【事件の表示】
　特願２０１２−１９２３８号「気化器」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　５月１７日出願公開、特開２０１２−９４９０７号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１１年１月２２日に出願した特願平１１−１４９７０号の一部を平成１５年６月３０日に新たな特願２００３−１８９１１２号とし、さらにこれの一部を平成１７年７月２６日に新たな特願２００５−２１６０１０号とし、さらにこれの一部を平成２０年８月１８日に新たな特願２００８−２１０１３０号とし、さらにこれの一部を平成２３年８月８日に新たな特願２０１１−１７３２８７号とし、さらにこれの一部を平成２４年１月３１日に新たな特許出願としたものであって、平成２５年２月２２日付けの拒絶理由に対して、同年４月３０日付けで手続補正書が提出されるとともに同年５月２２日付けで意見書が提出されたが、同年８月２９日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年１２月４日付けで拒絶査定不服審判が請求されたものである。 
 　 
２．本願発明について 
　本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２５年４月３０日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。 
「【請求項１】
原料溶液が分散したキャリアガスを、ガス通路を通し、該ガス通路のガス出口において連通する、内部が一定の温度に加熱された管に導入する構造を有するＭＯＣＶＤ装置において、該ガス通路の該ガス出口におけるガスが冷却されるようにしたことを特徴とするＭＯＣＶＤ装置。」
 　 
３．引用例の記載事項および図示内容 
　原査定の拒絶理由に引用文献１として引用された特開平１０−１４０３５６号公報（以下、「引用例」という。）には、以下の記載および図示がある。 
(a)「【００４４】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）本発明の第１の実施形態を図面を参照しながら説明する。」
　
(b)「【００４７】以下、前記のように構成された気化装置１０Ａ及びＣＶＤ装置１の動作を説明する。まず、液体原料容器１２内には、例えば、Ｂａ(ＤＰＭ)２，Ｓｒ(ＤＰＭ)２及びＴｉＯ(ＤＰＭ)２をモル比１：１：２の割合で、且つ、全体で０．１ｍｏｌ／ｌの濃度になるようにＴＨＦ（テトラヒドロフラン）に溶解して生成された液体原料１１が蓄えられている。液体原料容器１２の底部の外側には、超音波発振器１７が該底部に密着して設けられており、液体原料１１の液面に向けて超音波１５を発振する。超音波１５は液体原料１１内を伝播し、液体原料１１の液面に到達して液体原料１１の液面に超音波振動を発生させる。液体原料１１は液体としての粘性を有しており、単に振動するだけでなく、液面の振動により液体自体に慣性力が働くため、液体原料１１の一部が液面の一部から微粒子状の液滴１６となって液体原料容器１２の上方の空間部に放出される。」
　
(c)「【００４９】次に、液体原料容器１１には搬送用ガス供給管１９を通して搬送用ガス１８が供給されており、液体原料容器１２の上方の空間部に放出された多数の液滴１６はこの搬送用ガス１８と混合され混合ガスとなって、液体原料容器１２の搬出管２０から搬出され気化器１４に運ばれる。気化器１４は加熱手段２１によって、液滴１６が気化し且つ溶解されている原料のＢａ(ＤＰＭ)２，Ｓｒ(ＤＰＭ)２及びＴｉＯ(ＤＰＭ)２が分解しない温度、例えば２５０℃に設定されており、液滴１６は昇温され気化して気化原料１３となる。」
　
(d)「【００５８】また、本実施形態及び以下に説明する各実施形態においても、成膜される膜の材質については一例を示したに過ぎず、液体原料１１が得られるものであれば他の材質の膜形成も同様に行なえることは言うまでもない。
【００５９】(第２の実施形態)以下、本発明の第２の実施形態を図面を参照しながら説明する。
【００６０】図２は本発明の第２の実施形態に係る気化装置及び該気化装置を用いたＣＶＤ装置の構成断面図である。図２に示すように、ＣＶＤ装置１は液体原料を気化した気化原料を生成する気化装置１０Ｂと気化原料を加熱して反応させる反応炉５０とにより構成されている。なお、本実施形態のＣＶＤ装置１は、第１の実施形態のＣＶＤ装置１とは気化装置１０Ｂのみが異なるため、第１の実施形態と同一の部材には同一の符号を付すことにより説明を省略する。図２に示すように、搬出管２０における気化器１４の搬入側には、搬出管２０の内径が部分的に拡大された拡大部３１と該拡大部３１の内部に頂点が搬送方向に位置する円錐状体３０とを有する混入防止手段が設けられている。円錐状体３０の周端部は拡大部３１における搬出管２０の内壁面よりも外側に位置するように設けられており、搬出管２０の内壁面に付着する不要な液滴１６ａが落下して液体原料１１に混入するのを確実に防ぐことができる。円錐状体３０の上面に落下した不要な液滴１６ａは、拡大部３１に設けられた受皿にいったん溜められ、受皿に溜まった液滴１６ａは拡大部３１に設けられた排出管３２を通って外部に排出される。
【００６１】なお、本実施形態においては、搬出管２０が液体原料容器１２の液面に対して垂直に延びるように接続されているが、必ずしもこれに限るものではなく、該液面に対して水平方向に延びるように接続されていてもよい。ただし、搬出管２０が水平方向に延びる場合は、円錐状体３０は必ずしも必要ではないが、搬出管２０の内壁面に付着する不要な液滴１６ａが液体原料容器１２に逆流しないようにトラップする、例えば拡大部３１のようなトラップ部と該トラップ部に溜まる不要な液滴１６ａを搬出管２０の外に排出する排出管３２とは設けてあることが好ましい。
【００６２】また、円錐状体３０と加熱手段２１を有する気化器１４との間に、搬出管２０の温度上昇を防止する冷却水３４Ａ、３４Ｂをその内部に循環させて搬出管２０の温度を所定の温度に保つ冷却手段３３が搬出管２０の外周部に設けられている。冷却手段３３の設定温度は液滴１６が分解しない温度、例えば２００℃以下であればよいが、本実施形態においては気化状態のムラをなくすため室温に近い２５℃としている。
【００６３】なお、混入防止手段及び冷却手段３３は必ずしも両方を備えている必要はなく、いずれか１つを備えていてもよい。
【００６４】以下、前記のように構成された気化装置１０Ｂ及びＣＶＤ装置１の動作を説明する。第１の実施形態の気化装置１０Ａにおいて、搬出管２０の内壁に不要な液滴１６ａが付着した場合に、これらの液滴１６ａが液体原料容器１２に逆流し、液体原料１１に混入してしまうことも考えられる。液体原料１１が変質しやすい材料であれば、不要な液滴１６ａが液体原料１１に混入すると、不要な液滴１６ａの溶媒に対する成分比は液体原料１１の溶媒に対する成分比と比べて変化している可能性があるため、液体原料１１の質が低下してしまい、成膜される膜質の低下や、供給の不安定を引き起こす場合も考えられる。
【００６５】従って、本実施形態の気化装置１０Ｂは、液体原料容器１２内に不要な液滴１６ａが流入しないように搬出管２０の内部に円錐状体３０を設けている。円錐状体３０や搬出管２０に付着した液滴１６ａは重力により落下し、拡大部３１により受けられ排出液となる。排出液は排出管３２を通って外部に排出される。
【００６６】なお、排出液が変質しない場合は、該排出液を液体原料１１として再利用できることはいうまでもなく、効率的な利用を図ることができる。
【００６７】一方、本気化装置１０Ｂの気化原理によると、液体原料１１の液面を超音波を用いて振動させることにより極めて微細な液体原料が得られるため、均一且つ良好な気化原料が得られることは第１の実施形態で説明した通りである。しかしながら、液体原料１１が未だ開発途上にあり、完全ではないので、長期間の使用によっては、搬出管２０の内壁面に液体原料１１から析出する固形物が付着することが考えられる。第１の実施形態の気化装置１０Ａにおいては、気化器１４を加熱手段２１を用いて加熱した際に、加熱手段２１の熱が熱伝導により搬出管２０に伝わるため、該搬出管２０の温度が上昇してしまう。その結果、液体原料１１から析出する固形物が搬出管２０の内壁面に付着してしまい、固形物の清掃や搬出管２０の交換に手間がかかることも考えられる。
【００６８】本実施形態においては、搬出管２０の気化器１４付近に、冷却水３４Ａ，３４Ｂにより搬出管２０を冷却する冷却手段３３を設けることにより、搬出管２０の温度上昇を防止している。これにより、搬出管２０の内壁面に固形物が付着することはなくなり、該固形物は気化器１４のみに付着するようになり、気化器１４の洗浄又は交換を行なうだけでＣＶＤ装置１の運用が可能となる。
【００６９】なお、混入防止手段は気化器１４で生じる固形物が液体原料容器１２内に落下するのを防止する効果も有している。
【００７０】このように、本実施形態に係る気化装置１０Ｂによると、搬出管２０に付着し落下して液体原料容器１２に混入する不要な液滴１６ａを混入防止手段により防止することができるため、液体原料１１が変質しやすい場合であっても、反応炉５０に質が安定した気化原料１３を供給することができる。
【００７１】また、搬出管２０における該搬出管２０と気化器１４との接続部付近に冷却手段３３を設けることにより、搬出管２０の温度上昇が抑制されるため、搬出管２０の内壁面において液体原料１１から固形物が析出し付着することを防止し、ＣＶＤ装置１の運用を容易にすることできる。
【００７２】なお、冷却手段３３は冷却水３３Ａ，３３Ｂを循環させる方式としたが、これに限らず、例えば、搬出管２０にペルチェ素子を貼り付けるなどの別の方法を用いて冷却してもよい。」
　
(e)「【図２】　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
４．引用例に記載された発明
(Ａ)上記(a)ないし(c)、(d)の【００５８】より、引用例には、「第１、２の実施形態において、液体原料１１として、Ｂａ(ＤＰＭ)２，Ｓｒ(ＤＰＭ)２及びＴｉＯ(ＤＰＭ)２を用いる」ことが記載されているということができる。
　
(Ｂ)上記(e)、(c)、(d)の【００６０】【００６２】より、引用例には、「第２の実施形態において、液体原料１１の液滴１６が混合された搬送用ガス１８を、搬出管２０を通して『管状の気化器１４』に導入する」ことが記載されているということができる。」
　
(Ｃ)上記(e)、(d)の【００７１】より、引用例には、「第２の実施形態において、搬出管２０を『管状の気化器１４』に接続する」こと、更にいうと「搬出管２０の出口と『管状の気化器１４』が連通する」ことが記載されているということができる。
　
　上記(a)ないし(e)の記載事項・図示内容、および、上記(Ａ)ないし(Ｃ)の検討事項より、引用例（第２の実施形態）には、
「液体原料１１の液滴１６が混合された搬送用ガス１８を、搬出管２０を通し、該搬出管２０の出口において連通する『管状の気化器１４』に導入する構造を有する『液体原料１１として、Ｂａ(ＤＰＭ)２，Ｓｒ(ＤＰＭ)２及びＴｉＯ(ＤＰＭ)２を用いる』ＣＶＤ装置において、液体原料１１の液滴１６が混合された搬送用ガス１８が通る搬出管２０と『管状の気化器１４』との接続部付近に冷却手段３３を設けた、『液体原料１１として、Ｂａ(ＤＰＭ)２，Ｓｒ(ＤＰＭ)２及びＴｉＯ(ＤＰＭ)２を用いる』ＣＶＤ装置。」（以下、「引用例記載の発明」という。）が記載されているものと認める。
　
５．対比・判断
　本願発明と引用例記載の発明とを対比する。
○引用例記載の発明の「液体原料１１」、「搬送用ガス１８」、「搬出管２０」、「出口」、「『液体原料１１として、Ｂａ(ＤＰＭ)２，Ｓｒ(ＤＰＭ)２及びＴｉＯ(ＤＰＭ)２を用いる』ＣＶＤ装置」は、本願発明の「原料溶液」、「キャリアガス」、「ガス通路」、「ガス出口」、「ＭＯＣＶＤ装置」のそれぞれに相当する。
　
○引用例記載の発明の「液体原料１１（原料溶液）の液滴１６が混合された搬送用ガス１８（キャリアガス）」は、本願発明の「原料溶液が分散したキャリアガス」に相当する。
　
○引用例記載の発明の「管状の気化器１４」と本願発明の「内部が一定の温度に加熱された管」とは、「加熱管」という点で共通する。
　
○引用例記載の発明の「液体原料１１（原料溶液）の液滴１６が混合された搬送用ガス１８（キャリアガス）が通る搬出管２０（ガス通路）と『管状の気化器１４』（加熱管）との接続部付近に冷却手段３３を設けた」は、搬出管２０（ガス通路）が冷却されることで、ガスも冷却されているとみることができることから、これと、本願発明の「ガス通路のガス出口におけるガスが冷却されるようにした」とは、「ガス通路におけるガスが冷却されるようにした」という点で共通する。
　
　上記より、本願発明と引用例記載の発明とは、「原料溶液が分散したキャリアガスを、ガス通路を通し、該ガス通路のガス出口において連通する、加熱管に導入する構造を有するＭＯＣＶＤ装置において、該ガス通路におけるガスが冷却されるようにした、ＭＯＣＶＤ装置。」という点で一致し、以下の点で相違している。
＜相違点１＞
　加熱管に関し、本願発明では、「内部が一定の温度に加熱された管」であるのに対して、引用例記載の発明では、「管状の気化器１４」である点。
　
＜相違点２＞
　ガス通路におけるガスが冷却されるようにしたことに関し、本願発明では、「ガス通路のガス出口におけるガスが冷却されるようにした」ものであるのに対して、引用例記載の発明では、「搬出管２０（ガス通路）と『管状の気化器１４』との接続部付近に冷却手段３３を設けた」ものである点。
　
　上記両相違点について検討する。
＜相違点１＞について
　引用例には、(d)の「【００６２】また、円錐状体３０と加熱手段２１を有する気化器１４との間に、搬出管２０の温度上昇を防止する冷却水３４Ａ、３４Ｂをその内部に循環させて搬出管２０の温度を所定の温度に保つ冷却手段３３が搬出管２０の外周部に設けられている。冷却手段３３の設定温度は液滴１６が分解しない温度、例えば２００℃以下であればよいが、本実施形態においては気化状態のムラをなくすため室温に近い２５℃としている。」との記載があり、これは、気化器１４における「加熱により気化される液滴１６の気化状態のムラ」をなくすことを示すものであり、ここで、上記気化状態のムラをより少なくするために、気化のための加熱を均一にする、つまり「内部が一定の温度に加熱された気化器１４（管状の気化器）」にすることは、当業者であれば容易に想起し得ることである。
　したがって、上記相違点１に係る本願発明の技術事項を採用することは、引用例記載事項に基いて当業者であれば容易になし得ることである。 
　
＜相違点２＞について
　引用例には、(d)の「【００６７】・・・第１の実施形態の気化装置１０Ａにおいては、気化器１４を加熱手段２１を用いて加熱した際に、加熱手段２１の熱が熱伝導により搬出管２０に伝わるため、該搬出管２０の温度が上昇してしまう。その結果、液体原料１１から析出する固形物が搬出管２０の内壁面に付着してしまい、固形物の清掃や搬出管２０の交換に手間がかかることも考えられる。
【００６８】本実施形態においては、搬出管２０の気化器１４付近に、冷却水３４Ａ，３４Ｂにより搬出管２０を冷却する冷却手段３３を設けることにより、搬出管２０の温度上昇を防止している。これにより、搬出管２０の内壁面に固形物が付着することはなくなり、該固形物は気化器１４のみに付着するようになり、気化器１４の洗浄又は交換を行なうだけでＣＶＤ装置１の運用が可能となる。」および「【００７１】また、搬出管２０における該搬出管２０と気化器１４との接続部付近に冷却手段３３を設けることにより、搬出管２０の温度上昇が抑制されるため、搬出管２０の内壁面において液体原料１１から固形物が析出し付着することを防止し、ＣＶＤ装置１の運用を容易にすることできる。」との記載があり、これは、搬出管２０と気化器１４との接続部（搬出管２０の出口）に至るまでの「搬出管２０の内壁面」が冷えた状態であることで固形物の付着が防止されていることを示すものであり、ここで、特に、気化器１４に接する搬出管２０の出口における固形物の付着防止をより確実にするために、引用例記載の発明の「搬出管２０（ガス通路）と『管状の気化器１４』との接続部（出口）
付近に
まで
　したがって、上記相違点２に係る本願発明の技術事項を採用することは、引用例記載事項に基いて当業者であれば容易になし得ることである。 
　
　そして、本願発明の「目詰まりなどを起こすことがなく長期使用が可能であり、かつ、反応部への安定的な原料供給が可能なＭＯＣＶＤ用気化器を提供できる」等の作用効果は、引用例記載の発明および引用例記載事項に基づいて、当業者であれば十分予測し得るものである。　
　よって、本願発明は、引用例記載の発明および引用例記載事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
 　 
６．むすび 
　以上、本願発明は、引用例記載の発明および引用例記載事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。 
　したがって、請求項２ないし４に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきである。　 
　よって、結論のとおり審決する。