【事件の表示】
　平成３年特許願第３０３２８９号「ウエハー吸着加熱装置及びその製造方法」〔平成５年１月２２日出願公開（特開平５−１３５５８号）、平成７年５月３１日出願公告（特公平７−５０７３６号）、請求項の数（４）〕拒絶査定に対する審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
１．[手続の経緯・本願発明]
　本願は、平成２年１２月２５日（以下、「優先日」という）に出願された特願平２−４１８００６号を先の出願として、特許法第４１条第１項に規定する優先権を主張して平成３年１１月１９日付で出願された特願平３−３０３２８９号の特許出願に係り、原審において、平成７年５月３１日付で出願公告されたところ、三者よりそれぞれ特許異議の申立てがあり、そのうちの日本特殊陶業株式会社の異議申立てに理由があるとして特許異議の決定がされ、当該異議の決定の理由で拒絶査定されたもので、その請求項に係る発明は、出願公告後の平成１１年２月８日付、平成１２年１１月１５日付、平成１２年１２月１９日付で補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された事項によって特定される、次のとおりのものと認める。（なお、平成８年４月３０日付の手続補正については、当該補正を却下する旨の決定が確定している。）
　【請求項１】「セラミックス基体；
　このセラミックス基体の内部に埋設された抵抗発熱体；
　前記セラミックス基体の一方の主面上に形成された膜状電極；
　及びこの膜状電極を覆うように前記一方の主面側に形成されたセラミックス誘電体層を有しており、前記セラミックス誘電体層のウエハー吸着面へとウエハーを吸着し、かつ前記抵抗発熱体の発熱によりこのウエハーを加熱しうるように構成されているウエハー吸着加熱装置であって、
　前記膜状電極が、軟質金属からなるろう材からなり、この膜状電極によって前記セラミックス基体と前記セラミックス誘電体層とが接合され、前記膜状電極に端子が接続されていることを特徴とする、ウエハー吸着加熱装置。」
　【請求項２】「セラミックスグリーンシートの内部に少なくとも抵抗発熱体を埋設して焼結させ、抵抗発熱体が埋設されたセラミックス基体を作製し、またセラミックスグリーンシートを焼結させてセラミックス誘電体層を作製し、前記セラミックス基体の一方の主面と前記セラミックス誘電体層とを前記ろう材によってろう付けすると共にこのろう材からなる膜状電極を生成させ、この膜状電極に端子を接続することを特徴とする、請求項１記載のウエハー吸着加熱装置の製造方法。」
　【請求項３】「焼結セラミックスからなるセラミックス基体；
　このセラミックス基体の内部に埋設された抵抗発熱体；
　前記セラミックス基体の一方の主面側に形成された膜状電極；
　及びこの膜状電極を覆うように前記一方の主面側に形成された焼結セラミックスからなるセラミックス誘電体層を有しており、前記セラミックス誘電体層のウエハー吸着面へとウエハーを吸着し、かつ前記抵抗発熱体の発熱によりこのウエハーを加熱しうるように構成されているウエハー吸着加熱装置であって、
　前記セラミックス誘電体層の前記セラミックス基体側の表面に前記膜状電極が付着しており、前記セラミックス基体の前記一方の主面と、前記セラミックス誘電体層の前記表面および前記膜状電極との間に絶縁性接合剤層が設けられており、この絶縁性接合剤層によって、前記セラミックス基体と、前記セラミックス誘電体層および前記膜状電極とが接合されており、前記膜状電極に端子が接続されていることを特徴とする、ウエハー吸着加熱装置。」
　【請求項４】「セラミックスグリーンシートの内部に少なくとも抵抗発熱体を埋設して焼結させ、抵抗発熱体が埋設されたセラミックス基体を作製し、またセラミックスグリーンシートを焼結させてセラミックス誘電体層を作製し、このセラミックス誘電体層の表面に膜状電極を形成し、前記セラミックス基体の一方の主面と前記セラミックス誘電体層の前記表面および前記膜状電極とを絶縁性接合剤によって接合し、前記膜状電極に端子を接続することを特徴とする、請求項３記載のウエハー吸着加熱装置の製造方法。」
　
２．[原査定の理由と当審の判断]
　一方、原査定の理由とされた、特許異議の決定の理由で、いずれも本願の優先日前に頒布された刊行物であるとして引用されたものは、次の１〜４の各刊行物である。
　刊行物１：実願昭６３−１１９９４２号（実開平２−４３１３４号）のマイクロフィルム
　刊行物２：特開昭６２−２８６２４８号公報
　刊行物３：実願昭５７−１３６７３号（実開昭５８−１１６２３２号）のマイクロフィルム
　刊行物４：実願昭６３−１３５１１３号（実開平２−５６４４３号）のマイクロフィルム
　先ず、特許異議の決定の理由において、刊行物１及び２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとされた発明についての請求項（上記手続補正前の請求項１〜３）は、平成１２年１２月１９日付の手続補正により削除されている。
　（１）＜請求項１の発明について＞
　そこで、上記手続補正後における、請求項１についてみると、上記手続補正前の請求項４がこれに対応しており、この請求項の発明は、上記特許異議の決定の理由で、刊行物１に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとされたものである。
　上記手続補正後の請求項１の発明は、「膜状電極５をスクリーン印刷によって形成し、その上に薄いセラミックスグリーンシート（誘電体層４用）を積層し、これをプレス成形する」という従来技術では、セラミックス基体とセラミックス誘電体層との「密着不良」に起因する不都合を生じるため、これを回避するという技術課題（【0038】、【0039】参照）に対応して、膜状電極を構成する「ロウ材部分」の塑性変形によって「応力緩和」が生じることを利用して、接合部の「耐熱衝撃性」を向上させることにより、上記技術課題に対処しようとするもの（【0045】参照）である。
　この点に留意して、セラミックス基体とセラミックス誘電体層とを接合する「膜状電極」に関し、上記手続補正の前後で請求項の記載を対比すると、上記手続補正の前では、単に「導電性接合剤」からなるとされていた記載から、「軟質金属からなるろう材」からなるという記載に補正されている。
　一方、刊行物１における、上記の「膜状電極」に対応する「電極３」と、「セラミックス誘電体層」に対応する「絶縁保護膜４」に関する記載は、次のとおりである。
　「電極３はタングステン（Ｗ）、白金（Ｐｔ）、鉛（Ｐｄ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）等の導体ペーストを所定の印刷法を用いてグリーンシート２の上面に設置されている。
　絶縁保護膜４は、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を主成分とする電気絶縁性のセラミックを用いており、テープ成形、鋳込成形、印刷成形またはプレス成形等の所定の成型方法により、厚みｔ０．３ｍｍに成形されている。」
　この刊行物１の記載では、「電極３」の素材として鉛等が例示されているところから、「軟質金属」に関する示唆は、必ずしもないとはいえないが、上記の「密着不良」に係る技術課題についての言及が全くないことや、上記「絶縁保護膜４」の形成に関する記載も合わせて勘案すると、結局、刊行物１では、上記の従来技術に相当するものが開示されているにとどまり、本願請求項１の発明における「膜状電極が、軟質金属からなるろう材からなり、この膜状電極によって前記セラミックス基体と前記セラミックス誘電体層とが接合され」るという構成の開示や、当該構成を示唆するものがないというべきである。
　また、上記技術課題と、それを解決するための構成や示唆は、刊行物２〜４にも開示されていないから、本願請求項１の発明は、上記刊行物１〜４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　（２）＜請求項２の発明について＞
　請求項２の発明は、請求項１記載の「ウエハー吸着加熱装置」に関連して、その製造方法について、更に詳細な限定を加える発明であって、上記１．で認定したとおり、「セラミックス基体の一方の主面と前記セラミックス誘電体層とを前記ろう材によってろう付けすると共にこのろう材からなる膜状電極を生成させ」るという構成を備えるもので、実質的に請求項１の発明とその主要部を共通にするものであるから、やはり、上記刊行物１〜４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　（３）＜請求項３の発明について＞
　請求項３は、上記手続補正前の請求項６がこれに対応している。上記特許異議の決定の理由では、当該請求項の発明の主要部をなす、「セラミックス誘電体層の前記セラミックス基体側の表面に前記膜状電極が付着しており、前記セラミックス基体の前記一方の主面と、前記セラミックス誘電体層の前記表面および前記膜状電極との間に絶縁性接合剤層が設けられており」という構成に対応するものとして、刊行物２には、セラミックス誘電体層に相当する「絶縁性誘電層８」と、膜状電極に相当する「内部電極２」との間に、絶縁性接合剤層に相当する「ガラス中間層６」を介在させる構成が示されており、各層の配置順序に相違があるものの、当該相違によって、作用効果上「とくに顕著な差が生じているとは認められず」、また、刊行物２に示されていない加熱機構は刊行物１、３、４等に開示されているから、当該請求項の発明は、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとされたものである。
　しかし、刊行物２記載の「ガラス中間層６」は、ガラスの硬度が比較的小さいことを利用して、セラミックス材料の「プラズマ溶射」により、当該中間層の上に絶縁性誘電層８を形成するためのもの（第２頁右上欄第１４行〜同左下欄第１行、第３頁右下欄第１２〜１４行）であって、「内部電極２」と「ガラス中間層６」の配置順序を変更することは想定しがたい。その上、ガラス自体も誘電体の機能を持つところから、誘電体層の厚みを均一にするという技術課題（【0039】参照）からみても、上記各層の配置順序の相違に関して、作用効果上「とくに顕著な差が生じているとは認められ」ないとすることもできない。
　また、上記で指摘した請求項３の発明が備える主要部の構成、あるいは当該構成を示唆するものは、刊行物２〜４にも開示されていないから、本願請求項３の発明は、上記刊行物１〜４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　（４）＜請求項４の発明について＞
　請求項４の発明は、請求項３記載の「ウエハー吸着加熱装置」に関して、その製造方法について、更に詳細な限定を加える発明であって、上記１．で認定したとおり、「セラミックス誘電体層の表面に膜状電極を形成し、前記セラミックス基体の一方の主面と前記セラミックス誘電体層の前記表面および前記膜状電極とを絶縁性接合剤によって接合し」という構成を備えるもので、実質的に請求項３の発明とその主要部の構成を共通にするものであるから、やはり、上記刊行物１〜４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　（５）＜その他の理由について＞
　なお、上記（１）〜（４）で指摘した本願各発明の構成や、当該構成に係る示唆については、原審において言及されなかった他の特許異議申立に関して提出された証拠にも示されていない。
　更に、平成１１年１０月１日及び同１５日付の刊行物等提出書で提示された理由及び証拠によっても、本願を拒絶することはできない。
　
３．[むすび]
　以上のとおりであるから、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。