【事件の表示】
特許第３２２０４８３号「ボンディング装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
特許第３２２０４８３号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
【１】本件特許発明
特許第３２２０４８３号（平成３年９月１２日出願、平成１３年８月１０日設定登録。）の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの、
「【請求項１】先端部に押圧ツールを保持するホーンと、このホーンが取り付けられたホーンホルダと、このホーンおよびホーンホルダから成る可動部が取り付けられたスライダと、このスライダを空気軸受を介して上下方向にガイドするリニヤガイドと、このスライダをこのリニヤガイドに沿って上下動させるリニヤモータと、この押圧ツールの高さ位置を測定するリニヤエンコーダとを備え、前記リニヤガイドの両側部にはガイド部が突設されており、また前記リニヤガイドの縦長の中央凹入部にはコイルが装着され、且つ前記スライダには前記コイルに対向するマグネットが装着されており、更に前記リニヤガイドの一側部にリニヤスケールを前記リニヤガイドに沿わせて縦長に配設し、且つ前記リニヤスケールに沿って移動して前記ホーンの変位を検出するセンサを前記ホーンホルダに設けたことを特徴とするボンディング装置。」である。
【２】取消理由で引用した刊行物１，２の記載事項およびその開示内容
刊行物１；特開昭５８−８４４３４号公報
刊行物２；特開昭６３−３５１６５号公報
【２-1-1】刊行物１の記載事項
第２頁左上欄第９行〜同頁右上欄第１１行に、
(刊1a)「このヨーク１は上下両端部1a，1bにおいて上下方向に延設したガイドステム３を支持すると共に、その中央部1cには縦溝４を形成してその内部にポジションセンサ、例えばポテンションメータを構成する摺動抵抗５を内装している。前記ガイドステム３は中空の円形ロッドからなり、前記ヨーク１の永久磁石の作用によってヨークとの間に横方向の磁界を形成している。また、このガイドステム３は中空内部3aに連通する複数個の孔６をその周面に形成しており、前記中空内部3aに連通口７を通して供給される空気を周囲に噴出する。
一方、前記ガイドステム３には円環状に形成した可動コイル８を遊装してガイドステム３に沿って上下動できるようにしている。また、この可動コイル８の内周面位置には上方向へ延出させたスリーブ９を一体に形成し、・・・前記可動コイル８には前方向および後方向に夫々アーム１１，１２を突設し、前アーム１１にはボンディングツールとしてのキャピラリ１３を、後アーム１２には前記摺動抵抗と協働する摺動子１４を夫々固定している。」と記載され、
同じく第２頁左下欄第２行〜同欄第２０行に、
(刊1b)「以上の構成によれば、可動コイル８に所定の電流を通流すれば、ガイドステム３に生じている磁界と、巻線8aにおける電流の相互作用（フレミングの法則）により可動コイル８はガイドステム３に沿って上動する。この上動速度や上動量は電流の強さを制御することにより変化できる。また、逆に、電流を低減しあるいはこれを断てば可動コイル８を下動することができる。したがって、電流を制御することにより可動コイル８、つまりキャピラリ１３の上下動が可能でありワイヤ１５のボンディングを可能とする。この際、ガイドステム３の中空内部3aに空気を供給して周面の孔６から噴出させておけば、エアーベアリング作用によってガイドステム３と可動コイル８の間の摩耗を低減でき可動コイル８の作動を軽快なものにできる。この結果、キャピラリの上下動の高速移動を可能にしてボンディング作動の高速化を達成し、かつボンディング荷重を容易にコントロールすることができるのである。」と記載されている。
【２-1-2】刊行物１の開示内容
上記(刊1a)，(刊1b)の記載から、刊行物１には、
(刊1z)「先端部にキャピラリを保持する前アームと、この前アームが取り付けられた可動コイルと、この前アームおよび可動コイルから成る可動部が取り付けられたスリーブと、このスリーブを空気軸受を介して上下方向にガイドするガイドステムと、このスリーブをこのガイドステムに沿って上下動させるリニヤ駆動機構と、このキャピラリの高さ位置を測定するポジションセンサとを備え、前記リニヤ駆動機構は可動コイルへの通電により前記ガイドステムに生じている磁界との相互作用により前記スリーブを含む可動部全体が上下動するリニヤモータを構成しており、更に前記ガイドステムの一側部にポテンションメータを構成する摺動抵抗を前記ガイドステムに沿わせて縦長に配設し、且つ該摺動抵抗に沿って移動して前アームの変位を検出する摺動子を前記可動コイルに設けた後アームに固定したボンディング装置。」の発明（以下、「引用発明」という。）が開示されている。
【２-2-1】刊行物２の記載事項
第２頁左下欄第１４行〜同欄第２０行に、
(刊2a)「第１図は、この発明による駆動装置の全体的構成を示す概略平面図である。この図において、１は被駆動物としての移動ステージのスライダ部材であり、２はそのガイト部材である。スライダ部材１は、例えばエアーべアリングまたはガスベアリングを介してガイド部材２に案内されながら、Ｘ方向に移動可能である。」と記載され、
第２頁右下欄第５行〜同欄第９行に、
(刊2b)「再び第１図において、３は駆動ユニットであり、リニアモータ４などを含んでいる。
５はスライダ部材１またはリニアモータ４のアクチュエータの位置を検出するための光学式リニアエンコーダ（位置検出器）である。」と記載され、
第２頁右下欄第１６行〜第３頁左上欄第５行に、
(刊2c)「駆動回路８は、光学式リニアエンコーダ５の出力信号に応答してリニアモータ４の固定子コイル（後述）の通電を制御することにより、リニアモータ４を駆動するものである。
第２図はリニアモータ４の概略平面図、・・・１０は固定子である。この固定子１０の・・・表面に、コイル配列１４a，１４bがそれぞれ固定されている。」と記載され、
第３頁左上欄第１６行〜同頁右上欄第２行に、
(刊2d)「２２はアーマチュアであり、第１図に示すように結合部材９によってスライダ部材１と結合される。このアーマチュア２２の上壁２４の内面および下壁２６の内面にそれぞれ、固定子１０のコイル配列１４ａ，１４bと対向させて永久磁石２８が配列固定されている。以下、この永久磁石２８の配列を永久磁石配列と称する。」と記載され、
第４頁左下欄第６行〜同欄第８行に、
(刊2e)「例えば、リニアモータ４に関して、コイル配列と永久磁石配列を１組だけ設けることも可能である。」と記載され、
また第１図に、
(刊2f)「スライダ部材１はガイド部材２に案内されながらＸ方向に移動可能であるから、図面中でガイド部材２の上下両側に存在する案内突部間に保持されている」ことが明記されている。
【２-2-2】刊行物２の開示内容
上記(刊2a)〜(刊2f)の記載から、刊行物２には、
(刊2z)「スライダと、このスライダを空気軸受を介して直線方向にガイドするリニヤガイドと、このスライダをこのリニヤガイドに沿って直線方向に移動させるリニヤモータと、このスライダの位置を測定する(光学式)リニヤエンコーダとを備え、前記リニヤガイドの両側部にはガイド部が突設されており、また前記リニヤモータは、コイルが装着された固定子と、前記コイルに対向する永久磁石を有するアーマチュアとからなり、前記スライダは前記アーマチュアと結合されており、更に前記スライダの変位を検出するために前記リニヤガイドの一側部と前記スライダの対向側部との間に前記(光学式)リニヤエンコーダが設けられた、リニヤモータによる直線駆動機構。」が開示されている。
【３】本件発明と引用発明との対比および判断
【３-1】本件発明と引用発明とを対比すると、
まず、本件発明において、「ホーン」ないし「ホーンホルダ」と記載されているものについては、本件発明の装置が超音波ボンディング装置であるとは限定されていないから、「ホーン」はその先端部に押圧ツールとしてのキャピラリツールを保持するもの、すなわち「押圧ツール」の単なる保持部材であり、また「ホーンホルダ」は前記「ホーン」の基端部が取り付けられるもの、すなわち「ホーン」の単なる支持部材であるといえる。
そうである以上、引用発明の「キャピラリ」，「前アーム」，「可動コイル」，「スリーブ」，「ガイドステム」，「リニヤ駆動機構」は、それぞれ本件発明の「押圧ツール」，「ホーン」，「ホーンホルダ」，「スライダ」，「リニヤガイド」，「リニヤモータ」に相当する。
したがって、両者は「先端部に押圧ツールを保持するホーンと、このホーンが取り付けられたホーンホルダと、このホーンおよびホーンホルダから成る可動部が取り付けられたスライダと、このスライダを空気軸受を介して上下方向にガイドするリニヤガイドと、このスライダをこのリニヤガイドに沿って上下動させるリニヤモータと、この押圧ツールの高さ位置を測定するポジションセンサとを備え、前記リニヤガイドの一側部に直線形位置検知手段を前記リニヤガイドに沿わせて縦長に配設し、且つ前記直線形位置検知手段に沿って移動して前記ホーンの変位を検出する変位検知手段を前記ホーンホルダに設けたボンディング装置」である点で一致し、
つぎの三点において相違する。
相違点１；本件発明は、スライダを上下方向にガイドする「リニヤガイドの両側部にはガイド部が突設されて」いるのに対して、引用発明では、ガイドステムによりスリーブがガイドされて上下移動する点。
相違点２；本件発明は「リニヤガイドの縦長の中央凹入部にはコイルが装着され」、「スライダには前記コイルに対向するマグネットが装着され」てリニヤモータが構成されているのに対して、引用発明では、ガイドステムに生じている磁界とスリーブに一体形成された可動コイルとからリニヤモータが構成されている点。
相違点３；本件発明は「押圧ツールの高さ位置を測定するリニヤエンコーダ」を有するのに対して、引用発明では、ツールの高さ位置を測定するポジションセンサは例えばポテンションメータである点。
【３-2】前記相違点１〜３について考察すると、
相違点１については、上記刊行物２の(刊2z)に摘記したように、スライダを空気軸受を介して直線方向にガイドするリニヤガイドの両側部にはガイド部が突設されており、そして、この種の直線駆動機構にあって、移動体をその両側に設けたガイド突部で直線方向に案内するという構造は当業者がごく普通に考える構成でもあるから、この相違点１は刊行物２の(刊2z)に摘記した事項に基づいて容易に想到されたものといえる。
相違点２については、上記刊行物２の(刊2z)に摘記したように、リニヤモータは、コイルが装着された固定子と、前記コイルに対向する永久磁石を有するアーマチュアすなわち移動子とからなっており、そして、固定子にマグネットを移動子にコイルを装着するか、前記(刊2z)に摘記のごとく、固定子にコイルを移動子にマグネットを装着するかは、リニヤモータを構成するに当たり当業者が適宜に選択して採用できるものであるといえる。
ところで、特許権者は、特許異議意見書の第２頁第３行〜第５行において「リニヤガイドに縦長の中央凹入部を設けてこの中央凹入部にコイルを装着し、」全体をコンパクトに構成している旨主張しているが、本件発明において、コイルを固定子であるリニヤガイドの縦長の中央凹入部に装着したことに格別の作用効果があるとする記載は本件特許明細書のどこにもなく、かつリニヤガイドに中央凹入部を設けるためには、その凹入部の深さに相当する分だけ当該リニヤガイドを厚くする必要があるから、ボンディング装置全体が必ずしもコンパクトになるとはいえない以上、特許権者の当該主張には合理的根拠がない。
上述のとおりであるから、上記相違点２は、刊行物２の(刊2z)に摘記した事項に基づいて容易に想到されたものといえる。
相違点３については、本件発明において、押圧ツールの高さ位置を測定するものが「リニヤエンコーダ」と記述されているが、引用発明における、ツールの高さ位置を測定するポジションセンサであるポテンションメータも接触式リニヤセンサ(回転型ではない)であることでは同様であり、かつ、リニヤスケールとフォトインタラプタを利用した(光学式)リニヤエンコーダは、上記刊行物２の(刊2b),(刊2c)にも摘記したが、本件特許の出願前に周知のものであるから、この相違点３は刊行物２の記載事項から容易に想到できたものといえる。
なお、特許権者は、特許異議意見書の第２頁第１６行〜第１９行において「刊行物１、２を単に組み合わせても、上記のような全体構成を有する本件発明は成立しないと思料します。特に、円柱状のガイドステム３を用いる刊行物１とガイド部材２を構成した刊行物２のものを単に組み合わせることには無理があ」る旨主張しているが、当業者が上記刊行物２の(刊2z)に摘記したような「リニヤモータによる直線駆動機構」に接したとき、上記刊行物１に開示された引用発明を適宜変更して、本件発明をなすことに格別の困難性があるとは考えられない。
つまり、引用発明において既にリニヤモータを利用してボンディング装置を構成することが示されているところ、その細部について、すなわち、移動子としてのスライダのガイド部を設けること、固定子に駆動コイルを移動子にマグネットを装着した形態に変更することやリニヤエンコーダを構成するスケールとセンサのどちらを固定側に付設するかなどについては、刊行物１および刊行物２の(刊2z)にそれぞれ開示された「技術的思想」を組み合わせて当業者が容易に本件発明を想到できたものといえる。
【４】むすび
以上のとおりであるから、本件発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
したがって、本件発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
よって、特許法等の一部を改正する法律(平成６年法律第１１６号)附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令(平成７年政令第２０５号)第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年９月１２日（２００２．９．１２）