【事件の表示】
　特願２００８−１６４６６４「剥離装置および剥離方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年　１月１４日出願公開、特開２０１０−　１０２０７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２０年６月２４日を出願日とする出願であって、平成２４年１０月２９日付けで拒絶理由が通知され、同年１２月１３日付けで手続補正がなされたが、平成２５年４月２３日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年７月３０日に本件審判の請求がなされるとともに、同日付けにてさらに手続補正（以下「本件補正」という。）がなされた。
　そして、平成２５年１１月１８日付けで審尋がなされ、回答書が同年１２月２６日付けで請求人より提出されたものである。
　
第２　本件補正についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　平成２５年７月３０日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
１　本件補正の内容の概要
　本件補正は、平成２４年１２月１３日付けで補正された特許請求の範囲をさらに補正するものであって、特許請求の範囲の請求項１に関する以下の補正を含んでいる。なお、下線は当審で付した補正箇所を示す。
　
（１）＜補正前の請求項１＞　
「【請求項１】
　支持板が貼着された基板から、当該支持板を剥離する剥離装置であって、
　前記支持板の外周側端部を把持する把持手段と、前記支持板を吸着する吸着手段とを備えており、
　前記支持板は、その外周側端部が面取りされた支持板であり、
　前記吸着手段は、前記吸着手段の接触面と前記支持板との間の気体を吸引し、吸引力により前記支持板を吸着するものであり、
　前記把持手段は、前記吸着手段により吸着された前記支持板の前記外周側端部の面取り部位を把持するようになっていることを特徴とする剥離装置。」
　
（２）＜補正後の請求項１＞
「【請求項１】
　支持板が貼着された基板から、当該支持板を剥離する剥離装置であって、
　前記支持板の外周側端部を把持する把持手段と、前記支持板を吸着する吸着手段とを備えており、
　前記支持板は、その外周側端部が面取りされて
おり、全面に貫通孔が形成されている
　前記吸着手段は、前記吸着手段の接触面と前記支持板との間の気体を吸引し、吸引力により前記支持板を吸着するものであり、
　前記把持手段は、前記吸着手段により吸着された前記支持板の前記外周側端部の面取り部位を把持するようになっていることを特徴とする剥離装置。」
　
２　補正の適否
　本件補正のうち特許請求の範囲の請求項１についてする補正は、補正前の請求項１に係る発明の特定事項である「支持板」について「全面に貫通孔が形成されている」との限定を付加するものであるから、特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否か、すなわち独立特許要件について以下に検討する。
　
（１）補正発明
　本件補正後の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）は、特許請求の範囲、明細書及び図面の記載からみて、上記１（２）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりの「剥離装置」であると認める。
　
（２）刊行物およびその記載事項
　これに対して、本願出願前に頒布され、原査定の拒絶の理由にも引用された刊行物である以下の文献には、以下の発明あるいは事項が記載されていると認められる。
　刊行物１：特開平６−２６８０５１号公報
　刊行物２：特開２００７−６７１６７号公報
　
（２−１）刊行物１
　刊行物１には、「ウエハ剥し装置」について、図１〜２０とともに次の事項が記載されている。なお、下線は理解の便のため、当審で付したものである。
　
ア　刊行物１に記載された事項
（ア）「【特許請求の範囲】
【請求項１】  
下面を吸着面とし、該吸着面に真空吸着口を有し熱軟化性接着剤により貼り合わされた被剥離物のウエハと補強板とからなるワークの一方の面を吸着する上部吸着手段と、
上面を吸着面とし、該吸着面に真空吸着口を有し、上記ワークの他方の面を吸着する下部吸着手段と、上記上部吸着手段と上記下部吸着手段との少なくともいずれか一方に設けられ、上記熱軟化性接着剤を軟化させる加熱手段と、
上記上部吸着手段と、該上部吸着手段を上下動させるためのロボットアームとを回動自在に接続する連結手段とを備えた
（省略）
【請求項５】  請求項１ないし４のいずれかに記載のウエハ剥し装置において、
上記上部吸着手段は、その側部に、該上部吸着手段の吸着面に吸着された補強板を該上部吸着手段に圧接することにより保持する保持手段を備えていることを特徴とするウエハ剥し装置。
【請求項６】  請求項５記載のウエハ剥し装置において、
上記
保持手段は、
上記上部吸着手段の側部に固定されたエアーシリンダと、
該エアーシリンダに連結され、該エアーシリンダの作動により上記上部吸着手段の吸着面に吸着された補強板の周端部を、該上部吸着手段とで挟持する爪とを有する
（省略）
【請求項１６】  請求項１ないし１５のいずれかに記載のウエハ剥し装置において、
熱軟化性接着剤の溶剤を吹き付けるノズルを、上記下部吸着手段の近傍に、上記上，下部吸着手段に吸着保持されたウエハと補強板との接着面に向けて設けたことを特徴とするウエハ剥し装置。」
　
（イ）「【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はウエハ剥し装置に関し、特にウエハの裏面処理を行なう為に、ウエハを熱軟化性接着剤により補強板に貼り付け、裏面処理後、ウエハを補強板から剥すようにしたウエハ剥し装置に関するものである。」
　
（ウ）「【００１０】この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、ウエハ剥離の際の欠けや傷の発生を防ぎ、これによりウエハ割れを低減させ、その歩留りの向上によりデバイスの低コスト化を実現させることのできるウエハ剥し装置を得ることを目的とし、加えて自動化を図ることのできるウエハ剥し装置を得ることを目的としている。」
　
（エ）「【００２１】また、この発明においては、補強板を上部吸着手段の吸着面に圧接保持する保持手段を設け、この保持手段をエア−シリンダと爪とで構成したから、上部吸着手段がロボットアームにより上方に移動されると、補強板は爪により上部吸着手段に固定されているため、補強板の端部が曲げられながらウエハの周端部から剥離され、これによりウエハ剥しが容易となる。」
　
（オ）「【００２５】また、この発明においては、
ウエハと補強板間の接着部に向けて、溶剤等を吹き付けるノズルを配置
【００２６】さらに、この発明においては、ウエハ剥し装置を、熱軟化性接着剤の溶剤を入れた容器内に設置し、あるいはそれに加えて、この容器を密閉し容器内を加圧するようにしたから、溶剤が接着剤層に浸透しやすくなる。」
　
（カ）「【００２９】また１１は同じく円盤形状の上部吸着加熱板で、この上部吸着加熱板１１の吸着面１１ａにも上部真空吸着口１１ｂが開口し、ワーク２０を吸引吸着するために、上部吸着加熱板１１の側面に開口した上部真空吸引口１２を介して、図示しない真空ポンプに接続されている。また上部吸着加熱板１１の空洞１１ｃにはカートリッジヒータ１３が挿入され、さらに上部吸着加熱板１１の上面中央には支持軸１４が固定され、カップリング１５を介してロボットアーム１６と連結されている。これにより上部吸着加熱板１１はロボットアーム１６によって上下動及び回動自在に保持される。」
　
（キ）「【００３６】実施例２．図４はこの発明の第２の実施例によるウエハ剥し装置を示す構成図、図５は図４に示す保持手段の斜視図、図６は保持手段の動きを説明する図である。本実施例２では、上記実施例１に加えて、ワーク２０の補強板２の周辺端を保持するために、上部吸着加熱板１１の側部に一対の保持部２１を設けたものであり、この保持部２１は、図５に示すように補強板２の周辺端を挟持する爪２１ａと、この爪２１ａの作動点にシリンダピン２１ｅを軸着したエアーシリンダ２１ｂとからなり、エアーシリンダ２１ｂと爪２１ａとは第１の軸２１ｃ及び第２の軸２１ｄにより回動自在に上部吸着加熱板１１に取り付けられている。
【００３７】次に動作について説明する。ワーク２０が上部吸着加熱板１１の吸着面１１ａに吸着されるまでは、エアーシリンダ２１ｂのシリンダピン２１ｅは突出した状態にあり、このシリンダピン２１ｅに軸着された爪２１ａは第２の軸２１ｄを中心として上部吸着加熱板１１の外側方向に回転しており、図６(a)に示すように、開いた状態にある。次に、図６(b)に示すように、ワーク２０が上部吸着加熱板１１の吸着面１１ａに吸着されるとエアーシリンダ２１ｂが作動し、シリンダピン２１ｅにより爪２１ａが引っ張られ、爪２１ａは第２の軸２１ｄを中心として上部吸着加熱板１１側に向かって回転する。これによりワーク２０の補強板２の周辺端は上部吸着加熱板１１の吸着面１１ａと爪２１ａとにより吸着面１１ａに挟持される。その後は、上記実施例１と同様であり、吸着動作により上，下部吸着加熱板１１，４の間にワーク２０が吸着保持されると、ロボットアーム１６が作動し、上部吸着加熱板１１を上昇させ、ウエハ１と補強板２との剥離を開始する。この時、補強板２の周辺端は爪２１ａにより挟持されているので、上部吸着加熱板１１が上昇すると、補強板２の端部が曲げられ、ウエハ１の周囲から徐々に剥離が始まる。
【００３８】このように本実施例２では、上部吸着加熱板１１の側部に、上部吸着加熱板１１の吸着面１１ａに吸着された補強板２を保持する保持部２１を設け、補強板２の周端部を保持部２１の爪２１ａにより挟持するようにしたので、ロボットアームにより上部吸着加熱板を上昇させる際に補強板の端部が曲げられ、これによりウエハの周端部から徐々に剥離され、ウエハの剥離を容易に行うことができる。」　
　
（ク）「【００５５】実施例１１．図１６はこの発明の第１１の実施例によるウエハ剥し装置を示す構成図であり、上記第１の実施例によるウエハ剥し装置において、ワックス２０９等の接着剤を溶解させるソルファインＴＭ（徳山石油化学の商品名）等の溶剤１０２を吹き付けるノズル１０１を、ウエハ１と補強板２との接着面に向けて設けたものである。
【００５６】このように本実施例１１では、ノズル１０１によりウエハ１と補強板２との接着面に溶剤１０２を吹き付けるようにしたので、ウエハ１と補強板２とが徐々に剥離され、その間隙にさらに溶剤１０２を吹き付けることができるので、接着力をさらに弱めることができるとともに、接着剤を除去することができる。」
　
イ　引用発明
　上記摘記事項（ア）ないし（ク）を、図面を参酌しつつ技術常識を踏まえて補正発明に照らして整理すると、刊行物１には次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
 「下面を吸着面とし、該吸着面に真空吸着口を有し熱軟化性接着剤により貼り合わされた被剥離物のウエハと補強板とからなるワークの一方の面を吸着する上部吸着手段と、
上面を吸着面とし、該吸着面に真空吸着口を有し、上記ワークの他方の面を吸着する下部吸着手段と、
上記上部吸着手段と上記下部吸着手段との少なくともいずれか一方に設けられ、上記熱軟化性接着剤を軟化させる加熱手段と、
上記上部吸着手段と、該上部吸着手段を上下動させるためのロボットアームとを回動自在に接続する連結手段と、
を備え、
上記上部吸着手段は、その側部に、該上部吸着手段の吸着面に吸着された補強板を該上部吸着手段に圧接することにより保持する保持手段を備えており、
上記保持手段は、上記上部吸着手段の側部に固定されたエアーシリンダと、該エアーシリンダに連結され、該エアーシリンダの作動により上記上部吸着手段の吸着面に吸着された補強板の周端部を、該上部吸着手段とで挟持する爪とを有するものであり、
さらに、熱軟化性接着剤の溶剤を吹き付けるノズルを、上記下部吸着手段の近傍に、上記上、下部吸着手段に吸着保持されたウエハと補強板との接着面に向けて設けた
ウエハ剥し装置。」
　
（２−２）刊行物２
　刊行物２には、「サポートプレート、サポートプレートの剥離装置及び剥離方法」について、図１〜１０とともに次の事項が記載されている。
（ア）「【０００８】そこで、本出願人はサポートプレートとして厚み方向に多数の貫通孔が形成されたものを提案している。図９は、このサポートプレートを剥離する方法を説明したものである。
　この方法は、先ず、サポートプレート１００の上面にＯリング１０１を介して溶剤供給プレート１０２を重ねる。次に、サポートプレート１００、Ｏリング１０１及び溶剤供給プレート１０２で囲まれる空間Ｓに溶剤供給管１０３から溶剤を供給する。これにより、サポートプレート１００に形成した貫通孔１０４を介して接着剤層１０５を溶解するようにしたものである。」
　
（３）対比
　補正発明と引用発明とを比較する。
　
ア　まず、引用発明の「ウエハ」は、補正発明における「基板」の下位概念であることから、補正発明の「基板」に相当するといえる。
　そして、引用発明においては「熱軟化性接着剤により貼り合わされた被剥離物のウエハと補強板」とから「ワーク」が構成されているのであるから、引用発明の「補強板」は、補正発明の「支持板」に相当するといえる。
　また、上記摘記事項（イ）の「ウエハを補強板から剥すようにしたウエハ剥し装置」からみて、引用発明の「ウエハ剥し装置」は、「補強板」から「ウエハ」を剥離する剥離装置であるが、「ウエハ」を基準として見れば、「ウエハ」から「補強板」を剥離する剥離装置であるともいえる。そうすると、引用発明の「ウエハ剥し装置」は、補正発明の「基板から、当該支持板を剥離する剥離装置」に相当するといえる。
　
イ　引用発明の「補強板の周端部」が補正発明の「支持板の外周側端部」に相当することは明らかである。そして、下記に示す本願の図３においては「サポートプレート７の外周側端部」を「吸着プレート（吸着手段）３」と「ツメ部２’」とで挟持しているともいえるから、補正発明の「把持手段」は、そのような挟持状態を含むものである。
　
　そうすると、引用発明の「補強板の周端部を、該上部吸着手段とで挟持する爪」を有する「保持手段」は、補正発明の「前記支持板の外周側端部を把持する把持手段」に相当するといえる。
　
ウ　引用発明においては「下面を吸着面とし、該吸着面に真空吸着口を有し・・・・・ウエハと補強板とからなるワークの一方の面を吸着する上部吸着手段は、・・・・・その側部に、該上部吸着手段の吸着面に吸着された補強板を該上部吸着手段に圧接することにより保持する保持手段を備えて」いる、すなわち、該「補強板」が該「上部吸着手段」の吸着面に吸着され、該吸着面と「補強板」との間の気体を吸引し、吸引力により前記「補強板」を吸着するのであるから、引用発明の「上部吸着手段」は、補正発明の「支持板を吸着する吸着手段」に相当し、「前記吸着手段の接触面と前記支持板との間の気体を吸引し、吸引力により前記支持板を吸着するもの」であるといえる。
　
エ　引用発明においては「上記保持手段は、上記上部吸着手段の側部に固定されたエアーシリンダと、該エアーシリンダに連結され、該エアーシリンダの作動により上記上部吸着手段の吸着面に吸着された補強板の外周側端部を、該上部吸着手段とで挟持する爪とを有するものであ」る、すなわち、引用発明の「保持手段」は「上部吸着手段」により吸着された「補強板」の周端部を挟持するのであるから、引用発明と補正発明とは、「前記把持手段は、前記吸着手段により吸着された前記支持板の前記外周側端部を把持するようになっている」点で共通するといえる。
　
　そうすると、両者は、
（一致点）  
「支持板が貼着された基板から、当該支持板を剥離する剥離装置であって、
　前記支持板の外周側端部を把持する把持手段と、前記支持板を吸着する吸着手段とを備えており、
　前記吸着手段は、前記吸着手段の接触面と前記支持板との間の気体を吸引し、吸引力により前記支持板を吸着するものであり、
　前記把持手段は、前記吸着手段により吸着された前記支持板の前記外周側端部を把持するようになっている剥離装置。」
である点で一致し、以下の点で相違する。
　
（相違点１）
　補正発明では「支持板」が「全面に貫通孔が形成されている」のに対して、引用発明ではそのような構成ではない点。
 
（相違点２）
　補正発明では、「支持板は、その外周側端部が面取りされており」、「把持手段」が「前記外周側端部の面取り部位を把持するようになっている」のに対し、引用発明ではそのような構成であるか否か不明な点。
　
（４）相違点の判断
ア　相違点１について
　本願出願前の平成２０年２月２１日に頒布された刊行物である特開２００８−４１９８５号公報の段落【０００４】〜【０００５】には「ここで、厚さ方向に貫通孔が形成されたサポートプレートを用いることで、サポートプレートとウエハとの接着部分への剥離液の供給を容易にする手法が知られている。（例えば、特許文献１参照。）このサポートプレートの貫通孔は、サポートプレートとウエハとが同径の場合には
サポートプレートの略全面
【特許文献１】特開２００４−２９６９３５号公報（図２）」と記載され（下線は当審にて付与）、また、該特許文献１である特開２００４−２９６９３５号公報の段落【００６５】には「図２は、上記▲１▼の補強工程において、補強板１と半導体ウエハー３ａとを接着層２を介して貼り合わせた状態を示している。図２に示すように、補強板１には、接着層２を溶融する溶剤を注入するための貫通孔４が複数設けられている。この貫通孔４は補強板１の表面１０から補強板１の裏面９へ貫通しており、また、
補強板１の全面
　そうすると、刊行物２においては「全面」と記載されていないものの、上述のように「全面に貫通孔が形成されている支持板」が周知・慣用であることを考慮すれば、上記摘記事項（２−２）（ア）の「多数の貫通孔１０４」も、「サポートプレート１００」の全面に形成されているものと理解するのが相当である。
　そして、引用発明において、接着剤の溶解を早めるという一般的な課題のために、「接着剤の溶剤を吹き付けるノズル」を設けるに換えて、その「補強板」を上記周知・慣用の「全面に貫通孔が形成されている支持板」の構成とすることには、当業者において十分動機付けがあり、また、何ら困難性および阻害要因もないといえる。
　してみると、引用発明において、刊行物２記載の上記技術事項および周知・慣用の技術を適用して、相違点１に係る補正発明の特定事項とすることは、当業者が容易に想到するものであるといえる。
　
イ　相違点２について
　そもそも、工作物の角または隅を斜めに削る「面取り」は、例えば物との接触による破損を防止を目的として、種々の技術分野において実施されている慣用の技術であり、引用発明においても、物との接触による破損を防止を目的として、その「補強板」の周端部を面取りすることは、当業者において十分動機付けがあり、また、何ら困難性および阻害要因もないといえる。そして、該「面取り」を実施した場合、その「面取り部」に「保持手段の爪」が必然的に接触し、その結果「面取り部位を把持する」こととなるといえる。
　また、本願出願前に頒布された刊行物である特開昭６３−２６２４６５号公報には「また第４図は基板チャック部の拡大図である。基板１０の面取り部を両端よりチャック３０により押さえつける。」（２頁右下欄６〜８行）と記載されているように、基板を取り扱う技術分野において「面取り部位を把持する」ことも周知の技術であるといえる。
　してみると、引用発明において、上記周知の技術を適用して、相違点２に係る補正発明の特定事項とすることは、当業者が容易に想到するものであるといえる。
　
ウ　効果について
　相違点１および２による本願明細書に記載された効果は、刊行物１、２および周知の技術から当業者が予測し得る範囲内のものに過ぎず、格別顕著なものとはいえない。
　
エ　小括
したがって、補正発明は、引用発明、刊行物２記載の事項および周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるというべきであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３　まとめ
　以上のとおりであるから、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により、却下すべきものである。
　よって、上記［補正の却下の決定の結論］のとおり、決定する。
　
第３　本願発明について
１　本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜７に係る発明は、平成２４年１２月１３日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜７に記載された事項により特定されたものであると認められ、その請求項１に係る発明は、上記第２の１（１）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの「剥離装置」である。
　
２　引用刊行物およびその記載事項
　これに対して、原審の拒絶の理由に引用された刊行物は、上記第２の２（２）に示した刊行物１および刊行物２等である。
　
３　当審の判断
　本願発明は、補正発明の特定事項である「支持板」について、「全面に貫通孔が形成されている」との限定を除いたものである。
　そして、引用発明と本願発明とを比較すると、両者は、上記第２の２（３）にて検討した上記（一致点）にて一致し、上記（相違点２）のみにおいて相違し、相違点２については、上記第２の２（４）にて検討したとおりである。
　そうすると、本願発明は、引用発明および周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるというべきであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
第４　まとめ
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、その他の請求項について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。