(57)【要約】【課題】フィルタの減衰特性を良好に保つことができる弾性表面波フィルタを提供する。【解決手段】弾性表面波フィルタ１は、圧電基板１０の主面において、入力端子１１と出力端子１２との間に接続された、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅを有する縦結合型フィルタ部３０と、入力端子１１と縦結合型フィルタ部３０との間のノードと、グランドとの間に接続された並列腕共振子２０ｐと、を備え、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄの入力側のＩＤＴ電極をグランドに接続する配線４０ｄと、並列腕共振子２０ｐをグランドに接続する配線４０ｃとは、それぞれ独立して配置され、かつ、同一のグランド端子１３に接続されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板の主面において、入力端子と出力端子との間に接続された、縦結合型共振子を有する縦結合型フィルタ部と、
前記入力端子と前記縦結合型フィルタ部との間のノードと、グランドとの間に接続された並列腕共振子と、を備え、
前記縦結合型共振子の入力側のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極をグランドに接続する第１の配線および前記縦結合型共振子の出力側のＩＤＴ電極をグランドに接続する第２の配線のうちの少なくとも一方と、前記並列腕共振子をグランドに接続する第３の配線とは、それぞれ独立して配置され、かつ、同一の端子に接続されている、
弾性表面波フィルタ。
【請求項２】
前記第１の配線と前記第３の配線、および、前記第２の配線と前記第３の配線は、それぞれ独立して配置され、かつ、前記第１の配線、前記第２の配線および前記第３の配線は、前記同一の端子に接続されている、
請求項１に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３】
前記入力端子と前記縦結合型フィルタ部との間に直列に接続された直列腕共振子を備え、
前記並列腕共振子は、前記直列腕共振子と前記縦結合型フィルタ部との間のノードとグランドとの間に接続されている、
請求項１または２に記載の弾性表面波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、縦結合共振子型フィルタに接続されたラダー型フィルタを備える弾性波フィルタ装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の弾性表面波フィルタは、入力端子と出力端子との間に、直列腕共振子と並列腕共振子とが交互にされたラダー型フィルタ部と、縦結合型フィルタ部とを備えている。特許文献１に記載の弾性表面波フィルタは、縦結合型フィルタ部のグランド配線とラダー型フィルタ部の並列腕共振子のグランド配線とを共通化することで、基板上の配線の面積を減少させ、小型化を実現している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１１／０６１９０４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来技術にかかる弾性表面波フィルタでは、縦結合型フィルタ部のグランド配線とラダー型フィルタ部の並列腕共振子のグランド配線とを共通化しているので、共通化させた部分のグランド配線は、寄生インダクタンスの影響を受けやすい。これにより、弾性表面波フィルタの減衰特性が悪化するという問題がある。
【０００６】
上記課題に鑑み、本発明は、フィルタの減衰特性を良好に保つことができる弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明にかかる弾性表面波フィルタの一態様は、圧電基板の主面において、入力端子と出力端子との間に接続された、縦結合型共振子を有する縦結合型フィルタ部と、前記入力端子と前記縦結合型フィルタ部との間のノードと、グランドとの間に接続された並列腕共振子と、を備え、前記縦結合型共振子の入力側のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極をグランドに接続する第１の配線および前記縦結合型共振子の出力側のＩＤＴ電極をグランドに接続する第２の配線のうちの少なくとも一方と、前記並列腕共振子をグランドに接続する第３の配線とは、それぞれ独立して配置され、かつ、同一の端子に接続されている。
【０００８】
これにより、ラダー型フィルタ部の並列腕共振子のグランド配線と縦結合型フィルタ部グランド配線とは共通化されていないので、グランド配線を共通化させることによって生ずる寄生インダクタンス成分を小さくすることができる。これにより、フィルタ低域側において弾性表面波フィルタの減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加することができる。また、ラダー型フィルタ部の並列腕共振子のグランド端子と縦結合型フィルタのグランド端子を共通化することにより、グランド端子の数を減少させることができる。これにより、弾性表面波フィルタの透過特性を良好に保ちつつ、弾性表面波フィルタを小型化することができる。
【０００９】
また、前記第１の配線と前記第３の配線、および、前記第２の配線と前記第３の配線は、それぞれ独立して配置され、かつ、前記第１の配線、前記第２の配線および前記第３の配線は、前記同一の端子に接続されていてもよい。
【００１０】
これにより、縦結合型フィルタ部においてグランド電位が強化されるため、フィルタ低域側において弾性表面波フィルタの透過特性を急峻にし、かつ、減衰量を増加することができる。つまり、弾性表面波フィルタの透過特性をさらに良化することができる。また、ラダー型フィルタ部の並列腕共振子のグランド端子と縦結合型フィルタのグランド端子を共通化することにより、グランド端子の数を減少させ、弾性表面波フィルタを小型化することができる。
【００１１】
また、前記入力端子と前記縦結合型フィルタ部との間に直列に接続された直列腕共振子を備え、前記並列腕共振子は、前記直列腕共振子と前記縦結合型フィルタ部との間のノードとグランドとの間に接続されていてもよい。
【００１２】
これにより、通過帯域のインピーダンスを調整する等、弾性表面波フィルタの通過特性をさらに良化し、帯域外高域側における減衰を確保することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、フィルタの減衰特定を良好に保ちつつ小型化を実現することができる弾性表面波フィルタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態１にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。
【図２】実施の形態１にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す回路図である。
【図３】実施の形態１にかかる弾性表面波フィルタの並列腕共振子の構成を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示した一点鎖線における矢視断面図である。
【図４】実施の形態１にかかる弾性表面波フィルタの縦結合型フィルタ部の構成を示す概略平面図である。
【図５】比較例にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。
【図６】比較例にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す回路図である。
【図７】実施の形態２にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。
【図８】実施の形態２にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す回路図である。
【図９】実施の形態２にかかる弾性表面波フィルタの透過特性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される、数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態などは一例であって本発明を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００１６】
また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化する。
【００１７】
以下、実施の形態について、図１〜図５を用いて説明する。
【００１８】
［１．弾性表面波フィルタの構成］
はじめに、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１の構成について説明する。図１は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１の構成を示す平面図である。図２は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す回路図である。
【００１９】
弾性表面波フィルタ１ａは、例えば、Ｂａｎｄ１２の受信帯域（７２９―７４６ＭＨｚ）およびＢａｎｄ１３の受信帯域（７４６−７５６ＭＨｚ）を通過帯域とする受信フィルタである。
【００２０】
図１および図２に示すように、弾性表面波フィルタ１は、基板１０上に、入力端子１１と、出力端子１２と、グランド端子１３および１４と、直列腕共振子２０ｓと、並列腕共振子２０ｐと、縦結合型フィルタ部３０と、配線４０ａ〜４０ｆとを備えている。
【００２１】
基板１０は、例えば、所定のカット角で切断されたＬｉＮｂＯ３の単結晶からなる圧電基板である。基板１０では、所定の方向に弾性表面波が伝搬する。
【００２２】
入力端子１１、出力端子１２、グランド端子１３および１４は、基板１０上に形成されたバンプパッドである。
【００２３】
入力端子１１は、弾性表面波フィルタ１の外部から弾性表面波フィルタ１に高周波信号を入力するための端子である。出力端子１２は、弾性表面波フィルタ１を透過した高周波信号を、弾性表面波フィルタ１の外部に送出するための端子である。入力端子１１と出力端子１２とは、入れ替えてもよい。すなわち、入力端子１１は出力用の端子として用いてもよいし、出力端子１２は、入力用の端子として用いてもよい。
【００２４】
また、グランド端子１３および１４は、並列腕共振子２０ｐおよび後に詳述する縦結合型フィルタ部３０を構成する縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅの一部の電極をグランドに接続するための端子である。グランド端子１３および１４は、弾性表面波フィルタ１の外部のグランドと接続される。
【００２５】
入力端子１１、出力端子１２、グランド端子１３および１４は、例えばボンディングにより弾性表面波フィルタ１の外部と接続される。
【００２６】
ここで、グランド端子とは、グランド電位とみなせる一定の基準電位を有する端子（基準端子）のことであり、弾性表面波フィルタ１の外部と接続される外部接続端子と、当該外部接続端子の外縁から所定の範囲拡大した領域をいう。所定の範囲とは、例えば、グランド端子１３および１４と接続される配線４０ｃ、４０ｄおよび４０ｅの、当該グランド端子１３および１４との接続点における線幅の３％以内の領域をいう。例えば、外部接続端子および外部接続端子の外縁から配線４０ｃ、４０ｄおよび４０ｅの線幅の３％外側に拡大した領域に広がったはんだおよびバンプ等は、グランド端子とみなすこととなる。
【００２７】
直列腕共振子２０ｓと縦結合型フィルタ部３０とは、入力端子１１と出力端子１２との間にこの順に直列に接続されている。すなわち、直列腕共振子２０ｓは、入力端子１１と縦結合型フィルタ部３０との間に直列に接続されている。
【００２８】
また、入力端子１１と縦結合型フィルタ部３０との間のノードと、グランド（基準端子）との間に接続されている。より詳細には、並列腕共振子２０ｐは、入力端子１１と縦結合型フィルタ部３０との間に直列に接続された直列腕共振子２０ｓと縦結合型フィルタ部３０との接続点と、グランドとの間に接続されている。これにより、直列腕共振子２０ｓと並列腕共振子２０ｐとは、ラダー型フィルタ部を構成している。直列腕共振子２０ｓと並列腕共振子２０ｐとは、同一の構成である。直列腕共振子２０ｓと並列腕共振子２０ｐの詳細な構成については、後に詳述する。
【００２９】
縦結合型フィルタ部３０は、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅと、反射器３２および３３と、入力ポート３６および出力ポート３８とを備えている。反射器３２および３３は、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅを挟んで、縦結合型フィルタ部３０の両端に配置されている。
【００３０】
縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｅの入力側は、入力ポート３６において束ねられている。入力ポート３６は、直列腕共振子２０ｓに直列に接続されている。縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｅの出力側は束ねられており、後述する配線４０ｆを介してグランド端子１４に接続されている。
【００３１】
縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄの入力側は束ねられており、配線４０ｄを介してグランド端子１３に接続されている。縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄの出力側は、出力ポート３８において束ねられている。出力ポート３８は、出力端子１２に接続されている。
【００３２】
なお、縦結合型フィルタ部３０、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅの構成については、後に詳述する。
【００３３】
配線４０ａ〜４０ｆは、基板１０に形成された直列腕共振子２０ｓ、並列腕共振子２０ｐ、縦結合型フィルタ部３０と、入力端子１１、出力端子１２、グランド端子１３および１４との間を、図２に示す回路を構成するように接続する配線である。配線４０ａ〜４０ｆは、例えば○○等により構成され、基板１０上にパターニングされている。
【００３４】
配線４０ａは、入力端子１１と直列腕共振子２０ｓとを接続する配線である。配線４０ｂは、直列腕共振子２０ｓと縦結合型フィルタ部３０とを接続する配線である。配線４０ｂとグランド端子１３との間には、並列腕共振子２０ｐが接続されている。配線４０ｃは、並列腕共振子２０ｐをグランド端子１３に接続する配線である。配線４０ｄは、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄをグランド端子１３に接続する配線である。配線４０ｅは、縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｅをグランド端子１４に接続する配線である。配線４０ｆは、縦結合型フィルタ部３０と出力端子１２とを接続する配線である。なお、配線４０ｄ、４０ｅおよび４０ｃは、それぞれ、本発明における第１の配線、第２の配線および第３の配線である。
【００３５】
弾性表面波フィルタ１において、配線４０ｃと配線４０ｄとは、いずれもグランド端子１３に接続されたグランド配線である。このとき、配線４０ｃと配線４０ｄとは、グランド端子１３にそれぞれ別々に接続され、グランド端子１３以外の部分では、共通化されていない。すなわち、配線４０ｃと配線４０ｄとは、基板１０上に独立して配置された引き回し配線であり、同一のグランド端子１３に接続されている。
【００３６】
なお、配線４０ａ〜４０ｅと、入力端子１１、出力端子１２、グランド端子１３および１４は、基板１０上に同時にパターニング形成されてもよいし、別々に形成されてもよい。
【００３７】
以下、並列腕共振子２０ｐを例として、共振子の構成について説明する。直列腕共振子２０ｓについては並列腕共振子２０ｐと同一の構成であるため、詳細な説明を省略する。
【００３８】
［２．共振子の構成］
図３は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１の並列腕共振子２０ｐの構成を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示した一点鎖線における矢視断面図である。
【００３９】
図３の（ａ）および（ｂ）に示すように、並列腕共振子２０ｐは、圧電基板２６と、櫛形形状を有するＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極２１ａおよび２１ｂとで構成されている。
【００４０】
圧電基板２６は、上述した基板１０に相当し、例えば、所定のカット角で切断されたＬｉＮｂＯ３の単結晶からなる。圧電基板２６では、所定の方向に弾性表面波が伝搬する。
【００４１】
図３の（ａ）に示すように、圧電基板２６の上には、対向する一対のＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂが形成されている。ＩＤＴ電極２１ａは、互いに平行な複数の電極指２２ａと、複数の電極指２２ａを接続するバスバー電極２４ａとで構成されている。また、ＩＤＴ電極２１ｂは、互いに平行な複数の電極指２２ｂと、複数の電極指２２ｂを接続するバスバー電極２４ｂとで構成されている。ＩＤＴ電極２１ａとＩＤＴ電極２１ｂとは、ＩＤＴ電極２１ａとＩＤＴ電極２１ｂのうちの一方の複数の電極指２２ａのそれぞれの間に、他方の複数の電極指２２ａのそれぞれが配置される構成となっている。
【００４２】
また、ＩＤＴ電極２１ａおよびＩＤＴ電極２１ｂは、図３の（ｂ）に示すように、密着層２７と主電極層２８とが積層された構造となっている。
【００４３】
密着層２７は、圧電基板２６と主電極層２８との密着性を向上させるための層であり、材料としては、例えば、ＮｉＣｒが用いられる。密着層２７の膜厚は、例えば、１０ｎｍである。密着層２７の材料および膜厚は、これに限らず適宜変更してもよい。
【００４４】
主電極層２８は、材料として、例えばＰｔが用いられる。主電極層２８は、一種類の膜厚であり、例えば８３ｎｍである。これにより、製造工程を簡単化することができるため、低コストを実現できる。なお、主電極層２８の材料および膜厚は、これに限らず適宜変更してもよい。
【００４５】
保護層２９は、ＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂを覆うように形成されている。保護層２９は、主電極層２８を外部環境から保護する、周波数温度特性を調整する、および、耐湿性を高めるなどを目的とする層である。保護層２９は、例えば、二酸化ケイ素を主成分とする膜である。保護層２９は、一種類の膜厚であってもよい。
【００４６】
なお、密着層２７、主電極層２８および保護層２９を構成する材料は、上述した材料に限定されない。さらに、ＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂは、上記積層構造でなくてもよい。ＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂは、例えば、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄなどの金属又は合金から構成されてもよく、また、上記の金属又は合金から構成される複数の積層体から構成されてもよい。また、保護層２９は、形成されていなくてもよい。
【００４７】
なお、図３に示すパラメータλ、Ｓ、Ｗ、Ｌは、それぞれ、電極指２２ａおよび２２ｂの繰り返しピッチ、電極指２２ａと電極指２２ｂとの間隔、電極指２２ａおよび２２ｂの幅、ＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂの交叉幅である。
【００４８】
なお、弾性表面波フィルタ１の構造は、図３の（ａ）および（ｂ）に記載された構造に限定されない。例えば、ＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂは、金属膜の積層構造ではなく、金属膜の単層であってもよい。
【００４９】
図４は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１の縦結合型フィルタ部３０の構成を示す概略平面図である。
【００５０】
縦結合型フィルタ部３０は、図４に示すように、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅと、反射器３２および３３と、入力ポート３６および出力ポート３８とを備えている。
【００５１】
縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅは、それぞれ、互いに対向する一対のＩＤＴ電極で構成されている。縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄは、縦結合型共振子３０ｃを挟み込むように配置され、縦結合型共振子３０ａおよび３０ｅは、縦結合型共振子３０ｂ〜３０ｄを挟み込むように配置されている。また、縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｅは、弾性表面波フィルタ１の入力端子１１側に設けられた入力ポート３６と基準端子（グランド）との間に並列接続され、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄは、弾性表面波フィルタ１の出力端子１２側に設けられた出力ポート３８と基準端子との間に並列接続されている。
【００５２】
なお、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅのそれぞれの構成は、上述した並列腕共振子２０ｐの構成と同様であるため、詳細な説明は省略する。また、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅのＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂ、直列腕共振子２０ｓおよび並列腕共振子２０ｐの少なくともいずれかのＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂは、一種類の膜厚で形成されていてもよい。
【００５３】
［３．比較例にかかる弾性表面波フィルタの構成］
ここで、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１の理解を深めるために、比較例を挙げて説明する。図５は、比較例にかかる弾性表面波フィルタ１ａの構成を示す平面図である。図６は、比較例にかかる弾性表面波フィルタ１ａの構成を示す回路図である。
【００５４】
比較例に係る弾性表面波フィルタ１ａは、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１と同様、基板１０上に、入力端子１１と、出力端子１２と、グランド端子１３および１４と、直列腕共振子２０ｓと、並列腕共振子２０ｐと、縦結合型フィルタ部３０とを備えているが、並列腕共振子２０ｐとグランド端子１３とを接続する配線、および、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄとグランド端子１３とを接続する配線の構成が異なっている。
【００５５】
図５に示すように、弾性表面波フィルタ１ａにおいて、並列腕共振子２０ｐと、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄとは、配線４１によりグランド端子１３に接続されている。つまり、配線４１は、並列腕共振子２０ｐとグランド端子１３、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄとグランド端子１３とを接続するための共通化された配線である。したがって、図５において破線の矢印で示すように、並列腕共振子２０ｐからグランド端子１３、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄからグランド端子１３には、共通化された配線４１により信号が伝達される。つまり、図６に示すように、弾性表面波フィルタ１ａでは、引き回し配線である配線４１の長さが、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１よりも長いことになる。
【００５６】
一方、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１では、図１に示したように、並列腕共振子２０ｐとグランド端子１３とを接続する配線４０ｃと、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄとグランド端子１３とを接続する配線４０ｄとは、共通化されることなく独立して引き回され、それぞれが独立してグランド端子１３に接続されている。
【００５７】
このような構成により、弾性表面波フィルタ１では、弾性表面波フィルタ１ａと比較して、並列腕共振子２０ｐとグランド端子１３とを接続する配線（グランド配線）、および、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄとグランド端子１３とを接続する配線（グランド配線）を共通化させることによって生ずる寄生インダクタンス成分を小さくすることができる。これにより、弾性表面波フィルタ１の帯域の低域側において、弾性表面波フィルタ１の減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加させることができる。したがって、透過特性の良い弾性表面波フィルタ１を実現することができる。
【００５８】
［４．効果等］
以上、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１によると、並列腕共振子２０ｐとグランド端子１３とを接続する配線、および、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄとグランド端子１３とを接続する配線を共通化させることによって生ずる寄生インダクタンス成分を小さくすることができる。これにより、弾性表面波フィルタ１の帯域の低域側において、弾性表面波フィルタ１の減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加させることができる。したがって、透過特性の良い弾性表面波フィルタ１を実現することができる。
【００５９】
なお、上述した実施の形態では、弾性表面波フィルタ１として直列腕共振子２０ｓと、並列腕共振子２０ｐと、縦結合型フィルタ部３０とを備える構成について説明したが、弾性表面波フィルタ１は、少なくとも並列腕共振子２０ｐと縦結合型フィルタ部３０とを備えていればよく、所望の通過帯域に応じて直列腕共振子２０ｓを備えない構成としてもよい。この場合であっても、弾性表面波フィルタ１の帯域の低域側において、弾性表面波フィルタ１の減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加させることができる。また、通過帯域のインピーダンスを調整する等、弾性表面波フィルタ１の通過特性をさらに良化し、帯域外高域側における減衰を確保することができる。
【００６０】
また、上述した実施の形態では、縦結合型フィルタ部３０の縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄの入力側をグランド端子１３に接続させる構成としたが、縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｃの出力側をグランド端子１３に接続させる構成としてもよいし、両方をグランド端子１３に接続させる構成としてもよい。
【００６１】
（実施の形態２）
次に、実施の形態２にかかる弾性表面波フィルタ２について説明する。
【００６２】
本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ２が実施の形態１にかかる弾性表面波フィルタ１と異なる点は、縦結合型フィルタ部３０において、グランド電位に接続される配線を全てグランド端子１３に接続させている点である。
【００６３】
図７は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ２の構成を示す平面図である。図８は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ２の構成を示す回路図である。
【００６４】
図７に示すように、弾性表面波フィルタ２は、実施の形態１に示した弾性表面波フィルタ１と同様、基板１０上に、入力端子１１と、出力端子１２と、グランド端子１３および１４と、直列腕共振子２０ｓと、並列腕共振子２０ｐと、縦結合型フィルタ部３０とを備えている。入力端子１１、出力端子１２、グランド端子１３および１４、直列腕共振子２０ｓ、並列腕共振子２０ｐ、縦結合型フィルタ部３０の構成は、実施の形態１にかかる弾性表面波フィルタ１における入力端子１１、出力端子１２、グランド端子１３および１４、直列腕共振子２０ｓ、並列腕共振子２０ｐ、縦結合型フィルタ部３０と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００６５】
また、弾性表面波フィルタ２は、配線４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｅ、４２とを有している。配線４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｅは、実施の形態１に示した配線４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｅと同様である。
【００６６】
配線４２は、図７および図８に示すように、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄの入力側をグランド端子１３に接続するための配線である。配線４０ｅは、上述したように、縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｅの出力側をグランド端子１３に接続するための配線である。配線４０ｅと配線４２とは、図７に示すように、グランド端子１３に接続される直前に共通化されてグランド端子１３に接続されている。すなわち、図８に示すように、配線４０ｅと配線４２とは束ねられてグランド端子１３に接続されている。
【００６７】
これにより、図７に示す実線の矢印のように、縦結合型フィルタ部３０における縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅは、すべてグランド端子１３に接続されている。また、図７に示すように、並列腕共振子２０ｐは、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅをグランド端子１３に接続するための配線４０ｅおよび４２とは別の、独立した配線４０ｃによりグランド端子１３に接続されている。つまり、配線４０ｃと、配線４０ｅおよび４２とは、独立して引き回されてグランド端子１３に接続されている。
【００６８】
この構成によれば、実施の形態１に示した弾性表面波フィルタ１で用いていたグランド端子１４を使用する必要がないので、グランド端子１４を設けることを省略することができる。したがって、弾性表面波フィルタ２おいては、グランド端子の数を減少させ、小型化することができる。
【００６９】
ここで、弾性表面波フィルタ２の透過特性について説明する。図９は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ２の透過特性を示す図である。図９では、比較のために実施の形態１に示した比較例にかかる弾性表面波フィルタ１ａの透過特性についても示している。
【００７０】
図９において破線で示すように、比較例に係る弾性表面波フィルタ１ａでは、通過帯域の低域側における減衰帯域において減衰量が小さくなり、減衰がなだらかになっている。
【００７１】
これに対し、図９において実線で示す弾性表面波フィルタ２では、通過帯域の低域側における減衰帯域において、弾性表面波フィルタ１ａの場合よりも減衰量が大きく、減衰が急峻になっている。つまり、弾性表面波フィルタ２によると、弾性表面波フィルタ２の帯域の低域側において、減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加させることができるといえる。
【００７２】
以上、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ２によると、並列腕共振子２０ｐとグランド端子１３とを接続する配線４０ｃと、縦結合型フィルタ部３０における縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅとグランド端子１３とを接続する配線４２とは、共通化されることなく独立して引き回されているので、配線４０ｃと４２とを共通化させることによって生ずる寄生インダクタンス成分を小さくすることができる。これにより、弾性表面波フィルタ２の帯域の低域側において減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加することができる。
【００７３】
また、並列腕共振子２０ｐのグランド端子１３と、縦結合型フィルタ部３０における縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅのグランド端子１３とを共通化することにより、グランド端子の数を減少させることができる。これにより、弾性表面波フィルタの透過特性を良好に保ちつつ、弾性表面波フィルタを小型化することができる。
【００７４】
なお、本実施の形態においても、弾性表面波フィルタ２は、少なくとも並列腕共振子２０ｐと縦結合型フィルタ部３０とを備えていればよく、所望の通過帯域に応じて直列腕共振子２０ｓを備えない構成としてもよい。この場合であっても、弾性表面波フィルタ２の帯域の低域側において、弾性表面波フィルタ２の減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加させることができる。
【００７５】
（その他の実施の形態）
なお、本発明は、上述した実施の形態に記載した構成に限定されるものではなく、例えば以下に示す変形例のように、適宜変更を加えてもよい。
【００７６】
例えば、上述した実施の形態では、弾性表面波フィルタ１は、Ｂａｎｄ１２およびＢａｎｄ１３の受信帯域を通過帯域とする受信フィルタとしたが、これに限らず、弾性表面波フィルタ１は、他の周波数帯域を受信帯域とする受信フィルタであってもよい。また、弾性表面波フィルタ１は、受信フィルタに限らず、送信フィルタであってもよいし、送受信のいずれも行うことができる送受信フィルタであってもよい。
【００７７】
また、上述した実施の形態１に示した弾性表面波フィルタ１では、縦結合型フィルタ部３０の縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄの入力側をグランド端子１３に接続させる構成としたが、縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｃの出力側をグランド端子１３に接続させる構成としてもよいし、実施の形態２に示した弾性表面波フィルタ２のように、両方をグランド端子１３に接続させる構成としてもよい。
【００７８】
また、上述した実施の形態では、縦結合型フィルタ部３０は、５つの縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅを備える構成としたが、これに限らず、縦結合型共振子の数を変更してもよい。
【００７９】
また、上述した実施の形態では、弾性表面波フィルタ１は、縦結合型フィルタ部３０に直列腕共振子２０ｓと並列腕共振子２０ｐとの組を１組接続した構成としたが、これに限らず、縦結合型フィルタ部３０に少なくとも１つの並列腕共振子２０ｐが接続された構成であればよい。つまり、直列腕共振子２０ｓおよび並列腕共振子２０ｐの個数は適宜変更してもよい。例えば、直列腕共振子を３つ、並列腕共振子を２つ備え、直列腕共振子の接続点のそれぞれに、並列腕共振子が接続された構成であってもよい。
【００８０】
その他、上述の実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態、または、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で上述の実施の形態における構成要素および機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明は、弾性表面波フィルタを利用した送信装置、受信装置等の通信機器等に利用することができる。
【符号の説明】
【００８２】
１、１ａ、２  弾性表面波フィルタ
１０  基板（圧電基板）
１１  入力端子
１２  出力端子
１３、１４  グランド端子
２０ｓ  直列腕共振子
２０ｐ  並列腕共振子
２１ａ、２１ｂ  ＩＤＴ電極
２２ａ、２２ｂ  電極指
２４ａ、２４ｂ  バスバー電極
２６  圧電基板
２７  密着層
２８  主電極層
２９  保護層
３０  縦結合型フィルタ部
３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅ  縦結合型共振子
３２、３３  反射器
４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ、４０ｅ、４０ｆ、４１、４２  配線
【図１】
2018082339.tif 000003
【図２】
2018082339.tif 000004
【図３】
2018082339.tif 000005
【図４】
2018082339.tif 000006
【図５】
2018082339.tif 000007
【図６】
2018082339.tif 000008
【図７】
2018082339.tif 000009
【図８】
2018082339.tif 000010
【図９】
2018082339.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成29年10月2日(2017.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、縦結合共振子型フィルタに接続されたラダー型フィルタを備える弾性波フィルタ装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の弾性表面波フィルタは、入力端子と出力端子との間に、直列腕共振子と並列腕共振子とが交互にされたラダー型フィルタ部と、縦結合型フィルタ部とを備えている。特許文献１に記載の弾性表面波フィルタは、縦結合型フィルタ部のグランド配線とラダー型フィルタ部の並列腕共振子のグランド配線とを共通化することで、基板上の配線の面積を減少させ、小型化を実現している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１１／０６１９０４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来技術にかかる弾性表面波フィルタでは、縦結合型フィルタ部のグランド配線とラダー型フィルタ部の並列腕共振子のグランド配線とを共通化しているので、共通化させた部分のグランド配線は、寄生インダクタンスの影響を受けやすい。これにより、弾性表面波フィルタの減衰特性が悪化するという問題がある。
【０００６】
上記課題に鑑み、本発明は、フィルタの減衰特性を良好に保つことができる弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明にかかる弾性表面波フィルタの一態様は、圧電基板の主面において、入力端子と出力端子との間に接続された、縦結合型共振子を有する縦結合型フィルタ部と、前記入力端子と前記縦結合型フィルタ部との間のノードと、グランドとの間に接続された並列腕共振子と、を備え、前記縦結合型共振子の入力側のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極をグランドに接続する第１の配線および前記縦結合型共振子の出力側のＩＤＴ電極をグランドに接続する第２の配線のうちの少なくとも一方と、前記並列腕共振子をグランドに接続する第３の配線とは、それぞれ独立して配置され、かつ、同一の端子に接続されている。
【０００８】
これにより、ラダー型フィルタ部の並列腕共振子のグランド配線と縦結合型フィルタ部のグランド配線とは共通化されていないので、グランド配線を共通化させることによって生ずる寄生インダクタンス成分を小さくすることができる。これにより、フィルタ低域側において弾性表面波フィルタの減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加することができる。また、ラダー型フィルタ部の並列腕共振子のグランド端子と縦結合型フィルタ部のグランド端子を共通化することにより、グランド端子の数を減少させることができる。これにより、弾性表面波フィルタの透過特性を良好に保ちつつ、弾性表面波フィルタを小型化することができる。
【０００９】
また、前記第１の配線と前記第３の配線、および、前記第２の配線と前記第３の配線は、それぞれ独立して配置され、かつ、前記第１の配線、前記第２の配線および前記第３の配線は、前記同一の端子に接続されていてもよい。
【００１０】
これにより、縦結合型フィルタ部においてグランド電位が強化されるため、フィルタ低域側において弾性表面波フィルタの透過特性を急峻にし、かつ、減衰量を増加することができる。つまり、弾性表面波フィルタの透過特性をさらに良化することができる。また、ラダー型フィルタ部の並列腕共振子のグランド端子と縦結合型フィルタ部のグランド端子を共通化することにより、グランド端子の数を減少させ、弾性表面波フィルタを小型化することができる。
【００１１】
また、前記入力端子と前記縦結合型フィルタ部との間に直列に接続された直列腕共振子を備え、前記並列腕共振子は、前記直列腕共振子と前記縦結合型フィルタ部との間のノードとグランドとの間に接続されていてもよい。
【００１２】
これにより、通過帯域のインピーダンスを調整する等、弾性表面波フィルタの通過特性をさらに良化し、帯域外高域側における減衰を確保することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、フィルタの減衰特性を良好に保ちつつ小型化を実現することができる弾性表面波フィルタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態１にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。
【図２】実施の形態１にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す回路図である。
【図３】実施の形態１にかかる弾性表面波フィルタの並列腕共振子の構成を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示した一点鎖線における矢視断面図である。
【図４】実施の形態１にかかる弾性表面波フィルタの縦結合型フィルタ部の構成を示す概略平面図である。
【図５】比較例にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。
【図６】比較例にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す回路図である。
【図７】実施の形態２にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す平面図である。
【図８】実施の形態２にかかる弾性表面波フィルタの構成を示す回路図である。
【図９】実施の形態２にかかる弾性表面波フィルタの透過特性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される、数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置および接続形態などは一例であって本発明を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００１６】
また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化する。
【００１７】
以下、実施の形態について、図１〜図６を用いて説明する。
【００１８】
［１．弾性表面波フィルタの構成］
はじめに、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１の構成について説明する。図１は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１の構成を示す平面図である。図２は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１の構成を示す回路図である。
【００１９】
弾性表面波フィルタ１は、例えば、Ｂａｎｄ１２の受信帯域（７２９―７４６ＭＨｚ）およびＢａｎｄ１３の受信帯域（７４６−７５６ＭＨｚ）を通過帯域とする受信フィルタである。
【００２０】
図１および図２に示すように、弾性表面波フィルタ１は、基板１０上に、入力端子１１と、出力端子１２と、グランド端子１３および１４と、直列腕共振子２０ｓと、並列腕共振子２０ｐと、縦結合型フィルタ部３０と、配線４０ａ〜４０ｆとを備えている。
【００２１】
基板１０は、例えば、所定のカット角で切断されたＬｉＮｂＯ３の単結晶からなる圧電基板である。基板１０では、所定の方向に弾性表面波が伝搬する。
【００２２】
入力端子１１、出力端子１２、グランド端子１３および１４は、基板１０上に形成されたバンプパッドである。
【００２３】
入力端子１１は、弾性表面波フィルタ１の外部から弾性表面波フィルタ１に高周波信号を入力するための端子である。出力端子１２は、弾性表面波フィルタ１を透過した高周波信号を、弾性表面波フィルタ１の外部に送出するための端子である。入力端子１１と出力端子１２とは、入れ替えてもよい。すなわち、入力端子１１は出力用の端子として用いてもよいし、出力端子１２は、入力用の端子として用いてもよい。
【００２４】
また、グランド端子１３および１４は、並列腕共振子２０ｐおよび後に詳述する縦結合型フィルタ部３０を構成する縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅの一部の電極をグランドに接続するための端子である。グランド端子１３および１４は、弾性表面波フィルタ１の外部のグランドと接続される。
【００２５】
入力端子１１、出力端子１２、グランド端子１３および１４は、例えばボンディングにより弾性表面波フィルタ１の外部と接続される。
【００２６】
ここで、グランド端子とは、グランド電位とみなせる一定の基準電位を有する端子（基準端子）のことであり、弾性表面波フィルタ１の外部と接続される外部接続端子と、当該外部接続端子の外縁から所定の範囲拡大した領域をいう。所定の範囲とは、例えば、グランド端子１３および１４と接続される配線４０ｃ、４０ｄおよび４０ｅの、当該グランド端子１３および１４との接続点における線幅の３％以内の領域をいう。例えば、外部接続端子および外部接続端子の外縁から配線４０ｃ、４０ｄおよび４０ｅの線幅の３％外側に拡大した領域に広がったはんだおよびバンプ等は、グランド端子とみなすこととなる。
【００２７】
直列腕共振子２０ｓと縦結合型フィルタ部３０とは、入力端子１１と出力端子１２との間にこの順に直列に接続されている。すなわち、直列腕共振子２０ｓは、入力端子１１と縦結合型フィルタ部３０との間に直列に接続されている。
【００２８】
また、並列腕共振子２０ｐは、入力端子１１と縦結合型フィルタ部３０との間のノードと、グランド（基準端子）との間に接続されている。より詳細には、並列腕共振子２０ｐは、入力端子１１と縦結合型フィルタ部３０との間に直列に接続された直列腕共振子２０ｓと縦結合型フィルタ部３０との接続点と、グランドとの間に接続されている。これにより、直列腕共振子２０ｓと並列腕共振子２０ｐとは、ラダー型フィルタ部を構成している。直列腕共振子２０ｓと並列腕共振子２０ｐとは、同一の構成である。直列腕共振子２０ｓと並列腕共振子２０ｐの詳細な構成については、後に詳述する。
【００２９】
縦結合型フィルタ部３０は、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅと、反射器３２および３３と、入力ポート３６および出力ポート３８とを備えている。反射器３２および３３は、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅを挟んで、縦結合型フィルタ部３０の両端に配置されている。
【００３０】
縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｅの入力側は、入力ポート３６において束ねられている。入力ポート３６は、直列腕共振子２０ｓに直列に接続されている。縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｅの出力側は束ねられており、後述する配線４０ｅを介してグランド端子１４に接続されている。
【００３１】
縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄの入力側は束ねられており、配線４０ｄを介してグランド端子１３に接続されている。縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄの出力側は、出力ポート３８において束ねられている。出力ポート３８は、出力端子１２に接続されている。
【００３２】
なお、縦結合型フィルタ部３０、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅの構成については、後に詳述する。
【００３３】
配線４０ａ〜４０ｆは、基板１０に形成された直列腕共振子２０ｓ、並列腕共振子２０ｐ、縦結合型フィルタ部３０と、入力端子１１、出力端子１２、グランド端子１３および１４との間を、図２に示す回路を構成するように接続する配線である。配線４０ａ〜４０ｆは、基板１０上にパターニングされている。
【００３４】
配線４０ａは、入力端子１１と直列腕共振子２０ｓとを接続する配線である。配線４０ｂは、直列腕共振子２０ｓと縦結合型フィルタ部３０とを接続する配線である。配線４０ｂとグランド端子１３との間には、並列腕共振子２０ｐが接続されている。配線４０ｃは、並列腕共振子２０ｐをグランド端子１３に接続する配線である。配線４０ｄは、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄをグランド端子１３に接続する配線である。配線４０ｅは、縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｅをグランド端子１４に接続する配線である。配線４０ｆは、縦結合型フィルタ部３０と出力端子１２とを接続する配線である。なお、配線４０ｄ、４０ｅおよび４０ｃは、それぞれ、本発明における第１の配線、第２の配線および第３の配線である。
【００３５】
弾性表面波フィルタ１において、配線４０ｃと配線４０ｄとは、いずれもグランド端子１３に接続されたグランド配線である。このとき、配線４０ｃと配線４０ｄとは、グランド端子１３にそれぞれ別々に接続され、グランド端子１３以外の部分では、共通化されていない。すなわち、配線４０ｃと配線４０ｄとは、基板１０上に独立して配置された引き回し配線であり、同一のグランド端子１３に接続されている。
【００３６】
なお、配線４０ａ〜４０ｆと、入力端子１１、出力端子１２、グランド端子１３および１４は、基板１０上に同時にパターニング形成されてもよいし、別々に形成されてもよい。
【００３７】
以下、並列腕共振子２０ｐを例として、共振子の構成について説明する。直列腕共振子２０ｓについては並列腕共振子２０ｐと同一の構成であるため、詳細な説明を省略する。
【００３８】
［２．共振子の構成］
図３は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１の並列腕共振子２０ｐの構成を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示した一点鎖線における矢視断面図である。
【００３９】
図３の（ａ）および（ｂ）に示すように、並列腕共振子２０ｐは、圧電基板２６と、櫛形形状を有するＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極２１ａおよび２１ｂとで構成されている。
【００４０】
圧電基板２６は、上述した基板１０に相当し、例えば、所定のカット角で切断されたＬｉＮｂＯ３の単結晶からなる。圧電基板２６では、所定の方向に弾性表面波が伝搬する。
【００４１】
図３の（ａ）に示すように、圧電基板２６の上には、対向する一対のＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂが形成されている。ＩＤＴ電極２１ａは、互いに平行な複数の電極指２２ａと、複数の電極指２２ａを接続するバスバー電極２４ａとで構成されている。また、ＩＤＴ電極２１ｂは、互いに平行な複数の電極指２２ｂと、複数の電極指２２ｂを接続するバスバー電極２４ｂとで構成されている。ＩＤＴ電極２１ａとＩＤＴ電極２１ｂとは、ＩＤＴ電極２１ａとＩＤＴ電極２１ｂのうちの一方の複数の電極指２２ａのそれぞれの間に、他方の複数の電極指２２ｂのそれぞれが配置される構成となっている。
【００４２】
また、ＩＤＴ電極２１ａおよびＩＤＴ電極２１ｂは、図３の（ｂ）に示すように、密着層２７と主電極層２８とが積層された構造となっている。
【００４３】
密着層２７は、圧電基板２６と主電極層２８との密着性を向上させるための層であり、材料としては、例えば、ＮｉＣｒが用いられる。密着層２７の膜厚は、例えば、１０ｎｍである。密着層２７の材料および膜厚は、これに限らず適宜変更してもよい。
【００４４】
主電極層２８は、材料として、例えばＰｔが用いられる。主電極層２８は、一種類の膜厚であり、例えば８３ｎｍである。これにより、製造工程を簡単化することができるため、低コストを実現できる。なお、主電極層２８の材料および膜厚は、これに限らず適宜変更してもよい。
【００４５】
保護層２９は、ＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂを覆うように形成されている。保護層２９は、主電極層２８を外部環境から保護する、周波数温度特性を調整する、および、耐湿性を高めるなどを目的とする層である。保護層２９は、例えば、二酸化ケイ素を主成分とする膜である。保護層２９は、一種類の膜厚であってもよい。
【００４６】
なお、密着層２７、主電極層２８および保護層２９を構成する材料は、上述した材料に限定されない。さらに、ＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂは、上記積層構造でなくてもよい。ＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂは、例えば、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄなどの金属又は合金から構成されてもよく、また、上記の金属又は合金から構成される複数の積層体から構成されてもよい。また、保護層２９は、形成されていなくてもよい。
【００４７】
なお、図３に示すパラメータλ、Ｓ、Ｗ、Ｌは、それぞれ、電極指２２ａおよび２２ｂの繰り返しピッチ、電極指２２ａと電極指２２ｂの隣り合う電極指間の間隔、電極指２２ａおよび２２ｂの幅、ＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂの交叉幅である。
【００４８】
なお、弾性表面波フィルタ１の並列腕共振子２０ｐの構造は、図３の（ａ）および（ｂ）に記載された構造に限定されない。例えば、ＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂは、金属膜の積層構造ではなく、金属膜の単層であってもよい。
【００４９】
図４は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１の縦結合型フィルタ部３０の構成を示す概略平面図である。
【００５０】
縦結合型フィルタ部３０は、図４に示すように、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅと、反射器３２および３３と、入力ポート３６および出力ポート３８とを備えている。
【００５１】
縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅは、それぞれ、互いに対向する一対のＩＤＴ電極で構成されている。縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄは、縦結合型共振子３０ｃを挟み込むように配置され、縦結合型共振子３０ａおよび３０ｅは、縦結合型共振子３０ｂ〜３０ｄを挟み込むように配置されている。また、縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｅは、弾性表面波フィルタ１の入力端子１１側に設けられた入力ポート３６と基準端子（グランド）との間に並列接続され、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄは、弾性表面波フィルタ１の出力端子１２側に設けられた出力ポート３８と基準端子との間に並列接続されている。
【００５２】
なお、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅのそれぞれの構成は、上述した並列腕共振子２０ｐの構成と同様であるため、詳細な説明は省略する。また、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅのＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂ、直列腕共振子２０ｓおよび並列腕共振子２０ｐの少なくともいずれかのＩＤＴ電極２１ａおよび２１ｂは、一種類の膜厚で形成されていてもよい。
【００５３】
［３．比較例にかかる弾性表面波フィルタの構成］
ここで、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１の理解を深めるために、比較例を挙げて説明する。図５は、比較例にかかる弾性表面波フィルタ１ａの構成を示す平面図である。図６は、比較例にかかる弾性表面波フィルタ１ａの構成を示す回路図である。
【００５４】
比較例に係る弾性表面波フィルタ１ａは、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１と同様、基板１０上に、入力端子１１と、出力端子１２と、グランド端子１３および１４と、直列腕共振子２０ｓと、並列腕共振子２０ｐと、縦結合型フィルタ部３０とを備えているが、並列腕共振子２０ｐとグランド端子１３とを接続する配線、および、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄとグランド端子１３とを接続する配線の構成が異なっている。
【００５５】
図５に示すように、弾性表面波フィルタ１ａにおいて、並列腕共振子２０ｐと、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄとは、配線４１によりグランド端子１３に接続されている。つまり、配線４１は、並列腕共振子２０ｐとグランド端子１３、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄとグランド端子１３とを接続するための共通化された配線である。したがって、図５において破線の矢印で示すように、並列腕共振子２０ｐからグランド端子１３、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄからグランド端子１３には、共通化された配線４１により信号が伝達される。つまり、図５に示すように、弾性表面波フィルタ１ａでは、引き回し配線である配線４１の長さが、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１よりも長いことになる。
【００５６】
一方、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１では、図１に示したように、並列腕共振子２０ｐとグランド端子１３とを接続する配線４０ｃと、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄとグランド端子１３とを接続する配線４０ｄとは、共通化されることなく独立して引き回され、それぞれが独立してグランド端子１３に接続されている。
【００５７】
このような構成により、弾性表面波フィルタ１では、弾性表面波フィルタ１ａと比較して、並列腕共振子２０ｐとグランド端子１３とを接続する配線（グランド配線）、および、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄとグランド端子１３とを接続する配線（グランド配線）を共通化させることによって生ずる寄生インダクタンス成分を小さくすることができる。これにより、弾性表面波フィルタ１の帯域の低域側において、弾性表面波フィルタ１の減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加させることができる。したがって、透過特性の良い弾性表面波フィルタ１を実現することができる。
【００５８】
［４．効果等］
以上、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ１によると、並列腕共振子２０ｐとグランド端子１３とを接続する配線、および、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄとグランド端子１３とを接続する配線を共通化させることによって生ずる寄生インダクタンス成分を小さくすることができる。これにより、弾性表面波フィルタ１の帯域の低域側において、弾性表面波フィルタ１の減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加させることができる。したがって、透過特性の良い弾性表面波フィルタ１を実現することができる。
【００５９】
なお、上述した実施の形態では、弾性表面波フィルタ１として直列腕共振子２０ｓと、並列腕共振子２０ｐと、縦結合型フィルタ部３０とを備える構成について説明したが、弾性表面波フィルタ１は、少なくとも並列腕共振子２０ｐと縦結合型フィルタ部３０とを備えていればよく、所望の通過帯域に応じて直列腕共振子２０ｓを備えない構成としてもよい。この場合であっても、弾性表面波フィルタ１の帯域の低域側において、弾性表面波フィルタ１の減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加させることができる。また、通過帯域のインピーダンスを調整する等、弾性表面波フィルタ１の通過特性をさらに良化し、帯域外高域側における減衰を確保することができる。
【００６０】
また、上述した実施の形態では、縦結合型フィルタ部３０の縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄの入力側をグランド端子１３に接続させる構成としたが、縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｅの出力側をグランド端子１３に接続させる構成としてもよいし、両方をグランド端子１３に接続させる構成としてもよい。
【００６１】
（実施の形態２）
次に、実施の形態２にかかる弾性表面波フィルタ２について説明する。
【００６２】
本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ２が実施の形態１にかかる弾性表面波フィルタ１と異なる点は、縦結合型フィルタ部３０において、グランド電位に接続される配線を全てグランド端子１３に接続させている点である。
【００６３】
図７は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ２の構成を示す平面図である。図８は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ２の構成を示す回路図である。
【００６４】
図７に示すように、弾性表面波フィルタ２は、実施の形態１に示した弾性表面波フィルタ１と同様、基板１０上に、入力端子１１と、出力端子１２と、グランド端子１３および１４と、直列腕共振子２０ｓと、並列腕共振子２０ｐと、縦結合型フィルタ部３０とを備えている。入力端子１１、出力端子１２、グランド端子１３および１４、直列腕共振子２０ｓ、並列腕共振子２０ｐ、縦結合型フィルタ部３０の構成は、実施の形態１にかかる弾性表面波フィルタ１における入力端子１１、出力端子１２、グランド端子１３および１４、直列腕共振子２０ｓ、並列腕共振子２０ｐ、縦結合型フィルタ部３０と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００６５】
また、弾性表面波フィルタ２は、配線４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｅ、４０ｆ、４２とを有している。配線４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｅ、４０ｆは、実施の形態１に示した配線４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｅ、４０ｆと同様である。
【００６６】
配線４２は、図７および図８に示すように、縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄの入力側をグランド端子１３に接続するための配線である。配線４０ｅは、上述したように、縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｅの出力側をグランド端子１３に接続するための配線である。配線４０ｅと配線４２とは、図７に示すように、グランド端子１３に接続される直前に共通化されてグランド端子１３に接続されている。すなわち、図８に示すように、配線４０ｅと配線４２とは束ねられてグランド端子１３に接続されている。
【００６７】
これにより、図７に示す実線の矢印のように、縦結合型フィルタ部３０における縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅは、すべてグランド端子１３に接続されている。また、図７に示すように、並列腕共振子２０ｐは、縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅをグランド端子１３に接続するための配線４０ｅおよび４２とは別の、独立した配線４０ｃによりグランド端子１３に接続されている。つまり、配線４０ｃと、配線４０ｅおよび４２とは、独立して引き回されてグランド端子１３に接続されている。
【００６８】
この構成によれば、実施の形態１に示した弾性表面波フィルタ１で用いていたグランド端子１４を使用する必要がないので、グランド端子１４を設けることを省略することができる。したがって、弾性表面波フィルタ２おいては、グランド端子の数を減少させ、小型化することができる。
【００６９】
ここで、弾性表面波フィルタ２の透過特性について説明する。図９は、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ２の透過特性を示す図である。図９では、比較のために実施の形態１に示した比較例にかかる弾性表面波フィルタ１ａの透過特性についても示している。
【００７０】
図９において実線で示すように、比較例に係る弾性表面波フィルタ１ａでは、通過帯域の低域側における減衰帯域において減衰量が小さくなり、減衰がなだらかになっている。
【００７１】
これに対し、図９において実施の形態２として破線で示す弾性表面波フィルタ２では、通過帯域の低域側における減衰帯域において、弾性表面波フィルタ１ａの場合よりも減衰量が大きく、減衰が急峻になっている。つまり、弾性表面波フィルタ２によると、弾性表面波フィルタ２の帯域の低域側において、減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加させることができるといえる。
【００７２】
以上、本実施の形態にかかる弾性表面波フィルタ２によると、並列腕共振子２０ｐとグランド端子１３とを接続する配線４０ｃと、縦結合型フィルタ部３０における縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅとグランド端子１３とを接続する配線４２とは、共通化されることなく独立して引き回されているので、配線４０ｃと４２とを共通化させることによって生ずる寄生インダクタンス成分を小さくすることができる。これにより、弾性表面波フィルタ２の帯域の低域側において減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加することができる。
【００７３】
また、並列腕共振子２０ｐのグランド端子１３と、縦結合型フィルタ部３０における縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅのグランド端子１３とを共通化することにより、グランド端子の数を減少させることができる。これにより、弾性表面波フィルタの透過特性を良好に保ちつつ、弾性表面波フィルタを小型化することができる。
【００７４】
なお、本実施の形態においても、弾性表面波フィルタ２は、少なくとも並列腕共振子２０ｐと縦結合型フィルタ部３０とを備えていればよく、所望の通過帯域に応じて直列腕共振子２０ｓを備えない構成としてもよい。この場合であっても、弾性表面波フィルタ２の帯域の低域側において、弾性表面波フィルタ２の減衰を急峻にし、かつ、減衰量を増加させることができる。
【００７５】
（その他の実施の形態）
なお、本発明は、上述した実施の形態に記載した構成に限定されるものではなく、例えば以下に示す変形例のように、適宜変更を加えてもよい。
【００７６】
例えば、上述した実施の形態では、弾性表面波フィルタ１は、Ｂａｎｄ１２およびＢａｎｄ１３の受信帯域を通過帯域とする受信フィルタとしたが、これに限らず、弾性表面波フィルタ１は、他の周波数帯域を受信帯域とする受信フィルタであってもよい。また、弾性表面波フィルタ１は、受信フィルタに限らず、送信フィルタであってもよいし、送受信のいずれも行うことができる送受信フィルタであってもよい。
【００７７】
また、上述した実施の形態１に示した弾性表面波フィルタ１では、縦結合型フィルタ部３０の縦結合型共振子３０ｂおよび３０ｄの入力側をグランド端子１３に接続させる構成としたが、縦結合型共振子３０ａ、３０ｃおよび３０ｅの出力側をグランド端子１３に接続させる構成としてもよいし、実施の形態２に示した弾性表面波フィルタ２のように、両方をグランド端子１３に接続させる構成としてもよい。
【００７８】
また、上述した実施の形態では、縦結合型フィルタ部３０は、５つの縦結合型共振子３０ａ〜３０ｅを備える構成としたが、これに限らず、縦結合型共振子の数を変更してもよい。
【００７９】
また、上述した実施の形態では、弾性表面波フィルタ１は、縦結合型フィルタ部３０に直列腕共振子２０ｓと並列腕共振子２０ｐとの組を１組接続した構成としたが、これに限らず、縦結合型フィルタ部３０に少なくとも１つの並列腕共振子２０ｐが接続された構成であればよい。つまり、直列腕共振子２０ｓおよび並列腕共振子２０ｐの個数は適宜変更してもよい。例えば、直列腕共振子を３つ、並列腕共振子を２つ備え、直列腕共振子の接続点のそれぞれに、並列腕共振子が接続された構成であってもよい。
【００８０】
その他、上述の実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態、または、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で上述の実施の形態における構成要素および機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明は、弾性表面波フィルタを利用した送信装置、受信装置等の通信機器等に利用することができる。
【符号の説明】
【００８２】
１、１ａ、２  弾性表面波フィルタ
１０  基板（圧電基板）
１１  入力端子
１２  出力端子
１３、１４  グランド端子
２０ｓ  直列腕共振子
２０ｐ  並列腕共振子
２１ａ、２１ｂ  ＩＤＴ電極
２２ａ、２２ｂ  電極指
２４ａ、２４ｂ  バスバー電極
２６  圧電基板
２７  密着層
２８  主電極層
２９  保護層
３０  縦結合型フィルタ部
３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅ  縦結合型共振子
３２、３３  反射器
４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ、４０ｅ、４０ｆ、４１、４２  配線
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2018082339.tif 000012
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2018082339.tif 000013
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2018082339.tif 000014