【事件の表示】
　特願２００９−　１０２０４「光照射装置及び光照射方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年　８月　５日出願公開、特開２０１０−１７１０７６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯・本願発明
　
　本願は平成２１年１月２０日の出願で、平成２４年９月１０日付けで拒絶の理由が通知され、平成２４年１１月８日付けで意見書及び手続補正書が提出されたが、平成２５年５月２日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、当該査定を不服とする本件審判が平成２５年８月８日付けで請求された。
　
　本件特許請求の範囲の請求項７に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２４年１１月８日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項７に記載された事項により特定される以下のとおりのものであると認める。
　
「【請求項７】
　被着体に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射する光照射方法において、
　複数の発光源が所定幅のライン上に配置された発光手段を用い、
　前記発光手段と被着体とを前記接着シートの表面に沿って相対回転させて当該接着シートに光を照射するときに、前記発光手段の回転中心側に位置する発光源と接着シートとの離間距離を、外側に位置する発光源と接着シートとの離間距離よりも長く設定して当該発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つことを特徴とする光照射方法。」
　
　なお、上記平成２４年１１月８日付け手続補正書による補正の前後の特許請求の範囲を対比すると、当該補正後の請求項７は、補正により新請求項３及び４が追加された結果、補正前の請求項５が繰り下がったものである。
　
第２　引用例
　
　本願発明（上記補正前の請求項５に係る発明）に対する原査定の拒絶の理由には、いずれも本願出願前に頒布された刊行物である、国際公開第２００８／１４２９７５号（以下、「引用例１」という。）及び特開平１０−２３３３７２号公報（以下、「引用例２」という。）が引用された。
　
１．　引用例１
　
（１）　引用例１の記載
　
　引用例１には、［図６］（Ａ）、［図９］及び［図１０］とともに、以下の点、記載されている。
　
ア．　段落［０００１］
　
「［０００１］　本発明は、ウェーハに貼着されたＵＶテープを剥離するためのＵＶ光照射装置を備えたダイシング装置及びダイシング方法に関する。」
　
イ．　段落［０００９］〜［００１１］
　
「［０００９］　本発明は前記目的を達成するために、本発明の第１の態様に係るダイシング装置は、紫外線硬化型粘着剤が表面に塗布されたＵＶテープに貼着されてフレームにマウントされたウェーハを載置するテーブルと、前記ウェーハの切断または溝加工を行う加工部と、前記ウェーハを搬送する搬送部と、前記ウェーハを収納する収納部と、ＵＶ光を発する複数のＬＥＤライトを備え、前記ＵＶテープに向けてテープ剥離用のＵＶ光を照射する照射装置と、を備える。  
　［００１０］　本発明の第１の態様によれば、ダイシング装置にはＵＶテープに貼着されてフレームにマウントされたウェーハを載置するテーブルと、切断刃やレーザー等の加工手段を備えた加工部と、アーム等の搬送手段を備えた搬送部と、ウェーハを入れるカセット等が載置される収納部と、ＵＶ光を発する複数のＬＥＤライトを備える照射装置が備えられている。  
　［００１１］　照射装置は、加工が行われた後のウェーハが貼着されているＵＶテープに向かってＵＶ光を照射し、ＵＶテープの表面に塗布された紫外線硬化型粘着剤を硬化させてテープの剥離を可能にする。ＬＥＤライトは高出力でありながら、小型で薄く消費電力や発熱量も少ない。これにより、小型で取り付けが容易であり、且つ、特別な冷却装置も不要な照射装置を実現することが可能となる。ひいては、消費電力や発熱量の少ない効率のよいＵＶ光の照射を行うことが可能となる。」
　
ウ．　段落［００１４］、［００１５］
　
「［００１４］　続いて、第３の態様によれば、第１の態様または第２の態様に係るダイシング装置において、前記照射装置が回転しながら前記ＵＶテープに向けてＵＶ光を照射する場合、回転する該照射装置の回転外周部付近と回転中心周部付近のＵＶ光照射量が等しくなるように、前記回転外周部付近のピッチ間隔よりも前記回転中心周部付近のピッチ間隔が広くなるように前記複数のＬＥＤライトは配置されている。  
　［００１５］　第３の態様に係るダイシング装置では、回転することによりウェーハの前面へＵＶ光を照射する照射装置に、回転外周部付近に配置されたＬＥＤライトよりも回転中心部付近に配置されたＬＥＤライトのほうが広いピッチ間隔になるように複数のＬＥＤライトが取り付けられている。これにより、角速度の違いによる照度の差が解消され、均一に効率よくＵＶ光を照射することが可能な照射装置を実現する。」
　
エ．　段落［００５７］、［００５８］
　
「［００５７］　図９に示すように、ＵＶ照射装置４０Ｂは、ウェーハＷへ向けてＬＥＤライト４２が複数取り付けられているランプユニット４４を備える。ランプユニット４４は、ガイド４１、４１に収納されたウェーハＷの下部を、矢印θ方向へウェーハＷの中心付近を回転中心としながらウェーハＷと平行に回転移動しながら、ウェーハＷへ向けてＵＶ光を照射する。  
　［００５８］　ランプユニット４４に取り付けられたＬＥＤライト４２は、図１０に示すように、回転外周部付近のＬＥＤライト４２のピッチ間隔ｂ１、ｂ２よりも、回転中心部付近のピッチ間隔ｃ１、ｃ２の方が広くなるように配置されている。ピッチ間隔ｂ１、ｂ２とピッチ間隔ｃ１、ｃ２とは、回転外周部と回転内周部でのＵＶ光の照射量が等しくなるようにランプユニット４４の回転速度に合わせて調整されている。また、ガイド４１、４１とＵＶ照射装置４０の位置は、ＬＥＤライト４２からウェーハＷが貼着されたＵＶテープＴまでの距離が最適になるように調整されている。例えば、ＬＥＤライト４２からＵＶテープＴまでの距離が１５ｍｍ以上５０ｍｍ以下となるように調整されることとしてもよい。これにより、最も効率良くＵＶ光をＵＶテープＴに向って照射することが可能となる。ひいては、小型で省スペース、省エネルギーの照射装置を実現することが可能となる。 」
　 
オ．　段落［００７５］
　
「［００７５］　図１１から１４に示すように、ブラックライトを使用した場合、いずれのＵＶテープでも、ＬＥＤライトを使用した場合と比べて短い照射時間ではＵＶテープの紫外線硬化型粘着剤を十分に硬化させることが出来ず、強い剥離力が必要となる。一方、ワークの外径サイズと同等に敷き詰められたＬＥＤライトを使用した場合は、より短い照射時間でも直ちに紫外線硬化型粘着剤を硬化させることができるため、ブラックライトと比べてより小さな力で容易にＵＶテープを剥離できる。また、２０×４に配置されたＬＥＤライトを移動させて照射した場合も、十分に紫外線硬化型粘着剤を硬化させることができる。従って、いずれの形態のＬＥＤライトを使用した場合でも、小さな力で容易にＵＶテープの剥離することができる。」
　
カ．　ＵＶテープ
　
　上記摘記事項イより、「ＵＶテープ」は、「紫外線硬化型粘着剤が表面に塗布」（段落［０００９］）されて「ウェーハ」を貼着するものであり、そして、［図９］から平板状の「ウェーハ」と「ＵＶテープ」が面同士、貼着されたものが看取できるから、「紫外線硬化型粘着剤」は「ＵＶテープ」上に塗布されて層を構成したものであることは、当業者にとって自明である。
　
キ．　積算光量
　
　上記摘記事項カより、引用例１記載の「紫外線硬化型粘着剤」は、紫外線照射による硬化にあたっては、ある程度の照射時間が必要なものである。ここで、［図１０］に記載された「ランプユニット４４」は、上記摘記事項オによれば、「回転外周部付近のＬＥＤライト４２のピッチ間隔ｂ１、ｂ２よりも、回転中心部付近のピッチ間隔ｃ１、ｃ２の方が広くなるように配置されている。ピッチ間隔ｂ１、ｂ２とピッチ間隔ｃ１、ｃ２とは、回転外周部と回転内周部でのＵＶ光の照射量が等しくなるようにランプユニット４４の回転速度に合わせて調整されている」（段落［００５８］）から、上記照射時間にわたって積算された積算光量も、「回転外周部」と「回転中心部」で等しくなることは、当業者にとって自明である。
　さらに、［図１０］から、「ランプユニット４４」の「ＬＥＤライト４２」に取り付けられたピッチ間隔は、「回転外周部」から「回転中心部」にかけて回転半径方向において徐々に変化している点、看取できる。そうすると、上記積算光量は、「ランプユニット４４」の「回転外周部」と「回転中心部」との間で等しくなるように調整されれていることに加えて、「回転外周部」と「回転中心部」を含む紫外線照射領域において、少なくとも略均一に保たれるものであることは、当業者にとって自明である。
　
ク．　ＬＥＤライト
　
　［図１０］には、上下左右に幅を有する略長方形の「ランプユニット４４」に「ＬＥＤライト４２」が上下左右に列を構成して配置された点看取でき、したがって［図１０］記載の「ランプユニット４４」は、「ＬＥＤライト４２」が所定幅のライン上に配置されたものであるということができる。
　
（２）　引用例１記載発明
　
　上記摘記事項ア〜オ及び認定事項カ〜クから、引用例１の記載事項を技術常識を考慮しつつ、本願発明に照らして整理すると、引用例１には以下の発明（以下、「引用例１記載発明」という。）が記載されていると認める。
　
「ウェーハＷに貼着された紫外線硬化型の粘着剤層を有するＵＶテープＴに紫外線を照射する紫外線照射方法において、
　複数のＬＥＤライト４２が所定幅のライン上に配置されたランプユニット４４を用い、
　前記ランプユニット４４とウェーハＷとを前記ＵＶテープＴの表面に沿って相対回転させて当該ＵＶテープＴに紫外線を照射するときに、前記ランプユニット４４の回転中心側に位置するＬＥＤライト４２のピッチ間隔を、外側に位置するＬＥＤライト４２のピッチ間隔よりも長く設定して、当該ランプユニット４４の紫外線照射領域における積算光量を略均一に保つ紫外線照射方法。」
　
２．　引用例２
　
（１）　引用例２の記載
　
　引用例２には、【図１】、【図３】とともに、以下の点記載されている。
　
ア．　段落【０００１】
　
「【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハなどの物品に貼付けられた紫外線硬化型の粘着テープに紫外線を照射して粘着テープの粘着力を低下させる場合などに使用される紫外線照射装置に関する。」
　
イ．　段落【０００４】、【０００５】
　
「【０００４】このような紫外線照射を行う従来の装置としては、例えば本出願人が提案している特願平２−１２９８４０号がある。この紫外線照射装置は、紫外線硬化型の粘着テープを貼付けた半導体ウエハを回転台に保持して回転させながら、その上方において照射対象物の回転面と平行に配備した紫外線照射ランプからの紫外線をエリヤマスクおよび赤外線吸収フィルタを通して照射対象物に照射するよう構成している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従来装置には次のような問題点がある。すなわち、従来装置においては、照射対象物の半径より長い紫外線照射ランプが必要である。例えば、ウエハ直径が２００ｍｍの場合には発光長さが１００ｍｍ以上の紫外線照射ランプを必要とするものであった。また、この形態では、照射対象物の回転中心部での積算照射量が外週部よりも多くなる。そのためウエハの周辺部に必要な量の紫外線照射を行うと、中心部で過度に紫外線が照射されてしまい、回転中心部での発熱が多くなり、粘着テープの耐熱温度を越えてしまうような不具合がもたらされるおそれがある。」
　
ウ．　段落【０００７】〜【０００９】
　
「【０００７】本発明は、このような事情に着目してなされたものであって、紫外線照射手段の小型化を図ることができるとともに、回転中心部での過度の紫外線照射を抑制して、局部的な発熱を十分抑制することのできる紫外線照射装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達成するために次のような構成をとる。すなわち、本発明は、照射対象物を保持して回転する回転手段と、回転中心側ほど距離が大きくなるように照射対象物の回転面に対して傾斜して配置した紫外線照射手段とを備えてあることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】上記構成によると、紫外線照射手段が照射対象物の回転面に対して傾斜しているので、紫外線照射領域内に照射対象物の回転中心から外周までが収まるようにすることで、紫外線照射手段の有効照射長さは照射対象物の回転中心から外周までの距離より短いものですむ。また、照射対象物の回転中心部の照射距離が周部のそれよりも長いものとなるので、照射対象物の回転中心部に常時紫外線照射が行われても、積算照射量が抑制され、局部的な発熱が抑えられることになる。」
　
エ．　段落【００１０】〜【００１４】
　
「【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。ここで紫外線照射の対象物は、バックグラインド工程を経た半導体ウエハであり、先に説明した通り、半導体ウエハＷの表面に貼付けた紫外線硬化型の粘着テープＴの粘着剤を硬化させて粘着力を弱めて、半導体ウエハＷからのテープ剥離を容易化するために施される工程に用いられる。
【００１１】図１に、本発明に係る紫外線照射装置の概略断面が、また、図２にその横断平面がそれぞれ示されている。この装置のハウジング１の内部には底壁１ａと上壁１ｂとで区画された処理室２が形成されている。この処理室２に、図示しないモータによって水平に回転駆動される真空チャック式の回転台３が配備されている。処理室２の側部にはシャッター４によって開閉されるワーク出入り口５が形成されている。このシャッター４は、エアーシリンダ６によって駆動される。表面に紫外線硬化型の粘着テープＴが貼付けられた半導体ウエハＷがロボットハンドなどを介して回転台３上に搬入したり、あるいは、処理後に回転台３から搬出される際には、シャッター４が下降されてワーク出入り口５を開放し、紫外線照射処理中は上昇されてワーク出入り口５を閉塞して外部への紫外線漏洩が防止される。
【００１２】処理室２の上方には、紫外線照射部７が設けられ、その内部上方に細長い紫外線照射ランプ８が配備されている。また、処理室２の上壁１ｂには、回転台３の半径方向に沿って矩形の透孔９が形成されている。この透孔９にはコールドフィルタ１０が嵌め込み装着され、紫外線照射ランプ８からの照射光に含まれる赤外線を極力吸収除去するよう構成されている。また、この透孔の上方には、水平移動して透孔９を開閉する遮光板１１が配備されている。この遮光板１１は、ガイドレール１２に沿って横スライド可能に支持された可動枠１３に取り付けられており、ロッドレスシリンダ１４によって往復スライド駆動されるよう構成されている。
【００１３】ここで、紫外線照射ランプ８は、回転台３の回転中心Ｐ側が高くなるように、半導体ウエハＷの回転面Ｓに対して２０〜４５°の角度θをもって傾斜配置されている。また、透孔９の一端が回転台３の回転中心Ｐの略直上に位置するとともに、透孔９の他端が半導体ウエハＷの外周端より外側に位置するように形成され、かつ、紫外線照射ランプ８の両端間における発光領域から紫外線照射ランプ８と直交して照射された紫外線が、透孔９の両端間を通過して半導体ウエハＷの中心から外周端まで及ぶように設定されている。つまり、紫外線照射ランプの発光領域Ｌは、半導体ウエハＷの半径をＲとすると、Ｒ・ｃｏｓθより若干長ければよいことになる。
【００１４】本実施例の紫外線照射装置は以上のように構成されたものであり、その照射特性を図３に示す。図３から明らかなように、この装置によれば、積算光量は、回転中心部から外周端にわたって、略均一になっている。」
　
オ．　【図１】
　
　【図１】から、「半導体ウエハＷ」は、「粘着テープＴ」の表面に沿っている点、そして、「半導体ウエハＷ」が「回転中心Ｐ」を中心に回転するならば、「紫外線照射ランプ８」を含む「紫外線照射部７」に対して相対回転する点が看取できる。
　
（２）　引用例２記載事項
　
　上記摘記事項ア〜エ及び【図３】ならびに認定事項オより、引用例２には次の事項（以下、「引用例２記載事項」という。）が記載されている。
　
「細長い紫外線照射ランプ８と半導体ウエハＷとを粘着テープＴの表面に沿って相対回転させる紫外線照射方法において、
　紫外線照射領域における積算光量を略均一に保つ方法として、紫外線照射ランプ８のうち回転中心側に位置する部分と粘着テープＴとの離間距離を、外側に位置する紫外線ランプ８の部分と粘着テープＴとの離間距離よりも長く設定した紫外線照射方法。」
　
第３　対比
　
　本願発明と引用例１記載発明とを対比すると、引用例１記載発明の「ウェーハＷ」、「ＬＥＤライト４２」、「ランプユニット４４」は、それぞれ本願発明の「被着体」、「発光源」、「発光手段」に相当する。
　引用例１記載発明の「紫外線硬化型粘着剤」は、紫外線に反応して硬化するものであり、かつ紫外線は光の一種である。さらに、「粘着」は「接着」の一種であるから、引用例１記載発明の「紫外線硬化型の粘着剤層を有するＵＶテープ」は本願発明の「光反応型の接着剤層を有する接着シート」に相当する。
　
　そうすると、本願発明と引用例１記載発明とを対比すると、以下の点で一致し、かつ、相違する。
　
１．　一致点
　
「被着体に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射する光照射方法において、
　複数の発光源が所定幅のライン上に配置された発光手段を用い、
　前記発光手段と被着体とを前記接着シートの表面に沿って相対回転させて当該接着シートに光を照射するときに、
当該発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つ光照射方法。」
　
２．　相違点
　
　本願発明の「光照射方法」は、「発光手段の光照射領域における積算光量を略均一に保つ」ために、「前記発光手段の回転中心側に位置する発光源と接着シートとの離間距離を、外側に位置する発光源と接着シートとの離間距離よりも長く設定」したのに対し、引用例１記載発明の「紫外線照射方法」は、「ランプユニット４４の回転中心側に位置するＬＥＤライト４２のピッチ間隔を、外側に位置するＬＥＤライト４２のピッチ間隔よりも長く設定」したものである点、相違する。
　
第４　相違点に対する検討
　
　引用例１記載発明は、「ＬＥＤライト４２」の「ランプユニット４４」における配置のピッチ間隔を、引用例１の［図６］（Ａ）に記載されたもののように等間隔とすると、回転中心部のＵＶ光照射量が回転外周部のものと比べて大きくなることから、「ＬＥＤライト４２」のピッチ間隔を回転中心部において広くしたものである。
　一方、引用例２記載事項は、上記第２、２．（２）に記載したとおりであって、相対回転する「紫外線照射ランプ８」と「粘着テープＴ」において、「紫外線照射領域における積算光量を略均一に保つ方法として、紫外線照射ランプ８のうち回転中心側に位置する部分と粘着テープＴとの離間距離を、外側に位置する紫外線ランプ８の部分と粘着テープＴとの離間距離よりも長く設定」することが示されている。
　そうすると、「積算光量を略均一」に保つために、引用例１記載発明の「ＬＥＤライト４２」のピッチ間隔を回転中心からの位置に応じて変化させるのではなく、当該ピッチ間隔を等しくしつつ、かつ、回転中心側に位置する「ＬＥＤランプ４２」と「ＵＶテープＴ」との離間距離を、外側に位置する「ＬＥＤライト４２」と「ＵＶテープＴ」との離間距離よりも長く設定することは、「細長い紫外線照射ランプ８」の各部分と「粘着テープＴ」との離間距離についての上記引用例２記載事項の関係を適用することで、当業者が容易になし得た事項である。
　
　本願発明の奏する作用及び効果についても、引用例１記載発明及び引用例２記載事項から当業者が予測できた範囲内のものである。
　
　本願発明は、引用例１記載発明、引用例２記載事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第５　むすび
　
　以上のとおりであるから、本願発明は、引用例１記載発明、引用例２記載事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、本願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきであるから、結論のとおり審決する。