【事件の表示】
　上記当事者間の特許第２５３１７８８号発明「狭帯域発振エキシマレ―ザ」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第２５３１７８８号発明の明細書の請求項１ないし３、５ないし６に記載された発明についての特許を無効とする。
　特許第２５３１７８８号発明の明細書の請求項４、７ないし１０に記載された発明についての審判請求は、成り立たない。
　審判費用は、その２分の１を請求人の負担とし、２分の１を被請求人の負担とする。
【理　由】
１、手続きの経緯
　　本件特許の出願　      　平成1年5月18日
　　特許権設定登録　　      平成8年6月27日
　　無効審判請求　          平成10年5月29日
　　答弁書及び訂正請求      平成10年9月3日
　　口頭審理　　　　　      平成11年6月17日
　　再答弁書　　　　　　　　平成11年8月6日
　　訂正拒絶理由及び審尋　　平成11年11月19日
　　意見書及び回答書　　　　平成12年2月14日　　　　　　　　　　
２、訂正の適否
（訂正の内容）
　明細書の第1頁の第8行から第9行に記載の「前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように」を「前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、かつ前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように」に訂正し(以下「訂正事項1」という。)、明細書の第1頁の第21行から第22行に記載の「前記グレーティングを、その線引方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように配置するとともに、」を「前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、前記グレーティングを配置するとともに、」に訂正し(以下「訂正事項2」という。)、明細書の第1頁の第27行から第28行に記載の「前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように」を「前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、かつ前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように」に訂正し(以下「訂正事項3」という。)、明細書の第2頁の第5行から第6行に記載の「前記グレーティングを、その線引方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように配置するとともに」を「前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、前記グレーティングを配置するとともに」に訂正し(以下「訂正事項4」という。)、明細書の第2頁の第12行から第13行に記載の「前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように」を「前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、かつ前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように」に訂正し(以下「訂正事項5」という。)、　明細書の第2頁の第20行から第21行に記載の「前記グレーティングを、その線引方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように配置するとともに」を「前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、前記グレーティングを配置するとともに」に訂正し(以下「訂正事項6」という。)、明細書の第2頁の第28行から第29行に記載の「前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように」を「前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、かつ前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように」に訂正し(以下「訂正事項7」という。)、明細書の第4頁の第23行から第24行に記載の「その線引方向がレーザの放電方向と略垂直になるように配置し、」を「その溝方向がレーザの放電方向と略平行になるように配置し、」に訂正し(以下「訂正事項8」という。)、明細書の第5頁の第4行から第5行に記載の「グレーティングの線引方向をレーザの放電方向と略垂直にすることにより」を「グレーティングの溝方向をレーザの放電方向と略平行にすることにより」に訂正し(以下「訂正事項9」という。)明細書の第1頁の第5行の「波長選択素子として」を「単一の光共振器を有し、波長選択素子として」に訂正し(以下「訂正事項10」という。)、明細書の第1頁の第19行の「波長選択素子として」を「単一の光共振器を有し、波長選択素子として」に訂正し(以下「訂正事項11」という。)、明細書の第1頁の第24行の「波長選択素子として」を「単一の光共振器を有し、波長選択素子として」に訂正し(以下「訂正事項12」という。)、明細書の第2頁の第2行の「波長選択素子として」を「単一の光共振器を有し,波長選択素子として」に訂正し(以下「訂正事項13」という。)、　明細書の第2頁の第8行の「波長選択素子として」を「単一の光共振器を有し、波長選択素子として」に訂正し(以下「訂正事項14」という。)、　明細書の第2頁の第17行の「波長選択素子として」を「単一の光共振器を有し、波長選択素子として」に訂正し(以下「訂正事項15」という。)、　明細書の第2頁の第24行の「波長選択素子として」を「単一の光共振器を有し、波長選択素子として」に訂正し(以下「訂正事項16」という。)、明細書の第4頁の第23行の「この発明の狭帯域発振エキシマレーザにおいては」を「この発明の狭帯域発振エキシマレーザにおいては単一の光共振器を有し、」に訂正し(以下「訂正事項17」という。)、明細書の第1頁の第7行の「において、」を「において、前記グレーティングを、エシエールタイプのグレーティングとし、」に訂正し(以下「訂正事項18」という。)、明細書の第1頁の第20行の「において、」を「において、前記グレーティングを、エシエールタイプのグレーティングとし、」に訂正し(以下「訂正事項19」という。)、明細書の第1頁の第26行の「において、」を「において、前記グレーティングを、エシエールタイプのグレーティングとし、」に訂正し(以下「訂正事項20」という。)、明細書の第2頁の第3行の「において、」を「において、前記グレーティングを、エシエールタイプのグレーティングとし、」に訂正し(以下「訂正事項21」という。)、明細書の第2頁の第10行の「において、」を「において、前記グレーティングを、エシエールタイプのグレーティングとし、」に訂正し(以下「訂正事項22」という。)、明細書の第2頁の第18行の「において、」を「において、前記グレーティングを、エシエールタイプのグレーティングとし、」に訂正し(以下「訂正事項23」という。)、明細書の第2頁の第26行の「において、」を「において、前記グレーティングを、エシエールタイプのグレーティングとし、」に訂正し（以下「訂正事項24」という。）、明細書第1頁の第11行〜12行に記載の「（2）前記ビームエキスパンダは、プリズムを用いて構成され、前記プリズムの稜線方向は前記放電方向と略平行にされる請求項（1）記載の狭帯域エキシマレーザ。」を削除し、これに伴い、請求項（3）〜請求項（10)の項の番号（3）〜（10）を、(2)〜(9)に整理し直す(以下「訂正事項25」という。)。　
（訂正の目的、新規事項及び拡張・変更の有無）
　訂正請求に係る請求項１及び５における、「前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように」を「前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、かつ前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように」とする訂正は、願書に添付した明細書及び図面の記載事項の範囲内の補正であり、かつ明瞭でない記載の釈明に相当すると認められる。
　訂正請求に係る請求項４及び６における、「前記グレーティングを、その線引方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように配置するとともに、」を「前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、前記グレーティングを配置するとともに、」とする訂正も、願書に添付した明細書及び図面の記載事項の範囲内の補正であり、かつ明瞭でない記載の釈明に相当すると認められる。
　訂正請求に係る請求項１及び４〜９における、「波長選択素子として」を「単一の光共振器を有し,波長選択素子として」とする訂正は、「単一の光共振器」が願書に添付した図面に記載されているので、願書に添付した明細書及び図面の記載事項の範囲内の補正であり、かつ特許請求の範囲の減縮に相当するものと認める。
　訂正請求に係る請求項１及び４〜９における、「において、」を「において、前記グレーティングを、エシエールタイプのグレーティングとし、」とする訂正も、願書に添付した明細書及び図面の記載事項の範囲内の補正であり、かつ特許請求の範囲の減縮に相当するものと認める。
　請求項２を削除する訂正も、特許請求の範囲の減縮に相当するものと認める。
　したがって、本件の各訂正事項には、新規事項は含まれておらず、かつ拡張・変更も存在しない。
（独立特許要件について）
イ、 訂正明細書の請求項１〜２及び４〜５に係る発明について
　訂正拒絶理由の対象となった訂正明細書の請求項１〜２及び４〜５に記載された各発明は、訂正明細書の特許請求の範囲請求項１〜２及び４〜５に記載された次のとおりのものである。
「(1)単一の光共振器を有し、波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスパンダを介してレーザ光を照射する放電励起による狭帯城発振エキシマレーザにおいて、前記グレーティングを、エシエールタイプのグレーティングとし、前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、かつ前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置した狭帯域発振エキシマレーザ。
(2)前記ビームエキスパンダは、プリズムを用いて構成され、前記プリズムの稜線方向は前記放電方向と略平行にされる請求項(1)記載の狭帯域発振エキシマレーザ。
(4)単一の光共振器を有し、波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに光共振器内にアパーチャを配置した放電励起によるエキシマレーザにおいて、前記グレーティングを、エシエールタイプのグレーティングとし、前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、前記グレーティングを配置するとともに、前記アパーチャを前記放電方向に長い形状とした狭帯城発振エキシマレーザ。
(5)単一の光共振器を有し、波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスパンダを介してレーザ光を照射し、かつ光共振器内にアパーチャを配置した放電励起による狭帯域発振エキシマレーザにおいて、前記グレーティングを、エシエールタイプのグレーティングとし、前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、かつ前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置するとともに前記アパーチャを前記放電方向に長い形状にした狭帯域発振エキシマレーザ。」
ロ、引用刊行物記載の発明
　当審が訂正拒絶理由通知において示した刊行物１（J. Phys. E. Sci. Instrum.20(1987), p.1394-1396、請求人が提出した甲第１号証）の特にFigure1及び1395頁には、グレーティングと、３つのプリズムからなるビームエキスパンダと、幅が1.5mmで高さが17mmのスリットと、エキシマレーザ発振器と、もう１つの同じスリットと、後面がエキシマレーザ発振器のフロントミラーとして作用する凹レンズと、光分散板と、エキシマレーザ光増幅器とからなり、グレーティングと、ビームエキスパンダとはエキシマレーザ発振器の後端外側に配置され、２つのエキシマレーザは２つのミラーで介在されているところの、インジェクションロック改良型の狭帯域エキシマレーザ装置が記載されている。同引用例には、スリットの高さ17mmは放電電極間の距離によって制限される旨の記載があり、また、発振器の方はパルスあたり5mJの出力がでる旨の記載がなされている。
　同じく刊行物２（OPTICS LETTERS. Vol.5, No.8, August 1980, p.342-344、請求人が提出した甲第２号証）の特にFig.1及び342頁には、エシエールグレーティングを用いて狭帯域化を図るようにしたインジェクションロッキング型エキシマレーザ装置が記載されている。
　同じく刊行物３（「Laser Handbook, Vol.5」Elsevier Science Publisher., 1985, p.32-53、請求人が提出した甲第４号証）には、全般にエキシマレーザ装置についての解説が記載されており、グレーティングとビームエキスパンダとを用いて狭帯域化を行うものや、インジェクションロッキングタイプのものなどについて紹介がなされている。
ハ、 対比・判断
　　刊行物１においては、「スリットの高さ17mmは放電電極間の距離によって制限される」旨の記載から、放電方向とスリットの高さ方向とが一致することが認められ、更に、スリットの高さ方向と、ビームエキスパンダプリズムの中心軸方向と、グレーティングの溝方向とは一致しているものと認められる。その理由は以下の通りである。
（１）刊行物１のFigure1において、レーザ発振器からのビームは、ビームエキスパンダである３つのプリズムの側面から入射してプリズムを通って紙面に沿った上下方向に拡大されグレーティングへ入射することが明示されているが、このような構成によってビーム光を狭帯域化するためには、グレーティングの溝方向と３つのプリズムのそれぞれの中心軸の方向とは一致しなければならない。もし、そうではなく、グレーティングの溝がプリズムの中心軸と垂直な方向、即ちビームの拡大方向に沿って形成されているとしたら、なるべく多くの格子にビームを照射することにより１つの格子から得られるブラッグ反射による狭帯域効果を重畳して高めるための目的が達成できず、ビームの狭帯域化は実質的にできないに等しいからである。そして、３つのプリズムの中心軸が紙面に垂直であることは図面より明らかであるから、グレーティングの溝の方向も紙面に垂直である。
（２）刊行物１には、「幅１．５ｍｍは狭いライン幅（狭帯域）を保持するために選ばれた（３つのプリズム及び１つのグレーティングで0.0015ｎｍを与える）。」（刊行物１訳文の第２頁第６〜８行）という記載があり、この記載によれば、スリットの幅１．５ｍｍは狭帯域化を行う方向の大きさであり、同時に同スリットの高さ１７ｍｍは狭帯域化を行わない方向の長さである。そうすると、上記（１）で述べたように、ビームの狭帯域化を行う方向はプリズムによってビームを拡大する方向、即ち紙面に沿った上下方向であるから、スリットの１．５ｍｍの幅は紙面に沿った上下方向で、同時にスリットの高さ１７ｍｍの方向は紙面に垂直な方向である。「スリットの高さ１７ｍｍは放電電極の距離によって制限される」という刊行物１の記載からすると、放電方向も紙面に垂直な方向である。
　したがって、刊行物１においては、放電方向と、スリットの高さ方向と、プリズムの中心軸方向と、グレーティングの溝方向は、全て紙面に垂直な方向である。
（３）グレーティングの溝方向と放電方向との関係性について、請求人は弁駁書において「グレーティングの溝方向と放電方向とが一致すればグレーティングの長さが例えば１５ｃｍでよいのに対し、両者が垂直な関係にあればその長さが１．７ｍにもなる」（第６〜７頁）と主張し、これに対して被請求人は「ビームの広がりが、放電方向では大きく、放電方向と垂直な方向では小さいから、グレーティングの溝方向と放電方向とが一致する場合はグレーティングへの入射光は完全な平行光に近づき、グレーティングの溝と放電方向とが垂直な関係にあれば、グレーティングへの入射光は完全な平行光からかけ離れる」（第１０〜１２頁）と、本件発明の意義を主張しているが、どちらの主張を採っても、グレーティングの溝方向と放電方向とが一致する場合は合理性があり、両者が垂直な関係にあれば不合理であるということであるから、刊行物１において、放電方向と、グレーティングの溝方向が、一致しているという見解は合理的である。
（４）刊行物１のFigure1 においては、スリット３について、「3,1.5 mm slit」 と記載されているが、このような記載がなされている場合は、通常、図面の３で示されている物体のスペース部分が1.5mm幅であると解される。従って、刊行物１のFigure1の３で示されるスリットのスペース部分は1.5mm幅を表し、スリットの高さ17mmの方向は紙面に垂直な方向であるということも明らかである。　
　これに対して、被請求人は、（１）プリズムとグレーティングとの配位関係をどう取るかは狭帯域化の効率の問題であり、プリズムの中心軸とグレーティングの溝方向が一致しなくとも狭帯域化は可能であるから、プリズムの中心軸とグレーティングの溝方向とが垂直な関係であるような配位構成を特に否定するような記載は刊行物１にはない、（２）スリットとプリズムとの配位関係をどう取るかも狭帯域化の効率の問題であり、スリットの高さ17mmの方向がプリズムのビーム拡大方向と一致する構成も可能であるから、刊行物１には、特にスリットとプリズムの配位構成を断定する明確な記載もない旨主張する。
　しかしながら、刊行物３の第46頁のFig.24bにも示されているように、プリズムの中心軸をグレーティングの溝方向に一致させて使用することは慣用されていることであり、従って刊行物１においても、プリズムの中心軸をグレーティングの溝方向に一致させて使用されていると見るべきである。また、刊行物１においては、放電励起型エキシマレーザの光源の開口部の形状を従来の円形状開口から細長いスリットに代えた主な理由として、円形の開口ではその高コヒーレンス性のために光の干渉パターンが生じてしまう欠点があり、その欠点を克服するために開口をスリットにして、そこから出る光を低コヒーレンス性に変え干渉を無くすためであることが述べられている（刊行物１の第1394頁右欄第17-20、34-36、42-49行）。そうであれば、狭帯域化を行う方向の大きさであるスリットの幅は、従来の円形開口の大きさとほぼ同じ大きさであるべきであり、実際に、刊行物１のFigure1記載のシステムの狭帯域化を行う方向のスリット幅は1.5mmであり、従来のシステムの円形開口の大きさである直径1mm（刊行物１の第1394頁右欄第17-19行）とほぼ同じである。したがって、そこから出る光を拡大・反射させるプリズムとグレーティングの大きさも従来のものとほぼ同じ大きさであると見るべきである。しかしながら、被請求人の「刊行物１においては、スリットの17mmの方向がプリズムのビーム拡大方向と一致する配位構成も可能である」という主張、即ち、“刊行物１においては、スリットの高さ17mmの方向からの光をプリズムで拡大してグレーティングに照射する構成も否定できない”という考え方に基づけば、上記（１）で述べた“なるべく多くの格子にビームを照射することにより１つの格子から得られるブラッグ反射による狭帯域効果を重畳して高めるための目的が達成できない”という不合理に加えて、刊行物１記載のシステムのプリズムとグレーティングとは従来の１０倍以上もの不必要な大きさを要するという新たな不合理を生じることになり、このような考え方は合理的とはいえない。
　訂正明細書の特許請求の範囲の請求項1〜２及び４〜５記載の発明の内、請求項１記載の発明（以下「訂正第１発明」という。）と刊行物１記載の発明とを対比すると、両者は「波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスパンダを介してレーザ光を照射する放電励起による狭帯城発振エキシマレーザにおいて、前記グレーティングの溝方向が前記放電励起のための放電方向と略平行となるように、かつ前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置した狭帯域発振エキシマレーザ。」という点で一致する。しかしながら、訂正第１発明と刊行物１記載の発明とは、
ａ、訂正第１発明が、「単一の光共振器を有する」ものであるのに対して、刊行物１記載の発明は２つの光共振器を有している（刊行物１における第２段の光増幅器はエキシマレーザであると記載されているので、光増幅器も実質的には光共振器であると認められる。）点（相違点a）、及び、
ｂ、本件訂正第１発明におけるグレーティングがエシエールタイプのグレーティングであるのに対し、刊行物１記載の発明におけるグレーティングがエシエールタイプのグレーティングであるかどうかは不明である点（相違点ｂ）、
で相違する。
　よって、上記各相違点について以下検討を行う。
○ 相違点ａについて
　エキシマレーザ装置において、単一の光共振器で装置を構成するか、光増幅器としてもう１つの光共振器を追加して２つの光共振器で装置を構成するかは、どの程度のレーザ出力を得たいかという当業者の必要に応じて適宜に選択する程度に過ぎないものと認められる（単一の光共振器で装置を構成するか、２つの光共振器で装置を構成するかは、どの程度のレーザ出力を得たいかという当業者の必要に応じて適宜に選択する程度に過ぎないものであることは、刊行物３の第47頁の第8〜14行の記載などにも示唆されている。）。
　したがって、第１引用例記載のレーザ発振器は5mJという実用に供し得る出力を有しており、第１引用例記載の装置をレーザ発振器のみからなる単一の光共振器の構成に変更することは、当業者が必要に応じて容易になし得ることである。
○ 相違点ｂについて
グレーティングを用いて狭帯域化を図るエキシマレーザにおいて、グレーティングにエシエールタイプを採用することは、上記刊行物２に示されているように、本件特許出願前より周知慣用されているものである。
　以上のとおり、訂正明細書の請求項１に係る発明は、上記刊行物１乃至３に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものであり、特許法第29条第2項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
（むすび）
　したがって、本件訂正請求は、特許法等の一部を改正する法律（平成6年法律第116号）附則第6条第1項の規定によりなお従前の例によるとされる、改正前の特許法134条第5項で準用する同第126条第3項の規定に違反するので、当該訂正請求は認められない。
　
３、当事者の主張について
（本件発明）
　本件特許の請求項１〜１０に係る発明は、特許明細書および図面の記載からみて、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１〜１０に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスパンダを介してレーザ光を照射する放電励起による狭帯城発振エキシマレーザにおいて、
　前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置した狭帯域発振エキシマレーザ。　
【請求項２】前記グレーティングは、エシエールタイプのグレーティングである請求項（１）記載の狭帯域発振エキシマレーザ。
【請求項３】前記ビームエキスパンダは、プリズムを用いて構成され、前記プリズムの稜線方向は前記放電方向と略平行にされる請求項(1)記載の狭帯域発振エキシマレーザ。
【請求項４】前記ビームエキスパンダは、シリンドリカルレンズを用いて構成され、前記シリンドリカルレンズの機械軸は前記放電方向と略平行にされる請求項(1)記載の狭帯域発振エキシマレーザ。
【請求項５】波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに光共振器内にアパーチャを配置した放電励起による狭帯域発振エキシマレーザにおいて、
　前記グレーティングを、その線引方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように配置するとともに、前記アパーチャを前記放電方向に長い形状とした狭帯城発振エキシマレーザ。
　【請求項６】波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスパンダを介してレーザ光を照射し、かつ光共振器内にアパーチャを配置した放電励起による狭帯域発振エキシマレーザにおいて、
　前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置するとともに前記アパーチャを前記放電方向に長い形状にした狭帯域発振エキシマレーザ。
　【請求項７】波長選択素子としてグレーティングを用いた放電励起による狭帯域発振エキシマレーザにおいて、
　光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い、
　前記グレーティングを、その線引方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように配置するとともに前記シリンドリカルミラーをその機械軸が前記放電方向と略平行になるように配置した狭帯域発振エキシマレーザ。
【請求項８】波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスバンダを介してレーザ光を照射した放電励起による狭帯城発振エキシマレーザにおいて、
　光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い
　前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置するとともに前記シリンドリカルミラーをその機械軸が前記放電方向と略平行になるように配置した狭帯域発振エキシマレーザ。
　【請求項９】波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに光共振器内にアパーチャを配置した放電励起による狭帯域発振エキシマレーザにおいて、
　前記光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い、
　前記グレーティングを、その線引き方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように配置するとともに前記シリンドリカルミラーをその機械軸が前記放電方向と略平行になるように配置し、更に前記アパーチャを前記放電方向に長い形状にした狭帯域発振エキシマレーザ。
【請求項１０】波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスパンダを介してレーザ光を照射し、かつ光共振器内にアパーチャを配置した放電励起による狭帯城発振エキシマレーザにおいて、
　前記光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い、
　前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置するとともに前記シリンドリカルミラーをその機械軸が前記放電方向と略平行になるように配置し、更に前記アパーチャを前記放電方向に長い形状にした狭帯域発振エキシマレーザ。」　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（無効審判請求人の主張の概要）
a、 本件特許の請求項１、３及び５〜６に記載された各発明は、甲第１号証（訂正拒絶理由通知で引用した刊行物１）、甲第２号証（同刊行物２）、甲第３号証（Terrence J.McKee,”Spectral-narrowing techniques for eximer laser oscillators”, CAN. J. PHYS. VOL.63, 1985, 214-219）及び甲第４号証（訂正拒絶理由通知で引用した刊行物３）に記載された発明であるか、もしくは同号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、これら発明の特許は特許法第２９条第１項第３号、もしくは同条第２項の規定に違反してなされたものであり、特許は無効とすべきである。また、本件特許の請求項２、４及び７〜１０に記載された各発明は、上記各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、これら発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、特許は無効とすべきである。
b、 甲第１号証のFigure1には、グレーティングの溝方向が明示され、その溝方向と放電方向とが略平行となるように配置されている点が示されている（口頭審理調書）。
c、 訂正請求書において加えられた「単一の光共振器」は、甲第１号証にも開示されている（口頭審理調書）。
d、 「甲第３号証の図１(a)にはシリンドリカルレンズが示されている」という主張は撤回し、「甲第３号証の図１(a)を見れば、レンズ４を一般的なレンズ（球面レンズ）又はシリンドリカルレンズの何れか一方であろうと認識するであろう。これらの２者から一方のシリンドリカルレンズを選択することは、格別困難なことではない。」という主張に変更する（口頭審理調書）。
（無効審判被請求人の主張の概要）
ａ、本件の各請求項の発明においては、訂正請求によって、「単一の共振器を有し、」という構成が限定され、これによって、甲第１号証に示されているような２つの光共振器を用いることなく、単一の光共振器のみで実用的なレーザパワーを取り出すことができる、
ｂ、本件の各請求項の発明においては、訂正請求によって、「エシエールタイプのグレーティング…」という構成に限定され、これによってグレーティングに入射するレーザビームをより平行光に近づけることができ、狭帯域化の効率をさらに向上させることができる。
ｃ、刊行物１における「幅1.5mmは狭いライン幅（狭帯域）を保持するために選ばれた（３つのプリズム及び１つのグレーティングで0.0015ｎｍを与える）。高さ17mmは、…放電電極間の距離によって制限される。」という記載から読み取れることは、単に「放電電極がスリットの長手方向の両端に配置されている」ことだけであり、そのスリットの長手方向はFigure1では不明であるから、Figure1における放電電極による放電方向を特定することはできない。したがって、Figure1における放電電極とグレーティング及び放電電極とビームエキスパンダとの配位関係を読み取ることはできない。
ｄ、訂正請求書において加えられた「単一の光共振器を有し、」の意味は、“単一の光共振器のみからなる”という意味である。その根拠は、図面に単独の光共振器が描かれていることと、発明の詳細な説明に、本件発明が従来のインジェクションロック方式の改良であることが記載されていることである（口頭審理調書）。
ｅ、請求人は、甲第１号証のFigure1には、グレーティングの溝方向が明示され、その溝方向と放電方向とが略平行となるように配置されている点が示されているとして、口頭審理において参考文献を提出したが、このような主張は失当である。この主張が失当である各証拠を被請求人側の参考文献として提出する（再答弁書）。
ｆ、本件特許発明の特徴は、ビーム拡大方向をグレーティングの溝方向と直交する方向とすることによって、グレーティングに入射する光を完全な平行光に近づけるようにしたことであり、これによって、狭帯域化の効率をより高めることができることである（再答弁書）。
ｇ、甲第３号証の図１(a)に示されているレンズ４がシリンドリカルレンズである点に関しては特に争わない（再答弁書）。
４，当審の判断
イ、請求項１に係る発明について
　グレーティングの「線引き方向」とは、グレーティングの溝方向と垂直な方向のことであるから、請求項１に記載された発明である「波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスパンダを介してレーザ光を照射する放電励起による狭帯城発振エキシマレーザにおいて、前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置した狭帯域発振エキシマレーザ。」は甲第１号証に全てが記載されており、請求項１に記載された発明と刊行物１記載の発明とは一致し、両者は同一である。
ロ、請求項２に係る発明について
　請求項２に係る発明は「前記グレーティングは、エシエールタイプのグレーティングである請求項（１）記載の狭帯域発振エキシマレーザ。」であるから、甲第１号証記載の発明とは「グレーティングは、エシエールタイプのグレーティングである」という点が相違するのみである。そして、前記２，の（独立要件について）において甲第２号証を引いて述べたように、エシエールタイプのグレーティングは、放電型狭帯域エキシマレーザにおいて周知慣用されているものであるから、請求項２に係る発明は、甲第１〜２号証刊行物記載の発明に基づいて当業者が容易に想到し得たものと認める。
ハ、 請求項３に係る発明について
　請求項３に記載された発明は、「前記ビームエキスパンダは、プリズムを用いて構成され、前記プリズムの稜線方向は前記放電方向と略平行にされる請求項(1)記載の狭帯域発振エキシマレーザ。」であるから、請求項１に係る発明とは、（１）ビームエキスパンダはプリズムを用いて構成されること、（２）プリズムの稜線方向は放電方向と略平行にされること、の２点が相違するのみである。そして、甲第１号証においても、ビームエキスパンダはプリズムを用いて構成され、かつ、プリズムの稜線方向は放電方向と略平行にされているので、請求項３に係る発明と甲第１号証記載の発明とは同一である。
ニ、 請求項４に係る発明について
　請求項４に記載された発明は、「前記ビームエキスパンダは、シリンドリカルレンズを用いて構成され、前記シリンドリカルレンズの機械軸は前記放電方向と略平行にされる請求項(1)記載の狭帯域発振エキシマレーザ。」であるから、請求項１に係る発明とは、「ビームエキスパンダは、シリンドリカルレンズを用いて構成され、かつ、シリンドリカルレンズの機械軸は前記放電方向と略平行にされる」という点が相違する。そして、この相違点は、甲第１〜４号証のいずれの刊行物にも記載されておらず、かつ、放電型の狭帯域エキシマレーザにおいて周知慣用されているということもいえない。したがって、請求項４記載の発明は、公知の刊行物に記載された発明と同一、もしくはそれから当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
ホ、 請求項５に係る発明について
　甲第１号証に記載された発明は、アパーチャが配置され、そのアパーチャは放電方向に長いことが記載されているから、請求項５に係る発明と甲第１号証記載の発明とは「波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに光共振器内にアパーチャを配置した放電励起による狭帯域発振エキシマレーザにおいて、前記グレーティングを、その線引方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように配置するとともに、前記アパーチャを前記放電方向に長い形状とした狭帯城発振エキシマレーザ。」の全てにおいて一致する。したがって、請求項５に係る発明は甲第１号証に係る発明と同一である。
へ、請求項６に係る発明について
　請求項６に係る発明と、甲第１号証記載の発明とは、「波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスパンダを介してレーザ光を照射し、かつ光共振器内にアパーチャを配置した放電励起による狭帯域発振エキシマレーザにおいて、前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置するとともに前記アパーチャを前記放電方向に長い形状にした狭帯域発振エキシマレーザ。」の全てにおいて一致する。したがって、請求項６記載の発明は、甲第１号証記載の発明と同一である。
ト、請求項７に係る発明について
　請求項７記載の発明と甲第１号証記載の発明とは、「光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い、」という点で相違する。
　しかし、この相違点は、甲第１〜４号証のいずれの刊行物にも記載されておらず、かつ、放電型の狭帯域エキシマレーザにおいて周知慣用されているということもいえない。したがって、請求項７に係る発明は、公知の刊行物に記載された発明と同一、もしくはそれから当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
チ、 請求項８に係る発明について
　請求項８に係る発明と甲第１号証記載の発明とは、「光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い、」という点で相違する。
　そして、この相違点は、甲第１〜４号証のいずれの刊行物にも記載されておらず、かつ、放電型の狭帯域エキシマレーザにおいて周知慣用されているということもいえない。したがって、請求項８に係る発明は、公知の刊行物に記載された発明と同一、もしくはそれから当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
リ、 請求項９に係る発明について
　請求項９に係る発明と甲第１号証記載の発明とは、「光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い、」という点で相違する。
　そして、この相違点は、甲第１〜４号証のいずれの刊行物にも記載されておらず、かつ、放電型の狭帯域エキシマレーザにおいて周知慣用されているということもいえない。したがって、請求項９に係る発明は、公知の刊行物に記載された発明と同一、もしくはそれから当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
ヌ、 請求項１０に係る発明について
　請求項１０に係る発明と甲第１号証記載の発明とは、「光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い、」という点で相違する。
　そして、この相違点は、甲第１〜４号証のいずれの刊行物にも記載されておらず、かつ、放電型の狭帯域エキシマレーザにおいて周知慣用されているということもいえない。したがって、請求項１０に係る発明は、公知の刊行物に記載された発明と同一、もしくはそれから当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
５，むすび
　以上のとおり、本件請求項１，３，及び５〜６に係る各発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であり、本件請求項１，３，及び５〜６に係る発明の特許は特許法第29条第1項第3号の規定に違反してなされたものである。
　本件請求項２に係る発明は、甲第１〜２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項２に係る発明の特許は特許法第29条第2項の規定に違反してされたものである。
　本件請求項４及び７〜１０に係る発明は、甲第１〜４号証に記載された発明、または同号証記載の発明から当業者が容易に想到し得た発明であるとすることはできないから、本件請求項４及び７〜１０に係る発明の特許は特許法第29条第1項第3号または同法同条第2項の規定に違反してされたものではない。
　　したがって、本件請求項１〜３及び５〜６に記載された特許は、特許法第123条第1項第2号の規定により、無効とすべきものである。
　一方、本件請求項４及び７〜１０に記載された特許については、これを無効とすることはできない。
　よって、結論のとおり審決する。