【誤訳訂正書】
【提出日】平成27年1月29日(2015.1.29)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１８】
本発明は、選択肢ｉ）、（ｉｉ）、及びｉｉｉ）を含み、選択肢ｉ）も、段階ｉａ）、段階１ｂ）、及び段階ｉｃ）を含み、選択肢ｉｉ）は、段階ｉｉ）を含み、選択肢ｉｉｉ）は、段階ｉｉｉ）を含む。３つの選択肢は、任意的に、個々に又は相互のあらゆる組合せで、かつ後者の場合には、全て同時に又は時間のずれを付して使用することができる。本文の以下の節においてこれらの選択肢の１つを明確に参照していない場合、本文の節は、３つの選択肢の全部に関するものである。選択肢ｉ）が実行される方法の構成部分である場合に対しては、第２の延伸可能な担体は、必ず設けられる。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
ウェーハは、好ましくは、任意的にドープされているシリコンウェーハとすることができる。AlSb、AlAs、AlN、AlP、BN、BP、BAs、GaSb、GaAs、GaN、GaP、InSb、InAs、InN、又はInPのウェーハは、多くの用途に好適とすることができる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
分離前面は、本発明による方法の選択肢ｉ）に関連して、この本文の範囲において分離が起こる領域である。これは、理想的には、分離される領域間の接着力が突然１００％から０％に落ちる線であることを意味する。実際的には、分離前面は、常にある一定の区域になり、この区域内で、接着力は、＜１００％から＞０まで延びる。分離前面の終了は、次に、言うまでもなく、接着力が０に到達した領域であり、開始は、ちょうど＜１００％である場所である。通常の分離作業において、分離前面は、互いから分離される区域が分離され、従って、互いに対して接着力がもはや掛からなくなるまで、分離平面の上を移動する。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３３】
これに対応して、分離される層状構造体は、ウェーハ及び第２の（延伸可能な）担体は別として更に別の層を含むことができる。しかし、本発明の選択肢ｉ）を実行するために決定的に重要なことは、任意的に分離される層状構造体に存在する更に別の層は、材料に対して、以下のように配置されるという点である。
ａ）分離前面の形成に決定的に重要である分離補助具（分離作業中にのみ任意的に生成すことができる）の曲率に追従するか、又は分離作業が分離補助具の曲率により（ただし、例えば、第１の担体の曲率により）もたらされない場合、分離補助具に対して非曲げ状態のままであり、
ｂ）変形することによって分離前面の位置に影響を及ぼさない。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３５】
上述のように、本発明による方法の選択肢ｉ）に対して、分離前面が第２の担体の材料特性によりその位置において影響を与えられないように、第２の担体が分離補助具上に固定されることが決定的に重要である。固定は、永久的又は一時的とすることができるので、第２の搬送装置の分離された部分全体を含んではならない。決定的に重要であるのは、分離前面の後の領域のみである。区域上とは、固定の意味において、分離平面（又は分離平面から突出する分離補助具の曲率において）分離の方向に垂直に、固定の区域は、０を超える深さを含み、区域固定の幅は、分離前面により予め決められていることが好ましいことを意味する。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３７】
代替のかつ好ましい分離方法において、分離補助具は、平坦である。この場合、段階ｉｃ）での分離の前に、分離補助具上の第２の担体の大きい部分又は表面全体の広域の固定が起こる可能性がある。選択肢ｉ）による分離は、分離補助具を曲げることを通じて起こり、そのために、分離前面の領域においては（代替的に、初めは、分離前面が形成される場所で）、それは、層システムに対する凸曲率（大きい円周を有するロール面と類似）を有する。ここでもまた、第２の担体は、その固定のために、分離補助具の凸曲率及び分離補助具を有するウェーハに、同じく層システムの適切な設計により、追従することが強制される。言うまでもなく、選択肢ｉ）による全ての分離作業に対して、第１の担体は、剪断力が層状構造体と第１の担体の間に発生するように、層状構造体の強制的凸面変形に追従しないように保証することが必要である。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３８】
特に分離前面の良好な制御が本発明による方法の選択肢ｉ）により可能であることをここでもまた指摘すべきである。実は、特に分離前面の領域内の凸面曲率の高曲率により、分離前面は、分離の方向に拡幅され、これは、接着力がちょうど１００％未満（すなわち、分離補助具の作用なしの接着力よりも少し小さい）である区域は、完全な分離（接着力＝０）があるまで拡大されることを意味する。従って、層システムに作用する力ベクトルは、分離平面に垂直な比較的小さい成分を有する。特に、これは、例えば、Ｔｅｓａフィルムの巻出において知られているような望ましくないスナップオフが回避されるという効果を有する。換言すれば、本発明による方法の選択肢ｉ）に基づいて、特に極めて重要な機械的応力、すなわち、分離平面に垂直に作用する力を制限及び制御することができる。これは、例えば、（任意的に曲げ可能な）分離補助具に対して適切な材料を使用して、適切な表面の形状（例えば、ロール直径）により、及び当然のことながら担体に関する（そして、当然のことながら層システム全体に関する）適切な材料の選択を通じて達成することができる。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３９】
選択肢ｉ）において分離補助具が吸引によって又は静電帯電によって第２の担体上に固定される本発明による方法が好ましい。これらの形態の固定は、（必要に応じて）正確な制御で局所的に、すなわち、分離補助具の一部上でのみ用いることができる利点を有するが、特に、固定は、吸引の電源を切断することにより、又は静電荷を除去することによって再び簡単に逆にすることができるという利点を有する。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４３】
上述のように、特に非常に薄いウェーハの製造において、かつ特に選択肢ｉを実行する時、第１の担体が高い機械的強度を有することは有利である。従って、本発明による方法に対して、第１の担体がガラスプレート又はシリコンウェーハ（薄層化ウェーハより大きい厚みを有する）であることが好ましい。硼珪酸ガラス又は水晶ガラスは、ガラスプレートの材料として好ましい。第１の担体が剛性材料で製造されることを条件として、分離作業中の第１の担体の固定は、不可欠なものではなく、その理由は、分離中に層状構造体（少なくとも薄層化ウェーハ及び第２の担体から構成される）の凸曲率に追従することができないからである。それにも関わらず、処理安全上の理由から、剛性な第１の担体が分離中に固定されることも好ましい。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４５】
少なくとも１つの分離層が、第１の担体とウェーハの間に存在する本発明による方法が好ましい。分離層の目的は、特に選択肢ｉ）においては、分離中に意図的に分離の所要の破断線、すなわち、分離前面が先に進む面を可能にするか及び／又は保証することである。追加的に又は代替的に、分離層は、ウェーハを簡単に洗浄することができるように、分離後に残る分離層自体を含む担体アセンブリの残留層システムからのウェーハの剥離を可能にするか又は補助すべきである。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５６】
このようにして、特に、選択肢ｉ）において、分離作業中に好ましく利用される分離平面が予め判断される。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７４】
この時点で、別のチャックは、ここでもまた好ましくは真空吸引により、ダイスカットフィルム（第２の担体）の露出裏面上に固定される。２つのチャックは、上面図で横方向に互いに重畳されるように位置決めされることが好ましい。選択肢ｉ）を実行することに使用される時に、ダイスカットフィルムがこの時点で固定されたチャックは、曲げ可能な（可撓性の）材料で、かつ本発明によって使用される分離補助具の機能を果たすことができるように厚みを付して製造されることが好ましい。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７５】
選択肢ｉ）を実行するために、２つのチャック（保持手段及び分離補助具）は、好ましくは、少なくとも装置の１つの表面上にウェーハ又は層システムの表面を超えて突出する領域を有する。これらの領域の間に、適切な固定によってこの時点で力を掛けることは可能であり、それによって片側上でダイスカットフィルム（第２の担体）を保持するチャック（分離補助具）は、他方のチャック（保持手段）から取り外されることになる。従って、分離補助具は、曲げられ、望ましい分離前面が形成される。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７７】
選択肢ｉ）を実行する好ましい方法が、上述の分離層及び／又は好ましい層システムで実行される場合、過大な機械的負荷（破損）なく非常に大幅に薄層化されたウェーハのきれいな分離さえも保証することができる。印加された力を測定し、及び／又は最大の力を超えないように調節することも可能である。力が印加される２つの点／線／面の一定の距離を設定することも力によって可能である。このようにして、初期に平坦であるが曲げ可能な分離補助具は、その変形により、連続的な分離前面を生成し、その理由は、分離補助具の変形が、完全な分離が起こると分離補助具がもう一度本来の形状を回復することができるまで２次元で伝播されるからである。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８０】
上述のように、選択肢ｉ）による本発明の方法の利点は、特に、その好ましい実施形態において、分離前面が比較的大きい区域を表し、そのためにウェーハ面に垂直な剪断力を小さく保つことができるという点である。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８５】
選択肢ｉ）による本発明の方法を実行するために設定される装置は、本発明の一部を形成する。特に、このような装置は、上述のように、第１の担体及び分離補助具を固定するための手段を含む。この分離補助具は、第２の担体を固定するための手段の役目を同時にする。本発明による装置は、静電的な力又は吸引力によって固定をもたらすための手段、第１の担体を固定するための保持手段、及び好ましくは、力が分離補助具に第１の担体から離れる方向に凸面曲率を受けさせるように分離補助具の一部上にのみ力を掛けることができるための手段も含むことが好ましい。
【誤訳訂正１７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８７】
３つの選択肢ｉ）、ｉｉ）、及びｉｉｉ）、選択肢ｉｉ）のみ、又は選択肢ｉｉｉ）のみ、又は選択肢ｉｉ）及びｉｉｉ）のみを含む本発明による方法は、担体アセンブリからの層状構造体の完全な機械的分離をもたらすために使用することができる。このような場合、選択肢ｉ）は、実行されない。選択肢ｉｉ）及びｉｉｉ）の両方が適用される場合、これは、同時に又は時間のずれを伴って行うことができる。しかし、同じく本発明により、全ての３つの選択肢、又は選択肢ｉｉ）と共に選択肢ｉ）、又は選択肢ｉｉｉ）と共に選択肢ｉ）は、いずれの場合にも同時に及び／又は時間のずれを伴って適用することができる。
【誤訳訂正１８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９０】
本発明による方法の好ましい実施形態では、選択肢ｉｉ）は、単独で、又は選択肢ｉ）又はｉｉｉ）の一方と組み合わせて、又は選択肢ｉ）及び選択肢ｉｉｉ）と組み合わせて使用される。振動を発生させるために、振動を発生させるあらゆる適切な装置を使用することができる。超音波発生器の使用が好ましい。圧電性セラミックの使用は、特に好ましい。
【誤訳訂正１９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１０２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１０２】
ウェーハの表面上で起こらない上述の分離は、ウェーハ面と担体システムの隣接面間の形態閉塞の理由で、ウェーハを破壊することなく機械的分離がかろうじて可能であるに過ぎないように第１の担体の反対側のウェーハの側が構成される時に主として有利である。これは、本発明による方法の全ての選択肢ｉ）、ｉｉ）、及びｉｉｉ）に適用される。（上述のように）分離後に恐らく残る層状構造体の（残留）層は、次に、適切に、例えば、剥離又は類似のものによりウェーハから除去することができる。
【誤訳訂正２０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１０６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１０６】
本発明による方法の別の好ましい実施形態では、選択肢ｉｉｉ）は、単独で、又は選択肢ｉ）又はｉｉ）の一方と組み合わせて、又は選択肢ｉ）及び／又は選択肢ｉｉ）と組み合わせて使用される。この場合、機械的応力は、層システム又は層システムの各部の温度を変えることによって層システム内に生成され、それによって第１の担体及びウェーハ（及び従って担体アセンブリ及び層状構造体）の分離が発生するか、又はこれがその分離の一因になる。
【誤訳訂正２１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１１５】
少なくとも１つの分離層が第１の担体とウェーハの間に存在する本発明による方法が更に好ましい。上述のように、分離層は、層システムに接着の小さい力が作用する所要の破断点を与え、従って、簡単な分離が可能になる。これは、選択肢ｉｉｉ）を実行する時にも有利な実施形態である。少なくとも１つのエラストマー層及び分離層が第１の担体とウェーハの間に存在する本発明による方法が特に好ましい。この場合、エラストマー層は、剪断力の生成に使用することができ、分離層は、所要の破断点として機能することができる。次に、上述のように、層システムの層が第１の担体、エラストマー層、分離層、及びウェーハの順番に配置された場合が最も好ましい。次に、上述のように、分離層は、プラズマポリマー層であることが好ましく、プラズマポリマー層は、エラストマー層と類似の熱膨張挙動を有することが好ましい。
【誤訳訂正２２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１１７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１１７】
このような構成を用いて、第１の担体及びウェーハ（担体アセンブリ及び層状構造体）の分離は、分離層上で又は第２の分離層上で行うことができる。この構成を用いて、エラストマー層が選択肢ｉｉｉ）により分離中に剪断力の生成をもたらす場合が更に好ましい。
分離層は、上述のように所要の破壊点として機能するだけではなく、あらゆる残留層（上述のような）をウェーハ及び／又は担体から簡単に除去することができることを保証する。
【誤訳訂正２３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１３３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１３３】
実施例１（選択肢ｉによる分離）
ウェーハの前面、すなわち、電子構成要素が位置する側は、プラズマポリマー分離層によってＰＥＣＶＤで被覆される。この分離層は、ウェーハに対向する側で比較的低い接着力を有し、一方でウェーハから遠ざけられた側でその後に付加された層に高い接着力があるように接着特性に関して調節される。この最後に言及した層は、この例においては、シリコーンエラストマー層であり、これは、第１の担体としてガラスプレート上で最初に付加される。次に、ウェーハは、分離層側に既に付加されている分離層に結合され、エラストマー層は、ガラスプレート上に付加される。それは、この時点で、ウェーハ、分離層、エラストマー層、及び担体としてのガラスプレートを含む層システムである。
【誤訳訂正２４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１４２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１４２】
実施例２（選択肢ｉｉによる分離）
実施例２は、層システムの構築中に付加的なプラズマポリマー分離層がエラストマー層を付加する前にガラスプレート上に付加され、かつガラスプレートよりもエラストマー層により確実に接着するように（層システムの調製後に）、かつガラスプレートとこの分離層の間の接着力が層システムにおける２つの層間で最小であるように接着力に関して調節される点を除き、実施例１の場合と同様に（実際の分離の開始まで）実施される。更に、通常のチャックは、可撓性プレキシガラスディスクの代わりにダイスカットフィルムを固定するのに使用される。層システムの分離に寄与すると考えられる力は、このチャック上に掛けられない。ガラスプレートは、共通振動システムが存在するように（アルミニウム）チャック上に固定され、それは、約４ｍｍ厚である。これは、１ＭＨｚの周波数で励起される。約１０分後に、ウェーハは、担体アセンブリから分離される。分離は、付加的なプラズマポリマー層とガラスプレートの間で行われる。層状構造体は、単に担体アセンブリ（ガラスプレート）から持ち上げるだけで除去することができる。
【誤訳訂正２５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１４３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１４３】
実施例３（選択肢ｉｉｉによる分離）
選択肢ｉｉｉ）は、実施例１の場合と同様に（実際の分離の開始まで）実施されるが、ダイスカットフィルム及びプレキシガラスディスクを使用しない。層システムの調製における結合は、エラストマー層が硬化する１５０℃で行われる。次に、層システムは、２０℃に冷却される。分離に向けて、層システムは、１０分の間３３０℃まで加熱される。分離は、プラズマポリマー層とウェーハの間で行われる。層状構造体は、単に担体アセンブリから持ち上げるだけで除去することができる。
【誤訳訂正２６】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ（７）と第２の延伸可能な担体（２０）とを含む層状構造体（８）を第１の担体（１）を含むか又はそれから構成された担体アセンブリ（１ａ）から機械的に分離する方法であって、
ａ）担体アセンブリ（１ａ）と層状構造体（８）とを含む層システム（１ａ、８）を準備する段階と、
ｂ）ｉ）以下の段階：
ｉａ）平らで、かつ、真空吸引又は静電帯電によって前記第２の担体（２０）に固定することが可能な分離補助具（２９）を準備する段階、
ｉｂ）分離作業中に第２の担体（２０）が分離中に生じる分離前面（３３）のすぐ背後で前記分離補助具（２９）上に固定されたままに留まるように、該第２の担体（２０）上に該分離補助具（２９）を固定する段階、及び
ｉｃ）分離前面（３３）を利用して前記層状構造体（８）を前記担体アセンブリ（１ａ）から機械的に分離する段階、
を含む方法により、前記層状構造体（８）が前記担体アセンブリ（１ａ）から分離されるように、担体アセンブリ（１ａ）と該層状構造体（８）の間のインタフェースの領域に機械的応力を作成する段階と、
を含む、
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記ウェーハ（７）は、１５０μｍ以下の厚みを有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１の担体（１）と前記ウェーハ（７）の間に少なくとも１つのプラズマポリマー分離層（３）が存在することを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記層システムは、前記第１の担体（１）と前記ウェーハ（７）の間に、硬化された、部分的に硬化された、又は硬化可能なエラストマー材料の層（２）を含むことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
前記層システムは、以下の層を以下の規定された順序：
第１の担体（１）、
請求項４に記載のエラストマー材料の層（２）、
プラズマポリマー分離層（３）、
ウェーハ（７）、及び
第２の担体（２０）、
で含むことを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
分離が、前記プラズマポリマー分離層の面と前記ウェーハの面の間で起こることを特徴とする請求項３、請求項４又は請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記分離補助具（２９）は、可撓性プレートであることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記第１の担体（１）は、保持手段（２８）上に固定され、前記可撓性プレート（２９）及び該保持手段（２８）の各々は、少なくとも１つの形状を有し、
前記可撓性プレート（２９）の少なくとも１つの形状と前記保持手段（２８）の少なくとも１つの形状の間に力が作用する、
ことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記分離補助具（２９）は、プレキシガラスディスクであることを特徴とする請求項７又は８に記載の方法。
【請求項１０】
段階（ａ）で準備された前記層システム（１ａ、８）は、正確に２０℃から２００℃の間の温度の該層システム（１ａ、８）において、機械的応力が前記エラストマー材料の層（２）の面と隣接する面との間に発生せず、かつ該エラストマー材料の層が硬化されるような方法で生成されたものであることを特徴とする請求項４、５、７、８、９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
機械的応力が前記エラストマー材料の層（２）の前記面と前記隣接する面の間に発生しない温度よりも少なくとも１００℃高い温度まで前記層システム又はその一部を加熱することによって分離が補助される、
ことを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の方法を実行するための装置であって、  第１の担体（１）を固定するための保持手段（２８）と、
第２の担体（２０）を固定するための保持手段と、
を含み、
前記第２の担体（２０）を固定するための前記保持手段（２８）は、請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の分離補助具（２９）として、かつ任意的に前記層システムを加熱するための又は該層システムの振動を発生させるための手段として設計される、
ことを特徴とする装置。