【事件の表示】
　特許第３３６４３７９号「基板処理装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３３６４３７９号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第３３６４３７９号の請求項１に係る発明は、平成８年３月１８日に特許出願され、平成１４年１０月２５日にその特許権の設定登録がされ、その後特許異議申立人永田大樹により請求項１に係る特許に対して特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１６年４月２日に訂正請求がなされたものである。
　
第２　訂正の適否についての判断
１　訂正の内容
　訂正の内容は、次の訂正事項ａないしｂに示すとおりのものである。
（１）訂正事項ａ
　設定登録時の願書に添付した明細書（以下「特許明細書」という。）の特許請求の範囲の
「【請求項１】　基板を処理する処理槽に薬液と純水とを混合して供給するようにした基板処理装置であって、薬液を貯留する薬液タンクと、ピストンとシリンダとを有し、前記シリンダ内への薬液の吸入と前記シリンダ内からの薬液の吐出とを前記ピストンの移動により実行するシリンジ機構と、純水の供給源から前記処理槽に純水を供給するための純水供給路と、前記純水供給路中の純水に前記シリンジ機構より吐出された薬液を混合するための混合手段と、前記薬液タンクから前記シリンジ機構に至る薬液の供給経路と、前記シリンジ機構から前記混合手段に至る薬液の供給経路とを選択的に開放する開閉手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。」を
「【請求項１】　基板を処理する処理槽に薬液と純水とを混合して供給するようにした基板処理装置であって、薬液を貯留する薬液タンクと、ピストンとシリンダとを有し、前記シリンダ内への薬液の吸入と前記シリンダ内からの薬液の吐出とを前記ピストンの移動により実行するシリンジ機構と、純水の供給源から前記処理槽に純水を供給するための純水供給路と、前記純水供給路中の純水に前記シリンジ機構より吐出された薬液を混合するための混合手段と、前記薬液タンクから前記シリンジ機構に至る薬液の供給経路と、前記シリンジ機構から前記混合手段に至る薬液の供給経路とを選択的に開放する開閉手段と、前記シリンダの外側に配設されたボールネジと、前記ボールネジと螺合するナットと、前記ナットと前記ピストンとを連結する連結具と、前記ボールネジを駆動させて前記ナットを移動させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【０００７】の
「この発明は、基板を処理する処理槽に薬液と純水とを混合して供給するようにした基板処理装置であって、・・開閉手段と、を備えたことを特徴とする。」を
「この発明は、基板を処理する処理槽に薬液と純水とを混合して供給するようにした基板処理装置であって、・・開閉手段と、前記シリンダの外側に配設されたボールネジと、前記ボールネジと螺合するナットと、前記ナットと前記ピストンとを連結する連結具と、前記ボールネジを駆動させて前記ナットを移動させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする。」と訂正する。
　
２　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（１）訂正事項ａについて
　上記訂正事項ａは、訂正前の請求項１に記載されたシリンジ機構の駆動手段を「前記シリンダの外側に配設されたボールネジと、前記ボールネジと螺合するナットと、前記ナットと前記ピストンとを連結する連結具と、前記ボールネジを駆動させて前記ナットを移動させる駆動手段」に限定することを求めるものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、新規事項の追加に該当せず、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（２）訂正事項ｂについて
　訂正事項ｂは、発明の詳細な説明における課題を解決するための手段の記載について、上記訂正事項ａと整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであって、新規事項の追加に該当せず、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　
３　むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項並びに同条第３項において準用する同法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３　特許異議の申立てについての判断
１　特許異議の申立て及び取消しの理由の概要
　特許異議申立人永田大樹は、証拠として甲第１号証（特開平７−２２３６９号公報：以下「刊行物１」という。）、甲第２号証（特開平６−６１２０８号公報：以下「刊行物２」という。）及び甲第３号証（特開平４−１６２４１５号公報：以下「刊行物３」という。）を提出し、請求項１に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、請求項１に係る特許を取り消すべきである、旨主張している。
　また、当審で通知した取消しの理由の概要は、上記特許異議の申立ての理由と同様のものである。
　
２　本件発明
　上記第２で示したとおり上記訂正が認められるから、本件の請求項１に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである（上記「第２　１　（１）」参照。以下「本件発明１」という）。
　
３　刊行物１ないし３記載の発明（事項）
　当審が通知した取消しの理由に引用された、本件特許出願前に日本国内で頒布された刊行物である刊行物１ないし３には、以下の事項が記載されていると認める。
（１）刊行物１
ア　公報第３欄第３８行−第４欄第１２行
「洗浄処理部５は、図３に示すように、各基板洗浄槽１２へ下方より複数種の洗浄液を供給する洗浄液供給部１３と、各基板洗浄槽１２よりオーバーフローした洗浄液を排出する洗浄液排出部１４とを有している。・・洗浄液供給部１３は、各基板洗浄槽１２の下部にそれぞれ連結された純水供給管１８を備えている。純水供給管１８には、基板洗浄槽１２より上流側へ順に導入弁連結管１９、流量計２６及び制御弁２７が配置されている。純水供給管１８には、常温のまたは所定温度に加熱された純水ＤWが供給される。導入弁連結管１９には、上流側（洗浄槽１２と逆側）の端部から順に、純水供給弁２３と、排液弁２５と、複数の薬液導入弁２０A〜２０Dとが設けられている。各薬液導入弁２０A〜２０Dには、薬液ＱA〜ＱDを供給するための薬液圧送部２１が連結されている（薬液導入弁２０A用のみを図示）。この薬液導入弁２０A〜２０Dは選択的に開閉制御され、薬液圧送部２１からの所定の薬液を純水供給管１８に導入する。」
イ　公報第４欄第３５−４０行
「各薬液圧送部２１は、１種類の薬液を貯溜するための薬液貯溜容器２２A（２２B〜２２D）を有している。薬液貯溜容器２２A（２２B〜２２D）は密閉型の容器であり、この容器２２A には、窒素ガス配管３９と薬液供給配管４０とが接続されている。」
　したがって、上記摘記事項アないしイ及び図３の記載からみて、刊行物１には、次の「基板処理装置」についての発明（以下「刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認める。
［刊行物１記載の発明］
　基板を処理する基板洗浄槽１２に薬液ＱA〜ＱDと純水ＤWとを混合して供給するようにした基板処理装置であって、薬液ＱA〜ＱDを貯留する薬液貯溜容器２２A〜２２Dと、純水ＤWの供給源から前記基板洗浄槽１２に純水ＤWを供給するための純水供給管１８と、前記純水供給管１８中の純水ＤWに薬液ＱA〜ＱDを混合するための導入弁連結管１９と、前記薬液貯溜容器２２A〜２２Dから前記導入弁連結管１９に至る薬液ＱA〜ＱDの薬液供給配管４０を選択的に開放する薬液導入弁２０A〜２０Dと、を備えた基板処理装置。
（２）刊行物２
ア　公報第３欄第１−１３行
「図１において、１は薬液ボトル、２は薬液、３は薬液を循環させるポンプ１、４は循環する薬液のパ−チィクルを除去するためのフィルタ−、６は薬液秤量槽としてのシリンダ、７は秤量された薬液、９は秤量位置で薬液を止めるための秤量センサ、１０は薬液秤量点で働くストップセンサ、１２はウエハ−処理槽、１３は洗浄液、１４は秤量槽内に薬液を導入するためのピストン、１５はピストン内側に設けたセンサ感知用ライン（感知箇所）、１６はピストンを自動で動かすためのピストン駆動用モ−タ、１７はシリンダ−内へ薬液を導入する際開く薬液導入バルブとしての逆止弁１、１８はシリンダ−内から秤量された薬液を排出する際開く薬液排出バルブとしての逆止弁２である。」
イ　公報第４欄第１４−１８行
「ピストンを正確にゆっくり動かすことにより、正確な量の薬液を確実に秤量することか可能となる。更に、薬液量が少量の場合においてもシリンダーや、ピストンを細くするなど、構造を変えることにより簡単に確実な秤量ができる。」
ウ　図１
　ピストン駆動用モータ１６が、秤量槽（シリンダ）６の外側に配設されていること。
（３）刊行物３
ア　公報第１頁右下欄第１−１４行
「従来、この種の塗布膜形成装置の薬液滴下部は第３図の構成図に示すように、不活性ガス１８を用いて薬液１６の入った容器を置換することにより薬液１６を配管を通して被塗布物２０上に滴下し、また、滴下作業を長時間行わない場合には、配管内での薬液の固化を防ぐために、配管内を大量のイソプロピルアルコール１７（以下ＩＰＡと呼ぶ）で置換することが必要であり、滴下作業時には、ＩＰＡで満たされた配管を配管量の２倍以上の薬液で置換した後、滴下作業を行っていた。また、滴下量は不活性ガス１８を流し込む時間によって決まるため、不活性ガス１８の圧力の変化によって滴下量に影響を及ぼすという欠点があった。」
イ　公報第２頁左上欄第６−１１行
「本発明の滴下用シリンダーは、薬液吸入および滴下の動力となるステッピングモーターと、ステッピングモーターの回転運動をシリンダ内を往復するピストンの上下運動に変換するボールネジ機構部と、シリンダ先端に設けられ使用する薬液によって交換可能なノズルとを有する。」
ウ　第１図（ａ）
　ボールネジ機構部４とピストン５を連結すること。
　
４　対比・判断
　本件発明１と、刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「基板洗浄槽１２」は前者の「処理槽」に相当し、以下同様に、「薬液貯溜容器２２A〜２２D」は「薬液タンク」に、「純水供給管１８」は「純水供給路」に、「導入弁連結管１９」は「混合手段」に、「薬液供給配管４０」は「薬液の供給経路」にそれぞれ相当している。
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
［一致点］
　基板を処理する処理槽に薬液と純水とを混合して供給するようにした基板処理装置であって、薬液を貯留する薬液タンクと、純水の供給源から前記処理槽に純水を供給するための純水供給路と、前記純水供給路中の純水に薬液を混合するための混合手段と、を備えた基板処理装置。
［相違点］
　前者では、「ピストンとシリンダとを有し、シリンダ内への薬液の吸入とシリンダ内からの薬液の吐出とをピストンの移動により実行するシリンジ機構」と、「薬液タンクからシリンジ機構に至る薬液の供給経路と、シリンジ機構から混合手段に至る薬液の供給経路とを選択的に開放する開閉手段」と、「シリンダの外側に配設されたボールネジと、ボールネジと螺合するナットと、ナットとピストンとを連結する連結具と、ボールネジを駆動させてナットを移動させる駆動手段」とを設け、純水供給路中の純水にシリンジ機構より吐出された薬液を混合するのに対し、後者では、そのように特定されていない点。
　上記相違点について、以下検討する。
［相違点について］
　刊行物２には、「ピストン１４とシリンダ６とを有し、シリンダ６内への薬液２の吸入とシリンダ６内からの薬液２の吐出とをピストン１４の移動により実行する機構と、薬液ボトル１から当該機構に至る薬液２の供給経路と、当該機構からウエハー処理槽１２に至る薬液２の供給経路とを選択的に開放する逆止弁１及び２と、シリンダ６の外側に配設され、ピストン１４を移動させるピストン駆動用モータ１６」とを設け、処理槽に薬液を供給することが記載されている（上記摘記事項（２）アないしウを参照。以下「刊行物２記載の事項」という）。
　また、刊行物２記載の事項のような、液体を秤量する機構におけるピストンの駆動にボールネジ機構を用いること、すなわち、「ボールネジと、ボールネジと螺合するナットと、ナットとピストンとを連結する連結具」とを設け、ボールネジを駆動させてナットを移動させることによりピストンを駆動することも従来周知である（上記摘記事項（３）アないしウを参照）。
　刊行物１記載の発明と刊行物２記載のものは、処理槽に薬液を供給する技術の分野、及び正確な量の薬液を確実に秤量し、薬液量が少量の場合でも確実に秤量して供給するとの課題において共通し、また、液体を秤量する機構におけるピストンの駆動にボールネジ機構を用いることも従来周知であるから、刊行物１記載の発明において、処理槽に薬液を供給する手段として、刊行物２記載の事項及び上記従来周知の事項を採用し、相違点に係る本件発明１の構成となすことは、当業者にとって容易になし得たことである。
　そして、本件発明１の効果は、刊行物１に記載された発明、刊行物２に記載された事項及び上記従来周知の事項から、当業者であれば予測できる程度のものであって格別なものとはいえない。
　したがって、本件発明１は、刊行物１に記載された発明、刊行物２に記載された事項及び上記従来周知の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
５　むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び上記従来周知の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、本件発明１に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、特許法第１１３条第２項に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１６年８月２４日（２００４．８．２４）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
基板処理装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　基板を処理する処理槽に薬液と純水とを混合して供給するようにした基板処理装置であって、
　薬液を貯留する薬液タンクと、
　ピストンとシリンダとを有し、前記シリンダ内への薬液の吸入と前記シリンダ内からの薬液の吐出とを前記ピストンの移動により実行するシリンジ機構と、
　純水の供給源から前記処理槽に純水を供給するための純水供給路と、
　前記純水供給路中の純水に前記シリンジ機構より吐出された薬液を混合するための混合手段と、
　前記薬液タンクから前記シリンジ機構に至る薬液の供給経路と、前記シリンジ機構から前記混合手段に至る薬液の供給経路とを選択的に開放する開閉手段と、
　前記シリンダの外側に配設されたボールネジと、前記ボールネジと螺合するナットと、前記ナットと前記ピストンとを連結する連結具と、前記ボールネジを駆動させて前記ナットを移動させる駆動手段と、
　を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　この発明は、例えば半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板等の基板に対し、洗浄等の処理を施すための基板処理装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　このような基板処理装置の一種として、純水中に薬液を混合させることにより生成した処理液を処理槽に供給し、この処理液により基板を処理するものが知られている。この基板処理装置は、例えば、特開平７−２２３６９号公報に記載されているように、純水の供給源から処理槽に純水を供給するための純水供給路と、耐圧密閉構造を有し薬液を貯留する薬液タンクと、この薬液タンク内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給手段と、薬液タンクから純水供給路に向けて薬液を導くための薬液の供給経路と、純水供給路中の純水に薬液を混合させるための薬液導入弁とを備える。そして、薬液タンク内に窒素ガスを供給することにより薬液タンク内の薬液を加圧した後、薬液導入弁を開放することにより、純水中に薬液を圧送し、これにより純水と薬液とを混合している。
　【０００３】
　このような基板処理装置においては、薬液の供給経路における圧力損失が一定であれば、窒素ガスにより加圧された薬液の圧力と純水の供給圧力とを一定値となるように制御することにより、薬液を純水中に正確に供給することができる。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　このような基板処理装置において、例えば処理の工程に応じて、常温の純水にかえて高温の温純水を使用する場合がある。このような場合においては、熱膨張の影響によって、純水供給路に接続する薬液の供給経路のオリフィスが大きくなることにより、薬液の供給経路において薬液が受ける圧力損失が変化する。このため、窒素ガスにより加圧された薬液の圧力と純水の供給圧力とを一定値となるように制御した場合においても、薬液の供給量は正確には一定とはならない。
　【０００５】
　また、このような問題点を解消するため、薬液の供給経路に流量調整弁を配設し、この流量調整弁を調整することにより流量を制御することも考えられるが、特に極めて小さい流量の薬液を供給する場合においては、流量調整弁では流量を正確に調整することは困難であり、また、調整誤差が発生しやすい。
　【０００６】
　この発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、純水中に薬液を極めて正確に混合することのできる基板処理装置を提供することを目的とする。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　この発明は、基板を処理する処理槽に薬液と純水とを混合して供給するようにした基板処理装置であって、薬液を貯留する薬液タンクと、ピストンとシリンダとを有し、前記シリンダ内への薬液の吸入と前記シリンダ内からの薬液の吐出とを前記ピストンの移動により実行するシリンジ機構と、純水の供給源から前記処理槽に純水を供給するための純水供給路と、前記純水供給路中の純水に前記シリンジ機構より吐出された薬液を混合するための混合手段と、前記薬液タンクから前記シリンジ機構に至る薬液の供給経路と、前記シリンジ機構から前記混合手段に至る薬液の供給経路とを選択的に開放する開閉手段と、前記シリンダの外側に配設されたボールネジと、前記ボールネジと螺合するナットと、前記ナットと前記ピストンとを連結する連結具と、前記ボールネジを駆動させて前記ナットを移動させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする。
　【０００８】
　【発明の実施の形態】
　以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明に係る基板処理装置の概要を示す図である。
　【０００９】
　この基板処理装置は、基板Ｗを処理するための処理槽２と、薬液を貯留する薬液タンク３と、複数の薬液導入弁７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄおよび純水供給弁１０を有する薬液混合部４と、薬液混合部４に純水を供給するための純水供給部５と、薬液混合部４に薬液タンク３内の薬液を供給するためのシリンジ機構６とを備える。
　【００１０】
　処理槽２は、例えばその材質が石英により構成され、そこに貯留した、あるいはオーバフローする処理液中に基板Ｗを浸漬して処理するものである。この処理槽２の周囲には、処理槽２の上端からオーバフローする処理液を回収するための回収部１２が配設されており、この回収部１２は、図示しないドレインに接続されている。
　【００１１】
　純水供給部５は、常温の純水を供給する純水供給源１３ａと、摂氏５０〜８０度程度の高温の純水を供給する温純水供給源１３ｂと、開閉弁１４ａ、１４ｂと、レギュレータ１５ａ、１５ｂと、流量計１６と、圧力センサ１７とを有する。開閉弁１４ａを開放した場合には、純水が純水供給源１３ａから薬液混合部４に向けて供給される。このとき、純水供給部５から薬液混合部４に至る純水供給路１９ａにおける純水の圧力は、圧力センサ１７により検出される。そして、その検出値がレギュレータ１５ａにフィードバックされることにより、純水の供給圧が一定に制御される。また、開閉弁１４ａを閉鎖し開閉弁１４ｂを開放した場合には、温純水が一定の圧力で温純水供給源１３ｂから薬液混合部４に向けて供給される。
　【００１２】
　シリンジ機構６は薬液タンク３内の薬液を薬液混合部４に供給するためのものであり、図２に示すように、基台２２に固定されたシリンダ８と、このシリンダ８の内径とほぼ同一の外径を有するピストン９とからなるシリンジを有する。ピストン９は、連結具２３を介してボールネジ２４と螺合するナット２５に連結されている。また、ボールネジ２４は、同期ベルト２６を介してピストン９の駆動手段としてのパルスモータ２７と接続されている。このため、パルスモータ２７の回転させると、ナット２５は、ボールネジ２４の駆動を受け、ガイド部材２８に案内されながら昇降する。これに伴い、ピストン９は、シリンダ８内を上下方向に移動する。なお、図２においては、シリンダ８およびピストン９を断面で表現している。
　【００１３】
　薬液タンク３からシリンジ機構６に至る薬液の供給経路を構成する配管３２には、図１に示すように、開閉弁３３が配設されている。また、シリンジ機構６から薬液混合部４に至る薬液の供給経路を構成する配管３４には、開閉弁３５と、フィルタ３６と、流量計３７とが配設されている。これらの開閉弁３３、３５は、開閉手段を構成する。
　【００１４】
　薬液混合部４は、図３に示すように、本体４４の内部に直線状の流体通路４５を有する。そして、この流体通路４５は、純水供給部５から薬液混合部４に至る純水供給路１９ａと、薬液混合部４から処理槽２に至る純水供給路１９ｂとに接続されている。純水供給路１９ａから供給される純水は、純水供給ポート４７を通って流体通路４５内に進入する。また、純水供給ポート４７の下流側には、排液管４９に接続する排液ポート４８が配設されている。これらの純水供給ポート４７および排液ポート４８は、各々純水供給弁１０および排液弁５０により開閉制御される。なお、図１においては、排液管４９および排液弁５０は、図示を省略している。
　【００１５】
　流体通路４５の内壁には、４個の薬液導入弁７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄの二次側流路が開口している。また、本体４４の側面には薬液導入口４６ａ、４６ｂ、４６ｃ、４６ｄ（図３においては４６ａのみ図示している）が形成されている。これらの薬液導入口４６ａ、４６ｂ、４６ｃ、４６ｄのうち、薬液導入口４６ａは、前述した薬液タンク３およびシリンジ機構６より成る薬液供給部と接続されており、薬液タンク３内の薬液はこの薬液導入口４６ａを介して流体通路４５中の純水に混合される。また、他の薬液導入口４６ｂ、４６ｃ、４６ｄは、各々、薬液タンクおよびシリンジ機構より成る他の薬液供給部と接続されており、薬液タンク３内の薬液とは異なる薬液の供給を受け、その薬液を流体通路４５中の純水に混合する。
　【００１６】
　なお、この実施の形態においては、薬液導入口４６ａと接続する薬液タンク３にはフッ化水素が貯留されている。また、各薬液導入口４６ｂ、４６ｃ、４６ｄと接続する薬液タンクには、各々、アンモニア、塩酸、過酸化水素が貯留されている。そして、基板Ｗに対しフッ酸によるエッチングを行う場合においては、開閉弁１４ａと純水供給弁１０とを開放して薬液混合部４の流体通路４５内に純水を供給すると共に、薬液導入弁７ａを開放してシリンジ機構６により供給される薬液タンク３内のフッ化水素を流体通路４５内に導入する。同様に、基板Ｗに対し通常ＳＣ１と呼称される洗浄処理を行う場合においては、開閉弁１４ｂと純水供給弁１０とを開放して流体通路４５内に温純水を供給すると共に、薬液導入弁７ｂおよび７ｄを開放してアンモニアと過酸化水素を流体通路４５内に導入する。さらに、基板Ｗに対し通常ＳＣ２と呼称される洗浄処理を行う場合においては、開閉弁１４ｂと純水供給弁１０とを開放して流体通路４５内に温純水を供給すると共に、薬液導入弁７ｃおよび７ｄを開放して塩酸と過酸化水素を流体通路４５内に導入する。
　【００１７】
　次に、上述した基板処理装置において、薬液タンク３に貯留された薬液と純水とを混合して処理槽２に供給する動作について説明する。
　【００１８】
　薬液を供給するに先立ち、予め、シリンジ機構６におけるシリンダ８内に薬液タンク３内の薬液を吸入しておく。この吸入動作は、開閉弁３３を開放し、かつ、開閉弁３５を閉鎖した状態で、パルスモータ２７の駆動によりナット２５および連結具２３を介してピストン９を上昇させることにより行う。そして、純水供給路１９ａにおける開閉弁１４ａと薬液混合部４における純水供給弁１０とを開放し、純水供給源１３ａから薬液混合部４の流体通路４５に純水を導入する。
　【００１９】
　続いて、開閉弁３３を閉鎖すると共に開閉弁３５を開放する。また、薬液混合部４における薬液導入弁７ａを開放する。そして、パルスモータ２７の駆動により、ナット２５および連結具２３を介してピストン９を一定の速度で下降させ、薬液を吐出する。これにより、シリンジ機構６のシリンダ８内の薬液は、フィルタ３６および流量計３７を通過して、薬液導入弁７ａから流体通路４５内に進入し、そこを通過している純水と混合される。
　【００２０】
　このとき、ピストン９の下降速度を低速とすることにより、微量の薬液を純水中に混合させることが可能となる。また、純水中に混合される薬液の単位時間当たりの供給量は、ピストン９の下降速度をパルスモータ２７によって正確に制御することにより、所望の値に制御することができる。このため、前行程において温純水を使用する処理を行ったことにより、薬液導入弁７ａにおける二次側の流路の大きさが変化していたような場合においても、薬液の供給量が変化することはない。
　【００２１】
　なお、例えば、処理槽２にフッ化水素と純水とを供給することにより、ゲート酸化前の半導体基板に対しフッ酸によるエッチングを行う工程等においては、フッ化水素と純水との混合比率は１：２００であり、フッ化水素の供給流量は毎分１００ｃｃ程度である。上述したシリンジ機構６によれば、このような微量の薬液を、その流量を一定としつつ正確に供給することが可能となる。また、これよりももっとフッ化水素の濃度を希薄にすることがあり、例えばフッ化水素の供給流量を毎分２０〜３０ｃｃ程度とすることがある。この様に、単位時間当たりの薬液の供給量がさらに少量となった場合においても、上述したシリンジ機構６によれば、ピストン９の下降速度を低速で正確に制御することや、シリンダ８として内径の小さなものを使用すること等により、薬液の供給精度を高精度に維持することが可能となる。
　【００２２】
　シリンジ機構６におけるピストン９が、図２において二点鎖線で示すように、最下端部まで下降しシリンダ８内の薬液がなくなった場合においては、上述した動作と同様の動作を繰り返すことによりシリンダ８内に薬液を導入して処理を継続する。すなわち、ピストン９を上昇させてシリンダ８内に薬液を吸入する際には、開閉弁３３を開くことにより薬液タンク３からシリンジ機構６に至る配管３２を開放すると共に、開閉弁３５を閉じることによりシリンジ機構６から薬液混合部４に至る配管３４を閉鎖し、また、ピストン９を下降させてシリンダ８内から薬液を吐出する際には、開閉弁３５を開くことによりシリンジ機構６から薬液混合部４に至る配管３４を開放すると共に、開閉弁３３を閉じることにより薬液タンク３からシリンジ機構６に至る配管３２を閉鎖するように制御する。
　【００２３】
　なお、上述した実施の形態においては、シリンジ機構６と薬液タンク３とを連結する配管３２に開閉弁３３をまた、シリンジ機構６と薬液混合部４とを連結する配管３４に開閉弁３５を各々配設した場合について述べたが、開閉弁３３のかわりに薬液タンク３からシリンジ機構６方向への薬液の通過のみを許容する逆止弁を配設し、開閉弁３４のかわりにシリンジ機構６から薬液混合部４方向への薬液の通過のみを許容する逆止弁を配設する構成としてもよい。同様に、薬液タンク３からシリンジ機構６に至る薬液の供給経路とシリンジ機構６から薬液混合部４に至る薬液の供給経路とを切り替え可能な単一の電磁弁等を使用してもよい。
　【００２４】
　【発明の効果】
　この発明に係る基板処理装置によれば、シリンジ機構におけるピストンの移動量により純水中に供給する薬液の供給量を制御することができる。このため、例えば薬液の供給経路において薬液が受ける圧力損失が変化した場合や純水の供給圧力が変化した場合、さらには、単位時間当たりにごく少量の薬液を供給する場合等においても、薬液を極めて正確に供給することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　この発明に係る基板処理装置の概要を示す図である。
　【図２】
　シリンジ機構６を示す側面図である。
　【図３】
　薬液導入部４を示す断面図である。
　【符号の説明】
　２　　　処理槽
　３　　　薬液タンク
　４　　　薬液混合部
　５　　　純水供給部
　６　　　シリンジ機構
　７ａ　　薬液導入弁
　８　　　シリンダ
　９　　　ピストン
　１０　　純水供給弁
　１９ａ　純水供給路
　１９ｂ　純水供給路
　２７　　パルスモータ
　３２　　配管
　３３　　開閉弁
　３４　　配管
　３５　　開閉弁
　Ｗ　　基板