【事件の表示】
　特願２０１１−　７５６１０「マルチレベル基板処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　７月１４日出願公開、特開２０１１−１３９０９８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成９年４月２３日（パリ条約による優先権主張１９９６年６月１３日、アメリカ合衆国）を国際出願日とする特願平１０−５０１５８１号の一部を平成２０年６月１０日に新たな特許出願とした特願２００８−１５１７２７号の一部をさらに平成２３年３月３０日に新たな特許出願としたものであって、平成２４年８月２４日付けで拒絶の理由が通知され、同２５年１月２８日に意見書及び手続補正書が提出されたが、同２５年３月１日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、これに対し、同２５年７月５日に本件審判の請求がされ、同時に特許請求の範囲を補正対象とする手続補正書（以下、「本件補正」という。）が提出されたものである。
　
第２　本件補正について
１　補正の内容
　本件補正は特許請求の範囲について補正をするものであって、補正前後の特許請求の範囲の請求項１の記載は以下のとおりである。
（１）補正前の特許請求の範囲の請求項１
「　　【請求項１】
　基板処理装置であって、
　搬送チャンバ、及び前記搬送チャンバ内の中央に配されている回転軸を有する基板搬送機構を有する基板搬送部と、
　前記搬送チャンバの壁部の開口部に結合され、複数の基板処理チャンバと前記搬送チャンバとを接続する複数の閉鎖可能ゲートと、を含み、
　前記複数の基板処理チャンバの各々は鉛直高さの異なる少なくとも２つの水平面内に配され、前記鉛直高さの異なる水平面の各々は、前記複数の処理チャンバの各々と前記搬送チャンバとを接続しかつ互いに９０°未満の角度をなしている少なくとも２つの閉鎖可能ゲートを有し、当該鉛直方向において異なる位置にある少なくとも２つの基板処理チャンバの各々は、閉鎖可能取り付け具の各々によって前記搬送チャンバの同一の側部に別々かつ独立に取り付けられて、別々かつ独立している
隔離基板処理領域
　前記基板処理装置は、前記基板搬送機構の前記回転軸の水平方向移動なしに、前記基板搬送機構が前記少なくとも２つの鉛直高さの異なる水平面の全てにある前記閉鎖可能ゲートの全てを通って基板を搬送し、前記鉛直高さの異なる水平面において前記基板処理チャンバの各々に基板を挿入しかつそこから基板を取り出すように前記基板搬送機構を動作させるコントローラをさらに含むことを特徴とする基板処理装置。」
（２）補正後の特許請求の範囲の請求項１
「　　【請求項１】
　基板処理装置であって、
　搬送チャンバ、及び前記搬送チャンバ内の中央に配されている回転軸を有する基板搬送機構を有する基板搬送部と、
　前記搬送チャンバの壁部の開口部に結合され、複数の基板処理チャンバと前記搬送チャンバとを接続する複数の閉鎖可能ゲートと、を含み、
　前記複数の基板処理チャンバの各々は鉛直高さの異なる少なくとも２つの水平面内に配され、前記鉛直高さの異なる水平面の各々は、前記複数の処理チャンバの各々と前記搬送チャンバとを接続しかつ互いに９０°未満の角度をなしている少なくとも２つの閉鎖可能ゲートを有し、当該鉛直方向において異なる位置にある少なくとも２つの基板処理チャンバの各々は、閉鎖可能取り付け具の各々によって前記搬送チャンバの同一の側面に別々かつ独立に取り付けられて、別々かつ独立している
隔離された基板処理領域
　前記基板処理装置は、前記基板搬送機構の前記回転軸の水平方向移動なしに、前記基板搬送機構が前記少なくとも２つの鉛直高さの異なる水平面の全てにある前記閉鎖可能ゲートの全てを通って基板を搬送し、前記鉛直高さの異なる水平面において前記基板処理チャンバの各々に基板を挿入しかつそこから基板を取り出すように前記基板搬送機構を動作させるコントローラをさらに含むことを特徴とする基板処理装置。」（下線は補正箇所を示すため、当審で付したものである。）
２　補正の適否
　請求項１に関する本件補正について検討すると、「隔離基板処理領域」を「隔離された基板処理領域」と補正するものであるので、誤記の訂正を目的とするものであることは明らかである。
　以上のとおりであるので、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項により従前の例とされる改正前の特許法第１７条の２第４項第３号の規定に適合する。
　
第３　本願発明について
　本件補正は、上記のとおり適法と認められることから、本件出願の請求項１ないし７に係る発明は、平成２５年７月５日付け手続補正書により補正がされた特許請求の範囲、及び出願当初の明細書、図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし７に記載された事項により特定されるとおりのものであると認めるところ、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、上記第２の１の（２）の補正後の特許請求の範囲の請求項１に示したとおりである。
　
第４　刊行物記載の発明
　原審で通知した拒絶理由で引用した、本願優先権主張日前に頒布された刊行物である特開平３−２７４７４６号公報（以下「刊行物１」という。）には、以下の事項が記載されている。
（ア）第２ページ右下欄第１２行ないし第３ページ左上欄第７行
「（Ｄ．発明が解決しようとする問題点）
　ところで、マルチチャンバ装置には一般に下記の問題があった。
　先ず、マルチチャンバ装置は複数のチャンバを平面方向のみに並べて一体化していたのでマルチチャンバ装置の占有面積が大きくなるという問題があった。
　また、一般にマルチチャンバ装置には必ず最低一つの搬送チャンバ５が必要であるが、マルチチャンバ装置に占める搬送チャンバ５の占有面積の割合が無視できない程大きい。従って、マルチチャンバ装置の為し得る仕事の量に対するマルチチャンバ装置の占有面積の比（これは工場の面積を有効に利用する利用率に拘わってくる）を大きくすることが難しかった。」
（イ）第３ページ左上欄第１８行ないし右上欄第１３行
「第２に、マルチチャンバ装置においては一般に搬送チャンバ５とプロセスチャンバ８、８、…との間のゲートバルブ４を同時に複数個開かないルールが支配しているが、このことがスループットの向上を阻む要因となる。というのは、各チャンバ５、８、８、…間が相互汚染（クロスコンタミネーション）するのを完全に防止するため、ゲートバルブ４を同時に２個以上開かないようにする必要がある。しかしながら、一部のプロセスチャンバ８、８のなかには、互いに連通しても全く相互汚染が生じないものがある場合がある。にも拘らず、マルチチャンバ装置全体のなかで同時にゲートバルブ４を２個以上開かないようにするというルールを守らなければならないため、スループットの向上が阻害されてしまっていたのである。」
（ウ）第３ページ右下欄第４ないし７行
「（Ｅ．問題点を解決するための手段）
　本発明マルチチャンバ装置の第１のものは、複数のチャンバ又は処理部を高さが異なるように配置した構造部分を有することを特徴とする。」
（エ）第４ページ左上欄第２ないし１１行
「（Ｆ．作用）
　本発明マルチチャンバ装置の第１のものによれば、垂直方向に積み重ねたチャンバあるいは処理部を高さを異ならせて配置したチャンバについては占有面積の増大をほとんど伴うことなく為し得る処理の種類あるいは処理量を増大させることができる。
　従って、マルチチャンバ装置の占有面積の増大を伴うことなく処理の種類、量の増大を図ることができる。」
（オ）第４ページ左下欄第９行ないし右下欄第１４行
「（ａ．第１の実施例）［第１図、第２図］
　第１図（Ａ）、（Ｂ）は本発明マルチチャンバ装置の第１の実施例を示すものであり、同図（Ａ）は平面断面図、同図（Ｂ）は縦断面図である。
　本マルチチャンバ装置は平面形状が略正方形の搬送チャンバ５の三つの側面それぞれにプロセスチャンバ８を上下に２段ずつ合計６個ゲートバルブ４を介して連結し、残りの一つの側面にロードロックチャンバ１を設けたものである。各プロセスチャンバ８、８、…のうち上段のものには上方に排気するクライオポンプ１０を、下段のものには下方に排気するクライオポンプ１０をそれぞれ設けている。
　そして、ウエハ搬送機構９は上段のチャンバ８と下段のチャンバ８との間で半導体ウエハ３の搬送ができるようにアーム６及びフォーク７を全体的に昇降させることができるようになっている。
　このようなマルチチャンバ装置によれば、占有面積の増大を伴うことなくプロセスチャンバ８の数を増すことができる。また、プロセスチャンバ８の数が同じならばマルチチャンバ装置の占有面積を狭くすることができる。」
（カ）第１０ページ左下欄第１３行ないし右下欄第３行
「（Ｈ．発明の効果）
　以上に述べたように、本発明マルチチャンバ装置の第１のものは、複数のチャンバあるいは複数の処理部を異なる高さに配置した構造部分を少なくとも有することを特徴とするものである。
　従って、本発明マルチチャンバ装置の第１のものによれば、チャンバ、処理部の高さを異ならせて配置したので占有面積の増大をほとんど伴うことなくマルチチャンバ装置により為し得る処理の種類あるいは処理量を増大させることができる。」
（キ）ここで、第１図を参照すると、ウエハ搬送機構９が搬送チャンバ５内の中央に配されていることが見て取れる。そして、上記摘記事項（オ）の「ウエハ搬送機構９は上段のチャンバ８と下段のチャンバ８との間で半導体ウエハ３の搬送ができるようにアーム６及びフォーク７を全体的に昇降させることができるようになっている。」の記載から、ウエハ搬送機構９は、回転軸を有し、かつ、当該回転軸が水平方向移動なしに鉛直方向に上下動できるものであることは明らかである。
　第１図の平面断面図（Ａ）と縦断面図（Ｂ）とを参照することにより、鉛直方向上段及び下段のそれぞれに、お互いに９０°の角度をなして３つずつのプロセスチャンバ８が設けられているのが理解できる。また、第１図の縦断面図（Ｂ）を参照することにより、各プロセスチャンバ８は、搬送チャンバ５の同一の側面の上段及び下段に別々にかつ独立に取り付けられ、また、別々かつ独立している隔離されたプロセス領域を有しているものであることは明らかである。
（ク）刊行物１記載の発明
　以上（ア）ないし（カ）の摘記事項、及び（キ）の認定事項を考慮し、本願発明の記載に沿って整理すると、刊行物１には次の発明（以下「刊行物１発明」という。）が開示されていると認める。
「マルチチャンバ装置であって、
　搬送チャンバ５、及び前記搬送チャンバ５内の中央に配されている回転軸、及びアーム６、フォーク７を有するウエハ搬送機構９と、
　６個のプロセスチャンバ８、８、・・・と前記搬送チャンバ５とを連結する６個のゲートバルブ４と、を含み、
　前記６つのプロセスチャンバ８、８、・・・のうち鉛直方向上段の３つのプロセスチャンバ８、下段の３つのプロセスチャンバ８の各々は、前記３つのプロセスチャンバ８の各々と前記搬送チャンバ５とを連結しかつ互いに９０°の角度をなしている３つのゲートバルブ４を有し、当該鉛直方向において異なる段にある２つのプロセスチャンバ８の各々は、ゲートバルブ４による連結によって前記搬送チャンバ５の同一の側面の上段及び下段に別々にかつ独立に取り付けられ、また、別々かつ独立している隔離されたプロセス領域を有しているものであり、
　前記マルチチャンバ装置は、前記回転軸の水平方向移動なしで鉛直方向の上下動により、前記アーム６及びフォーク７が前記鉛直方向上段及び下段のすべてのプロセスチャンバ８、８、・・・に半導体ウエハ３を搬送できるようにしたマルチチャンバ装置。」
　
第５　対比及び当審の判断
（１）対比 
　本願発明と刊行物１発明とを対比すると、刊行物１発明の「マルチチャンバ装置」は本願発明の「基板処理装置」に相当し、以下同様に、「搬送チャンバ５」は「搬送チャンバ」に、「プロセスチャンバ８」は「基板処理チャンバ」に、「半導体ウエハ３」は「基板」に相当する。
　刊行物１発明の「回転軸、及びアーム６、フォーク７」は本願発明の「回転軸を有する基板搬送機構」に相当し、刊行物１発明の「ウエハ搬送機構９」は本願発明の「基板搬送部」に相当する。
　刊行物１発明の「ゲードバルブ４」は本願発明の「閉鎖可能ゲート」及び「閉鎖可能取り付け具」に相当する。そうすると、刊行物１発明の「６個のプロセスチャンバ８、８、・・・と前記搬送チャンバ５とを連結する６個のゲートバルブ４」は、ゲートバルブがチャンバの壁部の開口部に結合され、接続されるものであるので、本願発明の「搬送チャンバの壁部の開口部に結合され、複数の基板処理チャンバと搬送チャンバとを接続する複数の閉鎖可能ゲート」に相当する。
　刊行物１発明の「鉛直方向上段」及び「下段」は、本願発明の「鉛直高さの異なる」「２つの水平面内」に相当する。
　刊行物１発明の「９０°の角度」は、「所定の角度」という限りで本願発明の「９０°未満の角度」と共通する。
　刊行物１発明の「同一の側面の上段及び下段に別々にかつ独立に取り付けられ」ることは、本願発明の「同一の側面に別々かつ独立に取り付けられ」ることに相当する。
　刊行物１発明の「プロセス領域」は本願発明の「基板処理領域」に相当する。したがって、刊行物１発明の「プロセス領域を有している」ことは、プロセス領域がプロセスチャンバ８内にあることが明らかなので、本願発明の「基板処理領域を」、「基板処理チャンバ内部に形成」することに相当する。
　刊行物１発明の「回転軸の鉛直方向の上下動により、アーム６及びフォーク７が前記鉛直方向上段及び下段のすべてのプロセスチャンバ８、８、・・・に半導体ウエハ３を搬送できるようにした」ことは、回転軸が水平方向移動していないことは明らかなので、本願発明の「基板搬送機構の回転軸の水平方向移動なしに、基板搬送機構が２つの鉛直高さの異なる水平面のすべてにある閉鎖可能ゲートの全てを通って基板を搬送し、鉛直高さの異なる水平面において基板処理チャンバの各々に基板を挿入しかつそこから基板を取り出すように基板搬送機構を動作させる」ことに相当する。
　以上から、本願発明と刊行物１発明との一致点及び相違点は、以下のとおりである。
＜一致点＞
「基板処理装置であって、
　搬送チャンバ、及び前記搬送チャンバ内の中央に配されている回転軸を有する基板搬送機構を有する基板搬送部と、
　前記搬送チャンバの壁部の開口部に結合され、複数の基板処理チャンバと前記搬送チャンバとを接続する複数の閉鎖可能ゲートと、を含み、
　前記複数の基板処理チャンバの各々は鉛直高さの異なる２つの水平面内に配され、前記鉛直高さの異なる水平面の各々は、前記複数の処理チャンバの各々と前記搬送チャンバとを接続しかつ互いに所定の角度をなしている少なくとも２つの閉鎖可能ゲートを有し、当該鉛直方向において異なる位置にある２つの基板処理チャンバの各々は、閉鎖可能取り付け具の各々によって前記搬送チャンバの同一の側面に別々かつ独立に取り付けられて、別々かつ独立している隔離された基板処理領域を当該鉛直方向において異なる位置にある２つの基板処理チャンバ内部に形成し、
　前記基板処理装置は、前記基板搬送機構の前記回転軸の水平方向移動なしに、前記基板搬送機構が前記２つの鉛直高さの異なる水平面の全てにある前記閉鎖可能ゲートの全てを通って基板を搬送し、前記鉛直高さの異なる水平面において前記基板処理チャンバの各々に基板を挿入しかつそこから基板を取り出すように前記基板搬送機構を動作させる基板処理装置。」
＜相違点１＞
　２つの閉鎖可能ゲートのなす角度に関して、本願発明においては、「９０°未満」と特定しているのに対して、刊行物１発明では、「９０°」である点。
＜相違点２＞
　本願発明においては、基板搬送機構を動作させるための「コントローラ」を有しているのに対して、刊行物１発明では、コントローラを有しているのかどうか不明な点。
（２）相違点についての検討及び判断
（ア）＜相違点１＞について
　刊行物１発明では、プロセスチャンバ８は搬送チャンバ５の周囲に９０°の角度で３つ設けられているものであるが、刊行物１の第６図や第８図、第１０図、原査定における拒絶理由において引用した特開平８−４６０１３号公報の図４、特開平７−１７１７７８号公報の図２４、特開平８−１１５９６８号公報の図１に記載されているように、基板処理チャンバを搬送チャンバの周囲に９０°未満の角度で配置することは従来周知の事項であって、しかも、当該周知の基板処理チャンバを刊行物１発明に適用できないとする阻害要因は見当たらず、また、一般に搬送チャンバの周囲に配置される基板処理チャンバの数は多ければ多いほど多数の基板を同時に処理できることからすれば、刊行物１発明において、基板処理チャンバの数を増やしてその結果として基板処理チャンバを搬送チャンバの周囲に９０°未満の角度で配置するものとすることは、当業者が容易になし得たものである。
（イ）＜相違点２＞について
　基板処理装置において、基板の搬送の制御をコントローラで行うことは、例示するまでもなく従来周知の事項であって、基板の処理環境を考えると、コントローラで動作させることが通常であることからすれば、刊行物１発明において、基板搬送機構である回転軸、及びアーム６、フォーク７の動作をコントローラで行うようにすることについて、格別な発明力を要するものとすることはできない。
（ウ）本願発明の作用ないし効果について
　本願発明によってもたらされる作用ないし効果は、刊行物１発明及び周知の事項から予測できる作用ないし効果以上の顕著なものではない。
　
第６　むすび
　以上のとおりであるので、本願発明は、引用発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件出願の請求項２乃至７に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。
　
第７　仮に、本願発明において、回転軸の移動を「鉛直方向移動なしに」と解釈した場合について
　基板搬送機構の回転軸の移動について、本願発明は、「水平方向移動なしに」と特定されているところ、前記の（１）の対比において言及したとおり、刊行物１発明においても、ウエハ搬送機構９の回転軸は、鉛直方向には上下動するものの水平方向には移動しないものであるから、この点に関して本願発明と刊行物１発明とで相違するものではない。
　この点に関して、拒絶査定においても言及しているように、「水平方向移動なしに」が「鉛直方向移動なしに」の誤りであったと仮定した場合について、以下、検討する。
　その場合、本願発明と刊行物１発明とは、さらに、以下の点で相違することになる。
＜仮の相違点３＞
　基板搬送機構に関して、本願発明では、「回転軸の鉛直方向移動なしに」搬送機構が基板を搬送するものであるのに対して、刊行物１発明では、ウエハ搬送機構９の回転軸は鉛直方向に上下動することにより、上下段のプロセスチャンバ８に半導体ウエハを搬送するものである点。
　＜仮の相違点３＞について検討すると、回転軸の鉛直方向移動なしに搬送可能な搬送機構は、拒絶査定において引用した実願昭６２−１８９４５６号（実開平１−９３７３３号）のマイクロフィルム（第１図参照）のほか、例えば、特開平２−２６０５号公報（Ｆｉｇ．３、６ａ〜６ｆ参照）、特開平４−２８０６５１号公報（図１参照）、特開平４−１４６０９２号公報（第２図参照）、実願平４−５８８４２号（実開平６−２３２５２号）のＣＤ−ＲＯＭ（図１、２参照）に見られるように従来周知の事項であることからすれば、刊行物１発明においても、半導体ウエハ３を上下段のプロセスチャンバ８に移載する上でウエハ搬送機構９に回転軸の鉛直方向移動なしのものを用いることに格別の困難性を有するものとは認められない。
　したがって、本願発明において、「水平方向移動なしに」が「鉛直方向移動なしに」の誤りであったと仮定したとしても、本願発明は、引用発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
第８　審判請求書における補正案について
　本願発明は、審判請求時の補正によって補正された上記第２の１の（２）のとおりのものであるところ、請求人は、審判請求書において補正案を提示している。
　ここで、審判請求書の補正案について検討すべき法律上の根拠はなく、しかも、審判請求時に特許請求の範囲を補正することは可能であるから、審判請求書記載の補正案について検討する必要性は全く存在しないところ、念のため当該補正案について検討すると、当該補正案では、上記認定の本願発明に、さらに「複数の処理チャンバの各々を搬送チャンバに接続しかつ鉛直高さの異なる少なくとも２つの水平面内に配されている少なくとも２つの閉鎖可能ゲートは、同一の側面に接続され、互いに水平方向にオフセットしており」という事項を追加している。
　しかしながら、２つの閉鎖可能ゲートを水平方向にオフセットさせても、そのことによる技術的意義がなんら認められないことから、この特定された点は、単なる設計的事項に過ぎないと考えざるを得ない。