【手続補正書】
【提出日】平成27年8月28日(2015.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リソグラフィ装置のイルミネータに放射ビームを提供するのに適した放射源であって、
燃料液滴の流れを軌道に沿ってプラズマ形成地点に向けて誘導するノズルを備え、
前記放射源は、使用に際して、第１の量の放射が前記プラズマ形成地点で燃料液滴に入射するように、かつ、使用に際して、前記第１の量の放射が前記燃料液滴にエネルギを伝達して第２の量の放射を放出する放射生成プラズマを生成するように、前記第１の量の放射を受け、
前記放射源は、
前記第１の量の放射の焦点位置を示す前記第１の量の放射の特性を測定する第１センサアレンジメントと、
前記燃料液滴の位置を示す燃料液滴の特性を測定する第２センサアレンジメントと、をさらに備える、
放射源。
【請求項２】
前記第１センサアレンジメントは、第１の時間に、第２の時間における前記第１の量の放射の前記焦点位置を示す、前記第１の量の放射の特性を測定し、
前記第２センサアレンジメントは、第３の時間に、前記第２の時間における前記燃料液滴の前記位置を示す、前記燃料液滴の特性を測定する、
請求項１に記載の放射源。
【請求項３】
前記第１および第３の時間は、前記第２の時間よりも前である、請求項２に記載の放射源。
【請求項４】
前記第１センサアレンジメントは、リフレクタアレンジメントおよびセンサ要素を備え、前記リフレクタアレンジメントはセンサリフレクタを備え、前記センサリフレクタの少なくとも一部は、前記第１の量の放射の前記焦点位置の上流側である前記第１の量の放射のパス内に位置付けられ、かつ、前記センサリフレクタは、前記第１の量の放射の一部分を前記センサ要素に向けて反射する、請求項１から３のいずれかに記載の放射源。
【請求項５】
前記第２センサアレンジメントは、前記燃料液滴の位置を示す位置信号を出力する位置センサを備える、請求項１から４のいずれかに記載の放射源。
【請求項６】
前記位置信号は、前記第３の時間における前記燃料液滴の位置を示す、請求項２または少なくとも請求項２に従属する請求項３もしくは４に従属した場合の請求項５に記載の放射源。
【請求項７】
前記位置センサは、使用に際して、前記燃料液滴の流れが前記ノズルによって前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道の一部分を撮像するイメージセンサである、請求項５または６に記載の放射源。
【請求項８】
前記第２センサアレンジメントは、使用に際して、前記燃料液滴の流れが前記ノズルによって前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道に沿ったトリガポイントを前記燃料液滴が通過する時間を示すタイミング信号を出力するタイミングセンサを備える、請求項１から５のいずれかに記載の放射源。
【請求項９】
前記燃料液滴が前記トリガポイントを通過する時間は、前記第３の時間である、請求項２または少なくとも請求項２に従属する請求項３から５のいずれかに従属した場合の請求項８に記載の放射源。
【請求項１０】
前記第２センサアレンジメントは、
前記燃料液滴の位置を示す位置信号を出力する位置センサと、
使用に際して、前記燃料液滴の流れが前記ノズルによって前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道に沿ったトリガポイントを前記燃料液滴が通過する時間を示すタイミング信号を出力するタイミングセンサと、を備え、任意で、
前記位置センサは、使用に際して、前記ノズルによって、前記燃料液滴の流れが前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道の一部分を撮像するイメージセンサである、
請求項１から４のいずれかに記載の放射源。
【請求項１１】
前記位置センサは、前記第３の時間における前記燃料液滴の位置を示す位置信号を出力し、
前記第３の時間における前記燃料液滴の位置を示す前記位置信号と、前記燃料液滴が前記トリガポイントを通過する前記時間とは、両方とも前記第２の時間における前記燃料液滴の前記位置を示す、
請求項２または少なくとも請求項２に従属する請求項３もしくは４に従属した場合の請求項１０に記載の放射源。
【請求項１２】
前記放射源は、前記第１の量の放射を誘導し、それにより前記第１の量の放射の前記焦点位置を決定する放射誘導デバイスをさらに備える、請求項１から１１のいずれかに記載の放射源。
【請求項１３】
前記放射誘導デバイスは、使用に際して、少なくとも一部が前記第１の量の放射のパス内に位置付けられる誘導リフレクタと、前記誘導リフレクタに機械的に接続された少なくとも１つのリフレクタアクチュエータとを備え、それにより、前記少なくとも１つのリフレクタアクチュエータの移動が、前記第１の量の放射の前記パスに対する前記誘導リフレクタの向きおよび／または位置を変更する、請求項１２に記載の放射源。
【請求項１４】
前記ノズルは、少なくとも１つのノズルアクチュエータに機械的に接続され、それにより、前記少なくとも１つのノズルアクチュエータ移動が、前記放射源の残りの部分、従って前記燃料液滴の流れの前記軌道に対する前記ノズルの前記位置を変更する、請求項１から１３のいずれかに記載の放射源。
【請求項１５】
前記放射源は、
前記第１の量の放射を生成する二次放射源と、
前記二次放射源に接続され、かつ、前記二次放射源が前記第１の量の放射を生成する時間を制御するタイミングコントローラと、を備える、
請求項１から１４のいずれかに記載の放射源。
【請求項１６】
前記放射源は、コントローラをさらに備え、
前記第１センサアレンジメントは、前記コントローラに第１センサ信号を提供し、前記第２センサアレンジメントは、前記コントローラに第２センサ信号を提供し、
前記コントローラは、前記第１および第２のセンサ信号に基づいて、前記プラズマ形成地点、前記第１の量の放射の前記焦点位置、および前記燃料液滴の流れの前記軌道のうちの少なくとも１つを制御する、
請求項１から１５のいずれかに記載の放射源。
【請求項１７】
パターニングデバイスから基板上にパターンを投影するリソグラフィ装置であって、前記パターニングデバイスに放射ビームを提供する放射源を備え、
前記放射源は、燃料液滴の流れを軌道に沿ってプラズマ形成地点に向けて誘導するノズルを備え、
前記放射源は、使用に際して、第１の量の放射が前記プラズマ形成地点で燃料液滴に入射するように、かつ、使用に際して、前記第１の量の放射が前記燃料液滴にエネルギを伝達して修正した燃料分布または第３の量の放射を放出する放射生成プラズマを生成するように、前記第１の量の放射を受け、
前記放射源は、
前記第１の量の放射の焦点位置を示す前記第１の量の放射の特性を測定する第１センサアレンジメントと、
前記燃料液滴の位置を示す燃料液滴の特性を測定する第２センサアレンジメントと、を備える、
リソグラフィ装置。
【請求項１８】
前記ノズルに機械的に接続されたノズルアクチュエータと、
前記第１の量の放射を誘導し、それにより前記第１の量の放射の前記焦点位置を決定する放射誘導デバイスであって、放射誘導デバイスアクチュエータを有する放射誘導デバイスと、
コントローラと、をさらに備え、
前記コントローラは、前記燃料液滴の前記軌道に垂直な方向に前記放射源を制御するための第１制御スキームを実施し、
前記第１制御スキームは、第１の比較的速い制御ループおよび第１の比較的遅い制御ループを含み、前記第１の比較的速い制御ループは前記第１センサアレンジメントおよび前記コントローラに基づいて前記放射誘導デバイスアクチュエータを制御し、
前記第１の比較的遅い制御ループは、前記第２センサアレンジメントおよび前記コントローラに基づいて前記ノズルアクチュエータを制御し、前記第１の比較的速い制御ループは、前記第１の比較的遅い制御ループを追跡する、
請求項１に記載の放射源。
【請求項１９】
前記放射源は、
前記第１の量の放射を生成する二次放射源と、
前記二次放射源に接続され、前記二次放射源が前記第１の量の放射を生成する時間を制御するタイミングコントローラであって、使用に際し、前記コントローラによって制御される、タイミングコントローラと、をさらに備え、
前記コントローラは、前記燃料液滴の前記軌道に平行な方向に前記放射源を制御するための第２制御スキームを実施し、
前記第２制御スキームは、第２の比較的速い制御ループおよび第２の比較的遅い制御ループを含み、前記第２の比較的速い制御ループは、前記第２センサアレンジメントおよび前記コントローラに基づいて前記タイミングコントローラを制御し、
前記第２の比較的遅い制御ループは、前記第１センサアレンジメントおよび前記コントローラに基づいて前記放射デバイス誘導アクチュエータを制御し、前記第１の比較的速い制御ループは、前記第１の比較的遅い制御ループを追跡する、
請求項１８に記載の放射源。
【請求項２０】
リソグラフィ装置のイルミネータに放射ビームを提供するのに適した放射源であって、
燃料液滴の流れを軌道に沿ってプラズマ形成地点に向けて誘導するノズルを備え、
前記放射源は、使用に際して、第１の量の放射が前記プラズマ形成地点で燃料液滴に入射するように、かつ、使用に際して、前記第１の量の放射が前記燃料液滴にエネルギを伝達して第２の量の放射を放出する放射生成プラズマを生成するように、前記第１の量の放射を受け、
前記放射源は、
前記第１の量の放射の焦点位置を示す前記第１の量の放射の特性を測定する第１センサアレンジメントと、
前記燃料液滴の位置を示す燃料液滴の特性を測定する第２センサアレンジメントと、を備え、
前記第２センサアレンジメントは、
前記燃料液滴の位置を示す位置信号を出力する位置センサと、
使用に際して、前記燃料液滴の流れが前記ノズルによって前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道に沿ったトリガポイントを前記燃料液滴が通過する時間を示すタイミング信号を出力するタイミングセンサと、を備え、
前記位置センサは、使用に際して、前記燃料液滴の流れが前記ノズルによって前記プラズマ形成地点に向けて誘導される際の前記軌道の一部分を撮像するイメージセンサである、
放射源。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】放射源およびリソグラフィ装置