(57)【要約】【課題】洗浄ブラシの脱着の所要時間を短縮する。【解決手段】洗浄ブラシは、係止構造を設けられたブラシホルダーとブラシ本体とを含み、棒状部材と、棒状部材に係止された洗浄ブラシからなるブラシユニットは、洗浄ブラシの大径部と、小径部とを含み、係止構造は、所定以上の上向きの力が棒状部材に作用すると係止状態が解除され、所定以上の下向きの力が棒状部材に作用すると係止状態になる。ブラシ収納容器は、底壁と、連結壁と、上壁と、を備え、底壁と上壁の間に収納空間が形成されており、上壁には、先端面から連結壁側に延在する上側貫通孔が形成されており、上側貫通孔は、当該洗浄ブラシが収納位置とブラシ収納容器の外部との間で上側貫通孔の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、上壁のうち上側貫通孔の周囲部分は、洗浄ブラシが収納位置に配置されたときに、大径部の上向き面の少なくとも一部を覆うように形成されている。【選択図】図６
2018049926.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄ブラシを収納するブラシ収納容器であって、
前記洗浄ブラシは、
基板処理装置の棒状部材の下端部分に係止される係止構造を上面側に設けられたブラシホルダーと、水平姿勢に保持された基板の表面に接触して当該表面を洗浄可能なように前記ブラシホルダーに装着されたブラシ本体とを含み、
前記棒状部材と、前記棒状部材に係止された前記洗浄ブラシとからなるブラシユニットは、前記洗浄ブラシの少なくとも一部であるとともに、上向き面を含む大径部と、前記大径部よりも上方に突出し、前記大径部よりも細い小径部とを含み、
前記係止構造は、前記洗浄ブラシの上方への動きが規制されている状態で、所定以上の上向きの力が前記洗浄ブラシを係止している前記棒状部材に作用すると係止状態を解除され、前記洗浄ブラシの下方への動きが規制されている状態で前記棒状部材を前記洗浄ブラシに押しつける所定以上の下向きの力が前記棒状部材に作用すると係止状態になるように構成されており、
前記ブラシ収納容器は、
前記洗浄ブラシの下面のうち少なくとも一部の被支持部を下方から支持する底壁と、
前記底壁の一端側から上方に延設された連結壁と、
前記連結壁の上端側から前記底壁側に延設された上壁と、
を備え、
前記底壁と前記上壁の間には、前記棒状部材に係止された前記洗浄ブラシのうち前記被支持部から前記大径部の前記上向き面までの部分を収納し得る収納空間が形成されており、
前記上壁には、前記連結壁とは反対側の先端面に開口を有して前記先端面から前記連結壁側に延在する上側貫通孔が形成されており、
前記上側貫通孔は、
前記ブラシユニットの前記小径部が前記上側貫通孔を貫通している状態で、当該洗浄ブラシが前記収納空間における所定の収納位置と前記ブラシ収納容器の外部との間で前記上側貫通孔の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、
前記上壁のうち前記上側貫通孔の周囲部分は、
前記洗浄ブラシが前記収納位置に配置されたときに、前記大径部の前記上向き面の少なくとも一部を覆うように形成されている、ブラシ収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載のブラシ収納容器であって、
前記洗浄ブラシの前記ブラシ本体は、前記ブラシホルダーの下面よりも下方に突出して前記基板の表面に接触可能な接触部を含んでおり、
前記ブラシ収納容器の前記底壁には、前記連結壁とは反対側の先端面に開口を有して前記先端面から前記連結壁側に延在する下側貫通孔が、前記上側貫通孔に対向して形成されており、
前記下側貫通孔は、
前記洗浄ブラシの前記接触部が前記下側貫通孔を貫通している状態で、当該洗浄ブラシが前記収納位置から前記ブラシ収納容器の外部まで前記下側貫通孔の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、
前記底壁のうち前記下側貫通孔の周囲部分は、
前記洗浄ブラシが前記収納位置に配置されたときに、前記接触部を除いた前記洗浄ブラシの下面のうち少なくとも一部を覆うように形成されている、ブラシ収納容器。
【請求項３】
洗浄ブラシを収納したブラシ収納容器であって、
前記洗浄ブラシは、
基板処理装置の棒状部材の下端部分に係止される係止構造を上面側に設けられたブラシホルダーと、水平姿勢に保持された基板の表面に接触して当該表面を洗浄可能なように前記ブラシホルダーに装着されたブラシ本体とを含み、
前記棒状部材と、前記棒状部材に係止された前記洗浄ブラシとからなるブラシユニットは、前記洗浄ブラシの少なくとも一部であるとともに、上向き面を含む大径部と、前記大径部よりも上方に突出し、前記大径部よりも細い小径部とを含み、
前記係止構造は、前記洗浄ブラシの上方への動きが規制されている状態で、所定以上の上向きの力が前記洗浄ブラシを係止している前記棒状部材に作用すると係止状態を解除され、前記洗浄ブラシの下方への動きが規制されている状態で前記棒状部材を前記洗浄ブラシに押しつける所定以上の下向きの力が前記棒状部材に作用すると係止状態になるように構成されており、
前記ブラシ収納容器は、
前記洗浄ブラシの下面のうち少なくとも一部の被支持部を下方から支持する底壁と、
前記底壁の一端側から上方に延設された連結壁と、
前記連結壁の上端側から前記底壁側に延設された上壁と、
を備え、
前記底壁と前記上壁の間には、前記棒状部材に係止された前記洗浄ブラシのうち前記被支持部から前記大径部の前記上向き面までの部分を収納し得る収納空間が形成されており、
前記上壁には、前記連結壁とは反対側の先端面に開口を有して前記先端面から前記連結壁側に延在する上側貫通孔が形成されており、
前記上側貫通孔は、
前記ブラシユニットの前記小径部が前記上側貫通孔を貫通している状態で、当該洗浄ブラシが前記収納空間における所定の収納位置と前記ブラシ収納容器の外部との間で前記上側貫通孔の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、
前記上壁のうち前記上側貫通孔の周囲部分は、
前記洗浄ブラシが前記収納位置に配置されたときに、前記大径部の前記上向き面の少なくとも一部を覆うように形成されており、
前記収納位置において前記洗浄ブラシを収納している、ブラシ収納容器。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のブラシ収納容器と、
基板を水平姿勢で保持する基板保持機構と、
前記洗浄ブラシと、
鉛直方向に延在して前記洗浄ブラシの前記係止構造を係止可能な棒状部材を含み、前記棒状部材に係止された前記洗浄ブラシを、前記基板と前記ブラシ収納容器内の前記収納位置との間で移動させるブラシ移動機構と、
を備え、
前記ブラシ移動機構は、前記棒状部材を上下動できる昇降機構を含み、
前記ブラシ移動機構は、
前記棒状部材に係止された前記洗浄ブラシに対して、当該洗浄ブラシを前記ブラシ収納容器の前記上側貫通孔の開口から前記上側貫通孔の延在方向に沿って前記収納位置に移動させて前記ブラシ収納容器に収納する収納動作を行い、その後、収納された当該洗浄ブラシの前記係止構造と前記棒状部材との係止状態が解除されるように前記昇降機構によって前記棒状部材を上方に移動させる係止解除動作を行うことができ、
前記ブラシ移動機構は、
前記収納位置に配置されている前記洗浄ブラシの前記係止構造に前記棒状部材が係止するように、当該洗浄ブラシの上方から前記昇降機構によって前記棒状部材を降下させて前記棒状部材を当該洗浄ブラシに押し付けることができる、基板処理装置。
【請求項５】
請求項４に記載の基板処理装置であって、
前記ブラシ収納容器の前記上壁には、前記上側貫通孔と同様の構成の他の上側貫通孔がさらに形成されており、
前記他の上側貫通孔に対応する前記ブラシ収納容器内の収納位置には、前記洗浄ブラシと同様の構成の他の洗浄ブラシが予め配置されており、
前記ブラシ移動機構は、
前記棒状部材に係止されている前記洗浄ブラシに対して前記収納動作と前記係止解除動作とを順次に行い、その後、前記他の洗浄ブラシの前記係止構造に前記棒状部材が係止するように、当該他の洗浄ブラシの上方から前記昇降機構によって前記棒状部材を降下させて前記棒状部材を当該他の洗浄ブラシに押し付けることができる、基板処理装置。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の基板処理装置であって、
前記洗浄ブラシの前記係止構造は、磁石を含んでおり、
前記ブラシ移動機構の前記棒状部材の下端部分には前記磁石と互いに引力を及ぼし合う他の磁石が設けられている、基板処理装置。
【請求項７】
請求項４から請求項６の何れか１つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記洗浄ブラシの前記ブラシ本体は、前記ブラシホルダーの下面よりも下方に突出して前記基板の表面に接触可能な接触部を含んでいるとともに、弾性変形可能であり、
前記ブラシ収納容器の前記底壁には、前記連結壁とは反対側の先端面に開口を有して前記先端面から前記連結壁側に延在する下側貫通孔が、前記上側貫通孔に対向して形成されており、
前記下側貫通孔は、
前記洗浄ブラシの前記接触部が前記下側貫通孔を貫通している状態で、当該洗浄ブラシが前記収納位置から前記ブラシ収納容器の外部まで前記下側貫通孔の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、
前記底壁のうち前記下側貫通孔の周囲部分は、
前記洗浄ブラシが前記収納位置に配置されたときに、前記洗浄ブラシの下面のうち少なくとも一部を覆うように形成されており、
前記基板処理装置は、
洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、
前記洗浄液を導く内部流路が形成されており、前記ブラシ本体の前記接触部に当接するための当接部材と、
前記洗浄ブラシが前記ブラシ収納容器に収納されて前記ブラシ本体の前記接触部が前記下側貫通孔を貫通している状態で、前記接触部に前記当接部材が当たるように、前記ブラシ収納容器を前記当接部材に対して相対的に移動させる洗浄用移動機構と、
をさらに備え、
前記洗浄液供給機構は、前記当接部材の前記内部流路に連通しており、
前記当接部材には、前記内部流路と連通するとともに、前記当接部材の外周面のうち前記接触部側の部分に開口する洗浄液吐出口が形成されている、基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、各種基板の表面にブラシを接触させて洗浄処理を施す基板処理装置、ならびに当該ブラシを収納するためのブラシ収納容器に関する。各種基板には、半導体ウェハ、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用ガラス基板、太陽電池用基板等が含まれる。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基板の上面の洗浄処理を行う基板処理装置が示されている。当該基板処理装置は、上下動可能であるとともに所定の回転軸を中心に水平面内で回転可能なアームを備えている。アームの先端には、下方に延在するシャフトが、その中心軸を中心に回転可能に設けられている。シャフトの下端には、ブラシホルダーに装着されたブラシ本体を備える洗浄ブラシが連結されている。当該基板処理装置は、回転している基板の上面に洗浄ブラシを押しつけた状態で基板の上面に洗浄用の処理液を供給しつつ、アームを回転させることによって、洗浄ブラシを基板の上面中央部と上面周縁部との間で移動させる。これにより、基板上面の全体に洗浄ブラシのブラシ本体が接触し、基板の上面の洗浄処理が行われる。基板の洗浄処理が終了すると、当該基板処理装置は、アームを移動させることによって、待機位置に設けられた筒状の待機ポッドに洗浄ブラシを移動させる。待機ポッドには、洗浄ブラシの洗浄を行うための洗浄液を吐出する筒状の洗浄バーが設けられている。当該基板処理装置は、洗浄ブラシのブラシ本体を洗浄バーに押し当てた状態で、中心軸を中心にシャフトと洗浄ブラシを一体的に回転させることによってブラシ本体を洗浄することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１９０２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の基板処理装置では、シャフト先端に装着されたナット等を介して洗浄ブラシがシャフトに連結固定される。このため、シャフトに洗浄ブラシを脱着する際に、作業者がナット等を操作する必要が有り、洗浄ブラシの脱着に時間がかかるといった問題がある。
【０００５】
本発明は、こうした問題を解決するためになされたもので、洗浄ブラシを用いて基板の洗浄処理を行う基板処理装置において、洗浄ブラシの脱着に要する時間を短縮できる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、第１の態様に係るブラシ収納容器は、洗浄ブラシを収納するブラシ収納容器であって、前記洗浄ブラシは、基板処理装置の棒状部材の下端部分に係止される係止構造を上面側に設けられたブラシホルダーと、水平姿勢に保持された基板の表面に接触して当該表面を洗浄可能なように前記ブラシホルダーに装着されたブラシ本体とを含み、前記棒状部材と、前記棒状部材に係止された前記洗浄ブラシとからなるブラシユニットは、前記洗浄ブラシの少なくとも一部であるとともに、上向き面を含む大径部と、前記大径部よりも上方に突出し、前記大径部よりも細い小径部とを含み、前記係止構造は、前記洗浄ブラシの上方への動きが規制されている状態で、所定以上の上向きの力が前記洗浄ブラシを係止している前記棒状部材に作用すると係止状態を解除され、前記洗浄ブラシの下方への動きが規制されている状態で前記棒状部材を前記洗浄ブラシに押しつける所定以上の下向きの力が前記棒状部材に作用すると係止状態になるように構成されており、前記ブラシ収納容器は、前記洗浄ブラシの下面のうち少なくとも一部の被支持部を下方から支持する底壁と、前記底壁の一端側から上方に延設された連結壁と、前記連結壁の上端側から前記底壁側に延設された上壁と、を備え、前記底壁と前記上壁の間には、前記棒状部材に係止された前記洗浄ブラシのうち前記被支持部から前記大径部の前記上向き面までの部分を収納し得る収納空間が形成されており、前記上壁には、前記連結壁とは反対側の先端面に開口を有して前記先端面から前記連結壁側に延在する上側貫通孔が形成されており、前記上側貫通孔は、前記ブラシユニットの前記小径部が前記上側貫通孔を貫通している状態で、当該洗浄ブラシが前記収納空間における所定の収納位置と前記ブラシ収納容器の外部との間で前記上側貫通孔の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、前記上壁のうち前記上側貫通孔の周囲部分は、前記洗浄ブラシが前記収納位置に配置されたときに、前記大径部の前記上向き面の少なくとも一部を覆うように形成されている。
【０００７】
第２の態様に係るブラシ収納容器は、第１の態様に係るブラシ収納容器であって、前記洗浄ブラシの前記ブラシ本体は、前記ブラシホルダーの下面よりも下方に突出して前記基板の表面に接触可能な接触部を含んでおり、前記ブラシ収納容器の前記底壁には、前記連結壁とは反対側の先端面に開口を有して前記先端面から前記連結壁側に延在する下側貫通孔が、前記上側貫通孔に対向して形成されており、前記下側貫通孔は、前記洗浄ブラシの前記接触部が前記下側貫通孔を貫通している状態で、当該洗浄ブラシが前記収納位置から前記ブラシ収納容器の外部まで前記下側貫通孔の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、前記底壁のうち前記下側貫通孔の周囲部分は、前記洗浄ブラシが前記収納位置に配置されたときに、前記接触部を除いた前記洗浄ブラシの下面のうち少なくとも一部を覆うように形成されている。
【０００８】
第３の態様に係るブラシ収納容器は、洗浄ブラシを収納したブラシ収納容器であって、前記洗浄ブラシは、基板処理装置の棒状部材の下端部分に係止される係止構造を上面側に設けられたブラシホルダーと、水平姿勢に保持された基板の表面に接触して当該表面を洗浄可能なように前記ブラシホルダーに装着されたブラシ本体とを含み、前記棒状部材と、前記棒状部材に係止された前記洗浄ブラシとからなるブラシユニットは、前記洗浄ブラシの少なくとも一部であるとともに、上向き面を含む大径部と、前記大径部よりも上方に突出し、前記大径部よりも細い小径部とを含み、前記係止構造は、前記洗浄ブラシの上方への動きが規制されている状態で、所定以上の上向きの力が前記洗浄ブラシを係止している前記棒状部材に作用すると係止状態を解除され、前記洗浄ブラシの下方への動きが規制されている状態で前記棒状部材を前記洗浄ブラシに押しつける所定以上の下向きの力が前記棒状部材に作用すると係止状態になるように構成されており、前記ブラシ収納容器は、前記洗浄ブラシの下面のうち少なくとも一部の被支持部を下方から支持する底壁と、前記底壁の一端側から上方に延設された連結壁と、前記連結壁の上端側から前記底壁側に延設された上壁と、を備え、前記底壁と前記上壁の間には、前記棒状部材に係止された前記洗浄ブラシのうち前記被支持部から前記大径部の前記上向き面までの部分を収納し得る収納空間が形成されており、前記上壁には、前記連結壁とは反対側の先端面に開口を有して前記先端面から前記連結壁側に延在する上側貫通孔が形成されており、前記上側貫通孔は、前記ブラシユニットの前記小径部が前記上側貫通孔を貫通している状態で、当該洗浄ブラシが前記収納空間における所定の収納位置と前記ブラシ収納容器の外部との間で前記上側貫通孔の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、前記上壁のうち前記上側貫通孔の周囲部分は、前記洗浄ブラシが前記収納位置に収納されたときに、前記大径部の前記上向き面の少なくとも一部を覆うように形成されており、前記収納位置において前記洗浄ブラシを収納している。
【０００９】
第４の態様に係る基板処理装置は、第１または第２の態様に係るブラシ収納容器と、基板を水平姿勢で保持する基板保持機構と、前記洗浄ブラシと、鉛直方向に延在して前記洗浄ブラシの前記係止構造を係止可能な棒状部材を含み、前記棒状部材に係止された前記洗浄ブラシを、前記基板と前記ブラシ収納容器内の前記収納位置との間で移動させるブラシ移動機構と、を備え、前記ブラシ移動機構は、前記棒状部材を上下動できる昇降機構を含み、前記ブラシ移動機構は、前記棒状部材に係止された前記洗浄ブラシに対して、当該洗浄ブラシを前記ブラシ収納容器の前記上側貫通孔の開口から前記上側貫通孔の延在方向に沿って前記収納位置に移動させて前記ブラシ収納容器に収納する収納動作を行い、その後、収納された当該洗浄ブラシの前記係止構造と前記棒状部材との係止状態が解除されるように前記昇降機構によって前記棒状部材を上方に移動させる係止解除動作を行うことができ、前記ブラシ移動機構は、前記収納位置に配置されている前記洗浄ブラシの前記係止構造に前記棒状部材が係止するように、当該洗浄ブラシの上方から前記昇降機構によって前記棒状部材を降下させて前記棒状部材を当該洗浄ブラシに押し付けることができる。
【００１０】
第５の態様に係る基板処理装置は、第４の態様に係る基板処理装置であって、前記ブラシ収納容器の前記上壁には、前記上側貫通孔と同様の構成の他の上側貫通孔がさらに形成されており、前記他の上側貫通孔に対応する前記ブラシ収納容器内の収納位置には、前記洗浄ブラシと同様の構成の他の洗浄ブラシが予め配置されており、前記ブラシ移動機構は、前記棒状部材に係止されている前記洗浄ブラシに対して前記収納動作と前記係止解除動作とを順次に行い、その後、前記他の洗浄ブラシの前記係止構造に前記棒状部材が係止するように、当該他の洗浄ブラシの上方から前記昇降機構によって前記棒状部材を降下させて前記棒状部材を当該他の洗浄ブラシに押し付けることができる。
【００１１】
第６の態様に係る基板処理装置は、第４または第５の態様に係る基板処理装置であって、前記洗浄ブラシの前記係止構造は、磁石を含んでおり、前記ブラシ移動機構の前記棒状部材の下端部分には前記磁石と互いに引力を及ぼし合う他の磁石が設けられている。
【００１２】
第７の態様に係る基板処理装置は、第４から第６の何れか１つの態様に係る基板処理装置であって、前記洗浄ブラシの前記ブラシ本体は、前記ブラシホルダーの下面よりも下方に突出して前記基板の表面に接触可能な接触部を含んでいるとともに、弾性変形可能であり、前記ブラシ収納容器の前記底壁には、前記連結壁とは反対側の先端面に開口を有して前記先端面から前記連結壁側に延在する下側貫通孔が、前記上側貫通孔に対向して形成されており、前記下側貫通孔は、前記洗浄ブラシの前記接触部が前記下側貫通孔を貫通している状態で、当該洗浄ブラシが前記収納位置から前記ブラシ収納容器の外部まで前記下側貫通孔の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、前記底壁のうち前記下側貫通孔の周囲部分は、前記洗浄ブラシが前記収納位置に配置されたときに、前記洗浄ブラシの下面のうち少なくとも一部を覆うように形成されており、前記基板処理装置は、洗浄液を供給する洗浄液供給機構と、前記洗浄液を導く内部流路が形成されており、前記ブラシ本体の前記接触部に当接するための当接部材と、前記洗浄ブラシが前記ブラシ収納容器に収納されて前記ブラシ本体の前記接触部が前記下側貫通孔を貫通している状態で、前記接触部に前記当接部材が当たるように、前記ブラシ収納容器を前記当接部材に対して相対的に移動させる洗浄用移動機構と、をさらに備え、前記洗浄液供給機構は、前記当接部材の前記内部流路に連通しており、前記当接部材には、前記内部流路と連通するとともに、前記当接部材の外周面のうち前記接触部側の部分に開口する洗浄液吐出口が形成されている。
【発明の効果】
【００１３】
第１の態様に係る発明によれば、上側貫通孔は、ブラシユニットの小径部が上側貫通孔を貫通している状態で、当該洗浄ブラシが収納空間における所定の収納位置とブラシ収納容器の外部との間で上側貫通孔の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、上壁のうち上側貫通孔の周囲部分は、洗浄ブラシが収納位置に配置されたときに、大径部の上向き面の少なくとも一部を覆うように形成されている。これにより、棒状部材を移動させることによって、棒状部材に係止されている洗浄ブラシをブラシ収納容器の外部ら収納位置まで搬送して配置できる。洗浄ブラシが収納位置に配置されれば、洗浄ブラシの上方への動きが、上壁のうち上側貫通孔の周囲部分によって規制される。この状態で、棒状部材を上方に移動するために、所定以上の上向きの力を棒状部材に作用させれば、棒状部材と洗浄ブラシとの係止状態を解除できる。また、洗浄ブラシが収納位置に配置されれば、洗浄ブラシの下方への動きもブラシ収納容器の底壁によって規制される。この状態で、係止されていない棒状部材を洗浄ブラシの上方から洗浄ブラシに押しつけて、所定以上の下向きの力を棒状部材に作用させれば、棒状部材と洗浄ブラシとを係止状態にできる。従って、棒状部材の上下動によって棒状部材に対する洗浄ブラシの脱着を行うことができるので、洗浄ブラシの脱着に要する時間を短縮できる。
【００１４】
第２の態様に係る発明によれば、下側貫通孔は、洗浄ブラシの接触部が下側貫通孔を貫通している状態で、当該洗浄ブラシが収納位置からブラシ収納容器の外部まで下側貫通孔の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、底壁のうち下側貫通孔の周囲部分は、洗浄ブラシが収納位置に配置されたときに、接触部を除いた洗浄ブラシの下面のうち少なくとも一部を覆うように形成されている。これにより、洗浄ブラ接触部が下側貫通孔を貫通している状態で、ブラシ収納容器の外部と収納位置との間で洗浄ブラシを搬送できるとともに、収納位置に配置された洗浄ブラシの下方への動きを規制できる。従って、洗浄ブラシの搬送中に洗浄ブラシの接触部がブラシ収納容器の底壁に接触して汚れることを抑制できる。また、接触部の汚れを抑制しつつ棒状部材と洗浄ブラシとを係止状態にできる。
【００１５】
第４の態様に係る発明によれば、基板処理装置のブラシ移動機構は、棒状部材に係止された洗浄ブラシに対して、当該洗浄ブラシをブラシ収納容器の上側貫通孔の開口から上側貫通孔の延在方向に沿って収納位置に移動させてブラシ収納容器に収納する収納動作を行い、その後、収納された当該洗浄ブラシの係止構造と棒状部材との係止状態が解除されるように昇降機構によって棒状部材を上方に移動させる係止解除動作を行うことができる。また、ブラシ移動機構は、収納位置に配置されている洗浄ブラシの係止構造に棒状部材が係止するように、当該洗浄ブラシの上方から昇降機構によって棒状部材を降下させて棒状部材を当該洗浄ブラシに押し付けることができる。従って、基板処理装置は、ブラシ移動機構によって棒状部材を移動させることによって、ブラシ収納容器の外部と収納位置との間で洗浄ブラシを搬送できるとともに、ブラシ移動機構によって棒状部材を上下動させることによって棒状部材に対する洗浄ブラシの脱着を行うことができるので、洗浄ブラシの脱着に要する時間を短縮できる。
【００１６】
第５の態様に係る発明によれば、ブラシ移動機構は、棒状部材に係止されている洗浄ブラシに対して収納動作と係止解除動作とを順次に行い、その後、他の洗浄ブラシの係止構造に棒状部材が係止するように、当該他の洗浄ブラシの上方から昇降機構によって棒状部材を降下させて棒状部材を当該他の洗浄ブラシに押し付けることができる。従って、基板処理装置は、洗浄ブラシの交換処理を、その所要時間を短縮して、行うことができる。
【００１７】
第６の態様に係る発明によれば、洗浄ブラシの係止構造は、磁石を含んでおり、ブラシ移動機構の棒状部材の下端部分には磁石と互いに引力を及ぼし合う他の磁石が設けられている。従って、棒状部材の上下動によって棒状部材に対する洗浄ブラシの着脱を行うために必要な係止構造を簡単な構成によって実現できる。
【００１８】
第７の態様に係る発明によれば、洗浄ブラシがブラシ収納容器に収納されてブラシ本体の接触部が下側貫通孔を貫通している状態で、接触部に当接部材が当たるように、ブラシ収納容器を当接部材に対して相対的に移動させる洗浄用移動機構と、をさらに備え、洗浄液供給機構は、当接部材の内部流路に連通しており、当接部材には、内部流路と連通するとともに、当接部材の外周面のうち接触部側の部分に開口する洗浄液吐出口が形成されている。洗浄ブラシがブラシ収納容器に収納されてブラシ本体の接触部が下側貫通孔を貫通している状態で、当接部材の洗浄液吐出口から洗浄液を洗浄ブラシの接触部に当たるように吐出しつつ、ブラシ収納容器を当接部材に対して相対的に移動させて、接触部に当接部材を当てることができる。従って、棒状部材から洗浄ブラシが取り外されてブラシ収納容器に収納されている状態においても、当該洗浄ブラシに対する洗浄処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施形態に係る基板処理装置の概略構成を模式的に示す側面図である。
【図２】図１の基板処理装置の概略構成を模式的に示す平面図である。
【図３】図２のアームと容器移動機構とを模式的に示す斜視図である。
【図４】図３のブラシ収納容器と洗浄ブラシを模式的に示す斜視図である。
【図５】図４のブラシ収納容器を示す斜視図である。
【図６】図４の洗浄ブラシを模式的に示す側面図である。
【図７】図６の洗浄ブラシを模式的に示す側面断面図である。
【図８】図６のシャフトの係止構造の近傍部分を模式的に示す正面図である。
【図９】図６の洗浄ブラシを分解した状態を模式的に示す側面図である。
【図１０】図４のステージが移動させる洗浄ブラシの接触部と、当接部材との位置関係を模式的に示す斜視図である。
【図１１】図３のアームの動作を説明するための斜視図である。
【図１２】図３のアームの動作を説明するための斜視図である。
【図１３】図４の洗浄ブラシの他の実施形態を模式的に示す側面図である。
【図１４】図４の洗浄ブラシのさらに他の実施形態を模式的に示す側面図である。
【図１５】図４の洗浄ブラシのさらに他の実施形態を模式的に示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照しながら、実施の形態について説明する。以下の実施の形態は、本発明を具体化した一例であり、本発明の技術的範囲を限定する事例ではない。また、以下に参照する各図では、理解容易のため、各部の寸法や数が誇張または簡略化して図示されている場合がある。また、各図では、同様な構成および機能を有する部分に同じ符号が付され、下記説明では重複説明が省略される。上下方向は鉛直方向であり、スピンチャックに対して基板側が上である。
【００２１】
＜基板処理装置１の構成＞
図１は、実施形態に係る基板処理装置１の概略構成を模式的に示す側面図である。図２は、基板処理装置１の概略構成を模式的に示す平面図である。図３は、基板処理装置１が備えるアーム３５と容器移動機構１３０とを模式的に示す斜視図である。図４は、基板処理装置１の容器移動機構１３０に取り付けられたブラシ収納容器９と、ブラシ収納容器９に収納されている洗浄ブラシ５を模式的に示す斜視図である。
【００２２】
基板処理装置１は、基板Ｗに洗浄ブラシ５を押し当てて基板Ｗを洗浄する枚葉型の装置である。基板処理装置１は、不図示のチャンバー（「筐体」）によって囲まれた処理空間５００において基板Ｗを水平姿勢で保持して回転させる回転保持機構２と、基板Ｗに処理液を供給するための処理液供給機構４と、基板Ｗを洗浄するための洗浄ブラシ５と、洗浄ブラシ５を収納するためのブラシ収納容器９と、洗浄ブラシ５を移動するためのブラシ移動機構３と、洗浄ブラシ５が連結されるシャフト２０を回転させるためのシャフト回転機構１８と、洗浄ブラシ５を洗浄するためのブラシ洗浄機構１１とを備えている。
【００２３】
＜回転保持機構２＞
回転保持機構２は、基板Ｗを水平姿勢で保持するとともに、水平姿勢に保持した基板Ｗを鉛直方向に延在する回転軸線ａ１を中心に回転させる。回転保持機構２は、真空吸着式のチャック機構である。回転保持機構２は、基板Ｗを水平な姿勢で保持するスピンチャック（「基板保持機構」）２１と、スピンチャック２１から下方に延びる筒状の回転軸２２と、スピンチャック２１および回転軸２２を回転させる回転駆動機構２３とを備えている。回転軸２２の下側部分と回転駆動機構２３は、筒状のケーシング２４に収納されている。
【００２４】
回転軸２２は、回転駆動機構２３から鉛直方向に沿って上方に延設されており、回転駆動機構２３に結合されている。回転軸２２の上端には、基板Ｗの下面側から基板Ｗを吸着保持するスピンチャック２１が取り付けられている。基板Ｗは、その上面を上方に向けてスピンチャック２１によって略水平姿勢に保持されている。
【００２５】
回転駆動機構２３は、例えば、サーボモーターと、その回転を回転軸２２に伝達するギア機構とを含んでいる。回転軸２２は、回転駆動機構２３の駆動力をスピンチャック２１に伝達する。これにより、基板Ｗは、その中心を通る鉛直な回転軸線ａ１まわりにスピンチャック２１と共に一体的に回転させられる。なお、この実施形態では、吸着式の回転保持機構２を例示しているが、回転保持機構２は、複数の基板挟持部材で基板Ｗを挟持する挟持式のチャック機構であってもよい。
【００２６】
＜シャフト回転機構１８＞
シャフト回転機構１８は、アーム３５内に配置された回転駆動機構１９と、回転駆動機構１９と結合されたシャフト２０とを含む。シャフト２０は、例えば、四角柱状のステンレス鋼等である。シャフト２０の下端部分には、洗浄ブラシ５を係止するための係止構造２０１が設けられている。係止構造２０１は、例えば、シャフト２０の下端部分を角筒状として、当該筒状部分の外周面から外側へ僅かに突出して形成された係止小突起などである。
【００２７】
回転駆動機構１９は、例えば、サーボモーターと、その回転をシャフト２０に伝達するギア機構とを備えている。シャフト２０は、鉛直方向に延在している。シャフト２０の上端は回転駆動機構１９に結合されている。また、シャフト２０の下端は、アーム３５から下方に突出している。シャフト２０は、回転駆動機構１９によってシャフト２０の中心軸線ａ２を中心に回転駆動される。
【００２８】
＜ブラシ移動機構３＞
ブラシ移動機構３は、回転保持機構２による基板Ｗの保持位置よりも上方で略水平に延在するアーム３５と、アーム３５を移動させるアーム移動機構３０と、ブラシ収納容器９を移動させる容器移動機構１３０とを備える。
【００２９】
＜アーム移動機構３０＞
アーム移動機構３０は、アーム３５を移動することによって、アーム３５と一体的に洗浄ブラシ５を移動させる。アーム移動機構３０は、アーム３５を支持して鉛直方向に延設されているアーム支持軸３３と、アーム支持軸３３に結合された昇降駆動機構３１および回転駆動機構３２とを備えている。
【００３０】
昇降駆動機構３１は、アーム３５を昇降可能に構成されている。昇降駆動機構３１の駆動力をアーム支持軸３３に伝達してアーム支持軸３３を昇降させることにより、アーム３５と洗浄ブラシ５とを一体的に昇降させる。昇降駆動機構３１は、例えば、サーボモーターと、その回転を直線運動に変換してアーム支持軸３３に伝達するボールネジなどを備えて構成される。
【００３１】
回転駆動機構３２は、その駆動力をアーム支持軸３３に伝達してアーム支持軸３３を回転軸線ａ３を中心に回転させる。回転軸線ａ３は、アーム支持軸３３に沿って上下方向に延在する。アーム３５は、回転軸線ａ３を中心に水平面に沿って回転可能に構成されている。アーム３５の回転により、洗浄ブラシ５は、回転軸線ａ３を中心にアーム３５と一体的に回転する。図１、図２では、洗浄ブラシ５が、ブラシ収納容器９内の収納位置と、基板Ｗの上面中央部との間で、経路Ｔに沿って移動させられる例を示している。ブラシ収納容器９は、基板Ｗの回転範囲外に設けられている。洗浄ブラシ５の経路Ｔは、基板Ｗの上方の水平面内で略円弧状に設定されている。回転駆動機構３２は、例えば、サーボモーターと、その回転をアーム支持軸３３に伝達するギア機構などを備えて構成される。
【００３２】
＜容器移動機構１３０＞
容器移動機構１３０は、水平な所定の直線に沿って延設されている柱状のベース部材１３１と、鉛直方向に立った姿勢の扁平なステージ１３５とを含んでいる。ベース部材１３１は、鉛直方向に立っている一側面１３２を含んでいる。ステージ１３５の一主面１３６（図２）は、一側面１３２と対向する対向面となっている。
【００３３】
ステージ１３５の他主面１３７の下端部分には、ブラシ収納容器９の連結壁９２が取り付けられている。ベース部材１３１の一側面１３２の上側部分と下側部分には一対のガイドレール１３３が設けられている。一対のガイドレール１３３は、一側面１３２に沿ってステージ１３５がベース部材１３１の延在方向（矢印Ｙ１の方向）に移動可能なようにステージ１３５を保持している。
【００３４】
ステージ１３５の一主面１３６に取り付けられた移動子（不図示）と、移動子に対向してベース部材１３１の一側面１３２に敷設された固定子（不図示）とは、リニアモーターを構成している。当該リニアモーターは、固定子と移動子との間に生ずる磁力によって移動子を移動させる。このため、当該リニアモーターを作動させると、ステージ１３５とブラシ収納容器９とが、ベース部材１３１のベース部材１３１の延在方向に沿って一体的に移動する。従って、ブラシ収納容器９が洗浄ブラシ５を収納している場合には、容器移動機構１３０は、洗浄ブラシ５をベース部材１３１の延在方向に沿って移動させる。
【００３５】
ベース部材１３１の延在方向は、水平面内で経路Ｔを横切る直線の方向である。従って、洗浄ブラシ５は、ブラシ収納容器９に単体で収納された状態で、シャフト２０に対して、相対的に、ベース部材１３１の延在方向に沿って移動可能である。容器移動機構１３０は、当該リニアモーターに駆動電流を供給するモーター制御装置１３９を含む。モーター制御装置１３９は、制御部１４０から送られる制御信号に従って、リニアモーターに駆動電流を供給し、当該リニアモーターを制御する。
【００３６】
容器移動機構１３０は、シャフト２０に係止された洗浄ブラシ５をブラシ収納容器９に収容されている他の洗浄ブラシ５に交換する際の各洗浄ブラシ５の移動、若しくはシャフト２０に洗浄ブラシ５を係止する際の洗浄ブラシ５の位置の微調整にも使用できる。容器移動機構１３０は、アーム移動機構３０がアーム３５と一体に移動させるシャフト２０の移動方向とは異なる方向（シャフト２０の移動方向を横切る方向）にブラシ収納容器９を移動させる。従って、洗浄ブラシ５の交換若しくは、洗浄ブラシ５の位置の微調整を行う際の、洗浄ブラシ５の配置の自由度を高めることができる。
【００３７】
＜洗浄ブラシ５＞
図６は、ブラシ収納容器９に収納された洗浄ブラシ５を模式的に示す側面図である。図７は、洗浄ブラシ５を模式的に示す側面断面図である。図７の洗浄ブラシ５は、その接触部５８を基板Ｗの上面に接触させた状態で示されている。図８は、洗浄ブラシ５が係止されるシャフト２０の係止構造（図示の例では、「係止小突起」）２０１の近傍部分を模式的に示す正面図である。図９は、洗浄ブラシ５を分解した状態を模式的に示す側面図である。
【００３８】
洗浄ブラシ５は、ブラシ本体５４と、ブラシ本体５４を保持するブラシホルダー５０とを含んでいる。ブラシホルダー５０は係止構造６７を含み、シャフト２０は、その下端部分に係止構造２０１を含む。係止構造６７と係止構造２０１とは、着脱可能に係止される。これにより、洗浄ブラシ５は、シャフト２０の下端部分と着脱可能に連結される。シャフト２０と、シャフト２０に係止された洗浄ブラシ５とはブラシユニット６である。この状態で、ブラシ本体５４の一部（接触部５８）が、ブラシホルダー５０よりも下方に突出する。基板処理装置１は、ブラシ移動機構３によってアーム３５と一体的に洗浄ブラシ５を移動させてブラシ本体５４を基板Ｗの表面に接触させる。
【００３９】
より詳細には、洗浄ブラシ５がシャフト２０に係止された状態において、ブラシ本体５４は、上半部が大径に形成された大径本体部５６となっており、下半部が大径本体部５６より小径の接触部（「小径本体部」とも称する）５８となっている。ブラシ本体５４は、例えば、ＰＶＡを原料とするスポンジ状の多孔質素材により形成されている。
【００４０】
ブラシ本体５４は、ブラシホルダー５０に保持される。ブラシ本体５４は、水平姿勢に保持された基板Ｗの表面に接触するための接触部５８を含んでいる。ブラシ本体５４がブラシホルダー５０に装着された状態で洗浄ブラシ５がシャフト２０に係止されると、接触部５８は、ブラシホルダー５０の下面よりも下方に突出する。これにより接触部５８は、基板Ｗの表面に接触可能である。ブラシ本体５４は、弾性変形可能であることが好ましい。
【００４１】
ブラシ本体５４の接触部５８が洗浄ブラシ５の下端となるように洗浄ブラシ５が立った姿勢において、ブラシホルダー５０は、上側に柱状部材５１を含み、下側に筒状部材５２を含む。柱状部材５１は、シャフト２０の下端部分に着脱可能に連結され、筒状部材５２は、柱状部材５１の下端部分に嵌合してブラシ本体５４を保持可能な空間を形成する。ブラシホルダー５０は、当該空間に大径本体部５６を保持することによって、ブラシ本体５４を保持する。
【００４２】
ブラシホルダー５０の柱状部材５１は、例えば、ポリプロピレン等のプラスチック材によって一体的に形成されている。柱状部材５１は、鉛直方向に延在する円柱状の胴部５１ａと、胴部５１ａの下面に連なって胴部５１ａから下方に突出した円柱状の嵌合部５１ｂと、胴部５１ａの上面に連なって胴部５１ａから上側に突出した円柱状の突出柱部５１ｃとを含んでいる。
【００４３】
嵌合部５１ｂは、胴部５１ａに比べて若干細く形成されており、嵌合部５１ｂに円筒状の筒状部材５２の上端部が嵌着される。嵌合部５１ｂの外周面には、係止突起７０が形成されている。
【００４４】
ブラシホルダー５０の筒状部材５２も、例えば、柱状部材５１と同じ材料によって一体的に形成されている。筒状部材５２の上端側の内周面には、係止凹部７２が形成されている。柱状部材５１の嵌合部５１ｂに筒状部材５２の上端部を嵌着したときに、係止凹部７２は、係止突起７０と係合する。
【００４５】
筒状部材５２の外径寸法は、柱状部材５１の胴部５１ａの外径と同じである。また、筒状部材５２の内径寸法は、ブラシ本体５４の大径本体部５６の外径より僅かに大きくされている。また、筒状部材５２の下端近くの内周面には、フランジ部７４が一体に形設されている。フランジ部７４の内径寸法は、ブラシ本体５４の接触部５８の外径より僅かに大きくかつ大径本体部５６の外径より小さくされている。このブラシホルダー５０は、例えばポリプロピレン等のプラスチック材によって形成される。
【００４６】
ブラシホルダー５０にブラシ本体５４を組み込むには、筒状部材５２のフランジ部７４の円形孔７６にブラシ本体５４の接触部５８を挿入して、筒状部材５２内にブラシ本体５４を収容した後、筒状部材５２の上端部に柱状部材５１の嵌合部５１ｂを嵌着させるようにすればよい。このとき、ブラシ本体５４は、筒状部材５２のフランジ部７４によって支持されるとともに、上面が柱状部材５１の下面に当接して、ブラシホルダー５０に対する上下方向の移動が規制され、また、筒状部材５２の内周面によってブラシホルダー５０に対する横方向の移動が規制される。そして、ブラシ本体５４がブラシホルダー５０に保持されたときに、ブラシ本体５４の下端面が筒状部材５２の下端より下方へ突き出た状態になる。
【００４７】
ブラシホルダー５０の柱状部材５１には、その上面に開口して下面側に延在する角穴６６が設けられている。より詳細には、角穴６６は、突出柱部５１ｃの上面の中央部に開口して、洗浄ブラシ５の軸心方向に沿って柱状部材５１の下面側に向けて延設されている。シャフト２０の外観形状は、例えば、角柱状に形成されている。角穴６６の幅は、シャフト２０の幅よりも若干大きい。これにより、シャフト２０は、角穴６６に挿通可能である。
【００４８】
ブラシホルダー５０の上面側には、洗浄ブラシ５をシャフト２０に着脱可能に連結するための係止構造６７が設けられている。係止構造６７は、基板処理装置１のシャフト２０の下端部分に設けられた係止構造２０１に係止される。従って、洗浄ブラシ５は、係止構造２０１と係止構造６７とが係止状態となることによって、シャフト２０の下端部分に着脱可能に係止される。
【００４９】
図６、図８に示される係止構造２０１は、係止用の係止小突起を含んでいる。シャフト２０の下端部分は、例えば、角筒状に形成されており、当該係止小突起は、当該角筒状の部分の一側面と、当該一側面とは反対側の他の側面とに設けられている。
【００５０】
図８に示されるように、係止構造２０１は、その係止小突起の上側部分を除いて、孔Ｈ１によって囲まれている。孔Ｈ１は、係止小突起の上側部分を除いて、係止構造２０１の周囲に沿って延設されている。従って、係止構造２０１は、その上側部分を支点としてシャフト２０の軸心を横切る方向（図８の紙面に垂直な方向）に弾性的に変位可能となっている。
【００５１】
ブラシホルダー５０の上側に設けられる係止構造６７は、図６、図９に示される例では、シャフト２０の係止構造２０１の係止小突起が係止可能な係止小凹部を含んでいる。当該係止小凹部は、角穴６６の内壁において、係止構造２０１の係止小突起に対応する位置に形成されている。
【００５２】
この構成によって、シャフト２０の係止構造２０１が洗浄ブラシ５の係止構造６７に係止しているとともに、洗浄ブラシ５の上方への動きが規制されている状態で、シャフト２０に所定以上の上向きの力が作用すると、係止構造６７（より詳細には、係止構造６７と係止構造２０１）はその係止状態を解除される。また、シャフト２０の係止構造２０１が洗浄ブラシ５の係止構造６７の上方に位置するとともに、洗浄ブラシ５の下方への動きが規制されている状態で、シャフト２０を洗浄ブラシ５に押しつける所定以上の下向きの力がシャフト２０に作用すると、係止構造６７（より詳細には、係止構造６７と係止構造２０１）は係止状態になる。
【００５３】
換言すれば、シャフト２０に洗浄ブラシ５が係止されている状態で、洗浄ブラシ５をシャフト２０に対して下方に変位させようとする所定以上の下向きの力を、洗浄ブラシ５（より詳細には、ブラシホルダー５０）が上壁９３から及ぼされたときに、ブラシホルダー５０の係止構造６７とシャフト２０の下端部分の係止構造２０１との係止状態が解除される。また、シャフト２０の下端部分がブラシホルダー５０の係止構造６７の上方に位置している状態で、洗浄ブラシ５をシャフト２０に対して上方に変位させようとする所定以上の上向きの力を、洗浄ブラシ５（より詳細には、ブラシホルダー５０）がブラシ収納容器９の底壁９１から及ぼされると、シャフト２０の係止構造２０１がブラシホルダー５０の係止構造６７に係止する。
【００５４】
柱状部材５１の突出柱部５１ｃは、胴部５１ａよりも細く形成されている。シャフト２０と、シャフト２０に係止された洗浄ブラシ５からなるブラシユニット６において、例えば、胴部５１ａの上側部分が、洗浄ブラシ５の少なくとも一部であって上向き面５９を含む大径部（「太部」とも称される）１０１であり、突出柱部５１ｃは、大径部１０１大径部１０１よりも上方に突出し、大径部１０１よりも細い小径部（「細部」とも称される）１０２である。
【００５５】
＜ブラシ収納容器９＞
図５は、ブラシ収納容器９を示す斜視図である。ブラシ収納容器９は、少なくとも１つ（図４の例では、４つ）の洗浄ブラシ５を収納することができる。図４、図５を参照しつつ、ブラシ収納容器９について説明する。
【００５６】
ブラシ収納容器９は、洗浄ブラシ５の下面のうち少なくとも一部の被支持部７７を下方から支持する底壁９１と、底壁９１の一端側から上方に延設された連結壁９２と、連結壁９２の上端側から底壁９１側に延設された上壁９３と、互いに対向する側壁９４、９５とを備えている。底壁９１と上壁９３の間には、シャフト２０に係止された洗浄ブラシ５のうち被支持部７７から大径部１０１の上向き面までの部分を収納し得る収納空間Ｖ１が形成されている。上壁９３には、少なくとも１つ（図５の例では４つ）の上側貫通孔９８が形成されている。上側貫通孔９８は、上壁９３の先端面９６に開口９８ａを有しており、先端面９６から連結壁９２側に延在している。上壁９３の先端面９６は、連結壁９２とは反対側の端面である。洗浄ブラシ５における被支持部７７は、筒状部材５２の下端面、すなわち、ブラシホルダー５０の下端面である。
【００５７】
上側貫通孔９８は、シャフト２０と、シャフト２０に係止された洗浄ブラシ５からなるブラシユニット６の小径部１０２が上側貫通孔９８を貫通してから上壁９３よりも上方に突出している状態で、当該洗浄ブラシ５が収納空間Ｖ１における所定の収納位置Ｐ１とブラシ収納容器９の外部との間で上側貫通孔９８の延在方向（矢印Ｙ２の方向）に沿って移動され得る大きさ（より正確には、大きさ、形状、および位置）に形成されている。
【００５８】
上壁９３のうち上側貫通孔９８の周囲部分は、洗浄ブラシ５が収納位置Ｐ１に配置されたときに、大径部１０１の上向き面の少なくとも一部を覆うように形成されている。
【００５９】
ブラシ収納容器９の底壁９１には、少なくとも１つ（図５の例では、４つ）の下側貫通孔９９が形成されている。下側貫通孔９９は、底壁９１の先端面９７に開口９９ａを有して先端面９７から連結壁９２側に延在している。当該先端面９７は、連結壁９２とは反対側の端面である。また、下側貫通孔９９は、上側貫通孔９８に対向して形成されている。
【００６０】
下側貫通孔９９は、洗浄ブラシ５の接触部５８が下側貫通孔９９を貫通している状態で、当該洗浄ブラシ５が収納位置からブラシ収納容器９の外部まで下側貫通孔９９の延在方向（矢印Ｙ２の方向）に沿って移動され得る大きさ（より正確には、大きさ、形状、および位置）に形成されている。底壁９１のうち下側貫通孔９９の周囲部分は、洗浄ブラシ５が収納位置に配置されたときに、洗浄ブラシ５の下面のうち少なくとも一部を覆うように形成されている。
【００６１】
具体的には、上壁９３の下面と底壁９１との間隔は、洗浄ブラシ５のうち底壁９１に当接して底壁９１から支持される被支持部７７から大径部１０１の上向き面５９のうち少なくとも外周縁側の一部までの間隔よりも若干長い。上壁９３の上面と、底壁９１との間隔は、ブラシホルダー５０の被支持部７７から小径部１０２の上端までの間隔よりも短い。上側貫通孔９８の幅は、小径部１０２の径よりも大きく、大径部１０１の径よりも小さい。
【００６２】
上述のように、図４、図５の例では、ブラシ収納容器９の上壁９３には、上側貫通孔９８と同様の構成の他の上側貫通孔９８がさらに形成されている。他の上側貫通孔９８に対応するブラシ収納容器９内の収納位置Ｐ１には、洗浄ブラシ５と同様の構成の他の洗浄ブラシ５が予め配置されている。また、ブラシ収納容器９は、収納位置Ｐ１において洗浄ブラシ５を収納している。洗浄ブラシ５は、ブラシホルダー５０が上側に位置し、ブラシホルダー５０の下側にブラシ本体５４が装着されている。洗浄ブラシ５は、鉛直方向に立った姿勢でブラシ収納容器９に収納される。
【００６３】
＜処理液供給機構４＞
処理液供給機構４は、基板Ｗの上面に向けて処理液（たとえば純水（deionized water：脱イオン水））を吐出するノズル４１を含む。処理液供給源４４からの処理液は、配管４２を介してノズル４１に供給される。配管４２の途中には、開閉弁４３が介装されている。開閉弁４３を開閉することにより、ノズル４１からの処理液の吐出／停止を切り換えることができる。ノズル４１は、配管４２を通して供給される処理液を、スピンチャック２１により回転される基板Ｗの上面に向けて吐出する。ノズル４１から吐出された処理液は、基板Ｗの上面における回転中心を含む範囲に供給される。
【００６４】
＜ブラシ洗浄機構１１＞
ブラシ洗浄機構１１は、洗浄ブラシ５の接触部５８に当接して接触部５８を変形させることによってブラシ本体５４を清掃する当接部材１１０と、洗浄液（たとえば炭酸水または純水）をブラシ本体５４に供給する洗浄液供給機構１１５とを備えている。
【００６５】
図１０は、容器移動機構１３０のステージ１３５が移動させる洗浄ブラシ５の接触部５８と、当接部材１１０との位置関係を模式的に示す斜視図である。
【００６６】
当接部材１１０には、洗浄液を導く内部流路１１１が形成されている。洗浄液供給機構１１５は、当接部材１１０の内部流路１１１に連通している。当接部材１１０には、洗浄液吐出口１１２が形成されている。洗浄液吐出口１１２は、内部流路１１１と連通しており、当接部材１１０の外周面のうち接触部５８側（上側）の部分に開口している。
【００６７】
洗浄液供給機構１１５は、洗浄液供給源１１８と、洗浄液供給源１１８が供給する洗浄液を当接部材１１０の内部流路１１１に導く配管１１６とを含む。配管１１６の途中には、開閉弁１１７が設けられている。開閉弁１１７を開閉することにより、当接部材１１０による洗浄液の吐出／停止を切り換えることができる。
【００６８】
容器移動機構１３０は洗浄ブラシ５がブラシ収納容器９に収納されてブラシ本体５４の接触部５８が下側貫通孔９９を貫通して底壁９１よりも下方に突出している状態で、接触部５８に当接部材１１０が当たるように、ブラシ収納容器９をベース部材１３１の延在方向に沿って当接部材１１０に対して相対的に移動させる。このとき、当接部材１１０のうち洗浄液吐出口１１２が設けられている先端部分は、接触部５８の立体的な移動軌跡Ｋ１の下面に接触し、若しくは、移動軌跡Ｋ１の中に入り込む。これにより、当接部材１１０がブラシ本体５４に当たってブラシ本体５４が変形され、ブラシ本体５４の洗浄がされる。従って、容器移動機構１３０は、洗浄用移動機構でもある。
【００６９】
＜制御部１４０＞
基板処理装置１は、その各部の制御のために制御部１４０を備えている。制御部１４０のハードウエアとしての構成は、例えば、一般的なコンピュータと同様のものを採用できる。すなわち、制御部１４０は、例えば、各種演算処理を行うＣＰＵ、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭおよび各種処理に対応したプログラムやデータなどを記憶しておく記憶装置をバスラインに接続して構成されている。記憶装置には、基板Ｗの処理内容および処理手順を規定するレシピ等も記憶されている。
【００７０】
回転保持機構２、ブラシ移動機構３、処理液供給機構４、ブラシ洗浄機構１１、およびシャフト回転機構１８などの基板処理装置１の各部は、制御部１４０の制御に従って動作を行う。
【００７１】
＜基板処理装置１の動作＞
図１１、図１２は、アーム３５の動作を説明するための斜視図である。図１１は、アーム３５が鉛直方向（矢印Ｙ３の方向）に沿って昇降し、洗浄ブラシ５に対するシャフト２０の脱着を行う状態を示している。図１２は、アーム３５が上側貫通孔９８（下側貫通孔）の延在方向に沿って移動し、シャフト２０に係止された洗浄ブラシ５のブラシ収納容器９への収納／取り出しを行う状態を示している。
【００７２】
基板処理装置１による基板Ｗの洗浄処理と、洗浄ブラシ５の交換処理は、次のように行われる。処理に際して、まず、図示しない基板搬送ロボットにより未処理の基板Ｗがチャンバー内に搬入されて、基板Ｗの下面がスピンチャック２１に吸着される。このとき、洗浄ブラシ５は、予め、シャフト２０に係止された状態で、ブラシ収納容器９に収納されている（図２の二点鎖線で示したアーム３５の先端部分の位置参照）。このとき洗浄ブラシ５は、基板Ｗよりも上方の位置（以下、第１上位置という）に保持されている。ブラシ収納容器９は、容器移動機構１３０のステージ１３５によって保持されている。容器移動機構１３０のベース部材１３１の延在方向は、図２の二点鎖線で示されたアーム３５の延在方向と一致している。ブラシ収納容器９は、上側貫通孔９８（下側貫通孔９９）の開口９８ａ（９９ａ）をスピンチャック２１側に向けて保持されている。上側貫通孔９８（下側貫通孔９９）の延在方向は、後述する経路Ｔの一部に沿っている。
【００７３】
基板Ｗがスピンチャック２１に吸着された後、制御部１４０は、回転保持機構２の回転駆動機構２３を駆動して、回転駆動機構２３の駆動力を回転軸２２に伝達させる。これにより、スピンチャック２１と基板Ｗとが一体的に回転軸線ａ１を中心に回転を始める。
【００７４】
またこのときに、制御部１４０は回転駆動機構３２を制御して、アーム３５を回転させる。これにより、洗浄ブラシ５は第１上位置の高さを維持した状態で、ブラシ収納容器９から経路Ｔに沿って基板Ｗの上面中央部の上方に向けて移動させられる。洗浄ブラシ５が基板Ｗの上面中央部の上方に到達すると（図２の実線で示したアーム３５の位置参照）、制御部１４０によって開閉弁４３が開かれて、ノズル４１から処理液が吐出される。
【００７５】
ノズル４１から吐出された処理液は、基板Ｗの上面中央部に供給される。基板Ｗの上面中央部に処理液が供給された後、制御部１４０は昇降駆動機構３１を制御して、アーム３５を降下させる。このとき、アーム３５は、ブラシ本体５４部の洗浄面２６が基板Ｗの上面中央部に所定の押付圧で当接する位置（以下、下位置という。）まで下降される。この状態で、制御部１４０は、回転駆動機構３２によって洗浄ブラシ５を基板Ｗ上での走査経路に沿って移動させる。これにより、洗浄ブラシ５が基板Ｗの上面中央部と基板Ｗの上面周縁部との間を移動し、基板Ｗの上面全域に洗浄ブラシ５が擦りつけられる。これにより、基板Ｗの上面の洗浄処理が実行される。当該走査経路は、基板Ｗの上方から見たときに、経路Ｔに重なる。
【００７６】
洗浄ブラシ５が基板Ｗの上面周縁部に到達した後、制御部１４０は昇降駆動機構３１を制御して、洗浄ブラシ５を基板Ｗの上面から離間させて第１上位置まで上昇させる。洗浄ブラシ５が基板Ｗから離れた後、制御部１４０によって開閉弁４３が閉じられて、ノズル４１からの処理液の吐出が停止される。
【００７７】
洗浄ブラシ５を第１上位置まで上昇させた後、制御部１４０は回転駆動機構３２を制御して、アーム３５を経路Ｔに沿って移動させる。これにより、洗浄ブラシ５は、上位置の高さを維持した状態でブラシ収納容器９に向けて移動させられ、上側貫通孔９８（下側貫通孔９９）の開口９８ａ（９９ａ）から、ブラシ収納容器９内の収納位置に収納される。
【００７８】
洗浄ブラシ５がブラシ収納容器９に収納された後、制御部１４０は昇降駆動機構３１を制御して、シャフト２０の上昇を開始させる。シャフト２０が上昇を開始すると、上側貫通孔９８の上壁９３によって洗浄ブラシ５の上方への移動が規制され、上壁９３は、洗浄ブラシ５に所定以上の下向きの力を及ぼす。これにより、シャフト２０と洗浄ブラシ５との係止状態が解除され、シャフト２０は、単独で、第１上位置よりもさらに上方の第２上位置に移動する。係止を解除された洗浄ブラシ５は、ブラシ収納容器９内の収納位置に取り残される。
【００７９】
洗浄ブラシ５の交換処理を行う場合には、制御部１４０は、容器移動機構１３０を制御してブラシ収納容器９を移動させて、予め、ブラシ収納容器９に収納されている他の洗浄ブラシ５をシャフト２０の下方に配置する。制御部１４０は、昇降駆動機構３１を制御して、シャフト２０を降下させる。他の洗浄ブラシ５は、ブラシ収納容器９の底壁９１によって下方への移動を規制されている。このためシャフト２０の下端部分が洗浄ブラシ５の角穴６６に挿入されると、洗浄ブラシ５は、所定以上の上向きの力を底壁９１から及ぼされる。これにより、シャフト２０が洗浄ブラシ５に係止されて、洗浄ブラシ５の交換処理が完了する。
【００８０】
また、洗浄ブラシ５がブラシ収納容器９に収納された後、制御部１４０は、スピンチャック２１の回転速度を、それまでよりも高速な速度まで加速させる。基板Ｗに付着している処理液は、基板Ｗの高速回転によって周囲に振り切られ除去される。これにより、基板Ｗが乾燥される。所定時間にわたって基板Ｗの乾燥処理が実行された後、制御部１４０により回転駆動機構２３の回転が停止される。その後、基板搬送ロボットによって、処理済みの基板Ｗがチャンバー内から搬出される。
【００８１】
また、洗浄ブラシ５がブラシ収納容器９内に単体で収納されている状態で、制御部１４０は、ブラシ移動機構３の容器移動機構１３０を制御してブラシ収納容器９をベース部材１３１の延在方向に沿って移動させるとともに、ブラシ洗浄機構１１を制御して、当接部材１１０から洗浄ブラシ５のブラシ本体５４に洗浄液を供給する。これにより、ブラシ洗浄工程が実施される。この場合、容器移動機構１３０は、洗浄ブラシ５の洗浄用移動機構である。
【００８２】
上述のように、ブラシ移動機構は、シャフト２０に係止された洗浄ブラシ５に対して、当該洗浄ブラシ５をブラシ収納容器９の上側貫通孔９８の開口９８ａから上側貫通孔９８の延在方向に沿って収納位置に移動させてブラシ収納容器９に収納する収納動作を行う。
【００８３】
ブラシ移動機構は、当該収納動作を行った後に、係止解除動作を行うことができる。係止解除動作は、ブラシ移動機構が、ブラシ収納容器９に収納された洗浄ブラシ５の係止構造６７と、シャフト２０との係止状態が解除されるように、昇降駆動機構３１によってシャフト２０を上方に移動させる動作である。
【００８４】
また、ブラシ移動機構は、係止動作を行うことができる。係止動作は、収納位置に配置されている洗浄ブラシ５の係止構造６７にシャフト２０が係止するように、ブラシ移動機構が、昇降駆動機構３１によって、当該洗浄ブラシ５の上方からシャフト２０を降下させてシャフト２０を当該洗浄ブラシ５に押し付ける動作である。
【００８５】
ブラシ移動機構は、シャフト２０に係止されている洗浄ブラシ５に対して収納動作と係止解除動作とを順次に行う。その後、ブラシ移動機構は、他の洗浄ブラシ５の係止構造６７にシャフト２０が係止するように、当該他の洗浄ブラシ５の上方から昇降駆動機構３１によってシャフト２０を降下させてシャフト２０を当該他の洗浄ブラシ５に押し付けることができる。
【００８６】
図１の例では、基板処理装置１は、洗浄ブラシ５を連結するシャフト２０を回転させるためのシャフト回転機構１８を備えている。しかし、基板処理装置１が、シャフト回転機構１８を備えおらず、シャフト２０に代えて、中心軸を中心に回転しないロッドを備えていてもよい。この場合、洗浄ブラシ５は、シャフト２０と一体的に回転することなく移動される。
【００８７】
図１３〜図１５は、基板処理装置１が備える洗浄ブラシ５（ブラシユニット６）の他の実施形態を模式的に示す側面図である。図１３には、洗浄ブラシ５Ａ（ブラシユニット６Ｂ）が示され、図１４には、洗浄ブラシ５Ｂ（ブラシユニット６Ｂ）が示され、図１５には、洗浄ブラシ５Ｃ（ブラシユニット６Ｃ）が示されている。
【００８８】
図１３に示されるブラシユニット６Ａは、シャフト２０と、洗浄ブラシ５Ａを含んでいる。洗浄ブラシ５Ａは、ブラシホルダー５０に代えてブラシホルダー５０Ａを含んでいることを除いて、洗浄ブラシ５と同様に構成されている。ブラシホルダー５０Ａは、柱状部材５１に代えて柱状部材５１Ａを備えていることを除いてブラシホルダー５０と同様に構成されている。柱状部材５１Ａは、突出柱部５１ｃに代えて突出柱部５１ｃＡを備え、さらに突出柱部５１ｄを備えることを除いて、ブラシホルダー５０の柱状部材５１と同様に構成されている。
【００８９】
突出柱部５１ｃＡは、突出柱部５１ｃと同様の外観形状を備えており、その上面には突出柱部５１ｄが設けられている。突出柱部５１ｄは、突出柱部５１ｃＡよりも大径であり、さらに、上側貫通孔９８の開口９８ａの幅よりも大径である。突出柱部５１ｄには、洗浄ブラシ５の突出柱部５１ｃと同様の構成の係止構造６７が設けられており、突出柱部５１ｄは、シャフト２０の下端部分に契合される。
【００９０】
ブラシユニット６Ａにおいては、ブラシユニット６と同様に胴部５１ａの上側部分が、洗浄ブラシ５Ａの少なくとも一部であって上向き面５９を含む大径部１０１である。ブラシユニット６Ａの小径部１０２は、洗浄ブラシ５Ａの突出柱部５１ｃＡである。
【００９１】
図１４に示されるブラシユニット６Ｂは、シャフト２０と、洗浄ブラシ５Ｂを含んでいる。洗浄ブラシ５Ａは、ブラシホルダー５０に代えてブラシホルダー５０Ｂを含んでいることを除いて、洗浄ブラシ５と同様に構成されている。ブラシホルダー５０Ｂは、柱状部材５１に代えて柱状部材５１Ｂを備えていることを除いてブラシホルダー５０と同様に構成されている。柱状部材５１Ｂは、突出柱部５１ｃを備えておらず、さらに、胴部５１ａに代えて胴部５１ａＢを備えることを除いて、ブラシホルダー５０の柱状部材５１と同様に構成されている。
【００９２】
胴部５１ａＢは、胴部５１ａと同様の外観形状を備えているが、その上面側に、洗浄ブラシ５の突出柱部５１ｃの係止構造６７と同様の構成の係止構造６７を含んでいる。胴部５１ａＢには、シャフト２０の下端部分が係止し、シャフト２０の下端部分は、ブラシ収納容器９の上側貫通孔９８を貫通する。
【００９３】
ブラシユニット６Ｂにおいては、胴部５１ａＢの上側部分が、洗浄ブラシ５Ｂの少なくとも一部であって上向き面５９を含む大径部１０１であり、シャフト２０の下端部分が小径部１０２である。
【００９４】
図１５に示されるブラシユニット６Ｃは、シャフト２０Ｃと、洗浄ブラシ５Ｃを含んでいる。洗浄ブラシ５Ｃは、ブラシホルダー５０に代えてブラシホルダー５０Ｃを含んでいることを除いて、洗浄ブラシ５と同様に構成されている。ブラシホルダー５０Ｃは、柱状部材５１に代えて柱状部材５１Ｃを備えていることを除いてブラシホルダー５０と同様に構成されている。柱状部材５１Ｃは、突出柱部５１ｃに代えて突出柱部５１ｃＣを備えていることを除いて、ブラシホルダー５０の柱状部材５１と同様に構成されている。
【００９５】
シャフト２０Ｃの下端部分には、シャフト２０の係止構造２０１が設けられていない。シャフト２０Ｃにおいては、その下端部分に環状部材５１ｆが取り付けられている。環状部材５１ｆの外径は、突出柱部５１ｃの外径とほぼ同じである。シャフト２０の中心軸が洗浄ブラシ５Ｃの中心軸と一致すると、環状部材５１ｆの下面は、突出柱部５１ｃＣの上面と対向する。環状部材５１ｆの下面には、係止構造２０１Ｃが設けられている。係止構造２０１Ｃは、例えば、環状の磁石を含む。当該磁石は、環状部材５１ｆの下面に露出して、環状部材５１ｆの周縁に沿って敷設されており、下端に、例えば、Ｓ極を有している。
【００９６】
突出柱部５１ｃＣは、突出柱部５１ｃと同様の外観形状を備えているが、突出柱部５１ｃの係止構造６７に代えて、係止構造６７Ｃを備えている。係止構造６７Ｃは、係止構造２０１Ｃの磁石と同じサイズの環状の磁石を含んでいる。当該磁石は、突出柱部５１ｃＣの上面に露出して、当該上面の周縁に沿って係止構造２０１Ｃの磁石と対向可能に敷設されている。係止構造６７Ｃの磁石は、その上端に、例えば、Ｎ極を有している。これにより、係止構造２０１Ｃと、係止構造６７Ｃのそれぞれの磁石は、互いに引力を及ぼし合う。この構成によって、係止構造２０１Ｃと係止構造６７Ｃとは着脱可能に係止される。係止構造２０１Ｃと係止構造６７Ｃとが係止される条件、および、係止状態が解除される条件は、係止構造２０１と係止構造６７との間のそれらと同様の条件となるように、各磁石が選択されている。
【００９７】
ブラシユニット６Ｃにおいては、ブラシユニット６と同様に胴部５１ａの上側部分が、洗浄ブラシ５Ｃの少なくとも一部であって上向き面５９を含む大径部１０１である。ブラシユニット６Ｃの小径部１０２は、洗浄ブラシ５Ｃの突出柱部５１ｃＣである。
【００９８】
図５の例では、ブラシ収納容器９の底壁９１に、下側貫通孔９９が形成されているが、ブラシ収納容器９の底壁９１に、下側貫通孔９９が形成されていなくてもよい。この場合には、洗浄ブラシ５がブラシ収納容器９に収納されると、ブラシ本体５４の接触部５８の下面が底壁９１に当接する。シャフト２０がブラシホルダー５０の係止構造６７に強く押しつけられれば、シャフト２０がブラシホルダー５０に係止する。
【００９９】
図５の例では、ブラシ収納容器９の上壁９３に設けられた上側貫通孔９８と、底壁９１に設けられた下側貫通孔９９のいずれもが、連結壁９２までは延在していない。しかし、上側貫通孔９８と下側貫通孔９９の少なくとも一方が、連結壁９２までは延在していてもよい。また、下側貫通孔９９が設けられない場合には、上側貫通孔９８は、例えば、上壁９３の先端面９６から連結壁９２の上端まで延在し、さらに、連結壁９２の下端まで延在してもよい。
【０１００】
図６の例では、洗浄ブラシ５のブラシホルダー５０およびブラシ本体５４は、略円柱状（より詳細には、段付きの円柱状）であるが、例えば、ブラシホルダー５０およびブラシ本体５４がそれぞれ直方体に形成されるなど、円柱状以外の形状を有していてもよい。また、洗浄ブラシ５が、柱状に形成されており、その側面を基板Ｗの周縁部に接触させて周縁部の洗浄を行うものであってもよい。
【０１０１】
図５の例では、ブラシ収納容器９の上壁９３には、複数の上側貫通孔９８が形成されているが、１つの上側貫通孔９８のみが形成されていてもよい。この場合においても、当該ブラシ収納容器９の構成を利用して、シャフト２０に対する洗浄ブラシ５の脱着に要する時間を短縮できるので、本発明の有用性は損なわれない。
【０１０２】
上記のように構成された本実施形態に係るブラシ収納容器９によれば、上側貫通孔９８は、シャフト２０と、シャフト２０に係止された洗浄ブラシ５とからなるブラシユニット６の小径部１０２が上側貫通孔９８を貫通して上壁９３よりも上方に突出している状態で、当該洗浄ブラシ５が収納空間Ｖ１における所定の収納位置とブラシ収納容器９の外部との間で上側貫通孔９８の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、上壁９３のうち上側貫通孔９８の周囲部分は、洗浄ブラシ５が収納位置に配置されたときに、大径部１０１の上向き面５９の少なくとも一部を覆うように形成されている。これにより、シャフト２０を移動させることによって、シャフト２０に係止されている洗浄ブラシ５をブラシ収納容器９の外部ら収納位置まで搬送して配置できる。洗浄ブラシ５が収納位置に配置されれば、洗浄ブラシ５の上方への動きが、上壁９３のうち上側貫通孔９８の周囲部分によって規制される。この状態で、シャフト２０を上方に移動するために、所定以上の上向きの力をシャフト２０に作用させれば、シャフト２０と洗浄ブラシ５との係止状態を解除できる。また、洗浄ブラシ５が収納位置に配置されれば、洗浄ブラシ５の下方への動きもブラシ収納容器９の底壁９１によって規制される。この状態で、係止されていないシャフト２０を洗浄ブラシ５の上方から洗浄ブラシ５に押しつけて、所定以上の下向きの力をシャフト２０に作用させれば、シャフト２０と洗浄ブラシ５とを係止状態にできる。従って、シャフト２０の上下動によってシャフト２０に対する洗浄ブラシ５の脱着を行うことができるので、洗浄ブラシ５の脱着に要する時間を短縮できる。
【０１０３】
また、上記のように構成された本実施形態に係るブラシ収納容器９によれば、下側貫通孔９９は、洗浄ブラシ５の接触部５８が下側貫通孔９９を貫通している状態で、当該洗浄ブラシ５が収納位置からブラシ収納容器９の外部まで下側貫通孔９９の延在方向に沿って移動され得る大きさに形成されており、底壁９１のうち下側貫通孔９９の周囲部分は、洗浄ブラシ５が収納位置に配置されたときに、接触部５８を除いた洗浄ブラシ５の下面のうち少なくとも一部を覆うように形成されている。これにより、洗浄ブラシ５の接触部５８が下側貫通孔９９を貫通して底壁９１よりも下方に突出している状態で、ブラシ収納容器９の外部と収納位置との間で洗浄ブラシ５を搬送できるとともに、収納位置に配置された洗浄ブラシ５の下方への動きを規制できる。従って、洗浄ブラシ５の搬送中に洗浄ブラシ５の接触部５８がブラシ収納容器９の底壁９１に接触して汚れることを抑制できる。また、接触部５８の汚れを抑制しつつシャフト２０と洗浄ブラシ５とを係止状態にできる。
【０１０４】
また、上記のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、ブラシ移動機構３は、シャフト２０に係止された洗浄ブラシ５に対して、当該洗浄ブラシ５をブラシ収納容器９の上側貫通孔９８の開口９８ａから上側貫通孔９８の延在方向に沿って収納位置に移動させてブラシ収納容器９に収納する収納動作を行い、その後、収納された当該洗浄ブラシ５の係止構造６７とシャフト２０との係止状態が解除されるように昇降機構によってシャフト２０を上方に移動させる係止解除動作を行うことができる。また、ブラシ移動機構３は、収納位置に配置されている洗浄ブラシ５の係止構造６７にシャフト２０が係止するように、当該洗浄ブラシ５の上方から昇降機構によってシャフト２０を降下させてシャフト２０を当該洗浄ブラシ５に押し付けることができる。従って、基板処理装置は、ブラシ移動機構３によってシャフト２０を移動させることによって、ブラシ収納容器９の外部と収納位置との間で洗浄ブラシ５を搬送できるとともに、ブラシ移動機構３によってシャフト２０を上下動させることによってシャフト２０に対する洗浄ブラシ５の脱着を行うことができるので、洗浄ブラシ５の脱着に要する時間を短縮できる。
【０１０５】
また、上記のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、ブラシ移動機構３は、シャフト２０に係止されている洗浄ブラシ５に対して収納動作と係止解除動作とを順次に行い、その後、他の洗浄ブラシ５の係止構造６７にシャフト２０が係止するように、当該他の洗浄ブラシ５の上方から昇降機構によってシャフト２０を降下させてシャフト２０を当該他の洗浄ブラシ５に押し付けることができる。従って、基板処理装置は、洗浄ブラシ５の交換処理を、その所要時間を短縮して、行うことができる。
【０１０６】
また、上記のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、洗浄ブラシ５の係止構造６７は、磁石を含んでおり、ブラシ移動機構３のシャフト２０の下端部分には磁石と互いに引力を及ぼし合う他の磁石が設けられている。従って、シャフト２０の上下動によってシャフト２０に対する洗浄ブラシ５の着脱を行うために必要な係止構造６７を簡単な構成によって実現できる。
【０１０７】
また、上記のように構成された本実施形態に係る基板処理装置によれば、洗浄ブラシ５がブラシ収納容器９に収納されてブラシ本体５４の接触部５８が下側貫通孔９９を貫通して底壁９１よりも下方に突出している状態で、接触部５８に当接部材１１０が当たるように、ブラシ収納容器９を当接部材１１０に対して相対的に移動させる容器移動機構１３０と、をさらに備え、洗浄液供給機構１１５は、当接部材１１０の内部流路１１１に連通しており、当接部材１１０には、内部流路１１１と連通するとともに、当接部材１１０の外周面のうち接触部５８側の部分に開口する洗浄液吐出口１１２が形成されている。洗浄ブラシ５がブラシ収納容器９に収納されてブラシ本体５４の接触部５８が下側貫通孔９９を貫通して底壁９１よりも下方に突出している状態で、当接部材１１０の洗浄液吐出口１１２から洗浄液を洗浄ブラシ５の接触部５８に当たるように吐出しつつ、ブラシ収納容器９を当接部材１１０に対して相対的に移動させて、接触部５８に当接部材１１０を当てることができる。従って、シャフト２０から洗浄ブラシ５が取り外されてブラシ収納容器９に収納されている状態においても、当該洗浄ブラシ５に対する洗浄処理を行うことができる。
【０１０８】
本発明は詳細に示され記述されたが、上記の記述は全ての態様において例示であって限定的ではない。したがって、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【０１０９】
１  基板処理装置
１０１  大径部
１０２  小径部
１１  ブラシ洗浄機構
１１５  洗浄液供給機構
１３０  容器移動機構（洗浄用移動機構）
１４０  制御部
１８  シャフト回転機構
２  回転保持機構
２０  シャフト（棒状部材）
２１  スピンチャック（基板保持機構）
２０１  係止構造
３  ブラシ移動機構
３０  アーム移動機構
３１  昇降駆動機構（昇降機構）
３５  アーム
４  処理液供給機構
５  洗浄ブラシ
５９  上向き面
６  ブラシユニット
６７  係止構造
９  ブラシ収納容器
９１  底壁
９２  連結壁
９３  上壁
９６  先端面
９７  先端面
９８  上側貫通孔
９８ａ  開口
９９  下側貫通孔
９９ａ  開口
【図１】
2018049926.tif 000003
【図２】
2018049926.tif 000004
【図３】
2018049926.tif 000005
【図４】
2018049926.tif 000006
【図５】
2018049926.tif 000007
【図６】
2018049926.tif 000008
【図７】
2018049926.tif 000009
【図８】
2018049926.tif 000010
【図９】
2018049926.tif 000011
【図１０】
2018049926.tif 000012
【図１１】
2018049926.tif 000013
【図１２】
2018049926.tif 000014
【図１３】
2018049926.tif 000015
【図１４】
2018049926.tif 000016
【図１５】
2018049926.tif 000017