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　特願２００９−　６７７８２「短縮化カンチレバーを備えたＳＰＭプローブ及びＳＰＭプローブの製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年１０月　８日出願公開、特開２００９−２２９４６０〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は，成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯　
　本願は，平成２１年３月１９日（パリ条約に基づく優先権主張　平成２０年３月２０日　欧州特許庁）に出願されたものであって，平成２３年６月６日付けの拒絶理由通知に対し同年１０月７日付けで意見書および手続補正書が提出されたが，平成２４年２月６日付けで拒絶査定がなされ，これに対し，同年５月２１日に拒絶査定不服審判が請求されたものである。　 
 　 
第２　本願発明　　
　本願の請求項１〜１７に係る発明は，平成２３年１０月７日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜１７に記載された事項により特定されたものであって，その請求項１に係る発明は，次のとおりのものであると認められる。　
　　
「【請求項１】細長い支持エレメント（２）、支持エレメント（２）の前面より先に突き出て走査チップ（５）を保持するカンチレバー（３）を備え、
　該カンチレバー（３）は、ＳＰＭプローブ（１）の支持エレメント（２）の前面側（１２）に配置されて前方側面（１３）から突き出し、　
　該支持エレメント（２）は、前方側面（１３）に長め横エッジ（１５’）と短め横エッジ（１５”）を持つ基本的に台形断面を有し、さらに、走査過程の間にサンプルに最も近い前方側面（１３）の横エッジ（１５’、１５”）の１つに主要コーナー（１６）を備えたＳＰＭプローブ（１）であって、
　支持エレメント（２）は、支持エレメント（２）とカンチレバー（３）の長手方向に延びる細長い突起部分（４）を有し、突起部分（４）は、基本的に台形断面を有し、カンチレバー（３）は、支持エレメント（２）の突起部分（４）の狭い横エッジ（１５）の表面に配置され、カンチレバー（３）を備えた突起部分（４）は、支持エレメント（２）の前方側面（１３）の長め横エッジ（１５’）に配置され、　
　走査チップ（５）
と主
を結んだ
と、
とを含む
　　
第３　引用刊行物およびその記載事項　
（１）本願優先日前に頒布され，原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開２００４−１２４０１号公報（以下「刊行物１」という）には，「ＳＰＭカンチレバー及びその製造方法」に関して，図面とともに次の事項が記載されている。　
　　
（１−ア）　
「【請求項１】　
単結晶シリコン製支持部と、該支持部に固定され該支持部より伸びるように配置されたシリコン又はシリコン化合膜からなるレバー部と、該レバー部の自由端近傍に設けられたシリコン又はシリコン化合膜からなる探針部とを備え、前記レバー部のレバー長を５０μｍ以下としたＳＰＭカンチレバーにおいて、前記レバー部の固定端に接する前記支持部のレバー部伸長方向面は、（１１１）面からなる後退傾斜面で構成されていることを特徴とするＳＰＭカンチレバー。　
【請求項２】　
前記レバー部の固定端部分に、アルカリ溶液に対しシリコンとの選択比が５０以上あるシリコン化合膜からなるバッファ部が設けられていることを特徴とする請求項１に係るＳＰＭカンチレバー。　
【請求項３】　
前記支持部は、底面に突出部を有し、前記レバー部は前記突出部に固定され該突出部から伸びるように設けられていることを特徴とする請求項１又は２に係るＳＰＭカンチレバー。　
【請求項４】　
前記支持部に、ＳＰＭ装置に装着の際のホルダー当てつけ用凹部が設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に係るＳＰＭカンチレバー。　
【請求項５】　
前記シリコン化合膜は、低応力のシリコン化合膜であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に係るＳＰＭカンチレバー。」　
　　
（１−イ） 
「【０００１】　
【発明の属する技術分野】　
この発明は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）などの走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）に用いるＳＰＭカンチレバー、特にレバー長の短いショートレバー型のＳＰＭカンチレバー及びその製造方法に関する。　
【０００２】　
【従来の技術】　
従来のＳＰＭカンチレバーとして、ピラミダル探針部を有するＳＰＭカンチレバーの断面構造を、図１０に示す。図１０において、１０１はガラスを加工して作製したカンチレバー支持部、１０２は支持部１０１に支持され該支持部１０１より伸びるように配置されたレバー部、１０３はレバー部１０２の自由端側に測定試料表面１０４に向かって配置されたピラミダル探針部であり、レバー部１０２及び探針部１０３は窒化シリコン製である。そして、市販のＳＰＭカンチレバーでは、レバー部１０２の支持部１０１より伸びている部分の長さであるレバー長は、６０μｍ以上であり、一般には２００μｍ程度の長さのカンチレバーが使われている。探針部先端の曲率半径は２０ｎｍ〜４０ｎｍ以下で、分解能が高く、高解像度の測定が可能であり、バネ定数も１Ｎ／ｍ以下と低く、測定試料が柔らかい場合も測定が可能であるが、共振周波数は大気中でもせいぜい数十ｋＨｚである。」　
　　
（１−ウ）　
「【００１１】　
一方、図１３の（Ａ）に示すように、従来の原子間力顕微鏡などのＳＰＭで測定するとき、ＳＰＭカンチレバー３０１を試料３０２に対して１０°程度傾けてホルダー３０３に装着している。そのため、ＳＰＭカンチレバー３０１の全体の長さ（チップ長）が３ｍｍ程度の場合、中心部をホルダー当てつけアーム３０４の当てつけ部とすると、ホルダー当てつけアーム３０４と試料３０２とのギャップは０．２５ｍｍ程度となり、図示のような測定状態になる。これがショートレバー型のＳＰＭカンチレバー３０５の場合、図１３の（Ｂ）に示すように、そのギャップが１０％以上狭まり、ホルダー当てつけアーム３０４が試料３０２と接触してしまう問題が発生してしまう。また、ショートレバー型のＳＰＭカンチレバーにより高速動作を行う場合、探針部の質量が大きい場合には共振周波数を低下させる原因になってしまい、高速動作が行えない。　
【００１２】　
更に、図１４の（Ａ），（Ｂ）に示すようにＳＰＭカンチレバー３０１，３０５の支持部３０１ａ，３０５ａが傾いてホルダー３０３にセットされていると、図１４の（Ａ）に示すような従来のＳＰＭカンチレバーの場合、支持部３０１ａと測定試料３０２間のギャップが十分あるため、支持部３０１ａの肩部が測定試料３０２に接触することはない。それに対し、図１４の（Ｂ）に示すようにショートレバー型のＳＰＭカンチレバーの場合、支持部３０５ａの肩部分が容易に測定試料３０２と接触してしまい、取り扱いが難しい。以上のように、精度のよい測定が不可能になるばかりか、測定自体ができなくなる恐れがある。　
【００１３】　
本発明は、上記課題に鑑みなされたもので、共振周波数が高く高速測定が可能なショートレバー型ＳＰＭカンチレバーを簡単に精度良く製造可能とし、レバー部のレバー長のばらつきを低減して、短いレバー長のレバー部でも精度良く、ばらつきのない安定した高い共振周波数が得られるようにしたＳＰＭカンチレバーを提供することを目的とする。また、ＳＰＭ装置への装着がし易くなると共に、試料測定の際に支持部によるレーザー光のけられがなく、試料を傷つけることなしに安定した測定を可能としたＳＰＭカンチレバーを提供することを目的とする。」　
　　
（１−エ）　
「【００５１】　
（第３の実施の形態）　
次に、第３の実施の形態について説明する。図６は、本発明に係るＳＰＭカンチレバーの第３の実施の形態を示す断面図である。本実施の形態は、支持部底面の一部に高さ数μｍ〜十数μｍの突出部を長手方向に設け、その突出部にレバー部を固定支持し、その突出部から伸びるように形成するものである。ここでは、第１の実施の形態に係るＳＰＭカンチレバーに、本実施の形態の特徴を適用したものについて説明する。　
【００５２】　
図６の（Ａ）において、１は単結晶シリコン基板を加工して作製した、底面に突出部７を有する支持部、２は支持部１の突出部７の底面より伸びた窒化シリコン膜からなるレバー部、３はレバー部２の自由端側に形成された窒化シリコン膜からなる探針部であり、レバー部２の固定端４に接する支持部１の傾斜面５は（１１１）面にて形成されている。ここで、図６の（Ｂ）の正面図に示すように、支持部１は通常の支持部とは異なり、底面に突出部７を備えており、レバー部２は突出部７に固定支持され、該突出部７より伸びるように形成されている。　
【００５６】　
・・・・図６の（Ｂ）に示した正面図からもわかるように、突出部７の肩部が支持部１の肩幅と比較して十分小さく、支持部１と測定試料間の間隙が大きくとれるため、突出部７の肩部が試料面と接触する可能性が解消されると共に、ＳＰＭ装置へのＳＰＭカンチレバーの取り付けも容易になる。したがって、精度の良い安定したＳＰＭ測定が可能となる。ここで、支持部に形成される突出部は、その肩部が支持部肩幅と比較して十分小さく、肩部が試料面と接触しなければ、その高さあるいは幅などの大きさは一切問わない。」
　　
（１−オ）　
　図６（Ｂ）は，ＳＰＭカンチレバーの第３の実施の形態を示す正面図であり，「支持部１」が台形断面を有していることが示されている。　
　　
　上記記載事項（１−イ）〜（１−オ）からみて，刊行物１には次の発明が記載されていると認められる。　
　　
「単結晶シリコン製支持部１と，該支持部１に固定され該支持部１より伸びるように配置されたシリコン又はシリコン化合膜からなるレバー部２と，該レバー部２の自由端近傍に設けられたシリコン又はシリコン化合膜からなる探針部３とを備え，前記レバー部のレバー長を５０μｍ以下としたＳＰＭカンチレバーにおいて，前記レバー部２の固定端に接する前記支持部１のレバー部伸長方向面は，（１１１）面からなる後退傾斜面で構成され，また，前記支持部１は，台形断面を有し，底面に突出部７を有し，前記レバー部２は前記突出部７に固定され該突出部７から伸びるように設けられているＳＰＭカンチレバー。」（以下「引用発明」という）　
　　
第４　対比・判断　
　本願発明と引用発明との対比すると，その機能・構造からみて，引用発明の「単結晶シリコン製支持部１」，「シリコン又はシリコン化合膜からなる探針部３」，「シリコン又はシリコン化合膜からなるレバー部２」，「突出部７」および「ＳＰＭカンチレバー」は，本願発明の「細長い支持エレメント（２）」，「走査チップ（５）」，「カンチレバー（３）」，「支持エレメント（２）とカンチレバー（３）の長手方向に延びる細長い突起部分（４）」および「ＳＰＭプローブ」に相当することは明らかである。　
　また，上記記載事項（１−エ）の「図６の（Ｂ）に示した正面図からもわかるように、突出部７の肩部が支持部１の肩幅と比較して十分小さく、支持部１と測定試料間の間隙が大きくとれるため、突出部７の肩部が試料面と接触する可能性が解消されると共に、ＳＰＭ装置へのＳＰＭカンチレバーの取り付けも容易になる。」からみて，探針部３と支持部１の肩部の１つを結んだ直線と，支持部１の底面の側面長手エッジとを含む平面は，支持部１の前方側面の横エッジに対して所定の傾斜角度θ（下図（Ｂ）参照）を形成するといえるから，引用発明と本願発明とは，「走査チップと主要コーナーの１つを結んだ直線と、支持エレメントの下面の側面長手エッジとを含む平面は、横エッジに対して所定の傾斜角度を形成する」の点にて共通するといえる。　　
　そうすると，両者は，　
（一致点）　
「細長い支持エレメント，支持エレメントの前面より先に突き出て走査チップを保持するカンチレバーを備え，　
　該カンチレバーは，ＳＰＭプローブの支持エレメントの前面側に配置されて前方側面から突き出し，　
　該支持エレメントは，前方側面に長め横エッジと短め横エッジを持つ基本的に台形断面を有し，さらに，走査過程の間にサンプルに最も近い前方側面の横エッジの１つに主要コーナーを備えたＳＰＭプローブであって、　
　支持エレメントは，支持エレメントとカンチレバーの長手方向に延びる細長い突起部分を有し、突起部分は，基本的に台形断面を有し，カンチレバーは，支持エレメントの突起部分の狭い横エッジの表面に配置され，カンチレバーを備えた突起部分は，支持エレメントの前方側面の長め横エッジに配置され，　
　走査チップと主要コーナーの１つを結んだ直線と、支持エレメントの下面の側面長手エッジとを含む平面は、横エッジに対して所定の傾斜角度を形成するＳＰＭプローブ。」　
である点で一致し，次の点で相違する。　
　　
（相違点）　
「所定の傾斜角度」について，本願発明では「少なくとも５°」であるのに対し，引用発明では不明である点。　
　　
　相違点について検討するに，　
　本願発明における「少なくとも５°」は，該傾斜角度の下限を定めるものであって，その技術的意義は，本願明細書の段落【００２６】には「ＳＰＭ測定システムの製造バラツキによる、かつプローブアセンブリーの許容範囲による典型的な最大のあり得る傾斜は、最大で５°の大きさを有する。こうした傾いた場合における支持エレメントエッジとサンプル表面の間の接触は、それにそれぞれカンチレバーが取り付けられる突起部分の高さＨについて、支持エレメントエッジの長さＬとの関係で以下の関係が成立すれば、確実に回避することができる。」と記載されていることからみて，「製造バラツキ」および「プローブアセンブリーの許容範囲」に対応する為の数値限定であるといえる。　
　一方，上記記載事項（１−ウ）の「【００１２】更に、図１４の（Ａ），（Ｂ）に示すようにＳＰＭカンチレバー３０１，３０５の支持部３０１ａ，３０５ａが傾いてホルダー３０３にセットされていると、図１４の（Ａ）に示すような従来のＳＰＭカンチレバーの場合、支持部３０１ａと測定試料３０２間のギャップが十分あるため、支持部３０１ａの肩部が測定試料３０２に接触することはない。それに対し、図１４の（Ｂ）に示すようにショートレバー型のＳＰＭカンチレバーの場合、支持部３０５ａの肩部分が容易に測定試料３０２と接触してしまい、取り扱いが難しい。以上のように、精度のよい測定が不可能になるばかりか、測定自体ができなくなる恐れがある。」からみて，引用発明においても，「ＳＰＭカンチレバーの支持部が傾いてホルダーにセットされる」，すなわち，「プローブアセンブリー」の際の誤差に対応することを課題としているものであるいえる。　
　そして，製造誤差を考慮して，種々の寸法等を定めるようなことは，当業者ならば一般的に実施している技術的行為であるというべきである。　
　してみると，引用発明おいて，「プローブアセンブリー」等の製造誤差を考慮して，「所定の傾斜角度」の下限値を「５°」とする，すなわち，相違点における本願発明の構成とすることは，当業者において十分に動機付けが存在し，何ら困難性がなく，容易に想到し得る事項であるといえる。　
　そして，本願明細書に記載された作用効果も，刊行物１に記載された事項から，当業者ならば予測し得る範囲のものであって，格別顕著なものとはいえない。　
　　
　したがって，本願発明は，引用発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというべきである。　
　　
第５　むすび　
　以上のとおり，本願発明は，特許法第２９条第２項の規定により，特許を受けることができないから，その余の請求項に係る発明について言及するまでもなく，本願は拒絶されるべきものである。　
　よって，結論のとおり審決する。