【手続補正書】
【提出日】平成27年10月27日(2015.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
その内部に対象物が収容され得る収容域が規定されるアブレーションチャンバ本体であって、
前記対象物の一部をアブレートするのに十分なフルエンスを有する放射パルスを伝搬方向に沿って伝搬するように構成された透過窓を有する第１のチャンバ本体と、
前記第１のチャンバ本体に隣接する第２のチャンバ本体であって、前記伝搬方向と異なる平行移動方向に沿って前記透過窓に対して移動可能な第２のチャンバ本体と、を含み、前記第１のチャンバ本体及び前記第２のチャンバ本体がそれぞれ前記アブレーションチャンバ本体の外部域から前記収容域を部分的に分離する、アブレーションチャンバ本体と、
第１の端部と該第１の端部の反対側の第２の端部とを有するエアロゾル移送管であって、前記第１の端部で前記収容域に流体連通し、前記第２の端部で前記アブレーションチャンバ本体の外部域と流体連通するエアロゾル移送域を規定するエアロゾル移送管と
を備え、
前記エアロゾル移送管は、前記第１の端部から前記第２の端部に延びる実質的に直線状の移送経路に沿ってエアロゾルを移送するように構成され、前記エアロゾルは、前記対象物からアブレートされ得る材料を含んでいる、
装置。
【請求項２】
前記エアロゾルが前記第１の端部から前記第２の端部に移送される際に、前記エアロゾルが分別を受けないか、あるいは実質的に分別も受けないように、前記移送経路が実質的に直線状となっている、請求項１の装置。
【請求項３】
前記エアロゾルが前記第１の端部から前記第２の端部に移送される際に、前記エアロゾルの移送速度が実質的に一定となるように、前記移送経路が実質的に直線状となっている、請求項１の装置。
【請求項４】
前記エアロゾル移送管の前記第１の端部から前記第２の端部までの長さが３ｍ未満である、請求項１の装置。
【請求項５】
前記エアロゾル移送管の前記第１の端部から前記第２の端部までの長さが約５ｃｍ未満である、請求項４の装置。
【請求項６】
前記エアロゾル移送管が前記第１のチャンバ本体を貫通して延びる、請求項１の装置。
【請求項７】
前記エアロゾル移送管が実質的に堅くなっている、請求項１の装置。
【請求項８】
前記エアロゾル移送域を規定する前記エアロゾル移送管の一部が金属である、請求項１の装置。
【請求項９】
前記エアロゾル移送管の向きが前記第１のチャンバ本体に対して固定されている、請求項１の装置。
【請求項１０】
前記エアロゾル移送管の位置が前記第１のチャンバ本体に対して固定されている、請求項１の装置。
【請求項１１】
前記エアロゾル移送管の前記第１の端部が前記収容域の内部に延びている、請求項１の装置。
【請求項１２】
前記エアロゾル移送管の前記第２の端部が前記収容域の外部に延びている、請求項１の装置。
【請求項１３】
前記対象物が前記収容域内で前記透過窓に対して移動可能となるように前記第１のチャンバ本体及び前記第２のチャンバ本体が構成されている、請求項１の装置。
【請求項１４】
前記アブレーションチャンバの外部にあるデブリが前記収容域に入るのを防止するように構成されたバリアをさらに備える、請求項１の装置。
【請求項１５】
前記バリアは、前記第１のチャンバ本体と前記第２のチャンバ本体の間に位置するシールである、請求項１４の装置。
【請求項１６】
前記バリアは、前記第１のチャンバ本体と前記第２のチャンバ本体の外周部を囲むガスカーテンである、請求項１４の装置。
【請求項１７】
前記収容域及び前記エアロゾル移送域に流体連通する収集域を規定するエアロゾル収集器をさらに備える、請求項１の装置。
【請求項１８】
前記収容域の外部から前記収容域の内部にキャリアガスを移送するように構成されたキャリアガス注入口をさらに備える、請求項１の装置。
【請求項１９】
前記キャリアガス注入口が前記第２チャンバ本体を貫通して延びる、請求項１８の装置。
【請求項２０】
前記透過窓に隣接したアブレーションビーム源であって、前記対象物の一部をアブレートし、エアロゾルを生成するのに十分なフルエンスを有する放射パルスを、前記伝搬方向に沿って前記透過窓を通して前記対象物上に照射するように構成されたアブレーションビーム源をさらに備える、請求項１の装置。
【請求項２１】
前記エアロゾルが前記サンプル受入域内の前記エアロゾル移送管からサンプルとして受け入れられるように、前記エアロゾル移送管の前記第２の端部に流体連通するサンプル受入域を有する分析システムをさらに備え、該分析システムは、前記サンプルの組成を分析するように構成されている、請求項１の装置。
【請求項２２】
前記エアロゾル移送管は、前記収容域から前記サンプル受入域に延びる実質的に直線状の移送経路に沿って前記エアロゾルを移送するように構成されている、請求項２１の装置。
【請求項２３】
前記分析システムは、発光分析装置と質量分析装置からなる群から選択される少なくとも１つを含んでいる、請求項２１の装置。
【請求項２４】
対象物を収容するように構成された収容域を規定するアブレーションチャンバ本体であって、
第１のチャンバ本体と、
前記第１のチャンバ本体に対して移動可能な第２のチャンバ本体と、
を含むアブレーションチャンバ本体と、
前記第１のチャンバ本体を貫通する透過窓であって、対象物の一部をアブレートするのに十分なフルエンスを有する放射パルスを伝搬方向に沿って伝搬するように構成された透過窓と、
前記第２のチャンバ本体上及び前記収容域内に配置され、前記収容域内で前記対象物を支持するように構成された対象物ホルダと、
前記第１のチャンバ本体に連結され、第１の端部と該第１の端部の反対側の第２の端部とを有するエアロゾル移送管であって、前記第１の端部で流体連通し、前記第２の端部で前記収容域の外部域と流体連通するエアロゾル移送域を規定するエアロゾル移送管と、
を備え、
前記エアロゾル移送管は、前記第１の端部から前記第２の端部に延びる実質的に直線状の移送経路に沿ってエアロゾルを移送するように構成され、前記エアロゾルは、前記対象物からアブレートされ得る材料を含んでいる、
装置。
【請求項２５】
前記第２のチャンバ本体を移動させるように構成されたステージをさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項２６】
前記第２のチャンバ本体によって支持されて前記収容域内に配置される対象物ホルダであって、前記収容域内で前記対象物を支持するように構成された対象物ホルダをさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項２７】
前記対象物ホルダは、前記収容域内の対象物の位置及び向きの少なくとも一方が調節可能となるように構成されている、請求項２６に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
一実施形態では、本発明に係る装置は、その内部に対象物が収容され得る収容域が規定されるアブレーションチャンバ本体であって、上記対象物の一部をアブレートするのに十分なフルエンスを有する放射パルスを伝搬方向に沿って伝搬するように構成された透過窓を有する第１のチャンバ本体と、上記第１のチャンバ本体に隣接する第２のチャンバ本体であって、上記伝搬方向と異なる平行移動方向に沿って上記透過窓に対して移動可能な第２のチャンバ本体と、を含み、上記第１のチャンバ本体及び上記第２のチャンバ本体がそれぞれ上記アブレーションチャンバ本体の外部域から上記収容域を部分的に分離する、アブレーションチャンバ本体と、第１の端部と該第１の端部の反対側の第２の端部とを有するエアロゾル移送管であって、上記第１の端部で上記アブレーションチャンバ本体に流体連通し、上記第２の端部で上記収容域の外部域と流体連通するエアロゾル移送域を規定するエアロゾル移送管とを備え、上記エアロゾル移送管は、上記第１の端部から上記第２の端部に延びる実質的に直線状の移送経路に沿ってエアロゾルを移送するように構成され、上記エアロゾルは、上記対象物からアブレートされ得る材料を含み得る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
他の実施形態では、本発明に係る装置は、対象物を収容するように構成された収容域を規定するアブレーションチャンバ本体であって、第１のチャンバ本体と、上記第１のチャンバ本体に対して移動可能な第２のチャンバ本体と、を含むアブレーションチャンバ本体と、上記第１のチャンバ本体を貫通する透過窓であって、対象物の一部をアブレートするのに十分なフルエンスを有する放射パルスを伝搬方向に沿って伝搬するように構成された透過窓と、上記第２のチャンバ本体上及び上記収容域内に配置され、上記収容域内で上記対象物を支持するように構成された対象物ホルダと、上記第１のチャンバ本体に連結され、第１の端部と該第１の端部の反対側の第２の端部とを有するエアロゾル移送管であって、上記第１の端部で流体連通し、上記第２の端部で上記収容域の外部域と流体連通するエアロゾル移送域を規定するエアロゾル移送管と、を備え、上記エアロゾル移送管は、上記第１の端部から上記第２の端部に延びる実質的に直線状の移送経路に沿ってエアロゾルを移送するように構成され、上記エアロゾルは、上記対象物からアブレートされ得る材料を含み得る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
第１の端部１１８ａから第２の端部１１８ｂまでの移送経路に沿って計測されるエアロゾル移送管１１８の長さは５メートル（ｍ）未満であってもよい。一実施形態では、エアロゾル移送管１１８の長さは１ｍ未満である。他の実施形態では、エアロゾル移送管１１８の長さは１０センチメートル（ｃｍ）未満である。また、さらに他の実施形態では、エアロゾル移送管１１８の長さは５ｃｍ未満である。さらに他の実施形態では、エアロゾル移送管１１８の長さは３ｃｍ未満である。しかしながら、このような実施形態では、エアロゾル移送管１１８の長さは概して１ｃｍより長いが、１ｃｍより短くてもよい。ある実施形態では、エアロゾルが収容域１０８ａからサンプル受入域１２２（すなわち、第１の端部１１８ａから第２の端部１１８ｂ）に移送される際に、エアロゾル内の粒子が塊になってしまわないように、あるいは、エアロゾル内の粒子が塊になってしまう度合いを低減するように、エアロゾル移送管１１８の長さを選択し得る。エアロゾル移送管１１８の長さの選択は、対象物１１０を形成する材料、放射パルス１１４のエネルギー密度、放射パルス１１４のパルス幅、放射パルス１１４の波長、キャリアガス流量など１以上のファクターに影響され得る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
一実施形態では、装置１００は、アブレーションチャンバ１０２とアブレーションビーム源１０４の間に配置されたシールド１２４をさらに含んでいる。シールド１２４は、放射パルス１１４を少なくとも部分的に透過する物質によって形成されていてもよい。図示された実施形態では、シールド１２４は、アブレーションチャンバ本体１０８に当接し、対象物１１０のアブレーション中にデブリ（例えば、塵、水蒸気、空気のような大気ガスなど）が収容域１０８ａに入ってしまうのを防止するように透過窓１１２を覆っている。アブレーションチャンバ本体１０８の外部のデブリによって引き起こされる収容域１０８ａへの放射パルスの伝搬に対する悪影響を減少し、あるいはこれをなくすために、アブレーションビーム源１０４は、概して、（図示したように）シールド１２４に近接して配置されており、シールド１２４に当接していてもよい。一実施形態では、シールド１２４は、アブレーションビーム源１０４とアブレーションチャンバ本体１０８の一方又は双方に連結されてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
他の実施形態では、装置１００は、収容域１０８ａ内に配置される対象物ホルダ１２６をオプションとして含んでいる。対象物ホルダ１２６は、放射パルス１１４が収容域１０８ａに伝搬される際に、対象物１１０の表面１１０ａが収容域１０８ａ内で確実に好ましい状態に置かれるように収容域内の対象物１１０を保持又は支持するように構成されてもよい。一実施形態では、表面１１０ａの他の部分が収容域１０８ａ内で好ましい状態に置かれていない場合であっても、放射パルス１１４によってアブレートされる表面１１０ａの部分が確実に好ましい状態に置かれるように、収容域１０８ａ内の対象物１１０の位置及び向きの少なくとも一方を調節可能とするように、対象物ホルダ１２６を構成してもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図２を参照すると、一実施形態によれば、図１に示されるアブレーションチャンバ本体１０８は、第１のチャンバ本体２０２と、第１のチャンバ本体２０２に隣接する第２のチャンバ本体２０４とを含んでいてもよい。例示的に示されるように、第１のチャンバ本体２０２と第２のチャンバ本体２０４は、収容域１０８ａを規定している。しかしながら、アブレーションチャンバ１０２は、少なくとも部分的に収容域１０８ａを規定する他の構成要素を含んでいてもよい。このように、第１のチャンバ本体２０２と第２チャンバ本体２０４は、少なくとも部分的に収容域１０８ａを規定していてもよい。図示されていないが、一方のチャンバ本体（例えば第２のチャンバ本体２０４）を他方のチャンバ本体（例えば第１のチャンバ本体２０２）に対して均一に押し付けるために、１以上の付勢部材（例えばバネ）を設けてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
収集域２１０ａが収容域１０８ａと流体連通するように、エアロゾル収集器２１０の少なくとも一部が収容域１０８ａの内部に配置されていてもよい。一実施形態では、エアロゾル収集器２１０と対象物１１０の表面１１０ａとの間に小さな隙間が形成されるようにエアロゾル収集器２１０が配置される。放射パルス１１４による表面１１０ａのアブレーションの際に生成されるエアロゾルプルームの少なくとも一部が収集域２１０ａ内に確実に形成されるように、この隙間の高さを選択する必要がある。また、収容域１０８ａ内に流入して対象物１１０の表面１１０ａ上を流れるキャリアガスが収集域２１０ａに確実に流入できるように、この隙間の高さを選択してもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
２つのバリアの例のみ図示したが、他のバリアを設けてもよいことは理解されよう。例えば、バリアは、第１のチャンバ本体２０２及び第２のチャンバ本体２０４に連結される可撓性シート材料であって、第２のチャンバ本体２０４が第１のチャンバ本体２０２に対して移動する際に形状を変化させるが、収容域１０８ａとアブレーションチャンバ本体１０８の外部環境との間で好適なバリアを維持する可撓性シート材料（例えば繊維）を含むベローズ型の構造であってもよい。また、デブリが収容域１０８ａに入ってしまうのを防止するのを促進するために、２種類以上のバリアを同時に使用してもよいことは理解されよう。