【事件の表示】
　特許第３１３０９８７号「アルミナセラミックスおよびその製造方法」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３１３０９８７号の訂正後の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第3130987号の請求項1及び2に係る発明についての出願は、平成3年11月29日に特許出願され、平成12年11月17日にその特許権の設定登録がなされたものである。
　これに対して、森田昭司及び東芝セラミックス株式会社から特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成14年4月2日付けで訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
２−１．訂正の内容
　本件訂正請求の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおり、すなわち次の訂正事項ａ〜ｑのとおりに訂正するものである。
（１）訂正事項ａ：請求項2を削除すると共に、請求項1の「Ａｌ2Ｏ3含有量が99.8重量％以上」を「Ａｌ2Ｏ3含有量が99.95重量％以上」と、「焼結体の平均結晶粒子径が2μｍ以上であり」を「焼結体の平均結晶粒子径が5μｍ以上、8.4μｍ以下であり」と、また「特徴とするアルミナセラミックス」を「特徴とする銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックス」とそれぞれ訂正して、請求項1を次のとおりとする。
「【請求項1】Ａｌ2Ｏ3含有量が99.95重量％以上、焼結体の平均結晶粒子径が5μｍ以上、8.4μｍ以下であり、1400℃におけるクリープ速度が2.5×10-3／時間以下であることを特徴とする銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックス。」
（２）訂正事項ｂ：明細書の段落【0001】の「アルミナセラミックスに関する。」を「銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックスに関する。」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ：明細書の段落【0010】の「本発明はＡｌ2Ｏ3含有量が99.8重量％以上で、焼結体の平均結晶粒子径が2μｍ以上として、1400℃でのクリープ速度2.5×10-3／時間以下の耐クリープ性、耐食性の高い高純度アルミナセラミックスを得るようにしたものである。」を「本発明の銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックスは、Ａｌ2Ｏ3含有量が99.95重量％以上、焼結体の平均結晶粒子径が5μｍ以上、8.4μｍ以下であり、1400℃でのクリープ速度2.5×10-3／時間以下であることを特徴とする。」と訂正する。
（４）訂正事項ｄ：明細書の段落【0011】の「本発明においてＡｌ2Ｏ3含有量が99.8重量％以上としたのは、アルミナ含有量が99.8重量％より少ないと、耐クリープ性、耐食性が低くなるとともに、不純物が多くなるためであり、好ましくは99.9重量％以上が望ましい。また、Ａｌ2Ｏ3以外には、焼結助剤として0.2重量％以下、好ましくは0.1重量％以下のＳｉＯ2、ＭｇＯ、ＣａＯを少なくとも一種含有している。」を「本発明においてＡｌ2Ｏ3含有量が99.95重量％以上としたのは、アルミナ含有量が99.95重量％より少ないと、耐クリープ性、耐食性が低くなるとともに、不純物が多くなるためであり、また、Ａｌ2Ｏ3以外には、焼結助剤としてＳｉＯ2、ＭｇＯ、ＣａＯを少なくとも一種含有している。」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ：明細書の段落【0012】の「本発明において焼結体の平均結晶粒子径を2μｍ以上としたのは、平均結晶粒子径を2μｍより小さいと耐クリープ性、耐食性が悪くなるためであり、好ましくは5μｍ以上が望ましい。一方、平均結晶粒子径を大きくするとアルミナセラミックスの曲げ強度が低下する傾向があり、通常の構造部材として用いるためには焼結体の平均結晶粒子径40μｍ以下、好ましくは30μｍ以下がよい。」を「本発明において焼結体の平均結晶粒子径を5μｍ以上としたのは、平均結晶粒子径を5μｍより小さいと耐クリープ性、耐食性が悪くなるためである。一方、平均結晶粒子径を大きくするとアルミナセラミックスの曲げ強度が低下する傾向があり、通常の構造部材として用いるためには焼結体の平均結晶粒子径は小さい方が良く、好ましくは8.4μｍ以下がよい。」と訂正する。
（６）訂正事項ｆ：明細書の段落【0015】の「本発明は、Ａｌ2Ｏ3含有量を99.8重量％以上と多くし、ガラス層を形成する焼結助剤の含有量を0.2重量％以下と少なくする」を「本発明は、Ａｌ2Ｏ3含有量を99.95重量％以上と多くし、ガラス層を形成する焼結助剤の含有量を少なくする」と訂正し、また、「ガラス層が少なく、かつ焼結体の平均結晶粒子径を2μｍ以上と大きくしたことによって、耐クリープ性を高めることができる。」を「ガラス層が少なく、かつ焼結体の平均結晶粒子径を5μｍ以上と大きくしたことによって、耐クリープ性を高めることができる。」と訂正する。
（７）訂正事項ｇ：明細書の段落【0017】の「このようにＡｌ2Ｏ3含有量を99.8重量％以上と多くし」を「このようにＡｌ2Ｏ3含有量を99.95重量％以上と多くし」と訂正し、また、「昇温開始から降温終了までの焼成時間を30時間以上として、平均結晶粒子径が2μｍ以上となるまで焼成すればよい。」を「昇温開始から降温終了までの焼成時間を30時間以上として、平均結晶粒子径が5μｍ以上となるまで焼成すればよい。」と訂正する。
（８）訂正事項ｈ：明細書の段落【0021】の【表1】の「焼成温度1500℃の例」及び「焼成温度1700℃（ガス炉）の例」を「本発明」の欄から「比較例」の欄に移すように訂正する。
（９）訂正事項ｉ：明細書の段落【0022】の「および焼成温度1500℃以上では平均結晶粒子径2μｍ以上とでき、さらに焼成温度1600℃以上とすれば平均結晶粒子径5μｍ以上とできることがわかる。」を「および焼成温度1600℃以上とすれば平均結晶粒子径5μｍ以上とできることがわかる。」と訂正する。
（１０）訂正事項ｊ：明細書の段落【0023】の「上記の結果から、焼結体の平均結晶粒子径を2μｍ以上とすればこの要求特性を満たすことがわかる。」を「上記の結果から、焼結体の平均結晶粒子径を5μｍ以上とすればこの要求特性を満たすことがわかる。」と訂正する。
（１１）訂正事項ｋ：明細書の段落【0024】の「そのためには平均結晶粒子径40μｍ以下、好ましくは30μｍ以下とする必要がある。」を「そのためには平均結晶粒子径8.4以下とすることが好ましい。」と訂正する。
（１２）訂正事項ｌ：明細書の段落【0027】の【表2】の「Ａｌ2Ｏ3含有量99.8重量％の例」及び「Ａｌ2Ｏ3含有量99.9重量％の例」を「本発明」の欄から「比較例」の欄に移すように訂正する。
（１３）訂正事項ｍ：明細書の段落【0030】〜【0033】の「実験例3」を削除する。
（１４）訂正事項ｎ：明細書の段落【0034】（訂正後の【0030】）の「実験例4」を「実験例3」と訂正し、「表4に示すさまざまなアルミナセラミックスで形成して」を「表3に示すさまざまなアルミナセラミックスで形成して」と訂正し、また、「結果は表4に示す通りである。」を「結果は表3に示す通りである。」と訂正する。
（１５）訂正事項ｏ：明細書の段落【0035】（訂正後の【0031】）の【表4】を【表3】に、そして、表中の「Ａｌ2Ｏ3含有量99.9重量％の例」を「本発明」の欄から「比較例」の欄に移すように訂正する。
（１６）訂正事項ｐ：明細書の段落【0036】（訂正後の【0032】）の「比較例であるＡｌ2Ｏ3含有量99.5重量％と低いもの」を「比較例であるＡｌ2Ｏ3含有量が99.95重量％より低いもの」と訂正し、また、「ウラン濃縮用セラミックチューブとして、Ａｌ2Ｏ3含有量99.8重量％以上で、かつ平均結晶粒子径2μｍ以上の本発明のアルミナセラミックスを用いれば、特に優れた効果を奏することがわかる。」を「ウラン濃縮用セラミックチューブとして、Ａｌ2Ｏ3含有量99.95重量％以上で、かつ平均結晶粒子径5μｍ以上の本発明のアルミナセラミックスを用いれば、特に優れた効果を奏することがわかる。」と訂正する。
（１７）訂正事項ｑ：明細書の段落【0037】〜【0038】（訂正後の【0033】）の【発明の効果】を「叙上のように、本発明の銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックスによれば、Ａｌ2Ｏ3含有量を99.95重量％以上、焼結体の平均結晶粒子径を5μｍ以上、8.4μｍ以下とし、かつ1400℃におけるクリープ速度を2.5×10-3／時間以下としたことから、耐食性、耐クリープ性を極めて高くすることができ、長時間良好に使用することができる。」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項2を削除すると共に、請求項1の記載を技術的に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　上記訂正事項ｂ〜ｑは、特許請求の範囲の減縮に伴って明細書の記載を請求項1の内容と整合させるものであるから、誤記の訂正及び明りょうでない記載の釈明に該当する。
　そして、上記訂正事項ａ〜ｑは、いずれも願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであるから新規事項の追加に該当せず、また実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
２−３．まとめ
　したがって、上記訂正は、平成6年改正法附則第6条第1項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第120条の4第3項において準用する平成6年改正法による改正前の特許法第126条第1項ただし書、第2項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについて
３−１．本件訂正発明
　上記訂正は、これを認容することができるから、本件訂正後の請求項1に係る発明（以下、「本件訂正発明1」という）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項1に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項1】Ａｌ2Ｏ3含有量が99.95重量％以上、焼結体の平均結晶粒子径が5μｍ以上、8.4μｍ以下であり、1400℃におけるクリープ速度が2.5×10-3／時間以下であることを特徴とする銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックス。」
３−２．引用刊行物の記載内容
　当審で通知した取消理由で引用した刊行物1及び参考資料1には、それぞれ次の事項が記載されている。
（１）引用例1：「セラミックデータブック　1991【工業と製品Ｎｏ．73】」工業製品技術協会発行、平成3年8月26日発行、第315頁乃至第319頁
（ａ）引用例1には、「ゾーンシンター法による長尺アルミナセラミックス−大型透光性アルミナ管など−」と題して、その第316頁左欄「表1　大型透光性アルミナ管の諸特性」には、材質がＴＰＡの特性として、アルミナ純度が「99.9％」、クリープ歪速度（1600℃）が「2×10-5（ｈ-1）」、曲げ強さが320ＭＰａ（約32ｋｇ／ｍｍ2）であると開示されている。
（ｂ）「3.1　材質の均質性
　ゾーンシンターは被焼成物が一定の温度ゾーンを通過するため、結晶組織のばらつきが少なく、高い均質性が得られる（図5）。」（第318頁左欄第1行〜第4行）
（ｃ）第318頁の「図5　焼成体位置と結晶粒径」には、ゾーンシンター技術の管（焼成体）は、管位置が上端〜下端でもその結晶粒径がほぼ26〜27μｍの範囲にあることが図示されている。
（ｄ）「3.2　寸法精度
　ゾーンシンター技術を展開させた新たな用途の一例として、ＣＶＬ（銅蒸気レーザー）用炉芯管がある。（中略）
　大型ＣＶＬアルミナ管は、ゾーンシンターによる均等加熱に加え、焼成治具設計ノウハウの蓄積により、焼成時の曲がり、つぶれ等の変形が少ない製品となっている（図6）」（第318頁左欄第12行〜同右欄第13行）
（ｅ）「3.5高温クリープ特性
　透光性アルミナレベルの材料は、通常のアルミナセラミックス（純度99.5％）より、高温でのクリープ変形が少ないため（図8）、過酷な条件での長時間使用に耐える。酸化物セラミックスの場合、高温でのクリープ変形において、粒界すべりの穴埋めとして粒内元素の拡散が発生するか、あるいは粒内元素の拡散により粒界すべりが発生する。結晶粒径を大きくすると、粒界すべりが律速され、クリープ変形しにくくなる。逆に結晶粒界に不純物が存在し融点が低くなったり、粒界に気孔が存在し粒界面積が小さくなると、クリープ変形しやすくなる。」（第319頁左欄第16行〜第27行）
（ｆ）第318頁の「図8　高温クリープ特性（1600℃、0.11Ｋｇｆ／ｍｍ）」には、「結晶粒径とクリープ歪速度」との関係が図示され、「結晶粒径」の横軸には、「10、20、30、40（μｍ）」の目盛りが表示されている。なお、10μｍ以下の横軸の目盛りには、数値が記載されていないが、横軸の目盛りの刻みからみて「1μｍ」を表示していると認められる。
　また、この図8には、上記（ｃ）に記載の「通常のアルミナセラミックス（純度99.5％）」に相当する「ＡＤＳ−１０（99.5％アルミナ）」、「ＡＤＳ−０１（99.8％アルミナ）」及び「ＴＰＡ」の3種類のアルミナセラミックスに関する「結晶粒径とクリープ歪速度との関係」を示す結果（グラフ）が図示されている。
（ｇ）「3.3　耐食性
　高純度であるため、高温使用での不純物汚染が少なく、また耐食性に優れ、弗酸による侵食も非常に少ない。」（第318頁右欄第14行〜第16行）
（２）参考資料1：「東芝セラミックス”ＴＰＡ”透光性アルミナセラミックス」の製品カタログ
「ＴＰＡ−１０」は、アルミナ含有量99.9％、平均粒径30μｍであることが開示。
３−３．当審の判断
　引用例1には、ゾーンシンター技術で製造された高純度の「大型アルミナ管」の特性や用途について記載され、これに関する引用例1の上記（ａ）〜（ｆ）の記載を総合すると、引用例1には、アルミナ純度が99.9重量％、1600℃におけるクリープ速度が2×10-5／時間の特性を有するＴＰＡがＣＶＬ（銅蒸気レーザー）用炉芯管の用途に使用されることが記載されていると云える。
　そして、この記載中の「ＴＰＡ」とは、参考資料1に徴すれば「透光性アルミナセラミックス」であることが明らかであり、「ＣＶＬ（銅蒸気レーザー）用炉芯管」とは、本件訂正発明1の「銅蒸気レーザーのセラミックチューブ」と云えるものである。また、引用例1の上記（ｆ）の図8の記載によれば、1600℃におけるクリープ速度が2×10-5／時間の「ＴＰＡ」は、その結晶粒径がほぼ40μｍであると読みとれるから、引用例1の上記記載を本件訂正発明1の記載ぶりに則って整理すると、引用例1には、「Ａｌ2Ｏ3含有量が99.9重量％、焼結体の結晶粒径が約40μｍであり、1600℃におけるクリープ速度が2×10-5／時間であることを特徴とする銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックス」の発明（以下、「引用例1発明」という）が記載されていると云える。
　そこで、本件訂正発明1と引用例1発明とを対比すると、両者は、「高純度アルミナセラミックスからなる銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックス」という点で一致し、その「高純度アルミナセラミックス」の特性の点、すなわち次の具体的な特性の点で相違していると云える。
相違点：本件訂正発明1の「高純度アルミナセラミックス」は、「Ａｌ2Ｏ3含有量が99.95重量％以上、結晶粒径が5μｍ以上、8.4μｍ以下、1400℃におけるクリープ速度が2.5×10-3／時間以下」という特性のものであるのに対し、引用例1発明の「高純度アルミナセラミックス」は、「Ａｌ2Ｏ3含有量が99.9重量％、結晶粒径が約40μｍ、1600℃におけるクリープ速度が2×10-5／時間」という特性のものである点
　次に、これら特性の点について順次検討する。
（イ）「Ａｌ2Ｏ3含有量（アルミナの純度）」について
　アルミナの純度については、引用例1の上記（ｅ）に「逆に結晶粒界に不純物が存在し融点が低くなったり、粒界に気孔が存在し粒界面積が小さくなると、クリープ変形しやすくなる。」と記載され、耐クリープ変形のためには不純物が存在しない高純度の方が良いと教示されている。また、引用例1の上記（ｆ）の図8には、「ＡＤＳ−１０（99.5％アルミナ）」、「ＡＤＳ−０１（99.8％アルミナ）」及び「ＴＰＡ（99.9％アルミナ）」の3種類のアルミナセラミックスについて、その1600℃のクリープ速度は純度の高いアルミナセラミックスの方がより小さい値を示すことも教示されており、さらに、引用例1の上記（ｇ）には、高純度であれば耐食性にも優れていると記載されている。
　そうであれば、引用例1には、不純物の少ないより高純度のアルミナセラミックスの方が耐クリープ性や耐食性を改善する（クリープ速度を小さくする）ことが既に教示されていると云えるから、アルミナの純度を「99.9％」から高々0.05％高い「99.95％以上」とすることは、引用例1に接した当業者にとって容易に想到することができたと云うべきである。
（ロ）「アルミナセラミックス焼結体の結晶粒径」について
　この「結晶粒径」の限定理由は、本件訂正明細書の段落【0012】の「本発明ではこのような高純度アルミナセラミックスに対して結晶粒径を大きくすることにより、特に耐食性、耐クリープ性を高められることを見出したのである。なお、本発明において焼結体の平均結晶粒子径を5μｍ以上としたのは、平均結晶粒子径が5μｍより小さいと耐クリープ性、耐食性が悪くなるためである。一方、平均結晶粒子径を大きくするとアルミナセラミックスの曲げ強度が低下する傾向があり、通常の構造部材として用いるためには焼結体の平均結晶粒子径は小さい方が良く、好ましくは8.4μｍ以下がよい。」（訂正明細書段落【0012】）という記載によれば、結晶粒径を大きくすることによって特に耐食性、耐クリープ性を高め、「5μｍ以上、8.4μｍ以下」と限定することによって通常の構造部材としての曲げ強度を確保するというものであると云える。
　しかしながら、引用例1の上記（ｅ）には、「結晶粒径を大きくすると、粒界すべりが律速され、クリープ変形しにくくなる。」と記載され、引用例1の上記（ｆ）の図8等にも、具体的な結晶粒径の数値とクリープ速度との関係が図示されているから、本件訂正発明1の主要な技術的事項、すなわち「本発明ではこのような高純度アルミナセラミックスに対して結晶粒径を大きくすることにより、特に耐食性、耐クリープ性を高められることを見出した」という知見や、結晶粒径の限定の目安となる具体的な数値とクリープ速度との関係については、既に引用例1によって知られていると云うべきである。
　すなわち、引用例1の図8の横軸（結晶粒径）には、約1μｍから約40μｍまでの目盛りがプロットされており、しかも、図8のアルミナ純度99.9％の「ＴＰＡ」の結果によれば、約5μｍ近傍の結晶粒径ではクリープ速度が最大約「10-3／時間」であり、このクリープ速度が結晶粒径の増大につれて直線的に減少する傾向を示し、約40μｍ近傍の結晶粒径では約「10-5／時間」であるという事実が認められる。また、引用例1の上記（ａ）の「表1　ＴＰＡ」の特性には、「曲げ強さが320ＭＰａ（約32ｋｇ／ｍｍ2）」とも記載されているから、「曲げ強度」がＴＰＡの特性の一つとして考慮されていることは明らかであり、そして焼結体の曲げ強度は、その結晶粒径が大きくなれば低下するという事実も一般に知られた事項である。
　そうすると、本件訂正発明1でいうところの結晶粒径を決めるための視点、すなわち結晶粒径とクリープ速度との関係や曲げ強度については引用例1に記載又は示唆されていると云えるから、引用例1の図8の「約5μｍから約40μｍ」の範囲におけるクリープ速度の減少傾向の結果をみた当業者であれば、上記視点に関する引用例1の記載を参考に実験をすれば、結晶粒径と曲げ強度との一般的な事実を考慮して、「約5μｍから約40μｍ」の範囲から「5μｍ以上、8.4μｍ以下」の結晶粒径の焼結体を選択することも適宜容易になし得たことと云うべきである。
　なお、本件訂正発明1では、結晶粒径が「5μｍ以上、8.4μｍ以下」と限定されているが、その上限「8.4μｍ以下」の数値については、本件特許明細書の表1に偶々例示されていた一実施例の数値を根拠としているだけであり、訂正前の本件特許明細書の「なお、本発明において焼結体の平均結晶粒子径を2μｍ以上としたのは、平均結晶粒子径が2μｍより小さいと耐クリープ性、耐食性が悪くなるためであり、好ましくは5μｍ以上が望ましい。一方、平均結晶粒子径を大きくするとアルミナセラミックスの曲げ強度が低下する傾向があり、通常の構造部材として用いるためには焼結体の平均結晶粒径40μｍ以下、好ましくは30μｍ以下がよい。」（段落【0012】）という記載に照らしても、その上限「8.4μｍ以下」に格別の臨界的な根拠があるとは云えないから、上記のとおり判断するのが相当であると云える。
（ハ）「クリープ速度」について
　「クリープ速度」とは、一般にその焼結体の特性（物性）を示す一つの尺度というものであり、本件訂正発明1の場合には、アルミナセラミックスの「成分組成（Ａｌ2Ｏ3含有量）」や「結晶粒径」という客観的な構成要件に起因して発現される焼結体それ自体の「属性」の一つと云うべきものであるから、「1400℃におけるクリープ速度が2.5×10-3／時間以下」という数値自体も、本件訂正発明1のアルミナセラミックスの「属性」について、1400℃でクリープ試験の測定を行ったいわゆる「測定結果」と云うべきものである。
　そして、このような測定結果は、基本的には本件訂正発明1の効果というべきものであり、「Ａｌ2Ｏ3含有量」や「結晶粒径」という客観的な構成要件によって発現されるものであるから、本件訂正発明1の新規性や進歩性の判断は、これら「Ａｌ2Ｏ3含有量」や「結晶粒径」の構成要件に対してなされるべきである。
　そうすると、本件訂正発明1については、上記相違点（ハ）の異同についてまで判断することを要さないと云うべきであり、そして「Ａｌ2Ｏ3含有量」や「結晶粒径」という構成要件に関する上記相違点（イ）及び（ロ）については、上述したとおりである。
　因みに、本件訂正発明1の属性（効果）としての「1400℃におけるクリープ速度が2.5×10-3／時間以下」という数値について検討すると、Ａｌ2Ｏ3含有量が99.9％、結晶粒径が約40μｍの引用例1発明でも、引用例1の図8の結果によれば、1400℃より厳しい温度条件の1600℃において、本件訂正発明1よりさらに小さい「2×10-5／時間」という効果を発揮することが明らかであり、約5μｍ近傍の結晶粒径でもクリープ速度が「10-3／時間」という値であることが読みとれる。
　そうすると、本件訂正発明1の上記「1400℃におけるクリープ速度が2.5×10-3／時間以下」という数値範囲は、引用例1発明について1400℃でクリープ試験を行えば、引用例1発明でも十分に達成されている蓋然性が高いと云えるレベルのものであるから、この引用例1発明の「Ａｌ2Ｏ3含有量」や「結晶粒径」をそれぞれ「99.95％以上」や「5μｍ以上、8.4μｍ以下」とした「アルミナセラミックス」の属性（効果）としても、特に優れた属性（効果）と云う程のものではなく、そしてこのような属性の「アルミナセラミックス」とすることも引用例1の図8等のデータを参考とすれば当業者が適宜容易になし得たことと云うべきである。
　以上のとおり、本件訂正発明1の上記（イ）乃至（ハ）の特性の「アルミナセラミックス」とすることは、上記引用例1に記載された事項と周知事項に基づいて当業者が容易に想到することができたと云うべきであるから、本件訂正発明1は、上記引用例1に記載された発明と引用例1の他の記載や周知事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
４．むすび
　したがって、本件訂正発明1についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものと認める。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年８月２０日（２００２．８．２０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　本件訂正の要旨は、本件特許第３１３０９８７号発明の特許明細書を平成１４年４月２日付け訂正請求書に添付された訂正明細書のとおり、すなわち、特許請求の範囲の減縮、誤記の訂正及び明りょうでない記載の釈明を目的として、次の訂正事項（ａ）乃至（ｑ）とおりに訂正するものである。
（１）訂正事項ａ：請求項２を削除すると共に、請求項１の「Ａｌ２Ｏ３含有量が９９．８重量％以上」を「Ａｌ２Ｏ３含有量が９９，９５重量％以上」と、「焼結体の平均結晶粒子径が２μｍ以上であり」を「焼結体の平均結晶粒子径が５μｍ以上、８．４μｍ以下であり」と、また「特徴とするアルミナセラミックス」を「特徴とする銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックス」とそれぞれ訂正して、請求項１を次のとおりとする。
「【請求項１】Ａｌ２Ｏ３含有量が９９．９５重量％以上、焼結体の平均結晶粒子径が５μｍ以上、８．４μｍ以下であり、１４００℃におけるクリープ速度が２．５×１０−３／時間以下であることを特徴とする銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックス。」
（２）訂正事項ｂ：明細書の段落【０００１】の「アルミナセラミックスに関する。」を「銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックスに関する。」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ：明細書の段落【００１０】の「本発明はＡｌ２Ｏ３含有量が９９．８重量％以上で、焼結体の平均結晶粒子径が２μｍ以上として、１４００℃でのクリープ速度２．５×１０−３／時間以下の耐クリープ性、耐食性の高い高純度アルミナセラミックスを得るようにしたものである。」を「本発明の銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックスは、Ａｌ２Ｏ３含有量が９９．９５重量％以上、焼結体の平均結晶粒子径が５μｍ以上、８．４μｍ以下であり、１４００℃でのクリープ速度２．５×１０−３／時間以下であることを特徴とする。」と訂正する。
（４）訂正事項ｄ：明細書の段落【００１１】の「本発明においてＡｌ２Ｏ３含有量が９９．８重量％以上としたのは、アルミナ含有量が９９．８重量％より少ないと、耐クリープ性、耐食性が低くなるとともに、不純物が多くなるためであり、好ましくは９９．９重量％以上が望ましい。また、Ａｌ２Ｏ３以外には、焼結助剤として０．２重量％以下、好ましくは０．１重量％以下のＳｉＯ２，ＭｇＯ，ＣａＯを少なくとも一種含有している。」を「本発明においてＡｌ２Ｏ３含有量が９９．９５重量％以上としたのは、アルミナ含有量が９９．９５重量％より少ないと、耐クリープ性、耐食性が低くなるとともに、不純物が多くなるためであり、また、Ａｌ２Ｏ３以外には、焼結助剤としてＳｉＯ２，ＭｇＯ，ＣａＯを少なくとも一種含有している。」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ：明細書の段落【００１２】の「本発明において焼結体の平均結晶粒子径を２μｍ以上としたのは、平均結晶粒子径を２μｍより小さいと耐クリープ性、耐食性が悪くなるためであり、好ましくは５μｍ以上が望ましい。一方、平均結晶粒子径を大きくするとアルミナセラミックスの曲げ強度が低下する傾向があり、通常の構造部材として用いるためには焼結体の平均結晶粒子径４０μｍ以下、好ましくは３０μｍ以下がよい。」を「本発明において焼結体の平均結晶粒子径を５μｍ以上としたのは、平均結晶粒子径を５μｍより小さいと耐クリープ性、耐食性が悪くなるためである。一方、平均結晶粒子径を大きくするとアルミナセラミックスの曲げ強度が低下する傾向があり、通常の構造部材として用いるためには焼結体の平均結晶粒子径は小さい方が良く、好ましくは８．４μｍ以下がよい。」と訂正する。
（６）訂正事項ｆ：明細書の段落【００１５】の「本発明は、Ａｌ２Ｏ３含有量を９９．８重量％以上と多くし、ガラス層を形成する焼結助剤の含有量を０．２重量％以下と少なくする」を「本発明は、Ａｌ２Ｏ３含有量を９９．９５重量％以上と多くし、ガラス層を形成する焼結助剤の含有量を少なくする」と訂正し、また、「ガラス層が少なく、かつ焼結体の平均結晶粒子径を２μｍ以上と大きくしたことによって、耐クリープ性を高めることができる。」を「ガラス層が少なく、かつ焼結体の平均結晶粒子径を５μｍ以上と大きくしたことによって、耐クリープ性を高めることができる。」と訂正する。
（７）訂正事項ｇ：明細書の段落【００１７】の「このようにＡｌ２Ｏ３含有量を９９．８重量％以上と多くし」を「このようにＡｌ２Ｏ３含有量を９９．９５重量％以上と多くし」と訂正し、また、「昇温開始から降温終了までの焼成時間を３０時間以上として、平均結晶粒子径が２μｍ以上となるまで焼成すればよい。」を「昇温開始から降温終了までの焼成時間を３０時間以上として、平均結晶粒子径が５μｍ以上となるまで焼成すればよい。」と訂正する。
（８）訂正事項ｈ：明細書の段落【００２１】の【表１】の「焼成温度１５００℃の例」及び「焼成温度１７００℃（ガス炉）の例」を「本発明」の欄から「比較例」の欄に移すように訂正する。
（９）訂正事項ｉ：明細書の段落【００２２】の「および焼成温度１５００℃以上では平均結晶粒子径２μｍ以上とでき、さらに焼成温度１６００℃以上とすれば平均結晶粒子径５μｍ以上とできることがわかる。」を「および焼成温度１６００℃以上とすれば平均結晶粒子径５μｍ以上とできることがわかる。」と訂正する。
（１０）訂正事項ｊ：明細書の段落【００２３】の「上記の結果から、焼結体の平均結晶粒子径を２μｍ以上とすればこの要求特性を満たすことがわかる。」を「上記の結果から、焼結体の平均結晶粒子径を５μｍ以上とすればこの要求特性を満たすことがわかる。」と訂正する。
（１１）訂正事項ｋ：明細書の段落【００２４】の「そのためには平均結晶粒子径４０μｍ以下、好ましくは３０μｍ以下とする必要がある。」を「そのためには平均結晶粒子径８．４以下とすることが好ましい。」と訂正する。
（１２）訂正事項ｌ：明細書の段落【００２７】の【表２】の「Ａｌ２Ｏ３含有量９９．８重量％の例」及び「Ａｌ２Ｏ３含有量９９．９重量％の例」を「本発明」の欄から「比較例」の欄に移すように訂正する。
（１３）訂正事項ｍ：明細書の段落【００３０】〜【００３３】の「実験例３」を削除する。
（１４）訂正事項ｎ：明細書の段落【００３４】（訂正後の【００３０】）の「実験例４」を「実験例３」と訂正し、「表４に示すさまざまなアルミナセラミックスで形成して」を「表３に示すさまざまなアルミナセラミックスで形成して」と訂正し、また、「結果は表４に示す通りである。」を「結果は表３に示す通りである。」と訂正する。
（１５）訂正事項ｏ：明細書の段落【００３５】（訂正後の【００３１】）の【表４】を【表３】に、そして、表中の［Ａｌ２Ｏ３含有量９９．９重量％の例」を「本発明」の欄から「比較例」の欄に移すように訂正する。
（１６）訂正事項ｐ：明細書の段落【００３６】（訂正後の【００３２】）の「比較例であるＡｌ２Ｏ３含有量９９．５重量％と低いもの」を「比較例であるＡｌ２Ｏ３含有量が９９．９５重量％より低いもの」と訂正し、また、「ウラン濃縮用セラミックチューブとして、Ａｌ２Ｏ３含有量９９．８重量％以上で、かつ平均結晶粒子径２μｍ以上の本発明のアルミナセラミックスを用いれば、特に優れた効果を奏することがわかる。」を「ウラン濃縮用セラミックチューブとして、Ａｌ２Ｏ３含有量９９．９５重量％以上で、かつ平均結晶粒子径５μｍ以上の本発明のアルミナセラミックスを用いれば、特に優れた効果を奏することがわかる。」と訂正する。
（１７）訂正事項ｑ：明細書の段落【００３７】〜【００３８】（訂正後の【００３３】）の【発明の効果】を「叙上のように、本発明の銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックスによれば、Ａｌ２Ｏ３含有量を９９．９５重量％以上、焼結体の平均結晶粒子径を５μｍ以上、８．４μｍ以下とし、かつ１４００℃におけるクリープ速度を２．５×１０−３／時間以下としたことから、耐食性、耐クリープ性を極めて高くすることができ、長時間良好に使用することができる。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックス
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】Ａｌ２Ｏ３含有量が
９９．９５
５μｍ以上、８．４μｍ以下
銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、耐食性および耐クリープ性の高いアルミナセラミックスからなる銅蒸気レーザー用セラミックチューブに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　ファインセラミックスは金属に比べ、耐摩耗性、耐食性、耐熱性に優れる等の理由で近年種々の構造部品として用いられており、例えば、アルミナセラミックスは、その耐食性を利用してケミカルポンプ部品や医療機器部品などに多く利用されている。このアルミナセラミックスは、Ａｌ２Ｏ３を主成分とし、焼結助剤としてＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＣａＯなどを含有したものであって、例えば粒子径が数μｍのＡｌ２Ｏ３原料９９重量％と、残部がＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＣａＯなどからなるセラミック原料を造粒した後、所定形状に成形し、１５００〜１６００℃で焼成することによって、平均結晶粒子径２０〜４０μｍのアルミナセラミックスを得ることができた。
　【０００３】
　さらに、特公昭６３−６６７９５号、特公平３−５１２４４号公報などに示されるように、Ａｌ２Ｏ３含有量を９９．６〜９９．９重量％とし、残部がＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＣａＯなどからなる高純度アルミナセラミックスも用いられており、このような高純度アルミナセラミックスは耐摩耗性が高く、不純物含有量も少ないために装置内での不純物混入を防止できるという点で金属材料に対して大きな利点があり、化学反応が発生する部位などにも利用されている。例えば、原子力エネルギー燃料であるウランの濃縮にも、最近積極的に利用されるようになってきた。
　【０００４】
　ウランの濃縮方法には既に実用化されているガス拡散法（ウラン２３５と２３８を六フッカウラン分子として多孔質膜を用いて分離）、遠心分離法（六フッカウランを遠心分離機にかけ高速回転により分離）や研究・開発中である化学法（ウランを酸に溶解しウラン２３５と２３８の酸化還元反応の違いを利用し分離）、分子レーザー法（六フッカウランにレーザー光を照射しフッ素が取れた２３５とそのままの２３８を分離）、原子レーザー法（特定の波長のレーザーを照射しウラン２３５のみをイオン化し電場をかけて分離）などがある。この中で化学法は高効率であるが、プラントがかなり大きなものとなるため実用化が困難である。またガス拡散法については最も古くから行われているが低効率であり、他の方法に転換されつつある。さらに、遠心分離法については現在最も盛んに行われているが、ガス拡散法には優るものの依然低効率であり、ガス拡散法と同様にウランを必要な濃縮度に上げるためには濃縮操作の繰り返しが必要となる。そのため効率の高いレーザー濃縮法の実用化が課題となっている。
　【０００５】
　レーザー濃縮法の一つである原子レーザー法は、ウラン２３５だけに吸収される特定波長のレーザー光をウランに照射し、ウラン２３５のみをイオン化した後電場を発生させ、電極に回収しようというものである。ここでレーザー光は波長が変えられる色素レーザーとして、銅蒸気レーザー（ＣＶＬ）が主として用いられる。この銅蒸気レーザーは円筒状のセラミックチューブの内部でネオンガスをパルス放電させ、その放電によりチューブ内部を１４００〜１６００℃に上げ、高純度の銅を溶解、蒸発させてレーザー光を発生させるようになっている。
　【０００６】
　このセラミックチューブに要求される特性は、▲１▼高温下で使用時に変形（高温クリープ）しないこと、▲２▼不純物による放電への影響を極力防止するために高純度であること等である。そこでＡｌ２Ｏ３含有量９９．９重量％程度の高純度アルミナセラミックスが用いられてきた。
　【０００７】
　【発明が解決しようとする課題】
　ところが、このようなＡｌ２Ｏ３含有量の高い高純度アルミナセラミックスは、焼結助剤となるＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＣａＯなどの含有量が極めて少ないため、焼結しにくいものであった。そこで、この難焼結性を改善するため、共沈法、アルコキシド法などの化学合成法によるアルミナ原料が開発され、実用的な温度域（１３００〜１７００℃）での焼結が可能となり、この原料により原子レーザー法に必要な高純度アルミナセラミックス製チューブを作製していた。
　【０００８】
　しかしながら、この原料は焼結性の改善のために一次原料の粒子径を０．４〜０．５μｍと非常に小さくしており、その結果得られたアルミナセラミックスは、結晶粒子径が２μｍ以下、さらには１μｍ以下と極めて小さいものであり、その結果高温クリープが発生し易いという問題点があった。また、上記原子レーザー法に用いるセラミックス製チューブは、直径１００ｍｍ、長さ３ｍ程度の長尺物であり、高温で使用されることから自重で変形しやすく、数回の使用で使用不能となるため原子レーザー法の実用化を妨げていた。
　【０００９】
　また、このような結晶粒子径の小さいアルミナセラミックスは、耐食性も悪くなり、ケミカルポンプや医療機器などの分野に用いる場合は問題があった。
　【００１０】
　【課題を解決するための手段】
　以上に鑑み、本発明の銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックスは、Ａｌ２Ｏ３含有量が９９．９５重量％以上、焼結体の平均結晶粒子径が５μｍ以上、８．４μｍ以下であり、１４００℃におけるクリープ速度が２．５×１０−３／時間以下であることを特徴とする。
　【００１１】
　なお、本発明においてＡｌ２Ｏ３含有量を９９．９５重量％以上としたのは、アルミナ含有量が９９．９５重量％より少ないと、耐クリープ性、耐食性が低くなるとともに、不純物が多くなるためであり、また、Ａｌ２Ｏ３以外には、焼結助剤としてＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＣａＯを少なくとも一種含有している。
　【００１２】
　さらに、前記したように、このような高純度アルミナセラミックスは、一次原料の粒子径を小さくする必要があるため、焼結体の結晶粒子径も小さくなる傾向があるが、本発明ではこのような高純度アルミナセラミックスに対して結晶粒子径を大きくすることにより、特に耐食性、耐クリープ性を高められることを見出したのである。なお、本発明において焼結体の平均結晶粒子径を５μｍ以上としたのは、平均結晶粒子径が５μｍより小さいと耐クリープ性、耐食性が悪くなるためである。一方、平均結晶粒子径を大きくするとアルミナセラミックスの曲げ強度が低下する傾向があり、通常の構造部材として用いるためには焼結体の平均結晶粒子径は小さい方が良く、好ましくは８．４μｍ以下がよい。
　【００１３】
　ここで、本発明のアルミナセラミックスが、耐食性、耐クリープ性を高められるメカニズムを説明する。即ち、通常アルミナセラミックスは、Ａｌ２Ｏ３結晶と、ＳｉＯ２、ＣａＯ、ＭｇＯなどの焼結助剤からなるガラス質マトリックス層から構成される。そして、薬品中などでは、このガラス層が浸食されて溶出し、Ａｌ２Ｏ３粒子の脱落などに結びつくため、アルミナセラミックスの耐食性を高めるためには、このガラス層をできるだけ少なくすればよい。
　【００１４】
　一方アルミナセラミックスに一定荷重を長時間加え続けたような場合は、次第にＡｌ２Ｏ３結晶に粒界すべりが生じてクリープが生じてしまう。そのため、耐クリープ性を高めるためには、粒界すべりの原因となるガラス層をできるだけ少なくすればよい。また、この粒界すべりはＡｌ２Ｏ３結晶の粒子径とも関係し、粒子径が大きいほど各結晶のズレが発生しにくいため、粒界すべりが少なく、耐クリープ性を高めることができることを見出したのである。
　【００１５】
　そこで、本発明は、Ａｌ２Ｏ３含有量を９９．９５重量％以上と多くし、ガラス層を形成する焼結助剤の含有量を少なくするとともに、焼成温度を高くしてＡｌ２Ｏ３結晶を成長させて結晶粒子径を大きくし、その過程において焼結助剤をＡｌ２Ｏ３結晶中に固溶させることによって、よりガラス層を少なくしたものである。このように、本発明のアルミナセラミックスは、ガラス層を極力少なくしたものであり、その結果耐食性を高めることができる。また、ガラス層が少なく、かつ焼結体の平均結晶粒子径を５μｍ以上と大きくしたことによって、耐クリープ性を高めることができる。
　【００１６】
　また、本発明のアルミナセラミックスは、このような構成により、１４００℃でのクリープ速度を２．５×１０−３／Ｈｒ以下としたものであるが、クリープ速度が２．５×１０−３／Ｈｒよりも大きいと、例えばウラン濃縮用セラミックチューブに用いる場合に、極端に寿命が低くなってしまうためである。ここでクリープ速度とは、４点曲げ試験機を用いてセラミックテストピースに一定応力を加えた状態での、時間当たりのテストピースの歪み量であり、計算式は、
　　ε＝｛６ｄ／（Ｌ−ｌ）・（Ｌ＋２ｌ）｝・Ｄ
　　ε：歪み量
　　ｄ：試料の幅
　　Ｌ：下部治具スパン
　　ｌ：上部治具スパン
　　Ｄ：測定たわみ量
で得られる歪み量εを時間で割ったものである。また、本発明では応力は１．５ｋｇ／ｍｍ２とし、ｄ＝４．０ｍｍ、Ｌ＝３０ｍｍ、ｌ＝１０ｍｍとした。
　【００１７】
　なお、このようにＡｌ２Ｏ３含有量を９９．９５重量％以上と多くし、焼結助剤を少なくしたものは焼結性が悪いため、完全な焼結体を得ることが困難である。そこで、本発明では、共沈法、アルコキシド法などの化学合成法によって平均粒子径１μｍ以下の微小な一次原料を用意し、この原料に所定のバインダーを添加混合した後、造粒し、プレス成形等で所定形状に成形する。その後、最高焼成温度１５００℃以上、好ましくは１６００℃以上で、昇温開始から降温終了までの焼成時間を３０時間以上として、焼結体の平均結晶粒子径が５μｍ以上となるまで焼成すればよい。このとき、一次原料の粒子径が小さいため、粒子の活性化エネルギーが高く、焼結性を高めることができる。また、一次原料の粒子径が小さいことから、焼結体の結晶粒子径も小さくなりがちであるが、焼成温度を高くするか、または焼成時間を長くすることによって、Ａｌ２Ｏ３結晶を成長させればよい。
　【００１８】
　【実施例】
　以下本発明の実施例を説明する。
　【００１９】
実験例１
　まず、アルミナセラミックスの平均結晶粒子径と耐クリープ性の関係について調べる実験を行った。Ａｌ２Ｏ３含有量９９．９５重量％で、残部の０．０５重量％がＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＣａＯなどからなり、平均粒子径０．４〜０．５μｍの一次原料にＰＶＡ、ＰＥＧ等のバインダを添加し、スプレードライヤーにより造粒した。これを１ｔｏｎ／ｃｍ２の成形圧力で、ＪＩＳ　Ｒ１６０１に基づくテストピース形状にプレス成形した後、電気炉を用いて、酸化雰囲気中、最高焼成温度１３００〜１７００℃で、昇温開始から降温終了までの焼成時間４０時間として焼成した。得られた焼結体の平均結晶粒子径、曲げ強度、クリープ速度を測定した結果を表１に示す。また、焼成温度と平均結晶粒子径の関係を図１に、平均結晶粒子径とクリープ速度との関係を図２にそれぞれ示す。
　【００２０】
　なお、平均結晶粒子径は、焼結体の表面を画像処理装置（ルーゼックス）で分析して求めたものである。また、クリープ速度は、前記したように４点曲げ試験機を用いてセラミックテストピースに一定応力を加えた状態での、時間当たりのテストピースの歪み量を求めた。
　【００２１】
　【表１】
　【００２２】
　上記表１および図１の結果より明らかに、焼成温度を高くするほど焼結体の平均結晶粒子径を大きくすることができること、および焼成温度１６００℃以上とすれば平均結晶粒子径５μｍ以上とできることがわかる。
　【００２３】
　また、表１および図２の結果より、結晶粒子径を大きくすればクリープ速度が遅くなり、耐クリープ性を高められることもわかる。ここで、原子レーザー法によるウラン濃縮において用いるセラミック製チューブに求められる特性は、１４００℃におけるクリープ速度が２．５×１０−３／時間以下であることが望ましいが、上記結果から、焼結体の平均結晶粒子径を５μｍ以上とすればこの要求特性を満たすことがわかる。
　【００２４】
　もちろん耐クリープ性は高いほど良いが、結晶粒子径の増大化に伴い、曲げ強度が低下するため、結晶粒子径の選択に当たっては必要な曲げ強度との兼ね合いで決定する必要がある。実際には、構造部材として用いるためには曲げ強度１０ｋｇ／ｍｍ２以上必要であり、そのためには平均結晶粒子径８．４以下とすることが好ましい。
　【００２５】
　なお、この実験例では、焼成温度を高くすることによって平均結晶粒子径を大きくしたが、焼成時間を長くして平均結晶粒子径を大きくすることも可能である。
　【００２６】
実験例２
　次に、Ａｌ２Ｏ３含有量とクリープ速度との関係を調べる実験を行った。上記実験例１と同様にして、アルミナ含有量を変化させたときのクリープ速度を調べた。結果は表２に示す通りである。
　【００２７】
　【表２】
　【００２８】
　この結果より明らかに、Ａｌ２Ｏ３含有量を高くするにしたがってクリープ速度が遅くなり、耐クリープ性が向上することがわかる。また、上記したようにウラン濃縮において用いるセラミック製チューブに必要な要求特性である、１４００℃におけるクリープ速度を２．５×１０−３／時間以下とするためには、Ａｌ２Ｏ３含有量９９．８重量％以上とすればよいこともわかる。
　【００２９】
　このように、Ａｌ２Ｏ３含有量は耐クリープ性に関係が深い。これはＳｉＯ２、ＭｇＯ、ＣａＯなどのＡｌ２Ｏ３以外の成分が多いものは、それらが焼結助剤として作用するため比較的容易に結晶粒径の大きな焼結体を得られるが、これらの成分は通常Ａｌ２Ｏ３結晶粒界にガラス相として生成するため、高温で軟化しやすく、耐クリープ性の劣化を招くためである。また、Ａｌ２Ｏ３含有量の高いセラミックスは不純物が少ないため、ウラン濃縮用のセラミックチューブとして用いると不要な放電現象を防止できる効果もある。
　【００３０】
実験例３
　次に、本発明および比較例のアルミナセラミックスを用いて、前記ウラン濃縮用のセラミックチューブを形成した。セラミックチューブは直径１００ｍｍ、長さ３ｍの円筒状とし、表３に示すさまざまなアルミナセラミックスで形成して、原子レーザー法によるウラン濃縮用セラミックチューブとして用いた。それぞれ、セラミックチューブが変形して使用不可能となるまでの時間を比較した（Ａｌ２Ｏ３　９９．５重量％で平均結晶粒子径１０μｍのものを１とした場合の比で表した）。結果は表３に示す通りである。
　【００３１】
　【表３】
　【００３２】
　この結果より明らかに、比較例であるＡｌ２Ｏ３含有量が９９．９５重量％より低いものや、平均結晶粒子径が１μｍと小さいものは、使用不可能となるまでの時間が短かった。これに対し、本発明実施例は、長時間の使用が可能であり優れた結果を示した。したがって、ウラン濃縮用セラミックチューブとして、Ａｌ２Ｏ３含有量９９．９５重量％以上で、かつ平均結晶粒子径５μｍ以上の本発明のアルミナセラミックスを用いれば、特に優れた効果を奏することがわかる。
　【００３３】
　【発明の効果】
　叙上のように、本発明の銅蒸気レーザーのセラミックチューブ用アルミナセラミックスによれば、Ａｌ２Ｏ３含有量を９９．９５重量％以上、焼結体の平均結晶粒子径を５μｍ以上、８．４μｍ以下とし、かつ１４００℃におけるクリープ速度を２．５×１０−３／時間以下としたことから、耐食性、耐クリープ性を極めて高くすることができ、長期間良好に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】アルミナセラミックスにおける、焼成温度と焼結体の平均結晶粒子径の関係を示すグラフである。
　【図２】アルミナセラミックスにおける、平均結晶粒子径とクリープ速度との関係を示すグラフである。