(57)【要約】【課題】振動子に対する加圧方向において小型化・薄型化しつつ、駆動力をメカ遅れなく安定して伝達可能な振動波モータを提供すること。【解決手段】振動子を保持する第１の保持部材を保持する第２の保持部材と、振動子の周囲に配置され、振動子を加圧する複数の加圧手段と、接触部材を挟んで振動子と対向するように配置される可動板と、を有し、振動子に発生する振動により振動子と接触部材が相対的に移動する振動波モータであって、第２の保持部材および可動板を連結する連結部が設けられ、第２の保持部材および可動板のいずれか一方は、振動波モータの駆動力を被駆動部に伝達する伝達部を備え、連結部および伝達部は、振動子を複数の加圧手段による加圧方向から見た場合の加圧方向と、振動子および接触部材の相対的な移動方向と、に直交する方向における振動子の外側の領域のうち一方の領域において、互いの近傍に設けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子と、
前記振動子を保持する第１の保持部材と、
前記第１の保持部材を保持する第２の保持部材と、
前記振動子の周囲に配置され、前記振動子と接触する接触部材に対して前記振動子を加圧する複数の加圧手段と、
前記接触部材を挟んで前記振動子と対向するように配置される可動板と、を有し、
前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記接触部材が相対的に移動する振動波モータであって、
前記第２の保持部材および前記可動板を連結する連結部が設けられ、
前記第２の保持部材および前記可動板のいずれか一方は、前記振動波モータの駆動力を被駆動部に伝達する伝達部を備え、
前記連結部および前記伝達部は、前記振動子を前記複数の加圧手段による加圧方向から見た場合の前記加圧方向と、前記振動子および前記接触部材の相対的な移動方向と、に直交する方向における前記振動子の外側の領域のうち一方の領域において、互いの近傍に設けられることを特徴とする振動波モータ。
【請求項２】
前記連結部および前記伝達部は、前記移動方向に直交する方向のいずれか一方において、互いに少なくとも一部が重なるように配置されることを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
【請求項３】
前記振動子は、前記接触部材に接触する振動板、および電圧を印加されることで振動を励振する圧電素子を備えることを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の振動波モータと、
前記振動波モータから伝達された駆動力によって駆動される被駆動部と、を有することを特徴とする装置。
【請求項５】
前記被駆動部に取り付けられ、付勢された状態で前記伝達部に係合する連結部材を更に有することを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記連結部材は、前記第２の保持部材および前記可動板を締結する締結部材を備え、
前記締結部材の締結方向は、前記移動方向および前記連結部材が前記伝達部を付勢する方向に直交することを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記連結部材は、前記第２の保持部材および前記可動板を締結する締結部材を備え、
前記締結部材の締結方向は、前記連結部材が前記伝達部を付勢する方向と同一であることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項８】
前記装置は、レンズを備える光学機器であることを特徴とする請求項４から７のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高周波電圧を印加することで周期的に振動する振動子を接触部材に圧接させることで、振動子および接触部材が相対的に移動する振動波モータ（超音波モータ）が知られている。特許文献１では、印加される高周波駆動電圧により超音波振動する振動子、振動子に摩擦接触する接触部材、および振動子を接触部材に対して加圧する加圧手段を有し、超音波振動により振動子と接触部材が相対的に移動する超音波モータを開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１２６６９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の超音波モータでは、加圧手段および振動子が加圧手段による加圧方向において重なるように配置されているため、加圧方向の小型化が困難である。
【０００５】
また、超音波モータを小型化した場合、加圧手段および振動子から構成される可動部の剛性が低くなるおそれがある。この場合、駆動力を発生させる振動子と被駆動部に駆動力を伝達する部材との間に相対的な位置ズレ（いわゆる、メカ遅れ）が生じ、超音波モータは安定して被駆動部を移動させることができない。
【０００６】
このような課題に鑑みて、本発明は、振動子に対する加圧方向において小型化しつつ、駆動力をメカ遅れなく安定して伝達可能な振動波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面としての振動波モータは、振動子と、前記振動子を保持する第１の保持部材と、前記第１の保持部材を保持する第２の保持部材と、前記振動子の周囲に配置され、前記振動子と接触する接触部材に対して前記振動子を加圧する複数の加圧手段と、前記接触部材を挟んで前記振動子と対向するように配置される可動板と、を有し、前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記接触部材が相対的に移動する振動波モータであって、前記第２の保持部材および前記可動板を連結する連結部が設けられ、前記第２の保持部材および前記可動板のいずれか一方は、前記振動波モータの駆動力を被駆動部に伝達する伝達部を備え、前記連結部および前記伝達部は、前記振動子を前記複数の加圧手段による加圧方向から見た場合の前記加圧方向と、前記振動子および前記接触部材の相対的な移動方向と、に直交する方向における前記振動子の外側の領域のうち一方の領域おいて、互いの近傍に設けられることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、振動子に対する加圧方向において小型化しつつ、駆動力をメカ遅れなく安定して伝達可能な振動波モータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施例１の振動波モータの斜視図である。
【図２】実施例１の振動波モータの分解斜視図である。
【図３】実施例１の振動波モータの上面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】実施例２の撮像装置の要部断面図である。
【図７】実施例２のレンズ駆動装置の斜視図である。
【図８】実施例２の振動波モータが取り付けられていない状態のレンズ駆動装置の斜視図である。
【図９】実施例２のレンズ駆動装置の主要部の上面図である。
【図１０】図９のＥ−Ｅ線断面図である。
【図１１】図９のＦ−Ｆ線断面図である。
【図１２】実施例３のレンズ駆動装置の斜視図である。
【図１３】実施例３のレンズ駆動装置の主要部の上面図である。
【図１４】図１３のＪ−Ｊ線断面図である。
【図１５】図１３のＫ−Ｋ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。各実施例では、振動子および接触部材の相対的な移動方向をＸ軸方向、Ｘ軸に直交し、振動子を接触部材に対して加圧する方向(加圧方向)をＹ軸方向、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向とする。なお、各実施例の座標系は説明の便宜上のものであって、本発明はこれに限定されない。
【実施例１】
【００１１】
図１から図３はそれぞれ、本実施例の振動波モータ１００の斜視図、分解斜視図、および上面図である。図２（ａ）は上面側から見た分解斜視図、図２（ｂ）は底面側から見た分解斜視図である。図４および図５はそれぞれ、図３のＡ−Ａ線断面図およびＢ−Ｂ線断面図である。
【００１２】
振動波モータ１００は、直動タイプのリニアアクチュエータで、Ｘ軸方向への駆動力を発生させることで、被駆動部（不図示）をＸ軸方向へ駆動することができる。
【００１３】
まず、振動波モータ１００が駆動力を発生させるメカニズムについて説明する。図２に示されるように、振動波モータ１００は、接着剤等により互いに固着された圧電素子１および振動板（弾性板）２から構成される振動子３を有する。フレキシブル基板１５は、異方性導電ペースト等で機械的および電気的に圧電素子１に接続され、圧電素子１に２相の高周波電圧を印加する。圧電素子１は、高周波電圧を印加されると、超音波域の周期的な振動を発生させる。このとき、振動板２は、長手方向（Ｘ軸方向）および短手方向（Ｙ軸方向）のそれぞれの方向で共振を起こし、振動板２に設けられた２つの凸部２ｂはｘｙ平面上で楕円運動を行う。圧電素子１に印加する高周波電圧の周波数や位相を変えることで、楕円の回転方向や楕円比を適宜変化させて所望の動きを発生させることができる。
【００１４】
以上の構成により、振動子３は、スライダー（接触部材）６と摩擦接触し、スライダー６に対して相対的に移動する駆動力を発生させることができる。すなわち、振動子３は、スライダー６に対して、Ｘ軸に沿って相対的に移動することができる。
【００１５】
次に、振動子３、基台４および基台保持枠５の連結について説明する。枠状の基台（第１の保持部材）４は、振動子３を保持する。振動板２は基台４に設けられた突起４ａと対向する位置に孔２ａを有し、突起４ａは孔２ａに挿入された後、接着等によって固定される。枠状の基台保持枠（第２の保持部材）５は、可動板と連結するためのネジ穴５ａ、および被駆動部（不図示）に振動子３で発生した駆動力を伝達する駆動力伝達部５ｂを有する。
【００１６】
図４に示されるように、ローラー部材１６、１７は、基台４と基台保持枠５との間に配置される。基台４は各ローラー部材より内側（振動波モータ１００の中心側）、基台保持枠５は外側に配置される。板バネ１８は、接着等により基台保持枠５に固定され、ローラー部材１６をＸ軸方向へ付勢する。板バネ１８により付勢されたローラー部材１６が基台４をＸ軸方向へ付勢することで、基台４はローラー部材１７を介して基台保持枠５に付勢される。すなわち、基台４は、ローラー部材１６、１７および板バネ１８を介して基台保持枠５に対してＸ軸方向へ付勢される。また、基台４は、ローラー部材１６、１７の転動によってＹ軸に沿って移動することができる。
【００１７】
以上説明したように、振動子３は基台４に保持され、基台４は基台保持枠５にローラー部材１６、１７および板バネ１８を介して保持される。このような構成により、Ｘ軸方向にはガタの発生がなく、Ｙ軸方向には摺動抵抗を抑制する基台４と基台保持枠５との連結を実現することができる。
【００１８】
次に、振動子３をスライダー６に摩擦接触させる加圧構成について説明する。１つの加圧手段で振動子３をスライダー６に対して加圧させると、振動子３の真上に加圧手段を配置する必要がある。この場合、振動波モータ１００の加圧方向の厚みが増加してしまう。
【００１９】
そこで、本実施例では、振動子３の周囲に配置された複数の加圧手段を用いて、振動子３をスライダー６に対して加圧する。具体的には、４本の引張コイルばね（加圧手段）７が加圧板金１３の４隅に配置され、それぞれの第１端は加圧板金１３に掛けられ、第２端はムーブプレート１０に掛けられることで振動子３をスライダー６に対して加圧する。加圧板金１３は、図４および図５に示されるように、４本の引張コイルばね７の付勢方向（加圧方向）であるＹ軸方向へ突出し、板部材２０に当接する凸部１３ａを有する。振動子３と板部材２０との間には、可撓性を有するフェルト１９が配置される。振動板２の２つの凸部２ｂは、スライダー６に当接する。スライダー６は、ネジ１４によってベース部材２２に固定される。ボールベース９は、スライダー６に対して振動子３と反対側に配置される。ボールベース９とムーブプレート（可動部材）１０との間には、３つのボール（転動部材）１１が配置される。
【００２０】
以上説明したように、本実施例では、振動子３の周囲に配置された４本の引張コイルばね７を用いて振動子３をスライダー６に摩擦接触させるため、振動波モータ１００の小型化を実現することができる。また、加圧板金１３の凸部１３ａから板部材２０に伝達される４本の引張コイルばね７の付勢力は、フェルト１９を介して振動子３に伝達される。そのため、駆動力発生時の振動板２の駆動振動を阻害することなく、全体的に均一な力で振動子３の表面を加圧することができる。
【００２１】
次に、直進ガイド部（第１のガイド部材）８について説明する。直進ガイド部８は、ボールベース９、ムーブプレート１０および３つのボール１１により構成され、引張コイルばね７の付勢力でスライダー６に対して振動子３を付勢しながら、振動子３のスライダー６に対するＸ軸方向への移動をガイドする。
【００２２】
ボールベース９は、押さえ板金２３を介して、ネジ２１によってベース部材２２に固定される。ボールベース９およびムーブプレート１０の少なくとも一方には、３つのボール１１をボールベース９とムーブプレート１０との間でＸ軸に沿って転動させるために、Ｘ軸に沿って延びるＶ字状の溝が形成されている。本実施例では、ボールベース９には２つのＶ字状の溝９ａが形成され、ムーブプレート１０には３つのＶ字状の溝１０ｂが形成される。したがって、引張コイルばね７により振動子３がスライダー６に対して加圧されつつ、ムーブプレート１０が３つのボール１１を介してボールベース９に付勢される。振動子３がＸ軸方向への駆動力を発生させると、３つのボール１１がＶ字状の溝９ａ、１０ｂに沿って転動することで、ムーブプレート１０はＸ軸に沿ってスムーズにガイドされる。
【００２３】
次に、基台保持枠５とムーブプレート１０との固定について説明する。基台保持枠５およびムーブプレート１０は、振動波モータ１００をＹ軸方向（加圧方向）から見た場合のＺ軸方向における振動子３の外側の領域のうち一方に設けられた固定部（連結部）２４により連結される。そのため、振動子３、基台４、基台保持枠５およびムーブプレート１０は、一体的にＸ軸に沿って移動することができる。本実施例では、固定部２４は、ムーブプレート１０に形成された孔１０ａ、基台保持枠に形成されたネジ穴５ｂ、および孔１０ａを貫通し、ネジ穴５ａに締結するネジ（締結部材）１２により構成される。
【００２４】
振動波モータ１００では、スライダー６を固定部とすると、振動子３が可動部として機能する。可動部には、基台保持枠５およびムーブプレート１０が含まれる。可動部が移動する場合、駆動力伝達部５ｂは、振動子３と（特に移動方向であるＸ軸方向において）相対的な位置ずれ（いわゆる、メカ遅れ）が生じない構成であることが望ましい。
【００２５】
可動部は、Ｙ軸方向においてスライダー６を挟むように基台保持枠５側とムーブプレート１０側に２分割されているが、基台保持枠５およびムーブプレート１０はネジ１２により固定される。すなわち、固定部２４は、剛性が高い箇所である。また、可動部は、固有振動モードを有し、外力等で固有振動モードの周波数を持つ振動が励振されると共振し、剛性の低い箇所は変形してしまう。さらに、被駆動部に駆動力を伝達する駆動力伝達部５ｂは、剛性の弱い箇所に配置されると、連結される被駆動部から力を受けて変形してしまう可能性がある。
【００２６】
そこで、本実施例では、駆動力伝達部５ｂは、振動波モータ１００をＹ軸方向（加圧方向）から見た場合のＺ軸方向における振動子３の外側の領域のうち一方に設けられた固定部２４の近傍に設けられる。より具体的には、駆動力伝達部５ｂは、固定部２４に隣接した箇所に、加圧方向であるＹ軸方向において、少なくとも一部が固定部２４と重なるように設けられる。このように剛性が高い固定部２４の近傍に駆動力伝達部５ｂを設けることで、駆動力伝達部５ｂは可動部の固有振動や被駆動部からの力の影響を受けにくくなる。すなわち、駆動力伝達部５ｂのＸ軸方向における振動子３に対する相対的な位置ずれを抑制することができるため、駆動力伝達部５ｂは被駆動部に対して駆動力を安定して伝達することができる。結果として、被駆動部の制御性が向上する。
【００２７】
以上説明したように、本実施例では、振動波モータ１００の加圧方向であるＹ軸方向における小型化を実現するために、４本の引張コイルばね７を振動子３の４隅に配置している。この構成において、スライダー６を挟むように分割された可動部において、剛性が高い固定部２４の近傍に駆動力伝達部５ｂを設けている。
【００２８】
これにより、可動部が有する固有振動や被駆動部からの力の影響による駆動力伝達部５ｂのＸ軸方向における振動子３に対する相対的に位置ずれを抑制することができる。そのため、駆動力伝達部５ｂは、被駆動部に対して駆動力を安定して伝達することができる。
【００２９】
以上より、本実施例の振動波モータ１００は、振動子３に対する加圧方向において小型化できるとともに、駆動力をメカ遅れなく安定して伝達することができる。
【実施例２】
【００３０】
図６は、実施例１の振動波モータ１００を備える撮像装置（光学機器）２００の要部断面図である。撮像装置２００は、撮像素子１０１ａを備えるカメラ本体１０１と、カメラ本体１０１にマウント１１１を介して着脱可能に取り付けられるレンズ鏡筒１０２と、を有する。なお、レンズ鏡筒１０２は略回転対称形であるため、図６では上側半分のみを図示している。また、実施例１と同様の構成については説明を省略する。
【００３１】
レンズ鏡筒１０２は、ネジ等（不図示）によりマウント１１１に固定される外筒１１２を有する。外筒１１２には、レンズＧ１を保持する前鏡筒１１３およびレンズＧ３を保持する後鏡筒（固定筒）２０４が固定される。後鏡筒２０４には、振動波モータ１００のベース部材２２のフランジ部（不図示）がネジ等で固定される。ガイドバー２０２は、前鏡筒１１３および後鏡筒２０４に保持される。レンズＧ２を保持するフォーカスレンズ保持枠（以下、レンズ保持枠という）２０１は、振動波モータ１００により光軸Ｏに沿って直進移動可能にガイドバー２０２に保持される。以下の説明では、振動波モータ１００が被駆動部であるレンズ保持枠２０１を駆動する構成をレンズ駆動装置として説明する。
【００３２】
なお、本実施例では振動波モータ１００は撮像装置に搭載されているが、本発明はこれに限定されない。振動波モータ１００は、例えば、レンズユニット等の他の光学機器に搭載されてもよいし、光学機器とは異なる装置に搭載されてもよい。また、本実施例ではレンズ鏡筒１０２およびカメラ本体１０１は一体的に構成されているが、本発明はこれに限定されない。レンズ鏡筒１０２は、カメラ本体１０１に着脱可能に取り付けられてもよい。つまり、本発明でいうところの装置とは、振動波モータ１００と、振動波モータ１００からの駆動力によって駆動する部材（被駆動部）とを有する装置のことをいう。また、本実施例では振動波モータ１００は被駆動部であるレンズ保持枠を光軸Ｏに沿って移動させるために用いられるが、例えば、振れ補正レンズを備えるレンズ保持枠を光軸Ｏに直交する方向へ移動させるために用いてもよい。
【００３３】
図７は、レンズ駆動装置の斜視図である。第２のガイド部であるガイドバー２０２およびガイドバー２０３は、後鏡筒２０４に固定される。連結部材３０は、レンズ保持枠２０１に回動可能に取り付けられ、付勢部材３１によって駆動力伝達部５ｂに付勢される。
【００３４】
以下、図８から図１１を参照して、連結部材３０、および連結部材３０が付勢される方向について説明する。図８は、振動波モータ１００が取り付けられていない状態のレンズ駆動装置の斜視図である。図９は、レンズ駆動装置の主要部の上面図である。図１０および図１１はそれぞれ、図９のＥ−Ｅ線断面図およびＦ−Ｆ線断面図である。
【００３５】
連結部材３０は、駆動力伝達部５ｂと連結する、Ｚ軸に沿って延びるＶ字状の凹部３０ａを有する。付勢部材３１は、レンズ保持枠２０１に対して、矢印Ｃ方向（Ｘ軸と平行なＸ’−Ｘ”軸回り方向）および矢印Ｄ方向（Ｘ’−Ｘ”軸と平行な方向）へ連結部材３０を付勢する。駆動力伝達部５ｂの形状は、図１０に示されるように、凹部３０ａに係合する曲面を有する凸形状である。連結部材３０が付勢部材３１に付勢されると、駆動力伝達部５ｂは凹部３０ａに２か所で係合する。そのため、レンズ保持枠２０１は、連結部材３０を介して基台保持枠５に対してガタ付きなく保持される。
【００３６】
以上の構成により、振動波モータ１００の基台保持枠５を含む可動部が駆動すると、振動波モータ１００の駆動力は駆動力伝達部５ｂおよび連結部材３０を介してレンズ保持枠２０１に伝達される。レンズ保持枠２０１は、振動波モータ１００の駆動力により、ガイドバー２０２およびガイドバー２０３に沿って直線移動する。
【００３７】
図１１に示されるように、基台保持枠５およびムーブプレート１０は、固定部２４により連結される。本実施例では、基台保持枠５およびムーブプレート１０は、ネジ１２の矢印Ｇ方向への締結により固定される。また、連結部材３０は、矢印Ｈで示される付勢部材３１の付勢力により、駆動力伝達部５ｂを矢印Ｉ方向へ付勢する。ネジ１２の締結方向である矢印Ｇ方向は、連結部材３０の付勢方向である矢印Ｉ方向および振動子３およびスライダー６の相対的な移動方向であるＸ軸方向に略直交する。
【００３８】
固定部２４では、基台保持枠５とネジ１２はネジ溝の噛合いで強固に固定され、ムーブプレート１０とネジ１２はネジ１２の頭部周辺にて摩擦保持されているため、Ｙ軸方向とＺ軸方向において剛性が向上する。連結部材３０の付勢方向である矢印Ｉ方向は固定部２４において剛性が高いＹ軸方向と略同一であるため、連結部材３０の付勢力により駆動力伝達部５ｂのＸ軸方向における位置ずれを抑制することができる。
【００３９】
以上説明したように、本実施例の撮像装置２００では、振動波モータ１００の駆動力伝達部５ｂと被駆動部であるレンズ保持枠２０１とを連結する連結部材３０の駆動力伝達部５ｂに対する付勢方向を固定部２４の剛性が高い方向と一致させている。
【００４０】
これにより、振動波モータ１００の駆動時の駆動力伝達部５ｂに対する可動部が有する固有振動や連結部材３０からの付勢力による影響を抑制することができる。すなわち、振動波モータ１００は連結部材３０を介してレンズ保持枠２０１に安定して駆動力を伝達することができるため、レンズ保持枠２０１の位置決め精度を向上させることができる。
【００４１】
以上より、振動子に対する加圧方向において小型化できるとともに、駆動力をメカ遅れなく伝達可能な振動波モータを有する装置を提供することができる。
【実施例３】
【００４２】
本実施例では、実施例１の振動波モータ１００と異なる構成を有する振動波モータ３００を用いて被駆動部を駆動するレンズ駆動装置４００について説明する。振動波モータ３００の基本的な構成は、振動波モータ１００と同様であるが、基台保持枠およびムーブプレートを連結する固定部の構成が異なる。なお、振動波モータ１００と同様の構成については説明を省略する。
【００４３】
図１２は、レンズ駆動装置４００の斜視図である。図１３は、レンズ駆動装置４００の主要部の上面図である。図１４および図１５はそれぞれ、図１３のＪ−Ｊ線断面図およびＫ−Ｋ線断面図である。
【００４４】
振動波モータ３００では、基台保持枠（第２の保持部材）３５は駆動力伝達部を有しておらず、ムーブプレート（可動部材）４０が駆動力伝達部４０ｂを有する。駆動力伝達部４０ｂは、Ｚ軸に沿って伸びるＶ字状の溝である。連結部材３０には、駆動力伝達部４０ｂに係合する曲面を有する凸部３０ｂが設けられている。連結部材３０が付勢部材３１に付勢されると、駆動力伝達部４０ｂは凸部３０ｂに２か所で係合する。そのため、レンズ保持枠２０１は、連結部材３０を介してムーブプレート４０に対してガタ付きなく保持される。
【００４５】
図１５に示されるように、基台保持枠３５およびムーブプレート４０は、振動波モータ１００をＹ軸方向（加圧方向）から見た場合のＺ軸方向における振動子３の外側の領域のうち一方に設けられた固定部（連結部）３４で連結される。本実施例では、固定部３４は、基台保持枠３５に形成された孔３５ａ、ムーブプレート４０に形成されたネジ穴４０ａ、および孔３５ａを貫通し、ネジ穴４０ａに締結するネジ（締結部材）３２により構成される。すなわち、本実施例では、基台保持枠３５およびムーブプレート４０は、ネジ３２の矢印Ｌ方向への締結により固定される。また、連結部材３０は、矢印Ｍで示される付勢部材３１の付勢力により駆動力伝達部４０ｂを矢印Ｎ方向へ付勢する。ネジ３２の締結方向である矢印Ｌ方向は、連結部材３０の付勢方向である矢印Ｎ方向と略同一である。
【００４６】
固定部３４では、ムーブプレート４０とネジ３２はネジ溝の噛合いで強固に固定され、基台保持枠３５とネジ３２はネジ３２の頭部周辺にて摩擦保持されているため、Ｙ軸方向とＺ軸方向において剛性が向上する。駆動力伝達部４０ｂは、剛性が高い固定部３４の近傍に設けられることが好ましいため、本実施例では、振動波モータ１００をＹ軸方向（加圧方向）から見た場合のＺ軸方向における振動子３の外側の領域のうち一方に設けられた固定部３４の近傍に設けられる。より具体的には、駆動力伝達部４０ｂは、固定部３４に隣接した箇所に、移動方向および加圧方向に直交するＺ軸方向において、少なくとも一部が固定部３４と重なるように設けられる。このように剛性が高い固定部３４の近傍に駆動力伝達部４０ｂを設けることで、駆動力伝達部４０ｂは可動部の固有振動や被駆動部からの力の影響を受けにくくなる。すなわち、駆動力伝達部４０ｂのＸ軸方向における振動子３に対する相対的な位置ずれを抑制することができるため、駆動力伝達部４０ｂは被駆動部に対して駆動力を安定して伝達することができる。結果として、被駆動部の制御性が向上する。
【００４７】
また、固定部３４では、Ｙ軸方向におけるネジ溝の噛合いによる固定の剛性は、ネジ３２の頭部周辺の摩擦保持の剛性に比べて高い。したがって、連結部材３０の付勢方向を固定部３４の剛性が高いＹ軸方向と略同一とすることで、可動部の剛性をさらに上げることができる。そのため、連結部材３０の付勢力による駆動力伝達部４０ｂのＸ軸方向における振動子３に対する相対的な位置ずれを抑制することができる。
【００４８】
また、本実施例では、ネジ３２だけでなく、ネジ３３も用いて基台保持枠３５およびムーブプレート４０を連結する、すなわち可動部を両持ち構造としている。２本のネジの締結によって固定部が２か所になることで、可動部に生じる固有振動モードが変化し、可動部の剛性が向上する。したがって、可動部はＺ軸方向へネジ３３の大きさの分だけ大きくなってしまうが剛性が向上するため、薄型化による駆動力伝達部４０ｂの振動子３に対するＸ軸方向の相対的な位置ずれを抑制することができる。
【００４９】
なお、ネジ３２の締結だけでも可動部の剛性が高くなり、駆動力伝達部４０ｂのＸ軸方向における振動子３に対する相対的な位置ずれを抑制することができるが、ネジ３３の締結を追加し可動部を両持ち構造とすることがより好ましい。
【００５０】
以上説明したように、本実施例のレンズ駆動装置４００では、振動波モータ３００の駆動力伝達部４０ｂと被駆動部であるレンズ保持枠２０１とを連結する連結部材３０の付勢方向を固定部３４の剛性が高い方向（ネジ３２の締結方向）と一致させている。さらに、基台保持枠３５およびムーブプレート４０をスライダー６を挟んで配置されるネジ３２およびネジ３３を用いて連結する、すなわち、可動部を両持ち構造としている。
【００５１】
これにより、振動波モータ３００の駆動時の駆動力伝達部４０ｂに対する可動部が有する固有振動や連結部材３０からの付勢力による影響を抑制することができる。すなわち、振動波モータ３００は連結部材３０を介してレンズ保持枠２０１に安定して駆動力を伝達することができるため、レンズ保持枠２０１の位置決め精度を向上させることができる。
【００５２】
以上より、振動子に対する加圧方向において小型化できるとともに、駆動力をメカ遅れなく伝達可能な振動波モータを有する装置を提供することができる。
【００５３】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【符号の説明】
【００５４】
３              振動子
４              基台（第１の保持部材）
５、３５        基台保持枠（第２の保持部材）
５ｂ、４０ｂ    駆動力取り出し部
６              スライダー（接触部材）、
７              引張コイルばね（加圧手段）
１０、４０      ムーブプレート（可動板）
２４、３４      固定部（連結部）
１００、３００  振動波モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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