(57)【要約】【課題】加工装置上に調整作業等で使用する部品や工具等を適切に載置できる作業スペースを確保できるようにし、調整作業時における作業性を向上させる。【解決手段】被加工物Ｗを収容可能なカセット２が載置される載置面１６ａを有したカセット載置台１６を少なくとも備えた加工装置１において使用され、載置面１６ａから突出または陥没する位置決め部１６０に係合して固定される係合部４０Ａを備えた下面４０ｂと、上面のテーブル面４０ａと、を有したテーブル本体４Ａを備え、カセット載置台１６に着脱自在な簡易テーブル４である。【選択図】図４
2018078159.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を収容可能なカセットが載置される載置面を有したカセット載置台を少なくとも備えた加工装置において使用される簡易テーブルであって、
該載置面から突出または陥没する位置決め部に係合して固定される係合部を備えた下面と、上面のテーブル面と、を有したテーブル本体を備え、該カセット載置台に着脱自在な簡易テーブル。
【請求項２】
前記係合部は、前記カセット載置台に載置されたカセットの上端側で該カセットに係合し固定される、請求項１に記載の簡易テーブル。
【請求項３】
前記加工装置は被加工物を保持するチャックテーブルを備え、
前記テーブル面は該チャックテーブルが載置されるチャックテーブル載置領域を有し、
前記テーブル本体には、該チャックテーブル載置領域の一部に該チャックテーブルの載置時に作業者の手を該テーブル本体内部に挿入するための該テーブル面から前記下面に至る切り欠き部が形成された、請求項１または２に記載の簡易テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくともカセット載置台を備えたウェーハ加工装置において使用される簡易テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスにおいて、半導体ウェーハ等の被加工物は、複数の収容棚が形成されたカセットに複数枚が収容される。そして、半導体製造プロセスで使用される切削装置、研削装置、レーザ加工装置、バイト切削装置等の加工装置には、カセットが載置されるカセット載置台が少なくとも配設されており、被加工物は、カセット載置台に載置されたカセットから加工装置に供給される。
【０００３】
これらの加工装置で被加工物に加工を施すためには、事前準備として、例えば、被加工物を吸引保持するチャックテーブルを被加工物のサイズに合うサイズのテーブルに交換したり（例えば、特許文献１参照）、加工ユニット（例えば、切削ブレードを備える切削手段）を調整したりといった様々な作業が必要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２３９４９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記加工前の事前準備等においては、調整作業で使用するチャックテーブル等の部品やドライバー等の工具等を載置するための作業台が所望されるが、場合によっては加工装置の周囲に作業台を置くスペースがなく、作業者にとって不便なことがあった。
【０００６】
したがって、加工装置の周囲に作業台を置くスペースがない場合においても、調整作業等で使用する部品や工具等を載置できる作業スペースを確保できるようにし、作業性を向上させるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明は、被加工物を収容可能なカセットが載置される載置面を有したカセット載置台を少なくとも備えた加工装置において使用される簡易テーブルであって、該載置面から突出または陥没する位置決め部に係合して固定される係合部を備えた下面と、上面のテーブル面と、を有したテーブル本体を備え、該カセット載置台に着脱自在な簡易テーブルである。
【０００８】
前記係合部は、前記カセット載置台に載置されたカセットの上端側で該カセットに係合し固定されると好ましい。
【０００９】
前記加工装置は被加工物を保持するチャックテーブルを備え、前記テーブル面は該チャックテーブルが載置されるチャックテーブル載置領域を有し、前記テーブル本体には、該チャックテーブル載置領域の一部に該チャックテーブルの載置時に作業者の手を該テーブル本体内部に挿入するための該テーブル面から前記下面に至る切り欠き部が形成されていると好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る簡易テーブルは、載置面から突出または陥没する位置決め部に係合して固定される係合部を備えた下面と、上面のテーブル面と、を有したテーブル本体を備え、カセット載置台に着脱自在であるため、簡易テーブルをカセット載置台に取り付けることによって、加工装置上に調整作業等で使用する部品や工具等を載置できる作業スペースを確保できるようになるため、調整作業等における作業性を向上させることが可能となる。
【００１１】
簡易テーブルの係合部が、カセット載置台に載置されたカセットの上端側でカセットに係合し固定されることによって、カセット載置台にカセットが載置された状態においても、調整作業等で使用する部品や工具等を載置できる安定した作業スペースを確保できるようになる。
【００１２】
テーブル面はチャックテーブルが載置されるチャックテーブル載置領域を有し、テーブル本体には、チャックテーブル載置領域の一部にチャックテーブルの載置時に作業者の手をテーブル本体内部に挿入するためのテーブル面から下面に至る切り欠き部が形成されていることによって、例えば、チャックテーブル載置領域に載置された状態のチャックテーブルを、作業者が確実に把持することが可能となり、チャックテーブルを取り落としてしまう等の事故が発生してしまうことを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】加工装置、カセット、環状フレームに支持されたウェーハ、及び簡易テーブルの一例を示す斜視図である。
【図２】簡易テーブルの分解斜視図である。
【図３】チャックテーブルが載置された状態の簡易テーブルの一例を示す斜視図である。
【図４】下面を上側に向けた状態の簡易テーブルの一例を示す斜視図である。
【図５】カセット載置台上に直に簡易テーブルを載置した状態を部分的に示す斜視図である。
【図６】カセット載置台上に直に載置された簡易テーブルを載置面上から上方に向かって見た場合の状態を示す説明図である。
【図７】カセット載置台上に載置されたカセットの上面側に簡易テーブルを固定した状態を部分的に示す斜視図である。
【図８】カセット上に固定された簡易テーブルを上方から見た状態を示す説明図である。
【図９】スペーサーが載置板上に積層可能な簡易テーブルの一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１に示す加工装置１によって加工（本実施形態においては切削加工）が施される被加工物Ｗは、例えば、シリコン半導体ウェーハであり、被加工物Ｗの表面Ｗａ上には、分割予定ラインＳによって区画された格子状の領域にＩＣやＬＳＩ等のデバイスＤが形成されている。例えば、被加工物Ｗの裏面ＷｂはダイシングテープＴの貼着面に貼着され、ダイシングテープＴの外周部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、切削対象である被加工物Ｗは、ダイシングテープＴを介して環状フレームＦに支持され、環状フレームＦを用いたハンドリングが可能な状態になっている。
【００１５】
環状フレームＦによって支持された被加工物Ｗを複数枚収容可能な図１に示すカセット２は、所定の間隔をおいてＸ軸方向に平行に配設された第１の側板２１および第２の側板２２と、第１の側板２１および第２の側板２２の上部側を連結する上板２３と、第１の側板２１および第２の側板２２の下端側の中央部分を連結する底板２４とを少なくとも備えている。
【００１６】
外形が矩形状に形成された上板２３は、その縦辺（Ｙ軸方向の辺）長さが、第１の側板２１および第２の側板２２の上端辺長さよりも短く形成されており、第１の側板２１および第２の側板２２の上部側を連結した状態で、環状フレームＦによって支持された被加工物Ｗのカセット２内部における収容状態を上方から確認できるようになっている。また、上板２３の上面には、作業者や搬送アーム等がカセット２を搬送する際に把持することができる取っ手部２３０が装着されている。取っ手部２３０は、その付け根部分がＸ軸方向を軸として回動可能となっており、上板２３の上面に折畳まれた状態と上板２３の上面から立設した状態とに切り替えることができる。
【００１７】
カセット２の正面側（−Ｙ方向側）は、環状フレームＦによって支持された被加工物Ｗを出し入れするウェーハ搬出入口２ａとなっている。第１の側板２１および第２の側板２２の内側面には、Ｙ軸方向に水平に延びる複数の棚板２５がＺ軸方向に所定の間隔を保って固定されており、この複数の棚板２５によって、第１の側板２１および第２の側板２２に環状フレームＦを支持する収容棚が複数形成される。カセット２の背面側（＋Ｙ方向側）、すなわち、第１の側板２１と第２の側板２２の内側面後部には、ストッパー２６（図１においては、１つのみ図示）がそれぞれ取り付けられており、ストッパー２６は、環状フレームＦによって支持された被加工物Ｗが搬出口２ａから棚板２５に沿ってカセット２内に水平に挿し込まれた際に、環状フレームＦがカセット２の背面側から飛び出してしまうことを防ぐ役割を果たす。
【００１８】
例えば、第１の側板２１の上端面及び第２の側板２２の上端面のＹ軸方向両側には、ピン状の突起部２１１及びピン状の突起部２２１が＋Ｚ方向側に向かって突設されている。この突起部２１１及び突起部２２１は、例えば、１つのカセット２上に、別のカセット２を積み重ねる際に使用される。すなわち、第１の側板２１および第２の側板２２は下端面には、突起部２１１と突起部２２１とにそれぞれ対応する嵌合孔２１２、嵌合孔２２２が設けられており、１つのカセット２上に別のカセット２を積み重ねる際において、取っ手部２３０が折畳まれた状態の一方のカセット２の突起部２１１および突起部２２１が、他方のカセット２の第１の側板２１および第２の側板２２の各嵌合孔２１２、嵌合孔２２２にそれぞれ嵌合することで、カセット２を所定の状態で積み重ねることができる。
【００１９】
図１に示す加工装置１は、チャックテーブル３０に保持された被加工物Ｗに対して切削手段６によって切削加工を施す切削装置である。加工装置１の基台１０上には、加工装置１の筐体１１が配設されており、筐体１１内には加工室１２が画成されている。
【００２０】
加工室１２内には、チャックテーブル３０及び切削手段６が配設されており、チャックテーブル３０は、防水カバー３１によって周囲から囲まれ、防水カバー３１の下方に配設された図示しない回転手段によりＺ軸方向の軸心周りに回転可能に支持されている。防水カバー３１には、Ｘ軸方向に伸縮する蛇腹カバー３１１が連結しており、防水カバー３１及び蛇腹カバー３１１の下方には、チャックテーブル３０を切削送り方向（Ｘ軸方向）に往復移動させる図示しない切削送り手段が配設されている。切削送り手段は、モータによりボールネジを回動させることでチャックテーブル３０を平行移動させるボールネジ機構等から構成されている。
【００２１】
図１に示すチャックテーブル３０は、例えば、その外形が円盤状であり、被加工物Ｗを吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は図示しない吸引源に連通し、吸着部３００の露出面である保持面３００ａ上で被加工物Ｗを吸引保持する。また、チャックテーブル３０の周囲には、環状フレームＦを固定する固定クランプ３２が例えば４つ均等に配設されている。
【００２２】
チャックテーブル３０のＸ軸方向の移動経路の上方に配設された切削手段６は、割り出し送り手段１４によってＹ軸方向へ移動可能となっており、図示しない切り込み送り手段によってＺ軸方向に移動可能となっている。切削手段６は、軸方向がチャックテーブル３０の移動方向（Ｘ軸方向）に対し水平方向に直交する方向（Ｙ軸方向）であるスピンドル６１と、スピンドル６１を回転可能に支持するスピンドルハウジング６２と、スピンドル６１を回転させる図示しないモータと、スピンドル６１に固定されている切削ブレード６３とを備えており、モータがスピンドル６１を回転駆動することに伴って切削ブレード６３も高速回転する。
【００２３】
例えば、スピンドルハウジング６２の−Ｘ方向側の側面には、被加工物Ｗの切削すべき分割予定ラインＳを検出するアライメント手段１７が配設されている。アライメント手段１７は、被加工物Ｗの表面Ｗａを撮像する撮像手段を備えており、撮像手段により取得した画像に基づき切削すべき分割予定ラインＳを検出することができる。切削手段６はアライメント手段１７と一体となって構成されており、両者は連動してＹ軸方向及びＺ軸方向へと移動する。
【００２４】
筐体１１の正面側（−Ｘ方向側）には、切削加工が施されている最中の被加工物Ｗの状態を筐体１１外部から確認するためのガラス等の透明部材からなる覗き窓１１０が設けられている。
【００２５】
筐体１１の＋Ｙ方向側の側面には、作業者が加工装置１に対して加工条件等を入力するための操作画面が表示されるタッチパネル１９０等を備える操作手段１９が配設されている。
【００２６】
加工装置１は、例えば、環状フレームＦを保持してウェーハＷを加工室１２内のチャックテーブル３０上へ搬送する図示しない搬送ユニットを備えている。例えば、筐体１１の図１に示す側壁１１ｃの一部には、上記搬送ユニットが通過可能な図示しない搬出入口が形成されている。
【００２７】
加工装置１の基台１０上の＋Ｙ方向側の一角は筐体１１によって覆われておらず、この一角にはカセット載置台１６が設置されており、カセット載置台１６は、カセット載置台１６の下方に配設された図示しない昇降機構によってＺ軸方向に往復移動可能となっている。カセット載置台１６上にカセット２が載置された状態で昇降機構によってカセット載置台１６が昇降されることで、カセット２内のウェーハＷの出し入れ高さ位置が調整される。図示しない昇降機構によるカセット載置台１６の昇降動作は、例えば、操作手段１９の近傍に配設され図示しない昇降機構を可動させる動作ボタン１６９を作業者が押すことで開始される。
【００２８】
カセット載置台１６の上面はカセット２が載置される載置面１６ａとなり、載置面１６ａには、例えば、載置面１６ａから＋Ｚ方向に向かって突出する位置決め部１６０が形成されている。位置決め部１６０は、例えば外形が平面視略Ｌ字状となっており、載置面１６ａの前方側の領域（＋Ｙ方向側の領域）にカセット２の幅（Ｘ軸方向の長さ）に対応するように所定の間隔を保って例えば２つ形成されている。位置決め部１６０は、載置面１６ａに載置されたカセット２が水平方向に動かないように固定する役割を果たす。
【００２９】
なお、載置面１６ａから＋Ｚ方向に向かって突出する位置決め部は、本実施形態における位置決め部１６０のような外形が平面視略Ｌ字状となるものに限定されず、例えば、載置面１６ａに＋Ｚ方向に向かって突き出す突き出しピンを位置決め部として形成し、この突き出しピンが、カセットユニット２を構成する第１の側板２１および第２の側板２２の下端面に設けられた各嵌合孔２１２、嵌合孔２２２と嵌合することにより、カセット２が載置面１６ａ上で動かないように位置決めされるような構成としてもよい。また、載置面１６ａには、載置面１６ａから−Ｚ方向に向かって陥没するように位置決め部を形成してもよい。載置面１６ａから−Ｚ方向に向かって陥没する位置決め部は、例えば、位置決め溝であり、カセット２の第１の側板２１の下端面側及び第２の側板２２の下端面側が、この位置決め溝に嵌合することで、カセット２が載置面１６ａ上で動かないように位置決めされる。
【００３０】
例えば、カセット載置台１６の−Ｙ方向側の一角の近傍には、拡散反射型の光電センサ１５が配設されている。光電センサ１５は、カセット載置台１６に載置された状態のカセット２の内部の被加工物Ｗを支持する環状フレームＦが、カセット２内の収容棚の適切な位置からずれてウェーハ搬出入口２ａから外に向かって飛び出してしまっているかいないかを検出する役割を果たす。すなわち、光電センサ１５は、投光部及び受光部からなる投受光器を備えており、投光部は、測定光を＋Ｚ方向に向かって投光する。受光部は、例えばウェーハ搬出入口２ａから外に飛び出してしまっている状態の環状フレームＦの下面で反射した測定光を受光する。そして、光電センサ１５は受光部が受光した測定光の受光量で、被加工物Ｗを支持する環状フレームＦがカセット２内の適切な位置からずれてウェーハ搬出入口２ａから外に向かって飛び出してしまっているかいないかを判断する。
【００３１】
図１に示す簡易テーブル４は、カセット載置台１６に着脱自在であり、例えば、その外形が平板状に形成されたテーブル本体４Ａを備えている。図２に示すように、テーブル本体４Ａは、例えば、開口４０ｃを備え外形が四角環状に形成された基部４０と、基部４０と略同一の大きさに形成された矩形板状の載置板４１とを備えている。基部４０の四辺と載置板４１の四辺とを重ね合わせて、基部４０の四角環状の上面に載置板４１の下面の外周領域部分を適宜のボンド剤等によって接着することによって、載置板４１は基部４０に固定される。なお、基部４０に対する載置板４１の固定をネジ等によって行えるように、基部４０及び載置板４１にネジ孔等を形成するものとしてもよい。
【００３２】
図３に示すように、基部４０の下面４０ｂは、テーブル本体４Ａの下面となり、載置板４１の上面は、テーブル本体４Ａの上面であるテーブル面４１ａとなる。なお、テーブル面４１ａは平滑に仕上げられており、また、チャックテーブル３０が載置板４１の角や稜線に接触してしまった場合に、チャックテーブル３０を傷付けないようにテーブル面４１ａの端部（稜線）には面取りが施されていてもよい。例えば、載置板４１のテーブル面４１ａの中央領域は、チャックテーブル３０が載置されるチャックテーブル載置領域４１１となる。載置板４１には、チャックテーブル載置領域４１１にチャックテーブル３０を載置する時又はチャックテーブル載置領域４１１からチャックテーブル３０を搬出する時に作業者の手をテーブル本体４Ａの内部に挿入するための切り欠き部４１２が形成されている。切り欠き部４１２は、テーブル面４１ａからテーブル本体４Ａの下面４０ｂに至るように載置板４１を厚み方向（Ｚ軸方向）に向かって貫通するように形成されており、図示の例においては、その外形が平面視五角形状になっている。図３に示すように、切り欠き部４１２の大きさは、チャックテーブル載置領域４１１に載置された状態のチャックテーブル３０の一部が切り欠き部４１２の上方にはみ出すように設定されている。そして、切り欠き部４１２から挿入された作業者の手が、チャックテーブル３０を下から確実に把持できるようになっている。なお、切り欠き部４１２の外形は五角形状に限定されるものではない。
【００３３】
図１、４に示すように、基部４０の四角環状の下面４０ｂには、図１に示すカセット載置台１６の突出する位置決め部１６０等に係合して固定される係合部４０Ａが形成されている。係合部４０Ａは、例えば、基部４０の四角環状の下面４０ｂから突出するように形成され外形が平面視略Ｌ字状である係止突起４００と、下面４０ｂに溝状に形成された係止溝４０１とを備えている。
【００３４】
係止突起４００は、例えば、図１に示す外形が平面視略Ｌ字状である位置決め部１６０よりも大きな平面視略Ｌ字状の形状を備えており、下面４０ｂの四隅に１つずつ四角環状の下面４０ｂに沿うように形成されている。係止突起４００は、その内側面４００ｄが位置決め部１６０の外側面１６０ｄに当接することで位置決め部１６０に係合する。
【００３５】
係止溝４０１は、例えば、下面４０ｂから基部４０の厚み方向の中間部に至る程度の深さを備えており、下面４０ｂにおいてＹ軸方向に平行に二本延在するように形成されている。例えば、図１に示すカセット載置台１６の載置面１６ａに＋Ｚ方向に向かって突き出す突き出しピンが位置決め部として形成されている場合には、各係止溝４０１に突き出しピンが嵌り込むことで、係止溝４０１は突き出しピンに係合する。
【００３６】
例えば、図４に示す基部４０の外側面には、基部４０の内側面に向かって穿つように形成された図示しないスリット孔が形成されており、このスリット孔に、外形がＹ軸方向からみて略Ｌ字形状となる収容用フック４０３が取り付けられている。そして、収容用フック４０３は図４においてはＸ軸方向に向かって可動であり、基部４０内から出し入れ可能となっており、例えば、内側面にゴム等の滑り止めが付けられている。収容用フック４０３は、簡易テーブル４を図１に示す加工装置１に収容する際に用いられる。図１に示すように、基部４０内から引き出した状態の収容用フック４０３を加工装置１の筐体１１の上面に引っ掛けることで、簡易テーブル４が筐体１１の側面に沿うようにして加工装置１に収容される。
【００３７】
以下に、簡易テーブル４の使用方法について説明する。まず、簡易テーブル４をカセット載置台１６の載置面１６ａ上に直に載置して使用する場合について説明する。
【００３８】
簡易テーブル４をカセット載置台１６の載置面１６ａの適切な位置に載置するには、例えば、図５、６に示すように、簡易テーブル４の下面４０ｂの係止溝４０１がＹ軸方向に平行になるようにし、図６に示すように、係止突起４００の内側面４００ｄを位置決め部１６０の外側面１６０ｄに当接させる。
【００３９】
例えば、図５に示す光電センサ１５は、光電センサ１５の検出結果に基づき図示しない昇降機構によるカセット載置台１６の昇降動作を規制するロック機構１５０に接続されている。ロック機構１５０のロックが設定されている状態においては、動作ボタン１６９を作業者が押した場合においても、図示しない昇降機構によるカセット載置台１６の昇降動作は開始されない。光電センサ１５は、カセット載置台１６上にカセット２が載置されている場合においては、環状フレームＦのカセット２内部からの飛び出しの検出を行う役割を果たすが、カセット載置台１６上に直に簡易テーブル４が載置されている場合においては、作業者が誤って動作ボタン１６９を押してしまうことで生じ得る昇降機構によるカセット載置台１６の昇降動作の開始を規制する役割をロック機構１５０と共に果たす。
【００４０】
例えば、簡易テーブル４をカセット載置台１６の載置面１６ａ上に直に載置した場合には、簡易テーブル４の端側部分（図５においては−Ｙ方向側の端側部分）が載置面１６ａ上から−Ｙ方向側に向かって所定面積だけ僅かにはみ出すことで、光電センサ１５の上方側が簡易テーブル４によって遮られた状態となる。光電センサ１５の投光部から＋Ｚ方向に向かって投光された測定光は、簡易テーブル４の下面４０ｂで反射し、受光部で受光される。その結果、光電センサ１５が、簡易テーブル４がカセット載置台１６の載置面１６ａ上に直に載置されていることを検出する。簡易テーブル４が載置面１６ａ上に直に載置されていることを光電センサ１５が検出すると、ロック機構１５０が図示しない昇降機構を自動的にロックし、作業者が誤って動作ボタン１６９を押してしまうことで生じ得る昇降機構によるカセット載置台１６の昇降動作の開始が規制される。なお、簡易テーブル４の外側面等の所定の箇所に、簡易テーブル４をカセット載置台１６の載置面１６ａ上に直に載置した場合に光電センサ１５の上方に位置付けられる凸部等を形成し、光電センサ１５に干渉するようにしてもよい。
【００４１】
このように、本発明に係る簡易テーブル４は、カセット載置台１６の載置面１６ａに形成された位置決め部１６０に係合して固定される係合部４０Ａを備えた下面４０ｂと、上面のテーブル面４１ａと、を有したテーブル本体４Ａを備え、カセット載置台１６に着脱自在であるため、簡易テーブル４をカセット載置台１６に取り付けることによって、加工装置１上に調整作業等で使用するチャックテーブル３０等の部品やドライバー等の工具等を載置できる作業スペースを確保できるようになる。そのため、加工装置１の調整作業時等における作業性を向上させることが可能となる。
【００４２】
次に、カセット２をカセット載置台１６の載置面１６ａ上に載置して、このカセット２上に簡易テーブル４を固定して使用する場合について説明する。
【００４３】
カセット２をカセット載置台１６の載置面１６ａの適切な位置に載置するには、まず、カセット２が、図７に示すように、ウェーハ搬出入口２ａが筐体１１の側壁１１ｃに形成された図示しない搬出入口と対向するように、載置面１６ａ上方に位置付けられる。次いで、カセット２が載置面１６ａに載置されると共に、位置決め部１６０によってカセット２が載置面１６ａ上で動かないように位置決めされる。すなわち、図６に示すように、例えば、二点鎖線により仮想的に示す第１の側板２１及び第２の側板２２の＋Ｙ方向側の後端面下部と内側面後方下部とが、位置決め部１６０に当接した状態になる。
【００４４】
さらに、簡易テーブル４を取っ手部２３０が折畳まれた状態のカセット２上の適切な位置に載置するには、まず、簡易テーブル４が、図７，８に示すように、簡易テーブル４の下面４０ｂの係止溝４０１がカセット２の第１の側板２１及び第２の側板２２にそれぞれ平行になるようにし、かつ、テーブル面４１ａが上側を向くようにして、カセット２の上方に位置付けられる。次いで、簡易テーブル４が第１の側板２１の上端面及び第２の側板２２の上端面に載置されるとともに、カセット２の突起部２１１および突起部２２１が各係止溝４０１にそれぞれ没入する。
【００４５】
さらに、係合部４０Ａが、カセット２に係合し固定されることで、簡易テーブル４がカセット２上で動かないように位置決めされる。すなわち、例えば、簡易テーブル４の四隅に対して、第１の側板２１及び第２の側板２２の上端側の各角部分が対応するように簡易テーブル４を位置付け、係止突起４００の内側面４００ｄを第１の側板２１及び第２の側板２２の各角部分の外側面に当接させることで、簡易テーブル４が水平方向に動かないようにカセット２の上面側に固定された状態になる。
【００４６】
上記のように、簡易テーブル４の係合部４０Ａが、カセット載置台１６に載置されたカセット２の上面側でカセット２に係合し固定されることによって、カセット載置台１６にカセット２が載置された状態においても、調整作業等で使用するチャックテーブル３０等の部品や工具等を載置できる安定した作業スペースを確保できるようになる。
【００４７】
図９に示すように、例えば、簡易テーブル４を、載置板４１上にスペーサー４５を積層可能な構成としてもよい。この場合においては、載置板４１のテーブル載置面４１ａの四隅に、スペーサー４５を載置面４１ａ上に係合させるための＋Ｚ方向側に向かって突き出るピン状の突起部４１５を形成する。スペーサー４５は、載置板４１と略同一の大きさに形成された矩形板状の平板部４５０と、平板部４５０の下面の四隅からそれぞれ＋Ｚ方向側に向かって垂設された脚部４５１とを備えている。各脚部４５１の下面には、突起部４１５に嵌合する図示しない嵌合孔が形成されており、この嵌合孔に突起部４１５が嵌合することで、振動等によって載置板４１上からずれたりしないようにして載置板４１上にスペーサー４５が積層された状態となる。このようにスペーサー４５を載置板４１上に積層可能とした簡易テーブル４は、載置板４１上にチャックテーブル３０を載置した状態で、平板部４５０の上面にボルトドライバー等の工具を載置することが可能となり、調整作業中に載置されている状態のチャックテーブル３０に工具がぶつかる危険性等が軽減され、調整作業等における作業性をより向上させることが可能になる。
【００４８】
なお、本発明に係る簡易テーブルは上記実施形態における構成に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている加工装置１の構成等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。例えば、本実施形態で示した加工装置１は、被加工物に対して切削加工を行う装置であるが、本発明に係る簡易テーブルは、被加工物の研削加工を行う加工装置、被加工物のレーザ加工を行う加工装置等に搭載することも可能である。
【符号の説明】
【００４９】
１：加工装置  １０：基台  １１：筐体  １１０：覗き窓  １１ｃ：筐体の側壁
１２：加工室  １４：割り出し送り手段  １５：光電センサ  １５０：ロック機構
１９：操作手段  １９０：タッチパネル
１６：カセット載置台  １６ａ：カセット載置台の載置面  １６０：位置決め部
１６９：動作ボタン
１７：アライメント手段  
２：カセット  ２ａ：搬出入口  ２１：第１の側板  ２２：第２の側板
２１１、２２１：突起部  ２３：上板  ２３０：取っ手部  ２４：底板  ２５：棚板
２６：ストッパー
３０：チャックテーブル  ３００：吸着部  ３００ａ：保持面  ３０１：枠体  
３１：防水カバー  ３１１：蛇腹カバー  ３２：固定クランプ
４：簡易テーブル  ４Ａ：テーブル本体  ４０：基部  ４０ｂ：テーブル本体の下面
４０ｃ：基部の開口
４０Ａ：係合部  ４００：係止突起  ４０１：係止溝  ４０３：収容用フック
４１：載置板  ４１１：チャックテーブル載置領域  ４１２：切り欠き部
４５：スペーサー  ４５０：平板部  ４５１：脚部
６：切削手段  ６１：スピンドル  ６２：スピンドルハウジング  ６３：切削ブレード
Ｗ：被加工物  Ｗａ：被加工物の表面  Ｗｂ：被加工物の裏面  Ｓ：分割予定ライン
Ｄ：デバイス  Ｆ：環状フレーム  Ｔ：ダイシングテープ
【図１】
2018078159.tif 000003
【図２】
2018078159.tif 000004
【図３】
2018078159.tif 000005
【図４】
2018078159.tif 000006
【図５】
2018078159.tif 000007
【図６】
2018078159.tif 000008
【図７】
2018078159.tif 000009
【図８】
2018078159.tif 000010
【図９】
2018078159.tif 000011