(57)【要約】【課題】手間と工数を削減し、誤操作を防止することが可能なウエハ検査装置を提供すること。【解決手段】一実施形態のウエハ検査装置は、ウエハに形成された半導体デバイスに電気信号を印加するテスタと、前記半導体デバイスと前記テスタとを電気的に接続させるプローバと、前記テスタの動作を制御するテスタ制御部と、前記プローバの動作を制御するプローバ制御部と、を有し、前記テスタの状態を診断する場合に、前記テスタ制御部及び前記プローバ制御部が相互に通信を行う。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハに形成された半導体デバイスに電気信号を印加するテスタと、
前記半導体デバイスと前記テスタとを電気的に接続させるプローバと、
前記テスタの動作を制御するテスタ制御部と、
前記プローバの動作を制御するプローバ制御部と、
を有し、
前記テスタ制御部及び前記プローバ制御部は、前記テスタの状態を診断する診断処理を実行する際、相互に通信を行う、
ウエハ検査装置。
【請求項２】
前記テスタ制御部及び前記プローバ制御部は、前記テスタ制御部及び前記プローバ制御部のいずれかが前記診断処理の開始操作を受け付けた場合に、前記診断処理を実行する、
請求項１に記載のウエハ検査装置。
【請求項３】
前記テスタ制御部及び前記プローバ制御部と通信可能な制御装置を更に有し、
前記テスタ制御部及び前記プローバ制御部は、前記制御装置が前記診断処理の開始操作を受け付けた場合に、前記診断処理を実行する、
請求項１に記載のウエハ検査装置。
【請求項４】
前記診断処理は、前記テスタに診断ボードを搬入して行う処理である、
請求項１乃至３のいずれか一項に記載のウエハ検査装置。
【請求項５】
前記テスタ制御部は、前記診断処理の開始操作を受け付けた場合、前記プローバ制御部に対し、前記診断処理の内容を通知する、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載のウエハ検査装置。
【請求項６】
前記プローバ制御部は、前記テスタに前記診断処理の内容に対応する診断ボードが搬入されている場合、前記テスタ制御部に対し、前記診断処理が実行可能であることを通知する、
請求項５に記載のウエハ検査装置。
【請求項７】
前記テスタ制御部は、前記診断処理を実行した場合、前記プローバ制御部に対し、前記診断処理が終了したことを通知する、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載のウエハ検査装置。
【請求項８】
ウエハに形成された半導体デバイスに電気信号を印加するテスタと、
前記半導体デバイスと前記テスタとを電気的に接続させるプローバと、
前記テスタの動作を制御するテスタ制御部と、
前記プローバの動作を制御するプローバ制御部と、
を有し、
前記テスタ制御部及び前記プローバ制御部は、前記半導体デバイスと前記テスタとを電気的に接続する際に用いられるプローブカードを交換する際、相互に通信を行う、
ウエハ検査装置。
【請求項９】
ウエハに形成された半導体デバイスに電気信号を印加するテスタと、前記半導体デバイスと前記テスタとを電気的に接続させるプローバと、を有するウエハ検査装置の診断方法であって、
前記テスタの動作を制御するテスタ制御部及び前記プローバの動作を制御するプローバ制御部が相互に通信を行うことによって、前記テスタの状態を診断する、
ウエハ検査装置の診断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ検査装置及びウエハ検査装置の診断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ウエハに形成された半導体デバイスに電気信号を印加するためのテスタと、半導体デバイスとテスタとをプローブカードを介して電気的に接続するためのプローバと、を有するウエハ検査装置が知られている。
【０００３】
このようなウエハ検査装置では、例えば装置の立ち上げ時やメンテナンス後にプローブカードの代わりに診断ボードをテストヘッドに取り付けて、テスタの状態が正常であるかの診断が行われる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３０８５８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、診断ボードを取り付けて診断を行う場合、作業者等はテスタを操作して診断をするための設定を行い、プローバを操作して診断ボードをテストヘッドに取り付けるといったように、テスタの操作とプローバの操作とを交互に行う必要がある。そのため、手間と工数が掛かってしまうと同時に誤操作が生じるといった課題が生じていた。
【０００６】
本発明は上記に鑑みてなされたものであって、手間と工数を削減し、誤操作を防止することが可能なウエハ検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係るウエハ検査装置は、ウエハに形成された半導体デバイスに電気信号を印加するテスタと、前記半導体デバイスと前記テスタとを電気的に接続させるプローバと、前記テスタの動作を制御するテスタ制御部と、前記プローバの動作を制御するプローバ制御部と、を有し、前記テスタの状態を診断する場合に、前記テスタ制御部及び前記プローバ制御部が相互に通信を行う。
【発明の効果】
【０００８】
開示のウエハ検査装置によれば、手間と工数を削減し、誤操作を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係るウエハ検査装置の一例を示す概略断面図
【図２】図１における一点鎖線Ａ−Ａにおいて切断した断面図
【図３】ウエハ検査装置におけるテスタ制御部及びプローバ制御部を説明するための図
【図４】本発明の実施形態に係る診断処理の流れを示すシーケンス図
【図５】診断処理におけるテスタの動作を示すフローチャート
【図６】診断処理におけるプローバの動作を示すフローチャート
【図７】本発明の実施形態に係るプローブカード交換処理の流れを示すシーケンス図
【図８】プローブカード交換処理におけるテスタの動作を示すフローチャート
【図９】プローブカード交換処理におけるプローバの動作を示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く。
【００１１】
〔ウエハ検査装置〕
本発明の実施形態に係るウエハ検査装置について説明する。図１は、本発明の実施形態に係るウエハ検査装置の一例を示す概略断面図である。図２は、図１における一点鎖線Ａ−Ａにおいて切断した断面図である。
【００１２】
図１及び図２に示されるように、ウエハ検査装置１０は、検査室１１を備える。検査室１１は、ウエハＷに形成された各半導体デバイスの電気特性の検査を行う検査領域１２と、検査室１１に対するウエハＷの搬出入を行う搬出入領域１３と、検査領域１２及び搬出入領域１３の間に設けられた搬送領域１４とを有する。
【００１３】
検査領域１２には、複数のウエハ検査用のインターフェースとしてのテスタ１５が配置される。具体的に、検査領域１２は水平に配列された複数のテスタ１５からなるテスタ列の多段構造、例えば３段構造を有し、テスタ列の各々に対応して１つのテスタ側カメラ１６が配置される。各テスタ側カメラ１６は対応するテスタ列に沿って水平に移動し、テスタ列を構成する各テスタ１５の前に位置して後述する搬送ステージ１８が搬送するウエハＷ等の位置を確認する。また、検査領域１２には、テスタ１５の動作を制御するテスタ制御部１００が配置される。
【００１４】
搬出入領域１３は、複数の収容空間１７に区画されている。各収容空間１７には、複数のウエハＷを収容する容器であるＦＯＵＰを受け入れるポート１７ａ、ウエハＷの位置合わせを行うアライナ１７ｂ、プローブカード、診断ボード等が搬出入されるローダ１７ｃが配置される。プローブカードは、ウエハＷに形成された半導体デバイスの電気特性の検査に用いられ、半導体デバイスの電極部とテスタとを電気的に接続する治具である。診断ボードは、テスタ１５の診断用回路が形成された治具である。診断ボードは、ローダ１７ｃとは異なる専用のポート（図示せず）から搬出入可能であってもよい。また、収容空間１７には、ポート１７ａ、アライナ１７ｂ、ローダ１７ｃ、搬送ステージ１８等を含むプローバ２１の動作を制御するプローバ制御部２００が配置される。
【００１５】
搬送領域１４には、搬送領域１４だけでなく検査領域１２や搬出入領域１３へも移動自在な搬送ステージ１８が配置される。搬送ステージ１８は、搬出入領域１３のポート１７ａからウエハＷを受け取って各テスタ１５へ搬送すると共に、半導体デバイスの電気特性の検査が終了したウエハＷを各テスタ１５からポート１７ａへ搬送する。また、搬送ステージ１８は、搬出入領域１３のローダ１７ｃから検査に必要なプローブカードを受け取って各テスタ１５へ搬送すると共に、検査に不要なプローブカードを各テスタ１５からローダ１７ｃへ搬送する。さらに、搬送ステージ１８は、搬出入領域１３のローダ１７ｃ又は専用のポートから診断に必要な診断ボードを受け取って各テスタ１５へ搬送すると共に、診断に不要な診断ボードを各テスタ１５からローダ１７ｃ又は専用のポートへ搬送する。なお、プローブカード及び／又は診断ボードの搬送は、搬送ステージ１８とは別の搬送装置によって行ってもよい。
【００１６】
このようなウエハ検査装置１０では、各テスタ１５がウエハＷの各半導体デバイスに電気信号を印加して電気特性を検査する。このとき、搬送ステージ１８が一のテスタ１５へ向けてウエハＷを搬送している間に、他のテスタ１５は他のウエハＷの各半導体デバイスの電気特性を検査することができる。そのため、ウエハＷの検査効率を向上させることができる。
【００１７】
次に、ウエハ検査装置１０のテスタ制御部１００及びプローバ制御部２００について説明する。図３は、図１のウエハ検査装置１０のテスタ制御部１００及びプローバ制御部２００を説明するための図である。
【００１８】
図３に示されるように、ウエハ検査装置１０は、テスタ１５とプローバ２１とを有する。テスタ１５及びプローバ２１の動作は、それぞれテスタ制御部１００及びプローバ制御部２００によって制御される。
【００１９】
テスタ制御部１００は、テスタ１５が正常に動作しているか否か等、テスタ１５の状態を診断する診断処理の開始操作を受け付けると、プローバ制御部２００との間で相互に通信を行って自動的に診断処理を実行する。また、テスタ制御部１００は、検査対象（ＤＵＴ：Device Under Test）の検査内容の選択及び検査開始の操作を受け付けると、プローバ制御部２００との間で相互に通信を行って自動的にプローブカード交換処理を実行する。なお、診断処理及びプローブカード交換処理の詳細については後述する。
【００２０】
このように、本発明の実施形態に係るウエハ検査装置１０は、テスタ制御部１００とプローバ制御部２００とが相互に通信を行うことで、診断処理及び／又はプローブカード交換処理を行う。これにより、診断処理及び／又はプローブカード交換処理を行う際の手間と工数を削減し、誤操作を防止することができる。
【００２１】
〔診断処理〕
次に、本発明の実施形態に係るウエハ検査装置１０による診断処理（診断方法）について、図４に基づき説明する。図４は、本発明の実施形態に係る診断処理の流れを示すシーケンス図である。図４において、実線の矢印はテスタ制御部１００とプローバ制御部２００との間の通信を示す。
【００２２】
診断処理は、例えば装置の立ち上げ時やメンテナンス後にプローブカードの代わりに診断ボードをテスタ１５のテストヘッドに取り付けて、テスタ１５の状態を診断する診断処理である。
【００２３】
作業者等による診断内容の選択及び診断開始の操作を受け付けると、ウエハ検査装置１０による診断処理が実行される。ウエハ検査装置１０による診断処理は、テスタ制御部１００とプローバ制御部２００とが相互に通信を行い、自動的に実行される。
【００２４】
最初に、テスタ１５は、診断内容の選択及び診断開始の操作を受け付けると、ステップＳ１０１にて、プローバ２１に対して、診断開始通知を送信する。診断開始通知は、例えば選択された診断内容を含んでいてよい。
【００２５】
プローバ２１は、ステップＳ１０１の診断開始通知を受信すると、ステップＳ１０２にて、診断内容に対応する診断ボードをテスタ１５に搬入（ロード）する。その後、プローバ２１は、ステップＳ１０３にて、テスタ１５に対して、診断実行可否通知を送信する。診断実行可否通知は、例えばテスタ１５を用いた診断が実行可能であるか否かの判定結果を含んでいてよい。
【００２６】
テスタ１５は、ステップＳ１０３の診断実行可否通知を受信すると、ステップＳ１０４にて、診断を実行する。その後、テスタ１５は、ステップＳ１０５にて、プローバ２１に対して、診断終了通知を送信する。診断終了通知は、例えば診断が実行されたか否かの情報、診断が実行された場合の診断結果を含んでいてよい。
【００２７】
プローバ２１は、ステップＳ１０５の診断終了通知を受信すると、ステップＳ１０６にて、テスタ１５から診断ボードを搬出（アンロード）する。その後、プローバ２１は、ステップＳ１０７にて、テスタ１５に対して、アンロード終了通知を送信する。
【００２８】
テスタ１５は、ステップＳ１０７のアンロード終了通知を受信すると、ステップＳ１０８にて、診断が完了したことを表示し、診断処理を終了する。
【００２９】
次に、上記の動作を実現するためのテスタ１５の詳細な動作について、図５に基づき説明する。図５は、診断処理におけるテスタ１５の動作を示すフローチャートである。本フローチャートに示す処理は、テスタ制御部１００が入力信号やプログラムに従い、テスタ１５の各部を制御することにより実現される。テスタ制御部１００は、作業者等による診断内容の選択及び診断開始の操作を受け付けたと判定した場合、図５のフローチャートを開始する。
【００３０】
ステップＳ２０１にて、テスタ制御部１００は、プローバ制御部２００に対して、診断開始通知を送信する。診断開始通知は、例えば選択された診断内容を含んでいてよい。本ステップの処理は、図４のステップＳ１０１に相当する。
【００３１】
ステップＳ２０２にて、テスタ制御部１００は、プローバ制御部２００から、診断実行可否通知を受信したか否かを判定する。診断実行可否通知は、例えばテスタ１５を用いた診断が実行可能であるか否かの判定結果を含んでいてよい。テスタ制御部１００は、診断実行可否通知を受信したと判定した場合、処理をステップＳ２０３へ移行し、受信していないと判定した場合、再びステップＳ２０２を繰り返す。
【００３２】
ステップＳ２０３にて、テスタ制御部１００は、ステップＳ２０２で受信した診断実行可否通知に基づいて、診断が可能か否かを確認する。テスタ制御部１００は、診断が可能であると判定した場合、処理をステップＳ２０４へ移行する。一方、テスタ制御部１００は、診断が可能でないと判定した場合、処理をステップＳ２０６へ移行する。
【００３３】
ステップＳ２０４にて、テスタ制御部１００は、ステップＳ２０１で受け付けた診断内容の診断を実行する。本ステップの処理は、図４のステップＳ１０４に相当する。
【００３４】
ステップＳ２０５にて、テスタ制御部１００は、ステップＳ２０４で実行した診断が終了したか否かを確認する。テスタ制御部１００は、診断が終了したと判定した場合、処理をステップＳ２０６へ移行する。一方、テスタ制御部１００は、診断が終了していないと判定した場合、再びステップＳ２０５を繰り返す。
【００３５】
ステップＳ２０６にて、テスタ制御部１００は、プローバ制御部２００に対して、診断終了通知を送信する。診断終了通知は、例えば診断が実行されたか否かの情報、診断が実行された場合の診断結果を含んでいてよい。本ステップの処理は、図４のステップＳ１０５に相当する。
【００３６】
ステップＳ２０７にて、テスタ制御部１００は、プローバ制御部２００から、アンロード終了通知を受信したか否かを判定する。テスタ制御部１００は、アンロード終了通知を受信したと判定した場合、処理をステップＳ２０８へ移行する。一方、テスタ制御部１００は、アンロード終了通知を受信していないと判定した場合、再びステップＳ２０７を繰り返す。
【００３７】
ステップＳ２０８にて、テスタ制御部１００は、診断が完了したことを表示し、本フローチャートを終了する。本ステップの処理は、図４のステップＳ１０８に相当する。
【００３８】
次に、上記の動作を実現するためのプローバ２１の詳細な動作について、図６に基づき説明する。図６は、診断処理におけるプローバの動作を示すフローチャートである。本フローチャートに示す処理は、プローバ制御部２００が入力信号やプログラムに従い、プローバ２１の各部を制御することにより実現される。
【００３９】
ステップＳ３０１にて、プローバ制御部２００は、テスタ制御部１００から、診断開始通知を受信したか否かを判定する。プローバ制御部２００は、診断開始通知を受信したと判定した場合、処理をステップＳ３０２へ移行する。一方、プローバ制御部２００は、診断開始通知を受信していないと判定した場合、再びステップＳ３０１を繰り返す。
【００４０】
ステップＳ３０２にて、プローバ制御部２００は、テスタ１５へのプローブカード等のロード状態を確認し、テスタ１５による診断実行が可能か否かを判定する。プローバ制御部２００は、診断実行が可能であると判定した場合、処理をステップＳ３０３へ移行する。一方、プローバ制御部２００は、診断実行が不可能であると判定した場合、処理をステップＳ３０７へ移行する。具体的には、プローバ制御部２００は、テスタ１５に何らかのプローブカードがロードされているが、そのプローブカードをアンロードすることが可能な場合、テスタ１５からプローブカードをアンロードし、診断実行が可能であると判定する。また、プローバ制御部２００は、テスタ１５にプローブカードがロードされていない場合、診断実行が可能であると判定する。一方、プローバ制御部２００は、テスタ１５に何らかのプローブカードがロードされており、そのプローブカードがアンロードできない場合、又は他の理由でテスタ１５の自己診断ができない場合、診断実行が不可能であると判定する。
【００４１】
ステップＳ３０３にて、プローバ制御部２００は、ステップＳ３０１で受信した診断開始通知に基づいて、診断内容を確認する。
【００４２】
ステップＳ３０４にて、プローバ制御部２００は、ステップＳ３０３で確認した診断内容に対応する診断ボードの有無を判定する。プローバ制御部２００は、診断ボードが有ると判定した場合、処理をステップＳ３０５へ移行する。一方、プローバ制御部２００は、診断ボードが無いと判定した場合、処理をステップＳ３０７へ移行する。なお、ステップＳ３０３で確認した診断内容が診断ボードを不要とするものである場合には、処理をステップＳ３０５へ移行する。
【００４３】
ステップＳ３０５にて、プローバ制御部２００は、診断内容に対応する診断ボードをテスタ１５へロードする。なお、ステップＳ３０３で確認した診断内容が診断ボードを不要とするものである場合には、診断ボードをテスタ１５へロードしなくてよい。本ステップの処理は、図４のステップＳ１０２に相当する。
【００４４】
ステップＳ３０６にて、プローバ制御部２００は、テスタ１５への診断ボードのロードが終了したか否かを確認する。プローバ制御部２００は、テスタ１５への診断ボードのロードが終了したと判定した場合、処理をステップＳ３０７へ移行する。一方、プローバ制御部２００は、テスタ１５への診断ボードのロードが終了していないと判定した場合、再びステップＳ３０６を繰り返す。
【００４５】
ステップＳ３０７にて、プローバ制御部２００は、テスタ制御部１００に対して、診断実行可否通知を送信する。診断実行可否通知は、例えばテスタ１５を用いた診断が実行可能であるか否かの判定結果を含んでいてよい。本ステップの処理は、図４のステップＳ１０３に相当する。
【００４６】
ステップＳ３０８にて、プローバ制御部２００は、テスタ制御部１００から、診断終了通知を受信したか否かを判定する。プローバ制御部２００は、診断終了通知を受信したと判定した場合、処理をステップＳ３０９へ移行する。一方、プローバ制御部２００は、診断終了通知を受信していないと判定した場合、再びステップＳ３０８を繰り返す。
【００４７】
ステップＳ３０９にて、プローバ制御部２００は、テスタ１５に診断ボードが有るか否かを確認する。プローバ制御部２００は、テスタ１５に診断ボードが有ると判定した場合、処理をステップＳ３１０へ移行する。一方、プローバ制御部２００は、テスタ１５に診断ボードが無いと判定した場合、処理をステップＳ３１２へ移行する。
【００４８】
ステップＳ３１０にて、プローバ制御部２００は、テスタ１５から診断ボードをアンロードする。本ステップの処理は、図４のステップＳ１０６に相当する。
【００４９】
ステップＳ３１１にて、プローバ制御部２００は、診断ボードのアンロードが終了したか否かを確認する。プローバ制御部２００は、診断ボードのアンロードが終了したと判定した場合、処理をステップＳ３１２へ移行する。一方、プローバ制御部２００は、診断ボードのアンロードが終了していないと判定した場合、再びステップＳ３１１を繰り返す。
【００５０】
ステップＳ３１２にて、プローバ制御部２００は、テスタ制御部１００に対して、アンロード終了通知を送信し、本フローチャートを終了する。本ステップの処理は、図４のステップＳ１０７に相当する。
【００５１】
以上に説明したように、本発明の実施形態に係るウエハ検査装置１０では、テスタ制御部１００とプローバ制御部２００とが相互に通信を行いながら一連の診断処理を自動的に行う。これにより、以下の効果を奏することができる。
【００５２】
一連の操作をテスタ制御部１００及びプローバ制御部２００が自動的に判断、実行することで、ウエハ検査装置１０全体の操作性が向上し、作業者等の作業手順を削減することができる。
【００５３】
また、作業者等は一方の制御部での一回の操作のみによりウエハ検査装置１０の診断処理を実行することができるので、テスタ制御部１００とプローバ制御部２００とを交互に操作する必要がなくなり、診断時間を短縮することができる。
【００５４】
また、作業者等が選択した診断内容に沿ってテスタ制御部１００及びプローバ制御部２００が自動的に判断、実行するので、作業者等による人為的な操作ミスを防止することができる。その結果、誤操作によるテスタ１５やプローバ２１の破壊、ウエハＷの損傷等を抑制することができる。
【００５５】
また、テスタ制御部１００とプローバ制御部２００とが連携することで、両方の制御部がテスタ１５にプローブカード及び／又は診断ボードがロードされているかどうかの状態を把握することができるので、診断実行が不可の状態での誤実行を防止することができる。
【００５６】
〔プローブカード交換処理〕
次に、本発明の実施形態に係るウエハ検査装置１０によるプローブカード交換処理について、図７に基づき説明する。図７は、本発明の実施形態に係るプローブカード交換処理の流れを示すシーケンス図である。図７において、実線の矢印はテスタ制御部１００とプローバ制御部２００との間の通信を示す。
【００５７】
プローブカード交換処理は、例えばＤＵＴの変更に伴う検査内容の変更があった際に行われる処理である。作業者等による検査内容の選択及び検査開始の操作を受け付けると、ウエハ検査装置１０によるプローブカード交換処理が実行される。ウエハ検査装置１０によるプローブカード交換処理は、テスタ制御部１００とプローバ制御部２００とが相互に通信を行い、自動的に実行される。
【００５８】
最初に、テスタ１５は、検査内容の選択及び検査開始の操作を受け付けると、ステップＳ５０１にて、ＤＵＴの品種解析を行う。その後、テスタ１５は、ステップＳ５０２にて、プローバ２１に対して、ＤＵＴ品種情報通知を送信する。ＤＵＴ品種情報通知は、例えば選択された検査内容に必要なプローブカードの種類の情報を含んでいてよい。
【００５９】
プローバ２１は、ステップＳ５０２のＤＵＴ品種情報通知を受信すると、ステップＳ５０３にて、品種内容に対応するプローブカードをテスタ１５へロードする。その後、プローバ２１は、ステップＳ５０４にて、テスタ１５に対して、ロード終了通知を送信する。ロード終了通知は、例えば選択された検査内容に必要なプローブカードがテスタ１５にロードされたか否かの情報を含んでいてよい。
【００６０】
テスタ１５は、ステップＳ５０４のロード終了通知を受信すると、ステップＳ５０５にて、検査準備が完了したことを表示し、プローブカード交換処理を終了する。
【００６１】
次に、上記の動作を実現するためのテスタ１５の詳細な動作について、図８に基づき説明する。図８は、プローブカード交換処理におけるテスタ１５の動作を示すフローチャートである。本フローチャートに示す処理は、テスタ制御部１００が入力信号やプログラムに従い、テスタ１５の各部を制御することにより実現される。テスタ制御部１００は、作業者等による検査内容の選択及び検査開始の操作を受け付けたと判定した場合、図８のフローチャートを開始する。
【００６２】
ステップＳ６０１にて、テスタ制御部１００は、ＤＵＴの品種解析を行う。具体的には、テスタ制御部１００は、選択された検査内容に基づいて、検査に必要なプローブカードの種類を特定する。本ステップの処理は、図７のステップＳ５０１に相当する。
【００６３】
ステップＳ６０２にて、テスタ制御部１００は、プローバ制御部２００に対して、ＤＵＴ品種情報通知を送信する。ＤＵＴ品種情報通知は、例えば選択された検査内容に必要なプローブカードの種類の情報を含んでいてよい。本ステップの処理は、図７のステップＳ５０２に相当する。
【００６４】
ステップＳ６０３にて、テスタ制御部１００は、プローバ制御部２００から、ロード終了通知を受信したか否かを判定する。テスタ制御部１００は、ロード終了通知を受信したと判定した場合、処理をステップＳ６０４へ移行し、受信していないと判定した場合、再びステップＳ６０３を繰り返す。
【００６５】
ステップＳ６０４にて、テスタ制御部１００は、ＤＵＴ検査の準備が完了したこと、又はＤＵＴ検査に必要なプローブカードが存在しないことを表示し、本フローチャートを終了する。本ステップの処理は、図７のステップＳ５０５に相当する。
【００６６】
次に、上記の動作を実現するためのプローバ２１の詳細な動作について、図９に基づき説明する。図９は、プローブカード交換処理におけるプローバの動作を示すフローチャートである。本フローチャートに示す処理は、プローバ制御部２００が入力信号やプログラムに従い、プローバ２１の各部を制御することにより実現される。
【００６７】
ステップＳ７０１にて、プローバ制御部２００は、テスタ制御部１００から、ＤＵＴ品種情報通知を受信したか否かを判定する。プローバ制御部２００は、ＤＵＴ品種情報通知を受信したと判定した場合、処理をステップＳ７０２へ移行する。一方、プローバ制御部２００は、ＤＵＴ品種情報通知を受信していないと判定した場合、再びステップＳ７０１を繰り返す。
【００６８】
ステップＳ７０２にて、プローバ制御部２００は、ＤＵＴ品種情報通知に基づいて、選択された検査内容に必要なプローブカードの有無を確認する。プローバ制御部２００は、選択された検査内容に必要なプローブカードが有ると判定した場合、処理をステップＳ７０３へ移行する。一方、プローバ制御部２００は、選択された検査内容に必要なプローブカードが無いと判定した場合、処理をステップＳ７０５へ移行する。
【００６９】
ステップＳ７０３にて、プローバ制御部２００は、選択された検査内容に必要なプローブカードをテスタ１５へロードする。本ステップの処理は、図７のステップＳ５０３に相当する。
【００７０】
ステップＳ７０４にて、プローバ制御部２００は、テスタ１５へのプローブカードのロードが終了したか否かを確認する。プローバ制御部２００は、テスタ１５へのプローブカードのロードが終了したと判定した場合、処理をステップＳ７０５へ移行する。一方、プローバ制御部２００は、テスタ１５へのプローブカードのロードが終了していないと判定した場合、再びステップＳ７０４を繰り返す。
【００７１】
ステップＳ７０５にて、プローバ制御部２００は、テスタ制御部１００に対して、ロード終了通知を送信し、本フローチャートを終了する。ロード終了通知は、例えば選択された検査内容に必要なプローブカードがテスタ１５にロードされたか否かの情報を含んでいてよい。本ステップの処理は、図７のステップＳ５０４に相当する。
【００７２】
以上に説明したように、本発明の実施形態に係るウエハ検査装置１０では、テスタ制御部１００とプローバ制御部２００とが相互に通信を行いながら一連のプローブカード交換処理を自動的に行う。これにより、以下の効果を奏することができる。
【００７３】
一連の操作をテスタ制御部１００及びプローバ制御部２００が自動的に判断、実行することで、ウエハ検査装置１０全体の操作性が向上し、作業者等の作業手順を削減することができる。
【００７４】
また、作業者等は一方の制御部での一回の操作のみによりウエハ検査装置１０のプローブカード交換処理を実行することができるので、テスタ制御部１００とプローバ制御部２００とを交互に操作する必要がなくなり、プローブカードの交換時間を短縮できる。
【００７５】
また、作業者等が選択した検査内容に沿ってテスタ制御部１００及びプローバ制御部２００が自動的に判断、実行するので、作業者等によるプローブカードの選択ミス等の人為的なミスを防止することができる。その結果、誤操作によるテスタ１５やプローバ２１の破壊、ウエハＷの損傷等を抑制することができる。
【００７６】
以上、本発明を実施するための形態について説明したが、上記内容は、発明の内容を限定するものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。
【００７７】
上記の実施形態では、テスタ制御部１００が診断処理を行う操作を受け付けると、診断処理を開始する場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、プローバ制御部２００が診断処理を行う操作を受け付けた場合に、診断処理を開始してもよい。この場合、図４におけるステップＳ１０１を省略できる。
【００７８】
また、上記の実施形態では、テスタ制御部１００がプローブカード交換処理を行う操作を受け付けると、プローブカード交換処理を開始する場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、プローバ制御部２００がプローブカード交換処理を行う操作を受け付けた場合に、プローブカード交換処理を開始してもよい。この場合、図７におけるＤＵＴの品種解析（ステップＳ５０１）をプローバ制御部２００が行えばよい。また、ステップＳ５０２を省略できる。
【００７９】
また、テスタ制御部１００とプローバ制御部２００の上位に、これらの制御部と通信可能な上位コントローラ等の制御装置を設けてもよい。この場合、作業者等は、制御装置を操作することで、テスタ制御部１００及びプローバ制御部２００に対し、前述の診断処理やプローブカード交換処理を実行させることができる。また、制御装置を、例えばウエハ検査装置１０が設置されている場所と異なる場所に設置することで、作業者等は遠隔操作で診断処理及びプローブカード交換処理を実行させることができる。
【符号の説明】
【００８０】
１５    テスタ
２１    プローバ
１００  テスタ制御部
２００  プローバ制御部
Ｗ      ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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