【事件の表示】
　特願２０１１−５２８０７５「光分解化学的気相堆積法および／または熱化学的気相堆積法を使用して容器の内部を被覆するシステム、装置および方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年　３月２５日国際公開、ＷＯ２０１０／０３４００４、平成２４年　２月　２日国内公表、特表２０１２−５０３１００、請求項の数（４）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯　
　本願は、平成２１年９月２２日（パリ条約による優先権主張外国庁受理　平成２０年９月２２日　米国）を国際出願日とする出願であって、平成２３年６月７日付けで手続補正書が提出され、平成２４年１１月３０日付けで拒絶理由が通知され、平成２５年４月４日付けで意見書及び手続補正書が提出され、同年６月２８日付けで拒絶査定がされ、これに対し、同年１１月５日付けで拒絶査定不服審判が請求されるとともに、手続補正書が提出され、平成２６年８月２８日付けで上申書が提出されたものである。
　
第２　平成２５年１１月５日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成２５年１１月５日付けの手続補正を却下する。
［理由］
１．本件補正について
　本件補正は、本件補正前の特許請求の範囲の請求項１である、
「容器の内壁面の少なくとも一部分を被覆するためのシステムであって、
　（ａ）開端部と、前記開端部に対向する他の端部と、それらの間を延びる壁とを備える容器であって、前記壁が外壁面および内壁面を有し、前記容器が前記容器の前記開端部と前記他の端部の間で前記内壁面によって画成される領域内にチャンバを有する、容器と、
　（ｂ）少なくとも１つのモノマーガスを供給するためのモノマーガス供給源と、
　（ｃ）前記容器の前記開端部のところに位置決めされ、前記モノマーガス供給源から受け取る少なくとも１つのモノマーガスを前記チャンバ内に供給するための、前記チャンバの一部内に延びる部分を有したガス入口ダクトと、
　（ｄ）前記モノマーガスから少なくとも１つの反応性部分を含む反応性ガスを形成するように、前記容器の前記チャンバに供給される前記モノマーガスの少なくとも一部分を熱分解させるための熱分解面と、
　（ｅ）前記容器の前記内壁面の少なくとも一部上に、前記反応性部分の堆積および重合を促進させるように、前記容器の前記内壁面を前記熱分解面の温度より低い温度に維持するための温度制御器と、
　（ｆ）前記チャンバから余剰の反応性ガスを除去するための、前記容器の前記開端部または前記容器の前記他の端部のところに位置決めされる出口ダクトと
を備えることを特徴とするシステム。」を、
「容器の内壁面の少なくとも一部分を被覆するためのシステムであって、
　（ａ）開端部と、前記開端部に対向する他の端部と、それらの間を延びる壁とを備える容器であって、前記壁が外壁面および内壁面を有し、前記容器が前記容器の前記開端部と前記他の端部の間で前記内壁面によって画成される領域内にチャンバを有する、容器と、
　（ｂ）少なくとも１つのモノマーガスを供給するためのモノマーガス供給源と、
　（ｃ）前記容器の前記開端部のところに位置決めされ、前記モノマーガス供給源から受け取る少なくとも１つのモノマーガスを前記チャンバ内に供給するための、前記チャンバの一部内に延びる部分を有したガス入口ダクトと、
　（ｄ）前記モノマーガスから少なくとも１つの反応性部分を含む反応性ガスを形成するように、前記容器の前記チャンバに供給される前記モノマーガスの少なくとも一部分を熱分解させるための熱分解面と、
　（ｅ）前記容器の前記内壁面の少なくとも一部上に、前記反応性部分の堆積および重合を促進させるように、前記容器の前記内壁面を前記
反応性ガス
　（ｆ）前記チャンバから余剰の反応性ガスを除去するための、前記容器の前記開端部または前記容器の前記他の端部のところに位置決めされる出口ダクトと
を備えることを特徴とするシステム。」（注：下線は補正箇所。）とする補正を含むものである。
　
２．補正の適否 
　上記請求項１についての補正は、本件補正前の発明特定事項である、容器の内壁面の温度について、「熱分解面の温度より低い温度」としていたものを、「反応性ガスの温度より低い温度」とするものであり、「反応性ガスの温度」は反応性ガスを形成するための「熱分解面の温度」より低いことは明らかであるから、上記補正は、容器の内壁面の温度範囲を狭めるものであって、補正前の請求項１に記載された発明と補正後の請求項１に記載される発明（以下、「本件補正発明」という。）の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であって、上記補正は、特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的としたものに該当する。
　また、特許法第１７条の２第３項、第４項に違反するところはない。
　そこで、本件補正発明が特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について以下に検討する。
　
（特許法第３６条第６項第２号について）
　本件補正の請求項１の記載からは、反応ガスの温度がどの程度のものか不明であり、反応ガスの温度は、本件の明細書の記載を参酌しても明らかではない。
　そして、当業者の技術常識に照らせば、「反応性ガスの温度」は、熱分解面で形成された時点と、形成された後の、容器の内壁面に堆積及び重合する時点とでは、異なるものとなるということができることから、「反応性ガスの温度より低い温度」は、明確に特定することができない。
　
　そうすると、本件補正発明は不明確であり、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たさない。
　
３．むすび　
　以上のとおり、本件補正発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものであり、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。　
　
第３　本願発明について
　平成２５年１１月５日になされた手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜４に係る発明は、同年４月４日付けの手続補正書によって補正された特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された事項により特定される次のとおりのものである（以下、これらの請求項に係る発明を項番号に対応して、「本願発明１」などといい、これらをまとめて「本願発明」という。）。
「【請求項１】
　容器の内壁面の少なくとも一部分を被覆するためのシステムであって、
　（ａ）開端部と、前記開端部に対向する他の端部と、それらの間を延びる壁とを備える容器であって、前記壁が外壁面および内壁面を有し、前記容器が前記容器の前記開端部と前記他の端部の間で前記内壁面によって画成される領域内にチャンバを有する、容器と、
　（ｂ）少なくとも１つのモノマーガスを供給するためのモノマーガス供給源と、
　（ｃ）前記容器の前記開端部のところに位置決めされ、前記モノマーガス供給源から受け取る少なくとも１つのモノマーガスを前記チャンバ内に供給するための、前記チャンバの一部内に延びる部分を有したガス入口ダクトと、
　（ｄ）前記モノマーガスから少なくとも１つの反応性部分を含む反応性ガスを形成するように、前記容器の前記チャンバに供給される前記モノマーガスの少なくとも一部分を熱分解させるための熱分解面と、
　（ｅ）前記容器の前記内壁面の少なくとも一部上に、前記反応性部分の堆積および重合を促進させるように、前記容器の前記内壁面を前記熱分解面の温度より低い温度に維持するための温度制御器と、
　（ｆ）前記チャンバから余剰の反応性ガスを除去するための、前記容器の前記開端部または前記容器の前記他の端部のところに位置決めされる出口ダクトと
を備えることを特徴とするシステム。
　　【請求項２】
　前記容器は、注射器、薬カートリッジ、無針注射器、液体計量分配機器、液体測定機器、サンプル収集チューブ、カテーテル、ガラス瓶および配管からなる群から選択されることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項３】
　前記モノマーガスは、有機珪素化合物モノマー、ハロカーボンモノマー、アスリーネモノマー、チイランモノマー、不飽和オレフィンモノマーおよびそれらの混合物からなる群から選択される少なくとも１つのモノマーを含むことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
　　【請求項４】
　前記熱分解面はホットフィラメント線を備えることを特徴とする請求項１に記載のシステム。」　
　
第４　原査定の拒絶理由の概要
　本願発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。
　また、本願発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　　　　　　　　　　　引　用　文　献　等　一　覧
　引用例１：国際公開第２００６／１２６６７７号
　引用例２：特開２００４−１０７６８９号公報
　引用例３：特開２００１−２３１８４１号公報
　 
第４　当審の判断
１．引用例１の記載事項
　ア　「[0001]　本発明は、・・・（略）・・・酸素ガス及び炭酸ガスのバリア性を有する飲料用プラスチック容器に関し、より詳しくは酸素ガス及び炭酸ガスのバリア層として外表面と内表面の少なくとも一方に触媒化学蒸着法によりガスバリア薄膜を形成させた、安価且つ軽量であり、耐衝撃性、リサイクル性に優れた可塑性プラスチック容器、その製造方法及び製造装置に関する。」
　イ　「[0039]（第１形態：容器の内表面への成膜）
　まず、容器の内表面にガスバリア薄膜を成膜できる第１形態に係るガスバリア性プラスチック容器の製造装置について説明する。・・・（略）・・・図１に示したガスバリア性プラスチック容器の製造装置１００は、プラスチック容器１１を収容する真空チャンバ６と、真空チャンバ６を真空引きする排気ポンプ（不図示）と、プラスチック容器１１の内部に挿脱可能に配置され、プラスチック容器１１の内部へ原料ガスを供給する、絶縁且つ耐熱の材料で形成された原料ガス供給管２３と、原料ガス供給管２３に支持された熱触媒体１８と、熱触媒体１８に通電して発熱させるヒータ電源２０と、を有する。」
　ウ　「[0040]　真空チャンバ６には、その内部にプラスチック容器１１を収容する空間が形成されており、この空間は薄膜形成のための反応室１２となる。真空チャンバ６は、下部チャンバ１３と、この下部チャンバ１３の上部に着脱自在に取り付けられて下部チャンバ１３の内部をＯリング１４で密閉するようになっている上部チャンバ１５とから構成されている。」
　エ　「[0041]　・・・（略）・・・冷却水が流される冷却管等の冷却手段２９を真空チャンバ６の内部（不図示）又は外部（図１）に設けて、下部チャンバ１３の温度上昇を防止することが好ましい。真空チャンバ６のうち特に下部チャンバ１３を対象とするのは熱触媒体１８がプラスチック容器１１に挿入されているときに、ちょうど下部チャンバ１３の内部空間に収容された状態となるからである。光の反射の防止及び真空チャンバ６の冷却を行なうことで、プラスチック容器１１の温度上昇と、それに伴う熱変形を抑制できる。」
　オ　「[0042]　原料ガス供給管２３は、上部チャンバ１５の内側天井面の中央において下方に垂下するように支持されている。」
　カ　「[0044]　ガス吹き出し孔１７ｘは、プラスチック容器１１の底と離れすぎていると、プラスチック容器１１の内部に薄膜を形成することが難しい。本実施形態では、原料ガス供給管２３の長さは、ガス吹き出し孔１７ｘからプラスチック容器１１の底までの距離Ｌ１が５〜３０ｍｍとなるように形成することが好ましい。」
　キ　「[0045]・・・（略）・・・この熱触媒体１８を含む原料ガス供給管２３の外径は、プラスチック容器の口部２１の内径よりも小さいことが必要である。熱触媒体１８を含む原料ガス供給管２３をプラスチック容器の口部２１から挿入するためである。」
　ク　「[0052]　また上部チャンバ１５の内部空間には、排気管２２が真空バルブ８を介して連通されており、図示しない排気ポンプによって真空チャンバ６の内部の反応室１２の空気が排気されるようになっている。」
　ケ「[0058]　第１形態に係るガスバリア性プラスチック容器の製造装置において、原料ガスは、目的とするガスバリア薄膜の種類によって、ＣＶＤ法で用いられている公知の原料ガスの中から適宜選択される。・・・（略）・・・
[0059]　炭素系薄膜の原料ガスとして、例えば、メタン、・・・（略）・・・がある。
[0060]　珪素系薄膜の原料ガスとして、例えば、ジメトキシ（メチル）シラン、・・・（略）・・・がある。
[0061]　中でもＳｉ−Ｃ−Ｎ系薄膜の原料ガスとして、例えば、テトラキスジメチルアミノシラン、・・・（略）・・・がある。
[0062]　Ｓｉ−Ｃ系薄膜の原料ガスとして、例えば、ジメチルシラン、がある。
[0063]　Ｓｉ−Ｃ−Ｏ系薄膜の原料ガスとして、例えば、テトラエトキシシラン、・・・（略）・・・がある。
[0064]　これらの原料ガスを単独で若しくは組み合わせて使用して、ガスバリア薄膜として、水素含有ＳｉＮｘ薄膜、水素含有ＤＬＣ薄膜、水素含有ＳｉＯｘ薄膜又は水素含有ＳｉＣｘＮｙ薄膜を成膜する。
[0065]　また、原料ガスには、水素、酸素、窒素、水蒸気、アンモニア又はＣＦ４のように重合はしないが化学反応にあずかるガスが、発熱した熱触媒体１８が存在する反応室１２に導入されることでガスバリア薄膜の膜質を上げることができる。・・・（略）・・・
[0066]　原料ガスと共に希釈ガスを混合しても良い。・・・（略）・・・」
　コ　「[0076]　熱触媒体１８には、接続部７９ａ，７９ｂと配線１９を介してヒータ電源２０が接続されている。ヒータ電源２０によって熱触媒体１８に電気を流すことで、熱触媒体１８が発熱する。本形態においても熱触媒体１８を発熱させたときの上限温度は、その熱触媒体が軟化する温度以下とすることが好ましい。そして熱触媒体１８がタングステンであれば、熱触媒体を作動させる温度は、１６００〜２１００℃とすることが好ましい。」
　サ　「[0083]次に、図１を参照しながらガスバリア性プラスチック容器の製造装置１００を用いてプラスチック容器１１の内表面にガスバリア薄膜として水素含有ＳｉＮｘ薄膜を形成する場合の手順について説明する。プラスチック容器１１は丸型５００ｍｌのＰＥＴボトルとする。容器壁の肉厚は約０．３ｍｍとする。第１形態に係るガスバリア性プラスチック容器の製造方法は、原料ガス３３をプラスチック容器１１に吹き付けながらガスバリア薄膜を成膜する製造方法である。すなわち、第１形態に係るガスバリア性プラスチック容器の製造方法は、プラスチック容器１１を収容した真空チャンバ６の内部を排気し、所定圧力とする工程と、真空チャンバ６の内部に配置されている熱触媒体１８に通電して所定温度以上に発熱させた状態を維持しながら熱触媒体１８に原料ガス３３を吹き付けて原料ガス３３を分解して化学種３４を生成させ、プラスチック容器１１の内表面に化学種３４を到達させることによりガスバリア薄膜を形成させる工程と、を有するというものである。」
　シ　「[0087]（成膜）
　原料ガス３３が熱触媒体１８と接触すると特定の化学種３４が生成される。この化学種３４が、プラスチック容器１１の内壁に到達することで、所定の薄膜を堆積することになる。熱触媒体１８の表面及びその周辺でのモノシランの反応は、化１及び化２で示される。
（化１）ＳｉＨ４→Ｓｉ＊＋４Ｈ＊（化２）ＳｉＨ４＋Ｈ＊→ＳｉＨ３＊＋Ｈ２ＳｉＨ３＊が主要な堆積種であると考えられる。また、アンモニアの主な反応は、化３で示される。
（化３）ＮＨ３→ＮＨ２＊＋Ｈ＊ＮＨ２＊が主要な堆積種であると考えられる。水素の主な反応は、化４で示される。
（化４）Ｈ２→２Ｈ＊Ｈ＊は主に気相反応、被堆積材の表面反応を補助するために使われると考えられる。・・・（略）・・・そして、主にＳｉＨ３＊とＮＨ２＊が被堆積材表面で被堆積材の熱エネルギー、堆積種の熱エネルギー、Ｈ＊等の反応補助成分の存在によって反応し、化５で示すように窒化シリコン膜となると推測される。なお、前記において、＊印はラジカルの状態を示す。
（化５）ＳｉＨ３＊＋ＮＨ２＊→ＳｉＮｘ本製造方法においては、化５で示される化学反応において、水素が所定原子濃度でＳｉＮｘに取り込まれ、水素含有ＳｉＮｘ薄膜が形成される。」
　ス　図１「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
２．引用例１記載の発明
　上記アによれば、引用例１には、飲料用プラスチック容器に、触媒化学蒸着法によりガスバリア薄膜を形成する飲料用プラスチック容器の製造装置について記載されている。
　上記イ、エによれば、該製造装置は、
　プラスチック容器１１の内部に挿脱可能に配置され、プラスチック容器１１の内部へ原料ガスを供給する、絶縁且つ耐熱の材料で形成された原料ガス供給管２３と、
　原料ガス供給管２３に支持された熱触媒体１８と、熱触媒体１８に通電して発熱させるヒータ電源２０と、
　下部チャンバ１３の温度上昇を防止し、プラスチック容器１１の温度上昇と、それに伴う熱変形を抑制する、冷却水が流される冷却管等の冷却手段２９とを備えている。
　上記サ、シによれば、該製造装置による製造方法では、
　真空チャンバ６の内部に配置されている熱触媒体１８に通電して所定温度以上に発熱させた状態を維持しながら熱触媒体１８に原料ガス３３を吹き付けて原料ガス３３を分解して化学種３４を生成させ、プラスチック容器１１の内表面に化学種３４を到達させることによりガスバリア薄膜を形成させる工程を有し、化学種３４がプラスチック容器１１の内壁に到達することで、所定の薄膜を堆積するものである。
　上記オ〜キ、スによれば、原料ガス供給管２３は、上部チャンバ１５の内側天井面の中央において下方に垂下するように支持され、プラスチック容器の口部２１より挿入され、原料ガス供給管２３のガス吹き出し孔１７ｘからプラスチック容器１１の底までの距離Ｌ１が５〜３０ｍｍとなるように形成されているのであるから、原料ガス供給管２３は、口部２１のところに位置決めされていることは明らかである。
　上記クによれば、上部チャンバ１５に配置された排気管２２によって真空チャンバ６の空気が排出されるものであるから、該排気管２２によって余剰の化学種３４も排出されることは明らかである。
　そして、プラスチック容器１１は、口部２１に対向している底と、その間に延びる内壁面及び外壁面からなる壁を備え、これらによってチャンバを形成していることは明らかである。
　また、原料ガス供給管２３の原料ガスは、図１のボンベとして図示されたような原料ガス供給源を有することは明らかである。
　
　以上のことから、引用例１には、
「口部２１と、口部に対向する底と、その間に延びる内壁面及び外壁面からなる壁とを有し、これらによってチャンバを形成するプラスチック容器１１に、触媒化学蒸着法によりガスバリア薄膜を形成させるプラスチック容器１１の製造装置において、
　プラスチック容器１１の内部に挿脱可能に配置され、プラスチック容器１１の内部へ原料ガス供給源からの原料ガスを供給する、絶縁且つ耐熱の材料で形成された原料ガス供給管２３と、
　原料ガス供給管２３に支持された熱触媒体１８と、熱触媒体１８に通電して発熱させるヒータ電源２０と、
　下部チャンバ１３の温度上昇を防止し、プラスチック容器１１の温度上昇と、それに伴う熱変形を抑制する、冷却水が流される冷却管等の冷却手段２９とを備え、
　真空チャンバ６の内部に配置されている熱触媒体１８に通電して所定温度以上に発熱させた状態を維持しながら、熱触媒体１８に原料ガス３３を吹き付けて原料ガス３３を分解して化学種３４を生成させ、プラスチック容器１１の内表面に化学種３４を到達させることによりガスバリア薄膜を堆積させる、プラスチック容器の製造装置」（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
　
３．対比・判断
　まず、本願発明１と引用発明とを対比する。
　引用発明の「プラスチック容器１１」、「口部２１」、「底」、「ガスバリア薄膜を形成」、「ガスバリア薄膜を形成させるプラスチック容器の製造装置」、「ガス供給管２３」及び「排気管２２」は、本願発明１の「容器」、「開端部」、「他の端部」、「被覆」、「容器の内壁面の少なくとも一部分を被覆するためのシステム」、「ガス入口ダクト」及び「出口ダクト」にそれぞれ相当する。
　引用発明の「熱触媒体」は、加熱された触媒が、原料ガスを分解する点で、本願発明１の「熱分解面」を有しているということができる。
　また、本願発明１の「モノマーガス」と引用発明の「原料ガス」とは、被覆を形成するガス（以下、「被覆ガス」という。）である点で共通する。
　また、本願発明１の「反応性ガス」と、引用発明の「化学種３４」とは、堆積材料である点で共通する。
　
　そうすると、本願発明１と引用発明とは、
 「容器の内壁面の少なくとも一部分を被覆するためのシステムであって、
　（ａ）開端部と、前記開端部に対向する他の端部と、それらの間を延びる壁とを備える容器であって、前記壁が外壁面および内壁面を有し、前記容器が前記容器の前記開端部と前記他の端部の間で前記内壁面によって画成される領域内にチャンバを有する、容器と、
　（ｂ）少なくとも１つの被覆ガスを供給するための被覆ガス供給源と、
　（ｃ）前記容器の前記開端部のところに位置決めされ、前記被覆ガス供給源から受け取る少なくとも１つの被覆ガスを前記チャンバ内に供給するための、前記チャンバの一部内に延びる部分を有したガス入口ダクトと、
　（ｄ）前記被覆ガスから少なくとも１つの堆積材料を形成するように、前記容器の前記チャンバに供給される前記被覆ガスの少なくとも一部分を熱分解させるための熱分解面と、
　（ｆ）前記チャンバから余剰の堆積材料を除去するための、前記容器の前記開端部または前記容器の前記他の端部のところに位置決めされる出口ダクトとを備えることを特徴とするシステム。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
（相違点１）
　本願発明１では、被覆ガスが「モノマーガス」であり、堆積材料が「反応性ガス」であるのに対し、引用発明は、被覆ガスが「原料ガス」であり、堆積材料が「化学種」である点。
（相違点２）
　熱分解面について、本願発明１の熱分解面は、「（ｄ）前記モノマーガスから少なくとも１つの反応性部分を含む反応性ガスを形成するように、前記容器の前記チャンバに供給される前記モノマーガスの少なくとも一部分を熱分解させる」ものであるのに対し、引用発明の熱触媒体は、原料ガスを分解して化学種を生成させるものである点。
（相違点３）
　本願発明１は、「（ｅ）前記容器の前記内壁面の少なくとも一部上に、前記反応性部分の堆積および重合を促進させるように、前記容器の前記内壁面を前記熱分解面の温度より低い温度に維持するための温度制御器」を備えているのに対し、引用発明は、「下部チャンバ１３の温度上昇を防止し、プラスチック容器１１の温度上昇と、それに伴う熱変形を抑制する、冷却水が流される冷却管等の冷却手段２９」を備えている点。
　
　事案に鑑み、相違点１〜３についてまとめて検討する。
　引用例１の摘示事項である上記ケによれば、引用発明のガスバリア薄膜は、炭素系薄膜、ケイ素系薄膜、Ｓｉ−Ｃ−Ｎ系薄膜、Ｓｉ−Ｃ系薄膜、Ｓｉ−Ｃ−Ｏ系薄膜の、それぞれの原料ガスを単独又は組み合わせて使用して堆積して成膜された、水素含有ＳｉＮｘ薄膜、水素含有ＤＬＣ薄膜、水素含有ＳｉＯｘ薄膜又は水素含有ＳｉＣｘＮｙ薄膜である。
　また、同上記シによれば、引用発明のガスバリア薄膜は、窒化シリコン薄膜又は水素含有ＳｉＮｘ薄膜の場合、原料ガス３３（ＳｉＨ４、ＮＨ３）が、熱触媒体１８と接触して分解して、化学種３４（ＳｉＨ３＊とＮＨ２＊）が生成（化１〜化３）し、該化学種が、被堆積材表面で、被堆積材の熱エネルギー、堆積種の熱エネルギー、Ｈ＊等の反応補助成分によって反応（化５）することで、その成膜が行われるものである。
　そうすると、引用発明の薄膜は無機材料からなる薄膜であり、化学種は被堆積材表面で重合反応するものではないことは明らかである。
　
　そして、引用発明の熱触媒体は、原料ガスを分解して化学種を生成させるものであり、同上記コによれば、その温度は、具体的には、１６００〜２１００℃であって、本願発明１のような、モノマーガスから少なくとも１つの反応性部分を含む反応性ガスを形成する熱分解面の温度（３００°Ｋ〜７７３°Ｋ）（本願明細書【００６７】）よりも、はるかに高いということができる。
　
　以上のことから、引用発明の重合しない化学種を形成する「原料ガス」に代えて、本願発明１のような、その反応性部分が堆積及び重合する反応性ガスを形成する「モノマーガス」を採用し、さらに、引用発明の化学種を形成する「熱触媒体」の温度を、その温度よりもはるかに低い「モノマーガスから少なくとも１つの反応性部分を含む反応性ガスを形成する」ような温度とし、その上、引用発明の「プラスチック容器の温度上昇と、それに伴う熱変形を抑制するために、冷却水が流される冷却管等の冷却手段」に代えて、「前記反応性部分の堆積および重合を促進させるように」する温度制御器を備えることは、当業者が容易に想到し得たとすることはできない。
　
　また、引用例２には、「ダイヤモンド状炭素膜形成方法及び製造装置」（発明の名称）について記載され、引用例３には、「液体医薬品用プラスチック容器」（発明の名称）について記載されているものの、いずれの引用例にも、膜の形成について、本願発明１のような「モノマーガス」を用いることは記載も示唆もされておらず、上記判断を左右するものではない。
　
　したがって、本願発明１は、引用例１に記載された発明とすることはできないし、引用例１に記載された発明及び引用例２、３の記載に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
　そして、本願発明２〜４は、いずれも本願発明１を引用し、本願発明１の発明特定事項を全て含むものであるから、本願発明１と同様な理由から、引用例１に記載された発明とすることはできないし、引用例１に記載された発明及び引用例２、３の記載に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえないことから、本願については、原査定の拒絶理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　
第５　むすび
　以上のとおり、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。