(57)【要約】【課題】  ウエハーカセットを提供する。【解決手段】  本発明のウエハーカセットは、ウエハーＷを収容するために用いられる。ウエハーカセット１００はケース１１０及び複数の担体１２０を備える。担体１２０はウエハーＷの載置に用いられ、担体１２０はケース１１０のシャフト１１１に可動に枢接され、担体１２０はケース１１０の収納空間１１２中に自由に収納されるか収納空間１１２から離間される。これにより、ウエハーＷの取り出しまたは収容が便利になる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャフト及び収納空間を有するケースと、
枢接孔、及び、ウエハーの載置に用いられる載置台を各々有する複数の担体であって、前記枢接孔により前記シャフトに可動に枢接され、前記シャフトを中心として自由に揺動し、前記載置台が前記収納空間中に収納されるか前記収納空間から離間される複数の担体と、
を備えることを特徴とするウエハーカセット。
【請求項２】
前記載置台はフレーム及び収納溝を有し、
前記フレームは、前記収納溝を包囲し、前記収納溝に連通する第一開口を有し、
前記収納溝は、前記ウエハーの収納に用いられることを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項３】
前記第一開口は実質的に円形の開口であり、前記第一開口の直径は前記ウエハーの直径以上であることを特徴とする、請求項２に記載のウエハーカセット。
【請求項４】
前記載置台は載置板を有し、
前記載置板は、前記フレームに接続され、且つ前記収納溝中に位置し、前記ウエハーの載置に用いられることを特徴とする、請求項３に記載のウエハーカセット。
【請求項５】
前記フレームの内側壁は傾斜する側壁であり、前記内側壁の壁面は前記第一開口に向けられることを特徴とする、請求項２に記載のウエハーカセット。
【請求項６】
前記担体は握り部を有し、
前記握り部は、前記載置台の前記フレームに接続されることを特徴とする、請求項２に記載のウエハーカセット。
【請求項７】
前記ケースは第二位置限定ロッドを有し、前記収納空間は、前記シャフトと前記第二位置限定ロッドとの間に位置する第二開口を有し、
前記載置台が前記収納空間に収納されると、前記握り部が前記第二位置限定ロッドに衝止されることを特徴とする、請求項６に記載のウエハーカセット。
【請求項８】
前記握り部が前記第二位置限定ロッドに衝止されると、前記握り部が前記収納空間の外に位置することを特徴とする、請求項７に記載のウエハーカセット。
【請求項９】
前記握り部には第二磁石が設置され、
前記握り部が前記第二位置限定ロッドに衝止されると、前記握り部は前記第二磁石により前記第二位置限定ロッドに吸着されることを特徴とする、請求項７に記載のウエハーカセット。
【請求項１０】
前記ケースは第一位置限定ロッドを有し、
前記担体は、前記載置台の前記フレームに接続し前記枢接孔が形成される枢接部を有し、
前記載置台が前記収納空間から離間された後、前記枢接部が前記第一位置限定ロッドに衝止されることを特徴とする、請求項２に記載のウエハーカセット。
【請求項１１】
前記枢接部には第一磁石が設置され、
前記枢接部が前記第一位置限定ロッドに衝止されると、前記枢接部が前記第一磁石により前記第一位置限定ロッドに吸着されることを特徴とする、請求項１０に記載のウエハーカセット。
【請求項１２】
前記ケースは、複数の支持部を有する支持部材を有し、
前記担体が前記収納空間に収納されると、前記支持部により前記載置台が支持されることを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項１３】
前記ケースは第二位置限定ロッドを有し、前記収納空間は、前記シャフトと前記第二位置限定ロッドとの間に位置する第二開口を有し、
前記シャフト、前記第二位置限定ロッド、及び前記支持部材により三角形支持フレームが構成されることを特徴とする、請求項１２に記載のウエハーカセット。
【請求項１４】
シャフトに設置されると共に隣接する２つの担体の間に位置する複数のスペーサを更に備えることを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項１５】
前記担体は、前記枢接孔が形成される枢接部を有し、
前記スペーサは、隣接する２つの前記枢接部の間に位置することを特徴とする、請求項１４に記載のウエハーカセット。
【請求項１６】
ビアホールを有する複数のベアリングを更に備え、
前記ベアリングは、前記担体の前記枢接孔が形成される枢接部に結合され、前記ビアホールは前記枢接孔に対応し、前記シャフトは前記枢接孔及び前記ビアホールを貫通することを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項１７】
前記フレームは、前記収納溝に対し前記フレームの面方向に連通する少なくとも１つの収容兼取り出し用孔を有することを特徴とする、請求項２に記載のウエハーカセット。
【請求項１８】
前記ケースに可動に枢接されるストッパを更に備え、
前記載置台が前記収納空間に収納されると、前記握り部が前記第二位置限定ロッドと前記ストッパとの間に位置決めされることを特徴とする、請求項７に記載のウエハーカセット。
【請求項１９】
前記担体にはマークが表示されることを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項２０】
前記担体は握り部を有し、前記マークは前記握り部に表示されることを特徴とする、請求項１９に記載のウエハーカセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハーを収容可能なウエハーカセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体プロセスにおいて、ウエハーを保護するには、ウエハーをカセット中に収容させて格納や運搬を行いやすくする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−２３８５１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の技術では、カセットに保存溝が設けられ、且つウエハーが保存溝中に収容される。ウエハーの収容や取り出し方式には垂直収容や取り出し方式及び水平収容や取り出し方式がある。しかしながら、垂直収容や取り出し方式及び水平収容や取り出し方式はどちらも、作業者やマシンアームにより取り出しを行う。
【０００５】
例えば、垂直収容や取り出し方式については、ウエハーが直立するように保存溝中に収容される。このため、ウエハーを取り出す場合、垂直方式で取り出さなければ、隣接するウエハーに接触してしまい、ウエハーが破壊されることがある。また、ウエハーの収容または取り出しにおいて、正確に取り出さなければウエハーが脱落して損壊することもある。なお、水平収容や取り出し方式については、ウエハーが保存溝中に水平に収容される。このため、ウエハーを取り出す際に、ウエハーがカセットと摩擦を起こし、同様に正確に取り出さなければウエハーが脱落して損壊してしまう。
【０００６】
そこで、本発明者は上記の欠点が改善可能と考え、鋭意検討を重ねた結果、合理的設計で上記の課題を効果的に改善する本発明の提案に到った。
本発明は、このような従来の問題に鑑みてなされたものである。上記課題解決のため、本発明は、ウエハーカセットを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のウエハーカセットは、ケース及び複数の担体を備える。前記ケースはシャフト及び収納空間を有する。各前記担体は、枢接孔、及び、ウエハーの載置に用いられる載置台を有する。前記担体は、前記枢接孔により前記シャフトに可動に枢接され、前記シャフトを中心として自由に揺動し、前記載置台は前記収納空間中に収納されるか前記収納空間から離間される。
【０００８】
本発明では、担体がシャフトに可動に枢接される。これにより、ウエハーが収容される際に、担体がシャフトにより揺動すると共に載置台が収納空間から離間され、載置台が露出され、ウエハーが載置台に収容される。ウエハーが載置台に収容された後、担体がシャフトを中心として揺動し、ウエハーが載置台に従って収納空間中に収納される。
【０００９】
載置台に収容されたウエハーが取り出される場合、同様に、担体がシャフトを中心として揺動すると共に載置台が収納空間から離間され、載置台に収容されたウエハーが露出され、載置台に収容されたウエハーが取り出される。
すなわち、複数の担体がケースのシャフトに可動に枢接され、各担体の載置台がケースの収納空間中に自由に収納されるか収納空間から離間される。これにより、ウエハーの取り出しや収容が便利になる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のウエハーカセットは、複数の担体がシャフトに可動に枢接されることにより、これら載置台がケースの外にそれぞれ露出される。これにより、ウエハーの収容または取り出しにおいて、隣接するウエハーに接触して損壊したり、ウエハーが脱落したりすることがなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態によるウエハーカセットを示す外観斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態によるウエハーカセットを示す分解図である。
【図３】本発明のウエハーカセットの載置台を示す断面図である。
【図４】本発明のウエハーカセットを示す断面図である。
【図５】本発明のウエハーカセットの作動を示す概略図である。
【図６】本発明のウエハーカセットの作動を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明における好適な実施の形態について、添付図面を参照して説明する。尚、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を限定するものではない。また、以下に説明される構成の全てが、本発明の必須要件であるとは限らない。
【００１３】
（第１実施形態）
まず、図１〜図３を参照して本発明のウエハーカセットを説明する。
本発明に係るウエハーカセット１００は複数のウエハーＷの保存に用いられ、ウエハーカセット１００はケース１１０及び複数の担体１２０を備える。ケース１１０はシャフト１１１及び収納空間１１２を有する。各担体１２０は枢接孔１２１及び載置台１２２をそれぞれ有し、載置台１２２はウエハーＷの載置に用いられる(図３参照)。
担体１２０が枢接孔１２１によりシャフト１１１に可動に枢接され、担体１２０がシャフト１１１を中心として自由に揺動することにより、載置台１２２が収納空間１１２中に収納されるか収納空間１１２から離間される。好ましくは、担体１２０にはマーク１２５が表示される。マーク１２５は数字等の計数マークから選択され、これにより作業者が識別しやすくなり、逐一計算する必要がなくなる。
【００１４】
図２、図３、図４及び図５を参照する。載置台１２２はフレーム１２２ａ及び収納溝１２２ｂを有する。フレーム１２２ａは収納溝１２２ｂを包囲する。担体１２０は枢接部１２４を有し、枢接部１２４は載置台１２２のフレーム１２２ａに接続され、枢接孔１２１は枢接部１２４に形成される。
【００１５】
図２、図４及び図５を参照する。本実施形態では、ウエハーカセット１００は複数のスペーサ１３０及び複数のベアリング１４０を備える。各スペーサ１３０はシャフト１１１に設置されると共に隣接する２つの担体１２０の間に位置する。ベアリング１４０はビアホール１４１を有し、ベアリング１４０は担体１２０の枢接部１２４に結合される。
本実施形態では、ベアリング１４０は結合部材(図示せず、例えばネジ)により枢接部１２４に螺着される。ビアホール１４１は枢接孔１２１に対応し、シャフト１１１は枢接孔１２１及びビアホール１４１を貫通する。担体１２０はベアリング１４０によりシャフト１１１に枢接される。
本実施形態では、スペーサ１３０は隣接する２つの枢接部１２４の間に位置し、隣接する２つの担体１２０の間隔を空けるために使用され、隣接する２つの担体１２０が間隔距離を有する。また、必要に応じてスペーサ１３０を交換することにより、スペーサ１３０により隣接する２つの担体１２０の間の間隔距離が調整される。
【００１６】
図２、図５及び図６を参照する。ケース１１０は第一位置限定ロッド１１３を有し、担体１２０がシャフト１１１を中心として揺動すると、載置台１２２が収納空間１１２から離間された後、枢接部１２４が第一位置限定ロッド１１３に衝止される。
本実施形態において、枢接部１２４には第一磁石Ｍ１が設置される。枢接部１２４が第一位置限定ロッド１１３に衝止されると、枢接部１２４が第一磁石Ｍ１により第一位置限定ロッド１１３に吸着される。これにより、予期せぬ外力により担体１２０が動かされるのを防ぎ、載置台１２２が収納空間１１２に戻される。また、担体１２０が揺動してウエハーＷが脱落する事態も回避される。
【００１７】
図１及び図２を参照する。本実施形態では、担体１２０は握り部１２３を有する。握り部１２３は載置台１２２のフレーム１２２ａに接続され、握り部１２３は作業者が握って担体１２０を駆動させて自由に揺動させるために用いられる。好ましくは、マーク１２５が握り部１２３に表示される。
【００１８】
図３を参照する。フレーム１２２ａは第一開口１２２ｃ及び内側壁１２２ｅを有する。本実施形態において、内側壁１２２ｅは傾斜する側壁であり、内側壁１２２ｅの壁面は第一開口１２２ｃに向けられる。第一開口１２２ｃは収納溝１２２ｂに連通され、収納溝１２２ｂはウエハーＷの収納に用いられる。
本実施形態では、第一開口１２２ｃは実質的に円形の開口であり、第一開口１２２ｃの直径はウエハーＷの直径以上である。好ましくは、載置台１２２は載置板１２２ｄを有する。載置板１２２ｄはフレーム１２２ａに接続され、且つ載置板１２２ｄは収納溝１２２ｂ中に位置し、載置板１２２ｄはウエハーＷの載置に用いられる。
【００１９】
図２、図５及び図６を参照する。本実施形態では、フレーム１２２ａは少なくとも１つの収容兼取り出し用孔１２２ｆを有する。収容兼取り出し用孔１２２ｆは収納溝１２２ｂに対しフレーム１２２ａの面方向に連通する。作業者がウエハーＷの取り出しまたは収容を行う際に、収容兼取り出し用孔１２２ｆに作業者の手が入れられ、ウエハーＷが載置台１２２中から安定的に取り出されるか、ウエハーＷが載置台１２２中に収容される。
【００２０】
図１、図２及び図５を参照する。ケース１１０は第二位置限定ロッド１１４を有する。収納空間１１２は第二開口１１２ａを有し、第二開口１１２ａはシャフト１１１と第二位置限定ロッド１１４との間に位置する。載置台１２２が収納空間１１２に収納されると、握り部１２３が第二位置限定ロッド１１４に衝止され、且つ握り部１２３が収納空間１１２の外に位置する。
【００２１】
図２、図５及び図６を参照する。本実施形態では、握り部１２３には第二磁石Ｍ２が設置される。載置台１２２が収納空間１１２に収納されると共に握り部１２３が第二位置限定ロッド１１４に衝止されると、握り部１２３が第二磁石Ｍ２により第二位置限定ロッド１１４に吸着される。これにより、予期せぬ外力により担体１２０が駆動されて載置台１２２が収納空間１１２から離間されないようにする。
【００２２】
図１、図２、図４及び図５を参照する。ケース１１０は支持部材１１５を有し、支持部材１１５は複数の支持部１１５ａを有する。図４及び図５に示すように、担体１２０が収納空間１１２に収納されると、支持部１１５ａにより載置台１２２が支持される。好ましくは、シャフト１１１、第二位置限定ロッド１１４、及び支持部材１１５により三角形支持フレームが構成される(図５参照、図面では一点鎖線で表示される)。
担体１２０はシャフト１１１を中心として収納空間１１２中に自由に揺動し、枢接孔１２１がシャフト１１１に枢接され、握り部１２３が第二位置限定ロッド１１４及び載置台１２２に衝止されて支持部材１１５により支持される。これにより、担体１２０が収納空間１１２中に安定的に収納される。
【００２３】
図１、図２、図５及び図６を参照する。ウエハーカセット１００はストッパ１５０を更に備え、ストッパ１５０はケース１１０に可動に枢接される。図５に示すように、載置台１２２が収納空間１１２に収納されると、握り部１２３が第二位置限定ロッド１１４とストッパ１５０との間に位置決めされる。これにより、載置台１２２が予期せぬ外力により駆動されて収納空間１１２から離間されるのを防ぐ。
図５及び図６を参照する。載置台１２２を駆動させる場合、ストッパ１５０を揺動させると共に握り部１２３から脱離させ、載置台１２２を駆動させて、載置台１２２を収納空間１１２から離間させ、ウエハーＷを着脱させる。
【００２４】
本明細書に開示された実施例は、本発明を限定するものではなく、説明するためのものであり、このような実施例によって本発明の思想と範囲が限定されるものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲により解釈すべきであり、それと同等の範囲内にある全ての技術は、本発明の権利範囲に含まれるものと解釈すべきである。
【符号の説明】
【００２５】
１００：ウエハーカセット、
１１０：ケース、
１１１：シャフト、
１１２：収納空間、１１２ａ：第二開口、
１１３：第一位置限定ロッド、
１１４：第二位置限定ロッド、
１１５：支持部材、１１５ａ：支持部、
１２０：担体、
１２１：枢接孔、
１２２：載置台、１２２ａ：フレーム、１２２ｂ：収納溝、１２２ｃ：第一開口、
１２２ｄ：載置板、１２２ｅ：内側壁、１２２ｆ：収容兼取り出し用孔、
１２３：握り部、
１２４：枢接部、
１２５：マーク、
１３０：スペーサ、１４０：ベアリング、１４１：ビアホール、１５０：ストッパ、
Ｗ：ウエハー、
Ｍ１：第一磁石、Ｍ２：第二磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【手続補正書】
【提出日】平成29年12月28日(2017.12.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャフト及び収納空間を有するケースと、
枢接孔、及び、ウエハーの載置に用いられる載置台を各々有する複数の担体であって、前記枢接孔により前記シャフトに可動に枢接され、前記シャフトを中心として自由に揺動し、前記載置台が前記収納空間中に収納されるか前記収納空間から離間される複数の担体と、
を備え、
前記載置台は、前記ウエハーの収納に用いられる収納溝、前記収納溝を包囲し前記収納溝に連通する第一開口を有するフレーム、及び、前記フレームに接続され且つ前記収納溝中に位置し前記ウエハーの載置に用いられる載置板を有し、
前記第一開口は実質的に円形の開口であり、前記第一開口の直径は前記ウエハーの直径以上であり、
前記担体は、前記載置台の前記フレームに接続される握り部を有し、前記ケースは第二位置限定ロッドを有し、前記収納空間は、前記シャフトと前記第二位置限定ロッドとの間に位置する第二開口を有し、
前記載置台が前記収納空間に収納されると、前記握り部が前記第二位置限定ロッドに衝止され、前記握り部が前記収納空間の外に位置することを特徴とするウエハーカセット。
【請求項２】
前記フレームの内側壁は傾斜する側壁であり、前記内側壁の壁面は前記第一開口に向けられることを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項３】
前記握り部には第二磁石が設置され、
前記握り部が前記第二位置限定ロッドに衝止されると、前記握り部は前記第二磁石により前記第二位置限定ロッドに吸着されることを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項４】
前記ケースは第一位置限定ロッドを有し、
前記担体は、前記載置台の前記フレームに接続し前記枢接孔が形成される枢接部を有し、
前記載置台が前記収納空間から離間された後、前記枢接部が前記第一位置限定ロッドに衝止されることを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項５】
前記枢接部には第一磁石が設置され、
前記枢接部が前記第一位置限定ロッドに衝止されると、前記枢接部が前記第一磁石により前記第一位置限定ロッドに吸着されることを特徴とする、請求項４に記載のウエハーカセット。
【請求項６】
前記ケースは、複数の支持部を有する支持部材を有し、
前記担体が前記収納空間に収納されると、前記支持部により前記載置台が支持されることを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項７】
前記ケースは第二位置限定ロッドを有し、前記収納空間は、前記シャフトと前記第二位置限定ロッドとの間に位置する第二開口を有し、
前記シャフト、前記第二位置限定ロッド、及び前記支持部材により三角形支持フレームが構成されることを特徴とする、請求項６に記載のウエハーカセット。
【請求項８】
シャフトに設置されると共に隣接する２つの担体の間に位置する複数のスペーサを更に備えることを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項９】
前記担体は、前記枢接孔が形成される枢接部を有し、
前記スペーサは、隣接する２つの前記枢接部の間に位置することを特徴とする、請求項８に記載のウエハーカセット。
【請求項１０】
ビアホールを有する複数のベアリングを更に備え、
前記ベアリングは、前記担体の前記枢接孔が形成される枢接部に結合され、前記ビアホールは前記枢接孔に対応し、前記シャフトは前記枢接孔及び前記ビアホールを貫通することを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項１１】
前記フレームは、前記収納溝に対し前記フレームの面方向に連通する少なくとも１つの収容兼取り出し用孔を有することを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項１２】
前記ケースに可動に枢接されるストッパを更に備え、
前記載置台が前記収納空間に収納されると、前記握り部が前記第二位置限定ロッドと前記ストッパとの間に位置決めされることを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項１３】
前記担体にはマークが表示されることを特徴とする、請求項１に記載のウエハーカセット。
【請求項１４】
前記担体は握り部を有し、前記マークは前記握り部に表示されることを特徴とする、請求項１３に記載のウエハーカセット。