【事件の表示】
　特許第３１９８５０１号「バリアー性積層体及びその製造方法」の請求項１ないし９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１９８５０１号の請求項１ないし９に係る特許を取り消す。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第３１９８５０１号の請求項１〜９に係る発明についての出願は、平成９年３月３１日に特許出願され、平成１３年６月１５日にその特許権の設定登録がなされ、その後、平成１４年２月１２日に株式会社ディスクより特許異議の申立てがなされ、平成１４年６月２７日付けで取消理由が通知され、その指定期間内の平成１４年９月９日に意見書が提出されると共に、同日付けで訂正請求がなされた後、平成１５年２月２０日に再度取消理由が通知されたものである。
　
ＩＩ．訂正の適否についての判断
１．訂正の内容
（１）【特許請求の範囲】の【請求項１】〜【請求項９】の記載を、
「【請求項１】樹脂フィルムの片面に、アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を真空紫外線硬化法により硬化し形成されたアクリル樹脂層、及び金属または金属化合物の蒸着薄膜が順次積層されていることを特徴とするバリアー性積層体。
【請求項２】前記金属または金属化合物の蒸着薄膜上に、さらにアクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を真空紫外線硬化法により硬化し形成されたアクリル樹脂層が積層されている請求項１記載のバリアー性積層体。
【請求項３】樹脂フィルムの片面に、金属または金属化合物の蒸着薄膜、及びアクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を真空紫外線硬化法により硬化し形成されたアクリル樹脂層が順次積層されていることを特徴とするバリアー性積層体。
【請求項４】樹脂フィルムの片面にアクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を真空紫外線硬化法により硬化してアクリル樹脂層を形成し、次いでそのアクリル樹脂層上に金属または金属化合物の蒸着薄膜を積層することを特徴とする請求項１記載のバリアー性積層体の製造方法。
【請求項５】真空蒸着兼用コーティング装置で連続的にアクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を真空紫外線硬化法により硬化するアクリル樹脂層の形成と金属または金属化合物の蒸着薄膜の積層とを行う請求項４記載の製造方法。
【請求項６】分子量１００００以下のアクリル系モノマー又はオリゴマーを含有する粘度５００ｃｐｓ以下で、アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を用いて真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層を形成する請求項４又は５記載の製造方法。
【請求項７】樹脂フィルムの片面に金属または金属化合物の蒸着薄膜を形成し、次いでその蒸着薄膜上にアクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を真空紫外線硬化法により硬化してアクリル樹脂層を積層することを特徴とする請求項３記載のバリアー性積層体の製造方法。
【請求項８】真空蒸着兼用コーティング装置で連続的に金属または金属化合物の蒸着薄膜の形成とアクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を真空紫外線硬化法により硬化するアクリル樹脂層の積層とを行う請求項７記載の製造方法。
【請求項９】分子量１００００以下のアクリル系モノマー又はオリゴマーを含有する粘度５００ｃｐｓ以下で、アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を用いて真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層を形成する請求項７又は８記載の製造方法。」と訂正する。
（２）段落【００１７】〜【００２０】の記載を、
「【００１７】
【課題を解決するための手段】
　本発明者は、上記の目的を達成するため、請求項１の発明として、樹脂フィルムの片面に、アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を真空紫外線硬化法により硬化し形成されたアクリル樹脂層、及び金属または金属化合物の蒸着薄膜が順次積層されていることを特徴とするバリアー性積層体を提供し、特に請求項２に、このバリアー性積層体上の蒸着薄膜上に、さらにアクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％?１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を真空紫外線硬化法により硬化し形成されたアクリル樹脂層が積層されているバリアー性積層体を提供する。
【００１８】
　また、請求項３の発明として、樹脂フィルムの片面に、金属または金属化合物の蒸着薄膜、及びアクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を真空紫外線硬化法により硬化し形成されたアクリル樹脂層が順次積層されていることを特徴とするバリアー性積層体を提供する。
【００１９】
　さらに請求項１記載のバリアー性積層体の製造方法として、請求項４に、樹脂フィルムの片面にアクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を真空紫外線硬化法により硬化してアクリル樹脂層を形成し、次いでそのアクリル樹脂層上に金属または金属化合物の蒸着薄膜を積層することを特徴とする製造方法を提供し、特に請求項５に、真空蒸着兼用コーティング装置で連続的にアクリル樹脂層の形成と金属または金属化合物の蒸着薄膜の積層を行う製造方法を提供する。
【００２０】
　また、請求項３記載のバリアー性積層体の製造方法として、請求項６に、樹脂フィルムの片面に金属または金属化合物の蒸着薄膜を形成し、次いでその蒸着薄膜上にアクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を真空紫外線硬化法により硬化してアクリル樹脂層を積層することを特徴とする製造方法を提供し、特に請求項７に、真空蒸着兼用コーティング装置で連続的に金属または金属化合物の蒸着薄膜の形成とアクリル樹脂層の積層とを行う製造方法を提供する。」と訂正する。
　
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記訂正事項１．（１）は、訂正前の特許明細書の段落【００３５】、【００３８】の記載に基づき、請求項１〜９それぞれにおける真空紫外線硬化法の対象となるアクリル樹脂層の原料を、それぞれ「アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤」に限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、また、願書に添付した明細書に記載の範囲内のものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　また、上記訂正事項１．（２）は、訂正した特許請求の範囲の記載に整合させるため、特許明細書の該当箇所を訂正するものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであって、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　
３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書き、及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
ＩＩＩ．　特許異議申立てについての判断等
　上記ＩＩ．のとおり訂正は認められるので、本件の請求項１〜９に係る発明は、平成１４年９月９日付けの訂正請求書に添付された訂正明細書の特許請求の範囲請求項１〜９に記載された事項により特定されるとおりのものである。
　これに対して、平成１５年２月２０日付けで取消理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者からは何らの応答もない。
　そして、上記の取消理由は妥当なものと認められるので、本件の請求項１〜９に係る発明の特許は、この取消理由によって取り消すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年６月２６日（２００３．６．２６）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
バリアー性積層体及びその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　樹脂フィルムの片面に、
アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を
硬化し
　【請求項２】
　前記金属または金属化合物の蒸着薄膜上に、さらに
アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を
硬化し
　【請求項３】
　樹脂フィルムの片面に、金属または金属化合物の蒸着薄膜、及び
アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を
硬化し
　【請求項４】
　樹脂フィルムの片面に
アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を
硬化して
　【請求項５】
　真空蒸着兼用コーティング装置で連続的に
アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を
り硬化す
　【請求項６】
　分子量１００００以下のアクリル系モノマー又はオリゴマーを含有する粘度５００ｃｐｓ以下
で、アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合した
　【請求項７】
　樹脂フィルムの片面に金属または金属化合物の蒸着薄膜を形成し、次いでその蒸着薄膜上に
アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を
硬化して
　【請求項８】
　真空蒸着兼用コーティング装置で連続的に金属または金属化合物の蒸着薄膜の形成と
アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を
り硬化す
　【請求項９】
　分子量１００００以下のアクリル系モノマー又はオリゴマーを含有する粘度５００ｃｐｓ以下
で、アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合した
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、包装材料等に有用なシート状の積層体であって、酸素、水蒸気等のガスバリアー性に優れ、かつ積層体を構成する薄膜の剥離防止性が向上したバリアー性積層体とその製造方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　近年、食品、医療品等の包装に用いられる包装材料には、内容物の変質を抑制し、その効能が維持されるように、酸素、水蒸気、その他内容物を変質させる気体（ガス）の通過を遮断するガスバリアー性を備えることが求められている。特に、食品の包装材料には、蛋白質や油脂等の酸化や変質を抑制し、また、味や鮮度を保持するため、このようなガスバリアー性が必要とされている。また、医薬品の包装材料には、無菌状態を維持すると共に、有効成分の変質を抑制し、効能を維持するために、ガスバリアー性が必要とされている。
　【０００３】
　従来、ガスバリアー性を有する包装材料としては、その使用目的等に応じて種々の樹脂フィルムが使用されており、例えば、酸素を遮断するバリアー性フィルムとして、ポリビニルアルコールフィルム、エチレンビニルアルコール共重合体フィルム、ポリアクリロニトリルフィルム等が使用されている。また、水蒸気を遮断するバリアー性フィルムとしては、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム等が使用されている。
　【０００４】
　しかしながら、これらの樹脂フィルムは、単独では酸素と水蒸気の両方に対して十分なガスバリアー性を備えることができない。そのため、複数種の高分子樹脂組成物をラミネートまたはコーティングすることにより積層フィルムを形成し、これを包装材料に使用することがなされている。しかし、この積層フィルムも保存環境や使用環境における温度や湿度の影響により、十分なガスバリアー性を発揮しない場合がある。
　【０００５】
　一方、単独で酸素と水蒸気の両方のバリアー性を有する樹脂フィルムの開発も進められており、例えば、ポリ塩化ビニリデンフィルム、あるいはポリエステルフィルムに塩化ビニリデン共重合体樹脂をコーティングしたフィルム、ポリプロピレンフィルムに塩化ビニリデン共重合体樹脂をコーティングしたフィルム、ナイロンフィルムに塩化ビニリデン共重合体樹脂をコーティングしたフィルム等がある。しかし、このような樹脂フィルムは使用後廃棄され焼却されると有毒ガスを発生させ、環境上の問題を引き起こすことが問題となる。
　【０００６】
　また、高度なガスバリアー性が要求される包装材料には、樹脂フィルム単独では達成することのできない高いガスバリアー性を得るために、樹脂フィルムとアルミニウム等の金属または金属化合物からなる金属箔との積層フィルムが用いられている。しかし、ここで使用されるアルミニウム箔等の金属箔は、酸素、水蒸気等の気体に対するバリアー性は優れているが、使用後廃棄物として焼却されると残滓として金属が残り、また、再利用も難しい。このため、金属箔の廃棄による環境への影響が問題となる。
　【０００７】
　上述のような問題を解決するものとして、最近では一酸化ケイ素（ＳｉＯ）等のケイ素酸化物（ＳｉＯｘ）、酸化アルミニウム（ＡｌｘＯｙ）、アルミニウム（Ａｌ）等の金属あるいは金属酸化物の薄膜を樹脂フィルム上に物理蒸着等で成膜した蒸着フィルムが開発されている。これらは高分子樹脂の単独フィルムあるいは積層フィルムよりも優れたガスバリアー性を有しており、高湿度下での劣化も少ない。そのため、蒸着フィルムは、包装材料として注目されるようになっている。
　【０００８】
　この蒸着フィルムを包装材料として使用する場合、蒸着フィルムが単体で包装材料として用いられることはほとんどなく、蒸着フィルムにさらに種々の後加工を施し、包装容器や包装袋等を作製することがなされている。例えば、包装袋は蒸着フィルムをさらに他の基材と貼り合わせ、製袋工程を施すことにより袋状に加工されている。
　【０００９】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、上述の金属又は金属酸化物を樹脂フィルム上に薄膜形成させた蒸着フィルムは、蒸着薄膜が無機化合であり、その蒸着薄膜の基材となる樹脂フィルムが有機化合物であるために、両者の機械的性質、化学的性質、熱的性質、電気的性質等の諸物性が非常に異なっている。
　【００１０】
　従って、蒸着加工、印刷加工、ラミネート加工等の包装材料に一般に施される加工工程、包装袋や包装容器等の包装材料の最終形態の使用方法や使用環境によっては、蒸着薄膜に機械的ストレス、熱的ストレス等が付加され、蒸着薄膜に傷が生じ、クラック、ピンホール等の損傷や欠陥が発生し、それらの損傷部分あるいは欠陥部分から酸素、水蒸気等の気体が通過し、本来有しているはずの高いガスバリアー性が低下するという問題がある。
　【００１１】
　また、無機化合物の蒸着薄膜と有機化合物である樹脂フィルムとの間では強固な結合が得られ難く、樹脂フィルムと蒸着薄膜との間、あるいは蒸着薄膜上に一般に形成されるインキ層や接着剤等との間で剥離が発生し、十分な密着性が得られないという問題があり、さらにこの密着性の低さ故に蒸着薄膜にも損傷が生じ、バリアー性が劣化するという問題がある。
　【００１２】
　このような問題に対して、蒸着薄膜の基材となる樹脂フィルムと蒸着薄膜との密着性を改善するため、例えば、樹脂フィルムの表面をコロナ放電処理、紫外線照射処理、プラズマ処理、火炎処理、または熱やアルカリ等の薬品による表面処理等を施し、樹脂フィルム表面を活性化してから金属または金属化合物の蒸着を行う方法がある。ところがこの方法によると、樹脂フィルムの濡れ性の向上により、この樹脂フィルムと蒸着薄膜との接着性の向上は期待できるが、樹脂フィルム表面の活性能力が経時的に減少するため、この処理方法によっても必ずしも満足する接着力が得られないという問題がある。
　【００１３】
　樹脂フィルムと蒸着薄膜との密着性を改善する別な方法として、蒸着薄膜の基材に、樹脂フィルムの構成成分と他の樹脂成分等とを共重合させた共重合樹脂フィルムや樹脂フィルムの構成樹脂と他の樹脂を共押出しさせた共押出多層樹脂フィルムを用いる方法や、蒸着薄膜の基材となる樹脂フィルム表面に、樹脂フィルムの製膜時にオフラインまたはインラインで、エチレンイミン系、アミン系、エポキシ系、ウレタン系またはポリエステル系等のコーティング剤を塗布する方法がある。これらの方法によれば、樹脂フィルムと蒸着薄膜との密着性は向上する。しかし、樹脂フィルムの耐熱性が劣るため、熱寸法安定性が悪く、包装材料に一般に課される蒸着、印刷、ラミネート等の各工程における熱負荷時に蒸着薄膜が機械的ストレスを受け、それにより蒸着薄膜にクラック、ピンホール等が発生し、ガスバリアー性が低下するという問題がある。
　【００１４】
　さらに、蒸着薄膜上に印刷、ラミネート等によって形成されるインキ層や接着剤等の密着性の改良も行われており、例えば、エチレンイミン系、アミン系、エポキシ系、ウレタン系またはポリエステル系等のコーティング剤を樹脂フィルム上に塗布し、蒸着薄膜を形成する方法がある。しかし、この方法は、コーティング剤の樹脂成分によっては、かえって密着性の悪化あるいはバリアー性の低下をきたし、密着性とバリアー性の両者を満足させるものではない。また、コーティング剤の塗布時の熱寸法安定性が悪いため、経時的にあるいは蒸着フィルムが製袋工程等の成形工程で受ける熱負荷により体積膨脹または体積収縮を起こして蒸着薄膜が機械的ストレスを受け、それにより蒸着薄膜にクラック、ピンホール等が発生し、インキ層や接着剤等からの剥離が発生し、バリアー性が低下するという問題がある。
　【００１５】
　以上のように、樹脂フィルム上に蒸着薄膜を積層した蒸着フィルムは、ガスバリアー性という包装材料としての性能面での問題に加えて、樹脂フィルムと蒸着薄膜の間にコーティング層を設ける場合の当該コーティング層の塗布工程や、蒸着薄膜上に印刷によりインキ層あるいは接着剤層を形成する場合にこの蒸着薄膜とインキ層あるいは接着剤層との間にコーティング層を設けるときの当該コーティング層の塗布工程は、樹脂フィルム製造時にインラインでコーティング層を設ける以外、樹脂フィルムや蒸着薄膜やの形成装置とは別個の装置を用いて独立的になされるため、製造コストが非常にかかるという問題もある。
　【００１６】
　本発明は、樹脂フィルムと金属あるいは金属酸化物の蒸着薄膜との積層体について上記のような問題点を除去するためになされたものであり、樹脂フィルムと蒸着薄膜との密着性が良く、かつ、ガスバリアー性に優れた積層体を得ること、及びこのようなバリアー性積層体を低コストで製造できるようにすることを目的とする。
　【００１７】
　【課題を解決するための手段】
　本発明者は、上記の目的を達成するため、請求項１の発明として、樹脂フィルムの片面に、
アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を
硬化し
アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を
硬化し
　【００１８】
　また、請求項３の発明として、樹脂フィルムの片面に、金属または金属化合物の蒸着薄膜、及び
アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を
硬化し
　【００１９】
　さらに請求項１記載のバリアー性積層体の製造方法として、請求項４に、樹脂フィルムの片面に
アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を
硬化して
　【００２０】
　また、請求項３記載のバリアー性積層体の製造方法として、請求項６に、樹脂フィルムの片面に金属または金属化合物の蒸着薄膜を形成し、次いでその蒸着薄膜上に
アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、光重合開始剤をアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量〜１０重量％混合したアクリル樹脂コーティング剤を
硬化して
　【００２１】
　請求項１の本発明によれば、樹脂フィルム上に真空紫外線硬化法により形成されたアクリル樹脂層が形成されている。このアクリル樹脂層は、その層内部で重合し強固な架橋構造を形成しており、基材となる樹脂フィルムに対して十分な密着性を発揮する。また、このアクリル樹脂層は、この上に形成される金属または金属化合物の蒸着薄膜に対しても十分な密着性を発揮する。
　【００２２】
　また、真空紫外線硬化法により形成されたアクリル樹脂層は、高硬度、良耐熱性であるため、このアクリル樹脂層と、金属または金属化合物の蒸着薄膜との間に生じる歪みは小さい。したがって、これによっても蒸着薄膜に強い密着性を得ることが可能となる。
　【００２３】
　さらに、真空紫外線硬化法により形成されたアクリル樹脂層は、膜質が緻密で架橋が進んでおり、ドライ加工であるために粉塵等の異物の混入が少なく、ピンホールも非常に少ない。このため、このアクリル樹脂層上に物理蒸着法等により金属または金属化合物の蒸着薄膜を形成する場合に、残留溶剤や脱ガスが発生することはなく、金属または金属化合物の蒸発粒子のアクリル樹脂層上への付着が妨害されることもない。よって、金属または金属化合物の蒸着薄膜の膜質も緻密化しバリアー性能が向上したものとなる。
　【００２４】
　以上のように、アクリル樹脂層上に金属または金属化合物の蒸着薄膜が積層されている本発明のバリアー性積層体においては、アクリル樹脂層がアンカーコート層として非常に有効に機能し、このバリアー性積層体を構成する各層の剥離が防止され、ガスバリアー性も向上したものとなる。
　【００２５】
　また、請求項２あるいは請求項３の本発明のように、金属又は金属酸化物の蒸着薄膜上に、真空紫外線硬化法によりアクリル樹脂層を形成したバリアー性積層体においては、このアクリル樹脂層が、金属または金属化合物の蒸着薄膜を物理蒸着法等により形成した場合に一般にその蒸着薄膜中に含まれる多くのピンホールを覆い隠す。また、アクリル樹脂層は、外傷からの保護膜ともなる。したがって、蒸着薄膜上のアクリル樹脂層は、トップコート層として非常に有効に機能し、このバリアー性積層体のガスバリアー性を大きく向上させる。
　【００２６】
　本発明のバリアー性積層体において形成するアクリル樹脂層は、アクリル樹脂コーティング剤の真空下における噴霧コーティングと、その後の紫外線照射による硬化により形成することができるが、この形成方法は膜厚の制御が容易である。特に、分子量１００００以下のアクリル系モノマー又はオリゴマーを含有する粘度５００ｃｐｓ以下のアクリル樹脂コーティング剤を用いると、ウェットコーティング法によりアクリル樹脂層を形成する場合よりも容易に膜厚を薄く形成することができる。また、真空蒸着兼用コーティング装置で連続的に真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層の形成と金属または金属化合物の蒸着薄膜の積層とを行うことにより、バリアー性積層体の生産性を向上させることができる。したがって、本発明においては、バリアー性積層体の加工性や生産性も大きく向上させることが可能となる。
　【００２７】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図中、同一符号は同一又は同等の構成要素を表している。
　【００２８】
　図１、図２及び図３は、それぞれ本発明のバリアー性積層体１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃの層構成を説明する断面図であり、図４はこれら本発明のバリアー性積層体を製造する装置の模式説明図である。
　【００２９】
　図１、図２及び図３のバリアー性積層体１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃにおいて、１は樹脂フィルム、２は真空紫外線硬化法により形成されたアクリル樹脂層、３は金属または金属化合物の蒸着薄膜である。
　【００３０】
　ここで、樹脂フィルム１としては、シート状またはフィルム状のものであって、通常、包装材料として用いられるものを使用することができる。例えば、ポリオレフィン（ポリエチレン、ポリプロピレン等）、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリエチレン２，４−ナフレート等）、ポリアミド（ナイロン６、ナイロン１２等）、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミドポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルケトン、ポリアクリレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリフェニレンオキサイド、テトラフルオロエチレン、一塩化三フッ化エチレン、フッ化エチレンプロピレン共重合体、ポリイミド等のフィルムを当該バリアー性積層体の用途等に応じて適宜選択して用いることができる。
　【００３１】
　樹脂フィルム１をこれらのフィルムから形成する場合に、樹脂フィルム１には、必要に応じて公知の添加剤、例えば、帯電防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、着色剤等を適宜添加することができる。
　【００３２】
　また、樹脂フィルム１としては、必要に応じて二軸延伸フィルムを使用することができる。
　【００３３】
　さらに樹脂フィルム１には、コロナ放電処理、プラズマ活性化処理、グロー放電処理、逆スパッタ処理、粗面化処理などの表面活性化処理や、クリーニング処理、帯電除去処理など公知の表面処理を行うことができる。あるいは、オフラインやインラインで、エチレンイミン系、アミン系、エポキシ系、ウレタン系、ポリエステル系などのコーティング剤を塗布してもよい。これにより、樹脂フィルム１と、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２、又は金属あるいは金属化合物の蒸着薄膜３との密着性を向上させることが可能となる。
　【００３４】
　樹脂フィルム１の厚さは特に制限されないが、蒸着工程の加工適性などを考慮すると２〜４００μｍの範囲が好ましい。
　【００３５】
　一方、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２は、第一の成分として、アクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる樹脂成分と、第二の成分として光重合開始剤とを混合したアクリル樹脂コーティング剤を、真空下において目的物に噴霧コーティングし、真空紫外線照射により硬化させて得られるものである。
　【００３６】
　この場合、第一の成分としては、例えばアルキド、ポリエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレート、アクリルアクリレート、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、シリコーンアクリレート、ポリアセタールアクリレート、ポリブタジエン系アクリレート、メラミンアクリレートなどの重合性二重結合を有するアクリル系モノマーあるいはオリゴマーをあげることができる。また、アクリル系モノマーあるいはオリゴマーとしては、そのアクリロイル基の保有数に応じて一官能、二官能、三官能、及びそれ以上の多官能のものを適宜選定して用いることができる。これらアクリル系モノマーあるいはオリゴマーは、二種類以上を混合して用いることができる。
　【００３７】
　また、アクリル系モノマーあるいはオリゴマーの分子量は１０，０００以下、好ましくは２，０００以下、より好ましくは１００〜６００とする。
　【００３８】
　第二の成分の光重合開始剤としては、例えばベンゾインエーテル類、ベンゾフェノン類、キサントン類、アセトフェノン誘導体等を、第一成分のアクリル系モノマーあるいはオリゴマーに対して０．０１重量％〜１０重量％、好ましくは０．１〜２重量％を用いる。
　【００３９】
　アクリル樹脂コーティング剤は、上述のアクリル系モノマーあるいはオリゴマーからなる第一の成分と光重合開始剤からなる第二の成分とを混合することにより調製することができる。また、アクリル樹脂コーティング剤の粘度は、常温で５００ｃｐｓ以下、好ましくは１００ｃｐｓ以下とする。
　【００４０】
　アクリル樹脂コーティング剤を用いて前述の樹脂フィルム１あるいは後述する金属または金属化合物の蒸着薄膜３上に真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２を形成する方法としては、樹脂フィルム１又は蒸着薄膜３上にアクリル樹脂コーティング剤を真空下において加熱気化させて噴霧コーティングし、これに、例えば水銀ランプ、メタルハライドランプ等の紫外線照射用ランプを用いて真空紫外線を照射し、アクリル樹脂層を硬化させればよい。
　【００４１】
　真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２の膜厚は、アクリル樹脂層２の形成装置にもよるが、一般に０．０５〜１０μｍが好ましく、より好ましくは０．１〜５μｍとする。これは膜厚が０．０５μｍを下回ると均一な膜に形成することが困難となり、また、１０μｍを超えると紫外線硬化速度が低下し、十分に硬化させることが困難となるからである。
　【００４２】
　本発明において、金属あるいは金属化合物の蒸着薄膜３は、アルミニウム、シリカ、チタニウム、亜鉛、ジルコニウム、マグネシウム、錫、銅、鉄などの金属やこれらの金属の酸化物、窒化物、硫化物、フッ化物など、例えば酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、一酸化ケイ素（ＳｉＯ）、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化チタニウム（ＴｉＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）、酸化錫（ＳｎＯ２）、酸化銅（ＣｕＯ）、酸化鉄（Ｆｅ２Ｏ３）などを蒸着材料として形成することができる。
　【００４３】
　この蒸着薄膜３の形成方法としては、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリングなどの蒸着法を用いることができるが、真空蒸着、イオンプレーティングが生産性の点から好ましい。蒸着装置の加熱方式は抵抗加熱、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱、高周波誘導加熱などを用いることができる。
　【００４４】
　金属あるいは金属化合物の蒸着薄膜３の膜厚は５０〜５０００Åが好ましく、より好ましくは２００〜１５００Åとする。これは膜厚が５０Åを下回ると蒸着薄膜に抜けが生じ、バリアー性にバラツキが生じ易く、また、５０００Åを超えると蒸着薄膜のフレキシビリティーが損なわれ、クラック、ピンホールが発生し易くなり、バリアー性が低下するためである。なお、蒸着薄膜３は単一成分の単層に限られることなく、上記の蒸着材料の混合物からなる蒸着薄膜であってもよく、また２層以上の多層膜であってもよい。
　【００４５】
　本発明のバリアー性積層体は、以上の樹脂フィルム１、真空紫外線硬化法により形成されたアクリル樹脂層２、金属または金属化合物の蒸着薄膜３からなるが、この層構成としては、図１のバリアー性積層体１０Ａのように、樹脂フィルム１上に、真空紫外線硬化法により形成されたアクリル樹脂層２及び金属または金属化合物の蒸着薄膜３を順次積層してもよく、図２のバリアー性積層体１０Ｂのように、図１のバリアー性積層体１０Ａの蒸着薄膜３上にさらに真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２を積層してもよい。また、図３のバリアー性積層体１０Ｃのように、樹脂フィルム１上に、金属または金属化合物の蒸着薄膜３及び真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２を順次積層してもよい。
　【００４６】
　図１あるいは図２のように、金属または金属化合物の蒸着薄膜３の下地に真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２を形成することにより、このアクリル樹脂層２の優れたアンカー効果を得ることができ、バリアー性積層体における蒸着薄膜３の密着性を高め、優れたガスバリアー性を得ることができる。
　【００４７】
　また、図３あるいは図２のように、蒸着薄膜３の上に真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２を形成することにより、このアクリル樹脂層２のトップコート層としての効果を得ることができ、バリアー性積層体のガスバリアー性を高めることができる。
　【００４８】
　以上のような本発明のバリアー性積層体１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃを製造する本発明の製造方法としては、真空蒸着兼用コーティング装置を用いて、樹脂フィルム１上に連続的に真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２の形成と金属または金属化合物の蒸着薄膜３の積層を行い、さらに必要に応じて連続的に同様のアクリル樹脂層２を積層するか、あるいはこの反対の順序で、樹脂フィルム１上に連続的に金属または金属化合物の蒸着薄膜３の形成と、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２の積層を行うことが生産性を高める点から好ましい。
　【００４９】
　このように真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２と金属または金属化合物の蒸着薄膜３との連続的な形成を可能とする真空蒸着兼用コーティング装置としては、例えば、図４に示した真空蒸着兼用コーティング装置２０を使用することができる。
　【００５０】
　この真空蒸着兼用コーティング装置２０は、ロール室２１内に、巻出しロール２２、冷却ドラム２３、巻取りロール２４及びガイドロール２５を有している。ここで、巻出しロール２２はアクリル樹脂層２や蒸着薄膜３の形成を受ける樹脂フィルム１を巻き出すものであり、冷却ドラム２３は、樹脂フィルム１がアクリル樹脂層２や蒸着薄膜３の形成を受ける間にこの樹脂フィルム１を支持すると共に必要に応じて冷却する金属製のドラムであり、巻取りロール２４は、アクリル樹脂層２や蒸着薄膜３が形成された樹脂フィルム１を巻き取るものであり、ガイドロール２５は、巻出しロール２２、冷却ドラム２３及び巻取りロール２４の間の樹脂フィルム１の走行を案内するものである。
　【００５１】
　また、この真空蒸着兼用コーティング装置２０には、冷却ドラム２３の外周に沿って、アクリル樹脂層２を形成するコーティングユニット２６−１、蒸着薄膜３を形成する蒸着ユニット３０、アクリル樹脂層２を形成するコーティングユニット２６−２が順次配されている。
　【００５２】
　真空蒸着兼コーティング装置２０のロール室２１の内部は、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２の形成や蒸着薄膜３の形成処理に当たり、予め２×１０−６〜１０−３Ｔｏｒｒ，好ましくは８×１０−６〜８×１０−５Ｔｏｒｒ程度の真空に引かれるようになっている。
　【００５３】
　コーティングユニット２６−１、２６−２では、容器２７−１、２７−２に貯留されているアクリル樹脂コーティング剤が加熱気化され、冷却ドラム２３上を走行している樹脂フィルム１に対してアクリル樹脂コーティング剤の噴霧コーティングが行われる。そして噴霧コーティングの直後に、紫外線照射用ランプ（例えば、水銀ランプ、メタルハライドランプ等）２８−１、２８−２から紫外線照射が行われ、噴霧コーティングされたアクリル樹脂コーティング剤が硬化する。ここで、紫外線照射用ランプ２８−１、２８−２は樹脂フィルム１の幅方向に均一に照射される様に設置される。また、アクリル樹脂コーティング剤の硬化速度を大きくするために、紫外線照射用ランプ２８−１、２８−２は二つ以上平行に並べてもよい。さらに、こうして形成するアクリル樹脂層２は二層以上の多層としてもよい。
　【００５４】
　なお、各コーティングユニット２６−１、２６−２で形成するアクリル樹脂層２の膜厚は、０．０５〜１０μｍとすることが好ましく、より好ましくは０．１〜５μｍとする。膜厚が０．０５μｍを下回ると均一な膜に形成することが困難となり、また、１０μｍを超えると紫外線硬化速度が低下し、十分に硬化させることが困難となる。
　【００５５】
　一方、蒸着ユニット３０では、前述の金属又は金属化合物の蒸着材料３１が冷却ドラム２３を走行している樹脂フィルム上に蒸着される。
　【００５６】
　この装置２０では、コーティングユニット２６−１、２６−２及び蒸着ユニット３０で処理をそれぞれ独立的に制御することができるので、コーティングユニット２６−１及びを蒸着ユニット３０を作動させることにより図１のバリアー性積層体１０Ａを容易に得ることが可能となり、さらにコーティングユニット２６−２も作動させることにより図２のバリアー性積層体１０Ｂも容易に得ることが可能となる。また、コーティングユニット２６−１を作動させることなく、蒸着ユニット３０及びコーティングユニット２６−２を作動させることにより図３のバリアー性積層体１０Ｃを容易に得ることが可能となる。
　【００５７】
　以上、図示したバリアー性積層体１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃについて詳細に本発明を説明したが、本発明のバリアー性積層体にはさらに必要に応じて蒸着工程、印刷工程、ラミネート工程、製袋工程等を施し、所望の形態に形成することができる。
　【００５８】
　【実施例】
　以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明する。
　【００５９】
　実施例１
図４に示した真空蒸着兼コーティング装置２０を使用して、図２に示したバリアー性積層体１０Ｂと同様の層構成のバリアー性積層体を次のように作製した。
　【００６０】
　この場合、樹脂フィルム１としては、厚さ１２μｍの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（以下ＰＥＴフィルムと略称する）を使用し、これを真空蒸着兼コーティング装置２０内の巻出しロール２２に装填した。
　【００６１】
　また、アクリル樹脂コーティング剤としては、トリプロピレングリコールジアクリレートとベンゾフェノン（１重量％）の混合液体を使用し、これを同装置２０の容器２７−１、２７−２に装填した。
　【００６２】
　まず、真空蒸着兼コーティング装置２０全体を真空度１．５×１０−５Ｔｏｒｒとし、コーティングユニット２６−１の冷却ドラム２３上を走行しているＰＥＴフィルム１に、アクリル樹脂コーティング剤を流量調整しつつ加熱気化し噴霧した。同時に二列平行の出力２５０Ｗ／ｃｍのメタルハライドランプにて真空紫外線を照射することにより、噴霧したアクリル樹脂コーティング剤を重合及び架橋させて硬化させた。その結果、冷却ドラム２３上を走行しているＰＥＴフィルム１の表面に厚さ１μｍの真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２が形成された。
　【００６３】
　次いで、蒸着ユニット３０において、冷却ドラム２３を抱くように走行している、上述の真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２を形成したＰＥＴフィルム１の上に、酸化ケイ素ＳｉＯをＥＢ−Ｐｏｗｅｒ　３０ｋＶ−０．７５Ａ，圧力２×１０−４Ｔｏｒｒの条件で膜厚５００Åに蒸着し、［ＰＥＴフィルム／真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層／ＳｉＯ蒸着薄膜］の層構成の蒸着フィルムを得た。
　【００６４】
　さらにコーティングユニット２６−２において、冷却ドラム２３を抱くように走行している［ＰＥＴフィルム／真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層／ＳｉＯ蒸着薄膜］の層構成を有する蒸着フィルムの当該ＳｉＯ蒸着薄膜上に、アクリル樹脂コーティング剤を流量調整しつつ加熱気化し噴霧した。同時に二列平行の出力２５０Ｗ／ｃｍのメタルハライドランプにて真空紫外線を照射することにより、噴霧したアクリル樹脂コーティング剤を重合及び架橋させて硬化させた。これにより、冷却ドラム２３上を走行している蒸着フィルムのＳｉＯ蒸着薄膜の表面に、厚さ１μｍの真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層を形成した。次いで、この蒸着フィルムを冷却ドラム２３から離し、ガイドロール２５を経て巻取りロ−ル（２４に連続的に巻き取り、本発明のバリアー性積層体１０Ｂを得た。
　【００６５】
　得られたバリアー性積層体１０Ｂの最外層の真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層２の面に、熱接着性樹脂として厚さ３０μｍの未延伸ポリプロピレンフィルムをドライラミネート法により貼り合わせた。
　【００６６】
　実施例２
実施例１のバリアー性積層体１０Ｂの作製において、コーティングユニット２６−２にて真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層を形成しなかった以外は、実施例１と同様にして、図１に示したバリアー性積層体１０Ａと同様の層構成のバリアー性積層体を作成した。これにより、［ＰＥＴフィルム／真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層／ＳｉＯ蒸着薄膜］の層構成のバリアー性積層体１０Ａを得た。
　【００６７】
　実施例３
実施例１のバリアー性積層体１０Ｂの作製において、コーティングユニット２６−１にて真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層を形成しなかった以外は、実施例１と同様にして、図３に示したバリアー性積層体１０Ｃと同様の層構成のバリアー性積層体を作成した。これにより、［ＰＥＴフィルム／ＳｉＯ蒸着薄膜／真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層］の層構成のバリアー性積層体１０Ｃを得た。
　【００６８】
　実施例４
蒸着材料として酸化アルミニウム（純度９９．９９％）を使用し、蒸着ユニット３０における蒸着条件をＥＢ−Ｐｏｗｅｒ　３０ｋＶ−０．７５Ａとした以外は、実施例１と同様にしてバリアー性積層体を作製した。その結果、［ＰＥＴフィルム／真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層／Ａｌ２Ｏ３の蒸着薄膜／真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層］の層構成のバリアー性積層体を得た。
　【００６９】
　実施例５
アクリル樹脂コーティング剤として、トリプロピレングリコールジアクリレートとベンゾフェノンの混合原料に代えて、１，４−ブタンジオールジアクリレートとベンゾフェノン（１重量％）の混合原料を使用する以外は、実施例１と同様にしてバリアー性積層体を作製した。その結果、［ＰＥＴフィルム／真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層／ＳｉＯ蒸着薄膜／真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層］の層構成のバリアー性積層体を得た。
　【００７０】
　比較例１
２つのコーティングユニット２６−１、２６−２にて、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層を積層しなかった以外は、実施例１と同様にしてＰＥＴフィルム１上にＳｉＯ蒸着薄膜を形成し、［ＰＥＴフィルム／ＳｉＯ蒸着薄膜］の層構成の積層体を得た。
　【００７１】
　比較例２
２つのコーティングユニット２６−１、２６−２にて、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層を積層しなかった以外は、実施例４と同様にしてＰＥＴフィルム１上に蒸着薄膜を形成し、［ＰＥＴフィルム／Ａｌ２Ｏ３蒸着薄膜］の層構成の積層体を得た。
　【００７２】
　比較例３
実施例１と同様の樹脂フィルム（厚さ１２μｍのＰＥＴフィルム）の片面に、実施例１と同様のアクリル樹脂コーティング剤（即ち、トリプロピレングリコールジアクリレートとベンゾフェノン（１重量％）の混合液体）をグラビアコート法によりを塗布乾燥し、次いで窒素置換ユニット内で二列平行の出力２５０Ｗ／ｃｍのメタルハライドランプにて紫外線照射することによりアクリル樹脂コーティング剤を重合及び架橋させて硬化させ、厚さ１μｍのコーティング被膜を形成し、その上に実施例１と同様にしてＳｉＯ蒸着薄膜を形成し、［ＰＥＴフィルム／アクリル樹脂コーティング被膜／ＳｉＯ蒸着薄膜］の層構成の積層体を得た。
　【００７３】
　比較例４
比較例３と同様にして、［ＰＥＴフィルム／アクリル樹脂コーティング被膜／ＳｉＯ蒸着薄膜］の層構成の積層体を得、さらにこのＳｉＯ蒸着薄膜上にアクリル樹脂コーティング被膜を、該被膜をＰＥＴフィルム上に形成した場合と同様の条件で形成し、［ＰＥＴフィルム／アクリル樹脂コーティング被膜／ＳｉＯ蒸着薄膜／アクリル樹脂コーティング被膜］の層構成の積層体を得た。
　【００７４】
　評価
以上のようにして作製した実施例１〜５、比較例１〜４の合計９例の積層体に対し、そのバリアー性を示す（ａ）酸素透過率及び（ｂ）透湿度、アクリル樹脂層あるいは蒸着薄膜の密着性を示す（ｃ）剥離強度を以下に示す測定条件に従って測定し、以下の評価基準で評価した。その結果を表１に示す。
　【００７５】
　（ａ）酸素透過率…モコン法（ＭＯＣＯＮ　ＯＸＴＲＡＮ−１０／５０Ａ）、２５℃、１００％ＲＨ
　【００７６】
　（ｂ）透湿度　　…モコン法（ＭＯＣＯＮ　ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ−Ｗ６）、４０℃、９０％ＲＨ
　【００７７】
　（ｃ）剥離強度　…インストロン型引張試験機、試料１５ｍｍ幅、剥離角度９０度、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ．
　【００７８】
　評価基準
　　◎：非所に良好、　○：やや良好、　△：やや不良、　×：不良
　【００７９】
　【表１】
　【００８０】
　表１から、酸素、水蒸気に対するバリアー性は、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層を有する実施例１〜５では非常に良好な結果が得られ、アクリル樹脂層をもたない比較例１及び比較例２ではやや良好な結果が得られ、コーティング被膜によるアクリル樹脂を有する比較例３及び比較例４では、やや不良ないし不良であった。したがって、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層は、バリアー性の向上に非常に有効であること、アクリル樹脂層を真空紫外線硬化法によらず、コーティング被膜として形成すると（比較例３及び比較例４）、アクリル樹脂層を形成しない場合（比較例１及び比較例２）に比してかえってバリアー性が低下することがわかる。
　【００８１】
　また、アクリル樹脂層および蒸着薄膜の密着性を示す剥離強度に関しては、実施例１〜５では非常に良好な密着性が得られ、比較例３及び比較例４ではやや良好な結果が得られ、比較例１及び比較例２ではやや不良あるいは不良であった。したがって、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層は、密着性の向上にも非常に有効であること、アクリル樹脂層を真空紫外線硬化法によらず、コーティング被膜として形成すると（比較例３及び比較例４）、アクリル樹脂層を形成しない場合（比較例１及び比較例２）に比べると密着性は向上するが、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層には及ばないことがわかる。
　【００８２】
　【発明の効果】
　以上述べたように本発明のバリアー性積層体によれば、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層がアンカーコート層として、あるいはトップコート層として優れた効果を発揮するので、ガスバリアー性及び各層の密着性が大きく向上したものとなる。
　【００８３】
　また、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層は、耐熱性、熱寸法安定性、硬化性に優れることから、本発明のバリアー性積層体に、後工程として、蒸着、印刷、ラミネート、製袋等の種々の工程が施されても、機械的ストレスや熱的ストレスからくる歪みによるクラックやピンホールが発生しにくく、バリアー性の劣化が防止されたものとなる。
　【００８４】
　さらに、本発明のバリアー性積層体を構成する、真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層と金属又は金属化合物の蒸着薄膜とは、一つの真空蒸着兼用コーティング装置で連続的にインラインで形成することができる。したがって、本発明のバリアー性積層体は、加工性、生産性についても非常に有利なものとなる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明のバリアー性積層体の一態様を示す断面図である。
　【図２】
　本発明のバリアー性積層体の他の態様を示す断面図である。
　【図３】
　本発明のバリアー性積層体の他の態様を示す断面図である。
　【図４】
　本発明のバリアー性積層体を製造する、真空蒸着兼用コーティング装置の模式説明図である。
　【符号の説明】
　１…樹脂フィルム
　２…真空紫外線硬化法によるアクリル樹脂層
　３…金属または金属化合物の蒸着薄膜
　１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ…バリアー性積層体
　２０…真空蒸着兼用コーティング装置