【事件の表示】
　特願２００９−２２０８３３「吸着用シート」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年　５月　６日出願公開、特開２０１０−　９９８２６、請求項の数（４）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は，平成２１年９月２５日を出願日（優先日：平成２０年９月２９日）とする出願であって，平成２５年１月９日付けで拒絶理由が通知され，同年３月１８日付けで手続補正がなされたが，同年６月３日付けで拒絶査定がなされ，これに対し，同年９月１０日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに，同時に手続補正（以下「本件補正」という）がなされたものである。
　さらに，同年１２月１３日付けで審尋がなされ，回答書が平成２６年２月１４日付けで請求人より提出されたものである。
　
第２　原査定の拒絶の理由の概要
　原査定の拒絶の理由の概要は，この出願の請求項１〜７に係る発明は，その出願前に日本国内において頒布された以下の刊行物１〜５に記載された発明に基いて，その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない，というものである。
１　特開昭５６−１５９９４号公報
２　特開２００４−９５８３１号公報
３　特開２００１−３５３７８８号公報
４　特開２００２−１４４２７０号公報
５　特開２００３−８６６６７号公報
（以下「刊行物１」〜「刊行物５」という）
　
第３　本件補正について
　本件補正は，平成２５年３月１８日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲を，
「　【請求項１】
　
シートまたはフィルムである
　前記吸着面に接触させられる一方面を有し、複数の貫通孔が設けられた基板と、
　前記基板の他方面に前記複数の貫通孔を塞ぐように貼着された、厚さ１．４ｍｍ以下の多孔質体と、を備え、
　前記多孔質体は、超高分子量ポリエチレン粉体が焼結させられることにより多孔質化されたものであ
り、
　前
記複数の貫通孔は、個々の貫通孔とこれに最も近接する貫通孔の中心間距離が６５ｍｍ以下となるように配置され、
　
前記複数の貫通孔のそれぞれは、開口面積が６４ｍｍ
２
以下のものであり、
　前
記貫通孔を軸方向から見たときにその輪郭に外接する最小の矩形枠における辺の長さのうち最大のものをＡｍｍ、前記多孔質体の厚さをＢｍｍとしたときに、Ｂ／Ａ
２
≧０．０１５を満たす
　　【請求項２】
　前記基板は、プラスチック板または金属板である、請求項
１に
　　【請求項３】
　前記吸着面には、吸引用の窪みが設けられており、前記複数の貫通孔は、前記窪みに対応する位置に、当該窪みよりも小さな大きさで設けられている、請求項１
または２
　　【請求項４】
　前記窪みは、複数の溝で構成されている、請求項
３
　
　そうすると，本件補正は，請求項１において，補正前の特定事項である「対象物」について「シートまたはフィルムである」と限定し，同特定事項である「複数の貫通孔」について「前記複数の貫通孔は、個々の貫通孔とこれに最も近接する貫通孔の中心間距離が６５ｍｍ以下となるように配置され、前記複数の貫通孔のそれぞれは、開口面積が６４ｍｍ２以下のものであり」と限定し，また，同特定事項である「多孔質体」について「前記貫通孔を軸方向から見たときにその輪郭に外接する最小の矩形枠における辺の長さのうち最大のものをＡｍｍ、前記多孔質体の厚さをＢｍｍとしたときに、Ｂ／Ａ２≧０．０１５を満たす」と限定するとともに，補正前の請求項２〜４を削除し，補正前の請求項５〜７を繰り上げるものである。
　したがって，本件補正は，特許法第１７条の２第５項第１号の請求項の削除および同項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そして，本願の願書に最初に添付された明細書の段落【０００４】に「ところで、
対象物が薄く軽量なシートやフィルムである
　そこで，本件補正後の請求項１〜４に係る発明（以下「本願発明１」〜「本願発明４」という）が，特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
第４　独立特許要件（進歩性）について　
　
１　刊行物の記載内容
（１）刊行物１には，「吸着装置」について，図１〜４とともに次の事項が記載されている。
　
（１−ア）
「２　特許請求の範囲
　下部を開放した箱体の上部に負圧源と連通する吸引孔を設け、該箱体の下部に多数の通気孔を有する吸着板を取付けるとともに、該吸着板と一定間隔を置いてほぼ平行に対応し、かつ周縁部に通気間隙を有する吸気調整板を前記箱体内に設置したことを特徴とする吸着装置。」（１頁左下欄４〜１０行）
　
（１−イ）
「３　発明の詳細な説明
　本発明は、移送等のために物品を負圧により吸着する吸着装置に関し、特に、モザイクタイル等の小物品を多数個同時に吸着するのに適した装置に関する。」（１頁左下欄１１〜１５行）
　
（１−ウ）
「第１、２図において、１は下面が開放され、上面板２と四枚の側面板３からなる平面正方形の箱体であって、上面板２の中央に平面円形の筒体４が突設され、その筒体４の内空に箱体１の内部と連通する吸引孔５が構成されている。６は多数の通気孔７が全面に透設された吸着板であつて、箱体１の下面に固着されており、その下面にポリウレタンフオーム等の連続気孔を有する多孔質軟質合成樹脂からなる緩衝板８が貼着されている。この緩衝板８は通気抵抗の小さいことが必要であり、ポリウレタンフオームを網状化したブリジストン社製の『ニユーエバーライトスコツト』（商標）が好適である。・・・・・」（２頁左下欄９行〜同頁右下欄６行）
　
（１−エ）
「前記において、緩衝板８を介して吸着板６に吸着される素材ｃ同志の間隙に対応する通気孔７は全く閉塞されず、その通気孔７には空気が自由に流通するとともに、素材ｃと対応する通気孔７においても、素材ｃとの間に緩衝板８が介設されているため、その緩衝板８を通つて素材ｃの周りから空気が吸引されるのであるが、吸引孔５を風量の大きい負圧源に連通しておけば、箱体１内の負圧を素材ｃの吸着に十分な値に保持することができる。」（３頁右下欄９行〜４頁左上欄３行）
　
（１−オ）
「また、本実施例においては、吸着板６の下面に緩衝板８を設けたから、吸着される物品が吸着板６と接触により疵を生ずるのが防止される利点がある。」（４頁右上欄３〜６行）
　
（１−カ）
「以上の説明によつて明らかにしたように、本発明の吸着装置は、下部を開放した箱体の上部に負圧源と連通する吸引孔を設け、該箱体の下部に多数の通気孔を有する吸着板を取付けるとともに、該吸着板と一定間隔を置いてほぼ平行に対応し、かつ周縁部に通気間隙を有する吸気調整板を前記箱体内に設置したから、吸着板の全面にわたつて通気孔内の流速をほぼ均一にすることができて、多数の小物品を吸着板の全面に均一に吸着することができる効果を奏する。また、本発明装置は通気孔に流れる空気流によつて物品を吸引するものであるから、物品の表面が平滑である必要はなく、物品の表面に多少の凹凸があつても、また、形状、大きさ及び配列が異なつても同一の吸着板により確実に吸着することができ、特に自動製造ラインのトラブルを減少させ、生産能率を著しく向上し得るとともに、従来装置のように吸着される物品の表面に吸盤の跡を残すおそれがないなどの優れた効果を伴なう。」（４頁左下欄１３行〜５頁左上欄１行）
　
　
　
（１−キ）
　上記記載事項（１−ア）と，と同（１−イ）の「負圧により吸着する吸着装置に関し、特に、モザイクタイル等の小物品を多数個同時に吸着するのに適した装置」，および同（１−ウ）の「６は多数の通気孔７が全面に透設された吸着板であって、箱体１の下面に固着されており、その下面にポリウレタンフオーム等の連続気孔を有する多孔質軟質合成樹脂からなる緩衝板８が貼着されている。」からみて，「箱体１の開放下面に固着された吸着板」の下面は，「モザイクタイル等の小物品」を吸着するための「吸着面」ということができるから，刊行物１には，「モザイクタイル等の小物品を真空吸着する吸着装置の吸着面に取り付けられる緩衝板」が記載されているといえる。
　
（１−ク）
　上記記載事項（１−ア）の「下部を開放した箱体の上部に負圧源と連通する吸引孔を設け、該箱体の下部に多数の通気孔を有する吸着板を取付ける・・・・・吸着装置」および同（１−ウ）の「６は多数の通気孔７が全面に透設された吸着板であつて、箱体１の下面に固着されており」からみて，刊行物１には，「吸着装置の箱体の開放下面に固着された吸着板の多数の通気孔」が記載されているといえる。
　
（１−ケ）
　上記記載事項（１−エ）の「素材ｃと対応する通気孔７においても、素材ｃとの間に緩衝板８が介設されているため、その緩衝板８を通つて素材ｃの周りから空気が吸引される」からみて，「多数の通気孔を塞ぐように貼着されたポリウレタンフオーム等の連続気孔を有する多孔質軟質合成樹脂からなる緩衝板」が記載されているといえる。
　
　上記記載事項（１−ア）〜（１−カ）および図１，２ならびに認定事項（１−キ）〜（１−ケ）を総合すると，刊行物１には，以下の発明（以下「引用発明１」という）が記載されていると認められる。
　
「モザイクタイル等の小物品を真空吸着する吸着装置の吸着面に取り付けられる緩衝板であって，
　前記吸着装置の箱体の開放下面に固着された吸着板の多数の通気孔を塞ぐように貼着された，ポリウレタンフオーム等の連続気孔を有する多孔質軟質合成樹脂からなる緩衝板。」
　
（２）刊行物２には，「吸着パッド、吸引治具、及び吸着パッドの製造方法」について，図１〜３とともに次の事項が記載されている。
　
（２−ア）
「【請求項１】
吸引によって部品等を搬送あるいは固定する吸引治具の吸着面に用いられる吸着パッドであって、
パッド本体は、微細粒子が焼結されてなる多孔質焼結体とされ、
該パッド本体は、前記吸着面側に設けられて前記微細粒子間に互いに連通する三次元網目構造の空隙が形成された緻密層と、
前記吸引冶具側に設けられて前記微細粒子が焼結されてなる中実の骨格間に、互いに連通する空隙が形成された三次元網目構造をなす高空隙率層とを有していることを特徴とする吸着パッド。
【請求項２】
前記緻密層の空隙率は３２％から５０％の範囲内とされ、
前記高空隙率層の空隙率は４０％から９０％の範囲内とされていることを特徴とする請求項１記載の吸着パッド。
【請求項３】
前記高空隙率層の空隙の平均寸法が３０μｍから５００μｍの範囲内とされていることを特徴とする請求項１または２に記載の吸着パッド。
【請求項４】
前記緻密層の厚みＤ１は５００μｍ以下とされ、
前記高空隙率層の厚みＤ２は１０００μｍ以下とされていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の吸着パッド。
【請求項５】
少なくとも前記緻密層をなす前記微細粒子が超硬合金あるいはサーメットからなることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の吸着パッド。
【請求項６】
吸引によって部品等を搬送あるいは固定する吸引治具であって、その吸着面に、請求項１から５のいずれかに記載の吸着パッドが用いられていることを特徴とする吸引治具。」
　
（２−イ）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、電子部品や粉末成形体のグリーンシートを吸引して搬送したり、シリコンウエハーを吸引で固定して研磨加工するための吸引治具の吸着面に用いられる吸着パッド、これを用いる吸引冶具、及び吸着パッドの製造方法に関するものである。」
　
（２−ウ）
「【００１３】
（３）緻密層、高空隙率層の厚み
緻密層の厚みＤ１は、強い吸引力を要する場合には薄く設定し、強度及び耐久性を要する場合には厚くするなど、用途に応じて適宜設定されるのであるが、この厚みＤ１が５００μｍよりも大きいと、吸着時に緻密層において空気の通過する距離が長くなって緻密層を通じた吸気の圧力損失が大きくなるので、緻密層においても十分な通気性を確保するためには、その厚みＤ１は５００μｍ以下に設定されることが好ましく、２００μｍ以下に設定されることがより好ましい。
なお、緻密層は、その強度を確保するため、その厚みＤ１は、５０μｍ以上確保することが好ましい。
【００１４】
高空隙率層の厚みＤ２も、強い吸引力を要する場合には薄く設定し、強度及び耐久性を要する場合には厚くするなど、用途に応じて適宜設定されるのであるが、この厚みＤ２が１０００μｍよりも大きいと、吸着時に高空隙率層において空気の通過する距離が長くなって高空隙率層を通じた吸気の圧力損失が大きくなるので、高空隙率層において十分な通気性を確保するためには、その厚みＤ２は１０００μｍ以下に設定されることが好ましく、８００μｍ以下に設定されることがより好ましい。
なお、高空隙率層は、その強度を確保するため、その厚みＤ２は、３００μｍ以上確保することが好ましい。
【００１５】
（４）多孔質焼結体の材質
超硬合金やサーメットは、硬質材料の中でも耐摩耗性が高く、また、原料粉末（微細粒子）として粒径の細かいものが得られるので、発泡による成形時に空隙率、空隙の寸法を制御しやすいなどの理由から、これらの硬質材料が選択されている。
本発明の吸着パッド用の超硬合金の一例としては、炭化タングステン（ＷＣ）を主体とした硬質相をコバルト（Ｃｏ）、ニッケル（Ｎｉ）などの金属で結合したものや、必要に応じて炭化チタン（ＴｉＣ）、炭窒化チタン（ＴｉＣＮ）、炭化タンタル（ＴａＣ）、炭化ニオブ（ＮｂＣ）、炭化クロム（Ｃｒ３Ｃ２）、クロム（Ｃｒ）などを添加した従来より知られているものが挙げられ、本発明の吸着パッド用のサーメットの一例としては、ＴｉＣやＴｉＣＮを主体とし、必要に応じてＷＣ、ＴａＣ、ＮｂＣ、Ｍｏ２Ｃなどを含む硬質相をＮｉ、Ｃｏなどの金属で結合した従来より知られているものが挙げられる。
なお、吸引時に衝撃を受ける場合には、金属結合相量を多めにして靭性を高めたり、耐食性が問題になる場合には、ＮｉやＮｉ−Ｃｒ系結合相とするとよい。」
　
（２−エ）
「【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態について、図を用いて説明する。ここで、図１は本実施形態にかかる吸引冶具の概略構成を示す縦断面図、図２は本実施形態にかかる吸着パッドの構成を概略的に示す拡大図、図３は本実施形態にかかる吸着パッドの製造方法を示す図である。
【００２０】
吸引冶具１は、一面に開口部２ａが形成される冶具本体２と、冶具本体２に対して開口部２ａ全体を覆うようにして設けられる通気性を有するシート状の吸着パッド３とを有している。
冶具本体２において開口部２ａ内の空間は、真空ポンプ等の図示せぬ排気装置と接続されており、排気装置を作動させることで、吸着パッド３を通じて外気が冶具本体２内に吸引されて、吸着パッド３の吸着面Ｆに被吸着部品が吸着されるようになっている。
【００２１】
吸着パッド３は、一面が吸着面Ｆをなすシート状のパッド本体６を有するものであって、本実施の形態では、吸着パッド３は、パッド本体６と、パッド本体６の吸着面Ｆとは反対側を向く面を受ける板状の基盤７と、基盤７においてパッド本体６を受ける一面側にパッド本体６の周囲を囲むようにして設けられる樹脂層８とを有する構成としている。
【００２２】
パッド本体６は、微細粒子が焼結されてなる多孔質焼結体によって構成されるものであって、吸着面Ｆをなす面から基盤７に受けられる面まで通じる空隙を有している。ここで、パッド本体６は、基盤７に対しては、接着剤による接着やろう付け等によって装着されている。例えば、パッド本体６と基盤７とは、互いの接触面にそれぞれニッケルリンめっきを施し、これらを互いのめっき面同士を接触させた状態で加熱させることで、これらが拡散接合される。」
　
（２−オ）
「【００２５】
基盤７は、少なくともパッド本体６を受ける領域は、厚み方向に通気性を有する構成とされている。本実施の形態では、基盤７を、厚み方向に貫通する複数の通気孔７ａを有するアルミニウム製の板材によって構成している。
ここで、通気孔７ａは、例えば内径１００μｍから１０００μｍの貫通孔とされており、本実施の形態では、通気孔７ａとして、内径５００μｍの丸穴を９本／ｃｍ２形成している。」
　
（２−カ）
「【００４３】
本実施の形態にかかる吸引冶具１は、従来の吸引冶具と同じく、排気装置によって吸着パッド３を介して外気を吸引することで、吸着パッド３の吸着面Ｆに被吸着部品を吸着するものである。
【００４４】
この吸着パッド３において、高空隙率層１２は、中実の骨格を有するがゆえに高い強度を呈するので、空隙率を高く設定して十分な通気性を確保することができる。
また、緻密層１１は高空隙率層１２によって支持されているので、十分な強度を確保しつつその厚みＤ１を薄くすることができる。そして、緻密層１１の厚みＤ１を十分に薄くすることで、緻密層１１において空気の通過する距離を低減して緻密層１１を通じた吸気の圧力損失を低減することができるので、緻密層１１においても十分な通気性を確保することができる。
また、高空隙率層１２は、厚み方向に交差する方向の通気性も良好であるので、高空隙率層１２において基盤７の通気孔７ａに対向していない領域に進入した外気も、高空隙率層１２において通気孔７ａに対向する位置まで速やかに移動することが可能である。このため、この吸着パッド３では、緻密層１１のうち、吸着面Ｆをなす領域を通過した気体を全て速やかに基盤７の通気孔７ａに流れ込ませることができるので、排気効率が高い。
【００４５】
このように、この吸着パッド３は通気性が十分に確保されており、排気効率も高いので、この吸着パッド３を用いる吸引冶具１は、高い吸引力を得ることができる。
【００４６】
さらに、この吸着パッド３では、吸着面Ｆが緻密層１１によって構成されているので、強度及び耐磨耗性が高く耐久性に優れており、寿命が長い。
また、吸着面Ｆをなす緻密層１１は、微細粒子が密に配置されているために、セラミックスのグリーンシートのような軟物質を吸着するときであっても、その表面に凹凸を生じさせることがない。
また、緻密層１１は、前記のようにその厚みＤ１を十分に薄くすることができるので、吸着面Ｆから緻密層１１内にほこりが吸い込まれても、このほこりは速やかに緻密層１１を通過して、より空隙率の高い高空隙率層１２を通じて冶具本体２内に吸い出されるので、吸着パッド３にほこりによる目詰まりが生じにくい。」
　
（３）刊行物３には，「吸引用シート及びそれを用いた装置」について，次の事項が記載されている。
　
（３−ア）
「【請求項１】　　物品を吸引により固定乃至は移動する手段として使用する、多孔質体からなり、少なくとも片面の表面粗さが算術平均粗さ（Ｒａ）で１μｍ以下であり、通気抵抗が３００〜１５００ｍｍＡｑ、かつ曲げ弾性率が５００〜７０００ｋｇ／ｃｍ２であることを特徴とする吸引用シート。
【請求項２】　　吸引する物品の対象は、易塑性変形物であることを特徴とする請求項１記載の吸引用シート。
【請求項３】　　多孔質体はポリオレフィン系樹脂から成ることを特徴とする請求項１または請求項２記載の吸引用シート。
【請求項４】　　ポリオレフィン系樹脂がポリエチレンまたは／及びポリプロピレンであることを特徴とする請求項３記載の吸引用シート。
【請求項５】　　ポリオレフィン系樹脂は、メルトフローレートが３０ｇ／１０分以下、密度が０．８５〜０．９７ｇ／ｃｃであり、最大粒径が４００μｍ以下のポリエチレン粉末からなることを特徴とする請求項１、２、３、または４記載の吸引用シート。
【請求項６】　　多孔質体は、親水化されていることを特徴とする請求項１〜５記載の吸引用シート。
【請求項７】　　物品を吸引により固定乃至は移動する手段として使用する、少なくとも片面の表面粗さが算術平均粗さ（Ｒａ）で１μｍ以下であり、通気抵抗が３００〜１５００ｍｍＡｑ、曲げ弾性率が５００〜７０００ｋｇ／ｃｍ２のポリエチレン製多孔質体を用いることを特徴とする吸引装置。」
　
（３−イ）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吸引用シート及びそれを用いた吸引装置に関する。更に詳しくは、易塑性変形物などの物品を吸引して固定して加工を施したり、或いは搬送したりする時に用いられる吸引用シート、及びそれを用いた吸引装置に関する。」
　
（３−ウ）
「【００２１】
【実施例１】ＪＩＳ　Ｋ７２１０（条件；荷重２．１６ｋｇ、温度１９０℃）によって測定したメルトフローレイトが０．００ｇ／分、密度が０．９４２ｇ／ｃｃの超高分子量ポリエチレン粉末（商品名；サンファインＵＨ、旭化成工業株式会社製）を目開き３５５μｍの篩を通過させ、アルミニウム製の金型に充填し、金型の表面温度１７５℃になるまで加熱した後、室温まで冷却し、厚み約２ｍｍの多孔質焼結シートを得た。得られたシートの表面粗度は、算術平均粗さ（Ｒａ）で０．８μｍ、通気抵抗は７５０ｍｍＡｑ、曲げ弾性率は１，２２０ｋｇ／ｃｍ２であった。」
　
（３−エ）
「【００２３】
【実施例２】ＪＩＳ　Ｋ７２１０（条件；荷重２．１６ｋｇ、温度１９０℃）によって測定したメルトフローレイトが０．００ｇ／分、密度が０．９４５ｇ／ｃｃの超高分子量ポリエチレン粉末（商品名；サンファインＵＨ、旭化成工業株式会社製）を目開き３５５μｍの篩を通過させ、アルミニウム製の金型に充填し、金型の表面温度２０４℃になるまで加熱した後、室温まで冷却し、厚み約２ｍｍの多孔質焼結シートを得た。得られたシートの表面粗度は、算術平均粗さ（Ｒａ）で０．６μｍ、通気抵抗は９１８ｍｍＡｑ、曲げ弾性率は９７０ｋｇ／ｃｍ２であった。該シートを実施例１と同様の操作を行って、石膏の該シートに接していた面の表面粗度を測定したところ、算術平均粗さ（Ｒａ）で３．６μｍであった。」
　
（３−オ）
「【００２６】
【実施例３】ＪＩＳ　Ｋ７２１０（条件；荷重２．１６ｋｇ、温度１９０℃）によって測定したメルトフローレイトが０．０６ｇ／分、密度が０．９５８ｇ／ｃｃの高密度ポリエチレン粉末（商品名；サンファインＳＨ、旭化成工業株式会社製）１００重量部にポリオキシソルビタンモノラウレート０．３重量部を高速ミキサーで混合し、親水性粉末を得た。該粉末ををアルミニウム製の金型に充填し、金型の表面温度１５８℃になるまで加熱した後、室温まで冷却し、厚み約２ｍｍの多孔質焼結シートを得た。得られたシートの表面粗度は、算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ、通気抵抗は１２００ｍｍＡｑ、曲げ弾性率は６，０７０ｋｇ／ｃｍ２であった。該シートを実施例１と同様に石膏を乗せて硬化させ、石膏の該シートに接していた面の表面粗度を測定したところ、算術平均粗さ（Ｒａ）で３．９μｍであった。」
　
（３−カ）
「【００２７】
【発明の効果】本発明の多孔質体は、表面粗度を小さく、通気抵抗を及び剛性を適切な範囲に設計しているので、被吸引物が吸引し易く、且つ被吸引物が塑性変形し易い物質であってもそれを損なうことなく吸引できる。」
　
（４）刊行物４には，「吸着ジグ及び被搬送物の搬送方法」について，図１〜８とともに次の事項が記載されている。
　
（４−ア）
「【請求項１】　　空気吸引により被搬送物を吸着する吸着ジグであって、
前記被搬送物と平面で接触して該被搬送物を吸着する吸着部材を備えたことを特徴とする吸着ジグ。
【請求項２】　　空気吸引孔を有し、前記吸着部材を保持する保持部材を備え、
前記吸着部材は、前記空気吸引孔と連通する開孔が形成された平板と、前記平板を覆うとともに前記被搬送物と平面で接触する多孔質部材と、前記多孔質部材の外周部に設けられ、前記被搬送物に密着する密着部材と、
で構成されたことを特徴とする請求項１に記載の吸着ジグ。
【請求項３】　　前記保持部材には前記平板との間に空間を形成する凹部が形成されたことを特徴とする請求項２に記載の吸着ジグ。
【請求項４】　　前記保持部材の凹部には、前記平板を支持し前記被搬送物の吸着時における該平板の撓みを防止する支持部材が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の吸着ジグ。
【請求項５】　　前記空気吸引孔は、ネジ孔であることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の吸着ジグ。」
　
（４−イ）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吸着痕を残さずに被搬送物を搬送できる吸着ジグ及び被搬送物の搬送方法に関する。」
　
（４−ウ）
「【００３０】図１及び図２に示すように、吸着ジグ１０は正方形状の吸着ジグ本体１２を備えている。
【００３１】吸着ジグ本体１２の一方の面には正方形状の凹部１４が形成されている。凹部１４の外周には、後述するパンチングメタルプレート１８が取り付けられる取付溝１６が形成されている。なお、図３乃至図５に示すように、この取付溝１６の深さはパンチングメタルプレート１８の厚さと略同じ寸法に設定されている。
【００３２】取付溝１６の外周にはシール部材２２が取り付けられている。図３乃至図５に示すように、このシール部材２２の厚さは多孔質プレート２０の厚さと略同じ寸法に設定されている。このため、シール部材２２は、吸着ジグ本体１２の一方の面を面一にするとともに、ワーク２４（図６参照）の吸着時にワーク２４に密着し空気漏れを防止する機能を有している。
【００３３】なお、このシール部材２２は、ポリテトラフロロエチレン製のパウダーを押し固めてなる部材を延伸することにより得られる部材で構成されている（ジャパンゴアテックス株式会社から市販されている商品名「ゴアテックス」がこれに相当する）。
【００３４】一方、凹部１４の一部を構成する吸着ジグ本体１２の底部２６の略中央には、四角形状の支持枠２８が形成されている。この支持枠２８の先端部は取付溝１６の底面まで到達しており、支持枠２８がパンチングメタルプレート１８と接触し支持している。このため、支持枠２８は、空気吸引時においてパンチングメタルプレート１８及び多孔質プレート２０が凹部１４側に撓むのを防止する機能を有している。
【００３５】なお、支持枠２８は凹部１４の略中央に形成されているため、比較的撓みの大きなパンチングメタルプレート１８の中央部を支持でき、効果的にパンチングメタルプレート１８の撓みを防止できる。」
　
（４−エ）
「【００４５】真空吸引ポンプを作動させ、吸着ジグ１０を比較的薄いシート状のワーク２４（例えばセラミック板、フィルム等）に近づける。吸着ジグ１０をワーク２４に近づけると、多孔質プレート２０の孔、パンチングメタルプレート１８の開孔４２及び吸着ジグ本体１２の空気吸引孔３０がそれぞれ連通しているため、空気吸引力によりワーク２４が多孔質プレート２０に吸着される。
【００４６】このとき、多孔質プレート２０は平板状に形成されており、かつ孔の径が比較的小さく形成されているため、ワーク２４は多孔質プレート２０と平面で接触し、吸着時においてワーク２４の一部分が孔に吸い込まれない。すなわち、吸着時においてワーク２４の平面性が確保される。このため、ワーク２４に吸着痕が残ることを防止できる。」
　
（５）刊行物５には，「薄厚ウェーハ用カセット及び吸着ハンド」について，図１〜１５とともに次の事項が記載されている。
　
（５−ア）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置を製造するためのウェーハ処理装置等で使用され、特に極薄化された薄厚ウェーハ用のカセット及び、このカセットに対して薄厚ウェーハを出し入れするために用いる吸着ハンドに関する。」
　
（５−イ）
「【００５０】先ず、図５と図６に示す第１の実施の形態は、フォーク状吸着ハンドの例であり、この吸着ハンド４１は、幅の狭い根元部分４２の先端に広幅部４３を連成した、板厚が１．５ｍｍ程度の基板４４と、この基板４４の広幅部４３の上面に重ねた板厚が０．５ｍｍ程度の上板４５と、上記基板４４の下面で根元部分４２から広幅部４３の途中の位置にわたって重ねた板厚が１．５ｍｍ程度の底板４６との三層構造からなり、基板４４と上板４５は、先端部から略中間にわたる深さの平面Ｕ字状の切り欠き４７で二又のフォーク状に形成され、この吸着ハンド４１は、基板４４と底板４６の根元部分４２の下部に固定した支持体４８を介して、図１３で示したウェーハ受渡しロボットの第２アームの先端に水平状態で回転可能に取り付けられる。
【００５１】上記上板４５は、その上面で薄厚ウェーハａを吸着するためのものであり、この上板４５には、切り欠き４７の周囲を囲むように弧状に配置された複数の第１吸気孔４９と、この第１吸気孔４９群の外側に配置された複数の第２吸気孔５０とがそれぞれ上下に貫通するように設けられ、基板４４の上面に、第１吸気孔４９群とそれぞれ連通する弧状の第１吸気溝５１と、吸着ハンド４１の前後中心線を挟んで両側に対称状に配置され、両側の第２吸気孔５０群とそれぞれ連通する二本の第２吸気溝５２とが凹設されている。
【００５２】また、底板４６の上面には、第１吸気通路５３と第２吸気通路５４が分離独立して形成され、第１吸気通路５３は、先端が基板４４に設けた連通孔５５で第１吸気溝５１と連通し、後端は支持体４８の下部に設けた第１吸気口５６と連通孔５７を介して連通する直線状に凹設され、第２吸気通路５４は、支持体４８の下部に設けた第２吸気口５８と後端が連通孔５９を介して連通し、この後端から二又状となって前方に伸び、その両側先端が第２吸気溝５２とそれぞれ基板４４に設けた連通孔６０を介して連通している。」
　
（５−ウ）
「【００５８】図９と図１０に示す第３の実施の形態は、丸形状吸着ハンドの例であり、上記した第１の実施の形態と同一部分については、同一符号を付して説明する。
【００５９】この第３の実施の形態の吸着ハンド４１は、幅の狭い根元部分４２の先端に広幅部４３を連成した基板４４と、この基板４４の広幅部４３の上面に重ねた上板４５と、上記基板４４の下面で根元部分４２から広幅部４３の途中の位置にわたって重ねた底板４６との三層構造からなり、基板４４と上板４５、先端部が円弧に形成され、基板４４と底板４６の根元部分４２の下部に支持体４８が固定されている。
【００６０】上記上板４５には、中央部の位置に十字状に配置された複数の第１吸気孔８１と、この第１吸気孔８１群の外側に円状に配置された複数の第２吸気孔８２とがそれぞれ上下に貫通するように設けられ、基板４４の上面に、第１吸気孔８１群とそれぞれ連通する円形の第１吸気溝８３と、その外側に一部切り離しの環状に配置され、第２吸気孔８２とそれぞれ連通する第２吸気溝８４とが凹設されている。
【００６１】また、底板４６の上面には、第１吸気通路５３と第２吸気通路５４が分離独立して形成され、第１吸気通路５３は、先端が基板４４に設けた連通孔５５で第１吸気溝８３と連通し、後端は支持体４８の下部に設けた第１吸気口５６と連通孔５７を介して連通する直線状に凹設され、第２吸気通路５４は、支持体４８の下部に設けた第２吸気口５８と後端が連通孔５９を介して連通し、先端が第２吸気溝８４と基板４４に設けた連通孔６０を介して連通している。」
　
２　本願発明１について
（１）対比
　本願発明１と引用発明１を比較する。
ア　引用発明１の「モザイクタイル等の小物品」と本願発明１の「シートまたはフィルムである対象物」とは，「対象物」である点で共通するといえる。
　
イ　上記記載事項（１−イ）の「小物品を多数個同時に吸着する」および同（１−ウ）の「通気抵抗の小さいことが必要」からみて，引用発明１の「緩衝板」は，比較的面積が大きく薄いものであり，「吸着用シート」といえる。
　
ウ　引用発明１の「前記吸着装置の箱体の開放下面に固着された吸着板の多数の通気孔を塞ぐように貼着された」「多孔質軟質合成樹脂からなる緩衝板」と，本願発明１の「前記基板の他方面に前記複数の貫通孔を塞ぐように貼着された、厚さ１．４ｍｍ以下の多孔質体」とは，「複数の貫通孔を塞ぐように貼着された多孔質体」である点で共通するといえる。
　
エ　引用発明１の「ポリウレタンフォーム等の連続気孔を有する多孔質軟質合成樹脂からなる緩衝板」と，本願発明１の「超高分子量ポリエチレン粉体が焼結させられることにより多孔質化されたもの」とは，「多孔質化されたもの」である点で共通するといえる。
　
　そうすると，両者は，
（一致点）
「対象物を真空吸着する吸着装置の吸着面に取り付けられる吸着用シートであって，
　複数の貫通孔を塞ぐように貼着された多孔質体を備え，
　前記多孔質体は、多孔質化されたものである吸着用シート。」　
の点で一致し，以下の点にて相違する。　
　
（相違点１）
「対象物」が，本願発明１では「シートまたはフィルム」であるのに対して，引用発明１では「モザイクタイル等の小物品」である点。
　
（相違点２）
「複数の貫通孔」が，本願発明１では「前記吸着面に接触させられる一方面を有し」「吸着用シート」に備えられた「基板」に設けられるのに対して，引用発明１では「吸着装置の箱体の開放下面に」固着された「吸着板」に設けられている点。
　
（相違点３）
「多孔質体」が，本願発明１では「厚さ１．４ｍｍ以下」であり，「超高分子量ポリエチレン粉体が焼結させられることにより多孔質化されたもの」であるのに対し，引用発明１では「厚さ」は不明であり，「ポリウレタンフォーム等の連続気孔を有する多孔質軟質合成樹脂からなる」点。
　
（相違点４）
「複数の貫通孔」が，本願発明１では「個々の貫通孔とこれに最も近接する貫通孔の中心間距離が６５ｍｍ以下となるように配置され、前記複数の貫通孔のそれぞれは、開口面積が６４ｍｍ２以下のもの」であるのに対し，引用発明１では不明である点。
　
（相違点５）
本願発明１では「前記貫通孔を軸方向から見たときにその輪郭に外接する最小の矩形枠における辺の長さのうち最大のものをＡｍｍ、前記多孔質体の厚さをＢｍｍとしたときに、Ｂ／Ａ２≧０．０１５を満たす」のに対し，引用発明１では不明である点。
　
（２）相違点１について
　記載事項（１−エ）の，「緩衝板８を介して吸着板６に吸着される素材ｃ同志の間隙に対応する通気孔７は全く閉塞されず、その通気孔７には空気が自由に流通するとともに、素材ｃと対応する通気孔７においても、素材ｃとの間に緩衝板８が介設されているため、その緩衝板８を通つて素材ｃの周りから空気が吸引されるのであるが、吸引孔５を風量の大きい負圧源に連通しておけば、箱体１内の負圧を素材ｃの吸着に十分な値に保持することができる。」との記載から，引用発明１の「緩衝板」（吸着シート）は，「モザイクタイル等の小物品」のような，被吸着物同士に間隙が生じ，かつ，当該間隙に対応する通気孔（７）に空気が自由に流通できるようなものを吸着させるために用いるものであって，そのために十分な通気性を備えたものである。
　そして，そのような十分な通気性を備えた引用発明１の「緩衝板」を、「シートまたはフィルム」の吸着に用いるならば、吸着のための大きな負圧により「真空吸着した時に多孔質シートの表面形状が対象物に転写されてしま」（本願明細書，段落【０００４】）う不具合が生じ，一方，それを避けるために負圧を低くするならば，引用文献１の「緩衝板」は上記のとおり十分な通気性を備えたものであるから，「側面からも空気が吸い込まれてしまい、その横方向のリークの影響で十分な十分な吸着力が得られなくなる」（本願明細書，段落【０００４】）ことは，当業者にとって自明である。
　してみると，記載事項（２−イ）からみて，真空吸着する吸着装置により「グリーンシート」等の「シートまたはフィルム」を搬送することが，本願出願前周知・慣用であるとしても，引用発明１において，「対象物」を「モザイクタイル等の小物品」から「シートまたはフィルム」に変更することは，刊行物１にそのように変更する記載あるいは示唆が無い以上，動機付けが存在しないというべきであり，相違点１は，当業者が容易に想到し得る事項であるとは到底いえない。
　
（３）相違点２について
　上記記載事項（２−エ）の「【００２１】吸着パッド３は、一面が吸着面Ｆをなすシート状のパッド本体６を有するものであって、本実施の形態では、吸着パッド３は、パッド本体６と、パッド本体６の吸着面Ｆとは反対側を向く面を受ける板状の基盤７と、基盤７においてパッド本体６を受ける一面側にパッド本体６の周囲を囲むようにして設けられる樹脂層８とを有する構成としている。【００２２】パッド本体６は、微細粒子が焼結されてなる多孔質焼結体によって構成されるものであって、吸着面Ｆをなす面から基盤７に受けられる面まで通じる空隙を有している。ここで、パッド本体６は、基盤７に対しては、接着剤による接着やろう付け等によって装着されている。例えば、パッド本体６と基盤７とは、互いの接触面にそれぞれニッケルリンめっきを施し、これらを互いのめっき面同士を接触させた状態で加熱させることで、これらが拡散接合される。」および同（２−オ）の「【００２５】基盤７は、少なくともパッド本体６を受ける領域は、厚み方向に通気性を有する構成とされている。本実施の形態では、基盤７を、厚み方向に貫通する複数の通気孔７ａを有するアルミニウム製の板材によって構成している。」からみて，刊行物２には，「複数の通気孔が設けられた基盤と，前記基盤の他方面に前記複数の通気孔を塞ぐように貼着されたシート状のパッド本体と、を備え、前記パッド本体は、粉体が焼結させられることにより多孔質化されたものである吸着パッド」が記載されているといえる。そして，刊行物２記載の「基盤」と本願発明１の「基板」とは，機能を異にし，また，刊行物２記載の「パッド本体」と本願発明１の「多孔質体」とは，材質を異にするものの，刊行物２記載の「基盤」，「パッド本体」および「吸着パッド」が，それぞれ，本願発明１の「基板」，「多孔質体」および「吸着用シート」に対応するといえる。
　しかしながら，引用発明１において，その「緩衝板」を，刊行物２記載の「吸着パッド」に置き換えるためには，引用発明１が「グリーンシート」等の「シートまたはフィルム」を対象物としていることが前提となるといえるところ，上記「（２）相違点１について」にて述べたとおり，引用発明１において，その「対象物」を変更する動機付けが存在しないのであるから，相違点２も，当業者が容易に想到し得る事項であるとは到底いえない。
　
（４）相違点３について
　原査定の拒絶理由にて周知例として示された刊行物である特開２００２−１７３２５０号公報の段落【０００１】に「【発明の属する技術分野】本発明は、吸着搬送や吸着加工に使用する吸着プレートの吸着面を超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷＰＥ）の燒結多孔質体からなる多孔質シートで形成してある吸着搬送方法および吸着加工方法に関し、特に、電子機器に使用されるフレキシブル回路基板（ＦＰＣ）、薄層シート、その他回路基板の搬送、加工時の固定用途に有用な技術である。」と記載され，同段落【００５０】に「実施例１　図１に示す吸着プレートに、超高分子量ポリエチレンの燒結多孔質体からなる厚さ０．５ｍｍ、気孔率３５％、孔径５０μｍの多孔質シートを装着し、吸引力が一定に保たれるよう調節できる吸引ブロアにより吸引を行った。」と記載されていることからみて，「吸着プレートに，超高分子量ポリエチレンの燒結多孔質体からなる厚さ０．５ｍｍ，気孔率３５％，孔径５０μｍの多孔質シートを装着して，薄層シートを吸着搬送する」ことは，従来周知の技術であるといえる。
　しかしながら，引用発明１において，その「緩衝板」を，上記周知の「多孔質シート」に置き換えるためには，引用発明１が「薄層シート」等の「シートまたはフィルム」を対象物としていることが前提となるといえる。そして，上記「（２）相違点１について」にて述べたとおり，引用発明１において，その「対象物」を変更する動機付けが存在しないのであるから，相違点３も，当業者が容易に想到し得る事項であるとは到底いえない。
　
（５）相違点４について
　上記記載事項（２−オ）の「本実施の形態では、通気孔７ａとして、内径５００μｍの丸穴を９本／ｃｍ２形成している。」からみて，刊行物２には「個々の通気孔とこれに最も近接する通気孔の中心間距離が６５ｍｍ以下となるように配置され、前記複数の貫通孔のそれぞれは、開口面積が６４ｍｍ２以下の複数の通気孔」が記載されているといえる。そして，上記「（３）相違点２について」にて述べたように，刊行物２記載の「基盤」が，本願発明１の「基板」に対応するといえるから，刊行物２記載の「通気孔」が，本願発明１の「貫通孔」に対応するといえる。
　しかしながら，引用発明１において，その「吸着板の多数の通気孔」を，刊行物２記載の「基盤の多数の通気孔」に置き換える，すなわち，その「緩衝板」を，刊行物２記載の「吸着パッド」に置き換えるためには，引用発明１が「グリーンシート」等の「シートまたはフィルム」を対象物としていることが前提となるといえる。そして，上記「（２）相違点１について」にて検討したとおり，引用発明１において，その「対象物」を変更する動機付けが存在しない。
　また，仮に上記動機付けが存在するとしても，引用発明１において，その「緩衝板」を刊行物２記載の「吸着パッド」を置換すると，引用発明１の「多数の通気孔を有する吸着板」の下面に刊行物２記載の「数の通気孔が設けられた基盤」が積層されることとなり，適切な吸着力が得られなくなる恐れがあるから，該置換には阻害要因が存在するといえる。
そして，該阻害要因を回避するためには，引用発明１の「多数の通気孔を有する吸着板」を取り除く必要があるが，引用発明１の「多数の通気孔を有する吸着板」と刊行物２記載の「数の通気孔が設けられた基盤」とは，そもそも，技術的意義が全く相違するのであるから，そのような動機付けは存在しないというべきである。
　したがって，引用発明１において，相違点４における本願発明１の構成とすることは，当業者が容易に想到し得る事項であるとは到底いえない。
　
（６）相違点５について
　上記記載事項（２−ア）の「【請求項４】前記緻密層の厚みＤ１は５００μｍ以下とされ、前記高空隙率層の厚みＤ２は１０００μｍ以下とされている」からみて，刊行物２には「厚さ１．５ｍｍ以下のパッド本体」が記載されているといえる。また，上記記載事項（２−オ）の「通気孔７ａは、例えば内径１００μｍから１０００μｍの貫通孔とされており」からみて，刊行物２には「内径０．１ｍｍから１ｍｍの通気孔」が記載されているといえる。そして，上記「（３）相違点２について」にて述べたように，刊行物２記載の「パッド本体」が，本願発明１の「多孔質体」に対応するといえ，また，前述のとおり，刊行物２記載の「通気孔」が，本願発明１の「貫通孔」に対応するといえる。
　そうすると，本願発明１のＢ／Ａ２に対応する刊行物２記載の値は，計算上，０＜Ｂ／Ａ２＜１５０となるから，刊行物２には「通気孔を軸方向から見たときにその輪郭に外接する最小の矩形枠における辺の長さのうち最大のものをＡｍｍ、前記パッド本体の厚さをＢｍｍとしたときに、Ｂ／Ａ２≧０．０１５を満たす」ことが記載されているといえる。
　しかしながら，引用発明１において，その「吸着板の多数の通気孔」を，刊行物２記載の「基盤の多数の通気孔」に置き換える，すなわち，その「緩衝板」を，刊行物２記載の「吸着パッド」に置き換えるためには，引用発明１が「グリーンシート」等の「シートまたはフィルム」を対象物としていることが前提となるといえる。そして，上記「（２）相違点１について」にて検討したとおり，引用発明１において，その「対象物」を変更する動機付けが存在しないのであるから，相違点５も，当業者が容易に想到し得る事項であるとは到底いえない。
　
（７）刊行物３〜５について
　刊行物３〜５には，刊行物２および上記周知例以上に，相違点１〜５に関連する事項が記載されていないことは，明らかである。
　
（８）効果について
　そして，相違点１〜５により，本願発明１は，刊行物１〜５の記載および周知の技術から当業者といえども予測し得えない，本願明細書に記載された格別顕著な効果を奏するといえる。
　
（９）まとめ
　したがって，本願発明１は，引用発明１，刊行物２〜５の記載および従来周知の技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではないから，出願の際独立して特許を受けることができるものであるといえる。
　
３　本願発明２〜５について
　本願発明２〜５は，「基板」あるいは「吸着面」について本願発明１をさらに具体的に限定したものである。
　そして，上記「３　本願発明１について」において検討したように，本願発明１が引用発明１，刊行物２〜５の記載および従来周知の技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではないのであるから，同様に，さらに限定した本願発明２〜５も引用発明１，刊行物２〜５の記載および周知の技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではないから，出願の際独立して特許を受けることができるものであるといえる。　
　
第４　独立特許要件についてのむすび
　以上のとおりであるから，本件補正は，特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合する。
　
第５　本願発明について
　本件補正は，上記のとおり，特許法第１７条の２第３項ないし第６項の規定に適合するから，本願の請求項１ないし５に係る発明は，本件補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項により特定されるとおりのものである。
　そして，本願の請求項１ないし５に係る発明は，原査定の拒絶理由によって拒絶をすべきものとすることはできない。
　また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。　
　よって，結論のとおり審決する。