(57)【要約】【課題】光学軸に対して傾斜角度を変化させる方向に光学素子を変位させることができる光学デバイスを提供する。【解決手段】光学デバイスＡは、シート状の圧電素子１０と、圧電素子１０に取り付けられて、圧電素子１０における可動領域（非固定部分１０ｃ）を、多角形状の所定範囲に規制する規制部３０と、圧電素子１０の可動領域に取り付けられた光学素子２０と、圧電素子１０に配置され、それぞれ独立して電圧を印加可能な複数の電極４０とを備えている。電極４０は、可動領域における隣接する二つの角部に配置されている。電極４０への電圧の印加に基づく圧電素子１０の伸縮において、可動領域における電極４０が配置された角部の周辺部分は、当該角部をなす二辺に沿った二方向を含む多方向に伸縮する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の圧電素子と、
前記圧電素子に取り付けられて、前記圧電素子における可動領域を、多角形状の所定範囲に規制する規制部と、
前記圧電素子の前記可動領域の取り付けられた光学素子と、
前記圧電素子に配置され、それぞれ独立して電圧を印加可能な複数の電極とを備え、
前記電極は、前記可動領域における隣接する二つの角部に配置され、
前記電極への電圧の印加に基づく前記圧電素子の伸縮において、前記可動領域における前記電極が配置された角部の周辺部分は、当該角部をなす二辺に沿った二方向を含む多方向に伸縮することを特徴とする光学デバイス。
【請求項２】
前記圧電素子が水平面に交差する状態となるように設置して用いられ、
前記電極は、前記可動領域における隣接する二つの角部であって、前記光学素子の重心よりも上側に位置する二つの角部に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光学デバイス。
【請求項３】
前記可動領域は、四角形状、六角形状、又は八角形状であり、
前記電極は、前記可動領域における前記隣接する二つの角部、及び当該隣接する二つの角部の対角に位置する二つの角部に配置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学デバイス。
【請求項４】
シート状の圧電素子と、
前記圧電素子に取り付けられて、前記圧電素子における可動領域を所定範囲に規制する規制部と、
前記圧電素子の前記可動領域に取り付けられた光学素子と、
前記圧電素子に配置され、それぞれ独立して電圧を印加可能な複数の電極とを備える光学デバイスであって、
前記圧電素子が水平面に直交する状態となるように設置して用いられ、
前記圧電素子は、当該光学デバイスを鉛直方向に見た場合に、前記光学素子の重心に重ならない位置に配置され、
前記電極は、前記可動領域における前記光学素子の重心よりも上側、且つ前記光学素子の重心を通り前記圧電素子に直交する鉛直面を挟んだ両側に配置されていることを特徴とする光学デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザー光を光源としてスクリーン上に画像を表示する光学装置には、光のコヒーレンス性（干渉性）に起因してスクリーン上にスペックル（不規則に発生する光のチラつきやギラつき）が生じることが知られている。こうしたスペックルは、表示品位及び視認性を低下させる原因になる。
【０００３】
特許文献１には、スペックルを除去するための光学デバイスが開示されている。特許文献１の光学デバイスは、光学素子（拡散板）と、光学素子を動作させる駆動機構とからなり、レーザー光の光路上に配置した光学素子を、駆動機構により変位させることによって、レーザー光の干渉性を抑制してスペックルを除去する。
【０００４】
また、特許文献１の光学デバイスでは、駆動機構として、電気活性高分子材料からなる圧電素子を用いている。圧電素子を用いた駆動機構は、電圧の印加に基づいて圧電素子を伸縮させ、その伸縮動作により発生する力によって光学素子を変位させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１３８０８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１には、圧電素子を用いた駆動機構に関して、圧電素子に沿った平面上において光学素子を振動又は回転するように変位させる点について具体的に記載されている。一方、レーザー光の光学軸上に光学デバイスを配置して用いる際に、光学軸に対して傾斜角度を変化させる方向に光学素子を変位させるための具体的な構成については記載がない。この点に関して、圧電素子の伸縮動作により発生する力は、モータ等の駆動機構と比較して非常に小さいものであるため、圧電素子を用いた場合には、傾動等の光学素子の一部分を持ち上げるような動きを生じさせることが難しいという実情がある。
【０００７】
この発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電素子を用いて、光学軸に対して傾斜角度を変化させる方向に光学素子を変位させることのできる光学デバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するための光学デバイスは、シート状の圧電素子と、前記圧電素子に取り付けられて、前記圧電素子における可動領域を、多角形状の所定範囲に規制する規制部と、前記圧電素子の前記可動領域に取り付けられた光学素子と、前記圧電素子に配置され、それぞれ独立して電圧を印加可能な複数の電極とを備え、前記電極は、前記可動領域における隣接する二つの角部に配置され、前記電極への電圧の印加に基づく前記圧電素子の伸縮において、前記可動領域における前記電極が配置された角部の周辺部分は、当該角部をなす二辺に沿った二方向を含む多方向に伸縮することを特徴とする。
【０００９】
上記構成によれば、光学軸に対して傾斜角度を変化させる方向に光学素子を変位させることができる。
上記光学デバイスにおいて、前記圧電素子が水平面に交差する状態となるように設置して用いられ、前記電極は、前記可動領域における隣接する二つの角部であって、前記光学素子の重心よりも上側に位置する二つの角部に配置されていることが好ましい。
【００１０】
この場合には、光学デバイスを、圧電素子が水平面に交差する状態となるように設置して用いたとしても、光学軸に対して傾斜角度を変化させる方向に光学素子を好適に変位させることができる。
【００１１】
上記光学デバイスにおいて、前記可動領域は、四角形状、六角形状、又は八角形状であり、前記電極は、前記可動領域における前記隣接する二つの角部、及び当該隣接する二つの角部の対角に位置する二つの角部に配置されていることが好ましい。
【００１２】
この場合には、光学素子をより複雑及び多様に変位させることができる。
上記の目的を達成するための光学デバイスは、シート状の圧電素子と、前記圧電素子に取り付けられて、前記圧電素子における可動領域を所定範囲に規制する規制部と、前記圧電素子の前記可動領域に取り付けられた光学素子と、前記圧電素子に配置され、それぞれ独立して電圧を印加可能な複数の電極とを備える光学デバイスであって、前記圧電素子が水平面に直交する状態となるように設置して用いられ、前記圧電素子は、当該光学デバイスを鉛直方向に見た場合に、前記光学素子の重心に重ならない位置に配置され、前記電極は、前記可動領域における前記光学素子の重心よりも上側、且つ前記光学素子の重心を通り前記圧電素子に直交する鉛直面を挟んだ両側に配置されていることを特徴とする。
【００１３】
上記構成によれば、光学軸に対して傾斜角度を変化させる方向に光学素子を変位させることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の光学デバイスによれば、光学軸に対して傾斜角度を変化させる方向に光学素子を変位させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】光学デバイスの平面図。
【図２】図１の２−２線断面図。
【図３】光学デバイスの分解斜視図。
【図４】光学デバイスを備える光学装置の模式図。
【図５】光学デバイスを縦置きに設置した場合の光学素子の変位を示す説明図。
【図６】光学デバイスを横置きに設置した場合の光学素子の変位を示す説明図。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は、光学素子の変位に関する説明図。
【図８】（ａ），（ｂ）は、可動領域に関する変更例の説明図。
【図９】（ａ）〜（ｄ）は、電極に関する変更例の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を説明する。
図１〜図３に示すように、光学デバイスＡは、平面視四角形状をなすシート状の圧電素子１０を備えている。圧電素子１０は、電圧の印加に基づいて、その面方向に沿って伸縮する部材である。圧電素子１０の中央部分には、レーザー光の通路となる貫通孔１１が形成されている。なお、貫通孔１１の形状は特に限定されるものではない。図面においては、一例として、貫通孔１１の形状が四角形状である場合を図示している。
【００１７】
圧電素子１０としては、公知の圧電素子、例えば、誘電性エラストマー、電歪リラクサ強誘電体ポリマー、圧電性ポリマー、強誘電性高分子、静電収縮高分子、液晶高分子、イオン性ポリマー金属複合材、メカノケミカルポリマー、メカノケミカルゲル、イオン交換樹脂膜−金属錯体、高分子カーボンナノチューブ等の電気活性高分子材料からなる圧電素子を用いることができる。
【００１８】
圧電素子１０の片側の面である第１面１２には、光学素子２０が固定されている。光学素子２０は、平面視正方形状の板状部材であり、圧電素子１０の第１面１２における中央側の部分に対して、貫通孔１１を塞ぐように接着されている。
【００１９】
光学素子２０としては、スペックルの低減に用いられる公知の光学素子を用いることができる。光学素子２０の具体例としては、光が透過する光透過領域を所定長さの碁盤眼状や六角形状等の領域分割された表面に微細構造でλ／４〜λ／２波長板が形成されるとともに、領域分割された各領域において、光の光学軸方向がランダムに異なった構造を有する光学素子が挙げられる。また、光学素子２０の材質としては、例えば、合成石英、光学ガラス、プラスチック等からなる誘電性材料や光透過性材料が挙げられる。
【００２０】
圧電素子１０において、第１面１２の反対側に位置する第２面１３には、四角枠状をなす規制部３０が固定されている。規制部３０の外周形状は、圧電素子１０の外形と同一形状であり、規制部３０の内周形状は、光学素子２０の外形よりも大きい四角形状である。規制部３０は、圧電素子１０の第２面１３における外周側の部分に対して、平面視において、その内側に光学素子２０が収まるように接着されている。
【００２１】
ここで、図１及び図２に示すように、圧電素子１０は、平面視において、規制部３０に接着された第１固定部分１０ａと、光学素子２０に接着された第２固定部分１０ｂと、光学素子２０及び規制部３０に接着されていない非固定部分１０ｃとを有している。上で述べたとおり、圧電素子１０は、電圧の印加に基づいて、その面方向に沿って伸縮する部材であるが、第１固定部分１０ａ及び第２固定部分１０ｂは、光学素子２０及び規制部３０に接着されて、光学素子２０及び規制部３０に対する位置が固定されているため、伸縮しない。そのため、圧電素子１０における伸縮可能な可動領域は、非固定部分１０ｃとなる。そして、その可動領域の範囲（外形状）は、規制部３０の内周形状によって規制される形状、すなわち四角形状となる。
【００２２】
図１及び図２に示すように、圧電素子１０の第１面１２及び第２面１３には、圧電素子１０をその厚さ方向に挟む一対一組の電極４０が四組、設けられている。四組の各電極４０には、それぞれ独立して電圧を印加可能になっている。電極４０は、平面視Ｖ字状に形成されて、圧電素子１０の非固定部分１０ｃにおける第１固定部分１０ａとの境界側の角部に沿って配置されている。すなわち、圧電素子１０の非固定部分１０ｃにおける四つ全ての角部に対して電極４０が配置されている。また、図２に示すように、電極４０における圧電素子１０の第２面１３側に位置する部分は、規制部３０の内周面に接している。
【００２３】
また、光学デバイスＡは、縦置きに設置した場合において、圧電素子１０及び電極４０と、光学素子２０の重心Ｇとが、特定の位置関係となるように構成されている。上記縦置きは、シート状の圧電素子１０が水平面に対して直交する光学デバイスＡの設置状態を意味する。
【００２４】
光学デバイスＡが縦置き状態にある場合、図１は、光学デバイスＡを水平方向に見た平面図となり、図２は、光学デバイスＡを水平方向に切った断面を上下方向に見た断面図となる。ここでは、図１及び図２について、縦置き状態にある光学デバイスＡを示す図であると仮定して、各構成の位置関係について説明する。
【００２５】
図２に示すように、圧電素子１０は、縦置き状態にある光学デバイスＡを上下方向に見た場合に、光学素子２０の重心Ｇに重ならない位置に配置されている。つまり、圧電素子１０の第１面１２に沿った平面と、第２面１３に沿った平面とに挟まれる領域の外側に光学素子２０の重心Ｇが位置している。本実施形態においては、圧電素子１０の第１面１２に光学素子２０が固定されていることによって、上記の配置要件を満たす構成となっている。
【００２６】
また、図１に示すように、上側に位置する二つの電極４０（４１，４２）は、光学素子２０の重心Ｇよりも上側に配置されている。さらに、図１及び図２に示すように、上記二つの電極４０（４１，４２）は、光学素子２０の重心Ｇを通り圧電素子１０に直交する鉛直面ＧＳを挟んだ左右両側にそれぞれ配置されている。本実施形態においては、圧電素子１０の四角形状の非固定部分１０ｃにおける四つ全ての角部に対して電極４０が配置されていることによって、上記の配置要件を満たす構成となっている。
【００２７】
光学デバイスＡは、レーザー光を利用した公知の光学装置におけるスペックル低減用の部品として適用することができる。例えば、図４に示すように、光源５０からレーザー光を出力する光学装置Ｂにおいて、光学デバイスＡは、レーザー光の光軸Ｘ上に配置して用いられる。上記光学装置としては、例えば、プロジェクタ、レーザープリンタ、露光装置、光ファイバ増幅器、分光器、レーザー計測装置、光ピックアップ装置、光学露光装置、光学測定機、偏光解析装置、偏波モード分散補償システム、ＣＣＤセンサ、ＣＭＯＳセンサ、位相差測定装置、レーザー加工装置、医療機器、マイクロマシン、自動車用ＨＵＤ（Ｈｅａｄ  Ｕｐ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、照明装置、３ＤＨ表示装置が挙げられる。
【００２８】
次に、本実施形態の作用として、光学デバイスＡを縦置きに設置した場合、及び光学デバイスＡを横置きに設置した場合のそれぞれについての光学デバイスＡの動作を説明する。以下では、電極４０に関して、個々の電極について説明する場合には、それぞれ第１電極４１（図１における右上の電極）、第２電極４２（図１における左上の電極）、第３電極４３（図１における左下の電極）、第４電極４４（図１における右下の電極）と記載する。
【００２９】
まず、光学デバイスＡを縦置きに設置した場合について説明する。
図５に示すように、縦置き状態にある光学デバイスＡにおいて、光学素子２０の重心Ｇよりも上側に位置する電極４０の一方である第１電極４１に電圧を印加する。電圧の印加により圧電素子１０は、第１電極４１に挟まれた部分において収縮するとともに、可動領域（非固定部分１０ｃ）における第１電極４１に挟まれた部分の周囲が伸長する。これにより、可動領域（非固定部分１０ｃ）における第１電極４１に挟まれた部分の周囲に撓みが生じ、その撓みに基づく応力が光学素子２０に作用する。
【００３０】
このとき、光学素子２０の重心Ｇに重ならない位置に圧電素子１０が位置していることにより、上記撓みに基づく応力の一部は、光学素子２０を前後方向に押し出す力として作用する。その前後方向に押し出す力と、光学素子２０の重心に作用する自重に基づく重力方向の力ＧＦとの協働によって、第１電極４１側の角部側を前傾させるように光学素子２０が傾動する。
【００３１】
図７に示すように、光学デバイスＡは、圧電素子１０の伸縮動作を、可動領域における複数の特定箇所において、タイミングを異ならせつつ行わせることで、光学素子２０の姿勢を多様に変位させる。具体的には、光学素子２０の重心Ｇよりも上側に位置し、且つ光学素子２０の重心Ｇを通り圧電素子１０に直交する鉛直面ＧＳを挟んだ左右両側に位置する第１電極４１及び第２電極４２に対して、所定の周期でタイミングを異ならせつつ電圧を印加する。この場合、光学素子２０における第１電極４１の近傍に位置する部分が規制部３０から離れるように光学素子２０が斜めに傾斜する状態（図７（ａ））と、光学素子２０における第２電極４２の近傍に位置する部分が規制部３０から離れるように光学素子２０が斜めに傾斜する状態（図７（ｂ））とを移行するように、光学素子２０の姿勢が連続的に変化する。
【００３２】
次に、光学デバイスＡを横置きに設置した場合について説明する。上記横置きは、シート状の圧電素子１０が水平となる光学デバイスＡの設置状態を意味する。なお、横置き状態において、光学素子２０は圧電素子１０の上側に位置していてもよいし、下側に位置していてもよい。
【００３３】
図６に示すように、横置き状態にある光学デバイスＡにおいて、いずれかの電極４０、例えば、第１電極４１に電圧を印加する。電圧の印加により圧電素子１０は、第１電極４１に挟まれた部分において収縮するとともに、可動領域（非固定部分１０ｃ）における第１電極４１に挟まれた部分の周囲が伸長する。これにより、可動領域（非固定部分１０ｃ）における第１電極４１に挟まれた部分の周囲に撓みが生じる。可動領域の一部に撓みが生じたことにより、その撓んだ部分において、光学素子２０が、自重に基づく重力方向の力ＧＦにより部分的に沈み込み、光学素子２０が傾動する。
【００３４】
図７に示すように、光学デバイスＡは、圧電素子１０の伸縮動作を、可動領域における複数の特定箇所において、タイミングを異ならせつつ行わせることで、光学素子２０の姿勢を多様に変位させる。ここでは、図７に示す各図について、横置き状態にある光学デバイスＡを下側から見たものとする。
【００３５】
例えば、第１電極４１、及び第１電極４１が設けられている角部に隣接する角部に位置している第２電極４２に対して、所定の周期でタイミングを異ならせつつ電圧を印加する。この場合、光学素子２０における第１電極４１の近傍に位置する部分が規制部３０から離れるように光学素子２０が斜めに傾斜する状態（図７（ａ））と、光学素子２０における第２電極４２の近傍に位置する部分が規制部３０から離れるように光学素子２０が斜めに傾斜する状態（図７（ｂ））とを移行するように、光学素子２０の姿勢が連続的に変化する。
【００３６】
また、第３電極４３、及び第３電極４３が設けられている角部に隣接する角部に位置している第４電極４４に対して、所定の周期でタイミングを異ならせつつ電圧を印加する。この場合、光学素子２０における第３電極４３の近傍に位置する部分が規制部３０から離れるように光学素子２０が斜めに傾斜する状態（図７（ｄ））と、光学素子２０における第４電極４４の近傍に位置する部分が規制部３０から離れるように光学素子２０が斜めに傾斜する状態（図７（ｃ））とを移行するように、光学素子２０の姿勢が連続的に変位する。
【００３７】
同様に、第１電極４１及び第４電極４４に対して、所定の周期でタイミングを異ならせつつ電圧を印加した場合には、図７（ａ）に示す状態と図７（ｃ）に示す状態を移行するように、光学素子２０の姿勢が連続的に変位する。また、第２電極４２及び第３電極４３に対して、所定の周期でタイミングを異ならせつつ電圧を印加した場合には、図７（ｂ）に示す状態と図７（ｄ）に示す状態を移行するように、光学素子２０の姿勢が連続的に変位する。そして、第１〜４電極４１〜４４のうちの３つの電極又は全ての電極に対して、所定の周期でタイミングを異ならせつつ電圧を印加した場合には、図７（ａ）〜（ｄ）に示す各状態を移行するように、光学素子２０は、より複雑及び多様に傾動しながら変位することになる。
【００３８】
このように、本実施形態の光学デバイスＡは、縦置きに設置した場合、及び横置きに設置した場合のいずれにおいても、光学軸に対して傾斜角度を変化させる方向に光学素子２０を変位させることができる。
【００３９】
また、本実施形態においては、第１電極４１と第２電極４２、第２電極４２と第３電極４３、第３電極４３と第４電極４４、第４電極４４と第１電極４１をそれぞれ、圧電素子１０の可動領域における隣接する角部に配置している。この構成により、光学素子２０をより大きく変位させることができる。そのメカニズムは以下のように推測される。
【００４０】
図１に示すように、電極４０は、圧電素子１０の可動領域（非固定部分１０ｃ）における角部に配置されている。そのため、例えば、第１電極４１に電圧が印加されたとき、可動領域における、第１電極４１が配置された角部の周辺部分は、当該角部をなす二辺に沿った二方向（図１における左方向及び下方向）、及び光学素子２０が位置する中央側へ向かう方向に伸長する。
【００４１】
そして、光学素子２０が位置する中央側へ向かう方向への伸長に基づく力Ｆ１は、可動領域における光学素子２０に接着された部分（第２固定部分１０ｂ）へと伝わる。一方、角部をなす二辺に沿った二方向への伸長に基づく力Ｆ２は、同二辺に沿って隣接する角部（第２電極４２及び第４電極４４が配置された角部）側へと伝わる。
【００４２】
ここで、第１電極４１が配置された角部に隣接する角部に配置された第２電極４２に対しても電圧が印加されると、第２電極４２が配置された角部の周辺部分も同様に伸長する。そして、第２電極４２が配置された角部から第１電極４１が配置された角部側へも伸長に基づく力Ｆ２が伝わる。その結果、可動領域における第１電極４１が配置された角部と第２電極４２が配置された角部との間において、角部をなす辺に沿った方向への伸長に基づく力Ｆ２が互いに作用し合う部分（作用点）が生じる。
【００４３】
上記作用点の位置は、第１電極４１及び第２電極４２に印加される電圧差に応じて変化する。例えば、第２電極４２に印加される電圧に対して、第１電極４１に印加される電圧が相対的に大きくなると、上記作用点の位置は、第２電極４２が配置された角部側へと移動し、同電圧が相対的に小さくなると、上記作用点の位置は、第１電極４１が配置された角部側へと移動する。そのため、第１電極４１及び第２電極４２に対して、所定の周期でタイミングを異ならせつつ電圧を印加した場合には、第１電極４１及び第２電極に印加される電圧の変化に応じて、上記作用点の位置が連続的又は断続的に動き続けることになる。
【００４４】
したがって、中央側へ向かう方向への伸長に基づく力Ｆ１が光学素子２０を傾動させる力として作用しつつ、上記作用点が動き続けることにより、圧電素子１０の可動領域にうねりのような動きが生じ、その結果として、光学素子２０がより大きく変位する。
【００４５】
次に、本実施形態の効果について記載する。
（１）光学デバイスＡは、シート状の圧電素子１０と、圧電素子１０に取り付けられて、圧電素子１０における可動領域（非固定部分１０ｃ）を、所定範囲に規制する規制部３０と、圧電素子１０の可動領域に取り付けられた光学素子２０と、圧電素子１０に配置され、それぞれ独立して電圧を印加可能な複数の電極４０とを備えている。
【００４６】
光学デバイスＡは、圧電素子１０が水平面に直交する状態である縦置きに設置して用いられる。圧電素子１０は、光学デバイスＡを上下方向（鉛直方向）に見た場合に、光学素子２０の重心Ｇに重ならない位置に配置されている。電極４０（４１，４２）は、光学素子２０の重心Ｇよりも上側、且つ光学素子２０の重心Ｇを通り圧電素子１０に直交する鉛直面ＧＳを挟んだ両側にそれぞれ配置されている。
【００４７】
上記構成によれば、レーザー光の光学軸上に光学デバイスＡを配置して用いる際に、光学軸に対して傾斜角度を変化させる方向に光学素子２０を変位させることができる。そして、光学軸に対する傾斜角度を変化させる方向に光学素子２０を変位させることにより、所定の平面上において光学素子２０を変位させた場合と比較して、より高いスペックルの低減効果が得られる。また、回折縞を解消させる効果も得られる。
【００４８】
（２）光学デバイスＡは、シート状の圧電素子１０と、圧電素子１０に取り付けられて、圧電素子１０における可動領域（非固定部分１０ｃ）を、四角形状の範囲に規制する規制部３０と、圧電素子１０の可動領域に取り付けられた光学素子２０と、圧電素子１０に配置され、それぞれ独立して電圧を印加可能な複数の電極４０とを備えている。電極４０は、可動領域における隣接する二つの角部に配置されている。電極４０への電圧の印加に基づく圧電素子１０の伸縮において、可動領域における電極４０が配置された角部の周辺部分は、当該角部をなす二辺に沿った二方向を含む多方向に伸縮する。
【００４９】
上記構成によれば、レーザー光の光学軸上に光学デバイスＡを配置して用いる際に、光学軸に対して傾斜角度を変化させる方向に光学素子２０を変位させることができる。そして、光学軸に対する傾斜角度を変化させる方向に光学素子２０を変位させることにより、所定の平面上において光学素子２０を変位させた場合と比較して、より高いスペックルの低減効果が得られる。また、回折縞を解消させる効果も得られる。
【００５０】
（３）可動領域（非固定部分１０ｃ）は、四角形状である。電極４０は、可動領域における隣接する二つの角部、及び当該隣接する二つの角部の対角に位置する二つの角部に配置されている。
【００５１】
上記構成によれば、可動領域における隣接する二つの角部のみに電極４０を配置した場合と比較して、光学素子２０を、より複雑及び多様に変位させることができる。
（４）電極４０は、電極４０が配置される角部に沿ったＶ字状に形成されている。
【００５２】
上記構成によれば、電極４０に電圧を印加した際に、光学素子２０が位置する中央側へ向かう方向への伸長に基づく力Ｆ１と、角部をなす二辺に沿った二方向への伸長に基づく力Ｆ２とを好適に生じさせることができる。
【００５３】
（５）圧電素子１０は、電極４０が配置されている部分の規制部３０側に隣接する位置に、規制部３０に接着されて圧電素子１０の伸縮が規制されている部分（第１固定部分１０ａ）を有している。
【００５４】
上記構成によれば、電極４０へ電圧を印加した際に、規制部３０側に向かって圧電素子１０が伸長することが規制される分、光学素子２０側に向かって圧電素子１０が大きく伸長する。これにより、光学素子２０に対して、より大きな力を作用させることができる。その結果、光学素子２０の最大変位量（最大変位角度）を大きくすることや、特定の変位量を得るために必要となる電圧を小さくすることができる。
【００５５】
なお、上記実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・光学デバイスＡを、縦置き及び横置き以外の設置状態、すなわち、水平面及び水平面に直交する面の両面に対して、シート状の圧電素子１０が交差する状態となる設置状態（斜め置き）として用いてもよい。この場合には、横置きに設置した場合と略同様に動作する。
【００５６】
・光学デバイスＡを縦置きに設置して用いる場合において、光学素子２０の重心Ｇよりも下側に位置する電極４０（４３，４４）にも所定のタイミングで電圧を印加してもよい。この場合には、光学素子２０をより複雑及び多様に変位させることができる。
【００５７】
・圧電素子１０における可動領域（非固定部分１０ｃ）の形状（外形状）を、多角形状の範囲内において変更してもよい。例えば、図８（ａ）に示すように、角部の角度がそれぞれ異なる多角形状であってもよい。また、図８（ｂ）に示すような六角形状や八角形状等の五角形以上の多角形状であってもよい。なお、圧電素子１０の可動領域が六角形状又は八角形状である場合には、可動領域における隣接する二つの角部、及び当該隣接する二つの角部の対角に位置する二つの角部に対して電極４０を配置することが好ましい。
【００５８】
・圧電素子１０の可動領域における電極４０の数を変更してもよい。例えば、第３電極４３及び第４電極４４を省略してもよい。なお、光学デバイスＡが、縦置き、又は水平面に交差する状態で使用されるものである場合には、光学素子２０の重心Ｇよりも上側に位置する二つの角部に電極４０を配置して、光学素子２０の変位方向が、重力方向に大きく逆らう方向とならないように構成することが好ましい。
【００５９】
また、光学デバイスＡを縦置きで用いるものに特化した場合には、光学素子２０の重心Ｇよりも上側、且つ光学素子２０の重心Ｇを通り圧電素子１０に直交する鉛直面ＧＳを挟んだ両側に電極４０が配置されていれば、可動領域における隣接する二つの角部に電極４０が配置されていなくてもよい。したがって、この場合には、圧電素子１０における可動領域の形状（外形状）は、円形や楕円形等の角部のない形状であってもよい。
【００６０】
また、光学デバイスＡを縦置き以外の設置状態で用いるものに特化した場合には、可動領域における隣接する二つの角部に電極４０が配置されていれば、光学素子２０の重心Ｇよりも上側、且つ光学素子２０の重心Ｇを通り圧電素子１０に直交する鉛直面ＧＳを挟んだ両側に電極４０が配置されていなくてもよい。
【００６１】
・個々の電極４０の形状及び配置を変更してもよい。例えば、図９に示すように、圧電素子１０における可動領域（非固定部分１０ｃ）の辺（縁）に沿わない一辺を有する三角形状の電極４０（図９（ａ））、同辺に沿わない二辺を有する四角形状の電極４０（図９（ｂ））、同辺に沿わない三辺を有する五角形状の電極４０（図９（ｃ））としてもよい。また、図９（ｄ）に示すように、同一の電圧が印加される複数の電極４０に分割して構成してもよい。また、圧電素子１０における可動領域（非固定部分１０ｃ）の辺（縁）から離間した位置に電極４０を配置してもよい。
【００６２】
・光学素子２０の外形状は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、円形状、楕円形状、四角以外の多角形状等の他の形状であってもよい。
・複数の圧電素子１０を備える構成としてもよい。例えば、図１に示す光学デバイスＡにおいて、圧電素子１０を二分割して、第１電極４１及び第２電極４２が配置される圧電素子１０と、第３電極４３及び第４電極４４が配置される圧電素子１０とを備える構成としてもよい。
【００６３】
・光学素子２０及び規制部３０に対する圧電素子１０の固定方法は接着に限定されるものではない。例えば、規制部３０をその厚さ方向に分割した二つの部材から構成し、その二つの部材の間に圧電素子１０を挟み込むことによって、規制部３０に対して圧電素子１０を固定してもよい。
【００６４】
次に、上記実施形態及び変更例から把握できる技術的思想について記載する。
（イ）前記電極は、前記可動領域の角部に沿ったＶ字状である前記光学デバイス。
（ロ）前記圧電素子は、前記電極が配置されている部分の前記規制部側に隣接する位置に、前記圧電素子の伸縮が規制された部分を有する前記光学デバイス。
【符号の説明】
【００６５】
Ａ…光学デバイス、Ｂ…光学装置、Ｇ…重心、ＧＳ…鉛直面、１０…圧電素子、１０ａ…第１固定部分、１０ｂ…第２固定部分、１０ｃ…非固定部分（可動領域）、２０…光学素子、３０…規制部、４０…電極、４１〜４４…第１〜４電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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