【事件の表示】
　特許第３２３２６３２号「インクジェット式印字ヘッド」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３２３２６３２号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　　
　特許第３２３２６３２号の請求項１ないし３に係る発明（以下、「本件発明１ないし３」という。）は、平成４年３月１８日に特許出願され、平成１３年９月２１日にその特許権の設定登録がなされ、その後、特許異議申立人　松井　弘三により特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１４年１０月１１日に訂正請求（後日取下げ）がなされ、特許異議申立人に対して審尋がなされ、特許異議申立人より平成１５年１月１０日に回答書が提出された後、再度の取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１５年５月２７日に訂正請求（後日取下げ）がなされ、三たびの取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１５年７月４日に訂正請求がなされたものである。
　　
２．訂正の適否についての判断
　　
（１）訂正の趣旨及び訂正の内容
ア．訂正事項１
　特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項１を、
「ノズル開口に対応して配置された圧力発生部材に駆動信号が印加されることにより、前記ノズル開口からインクを吐出するインクジェット式印字ヘッドにおいて、
　前記圧力発生部材が、連続した圧電体と、該圧電体上の一方の面に前記ノズル開口にそれぞれ対応して配置された弾性振動板とを備え、前記弾性振動板及び前記圧電体は同時焼成により一体的に形成されていることを特徴とするインクジェット式印字ヘッド。」
から
「ノズル開口に
連通する複数のキャビティにそれぞれ
　前記圧力発生部材が、
前記複数のキャビティを覆い、かつ前記インクを加圧する
の上
、前記駆動信号により前記圧電体を変位させ、かつ前記圧電体と同程度の厚みを有して個別電極としても機能する
と訂正する（訂正箇所にアンダーラインを付した。以下同じ。）。
　　
イ．訂正事項２
　明りょうでない記載の釈明を目的として、請求項２を、
「前記圧電体の他方の面とインク滴を吐出するノズルプレートと間にキャビティを構成する中間体が配設されていると共に、前記中間体、前記圧電体及び前記弾性振動板が同時焼成により一体的に形成されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェット式印字ヘッド。」
から
「前記圧電体の他方の面とインク滴を吐出するノズルプレートと
の
前記
と訂正する。
　　
ウ．訂正事項３
　特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項３を、
「前記圧電体の他方の面の前記弾性振動板と対向する領域に電極が形成されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェット式印字ヘッド。」
から
「前記圧電体の他方の面の前記弾性振動板と対向する領域に
前記弾性振動板よりも薄い共通
と訂正する。
　　
エ．訂正事項４
　明りょうでない記載の釈明を目的として、段落【００１１】を、
「【課題を解決するための手段】
　本発明のインクジェット式印字ヘッドは、ノズル開口に対応して配置された圧力発生部材に駆動信号が印加されることにより、前記ノズル開口からインクを吐出するインクジェット式印字ヘッドにおいて、前記圧力発生部材が、連続した圧電体と、該圧電体上の一方の面に前記ノズル開口にそれぞれ対応して配置された弾性振動板とを備え、前記弾性振動板及び前記圧電体は同時焼成により一体的に形成されていることを特徴とする。
　また、上記構成において、前記圧電体の他方の面とインク滴を吐出するノズルプレートと間に中間体が配設されていると共に、前記中間体、前記圧電体及び前記弾性振動板が同時焼成により一体的に形成されていることを特徴とする。」
から
「【課題を解決するための手段】
　本発明のインクジェット式印字ヘッドは、ノズル開口に
連通する複数のキャビティにそれぞれ
前記複数のキャビティを覆い、かつ前記インクを加圧する
の上
、前記駆動信号により前記圧電体を変位させ、かつ前記圧電体と同程度の厚みを有して個別電極としても機能する
と訂正する。
　　
（２）訂正の目的の適否、及び新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項１及び訂正事項３は、インクジェット式印字ヘッドの構成を特許明細書の段落【００１４】及び図面第１図の記載に基づきより具体的に限定するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、訂正事項２は明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、訂正事項４は、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との不整合を回避するために行う、明りょうでない記載の釈明を目的とするものということができる。
　また、これら訂正事項１ないし４は、願書に添付した明細書及び図面に記載された事項の範囲内の訂正であり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　　
（３）むすび
　　
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　　
３．特許異議の申立てについての判断
　　
（１）異議申立ての理由の概要
　　
　異議申立人　松井弘三は、甲第１号証（特開昭６３−４９５９号公報）、甲第２号証（特開平３−２７４１５９号公報）、及び、甲第３号証（特開昭６０−１３５２６２号公報）を提出して、本件発明１ないし３は、甲第１号証の記載に基づいて、または、甲第２号証の記載に基づいて、あるいは、甲第１号証及び甲第３号証の記載に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない旨の主張をしている。
　　
（２）本件の請求項１ないし３に係る発明
　　
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件発明１ないし３は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし３にそれぞれ記載されたとおりのものである。
　　
（３）引用刊行物記載の発明
　　
　当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物Ａ（特開昭６３−４９５９号公報：異議申立人提出の甲第１号証に同じ）には、セラミックインクジェットヘッドに関して
（Ａ−１）「この発明は、各種のプリンタやファクシミリ装置において使用されるインクジェットヘッドとその製造方法に関し、特に、電気機械変換材料を用いてインクにパルス圧力を作用させ、インク噴射を行うドロップオンディマンド型のインクジェットヘッドとその製造方法に関する。」（第１頁右下欄１７行〜第２頁左上欄２行）、
（Ａ−２）「インクは、図示されていない外部インク溜めより導管等によって接続口105に導かれ、共通インク室104を経てインク供給口101、圧力室102を通ってノズル103より外部に噴射される。」（第３頁右上欄８行〜１２行）、
（Ａ−３）「第1図において、インク室102の上側の壁は複数のセラミック層106から成っている。この実施例では4層の場合を示してあるが、これに限定されるものではなく、層の厚みや電極面積に応じて積層数は任意に選択される。各セラミック層106の上面には電極が形成されている。これらの電極は、インク室の壁を変形させるための駆動電極107と、前記駆動電極107を図示されていない駆動回路に接続するための引き出し電極とから成っている。駆動電力107はどのセラミック層106の表面においても、全く同一のパターンで形成され、上下方向に重なるように配置されている。一方、前記引き出し電極は奇数層との間ではそれぞれ第2図(a)および(b)に示したように異なっている。すなわち、インク室に近い側から教えて第1層目および第3層目の電極パターンは第2図(a)に示すように、各駆動電極107を電気的に接続しさらに外部駆動回路に接続するための引き出し電極108および109を有するものになっている。また、第2図(b)は第2層目および第4層目の電極パターンを示したもので、駆動電極107より個々に外部駆動回路に接続するための引き出し電極110が伸びた形状になっている。第2図で示した2つの電極パターンは、第3図に示すように、交互に上下方向に積層される。」（第３頁左下欄４行〜右下欄７行）、
（Ａ−４）「ここで使用するセラミックグリーンシートは、一般的な方法に従ってセラミック粉末と有機バインダー、可塑剤、溶剤等とを混合分散することにより泥漿状態としたものを、ドクターブレード法、キャスティング法等の広く知られた塗布方法により、プラスチックフィルムガラス板、金属シート等の基板上に所定の厚さに塗布し乾燥することによって作成する。乾燥後、基板から剥離したセラミックグリーンシートは、打ち抜き或いは切断等により所定の寸法形状に仕上げられ、さらに必要に応じてパンチング等によるスルーホールの形成や導電ペーストを用いた印刷による表面電極の形成を行なう。この実施例においては、先に第2図(a)および(b)に示した異なった電極パターン119aおよび119bが表面に形成された2種のグリーンシート120aおよび120bが各々2枚ずつ交互に積層されている。これ等の表面に電極を有するグリーンシートはさらに、先に第3図に示したように、電極端子部111および112の中央に対応する位置にスルーホール113が形成されている。
　第4図(c)において、グリーンシート121は表面電力やスルーホールを持たないが、外形寸法はグリーンシート120aおよび120bと同一に作られる。これ等のグリーンシート120a、120bおよび121はキャリアフィルムから剥離した空孔母型118と共に、圧着用の金型の中に所定の順番で積層されさらに圧力が加えられ、第4図(d)に示すように一体化する。この圧着工程では必要に応じて圧力とともに熱が加えられる。この圧着により、グリーンシ一トは局部的に流動し、空孔母型を完全に包み込むように変形し、第4図(e)に示す形となる。
　このようにして作られた積層体122は必要に応じて所定の寸法に切断した後、脱バインダー処理を施こす。すなわち、酸化雰囲気中でゆっくり加熱することにより、空孔母型を形成する樹脂や、セラミックグリーンシート中にある有機物を分解消失させる。通常これ等の有機物は500℃ないし600℃の温度で完全に分解し酸化するが、急激な温度上昇を行なうと積層体が破損する。このため、温度上昇速度を25℃／時間以下に抑え、さらに、500℃ないし600℃充分長い時間保持することで有機物を完全に消失させる。この結果、積層体122内部の空孔母型118は消滅し、その跡は空孔となってインク流路が形成される。
　脱バインダー処理が行なわれた積層体122は、続いて所定の温度で焼成して磁器化し、その後必要に応じて所定の外形寸法に切断し、またノズル端面の研磨仕上げを施こしてインクジェットヘッドが得られる。」（第４頁右上欄３行〜第４頁右下欄１１行）、
と記載されている。
　また、同じく当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物Ｂ（特開平３−２７４１５９号公報：異議申立人提出の甲第２号証に同じ）には、圧電式インクジェットプリンタヘッドに関して
（Ｂ−１）「積層圧電素子３８は、圧電・電歪効果を有する圧電セラミックス層４０と、内部負電極層４２と、前記インクチャンネル３２ａ〜３２ｃに対して１対１で対応するように分割された内部正電極層４４ａ，４４ｂ，４４ｃとを複数積層し、厚さ０．２５ｍｍとしたものである。そして、積層圧電素子３８は、内部負電極層４２と内部正電極層４４ａ〜４４ｃとに挟まれた活性部４６ａ，４６ｂ，４６ｃと、両内部電極層４２，４４ａ〜４４ｃに挟まれていない不活性部４８を有している。前記圧電セラミックス層４０は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料にて厚さ２０μｍに構成されており、積層方向に分極させられている。同図の圧電セラミックス層４０の各活性部４６ａ〜４６ｃに示されている矢印は分極方向を示している。前記内部負電極層４２と前記内部正電極層４４ａ〜４４ｃは、Ａｇ−Ｐｄ系の金属材料からなり、厚さ約２μｍである。」（第２頁左下欄２０行〜右下欄１８行）、
（Ｂ−２）「前記積層圧電素子３８は、以下の製造方法によって製造される。
　第３図に示すように、先ず、圧電セラミックス層４０の上側表面に、前記インクチャネル３２ａ〜３２ｃに１対１で対応するように３つに分割された内部正電極層４４ａ〜４４ｃと各々の電極取り出し部４５ａ，４５ｂ，４５ｃをスクリーン印刷によって形成して、グリーンシート５０を作成する。また圧電セラミックス層４０の上側表面に、内部負電極層４２とその電極取り出し部４３をスクリーン印刷によって形成して、グリーンシート５１を作成する。そして、両グリーンシート５０，５１を交互に所要枚数積層し、その上部には圧電セラミックス層４０の上側表面に内部電極層のないグリーンシート（図示しない）を重ねて、全体を加熱プレスし、脱脂、焼結等の必要な手段を施すことにより、積層圧電素子３８を得る。」（第３頁左上欄２行〜１８行）、
（Ｂ−３）「所定の印字データに従って、前記コントロ一ラが例えばスイッチ６２ａを閉じると、前記活性部４６ａの内部負電極層４２と内部正電極層４４ａとの間に電圧が印加され、それらの間に位置する圧電セラミックス層４０にバイアス電界が印加され、圧電・電歪縦効果の寸法歪に従い前記活性部４６ａが第１図の上下方向に伸張し、前記インクチャンネル３２ａの容積を減少させる。そして、インクチャンネル３２ａ内のインクが図示しない弁を経てノズルから噴射される。」（第３頁左下欄７行〜１６行）、
と記載されている。
　そして、同じく当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物Ｃ（特開平２−２８９３５２号公報）には、液体噴射ヘッドに関して
（Ｃ−１）「第４図は、本発明の実施例における、振動板を下電極に用いている電圧素子の断面図である。同図において、第１図と同一の記号は第１図と同一のものを表す。振動板１０５にＰｔ、Ｎｉ等の金属材料を用い、圧電膜１０７、上電極１０８と積層形成すればかくのごとき構造が得られる。これも、第２図（ｃ）に示すごとき基板に接合すれば液体噴射ヘッドが形成される。振動板兼下電極１０５と上電極１０８間に電圧を印加すれば圧電膜1０７や振動板兼下電極１０５は歪み、この動作を利用して液体を噴射させる。」（第６頁右上欄１５行〜左下欄５行）、
と記載されている。
　さらに、同じく当審が通知した取消しの理由に引用された刊行物Ｄ（特開昭６０−１３５２６２号公報：異議申立人提出の甲第３号証に同じ）には、インクジェット式プリントヘッドに関して
（Ｄ−１）「このダイヤフラム板９は、例えば、ニツケル層のような導電金属層から成り、この層を圧電セラミツク板１０の下面に電気めつきにより形成する。このダイヤフラム板９及び圧電セラミック板１０の積層板に開口１１を設け、インク供給管８を通過したインクがこの開口を通りインクジエツト式プリントヘツドのインク供給装置に流入するようにする。
　圧電セラミック板１０はマトリツクス状即ち行及び列状に配設した個別のエンボス部分１２を有する。これらエンボス部分１２は、圧電セラミツク板１０を、例えばのこ引きすることにより得られる。この圧電セラミツク板１０を、下方のダイヤフラム板９を損傷することなく約９０％までのこ引きする。しかし、このエンボス部分を他の方法、例えば適切な露光及び引き続いてのエツチング処理により形成することもてきる。
　エンボス部分１２に薄膜電極１３を形成し、金属製ダイヤフラム層９と関連するこの電極１８により、各圧電セラミツク・エンボス部分１２に電界を作用させることができる。」（第３頁右下欄１０行〜第４頁左上欄１０行）、
（Ｄ−２）「本体１９の下にはノズル板２２を配設し、ノズル２８が本体１９の圧力室１８を被うようにする。」（第４頁左下欄１５行〜１６行）、
（Ｄ−３）「電圧を電極層１８及び導電ダイヤフラム板９を介して圧電セラミツク・エンボス部分１２に印加すると、圧力発生器として作動するエンボス部分１２に共振が生じ、この共振振動はダイヤフラム板９を介して圧力室１８の内部のインク液に伝えられる。これら共振振動は、インク液を圧力室１８からノズル２８及び隣接するノズル端２４を介して噴射させる。」（第５頁左上欄８行〜１５行）、
と記載されている。
　　
４．対比・判断
（１）本件発明１について
　本件発明１と上記刊行物Ａ又はＢに記載の発明とを対比して、上記刊行物Ａ又はＢに記載の発明が、本件発明１を特定する事項である、
「該圧電体の上面に前記ノズル開口にそれぞれ対応して配置され、前記駆動信号により前記圧電体を変位させ、かつ前記圧電体と同程度の厚みを有して個別電極としても機能する弾性振動板」
という事項を有するか否かについて検討する。
　上記刊行物Ａに記載の駆動電極107は上記（Ａ−１）〜（Ａ−４）において示したとおり、弾性変形可能ではあるが、圧電体を変位させることができ、かつ圧電体と同程度の厚みを有する弾性振動板ではなく、また、上記刊行物Ｂに記載の電極層４２、４４ａ〜４４ｃは、上記（Ｂ−１）〜（Ｂ−３）において示したとおり、やはり弾性変形可能ではあるが、圧電体を変位させることができ、かつ圧電体と同程度の厚みを有する弾性振動板ではないから、いずれも
「該圧電体の上面に前記ノズル開口にそれぞれ対応して配置され、前記駆動信号により前記圧電体を変位させ、かつ前記圧電体と同程度の厚みを有して個別電極としても機能する弾性振動板」
ということはできない。
　さらに、上記刊行物Ｃ又は上記刊行物Ｄのいずれにも、
「該圧電体の上面に前記ノズル開口にそれぞれ対応して配置され、前記駆動信号により前記圧電体を変位させ、かつ前記圧電体と同程度の厚みを有して個別電極としても機能する弾性振動板」
については、記載も示唆もされておらず、かつ、この点は当該技術分野において自明な技術的事項であると認めることもできず、上記刊行物Ａ〜Ｄに記載された発明を相互に適用しても、本件発明に到達することができたとは認めることができない。
　そして、上記
「該圧電体の上面に前記ノズル開口にそれぞれ対応して配置され、前記駆動信号により前記圧電体を変位させ、かつ前記圧電体と同程度の厚みを有して個別電極としても機能する弾性振動板」
という事項を備えることにより、本件発明１は、駆動信号により弾性振動板を弾性変形させて圧電体を変位させることができるという特有の効果を奏することから、本件発明１は上記刊行物Ａに記載の事項に基づいて、又は上記刊行物Ｂに記載の事項に基づいて、あるいは、上記刊行物Ａ〜Ｄに記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　　
（２）本件発明２及び本件発明３について
　本件発明２及び本件発明３は、いずれも、本件発明１を技術的に限定したものであるから、本件発明１についての判断と同様な理由で、上記刊行物Ａに記載の事項に基づいて、又は上記刊行物Ｂに記載の事項に基づいて、あるいは、上記刊行物Ａ〜Ｄに記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　　
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件発明１ないし３についての特許を取り消すことができない。
　また、他に本件発明１ないし３についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明１ないし３についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１５年８月５日（２００３．８．５）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５４）【発明の名称】
インクジェット式印字ヘッド
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ノズル開口に
連通する複数のキャビティにそれぞれ
　前記圧力発生部材が
、前記複数のキャビティを覆い、かつ前記インクを加圧する
上面
、前記駆動信号により前記圧電体を変位させ、かつ前記圧電体と同程度の厚みを有して個別電極としても機能する
　【請求項２】　前記圧電体の他方の面とインク滴を吐出するノズルプレート
との
前記
　【請求項３】　前記圧電体の他方の面の前記弾性振動板と対向する領域に
前記弾性振動板よりも薄い共通
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、インクジェット式プリンタに用いる印字ヘッドに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来のインクジェット式印字ヘッドは、図５に示す様に、インクタンクを構成する容器の壁面に複数のノズル開口を形成すると共に、各ノズル開口と対応するように伸縮方向を一致させて圧電体を配設して構成されている。この印字ヘッドは、駆動信号を圧電素子に印加して圧電体を伸縮させ、この時に発生するインクの動圧によりインク滴をノズル開口から吐出させて印刷用紙にドットを形成するものである。この様なヘッドは、ガラス（プラスチック）の基板とガラス（プラスチック）薄板等の弾性振動板との間に複数のインク溜部（インクキャビティ）を形成し、電極を両面に形成した圧電体の板をインクキャビティの面積程度に切断した後、各インクキャビティの上に弾性振動板を挟んで接着した構造を有している。
　【０００３】
　又、ＰＺＴ等の圧電体と金属板、セラミックとの積層材とで構成された梁状部材の長手方向の両端が支持されている圧力発生部材と、飛翔媒体であるインクとこのインクの吐出口であるノズルとを有し、印加電圧により圧力発生器から圧力を発生させ、インクをノズルから吐出させるオンデマンド型のインクジェットヘッドが特公昭６０−８９５３号公報で開示されている。このヘッドは、圧力発生部材がノズル形成基板に対してほぼ直角に変位することと、ノズルメニスカスのインク流路が短いため、インクの吐出効率及び吐出安定性が高く、インク中に気泡・ゴミ等の異物が混入した場合でも、この影響を受けずに正常動作が可能であるという利点を有している。
　【０００４】
　又、特公昭６１−２０２４号公報では、連続した弾性振動板上に、連続した圧電体を接着し、ノズル開口に対応させて電極を選択的に形成する事で、選択的に圧力発生部材を駆動する構造が開示されている。この構造は、ノズル数が増加しても、圧電体をノズル数分だけ接着する工数を削減できるという利点を有している。
　【０００５】
　又、特公昭６２−１３４２６７号公報では、ヘッド本体にメタライズしたセラミックスを用い圧電体を拡散接合した構造が開示されている。この構造は接着剤による圧力損失、バラツキを低減できるという利点を有している。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、従来のインクジェットヘッドは、圧電体４３０として圧電効果の最も優れた材料であるチタン酸ジルコン酸鉛系複合ペルブスカイトセラミックスを用いるのであるが、バルクからの切り出し品であるため１００μｍ程度の厚いものしか使用することができなかった。そのため、駆動電圧を１００Ｖ以上と高くする必要があり、また、圧電体４３０とガラス薄板４１１からなる機械変位発生手段の剛性が高いため所定の変位量を得るためには圧電体４３０及びガラス薄板４１１の面積を大きくする必要があり、ヘッド全体が大きくなり、コストアップを招くという問題を有していた。
　【０００７】
　さらに、インクキャビティ４２０の広さは一辺が数百μｍ程度であり、これらと同程度の大きさの圧電体４３０の板を機械変位発生手段として各インクキャビティ４２０ごとに接着することが必要であった。４４０はインクキャビティ４２０に導かれるインクが一時とどめられるインク溜部であり、４２２はインクキャビティ４２０にインクを導くインク供給路、４２１はインクが突出するノズルである。しかしこのような構造のヘッドでは圧電体４３０とインクキャビティ４２０との位置合わせ精度が高くできない、圧電体４３０の接着時における作業性が悪い、接着の不均一さによる特性のばらつきが大きい、接着部の剥離が起こり易い、切断加工時の内部歪による特性のばらつきが大きい、などの問題点を有していた。
　【０００８】
　又、特公昭６２−１３４２６７号公報のヘッド構造では、メタライズセラミックスを精度良く高密度に加工することが必要となり、飛躍的なコストアップにつながっていた。
　【０００９】
　これらの問題はプリンタの性能を向上させるためにノズル数を増やしたり、ノズル密度を高くするほど、よりクローズアップされてきていた問題であった。
　【００１０】
　そこで本発明の課題はこれらの問題点を解決することで、その目的とするところは高密度、高ノズル数でも均質な特性を有する、信頼性の高いインクジェットヘッドをきわめて低コストに提供することである。
　【００１１】
　【課題を解決するための手段】
　本発明のインクジェット式印字ヘッドは、ノズル開口に
連通する複数のキャビティにそれぞれ
前記複数のキャビティを覆い、かつ前記インクを加圧する
上面
、前記駆動信号により前記圧電体を変位させ、かつ前記圧電体と同程度の厚みを有して個別電極としても機能する
　【００１２】
　【実施例】
　以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
　【００１３】
　図１は本実施例の構造図である。図１（ａ）は上面図、（ｂ）はｍ−ｍ断面図、（ｃ）は底面図である。
　【００１４】
　圧電体１０は、チタン酸ジルコン酸鉛系複合ペロブスカイトセラミックス等の圧電材料からなる。圧電体１０の両側には一方の面に弾性体２１、それに続いて配線部２２が形成されており、もう一方の面にはインク流路、インクキャビティ等を形成する中間体３１、共通電極２３が形成されている。圧電体１０、弾性体２１、及び共通電極２３により圧力発生部材２０が形成される。圧電体１０の厚さは２５μｍ、弾性体振動部の厚さは２０μｍ、共通電極２３の厚さは１μｍ以下である。また、中間体３１の厚さは６０μｍである。共通電極２３を挟んで中間体３１にはインク６０の吐出口であるノズル４１が形成されたノズルプレート４０が接合されている。今試作に於いては、ノズルプレート４０はＮｉの電鋳法により製造されており、厚さ１００μｍ、ノズル４１の直径は５０μｍである。ノズル４１は第１図（ｃ）上、左右上下に８列ずつ、左右方向は１３５５μｍピッチで、上下方向は６７７μｍピッチで配設されている。また、左右方向に隣合うノズル列はΔｐだけずれて配設されている。ここで、Δｐは８５μｍである。
　中間体３１とノズルプレート４０、圧電体１０とによって、キャビティ５０、インク供給路５１、インク共通路５２が形成されており、これらには、インク６０が満たされている。キャビティ５０のサイズは６６０μｍ×６００μｍである。インク供給路５１はインク６０をインク共通路５２からキャビティ５０へ導く通路であり、キャビティ５０の四隅に配設されている。インク供給路５１の幅は６０μｍ、長さは１５０μｍである。インク共通路５２はインクタンク（図示されていない）に通じている。インク共通路５２の幅は３００μｍである。共通電極２３はグランドに、配線部２２は駆動回路（図示されていない）に接続されており、駆動信号によって圧力発生部材２０を駆動し、ノズル４１からインク６０を飛翔させる。
　【００１５】
　次に、図２〜図４を用いて本実施例を圧電体と弾性体、中間体とを形成した製造方法を説明する。
　【００１６】
　図２（ａ）は、定盤７０上にバインダーとＣｒ、Ｍｏ、Ｐｔ等の高融点物質を混合しペースト状にした中間体材料１３０を薄く形成する工程。図２（ｂ）は、その上にＰｂＯ、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、添加剤を調合、混合した後８００〜１０００℃で仮焼、粉砕しバインダーを添加する事によりペースト状にした、圧電体材料１１０を薄く形成する工程。図２（ｃ）は、更にその上にバインダーとＣｒ、Ｍｏ、Ｐｔ等の高融点導電材を混合し、ペースト状にした弾性体材料１２０を薄く形成する工程。このようにして形成されたペースト状積層体を圧力をかけて１０００℃〜１２００℃で焼きあげる。これによりバインダーは飛び去り、図３に示すような圧電体１０、弾性層２０、中間層３０からなる３層構造の積層体が形成される。
　【００１７】
　次に、フォトリソグラフィ技術を用いて弾性層２０及び、中間層３０を加工し、図４に示すように弾性体２１、配線部２２、及び、中間体３１が形成される。
　その後、圧電体１０の中間体３１側に共通電極２３として、Ｎｉ等の導電性薄膜をメッキ、あるいはスパッタリングによって形成する。
　【００１８】
　次に、ノズルプレート４０とポリイミド等の接着により接合し、図１に示した本実施例のインクジェットヘッドを得る。
　【００１９】
　ここで、ノズルプレート４０の製造方法としては、本実施例で採用した基板上に印刷や、フォトリソ工程により所望の形状にレジストを形成し、無電解メッキや電解メッキによりＮｉ等を成長させる電鋳法の他に、
１、プラスチック成形による方法
２、ＳＵＳ、Ｎｉ等の金属板に印刷や、フォトリソ工程により所望の形状にレジストを形成し、レジストの残っていない部分をエッチングにより除去するエッチング方法
３、ＳＵＳ、Ｎｉ等の金属板をプレスにより打ち抜くプレス法
等が考えられる。
　【００２０】
　本発明によれば、圧電体１０、弾性板２０が拡散接合されているため、接合部の信頼性が高く、従って、フォトリソグラフィ技術を用いた加工を行っても、接合部の信頼性を損なうことなく、高密度で吐出特性の安定したインクジェットヘッドを提供できる。更に、厚膜プロセスにより製造するため、圧力発生部材２０を薄くすることができ、これにより、キャビティ５０を小さくでき、ヘッド全体の小型化が実現できる。また、キャビティの四隅にインク供給路を設けてあるために気泡の排出性に優れ信頼性がたいへん向上した。
　【００２１】
　【発明の効果】
　本発明によれば、圧電体、弾性体が同時焼成されているため、接合部の信頼性が高く、従って、フォトリソグラフィ技術を用いた加工を行っても、接合部の信頼性を損なうことなく、高密度で吐出特性の安定したインクジェット式印字ヘッドを提供できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　（ａ）本発明のインクジェット式印字ヘッドの一実施例の構造を示す上面図。
　（ｂ）本発明のインクジェット式印字ヘッドの一実施例の構造を示すｍ−ｍ’断面図。
　（ｃ）本発明のインクジェット式印字ヘッドの一実施例の構造を示す底面図。
　【図２】
　（ａ）〜（ｃ）本発明の一実施例のインクジェット式印字ヘッドの製造方法を示した図。
　【図３】
　本発明の一実施例のインクジェット式印字ヘッドの製造方法を示した図。
　【図４】
　（ａ）本発明の一実施例のインクジェット式印字ヘッドの製造方法の１工程における上面図。
　（ｂ）本発明の一実施例のインクジェット式印字ヘッドの製造方法の１工程におけるｎ−ｎ’断面図。
　（ｃ）本発明の一実施例のインクジェット式印字ヘッドの製造方法の１工程における底面図。
　【図５】
　従来例を示す図。
　【符号の説明】
　１０・・・・圧電体
　２０・・・・圧力発生部材
　２１・・・・弾性体
　２３・・・・共通電極
　３１・・・・中間体
　４０・・・・ノズルプレート
　４１・・・・ノズル
　５０・・・・キャビティ
　６０・・・・インク
　１１０・・・・圧電体材料
　１２０・・・・弾性体材料
　１３０・・・・中間体材料
　４２０・・・・インクキャビティ
　４３０・・・・圧電体