【事件の表示】
　特許第３２６０３４７号「弾性表面波素子」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２６０３４７号の請求項１ないし５に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３２６０３４７号の特許請求の範囲の請求項１〜５に係る発明は、平成４年６月２９日に出願された特願平４−１７１０１８号を平成１１年１２月２８日に分割して出願され、平成１３年１２月１４日に設定登録がなされ、その後、雨宮範子より特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１５年１月６日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正請求について
　ア．訂正の内容
　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１を、
「【請求項１】　弾性表面波共振器を梯子型回路の直列腕と並列腕とに設けることにより構成した帯域通過フィルタ回路をチップ上に所定パターンで形成して成る弾性表面波素子において、直列腕共振器はその弾性波伝搬路と略直交する直線パターン上に配置すると共に、直列腕共振器の電極指より幅広の一本の直線状の信号線により接続され、他方、並列腕共振器は直列腕共振器の弾性波の伝搬路の延長線上以外の位置においてその弾性波伝搬路が直列腕共振器のパターン部と交差するように配置したことを特徴とする弾性表面波素子。」
と訂正する。
　イ．訂正の目的の適否、新規事項の追加及び特許請求の範囲の拡張又は変更の存否
　訂正事項ａは、図１〜９、図１２及び図１３の記載から直接的かつ一義的に導き出せる事項であって、特許請求の範囲の減縮に該当し、新規事項を追加するものでなく、特許請求の範囲を実質的に拡張又は変更するものでもない。
　ハ．むすび
　以上のとおり、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．異議申立について
　ア．異議申立の理由の概要
　異議申立人 雨山範子は、証拠として甲第１号証〜甲第５号証（刊行物１〜刊行物５）を提出し、訂正前の本件発明１〜５は、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、それらの特許は取り消されるべき旨主張している。
　イ．本件発明について
　訂正後の本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１〜５に係る発明（以下、本件発明１〜５という。）は次のとおりである。
　「【請求項１】　弾性表面波共振器を梯子型回路の直列腕と並列腕とに設けることにより構成した帯域通過フィルタ回路をチップ上に所定パターンで形成して成る弾性表面波素子において、直列腕共振器はその弾性波伝搬路と略直交する直線パターン上に配置すると共に、直列腕共振器の電極指より幅広の一本の直線状の信号線により接続され、他方、並列腕共振器は直列腕共振器の弾性波の伝搬路の延長線上以外の位置においてその弾性波伝搬路が直列腕共振器のパターン部と交差するように配置したことを特徴とする弾性表面波素子。
　　【請求項２】　上記帯域通過フィルタ回路の入出力部の少なくとも一方が並列腕共振器により構成される場合、この並列腕共振器を直列腕共振器の直線パターン上に配置すると共に直線状の信号線により直列腕共振器に接続することを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子。
　　【請求項３】　並列腕共振器の弾性波の伝播路が直列腕共振器の弾性波の伝播路の間に位置するようにパターン形成したことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子。
　　【請求項４】　素子回路パターンのショート欠陥検査用パットを並列腕共振器との接続部において直列腕共振器の直線状信号線上に設けたことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子。
　　【請求項５】　素子回路パターンのショート欠陥検査用パットを信号線から引き出し線を介して所定位置に設けたことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子。」
　ウ．取消理由通知に引用した刊行物に記載の発明
　取消理由通知に引用した刊行物１（甲第１号証（特開昭５１−３６０９１号公報））には、図面と共に次の事項が記載されている。
「第５Ａ図は、Ｔ型回路網が本発明の原理によって構成されるのを示している。第５Ａ図は、圧電性基板４と、その上に付着され、３つの弾性表面波変換器、及び相互に接続された導電体３０、３１、３２、及び３３を形成している導電体のパターン１６、１７、２５、２６、及び２７を示している。入力端子３５は、導電体３１を経て導電体２６と接続されている。導電体２７は、導電体３０を経て導電体１６と接続される。導電体２５は導電体３２により端子３６と接続され、導電体１７は導電体３３により端子３７を通りアースに接続される。端子３５、３６及び３７は、Ｔ型フィルタの３外部端子を形成する。単一のタンク回路と同一の働きを成す第１弾性表面波変換器は、導電体２６及び２７とそれらの間のすだれ状電極２８を含む。第２のタンク回路として働く第２弾性表面波変換器は、導電体２７及び２５、並びにそれらの間のすだれ状電極２８を含む。第３タンク回路として働く第３弾性表面波変換器は、導電体１６、１７及びすだれ状電極１８を含む。第５Ａ図は、本発明の良好な実施例に従って、これらの装置の夫々に関連した反射手段を示す。第５Ａ図は、タンク回路として働く夫々の回路に関して特定の方向を示しているが、当業者にとって弾性表面波変換器の任意の方向は、これらの装置の相対的な方向と同様に随意に変化さえることは明確にされる。導電体２７は、２つの弾性表面波変換器に関して共通であるが、これは、本発明を実施する上での本質ではない事は理解される。電気的に相互接続された２つの導電体は十分に働くが、第５Ａ図に於いて示されたパターンは簡単であるという利点を有している。」（７頁左上欄１１行〜同頁左下欄２行）
　取消理由通知に引用した刊行物２（甲第２号証（特開平４−５４０１１号公報））には、５頁第１図と共に次の事項が記載されている。
「ＳＡＷ共振子３０は、圧電基板２１上において、くし型電極２２、２３、２６、２７によって励起される表面波に干渉しないような位置に配置される。」（３頁左上欄末行〜同頁右上欄３行）
　取消理由通知に引用した刊行物３（甲第３号証（特開昭５２−１９０４４号公報））には次の事項が記載されている。
「実際上斯かる構成に於ける共振子Ａ及びＢは、第４図に示す如く弾性表面波を伝播せしめる圧電性を有する例えば水晶ＳＴカット板の如き基板１１上に、第１図にて共振子Ｑ１及びＱ２を形成せる場合と同様に一対のすだれ状電極Ｅ１及びＥ２の組の二つを附し、而してその一方の組及びその組下の基板１１を以て共振子Ａとし、他方の組及びその組下の基板１１を以て共振子Ｂとして構成し得るものである。但し共振子Ａが有すべき所定の共振周波数ｆＯＡは主としてその電極Ｅ１及びＥ２の電極素子間間隔によって決められ、更に共振子Ｂが有すべき共振子Ａに比し大なる等価並列容量は、主としてその電極Ｅ１及びＥ２の電極素子の数（共振子Ａの電極Ｅ１及びＥ２の電極素子の数に比し大なる）及びＥ１の電極素子と電極Ｅ２のそれとの対向長（共振子Ｂの電極Ｅ１の電極素子と電極Ｅ２のそれとの対向長に比し長い）によって決められるものである。尚共振子Ｂの等価並列容量ＣＯＢを共振子Ａのそれに比し大とすべく共振子Ｂの電極Ｅ１及びＥ２の電極素子の数を共振子Ａのそれに比し大とした場合、結果的にみて共振子Ａの電極Ｅ１及びＥ２の電極素子の数が共振子Ｂのそれに比し小となって共振子ＡのＱが共振子Ｂのそれに比し低下するが、これは第４図にて符号１７及び１８で示す如く共振子Ａを構成せる電極Ｅ１及びＥ２の組の両側に共振子Ａより基板１１を伝播して得られる弾性表面波を共振子Ａ側に反射せしめる反射用電極を夫々配することにより防ぎ得るものである。」（２頁左下欄１３行〜３頁右上欄７行）
　取消理由通知に引用した刊行物４（甲第４号証、実願昭６０−１００４８５号（実開昭６２−１０５２０号公報）のマイクロフィルム）には次の事項が記載されている。
「第１図において、各反射電極（７）は、アース電極（４）に電気的に接続している。このアース電極（４）はボンディングパッド（５）に電気的に接続しており、また浮き電極（６）は引き出し部（８）を介してプローブ部電極（９）に電気的に接続している。
　第１図に示した構造にすることにより、中間電極（６０１）、（６０２）、（６０３）、（６０４）部のショートやオープン等の欠陥を個別に検査することができる。」（４頁１５行〜５頁３行）
「上述の構造をとることにより、本考案の弾性表面波装置の特にくし歯電極が交差してなる電気的に浮いた状態にある電極のショートやオープン等の欠陥を個別に測定することができ、検査工程の簡略化および検査の作業効率が向上する。」（５頁１６行〜末行）
　取消理由通知に引用した刊行物５（甲第５号証（特開昭３−１９０４１１号公報））には次の事項が記載されている。
「１２０、１３０、２２０、２３０は接地端である。接地端は１箇所ないし２箇所でもよいが、どこからでもワイヤボンディングできるようにするという実装上の利便から４隅に接地端用ボンディングパッドを設けたものである。」（４頁右上欄６行〜１１行）
　エ．対比・判断
（１）本件発明１について
　刊行物1の上記記載の「弾性表面波変換器」、「Ｔ型回路網」、「第１及び第２弾性表面波変換器」、「第３弾性表面波変換器」、「圧電性基板４」、「第５図Ａに於いて示されたパターン」は、それぞれ本件発明１の「弾性表面波共振器」、「梯子型回路」、「直列腕共振器」、「並列腕共振器」、「チップ」、「所定パターン」に相当する。
　そして、刊行物１の上記記載の「２端子薄膜装置」は、本件発明１の「弾性表面波素子」に相当することは明らかである。
　また、刊行物１の上記記載の「２端子薄膜装置」は、刊行物１の第５Ｄ図に図示されるように、「帯域通過フィルタ回路」を構成していることは明らかである。
　更にまた、刊行物1の上記記載の「第１及び第２弾性表面波変換器」が「その弾性波伝搬路と略直交する直線パターン上に配置」されていることは、その第５Ａ図から明らかである。
　そこで、本件発明１と刊行物１に記載の発明とを対比すると、両者は「弾性表面波共振器を梯子型回路の直列腕と並列腕とに設けることにより構成した帯域通過フィルタ回路をチップ上に所定パターンで形成して成る弾性表面波素子において、直列腕共振器はその弾性波伝搬路と略直交する直線パターン上に配置したことを特徴とする弾性表面波素子」であるという点で一致し、次の２点（以下、相違点１及び２という。）で相違している。
　相違点１：本件発明１は「直列腕共振器は、その電極指より幅広の一本の直線状の信号線により接続されている」のに対して、刊行物１に記載の発明はそのようになっていることが不明である点。
　相違点２：本件発明１は「並列腕共振器は直列腕共振器の弾性波の伝搬路の延長線上以外の位置においてその弾性波伝搬路が直列腕共振器のパターン部と交差するように配置されている」のに対して、刊行物１に記載の発明は「並列腕共振器は直列腕共振器の弾性波の伝搬路の延長線上の位置においてその弾性波伝搬路が直列腕共振器のパターン部と交差するように配置されている」点。
　そこで、以下に上記相違点１及び２について検討する。
　相違点１について
　本件発明１の如く、「直列腕共振器」を「直列腕共振器の電極指より幅広の一本の直線状の信号線により接続する」ことは刊行物５の第１図に図示されるように当業者に周知の慣用技術である。
　してみると、相違点１は格別の相違ではない。
　相違点２について
　刊行物２には、「並列腕共振器は直列腕共振器の弾性波の伝搬路の延長線上以外の位置においてその弾性波伝搬路が直列腕共振器のパターン部と交差するように配置する」ことにより、直列腕と並列腕の弾性波の干渉を抑えることが記載されている。
　してみると、刊行物１に記載の発明において、刊行物２に記載の上記技術的事項を適用して、「並列腕共振器は直列腕共振器の弾性波の伝搬路の延長線上以外の位置においてその弾性波伝搬路が直列腕共振器のパターン部と交差するように配置する」ことは当業者であれば容易になし得ることである。
　したがって、本件発明１は、刊行物１及び２に記載の発明及び周知の慣用技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（２）本件発明２について
　本件発明２は、本件発明１を「並列腕共振器を直列腕共振器の直線パターン上に配置すると共に直線状の信号線により直列腕共振器に接続する」点に限定するものである。
　ところが、その限定である「並列腕共振器を直列腕共振器の直線パターン上に配置すると共に直線状の信号線により直列腕共振器に接続する」ことは、刊行物３の第４図及び第５図に関して記載されている。
　したがって、本件発明２は、刊行物１、２及び３に記載の発明及び周知の慣用技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（３）本件発明３について
　本件発明３は、本件発明１を「並列腕共振器の弾性波の伝播路が直列腕共振器の弾性波の伝播路の間に位置するようにパターン形成する」点に限定するものである。
　ところが、その限定である「並列腕共振器の弾性波の伝播路が直列腕共振器の弾性波の伝播路の間に位置するようにパターン形成する」は、刊行物２の第１図に関して記載されている。
　したがって、本件発明３は、刊行物１及び２に記載の発明及び周知の慣用技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（４）本件発明４について
　本件発明４は、本件発明１を「素子回路パターンのショート欠陥検査用パットを並列腕共振器との接続部において直列腕共振器の直線状信号線上に設ける」点に限定するものである。
　ところが、「素子回路パターンのショート欠陥検査用パットを信号線から引き出し線を介して所定位置に設ける」ことが刊行物４の第１及び２図に関して記載されて公知であるから、本件発明４の如く「素子回路パターンのショート欠陥検査用パットを並列腕共振器との接続部において直列腕共振器の直線状信号線上に設ける」程度のことは当業者であれば容易に想到し得ることである。
　したがって、本件発明４は、刊行物１、２及び４に記載の発明及び周知の慣用技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（５）本件発明５について
　本件発明５は、本件発明１を「素子回路パターンのショート欠陥検査用パットを信号線から引き出し線を介して所定位置に設ける」点に限定するものである。
　ところが、その限定である「素子回路パターンのショート欠陥検査用パットを信号線から引き出し線を介して所定位置に設ける」ことは刊行物４の第１及び２図に関して記載されている。
　したがって、本件発明５は、刊行物１、２及び４に記載の発明及び周知の慣用技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．むすび
  以上のとおり、本件発明１〜５は、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、本件発明１〜５についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものである。
　したがって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の一部の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第１項及び第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年１月１５日（２００３．１．１５）
【訂正の要旨】
　特許請求の範囲の請求項１を、
　『弾性表面波共振器を梯子型回路の直列腕と並列腕とに設けることにより構成した帯域通過フィルタ回路をチップ上に所定パターンで形成して成る弾性表面波素子において、直列腕共振器はその弾性波伝搬路と略直交する直線パターン上に配置すると共に、直列腕共振器の電極指より幅広の一本の直線状の信号線により接続され、他方、並列腕共振器は直列腕共振器の弾性波の伝搬路の延長線上以外の位置においてその弾性波伝搬路が直列腕共振器のパターン部と交差するように配置したことを特徴とする弾性表面波素子』と訂正する。
（５４）【発明の名称】
弾性表面波素子
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　弾性表面波共振器を梯子型回路の直列腕と並列腕とに設けることにより構成した帯域通過フィルタ回路をチップ上に所定パターンで形成して成る弾性表面波素子において、直列腕共振器はその弾性波伝搬路と略直交する直線パターン上に配置すると共に、
直列腕共振器の電極指より幅広の一本の
　【請求項２】　上記帯域通過フィルタ回路の入出力部の少なくとも一方が並列腕共振器により構成される場合、この並列腕共振器を直列腕共振器の直線パターン上に配置すると共に直線状の信号線により直列腕共振器に接続することを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子。
　【請求項３】　並列腕共振器の弾性波の伝播路が直列腕共振器の弾性波の伝播路の間に位置するようにパターン形成したことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子。
　【請求項４】　素子回路パターンのショート欠陥検査用パットを並列腕共振器との接続部において直列腕共振器の直線状信号線上に設けたことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子。
　【請求項５】　素子回路パターンのショート欠陥検査用パットを信号線から引き出し線を介して所定位置に設けたことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波素子。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、弾性表面波共振器により構成される弾性表面波フィルタ素子、詳しくは、圧電基板上にインタディジタルな電極指を配設した弾性表面波共振器を複数個組み合せてなる弾性表面波共振器複合形フィルタに関する。
　近年、自動車電話や携帯電話は小形・軽量化が進み、急速に普及してきている。これらの電話装置の無線信号処理部にはフィルタが用いられるが、機器の小形・軽量・高性能化のため最近、弾性表面波素子を用いた上述の如きフィルタが開発使用されてきている。
　【０００２】
　【従来の技術】
　いわゆるトランスバーサル形の弾性表面フィルタは、電気信号を弾性表面波に変換する入力インタディジタルトランスデューサと弾性表面波を再び電気信号に逆変換する出力インタディジタルトランスデューサとを圧電基板上に配置したものである。
　【０００３】
　図１５に弾性表面波共振器の基本構成を示す。同図において、１は圧電単結晶基板、２は櫛形駆動電極で例えばＡ１からなる櫛形電極指２ａ，２ｂが交互に差し挟まれている（インタディジタル電極指）。３は例えば同じＡ１からなる反射電極で電極指３ａが多数並んだ構造をしており、図ではショートストリップ型反射電極として示されている。
　【０００４】
　図１６に示す如く、弾性表面波共振器は共振周波数ｆｒと反共振周波数ｆａの二重共振特性を持つ。
　共振器を用いてフィルタを形成する方法は以下の通りである。図１６（イ）に上記弾性表面波共振器１個が直列接続された場合の通過特性、図１６（ロ）に上記弾性表面波共振器１個が並列接続された場合の通過特性を夫々示す。これらを組み合わせた図１６（ハ）より、直列共振器の共振周波数ｆｒと並列共振器の反共振周波数ｆａがほぼ等しい時バンドバスフィルタが形成される事がわかる。所望のフィルタ特性を得るには、各直列共振器と並列腕共振器の共振特性と梯子の組み合わせ方を最適化する必要がある。
　【０００５】
　これまで、表面弾性波共振器を梯子型に構成したフィルタにおいて、そのチップ上の配置は、例えば特開平１−２６０９１１号に示されるように共振器の表面弾性波の伝播路が共通化されたようなものであった。即ち、同一伝播路上に共振器を配列し、その相互干渉を利用した多重モードフィルタの構成が用いられていた。
　図１７に、例えば１．５ｍｍ×２．２５ｍｍ程度の圧電基板１上に５個の共振器Ｒ１〜Ｒ５を配列したチップ配置構造の具体例を示す。図の下部に示す等価回路からも判るように、入出力端子間において共振器Ｒ２，Ｒ５が並列となっている。換言すれば、同図の如き等価回路を実現するためのチップ配置は例えば図１７の如く形成される。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかるに従来のチップ配置はチップ面積をいかに小さくするかにのみ焦点が向けられ、複数の直列腕と並列腕を梯子形に配列する場合における信号線の引き回しによる伝送損失や、直列腕と並列腕との間の弾性波の干渉や各共振腕の静電気的結合には全くと言ってよい程、関心が払われていなかった。
　その結果、図１８に示すようにフィルタの挿入損失や帯域内リップルが大きくなり、アイソレーションも劣化していた。
　また、共振器の数や櫛形電極指の数が増加するにつれパターン形成時の電極ショート検査の工数も増え、生産性が低下していた。
　【０００７】
　そこで本発明は、信号線の引き回しによる伝送損失や直列腕と並列腕の弾性波の干渉等を抑え良好なフィルタ特性を得ることを目的とする。
　また、一素子につき電極ショート検査が一回で済むようにし、検査工数を減らし、延いてはチップのパッケージへの自動搭載後の自動ワイヤーボンディングの信頼性を向上させ、かつ生産性を上げることを目的とする。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　上記の目的を達成するため、請求項１に記載した本発明によれば、図１に示すように、直列腕共振器１１，１２はその弾性波伝播路と略直交する直線パターン上に配置され、かつこれら直列腕共振器１１，１２はコーナー部（曲げ部）を持たない直線状の接続線（信号線）１３により接続される。さらに並列腕共振器２１は直列腕共振器１１，１２の弾性波の伝播路５０（図では左右方向）および直列腕共振器同士を接続する信号線１３を避けた位置でかつその弾性波伝播路が直列腕共振器の直線パターン部と交差するように配置する。
　【０００９】
　請求項２に記載した本発明によれば、図２に示すように、入出力部の少なくとも一方（例えば出力部）が並列腕共振器２２により構成される場合、その少なくとも一方の入出力部に設けられた並列腕共振器２２と直列腕共振器１２を直線上に配置し、これら直列腕・並列腕共振器１２，２２もコーナー（曲げ部）を設けない直線状の接続線（信号線１３′）により接続する。
　請求項３に記載した発明では、図３に示すように、直列腕共振器１１，１２に挟まれた並列腕共振器２１の弾性波伝播路が並列腕共振器を挟む直列腕共振器１１，１２の弾性波伝播路の間になるように形成する。
　【００１０】
　図４，５に示すように、２個の並列腕共振器２１Ａ，２１Ｂを配置する際、並列腕共振器の接地（ＧＮＤ）２１ａ，２１ｂ同士を対向させるのが好ましい。互いの接地線は独立して形成する。
　請求項４に記載した本発明では、図７に示すように素子回路パターンのショート欠陥検査用パッド５を並列腕共振器との接続部において直列腕共振器の直線状信号線１３上に設ける。
　請求項５に記載した本発明によれば、図８に示す如く、素子回路パターンのショート欠陥検査用パッド５を信号線から引き出し線７を介して所定位置に設けたことを特徴とする。
　【００１１】
　【作用】
　請求項１，２に記載の本発明によれば、図１，２，３に示すように直列腕共振器はコーナーを設けない、即ち、曲げ部を有さない接続（信号）線により接続されるため、高周波線路のコーナー部に生ずる容量を低減でき、従って、接続線部での伝送損失が極めて小さい。従ってフィルタの挿入損失を小さくすることができる。また、並列腕共振器は直列腕共振器の弾性波伝播路を避けるように配置するため、直列・並列腕共振器の弾性波が互いに干渉することなく良好なフィルタ特性が得られる。さらに、直列腕共振器のパターン部と交差するように並列腕共振器を配置することにより素子を小さくすることができる。
　【００１２】
　尚、図４，５に示すように、複数の並列腕共振器の接地同士を独立対向させることにより、並列腕共振器間の不要波の励振や静電気的結合が抑えられ、チップ入出力のアイソレーションが良好になる。
　尚、参考までに示す図６に示すように、並列腕共振器２１の伝播路は、素子を接続するパターンを避けて外側に設けた場合、対数を多くすることが可能でかつ素子面積も小さくできる。
　請求項４記載の発明によれば、図７に示すように、素子回路パターンのショート欠陥用パッド５を信号線１３上に設け、接続部のパッド６と共用することができるため、それらパッドおいて、一回のプロービングにより、ショート検査が完了し、検査工数を減らすことができる。
　【００１３】
　また、フィルタ回路が複雑または微細な場合は、プロービング領域が狭くなり検査困難になるため、請求項５記載の発明によれば、図８に示すように信号線１３（または接地線）から引き出し線７を介して検査用パッド５を設けることにより、あらゆるフィルタ回路でも電極パターンのショート欠陥検査ができる。この場合、引き出し線を１０μｍ以下と非常に細くすればハイインピーダンスであることからフィルタ特性への影響はない。
　【００１４】
　【実施例】
　図１４に示す等価回路構成を実現するフィルタの実際のチップ上レイアウトを図９に示す。
　フィルタチップは３６°Ｙ−Ｘ　ＬｉＴａＯ３基板１上にＡ１−Ｃｕ膜による櫛形電極および反射器により構成される弾性表面波共振器１１，１２Ａ，１２Ｂ，２１，２２を回路素子とし、これらをパターンで直列および並列に接続して、回路構成される。共振器の周期および対数、開口長を適当に調整することにより、所望の特性を得ることができ、本実施例においては直列腕共振器１１，１２Ａ，１２Ｂの周期を４．１０μｍ、並列腕共振器２１，２２の周期を４．３０μｍとし、開口長と対数をそれぞれ８０μｍと１５０対とした。その特性を図１０に示す。同じ条件で同一の回路構成を図１７に示すようにコーナーを持つ接続線１３′で形成すると図１０に破線で示す如くなり、本発明によれば挿入損失が０．２ｄＢ改善されていることがわかる。
　【００１５】
　好ましくは、図９に示すように、位置検出用パターン８を素子および配線を避け、かつチップの対角線上の両コーナ部もしくはその近傍に設ける。その結果、チップをパッケージに搭載し、ワイヤーボンディングする際、チップの位置がバラツイても位置検出用パターン８に対するボンディングパッド位置の相対位置が一定となるため、自動ボンディングの信頼性を向上することができる。
　【００１６】
　図１１は図４に示す如く並列腕共振器２１Ａ，２１Ｂをその接地線（ＧＮＤ）２１ａ，２１ｂどうしが向き合うように対向させた場合（実線）と、図１２に示す如く信号線どうしを対向させた場合（破線）との挿入損失を比較して示すもので、同図から接続線どうしを対向させた場合の方がアイソレーションが改善されていることがわかる。
　【００１７】
　図１３では、入力側直列腕共振器１１より外側（チップ端側）に並列腕共振器２２の伝播路を配置してある。
　フィルタ回路は、図９に示す第一実施例と同じで、共振器条件も同じとした。図１０の特性と同等の特性が得られ、第一実施例よりもチップ面積を小さくできた。
　【００１８】
　上述の図９に、位置検出用パターン８を素子と同一面上にパターン形成と同時に形成した例を示す。検出用パターン８の大きさは１００μｍ×１５０μｍで、チップの端から２００μｍ離した対角線上に図形のセンターを設けた。本位置検出用パターンに対し、入出力およびアースパッド５，６の位置関係は一定である。しかもウエハ切断時にチッピング等が生じても影響を受けない。
　このように、位置検出用パターン８の認識を行うことで、自動ボンディング時におけるワイヤを電極パッド部に正確に結線することができる。
　位置検出用パターン８の形状は、読取装置が認識できるものであれば特に制限はなく、素子の形状との差異がはっきりわかる円形や星形等も好ましい。
　尚、図１〜図１８において対応する部品は同一番号で示し重複説明を省略する。また、必要に応じてチップパターン図には等価回路を下部に示してある。
　【００１９】
　【発明の効果】
　以上の通り、本発明によれば、弾性表面波共振器を梯子型に配置して、帯域通過フィルタを構成する場合、挿入損失の低下と大きな帯域外抑圧度を実現できる。また、良好なフィルタ特性を維持しながら、チップの小形化がはかられる。更に、電極パターンのショート検査工数も減り、生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明にかかる弾性表面波素子のパターン形状を示す構造図である。
　【図２】
　図１の別のパターン形状を示す構造図である。
　【図３】
　図１の更に別のパターン形状を示す構造図である。
　【図４】
　図１の更に別のパターン形状を示す構造図である。
　【図５】
　図１の更に別のパターン形状を示す構造図である。
　【図６】
　図１の更に別のパターン形状を示す構造図である。
　【図７】
　図１の更に別のパターン形状を示す構造図である。
　【図８】
　図１の更に別のパターン形状を示す構造図である。
　【図９】
　図１の更に別のパターン形状を示す構造図である。
　【図１０】
　本発明にかかる弾性表面波素子の挿入損失特性を示すグラフである。
　【図１１】
　本発明にかかる弾性表面波素子の挿入損失特性を示すグラフである。
　【図１２】
　図１の更に別のパターン形状を示す構造図である。
　【図１３】
　図１の更に別のパターン形状を示す構造図である。
　【図１４】
　図９に示すパターン形状の等価回路図である。
　【図１５】
　弾性表面波共振子の基本構造を示す図解図である。
　【図１６】
　共振子によりフィルタを構成するための説明図である。
　【図１７】
　従来のフィルタチップの電極レイアウトの一例を示す構造図である。
　【図１８】
　従来のフィルタの帯域内リップルを示す特性図である。
　【符号の説明】
　１１，１２…直列腕共振子
　２１，２２…並列腕共振子
　１３，１３′…信号線