【事件の表示】
　平成　２年特許願第２０８７２７号「イオン注入装置」拒絶査定に対する審判事件［平成　４年　３月２５日出願公開、特開平　４−　９２３５１］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯・本願発明
　本願は、平成２年８月７日の出願であって、平成８年９月２４日付け及び平成１０年１１月３０日付けの手続補正書によって補正された明細書並びに図面の記載からみて、その請求項１に係る発明は、特許請求の範囲に記載された次のとおりのものと認める。（以下、「本願発明」という。）
「被処理物にイオンビームを照射してイオンを注入するイオン注入装置において、
　前記被処理物の帯電状態を測定する帯電測定手段と、
　電子を発生させるフィラメントと、メッシュ状に形成された電子通過部位を有し前記イオンビームが通るイオンビーム導入管内に電子を引き出す電子引き出し電極と、前記電子引き出し電極によって前記イオンビーム導入管内に形成される電界を制限する電界制限用電極とを具備した電子供給機構と、
　前記フィラメントと前記電子引き出し電極と前記電界制限用電極への印加電圧を制御する電子供給制御部と、
　前記帯電測定手段による測定結果と、予め設定された設定値とを比較し、前記測定結果が前記設定値を越えている場合は、少なくとも前記電子供給制御部における前記電子引き出し電極の印加電圧の電圧設定を変更させる比較部と
　を備えたことを特徴とするイオン注入装置。」
２．引用刊行物記載の発明
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願の日前である昭和６２年３月２０日に頒布された特開昭６２−６４０３９号公報（以下「引用刊行物１」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
　
（１）「第４図は従等のイオン注入装置用電子シャワー装置を示す模式図である。図において…（４）はビームラインチャンバ（３）に装着された電子シャワー装置、（５）は電子シャワー用フィラメント、…（７）はイオンビーム、（８）はターゲット（例えばシリコンウエハなど）を示す。
　次に動作について説明する。回転式注入用ディスク（１）にセットされているターゲット（８）にイオンビーム（７）が当たると、イオンに注入電荷によってチャージアップする。このチャージアップしたターゲット（８）表面およびイオンビーム（７）に電子シャワー装置（４）より発生する電子を当てることによりチャージアップの中性化を図っている。」（第１頁左欄第１７行〜同右欄第１３行）
　
（２）「第１図はこの発明の一実施例に係るイオン注入装置用シャワー装置の模式図であり、図において第４図と同一符号のものは全く同一のものを示しており、…（９）はディスクチャンバ（２）に装着されている電荷容量センサである。」（第２頁右上欄第１６行〜同左下欄第１行）
　
（３）「ここで、再び第１図及び第２図に戻って説明すると、…金属電極（１０）には、ターゲットのチャージアップの度合に比例した電流値が得られるので、この電流値を導入線（１５ａ）を介して制御回路（１５）に導き、ここでその電流値をそのまま、又は電圧変換したものに基づいて、電子シャワー用フィラメント（５）に流れる電流を制御し、これにより、ターゲット（８）のチャージアップの度合に応じた電子量が自動的に設定され、ターゲット（８）及びイオンビーム（７）のいずれも適性に中性化される。」（第２頁右下欄第９行〜同第１９行）
　
　この記載事項によると、引用刊行物１には、
　
「ターゲット（例えばシリコンウエハなど）（８）にイオンビーム（７）を照射してイオンを注入するイオン注入装置において、前記ターゲット（例えばシリコンウエハなど）（８）のチャージアップの度合を測定する金属電極（１０）と、
　電子を発生させる電子シャワー用フィラメント（５）を具備し、
前記イオンビーム（７）が通るビームラインチャンバ（３）に電子を引き出す電子シャワー装置（４）と、
　前記電子シャワー用フィラメント（５）への印加電圧
を制御する制御回路（１５）と、
　前記金属電極（１０）によるターゲット（８）のチャージアップの度合に比例した電流値に基づいて、制御回路（１５）における前記電子シャワー用フィラメント（５）への印加電圧の電圧設定を変更させる電圧変換手段と
　を備えたことを特徴とするイオン注入装置。」（以下、「引用刊行物１に記載の発明」という。）
　
が記載されていると認められる。なお、引用刊行物１には、「電圧変換する手段」の明示はないが、「チャージアップの度合に比例した電流値を電圧変換する」との記載があることから、当然「電圧変換する手段」はあるものとして、これを「電圧変換手段」と認定した。
　
　また、同じく原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願の日前である昭和６４年２月９日に頒布された「特開昭６４−３８９６１号公報」（以下「引用刊行物２」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
　
（４）「フィラメント１をマイナス、電子引き出し電極１１をプラスとして、第５電源１２により電圧Ｖａを印加すると、…電子電流密度…は電圧Ｖａの３／２乗に従って増減する。また、フィラメント１をマイナス、電子エネルギー制御電極１３をプラスとして、第６電源１４により電圧Ｖｃを印加すると、例えば、Ｖｃ＝Ｖａである場合、電子引き出し電極１１により加速された電子流はそのままのエネルギーを保持して電子エネルギー制御電極１３を通過し、Ｖｃ＝０である場合には、上記電子流は電子エネルギー制御電極１３に近づくにしたがって急速に減速され該電子エネルギー制御電極１３近傍に滞留する結果になるので、Ｖｃ＝１０ボルト（Ｖ）とした場合には、電子エネルギー制御電極１３から１０ｅＶのエネルギーを持った電子流が中心方向すなわちイオンビーム１０の軌道に移動することになる。」（第２頁左上欄第７行〜同右上欄第８行）
　
（５）「なお、上記実施例の電子エネルギー制御電極と電子引き出し電極とは…メッシュ状に張っても同様の効果を得ることができ、また、メッシュ状の円筒電極としても良い。」（第３頁左下欄第１行〜同第５行）
　
　この記載事項によると、引用刊行物２には、
　
「イオンビーム中和装置において、メッシュ状に形成された電子通過部位を有しイオンビーム１０の軌道に電子を引き出す電子引き出し電極１１と、電子引き出し電極１１によって形成される電界を制限する電子エネルギー制御電極１３とを設け、これらの電極への印加電圧をも制御する技術。」（以下、「引用刊行物２に記載の技術」という。）
　
が記載されていると認められる。
３．対比
　本願発明と引用刊行物１に記載の発明とを対比すると、
引用刊行物１に記載の発明における「ターゲット（例えばシリコンウエハなど）（８）」、「イオンビーム（７）」、「イオン注入装置」、「チャージアップの度合」、「金属電極（１０）」、「電子シャワー用フィラメント（５）」、「ビームラインチャンバ（３）」、「電子シャワー装置（４）」、「制御回路（１５）」、「ターゲット（８）のチャージアップの度合に比例した電流値」は、それぞれ、
本願発明における「被処理物」、「イオンビーム」、「イオン注入装置」、「帯電状態」、「帯電測定手段」、「フィラメント」、「イオンビーム導入管」、「電子供給機構」、「電子供給制御部」、「測定結果」に相当するから、
　両者は、
「被処理物にイオンビームを照射してイオンを注入するイオン注入装置において、
　前記被処理物の帯電状態を測定する帯電測定手段と、
　電子を発生させるフィラメントを具備し、前記イオンビームが通るイオンビーム導入管内に電子を引き出す電子供給機構と、
　前記フィラメントへの印加電圧を
制御する電子供給制御部と、
　前記帯電測定手段による測定結果に基づいて、前記電子供給制御部における
　印加電圧の電圧設定を変更させる手段と
　を備えたことを特徴とするイオン注入装置。」
で一致し、
１．本願発明では、電子供給機構が、メッシュ状に形成された電子通過部位を有しイオンビームが通るイオンビーム導入管内に電子を引き出す電子引き出し電極と、電子引き出し電極によってイオンビーム導入管内に形成される電界を制限する電界制限用電極とを具備し、電子供給制御部が、これらの電極への印加電圧をも制御しているのに対し、
　引用刊行物１に記載の発明では、電子供給機構が、それらの電極を具備しておらず、電子供給制御部も、これらの電極への印加電圧を制御していない点、
２．本願発明では、電子供給制御部における印加電圧の電圧設定を変更させる手段が、帯電測定手段による測定結果と、予め設定された設定値とを比較し、測定結果が、設定値を超えている場合は、少なくとも電子引き出し電極の印加電圧の電圧設定を変更させる比較部であるのに対し、
引用刊行物１に記載の発明では、電子供給制御部における印加電圧の電圧設定を変更させる手段が、帯電測定手段による測定結果に基づいて、フィラメントへの印加電圧の電圧設定を変更させる電圧変換手段である点
で相違する。
４．当審の判断
　上記相違点１について検討すると、
引用刊行物２に記載の技術は、引用刊行物１に記載の発明と技術分野を同じくするイオン注入装置に付随するイオンビーム中和装置における周知の電極構造に関するものであり、「電子引き出し電極１１」、「電子エネルギー制御電極１３」は、それぞれ、本願発明における「電子引き出し電極」、「電界制限用電極」に相当することは明らかであり、さらに、かかる周知の電極構造に関する技術が、「電子引き出し電極１１」、「電子エネルギー制御電極１３」への印加電圧をも制御しうることを開示している以上、
　引用刊行物２に記載の技術を引用刊行物１に記載の発明における電子供給機構、及び、電子供給制御部に適用して、電子供給機構が、メッシュ状に形成された電子通過部位を有しイオンビームが通るイオンビーム導入管内に電子を引き出す電子引き出し電極と、電子引き出し電極によってイオンビーム導入管内に形成される電界を制限する電界制限用電極とを具備するように構成すること、及び、
　電子供給制御部が、これらの電極への印加電圧をも制御するように構成することは、当業者が適宜設計しうる事項である。
　
　さらに、上記相違点２について検討すると、
設定値を設け、測定結果と設定値とを比較し、測定結果が設定値を超えている場合は、電圧設定を変更させる比較手段は周知であるから（例えば、イオン注入装置に関するものとしては、本願の出願の日前である平成２年５月３１日に頒布された特開平２−１４２０４９号公報の「帯電量検出手段１５の検出電圧を予め設定された電圧値Ｖｐに比較する比較器１８の出力は、電子シャワー制御信号として、電子シャワー１６の電源に与えられる」との記載参照。引用刊行物３に記載の技術という。）、フィラメントや、電子引き出し電極や、電界制限用電極の印加電圧の電圧設定を変更する手段として、かかる周知の比較手段を採用することは、単なる設計事項にすぎない。
　
　そして、本願発明の要旨とする構成によってもたらされる効果は、引用刊行物１に記載の発明及び周知技術から当業者であれば予測できる程度のものであって、格別のものとは言えない。
４．むすび
　したがって、本願発明は、引用刊行物１に記載の発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。