【事件の表示】
　特許第３４４８０３９号「プラズマディスプレイパネルの製造方法及び蛍光体インキ」の請求項１ないし９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４４８０３９号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続きの経緯
　本件は、平成１１年７月８日（優先日　平成１０年７月８日、同年９月９日及び同年１０月９日）に特許出願された特願平１１−１９５１３５号の一部が、平成１３年６月１８日に新たな特許出願として出願されたものであり、平成１５年７月４日に特許権の設定登録（特許第３４４８０３９号）がされ、同年９月１６日にその特許掲載公報が発行され、同年１２月２６日にその請求項１ないし請求項９に係る特許に対して、株式会社ディスクより特許異議の申立てがなされた。
　当審において、本件の請求項１ないし請求項３、請求項５ないし請求項７、及び請求項９に係る特許に対して、平成１６年７月２日付けで取消理由を通知したところ、同年９月１３日付けで訂正請求がなされた。
　
第２　訂正の適否
１　訂正事項
　訂正を請求する事項は、次のとおりである。
訂正事項ａ：
　請求項１に「アニオン性界面活性剤及び非イオン性界面活性剤を除く除電物質」とあるのを、「導電性微粒子からなる除電物質」と訂正する。
訂正事項ｂ：
　請求項２及び請求項３を削除する。
訂正事項ｃ：
　請求項４に「請求項３記載の」とあるのを、「請求項１記載の」と訂正し、かつ該請求項４の項番号を２に繰り上げる。
訂正事項ｄ：
　請求項５に「アニオン性界面活性剤及び非イオン性界面活性剤を除く除電物質」とあるのを、「導電性微粒子からなる除電物質」と訂正するとともに、該請求項５の項番号を３に繰り上げる。
訂正事項ｅ：
　請求項６及び請求項７を削除する。
訂正事項ｆ：
　請求項８に「請求項７記載の」とあるのを、「請求項３記載の」と訂正し、かつ該請求項８の項番号を４に繰り上げる。
訂正事項ｇ：
　請求項９において、「請求項５〜８のいずれかに記載の」とあるのを、「請求項３または４記載の」と訂正し、且つ該請求項９の項番号を５に繰り上げる。
　　
２．新規事項追加の有無、訂正の目的の適否、及び特許請求の範囲の実質上の拡張又は変更の存否
(１)　訂正事項ａ及び訂正事項ｄは、それぞれ請求項１及び請求項５に係る発明の特定事項の１つである「アニオン性界面活性剤及び非イオン性界面活性剤を除く除電物質」を、「導電性微粒子からなる除電物質」に限定するものであって、該「導電性微粒子からなる除電物質」については、それぞれ訂正前の請求項３及び請求項７に「除電物質が、界面活性剤及び導電性微粒子から選択されたものからなる」と記載されていたものである。
　したがって、これらの訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当するものであって、願書に添付された明細書又は図面に記載されていた事項の範囲内でのものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　
(２)　訂正事項ｂ及び訂正事項ｅは、いずれも請求項を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当するものであって、願書に添付された明細書又は図面に記載されていた事項の範囲内でのものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　
(３)　訂正事項ｃ、訂正事項ｆ及び訂正事項ｇは、訂正事項ｂ及び訂正事項ｅの請求項の削除にともない、引用する請求項を訂正するとともに、請求項の項番号を繰り上げるものであるから、明りょうでな記載の釈明を目的とする訂正に該当するものであって、願書に添付された明細書又は図面に記載されていた事項の範囲内でのものあり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　
３　訂正の適否の結論
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項の規定、及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３　特許異議の申立てについて
１　本件発明
　上述のとおり、本件の訂正請求は認められるので、本件発明は、訂正請求書に添付された全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項により特定される次のとおりのものである。（以下、「本件発明１」ないし「本件発明５」という。）
「【請求項１】　複数の隔壁が配設されたプレートに対して、蛍光体インキを隔壁と隔壁との間の溝に塗布する蛍光体インキ塗布ステップを有し、
蛍光体インキ塗布ステップでは、導電性微粒子からなる除電物質が添加された蛍光体インキをノズルから連続流となるよう吐出させながら、隔壁と隔壁との間の溝に沿って当該ノズルを相対的に走査することによって塗布することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】　前記導電性微粒子は、カーボン、グラファイト、金属及び金
属酸化物から選択された材料からなることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】　プラズマディスプレイパネルの蛍光体層を形成するのに用いられ、隔壁がストライプ状に配設されたプレートの隔壁に沿って走査するノズルから吐出させる蛍光体インキであって、蛍光体粒子とバインダーと溶媒と導電性微粒子からなる除電物質とが混合されてなることを特徴とする蛍光体インキ。
【請求項４】　前記導電性微粒子は、カーボン、グラファイト、金属及び金
属酸化物から選択された材料からなることを特徴とする請求項３記載の蛍光体インキ。
【請求項５】　前記蛍光体インキは、蛍光体粒子とバインダーと溶媒と除電物質とが分散器で分散されて製造されたものであって、２５℃においてせん断速度が１００ｓｅｃ−１における粘度が１０〜１０００センチポイズであることを特徴とする請求項３または４のいずれかに記載の蛍光体インキ。」
　
２　特許異議の申立ての概要
　上記訂正請求により、特許異議の申立てがなされた訂正前の請求項１ないし９のうち、請求項２、３、６、及び７は削除され、訂正前の請求項１、４、５、８及び９に係る発明は、それぞれ本件発明１ないし本件発明５となった。
　したがって、特許異議の申立ての概要は、以下のとおりである。
(１)　本件発明１ないし本件発明５は、下記の甲第１号証に記載された発明であり、特許法第２９条の２の規定に該当するので、本件発明１ないし本件発明５についての特許は、特許法第１１３条第２号の規定により特許を取り消すべきものである。（以下、「理由１」という。）
(２)　本件発明１ないし本件発明５は、下記の甲２号証ないし甲第９号　証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定に該当するので、本件発明１ないし本件発明５についての特許は、特許法第１１３条第２号の規定により特許を取り消すべきものである。（以下、「理由２」という。）　　　　　　　　　　　　　　　　記
甲第１号証：特願平１０−８７１７７号（特開平１０−３３４８０５号公報　　　　　　）
甲第２号証：特開平１０−１５２６８０号公報
甲第３号証：特許第２７１５４７６号明細書
甲第４号証：特開平７−９０２５３号公報
甲第５号証：化学大辞典編集委員会偏「化学大辞典」７、共立出版株式会社　　　　　　発行、第５３９〜５４０頁「表面活性剤」の項（１９８７年２　　　　　　月１５日　縮刷版第３０刷発行）
甲第６号証：化学大辞典編集委員会偏「化学大辞典」５、共立出版株式会社　　　　　　発行、第５８６〜５８７頁「帯電防止剤」の項（１９８７年２　　　　　　月１５日　縮刷版第３０刷発行）
甲第７号証：特開平１０−８３７６０号公報
甲第８号証：特開平１０−１７２４２５号公報
甲第９号証：特開平１０−１３０６３８号公報
　
３　対比・判断
(１)　理由１（特許法第２９条の２違反）について
　甲第１号証には、吐出孔を有する口金からガラス基板上の隔壁間にストライプ状に蛍光体ペーストを塗布するに際して、塗布ステップとして、口金をストライプ状となった隔壁と平行に一定速度で走行させながら、一定流量ｔて蛍光体ペーストを吐出させて隔壁間に流し込むことにより蛍光面を形成し、プラズマディスプレイパネルとすることが記載され、段落【００２７】には、蛍光体ペーストの組成について、「このような蛍光体ペーストとして、例えば、蛍光体粉末、有機化合物分散剤、水溶性有機バインダー、水で構成された組成物。または、蛍光体粉末、有機バインダー、有機溶剤で構成された組成物およびこれにを有機化合物分散剤を添加した組成物などが使用できる。」と、段落【００３８】には、該蛍光体ペーストに添加される分散剤について、「有機化合物分散剤として、アニオン性や非イオン性界面活性剤などが使用される」と記載されている。
　そこで、甲第１号証に記載された発明と、本件発明１及び本件発明３とを対比すると、甲第１号証に記載された発明における「蛍光体ペースト」は、本件発明１及び本件発明３における「蛍光体インキ」に相当するものであるが、本件発明１及び本件発明３の特定事項の１つである「導電性微粒子からなる除電物質が添加された蛍光インキ」については、甲第１号証には何等記載がない。
　したがって、本件発明１及び本件発明３が、甲第１号証に記載された発明であるとすることはできない。
　また、本件発明２及び本件発明４は、それぞれ本件発明１及び本件発明３の特定事項に加えて、「前記導電性微粒子は、カーボン、グラファイト、金属及び金属酸化物から選択された材料からなる」ことを特定事項とするものであるから、本件発明１及び本件発明３が、前述のとおり甲第１号証に記載された発明であるとすることはできない以上、本件発明２及び本件発明４も、同じ理由により、甲第１号証に記載された発明であるとすることはできない。
　さらに、本件発明５は、本件発明３又は本件発明４の特定事項に加えて、「前記蛍光体インキは、蛍光体粒子とバインダーと溶媒と除電物質とが分散器で分散されて製造されたものであって、２５℃においてせん断速度が１００ｓｅｃ−１における粘度が１０〜１０００センチポイズであることを特徴とする」ことを特定事項とするものであるから、本件発明３及び本件発明４が、前述のとおり甲第１号証に記載された発明であるとすることはできない以上、本件発明５も、同じ理由により、甲第１号証に記載された発明であるとすることはできない。
　よって、理由１によっては、本件発明１ないし本件発明５についての特許を取り消すことはできない。
　
(２)　理由２（特許法第２９条第２項違反）について
　甲第２号証ないし甲第９号証に記載された発明と、本件発明１及び本件発明３とを対比すると、以下に記載するとおり、甲号各証のいずれにも、本件発明１及び本件発明３の特定事項の１つである「導電性微粒子からなる除電物質が添加された蛍光インキ」については、何等記載がない。
　
　甲第２号証には、電界放射型ディスプレイ等の蛍光体の励起発光を用いる表示装置に適用される蛍光体着色組成物に関する発明が記載され、蛍光体着色組成物に含有される顔料分散剤に関して「顔料の分散剤としては、・・非イオン性界面活性剤、ポリ脂肪酸塩、・・テトラアルキルアンモニウム塩等のイオン性界面活性剤が使用できる。」（段落【００２８】）と記載されているだけで、導電性微粒子からなる除電物質に関する記載はない。
　
　甲第３号証には、受像管の蛍光面の形成方法に関する発明が記載され、蛍光体と樹脂粒と感光性樹脂、分散剤、結合剤及び水からなる懸濁液において、「界面活性剤などの分散剤」（第２頁右欄第２０〜２１行）と記載されているだけで、導電性微粒子からなる除電物質に関する記載はない。
　
　甲第４号証には、蛍光面形成用感光性組成物に関する発明が記載され、水性エマルジョンと蛍光体とを水性媒体中に分散するに際して、分散剤として界面活性剤を添加して蛍光面形成用感光性組成物としたことが記載されている（【００１６】参照）だけで、導電性微粒子からなる除電物質に関する記載はない。
　
　甲第５号証には、界面活性剤とサブタイトルが付けられ、表面活性剤は作用の点から分散剤、帯電防止剤などと称せられること、また、表面活性剤の種類として陰イオン活性剤、陽イオン活性剤、非イオン活性剤、両性表面活性剤が例示されているにすぎない。
　
　甲第６号証にも、帯電防止剤は除電機能を有し、プラスチックの除電法として表面活性剤を混入する方法が例示され、また、表面活性剤として陰イオン活性剤、陽イオン活性剤、非イオン活性剤等が例示されているが、導電性微粒子からなる除電物質については記載がない。
　
　甲第７号証には、「【請求項７】　表示領域を区画する隔壁の側面が蛍光体層で被覆されたプラズマディスプレイパネルの製造方法てあって、結着剤としての樹脂を含み、当該樹脂が溶けない媒質中に粒子状の蛍光体を分散させた混合物である蛍光体ペーストを、前記隔壁の側面を被覆するように塗布する工程と、前記蛍光体ペーストの塗布層を、前記樹脂成分が燃焼する温度で焼成して前記蛍光体層を形成する工程とを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。」、及び「【請求項９】　前記蛍光体ペーストを、ノズルから吐出させる手法によって前記側面に塗布する請求項７記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。」が記載されると共に、蛍光体ペーストには分散剤を添加してよいことが記載【００１１】されており、甲第７号証に記載された発明における「蛍光体ペースト」は、本件発明１及び本件発明３における「蛍光体インキ」に相当するものであるが、「導電性微粒子からなる除電物質が添加された蛍光インキ」については、何等記載がない。
　
　甲第８号証には、「【請求項１】ガラス基板上に電極層および隔壁層を形成した後、蛍光体ペーストを塗布及び乾燥させて、蛍光体層を形成するプラズマディスプレイの製造方法において、感光体ペーストの塗布後ガラス基板を１５０〜２１０度傾斜させることを特徴とするプラズマディスプレイの製造方法。」、及び「【請求項３】蛍光体ペーストが、有機成分、蛍光体粉末および溶媒を含有するものであることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイの製造方法。」が記載されると共に、有機成分に関しては、「本発明に使用される有機成分は、公知の有機バインダー、可塑剤および必要に応じて分散剤・・なとの添加剤が含まれる。」【００２２】と記載されており、甲第８号証に記載された発明における「蛍光体ペースト」は、本件発明１及び本件発明３における「蛍光体インキ」に相当するものであるが、「導電性微粒子からなる除電物質が添加された蛍光インキ」については、何等記載がない。
　
　甲第９号証には、「【請求項１】無機蛍光体粉末および有機成分を必須成分とする蛍光体ペーストであって、該蛍光体ペーストの粘度ｐが１〜５０（ポイズ）の範囲てあることを特徴とする蛍光体ペースト。」及び「【請求項６】　ガラス基板上に電極層および隔壁層を形成した後、蛍光体ペーストの塗布、乾燥および焼成の各工程を経て蛍光体層を形成するプラズマディスプレイの製造方法において、請求項１記載の蛍光体ペーストを用いることを特徴とするプラズマディスプレイの製造方法。」が記載されており、甲第８号証に記載された発明における「蛍光体ペースト」は、本件発明１及び本件発明３における「蛍光体インキ」に相当するものであるが、「導電性微粒子からなる除電物質が添加された蛍光インキ」については、何等記載がない。
　
　以上のとおり、本件発明１及び本件発明３の特定事項の１つである「導電性微粒子からなる除電物質が添加された蛍光インキ」については、甲第２号証ないし甲第９号証には何ら記載されていない以上、本件発明１及び本件発明３が、これらの甲号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　また、本件発明２及び本件発明４は、それぞれ本件発明１及び本件発明３の特定事項に加えて、「前記導電性微粒子は、カーボン、グラファイト、金属及び金属酸化物から選択された材料からなる」ことを特定事項とするものであるから、本件発明１及び本件発明３が、前述のとおり甲第２号証ないし甲第９号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない以上、本件発明２及び本件発明４も、同じ理由により、これらの甲号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　さらに、本件発明５は、本件発明３又は本件発明４の特定事項に加えて、「前記蛍光体インキは、蛍光体粒子とバインダーと溶媒と除電物質とが分散器で分散されて製造されたものであって、２５℃においてせん断速度が１００ｓｅｃ−１における粘度が１０〜１０００センチポイズであることを特徴とする」ことを特定事項とするものであるから、本件発明３及び本件発明４が、前述のとおり甲第２号証ないし甲第９号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない以上、本件発明５も、同じ理由により、これらの甲号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　よって、理由２によっては、本件発明１ないし本件発明５についての特許を取り消すことはできない。
　
第４　むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張する理由及び証拠方法によっては、本件発明１ないし本件発明５についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１ないし本件発明５についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年１０月１２日（２００４．１０．１２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
プラズマディスプレイパネルの製造方法及び蛍光体インキ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】複数の隔壁が配設されたプレートに対して、蛍光体インキを隔壁と隔壁との間の溝に塗布する蛍光体インキ塗布ステップを有し、
　蛍光体インキ塗布ステップでは、
導電性微粒子からなる
　【請求項
２
１
　【請求項
３
導電性微粒子からなる
　【請求項
４
３
　【請求項
５
３または４
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法に関し、特に蛍光体層を形成するのに用いる蛍光体インキや蛍光体塗布装置の改良に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】近年、ハイビジョンをはじめとする高品位で大画面のテレビに対する期待が高まっている中で、ＣＲＴ，液晶ディスプレイ（ＬＣＤ），プラズマディスプレイパネル（Ｐｌａｓｍａ　Ｄｉｓｐｌａｙ　Ｐａｎｅｌ，以下ＰＤＰと記載する）といった各ディスプレイの分野において、これに適したディスプレイの開発が進められている。
　【０００３】
　従来からテレビのディスプレイとして広く用いられているＣＲＴは、解像度・画質の点で優れているが、画面の大きさに伴って奥行き及び重量が大きくなる点で４０インチ以上の大画面には不向きである。また、ＬＣＤは、消費電力が少なく、駆動電圧も低いという優れた性能を有しているが、大画面を作製するのに技術上の困難さがある。
　【０００４】これに対して、ＰＤＰは、小さい奥行きで大画面を実現することが可能であって、既に５０インチクラスの製品も開発されている。ＰＤＰは、駆動方式によって直流型（ＤＣ型）と交流型（ＡＣ型）とに大別されるが、現在は、微細なセル構造のパネルを形成するのに適しているＡＣ型が主流となっている。
　【０００５】ＡＣ型として代表的な交流面放電型ＰＤＰは、一般的に、表示電極を配したフロントカバープレートとアドレス電極を配したバックプレートとが、両電極はマトリックスを組むように、間隙をおいて平行に配され、両プレート間の間隙は、ストライプ状の隔壁で仕切られている。そして、隔壁と隔壁との間の溝には、赤，緑，青の蛍光体層が形成されると共に放電ガスが封入されて構成されており、駆動回路で各電極に電圧を印加することによって放電すると、紫外線が放出され、蛍光体層の蛍光体粒子（赤，緑，青）がこの紫外線を受けて励起発光することによって画像表示されるようになっている。
　【０００６】このようなＰＤＰは、通常、バックプレート側に隔壁を配設し、隔壁間の溝に蛍光体層を形成し、その上にフロントカバープレートを重ねて放電ガスを封入することによって製造される。ところで、隔壁間の溝に蛍光体層を形成する方法としては、特開平６−５２０５号公報に開示されているように、蛍光体ペーストを隔壁間の溝に充填して焼成する方法（スクリーン印刷法）が多く用いられてきたが、精細なセル構造のＰＤＰに対しては、スクリーン印刷法を適用することは難しい。
　【０００７】例えば、フルスペックのハイビジョンテレビの画素レベルでは、画素数が１９２０×１１２５となり、４２インチクラスでの隔壁のピッチ（セルピッチ）は０．１〜０．１５ｍｍ程度と細かくなり、隔壁間の溝幅は、０．０８〜０．１ｍｍ程度と非常に狭くなってしまうが、スクリーン印刷で用いる蛍光体インキは粘度が高いので（通常、数万センチポイズ）、このような狭い隔壁間に精度良く高速に蛍光体インキを流し込むことは困難である。また、このような精細な構造のＰＤＰに合わせてスクリーン板を作成することも困難である。
　【０００８】また、蛍光体層の形成方法として、スクリーン印刷法以外にも、フォトレジストフィルム法やインキジェット法が開発されている。フォトレジストフィルム法は、特開平６−２７３９２５号公報に開示されているように、各色蛍光体を含む紫外線感光性樹脂のフィルムを、隔壁と隔壁の間に埋め込み、該当する色の蛍光体層を形成しようとする部分だけに露光現像を施し、露光しない部分を洗い流す方法であって、この方法によれば、セルピッチが小さい場合にも、ある程度精度良く隔壁間にフィルムを埋め込むことが可能である。
　【０００９】しかし、３色各色について、フィルムの埋め込み，露光現像及び洗い流しを順次行う必要があるため、製造工程が複雑であると共に混色が生じやすいという問題があり、更に、蛍光体は比較的高価であり且つ洗い流された蛍光体を回収することも困難なためコスト高になるという問題がある。一方、インキジェット法は、特開昭５３−７９３７１号公報や特開平８−１６２０１９号公報に開示されているように、蛍光体と有機バインダーからなるインキ液を加圧してノズルから噴射させながら走査することにより、所望のパターンで蛍光体インキを絶縁基板上に付着させる方法である。インキジェット法では、エチルセルロース，アクリル樹脂、或はポリビニルアルコール等を有機バインダーとし、ターピネオールやブチルカルビトールアセテートなどが溶剤とし、ペイントシェーカーのような分散器を用いて、有機バインダーと溶剤との混合物に蛍光体を分散させることによって製造された蛍光体インキが一般的に用いられている。
　【００１０】このようなインキジェット法によれば、狭い隔壁間の溝にも精度良くインキを塗布することが可能であるが、噴射されたインキが液滴となって間欠的に付着するので、ストライプ状に配設されている隔壁間の溝に沿って円滑に塗布することは難しい。この点について、本発明者等が先に出願した特願平８−２４５８５３号あるいは特願平９−２５３７４９号に開示されているように、粘度の低い流動性のよい蛍光体インキを加圧してノズルから連続的に噴射しながら走査すれば、円滑に塗布することが可能である。
　【００１１】
　【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方法で蛍光体インキを塗布した場合でも、出来上がったＰＤＰを駆動した時に、隔壁に沿って筋状のむらが発生したり、アドレス電極の切れ目に沿って筋状のむらが発生しやすく、特に白色表示をしたときに筋状のむらが目立つという問題がある。このような筋状のむらが発生する理由は、各溝に形成される蛍光体層に若干のばらつきあるいは混色が生じるためと考えられる。そして、ばらつきを生じさせる要因として、次のようなものが挙げられる。
　【００１２】（１）蛍光体インキを塗布する際に、蛍光体インキに電荷（チャージ）が発生すると共に、作業環境や作業条件によって発生する電荷量も左右されやすいため、蛍光体インキの付着量が場所毎に変化しやすい。
（２）ＲＧＢの３色の蛍光体インキを、１色づつ順に塗布していく場合、２色目、３色目の蛍光体インキを塗布する時には、前に塗布した蛍光体インキが隣接する溝に塗布されており、その隣接する蛍光体インキによるレオロジー的な影響を受けるため、塗布される蛍光体インキの付着状態が一定になりにくい。
　【００１３】なお、一色を塗布するごとに十分乾燥させてから次の色を塗布するようにすれば、このレオロジー的な影響をなくすことはできるが、その場合、乾燥工程が多くなるので、そのための設備が必要な上、生産工程も繁雑となってしまう。
（３）蛍光体インキを隔壁間の溝に塗布する際に、均一的に塗布するには、ノズルが常に隔壁間の溝の中央部に位置するように走査するのが望ましいが、ノズルをまっすくに走査したとしても、隔壁間の溝の幅がばらついていたり溝が彎曲していたりすると、ノズルが溝の中央部からずれてしまう箇所が生じるため、なかなか均一的に塗布することできない。特に精細なセル構造の場合は問題になりやすい。
　【００１４】（４）流動性のよい蛍光体インキを微細なノズルから噴射させると、ノズルからの吐出をオン・オフする際に、吐出量が変化したり噴出されるジェットの方向が変化するため、蛍光体インキが隔壁内に精度よく充填されにくい。更に別の問題として、一般的に、隔壁間の溝に塗布された蛍光体インキは、隔壁側部には付着しにくく、溝の底に多く付着する傾向があるので、隔壁側部と溝底部にバランスよく蛍光体層を形成するのが難しい。そして、蛍光体層の隔壁側部と溝底部とのバランスがよくないと、高いパネル輝度を得にくいという問題がある。
　【００１５】また、インキジェット法で使用するノズル径は、隔壁間隔に合わせて狭く設定する必要があるので、ノズルに目づまりが起こりやすく、長時間連続して蛍光体を塗布することが困難という問題もある。特に、隔壁ピッチが０．１５ｍｍ以下の高精細なＰＤＰを製造する場合、ノズル径をこれよりかなり小さく設定する必要があるため、目づまりの問題が生じやすい。
　【００１６】本発明は、このような課題に鑑み、長時間にわたって連続して蛍光体インキを塗布することが可能であって、微細なセル構造の場合でも容易に精度良く均一的に蛍光体層を形成することができるＰＤＰの製造方法、並びにそれに適したインキ塗布装置及び蛍光体インキを提供し、これによって、ＰＤＰを高画質で筋むらが発生しにくくし、且つ高輝度で画像表示することができるようにすることを目的とする。
　【００１７】
　【課題を解決するための手段】そのため、本発明では、ノズルから蛍光体インキを連続的に吐出させながら、プレートに配設された隔壁間の溝に沿って相対的に走査することによって蛍光体インキを塗布する際に、各溝に関する位置情報に基づいてノズルが通過する溝内の位置を調整しながら行うようにした。
　【００１８】これによって、溝が彎曲しているような場合でも、ノズルが常に溝の中央部を通るように走査することができるので、各溝に蛍光体インキを均一的に塗布し、且つ各溝内の底と隔壁側面とにバランスよく付着させることができる。また、本発明では、ノズルから蛍光体インキを連続的に吐出させながら、プレートに配設された隔壁間の溝に沿って相対的に走査することによって蛍光体インキを塗布する際に、各溝の幅を溝長手方向にわたって測定し、測定した溝幅に応じて、隔壁長さ当たりに塗布する蛍光体インキ量を調整しながら蛍光体インキをノズルから吐出させるようにした。　これによって、溝幅にばらつきがあったり、溝の中で幅が変動しているような場合でも、蛍光体インキを均一的に塗布することができる。
　【００１９】また、本発明では、蛍光体インキを複数の溝に順次塗布する際に、ノズルが溝上から外れた位置にあるときにもノズルから蛍光体インキを連続して吐出する状態を維持しながら塗布するようにした。これによって、ノズル出口付近における蛍光体インキの付着を防止できるので、安定したインキジェットの流れを得ることができる。従って、複数の溝に対して、均一的に蛍光体インキを塗布することができる。
　【００２０】また、本発明では、ノズルから蛍光体インキを連続的に吐出させる前に、インキを分散器で再分散させることとした。これによっても、塗布される蛍光体インキの分散性が向上するので、蛍光体インキを、各溝内の底と隔壁側面とにバランスよく付着させることができる。また、本発明では、ＰＤＰの製造に用いる蛍光体インキにおいて、平均粒径が０．５〜５μｍの蛍光体粉末、ＯＨ基を末端に持つ溶剤であるターピネオール，ブチルカービトールアセテート，ブチルカルビトール，ペンタンジオール，リモネン等の混合溶剤を用いると共に、バインダーとして、セルロース分子内のエトキシ基（−ＯＣ２Ｈ５）含有量が４９％以上のエチルセルロース（セルロース分子内の水酸基（−ＯＨ）がエトキシ基で置換されたもの）、或はエチレンオキサイド系ポリマーを用い、更に分散剤を添加した。ここで、エトキシ含有量というのは、セルロース分子内でのエトキシ基の含有量のことであって、例えば、セルロースの水酸基が完全にエトキシ基で置換されたものは、エトキシ基含有量が５４．８８％である。
　【００２１】蛍光体インキの粘度は、２０００センチポイズ以下（好ましくは１０〜５００センチポイズ）の低粘度に設定するのがよい。ＰＤＰ用の蛍光体インキにおいて、従来から、バインダーとして、エチルセルロース系、アクリル系、ポリビニールアルコール系の樹脂が用いられ、ターピネオールやブチルカービトールなどの溶剤も使われているが、一般的にバインダーが溶剤に十分に溶解しにくく、蛍光体粒子や樹脂の分散状態が良くなりにくいという問題がある。
　【００２２】これに対して、上記のように蛍光体インキに用いるバインダーの種類と、溶剤の種類とを規定することによって、バインダーの溶剤に対する溶解性が良好となり、蛍光体の分散性も高められ、これによって、隔壁間の溝に充填された蛍光体インキは、隔壁側面にもよく付着し、上記の隣接する蛍光体インキによるレオロジー的影響が表れにくいことになる。従って、蛍光体インキを、各溝内の底と隔壁側面とにバランスよく付着させることができる。
　【００２３】蛍光体インキに添加する好ましい分散剤の例としては、脂肪酸塩，アルキル硫酸，エステル塩，アルキルベンゼンスルフォン酸塩，アルキルスルホコハク酸塩及びナフタレンスルフォン酸ポリカルボン酸高分子から選択されたる陰イオン性界面活性剤、或は、ポリオキシエチレンアルキルエーテル，ポリオキシエチレン誘導体，ソルビタン脂肪酸エステル，グリセリン脂肪酸エステル及びポリオキシエチレンアルキルアミンから選択される非イオン性界面活性剤、或は、アルキルアミン塩，第４級アンモニウム塩，アルキルベタイン，アミンオキサイドから選択される陽イオン性界面活性剤を挙げることができる。
　【００２４】
　また、本発明では、ＰＤＰ製造用の蛍光体インキにおいて、更に除電物質を添加することとした。これによって、精細な構造のＰＤＰの場合でも、隔壁間の溝に均一的に蛍光体インキを塗布することができ、また出来上がったＰＤＰを駆動したときに筋むらが発生することもほとんどない。これは、蛍光体インキに除電物質や分散剤を添加すると、蛍光体インキを塗布する際に帯電が防止されるため、蛍光体インキの盛り上がり等の減少が抑えられるためと考えられる。
　【００２５】除電物質としては、カーボン微粒子，グラファイト微粒子，金属微粒子，金属酸化物の微粒子といった導電性微粒子、或は、上で分散剤として挙げたような各種界面活性剤も除電物質として挙げられる。更に、添加する除電物質が、界面活性剤やカーボン微粒子のように、焼成時に蛍光体層から消失される性質もしくはその導電性が失われる性質を有するものであれば、蛍光体層中に除電物質が残存することによりＰＤＰ駆動に支障が生じる可能性もない。
　【００２６】
　【発明の実施の形態】［実施の形態１］
〔ＰＤＰの全体構成及び製法について〕図１は、実施の形態に係る交流面放電型ＰＤＰを示す斜視図であり、図２は、このＰＤＰに回路ブロックを実装した表示装置の構成図である。
　【００２７】このＰＤＰは、前面ガラス基板１１上に放電電極１２（走査電極１２ａ，維持電極１２ｂ）、誘電体層１３、保護層１４が配されてなる前面パネル１０と、背面ガラス基板２１上にアドレス電極２２、誘電体層２３が配された背面パネル２０とが、電極１２ａ，１２ｂとアドレス電極２２とを対向させた状態で間隔をおいて互いに平行に配されて構成されている。そして、前面パネル１０と背面パネル２０との間隙は、ストライプ状の隔壁３０で仕切られることによって放電空間４０が形成され、当該放電空間４０内には放電ガスが封入されている。
　【００２８】また、この放電空間４０内において、背面パネル２０側には、蛍光体層３１が配設されている。この蛍光体層３１は、赤，緑，青の順で繰返し並べられている。放電電極１２及びアドレス電極２２は、共にストライプ状であって、放電電極１２は隔壁３０と直交する方向に、アドレス電極２２は隔壁３０と平行に配されている。
　【００２９】なお、図２に示すように、各放電電極１２は、パネルの端から端まで連続して横切っているが、各アドレス電極２２は、パネルの中央部で分割されデュアルスキャン方式で駆動できるようになっている。放電電極１２，アドレス電極２２は、銀，金，銅，クロム，ニッケル，白金等の金属単独で形成してもよいが、放電電極１２については、ＩＴＯ，ＳｎＯ２，ＺｎＯ等の導電性金属酸化物からなる幅広の透明電極の上に幅細の銀電極を積層させた組み合わせ電極を用いることが、セル内の放電面積を広く確保する上で好ましい。
　【００３０】そして、放電電極１２とアドレス電極２２が交差するところに、赤，緑，青の各色を発光するセルが形成されたパネル構成となっている。誘電体層１３は、前面ガラス基板１１の放電電極１２が配された表面全体を覆って配設された誘電物質からなる層であって、一般的に、鉛系低融点ガラスが用いられているが、ビスマス系低融点ガラス、或は鉛系低融点ガラスとビスマス系低融点ガラスの積層物で形成しても良い。
　【００３１】保護層１４は、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる薄層であって、誘電体層１３の表面全体を覆っている。誘電体層２３は、可視光反射層としての働きも兼ねるように、ＴｉＯ２粒子が混合されている。隔壁３０は、ガラス材料からなり、背面パネル２０の誘電体層２３の表面上に突設されている。
　【００３２】（ＰＤＰの作製方法）このＰＤＰを作製する方法について、以下に説明する。
前面パネルの作製：前面パネルは、前面ガラス基板１１上に放電電極１２を形成し、その上を鉛系の誘電体層１３で覆い、更に誘電体層１３の表面に保護層１４を形成することによって作製する。放電電極１２は銀からなる電極であって、電極用の銀ペーストをスクリーン印刷法で塗布し焼成することによって形成する。なお、この放電電極１２は、インキジェット方式やフォトリソグラフィー方式で形成することもできる。
　【００３３】誘電体層１３は、例えば、７０重量％の酸化鉛［ＰｂＯ］，１５重量％の酸化硼素［Ｂ２Ｏ３］，１０重量％の酸化硅素［ＳｉＯ２］及び５重量％の酸化アルミニウムと有機バインダー［α−ターピネオールに１０％のエチルセルローズを溶解したもの］とを混合してなる組成物を、スクリーン印刷法で塗布した後、５２０℃で２０分間焼成することによって膜厚約２０μｍに形成する。
　【００３４】保護層１４は、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなるものであって、一般的にはスパッタリング法によって形成するが、ここではＣＶＤ法で１．０μｍの膜厚に形成する。ＣＶＤ法による酸化マグネシウム保護層の形成は、ＣＶＤの装置内に前面ガラス基板をセットし、これにソースとしてのマグネシウム化合物及び酸素を送り込んで反応させることによって行う。ここで用いるソースの具体例としては、アセチルアセトンマグネシウム［Ｍｇ（Ｃ５Ｈ７Ｏ２）２］，シクロペンタジエニルマグネシウム［Ｍｇ（Ｃ５Ｈ５）２］を挙げることができる。
　【００３５】背面パネルの作製：背面ガラス基板２１上に、放電電極１２と同様にスクリーン印刷法を用いて、アドレス電極２２を形成する。次に、ＴｉＯ２粒子が混合されたガラス材料をスクリーン印刷法を用いて塗布し焼成することによって誘電体層２３を形成する。
　【００３６】次に、スクリーン印刷法でガラス材料を繰返し塗布した後、焼成することによって隔壁３０を形成する。そして、隔壁３０の間の溝に蛍光体層３１を形成する。この蛍光体層３１の形成方法については後で詳述するが、ノズルから蛍光体インキを連続的に噴射しながら溝に沿って走査する方法で蛍光体インキを塗布し、塗布後に、蛍光体インキに含まれている溶剤やバインダーを除去するため焼成することによって形成する。
　【００３７】なお、蛍光体インキが乾燥するときに隔壁の側面にも蛍光体が多く付着するようにするため、隔壁３０の材料を選択する際に、蛍光体インキの隔壁３０の側面に対する接触角が、溝の底面に対する接触角よりも小さくなるようなものを選択するのが好ましい。また、本実施形態では、４０インチクラスのＶＧＡやハイビジョンテレビに合わせて、隔壁の高さは０．１〜０．１５ｍｍ、隔壁のピッチは０．１５〜０．３６ｍｍとする。
　【００３８】パネル貼り合わせによるＰＤＰの作製：次に、このように作製した前面パネルと背面パネルとを封着用ガラスを用いて貼り合せると共に、隔壁３０で仕切られた放電空間４０内を高真空（例えば８×１０−７Ｔｏｒｒ）に排気した後、放電ガス（例えばＨｅ−Ｘｅ系，Ｎｅ−Ｘｅ系の不活性ガス）を所定の圧力で封入することによってＰＤＰを作製する。
　【００３９】なお、本実施形態では、放電ガスにおけるＸｅの含有量を５体積％以上とし、封入圧力は５００〜８００Ｔｏｒｒの範囲に設定する。ＰＤＰを駆動表示する際には、図２のように回路ブロックを実装して駆動を行う。
〔蛍光体インキ、インキ塗布装置及び塗布方法についての説明〕蛍光体インキは、各色蛍光体粒子が、バインダー、溶剤、分散剤などの混合物に分散され、適度な粘度に調整されたものである。
　【００４０】蛍光体粒子としては、一般的にＰＤＰの蛍光体層に使用されているものを用いることができるが、その具体例としては、青色蛍光体：ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ２＋緑色蛍光体：ＢａＡｌ１２Ｏ１９：ＭｎあるいはＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ赤色蛍光体：（ＹｘＧｄ１−ｘ）ＢＯ３：Ｅｕ３＋あるいはＹＢＯ３：Ｅｕ３＋を挙げることができる。
　【００４１】蛍光体インキの組成などについての詳細な説明は後述する。図３は、蛍光体層３１を形成する際に用いるインキ塗布装置５０の概略構成図である。図３に示されるように、インキ塗布装置５０において、蛍光体インキを貯えるインキサーバ５１、インキサーバ５１内の蛍光体インキを加圧して送出する加圧ポンプ５２、加圧ポンプ５２から送られる蛍光体インキを吐出するノズルヘッド５３、基板（ストライプ状の隔壁３０が形成された背面ガラス基板２１）を載置する基板載置台５６、基板載置台５６上に載置される背面ガラス基板２１の溝３２（隔壁３０どうしの間）の位置を検出するための溝置検出用ヘッド５５等が備えられている。
　【００４２】このインキ塗布装置５０において、背面ガラス基板２１は、基板載置台５６上で隔壁３０が図中Ｘ軸方向に沿うように配置される。また、ノズルヘッド５３及び溝検出用ヘッド５５を、基板載置台５６に対して相対的に駆動する駆動機構（不図示）が設けられ、制御器６０からの指示に従って、基板載置台５６の表面に沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向に走査できるようになっている。なお、この駆動機構としては、３軸ロボット等に用いられている送りネジ機構やリニアモータ、或はエアシリンダ機構を用いて、ノズルヘッド５３及び溝検出用ヘッド５５、若しくは基板載置台５６を駆動すればよく、その具体例については、実施の形態２において説明する。
　【００４３】また、各ヘッド５３，５５の基板載置台５６上におけるＸ軸・Ｙ軸方向の位置、即ち（Ｘ，Ｙ）座標を検出する位置検出機構（不図示）が設けられ、制御器６０ではこれらの座標位置が検出できるようになっている。この位置検出機構としてリニアセンサを設けてもよいが、例えば、Ｘ軸あるいはＹ軸駆動機構において、パルスモータのように駆動量を正確に制御できる駆動源を用いる場合は、Ｘ軸あるいはＹ軸の基準位置を通過するときにそれを検知することのできる基準位置検出センサを設ければ、当該駆動源の駆動量からＸ軸あるいはＹ軸方向の位置を測定することができる。
　【００４４】ノズルヘッド５３は、金属材料を機械加工並びに放電加工することによって、インキ室５３ａやノズル５４の部分も含めて一体成形されたものであって、加圧ポンプ５２から供給される蛍光体インキは、一旦インキ室５３ａに貯えられ、ノズル５４から連続的にインキジェットを噴射するようになっている。ここでは、ノズルヘッド５３にはノズル５４が１本だけ設けられているものとするが、複数本のノズル５４を設けて複数のインキジェットを噴射するようにすることもでき、この場合、インキ室５３ａで蛍光体インキが分配されると共にノズル毎に加わる圧力が均一化される．ノズル５４の口径は、後の図１１で説明するように隔壁間の溝からインキジェットがはみ出ないようにすることを考慮して、隔壁ピッチと比べてかなり小さく設定するのがよいが、ノズルの目詰まり起こさないようにすることも必要である。通常は、数十〜数百μｍ程度の範囲に設定するが、これは蛍光体インキの吐出量などの条件によっても変ってくる。
　【００４５】また、インキサーバ５１には、貯蔵される蛍光体インキ中の粒子（蛍光体粒子など）が沈殿するのを防止するため、攪拌機５１ａが設けられている。溝検出用ヘッド５５は、基板載置台５６上に載置される背面ガラス基板２１の表面に沿って走査され、当該表面の各位置における特性（例えば表面から反射される光量や、表面の誘電率など）を測定するものであって、この溝検出用ヘッド５５の測定結果に基づいて、背面ガラス基板２１における各溝３２の位置情報を得ることができるようになっている。
　【００４６】ここでは、図３に示されるように、溝検出用ヘッド５５は、Ｙ軸方向に延びるＣＣＤラインセンサ５７と、背面ガラス基板２１の上面から反射される光をＣＣＤラインセンサ５７上に結像させるレンズ５８とを備え、ＣＣＤラインセンサ５７のＹ軸方向幅に相当する背面ガラス基板２１の上面の画像データを取り込んで制御器６０に送るようになっているものとする。
　【００４７】〔インキ塗布装置５０による溝位置検出及びインキ塗布操作の説明〕このようなインキ塗布装置５０を用いて、隔壁３０間の溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃの位置情報を得、それに基づいてノズルヘッド５３が通過する溝内の位置を制御しながら各色蛍光体インキを各溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃに順に塗布する。以下、その具体例を示す。
　【００４８】先ず、基板載置台５６上に背面ガラス基板２１を載置し、溝検出用ヘッド５５を、Ｘ軸方向に走査しながら撮像する操作を、Ｙ軸方向にずらしつつ繰返して行うことによって、背面ガラス基板２１表面全体にわたる画像データを制御器６０に順に送る。制御器６０では、溝検出用ヘッド５５から送られてくる画像データを取り込んで、基板載置台５６上の座標と輝度とを対応させた画像データをメモリに格納する。
　【００４９】図４は、このようにして得られた画像データを模式的に示すものであって、図中、斜線部が背面ガラス基板２１に相当し、その中の白抜き部は隔壁３０の上面に相当する部分である。次に、得られた画像データに基づいて、走査ラインを設定する。図４において斜線表示及び白抜き表示で区別しているように、この画像データにおいて、隔壁３０間の溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃに相当する部分と、隔壁３０の上面に相当する部分とは、輝度レベルが異なる（一般的には溝部分の方が隔壁上面部分よりも反射する光量が少ないので暗くなる）と考えられるので、輝度レベルが急に変化する箇所を各溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃの縁（溝と隔壁との境界線）と見なし、各溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃにおいて両縁の中間に走査ラインＳを設定すればよい。
　【００５０】以下、走査ラインＳを設定する手法について、更に具体的に説明する。図４の画像データにおいて、隔壁３０を横切るように、Ｙ軸に平行に等ピッチで複数の検索ラインＬを引く。図５（ａ）は、図４の部分拡大図であって、図中、検索ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３…Ｌ６が引かれている。
　【００５１】図５（ｂ）は、検索ラインＬ１上の各位置における輝度を模式的に示すグラフであって、隔壁３０の上面に相当する位置では高輝度、溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃに相当する位置で低輝度となっている様子が示されている。図５（ａ）における検索ラインＬ１上において、輝度が急激に変化する点（Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３，…，Ｐ１８）のＹ座標、即ち、図５（ｂ）のグラフにおいて立ち上がり及び立ち下がりのＹ座標を求める。同様に、図５（ａ）における検索ラインＬ２、Ｌ３、…Ｌ６についても、輝度が急激に変化する輝度変化点（Ｐ２１，Ｐ２２，Ｐ２３，…，Ｐ２８）、輝度変化点（Ｐ３１，Ｐ３２，Ｐ３３，…，Ｐ３８）、…輝度変化点（Ｐ６１，Ｐ６２，Ｐ６３，…，Ｐ６８）のＹ座標を求める。
　【００５２】そして、輝度変化点Ｐ１１とＰ１２の中点Ｑ１１、輝度変化点Ｐ２１とＰ２２の中点Ｑ２１、…、変化Ｐ６１とＰ６２の中点Ｑ６１の座標を求め、中点Ｑ１１，中点Ｑ２１，…中点Ｑ６１を連結することによって、図５（ａ）の左端の溝３２ａについての走査ラインＳ１を設定する。図５（ａ）の左から２番目，３番目，４番目の溝についても、これと同様に、輝度変化点の中点の座標を結ぶことによって、走査ラインＳ２，Ｓ３，Ｓ４を設定する。
　【００５３】このように走査ラインＳを設定した後、各走査ラインに沿ってノズル５４を走査しながら、各色蛍光体インキをノズル５４から噴射することによって、溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃに蛍光体インキを塗布する。具体的には以下のように行う。まず、インキサーバ５１に、青・緑・赤の中、第１色目（例えば青色）の蛍光体インキを入れる。
　【００５４】制御器６０は、最初に塗布しようとする溝３２ａの走査ラインＳの端にノズルヘッド５３を移動し、加圧ポンプ５２を駆動して蛍光体インキを圧送する。これによって、ノズル５４から蛍光体インキが連続流となって吐出される。ノズル５４の下端と隔壁上面との距離は、インキ吐出量などの条件にもよるが、通常０．５〜３ｍｍに設定する。
　【００５５】この状態で、制御器６０は、ノズルヘッド５３をＸ方向に走査するが、ノズル５４が走査ラインＳに沿うよう、ノズルヘッド５３のＹ方向の位置も調整しながら走査する。制御器６０は、次に、ノズルヘッド５３をｙ軸方向にずらして、次に塗布しようとする溝３２ａの走査ラインＳの端にノズルヘッド５３を移動し、ノズルから蛍光体インキを吐出しながら、背面ガラス基板２１を反対向きに高速で走査することによって、ノズル５４が走査ラインＳに沿うようにノズルヘッド５３を走査しながら蛍光体インキを塗布する。そして、このような操作を繰り返すことによって、第１色目の蛍光体インキを、背面ガラス基板における全ての溝３２ａに塗布する。
　【００５６】次に、同様にして、隣接する溝３２ｂに、第２色目（例えば緑色）の蛍光体インキを塗布し、更に隣接する溝３２ｃに第３色目（例えば赤色）の蛍光体インキを塗布する。これによって、３色の蛍光体インキが、各溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃに塗布される。以上のような蛍光体インキの塗布方法によれば、図６（ａ）に示すように溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃがＸ軸に対して傾いていたとしても、或は図６（ｂ）に示すように溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃが彎曲していたとしても、常に各溝の中央部を通るように走査ラインＳが設定され、その走査ラインＳに沿ってノズル５４が走査されるので、蛍光体インキが常に溝の両側の隔壁側面に塗布され、溝に沿って均一的に蛍光体インキが塗布されることになる。
　【００５７】即ち、図６（ａ），（ｂ）に示すように溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃがＸ軸に対して傾いていたり彎曲している場合、仮にノズル５４をＹ軸方向は移動させることなくＸ軸に平行に直線的に走査したとすれば、図７（ａ）に示すように、ノズル５４が溝３２の中央部からはずれてどちらか一方（図７では左側）の隔壁３０に近づく箇所が存在し、このような箇所では、近い側の隔壁側面に蛍光体インキが多く付着しやすく、形成される蛍光体層も、図７（ｂ）に示すように、片側の隔壁側面上に厚く形成されやすい。そして極端な場合はノズル５４が溝から外れて混色する可能性もある。これに対して、本実施形態の塗布方法を用いれば、いずれの箇所でも両側面に均等に蛍光体インキが塗布される。
　【００５８】なお、ノズルは必ずしも設定された走査ラインの真上を走査しなくても、各走査ラインからあまり離れることなく走査すれば、このような効果を得ることはできる。
（蛍光体インキの吐出量制御について）ところで、隔壁３０のピッチが一定で、各溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃの溝幅が均一であれば、ノズルの走査速度及びインキの吐出量（単位時間当たりのノズルからの吐出量）は一定に設定すればよいが、溝幅にばらつきがあったり、溝の中で幅が変動しているような場合、ノズルの走査速度及びインキの吐出量を一定にすると、蛍光体インキの付着状態（溝の底及び側面への付着バランス）が不均一になる。これは、溝幅の広いところでは、溝幅の狭いところと比べて、塗布される蛍光体インキが広い面積に分散されるため隔壁側面への蛍光体インキの塗布が少なくなるためである。
　【００５９】また溝幅が小さいところでは、蛍光体インキの塗布量が過大となり、隣接する溝にあふれて混色を引き起こす可能性もある。これに対して、以下のように、溝幅の変動に対応して、蛍光体インキを加圧する圧力を調整して吐出量を制御するか、走査速度を制御することによって解消することができる。図４の画像データにおいて、検索ラインＬ上において、各溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃごとの溝幅を測定しておき、ノズル５４を走査してインキを塗布するときにそれに基づいて、Ｘ軸方向の単位長さ当たりのインキ塗布量が溝幅に比例するように、加圧ポンプ５２の圧力、或はＸ軸駆動機構による駆動速度を制御する。
　【００６０】例えば、図５（ａ）の走査ラインＳ１については、点Ｑ１１における溝幅（点Ｐ１１と点Ｐ１２間距離），点Ｑ２１，…点Ｑ６１における溝幅を測定しておく。そして、ノズル５４で走査ラインＳ１上を走査する際、ノズル５４が各点Ｑ１１，Ｑ２１，…Ｑ６上を通過する時に、加圧ポンプ５２による加圧力を、上記の測定した溝幅に比例させる。
　【００６１】このように制御することによって、Ｘ軸方向単位長さあたりに塗布される蛍光体インキ量は、溝幅に略比例することになるので、溝幅にばらつきや変動がある場合でも、蛍光体インキの付着状態は均一的となり、また、溝幅が小さいところでも混色が生じない。
（溝の位置情報を得る方法やノズル走査方法についての変形例など）本実施の形態では、溝検出用ヘッド５５で背面ガラス基板２１の上面全体の画像を撮り、その画像データから溝の位置情報を得て、それを用いて走査ラインを設定する例を示したが、走査ラインを設定する方法は、これに限られることはなくいろいろある。
　【００６２】例えば、Ｘ軸方向に延びるＣＣＤラインセンサを備えたヘッドを、隔壁３０を横切るようにＹ軸方向に走査することによっても輝度変化点を求めることができる。即ち、図５（ａ）の検索ラインＬ１，Ｌ２…に相当するライン上の輝度を検出すれば、同様に輝度変化点を求めることができ、走査ラインを設定することができる。
　【００６３】また、上記実施の形態では、輝度が急激に変化する点を検出し、それを溝の縁と判定するようにしたが、例えば、溝検出用ヘッド５５に距離センサを配置して、同様に背面ガラス基板２１の上面を走査し、距離センサからの距離が急減に変化する点を検出し、それを溝の縁と判定することも可能である。あるいは、溝検出用ヘッド５５に誘電率を測定する誘電体測定センサーを配置して、同様に背面ガラス基板２１の上面を走査し、誘電体が急減に変化する点を検出し、それを溝の縁と判定することも可能である。
　【００６４】また、上記インキ塗布装置５０においては、ノズルヘッド５３と溝検出用ヘッド５５とそれぞれ独立して駆動できるようにしたが、これらを一体で駆動するようにしても、上記と同様の操作を行うことはできる。上記インキ塗布装置５０においては、予め背面ガラス基板２１の上面全体にわたって、溝検出用ヘッド５５で溝の位置を検出して走査ラインを設定し、その後、蛍光体インキの塗布を開始する例を示したが、並行して行うことも可能である。即ち、ノズルヘッド５３を走査して蛍光体インキを塗布しながら、後でインキを塗布しようとする溝について画像データを得ると共に走査ラインを設定し、その溝にインキを塗布する際に当該走査ラインに合わせてノズルヘッド５３を制御しながら走査することもできる。
　【００６５】即ち、ノズルヘッド５３を走査するのに先行して走査ラインを設定すれば、ノズルヘッド５３をそれに合わせて制御することはでき、上記実施の形態と同様の効果を奏するものと考えられる。従って、例えばノズルヘッド５３に、その走査方向前方で溝の中央位置を検出する溝検出器（ＣＣＤラインセンサ）を付設しておき、ノズルヘッド５３を走査する際に、この溝検出器で、ノズルヘッド５３に先行して溝の中央位置を検出し、検出した中央位置を通るようにノズルヘッド５３を制御しながら走査するようにすることも可能である。但しこの場合、溝の中央位置検出及びｙ軸方向への駆動は迅速に行えるようにしておく必要がある。
　【００６６】更にこの他に、ノズルヘッド５３に溝検出器を付設しておき、当該溝検出器で検出する溝の中央位置とノズルとの位置ずれを算出し、位置ずれをなくすようノズルヘッド５３をｙ軸方向に駆動させるフィードバック補正を行うことも可能である。また、上記実施の形態では、ノズルヘッド５３にノズル５４を１つ設ける場合について説明したが、ノズルヘッド５３に複数のノズル５４を設ける場合でも、同様に実施することができる。
　【００６７】この場合、各ノズル５４を各走査ラインに沿うようにノズルヘッド５３をＹ軸方向に調整しながら走査する。例えば、ノズルピッチを隔壁ピッチの３倍に設定し、ノズルヘッド５３の位置調整は、各溝３２ａの中央に設定された各走査ラインを平均化したものをノズルヘッド５３の走査ラインとし、そのヘッド走査ラインに一致するようノズルヘッド５３をＹ軸方向に調整しながら走査する。
　【００６８】これによって、複数の溝に対しても、並行して蛍光体インキを塗布を行うことができる。ノズルヘッド５３に設けるノズル５４の数が１本であれば、溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃの本数分だけタクト回数も必要であるが、上記のようにノズルヘッド５３に設けるノズル５４の数を多くすれば、タクト回数を少なくすることができる。例えばノズルヘッド５３に３本のノズル５４を設ければ、１回の走査で３本の溝に塗布できるので、タクト回数を１／３とすることができることはいうまでもない。
　【００６９】高精細のＰＤＰでは、背面ガラス基板２１に設ける溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃの本数は数百から数千本と非常に多い（例えば、４２インチクラスの１６：９タイプＶＧＡレベルのＰＤＰ表示装置では、各色ごとに８５０本程度の溝があり、ＨＤタイプでは各色ごとに１９２０本の溝がある）。従って、ノズル５４の数を多くすることによって作業効率をかなり向上できる。
　【００７０】また、本実施形態では、第１色目の蛍光体インキを塗布し終えてから次の色を塗布するという方法を示したが、インキ塗布装置５０に３色分のノズルヘッドを設けておいて、３色の蛍光体インキを並行して塗布することも可能である。
〔蛍光体インキの組成について〕
（１）蛍光体粒子ノズルの目づまりや蛍光体粒子の沈殿を抑制するために、蛍光体インキに用いる蛍光体粒子の平均粒径は、５μｍ以下とするのがよい。また、蛍光体が良好な発光効率を得るために、蛍光体の平均粒径は０．５μｍ以上とするのがよい。従って、蛍光体粒子としては、平均粒径が０．５〜５μｍを用いるのが好ましく、特に２〜３μｍの範囲にあるものを用いるのが好ましい。
　【００７１】また、蛍光体粒子の分散性を向上させるために、以下のようにして、蛍光体粒子の表面に、酸化物やフッ化物を付着あるいはコーティングすることが有効である。蛍光体粒子の表面に付着あるいはコーティングさせる金属酸化物の例としては、酸化マグネシウム（ＭｇＯ），アルミニウム酸化物（Ａｌ２Ｏ３），酸化珪素（ＳｉＯ２），酸化インジウム（ＩｎＯ３），酸化亜鉛（ＺｎＯ），酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）が挙げられる。この中で、ＳｉＯ２は負に帯電する酸化物として知られ、一方、ＺｎＯ，Ａｌ２Ｏ３，Ｙ２Ｏ３は正に帯電する酸化物として知られており、特にこれらの酸化物を付着あるいはコーティングさせることは有効である。
　【００７２】付着させる酸化物の粒径は、蛍光体粒子の粒径と比べてかなり小さく、これらの酸化物の蛍光体粒子表面への付着量は、蛍光体粒子に対して０．０５〜２．０重量％の範囲とするのが適当である。これは、この範囲より少なすぎると効果が少なく、多すぎるとプラズマ中で発生する真空紫外線を吸収していまい、パネル輝度が低下するためである。
　【００７３】蛍光体粒子の表面に付着あるいはコーティングさせるフッ化物の例としては、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）やフッ化アルミニウム（ＡｌＦ３）が挙げられる。
（２）バインダー蛍光体粒子を良好に分散させるのに適したバインダーとしては、エチルセルロースあるいはポリエチレンオキサイド（エチレンオキサイドのポリマ）が挙げら、特に、エトキシ基（−ＯＣ２Ｈ５）の含有率が４９〜５４％のエチルセルロースを用いるのが好ましい。
　【００７４】また、バインダーとして光感光性樹脂を用いてもよい。
（３）溶剤溶剤としては、水酸基（ＯＨ基）を有する有機溶剤を混合したものを用いるのが好ましく、その有機溶剤の具体例としては、ターピネオール（Ｃ１０Ｈ１８Ｏ），ブチルカルビトールアセテート，ペンタンジオール（２，２，４−トリメチルペンタンジオールモノイソブチレート），ジペンテン（Ｄｉｐｅｎｔｅｎｅ、別名Ｌｉｍｏｎｅｎ），ブチルカルビトール等が挙げられる。
　【００７５】これらの有機溶剤を混合した混合溶剤は、上記のバインダーを溶解させる溶解性に優れており、蛍光体インキの分散性を優れたものとする。蛍光体インキ中における蛍光体の含有量としては３５〜６０重量％、バインダーの含有量としては０．１５％〜１０重量％の範囲内が適当である。なお、後述するようい溝に塗布される蛍光体インキの形状を整えるため、バインダーの含有量は、インキ粘度が高くなり過ぎない範囲内で大き目に設定するのが好ましい。
　【００７６】（４）分散剤
　上記のような組成の蛍光体インキに、更に分散剤を添加することによって、インキ中における蛍光体粒子の分散性を向上させることができる。分散剤の例としては、以下のような界面活性剤が挙げられる。
＊陰イオン性界面活性剤：脂肪酸塩，アルキル硫酸，エステル塩，アルキルベンゼンスルフォン酸塩，アルキルスルホコハク酸塩，ナフタレンスルフォン酸ポリカルボン酸高分子。
　【００７７】＊非イオン性界面活性剤：ポリオキシエチレンアルキルエーテル，ポリオキシエチレン誘導体，ソルビタン脂肪酸エステル，グリセリン脂肪酸エステル，ポリオキシエチレンアルキルアミン。
＊陽イオン性界面活性剤：例えば、アルキルアミン塩，第４級アンモニウム塩，アルキルベタイン，アミンオキサイド。
　【００７８】（５）除電物質
　また、蛍光体インキに、除電物質を添加するのも好ましい。上記（４）で分散剤として挙げた界面活性剤は、一般的に蛍光体インキの帯電を防止する除電作用も有しており、除電物質に該当するものが多い。但し、蛍光体，バインダー，溶剤の種類によって除電作用も異なるので、いろいろな種類の界面活性剤について試験を行って、結果の良好なものを選択するのがよい。
　【００７９】界面活性剤の添加量としては、０．０５〜０．３重量％が適当であって、この範囲より少ないと分散向上効果あるいは除電効果があまり期待できず、一方この範囲より多いと輝度に影響を及ぼすので好ましくない。除電物質としては、界面活性剤の他に、導電性の材料からなる微粒子も挙げることができる。
　【００８０】導電性微粒子としては、カーボンブラックをはじめとするカーボン微粉末、グラファイトの微粉末、Ａｌ，Ｆｅ，Ｍｇ，Ｓｉ，Ｃｕ，Ｓｎ，Ａｇといった金属の微粉末、並びにこれらの金属酸化物からなる微粉末が挙げられる。このような導電性微粒子の蛍光体インキに対する添加量は、０．０５〜１．０重量％の範囲とするのが好ましい。
　【００８１】蛍光体インキに除電物質を添加することによって、蛍光体インキの帯電が防止されるが、これは、ＰＤＰの生産において次のような効果を奏する。蛍光体インキに除電物質が添加されていない場合には、作製されたパネルを駆動したときに筋むらが発生しやすいという問題があるが、蛍光体インキに除電物質が添加されることによって筋むらの発生が抑えられる。
　【００８２】また、蛍光体インキに除電物質を添加しない場合には、蛍光体インキの帯電によって、パネル中央部におけるアドレス電極２２の切れ目（図２参照）において蛍光体層が盛り上がるという問題も生じやすいが、蛍光体インキに除電物質を添加することによってこれも抑えることができる。これらは、蛍光体インキ（特に有機溶剤を用いたもの）が塗布時に帯電することによって、各溝に塗布される蛍光体インキの量や溝への付着状態に若干のばらつきを生じるが、蛍光体インキに除電物質を添加することによってこの帯電が防止されるためと考えられる。
　【００８３】また、帯電を抑えることによって、液適の飛散による混色も防止できる。また、上記のように除電物質として界面活性剤やカーボン微粉末を用いた場合には、蛍光体インキに含まれている溶剤やバインダーを除去する蛍光体焼成工程において除電物質も蒸発あるいは焼失されるので、焼成後の蛍光体層中には除電物質が残存しない。従って、蛍光体層中に除電物質が残存することによってＰＤＰの駆動（発光動作）に支障が生じる可能性もない。
　【００８４】〔蛍光体インキの製造方法について〕蛍光体インキは、上記のバインダーを、溶剤に対して０．２〜１０重量％溶解し、これに各色蛍光体粒子を調合して、分散器を用いて蛍光体粒子を分散させることによって作製する。蛍光体インキを製造する分散器としては、ボールを用いて分散する振動ミルや撹拌槽型ミル（ボールミル，ビースミル，サンドミル等）の他に、ボールを用いることなく分散する流通管型ミル、ジェットミル、ナノマイザなどを挙げることができる。
　【００８５】振動ミルや撹拌槽型ミルの分散媒体（メディア）としては、ジルコニアやアルミナのボールを用い、特に直径０．２〜２ｍｍのジルコニア（ＺｒＯ２）ボールを用いるのが好ましい。これは、蛍光体粉末へのダメージを抑えると共に、不純物の混入（コンタミ）を抑えるためである。ジェットミルを用いる場合、１０〜１００ｋｇｆ／ｃｍ２の圧力範囲で分散を行うのが好ましい。この圧力範囲が好ましいのは、１０ｋｇｆ／ｃｍ２未満では十分な分散が得られず、１００ｋｇｆ／ｃｍ２を越えると蛍光体粒子が潰れる傾向にあるからである。
　【００８６】蛍光体インキの粘度（２５℃でせん断速度が１００ｓｅｃ−１における粘度）は、２０００センチポイズ以下、好ましくは１０〜５００センチポイズの範囲内に調整する。蛍光体粒子の表面に酸化物やフッ化物を付着する方法は、例えば、蛍光体粒子の懸濁液に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ），アルミニウム酸化物（Ａｌ２Ｏ３），酸化珪素（ＳｉＯ２），酸化インジウム（ＩｎＯ３）などの金属酸化物の懸濁液、あるいはフッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）やフッ化アルミニウム（ＡｌＦ３）などの金属フッ化物の懸濁液を加え、混合撹拌した後、吸引濾過し、１２５℃以上で乾燥して、３５０℃で焼成することによって行うことができる。ここで、蛍光体粒子と酸化物，フッ化物との接着力を向上させるために、樹脂，シランカップリング剤（ｓｉｌａｎｅ　ｃｏｕｐｌｅｒ）あるいは水ガラス（ｗａｔｅｒ　ｇｌａｓｓ）を、上記懸濁液に少量添加してもよい。
　【００８７】また、例えば、蛍光体粒子の表面にアルミニウム酸化物（Ａｌ２Ｏ３）の膜をコーティングするには、アルミニウムのアルコキシドであるＡｌ（ＯＣ２Ｈ５）３のアルコール溶液に、蛍光体粒子を加えて撹拌することによって行うことができる。
〔本実施形態の蛍光体インキの作用効果について〕本実施形態の蛍光体インキは上記のように、分散性が優れるため、隔壁間の溝に塗布されると、隔壁側面に対する付着性が良好である。その原理について、以下に説明する。
　【００８８】図８は、蛍光体インキを隔壁間の溝に塗布した後、蛍光体層が形成される様子を模式的に示す図である。流動性のよい蛍光体インキが隔壁３０間に充填されると、充填された蛍光体インキ中の蛍光体粒子には、重力Ｆ１が働きこれを底に沈降させようとする。一方、蛍光体インキ中の蛍光体粒子には、隔壁側面方向に移動させようとする力Ｆ２も働く。この力Ｆ２は、蛍光体インキ中の溶剤が隔壁３０中に拡散するのに伴って、バインダによって相互に結合している蛍光体粒子も隔壁方向に引っ張ろうとする力である。
　【００８９】隔壁間の溝に最終的に形成される蛍光体層の形状は、これらの力Ｆ１と力Ｆ２とのバランスによって決められるが、蛍光体インキの分散性が良好であるほど、力Ｆ２が大きくなるため、隔壁側面に対する蛍光体インキの付着性が良好になるものと考えられる。また、上述したように、蛍光体インキ中のバインダーの含有量を大き目に設定するのが好ましいのもこれと同じ原理であって、バインダーの含有量を大き目に設定することによって力Ｆ２が向上するので、隔壁側面に対する蛍光体インキの付着性が向上することになる。
　【００９０】そして、蛍光体の隔壁側面への付着が向上すると、隔壁側面に形成される蛍光体層の割合が大きくなり、ＰＤＰのパネル輝度向上に寄与する。これは表示電極に近い所で発生する紫外線を可視光に効率よく変換できるためである。図９は、蛍光体インキ中の樹脂バインダーの濃度を変えたときに、形成される蛍光体層形状がどのように変わるかを模式的に示すものである。
　【００９１】本図に示すように、樹脂濃度が小さい場合は、蛍光体粒子はほとんど底に沈降し、蛍光体層は底にだけ形成されるが、樹脂濃度成分を多くなるにつれて、蛍光体粒子間の結合力が高くなるので、隔壁側面に付着する蛍光体の量が多くなり、樹脂濃度成分がある程度以上に高くなると、蛍光体層が隔壁側面だけに形成されるようになる。
　【００９２】なお、複数色の蛍光体インキを溝に順に塗布していく場合、２番目，３番目の色の蛍光体インキを塗布しようとする際には、既に、隣の溝には蛍光体インキが塗布されているので、隔壁には既に溶剤が浸透している。そのため、新たに溝に塗布された蛍光体インキ中の溶剤は、当該隔壁に浸透しにくく、従って、分散性の悪い蛍光体インキを用いると力Ｆ２がほとんど働かないことになる。
　【００９３】しかし、本実施形態のように分散性のよい蛍光体インキを用いれば、このように隣の溝に蛍光体インキが塗布されている場合でも、ある程度の力Ｆ２が働くので、隔壁側面への蛍光体インキの付着性は比較的良好である。また、通常、ノズル５４の口径は、隔壁ピッチと比べてかなり小さく設定されており、細いノズルから蛍光体インキを安定的に吐出させるために、インキ粘度もかなり低く設定する必要がある。図１０に示すように、従来のスクリーン印刷などに用いるインキ粘度と比べて、およそ２桁ほど粘度を低くする必要がある。
　【００９４】そのため、ノズルに目詰まりが発生しやすいが、本実施形態の蛍光体インキは蛍光体粒子の分散が良好なため、ノズルの目詰まりが生じにくく、従って蛍光体インキを連続的に長時間塗布することが可能であって、連続で１００時間以上塗布することも可能である。ノズル５４の口径を、隔壁ピッチと比べてかなり小さく設定する理由は次の通りである。
　【００９５】図１１は、ノズルからの蛍光体インキの吐出状況を示す図である。図１１（ａ）に示すように、ノズルから蛍光体インキが吐出された後で蛍光体インキが膨張する傾向を示す。これは、いわゆるバラス効果といわれるものである　この点を考慮すると、ノズル径ｄは、隔壁ピッチと比べてかなり小さくする必要がある。例えばＶＧＡクラスの３６０μｍピッチの隔壁の場合、ノズル径ｄを１００μｍ前後に設定する必要があり、ＨＤクラスではノズル径ｄを５０μｍ前後と非常に小さく設定する必要がある。
　【００９６】（蛍光体インキを塗布する方法の変形例）このような低粘度の蛍光体インキをノズルから吐出させた後、吐出を停止させると、図１１（ｂ）に示すように、停止後の流れは噴流の軸がずれ、流れが不安定となりやすい。この理由は、インキの吐出を停止すると、ノズル先端における噴出口の周囲（ノズル下面）に蛍光体インキが付着し、その濡れ性が微妙に変わるためであり、特にノズル周囲の濡れぶち長さが小さく、インキの粘性が小さい場合に顕著となる。
　【００９７】これに対する対策として、ノズル５４から連続的に蛍光体インキを吐出して、複数の溝に順次塗布する間は継続的に蛍光体インキを吐出さればよい。即ち、ノズル５４が溝から外れた位置にあるときも、蛍光体インキの吐出を停止させることなく継続させる塗布方法を用いれば、ノズル先端下面における蛍光体インキの付着を防止できるので、図１１（ｂ）に示すようなインキジェット噴流の軸がずれは防止できる。
　【００９８】例えば、背面ガラス基板２１全体に対して一色の塗布を終わるまでは継続して蛍光体インキを吐出させるようにすれば、その間はインキジェット噴流の軸ずれは防止できるので、安定して塗布することができる。
［実施の形態２］図１２は、本実施形態にかかるインキ塗布装置を示す斜視図であり、図１３はこのインキ塗布装置の正面図（一部断面）である。
　【００９９】このインキ塗布装置は、基本的に上記インキ塗布装置５０と同様の構成であるが、蛍光体インキを回収して用いる循環機構や複数のノズルを持つノズルヘッドを回転してノズルピッチを調整するノズル回転機構などを備えるといった工夫が施されている。
（インキ塗布装置の構成）このインキ塗布装置は、装置本体１００と制御器２００とから構成されている。
　【０１００】装置本体１００は、本体ベース１０１と、当該本体ベース１０１の上面に敷かれたレール１０２に沿ってＸ軸方向（図中矢印Ｘ方向）に移動する基板載置合１０３と、本体ベース１０１を跨ぐように設けられたアーム１０４のレール１０５に沿ってＹ軸方向（図中矢印Ｙ方向）に移動するノズルヘッドユニット１１０、同様にアーム１０４をＹ軸方向に移動し基板載置台１０３上に載置された背面ガラス基板２１の隔壁位置を検出する撮像ユニット１２０が設けられている。
　【０１０１】本体ベース１０１の内部には、基板載置台１０３をＸ軸方向に往復駆動させるためのＸ駆動機構１３０が設けられている。このＸ駆動機構１３０は、駆動モータ１３１（例えばサーボモータ，ステッピングモータ）と、レール１０２に沿ってＸ軸方向に延びる送りネジ１３２と、基板載置台１０３の下部に固着されたナット１３３とから構成され、駆動モータ１３１で送りネジ１３２を回転駆動することによって、ナット１３３と共に基板載置台１０３をＸ軸方向に高速でスライド駆動させることができる。
　【０１０２】図１４は、図１２に示すノズルヘッドユニット１１０の拡大図である。ノズルヘッドユニット１１０には、これをＹ軸方向に往復駆動させるためのＹ軸駆動機構が内蔵された駆動ベース部１１１、複数のノズル１１３が並設されたノズルヘッド１１２、ノズルヘッド１１２の高さを調整するためにこれを昇降させる昇降機構１１４、及びノズルヘッド１１２を基板載置台１０３と平行な面内で回転駆動させる回転駆動機構１１５が設けられている。
　【０１０３】上記Ｙ軸駆動機構及び昇降機構１１４としては、例えば、リニアモータや、ピニオン歯車付き駆動モータをラック歯車とを組み合わせたスライド機構を適用することができる。また、回転駆動機構１１５としては、例えばサーボモータを用い、これによってノズルヘッド１１２の回転軸１１２ａ中心にして回転させる。撮像ユニット１２０は、上記駆動ベース部１１１と同様にＹ軸駆動機構（不図示）によってアーム１０４上をＹ軸方向に駆動できるようになっている。この撮像ユニット１２０には、実施の形態１で説明した溝検出用ヘッド５５と同様、Ｙ軸方向に延びるＣＣＤラインセンサなどが内蔵され、基板載置台１０３上に載置された背面ガラス基板２１の上面画像データを得ることができるようになっている。
　【０１０４】なお、図示はしないが、このインキ塗布装置には、基板載置台１０３のＸ軸方向の位置を検出するＸ位置検出機構、ノズルヘッドユニット１１０及び撮像ユニット１２０のＹ軸方向の位置を検出するＹ位置検出機構、昇降機構１１４の高さ位置を検出する高さ検出機構として、Ｘ軸方向・Ｙ軸方向・上下方向の各々にリニアセンサー（例えば、光学式のリニアエンコーダ）が設けられており、これによって、制御器２００では、各リニアセンサーからの信号に基づいて、ノズルヘッドユニット１１０及び撮像ユニット１２０の位置（基板載置台１０３上におけるＸ座標及びＹ軸座標）並びにノズルヘッド１１２の高さを随時検出できるようになっている。また、ノズルヘッド１１２のＸ軸に対する角度θも角度検出機構（例えば、ロータリエンコーダ）で随時検出可能となっている。
　【０１０５】以上のような各駆動機構及び各検出機構によって、ノズルヘッド１１２並びに撮像ユニット１２０は、基板載置台１０３上に沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向に走査することができ、更に、ノズルヘッド１１２は、基板載置台１０３からの高さ及びＸ軸に対する角度を調整することが可能となっている。また、図１２，１３に示すように、基板載置台１０３上に基板を吸着する基板吸着機構１４０を構成するため、本体ベース１０１の内部には、吸引ポンプ１４１及びこの吸引ポンプ１４１と基板載置台１０３とを連結するフレキシブルホース１４２が設けられている。また、基板載置台１０３の内部には空洞部１０３ａ（図１３参照）が形成されており、基板載置台１０３の上面には、空洞部１０３ａと連通する多数の微細孔が設けられている。そして、吸引ポンプ１４１で空洞部１０３ａから排気することにより、基板載置台１０３上の基板を吸着できるようになっている。
　【０１０６】図１２，１３に示すように、装置本体１００内には、ノズルヘッドユニット１１０から吐出される蛍光体インキを回収し循環して用いるために循環機構１５０が設けられている。この循環機構１５０は、ノズルヘッドユニット１１０から吐出される蛍光体インキ（インキジェット）を回収する回収容器１５１及び回収容器１５１内の蛍光体インキを加圧送出する加圧ポンプ１５２等から構成されている。
　【０１０７】回収容器１５１は、ノズルヘッドユニット１１０の走査範囲全体にわたってインキジェットを回収できるようにＹ軸方向に延びており、回収された蛍光体インキは、加圧ポンプ１５２から配管１５３を経由してノズルヘッドユニット１１０内のノズルヘッド１１２に供給され、循環して使用されるようになっている。また、この循環機構１５０には、循環する蛍光体インキの量を一定に保つインキ補充器１５４が付設されている。このインキ補充器１５４は、回収容器１５１内のインキ量が規定量以上あるか否かを監視し、規定量以下になったときに自動的に蛍光体インキを補充するものである。
　【０１０８】更に、ノズルヘッド１１２から吐出されるインキジェットが背面ガラス基板２１の端部に付着するのを防止するため、ノズルヘッドユニット１１０内には、ジェット遮蔽機構１１６が設けられている。このジェット遮蔽機構１１６は、Ｘ軸方向にスライドする遮蔽トレイ１１７とこれをスライド駆動させるソレノイド（不図示）からなり、遮蔽トレイ１１７は、通常はインキジェットの通過ラインから待避しているが、ソレノイドを駆動させることによってインキジェットを遮断する位置にスライドできるものである。
　【０１０９】なお、遮蔽トレイ１１７で遮蔽した蛍光体インキは、吸引ポンプ（不図示）によって第２回収容器１１８に移されるようになっている。制御器２００は、上記装置本体１００の各部の駆動制御を行うものである。この制御器２００は、上記駆動モータ１３１，ノズルヘッドユニット１１０，撮像ユニット１２０，吸引ポンプ１４１，加圧ポンプ１５２とケーブル２０１〜２０５で結ばれており、制御器２００から各ケーブルを通して供給される電力及び駆動制御信号によって、これら各部の駆動がなされる。
　【０１１０】また、撮像ユニット１２０で得た画像データは、ケーブル２０３を通して制御器２００に送られる。
（インキ塗布装置の操作及び動作制御について）このような装置構成を用いて蛍光体インキを塗布する手順を説明する。先ず、背面ガラス基板２１を基板載置台１０３上に置き、吸引ポンプ１４１を作動させることにより吸着固定する。
　【０１１１】次に、実施の形態１のインキ塗布装置５０について説明したの同様にして、撮像ユニット１２０を走査させて、背面ガラス基板２１の表面全体にわたって撮像し、制御器２００では、撮像ユニット１２０からの画像データをもとに、基板載置台１０３上の座標と輝度とを対応させた画像データを得、隔壁間の溝に走査ラインを設定する。
　【０１１２】次に、昇降機構１１４を駆動してノズルヘッド１１２の高さを調整することによって、ノズル１１３の下端と隔壁３０上面との間隔を調整する。そして、加圧ポンプ１５２を駆動して、ノズルヘッドユニット１１０から蛍光体インキを吐出させる。そして、インキを吐出させた状態を保ったまま、以下のように、ノズルヘッドユニット１１０を走査させて蛍光体インキを塗布する。
　【０１１３】図１５は、ノズルヘッド１１２が背面ガラス基板２１上を走査される様子を示す図ある。ここでは、２つおきの溝３２ａに一色（青）の蛍光体インキを塗布する場合について説明する。ノズルヘッド１１２において、３つのノズル１１３ａ・１１３ｂ・１１３ｃが距離Ａを隔てて直線上に並設され、ノズル間隔Ａは、２つおきの溝３２ａのピッチよりも若干大きく設定され、中央のノズル１１３ｂの位置とノズルヘッド１１２の回転中心とが一致しているものとする。
　【０１１４】本図において、太線矢印（Ｒ１→Ｒ２→Ｒ３→Ｒ４→）は、ノズルヘッド１１２の中心が走査されるラインを示している。図に示すように、ノズル１１３ａ・１１３ｂ・１１３ｃが２つおきの溝３２ａ上に位置するようにノズルヘッド１１２をＹ軸に対して傾かせた状態で、Ｘ軸方向に走査する（Ｒ１→Ｒ２）。次に、ノズルヘッド１１２をＹ軸方向に、隔壁ピッチ９個分ずらし（Ｒ２→Ｒ３）、同様にノズルヘッド１１２をＹ軸に対して傾かせた状態で、Ｘ軸方向に走査してする（Ｒ３→Ｒ４）。
　【０１１５】以下、同様の走査を繰り返すことによって、背面ガラス基板２１全体にわたって各溝３２ａに蛍光体インキを塗布するが、この間、加圧ポンプ１５２は停止させることなく、連続して蛍光体インキを吐出させておく。それによって、ノズル１１３ａ・１１３ｂ・１１３ｃの下面に蛍光体インキが付着して噴流が不安定になるのが防止される。
　【０１１６】また、ノズルヘッド１１２をＸ方向に走査する時間の中で、隔壁３０の端部と基板載置台１０３の縁との間の領域（図中Ｗ１及びＷ２で示される領域）をノズルヘッド１１２が通過する時間には、ジェット遮蔽機構１１６を作動させて遮蔽トレイ１１７でインキジェットを遮断する。これによって、背面ガラス基板２１上における隔壁３０の端部付近（図中Ｗ３及びＷ４で示される領域）に蛍光体インキが付着するのを防止することができる。
　【０１１７】蛍光体インキの粘度が低い場合には、溝３２ａに塗布する蛍光体インキが隔壁３０の端部付近（Ｗ３，Ｗ４領域）に付着すれば、付着したインキが隣の溝３２ｂや溝３２ｃに流れ込み、混色を起こす可能性があるが、上記のようにして付着を防止することによりこの混色を防ぐことができる。なお、このジェット遮蔽機構１１６において、ノズル１１３の下端と隔壁３０上面との間に遮蔽トレイ１１７が入り込む必要がある。そのため、遮蔽トレイ１１７を薄く設計することも考えられるが、蛍光体インキをある程度貯められるように遮蔽トレイ１１７の厚さを確保し、ジェット遮蔽機構１１６を作動させるタイミングに合わせて、昇降機構１１４を駆動させてノズルヘッド１１２を上方に移動させるようにすることが好ましい。
　【０１１８】また連続的にインキを循環しながら塗布すると、容器内のインキ量が減少するだけでなく、溶剤の蒸発などにより物性値が変化しやすい。そのため、蛍光体インキの物性が許容範囲を超えないような工夫をすることが好ましい。例えば、回収容器１５１内で粘度を検出し、自動的に蛍光体インキに溶剤などを補充する溶剤補充機構を設けることによって、インキの粘度を一定に保つことができる。これによって、長時間にわたって安定した塗布を行うことができる。
　【０１１９】また、ジェット遮蔽機構で受けたインキは、単純な回収容器で受けたインキと比べて物性値が異なる場合が多い、従って、ジェット遮蔽機構で受けたインキは循環するインキとは別に、第２回収容器１１８に保管しておき、別個に再利用するのが好ましい。
〔ノズルヘッド１１２の位置制御について〕本実施態でも、実施の形態１と同様に、ノズルヘッド１１２をＸ軸方向に走査する際に、Ｙ軸方向に調整しながら走査を行うが、本実施形態では更に、ノズルヘッド１１２を回転駆動機構１１５で回転することによって、ノズルヘッド１１２におけるＹ軸方向のノズルピッチの調整も行いながら走査を行う。
　【０１２０】即ち、３つのノズル１１３ａ・１１３ｂ・１１３ｃの中の両端のノズル１１３ａ及びノズル１１３ｃが、それぞれ対応する溝３２ａの中央に設定されるラインに沿うように、ノズルヘッド１１２のＹ軸方向の位置調整及び回転角の調整を行いながらＸ軸方向への走査を行う。このように制御しながら走査することによって、仮に溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃが彎曲したり隔壁間のピッチが変化しているような場合でも、ノズルヘッド１１２における複数のノズル１１３ａ・１１３ｂ・１１３ｃを、対応する各溝３２ａの中央部に設定した走査ラインに沿って走査させることができる。以下、この制御について更に具体的に説明する。
　【０１２１】図１６は、基板載置台１０３上の座標と輝度とを対応させた画像データの部分拡大図であって、溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃがＸ軸に彎曲している場合を示している。この画像データ上において、実施形態１の図５で説明したように、ノズル走査ラインＳ１，Ｓ２，Ｓ３…を設定する。そして、図中に示すように、長さが２Ａで且つノズル走査ラインＳ１とノズル走査ラインＳ７上に両端が存在する線分Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３…をほぼ等ピッチで設定する。
　【０１２２】そして、各線分Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３…について、中点Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３…の位置（Ｘ，Ｙ座標）及びＸ軸に対する角度θ１，θ２，θ３…を算出する。このようにして算出した中点Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３…を結ぶラインを、ノズルヘッド１１２の走査ライン（ヘッド走査ライン）とする。図１６からわかるように、このヘッド走査ラインは、ノズル走査ラインＳ４に対して若干のずれはあるもののほとんど一致している。
　【０１２３】そしてノズルヘッド１１２を走査する際には、ノズルヘッド１１２をＸ軸方向に走査しながら、ノズルヘッド１１２の回転中心（ノズル１１３ｂ）が、上記ヘッド走査ライン（中点Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３…を通るライン）と一致するようにノズルヘッドユニット１１０のＹ軸駆動機構を駆動制御する。それと共に、ノズルヘッド１１２の回転中心が、上記算出した中点Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３…位置にあるときには、ノズルヘッド１１２のｘ軸に対する角度θが、上記算出した角度θ１，θ２，θ３…と一致するように回転駆動機構１１５の駆動を制御する。
　【０１２４】ノズルヘッド１１２の走査時において、このようにＹ軸方向及び回転角θの制御を行うことによって、両端のノズル１１３ａ，１１３ｃは走査ラインＳ１，Ｓ７上を走査されることになり、中央のノズル１１３ａはヘッド走査ライン（即ちノズル走査ラインＳ４の近傍）上を走査されることになる。よって、各ノズル１１３ａ，１１３ｂ，１１３ｃは、常に各溝３２ａの中央部近くを通って走査されることになる。
　【０１２５】〔蛍光体インキを回収する機構を設けたことによる効果〕ノズルが基板の溝上をはずれた状態にあるいとき、即ち図１３に示すように基板が待機状態の位置にあるときには、吐出されるインキジェットは回収容器１５１で回収されるので、蛍光体インキを連続的に吐出させてもロスはほとんどない。
　【０１２６】従って、例えば、基板載置台１０３上の背面ガラス基板２１を交換する間も連続的にインキを吐出させれば、複数の基板２１に対して安定して塗布することができ、且つ蛍光体インキのロスも少ない。更に、基本的にメンテナンス時のみ、ノズルからの蛍光体インキの吐出を停止させ、後は、連続的に吐出するようにしてもよいので、１日中稼動する生産工場では、２４時間以上連続して吐出させてもよいし、場合によっては週単位や月単位での連続稼動も可能である。
　【０１２７】このように、本実施形態の塗布方法は、蛍光体インキのロスが少なく且つ隔壁間の溝に均一的に安定的に塗布できるので、量産に適した優れた方法であって、本実施形態の塗布方法によって製造コストの低下も実現できる。
〔本実施の形態にかかる変形例について〕操作手順を変更する場合の適応性などを考慮すると、図１２に示す装置のように、アーム１０４上においてノズルヘッドユニット１１０と撮像ユニット１２０とは各々独立して駆動できるようにしておくことが望ましいが、ノズルヘッドユニット１１０と撮像ユニット１２０とを一体にしても、上記と同様に操作することは可能である。
　【０１２８】また、本実施形態においては、背面ガラス基板２１の隔壁端部における蛍光体インキの混色を防止する方法として、インキジェットを遮断する方法を示したが、例えば、図１７に示すように、背面ガラス基板２１上において、隔壁３０端部に沿って補助隔壁３３を形成しておけば、隔壁３０の端部で溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃは閉じられるので、仮に溝３２ａに塗布する蛍光体インキが背面ガラス基板２１上の隔壁端部付近に付着しても隣接する溝３２ｂ，３２ｃに流れ込まないため混色を防止することができる。
　【０１２９】［実施の形態３］本実施形態のインキ塗布装置は、上記実施形態２のインキ塗布装置と同様であるが、蛍光体インキを循環させる循環機構に更なる工夫が施されている。図１８は、本実施形態のインキ塗布装置における蛍光体インキ循環機構の構成を示す図である。
　【０１３０】この循環機構１６０は、上記実施形態２の循環機構１５０と同様、ノズルヘッド１１２のノズル１１３から吐出される蛍光体インキを、回収容器１５１で回収して、回収した蛍光体インキを再びノズルヘッド１１２に送って循環させるものであるが、回収容器１５１からノズルヘッド１１２に到る配管経路に、蛍光体インキを再分散させる分散器１６１が介挿されている。
　【０１３１】この分散器１６１は、内部に粒径２ｍｍ以下のジルコニアビーズが充填された流通管型のサンドミルであって、回転ディスク１６３が５００ｒｐｍ以下の回転速度で一定方向に回転することによって、内部を流通する蛍光体インキは、ビーズと共に攪拌されて分散される。循環機構１６０には、この他に、回収容器１５１中の蛍光体インキを送る分散器１６１に送り込む循環ポンプ１６４、分散器１６１を通過した蛍光体インキを貯えるサーバ１６５、サーバ１６５からノズルヘッド１１２に蛍光体インキを加圧して供給する加圧ポンプ１６６が設けられている。
　【０１３２】これによって、回収容器１５１に回収された蛍光体インキは、分散器１６１で再分散されてからノズルヘッド１１２から再び吐出される。なお、分散器１６１としては、この他に、アトライタやジェットミルなども用いることができる。蛍光体インキを製造してから長時間放置すると蛍光体インキの分散状態が低下する場合がある。また、実施形態２のような循環機構で蛍光体インキを循環させていると、蛍光体インキの分散状態が低下したり二次凝集物が生成する場合もある。そのためノズルが詰まったり、塗布した蛍光体インキの溝３２への付着状態が低下することもあるが、本実施形態の循環機構１６０では、蛍光体インキを吐出直前で再分散されるので、このような問題は解消される。
　【０１３３】このような蛍光体インキの再分散による効果は、インキ循環機構の中で蛍光体インキを再分散させる場合のみならず、一般的に、蛍光体インキを製造してから塗布するまでの条件を設定する際にも適用できる。ここで、蛍光体インキを製造してから塗布するまでの好ましい条件について説明する。図１９は、蛍光体インキを製造してから塗布されるまでの工程を示す図である。
　【０１３４】蛍光体インキを製造する際には、蛍光体インキの原料である各色蛍光体粉末と樹脂と溶剤とを混合して分散させる（一次分散）。この一次分散工程において、サンドミルやボールミルやビースミルのように分散媒体（メディア）を用いる分散器で分散する場合、粒径１．０ｍｍ以下のジルコニアビーズをメディアとして用い、３時間以内の短時間でビーズミル分散を行うことが好ましい。これは、蛍光体粉末へのダメージを抑えると共に、不純物の混入（コンタミ）を抑えるためである。
　【０１３５】また、蛍光体インキの粘度は、１５〜２００ｃｐ程度に調整し、ノズル径の約１／２以上の大きな凝集物がないようにすることが望ましい。このようにして製造した蛍光体インキを、製造直後にインキ塗布装置にセットして塗布すれば、一次分散で得られた良好な分散状態が塗布時にも保たれているので、再分散しなくても各溝に均一的に塗布でき且つ良好な塗布状態も比較的良好となる。そして、製造直後にインキ塗布装置にセットするために、蛍光体インキの分散装置と、インキ塗布装置とを、同じ作業場に設定して、製造した蛍光体インキを、そのままインキ塗布装置にセットして塗布するようにするのがよいと考えられる。
　【０１３６】時間的に言えば、蛍光体インキを製造してから、数時間以内、できれば１時間以内に塗布するのが好ましい。一方、蛍光体インキを製造した後、長時間たってからインキ塗布装置にセットして塗布する場合、一次分散してから長時間経過した後に塗布されるので、その間に分散状態が低下したり、二次凝集物ができやすい。従って、これをそのままノズルから塗布しようとすると、各溝に均一的に塗布されにくく、またノズルの目づまりも起こりやすい。
　【０１３７】しかし、製造（一次分散）してから長時間たった蛍光体インキでも、蛍光体インキを二次分散工程で再分散させてからインキ塗布装置にセットして塗布すれば、良好な分散状態で塗布できるので、各溝に均一的に塗布され、またノズルの目づまりも回避できる。二次分散では、二次凝集物を分散させるのが主な目的であるために、大きなせん断力を必要としない。むしろ、弱い力で攪拌する方が蛍光体へのダメージが小さい。
　【０１３８】そのため、粒径２ｍｍ以下のジルコニアビーズを用い、６時間以内で５００ｒｐｍ以下の回転速度を与えて再分散させることのは有効である。ジルコニアビーズを用いるのは、一次分散の時と同じようにコンタミを避けるためである。このようにして二次分散で調整される蛍光体インキについても、ノズルからの安定した吐出を得るために粘度は１５〜２００ｃｐｓ程度に設定し、ノズル径の約１／２以上の大きな凝集物がないようにすることが望ましい。
　【０１３９】〔実施の形態１〜３についての変形例など〕上記実施の形態では、隔壁間の溝に蛍光体インキを直接塗布する例を示したが、隔壁間の溝に反射材インキを塗布して、その上に蛍光体層を形成する場合にも適用できる。即ち、反射層並びに蛍光体層３１は、上記のインキ塗布装置を用いて、反射材インキ並びに蛍光体インキを塗布することによって形成する。
　【０１４０】反射材インキは、反射材料とバインダーと溶剤成分とが調合されたものであって、反射材料としては、酸化チタンやアルミナなどの反射率の高い白色粉末を用いることができるが、特に、平均粒径５μｍ以下の酸化チタンが良好である。上記実施の形態では、ＡＣ型のＰＤＰを例にとって説明したが、本発明は、ＡＣ型のＰＤＰに限らず、隔壁がストライプ状に配設され、隔壁間に蛍光体層が配設されたＰＤＰを作製するのに広く適用することできる。
　【０１４１】
　【実施例】［実施例１］実施の形態１に基づいて、蛍光体粒子，樹脂，溶剤の種類及び量などを変えて蛍光体インキを作製し、作製した蛍光体インキを塗布してＰＤＰを作製した。
　【０１４２】
　【表１】
　【０１４３】
　【表２】
　【０１４４】
　【表３】
　【０１４５】
　【表４】
　【０１４６】表１，２，３のＮｏ．１〜９は、実施例に関するものであって、０．２ｍｍ〜２ｍｍのジルコニアボールを用いたサンドミルで分散することによって蛍光体インキ作製した。蛍光体の粒径，樹脂の種類と量，溶剤の種類と量，界面活性剤，分散剤の種類と量、蛍光体インキの塗布時の粘度（２５℃でせん断速度が１００ｓｅｃ−１における粘度）等については、表１〜３に示す通りである。
　【０１４７】実施例のＰＤＰを作製する上で、背面ガラス基板２１における隔壁３０のピッチは０．１５ｍｍに、高さは０．１５ｍｍに設定した。蛍光体層は、各色蛍光体インキを各溝の上部まで充填されるよう塗布した後、５００℃で１０分間焼成することによって形成した。封入する放電ガスは、１０％のキセノン（Ｘｅ）ガスを含むネオン（Ｎｅ）ガスを用い、封入圧力５００Ｔｏｒｒとした。
　【０１４８】一方、表４の試料Ｎｏ．１０〜１２は比較例に関するものであって、蛍光体インキを作製する上で、試料Ｎｏ１０では、アクリル樹脂と分散剤（グリセリルトリオレート）とを組み合せて配合し、試料Ｎｏ．１１では、エトキシ基の含有量が５０％のエチルセルロースとターピネオールを組み合せているが分散剤は添加していない。また、試料Ｎｏ．１２では、ポリビニルアルコールと水とを組み合せているが、分散剤は入っていない。それ以外は、実施例の試料Ｎｏ．１〜９と同様に設定して比較例のＰＤＰを作製した。
　【０１４９】比較テスト：そして、作製した各ＰＤＰについて、蛍光体の隔壁側面への付着状態、混色の有無、パネル輝度を測定した。混色の有無については、ＰＤＰを色毎に発光させその発光色を測定することによって判定した。
　【０１５０】その結果、実施例及び比較例の何れのＰＤＰにおいても、隔壁側面の上部にまで蛍光体が付着しており、混色の発生も見られなかった。パネル輝度については、ＰＤＰを放電維持電圧１５０Ｖ周波数３０ＫＨｚで駆動し、パネル輝度計で測定した。その結果は、表１〜４に示す通りである。なお、これらのＰＤＰを駆動したときに発生する紫外線の波長についても調べたところ、主として１７３ｎｍを中心とするＸｅの分子線による励起波長が観察された。
　【０１５１】また、各作製した蛍光体インキについて、ノズルから長時間連続的に吐出させる実験も行った。その結果、実施例の蛍光体インキは、いずれも１００時間連続して吐出させることが可能であったが、比較例の蛍光体インキは、８時間以内でノズルに目詰まりが生じた。
考察；表１〜４に示すように、輝度については、実施例（Ｎｏ．１〜９）のパネル輝度は５３０ｃｄ／ｍ２以上であって、比較例（Ｎｏ．１０〜１２）のパネル輝度（４６０〜４８０ｃｄ／ｍ２）に比べて優れている。これは、実施例のＰＤＰの方が比較例のＰＤＰと比べて、溝の底面に対して隔壁側面に付着している蛍光体層の割合が大きいためと考えられる。
［実施例２］本実施例（試料Ｎｏ．２１，２２）では、赤（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ、青ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ、緑ＺｎＳｉＯ４：Ｍｎの各色蛍光体粒子の表面に、負に帯電する酸化物（ＳｉＯ２）粒子を付着（コーティング）させた蛍光体インキを用いる。
　【０１５２】
　【表５】
　【０１５３】蛍光体粒子の表面にＳｉＯ２粒子を付着させる方法は、先づ、各色蛍光体の懸濁液と、ＳｉＯ２粒子（粒子径は蛍光体粒子の１／１０以下）の懸濁液とを作製し、作製した両懸濁液を混合攪拌した後、吸引濾過して、１２５℃以上で乾燥後、３５０℃で焼成することによって行った。このようにＳｉＯ２粒子を付着させた蛍光体粒子と、エチルセルロースからなる樹脂成分と、ターピネオールとペンタンジオールとの混合溶媒（１／１）を、表５に示す割合で混合し、ジェットミルで混合分散して、蛍光体インキを作製した。混合分散時には、混合溶液に加わる圧力は１０Ｋｇｆ／ｃｍ２〜２００Ｋｇｆ／ｃｍ２の範囲に調整した。
　【０１５４】このように作製した蛍光体インキを、表５に示す粘度に調整して塗布し、それ以外の条件については実施例１と同様にして、ＰＤＰを作製した。作製したＰＤＰについて、上記実施例１と同様に、隔壁側面への蛍光体の付着状態、混色の有無、パネル輝度を測定した。その結果、いずれも隔壁の上部にまで蛍光体が付着し、混色の発生もなかった。
　【０１５５】また、パネル輝度は表５に示すとおり良好であった。また、試料Ｎｏ．２１、２２のいずれの蛍光体インキにおいても、連続的に１００時間以上塗布してもノズルの目づまりは発生しなかった。
　【０１５６】
　【実施例３】本実施例では、蛍光体インキに、分散剤及び除電物質として様々な界面活性剤を添加する実施例（試料Ｎｏ．３１〜３７）、並びに除電物質として導電性微粒子を添加する実施例（試料Ｎｏ．３８〜４２）を示す。また、この中で、試料Ｎｏ．３１〜３４は、蛍光体の表面にＺｎＯ，ＭｇＯといった酸化物を付着させた実施例でもある。
　【０１５７】なお、試料Ｎｏ．４３は、除電物質を添加していない例である。
　【０１５８】
　【表６】
　【０１５９】
　【表７】
　【０１６０】
　【表８】
　【０１６１】
　【表９】
　【０１６２】各実施例で用いた蛍光体インキの蛍光体の種類と粒径と量、蛍光体に付着させる酸化剤の種類と量、樹脂の種類と量、溶剤の種類と量等については、表６，７に示す通りである。また、界面活性剤及び除電物質の種類、添加量、蛍光体インキの塗布時の粘度（２５℃でせん断速度が１００ｓｅｃ−１における粘度）については、表８，９に示す通りである。そして、ノズル径５０μｍのノズルを用い、ノズル先端と背面ガラス基板と距離を１ｍｍに保って走査しながら蛍光体インキを吐出して蛍光体インキを塗布し、その他は実施例１と同様の条件でＰＤＰを作製した。
　【０１６３】なお、本実施例では、蛍光体インキの塗布面に対する濡れを良くするために、蛍光体インキを塗布する前に、隔壁付き背面ガラス基板の表面をエキシマランプ（中心波長１７２ｎｍ）で１０秒〜１分間照射し、蛍光体層の焼成後にも、蛍光体層中に残存するバインダーや残滓を除去するために、蛍光体層を形成した背面ガラス基板の表面を、エキシマランプ（中心波長１７２ｎｍ）で１０秒〜１分間照射した。
　【０１６４】作製した各ＰＤＰについて、それを駆動したときのパネル輝度、並びに筋むら発生の有無も測定した。パネル輝度については、ＰＤＰを放電維持電圧１５０Ｖ周波数３０ＫＨｚで駆動し、パネル輝度計で測定したものである。筋むらについては、ＰＤＰ画面全体を白表示し、肉眼で筋むらの有無を観察した。
　【０１６５】なお、これらのＰＤＰを駆動したときに発生する紫外線の波長についても調べたところ、主として１７３ｎｍを中心とするＸｅの分子線による励起波長が観察された。これらの結果は、表８，９に示されている。表８，９に示すように、試料Ｎｏ．３１〜４２は、試料Ｎｏ．４３の輝度と比べて、高い輝度が得られている。また、試料Ｎｏ．４３では、筋むらが発生したのに対して、試料Ｎｏ．３１〜４２では、筋むらの発生はなかった。
　【０１６６】また、作製した各ＰＤＰについて、蛍光体層を観察したところ、いずれも蛍光体の混色は見られなかったが、蛍光体層の形状については、試料Ｎｏ．４３よりも試料Ｎｏ．３１〜４２の方が、隔壁の側面に対する蛍光体の付着は良好であった。
考察：このような輝度及び筋むらについてのテスト結果は、蛍光体インキに除電物質を添加した試料Ｎｏ．３１〜４２の方が、蛍光体インキに除電物質を添加しなかった試料Ｎｏ．４３よりも、蛍光体インキが隔壁側面上と溝底面上とにバランスよく均一的に塗布されたために生じたものと考えられる。
　【０１６７】
　【実施例４】〔一次分散に関する実施例〕実施の形態３に基づいて、表１０に示すように、インキ製造時（一次分散時）における分散方法（ビーズの種類、粒径、および分散時間）をいろいろと変えて、各色蛍光体インキを製造した。
　【０１６８】
　【表１０】
　【０１６９】各蛍光体インキでは、平均粒径３μｍの各色蛍光体粉末を６０ｗｔ％、エチルセルロースを１ｗｔ％、溶剤としてターピネオール及びリモネンの混合溶剤を用いた。そして、製造した蛍光体インキについて、輝度評価、蛍光体粉末の粒径測定（一次分散後の蛍光体粒径測定）、凝集物の有無の評価を行った。
　【０１７０】輝度の評価においては、分散後の蛍光体インキを大気中にて５００℃で焼成して蛍光体層を形成し、これを真空チャンバ内に入れ、エキシマランプで真空紫外光を照射したときに発生する励起発光を輝度計で測定した。各評価結果は、表１０に示す通りである。表１０の評価結果から、赤、緑、青の各色とも、分散媒体としてガラスビーズを用いると、ジルコニアビーズを用いた場合と比べて輝度が低下していることがわかる。また分散媒体としてガラスビーズを用いたものは、ナトリウム（Ｎａ）、カルシウム（Ｃａ）、けい素（Ｓｉ）の成分が多く検出されている。
　【０１７１】このように分散媒体としてガラスビーズを用いた場合の方が輝度が低いのは、分散時にせん断力を付加する際にガラスビーズに強い衝撃が加えられることにより、ガラス成分が不純物（コンタミ）としてインキ中に混入し、これが発光キラーになるためと考えられる。また、表１０の評価結果から、用いる分散媒体の種類は同じ場合でも、その粒径や分散時間が変われば輝度が変化することがわかる。これは、同じせん断力を付加させた場合でも、分散媒体の粒径が異なると衝突係数が異なり、また、分散時間が異なると蛍光体粉末への衝突回数が異なるためと考えられる。
　【０１７２】また表１０の結果から、分散後の蛍光体粒径は、分散前よりも小さくなっている。これより、蛍光体粉末は分散によって粉砕されたり、界面状態が劣化したりすることがわかる。
〔二次分散に関する実施例〕次に、作製した各色蛍光体インキに対して、一時分散後７２時間放置した後、二次分散を行った。この二次分散に際して、表１１に示すように、分散媒体としてのジルコニアビーズの粒径や分散時間をいろいろ変えて行った。
　【０１７３】
　【表１１】
　【０１７４】そして、二次分散後の各蛍光体インキについて、輝度評価、蛍光体粉末の粒径測定（一次分散後の蛍光体粒径測定）、凝集物の有無の評価を行った。各評価結果は表１１に示す通りである。表１１から明らかなように、二次分散における分散時間が１時間未満の場合には、赤、緑、青の各色とも蛍光体インキに凝集物が残っているが、分散時間を長くすると凝集物は見られなくなっている。また、分散時間を長くした場合にも、蛍光体粒子の粒径には変化は見られない。
　【０１７５】これより、分散媒体にジルコニアを用いて二次分散することにより、蛍光体粒子自体が粉砕されることなく、凝集物を分散できることが分かる。また、表１１から、分散時間を長くしても輝度の低下が見られないことがわかる。これより、分散媒体にジルコニアを用いて二次分散すると、蛍光体表面へのダメージも少ない状態で分散できることがわかる。
　【０１７６】
　【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、ノズルから蛍光体インキを連続的に吐出させながら、プレートに配設された隔壁間の溝に沿って相対的に走査することによって蛍光体インキを塗布する際に、各溝に関する位置情報に基づいてノズルが通過する溝内の位置を調整しながら行うようすることによって、溝が彎曲しているような場合でも、ノズルが常に溝の中央部を通るように走査することができるので、各溝に蛍光体インキを均一的に塗布し、且つ各溝内の底と隔壁側面とにバランスよく付着させることができる。
　【０１７７】また、ノズルから蛍光体インキを連続的に吐出させながら、プレートに配設された隔壁間の溝に沿って相対的に走査することによって蛍光体インキを塗布する際に、各溝の幅を溝長手方向にわたって測定し、測定した溝幅に応じて、隔壁長さ当たりに塗布する蛍光体インキ量を調整しながら蛍光体インキをノズルから吐出させるようにした。これによって、溝幅にばらつきがあったり、溝の中で幅が変動しているような場合でも、蛍光体インキを均一的に塗布することができる。
　【０１７８】また、蛍光体インキを複数の溝に順次塗布する際に、ノズルが溝上から外れた位置にあるときにもノズルから蛍光体インキを連続して吐出する状態を維持しながら塗布するようにすることによって、ノズル出口付近における蛍光体インキの付着を防止できるので、安定したインキジェットの流れを得ることができるので、複数の溝に対して、均一的に蛍光体インキを塗布することができる。
　【０１７９】また、ノズルから蛍光体インキを連続的に吐出させる前に、インキを分散器で再分散させることによっても、塗布される蛍光体インキの分散性が向上するので、蛍光体インキを、各溝内の底と隔壁側面とにバランスよく付着させることができる。また、ＰＤＰの製造に用いる蛍光体インキにおいて、平均粒径が０．５〜５μｍの蛍光体粉末、ＯＨ基を末端に持つ溶剤であるターピネオール，ブチルカービトールアセテート，ブチルカルビトール，ペンタンジオール，リモネン等の混合溶剤を用いると共に、バインダーとして、セルロース分子内のエトキシ基（−ＯＣ２Ｈ５）含有量が４９％以上のエチルセルロース、或はエチレンオキサイド系ポリマーを用い、更に分散剤を添加することによっても、隔壁間の溝に充填された蛍光体インキは、隔壁側面にもよく付着し、蛍光体インキを、各溝内の底と隔壁側面とにバランスよく付着させることができる。
　【０１８０】また、このような蛍光体インキにおいて、除電物質を添加することによって、精細な構造のＰＤＰの場合でも、隔壁間の溝に均一的に蛍光体インキを塗布することができ、また出来上がったＰＤＰを駆動したときに筋むらが発生することもほとんどなくなる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】実施の形態に係る交流面放電型ＰＤＰを示す斜視図である。
　【図２】上記ＰＤＰに回路ブロックを実装した表示装置の構成図である。
　【図３】実施の形態１にかかるインキ塗布装置の概略構成図である。
　【図４】実施の形態１にかかるインキ塗布装置の溝位置検出で得られた画像データを模式的に示す図である。
　【図５】図４の部分拡大図、及び検索ラインＬ１上の各位置における輝度を模式的に示すグラフである。
　【図６】図４の部分拡大図の一例である。
　【図７】ノズルが溝の中央部からはずれた場合の塗布状況、及び形成された蛍光体層の様子を示す図である。
　【図８】蛍光体インキを溝に塗布した後、蛍光体層が形成される様子を模式的に示す図である。
　【図９】蛍光体インキ中の樹脂バインダーの濃度と、形成される蛍光体層形状との関係を模式的に示す図である。
　【図１０】本発明にかかる蛍光体インキと、従来のスクリーン印刷などに用いるインキとで、粘度を比較したグラフである。
　【図１１】ノズルからの蛍光体インキの吐出状況を示す図である。
　【図１２】実施の形態２にかかるインキ塗布装置を示す斜視図である。
　【図１３】上記インキ塗布装置の正面図（一部断面）である。
　【図１４】図１２に示すノズルヘッドユニットの拡大図である。
　【図１５】上記インキ塗布装置において、ノズルヘッドが背面ガラス基板上を走査される様子を示す図ある。
　【図１６】上記インキ塗布装置の溝位置検出で得られた画像データの部分拡大図の一例である。
　【図１７】実施の形態２にかかる一変形例を示す図である。
　【図１８】実施の形態３のインキ塗布装置における蛍光体インキ循環機構の構成を示す図である。
　【図１９】蛍光体インキを製造してから塗布されるまでの工程を示す図である。
　【符号の説明】
　１０　前面パネル
　２０　背面パネル
　２１　背面ガラス基板
　３０　隔壁
　３１　蛍光体層
　３２　溝
　３３　補助隔壁
　５０　インキ塗布装置
　５１　インキサーバ
　５２　加圧ポンプ
　５３　ノズルヘッド
　５４　ノズル
　５５　溝検出用ヘッド
　５６　基板載置台
　１００　装置本体
　１０１　本体ベース
　１０３　基板載置台
　１１０　ノズルヘッドユニット
　１１２　ノズルヘッド
　１１２ａ　回転軸
　１１３　ノズル
　１１５　回転駆動機構
　１１６　ジェット遮蔽機構
　１２０　撮像ユニット
　１５０　循環機構
　１５１　回収容器
　１５２　加圧ポンプ
　１５４　インキ補充器
　１６０　循環機構
　１６１　分散器
　１６４　循環ポンプ