【事件の表示】
　特許第３２２２６１０号「円板状基板を保持して回転する基板保持装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２２２６１０号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１ 手続の経緯
　本件特許第３２２２６１０号の請求項１に係る発明についての出願は、平成５年３月１日に出願され、平成１３年８月１７日にその発明について特許の設定登録がなされ、その後、本件特許の請求項１に係る発明について、異議申立人 山本富士男、及び佐藤隆由からそれぞれ特許異議の申立てがなされ、さらに取消理由が通知され、その指定期間内である平成１４年１０月１５日に訂正請求がなされたものである。
　　
２ 訂正の適否について
　(1) 訂正の内容
　 特許権者が求めている訂正の内容は、次のとおりである。
　　ア．訂正事項(i)
　　 願書に添付した明細書（以下、「特許明細書」という。）の特許請求の範囲において、
　　「【請求項１】
　　 円板状基板の外側端部の少なくとも３カ所を保持する少なくとも３個の保持手段と、
　　 該少なくとも３個の保持手段を基板押圧方向に付勢する付勢手段
と、を
　　 上記３個の保持手段の夫々は、
　　 支点と、
　　 
該
て回
　　 該第１手段
に固
の付
　　 上記第１手
段に
を、
に更に付
　　 を有することを特徴とする
　　 円板状基板を保持して回転する基板保持装置。」を、
　　「【請求項１】
　　 円板状基板の外側端部の少なくとも３カ所を保持する少なくとも３個の保持手段と、該少なくとも３個の保持手段を基板押圧方向に付勢する付勢手段
とを
上記付勢手段による基板付勢力を一方の端部で受けて上記
て基板付勢方向に回
段の長手方向の軸と略直角方向であって第１手段の他方の端部の基板保持側に
の基板付
段の長手方向の軸と略直角方向であって第１手段の他方の端部の基板保持側と反対側に
を上
に付
　　イ．訂正事項(ii)
　　 特許明細書の「発明の詳細な説明」の欄の段落【００１３】において、「基板２」(本件特許公報第４欄18行)を「基板４」と訂正し、また段落【００１６】において、「上部３６」(同公報第４欄40行)を「上部３６’」と訂正する。
　　ウ．訂正事項(iii)
　　 願書に添付した図面において、図２〜図４における「回転体３４」の上部を示す符号「３６」を「３６’」と訂正する。
　　
　(2) 訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　　ア．訂正事項(i)について
　　 上記訂正事項(i)の「該支点を中心にして回動可能の第１手段と、」を「
上記付勢手段による基板付勢力を一方の端部で受けて上記
基板付勢方向に
　　 上記訂正事項(i)の「該第１手段に固定され、上記付勢手段の付勢力を上記支点を介して受けて上記円板状基板を押圧して保持する第２手段と、」を「該第１手段
の長手方向の軸と略直角方向であって第１手段の他方の端部の基板保持側
基板
　　 また、上記訂正事項(i)の「上記第１手段に固定され、」を「上記第１手段
の長手方向の軸と略直角方向であって第１手段の他方の端部の基板保持側と反対側
　　 さらに、上記訂正事項(i)の「付勢手段と、を有し、」を「付勢手段
とを
を上
に付
　　イ．訂正事項(ii)及び(iii)について
　　 これらの訂正は、明らかに誤記の訂正を目的とするものである。
　 そして、上記訂正事項(i)〜(iii)は、いずれも新規事項の追加に該当するものではなく、また実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　　
　(3) むすび
　 以上のとおり、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　　
３ 特許異議の申立てについて
　(1) 異議申立ての理由の概要
　　異議申立人 山本富士男は、証拠として特開昭５７−２０７５７１号公報（甲第１号証、以下「刊行物１」という。）、及び特開平４−２２５２５６号公報（甲第２号証、以下「刊行物２」という。）を引用し、また異議申立人 佐藤隆由は、証拠として特開昭６３−１２９５７７号公報（甲第１号証、以下「刊行物３」という。）、及び特開平１−２１６５４２号公報（甲第２号証、以下「刊行物４」という。）を引用して、それぞれ次のように主張している。
　　本件特許の請求項１に係る発明は、それぞれの刊行物に記載された発明と同一であるか、又はこれらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許は、特許法第２９条第１項第３号又は同条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきものである。
　　
　(2) 本件発明
　　本件特許の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認める。（上記２(1)ア．の訂正された[請求項１]を参照）
　　
　(3) 刊行物に記載された発明
　　各異議申立人が引用した刊行物１〜４には、それぞれ次の発明が記載されている。
　　ア．刊行物１
　　 刊行物１には、以下の発明が記載されている。
　　 「ウエハ(1)〔円板状基板〕の外側端部の３カ所を保持する３個の把持爪(14a,14b,14b)〔保持手段〕と、該３個の把持爪をウエハ押圧方向に付勢する引張ばね(16)〔付勢手段〕とを有し、上記３個の把持爪(14a,14b,14b)の夫々は、支点を有し、上記引張ばね(16)によるウエハ付勢力を一方の側で受けて上記支点を中心としてウエハ付勢方向に回動可能であり、上記引張ばね(16)のウエハ付勢力を上記支点を介して受けて上記ウエハ(1)を押圧して保持する挾持溝(14a-1,14b-1,14b-1)〔第２手段〕と、装置の回転による遠心力を上記支点を介して上記挾持溝に与え、該挾持溝をウエハ押圧方向に付勢する把持爪(14a,14b,14b)の重心がある他方側の部分〔第３手段〕と、を有するウエハを保持して回転するウエハ把持機構〔基板保持装置　〕。」（なお、〔 〕内には、本件発明の対応する用語を示す。）
　　イ．刊行物２
　　 刊行物２に記載された「ウェーハ把持機構」における「可動指(1)、及びローラー(2)からなる部材」は、本件発明の「保持手段」に相当するものであるから、刊行物２には、以下の発明が記載されている。
　　「ウェーハ(3)〔円板状基板〕の外側端部の６カ所を保持する６個の保持手段と、該６個の保持手段をウェーハ押圧方向に作動するシリンダ(10)とを有し、上記６個の保持手段の夫々は、支点と、上記シリンダ(10)によるウェーハ把持力を一方の側で受けて上記支点を中心としてウェーハ把持方向に回動可能な可動指(1)〔第１手段〕と、該可動指の他方の端部に固定され、上記シリンダ(10)のウェーハ把持力を上記支点を介して受けて上記ウェーハ(1)を押圧して保持するローラー(2)〔第２手段〕と、装置の回転による遠心力を上記支点を介して上記ローラー(2)に与え、該ローラー(2)をウェーハ押圧方向に付勢する可動指(1)の重心がある一方側の部分〔第３手段〕と、を有するウェーハを保持して回転するウェーハ把持機構〔基板保持装置　〕。」（なお、〔 〕内には、本件発明の対応する用語を示す。）
　　ウ．刊行物３
　　 刊行物３に記載された「ディスク基板の回転装置」における「揺動アーム(9)、チャック指片(10)、及び慣性体部(23)からなる部材」は、本件発明の「保持手段」に相当するものであるから、刊行物３には、以下の発明が記載されている。
　　「ディスク基板(11)〔円板状基板〕の外側端部の３カ所を保持する３個の保持手段と、該３個の保持手段を円錐カム(12)及びカムホロワ(13)の作用により基板押圧方向に付勢するばね(22)〔付勢手段〕とを有し、上記３個の保持手段の夫々は、支点と、上記ばね(22)による基板付勢力を上記円錐カム(12)及びカムホロワ(13)を介して受け、上記支点を中心として基板付勢方向に回動可能な揺動アーム(9)〔第１手段〕と、該揺動アーム(9)の長手方向の軸と略直角方向であって揺動アームの一方の端部の基板保持側に固定され、上記ばね(22)の基板付勢力を上記支点を介して受けて上記ディスク基板を押圧して保持するチャック指片(10)〔第２手段〕と、装置の回転による遠心力を上記支点を介して上記チャック指片(10)に与え、該チャック指片を基板押圧方向に付勢する慣性体部(23)〔第３手段〕と、を有する円板状基板を保持して回転するディスク基板の回転装置〔基板保持装置〕。」（なお、〔 〕内には、本件発明の対応する用語を示す。）
　　エ．刊行物４
　　 刊行物４に記載された「両面洗浄装置におれる保持爪開閉装置」における「爪保持柱(8)、保持爪(7)、及び取付板(4)からなる部材」は、本件発明の「保持手段」に相当するものであるから、刊行物４には、以下の発明が記載されている。
　　 「被洗浄物(Ａ)〔円板状基板〕の外側端部の６カ所を保持する６個の保持手段と、該６個の保持手段を昇降軸(14)及び作動盤(15)の作用により被洗浄物押圧方向に作動するシリンダ(28)とを有し、上記６個の保持手段の夫々は、支点と、上記シリンダ(28)による被洗浄物付勢力を受けて上記支点を中心として被洗浄物付勢方向に回動可能な爪保持柱(8)〔第１手段〕と、該爪保持柱(8)の一方の端部に固定され、上記シリンダ(28)の被洗浄物把持力を上記支点を介して受けて上記被洗浄物(Ａ)を押圧して保持する保持爪(7)〔第２手段〕と、装置の回転による遠心力を上記支点を介して上記保持爪(7)に与え、該保持爪を被洗浄物押圧方向に付勢する取付板(4)〔第３手段〕と、を有する被洗浄物を保持して回転する保持爪開閉装置〔基板保持装置〕。」（なお、〔 〕内には、本件発明の対応する用語を示す。）
　　
　(4) 当審の判断
　　本件発明と刊行物１〜４に記載されたそれぞれの発明とを対比すると、
刊行物１〜４に記載されたそれぞれの発明は、本件発明を特定する事項の一部である次の構成を具備していない。
　 「第３手段が、第１手段の長手方向の軸と略直角方向であって第１手段の他方の端部の基板保持側と反対側に固定されている点。」
　　そして、本件発明は、上記構成を具備することにより、訂正明細書に記載されたとおりの作用・効果を生じるものであるから、上記刊行物１〜４に記載されたいずれかの発明と同一であるとも、またこれらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとも云えない。
　　
　(5) 当審での取消理由について
　　当審において通知した取消理由の概要は、次のとおりである。
　　本件特許の請求項１に係る発明は、上記刊行物１〜４に記載されたいずれかの発明と同一であるか、又はこれらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許は、特許法第２９条第１項第３号又は同条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきものである。
　　この点について検討すると、当審での取消理由及び証拠は、異議申立ての理由及び証拠と異なるところがないから、異議申立てについての判断（３(4)参照）と同様に、本件発明は、上記刊行物１〜４に記載されたいずれかの発明と同一であるとも、また、これらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとも云えない。
　　
　(6) むすび
　　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明についての特許を取り消すことはできない。
　　
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年１１月８日（２００２．１１．８）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
１．請求項１において、
　「該支点を中心にして回動可能の第１手段と、」とあるを、特許請求の範囲の減縮を目的として、「
上記付勢手段による基板付勢力を一方の端部で受けて上記
基板付勢方向に
　「該第１手段に固定され、上記付勢手段の付勢力を上記支点を介して受けて上記円板状基板を押圧して保持する第２手段と、」とあるを、特許請求の範囲の減縮を目的として、「該第１手段
の長手方向の軸と略直角方向であって第１手段の他方の端部の基板保持側
基板
　「上記第１手段に固定され、」とあるを、特許請求の範囲の減縮を目的として、「上記第１手段
の長手方向の軸と略直角方向であって第１手段の他方の端部の基板保持側と反対側
　「付勢手段と、を有し、」とあるを、誤記の訂正又は明りょうでない記載の釈明を目的として、「付勢手段
とを
　「遠心力を、上記支点」とあるを、誤記の訂正又は明りょうでない記載の釈明を目的として、「遠心力
を上
　「基板押圧方向に更に付勢する」とあるを、誤記の訂正又は明りょうでない記載の釈明を目的として、「基板押圧方向
に付
２．発明の詳細な説明の欄において、
　段落【００１３】に「基板２」（本件特許公報第４欄１８行）とあるを、誤記の訂正を目的として、「基板４」と訂正し、
　段落【００１６】に「上部３６」（同公報第４欄４０行）とあるを、誤記の訂正を目的として、「上部３６’」と訂正する。
３．願書に添付した図面において、
　図２〜図４における「回転体３４」の上部を示す符号「３６」を、誤記の訂正を目的として、「３６’」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
円板状基板を保持して回転する基板保持装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　円板状基板の外側端部の少なくとも３カ所を保持する少なくとも３個の保持手段と、該少なくとも３個の保持手段を基板押圧方向に付勢する付勢手段とを有し、上記３個の保持手段の夫々は、支点と、
上記付勢手段による基板付勢力を一方の端部で受けて上記
基板付勢方向に
の長手方向の軸と略直角方向であって第１手段の他方の端部の基板保持側
の長手方向の軸と略直角方向であって第１手段の他方の端部の基板保持側と反対側
、
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、円板状基板を保持して回転する保持装置に関し、特に円板状基板の外側端部を少なくとも３カ所で保持して高速回転する基板保持装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　コンピュータ等の電子機器の補助記憶装置としてハードディスクを使用する傾向は近年特に強まり、ハードディスクを早く且つ安価に高精度のものを製造する要求が益々強まっている。周知のように、ハードディスク基板状に磁性体を設ける前に、ハードディスク基板（以下単に基板という場合がある）を研削後に又、研磨後の各々の工程後に基板を洗浄・乾燥させる必要がある。
　【０００３】
　洗浄したハードディスク基板の乾燥方法として、基板を高速で回転させて基板に付着している洗浄液（以下、洗浄水とする）を遠心力で除去する方法がある。本発明は、このように基板を高速回転させて基板に付着した洗浄水を除去する基板保持装置に関する。
　【０００４】
　図５を参照して従来の基板保持の方法を簡単に説明する。
　図５は、基板保持装置の基板保持部２ａ、２ｂ、２ｃに保持された円板状基板４を示す。即ち、基板保持部２ａ−２ｃの夫々に設けた溝（図示せず）に、基板４の中心部に設けた円形の開口部（貫通孔）６の縁部を係合させ、基板４を外側方向に押圧して基板４を保持する。尚、図５では、基板保持装置の全体の図示を省略している。
　【０００５】
　基板４を基板保持部２ａ−２ｃで保持した基板保持装置は、開口部６の中心点を通り基板面に垂直な軸を中心にして、例えば矢印８の方向に約６０００ｒｐｍで回転し、基板４の表面に付着した洗浄水を遠心力により除去する。
　【０００６】
　従来の方法によれば、保持部２ａ−２ｃは、高速回転により基板４の半径方向外向きに遠心力を受けるので、保持部２ａ−２ｃは基板４の内側端部から外れにくいという利点がある。
　【０００７】
　しかしながら、基板の小型化に従い、基板の中心部に設けられる円形状の開口部６が小さくなり、保持部２ａ−２ｃを開口部６に配置するのが困難になってきた。
　【０００８】
　この問題を解決するため、基板の外側端部を保持する保持装置が考えられる。しかし、基板保持装置の高速回転により保持部に働く遠心力は基板の半径方向外向きなので、基板の外側端部を押圧する方法は、保持部が基板から外れ易いという問題がある。
　【０００９】
　このため、基板の外側端部を保持する方法では、遠心力に抗して基板を確実に保持するため、大きな力で基板の外側端部を押圧する必要がある。しかし、基板の端部を強く押さえると、基板に歪が生じたり或いは端部が損傷するという大きな問題がある。
　【００１０】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明は、基板に歪や損傷を与えることなく、小型の（即ち直径の小さい）円板状基板の外側端部を確実に保持できる基板保持装置を提供することである。
　【００１１】
　【課題を解決するための手段】
　円板状基板の外側端部の少なくとも３カ所を保持する少なくとも３個の保持手段と、該少なくとも３個の保持手段を基板押圧方向に付勢する付勢手段と、を有し、
　上記３個の保持手段の夫々は、支点と、該支点を中心にして回動可能の第１手段と、該第１手段に固定され、上記付勢手段の付勢力を上記支点を介して受けて上記円板状基板を押圧して保持する第２手段と、上記第１手段に固定され、装置の回転による遠心力を、上記支点を介して上記第２手段に与え、該第２手段を基板押圧方向に更に付勢する第３手段と、を有する。
　【００１２】
　【実施例】
　以下、図１−図４を参照して本発明の実施例を説明する。
　図１は本発明に係る保持装置に保持された基板４を示す概略正面図、図２は図１の１０ａ−１０ｂに沿った断面図（一部側面を表す）である。図３、図４は基板の装着を説明する図である。
　【００１３】
　まず、図１及び図２を参照して本発明を説明する。
　図１に示すように、基板保持装置の保持部１２ａ、１２ｂ、１２ｃは、基板４の外側端部を押圧して基板４を保持する。実際には、保持部１２ａ−１２ｃの夫々に設けた溝（後述する）に基板４の外側端部を係合させ、保持部１２ａ−１２ｃを内側（基板４の中心方向）に押圧して基板４を保持する。
　即ち、図２に示すように、保持部１２ａの先端に設けた溝１４ａにより基板
４
　本実施例では３個の保持部１２ａ−１２ｃ（図１）を設けているが、場合によっては４個以上設けてもよい。
　【００１４】
　図２において、柱状部材１６ａ（第１手段）の上部両端には、上述の基板保持部１２ａ（第２手段）と基板押圧補助部１８ａ（第３手段）が設けられている。説明の便宜上、部材１６ａ、１２ａ及び１８ａから成る部分をＴ型部分２０と称する。柱状部材１６ａの中心部は、軸（支点）２２に回動自在に設けられている。一方、筒状部２４の突部２６に固定された軸２８は、柱状部材１６ａの下端部に設けた凹部と回動自在に係合している。
　【００１５】
　筒状部２４の内部には、バネ３０が設けられ、このバネ３０の右端（図面上）は筒状部２４の閉塞端の内壁に当接しており、左端は部材（蓋）３２の内壁に当接している。蓋３２は、回転本体３４に固定されるので、筒状部２４はバネ３０によって右側に押され、Ｔ型部分２０を矢印３６の方向に付勢する。従って、基板保持部１２ａは、他の基板保持部１２ｂ及び１２ｃと共に、基板４を保持する。
　【００１６】
　回転本体３４の上部３６’には、上述した軸２２が固定され、柱状部材１６ａが軸２２に回転自在に設けられている。図示の如く、回転本体３４は、ネジ等の適当な固定手段３８により、棒状の基板脱着部材４０を内部に有する筒状の回転付与部材４２に固定されている。この回転付与部材４２は、回転駆動源（図示せず）により例えば矢印４４の方向に回転する。従って、回転本体３４が同方向に回転し、基板保持部材１２ａ（及び１２ｂ、１２ｃ）により固定された基板４が同方向に回転する。
　【００１７】
　次に、図３及び図４を参照し、基板４の装置への取り付けを説明する。
　図３に示すように、基板４が装着されていない場合には、バネ３０による右方向の押圧力により、筒状部２４は右側に押される。従って、筒状部２４の右端は、基板脱着部材４０の左端に当接して停止する。この場合、筒状部２４に固定された軸２８により、Ｔ型部分２０は、軸２２（支点）を中心にして回動し、図３に示す位置となる。
　【００１８】
　次いで、図４に示すように、基板脱着部材４０をバネ３０の押圧力に抗して左側に押すと、Ｔ型部分２０は、軸２２（支点）を中心として矢印４５の方向に回動し、図４に示す位置になる。この状態で、基板４を所定位置に設置し、基板脱着部材４０の左側方向への押圧を解除すると、基板４は、図１及び図２に示すように、基板保持部１２ａ−１２ｃ（図２では１２ａのみを示す）により装置に装着される。
　【００１９】
　図２を参照して、本発明を更に詳細に説明する。
　装置が、図２の状態で且つ回転していない場合、Ｔ型部分２０は、バネ３０の付勢力により矢印３６の方向に付勢され、基板４は、基板保持部１２ａ（及び図示していない１２ｂ、１２ｃ）により保持される。装置が回転すると、基板保持部１２ａ及び基板押圧補助部１８ａには、夫々矢印４６、４８の方向に遠心力が加わる。
　【００２０】
　基板保持部１２ａに加わる遠心力は、従来例と同様に、基板の押圧力を弱める方向に働く。即ち、Ｔ型部分２０を矢印４５の方向に回動させるように作用する。しかしながら、基板押圧補助部１８ａに働く遠心力は、支点（軸）２２を介してＴ型部分２０（即ち、基板保持部１２ａ）を矢印３６の方向に回動させるように作用するので、基板保持部１２ａを基板４の中心部に押圧することになる。
　【００２１】
　【発明の効果】
　従来例では、装置の回転による遠心力を考慮して基板を強く押圧するため、上述したように、装置の回転していない状態では、基板の端部が損傷したり基板に歪を与えるという問題があった。
　しかし、本発明は、基板の回転中の脱落を防止するのに、基板保持部１２ａの押圧力を強めるのではなく、基板押圧補助部１８ａに働く遠心力を、回転中の基板の押圧に利用しているので、上述の従来例の問題を解決することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明に係る装置（一部のみを示す）に保持された基板の正面図。
　【図２】
　本発明に係る装置を説明するための断面図（一部側面図）。
　【図３】
　本発明に係る装置の動作を説明するための断面図（一部側面図）。
　【図４】
　本発明に係る装置の動作を説明するための断面図（一部側面図）。
　【図５】
　従来例に係る装置（一部のみを示す）に保持された基板の正面図。
　【符号の説明】
　　４　　円板状基板
　１２ａ　基板保持部（第２手段）
　１６ａ　棒状部材（第１手段）
　１８ａ　基板押圧補助部（第３手段）
　３０　　バネ（付勢手段）
【図面】