頁下右欄第８行〜第４頁上左欄第16行）、
（リ）「開放の第二段階として、空気シリンダ35の作動により、そのピストン棒３６を、これらの図を見て、上方に行程Ｓだけ引き上げると、このピストン棒３６に内部旋回枠20を介して固着されている弁体操作棒15が、弁体保持部材12、弁体取り付け板13、ベローズ14介して弁体10を上昇させ、その弁体10が、弁箱１の開口部２に干渉しない位置まで上昇され、完全開放状態となる。なお、この場合、弁体操作棒15と一体となっている内部旋回枠20は、その垂直な各脚部材20２ に形成されたスロット21が、各ピン25に案内されて上昇し、それと同時に、この内部旋回枠20に固着されたピストン棒支持板45に、ピン46を介してピストン棒43を連結されている空気シリンダ42は、それを取り付けている空気シリンダ支持板40が、各空気シリンダ回転軸41を介して、各支持架台５の回りを旋回する。逆に、このようにして、完全に開放状態にある弁体10を、弁座３を閉鎖するように作動をさせるためには、まず、閉鎖の第一段階として、空気シリンダ35の作動により、そのピストン棒36及び弁体操作棒15、弁体保持部材12、弁体取り付け板13及びベローズ14を介して弁体10を第１及び２図に示す状態に持ち来すようにする。この状態においては、空気シリンダ35のピストン棒３６は、その延伸行程の端部にあり、また、内部旋回枠20の垂直な各脚部材20２ のスロット21の底部21は、ピン25の上に横わたり、空気シリンダ42のピストン棒43は、その延伸行程の端部にある。そこで、閉鎖の第二段階として、空気シリンダ42を、そのピストン棒43を引き込めるように作動させると、ピストン棒43は、ピストン棒支持部材45を介して内部旋回枠20をピン25の回りに、第２図で見て、反時計方向に旋回させる。従って、第１及び２図に示す状態にある弁体10は、弁座３に対して押圧され、弁体10に設置されたＯリング11を弁座３に対して強大な力により押圧し、弁体10と、弁座３との間における完全なシールを行うようになる。逆にこの閉鎖状態にある弁体10を弁座３から開放させるには、まず、開放の第一段階として、空気シリンダ42を作動させ、そのピストン棒43をその最大行程まで延伸させ、第１図及び２図に示す状態に持ち来し、開放の第二段階として、上記のように、空気シリンダ35の作動により、そのピストン棒36を引き込ませ、これにより、弁体10を垂直に上方へ移動させれば良い。」（第４頁上右欄第６行〜同頁下右欄第11行）との記載があり、これらの記載、図面の簡単な説明、図面等を参照すると、甲第10号証には、
“ 弁箱１と、この弁箱１内に設けた弁座３に対接されるよう上記弁箱１内に配置した弁体10と、この弁体10に連結した、上記弁箱１内から弁箱１外にベローズ38を介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁体操作棒15と、この弁体操作棒15を介して上記弁体10を上記弁座３に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁体10が上記弁座３にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁体操作棒15を傾動して上記弁体10が上記弁座３に押圧されるようにした、弁箱１外部に設けた移動手段を備え、上記移動手段が、ピストンシリンダ35と、このピストンシリンダ35のピストン棒36と、上記弁体操作棒15の上部及び上記ピストン棒36に連結された内部旋回枠20と、上記内部旋回枠20を傾動させるための空気シリンダ42と、上記内部旋回枠20を上下動及び傾動自在にガイドするための支持架台５及び該支持架台５に設けられたピン25を備え、上記弁体10が上記弁座３にこれから離間して対向する位置になった後、上記弁体操作棒15が上記内部旋回枠20を中心として傾斜し、上記弁体10が上記弁座３に押圧されるようになるゲート弁”
が記載されているものと認める。
(4)甲第11号証
　甲第11号証には、
（イ）「本発明は、…弁体の操作のために必要な運動機構の内で、摩擦を必要とする部分は、すべて真空雰囲気の外部に設置し、真空雰囲気内においては、回動ないしはしゅう動する部材を無くし、しかも、全体として小形である、高度の清浄度を要求される真空雰囲気内において使用するのに適している「無ししゆう動ゲートバルブ」を得ることに加え、これを、その弁体開閉機構を一層簡素化し、全体の占める容積を小さなものとし、更に、弁座と弁体との間のシールが、一層確実に行われるように改善とした「無しゅう動真空ゲートバルブ」を得ることを、その課題とするものである。」（第２頁下左欄第14行〜下右欄第６行）、
（ロ）「第1図に示すように、弁箱1の長い方の側壁1１の一つの下部には、弁箱1の垂直中心線X-Xに対して対称的に、長方形状の開口部2が、その長い辺2１、22を底壁13に対して平行であると共にその短い辺2’3を底壁13に対して垂直にあけられており、この開口部2の周囲には、弁座3が形成されている(第2図参照)。…弁箱1の頂壁loの上面には、弁箱1の垂直中心線X-Xに対して対称的に各1組の垂直な支持架台5が配置されているが、各支持架台5は、1対の、間隔を置かれた、先端部近くに幅の狭い部分を形成された、ほぼ長方形の板状の支持体51、52から成り立っており、これらの支持体51、52は、それぞれ、弁箱1の短い側壁12に対して平行となるように間隔を置かれて、その下端部において弁箱1の頂壁loの上に垂直に固着されている。更に、弁箱1の内部には、その弁座3と協同して開口部2を開閉自在に閉鎖するために、この開口部2の平面輪郭に相似する、やや大きな平面輪郭を有している長方形の盤状の弁体10が、その一つの平らな面が、弁座3に対して、ほぼ平行となるように配置されており、その弁座3に対向する面には、開口部2の周囲において弁座3に接触するように、Ｏリング11が取り付けられている(第2図参照)。」（第３頁上右欄第15〜下右欄第１行）、
（ハ）「弁箱１の頂壁１０にあけられた開口１００の内周壁と、内部旋回枠20の水平な腕部材20１の下面との間には、弁体操作棒15を緩く包囲してシール部材としてのベローズ38が、各端部において固着されており、弁箱１の内部を気密に保持するようにしてある。」（第３頁下右欄第14〜19行）
（ニ）「各支持架台５の上端部近くには、同一水平線上に、それぞれ、１個の空気シリンダ40が、その基端部において固定してあり、その他端部の中心部をピストン棒41が貫通しており、その端部には、半球状の形状を有する押圧部材42が固着されており、この押圧部材42の頂部は、旋回枠20の水平な腕部材20１と、垂直な脚部材20２との、それぞれの中心線の交差部において、旋回枠20に接触するようにされている。」（第４頁下左欄第８〜16行）、
（ホ）「弁座3を閉鎖するように作動をさせるには、まず、閉鎖の第一段階として、空気シリンダ35の作動により、そのピストン棒及び弁体操作棒15、弁体押圧部材12及びコイルばね13を介して弁体10を第1及2図に示す状態に持ち来すようにする。この状態においては、空気シリンダ35のピストン棒は、最大延伸行程状態にあり、また、旋回枠20の垂直な脚部材20２の外縁は、支持架台5を構成している支持体51及び52に取り付けられているピン25の中心を通る垂直面に対して、ほぼ平行となっており、また、各空気シリンダ40のピストン棒41は、その引き込み行程の状態にある。そこで、閉鎖の第二段階として、空気シリンダ40を、そのピストン棒41が、その最大延伸行程の端部に向かって移動するように作動させると、各ピストン棒41は、押圧部材42を介して、旋回枠20を構成している水平な腕部材201と、脚部材20２との交差部分を押圧し、旋回枠20をピン25の回りに、第2図で見て、反時計方向に旋回させるようにする。従って、旋回枠20の水平な腕部材20１は、これに取り付けられた空気シリング35のピストンに連結されて弁体操作棒15を空気シリンダ35と一緒に、第2図で見て、反時計方向に旋回させる。これにより、弁体操作棒15の下端部に、中心部において固着されている弁体押圧部材12は、その段部12１の面の中心部に形成された半球状の突起12２の頂面により、弁体10に形成されたくぼみ10１の底面を、その中心部において押圧するので、弁体10は、弁座3に対して押圧され、弁体10に設置されたＯリング11を弁座3に対して強大力により押圧し、弁体10と、弁座3との間における完全なシールを行うようになり、弁箱1にあけられた開口部2，2’の相互の連通を完全に阻止する。なお、この場合、弁体10は、弁体押圧部材12に、数組のコイルはね13を介して連結されているので、弁体10の弁座3に対する押圧力は、両部材3，10の間の接触面に均等に分布されることが、確実とされる。逆に、この閉鎖状態にある弁体10を弁座3から開放させるには、まず、開放の第一段階として、空気シリンダ40を作動させ、そのピストン棒41を引き込ませると、旋回枠20は、それを構成している脚部材202と、弁箱1の頂壁10との間に、適宜な手段により配置している戻しコイルばね45の作用により、ピン25の回りに、第2図でみて時計方向に旋回され、第1及び2図に示す状態に持ち来され、その水平な腕部材20１と一体となっている空気シリンダ35、従って、そのピストンに連結されている弁体操作棒15を、同図に示す状態とし、弁体10を弁座3から引き離す。そこで、開放の第二段階として、空気シリンダ35の作動により、そのピストン棒を引き込ませ、これにより、弁体10を垂直に上方へ移動させれば良い。」（第４頁下右欄第18行〜第５頁下左欄第９行）、
との記載があり、これらの記載、図面の簡単な説明、図面等を参照すると、甲第１１号証には、
“弁箱１と、この弁箱１内に設けた弁座３に対接されるよう上記弁箱１内に配置した弁体10と、この弁体10に連結した、上記弁箱１内から弁箱１外にべローズ38を介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁体操作棒15と、この弁体操作棒15を介して上記弁体10を上記弁座３に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁体10が上記弁座３にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁体操作棒15を傾動して上記弁体10が上記弁座３に押圧されるようにした、弁箱１外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、空気シリンダ35と、上記弁体操作棒15に連結した上記空気シリンダ35のピストン棒と、上記空気シリンダ35を固定した旋回枠20と、この旋回枠20をピン25を介して旋回可能に支持する支持架台５と、旋回枠20を旋回させるための空気シリンダ40とからなり、上記弁体10が上記弁座３にこれから離間して対向する位置に移動した後に、上記弁体操作棒15が旋回枠20を中心として傾斜し、上記弁体10が上記弁座３に押圧されるようになるゲートバルブ”
が記載されているものと認める。
２．対比・判断
(1)請求項２に係る発明と甲第８号証に記載された発明とを対比すると、　  
　甲第８号証に記載されたものの“ゲート部材60”、“アクセス通路Ｐのロードロック側開口周囲面”、“ベローズ68”、“軸40”は、それぞれ本件特許の請求項２に係る発明の「弁デスク」、「弁座」、「ベローズ」、「弁ロッド8」に対応し、
　甲第８号証に記載されたものの“ピストン及びシリンダ組立体44、46”、“ピストンロッド48，50”、“固定ブロック54”、“リンク52”、“スプリング80”は、“軸40”を介して“ゲート部材60”を弁座（アクセス通路Ｐのロードロック側開口周囲面）に対向する位置と対向しない位置に移動させ、“ゲート部材60”が弁座（アクセス通路Ｐのロードロック側開口周囲面）に離間して対向する位置となった後、“軸40”を傾動して“ゲート部材60”を弁座（アクセス通路Ｐのロードロック側開口周囲面）に押圧させるので、移動手段を構成するものと認められ、
　また、上記移動手段において、甲第８号証に記載されたものの“ピストン及びシリンダ組立体44、46”、“ピストンロッド48，50”、“固定ブロック54”、“リンク部材52”、“スプリング80”は、それぞれ本件特許の請求項２に係る発明の「ピストンシリンダ」、「ピストンロッド」、「ブロック」、「傾斜リンク」、「ばね」に対応し、甲第８号証に記載の“軸受ブロック42”は“固定ブロック54”と一体の“軸40”及び“ゲート部材60”を上下動及び傾動自在にガイドするので、本件特許の請求項２に係る発明の「ガイド」に対応するから   
　両者は、
  弁座に対接されるよう配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、該弁デスクを配置した室内から室外にべローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、前記室外に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、このピストンシリンダのピストンロッドに連結されたリンク接続部と、上記弁ロッドに連結されたブロックと、上記ピストンロッドの先端のリンク接続部とブロック間に夫々その端部を回動自在に枢支した傾斜リンクと、上記ピストンロッド及び弁ロッドを軸方向の相対移動を抑制するよう設けられたばねと、上記弁ロッドを上下動及び傾動自在にガイドするガイドとより成り、上記ピストンロッドのリンク接続部を上記ブロックに対して接近するように押圧した際、上記傾斜リンクが水平状となって上記弁ロッドが傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになるゲートバルブ”、
である点で一致し、
　1)　本件請求項２に係る発明は、「弁箱」を備え、この「弁箱内」に弁座を設け、「弁箱内に」弁デスクを配置し、弁ロッドを「弁箱内から弁箱外に突出」し、移動手段を「弁箱外部に設けた」ものであるのに対して、甲第８号証に記載されたものは、ロードロック32内に弁座を設け、ロードロック32内にゲート部材を配置し、軸40がロードロック32内からロードロック32外に突出するものであるが、上記ロードロック32は、ウエハ移送装置Ｍが配置される室であって、弁箱ではないから、甲第８号証に記載されたものは、弁箱を備えず、したがって、「弁箱内」に弁座を設け、「弁箱内に」弁デスクを配置し、弁ロッドを「弁箱内から弁箱外に突出」し、移動手段を「弁箱外部に設けた」ものでない点、
　2)上記リンク接続部が、本件請求項２に係る発明はヨークであるのに対して、甲第８号証に記載されたものは円板状部であるから、甲第８号証に記載されたものは、「ピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨーク」を備えず、したがって、傾斜リンクの一端を「上記ヨーク」に枢支したものでない点、
　3)本件請求項２に係る発明は、上記ブロックが「弁ロッドの上部」に連結されたものであるのに対して、甲第８号証に記載されたものは、固定ブロック54が軸40のほぼ中間部分に固定されているから、ブロックを「弁ロッドの上部」に連結するものでない点、
　4)本件請求項２に係る発明は、ばねが、「ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結する」のに対して、甲第８号証に記載されたものは、ばねは、傾斜リンク（リンク部材52）と弁ロッド（軸40）端部の板72を互いに連結しているから、ばねが「ヨーク及びブロックを」連結するものでない点、
　5)本件請求項２に係る発明は、ガイドが、「上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成した」ものであるのに対して、甲第８号証に記載されたものは、ガイドは、弁ロッド（軸40）を上下動及び傾動自在にガイドするためハウジング12の側壁14、16に回動自在に設けた軸受ブロック42であって、固定ブロック54は直接ガイドされておらず、また固定ブロック54の運動の方向は上下方向及び円周方向であるから、「上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイド」を備えない点、
　6)本件請求項２に係る発明は、弁ロッドが傾動する際ブロックを中心として傾斜するのに対して、甲第８号証に記載されたものは、弁ロッドが傾動する際、ハウジング12の側壁14、16に回動自在に設けた軸受ブロック42にガイドされた弁ロッドの端部を中心として傾斜するから、「ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記リンクが水平状となって上記弁ロッドがブロックを中心として傾斜」する構成を備えない点、
の各点で相違する。
(2)請求項2に係る発明と甲第９号証に記載された発明とを対比すると、
  甲第９号証に記載されたものにおける“弁箱１”、“弁座３”、“弁体４”、“伸縮ベローズ12”、“弁棒５”、“弁棒上下移動用駆動機７”、“ロッド7b”、“連接棒６”、“支持体８”及び“第１の球面滑り軸受９”、“真空バルブ”が、それぞれ、本件請求項２に係る発明の「弁箱」、「弁座」、「弁デスク」、「ベローズ」、「弁ロッド」、「ピストンシリンダ」、「ピストンロッド」、「ヨーク」、「ガイド」、「ゲートバルブ」に対応し、
　両者は、
  弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、このピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨークと、上記ヨークと弁ロッドとを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結する手段と、弁ロッドに傾動力を加える手段と、上記弁ロッドを上下動及び傾動自在にガイドするガイドを備え、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記傾動力を加える手段を介して、上記弁ロッドが傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになるゲートバルブ、
である点において一致し、
　1)本件請求項２に係る発明は、上記移動手段が、「弁ロッドの上部に連結されたブロックと、上記ヨークとブロック間に夫々その端部を回動自在に枢支した傾斜リンクと、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばね」と、「上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイド」を備えるのに対して、甲第９号証に記載されたものはこの構成を備えていない点、
　2)本件請求項２に係る発明は、「上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記リンクが水平状となって上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる」のに対して、甲第９号証に記載されたものはこの構成を備えていない点、
の各点で相違する。
(3)請求項2に係る発明と甲第10号証に記載された発明とを対比すると、甲第10号証に記載された発明の“弁箱１”、“弁座３”、“弁体10”、“弁体操作棒15”、“ベローズ38”が、それぞれ、請求項２に係る発明の「弁箱」、「弁座」、「弁デスク」、「弁ロッド」、「ベローズ」に対応し、甲第10号証に記載された発明において、“内部旋回枠20”は、“弁体操作棒15”の上部に連結されており、またこれを中心として“弁体操作棒15”が傾斜するから、“内部旋回枠20”は、本件請求項２に係る発明の「ブロック」に対応し、
　両者は、
弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段を備え、上記移動手段が、ピストンシリンダと、ピストンシリンダのピストンロッドと、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、該ブロックに傾動力を加える手段と、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするためのガイドを備え、上記弁デスクが弁座にこれから離間して対向する位置になった後、上記傾動力を加える手段を介して、上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになるゲートバルブ、
である点において一致するものの、
　1)本件請求項２に係る発明は、移動手段が、「ピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨーク」と、「上記ヨークとブロック間に夫々その端部を回動自在に枢支した傾斜リンクと、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばね」と、「上記ピストンシリンダの側面に形成したガイド」を備え、「上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記リンクが水平状となって上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる」のに対して、甲第10号証に記載されたものはこのような構成を備えていない点、
で相違する。
(4)請求項2に係る発明と甲第11号証に記載された発明とを対比すると、甲第11号証に記載された発明の“弁箱１”、“弁座３”、“弁体10”、“ベローズ38”、“弁体操作棒15”が、それぞれ本件請求項２に係る発明の「弁箱」、「弁座」、「弁デスク」、「ベローズ」、「弁ロッド」に対応し、甲第１１号証に記載されたものにおいて、“ピン25”は、“弁体操作棒15”の傾動中心となることから傾動をガイドするものと認められるので、
　両者は、
弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にべローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、弁ロッドに傾動力を加える手段と、上記弁ロッドを傾動自在にガイドするガイドとを備え、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記傾動力を加える手段を介して、上記弁ロッドが傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになるゲートバルブ、
である点において一致するものの、
　甲第11号証に記載されたものにおいて、旋回枠20は、空気シリンダ35と連結されており、弁体操作棒15又は空気シリンダ35のピストン棒と連結されたものではなく、また、空気シリンダ35のピストン棒は弁体操作棒15と固定されているものと認められるから、甲第11号証に記載されたものは、本件請求項２に係る発明の「ブロック」、「ヨーク」に相当する構成を備えるものでなく、
　1)本件請求項２に係る発明は、移動手段が、「ピストンロッドに連結されたヨークと、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、上記ヨークとブロック間に夫々その端部を回動自在に枢支した傾斜リンクと、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばねと、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイド」を備え、「上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記リンクが水平状となって上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる」のに対して、甲第11号証に記載されたものはこのような構成を備えていない点、
で相違する。
(５)以上のことから、本件請求項２に係る発明は、甲第８号証に記載された発明とすることはできない。
　そして、甲第８〜１１号証に記載されたものは、いずれも、本件請求項２に係る発明の構成に欠くことができない事項である
ａ．「上記ヨークとブロック間に夫々その端部を回動自在に枢支した傾斜リンクと、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばね」（以下「構成Ａ」という。）
ｂ．「『ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイド』を備え、『上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記リンクが水平状となって上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる』」構成（以下「構成Ｂ」という。）を備えるものではない。また、これらの構成Ａ及び構成Ｂが、本件特許の出願前周知のものとも認められない。
 　請求人は、
　ガイドを移動体の隣接する部材に設けることは周知技術であり、ガイドを設ける場所については当業者が必要に応じて任意に選択し得る事項にすぎず、ガイドを弁箱上の固定側であり弁ロッドに隣接するピストンシリンダの側面に形成する構成は、甲第８号証に記載のガイドに替えて甲第１０号証に記載されたガイドを適用することにより、当業者が容易に想到することができた程度のものにすぎない、
　ブロック10の取付位置、形状等の相違については、当業者が必要に応じて適宜選択し得る事項にすぎず、更に、甲第10号証には、本件特許の請求項２に係る発明のブロックに相当する内部旋回枠20を弁体操作棒（弁ロッド）15の上部に連結し、この内部旋回枠20を回動可能に支持する構成が記載されているので、本件特許の請求項２に係る発明のように、弁ロッドの上部にブロックを連結し、このブロックを回動可能に支持する構成については、甲第８号証、甲第10号証に基づき当業者が容易に想到することができた程度のものにすぎない、
旨主張する。
　しかしながら、上下動及び傾動をガイドするガイドをピストンシリンダの側面に形成することが周知の事項とは認められず、また、甲第８号証に記載されたものの「軸受けブロック42」は、「固定ブロック54」を弁ロッドの傾斜の中心としてガイドするものではなく、また、甲第10号証に記載されたものの支持架台５はピストンシリンダ装置により形成されているものではないから、甲第10号証に記載された支持架台５によるガイドを、甲第８号証に記載されたものの軸受けブロックに替えて適用しても、ピストンシリンダの側面にブロックの上下動及び傾動をガイドするガイドを形成し、弁ロッドがブロックを中心として傾斜する構成が想到し得るものではない。
　更に、甲第８号証に記載されたものにおいて、甲第１０号証に記載されたもののように弁ロッドの上部にブロックを連結し、このブロックを甲第８号証に記載されたもののシリンダの側面位置において上下動及び傾動自在にガイドする構成を採用すると、弁デスクが弁座に押圧されるようになる際、甲第８号証に記載されたものは、ピストンロッド48，50の先端はシリンダ組立体44，46から遠ざかる方向に運動するものであるから、本件請求項２に係る発明の構成に欠くことができない事項である「上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記リンクが水平状となって」との構成を備えないこととなるものである。
　したがって、「『ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイド』を備え、『上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記リンクが水平状となって上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる』」構成、即ち上記構成Ｂが、上記甲第８号証及び甲第10号証に記載されたものから当業者が容易に想到し得たものとすることはできない。
　このように、本件特許の請求項２に係る発明の上記構成Ｂは、甲第８号証及び甲第10号証に記載されたものに基づいて、当業者が容易に想到し得たものとすることができないばかりでなく、甲第８〜11号証に記載されたものに基づいて、当業者が容易に想到し得たものとすることはできない。
　また、この構成Ｂが、甲第８〜11号証に記載されたものに基づいて、当業者が容易に想到し得たものとすることはできない以上、本件特許の請求項２に係る発明が、甲第８号証に記載されたものと比較して、「高さを低くし、ゲートバルブ全体の形状を小型化する」という点において、特に顕著な作用効果を奏すると認められないとしても、本件特許の請求項２に係る発明が、甲第８〜11号証に記載されたものに基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
（請求の理由５について）
１．甲各号証記載の発明
(1)甲第８〜１１号証には、それぞれ前記「（請求の理由４について）」の「１．甲各号証記載の発明」の「(1)」〜「(4)」に記載したとおりのものが記載されているものと認める。
(2)甲第12号証
　甲第12号証には
（イ）「11はエアシリンダ、12は駆動軸、13は弁体、13aは結合部材、14はカム、15はカムフロー、16はＯリングを示し、」（第１頁下右欄第20行〜第２頁上左欄第２行）、
（ロ）「上記した駆動軸の動きを第５図を参照して説明する。ゲートバルブを閉じるとき、すなわち駆動軸12が下降するときの状態は第５図(a)に示される。なお、Ｏリングの上方と下方の接触部分をそれぞれ16a、16bで表示する。駆動軸12の下降のときピン18は長穴19の左方に位置する。駆動軸12が下方に図にＦで示す力で動くと、ゲート17とＯリングの下方部分16bとの摩擦により結合部材13aには時計回り方向の回転モーメント（図に矢印Ｍで示す）が働き、Ｏリングの上方部分16aのところが開いて真空もれが発生する。駆動軸12に上方向にＦの力が働いて駆動軸12が第５図(b)に示される如く上昇しようとするとき、ピン18は長穴19の右端に位置する。結合部材13aは矢印Ｍで示す方向に揺動(swing)しようとして、Ｏリングの上方部分16aは強い摩擦力を受け、駆動軸12の円滑な上昇を妨げる。」（第２頁下左欄第13行〜同頁上右第９行）、
（ハ）「弁体をＯリングを介してゲートに接触せしめ、またはＯリングとの接触を開放してゲートを閉じまたは開いて複数の雰囲気の異なる室を分離、結合するために弁体を上下動かせる駆動軸にして、前記弁体の結合部材に設けたピンと結合する駆動軸の長穴は、水平方向に対してある角度傾斜した長穴であることを特徴とするバルブ駆動軸を提供することによって達成される。」（第２頁下左欄第２〜10行）、
（ニ）「従来の駆動軸12に設けた横方向の長穴19を、第６図に示される如く水平面に対し角度αをつけた長穴29とするものである。長穴29をかくの如く構成するときの駆動軸12の動きを第７図参照して説明しよう。第７図(a)参照　予備室６と処理室１とを分離させる場合、すなわちゲートバルブを閉じるとき、駆動軸12に下方向の図に矢印Ｆで示す力が加えられると、図に矢印Ｎとｆで示す抗力と合力は図に示す如く働き、Ｏリングの上方、下方部分16a，16bは均等な力で押圧されてゲートバルブを閉の状態に保つので、第５図(a)参照して説明した従来の問題は発生することがない。」（第２頁下左欄第13行〜同頁下右欄第６行）等の記載があり、これらの記載、図面の簡単な説明、図面等を参照すると、甲第12号証には、
“ゲート17に対接されるよう配置した弁体13と、この弁体13に連結した上下動自在の弁体の結合部材13aと、この弁体の結合部材13aを介して上記弁体13を上記ゲート17に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁体13が上記ゲート17に対向する位置となった後、上記弁体13が上記ゲート17に押圧されるようにした、移動手段とより成り、上記移動手段が、エアシリンダ11と、このエアシリンダ11のピストンロッドに連結された駆動軸12と、上記弁体の結合部材13aの上部に連結されたピン18と、上記駆動軸12の下端に形成された角度αをつけた長穴19を備え、上記駆動軸12を弁体の結合部材13aに対して接近するよう押圧した際、上記ピン18及び長穴19を介して、上記弁体13が上記ゲート17に押圧されるようになるゲートバルブ、”
が記載されているものと認める。
(3)甲第13号証
　甲第13号証には、
（イ）「ゲート弁10のハウジング11は、互に平行な壁部分12および13を有し、これら壁部分に共通の軸線14を有し互に対面する開口15および16が形成される。開口15のまわりの壁部分12の内面は弁座17を構成する。軸線14に直交する方向に（すなわち壁部分12、13に平行に）延長しこの方向に移動できる弁軸18は、この弁軸の移動によって壁部分12と13の間の間隙に出入できる頭部19を有し、この頭部19は弁板20を支持する。弁板20は公知のようにリンク21、ピン22、長孔23、ばね24などに作動結合されていて、これらの作用によって弁軸18が第１図の後退位置から前進して第２図に示すようにリンク21がハウジング11の１部分に当接するまでは壁部分12、13に接触することなくこれらに平行に移動し、弁軸18がさらに前進するときには壁部分12に平行な配置を保ちながらこの壁部分12の弁座17に第３図図示のように接触しかつ押付けられる。弁板20は弁座17に対面するようになっている位置にＯ−リングシール25を有し、従って弁板20が弁座17に押付けられときに開口15は気密的に遮断される。上述したようなゲート弁10の作動およびこれに関連する構成の詳細は当業者によく知られているから、それらの詳しい説明は省略する。」（明細書第４頁第６行〜第５頁第10行）
との記載があり、これらの記載、図面の簡単な説明、図面等を参照すると、甲第13号証には、
“ハウジング11と、このハウジング11内に設けた弁座17に対接されるよう上記ハウジング11内に配置した弁板20と、上記弁板20を上記弁座17に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁板20が上記弁座17にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁板20が上記弁座17に押圧されるようにした、移動手段とより成り、上記移動手段が、弁軸18と、弁軸18の先端に設けられた頭部19と、リンク21と、ピン22と、長孔23と、上記頭部19と弁板20を軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばね24とから成り、上記頭部19を上記弁板20に対して接近するよう押圧した際、上記長孔23に沿ってピン22が移動すると共に、上記リンク21が回動して、上記弁板20が上記弁座17に押圧されるようになるゲート弁”
が記載されているものと認める。
(4)甲第14号証
　甲第14号証には、
（イ）「軸５の右斜線上に長孔６を穿ち、この長孔６に弁杆７の下方分割部８内に設けてあるピン９を緩く嵌めて弁杆７の昇降により、弁４を昇降して弁座３を全開し、または、完全に閉塞するように形成されている。」（明細書第２頁第18行〜第３頁第２行）点
が記載されているものと認める。
(5)甲第15号証
  甲第15号証には、
（イ）「ベルクランク５、１、２の上枝５は、二又となってベルト６をはさみ、下枝にはピン２が突起して、これがスライダ４のへ字形のみぞに入る。４を左側に寄せると、ベルト寄せ５は１点鎖線で示すように右に傾く。」との記載があり、これらの記載及び図面を参照すると、甲第15号証には、
“支点１を中心にベルクランクを傾動自在に設け、このベルクランクの下枝に設けたピン２を、スライダ４の移動によって、スライダ４の傾斜みぞ３に沿って案内移動して、上記ベルクランクを傾動する点”
が記載されているものと認める。
２．対比・判断
(1)請求項３に係る発明と甲第８号証に記載された発明とを対比すると、　  
　甲第８号証に記載されたものの“ゲート部材60”、“アクセス通路Ｐのロードロック側開口周囲面”、“ベローズ68”、“軸40”は、それぞれ本件特許の請求項３に係る発明の「弁デスク」、「弁座」、「ベローズ」、「弁ロッド」に対応し、
　甲第８号証に記載されたものの“ピストン及びシリンダ組立体44、46”、“ピストンロッド48，50”、“固定ブロック54”、“リンク52”、“スプリング80”は、“軸40”を介して“ゲート部材60”を前記開口周囲面に対向する位置と対向しない位置に移動させ、“ゲート部材60”が前記開口周囲面に離間して対向する位置となった後、“軸40”を傾動して“ゲート部材60”を前記開口周囲面に押圧させるので、移動手段を構成するものと認められ、
　また、上記移動手段において、甲第８号証に記載されたものの“ピストン及びシリンダ組立体44、46”、“ピストンロッド48，50”、“固定ブロック54”、“スプリング80”は、それぞれ本件特許の請求項３に係る発明の「ピストンシリンダ」、「ピストンロッド」、「ブロック」、「ばね」に対応し、
　甲第８号証に記載のものの“軸受ブロック42”は“固定ブロック54”と一体の“軸40”及び“ゲート部材60”を上下動及び傾動自在にガイドするので、本件特許の請求項３に係る発明の「ガイド」に対応し、
　甲第８号証に記載のものの“リンク部材52”と本件特許の請求項３に係る発明の「ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔」は、共に、ピストンロッドの上下方向の運動から前後方向（或いは横方向）の運動を得る運動方向変更手段といえるから、
 　両者は、
  弁座に対接されるよう配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、弁デスクを配置した室内から室外にべローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、前記室外に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、このピストンシリンダのピストンロッドと、上記弁ロッドに連結されたブロックと、上記ピストンロッドの先端部とブロックを互いに連結する運動方向変更手段と、上記ピストンロッド及び弁ロッドを軸方向の相対移動を抑制するよう設けられたばねと、上記弁ロッドを上下動及び傾動自在にガイドするガイドとより成り、上記ピストンロッドの先端部を上記ブロックに対して接近するように押圧した際、上記運動方向変更手段を介して上記弁ロッドが傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになるゲートバルブ”、
である点で一致し、
　1)　本件請求項３に係る発明は、「弁箱」を備え、この「弁箱内」に弁座を設け、「弁箱内に」弁デスクを配置し、弁ロッドを「弁箱内から弁箱外に突出」し、移動手段を「弁箱外部に設けた」ものであるのに対して、甲第８号証に記載されたものは、ロードロック32内に弁座を設け、ロードロック32内にゲート部材を配置し、軸40がロードロック32内からロードロック32外に突出するものであるが、上記ロードロック32は、ウエハ移送装置Ｍが配置される室であって、弁箱ではないから、甲第８号証に記載されたものは、弁箱を備えず、したがって、「弁箱内」に弁座を設け、「弁箱内に」弁デスクを配置し、弁ロッドを「弁箱内から弁箱外に突出」し、移動手段を「弁箱外部に設けた」ものでない点、
　2)上記ピストンロッドの先端部が、本件請求項３に係る発明はヨークであるのに対して、甲第８号証に記載されたものは円板状部であるから、甲第８号証に記載されたものは、「ピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨーク」を備えない点、
　3)本件請求項３に係る発明は、上記ブロックが「弁ロッドの上部」に連結されたものであるのに対して、甲第８号証に記載されたものは、固定ブロック54が軸40のほぼ中間部分に固定されているから、ブロックを「弁ロッドの上部」に連結したものでない点、
　4)上記運動方向変更手段が、本件請求項３に係る発明は「ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔」であるのに対して、甲第８号証に記載されたものはリンクであるから、甲第８号証に記載されたものは、「上記ヨークとブロックを互いに連結する、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔」を備えていない点、
　5)本件請求項３に係る発明は、ばねが、「ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結する」のに対して、甲第８号証に記載されたものは、ばねは、リンク部材52と軸40端部の板72を互いに連結しているから、ばねが「ヨーク及びブロックを」連結するものでない点、
　6)本件請求項３に係る発明は、ガイドが、「上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成した」ものであるのに対して、甲第８号証に記載されたものは、ガイドは、弁ロッド（軸40）を上下動及び傾動自在にガイドするためハウジング12の側壁14、16に回動自在に設けた軸受ブロック42であって、固定ブロック54は直接ガイドされておらず、また固定ブロック54の運動方向は上下方向及び円周方向であるから、「上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイド」を備えない点、
　7)本件請求項３に係る発明は、弁ロッドが傾動する際ブロックを中心として傾斜するのに対して、甲第８号証に記載されたものは、弁ロッドが傾動する際、ハウジング12の側壁14、16に回動自在に設けた軸受ブロック42にガイドされた弁ロッド端部を中心として傾斜するから、「ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドがブロックを中心として傾斜」する構成を備えない点、
の各点で相違する。
(2)請求項３に係る発明と甲第９号証に記載された発明とを対比すると、
  甲第９号証に記載されたものにおける“弁箱１”、“弁座３”、“弁体４”、“伸縮ベローズ12”、“弁棒５”、“弁棒上下移動用駆動機７”、“ロッド7b”、“連接棒６”、“支持体８”及び“第１の球面滑り軸受９”、“真空バルブ”が、それぞれ、本件請求項３に係る発明の「弁箱」、「弁座」、「弁デスク」、「ベローズ」、「弁ロッド」、「ピストンシリンダ」、「ピストンロッド」、「ヨーク」、「ガイド」、「ゲートバルブ」に対応し、
　両者は、
  弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、このピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨークと、上記ヨークと弁ロッドとを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結する手段と、弁ロッドに傾動力を加える手段と、上記弁ロッドを上下動及び傾動自在にガイドするガイドを備え、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記傾動力を加える手段を介して、上記弁ロッドが傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになるゲートバルブ、
である点において一致し、
　1)本件請求項３に係る発明は、上記移動手段が、「弁ロッドの上部に連結されたブロックと、上記ヨークとブロックを互いに連結する、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔と、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばね」と、「上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイド」を備えるのに対して、甲第９号証に記載されたものはこの構成を備えていない点、
　2)本件請求項３に係る発明は、「上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる」のに対して、甲第９号証に記載されたものはこの構成を備えていない点、
の各点で相違する。
　(3)請求項３に係る発明と甲第10号証に記載された発明とを対比すると、甲第10号証に記載された発明の“弁箱１”、“弁座３”、“弁体10”、“弁体操作棒15”、“ベローズ38”が、それぞれ、請求項３に係る発明の「弁箱」、「弁座」、「弁デスク」、「弁ロッド」、「ベローズ」に対応し、甲第10号証に記載された発明において、“内部旋回枠20”は、“弁体操作棒15”の上部に連結されており、またこれを中心として“弁体操作棒15”が傾斜するから、“内部旋回枠20”は、本件請求項３に係る発明の「ブロック」に対応し、
 　両者は、
弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段を備え、上記移動手段が、ピストンシリンダと、ピストンシリンダのピストンロッドと、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、該ブロックに傾動力を加える手段と、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするためのガイドを備え、上記弁デスクが弁座にこれから離間して対向する位置になった後、上記傾動力を加える手段を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになるゲートバルブ、
である点において一致するものの、
　1)本件請求項３に係る発明は、移動手段が、「ピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨーク」と、「上記ヨークとブロックを互いに連結する、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔と、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばね」と、「上記ピストンシリンダの側面に形成したガイド」を備え、「上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる」のに対して、甲第10号証に記載されたものはこのような構成を備えていない点、
で相違する。
(4)請求項３に係る発明と甲第11号証に記載された発明とを対比すると、甲第11号証に記載された発明の“弁箱１”、“弁座３”、“弁体10”、“ベローズ38”、“弁体操作棒15”が、それぞれ本件請求項３に係る発明の「弁箱」、「弁座」、「弁デスク」、「ベローズ」、「弁ロッド」に対応し、甲第１１号証に記載されたものにおいて、“ピン25”は、“弁体操作棒15”の傾動中心となることから傾動をガイドするものと認められるので、
　両者は、
弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にべローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、弁ロッドに傾動力を加える手段と、上記弁ロッドを傾動自在にガイドするガイドとを備え、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記傾動力を加える手段を介して、上記弁ロッドが傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになるゲートバルブ、
である点において一致するものの、
　甲第11号証に記載されたものにおいて、旋回枠20は、空気シリンダ35と連結されており、弁体操作棒15又は空気シリンダ35のピストン棒と連結されたものではなく、また、空気シリンダ35のピストン棒は弁体操作棒15と固定されているものと認められるから、甲第11号証に記載されたものは、本件請求項３に係る発明の「ブロック」、「ヨーク」に相当する構成を備えるものでないから、
　1)本件請求項３に係る発明は、移動手段が、「ピストンロッドに連結されたヨークと、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、上記ヨークとブロックを互いに連結する、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔と、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばねと、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイド」を備え、「上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる」のに対して、甲第11号証に記載されたものはこのような構成を備えていない点、
で相違する。
(5)請求項３に係る発明と甲第12号証に記載された発明とを対比すると、甲第12号証に記載されたものの“ゲート17”、“弁体13”が、それぞれ、本件請求項３に係る発明の「弁座」、「弁デスク」に対応し、また、本件請求項３に係る発明の「ヨークとブロックを互いに連結する、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔」と上記甲第12号証に記載されたものの“ピン18”及び“長穴19”は、弁デスクを弁座に押圧する弁デスク押圧手段であり、請求項３に係る発明の「弁ロッド」及び甲第12号証に記載されたものの“弁体の結合部材13a”は、弁デスクに連結した部材であるから、
　両者は、
  弁座に対接されるよう配置した弁デスクと、この弁デスクに連結した部材と、この部材を介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座に対向する位置となって、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、このピストンシリンダのピストンロッドに連結された駆動部と、上記駆動部と上記部材との間に連結された弁デスク押圧手段を備え、上記駆動部を上記部材に対して接近するよう押圧した際、上記弁デスク押圧手段を介して、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになるゲートバルブ、
である点で一致するものの、
　1)本件請求項３に係る発明は、「弁箱」を備え、弁座を「弁箱内に設け」、弁デスクを「弁箱内に配置」するのに対して、甲第12号証に記載されたものはこのような構成を備えていない点、
　2)本件請求項３に係る発明は、弁ロッドを「弁箱内から弁箱外にベローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する」のに対して、甲第12号証に記載されたものはこのような構成を備えていない点、
　3)本件請求項３に係る発明は、「上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段」を備えるのに対して、甲第12号証に記載されたものはこのような構成を備えていない点、
　4)本件請求項３に係る発明は、移動手段が、「ピストンロッドに連結されたヨークと、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、上記ヨークとブロックを互いに連結する、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔と、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばねと、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイド」を備えるのに対して、甲第12号証に記載されたものはこのような構成を備えていない点、
　5)本件請求項３に係る発明は、「上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる」のに対して、甲第12号証に記載されたものはこのような構成を備えていない点、
の各点で相違する。
(6)本件請求項３に係る発明と甲第13号証に記載されたものとを対比すると、甲第13号証に記載されたものの“ハウジング11”、“弁座17”、“弁板20”、“頭部19”、“ゲート弁”が、それぞれ、本件請求項３に係る発明の「弁箱」、「弁座」、「弁デスク」、「ヨーク」、「ゲートバルブ」に対応するから、
　両者は、
弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、移動手段を備え、上記移動手段が、駆動装置先端のヨークと、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔と、上記ヨークと弁デスクの軸方向の相対移動を抑制するばねを備え、上記ヨークを上記弁デスク側に接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになるゲートバルブ”
である点で一致するものの、甲第13号証に記載されたものは、本件請求項３に係る発明の構成に欠くことができない事項である
　1)「弁箱内から弁箱外にベローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッド」、
　2)「上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段」、
　3)「上記移動手段が、ピストンシリンダと、このピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨークと、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、上記ヨークとブロックを互いに連結する、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔と、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばねと、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイドとより成り、上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる」点
の各点を備えていない。
(7)本件請求項３に係る発明と甲第14号証に記載されたものとを対比すると、
　甲第14号証に記載されたものは、
「弁箱と、この弁箱内に設けた弁座に対接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスク」は備えるものの、本件請求項３に係る発明の構成に欠くことができない事項である
「弁デスクに連結した、上記弁箱内から弁箱外にベローズを介して上下動及び傾動自在に気密に突出する弁ロッドと、この弁ロッドを介して上記弁デスクを上記弁座に対向する位置と対向しない位置に移動自在ならしめ、上記弁デスクが上記弁座にこれから離間して対向する位置となった後、上記弁ロッドを傾動して上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようにした、弁箱外部に設けた移動手段とより成り、上記移動手段が、ピストンシリンダと、このピストンシリンダのピストンロッドに連結されたヨークと、上記弁ロッドの上部に連結されたブロックと、上記ヨークとブロックを互いに連結する、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔と、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばねと、上記ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするため上記ピストンシリンダの側面に形成したガイドとより成り、上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる」点を備えていない。
(8)また、甲第15号証に記載されたものは、ゲートバルブを示すものではない。
(9)以上のことから、甲第８〜15号証に記載されたものは、いずれも、本件請求項３に係る発明の構成に欠くことができない事項である
ａ．「上記ヨークとブロックを互いに連結する、ピン及びこのピンに係合する傾斜長孔と、上記ヨーク及びブロックを軸方向の相対移動を抑制するよう互いに連結するばね」（以下「構成Ａ’」という。）、
ｂ．「『ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするためピストンシリンダの側面に形成したガイド』を備え、『上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる』」構成（以下「構成Ｂ’」という。）
を備えるものではない。
　また、上記構成Ａ’及び上記構成Ｂ’は、請求人が提出した参考資料３，４，５を参照しても、これらに記載されたものは、ピン及び傾斜長孔が弁ロッドに設けたブロックとピストンロッドに連結されたヨークとを互いを連結するものではなく、本件特許の出願前周知の事項とも認められない。
　そして、上記構成Ｂ’は、前記「（請求の理由４について）」の「２．対比・判断」の「(5)」に記載した、構成Ｂが甲第８号証及び甲第10号証に記載されたものに基づいて当業者が容易に想到し得たものでないとした理由と同様の理由により、上記甲第８号証及び甲第10号証に記載されたものに基づいて当業者が容易に想到し得たものとすることはできず、結局、上記構成Ｂ’は、甲第８〜15号証に記載されたものに基づいて当業者が容易に想到し得たものとすることはできない。
　このように、本件特許の請求項３に係る発明の上記構成Ｂ’、即ち「『ブロックを上下動及び傾動自在にガイドするためピストンシリンダの側面に形成したガイド』を備え、『上記ヨークを上記ブロックに対して接近するよう押圧した際、上記ピン及び傾斜長孔を介して上記弁ロッドが上記ブロックを中心として傾斜し、上記弁デスクが上記弁座に押圧されるようになる』」構成が、甲第８〜１５号証に記載されたものに基づいて、当業者が容易に想到し得たものとできない以上、本件特許の請求項３に係る発明が、甲第８号証に記載されたものと比較して、「高さを低くし、ゲートバルブ全体の形状を小型化する」という点において、特に顕著な作用効果を奏すると認められないとしても、本件特許の請求項３に係る発明は、甲第８〜１５号証に記載されたものに基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
（むすび）
　以上のとおりであるから、請求人が主張する理由及び提出した証拠によっては、本件請求項２〜４に係る発明の特許を無効とすることはできない。
　よって、結論のとおり審決する。