【事件の表示】
　特許第３２４０６０１号「動圧軸受における動圧溝の電解加工方法及び装置」の請求項１、２、６、８に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２４０６０１号の請求項１、２、７、９に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第３２４０６０１号の請求項１、２、６、８に係る発明についての出願は、平成８年９月１０日に特許出願され、平成１３年１０月１９日にその特許権の設定登録がなされ、その後、特許異議申立人木島睦也より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年１１月５日に訂正請求がなされ、再度取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１５年３月２０日に上記訂正請求が取り下げられるとともに、再度訂正請求がなされたものである。
　
第２　訂正の適否についての判断
１　訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
（１）訂正事項Ａ
　特許請求の範囲を以下のとおり訂正する。
「【請求項１】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであつて、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求めるとともに、設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて予め設定しておいた目標総電気量を前記総電気量と比較して、前記軸受素材における動圧造形状の電解加工量を制御するようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
【請求項２】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　電解加工量の制御は、電極工具と軸受素材との間の通電を、設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて演算した目標加工量に対応した総電気量を得るための総通電時間経過時に停止して行うようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
【請求項３】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電極工具の電極露出部を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下の幅に設定しておき、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求め、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて、前記軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御することにより、０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下の幅を有する動圧溝を軸受素材に形成するようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
【請求項４】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電極工具の電極露出部を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下の幅に設定しておき、
　電解加工量の制御は、電極工具と軸受素材との間の通電を、目標加工量に対応した総電気量を得るための総通電時間経過時に停止して行うことにより、０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下の幅を有する動圧溝を軸受素材に形成するようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
【請求項５】　請求項１又は２記載の軸受素材が中空円筒体からなるとともに、電極工具が上記軸受素材の中空内部に同軸的に挿入可能な円柱体からなり、上記軸受素材を構成する中空円筒体の内周面に、ラジアル軸受用の動圧溝を形成するようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
【請求項６】　請求項１又は２記載の電極工具と軸受素材との間に流動する電解液の流れ方向を逆転させて加工量の偏りを均一化する電解加工を行うようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
【請求項７】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するように構成した電解加工装置において、
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、
　上記加工制御手段は、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により前記電解加工用電源から与えられた総電気量を求めるとともに、予め求めておいた設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて、予め設定しておいた目標総電気量に対応した総電気量を得るための総通電時間を演算する演算手段を備えていることを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工装置。
【請求項８】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するように構成した電解加工装置において、
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、
　前記軸受素材に０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下の幅を有する動圧溝を形成するように、電極工具の電極露出部の幅を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下に設定したものであるとともに、
　上記加工制御手段は，電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により総電気量を求め、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な電解加工量を制御する電気量演算手段を備えていることを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工装置。
【請求項９】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するように構成した電解加工装置において、
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記湾形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、
　上記加工制御手段は、設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて演算した目標加工量に対応した総電気量を得るための総通電時間経過時に上記電極工具と軸受素材との間の通電を停止して電解加工量を制御する通電制御手段を備えていることを特徴とする電解加工装置。
【請求項１０】　請求項９記載の通電制御手段は、電気量演算手段により算出された設定時間経過時に通電を停止するタイマー又はパルスカウント手段を有していることを特徴とする電解加工装置。」
（２）訂正事項Ｂ
　明細書の段落【０００８】を以下のとおり訂正する。
「【０００８】
【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するため、本発明にかかる動圧軸受における動圧溝の電解加工方法は、軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、前記電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求めるとともに、設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて予め設定しておいた目標総電気量を前記総電気量と比較して、前記軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する構成になされている。」
（３）訂正事項Ｃ
　明細書の段落【０００９】を以下のとおり訂正する。
 「【０００９】
　また、本発明にかかる動圧軸受における動圧溝の電解加工装置は、軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するように構成した電解加工装置において、電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、上記加工制御手段は、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により前記電解加工用電源から与えられた総電気量を求めるとともに、予め求めておいた設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて、予め設定しておいた目標総電気量に対応した総電気量を得るための総通電時間を演算する演算手段を備えた構成、あるいは上記加工制御手段が、電極工具と軸受素材との間の通電を、目標加工量に対応した総電気量を得るための総通電時間経過時に停止して電解加工量を制御する通電制御手段を備えた構成になされている。」
（４）訂正事項Ｄ
　明細書の段落【００１１】を以下のとおり訂正する。
「【００１１】
　このとき請求項６記載のように、電極工具と軸受素材との間に流動する電解液の流動方向を逆転させて、電解加工部を通る電解液の流れ方向を交互にすることとすれば、電解液の流れ方向における位置による加工量の差異が平均化されることとなって良好な加工状態が得られる。」
（５）訂正事項Ｅ
　明細書の段落【００２２】を以下のとおり訂正する。
「【００２２】
　上述した電気量演算手段２７における演算は、例えば軸受素材としてＳＵＳ３０４を用いた場合の図３及び図４に示されているような関係データ、すなわち予め求めておいた設定電圧ごとの電極工具２３の工具幅（電極露出部２３ａの溝幅）と、それに対応する電解加工量（溝深さ及び溝幅）との関係データに基づいて実行されるようになっている。以下、この点について詳しく説明する。」
　
２　訂正の目的、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
（１）訂正事項Ａについて
　請求項１、２についての訂正は、訂正前の請求項１に係る発明の発明特定事項である「関係データ」を「設定電圧ごとに電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝に溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データ」とし、その前後の記載を整理するもので、「関係データ」の意味を明らかにすると共に、技術的限定を加えたものであるから、特許請求の範囲の減縮、及び明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当する。そして、当該訂正は訂正前の明細書の段落【００２２】〜【００２６】の記載に基づくものであるから、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　請求項３、４についての訂正は、訂正前の請求項１、２を引用する訂正前の請求項３を、今回の訂正に伴い、その記載を整理して独立した請求項とするものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする明細書の訂正に該当する。そして、当該訂正は、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　請求項５、６についての訂正は、訂正前の請求項３を新たに請求項３、４に訂正したことに伴い、請求項の番号を繰り下げたものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。そして、当該訂正は、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　請求項７についての訂正は、訂正前の請求項６に係る発明の発明特定事項である「関係データ」を「設定電圧ごとに電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝に溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データ」とし、その前後の記載を整理し、さらに請求項の番号を繰り下げたもので、「関係データ」の意味を明らかにすると共に、技術的限定を加えたものであるから、特許請求の範囲の減縮、及び明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当する。そして、当該訂正は訂正前の明細書の段落【００２２】〜【００２６】の記載に基づくものであるから、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　請求項８についての訂正は、訂正前の請求項６を引用する請求項７を、今回の訂正に伴い、その記載を整理して独立した請求項とすると共に請求項の番号を繰り下げたものであるから、特許請求の範囲の減縮、及び明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当する。そして、当該訂正は、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　請求項９についての訂正は、訂正前の請求項８に係る発明の発明特定事項である「関係データ」を「設定電圧ごとに電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝に溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データ」とし、その前後の記載を整理し、さらに請求項の番号を繰り下げたもので、「関係データ」の意味を明らかにすると共に、技術的限定を加えたものであるから、特許請求の範囲の減縮、及び明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当する。そして、当該訂正は訂正前の明細書の段落【００２２】〜【００２６】の記載に基づくものであるから、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　請求項１０についての訂正は、訂正前の請求項３を新たに請求項３、４に訂正したことに伴い、請求項の番号を繰り下げたものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。そして、当該訂正は、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
（２）訂正事項Ｂについて
　訂正事項Ｂは、請求項１、２を訂正したことに伴い、特許請求の範囲と発明の詳細な説明の記載の整合をとるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。そして、当該訂正は、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
（３）訂正事項Ｃについて
　訂正事項Ｃは、請求項６、８を訂正したことに伴い、特許請求の範囲と発明の詳細な説明の記載の整合をとるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。そして、当該訂正は、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
（４）訂正事項Ｄについて
　訂正事項Ｄは、請求項５を訂正したことに伴い、特許請求の範囲と発明の詳細な説明の記載の整合をとるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。そして、当該訂正は、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
（５）訂正事項Ｅについて
　訂正事項Ｅは、請求項１、２、６、８を訂正したことに伴い、特許請求の範囲と発明の詳細な説明の記載の整合をとるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。そして、当該訂正は、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　
３　独立特許要件
　以下、訂正後の請求項３、４、８に係る発明（以下「訂正発明３、４、８」という。）が独立して特許をうけることができるかどうかについて検討する。
（１）訂正発明３、４、８
　訂正発明３、４、８は、訂正明細書及び願書に添付された図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項３、４、８に記載された以下の事項により特定されるとおりのものと認める。
「【請求項３】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電極工具の電極露出部を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下の幅に設定しておき、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求め、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて、前記軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御することにより、０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下の幅を有する動圧溝を軸受素材に形成するようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
【請求項４】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電極工具の電極露出部を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下の幅に設定しておき、
　電解加工量の制御は、電極工具と軸受素材との間の通電を、目標加工量に対応した総電気量を得るための総通電時間経過時に停止して行うことにより、０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下の幅を有する動圧溝を軸受素材に形成するようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
【請求項８】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するように構成した電解加工装置において、
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、
　前記軸受素材に０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下の幅を有する動圧溝を形成するように、電極工具の電極露出部の幅を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下に設定したものであるとともに、
　上記加工制御手段は，電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により総電気量を求め、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な電解加工量を制御する電気量演算手段を備えていることを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工装置。」」
（２）甲第１〜３号証記載の技術的事項
　特許異議申立人が提出した本件出願の出願前に日本国内で頒布された刊行物である甲第１号証（特開昭５１−６４１４１号公報）、甲第２号証（特開昭５０−２２７３１号公報）、及び甲第３号証（特開平４−８４２４号公報）には、以下のとおり記載されている。
ア　甲第１号証
　甲第１号証には、以下のとおり記載されている。
（ア）特許請求の範囲
「金属ブッシュに形成した内径１０ｍｍ以下の軸受孔の円筒内面に２０ミクロン以下程度の浅い潤滑剤圧送溝のパターンを設けた円筒らせん溝軸受を製造するために、
　軸受孔の内径に対して２５０ミクロン以下の間隙とした外径を有する円筒電極の外面に上記溝のパターンに対応する導電パターンを形成し、上記電極を軸受ブッシュ内に軸受孔に同一軸線として取付け、電極外面と軸受孔との間隙に電解液を軸線方向に流し、電流を脈動的に電極に供給し、上記電流を電極から上記間隙を通って軸受ブッシュに流すことを特徴とする円筒らせん溝軸受の製造方法。」
（イ）第２頁左上欄第３〜５行
「本発明の目的は、既知の方法では極めて製造困難な小さい内径の円筒らせん溝軸受の製造方法を提供するにある。」
（ウ）第２頁左下欄第１３行〜右下欄第１５行
「金属製軸受ブッシュ１の内径１０ｍｍ以下の軸受孔内に円筒形電極２を挿入する。電極２の表面に合成樹脂、ガラス、陶器等の絶縁層３を被覆する。
　らせん状のパターン４を絶縁層３に設けて電極の導電面を形成する。電極２の直径はブッシュ１の軸受孔内径よりも１００〜２５０μ小さくし、ブッシュ１と電極２との間に間隙５を形成する。電解液入口６と出口７とは間隙５によって連通する。電極２に電流入力導体８を取付け、ブッシュ１に電力出力導体９を取付ける。入力出力導体８、９は電源１０に接続する。電源１０は所要電圧の脈動電流を供給する。
　電解液は入口６から軸線方向に間隙５を通つて出口７に流れる。電流は導体８によって電極２に供給され、電極の露出したらせん状パターン４から間隙５を通ってブッシュ１に流れ、導体９を経て電源１０に戻る。電流が間隙５を通る部分でブッシュ１の孔の面が電解され、電極のパターン４に対応する溝が形成される。電流供給を周期的に遮断することによって電解液が間隙を通る間に特性が変化することなく、電極２の軸線方向全長において電解条件は同じであり、ブッシュ１の軸受孔の内面には均等な深さの溝が形成される。」
イ　甲第２号証
　甲第２号証には、以下のとおり記載されている。
（ア）特許請求の範囲
「電解加工前に予め計測された取代相当の電気量を記憶装置に記憶させておき、加工に要した電気量が上記の記憶されている電気量に達した時を似つて加工電流を切断することにより、被加工物寸法を一定にそろえて加工することを特徴とする電解加工における被加工物の寸法制御方法。」
（イ）第２頁右上欄第１〜１２行
「電解加工中に電源装置から供給される電気量が、工作物の被加工物体積に精密に比例することを利用して、電解加工を行う前に、電解加工機の加工部以外の測定環境の良好な位置において、工作物の外径寸法を測定し、予め取代を検出しておき、その取代の除去に必要な予定電気量を記憶装置に記憶させておく。そして次いで電解加工を行い、加工中には、直径寸法を測る代りに、消費した電気量を計測し、電気量が予め記憶装置に記憶されていつ予定電気量の値と等しくなった時に、加工電流を切断し、加工を中止する方法である。」
（ウ）第２頁左下欄第９〜１３行
「電気量Ｑと被加工物体積Ｗとは、非常により相関があることが確かめられ、電気量Ｑを計測することにより、被加工物体積、従って、取代を制御することが証明される。」
ウ　甲第３号証
　甲第３号証には、以下のとおり記載されている。
（ア）特許請求の範囲（１）
「（１）設定した加工間隙値を有して工具電極と被加工物を対向させ、上記工具電極と被加工物間に電解液を介在させると共に、パルス電流を供給して上記被加工物を加工する電解加工方法において、上記パルス電流の総電流量を、上記被加工物の加工前の面粗さと目標面粗さから設定することを特徴とする電解加工方法。」
（イ）特許請求の範囲（４）
「（４）工具電極と被加工物とで形成される設定された・・・を備えた電解加工装置において、上記制御装置に入力される被加工物の加工前の面粗さと目標面粗さから単位加工面積当りの印加電流量を演算する単位面積当り印加電流量演算手段、この手段の演算結果と上記制御装置に入力される被加工物の加工面積から印加総電流量を演算する印加総電流量演算手段、この手段の演算結果と上記設定されたピーク電流値とパルス幅とから総印加パルス数を演算する総印加パルス数演算手段、この手段の演算結果と設定された印加パルス数の基準休止時間とから加工時間を演算する加工時間演算手段、この手段の演算結果に応じて加工停止指令を出力する加工停止手段、上記単位面積当印加電流量演算手段の演算結果から加工拡大代を演算する加工拡大代演算手段、及びこの手段と上記加工時間演算手段の演算結果を表示装置にそれぞれ表示させる表示手段とを備えたことを特徴とする電解加工装置。」
（３）対比、当審の判断
ア　訂正発明３について
　訂正発明３は、軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、「電極工具の電極露出部を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下の幅に設定しておき、電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求め、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて、前記軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御することにより、０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下の幅を有する動圧溝を軸受素材に形成するようにしたこと」を、その発明特定事項とするものである。
　一方、甲第１号証には、軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法、装置に関して記載されているといえるものの、電極工具の電極露出部を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下の幅に設定しておくこと、軸受素材に形成される動圧溝の幅を０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下にすることについては記載も示唆もされていない。
　甲第２号証には、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて電解加工量を制御する電解加工方法、装置に関して記載されているといえるものの、電極工具の電極露出部を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下の幅に設定しておくこと、軸受素材に形成される動圧溝の幅を０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下にすることについては記載も示唆もされていない。
　甲第３号証には、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて通電を停止して電解加工量を制御する電解加工方法、装置に関して記載されているといえるものの、電極工具の電極露出部を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下の幅に設定しておくこと、軸受素材に形成される動圧溝の幅を０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下にすることについては記載も示唆もされていない。
　結局、甲第１〜３号証何れにも、上記発明特定事項について記載も示唆もされておらず、訂正発明３は、上記発明特定事項を有することにより、甲第１〜３号証記載のものにない格別の効果を奏するものである。
　したがって、訂正発明３が、甲第１〜３号証記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
イ　訂正発明４について
　訂正発明４は、軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、「電極工具の電極露出部を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下の幅に設定しておき、電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求め、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて、前記軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御することにより、０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下の幅を有する動圧溝を軸受素材に形成するようにしたこと」を、その発明特定事項とするものである。
　一方、甲第１〜３号証の記載内容は、上記のとおりであり、甲第１〜３号証には、上記発明特定事項については記載も示唆もされておらず、訂正発明４は、上記発明特定事項を有することにより、甲第１〜３号証記載のものにない格別の効果を奏するものである。。
　したがって、訂正発明４も、甲第１〜３号証記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
ウ　訂正発明８について
　訂正発明８は、軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するように構成した電解加工装置において、「軸受素材に０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下の幅を有する動圧溝を形成するように、電極工具の電極露出部の幅を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下に設定した」ことを、その発明特定事項とするものである。
　一方、甲第１〜３号証の記載内容は、上記のとおりであり、甲第１〜３号証には、上記発明特定事項については記載も示唆もされておらず、訂正発明８は、上記発明特定事項を有することにより、甲第１〜３号証記載のものにない格別の効果を奏するものである。
　したがって、訂正発明８も、甲第１〜３号証記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。　
　
４　むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項において準用する同法第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３　特許異議の申立てについて　
１　特許異議申立ての理由、及び当審で通知した取消しの理由の概要
　特許異議申立人は、特許第３２４０６０１号の訂正前の請求項１、２、６、８に係る発明は、本件出願の出願前に日本国内で頒布された刊行物である甲第１号証（特開昭５１−６４１４１号公報）、甲第２号証（特開昭５０−２２７３１号公報）、及び甲第３号証（特開平４−８４２４号公報）に記載された発明乃至技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許をされたものであり、その特許は、同法第１１３条第２号に該当するので、取り消されるべきものである旨主張している。　
　また、当審で通知した取消しの理由は、特許異議申立人の上記主張に沿ったものである。
　
２　本件発明１、２、７、９
　訂正前の請求項１、２、６、８に対応する訂正後の請求項１、２、７、９に係る発明（以下「本件発明１、２、７、９」という。）は、訂正明細書及び願書に添付された図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１、２、７、９に記載された以下の事項により特定されるとおりのものと認める。
「【請求項１】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであつて、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求めるとともに、設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて予め設定しておいた目標総電気量を前記総電気量と比較して、前記軸受素材における動圧造形状の電解加工量を制御するようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
【請求項２】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　電解加工量の制御は、電極工具と軸受素材との間の通電を、設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて演算した目標加工量に対応した総電気量を得るための総通電時間経過時に停止して行うようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
【請求項７】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するように構成した電解加工装置において、
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、
　上記加工制御手段は、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により前記電解加工用電源から与えられた総電気量を求めるとともに、予め求めておいた設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて、予め設定しておいた目標総電気量に対応した総電気量を得るための総通電時間を演算する演算手段を備えていることを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工装置。
【請求項９】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するように構成した電解加工装置において、
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し．上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記湾形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、
　上記加工制御手段は、設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて演算した目標加工量に対応した総電気量を得るための総通電時間経過時に上記電極工具と軸受素材との間の通電を停止して電解加工量を制御する通電制御手段を備えていることを特徴とする電解加工装置。」
　
３　甲第１〜３号証記載の技術的事項
　甲第１〜３号証には、それぞれ、上記「第２　訂正の適否についての判断　３　独立特許要件　（２）甲第１〜３号証記載の技術的事項」の欄に記載したとおりの事項が記載されている。
　
４　対比及び当審の判断
（１）本件発明１について
　本件発明１は、目標総電気量を予め設定する際に「設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データ」を用いることを、その発明特定事項とするものである。
　一方、甲第１号証には、軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法、装置に関して記載されているといえるものの、目標総電気量を予め設定する際に「設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データ」を用いることについては記載も示唆もされていない。
　甲第２号証には、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて電解加工量を制御する電解加工方法、装置に関して記載されているといえるものの、目標総電気量を予め設定する際に「設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データ」を用いることについては記載も示唆もされていない。
　甲第３号証には、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて通電を停止して電解加工量を制御する電解加工方法、装置に関して記載されているといえるものの、目標総電気量を予め設定する際に「設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データ」を用いることについては記載も示唆もされていない。
　結局、甲第１〜３号証何れにも、上記発明特定事項について記載も示唆もされておらず、本件発明１は、上記発明特定事項を有することにより、甲第１〜３号証記載のものにない格別の効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、甲第１〜３号証記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（２）本件発明２について
　本件発明２は、目標加工量に対応する総電気量を演算する際に「設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データ」を用いることを、その発明特定事項とするものである。
　一方、甲第１〜３号証には、上記したとおり「設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データ」を用いることについては記載も示唆もされておらず、本件発明２は、上記発明特定事項を有することにより、甲第１〜３号証記載のものにない格別の効果を奏するものである。
　したがって、本件発明２も、甲第１〜３号証記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（３）本件発明７について
　本件発明７は、本件発明１と同様に、目標総電気量を予め設定する際に「設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データ」を用いることを、その発明特定事項とするものである。
　したがって、本件発明１が、甲第１〜３号証記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない以上、本件発明７も、甲第１〜３号証記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（４）本件発明９について
　本件発明９は、本件発明２と同様に、目標加工量に対応する総電気量を演算する際に、「設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データ」を用いることを、その発明特定事項とするものである。
　したがって、本件発明２が、甲第１〜３号証記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない以上、本件発明９も、甲第１〜３号証記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
５　むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、請求項１、２、７、９に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項１、２、７、９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年３月２６日（２００３．３．２６）
【訂正の要旨】
▲１▼　特許第３２４０６０１号として登録された明細書における特許請求の範囲を以下の通り訂正する。
「【特許請求の範囲】
　【請求項１】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求め
るとともに、設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの
予め設定しておいた目標総電気量を前記総電気量と比較して
　【請求項２】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　電解加工量の制御は、電極工具と軸受素材との間の通電を、
設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて演算した
　【請求項３】　
軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　
上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　
これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　
前記
しておき、
　
前記電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求め、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて、前記軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御
　【請求項４】　
軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　
上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　
これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　
前記電極工具の電極露出部を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下の幅に設定しておき、
　
電解加工量の制御は、電極工具と軸受素材との間の通電を、目標加工量に対応した総電気量を得るための総通電時間経過時に停止して行うことにより、０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下の幅を有する動圧溝を軸受素材に形成するようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
　【請求項
５
　【請求項
６
　【請求項
７
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、
　上記加工制御手段は、
前記
前記電解加工用電源から与えられた
るとともに、
設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの
、予め設定しておいた目標総電気量に対応した総電気量を得るための総通電時間を演算する
　【請求項
８
軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するように構成した電解加工装置において、
　
電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　
上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　
前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、
　
前記
ものであるとともに、
　
上記加工制御手段は、電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により総電気量を求め、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な電解加工量を制御する電気量演算手段を備えていることを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工装置。
　【請求項
９
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、
　上記加工制御手段は、
設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて演算した
上記電極工具と軸受素材との間の通電を
　【請求項
１０
９
▲２▼　特許第３２４０６０１号として登録された明細書の段落番号【０００８】を以下の通り訂正する。
「　　　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するため、本発明にかかる動圧軸受における動圧溝の電解加工方法は、軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、前記電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求め
るとともに、設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの
予め設定しておいた目標総電気量を前記総電気量と比較して
▲３▼　特許第３２４０６０１号として登録された明細書の段落番号【０００９】を以下の通り訂正する。
「　　　【０００９】
　また、本発明にかかる動圧軸受における動圧溝の電解加工装置は、軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するように構成した電解加工装置において、電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、上記加工制御手段は、
前記
前記電解加工用電源から与えられた
るとともに、
設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの
、予め設定しておいた目標総電気量に対応した総電気量を得るための総通電時間を演算する
▲４▼　特許第３２４０６０１号として登録された明細書の段落番号【００１１】を、以下の通り訂正する。
「　　　【００１１】
　このとき請求項
６
▲５▼　特許第３２４０６０１号として登録された明細書の段落番号【００２２】を、以下の通り訂正する。
「　　　【００２２】
　上述した電気量演算手段２７における演算は、例えば軸受素材としてＳＵＳ３０４を用いた場合の図３及び図４に示されているような関係データ、すなわち予め求めておいた設定電圧ごとの電極工具２３の工具幅（電極露出部２３ａの溝幅）と、それに対応する電解加工量（溝深さ
及び溝幅
（５４）【発明の名称】
動圧軸受における動圧溝の電解加工方法及び装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求め
るとともに、設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの
予め設定しておいた目標総電気量を前記総電気量と比較して
　【請求項２】　軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　電解加工量の制御は、電極工具と軸受素材との間の通電を、
設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて演算した
　【請求項３】　
軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　
上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　
これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　
前記
しておき、
　
前記電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求め、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて、前記軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御
　【請求項４】　
軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、
　
上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、
　
これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　
前記電極工具の電極露出部を０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍ以下の幅に設定しておき、
　
電解加工量の制御は、電極工具と軸受素材との間の通電を、目標加工量に対応した総電気量を得るための総通電時間経過時に停止して行うことにより、０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍ以下の幅を有する動圧溝を軸受素材に形成するようにしたことを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工方法。
　【請求項
５
　【請求項
６
　【請求項
７
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、
　上記加工制御手段は、
前記
前記電解加工用電源から与えられた
るとともに、
設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの
、予め設定しておいた目標総電気量に対応した総電気量を得るための総通電時間を演算する
　【請求項
８
軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するように構成した電解加工装置において、
　
電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　
上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、
　
前記
ものであるとともに、
上記加工制御手段は、電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により総電気量を求め、予め求めておいた総電気量と電解加工量との関係データに基づいて溝加工に必要な電解加工量を制御する電気量演算手段を備えていることを特徴とする動圧軸受における動圧溝の電解加工装置。
　【請求項
９
　電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、
　上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、
　前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、
　上記加工制御手段は、
設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの電解加工量との関係データに基づいて演算した
上記電極工具と軸受素材との間の通電を
　【請求項
１０
９
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、動圧軸受の動圧面に形成される動圧溝を、電解加工によって所定の溝形状に加工するようにした電解加工方法及び電解加工装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　近年、回転電機等に用いられる軸受装置として、高速回転軸受特性に優れた動圧軸受が注目されている。この動圧軸受は、相対的に回転可能に配置された軸受と軸との間に所定の軸受流体が注入されているとともに、これら軸受及び軸の少なくとも一方側に設けられた動圧溝のポンピング作用によって軸受流体に動圧を発生させ、その動圧力によって上記軸受と軸とを相対回転可能となるように支承する構成になされている。
　【０００３】
　このような動圧軸受に設けられる動圧溝は、軸受又は軸の動圧面に対してヘリングボーン状、スパイラル状等の所定の溝形状に加工されるが、その加工手段としては、特公平３−６８７６８号に示すような転造加工や、特開平２−１４５８００号に示されるような電解研磨による方法が従来から提案されている。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながらこのような従来の動圧溝加工手段にあっては、以下のような問題がある。すなわちまず、前者（特公平３−６８７６８号公報）における転造加工による場合には、微細で複雑な溝形状や溝幅が異なるように溝形状を形成することが困難であることから、軸受性能を高めるように溝形状を変形して加工することができない。また加工後に、「バリ取り」等の二次加工を要することから、その分生産性が低下するとともに、一旦形成した溝形状が二次加工によって変形してしまう恐れがある。
　【０００５】
　一方、後者（特開平２−１４５８００号公報）には、電解研磨による動圧溝の形成方法が開示されており、この電解研磨加工は、負極に接続された工具電極と軸受との間に、マスク及び電解液吸収保持部材とを挟んで溝加工を行うように構成したものである。しかしながら、この電解研磨加工によれば平面への加工は容易に行い得るが、円筒の内外面や球面、その他複雑な形状の面加工の場合にはマスクの製作が困難となり、加工形状は簡易なものに限定される。
　【０００６】
　また、実際に加工を行う場合には、スポンジ等からなる電解液吸収保持部材やマスクが電解液の流れを阻害してしまい、そのため極間抵抗が増大して電流密度が低下し、加工効率が悪くなるとともに、電解液の昇温が著しくなって加工速度が不均一となり、加工量、例えば溝深さを安定化させることができないという問題がある。このような不均一加工は、マスクに沈殿物が滞留し易いことも原因となっている。
　【０００７】
　そこで本発明は、複雑・微細な形状の動圧溝であっても、高精度且つ容易に加工することができるようにした動圧軸受における動圧溝の電解加工方法及び電解加工装置を提供することを目的とする。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するため、本発明にかかる動圧軸受における動圧溝の電解加工方法は、軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法において、上記動圧溝が電解加工により形成される軸受素材と、当該軸受素材に加工される動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有する電極工具とを、所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定するとともに、これら軸受素材及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受素材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材の一部を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、前記電解加工用電源から与えられた総電気量を、前記電極工具と軸受素材との間の通電電流値の積算により求め
るとともに、設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの
予め設定しておいた目標総電気量を前記総電気量と比較して
　【０００９】
　また、本発明にかかる動圧軸受における動圧溝の電解加工装置は、軸受流体に軸支持用の動圧を発生させる動圧溝を動圧軸受の動圧面に対して電解加工で所定の溝形状に加工するように構成した電解加工装置において、電解加工用電源と、上記動圧溝が電解加工される軸受素材と、前記動圧溝に対応した溝形状の電極露出部を有し、上記軸受素材に所定の加工間隙をもって近接対向するように相対的に不動状態に固定した電極工具と、これら電極工具及び軸受素材の間に所定の電解液を流動させる電解液供給手段と、を備え、上記軸受素材及び電極工具を前記電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、これら電極工具と軸受素材との間に電解液を流動させながら通電することによって上記軸受素材を前記溝形状に対応して溶出させ動圧溝を電解加工して形成するものであって、前記電解加工用電源から与えられた総電気量を制御することによって、軸受素材における動圧溝形状の電解加工量を制御する加工制御手段を備え、上記加工制御手段は、
前記
前記電解加工用電源から与えられた
るとともに、
設定電圧ごとの電極工具の工具幅とそれに対応する加工すべき動圧溝の溝幅及び溝深さの
、予め設定しておいた目標総電気量に対応した総電気量を得るための総通電時間を演算する
　【００１０】
　このような構成を有する動圧軸受における動圧溝の電解加工方法及び電解加工装置においては、電極工具を動かすことなく固定したまま加工が行われることから、電極工具の送り込みに伴って生じる誤差による溝加工精度の低下が防止されるとともに、溝形状の電解加工量と、その電解加工に要する総電気量との関係が、電圧その他の電解加工条件を同一に設定すれば繰り返し精度の良い一定の関係にあることから、軸受素材への溝加工量が総電気量の制御によって正確に操作され、高精度な溝形状の電解加工が容易に行われるようになっている。
　【００１１】
　このとき請求項
６
　【００１２】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１に示されているように、非導電性材料で形成された中空状のハウジング２１には電解加工用のキャビティーが設けられており、そのキャビティー内の軸方向（図示上下方向）略中央部分には、金属材料からなる中空円筒状被加工物としての軸受素材２２が固定されている。
　【００１３】
　本実施形態における軸受素材２２は、回転電機等に用いられる小型動圧軸受装置の軸受等に加工する前の軸受素材であって、この軸受素材２２の材質としては、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）が用いられている。
　【００１４】
　また、上記軸受素材２２を軸方向に貫通するようにして中実円筒状の電極工具２３がハウジング２１に固定されている。上記電極工具２３の軸方向（図示上下方向）両端部分は、上記ハウジング２１の軸方向両端における閉塞壁２１ａ，２１ｂにそれぞれ固定されており、当該電極工具２３の軸方向略中央部分に形成された一対の電極露出部２３ａ，２３ａが、上記軸受素材２２の内周壁面２２ａに対向するように配置されている。上記各電極露出部２３ａは、軸受素材２２に動圧発生用の溝を形成するための該溝と同じ形状のヘリングボーン状の溝を周方向に多数並列配置したものであって、当該各電極露出部２３ａの溝の幅は、作成しようとする動圧溝の幅より若干小さい幅に形成されている。例えば、作成しようとする動圧溝の幅が０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍである場合、電極露出部２３ａの溝の幅は、０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍに設定される。
　【００１５】
　すなわち、上記電極工具２３の外表面は、上述した所定の溝形状の電極露出部２３ａを除いて非導電性材料２３ｂで全体が覆われており、当該電極工具２３の電極露出部２３ａを構成する溝形状の底壁面が、軸受素材２２の内周壁面２２ａに対して全周にわたって均一な加工隙間を備えるように上記電極工具２３と軸受素材２２との同軸度が高精度に調整されている。そしてこのように電極工具２３の電極露出部２３ａと軸受素材２２の内周壁面２２ａとが所定の加工隙間を介して対向されることによって電解加工部Ａが形成されている。この電解加工部Ａにおける加工隙間は、転写精度の観点からはできるだけ狭いことが望ましいが、軸受素材等の部品加工精度を考慮し、本実施形態においては０．１ｍｍに設定されている。
　【００１６】
　さらに、上記軸受素材２２には、電解加工用パルス電源２４の正極（＋極）から延出する接片２４ａが接続されており、その延出途中部位に、前記電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流値を検出する電流計２５が設けられている。一方、前記電極工具２３に対しては、上記電解加工用パルス電源２４の負極（−）から延出する接片２４ｂが接続されており、その延出途中部位に、電解加工用パルス電源２４のオン・オフを行う通電スイッチ２６が設けられている。
　【００１７】
　そして、上記電流計２５で検出された電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流値は、加工制御手段を構成する電気量演算手段２７に入力されている。この電気量演算手段２７は、上記電流計２５で検出された電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流値を積算し、さらにこの積算電流値から総電気量を演算し、目標電解加工量を得るための総電気量と比較して必要な総通電時間を演算する機能を有している。この電気量計測手段２７における演算手法については後述する。
　【００１８】
　上記電気量演算手段２７からは、目標電解加工量を得るための総電気量すなわち総通電時間の設定指令信号が出力されることとなるが、この設定時間指令信号は、同じく加工制御手段を構成する通電制御手段２８に受けられている。通電制御手段２８には、タイマー２８ａが設けられており、このタイマー２８ａによって前述した通電スイッチ２６のオン・オフ動作が行われるようになっている。具体的には、所定の通電時間を有するパルスを印加して、そのパルス数をカウントし、当該パルス数の総計が上記電気量演算手段２７により設定された総通電時間となった時に、上記タイマー２８ａによる通電スイッチ２６のオフ動作が行われる。
　【００１９】
　一方、電解液貯蔵タンク３０内には、ＮａＮＯ３（硝酸ナトリウム）を３０重量％含有する電解液３１が所定量蓄えられているとともに、この電解液貯蔵タンク３０とハウジング２１との間に、電解液供給手段としての上部配管３２及び下部配管３３が接続されている。このうち上部配管３２は、電解液貯蔵タンク３０からポンプ３４を介して前記ハウジング２１の図示上側すなわち前記軸受素材２２の上部側のキャビティー内に開口するように接続されているとともに、下部配管３３は、電解液貯蔵タンク３０と、ハウジング２１の図示下側である前記軸受素材２２の下部側のキャビティー内とを直接接続するように配置されている。すなわち、上記上部配管３２又は下部配管３３の一方側を通ってハウジング２１内に供給された電解液３１は、軸受素材２２の上部側又は下部側から当該軸受素材２２と電極工具２３の電極露出部２３ａとの間の電解加工部Ａを通って、軸受素材２２の下部側又は上部側に抜け、そこから下部配管３３又は上部配管３２の他方側を通して電解液貯蔵タンク３０内に回収されるように構成されている。
　【００２０】
　また、本実施形態における電解液供給手段においては、図２に示されているように、上記電解加工部Ａの入口部側及び出口部側に圧力調整用のリリーフ弁３５，３６がそれぞれ設けられているとともに、これらの各圧力調整用リリーフ弁３５，３６に対して圧力計３７，３８が付設されている。そしてこれらの圧力計３７，３８をモニターしつつ圧力調整用リリーフ弁３５，３６が適宜操作され、それにより電解加工部Ａにおける電解液３１の流速が所定の値に設定されている。本実施形態においては、電解加工部Ａにおける電解液３１の流速が１０ｍ／ｓｅｃ以上となるように設定されている。
　【００２１】
　さらに、電解液供給手段には、電解液３１の流動方向を逆転させる流動切換手段（図示省略）が設けられている。この流動切換手段としては、上記ポンプ３４を逆転させるようにしたものや、上部配管３２と下部配管３３との流れ方向を切り換える配管切換手段等が採用されるが、このような流動切換手段によって、電解加工部Ａを通る電解液が逆流され、電解加工部Ａを通る電解液が任意の時間間隔で交互に逆転されるように構成されている。このような流動切換手段を設けるのは、電解液の流動方向による各位置の加工量の偏りを逆転に伴う平均化によってなくし、より均一な加工量を得るためである。
　【００２２】
　上述した電気量演算手段２７における演算は、例えば軸受素材としてＳＵＳ３０４を用いた場合の図３及び図４に示されているような関係データ、すなわち予め求めておいた設定電圧ごとの電極工具２３の工具幅（電極露出部２３ａの溝幅）と、それに対応する電解加工量（溝深さ
及び溝幅
　【００２３】
　まず、上述した図３、図４の各図における（ａ），（ｂ）及び（ｃ）は、電解液の流動方向に沿って配置された６本の線電極により、電極工具２３の工具幅（電極露出部２３ａの溝幅）と、溝形状すなわち溝深さ及び溝幅との関係を求めたものである。より具体的には、上記各線電極は、それぞれ１０ｍｍの長さを有し、電解液の流動方向前端側の入口部から１ｍｍ入った部位を上流側検出点（図３及び図４の各（ａ））、長さ方向の中央部位を中流側検出点（図３及び図４の各（ｂ））、電解液の流動方向後端側の出口部から１ｍｍ戻った部位を下流側検出点（図３及び図４の（ｃ））として検出を行ない求めたものであって、上述した装置の電解加工用パルス電源２４の出力電圧を６Ｖから１０Ｖまで１Ｖづつ変化させたときの電極露出部２３の溝幅を、各図中の横軸に工具幅（ｍｍ）として表しているとともに、その工具幅に対応して形成される動圧溝の溝幅を図３（縦軸；ｍｍ）に表している。
　【００２４】
　さらに、図４には、工具幅（横軸；ｍｍ）に対して、上述した電解加工用パルス電源２４がオンしている間の単位時間（単位オン時間）当たりの電解加工量（縦軸；μｍ／ｓｅｃ）を表している。なお、この図４縦軸における単位オン時間当たりの電解加工量は、加工材料ごとに加工深さ１０μｍを目標にしたときの電解加工量の平均値として求めたものである。
　【００２５】
　そして、まず図３において、加工すべき動圧溝の溝幅（図３縦軸）を得るのに必要な電極工具２３の工具幅すなわち電極露出部２３ａの溝幅（図３横幅）が、設定電圧（Ｖ）をパラメータとして算出される。ついで、図４において、上述したようにして得られた工具幅（図４横軸）に対応して、単位時間当たりの加工深さ（図４縦軸）が求められ、目標の加工深さを得るのに必要な加工時間が演算されて目標加工時間、すなわち目標総電気量として設定される。
　【００２６】
　一方、この電気量演算手段２７では、電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流値の積算により、電解加工を開始してから現時点の総電気量が常時求められており、この現時点の総電気量が、上述した目標総電気量と比較されることによって加工時間の制御が行われる。本発明のように動圧溝を形成する場合、例えば８Ｖの設定電圧として、溝幅０．１５ｍｍ乃至０．５ｍｍの動圧溝を１０μｍ程度の溝深さに加工するとしたとき、０．０５ｍｍ乃至０．４ｍｍの工具幅（電極露出部２３ａの溝幅）で電解加工すると約１５秒乃至１秒の総通電時間を要することとなる。
　【００２７】
　次に、上述した電解加工装置を用いた本発明にかかる電解加工方法の形態を説明する。まず、上述した電解加工装置のハウジング２１内に、電極工具２３と軸受素材２２とを同軸的に固定し、所定の加工隙間（０．１ｍｍ）を有する電解加工部Ａを形成する。そして通電スイッチ２６のオン動作を行い電解加工用パルス電源２４から上記電解加工部Ａに対して所定のパルス電圧を与える。このようなパルス電圧のオン時間間隔を小さくしておき、オン時間の総計が必要加工時間となるように設定しておけば、電解加工で生成するジュール熱や水素ガスの蓄積を軽減することができ、加工精度を向上させることができる。
　【００２８】
　このとき、前記電解加工用パルス電源２４からの通電電流値は、電流計２５で常時検出されており、この電流計２５で検出された電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流値が、加工制御手段を構成する電気量演算手段２７に入力される。この電気量演算手段２７では、電流計２５で検出された電極工具２３と軸受素材２２との間の通電電流値から加工の開始から現時点までの積算電流値から総電気量が算出され、さらにこの総電気量から、予め求めておいた総電気量と溝加工量との関係データ（図３及び図４参照）に基づいて溝加工に必要な総通電時間が演算される。
　【００２９】
　そして、この電気量演算手段２７から出力される総通電時間の設定信号により、通電制御手段２８に設けられたタイマー２８ａに総通電時間が設定され、通電スイッチ２６は、オン動作後、上記総通電時間経過後にタイマー２８ａから発せられる切替信号によってオフされる。
　【００３０】
　このような実施形態にかかる電解加工方法及び電解加工装置においては、電極工具２３を動かすことなく固定したまま加工が行われることから、電極工具２３の送り込みに伴って生じる誤差による溝加工精度の低下を防止することができる。
　【００３１】
　また、このような実施形態にかかる装置によれば、総通電時間（加工時間）及び印加電圧の制御が、自動的かつリアルタイムで精度良く行われることとなり、前述した微細電解加工が一層効率的かつ高精度に実行される。すなわち、電解加工用パルス電源２４の出力電圧値や、被加工物２２と工具電極２３との加工間隙（ギャップ）や、電解液３０の電導度等が、何らかの原因で予定した値からずれてしまった場合には、電流密度が変化して加工量に誤差を生じることとなるが、上述した実施形態のような制御系を設けておけば、各設定値が常時自動的に略一定に維持され、微細電解加工が極めて良好に行われる。
　【００３２】
　次に、図５に示されている実施形態の電解加工装置においては、被加工物４２として平板状のスラスト軸受素材が用いられている。すなわち図５に示されているように、非導電性材料で形成された中空状のハウジング４１に設けられたキャビティー内には、略水平状態にて平板状被加工物としてのスラスト軸受素材４２が固定されているとともに、この平板状被加工物としてのスラスト軸受素材４２の上側に対向するようにして平板状電極工具４３が略水平に固定されており、両者間に電解加工部Ｂが略水平方向に延在するように形成されている。また上記電解加工部Ｂの図示右側上部に開口する液供給管５２から供給された電解液が、電解加工部Ｂを通って液排出管５３から外部に排出されるように構成されている。
　【００３３】
　上記平板状電極工具４３の対向部分は、図６に示されているように所定の溝形状を有する電極露出部４３ａを除いて非導電性材料４３ｂで覆われており、上記電極露出部４３ａの溝形状の底壁面とスラスト軸受素材４２とが全面にわたって均一な加工間隙を備えるように、上記電極工具４３とスラスト軸受素材４２との平行度が高精度に調整されている。非導電性材料４３ｂは、所定の樹脂材を印刷によってコーティングしたもの等である。
　【００３４】
　本実施形態における電極露出部４３ａは、図７（ａ）のようなヘリングボーン型の動圧溝４３ａ’、或は図７（ｂ）のようなスパイラル型の動圧溝４３ａ”の各形状に対応した形状に成形されている。そして、図６に示されているように、当該電極露出部４３ａの電極幅Ｗ１は、加工すべき動圧溝の幅Ｗ２よりもやや小さく形成されており（Ｗ１＜Ｗ２）、動圧溝の横断面形状は、開口縁部が円弧状に面取りされた略Ｖ字状に形成されている。このような差が生じるのは、理想的な電解加工では加工すべき被加工面の外側で電流密度が直ちに０になるものであるが、実際には外方に向かって徐々に減少して０に近づいていくからであり、加工隙間を狭くすれば上述した差も小さくなる。
　【００３５】
　その他の構成は、前述した実施形態と同様であるので、対応する構成物に対して同一の符号を付して説明を省略するが、このような実施形態装置においても前述した実施形態と同様な電解加工方法を実施することができ、同様な作用・効果を得ることができる。
　【００３６】
　なお、図５に示した実施形態では、図８（ｂ）中の矢印で示したように、電解液を図示右側から図示左側に向かって直線的に流動させて直径方向に横断させているが、この流動方式は、図７（ｂ）のように動圧溝４３ａ”が中心部まで入り込んでいるものに対して特に好ましい実施形態である。この場合には、電解液の流速分布を一定化するために、流路をできるだけ幅広に確保し壁面の影響を低減しておくことが好ましい。
　【００３７】
　さらにこの場合、図８（ａ）のように、電解液を中心側から外方側、又は外方側から中心側に向かって放射状に流動させることも可能であり、これによって、図７（ａ）のヘリングボーン型の動圧溝４３ａ’、及び図７（ｂ）のスパイラル型の動圧溝４３”のいずれも加工可能である。なお、電解液を中心側から外方側に流動させる場合には、特別な工具や治具必要としないという利点があり、一方、電解液を外方側から中心側に向かって放射状に流動させる場合には、加工面上にキャビテーションが生じ難くくなるため全面にわたって均一な加工量を得やすいという利点がある。
　【００３８】
　以上本発明者によってなされた発明の実施形態を具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能であるというのはいうまでもない。例えば、上述した実施形態では、通電スイッチ２６のオン・オフ動作をタイマー手段によって行っているが、電解加工用パルス電源からの出力パルスをカウントし、その総パルス数に基づいて通電スイッチ２６のオン・オフ動作を行わせるように構成することもできる。
　【００３９】
　また本発明は、上述したステンレス鋼（ＳＵＳ）材以外の金属材料に対する電解加工についても同様に適用することができ、多種多様な種類の形状加工に対しても同様に適用することができる。
　【００４０】
　【発明の効果】
　以上述べたように本発明にかかる電解加工方法及び装置は、加工すべき動圧溝形状の電極露出部を備えた電極工具と被加工物としての軸受素材とを所定の加工間隙をもって相対的に不動状態に固定し、電極工具を動かすことなく溝加工を行うことによって電極工具の送り込みに伴って生じる誤差による動圧溝の加工精度の低下を防止するとともに、電解加工用電源から与えられる電気量を計測し、予め求めた動圧溝加工に要する総電気量と加工量との関係に基づいて被加工物への動圧溝加工量を制御することによって動圧溝の最終加工量を正確に得るように構成したものであるから、転造加工や電解研磨等に比して、被加工物への動圧溝加工量を精度良く制御しサブミクロン程度の高精度加工を容易かつ効率的に得ることができる。また、切削加工、放電加工、エッチング、メッキ、ショットブラスト等の加工手段によってもできないような複雑・微細な形状の動圧溝であっても、本発明にかかる電解加工によって動圧溝を高精度且つ容易に加工することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施形態にかかる電解加工装置を表した原理的説明図である。
　【図２】
　図１の装置に用いられている電解液の循環系を表した系統説明図である。
　【図３】
　予め求めておいた電極工具の工具幅（電極露出部幅）と軸受素材の溝加工幅との関係データのうちＳＵＳ３０４の場合を表した線図である。
　【図４】
　予め求めておいた電極工具の工具幅（電極露出部幅）と単位時間当たりの加工量（溝深さ）との関係データのうちＳＵＳ３０４の場合を表した線図である。
　【図５】
　本発明の他の実施形態にかかる電解加工装置を表した原理的説明図である。
　【図６】
　図５の装置に用いられている電極工具及び被加工物を拡大して表した側面説明図である。
　【図７】
　図５に示した電解加工装置によって成形されるスラスト軸受の動圧溝の一例を表したものであって、図７（ａ）はヘリングボーン型の動圧溝を表し、図７（ｂ）はスパイラル型の動圧溝を表した平面説明図である。
　【図８】
　電解液の流動方式の一例を表したものであって、（ａ）は放射方向に流動させたものを表し、（ｂ）は直径方向に流動させたものを表した断面説明図である。
　【符号の説明】
　２２，４２　軸受素材（被加工物）
　２３，４３　電極工具
　２３ａ，４３ａ　電極露出部
　Ａ，Ｂ　電解加工部
　２４　電解加工用パルス電源
　２５　電流計
　２６　通電スイッチ
　２７　電気量演算手段（加工制御手段）
　２８　通電制御手段（加工制御手段）
　２８ａ　タイマー