【事件の表示】
　特許第３０３８４３２号「真空ポンプ及び真空装置」の請求項１ないし８に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０３８４３２号の請求項１ないし６に係る発明についての特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第３０３８４３２号の請求項１ないし８に係る発明についての出願は、平成１０年７月２１日に出願され、平成１２年３月３日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、請求項１ないし８に係る発明についての特許について、松原いづみより特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年５月１日に訂正請求がなされ、再度取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年８月２０日に再度訂正請求がなされ、平成１３年１１月５日に上記平成１３年５月１日付けの訂正請求についての取下書が提出されたものである。
　
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
ア．訂正事項１
　特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された「外部から第１の気体を吸入する吸入口と、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する気体移送部と、前記気体移送部の気体を排出させる排気口と、」を「外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、前記外装体の内側に配設され、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する気体移送部と、」と訂正する。
　
イ．訂正事項２
　同請求項１に記載された「前記圧力変化手段は、前記気体移送部において移送される第１の気体に第２の気体を混入させる気体混入手段を含み、」を「前記圧力変化手段は、前記気体移送部において移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、」と訂正する。
　
ウ．訂正事項３
　同請求項２に記載された「前記気体移送部が、気体の移送方向に多段に固定されたステータ翼と該ステータ翼間において回転するロータ翼とを備え、ロータ翼を回転することにより気体を移送するターボ分子ポンプ部を含み、前記気体混入手段は、前記ターボ分子ポンプ部に前記第２の気体を混入させることを特徴とする請求項１に記載の」を「外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、気体の移送方向に多段に固定されたステータ翼と該ステータ翼間において回転するロータ翼とを備え、ロータ翼を回転することにより気体を移送するターボ分子ポンプ部を含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、前記圧力変化手段は、前記ターボ分子ポンプ部において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御することを特徴とする」と訂正する。
　
エ．訂正事項４
　同請求項３に記載された「前記気体移送部が、回転するロータ側と固定されたステータ側とを備え、そのうちの少なくとも一方にネジ溝を備え、前記ロータ側を回転させることにより気体を移送するネジ溝ポンプ部を含み、前記気体混入手段は、前記ネジ溝ポンプ部に前記第２の気体を混入させることを特徴とする請求項１に記載の」を「外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、回転するロータ側と固定されたステータ側とを備え、そのうちの少なくとも一方にネジ溝を備え、前記ロータ側を回転させることにより気体を移送するネジ溝ポンプ部を含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、前記圧力変化手段は、前記ネジ溝ポンプ部において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御することを特徴とする」と訂正する。
　
オ．訂正事項５
　同請求項４に記載された「前記気体移送部が、ターボ分子ポンプ部と該ターボ分子ポンプ部に続くネジ溝ポンプ部とを含み前記気体混入手段は、前記ターボ分子ポンプ部と前記ネジ溝ポンプ部との間において前記第２の気体を混入させることを特徴とする請求項１に記載の」を「外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、ターボ分子ポンプ部と該ターボ分子ポンプ部に続くネジ溝ポンプ部とを含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、前記圧力変化手段は、前記ターボ分子ポンプ部と前記ネジ溝ポンプ部との間において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御することを特徴とする」と訂正する。
　
カ．訂正事項６
　同請求項５及び請求項６を削除する。
　
キ．訂正事項７
　同請求項７を請求項５に繰り上げるとともに、引用する請求項について「請求項１から請求項６のうちのいずれか１項」を「請求項１から請求項４のうちのいずれか１項」と訂正する。
　
ク．訂正事項８
　同請求項８を請求項６に繰り上げるとともに、引用する請求項について「請求項７」を「請求項５」と訂正する。
　
ケ．訂正事項９
　同明細書段落【０００６】（特許公報第２頁右欄第２３〜４０行）の「【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成するために、本発明は、外部から第１の気体を吸入する吸入口と、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する気体移送部と、前記気体移送部の気体を排出させる排気口と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、前記圧力変化手段は、前記気体移送部において移送される第１の気体に第２の気体を混入させる気体混入手段を含み、前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御する真空ポンプを提供する。
　本発明に係る真空ポンプでは、圧力変化手段により、気体移送部内の圧力を変化させ、吸入口から吸引する気体の吸引力を変化させることができる。従って、気体を吸引する容器との間にバルブを介在配置させずに気体の吸引力を調節でき、バルブからの発塵により容器内が汚染されるのを回避することができる。」を
　「【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成するために、本発明は、外部から第１の気体を吸入する吸入口と、前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、前記外装体の内側に配設され、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、前記圧力変化手段は、前記気体移送部において移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御する真空ポンプを提供する。
　上記第１の目的を達成するために、本発明は、外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、気体の移送方向に多段に固定されたステータ翼と該ステータ翼間において回転するロータ翼とを備え、ロータ翼を回転することにより気体を移送するターボ分子ポンプ部を含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、前記圧力変化手段は、前記ターボ分子ポンプ部において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御する真空ポンプを提供する。
　また、上記第１の目的を達成するために、本発明は、外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、回転するロータ側と固定されたステータ側とを備え、そのうちの少なくとも一方にネジ溝を備え、前記ロータ側を回転させることにより気体を移送するネジ溝ポンプ部を含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、前記圧力変化手段は、前記ネジ溝ポンプ部において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御する真空ポンプを提供する。
　さらに、上記第１の目的を達成するために、本発明は、外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、ターボ分子ポンプ部と該ターボ分子ポンプ部に続くネジ溝ポンプ部とを含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、前記圧力変化手段は、前記ターボ分子ポンプ部と前記ネジ溝ポンプ部との間において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御する真空ポンプを提供する。
　本発明に係る真空ポンプでは、圧力変化手段により、気体移送部内の圧力を変化させ、吸入口から吸引する気体の吸引力を変化させることができる。
　従って、気体を吸引する容器との間にバルブを介在配置させずに気体の吸引力を調節でき、バルブからの発塵により容器内が汚染されるのを回避することができる。」と訂正する。
　　
コ．訂正事項１０
　同明細書段落【０００７】（特許公報第２頁右欄第４１〜４６行）の記載を削除する。　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　
(３)訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
ア．上記訂正事項１は、特許請求の範囲の請求項１に記載された「外部から第１の気体を吸入する吸入口と、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する気体移送部と、前記気体移送部の気体を排出させる排気口と、」に、「外装体」及び「外装体の内側に配設され、」を加えることによって、より下位概念の「外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、前記外装体の内側に配設され、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する気体移送部と、」と限定しようとするものである。
　この訂正事項１に関連する記載として、特許明細書段落【００１０】に「外装体１０は、その上端部に半径方向外方へ延設されたフランジ１１を有しており、このフランジ１１をボルト等によって半導体製造装置等に留め付けてフランジ１１の内側に形成される吸入口１６とチャンバ等の容器の排出口とを連接し、容器の内部と外装体１０の内部とを連通させるようになっている。」と、同明細書段落【００１２】に「スペーサ７１は段部を有する円筒状であり、外装体１０の内側に積み重ねられている。」と、同明細書段落【００１４】に「ネジ溝部スペーサ８０は、図１に示すように、外装体１０の内側に配設され、かつ、スペーサ７１に連設され、スペーサ７１とステータ翼７２との下方に配設されている。」と、同明細書段落【００２２】に「真空ポンプ１の外装体１０の下部には、ネジ溝ポンプ部Ｓにより移送されてきた気体を外部へ排出する排気口５２が配置されている。」と記載されている。したがって、上記訂正事項１は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
イ．上記訂正事項２は、特許請求の範囲の請求項１に記載された「前記圧力変化手段は、前記気体移送部において移送される第１の気体に第２の気体を混入させる気体混入手段を含み、」に、「前記気体移送部で」を加えることによって、より下位概念の「前記圧力変化手段は、前記気体移送部において移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、」と限定しようとするものである。
　この訂正事項２に関連する記載として、特許明細書段落【００２３】に「更に、本実施形態の真空ポンプ１は、外装体１０を貫通し、外部とロータ翼６２及びステータ翼７２間とを連通する連通管８５を備えており、この連通管８５からターボ分子ポンプ部Ｔへ不活性ガスが供給され、吸引、移送している気体に混合させるようになっている。連通管８５は、コンダクタンス可変バルブ（以下バルブ）８６を備えており、このバルブ８６によって、ターボ分子ポンプ部Ｔへ供給され混合される不活性ガスの量が調節されるようになっている。」と、特許明細書段落【００３１】に「上述の実施形態においては、気体混入手段としての連通管８５により、第２の気体としての不活性ガスがターボ分子ポンプ部Ｔへ導入されているが、これに限れるものではなく、第２の気体をターボ分子ポンプ部Ｔとネジ溝ポンプ部Ｓとの連通部や、ネジ溝ポンプ部Ｓや、排気口５２の前の空間部分等、他の部分へ導入してもよい。」と記載されている。したがって、上記訂正事項２は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
ウ．上記訂正事項３は、同請求項２を独立した請求項とするため、請求項２に記載された「ことを特徴とする請求項１に記載の」を訂正後の請求項１の記載に置き換えようとするものである。したがって、この訂正事項３は、訂正前の請求項２に上記訂正事項１及び２の限定を加えたものであり、この訂正事項３は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
エ．上記訂正事項４は、同請求項３を独立した請求項とするため、請求項３に記載された「ことを特徴とする請求項１に記載の」を訂正後の請求項１の記載に置き換えようとするものである。したがって、この訂正事項４は、訂正前の請求項３に上記訂正事項１及び２の限定を加えたものであり、この訂正事項４は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
オ．上記訂正事項５は、同請求項４を独立した請求項とするため、請求項４に記載された「ことを特徴とする請求項１に記載の」を訂正後の請求項１の記載に置き換えようとするものである。したがって、この訂正事項５は、訂正前の請求項４に上記訂正事項１及び２の限定を加えたものであり、この訂正事項５は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
カ．上記訂正事項６は、同請求項５及び６を削除するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
キ．上記訂正事項７及び８は、上記訂正事項６の訂正に伴って、請求項番号の訂正、及び引用する請求項の訂正をするものであり、明瞭でない記載の釈明に該当する。そして、この訂正は、特許明細書に記載した事項の範囲内であり、又、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
ク．上記訂正事項９及び１０は、上記訂正事項１〜８の訂正に伴って、特許請求の範囲の記載と整合させるために明細書の発明の詳細な説明を訂正するものであり、明瞭でない記載の釈明に該当する。そして、この訂正は、特許明細書に記載した事項の範囲内であり、又、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
(３)むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
（１）本件発明１ないし６
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件請求項１ないし６に係る発明（以下、それぞれ、「本件発明１」〜「本件発明６」という。）は、上記平成１３年８月２０日付けの訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし６に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。
　「【請求項１】　外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、
　前記外装体の内側に配設され、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する気体移送部と、
　前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、
　前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、
　前記圧力変化手段は、前記気体移送部において移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、
　前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御することを特徴とする真空ポンプ。
　　【請求項２】　外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、
　気体の移送方向に多段に固定されたステータ翼と該ステータ翼間において回転するロータ翼とを備え、ロータ翼を回転することにより気体を移送するターボ分子ポンプ部を含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、
　前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、
　前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、
　前記圧力変化手段は、前記ターボ分子ポンプ部において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、
　前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御することを特徴とする真空ポンプ。
　　【請求項３】　外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、
　回転するロータ側と固定されたステータ側とを備え、そのうちの少なくとも一方にネジ溝を備え、前記ロータ側を回転させることにより気体を移送するネジ溝ポンプ部を含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、
　前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、
　前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、
　前記圧力変化手段は、前記ネジ溝ポンプ部において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、
　前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御することを特徴とする真空ポンプ。
　　【請求項４】　外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、
　ターボ分子ポンプ部と該ターボ分子ポンプ部に続くネジ溝ポンプ部とを含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、
　前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、
　前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、
　前記圧力変化手段は、前記ターボ分子ポンプ部と前記ネジ溝ポンプ部との間において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、
　前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御することを特徴とする真空ポンプ。
　　【請求項５】　請求項１から請求項４のうちのいずれか１項に記載の真空ポンプと、
　前記真空ポンプに内部の気体が吸引排出される容器とを備えることを特徴とする真空装置。
　　【請求項６】　前記容器内の圧力を検出する圧力センサを備え、
　前記制御手段は、前記圧力センサからの出力に応じて制御量を決定することを特徴とする請求項５に記載の真空装置。」
　　
（２）刊行物に記載された発明
（２−１）当審が取消理由通知において引用したＰＣＴ国際公開公報　ＷＯ９７／１５７６０（以下「刊行物１」という。）には、
（ａ）、第２頁第２３行〜第３頁第３４行に「第１図の実施例では外側ケーシングが符号１で図示されている。・・・前記軸３には、駆動モータ５、分子ポンプ段のロータ６並びにターボ分子ポンプ段のロータ７が結合されている。前記ロータ７は複数のロータ羽根８を装備し、該ロータ羽根は、外側ケーシング１内に保持された複数の羽根９と協働してターボ分子ポンプ段を形成している。ターボ分子ポンプは、入口を形成するフランジ１１を介して、排気すべき排気鐘に接続される。分子ポンプ（もしくは分子ポンプ段）は、軸受室１２に被さるベル形のロータ６から成り、該ロータはその外周面に複数のねじ山状の溝１３を有し、ポンプ運転時に前記溝１３内をガスが高真空側から予真空側へ吐出される。・・・予真空室１９には予真空接続管片２０が接続されている。・・・ターボ分子ポンプ段８，９は中間取入れ口２８を備えている。該中間取入れ口は種々の目的、例えばフランジ１１に接続され、図示されていない真空室内における圧力に対してより高い圧力水準を有する真空生成、又は、・・・に役立てうる。」と記載されている。
　したがって、上記記載、及び図面の記載からみて、刊行物１には、以下の発明【Ａ】及び【Ｂ】が記載されているものと認められる。
　「外部から第１の気体を吸入する入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外側ケーシング１と、気体の移送方向に多段に固定されたステータ羽根９と該ステータ羽根９間において回転するロータ羽根８とを備え、ロータ羽根８を回転することにより気体を移送するターボ分子ポンプ段、及び該ターボ分子ポンプ段に続き、回転するロータ６側と固定されたステータ１４側とを備え、前記ロータ６側にねじ山状の溝１３を備え、前記ロータ６側を回転させることにより気体を移送する分子ポンプ段を含み、前記入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外側ケーシング１の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記入口からの気体の吸引力を変化する圧力変化手段と、前記圧力変化手段は、前記ターボ分子ポンプ段において移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる中間取入れ口２８を含む真空ポンプ。」（以下、「刊行物１記載の発明【Ａ】」という。）
　「外部から第１の気体を吸入する入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外側ケーシング１と、気体の移送方向に多段に固定されたステータ羽根９と該ステータ羽根９間において回転するロータ羽根８とを備え、ロータ羽根８を回転することにより気体を移送するターボ分子ポンプ段、及び該ターボ分子ポンプ段に続き、回転するロータ６側と固定されたステータ１４側とを備え、前記ロータ６側にねじ山状の溝１３を備え、前記ロータ６側を回転させることにより気体を移送する分子ポンプ段を含み、前記入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外側ケーシング１の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記入口からの気体の吸引力を変化する圧力変化手段と、前記圧力変化手段は、前記ターボ分子ポンプ段において移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる中間取入れ口２８を含む真空ポンプと、前記真空ポンプに内部の気体が吸引排出される容器とを備えた真空装置。」（以下、「刊行物１記載の発明【Ｂ】」という。）
　　
（２−２）当審が取消理由通知において引用した特開平１−２４４１９４号公報（以下「刊行物２」という。）には、
（ｂ）、第１頁右下欄第４〜９行に「〔産業上の利用分野〕本発明は、真空排気技術、特に、オイルフリ真空ポンプを用いて高真空を作り出す技術に関し、例えば、半導体装置の製造工程において、ウエハに対して真空雰囲気にて各種の処理を施す際に利用して有効なものに関する。」と、
（ｃ）、第２頁右下欄第３〜１２行に「本実施例において、ドライエッチング装置は被処理物としてのウエハ１を処理するための処理室２を備えており、・・・また、蓋体２Ｂには処理室２内を排気するための排気口３が開設されている。」と、
（ｄ）、第３頁左上欄第１０行〜同頁右上欄第６行に「前記排気口３には本発明にかかる真空排気装置１０を設備された排気路９が接続されている。真空排気装置１０はオイルフリ真空ポンプの一例であるターボ真空ポンプ１１と、・・・ターボ真空ポンプ１１の吸気側に接続されているターボ分子ポンプ１４と、ターボ真空ポンプ１１の吸気側に圧力制御用ガスとしての窒素ガスを供給するための制御ガス供給路１５と、その制御ガス供給源１６と、この供給源１６からの供給量を制御するための流量制御装置としての粗制御用流量調整弁１７Ａおよび密制御用流量調整弁１７Ｂと、真空排気系全体を開閉するエアバルブ１８とを備えており、この排気装置１０には処理室２の内圧を測定する手段としての真空計１９が接続されている。」と、
（ｅ）、第５頁右上欄第２〜１０行に「所定のリークチェックが実施された後、コントローラ２０により、第５図（ｂ）に示されているように粗制御用流量調整弁１７Ａが開けられ、所定量の窒素ガスが排気路９に供給される。排気路９に供給された窒素ガスは処理室２内のガスと共に、排気装置１０により排気されて行く。したがって、処理室２内の内圧は、第５図（ａ）に示されているように、予め設定された圧力まで上昇された後、一定に維持されることになる。」と、
（ｆ）、 第５頁左下欄第２〜１４行に「このエッチング処理中、ターボ真空ポンプ１１およびターボ分子ポンプ１４は真空排気を持続するが、第５図（ｃ）に示されているように、コントローラ２０によりフイードバック制御されるため、第５図（ａ）に示されているように、処理室２の真空状態は処理が最適に実行される所定の圧力（例えば・・・）に維持される。この最適制御を実行するために、エッチングガスの供給に対応して第５図（ｃ）に示されているように、コントローラ２０の指令によって密流量調整弁１７Ｂが流量を精密に調整することにより、制御用ガスとしての窒素ガスがターボ真空ポンプ１１の吸気側に供給される。」と、
（ｇ）、第５頁右下欄第１４行〜第６頁左上欄第１行に「前記実施例によれ次の効果が得られる。（１）オイルフリ真空ポンプの真空排気による圧力を制御する際、制御用のガスをオイルフリ真空ポンプが排気している排気路への供給流量を調整しながら供給することにより、オイルフリ真空ポンプの排気性能を実質的に制御することができるのため、オイルフリ真空ポンプによって所望の真空状態を作り出すことができる。」と記載されている。
　したがって、上記記載、及び図面の記載からみて、刊行物２には、以下の技術的事項【Ｃ】及び【Ｄ】が記載されているものと認められる。
　「第１ポンプ部であるターボ分子ポンプ１４と該第１ポンプ部に続く第２ポンプ部であるターボ真空ポンプ１１とを含み、第１の気体を移送する気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、前記圧力変化手段による圧力の変化を制御するコントローラ２０とを備え、前記圧力変化手段は、第１ポンプ部と第２ポンプ部との間において、移送される第１の気体に窒素ガスを前記気体移送部で混入させる制御ガス供給路１５を含み、前記コントローラ２０は、前記制御ガス供給路１５により混入される前記窒素ガスの量を制御する真空排気装置１０。」（以下、「刊行物２記載の技術的事項【Ｃ】」という。）
　「第１ポンプ部であるターボ分子ポンプ１４と該第１ポンプ部に続く第２ポンプ部であるターボ真空ポンプ１１とを含み、第１の気体を移送する気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、前記圧力変化手段による圧力の変化を制御するコントローラ２０とを備え、前記圧力変化手段は、第１ポンプ部と第２ポンプ部との間において、移送される第１の気体に窒素ガスを前記気体移送部で混入させる制御ガス供給路１５を含み、前記コントローラ２０は、前記制御ガス供給路１５により混入される前記窒素ガスの量を制御する真空排気装置１０と、真空排気装置１０に内部の気体が吸引排出される処理室２と、処理室２内の圧力を検出する真空計１９を備え、前記コントローラ２０は、前記真空計１９からの出力に応じて制御量を決定する真空装置。」（以下、「刊行物２記載の技術的事項【Ｄ】」という。）
　　
（３）対比・判断
（３−１）．本件発明１について
　本件発明１と、上記刊行物１記載の発明【Ａ】とを対比すると、刊行物１記載の発明【Ａ】における「入口」、「外側ケーシング１」、「中間取入れ口２８」は、その機能からみて、本件発明１における「吸入口」、「外装体」、「気体混入手段」に相当していると認められる。
　そして、両者は「外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、前記外装体の内側に配設され、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を変化する圧力変化手段と、前記圧力変化手段は、前記気体移送部において移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含む真空ポンプ。」である点で一致し、次の点で相違している。
　【相違点１】前者では「制御手段は、圧力変化手段による圧力の変化を制御し、気体混入手段により混入される第２の気体の量を制御する」事項を有しているとともに、圧力変化手段が行っている事項について、気体移送部内の圧力を変化させることで、吸入口からの気体の吸引力を「調節」しているのに対して、後者では、前記制御手段について明かでないとももに、前記吸引力を「変化」させるものではあるが、「調節」することについては明かでない点。
　上記【相違点１】について検討する。刊行物２記載の技術的事項【Ｃ】における「コントローラ２０」、「真空排気装置１０」、「窒素ガス」、「制御ガス供給路１５」は、その機能からみて、本件発明１における「制御手段」、「真空ポンプ」、「第２の気体」、「気体混入手段」に相当しているから、刊行物２には、真空ポンプの吸引排出力を調節できるようにするため、上記【相違点１】における本件発明１が有する事項「制御手段は、圧力変化手段による圧力の変化を制御し、気体混入手段により混入される第２の気体の量を制御するとともに、圧力変化手段は、気体移送部内の圧力を変化させることで、吸入口からの気体の吸引力を調節する」ことが記載されていると認められる。
　そして、刊行物２記載の技術的事項【Ｃ】（発明）は、刊行物１記載の発明【Ａ】、及び本件発明１と、同じ「真空ポンプ」という技術分野に属するものであるから、刊行物１記載の発明【Ａ】に刊行物２記載の技術的事項【Ｃ】（発明）を適用して本件発明１とすることは、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　なお、特許権者は、平成１３年８月２０日付け特許異議意見書第４頁第１６〜１９行で、「このように刊行物３（この異議決定の刊行物２）には、処理室２内の圧力を調整する課題については記載されているが、その課題をターボ分子ポンプ１４やターボ真空ポンプ１１自体で解決するための構成については記載されていず、あくまでガスの供給路１５やバイパス回路１４Ａ等を追加した真空排気システム全体で解決しています。」と、第５頁第１２〜１７行で「この混入気体量を制御する必要性がない刊行物１（この異議決定の刊行物１）記載のターボ分子ポンプに、制御用ガスの流入を制御する刊行物３（この異議決定の刊行物２）記載の排気システムを適用することはできません。（２）また、刊行物１はターボ分子ポンプ（真空ポンプ）の構造の改良に関する技術であるが、刊行物３（この異議決定の刊行物２）は排気ラインの構造を改良した真空排気システムに関する技術である。」（なお、上記「（２）」は、意見書では丸内数字で記載されている）と主張している。
　しかしながら、上述したように、刊行物１記載の発明【Ａ】と刊行物２記載の技術的事項【Ｃ】（発明）とは、同一の技術分野に属するものであって、しかも、両者を組み合わせることを阻害する特段の要因もない以上、上記特許権者の主張は採用できない。
　　
（３−２）．本件発明２について
　本件発明２と、上記刊行物１記載の発明【Ａ】とを対比すると、刊行物１記載の発明【Ａ】における「入口」、「外側ケーシング１」、「ステータ羽根９」、「ロータ羽根８」、「ターボ分子ポンプ段」、「中間取入れ口２８」は、その機能からみて、本件発明２における「吸入口」、「外装体」、「ステータ翼」、「ロータ翼」、「ターボ分子ポンプ部」、「気体混入手段」に相当していると認められる。
　そして、両者は「外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、気体の移送方向に多段に固定されたステータ翼と該ステータ翼間において回転するロータ翼とを備え、ロータ翼を回転することにより気体を移送するターボ分子ポンプ部を含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を変化する圧力変化手段と、前記圧力変化手段は、前記ターボ分子ポンプ部において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含む真空ポンプ。」である点で一致し、上記（３−１）の【相違点１】と同じ相違点で相違している。
　したがって、本件発明２は、上記（３−１）で述べた理由と同様の理由により、刊行物１記載の発明【Ａ】、及び刊行物２記載の技術的事項【Ｃ】（発明）から、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　
（３−３）．本件発明３について
　本件発明３と、上記刊行物１記載の発明【Ａ】とを対比すると、刊行物１記載の発明【Ａ】における「入口」、「外側ケーシング１」、「ロータ６」、「ステータ１４」、「ねじ山状の溝１３」、「分子ポンプ段」、「中間取入れ口２８」は、その機能からみて、本件発明３における「吸入口」、「外装体」、「ロータ」、「ステータ」、「ネジ溝」、「ネジ溝ポンプ部」、「気体混入手段」に相当していると認められる。
　そして、両者は「外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、回転するロータ側と固定されたステータ側とを備え、ロータ側にネジ溝を備え、前記ロータ側を回転させることにより気体を移送するネジ溝ポンプ部を含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を変化する圧力変化手段と、前記圧力変化手段は、気体移送部において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含む真空ポンプ。」である点で一致し、上記（３−１）と同じ【相違点１】、及び下記【相違点２】で相違している。
【相違点２】気体混入手段に関し、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる位置が、前者では「ネジ溝ポンプ部」であるのに対し、後者では、「ターボ分子ポンプ部」である点。
　上記【相違点１】の検討については、上記（３−１）で行ったとおりである。
　上記【相違点２】について検討すると、移送される第１の気体に第２の気体を混入させる位置を、気体移送部のどこにするかは、当業者が適宜選択しうる程度のことであるから、混入位置を気体移送部の中のターボ分子ポンプ部に代えてネジ溝ポンプ部とするようなことは、当業者が容易になしうることであると認められる。
　したがって、本件発明３は、刊行物１記載の発明【Ａ】、及び刊行物２記載の技術的事項【Ｃ】（発明）から、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３−４）．本件発明４について
　本件発明４と、上記刊行物１記載の発明【Ａ】とを対比すると、刊行物１記載の発明【Ａ】における「入口」、「外側ケーシング１」、「ターボ分子ポンプ段」、「分子ポンプ段」、「中間取入れ口２８」は、その機能からみて、本件発明４における「吸入口」、「外装体」、「ターボ分子ポンプ部」、「ネジ溝ポンプ部」、「気体混入手段」」に相当していると認められる。
　そして、両者は「外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、ターボ分子ポンプ部と該ターボ分子ポンプ部に続くネジ溝ポンプ部とを含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を変化する圧力変化手段と、前記圧力変化手段は、前記気体移送部において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含む真空ポンプ。」である点で一致し、上記（３−１）と同じ【相違点１】、及び下記【相違点３】で相違している。
【相違点３】気体混入手段に関し、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる位置が、前者では「ターボ分子ポンプ部とネジ溝ポンプ部との間」であるのに対し、後者では、「気体移送部」である点。
　上記【相違点１】の検討については、上記（３−１）で行ったとおりである。
　上記【相違点３】について検討すると、第２の気体の混入位置を気体移送部のどこにするかは当業者が適宜選択しうる程度のことであるから、混入位置を気体の移送部の中の「ターボ分子ポンプ部とネジ溝ポンプ部との間」とするようなことは、当業者が容易になしうる程度のことであると認められる。
　したがって、本件発明４は、刊行物１記載の発明【Ａ】、及び刊行物２記載の技術的事項【Ｃ】（発明）から、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　
（３−５）．本件発明５について
　本件発明５と、上記刊行物１記載の発明【Ｂ】とを対比すると、刊行物１記載の発明【Ｂ】における「入口」、「外側ケーシング１」、「ステータ羽根９」、「ロータ羽根８」、「ターボ分子ポンプ段」、「ロータ６」、「ステータ１４」、「ねじ山状の溝１３」、「分子ポンプ段」、「中間取入れ口２８」、「排気鐘」は、その機能からみて、本件発明５における「吸入口」、「外装体」、「ステータ翼」、「ロータ翼」、「ターボ分子ポンプ部」、「ロータ」、「ステータ」、「ネジ溝」、「ネジ溝ポンプ部」、「気体混入手段」、「容器」に相当していると認められる。
　そして、両者は「外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、気体の移送方向に多段に固定されたステータ翼と該ステータ翼間において回転するロータ翼とを備え、ロータ翼を回転することにより気体を移送するターボ分子ポンプ部と、該ターボ分子ポンプ部に続く回転するロータ側と固定されたステータ側とを備え、ロータ側にネジ溝を備え、前記ロータ側を回転させることにより気体を移送するネジ溝ポンプ部とを含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を変化する圧力変化手段と、前記圧力変化手段は、ターボ分子ポンプ部である前記気体移送部において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含む真空ポンプと、前記真空ポンプに内部の気体が吸引排出される容器とを備えた真空装置。」である点で一致し、上記（３−１）、（３−３）及び（３−４）の【相違点１】〜【相違点３】と同じ相違点で相違している。
　したがって、本件発明５は、上記（３−１）、（３−３）及び（３−４）で述べた理由と同様の理由により、刊行物１記載の発明【Ｂ】、及び刊行物２記載の技術的事項【Ｃ】（発明）から、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　
（３−６）．本件発明６について
　本件発明６と、上記刊行物１記載の発明とを対比すると、刊行物１記載の発明【Ｂ】における「入口」、「外側ケーシング１」、「ステータ羽根９」、「ロータ羽根８」、「ターボ分子ポンプ段」、「ロータ６」、「ステータ１４」、「ねじ山状の溝１３」、「分子ポンプ段」、「中間取入れ口２８」、「排気鐘」は、その機能からみて、本件発明６における「吸入口」、「外装体」、「ステータ翼」、「ロータ翼」、「ターボ分子ポンプ部」、「ロータ」、「ステータ」、「ネジ溝」、「ネジ溝ポンプ部」、「気体混入手段」、「容器」に相当していると認められる。
　そして、両者は「外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、気体の移送方向に多段に固定されたステータ翼と該ステータ翼間において回転するロータ翼とを備え、ロータ翼を回転することにより気体を移送するターボ分子ポンプ部と、該ターボ分子ポンプ部に続く回転するロータ側と固定されたステータ側とを備え、ロータ側にネジ溝を備え、前記ロータ側を回転させることにより気体を移送するネジ溝ポンプ部とを含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する、前記外装体の内側に配設された気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を変化する圧力変化手段と、前記圧力変化手段は、ターボ分子ポンプ部である前記気体移送部において、移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含む真空ポンプと、前記真空ポンプに内部の気体が吸引排出される容器とを備えた真空装置。」である点で一致し、上記（３−１）、（３−３）及び（３−４）の【相違点１】〜【相違点３】と同じ相違点、及び下記【相違点４】で相違している。
【相違点４】容器を備える真空装置において、前者では「容器内の圧力を検出する圧力センサを備え、制御手段は、前記圧力センサからの出力に応じて制御量を決定する」ようにしているのに対し、後者では、圧力センサについて明らかでない点。
　上記【相違点４】について検討すると、刊行物２記載の技術的事項【Ｄ】における「コントローラ２０」、「真空排気装置１０」、「窒素ガス」、「制御ガス供給路１５」、「処理室２」、「真空計１９」は、その機能からみて、本件発明６における「制御手段」、「真空ポンプ」、「第２の気体」、「気体混入手段」、「容器」、「圧力センサ」に相当しているから、刊行物２には、上記【相違点４】における本件発明６が有する事項「容器内の圧力を検出する圧力センサを備え、制御手段は、前記圧力センサからの出力に応じて制御量を決定する」ことが記載されていると認められる。そして、この刊行物２記載の技術的事項【Ｄ】（発明）を刊行物１記載の発明【Ｂ】に適用して、本件発明６のようにするようなことは、当業者が容易になしうる程度のことであると認められる。
　したがって、本件発明６は、刊行物１記載の発明【Ｂ】、及び刊行物２記載の技術的事項【Ｃ】、【Ｄ】（発明）から、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　　
４．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１ないし６は、上記刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１ないし６についての特許は、特許法２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
  したがって、本件発明１ないし６についての特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１２月２０日（２００１．１２．２０）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
真空ポンプ及び真空装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　外部から第１の気体を吸入する吸入口と前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、
　前記外装体の内側に配設され、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する気体移送部と、
　前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、
　前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、
　前記圧力変化手段は、前記気体移送部において移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、
　前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御することを特徴とする真空ポンプ。
　【請求項２】　外部から第１の気体を吸入する吸入口と
前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、
　気体の移送方向に多段に固定されたステータ翼と該ステータ翼間において回転するロータ翼とを備え、ロータ翼を回転することにより気体を移送するターボ分子ポンプ部を含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する
、前記外装体の内側に配設された
　前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、
　前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、
　前記圧力変化手段は、前記ターボ分子ポンプ部において、移送される第１の気体に第２の気体を
前記気体移送部で
　前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御することを特徴とする真空ポンプ。
　【請求項３】　外部から第１の気体を吸入する吸入口と
前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、
　回転するロータ側と固定されたステータ側とを備え、そのうちの少なくとも一方にネジ溝を備え、前記ロータ側を回転させることにより気体を移送するネジ溝ポンプ部を含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する
、前記外装体の内側に配設された
　前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、
　前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、
　前記圧力変化手段は、前記ネジ溝ポンプ部において、移送される第１の気体に第２の気体を
前記気体移送部で
　前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御することを特徴とする真空ポンプ。
　【請求項４】　外部から第１の気体を吸入する吸入口と
前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、
　ターボ分子ポンプ部と該ターボ分子ポンプ部に続くネジ溝ポンプ部とを含み、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する
、前記外装体の内側に配設された
　前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、
　前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、
　前記圧力変化手段は、前記ターボ分子ポンプ部と前記ネジ溝ポンプ部との間において、移送される第１の気体に第２の気体を
前記気体移送部で
　前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御することを特徴とする真空ポンプ。
　【請求項５】　請求項１から請求項４のうちのいずれか１項に記載の真空ポンプと、
　前記真空ポンプに内部の気体が吸引排出される容器とを備えることを特徴とする真空装置。
　【請求項６】　前記容器内の圧力を検出する圧力センサを備え、
　前記制御手段は、前記圧力センサからの出力に応じて制御量を決定することを特徴とする請求項５に記載の真空装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、真空ポンプ及び真空装置に関し、詳細には、真空容器内の圧力を調節できる真空ポンプ及び真空装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　半導体や液晶の製造において、ドライエッチング、ＣＶＤ等を行う場合には、チャンバ内にプロセスガスを導入し、このプロセスガスを真空ポンプにより吸引排出する真空装置が用いられる。図７は、従来から使用されている真空ポンプの一例としてのターボ分子ポンプを表したものである。この図７に示すように、真空ポンプ（ターボ分子ポンプ）は、ステータ部とロータ部に、それぞれステータ翼とロータ翼を軸方向に多段配置し、モータによりロータ部を高速回転することで、図面上側の吸気口側から図面左下側の排気口側に排気（真空）処理を行うようになっている。
　【０００３】
　図８はこのような真空ポンプをチャンバに取り付けた従来の真空装置の概要を表したものである。この図８に示されるように、従来の真空装置では、チャンバ（容器）９０内に試料９１等が配置されるステージ９２が配設されると共に、ステージ９２の下側にはステージ９２を回転等するための駆動機構９３がチャンバ９０外に配設されている。そして、チャンバの下面（または側面）に配設された排出口９４部分にチャンバ９０の外側から真空ポンプ９５を取り付けてチャンバ９０内の気体を排気する構造になっている。この図８に示すように、従来の真空装置においては、チャンバ９０の排気口と真空ポンプ９５の吸入口とは、コンダクタンス可変バルブ９６を介して連通されており、コンダクタンス可変バルブ９６のコンダクタンスを変化させることにより、チャンバ９０から吸引排出されるプロセスガスの量を調節し、チャンバ９０内を所定の圧力に制御している。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、この様な従来の真空装置においては、コンダクタンス可変バルブ９６がチャンバ９０の排出口９４に直接連設されているため、コンダクタンス可変バルブ９６の作動等で発生する塵がチャンバ９０に逆流してしまうおそれがある。このような発塵は、半導体や液晶の製造においては特に回避すべき重要な問題である。
　【０００５】
　そこで、本発明は、発塵なく気体の吸引排出力を調節できる真空ポンプを提供することを第１の目的とする。
　また、発塵なく真空容器内の圧力を調節できる真空装置を提供することを第２の目的とする。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　上記第１の目的を達成するために、本発明は、外部から第１の気体を吸入する吸入口と、前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、前記外装体の内側に配設され、前記吸入口から吸入した前記第１の気体を移送する気体移送部と、前記気体移送部内の圧力を変化させることで、前記吸入口からの気体の吸引力を調節する圧力変化手段と、前記圧力変化手段による圧力の変化を制御する制御手段とを備え、前記圧力変化手段は、前記気体移送部において移送される第１の気体に第２の気体を前記気体移送部で混入させる気体混入手段を含み、前記制御手段は、前記気体混入手段により混入される前記第２の気体の量を制御する真空ポンプを提供する。
　上記第１の目的を達成するために、本発明は、外部から第１の気体を吸入する吸入口と
前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、
、前記外装体の内側に配設された
前記気体移送部で
　また、上記第１の目的を達成するために、本発明は、外部から第１の気体を吸入する吸入口と
前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、
、前記外装体の内側に配設された
前記気体移送部で
　さらに、上記第１の目的を達成するために、外部から第１の気体を吸入する吸入口と
前記気体を排出させる排気口とを有する外装体と、
、前記外装体の内側に配設された
前記気体移送部で
　本発明に係る真空ポンプでは、圧力変化手段により、気体移送部内の圧力を変化させ、吸入口から吸引する気体の吸引力を変化させることができる。
　従って、気体を吸引する容器との間にバルブを介在配置させずに気体の吸引力を調節でき、バルブからの発塵により容器内が汚染されるのを回避することができる。
　【０００７】
　【０００８】
　前記第２の目的を達成するために、本発明は、上記真空ポンプと、この真空ポンプに内部の気体を吸引排出される容器とを備える真空装置を提供する。
　この場合、容器内の圧力を検出する圧力センサを備え、制御手段は、圧力センサからの出力に応じて制御量を決定するものとすることが好ましい。
　【０００９】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明に好適な実施の形態について、図１から図６を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の真空ポンプの一実施形態の全体構成の断面を表したものである。この真空ポンプ１は、例えば半導体製造装置内等に設置され、チャンバ等からプロセスガスの排出を行うものである。またこの真空ポンプ１は、チャンバ等からのプロセスガスをステータ翼７２とロータ翼６２とにより下流側へ移送するターボ分子ポンプ部Ｔと、ターボ分子ポンプ部Ｔからプロセスガスが送り込まれ、このプロセスガスをネジ溝ポンプにより更に移送して排出するネジ溝ポンプ部Ｓとを備えている。
　【００１０】
　図１に示すように、真空ポンプ１は、略円筒形状の外装体１０と、この外装体１０の中心部に配置される略円柱形状のロータ軸１８と、ロータ軸１８に固定配置されロータ軸１８とともに回転するロータ６０と、ステータ７０とを備えている。外装体１０は、その上端部に半径方向外方へ延設されたフランジ１１を有しており、このフランジ１１をボルト等によって半導体製造装置等に留め付けてフランジ１１の内側に形成される吸入口１６とチャンバ等の容器の排出口とを連接し、容器の内部と外装体１０の内部とを連通させるようになっている。
　【００１１】
　図２は、ロータ６０をロータ翼６２の上下面に沿って切断した場合の断面斜視図である。ロータ６０は、ロータ軸１８の外周配置された断面略逆Ｕ字状のロータ本体６１を備えている。このロータ本体６１は、ロータ軸１８の上部にボルト１９で取り付けられている。ロータ本体６１は、ターボ分子ポンプ部Ｔにおいては、外周にロータ円環部６４が多段に形成されており、図２に示すように、各ロータ円環部６４にロータ翼６２が環装されている。各段のロータ翼６２は、外側が開放された複数のロータブレード（羽根）６３を有している。
　【００１２】
　ステータ７０はターボ分子ポンプ部Ｔにおいては、スペーサ７１と、このスペーサ７１、７１間に外周側が支持されることでロータ翼６２の各段の間に配置されるステータ翼７２とを備えており、ネジ溝ポンプ部Ｓにおいては、スペーサ７１に連設するネジ溝部スペーサ８０を備えている。スペーサ７１は段部を有する円筒状であり、外装体１０の内側に積み重ねられている。各スペーサ７１の内側に位置する段部の軸方向の長さはロータ翼６２における各段の間隔に応じた長さになっている。
　【００１３】
　図３は、ステータ翼の一部を表した斜視図である。ステータ翼７２は、外周側の一部がスペーサ７１によって周方向に挟持される外側円環部７３と、内側円環部７４と、外側円環部７３と内側円環部７４とにより両端が放射状に所定角度で支持された複数のステータブレード７５とから構成されている。内側円環部７４の内径は、ロータ本体６１の外径よりも大きく形成され、内側円環部７４の内周面７７とロータ本体６１の外周面６５とが接触しないようになっている。このステータ翼７２は、各段のロータ翼６２間に配置するために、円周２分割されている。ステータ翼７２は、この２分割された例えばステンレス製鋼又はアルミニウム製の薄肉の板から、エッチング法等により半円環状の外形部分とステータブレード７５の部分を切り出し、ステータブレード７５の部分をプレス加工により所定角度に曲げることで図３に示す形状に形成される。各段のステータ翼７２は、それぞれスペーサ７１とスペーサ７１との段部により、外側円環部７３が周方向に挟持されることで、ロータ翼６２間に保持される。
　【００１４】
　ネジ溝部スペーサ８０は、図１に示すように、外装体１０の内側に配設され、かつ、スペーサ７１に連設され、スペーサ７１とステータ翼７２との下方に配設されている。このネジ溝部スペーサ８０は、内径壁がロータ本体６１の外周面と近接する位置まで張り出した厚みを有しており、内径壁に螺旋構造のネジ溝８１が複数条形成されている。このネジ溝８１は、上記ステータ翼７２とロータ翼６２との間と連通されており、移送排出されてきた気体がネジ溝８１に導入されるようになっている。なお、この実施形態では、ネジ溝８１をステータ７０側に形成したが、ネジ溝８１をロータ本体６１の外径壁に形成するようにしてもよい。またネジ溝８１をネジ溝部スペーサ８０に形成すると共に、ロータ本体６１の外径壁にも形成するようにしてもよい。
　【００１５】
　真空ポンプ１は、更に、ロータ軸１８を磁力により支持する磁気軸受２０と、ロータ軸１８にトルクを発生させるモータ３０と、回路基板を収納する回路基板収納部４０を備えている。磁気軸受２０は、５軸制御の磁気軸受であり、ロータ軸１８に対して半径方向の磁力を発生させる半径方向電磁石２１、２４と、ロータ軸１８の半径方向の位置を検出する半径方向センサ２２、２６と、ロータ軸１８に対して軸方向の磁力を発生させる軸方向電磁石３２、３４と、軸方向電磁石３２、３４による軸方向の力が作用する金属ディスク３１、回路基板収納部４０内からロータ軸１８の軸方向の位置を検出する軸方向センサ３６とを備えている。
　【００１６】
　半径方向電磁石２１は、互いに直交するように配置された２対の電磁石で構成されている。各対の電磁石は、ロータ軸１８のモータ３０よりも上部の位置に、ロータ軸１８を挟んで対向配置されている。この半径方向電磁石２１の上方には、ロータ軸１８を挟んで対向する半径方向センサ２２が２対設けられている。２対の半径方向センサ２２は、２対の半径方向電磁石２１に対応して、互いに直交するように配置されている。さらに、ロータ軸１８のモータ３０よりも下部の位置には、同様に２対の半径方向電磁石２４が互いに直交するように配置されている。この半径方向電磁石２４とモータ３０との間にも、同様に半径方向電磁石２４に隣接して半径方向センサ２６が２対設けられている。
　【００１７】
　これら半径方向電磁石２１、２４に励磁電流が供給されることによって、ロータ軸１８が磁気浮上される。この励磁電流は、磁気浮上時に、半径方向センサ２２、２６からの位置検知信号に応じて制御され、これによってロータ軸１８が半径方向の所定位置に保持されるようになっている。
　【００１８】
　ロータ軸１８の下部には、磁性体で形成された円盤状の金属ディスク３１が固定されており、この金属ディスク３１を挟み、且つ対向した一対ずつの軸方向電磁石３２、３４が配置されている。さらにロータ軸１８の下端部に対向して軸方向センサ３６が配置されている。この軸方向電磁石３２、３４の励磁電流は、軸方向センサ３６からの位置検知信号に応じて制御され、これによりロータ軸１８が軸方向の所定位置に保持されるようになっている
　【００１９】
　磁気軸受２０は、これら半径方向センサ２２、２６、および軸方向センサ３６の検出信号を基に、半径方向電磁石２１、２４および軸方向電磁石３２、３４などの励磁電流をそれぞれフィードバック制御することでロータ軸１８を磁気浮上させる磁気軸受制御部を制御系４５内に備えている。この磁気軸受を使用することによって、機械的接触部分が存在しないため粉塵の発生がなく、また、シール用のオイル等が不要であるためガス発生もなく、クリーンな環境での駆動を実現でき、半導体製造等の高いクリーン度が要求される場合に適している。
　【００２０】
　また、本実施形態の真空ポンプ１では、ロータ軸１８の上部及び下部側には保護用ベアリング３８、３９が配置されている。通常、ロータ軸１８及びこれに取り付けられている各部からなるロータ部は、モータ３０により回転している間、磁気軸受２０により非接触状態で軸支される。保護用ベアリング３８、３９は、タッチダウンが発生した場合に磁気軸受２０に代わってロータ部を軸支することで装置全体を保護するためのベアリングである。従って保護ベアリング３８、３９は、内輪がロータ軸１８には非接触状態になるように配置されている。
　【００２１】
　モータ３０は、外装体１０の内側の半径方向センサ２２と半径方向センサ２６との間で、ロータ軸１８の軸方向ほぼ中心位置に配置されている。このモータ３０に通電することによって、ロータ軸１８および、これに固定されたロータ６０、ロータ翼６２が回転するようになっている。この回転の回転数は回路基板収納部４０内の回転数センサ４１により検出され、この回転数センサ４１からの信号に基づいて制御系４５によって制御されるようになっている。
　【００２２】
　真空ポンプ１の外装体１０の下部には、ネジ溝ポンプ部Ｓにより移送されてきた気体を外部へ排出する排気口５２が配置されている。また、真空ポンプ１は、コネクタおよびケーブルを介して制御系４５に接続されている。
　【００２３】
　更に、本実施形態の真空ポンプ１は、外装体１０を貫通し、外部とロータ翼６２及びステータ翼７２間とを連通する連通管８５を備えており、この連通管８５からターボ分子ポンプ部Ｔへ不活性ガスが供給され、吸引、移送している気体に混合させるようになっている。連通管８５は、コンダクタンス可変バルブ（以下バルブ）８６を備えており、このバルブ８６によって、ターボ分子ポンプ部Ｔへ供給され混合される不活性ガスの量が調節されるようになっている。バルブ８６は、バルブモータによりシャッターを開閉駆動させるようになっており、このバルブモータが、制御系４５からの信号により制御されるようになっている。
　【００２４】
　次に、上述の実施形態の真空ポンプを用いた本発明の真空装置の実施形態について説明する。尚、本実施形態において、図８に示す従来の真空装置と同一の部材については同一の符号を付し、説明は省略する。図４は、本発明の真空装置の一実施形態の構成を表す概略斜視図である。この図４に示すように、本実施形態の真空装置においてはチャンバ９０内に、圧力センサ９７が配設されており、チャンバ内における圧力が検出されるようになっている。そして、この圧力センサ９７はコネクタ及びケーブルを介して制御系４５に接続されており、圧力センサ９７からの圧力に対応する信号が、制御系４５に出力されるようになっている。また、この真空装置においては、真空ポンプ１はチャンバ９０の排出口９４にバルブを介さずに直接取り付けられている。
　【００２５】
　以上のように構成された真空ポンプ１及び真空装置では、モータ３０によりロータ６０を定格値（２万〜５万ｒｐｍ）で高速回転することで、ロータ翼６２も高速回転する。これにより、チャンバ９０内のプロセスガス等が排出口９４及び真空ポンプ１の吸入口１６を介して、ロータ翼６２及びネジ溝８１により移送され排気口５２から排出される。
　【００２６】
　図５は、本実施形態の真空装置におけるチャンバ９０内の圧力の制御系を表すブロック図である。この図５に示すように、チャンバ９０からの圧力に対応する信号は、制御系４５に出力されるようになっている。そして、制御系４５において目標値と比較され、その差がＰＩＤ補償器４６に出力され、ＰＩＤ補償器４６において目標値との差に対応した値の制御信号が出力され、アンプ４７において増幅された後、バルブ駆動モータ８７に出力される。
　【００２７】
　そして、バルブ駆動モータ８７が入力信号に基づいて駆動して、バルブ８６を開閉させる。圧力センサ９７近傍の圧力が低い場合には、制御系４５からの制御信号によりバルブ８６が広げられて連通管８５からの不活性ガス流入量が増加され、ターボ分子ポンプ部Ｔの圧力が上昇する。そのため、吸入口１６の圧力も上昇し、チャンバ９０内の気体を吸引する吸引力が減少し、チャンバ９０内の圧力は上昇する。圧力センサ９７近傍の圧力が高い場合には、バルブ８６が狭められて連通管８５からの不活性ガス流入量が低減される。そして、ポンプ作用による気体の移行排出量は変化しないので、ターボ分子ポンプ部Ｔの圧力が減少する。そのため、吸入口１６の圧力も下降し、チャンバ９０内の気体を吸引する吸引力が増加し、チャンバ９０内の圧力は減少する。
　【００２８】
　図６は、真空ポンプ１の気体移送部（ターボ分子ポンプ部Ｔ及びネジ溝ポンプ部Ｓの気体通路）内の気圧と、吸入口１６の気圧との関係を示すグラフである。このように、真空ポンプ１の気体移送部内の気圧が高くなると吸入口１６の圧力も高くなり、外部からの気体の吸引力が弱められる。また、気体移送部内の気圧が所定（約１．５〜２．０Ｔｏｒｒ．）以上となると、特に、気体移送部内の気圧の上昇によって吸入口１６も上昇するため、この所定以上の気圧において特に効率よく真空ポンプ１の吸引力を調節することが可能となる。
　【００２９】
　このように、本実施形態では、ターボ分子ポンプ部Ｔへ不活性ガスを流入し、チャンバ９０からの気体に混入させる混入量を制御することにより、チャンバ９０内の圧力を制御する。従って、本実施形態によると、チャンバ９０の排出口９４と真空ポンプ１の間に、バルブ等の、真空ポンプ１の気体吸入排出量を調節するための部材を設ける必要がなく、これらの部材による発塵がチャンバ９０に逆流するおそれがない。
　【００３０】
　また、本実施形態では、チャンバ９０内の圧力を検出する圧力センサ９７を備え、圧力センサ９７からの出力に基づいてバルブ８６の開閉量を決定し、不活性ガスの混入量を制御しているので、効率的且つ良好に、チャンバ９０内の圧力を所望の値に調節することができる。
　【００３１】
　尚、本発明の真空ポンプ及び本発明の真空装置は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて適宜変更可能である。例えば、上述の実施形態においは、気体移送部を、ターボ分子ポンプ部Ｔとネジ溝ポンプ部Ｓとにより構成しているが、これに限られるものではなく、例えば、ターボ分子ポンプ部Ｔのみで構成したり、ターボ分子ポンプ部Ｔと遠心流型ポンプ等のネジ溝ポンプ以外のポンプのポンプ機構部とにより構成したりすることもできる。上述の実施形態においては、気体混入手段としての連通管８５により、第２の気体としての不活性ガスがターボ分子ポンプ部Ｔへ導入されているが、これに限られるものではなく、第２の気体をターボ分子ポンプ部Ｔとネジ溝ポンプ部Ｓとの連通部や、ネジ溝ポンプ部Ｓや、排気口５２の前の空間部分等、他の部分へ導入してもよい。
　【００３２】
　また、真空ポンプ１の排気口５２から排出される気体を吸引する補助ポンプを備えた場合には、連通管８５を、排気口５２から排出された気体に不活性ガスを混入させ、補助ポンプに吸入させるように配置させてもよい。更に、真空ポンプ１の排気口５２から排出される気体を吸引する補助ポンプを備えた場合には、連通管を備えず、気圧上昇手段として、排気口５２と補助ポンプとの間にバルブを配設し、このバルブの開閉により排気口５２から補助ポンプに吸引される気体を制御して、真空ポンプ１内の気圧を上昇させるようにしてもよい。この場合、バルブの取り付け位置が、気体の流れにおける真空ポンプ１の下流であることにより、バルブからの発塵が、チャンバ９０内に逆流するのが回避される。
　【００３３】
　上述の実施形態においてはロータ軸１８は磁気軸受けにより軸受けされているが、これに限られるものではなく、動圧軸受け、静圧軸受け、その他の軸受けによってもよい。
　【００３４】
　上述の実施形態においては真空ポンプ１は、インナーロータ式のモータを用いているが、アウターロータ式のモータを用いたものとすることもできる。上述の実施形態においては真空ポンプ１の吸入口１６から吸入し移送する第１の気体に混入される第２の気体として不活性ガスを用いているが、第２の気体はこれに限られるものではない。但し、チャンバ９０内に逆流し混入してもチャンバ９０内の反応等に悪影響を及ぼさないものが好ましく、パージガス、及び、窒素や希ガス等の不活性ガスが好ましく用いられる。
　【００３５】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明に係る真空ポンプ及び真空装置によれば、発塵なく気体の吸引排出力を調節することが可能である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の真空ポンプの一実施形態の全体構成の断面を表したものである。
　【図２】
　図１の真空ポンプのロータをロータ翼の上下面に沿って切断した場合の断面斜視図である。
　【図３】
　図１の真空ポンプのステータ翼の一部を表した斜視図である。
　【図４】
　本発明の真空装置の一実施形態の構成を表す概略斜視図である。
　【図５】
　図４の真空装置におけるチャンバ内の圧力の制御系を表すブロック図である。
　【図６】
　真空ポンプの気体移送部内の気圧と、吸入口の気圧との関係を示すグラフである。
　【図７】
　従来の真空ポンプの一例としてのターボ分子ポンプの構成をあらわした断面図である。
　【図８】
　従来の真空装置の概要を表した斜視図である。
　【符号の説明】
　１　真空ポンプ
　１０　外装体
　１１　フランジ
　１６　吸入口
　１８　ロータ軸
　２０　磁気軸受
　３０　モータ
　３１　金属ディスク
　４４　コネクタ
　４５　制御系
　５２　排気口
　６０　ロータ
　６１　ロータ本体
　６２　ロータ翼
　７０　ステータ
　７１　スペーサ
　７２　ステータ翼
　８０　ネジ溝部スペーサ
　８１　ネジ溝
　８５　連通管
　８６　コンダクタンス可変バルブ
　８７　バルブ駆動モータ
　９０　チャンバ
　９１　試料
　９２　ステージ
　９３　駆動機構
　９４　排出口
　９６　コンダクタンス可変バルブ
　９７　圧力センサ
　Ｔ　ターボ分子ポンプ部
　Ｓ　ネジ溝ポンプ部