【事件の表示】
　特許第３４４２２１８号「基板洗浄装置」の請求項５、６に係る発明についての特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３４４２２１８号の請求項５ないし６に係る発明についての特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３４４２２１８号の請求項１〜６に係る発明は、平成８年３月１８日に特許出願され、平成１５年６月２０日にそれらの特許権の設定登録がされ、平成１５年１２月２４日に異議申立人中田美代子により請求項５、６に係る特許に対して特許異議の申立てがなされ、平成１６年９月１日付けで取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１６年１１月１日に訂正請求がされたものである。
　
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
　特許権者の求める訂正は以下のとおりである。
〈訂正事項ａ〉
　本件特許の設定登録時の願書に添付した明細書又は図面（以下、「本件特許明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項５に記載される
「ノズルから基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、
　２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段
　
　前記調合された洗浄液を貯留する複数個の貯留タンクと、
　ノズルから基板上に洗浄液を供給するのに用いる貯留タンクを切り換える切り換え手段と、
　を備え
　
「ノズルから基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、
　２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段
と、前記調合する各液を秤量する秤量手段と
　前記調合された洗浄液を貯留する複数個の貯留タンクと、
　ノズルから基板上に洗浄液を供給するのに用いる貯留タンクを切り換える切り換え手段と、
　を備え
、　前記調合手段を、前記秤量手段と前記貯留タンクとの間に設け
　なお、下線は訂正個所を明確化させるために当審が付したものである。以下、同様。
〈訂正事項ｂ〉
　本件特許明細書の段落【０００９】に記載される
「また、請求項５に記載の発明は、ノズルから基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段
　
　
「また、請求項５に記載の発明は、ノズルから基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段
と、前記調合する各液を秤量する秤量手段と
、前記調合手段を、前記秤量手段と前記貯留タンクとの間に設け
〈訂正事項ｃ〉
　本件特許明細書の段落【００１５】に記載される
「また、請求項５に記載の発明によれば、調合手段が、２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくる。
　
「また、請求項５に記載の発明によれば、調合手段が、２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくる。
調合の際、秤量手段で秤量された各液が調合されて洗浄液がつくられる。
〈訂正事項ｄ〉
　本件特許明細書の段落【００１６】、【００６１】及び【００６５】中の「行
な
　
な
　
〈訂正事項ｅ〉
　本件特許明細書の段落【００１６】中の「・・・調合しなければなら
ら
な
〈訂正事項ｆ〉
　本件特許明細書の段落【００２８】中の「貯留
槽
部
槽
部
〈訂正事項ｇ〉
　本件特許明細書の段落【００６４】中の「・・・特別に設ける
こと
　
〈訂正事項ｈ〉
　本件特許明細書の段落【００６５】に記載される
「また、請求項５に記載の発明によれば、
　
な
な
「また、請求項５に記載の発明によれば、
調合する各液を秤量手段が秤量し、調合手段が秤量された液を調合して洗浄液をつくりだし、調合された洗浄液を複数個の貯留タンクがそれぞれ貯留し、これら
　
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、本件特許明細書の段落【００２７】、図２及び図６の記載に基づき、請求項５に記載の基板洗浄装置を、秤量手段を備えるものに限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当しない。
　訂正事項ｂ、ｃ、ｈは、訂正事項ａとの整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当しない。
　訂正事項ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈは、誤記の訂正を目的とする明細書の訂正に該当し、新規事項の追加に該当しない。
　そして、いずれの訂正事項も、特許請求の範囲を実質上拡張し、又は変更するものではない。
（３）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項、並び、に同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについて
（１）本件発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項５及び請求項６に係る発明（以下それぞれを、「本件発明５」等という。）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項５及び請求項６にそれぞれ記載された事項により特定される次のとおりのものである。
【請求項５】　ノズルから基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、
　２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段と、前記調合する各液を秤量する秤量手段とを設け、前記調合した洗浄液をノズルから基板上に供給するように構成し、
　前記調合された洗浄液を貯留する複数個の貯留タンクと、
　ノズルから基板上に洗浄液を供給するのに用いる貯留タンクを切り換える切り換え手段と、
　を備え、
　前記調合手段を、前記秤量手段と前記貯留タンクとの間に設けたことを特徴とする基板洗浄装置。
【請求項６】　請求項１ないし５のいずれかに記載の基板洗浄装置において、
　各液を調合する調合槽と、
　前記調合槽への各液の供給を個別に行う液供給手段と、
　前記調合槽へ供給される液の供給順序を適宜の順序で行うように前記液供給手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする基板洗浄装置。
（２）申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、証拠方法として以下に示す甲第１〜３号証を提示し、本件発明５は甲第１、２号証記載の発明に基づいて、また、本件発明６は、甲第３号証記載の発明に基づいて、それぞれ当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明５及び本件発明６についての特許は取り消すべきであると主張している。
［証拠方法］
　甲第１号証：特開平３−１９２１６号公報
　甲第２号証：実願昭６３−２４４３８号（実開平１−１２８８２９号）のマイクロフィルム
　甲第３号証：特開平５−１６６７８０号公報
（３）当審の通知した取消しの理由の概要                              
　本件発明５は甲第１、２号証記載の発明に基づいて、また、本件発明６は、甲第１〜３号証記載の発明に基づいて、それぞれ当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明５及び本件発明６についての特許は取り消すべきである。
（４）甲第１〜３号証記載の発明
（ｉ）甲第１号証には、その第２頁右上欄１７行〜同頁左下欄１８行及び第１図の記載からみて、
「スプレーノズル６ｂからウェーハ３上にリンス液１９を供給し、枚葉処理でウェーハ３の洗浄を行うウェーハ３洗浄装置において、
　エタノール２１及び一定量の純水９の供給を受けてそれら液を調合してリンス液１９をつくりだすタンク２０と、エタノール２１の秤量ポンプ２２とを設け、前記調合したリンス液１９をスプレーノズル６ｂからウェーハ３上に供給するように構成し、
　前記調合されたリンス液１９を貯留するタンク２０を備えたウェーハ３洗浄装置」の発明（以下、「甲第１号証記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
（ｉｉ）甲第２号証には、その明細書第２頁５行〜８行、同第６頁２０行〜第７頁７行、同第８頁７行〜第１３頁４行及び第１図の記載からみて、
「洗浄装置において、洗浄液を貯留する複数個の貯留タンクと、洗浄液を供給するのに用いる貯留タンクを切り換える切り換え手段とを備え、洗浄処理をロス時間なく連続して行う」との発明（以下、「甲第２号証記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
（ｉｉｉ）甲第３号証には、その第２頁左欄２４行〜２６行、第３頁右欄２８行〜３７行、第４頁左欄４９行〜同頁右欄２行及び【図１】の記載からみて、
「洗浄装置において、液供給手段を制御する制御手段を備える」との発明（以下、「甲第３号証記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
（５）本件発明５についての対比・判断
　本件発明５と甲第１号証記載の発明とを対比すると、後者の「スプレーノズル６ｂ」は前者の「ノズル」に、後者の「ウェーハ３」は前者の「基板」に、後者の「リンス液１９」は前者の「洗浄液」に、後者の「エタノール２１及び一定量の純水９」は前者の「２種類以上の液」に、後者の「タンク２０」は前者の「調合手段」及び「貯留タンク」に、後者の「エタノール２１の秤量ポンプ２２」は前者の「秤量手段」に、それぞれ相当することは明らかである。また、後者において、調合する２種類の液の一方である純水を秤量する秤量手段については明記されていないものの、「一定量の純水」との記載からみて、後者における純水についてもその秤量手段を備えているというべきである。
　そうすると、両者は、以下の点で相違し、残余の点で一致する。
〈相違点〉前者は、調合された洗浄液を貯留する貯留タンクを複数個、調合手段とは別に備え、調合手段を秤量手段と貯留タンクとの間に設け、また、ノズルから基板上に洗浄液を供給するのに用いる貯留タンクを切り換える切り換え手段を備えるのに対して、後者は、調合手段を兼ねる貯留タンクを１個しか備えておらず、調合手段を秤量手段と貯留手段との間には設けておらず、また、貯留タンクを切り換える切り換え手段を備えていない点。
　そこで、上記相違点について検討するに、甲第３号証には、当該相違点に係る本件発明５の発明特定事項について何ら記載がない。
　そして、甲第２号証には、洗浄液を貯留する貯留タンクを複数個と、貯留タンクを切り換える切り換え手段とを備え、洗浄処理をロス時間なく連続して行うことが記載されている。
　甲第１号証記載の発明が、調合手段を兼ねる貯留タンクは１個しかないため、洗浄処理をロス時間なく連続して行えないとの課題を有することは、自明である。したがって、甲第１号証記載の発明の調合手段を兼ねる貯留タンクに甲第２号証記載の発明を組合わせ、調合手段を兼ねる貯留タンク複数個と、当該調合手段を兼ねる貯留タンクを切り換える切り換え手段とを備えるようにすることまでは当業者が容易に想到し得ると云いうる。しかしながら、甲第１号証記載の発明の調合手段を兼ねる貯留タンクを、調合手段と貯留タンクとに機能分割し、しかも、機能分割後の貯留タンクのみを複数個備えるようにして本件発明５に至ることは、当業者といえども容易に想到し得るとまでは云い得ない。
　そして、本件発明５は、上記相違点に係る事項をその発目特定事項の一部として備えることにより、「調合する各液を秤量手段が秤量し、調合手段が秤量された液を調合して洗浄液をつくりだし、調合された洗浄液を複数個の貯留タンクがそれぞれ貯留し、これら複数個の貯留タンクを切り換えながらノズルから基板への洗浄液の供給が行えるように構成したので、連続して基板処理を行うことができる。」（訂正明細書の段落【００６５】）という優れた作用効果を奏している。
　したがって、本件発明１は、甲第１〜３号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
（６）本件発明６についての対比・判断
　本件発明６は、異議申立ての対象となっていない本件発明１〜４、又は、本件発明５を、他の事項を付加して限定するものである。
　したがって、本件発明６も、同様にして、甲第１〜３号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである、とすることはできない。
（７）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件発明５、６についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明５、６についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１７年１月５日（２００５．１．５）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
基板洗浄装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ノズルから基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、
　２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段と、前記調合する各液を秤量する秤量手段とを設け、
　前記調合した洗浄液をノズルから基板上に供給するように構成するとともに、
　前記秤量手段は、
　液を入れる秤量槽と、
　前記秤量槽の上方または下方から垂設された液吸引管と、
　を備え、前記秤量槽に入れられた液を液供給管で吸引することによりその液を秤量するように構成したことを特徴とする基板洗浄装置。
　【請求項２】　請求項１に記載の基板洗浄装置において、
　前記液吸引管は、前記秤量槽の上方から垂設されていることを特徴とする基板洗浄装置。
　【請求項３】　請求項１に記載の基板洗浄装置において、
　前記液吸引管は、前記秤量槽の下方から垂設されていることを特徴とする基板洗浄装置。
　【請求項４】　ノズルから基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、
　２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段を設け、前記調合した洗浄液をノズルから基板上に供給するように構成し、
　前記調合された洗浄液を貯留する貯留タンクと、
　前記調合された洗浄液を前記貯留タンクに流す液流の力によって前記貯留タンク内に貯留されつつある洗浄液の一部を吸引して前記貯留タンクに戻す液循環手段と、
　を備えたことを特徴とする基板洗浄装置。
　【請求項５】　ノズルから基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、
　２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段
と、前記調合する各液を秤量する秤量手段と
　前記調合された洗浄液を貯留する複数個の貯留タンクと、
　ノズルから基板上に洗浄液を供給するのに用いる貯留タンクを切り換える切り換え手段と、
　を備え
、
　前記調合手段を、前記秤量手段と前記貯留タンクとの間に設けた
　【請求項６】　請求項１ないし５のいずれかに記載の基板洗浄装置において、
　各液を調合する調合槽と、
　前記調合槽への各液の供給を個別に行う液供給手段と、
　前記調合槽へ供給される液の供給順序を適宜の順序で行うように前記液供給手段を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする基板洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板、フォトマスク、光ディスク用の基板などの基板上にノズルから洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置に係り、特には、２種類以上の液を調合した洗浄液を基板に供給して基板洗浄する基板洗浄装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来のこの種の基板洗浄装置としては、例えば、１枚の基板を水平姿勢で保持して回転させながら、ノズルから基板上に洗浄液としての純水を噴出供給して基板洗浄したり、さらに、ブラシを併用してノズルから基板上に純水を噴出供給しながらブラシ洗浄するように構成された装置が知られている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　この種の基板洗浄装置による基板洗浄では、従来、主に洗浄液として純水を用いていたが、洗浄効果を高めるために薬液を用いて基板洗浄する場合もあった。しかしながら、基板洗浄においては、市販の原液をそのまま基板に供給することはほとんどなく、通常は、純水で希釈したものや、他の薬液と混合したものを洗浄液として用いていた。そのため、薬液を用いた基板洗浄の際には、２種類以上の液を調合（薬液と純水とを調合したり、薬液同士を調合）しなければならないが、従来、この調合は人手で行っていたので、作業者の負担となっていた。また、液の調合を人手で行っていたので、調合する液の割合が不正確になり易かった。さらに、薬液を用いた基板洗浄を連続して行う場合、液の調合を人手で行っていると、液の調合が間に合わなかったり、調合するのを忘れたり、調合した洗浄液を装置に補充するのを忘れることなどもあり、そのような場合には、例えば基板洗浄を中断しなければならず、生産性の低下を招くことにもなる。また、薬液同士を調合する際、薬液の種類によっては調合する順序を間違えると発熱などの危険があったが、調合を人手で行う場合、その調合順序が正確に行われないことも起こり易く、作業者を危険にさらすことにもなる。
　【０００４】
　本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、従来の種々の不都合を解消して薬液を用いた基板洗浄を好適に実施することができる基板洗浄装置を提供することを目的とする。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
　すなわち、請求項１に記載の発明は、ノズルから基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段と、前記調合する各液を秤量する秤量手段とを設け、前記調合した洗浄液をノズルから基板上に供給するように構成するとともに、前記秤量手段は、液を入れる秤量槽と、前記秤量槽の上方または下方から垂設された液吸引管と、を備え、前記秤量槽に入れられた液を液供給管で吸引することによりその液を秤量するように構成したことを特徴とするものである。
　【０００６】
　また、請求項２に記載の発明は、上記請求項１に記載の基板洗浄装置において、前記液吸引管は、前記秤量槽の上方から垂設されていることを特徴とするものである。
　【０００７】
　また、請求項３に記載の発明は、上記請求項１に記載の基板洗浄装置において、前記液吸引管は、前記秤量槽の下方から垂設されていることを特徴とするものである。
　【０００８】
　また、請求項４に記載の発明は、ノズルから基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段を設け、前記調合した洗浄液をノズルから基板上に供給するように構成し、前記調合された洗浄液を貯留する貯留タンクと、前記調合された洗浄液を前記貯留タンクに流す液流の力によって前記貯留タンク内に貯留されつつある洗浄液の一部を吸引して前記貯留タンクに戻す液循環手段と、を備えたことを特徴とするものである。
　【０００９】
　また、請求項５に記載の発明は、ノズルから基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段
と、前記調合する各液を秤量する秤量手段と
、前記調合手段を、前記秤量手段と前記貯留タンクとの間に設けた
　【００１０】
　また、請求項６に記載の発明は、上記請求項１ないし５のいずれかに記載の基板洗浄装置において、各液を調合する調合槽と、前記調合槽への各液の供給を個別に行う液供給手段と、前記調合槽へ供給される液の供給順序を適宜の順序で行うように前記液供給手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするものである。
　【００１１】
　【作用】
　本発明の作用は次のとおりである。
　すなわち、請求項１に記載の発明によれば、調合手段が、２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくり、その洗浄液がノズルから基板上に供給され枚葉処理で基板の洗浄が行われる。調合の際、秤量手段で秤量された各液が調合されて洗浄液がつくられる。秤量の際、液が秤量槽に入れられ、その液を秤量槽の上方または下方から垂設された液吸引管で吸引することによりその液が秤量される。すなわち、液吸引管で液を吸引することで、秤量槽内の液面の高さは液吸引管の吸引口の高さとなるので、秤量槽内の液吸引管の吸引口の高さを調節しておくことで、液吸引管による液吸引後に秤量槽内に残留する液の容量を一定にすることができ、それにより液が秤量される。
　【００１２】
　また、請求項２に記載の発明によれば、液が秤量槽に入れられ、その液を秤量槽の上方から垂設された液吸引管で吸引することによりその液が秤量される。
　【００１３】
　また、請求項３に記載の発明によれば、液が秤量槽に入れられ、その液を秤量槽の下方から垂設された液吸引管で吸引することによりその液が秤量される。
　【００１４】
　また、請求項４に記載の発明によれば、調合手段が、２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくる。そして、調合された洗浄液は貯留タンクに流されて貯留される。液循環手段は、調合された洗浄液が貯留タンクに流される際の液流の力によって貯留タンク内に貯留されつつある洗浄液の一部を吸引して貯留タンクに戻す。これにより、循環ポンプを用いた液の循環ラインを特別に設けることなく、調合された洗浄液が攪拌されその洗浄液内の各液が充分に混ぜ合わされる。そして、貯留タンクに貯留された洗浄液がノズルから基板上に供給されて基板が洗浄される。
　【００１５】
　また、請求項５に記載の発明によれば、調合手段が、２種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくる。
調合の際、秤量手段で秤量された各液が調合されて洗浄液がつくられる。
　【００１６】
　また、請求項６に記載の発明によれば、制御手段は、調合槽へ供給される液の供給順序を適宜の順序で行うように液供給手段を制御する。これにより、液を調合する際の調合順序を任意の順序で
行う
ならない
　【００１７】
　【発明の実施の形態】
　以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
　図１は、本発明の実施の形態に係る基板洗浄装置の全体構成を示す縦断面図である。
　【００１８】
　この基板洗浄装置１は、スピンチャック２やカップ３、ブラシ洗浄機構４、ノズル５、液調合ユニット６、制御部７などを備えて構成されている。
　【００１９】
　スピンチャック２は、基板Ｗを水平姿勢で保持し、回転軸２ａを介して電動モーター２ｂで回転駆動することで、保持した基板Ｗを鉛直軸回りに回転させるように構成されている。なお、図に示すスピンチャック２は、真空吸引式のものであるが、例えば、基板Ｗの周縁を部分的に下方から支持する支持部材と、支持部材に支持された基板Ｗの外周端縁に接触して基板Ｗの水平方向の位置を規制する位置決めピンなどで構成されるメカニカル式のスピンチャックであってもよい。
　【００２０】
　スピンチャック２およびそれによって保持された基板Ｗの周囲は、図示しない昇降機構によって昇降可能に構成されたカップ３で覆われている。そして、スピンチャック２やカップ３は、装置１の外囲１ａ内に収納されている。
　【００２１】
　ブラシ洗浄機構４は、先端にブラシ４ａが支持された支持アーム４ｂの基端部が支軸４ｃに支持されて構成されている。ブラシ４ａは、回転軸Ｊ１周りに回転（自転）されるように支持アーム４ｂに支持され、支持アーム４ｂは、回転軸Ｊ２周りに回転（揺動）されるように支軸４ｃに支持され、支軸４ｃは図示しない昇降機構によって昇降可能に構成されている。そして、支軸４ｃが上昇された状態で支持アーム４ｂがＪ２周りに正方向に揺動され、ブラシ４ａをカップ３の外側の待機位置からスピンチャック２に保持された基板Ｗの回転中心に移動させ、支軸４ｃを降下させてブラシ４ａを基板Ｗの上面に当接、または、若干浮かせた状態にし、基板Ｗを回転させ、ブラシ４ａをＪ１周りに自転させ、ノズル５から基板Ｗに向けて洗浄液を噴出供給しながら、支持アーム４ｂをＪ２周りに逆方向に揺動させてブラシ４ａを基板Ｗの回転中心からその周縁へと移動させてブラシ４ａによる基板洗浄（以下、この洗浄をブラシ洗浄という）が行われる。ブラシ洗浄が終了すると、ブラシ４ａが待機位置に移動され、その位置に設けられている待機ポット４ｄに収納されてブラシ４ａの洗浄が行われる。
　【００２２】
　ノズル５は、スピンチャック２に保持された基板Ｗに洗浄液を噴出供給するためのもので、図面では、液調合ユニット６によって調合された洗浄液（以下、この洗浄液を調合洗浄液ともいう）を基板Ｗに噴出供給するノズル５ａと、工場のユーティリティなどから供給される純水を基板Ｗに噴出供給するノズル５ｂとを図示しているが、その他、洗浄液を基板Ｗに高圧噴射するジェット洗浄ノズルや、洗浄液に超音波を付加して供給する超音波洗浄ノズルなどが備えられることもある。なお、図面では、調合洗浄液をノズル５ａのみに供給するようにしているが、調合洗浄液を上記ジェット洗浄ノズルや超音波洗浄ノズルなどに供給し、調合洗浄液を基板Ｗに高圧噴射したり、調合洗浄液に超音波を付加して基板Ｗに供給するようにしてもよい。
　【００２３】
　液調合ユニット６の詳細は後述するが、このユニット６では、各種の液を別個に貯留している１個または複数個の液貯留槽６ａから２種類以上の液（薬液や純水など）が供給されて、それら液を調合して洗浄液（調合洗浄液）を自動的につくりノズル５（５ａ）に供給する。このユニット６は装置１の外囲１ａ内に設置され、制御部７に制御されて液の調合が行われる。なお、図面では、液調合ユニット６が装置１の下方に配置されているように描いているが、液調合ユニット６の設置場所はそこに限定されず適宜の場所に配置してもよく、必要に応じて外囲１ａの外側に配設されていてもよい。また、液調合ユニット６で市販の原液を純水で希釈するような場合には、純水を液貯留槽６ａから供給するようにしてもよいが、工場のユーティリティなどから純水を液調合ユニット６に直接供給するようにしてもよい。液貯留槽６ａから液調合ユニット６への液の供給は、例えば、ガス圧送方式などで行われる。作業者は、調合する液を液貯留槽６ａに入れておくだけで、調合洗浄液が自動的につくられ、ノズル５（５ａ）から基板Ｗに噴出供給されて基板洗浄が行われる。
　【００２４】
　制御部７は、マイクロコンピューターなどで構成されていて、電動モーター２ｂの回転制御や、液調合ユニット６による液調合、その他、ノズル５からの洗浄液の供給、ブラシ洗浄機構４の駆動制御など装置１全体の制御を行う。
　【００２５】
　上記装置１では、例えば、基板Ｗを回転させながら調合洗浄液を基板Ｗに噴出供給して薬液による基板洗浄（ブラシを使わない洗浄）を行った後、純水を基板Ｗに噴出供給しながらのブラシ洗浄を行ったり、あるいは、調合洗浄液を基板Ｗに噴出供給しながらのブラシ洗浄を行った後、薬液を洗い流すために基板Ｗを回転させながら純水を基板Ｗに噴出供給して純水による基板洗浄（ブラシを使わない洗浄）を行うなどによって一連の基板洗浄が行われる。この基板洗浄の制御も制御部７が各部を制御して実行される。
　【００２６】
　次に、本発明の要部である液調合ユニット６の構成を図２ないし図５などを参照して説明する。なお、図２は、液調合ユニットの全体的な概略構成を示すブロック図であり、図３は、秤量部の構成などを示す縦断面図、図４は、調合部の構成を示す縦断面図、図５は、貯留部の構成を示す縦断面図である。
　【００２７】
　図２に示すように、液調合ユニット６は、供給される各液Ｑ１、Ｑ２、…の量をそれぞれ秤量するための、複数個の秤量部１１と、各秤量部１１で秤量された各液Ｑ１、Ｑ２、…を調合（混合）する調合部１２と、調合部１２で調合された調合洗浄液を貯留する貯留部１３を備えて構成されている。
　【００２８】
　なお、貯留部１３を省いて、調合部１２からノズル５へ調合洗浄液を直接供給するように構成してもよいが、その場合、例えば、調合部１２で調合した調合洗浄液を使い切らなければ新たな調合洗浄液がつくれないなどの不都合もあるので、貯留部１３を備えることが好ましい。また、貯留部１３は、少なくとも１個あればよいが、図２に示すように、貯留部１３を複数個（２個）備えて、これら貯留部１３を切り換えながら使用することが好ましい。すなわち、一方の貯留部１３（１３ａ）に貯留されている調合洗浄液をノズル５に供給するのに使用している間に、調合部１２で新たな調合洗浄液を調合して他方の貯留部１３（１３ｂ）に貯留しておき、
貯留部１３ａ
　【００２９】
　秤量部１１は、例えば、図３に示すような機構により構成される。すなわち、液Ｑ（Ｑ１、Ｑ２、…）を入れる秤量槽２１や、液Ｑを秤量槽２１に供給する液供給管２２、吸引口２３ａが秤量槽２１内の所定高さＨＬに位置されるように垂設された液吸引管２３、秤量された液Ｑを秤量槽２１から調合部１２に供給するための液送出管２４などで構成される。
　【００３０】
　この機構による秤量は、以下のように行われる。まず、液供給管２２から液Ｑを秤量槽２１に供給していき、例えば、図の二点鎖線で示す液面高さで液Ｑの供給が停止されたとする。この状態で、液吸引管２３から秤量槽２１内の液Ｑを吸引していくと、液面高さＨＬに達すると液Ｑの吸引が行われなくなる。この液面高さＨＬの状態で秤量槽２１に入れられている液Ｑの容量は既知である。従って、液吸引管２３の吸引口２３ａの高さを調節しておくことで、液Ｑを所定量だけ調合部１２に供給するための秤量が
行える
　【００３１】
　図３（ｂ）に示す機構は、液を秤量するのに従来一般に用いられていた構成であり、液吸引管２３が秤量槽２１の下方から垂設されている。また、図３（ａ）は、本発明者によって発明された秤量機構であり、液吸引管２３を秤量槽２１の上方から垂設するようにした。本発明の秤量手段としては、図３（ａ）、（ｂ）のいずれの機構のものを用いてもよいが、図３（ａ）の機構を用いるのが好ましい。すなわち、図３（ｂ）の構成では、液吸引管２３を秤量槽２１の下方から垂設しているので、液吸引管２３を秤量槽２１の底部から差し入れるための開口から液漏れが起きないように、液吸引管２３を秤量槽２１に溶接などして固定していた。そのため、秤量しようとする液量に応じて液吸引管２３を切断して吸引口２３ａの高さを調節しなければならならかった。また、秤量しようとする液量を変更する場合などに柔軟に対応することもできなかった。これに対して、図３（ａ）の構成では、液吸引管２３を秤量槽２１の上方から垂設しているので、液漏れなどを考慮する必要がなく、液吸引管２３の吸引口２３ａの秤量槽２１内の高さ（秤量しようとする液量）を自由に調節することが可能（例えば、秤量槽２１の上面にナットを固設し、液吸引管２３の外周にネジ溝を設けておき、液吸引管２３をナットに対して回転させることにより、吸引口２３ａの高さを自由に調節できる）になる。従って、図３（ａ）の構成によれば、液吸引管２３の切断などの面倒がなくなり、また、秤量しようとする液量の変更などにも柔軟に対応することが可能となる。
　【００３２】
　調合部１２は、図４に示すように、各秤量部１１で秤量され、供給された各液Ｑ１、Ｑ２、…を入れて混合する調合槽（混合槽）３１や、各秤量槽１１からの液送出管２４の管路中にそれぞれ設けられた開閉弁（電磁開閉弁など）３２、調合された液（調合洗浄液）を調合槽３１から貯留部１３に供給する液送出管３３などで構成される。
　【００３３】
　各開閉弁３２が開にされることで、秤量部１１で秤量された各液Ｑ１、Ｑ２、…が調合槽３１に入れられて混合され、調合洗浄液がつくられる。なお、調合槽３１に図示しない循環ポンプを用いた液の循環ラインを設けて、各液Ｑ１、Ｑ２、…を調合槽３１内で攪拌させるように構成してもよい。ただし、後述する図５に示す貯留部１３では、貯留部１３に供給する際の調合洗浄液の液流の力を利用して調合洗浄液を攪拌するので、そのような貯留部１３の場合には、上記循環ラインなどを特別に設けなくてもよい。
　【００３４】
　各開閉弁３２の開閉の制御は制御部７で行うが、この開閉を同時に行うようにしてもよいし、各開閉弁３２の開閉を時間的にずらせて、調合槽３１に供給する液Ｑの順序（調合する順序）を適宜の順序にするようにしてもよい。このように、調合する順序を調整することで、先に調合すると危険な液同士の調合を正確、確実に回避することができる。なお、上記開閉弁３２の開の順番は、各開閉弁３２の開閉を１個ずつ順番に行ってもよいが、各回の開閉弁３２の開のタイミングで、調合しても問題ない液を同時に調合槽３１に供給するようにしてもよい。また、この際の制御は、例えば、タイマー制御やセンサなどを用いた制御などで実現することができる。
　【００３５】
　タイマー制御は、例えば、最初の開閉弁３２を開にしてから、その開閉弁３２に接続される秤量部１１から調合槽３１に液が供給されるのに充分な時間待って、次の開閉弁３２を開にするというように順次所定時間ずらせて開閉弁３２を開にするように制御する。また、センサなどを用いた制御は、例えば、液送出管２４それぞれに、液が流れているか否かを検知するセンサ（静電容量センサや不透明な液では光学センサで構成される）を設けておき、ある開閉弁３２を開にした後、前記センサによって液が流れていない（流れ切った）ことを検知すると、次の開閉弁３２を開にするというように制御する。
　【００３６】
　なお、図２に示すように、貯留部１３を２個備えている場合には、例えば、後述する図６のように、調合槽３１からの液送出管３３が分岐され、各貯留部１３に連通される管４１の管路中にそれぞれ（電磁）開閉弁などを設け、各開閉弁のいずれか一方のみを開にするように各開閉弁を切り換えて、いずれか一方の貯留部１３に調合洗浄液が供給される。また、液送出管３３の管路中に（電磁）開閉弁を設けるとともに、液送出管３３から各管４１への分岐部分に、液送出管３３にコモンポートを連通接続した三方弁を設け、三方弁の切り換えによって調合槽３１に連通される貯留部１３を選択するとともに、開閉弁の開閉によって、選択されている貯留部１３への調合洗浄液の供給／停止を切り換えるようにしてもよい。上記各弁の制御（いずれの貯留部１３に調合洗浄液を供給するかの制御）は、制御部７によって行われ、制御部７では、ノズル５から基板Ｗ上に調合洗浄液を供給するのに用いていない方の貯留部１３に（調合部１２で新たに調合した）調合洗浄液を供給するように制御する。
　【００３７】
　各貯留部１３は、液送出管３３、管４１を経て供給される調合洗浄液を単に貯留タンクに貯留していき、貯留タンクに貯留された調合洗浄液をノズル５から基板Ｗ上に供給するように構成されていてもよいが、図５に示すように構成してもよい。
　【００３８】
　図５に示す貯留部１３は、液送出管３１から分岐された管４１の管路中にアスピレータ４２を設け、アスピレータ４２の吸引部に、一端側が貯留タンク４３に連通接続された吸引管４４の他端側を連通接続している。アスピレータ４２は、周知のように、水流によって気体や液体を吸引するものであり、ここでは、管４１などを経て調合槽３１から貯留タンク４３に供給される調合洗浄液の液流によって、貯留タンク４３に貯留されつつある調合洗浄液の一部を吸引管４４からアスピレータ４２に吸引して再び貯留タンク４３に流すように調合洗浄液をアスピレータ４２、管４１、貯留タンク４３、吸引管４４で循環させている。なお、管４１を介して貯留タンク４３に供給される調合洗浄液の液量に比べて、吸引管４４を介してアスピレータ４２に吸引される調合洗浄液の液量が少なくなるように（例えば、５：１程度の比率に）調節されていて、所定時間経過すると最終的に上記調合洗浄液の循環が終了するようにしている。このように、貯留タンク４３に調合洗浄液が供給される際に調合洗浄液を循環させることにより、調合洗浄液が攪拌され、調合した各液を充分に混ぜ合わせることができる。また、図５のように、貯留タンク４３へ供給する調合洗浄液の液流の力を利用して調合洗浄液を循環させるように構成したことにより、調合洗浄液の攪拌のための循環ポンプなどを用いた循環ラインを特別に設ける必要がなくなり構成を簡略化することができる。
　【００３９】
　なお、図５に示す貯留部１３は、貯留タンク４３に貯留されている調合洗浄液ＭＱをガス圧送方式でノズル５に供給するように構成している。そのため、一端側が窒素（Ｎ２）ガスなどのガスの供給源（工場のユーティリティなど）に連通接続され、（電磁）開閉弁４５が介装された加圧管４６の他端側が貯留タンク４３に連通接続され、貯留タンク４３からノズル５への調合洗浄液の供給／停止を行う（電磁）開閉弁４７が設けられている。なお、貯留タンク４３内の圧力を開放するために、加圧管４６から分岐され、（電磁）開閉弁４８を介装して、大気に連通接続された管４９が設けられている。調合部１２で調合された調合洗浄液を貯留タンク４３に供給する際には、開閉弁４５を閉、開閉弁４８を開にして貯留タンク４３内の圧力が開放される。そして、貯留タンク４３からノズル５へ調合洗浄液が供給される際には、開閉弁４５を開、開閉弁４８を閉にして貯留タンク４３内を加圧状態にしていつでも調合洗浄液をノズル５に供給できる状態にし、実際のノズル５への調合洗浄液の供給／停止は、開閉弁４７の開閉で行われる。上述した各開閉弁などの制御は、制御部７によって行われる。
　【００４０】
　なお、開閉弁４７は、各貯留タンク４３（各貯留部１３）に連通接続された液送出管５１が合流された管５２の管路中に設けられているが、いずれか一方の貯留部１３からノズル５に調合洗浄液を供給できるように、例えば、各液送出管５１が合流し管５２に統合される部分に、コモンポートを管５２に連通接続した三方バルブを設け、この三方バルブの切り換えによっていずれか一方の調合部１３を選択するように構成するようにしてもよい。また、各液送出管５１の管路中に、貯留タンク４３から管５２への液の流れのみを許容する逆止弁を設けて、いずれか一方の貯留部１３の貯留タンク４３が加圧され、その貯留タンク４３から液送出管５１に送り出されている調合洗浄液が他方の貯留部１３の貯留タンク４３に流れ込むのを防止するように構成されているだけでもよい。
　【００４１】
　【実施例】
　次に、液調合ユニット６の一実施例を図６を参照して説明する。
　図６に示す液調合ユニット６は、薬液Ａと薬液Ｂ（薬液Ａ、Ｂは異なる薬液）と純水とを調合して（薬液Ａと薬液Ｂとの調合液を純水で所定濃度に希釈して）調合洗浄液をつくるためのものである。
　【００４２】
　なお、薬液Ａの秤量部１１と薬液Ｂの秤量部１１は同様の構成であるので、図では薬液Ａの秤量部１１の構成のみを図示し、薬液Ｂの秤量部１１の構成の図示を省略している。また、この液調合ユニット６には、２個の貯留部１３を備えているが、双方の貯留部１３は同様の構成であるので、一方の貯留部１３の構成のみを図示し、他方の貯留部１３の構成の図示を省略している。さらに、純水や水、窒素（Ｎ２）ガスなどは工場のユーティリティなどから供給されるように構成され、排液ドレイン１００は工場の廃棄ラインに接続されている。その他、図１ないし図５と同様の構成部品は、図１ないし図５と同一符号を付してその詳述を省略する。
　【００４３】
　秤量部１１の液供給管２２の管路中には開閉弁２５が介装されている。制御部７は、後述する調合開始のタイミングで開閉弁２５を開にして液貯留部６ａから秤量槽２１への液の供給を開始し、後述するセンサ２６からの検知信号に基づき開閉弁２５を閉にして液貯留部６ａから秤量槽２１への液の供給を停止する。
　【００４４】
　また、この実施例では、開閉弁２５の上流側に液貯留槽６ａに貯留されている液の残量が所定量以下になったことを検知するための残量検知部６０が設けられている。この残量検知部６０は、液供給管２２に介装される残量検知槽６１と残量検知槽６１内の薬液Ａの液面が所定高さＫＬを下回ったか否かを検知するセンサ（静電容量センサや光学センサ（薬液Ａが不透明な液の場合）など構成される、以下、各槽に設けられているセンサも同じ）６２とで構成されている。液貯留部６ａからはガス圧により液が開閉弁２５側に圧送されているので、液貯留槽６ａに液が充分な量貯留されていれば、開閉弁２５の開閉にかかわらず残量検知槽６１内には液が満たされている。しかしながら、液貯留槽６ａに貯留されている液の残量が少なくなり、開閉弁２５側に液が圧送できなくなると、残量検知槽６１内の液の液面が低下してきて、やがて上記所定高さＫＬを下回る。この状態をセンサ６２で検知することにより、液貯留槽６ａに貯留されている液の残量が所定量以下になったことを検知するように構成されている。なお、この実施例では、制御部７がセンサ６２からの検知信号を受けて図示しない警報ランプを点灯させたり、警報ブザーを鳴動させるなどの警報を発して、液貯留槽６ａに貯留されている液の残量が所定量以下になったことを作業者に知らせるようにしている。
　【００４５】
　また、この実施例では、開閉弁２５が開にされ、液供給管２２を介して秤量槽２１に供給される薬液Ａの液面が、秤量しようとしている量に応じた液面高さＨＬに達したことを検知するセンサ２６が秤量槽２１に設けられている。従って、制御部７は、センサ２６からの検知信号に基づき、開閉弁２５を閉にして秤量を完了するようにしてもよいが、このような制御では、時間的な遅れなどによって、開閉弁２５を閉にした段階で既に秤量槽２１内の薬液Ａの液面がＨＬを上回り、正確な秤量が行えないこともある。特に、この実施例の液調合ユニット６で１回の調合で調合する各液の量は比較的少量（５０〜１０ｃｃ程度）であるので、僅かな秤量誤差でも、つくられた調合洗浄液の成分割合に大きな影響が出てくる場合がある。従って、各液をより正確に秤量するために、図３で説明したような液吸引管２３からの液吸引によって秤量するように構成している。この実施例では、図３（ａ）のように液吸引管２３が秤量槽２１の上方から垂設されている。また、液吸引管２３は、開閉弁２７を介装してアスピレータ２８の吸引部に連通接続され、アスピレータ２８に流される水の水流によって秤量槽２１から液（薬液）を吸引し、吸引した薬液を、吸引に用いた水で希釈してから排液ドレイン１００に廃棄するようにしている。なお、アスピレータ２８への水の供給／停止は開閉弁２９の開閉の切り換えで行われる。さらに、開閉弁７１を介装した加圧管７２や、開閉弁７３を介装した圧力開放管７４などで構成される加圧・圧力開放機構７０が秤量槽２１に接続されている。
　【００４６】
　制御部７は、調合開始のタイミングになると、開閉弁２５を開にして秤量槽２１への液（薬液Ａ、Ｂ）の供給を開始する。そして、センサ２６からの検知信号を受け取ると、そのタイミングより所定時間（例えば、２秒）経過してから開閉弁２５を閉にして秤量槽２１への液の供給を停止する。これにより、秤量槽２１には液面高さＨＬに応じた容量以上の液量の液が貯留された状態（例えば、図３の二点鎖線で示す液面高さ程度まで液が貯留された状態）になる。なお、このように、センサ２６からの検知信号を受けて後、秤量槽２１へ液を所定時間供給することにより、例えば、秤量槽２１に供給される液の液面の乱れなどにより液が液面高さＨＬに応じた容量に満たない液量しか供給されていない段階でセンサ２６から検知信号が出されるような場合にも、確実に、秤量槽２１に液面高さＨＬに応じた容量以上の液量の液が貯留された状態にすることができる。また、同様の目的のために、センサ２６からの検知信号を所定時間継続して受けたことにより開閉弁２５を閉にするようにしてもよい。
　【００４７】
　次に、制御部７は、開閉弁２９を開にしてアスピレータ２８に水を流し、開閉弁２７を開にして液吸引管２３からの液の吸引を開始して液吸引管２３からの液吸引による秤量の微調を開始し、所定時間（液吸引による秤量を行うのに充分な時間）経過すると、開閉弁２７、２９を閉にして、液吸引による秤量の微調を停止する。これにより液の秤量が完了する。なお、センサ２６の故障などにより所定時間経過しても秤量が完了しないときには、適宜の警報を発して異常を作業者に知らせるようにしてもよい。
　【００４８】
　また、調合開始のタイミングにより、制御部７は、薬液Ａ、Ｂ、純水の秤量を同時に開始させるために、薬液Ａの秤量部１１、薬液Ｂの秤量部１１、純水の秤量部（後述するように、この実施例では調合部１２に純水の秤量を行う機構を設けている）で、上記と同様の動作制御を並行して行っている。
　【００４９】
　薬液Ａ、Ｂ、純水の秤量が全て終了すると、制御部７は各開閉弁３２を開にして、各秤量部１１から調合槽３１への各液の供給を開始させる、このとき、先にも説明したように、各液の供給順序（調合の順序）が予め決められている場合には、制御部７は、そのような順序で各液が調合槽３１に供給されるように、各開閉弁３２の開閉を時間的にずらせて行うように制御する。
　【００５０】
　なお、秤量槽２１から調合槽３１への液の供給は、開閉弁３２を開にして液の自重によって行うようにしてもよいが、この実施例では、秤量槽２１にＮ２ガスを供給してそのガス圧によって秤量槽２１から調合槽３１への液の供給を高速化するようにしている。すなわち、開閉弁３２を開にする際には、その開閉弁３２が接続されている秤量部１１の開閉弁７３を閉にするとともに、開閉弁７１を開にして、その秤量部１１の秤量槽２１内を加圧状態にし、その開閉弁３２を閉にすると、その秤量部１１の開閉弁７１を閉にするとともに、開閉弁７３を開にして、その秤量部１１の秤量槽１２内の圧力を開放して次回の秤量に備える。
　【００５１】
　ところで、先にも述べたが、この実施例では調合部１２に純水の秤量を行う機構を設けている。具体的には、調合槽３１を純水の秤量槽２１としても用い、この槽３１（２１）に液面検知用のセンサ２６を設けるとともに、液吸引管２３を上方から垂設し、調合部１２に開閉弁２７、２９やアスピレータ２８などを設けている。これら構成による純水の秤量は、上述した秤量部１１での秤量と同様に行われる。なお、この構成の場合、各液の秤量が完了した段階で、秤量された量の純水が調合槽３１に貯留された状態になっているが、調合順序が予め決められている場合でも、通常は純水が先に調合槽３１に供給されるようにその順序が決められるので特に問題はない。
　【００５２】
　この実施例では、調合槽３１に入れられる調合洗浄液が上限高さＵＬに達したことを検知するセンサ３４が調合槽３１に設けられている。これは、純水の秤量用のセンサ２６の故障などにより調合槽３１から液が溢れ出すのを防止するために設けている。また、調合部１２にも、秤量部１１と同様の加圧・圧力開放機構７０が設けられていて、調合槽３１から貯留タンク４３へ調合洗浄液を高速に供給できるようにしている。さらに、液送出管３３の管路中に、調合洗浄液が流れているか否か（調合洗浄液が流れ切ったか）を検知するセンサ３５が設けられている。
　【００５３】
　調合槽３１に各液が全て入れられると、制御部７は、今回つくった調合洗浄液を貯留する方の貯留部１３に接続されている管４１の管路中に介装されている開閉弁５３を開にするとともに、他方の開閉弁５３を閉にして、調合槽３１からいずれか一方の貯留タンク４３への調合洗浄液の供給を開始する。そして、制御部７は、センサ３５からの検知信号に基づき、液送出管３３に調合洗浄液が流れていない（調合洗浄液の供給が完了した）ことを検知すると、開にしている開閉弁５３を閉にして、貯留部１３への調合洗浄液の供給を完了する。
　【００５４】
　貯留タンク４３には、貯留タンク４３内の調合洗浄液の液面が上限高さＵＬを越えたことを検知するセンサ８１と、下限高さＤＬを下回ったことを検知するセンサ８２が設けられている。センサ８１は、調合槽３１のセンサ２６や３４の故障などにより所定量以上の調合洗浄液が調合槽３１から貯留タンク４３に供給されて、貯留タンク４３から調合洗浄液が溢れ出すのを防止するために設けられていて、制御部７はこのセンサ８１からの検知信号を受けると、適宜の警報を発して異常を作業者に知らせる。一方、センサ８１は、基板洗浄によって貯留タンク４３に貯留されている調合洗浄液が減少して所定の残量を下回ったことを検知するために設けられている。また、貯留タンク４３には、排液ドレイン１００に連通接続された廃棄管９１や開閉弁９２、廃棄管９１に液が流れているか否か（廃棄が完了したか否か）を検知するためのセンサ９３などからなる廃棄機構９０を備えている。
　【００５５】
　先にも説明したように、制御部７は、ノズル５（５ａ）から基板Ｗ上に調合洗浄液を噴出供給するのに用いる貯留部１３を切り換えている。この切り換えのタイミングは、ノズル５（５ａ）から基板Ｗ上に調合洗浄液を噴出供給するのに現在用いる貯留部１３の貯留タンク４３に貯留されている調合洗浄液が、調合されてから所定時間が経過したか、あるいは、その貯留部１３のセンサ８２からの検知信号を受けたか（残量が所定量以下になったか）のいずれかのタイミングで行われる。この切り換えタイミングにより、次回からの基板洗浄では、現在待機中の貯留部１３から行うように制御する。そして、上記切り換えタイミングにより、それまで用いていた貯留部１３（待機中になる）の貯留タンク４３に残留している調合洗浄液を廃棄するために、開閉弁９２を開にし、センサ９３からの検知信号により残留液の廃棄が完了したことを検知すると開閉弁９２を閉にする。そして、上記切り換えタイミングから残留液の廃棄完了のタイミングまでの適宜のタイミングを調合開始のタイミングとして、新たな調合洗浄液の調合を開始させ、その新たな調合洗浄液を上記切り換え後の待機中の貯留部１３へ貯留して次回の
貯留部１３
　【００５６】
　なお、上記実施例では、調合槽３１を純水の秤量にも用いるように構成しているが、薬液Ａ、Ｂの秤量部１１と同様の純水の秤量部を別途設けてもよい。
　【００５７】
　また、上記実施例では、２種類の薬液の調合液を純水で希釈して調合洗浄液をつくる場合を例に採り説明したが、１種類の薬液、または、３種類以上の薬液の調合液を純水で希釈して調合洗浄液をつくる場合や、複数種類の薬液を調合して調合洗浄液をつくる場合などでも、上記実施例と同様の構成によって実現することができる。
　【００５８】
　なお、調合洗浄液をつくってからある程度の時間が経過すると、調合洗浄液中の薬液の蒸発などが起こり、その調合洗浄液を基板洗浄に用いられなくなって、廃棄しなければならない場合もある。例えば、複数台の基板洗浄装置で使用する調合洗浄液をまとめて（多量に）調合して貯留するような場合、調合洗浄液の貯留時間が長期化し易く、それだけ廃棄する調合洗浄液の量が多くなり易い。これに対して、本発明では、１台の基板洗浄装置で使用する調合洗浄液を各基板洗浄装置ごとにつくっているので、１回の調合でつくる調合洗浄液の量が少量になり、それだけ調合洗浄液の貯留時間が短くなり易く、廃棄する調合洗浄液の量を少量化、あるいは、無くすことができる。
　【００５９】
　また、上記実施例において、調合洗浄液を効率良く使用するために、貯留部１３の切り換えによって、新たな調合洗浄液をつくって待機中の貯留部１３に貯留が完了した時点か、それより若干遅い時点で次の貯留部１３の切り換えが行われるように、１回の調合でつくられる調合洗浄液の量を決めておくことが好ましい。
　【００６０】
　さらに、秤量槽２１や調合槽３１、特に、貯留タンク４３が開放系で構成されていると、薬液の蒸発などが起き易くなるので、これら槽２１、３１、貯留タンク４３を密閉系で構成することが好ましい。上記実施例においては、各槽２１、３１、貯留タンク４３でガス圧による液の圧送を行っている関係で、全ての槽、タンク２１、３１、４３を密閉系で構成しており、調合洗浄液をつくる段階から貯留中の間、薬液の蒸発などが起き難くなり、調合洗浄液をつくってからの貯留時間を長くすることができ、それだけ調合洗浄液の廃棄を無くすことに寄与できる。
　【００６１】
　【発明の効果】
　以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、２種類以上の液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段を設けたので、作業者への負担をなくして、薬液を用いた基板洗浄を好適に
行う
　【００６２】
　また、請求項２に記載の発明によれば、秤量槽の上方から垂設された液吸引管から液を吸引することで液の秤量を行うようにしたので、簡単な構成で自動秤量が行え、また、秤量する量を変更する場合にも柔軟に対応することができる。
　【００６３】
　また、請求項３に記載の発明によれば、秤量槽の下方から垂設された液吸引管から液を吸引することで液の秤量を行うようにしたので、簡単な構成で自動秤量が行え、また、秤量する量を変更する場合にも柔軟に対応することができる。
　【００６４】
　また、請求項４に記載の発明によれば、調合された洗浄液を貯留タンクに流す液流の力によって貯留タンク内に貯留されつつある洗浄液の一部を吸引して貯留タンクに戻す液循環手段を備えたので、調合された洗浄液内の各液を充分に混ぜ合わせることができ、しかも、そのために循環ポンプを用いた液の循環ラインを特別に
設ける
　【００６５】
　また、請求項５に記載の発明によれば、
調合する各液を秤量手段が秤量し、調合手段が秤量された液を調合して洗浄液をつくりだし、調合された洗浄液を複数個の貯留タンクがそれぞれ貯留し、これら
行える
行う
　【００６６】
　また、請求項６に記載の発明によれば、調合する順序を適宜の順序で
行える
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の実施の形態に係る基板洗浄装置の全体構成を示す縦断面図である。
　【図２】
　液調合ユニットの全体的な概略構成を示すブロック図である。
　【図３】
　秤量部の構成などを示す縦断面図である。
　【図４】
　調合部の構成を示す縦断面図である。
　【図５】
　貯留部の構成を示す縦断面図である。
　【図６】
　液調合ユニットの一実施例の全体構成を示す図である。
　【符号の説明】
　１　…　基板洗浄装置
　５（５ａ）　…　ノズル
　６　…　液調合ユニット
　７　…　制御部
　１１　…　秤量部
　１２　…　調合部
　１３　…　貯留部
　２１　…　秤量槽
　２３　…　液吸引管
　３１　…　調合槽
　２５、３２、４７、５３　…　開閉弁
　４２　…　アスピレータ
　４３　…　貯留タンク
　４４　…　吸引管
　Ｗ　…　基板