【事件の表示】
　特許第３１７６５５８号「コーティングフィルムおよびその製造方法」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　本件特許異議の申立てを却下する。
【理　由】
Ｉ　手続の経緯
　
　特許第３１７６５５８号の請求項１〜４に係る発明についての手続の経緯は、およそ次のとおりである。
（１）特許出願　平成９年１月２３日（優先権主張平成８年２月９日）
（２）特許権の設定の登録　平成１３年４月６日
（３）特許掲載公報の発行　平成１３年６月１８日
（４）四宮唯泰より特許異議の申立て　平成１３年１２月１３日
（５）特許の取消理由の通知の発送　平成１４年７月１２日
（６）特許権者より意見書の提出及び訂正請求（指定期間内）　平成１４年９月１０日
　
ＩＩ　訂正の適否について
　
１　訂正の内容
（１）平成１４年９月１０日付け訂正請求書の記載によれば、本件訂正請求の請求の趣旨並びに請求の理由中の訂正の理由、訂正事項及び請求の原因は、それぞれ次のとおりである。なお、請求の原因については、特許請求の範囲の訂正に関するもののみを摘記した。
〔請求の趣旨〕
「特許第３１７６５５８号の明細書を請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正することを求める。」
〔請求の理由〕
（訂正の理由）
「特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明」
（訂正事項）
「ａ．特許請求の範囲の請求項１の『前記コーティング膜の組成が、炭素が７５〜５５モルパーセントであり水素が２５〜４５モルパーセントであることを特徴とするコーティングフィルム』を『前記コーティング膜の組成が、炭素が７５モルパーセントであり水素が２５モルパーセントである請求項１に記載のコーティングフィルム』と訂正する。
　発明の詳細な説明の段落【０００９】の『前記コーティング膜の組成が、炭素が７５〜５５モルパーセントであり水素が２５〜４５モルパーセントであることを特徴とする』を『前記コーティング膜の組成が、炭素が７５モルパーセントであり水素が２５モルパーセントであることを特徴とする』と、段落【００１３】の『第２の発明によるコーティングフィルムは、第１の発明において』を『第１の発明のコーティングフィルムは』と、段落【００１４】の『この第２のコーティングフィルム』を『この第１の発明のコーティングフィルム』と、それぞれ訂正する。
　ｂ．特許請求の範囲の『【請求請３】』を『【請求項２】』と訂正する。
　発明の詳細な説明の段落【００１５】の『第３の発明によるコーティングフィルムの製造方法』を『第２の発明によるコーティングフィルムの製造方法』と、段落【００１６】の『第３の発明によるコーティングフィルムの製造方法』を『第２の発明によるコーティングフィルムの製造方法』と、段落【００１７】の『第４の発明によるコーティングフィルムの製造方法』を『第２の発明によるコーティングフィルムの製造方法』と、それぞれ訂正する。
　ｃ．特許請求の範囲の『【請求項４】』を『【請求項３】』と訂正する。
　発明の詳細な説明の段落【００１９】の『第４の発明によるコーティングフィルムの製造方法』を『第３の発明によるコーティングフィルムの製造方法』と、同じく『第３の発明の構成に加えて』を『第２の発明の構成に加えて』と、段落【００２０】の『第４の発明によるコーティングフィルムの製造方法』を『第３の発明によるコーティングフィルムの製造方法』と、同じく『第３の発明において』を『第２の発明において』と、それぞれ訂正する。
　なお、上記ａ〜ｃの訂正事項による訂正は、実質的に、訂正前の請求項１を削除し、訂正前の請求項２以下の請求項の項数を繰り上げたものである。」
（請求の原因）
「上記訂正事項ａについては、特許明細書の特許請求の範囲に記載された数値範囲を限定しようとするものである。訂正後の請求項１の記載は訂正前の請求項２の記載に相当するものであり、訂正後の請求項１の発明特定事項は、実質的に、訂正前の請求項２の発明特定事項と同一である。上記訂正事項ｂは、請求項２の発明特定事項を、訂正前の請求項３の発明特定事項に訂正するものである。上記訂正事項ｃは、請求項３の発明特定事項を、訂正前の請求項２の発明特定事項に訂正するものである。そして、訂正後の請求項１〜３に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。」
（２）訂正請求書に添付した訂正明細書の特許請求の範囲の記載は、次のとおりである。なお、請求項３における「請求項３に記載の」は「請求項２に記載の」の明白な誤記であると認める。
「【請求項１】プラスチックフィルムの少なくとも一方の表面に、ダイヤモンド状炭素からなる硬質炭素膜によってコーティング膜が形成され、
　前記コーティング膜の組成が、炭素が７５モルパーセントであり水素が２５モルパーセントであることを特徴とするコーティングフィルム。
　【請求項２】プラスチックフィルムにその二軸方向に引張り力を負荷した状態で、このプラスチックフィルムの少なくとも一方の表面にプラズマ蒸着法によって硬質炭素コーティング膜を形成するコーティングフィルムの製造方法。
　【請求項３】プラスチックフィルムに形成される硬質炭素コーティング膜にその形成過程において発生する圧縮応力の大きさを予め測定しておいて、この圧縮応力の測定値とほぼ等しくなるように前記プラスチックフィルムの二軸方向に負荷されるそれぞれの引張り力の大きさを設定する請求項３に記載のコーティングフィルムの製造方法。」
　
２　訂正の内容の検討
　前記訂正事項ａ〜ｃによれば、本件訂正は、外見上、訂正前の請求項１について、その発明特定事項に所要の限定を付して訂正後の請求項１とし、さらに、訂正前の請求項２についての言及はないもののこれを削除したものと解すれば、訂正前の請求項３、４について、それぞれその項数を繰り上げて訂正後の請求項２、３とする体裁を取っている。
　しかし、（i）前記「訂正事項」欄に、「上記ａ〜ｃの訂正事項による訂正は、実質的に、訂正前の請求項１を削除し、訂正前の請求項２以下の請求項の項数を繰り上げたものである。」との付記があること、（ii）平成１４年９月１０日付け意見書に、明細書の訂正の説明として、「訂正請求書による明細書の訂正は、取消理由の対象となった訂正前の請求項１を削除することを趣旨とするものであり、訂正後の請求項１は訂正前の請求項２に、訂正後の請求項２は訂正前の請求項３に、訂正後の請求項３は訂正前の請求項４に、それぞれ対応しており、取消理由の対象となった訂正前の請求項１を実質的に削除し、取消理由の対象とされていない請求項２〜４をそれぞれ請求項１〜３に繰り上げる訂正を行った」との記載があること、（iii）本件訂正請求の請求の趣旨が「明細書を請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正することを求める」とするものであって、訂正明細書の特許請求の範囲の記載が前記１の（２）摘記のものであること及び（iv）本件特許異議の申立てが請求項１に対してのみされていることを考え合わせると、本件訂正は、実質上、訂正前の請求項１を削除して訂正前の請求項２〜４のみを残置させようとするものであると認めるのが相当である。そして、請求項１の削除に伴って、訂正前の請求項１を引用するいわゆる従属形式の訂正前の請求項２について、独立形式に改めるとともに項数の繰り上げをも行って訂正後の請求項１とし、さらに、それに伴って、訂正前の請求項３、４についても項数の繰り上げを行って訂正後の請求項２、３とすることも、特許請求の範囲の記載の形式上必然的に生ずることにすぎないものと言うべきである。
　ところで、本件特許異議の申立てが請求項１に対してのみされ、本件訂正においては、実質上、単に訂正前の請求項１が削除されただけで訂正前の請求項２〜４については訂正がされていないことから見て、訂正後の請求項１〜３に係る発明については、いわゆる独立特許要件の存否を判断する必要がない。したがって、特許権者が、前記「請求の原因」欄で、訂正後の請求項１〜３に係る発明が独立特許要件を満たすことにまで言及したのは、特許権者の錯誤に基づくものであると認められる。
　
３　訂正の目的の適否、新規事項の追加の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　以上のとおり、前記ａ〜ｃの訂正のうち、本件特許請求の範囲の訂正は、実質上、請求項１を削除し、これに伴い項数を単に繰り上げるものであるから、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。また、前記ａ〜ｃの訂正のうち、発明の詳細な説明の訂正は、特許請求の範囲の訂正に整合させて所要の訂正を行ったものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　そして、前記ａ〜ｃの訂正は、言うまでもなく訂正前の明細書の記載に基づくものであるから、これらの訂正は、願書に添付された明細書に記載した事項の範囲内においてされたものである。
　さらに、前記ａ〜ｃの訂正は、特許請求の範囲を実質上拡張するものでも変更するものでもない。
　
４　むすび
　以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法第１２０条の４第２項の規定並びに同条第３項において準用する同法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
ＩＩＩ　特許異議の申立てについての判断
　
　本件特許異議の申立ては、訂正前の請求項１に係る特許に対してのみされている。
　しかし、前記のとおり、訂正前の請求項１は、訂正の結果削除され、特許異議の申立ての対象が存在しないので、本件特許異議の申立ては、不適法なものであって、その補正をすることができないものである。
　したがって、本件特許異議の申立ては、特許法第１２０条の６第１項で準用する同法第１３５条の規定により却下すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。　
【異議決定日】
平成１４年１１月２８日（２００２．１１．２８）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第３１７６５５８発明の明細書について、次のとおり訂正する。
（１）特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的として、特許請求の範囲の記載を次のように訂正する。
　【請求項１】プラスチックフィルムの少なくとも一方の表面に、ダイヤモンド状炭素からなる硬質炭素膜によってコーティング膜が形成され、
　前記コーティング膜の組成が、炭素が７５モルパーセントであり水素が２５モルパーセントであることを特徴とするコーティングフィルム。
　【請求項２】プラスチックフィルムにその二軸方向に引張り力を負荷した状態で、このプラスチックフィルムの少なくとも一方の表面にプラズマ蒸着法によって硬質炭素コーティング膜を形成するコーティングフィルムの製造方法。
　【請求項３】プラスチックフィルムに形成される硬質炭素コーティング膜にその形成過程において発生する圧縮応力の大きさを予め測定しておいて、この圧縮応力の測定値とほぼ等しくなるように前記プラスチックフィルムの二軸方向に負荷されるそれぞれの引張り力の大きさを設定する請求項３に記載のコーティングフィルムの製造方法。
（２）明りょうでない記載の釈明を目的として、発明の詳細な説明の記載を次のように訂正する。
　ａ．段落【０００９】の『前記コーティング膜の組成が、炭素が７５〜５５モルパーセントであり水素が２５〜４５モルパーセントであることを特徴とする』を『前記コーティング膜の組成が、炭素が７５モルパーセントであり水素が２５モルパーセントであることを特徴とする』と、段落【００１３】の『第２の発明によるコーティングフィルムは、第１の発明において』を『第１の発明のコーティングフィルムは』と、段落【００１４】の『この第２のコーティングフィルム』を『この第１の発明のコーティングフィルム』と、それぞれ訂正する。
　ｂ．段落【００１５】の『第３の発明によるコーティングフィルムの製造方法』を『第２の発明によるコーティングフィルムの製造方法』と、段落【００１６】の『第３の発明によるコーティングフィルムの製造方法』を『第２の発明によるコーティングフィルムの製造方法』と、段落【００１７】の『第４の発明によるコーティングフィルムの製造方法』を『第２の発明によるコーティングフィルムの製造方法』と、それぞれ訂正する。
　ｃ．段落【００１９】の『第４の発明によるコーティングフィルムの製造方法』を『第３の発明によるコーティングフィルムの製造方法』と、同じく『第３の発明の構成に加えて』を『第２の発明の構成に加えて』と、段落【００２０】の『第４の発明によるコーティングフィルムの製造方法』を『第３の発明によるコーティングフィルムの製造方法』と、同じく『第３の発明において』を『第２の発明において』と、それぞれ訂正する。
（５４）【発明の名称】
コーティングフィルムおよびその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　プラスチックフィルムの少なくとも一方の表面に、ダイヤモンド状炭素からなる硬質炭素膜によってコーティング膜が形成され、
　
前記コーティング膜の組成が、炭素が７５モルパーセントであり水素が２５モルパーセントであることを特徴とするコーティングフィルム。
　
【請求項２】
　
【請求項３】
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　この発明は、食品分野や医薬品分野等において使用される包装用フィルムおよびその製造方法に関する。
　【０００２】
　【発明が解決しようとする課題】
　一般に、食品や薬品等のような湿気や酸素による変質を防止したり異分子の収着を防止したりする必要のあるものを包装する包装材料には、アルミニウムを蒸着したフィルムが多く使用されている。
　【０００３】
　しかしながら、このアルミニウム蒸着フィルムは、蒸着されたアルミニウムによってフィルムが不透明になってしまうので、内容物が外から見えるようにしたい場合等には使用できず、包装材料としての用途が限定されてしまうという欠点を有している。
　【０００４】
　このため、透明な包装材料として、プラスチックフィルムに二酸化ケイ素等の無機酸化物をコーティングした包装用フィルムも提案されているが、この無機酸化物コーティングフィルムは、湿気や酸素等の透過を防止するガスバリア性において上記のアルミニウム蒸着フィルムよりも劣っており、しかも近年進められている包装材料のリサイクルを行うには、二酸化ケイ素が混入されてしまうので不向きである。
　【０００５】
　また、上記アルミニウム蒸着フィルムと無機酸化物コーティングフィルムの何れも、その使用の際に、フィルムに引張り力が作用して伸びが生じてしまったような場合には、そのガスバリア性が著しく低下してしまうという問題がある。
　【０００６】
　本願発明は、上記のような従来の食品や薬品等を包装する包装用フィルムが有している問題点を解決するためになされたものである。
　【０００７】
　すなわち、本願発明は、透明性を有しており、低分子有機化合物（香気成分）の収着を防止出来、さらに密着性，耐アルカリ性およびガスバリア性にも優れていてリサイクルが容易であり、かつフィルムに伸びが生じた場合であってもそのガスバリア性が損なわれる虞のない包装用のフィルムを提供することを第１の目的としている。
　【０００８】
　さらに、本願発明は、上記の包装用フィルムの製造を、フィルムに皺等を発生させることなく行うことができる製造方法を提供することを第２の目的とする。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】
　第１の発明によるコーティングフィルムは、プラスチックフィルムの少なくとも一方の表面に、ダイヤモンド状炭素からなる硬質炭素膜によってコーティング膜が形成され、
前記コーティング膜の組成が、炭素が７５モルパーセントであり水素が２５モルパーセントであることを特徴とする。
　【００１０】
　この第１の発明のコーティングフィルムは、プラスチックフィルムの少なくとも一方の表面にコーティングされた硬質炭素膜によって、プラスチックフィルムに対する酸素や二酸化炭素のような低分子無機ガスの透過度が著しく減少されてガスバリア性が向上し、さらに、臭いを有する各種の低分子有機化合物（香気成分）の収着が防止される。そして、この硬質炭素膜は、密着性および耐アルカリ性に優れ、さらに透明性を有しているのでコーティングによってプラスチックフィルムの有する透明性を損なうこともなく、伸びが生じたときのガスバリア性の低下もほとんど無い。
　【００１１】
　したがって、この第１の発明によるコーティングフィルムは、食品や薬品等の包装用のフィルムに最適であり、しかも硬質炭素膜の組成が炭素と水素であるので、リサイクルも容易である。
　【００１２】
　この第１の発明のコーティングフィルムは、上記組成を有することにより、特に、ガスバリア性，低分子有機化合物の収着防止性，密着性および耐アルカリ性を向上させることができるとともに、伸びが生じたときのガスバリア性の低下を防止することが出来る。
　【００１３】
　
第１の発明のコーティングフィルムは
　【００１４】
　この
第１の発明のコーティングフィルム
　【００１５】
　前記第２の目的を達成するために、
第２の発明によるコーティングフィルムの製造方法
　【００１６】
　この
第２の発明によるコーティングフィルムの製造方法
　【００１７】
　このプラズマ蒸着法によってプラスチックフィルムの表面に硬質炭素コーティング膜を形成する際には、硬質炭素コーティング膜が、分子力学上、引張り応力を有する分子と圧縮応力を有する分子との集合であり、その形成過程においてこれらの分子による引張り応力と圧縮応力の分布がプラスチックフィルムに結合する際のエネルギ状態等の諸条件によって多様に変化するため、応力分布にばらつきが生じ、これによって薄いプラスチックフィルムに不規則な細かい皺が形成される虞があり、またこの皺を伸ばそうとすると硬質炭素コーティング膜に亀裂が入る虞があるが、上記
第２の発明によるコーティングフィルムの製造方法
　【００１８】
　そして、この皺の発生の防止によって、硬質炭素コーティング膜の形成後にコーティングフィルムを引き延ばす必要もないので、形成された硬質炭素コーティング膜に亀裂を発生させる虞もない。
　【００１９】
　前記第２の目的を達成するために、
第３の発明によるコーティングフィルムの製造方法
第２の発明の構成に加えて
　【００２０】
　この
第３の発明によるコーティングフィルムの製造方法
第２の発明において
　【００２１】
　これによって、コーティングフィルムの製造工程において、硬質炭素コーティング膜の形成時に、硬質炭素コーティング膜に発生する圧縮応力とプラスチックフィルムの二軸方向にそれぞれ負荷される引張り力とを完全にバランスさせることができるので、硬質炭素コーティング膜に発生する圧縮応力によってプラスチックフィルムに細かい不規則な皺が発生するのが完全に防止される。
　【００２２】
　【発明の実施の形態】
　以下、この発明の最良と思われる実施の形態について図面を参照しながら説明する。
　【００２３】
　図１は、本願発明によるコーティングフィルムの一例を示す断面図であり、プラスチックフィルム１の片側の表面にダイアモンド状炭素からなる硬質炭素膜（以下、ＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ　Ｌｉｋｅ　Ｃａｒｂｏｎ）膜という）２が形成されている。
　【００２４】
　このダイアモンド状炭素からなる硬質炭素膜とは、ｉカーボンまたは水素化アモルファスカーボン（ａ−Ｃ：Ｈ）と呼ばれる硬質炭素により炭素間のＳＰ３結合を主体にして形成されたアモルファスな炭素膜のことを言い、非常に固く絶縁性に優れており、しかも高い屈折率を有する非常に滑らかなモルフォロジを有している。
　【００２５】
　基材であるプラスチックフィルム１を形成するプラスチック材としては、ポリエチレン樹脂，ポリプロピレン樹脂，ポリスチレン樹脂，シクロオレフィンコポリマ樹脂，ポリエチレンテレフタレート樹脂，ポリエチレンナフタレート樹脂，エチレン−ビニルアルコール共重合樹脂，ポリ−４−メチルペンテン−１樹脂，ポリメタクリル酸メチル樹脂，アクリロニトリル樹脂，ポリ塩化ビニル樹脂，ポリ塩化ビニリデン樹脂，アクリロニトリル・スチレン樹脂，アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂，ポリアミド樹脂，ポリアミドイミド樹脂，ポリアセタール樹脂，ポリカーボネート樹脂，ポリブチレンテレフタレート樹脂，アイオノマ樹脂，ポリスルホン樹脂および４フッ化エチレン樹脂などが挙げられる。
　【００２６】
　プラスチックフィルム１の表面にＤＬＣ膜２を形成するコーティング方法としては、減圧式のプラズマ蒸着法が挙げられる。
　【００２７】
　この減圧式のプラズマ蒸着法とは、真空室内に互に対向するように配置されて一方が高周波電源に接続され他方がアースされた一対の電極間に、コーティングを行なう基材のプラスチックフィルムを置き、真空室内を真空にして原料ガスを供給した後、一方の電極に高周波電源から電力を投入して一対の電極間にプラズマを発生させ、このプラズマ中に存在する炭素の原料ガスをイオン化してプラスチックフィルムの表面に衝突させるものである。そして、このプラスチックフィルムの表面に衝突した炭素イオンが、近接するもの同士で結合することによって、プラスチックフィルムの表面に極めて緻密なＤＬＣからなる硬質炭素膜を形成するものである。
　【００２８】
　原料ガスとしては、常温で気体または液体の脂肪族炭化水素類，芳香族炭化水素類，含酸素炭化水素類，含窒素炭化水素類などが使用される。特に、この原料ガスには、炭素数が６以上のベンゼン，トルエン，ｏ−キシレン，ｍ−キシレン，ｐ−キシレン，シクロヘキサン等が望ましい。
　【００２９】
　これらの原料は、単独で用いても良いが、２種以上のガスを混合して使用するようにしても良い。さらに、これらのガスをアルゴンやヘリウムの様な希ガスで希釈して用いるようにしても良い。
　【００３０】
　上記のような方法によって形成されたＤＬＣ膜によって、フィルムの酸素や二酸化炭素のような低分子無機ガスに対する透過度を著しく減少させることが出来るだけでなく、臭いを有する各種の低分子有機化合物の収着を防止することが出来る。また、このＤＬＣ膜の形成によって、プラスチックフィルムの有する透明性が損なわれることもない。
　【００３１】
　なお、ＤＬＣ膜の膜厚および膜質は、高周波の出力，真空室内の原料ガスの圧力，供給ガス流量，プラズマ発生時間，電極に発生する自己バイアスおよび原料ガスの種類等に依存し、高周波出力の増加，真空室内の原料ガスの圧力減少，供給ガスの流量減少，自己バイアスの増加および原料の炭素数の低下等は、何れもＤＬＣ膜の硬化，緻密さの向上，圧縮応力の増大および脆さに大きな影響を与える。
　【００３２】
　また、ＤＬＣ膜とプラスチックフィルムとの密着性をさらに向上させるために、ＤＬＣ膜を形成する前に、アルゴンや酸素などの無機ガスによってプラズマ処理を行い、プラスチックフィルムの表面を活性化させるようにするのが好ましい。
　【００３３】
　この減圧式プラズマ蒸着法によって薄いプラスチックフィルムにＤＬＣ膜を形成する際には、真空室内において一対の電極間に置かれた基材のプラスチックフィルムの二軸方向に、このプラスチックフィルムに形成されるＤＬＣ膜にその製膜時に発生する圧縮応力に相当する引張り力を負荷した状態で、プラズマ蒸着を行う。
　【００３４】
　図２および３は、上記のようにプラズマ蒸着を行うプラスチックフィルムに、その二軸方向に引張り力を負荷する方法の一例を示すものであって、真空室内に設けられたカソード電極１０上に置かれた基材である方形のプラスチックフィルム１の四辺に、それぞれフィルムの縁部に沿って剛性を有する耐熱テープＴ１〜Ｔ４が張り付けられ、この各耐熱テープＴ１〜Ｔ４の中央部にそれぞれ耐熱テープＴ１’〜Ｔ４’がその一端部を連結されている。
　【００３５】
　各耐熱テープＴ１’〜Ｔ４’はそれぞれ耐熱テープＴ１〜Ｔ４に対して直角に外方に延びるように配置されていて、他端部がカソード電極１０を支持する絶縁板１１の縁から下方に垂れ下げられており、この垂れ下げられた各耐熱テープＴ１’〜Ｔ４’の他端部に鉛直下向きに所要の荷重が負荷されるようになっている。
　【００３６】
　この各耐熱テープＴ１’〜Ｔ４’への荷重の負荷は、ばねを連結したりまたは図示のように分銅Ｗを吊り下げたりする等の方法によって行うことができ、ばねの引張り力を可変にしたり分銅Ｗを交換したりすることによって、負荷の大きさを任意に設定することができる。
　【００３７】
　このように、プラスチックフィルム１にその二軸方向に引張り力を負荷した状態でＤＬＣ膜の形成を行うのは、プラズマ蒸着法によって形成されるＤＬＣ膜は、図４に示されるように、分子力学上、圧縮応力を有する分子ｍ１と引張り応力を有する分子ｍ２の結合であって、このＤＬＣ膜の形成過程においては、分子ｍ１による圧縮応力と分子ｍ２による引張り応力との分布が、これらの分子が加速されて基材であるプラスチックフィルム１に結合する際のエネルギ状態や真空室内の条件によって多様に変化するので、無負荷状態のプラスチックフィルム１にＤＬＣ膜を形成する場合には、上記のような形成中のＤＬＣ膜における応力分布のばらつきによって、プラスチックフィルム１に不規則な細かい皺が生じてしまうからである。
　【００３８】
　そして、ＤＬＣ膜の形成後に、このＤＬＣ膜に出来た皺を延ばそうとすると、ＤＬＣ膜に亀裂が入ってそのガスバリア性等が損なわれる虞があるためである。
　【００３９】
　上記のように、ＤＬＣ膜の形成過程においてプラスチックフィルム１に引張り力を負荷しておいて、ＤＬＣ膜に発生する圧縮応力とバランスさせるようにすることにより、プラスチックフィルム１に不規則な細かい皺が発生するのが防止される。
　【００４０】
　なお、ＤＬＣ膜の形成が終わると、分子ｍ１とｍ２の二種類の応力が合成されて応力分布のばらつきが無くなるため、細かい皺がプラスチックフィルム１に発生することはない。
　【００４１】
　ＤＬＣ膜の形成過程においてプラスチックフィルム１に負荷される引張り力の設定は、皺が形成される虞が無い十分な厚さを有する基板の一方の面に、無負荷状態において、プラズマ蒸着法によってプラスチックフィルム１に形成するＤＬＣ膜と同じ厚さのＤＬＣ膜を形成し、このＤＬＣ膜に発生する圧縮応力を予め求めておくことによって行われる。
　【００４２】
　すなわち、所要の厚さを有する基板に無負荷状態でＤＬＣ膜を形成してゆくと、このＤＬＣ膜に発生する圧縮応力によって基板がカールするため、このカールした基板の曲率半径を測定して、下記の式からＤＬＣ膜に発生した圧縮応力を算出し、この算出された圧縮応力と等しい大きさになるように引張り力を設定する。
　【００４３】
　　Ｓ＝｛Ｅｓ・Ｄ２／６（１−νＳ）｝・（１／Ｒ）
　　　　　Ｓ　：圧縮応力
　　　　　Ｅｓ：基板のヤング率
　　　　　νＳ：基板のポアソン比
　　　　　Ｄ　：基板の厚み
　　　　　Ｒ　：ＤＬＣ膜の形成によってカールした基板の曲率半径
　減圧式のプラズマ蒸着法において、高周波出力を１３．５６ＭＨＺとし、真空室内に０．１ｔｏｒｒのヘキサンとアルゴンの混合蒸気を加えてプラスチックフィルム１に蒸着したものをラマン分光法によって評価することにより、プラスチックフィルム１の表面に形成された膜がＤＬＣ膜であることを確認することができる。
　【００４４】
　図５は、上記条件のもとで、原料ガスの組成を変えてＤＬＣ膜を形成したコーティングフィルムについて、ＤＬＣ膜の密度（比重）および膜厚を測定した値を示したものである。
　【００４５】
　図６は、図５の各コーティングフィルムについて密着性および耐アルカリ性を示したものである。この図６において、密着性１とは、コーティングフィルム上に描かれた１００の桝目について剥離が生じていない桝目の数を示したものである。
　【００４６】
　図７は、図５の各コーティングフィルムについて低分子有機化合物（香気成分）の収着性を示したものである。この図７において、実験Ｎｏ．７は、コーティングを施していない厚さ２５ミクロンのプラスチックフィルムの収着性を示している。
　【００４７】
　図８は、図５の各コーティングフィルムについてガス透過係数（ガスバリア性）と、各フィルムに４パーセントの伸びを与えたときのガス透過係数の増加率を示している。
　【００４８】
　この図８において、実験Ｎｏ．１−Ａ〜７−Ａが、実験Ｎｏ．１ないし７の各コーティングフィルムにそれぞれ４パーセントの伸びを与えたときのガス透過率を示す値である。そして、括弧内の数値は、それぞれのガス透過係数の増加率（ガスバリア性の変動率）、すなわち伸びが生じた時のガス透過係数を伸びが生じていない時のガス透過係数で除した値を示している。
　【００４９】
　この値が１．００に近いほどガスバリア性に変動がないことを示しており、値が１．０〜１．５の場合にはほとんど変化しないと判断（◎）され、１．５〜２．０の場合には多少変化すると判断（○）され、２．０以上の場合には変化が激しいと判断（×）される。
　【００５０】
　上記各図における評価は、それぞれ以下の方法により行なわれている。
　【００５１】
（１）ＤＬＣ膜を構成する炭素と水素のモル組成比
　ＲＢＳ測定法およびＥＲＤＡ測定法（Ｊ．Ｃｒａｎｋ，”Ｔｈｅ　Ｍａｔｈｅｍａｔｉｃｓ　ｏｆ　Ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ”，Ｃｌａｒｅｄｏｎ　Ｐｒｅｓｓ（１９５６）の方法）により測定した。
　【００５２】
（２）ＤＬＣの膜厚
　予めプラスチックフィルムの表面にマジックインキ等でマスキングを行って、ＤＬＣを被覆した後、ジエチルエーテル等でマスキングを除去し、Ｖｅｃｃｏ社製、表面形状測定器ＤＥＣＴＡＣＫ３によって膜厚を測定した。
　【００５３】
（３）ＤＬＣの密度
　成膜前と成膜後の重量差を測定し、（２）で求めた膜厚から密度を算出した。
　【００５４】
（４）密着性１
　プラスチックフィルムのコーティング面について、ＪＩＳＫ５４００の基盤目テープ法に準じて、以下の条件で行った。
　【００５５】
　　・切り傷のすきま間隔：１ｍｍ
　　・ます目の数　　　　：１００
（５）密着性２
　容器の側壁部について、新東科学製、連続加重式引掻試験機ＨＥＩＤＯＮ２２を使用して、以下の条件で行った。密着の程度は、膜が剥がれ始めたときの引掻針にかかる垂直加重で表した。
　【００５６】
　　・引掻針の素材、形状：ダイヤ、５０μＲ
　　・加重速度　　　　　：１００ｇ／ｍｉｎ
　　・テーブル速度　　　：１０００ｍｍ／ｍｉｎ
（６）耐アルカリ性
　水酸化ナトリウムを１０ｗｔ％となるように添加したアルカリ溶液中にＤＬＣを片面コーティングしたフィルムを入れ、７５℃の湯浴中に２４時間浸漬し、ＤＬＣの形状変化、剥離の有無を確認した。結果は２４時間以上の浸漬で変化のないものを優（◎）、１２時間以上の浸漬で変化のないものを良（○）として表示した。
　【００５７】
（７）低分子有機化合物（香気成分）の収着性
　環境材の一種として臭いを有する低分子有機化合物（香気成分）を使用し、松井らの方法（Ｊ．Ａｇｒｉｃ．Ｆｏｏｄ．Ｃｈｅｍ．，１９９２，４０，１９０２−１９０５）を参考にして試験を行った。
　【００５８】
　手順は以下の通りである。
　【００５９】
　・各種香気成分（オクタン、オクタナール、オクタノール、エチルヘキサノエート、ｄ−リモネン）をそれぞれ１００ｐｐｍ添加した０．３％シュガーエステル溶液を作り、モデルフレーバ溶液とする。
　【００６０】
　・この５０ｍｌのモデルフレーバ溶液中にフィルムの両面にＤＬＣをコーティングしたサンプルを入れて、蓋をした後、２０℃で１カ月間保管する。
　【００６１】
　・１カ月後、モデルフレーバ溶液を廃棄し、６０℃の蒸留水でサンプルを洗浄した後、乾燥させる。
　【００６２】
　・５０ｍｌのジエチルエーテル中にサンプルを入れ、サンプルに収着した香気成分を抽出する。
　【００６３】
　・ジエチルエーテルからサンプルを取り出し、無水硫酸ナトリウムを添加して脱水する。
　【００６４】
　・アミルベンゼンを内標準としてガスクロマトグラフによって定量分析を行う。結果は、１ｐｐｍの香気成分が存在する水溶液中にフィルムを漬けた場合のフィルムに収着する香気成分の量をμｇで表示する。従って、単位はμｇ／ｐｐｍ／ｃｍ３となる。
　【００６５】
（８）酸素ガス透過係数および二酸化炭素ガス透過係数
　高真空法気体透過測定装置を用いて測定した。
　【００６６】
　図６の結果から分かるように、実験Ｎｏ．１〜６の何れのコーティングフィルムも、ＤＬＣの密着性および耐アルカリ性については問題がなく、特に実験Ｎｏ．１のコーティングフィルム（炭素の組成が９０ｍｏｌ％，水素の組成が１０ｍｏｌ％）および実験Ｎｏ．２のコーティングフィルム（炭素の組成が７５ｍｏｌ％，水素の組成が２５ｍｏｌ％）の耐アルカリ性が優れている。
　【００６７】
　また、図７の結果から分るように、低分子有機化合物（香気成分）の収着性については、実験Ｎｏ．１〜６の何れのコーティングフィルムも、実験Ｎｏ．７のコーティングを施していないフィルムに比べて各段に低下しており、特に実験Ｎｏ．２のコーティングフィルム（炭素の組成が７５ｍｏｌ％，水素の組成が２５ｍｏｌ％）は、全く収着性を有していない。
　【００６８】
　さらに、図８から分るように、実験Ｎｏ．１のコーティングフィルムは伸びが生じた場合に著しくそのガスバリア性が低下するが、実験Ｎｏ．２ないし６のコーティングフィルムは、伸びが生じてもそのガスバリア性がほとんど低下しない。
　【００６９】
　以上の結果から、実験Ｎｏ．２ないし６のコーティングフィルム（炭素の組成が７５〜５５ｍｏｌ％，水素の組成が２５〜４５ｍｏｌ％）は、低分子有機化合物（香気成分）の収着性が低く、密着性，耐アルカリ性およびガスバリアー性にも優れていて、しかも伸びが生じたときのガスバリアー性の低下もほとんど無いので、食品や薬品等の包装に適していることが判明した。
　【００７０】
　特に、実験Ｎｏ．２のコーティングフィルム（炭素の組成が７５ｍｏｌ％，水素の組成が２５ｍｏｌ％）は、全く収着性を有していないので、食品や薬品等の包装に最も適していると言える。
　【００７１】
　そして、ＤＬＣ膜を形成したコーティングフィルムは、その透明性が損なわれることがなく、しかもその成分が炭素と水素なので、包装材のリサイクルの際に障害となる虞がない。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　この発明によるコーティングフィルムの一例を示す側断面図である。
　【図２】
　この発明によるコーティングフィルムの製造方法の一例を示す平面図である。
　【図３】
　同コーティングフィルムの製造方法を示す概略斜視図である。
　【図４】
　プラズマ蒸着法によるＤＬＣ膜の形成状態を示す説明図である。
　【図５】
　同例におけるＤＬＣ膜の組成とそれぞれのＤＬＣ膜の比重および膜厚を示す表示である。
　【図６】
　図５のＤＬＣ膜の密着性および耐アルカリ性を示す表である。
　【図７】
　図５のＤＬＣ膜の低分子有機化合物の収着試験の結果を示す表である。
　【図８】
　図５の硬質炭素膜のガス透過係数およびフィルムに伸びが生じたときのガス透過係数の増加率を示す表である。
　【符号の説明】
　１　…プラスチックフィルム
　２　…ＤＬＣ膜（コーティング膜）
　１０…カソード電極
　Ｔ１〜Ｔ４　　…耐熱テープ
　Ｔ１‘〜Ｔ４’…耐熱テープ
　Ｗ　…分銅