【事件の表示】
　特願２００６−５３３４０１「汎用プログラマブル半導体処理システムのためのアーキテクチャおよびその方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１７年　１月　６日国際公開、ＷＯ２００５／００１８９３、平成１９年　３月　８日国内公表、特表２００７−５０５５０８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯  
　本願は、平成１６年５月２４日（パリ条約による優先権主張　２００３年（平成１５年）６月１３日　米国）を出願日とする国際出願であって、平成２３年４月１１日付けで拒絶理由が通知され、同年１０月１７日付けで意見書及び手続補正書が提出されたが、同年１１月８日付けで拒絶査定がなされた。
　これに対して、平成２４年３月１３日付けで拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同日付けで手続補正書が提出され、同年７月２４日付けで前置報告書の内容を示し意見を求めるための審尋が通知され、同年１０月１２日付けで回答書が提出され、同年１２月１２日に当審より拒絶理由が通知され、平成２５年３月１４日付けで意見書及び手続補正書が提出されたものである。 　  
　　
２．本願発明  
　平成２５年３月１４日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、以下のとおりのものである。  
「【請求項１】  
　半導体処理システムの一連のオフラインの作業を自動化する方法であって、
　マクロエディタアプリケーションを使用して工程のセットから成るマクロを作成する工程であって、前記工程のセットが前記半導体処理システムの基板処理の前に実行される一連のオフラインの作業に関連している、マクロを作成する工程と、
　前記マクロを、前記半導体処理システムのマクロ実行エンジンに提供する工程と、
　前記マクロ実行エンジンを用いて、前記半導体処理システムで前記マクロを実行する工程であって、それによって前記工程のセットが実行される前記マクロを実行する工程と、
　前記マクロを実行する工程の間に収集されたデータの値を含んでいる報告書を作成する工程と、
　を含んでおり、
　前記マクロは、ユーザーに対して、マクロ手順を停止させることと、マクロ手順を打ち切ることと、マクロ手順を一時的に休止することと、ユーザー入力をスキップさせることと、を許可するように作成されていることを特徴とする方法。」（以下、「本願発明」という。）
　                                        
３．刊行物に記載された事項  
　当審より通知された拒絶理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００２−４３２９０号公報（以下、「引用刊行物」という。）には、図面とともに下記の事項が記載されている。 
ア「【請求項１】　処理装置のメンテナンス方法であって，前記処理装置のメンテナンス対象パーツごとの単動作を予め登録する登録工程と，前記単動作単位および／または前記単動作の組み合わせをシーケンス動作および／またはパラレル動作としてメンテナンスマクロを記述するマクロ記述工程と，前記マクロ記述工程において記述されたメンテナンスマクロを実行することによりメンテナンスを行うマクロ実行工程と，を含むことを特徴とする，処理装置のメンテナンス方法。」 
 　　 
イ「【０００１】 
【発明の属する技術分野】本発明は，処理装置のメンテナンス方法に係り，特に半導体ウエハや液晶表示体用基板等の被処理体に対してエッチングや成膜等の処理を施す処理装置のメンテナンス方法に関する。」 
 　　 
ウ「【０００４】 
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，装置動作のテスト内容や装置検査データの取得内容が変更になった場合は，いちいちプログラムを組み直すか，あるいはテストや検査項目を手動操作で行わなくてはならなかった。これらの作業は非常に煩雑であり，工数のかかるものであった。・・・・
【０００５】本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，装置動作の任意の組み合わせが可能な処理装置のメンテナンス方法を提供することにある。」 
 　　 
エ「【００１４】次に，図３を参照して本発明の実施の形態に係る処理装置のメンテナンス方法を説明する。図３は本発明の実施の形態に係る処理装置のメンテナンス方法を示すフローチャートである。最初に，処理装置のメンテナンス対象となるパーツの単動作を予め登録する（Ｓ１０）。単動作はパーツにより異なり，例えばゲートであればｏｐｅｎ動作のみ，あるいはｃｌｏｓｅ動作のみの動作単位となる。この時，パーツの検査動作やパーツの初期化動作も含めて登録しておくことが好ましい。 
【００１５】次に，Ｓ１０で登録した単動作を任意に組み合わせて，シーケンス動作および／またはパラレル動作としてメンテナンスマクロファイルを作成する（Ｓ２０）。ここで，シーケンス動作とは，動作をシーケンシャルに実施する順列動作のことであり，パラレル動作とは，動作を並列に実施する並列動作のことである。この時，必要に応じて，パーツの単動作を反復させるループマクロを作成することが好ましい。例えば，耐久試験を行いたい場合等にはループマクロは有効である。また，パーツの単動作が制御値に到達したか否かを監視するための到達監視動作マクロも含めて作成することが好ましい。
【００１６】次に，Ｓ２０で作成したメンテナンスマクロファイルを実行させて，これによりメンテナンスを行う（Ｓ３０）。この際に，複数のメンテナンスマクロファイルの実行予約を行うことも可能である。また，実行中に中止，一時停止，再開を行うことも可能である。
【００１７】メンテナンスマクロファイル実行中の装置データおよび関連データはファイルとして保存される。このデータを基に，行われたシーケンス動作，パラレル動作を評価する（Ｓ４０）。」 
 　　 
オ「【００１８】図４はＳ２０でマクロを作成する際に用いられるマクロエディタ画面の一例である。画面中，「モジュール」欄の「ＬＭ」はローダモジュール（搬出入室）の略である。「コマンド」欄は実際に動作を行うパーツを記述し，ここでは「アーム」となっている。「設定値１」欄は，コマンド欄で記述されたパーツに対する設定値を記述する。ここで，「ＬＬＭ待機位置」はロードロック室正面向い側へのアームの移動動作を意味し，「ＬＰ１待機位置」は１番目のロードポートの正面向い側へのアームの移動動作を意味する。
【００１９】すなわち，アームがロードロック室正面向い側にアームが移動する単動作，１番目のロードポートの正面向い側にアームが移動する単動作を組み合わせた装置動作が記述されている。画面中の１０はこれらの動作を繰り返し行う回数を意味するので，このマクロを実行させると，上記の動作が１０回繰り返されることになる。・・・・
【００２０】作成したマクロは画面下のマクロ保存ボタンを操作することにより，ファイルとして保存できる。保存したマクロファイルは，マクロ読込ボタンを操作することにより，必要な時に呼び出すこともできる。また，呼び出したマクロファイルを編集することもできる。例えば，ステップを挿入したい時，あるいはステップを削除したい時は，それぞれステップ挿入，あるいはステップ削除ボタンを操作して所望の動作を設定できる。これより，このようなマクロエディタを用いて，単動作を任意に組み合わせることができる。また，装置動作のテスト内容や装置検査データの取得内容が一部変更になった場合においても，以前に作成したマクロファイルを呼び出し，一部編集することで容易に対応できる。」  　　
　　 
カ「【００２１】このように，本実施の形態によれば，パーツの動作を任意に組み合わせたマクロを記述して，それを実行させることにより，任意の装置動作を実行できる。これより，調整，検査工程を自動化できる。動作テストや取得するデータの内容が変更になった場合でも，既存のマクロファイルを呼び出し，一部編集することで容易に対応できるため，一からプログラムを組み直したり，手動操作したりする必要がない。また，単動作を反復させるループマクロを記述して，それを実行させることにより，耐久試験等を実行することもできる。」 
　　
　半導体ウエハや液晶表示体用基板等の被処理体に対してエッチングや成膜等の処理を施す処理装置には、記述されたメンテナンスマクロを記憶するとともに、そのメンテナンスマクロを実行する演算処理装置を備えていることは明らかであるから、上記の記載をふまえると、引用刊行物には下記の発明が記載されているといえる。 
「半導体ウエハや液晶表示体用基板等の被処理体に対してエッチングや成膜等の処理を施す処理装置のメンテナンス方法であって、
　マクロエディタを用いて、前記処理装置のメンテナンス対象パーツごとの単動作を予め登録し、前記単動作単位および／または前記単動作の組み合わせをシーケンス動作および／またはパラレル動作としてメンテナンスマクロを記述するマクロ記述工程と、前記マクロ記述工程において記述されたメンテナンスマクロを実行することによりメンテナンスを行うマクロ実行工程と、を含み、
　記述されたメンテナンスマクロを記憶するとともに、そのメンテナンスマクロを実行する演算処理装置を備え、
　メンテナンスマクロを記述して、それを実行させることにより、処理装置の調整、検査工程を自動化でき、
　メンテナンスマクロ実行中の装置データおよび関連データをファイルとして保存し、メンテナンスマクロ実行中に中止、一時停止を行うことを可能とした、メンテナンス方法。」（以下、「引用発明」という。） 
　　　　 
３．対比・判断  
　本願発明と引用発明を対比すると、引用発明の「半導体ウエハや液晶表示体用基板等の被処理体に対してエッチングや成膜等の処理を施す処理装置」、「マクロエディタ」、「単動作の組み合わせ」、「メンテナンスマクロ」、「演算処理装置」、「装置データおよび関連データ」を保存した「ファイル」、「メンテナンスマクロ実行中に中止、一時停止を行うこと」は、それぞれ本願発明の「半導体処理システム」、「マクロエディタアプリケーション」、「工程のセット」、「マクロ」、「マクロ実行エンジン」、「収集されたデータの値を含んでいる報告書」、「マクロ手順を停止させることと、マクロ手順を打ち切ることと、マクロ手順を一時的に休止すること」に相当する。
　
　本願発明と引用発明は、
「マクロエディタアプリケーションを使用して工程のセットから成るマクロを作成する工程と、
　前記マクロを、前記半導体処理システムのマクロ実行エンジンに提供する工程と、
　前記マクロ実行エンジンを用いて、前記半導体処理システムで前記マクロを実行する工程であって、それによって前記工程のセットが実行される前記マクロを実行する工程と、
　前記マクロを実行する工程の間に収集されたデータの値を含んでいる報告書を作成する工程と、を含んでおり、
　前記マクロは、ユーザーに対して、マクロ手順を停止させることと、マクロ手順を打ち切ることと、マクロ手順を一時的に休止することと、を許可するように作成されている方法」で一致し、下記の点で相違する。 
 　 
・相違点１ 
　本願発明の方法が、半導体処理システムの一連のオフラインの作業を自動化する方法であって、作成されるマクロは半導体処理システムの基板処理の前に実行される一連のオフラインの作業に関連したものであるのに対し、引用発明の方法は、半導体ウエハや液晶表示体用基板等の被処理体に対してエッチングや成膜等の処理を施す処理装置（半導体処理システム）のメンテナンス方法であって、記述されたメンテナンスマクロ（マクロ）を実行することにより、前記処理装置（半導体処理システム）の調整、検査工程が自動化される点。 
・相違点２
　本願発明のマクロが、ユーザーに対して、ユーザー入力をスキップさせることと、を許可するように作成されているのに対し、引用発明のメンテナンスマクロ（マクロ）は、そのように作成されているか特定されていない点。
 　　 
　そこで、上記相違点について検討する。 
・相違点１について
　半導体処理装置においては、基板処理に先だって処理チャンバ等のメンテナンスを実行する場合、メンテナンス対象の処理チャンバでの基板処理を停止させてオフラインで作業を行うことが一般的である。 
　また、本願明細書の段落【００１６】〜【００２０】並びに図２及び図３には、マクロにより一連の作業を行うオフラインでの作業例として、チャンバの動作等を検査する作業が例示されており、このチャンバの動作検査等は半導体処理システムのメンテナンス作業にあたるものである。 
　よって、引用発明における処理装置のメンテナンス作業は、本願発明における「オフラインの作業」にあたるといえ、上記相違点１は実質的な相違点とはいえないものである。 
　
・相違点２について
　引用発明のような半導体処理装置のメンテナンスを行う方法では、ユーザー入力工程を設けることは、従来より周知（例えば、特開２００１−３２６１６２号公報（段落【００４０】）参照）である。
　本願明細書の段落【００２３】には「ユーザー入力が任意である場合、表示ボックス５３２に示すようにボタン５１８によりユーザーはユーザー入力をスキップすることができる。」と記載されており、入力が任意の事項は、マクロの実行には何ら影響を与えないものであるから、ユーザー入力工程を工程のセットからなるマクロに加えることは、当業者が適宜なし得る程度のものであるといえる。
　また、演算処理装置に入力手段を用いて入力する際、入力作業の円滑化のため、典型的な入力情報を想定してあらかじめ適切な情報を組み込んでおき、その情報を追認するだけで更に入力が必要でないような場合には、入力作業をスキップして次の作業に進むことができるように入力手段を構成することも、従来より周知である（必要であれば、国際公開第２００３／４４７５６号等参照）。
　　
　なお、上記国際公開第２００３／４４７５６号には、下記の事項が記載されている。
「Once the optional help message has been read, the user would press the next button 1416 which steps to the exemplary screen shown in Fig. 14b. The user may then select which setup method he wishes to use. In the example illustrated, the default setup method - brand setup - is already selected and the user simply presses the next button 1416 to proceed to use this setup method.」（明細書２１頁１２〜１６行） 
（当審による和訳（下線は当審により付記したもの）：オプションのヘルプ・メッセージが読まれ、ユーザがネクストボタン１４１６を押すと、図１４ｂに示された画面になる。ユーザは、次に、どのセットアップ方法を使用することを望むかを選択することができる。示された例においては、
デフォルト・セットアップ方法（ブランド・セットアップ）が、既に選択されており、ユーザは、このセットアップ方法を使用するためにはネクスト・ボタン１４１６を単に押すだけでよい
　　
　したがって、引用発明のメンテナンスマクロに、必要に応じて適宜、ユーザー入力の工程を設け、その際、ユーザー入力をスキップ可能に構成することは、当業者が容易に想到し得たものである。　
　
　そして、本願発明により奏される効果は、引用発明及び周知の技術的事項から容易に予測できるものである。
　よって、本願発明は、引用発明及び周知の技術的事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。 
　　
５．むすび  
　したがって、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないので、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。