【事件の表示】
　特許第３３８２１３８号「薬液供給装置及び薬液供給方法」の請求項１〜１９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３８２１３８号の請求項１〜１１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３３８２１３８号の請求項１〜１９に係る発明についての出願は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴う平成９年１１月１７日（優先日：平成９年８月２１日、出願番号：特願平９−２２５２８９号）に特許出願され、平成１４年１２月２０日に特許権の設定登録がなされたところ、平成１５年９月４日に特許異議申立人の松原いづみより特許異議の申立てがなされた。そこで、平成１６年５月２１日付で当審より取消理由を通知したところ、その指定期間内の平成１６年８月２日付で訂正請求がなされ、平成１６年８月２３日付で再度取消理由を通知したところ、その指定期間内の平成１６年１０月２９日付で訂正請求がなされると共に上記平成１６年８月２日付の訂正請求は取り下げられたものである。　
　
　
２．訂正の適否
２−１．訂正事項
　平成１６年１０月２９日付の訂正請求における訂正事項は、次のとおりである。
＜訂正事項１＞
　【発明の名称】を次のとおりに訂正する。
「【発明の名称】スラリ供給装置及びスラリ供給方法」
＜訂正事項２＞
　特許請求の範囲の請求項１を次のとおりに訂正する。
「【請求項１】  原液を希釈又は複数の原液を混合してスラリを作成し、該スラリを処理装置に供給するスラリ供給装置であって、
複数の混合タンクと、
前記複数の混合タンクに対して共通に設けられたメイン循環配管と、
前記原液を前記スラリの組成に対応して前記混合タンクに供給する原液供給手段と、
前記複数の混合タンクのうちの１つを順次選択し、選択した混合タンクを使用して前記スラリを作成するスラリ作成手段と、
前記スラリの作成が終了した一の混合タンクとメイン循環配管とを接続して循環経路を構成し、該循環経路に前記スラリを循環させるスラリ循環手段と、
前記循環経路を循環中の該スラリを前記処理装置に供給するスラリ供給手段と、
前記複数の混合タンクに設けられ、各混合タンク内の液面レベルを検出する液面検出手段と、
前記処理装置の処理情報と前記一の混合タンクに対する前記液面検出手段の検出結果に基づいて他の混合タンクにて前記スラリの作成を開始する開始時期と作成量を決定する決定手段と、
前記他の混合タンクについての前記液面検出手段の検出結果に基づいて、前記スラリの作成が終了した該他の混合タンクと前記メイン循環配管を接続して新たな循環経路とする循環切り換え手段とを備えたスラリ供給装置。」
＜訂正事項３＞
　特許請求の範囲の請求項２を次のとおりに訂正する。
「【請求項２】  請求項１に記載のスラリ供給装置において、
前記スラリ作成手段は、前記処理装置に対して前記スラリを連続供給できるように、前記決定手段に従って前記他の混合タンクにてスラリの作成を開始するようにしたスラリ供給装置。」
＜訂正事項４＞
　特許請求の範囲の請求項３を次のとおりに訂正する。
「【請求項３】  請求項１又は２に記載のスラリ供給装置において、
前記メイン循環配管に循環するスラリを分岐する分岐配管を接続し、該分岐配管にバルブを設け、該バルブを開閉制御して前記循環しているスラリを前記処理装置に供給するようにしたスラリ供給装置。」
＜訂正事項５＞
　特許請求の範囲の請求項４を次のとおりに訂正する。
「【請求項４】  請求項１〜３のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記液面検出手段は、前記混合タンクの上部に設けられて非接触にて混合タンクの液面レベルに応じた検出信号を出力するセンサを備えたスラリ供給装置。」
＜訂正事項６＞
　特許請求の範囲の請求項５を次のとおりに訂正する。
「【請求項５】  請求項１〜４のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記液面検出手段は、その時の液面レベルと１つ前に測定した液面レベルとを比較してその時の液面レベルの変化量を算出し、その変化量が予め設定した範囲内にあるときにはその時の液面レベルを有効とし、変化量が範囲内にないときにはその時の液面レベルを無効にするフィルタ手段を備えたスラリ供給装置。」
＜訂正事項７＞
　特許請求の範囲の請求項６を次のとおりに訂正する。
「【請求項６】  請求項１〜５のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記液面検出手段の検出結果に基づいてその時々の原液タンク内の原液の残量を算出する原液残量算出手段と、
前記算出された原液の残量に基づいて、前記原液タンクの交換のための表示を行う表示手段とを備えたスラリ供給装置。」
＜訂正事項８＞
　特許請求の範囲の請求項７を次のとおりに訂正する。
「【請求項７】  請求項１〜６のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記原液供給手段と前記混合タンクとの間に各原液の供給量を制御する供給量制御手段を備え、
該供給量制御手段は、前記液面検出手段の検出結果に基づいて、前記混合タンク内の液面が所定のレベルに近づくと、原液の供給量を減少させるようにしたスラリ供給装置。」
＜訂正事項９＞
　特許請求の範囲の請求項８を次のとおりに訂正する。
「【請求項８】  請求項１〜７のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記複数の混合タンクそれぞれに対応するサブ循環配管を備え、
前記スラリ作成手段は、前記他の混合タンクにて作成したスラリを該他の混合タンクと対応するサブ循環配管による循環経路にて循環させ、前記一の混合タンクにおいてそのスラリの残量が所定量となったときに、前記他の混合タンクにおける循環経路を前記サブ循環配管から前記メイン循環配管に切り換えてスラリを供給するようにしたスラリ供給装置。」
＜訂正事項１０＞
　特許請求の範囲の請求項９を次のとおりに訂正する。
「【請求項９】  請求項１〜８のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記混合タンク内及び循環経路を洗浄する洗浄手段を備えたスラリ供給装置。」
＜訂正事項１１＞
　特許請求の範囲の請求項１０〜１６、及び請求項１８を削除する。
＜訂正事項１２＞
　特許請求の範囲の請求項１７を次のとおりに訂正するとともに、該請求項１７の項番号を１０に繰り上げる。
「【請求項１０】  請求項１〜９のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記混合タンク底部にレベルセンサを設け、該レベルセンサの検出結果に基づいて該混合タンク内の残留物を強制的に排出する強制排出手段を備えたスラリ供給装置。」
＜訂正事項１３＞
　特許請求の範囲の請求項１９を次のとおりに訂正するとともに、該請求項１９の項番号を１１に繰り上げる。
「【請求項１１】  原液を希釈又は複数の原液を混合してスラリを作成し、該スラリを処理装置に供給するスラリ供給方法であって、
前記原液を前記スラリの組成に対応して複数の混合タンクのうちの１つの混合タンクに供給し、選択した混合タンクを使用して前記スラリを作成する工程と、
前記スラリの作成が終了した一の混合タンクと、前記複数の混合タンクに対して共通に設けられたメイン循環配管を接続して循環経路を構成し、該循環経路に前記スラリを循環させる工程と、
前記循環経路を循環中の該スラリを前記処理装置に供給する工程と、
前記処理装置の処理情報と前記一の混合タンクに対する前記液面レベルに基づいて他の混合タンクにて前記スラリの作成を開始する開始時期と作成量を決定し、その開始時期及び作成量に基づいて前記他の混合タンクの前記スラリ作成を開始する工程と、
前記他の混合タンクについての液面レベルに基づいて、前記スラリの作成が終了した該他の混合タンクと前記メイン循環配管を新たに接続する工程と、
を含むスラリ供給方法。」
＜訂正事項１４＞
　段落【０００１】の記載を次のとおりに訂正する。
「【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造工程において原液を希釈・混合して生成したスラリを、そのスラリを使用する処理装置に供給するスラリ供給装置及びスラリ供給方法に関するものである。」
＜訂正事項１５＞
　段落【０００２】の記載を次のとおりに訂正する。
「近年、半導体装置の製造工程において様々なスラリ供給装置が用いられている。スラリ供給装置は、原液を純水にて希釈して生成したスラリ、複数の原液を混合して作成したスラリを、そのスラリを使用して半導体装置を処理する処理装置に供給する。供給するスラリの組成の変化やスラリに含まれる細粒の固まり等のようにスラリが不安定になると、そのスラリを使用する処理装置において処理される半導体装置の不良につながることから、安定したスラリを供給するスラリ供給装置が要求されている。」
＜訂正事項１６＞
　段落【０００３】の記載を次のとおりに訂正する。
「【従来の技術】従来のスラリ供給装置、例えば化学的機械研磨装置（以下、単にＣＭＰ装置という）にスラリとしてスラリを供給するスラリ供給装置は、原液を希釈・混合する第１タンク、希釈・混合後のスラリを保管する第２タンクを備える。スラリ供給装置は、先ず搬入されたスラリ原液タンクからスラリ原液（例えば、砥粒であるアルミナの溶液と酸化剤である硝酸第二鉄溶液）を吸引し、第１タンクに供給する。また、スラリ供給装置は、第１タンクに純水を供給して希釈・混合処理を行い、所定濃度のスラリを生成し、その生成したスラリを第２タンクに搬送してその第２タンクにて保管する。そして、スラリ供給装置は、ＣＭＰ装置からの指令に基づいて、研磨処理を行っている間スラリを各種のポンプを用いてＣＭＰ装置に供給する。スラリ供給装置は、第２タンクに保管したスラリの残量が予め設定した量まで減少すると、第１タンクにて新たなスラリを生成して補給することにより、常時スラリの供給を行うように構成されている。」
＜訂正事項１７＞
　段落【０００６】の記載を次のとおりに訂正する。
「また、スラリ供給装置においては、第２タンクに蓄えたスラリの一部が蒸発する等する。そのため、第２タンク内のスラリの成分濃度が変化し、長期間スラリを第２タンクに蓄えることができない。そのため、使用しなかったスラリは捨てられてしまうことが多く、スラリ、原液の無駄となっていた。」
＜訂正事項１８＞
　段落【０００７】の記載を次のとおりに訂正する。
「本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は新しいスラリを安定して供給することができるスラリ供給装置及びスラリ供給方法を提供すること
にある。」
＜訂正事項１９＞
　段落【０００８】の記載を次のとおりに訂正する。
「【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、原液を希釈又は複数の原液を混合してスラリを作成し、該スラリを処理装置に供給するスラリ供給装置であって、複数の混合タンクと、前記複数の混合タンクに対して共通に設けられたメイン循環配管と、前記原液を前記スラリの組成に対応して前記混合タンクに供給する原液供給手段と、前記複数の混合タンクのうちの１つを順次選択し、選択した混合タンクを使用して前記スラリを作成するスラリ作成手段と、前記スラリの作成が終了した一の混合タンクとメイン循環配管とを接続して循環経路を構成し、該循環経路に前記スラリを循環させるスラリ循環手段と、前記循環経路を循環中の該スラリを前記処理装置に供給するスラリ供給手段と、前記複数の混合タンクに設けられ、各混合タンク内の液面レベルを検出する液面検出手段と、前記処理装置の処理情報と前記一の混合タンクに対する前記液面検出手段の検出結果に基づいて他の混合タンクにて前記スラリの作成を開始する開始時期と作成量を決定する決定手段と、前記他の混合タンクについての前記液面検出手段の検出結果に基づいて、前記スラリの作成が終了した該他の混合タンクと前記メイン循環配管を接続して新たな循環経路とする循環切り換え手段とを備えた。」
＜訂正事項２０＞
　段落【０００９】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のスラリ供給装置において、前記スラリ作成手段は、前記処理装置に対して前記スラリを連続供給できるように、前記決定手段に従って前記他の混合タンクにてスラリの作成を開始するようにした。」
＜訂正事項２１＞
　段落【００１０】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のスラリ供給装置において、前記メイン循環配管に循環するスラリを分岐する分岐配管を接続し、該分岐配管にバルブを設け、該バルブを開閉制御して前記循環しているスラリを前記処理装置に供給するようにした。」
＜訂正事項２２＞
　段落【００１１】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、前記液面検出手段は、前記混合タンクの上部に設けられて非接触にて混合タンクの液面レベルに応じた検出信号を出力するセンサを備えた。」
＜訂正事項２３＞
　段落【００１２】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、前記液面検出手段は、その時の液面レベルと１つ前に測定した液面レベルとを比較してその時の液面レベルの変化量を算出し、その変化量が予め設定した範囲内にあるときにはその時の液面レベルを有効とし、変化量が範囲内にないときにはその時の液面レベルを無効にするフィルタ手段を備えた。」
＜訂正事項２４＞
　段落【００１３】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、前記液面検出手段の検出結果に基づいてその時々の原液タンク内の原液の残量を算出する原液残量算出手段と、前記算出された原液の残量に基づいて、前記原液タンクの交換のための表示を行う表示手段とを備えた。」
＜訂正事項２５＞
　段落【００１４】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、前記原液供給手段と前記混合タンクとの間に各原液の供給量を制御する供給量制御手段を備え、該供給量制御手段は、前記液面検出手段の検出結果に基づいて、前記混合タンク内の液面が所定のレベルに近づくと、原液の供給量を減少させるようにした。」
＜訂正事項２６＞
　段落【００１５】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項８に記載の発明は、請求項１〜７のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、前記複数の混合タンクそれぞれに対応するサブ循環配管を備え、前記スラリ作成手段は、前記他の混合タンクにて作成したスラリを該他の混合タンクと対応するサブ循環配管による循環経路にて循環させ、前記一の混合タンクにおいてそのスラリの残量が所定量となったときに、前記他の混合タンクにおける循環経路を前記サブ循環配管から前記メイン循環配管に切り換えてスラリを供給するようにした。」
＜訂正事項２７＞
　段落【００１６】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項９に記載の発明は、請求項１〜８のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、前記混合タンク内及び循環経路を洗浄する洗浄手段を備えた。」
＜訂正事項２８＞
　段落【００１７】〜【００２１】の記載を削除する。
＜訂正事項２９＞
　段落【００２２】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項１０に記載の発明は、請求項１〜９のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、混合タンク底部にレベルセンサを設け、該レベルセンサの検出結果に基づいて該混合タンク内の残留物を強制的に排出する強制排出手段を備えた。　
請求項１１に記載の発明は、原液を希釈又は複数の原液を混合してスラリを作成し、該スラリを処理装置に供給するスラリ供給方法であって、前記原液を前記スラリの組成に対応して複数の混合タンクのうちの１つの混合タンクに供給し、選択した混合タンクを使用して前記スラリを作成する工程と、前記スラリの作成が終了した一の混合タンクと、前記複数の混合タンクに対して共通に設けられたメイン循環配管を接続して循環経路を構成し、該循環経路に前記スラリを循環させる工程と、前記循環経路を循環中の該スラリを前記処理装置に供給する工程と、前記処理装置の処理情報と前記一の混合タンクに対する前記液面レベルに基づいて他の混合タンクにて前記スラリの作成を開始する開始時期と作成量を決定し、その開始時期及び作成量に基づいて前記他の混合タンクの前記スラリ作成を開始する工程と、前記他の混合タンクについての液面レベルに基づいて、前記スラリの作成が終了した該他の混合タンクと前記メイン循環配管を新たに接続する工程と、を含む。」
＜訂正事項３０＞
　段落【００２３】の記載を次のとおりに訂正する。
「（作用）
従って、請求項１に記載の発明によれば、複数の混合タンクに対して共通のメイン循環配管が備えられる。複数の混合タンクを順次選択し、選択した混合タンクを用いてスラリを作成するとともに、その作成した一のスラリを混合タンクとメイン循環配管により構成する循環経路に循環させて処理装置に供給する。そして、処理装置における処理情報を入力し、該処理情報とスラリが循環している混合タンクの液面レベルに基づいてスラリの作成を開始する開始時期と作成量を決定し、他の混合タンクについての液面検出手段の検出結果に基づいてスラリの作成が終了した他の混合タンクに切り替え、処理装置にスラリを連続的に供給する。」
＜訂正事項３１＞
　段落【００２４】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項２に記載の発明によれば、スラリ作成手段は、処理装置に対してスラリを連続供給できるように、決定手段に従って他の混合タンクにてスラリの作成を開始する。」
＜訂正事項３２＞
　段落【００２５】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項３に記載の発明によれば、メイン循環配管に循環するスラリを分岐する分岐配管が接続され、該分岐配管に設けられたバルブを開閉制御して循環しているスラリが処理装置に供給される。」
＜訂正事項３３＞
　段落【００２６】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項４に記載の発明によれば、液面検出手段は、混合タンクの上部に設けられて非接触にて混合タンクの液面レベルに応じた検出信号を出力するセンサを備えたため、スラリの影響を受けることなく液面が正確に測定される。」
＜訂正事項３４＞
　段落【００２９】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項７に記載の発明によれば、原液供給手段と混合タンクとの間に備えられ各原液の供給量を制御する供給量制御手段は、液面検出手段の検出結果に基づいて、混合タンク内の液面レベルが所定レベルに近づくと原液の供給量を減少させるようにしたため、原液の供給量を正確にすることができ、スラリの組成を一定にすることができる。」
＜訂正事項３５＞
　段落【００３１】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項８に記載の発明によれば、複数の混合タンクそれぞれに対応するサブ循環配管を備え、混合タンクにて作成したスラリを該混合タンクと対応するサブ循環配管による循環経路にて循環させることにより、作成したスラリが沈殿しない。更に、スラリが循環している混合タンクにおいてそのスラリの残量が所定量となったときに、次にスラリの作成が終了している混合タンクにおける循環経路をサブ循環配管からメイン循環配管に切り換えてスラリを供給するようにしたため、処理装置にスラリが連続的に供給される。」
＜訂正事項３６＞
　段落【００３２】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項９に記載の発明によれば、洗浄手段によりタンク内，循環経路が洗浄されるため、古いスラリが残らないので新たな安定したスラリを作成することができる。」
＜訂正事項３７＞
　段落【００３３】〜【００３５】の記載を削除する。
＜訂正事項３８＞
　段落【００３６】の記載を次のとおりに訂正する。
「請求項１０に記載の発明によれば、混合タンク内の残留物が強制的に排出されるため、新たに作成するスラリの組成が正確となり安定して処理装置にそのスラリが供給される。　
請求項１１に記載の発明によれば、複数の混合タンクのうちの１つにスラリの組成に対応した原液を供給して該スラリを作成し、その作成した一のスラリを混合タンクとメイン循環配管により構成する循環経路に循環させて処理装置に供給する。そして、処理装置における処理情報を入力し、該処理情報とスラリが循環している混合タンクの液面レベルに基づいてスラリの作成を開始する開始時期と作成量を決定し、他の混合タンクについての液面検出手段の検出結果に基づいてスラリの作成が終了した他の混合タンクに切り替え、処理装置にスラリを連続的に供給する。」
＜訂正事項３９＞
　段落【００３８】の記載を次のとおりに訂正する。
「図１は、スラリ供給装置の概略構成図である。スラリ供給装置１１は、複数（本実施形態では２個）の混合タンク１２ａ，１２ｂを備える。第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂは、同一形状に形成されている。また、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂは、同一の役割、即ち、第１，第２原液タンク１３，１４から供給される原液を希釈・混合して生成したスラリとしてのスラリを蓄えるとともに循環させるために設けられている。」
＜訂正事項４０＞
　段落【００７４】の記載を次のとおりに訂正する。
「不活性ガスは、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内のスラリ１７の劣化を抑える。即ち、スラリ１７の表面が空気にふれると、その表面部分のスラリが空気と反応してスラリの組成，濃度等が変化する。例えば、スラリ１７に含まれる硝酸は空気と反応して酸化するため、組成が変化する。」
＜訂正事項４１＞
　段落【０１４９】の記載を次のとおりに訂正する。
「不活性ガスは、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内のスラリ１７の劣化を抑える。即ち、スラリ１７の表面が空気にふれると、その表面部分のスラリが空気と反応してスラリの組成，濃度等が変化する。例えば、スラリ１７に含まれる硝酸は空気と反応して酸化するため、組成が変化する。」
＜訂正事項４２＞
　段落【０１６５】の記載を次のとおりに訂正する。
「不活性ガスは、第１，第２循環タンク７２ａ，７２ｂ内の原液１５，１６の劣化を抑える。即ち、原液１５，１６のスラリの表面が空気にふれると、その表面部分のスラリが空気と反応して原液の組成，濃度等が変化する。その結果、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに混合されて供給されるスラリの組成が変化するため、研磨処理が良好に行われなくなることがある。」
＜訂正事項４３＞
　段落【０１７３】の記載を次のとおりに訂正する。
「また、図９に示すように、混合タンク１２ａ，１２ｂ内の圧力を減圧ポンプ１３１にて減圧して第１，第２原液タンク１３，１４から原液１５，１６を吸引することにより、原液１５，１６を混合タンク１２ａ，１２ｂに供給する構成としてもよい。また、この構成を第二実施形態のスラリ供給装置６１に応用してもよい。」
＜訂正事項４４＞
　段落【０１７８】の記載を次のとおりに訂正する。
「○上記各実施形態では、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに生成したスラリ１７を供給するスラリ供給装置１１，６１，７１に具体化したが、その他のスラリ供給装置に具体化して実施してもよい。例えば、エッチング処理後のウェハ表面に形成される不純生成物の除去を行う工程には、フッ酸＋純水、フッ酸＋アンモニア＋純水よりなるスラリを供給するスラリ供給装置が用いられる。これらのスラリは、純水，アンモニアが蒸発して成分濃度が変化するため、従来のスラリ供給装置は用いることができない。上記各実施形態の構成によるスラリ供給装置では、供給する直前に容量の小さな混合タンクにてスラリを混合・希釈するため、純水等が蒸発する前にスラリを供給して使い切ってしまうことができるため、新しいスラリを安定して供給することができる。」
＜訂正事項４５＞
　段落【０１８２】の記載を次のとおりに訂正する。
「【発明の効果】以上詳述したように、請求項１乃至１０に記載の発明によれば、新しいスラリを安定して供給することが可能なスラリ供給装置を提供することができる。また、請求項１１に記載の発明によれば、新しいスラリを安定して供給することが可能なスラリ供給方法を提供することができる。」
＜訂正事項４６＞
　【符号の説明】の記載を次のとおりに訂正する。
「１２ａ，１２ｂ  混合タンク
１３，１４  原液タンク
１５，１６  原液
１７  スラリ
１８ａ，１８ｂ  処理装置としての研磨装置（ＣＭＰ装置）
３１  メイン循環配管
４１  原液供給手段、スラリ作成手段、スラリ循環手段、スラリ供給手段、液面検出手段及び循環切り換え手段としての制御装置」
　
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無および拡張・変更の存否　
＜訂正事項２〜１０について＞
　訂正事項２〜１０は、特許請求の範囲の請求項１〜９において「薬液」とあった記載を「スラリ」と訂正するものであり、「薬液」が「スラリ」であることを明りょうにする、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
＜訂正事項１１〜１３について＞
　訂正事項１１〜１３は、特許請求の範囲の請求項１０〜１６、及び請求項１８を削除し、その削除に伴って請求項１７，１９をそれぞれ請求項１０，１１に繰り上げるものであり、また、「薬液」とあった記載を「スラリ」と訂正するものであるので、特許請求の範囲の減縮、又は明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　
＜訂正事項１，１４〜４６について＞
　訂正事項１，１４〜４６は、上記訂正事項２〜１３の訂正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とが整合しなくなったことを解消するためのものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　
　そして、訂正事項１〜４６は、いずれも願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
２−３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。　
　
３．特許異議の申立てについての判断
３−１．申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、本件特許が「薬液」を対象とすることは優先権の基礎となった出願（平成９年８月２１日に出願された特願平９−２２５２８９号）の明細書又は図面に記載されていないので、現実の出願日を基準として判断すべきであり、してみると、本件特許の請求項１〜１９にかかる発明は、甲第１〜８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。したがって、本件の請求項１〜１９にかかる発明についての特許は取り消されるべきである旨、主張している。
＜甲各号証＞
甲第１号証：特開平　９−２９０３６８号公報（公開日：平成９年１１月１１日）
甲第２号証：特開平　９−２６０３３０号公報（公開日：平成９年１０月３日）
甲第３号証：特開平　９−　５７６０９号公報（公開日：平成９年３月４）
甲第４号証：特開平　９−　２９６３７号公報（公開日：平成９年２月４日）
甲第５号証：米国特許第５４７８４３５号明細書
甲第６号証：特開平　９−２８５９６８号公報（公開日：平成９年１１月４日）
甲第７号証：特開昭６０−　２１３８６号公報（公開日：昭和６０年２月２日）
甲第８号証：特開平　９−１４８２８６号公報（公開日：平成９年６月６日）
　
３−２．当審が通知した取消しの理由の概要
３−２−１．平成１６年５月２１日付で通知した取消しの理由の概要
　特許異議の申立の理由と同様に、本件特許が「薬液」を対象とすることは優先権の基礎となった出願（平成９年８月２１日に出願された特願平９−２２５２８９号）の明細書又は図面に記載されていないので、現実の出願日を基準として判断すべきであり、してみると、本件特許の請求項１〜１９に係る発明は、本件出願前に頒布された刊行物である以下の刊行物１〜８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない（以下、「取消理由１」という。）というものである。
＜引用刊行物＞
刊行物１：特開平　９−２９０３６８号公報　（甲第１号証） 
刊行物２：特開平　９−２６０３３０号公報　（甲第２号証） 
刊行物３：特開平　９−　５７６０９号公報　（甲第３号証） 
刊行物４：特開平　９−　２９６３７号公報　（甲第４号証） 
刊行物５：米国特許第５４７８４３５号明細書（甲第５号証） 
刊行物６：特開平　９−２８５９６８号公報　（甲第６号証） 
刊行物７：特開昭６０−　２１３８６号公報　（甲第７号証） 
刊行物８：特開平　９−１４８２８６号公報　（甲第８号証）
　
３−２−２．平成１６年８月２３日付で通知した取消しの理由の概要
　平成１６年８月２日付の訂正請求で訂正後の本件特許の請求項１０〜１４，１６に係る発明は、本件の優先権主張の日前に頒布された刊行物である以下の刊行物１〜２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない（以下、「取消理由２」という。）ものであるとともに、請求項の記載が不明りょうであるから、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない（以下、「取消理由３」という。）というものである。
＜引用刊行物＞
刊行物１：特開平　９−　５７６０９号公報　（取消理由１の刊行物３、甲第３号証）
刊行物２：特開昭６０−　２１３８６号公報　（取消理由１の刊行物７、甲第７号証）
　
３−３．本件発明
　上記２．で述べたとおり、上記訂正が認められたので、本件特許の請求項１〜１１に係る発明（以下、「本件発明１」〜「本件発明１１」という。）は、訂正明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜１１に記載された事項により特定される次のとおりのものと認められる。
「【請求項１】  原液を希釈又は複数の原液を混合してスラリを作成し、該スラリを処理装置に供給するスラリ供給装置であって、
複数の混合タンクと、
前記複数の混合タンクに対して共通に設けられたメイン循環配管と、
前記原液を前記スラリの組成に対応して前記混合タンクに供給する原液供給手段と、
前記複数の混合タンクのうちの１つを順次選択し、選択した混合タンクを使用して前記スラリを作成するスラリ作成手段と、
前記スラリの作成が終了した一の混合タンクとメイン循環配管とを接続して循環経路を構成し、該循環経路に前記スラリを循環させるスラリ循環手段と、
前記循環経路を循環中の該スラリを前記処理装置に供給するスラリ供給手段と、
前記複数の混合タンクに設けられ、各混合タンク内の液面レベルを検出する液面検出手段と、
前記処理装置の処理情報と前記一の混合タンクに対する前記液面検出手段の検出結果に基づいて他の混合タンクにて前記スラリの作成を開始する開始時期と作成量を決定する決定手段と、
前記他の混合タンクについての前記液面検出手段の検出結果に基づいて、前記スラリの作成が終了した該他の混合タンクと前記メイン循環配管を接続して新たな循環経路とする循環切り換え手段とを備えたスラリ供給装置。
【請求項２】  請求項１に記載のスラリ供給装置において、
前記スラリ作成手段は、前記処理装置に対して前記スラリを連続供給できるように、前記決定手段に従って前記他の混合タンクにてスラリの作成を開始するようにしたスラリ供給装置。
【請求項３】  請求項１又は２に記載のスラリ供給装置において、
前記メイン循環配管に循環するスラリを分岐する分岐配管を接続し、該分岐配管にバルブを設け、該バルブを開閉制御して前記循環しているスラリを前記処理装置に供給するようにしたスラリ供給装置。
【請求項４】  請求項１〜３のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記液面検出手段は、前記混合タンクの上部に設けられて非接触にて混合タンクの液面レベルに応じた検出信号を出力するセンサを備えたスラリ供給装置。
【請求項５】  請求項１〜４のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記液面検出手段は、その時の液面レベルと１つ前に測定した液面レベルとを比較してその時の液面レベルの変化量を算出し、その変化量が予め設定した範囲内にあるときにはその時の液面レベルを有効とし、変化量が範囲内にないときにはその時の液面レベルを無効にするフィルタ手段を備えたスラリ供給装置。
【請求項６】  請求項１〜５のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記液面検出手段の検出結果に基づいてその時々の原液タンク内の原液の残量を算出する原液残量算出手段と、
前記算出された原液の残量に基づいて、前記原液タンクの交換のための表示を行う表示手段とを備えたスラリ供給装置。
【請求項７】  請求項１〜６のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記原液供給手段と前記混合タンクとの間に各原液の供給量を制御する供給量制御手段を備え、
該供給量制御手段は、前記液面検出手段の検出結果に基づいて、前記混合タンク内の液面が所定のレベルに近づくと、原液の供給量を減少させるようにしたスラリ供給装置。
【請求項８】  請求項１〜７のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記複数の混合タンクそれぞれに対応するサブ循環配管を備え、
前記スラリ作成手段は、前記他の混合タンクにて作成したスラリを該他の混合タンクと対応するサブ循環配管による循環経路にて循環させ、前記一の混合タンクにおいてそのスラリの残量が所定量となったときに、前記他の混合タンクにおける循環経路を前記サブ循環配管から前記メイン循環配管に切り換えてスラリを供給するようにしたスラリ供給装置。
【請求項９】  請求項１〜８のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記混合タンク内及び循環経路を洗浄する洗浄手段を備えたスラリ供給装置。
【請求項１０】  請求項１〜９のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
前記混合タンク底部にレベルセンサを設け、該レベルセンサの検出結果に基づいて該混合タンク内の残留物を強制的に排出する強制排出手段を備えたスラリ供給装置。
【請求項１１】  原液を希釈又は複数の原液を混合してスラリを作成し、該スラリを処理装置に供給するスラリ供給方法であって、
前記原液を前記スラリの組成に対応して複数の混合タンクのうちの１つの混合タンクに供給し、選択した混合タンクを使用して前記スラリを作成する工程と、
前記スラリの作成が終了した一の混合タンクと、前記複数の混合タンクに対して共通に設けられたメイン循環配管を接続して循環経路を構成し、該循環経路に前記スラリを循環させる工程と、
前記循環経路を循環中の該スラリを前記処理装置に供給する工程と、
前記処理装置の処理情報と前記一の混合タンクに対する前記液面レベルに基づいて他の混合タンクにて前記スラリの作成を開始する開始時期と作成量を決定し、その開始時期及び作成量に基づいて前記他の混合タンクの前記スラリ作成を開始する工程と、
前記他の混合タンクについての液面レベルに基づいて、前記スラリの作成が終了した該他の混合タンクと前記メイン循環配管を新たに接続する工程と、
を含むスラリ供給方法。」
　
３−４．当審の判断
３−４−１．取消理由１及び２（特許法第２９条第２項違反）について
（１）国内優先権について
　本件特許は、上記２．の訂正で「薬液」を「スラリ」に訂正したことにより、国内優先権の利益を享受することができるものと認められる。したがって、取消理由１において引用した刊行物１（甲第１号証）、刊行物２（甲第２号証）、及び刊行物６（甲第６号証）は、本件出願の優先日（平成９年８月２１日）前に頒布された刊行物でないので、取消理由の証拠方法として採用できない。
　
（２）刊行物記載の発明及び事項
　取消理由１及び２において引用した刊行物のうち、本件出願の優先日（平成９年８月２１日）前に頒布された刊行物３、４、５、７及び８には、それぞれ以下の発明及び事項が記載されている。
＜刊行物３（甲第３号証）＞
ア　段落【０００１】
　「【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハやセラミックウエハ等の表面に研磨装置で化学的機械研磨（メカノケミカルポリッシング）を施す際に、上記研磨装置に研磨材液を供給する研磨材液供給装置に関するものである。」
イ　段落【００１３】
　「【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を参照しながら詳細に説明するに、図１に示す研磨材液供給装置は、スラリー状をした研磨材原液を収容するための原液タンク１と、該原液タンク１から計量用原液移送管路２を通じて送られてくる研磨材原液を計量するための原液計量タンク４と、図示しない溶媒源から溶媒供給管路５を通じて送られてくる水（好ましくは純水）や化学液等の溶媒を計量するための溶媒計量タンク６と、上記原液計量タンク４から混合用原液移送管路７を通じて送られてくる計量された研磨材原液、及び溶媒計量タンク６から混合用溶媒移送管路８を通じて送られてくる計量された溶媒を混合して、所要濃度の研磨材液を得る混合タンク９と、該混合タンク９から供給用研磨材液移送管路１０を通じて送られてくる調合された研磨材液を貯留し、研磨装置に供給する研磨材液供給タンク１１とを備えている。」
ウ　段落【００１５】
　「原液タンク１と原液計量タンク４とを結ぶ上記計量用原液移送管路２は、原液タンク１内の研磨材原液を原液計量タンク４に供給する供給管１６と、該供給管１６の一部から分岐して先端が上記原液タンク１内に導かれた還流管１７とを備え、上記供給管１６にはポンプ１８が接続され、供給管１６と還流管１７との分岐点には流路切換用の３方向バルブ１９が設けられている。」
エ　段落【００１６】
　「そして、供給装置の稼働中に上記ポンプ１８は常時オンの状態に保たれ、これに対してバルブ１９は、研磨材原液を原液計量タンク４に供給するときには、供給管１６の一次側部分１６ａと二次側部分１６ｂとを連通させて還流管１７は遮断し、研磨材原液を原液計量タンク４に供給しないときは、供給管１６の一次側部分１６ａと還流管１７とを連通させて供給管１６の二次側部分１６ｂは遮断するように動作する。従って、研磨材原液が原液計量タンク４に供給されていないとき、原液タンク１内の研磨材原液は、供給管１６の一次側部分１６ａと還流管１７とを通じて常時還流することにより撹拌されており、この結果、研磨用微細粒子の沈殿が防止されて研磨材原液の濃度が一定に保たれると同時に、研磨材原液の乾燥による配管やポンプ１８の詰まりが防止される。」
オ　段落【００２０】
　「上記原液計量タンク４と混合タンク９とを結ぶ混合用原液移送管路７は、原液計量タンク４内の研磨材原液を混合タンク９に供給する供給管２８と、該供給管２８の一部から分岐して先端が上記原液計量タンク４に導かれた還流管２９とを備え、上記供給管２８にはポンプ３１が接続され、供給管２８と還流管２９との分岐点には流路切換用の３方向バルブ３０が設けられている。」
カ　段落【００２１】
　「そして、計量された研磨材原液が上記供給管２８を通じて混合タンク９に供給されていない状態では、バルブ３０により供給管２８の二次側部分２８ｂが遮断されると共に、一次側部分２８ａと還流管２９とが連通せしめられ、且つポンプ３１が作動して、原液計量タンク４内の研磨材原液は、上記供給管２８の一次側部分２８ａ及び還流管２９を通じて常時循環することにより撹拌される。この結果、撹拌手段２４による撹拌作用との相乗効果によって、研磨用微細粒子の沈殿が防止されて研磨材原液の濃度が一定に保たれ、それと同時に、研磨材原液の乾燥による配管やポンプ３１の詰まりが防止される。」
キ　段落【００２２】
　「また、計量された研磨材原液を上記供給管２８を通じて混合タンク９に供給する際には、バルブ３０により供給管２８の一次側部分２８ａと二次側部分２８ｂとが連通せしめられると共に、還流管２９が遮断される。図中３２は、原液計量タンク４内の研磨材原液や洗浄作業時の洗浄液、ドレン等を排出するためのバルブである。」
ク　段落【００３５】
　「上記研磨材液供給装置にはまた、研磨材液と接触するタンクや流路を洗浄するためのフラッシング用管路が備えられている。このフラッシング用管路は、図示しない洗浄液（純水）源と原液計量タンク４及び溶媒計量タンク６とを連結する第１管路５６と、上記洗浄液源と供給タンク１１とを連結する第２管路５７とを有し、第１管路５６から原液計量タンク４側に分岐した分岐部５６ａと溶媒計量タンク６側に分岐した分岐部５６ｂ、及び上記第２管路５７とに、それぞれ開閉用のバルブ５８，５９，６０が接続されている。なお、上記研磨材液に使用する溶媒が純水である場合には、上記フラッシング用の第１管路５６及び第２管路５７は溶媒供給管路５に接続しても良い。」
　上記記載事項から判断すると、刊行物３には以下の発明が記載されていると認められる。
「スラリー状をした研磨材原液と水（好ましくは純水）や化学液等の溶媒を調合した研磨材液を、該研磨材液を使用する研磨装置に供給する研磨材液供給装置であって、原液タンク１に蓄えられた前記研磨材原液に対応して設けられた原液計量タンク４と、必要量に応じた前記研磨材原液を前記原液計量タンク４に供給する計量用原液移送管路２と、前記原液計量タンク４に供給された研磨材原液を、前記原液計量タンク４と該原液計量タンク４に接続された還流管２９に所定の液圧にて循環させる混合用原液移送管路７と、前記混合用原液移送管路７により循環される研磨材原液が前記還流管２９に接続された供給管２８を介して供給される混合タンク９とを備えた研磨剤液供給装置。」
　
＜刊行物４（甲第４号証）＞
ア　段落【００１０】
「【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため本発明は、ウェーハをポリッシング加工する定盤上に研磨材として用いるスラリーを供給するためのスラリー供給装置において、スラリータンク内のスラリーを定盤に対向するように設けられたスラリー吐出部まで送出するスラリー供給ラインと、前記スラリー供給ラインのスラリー吐出部近傍の上流から引出され、スラリー供給ラインを通って送られてきたスラリーを前記スラリータンクに還流させるスラリー戻しラインと、純水供給源から延出し、前記スラリー戻しラインより下流側の前記スラリー吐出部の直近上流側に接続される純水供給ラインと、前記スラリー供給ラインをスラリー吐出部とスラリー戻しラインに対し、また純水供給ラインをスラリー供給ラインに対して選択的に接続するライン切換手段とを具備することを特徴とするものである。」
イ　段落【００１５】
　「図１は本発明に係るスラリー供給装置の一実施例を示すもので、この実施例でのスラリー供給装置は、２種類の異なるスラリーの原液と純水とを定量的に混合したスラリーを一定の温度に保って定盤上に供給するようになっている。なお、使用されるスラリーの種類によっては、１種類の原液と純水とを混合したスラリーを用いる場合もある。図において、符号１、２は、２種類の混合すべき原液のうち、一方の沈降性のない同一の原液がそれぞれ入っているタンクであり、これら各タンク１、２には計量器１ａ、２ａがそれぞれ設けられている。これら各計量器１ａ、２ａは、一方のタンク１または２が空になったことを検知するためのものであり、一方のタンク１または２が空になると、バルブ１ｃまたは２ｃが切り替わり、定量供給装置８の定量ポンプ８ａのサクションが自動的に満杯の方のタンク２または１側に切り替えられようになっている。また、オペレータにはタンク１、２のうち一方が空になったことが図示されない警報ブザーなどよって、その場で報知されるようになっている。」
ウ　段落【００１６】
　「これに対して、タンク３およびタンク４には、沈降性を有する原液が入れられており、これらのタンク３、４には、固形分の沈降を防止するため撹拌ポンプ５、６がそれぞれ設置されているとともに、計量器３ａ、４ａがそれぞれ設けられている。前記タンク１の場合と同様に、これら各計量器３ａ、４ａは、一方のタンク３または４が空になったことを検知するためのもので、バルブ３ｃ，４ｃの動作により、自動的に他方の満杯になった方のタンク４または５側に定量ポンプ８ｂのサクションが切り替えられるとともに、オペレータには、その場でタンク４または５の一方が空になったことを警報ブザーなどによって報知されるようになっている。」
エ　段落【００１７】
　「また、符号７は純水タンクであり、純水供給源２２から純水の供給を受け、液面センサ７Ａにより所定の純水を貯えるようになっている。なお、純水タンク７の底部には、時々純水を完全に交換するための開閉弁７Ｂが取付けられている。」
オ　段落【００１８】
　「タンク１、２のうちの一方からの原液、前記タンク３、４のうちの一方からの原液および純水タンク７からの純水は、定量供給装置８の各定量ポンプ８ａ乃至８ｃによって一定比率に混合されて例えばテフロン容器製のスラリータンクとしての混合タンク
９に供給されるようになっている。なお、９Ａは液面センサである。」
カ　段落【００１９】
　「定量供給装置８は、個別に流量調整可能なダイアフラム型の定量ポンプ８ａ乃至８ｃをそれぞれ連動させたものが用いられているが、連動式でなく個々にポンプなどの定量供給装置を設けるようにしてもよい。」
キ　段落【００２０】
　「スラリータンクとしての混合タンク９には、撹拌ポンプ１０、温度計１２を有するヒータ１１および冷却用チラーからなる冷却装置１３がそれぞれ設置されており、混合タンク９に定量供給装置８から送給されたスラリー混合原液と純水は、撹拌ポンプ１０により混合撹拌されるとともに、ヒータ１１および冷却装置１３によって、所定の温度を保つように温度調整されるようになっている。」
ク　段落【００２１】
　「また、混合タンク９には、例えばローラポンプ１４および流量計１５が途中に組み込まれたスラリー供給ラインを構成する供給用配管１６の吸込側の端部が接続されている。この供給用配管１６の終端部は、ライン切り換え手段の一部を構成する第１仕切弁１７を介しスラリー吐出部１８に接続されている。そして、混合タンク９内のスラリーは、ポリッシングが開始されると同時にローラポンプ１４が始動して供給用配管１６を通じて送出され、第１仕切弁１７を介しスラリー吐出部１８に送られて、この定盤１９に対向して配置されているスラリー吐出部１８から、ウェーハのポリッシングが行なわれる定盤１９上に供給される。」
　上記記載事項から判断すると、刊行物４には以下の発明が記載されていると認められる。
「ウェーハをポリッシング加工する定盤上に研磨材として用いるスラリーを供給するためのスラリー供給装置において、スラリータンク内のスラリーを定盤に対向するように設けられたスラリー吐出部まで送出するスラリー供給ラインと、前記スラリー供給ラインのスラリー吐出部近傍の上流から引出され、スラリー供給ラインを通って送られてきたスラリーを前記スラリータンクに還流させるスラリー戻しラインと、純水供給源から延出し、前記スラリー戻しラインより下流側の前記スラリー吐出部の直近上流側に接続される純水供給ラインと、前記スラリー供給ラインをスラリー吐出部とスラリー戻しラインに対し、また純水供給ラインをスラリー供給ラインに対して選択的に接続するライン切換手段とを具備するスラリー供給装置。」
　
＜刊行物５（甲第５号証）＞
　刊行物５については、特許異議申立書の第５７第２０行〜５８頁第２５行に記載された翻訳文を参照した。
ア　明細書第４欄第１０行〜２０行
　「図１に示されているように、本発明の新規な態様は、供給装置２０によってプラテン１２（またはパッド１３）上にスラリー１４を供給することにある。バルクのスラリー供給から得られた高濃度の液状スラリーは、保持容器２１に導入される。ポンプ２１は、液状スラリーを容器２１からポンプで汲み上げるために、液体の流れラインによって容器２１と結合している。ポンプ２２は、容器２１から吸引される高濃度の液状スラリーの流量を制御する目的で使用される。ポンプ２２からの出力は、液体ヒータ２３に結合する。ヒータ２３は、流れているスラリーを供給されるスラリーに要求される望ましい温度まで加熱するのに使用される。」
イ　明細書第４欄第２４行〜２７行
　「供給ライン（チューブ）２４は、スラリーをプラテン１２の近くまで運ぶのに、ヒータ２３から結合する。供給ライン２４の開放端は、スラリー１４をプラテン１２上に供給するための供給点１９である」
ウ　明細書第４欄第４８行〜５５行
　「図１に示すように、もう一つの液体容器２６、ポンプ２７、液体ヒータ２８、供給ライン２９およびラインヒータ３０が存在する。これらのユニット２６−３０は、上記ユニット２１−２５と同じように機能し、プラテン１２上にもう一つの溶液を供給する副供給系を提供する。」
エ　明細書第５欄第２５行〜３６行
　「図３を参照すれば、他の実施例が示されている。図３において、追加液体容器４０、ポンプ４１、液体ヒータ４２、供給ライン４３が示されている。これらのユニット４０−４３は、図１、図２に示されたユニット２１−２４の複製であり、同様に機能する。酸化剤、エッチング剤および／または添加剤（以降、酸化剤／エッチング剤／添加剤という）を容器２１のスラリーに導入する代わりに、酸化剤／エッチング剤／添加剤は、使用する点で混ぜられるまで、スラリーから離しておける。従って、酸化剤／エッチング剤／添加剤は、容器４０に導入され、供給チューブ４３によってプラテン１２まで運ばれる。」
オ　明細書第５欄第４６行〜５０行
　「例えば、図４に示されているように、これら全ての３つの液体は、図２に示したのと同様なアプローチで供給チューブ４８内で結合される。この場合、３つの液体は、単一の供給開口４９で射出される前に、結合される。」
　上記記載事項から判断すると、刊行物５には以下の発明が記載されていると認められる。
　「それぞれ別々の容器内に保持されたスラリー及び酸化剤／エッチング剤／添加剤を供給開口から射出される直前に供給チューブ内で結合させるスラリー供給装置。」
　
＜刊行物７（甲第７号証）＞
ア　公報第１頁左欄第５行〜１６行
　「それぞれ電磁弁によって定量供給できる流量計又は定量ポンプを備えた研摩剤供給用タンクと、希釈および洗滌用純水供給源と、これらタンクおよび供給源からの研摩剤および純水を混合するための配管と、この配管に電磁弁によって定量供給できる流量計又は定量ポンプを備えた苛性ソーダ水溶液供給用タンクから供給される苛性ソーダ水溶液を供給する供給管が接続され、ＰＨ検出器によって検出される各混合液のＰＨ値を苛性ソーダ水溶液供給量を制御するためにフィードバックする回路が設けられていることを特徴とするポリシング用研摩剤供給装置。」
イ　公報第１頁右欄第１３行〜第２頁左欄第１１行
　「本発明は上記諸点を考慮し、研摩剤調合の手間を省き、また調合した研摩剤を連続的、定量的に安定供給する装置を提供することである。以下に本発明の一実施例を概略図によって説明する。第１図において１は合成樹脂製研摩剤供給用タンクで、２はその流量計、３はその開閉制御用電磁弁である。４は純水供給用パイプで、５はその流量計、６はその電磁弁である。研摩剤および純水はこれらタンク１及びパイプ４からその流量を測定しつつ各電磁弁を経て混合される。混合希釈された研摩剤は次いでポリシング装置（図示せず）に供給されるが、この時希釈された研摩剤のＰＨ値を連続的に測定するためのＰＨ検出器７を経由する。ＰＨ検出器７によって検出されたＰＨ値は、その情報が苛性ソーダの供給制御用電磁弁８にフィードバックされ、苛性ソーダ水溶液の供給用タンク９からの供給量を制御するように調整されている。１０はその流量計である。」
　上記記載事項から判断すると、刊行物７には以下の発明が記載されていると認められる。
　「研摩剤調合の手間を省き、また調合した研摩剤を連続的、定量的に安定供給する装置を提供するために、それぞれ電磁弁によって定量供給できる流量計又は定量ポンプを備えた研摩剤供給用タンクと、希釈および洗滌用純水供給源と、これらタンクおよび供給源からの研摩剤および純水を混合するための配管と、この配管に電磁弁によって定量供給できる流量計又は定量ポンプを備えた苛性ソーダ水溶液供給用タンクから供給される苛性ソーダ水溶液を供給する供給管が接続され、ＰＨ検出器によって検出される各混合液のＰＨ値を苛性ソーダ水溶液供給量を制御するためにフィードバックする回路が設けられていることを特徴とするポリシング用研摩剤供給装置。」
　
＜刊行物８（甲第８号証）＞
ア　【特許請求の範囲】
「【請求項１】  化学機械研磨のためスラリをダイナミックに混合する方法であって：酸化剤（３７），研磨剤（３３）およびスラリ・ミキサ（１１）を設ける段階；前記酸化剤（３７）および前記研磨剤（３３）を前記スラリ・ミキサ（１１）内に投与する段階；前記酸化剤（３７）および前記研磨剤（３３）を互いにダイナミックに混合して、前記スラリ・ミキサ（１１）においてスラリ（４１）を形成する段階；約３０分よりも短い時間期間だけ前記スラリ（４１）を前記スラリ・ミキサ（１１）内に保持する段階；その後、前記スラリ（４１）を前記スラリ・ミキサ（１１）から除去する段階；および前記スラリ（４１）を研磨面上に投与する段階；によって構成されることを特徴とする方法。
【請求項２】  半導体部品を製造する方法であって：上部と下部との間に多孔ディフューザ（２１）を有する容器（１１）を設ける段階；薬剤を有する第１溜（３６）を設ける段階；研磨剤を有する第２溜（３２）を設ける段階；前記第１溜（３５）から前記容器（１１）の前記下部内に前記薬剤を抽出する段階；前記第２溜（３２）から前記容器（１１）の前記下部に前記研磨剤を抽出する段階；前記容器（１１）の前記下部において前記薬剤と前記研磨剤を混合物（４１）に合成する段階；前記多孔ディフューザ（２１）を介して前記容器（１１）の前記上部に前記混合物（４１）を移す段階；ある時間だけ前記混合物（４１）を前記容器（１１）内に保持する段階；およびその後、タップを介して前記容器（１１）から前記混合物を投与する段階；によって構成されることを特徴とする方法。
【請求項３】  薬剤を混合する装置であって：上部と下部とを有する容器（１１）であって、前記下部が底面を有する容器（１１）；前記上部と前記下部との間のディフューザ（２１）；前記容器（１１）の前記下部における入力；前記容器（１１）の前記下部における混合構造（１７）；および前記容器（１１）の前記上部における出力；によって構成されることを特徴とする装置。」
イ　段落【００１５】
　「装置１０は、化学機械研磨機を表す。以下では化学機械研磨機１０という装置１０は、極めて単純化されていることが理解される。さらに、化学機械研磨機は、本発明の説明を簡単にするため、縮尺通りではないことが理解される。例えば、好適な実施例では、化学機械研磨機１０は、密封円筒形容器またはスラリ・ミキサ１１と、供給タンクまたは溜３２，３６と、ポンプ３５，３９と、逆止め弁４６，５２と、半導体基板４３を支持するキャリア・アセンブリ４５と、研磨面，研磨パッドまたはプラテン４２とを含む。スラリ・ミキサ１１は、約３００ミリリットル（ｍｌ）の容積を保持し、高さが約１９センチメートル（ｃｍ）で、直径が１４ｃｍの外部寸法を有する。ただし、薬剤３３をスラリ・ミキサ１１に供給する溜３２の好適な容積は約１００〜１，０００リットルである。従って、スラリ・ミキサ１１は溜３２よりも大きく図示されているが、実際には、スラリ・ミキサ１１は溜３２よりもはるかに小さいことが理解される。小さい寸法のため、スラリ・ミキサ１１は、既設のスラリ薬剤排水設備と並置できる。」
ウ　段落【００１６】
　「スラリ・ミキサ１１は、蓋１２，側壁１３，１４および内壁３１を有する。好適な実施例では、蓋１２は、スラリ・ミキサ１１内の内容物が外から見えるように、例えば、塩化ビニルなどの光学的に透明な材料からなる。スラリ・ミキサ１１は、ピラミッド型，箱形または他の形状を有することができるが、好ましくは円筒形を有する。本発明により、酸化剤および研磨剤は結合，混合または混練されて、スラリ・ミキサ１１内で混合物またはスラリ４１になる。」
エ　段落【００１７】
　「スラリ・ミキサ１１の内壁３１は、スラリ４１によってあまりエッチングあるいは浸食されない材料からなる。このような材料の例には、例えば、ポリテトラフルオロエチレン樹脂，フルオロポリマまたは他の同様な材料が含まれる。好適な実施例では、内壁３１は、例えば、ポリプロピレンなど、安価でスラリ抵抗性のあるポリマからなる。別の好適な実施例では、側壁１３，１４もポリプロピレンからなる。内壁３１は、スラリ４１内の研磨剤粒子が内壁３１上に残留物または堆積物を付着あるいは形成する可能性を低減するため、なめらかであることが好ましい。」
オ　段落【００１８】
　「上記のように、溜３２は薬剤３３を収容する。別の容器または溜３６は、薬剤３７を収容する。溜３２および薬剤３３は管３４を介してポンプ３５に結合され、このポンプ３５はスラリ・ミキサ１１の入力１５に結合される。同様に、溜３６および薬剤３７は、管３８を介してスラリ・ミキサ１１に結合され、この管３８はポンプ３９に結合され、このポンプ３９はスラリ・ミキサ１１の入力４０に結合される。ポンプ３５，３９は、加圧窒素システム，膜ポンプ(diaphragm pump)，蠕動ポンプ(peristaltic pump)または当技術分野で用いられる他の適切なポンプでもよい。好適な実施例では、ポンプ３５，３９のそれぞれは、約６〜１１キロパスカルの圧力および約５０〜５００ｍｌ／分の速度で動作する。」
カ　段落【００２３】
　「好ましくは、部分１９は、スラリ・ミキサ１１からスラリ４１を排出するために用いられる弁付きポートまたは排水管１６を内蔵する。スラリ・ミキサ１１は、内部チャンバを洗浄するために排水される。スラリ・ミキサの洗浄は、例えば、スラリ・ミキサ１１内にノズル（図示せず）を設けて、脱イオン水または他の洗浄剤をスラリ・ミキサ１１内に噴霧し、内壁３１またはディフューザ(diffuser)２１に形成された残留物を除去することによって行うことができる。スラリ・ミキサ１１が５０〜５００ｍｌの容積を有する好適な実施例では、スラリ・ミキサ１１の排水は、大きな１００〜１０，０００リットルの従来のデイ・タンクに比べて、スラリの浪費ははるかに少ない。」
　上記記載事項から判断すると、刊行物８には以下の発明が記載されていると認められる。
　「上部と下部とを有する容器（１１）であって、前記下部が底面を有する容器（１１）；前記上部と前記下部との間のディフューザ（２１）；前記容器（１１）の前記下部における入力；前記容器（１１）の前記下部における混合構造（１７）；および前記容器（１１）の前記上部における出力；によって構成される薬剤を混合する装置。」
　
（２）対比・判断
ア　本件発明１について
　刊行物３、４、５、７及び８記載の発明と本件発明１とを対比すると、少なくともこれら各刊行物記載の発明はいずれも、本件発明１の複数の混合タンクに関する特定事項である「複数の混合タンク」、「複数の混合タンクに対して共通に設けられたメイン循環配管」、「複数の混合タンクのうちの１つを順次選択し、選択した混合タンクを使用して前記スラリを作成するスラリ作成手段」、「処理装置の処理情報と前記一の混合タンクに対する前記液面検出手段の検出結果に基づいて他の混合タンクにて前記スラリの作成を開始する開始時期と作成量を決定する決定手段」、及び「他の混合タンクについての前記液面検出手段の検出結果に基づいて、前記スラリの作成が終了した該他の混合タンクと前記メイン循環配管を接続して新たな循環経路とする循環切り換え手段」との事項を備えていない。
　そして、本件発明１は、上記特定事項を採用することにより、訂正明細書の段落【０１４０】〜【０１４１】に記載されているとおりの「（１）スラリ供給装置１１には、研磨装置１８ａ，１８ｂにおいて１回の処理に使われるスラリの必要量に応じて少ない容量に設定された混合タンク１２ａ、１２ｂを設けた。制御装置４１は、各混合タンク１２ａ，１２ｂに対して、必要量だけ原液１５，１６と純水を供給し、希釈・混合してスラリ１７を生成する。そして、制御装置４１は、生成したスラリ１７を研磨装置１８ａ，１８ｂに供給するようにした。従って、各混合タンク１２ａ，１２ｂには、研磨装置１８ａ，１８ｂに必要なだけのスラリ１７が生成されるため、古いスラリが発生することが無く、安定したスラリを研磨装置１８ａ，１８ｂに供給することができる。（２）スラリ供給装置１１には、２つの混合タンク１２ａ，１２ｂを設けた。制御装置４１は、混合タンク１２ａ，１２ｂを交互に使用してスラリ１７を生成する。更に、制御装置４１は、生成したスラリを循環させるようにしたので、スラリ１７の沈殿が防止される。」という、上記各刊行物記載の発明からは予測されない優れた効果を奏するものである。
　以上のことから、本件発明１は、上記刊行物３、４、５、７及び８記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
イ　本件発明２〜１０
　本件発明２〜１０は、本件発明１の上記特定事項をその特定事項とするものであるから、上記「ア　本件発明１について」で述べたのと同様の理由で、上記刊行物３、４、５、７及び８記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
ウ　本件発明１１
　刊行物３、４、５、７及び８記載の発明と本件発明１１とを対比すると、少なくともこれら各刊行物記載の発明はいずれも、本件発明１１の複数の混合タンクに関する特定事項である「原液を前記スラリの組成に対応して複数の混合タンクのうちの１つの混合タンクに供給し、選択した混合タンクを使用して前記スラリを作成する工程」、「スラリの作成が終了した一の混合タンクと、前記複数の混合タンクに対して共通に設けられたメイン循環配管を接続して循環経路を構成し、該循環経路に前記スラリを循環させる工程」、「処理装置の処理情報と前記一の混合タンクに対する前記液面レベルに基づいて他の混合タンクにて前記スラリの作成を開始する開始時期と作成量を決定し、その開始時期及び作成量に基づいて前記他の混合タンクの前記スラリ作成を開始する工程」、及び「他の混合タンクについての液面レベルに基づいて、前記スラリの作成が終了した該他の混合タンクと前記メイン循環配管を新たに接続する工程」との事項を備えていない。
　そして、本件発明１１は、上記特定事項を採用することにより、訂正明細書の段落【０１４０】〜【０１４１】に記載されているとおりの「（１）スラリ供給装置１１には、研磨装置１８ａ，１８ｂにおいて１回の処理に使われるスラリの必要量に応じて少ない容量に設定された混合タンク１２ａ、１２ｂを設けた。制御装置４１は、各混合タンク１２ａ，１２ｂに対して、必要量だけ原液１５，１６と純水を供給し、希釈・混合してスラリ１７を生成する。そして、制御装置４１は、生成したスラリ１７を研磨装置１８ａ，１８ｂに供給するようにした。従って、各混合タンク１２ａ，１２ｂには、研磨装置１８ａ，１８ｂに必要なだけのスラリ１７が生成されるため、古いスラリが発生することが無く、安定したスラリを研磨装置１８ａ，１８ｂに供給することができる。（２）スラリ供給装置１１には、２つの混合タンク１２ａ，１２ｂを設けた。制御装置４１は、混合タンク１２ａ，１２ｂを交互に使用してスラリ１７を生成する。更に、制御装置４１は、生成したスラリを循環させるようにしたので、スラリ１７の沈殿が防止される。」という、上記各刊行物からは予測されない優れた効果を奏するものである。
　以上のことから、本件発明１１は、上記刊行物３、４、５、７及び８記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
（３）まとめ
　以上のとおりであるから、本件発明１〜１１についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものではない。
　
３−４−２．取消理由３（特許法第３６条第６項第２号違反）について
　取消理由３は、上記２．の訂正によって解消したものと認められる。したがって、本件発明１〜１１についての特許は、特許法第３６条第６項第２号の規定に違反してされたものではない。
　
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由および取消理由によっては本件発明１〜１１についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜１１についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する
【異議決定日】
平成１７年２月２２日（２００５．２．２２）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
スラリ
スラリ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　原液を希釈又は複数の原液を混合して
スラリ
スラリ
スラリ
　複数の混合タンクと、
　前記複数の混合タンクに対して共通に設けられたメイン循環配管と、
　前記原液を前記
スラリ
　前記複数の混合タンクのうちの１つを順次選択し、選択した混合タンクを使用して前記
スラリ
スラリ
　前記
スラリ
スラリ
スラリ
　前記循環経路を循環中の該
スラリ
スラリ
　前記複数の混合タンクに設けられ、各混合タンク内の液面レベルを検出する液面検出手段と、
　前記処理装置の処理情報と前記一の混合タンクに対する前記液面検出手段の検出結果に基づいて他の混合タンクにて前記
スラリ
　前記他の混合タンクについての前記液面検出手段の検出結果に基づいて、前記
スラリ
を備えた
スラリ
　【請求項２】　請求項１に記載の
スラリ
　前記
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【請求項３】　請求項１又は２に記載の
スラリ
　前記メイン循環配管に循環する
スラリ
スラリ
スラリ
　【請求項４】　請求項１〜３のうちの何れか１項に記載の
スラリ
　前記液面検出手段は、前記混合タンクの上部に設けられて非接触にて混合タンクの液面レベルに応じた検出信号を出力するセンサを備えた
スラリ
　【請求項５】　請求項１〜４のうちの何れか１項に記載の
スラリ
　前記液面検出手段は、その時の液面レベルと１つ前に測定した液面レベルとを比較してその時の液面レベルの変化量を算出し、その変化量が予め設定した範囲内にあるときにはその時の液面レベルを有効とし、変化量が範囲内にないときにはその時の液面レベルを無効にするフィルタ手段を備えた
スラリ
　【請求項６】　請求項１〜５のうちの何れか１項に記載の
スラリ
　前記液面検出手段の検出結果に基づいてその時々の原液タンク内の原液の残量を算出する原液残量算出手段と、
　前記算出された原液の残量に基づいて、前記原液タンクの交換のための表示を行う表示手段とを備えた
スラリ
　【請求項７】　請求項１〜６のうちの何れか１項に記載の
スラリ
　前記原液供給手段と前記混合タンクとの間に各原液の供給量を制御する供給量制御手段を備え、
　該供給量制御手段は、前記液面検出手段の検出結果に基づいて、前記混合タンク内の液面が所定のレベルに近づくと、原液の供給量を減少させるようにした
スラリ
　【請求項８】　請求項１〜７のうちの何れか１項に記載の
スラリ
　前記複数の混合タンクそれぞれに対応するサブ循環配管を備え、
　前記
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【請求項９】　請求項１〜８のうちの何れか１項に記載の
スラリ
　前記混合タンク内及び循環経路を洗浄する洗浄手段を備えた
スラリ
　【請求項１０】　
請求項１〜９のうちの何れか１項に記載のスラリ供給装置において、
　前記混合タンク底部にレベルセンサを設け、該レベルセンサの検出結果に基づいて該混合タンク内の残留物を強制的に排出する強制排出手段を備えたスラリ
　【請求項１１】　
原液を希釈又は複数の原液を混合してスラリを作成し、該スラリを処理装置に供給するスラリ供給方法であって、
　前記原液を前記スラリの組成に対応して複数の混合タンクのうちの１つの混合タンクに供給し、選択した混合タンクを使用して前記スラリを作成する工程と、
　前記スラリの作成が終了した一の混合タンクと、前記複数の混合タンクに対して共通に設けられたメイン循環配管を接続して循環経路を構成し、該循環経路に前記スラリを循環させる工程と、
　前記循環経路を循環中の該スラリを前記処理装置に供給する工程と、
　前記処理装置の処理情報と前記一の混合タンクに対する前記液面レベルに基づいて他の混合タンクにて前記スラリの作成を開始する開始時期と作成量を決定し、その開始時期及び作成量に基づいて前記他の混合タンクの前記スラリ作成を開始する工程と、
　前記他の混合タンクについての液面レベルに基づいて、前記スラリの作成が終了した該他の混合タンクと前記メイン循環配管を新たに接続する工程と、
　を含むスラリ
方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は半導体製造工程において原液を希釈・混合して生成した
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【０００２】
　近年、半導体装置の製造工程において様々な
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【０００３】
　【従来の技術】
　従来の
スラリ
スラリ
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　ところで、スラリは、乾燥や液溜まりの場所で凝固する性質がある。そのため、スラリが流れる経路で凝固すると、スラリを供給することができなくなる。しかしながら、従来のスラリ供給装置は、一般的な液体のみを供給する供給装置が流用されているため、スラリが流れる経路をフラッシュ（洗浄）する機構が備えられていないのでスラリが凝固してしまい、配管つまりの障害が発生し、スラリを安定して供給することができない場合があった。また、凝固した砥粒がＣＭＰ装置に供給されてしまうと、研磨中のウェハ表面にスクラッチが発生する場合があり、ウェハの歩留まりが悪くなるおそれがあった。
　【０００５】
　また、スラリ、特に砥粒であるアルミナの溶液と酸化剤である硝酸第二鉄溶液を混合・希釈して使用するメタル用スラリでは、沈殿が早く、混合されてから時間が経過すると研磨のレート（速度等）が遅くなる、所謂寿命があることが実験等により推定される。しかしながら、第２タンクに常に補給する方式では、古いスラリが残ってしまうため、その古いスラリの割合によってウェハの研磨時間が変化してウェハを精度良く研磨することができなくなる場合があった。
　【０００６】
　また、
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【０００７】
　本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は新しい
スラリ
スラリ
スラリ
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、原液を希釈又は複数の原液を混合して
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【０００９】
　請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【００１０】
　請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の
スラリ
スラリ
スラリ
　【００１１】
　請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のうちの何れか１項に記載の
スラリ
　【００１２】
　請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のうちの何れか１項に記載の
スラリ
　【００１３】
　請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のうちの何れか１項に記載の
スラリ
　【００１４】
　請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のうちの何れか１項に記載の
スラリ
　【００１５】
　請求項８に記載の発明は、請求項１〜７のうちの何れか１項に記載の
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【００１６】
　請求項９に記載の発明は、請求項１〜８のうちの何れか１項に記載の
スラリ
　【００１７】削除
　【００１８】削除
　【００１９】削除
　【００２０】削除
　【００２１】削除
　【００２２】
　請求項１
０
スラリ
。
　請求項１
１
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【００２３】
　（作用）
　従って、請求項１に記載の発明によれば、複数の混合タンクに対して共通のメイン循環配管が備えられる。複数の混合タンクを順次選択し、選択した混合タンクを用いて
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【００２４】
　請求項２に記載の発明によれば、
スラリ
スラリ
スラリ
　【００２５】
　請求項３に記載の発明によれば、メイン循環配管に循環する
スラリ
スラリ
　【００２６】
　請求項４に記載の発明によれば、液面検出手段は、混合タンクの上部に設けられて非接触にて混合タンクの液面レベルに応じた検出信号を出力するセンサを備えたため、
スラリ
　【００２７】
　請求項５に記載の発明によれば、フィルタ手段にてその時の液面レベルと１つ前に測定した液面レベルとを比較してその時の液面レベルの変化量を算出し、その変化量が予め設定した範囲内にあるときにはその時の液面レベルを有効とし、変化量が範囲内にないときにはその時の液面レベルを無効にするようにしたため、所望の変化量を越えるノイズ等が容易にキャンセルされる。
　【００２８】
　請求項６に記載の発明によれば、液面検出手段の検出結果に基づいてその時々の原液タンク内の原液の残量が算出され、その算出された原液の残量に基づいて、原液タンクの交換のための表示が行われるため、現役タンクの交換時期を容易に知ることができる。
　【００２９】
　請求項７に記載の発明によれば、原液供給手段と混合タンクとの間に備えられ各原液の供給量を制御する供給量制御手段は、液面検出手段の検出結果に基づいて、混合タンク内の液面レベルが所定レベルに近づくと原液の供給量を減少させるようにしたため、原液の供給量を正確にすることができ、
スラリ
　【００３０】
　【００３１】
　請求項８に記載の発明によれば、複数の混合タンクそれぞれに対応するサブ循環配管を備え、混合タンクにて作成した
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【００３２】
　請求項
９に
スラリ
スラリ
　【００３３】削除
　【００３４】削除
　【００３５】削除
　【００３６】
　請求項１
０
スラリ
スラリ
。
　請求項１
１
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【００３７】
　【発明の実施の形態】
（第一実施形態）
　以下、本発明を具体化した第一実施形態を図１〜図５に従って説明する。
　【００３８】
　図１は、スラリ供給装置の概略構成図である。スラリ供給装置１１は、複数（本実施形態では２個）の混合タンク１２ａ，１２ｂを備える。第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂは、同一形状に形成されている。また、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂは、同一の役割、即ち、第１，第２原液タンク１３，１４から供給される原液を希釈・混合して生成した
スラリ
　【００３９】
　第１原液タンク１３には、第１原液１５として砥粒であるアルミナを含む溶液が蓄えられている。第２原液タンク１４には、第２原液１６として酸化剤である硝酸第二鉄溶液が蓄えられている。アルミナ溶液及び硝酸第二鉄溶液は、ウェハ上に形成されたアルミ等の金属層を研磨するメタル用スラリを生成するためのものである。スラリ供給装置１１は、各原液１５，１６を所定量だけ第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給し、希釈・混合してスラリ１７を生成する。そして、スラリ供給装置１１は、生成したスラリ１７を、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給する。
　【００４０】
　第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂの容量は、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにおいて所定枚数のウェハを研磨するのに必要なスラリ１７を蓄えることが可能な容量に設定されている。例えば、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂの容量は、従来のスラリを作成、保存する第１，第２タンクに比べて少なく設定され、例えば２０〜３０リットルに設定されている。この容量は、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにおいて、１００〜１５０ｍｌ／ｍｉｎ（ミリリットル／分）の流量で４分間研磨を行い、１ロット（５０枚）のウェハを処理するために必要なスラリの分量に対応している。
　【００４１】
　スラリ供給装置１１は、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂを交互に使用し、スラリ１７の作成・供給を行うように構成されている。スラリ供給装置１１は、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにて使用される分量のスラリ１７を、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂを交互に使用して作成する。
　【００４２】
　このように構成することにより、各混合タンク１２ａ，１２ｂにて作成されたスラリ１７は、すぐに使い切られるため、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂには古いスラリ１７が残らない。また、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂの容量が小さいため、使い切るまでの時間が短く、生成されたスラリ１７が劣化する（寿命がくる）ことはない。
　【００４３】
　スラリ供給装置１１は、第１混合タンク１２ａを使用して作成したスラリ１７を供給している時、そのスラリ１７を使い切る前に第２混合タンク１２ｂにおいて新たなスラリ１７の作成を終了するように構成されている。また、スラリ供給装置１１は、第２混合タンク１２ｂを使用して作成したスラリ１７を供給している時、そのスラリ１７を使い切る前に第１混合タンク１２ａにおいて新たなスラリ１７の作成を終了するように構成されている。
　【００４４】
　例えば、スラリ供給装置１１は、第１混合タンク１２ａからスラリ１７を供給している場合に、その第１混合タンク１２ａのスラリ１７の液面レベルが予め設定した作成開始レベルまで低下すると、第２混合タンク１２ｂにてスラリ１７の作成を開始する。同様に、スラリ供給装置１１は、第２混合タンク１２ｂからスラリ１７を供給している場合に、第２混合タンク１２ｂのスラリ１７の液面レベルが作成開始レベルまで低下すると、第１混合タンク１２ａにてスラリ１７の作成を開始する。
　【００４５】
　前記作成開始レベルは、各混合タンク１２ａ，１２ｂにおいてスラリ１７の作成開始から作成終了するまでの間に、各混合タンク１２ａ，１２ｂからＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給するスラリ１７の量に基づいて、各混合タンク１２ａ，１２ｂのスラリ１７を使い切る前にスラリ１７を作成終了するように設定されている。従って、供給中の混合タンク１２ａ，１２ｂのスラリ１７が無くなった時には、新しいスラリ１７が既に作成されている。従って、スラリ供給装置１１は、スラリ１７が無くなった混合タンクを次の混合タンクに切り換えることにより、新しいスラリ１７をＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに対して連続的に供給する。
　【００４６】
　また、スラリ供給装置１１は、スラリ１７を供給し終わった混合タンク１２ａ，１２ｂを洗浄するように構成されている。即ち、スラリ供給装置１１は、第１混合タンク１２ａにてスラリをＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給している間に、休止中の第２混合タンク１２ｂの洗浄、及びスラリ１７の作成を行う。そして、スラリ供給装置１１は、第１混合タンク１２ａのスラリ１７を使い切ったところで、第２混合タンク１２ｂに切り換えてスラリ１７の供給を行い、第１混合タンク１２ａの洗浄、及びスラリ１７の作成を行う。
　【００４７】
　この構成により、休止中の混合タンクを洗浄し沈殿物が除去される。また、各混合タンク１２ａ，１２ｂの容量が小さいため、洗浄サイクルが短く沈殿物が固まらないので、沈殿物の除去が容易になる。
　【００４８】
　次に、スラリ１７の作成、及び第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂを洗浄するための構成を詳述する。
　スラリ供給装置１１は、第１，第２原液タンク１３，１４の原液１５，１６を第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに圧送する。即ち、第１，第２原液タンク１３，１４には、それぞれ供給弁２１ａ，２１ｂの操作によって高圧の不活性ガス（例えば窒素ガス）が図示しないポンプ等により供給される。尚、不活性ガスとしてアルゴンガス等を用いてもよい。
　【００４９】
　第１原液タンク１３に蓄えられた第１原液１５は、供給される窒素ガスの圧力によって開閉弁２２ａ，２２ｂが設けられた配管９１を介して第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給される。同様に、第２原液タンク１４に蓄えられた第２原液１６は、窒素ガスの圧力によって開閉弁２３ａ，２３ｂが設けられた配管９２を介して第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給される。
　【００５０】
　配管９１，９２には、それぞれセンサ２４ａ，２４ｂが設けられている。センサ２４ａ，２４ｂは、静電容量式センサよりなり、配管を流れる原液１５，１６を検出するために設けられる。センサ２４ａ，２４ｂは、原液１５，１６が配管を流れている間信号を出力する。即ち、スラリ供給装置１１は、センサ２４ａ，２４ｂの出力する信号によって、第１，第２原液タンク１３，１４が空か否かを検出することができる訳である。
　【００５１】
　第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂには、開閉弁２５ａ，２５ｂが設けられた配管９３を介して希釈用の純水（Ｐ．Ｗ．：ｐｕｒｅｗａｔｅｒ）が供給される。前記第１，第２原液１５，１６を供給する配管９１，９２には、それぞれ流量制御弁９４ａ，９４ｂが設けられている。配管９３には、流量制御弁９４ｃが設けられている。
　【００５２】
　各流量制御弁９４ａ〜９４ｃは、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給する原液１５，１６、純水の供給量を正確にするために設けられている。即ち、各流量制御弁９４ａ〜９４ｃがないと、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂには各配管９１〜９３の内径と原液タンク１３，１４に供給する窒素ガスの圧力により原液等が勢いよく供給される。そのため、各開閉弁２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ，２５ａ，２５ｂを閉路するタイミングが難しく、供給量が所定量に一致しない場合が多い。原液等をゆっくりと供給するために各配管９１〜９３の内径を小さくすると、原液等を所定量まで供給するのに時間がかかる。
　【００５３】
　そのため、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内に供給された原液等が所定の分量まで近づくと、流量を減少させるように各流量制御弁９４ａ〜９４ｃを制御する。これにより、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内の原液等の量は、ゆっくりと増加するため、各開閉弁２２ａ〜２５ｂの閉路するタイミングを容易に合わせることができ、供給量を所定量に一致させることができる。このことは、正確な組成のスラリ１７の作成を容易にする。
　【００５４】
　また、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂには、開閉弁２６ａ，２６ｂ及びノズル２７ａ，２７ｂが設けられた配管を介して洗浄用の純水が供給される。ノズル２７ａ，２７ｂは、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内に設けられ、供給される洗浄用の純水をタンク１２ａ，１２ｂ内壁にかけるために設けられている。この純水により、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂは、内壁に付着したスラリ１７が洗い流される。
　【００５５】
　第１，第２混合タンクには、攪拌器２８ａ，２８ｂが設けられている。攪拌器２８ａ，２８ｂは、モータ２９ａ，２９ｂによって駆動され、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給された原液１５，１６及び純水を攪拌する。これにより、希釈・混合されたスラリ１７が生成される。
　【００５６】
　第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂには液面センサ３０ａ，３０ｂが設けられている。液面センサ３０ａ，３０ｂは、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内に供給される原液の液面レベルを非接触にて検出するために設けられる。詳しくは、液面センサ３０ａ，３０ｂは、液面までの距離に応じた検出信号を出力するものであり、例えばレーザ光を用いた反射式距離センサが用いられる。尚、液面センサ３０ａ，３０ｂは、超音波等を用いたセンサが用いられてもよい。
　【００５７】
　図４は、第１混合タンク１２ａの断面図を示す。尚、第２混合タンク１２ｂは、第１混合タンク１２ａと構成が同じであるため、図面及び詳細な説明を省略する。
　【００５８】
　第１混合タンク１２ａは、側壁が円筒状に形成されたタンクである。第１混合タンク１２ａの上部板１０１上面には、前記液面センサ３０ａを支持する支持部材１０２が設けられている。支持部材１０２は、円筒状に形成され、その上端に前記液面センサ３０ａが固定されている。液面センサ３０ａは、第１混合タンク１２ａの上部板１０１に形成された孔１０１ａを介して該混合タンク１２ａ内の液面までの距離に応じた検出信号を出力する。
　【００５９】
　支持部材１０２は、混合タンク１２ａ内に供給される液体が液面センサ３０ａに付着するのを防ぐ。このことは、液面センサ３０ａにより検出する液面レベルの正確性を高める。即ち、第１混合タンク１２ａには、その上部まで原液等が供給される。そのため、液面センサ３０ａを直接上部板１０１に取着すると、液面センサ３０ａに混合タンク３０ａ内に供給する液体の飛沫が付着する。液面センサ３０ａは、付着した飛沫による検出信号を出力するため、液面レベルを正確に検出することができなくなる。そのため、液面センサ３０ａを支持部材１０２にて混合タンク１２ａの上部板１０１から更に上方に配置することにより、飛沫の付着を防いで誤検出を防止する訳である。
　【００６０】
　また、第１混合タンク１２ａには、フロートセンサ１０３が設けられている。フロートセンサ１０３は、第１混合タンク１２ａに供給される原液のオーバーフローを防ぐために備えられる。原液の供給中に開閉弁２３ａ等が制御不能になると、原液の供給を停止させることができなくなり、原液が第１混合タンク１２ａからあふれてしまう。これを防ぐために、フロートセンサ１０３が第１混合タンク１２ａ内の液体によりオンすると、原液等の供給を停止させる、例えば、各原液タンク１３，１４に窒素ガスを供給するポンプを強制的に停止させる。尚、フロートセンサ１０３は、第１混合タンク１２ａ内に正常に液体が供給された場合にはオンしない位置に設けられている。従って、通常の処理においては、フロートセンサ１０３により原液等の供給が停止することはない。
　【００６１】
　前記液面センサ３０ａ，３０ｂは、各混合タンク１２ａ，１２ｂ内の液面までの距離に応じた検出信号を出力する。スラリ供給装置１１は、各液面センサ３０ａ，３０ｂの検出信号に基づいて、各混合タンク１２ａ，１２ｂ内に供給されたの液体（第１，第２原液と純水）の液面レベルを算出する。そして、スラリ供給装置１１は、液面レベルが予め設定した高さになるまで原液１５，１６及び純水を供給する。
　【００６２】
　スラリ供給装置１１は、算出した液面レベルと予め記憶した各混合タンク１２ａ，１２ｂの内径により、各混合タンク１２ａ，１２ｂに供給した液体の体積を計量する。これにより、スラリ供給装置１１は、所定の濃度のスラリ１７を生成する。
　【００６３】
　前記液面センサ３０ａ，３０ｂは、非接触にて液面レベルを検出するため、供給する液体の体積計量を正確にする。このことは、正確な濃度のスラリ１７を生成することを可能にする。
　【００６４】
　液面レベルを検出するために、従来ではフロートセンサ，静電容量式センサ等が用いられている。フロートセンサは、フロートを支持する可動部分やフロートによりオンオフする機械式スイッチが供給する液体の影響を受けて動作不良となる。このことは、液面レベルを正確に測定するのを阻害する。また、静電容量式センサは、タンク壁面に残存した液体を検出する。このことは、静電容量式センサの出力信号に誤差を含み、液面レベルを正確に測定するのを阻害する。
　【００６５】
　一方、前記液面センサ３０ａ，３０ｂは、非接触にて液面レベルを検出するため、可動部分がなく、供給する液体が付着しにくい。このことは、動作不良をなくすとともに、出力信号に誤差を含まない。従って、本実施形態のスラリ供給装置１１は液面レベルを正確に測定できる。そのため、スラリ供給装置１１は第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給される原液等の容量を正確に測定する、即ち、液体の体積計量を正確に行うことができる。このことは、生成するスラリ１７の濃度を正確にする。
　【００６６】
　また、液面センサ３０ａ，３０ｂは、第１，第２原液タンク１３，１４内の残量を算出するために利用される。即ち、第１，第２原液タンク１３，１４に最初に蓄えられていた各原液１５，１６の量は、搬入時に判っている。それに対し、各原液１５，１６の使用量は、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給する供給量と、各液面センサ３０ａ，３０ｂの検出信号と、スラリ１７を作成した回数により算出できる。従って、搬入時の原液１５，１６の量から供給量を減算することにより、その時における各原液１５，１６の残量を算出することができる。
　【００６７】
　これにより算出された各原液１５，１６の残量は、各原液タンク１３，１４の交換時期を知るうえで有効となる。即ち、スラリ供給装置１１は、各原液１５，１６の残量が少なくなって所定量となったときに、原液タンク１３，１４の交換準備を促すメッセージを表示させる。更に、スラリ供給装置１１は、各原液１５，１６を使い切った時に、第１，第２混合タンク１３，１４の交換を促すメッセージを表示させる。このことは、各原液１３，１４がなくなってスラリ１７が作成できなくなるのを防止する。
　【００６８】
　第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂには、共通に設けられたメイン循環配管３１が接続されている。生成されたスラリ１７は、各混合タンク１２ａ，１２ｂとメイン循環配管３１との間にそれぞれ設けられた第１，第２ポンプ３２ａ，３２ｂによって、各混合タンク１２ａ，１２ｂからメイン循環配管３１を介して循環される。この循環は、液だまりを無くしてスラリ１７が凝固するのを防ぐ。
　【００６９】
　メイン配管３１には各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにスラリ１７を供給するための分岐管１０５ａ，１０５ｂが接続されている。各分岐管１０５ａ，１０５ｂは、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに備えられたノズルに接続されている。各分岐管１０５ａ，１０５ｂにはそれぞれ供給弁３３ａ，３３ｂが設けられている。循環されるスラリ１７は、供給弁３３ａ，３３ｂの操作によりメイン循環配管３１から分岐管１０５ａ，１０５ｂを介して各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給される。
　【００７０】
　メイン配管３１と各分岐管１０５ａ，１０５ｂの接続点には、絞り部１０６が設けられている。絞り部１０６は、図１右下に示すように、メイン配管３１に設けられた第１流量制御弁１０７と、その弁１０７に第２流量制御弁１０８を並列に接続する分流管１０９により構成されている。そして、前記分岐管１０５ａ，１０５ｂは分流管１０９に接続されている。
　絞り部１０６は、各分岐管１０５ａ，１０５ｂに流れるスラリ１１の流量を一定にする。これにより、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂには、使用状況によらず常に一定量のスラリ１７が供給される。例えば、ＣＭＰ装置１８ａにスラリ１７を供給しているときに、そのＣＭＰ装置１８ａからスラリ１７が流れる上流側に設けられた供給弁３３ｂを開路してＣＭＰ装置１８ｂにスラリ１７の供給を開始すると、ＣＭＰ装置１８ａに供給されるスラリ１７の量が減少する。このことは、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにおける研磨処理を不安定にする。そのため、絞り部１０６を設けることによって、各分岐配管１０５ａ，１０５ｂに供給するスラリ１７の量を常に一定に保ち、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにおける研磨処理の安定化が図れる。
　【００７１】
　また、スラリ供給装置１１には、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに対応してメイン循環配管３１と並列に第１，第２サブ循環配管３４ａ，３４ｂが設けられている。第１，第２サブ循環配管３４ａ，３４ｂと第１，第２ポンプ３２ａ，３２ｂとの間には切換弁３５ａ，３５ｂが設けられ、第１，第２サブ循環配管３４ａ，３４ｂと第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂとの間には切換弁３６ａ，３６ｂが設けられている。
　【００７２】
　切換弁３５ａ，３５ｂは、スラリ１７の循環経路をメイン循環配管３１又は第１，第２サブ循環配管３４ａ，３４ｂに切り換えるために設けられている。即ち、スラリ供給装置１１は、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂにて生成したスラリ１７を、切換弁３５ａ〜３６ｂを切り換え操作することにより、各タンク１２ａ，１２ｂからメイン循環配管３１又は第１，第２サブ循環配管３４ａ，３４ｂを介して循環させる。
　【００７３】
　第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂには、切換弁３７ａ，３７ｂが設けられた配管を介して不活性ガスとしての窒素ガスが供給される。尚、不活性ガスとして窒素ガスに代えてアルゴンガス等が用いられてもよい。
　【００７４】
　不活性ガスは、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内のスラリ１７の劣化を抑える。即ち、スラリ１
７の
スラリ
スラリ
　【００７５】
　これに対し、スラリ供給装置１１は、前記液面センサ３０ａ，３０ｂの検出信号に基づき、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内のスラリ１７の増減量を測定する。そして、スラリ供給装置１１は、測定したスラリ１７の増減量に応じて第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内の不活性ガスの容量を制御する。即ち、スラリ供給装置１１は、スラリ１７が減少すると不活性ガスを第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給し、硝酸が空気とふれるのを防ぐ。これにより、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内のスラリ１７の組成変化を防ぐ。
　【００７６】
　また、窒素ガスは、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内等を洗浄した水を排水するために供給される。即ち、上記したように、ノズル２７ａ，２７ｂを介して各混合タンク１２ａ，１２ｂ内に供給された純水は、同タンク１２ａ，１２ｂ内等を洗浄した後、供給される窒素ガスの圧力によって、ドレイン弁３８ａ，３８ｂ及びセンサ３９ａ，３９ｂが設けられた配管を介して排水される。センサ３９ａ，３９ｂは静電容量式センサよりなり、排水の有無、即ち洗浄用の純水の排出終了を検出するために設けられている。
　【００７７】
　更に、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂには、それぞれレベルセンサ４０ａ，４０ｂが設けられている。レベルセンサ４０ａ，４０ｂは、各混合タンク１２ａ，１２ｂの底面に取着され、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに超音波を伝達させる。このレベルセンサ４０ａ、４０ｂは、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内側からの反射波の強度が物質の相により異なることを利用するものであり、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内部に沈殿した吐粒の堆積量を計測するために用いられる。
　【００７８】
　超音波は、物質の密度に応じた速度で伝播される。従って、反射波の強度は、密度の差が大きい部分で大きくなる。この大きい反射までの時間を計測することにより、堆積量を計測することができる。そして、砥粒が堆積したのを検出すると、スラリ供給装置１１は、各混合タンク１２ａ，１２ｂ内のスラリ１７と沈殿物を破棄すると共に、警告を出力してＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂの洗浄を促す。これにより、堆積した砥粒がＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに送られるのを防ぎ、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにおいて研磨中のウェハにスクラッチが発生するのを防ぐ。
　【００７９】
　図２は、スラリ供給装置の電気的構成を示す概略図である。
　スラリ供給装置１１は、原液供給手段、生成手段、スラリ循環手段及びスラリ供給手段としての制御装置４１を備える。
　【００８０】
　制御装置４１は、第１混合タンク１２ａに対応する各種センサ３０ａ〜４０ａ、及び、開閉弁２２ａ〜ドレイン弁３８ａが接続されている。制御装置４１は、第２混合タンク１２ｂに対応する各種センサ３０ｂ〜４０ｂ、及び、開閉弁２２ｂ〜ドレイン弁３８ｂが接続されている。
　【００８１】
　制御装置４１は、各混合タンク１２ａ，１２ｂに供給する原液１５，１６，純水の流量を制御するための流量制御弁９４ａ〜９４ｃが接続されている。また、制御装置４１は、生成したスラリ１７をＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給するための供給弁３３ａ，３３ｂが接続されている。
　【００８２】
　更に、制御装置４１は、入力装置１１１と表示装置１１２が接続されている。入力装置１１１は、各原液タンク１３，１４の内容量、生成するスラリ１７の組成（混合する原液の分量）等を制御装置４１に記憶させるために利用される。表示装置１１２は、スラリ供給装置１１の処理状況、原液タンク１３，１４の内容量に基づく原液タンク１３，１４の交換時期等を表示してそれらを作業者に知らせるために利用される。尚、入力装置１１１と表示装置１１２は、一体に構成されてもよい。
　【００８３】
　また、制御装置４１は、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂが接続されている。各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂは、作業者の操作に基づいて、処理するウェハの枚数等の処理状況に基づいた指令信号を制御装置４１に出力する。制御装置４１は、入力され指令信号とスラリ１７の残量に基づいて、スラリ１７を作成する時期や、スラリ１７の作成量を演算する。
　【００８４】
　また、制御装置４１は図示しない記憶装置を備えている。その記憶装置にはスラリ供給装置１１の制御プログラムデータが予め記憶されている。
　制御プログラムデータは、図３に示すスラリ供給処理を実行するための処理プログラムデータを含む。制御装置４１は、処理プログラムデータに基づいて動作する。そして、制御装置４１は、入力される指令信号に基づいて、各センサからの信号を基に開閉弁２２ａ等を制御して交互に第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂを使用してスラリ１７を作成する。更に、制御装置４１は、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂのスラリ１７の残量が所定量となると供給弁３３ａ，３３ｂを開閉操作して第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂを切り換える。これにより、制御装置４１は、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにスラリ１７を連続して供給する。
　【００８５】
　また、前記制御プログラムデータは、スラリ１７の作成量，作成の開始時期を算出するためのプログラムデータを含む。制御装置４１は、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂと情報を交換するための通信を行う通信手段として動作する。各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂは、処理開始に先だちウェハの処理枚数、必要とするスラリ１７の流量（ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂのノズルからスラリ１７を吐出させる吐出量）等の処理情報が設定される。制御装置４１は、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂから処理情報を入力する。制御装置４１は、処理情報と各混合タンク１２ａ，１２ｂ内のスラリ１７の残量に基づいて、スラリ１７の作成時期と作成量を算出する。
　【００８６】
　先ず、制御装置４１は、各液面センサ３０ａ，３０ｂから入力する検出信号に基づいて、各混合タンク１２ａ，１２ｂ内のスラリ１７の残量を演算する。また、制御装置４１は、処理情報に含まれる処理枚数と供給量からウェハの処理に必要なスラリ１７の使用量を算出する。そして、制御装置４１は、スラリ１７の使用量と第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂのスラリ１７の残量から新しく作成するスラリ１７の作成量を算出する。
　【００８７】
　次に、制御装置１７は、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂにおけるスラリ１７の残量から、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂの切り換え時期を算出する。この切り換え時期は、スラリ１７の残量を各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにて使用するスラリ１７の流量で割ることにより求められる。次に、制御装置１７は、算出した切り換え時期からスラリ１７の作成に必要な時間を逆算することにより、スラリ１７の作成を開始する開始時期を算出する。
　【００８８】
　開始時期の算出は、新しいスラリ１７をジャストインタイム、即ち新しいスラリ１７を作成する時期を、スラリ１７を必要とする時期に合わせるために用いられる。
　【００８９】
　例えば、スラリ１７の作成開始を混合タンク１２ａ，１２ｂの残量が所定量にまで減少した時に設定する方法がある。この方法は、混合タンク１２ａ，１２ｂ内の残量のみを監視すれば良く、簡便である。しかし、この方法では、スラリ１７の作成が間に合わない場合がある。例えば、図１の第１ＣＭＰ装置１８ａに第１混合タンク１２ａからスラリ１７を供給して残量がわずかになったときに第２ＣＭＰ装置１８ｂにて処理を開始する。すると、第２混合タンク１２ｂにて新たなスラリ１７の作成が終了する前に第１混合タンク１２ａのスラリ１７を使い切ってしまい、スラリ１７を連続して供給できなくなる。
　【００９０】
　また、スラリ１７の作成開始を両ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給できる残量に設定すると、一方のＣＭＰ装置１８ａのみで処理を行っている場合には、第１混合タンク１２ａのスラリ１７を使い切るより遙か以前に第２混合タンク１２ｂにて新しいスラリ１７の作成を終了してしまうため、スラリ１７を保管する期間がその分長くなる。
　【００９１】
　そのため、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂにおけるスラリ１７の残量と、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂの処理情報に基づいて新たなスラリ１７を作成する開始時期を算出する。これにより、スラリ１７を使い切るときに新たなスラリ１７の作成を終了させることができる。その結果、スラリ１７を連続して供給する事ができるとともに、スラリ１７の保管期間が長くなるのを防ぐことができる。
　【００９２】
　更に、前記制御プログラムデータは、各原液タンク１３，１４内の原液１５，１６の残量を算出するためのプログラムデータを含む。制御装置４１は、入力装置１１１により入力された第１，第２原液タンク１３，１４にて供給された各原液１５，１６の搬入量を記憶している。また、制御装置４１は、液面センサ３０ａ，３０ｂから入力する検出信号に基づいて、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに所定量の原液１５，１６を供給する。その供給量とスラリ１７の作成回数により、制御装置４１は、原液１５，１６の使用量を演算する。そして、制御装置４１は、算出した使用量を供給量から減算することにより、各原液タンク１３，１４内の残量を算出する。
　【００９３】
　そして、制御装置４１は、算出した残量が予め設定した量まで減少したときに、表示装置１１２に原液タンク１３，１４の交換を知らせるための表示を行う。この構成により、原液１５，１６が無くなるのを防止する。これにより、制御装置４１は、任意の時にスラリ１７の作成を行うことができる。
　【００９４】
　更に、前記制御プログラムデータは、図５に示すフィルタ処理を実行するための処理プログラムデータを含む。フィルタ処理は、前記スラリ供給処理の安定化を図るために実行される。
　【００９５】
　図５に示すフィルタ処理のフローチャートには、制御装置４１に対する駆動電源の投入から示されている。制御装置４１は、電源が投入されると、ステップ１２１〜１２６の各処理を実行する。
　【００９６】
　先ず、ステップ１２１において、制御装置４１は、各液面センサ３０ａ，３０ｂから検出信号を入力し、その検出信号に基づいてその時の液面レベルデータＳＥＣＤＴを算出する。制御装置４１は、液面レベルデータＳＥＣＤＴを第１レベルデータＤＴ１に格納する。
　【００９７】
　次に、ステップ１２２において、制御装置４１は、電源が投入されてから所定時間（例えば１０秒（ｓ））経過したか否か判断する。所定時間経過していない場合、制御装置４１は、ステップ１２３に移る。
　【００９８】
　即ち、制御装置４１は、電源が投入されてから所定時間経過するまで、ステップ１２１，１２２のループを実行する。このループは、液面センサ３０ａ，３０ｂや図示しないアンプ等の機器が安定するのを待つために実行される。アンプ等が安定しないと、正確な検出信号が得られないので、液面レベルに誤りが生じる。この誤りを防止するために、フィルタ処理にステップ１２１，１２２のループを設けている。
　【００９９】
　そして、所定時間経過すると、制御装置４１は、次のステップ１２３に移る。ステップ１２３において、制御装置４１は、各液面センサ３０ａ，３０ｂから検出信号を入力し、その検出信号に基づいてその時の液面レベルデータＳＥＣＤＴを算出する。制御装置４１は、液面レベルデータＳＥＣＤＴを第２レベルデータＤＴ２に格納する。
　【０１００】
　次に、ステップ１２４において、制御装置４１は、第１レベルデータＤＴ１と第２レベルデータＤＴ２の差を演算し、その演算結果を第３レベルデータＤＴ３に格納する。そして、ステップ１２５において、制御装置４１は、第３レベルデータＤＴ３が予め設定した範囲（−ＤＡからＤＡ）内に収まっているか否かを判断する。
　【０１０１】
　範囲の値−ＤＡ，ＤＡは、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給される液体の供給量，スラリ１７の使用量に応じて予め実験等により求めた値が設定されている。例えば、最小値−ＤＡはスラリ１７の使用量よりも小さく，最大値ＤＡは液体の供給量よりも大きく設定される。また、範囲の値−ＤＡ，ＤＡは、液面の波打ちや外来ノイズ，スラリ１７の使用量に応じて予め実験等により求めた値が設定されている。
　【０１０２】
　そして、制御装置４１は、第３レベルデータＤＴ３が範囲に収まっていない場合にステップ１２３に移り次に入力する検出信号に基づく液面レベルデータＳＥＣＤＴを算出し、そのデータＳＥＣＤＴを第２レベルデータＤＴ２に格納する。
　【０１０３】
　一方、制御装置４１は、第３レベルデータＤＴ３が範囲内にあるとき、次のステップ１２６にて第２レベルデータＤＴ２にて第１レベルデータＤＴ１を更新する。
　【０１０４】
　即ち、制御装置４１は、第３レベルデータＤＴ３が範囲内にある場合にその時の液面レベルを示す第２レベルデータＤＴ２を有効とし、第３レベルデータＤＴ３が範囲内にない場合に第２レベルデータＤＴ２を無効にする。そして、制御装置４１は、有効とした第２レベルデータＤＴ２に基づいて、前記各処理を実行する。
　【０１０５】
　このことは、各処理に対する液面の波打ちを検出した検出信号、外来ノイズ等の影響を除外する。即ち、制御装置４１は、想定した変位量以上に変位した一時的なデータをキャンセルする。これにより、制御装置４１は、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内の液面レベルを安定して検出することができる。
　【０１０６】
　次に、スラリ供給装置１１の動作を、図３のフローチャートに従って説明する。先ずステップ５１において、図２の制御装置４１は、装置全体の初期化を行う。その初期化を終了すると、制御装置４１は、第１混合タンク１２ａに対するステップ５２ａ〜５８ａの各処理と、第２混合タンク１２ｂに対するステップ５２ｂ〜５８ｂの各処理を並列に実行する。
　【０１０７】
　ステップ５２ａ〜５４ａは第１混合タンク１２ａに対するスラリ供給動作の各処理、ステップ５５ａ〜５８ａは第１混合タンク１２ａに対する洗浄動作（ＦＬＵＳＨ動作）の各処理である。また、ステップ５２ｂ〜５４ｂは第２混合タンク１２ｂに対するスラリ供給動作の各処理、ステップ５５ｂ〜５８ｂは第２混合タンク１２ｂに対する洗浄動作（ＦＬＵＳＨ動作）の各処理である。
　【０１０８】
　先ず、第１混合タンク１２ａに対するスラリ供給動作の各処理について詳述する。尚、ここでは、第２混合タンク１２ｂにて作成されたスラリ１７がＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給されている場合における各処理を説明する。
　【０１０９】
　制御装置４１は、液面センサ３０ｂから入力する検出信号に基づいて、その時々の第２混合タンク１２ｂ内のスラリ１７の残量を算出する。そして、制御装置４１は、スラリ１７の残量が所定量となると、第１混合タンク１２ａに対するステップ５２ａの処理を開始する。
　【０１１０】
　ステップ５２ａはスラリ作成処理（スラリ作成手段）であって、制御装置４１は、第１，第２原液タンク１３，１４から体積計量によって所定量の第１，第２原液１５，１６を第１混合タンク１２ａに供給してスラリ１７を生成する。即ち、制御装置４１は、先ずドレイン弁３８ａを閉路（オフ）し、供給弁２１ａと開閉弁２２ａを開路（オン）し、第１原液タンク１３に窒素ガスを供給してその圧力にて第１原液１５を第１混合タンク１２ａに圧送する。そして、制御装置４１は、液面センサ３０ａから入力される検出信号に基づいて、第１混合タンク１２ａ内の液面が所定の高さに近づくと、流量制御弁９４ａの開度を制御して第１原液１５をゆっくりと供給する。更に、制御装置４１は、液面センサ３０ａの検出信号に基づいて、第１混合タンク１２ａ内の液面が所定の高さになると、供給弁２１ａ及び開閉弁２２ａをオフして第１原液１５の供給を停止する。
　【０１１１】
　次に、制御装置４１は、供給弁２１ｂと開閉弁２３ａをオンし、第２原液タンク１４に窒素ガスを供給してその圧力にて第２原液１６を第１混合タンク１２ａに圧送する。そして、制御装置４１は、液面センサ３０ａから入力される検出信号に基づいて、第１混合タンク１２ａ内の液面が所定の高さに近づくと、流量制御弁９４ｂの開度を制御して第２原液１６をゆっくりと供給する。更に、制御装置４１は、液面センサ３０ａの検出信号に基づいて、第１混合タンク１２ａ内の液面が所定の高さになると、供給弁２１ｂ及び開閉弁２３ａをオフして第２原液１６の供給を停止する。
　【０１１２】
　更に次に、制御装置４１は、開閉弁２５ａをオンして希釈用の純水の供給を開始し、モータ２９ａを駆動制御して攪拌器２８ａを回転させ、第１，第２原液及び純水を混合する。そして、制御装置４１は、液面センサ３０ａから入力される検出信号に基づいて液面が所定の高さに近づくと、流量制御弁９４ｃの開度を制御して純水をゆっくりと供給する。更に、制御装置４１は、液面センサ３０ａの検出信号に基づいて、第１混合タンク１２ａ内の液面が所定の高さになると、開閉弁２５ａをオフして純水の供給を停止する。
　【０１１３】
　以上のステップにより、制御装置４１は、第１混合タンク１２ａに、第１，第２原液１５，１６及び純水を正確に所定量だけ供給する。更に、制御装置４１は、第１，第２原液１５，１６及び純水を混合してスラリ１７を作成する。そして、制御装置４１は、ステップ５２ａからステップ５３ａに移る。
　【０１１４】
　ステップ５３ａはスラリ循環処理（スラリ循環手段）であって、制御装置４１は、先ず生成したスラリ１７を第１サブ循環配管３４ａを介して循環させる。即ち、制御装置４１は、切換弁３５ａ，３６ａを第１サブ循環配管３４ａ側に切り換え、生成したスラリ１７を第１サブ循環配管３４ａを介して循環させる。これにより、スラリ１７の液だまりが無くなって乾燥し難くなると共に、砥粒が沈殿し難くなる。
　【０１１５】
　次に、制御装置４１は、液面センサ３０ｂの検出信号に基づいて、第２混合タンク１２ｂ内のスラリの残量が所定量となると、該第２混合タンク１２ｂ内のスラリ１７をほとんど使い切ったと判断する。そして、制御装置４１は、第１混合タンク１２ａにて生成したスラリ１７の循環経路をメイン循環配管３１に切り換えるよう切換弁３５ａ〜３６ｂを制御する。これにより、制御装置４１は、第１混合タンク１２ａのスラリ１７をメイン循環配管３１を介してＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに継続的に供給する。
　【０１１６】
　そして、制御装置４１は、スラリ１７を使い切って休止中の第２混合タンク１２ｂに対して、図３のステップ５５ｂからの処理を実行し、第２混合タンク１２ｂ内を洗浄する洗浄動作を実行する。
　【０１１７】
　次に、第１混合タンク１２ａから各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにスラリ１７を供給しているときに、液面センサ３０ａの検出信号に基づいて、第１混合タンク１２ａ内のスラリ１７の液面が所定の高さまで低下すると、制御装置４１は第２混合タンク１２ｂに対する洗浄動作を終了する。そして、制御装置４１は、第２混合タンク１２ｂに対して図３のステップ５２ｂのスラリ作成処理を実行し、第２混合タンク１２ｂにおいて新たなスラリ１７の作成を開始する。
　【０１１８】
　尚、第１混合タンク１２ａ内のスラリ１７の液面が所定の高さまで低下する前に前記ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂの処理情報に基づく作成開始時期になると、制御装置４１は、第２混合タンク１２ｂに対する洗浄動作を終了する。そして、制御装置４１は、第２混合タンク１２ｂに対してスラリ作成処理を実行し、第２混合タンク１２ｂにおいて新たなスラリ１７の作成を開始する。
　【０１１９】
　更に、制御装置４１は、第１混合タンク１２ａ内のスラリ１７の残りがわずかになったときに、各切換弁３５ａ〜３６ｂを制御し、第２混合タンク１２ｂにて生成したスラリ１７をメイン循環配管３１に循環させ、スラリ１７を各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給する。そして、制御装置４１は、第１混合タンク１２ａの第１ポンプ３２ａを停止させ、ステップ５３ａからステップ５４ａに移る。
　【０１２０】
　ステップ５４ａはスラリ排水処理（スラリ排水手段）であって、制御装置４１は、切換弁３７ａをオンして第１混合タンク１２ａ内に高圧の窒素ガスを供給すると共に、ドレイン弁３８ａをオンする。すると、第１混合タンク１２ａ内に残存したスラリ１７が窒素ガスの圧力によって第１混合タンク１２ａから強制的に排出される。従って、第１混合タンク１２ａには、古いスラリ１７が残らない。
　【０１２１】
　そして、制御装置４１は、センサ３９ａから入力される信号に基づいて、第１混合タンク１２ａから残存したスラリ１７が全て排出されると、切換弁３７ａ及びドレイン弁３８ａをオフし、スラリ供給動作を終了する。更に、制御装置４１は、洗浄動作を開始するべく、ステップ５５ａに移る。
　【０１２２】
　次に、第１混合タンク１２ａに対する洗浄動作の各処理について詳述する。
　ステップ５５ａは純水供給処理（純水供給手段）であって、制御装置４１は、先ず開閉弁２６ａをオンして純水をノズル２７ａから第１混合タンク１２ａ内に供給するシャワーを開始する。これにより、第１混合タンク１２ａの側壁に付着したスラリ１７が洗い流される。
　【０１２３】
　次に、制御装置４１は、開閉弁２５ａをオンして純水を第１混合タンク１２ａ内に供給する。そして、制御装置４１は、液面センサ３０ａの検出信号に基づいて第１混合タンク１２ａ内に所定量の純水が溜まると、開閉弁２５ａ，２６ａをオフしてシャワー及び純水の供給を停止し、ステップ５５ａからステップ５６ａに移る。
　【０１２４】
　ステップ５６ａは純水循環処理（純水循環手段）であって、制御装置４１は、モータ２９ａを駆動制御して攪拌器２８ａを回転させて第１混合タンク１２ａ内の純水を攪拌する。更に、制御装置４１は、切換弁３５ａ，３６ａを第１サブ循環配管３４ａ側に切り換え、第１ポンプ３２ａを駆動制御して純水を第１サブ循環配管３４ａに循環させる。これにより、第１サブ循環配管３４ａ及び第１ポンプ３２ａに残存したスラリ１７が洗い流される。そして、制御装置４１は、純水を第１サブ循環配管３４ａに循環させてから所定時間経過すると、モータ２９ａ及び第１ポンプ３２ａを停止させて循環を停止し、ステップ５６ａからステップ５７ａに移る。
　【０１２５】
　ステップ５７ａは純水排水処理（純水排水手段）であって、制御装置４１は、切換弁３７ａをオンして第１混合タンク１２ａ内に高圧の窒素ガスを供給すると共に、ドレイン弁３８ａをオンする。すると、第１混合タンク１２ａ内を洗浄した純水が窒素ガスの圧力によって第１混合タンク１２ａから強制的に排出される。そして、制御装置４１は、センサ３９ａから入力される信号に基づいて、純水が全て排出されると、切換弁３７ａ及びドレイン弁３８ａをオフし、再び第１混合タンク１２ａ内の洗浄を行うべくステップ５５ａに移る。
　【０１２６】
　即ち、制御装置４１は、ステップ５５ａ〜５７ａの各処理を繰り返し実行し、第１混合タンク１２ａ内を洗浄する。このとき、制御装置４１は、スラリ１７を供給する第２混合タンク１２ｂのスラリ１７の残量が所定量まで低下したと判断すると、次の新たなスラリ１７を第１混合タンク１２ａにて生成するべく、ステップ５８ａに移る。
　【０１２７】
　ステップ５８ａは純水排水処理（純水排水手段）であって、制御装置４１は、モータ２９ａ及び第１ポンプ３２ａを停止させて純水の循環を停止させる。更に、制御装置４１は、切換弁３７ａをオンして窒素ガスを第１混合タンク１２ａ内に供給すると共に、ドレイン弁３８ａをオンして純水を排水する。そして、制御装置４１は、センサ３９ａからの信号に基づいて純水の排出終了を検出すると、切換弁３７ａとドレイン弁３８ａをオフして排水を停止する。そして、制御装置４１は、ステップ５８ａからステップ５２ａに移り、新たなスラリ１７の作成を開始する。
　【０１２８】
　即ち、制御装置４１は、第１混合タンク１２ａに対して、スラリ１７の作成動作と第１混合タンク１２ａ及び第１サブ循環配管３４ａの洗浄動作とを交互に繰り返し実行する。その繰り返し実行する処理において、制御装置４１は、第１混合タンク１２ａにて作成したスラリ１７を使い切ると、第１混合タンク１２ａ内に残存したスラリ１７を強制的に排出する。更に、制御装置４１は、第１混合タンク１２ａ及び第１サブ循環配管３４ａに純水を循環させて洗浄する。これにより、スラリ１７の液溜まりが無くなるので、循環経路が詰まることはない。
　【０１２９】
　次に、第２混合タンク１２ｂに対するスラリ供給動作及び洗浄動作における各処理を説明する。尚、第２混合タンク１２ｂは第１混合タンク１２ａと同一の形状に形成されると共に、同じ役割を持っている。従って、第２混合タンク１２ｂに対する制御装置４１の処理は、第１混合タンク１２ａに対する処理と同じである。
　【０１３０】
　即ち、第２混合タンク１２ｂに対するステップ５２ｂ〜５４ｂ（スラリ供給動作）は、第１混合タンク１２ａに対するステップ５２ａ〜５４ａの各処理と同じである。また、第２混合タンク１２ｂに対するステップ５５ｂ〜５８ｂ（洗浄動作）は、第１混合タンク１２ａに対するステップ５５ａ〜５８ａの各処理と同じである。従って、第２混合タンク１２ｂのみに対する各処理の詳細な説明を省略し、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂが相互に関連する部分についてのみ詳述する。
　【０１３１】
　第１混合タンク１２ａのステップ５３ａにおいて、第１混合タンク１２ａ内のスラリ１７の残量が所定量まで減少すると、制御装置４１は、洗浄中の第２混合タンク１２ｂの純水を排出し、第２混合タンク１２ｂにおいて新たなスラリ１７の作成を開始する。また、第２混合タンク１２ｂのステップ５３ｂにおいて、第２混合タンク１２ｂ内のスラリ１７の残量が所定量まで減少すると、制御装置４１は、洗浄中の第１混合タンク１２ａの純水を排出し、第１混合タンク１２ａにおいて新たなスラリ１７の作成を開始する。従って、制御装置４１は、一方の第１混合タンク１２ａ（又は第２混合タンク１２ｂ）のスラリ１７を使い切る前に、他方の第２混合タンク１２ｂ（又は第１混合タンク１２ａ）において新たなスラリ１７の作成を開始する。
　【０１３２】
　また、第１混合タンク１２ａのステップ５３ａにおいて、第１混合タンク１２ａ内のスラリ１７をほとんど使い切ったとき、制御装置４１は第２混合タンク１２ｂにおいて生成したスラリ１７をメイン循環配管３１に循環させ、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにスラリ１７を供給する。また、第２混合タンク１２ｂのステップ５３ｂにおいて、第２混合タンク１２ｂ内のスラリ１７をほとんど使い切ったとき、制御装置４１は第１混合タンク１２ａにおいて生成したスラリ１７をメイン循環配管３１に循環させ、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにスラリ１７を供給する。従って、制御装置４１は、一方の第１混合タンク１２ａ（又は第２混合タンク１２ｂ）のスラリ１７を使い切ると、他方の第２混合タンク１２ｂ（又は第１混合タンク１２ａ）にて生成したスラリ１７をメイン循環配管３１に循環させ、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにスラリ１７を継続的に供給する。
　【０１３３】
　更にまた、制御装置４１は、スラリ１７を使い切って休止中の第１混合タンク１２ａ、第１サブ循環配管３４ａ及び第１ポンプ３２ａを洗浄する。また、制御装置４１は、スラリ１７を使い切って休止中の第２混合タンク１２ｂ、第２サブ循環配管３４ｂ及び第２ポンプ３２ｂを洗浄する。従って、制御装置４１は、休止中の第１混合タンク１２ａ（又は第２混合タンク１２ｂ）とそれに接続される第１サブ循環配管３４ａ（又は第２サブ循環配管３４ｂ）を洗浄する。
　【０１３４】
　即ち、制御装置４１は、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂを交互に使用して作成したスラリ１７を各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給する。更に、制御装置４１は、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ、第１，第２サブ循環配管３４ａ，３４ｂ及び第１，第２ポンプ３２ａ，３２ｂを交互に洗浄する。
　【０１３５】
　ところで、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂを長時間使用しない場合、制御装置４１は、メイン循環配管３１を第１又は第２混合タンク１２ａ，１２ｂ等を洗浄する純水にて洗浄する。即ち、制御装置４１は、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂが使用されなくなってから予め設定した時間が経過すると、メイン循環配管３１に対する洗浄処理を実行する。
　【０１３６】
　例えば、第１混合タンク１２ａにスラリ１７が残っている場合、制御装置４１はスラリ１７を第１混合タンク１２ａからメイン循環配管３１を介して循環させている。また、制御装置４１は、非動作中の第２混合タンク１２ｂ及び第２ポンプ３２ｂをサブ循環配管３４ｂを利用して純水を循環させて洗浄している。
　【０１３７】
　制御装置４１は所定時間経過すると、先ず切換弁３５ａ，３６ａを切り換え制御してメイン循環配管３１を循環していたスラリ１７を第１サブ循環配管３４ａに循環させる。そして、制御装置４１は、切換弁３５ｂ，３６ｂを切り換え制御して第２サブ循環配管３４ｂを循環していた純水をメイン循環配管３１に循環させる。この純水によってメイン循環配管３１が洗浄され、メイン循環配管３１におけるスラリ１７の液溜まりが無くなるので、メイン配管３１は詰まりにくくなる。
　【０１３８】
　更に長時間ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂを使用しない場合、制御装置４１は、残ったスラリ１７を第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂの間で交互に転送する。そして、制御装置４１は、交互に非動作中となる第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂを洗浄する。
　【０１３９】
　例えば、第１混合タンク１２ａにスラリ１７が残っている場合、制御装置４１は、切換弁３５ａ，３６ｂを切り換え制御し、スラリ１７を第１混合タンク１２ａからメイン循環配管３１を介して第２混合タンク１２ｂに移し替える。すると、第２混合タンク１２ｂが非動作中となるため、制御装置４１は、この非動作中の第２混合タンク１２ｂを洗浄する。
　【０１４０】
　以上記述したように、本実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）スラリ供給装置１１には、研磨装置１８ａ，１８ｂにおいて１回の処理に使われるスラリの必要量に応じて少ない容量に設定された混合タンク１２ａ、１２ｂを設けた。制御装置４１は、各混合タンク１２ａ，１２ｂに対して、必要量だけ原液１５，１６と純水を供給し、希釈・混合してスラリ１７を生成する。そして、制御装置４１は、生成したスラリ１７を研磨装置１８ａ，１８ｂに供給するようにした。従って、各混合タンク１２ａ，１２ｂには、研磨装置１８ａ，１８ｂに必要なだけのスラリ１７が生成されるため、古いスラリが発生することが無く、安定したスラリを研磨装置１８ａ，１８ｂに供給することができる。
　【０１４１】
　（２）スラリ供給装置１１には、２つの混合タンク１２ａ，１２ｂを設けた。制御装置４１は、混合タンク１２ａ，１２ｂを交互に使用してスラリ１７を生成する。更に、制御装置４１は、生成したスラリを循環させるようにしたので、スラリ１７の沈殿が防止される。
　【０１４２】
　（３）制御装置４１は、混合タンク１２ａ，１２ｂを交互に使用してスラリ１７を作成して研磨装置１８ａ，１８ｂに供給する。そして、制御装置４１は、スラリ１７を使い切った混合タンク１２ａ，１２ｂを、各タンク１２ａ，１２ｂと共にスラリの循環経路を洗浄するようにした。従って、休止中の混合タンク１２ａ，１２ｂを洗浄することにより洗浄サイクルが短くなるので、沈殿物の除去を容易に行うことができる。その結果、各混合タンク１２ａ，１２ｂ及びスラリの循環経路に液溜まり及び乾燥したスラリの発生が防止される。
　【０１４３】
　（第二実施形態）
　以下、本発明を具体化した第二実施形態を図６に従って説明する。尚、説明の便宜上、第一実施形態と同様の構成については同一の符号を付してその説明を一部省略する。
　【０１４４】
　本実施形態のスラリ供給装置６１は、スラリを生成する混合タンクがＣＭＰ装置毎に設けられている。即ち、図６に示すように、２つのＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに対して第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂが設けられている。各混合タンク１２ａ，１２ｂは、第一実施形態と同様に、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにて所定枚数のウェハを研磨するのに十分なだけの容量に形成されている。
　【０１４５】
　スラリ供給装置６１には、制御装置４１ａが設けられている。制御装置４１ａは、スラリを生成して各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給するスラリ供給動作と、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂを洗浄する洗浄動作を行う。
　【０１４６】
　スラリ供給動作において、制御装置４１ａは、各混合タンクを使用して、搬入される第１，第２原液タンク１３，１４に蓄えられた原液１５，１６を各混合タンク１２ａ，１２ｂに設けた液面センサ３０ａ，３０ｂの検出信号に基づいて体積計量して各混合タンク１２ａ，１２ｂに供給する。そして、制御装置４１ａは、更に純水を各混合タンク１２ａ，１２ｂに供給し、第１，第２原液を希釈・混合してスラリ１７を生成する。
　【０１４７】
　制御装置４１ａは、各混合タンク１２ａ，１２ｂにて生成されたスラリ１７を、それぞれ対応して設けられた第１，第２ポンプ３２ａ，３２ｂにより各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに直接供給する。即ち、スラリ１７は、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給する直前で混合されため、各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂには、常に新しいスラリ１７が供給されることになる。
　【０１４８】
　また、制御装置４１ａは、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに切換弁３７ａ，３７ｂが設けられた配管を介して不活性ガスとしての窒素ガスを供給する。尚、不活性ガスとして窒素ガスに代えてアルゴンガス等を供給してもよい。
　【０１４９】
　不活性ガスは、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内のスラリ１７の劣化を抑える。即ち、スラリ１
７の
スラリ
スラリ
　【０１５０】
　そのため、制御装置４１ａは、前記液面センサ３０ａ，３０ｂの検出信号に基づき、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内のスラリ１７の増減量を測定する。そして、制御装置４１ａは、測定したスラリ１７の増減量に応じて第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内の不活性ガスの容量を制御する。即ち、スラリ供給装置１１は、スラリ１７が減少すると不活性ガスを第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給し、硝酸が空気とふれるのを防ぐ。これにより、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内のスラリ１７の組成変化を防ぐ。
　【０１５１】
　また、制御装置４１ａは、各混合タンク１２ａ，１２ｂに対してスラリ排水処理を実行し、残ったスラリ１７を各混合タンク１２ａ，１２ｂから全て排出する。更に、制御装置４１ａは各混合タンク１２ａ，１２ｂに対して洗浄動作を行う。これにより、各混合タンク１２ａ，１２ｂには、古いスラリが残存することが無く、液溜まりも無くなる。尚、スラリ排水処理及び洗浄動作は第一実施形態における処理，動作と同じである。
　【０１５２】
　また、本実施形態のスラリ供給装置６１に搬入される第１，第２原液タンク１３，１４には、第１，第２循環配管６２ａ，６２ｂが装着される。各循環配管６２ａ，６２ｂには、第３，第４ポンプ６３ａ，６３ｂ、リリーフ弁６４ａ，６４ｂ、及び流量制御弁６５ａ，６５ｂが備えられている。第３，第４ポンプ６３ａ，６３ｂは、各原液タンク１３，１４の原液１５，１６を第１，第２循環配管６２ａ，６２ｂにて循環させるために設けられている。この循環によって、各原液タンク１３，１４における原液１５，１６の沈殿を防止する。
　【０１５３】
　各リリーフ弁６４ａ，６４ｂ及び流量制御弁６５ａ，６５ｂは、各循環配管６２ａ，６２ｂ内を循環する原液１５，１６の液圧を所定の圧力に保つために設けられている。この圧力によって、原液１５，１６は、制御装置４１ａが開閉弁２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂをオンすると、各循環配管６２ａ，６２ｂから各混合タンク１２ａ，１２ｂに圧送される。
　【０１５４】
　制御装置４１ａは、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内に供給された原液等が所定の分量まで近づくと、第１，第２原液１５，１６，純水の流量を減少させるように各流量制御弁６５ａ，６５ｂ，９４ｃを制御する。これにより、第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂ内の原液等の量は、ゆっくりと増加するため、各開閉弁２２ａ〜２５ｂの閉路するタイミングを容易に合わせることができ、供給量を所定量に一致させることができる。このことは、正確な組成のスラリ１７の作成を容易にする。
　【０１５５】
　以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）制御装置４１ａは、原液タンク１３，１４に設けられた循環配管６２ａ，６２ｂにより原液１５，１６を循環させるようにしたので、原液１５，１６の沈殿が防止され、その原液１５，１６を混合することにより安定したスラリ１７を供給することができる。
　【０１５６】
　（第三実施形態）
　以下、本発明を具体化した第三実施形態を図７に従って説明する。
　尚、説明の便宜上、第一，第二実施形態と同様の構成については同一の符号を付してその説明を一部省略する。
　【０１５７】
　本実施形態のスラリ供給装置７１には、原液を蓄え搬入される原液タンク毎に循環タンクが設けられている。また、スラリ供給装置７１には、ＣＭＰ装置毎に混合部が設けられている。即ち、図７に示すように、スラリ供給装置７１には、搬入される第１，第２原液タンク１３，１４に対応して第１，第２循環タンク７２ａ，７２ｂが設けられている。また、スラリ供給装置７１には、２つのＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに対応して第１，第２混合部７３ａ，７３ｂが設けられている。
　スラリ供給装置７１には制御装置４１ｂが設けられている。制御装置４１ｂは、スラリを生成して各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給するスラリ供給動作と、第１，第２循環タンク７２ａ，７２ｂを洗浄する洗浄動作を実行する。
　【０１５８】
　スラリ供給動作において、制御装置４１ｂは、第１原液タンク１３から第１循環タンク７２ａへ第１原液１５を液面センサ３０ａの検出信号に基づく体積計量によって所定量圧送する。また、制御装置４１ｂは、第２原液タンク１４から第２循環タンク７２ｂへ第２原液１６を液面センサ３０ｂの検出信号に基づく体積計量によって所定量圧送する。
　【０１５９】
　第１，第２循環タンク７２ａ，７２ｂに供給される第１，第２原液１５，１６の量は、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにて所定枚数のウェハを研磨するのに必要な量に設定されている。即ち、制御装置４１ｂは、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂにて必要な量の第１，第２原液を第１，第２循環タンク７２ａ，７２ｂに圧送する。
　【０１６０】
　また、制御装置４１ｂは、第１，第２循環タンク７２ａ，７２ｂに所定量の純水を供給し、各循環タンク７２ａ，７２ｂ内の原液を希釈する。更に、制御装置４１ｂは、モータ２９ａ，２９ｂを駆動制御して各循環タンク７２ａ，７２ｂに設けられた攪拌器２８ａ，２８ｂを回転させ、希釈した原液を攪拌し、沈殿を防止する。
　【０１６１】
　第１，第２循環タンク７２ａ，７２ｂには、第１，第２循環配管７４ａ，７４ｂが設けられている。各循環配管７４ａ，７４ｂには、ポンプ７５ａ，７５ｂ、リリーフ弁７６ａ，７６ｂ、及び絞り弁７７ａ，７７ｂが設けられている。制御装置４１ｂは、ポンプ７５ａ，７５ｂを駆動して各循環タンク７２ａ，７２ｂの原液を第１，第２循環配管７４ａ，７４ｂを介して循環させる。この循環によって、各循環タンク７２ａ，７２ｂにおける原液の沈殿を防止する。
　【０１６２】
　各リリーフ弁７６ａ，７６ｂ及び絞り弁７７ａ，７７ｂは、各循環配管７４ａ，７４ｂ内を循環する原液の液圧を所定の圧力に保つために設けられている。この圧力によって、各循環配管７２ａ，７２ｂ内の原液が第１，第２混合部７３ａ，７３ｂに圧送される。
　【０１６３】
　第１，第２混合部７３ａ，７３ｂには、それぞれ第１，第２開閉弁７８ａ，７８ｂと絞り弁７９ａ，７９ｂが設けられている。制御装置４１ｂは、各混合部７３ａ，７３ｂの第１，第２開閉弁７８ａ，７８ｂを同時に開閉制御する。第１，第２開閉弁７８ａ，７８ｂが同時にオンされると、第１，第２循環配管７４ａ，７４ｂを循環する第１，第２原液がそれぞれ第１，第２流量制御弁７９ａ，７９ｂを介して各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに設けられたノズル８０ａ．８０ｂに圧送される。各ノズル８０ａ，８０ｂには、内面に螺旋状の溝が形成されており、その溝によって第１，第２原液が混合されながら各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂの定盤上に供給される。
　【０１６４】
　また、制御装置４１ｂは、第１，第２循環タンク７２ａ，７２ｂに、切換弁３７ａ，３７ｂが設けられた配管を介して不活性ガスとしての窒素ガスを供給する。尚、不活性ガスとして窒素ガスに代えてアルゴンガス等を供給してもよい。
　【０１６５】
　不活性ガスは、第１，第２循環タンク７２ａ，７２ｂ内の原液１５，１６の劣化を抑える。即ち、原液１５，１６の
スラリ
スラリ
　【０１６６】
　そのため、制御装置４１ｂは、液面センサ３０ａ，３０ｂの検出信号に基づき、第１，第２循環タンク７２ａ，７２ｂ内の原液１５，１６の増減量を測定する。そして、スラリ供給装置１１は、測定した原液１５，１６の増減量に応じて第１，第２循環タンク７２ａ，７２ｂ内の不活性ガスの容量を制御する。即ち、スラリ供給装置１１は、原液１５，１６が減少すると不活性ガスを第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給する。これにより、第１，第２循環タンク７２ａ，７２ｂ内の原液１５，１６の組成変化を防ぐ。
　【０１６７】
　また、制御装置４１ｂは、各循環タンク７２ａ，７２ｂに対してスラリ排水処理を実行し、残ったスラリ１７を各循環タンク７２ａ，７２ｂから全て排出する。更に、制御装置４１ｂは各循環タンク７２ａ，７２ｂ、循環配管７４ａ，７４ｂ、及びポンプ７５ａ，７５ｂに対して洗浄動作を行う。これにより、各循環タンク７２ａ，７２ｂには、古いスラリが残存することが無く、液溜まりも無くなる。更に、休止中の循環タンク７２ａ，７２ｂを洗浄する洗浄サイクルが短くなるので、沈殿物の除去を容易に行うことができる。尚、スラリ排水処理及び洗浄動作は第一実施形態における各混合タンク１２ａ，１２ｂに対する処理，動作と同じであるため、説明を省略する。
　【０１６８】
　以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）原液１５，１６は、研磨装置１８ａ，１８ｂにおける１回の処理に使われるスラリに対応した量だけ循環タンク７２ａ，７２ｂに送られ、その循環タンク７２ａ，７２ｂにて循環される。そのため、原液１５，１６の沈殿、液溜まりが防止される。
　【０１６９】
　（２）スラリ供給装置７１は、原液を流量調整して研磨装置１８ａ，１８ｂのノズル８０ａ，８０ｂに供給する混合部７３ａ，７３ｂを備える。ノズル８０ａ，８０ｂには、供給される原液を混合するための螺旋状の溝が形成されており、研磨装置１８ａ，１８ｂに供給される直前で希釈・混合されるため、古いスラリが発生しないので、安定したスラリを供給することができる。
　【０１７０】
　（３）制御装置４１ｂは、スラリ１７を使い切った循環タンク７２ａ，７２ｂを、各タンク７２ａ，７２ｂと共にスラリの循環経路を洗浄するようにした。従って、休止中の循環タンク７２ａ，７２ｂを洗浄することにより洗浄サイクルが短くなるので、沈殿物の除去を容易に行うことができる。
　【０１７１】
　尚、本発明は前記実施の形態の他、以下の態様で実施してもよい。
○上記第一実施形態では、原液供給手段を第１，第２原液タンク１３，１４から第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに各原液１５，１６を窒素ガスの圧力にて圧送する構成としたが、それ以外の方法，構成により各原液１５，１６を第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給するようにしてもよい。
　【０１７２】
　例えば、図８に示すように、第二実施形態における第１，第２循環配管６２ａ，６２ｂを第１，第２原液タンク１３，１４にそれぞれ装着し、第３，第４ポンプ６３ａ，６３ｂ等によって循環する原液の液圧を所定の圧力に保持するようにして第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに供給する。この構成によれば、第一実施形態の効果に加えて、第１，第２原液タンク１３，１４における原液１５，１６の沈殿を防止することが可能となる。
　【０１７３】
　また、図９に示すように、混合タンク１２ａ，１２ｂ内の圧力を減圧ポンプ１３１にて減圧して第１，第２原液タンク１３，１４から原液１５，１６を吸引することにより、原液１５，１６を混合タンク１２ａ，１２ｂに供給する構成としてもよい。また、この構成を第二実施形態の
スラリ
　【０１７４】
　更に、上記第一〜第三実施形態における原液１５，１６を圧送する構成と、図９に示す各タンク１２ａ，１２ｂ内を減圧して原液１５，１６を吸入する構成を組み合わせて実施してもよい。
　【０１７５】
　○上記第一実施形態において、サブ循環配管を１つだけ設け、メイン循環配管３１とサブ循環配管を第１，第２混合タンク１２ａ，１２ｂに交互に接続する構成としてもよい。
　【０１７６】
　○上記各実施形態において、レベルセンサ４０ａ，４０ｂを省略して実施してもよい。
　○上記第一実施形態において、３つ以上の混合タンクを備えた構成として実施してもよい。
　【０１７７】
　○上記各実施形態において、各スラリ供給装置は、原液としてアルミナの溶液と硫酸第二鉄溶液とを希釈・混合してスラリを生成して供給するようにしたが、その他の原液、例えばコロダイルシリカ等の砥粒を含む溶液を使用するようにしてもよい。
　【０１７８】
　○上記各実施形態では、ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに生成したスラリ１７を供給する
スラリ
その他のスラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
スラリ
　【０１７９】
　○上記第一実施形態では、メイン循環配管３１に２つのＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂを接続したが、１つ、又は３つ以上のＣＭＰ装置を接続した構成にて実施してもよい。また、上記第二，第三実施形態において、１つ又は３つ以上のＣＭＰ装置を設け、第二実施形態においては混合タンク及びその周辺部材を、第三実施形態においては循環タンク及びその周辺部材をＣＭＰ装置に対応して設けて実施してもよい。
　【０１８０】
　○上記第三実施形態では、原液を各循環タンク７２ａ，７２ｂにて希釈し、各混合部７３ａ，７３ｂにて希釈した原液を混合して生成したスラリを各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給する構成としたが、各混合部７３ａ，７３ｂにて原液と純水とを希釈・混合して生成したスラリを各ＣＭＰ装置１８ａ，１８ｂに供給する構成として実施してもよい。
　【０１８１】
　○上記各実施形態において、予め希釈された原液が原液タンクに蓄えられ搬入される場合、第一，第二実施形態の第１，第２混合タンク、第三実施形態の第１，第２循環タンクに希釈用の純水を供給するための部材，処理（ステップ）を省略することができ、各装置１１，６１，７１の構成及び制御装置の動作を簡略化することが可能となる。
　【０１８２】
　【発明の効果】
　以上詳述したように、請求項１乃至１
０
スラリ
スラリ
１
スラリ
スラリ
【図面の簡単な説明】
　【図１】　第一実施形態のスラリ供給装置の概略構成図。
　【図２】　スラリ供給装置の電気的構成図。
　【図３】　スラリ供給装置の動作フロー図。
　【図４】　混合タンクの縦断面図。
　【図５】　液面レベルを検出するためのフィルタ処理のフローチャート。
　【図６】　第二実施形態のスラリ供給装置の概略構成図。
　【図７】　第三実施形態のスラリ供給装置の概略構成図。
　【図８】　第一実施形態の別のスラリ供給装置の概略構成図。
　【図９】　第一実施形態の別のスラリ供給装置の概略構成図。
　【符号の説明】
　１２ａ，１２ｂ　混合タンク
　１３，１４　原液タンク
　１５，１６　原液
　１７　
スラリ
　１８ａ，１８ｂ　処理装置としての研磨装置（ＣＭＰ装置）
　３１　メイン循環配管
　４１　原液供給手段、
スラリ
スラリ
スラリ