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　特願２００９−１８８３８１「膜厚測定装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　２月２４日出願公開、特開２０１１−　３８９６８、請求項の数（１３）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　
特許出願：　平成２１年８月１７日
拒絶理由通知：平成２４年２月２９日（発送日：同年３月６日）
手続補正：　平成２４年４月２４日 
拒絶査定：　平成２４年６月２６日（送達日：同年７月３日）
拒絶査定不服審判の請求：　平成２４年１０月２日 
手続補正：　平成２４年１０月２日 （以下、「本件補正」という。）
　　　
　
第２　本願発明
　本件補正は、実質的に補正前の請求項１を引用する請求項３に係る発明を新たな請求項１に係る発明とすると共に、補正前の請求項６を削除し、またこれらの補正に対応させて引用する請求項番号の記載を修正したものであって、請求項の削除を目的とするものに該当し、適法なものである。
　したがって、本願の請求項１−１３に係る発明は、本件補正によって補正された明細書、特許請求の範囲、及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１−１３に記載された事項により特定されるとおりのものと認められる。
　そこで、まず、請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）について検討するに、本願発明は、以下のとおりである。 
　
「被測定フィルムに光を照射し、このフィルムの反射光または透過光の分光スペクトルを取得するスペクトル取得部と、
　前記分光スペクトルが入力され、この分光スペクトルからパワースペクトルを演算するパワースペクトル演算部と、
　前記パワースペクトルが入力され、このパワースペクトルのピークを検出して、この検出したピークから前記フィルムの膜厚を算出する膜厚算出部と、
　前記分光スペクトルに関連するデータが入力され、このデータに基づいて前記膜厚算出部が算出した膜厚の測定品質を算出して出力する測定品質算出部と、
　前記パワースペクトルが入力され、このパワースペクトルから閾値を算出して出力する閾値算出部と、
　前記閾値算出部が出力した閾値および前記測定品質算出部が算出した測定品質が入力され、この測定品質と閾値から、前記膜厚算出部が測定した膜厚の有効／無効を判定して、この有効／無効を表すデータを出力する測定品質判定部と、
　前記膜厚算出部が算出した膜厚、および前記測定品質判定部が出力した有効／無効を表すデータが入力され、前記測定品質判定部が有効と判定したときに、前記膜厚算出部が算出した膜厚を出力し、無効と判定したときに前記膜厚を出力しない膜厚出力部と、
　を具備したことを特徴とする膜厚測定装置。」
　
　
第３　原査定の理由の概要
　請求項１−１５に係る各発明は、いずれも、その出願前に日本国内において頒布された下記の刊行物に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　
刊行物１：特開２００３−１３０６１４号公報
刊行物２：特開平１０−０６２１３９号公報
　　
　
第４　当審の判断
１．刊行物の記載事項
　刊行物１には、次の事項（ａ）ないし（ｃ）が図面とともに記載されている。
 　
（ａ）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は対象物に形成した被測定対象膜の膜厚を非破壊・非接触で測定する方法に関するものである。」
　
（ｂ）
「【００１８】分光干渉計１は、主要部が次に示すように構成されている。１３は干渉光を生成するための白色光源（可視光源を基本とするが、赤外光等を用いることもある）、１４は半透過鏡で、光源１３からの照射光を前記半透過鏡１１を介して被測定物６に照射し、被測定物６から前記半透過鏡１１を介して戻ってくる戻り光を光源１３からの照射光とは分離する。
【００１９】１５は回折格子で、半透過鏡１４から出射する戻り光を分光する。１６はセンサアレイで、回折格子１５にて波長毎に分光された干渉光強度を位置別の強度情報として検出する。
【００２０】分光干渉計１のセンサアレイ１６で検出された位置毎の強度情報は、演算器４によって処理される。この演算器４はマイクロコンピュータを主要部として構成されており、図３に示すプロセスを実行するように構成されている。
【００２１】プロセスＳ１は干渉波形強度を生成するプロセスで、各周波数毎に干渉波形強度を求めて対応づける。周波数は、基本的にセンサアレイ１６の位置に対応する。
【００２２】プロセスＳ２は周波数特性を生成するプロセスで、既に求まった干渉波形に対してフーリエ変換を施す。これによって、干渉波形を代表する基本周波数と、そのレベル（周波数強度）を求めることができる。代表的基本周波数は、膜厚に対応し、そのレベル（周波数強度）は波形の均一性に対応する。」
　
（ｃ）
「【００２４】また、被測定膜の下面（下地材との界面）の反射状態が悪く、十分な反射光が得られず、結果的に十分な干渉強度が得られないことがある。この場合、何ら条件付けをすることなく基本周波数を自動抽出すると、誤った基本周波数が自動抽出され、誤測定に至る可能性がある。そこで、波形の均一性に着目し、フーリエ変換後の特定周波数強度レベルに閾値を設け、一定値以上のレベルに達しない周波数は、採用しないものとする。この限定を加えることで、不用意に誤った基本周波数を自動抽出する可能性がなくなり、誤測定を防止することができる。
【００２５】プロセスＳ３は以上の２種類の限定を加える閾値判定プロセスである。プロセスＳ４は、全プロセスにて抽出された基本周波数（波長）から、膜厚を算出するプロセスで、一般的に下記の（式１）に示す算出式等が用いられる。」
　
　以上の点を踏まえ、上記記載（ａ）ないし（ｃ）、及び図面の図１〜３の記載から、刊行物１には、次の発明が記載されていると認められる。
　
「被測定膜に照射光を照射し、この膜からの戻り光を分光して、分光された干渉光強度を検出する回折格子及びセンサアレイと、
　干渉波形強度にフーリエ変換を施し、干渉波形を代表する基本周波数を自動抽出し、抽出された基本周波数（波長）から、膜厚を算出する演算器と、
　を具備し、
　フーリエ変換後の特定周波数強度レベルに閾値を設け、一定値以上のレベルに達しない周波数は、採用しないものとした、
　ことを特徴とする膜厚測定装置。」（以下「引用発明」という。）
　
　
２．対比
　本願発明と引用発明とを、主たる構成要件毎に、順次対比する。
　
　まず、引用発明における「被測定膜」及び「照射光」は、それぞれ本願発明における「被測定フィルム」及び「光」に相当し、引用発明における「この膜からの戻り光を分光して、分光された干渉光強度を検出する回折格子及びセンサアレイ」は、本願発明における「このフィルムの反射光または透過光の分光スペクトルを取得するスペクトル取得部」に相当する。
　また、引用発明における「干渉波形強度にフーリエ変換を施し、干渉波形を代表する基本周波数を自動抽出し、抽出された基本周波数（波長）から、膜厚を算出する演算器」は、本願発明における「前記分光スペクトルが入力され、この分光スペクトルからパワースペクトルを演算するパワースペクトル演算部」及び「前記パワースペクトルが入力され、このパワースペクトルのピークを検出して、この検出したピークから前記フィルムの膜厚を算出する膜厚算出部」に相当する。
　
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
　
（一致点）
　「被測定フィルムに光を照射し、このフィルムの反射光または透過光の分光スペクトルを取得するスペクトル取得部と、
　前記分光スペクトルが入力され、この分光スペクトルからパワースペクトルを演算するパワースペクトル演算部と、
　前記パワースペクトルが入力され、このパワースペクトルのピークを検出して、この検出したピークから前記フィルムの膜厚を算出する膜厚算出部と、
　を具備したことを特徴とする膜厚測定装置。」
　
（相違点）
　本願発明が、「前記分光スペクトルに関連するデータが入力され、このデータに基づいて前記膜厚算出部が算出した膜厚の測定品質を算出して出力する測定品質算出部と、前記パワースペクトルが入力され、このパワースペクトルから閾値を算出して出力する閾値算出部と、前記閾値算出部が出力した閾値および前記測定品質算出部が算出した測定品質が入力され、この測定品質と閾値から、前記膜厚算出部が測定した膜厚の有効／無効を判定して、この有効／無効を表すデータを出力する測定品質判定部と、前記膜厚算出部が算出した膜厚、および前記測定品質判定部が出力した有効／無効を表すデータが入力され、前記測定品質判定部が有効と判定したときに、前記膜厚算出部が算出した膜厚を出力し、無効と判定したときに前記膜厚を出力しない膜厚出力部と」を具備するのに対し、引用発明は、「フーリエ変換後の特定周波数強度レベルに閾値を設け、一定値以上のレベルに達しない周波数は、採用しない」とされてはいるものの、「測定品質算出部」、「閾値算出部」、「測定品質判定部」、及び「膜厚出力部」のいずれも具備していない点。
　
  　
３．判断
　上記相違点について検討する。
　上記刊行物２には、形状測定装置に関し、
　
「【００２６】・・・そして、ステップS25 で求めたピーク値とS22 で求めた平均値の比を計算し、それが所定の値より大きければステップS26 で有効・無効フラグを有効にセットし、大きくなければステップS27 で有効・無効フラグを無効にセットする。つまり、本原理による測定方式は、測定範囲内に被測定物Ｋの反射面がなく干渉縞が生じなかったときや、反射率が低くて十分なコントラストの干渉縞が得られなかったときには、正しい測定結果とならないので、信頼でき得る測定結果であるかどうかをピークの信号レベルから判定している。」
　
　との記載があり、平均値に基づいた閾値を用いて信頼でき得る測定結果であるかどうかを判定する技術（以下「周知技術１」という。）が開示されているといえる。
　しかしながら、周知技術１は、膜厚の測定に関するものではなく、またそもそも分光スペクトルまたはパワースペクトルを用いる技術ではないのであるから、本願発明に係る「分光スペクトルに関連するデータ」が入力される「測定品質算出部」を示唆するものとはいえない。また同様に、パワースペクトルから閾値を算出して出力する「閾値算出部」、それらの出力を用いて判定を行う「測定品質判定部」、及び算出された膜厚を出力するか否かを制御する「膜厚出力部」のいずれも示唆するものでもない。
　すなわち、引用発明における「フーリエ変換後の特定周波数強度レベルに閾値を設け、一定値以上のレベルに達しない周波数は、採用しないものとした」という構成に、平均値に基づいた閾値を用いて信頼でき得る測定結果であるかどうかを判定するという周知技術１を適用したとしても、フーリエ変換後の周波数強度の平均値に基づく値を閾値とし、これと特定周波数強度レベルとを比較し、特定周波数の採用、不採用を判定することになり、本願発明の「パワースペクトルから閾値を算出して出力する閾値算出部」が得られるにとどまって、本願発明に係る「分光スペクトルに関連するデータが入力され、このデータに基づいて前記膜厚算出部が算出した膜厚の測定品質を算出して出力する測定品質算出部」までが得られるものではない。
　そして、本願発明は、上記相違点の構成を備えることにより、短時間で信頼性の高い測定が行えるという、明細書に記載の特段の作用効果を奏する。
　したがって、本願発明は、引用発明及び周知技術１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。   
　請求項２−１３に係る発明は、本願発明をさらに限定した装置発明である。よって、本願の請求項２−１３に係る発明も、同様に、引用発明及び周知技術１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　
　
第５　むすび
　以上のとおり、本願の各請求項に係る発明は、いずれも引用発明及び周知技術１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできないから、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。