【事件の表示】
　平成　２年特許願第１００６５２号「縮小投影露光装置」拒絶査定に対する審判事件［平成　３年１２月２７日出願公開、特開平　３−２９７１２６］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．本願は、平成２年４月１７日の出願であって、その請求項１に係る発明は、平成１２年８月２５日付け手続補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、請求項１に記載された「縮小投影露光方法」と認められるところ、その請求項１に係る発明は、次のとおりのものである。
　請求項１
「順次１ピッチ分ずつステージを移動して該ステージ上にあるウエハチャックを介して載置されたウエハに対し、フォーカス合せを行いつつ複数の露光ショットに分割して露光を行う縮小投影露光方法において、
　露光すべき第１の露光ショットにおける焦点距離と該第１の露光ショットの直前に露光した第２の露光ショットにおける焦点距離のみの相対的な比較を行い、キレ不良を引き起こす前記ウエハの局所的な変形を検出することを特徴とする縮小投影露光方法。」
２．これに対し、原査定の拒絶の理由に引用した特開平１−２６４２２０号公報（以下、「引用例」という。）第１頁右欄第３行〜第９行に、「〔発明が解決しようとする課題〕
　従来の縮小投影露光装置は、第３図に示したように基板載置台（７）上に異物（５）が付着している場合、ウエハ（６）は真空吸着により異物のある位置を山頂とする起伏を描く。・・・中心と周辺に高低差（１１）があると周辺部はデフォーカスとなる。」と記載（以下、記載「Ａ」という。）されている。
　また、第２頁左欄第２行〜第６行に、
「〔作用〕
　この発明による基板載置台上の異物の自動検出は、ステップアンドリピ−ト法による露光時に、焦点位置の変位が一定値を越えたときに異物の存在を確認する。」と記載（以下、記載「Ｂ」という。）されている。
　さらに、第２頁左欄第１７行〜右欄第５行に、
「ウエハチャック（７）上に異物（５）が付着するとウエハ（６）に山が生じる。今回のショット位置ではオートフォーカス光学系（４）によりウエハの平らな部分に焦点を合わせている。次のショットではショット中心にウエハの山があるために駆動装置（８）によりウエハチャック（７）をΔｌだけ昇降させ焦点を合わせる。この値Δｌ（９）が規格値δを越えたときに異物の存在を認識し、警報を発する。」と記載（以下、記載「Ｃ」という。）されている。
　そうすると、引用例に記載された発明は、記載Ｂを参照すると、「ステップアンドリピ−ト法による露光」を行うものであるから、「順次１ピッチ分ずつステージを移動して該ステージ上にあるウエハチャックを介して載置されたウエハに対し、フォーカス合せを行いつつ複数の露光ショットに分割して露光を行う縮小投影露光方法」である。
　また、引用例に記載された発明は、記載Ａを参照すると、異物によるデフォーカスの解決を目的とし、記載Ｂ及びＣを参照すると、焦点位置の変位が一定値を越えた場合、警報を発するものであるから、「キレ不良を引き起こす前記ウエハの局所的な変形を検出する」ものである。
　さらに、引用例に記載された発明は、記載Ｃを参照すると、「今回のショット位置ではオートフォーカス光学系（４）によりウエハの平らな部分に焦点を合わせている。次のショットではショット中心にウエハの山があるために駆動装置（８）によりウエハチャック（７）をΔｌだけ昇降させ・・・この値Δｌ（９）が規格値δを越えたときに異物の存在を認識し、警報を発する」ものであるから、「露光すべき第１の露光ショットにおける焦点距離と該第１の露光ショットの前に露光した第２の露光ショットにおける焦点距離の相対的な比較を行い、キレ不良を引き起こす前記ウエハの局所的な変形を検出する」構成を有している。
３．そこで本件請求項１に係る発明と、引用例記載の発明を対比すると、本件請求項１に係る発明と引用例記載の発明は、「順次１ピッチ分ずつステージを移動して該ステージ上にあるウエハチャックを介して載置されたウエハに対し、フォーカス合せを行いつつ複数の露光ショットに分割して露光を行う縮小投影露光方法において、
　露光すべき第１の露光ショットにおける焦点距離と該第１の露光ショットの前に露光した第２の露光ショットにおける焦点距離の相対的な比較を行い、キレ不良を引き起こす前記ウエハの局所的な変形を検出する縮小投影露光方法。」である点において一致し、本件請求項１に係る発明が、「露光すべき第１の露光ショットにおける焦点距離と該第１の露光ショットの直前に露光した第２の露光ショットにおける焦点距離のみの相対的な比較を行う」構成を備えたものであるのに対し、引用例記載の発明には上記構成について明示されていない点（以下、「相違点」という。）において両者は相違する。
　上記相違点について検討する。
　引用例の記載Ｂを参照すると、引用例記載の発明は「ステップアンドリピ−ト法による露光時に、焦点位置の変位が一定値を越えたときに異物の存在を認識する」ものであるから、露光毎に焦点距離を検出し、焦点距離の変位を検出すると解するのが相当であり、引用例記載の発明においては、露光ショットにおける焦点距離の相対的な比較を、連続するショット間とすることは単に設計上の事項にすぎず、また、引用例記載の発明が「ウエハの山」即ちウエハの凸状態を検出するものであることを考慮すると、連続する２個のショット「のみ」の焦点距離の対比を行うことは、当業者が容易に想到できたことである。
　なお、本件審判請求人は、審判請求書において、『この第２図において「今回のショット」とは参照番号１０で示されたショットを示すと解されるべきものであり、ショット中心にウエハの山がある「次のショット」は、３〜４ショット離れた位置のショットとなっております。すなわち「次のショット」とは「今回のショット」と隣接するものであることを表現した文言でなく、今回のショットよりも時間的に後に露光されるショットを示す文言であると思料いたします。』と主張しているが、引用例の第２図は、従来技術を説明したものであって、上記審判請求書の上記主張は根拠がない。
　また、本件審判請求人は、審判請求書において、『この引用文献１の焦点距離の変化Δｌは異物の無い場所での焦点距離と異物のある場所での焦点距離の差と定義されていますから、このΔｌが規格値δを越えたか否かを検出するには、各露光ショット位置に異物があるかどうかを切り分ける必要がありますが、その方法については一切説明がありません。そして何らかの方法により、異物がある露光ショット領域と異物のない露光ショット領域に切り分けた後、各異物のある露光ショットと異物のない露光ショットとの差であるΔｌをそれぞれ求め、これら求めた各Δｌが規格値δを越えたときに（異物のある各露光ショットの内、キレ不良を引き起こすような大きな）異物の存在を認識し、警報を発する技術を開示するものであり、本願発明の異物の検知方法よりも複雑で時間の掛かる検出方法を取っているのは明らかであります。　
　すなわち、この引用文献１における「今回のショット」とは異物のない平らなウエハ表面への特定露光ショットを指し、「次のショット」とは異物があるためにウエハに山があるような位置の露光ショットのことを指すものであり、本願発明における露光すべき第１のショットとその直前に露光した第２の露光ショットに対応するものではありません。』と主張しているが、引用例の記載Ｂを参照すると、引用例記載の発明は「ステップアンドリピ−ト法による露光時に、焦点位置の変位が一定値を越えたときに異物の存在を認識する」ものであるから、露光毎に焦点距離を検出し、焦点距離の変位を検出すること即ち連続するショット間とすることは単に設計上の事項にすぎないから、「引用文献１における「今回のショット」とは異物のない平らなウエハ表面への特定露光ショットを指」すとはいえない。
４．そうすると、本件請求項１に係る発明は、引用例に記載された発明に基いて当業者が容易に発明できたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって結論のとおり審決する。