【事件の表示】
　平成２年特許願第２２２４９４号「基板の受渡し方法」拒絶査定に対する審判事件〔平成４年４月８日出願公開、特開平４−１０６９５１、請求項の数（６）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本件出願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　出願の経緯・本件出願の発明
　本件出願は、平成２年８月２７日の出願であって、その請求項１ないし請求６に係る発明は、願書に添付した明細書及び図面の記載からみて特許請求の範囲の請求項１ないし請求項６に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項１】縦向きの基板を裏面吸着して縦にしたまま搬送する基板搬送ハンドから、前記基板を縦にして保持するステージへ、前記基板を縦にしたまま前記基板の受渡しを行うための方法であって、
　前記ステージの吸着面と前記基板とが互いに接触することなく対向する不干渉位置と前記ステージの吸着面との間に予め設定されているステージ吸着開始位置まで、前記基板搬送ハンドを所定の速度で移動する工程と、
　前記ステージによる前記基板の吸着を開始する工程と、
　前記基板搬送ハンドおよび前記ステージによる前記基板の吸着が共に行われた状態で、前記ステージに対して前記基板が押付けられるように前記ステージの吸着面から所定の距離だけ前記不干渉位置の反対側に予め設定されている受渡し位置まで、前記基板搬送ハンドを前記所定の速度よりも低速度で移動する工程と、
　前記ステージによる前記基板の吸着を確認する工程と、
　前記基板搬送ハンドによる前記基板の吸着を解除する工程と、
　前記受渡し位置よりもさらに前記不干渉位置の反対側に予め設定されている退避位置まで、前記基板搬送ハンドを移動する工程とを有することを特徴とする基板の受渡し方法。
【請求項２】基板を縦にして保持するステージから、縦向きの前記基板を裏面吸着して縦にしたまま搬送する基板搬送ハンドへ、前記基板を縦にしたまま前記基板の受渡しを行うための方法であって、
　前記ステージの吸着面よりも該ステージ側の退避位置と前記ステージの吸着面との間に予め設定されているハンド吸着開始位置まで、前記退避位置にある前記基板搬送ハンドを所定の速度で移動する工程と、
　前記基板搬送ハンドによる前記基板の吸着を開始する工程と、
　前記基板搬送ハンドおよび前記ステージによる前記基板の吸着が共に行われた状態で、前記基板搬送ハンドに対して前記基板が押付けられるように前記ステージの吸着面から所定の距離だけ前記ハンド吸着開始位置の反対側に予め設定されている受渡し位置まで、前記基板搬送ハンドを前記所定の速度よりも低速度で移動する工程と、
　前記基板搬送ハンドによる前記基板の吸着を確認する工程と、
　前記ステージによる前記基板の吸着を解除する工程と、
　前記ステージの吸着面と前記基板とが互いに接触することなく対向する不干渉位置まで、前記基板搬送ハンドを移動する工程とを有することを特徴とする基板の受渡し方法。
【請求項３】基板を縦にして保持するステージと前記基板を縦にしたまま搬送するハンドとの間で前記基板を受渡すための方法であって、
　ステージ吸着開始位置まで前記基板を保持する前記ハンドを移動する工程と、
　前記ステージによる、前記ハンドに保持されている前記基板の吸着を開始する工程と、
　前記ハンドによる前記基板の保持、および、前記ステージによる前記基板の吸着が共に行われた状態で、前記ステージに対して前記基板が押付けられるように前記ステージの吸着面に関して前記ステージ吸着開始位置の反対側にある受渡し位置まで前記ハンドを移動する工程と、
　前記ハンドによる前記基板の保持を解除する工程とを有することを特徴とする基板の受渡し方法。
【請求項４】前記ハンドが受渡し位置まで移動した後、前記ステージによる前記基板の吸着を確認することを特徴とする請求項３に記載の基板の受渡し方法。
【請求項５】基板を縦にして保持するステージと前記基板を縦にしたまま搬送するハンドとの間で前記基板を受渡すための方法であって、
　ハンド吸着開始位置まで前記ハンドを移動する工程と、
　前記ハンドによる、前記ステージに保持されている前記基板の吸着を開始する工程と、
　前記ハンドによる前記基板の吸着、および、前記ステージによる前記基板の保持が共に行われた状態で、前記基板搬送ハンドに対して前記基板が押付けられるように前記ステージの基板保持面に関して前記ハンド吸着開始位置の反対側にある受渡し位置まで前記ハンドを移動する工程と、
　前記ステージによる前記基板の保持を解除する工程とを有することを特徴とする基板の受渡し方法。
【請求項６】前記ハンドが受渡し位置まで移動した後、前記ハンドによる前記基板の吸着を確認することを特徴とする請求項5に記載の基板の受渡し方法。」
第２　引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願の出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平２−９４５４０号公報（以下「引用例」という。）には、
「縦向きのウエハ１を裏面吸着して縦にしたまま搬送するウエハハンド２から、前記ウエハ１を縦にして保持するウエハステージ３へ、前記ウエハ１を縦にしたまま前記ウエハ１の受渡しを行うための方法であって、
　前記ウエハハンド２を前記ウエハステージ３の吸着面に所定の位置a（ウエハステージ３の吸着面より吸着面前方にΔｙ０の位置）まで接近させる工程と、
  前記ウエハハンド３が前記所定の位置aに到達したとき、前記ウエハステージ３の吸着面が一定圧力になるようにする工程と、
　前記ウエハハンド２を前記ウエハステージ３の吸着面の直前位置（ステージの吸着面よりΔｙ２の位置）まで（前記ウエハ１が前記ウエハステージ３の吸着面に接触したときの跳ね返り量が１０μｍ以下となる）速度ＶＣより速い所定の速度で駆動する工程と、
　前記ウエハハンド２を前記ウエハステージ３の吸着面の前記直前位置から前記速度ＶＣ以下の速度で駆動して前記ウエハステージ３に接触させ、前記ウエハ１の跳ね返り量が１０μｍ以下となる状態で前記ウエハステージ３の吸着面に前記ウエハ１を吸着させる工程と、
  前記ウエハステージ３による前記ウエハ１の吸着を確認して前記ウエハハンド２の駆動をストップする工程と、
  前記ウエハハンド２による前記ウエハ１の吸着を解除する工程と、
　前記ウエハハンド２を前記ウエハ１に対し干渉しない方向に移動する工程とを有する前記ウエハ１の受渡し方法。」（以下「引用例第１発明」という。）及び
「ウエハ１を縦にして保持するウエハステージ３から、縦向きの前記ウエハ１を裏面吸着して縦にしたまま搬送するウエハハンド２へ、前記ウエハ１を縦にしたまま前記ウエハ１の受渡しを行うための方法であって、
　前記ウエハハンド２を前記ウエハステージ３の吸着面に所定位置d（前記ウエハステージ３の吸着面より吸着面後方にΔｙ３＋Δｙ４の位置）まで接近させる工程と、
  前記ウエハハンド２が前記所定位置dに到達したとき、前記ウエハステージ３の吸着面が一定圧力になるようにする工程と、
　前記ウエハハンド２を前記ウエハステージ３の吸着面の直前位置（前記ウエハステージ３の吸着面より吸着面後方にΔｙ４の位置）まで所定の速度（速度ＶＣ以上の速度）で駆動する工程と、
　前記ウエハハンド２を前記ウエハステージ３の吸着面の直前位置（前記ウエハステージ３の吸着面より吸着面後方にΔｙ４の位置）から前記速度
ＶＣ以下の速度で駆動して前記ウエハ１に接触させて前記ウエハハンド２の吸着面に前記ウエハ１を吸着させる工程と、
  前記ウエハハンド２による前記ウエハ１の吸着を確認して前記ウエハハンド２の駆動をストップする工程と、
  前記ウエハステージ３による前記ウエハ１の吸着を解除する工程と、
　前記ウエハハンド２を所定の位置aまで移動する工程とを有する前記ウエハ１の受渡し方法。」（以下「引用例第２発明」という。）
が記載されていると認められる。
第３　対比・判断
１　請求項１、３及び４に係る発明について
　本件出願の請求項１、３及び４に係る発明と引用例第１発明とを比較すると、引用例第１発明におけるウエハ１、ウエハハンド２及びウエハステージ３は、それぞれ、請求項１、３及び４に係る発明における基板、基板搬送ハンド（ハンド）及びステージに相当するので、請求項１、３及び４に係る発明は、少なくとも、基板搬送ハンド（ハンド）による前記基板の吸着（保持）および前記ステージによる前記基板の吸着（保持）が共に行われた状態で、前記ステージに対して前記基板が押付けられるように前記ステージの吸着面に関して不干渉位置（ステージ吸着開始位置）の反対側にある受渡し位置まで前記基板搬送ハンド（ハンド）を移動する工程を有する点で、引用例第１発明と相違する。
　そして、請求項１、３及び４に係る発明は、前記工程を有することにより、基板の受渡を確実に行うことができ、信頼性の向上を図ることができるという効果を奏するものである。
２　請求項２、５及び６に係る発明について
　本件出願の請求項２、５及び６に係る発明と引用例第２発明とを比較すると、引用例第２発明におけるウエハ１、ウエハハンド２及びウエハステージ３は、それぞれ、請求項２、５及び６に係る発明における基板、基板搬送ハンド（ハンド）及びステージに相当するので、請求項２、５及び６に係る発明は、少なくとも、前記基板搬送ハンド（ハンド）による前記基板の吸着（保持）および前記ステージによる前記基板の吸着（保持）が共に行われた状態で、前記基板搬送ハンド（ハンド）に対して前記基板が押付けられるように前記ステージの吸着面に関してハンド吸着開始位置の反対側にある受渡し位置まで前記基板搬送ハンド（ハンド）を移動する工程を有する点で、引用例第２発明と相違する。
　そして、請求項２、５及び６に係る発明は、前記工程を有することにより、基板の受渡を確実に行うことができ、信頼性の向上を図ることができるという効果を奏するものである。
第４　むすび
　したがって、本件出願の請求項１ないし請求項６に係る発明は、引用例記載の発明でないばかりでなく、引用例記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　また、他に本件出願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。