【事件の表示】
　特許第３０２３３００号「高透過性複合逆浸透膜とその製造方法及び逆浸透処理方法」の請求項１ないし１６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０２３３００号の請求項１ないし１６に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件の経緯
　本件特許第３０２３３００号は、平成７年１２月１９日（優先権主張日、平成６年１２月２２日、及び平成７年７月１３日）の出願であって、平成１２年１月１４日（公報発行平成１２年３月２１日）に設定登録され、平成１２年９月２１日に東洋紡績株式会社及び東レ株式会社から特許異議の申立を受けたものであって、その後平成１３年１月１９日（発送日平成１３年２月２日）付で取消理由通知がなされ、その指定期間内に訂正請求がなされ、その後平成１４年４月１８日（発送平成１４年５月７日）再度の取消理由通知がなされ、先の訂正請求を取下げる共に、その指定期間内である平成１４年７月３日に新たな訂正請求がなされたものである。
２．訂正の要旨
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲請求項１の「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物からなるポリアミド系スキン層薄膜と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さが５５ｎｍ以上であることを特徴とする高透過性複合逆浸透膜。」とあるのを、「アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなるポリアミド系スキン層薄膜と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上であることを特徴とする高透過性複合逆浸透膜。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲請求項１２の「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物を有する」（特許公報第2頁3欄12〜13行）とあるのを、「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）を有する」と訂正するとともに、「から選ばれるアルコール化合物群、アニソール、エチルイソアミルエーテル・・・・ジメチルスルホキシド及びチオランから選ばれる含硫黄化合物群」（第2頁3欄29行〜4欄13行）を削除する。
（３）訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項１３及び請求項１４を削除し、以下、請求項１５以降の各項数を２繰り上げる。
（４）訂正事項ｄ
　訂正前の特許請求の範囲請求項１６の「複数の逆浸透膜を用いて液体を逆浸透処理する方法であって、負荷電荷性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電荷性架橋ポリアミド系スキン層は２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物と２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能酸ハロゲン化合物の反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが５５ｎｍ以上で、かつそのスキン層の表面を正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被膜されている高透過性複合逆浸透膜を用いることを特徴とする逆浸透処理方法」とあるのを、「複数の逆浸透膜を用いて液体を逆浸透処理する方法であって、負荷電性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電性架橋ポリアミド系スキン層は、アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメータが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上で、かつそのスキン層の表面が正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被膜されている高透過性複合逆浸透膜を用いることを特徴とする逆浸透処理方法」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　訂正前の特許請求の範囲請求項１７の「請求項１６に記載の」とあるのを、「請求項１４に記載の」と訂正する。
（６）訂正事項ｆ
　訂正前の特許請求の範囲請求項１８の「平均粗面粗さが５５ｎｍ以上である請求項１６に記載の」とあるのを、「平均粗面粗さが６０ｎｍ以上である請求項１４に記載の」と訂正する。
（７）訂正事項ｇ
　　発明の詳細な説明中、段落【０００６】「【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため、本発明の第１番目の高透過性複合逆浸透膜は、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物からなるポリアミド系スキン層薄膜と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さが５５ｎｍ以上であることを特徴とする。前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さは１０，０００ｎｍ以下であることが好ましく、とくに好ましくは１，０００ｎｍ以下である。」（特許公報第3頁6欄18〜28行）とあるのを、「【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため、本発明の第１番目の高透過性複合逆浸透膜は、アルコール類から選ばれる少なくとも一の溶解度パラメーターが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなるポリアミド系スキン層薄膜と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上であることを特徴とする。前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さは１０，０００ｎｍ以下であることが好ましく、とくに好ましくは１，０００ｎｍ以下である。」と訂正する。
（８）訂正事項ｈ
　発明の詳細な説明中、段落【００１０】における「次に本発明の第２番目の高透過性複合逆浸透膜は、薄膜とこれを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記薄膜が、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物からなる負荷電荷性架橋ポリアミド系スキン層であり、前記スキン層の平均面粗さが５５ｎｍ以上であるとともに、前記スキン層の表面を正荷電性基を有する有機重合体の架橋層で被覆したことを特徴とする」（特許公報第4頁7欄3行）を、「次に本発明の第２番目の高透過性複合逆浸透膜は、薄膜とこれを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記薄膜が、アルコールから選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメータが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなる負荷電性架橋ポリアミド系スキン層であり、前記スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上であるとともに、前記スキン層の表面を正荷電性基を有する有機重合体の架橋層で被覆したことを特徴とする」と訂正する。
（９）訂正事項ｉ
　発明の詳細な説明中、段落【００２８】「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物を有する」（第5頁9欄24〜25行）とあるのを、「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）を有する」と訂正するとともに、「から選ばれるアルコール化合物、アニソール、エチルイソアミルエーテル・・・・・ジメチルスルホキシド及びチオランから選ばれる含硫黄化合物群」（第5頁9欄40行〜10欄22行）を削除する。
（10）訂正事項ｊ
　発明の詳細な説明中、段落【００２９】を削除する。
（11）訂正事項ｋ
　発明の詳細な説明中、段落【００３１】における「負荷電荷性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電荷性架橋ポリアミド系スキン層は２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物と２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能酸ハロゲン化合物の反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが５５ｎｍ以上で、かつそのスキン層の表面を」（特許公報第5頁10欄41〜46行）を、「負荷電性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電性架橋ポリアミド系スキン層は、アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上で、かつそのスキン層の表面が」と訂正する。
（12）訂正事項ｌ
　発明の詳細な説明中、段落【００３３】における「５５ｎｍ」（特許公報第6頁11欄8行）を、「６０ｎｍ」と訂正する。
（13）訂正事項ｍ
　発明の詳細な説明中、段落【００３４】に「【発明の実施の形態】前記した本発明の複合逆浸透膜は、たとえば２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との界面重縮合反応時に、溶解度パラメーターが８〜１４（cal／cm３ )１／２の化合物、例えばアルコール類、エーテル類、ケトン類、エステル類、ハロゲン化炭化水素類、及び含硫黄化合物類などから選ばれる少なくとも一つの化合物の存在させることにより製造することができる。」（特許公報第6頁11欄11〜28行）とあるのを、「【発明の実施の形態】前記した本発明の複合逆浸透膜は、たとえば２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との界面重縮合反応時に、溶解度パラメーターが８〜１４（cal／cm３ )１／２の化合物、例えばアルコール類から選ばれる少なくとも一つの化合物を存在させることにより製造することができる。」と訂正する。
（14）訂正事項ｎ
　発明の詳細な説明中、段落【００３５】（特許公報第6頁11欄29〜49行）を削除する。
（15）訂正事項ｏ
　発明の詳細な説明中、段落【００３６】（特許公報第6頁11欄50行〜12欄4行）を削除する。
（16）訂正事項ｐ
　発明の詳細な説明中、段落【００３７】（特許公報第6頁12欄5〜11行）を削除する。
（17）訂正事項ｑ
　発明の詳細な説明中、段落【００３８】の「また含硫黄化合物類としては例えば、ジメチルスルホキシド、チオランが挙げられる。これらの中でも特にアルコール類、エーテル類が好ましい。」（第6頁12欄12〜14行）を削除する。
（18）訂正事項ｒ
　発明の詳細な説明中、段落【００３９】【００５８】【００７８】【００８０】【０１１０】【０１１１】における「５５ｎｍ」（特許公報第6頁12欄23行、第8頁15欄6行、第9頁18欄32行、第10頁19欄26行、第12頁24欄36行、50行の６箇所）を、「６０ｎｍ」と訂正する。
（19）訂正事項ｓ
　発明の詳細な説明中、段落【００４０】に「本発明においては、平均面粗さが５５ｎｍ以上でなければならない。５５ｎｍ未満の場合は十分な透過流束が得られない。好ましくは６０ｎｍ以上である。また、自乗平均面粗さは６５ｎｍ以上が好ましい。６５ｎｍ未満の場合は十分な透過流束が得られない。さらに好ましくは７０ｎｍ以上である。」（特許公報第6頁12欄29〜34行）とあるのを、「本発明においては、平均面粗さが６０ｎｍ以上でなければならない。６０ｎｍ未満の場合は十分な透過流束が得られない。また、自乗平均面粗さは６５ｎｍ以上が好ましい。６５ｎｍ未満の場合は十分な透過流束が得られない。さらに好ましくは７０ｎｍ以上である。」と訂正する。
（20）訂正事項ｔ
　発明の詳細な説明中、段落【００５８】【０１１０】【０１１１】における「負荷電荷性」（特許公報第8頁15欄5行、第12頁24欄34行、44行、47行の４箇所）を、「負荷電性」と訂正する。
（21）訂正事項ｕ
　発明の詳細な説明中段落【００７６】における「負荷電性架橋ポリアミド系スキン層及び」（特許公報第9頁17欄31〜32行）を「負荷電性架橋ポリアミド系スキン層及び」と訂正するとともに、「前記荷電性架橋ポリアミド系スキン層は２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物と２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物の反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが５５ｎｍ以上で」（特許公報第9頁17欄34〜38行）を、「前記負荷電性架橋ポリアミド系スキン層は、アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメータが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上で」と訂正する。
（22）訂正事項ｖ
　発明の詳細な説明中段落【００８６】における「実施例２〜４」（特許公報第10頁20欄37行）を、「実施例２」と訂正する。
（23）訂正事項ｗ
　発明の詳細な説明中【表１】（特許公報第11頁）における実施例３に関する欄を削除する。
（24）訂正事項ｘ
　発明の詳細な説明における「実施例５」を「実施例３」と、また「実施例６」を「実施例４」と、それぞれ訂正する。
　　　本件公報　　　　　　　訂正前　　　　訂正後
　　第11頁21欄10行　　　　実施例５　　　実施例３
　　第11頁22欄24〜25行　　実施例５　　　実施例３
　　第11頁22欄25〜26行　　実施例５　　　実施例３
　　第11頁22欄29行　　　　実施例５　　　実施例３
　　第11頁22欄31行　　　　実施例５　　　実施例３
　　第11頁22欄32行　　　　実施例５　　　実施例３
　　第12頁23欄 7行　　　　実施例６　　　実施例４
　　第12頁24欄13行　　　　実施例６　　　実施例４
　　第12頁24欄14行　　　　実施例５　　　実施例３
（25）訂正事項ｙ
　発明の詳細な説明中段落【００９１】における「グリタルアルデヒド」（特許公報第11頁21欄35行）を「グルタルアルデヒド」と訂正する。
　
３．訂正の適否についての検討
（１）上記訂正事項ａは、
　ａ−１．２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応に、「アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の存在下で」という条件を付け加える訂正
　ａ−２．２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物に「（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）」という限定を付け加える訂正
　ａ−３．「多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物」を「多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物」とする訂正
　ａ−４．スキン層の平均面粗さの最低限度を、「５５ｎｍ」から「６０ｎｍ」に限定する訂正
　に細分することができる。
　訂正事項ａ−１，ａ−２およびａ−４は、いずれも特許請求の範囲の技術的事項を限定するものであり、訂正事項ａ−３は、「反応生成物」がアミノ基を有する化合物と多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させたものであることを明確にするものであるから、訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正、及び明りょうでない記載の釈明の訂正に該当する。
　そして、訂正事項ａ−１は本件特許明細書段落【００３４】に、訂正事項ａ−４は本件特許明細書段落【００４０】に、それぞれ記載された事項であり、訂正事項ａ−２については、本件特許明細書には「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物」として、芳香環上に塩素置換基を含む化合物は記載されておらず、しかも当該限定は、本件取消理由通知で引用された先行技術との差異を明確にするためであるから、新規事項の追加に該当しない。
（２）上記訂正事項ｂは、
　ｂ−１．２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物に「（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）」という限定を付け加える訂正
　ｂ−２．溶液Ａ、溶液Ｂ及び微多孔性支持体から選ばれる少なくとも一つに、存在させる化合物として、アルコール化合物群以外の化合物群を削除する訂正
　に細分することができる。
　そして、訂正事項ｂ−１及びｂ−２は、いずれも特許請求の範囲の技術的事項を限定ないし減縮するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。
　そして、訂正事項ｂ−１については、本件特許明細書には「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物」として、芳香環上に塩素置換基を含む化合物は記載されておらず、しかも当該限定は、本件取消理由通知で引用された先行技術との差異を明確にするためであるから、新規事項の追加に該当しない。
（３）訂正事項ｃは、請求項の削除であって特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当し、項数の繰り上げは請求項１３及び１４の削除により生じる項数の不整合を正すものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
（４）訂正事項ｄは、
　ｄ−１．２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能酸ハロゲン化合物の反応に、「アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメータが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の存在下で」という条件を付け加える訂正
　ｄ−２．２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物に「（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）」という限定を付け加える訂正
　ｄ−３．「多官能性酸ハロゲン化合物の反応生成物」を「多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物」とする訂正
　ｄ−４．スキン層の平均面粗さの最低限度を、「５５ｎｍ」から「６０ｎｍ」に限定する訂正
　ｄ−５．「負荷電荷性」（２箇所）を「負荷電性」とする訂正
　に細分することができる。
　ここで、訂正事項ｄ−１ないしｄ−４は、訂正事項ａ−１ないしａ−４とほぼ同じであり、また、訂正事項ｄ−５は、「負荷電荷性」が意味不明で、本件特許明細書の段落【００２３】【００２８】【００３１】【００３２】（特許公報第4頁8欄35行、第5頁9欄27〜29行、第5頁10欄38〜39行、第6頁11欄3行）の記載からみて、それが「負荷電性」の誤記であることは明らかである。
　したがって、訂正事項ｄは、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正、及び明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正、及び誤記の訂正を目的とする訂正に該当する。
（５）訂正事項ｅは、請求項１３及び１４の削除により、請求項の項数が繰り上がったことにより生じる引用請求項の項数の不整合を正すものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
（６）訂正事項ｆは、スキン層の平均面粗さの最低限度を、「５５ｎｍ」から「６０ｎｍ」に限定するとともに、請求項１３及び１４の削除により、請求項の項数が繰り上がったことにより生じる引用請求項の項数の不整合を正すものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正、及び明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
（７）訂正事項ｇ，ｌ，ｒ，ｕは、本件特許明細書の発明の詳細な説明を、訂正された特許請求の範囲請求項１、請求項５，請求項１２及び請求項１４の記載に整合させるものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
（８）訂正事項ｈ、ｋは、本件特許明細書の発明の詳細な説明を、訂正された特許請求の範囲請求項１、請求項５及び請求項１４の記載に整合させる訂正、及び「負荷電荷性」を「負荷電性」に正すものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正、及び誤記の訂正に該当する。
（９）訂正事項ｉは、訂正事項ｂと同じであり、本件特許明細書の発明の詳細な説明を、訂正された特許請求の範囲請求項１２の記載に整合させるものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
（９）訂正事項ｊ，ｎ，ｏ，ｐ，ｑは、訂正事項ａ−１により不要になった記載や本件特許発明の技術的範囲でなくなった化合物についての記載を削除するものであり、本件特許明細書の発明の詳細な説明を、訂正された特許請求の範囲請求項１の記載に整合させるものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
（10）訂正事項ｍは、
　ｍ−１．溶解度パラメータが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の例示を「アルコール類から選ばれる少なくとも一つの化合物」のみに限定する訂正
　ｍ−２．「化合物の」とあるのを「化合物を」とする訂正
　に細分することができる。
　ここで、訂正事項ｍ−１は訂正事項ａ−１と実質的に同じであり、本件特許明細書の発明の詳細な説明を、訂正された特許請求の範囲請求項１の記載に整合させるものであり、訂正事項ｍ−２は、前後の文章からみて、「化合物の」とあるのは「化合物を」の誤記であることは明らかである。
　したがって、訂正事項ｍは、明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的とする訂正に該当する。
（11）訂正事項ｓは、訂正事項ａ−４により本件特許発明の技術的範囲でなくなった部分についての記載を削除し、本件特許明細書の発明の詳細な説明を、訂正された特許請求の範囲請求項１の記載に整合させるものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
（12）訂正事項ｖ，ｗ，ｘは、訂正事項ａ−４により本件特許発明の技術的範囲でなくなった「実施例３」についての記載を削除し、それ以降の実施例の番号を繰り上げ、段落【００８６】直後のかっこ内の実施例番号を訂正後の表１と整合させるものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
（13）訂正事項ｔは、発明の詳細な説明中段落【００５８】【０１１０】【０１１１】における「負荷電荷性」（特許公報第8頁15欄5行、第12頁24欄34行、44行、47行の４箇所）は意味が不明で、本件特許明細書の段落【００２３】【００２８】【００３２】（特許公報第4頁8欄35行、第5頁10欄38〜39行、第6頁11欄3行）の記載からみて、それが「負荷電性」の誤記であることは明らかであるから、誤記の訂正を目的とする訂正に該当する。
（14）訂正事項ｙは、発明の詳細な説明中段落【００９１】における「グリタルアルデヒド」（特許公報第11頁21欄35行）は、そのような名称の化合物は存在せず意味が不明で、本件特許明細書の段落【００２４】（特許公報第4頁8欄44〜46行）の記載からみて、それが「グルタルアルデヒド」の誤記であることは明らかであるから、誤記の訂正を目的とする訂正に該当する。
　
　そして、上記訂正事項ａないし訂正事項ｚは、実質的に特許請求の範囲を変更し、又は拡張するものでもない。
　してみると、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定にそれぞれ適合するものであるから、上記訂正は認める。
　
４．特許異議申立人の主張の概要
（１）特許異議申立人東洋紡績株式会社（以下「申立人Ａ」という）は、下記甲第１〜７号証、及び参考資料１〜４を提出し、
　本件請求項１〜４に係る発明は、本件特許出願前公然実施された発明であるから、特許法第２９条第１項第２号の発明に該当し、甲第１ないし３号証に記載された発明であるから、同法第２９条第１項第３号の発明に該当し、本件請求項１〜１８に係る発明は、甲第１ないし５号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、同法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件請求項１〜１８に係る発明は、同法第１１３条第２号の規定により取り消されるべきものである旨主張している。
　　甲第１号証：特開平６−４７２６０号公報
　　甲第２号証：米国特許第４，７７２，３９４号明細書
　　甲第３号証：特表平４−５０７２１６号公報
　　甲第４号証：特開平５−３０９２３７号公報
　　甲第５号証：特開平４−３４１３３４号公報
　　甲第６号証：実験成績報告書（１）
　　甲第７号証：実験成績報告書（２）
　　参考資料１：高分子学会編、「高分子データ・ハンドブック、基礎編」培風館，pp．597−598（1986）
　　参考資料２：日東技報、
３４
　　参考資料３：日東電工「ＥＳシリーズ」パンフレット
　　参考資料４：講演録、「膜」、
１６
　
（２）特許異議申立人東レ株式会社（以下「申立人Ｂ」という）は、下記甲第１〜４号証を提出し、
　本件請求項１〜４に係る発明は、本件特許出願前公然実施された発明であるから、特許法第２９条第１項第２号の発明に該当し、甲第１号証に記載された発明であるから、同法第２９条第１項第３号の発明に該当し、少なくとも甲第１〜４号証記載の発明に基づいて容易に発明することができたものであるから同法同条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、本件請求項１及びその従属項である請求項２〜１１に係る発明は、当業者が容易に発明を実施できる程度に明確かつ十分に明細書に記載されておらず、また、請求項１〜１１の記述は不明確であり、特許法第３６条第４項及び第６項第（２）号の規定を充足しないから、本件請求項１〜１１に係る発明は、同法第１１３条第２号の規定により取り消されるべきものである旨主張している。
    甲第１号証：「Ｊｏｕｒ．ｏｆ　Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌａｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ−Ｐｕｒｅ　ａｎｄ　Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ」、Ｎｏｖ．1994
　　甲第２号証：証明書（東レ（株））
　　甲第３号証：実験成績証明書
　　甲第４号証：「Ｊｏｕｒ．ｏｆ　Ｍｅｍｂｒａｎｅ　Ｓｃｉｅｎｃｅ」１２１（１９９６）２０９−２１５
　
５．取消理由の検討
５−１．明細書の記載不備について
(１)申立人Ｂは、本件発明は、平均面粗さ等の数値限定にのみ特徴があるものであるにも関わらず、その測定方法が具体的に記載されておらず、ある逆浸透膜が本件特許の請求項１記載の発明の技術的範囲に属するか否かを本件特許明細書の記述に従って知ることはできないから、本件特許明細書の記載は、平均面粗さを規定している請求項１記載の発明及びその従属請求形式で記載されている請求項２ないし１１記載の発明については、当業者が容易に発明を実施できる程度に明確かつ十分に記載されておらず、また、請求項１〜１１の記述は不明確であり、特許法第３６条第４項及び第６項第２号の規定を満足しない旨主張している。
(２)しかしながら、訂正された本件請求項１に係る発明は、膜の微細構造、即ち膜性能にも特徴があるのであって、平均面粗さ等の数値限定にのみ特徴があるものではなく、しかも、本件特許明細書には、本件請求項１ないし４で規定する「平均面粗さ：Ｒａ」、「自乗平均面粗さ：Ｒｍｓ」、「１０点平均面粗さ：Ｒｚ」、「最大高低差：ＰＶ」が、【数１】ないし【数４】として明確に定義されており、当業者はこれらの定義に従い、ある逆浸透膜が本件特許の請求項１〜１１記載の発明の技術的範囲に属するか否かを知ることができるのであり、その際、使用する測定機器の操作条件は、上記定義と、本件発明の目的効果を考慮すれば、自ずと決まるものであるから、操作条件が開示されていなかったからと云って不明確とはいえない。
　　したがって、本件特許明細書の記載は、当業者が容易に発明を実施できる程度に明確かつ十分に記載おり、また、請求項１〜１１の記述に不明確な点はなく、特許法第３６条第４項及び第６項第２号の規定を満足している。
　
５−２．新規性・進歩性の判断
（１）本件発明の認定
　本件発明は、平成１４年７月３日付け訂正請求により訂正された明細書の請求項１ないし１６に記載された事項により特定された次のとおりのものである（以下「本件発明１」ないし「本件発明１６」という）。
「【請求項１】 アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなるポリアミド系スキン層薄膜と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上であることを特徴とする高透過性複合逆浸透膜。
【請求項２】 複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の自乗平均面粗さが６５ｎｍ以上である請求項１に記載の高透過性複合逆浸透膜。
【請求項３】 複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の１０点平均面粗さが３００ｎｍ以上である請求項１に記載の高透過性複合逆浸透膜。
【請求項４】 複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の最大高低差が４００ｎｍ以上である請求項１に記載の高透過性複合逆浸透膜。
【請求項５】 複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の表面を、さらに正荷電性基を有する有機重合体の架橋層で被膜した請求項１に記載の高透過性複合逆浸透膜。
【請求項６】 複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の自乗平均面粗さが６５ｎｍ以上である請求項５に記載の高透過性複合逆浸透膜。
【請求項７】 複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の１０点平均面粗さが３００ｎｍ以上である請求項５に記載の高透過性複合逆浸透膜。
【請求項８】 複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の最大高低差が４００ｎｍ以上である請求項５記載の高透過性複合逆浸透膜。
【請求項９】 正荷電性基を有する有機重合体の架橋層が、ポリエチレンイミンを架橋した有機重合体である請求項５記載の高透過性複合逆浸透膜。
【請求項１０】 正荷電性基を有する有機重合体の架橋層が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体を、分子内及び分子間から選ばれる少なくとも一つで架橋した有機重合体である請求項５に記載の高透過性複合逆浸透膜。
【請求項１１】 正荷電性基を有する有機重合体の架橋層の厚さが１ｎｍ以上１０μｍ以下の範囲である請求項５に記載の高透過性複合逆浸透膜。
【請求項１２】 微多孔性支持体上に、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）を有する溶液Ａを被覆する工程、及び多官能性酸ハロゲン化物を含む溶液Ｂを上記溶液Ａ層と接触させる工程を含む手段により、負荷電性架橋ポリアミド系スキン層を形成させ、かつそのスキン層の表面が、正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被膜されている複合逆浸透膜を製造する方法であって、前記溶液Ａ、溶液Ｂ及び微多孔性支持体から選ばれる少なくとも一つに、エタノール、プロパノール、ブタノール、ブチルアルコール、１−ペンタノール、２−ペンタノール、ｔ−アミルアルコール、イソアミルアルコール、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、２−エチルブタノール、２−エチルヘキサノール、オクタノール、テトラヒドロフルフリルアルコール、ｔ−ブタノール、ベンジルアルコール、４−メチル−２−ペンタノール、３−メチル−２−ブタノール、ペンチルアルコール及びアリルアルコールから選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（cal／cm３)１／２の化合物を存在させることを特徴とする高透過性複合逆浸透膜の製造方法。
【請求項１３】 正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体を、分子内及び分子間から選ばれる少なくとも一つで架橋した有機重合体である請求項１２記載の高透過性複合逆浸透膜の製造方法。
【請求項１４】 複数の逆浸透膜を用いて液体を逆浸透処理する方法であって、負荷電性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電性架橋ポリアミド系スキン層は、アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメータが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上で、かつそのスキン層の表面が正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被膜されている高透過性複合逆浸透膜を用いることを特徴とする逆浸透処理方法。
【請求項１５】 高透過性複合逆浸透膜での逆浸透処理に先立つ処理が、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物からなる負荷電性架橋ポリアミド系スキン層と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜を用いた処理である請求項１４に記載の逆浸透処理方法。
【請求項１６】 高透過性複合逆浸透膜での処理に先立つ処理で用いられる逆浸透性膜のスキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上である請求項１４に記載の逆浸透処理方法。」
　
（２）請求項１〜４記載の発明が公知公用であるとの主張について
　　ア．申立人Ａは、甲第７号証の第１表に示すように、市販の複合逆浸透膜であるフラットシートメンブレン（NTR−759HR；日東電工社製）について、本件特許明細書に記載された原子間力顕微鏡（AFM）を用いて平均面粗さ（Ｒａ）、自乗平均面粗さ（Ｒｍｓ）、１０点平均面粗さ（Ｒｍｓ）、最大高低差（Ｒｚ）、及び最大高低差（ＰＶ）を測定した結果は、本件特許の請求項１〜４に記載された複合逆浸透膜と同一であり、当該市販の逆浸透膜（NTR−759HR）が本件特許の優先日前から販売されていたことは参考資料３、４に、NTR−759HRを含む逆浸透膜が、多孔質支持体（ＵＦ膜）上にスキン層（NTR−759HRでは架橋芳香族ポリアミド）を積層した構造であることは参考資料４の図３に、それぞれ記載されているから、本件請求項１〜４に係る発明は、本件特許の優先日前から知られた発明であると主張する。
　　しかしながら、甲第７号証の第１表の結果によれば、市販の逆浸透膜NTR−759HRの平均面粗さの平均値は56．3ｎｍであって、訂正後の本件請求項１に係る発明の60ｎｍ以上という条件を満たしていない。
　　したがって、本件請求項１〜４に係る発明は、市販の逆浸透膜NTR−759HRの製造販売によって、公知公用となった発明ということはできない。
　　イ．申立人Ｂは、申立人Ｂが提出した甲第１号証には、東レ社製逆浸透膜UTC−70が、スキン層の平均面粗さ以外の要件を全て満足することが記載され、甲第３号証の実験成績証明書によれば、UTC−70のスキン層の平均面粗さは60.29nmであり、本件請求項１で規定される範囲内に入っており、甲第２号証によれば東レ社製逆浸透膜UTC−70は昭和６３年から日本国内において販売しているのであり、甲第３号証によれば、UTC−70のスキン層の自乗平均面粗さ、１０点平均面粗さ、最大高低差は、それぞれ72.88nm、462.9nm、487.0nmであるから、本件請求項１〜４に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるか、本件優先権日前から国内において市販された公用発明であると主張している。
　　しかしながら、甲第１号証には、訂正された請求項１に係る発明の構成要件である、トリアミノベンゼンとｍ−フェニレンジアミンとの反応に特定の溶解度パラメータのアルコール化合物を存在させることについての記載がなく、さらに、甲第３号証に記載される、東レ社製逆浸透膜UTC−70が、本件優先日前から販売されていたとする、製品と同一のものであるかが不明であり、しかも、その平均面粗さの測定値は、特許権者が意見書で示した測定値と異なる値であり、同測定方法が本件特許明細書に記載されている方法と異なっていることを考慮すると、甲第１ないし３号証の記載から、本件請求項１〜４に係る発明が甲第１号証に記載された発明、あるいは本件優先日前から公用された発明とすることはできない。
　
（３）刊行物記載の発明ないし各刊行物記載の発明から容易に発明をすることができたとする主張に対して
（３−１）取消理由通知に引用された刊行物記載の発明
　ア．刊行物１（特開平６−４７２６０号公報：申立人Ａが提出した甲第１号証）
　ア−１．「請求項１：微孔性ポリマー基質上における反応物の界面重合による半透膜の製造法において：ａ．該膜を形成する第１の反応物の溶液で該基質を処理し、ｂ．さらに該基質を脂肪族炭化水素、該第１反応物と重合する少なくとも１種類の別の反応物、及び有機添加剤の溶液で処理することから成り、該有機添加剤が以下の基準：１）第１及び２の反応物と反応しない；２）脂肪族炭化水素より極性が大きいか又は脂肪族炭化水素と水の界面張力を減少させる；３）脂肪族炭化水素に可溶性である；４）使用濃度で多孔性ポリマー基質に損傷を与えない；及び５）膜形成後、膜から除去することができること、を満たすことを特徴とする方法。」（特許請求の範囲）
　ア−２．「一般に本発明の膜は、多孔性基質上における第１の反応物と第２の反応物の界面重合により製造する。第１の反応物は水溶液の形態で与えられる。第２の反応物は、脂肪族炭化水素、及び溶媒の極性を増す、及び／又は溶媒と水の界面張力を減少させるが反応物の重合を妨げない、あるいは基質を損なわない可溶性有機添加剤を含む溶媒系に第２の反応物を溶解した溶液の形態で与えられる。本発明は一般的に半透膜の製造に有用であるが、特にポリアミド半透膜の製造に適している。ポリアミド半透膜は、多孔性ポリマー基質をジアミンの水溶液を含む第１の反応物で処理し、その後ジアミン処理基質を、脂肪族炭化水素溶媒と適した添加剤から成る溶媒系中のポリアシルハライド反応物を含む第２の反応物の溶液で処理することにより製造する。本発明で使用するのに適したジアミンの水溶液は、ｍ−フェニレンジアミン及びｐ−フェニレンジアミンが最も好ましい。他の有用なジアミンにはキシレンジアミン、ピペラジンなどが含まれる。」（第2頁右欄40行〜第3頁左欄7行）
　ア−３．「界面重合に関与することができる種々のポリアシルハライドを使用することができる。ポリアシルハライドの例には、・・・トリメソイルクロリド、イソフタロイルクロリド、・・・１，３，５−シクロヘキサントリカルボニルクロリド、テトラヒドロフラン−１，２，３，４−テトラカルボニルクロリドなどが含まれる」（第3頁左欄8〜18行）
　ア−４．「脂肪族炭化水素には、ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン、ナフサ、オクタンなどが含まれる」（第3頁左欄28〜30行）
　ア−５．「添加剤には、・・・ジエチルエーテル、メチルｔ−ブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン・・・アセトン、メチルイソブチルケトン、２−ブタノン・・・酢酸メチル、蟻酸エチル、酢酸エチル・・・ニトロエタン、ニトロメタン・・・１，１，１−トリクロロ工夕ン、ジクロロメタン・・・トリクロロエチレン、ジクロロエチレン・・・クロロベンゼン、フルオロベンゼン・・・ベンゼン、トルエン、フルオロベンゼン、クロロベンゼン・・・シクロヘキセン、へプテン、・・・フランなどが含まれる」（第3頁右欄1〜21行）
　イ．刊行物２（米国特許第４，７７２，３９４号明細書：申立人Ａが提出した甲第２号証）
　イ−１．「多孔質支持体パッキング材料上に複合化された界面重合反応生成物を含む耐塩素性半透膜は、ポリスルホンのような多孔質支持体材料を芳香環上に塩素置換基を含む芳香族ポリアミンの水溶液と接触させることにより調製しえる。被覆された支持体材料は，次いで支持体材料の表面上で界面重合反応生成物を形成するのにこ十分な時間芳香族ポリカルボン酸クロリドの有機溶媒溶液と接触される。得られた複合膜は、かん水また海水の脱塩のような分離プロセスに使用し得、該膜は水中に存在する塩素による攻撃に耐性である。」（アブストラクト）
　イ−２．「本発明の生成物の１成分からなる芳香環上にも塩素置換基を含む芳香族ポリアミンは、４‐クロロ−ｍ−フェニレンジアミンまたは５−クロロ−ｍ−フェニレンジアミンが含まれる。」（第6欄20〜24行）
　イ−３．「界面重合生成物を形成するのに必要な他の成分を形成する芳香族ポリカルボン酸クロライドは、トリメソイルクロライド（１，３，５‐ベンゼントリカルボン酸クロリド）、イソフタロイルクロライド、テレフタロイルクロライドを含む。」（第6欄29〜35行）
　イ−４．「存在し得るこれら添加剤例は、ラウリル硫酸ナトリウムなどのイオン性界面活性剤を含む界面活性剤、メタノール、エタノール、エチレングリコール、異性体プロパノール、ブタノールなどの低分子量アルコールまたはポリエチレングリコール．ポリプロピレングリコール、エチレングリコールプロピレングリコール共重合体などを含む」（第7欄8〜15行）
　ウ．刊行物３（特表平４−５０７２１６号公報：申立人Ａが提出した甲第３号証）
　ウ−１．「多孔質支持体にアミンと反応性でない極性−非プロトン溶剤を含有するボリアミンまたはビスフェノールの水溶液を塗布し、過剰の溶液を除去し、塗布された多孔質支持体をハロゲン化ポリアシル、ハロゲン化ポリスルホニルまたはポリイソシアネートの有機溶剤溶液と接触させて、多孔質支持体の内部および／または表面に反応生成物を形成し、得られた複合材料を硬化条件で硬化させて高フラックス半透膜を形成することにより製造される高フラックス半透膜。」（特許請求の範囲）
　ウ−２．「（i）モノマーポリアミンとしてピペラジン、メチルピペラジン、ジメチルピペラジン、ｍ−フェニレンジアミン、ｏ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、ビフェニレンジアミン、クロロフェニレンジアミン、Ｎ，Ｎ’−ジメチル−１，３−フェニレンジアミン、ベンジジン、３，３’ジメチルベンジジン、３，３’ジクロロベンジジンが例示される；（ii）ポリアミンのキャリヤーとして用いられる溶液が、ポリアミンが約０．１−約２０重量％の量で溶液中に存在する水からなる；（iii）極性−非プロトン溶剤がジオキサン、テトラヒドロフランを含む；（iv）芳香族ポリカルボン酸ハロゲン化物が、トリメソイルクロリド（１，３，５−ベンゼントリカルボン酸クロリド）、トリメリトイルクロリド（１，２，４−ベンゼントリカルボン酸クロリド）、イソフタロイルクロリド、テレフタロイルクロリドを含む；（ｖ）芳香族ポリカルボン酸ハロゲン化物を溶解する有機溶剤は水と非混和性のものからなり、たとえばｎ−ペンタン、ｎ−へキサン、ｎ−へプタン、シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロペンタン、ナフサなど、またはハロゲン化炭化水素からなること。」（第3頁右上欄19行〜右下欄22行）
　エ．刊行物４（特開平５−３０９２３７号公報：申立人Ａが提出した甲第４号証）
　エ−１．「本発明においては、直列に連結した複数台の膜モジュールのうち、少なくとも１台の膜モジュールに正荷電性の特定の複合半透膜を用いればよく、例えば２段式のＲＯシステムの場合、１段目に正荷電性でも負荷電性でもいずれの複合半透膜を用いても構わないが、２段目の複合半透膜は１段目とは逆の荷電性を持つものとする。通常は、原水にＮａＯＨを添加して炭酸ガスをＨＣＯ３−やCＯ３２−に変えて炭酸ガスを除くため、１段目は負荷電性の複合半透膜を用いるのが好ましい。ここで用いる負荷電性の複合半透膜とは、例えばポリスルホンなどからなる微多孔性支持層上に負荷電性を有する活性層が形成されたものである。かかる活性層とは、・・・架橋ポリアミド系重合体が好ましい。具体的には、ピペラジンポリアミドや芳香族ポリアミドなどを活性層とする複合半透膜を挙げることができる。」（第2頁2欄23〜41行）
　オ．刊行物５（特開平４−３４１３３４号公報：申立人Ａが提出した甲第５号証）
　オ−１．「【請求項１】多孔性基材上に半透性超薄膜を有し、更にその上に４級アンモニウム基を有する重合体が架橋されてなる架橋重合体層を有することを特徴とする複合半透膜。【請求項２】架橋重合体が４級アンモニウム基及び水酸基を有する重合体をポリイソシアネートで分子間で架橋させてなることを特徴とする請求項１記載の複合半透膜。【請求項３】架橋重合体が４級アンモニウム基及び水酸基を有すると共に、ブロック化ポリイソシアネート又はアミンイミド基を有する重合体を分子内又は分子間で架橋させてなることを特徴とする請求項１記載の複合半透膜。」（特許請求の範囲）
　カ．刊行物６（特開平４−２００６２１号公報）
　カ−１．「（１）負固定荷電基を有する架橋有機重合体からなる活性層と、これを支持する支持層とからなる複合半透膜において、該活性層の表面が正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被覆されてなることを特徴とする複合半透膜」（特許請求の範囲）
　カ−２．「（３）架橋層が、ポリエチレンイミン、・・・から選ばれる正固定荷電基を有する有機重合体と、グルタルアルデヒドとの架橋物である請求項（１）記載の複合半透膜」（特許請求の範囲）
（カ−３）「複合半透膜の活性層は、その生成のし易さから架橋ポリアミドから成るものが主流であり、これは負の固定荷電基を有しているため、低濃度領域における無機塩の脱塩に関し、高ｐＨ域おいてアニオンの排除率は高いがカチオンのそれは低いため、全体としての排除率が低下してしまうという問題があった。」（第1頁右欄14〜末行）
　
（３−２）対比・判断
　ア．本件発明１について
　　記載ア−１、記載ウ−１によれば、刊行物１及び刊行物３に記載される半透膜も、微多孔性支持体上にスキン層薄膜を形成した複合半透膜であり、記載ア−２、記載ア−３、及び記載ウ−２によれば、該スキン層を形成する化合物として本件発明の実施例と同じ「ｍ−フェニレンジアミン」と「トリメソイルクロリド」が例示されているから、刊行物１及び刊行物３には、「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなるポリアミド系スキン層薄膜と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜」が記載されていることになる。
　　したがって、本件発明１と刊行物１または刊行物３記載の発明とを対比すると、上記の点で一致し、ポリアミド系スキン層薄膜が、刊行物１では、記載ア−４，ア−５に例示されるような有機化合物を存在させて反応させたものであることが、また刊行物３では、記載ウ−２の（ii）、（iii）、（v）のような有機化合物を存在させたものであることが、それぞれ記載されているものの、「アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメータが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の存在下で」２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させたものであること、及び該ポリアミド系スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上であることについては、刊行物１又は刊行物３のいずれにも記載がない点で相違する。
　　一方、記載イ−１によれば、刊行物２に記載される半透膜も、微多孔性支持体上にスキン層薄膜を形成した複合半透膜であり、記載イ−３には、該スキン層を形成する化合物として本件発明の実施例と同じ「トリメソイルクロリド」が例示され、記載イ−４によれば、ポリアミドスキン層の反応時に、本件特許明細書でアルコール化合物として例示された「イソプロパノール」を存在させることが記載されているから、刊行物２には、「アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメータが８〜１４（cal／cm３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなるポリアミド系スキン層薄膜と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜」が記載されているといえるが、記載イ−２によれば、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させるのは、本件発明１で除外している芳香環上に塩素置換基を含む２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物である点で相違し、さらに該スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上であることについても、刊行物２には記載がない点で本件発明１とは相違する。
　　ところで、申立人Ａが提出した甲第６号証には、刊行物３に記載される実施例を追試して製造した複合半透膜の平均面粗さを測定した結果、６０ｎｍ以上であったことが記載されているが、たとえこの測定結果が正しいとしても、本件発明１のポリアミド系スキン層は、刊行物３記載のポリアミド系スキン層と比べ、その反応時に存在させる有機化合物が特定の溶解度パラメーターのアルコール類である点で異なり、その結果、逆浸透膜としての性能が、換算透過流束と塩阻止率が、本件発明１の実施例である実施例１及び２で１．７及び１．３［ｍ３／ｍ２・ｄ］、９９．７及び９９．８％であるのに対し、刊行物３記載の膜は、乙第１号証に示される換算値によれば、１．１４ないし２．０９［ｍ３／ｍ２・ｄ］、９２．７ないし９８．７％であって、換算透過流束は大差ないものの、塩阻止率の点で、本件発明の膜のほうが優れているのであるから、本件発明が刊行物３に記載された発明とすることはできない。
　　さらに、刊行物１ないし３に記載される複合半透膜が、本件発明１と同じように、高流束性能を達成するものであったとしても、本件発明１とは異なる構成で、その目的を達成するものである以上、その構成を変更する理由がなく、また刊行物４〜６にも、ポリアミド系スキンの生成反応時に特定の溶解度パラメーターのアルコール類を存在させることについては記載がないから、本件発明１は、刊行物１〜６記載の発明に基づいて当業者が容易に想到することができたものとも認められない。
　イ．本件発明２ないし１１について
　　本件発明２ないし１１は、直接ないし間接的に本件発明１を引用する発明であるから、上記と同様な理由で、刊行物１〜３に記載された発明とはいえず、また刊行物１〜６記載の発明に基づいて、本件発明を当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
　ウ．本件発明１２について
　　記載（ア−１）における「微孔性ポリマー基質」、及び記載（ウ−１）における「多孔質支持体」が、本件発明１２における「微多孔質性支持体」に相当し、記載（ア−２）によれば記載（ア−１）における「第１の反応物」として、また、記載（ウ−２）によれば記載（ウ−１）の「ポリアミン」として、それぞれ「ｍ−フェニレンジアミン」が例示され、記載（ア−３）によれば、記載（ア−１）における「別の反応物」として、また、記載（ウ−２）によれば記載（ウ−１）における「ハロゲン化アシル」として、それぞれ「トリメソイルクロリド」が例示されているのであるから、刊行物１及び刊行物３に記載される発明を本件発明１２の記載に則して表現すると、「微多孔性支持体上に、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）を有する溶液Ａを被覆する工程、及び多官能性酸ハロゲン化物を含む溶液Ｂを上記溶液Ａ層と接触させる工程を含む手段により、負荷電性架橋ポリアミド系スキン層を形成させる複合逆浸透膜を製造する方法」が記載されている。
　　したがって、本件発明１２と刊行物１及び刊行物３記載の発明とを対比すると、上記の点で一致するものの、刊行物１及び刊行物３には、（ａ）スキン層の表面に、正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被膜する点、（ｂ）溶液Ａと溶液Ｂとの反応に、アルコール化合物群から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（cal／cm３)１／２の化合物を存在させることについては、記載がない点で相違する。
　　記載（イ−３）によれば記載（イ−１）における「芳香族ポリカルボン酸クロリド」として「トリメソイルクロライド」が例示され、また記載（イ−４）によれば界面重合反応に存在しうる添加剤として「エタノール」が例示されているから、刊行物２に記載される発明を、本件発明１２の構成に則して記載すると、「微多孔性支持体上に、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物を有する溶液Ａを被覆する工程、及び多官能性酸ハロゲン化物を含む溶液Ｂを上記溶液Ａ層と接触させる工程を含む手段により、負荷電性架橋ポリアミド系スキン層を形成させる複合逆浸透膜を製造する方法であって、前記溶液Ａ、溶液Ｂ及び微多孔性支持体から選ばれる少なくとも一つに、溶解度パラメーターが８〜１４（cal／cm３)１／２のエタノールを存在させることを特徴とする高透過性複合逆浸透膜の製造方法」ということになる。
　　したがって、本件発明１２と刊行物２記載の発明とを対比すると、上記の点で一致するものの、（ａ）刊行物２には、スキン層の表面に正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被膜することについて記載がない点、及び（ｃ）刊行物２記載の発明では２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物として本件発明１２で除外している「芳香環上に塩素置換基を含む化合物」を用いている点、で両者は相違する。
　　上記相違点について検討する。
相違点（ａ）：記載（カ−１）（カ−２）によれば、刊行物６には、（カ−３）に記載されるような架橋ポリアミド活性層を有する複合半透膜が有する問題を解決するため、該活性層の表面が正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被覆する発明が開示されているのであるから、係る発明を、架橋ポリアミド活性層を有する複合半透膜という点で共通し、上記（カ−３）に記載されるような課題を有する刊行物１ないし３記載の発明に適用し、これら刊行物に記載される複合半透膜のスキン層の表面に、正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被膜することは、当業者が容易になし得ることといえる。
相違点（ｂ）及び相違点（ｃ）：刊行物１ないし３に記載される複合半透膜が、本件発明１２と同じように、高流束性能を達成するものであったとしても、本件発明１２とは異なる構成、即ち、刊行物１及び刊行物３では特定の溶剤を使用すること、また刊行物２ではで芳香環上に塩素置換基を含む２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物を使用することによりその目的を達成するものである以上、上記の相違点が他の刊行物に記載されていたからといって、その構成を変更する理由付けがなく、さらに刊行物４〜６にも上記相違点（ｂ）及び（ｃ）に関する記載はない。
　本件発明１２は、上記の構成により、高流束性能だけでなく高脱塩性能も兼ね備えた逆浸透膜を製造しうるという明細書記載の作用効果を有するものである。
　したがって、本件発明１２は、刊行物１ないし３に記載された発明とはいえないばかりか、刊行物１〜６記載の発明に基づいて、当業者が容易に想到することができたものともいえない。
　エ．本件発明１３について
　　本件発明１３は、本件発明１２を引用する発明であるから、上記と同様な理由で、刊行物１〜６から容易に発明をすることができた発明とすることはできない。
　オ．本件発明１４について
　　記載（エ−１）によれば、２段目の複合半透膜は１段目とは逆の荷電性を持つものとするとし、通常、１段目は負荷電性の複合半透膜を用いるのが好ましいとしているのであるから、この場合、２段目のＲＯシステムは、正荷電性の複合半透膜を用いたものとなる。
　　したがって、刊行物４に記載される発明を本件発明１４の構成に則して表現すれば、「複数の逆浸透膜を用いて液体を逆浸透処理する方法であって、負荷電性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電荷性架橋ポリアミド系スキン層は、その表面を正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被膜されている高透過性複合逆浸透膜を用いることを特徴とする逆浸透処理方法。」ということになる。
　　本件発明１４と刊行物４記載の発明とを対比すると、両者は、上記の構成である点で一致し、刊行物４には、上記スキン層が、２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能酸ハロゲン化合物の反応生成物からなる点、該反応が、アルコール化合物群から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（cal／cm３)１／２の化合物を存在させて行われる点、上記スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上である点、で相違する。
　　そして、２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能酸ハロゲン化合物を、アルコール化合物群から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（cal／cm３)１／２の化合物を存在させて反応させることが、上記刊行物１〜６に記載されておらず、それらの記載から容易に想到することができないものであることは本件発明１２で検討したとおりであるから、本件発明１４は、刊行物１〜６記載の発明から容易に発明をすることができた発明とすることはできない。
　カ．本件発明１５，１６について
　　本件発明１５及び１６は、本件発明１４を引用する発明であるから、本件発明１４と同じ理由で、刊行物１〜６から容易に発明をすることができた発明とすることはできない。
（３−４）まとめ
　　以上のとおりであるから、本件発明１ないし１２は、刊行物１〜３に記載された発明とすることはできず、これら刊行物１〜６記載の発明に基づいて、本件発明を当業者が容易に想到することができたものとも認められず、本件発明１３ないし１６は、刊行物１〜６から容易に発明をすることができた発明とすることはできない。
６．結び
　以上のとおりであるから、本件発明１ないし１６に係る特許は、特許異議申立の理由および証拠によっては取り消すことができない。
　また、他に本件発明１ないし１６に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年９月２日（２００２．９．２）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
１．特許第３０２３３００号の明細書中特許請求の範囲の請求項１「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物からなるポリアミド系スキン層薄膜と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さが５５ｎｍ以上であることを特徴とする高透過性複合逆浸透膜。」とあるのを、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的として「アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなるポリアミド系スキン層薄膜と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上であることを特徴とする高透過性複合逆浸透膜。」と訂正する。
２．特許第３０２３３００号の明細書中特許請求の範囲の請求項１２「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物を有する」（第２頁３欄１２〜１３行）とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的として「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）を有する」と訂正するとともに、「から選ばれるアルコール化合物群、アニソール、エチルイソアミルエーテル・・・・ジメチルスルホキシド及びチオランから選ばれる含硫黄化合物群」（特許公報第２頁３欄２９行〜４欄１３行）を削除する。
３．特許第３０２３３００号の明細書中特許請求の範囲の請求項１３及び請求項１４を、特許請求の範囲の減縮を目的として削除し、以下、請求項１５以降の各項数を２繰り上げる。
４．特許第３０２３３００号の明細書中特許請求の範囲請求項１６の「複数の逆浸透膜を用いて液体を逆浸透処理する方法であって、負荷電荷性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電荷性架橋ポリアミド系スキン層は２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物と２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能酸ハロゲン化合物の反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが５５ｎｍ以上で、かつそのスキン層の表面を正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被膜されている高透過性複合逆浸透膜を用いることを特徴とする逆浸透処理方法」とあるのを、特許請求の範囲の減縮、明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的として「複数の逆浸透膜を用いて液体を逆浸透処理する方法であって、負荷電性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電性架橋ポリアミド系スキン層は、アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメータが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上で、かつそのスキン層の表面が正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被膜されている高透過性複合逆浸透膜を用いることを特徴とする逆浸透処理方法」と訂正する。
５．特許第３０２３３００号の明細書中特許請求の範囲請求項１７の「請求項１６に記載の」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「請求項１４に記載の」と訂正する。
６．特許第３０２３３００号の明細書中特許請求の範囲請求項１８の「平均粗面粗さが５５ｎｍ以上である請求項１６に記載の」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「平均粗面粗さが６０ｎｍ以上である請求項１４に記載の」と訂正する。
７．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【０００６】「【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため、本発明の第１番目の高透過性複合逆浸透膜は、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物からなるポリアミド系スキン層薄膜と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さが５５ｎｍ以上であることを特徴とする。前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さは１０，０００ｎｍ以下であることが好ましく、とくに好ましくは１，０００ｎｍ以下である。」（特許公報第３頁６欄１８〜２８行）とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため、本発明の第１番目の高透過性複合逆浸透膜は、アルコール類から選ばれる少なくとも一の溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなるポリアミド系スキン層薄膜と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上であることを特徴とする。前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さは１０，０００ｎｍ以下であることが好ましく、とくに好ましくは１，０００ｎｍ以下である。」と訂正する。
８．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【００１０】における「次に本発明の第２番目の高透過性複合逆浸透膜は、薄膜とこれを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記薄膜が２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物からなる負荷電荷性架橋ポリアミド系スキン層であり、前記スキン層の平均面粗さが５５ｎｍ以上であるとともに、前記スキン層の表面を正荷電性基を有する有機重合体の架橋層で被膜したことを特徴とする」（特許公報第４頁７欄３行）とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「次に本発明の第２番目の高透過性複合逆浸透膜は、薄膜とこれを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記薄膜が、アルコールから選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメータが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなる負荷電性架橋ポリアミド系スキン層であり、前記スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上であるとともに、前記スキン層の表面を正荷電性基を有する有機重合体の架橋層で被膜したことを特徴とする」と訂正する。
９．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【００２８】に「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物を有する」（第５頁９欄２４〜２５行）とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）を有する」と訂正するとともに、「から選ばれるアルコール化合物、アニソール、エチルイソアミルエーテル・・・・・ジメチルスルホキシド及びチオランから選ばれる含硫黄化合物群」（第５頁９欄４０行〜１０欄２２行）を削除する。
１０．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【００２９】を、明りょうでない記載の釈明を目的として削除する。
１１．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【００３１】における「負荷電荷性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電荷性架橋ポリアミド系スキン層は２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物と２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能酸ハロゲン化合物の反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが５５ｎｍ以上で、かつそのスキン層の表面を」（特許公報第５頁１０欄４１〜４６行）とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「負荷電性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電性架橋ポリアミド系スキン層は、アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上で、かつそのスキン層の表面が」と訂正する。
１２．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【００３３】における「５５ｎｍ」（特許公報第６頁１１欄８行）を、明りょうでない記載の釈明を目的として「６０ｎｍ」と訂正する。
１３．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【００３４】に「【発明の実施の形態】前記した本発明の複合逆浸透膜は、たとえば２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との界面重縮合反応時に、溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物、例えばアルコール類、エーテル類、ケトン類、エステル類、ハロゲン化炭化水素類、及び含硫黄化合物類などから選ばれる少なくとも一つの化合物の存在させることにより製造することができる。」（特許公報第６頁１１欄１１〜２８行）とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「【発明の実施の形態】前記した本発明の複合逆浸透膜は、たとえば２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との界面重縮合反応時に、溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物、例えばアルコール類から選ばれる少なくとも一つの化合物を存在させることにより製造することができる。」と訂正する。
１４．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中段落【００３５】（特許公報第６頁１１欄２９〜４９行）を、明りょうでない記載の釈明を目的として削除する。
１５．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中段落【００３６】（特許公報第６頁１１欄５０行〜１２欄４行）を、明りょうでない記載の釈明を目的として削除する。
１６．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中段落【００３７】（特許公報第６頁１２欄５〜１１行）を、明りょうでない記載の釈明を目的として削除する。
１７．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【００３８】の「また含硫黄化合物類としては例えば、ジメチルスルホキシド、チオランが挙げられる。これらの中でも特にアルコール類、エーテル類が好ましい。」（第６頁１２欄１２〜１４行）を、明りょうでない記載の釈明を目的として削除する。
１８．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【００３９】【００５８】【００７８】【００８０】【０１１０】【０１１１】における「５５ｎｍ」（特許公報第６頁１２欄２３行、第８頁１５欄６行、第９頁１８欄３２行、第１０頁１９欄２６行、第１２頁２４欄３６行、５０行の６箇所）を、明りょうでない記載の釈明を目的として「６０ｎｍ」と訂正する。
１９．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【００４０】に「本発明においては、平均面粗さが５５ｎｍ以上でなければならない。５５ｎｍ未満の場合は十分な透過流束が得られない。好ましくは６０ｎｍ以上である。また、自乗平均面粗さは６５ｎｍ以上が好ましい。６５ｎｍ未満の場合は十分な透過流束が得られない。さらに好ましくは７０ｎｍ以上である。」（特許公報第６頁１２欄２９〜３４行）とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「本発明においては、平均面粗さが６０ｎｍ以上でなければならない。６０ｎｍ未満の場合は十分な透過流束が得られない。また、自乗平均面粗さは６５ｎｍ以上が好ましい。６５ｎｍ未満の場合は十分な透過流束が得られない。さらに好ましくは７０ｎｍ以上である。」と訂正する。
２０．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【００５８】【０１１０】【０１１１】における「負荷電荷性」（特許公報第８頁１５欄５行、第１２頁２４欄３４行、４４行、４７行の４箇所）を、「負荷電性」と訂正する。
２１．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【００７６】における「負荷電荷性架橋ポリアミド系スキン層及び」（特許公報第９頁１７欄３１〜３２行）、「前記荷電性架橋ポリアミド系スキン層は２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物と２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物の反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが５５ｎｍ以上で」（特許公報第９頁１７欄３４〜３８行）とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として「負荷電性架橋ポリアミド系スキン層及び」、「前記負荷電性架橋ポリアミド系スキン層は、アルコールから選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメータが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物の存在下で、２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）と、２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物とを反応させた反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが６０ｎｍ以上で」と訂正する。
２２．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中、段落【００８６】における「実施例２〜４」（特許公報第１０頁２０欄３７行）を、明りょうでない記載の釈明を目的として「実施例２」と訂正する。
２３．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中【表１】（特許公報第１１頁）における実施例３に関する欄を、明りょうでない記載の釈明を目的として削除する。
２４．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明における「実施例５」を「実施例３」に、また「実施例６」を「実施例４」に、それぞれ明りょうでない記載の釈明を目的として訂正する。
２５．特許第３０２３３００号の明細書中発明の詳細な説明中段落【００９１】における「グリタルアルデヒド」（特許公報第１１頁２１欄３５行）を、誤記の訂正を目的として「グルタルアルデヒド」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
高透過性複合逆浸透膜とその製造方法及び逆浸透処理方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物の存在下で、
（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）
を反応させた
６０
　【請求項２】　複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の自乗平均面粗さが６５ｎｍ以上である請求項１に記載の高透過性複合逆浸透膜。
　【請求項３】　複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の１０点平均面粗さが３００ｎｍ以上である請求項１に記載の高透過性複合逆浸透膜。
　【請求項４】　複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の最大高低差が４００ｎｍ以上である請求項１に記載の高透過性複合逆浸透膜。
　【請求項５】　複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の表面を、さらに正荷電性基を有する有機重合体の架橋層で被膜した請求項１に記載の高透過性複合逆浸透膜。
　【請求項６】　複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の自乗平均面粗さが６５ｎｍ以上である請求項５に記載の高透過性複合逆浸透膜。
　【請求項７】　複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の１０点平均面粗さが３００ｎｍ以上である請求項５に記載の高透過性複合逆浸透膜。
　【請求項８】　複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の最大高低差が４００ｎｍ以上である請求項５記載の高透過性複合逆浸透膜。
　【請求項９】　正荷電性基を有する有機重合体の架橋層が、ポリエチレンイミンを架橋した有機重合体である請求項５記載の高透過性複合逆浸透膜。
　【請求項１０】　正荷電性基を有する有機重合体の架橋層が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体を、分子内及び分子間から選ばれる少なくとも一つで架橋した有機重合体である請求項５に記載の高透過性複合逆浸透膜。
　【請求項１１】　正荷電性基を有する有機重合体の架橋層の厚さが１ｎｍ以上１０μｍ以下の範囲である請求項５に記載の高透過性複合逆浸透膜。
　【請求項１２】　微多孔性支持体上に、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物
（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）
　【請求項
１３
　【請求項
１４
、アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物の存在下で、
（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）
、
性
とを反応させた
６０
が
　【請求項
１５
１４
　【請求項
１６
６０
１４
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は各種液体混合物を選択分離するための複合逆浸透膜とその製造方法及び逆浸透処理方法に関する。さらに詳しくは、たとえば半導体製造に必要不可欠な超純水の造水ラインにおいて、低濃度無機塩に対しての脱塩や、カチオン系有機物を排除するための複合逆浸透膜とその製造方法及び逆浸透処理方法に関するものであり、エネルギー的に有利な低圧操作下で、より高純度な水を得たり、廃水を回収したりすることができる複合逆浸透膜に関する。また、食品用途等で有効成分の濃縮等にも用いることができる。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来より、非対称逆浸透膜とは構造の異なる逆浸透膜として、多孔性支持体上に実質的に選択分離性を有する薄膜を形成してなる複合逆浸透膜が提案されている。
　【０００３】
　現在、かかる複合逆浸透膜として、多官能芳香族アミンと多官能芳香族酸ハロゲン化物との界面重合によって得られるポリアミドからなる薄膜を支持体上に形成したものが多く提案されている（例えば特開昭５５−１４７１０６号公報、特開昭６２−１２１６０３号公報、特開昭６３−２１８２０８号公報、特開平２−１８７１３５号公報等）。また、多官能芳香族アミンと多官能脂環式酸ハロゲン化物との界面重合によって得られるポリアミドからなる薄膜を支持体上に形成したものも提案されている（例えば特開昭６１−４２３０８号公報等）。また、複合逆浸透膜の活性層は、その製造のし易さから架橋ポリアミドからなるものが主流であり、これは負の固定荷電基を有しているため、低濃度領域における無機塩の脱塩に関し、高ｐＨ域においてアニオンの排除率は高いがカチオンのそれは低いため、全体としての排除率が低下してしまうという問題があった。かかる問題を解決するために、活性層表面に正の固定荷電基を有する有機重合体を被覆してなる複合逆浸透膜（特開昭６２−２６６１０３号公報）が提案されている。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、前記従来の複合逆浸透膜は、高い脱塩性能及び水透過性を有するが、さらに高い脱塩性能を維持したまま水透過性を向上させることが、効率面などの点から望まれている。これらの要求に対し、各種添加剤などが提案されているが（例えば特開昭６３−１２３１０号公報等）、まだ現在の複合逆浸透膜では不十分であり、さらに高い水透過性を有する複合逆浸透膜が求められている。また、前記従来の特開昭６２−２６６１０３号公報による提案の複合逆浸透膜は、その製造方法からして吸着膜として働くように製造されていることにより、繰り返しの使用に際し、ある程度の有機重合体の脱落を伴い、膜の所望の性能が低下する場合があるという点で不十分であった。特に最近開発されてきた技術で、半導体製造における超純水造水ラインの前段における２段式逆浸透処理（ＲＯ）の２段目の膜としては満足のいくものではない。即ち、１段目に高脱塩率の負荷電膜を用い、その透過液を２段目に供給するため、同じ性質の膜では、十分に脱塩性能を発現しないことが判明した。また、正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層で被膜されている為、透過流束が低くなり、経済的に不十分であり、透過流束の高い膜が望まれている。
　【０００５】
　本発明は、前記従来の問題を解決するため、高塩阻止率と高水透過性を併せ有する複合逆浸透膜とその製造方法及び逆浸透処理方法を提供することを第１番目の目的とする。本発明の第２番目の目的は、低濃度領域での無機塩の脱塩、及びカチオン系有機物の排除に優れ、しかも高水透過性を併せ有する複合逆浸透膜とその製造方法及び逆浸透処理方法を提供することである。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　前記目的を達成するため、本発明の第１番目の高透過性複合逆浸透膜は、
アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物の存在下で、
（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）
を反応させた
６０
　【０００７】
　前記構成においては、複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の自乗平均面粗さが６５ｎｍ以上であることが好ましい。前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の自乗平均面粗さは２０，０００ｎｍ以下であることが好ましく、とくに好ましくは２，０００ｎｍ以下である。
　【０００８】
　また前記構成においては、複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の１０点平均面粗さが３００ｎｍ以上であることが好ましい。前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の１０点平均面粗さは５０，０００ｎｍ以下であることが好ましく、とくに好ましくは１０，０００ｎｍ以下である。
　【０００９】
　また前記構成においては、複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の最大高低差が４００ｎｍ以上であることが好ましい。前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の最大高低差は１００，０００ｎｍ以下であることが好ましく、とくに好ましくは２０，０００ｎｍ以下である。
　【００１０】
　次に本発明の第２番目の高透過性複合逆浸透膜は、薄膜とこれを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記薄膜が
、アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物の存在下で、
（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）
を反応させた
６０
　【００１１】
　前記構成においては、複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の自乗平均面粗さが６５ｎｍ以上であることが好ましい。前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の自乗平均面粗さは７０ｎｍ以上であり、２０，０００ｎｍ以下であることが好ましく、とくに好ましくは２，０００ｎｍ以下である。この範囲を外れると十分な透過流束は得にくい。
　【００１２】
　また前記構成においては、複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の１０点平均面粗さが３００ｎｍ以上であることが好ましい。前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の１０点平均面粗さは３０５ｎｍ以上であり、５０，０００ｎｍ以下であることが好ましく、とくに好ましくは１０，０００ｎｍ以下である。この範囲を外れると十分な透過流束は得にくい。
　【００１３】
　また前記構成においては、複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の最大高低差が４００ｎｍ以上であることが好ましい。前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の最大高低差は４１０ｎｍ以上１００，０００ｎｍ以下であることが好ましく、とくに好ましくは２０，０００ｎｍ以下である。この範囲を外れると十分な透過流束は得にくい。
　【００１４】
　前記における平均面粗さは、下記式（数１）で定義される。
　【００１５】
　【数１】
　【００１６】
　また、前記における自乗平均面粗さは、下記式（数２）で定義される。
　【００１７】
　【数２】
　【００１８】
　また、前記における１０点平均面粗さは、下記式（数３）で定義される。
　【００１９】
　【数３】
　　１０点平均面相さ：Ｒｚ
　指定面における、最高から（１０／２）番目までの山頂の標高の平均値と最深から（１０／２）番目までの谷底の標高の平均値の差。
　【００２０】
　また、前記における最大高低差は下記式（数４）で定義される。
　【００２１】
　【数４】
　【００２２】
　これらの平均面粗さ、自乗平均面粗さ、１０点平均面粗さ、最大高低差を求める方法は、一般に表面粗さを求める手法に従い求めることができる。例えば、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、摩擦力顕微鏡（ＦＦＭ）、非接触原子間力顕微鏡（ＮＣ−ＡＦＭ）、トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）、電気化学−原子間力顕微鏡（ＥＣ−ＡＦＭ）、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ，ＦＥ−ＳＥＭ）、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）等が挙げられるが、表面粗さを求めることができれば特に手法は制限されない。
　【００２３】
　本発明の第２番目の複合逆浸透膜の発明においては、負荷電性架橋ポリアミド系スキン層の表面が、正荷電性基を有する有機重合体の架橋層で被膜されていなければならない。被膜されていないと、低濃度無機塩に対しての脱塩や、カチオン系有機物を排除することが十分にできない。
　【００２４】
　ここで正荷電性基を有する有機重合体とは、ポリエチレンイミンが挙げられる。本発明の架橋層は、上記正荷電性基を有する有機重合体を架橋剤で架橋して活性層表面を被覆してなるものであり、かかる架橋剤としては、グリオキサール、グルタルアルデヒド等が挙げられるが、特に分子量の点から、グルタルアルデヒドが好ましく用いられる。すなわち、正荷電性基を有する有機重合体の架橋層が、ポリエチレンイミンを架橋した有機重合体であることが好ましい。
　【００２５】
　また正荷電性基を有する有機重合体の架橋層は、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体を、分子内または／及び分子間で架橋した有機重合体であってもよい。
　【００２６】
　前記において、正荷電性基を有する有機重合体の架橋層の厚さが１ｎｍ以上１０μｍ以下の範囲であるこが好ましい。本発明において活性層表面を架橋層で被覆する方法は特に限定されないが、例えば、活性層に上記正荷電性基を有する有機重合体の水溶液を塗布又は含浸した後、上記架橋剤で架橋させたり、また逆浸透処理を行いながら、その原水に正荷電性基を有する有機重合体を添加し、次いで水洗後同方法により架橋剤を添加する方法などが採用できる。この場合、正荷電性基を有する有機重合体の濃度は、通常０．１〜１０重量％、好ましくは１〜５重量％、また架橋剤の濃度は、通常０．０１〜１０重量％、好ましくは０．１〜５重量％である。
　【００２７】
　本発明においては、上記の如く負固定荷電を有する活性層の表面に、正荷電性基を有する有機重合体が架橋した状態で被覆されているため、即ち吸着機構に加え３次元架橋されているため、従来の未架橋の場合と比べて、得られた複合半透膜を繰り返し使用しても、正荷電性基を有する有機重合体が脱落しないので、性能が低下しないという作用・効果がある。
　【００２８】
　次に本発明の高透過性複合逆浸透膜の製造方法は、微多孔性支持体上に、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物
（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）
　【００２９】
　【００３０】
　また前記構成においては、正固定荷電基を有する有機重合体の架橋層が、４級アンモニウム基および水酸基を有する重合体を、分子内及び分子間から選ばれる少なくとも一つで架橋した有機重合体であることが好ましい。
　【００３１】
　次に本発明の逆浸透処理方法は、複数の逆浸透膜を用いて液体を逆浸透処理する方法であって、負荷電性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電性架橋ポリアミド系スキン層は
、アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物の存在下で、
（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）
、
性
とを反応させた
６０
が
　【００３２】
　前記処理方法においては、高透過性複合逆浸透膜での逆浸透処理に先立つ処理が、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物からなる負荷電性架橋ポリアミド系スキン層と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜を用いた処理であることが好ましい。
　【００３３】
　また前記処理方法においては、高透過性複合逆浸透膜での処理に先立つ処理で用いられる逆浸透性膜のスキン層の平均面粗さが
６０
　【００３４】
　【発明の実施の形態】
　前記した本発明の複合逆浸透膜は、たとえば２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物
（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）
を
　【００３５】
　【００３６】
　【００３７】
　【００３８】
　これらの化合物は単独であるいは複数で存在させることができる。
　【００３９】
　前記した本発明の第１番目の複合逆浸透膜の構成によれば、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物からなるポリアミド系スキン層薄膜と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜において、前記複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の平均面粗さが
６０
　【００４０】
　本発明においては、平均面粗さが
６０
６０
　【００４１】
　また、１０点平均面粗さは３００ｎｍ以上が好ましい。３００ｎｍ未満の場合は十分な透過流束が得られない。さらに好ましくは３０５ｎｍ以上である。また、最大高低差が４００ｎｍ以上が好ましい。４００ｎｍ未満の場合は十分な透過流束が得られない。さらに好ましくは４１０ｎｍ以上である。
　【００４２】
　透過流束と複合逆浸透膜の表面粗さについて密接な関係があることを見い出し本発明をするに至った。本発明で用いられるアミン成分は、２つ以上の反応性のアミノ基を有する多官能アミンであれば特に限定されず、芳香族、脂肪族、または脂環式の多官能アミンが挙げられる。
　【００４３】
　かかる芳香族多官能アミンとしては、例えば、ｍ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、１，３，５−トリアミノベンゼン、１，２，４−トリアミノベンゼン、８，５−ジアミノ安息香酸、２，４−ジアミノトルエン、２，４−ジアミノアニソール、アミドール、キシリレンジアミン等が挙げられる。また脂肪族多官能アミンとしては、例えば、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、トリス（２−アミノエチル）アミン等が挙げられる。また、脂環式多官能アミンとしては、例えば、１，３−ジアミノシクロヘキサン、１，２−ジアミノシクロヘキサン、１，４−ジアミノシクロヘキサン、ピペラジン、２，５−ジメチルピペラジン、４−アミノメチルピペラジン等が挙げられる。これらのアミンは、単独として用いられてもよく、混合物として用いられてもよい。
　【００４４】
　また本発明で用いられる多官能性酸ハロゲン化物は、特に限定されず、芳香族、脂肪族、脂環式等の多官能性酸ハロゲン化物が挙げられる。かかる芳香族多官能性酸ハロゲン化物としては、例えば、トリメシン酸クロライド、テレフタル酸クロライド、イソフタル酸クロライド、ビフェニルジカルボン酸クロライド、ナフタレンジカルボン酸ジクロライド、ベンゼントリスルホン酸クロライド、ベンゼンジスルホン酸クロライド、クロロスルホニルベンゼンジカルボン酸クロライド等が挙げられる。
　【００４５】
　また脂肪族多官能性酸ハロゲン化物としては、例えば、プロパントリカルボン酸クロライド、ブタントリカルボン酸クロライド、ペンタントリカルボン酸クロライド、グルタリルハライド、アジポイルハライド等が挙げられる。
　【００４６】
　また脂環式多官能性酸ハロゲン化物としては、例えば、シクロプロパントリカルボン酸クロライド、シクロブタンテトラカルボン酸クロライド、シクロペンタントリカルボン酸クロライド、シクロペンタンテトラカルボン酸クロライド、シクロヘキサントリカルボン酸クロライド、テトラハイドロフランテトラカルボン酸クロライド、シクロペンタンジカルボン酸クロライド、シクロブタンジカルボン酸クロライド、シクロヘキサンジカルボン酸クロライド、テトラハイドロフランジカルボン酸クロライド等が挙げられる。
　【００４７】
　本発明においては、前記アミン成分と、上記酸ハライド成分とを、界面重合させることにより、多孔性支持体上に架橋ポリアミドを主成分とする薄膜が形成された複合逆浸透膜が得られる。
　【００４８】
　本発明において上記薄膜を支持する多孔性支持体は、薄膜を支持し得る物であれば特に限定されず、例えば、ポリスルホン、ポリエーテルスルホンのようなポリアリールエーテルスルホン、ポリイミド、ポリフッ化ビニリデンなど種々のものを挙げることができるが、特に、化学的、機械的、熱的に安定である点から、ポリスルホン、ポリアリールエーテルスルホンからなる多孔性支持膜が好ましく用いられる。かかる多孔性支持体は、通常、約２５〜１２５μｍ、好ましくは約４０〜７５μｍの厚みを有するが、必ずしもこれらに限定されるものではない。
　【００４９】
　より詳細には、多孔性支持体上に、前記アミン成分を含有する溶液からなる第１の層を形成し、次いで前記酸ハライド成分を含有する溶液からなる層を上記第１の層上に形成し、界面重縮合を行って、架橋ポリアミドからなる薄膜を多孔性支持体上に形成させることによって得ることができる。
　【００５０】
　多官能アミンを含有する溶液は、製膜を容易にし、あるいは得られる複合逆浸透膜の性能を向上させるために、さらに、例えば、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリル酸等の重合体や、ソルビトール、グリセリン等のような多価アルコールを少量含有させることもできる。
　【００５１】
　また、透過流束を高める為、多官能アミンを含有する溶液または／かつ酸ハライド成分を含有する溶液に、溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物を添加することができる。
　【００５２】
　また、特開平２−１８７１３５号公報に記載のアミン塩、例えばテトラアルキルアンモニウムハライドやトリアルキルアミンと有機酸とによる塩等も、製膜を容易にする、アミン溶液の支持体への吸収性を良くする、縮合反応を促進する等の点で好適に用いられる。
　【００５３】
　また、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ドデシル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム等の界面活性剤を含有させることもできる。これらの界面活性剤は、多官能アミンを含有する溶液の多孔性支持体への濡れ性を改善するのに効果がある。
　【００５４】
　さらに、上記界面での重縮合反応を促進するために、界面反応にて生成するハロゲン化水素を除去し得る水酸化ナトリウムやリン酸三ナトリウムを用い、あるいは触媒として、アシル化触媒等を用いることも有益である。
　【００５５】
　上記酸ハライドを含有する溶液及び多官能アミンを含有する溶液において、酸ハライド及び多官能アミンの濃度は、特に限定されるものではないが、酸ハライドは、通常０．０１〜５重量％、好ましくは０．０５〜１重量％であり、多官能アミンは、通常０．１〜１０重量％、好ましくは０．５〜５重量％である。
　【００５６】
　このようにして、多孔性支持体上に多官能アミンを含有する溶液を被覆し、次いでその上に多官能酸ハライド化合物を含有する溶液を被覆した後、それぞれ余分の溶液を除去し、次いで、通常約２０〜１５０℃、好ましくは約７０〜１３０℃で、約１〜１０分間、好ましくは約２〜８分間加熱乾燥して、架橋ポリアミドからなる水透過性の薄膜を形成させる。この薄膜は、その厚さが、通常約０．０５〜２μｍ、好ましくは約０．１０〜１．０μｍの範囲にある。
　【００５７】
　また本発明の複合逆浸透膜の製造方法において、特公昭６３−３６８０９号公報に記載されているように、次亜塩素酸等による塩素処理を行って塩阻止性能をさらに向上させることもできる。
　【００５８】
　次に前記した本発明の第２番目の複合逆浸透膜によれば、薄膜が２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物からなる負荷電性架橋ポリアミド系スキン層であり、前記スキン層の平均面粗さが
６０
　【００５９】
　本発明で用いる複合逆浸透膜とは、負荷電性架橋ポリアミド系スキン層の表面が、正荷電性基を有する有機重合体の架橋層で被覆されたものであればよく、その有機重合体の構造は特に限定されるものではない。
　【００６０】
　しかしながら、本発明においては作業性、加工性などの点から、当該有機重合体自体は溶媒に可溶であることが望ましく、そのため複合逆浸透膜上に被覆後に３次元架橋するものが好ましい。このような有機重合体としては、分子内に正荷電性基と、架橋反応を起こす官能基を持つものであり、それ自体は溶媒に可溶なものが用いられる。例えば一例として、正荷電性基と共に分子内に少なくとも２つの水酸基及び／またはアミノ基を有する重合体（以下重合体Ａという）や、正荷電性基と共に分子内に少なくとも２つの水酸基及び／またはアミノ基と２つの保護されたイソシアネート基を有する重合体（以下重合体Ｂという）などが挙げられる。
　【００６１】
　ここで正荷電性基としては、アンモニウム基、ホスホニウム基、スルホニウム基などを挙げることができる。また、保護されたイソシアネート基とは、ブロック化剤を用いてブロックされたイソシアネート基、またはアミンイミド基の形で保護されているイソシアネート基をいう。
　【００６２】
　イソシアネート基をブロックするためのブロック化剤は、種々のものが知られており、例えば、フェノール、クレゾールなどのフェノール系、メタノール、エタノール、メチルセロソルブなどのアルコール系、メチルエチルケトオキシム、アセトアルデヒドオキシムなどのオキシム系を挙げることができる。
　【００６３】
　上記重合体Ａとしては、例えばメタクリル酸ヒドロキシプロピルトリメチルアンモニウムクロライドの単独重合体および他の重合体可能なモノマーとの共重合体、メタクリル酸エチルトリメチルアンモニウムクロライドとメタクリル酸ヒドロキシエチルとの共重合体、４−ビニルピリジンとメタクリル酸ヒドロキシエチルとの共重合体の４級化物などを挙げることができる。
　【００６４】
　また、上記重合体Ｂとしては、例えば２−メタクリロイルオキシエチレンイソシアネートを適宜のブロック化剤でブロックしてなるイソシアネート単量体とメタクリル酸ヒドロキシプロピルトリメチルアンモニウムクロライドとの共重合体、上記ブロック化イソシアネートと４−ビニルピリジンおよびメタクリル酸ヒドロキシエチルとの共重合体の４級化物、１，１−ジメチル−１−（２−ヒドロキシプロピル）アミンメタクリルイミドのようなアミンイミド基を有するビニル単量体とメタクリル酸ヒドロキシプロピルトリメチルアンモニウムクロライドとの共重合体などを挙げることができる。
　【００６５】
　上記の重合体ＡおよびＢは、いずれも水やアルコールに可溶性である。したがって、本発明において架橋重合体層は、例えば次のような種々の方法によって複合逆浸透膜のスキン層の上に形成することができる。
　【００６６】
　重合体Ａを架橋してなる架橋重合体層を形成するには、重合体Ａの水溶液またはアルコール溶液を複合逆浸透膜に塗布した後、乾燥し、多官能架橋剤としてのポリイソシアネート化合物を溶解させた溶液を接触させ、必要に応じて加熱して、重合体Ａを分子間にて架橋させればよい。
　【００６７】
　また別の方法として、重合体Ａの水溶液またはアルコール溶液に前記したようなブロック剤にてブロック化した多官能ポリイソシアネート化合物を加え、得られた溶液を複合逆浸透膜に塗布した後、このブロック化ポリイソシアネートの解離温度以上の温度に加熱し、ポリイソシアネート化合物を遊離させ、重合体Ａと架橋反応させてもよい。
　【００６８】
　ここで用いるポリイソシアネート化合物は、特に限定されるものではないが、例えば、トリレンジイソシアネートやジフェニルメタンジイソシアネート、それらの多量体、イソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリフェニルメタントリイソシアネート、トリス（ｐ−イソシアネートフェニル）チオフォスファイト、トリメチロールプロパンとトリレンジイソシアネートとの付加体、トリメチロールプロパンとキシリレンジイソシアネートとの付加体などを挙げることができる。
　【００６９】
　また、前記重合体Ｂの架橋重合体層を複合逆浸透膜上に形成するには、例えば重合体Ｂの水またはアルコール溶液を複合逆浸透膜上に塗布し、ブロック化イソシアネートの解離温度以上の温度に加熱し、イソシアネート基を遊離させて、分子間及び／または分子内で架橋させればよい。
　【００７０】
　また、前記したイソシアネート基と水酸基による架橋反応を促進するために、架橋反応に際して、必要に応じて、３級アミンや有機スズ化合物などの触媒を用いることもできる。
　【００７１】
　また上記のように有機重合体が架橋性の官能基を持たなくても、複合逆浸透膜上に正荷電を持つ有機重合体を被覆後電子線を照射したり、あるいは有機重合体溶液中に過酸化物を混入し、複合逆浸透膜上に被覆後加熱するなどの方法によって、有機重合体骨格上にラジカルを生じさせ、３次元架橋させることもできる。
　【００７２】
　本発明において、このようにして形成される架橋重合体層の膜厚は、通常１０オングストローム（１ｎｍ）乃至１０μｍの範囲が好ましい。１０オングストローム（１ｎｍ）よりも薄いときは、得られる複合逆浸透膜を２段式逆浸透システムに用いても塩の除去性能がほとんど改善されず、他方、１０μｍを超えるときは、得られる膜の透水性能が著しく低下するので好ましくない。
　【００７３】
　前記正荷電性基を有する有機重合体としてポリエチレンイミンを用い、グルタルアルデヒドを架橋剤として用いた場合、下記式（化１）のような反応によりポリエチレンイミン架橋層が形成される。
　【００７４】
　【化１】
　【００７５】
　前記において使用するポリエチレンイミンの好ましい平均分子量は、３００以上、さらに好ましくは５００以上である。また得られたポリエチレンイミン架橋層の好ましい厚さは１ｎｍ〜１０μｍの範囲である。
　【００７６】
　次に本発明の高透過性複合逆浸透膜を用いた逆浸透処理方法によれば、負荷電性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電性架橋ポリアミド系スキン層は
、アルコール類から選ばれる少なくとも一つの溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物の存在下で、
（但し、芳香環上に塩素置換基を含む化合物を除く）
、
性
とを反応させた
６０
　【００７７】
　前記処理方法において、前記高透過性複合逆浸透膜を使用する以前の段階で、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物を界面重縮合させた負荷電性架橋ポリアミド系スキン層と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜を用いて多段式逆浸透処理を行うという好ましい例によれば、１段目に高脱塩率の負荷電膜を用い、その透過液を１段目とはイオン的に異なる正固定荷電基を有する膜を２段目に用いるため、高い脱塩性能を発現し、高い透過流束を保って超純水を製造できる。
　【００７８】
　また前記処理方法において、前段階で使用する複合逆浸透膜が、スキン層の平均面粗さが
６０
　【００７９】
　【実施例】
　以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれら実施例により何ら限定されるものではない。
　【００８０】
　図１は本発明で使用する多段式逆浸透処理プロセスの一例である。図１において、１はたとえば井戸水や工業用水などの原液（原水）の供給ライン、２は前記原液（原水）をためておく原液槽、３は原液槽２と第１送液ポンプ４とを連結する送液ライン、５は第１送液ポンプ４と第１段目の膜モジュール１０とを連結する送液ライン、１１は第１段目の膜モジュール１０の原液室、１２は同モジュールの透過液室である。原液（原水）の供給ライン１の前段階では、粗濾過、生物処理などの任意の前処理を行ってもよい。第１段目の膜モジュール１０の原液室１１と透過液室１２との間には逆浸透膜が存在し、第１段目の逆浸透処理が行われる。透過液室１２を出た第１段透過液は送液ライン６に送られ、中間受けタンクまたは一定量が滞留できるたとえばパイプヘッダーのような滞留手段７でいったん受け、第２送液ポンプ８を用い、送液ライン９を通過させて、第２段目の膜モジュール２０に送液する。第２段目の膜モジュール２０の原液室２１と透過液室２２との間には本発明の逆浸透膜が存在し、第２段目の逆浸透処理が行われる。透過液室２２を出た第２段透過液（超純水）は取り出しライン１３から取り出される。３１は第１段目の膜モジュール１０の原液室１１の出口に設けた調圧バルブ、３２は第２段目の膜モジュール２０の原液室２１の出口に設けた調圧バルブであり、各バルブ３１，３２により原液室１１，２１の操作圧力をそれぞれ調整する。前記多段式逆浸透処理プロセスにおいては、１段目の膜モジュール１０の一例として、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物を界面重縮合させた負荷電性架橋ポリアミド系スキン層と、これを支持する微多孔性支持体とからなる複合逆浸透膜を用いることが好ましい。また、２段目の膜モジュール２０として、２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物からなる架橋ポリアミド系スキン層と、これを支持する微多孔性支持体とからなり、前記スキン層の平均面粗さが
６０
　【００８１】
　なお、下記の実施例中、前記式（数１）で定義される平均面粗さ（Ｒａ）、前記式（数２）で定義される自乗平均面粗さ（Ｒｍｓ）、前記式（数３）で定義される１０点平均面粗さ（Ｒｚ）、前記式（数４）で定義される最大高低差（ＰＶ）は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を用いて測定した値を使って算出した。また、平均面粗さ（Ｒａ）はＪＩＳ　Ｂ０６０１で定義されている中心線平均粗さＲａを、測定面に対して適用できるよう三次元に拡張したもので、基準面から指定面までの偏差の絶対値を平均した値である。ここで測定面とは全測定データの示す面をいい、指定面とは粗さ計測の対象となる面で、測定面のうちクリップで指定した特定の部分をいい、基準面とは指定面の高さの平均値をＺＯとするとき、Ｚ＝ＺＯで表される平面をいう。次に自乗平均面粗さ（Ｒｍｓ）は、断面曲線に対するＲｍｓを、測定面に対して適用できるようＲａと同様に三次元に拡張したもので、基準面から指定面までの偏差の自乗を平均した値の平方根である。次に１０点平均面粗さ（Ｒｚ）は、ＪＩＳ　Ｂ０６０１で定義されているＲｚを三次元に拡張したもので、指定面における、最高から５番目までの山頂の標高の平均値と最深から５番目までの谷底の標高の平均値の差である。次に最大高低差（ＰＶ）は、指定面において、最も高い山頂の標高Ｚｍａｘと最も低い谷底の標高Ｚｍｉｎの差である。なお、以上の測定方法そのものは良く知られた方法である。
　【００８２】
（実施例１）
　ｍ−フェニレンジアミンを２．０重量％、ラウリル硫酸ナトリウムを０．１５重量％、トリエチルアミンを２．０重量％、カンファースルホン酸を４．０重量％、イソプロピルアルコール２０重量％を含有した水溶液を、多孔性ポリスルホン支持膜に接触させて、余分の溶液を除去して支持膜上に上記溶液の層を形成した。
　【００８３】
　次いで、かかる支持膜の表面に、トリメシン酸クロライドを０．１５重量％含むヘキサン溶液を接触させ、その後１２０℃の熱風乾燥機の中で３分間保持して、支持膜上に重合体薄膜を形成させ、複合逆浸透膜を得た。
　【００８４】
　得られた複合逆浸透膜を水洗し、乾燥後、ＡＦＭにて複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の表面粗さを測定したところ、前記式（数１）で定義される平均面粗さ（Ｒａ）は８７．１ｎｍ、前記式（数２）で定義される自乗平均面粗さ（Ｒｍｓ）は１０５ｎｍ、前記式（数３）で定義される１０点平均面粗さ（Ｒｚ）は４３３ｎｍ、前記式（数４）で定義される最大高低差（ＰＶ）は５５５ｎｍであった。
　【００８５】
　また、得られた複合逆浸透膜の性能は、１５００ｐｐｍの塩化ナトリウムを含むｐＨ６．５の食塩水を、１５ｋｇｆ／ｃｍ２の圧力で評価したところ、透過液電導度による塩阻止率は９９．７％、透過流束は１．７ｍ３／（ｍ２・日）であった。
　【００８６】
（実施例２、比較例１〜２）
　実施例１において、イソプロピルアルコールの濃度を変える以外は、実施例１と同様にして複合逆浸透膜を得た。その結果を表１に示す。
　【００８７】
　【表１】
　【００８８】
（実施例
３
　ｍ−フェニレンジアミン３．０重量％、ラウリル硫酸ナトリウム０．１５重量％、トリエチルアミン３．０重量％、カンファースルホン酸６．０重量％、イソプロピルアルコール１０重量％を含有した水溶液を、微多孔性ポリスルホン支持膜に接触させて、余分の溶液Ａを除去して支持膜上に上記溶液の層を形成した。
　【００８９】
　次いで、かかる支持膜の表面に、トリメシン酸クロライド０．２０重量％を含むヘキサン溶液を接触させ、その後１２０℃の熱風乾燥機の中で３分間保持して、支持膜上に重合体薄膜を形成させ、複合逆浸透膜を得た。
　【００９０】
　得られた複合逆浸透膜の一部を水洗し、乾燥後、ＡＦＭにて複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の表面粗さを測定したところ、Ｒａは７６．８ｎｍ、Ｒｍｓは９３ｎｍ、Ｒｚは３２４ｎｍ、ＰＶは５５５ｎｍであった。これは溶液Ａにイソプロピルアルコールを添加したことにより、界面重縮合反応の際に逆浸透膜の表面形状が変化したものである。イソプロピルアルコール以外であっても溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物を界面重縮合反応の際に存在させると、同様に逆浸透膜の表面形状が変化することを本発明者らは確認している。
　【００９１】
　次にポリエチレンイミン１重量％を供給純水中に添加し、逆浸透処理した後、系内を水洗し、供給純水中にグ
ル
　【００９２】
　次にｍ−フェニレンジアミン２．０重量％、ラウリル硫酸ナトリウム０．２５重量％、トリエチルアミン２．０重量％、カンファースルホン酸４．０重量％を含有した水溶液を、微多孔性ポリスルホン支持膜に数秒間接触させて、余分の溶液を除去して支持膜上に上記溶液の層を形成した。
　【００９３】
　次いで、かかる支持膜の表面に、トリメシン酸クロライド０．１０重量％、イソフタル酸クロライド０．１５重量％を含むヘキサン溶液を接触させ、その後１２０℃の熱風乾燥機の中で３分間保持して、支持膜上に重合体薄膜を形成させ、複合逆浸透膜を得た（複合逆浸透膜Ｂ）。得られた複合逆浸透膜Ｂの表面粗さは、Ｒａは５１ｎｍ、Ｒｍｓは６２ｎｍ、Ｒｚは２９６ｎｍ、ＰＶは３４５ｎｍであり、これは従来の逆浸透膜と同等の表面形状のものであった。
　【００９４】
　次に図１に示したプロセスを用いて、１段目に複合逆浸透膜Ｂを用い、２段目に複合逆浸透膜Ａを用い、電導度１００μｓ／ｃｍ，ｐＨ６．５の井戸水を原液として、３０ｋｇｆ／ｃｍ２の操作圧力で複合逆浸透膜Ｂを透過した液を供給液とし、操作圧力１５ｋｇｆ／ｃｍ２で複合逆浸透膜Ａの膜性能を測定したところ、比抵抗値は９．９ＭΩ・ｃｍ、透過流束は１．３ｍ３／（ｍ２・日）であった。また、その状態のまま、１０００時間内の連続通水テストを行ったところ、１０００時間目での比抵抗値は９．９ＭΩ・ｃｍ、透過流束は１．４ｍ３／（ｍ２・日）と性能低下は認められなかった。
　【００９５】
（比較例３）
　複合逆浸透膜Ｂ（従来の逆浸透膜と同等の表面形状のもの）をベースとして、実施例
３
３
３
　【００９６】
（比較例４）
　実施例
３
３
　【００９７】
　以上の様に、本発明で得られた複合逆浸透膜は、多段式逆浸透膜システムなどでの低濃度領域での無機塩の脱塩及びカチオン系有機物の排除に優れ、かつ高透過性及び耐久性を併せ有していることが確認できた。
　【００９８】
（参考例１）
　メチルエチルケトキシム２９ｇをベンゼン５０ｇに溶解し、この溶液に２５℃の温度で２−メタクロイルオキシエチレンイソシアネート５１．６ｇを約４０分を要して滴下し、さらに４５℃で２時間攪拌した。得られた反応生成物をプロトンＮＭＲにて分析して、２−メタクロイルオキシエチレンイソシアネートにほぼ定量的にメチルエチルケトキシムが付加しているブロック化物であることを確認した。
　【００９９】
（参考例２）
　メタクリル酸ヒドロキシプロピルトリメチルアンモニウムクロライド１６ｇと参考例１で得たブロック化イソシアネート化合物８ｇとをメタノール６０ｇに溶解させ、これにアゾビスイソブチロニトリル０．４ｇを加え、窒素ガス雰囲気下に６０℃で６時間攪拌して、４級アンモニウム基を有する共重合体を得た。
　【０１００】
（実施例
４
　ｍ−フェニレンジアミン３．０重量％、ラウリル硫酸ナトリウム０．１５重量％、トリエチルアミン３．０重量％、カンファースルホン酸６．０重量％、イソプロピルアルコール１０重量％を含有した水溶液を溶液Ａとして、微多孔性ポリスルホン支持膜に接触させて、余分の溶液Ａを除去して支持膜上に上記溶液Ａの層を形成した。
　【０１０１】
　次いで、かかる支持膜の表面に、トリメシン酸クロライド０．２０重量％を含むヘキサン溶液を溶液Ｂとして調整し、溶液Ａと接触させ、その後１２０℃の熱風乾燥機の中で３分間保持して、支持膜上に重合体薄膜を形成させ、複合逆浸透膜を得た。
　【０１０２】
　得られた複合逆浸透膜の一部を水洗し、乾燥後、ＡＦＭにて複合逆浸透膜表面のポリアミド系スキン層の表面粗さを測定したところ、Ｒａは７６．８ｎｍ、Ｒｍｓは９３ｎｍ、Ｒｚは３２４ｎｍ、ＰＶは５５５ｎｍであった。これは溶液Ａにイソプロピルアルコールを添加したことにより、界面重縮合反応の際に逆浸透膜の表面形状が変化したものである。イソプロピルアルコール以外であっても溶解度パラメーターが８〜１４（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２の化合物を界面重縮合反応の際に存在させると、同様に逆浸透膜の表面形状が変化することを本発明者らは確認している。
　【０１０３】
　参考例２で得た共重合体１ｇを水に溶解させ、１重量％水溶液を作製した。これに架橋触媒として１，４−アザビシクロ（２，２，２）オクタン０．００５ｇを加えた。このようにして得られた溶液を、上記の複合逆浸透膜上に塗布し、１５０℃で１０分間加熱し、共重合体を架橋させて正荷電性を有する複合逆浸透膜を得た（複合逆浸透膜Ｃ）。
　【０１０４】
　次にｍ−フェニレンジアミン２．０重量％、ラウリル硫酸ナトリウム０．２５重量％、トリエチルアミン２．０重量％、カンファースルホン酸４．０重量％を含有した水溶液を溶液Ａとして、微多孔性ポリスルホン支持膜に数秒間接触させて、余分の溶液Ａを除去して支持膜上に上記溶液Ａの層を形成した。
　【０１０５】
　次いで、かかる支持膜の表面に、トリメシン酸クロライド０．１０重量％、イソフタル酸クロライド０．１５重量％を含むヘキサン溶液を溶液Ｂとして調整し、溶液Ａと接触させ、その後１２０℃の熱風乾燥機の中で３分間保持して、支持膜上に重合体薄膜を形成させ、複合逆浸透膜を得た（複合逆浸透膜Ｄ）。得られた複合逆浸透膜Ｄの表面粗さは、Ｒａは５１ｎｍ、Ｒｍｓは６２ｎｍ、Ｒｚは２９６ｎｍ、ＰＶは３４５ｎｍであり、これは従来の逆浸透膜と同等の表面形状のものであった。
　【０１０６】
　次に図１に示したプロセスを用いて、１段目に複合逆浸透膜Ｄを用い、２段目に複合逆浸透膜Ｃを用い、電導度１００μｓ／ｃｍ，ｐＨ６．５の井戸水を原液として、３０ｋｇｆ／ｃｍ２の操作圧力で複合逆浸透膜Ｄを透過した液を供給液とし、操作圧力１５ｋｇｆ／ｃｍ２で複合逆浸透膜Ｃの膜性能を測定したところ、比抵抗値は９．４ＭΩ・ｃｍ、透過流束は１．６ｍ３／（ｍ２・日）であった。
　【０１０７】
（比較例５）
　複合逆浸透膜Ｄ（従来の逆浸透膜と同等の表面形状のもの）をベースとして、実施例
４
３
　【０１０８】
　以上の様に、本発明で得られた複合逆浸透膜は、多段式逆浸透膜システムなどでの低濃度領域での無機塩の脱塩及びカチオン系有機物の排除に優れ、かつ高透過性を併せ有していることが確認できた。
　【０１０９】
　【発明の効果】
　以上説明した通り、本発明の第１番目の複合逆浸透膜は、高塩阻止率と高透過性を併せ有し、比較的低圧で実用性のある脱塩を可能にする複合逆浸透膜を提供し、例えば、かん水、海水等の脱塩による淡水化や、半導体の製造に必要とされる超純水の製造や排水の汚物源、有効物質の除去回収や食品用途等での有効成分の濃縮等に好適に用いることができる。
　【０１１０】
　また本発明の第２番目の複合逆浸透膜によれば、薄膜が２つ以上の反応性のアミノ基を有する化合物と、２つ以上の反応性の酸ハライド基を有する多官能性酸ハロゲン化合物との反応生成物からなる負荷電性架橋ポリアミド系スキン層であり、前記スキン層の平均面粗さが
６０
　【０１１１】
　また、本発明の製造方法によれば、前記の複合逆浸透膜を効率よく合理的に製造できる。また本発明の高透過性複合逆浸透膜を用いた逆浸透処理方法によれば、負荷電性架橋ポリアミド系スキン層及びそれを支持する微多孔性支持体からなる高透過性複合逆浸透膜が、多段式逆浸透処理の２段目以降の処理段階で用いられ、前記負荷電性架橋ポリアミド系スキン層は２つ以上の反応性アミノ基を有する化合物と２つ以上の反応性酸ハライド基を有する多官能酸ハロゲン化合物の反応生成物からなり、前記スキン層の平均面粗さが
６０
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明で使用する多段式逆浸透処理プロセスの一例である。
　【符号の説明】
　１　原液（原水）供給ライン
　２　原液槽
　・　送液ライン
　４　第１送液ポンプ
　７　滞留手段
　８　第２送液ポンプ
　１０　第１段目の膜モジュール
　１１　第１段目の膜モジュールの原液室
　１２　第１段目のモジュールの透過液室
　１３　超純水取り出しライン
　２０　第１段目の膜モジュール
　２１　第２段目のモジュールの原液室
　２２　第２段目のモジュールの透過液室
　３１，３２　調圧バルブ