【事件の表示】
　特許第３２２５９６１号「荷電粒子線応用装置」の請求項１、４及び６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２２５９６１号の請求項３及び５に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第３２２５９６１号（以下「本件特許」という。）は、昭和６３年１１月２４日にされた特許出願（特願昭６３−２９４５２７号）の一部を分割して平成７年１１月２２日にされた特許出願（特願平７−３０４０８８号）の一部を再度分割して平成１０年１２月２１日にされた特許出願（特願平１０−３６２１２９号）の一部を更に分割して平成１２年６月２３日に特許出願がされ、平成１３年８月３１日に特許権の設定登録がされ、同年１１月５日に特許掲載公報が発行されたものであり、本件請求項１、４及び６に係る特許に対して平成１４年４月２６日に中村孝子より特許異議の申立てがされ、当審において同年８月２０日付けで取消理由を通知（同年８月３０日発送）したところ、同年１０月２５日に訂正請求書及び特許異議意見書が提出されたものである。
　
第２　訂正について
　１　訂正の内容
　本件訂正請求は、本件明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに訂正することを求めるものであり、次の訂正事項から成るものである。
　（１）訂正事項１
　請求項１を削除して同項を引用していた請求項２を請求項１に繰り上げ、従属形式であった記載を独立形式とする。
　（２）訂正事項２
　請求項３を請求項２に繰り上げるとともに、引用する請求項も請求項１に繰り上げる。
　（３）訂正事項３
　請求項４を請求項３に繰り上げるとともに、引用する請求項を請求項１から２のいずれかとする。
　（４）訂正事項４
　請求項５を請求項４に繰り上げる。
　（５）訂正事項５
　請求項６を請求項５に繰り上げるとともに、引用する請求項を１又は４とする。
　（６）訂正事項６
　明細書の発明の詳細な説明中の段落【０００９】の記載を訂正明細書の請求項１の記載に対応させる。
　
　２　訂正の目的、新規事項の有無及び拡張・変更の存否について
　訂正事項１は、請求項１の削除については、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、請求項２の訂正については、請求項１の削除に対応して項番を整理し、記載形式を独立形式とするものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項２は、請求項１の削除に対応して、項番を整理するものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項３は、請求項１の削除に対応して、項番を整理し、引用する請求項を「請求項１から３いずれか」から「請求項１から２いずれか」とするものであり、明りょうでない記載の釈明と特許請求の範囲の減縮とを目的とするものである。
　訂正事項４は、請求項１の削除に対応して、項番を整理するものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正事項５は、請求項１の削除に対応して、項番を整理し、引用する請求項を「請求項１または５」から「請求項１または４」とするものであり、明りょうでない記載の釈明と特許請求の範囲の減縮とを目的とするものである。
　訂正事項６は、発明の詳細な説明中の記載を訂正明細書の請求項１の記載に対応させるもので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　そして、いずれの訂正事項も願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内であり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　したがって、上記訂正は平成６年法律第１１６号附則６条１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法１２０条の４、３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法１２６条１項ただし書、２項及び３項の規定に適合するので、これを認める。
　
第３　特許異議の申立てについて
　１　特許異議の申立ての理由の要点
　本件請求項１、４及び６（訂正前）に係る発明は、特開昭６２−１６８３２４号公報（甲第１号証）に記載された発明であるから、特許法２９条１項の規定により特許を受けることができない。
　又は、本件請求項１、４及び６（訂正前）に係る発明は、甲第１号証及び特開昭５９−１５５９４１号公報（甲第５号証）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　
　２　本件請求項に係る発明
　訂正明細書の請求項１ないし５に係る発明（以下「本件発明１」ないし「本件発明５」という。）は、訂正明細書の請求項１ないし５に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】荷電粒子源と、前記荷電粒子源から出た第１の荷電粒子線を絞って試料に照射させる対物レンズと、前記対物レンズと試料との間で第１の荷電粒子線を減速させる減速手段と、第１の荷電粒子線を試料に照射し、試料から発生する第２の荷電粒子を検出する検出器と、第１の荷電粒子線と第２の荷電粒子とを分離させる第１の偏向器と、前記対物レンズの物点と前記第１の偏向器との間に配置された第２の偏向器と、を具備し、前記第１の偏向器と第２の偏向器は電界と磁界が交叉する如く配置されていることを特徴とする荷電粒子線応用装置。
　【請求項２】前記第１と第２の偏向器はＥ×Ｂフィルタであることを特徴とする請求項１記載の荷電粒子線応用装置。
　【請求項３】第１の荷電粒子線が試料に入射するエネルギーが１ＫｅＶ以下であることを特徴とする請求項１から２いずれか記載の荷電粒子線応用装置。
　【請求項４】荷電粒子源と、前記荷電粒子源から出た第１の荷電粒子線を絞って試料に照射する対物レンズ手段と、第１の荷電粒子線を減速するとともに、試料への第１の荷電粒子線の照射により試料から発生する第２の荷電粒子を加速する減速手段と、第１の荷電粒子線と第２の荷電粒子線を分離する電界及び磁界を用いた第１の偏向器と、前記第１の偏向器により発生する第１の荷電粒子線への影響を補正する、電界及び磁界を用いて配置された第２の偏向器と、前記第１の偏向器の偏向角をα、前記第２の偏向器の偏向角をβと置き、前記対物レンズの物点と前記第１の偏向器との距離Ｓおよび前記対物レンズの物点と前記第２の偏向器との距離Ｔとした時に、ＳのＴに対する比がβのαに対する比に等しくなるように前記第１と第２の偏向器を配置させたことを特徴とする荷電粒子線応用装置。
　【請求項５】前記荷電粒子源が電子源、第１の荷電粒子線が１次電子線、第２の荷電粒子が二次電子であることを特徴とする請求項１または４記載の荷電粒子線応用装置。」
　
　３　甲第１号証及び甲第５号証に記載された発明
　（１）甲第１号証に記載された発明
　甲第１号証には、図面とともに、「本発明は、電子線装置内の二次および（または）後方散乱電子の検出装置に関する。」（２頁右下欄８行ないし９行）、「本発明により得られる利点は特に、一次線の方向が低い加速電圧においても二次電子の吸引のために設けられている電場により取るに足るほど影響されないことである。」（３頁左上欄７行ないし１０行）、「第１図に概要図で示されている走査電子顕微鏡は、陰極１ａ、ウェーネルト円筒１ｂおよび陽極１ｃから成る電子線源１を含んでおり」（３頁左上欄１４行ないし１６行）、「陽極１ｃの孔を通って出る電子線２（以下では一次線と呼ぶ）はコンデンサレンズ３および別の電子光学的レンズ（それらのうち一次線経路内で最後に設けられている対物レンズ４のみが示されている）により、試料台６の上に保持される試料５、たとえば集積回路の１つの点１３に集束される。」（３頁左上欄１８行ないし右上欄５行）、「ラスター発生器１２により駆動される２つの偏向コイル系１０および１１により一次線２は並び合って位置する行内で試料表面の１つの範囲にわたり偏向され得る。」（３頁右上欄９行ないし１２行）、「一次線の衝突の際に点１３において二次電子ＳＥおよび後方散乱電子が試料５から出て、電気的吸引場を経てシンチレータ１４に到達する。シンチレータ１４は光導波路１５を経て光電子増倍管１６と接続されている。その出力端１７から、それぞれ一次線２により探索される試料表面の点１３に対して特徴的な信号が取り出され得る。」（３頁右上欄１２行ないし１９行）、「部分２１ないし２４により、またそれらの間に作用する交叉した電気・磁気的双極場の選定により、一次線２の方向に取るに足るほどの影響を与えることなく、二次電子ＳＥの非常に効率的な吸引が達成される。」（４頁左上欄１６行ないし右上欄１行）、「このような装置は特に、１ｋＶよりも小さい加速電圧・・・を有する電子線装置において、また０．１μｍよりも小さい分解能限界において使用するのに適している。」（５頁左上欄５行ないし８行）、「投影レンズ４”は浸漬レンズとして構成されている。一次線は破線５３により示されている。二次電子５４は浸漬レンズにより加速され、また双極場により電極２１に向けて吸引される。」（５頁右下欄１２行ないし１６行）、「本発明は、特に電子線リソグラフィ装置、電子線測定装置および走査電子顕微鏡に応用可能であり、なかんずく第４図による実施例は、試料と投影レンズとの間の小さい作動間隔または投影レンズの短い焦点距離、従ってまた非常に拡がった試料においても試料表面の高い位置分解能ならびに申し分のない電子検出を保証する。」（６頁左上欄３行ないし９行）との記載がされている。
　（２）甲第５号証に記載された発明
　甲第５号証には、図面とともに、「電界放射陰極１１からは１ｋｅＶのエネルギーの電子ビームが試料３２に入射する。ところが、試料３２に図示のように設けた電子ビームの減速手段である電源２６によって減速電位、例えば−９００Ｖを与えると、試料３２に入射する電子のエネルギーは１００ｅＶとなる。すなわち、電源２６は減速電圧として例えば前述の−９００Ｖに設定してあり、スイッチＡを操作することにより電子が試料３２の絶縁膜２を等価的に透過しない値まで電子エネルギーの速度を減速する。」（５頁左下欄１５行ないし右下欄４行）、「減速手段である電源２６により必要な速度まで減速された電子ビームが試料３２上に照射されると二次電子が発生するが、そのうち補助電極９を通過したものの一部又は大部分は二次電子検出器２２に捕集される。」（５頁右下欄１０行ないし１４行）との記載がされている。
　
　４　当審の判断
　特許異議の申立てがされた請求項１は削除されており、この請求項に係る特許は存在しないものとなった。
　したがって、以下、特許異議の申立てがされた請求項４、６に対応する訂正明細書の請求項３、５に係る発明について検討する。
　（１）本件発明３について
　訂正明細書の請求項３は、訂正明細書の請求項１又は２を引用するものであり、直接又は間接に訂正明細書の請求項１を引用するものである。
　本件発明３と甲第１号証、甲第５号証に記載された発明とを対比すると、甲第１号証、甲第５号証に記載された発明はいずれも本件発明３の構成要件であり、本件発明１の構成要件でもある「第１の偏向器と第２の偏向器は電界と磁界が交差する如く配置されている」点を備えていない。本件発明３は、この点により明細書記載の格別の作用、効果を奏するものであり、甲第１号証に記載された発明であるということはできず、甲第１号証、甲第５号証に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるということもできない。
　（２）本件発明５について
　訂正明細書の請求項５は、訂正明細書の請求項１又は４を引用するものである。
　本件発明５で請求項１を引用するものと甲第１号証、甲第５号証に記載された発明とを対比すると、甲第１号証、甲第５号証に記載された発明はいずれも「第１の偏向器と第２の偏向器は電界と磁界が交差する如く配置されている」点を備えていない。また、本件発明５で請求項４を引用するものと甲第１号証、甲第５号証に記載された発明とを対比すると、甲第１号証、甲第５号証に記載された発明はいずれも「第１の偏向器により発生する第１の荷電粒子線への影響を補正する、電界及び磁界を用いて配置された第２の偏向器と、前記第１の偏向器の偏向角をα、前記第２の偏向器の偏向角をβと置き、前記対物レンズの物点と前記第１の偏向器との距離Ｓおよび前記対物レンズの物点と前記第２の偏向器との距離Ｔとした時に、ＳのＴに対する比がβのαに対する比に等しくなるように前記第１と第２の偏向器を配置」する点を備えていない。本件発明５は、この点により明細書記載の格別の作用、効果を奏するものであり、甲第１号証に記載された発明であるということはできず、甲第１号証、甲第５号証に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるということもできない。
　
第４　むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立てがされた訂正前の請求項１に係る特許は存在しないものとなっており、また、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては訂正明細書の請求項３及び５に係る特許を取り消すことはできない。そして、他に訂正明細書の請求項３及び５に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年４月２４日（２００３．４．２４）
【訂正の要旨】
ａ．特許請求の範囲の減縮を目的として、旧請求項１の旧請求項２の限定を付加したものを新請求項１とした。
ｂ．旧請求項３を新請求項２に繰り上げると共に、従属先を請求項２から請求項１へ改めた。
ｃ．旧請求項４を新請求項３に繰り上げると共に、従属先を請求項１〜３から請求項１または２へ改めた。
ｄ．旧請求項５を新請求項４に繰り上げた。
ｅ．旧請求項６を新請求項５に繰り上げると共に、従属先を請求項１または５から請求項１または４へ改めた。
ｆ．発明内容と減縮された訂正後の【特許請求の範囲】の記載とを一致させるため、【課題を解決するための手段】段落の記載を訂正後の請求項１に合わせて訂正した。
（５４）【発明の名称】
荷電粒子線応用装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　荷電粒子源と、前記荷電粒子源から出た第１の荷電粒子線を絞って試料に照射させる対物レンズと、前記対物レンズと試料との間で第１の荷電粒子線を減速させる減速手段と、第１の荷電粒子線を試料に照射し、試料から発生する第２の荷電粒子を検出する検出器と、第１の荷電粒子線と第２の荷電粒子とを分離させる第１の偏向器と、前記対物レンズの物点と前記第１の偏向器との間に配置された第２の偏向器と、を具備し
、前記第１の偏向器と第２の偏向器は電界と磁界が交叉する如く配置されている
　【請求項２】
　前記第１と第２の偏向器はＥ×Ｂフィルタであることを特徴とする請求項１記載の荷電粒子線応用装置。
　【請求項３】
　第１の荷電粒子線が試料に入射するエネルギーが１ＫｅＶ以下であることを特徴とする請求項１から２いずれか記載の荷電粒子線応用装置。
　【請求項４】
　荷電粒子源と、前記荷電粒子源から出た第１の荷電粒子線を絞って試料に照射する対物レンズ手段と、第１の荷電粒子線を減速するとともに、試料への第１の荷電粒子線の照射により試料から発生する第２の荷電粒子を加速する減速手段と、第１の荷電粒子線と第２の荷電粒子線を分離する電界及び磁界を用いた第１の偏向器と、前記第１の偏向器により発生する第１の荷電粒子線への影響を補正する、電界及び磁界を用いて配置された第２の偏向器と、前記第１の偏向器の偏向角をα、前記第２の偏向器の偏向角をβと置き、前記対物レンズの物点と前記第１の偏向器との距離Ｓおよび前記対物レンズの物点と前記第２の偏向器との距離Ｔとした時に、ＳのＴに対する比がβのαに対する比に等しくなるように前記第１と第２の偏向器を配置させたことを特徴とする荷電粒子線応用装置。
　【請求項５】
　前記荷電粒子源が電子源、第１の荷電粒子線が１次電子線、第２の荷電粒子が二次電子であることを特徴とする請求項１または４記載の荷電粒子線応用装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、走査形荷電粒子顕微鏡及びその類似装置に係り、特に低加速領域において高分解能でかつ二次電子の高検出効率に好適な荷電粒子光学系に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　走査形電子顕微鏡の分解能を向上させるために、特開昭６１−２９４７４６号に記載されているような光学系が用いられている。すなわち、輝度が高く、エネルギ幅の小さな電界放射形（ＦＥ）電子銃と、レンズの内部に試料を配置して収差を極力小さくしたインレンズ形対物レンズとを組合わせたものである。このような光学系においても低加速領域においては分解能は低下する。
　【０００３】
　一方、色収差を低減するために、特公昭６３−３４５８８に記載されているような光学系が提案されている。
　【０００４】
　この光学系は、電子線が試料を照射する直前まで高加速電圧とし、試料照射時に減速して低加速電圧化するものである。この場合、レンズ通過時の電子線のエネルギが高いので、レンズ収差を小さくできる。すなわち、高分解能化が図れる。
　【０００５】
　以上の観点から、低加速領域で従来以上の高分解能を得るためには、上記両者の光学系を組合せれば可能となる。すなわち、試料はレンズの内部に配置し、この試料に負の電圧を印加して減速すればよい。
　【０００６】
　ただ、この場合問題となるのは二次電子の検出である。試料がレンズの外部にある従来の場合には、特公昭６３−３４５８８に示されているように、一次電子線の減速電界で二次電子が加速されるまでに二次電子検出器の電界で二次電子を検出するように構成すればよかった。しかし、試料をレンズの内部に配置したインレンズ形では、レンズの磁界が強いためにこの磁界に二次電子が強く束縛されるばかりでなく、二次電子検出器をレンズの内部に配置できないという問題が生じる。
　【０００７】
　また、一次電子線と二次電子とを分離することについては特開昭６２−３１９３３号に磁界のみで分離することが開示されていた。
　【０００８】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明の目的は、低加速領域で高分解能化を図り、かつ二次電子の高検出感度が得られる電子光学系を提供することにある。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】
　荷電粒子源と、前記荷電粒子源から出た第１の荷電粒子線を絞って試料に照射させる対物レンズと、前記対物レンズと試料との間で第１の荷電粒子線を減速させる減速手段と、第１の荷電粒子線を試料に照射し、試料から発生する第２の荷電粒子を検出する検出器と、第１の荷電粒子線と第２の荷電粒子とを分離させる第１の偏向器と、前記対物レンズの物点と前記第１の偏向器との間に配置された第２の偏向器とを具備し
、前記第１の偏向器と第２の偏向器は電界と磁界が交叉する如く配置されている
　【００１０】
　まず、試料照射の直前に電子線の減速を行えば、低加速電圧でも高分解能が得られることは従来技術からも分かる。
　【００１１】
　一方、二次電子検出に関しては、Ｅ×Ｂ形のフィルタを試料と検出器との間に用いているので、一次電子線を直進するようにしてやれば、エネルギの異なる二次電子は自然に偏向されることになる。すなわち、図５に示すように電子線２の加速電圧Ｖ０にたいして、次式を満足するようにＥとＢを印加すれば、電子線２の軌道に影響を与えない。
　【００１２】
　【数１】
　【００１３】
　この時、検出すべき二次電子８のエネルギは減速電圧ＶＲでありかつ電子線２と方向が逆であるので、二次電子８の偏向角θは、
　【００１４】
　【数２】
　【００１５】
　となる。
　【００１６】
　この偏向方向を検出器の方向と一致させておけば、二次電子は検出器に向かって進むので、検出効率の向上が図れることになる。
　【００１７】
　【発明の実施の形態】
　本発明の一実施例を図１により説明する。
　【００１８】
　電子銃１からでた電子線２は、幾つかのレンズ（本実施例では加速レンズ３、コンデンサレンズ４、対物レンズ５）により細く絞られて試料６上を照射する。
　【００１９】
　この電子線２は偏向器７により試料６上で二次元的に走査される。また、試料６からでてきた二次電子８は、二次電子検出器９により検出されて映像信号となる。
　【００２０】
　ここで、試料６は電子線２を減速するために負の電圧ＶＲが印加されている。
　【００２１】
　このとき、出てきた二次電子はこの減速電圧ＶＲにより逆に加速され、検出器９の電界のみでは十分に検出器９の方に偏向できなくなる。
　【００２２】
　そこで、出てきた二次電子８を検出器９の方に偏向するために偏向器を配置すればよいが、電子線２の軌道に影響のないように電界Ｅと磁界Ｂとを直交させたいわゆるＥ×Ｂ形のフィルタ１０を対物レンズ５と検出器９との間に配置している。このとき、（１）式のようにＥとＢを印加すれば、電子線２の軌道には影響を与えずに二次電子８のみを検出器の方に偏向でき、検出効率の向上が図れる。
　【００２３】
　ただ、この場合、フィルタ１０による色収差が問題になる。この色収差による偏向角βは、
　【００２４】
　【数３】
　【００２５】
　で表わされる。ここで、ΔＶは電子線２のエネルギ幅である。
　【００２６】
　すなわち、図２に示すようにこの色収差により物点１２でＳβの拡がりを持つことになり、対物レンズの倍率をＭとすると試料上ではＭＳβの拡がりを生ずる。具体的数値の典型的な一例を示すと、θ＝３０°、ΔＶ＝０．３ｅＶ、Ｖ０＝１ｋＶ、としてＶＲに対するβは図３に示すものとなる。この図からβを大きく見積もって５×１０−５とし、Ｓ＝２００ｍｍ，Ｍ＝１／５０とすると、０．２μｍの拡がりとなる。この値は、電子線２の所望の値（〜ｎｍ）より非常に大きい。
　【００２７】
　そこで、本発明では図４ならびに図１に示すように、Ｅ×Ｂ形のフィルタ１１を配置してこの色収差を自己消去できるようにした。すなわち、図４から分かるようにΔＶのエネルギが拡がりを持つ電子線２があたかも物点１２の一点から出たかのようになるようにフィルタ１１を動作させる。このフィルタ１１の偏向角β′は、
　【００２８】
　【数４】
　　β′＝Ｓβ／Ｔ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　…………（４）
　【００２９】
　とすればよい。
　【００３０】
　以上により、電子線２の径を増大させることなく、二次電子８のみを検出器９の方に偏向することが可能となる。すなわち、低加速領域でも高分解能でかつ二次電子の高検出効率が得られることになる。
　【００３１】
　図１に示す本発明を実施した結果のごく一例を以下に示す。フィルタ１１を物点１２とフィルタ１０とのほぼ中間に配置して電界Ｅと磁界Ｂとの作用長Ｌを約２０ｍｍとなるように構成し、Ｖ０＝１ｋＶと固定にしてＶＲ＝０〜９００Ｖと変化させた。このとき、フィルタ１０、１１のそれぞれのＥとＢの強さをＥ＝０〜２５Ｖ／ｍｍ，０〜５０Ｖ／ｍｍ，Ｂ＝０〜１４ガウス（Ｇａｕｓｓ），０〜２８ＧａｕｓｓとＶＲに連動させて変化させたところ、４〜６ｎｍの高分解能が実現できた。
　【００３２】
　本発明は、１ｋＶ以下の低加速電圧でｎｍオーダの分解能を得ることを目的になされたため、フィルタを２段にしたが、目的によっては１段で構成しても二次電子の高検出効率化は可能であることは、本実施例で述べた通りである。
　【００３３】
　また、本実施例では試料がレンズの内部に配置したが、レンズの外側に配置された構成の光学系にたいしても実施することができる。なおこの場合、二次電子検出器は試料と対物レンズとの間にあってもよいし、図１のように対物レンズの上側にあってもよいことはいうまでもない。要は、試料と二次電子検出器との間にＥ×Ｂ形のフィルタがあれば実現できる。
　【００３４】
　さらに、本発明は走査形電子顕微鏡に対して述べたが、これに限ることなく類似の電子線応用装置一般に適用できるし、さらにイオン線のような荷電粒子線応用装置一般に適用できることは言うまでもない。ただ、正の電荷を持っている荷電粒子線の場合には、減速電圧は正の値にする必要がある。
　【００３５】
　【発明の効果】
　本発明によれば、低加速領域でも荷電粒子線径を増大させることなく二次荷電粒子を検出器の方に偏向することが可能となるので、高分解能でかつ二次荷電粒子の高検出効率が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例を示す荷電粒子光学系の縦断面図。
　【図２】
　Ｅ×Ｂ形フィルタの色収差に関する説明図。
　【図３】
　Ｅ×Ｂ形フィルタの色収差により生じる偏向角と試料に印加した減速電圧との関係曲線図。
　【図４】
　フィルタの色収差を自己打消しさせるための基本光学系の縦断面図。
　【図５】
　Ｅ×Ｂ形フィルタによる一次電子線と二次電子の軌道を示す説明図である。
　【符号の説明】
　１…電子銃、２…電子線、３…加速レンズ、４…コンデンサレンズ、５…対物レンズ、６…試料、７…偏向器、８…二次電子、９…二次電子検出器、１０，１１…Ｅ×Ｂ形フィルタ、１２…物点。