【事件の表示】
　特許第３２４１７０３号「超音波モータ及び超音波モータ製造方法」の請求項３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２４１７０３号の請求項３に係る特許を取り消す。
【理　由】
 １． 手続きの経緯
　特許３２４１７０３号の請求項３に係る発明は、平成２年９月１３日に出願した特願平２−２４５０７５号の一部を平成１１年９月２７日に新たな特許出願としたものであって、平成１３年１０月１９日に設定登録され、その後、特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１４年１２月１０日に訂正請求がなされたものである。
　
２． 訂正の適否
２．１　訂正の内容
　訂正事項ａ．
　願書に添付した明細書（以下、単に特許明細書という。）の請求項３の「同じ平滑化手段により仕上げ加工を施したことを特徴とする超音波モータ。」（特許公報１頁右欄３行〜５行）とあるのを特許請求の範囲の減縮を目的として、「同じ平滑化手段により同等の表面粗さとなるように仕上げ加工を施したことを特徴とする超音波モータ。」と訂正する。
　
２．２　訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張、変更の存否
　上記訂正事項ａ．について
  上記訂正事項ａ．については、平滑化手段についての構成を付加してさらに下位概念の平滑化手段を備えた超音波モータとしたものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的としたものに該当する。
　そして、この付加した構成に関しては、特許明細書の段落００１４（特許公報２頁右欄４３〜４５行）の「このように振動体、摩擦材両方の摺動面を平滑化手段により同等の表面粗さとなるように仕上げ加工すると、性能及び耐久性が向上する。」の記載に基づくものと認められる。
　したがって、訂正事項ａは、新規事項ではなく、かつ特許請求の範囲を実質的に拡張・変更するものではない。
　２．３　むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成六年法律第百十六号。以下「平成六年改正法」という。）附則第六条第一項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第百二十条の四第三項において準用する平成六年改正法による改正前の特許法第百二十六条第一項ただし書、第二項及び第三項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　３．特許異議の申立てについての判断
　３．１　本件発明
  上記２．で示したように、上記訂正が認められるから、本件の請求項３に係る発明（以下、本件発明という。）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項３に記載された次のとおりのものである。
「　圧電素子を有する振動体と、
　　前記振動体に圧接され、前記圧電素子の伸縮運動により摩擦駆動する移動体とを有する超音波モータにおいて、
　前記振動体及び移動体の摺動面の材質のうち、いずれか一方がアルミニウム合金であり、他方がカーボンファイバーを含有した複合プラスチック材であり、
　前記振動体の摺動面と、前記移動体の摺動面を、同じ平滑化手段により同等の表面粗さとなるように仕上げ加工を施したことを特徴とする超音波モータ。」
　
　３．２　引用刊行物
　当審が通知した取消理由に引用した刊行物１及び２は、以下のとおりである。
（１）引用刊行物１（甲第２号証）：特開平１−２７０７７６号公報
　引用刊行物１には、特に次のような記載がある。
　ａ．「表面に超音波振動を発生する振動子体と動体とが対面接触し、その両者間の摩擦力を介して前記振動体により動体を駆動する超音波モータに於いて、・・・炭素繊維等の繊維状充填剤を含む摺動材が動体の振動体との接触面に配置し、」（２頁左上欄１０行〜右上欄２行）
　ｂ．「（実施例）
　以下実施例について説明する。
　圧電体により表面進行波を発生する振動子体と動体が加圧接触して摩擦力によって動体が一定方向に駆動される超音波モータの振動子体と動体には銅合金、鉄合金、アルミニウム、等の金属材が使用されており、振動子体と動体との接触駆動面に於いて、摩擦力が発生したり、摩擦や焼き付けをおこしたりする事を防止するために・・・・摺動材を振動子体との摩擦面に配するもので、これを第１図に示す。
　１は動体本体で、２は摺動材、３はシャフト、４は摺動体、５は圧電体で、６はケース、７はロッドである。」（２頁右上欄１０行〜左下欄５行）
　以上の記載及び図面の記載を考慮すると引用刊行物１には、「圧電体により表面進行波を発生する振動子体と動体が加圧接触して摩擦力によって動体が一定方向に駆動される超音波モータにおいて、振動子体と動体をアルミニウムで構成し、前記加圧接触する面のいずれかの側には摺動材が設けられ、かつ、該摺動材の材料として少なくとも炭素繊維を含む複合プラスチック材である超音波モータ」の発明（以下、引用発明１」という。）が記載されている。
　なお、アルミニウムを力の加わる部分に用いる際、純粋なアルミニウムでは柔らかすぎるので硬くするために合金にして用いることは自明のことにすぎない。
　また、引用発明１のように「圧電体により表面進行波を発生させる」際、「圧電体の伸縮」により発生させることも周知のことにすぎない。（例えば、特開平　１−２０６８８２号公報（甲第３号証）参照のこと）
（２）　引用刊行物２（甲第１号証）：実願昭６３−１５１０８１号（実開平２−７２６８９号）のマイクロフィルム
　引用刊行物２には、特に次のような記載がある。
　　「第４図は、圧電アクチュエータ８の端面に、アルミナ、ジルコニア等の耐摩耗性セラミック材料からなる電極保護板２０を貼着し、その上面（接触面）に境面仕上げＸを施したものである。
　この構成にあっては銀電極９ａは電極保護板２０に保護される。
　このほかに、ロータ１１の下面と、電極保護板２０の上面の夫々に境面仕上Ｘを施しても良い。
　また、第５図に示す様に、前記ロータ１１の下面にも、電極保護板２０と同様の材質からなる耐摩耗板２１を貼着し、電極保護板２０と、耐摩耗板２１の両接触面に境面仕上げＸを施すようにしても良い。
・・・相互に接触し合う電極保護板２０，耐摩耗板２１は夫々境面仕上げＸを施されているから、耐摩耗性の材料で形成されていることと相俟って摩耗しにくく耐久性もある。」（１０頁１０行〜１１頁８行）
　（なお、上記指摘部分に記載の「境面」は、公報中の他の記載からみて「鏡面」の誤記と認められる。）
　上記記載及び図面の記載からみて、引用刊行物２には、「ロータ下面と圧電アクチュエータの上面にそれぞれ耐摩耗性の板を貼着し、該両板でロータ側と圧電アクチュエータ側の接触面を構成し、さらに両接触面を境面仕上げした超音波モータ」の発明（以下、引用発明２という。）が記載されているものと認められる。
　
３．３　対比
　本件発明と引用発明１を対比すると、引用発明１の「振動子体」は本件発明の「振動体」に、引用発明１の「動体」は本件発明の「移動体」に、引用発明１の「接触面」は本件発明の「摺動面」に、引用発明１の「炭素繊維を含む複合プラスチック材」は本件発明の「カーボンファイバーを含有した複合プラスチック材」に、引用発明１の「アルミニウム」は本件発明の「アルミニウム合金」に夫々相当し、更に、引用発明１の接触面は「摺動材」が設けられない側は「アルミニウム」であるので、本件発明の「振動体及び移動体の摺動面の材質のうち、いずれか一方がアルミニウム合金であり、他方がカーボンファイバーを含有した複合プラスチック材」に相当するから、両者は「圧電素子を有する振動体と、
　前記振動体に圧接され、前記圧電素子の伸縮運動により摩擦駆動する移動体とを有する超音波モータにおいて、
　前記振動体及び移動体の摺動面の材質のうち、いずれか一方がアルミニウム合金であり、他方がカーボンファイバーを含有した複合プラスチック材である超音波モータ。」で一致し、
　本件発明が「移動体の摺動面を、同じ平滑化手段により同等の表面粗さとなるように仕上げ加工を施した」との構成を備えているのに対し、引用発明１ではこのような構成を備えていない点で相違するものと認められる。
　
　上記相違点について検討する。
　超音波モータにおいて、接触面の摩耗を防ぐためにロータ側とアクチュエータ側を鏡面仕上げ、すなわち鏡面のように平滑に仕上げ加工することは、引用発明２に記載されている。しかも、引用発明２には、両接触面の鏡面仕上げを行う際、意図的に鏡面の程度を異ならせて、特殊なことを意図しているとも認められない。そのため、同じ超音波モータの部品を同じ「鏡面仕上げ」する際、同じ平滑化手段を用いて同じ程度の平滑さ（表面粗さ）にすることは、当業者が当然試みる程度のことにすぎないと認められるから、引用発明１においても、その振動子体と動体の両接触面を引用発明２のように鏡面仕上げする際、同じ平滑化手段を用いて同等の表面粗さとなるように仕上げ加工を施すことは、当業者が容易に考えられることと認められる。
　そして、引用発明１に引用発明２を採用することにより得られる効果も、当然期待しうる程度のことにすぎないと認められる。
　したがって、本件発明は、引用発明１及び２に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　４．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成六年法律第百十六号）附則第十四条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成七年政令第二百五号）第四条第二項の規定により、上記のとおり決定する。　
【異議決定日】
平成１５年１月１６日（２００３．１．１６）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
訂正事項ａ．
　願書に添付した明細書（以下、単に特許明細書という。）の請求項３の「同じ平滑化手段により仕上げ加工を施したことを特徴とする超音波モータ。」（特許公報１頁右欄３行〜５行）とあるのを特許請求の範囲の減縮を目的として、「同じ平滑化手段により同等の表面粗さとなるように仕上げ加工を施したことを特徴とする超音波モータ。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
超音波モータ及び超音波モータ製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　圧電素子を有する振動体と、
　前記振動体に圧接され、前記圧電素子の伸縮運動により摩擦駆動する移動体とを有する超音波モータにおいて、
　前記振動体の摺動面を切削加工により仕上げ、
　前記移動体の摺動面をラッピングにより仕上げたことを特徴とする超音波モータ。
　【請求項２】　前記振動体及び移動体の摺動面の材質のうち、いずれか一方がアルミニウム合金であり、他方がカーボンファイバーを含有した複合プラスチック材であることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
　【請求項３】　圧電素子を有する振動体と、
　前記振動体に圧接され、前記圧電素子の伸縮運動により摩擦駆動する移動体とを有する超音波モータにおいて、
　前記振動体及び移動体の摺動面の材質のうち、いずれか一方がアルミニウム合金であり、他方がカーボンファイバーを含有した複合プラスチック材であり、
　前記振動体の摺動面と、前記移動体の摺動面を、同じ平滑化手段により
同等の表面粗さとなるように
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、圧電素子の伸縮運動を回転及び直線運動に変換する超音波モータ及びその製造方法に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来の超音波モータの構造をを第２図に示す。固定台２０９に固定された中心軸２０８に振動体２０１を固定する。振動体２０１の下面には分極された圧電素子２０２が接着されている。振動体２０１の変位拡大機構部２０５には、摩擦材（図示しない）を介して移動体２０３が接触する。移動体２０３は中心軸２０８に組込まれ、加圧バネ２０７により、振動体２０１に押付けられている。圧電素子２０２に位相の異なる複数の高周波電圧を印加すると、振動体２０１にたわみ振動が発生し、圧接された移動体２０３が、摩擦力によって回転する。このような超音波モータにおいては、摩擦駆動するから、その接触面の状態がモータの性能に大きく影響する。そこで、従来は振動体２０１の摺動面と摩擦材の摺動面は、それぞれ別々に条件を定めて材質の決定、表面の仕上加工などを行っていた。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、従来のように振動体あるいは移動体摺動面の表面加工や、材質を個別に決定したとしても、駆動時に他方の影響を少なからず受けることになる。その影響の大きさは表面状態及び材料特性が異なれば異なるほど大きくなる。したがって、初期的には性能が良くても、駆動時間が増すごとに、その性能が変化するような効率の悪い不安定な超音波モータになってしまうという課題があった。
　【０００４】
　そこで、本発明の目的は従来のこのような課題を解決するために、初期的にも性能が良く、長時間駆動しても性能が変化しないという効率か良く、安定した動作が可能な超音波モータを得ることとしている。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決するために、本発明は振動体に移動体を圧接し、圧電素子の伸縮運動により発生する波動で摩擦駆動する超音波モータにおいて、振動体及び移動体のそれぞれの摺動面に、平滑化手段により仕上加工をほどこすことにより同等の表面粗さとし、さらに同じ材質を用いることにより、効率がよく性能の安定した超音波モータを得られるようにした。
　【０００６】
　超音波モータか駆動している場合、振動体と移動体の摺動面の接触状態は、拡大すると第３図のようになっている。すなわち、変位拡大機構部３０５の一部が摩擦材３０４と接している。さらに、微視的に見た場合、第５図のように一定の表面粗さを持った摩擦材５０４と振動体５０１の不連続な面同志が不均一に接触していると考えられる。この場合、互いの摺動面の表面状態、すわなち、表面粗さが極端に異なり、表面粗さの粗い物を用いると摩耗し易いものとなる。
　【０００７】
　ところが、本発明のように振動体及び移動体のそれぞれの摺動面に、平滑化手段により仕上加工をほどこし両者の表面粗さを同等とした場合、それぞれの表面状態がはぼ等しくなり、微視的に見た場合においても、第４図に示すように、より均一な接触状態を得ることができる。また、それぞれの摺動面の材質を同じにすることによって、摩耗の仕方が等しくなり、表面状態の変化が少なくなる。
　【０００８】
　以上の作用から表面状態が安定し、効率の良い特性の安定した超音波モータが得られる。
　【０００９】
　【発明の実施の形態】
　以下に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１図は本発明による超音波モータの基本構造を示す。実際に本発明構造を実施した振動体１０１の体部１０６の径がφ１０ｍｍの超音波モータを製作した。振動体１０１の材質はＡｌ、摩擦材１０４の材質はカーボンファイバを含有した複合プラスチックを用いた。
　【００１０】
　振動体１０１はＡｌの丸棒原料からＮＣ旋盤により形状を加工し、摺動面も切削加工で仕上げた。摩擦材１０４は射出成形により外形を形成し、移動体１０３に接着固定した後、摺動面を切削加工により仕上げた。この超音波モータを駆動させ、性能及び耐久性を調査した。超音波モータの性能を示す効率の測定結果は第６図（ａ）、耐久性については第７図（ａ）に示すような結果になった。
　【００１１】
　次に、この超音波モータの摩擦材１０４の摺動面を１５００＃の砥粒によりラッピングして、性能及び耐久性を調査したところ、効率については第６図（ｂ）、耐久性については第７図（ｂ）に示すような結果になった。さらに、振動体１０１の摺動面を摩擦材１０４と同様に１５００＃の砥粒によりラッピングし、効率及び耐久性を調査した。効率については第６図（ｃ）、耐久性については第７図（ｃ）に示すような結果になった。
　【００１２】
　以上の，３つの加工方法を比較してみると、振動体１０１、摩擦材１０４両方の摺動面を同じようにラッピングした場合が最も良いものとなっている。すなわち、第６図に示すように超音波モータの効率は、摩擦材の摺動面および振動体の摺動面の両方をラッピング加工したものが一番高く（第６図（ｃ））、次が摩擦材のみラッピング加工したものである（同図（ｂ））。
　【００１３】
　また、第７図に示すように超音波モータの耐久性も、摩擦材の摺動面および振動体の摺動面の両方をラッピング加工したものが一番安定しており（第７図（ｃ））、次が摩擦材のみラッピング加工したものである（同図（ｂ））。そして、本発明の平滑化手段としては、ラッピングだけでなく研削加工、ホーニング加工、バフ研磨加工、化学研磨加工、電解研磨加工、バレル加工及びショットピーニング加工などか適用できる。
　【００１４】
　このように振動体、摩擦材両方の摺動面を平滑化手段により同等の表面粗さとなるように仕上げ加工すると、性能及び耐久性が向上する。他の実施例として、振動体外径がφ３０ｍｍ程度のモータで振動体の外形をダイカスト加工で形成し、摺動面を研削仕上げを行い、摩擦材は移動体にアウトサート成形し同様の条件で研削仕上げを行った。この本発明を実施した超音波モータの実験結果によっても性能及び耐久性の向上がみられた。
　【００１５】
　次に振動体の摺動面に摩擦材と同じ材質の複合プラスチックを接着し、その摺動面を摩擦材と同等の表面粗さとなるように仕上加工を行った。この振動体に先の移動体を組み合わせて性能及び耐久性を調査したところ、振動体がＡｌの場合と比較して耐久性は向上した。
　【００１６】
　【発明の効果】
　本発明は以上説明したように、振動体及び移動体の摺動面に平滑化手段により同等の表面粗さとなるように、仕上加工をほどこすこと、さらに同じ材質を用いることにより、初期的にも経時的にも均一な接触状態が得られ、効率が良く耐久性の優れた超音波モータを得ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の超音波モータの基本構造を示す断面図である。
　【図２】
　超音波モータの基本構造を示す斜視図である。
　【図３】
　本発明による超音波モータの接触状態を示す断面図である。
　【図４】
　本発明による超音波モータの接触状態を微視的に見た場合の断面図である。
　【図５】
　従来の超音波モータの接触状態を微視的に見た場合の断面図である。
　【図６】
　本発明による超音波モータと従来の超音波モータの効率を比較した図である。
　【図７】
　本発明による超音波モータと従来の超音波モータの耐久性を比較した図である。
　【符号の説明】
　１０１、２０１、３０１、４０１、５０１　　振動体
　１０２、２０２、３０２　　圧電素子
　１０３、２０３、３０３　　移動体
　１０４、２０４、３０４、４０４、５０４　　摩擦材
　１０５、２０５、３０５　　変位拡大機構部
　１０６、２０６、３０６　　体部
　１０７、２０７　　加圧バネ
　１０８、２０８　　中心軸
　１０９、２０９　　固定台