【事件の表示】
　特許第３０３９６８９号「液体分配装置及び液体分配方法並びに液体分配装置の処理方法」の請求項１ないし５４、５７ないし８７に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０３９６８９号の請求項１ないし５２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許出願　　　　　　　　平成３年１月２９日（パリ条約による優先権主
　　　　　　　　　　　　　張１９９０年１月２９日、米国）
　特許権設定登録（特許第３０３９６８９号「液体分配装置及び液体分配方
　　　　　　　　　法並びに液体分配装置の処理方法」）
　　　　　　　　　　　　　平成１２年３月３日
　特許異議申立て（申立人　世良日一、請求項１〜５４、５７〜８７に対し
　　　　　　　　　）
　　　　　　　　　　　　　平成１２年１１月８日付け
　特許異議申立て（申立人　高橋友之輔、請求項１〜５４、５７〜６０、
　　　　　　　　　６２〜７０、７３〜８２、８４〜８７に対し）
　　　　　　　　　　　　　平成１２年１１月８日付け
　取消理由通知　　　　　　平成１３年９月１０日付け
　訂正請求　　　　　　　　平成１４年３月２２日
　訂正拒絶理由通知　　　　平成１４年４月２５日付け
　手続補正書　　　　　　　平成１４年１１月１１日
　取消理由通知　　　　　　平成１５年６月２４日付け
　訂正請求取下（平成１４年３月２２日付け訂正請求）
　　　　　　　　　　　　　平成１５年７月２日
　訂正請求　　　　　　　　平成１５年７月２日
２．訂正の適否について
　（１）訂正の内容
　訂正事項ア；特許請求の範囲の請求項１を下記のとおり訂正する。
「或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求信号を受信するようになっている制御用のプロセッサ手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、所要時に前記貯蔵器手段へ圧力を加えて前記液体に逆らって作用するための流体圧力手段と、
　前記貯蔵器手段に接続され、前記流体圧力手段が前記液体に逆らって作用する圧力を加えるときに液体の一部を通過させる複数の出口と、
　前記プロセッサ手段によって制御され、前記貯蔵器手段内の液体に圧力を印加するために前記貯蔵器手段に供給される圧力ガスの圧力ガス源とを備え、
　前記プロセッサ手段は、前記要求信号に応答して前記流体圧力手段へ信号を送信し、前記流体圧力手段に前記液体に逆らって作用する圧力を加えさせる液体分配装置であって、
　前記流体圧力手段は、前記圧力を加えるための信号によって動作されるが、前記プロセッサ手段からの第２の信号によって不動作にされ、そして
　前記貯蔵器手段への複数の入口であって、その各々が液体供給源に接続され、前記貯蔵器手段へ前記或る量の液体を供給するための前記入口と、
　各入口と共に含まれ、特定の液体供給源を選択するため各入口が個々に選択され得るように各入口を別々に開閉するための複数の入口弁手段と、
　各出口と共に含まれ、各出口が個々に選択され得るように各出口を別々に開閉するための複数の出口弁手段と、
　前記出口の付近の前記貯蔵器手段に接続されて前記の付近の液体の圧力を検知すると共に、前記プロセッサ手段に接続されて前記出口の付近の液体の圧力を示す圧力信号を前記プロセッサ手段へ送信するための圧力センサとを更に備え、
　各入口弁手段は、前記プロセッサ手段によって別々に制御され、且つ前記プロセッサ手段からの開放信号に応答して開位置に、又、前記プロセッサ手段からの閉成信号に応答して閉位置に動くことができ、
　前記プロセッサ手段は、前記圧力センサにより前記貯蔵器手段の出口の圧力を検出し、前記出口の圧力を一定に保持して前記圧力ガスの圧力を調整し、
　前記複数の出口が同時に開放された場合に、前記出口の圧力に対応した流量率を一定に保持し、
　前記各入口弁手段は、前記プロセッサ手段によって別々に制御され、前記流体圧力手段が不作動にならない限りは開放されず、前記流体圧力手段が不作動の場合のみに再充填を可能とし、
　前記各出口弁手段は、前記プロセッサ手段によって別々に制御され、且つ前記プロセッサ手段からの開放信号によって液体を選択された出口に通すための開位置に、又、第２の閉成信号によって前記選択された出口を通る流路をふさぐ閉位置に動くことができる液体分配装置。」
　訂正事項イ；特許請求の範囲の請求項２を下記のとおり訂正する。
「或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求信号を受信するようになっている制御用のプロセッサ手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、所要時に前記貯蔵器手段へ圧力を加えて前記液体に逆らって作用するための流体圧力手段と、
　前記貯蔵器手段に接続され、前記流体圧力手段が前記液体に逆らって作用する圧力を加えるときに液体の一部を通過させる複数の出口と、
　前記貯蔵器手段に接続され且つ前記出口に隣接して設けられた圧力センサとを備え、
　前記プロセッサ手段は、前記要求信号に応答して前記流体圧力手段へ信号を送信し、前記流体圧力手段に前記液体に逆らって作用する圧力を加えさせる液体分配装置であって、
　前記流体圧力手段は、前記圧力を加えるための信号によって動作されるが、前記プロセッサ手段からの第２の信号によって不動作にされ、そして
　前記貯蔵器手段への複数の入口であって、その各々が液体供給源に接続され、前記貯蔵器手段へ前記或る量の液体を供給するための前記入口と、
　各入口と共に含まれ、特定の液体供給源を選択するため各入口が個々に選択され得るように各入口を別々に開閉するための複数の入口弁手段と、
　前記貯蔵器手段に隣接し、前記貯蔵器手段中の液体レベルを検知するための液体レベルセンサ手段とを更に備え、
　各入口弁手段は、前記プロセッサ手段によって別々に制御され、且つ前記プロセッサ手段からの開放信号に応答して開位置に、又、前記プロセッサ手段からの閉成信号に応答して閉位置に動くことができ、
　前記プロセッサ手段は、前記流体圧力手段が不作動にされて前記貯蔵器手段を前記或る量の液体で満たすときに前記開放信号を選択された入口弁手段へ送信し、前記液体レベルセンサ手段が前記貯蔵器手段中の低い液体レベルを検知するときに前記液体レベルセンサ手段から第１の液体レベル信号を受信するようになっており、前記第１の液体レベル信号に応答して前記開放信号を選択された入口弁手段に送信して前記選択された入口弁手段をその開位置に動かせ且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに前記選択された液体供給源を前記貯蔵器手段に連通させる液体分配装置。」
　訂正事項ウ；特許請求の範囲の請求項５を下記のとおり訂正する。
「前記プロセッサ手段は、更に前記液体レベルセンサ手段が前記貯蔵器手段中の高い液体レベルを検知するときに前記液体レベルセンサ手段から第２の液体レベル信号を受信するようになっており、前記プロセッサ手段は、前記第２の液体レベル信号に応答して第２の充填信号を前記選択された入口弁手段に送信して、前記選択された液体供給源と前記貯蔵器手段との更なる連通をふさぐ前記閉位置へ前記選択された入口弁手段を動かす請求項２の液体分配装置。」
　訂正事項エ；特許請求の範囲の請求項６を下記のとおり訂正する。
「前記貯蔵器手段と前記真空手段の間で前記高い液体レベルよりも上方に配置され、前記プロセッサ手段に接続された液体オーバフローセンサを含む排気インタロック手段を更に備え、前記液体オーバフローセンサは、前記排気インタロック手段の近くの液体を検出するときに前記プロセッサ手段へオーバフロー信号を送信する請求項５の液体分配装置。」
　訂正事項オ；特許請求の範囲の請求項７項を下記のとおり訂正する。
「前記貯蔵器手段と前記出口の間のフィルタ手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御される警報手段と、
　前記フィルタ手段の両端間の圧力低下を検知すると共に、前記流体圧力手段が前記要求信号に応答して作動され且つ液体が前記出口を通して前記貯蔵器手段から分配されるときに、前記フィルタ手段の両端間の圧力低下を示す少なくとも１つのフィルタ信号を発生するための手段とを更に備え、
　前記プロセッサ手段は、前記フィルタ信号を受信してこれを、圧力低下を表す有用な値に変換し、前記有用な値を所定の値と比較し、前者が後者を超えるときに警報作動信号を前記警報手段に送信し、前記警報手段を作動させる請求項１の液体分配装置。」
　訂正事項カ；特許請求の範囲の請求項１２を下記のとおり訂正する。
「前記貯蔵器手段と前記出口の間にフィルタ手段を更に備え、前記圧力センサは、前記フィルタ手段と前記出口の間の下流位置に存在する前記貯蔵器手段に接続される請求項１の液体分配装置。」
　訂正事項キ；特許請求の範囲の請求項１４を下記のとおり訂正する。
「或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求信号を受信するようになっている制御用のプロセッサ手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手段によって受信されるときに前記プロセッサ手段からの第１の信号によって作動され、圧力を前記貯蔵器手段へ加えて前記貯蔵器手段中の液体に逆らって作用し且つ特定量の液体を分配させるための流体圧力手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記流体圧力手段が作動されるときに前記特定量の液体を通過させる出口手段と、
　前記貯蔵器手段に隣接してその中の低い液体レベルを検知し、前記低い液体レベルが検知された低液体レベル信号を前記プロセッサ手段へ送信するためのセンサ手段と、
　液体供給源に接続された前記貯蔵器手段への且つ前記プロセッサ手段によって制御される入口手段とを備え、
　前記流体圧力手段は、前記プロセッサ手段によって制御されて、前記特定量の液体の分配を指示する要求信号が受信されたときに動作し、前記特定量の液体が分配されたときに不動作となり、
　又、前記プロセッサ手段は、前記低液体レベル信号を受信し且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに開放信号を送信して前記入口手段を開き、前記流体圧力手段が不動作の場合に前記貯蔵器手段への入口を開放させることにより、前記貯蔵器手段への再充填を可能にする液体分配装置。」
　訂正事項ク；特許請求の範囲の請求項１８を下記のとおり訂正する。
「或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求信号を受信するようになっている制御用のプロセッサ手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手段によって受信されるときに前記プロセッサ手段からの第１の信号によって作動され、圧力を前記貯蔵器手段へ加えて前記貯蔵器手段中の液体に逆らって作用し且つ特定量の液体を分配させるための流体圧力手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に個々に接続される複数の出口手段と、
　前記貯蔵器手段に隣接してその中の低い液体レベルを検知するセンサ手段と、
　前記貯蔵器手段への複数の入口手段であって、その各々が別々の液体供給源に接続され且つ前記プロセッサ手段によって個別に制御される前記入口手段とを備え、
　前記流体圧力手段は、前記プロセッサ手段によって制御されて、前記特定量の液体の分配を指示する要求信号が受信されたときに動作し、前記特定量の液体が分配されたときに不動作となり、
　前記プロセッサ手段は、前記流体圧力手段が前記液体に逆らって作用する圧力を加えるときに前記特定量の液体が通過する前記出口手段のうちの選択された出力手段を開き且つ前記特定量の液体が前記選択された出口手段を通過したときに前記選択された出口手段を閉じ、前記センサ手段が前記貯蔵器手段中の低い液体レベルを検知するときに前記センサ手段から低液体レベル信号を受信するようになっており、そして前記プロセッサ手段が前記低液体レベル信号を受信し且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに前記入口手段の選択された入口手段を開くための信号を送信する液体分配装置。」
　訂正事項ケ；特許請求の範囲の請求項２０を下記のとおり訂正する。
「前記流体圧力手段は、更に各液体供給源の近くに接続され且つ前記プロセッサ手段によって制御され、前記プロセッサ手段は、前記低液体レベル信号を受信し且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに前記低液体レベル信号に応答して充填信号を前記流体圧力手段へ送信し、これにより前記流体圧力手段に、前記選択された入口手段に存在する前記液体供給源に逆らう圧力を加えさせ、前記液体供給源から前記選択された入口手段を通して前記貯蔵器手段へ液体を供給する請求項１８の液体分配装置。」
　訂正事項コ；特許請求の範囲の請求項２２を下記のとおり訂正する。
「或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求信号を受信するようになっている制御用のプロセッサ手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手段によって受信されるときに前記プロセッサ手段からの第１の信号によって作動され、圧力を前記貯蔵器手段へ加えて前記貯蔵器手段中の液体に逆らって作用し且つ液体を分配させるための流体圧力手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記流体圧力手段が作動されるときに前記液体を通過させる出口手段と、
　前記出口手段の前に存在して、前記出口手段を通過した前記液体を濾過するためのフィルタ手段と、
　前記貯蔵器手段に接続され且つ前記プロセッサ手段によって制御され、前記流体圧力手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの排出信号によって作動されて前記貯蔵器手段中の前記液体に作用している圧力を除くための排出手段と
　を備えた液体分配装置。」
　訂正事項サ；特許請求の範囲の請求項２３を下記のとおり訂正する。
「前記出口手段の近くでおよび前記フィルタ手段の前で前記液体の圧力を検知すると共に、前記プロセッサ手段に接続されて液体が前記出口手段を通過させられるときに前記フィルタ手段の両端間の圧力低下を示す少なくとも１つの圧力信号を前記プロセッサ手段へ送信するための圧力センサを更に含み、前記プロセッサ手段は、前記圧力信号を受信してこれを前記圧力低下を表わす有用な値に変換すると共に、前記有用な値を所定値と比較し、そして更に、前記有用な値が前記所定値を超えるときに前記プロセッサ手段からの警報信号によって作動される警報手段を含む請求項２２の液体分配装置。」
　訂正事項シ；特許請求の範囲の請求項２６〜３１、３５〜４１、４４〜５４、５７〜６４、６７、７１、７２を削除する。
　訂正事項ス；特許請求の範囲の請求項３２を請求項２６とし、その記載を下記のとおり訂正する。
「或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求信号を受信するようになっている制御用のプロセッサ手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手段によって受信されるときに前記プロセッサ手段からの第１の信号によって作動され、圧力を前記貯蔵器手段へ加えて前記貯蔵器手段中の液体に逆らって作用し且つ液体を分配させるための流体圧力手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記流体圧力手段が作動されるときに前記液体を通過させる出口手段と、
　前記貯蔵器手段に接続され且つ前記プロセッサ手段によって制御され、前記流体圧力手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの排出信号によって作動されて前記貯蔵器手段中の前記液体に作用している圧力を除くための排出手段とを備え、
　前記プロセッサ手段は、前記液体が分配されたときに第２の信号を前記流体圧力手段に送信して前記流体圧力手段を不作動にする液体分配装置。」
　訂正事項セ；特許請求の範囲の請求項４２を請求項２９とし、その記載を下記のとおり訂正する。
「プロセッサ手段と、
　或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され、前記貯蔵器手段に接続されてその中の前記或る量の液体を再び満たすための手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され、前記貯蔵器手段に制御されて前記貯蔵器手段からの或る量の液体を分配するための手段とを備え、
　前記プロセッサ手段は、前記分配するための手段が前記プロセッサ手段によって作動されるときに前記再び満たすための手段を不作動にする液体分配装置であって、
　前記再び満たすための手段は、前記プロセッサ手段によって制御される前記貯蔵器手段に接続された入口手段を含み、前記入口手段は、前記貯蔵器手段を再び満たすための液体供給源に更に接続され、前記分配するための手段は、前記プロセッサ手段によって制御される前記貯蔵器手段に接続された真空ベンチュリ手段を更に含み、前記入口手段は、前記プロセッサ手段からの開放信号によって開かれ、前記真空ベンチュリ手段は、前記分配するための手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの再満信号によって作動され、そして前記真空ベンチュリ手段は、作動されたときに前記貯蔵器手段中の低下した圧力により前記液体供給源から前記或る量の液体を引き出し前記入口手段を通して前記貯蔵器手段へ供給させる液体分配装置。」
　訂正事項ソ；特許請求の範囲の請求項４３を請求項３０とし、その記載を下記のとおり訂正する。
「プロセッサ手段と、
　或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され、前記貯蔵器手段に接続されてその中の前記或る量の液体を再び満たすための手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され、前記貯蔵器手段に制御されて前記貯蔵器手段からの或る量の液体を分配するための手段とを備え、
　前記プロセッサ手段は、前記分配するための手段が前記プロセッサ手段によって作動されるときに前記再び満たすための手段を不作動にする液体分配装置であって、
　前記再び満たすための手段は、前記プロセッサ手段によって制御される前記貯蔵器手段に接続された入口手段を含み、前記入口手段は、前記貯蔵器手段を再び満たすための液体供給源に更に接続され、前記分配するための手段は、前記液体供給源に接続された流体圧力手段を更に含み、前記入口手段は、前記プロセッサ手段からの開放信号によって開かれ、前記流体圧力手段は、前記分配するための手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの再満信号によって作動され、そして前記流体圧力手段は、作動されたときに前記液体供給源中の前記液体に逆らう圧力を加えて前記液体供給源から前記或る量の液体を、前記入口手段を通して前記貯蔵器手段へ供給する液体分配装置。」
　訂正事項タ；請求項３３、３４、５５、５６、６８〜７０、７３〜７８、８０、８２、８３における項番号それぞれ請求項２７、２８、３１、３２、３５〜３７、３８〜４３、４５、４７、４８とする。
　訂正事項チ；特許請求の範囲の請求項６５を請求項３３とし、その記載を下記のとおり訂正する。
「或る量の液体を分配する方法であって、
　要求信号をマイクロプロセッサで受信するステップと、
　前記要求信号が前記マイクロプロセッサで受信されるときに、前記マイクロプロセッサによって発生された分配信号に応答して貯蔵器手段から特定量の液体を分配するステップと、
　前記液体のレベルが前記貯蔵器手段の所定の低い液体レベルを下回るときに低液体レベル信号を前記マイクロプロセッサで受信するステップと、
　前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサで受信されるときに前記要求信号に応答して前記貯蔵器手段から特定量の液体を分配し続けるステップと、
　前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサで受信された後に起こる分配のため空カウントを１だけ増すステップと、
　前記空カウントの制限値を超えたかを検査するステップと、
　前記空カウントの制限値を超えたときに前記分配するステップを許可しないステップと、
　前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサで受信され且つ液体が前記貯蔵器手段から分配されていないときに、前記マイクロプロセッサによって発生された充填信号に応答して前記貯蔵器手段を再び満たすステップと
　を含む液体分配方法。」
　訂正事項ツ；特許請求の範囲の請求項６６を請求項３４とし、その記載を下記のとおり訂正する。
「測定された量で液体を分配する液体分配方法であって、
　測定された液体量を分配するための既知の圧力下で液体を分配するために、分配手段と関連して所定期間だけ開放される出口を介して貯蔵器手段から分配される液体を前記貯蔵器手段に充填するステップと、
　分配が要求された場合に前記貯蔵器手段内の液体に圧力を印加するステップと、
　前記貯蔵器手段から流れる液体を前記出口においてフィルタにより濾過するステップと、
　前記貯蔵器手段の出口における液体の圧力を前記フィルタの下流側で監視するステップと、
　前記貯蔵器手段の出口における予め選択された液体圧力を予め選択された耐圧内に維持するために、分配要求中に液体に印加される圧力を調整するステップと、
　前記貯蔵器手段中の低い液体レベルを示す低液体レベル信号をマイクロプロセッサに送信するステップと、
　前記低液体レベル信号を前記マイクロプロセッサ内で受信するステップと、
　前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサによって受信され且つ液体分配ステップが働いていないときに前記マイクロプロセッサによって発生された再満信号に応答して前記貯蔵器手段に接続された入口を開き、且つ前記入口が開いているときに前記入口に存在する液体供給源から液体を前記貯蔵器手段に再び満たすステップと
　を含む液体分配方法。」
　訂正事項テ；特許請求の範囲の請求項７９を請求項４４とし、その記載を下記のとおり訂正する。
「貯蔵器手段と、
　コントローラの制御下で前記貯蔵器手段内の液体に圧力を印加するために前記貯蔵器手段に供給される圧力ガスの圧力ガス源と、
　分配手段と関連して所要量の液体を測定するための所定期間だけ開放される前記貯蔵器手段内の出口と、
　前記貯蔵器手段に液体を再び満たすための補充サイクル、ガス抜きサイクル、液体を分配するための通常の分配サイクルを含むコントローラ処理と
　を有する液体分配装置の処理方法において、
　前記分配サイクルは、
　分配要求に応答して前記貯蔵器手段内の液体に圧力ガスを印加するステップと、
　前記出口における液体の圧力を監視するステップと、
　前記出口における液体の圧力を所定の耐圧内に維持するために、前記液体上の気体圧力を調整するステップとを含み、
　前記補充サイクルは、分配要求が無い場合のみに起動し、再充填用の指示がある場合に再充填源から前記貯蔵器手段に液体を再び満たすステップを含み、
　前記ガス抜きサイクルは、
　分配要求が無い場合に前記液体上の気体圧力を所定圧力レベルよりも小さい圧力に減圧するステップと、
　前記貯蔵器手段内の液体に再び圧力を印加するための分配要求の指示の受信を待機するステップとを含み、
　前記所定圧力レベルは、前記液体内の気泡の可能性を実質的に減ずる圧力レベルである液体分配装置の処理方法。」
　訂正事項ト；特許請求の範囲の請求項８１を請求項４６とし、その記載を下記のとおり訂正する。
「前記補充サイクルは、前記貯蔵器手段内に真空圧力を生成して液体供給源から前記貯蔵器手段内に液体を吸引するステップを含む請求項４４の液体分配装置の処理方法。」
　訂正事項ナ；特許請求の範囲の請求項８４を請求項４９とし、その記載を下記のとおり訂正する。
「前記ガス抜きサイクルは、
　前記液体上の圧力が減少した場合に前記分配手段の分配を不可能にするステップと、
　前記貯蔵器手段内の液体に圧縮ガスを再び印加するための分配要求の受信を待機するステップと
　を更に含む請求項４８の液体分配装置の処理方法。」
　訂正事項ニ；特許請求の範囲の請求項８５を請求項５０とし、その記載を下記のとおり訂正する。
「前記ガス抜きサイクル中に前記液体上の気体圧力を減圧するステップは、分配要求の中断後であって前記貯蔵器手段を再充填するための指示が無い場合に初期起動される請求項４４の液体分配装置の処理方法。」
　訂正事項ヌ；特許請求の範囲の請求項８６を請求項５１とし、その記載を下記のとおり訂正する。
「前記ガス抜きサイクル中に所定圧力よりも低い圧力に減圧するステップは、前記圧力を大気圧に減圧するステップを含む請求項４４の液体分配装置の処理方法。」
　訂正事項ネ；特許請求の範囲の請求項８７を請求項５２とし、その記載を下記のとおり訂正する。
「前記ガス抜きサイクル中に所定圧力レベルよりも低い圧力に減圧するステップは、前記気体圧力を大気圧よりも低い圧力に減圧するステップを含む請求項４４の液体分配装置の処理方法。」
　訂正事項ノ；明細書［０００６］の「圧力調整器」を、「圧力調整器（流体圧力手段、即ちポンプ手段）」と訂正する。
　訂正事項ハ；明細書［０００７］の「圧力検知手段」を「圧力センサ」と訂正し、［００１１］［００５１］〜［００５３］、［００７１］中の「越え」を、それぞれ「超え」（各請求項中の表記）に統一し、［００１３］の「オーバフロー検知手段」を「オーバフローセンサ」と訂正する。
　訂正事項ヒ；明細書［００１９］の「コントローラ１０」を「コントローラ１４」と訂正する。
　訂正事項フ；明細書［００２７］の「導管５０、５２及び５４を経由してそれぞれ後述する」を、「導管５０、５２及び５４を経由して、それぞれ後述するように、」と訂正する。
　訂正事項ヘ；明細書［００５１］の「フィルタ４０」を「フィルタ８２」に訂正する。
　訂正事項ホ；明細書［００５５］の「図１０内にブロック１２６・・・呼び出し、」を「ブロック１２６・・・呼び出し、図１０内の」と訂正する。
　訂正事項マ；明細書［００５６］の「無効する」を「無効にする」と訂正し、［００５７］の「調整器１２」を「貯臓器１２」に訂正し、［００５８］の「コントローラ１４は、ブロック１８４で示すように」を「コントローラ１４は、ブロック１８６で示すように」に訂正し、［００６５］の［圧力センサ３０で検出される圧力」を「圧力センサ４６で検出される圧力」に訂正し、［００７２］の「コントローラ１１４はまずブロック２４７で示すように」を「コントローラ１４はまずブロック２４７で示すように」に訂正する。
　（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項アについて；
　　訂正事項アにおいて、「制御用プロセッサ手段」、「少なくとも１つの出口」、「少なくとも１つの入口」、「前記量」、「入口弁手段」、「出口弁手段」、「圧力検知手段」及び「各出口弁手段」をそれぞれ「制御用のプロセッサ手段」、「複数の出口」、「複数の入口」、「前記或る量」、「複数の入口弁手段」、「複数の出口弁手段」、「圧力センサ」及び「前記各出口弁手段」と訂正することは明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、また、「前記プロセッサ手段によって制御され、前記貯蔵器手段内の液体に圧力を印加するために前記貯蔵器手段に供給される圧力ガスの圧力ガス源と」の事項は明細書の段落００３２、００７３の記載に基づき、「前記圧力センサにより前記貯蔵器手段の出口の圧力を検出し、前記出口の圧力を一定に保持して前記圧力ガスの圧力を調整し、」の事項は明細書の段落００６５の記載に基づき、「前記複数の出口が同時に開放された場合に、前記出口の圧力に対応した流量率を一定に保持し、」の事項は明細書の段落００６０の記載に基づき、「前記各入口弁手段は、前記プロセッサ手段によって別々に制御され、前記流体圧力手段が不作動にならない限りは開放されず、前記流体圧力手段が不作動の場合のみに再充填を可能とし、」の事項は明細書の段落００４９、００５６の記載に基づき、それぞれ付加されたものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とした訂正に該当し、これら訂正は、いずれも、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項イについて；
　　訂正事項イにおいて、「制御用プロセッサ手段」、「少なくとも１つの出口」、「少なくとも１つの入口」、「前記量」及び「入口弁手段」をそれぞれ「制御用のプロセッサ手段」、「複数の出口」、「複数の入口」、「前記或る量」及び「複数の入口弁手段」と訂正することは明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、また、「前記貯蔵器手段に接続され且つ前記出口に隣接して設けられた圧力センサ」の事項は、明細書の段落００３７、００３８の記載に基づき付加されたものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とした訂正に該当し、これら訂正は、いずれも、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項ウについて；
　　訂正事項ウにおいて、「・・・入口弁手段に送信して前記選択された液体供給源・・・」及び「前記貯蔵器手段の連通を更にふさぐ」をそれぞれ「・・・入口弁手段に送信して、前記選択された液体供給源・・・」及び「前記貯蔵器手段との更なる連通をふさぐ」と訂正することは、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項エについて；
　　訂正事項エにおいて、「液体オーバーフロー検知手段」を「液体オーバーフローセンサ」と訂正することは、明細書の段落００２８の記載に基づき用語の統一を図るもので、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項オについて；
　　訂正事項オにおいて、「前記フィルタ手段を横切る圧力低下」を「前記フィルタ手段の両端間の圧力低下」と訂正することは、明細書の段落００５０の記載に基づくもので、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項カについて；
　　訂正事項カにおいて、「圧力検知手段」を「圧力センサ」と訂正することは、明細書の段落００２６の記載に基づき用語の統一を図るもので、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項キについて；
　　訂正事項キにおいて、「制御用プロセッサ手段」を「制御用のプロセッサ手段」と訂正することは明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、さらに、「前記プロセッサ手段は、前記特定量の液体が分配されるときに第２の信号を前記流体圧力手段に送信して前記流体圧力手段を不作動にし、又、前記プロセッサ手段が前記低液体レベル信号を受信し且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに開放信号を送信して前記入口手段を開く液体分配装置。」を「前記流体圧力手段は、前記プロセッサ手段によって制御されて、前記特定量の液体の分配を指示する要求信号が受信されたときに動作し、前記特定量の液体が分配されたときに不動作となり、又、前記プロセッサ手段は、前記低液体レベル信号を受信し且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに開放信号を送信して前記入口手段を開き、前記流体圧力手段が不動作の場合に前記貯蔵器手段への入口を開放させることにより、前記貯蔵器手段への再充填を可能にする液体分配装置。」と訂正することは、明細書の段落００２３、００５６、００６０の記載に基づき記載の明確化を図るもので、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、それぞれ願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項クについて；
　　訂正事項クにおいて、「制御用プロセッサ手段」、「液体圧力手段」、「少なくとも１つの出口手段および「少なくとも１つの入口手段」」をそれぞれ「制御用のプロセッサ手段」、「流体圧力手段」、「複数の出口手段」および「複数の入口手段」と訂正することは明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、さらに、「前記プロセッサ手段は、前記特定量の液体が分配されるときに第２の信号を前記流体圧力手段に送信して前記流体圧力手段を不作動にし、前記流体圧力手段が・・・」を「前記流体圧力手段は、前記プロセッサ手段によって制御されて、前記特定量の液体の分配を指示する要求信号が受信されたときに動作し、前記特定量の液体が分配されたときに不動作となり、前記プロセッサ手段は、前記流体圧力手段が」と訂正することは、明細書の段落００５６、００６０の記載に基づき記載の明確化を図るもので、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、それぞれ願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項ケについて；
　　訂正事項ケにおいて、「前記流体圧力手段は更に」を「前記流体圧力手段は、更に」と訂正することは、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項コについて；
　　訂正事項コにおいて、「制御用プロセッサ手段」を「制御用のプロセッサ手段」、「前記液体圧力手段」を「前記流体圧力手段」と訂正することは、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項サについて；
　　訂正事項サにおいて、「且つ」を「および」、「圧力検知手段」を「圧力センサ」と訂正することは、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項シについて；
　　請求項を削除することは、特許請求の範囲の減縮を目的とした訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項スについて；
　　訂正事項スにおいて、「制御用プロセッサ手段」を「制御用のプロセッサ手段」と訂正することは、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項セ、ソについて；
　　訂正事項セ、ソにおいて、「前記量」を「前記或る量」と訂正することは、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項タについて；
　　当該訂正は、他の請求項の削除等に伴って旧請求項３３、３４、５５、５６、６８〜７０、７３〜７８、８０、８２、８３の項番号を整理するものであって、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項チについて；
　　訂正事項チにおいて、「前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサで受信された後に起こる分配のためアキュームレータを１だけ増すステップと、前記アキュームレータを前記貯蔵器手段の所定の空カウントと比較するステップと、前記アキュームレータが前記貯蔵器手段の前記所定の空カウントを超えるときに前記分配するステップを停止させるステップと、」を「前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサで受信された後に起こる分配のため空カウントを１だけ増すステップと、前記空カウントの制限値を超えたかを検査するステップと、前記空カウントの制限値を超えたときに前記分配するステップを許可しないステップと」と訂正することは、明細書の段落０００９、００５１、００５２の記載に基づき記載の明確化を図るもので、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、それぞれ願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項ツについて；
　　訂正事項ツにおいて、「前記貯蔵器手段中の低い液体レベルを示す低液体レベル信号をマイクロプロセッサに送信するステップと、前記低液体レベル信号を前記マイクロプロセッサ内で受信するステップと、前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサによって受信され且つ液体分配ステップが働いていないときに前記マイクロプロセッサによって発生された再満信号に応答して前記貯蔵器手段に接続された入口を開き、且つ前記入口が開いているときに前記入口に存在する液体供給源から液体を前記貯蔵器手段に再び満たすステップと」の事項は明細書の段落００４８、００７２の記載に基づき付加されたものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とした訂正に該当し、これら訂正は、いずれも、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項テについて；
　　訂正事項テにおいて、「・・補充サイクル、アイドルサイクル、および、液体を分配するための分配サイクルを含む・・・」を「・・補充サイクル、ガス抜きサイクル、液体を分配するための通常の分配サイクルを含む・・・」、「前記補充サイクルは、再充填用の指示・・・」を「前記補充サイクルは、分配要求が無い場合のみに起動し、再充填用の指示・・・」および「前記アイドルサイクル」を「前記ガス抜きサイクル」と訂正することは、明細書の段落００４２、００６２、００６３の記載に、また、「分配される液体量の測定精度を低減する前記液体内の圧力ガスの重量」を「前記液体内の気泡の」と訂正することは、明細書の段落０００２、０００８、００６１〜００６４の記載に基づき記載の明確化を図るもので、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、それぞれ願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項トについて；
　　訂正事項トにおいて、「前記補充サイクルは、分配要求が無い場合のみに起動し、前記貯蔵手段内・・・」を「前記補充サイクルは、前記貯蔵手段内・・・」および「液体源」を「液体供給源」と訂正することは、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、それぞれ願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項ナ〜ネについて；
　　訂正事項ナ〜ネにおいて、「前記アイドルサイクル」、を「前記ガス抜きサイクル」と訂正することは、明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　訂正事項ノ〜ホについて；
　　訂正事項ノ〜ホの訂正は、それぞれ誤記の訂正又は明りょうでない記載の釈明を目的とした訂正に該当し、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、また、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではない。
　（３）むすび
　したがって、上記各訂正は、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについての判断
　（１）申立て理由の概要
　　　ア．特許異議申立人　世良日一　は、下記の甲第１〜２０号証を提出し、請求項１〜５４、５７〜７０、７３〜８７に係る発明の特許は、甲第１〜１９号証により、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、請求項３５に係る発明の特許は、甲第２０号証により、同法第２９条の２の規定に違反してなされたものであり、また、請求項１４、１８、２６、２８、３２、４２、４３、４６、７１、７２、７９に係る発明の特許は、その明細書が同法第３６条第４項及び第５項の規定に適合していない出願になされたものであるから、これら特許は取り消すべき旨主張している。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　刊行物１：実願昭５７−１０８９５７号（実開昭５９−１５４３２号公報
　　　　　　）のマイクロフィルム（甲第１号証）
　刊行物２：実願昭６０−１２８９２６号（実開昭６２−３７９２３号公報
　　　　　　）のマイクロフィルム（甲第２号証）
　刊行物３：特開昭６２−１７１１２４号公報（甲第３号証）
　刊行物４：特開昭６１−１６４９９８号公報（甲第４号証）
　刊行物５：特開昭６３−１５８１１２号公報（甲第５号証）
　刊行物６：特開昭６３−２０９７１６号公報（甲第６号証）
　刊行物７：特開昭６１−１２５４２９号公報（甲第７号証）
　刊行物８：特開昭５８−１５７４３５号公報（甲第８号証）
　刊行物９：特開昭６３−１６６４０７号公報（甲第９号証）
　刊行物１０：特開昭６０−１５６０６２号公報（甲第１０号証）
　刊行物１１：特開昭６３−３０５９０７号公報（甲第１１号証）
　刊行物１２：特開昭６１−２７０８３２号公報（甲第１２号証）
　刊行物１３：特開昭６３−７６３２７号公報（甲第１３号証）
　刊行物１４：特開昭５８−１０１７３２号公報（甲第１４号証）
　刊行物１５：特開昭６３−１１９８７７号公報（甲第１５号証）
　刊行物１６：実願昭６２−２２４８７号（実開昭６３−１３０１８３号公
　　　　　　　報）のマイクロフィルム）
　刊行物１７：特開昭６４−５７７９３号公報（甲第１７号証）
　刊行物１８：特開昭６３−２３２４３１号公報（甲第１８号証）
　刊行物１９：特開昭６０−６１０１１号公報（甲第１９号証）
　刊行物２０：特開平２−２７７５３８号公報（甲第２０号証）
　　　イ．特許異議申立人　高橋友之輔　は、下記の甲第１〜１７号証及び参考資料１〜３を提出し、請求項１〜５４、５７〜６０、６２〜７０、７３〜８２、８４〜８７に係る発明の特許は、甲第１〜１７号証により、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、これら特許は取り消すべき旨主張している。
　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　刊行物２１：特開昭６３−９７２２２号公報（甲第１号証）
　刊行物２２：特開昭６３−９０３５５号公報（甲第２号証）
　刊行物２３：特開昭５７−６３８３０号公報（甲第３号証）
　刊行物２４：特開昭６２−１２１６７０号公報（甲第４号証）
　刊行物２５：実願昭５９−１０６１３２号（実開昭６１−２５６０８号公
　　　　　　　報）のマイクロフィルム（甲第５号証）
　刊行物２６：実願昭６０−１２８９２６号（実開昭６２−３７９２３号公
　　　　　　　報）のマイクロフィルム（甲第６号証）
　刊行物２７：特開昭６２−９３５００号公報（甲第７号証）
　刊行物２８：特開昭６１−１２５４２９号公報（甲第８号証）
　刊行物２９：特開昭５８−１５７４３５号公報（甲第９号証）
　刊行物３０：実願昭５７−６４４８８号（実開昭５８−１６６８２０号公
　　　　　　　報）のマイクロフィルム（甲第１０号証）
　刊行物３１：特開昭６２−１８３１２０号公報（甲第１１号証）
　刊行物３２：特開昭６１−１９０４９３号公報（甲第１２号証）
　刊行物３３：実願昭６２−２２４８７号（実開昭６３−１３０１８３号公
　　　　　　　報）のマイクロフィルム（甲第１３号証）
　刊行物３４：特開昭６３−７６３２７号公報（甲第１４号証）
　刊行物３５：特開昭６３−２５９３１７号公報（甲第１５号証）
　刊行物３６：実願昭５６−９８２３３号（実開昭５８−５０３９号公報）
　　　　　　　のマイクロフィルム（甲第１６号証）
　刊行物３７：特開昭５６−１００６１０号公報（甲第１７号証）
　刊行物３８：特開昭６１−２１７５８号公報（参考資料−１）
　刊行物３９：特開昭６２−２５１３９９号公報（参考資料−２）
　刊行物４０：特開平　１−２１５４７２号公報（参考資料−３）
　
　（２）本件発明
　　　上記２．で示した訂正が認められるから、本件発明は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし３０、３３ないし５２に記載されるとおりのもの（以下、「本件発明１」、「本件発明２」、「本件発明３」・・・・・「本件発明５２」などという。）である。
　
　（３）当審の判断
〈特許法第３６条第４項及び第５項違反について〉
　請求項１４について；
　　請求項１４は、明りょうでない記載の釈明を目的とした上記訂正事項キの訂正がなされているので、その記載に不備は認められない。
　請求項１８について；
　　請求項１８は、明りょうでない記載の釈明を目的とした上記訂正事項クの訂正がなされているので、その記載に不備は認められない。
　請求項２６（訂正前請求項３２）について；
　　特許異議申立人　世良日一　は、『構成要件３２ｆ・・・「・・・液体が分配されたときに第２の信号を前記流体圧力手段に送信して前記流体圧力手段を不作動にする」と記載されておりますが、「流体圧力手段」が不作動であると、液体を分配することができないと思料されますから、かかる点において、構成要件３２ｆの記載は意味が不明であり、請求項３２（「訂正後請求項２６」：当審注）は、その記載が不備であって特許法第３６条に規定された要件を満たしておらず、本来特許されるべきものではないと思料されます。』と主張しているが、当該請求項２６に係る発明は、液体分配の開始のときに、第１の信号を流体圧力手段に送信して該流体圧力手段を動作し、液体分配の終了のときに、第２の信号を流体圧力手段に送信して該流体圧力手段を不作動にするものであることは明らかであるから、構成要件３２ｆの記載事項「液体が分配されたとき」とは「液体分配の終了のとき」を意味していることは明らかであって、特許異議申立人の主張は認められない。
　請求項２９（訂正前請求項４２）について；
　　特許異議申立人　世良日一　は、『「４２ｈ前記分配するための手段は、前記プロセッサ手段によって制御される前記貯蔵器手段に接続された真空ベンチュリ手段を更に含み、」でありますが、「真空ベンチュリ手段」を用いて液体の分配を行うことは、本件明細書の発明の詳細な説明中のどこにも記載されておりませんから、かかる点において、請求項４２（「訂正後請求項２９」：当審注）の発明に関する明細書の記載は不備であり、かかる点からも請求項４２の発明は本来特許されるべきものではないと思料されます。』と主張しているが、当該請求項２９に係る発明は、その特定事項「前記真空ベンチュリ手段は、前記分配するための手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの再満信号によって作動され、そして前記真空ベンチュリ手段は、作動されたときに前記貯蔵器手段中の低下した圧力により前記液体供給源から前記或る量の液体を引き出し前記入口手段を通して前記貯蔵器手段へ供給させる」から明らかなように、液体の分配を行うものではなく、液体供給源から貯蔵器手段へ液体の補充を行うものである。そして、この点については、本件明細書の発明の詳細な説明中の段落００３０、００３１に明記されている。したがって、特許異議申立人の主張は認められない。
　請求項３０（訂正前請求項４３）について；
　　特許異議申立人　世良日一　は、『ここで、４３ｈでは「分配するための手段」が「流体圧力手段」を含んでいると記載されているにもかかわらず、４３ｊでは「分配するための手段」が不作動であるときに「流体圧力手段」が作動されると明らかに矛盾した記載があり、かかる点で請求項４３（「訂正後請求項３０」：当審注）は、その記載が不備であり、かかる点からも請求項４３は本来特許されるべきものではないと思料されます。』と主張しているが、当該請求項３０に係る発明は、その特定事項「前記分配するための手段は、前記液体供給源に接続された流体圧力手段を更に含み、前記入口手段は、前記プロセッサ手段からの開放信号によって開かれ、前記流体圧力手段は、前記分配するための手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの再満信号によって作動され、そして前記流体圧力手段は、作動されたときに前記液体供給源中の前記液体に逆らう圧力を加えて前記液体供給源から前記或る量の液体を、前記入口手段を通して前記貯蔵器手段へ供給する」から明らかなように、「分配するための手段」が不作動であるときに「流体圧力手段」が作動される構成を特定していることは明らかであるから、特許異議申立人の主張は認められない。
　請求項４４（訂正前請求項７９）について；
　　請求項４４は、明りょうでない記載の釈明を目的とした上記訂正事項テの訂正がなされているので、その記載に不備は認められない。
　なお、訂正前請求項２６、２８、４６、７１、７２は、上記訂正事項シに示されるとおり削除されているので、検討していない。
〈特許法第２９条の２項違反について〉
　　訂正前請求項３５は、上記訂正事項シに示されるとおり削除されているので、検討していない。
〈特許法第２９条第２項違反について〉
　本件発明１について；
　　上記刊行物１ないし１９、２１ないし４０のいずれにも本件発明１が具備する構成「前記各入口弁手段は、前記プロセッサ手段によって別々に制御され、前記流体圧力手段が不作動にならない限りは開放されず、前記流体圧力手段が不作動の場合のみに再充填を可能とし、」については、記載も示唆もされていない。そして、本件発明１は、当該構成を有することにより、明細書記載の作用効果を有するものと認められる。したがって、本件発明１は、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　なお、上記刊行物１（甲第１号証：特許異議申立人世良日一による）には、液面計２８により試薬１（液体に相当）の下限量以下が検出されると、制御盤３６（プロセッサ手段に相当）が電磁弁７（入口弁手段に相当）を開き、かつ電磁三方弁４５が切換って加熱用圧力容器（貯蔵器手段に相当）が排気管４６に連通され、貯留用ボンベ２（液体供給源に相当）に対し窒素源３８（圧力ガス源に相当）から窒素（圧力ガスに相当）が供給されて試薬１が加熱用圧力容器５に圧送されることが記載されている。つまり、液面計２８が下限量以下を検出した時は、常に、電磁弁７が開いて試薬１を加熱用圧力容器５に供給するものである。また、上記刊行物２５（甲第５号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、容器１１（貯蔵器手段に相当）内の水位が減少して第２のレベルセンサー１２ｂが働くと、制御器２１（プロセッサ手段に相当）はエア弁１３（入口弁手段に相当）を開き、容器１１に純水（液体に相当）を供給し、一方、容器１１内の純水はポンプ１５（流体圧力手段に相当）により機器８ａへ供給されることが記載されている。しかしながら、エア弁１３の開放はポンプ１５の不作動とは関連していない。これに対し、本件発明１のものでは、「前記各入口弁手段は、・・・前記流体圧力手段が不作動にならない限りは開放されず、前記流体圧力手段が不作動の場合のみに再充填を可能とし、」というものである。つまり、流体圧力手段による液体の分配中のときには、再充填の必要性が生じても直ちに再充填を開始するものではない。
　本件発明７ないし１３について；
　　本件発明７ないし１３は、そのいずれもが本件発明１の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当するから、上記「本件発明１について」で示したと同様の理由により、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　本件発明２について；
　　上記刊行物１ないし１９、２１ないし４０のいずれにも本件発明２が具備する構成「前記液体レベルセンサ手段が前記貯蔵器手段中の低い液体レベルを検知するときに前記液体レベルセンサ手段から第１の液体レベル信号を受信するようになっており、前記第１の液体レベル信号に応答して前記開放信号を選択された入口弁手段に送信して前記選択された入口弁手段をその開位置に動かせ且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに前記選択された液体供給源を前記貯蔵器手段に連通させる」については、記載も示唆もされていない。そして、本件発明２は、当該構成を有することにより、明細書記載の作用効果を有するものと認められる。したがって、本件発明２は、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　なお、上記刊行物１（甲第１号証：特許異議申立人世良日一による）には、液面計２８（液体レベルセンサ手段に相当）の浮子３２が下限まで下がり、下側のリードスイッチ２９ａがオンとなって（低い液体レベルを検知に相当）、それに伴い制御盤３６（プロセッサ手段に相当）が電磁弁７（入口弁手段に相当）を開き、かつ電磁三方弁４５が切換って加熱用圧力容器（貯蔵器手段に相当）が排気管４６に連通され、貯留用ボンベ２（液体供給源に相当）に対し窒素源３８から窒素が供給されて試薬１（液体に相当）が加熱用圧力容器５に圧送されることが記載されている。つまり、液面計２８が低い液体レベルを検出した時は、常に、電磁弁７が開いて試薬１を加熱用圧力容器５に供給するものである。また、上記刊行物２５（甲第５号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、容器１１（貯蔵器手段に相当）内の水位が減少して第２のレベルセンサー１２ｂ（液体レベルセンサに相当）が働く（低い液体レベルを検知に相当）と、制御器２１（プロセッサ手段に相当）はエア弁１３（入口弁手段に相当）を開き、容器１１に純水（液体に相当）を供給し、一方、容器１１内の純水はポンプ１５（流体圧力手段に相当）により機器８ａへ供給されることが記載されている。しかしながら、エア弁１３の開放はポンプ１５の不作動とは関連していない。これに対し、本件発明２のものでは、「前記液体レベルセンサ手段が前記貯蔵器手段中の低い液体レベルを検知するときに・・・・・入口弁手段をその開位置に動かせ且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに前記選択された液体供給源を前記貯蔵器手段に連通させる」というものである。つまり、流体圧力手段による液体の分配中のときには、第１の液体レベル信号が発生しても直ちに液体供給源を貯蔵器手段に連通させるものではない。
　本件発明３ないし６について；
　　本件発明３ないし６は、そのいずれもが本件発明２の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当するから、上記「本件発明２について」で示したと同様の理由により、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　本件発明１４について；
　　上記刊行物１ないし１９、２１ないし４０のいずれにも本件発明１４が具備する構成「前記プロセッサ手段は、前記低液体レベル信号を受信し且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに開放信号を送信して前記入口手段を開き、前記流体圧力手段が不動作の場合に前記貯蔵器手段への入口を開放させることにより、前記貯蔵器手段への再充填を可能にする」については、記載も示唆もされていない。そして、本件発明１４は、当該構成を有することにより、明細書記載の作用効果を有するものと認められる。したがって、本件発明１４は、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　なお、上記刊行物１（甲第１号証：特許異議申立人世良日一による）には、液面計２８（センサ手段に相当）の浮子３２が下限まで下がり、下側のリードスイッチ２９ａがオンとなって（低い液体レベルを検知に相当）、それに伴い制御盤３６（プロセッサ手段に相当）が電磁弁７（入口弁手段に相当）を開き、かつ電磁三方弁４５が切換って加熱用圧力容器（貯蔵器手段に相当）が排気管４６に連通され、貯留用ボンベ２（液体供給源に相当）に対し窒素源３８から窒素が供給されて試薬１（液体に相当）が加熱用圧力容器５に圧送されることが記載されている。つまり、液面計２８が低い液体レベルを検出した時は、常に、電磁弁７が開いて試薬１を加熱用圧力容器５に供給するものである。また、上記刊行物２５（甲第５号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、容器１１（貯蔵器手段に相当）内の水位が減少して第２のレベルセンサー１２ｂ（センサ手段に相当）が働くと、制御器２１（プロセッサ手段に相当）はエア弁１３（入口手段に相当）を開き、容器１１に純水（液体に相当）を供給し、一方、容器１１内の純水はポンプ１５（流体圧力手段に相当）により機器８ａへ供給されることが記載されている。しかしながら、エア弁１３の開放はポンプ１５の不作動とは関連していない。さらに、刊行物２４（甲第４号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、センサ手段については一切記載されていない。これに対し、本件発明１４のものでは、「前記プロセッサ手段は、前記低液体レベル信号を受信し且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに開放信号を送信して前記入口手段を開き、前記流体圧力手段が不動作の場合に前記貯蔵器手段への入口を開放させることにより、前記貯蔵器手段への再充填を可能にする」というものである。つまり、流体圧力手段による液体の分配中のときには、低液体レベル信号が発生しても直ちに貯蔵器手段への再充填を開始するものではない。
　本件発明１５ないし１７について；
　　本件発明１５ないし１７は、そのいずれもが本件発明１４の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当するから、上記「本件発明１４について」で示したと同様の理由により、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　本件発明１８について；
　　上記刊行物１ないし１９、２１ないし４０のいずれにも本件発明１８が具備する構成「前記プロセッサ手段が前記低液体レベル信号を受信し且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに前記入口手段の選択された入口手段を開くための信号を送信する」については、記載も示唆もされていない。そして、本件発明１８は、当該構成を有することにより、明細書記載の作用効果を有するものと認められる。したがって、本件発明１８は、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　なお、上記刊行物１（甲第１号証：特許異議申立人世良日一による）には、液面計２８（センサ手段に相当）の浮子３２が下限まで下がり、下側のリードスイッチ２９ａがオンとなって（低い液体レベルを検知に相当）、それに伴い制御盤３６（プロセッサ手段に相当）が電磁弁７（入口手段に相当）を開き、かつ電磁三方弁４５が切換って加熱用圧力容器（貯蔵器手段に相当）が排気管４６に連通され、貯留用ボンベ２（液体供給源に相当）に対し窒素源３８から窒素が供給されて試薬１（液体に相当）が加熱用圧力容器５に圧送されることが記載されている。つまり、液面計２８が低い液体レベルを検出した時は、常に、電磁弁７が開いて試薬１を加熱用圧力容器５に供給するものである。また、上記刊行物２５（甲第５号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、容器１１（貯蔵器手段に相当）内の水位が減少して第２のレベルセンサー１２ｂ（センサ手段に相当）が働くと、制御器２１（プロセッサ手段に相当）はエア弁１３（入口手段に相当）を開き、容器１１に純水（液体に相当）を供給し、一方、容器１１内の純水はポンプ１５（流体圧力手段に相当）により機器８ａへ供給されることが記載されている。しかしながら、エア弁１３の開放はポンプ１５の不作動とは関連していない。さらに、刊行物２４（甲第４号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、センサ手段については一切記載されていない。これに対し、本件発明１８のものでは、「前記プロセッサ手段が前記低液体レベル信号を受信し且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに前記入口手段の選択された入口手段を開くための信号を送信する」というものである。つまり、流体圧力手段による液体の分配中のときには、低液体レベル信号が発生しても直ちに選択された入口手段を開くための信号を送信するものではない。
　本件発明１９ないし２１について；
　　本件発明１９ないし２１は、そのいずれもが本件発明１８の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当するから、上記「本件発明１８について」で示したと同様の理由により、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　本件発明２２、２６について；
　　上記刊行物１ないし１９、２１ないし４０のいずれにも本件発明２２、２６が具備する構成「前記貯蔵器手段に接続され且つ前記プロセッサ手段によって制御され、前記流体圧力手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの排出信号によって作動されて前記貯蔵器手段中の前記液体に作用している圧力を除くための排出手段」については、記載も示唆もされていない。そして、本件発明２２、２６は、当該構成を有することにより、明細書記載の作用効果を有するものと認められる。したがって、本件発明２２、２６は、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　なお、上記刊行物１４（甲第１４号証：特許異議申立人世良日一による）には、タンク１（貯蔵器手段に相当）の薬液（液体に相当）を使い切ると、空検知器３が作動し、制御線１６と電源１３間の回路は断となり、制御線１６’に電源１３が接続されて、加圧弁６−１が閉じ、放出弁６−２が開くことが記載されている。つまり、空検知器３が作動すると、自動的に加圧弁６−１を閉じ、放出弁６−２を開くものである。また、上記刊行物１５（甲第１５号証：特許異議申立人世良日一による）にはタンクＰＴ１（貯蔵器手段に相当）内の液体ＤＬ（液体に相当）のレベルが下限Ｌｄにくると、レベルセンサ８が働き電気制御盤３５（プロセッサ手段に相当）により三方切換ソレノイド５を閉じてタンク内のエアを大気中に排気（ｂ）することが記載されている。つまり、レベルセンサ８が働くと、自動的にタンクＰＴ１内のエアが排出されるものである。また、上記刊行物２１（甲第１号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、加圧薬液容器５ａ（貯蔵器手段に相当）内の薬液（液体に相当）がなくなると下限センサＳ２Ａが働き、制御回路（プロセッサ手段に相当）により加圧弁１ａを閉じ、エア抜き弁２ａを開いて容器５ａ内のエア抜きを行うことが記載されている。つまり、下限センサＳ２Ａが働くと、自動的に容器５ａ内のエアが排出されるものである。さらに、刊行物３２（甲第１２号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、加圧タンク１（貯蔵器手段に相当）内の液体を注入弁８を開いて容器内に注入し、液体が所定量注入されたときに第１開閉弁を閉じて第２開閉弁を開き、加圧タンク１内のガスを放出し、加圧タンク１内の圧力を漸減して容器への液体の充填速度も漸減して、容器への液体の規定量注入がされたときに注入弁８を閉じることが記載されている。つまり、液体の分配中にすでに排出が行われている。これに対し、本件発明２２、２６のものは、「前記流体圧力手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの排出信号によって作動されて前記貯蔵器手段中の前記液体に作用している圧力を除く」というものである。つまり、流体圧力手段による液体の分配中（作動中）のときには排出信号を送出せず、流体圧力手段による液体の分配中でない（不作動）ときに排出動作を行うものである。
　本件発明２３ないし２５、２７、２８について；
　　本件発明２３ないし２５、２７、２８は、そのいずれもが本件発明２２または２６の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当するから、上記「本件発明２２、２６について」で示したと同様の理由により、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　本件発明２９について；
　　上記刊行物１ないし１９、２１ないし４０のいずれにも本件発明２９が具備する構成「前記真空ベンチュリ手段は、前記分配するための手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの再満信号によって作動され」については、記載も示唆もされていない。そして、本件発明２９は、当該構成を有することにより、明細書記載の作用効果を有するものと認められる。したがって、本件発明２９は、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　なお、上記刊行物６（甲第６号証：特許異議申立人世良日一による）には、開平バルブ１３、１４を閉にし、開平バルブ１０、１１（開平バルブ１０は入口手段に相当）を開にしておいて、開平バルブ１２を開として配管１６に大気圧を越える気体を吸引装置４（真空ベンチュリ手段に相当）に供給してバッファ槽２（貯蔵器手段に相当）内の気体を排気し、バッファ槽２内を負圧にして薬液槽１（液体供給源に相当）の薬液（液体に相当）をバッファ槽２へ移送すること、及び、バッファ槽２へ移送された薬液は、開平バルブ１０、１１を閉にし、開平バルブ１３、１４を開にしておいて、ガスを配管７を通してバッファ槽２へ供給加圧することにより、配管８を通して薬液を移送（液体の分配に相当）することが記載されているが、バッファ槽２から薬液が配管８を通して移送されているときに、薬液槽１からバッファ槽２へ薬液を移送する信号が発信された場合の動作については明記されていない。また、上記刊行物２７（甲第７号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、耐圧室１（貯蔵器手段に相当）の内部が減圧ノズル３により減圧されると、逆止弁４が開放されて薬液配管６の上流側から耐圧室１に薬液７が流入し、耐圧室１の内部が加圧ノズル２により加圧されると、逆止弁５が開放されて耐圧室１から薬液が薬液配管６の下流側に押し出されることが記載されているが、真空ベンチュリ手段を有するものではない。これに対し、本件発明２９のものでは、「前記真空ベンチュリ手段は、前記分配するための手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの再満信号によって作動され」というものである。つまり、流体圧力手段による液体の分配中のときには、真空ベンチュリ手段は再満信号が発生しても直ちに液体供給源から貯蔵器手段への液体の供給を開始するものではない。
　本件発明３０について；
　　上記刊行物１ないし１９、２１ないし４０のいずれにも本件発明３０が具備する構成「前記流体圧力手段は、前記分配するための手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの再満信号によって作動され、そして前記流体圧力手段は、作動されたときに前記液体供給源中の前記液体に逆らう圧力を加えて前記液体供給源から前記或る量の液体を、前記入口手段を通して前記貯蔵器手段へ供給する」については、記載も示唆もされていない。そして、本件発明３０は、当該構成を有することにより、明細書記載の作用効果を有するものと認められる。したがって、本件発明３０は、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　なお、上記刊行物１（甲第１号証：特許異議申立人世良日一による）には、液面計２８により試薬１（液体に相当）の下限量が以下が検出されると、制御盤３６（プロセッサ手段に相当）が電磁弁７（入口手段に相当）を開き、かつ電磁三方弁４５が切換って加熱用圧力容器（貯蔵器手段に相当）が排気管４６に連通され、貯留用ボンベ２（液体供給源に相当）に対し窒素源３８から窒素が供給されて試薬１が加熱用圧力容器５に圧送されることが記載されている。つまり、液面計２８が下限量以下を検出した時は、常に、電磁弁７が開いて試薬１を加熱用圧力容器５に供給するものである。また、上記刊行物２１（甲第１号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、加圧薬液容器５ａ（貯蔵器手段に相当）内の薬液（液体に相当）がなくなると下限センサＳ２ＡはＥＭＰＴＹ出力を発し、この信号に基づき容器５ａの出口弁４ａを閉じ容器５ｂの出口弁４ｂを開いて薬液の供給を継続する。そして、この容器５ｂからの薬液供給動作とともに入口弁３ａ（入口手段に相当）を開いて容器５ａへの薬液充填動作を開始することが記載されている。つまり、下限センサＳ２Ａが働くと、自動的に容器５ａ内への薬液の充填が行われるものである。さらに、上記刊行物２６（甲第６号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、トラップタンク２６（貯蔵器手段に相当）内の液面があるレベルまで低下すると、フロートスイッチ３２がタイマー３５を起動して電磁バルブ３４を開き、トラップタンク２６内の不活性ガスを放出し、これに伴って、トラップタンク内の圧力が低下し、元タンク２１（液体供給源に相当）からトラップタンク２６に薬液（液体に相当）を供給することが記載されている。つまり、フロートスイッチ３２の起動（再満信号の発生に相当）により、自動的にトラップタンク２６内への薬液の供給が行われるものである。これに対し、本件発明３０のものでは、「前記流体圧力手段は、前記分配するための手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの再満信号によって作動され、そして前記流体圧力手段は、作動されたときに前記液体供給源中の前記液体に逆らう圧力を加えて前記液体供給源から前記或る量の液体を、前記入口手段を通して前記貯蔵器手段へ供給する」というものである。つまり、流体圧力手段による液体の分配中でないときに、再満信号により流体圧力手段が液体供給源を加圧して液体を貯蔵器手段に供給するものである。
　本件発明３３について；
　　上記刊行物１ないし１９、２１ないし４０のいずれにも本件発明３３が具備する構成「前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサで受信され且つ液体が前記貯蔵器手段から分配されていないときに、前記マイクロプロセッサによって発生された充填信号に応答して前記貯蔵器手段を再び満たすステップ」については、記載も示唆もされていない。そして、本件発明３３は、当該構成を有することにより、明細書記載の作用効果を有するものと認められる。したがって、本件発明３３は、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　なお、上記刊行物１（甲第１号証：特許異議申立人世良日一による）には、液面計２８の浮子３２が下限まで下がり、下側のリードスイッチ２９ａがオンとなって（低液体レベル信号の発生に相当）、それに伴い制御盤３６（マイクロプロセッサに相当）が電磁弁７を開き、かつ電磁三方弁４５が切換って加熱用圧力容器（貯蔵器手段に相当）が排気管４６に連通され、貯留用ボンベ２に対し窒素源３８から窒素が供給されて試薬１（液体に相当）が加熱用圧力容器５に圧送されることが記載されている。つまり、液面計２８が低い液体レベルを検出した時は、常に、電磁弁７が開いて試薬１を加熱用圧力容器５に供給するものである。また、上記刊行物２５（甲第５号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、容器１１（貯蔵器手段に相当）内の水位が減少して第２のレベルセンサー１２ｂが働く（低液体レベル信号の発生に相当）と、制御器２１（マイクロプロセッサに相当）はエア弁１３を開き、容器１１に純水（液体に相当）を供給し、一方、容器１１内の純水はポンプ１５により機器８ａへ供給されることが記載されている。つまり、第２のレベルセンサー１２ｂが働く時は、ポンプ１５の作動とは無関係に、エア弁１３が開放されて純水を容器１１に供給するものである。これに対し、本件発明３３のものでは、「前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサで受信され且つ液体が前記貯蔵器手段から分配されていないときに、前記マイクロプロセッサによって発生された充填信号に応答して前記貯蔵器手段を再び満たすステップ」というものである。つまり、液体が貯蔵器手段から分配されているときは、低液体レベル信号が発生しても直ちに貯蔵器手段の充填を開始するものではない。
　本件発明３４について；
　　上記刊行物１ないし１９、２１ないし４０のいずれにも本件発明３４が具備する構成「　前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサによって受信され且つ液体分配ステップが働いていないときに前記マイクロプロセッサによって発生された再満信号に応答して前記貯蔵器手段に接続された入口を開き、且つ前記入口が開いているときに前記入口に存在する液体供給源から液体を前記貯蔵器手段に再び満たすステップ」については、記載も示唆もされていない。そして、本件発明３４は、当該構成を有することにより、明細書記載の作用効果を有するものと認められる。したがって、本件発明３４は、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　なお、上記刊行物１（甲第１号証：特許異議申立人世良日一による）には、液面計２８の浮子３２が下限まで下がり、下側のリードスイッチ２９ａがオンとなって（低液体レベル信号の発生に相当）、それに伴い制御盤３６（マイクロプロセッサに相当）が電磁弁７（入口に相当）を開き、かつ電磁三方弁４５が切換って加熱用圧力容器（貯蔵器手段に相当）が排気管４６に連通され、貯留用ボンベ２（液体供給源に相当）に対し窒素源３８から窒素が供給されて試薬１（液体に相当）が加熱用圧力容器５に圧送されることが記載されている。つまり、液面計２８が低い液体レベルを検出した時は、常に、電磁弁７が開いて試薬１を加熱用圧力容器５に供給するものである。また、上記刊行物２５（甲第５号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、容器１１（貯蔵器手段に相当）内の水位が減少して第２のレベルセンサー１２ｂが働く（低液体レベル信号の発生に相当）と、制御器２１（マイクロプロセッサに相当）はエア弁１３（入口に相当）を開き、容器１１に純水（液体に相当）を供給し、一方、容器１１内の純水はポンプ１５により機器８ａへ供給されることが記載されている。つまり、第２のレベルセンサー１２ｂが働く時は、ポンプ１５の作動とは無関係に、エア弁１３が開放されて純水を容器１１に供給するものである。これに対し、本件発明３４のものでは、「前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサによって受信され且つ液体分配ステップが働いていないときに前記マイクロプロセッサによって発生された再満信号に応答して前記貯蔵器手段に接続された入口を開き、且つ前記入口が開いているときに前記入口に存在する液体供給源から液体を前記貯蔵器手段に再び満たすステップ」というものである。つまり、液体が貯蔵器手段から分配されているときは、低液体レベル信号が発生しても直ちに貯蔵器手段に接続された入口を開き、液体供給源から液体を貯蔵器手段に供給するものではない。
　本件発明３５ないし４３について；
　　本件発明３５ないし４３は、そのいずれもが本件発明３４の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当するから、上記「本件発明３４について」で示したと同様の理由により、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　本件発明４４について；
　　上記刊行物１ないし１９、２１ないし４０のいずれにも本件発明４４が具備する構成「前記補充サイクルは、分配要求が無い場合のみに起動し、再充填用の指示がある場合に再充填源から前記貯蔵器手段に液体を再び満たすステップを」については、記載も示唆もされていない。そして、本件発明４４は、当該構成を有することにより、明細書記載の作用効果を有するものと認められる。したがって、本件発明４４は、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　なお、上記刊行物１（甲第１号証：特許異議申立人世良日一による）には、液面計２８の浮子３２が下限まで下がり、下側のリードスイッチ２９ａがオン（再充填用の指示に相当）となって、それに伴い制御盤３６（コントローラに相当）が電磁弁７を開き、かつ電磁三方弁４５が切換って加熱用圧力容器（貯蔵器手段に相当）が排気管４６に連通され、貯留用ボンベ２（再充填源に相当）に対し窒素源３８から窒素が供給されて試薬１（液体に相当）が加熱用圧力容器５に圧送される（貯蔵器手段に液体を再び満たすステップに相当）ことが記載されている。つまり、液面計２８が低液体レベルを検出した時は、常に、電磁弁７が開いて試薬１を加熱用圧力容器５に供給するものである。また、上記刊行物２５（甲第５号証：特許異議申立人高橋友之輔による）には、容器１１（貯蔵器手段に相当）内の水位が減少して第２のレベルセンサー１２ｂが働く（再充填用の指示に相当）と、制御器２１（コントローラに相当）はエア弁１３を開き、容器１１に純水（液体に相当）を供給し（貯蔵器手段に液体を再び満たすステップに相当）、一方、容器１１内の純水はポンプ１５により機器８ａへ供給されることが記載されている。しかしながら、エア弁１３の開放はポンプ１５の不作動とは関連していない。これに対し、本件発明４４のものでは、「前記補充サイクルは、分配要求が無い場合のみに起動し、再充填用の指示がある場合に再充填源から前記貯蔵器手段に液体を再び満たすステップを含み」というものである。つまり、液体の分配中は補充サイクルは起動しないというものである。
　本件発明４５ないし５２について；
　　本件発明４５ないし５２は、そのいずれもが本件発明４４構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当するから、上記「本件発明４４について」で示したと同様の理由により、上記各刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
（４）むすび
　以上のとおりであるから、各特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１ないし３０および請求項３３ないし５２に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１ないし３０および請求項３３ないし５２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年７月９日（２００３．７．９）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
液体分配装置及び液体分配方法並びに液体分配装置の処理方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求信号を受信するようになっている制御
用の
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、所要時に前記貯蔵器手段へ圧力を加えて前記液体に逆らって作用するための流体圧力手段と、
　前記貯蔵器手段に接続され、前記流体圧力手段が前記液体に逆らって作用する圧力を加えるときに液体の一部を通過させる
複数の出口と、
　
前記プロセッサ手段によって制御され、前記貯蔵器手段内の液体に圧力を印加するために前記貯蔵器手段に供給される圧力ガスの圧力ガス源と
　前記プロセッサ手段は、前記要求信号に応答して前記流体圧力手段へ信号を送信し、前記流体圧力手段に前記液体に逆らって作用する圧力を加えさせる液体分配装置であって、
　前記流体圧力手段は、前記圧力を加えるための信号によって動作されるが、前記プロセッサ手段からの第２の信号によって不動作にされ、そして
　前記貯蔵器手段への
複数の
或る量
　各入口と共に含まれ、特定の液体供給源を選択するため各入口が個々に選択され得るように各入口を別々に開閉するための
複数の
　各出口と共に含まれ、各出口が個々に選択され得るように各出口を別々に開閉するための
複数の
　前記出口の付近の前記貯蔵器手段に接続されて前記の付近の液体の圧力を検知すると共に、前記プロセッサ手段に接続されて前記出口の付近の液体の圧力を示す圧力信号を前記プロセッサ手段へ送信するための
圧力センサ
　各入口弁手段は、前記プロセッサ手段によって別々に制御され、且つ前記プロセッサ手段からの開放信号に応答して開位置に、又、前記プロセッサ手段からの閉成信号に応答して閉位置に動くことができ、
　前記プロセッサ手段は、
前記圧力センサにより前記貯蔵器手段の出口の圧力を検出し、前記出口の圧力を一定に保持して前記圧力ガスの圧力を調整し、
　
前記複数の出口が同時に開放された場合に、前記出口の圧力に対応した流量率を一定に保持し、
　
前記各入口弁手段は、前記プロセッサ手段によって別々に制御され、前記流体圧力手段が不作動にならない限りは開放されず、前記流体圧力手段が不作動の場合のみに再充填を可能とし、
　
前記
　【請求項２】　或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求信号を受信するようになっている制御
用の
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、所要時に前記貯蔵器手段へ圧力を加えて前記液体に逆らって作用するための流体圧力手段と、
　前記貯蔵器手段に接続され、前記流体圧力手段が前記液体に逆らって作用する圧力を加えるときに液体の一部を通過させる
複数の出口と、
　
前記貯蔵器手段に接続され且つ前記出口に隣接して設けられた圧力センサと
　前記プロセッサ手段は、前記要求信号に応答して前記流体圧力手段へ信号を送信し、前記流体圧力手段に前記液体に逆らって作用する圧力を加えさせる液体分配装置であって、
　前記流体圧力手段は、前記圧力を加えるための信号によって動作されるが、前記プロセッサ手段からの第２の信号によって不動作にされ、そして
　前記貯蔵器手段への
複数の
或る量
　各入口と共に含まれ、特定の液体供給源を選択するため各入口が個々に選択され得るように各入口を別々に開閉するための
複数の
　前記貯蔵器手段に隣接し、前記貯蔵器手段中の液体レベルを検知するための液体レベルセンサ手段とを更に備え、
　各入口弁手段は、前記プロセッサ手段によって別々に制御され、且つ前記プロセッサ手段からの開放信号に応答して開位置に、又、前記プロセッサ手段からの閉成信号に応答して閉位置に動くことができ、
　前記プロセッサ手段は、前記流体圧力手段が不作動にされて前記貯蔵器手段を前記
或る量
　【請求項３】　前記流体圧力手段は、更に各液体供給源の近くに置かれ、所要時に選択された液体供給源に作用するための圧力を供給し、前記プロセッサ手段は、前記流体圧力手段が不作動のときに前記第１の液体レベル信号に応答して充填信号を前記流体圧力手段へ送信し、これにより前記選択された液体供給源に作用する圧力を前記流体圧力手段に選択的に供給させ且つ前記選択された液体供給源から前記選択された入口を通して前記貯蔵器手段へ前記液体を流させる請求項２の液体分配装置。
　【請求項４】　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続された真空手段を更に含み、前記プロセッサ手段は、前記流体圧力手段が不作動であるときに前記第１の液体レベル信号に応答して充填信号を前記真空手段へ送信し、これにより前記真空手段に前記貯蔵器手段への吸引力を加えさせて前記選択された液体供給源から液体を引き出し前記選択された入口を通して前記貯蔵器手段へ送る請求項２の液体分配装置。
　【請求項５】　前記プロセッサ手段は、更に前記液体レベルセンサ手段が前記貯蔵器手段中の高い液体レベルを検知するときに前記液体レベルセンサ手段から第２の液体レベル信号を受信するようになっており、前記プロセッサ手段は、前記第２の液体レベル信号に応答して第２の充填信号を前記選択された入口弁手段に送信
して、
との更なる
　【請求項６】　前記貯蔵器手段と前記真空手段の間で前記高い液体レベルよりも上方に配置され、前記プロセッサ手段に接続された液体オーバフロー
センサ
センサ
　【請求項７】　前記貯蔵器手段と前記出口の間のフィルタ手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御される警報手段と、
　前記フィルタ手段
の両端間の
の両端間の
　前記プロセッサ手段は、前記フィルタ信号を受信してこれを、圧力低下を表す有用な値に変換し、前記有用な値を所定の値と比較し、前者が後者を超えるときに警報作動信号を前記警報手段に送信し、前記警報手段を作動させる請求項１の液体分配装置。
　【請求項８】　前記警報手段が可視式である請求項７の液体分配装置。
　【請求項９】　前記警報手段が可聴式である請求項７の液体分配装置。
　【請求項１０】　前記貯蔵器手段と前記出口の間に存在し、前記予め選択された圧力で或る選択された流量の液体を供給するための手段を更に備えた請求項１の液体分配装置。
　【請求項１１】　前記或る選択された流量の液体を供給するための手段がオリフィスである請求項１０の液体分配装置。
　【請求項１２】　前記貯蔵器手段と前記出口の間にフィルタ手段を更に備え、前記
圧力センサ
　【請求項１３】　前記プロセッサ手段がマイクロプロセッサである請求項１の液体分配装置。
　【請求項１４】　或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求信号を受信するようになっている制御
用の
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手段によって受信されるときに前記プロセッサ手段からの第１の信号によって作動され、圧力を前記貯蔵器手段へ加えて前記貯蔵器手段中の液体に逆らって作用し且つ特定量の液体を分配させるための流体圧力手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記流体圧力手段が作動されるときに前記特定量の液体を通過させる出口手段と、
　前記貯蔵器手段に隣接してその中の低い液体レベルを検知し、前記低い液体レベルが検知された低液体レベル信号を前記プロセッサ手段へ送信するためのセンサ手段と、
　液体供給源に接続された前記貯蔵器手段への且つ前記プロセッサ手段によって制御される入口手段とを備え、
　
前記流体圧力手段は、前記プロセッサ手段によって制御されて、前記特定量の液体の分配を指示する要求信号が受信されたときに動作し、前記特定量の液体が分配されたときに不動作となり、
　又、前記プロセッサ手段
は、
開き、前記流体圧力手段が不動作の場合に前記貯蔵器手段への入口を開放させることにより、前記貯蔵器手段への再充填を可能にする
　【請求項１５】　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続された真空手段を更に含み、前記プロセッサ手段は、前記低液体レベル信号を受信し且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに前記低液体レベル信号に応答して充填信号を前記真空手段へ送信し、これにより前記真空手段に前記貯蔵器手段への吸引力を加えさせて前記液体供給源から液体を引き出し、前記入口手段を通して前記貯蔵器手段へ送る請求項１４の液体分配装置。
　【請求項１６】　前記液体供給源に接続され且つ前記プロセッサ手段によって制御される流体圧力手段を更に備え、前記プロセッサ手段は、前記低液体レベル信号を受信し且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに前記低液体レベル信号に応答して充填信号を前記流体圧力手段へ送信し、これにより前記流体圧力手段に前記液体供給源に逆らう圧力を加えさせ、前記液体供給源から前記入口手段を通して前記貯蔵器手段へ液体を供給する請求項１４の液体分配装置。
　【請求項１７】　前記プロセッサ手段がマイクロプロセッサである請求項１４の液体分配装置。
　【請求項１８】　或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求信号を受信するようになっている制御
用の
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手段によって受信されるときに前記プロセッサ手段からの第１の信号によって作動され、圧力を前記貯蔵器手段へ加えて前記貯蔵器手段中の液体に逆らって作用し且つ特定量の液体を分配させるための
流体
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に個々に接続される
複数の
　前記貯蔵器手段に隣接してその中の低い液体レベルを検知するセンサ手段と、
　前記貯蔵器手段への
複数の
　
前記流体圧力手段は、前記プロセッサ手段によって制御されて、前記特定量の液体の分配を指示する要求信号が受信されたときに動作し、前記特定量の液体が分配されたときに不動作となり、
　前記プロセッサ手段
は、
　【請求項１９】　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続された真空手段を更に含み、前記プロセッサ手段は、前記低液体レベル信号を受信し且つ前記流体圧力手段が不作動であるときに前記低液体レベル信号に応答して充填信号を前記真空手段へ送信し、これにより前記真空手段に前記貯蔵器手段への吸引力を加えさせて前記選択された入口手段に接続された前記液体供給源から液体を引き出し、前記選択された入口手段を通して前記貯蔵器手段へ送る請求項１８の液体分配装置。
　【請求項２０】　前記流体圧力手段
は、
　【請求項２１】　前記プロセッサ手段がマイクロプロセッサである請求項１８の液体分配装置。
　【請求項２２】　或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求信号を受信するようになっている制御
用の
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手段によって受信されるときに前記プロセッサ手段からの第１の信号によって作動され、圧力を前記貯蔵器手段へ加えて前記貯蔵器手段中の液体に逆らって作用し且つ液体を分配させるための流体圧力手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記
流体
　前記出口手段の前に存在して、前記出口手段を通過した前記液体を濾過するためのフィルタ手段と、
　前記貯蔵器手段に接続され且つ前記プロセッサ手段によって制御され、前記流体圧力手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの排出信号によって作動されて前記貯蔵器手段中の前記液体に作用している圧力を除くための排出手段と
　を備えた液体分配装置。
　【請求項２３】　前記出口手段の近くで
および
圧力センサ
　【請求項２４】　前記排出手段は、前記貯蔵器手段に接続され且つ前記プロセッサ手段によって制御される真空ベンチュリ手段を備え、前記真空ベンチュリ手段は、前記プロセッサ手段からのベンチュリ信号によって作動され、前記貯蔵器手段を低下した圧力まで排出する請求項２２の液体分配装置。
　【請求項２５】　前記排出手段は、前記貯蔵器手段に接続された真空ベンチュリ手段および前記真空ベンチュリ手段と前記プロセッサ手段によって制御される前記貯蔵器手段との間に存在する弁手段を備え、前記真空ベンチュリ手段は、前記プロセッサ手段が前記弁手段へ開放信号を送信するときに前記貯蔵器手段を大気圧にもたらす請求項２２の液体分配装置。
　【請求項２６】　或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記液体の少なくとも一部が必要であることを示す要求信号を受信するようになっている制御
用の
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記要求信号が前記プロセッサ手段によって受信されるときに前記プロセッサ手段からの第１の信号によって作動され、圧力を前記貯蔵器手段へ加えて前記貯蔵器手段中の液体に逆らって作用し且つ液体を分配させるための流体圧力手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され且つ前記貯蔵器手段に接続され、前記流体圧力手段が作動されるときに前記液体を通過させる出口手段と、
　前記貯蔵器手段に接続され且つ前記プロセッサ手段によって制御され、前記流体圧力手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの排出信号によって作動されて前記貯蔵器手段中の前記液体に作用している圧力を除くための排出手段とを備え、
　前記プロセッサ手段は、前記液体が分配されたときに第２の信号を前記流体圧力手段に送信して前記流体圧力手段を不作動にする液体分配装置。
　【請求項２７】　前記排出手段は、前記貯蔵器手段に接続され且つ前記プロセッサ手段によって制御される真空ベンチュリ手段を備え、前記真空ベンチュリ手段は、前記プロセッサ手段からのベンチュリ信号によって作動され、前記貯蔵器手段を低下した圧力まで排出する
請求項２６
　【請求項２８】　前記排出手段は、前記貯蔵器手段に接続された真空ベンチュリ手段および前記真空ベンチュリ手段と前記プロセッサ手段によって制御される前記貯蔵器手段との間に存在する弁手段を備え、前記真空ベンチュリ手段は、前記プロセッサ手段が前記弁手段へ開放信号を送信するときに前記貯蔵器手段を大気圧にもたらす
請求項２６
　【請求項２９】　プロセッサ手段と、
　或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され、前記貯蔵器手段に接続されてその中の前記
或る量
　前記プロセッサ手段によって制御され、前記貯蔵器手段に制御されて前記貯蔵器手段からの或る量の液体を分配するための手段とを備え、
　前記プロセッサ手段は、前記分配するための手段が前記プロセッサ手段によって作動されるときに前記再び満たすための手段を不作動にする液体分配装置であって、
　前記再び満たすための手段は、前記プロセッサ手段によって制御される前記貯蔵器手段に接続された入口手段を含み、前記入口手段は、前記貯蔵器手段を再び満たすための液体供給源に更に接続され、前記分配するための手段は、前記プロセッサ手段によって制御される前記貯蔵器手段に接続された真空ベンチュリ手段を更に含み、前記入口手段は、前記プロセッサ手段からの開放信号によって開かれ、前記真空ベンチュリ手段は、前記分配するための手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの再満信号によって作動され、そして前記真空ベンチュリ手段は、作動されたときに前記貯蔵器手段中の低下した圧力により前記液体供給源から前記
或る量
　【請求項３０】　プロセッサ手段と、
　或る量の液体が入っている貯蔵器手段と、
　前記プロセッサ手段によって制御され、前記貯蔵器手段に接続されてその中の前記
或る量
　前記プロセッサ手段によって制御され、前記貯蔵器手段に制御されて前記貯蔵器手段からの或る量の液体を分配するための手段とを備え、
　前記プロセッサ手段は、前記分配するための手段が前記プロセッサ手段によって作動されるときに前記再び満たすための手段を不作動にする液体分配装置であって、
　前記再び満たすための手段は、前記プロセッサ手段によって制御される前記貯蔵器手段に接続された入口手段を含み、前記入口手段は、前記貯蔵器手段を再び満たすための液体供給源に更に接続され、前記分配するための手段は、前記液体供給源に接続された流体圧力手段を更に含み、前記入口手段は、前記プロセッサ手段からの開放信号によって開かれ、前記流体圧力手段は、前記分配するための手段が不作動であるときに前記プロセッサ手段からの再満信号によって作動され、そして前記流体圧力手段は、作動されたときに前記液体供給源中の前記液体に逆らう圧力を加えて前記液体供給源から前記
或る量
　【請求項３１】　測定された量で液体を分配する液体分配方法であって、
　測定された液体量を分配するための既知の圧力下で液体を分配するために、分配手段と関連して所定期間だけ開放される出口を介して貯蔵器手段から分配される液体を前記貯蔵器手段に充填するステップと、
　分配が要求された場合に前記貯蔵器手段内の液体に圧力を印加するステップと、
　前記貯蔵器手段の出口における液体の圧力を監視するステップと、
　前記貯蔵器手段の出口における予め選択された液体圧力を予め選択された耐圧内に維持するために、分配要求中に液体に印加される圧力を調整するステップと、
　分配が大気圧よりも低い圧力で停止された場合に、前記貯蔵器手段内の液体に印加される圧力を減圧するステップと
　を含む液体分配方法。
　【請求項３２】　前記減圧ステップは、前記貯蔵器手段に印加される圧力を大気圧に減圧することを含む
請求項３１
　【請求項３３】　或る量の液体を分配する方法であって、
　要求信号をマイクロプロセッサで受信するステップと、
　前記要求信号が前記マイクロプロセッサで受信されるときに、前記マイクロプロセッサによって発生された分配信号に応答して貯蔵器手段から特定量の液体を分配するステップと、
　前記液体のレベルが前記貯蔵器手段の所定の低い液体レベルを下回るときに低液体レベル信号を前記マイクロプロセッサで受信するステップと、
　前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサで受信されるときに前記要求信号に応答して前記貯蔵器手段から特定量の液体を分配し続けるステップと、
　前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサで受信された後に起こる分配のため
空カウント
　前記
空カウントの制限値を超えたかを検査する
　前記
空カウントの制限値を超えたときに
許可しない
　前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサで受信され且つ液体が前記貯蔵器手段から分配されていないときに、前記マイクロプロセッサによって発生された充填信号に応答して前記貯蔵器手段を再び満たすステップと
　を含む液体分配方法。
　【請求項３４】　測定された量で液体を分配する液体分配方法であって、
　測定された液体量を分配するための既知の圧力下で液体を分配するために、分配手段と関連して所定期間だけ開放される出口を介して貯蔵器手段から分配される液体を前記貯蔵器手段に充填するステップと、
　分配が要求された場合に前記貯蔵器手段内の液体に圧力を印加するステップと、
　前記貯蔵器手段から流れる液体を前記出口においてフィルタにより濾過するステップと、
　前記貯蔵器手段の出口における液体の圧力を前記フィルタの下流側で監視するステップと、
　前記貯蔵器手段の出口における予め選択された液体圧力を予め選択された耐圧内に維持するために、分配要求中に液体に印加される圧力を調整するステップ
と、
　
前記貯蔵器手段中の低い液体レベルを示す低液体レベル信号をマイクロプロセッサに送信するステップと、
　前記低液体レベル信号を前記マイクロプロセッサ内で受信するステップと、
　前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサによって受信され且つ液体分配ステップが働いていないときに前記マイクロプロセッサによって発生された再満信号に応答して前記貯蔵器手段に接続された入口を開き、且つ前記入口が開いているときに前記入口に存在する液体供給源から液体を前記貯蔵器手段に再び満たすステップと
　を含む液体分配方法。
　【請求項３５】　前記入口を開放して前記貯蔵器手段に再び満たすステップは、
　前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサによって受信され且つ液体が前記貯蔵器手段から分配されていないときに前記マイクロプロセッサによって発生された第２の再満信号に応答して前記貯蔵器手段の圧力を低下させるステップと、
　前記貯蔵器手段の低下した圧力の作用により、前記液体供給源に入れられた或る量の液体を、開かれた入口を通して前記貯蔵器手段に引き出すステップと
　を含む
請求項３４
　【請求項３６】　前記入口を開放して前記貯蔵器手段に再び満たすステップは、
　前記低液体レベル信号が前記マイクロプロセッサによって受信され且つ液体が前記貯蔵器手段から分配されていないときに前記マイクロプロセッサによって発生された第２の再満信号に応答して前記液体供給源に入れられた液体に圧力を加えるステップと、
　前記液体供給源に入れられた液体に加えられた圧力により、前記液体供給源に入れられた或る量の液体を、開かれた入口を通して前記貯蔵器手段に供給させるステップと
　を含む
請求項３４
　【請求項３７】　前記貯蔵器手段中の高い液体レベルを示す高液体レベル信号を送信するステップと、
　前記高液体レベル信号を前記マイクロプロセッサで受信するステップと、
　前記高液体レベル信号が前記マイクロプロセッサによって受信されるときに前記マイクロプロセッサによって発生された被充填信号に応答する前記入口を閉じ、且つ前記入口が閉じているときに前記液体供給源から液体の別の流れを停止させるステップと
　を更に含む
請求項３４
　【請求項３８】　前記液体分配ステップ中に前記フィルタの両端間の圧力低下を検出するステップを更に含む
請求項３４
　【請求項３９】　前記圧力低下が所定値を超えた場合に警報手段を起動するステップを更に含む
請求項３８
　【請求項４０】　前記貯蔵器手段と前記液体分配ステップ中に前記液体を通過させる出口との間に配置された前記フィルタにより前記液体を濾過するステップと、
　前記液体分配ステップ中に前記フィルタの両端間の圧力低下を検知するステップと、
　前記圧力低下が所定値を超えた場合に警報手段を作動させるステップと
　を更に含む
請求項３４
　【請求項４１】　分配要求がもはや無い場合に前記液体上の圧力を減圧するステップを更に含む
請求項３４
　【請求項４２】　前記圧力が除去された場合に液体供給源から入口を介して前記貯蔵器手段に液体を再び満たすステップを更に含む
請求項４１
　【請求項４３】　前記貯蔵器手段の出口に結合された複数の分配手段を有し、分配中に前記分配手段のうちの２つの分配手段を運転するステップを更に含む
請求項３４
　【請求項４４】　貯蔵器手段と、
　コントローラの制御下で前記貯蔵器手段内の液体に圧力を印加するために前記貯蔵器手段に供給される圧力ガスの圧力ガス源と、
　分配手段と関連して所要量の液体を測定するための所定期間だけ開放される前記貯蔵器手段内の出口と、
　前記貯蔵器手段に液体を再び満たすための補充サイクル、
ガス抜きサイクル、
通常の
　を有する液体分配装置の処理方法において、
　前記分配サイクルは、
　分配要求に応答して前記貯蔵器手段内の液体に圧力ガスを印加するステップと、
　前記出口における液体の圧力を監視するステップと、
　前記出口における液体の圧力を所定の耐圧内に維持するために、前記液体上の気体圧力を調整するステップとを含み、
　前記補充サイクルは、
分配要求が無い場合のみに起動し、
　前記
ガス抜きサイクル
　分配要求が無い場合に前記液体上の気体圧力を所定圧力レベルよりも小さい圧力に減圧するステップと、
　前記貯蔵器手段内の液体に再び圧力を印加するための分配要求の指示の受信を待機するステップとを含み、
　前記所定圧力レベルは、
前記液体内の気泡の
　【請求項４５】　前記液体上の気体圧力を調整するステップは、
　前記出口における液体の圧力を示す指示信号を圧力センサから前記コントローラに入力するステップと、
　前記指示信号に応答して、前記出口における液体の圧力を所定の耐圧内に維持するように圧力ガス源を制御するステップと
　を含む
請求項４４
　【請求項４６】　前記補充サイクル
は、前記
供給源
請求項４４
　【請求項４７】　前記液体分配装置は、複数の液体供給源を含み、
　前記液体供給源の各々は、複数の弁の１つを介して連通するために、前記貯蔵器手段に結合され、
　前記補充サイクルは、複数の弁の１つを開放して、前記貯蔵器手段内に液体を導入して再び満たすステップを含む
請求項４６
　【請求項４８】　前記液体分配装置は、前記貯蔵器手段の出口と連通した分配手段を更に含み、
　前記分配サイクルは、前記出口における液体の圧力が所定の耐圧内にある場合のみに、前記分配手段の開放を可能にして液体を分配させるステップを更に含む
請求項４４
　【請求項４９】　前記
ガス抜きサイクル
　前記液体上の圧力が減少した場合に前記分配手段の分配を不可能にするステップと、
　前記貯蔵器手段内の液体に圧縮ガスを再び印加するための分配要求の受信を待機するステップと
　を更に含む
請求項４８
　【請求項５０】　前記
ガス抜きサイクル
請求項４４
　【請求項５１】　前記
ガス抜きサイクル
請求項４４
　【請求項５２】　前記
ガス抜きサイクル
請求項４４
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　この発明は、液体分配装置及び液体分配方法に関するもので、特に、液体分配装置からの所定量の液体を収容するために用いられた処理装置の処理部へ、所定量の液体を分配するための自動マイクロプロセッサ制御方式の液体分配装置及び液体分配方法に関するものであり、液体分配装置は複数の液体供給源の間を自動的に切換え、液体供給源は液体供給源の１つが空になったことが検出されたときは液体を液体分配装置へ供給する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　所定の製造工程に関して、種々の工程の動作条件を注意深く規制することは避けられない。液状ホトレジストなどの化学品を分配するような所定の製造工程において遭遇する１つの問題は、気泡のためホトレジスト層に形成された切れ目、裂け目などの不連続性である。この気泡は液状ホトレジストが分配されるときに製造工程に持ち込まれる。液状ホトレジストなどの化学品は比較的小さい複数のびんに供給され、それらが空になったときは液状化学品を補給することが必要である。
　【０００３】
　米国特許第４，６０１，４０９号に述べられているように、液状化学品を分配するように貯蔵器から液体を充排出することによって貯蔵器内の減圧圧力を作り出すポンピング（ｐｕｍｐｉｎｇ）を用いることは知られている。このポンピングは、同時に、貯蔵器がプリセットレベル以上に満たされることを維持するように容器から貯蔵器へ液体を供給する。上記米国特許の開示から、一方の容器が空になったときは一方の容器から他方の容器へ切り換えることも知られている。それ故、貯蔵器の充填が続けさせられる。しかしながら、以上のことは、充填及び分配動作の両方が同時に行われているために完全に満足すべきものではない。従って、もし貯蔵器が少なくとも、空の入口、他の流体の妨害又は他の理由のために液体が分配されている、同じ割合で充填できないならば、液状化学品の代わりに又は液状化学品といっしょに気体状流体の分配の可能性がある。
　【０００４】
　第２に、従来の充排出装置（液体分配装置）はベローズ型ポンプによって伝統的に提供される。しかしながら、これは、流量が一定していないために完全に満足すべきものではない。従って、所定量の液状化学品を分配することが困難である。更に、この型の充排出装置と共に、もしフィルタが含まれていたならば、フィルタが時間の経過以上に汚染物質で詰め込まれたときは、フィルタを通る圧力低下の増加を補償することが困難である。
　【０００５】
発明の要約
　従って、本願の液体分配装置及び液体分配方法は、液状化学品といっしょの分配から気体状流体を防ぐために、分配動作から隔離充填又は補給動作の間、正確な反復量で液状化学品を分配する。本願の液体分配装置は、液体フィルタ貯蔵器、制御用マイクロプロセッサ（コントローラ）及び液体フィルタ貯蔵器に接続された複数の出口を備え、各出口は、出口から液状流体の所定量を収容するのに適した処理装置の処理部に接続されている。制御用マイクロプロセッサは本願のアルゴリズムに従った最適のソフトウエアによって駆動される。液体分配装置の種々のモードのパラメータは、ユーザによってコントローラにプログラムされる。各出口に設けられた出口弁は出口を通る流れを制御する。各出口弁はコントローラによって個々に制御されるので、各出口は個々に選択することができる。液体分配装置及び液体分配方法は、ユーザに都合のよい、分配要求の完全な制御をユーザに与える。
　【０００６】
　コントローラは、特定の出口に接続された処理装置の処理部からの信号を受信するのに使用され、特定の出口からの所定量の液体の要求を知らせる。要求の受信において、液体分配装置は分配モードに切り換え、コントローラからの信号に応答する圧力調整器
（流体圧力手段、即ちポンプ手段）
　【０００７】
　各出口に含まれるオリフィス及び選択出口付近で検知された液体に供給された所定圧力は、選択された出口を通って流れる流量率を制御する。コントローラは、選択出口弁を閉成するように所定期間の終わりに選択出口弁へ信号を供給する。流量率といっしょの所定期間に、所定量の液体が処理装置へ分配させられる。コントローラを介した圧力
センサ
　【０００８】
　所定量の液体が処理装置へ分配された後、選択出口弁が閉成されて液体分配装置は選択排気モードへ切り換える。真空ベンチュリ管は、貯蔵器内の液体に作用している圧力を取り除くようにコントローラからの信号を通じて動作され、従って自己の周囲にある液体を送っている。貯蔵器と真空ベンチュリ管との間にある逆止弁は、貯蔵器への逆流から、圧縮空気又は窒素によって供給されたベンチュリ動作圧力を防ぐ。このモードにおいては、真空ベンチュリ管は動作されないが、貯蔵器は周囲圧力へ真空ベンチュリ管を通って放出させられる。
　【０００９】
　貯蔵器が液状化学品で満たされているように、複数の入口は貯蔵器に接続する。各入口は別々の液体供給源に接続されている。低液体レベルが貯蔵器内で検知されたとき、且つ分配が進行中でないときは、液体分配装置は充填モードへ切り換え、コントローラからの信号に応答する入口が選択されて開放され、貯蔵器が所定レベルまで満たされる。低液体レベル以下であるが、もし現在、貯蔵器出口又はフィルタ以上である貯蔵器内における周知の予定量を分配する間に、貯蔵器は低液体レベル以下に当然落ち、空カウント（ｅｍｐｔｙ　ｃｏｕｎｔ）と呼ばれる周知の分配数を分配するための液体を更に供給し、液体の必要量が分配されるまで、気体状流体を分配から防ぐ。
　【００１０】
　貯蔵器が所定時間経過した後満たされないことをコントローラが検出するときは、コントローラからの他の信号に応答する入口が選択されて開放され、貯蔵器は所定レベルに達するまで充填を続ける。空の液体供給源を有しているとしてコントローラによって検出された入口は、コントローラによって空状態を割り当てられる。この空状態は空になっている入口を識別するのにコントローラによって使用されるので、充填モードが再び動作されるときは空の入口が再び選択されない。
　【００１１】
　貯蔵器が補給されている間、且つ貯蔵器の空カウントがその最大値を
超え
　【００１２】
　液体で貯蔵器を充填するのに最適な方法は、選択入口がコントローラからの信号により真空ベンチュリ管を動作することによって開放されている間に隔離された貯蔵器へ真空を供給することである。減圧圧力は液体供給源から入口を通って貯蔵器へ液体を吸引する。液体で貯蔵器を充填するのに最適な他の方法は、液体のその液中に対して動作するように選択液体供給源へ気体圧力を供給することであり、貯蔵器へ選択入口を通って液体に流れさせる。
　【００１３】
　高液体レベルセンサが故障した場合、貯蔵器と真空ベンチュリ管との間にある排気インタロック手段に隣接した液体オーバフロー
センサ
　【００１４】
　充填モードで且つ貯蔵器の液体レベルが低液体レベル以上の間に液体の需要が受信されたときは、充填モードは終わらせられる。コントローラからの信号に応答する選択入口は閉成され、液体分配装置は分配モードへ切り換える。
　【００１５】
　フィルタは、分配モード中に液体を濾過するために貯蔵器と出口との間に設けられる。従って、分配モード中の選択出口付近の検知圧力はフィルタと出口との間の下流側にある。分配モード中、液体分配装置はフィルタ内の圧力降下を検知し、コントローラへ圧力降下を示す信号を供給する。なぜならば、フィルタが汚染物質で詰め込まれたときは、選択出口付近の検知圧力が減少すると、貯蔵器内の液体へ供給された圧力は増大され、選択出口付近の検知圧力は所定圧力で維持することができる。
　【００１６】
　コントローラは、信号を受信してその信号を、圧力降下用の所定値と比較される有効値へ変換する。受信した信号から変換された有効値が所定値よりも大きいときは、コントローラは、警報信号をオペレータへ送る。従って、受信した信号から変換された有効値が所定値よりも大きいときは、コントローラは、フィルタの状態が不十分であることを知らせる可聴式又は可視式のフィルタ警報を作動する。
　【００１７】
　本願の前述した特徴及び他の特徴は、図面、詳細な説明及び付随した特許請求の範囲から明らかになるだろう。
　この発明は、図面と共に好ましい実施例の下記説明を参照することにより十分に理解できる。
　【００１８】
　【実施例】
詳細な説明
　図１を参照すると、この発明の液体分配装置１０の概略が示されている。液体分配装置１０は、正確な反復量で液状の流体を分配し、酸、溶媒及び基剤の全ての異なる種類に適合することができる。液体分配装置１０の中心は、加圧可能な化学貯蔵器１２である。貯蔵器１２は、後述する目的のために加圧に適した液状流体の実質量を含むことができる密閉容器である。
　【００１９】
　図４から図３４までのアルゴリズムに従ってプログラムされた、ソフトウェアで駆動されるコントローラ１４は、液体分配装置１０の動作を制御する。コントローラ
１４
　【００２０】
　液体分配装置１０は、貯蔵器１２を充填及び補給するために、導管２０の分岐管を経由して貯蔵器１２と接続する複数の選択可能な液体入口１８ａ、１８ｂ、１８ｃ及び１８ｄを含む。各液体入口１８ａ、１８ｂ、１８ｃ及び１８ｄはそれぞれ入口弁２２ａ、２２ｂ、２２ｃ及び２２ｄを有する。コントローラ１４は、各入口弁２２ａ、２２ｂ、２２ｃ及び２２ｄを分離して制御するように、配線用ハーネスの一部を通って各入口弁２２ａ、２２ｂ、２２ｃ又は２２ｄと選択的に通信する。従って、貯蔵器１２への液体入力は選択的に制御される。
　【００２１】
　各入口１８ａ、１８ｂ、１８ｃ及び１８ｄは、図示されていないが、分離した液状化学品供給源に接続され、各液状化学品供給源は同一の化学品を有する。各液体供給源は、在来のびんや袋の形状をしている。液体分配装置１０は、残っている入口弁が閉成している間に入口弁２２ａ、２２ｂ、２２ｃ又は２２ｄの１つを選択的に開放することによって貯蔵器１２を自動的に補給する。従って、図１において太線２４によって示された１つの入口のみが選択され、液体分配装置が他の入口を通って流れる液体を防ぐように動作する間に、液体分配装置１０に、選択された液状化学品供給源から液状化学品を引き込ませるので、オペレータは液状化学品で空の液状化学品供給源をどれでも補給できる。選択された液状化学品供給源が空になったときは、液体分配装置１０は自動的に他の入口に切り換え、他の液状化学品供給源を選択し、空の液状化学品供給源が液状化学品で補給させられる。
　【００２２】
　液体分配装置１０は複数の選択可能な出口２６ａ、２６ｂ、２６ｃを含む。出口２６ａ、２６ｂ及び２６ｃは、貯蔵器１２から液状化学品を分配するように導管２８の分岐管を経由して接続される。各液体出口２６ａ、２６ｂ及び２６ｃはそれぞれ出口弁３０ａ、３０ｂ及び３０ｃを含む。コントローラ１４は、各出口弁３０ａ、３０ｂ及び３０ｃを別々に制御するように各出口弁３０ａ、３０ｂ及び３０ｃと選択的に通信する。従って、貯蔵器１２からの液体出力は選択的に制御され、液体が貯蔵器１２から選択的に分配させられる。それ故、図示していないが、１つの出口だけ、又は図１において太線３２により示される複数の出口が選択される。好ましくは、各出口弁３０ａ、３０ｂ及び３０ｃは、分配物を受給する処理装置内の処理物質上に化学品の落下を防ぐように、それぞれ戻し弁又は逆止弁部分３４ａ、３４ｂ及び３４ｃを含む。
　【００２３】
　図示されていないが、各出口２６ａ、２６ｂ及び２６ｃは処理装置の異なる処理部へ接続され、要求に応じて処理装置へ化学品を選択的に分配する。これが最上に達成されるように、処理装置の各処理部は、シリアルポートのような配線用ハーネス又は適当な手段を通じてコントローラ１４に個々に接続され、そして、適切な条件の下で、処理装置の各処理部は、適切な出口弁３０ａ、３０ｂ又は３０ｃを開放するようにコントローラ１４へ要求信号を送り、それへ化学品の選択量を分配する。
　【００２４】
　貯蔵器１２内の液体レベルセンサ３６は、貯蔵器１２の液体レベルの高低を検出する。液体レベルセンサ３６は、図１の符号３８で示す高位置と、図１の符号４０で示す低位置との間を移動する。液体レベルセンサ３６は、高液体レベルを感知したことを意味する高液体レベルを表わす第１の信号をコントローラ１４へ送り、低液体レベルを感知したことを意味する低液体レベルを表わす第２の信号をコントローラ１４へ送る。従って、液体レベルセンサ３６は高低の液体レベルの両方を検出する性能がある単一の液状流体レベル検出器であり、高低の液状流体レベル状態を意味する異なる信号をコントローラ１４へ送るための適切な手段を含む。あるいは、液体レベルセンサ３６は、高液体レベルセンサと別体の低液体レベルセンサとを含み、各々が高又は低液体レベルを表わす適切な信号をコントローラ１４へ送る。
　【００２５】
　サーボ制御型電子式の圧力調整器４２は、貯蔵器１２内に存在する液体に作用するように要求に応じて圧力を供給する。図２を参照すると、圧力調整器４２は、導管４４を通じて圧縮窒素又は空気を収容する。典型的には、圧縮窒素は約６０ｐｓｉ（プサイ）の圧力である。コントローラ１４は圧力調整器４２の動作を管理し、コントローラ１４からの信号に応答して要求に応じ圧力を圧力調整器４２に供給させる。
　【００２６】
　圧力センサ４６はその圧力を感知するように貯蔵器１２に接続する。コントローラ１４を介した圧力センサ４６と圧力調整器４２との間のサーボループは、選択された化学品の出口弁３０ａ、３０ｂ又は３０ｃが開放する前に、ユーザによってプログラムされた出口圧力対して貯蔵器１２に作用する圧力を安定するように採用される。
　【００２７】
　可制御三方弁４８は、導管５０、５２及び５４を経由
して、それぞれ後述するように、
　【００２８】
　排気インタロック５８は三方弁４８と貯蔵器１２との間の導管５２で接続される。排気インタロック５８は、三方弁４８が真空位置にあるときは、真空ベンチュリ管５６を経由して貯蔵器１２に排気させ、貯蔵器１２を各分配後の大気圧と均圧にする。排気インタロック５８は、導管５２の部分間に接続するチェンバ部６０と、高液体レベルセンサが故障した場合にチェンバ部６０の流出液体の存在を検出するためのチェンバ部６０に隣接した液体オーバフロー指示手段とを含む。従って、液体オーバフロー指示手段は、排気インタロック５８の付近の流出液体の存在を検出するための手段を提供する。好ましくは、液体オーバフロー指示手段は、チェンバ６０の外壁に取り付けられ、液体の接近を検出するように動作する静電容量センサ６２の形態で提供される。静電容量センサ即ちオーバフローセンサ６２は、コントローラ１４に接続され、液体が排気インタロック５８付近で検出されたときは、コントローラ１４へ適当な信号を送る。あるいは又、液体オーバフロー指示手段は、排気インタロック５８付近の液体を検出するフロートスイッチのような他の形態で提供される。図３に示すように、可動式栓６３は、密閉室部６０への接近を許すように移動され、液体オーバフローが検出されたとき、及び液体分配装置１０がメンテナンスのために動作停止になったときは、そこにあるどんな液体も掃き出す。
　【００２９】
　選択可能な弁６４は、真空ベンチュリ５６の動作を制御する。図３について説明すると、選択可能な弁６４は、パイロット弁マニホールド６６とマニホールド６６に接続された複数の個別に選択可能な弁要素６８ａ〜６８ｊを含んでもよい。各弁要素は、閉成位置と適切な部品に圧縮ガスを供給するための開放位置との間で、コントローラ１４からの適切な信号を介して個別に選択可能である。一般に、真空ベンチュリ５６は、排気導管７２を有するベンチュリ部材７０と、分配されるべき液状化学品と互換性のある圧縮窒素又は他のガス状流体を受けるための入口導管７４とを備えている。排気導管７２は、好ましくは互換性のあるハウス排気分配装置（図示せず）に接続されている。入口導管７４は弁６４の弁要素６８ｄの出口側に接続され、導管７６は、圧縮窒素ガス又は空気の供給源７８を、パイロット弁マニホールド６６の入口側に接続し、弁要素６８ａ〜６８ｊによって選択的に分配されるようにする。ベンチュリ部材７０内において、ベンチュリ部材７０の制限区域を介した圧縮ガスの流れは、ベルヌーイの原理に従って導管５４内に減圧された領域を作る。典型的には、減圧された圧力は２５４ｍｍ（１０インチ）Ｈｇであり得る。
　【００３０】
　コントローラ１４は弁６４と連結されて弁６４の開閉を取り扱う。コントローラ１４が弁４８を真空位置に切換えるのと同時に、コントローラ１４は、弁要素６８ｄを開放させる信号を通信する。弁要素６８ｄが開放されたとき、供給源７８からの圧縮窒素ガス又は空気は、真空ベンチュリ５６を通して流れ、導管５４内に真空又は低減された圧力を作り、導管５２、５４、排気インタロック５８及び真空位置にある弁４８を介して貯蔵器１２を減圧排気する。弁４８及び真空ベンチュリ５６に接続された導管５４内にある一般のワンウェイ逆止弁８０は、貯蔵器１２から空気が流れるように作用する一方、弁４８及び排気インタロック５８を介して貯蔵器１２に向けて反対方向に圧縮窒素ガス又は空気が流れ込むのを禁止する。減圧排気処理の終了時において、コントローラ１４は、弁要素６８ｄに信号を通信してそれらを閉成させる。
　【００３１】
　コントローラ１４が弁４８を真空位置に切換えて圧縮ガスが真空ベンチュリ５６を介して流れるようにしたとき、貯蔵器１２にかかる導管５４内の減圧は、貯蔵器１２の液体レベルが低液体レベル４０以下に下がったときに貯蔵器１２を液体で補充するためにも用いられる。分配装置が分配モードでないときに減圧が貯蔵器１２の補充に用いられるために、入口弁２２ａ、２２ｂ、２２ｃ又は２２ｄのうちの１つは開放され、貯蔵器１２内の減圧が、開放された入口に存在する液状化学品供給源から入口を介して貯蔵器１２内に液体を引くようにする。
　【００３２】
　コントローラ１４が真空ベンチュリを動作して貯蔵器１２内の減圧が貯蔵器１２内に液体を引くようにする代わりに、コントローラ１４は、圧力が液状化学品供給源にかかるようにし、液体を貯蔵器１２内に導入するようにしてもよい。これは、コントローラ１４が弁８１に信号を通信して弁８１を開放すると共に、コントローラ１４が圧力調整器４２と通信して、所定圧力の他の適切なガス状流体の窒素ガス又は空気を破線８３で示す導管を介して流すと共に液体供給源に作用し、開放された入口を介して液体を調整器１２内に導入させることにより達成され得る。
　【００３３】
　代わりに、各液体供給源が再加圧され得る。その結果、入口が開放されてこれらの再加圧された液体供給源の１つが導かれているとき、液体供給源の内圧は開放入口を介して貯蔵器１２内に液体を導入させるだろう。
　【００３４】
　フィルタ８２は、用いられる液状化学品に依存して、並びに、液状化学品による分配装置１０上に位置する処理要求に依存して、含まれてもよい。フィルタ８２は、含まれる場合、貯蔵器１２と出口弁３０ａ、３０ｂ及び３０ｃとの間に位置する。代わりに、図２に示すように、フィルタ８２は、以下のパラグラフで説明するように、貯蔵器１２の外側に位置してもよい。貯蔵器１２の前に位置する他のフィルタ８４は、導入されてくる圧力ガスが貯蔵器１２に入る前に圧力ガスを濾過する。
　【００３５】
　図２について説明すると、フィルタ８２は、貯蔵器１２の外側の封止されたフィルタ容器８６内に含まれてもよい。封止容器８６は、貯蔵器１２と出口２６ａ、２６ｂ及び２６ｃとの間の流路の導管セグメント２８及び９０を接続するのに適した入口及び出口を有するフランジ部８８と、フィルタ８２に近接するための取り外し可能な円筒部９２とを含む。代わりに、円筒部９２及びフィルタ８２は、カートリッジフィルタ上の一般のネジに結合されてもよい。貯蔵器１２は、貯蔵器１２の底から導く導管９０を介して封止容器８６の入力側に接続されている。導管９０内の手動弁９４は、貯蔵器１２を排水することなくフィルタ８２が交換され得るようにする。
　【００３６】
　図１及び図３について説明すると、フィルタ８２が貯蔵器１２内に位置する場合、フィルタ８２の上部は所定の点における低液体レベルの下に位置し、既知の保有量の液状化学品がフィルタ８２上の貯蔵器１２内に残るようにする。低液体レベル位置はフィルタ８２の上であり、従って、ガス状流体はフィルタ８２に入ることが抑制される。代わりに、図２に示すように、フィルタ８２への入口は、導管９０の入口側を貯蔵器１２の底に接続することにより、貯蔵器１２内の液体の低液体レベルに関連して接続されてもよい。同様に低液体レベル部分は導管９０の入力側の上であり、従って、既知の保有量の液状化学品が貯蔵器１２内に残る。
　【００３７】
　時間経過によりフィルタ８２が汚染物質で飽和するであろう理由から、貯蔵器１２に存在する化学液体にかかる圧力に関係してフィルタ８２を介した流れを低減し、圧力センサ４６は、図２及び図３に良く示されるように、フィルタ８２と出口弁３０ａ、３０ｂ及び３０ｃとの間の液体流通路の下流に位置する。この結果、フィルタ８２が含まれる場合、圧力センサ４６は、貯蔵器１２の静的圧力とフィルタ８２の下流の動的液流圧力との両方を検知する。従って、貯蔵器１２内の液体にかかる圧力は、圧力センサ４６を同一圧力に維持するために、上方に調整され得る。
　【００３８】
　フィルタ８２が含まれない場合、圧力センサ４６は、貯蔵器１２と出口弁３０ａ、３０ｂ及び３０ｃとの間の動的液流圧力を読み取る。この結果、フィルタ８２が含まれない場合、圧力センサ４６は、同様に、貯蔵器１２内の液体にかかる圧力を調整して圧力センサ４６が同一圧力に維持されるようにする。フィルタ８２が含まれているか否かによらず、出口２６ａ、２６ｂ及び２６ｃに近接した圧力センサ４６によって動的圧力は検知される。従って、１つ以上の出口２６ａ、２６ｂ又は２６ｃは、分配時にはいつでも開放されて、分配要求している処理装置の各部に１つ以上の出口を介して液状化学品が分配されるようにしてもよい。これは、サーボループが、圧力調整器４２により印加される圧力を上げて、圧力センサ４６により検知される圧力を同一圧力に維持することによって、付加的な出口が開放されるように補償するからである。
　【００３９】
　貯蔵器１２の底に近接して接続された手動排水弁９６は、貯蔵器１２を手動で排水できるようにする。排水弁９６を貯蔵器１２に接続する排水管１００内の一般のワンウェイ逆止弁９８は、排水管１００を介して貯蔵器１２に入る逆流を禁止する。排水のために除去可能な、排水管１００上のキャップ１０２は、排水管１００の内部を保護する。
　【００４０】
　好ましくは、コントローラ１４は、４つまでの液状化学品分配装置１０の操作が可能である。しかし、全ての分配装置がそれより少ないか又は多く構成されても、それはこの発明の範囲内にある。
　【００４１】
　コントローラ１４は、入口１８ａ、１８ｂ、１８ｃ又は１８ｄのいずれかに存在する供給源を分配しているどの空の液状化学品に対しても、視覚的手段及び聴覚的手段の両方を含む。コントローラ１４は、分配装置１０の運転停止が必要な事態に、ワイヤリングハーネスを介して接続された処理装置とも通信する。
　【００４２】
　全ての動作モードはコントローラ１４によって取り扱われる。動作モードは、好ましくは、キャリブレーション（較正）モード、分配モード、ノーマルモード、ガス抜きモード、浄化モード、排水モード及び停止モードを含む。コントローラ１４は、メインコンピュータ又は他のデバイスと通信するためのシリアルポートなどの適切な手段を含んでもよい。
　【００４３】
　コントローラ１４は、キーボード１６を介してユーザによりプログラムされ、動作モードに対するパラメータが設定される。この結果、ユーザは、ａ）選択的に液状化学品入口１８ａ、１８ｂ、１８ｃ又は１８ｄのどれか又は結合を選択してもよく、ｂ）圧力センサ４６により検知される圧力を設定してもよく、ｃ）フィルタ８２の下流の圧力センサ４６により検知される圧力と貯蔵器１２内に存在する液体にかかる圧力との圧力偏差制限又は圧力損失を設定してもよく、ｄ）各出口に対する時間間隔の分配量を設定してもよく、ｅ）開放された出口弁３０ａ、３０ｂ、３０ｃ及び３０ｄの数に無関係な不変の液流のためのサーボループの圧力を定めてもよく、ｆ）圧縮された貯蔵器１２に対するピーク圧力制限を設定してもよい。
　【００４４】
　分配装置１０は、図中に番号４が付されているがそれより多いか又は少ないことが可能な、複数の入口からの液状化学品供給源の切換を、液体レベルの検知機能及び液状化学品の分配機能と共に１つのユニットに集積する。分配装置１０は貯蔵器１２の大きさを変化可能にし、従って、分配装置１０は、液状化学品の分配適用の広い変化に適合可能となっている。用いられる液状化学品及び処理要求に依存して、分配装置１０は、液状化学品貯蔵器１２内の濾過と共に、又は濾過なしで動作するだろう。
　【００４５】
　複数の液体分配装置１０を備え得る全ての分配装置の動作は、以下の通りである。図４について説明すると、全ての分配装置がパワーアップされ、全ての入口弁及び出口弁はブロック１０３に示すように閉成され、続いて、次のブロック１０４で示すように、動作のアクティブメインモード即ち初期モードが起動され、各分配装置１０が、それらに接続されたホスト処理装置に出力するために、選択される。メインモードの間、コントローラ１４は、各分配装置１０についてブロック１０６〜１１２で示す種々のモードの１つが選択されているかを検査し、貯蔵器１２が臨界的に空を示す警報が、以下に定めるように、ブロック１１４で示すようにオンであるかを検査し、又、ブロック１１６で示すように、センサ６２に近接して液状化学品のオーバフローが存在するかを検査する。
　【００４６】
　もし、センサ６２に近接して液状化学品のオーバフローが検知されれば、オーバフローされた分配装置１０の全ての入口弁及び出口弁は閉成され、視覚的又は聴覚的なオーバフロー警報が与えられ、又、コントローラ１４により信号が送られ、ブロック１１７Ａ〜１１７Ｂで示すように、接続されたホスト処理装置がオーバフローされた分配装置１０に接続できないようにする。コントローラ１４により１つ以上の分配装置１０が取り扱われる場合、各々が１つの分配装置１０の各データを含むレジスタであるポインタは、ブロック１１７Ｃで示すように他の分配装置１０を選択するためにインクリメントされ、コントローラ１４は、ブロック１０４で示すように続けてアクティブメインモードを再開し、他の分配装置１０が動作状態（アクティブ）を続けているのに対し、オーバフローされた分配装置１０上で維持動作を実行できるようにする。理解され得るように、更に、分配サイクル及び補充サイクルは、過充填された貯蔵器により過充填が除去されるまで停止される。
　【００４７】
　各分配装置１０の動作モードの検査並びに各分配装置１０のセンサ６２に近接した液状化学品のオーバフローの検査の後、コントローラ１４は、分配装置の出口に接続された処理装置の各部分に信号を送り、ブロック１１８で示すように処理装置の各部分を動作可能にする。その後、コントローラ１４は、ブロック１２０〜１２４で示すように、各分配装置１０の接続された処理装置の各部分からトリガ入力変化を断続的に検査する。
　【００４８】
　１つの分配装置１０からトリガ変化が検知されたとき、コントローラ１４は、ブロック１２６〜１３０で示すようにトリガルーチンモジュール（図１０参照）を呼び出し、ブロック１３２に入る。トリガ変化の検査後、コントローラ１４は、ブロック１３４で示すように各分配装置１０のセンサ３６からの低液体レベル信号の変化に対する試験を行う。理解され得るように、低液体レベル信号は各貯蔵器の充填を制御する。もし、低液体レベル信号が変化した場合、コントローラ１４は、低検知ルーチン即ち貯蔵器補充サイクルモジュール（図１１参照）を呼び出し、適切な分配装置レジスタを受け渡す。低液体レベル信号の試験後、コントローラ１４は、ブロック１３６で示すように各分配装置１０のセンサ３６からの高液体レベル信号の変化に対する試験を行う。もし、高液体レベル信号が変化した場合、コントローラ１４は、高検知ルーチンモジュール（図１２参照）を呼び出し、適切な分配装置レジスタを受け渡す。
　【００４９】
　各分配装置１０の低液体レベルセンサ及び高液体レベルセンサの変化に対する検査が行われた後、コントローラ１４は、ブロック１３８で示すように、いずれかの分配装置１０の分配点が動作状態であるかを知るために検査を行う。もし、どの分配装置１０の分配点も全く動作状態でない場合、コントローラ１４は、ブロック１４０で示すように、その分配装置１０に対する補充サイクルが、トリガ信号によって割込み（インタラプト）されているかを知るために検査を行う。もし、補充サイクルが割込みされていれば、割込みされた分配装置１０と関連する補充タイマは復元（リストア）され、ブロック１４２で示すように、その補充サイクルが再開される。
　【００５０】
　もし、分配装置１０の分配点が動作状態であれば、コントローラ１４は、分配装置の圧力調整器４２により、その貯蔵器１２に印加される圧力と、分配装置の圧力センサ４６に存在する圧力とを読み取り、ブロック１４４で示すように、それらの差を計算する。圧力調整器４２により印加される圧力の好ましい測定方法は、圧力調整器４２のコイル両端間のサーボループの電圧又は電流をコントローラ１４により読むことである。センサ４６に存在する圧力の好ましい測定方法は、圧力センサ４６の両端間の電圧又は圧力センサ４６を通る電流をコントローラ１４により読むことである。コントローラ１４は、圧力調整器４２により印加される圧力を表わす値と、センサ４６に存在する圧力の値とを取り込み、それらの差を計算する。それらの差は、ブロック１４６で示すように、オペレータにより定められたその分配装置１０に対するプリセット制限と比較される。もし、その差がオペレータにより定められた制限より大きい場合は、視覚的手段又は聴覚的手段により、コントローラ１４は、ブロック１４８で示すように、その分配装置に対するプリセット制限が超過されたことを示し、いまが分配装置のフィルタ８２を交換するときであることを示す。各分配装置のプリセット制限は、分配装置により分配されている特定の液状化学品の粘度に依存して、又、フィルタの大きさ、即ち、０．２μｍ又は０．５μｍに依存して可変である。次に、差の値は、ブロック１５０で示すように、その分配装置に対する最後に記憶されたピーク差と比較される。もし、その差が最後に記憶されたピーク差より大きければ、ブロック１５２で示すように、古い値に代わって新しいピーク差が記憶される。
　【００５１】
　コントローラ１４がいずれかの分配装置１０に対する分配点が動作状態かを検査した後で、もし、各動作状態の分配装置に対して補充サイクルが割込みされたならば、コントローラ１４は、ブロック１５４で示すように、各分配装置１０に対する空のカウントが制限を
超え
８２
　【００５２】
　もし、いずれかの分配装置１０に対する空カウント数がその分配装置に対する制限を
超え
　【００５３】
　いずれかの分配装置１０の空カウント数が制限を
超え
　【００５４】
　その後、コントローラ１４は、次の分配装置１０を示す情報でポインタレジスタをインクリメントし、コントローラ１４は、ブロック１０４で示すように、初期起動点から動作のメインモードの続行を再開する。その結果、各分配装置１０は、動作のモード、そのセンサ６２に近接した液状化学品のオーバフロー、トリガ入力、液体レベル、動作（アクティブ）分配点、割込みされた補充サイクル、空カウント、及び、空の入力源、が続けて検査される。
　【００５５】
　液状化学品の分配を要求する処理装置の部分からのトリガ「オン」信号により分配モードが選択された場合、トリガ「オン」信号は、コントローラ１４に通信され、図４の判定ブロック１２０、１２２及び１２４で示すように、処理装置の特定部分と関連する。「オン」信号は、適切なインタフェースにより「オン」状態を示す使用可能な信号に変換され且つコントローラ１４と通信される電子的又は気体の形で生じ得る。その後、コントローラ１４は、
ブロック１２６
図１０内の
　【００５６】
　「オン」信号がトリガルーチンに受け渡されるので、トリガ判定ブロック１７４はそのルーチンの「オン」ブランチを選択する。「オン」ブランチに入った後、コントローラ１４は、特定の出口に導く分配装置の貯蔵器に対する補充サイクルがブロック１７６で示すように進行状態にあるかの試験を行う。もし、補充サイクルが進行状態にあれば、補充タイマの情報は、その分配装置の貯蔵器と関連するレジスタに格納され、ブロック１７８及び１８０で示すように補充サイクルは中断される。分配モードの終了時に補充サイクルが一旦再開されると、その終了点から補充時間が再開される。分配モードは、貯蔵器が臨界的に空である場合を除いて、全ての補充サイクルを
無効に
　【００５７】
　補充サイクルの存在の検査後、確認された分配装置と関連する三方弁４８は、コントローラ１４からの信号に応答してその圧力位置に移動される。弁４８の圧力位置への移動と共に、確認された分配装置と関連する圧力調整器４２は、コントローラ１４からの信号に応答して、ブロック１８２で示すように、確認された分配装置の導管５０、５２及び排気インタロック５８を介して、選択された
貯臓器
　【００５８】
　コントローラ１４は、圧力センサ４６の両端間の電圧又は圧力センサ４６を通る電流を読み取ることにより、圧力センサ４６に存在する圧力を判定する。圧力センサ４６と圧力調整器４２との間のサーボループが、ブロック１８４で示すように、圧力センサ４６に対するユーザの選択した所定許容量内の圧力に安定化する場合、コントローラ１４は、ブロック
１８６
　【００５９】
　しかし、もし、トリガルーチンに「オフ」信号が受け渡されると、判定ブロック１７４は、そのルーチンの「オフ」ブランチを選択する。「オフ」ブランチに入った後、コントローラ１４は、ブロック１９１で示すように、選択された出口に対する分配終了信号をオフに切換えて、ブロック１９３で示すように、選択された分配を中断し、以下に説明するブロック１９６〜２０６で示す動作を実行し、プログラムを呼び出すために戻る。
　【００６０】
　選択された出口内のオリフィス（図示せず）は、圧力センサ４６において維持される圧力と対応して流れ比率（フローレート）を判定する。流れレートは、オペレータにより選択されてコントローラー１４によりタイマにプログラムされる時間間隔と共に、所定特定量の液状化学品を、接続された処理装置の部分に分配されるようにする。タイマにプログラムされた所定時間間隔の終了時に、タイマは、開放された出口弁に信号を自動的に送ってそれを閉成させると共に、分配終了割込みサブモジュールを起動させ、ブロック１９２で示される分配終了割込みにジャンプする。理解され得るように、分配に対してプログラムされた時間は、サーボループが安定化した後に選択された出口弁３０ａ、３０ｂ又は３０ｃが開放されるまでは開始しない。
　【００６１】
　ブロック１９２で示すように分配終了割込みが起動されたとき、ブロック１９４で示すように閉成されていて開放された出口に対して分配終了信号が与えられる。分配終了信号が与えられた後、コントローラ１４は、ブロック１９３で示すように、選択された分配点を中断し、ブロック１９６で示すように、選択された貯蔵器の他のいずれかの分配点がまだ動作状態であるかの検査を行う。もし、他の全ての分配点が動作状態でなければ、選択された圧力調整器４２を介して貯蔵器に印加される圧力は、ブロック１９８で示されるようにオフされる。
　【００６２】
　圧力がオフされた後、選択された貯蔵器と関連する三方弁４８は、第２の真空位置に動かされ、判定ブロック２００で示されるように、ガス抜き（ｏｕｔ−ｇａｓ）モードが選択されたか否かの検査が行われる。もし、ガス抜きモードが選択されていれば、選択された貯蔵器と関連するベンチュリは、ブロック２０２で示されるように、圧力ガス流がベンチュリを介して３秒だけ流れるようにする信号を通信するコントローラ１４により動作状態にされ、これにより、選択された貯蔵器からの真空排気ガスに対して真空又は低圧力を作り出す。ガス抜きモードは、貯蔵器１２内に存在するいかなる空気又は窒素をも真空排気し、分配装置がそれ自身の環境にあることを可能にする。しかし、他の分配サイクルに対する信号は、このモードを無効にする。
　【００６３】
　もし、ガス抜きモードが選択されなければ、通常モード（図示せず）が選択される。通常モードにおいて、選択された貯蔵器は、選択された（しかし、動作状態にない）真空ベンチュリと第２の位置にある三方弁とを介して大気圧に自動的にガス抜きされる。他の分配サイクルに対する要求は、又、このモードをも無効にする。
　【００６４】
　選択された貯蔵器のいずれかの分配点が動作状態かの検査が終了した後、ブロック２０４で示されるように、低液体レベル信号の変化が試験される。もし、低液体レベル信号が、液体レベルが低液体レベルより低いことを示すならば、ブロック２０６で示されるように、空カウントがインクリメントされる。低液体レベル信号の試験が終了した後、分配終了の割込みは、不可能（ｄｉｓａｂｌｅ）になり、サブルーチンは、割込みが起きたプログラム内のアドレスに戻る。
　【００６５】
　電子的な圧力調整器４２は、出力負荷に応じてプログラムされた圧力センサ４６を一定に保持するように調整するだろう。化学的なフィルタ８２は、負荷された超過時間となるだろう。従って、圧力調整器４２は、貯蔵器１２へ印加される圧力を上方に調整し、圧力センサ
４６
　【００６６】
　分配装置の保存が必要とされるとき、図４に示す浄化モードが選択され、ブロック２０８で示すような浄化モードが呼び出され、どの分配装置が浄化されるべきかを示すパラメータが通過する。図６を参照すると、浄化モードが詳細に示されている。まず、浄化すべき分配装置に接続されたホスト処理装置が、ブロック２１０で示すように、コントローラ１４から信号を通して使用禁止される。ホスト処理装置の使用禁止後、ブロック２１２で示すように、コントローラ１４はインタロック５８に隣接する液体の存在についてオーバフローセンサ６２からの信号を試験する。液体がインタロック５８の近くにあることを信号が示すならば、ブロック２１４で示すように浄化すべき分配装置の全ての入口及び出口弁を閉成し、視覚又は聴覚可能で、オーバフローが検出された分配装置を示すオーバフロー警報を与える。
　【００６７】
　インタロック５８の近くに液体オーバフローが検出されなければ、コントローラ１４は、ブロック２１６で示すように、変更のため、浄化すべき分配装置のセンサ３６からの低液体レベル信号を試験する。ブロック２１８で示すように、信号が変更されると、コントローラ１４は、図１１に示す低検知ルーチンを呼び、適当な分配装置レジスタを通す。低液体レベル信号の試験後、ブロック２２０に示すように、コントローラ１４は変更のため浄化すべき分配装置のセンサ３６からの高液体レベル信号を試験する。ブロック２２２で示すように、信号が変更されると、コントローラ１４は図１２に示す高検知ルーチンを呼び、適当な分配装置レジスタを通す。
　【００６８】
　浄化すべき分配装置の低及び高液体レベルセンサで検査後、ブロック２２４で示すように、コントローラ１４は浄化すべき分配装置の貯蔵器が補充しようとしているかどうかを知るために検査する。浄化すべき分配装置の貯蔵器が補充しようとしてなければ、ブロック２２６に示すように、コントローラ１４はその入口弁２２ａ、２２ｂ、２２ｃを全てターンオフする。その入口弁をターンオフ後、コントローラ１４は信号を三方弁４８に送り、弁を圧力調整器４２が貯蔵器１２と連通する圧力位置まで動かせ、圧力調整器４２からの圧力を浄化すべき貯蔵器に作用させ、そしてブロック２２８で示すように、浄化すべき分配装置の予め選択された出口弁が開き、貯蔵器を浄化させる。圧力調整器４２を動作し、選択された出口弁を開いた後、ブロック２３０で示すように、分配装置の１つのデータを夫々含むポインタレジスタはインクリメントされて次の分配装置を選択し、ブロック２３２で示すように、浄化ルーチンはメインモードに戻るが、オペレータがキーボードを介して浄化サイクルを終了するまで、浄化モードは動作したままである。
　【００６９】
　分配装置を排水することが所望されるとき、図４に示すように、排水モードが選択され、ブロック２３４で示すように、排水モードが呼び出され、どの分配装置が排水されるべきかを示すパラメータが通される。図５において、排水モードを詳細に示す。まず、ブロック２３６で示すように、排水すべき分配装置に接続されたホスト処理装置でコントローラ１４からの信号を通して使用禁止される。ホスト処理装置の使用禁止後、ブロック２３８で示すように、コントローラ１４は排水すべき分配装置の入口弁２２ａ、２２ｂ及び２２ｃの全てをターンオフする信号を送る。全ての入口弁のターンオフ後、ブロック２４０で示すように、コントローラ１４は浄化モードで述べたと同じように、圧力を排水すべき貯蔵器に印加し、選択した出口弁を開き、貯蔵器を排水させる。圧力を排水すべき貯蔵器に印加し、選択した弁を開いた後、ブロック２４２で示すように、分配装置の１つを表わすデータを夫々含むポインタレジスタはインクリメントされて次の分配装置を選択し、そして、ブロック２４４で示すように排水モードはメインモードに戻るが、排水モードはオペレータがキーボードを通して排水サイクルを終了するまで動作したままである。これは出口へのラインを乾燥させる利点を有する。
　【００７０】
　浄化及び排水モードに対して、コントローラ１４はオペレータに「０」出口弁を選択させる。この選択により浄化又は排水される分配装置を循環させ、排水又は浄化すべき分配装置の手動排水弁９６と関連して使用時に、その点で液状化学品を排水、供給又はサンプルさせる。
　【００７１】
　図４のブロック１１４で示すように、貯蔵器の臨界的空警報が現れるとき、又は、図４のブロック１５４で示すように、空カウントが限界値を
超え
　【００７２】
　図１１において、ブロック１６２、２１８又は２４６を経て低検知又は貯蔵器補充モジュールが呼ばれるとき、コントローラ
１４
　【００７３】
　又、アルゴリズムに示していないが、補充に必要な分配装置の三方弁をその真空位置におく代わりに、コントローラ１４により信号をサーボ弁８１に送り、それを圧力調整器４２と連絡しているコントローラ１４に沿って開き、所定圧力のガス状液体をオペレータによりプログラムさせ、導管８３を通して流し、選択した液体供給源に対して作用し、充填すべき貯蔵器に開弁を通して液体を流す。
　【００７４】
　分配装置の１つの液体レベルセンサ３６が高液体レベルを示す信号を貯蔵器１２に送るとき、図４のブロック１６４及び２５８で示すように、高検知モジュールが呼ばれる。図１２において、高検知サブルーチンモジュールを示す。モジュールが入ると、ブロック２６０で示すように、コントローラ１４はまず高液体レベル信号があるかどうかを検査する。高液体レベル信号がなければ、その後サブルーチンは呼びルーチンに戻る。高液体レベル信号があれば、コントローラ１４は、信号を満杯の貯蔵器の真空ベンチュリ５６を不動作としている弁６４に送ると共に、信号を選択した入口弁に送ってそれを閉成し、ブロック２６２に示すように補充割込みを使用禁止する。ベンチュリをターンオフし、入口弁を閉成し、補充割込みを使用禁止した後、ブロック２６４で示すように補充タイマは所定時間間隔にリセットされる。補充タイマをリセット後、判断ブロック２６６で示すように、満杯の貯蔵器に対する貯蔵器空警報をオンしたかどうかを見るため検査する。貯蔵器空警報がオンならば、ブロック２６８で示すように警報が非空状態にリセットされる。貯蔵器空警報状態を検査後、コントローラ１４は、ブロック２７０で示すように、選択された貯蔵器が空としてメモリにフラグを立てているかどうかを検査する。貯蔵器が空としてフラグを立てていたならば、フラグはリセットされ、ブロック２７２に示すように、選択された貯蔵器が今や満杯であることを示す。貯蔵器が空としてフラグを立てているかどうかを検査した後、ブロック２７４で示すように、補充貯蔵器の空カウントはプログラム値にリセットされ、サブルーチンが呼びプログラムに戻る。
　【００７５】
　充填されつつある貯蔵器が所定時間間隔内で満たされないとき、選択した入口にある液状化学品供給源がコントローラ１４により空を考慮され、図１３に示す補充割込みモジュールが呼ばれる。図１３において、補充割込みモジュールが呼ばれるとき、貯蔵器に導いている入口に接続された利用可能な液状化学品供給源の数が決定される。ブロック２７６で示すように、液体供給源の１つが今や空であることを示す。利用可能な液状化学品供給源の数をデクリメントした後、ブロック２７８で示すように残りの液状化学品供給源の数が零に等しいかどうかの検査を行い、分配装置の液体供給源が全て空であることを示す。残りの液状化学品供給源の数が零に等しければ、ブロック２８０で示すように、貯蔵器を満たすために動作した真空ベンチュリ５６は不動作とされ、選択された入口弁はコントローラ１４からの信号を通して閉成される。ベンチュリの不動作且つ選択した入口弁のターンオフ後、ブロック２８２で示すように、補充タイマはターンオフされる。補充タイマのターンオフ後、ブロック２８４で示すように、その貯蔵器に至る化学的液体供給源の全てが空であることを表わすメインプログラムにパラメータを通す。メインプログラムにパラメータを通過後、ブロック２８６で示すように、補充割込みを使用禁止し、サブルーチンは割込みが起きている呼びプログラムのアドレスに戻る。
　【００７６】
　液状化学品供給源の数が零に等しくなければ、ブロック２８８で示すように、選択された入口弁は閉成され、満杯とすべき貯蔵器に至るその他の入口弁はコントローラ１４からの信号を通して開かれ、貯蔵器は他の液体供給源から満たし続けられる。好ましくは、この切換えは４つの個所の入口間で生じる。空の入口を閉成し、その他の入口弁を開いた後、ブロック２９０で示すように、開いた入口弁を制御している補充タイマは貯蔵器を満たす所定の時間間隔に設定され、サブルーチンは割込みが生じている呼びプログラムのアドレスに戻る。
　【００７７】
　分配装置の較正が必要とされるとき、図４に示すように較正モードが選択され、ブロック２９２で示すように較正ルーチンが呼び出され、ステップカウンタが零をステップし始め、どの分配装置を較正すべきかを示すパラメータを通す。図８において、較正モードが詳細に示される。まずブロック２９４で示すように、コントローラ１４は較正すべき分配装置のステップカウンタがステップ零を示すかどうかを検査する。ステップカウンタがステップ零を示すとき、ブロック２９６で示すように、コントローラ１４は較正すべき分配装置に接続されたホスト処理装置を使用禁止する信号と共に較正すべき分配装置の全ての入口及び出口弁をそれ等の閉成位置に戻す信号を送る。ホスト処理装置を使用禁止し、全ての弁を閉成した後、ブロック２９８で示すように信号を分配装置の三方弁４８に送り、弁をその圧力位置に動かし、貯蔵器の圧力を３プサイに設定することにより、コントローラ１４は較正すべき分配装置の圧力調整器４２をその貯蔵器と連絡する。圧力を設定し、圧力をターンオン後、ブロック３００で示すように、コントローラ１４は、オペレータ用の情報を表示する。オペレータへの情報の表示後、コントローラ１４は、夫々１分配装置当りの情報を含むポインタレジスタを次の分配装置に対してインクリメントし、ステップカウンタを１ステップだけインクリメントして呼びプログラムへ戻る。
　【００７８】
　判断ブロック３０４で示すようにステップカウンタがステップ１を示すならば、較正すべき分配装置に接続された圧力調整器４２は、ブロック３０６で示すように１５プサイの圧力に設定され、この情報はブロック３０８で示すようにオペレータに表示される。ブロック３０２で示すように、ポインタレジスタは次の分配装置に対してインクリメントされ、ステップカウンタは１ステップだけインクリメントされ、サブルーチンはメイン呼びルーチンに戻る。
　【００７９】
　判断ブロック３１０で示すように、ステップカウンタがステップ２を示すならば、コントローラ１４は、較正すべき分配装置の圧力調整器４２と連絡し、ブロック３１２で示すように、その圧力を１０プサイに設定する。圧力を１０プサイに設定した後、コントローラ１４は、ブロック３１４で示すように、圧力が１０プサイに設定されていることを示す情報を表示する。オペレータへの情報の表示後、ブロック３１６で示すように、ステップカウンタはステップ３にインクリメントされ、ブロック３０２で示すように、ポインタレジスタは次の分配装置に対してインクリメントされ、サブルーチンはメインプログラムに戻る。
　【００８０】
　判断ブロック３１８で示すように、ステップカウンタがステップ３を示すならば、判断ブロック３２０で示すように、キーボードを通して「１」又は「０」が入力されたかどうかの検査がなされる。入力がなされなければ、ブロック３０２で示すように、ポインタレジスタは次の分配装置に対してインクリメントされ、サブルーチンは呼びプログラムに戻る。「０」が入力されると、ブロック３２２で示すように、コントローラ１４は信号を圧力調整器４２に送り、圧力を０．１５プサイだけ低くさせる。圧力を下げた後、ブロック３０２で示すように、ポインタレジスタは次の分配装置に対してインクリメントされ、サブルーチンは呼びプログラムに戻る。「１」がキーボードを通して入力されると、ブロック３２４で示すように、コントローラ１４は信号を圧力調整器４２へ送り、印加される圧力を０．１５プサイだけ増加させる。圧力の増加後、ブロック３０２に示すように、ポインタレジスタは次の分配装置に対してインクリメントされ、サブルーチンは呼びプログラムに戻る。分配装置がオペレータに対して１０プサイを示すときはいつでも、オペレータはキーボードを通して適当な入力を選択し、このキーボードはコントローラ１４と連絡してステップカウンタをステップ４にインクリメントさせる。
　【００８１】
　判断ブロック３２６で示すように、ステップカウンタがステップ４を示すならば、ブロック３２８で示すように、コントローラ１４は、圧力調整器４２のコイルにかかる電流を読み取り、貯蔵器へ印加される圧力の値を決定し、読み取られた圧力の値をオペレータにより入力されたプリセットテーブル値の間の差を計算する。差を見い出した後、ブロック３３０で示すように、読み取った値がプリセットテーブル値に対するオフセットとしてメモリにたくわえられる。読み取った値を格納した後、ブロック３３２で示すように、ステップカウンタはステップ５までインクリメントされる。
　【００８２】
　判断ブロック３３４で示すように、ステップカウンタがステップ５を示すならば、ブロック３３６で示すように、コントローラ１４は圧力調整器４２と連絡し、ブロック３３６で示すように、貯蔵器に印加すべき圧力を３プサイに設定する。圧力の設定後、ブロック３３８で示すように、貯蔵器用補充タイマは３秒に設定される。タイマ設定後、ブロック３４０で示すように、較正割込みが使用可能にされる。割込み使用可能後、ブロック３４２で示すように、圧力情報及びタイマ情報がターミナル又はその他の適当な手段によりオペレータ検査のため表示される。オペレータに対する情報の表示後、ブロック３４４で示すように、ステップカウンタは、ステップ６までインクリメントされる。ステップカウンタのインクリメント後、ブロック３４６で示すように、ポインタレジスタはインクリメントされて次の分配装置を選択し、サブルーチンは呼びプログラムに戻る。
　【００８３】
　ブロック３４８で示すように、ステップカウンタがステップ６を示すならば、ブロック３４６で示すように、ポインタレジスタは次の分配装置に対してインクリメントされ、サブルーチンはメインプログラムに戻る。ブロック３４８で示すように、ステップカウンタが６より大きなステップ値を示すならば、致命的なエラーが現れ、ブロック３５０で示すように、ソフトブーツパワーオンが実行され、図４のブロック３５２で示すようにプログラムをパワーオンサイクルにジャンプさせ、総合分配装置が再開始される。
　【００８４】
　ブロック３３８又は３６８のタイマセットが尽きると較正割込みルーチンモジュールが入力される。図９において、較正割込みサブルーチンを示す。ルーチンが呼ばれると、ブロック３５４で示すように、コントローラ１４は圧力センサ４６にある圧力の値を読み取り、メモリのセンサテーブルに読み取った圧力の値を記憶する。圧力の読み取り後、ブロック３５６で示すように、コントローラ１４は圧力調整器４２と連絡し、圧力調整器４２に貯蔵器に印加される圧力を１プサイだけ増加させる。圧力の増加後、ブロック３５８で示すように、コントローラ１４は圧力センサ４６の圧力を読み取り、圧力の値が１５プサイより大きいかどうかを検査する。圧力の値が１５プサイより大きければ、補充タイマはブロック３６０で示すようにターンオフし、較正割込みがブロック３６２で示すように使用禁止し、較正分配装置がそのランモードに置かれ、そのランモード状態がブロック３６４で示すようにコントローラ１４の表示器に示される。較正分配装置をそのランモードに置いた後、コントローラ１４は、その圧力調整器４２と連絡し、ブロック３６６で示すように、貯蔵器に印加すべき圧力をターンオフさせ、割込みモジュールは割込みが起きた呼びプログラムのアドレスに戻る。
　【００８５】
　圧力センサ４６で検出された圧力の値が１５プサイより大きくなければ、タイマはブロック３６８で示すように、付加的な１秒の間再プログラムし、較正割込みルーチンは較正割込みが生じたとき呼びプログラムのアドレスに戻る。
　【００８６】
　１つの分配装置を不動作にしたいとき、図４に示すように放棄モードが選択され、ブロック３６８で示すように、放棄ルーチンモードが呼び出され、どの分配装置を不動作にすべきかを示すパラメータを通す。図７において、放棄モードを詳細に示す。まずコントローラ１４は信号を不動作とすべき分配装置のホスト処理装置に送り、ブロック３７０で示すように、接続されたホスト処理装置を使用禁止する。ホスト処理装置を使用禁止後、コントローラ１４は閉成信号を不動作とすべき分配装置の全ての入口弁及び出口弁に送り、ブロック３７２で示すように、全ての入口弁及び出口弁を閉成させる。全ての入口弁及び出口弁を閉成した後夫々１つの分配装置を表わすデータを含むポインタレジスタはブロック３７４で示すように、次の分配装置に対してインクリメントされ、放棄サブルーチンはメインプログラムに戻る。
　【００８７】
　図１４〜３４において、連動的に動作するキーボード割込みルーチンをその個別のサブルーチンと共に示す。キーボードのキーの１つがオペレータにより押されてある動作モードを選択すると、分配装置の動作又はその他の理由を制御するためのパラメータを入力し、押されたキーを読み取るのにキーボード割込みが呼び出され、その値をコントローラ１４に通して分配装置の動作の制御に使用する。アルゴリズムがコード化される用語に応じて、図１４〜３４の入力アルゴリズムは必要ない。
　【００８８】
　この発明の上記開示及び説明は例示的なものであり、この発明の要旨を逸脱することなく例示した装置の方法及び詳細において種々の変更を成し得る。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　この発明の液体分配装置の好ましい実施例を示す系統図である。
　【図２】　液体の流れを濾過するための別の好ましいフィルタ装置を示し、この発明の液体分配装置を示す第２の系統図である。
　【図３】　この発明の液体分配装置を示す第３の系統図である。
　【図４】　この発明の液体分配装置の連続した主動作すなわち主動作モード及びこの主動作モード内に含まれた貯蔵器空臨界の従動作モードを示すフローチャート図である。
　【図５】　この発明の排出モードを示すフローチャート図である。
　【図６】　この発明の浄化モードを示すフローチャート図である。
　【図７】　この発明の休止モードを示すフローチャート図である。
　【図８】　この発明の較正モードを示すフローチャート図である。
　【図９】　この発明の較正モード中に割込み可能にされる較正割込みモジュールを示すフローチャート図である。
　【図１０】　この発明の要求あり次第液体を分配するトリガモジュール、及び分配時間間隔の最後で動作される分配の終了割込みサブモジュールを示すフローチャート図である。
　【図１１】　この発明の低レベル検知モジュールを示すフローチャート図である。
　【図１２】　この発明の高レベル検知モジュールを示すフローチャート図である。
　【図１３】　この発明の低レベル検知モジュール中で割込み可能にされる補充モジュールを示すフローチャート図である。
　【図１４】　この発明の連続動作のキーボード割込みルーチンを示すフローチャート図である。
　【図１５】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図１６】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図１７】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図１８】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図１９】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図２０】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図２１】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図２２】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図２３】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図２４】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図２５】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図２６】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図２７】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図２８】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図２９】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図３０】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図３１】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図３２】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図３３】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【図３４】　この発明のキーボード割込みルーチンのサブルーチンを示すフローチャート図である。
　【符号の説明】
　１０　液体分配装置、１２　貯蔵器、１４　コントローラ、１６　キーボード、１８ａ〜１８ｄ　入口、２２ａ〜２２ｄ　入口弁、２６ａ〜２６ｃ　出口、３０ａ〜３０ｃ　出口弁、３６　液体レベルセンサ、４２　圧力調整器、４６　圧力センサ、４８、６４　三方弁、５６　真空ベンチュリ、５８　排気インタロック、６０　チェンバ、６２　オーバフローセンサ、６６　マニホールド、６８　弁部材、７０　ベンチュリ部材、７８　供給源、８０、９８　ワンウェイ逆止弁、８２　フィルタ。