(57)【要約】【課題】被測定流体の熱が回路部へ伝わりにくく筒状部の内部に結露が生じても不都合が生じにくい物理量測定装置を提供する。【解決手段】内部空間２０を有する筒状部２と、筒状部２の一端部２４に設けられた第一ケース３と、第一ケース３に収容されたセンサ部５と、筒状部２の他端部２５に設けられた第二ケース４と、第二ケース４に収容された回路部６１と、センサ部５に対向するように配置された断熱部７１及び断熱部７１と筒状部２の内周面２８との間を封止する封止部７２を有し、筒状部２の一端部２４側においてセンサ部５と筒状部２の内部空間２０との間を仕切る第一仕切部材７と、筒状部２の他端部２５の開口縁２５１又は内周面２８に当接しつつ、筒状部２の他端部２５側において筒状部２の内部空間２０と回路部６１との間を仕切る断熱性の第二仕切部材９とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間を有する筒状部と、
前記筒状部の一端部に設けられた第一ケースと、
前記第一ケースに収容され、被測定流体の物理量に応じた信号を出力するセンサ部と、
前記筒状部の他端部に設けられた第二ケースと、
前記第二ケースに収容され、前記センサ部から入力された前記信号に基づいて前記被測定流体の物理量を演算する回路部と、
前記センサ部に対向するように配置された断熱部、及び、前記断熱部と前記筒状部の内周面との間を封止する封止部を有し、前記筒状部の一端部側において前記センサ部と前記筒状部の前記内部空間との間を仕切る第一仕切部材と、
前記筒状部の前記他端部の開口縁又は内周面に当接しつつ、前記筒状部の他端部側において前記筒状部の前記内部空間と前記回路部との間を仕切る断熱性の第二仕切部材と、を備えることを特徴とする物理量測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載された物理量測定装置において、
前記筒状部の前記内部空間には、空気が充填されており、
前記筒状部の外周断面は、前記筒状部の軸方向に沿って一定又は漸次径が変化する円形状であることを備えることを特徴とする物理量測定装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載された物理量測定装置において、
前記筒状部は、
前記第一ケース及び前記第一仕切部材が設けられた大径円筒部と、
前記第二ケース及び前記第二仕切部材が設けられた小径円筒部と、
前記大径円筒部と前記小径円筒部とを連結する連結円筒部と、を有していることを特徴とする物理量測定装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載された物理量測定装置において、
前記第一仕切部材の前記断熱部と前記第二仕切部材との少なくとも一方は、耐熱樹脂性パッキンであることを特徴とする物理量測定装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載された物理量測定装置において、
前記第一仕切部材の前記封止部は、前記断熱部の一方側の全面を覆う樹脂であることを特徴とする物理量測定装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載された物理量測定装置において、
前記第二ケースは、有底筒状の外ケースと、前記回路部が内側に配置され前記外ケースの内周に外周が嵌合する内ケースと、を有し、
前記筒状部の前記他端部は、前記外ケースを貫通した状態で前記外ケースの内側に配置されており、
前記第二仕切部材は、
前記外ケースの内側において前記筒状部の前記他端部の開口縁に当接しつつ当該他端部に嵌合する基部と、
前記内ケースに係合する係合部と、
前記外ケースの底部に当接する当接部と、を有することを特徴とする物理量測定装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載された物理量測定装置において、
前記第二仕切部材は、
前記筒状部の前記他端部の開口を覆うように配置された基部と、
前記基部から前記筒状部の前記内部空間に向かって延びつつ前記筒状部の前記他端部の前記内周面に当接する環状壁部と、を有し、
前記筒状部の前記内周面と前記環状壁部とは、互いの間に、前記筒状部の前記他端部側に向かって凹んだ溜まり部を形成することを特徴とする物理量測定装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載された物理量測定装置において、
前記センサ部は、ダイアフラムと、前記ダイアフラムを支持する基板とを有しており、
前記基板と前記ダイアフラムとの間には内部空間が形成され、
前記センサ部の前記内部空間と外部とを連通する気体流通部をさらに備えることを特徴とする物理量測定装置。
【請求項９】
請求項８に記載された物理量測定装置において、
前記第一仕切部材と前記基板の間の空間と前記筒状部の内部空間とを連通するパイプ部材をさらに備え、
前記パイプ部材のうち前記筒状部の前記内部空間に開口する一端部は、前記第一仕切部材から前記筒状部の前記内部空間に突出していることを特徴とする物理量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被測定流体の圧力等の物理量を検出するセンサ部と、センサ部が出力した信号を処理する回路部とを備えた物理量測定装置が知られている。この物理量測定装置には、被測定流体の熱を回路部に伝達させないタイプのものがある。
【０００３】
このタイプの物理量測定装置の従来例として、圧力を検出するセンサチップが受圧部に設けられ、受圧部で生じる熱を放熱するための冷却用フィンが圧力伝送器に設けられた圧力センサがある（特許文献１）。
他の従来例として、ガスの圧力を感知する静電容量式のセンサ及びセンサを加熱するヒータがセンサ収容部に収容され、センサが出力した信号を処理する回路部が回路収容部に収容され、センサ収容部と回路収容部とが伝熱防止部で仕切られる静電容量式圧力センサがある（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３-４２８６９号公報
【特許文献２】特許第４５６３３１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の従来例では、冷却用フィンが圧力伝送器に設けられているので、効果的な放熱のためには、冷却フィンの周囲に対流が必要とされる。冷却フィンでの十分な冷却効果が得られないと、受圧部の熱が圧力伝送器を通じて回路部に伝達されることになり、測定精度が低下する。
【０００６】
特許文献２の従来例では、回路収容部の周囲が冷やされると、回路収容部の内部に結露が生じるおそれがある。回路収容部が下側に位置し、センサ収容部が上側に位置するように圧力センサを配置すると、回路収容部で生じた結露が回路部に伝わってしまい、故障等が生じるという不都合がある。
【０００７】
本発明の目的は、被測定流体の熱が回路部へ伝わりにくく筒状部の内部に結露が生じても不都合が生じにくい物理量測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の物理量測定装置は、内部空間を有する筒状部と、前記筒状部の一端部に設けられた第一ケースと、前記第一ケースに収容され、被測定流体の物理量に応じた信号を出力するセンサ部と、前記筒状部の他端部に設けられた第二ケースと、前記第二ケースに収容され、前記センサ部から入力された前記信号に基づいて前記被測定流体の物理量を演算する回路部と、前記センサ部に対向するように配置された断熱部、及び、前記断熱部と前記筒状部の内周面との間を封止する封止部を有し、前記筒状部の一端部側において前記センサ部と前記筒状部の前記内部空間との間を仕切る第一仕切部材と、前記筒状部の前記他端部の開口縁又は内周面に当接しつつ、前記筒状部の他端部側において前記筒状部の前記内部空間と前記回路部との間を仕切る断熱性の第二仕切部材と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明では、センサ部が、被測定流体の物理量、例えば圧力に応じた信号を回路部に出力する。回路部は、センサ部から入力された信号に基づいて、被測定流体の物理量を演算する。
被測定流体の温度が物理量測定装置の周囲の温度よりも高い又は低い場合、被測定流体の熱がセンサ部に伝わる。この熱は、さらに筒状部を介して第二ケース内の回路部に伝わろうとする。しかし、筒状部の一端部側には、第一仕切部材の断熱部がセンサ部に対向して配置されている。断熱部は、センサ部の熱が筒状部の内部空間に伝わることを抑制する。
また、筒状部の内部空間は、第一仕切部材と第二仕切部材との間に仕切られた層を形成しており、センサ部の熱が第二ケース内に伝わることを抑制する。
さらに、第二仕切部材は断熱性であるため、第一仕切部材の断熱部及び筒状部の内部空間によって熱伝達を完全に阻止することができない場合でも、断熱性の第二仕切部材によって筒部の内部空間から回路部への熱伝達が抑制される。
以上のように、本発明の物理量測定装置では、断熱部を有する第一仕切部材と、第一仕切部材と第二仕切部材との間に仕切られた筒状部の内部空間と、断熱性の第二仕切部材とが、それぞれ断熱を行う。このため、被測定流体から受けたセンサ部の熱が回路部に伝わることを抑制できる。よって、回路部への熱の影響が小さいものとなり、測定精度の低下を防止できる。
【００１０】
また、本発明では、筒状部の内部に結露が生じても不都合が生じにくい。
具体的には、筒状部の一端部側では、第一仕切部材の封止部が断熱部と筒状部の内周面との間を封止しているため、筒状部の内部空間から第一ケース内に結露が流入することがない。よって、センサ部が濡れによって故障することが防止される。
また、筒状部の他端部側では、第二仕切部材が、筒状部の他端部の開口縁又は内周面に当接しつつ、筒状部の内部空間と回路部との間を仕切っている。このため、第二ケースが下側になって物理量測定装置が設置され、筒状部の一端部側から筒状部の内周面を伝って結露が流れてきても、第二仕切部材が結露の流れをせき止める。よって、結露は、第二ケースに流入することがなく、回路部が水滴付着によって故障することが防止される。
【００１１】
本発明において、前記筒状部の前記内部空間には、空気が充填されており、前記筒状部の外周断面は、前記筒状部の軸方向に沿って一定又は漸次径が変化する円形状であることが好ましい。
このような構成によれば、物理量測定装置を、十分な衛生環境が求められている環境下、例えば、食品製造ライン、医薬製造ライン、又は化粧品製造ラインにおいて、好適に使用することができる。即ち、本発明の物理量測定装置には、従来技術のような冷却フィンが設けられておらず、筒状部は、その外周面がなだらかな形状を有する。このため、冷却フィンのような細かな凹部を洗浄する作業が発生せず、洗浄作業が容易である。
また、筒状部の内部空間に、冷却液ではなく、空気を充填しているため、漏れによる外部環境への悪影響の心配がない。
さらに、筒状部の内部空間に空気を充填していることにより、冷却液を充填する場合に比べて、筒部の厚みを薄くできる。このため、センサ部を収容する第一ケースから筒状部を介して第二ケースに熱が伝わることを抑制できる。また、筒状部の内部空間に形成された空気層による断熱も可能である。
【００１２】
本発明において、前記筒状部は、前記第一ケース及び前記第一仕切部材が設けられた大径円筒部と、前記第二ケース及び前記第二仕切部材が設けられた小径円筒部と、前記大径円筒部と前記小径円筒部とを連結する連結円筒部と、を有していることが好ましい。
このような構成によれば、第二ケース及び小径円筒部の各大きさを変更せず、全体の大きさを抑えたまま、大径円筒部を大きく構成することができる。大径円筒部を大きく構成することにより、その表面積が大きくなるため、大きな放熱効果を得ることができる。また、大径円筒部の大きさが異なる様々なバリエーションの物理量測定装置を製造する場合、第二ケース及び第二仕切部材を共通の部品にすることによって、低コスト化が可能である。
【００１３】
本発明において、前記第一仕切部材の前記断熱部と前記第二仕切部材との少なくとも一方は、耐熱樹脂性パッキンであることが好ましい。
このような構成によれば、第一仕切部材の断熱部及び第二仕切部材の各構成を簡易なものにでき、筒状部への装着が容易になる。
【００１４】
本発明において、前記第一仕切部材の前記封止部は、前記断熱部の一方側の全面を覆う樹脂であることが好ましい。
このような構成によれば、筒状部に断熱部が設置された状態で、筒状部に他端部側から樹脂を流し入れることによって、封止部を形成することができる。これにより、封止部の設置が容易になる。
【００１５】
本発明において、前記第二ケースは、有底筒状の外ケースと、前記回路部が内側に配置され前記外ケースの内周に外周が嵌合する内ケースと、を有し、前記筒状部の前記他端部は、前記外ケースを貫通した状態で前記外ケースの内側に配置されており、前記第二仕切部材は、前記外ケースの内側において前記筒状部の前記他端部の開口縁に当接しつつ当該他端部に嵌合する基部と、前記内ケースに係合する係合部と、前記外ケースの底部に当接する当接部とを有していてもよい。
このような構成によれば、第二仕切部材を用いて、第二ケースを筒状部に容易に設けることができる。例えば、筒状部の他端部が外ケースを貫通した状態で第二仕切部材の基部を当該他端部に嵌合し、当接部を外ケースの底部に当接させる。そして、内ケースを外ケースに嵌合させつつ、第二仕切部材の係合部を内ケースに係合させる。これにより、筒状部、外ケース、及び、内ケースが第二仕切部材を介して互いに連結する。すなわち、第二仕切部材は、外ケースの内周に沿って内ケースが回動することを阻止し、かつ、内ケースが外ケースから抜けないように抜け止めを行う留め具としても機能する。
【００１６】
本発明において、前記第二仕切部材は、前記筒状部の前記他端部の開口を覆うように配置された基部と、前記基部から前記筒状部の前記内部空間に向かって延びつつ前記筒状部の前記他端部の前記内周面に当接する環状壁部と、を有し、前記筒状部の前記内周面と前記環状壁部とは、互いの間に、前記筒状部の前記他端部側に向かって凹んだ溜まり部を形成してもよい。
このような構成によれば、第二ケースが下側になって物理量測定装置が設置された場合、筒状部の内周面を伝って流れてくる結露は、溜まり部に流れ込んで捕捉される。このため、結露が第二ケースに流入することをより確実に防止できる。
【００１７】
本発明において、前記センサ部は、ダイアフラムと、前記ダイアフラムを支持する基板とを有しており、前記基板と前記ダイアフラムとの間には内部空間が形成され、前記センサ部の前記内部空間と外部とを連通する気体流通部をさらに備えてもよい。
このような構成によれば、センサ部の内部空間は、気体流通部を介して外部に開放されている。よって、被測定流体の熱を受けてセンサ部の温度が変化しても、当該内部空間の圧力変化を防止できるため、正確な測定が可能である。
【００１８】
本発明は、前記第一仕切部材と前記基板の間の空間と前記筒状部の内部空間とを連通するパイプ部材をさらに備え、前記パイプ部材のうち前記筒状部の前記内部空間に開口する一端部は、前記第一仕切部材から前記筒状部の前記内部空間に突出していてもよい。
【００１９】
このような構成によれば、第一仕切部材と基板との間の空間は、パイプ部を介して、筒状部の内部空間に開放される。よって、被測定流体の熱を受けてセンサ部の温度が変化しても、当該空間の圧力変化を防止できるため、正確な測定が可能である。また、パイプ部材の突出形状によれば、筒状部の内部空間に発生した結露は、パイプ部材内に侵入し難いため、パイプ部材を介してセンサ部に流入することが防止される。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第一実施形態の物理量測定装置を示す斜視図。
【図２】第一実施形態の物理量測定装置を示す断面図。
【図３】第一実施形態の物理量測定装置のうち、外ケースの内側を一部省略して示す斜視図。
【図４】図３のIV-IV線に沿う断面図。
【図５】第二仕切部材を示すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は底面図。
【図６】本発明の第二実施形態を示す断面図。
【図７】第二実施形態の物理量測定装置のうち、第二ケースの内側を一部省略して示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
〔第一実施形態〕
本発明の第一実施形態にかかる物理量測定装置１を図１〜図５に基づいて説明する。本実施形態の物理量測定装置は、圧力を検出するセンサを備える圧力測定装置として構成される。
図１および図２に示すように、物理量測定装置１は、筒状部２、筒状部２の一端部２４に設けられた第一ケース３、筒状部２の他端部２５に設けられた第二ケース４、第一ケース３に収容されたセンサ部５、センサ部５と筒状部２の内部空間２０との間を仕切る第一仕切部材７、筒状部２の内部空間２０と回路部６１との間を仕切る第二仕切部材９、並びに、第二ケース４に収容された回路部６１、表示部６２、及び電源部６３等を備える。
【００２２】
筒状部２は、例えばステンレス等の金属製であり、その内部空間２０には空気が充填されている。
また、筒状部２は、第一ケース３側に配置された大径円筒部２１と、第二ケース４側に配置された小径円筒部２２と、大径円筒部２１と小径円筒部２２とを接続する連結円筒部２３とを有する。
大径円筒部２１、小径円筒部２２、及び、連結円筒部２３は、厚みが等しく、大径円筒部２１は小径円筒部２２よりも直径が大きい。
また、大径円筒部２１と小径円筒部２２とは、それぞれ、軸方向に沿った断面が直線状であり、軸方向と直交する方向に沿った外周断面が円形状である。連結円筒部２３の直径は、大径円筒部２１から小径円筒部２２に向けて漸次縮径している。
【００２３】
第一ケース３は、例えばステンレス等の金属製であり、肉厚の筒部３１と、筒部３１の下側において径方向外側に広がるフランジ部３２とを有する。筒部３１の厚みは、筒状部２の厚みより厚く形成されている。筒状部２の一端部２４は、第一ケース３の筒部３１の外周に嵌合している。
第二ケース４は、例えばステンレス等の金属製であり、外ケース４１と、内ケース４２とを備える。外ケース４１と内ケース４２とは第二仕切部材９によって回り止めされる。
外ケース４１は、有底筒状であり、筒状部２に対して軸方向が直交するように配置された円筒部４１１と、円筒部４１１の一方の開口を閉塞する底部４１２とを有する。円筒部４１１には、筒状部２の他端部２５が挿通される孔４１３が形成されている。
【００２４】
内ケース４２は、その外周面が外ケース４１の円筒部４１１の内周面に嵌合しており、その内側に、回路部６１、表示部６２、及び電源部６３等を収容している。
また、内ケース４２は、筒状部２の他端部２５に隣接して配置される隔壁部４２０を有している。隔壁部４２０は、後述する第二仕切部材９の係合部９３を間に挟んで筒状部２の他端部２５を覆うように配置される上壁４２１と、係合部９３の正面側に配置される正面壁４２２と、正面壁４２２から延びて係合部９３を両側から挟む２つの側壁４２３とを有する。隔壁部４２０の上壁４２１には、後述するチューブ８２３との干渉を避けるための溝４２４が形成されている。また、隔壁部４２０の正面壁４２２には、係合部９３が係合するための２つの係合孔４２５を有する。
外ケース４１及び内ケース４２の正面側には、正面板４３が設けられている。正面板４３のうち表示部６２に対向する部分には、ガラス窓４４が設けられている。
【００２５】
センサ部５は、第一ケース３の内側に配置されている。本実施形態のセンサ部５は、静電容量型であり、ダイアフラム５１、基板５２、及び、出力基板５３を有する。
ダイアフラム５１は、第一ケース３の開口３３から外部に面するように配置され、接触した被測定物の圧力変化に伴い変形可能である。基板５２は、ダイアフラム５１との間に内部空間５４を有しており、内部空間５４の周囲でダイアフラム５１を支持している。
出力基板５３には、ＡＳＩＣ等の電子部品が搭載されている。出力基板５３は、被測定物の圧力変化を、ダイアフラム５１および基板５２の各々に形成された電極（図示せず）間の静電容量の変化として検出し、容量信号として出力する。
なお、出力基板５３には、後述するチューブ８２３を挿通するための大きめの孔が形成されており、出力基板５３の両面側の空間は、出力基板５３によって完全に隔離されない。
【００２６】
回路部６１は、第二ケース４の内ケース４２に収容されており、電子部品が搭載された制御基板６１１を有する。制御基板６１１は、配線部６４を介して、センサ部５に電気的に接続されており、センサ部５から容量信号が入力される。
なお、配線部６４は、内ケース４２内に固定された接続用基板６４１と、一端がセンサ部５の出力基板５３に接続され、他端が接続用基板６４１に接続された第１配線６４２と、一端が接続用基板６４１に接続され、他端が回路部６１の制御基板６１１に接続された第２配線６４３とを有する。
また、回路部６１は、表示部６２に電気的に接続されている。回路部６１は、センサ部５から容量信号が入力されると、この容量信号に基づく被測定流体の圧力値を演算し、この圧力値を表示させるための制御信号を表示部６２に出力する。
【００２７】
表示部６２は、表示素子を備え、回路部６１から入力される制御信号に基づいて、被測定流体の圧力値を表示素子に表示する。表示素子は、例えば有機ＥＬや液晶などである。
電源部６３は、例えば複数の乾電池６３１を有する。電源部６３は、センサ部５、回路部６１、及び表示部６２等に電気的に接続され、これらが動作するための電力を供給する。
【００２８】
第一仕切部材７は、筒状部２の一端部２４に設けられており、センサ部５に対向するように配置された断熱部７１と、断熱部７１に対してセンサ部５とは反対側に配置された封止部７２とを有する。
断熱部７１は、例えば耐熱樹脂性のパッキンであり、筒状部２の一端側開口２４０と第一ケース３の筒状部２側の開口３４とをそれぞれ封止している。
【００２９】
封止部７２は、断熱部７１の一方側の全面を、筒状部２の内部空間２０側から覆うように配置された樹脂である。封止部７２は、例えば、筒状部２の一端部２４に断熱部７１が設置された状態で、筒状部２の他端部２５側から筒状部２内に樹脂を流し入れることによって形成されるモールド樹脂である。封止部７２は、断熱部７１と筒状部２の内周面２８との間を封止している。
【００３０】
第一仕切部材７には、第一仕切部材７を貫通し、筒状部２の内部空間２０側に突出するパイプ部材８１が設けられている。パイプ部材８１は、その一端部８１１が、筒状部２の内部空間２０に開口しており、その他端部８１２が、第一仕切部材７と基板５２との間の空間５５に開口している。
【００３１】
第二仕切部材９は、例えば一体成形された耐熱性の樹脂であり、筒状部２の他端部２５に設けられている。第二仕切部材９の構成について、さらに図３〜図５を参照して説明する。なお、図３では、第二ケース４の外ケース４１の内側の図示を一部省略している。
これらの図において、第二仕切部材９は、板状の基部９１と、基部９１の一方の端縁に一体形成された当接部９２と、基部９１の一方の端縁とは反対側の他方の端縁に一体形成された係合部９３とを有する。
【００３２】
基部９１は、外ケース４１の孔４１３を挿通した状態の筒状部２の他端部２５に配置されている。基部９１の筒状部２側の面９１１には、略円形状の凹部９１２が形成されている。凹部９１２には、筒状部２の他端部２５が嵌合しており、これにより、基部９１は、筒状部２の他端部２５の開口縁２５１に当接している。
また、基部９１の凹部９１２の内側には、配線部６４の第１配線６４２と後述する気体流通部８２とが挿通される挿通孔９１３が形成されている。挿通孔９１３は、筒状部２の開口縁２５１よりも径方向内側に配置される。
また、基部９１の一方の縁からは当接部９２が延びており、基部９１の当接部９２とは反対側の縁には溝９１４が形成されている。基部９１は、隔壁部４２０の側壁４２３によって両側から挟まれており、隔壁部４２０の上壁４２１によって少なくとも溝９１４を含む部分が覆われている。
【００３３】
当接部９２は、基部９１から径方向外側に直線状に延びて、外ケース４１の底部４１２に当接している。
係合部９３は、基部９１に形成された溝９１４内から径方向外側に突出して形成された２つの爪部９３１を有する。爪部９３１は、隔壁部４２０の正面壁４２２に形成された係合孔４２５を挿通し、その縁部４２６に弾性的に係合する。
【００３４】
気体流通部８２は、センサ部５の内部空間５４と物理量測定装置１の外部とを連通する。具体的には、気体流通部８２は、外ケース４１に設けられた開放部８２１と、外ケース４１の内側に固定された筒状のチューブ接続部８２２と、一端がチューブ接続部８２２に接続されたチューブ８２３とを有する。
開放部８２１は、外ケース４１に形成された孔４１４を覆うように配置された椀状の部材であり、その側面には複数の開口８２４が形成されている。チューブ８２３は、基板５２及び第一仕切部材７を貫通し、出力基板５３及び第二仕切部材９の各々に設けられた孔を挿通している。チューブ８２３の一端部８２５は、チューブ接続部８２２及び開放部８２１を介して、外部に連通している。チューブ８２３の他端部８２６は、センサ部５の内部空間５４内で開口している。
【００３５】
〔第一実施形態の効果〕
本実施形態では、次の効果を奏することができる。
（１）断熱部７１を有する第一仕切部材７と、第一仕切部材７と第二仕切部材９との間に仕切られた筒状部２の内部空間２０と、断熱性の第二仕切部材９とで、それぞれ断熱を行うため、被測定流体から受けたセンサ部５の熱が回路部６１、表示部６２及び電池部６３に伝わることを抑制できる。しかも、筒状部２の内部空間２０の温度とその周囲の温度との差異が大きく、筒状部２の内部空間２０に結露が生じる場合であっても、回路部６１に対する結露による故障などの不都合を防止できる。つまり、筒状部２の一端部２４側では、第一仕切部材７の封止部７２が、断熱部７１と筒状部２の内周面２８との間を封止しているため、筒状部２の内部空間２０から第一ケース３内に結露が流入することがない。第二仕切部材９は、筒状部２の他端部２５の開口縁２５１に当接しつつ、筒状部２の内部空間２０と回路部６１との間を仕切っているため、第二ケース４が下側になって物理量測定装置１が設置されても、筒状部２の内周面２８を伝って流れてくる結露は、第二仕切部材９によって流れをせき止められる。
また、本実施形態では、第二ケース４内に回路部６１だけでなく、表示部６２及び電源部６３が収容されている。このため、本実施形態では、表示部６２及び電源部６３に対してセンサ部５の熱が伝わることを抑制でき、かつ、表示部６２及び電源部６３に対して結露が悪影響を及ぼすことを防止できる。
【００３６】
（２）本実施形態の物理量測定装置１には、従来技術のような冷却フィンが設けられておらず、筒状部２は、その外周面２９がなだらかな形状を有する。このため、冷却フィンのような細かな凹部を洗浄する作業が発生せず、洗浄作業が容易である。よって、物理量測定装置１を、十分な衛生環境が求められている環境下において好適に使用することができる。筒状部２の内部空間２０に空気を充填していることにより、冷却液を充填する場合に比べて、筒状部２の厚みを薄くできる。このため、センサ部５を収容する第一ケース３から筒状部２を介して第二ケース４に熱が伝わることを抑制できる。また、筒状部２の内部空間２０に形成された空気層による断熱も可能である。
【００３７】
（３）筒状部２の形状によれば、第二ケース４及び小径円筒部２２の各大きさを変更せず、全体の大きさを抑えたまま、大径円筒部２１を大きく構成することができる。大径円筒部２１を大きく構成することにより、その表面積が大きくなるため、大きな放熱効果を得ることができる。また、大径円筒部２１の大きさが異なる様々なバリエーションの物理量測定装置１を製造する場合、第二ケース４及び第二仕切部材９を共通の部品にすることによって、低コスト化が可能である。
【００３８】
（４）第一仕切部材７の断熱部７１が耐熱樹脂性パッキンであるため、断熱部７１の構成を簡易なものにでき、筒状部２への装着が容易になる。
（５）本実施形態では、筒状部２に断熱部７１が設置された状態で、筒状部２内に樹脂を流し入れることによって、封止部７２を形成することができる。これにより、封止部７２の設置が容易になる。
【００３９】
（６）センサ部５の内部空間５４は、気体流通部８２を介して外部に開放されている。よって、被測定流体の熱を受けてセンサ部５の温度が変化しても、この内部空間５４の圧力変化を防止できるため、正確な測定が可能である。
（７）第一仕切部材７と基板５２との間の空間５５は、パイプ部材８１を介して、筒状部２の内部空間２０に開放されている。よって、被測定流体の熱を受けてセンサ部５の温度が変化しても、この空間５５の圧力変化を防止できるため、正確な測定が可能である。また、パイプ部材８１の突出形状によれば、筒状部２の内部空間２０に発生した結露は、パイプ部材８１内に侵入し難いため、パイプ部材８１を介してセンサ部５に流入することが防止される。
【００４０】
（８）本実施形態では、第二仕切部材９を用いて、第二ケース４を筒状部２に容易に設けることができる。例えば、筒状部２の他端部２５が外ケース４１を貫通した状態で第二仕切部材９の基部９１を他端部２５に嵌合し、当接部９２を外ケース４１の底部４１２に当接させる。そして、内ケース４２を外ケース４１に嵌合させつつ、第二仕切部材９の係合部９３を内ケース４２に係合させる。これにより、筒状部２、外ケース４１、及び、内ケース４２が第二仕切部材９を介して互いに連結する。すなわち、第二仕切部材９は、外ケース４１の内周に沿って内ケースが回動することを阻止し、かつ、内ケースが外ケースから抜けないように抜け止めを行う留め具としても機能する。このように第二仕切部材９が外ケース４１と内ケース４２との回り止めをする留め具を兼ねることにより、部品点数が減少され、製造コストを低くできる。
【００４１】
（９）第二仕切部材９の基部９１には、係合部９３を形成するための溝９１４が形成されているが、内ケース４２の隔壁部４２０が、基部９１の溝９１４を覆っているため、結露が内ケース４２内に侵入することが防止される。
（１０）第二仕切部材９の基部９１は、隔壁部４２０に覆われていない領域において、筒状部２の他端側開口２５０のうち少なくとも開口縁２５１に隣接する部分を覆っているため、第二仕切部材９の基部９１は、筒状部２の内周面２８を伝ってくる結露の流れを阻止することができる。つまり、第二仕切部材９の基部９１に挿通孔９１３が形成されており、内ケース４２の隔壁部４２０は、挿通孔９１３にチューブ８２３が挿入される関係上、挿通孔９１３を完全に覆うことはできないが、本実施形態では、挿通孔９１３は、筒状部２の他端部２５の開口縁２５１よりも径方向内側に配置されているので、結露の流れを阻止できる。
【００４２】
〔第二実施形態〕
本発明の第二実施形態にかかる物理量測定装置１０を図６及び図７に基づいて説明する。なお、第二実施形態では、第一実施形態と同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。また、図７では、第二ケース４０の内側の図示を一部省略している。
【００４３】
第二実施形態では、第二ケース４０の構成、第二ケース４０内に配置される各部材の構成、及び、第二仕切部材９０の構成が第一実施形態と異なる。
第二ケース４０は、第一実施形態の外ケース４１に相当する構成を有し、内ケースを備えない。具体的には、第二ケース４０は、筒状部２に対して軸方向が直交するように配置された円筒部４１１と、円筒部４１１の一方の開口を閉塞する底部４１２とを有する。
【００４４】
回路部６１０は、２つの制御基板６１２，６１３を有しており、これらは互いに平行に配置されている。一方の制御基板６１３には、センサ部５の出力基板５３から延びる配線６５が接続されている。
また、第二ケース４０内には、電源部が配置されていないため、制御基板６１３は、図示しない配線を介して外部の電源に接続されている。
【００４５】
第二仕切部材９０は、耐熱樹脂性パッキンであり、筒状部２の他端部２５に設けられた基部９４と、基部９４から筒状部２の内部空間２０側に延びるように形成された環状壁部９５とを有する。
基部９４は、筒状部２の他端側開口２５０を塞ぐように配置されている。基部９４には、チューブ８２３を挿通させる挿通孔９４１、及び、配線６５を挿通させる挿通孔９４２がそれぞれ形成されている。チューブ８２３及び配線６５は、挿通孔９４１，９４２の各内面に密着して挿通している。
【００４６】
環状壁部９５は、小径円筒部２２の内周面に沿って筒状部２に当接している。また、環状壁部９５は、連結円筒部２３の内周面との間に、筒状部２の他端部２５側に向かって凹んだ溜まり部９６を形成している。
【００４７】
〔第二実施形態の効果〕
第二実施形態では、第一実施形態の効果（１）〜（７）と同様の効果を奏する他、次の効果を奏することができる。
（１１）第二仕切部材９０は、筒状部２の他端部２５に設けられた基部９４と、基部９４から筒状部２の内部空間２０側に延びるように形成された環状壁部９５とを有し、環状壁部９５は筒状部２の他端部２５側に向かって凹んだ溜まり部９６を形成している。そのため、第二ケース４０が下側になって物理量測定装置１０が設置された場合、筒状部２の内周面２８を伝って流れてくる結露は、溜まり部９６に流れ込んで捕捉される。このため、結露が第二ケース４０に流入することをより確実に防止できる。
【００４８】
〔変形例〕
本発明は前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、筒状部２の内部空間２０に空気を充填した構成としたが、本発明では、空気ではなく、冷却液等が充填されていてもよい。この場合、第二仕切部材９，９０の挿通孔９１３，９４１，９４２や溝９１４はパテ等で封止すればよい。
【００４９】
また、筒状部２は、大径円筒部２１や小径円筒部２２を備えず、単純な円筒形状であってもよい。この場合、第二実施形態において、溜まり部９６を形成するために、第二仕切部材９０の環状壁部９５は、基部９４側で筒状部２の内周面２８に当接しつつ、基部９４から離れるに従って当該内周面２８から離れるように構成されてもよい。
さらに、第一仕切部材７において、封止部７２は、断熱部７１の全面を覆わなくてもよく、例えば、断熱部７１と筒状部２の内周面２８との間のみを封止するものであってもよい。
【００５０】
また、前実施形態では、第二ケース４の内側に表示部６２が収容され、センサ部５か検出した圧力値が表示部６２に表示される構成としたが、本発明では、物理量測定装置が表示部を備えず、センサ部によって検出された圧力値の信号が外部に送られてもよい。
【００５１】
前述の各実施形態では、物理量測定装置１，１０を、圧力を検出するセンサ部５を備えた圧力測定装置として説明したが、本発明では、圧力を用いて測定できるものであれば、圧力以外の物理量、例えば、差圧や温度を検出するセンサを備えた物理量測定装置としてもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１，１０…物理量測定装置、２…筒状部、３…第一ケース、４，４０…第二ケース、５…センサ部、７…第一仕切部材、９，９０…第二仕切部材、２０…内部空間、２１…大径円筒部、２２…小径円筒部、２３…連結円筒部、２４…一端部、２５…他端部、２８…内周面、４１…外ケース、４２…内ケース、５１…ダイアフラム、５２…基板、５３…出力基板、５４…内部空間、６１…回路部、７１…断熱部、７２…封止部、８１…パイプ部材、８２…気体流通部、９１…基部、９２…当接部、９３…係合部、９４…基部、９５…環状壁部、９６…溜まり部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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