【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３７３４４４７号発明「半導体装置の製造方法および半導体装置の製造装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　請求のとおり訂正を認める。
　本件審判の請求は、成り立たない。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
１　手続の経緯 
　本件の主な手続を、整理して以下に示す。 
（１）本件特許第３７３４４４７号の請求項１ないし１０に係る発明についての出願は、平成１４年１月１８日に出願され、平成１７年１０月２８日にその発明について特許権の設定登録がなされた。
（２）これに対し、請求人は、平成２４年８月６日（受付）に本件特許無効審判を請求し、本件特許の請求項１及び３〜９に係る発明についての特許を無効とする、審判費用は被請求人の負担とする、との審決を求めた。
（３）その後、被請求人は平成２４年１０月２６日付けで答弁書を提出するとともに、訂正請求書を提出し、同年１０月２６日付けの当該訂正請求書を同年１２月７日付けで提出した手続補正書により補正して、訂正を求めた。
 　 
２　当事者の主張 
（１）請求人の主張の概要 
　審判請求書の記載を総合すると、請求人の主張は、本件特許の請求項１、３、４及び６〜８に係る発明は、本件の特許出願前に外国において、頒布された刊行物である甲第１号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に規定する発明に該当するから特許を受けることができないものであり、また、本件特許の請求項５及び９に係る発明は、本件の特許出願前に当業者が甲第１号証に記載された発明及び当該分野における技術常識に基いて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である。したがって、本件特許は、無効にすべきであるというものと認める。 
 　 
【証拠方法】 
 甲第１号証：国際公開第０１／０８８９７２号パンフレット
 　 
（２）被請求人の主張の概要 
　平成２４年１０月２６日付け審判事件答弁書の記載を総合すると、被請求人の主張は、概略、次のとおりと認める。 
 「請求人が無効理由を主張する特許第３７３４４４７号の請求項に係る発明、すなわち請求項１及び当該請求項１に従属する請求項３〜８、並びに請求項９に係る発明は、この答弁書と同日付けで提出した訂正請求書により、すべて削除したので、もはや請求人が主張する無効理由は解消されたことは明らかである。」 
 　 
３　平成２４年１０月２６日付けの訂正請求の適否についての判断 
（１）訂正の内容 
　平成２４年１２月７日付けで提出した手続補正書により補正された同年１０月２６日付けの訂正請求（以下、「本件訂正請求」という。）は、本件の明細書を本件訂正請求書に添付した訂正明細書のとおり請求項ごとまたは一群の請求項ごとに訂正しようとするものであって、その訂正の内容は以下のとおりである。 
 　 
 ア　請求項１ないし８からなる一群の請求項に係る訂正
（ア）訂正事項１
　請求項１を削除する。
　
（イ）訂正事項２
　請求項２について、
「前記気相清浄化処理における前記金属酸化物の還元は、前記金属酸化物に紫外線を照射しながら行うことを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。」を
「半導体装置の電極あるいは配線を形成している金属に生成した金属酸化物を還元する清浄化処理を行う半導体装置の製造方法において、
前記半導体装置が内部に配置される処理チャンバ内に、気体状態のカルボン酸を導入し、前記金属酸化物を金属に還元するとともに気体状態の二酸化炭素と水とを生成する気相清浄化処理を行う方法であって、
前記気相清浄化処理における前記金属酸化物の還元は、前記金属酸化物に紫外線を照射しながら行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。」と訂正する。
　
（ウ）訂正事項３
　請求項３、４及び６ないし８について、それぞれの請求項が引用する請求項を訂正する。
　
（エ）訂正事項４
　願書に添付された明細書の段落【００１７】に記載された
「【課題を解決するための手段】
　本発明では上記課題を解決するために、図１に示す構成で実現可能な半導体装置の製造方法が提供される。本発明の半導体装置の製造方法は、半導体装置の電極あるいは配線を形成している金属に生成した金属酸化物を還元する清浄化処理を行う半導体装置の製造方法において、前記半導体装置が内部に配置される処理チャンバ内に、気体状態のカルボン酸を導入し、前記金属酸化物を金属に還元するとともに気体状態の二酸化炭素と水とを生成する気相清浄化処理を行うことを特徴とする。」を
「【課題を解決するための手段】
　本発明では上記課題を解決するために、図１に示す構成で実現可能な半導体装置の製造方法が提供される。本発明の半導体装置の製造方法は、半導体装置の電極あるいは配線を形成している金属に生成した金属酸化物を還元する清浄化処理を行う半導体装置の製造方法において、前記半導体装置が内部に配置される処理チャンバ内に、気体状態のカルボン酸を導入し、前記金属酸化物を金属に還元するとともに気体状態の二酸化炭素と水とを生成する気相清浄化処理を行う方法であって、前記気相清浄化処理における前記金属酸化物の還元は、前記金属酸化物に紫外線を照射しながら行うことを特徴とする。」と訂正する。
　
イ　請求項９及び１０に係る訂正
（ア）訂正事項５
　請求項９を削除する。
　
（イ）訂正事項６
　請求項１０について、
「前記処理チャンバには、金属酸化物に紫外線を照射するための紫外線ランプが、前記処理台に対向配置されていることを特徴とする請求項９記載の半導体装置の製造装置。」を
「半導体装置の電極あるいは配線を形成している金属に生成した金属酸化物を還元する清浄化処理を行う半導体装置の製造装置において、
前記半導体装置が載置される処理台と、前記処理台の下部に配置されて前記半導体装置を加熱するヒータと、を有する処理チャンバと、
前記金属酸化物を還元するカルボン酸が貯蔵される貯蔵槽と、
前記処理チャンバと前記貯蔵槽との間に設けられた処理ガス供給用配管と、
前記処理ガス供給用配管の途中に設けられ、前記貯蔵槽から前記処理チャンバへ前記処理ガス供給用配管を流れるカルボン酸を気化する気化器と、
を有し、
前記処理チャンバには、金属酸化物に紫外線を照射するための紫外線ランプが、前記処理台に対向配置されていることを特徴とする半導体装置の製造装置。」と訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の追加の有無及び拡張・変更の存否について
ア　訂正の目的の適否について
（ア）訂正事項１について
　訂正事項１は、請求項を削除するものであるから、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　
（イ）訂正事項２について
　訂正事項２は、請求項２が請求項１の記載を引用する記載であったものを、請求項間の引用関係を解消し、請求項１を引用しないものとし、独立形式請求項へ改め、訂正後の請求項２としたものである。
　したがって、訂正事項２は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第４号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものに該当する。
　
（ウ）訂正事項３について
　訂正事項３は、請求項３、４及び６ないし８がそれぞれ請求項１の記載を引用する記載であったものを、請求項１を引用しないものとし、それぞれ訂正後の請求項３、４及び６ないし８としたものである。
　したがって、訂正事項３は、訂正事項１により請求項１が削除されたこととの整合を図るためのものであるから、特許法第１３４条の２第１項ただし書第３号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」を目的とするものに該当する。
　
（エ）訂正事項４について
　訂正事項４は、願書に添付された明細書の段落【００１７】の記載と、訂正事項２により訂正された請求項２の記載との整合を図るためのものであり、特許法第１３４条の２第１項ただし書第３号に掲げる「明瞭でない記載の釈明」を目的とするものに該当する。
　
（オ）訂正事項５について
　訂正事項５は、請求項を削除するものであるから、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号に掲げる「特許請求の範囲の減縮」を目的とするものに該当する。
　
（カ）訂正事項６について
　訂正事項６は、請求項１０が請求項９の記載を引用する記載であったものを、請求項間の引用関係を解消し、請求項９を引用しないものとし、独立形式請求項へ改め、訂正後の請求項１０としたものである。
　したがって、訂正事項６は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第４号に掲げる「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものに該当する。
　
イ　新規事項の追加の有無及び拡張・変更の存否について
（ア）訂正事項１及び訂正事項５は、請求項を削除するものであるから、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてしたものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項１及び訂正事項５は、いずれも特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。
　
（イ）訂正事項２及び訂正事項６は、それぞれ請求項２及び請求項１０について、「他の請求項の記載を引用する請求項の記載を当該他の請求項の記載を引用しないものとすること」を目的とするものであるから、この訂正の前後で当該請求項に係る発明は何ら変更されるものではなく、したがって、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内においてしたものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項２及び訂正事項６は、いずれも特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。
　
（ウ）訂正事項３は、訂正事項１により請求項１が削除されたこととの整合を図るためのものであり、「明瞭でない記載の釈明」を目的とするものであるから、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内においてしたものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項３は、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。
　
（エ）訂正事項４は、訂正事項２により訂正された請求項２の記載との整合を図るためのものであり、「明瞭でない記載の釈明」を目的とするものであるから、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内においてしたものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　したがって、訂正事項４は、特許法第１３４条の２第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合する。
　
（オ）訂正の目的の適否、新規事項の追加の有無及び拡張・変更の存否についてのまとめ
　以上のとおりであるから、本件訂正請求は、特許法第１３４条の２第１項ただし書第１号、第３号及び第４号に掲げる事項を目的とするものに該当し、かつ同条第９項で準用する同法第１２６条第５項及び第６項の規定に適合するものである。
　 
４　本件特許無効理由についての当審の判断 
 （１）本件発明 
　上記のとおり、本件訂正請求は適法であるから、本件訂正請求書に添付した訂正明細書のとおり請求項ごと又は一群の請求項ごとに訂正することを認める。
　よって、本件特許の請求項３ないし８に係る発明は、本件訂正後の特許請求の範囲の請求項３ないし８に記載されている事項によって特定される発明であるところ、そのうちの請求項３に係る発明は、本件訂正後の請求項３に記載されている事項により特定されるものであり、請求項３は他の請求項を引用する形式で記載されているので、独立請求項の形式に書き直すと、請求項３に係る発明（以下、「本件発明３」という。）は以下のとおりである。
　
「半導体装置の電極あるいは配線を形成している金属に生成した金属酸化物を還元する清浄化処理を行う半導体装置の製造方法において、
前記半導体装置が内部に配置される処理チャンバ内に、気体状態のカルボン酸を導入し、前記金属酸化物を金属に還元するとともに気体状態の二酸化炭素と水とを生成する気相清浄化処理を行う方法であって、
前記金属は銅であり、
　なお、請求項３に記載された事項を請求項２に付加することによって、請求項２の記載が変更された箇所を明示するために、当合議体によって、下線を付した。
　
（２）甲第１号証に記載された発明 
　甲第１号証の第１ページ第５〜７行、第５ページ第８〜１０行、第１４〜１７行、第１９〜２０行及びTable１、第６ページ第１４行〜第７ページ第３行、第１２ページ第９〜２７行、第１３ページ第１４行〜第１４ページ第２７行、第１６ページ第１〜１１行、第１８ページ第７〜１５行、第１９〜２５行、第１９ページ第８〜１５行、第２４ページ第２６行〜第２５ページ第１０行、第３１ページのEXAMPLE７などからみて、甲第１号証には、次の発明（以下、「甲１発明」という。）が記載されていると認める。 
　
「集積回路の金属配線上の金属酸化物を金属単体に還元する集積回路の製造方法において、
金属銅上に酸化銅被膜を有するシリコン基板をＣＶＤ反応器の反応チャンバ内に装填し、反応チャンバを加熱し、最も単純なカルボン酸である蟻酸の蒸気を、窒素ガスと混合して、反応チャンバ内に導入し、基板と接触させて、酸化銅を金属銅に還元し、蟻酸を二酸化炭素と水に酸化させる集積回路の製造方法。」 
 　 
（３）本件発明３と甲１発明との対比・判断 
ア　甲１発明との対比 
　本件発明３と甲１発明とを対比すると、両者は、少なくとも次の点で相違する。 
 ＜相違点＞ 
　本件発明３は、「前記気相清浄化処理における前記金属酸化物の還元は、前記金属酸化物に紫外線を照射しながら行う」のに対し、甲１発明の金属酸化物の還元は、その点について特定されていない点。 
 　 
イ　甲１発明との相違点の判断 
　上記相違点について検討すると、甲第１号証には、金属酸化物の還元を紫外線を照射しながら行うことに関して記載されておらず、かつ、示唆もされていない。 
　したがって、本件発明３は、甲１発明であるとはいえない。
　
（４）本件の請求項４ないし８に係る発明と甲１発明との対比・判断
　本件の請求項４及び６ないし８は、いずれも直接又は間接的に請求項２を引用しており、本件の請求項４及び６ないし８に係る発明は、本件発明３の構成要件である「前記気相清浄化処理における前記金属酸化物の還元は、前記金属酸化物に紫外線を照射しながら行う」を備える発明である。
　したがって、これらの発明と甲１発明とは、上記「（３）ア　甲１発明との対比」で示した＜相違点＞の点で相違するから、これらの発明も、甲１発明であるとはいえない。
　
　また、本件の請求項５は、間接的に請求項２を引用しており、本件の請求項５に係る発明は、本件発明３の構成要件である「前記気相清浄化処理における前記金属酸化物の還元は、前記金属酸化物に紫外線を照射しながら行う」を備える発明である。
　他方、金属酸化物の還元を紫外線を照射しながら行うことは、甲第１号証に記載されておらず、また、技術常識あるいは周知技術といえる証拠もないから、本件の請求項５に係る発明は、本件の特許出願前に当業者が甲１発明に基いて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
　
（５）本件特許無効理由についての当審の判断についてのまとめ
　以上のとおりであるから、本件訂正請求後の請求項３、４及び６ないし８に係る発明は、本件の特許出願前に頒布された刊行物である甲第１号証に記載された発明であるとはいえず、本件訂正後の請求項５に係る発明は、当業者が甲第１号証に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
　また、本件の請求項１及び９に係る発明は、いずれも削除されているから、本件の請求項１及び９に係る発明についての特許を無効とすべき理由は解消している。
　 
５　むすび 
　以上のとおり、本件訂正請求は適法であり、かつ、本件訂正請求後の請求項３、４及び６ないし８に係る発明は、本件の特許出願前に頒布された刊行物である甲第１号証に記載された発明であるとはいえず、本件訂正後の請求項５に係る発明は、当業者が甲第１号証に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
　したがって、請求人の主張する理由及び証拠方法によっては本件特許の請求項３ないし８に係る発明についての特許を無効とすることはできない。 
　また、他に、本件特許の請求項３ないし８に係る発明についての特許を無効とすべき理由を発見しない。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、請求人が負担すべきものとする。 
　よって、結論のとおり審決する。