【事件の表示】
　平成３年特許願第１３０９１９号「半導体装置のバンプ電極形成方法」拒絶査定に対する審判事件［平成４年１２月１０日出願公開、特開平４−３５６９３５］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
 １．本願発明
　本願は、平成３年６月３日の出願であって、その請求項１〜３に係る発明は、平成12年２月17日付け手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】半導体装置の電極パッド上にバンプ電極を形成した後、前記バンプ電極を押圧する押圧面が、前記バンプ電極の台座部を形成するための第１の押圧面と、前記バンプ電極の頂上部を形成するための第２の押圧面からなるバンプ電極整形治具を前記バンプ電極に押圧することにより、前記台座部と前記頂上部を備えた２段突起形状のバンプ電極を形成することを特徴とする半導体装置のバンプ電極形成方法。
　【請求項２】バンプ電極の材質がＡｕからなることを特徴とする請求項１記載の半導体装置のバンプ電極形成方法。
　【請求項３】整形前のバンプ電極がマッシュルーム状の１段突起形状であることを特徴とする請求項１または２記載の半導体装置のバンプ電極形成方法。」（以下、「本願発明１」〜「本願発明３」という。）
 ２．引用例
　当審において平成11年12月１日付けで通知した拒絶理由において引用した刊行物、即ち、
　 刊行物１：特開平2-163950号公報
　 刊行物２：特開昭63-275127号公報
　 刊行物３：特開昭63-188948号公報
は、いずれも本願出願前に日本国内において頒布された刊行物であり、そこには、それぞれ、下記の事項が記載されている。
〈刊行物１〉
　イ．半導体装置の電極パッド上に形成するバンプ電極を、台座部と頂上部を備えた２段突起形状のものとすること、及び、これにより導電性接着剤の拡がりが規制できること。上記バンプ電極の材質をＡuとすること。（特許請求の範囲(1)，(2)，３頁左上欄20行〜同頁右上欄5行，第１〜２図）
〈刊行物２〉
　ロ．半導体装置の電極パッド上に形成するバンプ電極を、台座部と頂上部を備えた２段突起形状のものとすること、及び、これにより導電性接着剤の拡がりが規制できること。上記バンプ電極の材質をＡuとすること。（特許請求の範囲(1)，(2)，２頁左上欄17行〜同頁右上欄4行，第１〜２図）
〈刊行物３〉
　ハ．銅ワイヤを被接合材に接合・切断して製したバンプ電極の表面形状を球形又はなだらかな凸面とするために、凹面を有した加工ツールで加圧成形すること。（特許請求の範囲(1)，第１図）
 ３．対比・判断
　先ず、本願発明１を刊行物１ないし２に記載のもの（前記イ，ロ参照）と対比すると、前者と後二者は、いずれも、
　半導体装置の電極パッド上に台座部と頂上部を備えた２段突起形状のバンプ電極を形成する技術、
である点で共通し、次の点で相違する。
　本願発明１では、上記バンプ電極の２段突起形状を、半導体装置の電極パッド上にバンプ電極を形成後、該バンプ電極を台座部を形成するための第１の押圧面と頂上部を形成するための第２の押圧面を有するバンプ電極整形治具で押圧することにより形成する、のに対し、刊行物１ないし２には、該２段突起形状の形成方法ないし形成手段について記載されていない点。
　そこで、この相違点について検討すると、前記イ、ロにみるように、刊行物１ないし２に、半導体電極パッド上に設けるバンプ電極として、台座部と頂上部を備えた２段突起形状のバンプ電極が有用であることが示されている以上、当業者には、バンプ電極をかかる形状に形成する手段を探す動機が存在するものというべきところ、刊行物３には、前記ハにみるように、銅ワイヤを被接合材に接合・切断して形成したバンプ電極の表面形状を球形又はなだらかな凸面とするために、凹面を有した加工ツール（即ち、本願発明１でいう「整形治具」に相当。以下、「整形治具」という。）で加圧（即ち、本願発明１でいう「押圧」に相当。以下、「押圧」という。）成形することが記載されている。そして、ここでの押圧成形は、その適用対象及び適用の態様が、銅ワイヤを被接合材に接合・切断して形成したバンプ電極に対し、それを球形又はなだらかな凸面の表面形状のものにする場合に特定されてはいるが、しかし、かかる特定は、安価な銅に依りつつ、接合を簡便且つ安定なものにしようとの刊行物３の発明の目的との関係で生じているものに過ぎず、そこで用いられたバンプ電極を整形治具により押圧成形するという手法自体は、ひとり上記銅ワイヤから形成したもの等の特定の対象・態様においてのみその成形技術としての有効性が限られる訳のものではなく、例えばＡu等の他の金属種やワイヤ以外の出発形状のものに対しても、又、球形或いはなだらかな凸面より以外の形状を目的とする場合においても広く有効であり得ることは、一般に、整形治具による押圧成形が金属に対する成形加工における常套手段の一であることからみても明らかなことである。従って、刊行物３に記載の技術において利用されている成形技術を、バンプ電極の外形の所定形状への成形を該所定形状に対応する押圧面を有する整形治具により行うという技術手法、として把握することは当業者にとって直ちになし得ることというべきである。しかるに、所望する上記所定形状が台座部と頂上部を備えた２段突起形状であるとき、該形状に対応する押圧面を有する整形治具としては、一般に広く知られた金型の知識からしても、これら台座部と頂上部に対応する各押圧面を備えた凹部を有する整形治具が構想され得ることは、当業者にとって極く自然な帰結に過ぎない。
　それにまた、本願発明１において、バンプ電極の成形に、かかる台座部と頂上部に対応する各押圧面を備えた凹部を有する整形治具を用いたことによる効果としては、かかる形状の整形治具によれば上記２段突起形状のバンプ電極が形成されるという、当該整形治具の形状からみて極く当然に予測される効果のほかは、本願明細書及び図面の全記載に徴しても、形成されたバンプ電極の２段突起形状に基づく接合層の拡がり防止等、既に刊行物１ないし２に記載された効果が認められるに止まる。
　以上のことからすれば、刊行物１ないし２に記載された如き２段突起形状のバンプ電極を形成する手段として、該２段突起形状の台座部と頂上部に対応する押圧面を備えた凹部を有する整形治具により押圧するという手法を採用して本願発明１のごとく構成することは、上記の如く、該２段突起形状のバンプ電極を形成する手段を得んとの刊行物１ないし２の記載から認め得る動機の下で、刊行物３に記載の技術から把握される上記技術手法を応用することにより当業者が容易に想到し得た程度のことと認めるのが相当である。
　これに対し、意見書における出願人の反論は、刊行物１ないし２により、既に、台座部と頂上部を備えた２段突起形状のバンプ電極が公知であり、従って又、当業者が、バンプ電極をかかる２段突起形状のものに形成すべき手段を探す動機を有する、という前提的事情が存在することに何ら考慮を払わず、専ら刊行物３に記載されたもののみから本願発明１が導き出せるか否かを論じようとするものであり、しかも、その議論も、専ら、刊行物３に記載された具体的技術そのものとの比較を内容とするもので、上記の如く、当業者であれば、刊行物３に記載された技術の中から直ちに把握し得べき、バンプ電極の外形の所定形状への成形を、該所定形状に対応する押圧面を有する整形治具により行うという技術手法、を何ら顧慮しないものであるから、採用することができない。
 ４．むすび
　以上のとおりであるから、本願発明１は、引用例１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第29条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願は、本願発明２及び３についてさらに検討するまでもなく、拒絶をすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。