【事件の表示】
　特許第３３５２２００号「揮発性有機塩素化合物の処理方法」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３５２２００号の訂正後の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許出願　　　　　　　平成　５年１２月２８日
　設定登録　　　　　　　平成１４年　９月２０日
　特許異議申立（申立人：伊勢川和江）　平成１５年　５月２８日
　取消理由通知（発送日）平成１５年　９月１６日
　訂正請求　　　　　　　平成１５年１１月　５日
　特許異議意見書　　　　平成１５年１１月　５日
　審尋（発送日）　　　　平成１５年１２月１２日
　回答　　　　　　　　　平成１６年　２月　４日
２．訂正の適否について
（１）訂正の内容
　本件訂正の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち訂正事項ａ乃至ｎのとおりに訂正しようとするものである。
訂正事項ａ
　特許明細書の【請求項１】を次のとおりに訂正する。
「【請求項１】土中および水中の少なくともいずれか一方に含有されるトリクロロエチレンを真空または曝気により抽出し、この抽出した前記トリクロロエチレンが含有される気体に酸素存在下で、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上透過するガラス管を有する紫外線ランプから紫外線を照射して前記トリクロロエチレンを酸化して、ホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドとし、これらホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドを含有する気体を、ｐＨ値が制御されて中性とされた水と接触させて易分解性のジクロロ酢酸を生成し、このジクロロ酢酸を好気性生物にて分解することを特徴とするトリクロロエチレンの処理方法。」
訂正事項ｂ
　特許明細書の【請求項２】を削除し、【請求項３】を訂正後の【請求項２】とするとともに、「請求項２記載の揮発性有機塩素化合物の処理方法。」を「請求項１記載のトリクロロエチレンの処理方法。」と訂正する。
訂正事項ｃ
　特許明細書の【発明の名称】の「揮発性有機塩素化合物」を「トリクロロエチレン」と訂正する。
訂正事項ｄ
　特許明細書の段落【０００１】の「揮発性有機塩素化合物」を「トリクロロエチレン」と訂正する。
訂正事項ｅ
　特許明細書の段落【００１２】の「揮発性有機塩素化合物」を「トリクロロエチレン」と訂正する。
訂正事項ｆ
　特許明細書の段落【００１３】を次のとおり訂正する。
「【課題を解決するための手段】
　請求項１記載のトリクロロエチレンの処理方法は、土中および水中の少なくともいずれか一方に含有されるトリクロロエチレンを真空または曝気により抽出し、この抽出した前記トリクロロエチレンが含有される気体に酸素存在下で、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上透過するガラス管を有する紫外線ランプから紫外線を照射して前記トリクロロエチレンを酸化して、ホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドとし、これらホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドを含有する気体を、ｐＨ値が制御されて中性とされた水と接触させて易分解性のジクロロ酢酸を生成し、このジクロロ酢酸を好気性生物にて分解するものである。」
訂正事項ｇ
　特許明細書の段落【００１４】を削除する。
訂正事項ｈ
　特許明細書の段落【００１５】を次のとおり訂正する。
「請求項２記載のトリクロロエチレンの処理方法は、請求項１記載のトリクロロエチレンの処理方法において、ジクロロ酢酸を好気性生物にて分解した水を返送手段にて返送しホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドと接触させて閉鎖還流回路を形成するものである。」
　
訂正事項ｉ
　特許明細書の段落【００１６】の「揮発性有機塩素化合物」を「トリクロロエチレン」に訂正する。
訂正事項ｊ
　特許明細書の段落【００１７】を次のとおり訂正する。
「また、ジクロロ酢酸を好気性生物にて分解するので、トリクロロエチレンが無害な最終生成物に確実に処理される。」
訂正事項ｋ
　特許明細書の段落【００１８】の「請求項３」及び「揮発性有機塩素化合物」を、「請求項２」及び「トリクロロエチレン」に訂正する。
訂正事項ｌ
　特許明細書の段落【０１１１】の「揮発性有機塩素化合物」を「トリクロロエチレン」に訂正する。
訂正事項ｍ
　特許明細書の段落【０１１２】を次のとおり訂正する。
「また、ジクロロ酢酸を好気性生物にて分解するので、トリクロロエチレンが無害な最終生成物に確実に処理される。」
訂正事項ｎ
　特許明細書の段落【００１３】を次のとおり訂正する。
「請求項２記載のトリクロロエチレンの処理方法によれば、請求項１記載のトリクロロエチレンの処理方法の効果に加え、ジクロロ酢酸を好気性生物にて分解した水を返送手段にて返送して再びホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドと接触させる閉鎖還流回路を形成するため、副生成物が系外に漏洩することなく確実に処理できるとともに、ジクロロ酢酸の処理効率が向上でき、このジクロロ酢酸の処理コストを低減できる。」
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、（ａ−１）「揮発性有機塩素化合物」を「トリクロロエチレン」に限定し、（ａ−２）「紫外線を照射」を「波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上透過するガラス管を有する紫外線ランプから紫外線を照射」に限定し、（ａ−３）「水」を「ｐＨ値が制御されて中性とされた水」に限定し、（ａ−４）訂正前の請求項２の「ジクロロ酢酸を好気性生物にて分解する」構成に限定したものであるから、訂正事項ａの（ａ−１）乃至（ａ−４）はいずれも特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。そして、上記（ａ−１）は、特許明細書の【０００２】、【００２１】に記載されており、上記（ａ−２）は、特許明細書の【００２０】に記載されており、上記（ａ−３）は、特許明細書の【００３１】に記載されているから、訂正事項ａは願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内でするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　訂正事項ｂは、（ｂ−１）訂正前の請求項２を削除し、（ｂ−２）訂正事項ａとの整合を図るとともに特許請求の範囲の記載と整合を図るものであるから、上記（ｂ−１）は、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当し、また、上記（ｂ−２）は明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。そして、上記訂正事項ｂは、訂正事項ａで見たとおり、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内でするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　訂正事項ｃ乃至ｎは、訂正事項ａ、ｂとの整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。そして、上記訂正事項ｃ乃至ｎは、訂正事項ａ、ｂで見たとおり、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内でするものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号。）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについて
３−１．本件発明
　以上のとおり、訂正は認められるから、本件特許の訂正後の請求項１に係る発明は、訂正された特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのもの（以下、「本件発明」という）である。
【請求項１】土中および水中の少なくともいずれか一方に含有されるトリクロロエチレンを真空または曝気により抽出し、この抽出した前記トリクロロエチレンが含有される気体に酸素存在下で、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上透過するガラス管を有する紫外線ランプから紫外線を照射して前記トリクロロエチレンを酸化して、ホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドとし、これらホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドを含有する気体を、ｐＨ値が制御されて中性とされた水と接触させて易分解性のジクロロ酢酸を生成し、このジクロロ酢酸を好気性生物にて分解することを特徴とするトリクロロエチレンの処理方法。
３−２．特許異議申立の理由
（ア）訂正前の本件の請求項１に係る発明は、甲第１号証に実質的に記載された発明であるか、又は甲第１乃至３号証に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号、又は同条第２項の規定により特許を受けることができない。
（イ）訂正前の本件の請求項２に係る発明は、甲第１乃至４号証に記載された発明に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
（ウ）記載不備
（ウ−１）本件訂正前の請求項１には「揮発性有機塩素化合物を酸化して、ホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドとし、これらホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドを含有する気体を水と接触させて易分解性のジクロロ酢酸を生成する」と記載されている。しかしながら、本件特許明細書に記載されているように、揮発性有機塩素化合物であるテトラクロロエチレン、ｃｉｓ−１，２−ジクロロエチレンからはジクロロアセチルクロリドは生成しておらず、また、ホスゲンと水との反応ではジクロロ酢酸は生成しないことから、テトラクロロエチレン、ｃｉｓ−１，２−ジクロロエチレンを分解した気体が水と接触しても、ジクロロ酢酸は生成されないこととなる。したがって、特許を受けようとする発明の構成に欠くことができない事項のみを記載したものではなく、特許法第３６条第５項第２号の規定を満たしておらず、特許を受けることができない。
（ウ−２）また、訂正前の本件の請求項１に係る発明は、揮発性有機塩素化合物の紫外線酸化を、塩化水素などの酸性の分解ガスになる前に途中で止め、ホスゲンとジクロロアセチルクロリドを生成させるものと認められる。しかしながら、本件特許明細書には、各種の揮発性有機塩素化合物に紫外線を２０秒照射した場合、トリクロロエチレンからホスゲンとジクロロアセチルクロリドが生成しうること等が示されているにすぎない。そして、光反応では通常、光強度を適宜設定することにより、反応時間は適宜設定し得るものであるから、照射時間を単に２０秒とするだけで、ホスゲンとジクロロアセチルクロリドを生成させることに技術的意義はない。したがって、当業者が容易に本件特許発明を実施することができる程度に明確かつ十分な記載がなされておらず、特許法第３６条第４項の規定を満たしておらず、特許を受けることができない。
３−３．証拠の記載内容
（１）甲第１号証（特開昭６２−１９１０９５号公報）には、下記の記載がある。
（１ａ）「第１図中、符号１はトリクロロエチレン、テトラクロロエチレン等の有機塩素化合物を含有する排水である。排水１はまずブロワー等の送気装置３に接続した散気機構４が配設されている曝気処理装置２に送られ、散気機構４から放出される空気により曝気処理される。曝気処理された排水は処理水５として排出され、一方、放散された排ガス６、たとえばトリクロロエチレン、テトラクロロエチレンを含むガスは内部照射型の低圧水銀ランプで構成された紫外線照射装置７に送られ、紫外線照射処理される。その結果、排ガスは分解して塩化水素等の酸性の分解ガス８となり、このガスは次いでアルカリ洗浄装置９に送られて無害化処理される。」（第２頁左上欄第１２行〜右上欄第５行）
（２）甲第２号証（「ＡＣＴＡ　ＣＨＥＭＩＣＡ　ＳＣＡＮＤＩＮＡＶＩＣＡ　２３」（１９６９）　Ｎｏ．９，第３０８１〜３０９０頁）には、下記の記載がある。
（２ａ）「トリクロロエチレンの非増感光酸化反応を速度論的に検討した。結果は連鎖反応であるとして解釈できる。この連鎖反応は、励起されたトリクロロエチレン分子と基底状態にある別のトリクロロエチレン分子との反応により開始されると考えられる。連鎖反応の主生成物はジクロロアセチルクロライドであり、最大量子収率はトリクロロエチレンと酸素の分圧が高い条件で約２０である。ホスゲン生成の量子収率はジクロロアセチルクロライドの約１／５である。（第３０８１頁要約、訳文）
（３）甲第３号証（「モリソン　ボイド　有機化学（中）」（第５版）１９８９年４月１日発行）には、下記の記載がある。
（３ａ）アシルクロリドが水との接触で加水分解されてカルボン酸と塩酸が生成されることが記載されている。（１０８６頁１．ａ）式）
（４）甲第４号証（「大阪府立公衛研所報」（公衆衛生編第３０号）平成４年（１９９２年）第８９頁〜第９６頁）には、下記の記載がある。
（４ａ）ジハロ酢酸は、ハロ酸脱ハロ酵素により、グリオキシール酸（ＣＨＯＣＯＯＨ）とハロ酸に分解されることが記載されている。（第９０頁左欄式）
（４ｂ）「そのため、ＯＳ−２株酵素の各ハロ酸に対する活性をトルエン処理菌体を用いて測定し、ＣＡに対する活性を基準（１００）として比を表３に示した。２ＣＰ（２−クロロプロピオン酸）に対する活性が一番高く、ＢＡ（ブロモ酢酸）も同程度の値を示した。次いでＣＡ（クロロ酢酸）、ＩＡ（ヨード酢酸）がほとんど同じで、ＤＣＡ（ジクロロ酢酸）、ＤＣＰ（２，２−ジクロロプロピオン酸）の順であった。（第９２頁右欄下から６行目〜１行目）
（４ｃ）「ｐＨ９．５前後で最も高い酵素活性を示し、ｐＨ９．５以上になると急速な失活が認められた。」（第９３頁右欄第１６〜１７行）
３−４．対比・判断
（１）特許異議申立の理由（ア）及び（イ）について
　甲第１号証には、記載事項（１ａ）からみて、これを本件発明の記載振りに則して整理すると、「トリクロロエチレンを含有する排水を空気により曝気処理し、前記曝気処理により放散されたトリクロロエチレンを含む排ガスに、内部照射型の定圧水銀ランプから紫外線を照射してトリクロロエチレンを分解して塩化水素等の酸性の分解ガスとし、このガスをアルカリ洗浄して無害化処理するトリクロロエチレンの処理方法」の発明（以下、「甲１発明」という。）が記載されているといえる。
　本件発明と甲１発明とを対比すると、甲１発明の「曝気処理」は、排水中に含まれていたトリクロロエチレンを曝気処理後の排ガスに含ませようとするものであるから、技術内容から本件発明の「トリクロロエチレンを曝気により抽出」に他ならなく、また、甲１発明の「曝気処理により放散されたトリクロロエチレンを含む排ガスに、内部照射型の定圧水銀ランプから紫外線を照射」は、「曝気処理」が「空気により」行われる以上、曝気処理された「排ガス」には、「酸素」が存在することは明らかであるから、本件発明の「気体に酸素存在下で紫外線ランプから紫外線を照射」に相当するといえる。また、甲1発明の「トリクロロエチレンを分解して塩化水素等の酸性の分解ガスとし」は、本件発明の「トリクロロエチレンを酸化して」いることに相当することも自明である。以上のことからみれば、本件発明と甲１発明は、「水中に含有されるトリクロロエチレンを曝気により抽出し、この抽出したトリクロロエチレンが含有される気体に酸素存在下で紫外線ランプから紫外線を照射して前記トリクロロエチレンを酸化するトリクロロエチレンの処理方法」という点で一致するものの、両者は以下の点で相違する。
（ｉ）本件発明では、紫外線ランプが「波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上透過するガラス管を有する」ものであるのに対し、甲１発明では、それが「内部照射型の低圧水銀ランプ」である点
（ｉｉ）本件発明では、「トリクロロエチレンを酸化して、ホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドとし、これらホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドを含有する気体をｐＨ値が制御されて中性とされた水と接触させて易分解性のジクロロ酢酸を生成し、このジクロロ酢酸を好気性生物にて分解する」のに対し、甲１発明では、「トリクロロエチレンを酸化して、塩化水素等の酸性の分解ガスとし、このガスをアルカリ洗浄して無害化処理している」点
　そこでまず、相違点（ｉｉ）について他の証拠に基づいて検討する。甲第２〜４号証をみてみると、相違点（ｉｉ）に係る本件発明の構成に関し、甲第２号証には記載事項（２ａ）からみて「トリクロロエチレンに紫外線を照射するとホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドが生成される」ことが記載されるといえ、また甲第３号証には、記載事項（３ａ）に「アシルクロリドが水との接触で加水分解されてカルボン酸と塩酸が生成される」ことが記載され、そのアシルクロリドがジクロロアセチルクロリドであればジクロロ酢酸が生成されることが記載されるといえ、そして甲第４号証には、記載事項（４ａ）（４ｂ）からみて「ジクロロ酢酸が脱ハロ酵素によりグリオキシール酸に分解される」ことが、記載されているといえる。しかしながら、本件発明は、本件明細書の段落【００１６】【００１７】からみて「酸素存在下で紫外線を照射して揮発性有機塩素化合物を酸化させてホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドとするので、この揮発性有機塩素化合物を紫外線を照射して塩化水素にする場合に比べ、紫外線の照射効率が向上して紫外線による酸化分解効率が向上し、これらホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドを水と接触させて易分解性のジクロロ酢酸を生成し、ジクロロ酢酸を好気性生物で分解するので無害な最終生成物が確実に処理される」というものであるのに対し、甲１発明は、「トリクロロエチレンを含む排ガスに、紫外線を照射して塩化水素等の酸性の分解ガスとし、このガスをアルカリ洗浄して無害化処理する」ものであるから、甲１発明には、本件発明のようなトリクロロエチレンを分解してホスゲン及びジクロロアセチルクロリドを生成しようとする認識はなく、本件発明の上記した技術思想は甲１発明には何処にも見出せない。しかも、相違点（ｉｉ）に係る本件発明の構成の「ホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドを含有する気体をｐＨ値が制御されて中性とされた水と接触させて易分解性のジクロロ酢酸を生成」する構成については、甲第２〜４号証には記載されていない。そうすると、甲１発明と甲第２〜４号証記載の発明を組み合わせて、トリクロロエチレンを分解してホスゲン及びジクロロアセチルクロリドを生成させ、ｐＨ値が制御されて中性とされた水と接触させてジクロロ酢酸を生成し、これを生物分解しようとすることが困難なくできるとはいえない。上記した「ジクロロ酢酸」の生成に関して、甲１発明ではアルカリ洗浄していることから、洗浄水という点では本件発明の「水」で処理するといえるが、その処理の目的が異なることは明白であり、しかも相違点（ｉｉ）に係る本件発明の構成の「ｐＨ値が制御されて中性とされた水」とは相違するのである。
　仮に、甲１発明の「塩化水素等」に、甲第２、３号証からみてホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドが含まれ、「アルカリ洗浄」によってジクロロ酢酸が生成されていたとしても、甲１発明は、上記したようにトリクロロエチレンを塩化水素等の酸性の分解ガスに分解しようとするものであり、そこには上記したとおり、本件発明のようにホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドを生成しようとする意図はなく、アルカリ洗浄して無害化することにとどまるものであるから、たとえ甲第２〜４号証に上記した技術的事項が開示されていたとしても、これらは、本件発明の構成の部分的な技術事項を開示するにすぎなく、これらを有機的に結び付けて本件発明のように構成する動機付けが見当たらないというべきである。しかも、本件発明の「気体をｐＨ値が制御されて中性とされた水と接触させて易分解性のジクロロ酢酸を生成し」という構成については導き出すことはできない。この構成に関し、甲第４号証の記載事項（４ｂ）及び（４ｃ）には「ジクロロ酢酸の分解酵素の活性を高く維持するためにｐＨを制御する」という技術事項が記載されているが、これは「アルカリ性条件下に制御」するものであるから、本件発明の「ｐＨ値を制御して中性と」することを示しているとはいえない。しかも、その技術事項は、本件発明の「中性とされた水と接触させてジクロロ酢酸を生成する」処理におけるものではないから、甲第４号証の技術事項が上記本件発明の構成を意味しないことは明らかである。
　そして、本件発明は、上記相違点（ｉｉ）の構成を採ることによって、紫外線による酸化分解効率を向上し、揮発性有機塩素化合物を効率よく確実に処理して無害化できるという本件明細書に記載の効果を奏するものといえる。
したがって、上記相違点（ｉｉ）で挙げた本件発明の構成要件は、当業者が容易になし得たものであるとすることはできないから、本件発明は、相違点（ｉ）を検討するまでもなく、甲第１号証に記載された発明であるということはできず、また、甲第１乃至４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることもできない。
　なお、異議申立人が回答書に添付した参考文献１（”The Impact of the Chlorocarbon Industry on the Ozone Layer”(P.J.Cruzen et.al., Journal of Geophysical Research, 83,C1,January 20,第345-363頁(1978)）には、上記相違点（ｉ）に挙げた本件発明の構成要件におけるトリクロロエチレンに照射する紫外線の波長についての記載はあるものの、上記相違点（ｉｉ）に挙げた本件発明の構成要件については、何も記載されていない。
（２）特許異議申立の理由（ウ）について
（ウ−１）について、本願の請求項１は、訂正によって「揮発性有機塩素化合物」を、酸化されてジクロロアセチルクロリドを生成する「トリクロロエチレン」に限定された。これにより、本件発明は、被処理ガスを酸化することにより、ホスゲン及びジクロロアセチルクロリドを生成するものとなり、そして、このジクロロアセチルクロリドと水を接触させてジクロロ酢酸を生成することは表２から明らかといえる。したがって、この不備は解消された。
（ウ−２）について、本件発明は、上記３−１．のとおり、「土中および水中の少なくともいずれか一方に含有されるトリクロロエチレンを真空または曝気により抽出し、この抽出した前記トリクロロエチレンが含有される気体に酸素存在下で、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上透過するガラス管を有する紫外線ランプから紫外線を照射して前記トリクロロエチレンを酸化して、ホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドとし、これらホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドを含有する気体を、ｐＨ値が制御されて中性とされた水と接触させて易分解性のジクロロ酢酸を生成し、このジクロロ酢酸を好気性生物にて分解することを特徴とするトリクロロエチレンの処理方法」である。そして、本件特許明細書には、「トリクロロエチレンを含有するガスに、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上透過するガラス管を有する紫外線ランプから紫外線を２０秒間照射してトリクロロエチレンを酸化して、ホスゲン及びジクロロアセチルクロリドとする実施例」が記載されているから、本件特許明細書には、当業者が容易に本件特許発明を実施することができる程度に明確かつ十分な記載がなされていないとまではいえない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由及び証拠によっては、本件訂正後の請求項１に係る発明についての特許を取り消すことができない。
　また、他に本件訂正後の請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年９月３日（２００４．９．３）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
トリクロロエチレン
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　土中および水中の少なくともいずれか一方に含有される
トリクロロエチレン
　この抽出した前記
トリクロロエチレン
、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上透過するガラス管を有する紫外線ランプから
トリクロロエチレン
　これらホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドを含有する気体を
、ｐＨ値が制御されて中性とされた
し、
　
このジクロロ酢酸を好気性生物にて分解
　ことを特徴とする
トリクロロエチレン
　【請求項２】　ジクロロ酢酸を好気性生物にて分解した水を返送手段にて返送しホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドと接触させて閉鎖還流回路を形成する
　ことを特徴とする請求項
１
トリクロロエチレン
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、土中、水中に含有される
トリクロロエチレン
トリクロロエチレン
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、トリクロロエチレン（ＣＨＣｌ＝ＣＣｌ２）やテトラクロロエチレン（ＣＣｌ２＝ＣＣｌ２）などの塩素基を有する揮発性有機塩素化合物の処理方法としては、例えば特開平２−１８４３９３号公報または特開平２−１１５０９６号公報に記載の構成が知られている。
　【０００３】
　そして、特開平２−１８４３９３号公報に記載の揮発性有機塩素化合物の処理方法は、揮発性有機塩素化合物を含有する水溶液にオゾンおよび過酸化水素を導入するとともに、紫外線を３０分から１時間程度照射して揮発性有機塩素化合物を酸化分解するものである。
　【０００４】
　ところで、この特開平２−１８４３９３号公報に記載の方法では、オゾンの導入および紫外線の照射とともに、過酸化水素を使用している。しかしながら、過酸化水素を使用しなければ、水溶液中に含有された揮発性有機塩素化合物はほとんど分解されないことが知られている。このため、水溶液中の揮発性有機塩素化合物を酸化分解するには、高価で運用が煩雑な過酸化水素を必要とし、処理装置が複雑化するとともに処理コストが増大する問題がある。
　【０００５】
　また、紫外線が水溶液中を通過する際、相当量の紫外線が遮断されるため、紫外線の照射による揮発性有機塩素化合物の分解効率が低下するので、水溶液中に未分解の揮発性有機塩素化合物が残留せず、確実に分解させるには、紫外線を少なくとも３０分から１時間以上の長時間照射しなければならず、処理効率が低下するとともに処理コストが増大する問題がある。
　【０００６】
　一方、特開平２−１１５０９６号公報に記載の揮発性有機塩素化合物の処理方法は、水溶液中に含有される揮発性有機塩素化合物を揮発させ、この揮発した揮発性有機塩素化合物をオゾンとともに多孔質吸着物に吸着させ、この多孔質吸着物に紫外線を照射して揮発性有機塩素化合物を酸化分解するものである。
　【０００７】
　そして、この特開平２−１１５０９６号公報に記載の方法では、水溶液より抽出された気体中の揮発性有機塩素化合物をオゾンとともに多孔質吸着物に吸着させ、紫外線を照射するため、水により紫外線が遮断されることがないので効率よく酸化分解できる。しかしながら、この酸化分解により、ホスゲン（ＣＯＣｌ２）やジクロロアセチルクロリド（Ｃｌ２ＣＨＣＯＣｌ）などの別の有機塩素化合物を生成する。したがって、これらをさらに酸化分解し、最終分解物の塩化水素および二酸化炭素に酸化分解するには、紫外線を非常に長時間照射しなければならず、処理効率が低下するとともに処理コストが増大する問題がある。また、揮発性有機塩素化合物をオゾンとともに吸着させる多孔質吸着物を必要とし、装置が複雑化し装置価格が上昇する問題もある。さらに、未分解の揮発性有機塩素化合物や副生成物が、多孔質吸着物に確実に吸着されず、そのまま排気されるおそれがあるとともに、副生成物が吸着する多孔質吸着物を無害に処理するには、多大な労力と費用とが必要となる。
　【０００８】
　また、特開平２−１８４３９３号公報および特開平２−１１５０９６号公報に記載の方法において、水溶液が下水などの汚水の場合、揮発性有機塩素化合物の分解処理の他に、別途汚水の浄化処理を行う必要があり、揮発性有機塩素化合物を含有する下水の浄化処理が煩雑で、処理効率が低下する問題も有している。
　【０００９】
　【発明が解決しようとする課題】
　上述したように、上記特開平２−１８４３９３号公報に記載の方法では、水溶液中の揮発性有機塩素化合物を酸化分解するため、高価で運用が煩雑な過酸化水素を必要とし、処理装置の複雑化、処理コストの増大が生じ、また、水溶液による紫外線の照射量の低減により、揮発性有機塩素化合物の分解効率が低下し、処理効率の低下、処理コストの増大が生じる問題がある。
　【００１０】
　また、特開平２−１１５０９６号公報に記載の方法では、紫外線の照射による酸化分解された副生成物である別の有機塩素化合物が生成し、最終分解物への酸化分解には、紫外線の長時間照射が必要で、処理効率の低下、処理コストの増大が生じ、また、多孔質吸着物を必要とし、装置が複雑化する問題がある。
　【００１１】
　さらに、下水などの汚水の場合には、揮発性有機塩素化合物の分解処理、汚水の浄化処理の別工程を行わなければならず、浄化処理の煩雑化、処理効率の低下を生じる問題がある。
　【００１２】
　本発明は、上記の問題点に鑑みなされたもので、土中または水中に含有される
トリクロロエチレン
トリクロロエチレン
　【００１３】
　【課題を解決するための手段】
　請求項１記載の
トリクロロエチレン
トリクロロエチレン
トリクロロエチレン
、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上透過するガラス管を有する紫外線ランプから
トリクロロエチレン
、ｐＨ値が制御されて中性とされた
し、このジクロロ酢酸を好気性生物にて分解
　【００１４】（削除）
　【００１５】
　請求項
２
トリクロロエチレン
１
トリクロロエチレン
　【００１６】
　【作用】
　請求項１記載の
トリクロロエチレン
トリクロロエチレン
トリクロロエチレン
トリクロロエチレン
トリクロロエチレン
　【００１７】
　
また、
トリクロロエチレン
　【００１８】
　請求項
２
トリクロロエチレン
１
トリクロロエチレン
　【００１９】
　【実施例】
　本発明の揮発性有機塩素化合物の処理方法を実施する装置の一実施例の構成を図面を参照して説明する。
　【００２０】
　図１において、１は照射槽で、この照射槽１は、気密構造に形成され、キセノンランプ、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプなどの紫外線を照光する図示しない紫外線ランプを配設している。そして、この紫外線ランプは、例えば不純物が０．００１％以下の合成石英ガラスにて形成され、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上透過する図示しないガラス管にて構成されている。
　【００２１】
　また、この照射槽１には、真空および曝気により土中および水中の揮発性有機塩素化合物を空気とともに抽出する抽出装置２が接続されている。さらに、照射槽１には、揮発性有機塩素化合物が紫外線ランプの紫外線照射により分解された第１副生成物、例えば揮発性有機塩素化合物としてトリクロロエチレン（ＣＨＣｌ＝ＣＣｌ２）を使用した場合、ホスゲン（ＣＯＣｌ２）やジクロロアセチルクロリド（Ｃｌ２ＣＨＣＯＣｌ）などを排出する送気管４が接続されている。
　【００２２】
　また、送気管４には原水槽６が接続され、この原水槽６は、気密構造に形成されているとともに、酸性水などにより腐食されないように耐腐食構造に形成されている。そして、この原水槽６には、水が流入される図示しない流水口が形成されているとともに、この導入された水を攪拌する図示しない攪拌手段が設けられている。
　【００２３】
　さらに、原水槽６の底部には、送気管４に連通された散気装置７が形成され、この散気装置７から照射槽１より送気管４を介して搬送される第１次副生成物を含有する空気が、流水口から流入された水に散気される。また、原水槽６には、散気された水のｐＨ値を検出し、水を中性に制御するｐＨ制御装置８が接続されている。さらに、原水槽６の底部には、搬送ポンプ９を設けた搬送管１０が接続され、原水槽６内の水が送出される。
　【００２４】
　なお、原水槽６に、散気装置７から散気した気体を、原水槽６の上部に設けた吸気手段にて吸気し、この気体を空気などの酸素含有ガスとともに再び照射槽１に返送し、再び紫外線照射させてもよい。この吸気手段により、確実に揮発性有機物を第１次副生成物に分解でき、系外へ有毒な揮発性有機物を漏洩することを防止でき、確実に処理できる。
　【００２５】
　そして、搬送管１０には、曝気槽１２が接続され、この曝気槽１２には、有機物質や窒素化合物などの汚染物質が含まれる汚水１３が流入される図示しない原水管が接続されている。さらに、曝気槽１２の上部には、原水槽６から搬送ポンプ９により搬送管１０を介して搬送される水が吐出される吐出部１４が設けられている。
　【００２６】
　また、曝気槽１２内には充填層１５が設けられ、この充填層１５は流入した汚水１３中の有機物質や窒素化合物などの汚染物質を分解する好気性生物が担持される多数の図示しない多孔質材料が充填されて形成されている。さらに、曝気槽１２の上部には、汚水１３に空気を散気し充填層１５の好気性生物に酸素を供給するブロワ１６が接続された曝気装置１７が設けられている。
　【００２７】
　そして、この曝気槽１２の底部には、充填層１５の好気性生物により浄化処理された処理水を放水する放水ポンプ１８が設けられた放水管１９が接続されている。なお、この曝気槽１２には、図示しない逆流洗浄手段が設けられ、適宜曝気槽１２内を逆流洗浄し、回収した汚泥などは別途処理されるようになっている。
　【００２８】
　次に、この装置についての動作を汚水の処理について説明する。
　【００２９】
　有機物質や窒素化合物などの汚染物質が含まれるとともに、トリクロロエチレン（ＣＨＣｌ＝ＣＣｌ２）やテトラクロロエチレン（ＣＣｌ２＝ＣＣｌ２）などの揮発性有機塩素化合物を含有する汚水１３を、抽出装置２に流入し、この汚水１３に空気を散気して汚水１３中の揮発性有機塩素化合物を空気中に揮発させる。そして、この揮発性有機塩素化合物を含有する空気を照射槽１に流入する。また、揮発性有機塩素化合物が除かれた汚水１３は、図示しない原水管を介して曝気槽１２に流入する。
　【００３０】
　次に、照射槽１の図示しない紫外線ランプを点灯させ、照射槽１に流入された揮発性有機塩素化合物を含有する空気に紫外線を照射する。そして、紫外線を所定時間照射後、照射槽１内の空気を送気管４を介して原水槽６に送気する。
　【００３１】
　一方、原水槽６内に流水口から水を流入し、送気管４を介して送気された空気を、原水槽６の底部に設けた散気装置７から散気する。さらに、この散気の際、ｐＨ制御装置８にて原水槽６内の水のｐＨ値を測定し、適宜水酸化ナトリウムなどを投入してｐＨ値をほぼ中性となるように制御しつつ、図示しない攪拌手段にて水を攪拌する。
　【００３２】
　そして、散気装置７からの散気が終了し、水酸化ナトリウムなどを投入せずとも、ｐＨ値がほぼ中性で一定となった後、攪拌を停止して、搬送ポンプ９を駆動させ、搬送管１０を介して原水槽６内の水を曝気槽１２に搬送する。
　【００３３】
　次に、原水槽６から搬送された水は、曝気槽１２の上部に設けた吐出部１４より吐出され、図示しない原水管から流入された汚水１３に流入される。そして、汚水１３と混合された水は、曝気装置１７から曝気される空気とともに、曝気槽１２内の充填層１５を流過する。また、この充填層１５の流過の際、汚水１３と混合した水は、充填層１５の図示しない多孔質材料に担持された好気性生物により浄化処理され、曝気槽１２の底部に流下する。
　【００３４】
　そして、曝気槽１２の底部の浄化処理された処理水を、放水ポンプ１８を駆動させて放水管１９より放水する。
　【００３５】
　また、以上の処理工程を続けることにより、曝気槽１２内の充填層１５に担持された好気性生物が増殖したり、汚水１３中の汚泥が充填層１５に濾過され、流過抵抗が向上する場合には、図示しない逆流洗浄手段により、汚泥などを除去する。
　【００３６】
　次に、上記実施例の作用を説明する。
　【００３７】
　照射槽１、原水槽６、曝気槽１２における処理について各種実験を行った。
　【００３８】
　まず、照射槽１として、図２に示すような照射槽１を形成する。この照射槽１は、直径が略４００ｍｍ、高さが１０００ｍｍの円筒状の鋼板製の管体２１からなり、気密に形成されている。
　【００３９】
　また、この管体２１に紫外線ランプである長さが約５００ｍｍの１５Ｗの低圧水銀灯２２を配設する。なお、この低圧水銀灯２２は、例えば不純物が０．００１％以下の合成石英ガラスにて形成され、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上透過するガラス管を構成している。さらに、この管体２１の上端面には注入部２３が形成されている。また、この管体２１内に乾燥空気を充填させておく。
　【００４０】
　そして、この管体２１内に揮発性有機塩素化合物としてトリクロロエチレンを０．１ｍｌ注入し、紫外線の照射時間を変化させて、トリクロロエチレンの酸化分解状況についての実験１−１を行った。その結果を図３および表１に示す。
　【００４１】
　なお、図３は、縦軸が管体２１内のトリクロロエチレン濃度（単位はｐｐｍ）、横軸が低圧水銀灯２２の点灯時間（単位は秒）で表したグラフである。また、酸化分解された第１次副生成物の定性、および、揮発性有機塩素化合物および第１次副生成物の定量は、ガスクロマトグラフ質量分析計（ＧＣ／ＭＳ：Ｇａｓ　Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈ　Ｍａｓｓ　Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ）を用いて測定した。
　【００４２】
　そして、図３に示す実験１−１において、紫外線の照射時間が長くなるにしたがって、注入されたトリクロロエチレン濃度は、ほぼ指数関数的に減少することが分かる。また、この紫外線の照射時間も２０秒間の照射のみでほとんどが酸化分解されていることが分かる。
　【００４３】
　そして、この結果に基づいて、揮発性有機塩素化合物としてテトラクロロエチレンを０．１ｍｌ、ｃｉｓ−１．２．ジクロロエチレン（ＣＨＣｌ＝ＣＨＣｌ）を０．０５ｍｌ、それぞれ注入し、紫外線を約２０秒照射し、これらテトラクロロエチレン、ｃｉｓ−１．２．ジクロロエチレンの酸化分解状況についても同様に実験を行った。その結果を表１に示す。
　【００４４】
　【表１】
　【００４５】
　この表１に示すＧＣ／ＭＳの測定結果から、２０秒間の紫外線の照射により、トリクロロエチレンは、第１次副生成物として、ほとんどがホスゲン（ＣＯＣｌ２）、ジクロロアセチルクロリド（Ｃｌ２ＣＨＣＯＣｌ）に酸化分解され、ホスゲンは３２ｐｐｍ、ジクロロアセチルクロリドは１３０ｐｐｍ検出された。また、テトラクロロエチレンおよびｃｉｓ−１．２．ジクロロエチレンも、ほとんどが塩化水素、二酸化炭素、ホスゲンなどに酸化分解され、ホスゲンは、テトラクロロエチレンが３７ｐｐｍ、ｃｉｓ−１．２．ジクロロエチレンは２６ｐｐｍ検出された。なお、テトラクロロエチレンおよびｃｉｓ−１．２．ジクロロエチレンでは、分解されて生成された上記以外の副生成物が存在したが、特定できなかった。
　【００４６】
　次に、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以下透過する溶融石英ガラスにて形成したガラス管を備えた低圧水銀灯２２を照射槽１に配設して、実験１−１と同様な操作にて実験１−２を行った。その結果を図４に示す。
　【００４７】
　この図４に示す実験１−２の結果から、波長が２００ｎｍ以下の紫外線が少ないと、紫外線を長時間照射しても、トリクロロエチレンは、ほとんど酸化分解されないことがわかる。
　【００４８】
　そして、内径が１ｃｍのガラスセル中に、トリクロロエチレンを５２８ｐｐｍおよびテトラクロロエチレンを３２８ｐｐｍ投入して、それぞれの透過率を測定した結果を図５に示す。この図５に示す結果から、トリクロロエチレンおよびテトラクロロエチレンは、波長が２４０ｎｍ以下の紫外線を吸収し、２００ｎｍ以下ではほぼ５０％近く吸収することがわかる。
　【００４９】
　次に、実験１−１および１−２の紫外線照射された管体２１内の気体を、図示しないガラス製シリンダにて８０ｍｌ抽出し、さらに、このシリンダにイオン交換水１０ｍｌを採取し、このシリンダを約１０分間振盪し、実験２を行った。その結果を表２に示す。
　【００５０】
　【表２】
　【００５１】
　まず、シリンダ内の気体をＧＣ／ＭＳにて定性分析した結果、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、ｃｉｓ−１．２．ジクロロエチレンとも、ホスゲンおよびジクロロアセチルクロリドなど揮発性有機塩素化合物や第１次副生成物は検出されなかった。
　【００５２】
　また、シリンダ内の液体のｐＨ値を測定したところ、トリクロロエチレンの場合にはｐＨ値は３．９で、第２次副生成物である易分解性のジクロロ酢酸（ＣＨＣｌ２ＣＯＯＨ）などが検出された。なお、ジクロロ酢酸は５．９ｍｇ／ｌ検出された。さらに、テトラクロロエチレンおよびｃｉｓ−１．２．ジクロロエチレンの場合には、ジクロロ酢酸も検出されなかった。
　【００５３】
　このため、第１次副生成物のホスゲン、ジクロロアセチルクロリドや特定できなかった第１次副生成物は、イオン交換水との接触により全てイオン交換水に溶解もしくは加水分解されたものと考えられる。
　【００５４】
　次に、塩化ビニルにて、直径が略４００ｍｍ、高さが略６００ｍｍの合成槽２５と、縦が略２１０ｍｍ、横が略１４５ｍｍ、高さが略５００ｍｍの曝気槽２６と、直径が略１５０ｍｍ、高さが略２１０ｍｍの沈殿池２７とを形成する。そして、図６に示すように、合成槽２５の底部と曝気槽２６の上部とを原水ポンプ２８を介して原水管２９で接続する。また、曝気槽２６の底部と沈殿池２７の上部とを送水ポンプ３０を介して送水管３１で接続するとともに、沈殿池２７の底部と曝気槽２６の上部とを還流ポンプ３２を介して還流管３３で接続する。さらに、曝気槽２６には、曝気装置として送気ポンプ３４に接続された散気管３５が接続され、曝気槽２６内に空気を曝気するようになっている。また、沈殿池２７の上部には、上澄みの処理水が装置外に放流される放水管３６を接続する。そして、この装置を用いて実験３を行った。
　【００５５】
　まず、合成槽２５に水を流入し、この水に酢酸を２００ｍｇ／ｌ、ペプトンを１００ｍｇ／ｌ添加し、合成汚水３７を生成する。なお、この合成汚水３７は、生化学的酸素要求量（ＢＯＤ）が１７６ｍｇ／ｌ、化学的酸素要求量（ＣＯＤ）が４２ｍｇ／ｌであった。一方、曝気槽２６に合成した合成汚水３７を流入し、好気性生物を増殖させておく。なお、この曝気槽２６は、図１に示す充填層１５を設けず曝気のエアリフトにより好気性生物が合成汚水３７中に浮遊して浄化処理するものである。
　【００５６】
　また、合成汚水３７の処理においては、合成汚水３７を合成槽２５から１４ｍｌ／分で曝気槽２６に流入させ、曝気槽２６から処理された処理水および浮遊する好気性生物を沈殿池２７に１４ｍｌ／分で流入させ、沈殿池２７の底部から沈降した好気性生物を７ｍｌ／分で曝気槽２６に還流させ、沈殿池２７の上部の上澄みの処理水を１４ｍｌ／分で放水管３６から放水させる。
　【００５７】
　そして、下表３に示す条件にて、実験２で生成された第２次副生成物のジクロロ酢酸を合成汚水３７に添加し、合成汚水３７の浄化処理を行った。合成汚水３７の浄化処理状況として、沈殿池２７から放水管３６を介して放流される上澄みの処理水のＢＯＤを測定し、その結果を図７に示す。
　【００５８】
　【表３】
　【００５９】
　この図７に示す結果から、ジクロロ酢酸を添加しない合成汚水３７のみの浄化処理である第１処理段階（ＲＵＮ１）では、ＢＯＤ値は、１０〜２０ｍｇ／ｌまで浄化処理されることが分かる。
　【００６０】
　そして、この合成汚水３７の処理状況の中で、合成汚水３７に２０ｍｇ／ｌのジクロロ酢酸を添加して第２処理段階（ＲＵＮ２）の浄化処理を行うと、若干ＢＯＤ値が上昇し、少量のジクロロ酢酸が処理水中に検出されたが、処理の後期段階では、ＢＯＤも１５ｍｇ／ｌ以下に低下し、ジクロロ酢酸も検出されなくなった。
　【００６１】
　さらに、第３処理段階（ＲＵＮ３）でジクロロ酢酸の添加量を増加させても、同様に処理の後期段階ではＢＯＤも低下し、ジクロロ酢酸も検出されなくなる。そして、さらにジクロロ酢酸の添加量を増加させた第４処理段階（ＲＵＮ４）では、処理の前期段階でもジクロロ酢酸は検出されなくなり、ジクロロ酢酸の添加によるＢＯＤの上昇も少なくなり、処理水のＢＯＤも１５ｍｇ／ｌ以下に低下する。
　【００６２】
　すなわち、曝気槽２６内にジクロロ酢酸を分解する好気性生物が少ない運転初期段階では、多少処理水中にジクロロ酢酸が検出されるが、曝気槽２６内でジクロロ酢酸を分解する好気性生物が順養されると、合成汚水３７とともに確実に分解されることがわかる。
　【００６３】
　したがって、本発明の処理方法によれば、有毒な揮発性有機塩素化合物を短時間の紫外線照射のみで第１次副生成物に分解し、水との接触により好気性生物にて浄化処理可能な易分解性の第２次副生成物を生成させ、揮発性有機塩素化合物を抽出した汚水１３，３７とともに浄化処理するので、オゾンや過酸化水素などを用いずとも、容易で確実に効率よく安価に無害化できるとともに、汚水１３，３７の浄化処理とともに副生成物を浄化処理するため、副生成物による汚染を防止でき、効率よく浄化処理できる。
　【００６４】
　なお、上記実施例において、紫外線の照射により分解生成された第１次副生成物を、原水槽６にてｐＨ値を制御しつつ一旦第２次副生成物にし、この生成された第２次副生成物を曝気槽１２にて浄化処理したが、例えば図８に示すように、原水槽と曝気槽１２とを一体的に形成する構造としてもよい。
　【００６５】
　すなわち、曝気槽１２を気密構造とし、この曝気槽１２にｐＨ制御装置８を設けて、第１次副生成物を直接曝気槽１２中の汚水１３に曝気させ、第２次副生成物を生成させるとともに、この第２次副生成物を上部に還流させて吐出部１４より吐出させ、曝気槽１２内の空気を還流される汚水１３に接触させつつ、充填層１５を形成するラーシッヒリングや多孔質材料などの充填材に担持された好気性生物にて汚水１３中の第２次副生成物を分解させる。この場合には、さらに、処理装置の構造を簡略化できる。
　【００６６】
　また、第１次副生成物の水との接触として、水中に曝気して説明したが、第１次副生成物を充填した原水槽６内に水を噴霧するなどいずれの方法でもできる。
　【００６７】
　さらに、汚水１３および土中から揮発性有機塩素化合物を真空などにより抽出し、この揮発性有機塩素化合物を紫外線にて第１次副生成物に分解し、水との接触後、汚水１３とは別に曝気槽１２内で好気性生物にて分解処理した後、汚水１３と別に放水してもできる。
　【００６８】
　また、塩素基を有する揮発性有機塩素化合物を用いて説明したが、ベンゼンやトルエンなどでも同様に分解処理できる。
　【００６９】
　次に、他の実施例を図面を参照して説明する。
　【００７０】
　図９および図１０に示す実施例は、図１ないし図７に示す実施例の曝気槽１２の代わりに吸着処理装置を設けたものである。
　【００７１】
　すなわち、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上照光する図示しない紫外線ランプを収容した気密構造の照射槽１に、工場排水などの汚水１３中の揮発性有機塩素化合物を空気とともに抽出する抽出装置２が接続されている。
　【００７２】
　そして、この抽出装置２は、ブロワ４１からの空気を曝気する曝気手段４２を底部近傍に配設した抽出槽４３を備え、この抽出槽４３には、曝気により汚水１３中から抽出された揮発性有機塩素化合物を、流量が流量調節装置４４にて調整されて送気する抽出管４５が接続されている。
　【００７３】
　さらに、照射槽１には、紫外線照射により分解生成された第１副生成物を、送気管４を介して散気装置７から散気する原水槽６が接続されている。
　【００７４】
　また、この原水槽６は、図１０に示すように、図１ないし図７に示す実施例と同様に、気密かつ耐腐食構造に形成されている。さらに、水４８が流入される図示しない流水口が形成されているとともに、この導入された水４８を攪拌する図示しない攪拌手段が設けられている。
　【００７５】
　そして、原水槽６の底部には、送気管４に連通された散気装置７が形成され、この散気装置７から照射槽１より送気管４を介して搬送される第１次副生成物を含有する空気が、流水口から流入された水４８に散気される。また、原水槽６の中間部には、図８に示す実施例と同様に、図示しないラーシッヒリングなどの充填材が充填された充填層４９が形成されている。
　【００７６】
　さらに、原水槽６には、散気された水４８のｐＨ値を検出するセンサ８ａと、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）や炭酸ナトリウム（Ｎａ２ＣＯ３）、炭酸水素ナトリウム（ＮａＨＣＯ３）などの中和剤を添加する中和装置８ｂとを設けた水を中性に制御するｐＨ制御装置８が接続されている。
　【００７７】
　また、原水槽６の底部には、循環手段としての循環ポンプ５１を設けた循環管５２が接続され、途中に設けた流量計５３にて流量を調整しつつ原水槽６内の水４８を再び原水槽６の上部に設けた散水手段５５にて散水して循環する閉鎖循環回路が構成されている。そして、この循環管５２には、バルブ５７が設けられた搬送管１０が接続され、一部は原水槽６に返送し、適宜原水槽６内が水４８を引き抜くようになっている。
　【００７８】
　さらに、原水槽６の上部には、散気装置７から散気した気体を吸気する図示しない吸気手段が設けられ、吸気管５９を介して、吸気した気体を照射槽１に返送して再び紫外線照射させるようになっている。なお、この吸気管５９からの気体は、適宜図示しない吸気処理装置に送気するようにしてもよい。
　【００７９】
　なお、吸気処理装置は、図示しない活性炭などの吸着剤が充填された吸着層が形成され、この吸着層の通過により、原水槽６から引き抜いた空気に含まれる揮発性有機塩素化合物、各種副生成物などを吸着処理し、処理された空気は、系外に排気される。
　【００８０】
　次に、上記図９および図１０に示す実施例の装置についての処理動作を説明する。
　【００８１】
　トリクロロエチレン（ＣＨＣｌ＝ＣＣｌ２）やテトラクロロエチレン（ＣＣｌ２＝ＣＣｌ２）などの揮発性有機塩素化合物を含有する工業排水などの汚水１３を、抽出装置２に流入し、この汚水１３にブロワ４１からの空気を曝気手段４２から曝気して汚水１３中の揮発性有機塩素化合物を空気中に揮発させる。そして、この揮発性有機塩素化合物を含有する空気を照射槽１に流入する。
　【００８２】
　次に、照射槽１に流入した揮発性有機塩素化合物を含有する空気に、図１ないし図７に示す実施例と同様に、図示しない紫外線ランプにて紫外線を適宜照射し、揮発性有機塩素化合物を、例えば揮発性有機塩素化合物としてトリクロロエチレンを使用した場合、ホスゲン（ＣＯＣｌ２）やジクロロアセチルクロリド（Ｃｌ２ＣＨＣＯＣｌ）などの第１副生成物に分解する。
　【００８３】
　そして、紫外線を所定時間照射後、照射槽１内の第１副生成物を含有する空気を送気管４を介して原水槽６に送気する。次に、原水槽６内にあらかじめ流水口を介して流入した水４８に、ｐＨ制御装置８にてｐＨ値をほぼ中性となるように制御し、図示しない攪拌手段にて水を攪拌しつつ、送気管４を介して送気された空気を散気装置７から散気する。
　【００８４】
　なお、この散気の際、循環ポンプ５１を駆動させ、上部に設けた散水手段５５より充填層４９に、照射槽１からの空気が曝気された水４８を散水し、再び原水槽６内の空気と接触させる。また、適宜図示しない吸気手段から吸気管５９を介して空気を照射槽１に返送する。
　【００８５】
　そして、この散気により、空気に含有する第１副生成物は、水４８との接触により水４８に溶解もしくは加水分解されて、ジクロロ酢酸（ＣＨＣｌ２ＣＯＯＨ）などの易分解性の第２次副生成物となる。また、水４８との接触により水４８中に第２次副生成物として含有されずに水面から原水槽６内に拡散した第１次副生成物は、散水手段５５からの散水により再び水４８と接触される。
　【００８６】
　このため、第１次副生成物が系外に漏洩することなく、確実に水４８に捕捉できるとともに、散水する水４８は、既に第１次副生成物が第２次副生成物となって含有されているため、水４８中への第２次副生成物の濃度が上昇し濃縮できる。
　【００８７】
　さらに、吸気手段にて原水槽６内の空気を照射槽１に送気するため、紫外線照射により分解されなかった揮発性有機塩素化合物が、第１次副生成物を含有する空気とともに原水槽６に流入したとしても、再び照射槽１に返送されて紫外線照射により分解されるので、有害な揮発性有機塩素化合物を系外に漏洩することなく確実に第１次副生成物に分解して、水４８に捕捉できる。また、照射槽１に返送せず適宜引き抜いた吸着処理装置５８に送気することにより、抽出装置２にて抽出した揮発性有機塩素化合物に紫外線難分解性の物質が含有していても、吸着剤にて確実に吸着除去されるため、系外に有害な揮発性有機塩素化合物が漏洩することを防止できる。
　【００８８】
　そして、散気装置７からの散気が終了し、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）などの中和剤を投入せずとも、ｐＨ値がほぼ中性で一定となった後、攪拌を停止して、駆動する循環ポンプ５１により、原水槽６内の第２次副生成物が濃縮された水４８を、バルブ５７を調整して搬送管１０を介して適宜引き抜き、焼却や生物処理などにて処理する。したがって、濃縮させない処理方法に比し、第２次副生成物の処理する水４８の量が減少し、処理コストが低減できる。
　【００８９】
　次に、さらに他の実施例を図面を参照して説明する。
　【００９０】
　図１１および図１２に示す実施例は、図９ないし図１０に示す実施例に、図１ないし図７に示す実施例の曝気槽１２を設けたものである。
　【００９１】
　すなわち、波長が２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上照光する図示しない紫外線ランプを収容した気密構造の照射槽１に、ブロワ４１からの空気を曝気手段４２にて曝気し、工業排水などの汚水１３中の揮発性有機塩素化合物を空気とともに抽出する抽出装置２が接続されている。
　【００９２】
　そして、照射槽１には、紫外線照射により分解生成された第１副生成物を、送気管４を介して散気装置７から散気する原水槽６が接続されている。
　【００９３】
　また、この原水槽６は、図９ないし図１０に示す実施例と同様に、気密かつ耐腐食構造に形成されている。さらに、水４８が流入される図示しない流水口が形成されているとともに、この導入された水４８を攪拌する図示しない攪拌手段が設けられている。
　【００９４】
　そして、原水槽６の底部には、送気管４に連通された散気装置７が形成され、この散気装置７から照射槽１より送気管４を介して搬送される第１次副生成物を含有する空気が、流水口から流入された水４８に散気される。また、原水槽６の中間部には、図８に示す実施例と同様に、ラーシッヒリングなどの充填材が充填された充填層４９が形成されている。
　【００９５】
　また、原水槽６の底部には、循環手段としての循環ポンプ５１を設けた循環管５２が接続され、途中に設けたバルブ５７にて流量を調整しつつ原水槽６内の水４８を再び原水槽６の上部に設けた散水手段５５にて散水して循環する閉鎖循環回路が構成されている。そして、この循環管５２には、バルブ５７が設けられた搬送管１０が接続され、循環管５２にて循環されない一部の水４８を、適宜曝気槽１２に送水するようになっている。
　【００９６】
　さらに、原水槽６の上部には、散気装置７から散気した気体を吸気する図示しない吸気手段が設けられ、この吸気手段から吸気管５９を介して、吸気した空気を再び照射槽１に返送して再び紫外線照射させるようになっている。なお、この吸気管５９からの空気は、適宜図示しない活性炭などの吸着剤が充填された吸着処理装置５８に送気し、揮発性有機塩素化合物や副生成物などを吸着除去し、浄化処理された空気を大気中に排気するようにしている。
　【００９７】
　そして、曝気槽１２には、上部に原水槽６から循環ポンプ５１により搬送管１０を介して搬送される水４８が吐出される吐出部１４が設けられている。また、曝気槽１２内には中間に充填層１５が設けられ、この充填層１５は流入した水中の第２次副生成物を分解する好気性生物が担持される多数の図示しない多孔質材料などの充填材が充填されて形成されている。
　【００９８】
　さらに、曝気槽１２の下部には、汚水１３に空気を散気し充填層１５の好気性生物に酸素を供給するブロワ１６が接続された曝気装置１７が設けられている。なお、曝気槽１２には、図示しない逆流洗浄手段が設けられ、適宜曝気槽１２内を逆流洗浄し、回収した汚泥などは別途処理したり、後述する好気性生物の栄養源として用いてもよい。
　【００９９】
　また、曝気槽１２の上部には、充填層１５の好気性生物の生殖に必要な窒素、燐、マグネシウム、鉄、カルシウム、マンガン、カルシウムなどの栄養源を添加する添加装置６１が設けられている。なお、添加装置６１の栄養源の代りに、曝気槽１２の上部に、有機物質や窒素化合物などの汚染物質が含まれる汚水１３や汚泥物を流入するようにしてもよい。
　【０１００】
　さらに、この曝気槽１２の底部には、充填層１５の好気性生物により浄化処理された水４８を流出する流出管６２が接続されている。また、この流出管６２の下流側には、図９および図１０に示す実施例と同様、ｐＨ値を検出するセンサ８ａおよび中和剤を添加する中和装置８ｂを設けたｐＨ制御装置８と、図示しない攪拌手段を備えた水槽６３が設けられている。
　【０１０１】
　そして、この水槽６３の底部には、途中に放水ポンプ１８およびバルブ６５を設けた返送手段としての返送管６６が接続され、水槽６３の水４８を適宜原水槽６の散水手段５５および曝気槽１２の吐出部１４に返送して還流させる閉鎖還流回路が形成されている。
　【０１０２】
　なお、この返送管６６には、図示しないバルブを設けた放水管１９が形成され、適宜水槽６３の処理された水４８を放水するようにしている。また、そのまま放水せず、吸着剤などにて浄化処理後に放水するようにしてもよい。
　【０１０３】
　次に、上記図１１および図１２に示す実施例の装置についての処理動作を説明する。
　【０１０４】
　トリクロロエチレン（ＣＨＣｌ＝ＣＣｌ２）やテトラクロロエチレン（ＣＣｌ２＝ＣＣｌ２）などの揮発性有機塩素化合物を含有する工業排水などの汚水１３を、図１ないし図７に示す実施例、および、図９および図１０に示す実施例と同様に、抽出装置２にて曝気して揮発性有機塩素化合物を空気中に揮発させる。そして、この揮発性有機塩素化合物を含有する空気を照射槽１にて紫外線を適宜照射して第１副生成物に分解し、この第１副生成物を含有する空気を送気管４を介して原水槽６に送気する。
　【０１０５】
　次に、原水槽６内にあらかじめ流水口を介して流入した水４８に、送気管４を介して送気された空気を散気装置７から散気する。
　【０１０６】
　なお、この散気の際、循環ポンプ５１を駆動させ、上部に設けた散水手段５５より充填層４９に、照射槽１からの空気が曝気された水４８を散水し、再び原水槽６内の空気と接触させ、空気に含有する第１副生成物を、水４８との接触により水４８に溶解もしくは加水分解されて易分解性の第２次副生成物を生成させる。そして、循環ポンプ５１により、適宜バルブ５７を調整して搬送管１０を介して曝気槽１２に送水する。また、原水槽６内の空気は、適宜図示しない吸気手段から吸気管５９を介して空気を照射槽１に返送して循環させ、一部は吸着処理装置５８に送気して吸着処理して排気する。
　【０１０７】
　そして、原水槽６からの水４８を、曝気槽１２の上部に設けた吐出部１４より吐出させ、適宜栄養源を投入し曝気装置１７から空気を曝気しつつ、充填層１５を流過させて、充填層１５の充填材に担持する好気性生物により第２次副生成物を浄化処理する。なお、好気性生物が増殖した場合には、図示しない逆流洗浄手段により、汚泥などを除去する。
　【０１０８】
　さらに、浄化処理した水４８を、流出管６２を水槽６３に流出させ、攪拌手段にて攪拌しつつセンサ８ａにてｐＨを監視しながら中和装置８ｂから中和剤を適宜投入してｐＨ値を若干アルカリ性にする。この水４８を適宜放水ポンプ１８により返送管６６を介して、原水槽６の散水手段５５および曝気槽１２の吐出部１４に返送して還流させる。
　【０１０９】
　そして、適宜水槽６３のｐＨ調整され浄化処理された水４８を、放水管１９から吸着処理装置５８に流入させ、図示しない放水口を介して放水する。
　【０１１０】
　したがって、上記実施例によれば、有毒な揮発性有機塩素化合物を短時間の紫外線照射のみで第１次副生成物に分解し、水４８との接触により好気性生物にて浄化処理可能な易分解性の第２次副生成物を生成させ、適宜処理した水４８および空気を還流させつつ浄化処理し、処理した空気および水４８を排気および放水する前に適宜吸着剤にて吸着処理してさらに浄化処理するため、確実に有毒な吸着除去されるので、系外に有害な揮発性有機塩素化合物が漏洩することなく確実に浄化処理できる。
　【０１１１】
　【発明の効果】
　請求項１記載の
トリクロロエチレン
トリクロロエチレン
トリクロロエチレン
　【０１１２】
　
また、
トリクロロエチレン
　【０１１３】
　請求項
２
トリクロロエチレン
１
トリクロロエチレン
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の揮発性有機塩素化合物の処理方法を実施する装置の一実施例の構成を示す系統説明図である。
　【図２】
　本発明の揮発性有機塩素化合物の紫外線照射による第１次副生成物への酸化分解を説明する実験装置を示す斜視図である。
　【図３】
　同上２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以上透過するガラス管を有する紫外線ランプを用いた揮発性有機塩素化合物のトリクロロエチレンの分解状況を示すグラフ化した図である。
　【図４】
　同上２００ｎｍ以下の紫外線を５０％以下透過するガラス管を有する紫外線ランプを用いた揮発性有機塩素化合物のトリクロロエチレンの分解状況を示すグラフ化した図である。
　【図５】
　同上揮発性有機塩素化合物の透過率を示すグラフ化した図である。
　【図６】
　同上第２次副生成物のジクロロ酢酸を好気性生物にて浄化処理する装置の構成を示す系統説明図である。
　【図７】
　同上ジクロロ酢酸の浄化処理状況を示すグラフ化した図である。
　【図８】
　他の実施例の装置の構成を示す説明図である。
　【図９】
　さらに他の実施例の装置の構成を示す系統説明図である。
　【図１０】
　同上原水槽を示す説明図である。
　【図１１】
　さらに他の実施例を示す装置の構成を示す系統説明図である。
　【図１２】
　同上原水槽および曝気槽を示す説明図である。
　【符号の説明】
　　１　　照射槽
　　６　　原水槽
　１２　　曝気槽
　４８　　水
　６６　　返送手段としての返送管