【事件の表示】
　特許第３３７７７３５号「マスク保護装置の製造方法における薄膜の切断方法と、該方法で用いる切断治具」の請求項１ないし９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３７７７３５号の請求項１ないし６に係る特許を維持する。
【理　由】
（１）手続の経緯
　特許第３３７７７３５号の請求項１〜９に係る発明は、平成９年１０月１７日（優先権主張平成９年５月３０日）に特許出願され、平成１４年１２月６日にその特許の設定登録がなされ、その後、特許異議申立人北垣哲郎により特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１６年１０月１２日に訂正請求がなされたものである。
　
（２）訂正の適否についての判断
　（ア）訂正の内容
　訂正事項ａ
　特許査定時の特許請求の範囲の請求項１〜９を、請求項１〜６として次のように訂正する。
「【請求項１】ペリクル枠の一側端面に薄膜を接着後、該枠外側のエッジよりはみ出る薄膜を物理的切断手段によって切断する薄膜の切断方法において、物理的切断手段により切断するのに先行して物理的切断手段に添設若しくは内蔵した塗布器より上記薄膜の膜材と同じ樹脂を有機溶媒に飽和溶解させた飽和溶液よりなるコート液を切断箇所に放出して塗布することを特徴とするマスク保護装置の製造方法における薄膜の切断方法。
　
【請求項２】物理的切断手段は刃よりなる請求項１記載のマスク保護装置の製造方法における薄膜の切断方法。
　
【請求項３】コート液の塗布器を添設若しくは内臓したことを特徴とする請求項１記載の切断方法で物理的手段として用いられる切断治具。
　
【請求項４】塗布器はパイプ状をなす請求項３記載の切断治具。
　
【請求項５】パイプ状の塗布器に形成される請求項４記載の切断治具。
　
【請求項６】切断治具は刃よりなる請求項３又は４に記載の切断治具。」
　
　訂正事項ｂ
　明細書の段落【０００６】を、次のように訂正する。
「【０００６】
【課題の解決手段】
　本発明はそのため、ペリクル枠の一側端面に薄膜を接着後、該枠外側のエッジよりはみ出る薄膜を物理的切断手段によって切断する薄膜の切断方法において、物理的切断手段により切断するのに先行して物理的切断手段に添設若しくは内臓した塗布器より上記薄膜の膜材と同じ樹脂を有機溶媒に飽和溶解させた飽和溶液よりなるコート液を切断箇所に放出して塗布することを特徴とする。」
　
　訂正事項ｃ
　明細書の段落【０００７】を、次のように訂正する。
「【０００７】
　上記発明で用いるコート液は、薄膜の切断端面を完全に被い、物理的切断手段による切断時の発塵を押さえると共に、薄膜から剥離しないものである必要がある。
　薄膜の膜材と同じ樹脂としては例えば、セルロース誘導体、シリコン系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、フッ素含有樹脂等を例示することができ、セルロース誘導体としては、ニトロセルロース、プロピオン酸セルロース等を例示することができる。フッ素含有樹脂としては具体的には、旭硝子株式会社製のＣＹＴＯＰ（商品名）、テフロンＡＦ（商品名）を例示することができる。」
　
　訂正事項ｄ
　明細書の段落【００１０】を、次のように訂正する。
「【００１０】
　飽和溶液の調製法としては、例えば上記樹脂を通常、２０〜２５℃で上記溶媒に通常１２時間以上浸漬して行われる。浸漬時間は長い方がよいが、経済的な理由から樹脂にもよるが、５〜６時間であれば、ほぼ飽和溶液とみなしてもよい。こうしたコート液を用いた場合、薄膜の切断は、切断刃等の物理的切断手段によってのみ切断され、溶媒による薄膜の切断は行われず、薄膜切断のスピードを上げてもコート液に溶解される樹脂による被覆が確実にでき、仕上がりもきれいで発塵することもない。」
　
　訂正事項ｅ
　明細書の段落【００２６】を、次のように訂正する。
「【００２６】
　またコート液に膜材と同じ樹脂の飽和溶液を用いることにより、溶媒による薄膜の切断は行われず、切断端面への樹脂の被覆が確実に行われ、仕上がりがきれいで発塵を防止することができる。請求項２及び５記載の切断方法及び切断治具によると、コート液が飽和樹脂溶液であっても切断速度を上げて切断することができる。」
　
　訂正事項ｆ
　明細書の段落【００２７】を、次のように訂正する。
「【００２７】
　請求項３記載の切断治具によると、切断治具を移動させるための装置と塗布器を移動させるための装置を個別に設ける必要がなくなる。請求項４記載の切断治具のように、塗布器がパイプ状であると、構成が簡単で嵩張らず、切断治具へ添設又は内蔵することが容易となる。」
　
　（イ）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａに係る訂正は、特許請求の範囲の減縮に該当し、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではないし、新規事項の追加にも該当しない。
　
　訂正事項ｂ〜ｆに係る訂正は、明瞭でない記載の釈明に該当し、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではないし、新規事項の追加にも該当しない。
　
　（ウ）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
（３）特許異議の申立について
　（ア）申立の理由の概要
　特許異議申立人北垣哲郎は、証拠として甲第１号証（特開平８−９５２３４号公報）、甲第２号証（特開平８−２９２５５３号公報）、甲第３号証（特公平７−５７５２８号公報）、甲第４号証（特開平７−２８１４２１号公報）、及び甲第５号証（特開平２−１４５２９２号公報）を提出し、本件請求項１に係る発明の特許は、甲第１号証又は甲第２号証に記載された発明であり、また本件請求項１〜９に係る発明の特許は、甲第１〜５号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるので、特許法第２９条第１項第３号、又は、第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、さらに、本件請求項１〜９に係る特許は、その請求項１〜９の記載が不明確であり、特許法第３６条に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものである。したがって、本件請求項１〜９に係る発明の特許を取り消すべき旨主張している。
　
　（イ）本件請求項１〜６に係る発明
　上記「（２）訂正の適否についての判断」で示したように上記訂正が認められるから、本件請求項１〜６に係る発明は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】ペリクル枠の一側端面に薄膜を接着後、該枠外側のエッジよりはみ出る薄膜を物理的切断手段によって切断する薄膜の切断方法において、物理的切断手段により切断するのに先行して物理的切断手段に添設若しくは内蔵した塗布器より上記薄膜の膜材と同じ樹脂を有機溶媒に飽和溶解させた飽和溶液よりなるコート液を切断箇所に放出して塗布することを特徴とするマスク保護装置の製造方法における薄膜の切断方法。
　
【請求項２】物理的切断手段は刃よりなる請求項１記載のマスク保護装置の製造方法における薄膜の切断方法。
　
【請求項３】コート液の塗布器を添設若しくは内臓したことを特徴とする請求項１記載の切断方法で物理的手段として用いられる切断治具。
　
【請求項４】塗布器はパイプ状をなす請求項３記載の切断治具。
　
【請求項５】パイプ状の塗布器に形成される請求項４記載の切断治具。
　
【請求項６】切断治具は刃よりなる請求項３又は４に記載の切断治具。」
　
　（ウ）引用刊行物
　当審が平成１６年７月２９日付で通知した取消理由で引用した刊行物１〔甲第１号証（特開平８−９５２３４号公報）〕には、次の事項が記載されている。
「【特許請求の範囲】
【請求項１】　ペリクル製造における不要膜除去の工程において、不要膜の除去をカッターとペリクル膜を溶解可能の溶媒とを同時に用いて行なうことを特徴とするペリクルの製造方法。」（第２頁左欄）
　
「このカッターにチューブ式ディスペンサーを用いて、前記したフッ素系溶剤・フロリナートＦＣ−75を毎分10マイクロリットル滴下しながら、前記ペリクルフレームの接着剤部分の周辺部に沿ってカッターを移動しながら、ペリクルフレーム外側の不要膜部分を切断除去し」（第３頁右欄第２４〜２９行）
　
　同刊行物２〔甲第２号証（特開平８−２９２５５３号公報）〕には、次の事項が記載されている。
「【特許請求の範囲】
【請求項１】　ペリクル製造における不要膜の除去を、カッターとペリクル膜を溶解可能な溶媒とを同時に用いて行なう工程において、切断後の不要膜がフレーム表面に接触することを防止した機構を有するカッターによって不要膜を切断することを特徴とする半導体リソグラフィ用ペリクルの製造方法。」（第２頁左欄）
　
　同刊行物３〔甲第３号証（特公平７−５７５２８号公報）〕には、次の事項が記載されている。
「【特許請求の範囲】
【請求項１】　枠や基板上に有機質の膜を接着乃至密着してなる器具の製造工程において、注射針状の針を枠側端面に接触乃至接近させ、該側端面に沿わせて移動させながら針より有機質の膜を溶解する有機溶媒を注出することによって上記膜を枠に沿って切断するようにしたことを特徴とする有機質の膜を切断する方法」（第１頁左欄）
　
「以下ペリクル製造工程におけるペリクル膜の切断方法に関する実施例を図面により説明する。
第１図に示す実施例は、針１をペリクル膜２に上方より刺通し、或いは針先より伝い落ちる有機溶媒で穿孔しながら針１を通し、ペリクル枠３の側端面と毛細管現象が生じうる適宜のクリアランスを存して沿わせる。そして針先若しくは針の適所より抽出される有機溶媒を毛細管現象によって上記クリアランスを伝い上がらせ、膜面に接触させて膜を溶解しながら針１を図面と直交する方向に上記クリアランスを保ち、枠側端面に沿わせて移動させ、これにより枠に沿った切断を行うようにしてなるものである。」（第２頁左欄第１９〜３０行）
　
　同刊行物４〔甲第４号証（特開平７−２８１４２１号公報）〕には、次の事項が記載されている。
「【特許請求の範囲】
【請求項１】　ペリクルフレームの外側にはみ出した不用膜を除去する工程において、ペリクル膜を溶解することができる有機溶剤にペリクル膜と相溶性のあるポリマーを溶解してペリクル膜の溶解性を制御した溶液を作成し、この溶液を用いて不用膜を溶解除去することを特徴とするペリクルの製造方法。」（第２頁左欄）
　
「【００１１】なお、この不用なペリクル膜を溶解するために使用される有機溶媒は、本発明においてはペリクル膜を溶解することができる有機溶媒にペリクル膜と相溶性のあるポリマーを予め溶解させて、ペリクル膜の溶解性を制御すると共にこの粘度を制御したものとすることが必要とされるが、このペリクル膜と相溶性のあるポリマーとしては例えばペリクル膜と同等のポリマーは勿論、ペリクル膜と全く同じものとしてもよいが、これはペリクル膜を構成する化学物質と化学構造的に似た類似のものとしてもよい。・・・これらの溶液のポリマー濃度はペリクル膜の溶解切断が適切に行なうことができる粘度になるように決めることがよく、ポリマーの重合度や溶媒の種類によって異なるが、例えば０．１〜５％とすればよい。」（第３頁左欄第２２〜４０行）
　
「【００１４】したがて、この不用膜は本発明によるペリクル膜と相溶性のあるポリマーを溶解した溶液で溶解切断されるのであるが、これは図１（ｃ）に示したようにこの溶液５をディスペンサー６を用いてペリクルフレーム４の外側に滴下してこの不用膜を溶解除去すればよく、これによれば図１（ｄ）に示したペリクルフレーム４にペリクル膜１がきれいに張られたペリクルを容易に得ることができる。」（第３頁右欄第１３〜２０行）
　
　同刊行物５〔甲第５号証（特開平２−１４５２９２号公報）〕には、次の事項が記載されている。
「特許請求の範囲
　平滑な基材上に製膜されたプラスチック薄膜を切断し、基材から剥離することにより得られるプラスチック薄膜体の製造工程において、該プラスチック薄膜に溶媒を含浸させた後に切断することを特徴とするプラスチック薄膜の切断方法。」（第１頁左欄第４〜９行）
　
「〔産業上の利用分野〕
　本発明は、均一でかつ塵埃等の異物を含まないプラスチック薄膜の製造方法に関する。特に、半導体集積回路の製造におけるリソグラフィー工程で用いるフォトマスクおよびレチクル（以下、単に「マスク」と略する。）の保護防塵体であるペリクルの製造方法に関する。」（第１頁左欄第１１〜１７行）
　
「切断に先立って基材上のプラスチック薄膜を溶媒によって膨潤状態にし、その後鋭利な刃により切断することにより、基材の損傷がないばかりでなく、塵埃の発生が極端に押えられるために汚染のないプラスチック薄膜が容易に得られる」（第２頁左下欄第１４〜１９行）
　
「本発明において用いる溶媒は、薄膜素材を溶解させうる溶媒でも良く、また薄膜素材を溶解させないが膨潤を生じさせる溶媒でもよい。より具体的には、薄膜素材中への平衡吸着量が１％以上である溶媒が望ましい。これより吸着量の低い溶媒では薄膜の膨潤が十分でないために本発明の効果が得られにくい。また用いる溶媒の沸点は５０℃以上であることが好ましい。これより沸点の低い溶媒では、薄膜に溶媒を含浸させてから切断までの間の溶媒の蒸発量が大きいために、特に薄膜表面における膜の膨潤が不足し、切断の抵抗が大きくなり、さらに塵埃を発生しやすくなる。
　具体的には、水あるいはブチルアルコール，２−エトキシエタノール等のアルコール類、酢酸エチル，酢酸ブチル等のエステル類、テトラヒドロフラン，ジオキサン等のエーテル類、メチルイソブチルケトン，シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン，キシレン等の芳香族化合物、ヘキサン，オクタン等の炭化水素化合物、ピリジン等の複素化合物等を例示することができるが、これら具体例に限定されるものではない。
　これらの溶媒を薄膜に含浸させるには基材ごと薄膜を溶媒中に浸漬する、薄膜を溶媒雰囲気中に放置するあるいはハケ，ペン等の適当な器具を用いて溶媒を塗布するまたは溶媒をスプレー方式で吹き付ける等の方法を用いることができる。」（第２頁右下欄第１３行〜第３頁左上欄第１８行）
　
「ガラス板上に膜厚２．８５μｍの均一な薄膜を形成した。次いで、外周の一辺が９２ｍｍ，厚みが２．５ｍｍ，高さが５．５ｍｍの正方形リング状アルミニウム支持枠とガラス板上の薄膜をエポキシ系接着剤を用いて接着した。次に、２−エトキシエタノールを含んだスポンジを枠の外周に沿ってすべらせることにより薄膜に２−エトキシエタノールを含浸させた後、ポリプロピレン製の刃を用いて枠の外周の薄膜を切断した。」（第３頁左下欄第１０〜１８行）
　
　（エ）対比・判断
　（本件請求項１に係る発明について）
　本件請求項１に係る発明と上記刊行物１〜５に記載の発明とを対比すると、刊行物１〜５に記載の発明は、本件請求項１に係る発明を特定する事項である「物理的切断手段により切断するのに先行して、薄膜の膜材と同じ樹脂を有機溶媒に飽和溶解させた飽和溶液よりなるコート液を切断箇所に放出して塗布する」点を備えておらず、この点により本件請求項１に係る発明は、明細書記載の「薄膜の切断は、切断刃等の物理的切断手段によってのみ切断され、溶媒による薄膜の切断は行われず、薄膜切断のスピードを上げてもコート液に溶解される樹脂による被覆が確実にでき、仕上がりもきれいで発塵することもない」（段落【００１０】）という効果を奏するものであり、本件請求項１に係る発明が上記刊行物１〜５に記載された発明であるとも、刊行物１〜５に記載の発明から容易に推考することができたものともいえない。
　
　（本件請求項２〜６に係る発明について）
　本件請求項２〜６に係る発明は、本件請求項１に係る発明の構成の一部をさらに限定したものであるから、本件請求項１に係る発明と同様の判断となる。
　
　（オ）記載不備について
　当審が平成１６年７月２９日付で通知した取消理由である記載不備については、平成１６年１０月１２日付の訂正で解消した。
　
　（カ）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由及び証拠によっては、本件請求項１〜６に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜６に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年５月２６日（２００５．５．２６）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
マスク保護装置の製造方法における薄膜の切断方法と、該方法で用いる切断治具
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】ペリクル枠の一側端面に薄膜を接着後、該枠外側のエッジよりはみ出る薄膜を物理的切断手段によって切断する薄膜の切断方法において、物理的切断手段により切断するのに先行して物理的切断手段に添設若しくは内蔵した塗布器より
上記薄膜の膜材と同じ樹脂を有機溶媒に飽和溶解させた飽和溶液よりなる
　【請求項２】物理的切断手段は刃よりなる請求項
１
　【請求項３】コート液の塗布器を添設若しくは内蔵したことを特徴とする請求項
１
　【請求項４】塗布器はパイプ状をなす請求項
３
　【請求項５】パイプ状の塗布器に形成される請求項
４
　【請求項６】切断治具は刃よりなる請求項
３
４
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明が属する技術分野】
　本発明は、集積回路の製造工程におけるフォトリソグラフィ工程で用いられるマスクやレチクル（以下「マスク」という）上に塵埃等が付着するのを防止する目的で用いられ、マスクパターンを囲う大きさのペリクル枠と、該枠の一側端面に張設される透明な薄膜とよりなるマスク保護装置の製造方法において、ペリクル枠の一側端面に薄膜を接着後、該枠のエッジよりはみ出る薄膜を切断する方法と、該方法で用いる切断治具に関する。
　【０００２】
　【従来技術】
　マスク保護装置は通常、スピンコート法、溶液中に浸漬させて引き上げる引上げ法等によってガラス基盤上に製膜したニトロセルロースやエチルセルロース等の有機質の薄膜を図１に示すように、ペリクル枠１よりサイズが大きな仮枠２に一旦取り、ついで接着剤を塗布したペリクル枠１の一側端面に仮枠２を降下させることによって押し当てゝ接着したのち、ペリクル枠１のエッジよりはみ出る薄膜３を切断することによって得られる。
　【０００３】
　薄膜３の切断方法には、切断刃によって切断する方法、レーザ光によって切断する方法、熱によって切断する方法等があるが、多くは有機溶媒によって切断する方法、すなわち図示するように、注射針状の治具５の先端を薄膜３に突き刺し、枠外側のエッジに添わせて移動させながら治具先端より有機質の薄膜３を溶解する有機溶媒を放出することにより行う方法が用いられているが（特公平７−５７５２８号）、薄膜を溶解することができる有機溶剤に薄膜との相溶性のあるポリマーを溶解して薄膜の溶解性を制御した溶液をディスペンサーを用いて滴下することにより、不用膜を溶解切断する方法や切断刃で切断したのち切断面を上記溶液で溶解して切断面をなめらかにする方法も提案されている（特開平７−２８１４２１号）。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記の有機溶媒によって切断する方法は、膜溶解時間を必要とするため膜切断スピードを上げることができないし、薄膜が有機溶媒に溶けないか、有機溶媒との溶解度が非常に低い場合、使用することができない。この点例えば切断刃等の物理的切断手段による切断は、溶媒による切断のように、膜溶解時間を不要とするため膜切断スピードを上げ、作業能率を向上させることができ、また有機溶媒に不溶な膜でも切断することができるが、切断刃による切断も他の切断方法と同様、切断端面に付着した切屑がマスクへの装着時に脱落して発塵の原因となることがある。この問題に対処するため切断端面を溶媒で拭き取って仕上げたり、両面粘着テープを用いて切屑を除去することも試みられているが、切断後に切断端面の仕上工程や切屑の除去工程が必要で、切屑を完全に除去するのも困難であった。
　【０００５】
　本発明は、発塵の原因となる切屑を生ずることがない薄膜の切断方法と、該方法で用いる切断治具を提供することを目的とする。
　【０００６】
　【課題の解決手段】
　本発明はそのため、ペリクル枠の一側端面に薄膜を接着後、該枠外側のエッジよりはみ出る薄膜を物理的切断手段によって切断する薄膜の切断方法において、物理的切断手段により切断するのに先行して物理的切断手段に添設若しくは内蔵した塗布器より
上記薄膜の膜材と同じ樹脂を有機溶媒に飽和溶解させた飽和溶液よりなる
　【０００７】
　上記発明で用いるコート液は、薄膜の切断端面を完全に被い、物理的切断手段による切断時の発塵を押さえると共に、薄膜から剥離しないものである必要がある。
　
薄膜の膜材と同じ
　【０００８】
　有機溶媒としては、例えばフルオロカーボンである旭硝子株式会社製のＣＴ−１００（商品名）、ＣＴ−１３０（商品名）、ＣＴ−１６０（商品名）、ＣＴ−１８０（商品名）、トーケムプロダクツ社製のＥＦ−Ｌ１０２（商品名）、ＥＦ−Ｌ１５５（商品名）、ＥＦ−Ｌ１７４（商品名）、ＥＦ−Ｌ２１５（商品名）、トクヤマ株式会社製のＩＬ−２６０（商品名）、ＩＬ−２６３（商品名）等を例示することができる。
　【０００９】
　有機溶媒としてはまた、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトン等のケトン系溶媒、酢酸ブチル、酢酸イソブチル等の低級脂肪酸エステルを例示することができ、またケトン又はエステルとイソプロピルアコールの混合溶媒を使用することもできる。有機溶媒に対するコート材の使用割合は、有機溶媒１００重量部に対してコート材は通常１重量部以上である。
　【００１０】
　飽和溶液の調製法としては、例えば上記樹脂を通常、２０〜２５℃で上記溶媒に通常１２時間以上浸漬して行われる。浸漬時間は長い方がよいが、経済的な理由から樹脂にもよるが、５〜６時間であれば、ほぼ飽和溶液とみなしてもよい。こうしたコート液を用いた場合、薄膜の切断は、切断刃等の物理的切断手段によってのみ切断され、溶媒による薄膜の切断は行われず、薄膜切断のスピードを上げてもコート液に溶解される樹脂による被覆が確実にでき、仕上がりもきれいで発塵することもない。
　【００１１】
　上記発明で用いる塗布器としては、切断に先行してコート液を塗布できるようなものであればよく、どのようなものであってもよいが、好ましくはパイプ状でコート液供給装置から供給されたコート液がパイプ端から放出するようにされる。パイプ状とすることにより構成が簡単で嵩張らず、切断刃への添設が容易となる。しかも上記塗布器は、物理滴切断手段に添設し、物理的切断手段と一体をなして動作するようにされるか、切断刃等の物理的手段が塗布器と一体形成される。塗布器を物理的切断手段に添設することにより塗布器を移動させるための装置、例えばロボットを不要にし、物理的切断手段を移動させる一つの装置で済むようになり、また切断刃等の物理的手段を塗布器に一体形成することにより構成が更に簡単なものとなる。
　【００１２】
　いづれにしても上述する塗布器は、切断刃等の物理的切断手段による切断に先行して切断個所にコート液を塗布する。これにより切断の後から行うよりも発塵を抑制し、切断速度も上げられるなどの利点がある。本発明で用いる物理的切断刃手段としては、例えば切断刃が好ましい例として挙げられるが、これ以外に図５に示すようにパイプの先端部を絞って刃を備えた針状部を形成し、刃の真上と、その左右に３ヵ所、コート液の放出口を形成した切断治具、図７に示すようにパイプの先端部を針状に形成し、その真上の前後左右に４ヵ所、コート液の放出口を形成した切断治具を用いることができる。図５に示す切断刃は、枠のエッジに沿って薄膜を切断する際、枠のコーナに達する都度、刃先を９０°方向転換する必要があるのに対し、図７に示すように切断刃を針状とし、コート液の放出口を前後左右に４ヵ所設けた場合、枠のコーナに達しても方向転換する必要がなく、切断治具を回転させる必要がない。
　【００１３】
　切断刃や刃を備えた針状部などの切断治具のように、刃のある物理的切断手段を使用する場合、良好な切断が可能で、切断速度を上げても切断できる利点がある。切断刃を使用する場合、該切断刃としては、枠のエッジに沿って薄膜を切断できるようなものであればよく、その種類を問わないが、切れ味のよい薄刃のものが望ましい。こうしたものとしては、例えばオルファ社の片刃（商品名「マットカッター」）、オルファ社の両刃（商品名「デザインナイフ」、「円形刃」）、フェザー社の両刃（商品名「サージカルブラディーズ」）等を例示することができる。
　【００１４】
　【発明の実施の形態】
　図３及び図４において、切断刃１１には図示省略したコート液の供給装置に接続される小径のパイプ１２が添設され、その下端のコート液放出口１２ａは、切断刃１１でペリクル枠１３のエッジよりはみ出る薄膜１４を切断するときに薄膜上部に位置し、切断刃による切断に先行して放出口１２ａからコート液を一定量づゝ放出し、枠際にエッジに沿ってコート液１６を塗布しながら切断刃１１を矢印方向に一定速度で移動させて切断するようになっている。
　【００１５】
　図５及び図６に示す切断治具２１は、パイプ２２の先端部を図示するように二段、或いは複数段ないし彎曲状に絞って刃を備えた針状部２３を形成したもので、ペリクル枠１３よりはみ出る薄膜１４を切断するときには、図６に示すように切断治具２１を一定量降下させて刃２３を薄膜１４に突き刺し、水平方向に枠１３のエッジに沿い、手前に向かって一定速度で移動させることによって切断を行うが、このときペリクル枠上端面と同一レベル上にあって、刃先端より手前側に位置する放出口２４より刃２３によって切断される直前の切断箇所にコート液１６が放出されるようにしてある。
　【００１６】
　図７及び図８に示す切断治具３１は、パイプ３２の先端を針３３としたもので、ペリクル枠１３のエッジよりはみ出る薄膜１４を切断するときには、図８に示すように、切断治具３１を一定量降下させて針３３を薄膜１４に突き刺し、水平方向に枠１３のエッジに沿い一定速度で移動させることによって切断を行うが、このときペリクル枠上端面と同一レベルにある前後左右の４か所の放出口３４よりそれぞれコート液１６が一定量づゝ放出されるようにしてある。
　【００１７】
　上述する切断治具はいづれもロボットのハンドに把持されて薄膜の切断を行うが、ペリクル枠は一般に矩形状をなしていることから、図５及び図６に示す切断治具では、刃先がペリクル枠のコーナに達したとき切断治具を９０°旋回して向きを変えねばならず、したがってこうした切断治具を用いるロボットは、ロボットハンドを旋回させる機構を必要とする。これに対し図７及び図８に示すように、刃先が針状をなし、かつ放出口３４を前後左右に４か所形成した切断治具は、ペリクル枠のコーナに対しても向きを変える必要がないため、ロボットハンドを旋回させる機構を必要とせず、構造が簡単で、制御の容易なロボットを使用することができる。
　【００１８】
　【実施例】
　実施例１塵埃のない環境下のクリーンルーム内で、図３及び図４に示すように、アルミ製のペリクル枠１３に仮枠１５に取ったセルロース製の薄膜１４を接着したのち、ペリクル枠１３のエッジよりはみ出る部分を切断刃１１で切断刃１１に添設の金属又は樹脂製のパイプ１２よりコート液を放出しながら切断した。
　【００１９】
　ここで切断刃としては、オルファ社のデザインナイフ（商品名）を用い、コート液として旭硝子株式会社製のフッ素含有樹脂（商品名「サイトップ」）４．０ｇをフルオロカーボン系の有機溶媒（旭硝子株式会社製の商品名「ＣＴ−Ｓｏｌｖ．１３Ｃ」）４６．０ｇに２３℃で５時間浸漬して得た飽和溶液を用いた。この場合の該樹脂の含有量は約８ｗｔ％であった。そして前者の切断刃を先端回転機構を持つ直交座標系ロボットのハンドに取付けたのち、６ｍｍ／ｓｅｃの速度でペリクル枠のエッジに沿って図４の矢印方向に移動させ、刃による切断に先行してパイプ１２の放出口２４よりコート液を放出量４０μｌ／ｍｉｎで放出して切断か所を塗布しながら切断を行ったところ、切断が支障なく良好に行え、コート液の塗布幅及びペリクル枠外側面の垂れ共１ｍｍ以内で枠際コートが可能となった。以上の切断作業を三回繰返して行い、それぞれについて薄膜切断中、切断部周辺の発塵量をパーティクルカウンターにて測定した。結果を表１に示す。
　【００２０】
　比較例１コート液の放出を切断刃による切断に続いて行い、切断直後の切断端面をコート液で塗布する以外は実施例１と同じ条件で切断を行ったところ、切断は実施例１と同様、良好に行えた。薄膜切断中、実施例１と同様にして切断部周辺の発塵量を測定した。結果を以下の表１に示す。
　【００２１】
　【表１】
　表１に示されるようにコート液の塗布を切断面に行う実施例１の方が、切断後に行う比較例１に比べ発塵量が激減し、１μｍ以上の大きな異物発生が皆無となった。
　【００２２】
　実施例２実施例１において、切断刃による切断速度を１０ｍｍ／ｓｅｃとしても薄膜の切断が良好に行えることに変わりがなかった。またコート液として３％樹脂溶液を使用しても良好な切断が行えることに変わりがなかったが、コート液の塗布幅及びペリクル枠外側面の垂れとも１ｍｍで枠際コートが可能となった。
　【００２３】
　比較例２内径が０．７ｍｍのパイプよりなる図５及び図６に示す切断治具２１を用い、かつコート液として３％樹脂溶液を使用して切断速度を２ｍｍ／ｓｅｃ、６ｍｍ／ｓｅｃ、１０ｍｍ／ｓｅｃと変え、切断を行ったところ、２ｍｍ／ｓｅｃの切断速度では薄膜を切断できたが、６ｍｍ／ｓｅｃ以上の切断速度では切断が行えなかった。以上の結果を以下の表２に示す。
　【００２４】
　【表２】
　表２に示されるように、薄膜の切断には刃のある切断治具を用いるのが好ましく、刃のある切断治具ではコート液として飽和樹脂溶液を使用し、切断速度を上げても切断が可能であった。
　【００２５】
　【発明の効果】
　請求項１記載の切断方法によると、薄膜を物理的切断手段によって切断するため、どのような膜材の薄膜でも切断できると共に、有機溶媒による切断に比べ、膜溶解時間が不要であるため、膜切断スピードを上げることができ、また切断個所が切断に先立ってコート液でコートされるため、切断端面からの発塵を抑制でき、切断速度を上げることができる。
　【００２６】
　
またコート液に膜材と同じ
ことにより
２
５
　【００２７】
　請求項
３
４
【図面の簡単な説明】
　【図１】仮枠に取った薄膜をペリクル枠に張設後、切断するときの状態を示す概略断面図。
　【図２】従来例の要部拡大断面図。
　【図３】本発明による切断方法を示す断面図。
　【図４】同拡大側面図。
　【図５】切断治具の斜視図。
　【図６】図５に示す切断治具を用いた切断時における状態を示す要部拡大断面図。
　【図７】切断治具の更に別の例の斜視図。
　【図８】図７に示す切断治具を用いた切断時における状態を示す要部拡大断面図。
　【符号の説明】
　１、１３・・ペリクル枠
　２、１５・・仮枠
　３、１４・・薄膜
　５・・治具
　１１・・切断刃
　１２・・パイプ
　１２ａ・・放出口
　１６・・コート液
　２１・・切断治具
　２２、３２・・パイプ
　２３・・針状部
　２４、３４・・放出口
　３３・・針