【事件の表示】
　特許第３２５１２０６号「プラズマディスプレイパネル」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２５１２０６号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３２５１２０６号の手続きの経緯の概要は以下の通りである。
　平成９年７月１８日　　　　特許出願
　平成１３年１１月１６日　　特許権の設定の登録
　平成１４年１月２８日　　　特許掲載公報発行
　平成１４年７月２９日　　　佐藤義光より特許異議の申立て
　平成１５年１月２３日付　　取消理由通知
　平成１５年４月７日　　　　意見書及び訂正請求書提出
　
２．訂正の適否
２−１．訂正事項
　訂正を請求する事項は、次のとおりである。
訂正事項ａ：
　請求項１を削除するとともに、請求項２、３、４を、それぞれ請求項１、２、３と訂正する。
訂正事項ｂ：
　訂正前の請求項２に「であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。」とあるのを、「であり、１０００℃〜１２００℃で焼成されてなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。」と訂正する。
訂正事項ｃ：
　訂正前の請求項３に「であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。」とあるのを、「であり、９５０℃〜１２００℃で焼成されてなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。」と訂正する。
訂正事項ｄ：
　訂正前の請求項４に「であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。」とあるのを、「であり、９５０℃〜１２００℃で焼成されてなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。」と訂正する。
２−２．新規事項追加の有無、訂正の目的の適否、及び特許請求の範囲の実質上の拡張又は変更の存否
(１)訂正事項ａは、請求項１を削除するとともに、請求項を繰り上げるものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正、及びそれに伴って生じた明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当するものであって、願書に添付された明細書又は図面に記載されていた事項の範囲内の訂正であり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
(２)訂正事項ｂないしｄは、それぞれ焼成温度を「１０００℃〜１２００℃」、「９５０℃〜１２００℃」及び「９５０℃〜１２００℃」と限定するものであるから、いずれも特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。そして、これらは、それぞれ願書に添付された明細書の段落【００２９】、【００３０】及び【００３１】に記載されていたものであるから、願書に添付された明細書又は図面に記載されていた事項の範囲内の訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　
２−３．訂正の適否の結論
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．本件発明
　上述のとおり、本件訂正請求は認められるので、本件発明は、訂正請求書に添付された全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項により特定される次のとおりのものである。（以下、それぞれ「本件発明１」ないし「本件発明３」という。）
「【請求項１】 一対の平行に配されたプレートの間に、複数色の蛍光体層が配設され、ガス媒体が封入された放電空間が形成されたプラズマディスプレイパネルであって、前記蛍光体層を構成する青色蛍光体が、ユーロピウム（Ｅｕ）が酸化物換算で８モル％〜１５モル％含有されたＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ２＋からなり、その平均粒径が０．３μｍ〜５μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が１．２ｍ２／ｇ〜２０ｍ２／ｇ（２ｍ２／ｇ以下を除く）であり、１０００℃〜１２００℃で焼成されてなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
  【請求項２】  一対の平行に配されたプレートの間に、複数色の蛍光体層が配設され、ガス媒体が封入された放電空間が形成されたプラズマディスプレイパネルであって、前記蛍光体層を構成する赤色蛍光体が、ユーロピウム（Ｅu）が酸化物換算で６モル％〜１５モル％含有されたＹＯ３：Ｅｕ３＋からなり、その平均粒径が０．５μｍ〜４．５μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が１ｍ２／ｇ〜１０ｍ２／ｇ（２ｍ２／ｇ以下を除く）であり、９５０℃〜１２００℃で焼成されてなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
  【請求項３】  一対の平行に配されたプレートの間に、複数色の蛍光体層が配設され、ガス媒体が封入された放電空間が形成されたプラズマディスプレイパネルであって、 前記蛍光体層を構成する緑色蛍光体が、マンガン（Ｍｎ）が酸化物換算で３モル％〜８モル％含有されたＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ２＋からなり、その平均粒径が０．８μｍ〜４．８μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が２．３ｍ２／ｇ〜１５ｍ２／ｇであり、９５０℃〜１２００℃で焼成されてなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。」
　
４．取消理由の概要
　取消理由の概要は、
(１)訂正前の請求項１ないし４に係る発明は、その出願前に頒布された下記の刊行物１ないし５に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する分野における通常の知識を有するものが、容易に発明をすることができたものであるから、訂正前の請求項１ないし４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　記
刊行物１：特開平９−１３７１５８号公報
刊行物２：特開平９−１２９７９号公報
刊行物３：特開平６−２６７４３１号公報（申立人が提出した甲第３号証）
刊行物４：特開平３−２０５４８１号公報
刊行物５：特開平８−２８７８３５号公報
(２)訂正前の請求項１ないし４に係る発明は、本願の出願日前の特許出願であって当該特許出願後に出願公開がされた下記の特許出願の願書に最初に添付した明細書に記載された発明と同一と認められ、しかも、本件の発明者がその出願前の出願に係る上記発明をしたものと同一であるとも、また、本件出願の時にその出願人がその出願前の出願に係る上記特許出願の出願人と同一であるとも認められない。よって、訂正前の請求項１ないし４に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものである。
　　　　　　　　　　　　　　　記
特願平１０−８７１７７号（特開平１０−３３４８０５号公報参照、以下、「先願１」という。）
　
５．特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、下記の甲第１ないし６号証を提出して、
　訂正前の請求項１〜４に係る発明は、甲第１号証び甲第２号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないものであり、また、訂正前の請求項１ないし４に係る発明は、甲第３号証ないし甲第６号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、さらに訂正前の請求項１ないし４に係る発明は、特許法第３６条第６項第２号又特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない特許出願に係るのものであるから、特許を受けることができないものである旨主張する。
　　　　　　　　　　　　　　　記
甲第１号証：特開平１０−３３４８０５号公報(特願平１０−８７１７７号　　　　　　、先願１と同一。)
甲第２号証：特開平１０−２５５６７１号公報（特願平９−５６１０１号、　　　　　　以下、「先願２」という。)
甲第３号証：特開平６−２６７４３１号公報(以下、刊行物３と同一)
甲第４号証：特開平８−２９３２６２号公報（以下、「刊行物６」という。　　　　　　）
甲第５号証：特開平８−２２２１３４号公報（以下、「刊行物７」という。　　　　　　）
甲第６号証：特開昭５１−１２３０６１号公報（以下、「刊行物８」という　　　　　　。）
　
６．当審の判断
６−１．３６条違反について
　申立人は、本件明細書の記載が不備であると主張する点は、概ね、本件明細書の発明の詳細な説明によると【表１】に記載された試料番号１〜５は、実施例であって、試料番号６、７は、比較例であるとしているが、これらの記載は、請求項１ないし４に記載された発明の特定事項と一致しないという点にある。
　しかしながら、試料番号１〜４のものは、本件発明１ないし３の特定事項を満たすものであることは明らかである。
　また、試料番号５のものは、青色蛍光体のＥｕ２Ｏ３の配合量が７モル％であり、赤色蛍光体のＥｕ２Ｏ３の配合量が５モル％であり、緑色蛍光体のＭｎ２Ｏ３の配合量が２モル％であるため、それぞれ上記訂正後の本件発明１ないし３で特定する「８〜１５モル％」、「６〜１５モル％」及び「３〜８モル％」の範囲には含まれないものではあるが、訂正前の請求項１に係る発明の実施例であったことは明らかである。
　さらに、試料番号６のものは、それぞれ「青色蛍光体」、「赤色蛍光体」及び「緑色蛍光体」の焼成温度が、いずれも１３００℃であって、特定する平均粒径及び比表面積の条件を満たさないものであるから、比較例であることは明らかである。また、試料番号７のものは、それぞれ「青色蛍光体」、「赤色蛍光体」及び「緑色蛍光体」の焼成温度が、いずれも焼成温度が８５０℃であって、特定する平均粒径及び／又は比表面積の条件を満たさないものであるから、比較例であることは明らかである。
　よって、申立人が主張する、本件明細書の記載が不備であるという理由は採用できない。
　
６−２．２９条の２違反について
　本件発明１ないし３は、従来の焼成温度よりも低温である「１０００℃〜１２００℃で焼成されてなる」又は「９５０℃〜１２００℃で焼成されてなる」という構成を有するものである。
　これに対し、先願１及び先願２の願書に最初に添付された明細書には、   「１０００℃〜１２００℃で焼成されてなる」又は「９５０℃〜１２００℃で焼成されてなる」蛍光体については記載がない。
　すなわち、先願１の願書に最初に添付された明細書の段落【００３２】には、プラズマディスプレイパネルの製造に関し、使用される蛍光体粉末粒子径について、「累積平均粒子径が０．５〜１５μｍ、好ましくは０．５〜６μｍ、比表面積０．１〜５ｍ２／ｇであることが好ましい。より好ましくは粒子径を１〜６μｍ、比表面積０．５〜４ｍ２／ｇである。」と記載されており、実施例１（段落【０１２４】）には、「赤：（Ｙ，Ｇｄ，Ｅｕ）ＢＯ３（累積平均粒径２．７μｍ比表面積３．１ｍ２／ｃｃ）、緑：（Ｚｎ，Ｍｎ）２ＳｉＯ４（累積平均粒径３．６μｍ比表面積２．５ｍ２／ｃｃ）、青：（Ｂａ，Ｅｕ）ＭｇＡｌ１０Ｏ１７（累積平均粒径３．７μｍ比表面積２．３ｍ２／ｃｃ）を用い、」と記載されているが、焼成温度に関する記載はない。
　また、先願２の願書に最初に添付された明細書の段落【００１３】には、プラズマディスプレイパネルに用いられる蛍光体について、「上記において使用される蛍光体粉末量は、作製しようとする蛍光体層パターンの線幅、幅間隔（スペース）および厚みを考慮して選ばれるが、粉末粒子径は累積平均径（５０重量％粒子径）が１．５〜１５μｍ、比表面積０．１〜２ｍ２ ／ｇであることが好ましい。より好ましくは粒子径を２〜６μｍ、比表面積０．２〜１ｍ２ ／ｇである。この範囲にあると紫外線露光時に光が充分透過し、高精度なパターン形状が得られる。また、蛍光体の発光効率がよく、高寿命になるので好ましい。粉末粒子径が１μｍ未満、比表面積が２ｍ２ ／ｇを越えると粉末が細かくなりすぎて露光時に光が散乱され未露光部分が光硬化する。このため現像時にパターンの残膜（未露光部に余分な蛍光体が残存すること）の発生が起こり、高精細なパターンが得られない。さらに、蛍光体の発光効率や寿命が低下する。」と記載されており、「比表面積が２ｍ２ ／ｇ以下を除く」としている本件発明１ないし３とは異なるものであり、しかも、焼成温度に関する記載はない。
　よって、本件発明１ないし３が、先願１あるいは先願２の願書に最初に添付された明細書に記載された発明であるとすることはできない。
　
６−３．２９条２項違反について
　前述のとおり、本件発明１ないし３は、従来の焼成温度よりも低温である「１０００℃〜１２００℃で焼成されてなる」又は「９５０℃〜１２００℃で焼成されてなる」という構成を有するものである。
　これに対して、上記刊行物１ないし８のいずれにも、「１０００℃〜１２００℃で焼成されてなる」又は「９５０℃〜１２００℃で焼成されてなる」蛍光体については、何等示唆する記載もない。
　すなわち、刊行物１（請求項１、【００１２】等参照）には、プラズマディスプレイに用いられる２価のユーロピウム付活のバリウムマグネシウムアルミン酸塩蛍光体において、プレーン式比表面積が８０００〜１３０００ｃｍ２／ｇの範囲のものを用いることにより、輝度を大幅に向上させることが可能であることが記載されているが、その合成については「得られた混合物を１２００〜１７００℃で２〜４時間かけて１回以上焼成する。」（段落【００１７】参照）と記載されており、実施例及び比較例における記載した【表１】によれば、焼成温度は、いずれも１４５０℃又は１５００℃であることが示されている。さらに、得られた粒子の平均粒子径に関する記載もない。
　刊行物２には、焼成温度については何等記載がない。該刊行物の段落【００１５】には、「粉末は、５０重量％粒子径が１．０〜１５μｍ、比表面積０．１〜２．０ｍ２／ｇであることが好ましい。より好ましくは粒子径２〜１０μｍ、比表面積０．２０〜１．０ｍ２／ｇである。この範囲にあると紫外線露光時に光が十分透過し、高精度なパターン形状が得られる。また、蛍光体の発光効率がよく、高寿命になるので好ましい。粉末粒子径が１．０μｍ未満、比表面積が２．０ｍ２／ｇを越えると粉末が細かくなりすぎて露光時において光が散乱されて未露光部分を硬化するようになる。このため現像時にパターンの残膜（未露光部に余分な蛍光体が残存すること）の発生が起こり、高精度なパターンが得られにくくなる。さらに、蛍光体の発光効率や寿命が低下するようになる。」と記載されており、平均粒径及び比表面積においては、本件発明１ないし３と一部重複するところがあるものの、実施例においては、青色蛍光体について、「青色の蛍光体組成は、ＢａＭｇＡｌ１２Ｏ１９：Ｍｎ（Ａｌ２Ｏ３ ／ＢａＯ／ＭｇＯ／Ｅｕ２Ｏ３ ＝７５／１５／７．４／２．３）である。蛍光体粉末は、予めアトライター粉砕および分級により粒度調整を行ったもので、平均粒子径５．５μｍ、比表面積０．４６ｍ２ ／ｇの粉末を使用した。」、赤色蛍光体について、「赤色の蛍光体組成は、Ｙ２Ｏ３；Ｅｕ２Ｏ３ （Ｙ２Ｏ３ ／Ｅｕ２Ｏ３ ＝９５／５）である。蛍光体粉末は、予めアトライター粉砕および分級により粒度調整を行ったもので、平均粒子径６．０μｍ、比表面積０．２８ｍ２ ／ｇの粉末を使用した。」、緑色蛍光体について、「緑色の蛍光体組成は、Ｚｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ（ＳｉＯ２ ／ＭｎＯ２／ＺｎＯ＝２４／３．１／７２）である。蛍光体粉末は、予めアトライター粉砕および分級により粒度調整を行ったもので、平均粒子径８．０μｍ、比表面積０．４１ｍ２ ／ｇの粉末を使用した。」と記載され、いずれも、平均粒子径は、本件発明１ないし３で特定するものより大きく、比表面積は、本件発明１ないし３で特定するものより小さいものである。
　刊行物３（請求項１、段落【００１３】等参照）には、プラズマディスプレイパネルにおける蛍光体層を構成する蛍光体粒子として５μｍ以下のものを使用されることが記載されているだけで、焼成温度に関する記載がないばかりでなく、比表面積に関する記載もない。
　刊行物４には、直流型プラズマディスプレイパネルに用いられる緑色蛍光体であるＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ蛍光体のＭｎ最適量は蛍光体母体に対する重量％に換算すると約１．５重量％であることが記載されている（第２頁左上欄第９〜末行）だけで、焼成温度に関する記載がないばかりでなく、平均粒径及び比表面積に関する記載もない。
  刊行物５には、段落【００１０】において、プラズマディスプレイパネルの蛍光層を形成する赤色蛍光体、青色蛍光体及び緑色蛍光体のそれぞれについて例示があるだけで、焼成温度に関する記載がないばかりでなく、平均粒径及び比表面積に関する記載もない。
　刊行物６には、段落【００１９】において、プラズマディスプレイパネルの蛍光層に関し、例えば粒径が２μｍ程度の多数の蛍光体粒子ｐ１が積み重なった厚さ１５μｍ程度の層であり」と記載されているだけで、焼成温度に関する記載がないばかりでなく、比表面積に関する記載もない。
　刊行物７には、プラズマディスプレイパネルの蛍光層に関し、段落【０００７】及び【００７０】において、蛍光体層の表面積を大きくすることが記載され、段落【００２８】において、蛍光層を形成する赤色蛍光体、青色蛍光体及び緑色蛍光体のそれぞれについて例示があるだけで、焼成温度に関する記載がないばかりでなく、平均粒径及び比表面積に関する記載もない。
  刊行物８には、プラズマ発光装置に関し、蛍光体の平均粒子の一例として６μｍの記載があり、第１頁右下欄末行ないし第２頁第３行には「粒径の小さいものほど、光がその膜を通過するときにぶつかる粒子の数が多い。光の反射、散乱は粒子の表面で生じるので、光が衝突する粒子の個数が多いと同一膜厚でも反射率が高くなる。」と記載されているだけで、焼成温度に関する記載がないばかりでなく、比表面積に関する記載もない。
　そして、本件特許１ないし３に係る「１０００℃〜１２００℃で焼成されてなる」又は「９５０℃〜１２００℃で焼成されてなる」構成の蛍光体は，「粒子表面が粗く形成されるので、比表面積を大きく」（本件特許明細書の段落００２４）、並びに，「粒径を小さく比表面積を大きくし、且つ、十分に結晶成長させる」（本件特許明細書の段落００１２）という特徴を有するために，「紫外線の吸収効率が向上し、パネル輝度の向上」（本件特許明細書の段落００２４）することができるのであって、これらの効果については、当業者といえども、刊行物１ないし８に記載された発明からでは容易に予期し得ないものである。
　よって、本件発明１ないし３が、刊行物１ないし８に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
７．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては本件の請求項１ないし３に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件の請求項１ないし３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年４月３０日（２００３．４．３０）
【訂正の要旨】
　特許請求の範囲の請求項１を削除し，請求項２，３，４を，各々請求項１，２，３と訂正する。
　また，特許請求の範囲請求項１の「青色蛍光体が、ユーロピウム（Ｅｕ）が酸化物換算で８モル％〜１５モル％含有されたＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ２＋からなり、その平均粒径が０．３μｍ〜５μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が１．２ｍ２／ｇ〜２０ｍ２／ｇ（２ｍ２／ｇ以下を除く）である」を「青色蛍光体が、ユーロピウム（Ｅｕ）が酸化物換算で８モル％〜１５モル％含有されたＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ２＋からなり、その平均粒径が０．３μｍ〜５μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が１．２ｍ２／ｇ〜２０ｍ２／ｇ（２ｍ２／ｇ以下を除く）であ
り，１０００℃〜１２００℃で焼成されてな
　また、特許請求の範囲請求項２の「赤色蛍光体が、ユーロピウム（Ｅｕ）が酸化物換算で６モル％〜１５モル％含有されたＹＢＯ３：Ｅｕ３＋からなり、その平均粒径が０．５μｍ〜４．５μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が１ｍ２／ｇ〜１０ｍ２／ｇ（２ｍ２／ｇ以下を除く）である」を「赤色蛍光体が、ユーロピウム（Ｅｕ）が酸化物換算で６モル％〜１５モル％含有されたＹＢＯ３：Ｅｕ３＋からなり、その平均粒径が０．５μｍ〜４．５μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が１ｍ２／ｇ〜１０ｍ２／ｇ（２ｍ２／ｇ以下を除く）であ
り，９５０℃〜１２００℃で焼成されてな
　また、特許請求の範囲請求項３の「緑色蛍光体が、マンガン（Ｍｎ）が酸化物換算で３モル％〜８モル％含有されたＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ２＋からなり、その平均粒径が０．５μｍ〜４．５μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が１ｍ２／ｇ〜１０ｍ２／ｇ（２ｍ２／ｇ以下を除く）である」を「緑色蛍光体が、マンガン（Ｍｎ）が酸化物換算で３モル％〜８モル％含有されたＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ２＋からなり、その平均粒径が０．５μｍ〜４．５μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が１ｍ２／ｇ〜１０ｍ２／ｇ（２ｍ２／ｇ以下を除く）であ
り，９５０℃〜１２００℃で焼成されてな
（５４）【発明の名称】
プラズマディスプレイパネル
（５７）【特許請求の範囲】
　
【請求項１】　
複
が
た
り，１０００℃〜１２００℃で焼成されてな
　
【請求項２】
複
が
た
り，９５０℃〜１２００℃で焼成されてな
　
【請求項３】
複
が
た
　前記蛍光体層を構成する緑色蛍光体が、マンガン（Ｍｎ）が酸化物換算で３モル％〜８モル％含有されたＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ２＋からなり、その平均粒径が０．８μｍ〜４．８μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が２．３ｍ２／ｇ〜１５ｍ２／ｇであ
り，９５０℃〜１２００℃で焼成されてな
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、表示デバイスなどに用いるプラズマディスプレイパネルに関するものであり、特に、蛍光体の改良に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　一般的にテレビに用いるディスプレイとして、まず従来から用いられているＣＲＴが考えられるわけであるが、ＣＲＴは解像度・画質の点でプラズマディスプレイや液晶に対して優れているものの、奥行きと重量の点で４０インチ以上の大画面にはあまり向いていない。また、液晶は消費電力が少なく、駆動電圧も低いという優れた性能を有しているが、画面の大きさや視野角に限界がある。
　【０００３】
　これに対して、プラズマディスプレイは、奥行きや視野角の問題点は存在しないため、大画面ディスプレイの実現が可能であり、すでに４０インチクラスの製品が開発されている（例えば、機能材料１９９６年２月号Ｖｏｌ．１６、Ｎｏ．２、７ページ参照）。
　このプラズマディスプレイパネルの従来の構成について図面を参照しながら説明する。図３は、交流型（ＡＣ型）のプラズマディスプレイパネルの概略を示す断面図である。
　【０００４】
　図３において、４１は、フロントカバープレート（前面ガラス基板）であり、この前面ガラス基板４１上に表示電極４２が形成されている。さらに、表示電極４２が形成されているフロントカバープレート４１は、誘電体ガラス層４３及び酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層４４により覆われている（例えば、特開平５−３４２９９１号公報参照）。
　【０００５】
　また、４５は、バックプレート（背面ガラス基板）であり、この背面ガラス基板４５上には、アドレス電極４６および隔壁４７、蛍光体層４８が設けられており、４９が放電ガスを封入する放電空間となっている。
　そして、上記した現行の４０〜４２インチクラスのプラズマディスプレイの輝度は、ＮＴＳＣの画素レベル（画素数６４０×４８０個、セルピッチ０．４３ｍｍ×１．２９ｍｍ、１セルの面積０．５５ｍｍ２）において、１５０〜２５０ｃｄ／ｍ２である（例えば、機能材料１９９６年２月号Ｖｏｌ．１６、Ｎｏ．２、ページ７参照）。なお、これに対して従来のＣＲＴでは５００ｃｄ／ｍ２程度の輝度を得ることが可能と言われている。
　【０００６】
　近年期待されているフルスペックのハイビジョンテレビの画素レベルでは、画素数が１９２０×１１２５となり、セルピッチも４２インチクラスで、０．１５ｍｍ×０．４８ｍｍで１セルの面積は０．０７２ｍｍ２の細かさになる。同じ４２インチの大きさでプラズマディスプレイパネルのハイビジョンテレビを作製した時、１画素の面積でＮＴＳＣと比較すると、１／７〜１／８の細かさとなる。
　【０００７】
　したがって、同じ蛍光体と、ガス組成、ガス圧を使用して４２インチのハイビジョンテレビをプラズマディスプレイパネルで作製すると輝度が３０〜４０ｃｄ／ｍ２と低くなることが予想され、輝度に対する改善が望まれる。
　【０００８】
　【発明が解決しようとする課題】
　以上のように、プラズマディスプレイパネルによってハイビジョンテレビのような画素の小さなテレビを作製するにあたり、現行のＮＴＳＣ並の明るさにしようと思えば、輝度を大幅に向上させなければならないという課題が存在する。
　そこで本願発明は、蛍光体を改良することによって蛍光体輝度の向上を図り、これにより高輝度化を実現したプラズマディスプレイパネルを提供することを目的としている。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】
　本発明のプラズマディスプレイパネルは、上記した目的を達成するために、一対の平行に配されたプレートの間に、電極及び複数色の蛍光体層とが配設され、ガス媒体が封入された放電空間が形成され、放電に伴って紫外線を発し、前記蛍光体層で可視光に変換することによって発光するプラズマディスプレイパネルであって、少なくとも一色の蛍光体層を構成する蛍光体粒子の比表面積（ＢＥＴ値）は１ｍ２／ｇ以上であることを特徴とする。
　【００１０】
　従来のプラズマディスプレイパネル用の蛍光体は、一般的に、結晶が成長されやすい高温（この焼成温度は、蛍光体の組成によって変わるが、例えば１２００℃以上であった。）で焼成された、粒子径が大きな（５〜１０μｍ程度）蛍光体粒子が用いられてきた。このように作製された蛍光体粒子は、比表面積が比較的小さく以下の実施例でも示すようにＢＥＴ法による測定値で１ｍ２／ｇ未満である。
　【００１１】
　これに対して、蛍光体粒子の比表面積（ＢＥＴ値）を１ｍ２／ｇ以上と従来よりも大きく設定することによって、蛍光体層の紫外線吸収量の向上を図り、パネルの輝度の向上を実現することができる。
　これは、波長が１４３ｎｍや１７３ｎｍの紫外線は、ＣＲＴに用いられている電子線と異なり、蛍光体のごく表面層しか進入できず（０．１μｍ以下）、蛍光体の表面で多重反射しながら減衰して行くから、蛍光体粒子の比表面積を大きくすれば、紫外線が蛍光体粒子の表面から吸収される量を多くすることができるからである。
　【００１２】
　そして、その効果は、全色の蛍光体層に、比表面積の大きな蛍光体粒子を用いることにより顕著に得られる。
　上記のように比表面積の大きな蛍光体粒子を得る上で、蛍光体を作製するときの焼成を従来よりも、低い焼成温度で長時間行うことが好ましい。
　即ち、焼成温度を低くかつ長時間焼成することにより蛍光体の粒成長（結晶成長）を抑え、蛍光体粒子を粉砕しなくとも、粒径を小さく比表面積を大きくし、且つ、十分に結晶成長させることが可能となるので、良好な蛍光体粒子を得ることができる。
　【００１３】
　なお、あまり比表面積が大き過ぎると、粒子径が小さくなり過ぎ、蛍光体粒子が凝集することによって、かえって蛍光体輝度が低下することになるので、実際には、２０ｍ２／ｇ以下に設定することが望ましい。
　ところで、上記のように比表面積（ＢＥＴ値）が大きな蛍光体粒子では、吸収する紫外線量に対して十分な発光点を確保するために、付活剤を多めに添加して作製することが望ましい。従って、請求項３〜５のように、付活剤の含有量を規定してある。
　【００１４】
　【発明の実施の形態】
　〔実施の形態〕
　以下、本発明実施の形態に係るプラズマディスプレイパネル及びその製造方法について図面を参照しながら説明する。
　図１は、本発明の一実施の形態における交流面放電型プラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」という。）の概略を示す断面図である。
　【００１５】
　このＰＤＰは、前面ガラス基板１１上に放電電極（表示電極，銀電極）１２，誘電体ガラス層１３とＭｇＯ保護層１４が配された前面パネル１０と、背面ガラス基板２１上にアドレス電極２２，誘電体ガラス層２３，隔壁２４，蛍光体層２５が配された背面パネル２０とを張り合わせ、前面パネル１０と背面パネル２０の間に形成される放電空間２６内に放電ガスが封入された構成となっており、以下に示すように作製される。なお、図１では断面で示しているが、放電電極１２とアドレス電極２２とは実際には直交して設けられる。また、蛍光体層は赤色、緑色、青色がそれぞれ隔壁で分離されているが、当該図１には、便宜上一色のみ図示している。
　【００１６】
　放電電極（表示電極）１２は、前面ガラス基板１１上に銀電極用のペーストをスクリーン印刷し、これを焼成することによって形成する。その上に例えば、７５重量％の酸化鉛（ＰｂＯ）、１５重量％の酸化硼素（Ｂ２Ｏ３）、１０重量％の酸化硅素（ＳｉＯ２）から成る鉛系の誘電体ガラス層１３をスクリーン印刷法と焼成を行う方法によって、例えば２０μｍの膜厚に形成する。
　【００１７】
　また、背面ガラス基板２１上に形成するアドレス電極２２も前記表示電極１２と同様にスクリーン印刷法と焼成によって作製し、誘電体ガラス層２３も前記誘電体ガラス層１３と同様にして作製する。
　次に、前記誘電体ガラス層１３上に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）をＣＶＤ法（化学蒸着法）にて成膜する方法について図２を参照しながら説明する。図２は、本実施の形態において、ＰＤＰの保護層を形成する際に用いるＣＶＤ装置の概略図を示したものである。
　【００１８】
　図２において、３１は、マグネシウムのキレートあるいはシクロペンタジエニル化合物をＣＶＤ装置内に輸送するためのアルゴン（Ａｒ）ガスボンベ、３２は、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）の原料となる金属キレートを加熱して蒸発させる気化器（バブラー）、３３は、ＭｇＯの原料となるシクロペンタジエニル化合物を加熱して蒸発させる気化器（バブラー）、３４は、反応ガスである酸素ボンベ、３５は、ＣＶＤ装置本体、３６は、基板を加熱するヒータ、３７は、誘電体ガラス層１３が形成された前面ガラス基板１１、３８は、排気装置である。
　【００１９】、
　前記ＣＶＤ装置を用いて熱ＣＶＤ法により、ＭｇＯ保護層を形成する。
　ヒータ部３６の上に、ガラス基板３７を誘電体ガラス層１３を上にして置き、所定の温度（３５０℃〜４００℃）に加熱すると共に、反応容器内を排気装置３８で所定圧（数十Ｔｏｒｒ程度）に減圧する。
　そして、気化器３２または気化器３３で、ソースとなるマグネシウムのキレートまたはシクロペンタジエニル化合物を所定の温度（８０℃〜１２５℃）に加熱しながら、Ａｒガスボンベ３１ａまたは３１ｂからＡｒガスを送り込む。また、これと同時に、酸素ボンベ３４から酸素を流す。
　【００２０】
　これによって、ＣＶＤ装置本体３５内に送り込まれるマグネシウムのキレート若しくはシクロペンタジエニル化合物が酸素と反応し、ガラス基板３７の誘電体ガラス層１３の表面上にＭｇＯからなる保護層１４が形成される。
　次に、スクリーン印刷法と焼成によって例えば、０．１５ｍｍのガラス製の隔壁２４（隔壁の間隔が、０．１５ｍｍ）を作製する。
　【００２１】
　そして、形成された隔壁２４間に蛍光体層２５を形成する。
　蛍光体層２５は、例えば、各色の蛍光体と１０％のエチルセルローズを含むα−ターピネオールとを用いて、青、赤、緑の３種類それぞれの蛍光体ペーストを作製し、これをスクリーン印刷法にて隔壁内にそれぞれ印刷し、例えば５００℃で焼成することで形成する。
　【００２２】
　このように蛍光体層２５が設けられた背面パネル２０を、封着用ガラスを用いて前記前面パネル１０と張り合わせる。そして、放電ガス封入の前に放電空間部２６を例えば、８×１０−７Ｔｏｒｒの真空度に排気し、放電空間部内にキセノン（Ｘｅ）ガス所定量含有するヘリウム（Ｈｅ）ガスを放電ガスとして封入する。なお、封入圧力は、パネル高輝度化を図るため５００Ｔｏｒｒ以上とする。、
　【００２３】
　次に、蛍光体層に用いる蛍光体ついて説明する。
　本実施の形態で用いる蛍光体は、組成は従来から用いられている金属酸化物からなるもので、各色蛍光体の具体的な組成としては、青色蛍光体には、ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７を結晶骨格とし、付活剤として所定量の酸化ユーロピウムＥｕ２Ｏ３が含有されたＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ２＋を、赤色蛍光体には、ＹＢＯ３を結晶骨格とし、付活剤として所定量のＥｕ２Ｏ３が含有されたＹＢＯ３：Ｅｕ３＋を、緑色蛍光体には、Ｚｎ２ＳｉＯ４を結晶骨格とし、付活剤として所定量のＭｎ２Ｏ３が含有されたＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ２＋を挙げることができるが、従来よりも比表面積（ＢＥＴ値）が１ｍ２／ｇ〜２０ｍ２／ｇと大きく、平均粒子径が０．３μｍ〜５μｍの粉体を用いる。
　【００２４】
　なお、この平均粒子径は、レーザ回折法によって測定した値である（以下において同様である）。
　このように比表面積が１ｍ２／ｇ以上の蛍光体を用いることによって、各セルにおいて紫外線の吸収効率が向上し、パネル輝度の向上を図ることができる。
　前記蛍光体は、従来の場合よりも低い温度で焼成することによって、蛍光体粒子の結晶成長を抑え、比較的小さな粒子径になるよう制御して形成することによって得られる。この比較的低温による形成法は、粒子表面が粗く形成されるので、比表面積を大きくするには好適な方法である。
　【００２５】
　なお、やや長時間反応することによって、低温であっても結晶を形成する原子同士の結合を十分に形成させることができる。
　平均粒子径及び比表面積（ＢＥＴ値）を上記範囲に限定するのは、平均粒子径が０．３μｍ未満の場合や比表面積（ＢＥＴ値）が２０ｍ２／ｇを越える場合は、粒子が細かすぎるために蛍光体粒子同志が凝集してしまい、各粒子において紫外線の吸収が隣接する粒子によって阻害され、吸収量が低下するからである。また、この程度粒子径が小さいものになると結晶構造が十分に形成されていないものが多くなるので、蛍光体輝度が十分に得られない傾向があるからでもある。
　【００２６】
　尤も、蛍光体層を形成する際に用いる蛍光体粒子を分散させる溶剤等のマトリックスを工夫することによってある程度は、蛍光体粒子の凝集を抑制することは可能と考えられ、その場合には、更に小さな径で比表面積が大きな蛍光体粒子を用いることができると考えられる。
　このように蛍光体粒子の比表面積（ＢＥＴ値）が大きいぶん、従来よりやや多めに付活剤を含有させることが望ましい。これにより付活剤による発光点をより多く蛍光体粒子に形成し、蛍光体輝度の更なる向上を図ることができる。
　【００２７】
　これら各色蛍光体において付活剤として添加されている金属（ＥｕやＭｎ）は、酸化物換算で、青色蛍光体では、粒子全体に対して８モル％〜１５モル％、赤色蛍光体では、粒子全体に対して６モル％〜１５モル％、又、緑色蛍光体では、粒子全体に対して３モル％〜８モル％含有させることが望ましい。これらの範囲外では、輝度向上の効果が小さいからである。
　【００２８】
　この付活金属の酸化物換算の含有量（モル％）は、例えば青色蛍光体ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ２＋の場合、原子吸光で各金属元素の比率を測定し、蛍光体成分がＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７とＥｕ２Ｏ３とから成るものと見なし、以下の式１に基づいて算出する。
　本実施の形態で用いる各色蛍光体は、以下のようにして作製される。
　【００２９】
　青色蛍光体は、まず、原料として炭酸バリウム（ＢａＣＯ３），炭酸マグネシウム（ＭｇＣＯ３），酸化アルミニウム（α−Ａｌ２Ｏ３）をモル比で１対１対５に配合する。次に、この混合物に対して、所定量の酸化ユーロピウム（Ｅｕ２Ｏ３）を添加する。そして、適量のフラックス（ＡｌＦ２，ＢａＣｌ２）と共にボールミルで混合し、１０００℃〜１２００℃で所定時間（例えば、５時間）、弱還元性雰囲気（Ｈ２，Ｎ２中）で焼成後、これをふるい分けして得る。
　【００３０】
　赤色蛍光体は、原料として酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）と硼酸（Ｈ３ＢＯ３）とをモル比で０．５対１に配合する。次に、この混合物に対して、所定量の酸化ユーロピウム（Ｅｕ２Ｏ３）を添加し、適量のフラックスと共にボールミルで混合し、空気中９５０℃〜１２００℃で所定時間（例えば、５時間）焼成した後、これをふるい分けして上記粉体が得る。
　【００３１】
　緑色蛍光体は、原料として酸化亜鉛（ＺｎＯ），酸化硅素（ＳｉＯ２）をモル比で２対１に配合する。次に、この混合物に対して所定量の酸化マンガン（Ｍｎ２Ｏ３）を添加し、ボールミルで混合後、空気中９５０℃〜１２００℃で所定時間（例えば、５時間）焼成し、これをふるい分けして得る。
　なお、上記比表面積（ＢＥＴ値）は粉体を球と仮定して算出した値であるので、球に近い形状の赤色蛍光体では、六角板状の青色，緑色蛍光体と比べて、平均粒径が同一でもＢＥＴ値は小さくなる。従って、赤色蛍光体について、他の蛍光体粒子と同程度、比表面積（ＢＥＴ値）を大きくするには、平均粒子径をより小さく設定する必要がある。
　【００３２】
　なお、上記のように全色について比表面積（ＢＥＴ値）の大きなものを用いることが望ましいが、蛍光体の一色だけあるいは２色だけ適用することも可能である。
　例えば、青色蛍光体に比表面積（ＢＥＴ値）が大きいものを用い、従来の赤色、緑色蛍光体と組み合わせることによっても、パネル輝度の向上を図ることが可能である。
　【００３３】
　これは、従来のＰＤＰにおいては、通常、青色蛍光体が最も輝度が得られ難い実情から、赤色，緑色蛍光体層の塗布量を少なくしたり、シリカなどの添加剤を加えるなどして当該蛍光体層の輝度を低く設定し白バランスを採っていたため、パネル輝度は、青色蛍光体の輝度に制約されざるをえなかったが、この青色蛍光体の輝度の向上が実現されることで、その制約が解除されるからである。
　【００３４】
　従って、本発明により青色蛍光体の輝度向上を実現した意義は大きいと言える。
　また、上記蛍光体層はスクリーン印刷により形成したが、これ以外にも例えば、インクジェット法によって形成してもよい。インクジェット法による蛍光体層の形成については、例えば、特開平８−１６２０７９号公報に記載されているように蛍光体インキをノズルから噴出させながら、基板に蛍光体のパターンを描画する方法である。
　【００３５】
　この方法の場合、比較的粘度の低いインキを用いるので、特に、従来のように比表面積の小さい、大きな径の蛍光体粒子は沈降しやすく、均一な蛍光体層を形成するには、あまり望ましいと言えなかったが、本実施の形態のように小さい粒子径の蛍光体物質とすることにより、この沈降を抑止することができる。
　最後に、蛍光粒子の比表面積を大きくする方法として、上述したように従来の焼成温度よりも低温で焼成して、蛍光体粒子を作製する方法以外に例えば、蛍光体粒子を多孔性の粒子とする方法なども考えられる。
　【００３６】
　なお、従来の蛍光体粒子をボールミル等で機械的エネルギーを加え粉砕して小径にするとともに、比表面積を大きくすることも可能であるが、このように粉砕すると結晶構造が破壊されてしまうので、本実施の形態の蛍光体粒子と比べて、蛍光体輝度の点で劣る。
　また、従来のように比較的高温で短時間焼成して作製した蛍光体粒子を分級して、小径で比表面積の大きい粒子を得ることも可能であるが、この方法で得た小径の粒子は結晶が十分に形成されていないものが多いので、やはり本実施の形態の蛍光体と比べて蛍光体輝度の点では不十分である。
　【００３７】
　【実施例】
　〔実施例１〜５及び比較例６，７〕
　【００３８】
　【表１】
　【００３９】
　試料Ｎｏ．１〜５のＰＤＰは、前記実施の形態に基づいて作製した実施例に係るＰＤＰであって、焼成温度を変えることで比表面積（ＢＥＴ値）及び粒子径の異なる蛍光体を形成し、加えて付活剤の濃度を種々の値に設定したものである。
　試料Ｎｏ．１〜４のＰＤＰは降順に各蛍光体の焼成温度をより低くして、比表面積（ＢＥＴ値）を小さく設定してある。
　【００４０】
　試料Ｎｏ．５のＰＤＰは、蛍光体の粒子径及び比表面積（ＢＥＴ値）は試料Ｎｏ．２に近いが、付活剤の濃度は、試料Ｎｏ．２のＰＤＰに比べて低めに設定してある。
　なお、前記各ＰＤＰにおいて誘電体ガラス層の厚みは２０μｍ、ＭｇＯ保護層の厚みは１μｍ、放電電極の電極間距離は０．０８ｍｍに設定した。
　【００４１】
　試料Ｎｏ．６，７のＰＤＰは、比較例に係るＰＤＰである。
　試料Ｎｏ．６のＰＤＰは、各蛍光体粒子を従来の焼成温度１３００℃で形成（反応時間；２時間）することによって比表面積を小さく設定しており、試料Ｎｏ．７のＰＤＰは、焼成温度を８００℃付近と試料Ｎｏ．１のＰＤＰに用いる蛍光体よりも更に低温にして、粒子径をより小さく作製することで比表面積（ＢＥＴ値）を２０ｍ２／ｇよりも大きく設定してある。それら特徴的な点以外は、前記試料Ｎｏ．１〜５のＰＤＰと同様の設定にしてある。
　【００４２】
　なお、前記各ＰＤＰにおいて、各色蛍光体層は、発光時にパネルの白バランスがとれるように規定してある。
　このような各ＰＤＰＮｏ．１〜７においてＭｇＯ保護膜のＸ線解析を行なった結果、当該保護膜の結晶は、（１００）面に配向していた。表１の平均粒子径の値は、レーザ回折法によって測定した値である。
　【００４３】
　また、試料Ｎｏ．１〜７の各ＰＤＰについて、パネルの輝度を以下の放電条件下で測定した。この結果を前記表１に併記する。
　　放電維持電圧　；　１５０Ｖ
　　　　　周波数　；　３０ＫＨｚ
　試料Ｎｏ．１〜４のＰＤＰ及び試料Ｎｏ．６のＰＤＰの結果を比較して明らかなように、比表面積（ＢＥＴ値）が１ｍ２／ｇ以上（１〜２０ｍ２／ｇ）の蛍光体を使用することによって、比表面積が１ｍ２／ｇ未満の蛍光体を用いる場合に比べて、特に、試料Ｎｏ．１〜４のＰＤＰは、５００ｃｄ／ｍ２以上と大幅に輝度が向上している。
　【００４４】
　これに対して、試料Ｎｏ．１のＰＤＰと試料Ｎｏ．７のＰＤＰの結果を比較して明らかなように、粒子径が０．３μｍよりも小さくなると、すなわち、比表面積が２０ｍ２／ｇが越えると輝度の向上効果は得られないことが分かる。
　試料Ｎｏ．５のＰＤＰでは、比表面積（ＢＥＴ値）を１ｍ２／ｇ以上に設定したが、試料Ｎｏ．６のＰＤＰに対して、パネル輝度の向上は僅かではある。
　【００４５】
　このことは、比表面積（ＢＥＴ値）に対して付活剤の濃度が低くて粒子に発光点が十分に形成されていないことを意味する。従って、比表面積（ＢＥＴ値）を増加させることによる輝度向上の効果を顕著に得るには、比表面積を大きくしたぶんある程度付活剤を多めに含有させる必要があると言える。
　また、このパネルの輝度向上効果を得るための蛍光体粒子の焼成温度としては、９５０℃〜１２００℃が望ましく、それよりも低い焼成温度になると、比表面積（ＢＥＴ値）を大きくすることはできるが、粒子径が小さくなり過ぎ、輝度の向上を図れないことが分かる。
　【００４６】
　なお、試料Ｎｏ．４のＰＤＰのように、従来の焼成温度に近い１２００℃で焼成して得た小さい粒子径で、比表面積の大きな蛍光体を用いても、輝度の向上効果が得られるのは、従来の場合よりも長時間反応しているため、小さい粒子径であっても結晶構造が十分に形成されているからであると考えられる。
　〔その他の事項〕
　（１）
　用いる蛍光体としては、上記金属酸化物以外にも、例えば、以下の組成のものを挙げることができる。
　【００４７】
　　赤色　；　Ｙ２Ｏ３：Ｅｕ，ＹＶＯ４：Ｅｕ
　　緑色　；　ＶａＡｌ１２Ｏ１９：Ｍｎ，ＹＢＯ３：Ｔｂ
　　青色　；　Ｙ２ＳｉＯ５：Ｓｅ
　なお、これら組成の蛍光体の場合にも焼成は、前述したように焼成温度を低く且つ長時間行うことが望ましい。
　【００４８】
　（２）
　上記実施の形態は、交流型のＰＤＰについて言及したが、直流型のＰＤＰでも同様に適用可能である。
　【００４９】
　【発明の効果】
　以上述べてきたように、本発明のプラズマディスプレイパネルは、一対の平行に配されたプレートの間に、電極及び複数色の蛍光体層とが配設され、ガス媒体が封入された放電空間が形成され、放電に伴って紫外線を発し、前記蛍光体層で可視光に変換することによって発光するプラズマディスプレイパネルであって、少なくとも一色の蛍光体層を構成する蛍光体粒子の比表面積（ＢＥＴ値）は１ｍ２／ｇ以上であることを特徴とする。
　【００５０】
　このように、比表面積（ＢＥＴ値）が１ｍ２／ｇ以上と従来よりも大きな蛍光体粒子で蛍光体層を構成することによって、蛍光体層の紫外線を吸収する効率の向上を図り、パネルの輝度向上を実現する。
　ここで、前記蛍光体粒子の平均粒子径を０．３μｍ〜５μｍに規定することで、比表面積が大きく前記効果を招来させるような蛍光体粒子を合理的に得ることができる。
　【００５１】
　このように粒子径を小さくすると、蛍光体層をインクジェット法によって形成する場合に、粒子の沈降を抑止でき、均一な蛍光体層を形成することができるといった効果も奏する。
　ここで、青色蛍光体として、ユーロピウム（Ｅｕ）が酸化物換算で８モル％〜１５モル％含有されたＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ２＋からなるもので、その平均粒径が０．３μｍ〜５μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が１．２ｍ２／ｇ〜２０ｍ２／ｇのものを用いることができる。
　【００５２】
　また、赤色蛍光体として、ユーロピウム（Ｅｕ）が酸化物換算で６モル％〜１５モル％含有されたＹＢＯ３：Ｅｕ３＋からなるもので、その平均粒径が０．５μｍ〜４．５μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が１ｍ２／ｇ〜１０ｍ２／ｇのものを用いることができる。
　更に、緑色蛍光体として、マンガン（Ｍｎ）が酸化物換算で３モル％〜８モル％含有されたＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ２＋からなるもので、その平均粒径が０．８μｍ〜４．８μｍで、比表面積（ＢＥＴ値）が２．３ｍ２／ｇ〜１５ｍ２／ｇのものを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの断面図である。
　【図２】
　本発明の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルを製造する際に用いるＣＶＤ装置の概略図である。
　【図３】
　従来の交流型のプラズマディスプレイパネルの断面図である。
　【符号の説明】
　１１　前面ガラス基板（フロントカバープレート）
　１２　銀電極（表示電極）
　１３　誘電体ガラス層
　１４　ＭｇＯ保護層
　２１　背面ガラス基板（バックプレート）
　２２　アドレス電極
　２３　誘電体ガラス層
　２４　隔壁
　２５　蛍光体
　２６　放電空間
　３１　アルゴンガスボンベ
　３２　Ｍｇの金属キレートの気化器
　３３　Ｍｇのシクロペンタジエニル化合物の気化器
　３４　酸素ガスボンベ
　３５　ＣＶＤ装置
　３６　基板加熱ヒータ
　３７　誘電体ガラス層が形成されたガラス基板
　３８　排気装置