【事件の表示】
　特許第３３１７６９７号「シリカ系被膜形成用塗布液の製造方法、シリカ系被膜形成用塗布液，シリカ系被膜の製造方法，シリカ系被膜およびシリカ系被膜の形成された半導体デバイス」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３３１７６９７号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件発明
　
　特許第３３１７６９７号（平成２年１１月１５日出願、平成１４年６月１４日設定登録。）の請求項１〜５に係る発明（以下、「本件発明１〜５」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された次のとおりのものである。
　
「【請求項１】一般式（Ｉ）
　　　　　Ｒ４−ｎ−Ｓｉ（ＯＲ’）ｎ 　（Ｉ）
（式中Ｒは炭素数１〜３のアルキル基又はアリール基、Ｒ’は炭素数１〜３のアルキル基、ｎは２〜４の整数を示す。）で表されるアルコキシシラン化合物で一般式（Ｉ）におけるｎが相違する化合物の少なくとも２種を溶媒中で加水分解縮重合させてシロキサンポリマーを合成する際に、沸点の異なる極性溶媒（水を除く）を少なくとも２種類用い、加水分解反応の結果生成するアルコールを含め溶媒を３種類以上とし、加水分解反応により生成するアルコールを含め、少なくとも３種類の溶媒を沸点の高さの順に並べ、隣りあう溶媒の沸点差を求め、これらの沸点差の差が１０℃以下となるように選ばれた混合溶媒を用いることを特徴とするシリカ系被膜形成用塗布液の製造方法。
【請求項２】請求項１記載の製造方法により得られたシリカ系被膜形成用塗布液。
【請求項３】請求項１記載のシリカ系被膜形成用塗布液を基板上に塗布し、５０〜２５０℃で乾燥した後、窒素雰囲気下２６０〜６００℃で加熱硬化することを特徴とするシリカ系被膜の製造方法。
【請求項４】請求項３記載の製造方法により得られたシリカ系被膜。
【請求項５】請求項４記載のシリカ系被膜の形成された半導体デバイス。」
　
２．特許異議の申立ての理由の概要
　
　特許異議申立人板倉昭夫は、証拠として本件出願前に頒布されたことが明らかな刊行物である甲第１〜４号証、及び参考資料１を提出し、本件発明１〜５は、甲第１〜４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、本件発明２は、甲第４号証に記載された発明と実質的に同一であるから特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができず、また、本件特許明細書には記載不備があるから、特許法第３６条第５項第２号に規定する要件を満たしておらず、したがって、本件発明１〜５についての特許は取り消されるべきである旨、主張している。
　
３．甲号各証等及びその記載事項
　
　甲第１号証（特開昭６３−１３７９７２号公報）には、「(a)一般式　ＲＳｉ（ＯＲ’）３　で表されるオルガノアルコキシシランの縮合物からなるオルガノポリシロキサン、(b)親水性有機溶媒に分散されたコロイド状シリカ、(c)水、(d)親水性有機溶媒、(e)特定の窒素含有複素環化合物、アルミニウム化合物等から選ばれる少なくとも１種、を含有するコーティング用組成物」の発明（特許請求の範囲参照）について記載され、該発明は、「金属、ステンレス、アルミニウム、コンクリート、セメント、スレート、木材、紙、ガラス、プラスチックなどの表面に、透明でかつ光沢のある外観を有し、密着性、耐候性、耐熱性、耐触性、耐摩耗性、耐燃性、耐湿性、耐透水性、耐薬品性、耐酸性、特に耐アルカリ性、耐水性などに優れた塗膜を提供するために好適なコーティング用組成物」（公報第１頁右欄１０〜１７行）に関するものであって、「これらのオルガノアルコキシシランは、１種単独で使用することも、また２種以上を併用することもでき」（公報第３頁左上欄下から２行〜右上欄１行）、その第１表（公報第９頁右下欄）には、「オルガノポリシロキサン、コロイド状シリカ、水、および親水性有機溶媒の混合物」（公報第８頁右下欄１５〜１６行）である「混合物Ｄ」として「仕込み組成：メチルトリエトキシシラン、メタノール分散コロイダルシリカ、水道水、ｉ−プロピルアルコールのもの」が記載されている。
　甲第２号証（特開昭５９−６８３７７号公報）には、「(i)次式　Ｒ１Ｓｉ（ＯＲ２）３　で示されるオルガノアルコキシシランを、シリカ含有コロイド状水性分散液中において加水分解し、次いで、(ii)低級脂肪族アルコールを添加して、加水分解物の縮合反応を制御しながら過剰の水を共沸留去した後、(iii)固形分調節剤を添加して固形分を調節することを特徴とする被覆用組成物の製造方法」の発明（特許請求の範囲の第４項参照）について記載され、該発明は、「プラスチック成形品、木材及び金属等の表面に塗布することにより、硬度及び耐薬品性が優れ、透明性乃至グレア防止効果を有する被膜を与え、それらの基材の保護に有用な被覆用組成物及びその製造方法」（公報第２頁右上欄１２〜１６行）に関するものであって、「等で示されるオルガノヒドロキシシラン及び／又はその部分縮合物が挙げられ、これらから成る群より選ばれた１種もしくは２種以上のものが挙げられ」（公報第４頁左下欄下から１行〜右下欄３行）、その第１表（公報第８頁上欄）には、実施例９として、「上記(i)がメチルトリメトキシシラン、(ii)がイソブチルアルコール、(iii)がイソブチルアルコールとエチルアルコールとイソプロピルアルコールが混合されたもの」が記載され、また、同実施例１１として、「上記(i)がメチルトリメトキシシランとγ−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシランが混合されたものであって、(ii)と(iii)は実施例９と同じもの」が記載されている。
　甲第３号証（特開昭６２−９５３６１号公報）には、「(a)一般式　ＲＳｉ（ＯＲ’）３　で表されるオルガノアルコキシシラン、(b)アルコール類および／またはグリコール誘導体、(c)水を分散媒とし酸性領域にあるコロイド状シリカおよび／または　Ｓｉ（ＯＲ’）４　で表されるテトラアルコキシシランを加水分解することによって得られる加水分解物もしくはその重縮合物、(d)カチオン系界面活性剤および／またはノニオン系界面活性剤、(e)沸点が１２０℃以上の親水性有機溶剤、(f)水、を特定割合で混合して得られる水性組成物であって、かつ固形分が一定範囲にある、コーティング用組成物」の発明（特許請求の範囲参照）について記載され、該発明は、「ステンレス、アルミニウムおよびその他の金属の表面に、セメント、ガラス、プラスチックおよびその他の製品の表面に、または有機系もしくは無機系塗膜の表面に、低温で短時間の加熱または常温乾燥のみで純度の高い透明または半透明な固い膜を形成し、耐候性、耐熱性、耐水性、耐海水性、耐有機薬品性、耐酸性、電気絶縁性、非粘着性などを向上させるためのコーティング用組成物」（公報第１頁右欄１１〜１９行）に関するものであって、「これらのオルガノアルコキシシランは、１種単独で使用することも、または２種以上を併用することもでき」（公報第３頁左下欄４〜６行）、その第１表（公報第７頁右下欄）には、実施例３として、「上記(a)としてメチルトリメトキシシラン、(b)としてイソプロパノール及びｓｅｃ−ブタノール、(c)としてコロイド状シリカ、(d)としてカチオン系界面活性剤とノニオン系界面活性剤、(e)としてブチルセロソルブ、からなる組成物」が記載されている。
　甲第４号証（特開昭６３−２６８７７２号公報）には、「ケイ素アルコキシド系コーティング材の製法において、ケイ素アルコキシドを主体とする材料を水と触媒の存在下に反応させて、末端を一定量以上アルコキシドの形にしたプレポリマーを合成すると共に、そのプレポリマーの重量平均分子量の範囲と、重量平均分子量と数平均分子量との比を、特定範囲とする、無機コーティング材の製法」の発明（特許請求の範囲の第１項参照）について記載され、「常温近傍またはそれ以下の温度で硬化する無機コーティング材を提供すること」（公報第２頁左上欄第３〜４行）をその目的とするものであって、その実施例１には「メチルトリメトキシシラン、テトラエトキシシラン、イソプロパノール分散シリカゾル、ジメチルジメトキシシラン、イソプロパノールからなる基本配合物に対して、特定量の塩酸と水を加え、特定条件で混合し、コーティング材を調整し、保存した」旨（公報第３頁左下欄６〜１７行）、記載されている。
　参考資料１は「沸点差の差の説明書」と題される書面で、甲第２号証の実施例９及び１１、及び甲第３号証の実施例３に関し、オルガノアルコキシシランの加水分解により生じるアルコールを含めた溶媒について、それらの溶媒を沸点の高さの順に並べ、隣り合う溶媒の沸点差を求め、これらの沸点差の差を求めたものである。
　
４．当審の判断
　
（１）特許法第２９条第２項について
　
　本件発明１
　本件発明１は、「塗布ムラが生じにくく平坦性の高い絶縁膜を形成することができるシリカ系被膜形成用塗布液の製造方法」（本件特許公報第２頁第３欄３６〜３８行参照）をその課題とし、「特定のアルコキシシラン化合物の少なくとも２種を特定の有機溶媒に溶解させ，加水分解して得られる溶液」（同第２頁第３欄４４〜４５行参照）により、該課題が解決されるものであって、ここで、「特定のアルコキシシラン化合物の少なくとも２種」とは、「一般式（Ｉ）におけるｎが相違する化合物の少なくとも２種」のこと（本件特許公報第２頁第４欄２〜３行及び特許請求の範囲参照）であり、「特定の有機溶媒」とは、「沸点の異なる少なくとも２種類の極性溶媒であって、加水分解反応の結果生成するアルコールを含め溶媒を３種類以上とし、加水分解反応により生成するアルコールを含め、少なくとも３種類の溶媒を沸点の高さの順に並べ、隣りあう溶媒の沸点差を求め、これらの沸点差の差が１０℃以下となるように選ばれた混合溶媒」のこと（本件特許公報第２頁第４欄５〜１１行及び特許請求の範囲参照）であるところ、甲第１〜４号証には、本件発明１の課題である塗布ムラ及び平坦性についても、構成要件である「一般式（Ｉ）におけるｎが相違するアルコキシシラン化合物の少なくとも２種を溶媒中で加水分解縮重合させてシロキサンポリマーを合成する際に上記混合溶媒、即ち、沸点の異なる少なくとも２種類の極性溶媒であって、生成するアルコールを含め、少なくとも３種類の溶媒を沸点の高さの順に並べ、隣りあう溶媒の沸点差を求め、これらの沸点差の差が１０℃以下となるように選ばれた混合溶媒を用いる」点についても、記載も示唆もされていない。
　このように、甲第１〜４号証には、本件発明１の課題及び構成について示唆するところはないのであるが、特許異議申立人が指摘するように、甲第１号証の第１表のＤ、甲第２号証の実施例９、１１、甲第３号証の実施例３、及び甲第４号証の実施例１には、「生成するアルコールを含め、少なくとも３種類の溶媒」を含む組成物が具体的に記載され、これらの溶媒を沸点の高さの順に並べ、隣りあう溶媒の沸点差を求めていくと、「沸点差の差が１０℃以下となる溶媒の組み合わせ」となっている。確かに、「沸点差の差が１０℃以下となる溶媒」が組み合わされている点で、甲第１〜４号証に記載された発明と本件発明１とは共通するところはあるものの、本件発明１は、「一般式（Ｉ）におけるｎが相違するアルコキシシラン化合物の少なくとも２種を加水分解縮重合させる」点で甲第１〜３号証に記載された上記具体例と相違し、「沸点の異なる極性溶媒を少なくとも２種類用いる」点で甲第４号証に記載された上記具体例と相違するものであり、甲第１〜４号証には、本件発明１の課題もその解決方法も示唆されておらず、該課題とその解決方法は当業者に周知でもないのであるから、甲第１〜４号証の記載、更には周知事項を合わせ考慮しても、これらの点を導くことはできない。
　なお、甲第１〜３号証には、原料であるアルコキシシランについて、「２種以上併用できる」旨の記載はあるものの、これらは、本件発明１の一般式（Ｉ）に対応させると、同じｎを有する化合物に対して述べられているものであり、また、甲第３号証には、トリアルコキシシランとテトラアルコキシシランとがその特許請求の範囲に記載されているが、これらのシランはそれぞれ別個に加水分解縮重合されるものであるから、「一般式（Ｉ）におけるｎが相違する化合物の少なくとも２種を溶媒中で加水分解縮重合させる」ものではない。
　そして本件発明１は、上記の構成を採用することにより、上記課題を解決し、「塗布ムラが小さく、半導体デバイスにおいて配線などに起因する凹凸を平坦化し、加工精度が改善され、最終的に完成したデバイスの信頼性は極めて向上される」、という明細書に記載の優れた作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、甲第１〜４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
　本件発明２〜５
　本件発明２〜５は、本件発明１あるいは本件発明１を引用する発明を引用し、それを技術的に限定した発明であるから、本件発明１と同様の理由で、甲第１〜４号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
（２）特許法第２９条第１項第３号について
　
　本件発明２
　特許異議申立人は、「本件発明２は、いわゆるプロダクト・バイ・プロセス・クレームに該当し、プロダクト・バイ・プロセス・クレームはあくまで物の発明である以上、製法に相違があるとしても、物自体が公知の物と同一であれば、新規性が否定されることは明らかである。」（特許異議申立書第１３頁下から４〜１行参照）とした上で、「甲第４号証の実施例１の無機コーティング材は、(1)メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、及びテトラエトキシシランの３種を含有し、(2)加水分解反応の結果生成するアルコールを含めて溶媒は、メタノール、エタノール、イソプロパノールの３種類であり、(3)これら溶媒の沸点差の差は９．７℃であるから、最終的に得られるシリカ系被膜形成用塗布液の構成を比較した場合、本件発明２のシリカ系被膜形成用塗布液と、甲第４号証の実施例１の無機コーティング材とは実質的に同一であり、区別することができないことから、本件発明２は、甲第４号証に記載された発明と実質的に同一である。」と主張している。
　そこで検討するに、甲第４号証の実施例１においては、基本配合物として、特許異議申立人が指摘する上記メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、テトラエトキシシランの他に、イソプロパノール分散シリカゾルとイソプロパノールを用いており、これらからなる配合物に塩酸と水を加え攪拌混合し、コーティング材を調整したものであって、ここで、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、テトラエトキシシランからメタノール、エタノールが生成するであろうこと、また、これと、配合物中に存在するイソプロパノールとから、３種類の溶媒となることは、特許異議申立人の指摘のとおりと認められる。しかし、該配合物にはさらにシリカゾル（ソリッドコンテント　３０重量％）が加えられており、これは調整されたコーティング材中にも、シリカゾルとして一定量存在しているものとみるのが自然である。
　一方、本件発明２の塗布液は、原料としてシリカゾルを使用していない本件発明１の製造方法により得られたものであるが、反応によりシリカゾルが生成する可能性は否定はできない。しかし、本件発明２の塗布液においてシリカゾルが存在しているとしても、その存在量までもが甲第４号証の実施例１に記載の塗布液と必ず一致するということはいえない。
　そうしてみると、甲第４号証の実施例１に記載された塗布液と、本件発明２の塗布液とでは、シリカゾルの存在量において相違するものと認められ、甲第４号証の実施例１に記載されたコーティング材が、(1)〜(3)の要件を満たしているからと言って、本件発明２の塗布液が、該コーティング材と実質的に同一であるとすることはできない。
　したがって、上記特許異議申立人の主張は採用できず、本件発明２は甲第４号証に記載された発明ではない。
　
（３）特許法第３６条について
　
　特許異議申立人は本件特許明細書に記載不備があるとする理由について、「請求項３には、『請求項１記載のシリカ系被膜形成用塗布液を基板上に塗布し、』と記載されているが、請求項１に記載されているのは、『シリカ系被膜形成用塗布液の製造方法』であることから、請求項３の『請求項１記載のシリカ系被膜形成用塗布液』の記載は何を指すのか不明である。」旨（特許異議申立書第１６頁９〜１３行参照。空行は数えていない。）、主張している。しかしながら、請求項１には「シリカ系被膜形成用塗布液」なる記載があるのであるから、「請求項１記載のシリカ系被膜形成用塗布液」が意味するところは明確であって、請求項３に関して記載不備を指摘する、特許異議申立人の該主張は採用できない。
　
（４）結論
　
　したがって、本件発明１〜５についての特許は、特許法法第２９条第１項、同法第２９条第２項の規定に違反してされたものとも、同法第３６条に規定する要件を満たしていない特許出願に対してされたものとも、することはできない。
　
５．むすび
　
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１〜５についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜５についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、本件発明１〜５についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認められないので、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年７月１５日（２００３．７．１５）