(57)【要約】【課題】平面研削において、被削材の表面におけるびびり等の発生を抑制することが可能な砥石及び平面研削盤を提供すること。【解決手段】平面研削盤に用いられる砥石であって、外周面に設けられる複数の第１のらせん溝と、前記外周面に設けられる複数の第２のらせん溝であって、前記複数の第１のらせん溝のそれぞれと交差する複数の第２のらせん溝と、を備える。【選択図】図４
2018027574.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面研削盤に用いられる砥石であって、
外周面に設けられる複数の第１のらせん溝と、
前記外周面に設けられる複数の第２のらせん溝であって、前記複数の第１のらせん溝のそれぞれと交差する複数の第２のらせん溝と、を備える、
砥石。
【請求項２】
前記複数の第１のらせん溝のそれぞれ、及び前記複数の第２のらせん溝のそれぞれは、平行であり、
各前記複数の第１のらせん溝及び各前記複数の第２のらせん溝の前記外周面の１周あたりの幅方向の移動量は、０．１ｍｍ以上であり、
前記外周面の幅方向における前記複数の第１のらせん溝のうちの隣接する２つ及び前記複数の第２のらせん溝のうちの隣接する２つの間隔は、０．５ｍｍ以下であり、
前記間隔は、前記移動量よりも小さい、
請求項１に記載の砥石。
【請求項３】
前記第１のらせん溝の方向、又は前記第２のらせん溝の方向において、前記複数の第１のらせん溝のうちの何れか２つと前記複数の第２のらせん溝のうちの何れか２つとで囲まれる山が、前記外周面の１周あたり３つ以上設けられる、
請求項１又は２に記載の砥石。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の砥石を備える、
平面研削盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面研削盤に用いられる砥石等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、平面研削盤で用いられる砥石（砥石車）が知られている。（例えば、特許文献１等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２２６６３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、砥石は、使用と共に目詰まりが生じ、研削性能が低下する。そのため、研削性能を再生するドレッシング作業（目立て作業）が行われる場合がある。
【０００５】
ドレッシング作業では、例えば、単石タイヤモンドを備えるドレッサで、砥粒の外径よりも小さい（例えば、数μｍ〜数十μｍ程度の）切込み（ドレス溝）を砥石の外周面に生成する。具体的には、回転する砥石に対してドレッサを接触させつつ、砥石の幅方向に移動させる動作を往復で行う。当該ドレッシング作業によれば、ドレッサを幅方向に移動させる往路動作により、砥石の外周面にらせん状の一のドレス溝が生成されると共に、復路動作により、一のドレス溝と交差するらせん状の他のドレス溝が生成される。即ち、交差する一のドレス溝及び他のドレス溝により、底面が略菱形の錐体、即ち、略四角錐状の山（以下、ドレス山と称する）が生成される。
【０００６】
しかしながら、当該ドレッシング作業で再生された砥石には、一のドレス溝と他のドレス溝の交差で生成されるドレス山が、周方向（即ち、回転方向）で１８０°対称な２つの角度位置にしか生成されない。すると、砥石を用いて平面研削を行う場合、被削材は、ドレス山の頂点付近で研削されるため、砥石の回転に応じて、周期的にドレス山で削られる部分に対して、ドレス山で削られない範囲が広くなり、被削材の表面にうねり（びびり）が発生する可能性がある。
【０００７】
そこで、上記課題に鑑み、平面研削において、被削材の表面におけるびびり等の発生を抑制することが可能な砥石及び平面研削盤を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、一実施形態では、
平面研削盤に用いられる砥石であって、
外周面に設けられる複数の第１のらせん溝と、
前記外周面に設けられる複数の第２のらせん溝であって、前記複数の第１のらせん溝のそれぞれと交差する複数の第２のらせん溝と、を備える、
砥石が提供される。
【０００９】
また、前記砥石を備える、
平面研削盤が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
上述の実施形態によれば、平面研削において、被削材の表面におけるびびり等の発生を抑制することが可能な砥石及び平面研削盤を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態に係る平面研削盤の構成の一例を概略的に示す図である。
【図２】本実施形態に係るドレッシング装置の構成の一例を示す図である。
【図３】本実施形態に係るドレッシング方法の一例を説明する図である。
【図４】比較例に係るドレッシング装置でドレッシング作業を行った砥石の一例、及び本実施形態に係るドレッシング装置でドレッシング作業を行った砥石の一例を示す図である。
【図５】本実施形態に係るドレッシング装置の構成の他の例を概略的に示す図である。
【図６】ドレッサの配置態様を具体的に説明する図である。
【図７】本実施形態に係るドレッシング方法の他の例を説明する図である。
【図８】本実施形態に係るドレッシング方法の他の例を説明する図である。
【図９】本実施形態に係るドレッシング装置の構成の更に他の例を概略的に示す図である。
【図１０】ドレッサの配置態様を具体的に説明する図である。
【図１１】本実施形態に係るドレッシング方法の更に他を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。
【００１３】
［平面研削盤の構成］
まず、図１を参照して、本実施形態に係る平面研削盤１について説明する。
【００１４】
図１は、本実施形態に係る平面研削盤１の構成の一例を概略的に示す図である。
【００１５】
平面研削盤１は、可動テーブル１０、テーブル案内機構１１、砥石ヘッド１５、砥石１６、案内レール１８、制御装置２０、表示装置４０を有する。
【００１６】
尚、図中、Ｘ方向は、可動テーブル１０の移動方向を表し、Ｙ方向は、Ｘ方向に直交する砥石ヘッド１５の移動方向を表し、Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向を表す。
【００１７】
可動テーブル１０は、テーブル案内機構１１によってＸ方向に移動可能に設けられ、研削対象の被削材１２が載置される。
【００１８】
テーブル案内機構１１は、例えば、サーボモータ等を駆動力源として、可動テーブル１０をＸ方向に移動させる。
【００１９】
砥石ヘッド１５は、下端部に砥石１６が設けられ、Ｙ方向に移動可能且つＺ方向に昇降可能に案内レール１８に取り付けられる。
【００２０】
砥石１６は、円柱形状を有し、その中心軸がＹ方向と平行になるように砥石ヘッド１５の下端部に回転可能に取り付けられる。砥石１６は、砥石ヘッド１５と共にＹ方向及びＺ方向に移動し、回転して被削材１２の表面を研削する。砥石１６は、被削材１２の性質や加工精度等に応じて選択される砥粒（例えば、アルミナ研削材やダイヤモンド研削材）、及び砥粒を保持する結合剤を中心として構成される。
【００２１】
案内レール１８は、例えば、２つのサーボモータ等を駆動力源として、砥石ヘッド１５をＹ方向及びＺ方向に移動させる。
【００２２】
制御装置２０は、可動テーブル１０及び砥石ヘッド１５の位置を調整し、砥石１６を回転させることで、被削材１２の表面を研削するように平面研削盤１の各部を制御する。制御装置２０は、例えば、ＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭ，Ｉ／Ｏ等を含むコンピュータを中心に構成される。
【００２３】
表示装置４０は、例えば、液晶ディスプレイ等である。表示装置４０は、制御装置２０によって制御され、例えば、被削材１２の研削条件等が表示される。
【００２４】
［ドレッシング装置の一例］
次に、図２を参照して、平面研削盤１で用いられる砥石１６のドレッシング作業（目立て作業）を行うドレッシング装置１００について説明する。
【００２５】
図２は、本実施形態に係るドレッシング装置１００の構成の一例を概略的に示す図である。
【００２６】
ドレッシング装置１００は、ドレッサ１１０、駆動機構１２０、回転機構１３０、回転位置検出装置１４０、コントローラ１５０を含む。
【００２７】
ドレッサ１１０は、回転する砥石１６の外周面（即ち、被削材を研削する作業面。以下、「砥石作業面」と称する場合がある）に接触し、切込み（ドレス溝）を生成する。ドレッサ１１０は、例えば、単石ダイヤモンドを原料とし、略円筒形状を有すると共に、その先端部が円錐形状を有する。ドレッサ１１０は、砥粒よりも小さい幅（例えば、数μｍ〜数十μｍ）のドレス溝を生成することができる。
【００２８】
駆動機構１２０は、例えば、２つのサーボモータを駆動力源として、ドレッサ１１０（具体的には、ドレッサ１１０を保持する保持部材）を左右方向（図中のＸ軸の正方向及び負方向）及び上下方向（図中のＺ軸の正方向及び負方向）に移動させる。駆動機構１２０は、例えば、ボールねじ機構やラックアンドピニオン機構等を含む。駆動機構１２０は、コントローラ１５０からの制御指令に応じて、左右位置及び上下位置を調整する。これにより、ドレッサ１１０と、後述する回転軸１３１に取り付けられる砥石１６の外周面（砥石作業面）との接触状態（ドレス溝の深さ）や砥石１６の幅方向（図中の左右方向）における接触位置を制御することができる。
【００２９】
回転機構１３０は、例えば、サーボモータ等を駆動力源として、回転軸１３１に取り付けられた砥石１６を所定の回転速度で回転させる。
【００３０】
回転位置検出装置１４０は、例えば、ロータリエンコーダであり、回転軸１３１に取り付けられた砥石１６の回転位置（角度位置）を検出する。回転位置検出装置１４０は、コントローラ１５０と通信可能に接続され、検出された砥石１６の角度位置に対応する検出信号は、コントローラ１５０に送信される。
【００３１】
コントローラ１５０は、駆動機構１２０に制御指令を送信し、駆動機構１２０により上下左右に移動駆動されるドレッサ１１０の左右位置及び上下位置を制御する。コントローラ１５０は、例えば、ＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭ，Ｉ／Ｏ等を含むコンピュータを中心に構成される。コントローラ１５０は、駆動機構１２０の上下位置を調整することにより、ドレッサ１１０と砥石１６の外周面（砥石作業面）との接触状態（ドレス溝の深さ）を制御することができる。また、コントローラ１５０は、回転位置検出装置１４０から受信する検出信号に基づき、砥石１６の角度位置と同期させながら、ドレッサ１１０の左右位置（砥石１６の幅方向における接触位置）を制御する。
【００３２】
［ドレッシング方法の一例］
次に、図３を参照して、図２に示すドレッシング装置１００によるドレッシング方法（本実施形態に係るドレッシング方法の一例）について説明する。
【００３３】
図３は、本実施形態に係るドレッシング方法の一例を説明する図である。具体的には、図２に示すドレッシング装置１００の動作を表す。
【００３４】
ドレッシング装置１００は、後述の如く、ドレッサ１１０を、回転する砥石１６に接触させつつ、回転軸１３１に取り付けられる砥石１６の左右端間で往復移動させる工程を３回繰り返す。図３（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、第１工程〜第３工程におけるドレス溝の生成態様を表す砥石１６の外周面（砥石作業面）の展開図である。
【００３５】
尚、図３（ｂ）及び図３（ｃ）では、それぞれ、以前の工程で生成されたドレス溝を点線で表し、第２工程及び第３工程で生成されるドレス溝２０２，２１２、及びドレス溝２０３，２１３を実線で表す。また、第１工程〜第３工程の各工程は、まず、ドレッサ１１０を砥石１６の左端から右端に移動させ、続いて、右端から左端に移動させる流れで行われる。また、本例において、ドレッサ１１０の左右方向の移動速度、具体的には、ドレッサ１１０が砥石１６の１回転毎に左右移動する量（以下、「ドレスリード」と称する）ＤＬは、砥石１６の幅Ｗの１／２である（即ち、ドレスリードＤＬ＝Ｗ／２）。また、砥石１６の角度位置（０°〜３６０°）が予め規定され、回転位置検出装置１４０は、当該角度位置に対応する検出信号をコントローラ１５０に送信する。また、図中、砥石１６の左端位置が座標値"０"で表され、砥石１６の右端位置が座標値"Ｗ"で表される。
【００３６】
第１工程では、まず、コントローラ１５０は、ドレッサ１１０が角度位置"０°"で砥石１６の左端位置（座標値"０"）に接触を開始し、右方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。続いて、ドレッサ１１０が砥石１６の右端位置（座標"Ｗ"）に到達すると、コントローラ１５０は、ドレッサ１１０の移動方向を反転させて、左方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。具体的には、コントローラ１５０は、ドレッサ１１０が角度位置"０°"で砥石１６の右端位置（座標値"Ｗ"）に接触を開始し、左方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。そして、コントローラ１５０は、駆動機構１２０を制御し、ドレッサ１１０を砥石１６の左端位置（座標値"０"）まで移動させる。
【００３７】
図３（ａ）に示すように、ドレッサ１１０は、第１工程の往路において、ドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で右方向（図３の上方向）に送られることにより、砥石１６の左端の角度位置"０°"を始点とし、砥石１６の右端の角度位置"３６０°"（＝"０°"）を終点とするらせん状のドレス溝２０１を砥石１６の外周面に生成する（図中、白塗り矢印参照）。ドレス溝２０１は、砥石１６の外周面をらせん状に２周している。
【００３８】
また、図３（ａ）に示すように、ドレッサ１１０は、第１工程の復路において、ドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で左方向（図３の下方向）に送られることにより、砥石１６の右端の角度位置"０°"を始点とし、砥石１６の左端の角度位置"３６０°"（＝"０°"）を終点とするらせん状のドレス溝２１１を砥石１６の外周面に生成する（図中、黒塗り矢印参照）。ドレス溝２１１は、砥石１６の外周面をらせん状に２周している。また、ドレス溝２１１は、ドレス溝２０１と交差する。
【００３９】
第２工程では、コントローラ１５０は、第１工程から位相（砥石１６の角度位置）をずらしてドレッサ１１０を移動させる。具体的には、コントローラ１５０は、ドレッサ１１０が角度位置"１２０°"で砥石１６の左端位置（座標値"０"）に接触を開始し、右方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。続いて、ドレッサ１１０が砥石１６の右端位置（座標"Ｗ"）に到達すると、コントローラ１５０は、ドレッサ１１０の移動方向を反転させて、左方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。具体的には、コントローラ１５０は、ドレッサ１１０が角度位置"１２０°"で砥石１６の右端位置（座標値"Ｗ"）に接触を開始し、左方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。そして、コントローラ１５０は、駆動機構１２０を制御し、ドレッサ１１０を砥石１６の左端位置（座標値"０"）まで移動させる。
【００４０】
図３（ｂ）に示すように、ドレッサ１１０は、第２工程の往路において、ドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で右方向（図３の上方向）に送られることにより、砥石１６の左端の角度位置"１２０°"を始点とし、砥石１６の右端の角度位置"１２０°"を終点とするらせん状のドレス溝２０２を砥石１６の外周面に生成する（図中、白塗り矢印参照）。ドレス溝２０２は、ドレス溝２０１と平行に、即ち、交差することなく、砥石１６の外周面をらせん状に２周している。一方、ドレス溝２０２は、第１工程で生成されたドレス溝２１１と交差する。
【００４１】
また、図３（ｂ）に示すように、ドレッサ１１０は、第２工程の復路において、ドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で左方向（図３の下方向）に送られることにより、砥石１６の右端の角度位置"１２０°"を始点とし、砥石１６の左端の角度位置"１２０°"を終点とするらせん状のドレス溝２１２を砥石１６の外周面に生成する（図中、黒塗り矢印参照）。ドレス溝２１２は、ドレス溝２１１と平行に、即ち、ドレス溝２１１と交差することなく、砥石１６の外周面をらせん状に２周している。一方、ドレス溝２１２は、第１工程で生成されたドレス溝２０１及び第２工程（往路）で生成されたドレス溝２０２と交差する。
【００４２】
第３工程では、コントローラ１５０は、第２工程から更に位相（砥石１６の角度位置）をずらしてドレッサ１１０を移動させる。具体的には、コントローラ１５０は、ドレッサ１１０が角度位置"２４０°"で砥石１６の左端位置（座標値"０"）に接触を開始し、右方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。続いて、ドレッサ１１０が砥石１６の右端位置（座標"Ｗ"）に到達すると、コントローラ１５０は、ドレッサ１１０の移動方向を反転させて、左方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。具体的には、コントローラ１５０は、ドレッサ１１０が角度位置"２４０°"で砥石１６の右端位置（座標値"Ｗ"）に接触を開始し、左方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。そして、コントローラ１５０は、駆動機構１２０を制御し、ドレッサ１１０を砥石１６の左端位置（座標値"０"）まで移動させる。
【００４３】
図３（ｃ）に示すように、ドレッサ１１０は、第３工程の往路において、ドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で右方向（図３の上方向）に送られることにより、砥石１６の左端の角度位置"２４０°"を始点とし、砥石１６の右端の角度位置"２４０°"を終点とするらせん状のドレス溝２０３を砥石１６の外周面に生成する（図中、白塗り矢印参照）。ドレス溝２０３は、ドレス溝２０１，２０２と平行に、即ち、交差することなく、砥石１６の外周面をらせん状に２周している。一方、ドレス溝２０３は、第１工程で生成されたドレス溝２１１及び第２工程で生成されたドレス溝２１２と交差する。
【００４４】
また、図３（ｃ）に示すように、ドレッサ１１０は、第３工程の復路において、ドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で左方向（図３の下方向）に送られることにより、砥石１６の右端の角度位置"２４０°"を始点とし、砥石１６の左端の角度位置"２４０°"を終点とするらせん状のドレス溝２１３を砥石１６の外周面に生成する（図中、黒塗り矢印参照）。ドレス溝２１３は、ドレス溝２１１，２１２と平行に、即ち、交差することなく、砥石１６の外周面をらせん状に２周している。一方、ドレス溝２１３は、第１工程〜第３工程で生成されたドレス溝２０１〜２０３と交差する。
【００４５】
図３（ｃ）に示すように、第１工程〜第３工程の各往路で生成されるドレス溝２０１〜２０３は、平行且つ等間隔（即ち、同じピッチＤＰ（＝ＤＬ／３））で、砥石１６の外周面にらせん状に生成される。即ち、砥石１６の外周面（砥石作業面）には、３条のドレス溝２０１〜２０３が生成される。また、第１行程〜第３工程の各復路で生成されるドレス溝２１１〜２１３は、平行且つ等間隔（即ち、同じピッチＤＰ（＝ＤＬ／３））で、砥石１６の外周面にらせん状に生成される。即ち、砥石１６の外周面（砥石作業面）には、ドレス溝２０１〜２０３と交差する、３条のドレス溝２１１〜２１３が生成される。
【００４６】
また、各ドレス溝２０１〜２０３と各ドレス溝２１１〜２１３は、上述の如く、交差する。そのため、図３（ｃ）に示すように、ドレス溝２０１〜２０３のうちの２つのドレス溝と、ドレス溝２１１〜２１３のうちの２つのドレス溝で囲まれる略菱形のエリアを底面とする錐体、即ち、略四角錐状の山部（ドレス山）が生成される。ドレス山は、平面研削盤１で被削材１２を削る部分に相当する。
【００４７】
尚、本実施形態では、一対の多条ドレス溝（ドレス溝２０１〜２０３、及びドレス溝２１１〜２１３）の条数Ｚが３であったが、条数Ｚを２にしてもよいし、４以上にしてもよい。かかる場合、条数Ｚに合わせて、位相をずらす量を変化させればよい。本実施形態では、３条であるため、位相を"１２０°"ずつ変化させて、ドレッサ１１０を３往復させたが、例えば、２条の場合、位相を"１８０°"変化させて、ドレッサ１１０を２往復させればよい。また、例えば、４条の場合、"９０°"ずつ変化させて、ドレッサ１１０を４往復させればよい。即ち、条数Ｚに対して、位相を"（３６０／Ｚ）°"ずつ変化させて、ドレッサ１１０をＺ往復させることにより、一対の多条ドレス溝を生成すればよい。
【００４８】
［作用］
次に、図４を参照して、図２に示すドレッシング装置１００でドレッシング作業が行われた砥石１６、即ち、図３（ｃ）に示すドレス溝２０１〜２０３、及びドレス溝２１１〜２１３が生成された砥石１６の作用について説明する。
【００４９】
図４は、比較例に係るドレッシング装置でドレッシング作業が行われた砥石１６の一例（図４（ａ））、及び本実施形態に係るドレッシング装置１００でドレッシング作業が行われた砥石１６の一例（図４（ｂ））を示す図である。具体的には、砥石１６の外周面（砥石作業面）の展開図である。
【００５０】
尚、従来技術に相当する比較例に係るドレッシング装置は、本実施形態に係るドレッシング装置１００における第１工程のみを行う。また、砥石１６の外周面の同じ角度位置におけるドレス溝の間隔（ピッチ）を同じにするため、比較例に係るドレッシング装置におけるドレスリードＤＬｃは、Ｗ／６である（ＤＬｃ＝Ｗ／６）。また、図中の黒丸は、ドレス山の頂点を模式的に表している。
【００５１】
図４（ａ）に示すように、比較例に係るドレッシング装置でドレッシング作業が行われた砥石１６の外周面（砥石作業面）には、１本のらせん状のドレス溝２０１ｃと、ドレス溝２０１ｃに交差する１本のらせん状のドレス溝２１１ｃが生成されている。比較例では、上述の如く、ドレスリードＤＬｃ＝Ｗ／６であるため、ドレス溝２０１ｃ，２１１ｃは、それぞれ、砥石１６の外周面をらせん状に６周している。そして、交差するドレス溝２０１ｃ，２１１ｃで囲まれる菱形のドレス山は、砥石１６の１８０°対称の２つの角度位置、具体的には、角度位置"１８０°"と角度位置"３６０°"（＝"０°"）において、幅方向に並ぶ態様で生成される。換言すれば、ドレス山は、ドレス溝２０１ｃ或いはドレス溝２１１ｃの方向において、砥石１６の外周面（砥石作業面）の１周あたり２個並んでいる。
【００５２】
このように、比較例に係るドレッシング装置でドレッシング作業が行われた砥石１６は、外周面（砥石作業面）のうち、１８０°対称の２つの角度位置にしかドレス山が生成されない。そのため、平面研削盤１に取り付けられた砥石１６が回転しながら被削材１２を研削する際、ドレス山が生成される２つの角度位置の近傍以外の部分で研削される被削材１２の部分は、ほとんど研削されない可能性がある。すると、被削材１２のうちのドレス山で削られた部分と、ほとんど削られていない部分の差異が明確になり、被削材１２の表面にうねりやびびり（びびりマーク）が生じる可能性がある。即ち、被削材１２の品質低下を招く可能性がある。
【００５３】
これに対して、図４（ｂ）に示すように、本実施形態に係るドレッシング装置１００でドレッシング作業が行われた砥石１６には、上述の如く、３条のドレス溝２０１〜２０３と、当該３条のドレス溝２０１〜２０３のそれぞれと交差する３条のドレス溝２１１〜２１３が生成される。そして、３条のドレス溝２０１〜２０３及び３条のドレス溝２１１〜２１３の交差により、６つの角度位置（角度位置"６０°"，"１２０°"，"１８０°"，"２４０°""，３００°"，及び"３６０°"（＝"０°"））において、ドレス山が幅方向に並ぶ態様で生成される。換言すれば、ドレス山は、ドレス溝２０１〜２０３或いはドレス溝２１１〜２１３の方向において、砥石１６の外周面（砥石作業面）の１周あたり６（＝２・Ｚ）個並んでいる。
【００５４】
従って、平面研削盤１に取り付けられた砥石１６が回転しながら、外周面（砥石作業面）の６つの角度位置に生成されたドレス山が被削材１２を研削するため、比較例の場合よりも被削材１２の表面のうねりやびびり等の発生を抑制することができる。また、生成される一対の多条ドレス溝の条数Ｚを更に多くすることにより（Ｚ≧４）、ドレス山が配置される砥石１６の角度位置の数（＝２・Ｚ）が増えるため、被削材１２の表面のうねりやびびり等の発生を更に抑制できる。
【００５５】
尚、一対のドレス溝のドレスリードＤＬ（即ち、ドレス溝２０１〜２０３、２１１〜２１３の砥石１６の外周面１周あたりの幅方向の移動量）は、より好適には、０．１ｍｍ以上である。また、一対の多条ドレス溝のピッチＤＰ（即ち、ドレス溝２０１〜２０３のうちの隣接する２つ及びドレス溝２１１〜２１３のうちの隣接する２つの砥石１６の幅方向における間隔）は、より好適には、０．５ｍｍ以下である。但し、一対の多条ドレス溝のピッチＤＰは、ドレスリードＤＬより小さい。
【００５６】
［ドレッシング装置の他の例］
次に、図５を参照して、本実施形態に係るドレッシング装置１００の他の例について説明する。
【００５７】
図５は、本実施形態に係るドレッシング装置１００の構成の他の例を概略的に示す図である。
【００５８】
本例に係るドレッシング装置１００は、ドレッサ１１０に代えて、複数（３つ）のドレッサ１１１〜１１３が設けられる点で、図２に示す一例と異なる。
【００５９】
以下、図２に示すドレッシング装置１００と同様の構成には、同一の符号を付し、異なる部分を中心に説明を行う。
【００６０】
ドレッサ１１１〜１１３は、駆動機構１２０により一体として、左右方向（図中のＸ軸の正方向及び負方向）、上下方向（図中のＺ軸の正方向及び負方向）に移動駆動される。以下、図６を参照して、ドレッサ１１１〜１１３の具体的な配置態様について説明する。
【００６１】
図６は、ドレッサ１１１〜１１３の配置態様を具体的に説明する図である。
【００６２】
図６に示すようにドレッサ１１１〜１１３は、左右方向に並べて配置される。
【００６３】
ドレッサ１１２は、ドレッサ１１１の左右位置（具体的には、ドレス溝を生成するドレッサ１１１の先端の左右位置）を基準として、左方向に距離Ｌ１だけずらして配置される。距離Ｌ１は、ドレスリードＤＬの整数倍（ｎ倍）と、ドレスリードＤＬを条数Ｚ（＝３）で除した値との加算値である（Ｌ１＝ｎ・ＤＬ＋ＤＬ／Ｚ（ｎ：１以上の整数））。これにより、ドレッサ１１１〜１１３を一体として、ドレスリードＤＬで左右方向に移動させると、ドレッサ１１２で生成されるドレス溝は、ドレッサ１１１で生成されるドレス溝に対して、砥石１６の幅方向にＤＬ／３だけずれる。
【００６４】
ドレッサ１１３は、ドレッサ１１１の左右位置を基準として、左方向に距離Ｌ２だけずらして配置される。距離Ｌ２は、ドレスリードＤＬの整数倍（ｍ倍）と、ドレスリードＤＬの倍数を条数Ｚ（＝３）で除した値との加算値である（Ｌ２＝ｍ・ＤＬ＋２ＤＬ／Ｚ（ｍ：ｎより大きい整数））。これにより、ドレッサ１１１〜１１３を一体として、ドレスリードＤＬで左右方向に移動させると、ドレッサ１１３で生成されるドレス溝は、ドレッサ１１１で生成されるドレス溝に対して、砥石１６の幅方向に２ＤＬ／３だけずれる。
【００６５】
尚、砥石１６の砥粒に複数のドレス溝を切り込む必要があるため、ドレス溝の間隔（ピッチ）は、通常、ドレッサ１１１〜１１３の外形寸法よりも十分に小さく設定される。そのため、図６の点線に示すように、ドレッサ１１１〜１１３を単純にＤＬ／３だけ左右方向にずらして配置することはできない。
【００６６】
［ドレッシング方法の他の例］
次に、図７、図８を参照して、図５に示すドレッシング装置１００によるドレッシング方法（本実施形態に係るドレッシング方法の他の例）について説明する。
【００６７】
図７、図８は、本実施形態に係るドレッシング方法の他の例を説明する図である。具体的には、図５に示すドレッシング装置１００の動作を表す。
【００６８】
本例に係るドレッシング装置１００は、ドレッサ１１１〜１１３（の少なくとも１つ）を回転する砥石１６に接触させつつ、一体として、回転軸１３１に取り付けられる砥石１６の左右端間で往復移動させる工程（以下、「往復工程」と称する）を１回行う。図７及び図８は、当該往復工程のうちの往路及び復路におけるドレス溝の生成態様を表す砥石１６の外周面（砥石作業面）の展開図である。
【００６９】
尚、図７（ｂ）及び図７（ｃ）では、それぞれ、他のドレッサで既に生成されたドレス溝を点線で表し、ドレッサ１１２及びドレッサ１１３で生成されるドレス溝２０２及びドレス溝２０３を実線で表す。また、図８（ｂ）及び図８（ｃ）では、それぞれ、他のドレッサで既に生成されたドレス溝を点線で表し、ドレッサ１１２及びドレッサ１１１で生成されるドレス溝２１２及びドレス溝２１３を実線で表す。また、本例における往復工程は、ドレッサ１１１〜１１３を一体として砥石１６の左端から右端に移動させ、続いて、右端から左端に移動させる流れで行われる。また、本例において、ドレスリードＤＬは、図３の一例と同様、砥石１６の幅Ｗの１／２である（即ち、ドレスリードＤＬ＝Ｗ／２）。また、本例では、ｎ≧２且つｍ≧４を前提とする。
【００７０】
往復工程のうちの往路では、コントローラ１５０は、ドレッサ１１１〜１１３のうちの一番右側にあるドレッサ１１１が角度位置"０°"で砥石１６の左端位置（座標値"０"）に接触を開始し、ドレッサ１１１〜１１３が一体として、右方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。そして、コントローラ１５０は、駆動機構１２０を制御し、ドレッサ１１１〜１１３のうちの一番左側にあるドレッサ１１３を右端位置（座標値"Ｗ"）まで移動させる。
【００７１】
往路では、まず、図７（ａ）に示すように、ドレッサ１１１がドレス溝２０１を生成する。具体的には、ドレッサ１１１は、ドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で右方向（図７の上方向）に送られることにより、砥石１６の左端の角度位置"０°"を始点とし、砥石１６の右端の角度位置"３６０°"（＝"０°"）を終点とするらせん状のドレス溝２０１を砥石１６の外周面に生成する（図中、白塗り矢印参照）。
【００７２】
続いて、図７（ｂ）に示すように、ドレッサ１１２がドレス溝２０２を生成する。具体的には、ドレッサ１１２は、ドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で右方向（図７の上方向）に送られることにより、砥石１６の左端の角度位置"１２０°"を始点とし、砥石１６の右端の角度位置"１２０°"（＝"０°"）を終点とするらせん状のドレス溝２０２を砥石１６の外周面に生成する（図中、白塗り矢印参照）。
【００７３】
続いて、図７（ｃ）に示すように、ドレッサ１１３がドレス溝２０３を生成する。具体的には、ドレッサ１１３は、ドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で右方向（図７の上方向）に送られることにより、砥石１６の左端の角度位置"２４０°"を始点とし、砥石１６の右端の角度位置"２４０°"（＝"０°"）を終点とするらせん状のドレス溝２０３を砥石１６の外周面に生成する（図中、白塗り矢印参照）。
【００７４】
また、往復工程のうちの復路では、コントローラ１５０は、ドレッサ１１１〜１１３のうちの一番左側にあるドレッサ１１３が角度位置"０°"で砥石１６の右端位置（座標値"Ｗ"）に接触を開始し、ドレッサ１１１〜１１３が一体として、左方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。そして、コントローラ１５０は、駆動機構１２０を制御し、ドレッサ１１１〜１１３のうちの一番右側にあるドレッサ１１１を左端位置（座標値"０"）まで移動させる。
【００７５】
復路では、まず、図８（ａ）に示すように、ドレッサ１１３がドレス溝２１１を生成する。具体的には、ドレッサ１１３は、ドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で左方向（図８の下方向）に送られることにより、砥石１６の右端の角度位置"０°"を始点とし、砥石１６の左端の角度位置"３６０°"（＝"０°"）を終点とするらせん状のドレス溝２１１を砥石１６の外周面に生成する（図中、黒塗り矢印参照）。
【００７６】
続いて、図８（ｂ）に示すように、ドレッサ１１２がドレス溝２１２を生成する。具体的には、ドレッサ１１２は、ドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で左方向（図８の下方向）に送られることにより、砥石１６の右端の角度位置"１２０°"を始点とし、砥石１６の左端の角度位置"１２０°"を終点とするらせん状のドレス溝２１２を砥石１６の外周面に生成する（図中、黒塗り矢印参照）。
【００７７】
続いて、図８（ｃ）に示すように、ドレッサ１１１がドレス溝２１３を生成する。具体的には、ドレッサ１１１は、ドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で左方向（図８の下方向）に送られることにより、砥石１６の右端の角度位置"２４０°"を始点とし、砥石１６の左端の角度位置"２４０°"を終点とするらせん状のドレス溝２１３を砥石１６の外周面に生成する（図中、黒塗り矢印参照）。
【００７８】
尚、本例では、復路にて、ドレッサ１１３，１１２，１１１が、ドレス溝２１１，２１２，２１３を順に生成するが、当該態様には限定されない。例えば、ドレッサ１１３がドレス溝２１３を生成し、ドレッサ１１２がドレス溝２１１を生成し、ドレッサ１１１がドレス溝２１２を生成してもよい。また、例えば、ドレッサ１１３がドレス溝２１２を生成し、ドレッサ１１２がドレス溝２１３を生成し、ドレッサ１１１がドレス溝２１１を生成してもよい。
【００７９】
このように、本例に係るドレッシング方法（即ち、図５に示すドレッシング装置１００）により図４（ｂ）と同様の一対の多条ドレス溝（３条のドレス溝２０１〜２０３、及び３条のドレス溝２１１〜２１３）を生成することができる。
【００８０】
また、本例に係るドレッシング方法（即ち、図５に示すドレッシング装置１００）によれば、複数のドレッサを一体として左右方向に一往復させるだけでよいため、より短い時間で、一対の多条ドレス溝を生成することができる。
【００８１】
尚、図５に示すドレッシング装置１００では、３つのドレッサ１１１〜１１３を設けるが、４つ以上のドレッサを設けることにより、４条以上の一対の多条ドレス溝を生成してもよい。また、ドレッサ１１１〜１１３を一体として左右方向に複数回往復させることにより、４条以上の一対の多条ドレス溝を生成してもよい。
【００８２】
［ドレッシング装置の更に他の例］
次に、図９を参照して、本実施形態に係るドレッシング装置１００の更に他の例について説明する。
【００８３】
図９は、本実施形態に係るドレッシング装置１００の構成の更に他の例を概略的に示す図である。
【００８４】
本例に係るドレッシング装置１００は、図５に示す他の例と同様、ドレッサ１１０に代えて、複数（３つ）のドレッサ１１１〜１１３が設けられる点で、図２に示す一例と異なる。
【００８５】
また、本例に係るドレッシング装置１００は、ドレッサ１１１〜１１３のそれぞれが、左右方向に沿った回転軸を有する回転体１１５の外周面における異なる角度位置（周方向の位置）に配置される点で、図２に示す一例、及び図５に示す他の例と異なる。
【００８６】
また、本例に係るドレッシング装置１００は、回転体１１５の回転位置を検出する回転位置検出装置１２５が更に設けられる点において、図２に示す一例、及び図５に示す他の例と異なる。
【００８７】
以下、図２、図５に示すドレッシング装置１００と同様の構成には、同一の符号を付し、異なる部分を中心に説明を行う。
【００８８】
ドレッサ１１１〜１１３は、左右方向に沿った回転軸を有する回転体１１５の外周面に配置される。以下、図１０を参照して、ドレッサ１１１〜１１３の具体的な配置態様について説明する。
【００８９】
図１０は、ドレッサ１１１〜１１３の配置態様を具体的に説明する図である。具体的には、図１０（ａ）は、回転体１１５を左方向から見た図であり、図１０（ｂ）は、回転体１０（ｂ）を正面から見た図である。
【００９０】
尚、図１０（ｂ）において、ドレッサ１１３は、回転体１１５の陰に入るため、点線で示される。
【００９１】
図１０（ａ）に示すように、ドレッサ１１１〜１１３は、回転体１１５の外周面の異なる角度位置（周方向の位置）に配置される。
【００９２】
また、図１０（ｂ）に示すように、ドレッサ１１１〜１１３は、それぞれ、左右方向にＤＬ／Ｚ（本例では、条数Ｚ＝３）の間隔で配置される。具体的には、ドレッサ１１１の左右位置を基準として、ドレッサ１１２は、左方向にＤＬ／Ｚだけずらして配置され、ドレッサ１１３は、左方向に２ＤＬ／Ｚだけずらして配置される。
【００９３】
後述するように、回転体１１５は、砥石１６の回転速度に対して、十分に高速な回転速で回転する。そのため、図１０（ｂ）の一点鎖線で示すように、比較的低速で回転する砥石１６側から見ると、ドレッサ１１１〜１１３が左右方向に並べて配置されている状態と同一視することができる。
【００９４】
図９に戻り、駆動機構１２０は、例えば、追加のサーボモータを備え、回転体１１５を回転駆動する。駆動機構１２０は、回転機構１３０による砥石１６の回転速度よりも十分に高速な回転速度（好ましくは、回転機構１３０による砥石１６の回転速度の１０倍以上）で回転体１１５を回転させる。また、駆動機構１２０は、ドレッサ１１１〜１１３が設けられる回転体１１５を、左右方向（図中のＸ軸の正方向及び負方向）、上下方向（図中のＺ軸の正方向及び負方向）に移動駆動する。
【００９５】
回転位置検出装置１２５は、例えば、ロータリエンコーダであり、回転体１１５の砥石１６の回転位置（角度位置）を検出する。回転位置検出装置１２５は、コントローラ１５０と通信可能に接続され、検出された回転体１１５の角度位置に対応する検出信号は、コントローラ１５０に送信される。
【００９６】
コントローラ１５０は、駆動機構１２０に制御指令を送信し、駆動機構１２０により上下左右に移動駆動されるドレッサ１１１〜１１３を含む回転体１１５の左右位置及び上下位置を制御する。また、コントローラ１５０は、回転位置検出装置１２５からの検出信号に基づき、回転体１１５が砥石１６の回転速度に対して十分に高速で回転している状態であることを確認しつつ、駆動機構１２０の制御を行う。
【００９７】
［ドレッシング方法の更に他の例］
次に、図１１を参照して、図９に示すドレッシング装置１００によるドレッシング方法（本実施形態に係るドレッシング方法の更に他の例）について説明する。
【００９８】
図１１は、本実施形態に係るドレッシング方法の更に他の例を説明する図である。具体的には、図９に示すドレッシング装置１００の動作を表す。
【００９９】
本例に係るドレッシング装置１００は、ドレッサ１１１〜１１３（の少なくとも１つ）を回転する砥石１６に接触させつつ、一体として、回転軸１３１に取り付けられる砥石１６の左右端間で往復移動させる工程（以下、「往復工程」と称する）を１回行う。図１１は、当該往復工程のうちの往路におけるドレス溝の生成態様を表す砥石１６の外周面（砥石作業面）の展開図である。
【０１００】
往復工程のうちの往路では、コントローラ１５０は、ドレッサ１１１〜１１３のうちの一番右側にあるドレッサ１１１が角度位置"０°"で砥石１６の左端位置（座標値"０"）に接触を開始し、ドレッサ１１１〜１１３が一体として、右方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。そして、コントローラ１５０は、駆動機構１２０を制御し、ドレッサ１１１〜１１３のうちの一番左側にあるドレッサ１１３を右端位置（座標値"Ｗ"）まで移動させる。
【０１０１】
図１１（ａ）に示すように、まず、ドレッサ１１１がドレス溝２０１の生成を開始する。その後、砥石１６が１２０°回転すると、図１１（ｂ）に示すように、ドレッサ１１２がドレス溝２０２の生成を開始する。その後、更に、砥石１６が１２０°回転すると、図１１（ｃ）に示すように、ドレッサ１１３がドレス溝２０３の生成を開始する。その後、ドレッサ１１１がドレス溝２０１の生成を終了するまで、即ち、ドレッサ１１１が砥石１６の右端位置（座標値"Ｗ"）に到達するまで、ドレッサ１１１〜１１３は、ドレス溝２０１〜２０３を同時に生成する。そして、ドレッサ１１１がドレス溝２０１の生成を終了した後、砥石１６が１２０°回転すると、ドレッサ１１２がドレス溝２０２の生成を終了し、砥石１６が更に１２０°回転すると、ドレッサ１１３がドレス溝２０３の生成を終了し、３条のドレス溝２０１〜２０３が完成する。
【０１０２】
また、往復工程のうちの復路では、コントローラ１５０は、ドレッサ１１１〜１１３のうちの一番左側にあるドレッサ１１３が角度位置"０°"で砥石１６の右端位置（座標値"Ｗ"）に接触を開始し、ドレッサ１１１〜１１３が一体として、左方向へドレスリードＤＬ（＝Ｗ／２）で移動するように、駆動機構１２０を制御する。そして、コントローラ１５０は、駆動機構１２０を制御し、ドレッサ１１１〜１１３のうちの一番右側にあるドレッサ１１１を左端位置（座標値"０"）まで移動させる。
【０１０３】
図示しないが、復路についても、図１１（ａ）〜（ｃ）に示す往路と同様、ドレッサ１１１〜１１３がドレス溝２１１〜２１３を同時に生成する態様である。具体的には、まず、ドレッサ１１３がドレス溝２１１の生成を開始する。その後、砥石１６が１２０°回転すると、ドレッサ１１２がドレス溝２１２の生成を開始する。その後、更に、砥石１６が１２０°回転すると、ドレッサ１１１がドレス溝２１３の生成を開始する。その後、ドレッサ１１３がドレス溝２１１の生成を終了するまで、即ち、ドレッサ１１３が砥石１６の左端位置（座標値"０"）に到達するまで、ドレッサ１１１〜１１３は、ドレス溝２１１〜２１３を同時に生成する。そして、ドレッサ１１３がドレス溝２１１の生成を終了した後、砥石１６が１２０°回転すると、ドレッサ１１２がドレス溝２１２の生成を終了し、砥石１６が更に１２０°回転すると、ドレッサ１１１がドレス溝２１３の生成を終了し、３条のドレス溝２１１〜２１３が完成する。
【０１０４】
このように、本例に係るドレッシング方法（即ち、図９に示すドレッシング装置１００）により図４（ｂ）と同様の一対の多条ドレス溝（３条のドレス溝２０１〜２０３、及び３条のドレス溝２１１〜２１３）を生成することができる。
【０１０５】
また、本例に係るドレッシング方法（即ち、図９に示すドレッシング装置１００）によれば、複数のドレッサが設けられる回転体を左右方向に一往復させるだけでよいため、より短い時間で、一対の多条ドレス溝を生成することができる。
【０１０６】
また、本例に係るドレッシング方法（即ち、図９に示すドレッシング装置１００）によれば、複数のドレッサが回転体の異なる角度位置に配置されるため、各ドレッサの左右方向の間隔を最小（即ち、ＤＬ／Ｚ）にすることができる。これにより、複数のドレッサが占有する左右方向の寸法をより小さくすることができる。即ち、ドレッシング装置１００のコンパクト化を図ることができる。また、複数のドレッサ（が設けられる回転体）を左右方向に移動させる量を少なくすることが可能となり、更に短い時間で、一対の多条ドレス溝を生成することができる。
【０１０７】
尚、図９に示すドレッシング装置１００では、３つのドレッサ１１１〜１１３を設けるが、４つ以上のドレッサを回転体１１５の異なる角度位置（周方向の位置）に設けることにより、４条以上の一対の多条ドレス溝を生成してもよい。また、ドレッサ１１１〜１１３が設けられる回転体１１５を左右方向に複数回往復させることにより、４条以上の一対の多条ドレス溝を生成してもよい。
【０１０８】
以上、本発明を実施するための形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【０１０９】
１  平面研削盤
１０  可動テーブル
１２  被削材
１５  砥石ヘッド
１６  砥石
１８  案内レール
２０  制御装置
４０  表示装置
１００  ドレッシング装置
１１０，１１１，１１２，１１３  ドレッサ
１１５  回転体
１２０  駆動機構
１２５  回転位置検出装置
１３０  回転機構
１３１  回転軸
１４０  回転位置検出装置
１５０  コントローラ
２０１〜２０３  ドレス溝（第１のらせん溝）
２１１〜２１３  ドレス溝（第２のらせん溝）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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