【事件の表示】
　特許第３４２７７６２号「超音波流量計」の請求項３、４及び７に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４２７７６２号の請求項３、４及び７に係る特許を取り消す。
【理　由】
第１．手続の経緯 
　特許第３４２７７６２号の請求項１ないし７に係る発明は、平成１１年１月２１日に特許出願され、平成１５年５月１６日にその特許権の設定登録がされ、その後、請求項３，４及び７に係る特許に対し、特許異議申立人市川良により特許異議の申立がなされ、平成１７年１月６日付け（同月１８日発送）で取消しの理由が通知され、その指定期間内である同年３月２２日に訂正請求がなされたものである。 
 　 
第２．訂正の適否についての判断 
１．訂正の内容 
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
訂正事項
　特許請求の範囲の請求項３ないし７の
「【請求項３】超音波信号を送信する送信器と、前記送信器から送信され流体を介して伝搬した超音波信号を受信する受信器と、前記受信器の出力を受け超音波信号を検知する受信検知回路と、前記送信器が超音波発信してから前記受信検知回路が受信検知するまでの時間を測定する第１のタイマと、前記受信検知回路が受信検知してから前記第１のタイマの値が変化するまでの時間を測定する第２のタイマと、前記第１のタイマおよび前記第２のタイマの測定時間より流量を演算によって求める演算部とを有した超音波流量計。
【請求項４】第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした請求項３記載の超音波流量計。
【請求項５】温度センサを設け、温度センサの出力が設定値以上変化した時に第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした請求項３記載の超音波流量計。
【請求項６】回路の電源電圧を検知する電源電圧センサを設け、電源電圧センサの出力が設定値以上変化した時に第２のタイマを第１のタイマで補正する請求項３記載の超音波流量計。
【請求項７】第２のタイマによる時間測定の直後に前記第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした請求項３記載の超音波流量計。」を、 
「【請求項３】超音波信号を送信する送信器と、前記送信器から送信され流体を介して伝搬した超音波信号を受信する受信器と、前記受信器の出力を受け超音波信号を検知する受信検知回路と、前記送信器が超音波発信してから前記受信検知回路が受信検知するまでの時間を測定する第１のタイマと、前記受信検知回路が受信検知してから前記第１のタイマの値が変化するまでの時間を測定する第２のタイマと、前記第１のタイマおよび前記第２のタイマの測定時間より流量を演算によって求める演算部とを有し
、前記第２のタイマは、ディレイ回路を備え
【請求項４】第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした請求項３記載の超音波流量計。
【請求項５】温度センサを設け、温度センサの出力が設定値以上変化した時に第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした請求項３記載の超音波流量計。
【請求項６】回路の電源電圧を検知する電源電圧センサを設け、電源電圧センサの出力が設定値以上変化した時に第２のタイマを第１のタイマで補正する請求項３記載の超音波流量計。
【請求項７】第２のタイマによる時間測定の直後に前記第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした請求項３記載の超音波流量計。」に訂正する。 
 　 
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否 
　上記訂正事項は、訂正前の請求項３及び請求項３を引用する請求項４ないし７の「第２のタイマ」を「第２のタイマは、ディレイ回路を備えた」と限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的としている。そして、係る限定事項は、願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内のものであるから、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
 　 
３．独立特許要件 
　上記訂正事項は、請求項３についての訂正であるが、請求項３を引用する形式で表現された請求項５及び６についても実質的に訂正するものであり、特許異議の申立てがされていない請求項について、特許請求の範囲の減縮を目的として訂正するものとなるから、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項５及び６に係る発明の独立特許要件について以下に検討する。 
　訂正明細書の請求項５及び６に係る発明は、訂正明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項５及び６に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 
「【請求項５】温度センサを設け、温度センサの出力が設定値以上変化した時に第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした請求項３記載の超音波流量計。
【請求項６】回路の電源電圧を検知する電源電圧センサを設け、電源電圧センサの出力が設定値以上変化した時に第２のタイマを第１のタイマで補正する請求項３記載の超音波流量計。」（なお、引用する請求項３については上記訂正事項を参照。） 
　そして、請求項５に係る発明の「温度センサを設け、温度センサの出力が設定値以上変化した時に第２のタイマを第１のタイマで補正する構成」及び請求項６に係る発明の「回路の電源電圧を検知する電源電圧センサを設け、電源電圧センサの出力が設定値以上変化した時に第２のタイマを第１のタイマで補正する」構成は、特許異議申立人が提出した甲第１号証（特開平１０−１７０３１９号公報）及び甲第２号証（特開平９−１３３５６２号公報）並びに取消しの理由で引用された刊行物１（甲第１号証と同じ）及び刊行物２（特開昭６２−１４５１８７号公報）のいずれの刊行物にも記載あるいは示唆されておらず、この点の構成が当業者であれば容易になし得たものであるとすることはできない。　また、他に訂正明細書の特許請求の範囲の請求項５及び６に係る発明が、出願の際独立して特許を受けることができないものであるとする理由を発見しない。 
　したがって、訂正明細書の請求項５及び６に係る発明は、出願の際、独立して特許を受けることができるものである。 
 　 
４．むすび 
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項において準用する同法第１２６条第２ないし４項の規定に適合するので、上記訂正を認める。
 　 
第３．特許異議の申立てについての判断 
１．本件発明 
　本件特許第３４２７７６２号の請求項３，４及び７に係る発明は、上記訂正に係る訂正明細書及び図面の記載からみて、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項３，４及び７に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 
「【請求項３】超音波信号を送信する送信器と、前記送信器から送信され流体を介して伝搬した超音波信号を受信する受信器と、前記受信器の出力を受け超音波信号を検知する受信検知回路と、前記送信器が超音波発信してから前記受信検知回路が受信検知するまでの時間を測定する第１のタイマと、前記受信検知回路が受信検知してから前記第１のタイマの値が変化するまでの時間を測定する第２のタイマと、前記第１のタイマおよび前記第２のタイマの測定時間より流量を演算によって求める演算部とを有し、前記第２のタイマは、ディレイ回路を備えた超音波流量計。」（以下、「本件発明Ａ」という。）
「【請求項４】第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした請求項３記載の超音波流量計。」（以下、「本件発明Ｂ」という。）
【請求項７】第２のタイマによる時間測定の直後に前記第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした請求項３記載の超音波流量計。」（以下、「本件発明Ｃ」という。）
　
２．刊行物に記載された発明 
（１）当審が平成１７年１月６日付けで通知した取消しの理由で引用した刊行物１（特開平１０−１７０３１９号公報）には、図面とともに以下の事項が記載されている。 
(1a)「【発明の属する技術分野】この発明は、超音波を利用してガスその他の流体を測定する超音波流速測定方法に関する。」（第１欄３１〜３３行）
(1b)「この発明は、・・・周期の短いクロック波を出力するクロック回路を利用しなくても伝搬時間を精度良く測定でき、ひいては高精度な流速測定を可能とする超音波流速測定方法の提供を目的とする。」（第３欄１２〜１６行） 
(1c)「【発明の実施の形態】図１はこの発明を実施するための超音波流速測定装置を示すものである。図１において、（１）は管路、（２）（３）は流れ方向の上流側及び下流側に所定距離を隔てて配置された送受波器、（４）は駆動パルスを発生するパルス発生回路、（５）は送受波器（２）（３）で超音波を受信したときに受信信号を出力する受信回路、（６）は各送受波器（２）（３）とパルス発生回路（４）及び増幅回路（５）の接続を切替える切替回路であり、これらは図７に示したものと同じである。・・・この実施形態では、送信側において、クロック波を出力するクロック回路（７）と、のこぎり波を出力する積分回路（８）とが設けられている。・・・このクロック回路（７）は、図２（ａ）（ｂ）に示すように、送受波器（２）（３）から超音波が送信される時刻刻（Ａ）と同期して、周期Ｔ0 のクロック波を出力するものである。・・・そして、クロック回路（７）の出力側には、カウンタ（９）と演算回路（１０）とが設けられている。このカウンタ（９）は、クロック回路（７）からクロック波が出力され始めた時刻（Ａ）から、前記超音波を送受波器（２）（３）で受信して受信回路（５）から受信信号が出力される時刻（Ｂ）までの時間内、即ち超音波の伝搬時間（τ）内において、クロック回路（７）から出力されたクロック波の個数をカウントするものである。また、演算回路（１０）は、前記カウンタ（９）でカウントされたクロック波の個数に基づいて、クロック回路（７）からクロック波が出力され始めた時刻（Ａ）から、前記受信信号が出力される直前にクロック波が出力された時刻（Ｃ）までの時間（Ｔ）を計算し出力するもので、具体的には以下の式で現される。」（第４欄１０〜４０行） 
(1d)「［実施形態２］図４はこの発明の他の形態を実施するための測定装置を示すものである。この実施形態では、受信側において、実施形態１と同じく周期Ｔ0 、波高値Ｖ0 ののこぎり波を出力する積分回路（８）が設けられており、受信回路（５）から出力される受信信号と同期して該のこぎり波を出力する。・・・そして、積分回路（８）の出力側にはピークホールド回路（１１）が設けられているが、これはＡＮＤ回路（１５）からのホールド信号が出力されたときの積分回路（８）におけるコンデンサの電圧値を保持するものである。このＡＮＤ回路（１５）は積分回路（８）からの出力信号とクロック回路（７）からの出力信号が入力されるものであるから、積分回路からのこぎり波が出力されてから、初めてクロック回路（７）からクロック波が出力される時点（Ｄ）においてホールド信号を出力する。従って、図５（ｃ）に示すように、この時点（Ｄ）において積分回路（８）の出力は積分回路（８）におけるコンデンサの電圧値Ｖに対応する値となっているから、この値がピークホールド回路（１１）に保持されるものとなされている。・・・さらに、ピークホールド回路（１１）の出力側にはピークホールド回路（１１）で保持された電圧値をデジタル変換するＡ／Ｄ変換回路（１２）が設けられ、さらにその出力側には演算回路（１３）が設けられている。この演算回路は、Ａ／Ｄ変換により正確に測定された電圧値Ｖに基づいて、図５（ｃ）に示す端数時間ｔ（ＣＢ）を演算する。即ち、図６に示すように、のこぎり波の立上がり部における時間と電圧値とは比例関係にあるため、・・・受信信号が出力されたときの積分回路におけるコンデンサの電圧値Ｖに基づいて端数時間ｔが求められる。・・・次に、図４に示した装置を用いた超音波測定方法を説明すると、パルス発生回路（４）から駆動パルスを駆動し上流側の送受波器（２）から超音波を送信すると共に、それと同期してクロック回路（７）からクロック波を出力する。・・・そして、クロック波が出力され始めてから受信信号の出力直前にクロック波が出力されるまでの時間Ｔを実施形態１と同様に演算回路（１０）により演算・・・すれば、演算回路（１０）から前記時間Ｔは７Ｔ0 と出力される。・・・一方、送受波器（２）が超音波を受信して、受信回路（５）から受信信号が出力された時（Ｂ）に同期して、積分回路（８）から図５（ｃ）に示すようなのこぎり波が出力される。・・・その後、該積分回路（８）からの出力信号が入力されているＡＮＤ回路（１５）にクロック回路（７）からの出力信号が入力される時点（Ｄ）において、ＡＮＤ回路（１５）がホールド信号を出力するから、この時の積分回路（８）におけるコンデンサの電圧値Ｖをピークホールド回路（１１）によって保持する。この保持された出力値Ｖは、Ａ／Ｄ変換回路（１２）に入力された後、演算回路（１３）に入力され上述の処理により端数時間ｔが出力される。・・・そして、演算回路（６）［当審注：（１０）の誤記と認める。］からの出力値Ｔと演算回路（１３）からの出力値ｔはともに加算回路（１４）に入力され、加算回路（１４）からは、超音波が送受波器（２）から送信されてから送受波器（３）により受信されるまでの伝搬時間τが出力され、次式であらわされる。・・・次に、実施形態１と同様にして、逆流側の伝搬時間を求めた後、伝搬時間差、流体流速、さらには流量を求める。・・・このように、実施形態１のように超音波の送信時のみならず、超音波の受信時において積分回路（８）からのこぎり波を出力しても、端数時間、ひいては超音波の伝搬時間を正確に導出することができる。」（第６欄４２行〜第８欄第２７行） 
　してみると、上記記載事項(1a)〜(1d)から、刊行物１には、以下の発明が記載されていると認める。 
 「管路の上流側及び下流側に所定距離を隔てて配置された送受波器（２）、（３）、駆動パルスを発生するパルス発生回路（４）、送受波器（２）、（３）で超音波を受信したときに受信信号を出力する受信回路（５）と、各送受波器（２）（３）とパルス発生回路（４）及び受信回路（５）の接続を切替える切替回路（６）と、送受波器（２）、（３）から超音波を送信すると共に、それと同期してクロック回路（７）からクロック波を出力するパルス発生回路（４）と、クロック回路（７）からクロック波が出力され始めた時刻（Ａ）から、前記超音波を送受波器（２）（３）で受信して受信回路（５）から受信信号が出力される時刻（Ｂ）までの超音波の伝搬時間（τ）内において、クロック回路（７）から出力されたクロック波の個数をカウントするカウンタ（９）と、カウンタ（９）でカウントされたクロック波の個数に基づいて、時刻（Ａ）から、受信信号が出力される直前にクロック波が出力された時刻（Ｃ）までの時間（Ｔ）を計算し出力する演算回路（１０）と、受信回路（５）から受信信号が出力された時（Ｂ）に同期して、積分回路（８）からのこぎり波が出力し、クロック回路（７）からの出力信号が入力される時点（Ｄ）の積分回路（８）の電圧値（Ｖ）をデジタル変換するＡ／Ｄ変換回路（１２）と、Ａ／Ｄ変換回路（１２）の出力を処理し端数時間（ｔ）を出力する演算回路（１３）と、演算回路（１０）からの時間（Ｔ）と演算回路（１３）からの端数時間（ｔ）を入力し伝搬時間（τ）を出力する加算回路（１４）とを有し、この伝搬時間（τ）から流体流速さらには流量を求める超音波流速測定装置。」（以下、「引用発明」という。） 
 　 
（２）当審が平成１７年１月６日付けで通知した取消しの理由で引用した刊行物２（特開昭６２−１４５１８７号公報）には、図面とともに以下の事項が記載されている。 
(2a)「（１）　被測定時間幅に対応した信号とクロツク信号とを導入し、所謂端数時間に相当するパルス幅の端数時間パルス信号と、ゲーティングクロツク信号とを出力することができる制御回路と、このゲーティングクロツク信号を計数するカウンタと、演算処理を行なうプロセツサとを備え、カウンタの出力と所謂端数時間とから被測定時間幅を計測する装置において、パルス信号を導入し、この信号のパルス幅に応じて電圧が変化する信号を出力する時間−電圧変換器と、この時間−電圧変換器の出力をデジタル信号に変換するAD変換器と、前記プロセツサの制御により、ストツプ端数時間パルス幅を計測する際の初期値が、前のスタート端数時間パルス幅を計測した時の電圧と同値でかつ逆極性の電圧を時間−電圧変換器で発生させるアナログ信号を時間−電圧変換器へ出力するDA変換器と、からなる端数時間測定回路を備えたことを特徴とする時間計測装置。 
 （２） 前記時間−電圧変換器にてクロツク信号の周期に相当する電圧値を得て、この値を用いて前記端数時間に相当する電圧値のバイアス電流の補正を行なうようにした特許請求の範囲第１項記載の時間計測装置。」（特許請求の範囲の欄） 
 (2b)「第４図を用いて本発明に係る時計計測装置の全体を説明する。同図において、１０は入力アンプであり、入力端子ｐ１から導入した被測定の時間幅を持つ信号を波形整形して・・・矩形波に整形する。２０は制御回路であり、被測定の時間幅Ｔxを持つ入力アンプ１０からの信号ｓ１とクロツク信号ｓ２とを導入し、所謂端数時間に相当するパルス幅の端数時間パルス信号ｓ３と、ゲーティングクロツク信号ｓ４とを出力することができる。３０はカウンタであり、制御回路２０から導入したゲーティングクロツク信号ｓ４が或るレベルをよぎる回数を計測する。４０はクロツク発生器であり、周期ｔoの時間基準となるクロツク信号ｓ２を発生する。５０は端数時間測定回路であり、端数時間パルス信号及びクロツク信号と同じ周期の信号を導入し、端数時間の算出の基礎となる信号を出力する機能を有したものである。・・・６０はプロセツサ（例えばマイクロプロセツサ）であり、カウンタ３０と端数時間測定回路５０から信号を導入し、時間幅を算出するための演算を行なうものである。」（３頁左上欄１５行〜右上欄１６行） 
 (2c)「第４図の入力端子ｐ１に印加された被測定の時間幅を有する信号は、入力アンプ１０で波形整形され、・・・制御回路２０に導入される。制御回路２０では、・・・立上がりエッジと立下りエッジとで、それぞれ・・・スタート端数時間パルス（パルス幅ΔT1）とストップ端数時間パルス（パルス幅ΔT2）を出力する。また、制御回路２０では、クロツク発生器４０からクロツク信号ｓ２を導入し、・・・被測定信号（第６図（イ））の立上がりエッジと立下りエッジの後に生ずるクロツク信号Ｃ0とＣnの期間、開放となるゲート回路（図示せず）を有しており、このゲート回路を通過するゲーティングクロツク信号ｓ４をカウンタ３０に出力する。このゲーティングクロツク信号ｓ４はカウンタ３０で計数（カウント数Ｎ）され、その後プロセツサ６０にて、(1)式で示すＮＴ0の演算が施される。一方、端数時間測定回路５０では、・・・端数時間パルスを導入し、以下の動作により端数時間ΔT1とΔT2の差に比例した信号を出力する。時間−電圧変換器１は、・・・スタート端数時間パルスが印加される前は、その電圧値がOVであるとする。スタート端数時間パルスが印加されると、そのパルス幅（ΔT1）の期間、例えば積分動作を行い、パルス終了時の電圧値は−ν1となる。次にこの電圧（−ν1）は、AD変換器５によりデジタル値に変換され、信号ｓ６としてプロセツサ６０に読込まれる。プロセツサ６０では、このスタート端数時間パルス幅（ΔT1）に応じた電圧（−ν1）と逆極性の電圧（ν1）が時間−電圧変換器１の出力に発生するように信号ｓ７をDA変換器７へ出力する。その結果、DA変換器７で生じた（ν1）は、スイツチ９を介して時間−電圧変換器１へ加えられる。・・・このような状態で、次にストツプ端数時間パルスが端子ｐ１へ印加される。時間−電圧変換器１では、例えば積分コンデンサを定電流Ｉで放電し、結局２つの端数時間の差（ΔT1−ΔT2）に比例した電圧ν1−ν2＝νxを得る。これらの処理の後、基準パルスとして、クロツク周期ｔ0に同期した2t0，t0のパルス幅を持つパルスを制御回路２０で発生させ、第１図の端数時間測定回路５０へ加え、上述と同様な処理を行い電圧νyを得る。以上の電圧ν1，νx，νyはＡＤ変換器５でデジタル値に変換されプロセツサ６０に読込まれ、次の演算を施される。・・・ゆえにΔT1−ΔT2＝ｔ0・νx／νy 　(6) 
 このように(1)式における（ΔT1−ΔT2）の項を求めることができる。更に、プロセツサ６０では、カウンタ３０からの信号とともに、(1)式で示す演算を行なつて被測定時間幅Txを求めることができる。」（３頁左下欄２０行〜４頁左下欄１１行） 
　　
３．対比・判断 
（１）本件発明Ａについて 
 　本件発明Ａと引用発明とを対比すると、引用発明の「管路の上流側及び下流側に所定距離を隔てて配置された送受波器（２）、（３）」、「超音波を受信したときに受信信号を出力する受信回路（５）」は、それぞれ本件発明Ａの「超音波信号を送信する送信器と、前記送信器から送信され流体を介して伝搬した超音波信号を受信する受信器」、「受信器の出力を受け超音波信号を検知する受信検知回路」に相当する。そして、引用発明の「クロック回路（７）」、「カウンタ（９）」及び「演算回路（１０）」は、超音波の送信に同期するクロック波が出力され始めた時刻（Ａ）から受信信号が出力される直前にクロック波が出力された時刻（Ｃ）までの時間（Ｔ）を計算していることから、本件発明Ａの「送信器が超音波発信してから受信検知回路が受信検知するまでの時間を測定する第１のタイマ」に相当する。さらに、引用発明では、「積分回路（８）」、「Ａ／Ｄ変換回路（１２）」及び「演算回路（１３）」により、受信信号が出力される時刻（Ｂ）からクロック回路（７）の出力信号が入力される時点（Ｄ）までの端数時間ｔを求めており、このクロック回路（７）からの出力信号は「第１のタイマ」を構成するカウンタ（９）の値を変化させるものであるから、引用発明の「積分回路（８）」、「Ａ／Ｄ変換回路（１２）」及び「演算回路（１３）」は、「受信検知回路が受信検知してから前記第１のタイマの値が変化するまでの時間を測定する」ものである点で本件発明Ａの「第２のタイマ」に相当する。また、引用発明は、時間（Ｔ）と端数時間（ｔ）とから伝搬時間（τ）を求め、この伝搬時間（τ）から流量を求めるものであるから、引用発明の「超音波流速測定装置」が、本件発明Ａの「第１のタイマおよび第２のタイマの測定時間より流量を演算によって求める演算部を有する超音波流量計」であることは明らかである。 
　してみると、本件発明Ａと引用発明とは、次の【一致点】で一致し、【相違点１】にて相違する。 
【一致点】
　超音波信号を送信する送信器と、前記送信器から送信され流体を介して伝搬した超音波信号を受信する受信器と、前記受信器の出力を受け超音波信号を検知する受信検知回路と、前記送信器が超音波発信してから前記受信検知回路が受信検知するまでの時間を測定する第１のタイマと、前記受信検知回路が受信検知してから前記第１のタイマの値が変化するまでの時間を測定する第２のタイマと、前記第１のタイマおよび前記第２のタイマの測定時間より流量を演算によって求める演算部とを有した超音波流量計。
【相違点１】
　本件発明Ａでは、第２のタイマはディレイ回路を備えたものであるのに対し、引用発明では、第２のタイマは「積分回路（８）」、「Ａ／Ｄ変換回路（１２）」及び「演算回路（１３）」により構成されている点。
　
　そこで、上記【相違点１】について検討するに、端数時間を測定する高分解能のタイマとして、ディレイ回路を備えたものを利用することは、例えば、特開平１−２６７４９１号（「本実施例は入力端子１に入力された信号の条件によりトリガ発生回路３が駆動され、測定開始信号ａを送出する。信号ａはゲート回路９に作用し、発振回路８で生成される周期Ｔのカウントパルスｂをカウンタ回路１１に送る。・・・また信号ａはΔｔ時間遅延をもつ遅延素子をｎ＝Ｔ／Δｔ個直列接続した遅延回路５に入力され、回路５は遅延信号ｃ１〜ｃｎをｎ個のフリップフロップ回路６に送出する。ゲート回路４は信号ａに作用され、パルスｂ・・・の最初に到達したエッジを回路６の各クロック端子に入力後、ゲートを閉じる。回路６は回路４の出力信号エッジに同期し信号ｃ１〜ｃｎを記憶し、信号ｄ１〜ｄｎをデコード回路７に入力する。回路７は信号ｄ１〜ｄｎによるｎ種類の論理パターンを、信号ａのエッジから信号ｂ・・・のエッジが到達するまでの時間に変換し演算回路１５に入力する。」（３頁左上欄５行〜右上欄５行））、並びに実願平２−１５３２８号（実開平３−１０９０９６号）のマイクロフィルム（「ストップ端数ならびにスタート端数を測定するために専用の特殊な回路を設けず、遅延回路とラッチを使用した簡単な構成の回路で端数の測定を可能にする。すなわち、基準クロックを、多数の遅延素子を直列接続してなる遅延線に入力し、各遅延素子の終端から並列に遅延信号を取り出す。各遅延素子の遅延量は同一かつ固定されているため、並列に取り出される遅延信号のそれぞれは、基準クロックに対して通過した遅延素子の数に比例した遅延量を有し、時間の経過とともに各遅延信号のレベルはサイクリックに変化していく。スタート信号（あるいはストップ信号）が入力されたタイミングでラッチ回路は、上述した並列遅延信号を、電圧の高低に対応したデジタル値としてラッチし出力する。出力される並列データは、基準クロックのエッジとスタート（ストップ）信号の入力タイミングとの時間的ずれを示す情報を含むデジタルデータとなっている。従って、このデータを分析することにより、具体的な端数時間を知ることができる。」（明細書７頁２行〜８頁２行）及び「以上説明したように本考案は、遅延回路とラッチを用いて端数時間を測定する構成とすることにより、以下の効果が得られる。（１）従来回路のようなアナログ処理が必要なく、デジタル回路のみで回路を構成でき、技術的にも容易に実現可能である。」（明細書１２頁１７行〜１３頁２行））にみられるごとく周知である。したがって、引用発明において、「積分回路（８）」、「Ａ／Ｄ変換回路（１２）」及び「演算回路（１３）」で構成される第２のタイマを、上記周知のディレイ回路を備えたものに変更することに格別の困難性はない。
　そして、本件発明Ａの奏する効果は、引用発明及び刊行物２に記載された発明並びに周知技術から容易に予測しうる程度のものである。 
　また、この点に関し、特許権者は、平成１７年３月２２日付けで提出した特許異議意見書において、「本件の請求項３に係る発明と刊行物１に記載の発明とを対比すると、本件の請求項３に係る発明は、第２のタイマがディレイ回路を備えているのに対し、刊行物１に記載の発明は、・・・と記載され、端数時間ｔ（ＣＢ）を演算するタイマ（本件発明の第２のタイマに相当）がアナログ信号を用いディジタル信号に変換する点が示されてますが、ディレイ回路を備えディジタル信号処理手段のみでタイマを構成する点について記載がなく、Ａ／Ｄ変換回路のような複雑で消費電力量の大きな部品を用いることなく、比較的簡単な構成でタイマを実現でき、ＩＣ化し易くかつ低消費電力の超音波流量計を実現できるという効果を奏し得ません。」（２頁２１行〜３頁６行）と主張している。しかし、端数時間をディレイ回路を備えたタイマにて測定することは、上記のとおり周知であり、その効果も上記周知技術から予測し得る範囲内のものであるから、特許権者の上記主張は採用できない。
　よって、本件発明Ａは、引用発明１に記載された発明並びに周知技術に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
（２）本件発明Ｂについて
　本件発明Ｂは、本件発明Ａを引用して、さらに第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした点を限定したものである。そこで、本件発明Ｂと引用発明とを対比すると、上記「（１）本件発明Ａについて」と同様にして、本件発明Ｂと引用発明とは、上記【一致点】で一致し、上記【相違点１】及び次の【相違点２】にて相違する。
【相違点２】
　本件発明Ｂは、第２のタイマを第１のタイマで補正する構成としたものであるのに対し、引用発明には、第２のタイマを補正することについて記載がない点。
　　
　ここで、上記【相違点１】についての判断は、「（１）本件発明Ａについて 」において検討したとおりである。次に、上記【相違点２】について検討するに、刊行物２には、クロツク信号を計数するカウンタ３０と、時間−電圧変換器１からなり端数時間を出力する端数時間測定回路５０とからなる時間計測装置において、クロツク信号のクロツク周期に周期したパルス幅を持つパルスを端数時間測定回路５０へ加えたときの時間−電圧変換器１の出力νyを用いて端数時間を算出することが記載されており、この記載によれば、時間−電圧変換器１からなる端数時間測定回路５０をクロック信号で補正する構成としたものである。そして、引用発明と刊行物２に記載された発明とは、ともに端数時間を求める時間測定という同一の技術分野に属するものであるから、引用発明に刊行物２に記載された発明を適用し、「第２のタイマ」を、第１のタイマからのクロック信号にて補正することで、本件発明Ｂのごとく構成することに格別の困難性はない。
　そして、本件発明Ｂの奏する効果は、引用発明及び刊行物２に記載された発明並びに周知技術から容易に予測しうる程度のものである。 
　また、この点に関し、特許権者は、特許異議意見書において、「さらに第２のタイマを第１のタイマで補正するので、第２のタイマは短い時間の安定度を容易に実現できるものです。」（３頁２０〜２３行）と主張しているが、第２のタイマは短い時間の安定度を容易に実現できることは、刊行物２に記載された発明の効果と異なるものでなく、上記主張は格別のものでない。
　よって、本件発明Ｂは、引用発明１及び刊行物２に記載された発明並びに周知技術に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
 　　
（３）本件発明Ｃについて 
　本件発明Ｃは、本件発明Ａを引用して、さらに第２のタイマによる時間測定の直後に前記第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした点を限定したものである。そして、本件発明Ｃと引用発明とを対比すると、上記「（１）本件発明Ａについて」と同様にして、本件発明Ｃと引用発明とは、上記【一致点】で一致し、上記【相違点１】及び次の【相違点３】にて相違する。
【相違点３】
　本件発明Ｃが、第２のタイマによる時間測定の直後に前記第２のタイマを第１のタイマで補正する構成としたものであるのに対し、引用発明には、第２のタイマを補正することについて記載がない点。 
　ここで、上記【相違点１】についての判断は、「（１）本件発明Ａについて 」において検討したとおりである。次に、上記【相違点３】について検討するに、上記「（２）本件発明Ｂについて」において検討したとおり、引用発明に刊行物２に記載された発明を適用し、第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とすることに格別の困難性はない。しかも、刊行物２には係る補正について、「これらの処理の後、基準パルスとして、クロツク周期t0に同期した2t0，t0のパルス幅を持つパルスを制御回路２０で発生させ、・・・次の演算を施される。」（摘記事項(2c)参照）と記載されており、補正が時間測定の後に行われることが示唆されている。また、このような補正のための測定は、実際の測定条件と同じ条件で行うことが望ましいことは、例えば、特開平１０−６２３７５号公報（「【０００３】ところで、電極法を採用する場合には、電極応答のドリフトが避けられず、このドリフトを補正するため試料液測定の直前又は直後に校正液を測定して、補正量を算出しこの値を使用して試料液の濃度計算を行っている。」）にみられるごとく、当業者にとって自明な事項であるから、刊行物２に記載された時間測定の後に行われる補正を、測定条件がほぼ同様とみなせる時間測定の直後に行うものとすることは、当業者であれば適宜なし得た事項に過ぎない。
　そして、本件発明Ｃの奏する効果は、引用発明及び刊行物２に記載された発明から容易に予測しうる程度のものである。 
　また、この点に関し、特許権者は、特許異議意見書において、「しかしながら、刊行物２には、より測定時に近い状態で正確に補正を行うという課題が示されておらず、時間測定の直後に補正を行う必然性を見出し得ません。第２のタイマは動作開始後温度が上昇し、動作訂正後温度が低下してしまい、この温度変化に伴って回路の特定が変化する点に着目して、本件の請求項７に係る発明は、第２のタイマの正確な補正を行うことを目的に、より測定時に近い状態である時間測定の直後に補正を行うことにより、第２のタイマの動作が計測中とほとんど同じ状態で補正することができるので、分解能の良い性格な補正を行うことができる、という格別の効果を奏するものであります。」（４頁２０〜２７行）と主張している。しかし、上記のとおり、補正のための測定は、実際の測定条件と同じ条件で行うことが望ましいことは当業者にとって自明な事項であるから、刊行物２に記載された時間測定の後に行われる補正を、測定条件がほぼ同様とみなせる時間測定の直後に行うものとすることも当業者であれば適宜なし得た事項であって、格別のものでない。
　よって、本件発明Ｃは、引用発明及び刊行物２に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
 　 
４．むすび 
　以上のとおりであるから、本件発明ＡないしＣは、刊行物１及び２に記載された発明並びに周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、本件発明ＡないしＣについての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件の請求項３，４及び７に係る特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年５月１２日（２００５．５．１２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
超音波流量計
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】超音波信号を送信する送信器と、前記送信器から送信され流体を介して伝搬した超音波信号を受信する受信器と、前記受信器の出力を受け超音波信号を検知する受信検知回路と、前記受信検知回路の出力を受け前記送信器へ出力し再度超音波の送信を行わせる遅延手段と、前記受信検知回路の検知回数をカウントするカウンタと、前記送信器による超音波発信開始から前記カウンタがあらかじめ設定した値に達するまでの時間を複数回繰り返し測定するタイマと、前記タイマの出力信号より流量を演算によって求める演算部と、前記遅延手段の遅延時間を複数回繰り返し行う測定毎に順次変更制御する遅延制御部とを有した超音波流量計。
　【請求項２】遅延制御部は、演算部の出力が設定値以上のときには遅延時間を一定とするように遅延手段を制御する請求項１記載の超音波流量計。
　【請求項３】超音波信号を送信する送信器と、前記送信器から送信され流体を介して伝搬した超音波信号を受信する受信器と、前記受信器の出力を受け超音波信号を検知する受信検知回路と、前記送信器が超音波発信してから前記受信検知回路が受信検知するまでの時間を測定する第１のタイマと、前記受信検知回路が受信検知してから前記第１のタイマの値が変化するまでの時間を測定する第２のタイマと、前記第１のタイマおよび前記第２のタイマの測定時間より流量を演算によって求める演算部とを有し
、前記第２のタイマは、ディレイ回路を備え
　【請求項４】第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした請求項３記載の超音波流量計。
　【請求項５】温度センサを設け、温度センサの出力が設定値以上変化した時に第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした請求項３記載の超音波流量計。
　【請求項６】回路の電源電圧を検知する電源電圧センサを設け、電源電圧センサの出力が設定値以上変化した時に第２のタイマを第１のタイマで補正する請求項３記載の超音波流量計。
　【請求項７】第２のタイマによる時間測定の直後に前記第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とした請求項３記載の超音波流量計。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、特に超音波によって流量を測定する装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来の超音波流速計は、図７に示すように、流体管路１に超音波振動子２および３を流れの方向に相対して設置し、制御部４はタイマ５をスタートさせると同時に駆動回路６に発信信号を出力する。駆動回路６の出力を受けた超音波振動子２から超音波を送信し、超音波振動子３で受信する。そして、超音波振動子３の出力を受けた受信検知回路７で超音波を検知し、タイマ５によって超音波が送信されてから検知されるまでの時間を測定し、この時間から演算部８によって流体管路１の中の流速を演算によって求めていた。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら上記従来の構成では、測定分解能がタイマ５の分解能によって制限され、単に測定値を平均処理したのでは測定精度が上がらず、分解能が必要な測定を行うにはタイマ５の分解能を高くする必要かある。つまりタイマ５を高い周波数で動作させる必要があった。しかしタイマ５の動作クロックを高周波数に変更すると、消費電流や、高周波ノイズが増大したり、又回路規模が増大するなどの課題があった。
　【０００４】
　【課題を解決するための手段】
　本発明の超音波流量計においては、超音波信号を送信する送信器と、前記送信器から送信され流体を伝搬した超音波信号を受信する受信器と、前記受信器の出力を受け超音波信号を検知する受信検知回路と、前記受信検知回路の出力を受け前記送信器へ出力し再度超音波の送信を行わせる遅延手段と、前記受信検知回路の検知回数をカウントするカウンタと、少なくとも前記送信器による超音波発信開始から前記カウンタがあらかじめ設定した値に達するまでの時間を複数回繰り返し測定するタイマと、前記タイマの出力信号より流量を演算によって求める演算部と、前記遅延手段の遅延時間を複数回繰り返し行う測定毎に順次変更制御する遅延制御部とを備えたものである。
　【０００５】
　この本発明によれば、遅延時間とタイマの分解能の差で決まる分解能で測定を行うことができ、遅延時間を適当な値とすることによって、簡単な構成で高精度の測定を行うことができる。
　【０００６】
　【発明の実施の形態】
　超音波信号を送信する送信器と、前記送信器から送信され流体を伝搬した超音波信号を受信する受信器と、前記受信器の出力を受け超音波信号を検知する受信検知回路と、前記受信検知回路の出力を受け前記送信器へ出力し再度超音波の送信を行わせる遅延手段と、前記受信検知回路の検知回数をカウントするカウンタと、少なくとも前記送信器による超音波発信開始から前記カウンタがあらかじめ設定した値に達するまでの時間を複数回繰り返し測定するタイマと、前記タイマの出力信号より流量を演算によって求める演算部と、前記遅延手段の遅延時間を複数回繰り返し行う測定毎に順次変更制御する遅延制御部とを有するものである。
　【０００７】
　そして前記送信器から流れ方向に超音波を発生し、この超音波を前記受信器で検出すると前記遅延手段を経て再び送信器から超音波を発生させ、この繰り返しを前記カウンタの出力が設定回数になるまで繰り返す。その時間を前記タイマで計測する。逆に第２の超音波振動子から流れに逆らって超音波を発生し同様の繰り返し時間を計測し、この時間の差から流体の速度を演算する。このため測定毎に遅延時間を遅延制御部が変更することによって、測定分解能を高くすることができ、なおかつ受信検知から次の送信までの間に遅延時間が入るので、以前送信した超音波の反射波と本来受信すべき超音波とを重複して受信することを防ぐことができる。
　【０００８】
　そして、遅延時間を順次変え超音波の送受信を行うので、測定精度を遅延時間とタイマの分解能の差で決まる分解能で測定を行うことができる。よって遅延時間を適当な値とすることによって簡単な構成で、高精度の測定を行うことができる。さらに繰り返し動作に伴う雑音で発生する測定誤差や、送受信器の自己振動で発生する測定誤差を計測中に遅延時間を変更し規則性を乱すことで均一に分散しなおかつ繰り返し測定によって平均化を行う必要がないのでまたくり返し計測によって平均化を同時に行なうので安定な測定をすばやく行うことができる。
　【０００９】
　なお、伝搬時間が温度によって変化するためシングアラウンド方式では超音波の送信間隔は温度特性を持つ。このため測定間隔の規則性によって起こる誤差も温度特性を持つ。したがって、同じ流量でも温度が変化すると測定結果が変化するという現象があるものの、本発明ではこの誤差を均一に分散させ平均化するので、温度変動に影響されない超音波流量計を実現できるものである。
　【００１０】
　また遅延制御部は、演算部の出力が設定値以上のときには遅延時間を一定とするように遅延手段を制御するものである。流量が大きく時間の測定分解能が必要でないときには遅延時間を入れずに測定を行うので、少ない測定回数で流量が測定でき、低消費力で測定できる。
　【００１１】
　また超音波信号を送信する送信器と、前記送信器から送信され流体を伝搬した超音波信号を受信する受信器と、前記受信器が受信し出力する信号から超音波の受信を検知する受信検知回路と、少なくとも前記送信器が超音波発信してから前記受信検知回路が受信検知するまでの時間を測定する第１のタイマと、前記受信検知回路が受信検知してから前記第１のタイマ値が変化するまでの時間を測定する第２のタイマと、前記第１のタイマおよび前記第２タイマの測定時間より流量を演算によって求める演算部とを有するものである。
　【００１２】
　そして前記第１のタイマの値から前記第２のタイマの値を引いた値によって流量の演算を行うので、計時分解能は前記第２のタイマと同等になる。そして第２のタイマの動作時間は非常に短いので消費電力を小さくすることができ、分解能の高い流量計を低消費電力で実現することができる。
　【００１３】
　また第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とするものである。このため補正後流量測定するまでの間前記第２のタイマが安定に動作すれば正確な流量測定ができるので、前記第２のタイマに長期的な安定性がなくても正確な測定を行うことができる。さらに一般的な部品で容易に高精度の流量計を実現できる。
　【００１４】
　また温度センサを設け、温度センサの出力が設定値以上変化した時に第２のタイマを第１のタイマで補正するものである。このため、前記第２のタイマが温度変化に対して特性が変化するものであっても温度変化が起こる都度補正し正確な測定を行うことができる。と同時に、必要なときだけ補正を行うので、消費電力を小さくすることができる。
　【００１５】
　また回路の電源電圧を検知する電源電圧センサを設け、電源電圧センサの出力が設定値以上変化した時に第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とするものである。このため、前記第２のタイマが電源電圧変化に対して特性が変化するものであっても電源電圧変化が起こる都度補正し正確な測定を行うことができる。同時に、定期的に補正を行う必要がないので、消費電力を小さくすることができる。
　【００１６】
　また計測の直後に第２のタイマを第１のタイマで補正する構成とするものである。そして計測から補正までの時間が短く前記第２のタイマの動作が計測中と近い状態で補正するので、簡単な構成で正確な補正を行うことができる。
　【００１７】
　【実施例】
　以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
　【００１８】
（実施例１）
　図１を用いて請求項１および２を説明する。図１は本発明の実施例１の超音波流量計のブロック図である。
　【００１９】
　図１において、流体管路１の途中に超音波を発信する第１の超音波振動子２と受信する第２の超音波振動子３を流れ方向に配置している。制御部４はトリガ回路９に計測開始の信号を出力すると同時にタイマ５の時間計測をスタートさせる。トリガ回路９はタイマ５のカウントＵＰタイミングを入力しておりカウントＵＰタイミングと同じタイミングで駆動回路６に計測信号を出力する。駆動回路６は信号入力があると超音波振動子２を駆動し超音波を発信する。発信された超音波は流体を伝播し超音波振動子３で受信される。受信検知回路７は超音波振動子３の出力を入力し信号処理して遅延手段１０に出力する。遅延手段１０は遅延制御部１１によって設定された時間だけ信号を遅らせて駆動回路６へ出力する。信号を入力した駆動回路６は再度超音波振動子２を駆動し超音波を発信する。この繰り返しはカウンタ１２で数えられ設定値になるまで繰り返される。カウンタ１２は繰り返し回数が設定値になると、タイマ５をストップさせる。演算部８ではタイマの時間計測結果を受け取り演算によって流量を求める。
　【００２０】
　タイマ５で計測した時間は超音波の伝播時間と遅延時間の繰り返し回数倍とを含んでいる。そのため演算部８ではタイマ５の測定結果を繰り返し回数で割ってさらに遅延時間を引き伝播時間（１回目）を求める。さらに同様に測定を行うが、この時遅延時間のトータルが変わるように遅延時間を変更して伝播時間（２回目）を求める。さらに同様に測定毎に遅延時間を変更して伝播時間（３回目）、（４回目）を求め、平均化することによって超音波の伝播時間を求める。
　【００２１】
　こうすることによって、測定分解能を遅延時間の分解能で得ることができる。つまり、遅延時間の分解能をタイマ５の分解能よりも大きくすることによってより高精度な測定を行うことができる。
　【００２２】
　さらに遅延手段１０を適当な時間たとえば伝播時間の約２／３に設定することによって超音波振動子２から発信した超音波が、その前の繰り返しのときに超音波音波振動子２から発信し超音波振動子３と２に反射して再度超音波振動子３に到達する超音波と重複しないようにし、誤差原因を未然に避けることができる。
　【００２３】
　また演算部８の計算結果があらかじめ演算部に設定した値よりも大きい場合演算部８は遅延制御部１１に遅延停止信号を出力し遅延制御部１１の動作を停止させる。演算部８の演算結果が大きい場合つまり測定流量が多い場合には、伝搬時間の変化が大きくなり、タイマの分解能と比べ十分変化している場合には測定精度は相対的に高くなる。このため遅延制御部１１の動作を止めても測定精度が落ちることはない。このため遅延時間を短く固定することによって計測時間が短くなり低消費電力化を行うことができると同時に、遅延時間の切り換えに伴うノイズの発生を押さえることができる。
　【００２４】
　また、図２は遅延手段の一例を示すブロック図である。図において１０Ａは遅延回路であり、外部からの入力がＯＲ回路１３を通して入ってくると一定時間遅れて出力を発生する。遅延回路１０Ａの出力は同回路の入力にＡＮＤ回路１４とＯＲ回路１３を通してフィードバックされており、ＡＮＤ回路１４の他端がＬＯになるまで動作を繰り返す。１５はカウンタであり遅延回路１０Ａの出力を数え、設定部１６が設定された値に達すると外部へ出力を行うと同時に、ＡＮＤ回路１４の入力の一方をＬＯとする。遅延回路１０Ａは遅延時間がタイマ５の時間分解能よりも短い時間としている。カウンタ１５の設定回数を変えることで、遅延時間を容易に変更することができる。そのため簡単な構成で容易に遅延時間を変更することができ、変更間隔を均一にすることができる。
　【００２５】
（実施例２）
　図３から図５を用いて請求項３を説明する。図３は本発明の実施例２の超音波流速計のブロック図である。
　【００２６】
　図３において、流体管路１の途中に超音波を発信する第１の超音波振動子２と受信する第２の超音波振動子３を流れ方向に配置している。制御部４は駆動回路６に計測開始の信号を出力すると同時に第１のタイマ５Ａの時間計測をスタートさせる。駆動回路６は信号入力があると超音波振動子２を駆動し超音波を発信する。発信された超音波は流体を伝播し超音波振動子３で受信される。受信検知回路７は受信した超音波信号を入力し信号処理して第１のタイマ５Ａおよび第２のタイマ１８へ出力する。第１のタイマ５Ａは受信検知回路７からの入力信号をうけ時間計測をストップさせる。第２のタイマ１８は受信検知回路７の出力を受け計時を開始し、第１のタイマ５Ａから出力されているカウントアップタイミングに同期し計時をストップさせる。演算部８では第１のタイマ５Ａおよび第２のタイマ１８の時間計測結果を受け取り演算によって流量を求める。
　【００２７】
　図４に第１のタイマ５Ａおよびタイマ１８の動作タイミングを示す。図４に示すように第１のタイマ５ＡはＡで示す部分を余分に測定している。第１のタイマ５Ａの測定分解能が図４のＢで示す間隔となっているため測定誤差となるＡの部分は測定のほぼ毎回に発生している。そこで余分なＡ部を第２のタイマ１８で測定し演算部８で引き、より分解能の高い超音波の伝播時間を求め正確な流量値を得ている。
　【００２８】
　また本実施例では第２のタイマ１８に、図５に示す回路を用いている。動作はＡＮＤ回路１４Ａの入力信号の一部と、出力がカウンタの値に変わった以外は実施例１の図２に示した回路と同じであり説明は省略する。水晶振動子を使用したタイマなどではクロックが安定するまでに時間がかかり、このようなすばやい立ち上がり動作が求められる回路では使用できない。しかし図５に示すような回路を使うことによって、非同期ですばやく動作するタイマを容易に実現することができる。
　【００２９】
　また遅延手段としては、ディレイライン、インバータを複数つないだものなどを使用することができる。
　【００３０】
（実施例３）
　図６を用いて請求項４から７を説明する。図６は本発明の実施例３の超音波流速計のブロック図である。
　【００３１】
　図６において、図３と異なるところは制御部４の出力が第２のタイマ１８のスタート入力につながっているところと、制御部４に温度センサ１９と電源電圧センサ２０の出力が接続されているところである。計測時の動作は実施例２と同等なので省略する。
　【００３２】
　次に動作を説明すると、制御部４は第１のタイマ５Ａをスタートすると同時に第２のタイマ１８のスタート入力に信号出力しタイマ１８をスタートする。第１のタイマ５Ａがカウントアップするタイミングとなると、第１のタイマ５Ａから第２のタイマ１８にカウントアップタイミングと同期した信号が発生し第２のタイマ１８を停止させる。この値を演算部８で処理し、第２のタイマ１８の１クロックあたりの時間を求め演算に使用する第２のタイマ１８の１クロックあたりの時間を補正する。
　【００３３】
　この動作を温度センサ１９または、電源電圧センサ２０の出力がそれぞれ設定した値以上変動した場合に行う。このようにすることで、第２のタイマ１８は温度、電源電圧に対する安定度は不要となり、安価な部品を使用することができるようになる。さらに、頻繁に補正を行う必要もなく、消費電力を低く押さえる事ができる。
　【００３４】
　また、測定の直後に補正を行うことによって、より測定時に近い状態で正確に補正を行うことができる。また、低消費電力化のために電源供給を停止してスリープ動作を行う様にしている場合、補正のためだけに電源を投入する必要がなく効率がよくなる。
　【００３５】
　【発明の効果】
　以上の説明から明らかのように本発明の超音波流速計によれば次の効果を奏する。
　【００３６】
　（１）測定毎に遅延時間を遅延制御部が変更し数回測定を行い平均化演算を行うことによって、低い分解能のタイマで測定時間の分解能をあげることができるので、流量の測定分解能をあげることができる。また同じ分解能のタイマを使用した超音波流量計に比べ低消費電力の超音波流量計を実現することができる。なおかつ受信検知から次の送信までの間に遅延時間が入るので、以前送信した超音波の反射波と本来受信すべき超音波とを重複して受信することを防ぐことができる。そして、遅延時間を順次変え超音波の送受信を行うので、測定精度を遅延時間とタイマの分解能の差で決まる分解能で測定を行うことができる。よって遅延時間を適当な値とすることによって簡単な構成で、高精度の測定を行うことができる。さらに繰り返し動作に伴う雑音で発生する測定誤差や、送受信器の自己振動で発生する測定誤差を計測中に遅延時間を変更し規則性を乱すことで均一に分散するので安定な測定をすばやく行うことができる。
　【００３７】
　（２）一定以上の流量が流れた時には遅延時間を入れないように遅延制御部が制御するので、少流量から大流量まで分解能を落とすことなく測定できるとともに、低消費電力の超音波流量計を実現することができる。
　【００３８】
　（３）第２のタイマによって、受信検知から次のタイマのカウントアップ・タイムまでの時間を測定することによって、第１のタイマより分解能が高い測定をすることができる。また、同じ分解能の超音波流量計と比較して、受信検知後にわずかな時間第２のタイマを動作させればよいので、消費電力も小さくすることができる。
　【００３９】
　（４）第２のタイマを第１のタイマで補正するので、第２のタイマは短い時間の安定度さえあればよく、特殊な部品を使用する必要がない。このため高分解能の流量計を容易に実現できる。
　【００４０】
　（５）温度センサの出力が設定値以上変動した場合に第１のタイマによって第２のタイマを補正するので、第２のタイマが温度の変化によって動作が大きく変化するものであっても使用することが可能となる。
　【００４１】
　（６）電源電圧センサの出力が設定値以上変動した場合に第１のタイマによって第２のタイマを補正するので、第２のタイマが電圧の変化によって動作が大きく変化するものであっても使用することが可能となる。
　【００４２】
　（７）第２のタイマを使用した直後に補正を行うので、第２のタイマの動作が計測中とほとんど同じ状態で補正することができ、分解能の良い補正を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の実施例１における超音波流量計のブロック図
　【図２】
　同流量計の遅延手段の一例を示すブロック図
　【図３】
　本発明の実施例２における超音波流量計のブロック図
　【図４】
　同流量計の第１のタイマ５Ａおよび第２のタイマ１８の動作タイミング図
　【図５】
　同流量計の第２のタイマ１８の詳細なブロック図
　【図６】
　本発明の実施例３における超音波流量計のブロック図
　【図７】
　従来の超音波流量計を示す図
　【符号の説明】
　２　送信器
　３　受信器
　４　制御部
　５　タイマ
　５Ａ　第１のタイマ
　７　受信検知回路
　８　演算部
　１０　遅延手段
　１１　遅延制御部
　１２　カウンタ
　１８　第２のタイマ
　１９　温度センサ
　２０　電源電圧センサ