【手続補正書】
【提出日】平成27年6月3日(2015.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二重チャンバガス放電レーザ光源であって、
ハロゲンを含むレージング媒体ガスを含むレーザチャンバを有する主発振器と、
ハロゲンを含むレージング媒体ガスを含むレーザチャンバを有する増幅器と、
リフィル方式を自動的に実行するコントローラを含むガスリフィルシステムと、
を含み、
前記リフィル方式は、以下の順序で、
前記レーザチャンバの選択された１つに対してハロゲンのターゲット圧力及びターゲット濃度を取得すること、
前記選択されたレーザチャンバを該チャンバのガス圧力が所定の低い値に到達する第１の点まで排気して温度及び圧力を該第１の点で測定すること、
第２の点に到達するための非ハロゲン含有ガスの量を前記選択されたレーザチャンバに追加して前記温度及び圧力を該第２の点で測定すること、
前記選択されたレーザチャンバの前記ガスが前記ターゲット圧力よりも高い圧力でハロゲンの前記ターゲット濃度に到達するようなハロゲン含有ガスの量を該選択されたレーザチャンバに追加すること、及び
前記ターゲット圧力が到達されるまで前記選択されたレーザチャンバからガスを抽気すること、
を含む、
ことを特徴とする光源。
【請求項２】
前記選択されたレーザチャンバを各チャンバの前記ガス圧力が所定の低い値に到達するように排気することは、各チャンバを約２０ｋＰａの圧力まで排気することを含むことを特徴とする請求項１に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項３】
前記選択されたレーザチャンバに追加される非ハロゲン含有ガスの前記量は、前記ターゲット圧力と前記ハロゲン含有ガスのハロゲンの濃度の前記ターゲット濃度との比較とに少なくとも部分的に基づいていることを特徴とする請求項１に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項４】
前記主発振器及び増幅器の両方の前記レーザチャンバは、ガスを該レーザチャンバに追加するための充填管を有し、
前記選択されたレーザチャンバに追加されるハロゲン含有ガスの前記量は、前記第１及び第２の点での前記温度及び圧力と、該選択されたレーザチャンバの容積及び該選択されたレーザチャンバのための前記充填管の容積とに少なくとも部分的に基づいて計算される、
ことを特徴とする請求項１に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項５】
前記選択されたレーザチャンバに追加されるハロゲン含有ガスの前記量は、レーザの以前の作動からの該選択されたレーザチャンバ及び該選択されたレーザチャンバのための前記充填管に残存するガスに部分的に基づいて更に計算されることを特徴とする請求項４に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項６】
各レーザチャンバが、ガスを第１の速度で該チャンバに追加するか又はガスをそこから除去するための第１の弁と、ガスを該第１の速度よりも遅い第２の速度で該チャンバに追加するか又はガスをそこから除去するための第２の弁とを有し、前記ターゲット圧力が到達されるまで前記選択されたレーザチャンバからガスを抽気することは、
前記第１の弁を開いて、前記ターゲット圧力より大きい前記レーザチャンバの圧力をもたらす第１のガス量を該レーザチャンバから除去すること、及び
前記第２の弁を開いて、前記レーザチャンバの圧力を前記ターゲット圧力まで低減するために第２のガス量を該レーザチャンバから除去すること、
含むことを特徴とする請求項１に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項７】
前記第１の弁を開いて前記第１のガス量を前記選択されたレーザチャンバから除去することは、該第１の弁を固定時間量にわたって開くことを更に含むことを特徴とする請求項６に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項８】
各レーザチャンバが、ガスを第１の速度で該チャンバに追加するか又はガスをそこから除去するための第１の弁と、ガスを該第１の速度よりも遅い第２の速度で該チャンバに追加するか又はガスをそこから除去するための第２の弁とを有し、第２の点に到達するための非ハロゲン含有ガスの量を前記選択されたレーザチャンバに追加することは、
非ハロゲン含有ガスの前記量の第１の部分を前記第２の弁を通じて追加すること、及び
非ハロゲン含有ガスの前記量の残りの部分を前記第１の弁を通じて追加すること、
を含むことを特徴とする請求項１に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項９】
ハロゲンを含むレージング媒体ガスを含むレーザチャンバを各々有する主発振器及び増幅器を有する二重チャンバガス放電レーザ光源のレーザチャンバのガスを自動的にリフィルする方法であって、以下の順序で、
コントローラにおいて、前記レーザチャンバの選択された１つに対してハロゲンのターゲット圧力及びターゲット濃度を取得する段階と、
前記コントローラによって管理して、前記選択されたレーザチャンバを該チャンバのガス圧力が所定の低い値に到達する第１の点まで排気して温度及び圧力を該第１の点で測定する段階と、
前記コントローラによって管理して、第２の点に到達するための非ハロゲン含有ガスの量を前記選択されたレーザチャンバに追加して温度及び圧力を該第２の点で測定する段階と、
前記コントローラによって管理して、前記選択されたレーザチャンバの前記ガスが前記ターゲット圧力よりも高い圧力でハロゲンのターゲット濃度に到達するようなハロゲン含有ガスの量を該選択されたレーザチャンバに追加する段階と、
前記コントローラによって管理して、前記ターゲット圧力が到達されるまで前記選択されたレーザチャンバからガスを抽気する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１０】
前記選択されたレーザチャンバを各チャンバの前記ガス圧力が所定の低い値に到達するように管理して排気する段階は、該選択されたレーザチャンバを約２０ｋＰａの圧力まで管理して排気する段階を含むことを特徴とする請求項９に記載のガスを自動的にリフィルする方法。
【請求項１１】
前記選択されたレーザチャンバに非ハロゲン含有ガスの量を管理して追加する段階は、前記ターゲット圧力と前記ハロゲン含有ガスのハロゲンの濃度の前記ターゲット濃度との比較とに少なくとも部分的に基づいて、追加されるべき非ハロゲン含有ガスの量を前記コントローラにより決定する段階を更に含むことを特徴とする請求項９に記載のガスを自動的にリフィルする方法。
【請求項１２】
前記主発振器及び増幅器の両方の前記レーザチャンバは、ガスを該レーザチャンバに追加するための充填管を有し、
前記選択されたレーザチャンバにハロゲン含有ガスの量を管理して追加する段階は、前記第１及び第２の点での前記温度及び圧力と、該選択されたレーザチャンバの容積及び該選択されたレーザチャンバのための前記充填管の容積とに少なくとも部分的に基づいて、追加されるべきハロゲンガスの量を前記コントローラにより決定する段階を更に含む、
ことを特徴とする請求項９に記載のガスを自動的にリフィルする方法。
【請求項１３】
前記選択されたレーザチャンバに追加されるハロゲン含有ガスの前記量を、レーザの以前の作動からの該選択されたレーザチャンバ及び該選択されたレーザチャンバのための前記充填管に残存するガスに部分的に基づいて前記コントローラによって決定する段階を更に含むことを特徴とする請求項１２に記載のガスを自動的にリフィルする方法。
【請求項１４】
各レーザチャンバが、ガスを第１の速度で該チャンバに追加するか又はガスをそこから除去するための第１の弁と、ガスを該第１の速度よりも遅い第２の速度で該チャンバに追加するか又はガスをそこから除去するための第２の弁とを有し、前記ターゲット圧力が到達されるまで前記選択されたレーザチャンバからガスを管理して抽気する段階は、
前記コントローラによって管理して、前記第１の弁を開いて、前記ターゲット圧力より大きい前記レーザチャンバの圧力をもたらす第１のガス量を該レーザチャンバから除去する段階、及び
前記コントローラによって管理して、前記第２の弁を開いて、前記レーザチャンバの圧力を前記ターゲット圧力まで低減するために第２のガス量を該レーザチャンバから除去する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項９に記載のガスを自動的にリフィルする方法。
【請求項１５】
各レーザチャンバが、ガスを第１の速度で該チャンバに追加するか又はガスをそこから除去するための第１の弁と、ガスを該第１の速度よりも遅い第２の速度で該チャンバに追加するか又はガスをそこから除去するための第２の弁とを有し、第２の点に到達するための非ハロゲン含有ガスの量を前記選択されたレーザチャンバに管理して追加する段階は、
前記コントローラによって管理して、非ハロゲン含有ガスの前記量の第１の部分を前記第２の弁を通じて追加する段階、及び
前記コントローラによって管理して、非ハロゲン含有ガスの前記量の残りの部分を前記第１の弁を通じて追加する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項９に記載のガスを自動的にリフィルする方法。