【誤訳訂正書】
【提出日】平成27年7月2日(2015.7.2)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマ処理チャンバ内で用いられ、前記プラズマチャンバ内の部品を取り付けるために用いられたときに寄生プラズマ形成を防止する留め具アセンブリであって、前記留め具アセンブリは、
軸方向に延びる中央貫通穴と、ネジ切り外面と、前記貫通穴の最上部のツール係合ソケットとを備えた管状の本体を有するボルトであって、前記ソケットは、ネジ切り穴に前記ボルトを挿入する際に前記ボルトを回転させるために用いられるツールと係合するよう構成される、ボルトと、
前記貫通穴の長さよりも長く延びるシャフトを有するピンであって、前記貫通穴の上側部分が埋められていない下位置から、前記ピンの上面が前記ボルトの上面と同一平面になる上位置まで、移動可能であるピンと、
前記上位置で前記ピンを付勢するバネと、
を備える、留め具アセンブリ。
【請求項２】
請求項１に記載の留め具アセンブリであって、前記ボルトはフランジを備え、前記ボルトの前記上面は、前記フランジの外周から内向きに広がる、留め具アセンブリ。
【請求項３】
請求項１に記載の留め具アセンブリであって、前記ピンは、前記ピンが前記上位置にあるときに前記ボルトの軸端と係合するリムを備える、留め具アセンブリ。
【請求項４】
請求項１に記載の留め具アセンブリであって、前記バネは、前記ピンの下側部分を囲むらせんバネであり、前記ピンの前記下側部分の長さよりも長い長さを有し、前記ピンは、前記バネの少なくとも１つの巻きと係合する保持リングと、前記バネが圧縮されたときに前記バネの上端と係合する停止部とを備える、留め具アセンブリ。
【請求項５】
請求項１に記載の留め具アセンブリであって、前記ピンおよびボルトはアルミニウムで形成されており、前記ボルトおよびピンの前記各上面は陽極酸化された面である、留め具アセンブリ。
【請求項６】
請求項１に記載の留め具アセンブリであって、前記ボルトは、０．３８インチの外径および０．０８インチの長さを有する上部フランジと、０．２４インチの直径および０．３５インチの長さを有し前記フランジから延びる非ネジ切り部分と、Ｍ６×１のＩＳＯネジ山および０．３７インチの長さを有し前記非ネジ切り部分から延びるネジ切り部分と、０．１９インチの長さを有し前記上面から延びる六角ソケットを含む前記ツール係合ソケットと、を備える、留め具アセンブリ。
【請求項７】
請求項１に記載の留め具アセンブリであって、前記ピンは、７つの部分を備え、前記７つの部分は、０．１１インチの直径および０．２１インチの長さを有し前記上面から延びる第１の部分と、０．１４インチの直径および０．５６インチの長さを有し前記第１の部分から延びる第２の部分と、０．１２インチの直径および０．０３インチの長さを有し前記第２の部分から延びる第３の部分と、０．１９インチの直径および０．１インチの長さを有し前記第３の部分から延びる第４の部分と、０．１３インチの直径および０．０５インチの長さを有し前記第４の部分から延びる第５の部分と、０．１５インチの直径および０．０２５インチの長さを有し前記第５の部分から延びる第６の部分と、０．１３インチの直径および０．６８インチの長さを有し前記第６の部分から延びる第７の部分と、を含む、留め具アセンブリ。
【請求項８】
請求項１に記載の留め具アセンブリによって共に取り付けられたプラズマチャンバのボルト留めアセンブリであって、
段付き穴を有する上側部品と、
上側ネジ切り部分および下側非ネジ切り部分を備えた止まり穴を有する下側部品と、
前記段付き穴の上側部分に収容されたフランジ、前記段付き穴の下側部分に収容された非ネジ切り部分、および、前記止まり穴のネジ切り上側部分と係合されたネジ切り部分を有する前記ボルトと、
前記ピンの下側部分を囲み、前記止まり穴の前記下側部分に収容され、前記ピンの停止部に当たって圧縮され、前記ピンが前記上位置にあるときに前記ボルトの軸端に向かって前記ピンのリムを押しつける前記バネと、
を備える、ボルト留めアセンブリ。
【請求項９】
請求項８に記載のボルト留めアセンブリであって、前記ソケットは六角ソケットであり、前記上側および下側部品は、基板のプラズマ処理中に前記基板を支持する下側電極アセンブリのアルミニウムプレートである、ボルト留めアセンブリ。
【請求項１０】
請求項８に記載のボルト留めアセンブリであって、前記上側部品は、複数の段付き穴を有する被覆リングを含み、各段付き穴の上側部分は、前記ボルトの前記上面および前記ピンの前記上面が前記被覆リングの上面と同一平面になるように、前記ボルトのフランジを収容する、ボルト留めアセンブリ。
【請求項１１】
請求項８に記載のボルト留めアセンブリの組み立て方法であって、
前記ピンの下端に前記バネを配置する工程と、
前記ボルトの前記貫通穴に前記ピンの上端を挿入する工程と、
前記ボルトを挿入する工程であって、前記ボルトの中にはめた前記ピンと共に前記上側部品の前記段付き穴に、そして、前記ピンの前記下端の前記バネと共に前記下側部品の前記止まり穴に、前記ボルトを挿入する工程と、
前記ボルトの前記ソケットと係合するツールで前記ピンを押し下げ、前記ボルトの前記上面が前記上側部品の上面と同一平面になるまで前記ボルトを回転させる工程と、
前記ツールを除去し、前記バネが前記ピンを前記上位置に押して、前記ピンの前記上面が前記ボルトの前記上面と同一平面になるようにする工程と、
を備える、方法。
【請求項１２】
請求項８に記載のボルト留めアセンブリの分解方法であって、
前記ボルトの前記ソケットと係合するツールで前記ピンを押し下げ、前記ボルトのねじ山が前記止まり穴のねじ山から外れるまで前記ツールで前記ボルトを回転させる工程を備える、方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
好ましい実施形態において、ボルト１００は、アルミニウムから形成されてよい。穴１１０の底部から上方に約０．５７インチ延びる内面１１４ｂ、ボルト１００の底面１００ｂ、側壁１２０の下側部分１２４の外面、円筒体１２２ｂの外面、および、上部フランジ１２２ａの底面は、陽極酸化されていない（裸アルミニウム）。ボルト１００のすべての他の面は、約０．００２インチの厚さに陽極酸化されてよい。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２５】
留め具アセンブリ、ならびに、ボルトおよびピンを含むその構成要素について、本発明の具体的な実施形態を参照しつつ詳細に説明したが、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく、様々な変更および変形を行い、等価物を用いることが可能であることは、当業者にとって明らかである。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例１：
プラズマ処理チャンバ内で用いられ、前記プラズマチャンバ内の部品を取り付けるために用いられたときに寄生プラズマ形成を防止する留め具アセンブリであって、前記留め具アセンブリは、
軸方向に伸びる中央貫通穴と、ネジ切り外面と、前記貫通穴の最上部のツール係合ソケットとを備えた管状の本体を有するボルトであって、前記ソケットは、ネジ切り穴に前記ボルトを挿入する際に前記ボルトを回転させるために用いられるツールと係合するよう構成される、ボルトと、
前記貫通穴の長さよりも長く伸びるシャフトを有するピンであって、前記貫通穴の上側部分が埋められていない下位置から、前記ピンの上面が前記ボルトの上面と同一平面になる上位置まで、移動可能であるピンと、
前記上位置で前記ピンを付勢するバネと、
を備える、留め具アセンブリ。
適用例２：
適用例１の留め具アセンブリであって、前記ボルトはフランジを備え、前記ボルトの前記上面は、前記フランジの外周から内向きに広がる、留め具アセンブリ。
適用例３：
適用例１の留め具アセンブリであって、前記ピンは、前記ピンが前記上位置にあるときに前記ボルトの軸端と係合するリムを備える、留め具アセンブリ。
適用例４：
適用例１の留め具アセンブリであって、前記バネは、前記ピンの下側部分を囲むらせんバネであり、前記ピンの前記下側部分の長さよりも長い長さを有し、前記ピンは、前記バネの少なくとも１つの巻きと係合する保持リングと、前記バネが圧縮されたときに前記バネの上端と係合する停止部とを備える、留め具アセンブリ。
適用例５：
適用例１の留め具アセンブリであって、前記ピンおよびボルトはアルミニウムで形成されており、前記ボルトおよびピンの前記各上面は陽極酸化された面である、留め具アセンブリ。
適用例６：
適用例１の留め具アセンブリであって、前記ボルトは、０．３８インチの外径および０．０８インチの長さを有する上部フランジと、０．２４インチの直径および０．３５インチの長さを有し前記フランジから伸びる非ネジ切り部分と、Ｍ６×１のＩＳＯネジ山および０．３７インチの長さを有し前記非ネジ切り部分から伸びるネジ切り部分と、０．１９インチの長さを有し前記上面から伸びる六角ソケットを含む前記ツール係合ソケットと、を備える、留め具アセンブリ。
適用例７：
適用例１の留め具アセンブリであって、前記ピンは、７つの部分を備え、前記７つの部分は、０．１１インチの直径および０．２１インチの長さを有し前記上面から伸びる第１の部分と、０．１４インチの直径および０．５６インチの長さを有し前記第１の部分から伸びる第２の部分と、０．１２インチの直径および０．０３インチの長さを有し前記第２の部分から伸びる第３の部分と、０．１９インチの直径および０．１インチの長さを有し前記第３の部分から伸びる第４の部分と、０．１３インチの直径および０．０５インチの長さを有し前記第４の部分から伸びる第５の部分と、０．１５インチの直径および０．０２５インチの長さを有し前記第５の部分から伸びる第６の部分と、０．１３インチの直径および０．６８インチの長さを有し前記第６の部分から伸びる第７の部分と、を含む、留め具アセンブリ。
適用例８：
適用例１の留め具アセンブリによって共に取り付けられたプラズマチャンバのボルト留めアセンブリであって、
段付き穴を有する上側部品と、
上側ネジ切り部分および下側非ネジ切り部分を備えた止まり穴を有する下側部品と、
前記段付き穴の上側部分に収容されたフランジ、前記段付き穴の下側部分に収容された非ネジ切り部分、および、前記止まり穴のネジ切り上側部分と係合されたネジ切り部分を有する前記ボルトと、
前記ピンの下側部分を囲み、前記止まり穴の前記下側部分に収容され、前記ピンの停止部に当たって圧縮され、前記ピンが前記上位置にあるときに前記ボルトの軸端に向かって前記ピンのリムを押しつける前記バネと、
を備える、ボルト留めアセンブリ。
適用例９：
適用例８のボルト留めアセンブリであって、前記ソケットは六角ソケットであり、前記上側および下側部品は、基板のプラズマ処理中に前記基板を支持する下側電極アセンブリのアルミニウムプレートである、ボルト留めアセンブリ。
適用例１０：
適用例８のボルト留めアセンブリであって、前記上側部品は、複数の段付き穴を有する被覆リングを含み、各段付き穴の上側部分は、前記ボルトの前記上面および前記ピンの前記上面が前記被覆リングの上面と同一平面になるように、前記ボルトのフランジを収容する、ボルト留めアセンブリ。
適用例１１：
適用例８のボルト留めアセンブリの組み立て方法であって、
前記ピンの下端に前記バネを配置する工程と、
前記ボルトの前記貫通穴に前記ピンの上端を挿入する工程と、
前記ボルトを挿入する工程であって、前記ボルトの中にはめた前記ピンと共に前記上側部品の前記段付き穴に、そして、前記ピンの前記下端の前記バネと共に前記下側部品の前記止まり穴に、前記ボルトを挿入する工程と、
前記ボルトの前記ソケットと係合するツールで前記ピンを押し下げ、前記ボルトの前記上面が前記上側部品の上面と同一平面になるまで前記ボルトを回転させる工程と、
前記ツールを除去し、前記バネが前記ピンを前記上位置に押して、前記ピンの前記上面が前記ボルトの前記上面と同一平面になるようにする工程と、
を備える、方法。
適用例１２：
適用例８のボルト留めアセンブリの分解方法であって、
前記ボルトの前記ソケットと係合するツールで前記ピンを押し下げ、前記ボルトのねじ山が前記止まり穴のねじ山から外れるまで前記ツールで前記ボルトを回転させる工程を備える、方法。