【事件の表示】
　平成　７年特許願第　１７１２６号「ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法」拒絶査定に対する審判事件［平成　７年１０月３１日出願公開、特開平　７−２８７３８７］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成７年２月３日（パリ条約による優先権主張１９９４年２月３日、大韓民国）の出願であって、「ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法」に関するものと認められる。
　
２．原査定の理由
　一方、原査定の拒絶の理由の概要は、以下のとおりである。
「この出願は、明細書及び図面の記載が下記の点で、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない。
　　　　　　　　　　 　　　　　記　　　　　　　　　　　
　明細書中には、図５の状態から感光膜を塗布した後、背面露光すると図６の状態になると記載されているが、光の回折を考慮すると、図６のような状態にはならず、下図２あるいは３のような状態になると認められる。（光の回折は下図１のようになり、領域Ａを透過した光と領域Ｂを透過した光は、互いに位相が１８０゜ずれているので、斜線を施した領域Ｃにおいて干渉することとなる。ここで、領域Ａの透過率により領域Ｃの部分の感光膜が感光するか否かが決定し、透過率が大きければ、干渉により領域Ｃの部分の光が弱くなって感光膜が感光せず、小さければ、逆になるので、それぞれ、下図２、３のようになる。)
《図１》　　　　　　　　　　　　　　　　　　
《図２》
《図３》
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
３．当審における拒絶理由通知書および審尋書の理由・内容
（１）ここで、当審が平成１１年６月８日付（起案日）で発した拒絶理由通知における理由２は、以下のとおりである。
「本件出願は、明細書及び図面の記載が下記の点で不備のため、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない。
　
・図６
　上記図には、感光層２８の傘型突出部の基底部がハーフトーン透過膜２３に密着している旨記載されているが、技術的常識からみて、当該密着が起こり得るものとは認められない。したがって、上記図は、技術的に意味が不明であり、実証されたものとはいえず、当業者が容易に発明を実施できる程度に記載しているものとは認められない。
（なお、審判請求理由補充書に添付された参考資料の実験例は、ポジ型感光剤の使用、感光膜の形状の相違、マスク（Ｃｒ）の相違、半導体基板の有無等、本願発明の方法と多種多岐にわたる条件相違があり、図６を補足し得るものとは認められず、採用できない。）」
（２）さらに、当審が平成１１年１０月１４日付（起案日）で発した審尋書の内容は、以下のとおりである。
「当審では、合議の結果、下記の見解を一応有するに至ったが、該見解に係る下記事項について、回答されたい。
　　　　　　　　　　　　　　　記
　
・見解
  本願における図６は依然として技術的に意味が不明である。
　
　審判請求人は、平成１１年９月２２日付意見書において、感光層の形状が、図６に示されたとおり、キノコ状となりその傘型突出部の基底部がハーフトーン透過膜２３に密着している点につき、縷々説明しているが、当該説明は、下記１および２の事項により技術的に誤っているか不明確なものであるから採用できない。
１．基材層、シフタ層およびハーフトーン層を透過する光に関する検討が全く行われていない。
２．第３工程で露光する際の光がコヒーレントなものか否かによって、全く露光結果が異なるにも拘わらず、光の種類に関する規定はない。
（ちなみに、前審の拒絶理由における検討では、コヒーレントな光を使用した場合について検討しており、当該検討結果に特段の技術的誤りはない。）
　
　したがって、当該感光層の形状が、図６に記載のとおりであることを証明し得る証拠を提示されたい。
（例えば、形状が判別できる写真等）」
　
４．審判請求人の主張
　それらに対して、審判請求人（出願人）は、各拒絶理由通知ないし審尋に対する意見書等において、以下のとおり、それぞれ主張している。
（１）平成９年６月１１日付意見書
　上記意見書において、審判請求人は、本件発明の場合、レジストの露光に必要なエネルギーより高いエネルギーにより背面露光を行うことにより、図６のような感光膜の形状となる旨主張している。
（第２頁第９行〜第３頁第６行）
（２）本件審判請求理由補充書
　上記理由補充書において、審判請求人は、審査過程において、審査官に提示した実験結果に係る参考資料を再度提示し、さらに、本件発明の場合、ハーフトーン層のエッジ部上方にレジスト感光膜が存在することが重要であって、図６におけるようなハーフトーン層にレジスト感光膜の底面が密着する形状になる必要はない旨主張している。
（第４頁第１６行〜第７頁第５行）
（３）平成１１年９月２２日付意見書
　上記意見書において、審判請求人は、光の回折現象に基づく露光エネルギーに対するネガティブ感光膜の特性変化により、適正露光エネルギーより大きいエネルギーで露光した場合、ハーフトーン層のエッジ部上方にレジスト感光膜を存在させることができる旨主張している。
（第２頁第１行〜第３頁第２行）
（４）平成１２年１月３１日付回答書
　上記回答書において、審判請求人は、シミュレーション結果を提示し、当該結果に基づき、マスクの開口部のエッジ部の上方に感光膜が形成される旨主張している。
（第１頁下から第１１行〜第２頁第１６行）
　
５．当審の判断
　そこで、上記４．の審判請求人の主張をそれぞれ以下検討する。
　まず、上記（２）における参考資料に係る実験および上記（４）におけるシミュレーションは、単に光遮蔽層のみが存するマスクを使用する場合に関するもののみであって、本件発明のハーフトーン層および位相シフト層が存するマスクを使用するものではなく、他に、上記４．（１）〜（４）において、ハーフトーン層および位相シフト層を有するマスクを使用した場合に係る記載はない。
　しかるに、本願の出願の審査過程および当審の審理過程において、本件発明における背面露光により、感光膜が図６のように開口部の周囲のハーフトーン層のエッジ部上面に密着する部分を有する傘状部を形成する点について技術的に不明である旨の拒絶理由通知等を複数回通知し、さらに同旨の当審の見解を記載した審尋を行ったが、当該事項を技術常識に照らして肯首し得る説明・記載は、審判請求人の上記４．の各主張に存しないから、依然として図６は技術的に意味が不明である。
　なお、審判請求人は、上記４．（１）において、審査官の技術的認定に対して、「本願発明においては、露光に必要なエネルギーより高いエネルギーを持った光で背面露光するため、感光膜は、本願に添付した図面の図６に記載されたような形状になるものである」旨一応主張（第２頁第２３行〜第２５行）しているが、当該主張は、ハーフトーン層および位相シフト層を透過する光についての技術的考察が欠けているものであり、感光膜が図６の形状になることの技術的根拠になっていない。
　また、上記図６の感光膜形状の形成は、本件発明の製造方法におけるハーフトーン層および位相シフト層の形成およびその形状を直接的に左右する技術事項であって、当該感光膜形状の形成が不明である場合、本件発明の実施に影響を及ぼすことは明らかである。
　したがって、本件明細書および図面の記載では、本件発明を当業者が容易に実施できる程度に記載されているものではない。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、本件明細書および図面は、当業者が容易に実施できる程度に記載されているものでないから、特許法第３６条第４項の規定を満たしていない。
　よって、結論のとおり審決する。