【事件の表示】
　平成　２年特許願第３０９４５９号「露光装置及び方法」において、平成１２年　５月　８日付けでした手続補正に対してされた補正の却下の決定に対する審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原決定を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は平成２年１１月１５日に出願され、平成１２年２月２８日に拒絶査定がなされ、その拒絶査定に対し平成１２年４月６日に審判請求され、その後前置審査において平成１２年５月８日付手続補正に対して、平成１２年９月１日に補正の却下の決定がされたものである。
　
２．原決定の理由
　上記補正の却下の決定（以下、「原決定」という。）の理由は、次のとおりのものである。
「上記手続補正では複数の独立請求項において、照明光学系の瞳面上で光軸から偏心した複数の位置にそれぞれ強度中心を有する照明光を生成する旨の補正をしようとしているが、出願当初の明細書には一貫して光束の進行方向を変化させる可動光学部材とその実施例が記載されているのみである。そして、上記手続補正により、上記請求項に係る発明は可動光学部材のみでなくいわゆる軸外し照明、輪帯照明等の他の照明手段も包含することとなる。したがって、上記補正事項は出願当初の明細書又は図面に記載されたものとも、当該明細書等から自明の事項とも認められない。
　よって、上記手続補正は明細書の要旨を変更するものであり、特許法第１６１条の３により準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。」
　
３．当審の判断
　本願の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「原明細書」という。）には、照明光学系の瞳面（フーリエ変換面）上での照明光について以下の事項が記載されている。
「第１図では光束Ｌ４ａの方向へ進む反射光Ｌ４を実線で示してあるが、反射鏡９の回転角度を変化させることで、反射光束Ｌ４ａを、例えば光束Ｌ４ｂの方向に進ませることもできる。即ち、フライアイレンズ６の射出端の１つの２次光源像をフーリエ面１２上でシフトさせるのである。また、第１図の紙面に垂直な方向への移動成分を持たせることも勿論可能である。」（原明細書第１４頁第１７行〜第１５頁第４行）
「反射鏡９を駆動素子１０ａ，１０ｂで駆動し所定の位置に設定する。すると、主光線が照明光学系の光軸ＡＸと同軸だった光束Ｌ４は、光軸ＡＸに対して傾いた主光線を持つ光束Ｌ４ａ，Ｌ４ｂとなる。この光束Ｌ４ａ，Ｌ４ｂは、レチクル１８のフーリエ変換面１２近傍において光軸ＡＸとは異なる位置に夫々集光している。」（原明細書第１６頁第１２〜１９行）
「第３図中Ｌ５ａはフーリエ変換面１２上で光軸より右側にずれた位置に強度の中心を持つ光束であり、レンズ系１７によってレチクル１８に対して所定の入射角ψを以て入射する。」（原明細書第１７頁第１９行〜第１８頁第２行）
「レチクル１８を照明する照明光束Ｌ５ａが、常にレチクル１８に対して一定の入射角で入射するものとすると、ウェハ２２上に結像する光束Ｌ５ａの入射方向の光量重心（言い換えれば、光束Ｌ５ａの主光線）は、ウェハ２２に対して傾いた状態（非テレセントリック状態）となってしまう。つまり、ウェハ２２の光軸ＡＸ方向の微小なズレ（デフォーカス）に伴って、像の位置がウェハ面内で横ずれしてしまうことがあり得る。本発明では、この像のずれを防止するために、照明光束のレチクルへの入射角を、レチクル１８とほぼ共役な位置にある反射鏡９により変える構成となっている。従って、ある入射角ψを以て入射する光束Ｌ５ａでの照明を一定露光量だけ行った後、反射鏡９を移動させる等して、今度は入射角−ψで入射する光束Ｌ５ｂで上記と同じ露光量となる照明を行う。」（原明細書第２１頁第２〜１８行）
「駆動部材１０ｃ，１０ｄによって移動可能なレンズ系９ａ，９ｂを透過した光束は、照明光学系の光軸ＡＸとは異なる主光線を有する光束となり、フーリエ変換面１２上の光軸ＡＸとは異なる位置に集光する。」（原明細書第２５頁第２〜６行）
「レチクル１８を物体面とした場合、破線部は瞳面１２、即ち、レチクル１８のフーリエ変換面である。この瞳面１２とフライアイレンズ６の射出側の面とは光ファイバー９ｃ等の光伝達手段で結ばれている。・・・光ファイバー９ｃの射出側、即ち瞳面１２側は、駆動部材１０ｅにより可動となっており、照明光束（光源像）を瞳面１２内の任意の位置に分布させることが可能である。」（原明細書第２７頁第１〜１２行）
「上記の露光方法において、露光を継続したまま反射鏡９を移動させる場合、反射鏡９の移動中にレチクル１８に対して所定の方向以外の方向からの照明光が入射してしまう。すると、前述の高い解像力と深い焦点深度を得る効果が薄らぐ可能性がある。これを防止するには、第１図のレンズ系１１，１３の間の瞳面１２近傍に所定の位置のみの透過部を持つ空間フィルターを設ければよい。この空間フィルターは、各位置における反射鏡９より発生する照明光束Ｌ４ａ，Ｌ４ｂの瞳面１２上での位置と等しい位置を透過部とし、その他の位置は遮光部としておく。」（原明細書第３２頁第１３行〜第３３頁第４行）
「第７図（ａ）のライン・アンド・スペース・パターン（ピッチＰ）に対する照明光束の中心位置は、瞳面で線分Ｌα、またはＬβ上にあれば焦点深度を最大とすることができる。・・・つまり反射鏡９の位置は、第７図（ａ）に示すようなライン・アンド・スペース・パターンを転写する場合には、反射鏡９で反射された照明光束Ｌ４ａ、又はＬ４ｂの中心（主光線）が瞳面１２上で線分Ｌα、又はＬβ上に一致するように決定すると良いことになる。」（原明細書第３５頁第７〜２０行）
「第８図（ｂ）は、第８図（ａ）に示す回路パターンのレチクル上での焦点深度を最大とする照明光束の入射角を、照明光学系の瞳面１２上の位置に置き換えて示した図である。この場合、焦点深度を最大とする照明光束の中心位置は、瞳面１２上のＬγ，Ｌε，Ｌζ，Ｌηの４点となる。従って、反射鏡９の位置は、照明光束の主光線を瞳面１２上でＬγ，Ｌε，Ｌζ，Ｌηの４点に向ける方向であれば良い。」（原明細書第３６頁第４〜１２行）
　
　以上の記載から、原明細書には確かに「照明光学系の瞳面上で光軸から偏心した複数の位置にそれぞれ強度中心を有する照明光を生成する」ための手段として可動光学部材である反射鏡９、レンズ系９ａ，９ｂ、光ファイバー９ｃを用いた実施例しか記載されていない。
　しかし、原明細書の発明の効果の欄に「以上の様に本発明によれば、レチクルに対して所定の入射角を以て光束を照射することができる。」と記載され、さらに「このため、レチクルの回路パターンより発生する１次回折光が、投影光学系の開口数より大きな角度の方向に発生する場合でも、回路パターンの像を結像することが可能となり、投影可能な最小パターンサイズが微細化できる。」と記載されているように、本願発明の効果を奏するにはレチクルに対して所定の入射角を以て光束を照射すればよいのであり、このレチクルに対して所定の入射角を以て光束を照射することは、照明光学系の瞳面上で光軸から偏心した位置に強度中心を有する照明光を生成することによって達成できるものである。また原明細書には、照明光束がレチクルに対して常に一定の入射角で入射すると、ウェハ上に結像する光束の入射方向の光量重心がウェハに対して傾いた状態となるので、それを防止するために一定の入射角とは異なる入射角でレチクルに対して入射することが記載されており、これはすなわち照明光学系の瞳面上で光軸から偏心した複数の位置にそれぞれ強度中心を有する照明光を生成することを意味する。そうすると、原明細書の実施例には「照明光学系の瞳面上で光軸から偏心した複数の位置にそれぞれ強度中心を有する照明光を生成する」ための手段として、可動光学部材を用いる実施例しか記載されていないものの、本願発明の効果を奏するには可動光学部材によらなくともレチクルに対して所定の入射角を以て光束を照射すればよいのであり、さらに、ウェハ上に結像する光束の入射方向の光量重心の傾いた状態を防止するためには、レチクルに対して複数の入射角を以て光束を照射すればよいのであるから、そのための手段は可動光学部材によらなくとも実施可能なものである。したがって、「照明光学系の瞳面上で光軸から偏心した複数の位置にそれぞれ強度中心を有する照明光を生成する」ことは、原明細書に記載されていなかったとはいえず、原明細書中に記載された範囲内の構成であると認められるから、上記手続補正は明細書の要旨を変更するものではない。
　
４．むすび
　したがって、これを却下すべきものとした原決定は失当である。
　よって、結論のとおり審決する。