【事件の表示】
　平成８年特許願第１７９１３４号「静電チャックアセンブリ」〔平成９年５月６日出願公開（特開平９−１２０９８７号）、請求項の数（８）〕拒絶査定に対する審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
　１．手続の経緯と本願各請求項の発明
　本願は、平成８年７月９日（パリ条約による優先権主張　１９９５年７月１０日（ＵＳ）アメリカ合衆国）の出願であって、その発明は、本件審判請求後の平成１１年６月１６日付及び平成１３年５月１４日付で補正された明細書の特許請求の範囲における、請求項１〜８に記載された事項によりそれぞれ特定される、次のとおりのものであると認める。
　【請求項１】「ウェハを保持する支持面を有し、処理チャンバ内に配置されている支持体、
　ウェハを前記の支持面へ静電気により結合するため前記の支持面へ結合される電圧源、そして
　ウェハを冷却する冷却システムを備え、前記の支持体は前記の支持面からウェハの異常分離を防止する防止手段を含んでおり、前記の冷却システムはガス源、前記の支持面とウェハとの間でガスを均一に分散するするよう前記の支持面に形成された複数のガス分散溝、そして前記のガス源から前記のガス分散溝へガスを流すため前記のガス源を接続する導管とを備え、この導管は前記のガス源へ接続された内部ガス充満部と前記のガス分散溝へ接続された外部ガス充満部とを含み、前記の防止手段は前記の内部ガス充満部と前記の外部ガス充満部との間でガスの流れを制限する流れ制限手段を含み、この流れ制限手段は前記のウェハを押し上げる押し上げ手段と協動するよう配置されていることを特徴としたウェハを支持する静電支持システム。」
　【請求項２】「ウェハを支持する支持面を有し、そして少なくとも一つの電極を支持している支持体、
　前記の支持体から外方に延び、前記の処理チャンバの周囲壁に取り付けられている第１と第２のアーム部材、
　前記の支持面へウェハを静電的に結合するため前記の支持面に電荷を与える手段、そして
　前記のアーム部材の一方を通っている少なくとも一つの通路を備え、この通路は前記の少なくとも一つの電極を前記のチャンバーの外の直流電圧源へ結合するための少なくとも一つの電気コネクタを収容しており、前記の支持体と前記のアーム部材とは前記のチャンバの底から離れており、前記のアーム部材は前記の支持体の一側にあってアーム部材間に空間を設けている請求項１に記載の静電支持システム。」
　【請求項３】「前記の支持面に電荷を与える手段は、前記の支持体から遠いＲＦ電圧源と、このＲＦ電圧源へ結合されていて、前記のアーム部材の一方を通っている別の通路を延びている少なくとも一つのＲＦ電気コネクタとを含んでいる請求項２に記載の静電支持システム。」
　【請求項４】「前記の支持体から遠い流体源と前記のアーム部材の他方を通っている一つの通路を延びる流体導管とを含む電極冷却システムを備えている請求項３に記載の静電支持システム。」
　【請求項５】「遠隔のガス源と、前記のアーム部材の他方を通っている別の通路を延びて、前記のガス源を前記の支持面に形成した複数のガス分散溝へ結合するガス導管とを有するウェハ冷却システムを備えている請求項４に記載の静電支持システム。」
　【請求項６】「前記の流れ制限手段は前記の支持体を通る孔の内面と押し上げ手段の外面とにより定められる請求項１に記載の静電支持システム。」
　【請求項７】「前記の孔は支持面上のガス分散溝と連通している請求項６に記載の静電支持システム。」
　【請求項８】「ウェハの一部分が前記の支持面から離れるとき、前記の防止手段は内部ガス充満部と外部ガス充満部との間のガス流の流速を、前記の内部ガス充満部と前記のガス分散溝の中のガス圧が前記の支持面から前記のウェハの残りの部分を離すには足りない大きさとするように調整する請求項１に記載の静電システム。」
　
　２．原査定の理由についての検討
　これに対して、原査定の理由の概要は、本願請求項１の発明（上記審判請求後の手続補正がされる前のもの）は、本願優先日前に頒布された特公平６−２２２１３号公報（刊行物１）に記載された発明であるし、同じく請求項２〜４の発明は、上記刊行物１及び同じく優先日前に頒布された特開昭６２−２７７２３５号公報（刊行物２）に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたというものである。　
　しかし、上記１．の認定のとおり、本願請求項１の発明（以下、「本願発明」という）については、上記手続補正によって、「支持体は前記の支持面からウェハの異常分離を防止する防止手段を含んでおり」、「防止手段は前記の内部ガス充満部と前記の外部ガス充満部との間でガスの流れを制限する流れ制限手段を含み」、「流れ制限手段は前記のウェハを押し上げる押し上げ手段と協動するよう配置されている」という構成要件（以下、「相違点の構成」という）を備えることが明示された。
　そして、この相違点の構成については、上記いずれの刊行物にも記載されていないし、また、ウェハを処理した後、支持面から離す際に、「全ての供給ガスが支持面に露出された場合には、圧力によってウェハは支持面１４から無理やり剥がされ」て「損傷」することがあるので（本願の公開公報【0018】参照）、これを防止するという、本願発明の主要な技術課題についての言及や示唆も存在しない。
（因みに、上記刊行物１には、本願発明の「押し上げ手段」に相当する「ピン１１３」と共に、同じく「ガスの流れを制限する流れ制限手段」といえる「マスフローコントローラ（ＭＦＣ）７１」と「調整バルブ７２」を開示する記載がある（第３頁第６欄第４４〜４７行、第４頁第７欄第３７〜同第８欄第３行参照）。しかし、刊行物１には、上記「ピン」と、「ＭＦＣ」や「調整バルブ」との関連構成については格別の言及がなく、しかも、ガスの供給はウエハ処理終了時に停止される旨の記載（第４頁第８欄第１０〜２０行参照）もあるから、上記刊行物は、「流れ制限手段は前記のウェハを押し上げる押し上げ手段と協動するよう配置されている」という、本願発明の構成要件を開示しているとはいえない。
　更に、上記の刊行物の他に、試料（ウエハ）を試料保持部から離脱させるために、「圧力制御装置２２ｃ」を介して供給されるガス圧を利用することを開示した公知文献として、特開平７−１３０８２５号公報もあるが、これも、ガス圧の作用によるウエハの離脱を確認した後に、「リフトピン４８ａにより試料を持ち上げ」る（【0021】）としているところから、流れ制限手段が「押し上げ手段と協動するよう配置されている」という構成要件を開示するものとはいえない。）
　したがって、本願発明を刊行物１に記載された発明とはいえず、また、刊行物１及び２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
　また、請求項２以下の発明は、本願発明を引用し、これを更に限定する発明であるので、本願発明と同様に、刊行物１に記載された発明とも、刊行物１及び２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。
　
　３．当審で通知した拒絶理由についての検討
　当審で通知した拒絶理由（平成１２年１０月２７日付）の概要は、本願請求項２〜５の発明（上記平成１３年５月１４日付の手続補正がされる前のもの）は、本願優先日前に頒布された刊行物である、実願昭６１−１８８２３９号（実開昭６３−９３６４２号）のマイクロフィルム、又はこれに加えて特開平６−３０２６７８号公報に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたというものであるが、この拒絶理由は、上記手続補正の結果、請求項２以下の発明が本願発明を引用するものであることが明示されたことにより解消されている。
　
　４．むすび
　以上のとおり、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。