【手続補正書】
【提出日】平成27年9月17日(2015.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷重を支持するための支持モジュールであり、前記荷重は、リソグラフィシステムにおいてパターン形成されるターゲットを備えており、前記モジュールは、
前記荷重を支持するための支持体と、
三つの支持構造体を備えており、前記支持構造体は、おのおの、
・フレームと、
・前記支持体および／または前記荷重を少なくとも部分的に支持するために前記支持体を前記フレームに連結している力補正スプリングアッセンブリーを備えており、
前記力補正スプリングアッセンブリーは、スプリングの運動のあらかじめ定められた範囲にわたって負剛性特性を有している第一のスプリングと、正剛性を有している第二のスプリングを備えている、モジュールにおいて、前記三つの支持構造体のおのおのの前記フレームは、互いに堅固に取り付けられており、前記支持体は、前記フレームに対して移動可能であるように前記三つの力補正スプリングアッセンブリーに連結されていることを特徴とする支持モジュール。
【請求項２】
前記フレームは一緒にプリズム形状容量を定めており、前記力補正スプリングアッセンブリーは、前記プリズム形状容量の別の外側側面に配され、前記側面の中心線に沿った圧縮／拡張の平行な方向を有している、請求項１に記載の支持モジュール。
【請求項３】
前記三つの支持構造体の支持構造体の各フレームは、中央部と、前記中央部の両側に配され、前記中央部に垂直延びている二つの脚部を備えており、前記第一のスプリングは、それぞれの脚部の両側に連結され、前記中央部から離間されており、前記第二のスプリングは、前記中央部に連結され、前記脚部から離間されており、または逆も成立する、請求項１または請求項２に記載の支持モジュール。
【請求項４】
ベースと可撓マウントをさらに備えており、前記可撓マウントは、前記ベースを前記フレームのおのおのに連結し、前記可撓マウントは、前記ベースに平行な平面内の前記ベースに対する前記フレームの運動を可能にするように適合されている、請求項１、２または３のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
【請求項５】
前記可撓マウントは、前記ベースに垂直に延びている可撓支柱を備えている、請求項４に記載の支持モジュール。
【請求項６】
前記可撓マウントは、前記ベースに垂直に延びている可撓支柱を備えており、前記フレームの前記脚部は、前記脚部の長さの相当な部分に沿って前記可撓支柱の支柱を少なくとも部分的に収容するための収容スペースを備えており、前記支柱は、前記収容スペース内において自由に曲がることができる、請求項３に記載の支持モジュール。
【請求項７】
各支持構造体の前記第一のスプリングと前記第二のスプリングは、共通平面内で移動するために配されている、請求項１〜６のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
【請求項８】
前記第一のスプリングは、おのおの、一つ以上の双安定座屈ビームを備えている、請求項１〜７のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
【請求項９】
前記第二のスプリングは、おのおの、一つ以上のリーフスプリングを備えている、請求項１〜８のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
【請求項１０】
第二のスプリングの前記リーフスプリングは、ダイヤモンド配列に配されている、請求項９に記載の支持モジュール。
【請求項１１】
前記第二のスプリングは、前記リーフスプリングを連結している四つのコーナー部を備えており、前記ダイヤモンド形状の各象限が平行に移動するために配されている、請求項１０に記載の支持モジュール。
【請求項１２】
各支持構造体において、前記第一のスプリングと前記第二のスプリングは、互いに取り付けられている、請求項１〜１１のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
【請求項１３】
前記フレームに対して前記支持体を位置決めするために適合された複数のモーターをさらに備えている、請求項１〜１２のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
【請求項１４】
前記支持構造体は単一支持構造体である、および／または、前記モジュールは、単一構造体として形成される、請求項１〜１３のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれかひとつに記載の支持モジュールを備えているリソグラフィシステム。
【請求項１６】
真空チャンバーをさらに備えており、前記支持モジュールは前記真空チャンバー内に配されている、請求項１５に記載のリソグラフィシステム。
【請求項１７】
前記支持モジュールを前記リソグラフィシステム内に位置決めするために適合されている位置決めシステムをさらに備えている、請求項１４または請求項１５に記載のリソグラフィシステム。
【請求項１８】
一つ以上のビームをウェーハなどのターゲットに投影するように適合された光学カラムをさらに備えており、前記支持モジュールは、前記ターゲットを前記光学カラムと整列させて支持するために適合されている、請求項１５〜１７のいずれかひとつに記載のリソグラフィシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
ある実施形態では、前記第一のスプリングは、おのおの、双安定座屈ビームを備えている。双安定座屈ビームは、少なくとも二つの安定状態の間に負剛性を有しており、すなわち、二つの安定状態間の少なくともある圧縮範囲において、各第一のスプリングのスプリング力は小さくなるほど、前記スプリングは圧縮される。希望のスプリング力の提供するため、各支持構造体は、平行にある複数のそのような座屈ビームを備えていてよい。ある好適な実施形態では、隣接座屈ビームは同様のＶ形状を有しており、隣接ビームは互いに実質的に平行に延びている。代替実施形態では、隣接座屈ビームは、二つの隣接座屈ビームが一緒に二つのウェッジ形状を形成するようにさまざまなＶ形状を有している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
微動ステージ２０は、第一の部材２１と、前記第一の部材２１に対して移動可能である第二の部材２２を備えている。微動ステージ２０は、前記第二の部材に対して前記第一の部材を六自由度で位置決めするための多数の電気モーター、この場合、ローレンツモーター２５，２６を備えており、調整は一般にマイクロメートルおよび／またはマイクロラジアン範囲内にある。したがって、微動ステージは、たとえば１０マイクロメートル単位で、ターゲット３０と光学カラム１０の間のＺ軸に沿った距離を調節するためにたとえば使用されてよい。電気モーター２５，２６によって生成される電磁放射に対して真空チャンバー２の内部の残りをシールドするため、金属のシールド２３が設けられている。シールド２３は、第一および第二の部材のエッジに沿って延び、微動ステージ２０の内部を実質的に完全に取り囲んでいる。電気モーター２５の荷重を低減するため、微動ステージ２０には重力補正スプリング４０が設けられており、それは、第一の部材２１とチャック１２とウェーハテーブル１１とターゲット３０の重量を部分的に支持する。しかしながら、スプリング４０の剛性のため、スプリングは、第二の部材から第一の部材に、したがってＸＹステージからチャック１２に振動を伝える。さらに、第一の部材が第二の部材に対して適所に残るときでも、電気モーターには、第一および第二の部材のスプリング４０のあらゆるスプリング作用を打ち消すために実質的に連続的に動力供給されなければならず、過剰な量の熱を生成する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
図２Ｂは、本発明による代替実施形態の支持モジュール５００を示しており、フレーム５８１，５８２，５８３をそれぞれ有している三つの支持構造体を備えている。フレームは、おのおの、Ｕ形状をしており、ベース５３０に実質的に平行に延びている中央部と、ベース５３０に実質的に垂直に延びている脚部を有している。フレーム５８１，５８２，５８３は、それらの脚部５８１ａと５８２ｂ，５８２ａと５８３ｂ，５８３ａと５８１ｂがそれぞれ当接するように、互いに固定して取り付けられている。モジュール５００の製造中、いったんフレーム５８１，５８２，５８３が互いに固定されると、支持体５２０が、点５２１，５２２，５２３において好ましくは取り付けられる。参照数字５２１，５２２，５２３は、図２Ａの参照数字４２１，４２２，４２３に実質的に対応している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
各フレーム５８１，５８２，５８３の脚部間には、力補正スプリングアッセンブリーが設けられている。たとえば、第一のフレーム５８１を備えている第一の支持構造体は、座屈ビーム部５０２ａ，５０２ｂ，５０３ａ，５０３ｂを備えた第一のスプリング５０５と、バー５０７ａ，５０８ｂ，５０８ａ，５０８とコーナー部５０９ａ，５０９ｂを備えている第二のスプリング５５０をさらに備えており、力補正スプリングアッセンブリーは、第一のフレーム５８１の脚部５８１ａ，５８１ｂによって張られる平面内に実質的に完全に配され、実質的に前記平面内のみにおいて圧縮および／または拡張するために適合されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
上記の説明は、好ましい実施形態の動作を示すために含まれており、本発明の範囲を限定するのが目的ではないと理解されるべきである。特に、ここに説明される支持構造体は、その上の質量を支持するために、および／または、そこから吊された質量を支持するために使用されてよい。また、本発明による支持構造体は、説明されるように鉛直方向以外の、特に水平方向を含む方向の支持力を提供し得る。このように、本発明はまた、リソグラフィに加えてテクノロジーの他の分野の構造体上の荷重の一般的支持のために適合されてよい。上記の議論から、本発明の真意および範囲によって包含されるであろう多くの変形が、この分野の当業者には明白になる。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［１］  荷重を支持するための支持モジュールであり、前記荷重は、好ましくはリソグラフィシステムにおいてパターン形成されるターゲットを備えており、前記モジュールは、
前記荷重を支持するための支持体と、
三つの支持構造体を備えており、前記支持構造体は、おのおの、
・フレームと、
・前記支持体および／または前記荷重を少なくとも部分的に支持するために前記支持体を前記フレームに連結している力補正スプリングアッセンブリーを備えており、
前記力補正スプリングアッセンブリーは、スプリングの運動のあらかじめ定められた範囲にわたって負剛性特性を有している第一のスプリングと、正剛性を有している第二のスプリングを備えている、モジュールにおいて、前記三つの支持構造体のおのおのの前記フレームは、互いに実質的に堅固に取り付けられており、前記支持体は、前記フレームに対して移動可能であるように前記三つの力補正スプリングアッセンブリーに連結されていることを特徴とする支持モジュール。
［２］  前記フレームは一緒にプリズム形状容量を定めており、前記力補正スプリングアッセンブリーは、前記プリズム形状容量の別の外側側面に実質的に配され、前記側面の中心線に実質的に沿った圧縮／拡張の実質的に平行な方向を有している、［１］に記載の支持モジュール。
［３］  前記三つの支持構造体の支持構造体の各フレームは、中央部と、前記中央部の両側に配され、前記中央部に実質的に垂直延びている二つの脚部を備えており、前記第一のスプリングは、それぞれの脚部の両側に連結され、前記中央部から離間されており、前記第二のスプリングは、前記中央部に連結され、前記脚部から離間されており、または逆も成立する、［１］または［２］に記載の支持モジュール。
［４］  ベースと可撓マウントをさらに備えており、前記可撓マウントは、前記ベースを前記フレームのおのおのに連結し、前記可撓マウントは、前記ベースに平行な平面内の前記ベースに対する前記フレームの運動を可能にするように適合されている、［１］〜［３］のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
［５］  前記可撓マウントは、前記ベースに実質的に垂直に延びている可撓支柱を備えている、［４］に記載の支持モジュール。
［６］  前記フレームの前記脚部は、前記脚部の長さの相当な部分に沿って前記可撓支柱の支柱を少なくとも部分的に収容するための収容スペースを備えており、前記支柱は、前記収容スペース内において実質的に自由に曲がることができる、［３］に従属する場合の［５］に記載の支持モジュール。
［７］  各支持構造体の前記第一のスプリングと前記第二のスプリングは、好ましくは共通の実質直線に沿って、共通平面内で移動するために配されている、［１］〜［６］のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
［８］  前記第一のスプリングは、おのおの、一つ以上の双安定座屈ビームを備えている、［１］〜［７］のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
［９］  前記第二のスプリングは、おのおの、一つ以上のリーフスプリングを備えている、［１］〜［８］のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
［１０］  第二のスプリングの前記リーフスプリングは、ダイヤモンド配列に配されている、［９］に記載の支持モジュール。
［１１］  前記第二のスプリングは、前記リーフスプリングを連結している四つのコーナー部を備えており、前記ダイヤモンド形状の各象限が実質的に平行に移動するために配されている、［１０］に記載の支持モジュール。
［１２］  各支持構造体において、前記第一のスプリングと前記第二のスプリングは、好ましくは前記第一のスプリングの中心点において、互いに取り付けられている、［１］〜［１１］のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
［１３］  前記フレームに対して前記支持体を位置決めするために適合された複数のモーターをさらに備えており、前記複数のモーターは、ローレンツモーターを好ましくは備えている、［１］〜［１２］のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
［１４］  前記支持構造体は単一支持構造体である、および／または、前記モジュールは、単一構造体として形成される、［１］〜［１３］のいずれかひとつに記載の支持モジュール。
［１５］  フレームと、荷重を支持するための支持体を備えている支持構造体であり、前記支持体は、前記フレームに対して移動可能であり、前記支持構造体は、前記支持体および／または前記荷重を少なくとも部分的に支持するための前記フレームに前記支持体を連結している力補正スプリングアッセンブリーをさらに備えており、
前記力補正スプリングアッセンブリーは、スプリングの運動のあらかじめ定められた範囲にわたって負剛性特性を有している第一のスプリングと、正剛性を有している第二のスプリングを備えており、
前記第一のスプリングは、一つ以上の双安定座屈ビームを備えている、支持構造体において、前記第二のスプリングは、一つ以上のリーフスプリングを備えており、前記座屈ビームと前記リーフスプリングは、実質共通平面内で移動および／または湾曲するために配されている、支持構造体。
［１６］  前記リーフスプリングは、リーフスプリングの第一、第二、第三、第四のセットに配されており、前記第一のセットのリーフスプリングは、第一の端において第一のコーナー部に、反対側の第二の端において第二のコーナー部に連結されており、前記第二のセットのリーフスプリングは、第一の端において前記第一のコーナー部に、反対側の第二の端において第三のコーナー部に連結されており、前記第三のセットのリーフスプリングは、第一の端において第四のコーナー部に、反対側の第二の端において前記第二のコーナー部に連結されており、前記第四のセットのリーフスプリングは、第一の端において前記第四のコーナー部に、反対側の第二の端において前記第三のコーナー部に連結されており、前記第一、第二、第三、第四のコーナー部は、前記フレームに対して平行方向に移動するように適合されている、［１５］に記載の支持構造体。
［１７］  前記第四のコーナー部は前記フレームに堅固に取り付けられている、［１６］に記載の支持構造体。
［１８］  前記第一のコーナー部は前記第一のスプリングに連結されている、［１６］または［１７］に記載の支持構造体。
［１９］  前記リーフスプリングはすべて、実質的に等しい長さ、および／または、実質的に等しいスプリング特性を有している、［１６］〜［１８］のいずれかひとつに記載の支持構造体。
［２０］  リーフスプリングの各セットは少なくとも二つのリーフスプリングを備えており、各セット内の前記リーフスプリングは互いに実質的に平行である、［１６］〜［１９］のいずれかひとつに記載の支持構造体。
［２１］  前記リーフスプリングは、実質ダイヤモンド形状配列に入れ子に配されている、［１６］〜［２０］のいずれかひとつに記載の支持構造体。
［２２］  ［１］〜［１４］のいずれかひとつに記載の支持モジュールを備えているリソグラフィシステム。
［２３］  真空チャンバーをさらに備えており、前記支持モジュールは前記真空チャンバー内に配されている、［２２］に記載のリソグラフィシステム。
［２４］  前記支持モジュールを前記リソグラフィシステム内に位置決めするために適合されている位置決めシステムをさらに備えている、［２２］または［２３］に記載のリソグラフィシステム。
［２５］  一つ以上のビームをウェーハなどのターゲットに投影するように適合された光学カラムをさらに備えており、前記支持モジュールは、前記ターゲットを前記光学カラムと実質的に整列させて支持するために適合されている、［２２］〜［２４］のいずれかひとつに記載のリソグラフィシステム。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ｂ】
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