【事件の表示】
　特許第２８７７９３５号「面精度の測定方法および測定装置」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８７７９３５号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
【１】手続きの経緯
　本件特許第２８７７９３５号発明は、平成２年１０月８日に特許出願され、平成１１年１月２２日にその特許の設定登録がなされ、その後、
（１）富士写真光機株式会社より特許異議の申立てがなされ、
（２）取消理由通知がなされ、
（３）その指定期間内である平成１３年４月２４日付けで訂正請求がなされ、
（４）それに対して訂正拒絶理由通知がなされ、
（５）平成１３年７月１７日付けで意見書及び補正書が提出され、
（６）再度取消理由通知がなされ、
（７）平成１４年８月２８日付けで訂正請求がなされると共に
（８）上記平成１３年４月２４日付け訂正請求が取り下げられたものである。
【２】訂正の適否についての判断
ア．訂正の内容
ａ．特許請求の範囲に対する訂正
　ａ1．特許請求の範囲の請求項１の記載
「【請求項１】同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、参照面から反射された参照光と被測定面から反射された被検光とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞の像を集束レンズでイメージセンサ上に結像して面精度を測定する方法において、
前記参照光の集束点またはビームウエストの近傍にスクリーンを置き、該クリーン上に参照光の像と被検光の像を写し、双方の像が重なり合うように被測定面の位置決めをすることを特徴とする面精度の測定方法。」を、
「【請求項１】同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、参照面から反射された参照光と被測定面から反射された被検光とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞の像を集束レンズでイメージセンサ上に結像して面精度を測定する方法において、
　前記参照光の集束点またはビームウェストの近傍にスクリーンを置き、該スクリーン上に参照光の像と被検光の像を写し、回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転台により回転させて、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を回転台の回転中心に一致させることにより位置決めをすることを特徴とする曲面の面精度の測定方法。」
と訂正するものである。
　ａ2．特許請求の範囲の請求項２の記載
「【請求項２】スクリーンにアパーチャを設け、参照光の像が該アパーチャを通過するようにスクリーンの位置決めをすることを特徴とする請求項１記載の面精度の測定方法。」を、
「【請求項２】スクリーンにアパーチャを設け、参照光の像が該アパーチャを通過するようにスクリーンの位置決めをすることを特徴とする請求項１記載の曲面の面精度の測定方法。」
と訂正するものである。
　ａ3．特許請求の範囲の請求項３の記載
「【請求項３】　スクリーン上に写された被検光の像の位置を像検出手段で検知することを特徴とする請求項１または２記載の面精度の測定方法。」を
「【請求項３】　スクリーン上に写された被検光の像の位置を像検出手段で検知することを特徴とする請求項１または２記載の曲面の面精度の測定方法。　」
と訂正するものである。
　ａ4．特許請求の範囲の請求項４の記載
「【請求項４】同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、参照面から反射された参照光と被測定面から反射された被検光とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞の像を集束レンズでイメージセンサ上に結像して面精度を測定する装置において、
前記参照光の集束点またはビームウエストの近傍にスクリーンを設けたことを特徴とする面精度の測定装置。」を
「【請求項４】同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、参照面から反射された参照光と被測定面から反射された被検光とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞の像を集束レンズでイメージセンサ上に結像して面精度を測定する装置において、
　前記参照光の集束点またはビームウェストの近傍に設けて参照光の像と被検光の像を写すスクリーンと、
　回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転させる回転台とを設け、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を前記回転台の回転中心に一致させることにより位置決めを行うことを特徴とする曲面の面精度の測定装置。　」
と訂正するものである。
ａ５．特許請求の範囲の請求項５の記載
「【請求項５】スクリーン上にアパーチャを設けたことを特徴とする請求項１記載の面精度測定装置。」を、
「【請求項５】スクリーン上にアパーチャを設けたことを特徴とする請求項４記載の曲面の面精度測定装置。」と訂正するものである。
ａ６．特許請求の範囲の請求項６の記載
「【請求項６】スクリーン上における被検光の像の位置を検知する像検知手段を設けたことを特徴とする面精度の測定装置。」を削除する。
ｂ．発明の詳細な説明に対する訂正
　ｂ１．発明の詳細な説明に対する訂正は、明細書第９頁６〜７行目（特許公報第３頁左欄１０〜１１行目）の
「双方の像が重なり合うように被測定面の位置決めをする」を、
「回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転台により回転させて、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を回転台の回転中心に一致させることにより位置決めをする」に訂正する。
ｂ２．明細書の第９頁１８〜１９行目（特許公報第３頁左欄２０〜２１行目）の
「前記参照光の集束点またはビームウェストの近傍にスクリーンを設けた構成」を、
「前記参照光の集束点またはビームウェストの近傍に設けて参照光の像と被検光の像を写すスクリーンと、
　回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転させる回転台とを設け、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を回転台の回転中心に一致させることにより位置決めを行う構成」に訂正する。
イ．訂正の目的の適否及び拡張・変更の存否
　ａ1．について、
　訂正事項ａ１は、請求項１に記載された「双方の像が重なり合うように被測定面の位置決めをすることを特徴とする面精度の測定方法」を、「回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転台により回転させて、前記スクリ一ン上に写る被検出の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を回転台の回転中心に一致させることにより位置決めをすることを特徴とする曲面の面精度の測定方法」に限定するものであって、特許請求の範囲の減縮に該当するものである。
　ａ2．〜ａ３．について、
　上記訂正ａ2．〜ａ３．は特許請求の範囲の減縮に該当するものである。
　
ａ４．について、
　上記訂正ａ４．は、訂正前の請求項４に「回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転させる回転台とを設け、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を前記回転台の回転中心に一致させることにより位置決めを行う」構成を付加するものであって、特許請求の範囲の減縮に該当するものである。
ａ５．について、
　上記訂正ａ５．は誤記の訂正に該当するものである。
ａ６．について、
　上記訂正ａ６．は特許請求の範囲の減縮に該当するものである。
ｂ１．について、
　上記訂正ｂ１．は、請求項１の訂正に伴い、発明の詳細な説明との整合をとるための訂正であり、明りょうでない記載の釈明に該当するものである。
ｂ２．について、
　上記訂正ｂ２．は、請求項４の訂正に伴い、発明の詳細な説明との整合をとるための訂正であり、明りょうでない記載の釈明に該当するものである。
　そして、上記訂正ａ１〜ａ６、及びｂ１〜ｂ２は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
ウ．独立特許要件の判断
　（引用刊行物）
　当審が通知した取消理由で引用した実願平２−５８６８号（実開平３−９７６０８号のマイクロフィルム参照）の願書に最初に添付された明細書（以下、「先願明細書」という。）には、レーザ干渉装置に関し、次の記載がある。
・「図において、１はレーザ光源で、このレーザ光源１からのレーザ光Ｌが、ビームダイバージャ２によって発散された後、側方よりビームスプリッタ３に入り、ビームスプリッタ３の反射面３ａにより反射されたレーザ光がビームスプリッタ３の下方に設けられたコリメータレンズ４に入射して平行光となり、基準原器５の入射面５ａに入射するようになっている。基準原器５は、入射面５ａと裏面の参照面５ｂとが非平行に形成された板状の光学ガラスなどの光学部材で、入射面５ａに反射防止コーティングが施されていると共に、参照面５ｂが精密な平坦面に形成されている。基準原器５に入射したレーザ光は、一部が参照面５ｂで反射し、大部分が基準原器５を透過する。基準原器５は傾き調整螺子７によって傾きを調整することができるようになっている。基準原器５の下方にはガラスなどの被検体８が配置される。被検体８は、その被検面８ａが基準原器５の参照面５ｂと離間して対向するように、配置される。基準原器５を透過したレーザ光は被検体８の被検面８ａで反射される。」（第６頁１３行〜第７頁１３行）、
・「１３ａは光点結像用レンズ、１３ｂは干渉縞結像用レンズ、１４は固体撮像デバイスで、スクリーン１１の貫通孔１２に集光した光点を光点結像用レンズ１３ａを介して固体撮像デバイス１４に結像し、光点結像用レンズ１３ａを干渉縞結像用レンズ１３ｂに入れ換えて固体撮像デバイス１４に干渉縞を結像する。」（第８頁１５行〜第９頁１行）、
・「ビームスプリッタ３の上方でコリメータレンズ４の後側焦点位置Ｆ´に半透明のスクリーン１１が設けられている。」（第７頁１９行〜第８頁１行）、
・「基準原器５は、参照面５ｂで反射したレーザ光がコリメータレンズ４およびビームスプリッタ３を経てスクリーン１１の貫通孔１２に集光するように、傾き調整螺子７によって調整される。」（第９頁６行〜９行）、
・「基準原器５の参照面５ｂからの反射光がスクリーン１１の貫通孔１２に集光するように基準原器５の傾きが調整され、被検体８の被検面８ａからの反射光が同様にスクリーン１１の貫通孔１２に集光するように被検体８の傾きが調整されることで、基準原器５の参照面５ｂと被検体８の被検面８ａとが精密に平行となり、基準原器５の参照面５ｂで反射したレーザ光と被検体８の被検面８ａで反射したレーザ光とが干渉して干渉縞が発生し、貫通孔１２を通してスクリーン１１を通過する。」（第１０頁８行〜１８行）
（対比・判断）
・請求項１に係る発明について、
　そこで、請求項１に係る発明と先願明細書に記載された考案とを対比すると、先願明細書に記載された考案には請求項１に係る発明の構成要件である「回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転台により回転させて、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を回転台の回転中心に一致させることにより位置決めをする」構成について、記載されていない。
　すなわち、先願明細書のものは、静止した被検体にレーザ光を照射し、干渉縞を観測することにより位置決めを行うものであって、請求項１に係る発明の如く「回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転台により回転させて」、かつ、「スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を回転台の回転中心に一致させる」ことにより位置決めを行う点について記載されていない。
　そして、請求項１に係る発明は上記構成により、「参照面に対して被測定面を正確に設置することが容易になる」という明細書に記載の効果を奏するものであるから、本件請求項１に係る発明が上記先願明細書に記載された考案と同一とすることはできない。
・請求項２〜３に係る発明について、
　請求項１に係る発明に対する判断と同様である。
・請求項４に係る発明について、
、請求項４に係る発明と先願明細書に記載された考案とを対比すると、先願明細書に記載された考案には請求項４に係る発明の構成要件である「回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転させる回転台とを設け、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を前記回転台の回転中心に一致させることにより位置決めを行う」構成について、記載されていない。
　すなわち、先願明細書のものは、静止した被検体にレーザ光を照射し、干渉縞を観測することにより位置決めを行うものであって、請求項４に係る発明の如く「回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転させる回転台とを設け」、かつ、「スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を回転台の回転中心に一致させる」ことにより位置決めを行う点について記載されていない。
　そして、請求項４に係る発明は上記構成により、「参照面に対して被測定面を正確に設置することが容易になる」という明細書に記載の効果を奏するものであるから、本件請求項４に係る発明が上記先願明細書に記載された考案と同一とすることはできない。　
・請求項５に係る発明について、
　請求項４に係る発明に対する判断と同様である。
　したがって、本件請求項１〜５に係る発明は特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
　
エ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
【３】特許異議の申立てについての判断
ア．申立ての理由の概要
　申立人　富士写真光機株式会社は、（訂正前の）請求項１〜６に係る発明は、甲第１号証（実願平２−５８６８号（実開平３−９７６０８号のマイクロフィルム参照）の願書に最初に添付された明細書）に記載された考案と同一であるので、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきであると主張している。
　
イ．判断
本件請求項１〜５に係る発明は、上記【２】ウ．で示したように、取消理由通知で示した先願明細書に記載された考案と同一であるとすることはできない。
　
ウ．むすび
　したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては本件請求項１〜５に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜５に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１４年９月６日（２００２．９．６）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　明細書（特許第２８７７９３５号明細書、以下同じ）を本件訂正請求書に添付された訂正明細書のとおり、すなわち特許請求の範囲の減縮を目的として下記のとおり、また、明瞭でない記載の釈明を目的として、下記のとおり訂正する。
ａ．特許請求の範囲に対する訂正
　ａ１．特許請求の範囲の請求項１の記載
「【請求項１】同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、参照面から反射された参照光と被測定面から反射された被検光とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞の像を集束レンズでイメージセンサ上に結像して面精度を測定する方法において、
前記参照光の集束点またはビームウエストの近傍にスクリーンを置き、該クリーン上に参照光の像と被検光の像を写し、双方の像が重なり合うように被測定面の位置決めをすることを特徴とする面精度の測定方法。」を、
「【請求項１】同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、参照面から反射された参照光と被測定面から反射された被検光とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞の像を集束レンズでイメージセンサ上に結像して面精度を測定する方法において、
　前記参照光の集束点またはビームウェストの近傍にスクリーンを置き、該スクリーン上に参照光の像と被検光の像を写し、回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転台により回転させて、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を回転台の回転中心に一致させることにより位置決めをすることを特徴とする曲面の面精度の測定方法。」
と訂正する。
　ａ２．特許請求の範囲の請求項２の記載
「【請求項２】スクリーンにアパーチャを設け、参照光の像が該アパーチャを通過するようにスクリーンの位置決めをすることを特徴とする請求項１記載の面精度の測定方法。」を、
「【請求項２】スクリーンにアパーチャを設け、参照光の像が該アパーチャを通過するようにスクリーンの位置決めをすることを特徴とする請求項１記載の曲面の面精度の測定方法。」
と訂正する。
　ａ３．特許請求の範囲の請求項３の記載
「【請求項３】　スクリーン上に写された被検光の像の位置を像検出手段で検知することを特徴とする請求項１または２記載の面精度の測定方法。」を
「【請求項３】　スクリーン上に写された被検光の像の位置を像検出手段で検知することを特徴とする請求項１または２記載の曲面の面精度の測定方法。」
と訂正する。
　ａ４．特許請求の範囲の請求項４の記載
「【請求項４】同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、参照面から反射された参照光と被測定面から反射された被検光とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞の像を集束レンズでイメージセンサ上に結像して面精度を測定する装置において、
前記参照光の集束点またはビームウエストの近傍にスクリーンを設けたことを特徴とする面精度の測定装置。」を
「【請求項４】同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、参照面から反射された参照光と被測定面から反射された被検光とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞の像を集束レンズでイメージセンサ上に結像して面精度を測定する装置において、
　前記参照光の集束点またはビームウェストの近傍に設けて参照光の像と被検光の像を写すスクリーンと、
　回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転させる回転台とを設け、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を前記回転台の回転中心に一致させることにより位置決めを行うことを特徴とする曲面の面精度の測定装置。　」
と訂正する。
ａ５．特許請求の範囲の請求項５の記載
「【請求項５】スクリーン上にアパーチャを設けたことを特徴とする請求項１記載の面精度測定装置。」を、
「【請求項５】スクリーン上にアパーチャを設けたことを特徴とする請求項４記載の曲面の面精度測定装置。」と訂正する。
ａ６．特許請求の範囲の請求項６の記載
「【請求項６】スクリーン上における被検光の像の位置を検知する像検知手段を設けたことを特徴とする面精度の測定装置。」を削除する。
ｂ．発明の詳細な説明に対する訂正
　ｂ１．発明の詳細な説明に対する訂正は、明細書第９頁６〜７行目（特許公報第３頁左欄１０〜１１行目）の
「双方の像が重なり合うように被測定面の位置決めをする」を、
「回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転台により回転させて、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を回転台の回転中心に一致させることにより位置決めをする」に訂正する。
ｂ２．明細書の第９頁１８〜１９行目（特許公報第３頁左欄２０〜２１行目）の
「前記参照光の収束点またはビームウェストの近傍にスクリーンを設けた構成」を、
「前記参照光の集束点またはビームウェストの近傍に設けて参照光の像と被検光の像を写すスクリーンと、
　回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転させる回転台とを設けて、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を回転台の回転中心に一致させることにより位置決めを行う構成」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
面精度の測定方法および測定装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、参照面から反射された参照光と被測定面から反射された被検光とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞の像を集束レンズでイメージセンサ上に結像して面精度を測定する方法において、
　前記参照光の集束点またはビームウェストの近傍にスクリーンを置き、該スクリーン上に参照光の像と被検光の像を写し、
回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転台により回転させて、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して
該被検体の
曲率中心を回転台の回転中心に一致させることにより
曲面の
　【請求項２】　スクリーンにアパーチャを設け、参照光の像が該アパーチャを通過するようにスクリーンの位置決めをすることを特徴とする請求項１記載の
曲面の
　【請求項３】　スクリーン上に写された被検光の像の位置を像検出手段で検知することを特徴とする請求項１または２記載の
曲面の
　【請求項４】　同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、参照面から反射された参照光と被測定面から反射された被検光とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞の像を集束レンズでイメージセンサ上に結像して面精度を測定する装置において、
　前記参照光の集束点またはビームウェストの近傍に
設けて参照光の像と被検光の像を写す
と、
　
回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転させる回転台とを設け、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を前記回転台の回転中心に一致させることにより位置決めを行う
曲面の
　【請求項５】　スクリーンにアパーチャを設けたことを特徴とする請求項
４
曲面の
【発明の詳細な説明】
　〔産業上の利用分野〕
　本発明は光の干渉作用を用いて曲面の状態を測定する場合、参照面と被測定面の位置決めが容易にできる技術に関するものである。
　〔従来の技術〕
　レーザビームプリンタやレーザファクシミリ等に用いられる光走査光学系は、一般にポリゴンミラーの面倒れ補正を行うために、シリンドリカルレンズやトロイダルレンズ等を用いたアナモフィックな光学系で構成される。なお、シリンドリカル面は、トロイダル面において一方の曲率半径が無限大の場合と考えることができるので、本明細書においてトロイダル面という場合は特に区別しない限りシリンドリカル面も含むものとする。
　これらのレンズは、感光体上の形成ドットの高密度化や均一化の要求から、０１μｍ程度の面精度が必要とされる。こうした背景から、トロイダル面を波長λ以下の高精度で測定する必要が生じている。
　一般に、面を高精度で測定するものとしては、レーザ干渉計が広く知られているが、この干渉計は、平面または球面の測定はできるが、トロイダル面等のように、面内の直交する主径線の曲率中心が異なる曲面については測定できない。
　そのため、従来このようなトロイダル面を高精度に測定する方法としては、▲１▼ダイヤモンドやルビー等の接触針を被測定面に当接して走査させる「接触針方式」や、▲２▼光を微小スポットとして被測定面に照射し、このスポットを被測定面全体に走査させる「光プローブ方式」等があった。
　しかし、▲１▼の「接触針方式」では、硬い針を被測定面に当接させるので、被測定面を傷付けたり、汚したりするという問題があった。また、▲２▼の「光プローブ方式」では、被測定面を傷付けたり、汚したりするという問題はないが、点で被測定面を走査していくために、測定に長時間かかるという問題があった。
　この問題を解決するものとして、出願人は、特願平２−１２６６５９号において、第８図ａ，ｂに示すようなトロイダル面測定装置を提案している。
　これらの図において、１は光源で、可干渉性の高いガスレーザまたは半導体レーザ等が使用される。２ａ，２ｂはビームエクスパンダで、光源１等からの狭い光束を適当な大きさに拡げるためのものである。３は空間フィルタで、迷光や反射光等の不要な光をカットする。４は光アイソレータでビームスプリッタ４ａとλ／４板４ｂとで構成されている。ビームエクスパンダ２ａ，２ｂで拡大された光束は、対物レンズ６を経て、被検体７の被測定面としてのトロイダル面７ａに達する。このトロイダル面７ａは、頂点で直交する主径線ＡＢ，ＣＤを有するが、このうち一方の主径線ＣＤを母線とし、これを他方の主径線ＡＢに沿って回転して形成したもので、以後主径線ＣＤの方をＧ主径線、ＡＢの方をＲ主径線ということにする。
　対物レンズ６の最終面は、半透鏡としての参照面６ａとなっており、予め決められた曲率半径の球面として形成されている。即ち参照面６ａの曲率中心は、トロイダル面７ａのＧ主径線（ＣＤ）の仕上がり曲率中心とほぼ一致する位置に配置される。また、参照面６ａ又はトロイダル面７ａはＸ−Ｚ断面内で若干シフト及び／又はチルト可能に配置される。そして、この参照面６ａで対物レンズ６に入射する光の一部が反射され、残りが透過してトロイダル面７ａを照射する。
　８は被検体７を固定する回転台で、トロイダル面７ａのＲ主径線（ＡＢ）の曲率中心と一致した回転軸を有し、図示しないＤＣサーボモータやステッピングモータ等によって駆動され、被測定面であるトロイダル面７ａ上をＲ主径線に沿って走査可能になっている。
　参照面６ａで反射された参照光、およびトロイダル面７ａで反射された被検光は、共に来た光路を戻り重畳される。そして、光アイソレータ４まで戻ってくると、λ／４板４ｂおよびビームスプリッタ４ａの作用により、ビームスプリッタ４ａの反射面４ｃで全て反射され、集束レンズ９を経てイメージセンサ１０に達する。
　ところで、参照面６ａは通常は球面であり、被測定面はトロイダル面７ａであるから、両面がほぼ平行と見なせるＧ主径線に平行な細長い矩形状の測定部分について干渉を生じる。
　したがって、対物レンズ６および集束レンズ９を光軸方向に移動させることによって、第９図に示すようにイメージセンサ１０上に干渉縞の像１１を結像することができ、これによって、測定部分１１′の面形状や面精度を測定することができる。
　さらに、回転台８を、Ｒ主径線に沿って回動することによって、トロイダル面７ａ全体についての面形状及び面の粗さや面のうねりといった面精度の観測ができることになる。
　なお、上記の例はフィゾー型干渉計であるが、その他の干渉計、たとえば、マイケルソン干渉計等であっても同様に適用できるものである。
　〔発明が解決しようとする課題〕
　上記の測定方法にあっては、イメージセンサ１０上に干渉縞を結像させるために、被測定面７ａを所定の位置にセッティングする必要がある。すなわち、Ｒ主径線の曲率中心を回転台８の回転中心に、またＧ主径線の曲率中心を参照面６ａの曲率中心にそれぞれ一致させなければならない。
　しかし、この調整は非常に微妙で難しく、ずれ量が大きいと、各測定断面で、デフォーカスやコントラストの低下をまねいたり、干渉縞を生じなくなったりしてしまう。
　本発明は上記問題の解決を図ったもので、参照面と被測定面との位置決めが容易にできる面精度の測定方法および測定装置を提供することを目的としている。
　〔課題を解決するための手段〕
　上記の目的を達成するために本発明は、同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、参照面から反射された参照光と被測定面から反射された被検光とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞の像を集束レンズでイメージセンサ上に結像して面精度を測定する方法において、前記参照光の集束点またはビームウェストの近傍にスクリーンを置き、該スクリーン上に参照光の像と被検光の像を写し、
回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転台により回転させて、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して
該被検体の
曲率中心を回転台の回転中心に一致させることにより
　また、スクリーンにアパーチャを設けた構成や、スクリーン上に写された被検光の像の位置を像検知手段で検知する構成とすることもできる。
　本発明の装置としては、同一光源からの可干渉光を被測定面と基準になる参照面とに照射し、参照面から反射された参照光と被測定面から反射された被検光とを重畳して干渉縞を作り、該干渉縞の像を集束レンズでイメージセンサ上に結像して面精度を測定する装置において、
　前記参照光の集束点またはビームウェストの近傍に
設けて参照光の像と被検光の像を写す
と、
　
回転対称な曲面からなる被測定面を有する被検体を回転させる回転台とを設け、前記スクリーン上に写る被検光の像の移動状態から判断して双方の像が重なり合うように該被検体の被測定面の曲率中心を前記回転台の回転中心に一致させることにより位置決めを行う
　〔作用〕
　参照面で反射された参照光は、集束部で小円形の像を結像し、他方の被測定面で反射された被検光は、干渉縞と直交する方向にスリット状の像を形成する。そして参照光の小円形の像と被検光のスリット状の像とが重なり合った部分で干渉縞が形成されることになる。
　そこで、参照光の集束部またはビームウェスト近傍にスクリーンを設け、参照光の小円形の像と被検光のスリット上の像を写し出し、スクリーン上で両方の像が重なるように被測定面を設置する。
　スクリーンにアパーチャを形成し、上記の小円形の像が通過できるようにスクリーンの位置決めをしてから、スリット状の像を重ね合わせるように被測定面を設置することにより、参照光と被検光のうち干渉に必要かつ十分なものだけがアパーチャを通過し、迷光、反射光等のノイズ成分を除去できる。
　〔実施例〕
　以下に本発明の実施例を図面によって説明する。
　第１図は、本発明のトロイダル面測定装置である。前述の第４図とほぼ同じ構成であるが、参照光の集束点Ｐの近傍にスクリーン１２を設け、このスクリーン１２に円孔のアパーチャ１２ａを穿設した点が相違している。なお、スクリーン１２は、集束点近傍の代わりにビームウェストの近傍に設けてもよい。
　第２図ａは、このスクリーン１２上に参照光との像１３と被検光の像１４が結像される状態を示す。参照面は円形であるから、参照光は小円形の像１３を結像する。これに対し、被測定面７ａはＲ主径線方向（干渉縞と直交する方向）に沿って広く照射されるので、被検光は、楕円状ないしスリット状の像１４を結像する。本発明は、この二つの像をスクリーン上でモニターし、被検体７を動かしながら二つの像１３，１４がスクリーン１２上で重なり合うように被検体７を設置し、干渉縞を形成する光束だけがアパーチャ１２ａを通過するようにしようとするものである。
　そのため、スクリーン１２は、図示しない移動手段に支持され、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に移動自在になっている。また、スクリーン１２に穿設されるアパーチャ１２ａの径は、迷光や反射光を除くことができるように、参照光の小円形の像１３の径とほぼ同じにしている。なお、ビームスプリッタ４ｂから射出される光束の径は、ビームエクスパンダ２ｂのＮＡで決まるため、被測定面７ａに無関係に一定となる。
　小円形の像１３とスリット状の像１４との重ね合わせは、回転台８を回転してスクリーン１２上に写るスリット状の像１４の移動状態から判断して調整する。
　第２図ｂにおいて、参照面６ａと被測定面７ａの中心軸が実線のように一致していれば、参照光の小円形の像１３と被検光のスリット状の像１４とはスクリーン１２上で重なり合う。しかし、被測定面７ａが点線のように上方にずれると、被検光の像１４は、反対に点線で示すように下方にずれることになる。すなわち、像のずれと反対に被検体７を移動すればよい。
　第３図ａからｃのようにスリット状の像１４が下から上へと移動する場合は、被検体７が参照面６ａの光軸まわりに回転していることを意味する（以下この回転を「γ回転」という。）。
　また、第４図ａからｃのようにスリット状の像１４が小円形の像１３の下から上に行き、再び下に戻る移動をする場合は、被検体７が第１図のＹ軸まわりに回転していることを示す（以下この回転を「β回転」という。）。
　第５図のようにデフォーカスを生じている場合は、スリット状の像１４が広がりを持つので、被検体７を光軸方向に移動してピントを合わせる。
　以上、第２図から第５図に示した像の動きと被検体７の設置状態によって、回転台８および被検体７を設置し、Ｒ主径線の曲率中心を回転台８の回転中心に、またＧ主径線の曲率中心を参照面６ａの曲率中心にそれぞれ一致させる。
　なお、被測定面７ａが球面の場合は、被検光のスリット状の像１４はスリット状にはならず、参照光の像と同様に小円形の像となるが、重ね合わせ方法は同様である。
　次に、スクリーン１２のモニター方法の別の実施例を説明する。
　第６図は、スクリーン１２を撮影できるモニターカメラ１５を用いた場合である。第７図はモニターカメラ１５の画面１６を示すが、このカメラの結像面には被検光の像１４と交叉する方向にイメージセンサ等を利用した像検知手段１７を設けている。像検知手段１７上をスリット状の像１４が結像するので、像検知手段１７の出力を検知すれば、スリット状の像１４の位置を知ることができる。また、回転台８の回転によるスリット状の像１４の変化により、γ回転であるかβ回転であるかも知ることができる。一方、像検知手段１７とアパーチャ１２ａの位置関係は既知であり、予めアパーチャ１２ａと参照光の小円形の像１３との位置を一致させておけば、被検体７をどのように動かせば良いかがわかる。
　上記像検知手段１７は、モニターカメラ１５に備える以外に、スクリーン１２に直接取り付けることもできることは自明であろう。
　以上により参照光の像１３と被検光の像１４を重ねると、第６図の実線で示すように重なって干渉を起こす光束だけがアパーチャ１２ａを通過するようになり、点線で示す干渉光学系内で発生する迷光、反射光等を効果的にカットでき、ノイズの少ない、しかもコントラストの明確な干渉縞を得ることができ、正確な面形状や面精度の測定ができるようになる。
　また、本発明において、スクリーン１２にアパーチャ１２ａを設けない構成としても、被検体７を正規の位置に設置する目的は達成できる。
　〔発明の効果〕
　以上に説明したように、本発明によれば、面形状や面精度を測定する装置において、干渉縞を形成するために、参照面に対して被測定面を正確に設置することが容易にできるようになる。
　また、スクリーンにアパーチャを形成すれば、迷光や反射光をを効果的に除去することもでき、コントラストの強く、ノイズのない干渉縞を得ることができ、正確な測定が可能になる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明の測定装置の構成を示す正面図、
　第２図ａは参照光の集束点近傍においたスクリーン上の参照光の像と被検光の像を示す図、ｂはスクリーン上の像の動きと被検体の動きの関係を説明する図、
　第３図ａ〜ｃは被検体がγ回転をする場合のスクリーン上の像の動きを説明する図、
　第４図ａ〜ｃは被検体がβ回転をする場合のスクリーン上の像の動きを説明する図、
　第５図はスクリーン上の被検光の像がデフォーカスを生じている状態を示す図、
　第６図はスクリーンをモニターするカメラを設けた実施例を示す図、
　第７図はモニターカメラの画面を示す図、
　第８図はトロイダル面の測定装置の図で、ａは正面図、ｂは側面図、
　第９図はイメージセンサ上に結像された干渉縞の図である。
　１…光源、６ａ…参照面、７…被検体、７ａ…被測定面、８…回転台、１０…イメージセンサ、１１…干渉縞、１１′…測定部分、１２…スクリーン、１２ａ…アパーチャ、１３…参照光の像、１４…被検光の像、１７…像検知手段、ＣＤ…トロイダル面の直交する一方の主径線（Ｇ主径線）、ＡＢ…他方の主径線（Ｒ主径線）。