【事件の表示】
　平成２年特許願第１６４５４５号「照明装置及露光装置」において、平成１２年４月７日付けでした手続補正に対してされた補正の却下の決定に対する審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原決定を取り消す。
【理　由】
【1】手続の経緯
　 本願は平成2年6月22日の出願であって、平成12年4月7日付けで手続補正がなされたところ、原審においてこの手続補正について平成12年9月11日に補正の却下の決定をしたものである。
　
【2】原決定の理由
　 上記補正却下の決定(以下、「原決定」という。)の理由は次のとおりのものである。
　 「上記手続補正は、特許請求の範囲において「照度むら補正手段」と表現しているが、願書に最初に添付された明細書又は図面には一貫して「照度むら補正板」と記載されているのみである。そして、上記補正により、本件明細書は「照度むら補正板」のみでなく、液晶表示装置やレンズアレイ等といった、照度むらを制御可能なあらゆる手段を包含することとなるが、このような手段は願書に最初に添付された明細書又は図面に記載がなく、照度むら補正手段とすることの示唆もなく、また、これらから自明のものとも認められない。 
　したがって、この補正は特許法第161条の3において準用する特許法第53条第1項の規定により却下すべきものである。」
　
【3】補正の内容
　 まず、補正の内容を検討するに、上記日付でした手続補正は、願書に添付された明細書に記載された「照度むら補正板」を「照度むら補正手段」と補正する内容を含むものである。
　
【4】願書に最初に添付された明細書及び図面
　 そこで、補正前の「照度むら補正板」の技術上の意味を検討する。願書に最初に添付された明細書及び図面には、「照度むら補正板」について、以下の記載がある。
　特許請求の範囲(1)：「該照度むら補正板は、該物体又はそれと光学的に共役な位置近傍に配置され、光束で照明したときの該照度むら補正板の光入射面上における照度ムラを補正せしめる透過率分布を有するように構成されている」、
　特許請求の範囲(3)：「前記照度むら補正板の透過率分布は配置する面上の照度分布の明るさと逆比例の透過率より成っている」、
　第2頁第9行〜第16行には、「(産業上の利用分野)本発明は半導体素子製造用に好適な照度むら補正板及びそれを用いた露光装置に関し、特に被照射面に載置したレチクルに形成された回路パターンを投影光学系によりウエハ面上に投影露光する際に該被照射面上の照度分布の均一化を効果的に図ることができる照度むら補正板及びそれを用いた露光装置に関するものである。」、
　第5頁第5行〜第12行には、「本発明は照明系の一部に該照明系の光学特性に合った適切なる透過率分布を有した照度むら補正板を設けることにより、装置全体の大型化及び複雑化を防止しつつ、被照射面上の照度分布の均一化を高精度に維持することができ、高精度な投影露光が可能な半導体素子製造装置に好適な照度むら補正板及びそれを用いた露光装置の提供を目的とする。」、
　第6頁第3行〜第12行：「又本発明の露光装置は照明系からの光束で物体を照明し、該物体のパターンで被露光基板を露光するようにした露光装置において該物体面又はそれと光学的に共役な面のうちの1つの平面近傍に、該面上の照度ムラを補正せしめる透過率分布を有した照度むら補正板を配置したことを特徴としている。特に本発明の前記照度むら補正板の透過率分布は配置する面上の照度分布の明るさと逆比例の透過率より成っていることを特徴としている。」、
　第8頁第10行〜第18行：「12は照度むら補正板であり遮光板3近傍に配置されており、その面上は部分的に異った透過率分布を有するように構成されている。即ち照度むら補正板12は遮光板3の開口部の照度分布に対し、その明るさと逆比例する透過率分布しており、該照度むら補正板を通過した後の有効光束径内の照度分布は均一に調整され、例えばレチクル5面上の照度分布又はウエハ8面上の照度分布が高い精度で均一となるようにしている。」、
　第10頁第14行〜第14頁第15行：「次に照度分布の均一化を図る為に用いる照度むら補正板12の作成過程と、その光学的特性について第2図を用いて説明する。第2図は照度むら補正板の作成過程を示している。同図においてはまずプロセスP1で補正板の基板21として透過率の均一な石英板に、小量の顔料を混合したレジスト(感光体)22を均一に塗布する。本実施例ではネガ型のレジストを使用する。プロセスP2ではステッパの遮光板3近傍又はレチクル5面近傍又はそれらと共役な位置近傍、例えば照明系2やリレー光学系4中の一部にプロセスP1で作成した補正板23を配置し、照明系2により補正板23を照射し感光を行う。この感光処理はステッパに於て焼付けシーケンス中のステップS1、S2、S6などの露光を行っていないときに並行して行うことが可能である。この様な手続きを取ることによって、補正板23の感光処理のために半導体素子製造の焼付け処理は中断しない。もし古い補正板がステッパに載置されていれば、一時的に取り出しプロセスP2が終わった時点で元に戻すことによって続いてステッパで行う焼付けシーケンスに支障が無いようにする。第3図は照明光強度に対する補正板23のレジスト(感光体)22の特性を示す説明図である。同図に於て、レジスト(感光体)22に照射した照明光強度と露光したレジスト(感光体)22を現像処理した後にレジスト(感光体)22が基板上に残っている厚さとの関係を波線31で示している。また現像した基板に更に処理を加え補正板を作成したときの透過率を実線32で示している。図中の点線ではさまれた領域イが照明光強度と透過率がリニアな関係(比例)をもつ領域であり、補正板として最適な特性を示す照射量を示す領域である。本実施例では、このときの感光処理での露光は第3図に示した適正な照射量領域イに入るように調整して行っている。プロセスP3では、プロセスP2で感光した補正板23を現像液に浸し現像処理を行う。補正板23にはプロセスP1でネガ型レジストが塗布されているので第3図の波線で示した感光体特性にしたがって強い光が当たった所ほどレジスト22が多く残っている。プロセスP4では、補正板23上に照射光強度分布に応じた透過率分布の薄膜が定着するように薬品及びべーク処理を行う。この定着処理によって、プロセスP2の感光によって検出した照明光の照度むらが第3図の実線32で示した特性に応じて正確に透過率の差となって補正板23に再現される。これによって照度むら補正板12を得ている。本実施例ではこのようにして作成した照度むら補正板12を別の検査器にかけ、透過率の分布を測定することによって照明系2や光源1の異常をチェックしている。しかもこのチニックのためにステッパの焼付けシーケンスを中断させることはない。プロセスP5では、作成された照度むら補正板12をプロセス1で感光処理を行った位置と同じ位置に載置する。もし古い補正板が載置されているときは交換を行う。この装着、交換はプロセスP2の時と同様にステッパで焼き付けシーケンスを行っているときに並行して行う。ここで、プロセスP1、P3、P4はステッパの動作とは無関係に外部で行う処理であり、プロセスP2、P5もステッパの動作を妨げることなく並行して処理できるので、照度むら補正板12の作成のためにステッパの焼付けシーケンスを中断させてスループットを低下させるようなことはない。本実施��ではこの様な手順によって作成した照度むら補正板をステッパの光路中の所定位置に戴置して、照明系2から出射された光束による照度分布の均一化を図っている。尚、本実施例に係る照度むら補正板をフィルム等を用いて配置すべき位置の照度分布、即ち照度むらの検出を行いこのときの照度分布を該フィルムに転写することにより作成しても良い。」
　
【5】判断
　以上の記載から、本件の願書に最初に添付された明細書及び図面に記載された「照度むら補正板」は、物体又はそれと光学的に共役な位置近傍に配置され、光束で照明したときの該照度むら補正板の光入射面上における照度ムラを補正せしめる透過率分布を有するように構成されている部材であり、基板に感光体を均一に塗布し、ステッパの遮光板3近傍又はレチクル5面近傍又はそれらと共役な位置近傍に配置し、照明系により感光し、現像することにより作成され、照明光の照度むらが第3図の実線32で示した特性に応じて透過率の差となって再現されたものであり、補正板をフィルム等を用いて作成することができるものである。
　また、「照度むら補正板」における「板」については、願書に最初に添付された明細書及び図面には、技術上の意義について全く記載されていないが、日常用語としての「板」の語義(広辞苑第5版の見出し「板」の語義2によれば、「金属や石などを薄く平たくしたもの」)から導かれる薄く平たくした形状のものであると解するのが相当である。
　してみると、本件の願書に最初に添付された明細書及び図面に記載された「照度むら補正板」は、物体又はそれと光学的に共役な位置近傍に配置され、光束で照明したときの該照度むら補正板の光入射面上における照度ムラを補正せしめる透過率分布を有するように構成されている部材であり、薄く平たくした形状のものを意味する。
　一方、補正後の「照度むら補正手段」は、物体又はそれと光学的に共役な位置近傍に配置され、光束で照明したときの該照度むら補正板の光入射面上における照度ムラを補正せしめる透過率分布を有するように構成されている部材であり、形状を特定しないものを意味し、本件の願書に最初に添付された明細書及び図面に記載された「照度むら補正板」の概念から形状の概念を削除したものである。
　しかし、本件の願書に最初に添付された明細書及び図面には、「照度むら補正板」の技術上の概念が上記のとおり記載されており、形状の概念は本件の発明の目的を達成する上で技術的には何ら意味を持たないことが、本件の願書に最初に添付された明細書及び図面の記載から明らかである。従って、本件の願書に最初に添付された明細書及び図面には、「照度むら補正板」の概念から形状の概念を削除したもの、すなわち物体又はそれと光学的に共役な位置近傍に配置され、光束で照明したときの光入射面上における照度ムラを補正せしめる透過率分布を有するように構成されている部材によって、目的を達成できることが記載されていたに等しい。
　また、上記補正は、「照度むら補正手段」として「液晶表示装置やレンズアレイ等といった、照度むらを制御可能なあらゆる手段を包含する」ことを補正の内容とするものではない。
　よって、原審の『本件明細書は「照度むら補正板」のみでなく、液晶表示装置やレンズアレイ等といった、照度むらを制御可能なあらゆる手段を包含することとなるが、このような手段は願書に最初に添付された明細書又は図面に記載がなく、照度むら補正手段とすることの示唆もなく、また、これらから自明のものとも認められない。』という判断は失当であり、この点をもって明細書の要旨を変更するものとすることはできない。
　
【6】むすび
　 以上のとおり、上記補正を却下すべきものとした原決定は誤りである。
　 よって、結論のとおり審決する。