(57)【要約】【課題】各種電子部品の質量に合わせた適切な空気圧を簡便な作業で得ることができる電子部品搬送装置を提供する。【解決手段】電子部品搬送装置１は、搬送する電子部品Ｄの質量に関連する情報を選択画面表示部９１で取得し、選択画面表示部９１が取得した情報に応じた空気圧により、電子部品Ｄを保持及び離脱させ、また電子部品Ｄへの処理のために、選択画面表示部９１が取得した情報に応じた空気圧により電子部品Ｄを受け渡しするようにした。【選択図】図９
2018098332.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を搬送しながら処理する電子部品搬送装置であって、
前記電子部品を保持する搬送手段と、
前記電子部品を前記搬送手段に渡す供給手段と、
前記搬送手段により搬送される前記電子部品に対して処理を施す処理手段と、
前記搬送手段で搬送された前記電子部品を収容する収容手段と、
前記電子部品の質量に関連する搬送部品情報を取得する取得手段と、
前記搬送手段、前記供給手段、前記処理手段、前記収容手段の何れか又は複数に単数又は複数設置され、前記搬送部品情報に応じた空気圧が供給されて前記電子部品に吸着力を及ぼす吸着手段と、
を備えること、
を特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記搬送手段、前記供給手段、前記処理手段、前記収容手段の何れか又は複数に単数又は複数設置され、前記搬送部品情報に応じた空気圧が供給されて前記電子部品をブローするブロア手段を更に備えること、
を特徴とする請求項１記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記吸着手段は、真空破壊により前記電子部品を離し、前記搬送部品情報に応じた空気圧で真空破壊されること、
を特徴とする請求項１又は２記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
単数又は複数の電空レギュレータを含み、空気圧を供給する空気圧回路を更に備え、
前記電空レギュレータは、前記搬送部品情報に応じた各正圧を出力すること、
を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記取得手段は、取得した前記搬送部品情報と空気圧の組み合わせを表示する表示画面を有すること、
を特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記取得手段は、前記搬送部品情報の一覧を表示するとともに、当該一覧からの選択を受け付ける表示画面を有すること、
を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記供給手段は、前記搬送手段で搬送する前記電子部品の収容体を保持し、
当該収容体には、収容されている前記電子部品の前記搬送部品情報が表記され、
前記取得手段は、前記収容体から前記搬送部品情報を読み取る読み取り手段を有すること、
を特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記搬送部品情報はバーコードで表記され、
前記読み取り手段は、バーコードリーダであること、
を特徴とする請求項７記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
前記空気圧を調整する空気圧回路と、
前記搬送部品情報と前記空気圧との組み合わせを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に基づき、前記取得手段で取得された前記搬送部品情報に組み合わせられた前記空気圧を取得する空気圧検索手段と、
前記空気圧検索手段が取得した前記空気圧を前記空気圧回路に出力させるコントローラと、
を備えること、
を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の電子部品搬送装置。
【請求項１０】
前記空気圧回路は、電空レギュレータを有し、
前記記憶手段は、前記空気圧としての前記電空レギュレータが出力する正圧と前記搬送部品情報との組み合わせを記憶し、
前記コントローラは、前記空気圧検索手段が取得した前記正圧を前記電空レギュレータに出力させること、
を特徴とする請求項９記載の電子部品搬送装置。
【請求項１１】
前記搬送部品情報は、前記電子部品の質量、大きさ、又は製品番号であること、
を特徴とする請求項１乃至１０の何れかに記載の電子部品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を整列搬送して処理を施す電子部品搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品は、組み立てから出荷までの間、ハンドラとも呼ばれる電子部品搬送装置により搬送される。例えば、電子部品は、組み立て工程後、各種検査等の処理を経るために搬送される。この電子部品搬送装置は、電子部品の搬送経路中に各種の処理ユニットを備え、電子部品を搬送しながら各種処理を行う。また、電子部品搬送装置は、一方の収容体から他方の収容体に電子部品を移載するべく、一方の収容体から電子部品を搬送経路に乗せ、他方の収容体へ向けて移動させ、他方の収容体に入れ替える。
【０００３】
電子部品の搬送方式として、空気圧を利用した方式がある。電子部品搬送装置は、吸着ノズルと、この吸着ノズルを移動させるターレットテーブルを備え、吸着ノズルで電子部品を吸着保持させつつ、ターレットテーブルにより吸着ノズルを移動させる。ターレットテーブルは例えば円盤や星型の形状を有し、吸着ノズルはターレットテーブルの外周囲に配置されて電子部品を保持しながら、ターレットテーブルの縁に沿って周回する。
【０００４】
吸着ノズルは、空気圧回路と接続されて負圧が供給され、この負圧により電子部品を保持する（例えば特許文献１参照）。負圧は、真空ポンプで直接発生させて得られ、またはコンプレッサで発生させた正圧をエジェクタで変換して得られる。
【０００５】
また、電子部品搬送装置では、ターレットテーブルが連接し、一方から他方へと電子部品を移すとき、一方では吸着ノズルを真空破壊状態又は大気破壊状態とし、他方では吸着ノズルに負圧を発生させる。また、電子部品を反転させる反転ユニットは、負圧を発生させたテーブルで電子部品を受け取り、電子部品をテーブルに吸い付けて、テーブルを１８０度回転させる。また、電子部品を収容するポケットを有するキャリアテープを走行させるテーピングユニットは、キャリアテープの走行経路に吸着孔を備え、ポケットの底に形成された孔を通して電子部品を吸引し、キャリアテープの揺れによっても電子部品がポケットから飛び出さないようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１６−１２８３５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年、多品種少ロットで電子部品を生産する機会が多くなり、電子部品搬送装置で搬送される電子部品も頻繁に変わり得る。そのため、電子部品搬送装置を停止させて空気圧を調整する作業も頻発することになった。
【０００８】
空気圧の調整は、例えば吸着用の負圧調整、ブロー用の正圧調整、真空破壊用の正圧調整というように多岐に及び、従来はこれら調整を経験をもとに試行錯誤していた。そのため、多品種少ロットで電子部品を切り替える機会が増えると、この調整作業による生産性の低下が顕著となってきた。
【０００９】
しかしながら、慎重な調整作業を欠いて電子部品搬送装置の稼働を急ぐと、電子部品を途中で落下させてしまったり、電子部品を保持したまま渡すことができなかったりして、歩留まりが問題となり、結局、生産性の低下に帰結する。
【００１０】
本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、各種電子部品の質量に合わせた適切な空気圧を簡便な作業で得ることができる電子部品搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送しながら処理する電子部品搬送装置であって、前記電子部品を保持する搬送手段と、前記電子部品を前記搬送手段に渡す供給手段と、前記搬送手段により搬送される前記電子部品に対して処理を施す処理手段と、前記搬送手段で搬送された前記電子部品を収容する収容手段と、前記電子部品の質量に関連する搬送部品情報を取得する取得手段と、前記搬送手段、前記供給手段、前記処理手段、前記収容手段の何れか又は複数に単数又は複数設置され、前記搬送部品情報に応じた空気圧が供給されて前記電子部品に吸着力を及ぼす吸着手段と、を備えること、を特徴とする。
【００１２】
前記搬送手段、前記供給手段、前記処理手段、前記収容手段の何れか又は複数に単数又は複数設置され、前記搬送部品情報に応じた空気圧が供給されて前記電子部品をブローするブロア手段を更に備えるようにしてもよい。
【００１３】
前記吸着手段は、真空破壊により前記電子部品を離し、前記搬送部品情報に応じた空気圧で真空破壊されるようにしてもよい。
【００１４】
単数又は複数の電空レギュレータを含み、空気圧を供給する空気圧回路を更に備え、前記電空レギュレータは、前記搬送部品情報に応じた各正圧を出力するようにしてもよい。
【００１５】
前記取得手段は、取得した前記搬送部品情報と空気圧の組み合わせを表示する表示画面を有するようにしてもよい。
【００１６】
前記取得手段は、前記搬送部品情報の一覧を表示するとともに、当該一覧からの選択を受け付ける表示画面を有するようにしてもよい。
【００１７】
前記供給手段は、前記搬送手段で搬送する前記電子部品の収容体を保持し、当該収容体には、収容されている前記電子部品の前記搬送部品情報が表記され、前記取得手段は、前記収容体から前記搬送部品情報を読み取る読み取り手段を有するようにしてもよい。
【００１８】
前記搬送部品情報はバーコードで表記され、前記読み取り手段は、バーコードリーダであるようにしてもよい。
【００１９】
前記空気圧を調整する空気圧回路と、前記搬送部品情報と前記空気圧との組み合わせを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に基づき、前記取得手段で取得された前記搬送部品情報に組み合わせられた前記空気圧を取得する空気圧検索手段と、前記空気圧検索手段が取得した前記空気圧を前記空気圧回路に出力させるコントローラと、を備えるようにしてもよい。
【００２０】
前記空気圧回路は、電空レギュレータを有し、前記記憶手段は、前記空気圧としての前記電空レギュレータが出力する正圧と前記搬送部品情報との組み合わせを記憶し、前記コントローラは、前記空気圧検索手段が取得した前記正圧を前記電空レギュレータに出力させるようにしてもよい。
【００２１】
前記搬送部品情報は、前記電子部品の質量、大きさ、又は製品番号であるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、各種電子部品の質量に合わせた適切な空気圧を簡便な作業で得られるため、電子部品の生産効率が高まり、歩留まりも向上する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の上面図である。
【図２】第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の側面図である。
【図３】吸着ノズルの概略を示す断面図である。
【図４】第２回転テーブルの概略を示す断面図である。
【図５】反転ユニットのステージの概略を示す断面図である。
【図６】テーピングユニットのキャリアテープ走行面の概略を示す断面図である。
【図７】空気圧回路の構成を示すブロック図である。
【図８】第１の実施形態に係り、制御装置の構成を示すブロック図である。
【図９】第１の実施形態に係り、制御装置の機能構成を示すブロック図である。
【図１０】選択画面を示す模式図である。
【図１１】空気圧設定情報を示す模式図である。
【図１２】第１の実施形態に係り、制御装置の動作を示すフローチャートである。
【図１３】変形例のウェハリングを示す平面図である。
【図１４】変形例に係り、制御装置の構成を示すブロック図である。
【図１５】変形例に係り、制御装置の機能構成を示すブロック図である。
【図１６】変形例に係り、制御装置の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
（第１の実施形態）
（搬送装置全体構成）
図１及び２に示す電子部品搬送装置１は、電子部品Ｄを搬送経路に沿って移動させる。電子部品Ｄは、電気製品に使用される部品であり、半導体素子等がパッケージングされてなる。半導体素子としては、ＬＥＤ、トランジスタ、ダイオード、コンデンサ又は抵抗等のディスクリート半導体若しくは集積回路等が挙げられる。半導体以外の電子部品として、チップコンデンサ、チップ抵抗、インダクタ、フィルタ、アイソレータ等も含まれる。
【００２５】
この電子部品搬送装置１は、電子部品Ｄを空気圧により吸着保持する第１回転テーブル１１と第２回転テーブル１５と中継ユニット１１ａを備えている。第１回転テーブル１１と第２回転テーブル１５と中継ユニット１１ａは一定角度ずつ間欠回転する。中継ユニット１１ａと第１回転テーブル１１は、直交配置され、互いの外周上の一点を突き合わせている。第１回転テーブル１１と第２回転テーブル１５は、高さを違えて平行に設置され、一部が高さ方向で重なり合う。
【００２６】
第１回転テーブル１１と第２回転テーブル１５と中継ユニット１１ａは一方の空気圧による吸着力解除と他方の空気圧による吸着力発揮により、重複箇所で電子部品Ｄを受け渡しする。これにより、中継ユニット１１ａから第１回転テーブル１１まで、第１回転テーブル１１から第２回転テーブル１５まで、第２回転テーブル１５の全周、及び第２回転テーブル１５から第１回転テーブル１１の搬送終了位置までを一筆書きした搬送経路が形成される。
【００２７】
第１回転テーブル１１と中継ユニット１１ａは、吸着ノズル１２を円周等配位置で備えている。吸着ノズル１２は筒形状を有し、第１回転テーブル１１においてはテーブル下方に垂れ下がり、中継ユニット１１ａにおいては半径方向外方に延びている。図３に示すように、吸着ノズル１２は、内部に連通する吸着孔１３を先端に有する。吸着ノズル１２の他端部又は筒周面には、内部に連通するポート１４が形成されており、吸着ノズル１２の吸着孔１３にはポート１４を通じて負圧が供給される。即ち、中継ユニット１１ａと第１回転テーブル１１は、吸着ノズル１２で電子部品Ｄを吸い付けることで、電子部品Ｄを保持する。大気解放状態となると、電子部品Ｄは第１回転テーブル１１と中継ユニット１１ａから離脱可能となる。
【００２８】
第２回転テーブル１５は、第１回転テーブル１１側の面にポケット１６を有している。ポケット１６は、テーブル平面から一段堀下がった穴領域であり、第２回転テーブル１５の同心円に沿って一列に並ぶ。図４に示すように、ポケット１６の底面には吸着孔１７が開口している。吸着孔１７には負圧が供給される。これにより、第２回転テーブル１５の回転中、電子部品Ｄはポケット１６内に吸い付けられて保持される。真空破壊されると、電子部品Ｄは第２回転テーブル１５から離脱可能となる。
【００２９】
電子部品搬送装置１は、電子部品Ｄの搬送と共に、中継ユニット１１ａと第１回転テーブル１１と第２回転テーブル１５とにより形成される搬送経路上で電子部品Ｄに各種処理を施す。この電子部品搬送装置１は、搬送経路に沿って、電子部品Ｄを搬送経路に供給するウェハリングホルダ６０、搬送後の電子部品Ｄを収容する２機のテーピングユニット２０、３ランクシューター３０及び強制排出ビン４０の群、電子部品Ｄの向きを１８０度反転させる反転ユニット５０、電子部品Ｄの位置を補正する補正ユニット６１、電子部品Ｄの電気特性を測定する電気特性測定ユニット６２、及び電子部品Ｄのキズや汚れ等の外観を検査する外観検査ユニット６３を搬送経路に沿って一列に整列させて備えている。
【００３０】
ウェハリングホルダ６０は中継ユニット１１ａに接続される。このウェハリングホルダ６０は、電子部品Ｄが貼着されたウェハリングを保持し、ウェハリングの平面に沿って平面移動させながら、各電子部品Ｄを中継ユニット１１ａが形成する搬送経路が横切る一点に位置させる。
【００３１】
２機のテーピングユニット２０、３ランクシューター３０及び強制排出ビン４０の群と中継ユニット１１ａとは、第１回転テーブル１１の周囲に間を空けて配置される。テーピングユニット２０は、底面中心に孔の開いたポケット２４が長手方向に沿って形成されたキャリアテープ２３を長手方向に沿って走行させ、各ポケット２４を搬送経路が横切る一点に位置させる。３ランクシューター３０は、１入口３出口のシューターであり、入口を搬送経路が横切る一点に位置させ、入口と出口の間を揺動可能なシューターを各出口の収容容器に合わせる。強制排出ビン４０は、１入口１出口のシューターであり、入口を搬送経路が横切る一点に位置させ、出口に収容容器を有する。
【００３２】
反転ユニット５０は、中継ユニット１１ａの隣に配置される。外観検査ユニット６３は、第１回転テーブル１１の周囲のうち、中継ユニット１１ａとテーピングユニット２０を含む排出用のユニットの群との間に配置される。電気特性測定ユニット６２は、第２回転テーブル１１の下方に配置され、ポケット１６の底からプローブ６２ａを突き出し、ポケット１６内の電子部品Ｄの電極にプローブ６２ａを電気的に接続する。補正ユニット６１は、電気特性測定ユニット６２と外観検査ユニット６３の隣に各々配置される。
【００３３】
このような電子部品搬送装置１では、まず、中継ユニット１１ａがウェハリングホルダ６０から電子部品Ｄをピックアップして第１回転テーブル１１に渡す。第１回転テーブル１１は、中継ユニット１１ａから電子部品Ｄを受け取って保持する。そして、第１回転テーブル１１は、電子部品Ｄを保持したまま、間欠的な回転を続け、電子部品Ｄを反転ユニット５０、補正ユニット６１及び外観検査ユニット６３に到達させる。
【００３４】
更に、第１回転テーブル１１は、第２回転テーブル１５との重複箇所に電子部品Ｄを到達させ、電子部品Ｄを第２回転テーブル１５に引き渡す。第２回転テーブル１５は、電子部品Ｄを保持したまま、間欠的な回転を続け、電子部品Ｄを電気特性測定ユニット６２に到達させた後、第１回転テーブル１１との重複箇所に戻す。
【００３５】
第１回転テーブル１１は、第２回転テーブル１５から電子部品Ｄを取り戻し、取り戻した電子部品Ｄを保持したまま、間欠的な回転を続け、外観検査及び電気特性測定の結果に応じて、２機のテーピングユニット２０の何れか、又は３ランクシューター３０に到達させる。そして、到達させた箇所で電子部品Ｄを離し、２機のテーピングユニット２０の何れか、又は３ランクシューター３０に引き渡す。
【００３６】
更に、第１回転テーブル１１は、電子部品Ｄを離脱させることができない万一に備えて、電子部品Ｄを保持していた吸着ノズル１２を強制排出ビン４０に到達させる。強制排出ビン４０に到達した吸着ノズル１２は、離すことができなかった電子部品Ｄを強制排出ビン４０に向けてブローする。
【００３７】
このような電子部品Ｄの搬送行程中において、図５に示すように、反転ユニット５０は、吸着孔５２が開口したステージ５１を有している。吸着孔５２には負圧が供給される。ステージ５１は、負圧を利用して電子部品Ｄを一時的に吸い付けて１８０度回転する。これにより、電子部品Ｄの向きは１８０度反転する。尚、ステージ５１の吸着孔５２内が真空破壊されると、電子部品Ｄは反転ユニット５０から離脱可能となる。このとき、第１回転テーブル１１の吸着ノズル１２に負圧を供給すると、電子部品Ｄは第１回転テーブル１１に戻る。
【００３８】
第２回転テーブル１５は、電気特性の測定が済んだ電子部品Ｄを更に移動させ、電子部品Ｄを第１回転テーブル１１との重複地点に戻す。第１回転テーブル１１と第２回転テーブル１５との重複地点に電子部品Ｄが戻ると、ポケット１６の吸着孔１７内を真空破壊し、吸着ノズル１２に負圧を発生させ、電子部品Ｄを第２回転テーブル１５から第１回転テーブル１１に戻す。
【００３９】
２機のテーピングユニット２０又は３ランクシューター３０の何れかの到達目的地点では、吸着ノズル１２は、到達目的地点に移動すると、負圧が解除されて大気解放され、電子部品Ｄを離す。テーピングユニット２０は、吸着ノズル１２の直下に空のポケット２４を位置させて電子部品Ｄを受け取る。
【００４０】
図６に示すように、このテーピングユニット２０は、キャリアテープ２３の走行経路２１に沿って吸着孔２２を備えている。吸着孔２２には負圧が供給され、ポケット２４の孔を通じて電子部品Ｄをポケット２４に吸い付ける。３ランクシューター４１では、吸着ノズル１２が真空破壊され、電子部品Ｄを電気特性測定、外観検査及び光量測定の結果に応じた容器に送り出す。
【００４１】
（空気圧回路）
このように吸着ノズル１２、ポケット１６、反転ユニット５０、テーピングユニット２０、３ランクシューター３０及び強制排出ビン４０は、空気圧を利用して電子部品Ｄの保持及び受け渡しする。図７に示すように、電子部品搬送装置１は空気圧回路７０を備え、電子部品Ｄの保持及び受け渡しのために空気圧を各所に送っている。空気圧回路７０は、入力インターフェース７１、電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃ、電磁弁７４ａ〜７４ｋ及びエジェクタ７５ａ〜７５ｅから構成される。
【００４２】
入力インターフェース７１は、空気圧回路７０の入り口である。入力インターフェース７１には、工場に据え付けられたコンプレッサから延びる工場配管が接続される。コンプレッサは、入力インターフェース７１を通じて空気圧回路７０に正圧を入力する。
【００４３】
電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃは、入力ポートと出力ポートを備え、また入力ポートと出力ポートとの間にダイヤフラムを備える。ダイヤフラムは、歪みにより入力ポートと出力ポートとの間の回路を拡げたり閉じたりして、入力ポートと出力ポートとの間を連通又は遮断させる。このダイヤフラムは、調圧スプリングによって歪みを規制されている。電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃには、電気信号が入力され、調圧スプリングは、電気信号に比例して縮み、電気信号に比例した圧力でダイヤフラムの歪みを規制する。電気信号は、例えば電圧信号である。この電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃは、出力ポートの正圧を電気信号に比例させる。
【００４４】
電磁弁７４ａ〜７４ｋは、電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃから出力された正圧を供給ポートに取り込み、外部から入力された電気信号による励磁又は消磁によって、供給ポートと出力ポートとの間の連通及び遮断を切り替える。即ち、電磁弁７４ａ〜７４ｋは、電気信号の有無に応じて出力ポートへの正圧供給のオンオフを切り替える。また、電磁弁７４ａ〜７４ｋは、供給ポートと出力ポートとの間の遮断に加え、出力ポートと排気ポートを繋ぐ。出力ポートと排気ポートが接続されることで、電磁弁７４ａ〜７４ｋの出力ポートに繋がる経路は大気開放状態となる。
【００４５】
エジェクタ７５ａ〜７５ｅは、真空ポート、空気圧供給ポート、排気ポート、及び破壊圧供給ポートを備える。このエジェクタ７５ａ〜７５ｅは、空気圧供給ポートから排気ポートへの空気の流れによって、真空ポートから排気ポートへの空気の流れを作り出し、真空ポートに負圧を発生させる。また、エジェクタ７５ａ〜７５ｅは、破壊圧供給ポートへの正圧の入力によって真空ポート側を真空破壊する。
【００４６】
この空気圧回路７０では、入力インターフェース７１に３基の電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃが並列接続される。第１の電空レギュレータ７２ａは真空破壊用であり、第２の電空レギュレータ７２ｂは吸着用であり、第３の電空レギュレータ７２ｃはブロー用である。
【００４７】
第１の電空レギュレータ７２ａの出力ポートには、４基の電磁弁７４ａ〜７４ｄが並列接続される。第２の電空レギュレータ７２ｂの出力ポートには、５基の電磁弁７４ｅ〜７４ｉが並列接続される。第１の電空レギュレータ７２ａに接続された４基の電磁弁７４ａ〜７４ｄは、４基のエジェクタ７５ａ〜７５ｄと直列接続される。４基の電磁弁７４ａ〜７４ｄの出力ポートと４基のエジェクタ７５ａ〜７５ｄの破壊圧供給ポートとが接続される。
【００４８】
第２の電空レギュレータ７２ｂに接続された５基の電磁弁７４ｅ〜７４ｉは、５基のエジェクタ７５ａ〜７５ｅと直列接続される。５基の電磁弁７４ｅ〜７４ｉの出力ポートと５基のエジェクタ７５ａ〜７５ｅの空気圧供給ポートとが接続される。第１の電空レギュレータ７２ａを通る経路上の４基のエジェクタ７５ａ〜７５ｄと、第２の電空レギュレータ７２ｂを通る経路上の５基のうちの４基のエジェクタ７５ａ〜７５ｄとは共通である。
【００４９】
第１の電空レギュレータ７２ａと第２の電空レギュレータ７２ｂの経路に共通の４基のエジェクタ７５ａ〜７５ｄは、第２回転テーブル１５のポケット１６に形成された吸着孔１７、反転ユニット５０のステージ５１に形成された吸着孔５２、２機のテーピングユニット２０が有する吸着孔２２に対応し、これらと真空ポートで接続されている。第２の電空レギュレータ７２ｂの経路にのみ配置された１基のエジェクタ７５ｅは、中継ユニット１１ａ及び第１回転テーブル１１の吸着ノズル１２と真空ポートで接続されている。
【００５０】
そして、第３の電空レギュレータ７２ｃの出力ポートには、２機の電磁弁７４ｊ及び７４ｋが並列接続される。この２基の電磁弁７４ｊ及び７４ｋは、３ランクシューター３０と強制排出ビン４０に位置した第１回転テーブル１１の吸着ノズル１２と接続されるエジェクタ７５ｅにのみ、破壊圧供給ポートに接続される。
【００５１】
この空気圧回路７０では、中継ユニット１１ａ及び第１回転テーブル１５の吸着ノズル１２、第２回転テーブル１５のポケット１６に形成された吸着孔１７、反転ユニット５０のステージ５１に形成された吸着孔５２、及び２機のテーピングユニット２０が有する吸着孔２２に対しては、電磁弁７４ａ〜７４ｄを閉じ、電磁弁７４ｅ〜７４ｉの供給ポートと出力ポートを繋ぎ、エジェクタ７５ａ〜７５ｅの空気圧供給ポートに正圧を入力することで、負圧を生じさせる。
【００５２】
また、第２回転テーブル１５のポケット１６に形成された吸着孔１７、反転ユニット５０のステージ５１に形成された吸着孔５２、及び２機のテーピングユニット２０が有する吸着孔２２に対しては、電磁弁７４ａ〜７４ｄの供給ポートと出力ポートを繋ぎ、４基のエジェクタ７５ａ〜７５ｄの破壊圧供給ポートに正圧を入力することで、真空破壊を生じさせる。中継ユニット１１ａ及び第１回転テーブル１５の吸着ノズル１２に対しては、電磁弁７４ｉの出力ポートと排気ポートを繋ぐことで、大気開放する。
【００５３】
また、第１回転テーブル１１の吸着ノズル１２のうち、３ランクシューター３０と強制排出ビン４０に到達した吸着ノズル１２に対しては、電磁弁７４ｉを閉じ、電磁弁７４ｊ又は７４ｋの供給ポートと出力ポートを繋ぎ、エジェクタ７５ｅの破壊圧供給ポートに正圧を入力する。これにより、この吸着ノズル１２をブロアとして機能させ、電子部品Ｄを吸着していた吸着孔１３から空気を噴出させ、電子部品Ｄを３ランクシューター３０と強制排出ビン４０に向けて吹き飛ばす。
【００５４】
（空気圧制御装置）
図８は、この空気圧回路７０の空気圧を制御する制御装置のブロック図である。電子部品搬送装置１は、搬送する電子部品Ｄの質量に応じて、電子部品Ｄを確実に保持し、確実に離し、また確実にブローするための空気圧を調整する制御装置８０を備えている。この制御装置８０は、第１回転テーブル１１、第２回転テーブル１５が設置される架台１８の内部に収容されている。
【００５５】
制御装置８０は所謂コンピュータである。制御装置８０は、プログラムを記憶するＲＯＭ等のメモリ８１、プログラムを適宜実行するＣＰＵ等のプロセッサ８２、プロセッサ８２がプログラムの実行結果として出力する制御信号を受信する周辺コントローラ８３と、マンマシンインターフェース８４を備える。プロセッサ８２は、周辺コントローラ８３とマンマシンインターフェース８４にＩ／Ｏポート８７を介して接続されている。プロセッサ８２とメモリ８１とＩ／Ｏポート８７はバスを介して接続されている。
【００５６】
周辺コントローラ８３は、各電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃ及び電磁弁７４ａ〜７４ｋと信号線で接続され、電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃに電気信号を出力し、電磁弁７４ａ〜７４ｋを励磁するための電気信号をオンオフする。マンマシンインターフェース８４は、例えばタッチパネル式の表示画面であり、操作者の操作を受け付ける。マンマシンインターフェース８４としては、キーボード又はマウス及びＬＣＤディスプレイ又は有機ＥＬディスプレイであってもよい。
【００５７】
図９に示すように、制御装置８０は、プログラムの実行により、選択画面表示部９１と空気圧設定記憶部９２と空気圧検索部９３と信号生成部９４とを備える。図１０に示すように、選択画面表示部９１は、マンマシンインターフェース８４で主に構成され、空気圧設定モードにおいて、電子部品Ｄの大きさ等の搬送部品情報９２２のリスト９２１を画面９２０に表示させ、タッチによる搬送部品情報９２２の選択を受け付ける。後述するように、選択画面表示部９１は、空気圧検索部９３による検索が終了すると、搬送部品情報９２２と組み合わせられた電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃの各正圧値９２４を表示し、この正圧値９２４を操作者に確認させる。
【００５８】
尚、厳密には電子部品Ｄの質量の選択が必要であるが、電子部品Ｄの大きさと質量とは比例するものとして、操作者の利便性の観点から電子部品Ｄの大きさを搬送部品情報９２２として選択させている。従って、電子部品Ｄの質量の選択を受け付けるようにしてもよい。また、同じ理由から、製品番号の選択を受け付けるようにしてもよい。これら選択を受け付ける情報が搬送部品情報９２２であり、その内容は、質量、大きさ又は製品番号である。
【００５９】
空気圧設定記憶部９２は、メモリ８１で主に構成され、空気圧設定情報９２３を記憶している。図１１に示すように、空気圧設定情報９２３は、電子部品Ｄの搬送部品情報９２２と各電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃが出力する正圧値９２４とを組み合わせて構成されるデータ列である。空気圧検索部９３は、プロセッサ８２で主に構成され、選択画面表示部９１で選択された搬送部品情報９２２を検索キーとして、空気圧設定情報９２３を探索し、各電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃが出力する各正圧値９２４を取得する。信号生成部９２４は、主に周辺コントローラ８３で構成され、電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃが出力する各正圧値９２４を各電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃへの電気信号に変換する。
【００６０】
図１２に示すように、この空気圧検索部９３は、マンマシンインターフェース８４に画面９２０を表示させる（ステップＳ０１）。画面９２０をタッチすることで搬送部品情報９２２が入力されると（ステップＳ０２）、選択された搬送部品情報９２２を検索キーとして空気圧設定情報９２３を検索する（ステップＳ０３）。そして、空気圧検索部９３は、搬送部品情報９２２に組み合わせられた各電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃが出力する各正圧値９２４を取得する（ステップＳ０４）。
【００６１】
電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃが出力する各正圧値９２４を取得すると、空気圧検索部９３は正圧値９２４を信号生成部９４に送る。信号生成部９４は、空気圧検索部９３から渡された各電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃが出力する各正圧値９２４を電気信号に変換し（ステップＳ０５）、各電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃに出力する（ステップＳ０６）。電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃは、電気信号に比例させて調圧スプリングを縮め、搬送部品情報９２２に合った正圧を出力ポートから出力する。
【００６２】
これにより、中継ユニット１１ａ及び第１回転テーブル１１の吸着ノズル１２、第２回転テーブル１５のポケット１６に形成された吸着孔１７、反転ユニット５０のステージ５１に形成された吸着孔５２、２機のテーピングユニット２０が有する吸着孔２２、３ランクシューター４０のブロア４１、及び強制排気ビン５０のブロア５１は、電子部品Ｄの質量に合わせた吸着力又は吹付力で電子部品Ｄを保持又は吹き飛ばす。
【００６３】
（変形例）
図１３に示すように、ウェハリングホルダ６０が保持するウェハリング６０ａには、バーコード６０ｂが貼着又は印刷されている。このバーコード６０ｂは、ウェハ内の各電子部品Ｄの品質、電子部品Ｄの製品番号、及びウェハ内の電子部品Ｄを製造したメーカのＵＲＬアドレスが含まれている。
【００６４】
図１４に示すように、制御装置８０は、ウェハリングホルダ６０に保持されるウェハリング６０ａのバーコード６０ｂを読み取るバーコードリーダ８５と、インターネットに接続可能なネットワークアダプタ８６を備えている。図１５に示すように、この制御装置８０は、バーコードリーダ８５とネットワークアダプタ８６とプロセッサ８２とにより主に構成される搬送部品情報検索部９５によって、搬送部品情報９２２を自動取得する。
【００６５】
即ち、図１６に示すように、搬送部品情報検索部９５は、ウェハリング６０ａからバーコード６０ｂを読み取り（ステップＳ１１）、製品番号とＵＲＬアドレスを取得する（ステップＳ１２）。搬送部品情報検索部９５は、ＵＲＬアドレスで示されるネットワーク上のコンピュータにアクセスし（ステップＳ１３）、製品番号と対になった搬送部品情報９２２を要求する（ステップＳ１４）。ＵＲＬアドレスで示されるコンピュータが要求に応じて搬送部品情報９２２を送信し、搬送部品情報検索部９５は、搬送部品情報９２２を取得する（ステップＳ１５）。
【００６６】
空気圧検索部９３は、搬送部品情報検索部９５が取得した搬送部品情報９２２で空気圧設定情報９２３を検索し（ステップＳ１６）、搬送部品情報９２２に組み合わせられた各電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃが出力する各正圧値９２４を取得する（ステップＳ１７）。信号生成部９４は、各電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃが出力する各正圧値９２４を電気信号に変換し（ステップＳ１８）、各電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃに出力する（ステップＳ１９）。電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃは、電気信号に比例させて調圧スプリングを縮め、電子部品Ｄの質量に合った正圧を出力ポートから出力する。
【００６７】
これにより、中継ユニット１１ａ及び第１回転テーブル１１の吸着ノズル１２、第２回転テーブル１５のポケット１６に形成された吸着孔１７、反転ユニット５０のステージに形成された吸着孔５２、２機のテーピングユニット２０が有する吸着孔２２、３ランクシューター３０のブロア３１、及び強制排気ビン４０のブロア４１は、電子部品Ｄの質量に合わせた吸着力又は吹付力で保持又は吹き飛ばす。
【００６８】
（効果）
このように、第１の実施形態及び変形例に係る電子部品搬送装置１は、電子部品Ｄを保持する搬送手段と、電子部品Ｄを搬送手段に渡す供給手段と、搬送手段により搬送される電子部品Ｄに対して処理を施す処理手段と、搬送手段で搬送された電子部品Ｄを収容する収容手段とを備えている。また、電子部品搬送装置１は、搬送手段、供給手段、処理手段、収容手段の何れか又は複数に単数又は複数設置され、空気圧が供給されて電子部品Ｄに吸着力を及ぼす吸着手段を備えている。
【００６９】
そして、この電子部品搬送装置１に、電子部品Ｄの質量に関連する搬送部品情報９２２を取得する取得手段を備えさせ、吸着手段に搬送部品情報９２２に応じた空気圧を供給するようにした。これにより、電子部品Ｄの質量に合わせた適切な空気圧を簡便な作業で得られる。従って、電子部品Ｄの品種換えのための電子部品搬送装置１の停止時間が短縮され、電子部品Ｄの生産性が高まる。また、電子部品Ｄの質量に比して空気圧が足りず、電子部品Ｄを落としてしまったり、渡された電子部品Ｄを受け取ることができなったりすることが抑制されて歩留まりが向上する。
【００７０】
搬送部品情報９２２は、電子部品Ｄの質量、大きさ又は製品番号を例示したが、電子部品Ｄの質量に関連し、電子部品Ｄの質量が一義的に導き出せる情報であれば、直接的間接的な情報を問わず適用可能である。
【００７１】
取得手段としては、第１の実施形態に係る選択画面表示部９１及び変形例に係る搬送部品情報検索部９５を例に説明した。この他、電子部品Ｄの質量に関連する情報を取得可能な手段であれば、何れも取得手段として採用可能である。例えば、電子部品Ｄの質量に関連する情報が文字や図柄で表れている場合、カメラとＯＣＲ機能を実装したコンピュータが取得手段となり得るし、二次元バーコードリーダが取得手段となり得る。
【００７２】
変形例では搬送部品情報９２２をウェハリング６０ａに貼着又は印刷されたバーコード６０ｂから読み取る例を説明した。電子部品Ｄが保持されている収容体はウェハリング６０に限らず、トレイやキャリアテープであってもよく、トレイやキャリアテープにバーコード６０ｂが付され、このバーコード６０ｂを読み取るようにしてもよい。
【００７３】
即ち、供給手段は、ウェハリング６０ａを保持するウェハリングホルダ６０の他、トレイを保持するトレイ移動装置、又はキャリアテープを走行させるテーピングユニットであってもよい。収容手段においても、テーピングユニット２０の他、ウェハリングホルダやトレイ移動装置であってもよい。
【００７４】
また、空気圧の変更地点として電空レギュレータ７２ａ〜７２ｃを例に挙げたが、空気圧を変化させることができ、また電気信号により制御可能な装置であれば、何れも電子部品搬送装置１の制御装置７０の制御対象となり得る。
【００７５】
また、搬送手段としては、吸着ノズル１２を備える第１回転テーブル１１及び中継ユニット１１ａと、ポケット１６を備える第２回転テーブル１５の組み合わせを例に挙げた。この他にも、第１回転テーブル１１単体で搬送経路を形成したり、第２回転テーブル１５単体で搬送経路を形成したり、直線搬送方式を採ったりするようにしてもよい。
【００７６】
更に、空気圧を利用する処理手段として、反転ユニット５０、テーピングユニット２０、３ランクシューター３０及び強制排出ビン４０を挙げたが、これらを全て備えている必要はないし、電子部品を処理する処理手段であって空気圧を利用するものであれば、何れでも適用可能である。
【００７７】
電子部品に対する処理は、供給、検査、加工、分類及び収容が挙げられる。供給は、電子部品の搬送経路への供給、検査は、電子部品の電気特性、外観及び光量の測定が挙げられ、加工はレーザーマーキング、電極の曲げ加工、半田の塗布及び基板への実装が挙げられ、分類及び収容は検査結果に応じた収容箇所への搬送と収容が挙げられる。
【００７８】
例えば、ステージを備える補正ユニット６１が挙げられる。ステージはステージ平面に沿って平面移動し、またステージはモータの回転軸で軸支されて軸回転する。この補正ユニット６１のステージ中心に吸着孔を形成し、第１回転テーブル１１が電子部品Ｄを補正ユニット６１に完全に引き渡すようにしてもよい。この補正ユニット６１は、空気圧を利用する処理手段として、ステージの移動及び回転中に電子部品Ｄがステージに対して動かないように、適切な負圧を必要とする。
【００７９】
（他の実施形態）
以上のように本発明の各実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８０】
１  電子部品搬送装置
１１  第１回転テーブル
１１ａ  中継ユニット
１２  吸着ノズル
１３  吸着孔
１４  ポート
１５  第２回転テーブル
１６  ポケット
１７  吸着孔
１８  架台
２０  テーピングユニット
２１  走行経路
２２  吸着孔
２３  キャリアテープ
２４  ポケット
３０  ３ランクシューター
４０  強制排出ビン
５０  反転ユニット
５１  ステージ
５２  吸着孔
６０  ウェハリングホルダ
６０ａ  ウェハリング
６０ｂ  バーコード
６１  補正ユニット
６２  電気特性測定ユニット
６２ａ  プローブ
６３  外観検査ユニット
７０  空気圧回路
７１  入力インターフェース
７２ａ、７２ｂ、７２ｃ  電空レギュレータ
７４ａ〜７４ｋ  電磁弁
７５ａ〜７５ｅ  エジェクタ
８０  制御装置
８１  メモリ
８２  プロセッサ
８３  周辺コントローラ
８４  マンマシンインターフェース
８５  バーコードリーダ
８６  ネットワークアダプタ
９１  選択画面表示部
９２  空気圧設定記憶部
９２０  画面
９２１  リスト
９２２  搬送部品情報
９２３  空気圧設定情報
９２４  正圧値
９３  空気圧検索部
９４  信号生成部
９５  搬送部品情報検索部
Ｄ  電子部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2018098332.tif 000014
【図１３】
2018098332.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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