【事件の表示】
　特許第３３７６９３５号「帯状ワークの露光装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３７６９３５号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
（１）手続の経緯
　特許第３３７６９３５号の請求項１に係る発明は、平成１１年１月２５日に特許出願され、平成１４年１２月６日にその特許の設定登録がなされ、その後特許異議申立人井上博史により特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１６年８月３日に訂正請求がなされたものである。
　
（２）訂正の適否についての判断
　（ア）訂正の内容
　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１を、次のように訂正する。
「【請求項１】 
　帯状ワークの搬送と、搬送方向に直交する方向の移動を繰り返し、帯状ワークにマスクに形成されたパターンを順次に露光し、帯状ワークに複数列のマスクパターンを露光する露光装置であって、
　露光処理前の帯状ワークを収納する送り出しロール部と、露光処理後の帯状ワークを収納する巻取りロール部と、ワークステージ上の帯状ワークを帯状ワークの長手方向に搬送するワーク搬送機構と、上記送り出しロール部とワークステージの間、および上記巻取りロール部とワークステージの間に設けられ、上記帯状ワークを保持して、ワークステージ上の帯状ワークを帯状ワークの搬送方向に直交する方向に移動させるワーク移動機構と、ワーク搬送機構とワーク移動機構とを駆動制御する制御部とを備え、
　上記制御部により、
　第１列目の露光領域の露光と、
　上記ワーク移動機構による帯状ワークの搬送方向に直交する方向の次の列の露光領域への移動と、
　上記次の列への移動後の次の列の露光領域の露光と、
　ワーク搬送機構による帯状ワークの搬送方向の次の露光領域への搬送と、
　上記搬送後の次の露光領域の露光とを繰り返す
ことを特徴とする帯状ワークの露光装置。」
　
　訂正事項ｂ
　明細書の段落【０００８】を、次のように訂正する。
「【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　本発明においては、上記課題を次のようにして解決する。
（１）帯状ワークの搬送と、搬送方向に直交する方向の移動を繰り返し、帯状ワークにマスクに形成されたパターンを順次に露光し、帯状ワークに複数列のマスクパターンを露光する露光装置において、ワークステージ上の帯状ワークを帯状ワークの長手方向に搬送するワーク搬送機構に加え、送り出しロール部とワークステージの間、および巻取りロール部とワークステージの間に、上記帯状ワークを保持してワークステージ上の帯状ワークを帯状ワークの搬送方向に直交する方向に移動するワーク移動機構を設ける。
　制御部により上記ワーク搬送機構とワーク移動機構を制御して、第１列目の露光領域の露光と、上記ワーク移動機構による帯状ワークの搬送方向に直交する方向の次の列の露光領域への移動と、上記次の列への移動後の次の列の露光領域の露光と、ワーク搬送機構による帯状ワークの搬送方向の次の露光領域への搬送と、上記搬送後の次の露光領域の露光とを繰り返し、帯状ワークに複数列のマスクパターンを露光する。
　これにより、ロールの掛け替えを行なうことなく、また、装置を格別に太型化したり非常に高価な大型の投影レンズを使用することなく、１巻の帯状ワークに複数列のマスクパターンを露光することができる。
（２）露光処理前の帯状ワークを収納する送り出しロール部と、露光処理後の帯状ワークを収納する巻取りロール部を、それぞれ帯状ワークの幅方向に移動させるロール部移動機構とを設ける。
　そして、帯状ワークの搬送に際して帯状ワークにねじれが生じないようにロール部移動機構により帯状ワークを幅方向に移動させる。」
　
　（イ）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａに係る訂正は、特許請求の範囲の減縮に該当し、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではないし、新規事項の追加にも該当しない。
　
　訂正事項ｂに係る訂正は、明瞭でない記載の釈明に該当し、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではないし、新規事項の追加にも該当しない。
　
　（ウ）請求項２に係る発明の独立特許要件
「送り出しロール部と巻取りロール部のそれぞれを、帯状ワークの幅方向に移動させるロール部移動機構を備え、制御部は、ワーク搬送機構の駆動による帯状ワークの長手方向の搬送開始前に、ロール部移動機構によって送り出しロール部と巻取りロール部のそれぞれを帯状ワークの幅方向に移動する」点の構成が特許異議申立人の提出した甲第１号証および甲第２号証には記載されておらず、示唆もない。また、他に本件請求項２に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項に係る発明の特許は、出願の際、独立して特許を受けることができるものである。
　
　（エ）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
（３）特許異議の申立について
　（ア）申立の理由の概要
　申立人井上博史は、証拠として甲第１号証（特開平１０−１８７９３７号公報）、及び甲第２号証（特開平９−２３０６１０号公報）を提出し、本件請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるので、本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき旨主張している。
　
　（イ）本件請求項１に係る発明
　本件請求項１に係る発明は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】 
　帯状ワークの搬送と、搬送方向に直交する方向の移動を繰り返し、帯状ワークにマスクに形成されたパターンを順次に露光し、帯状ワークに複数列のマスクパターンを露光する露光装置であって、
　露光処理前の帯状ワークを収納する送り出しロール部と、露光処理後の帯状ワークを収納する巻取りロール部と、ワークステージ上の帯状ワークを帯状ワークの長手方向に搬送するワーク搬送機構と、上記送り出しロール部とワークステージの間、および上記巻取りロール部とワークステージの間に設けられ、上記帯状ワークを保持して、ワークステージ上の帯状ワークを帯状ワークの搬送方向に直交する方向に移動させるワーク移動機構と、ワーク搬送機構とワーク移動機構とを駆動制御する制御部とを備え、
　上記制御部により、
　第１列目の露光領域の露光と、
　上記ワーク移動機構による帯状ワークの搬送方向に直交する方向の次の列の露光領域への移動と、
　上記次の列への移動後の次の列の露光領域の露光と、
　ワーク搬送機構による帯状ワークの搬送方向の次の露光領域への搬送と、
　上記搬送後の次の露光領域の露光とを繰り返す
ことを特徴とする帯状ワークの露光装置。」
　
　（ウ）引用刊行物
　当審が平成１６年５月２８日付で通知した取消理由で引用した刊行物１〔甲第１号証（特開平１０−１８７９３７号公報）〕には、次の事項が記載されている。
「露光光を照射する光照射装置と、マスクパターン・・・が記されたマスクと、
上記マスクパターン・・・を投影する投影レンズと、
・・・帯状ワークが載置され、・・・ワークステージと、
上記帯状ワークを所定の送り量で上記ワークステージ上に搬送するとともに、ワークステージ上での帯状ワークの移動を許容するように帯状ワークを保持する搬送機構と、
・・・を備えた帯状ワークの投影露光装置」（第２頁左欄第２〜１９行）
　
「挿入・退避機構は、・・・帯状ワークをその搬送方向と略直交する方向に移動させる」（第２頁左欄第３３〜３５行）
　
「６は帯状ワークＷｂがロール状に巻かれた送り出しリール、７は露光済の帯状ワークＷｂを巻き取る巻き取リールであり、送り出しリール６から送り出された帯状ワークＷｂは案内用のローラＲ３，搬送用のローラＲ１，Ｒ２を介してワークステージ３上に搬送され、投影レンズ２の露光領域内に位置決めされる。・・・露光処理が行われ露光済帯状ワークＷｂは搬送用のローラＲ１’，Ｒ２’、案内用ローラＲ３’を介して巻き取りリール７に巻き取られる。」（第４頁左欄第１６〜２５行）
　
「ワーク吸着機構８，８’、ローラＲ１〜Ｒ３、Ｒ１’〜Ｒ３’は床面に取り付けられたレールと係合する移動機構９，９’に取り付けられており、移動機構９，９’により、これらが一体で同図紙面の前後方向に移動可能に構成されており、これらを移動させることにより、帯状ワークＷｂを・・・退避・挿入することができる。」（第４頁左欄第３５〜４１行）
　
「３１は帯状ワークの搬送を制御するワーク搬送制御機構、３２は前記図２で説明したように帯状ワークＷｂをその進行方向と直交した方向に退避させるためのワーク退避制御機構であり」（第４頁右欄第３９〜４２行）
　
「光照射装置１から露光光を放出し、マスクＭのマスクパターンを投影レンズ２を介して帯状ワークＷｂ上に投影し、帯状ワークＷｂ上にマスクパターンを露光する。
【００３０】(e)ローラＲ１，Ｒ１’を下降させ、送り出しリール６、巻き取りリール７、ローラＲ１〜Ｒ２，Ｒ１’〜Ｒ２’を駆動して帯状ワークＷｂを搬送し、帯状ワークＷｂの次のパターン領域が露光領域内に入るように位置決めする（ステップＳ１０）。なお、この際、ワークステージ３、ワーク吸着機構８，８’からエアを噴出して帯状ワークＷｂを浮かせることにより、帯状ワークＷｂをワークステージ３、ワーク吸着機構８，８’に接触させることなく搬送することができる。
(f)露光処理後」（第６頁左欄第４０行〜同頁右欄第３行）
　
　前記記載事項と図面の記載からみて、刊行物１には「帯状ワークにマスクに形成されたパターンを順次に露光し、帯状ワークにマスクパターンを露光する露光装置であって、
　露光処理前の帯状ワークを収納する送り出しリールと、露光処理後の帯状ワークを収納する巻き取りリールと、ワークステージ上の帯状ワークを帯状ワークの長手方向に搬送するワーク搬送機構と、上記送り出しリールとワークステージの間、および上記巻き取りリールとワークステージの間に設けられ、上記帯状ワークを保持して、ワークステージ上の帯状ワークを帯状ワークの搬送方向に直交する方向に移動させる挿入・退避機構と、ワーク搬送機構と挿入・退避機構とを駆動制御するワーク搬送制御機構およびワーク退避制御機構とを備えたことを特徴とする帯状ワークの露光装置。」（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されている。
　
　また、当審が平成１６年５月２８日付で通知した取消理由で引用した刊行物２〔甲第２号証（特開平９−２３０６１０号公報）〕には、次の事項が記載されている。
「図２（ａ）は、ワークＷ上に同図（ｂ）に示すパターンＰ１・・・を形成する際に使用されるマスクパターンの一例を示しており、次のようにしてパターンＰ１・・・を形成する。まず、同図（ａ）に示すマスクパターンＭＰ１を使用して、ステップ・アンド・リピート方式により、ワークＷ上に複数のパターンＰ１を形成する。」（第４頁右欄第６〜１２行）
　
「ワークＷの各サイト（ステップ・アンド・リピートによりパターンＰ１を露光する際の各露光区域）」（第５頁左欄第２１〜２３行）
　
「ＷＳＤはワークステージ駆動機構であり、ワークステージ駆動機構ＷＳＤはワークステージＷＳをＸ，Ｙ，（ワークＷの面に平行な平面上の２軸），Ｚ（Ｘ，Ｙ軸に直交する軸）方向に移動させるとともに、」（第５頁左欄第２８〜３２行）
　
「ワークＷの最初のサイトにマスクパターンＭＰ１が露光される。
【００２９】　（１０）ワークステージ駆動機構ＷＳＤによりワークステージＷＳを予め定められた所定量だけＸＹ方向に移動させ、ワークＷの第２番目のサイトが露光位置にくるようにする。
（１１）上記（４）〜（１０）の工程を繰り返し、マスクパターンＭＰ１をワークＷ上の各サイトに露光したのち、シャッタＳＨ１を閉じる。」（第６頁左欄第５〜１３行）
　
　前記記載事項と図面の記載からみて、刊行物２には、ワークをＸＹ方向（刊行物１発明における、搬送方向と搬送方向に直交する方向）に移動させて、ワークに複数列のマスクパターンを露光する点が記載されている。
　
　（エ）対比・判断
　刊行物１発明の「送り出しリール」、「巻き取りリール」、「挿入・退避機構」、及び「ワーク搬送制御機構およびワーク退避制御機構」は、本件請求項１に係る発明の「送り出しロール部」、「巻取りロール部」、「ワーク移動機構」、及び「制御部」にそれぞれ相当するものであるので、両者は「帯状ワークにマスクに形成されたパターンを順次に露光し、帯状ワークにマスクパターンを露光する露光装置であって、
　露光処理前の帯状ワークを収納する送り出しロール部と、露光処理後の帯状ワークを収納する巻取りロール部と、ワークステージ上の帯状ワークを帯状ワークの長手方向に搬送するワーク搬送機構と、上記送り出しロール部とワークステージの間、および上記巻取りロール部とワークステージの間に設けられ、上記帯状ワークを保持して、ワークステージ上の帯状ワークを帯状ワークの搬送方向に直交する方向に移動させるワーク移動機構と、ワーク搬送機構とワーク移動機構とを駆動制御する制御部とを備えたことを特徴とする帯状ワークの露光装置。」という点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点（Ａ）：
　本件請求項１に係る発明は、帯状ワークの搬送と、搬送方向に直交する方向の移動を繰り返し、帯状ワークに複数列のマスクパターンを露光するのに対して、刊行物１発明は、帯状ワークの搬送と、搬送方向に直交する方向の移動をするが、帯状ワークに単列のマスクパターンを露光する点。
　
相違点（Ｂ）：
　本件請求項１に係る発明は、第１列目の露光領域の露光と、ワーク移動機構による帯状ワークの搬送方向に直交する方向の次の列の露光領域への移動と、上記次の列への移動後の次の列の露光領域の露光と、ワーク搬送機構による帯状ワークの搬送方向の次の露光領域への搬送と、上記搬送後の次の露光領域の露光とを繰り返すのに対して、刊行物１発明は、帯状ワーク搬送機構および帯状ワーク移動機構を有するが、前記のことについての記載がない点。
　
　（オ）当審の判断
相違点（Ａ）について：
　刊行物２には、ワークをＸＹ方向（本件請求項１に係る発明における、搬送方向と搬送方向に直交する方向）に移動させて、ワークに複数列のマスクパターンを露光する点が記載されており、この点を刊行物１記載の帯状ワークの搬送と、搬送方向に直交する方向の移動をする構成に採用して、相違点（Ａ）における本件請求項１に係る発明のような構成にしたことに、格別の困難性は認められない。
　
相違点（Ｂ）について：
　刊行物２記載のワークに複数列のマスクパターンを繰り返し露光するものにおいて、露光および、搬送と移動の順序を、第１列目の露光領域の露光と、ワークの搬送方向に直交する方向の次の列の露光領域への移動と、上記次の列への移動後の次の列の露光領域の露光と、ワークの搬送方向の次の露光領域への搬送と、上記搬送後の次の露光領域の露光とを繰り返すようにすることは、繰り返し露光手段における選択枝の１つであって、単なる設計上の事項である。
　そして、前記の順序を、刊行物１記載の帯状ワーク搬送機構および帯状ワーク移動機構を有する帯状ワークの露光装置に採用して、相違点（Ｂ）における本件請求項１に係る発明のような構成にしたことに、格別の困難性は認められない。
　
　前記相違点（Ａ）および（Ｂ）における本件請求項１に係る発明の構成による効果は、刊行物１および２に記載された発明から予測される範囲のものである。
　
　（カ）むすび
　以上のとおり、本件請求項１に係る発明は、上記刊行物１および２記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件請求項１に係る発明の特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年１０月２８日（２００４．１０．２８）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
帯状ワークの露光装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　　
帯状ワークの搬送と、搬送方向に直交する方向の移動を繰り返し、
複数列のマスクパターンを露光する
　露光処理前の帯状ワークを収納する送り出しロール部と、露光処理後の帯状ワークを収納する巻取りロール部と、ワークステージ上の帯状ワークを帯状ワークの長手方向に搬送するワーク搬送機構と、上記送り出しロール部とワークステージの間、および上記巻取りロール部とワークステージの間に設けられ、上記帯状ワークを保持して、ワークステージ上の帯状ワークを帯状ワークの
搬送方向に直交する
　
上記制御部により、
　
第１列目の露光領域の露光と、
　
上記ワーク移動機構による帯状ワークの搬送方向に直交する方向の次の列の露光領域への移動と、
　上記次の列への移動後の次の列の露光領域の露光と、
　
ワーク搬送機構による帯状ワークの搬送方向の次の露光領域への搬送と、
　
上記搬送後の次の露光領域の露光とを繰り返す
ことを特徴とする帯状ワークの露光装置。
　【請求項２】上記送り出しロール部と上記巻取りロール部のそれぞれを、帯状ワークの幅方向に移動させるロール部移動機構を備え、
　上記制御部は、ワーク搬送機構の駆動による帯状ワークの長手方向の搬送開始前に、上記ロール部移動機構によって送り出しロール部と巻取りロール部のそれぞれを帯状ワークの幅方向に移動する
ことを特徴とする請求項１記載の帯状ワークの露光装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、有機化合物のフィルム、薄物金属等の長尺連続ワーク（以下帯状ワークという）の表面にマスクパターンを露光するための帯状ワークの露光装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　有機化合物のフィルム、薄物金属等の帯状のワーク上に複数の各種電子素子等を形成するため、ロール状に巻かれた帯状ワークをリールから引き出して、所定のパターン領域毎に搬送・停止し、マスクと帯状ワークの各露光領域との位置合わせを行ったのちマスクパターンをワーク上に露光する露光工程が行われる。
　上記露光工程において使用される帯状ワークは通常長さが１００ｍほどあり、その搬送は、リールにロール状に巻かれた状態からワークを引き出し、露光し、再びリールに巻き取る方法で行われる。
　帯状ワークには、レジストや感光性ポリイミドのような感光性樹脂が塗布されている。
　【０００３】
　帯状ワークに露光するには、帯状ワークが巻かれたリールを、送り出しロール部に取りつける。帯状ワークは、搬送用の回転ローラと押えローラによって狭持され、回転ローラが回転することで露光部に送られる。
　露光部において、帯状ワークは、ワークステージに真空吸着によって固定され、光照射部より露光光がマスクと投影レンズを介して帯状ワークに照射され、マスクに形成されているマスクパターンが露光される。露光完了後、帯状ワークをワークステージから固定解除し、回転ローラが回転し、帯状ワークを次の露光領域に搬送する。
　露光が終了した帯状ワークは、巻き取りロール部に取りつけられたリールに巻き取られる。
　【０００４】
　従来、帯状ワークの幅は約１２５ｍｍであり、ワーク上には１列に並んで製品が作られていた。したがって、露光処理もマスクパターンを１列に露光するだけで良かった。
　しかし、最近、１巻の帯状ワークからより多くの製品が製作できるように、帯状ワークの幅を広く、例えば、帯状ワークの幅を２５０ｍｍとし、ワーク上に２列に並んで製品を作る場合がある。したがって、マスクパターンを２列に露光することが求められるようになった。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　従来の装置で、帯状ワークに２列のマスクパターンを露光しようとすると、送り出しロール部に取りつけられたリールから帯状ワークを搬送し、まず第１列のパターンを露光する。第１列の露光が終ると、帯状ワークは巻き取りロール部に取りつけられたリールに巻き取られる。
　第２列目を露光するには、第１列の露光を終えた帯状ワークが巻取られたリールを巻き取りロール部から取り外し、送り出しロール部に取りつける。即ちリールを掛け替える。再びリールから帯状ワークを搬送し第２列目を露光する。
　露光が終了した帯状ワークは、巻き取りロール部に取りつけられたリールに巻き取られる。なお、第２列目の露光を行なう装置は、第１列目を露光した装置と同じものを使用しても良いし、別の装置を使用しても良い。
　【０００６】
　従来においては上記のように１巻のワークに関し、露光開始から終了までの間に必ず「リール掛け替え」という人的作業が発生し効率が悪かった。
　なお、２列のパターンを形成したマスクを準備し、投影面積が２倍の投影レンズを準備し、２列を一括して露光するようにすれば、１巻のワークを「ロール掛け替え」を行なうことなく露光処理できる。しかし、そのためには、非常に太きな投影レンズが必要となる。大型のレンズ材料は価格が非常に高価であり、コストが大幅にアップする。また露光装置全体も大型化する。
　【０００７】
　本発明は上記した事情に鑑みなされたものであって、装置が大型化することなく、また、ロールの掛け替えを行なうことなく帯状ワークに複数列のマスクパターンを露光することができる帯状ワークの露光装置を提供することを目的とする。　
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　本発明においては、上記課題を次のようにして解決する。
（１）
帯状ワークの搬送と、搬送方向に直交する方向の移動を繰り返し、
複数列のマスクパターンを露光する
搬送方向に直交する
　制御部により上記ワーク搬送機構とワーク移動機構を制御して、
第１列目の露光領域の露光と、上記ワーク移動機構による帯状ワークの搬送方向に直交する方向の次の列の露光領域への移動と、上記次の列への移動後の次の列の露光領域の露光と、ワーク搬送機構による帯状ワークの搬送方向の次の露光領域への搬送と、上記搬送後の次の露光領域の露光とを繰り返
　これにより、ロールの掛け替えを行なうことなく、また、装置を格別に太型化したり非常に高価な大型の投影レンズを使用することなく、１巻の帯状ワークに複数列のマスクパターンを露光することができる。
（２）露光処理前の帯状ワークを収納する送り出しロール部と、露光処理後の帯状ワークを収納する巻取りロール部を、それぞれ帯状ワークの幅方向に移動させるロール部移動機構とを設ける。
　そして、帯状ワークの搬送に際して帯状ワークにねじれが生じないようにロール部移動機構により帯状ワークを幅方向に移動させる。
　【０００９】
　【発明の実施の形態】
　図１は本発明の実施例の露光装置の構成例を示す図である。
　同図において、１は露光光を照射する光照射装置、Ｍはマスクであり、マスクＭにはマスクアライメントマークＭＡＭ（以下、マスクマークＭＡＭと略記する）が記されている。また、光照射装置１とマスクＭとの間には、挿入・退避可能に取り付けられた部分照明系１１，１１’が設けられており、後述するように、マスクマークＭＡＭとワークアライメントマークＷＡＭ（ワークマークＷＡＭと略記する）の位置合わせをする際、上記部分照明系１１，１１’を同図に示す位置に挿入し、部分照明系１１，１１’によりマスクマークＭＡＭとワークマークＷＡＭを照明する。
　【００１０】
　２は投影レンズ、３はワークステージであり、ワークステージ３は図示しない真空吸着機構を備えており、真空吸着機構により帯状ワークＷｂを吸着して保持する。５はＸＹＺθステージであり、ワークステージ３をＸＹＺθ方向に駆動する（Ｘは同図の左右方向、Ｙは同図紙面の前後方向、ＺはＸＹ軸に直交する方向、θはＺ軸を中心とした回転である）。
　投影レンズ２とワークステージ３の間には、アライメントユニット４が設けられており、マスクＭと帯状ワークＷｂとの位置合わせを行うために使用される。アライメントユニット４は受像素子４ａを備えており、受像素子４ａによりマスクアライメントマークＭＡＭ像およびワークアライメントマークＷＡＭ像を受像し、マスクＭと帯状ワークＷｂのアライメントを行う。
　【００１１】
　６は送り出しロール部であり、帯状ワークＷｂがロール状に巻かれた送り出しリール６ａが取り付けられる。送り出しロール部６には移動機構１０が設けられており、同図紙面の前後方向に移動可能に構成されている。
　また、７は巻き取りロール部であり、露光済の帯状ワークＷｂを巻き取る巻き取りリール７ａが取り付けられる。巻き取りロール部７には、移動機構１０’が設けられており、同図紙面の前後方向に移動可能である。
　送り出しリール６ａから送り出された帯状ワークＷｂは案内用ローラＲ３，搬送用ローラＲ１，Ｒ２を介してワークステージ３上に搬送され、投影レンズ２の露光領域内に位置決めされる。そして、マスクＭと帯状ワークＷｂの位置合わせ終了後、露光処理が行なわれる。
　【００１２】
　露光処理済帯状ワークＷｂは、搬送用ローラＲ１’、Ｒ２’案内用ローラＲ３’を介して巻き取りリール７ａに巻き取られる。
　また、送り出しリール６ａと案内用ローラＲ３の間、および、案内用ローラＲ３’と巻き取りリール７ａの間の帯状ワークＷｂには弛み部Ｃが設けられており、この弛み部Ｃにより、マスクとワークの位置合わせ時および後述するワークを搬送方向と直交する方向へ移動する時の、帯状ワークの移動余裕を確保し、帯状ワークＷｂに所定以上のストレスが加わるのを防止している。
　８，８’はワーク吸着機構であり、ワーク吸着機構８，８’は同図Ａに示すように、真空供給管路８ａを備えており該管路８ａに真空を供給することにより帯状ワークＷｂを吸着することができる。
　【００１３】
　ワーク吸着機構８，８’、ローラＲ１〜Ｒ３、Ｒ１’〜Ｒ３’はベースプレートに取り付けられたレールと係合する移動機構９，９’に取り付けられており、移動機構９，９’により、これらが一体で同図紙面の前後方向に移動可能に構成されている。これらを移動させることにより、帯状ワークＷｂを保持した状態で、搬送方向に直交する方向に移動させることができる。
　さらに、ローラＲ１，Ｒ１’は同図の矢印方向に移動可能に構成されており、帯状ワークＷｂを搬送するとき、ローラＲ１，Ｒ１’は下方向に移動し帯状ワークＷｂをローラＲ１とＲ２、ローラＲ１’とＲ２’で挟む。
　【００１４】
　図２は、図１に示した露光装置における第１列目と第２列目の露光動作を説明する図であり、同図は、図１のＢ方向から見た図を示しており、同図（ａ）は第１列目の露光時の状態、同図（ｂ）は第２列目の露光時の状態を示している。
　第１列目の露光時には、図２（ａ）に示すように、帯状ワークＷｂの第１列目の第１の露光領域が、ワークステージ３上のマスクパターンが投影される位置に真空吸着される。そして、ＸＹＺθステージ５によりワークステージ３を移動させマスクＭと帯状ワークＷｂの位置合わせを行ったのち、光照射装置１から、露光光を、マスクＭと投影レンズ２を介して帯状ワークＷｂに照射し、マスクパターンを帯状ワークの第１の露光領域に転写する。
　【００１５】
　第１の露光領域の露光が終わると、ワークステージ３の真空吸着を解除するとともに、ワーク吸着機構８．８’の真空供給管路８ａに真空を供給して帯状ワークＷｂを保持し、ワーク吸着機構８，８’とローラＲ２，Ｒ２’ローラＲ３，Ｒ３’を図２（ｂ）の矢印の方向に帯状ワークの幅に対しておよそ半分の距離だけ移動させ、第２列目の第２の露光領域が、ワークステージ３上のマスクパターンが投影される位置に来るようにする。
　そして、ワークステージ３により帯状ワークＷｂを吸着固定し、前記したのと同様、マスクＭと帯状ワークＷｂの位置合わせを行ったのち、マスクパターンを帯状ワークの第２の露光領域に転写する。第２の露光領域の露光が終了すると、帯状ワークＷｂを搬送し、次の露光領域の露光を行う。
　【００１６】
　図３は、本実施例における帯状ワークＷｂの露光順序を説明する図である。同図に示すように、第１列目▲１▼の露光を行ったのち、帯状ワークＷｂを搬送方向と直交する方向に移動させ、第２列目▲２▼の露光を行う。ついで、帯状ワークＷｂを次の露光領域まで搬送し、第２列目▲３▼の露光を行ったのち、帯状ワークＷｂを搬送方向とは直交する方向に移動させ第１列目▲４▼の露光を行う。以下同様にして▲５▼〜▲８▼の露光を行う。
　なお、図３では、「搬送方向への移動→第１列目の露光処理→搬送方向と直交する方向への移動→第２列目の露光処理→搬送方向への移動→第２列目の露光処理→搬送方向と直交する方向への移動→第１列目の露光処理→…」の順序で露光する場合について示したが、例えば、「搬送方向への移動→第１列目の露光処理→搬送方向と直交する方向への移動→第２列目の露光処理→搬送方向と直交する方向への移動→搬送方向への移動→第１列目の露光処理→…」の順序で露光する等、露光順序は必要に応じて適宜、選択することができる。
　また、図３では帯状ワーク上に２列に露光する場合について示したが、帯状ワークの直交方向の移動量を適宜選択することにより、帯状ワークに３列以上露光することもできる。
　【００１７】
　図４は本実施例の露光装置の制御装置の構成を示す図である。同図において、４はアライメントユニットであり、前記したようにマスクアライメントマークＭＡＭ像とワークアライメントマークＷＡＭ像を受像する受像素子４ａを備えている。そして、受像素子４ａにより受像された上記アライメントマーク像は画像処理部２１に送られ、画像処理部２１において画像処理されその位置が検出される。２２はモニタであり、モニタ２２上に上記受像素子４ａで受像された画像が表示される。
　３１は、帯状ワークＷｂの搬送を制御するワーク搬送制御機構であり、搬送用ローラＲ１、Ｒ２及びＲ１’、Ｒ２’を駆動して帯状ワークＷｂをワークの長手方向に搬送する。３２は、帯状ワークＷｂを搬送方向と直交する方向に移動させるワーク移動制御機構であり、一体として構成されたワーク吸着機構８．８’ローラＲ１〜Ｒ３，Ｒ１’〜Ｒ３’を、移動機構９．９’により移動させる。
　３３は部分照明系１１，１１’の退避・挿入を制御する部分照明系駆動機構、３４はワークステージ３を駆動するステージ駆動機構、３５はアライメントユニット４の位置を制御するアライメント系駆動機構である。
　【００１８】
　３６は送り出し／巻き取りロール部駆動制御機構であり、送り出しロール部６、巻き取りロール部７を、それぞれに設けられた移動機構１０，１０’により移動させる。
　制御部２０は、上記各種制御機構、駆動機構を介して帯状ワークＷｂの搬送、移動、位置決めを行い、前記図３で説明した順序の露光処理ができるように帯状ワークＷｂを移動させる。
　また、帯状ワークＷｂが搬送方向と直交する方向へ移動した時は、次に帯状ワークＷｂが搬送方向へ搬送されるまでの間に、送り出し／巻き取りロール部駆動制御機構３６により、送り出しロール部６、巻き取りロール部７を、帯状ワークＷｂが移動した方向に、同じ距離だけ移動させる。
　さらに、画像処理部２１において検出されたマスクアライメントマークＭＡＭ、ワークアライメントマークＷＡＭの位置に基づきマスクＭと帯状ワークＷｂの各パターン領域とのアライメント、帯状ワークＷｂの露光処理を制御する。
　【００１９】
　次に、本実施例の露光動作について説明する。
（１）ローラＲ１とＲ２、Ｒ１’とＲ２’により帯状ワークＷｂを狭持し、帯状ワークＷｂが搬送され、図２（ａ）に示すように第１列目の第１の露光領域が、ワークステージ３上のマスクパターンが投影される位置にくると、帯状ワークＷｂはワークステージ３により真空吸着される。
　なお、帯状ワークＷｂの搬送・アライメント・露光時には、ワーク吸着機構８，８’の真空供給管路８ａには真空は供給されていない。
　【００２０】
（２）ローラＲ１とＲ１’とが上昇して帯状ワークＷｂの狭持を解除する。退避していたアライメントユニット４と部分照明系１１とが、露光領域範囲内に挿入され、マスクＭと帯状ワークＷｂの位置合わせが行なわれる。
　すなわち、部分照明系１１，１１’からアライメント光（露光光）が照射され、マスクマークＭＡＭが投影レンズ２を介して帯状ワークＷｂ上に投影される。アライメントユニット４の受像素子４ａにより、マスクマークＭＡＭの投影像とワークマークＷＡＭとを検出しその位置を記憶する。制御部２０は、マスクマークＭＡＭとワークマークＷＡＭとが一致するように、ワークステージ駆動機構３４によりＸＹＺθステージを駆動し、ワークステージ３を移動させる。
　上記位置合わせ動作により、帯状ワークＷｂはＸＹθ方向に移動するが、前記弛み部Ｃにおいて、帯状ワークＷｂに発生するねじれのストレスが吸収される。位置合わせ終了後、アライメントユニット４と部分照明系１１とを露光領域範囲外に退避する。
　【００２１】
　なお、マスクＭと帯状ワークＷｂの位置合わせに関しては次の手順でも良い。
　アライメントユニット４にワークマークＷＡＭ照明用の第２の部分照明系（非露光光）を設ける。そして、以下の手順でアライメントを行う。
▲１▼　部分照明系１１，１１’からアライメント光（露光光）を照射する。マスクマークＭＡＭは投影レンズ２を介して帯状ワークＷｂ上に投影される。
▲２▼　アライメントユニット４の受像素子４ａにより、マスクマークＭＡＭの投影像を検出しその位置を記憶する。部分照明系１１，１１’からアライメント光の照射を停止する。
▲３▼　第２の部分照明系（非露光光）によりワークマークＷＡＭを照明し、ワークマークＷＡＭを受像素子４ａにより検出する。記憶したマスクマークＭＡＭと検出したワークマークＷＡＭとが一致するようにＸＹＺθステージ５をＸＹθ方向に駆動し、ワークステージ３を移動させる。
　【００２２】
（３）光照射装置１から、露光光を、マスクＭと投影レンズ２を介して帯状ワークＷｂに照射し、マスクパターンを帯状ワークＷｂに転写する。第１の露光領域の露光処理を終える。
（４）ワーク吸着機構８，８’の真空供給管路８ａに真空を供給し、帯状ワークＷｂを保持する。その際、ローラＲ１とＲ１’とは下降して帯状ワークＷｂを狭持しても良いが、開放したままでもかまわない。
　ワークステージ３の真空吸着を解除し、ＸＹＺθステージ５のＺステージによりワークステージ３を微小下降させ、ワークステージ３の真空吸着孔からエアーを噴出する。
　【００２３】
（５）制御部２０は、ワーク移動制御機構３２により、ワーク吸着機構８，８’とローラＲ２，Ｒ２’ローラＲ３，Ｒ３’を、前記図２（ｂ）に示したように、帯状ワークの幅に対しておよそ半分の距離だけ移動させる。
　第２列目の第２の露光領域が、ワークステージ３上のマスクパターンが投影される位置に来る。
（６）ワークステージ３からのエアーの噴き出しを止める。また、ワークステージ３に真空を供給し、ワークステージ３を下降していた分上昇させ、帯状ワークＷｂを吸着・固定する。ワーク吸着機構８，８’の真空供給管路８ａへの真空の供給を止める。
（７）上記（２）〜（３）と同様にマスクＭと帯状ワークＷｂの位置合わせ、第２の露光領域の露光処理を行なう。
　【００２４】
（８）第２の露光領域の露光処理終了時、帯状ワークＷｂは、露光処理部近辺のみ帯状ワークＷｂの幅方向に移動しているので、前記弛み部Ｃにおいて、ねじれが生じている。
　この状態では、帯状ワークＷｂを搬送させると、帯状ワークＷｂに対して大きなねじれのストレスが生じるので、帯状ワークＷｂの蛇行・変形・損傷等が発生する可能性がある。したがって、制御部２０は、送り出し／巻き取りロール部駆動制御機構３６により移動機構１０，１０’を駆動して、送り出しロール部６、巻き取りロール部７を帯状ワークＷｂが移動した方向と同じ方向に、同じ移動距離だけ移動させる。
　この送り出しロール部６、巻き取りロール部７の移動は、上記（５）のワーク吸着機構８，８’の移動と同時に行なっても良いが、ワーク吸着機構８，８’による帯状ワークＷｂの移動から、第２の露光領域の露光処理が終了し、次の第３の露光領域に帯状ワークＷｂが搬送されるまでの間であれば、いつでも良い。
　【００２５】
（９）ローラＲ１とＲ１’とが下降してローラＲ２，Ｒ２’との間で帯状ワークを狭持する。ワークステージ３の真空吸着を解除し、ＸＹＺθステージ５のＺステージによりワークステージ３を微小下降させ、ワークステージ３の真空吸着孔からエアーを噴出する。
　ローラＲ２’とＲ１’が回転し、帯状ワークを搬送する。これにより、第２列目の第３の露光領域が、ワークステージ３上に搬送される。
（１０）上記動作を繰り返して、例えば、前記図３のように、第１列目、第２列目の露光領域を交互に露光していく。
　なお、帯状ワークＷｂにあらかじめワークマークＭＡＭが形成されていないような場合、即ち、帯状ワークＷｂに最初のマスクパターンを露光する場合には、上記　（２）（７）におけるマスクとワークの位置合わせを行う必要はない。
　【００２６】
　【発明の効果】
　以上説明したように本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）帯状ワークを、搬送方向に対して直交する方向に移動させることにより、複数列の露光が可能であり、ロールの掛け替えを行なうことなく、１巻の帯状ワークに複数列のマスクパターンを露光することができる。
（２）帯状ワークを搬送方向に対して直交する方向へ移動させる移動機構を設け、その移動スペースを確保するのみで、装置を格別に太型化することなく、また非常に高価な大型の投影レンズを使用することなく、１巻の帯状ワークに複数列のマスクパターンを露光することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の実施例の露光装置の全体構成を示す図である。
　【図２】
　図１に示した露光装置における帯状ワークの露光動作を説明する図である。
　【図３】
　本発明の実施例における帯状ワークの露光順序を説明する図である。
　【図４】
　本発明の実施例の露光装置の制御装置の構成を示す図である。
　【符号の説明】
　１　　　　　　　　光照射装置
　２　　　　　　　　投影レンズ
　３　　　　　　　　ワークステージ
　４　　　　　　　　アライメントユニット
　４ａ　　　　　　　受像素子
　５　　　　　　　　ＸＹθＺステージ
　６　　　　　　　　送り出しロール部
　６ａ　　　　　　　送り出しリール
　７　　　　　　　　巻き取りロール部
　７ａ　　　　　　　巻き取りリール
　８，８’　　　　　ワーク吸着機構
　８ａ　　　　　　　真空供給管路
　９，９’　　　　　移動機構
　１０，１０’　　　移動機構
　１１，１１’　　　部分照明系
　２０　　　　　　　制御部
　２１　　　　　　　画像処理部
　２２　　　　　　　モニタ
　３１　　　　　　　ワーク搬送制御機構
　３２　　　　　　　ワーク移動制御機構
　３３　　　　　　　部分照明系駆動機構
　３４　　　　　　　ワークステージ駆動機構
　３５　　　　　　　アライメント系駆動機構
　３６　　　　　　　送り出し／巻き取りロール部駆動制御機構
　Ｍ　　　　　　　　マスク
　ＭＡＭ　　　　　　マスクアライメントマーク
　ＷＡＭ　　　　　　ワークアライメントマーク
　Ｒ１〜Ｒ３　　　　ローラ
　Ｒ１’〜Ｒ３’　　ローラ
　Ｗｂ　　　　　　　帯状ワーク