【手続補正書】
【提出日】平成27年7月7日(2015.7.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二重チャンバガス放電レーザ光源であって、
ハロゲンを含むレージング媒体ガスを含むレーザチャンバを有する主発振器と、
前記ハロゲンを含むレージング媒体ガスを含むレーザチャンバを有する増幅器と、
規則的な間隔で発生する注入機会で、前記主発振器又は前記増幅器のいずれかの選択されたレーザチャンバに対して補給スキームを行うコントローラを含むガス補給システムと、を含み、
前記補給スキームは、
第１の数の注入機会に向けて、固定量の非ハロゲン含有ガスと固定量のハロゲン含有ガスとを各注入機会で前記選択されたレーザチャンバに注入する段階と、
前記第１の数の注入機会後に、第２の数の注入機会の各々に向けて、
各注入機会の前の前記選択されたレーザチャンバ内のハロゲンガスの量及び前記注入機会中に前記選択されたレーザチャンバに注入されるハロゲンガスの量のモデルを実行し、前記注入機会後の前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの量を予想する段階と、
固定量の前記非ハロゲン含有ガス及び固定量の前記ハロゲン含有ガスを前記選択されたレーザチャンバ内に注入する段階と、
前記レーザ光源のパラメータを測定して前記ガスの注入後の前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの量を推定する段階と、
前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの予想された量と前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの推定された量との差分に基づいて前記モデルを更新する段階と、
前記第２の数の注入機会後に、第３の数の注入機会の各々に向けて、
前記モデルを実行して、前記選択されたレーザチャンバ内の望ましい量のハロゲンガスをもたらす、注入されるハロゲン含有ガスの量を予想する段階と、
前記注入機会後に前記選択されたレーザチャンバ内のハロゲンガスの前記望ましい量をもたらすため、各注入機会に、固定量の前記非ハロゲン含有ガスと前記予想される量の前記ハロゲン含有ガスとを前記選択されたレーザチャンバに注入する段階と、を含む、二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項２】
注入機会のための前記規則的な間隔は、経過時間及びショットカウントのうちの一方又は両方を含むファクタによって判断される、請求項１に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項３】
前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記増幅器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータは前記増幅器のレーザチャンバにおける放電電圧である、請求項１に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項４】
前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記主発振器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータは前記主発振器と増幅器との間の放電タイミング差である、請求項１に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項５】
前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記主発振器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータは前記レーザ光源の帯域幅である、請求項１に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項６】
前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記主発振器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータはＥ９５である、請求項１に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項７】
前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの量のモデルを実行する段階は、前記チャンバ内の前記ハロゲンガスの量を前記注入機会後かつ直後の注入機会前の選択された時点でモデル化する段階を更に含む、請求項１に記載の二重チャンバガス放電レーザ光源。
【請求項８】
ハロゲンを含むレージング媒体ガスを含むレーザチャンバを各々が有する主発振器及び増幅器を有する二重チャンバガス放電レーザ光源にガスを補給する方法であって、
規則的な間隔で発生する複数の注入機会を選択する段階と、
第１の数の注入機会に向けて、固定量の非ハロゲン含有ガスと固定量のハロゲン含有ガスとを各注入機会に前記選択されたレーザチャンバに注入する段階と、
前記第１の数の注入機会後に、第２の数の注入機会の各々に向けて、
各注入機会の前の前記選択されたレーザチャンバ内のハロゲンガスの量及び前記注入機会中に前記選択されたレーザチャンバに注入されるハロゲンガスの量のモデルを実行し、前記注入機会後の前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの量を予想する段階と、
固定量の前記非ハロゲン含有ガス及び固定量の前記ハロゲン含有ガスを前記選択されたレーザチャンバ内に注入する段階と、
前記レーザ光源のパラメータを測定して前記ガスの注入後の前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの量を推定する段階と、
前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの予想された量と前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの推定された量との差分に基づいて前記モデルを更新する段階と、
前記第２の数の注入機会後に、第３の数の注入機会の各々に向けて、
前記モデルを実行して、前記選択されたレーザチャンバ内の望ましい量のハロゲンガスをもたらす、注入されるハロゲン含有ガスの量を予想する段階と、
前記注入機会後に前記選択されたレーザチャンバ内のハロゲンガスの前記望ましい量をもたらすため、各注入機会に、固定量の前記非ハロゲン含有ガスと前記予想される量の前記ハロゲン含有ガスとを前記選択されたレーザチャンバに注入する段階と、を含むガスを補給する方法。
【請求項９】
前記複数の注入機会を選択する段階は、前記規則的な間隔を経過時間及びショットカウントのうちの一方又は両方を含むファクタに基づいて選択する段階を更に含む、請求項８に記載のガスを補給する方法。
【請求項１０】
前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記増幅器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータは前記増幅器のレーザチャンバにおける放電電圧である、請求項８に記載のガスを補給する方法。
【請求項１１】
前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記主発振器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータは前記主発振器と増幅器との間の放電タイミング差である、請求項８に記載のガスを補給する方法。
【請求項１２】
前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記主発振器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータは前記レーザ光源の帯域幅である、請求項８に記載のガスを補給する方法。
【請求項１３】
前記モデルは、ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される速度の推定値を含み、
ハロゲンガスが前記選択されたレーザチャンバにおいて消費される前記速度は、前記レーザ光源の作動パラメータの変化に基づいて推定され、
前記選択されたレーザチャンバは前記主発振器のレーザチャンバであり、前記作動パラメータはＥ９５である、請求項８に記載のガスを補給する方法。
【請求項１４】
前記選択されたレーザチャンバ内の前記ハロゲンガスの量のモデルを実行する段階は、前記チャンバ内の前記ハロゲンガスの量を前記注入機会後かつ直後の注入機会前の選択された時点でモデル化する段階を更に含む、請求項８に記載のガスを補給する方法。