【事件の表示】
　平成　４年特許願第　１６５８９号「マーク検知装置、及びその検知装置を備えた露光装置、及びその露光装置により製造されたデバイス、並びにマーク検知方法、及びその検知方法を含む露光方法、及びその露光方法を含むデバイス製造方法」において、平成１１年９月２２日付けでした手続補正に対してされた補正の却下の決定に対する審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原決定を取り消す。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本願は、平成４年１月３１日の出願であって、その後、平成１１年９月２２日付けで明細書を補正する手続補正がなされたが、この補正は、平成１３年２月２８日付けで決定をもって却下された。
２．原決定の理由
　補正後の明細書の請求項8及び39に係る発明について、補正後の明細書【0013】及び【0058】段落には、「物体上のマークを、共通の対物光学系を介して異なる検知方式(LIA、FIA)で検知するに際して、照明された該物体から発生するビームを該対物光学系の該物体側とは反対側の直後で第1検知系と第2検知系とに分割することとしたので、検知系の兼用部分を最小限とすることができる。検知系を調整する際には、それぞれ専用の検知系の方が兼用の検知系よりも大部分を占める方が、検知系を調整しやすいため、本発明によれば各検知系の調整が容易となるという利点がある。」と記載されているが、願書に最初に添付した明細書又は図面(以下、「当初明細書」という)には、当該事項は記載されておらず、また同明細書の記載からみて自明のこととも認められない。
　補正後の明細書の請求項23及び49に係る発明について、補正後の明細書【0013】及び【0058】段落には、「一方の検知方式(FIA)による検知動作後に、他方の検知方式(LIA)による検知動作を行うこととしたので、検知期間が重なることが無く、一方の検知方式での検知動作時に他方の検知方式で使用する検知ビームが悪影響を与える恐れが無い。またシチュエーション(一方の検知系で検知する場合、或いは他方の検知方式で検知する場合)に応じて、例えば一方の検知光路中に種々の光学部材を配置することにより、該シチュエーションに応じた最適な検知光学系となるように、検知光学系の構成を変更することもできる。」と記載されているが、当初明細書には、当該事項は記載されておらず、また同明細書の記載からみて自明のこととも認められない。
　したがって、この補正は、明細書の要旨を変更するものと認められ、特許法第53条第1項の規定により、上記結論の通り決定する。
３．当審の判断
３．１　
　「物体上のマークを、共通の対物光学系を介して異なる検知方式(LIA、FIA)で検知するに際して、照明された該物体から発生するビームを該対物光学系の該物体側とは反対側の直後で第1検知系と第2検知系とに分割することとしたので、検知系の兼用部分を最小限とすることができる。検知系を調整する際には、それぞれ専用の検知系の方が兼用の検知系よりも大部分を占める方が、検知系を調整しやすいため、本発明によれば各検知系の調整が容易となるという利点がある。」（以下「補正１」という。）について。
３．１．１
　願書に最初に添付した明細書（以下、「当初明細書」という。）【0013】段落には、「本発明においては…検出原理の異なる2つ以上のアライメント受光系」との記載され、【0015】段落には、「本発明の実施例においては…。図2においてウェハ上に形成されたマークからの反射光(散乱光、回折光も含む)は、ミラーM1で反射されて対物レンズOBLに入射した後、ビームスプリッタBS1で分割される。ビームスプリッタBS1で反射された方の光は、上段部に配置されたFIA(フィールド・イメージ・アライメント)系に入射し…検出される。一方、ビームスプリッタBS1を透過した方の光は、下段部に配置されたLIA(レーザ・インターフェローメトリック・アライメント)系に入射する」と記載されているから、上記補正１における、「物体上のマークを、共通の対物光学系を介して異なる検知方式(LIA、FIA)で検知するに際して、照明された該物体から発生するビームを該対物光学系の該物体側とは反対側の直後で第1検知系と第2検知系とに分割することとした」との補正は、当初明細書に記載された事項に基づいて行われたものであり、明細書の要旨を変更するものではない。
３．１．２
　当初明細書【0056】段落には、「共通対物光学系の対物レンズOBLと結像レンズ系24」と記載され、図2の、対物光学系OBLの検出系側の直後にビームスプリッタBS1が配置されているという記載内容から、上記補正１における、「検知系の兼用部分を最小限とすることができる。」との補正は、当初明細書に記載された事項に基づいて行われたものであり、明細書の要旨を変更するものではない。
３．１．３
　当初明細書【0056】段落には、共通対物光学系とFIA検出系の合成系の色消しを行うことの必要性が記載されており、この記載内容及び図2,5,11に基づいて、他方の検知系としてのLIA系と前記共通対物光学系との合成系における色消しも必要であること、そして2つの検知系が共通対物光学系を介する系である場合に共通対物光学系の占める割合が少ない方が色消し調整が容易であるということは明らかであるから、上記補正１における、「検知系を調整する際には、それぞれ専用の検知系の方が兼用の検知系よりも大部分を占める方が、検知系を調整しやすいため、本発明によれば各検知系の調整が容易となるという利点がある」との補正は、当初明細書に記載された事項に基づいて行われたものであり、明細書の要旨を変更するものではない。
３．１．４
　従って、上記補正１は、当初明細書に記載された事項に基づいて行われたものであり、明細書の要旨を変更するものではない。
３．２
　「一方の検知方式(FIA)による検知動作後に、他方の検知方式(LIA)による検知動作を行うこととしたので、検知期間が重なることが無く、一方の検知方式での検知動作時に他方の検知方式で使用する検知ビームが悪影響を与える恐れが無い。またシチュエーション(一方の検知系で検知する場合、或いは他方の検知方式で検知する場合)に応じて、例えば一方の検知光路中に種々の光学部材を配置することにより、該シチュエーションに応じた最適な検知光学系となるように、検知光学系の構成を変更することもできる。」（以下、「補正２」という。）について。
３．２．１
　当初明細書の【0051】段落には、「FIA系によりマークを画像検出して自動アライメントする場合は、図5に示したフィルター29の代りに変倍光学系30を光路中に挿入して高倍率の観察系にすることで、テレビカメラ8X(又は8Y)の観察領域を、図3、図6に示したような小さな領域にPF2に切りかえる。この際、テレビカメラ…照明光の広い波長帯域の全てを使った上質なマーク像が形成されるので、ビデオ信号を用いた画像処理は極めて良好に行われる。さらにはテレビカメラ 8X、8Yによる観察領域PF1内には、LIA系の照射領域ALx、ALyが存在しないため、画像処理系に何ら影響を与えない。またFIA系の観察領域をPF2にして、ウェハマークMLx、MLyの位置を図7に示した状態で計測した後、LIA系でそのウェハマークMLx、MLyを引き続いて計測する場合は…。そこで…記憶し終えると同時に、変倍光学系30とフィルター29とを立四り替える」と記載されているから、上記補正２における、「一方の検知方式(FIA)による検知動作後に、他方の検知方式(LIA)による検知動作を行うこととしたので、検知期間が重なることが無く、一方の検知方式での検知動作時に他方の検知方式で使用する検知ビームが悪影響を与える恐れが無い。」との補正は、当初明細書に記載された事項に基づいて行われたものであり、明細書の要旨を変更するものではない。
３．２．２
　【0051】段落には、FIA系で観察するときには変倍光学系30を、LIA系で観察するときにはフィルター29を光路内に挿入する旨記載がされているから、上記補正２における、「またシチュエーション(一方の検知系で検知する場合、或いは他方の検知方式で検知する場合)に応じて、例えば一方の検知光路中に種々の光学部材を配置することにより、該シチュエーションに応じた最適な検知光学系となるように、検知光学系の構成を変更することもできる」という補正は、「種々の光学部材」を具体的に表現したものではないことを考慮して、当初明細書に記載された事項に基づいて行われたものと認められ、明細書の要旨を変更するとはいえない。
３．２．３
　従って、上記補正２は、当初明細書に記載された事項に基づいて行われたものであり、明細書の要旨を変更するものではない。
４．むすび
　従って、上記手続補正を却下すべきものとした原決定は失当である。
　よって、結論のとおり審決する。