(57)【要約】【課題】マグネットを一個ずつ脱着する手作業に起因する諸問題を解決し得る、マグネット脱着治具等を提供する。【解決手段】マグネット脱着治具１１は、第一下面２２を有する磁性体トレー２０に対して複数の小片状のマグネットＭを脱着するものであって、第二上面３１及び第二下面３２を有する非磁性体トレー３０と、板状マグネット４１とを備えている。磁性体トレー２０は、第一下面２２に設けられ、マグネットＭを収容可能な第一収容凹部２３を有する。非磁性体トレー３０は、第二上面３１の第一収容凹部２３と対向する位置に設けられ、マグネットＭを収容可能な第二収容凹部３３を有する。板状マグネット４１は、第一下面２２と第二上面３１とが接し、第二下面３２と板状マグネット４１とが接した状態で、第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へマグネットＭを移し替え可能な磁力を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向側を上、その反対側を下としたとき、第一下面を有する磁性体トレーに対して複数の小片状のマグネットを脱着するマグネット脱着治具であって、第二上面及び第二下面を有する非磁性体トレーと、マグネット吸着手段と、を備え、
前記磁性体トレーは、前記第一下面に設けられ、前記マグネットを収容可能な第一収容凹部を有し、
前記非磁性体トレーは、前記第二上面の前記第一収容凹部と対向する位置に設けられ、前記マグネットを収容可能な第二収容凹部を有し、
前記マグネット吸着手段は、前記第一下面と前記第二上面とが接し、前記第二下面と当該マグネット吸着手段とが接した状態で、前記第一収容凹部から前記第二収容凹部へ前記マグネットを移し替え可能な磁力を有する、
マグネット脱着治具。
【請求項２】
前記マグネット吸着手段は板状マグネットである、
請求項１記載のマグネット脱着治具。
【請求項３】
前記非磁性体トレー及び前記板状マグネットの少なくとも一方を水平に保ったまま上下動させる上下動機構を更に備えた、
請求項２記載のマグネット脱着治具。
【請求項４】
請求項２記載のマグネット脱着治具を用いたマグネット脱着方法であって、
前記第一収容凹部に前記マグネットが収容されている場合に、
前記第一下面と前記第二上面とを接触させ、前記第二下面に前記板状マグネットを接触させることにより、前記第一収容凹部から前記第二収容凹部へ前記マグネットを移し替える、
マグネット脱着方法。
【請求項５】
請求項２記載のマグネット脱着治具を用いたマグネット脱着方法であって、
前記第二収容凹部に前記マグネットが収容されている場合に、
前記第二下面と前記板状マグネットとを接触させることにより、前記マグネットを前記第二収容凹部内に固定し、
前記第一下面と前記第二上面とを接触させ、
前記第二下面と前記板状マグネットとを分離させることにより、前記第二収容凹部から前記第一収容凹部へ前記マグネットを当該マグネットの磁力によって移し替える、
マグネット脱着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば圧電素子に電極を形成する際に使われるマグネット脱着治具及びマグネット脱着方法（以下、「マグネット脱着治具及び方法」という。）に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子の一種である水晶振動素子では、スパッタリングや真空蒸着によって水晶片の両面に電極を形成するため、専用の電極形成治具を使用する（例えば特許文献１、２参照）。その電極形成治具は、水晶片を保持する収容孔を有するスペーサと、スペーサの両面に配置される一対のメタルマスクと、スペーサ及び一対のメタルマスクを挟持する一対の磁性体フレームとを備えている。一対の磁性体フレームは、一方のフレームに取り付けられたマグネットの吸着力によって互いに引き合うことにより、スペーサ及び一対のメタルマスクを挟持する。メタルマスクには電極のパターンと同じ形状の透孔が穿設され、磁性体フレームには電極材料がメタルマスクを通って水晶片に到達するように透孔が穿設されている。
【０００３】
電極形成治具には電極材料が付着するため、定期的に電極形成治具を分解して洗浄する必要がある。その洗浄時には、磁性体フレームに吸着しているマグネットを、一個ずつ手作業で取り外していた。そして、電極形成治具の洗浄後、取り外した複数のマグネットを、一個ずつ手作業で磁性体フレームに取り付けていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−０７４２９２号公報
【特許文献２】特開２００７−０５３５７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、マグネットを一個ずつ脱着する手作業には次のような問題があった。
【０００６】
（１）磁性体フレームからマグネットを取り外すには、吸着しているマグネットを無理やり引き剥がす作業になるため、時間及び手間がかかる。磁性体フレームにマグネットを取り付けるには、勝手に吸着してしまうマグネットを取り扱う作業になるため、やはり時間及び手間がかかる。
【０００７】
（２）一つの電極形成治具に収容する水晶片数の増加などの理由により、フレームに設けられるマグネット設置部の寸法（面積・深さ）が小さくなる傾向にある。そのため、マグネットの寸法も小さくなるため、脱着時に受ける力によってマグネットが破損しやすい。例えば、一回の脱着で数個が破損する。
【０００８】
（３）マグネットが破損すると、その破片が電極形成治具内に残ることにより、メタルマスクと水晶片とが密着しなくなるので、電極のボケやズレの原因となる。また、マグネットの破片が水晶振動素子に付着すると、水晶振動素子の特性不良につながる。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、マグネットを一個ずつ脱着する手作業に起因する諸問題を解決し得る、マグネット脱着治具等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るマグネット脱着治具は、一方向側を上、その反対側を下としたとき、第一下面を有する磁性体トレーに対して複数の小片状のマグネットを脱着するものであって、第二上面及び第二下面を有する非磁性体トレーと、マグネット吸着手段と、を備え、
前記磁性体トレーは、前記第一下面に設けられ、前記マグネットを収容可能な第一収容凹部を有し、
前記非磁性体トレーは、前記第二上面の前記第一収容凹部と対向する位置に設けられ、前記マグネットを収容可能な第二収容凹部を有し、
前記マグネット吸着手段は、前記第一下面と前記第二上面とが接し、前記第二下面と当該マグネット吸着手段とが接した状態で、前記第一収容凹部から前記第二収容凹部へ前記マグネットを移し替え可能な磁力を有する。
【００１１】
本発明に係る第一のマグネット脱着方法は、本発明に係るマグネット脱着治具を用いたマグネット脱着方法であって、前記マグネット吸着手段が板状マグネットであり、前記第一収容凹部に前記マグネットが収容されている場合に、
前記第一下面と前記第二上面とを接触させ、前記第二下面に前記板状マグネットを接触させることにより、前記第一収容凹部から前記第二収容凹部へ前記マグネットを移し替えるものである。
【００１２】
本発明に係る第二のマグネット脱着方法は、本発明に係るマグネット脱着治具を用いたマグネット脱着方法であって、前記マグネット吸着手段が板状マグネットであり、前記第二収容凹部に前記マグネットが収容されている場合に、
前記第二下面に前記板状マグネットを接触させることにより、前記マグネットを前記第二収容凹部内に固定し、
前記第一下面と前記第二上面とを接触させ、
前記第二下面から前記板状マグネットを分離させることにより、前記第二収容凹部から前記第一収容凹部へ前記マグネットを当該マグネットの磁力によって移し替えるものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、磁性体トレーの下面（第一収容凹部）と非磁性体トレーの上面（第二収容凹部）とが接触した状態で、第一収容凹部と第二収容凹部との間で複数の小片状のマグネットを一度に移し替えできるので、マグネットを一個ずつ脱着する手作業に比べて、作業性を改善できるとともに、マグネットの破損を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態１のマグネット脱着治具及び方法を示す断面図であり、図１［Ａ］、図１［Ｂ］、図１［Ｃ］、図１［Ｄ］、図１［Ｅ］の順に又はこの逆に工程が進行する。
【図２】実施形態１のマグネット脱着治具が備える上下動機構を示す概略図であり、図２［Ａ］は第一例において非磁性体トレーを上げた状態であり、図２［Ｂ］は第一例において非磁性体トレーを下げた状態であり、図２［Ｃ］は第二例において非磁性体トレーを上げた状態であり、図２［Ｄ］は第二例において非磁性体トレーを下げた状態である。
【図３】実施形態１のマグネット脱着治具が使用される電極形成治具を示す分解斜視図である。
【図４】実施形態２のマグネット脱着治具及び方法を示す断面図であり、図４［Ａ］、図４［Ｂ］、図４［Ｃ］、図４［Ｄ］、図４［Ｅ］の順又はこの逆に工程が進行する。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（以下「実施形態」という。）について説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成要素については同一の符号を用いることにより、重複する説明を省略する。図面に描かれた形状は、当業者が理解しやすいように描かれているため、実際の寸法及び比率とは必ずしも一致していない
【００１６】
図１は実施形態１のマグネット脱着治具及び方法を示す断面図である。以下、この図面に基づき説明する。
【００１７】
図１［Ａ］に示すように、本実施形態１のマグネット脱着治具１１は、第一下面２２を有する磁性体トレー２０に対して複数の小片状のマグネットＭを脱着するものであって、第二上面３１及び第二下面３２を有する非磁性体トレー３０と、マグネット吸着手段（板状マグネット４１）とを備えている。磁性体トレー２０は、第一下面２２に設けられ、マグネットＭを収容可能な第一収容凹部２３を有する。非磁性体トレー３０は、第二上面３１の第一収容凹部２３と対向する位置に設けられ、マグネットＭを収容可能な第二収容凹部３３を有する。マグネット吸着手段（板状マグネット４１）は、第一下面２２と第二上面３１とが接し、第二下面３２とマグネット吸着手段（板状マグネット４１）とが接した状態で、第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へマグネットＭを移し替え可能な磁力を有する。本実施形態１におけるマグネット吸着手段は板状マグネット４１である。
【００１８】
ここでは、一方向側を上、その反対側を下とする。つまり、上下方向は必ずしも鉛直方向及びその反対方向を意味するものではない。磁性体トレー２０は、第一上面（符号省略）及び第一下面２２を有する例えば四角板状であり、少なくとも一部が磁性体からなることにより、マグネットＭが吸着可能になっている。「磁性体」は、「強磁性体」と呼ぶこともできる。非磁性体トレー３０は、第二上面３１及び第二下面３２を有する例えば四角板状であり、非磁性体からなることによりマグネットＭが吸着不可能になっている。「非磁性体」には、「常磁性体」や「反磁性体」が含まれる。板状マグネット４１は、上面及び下面（符号省略）を有する例えば四角板状であり、小型のマグネットを多数埋め込んだ金属板、全体が一つのマグネットになっている磁性体板、又は、磁性体粉及び樹脂等の混合物からなるマグネットシートなどである。マグネットＭは、どのような種類でもよいが、小型でも強い磁力を有するネオジム磁石やサマリウムコバルト磁石などの希土類磁石が適している。
【００１９】
なお、図１では、第一収容凹部２３、第二収容凹部３３及びマグネットＭがそれぞれ三個ずつの場合を例示しているが、それらの個数に制限はなく、またそれらの符号は一個にのみ付する。
【００２０】
次に、本実施形態１のマグネット脱着方法（その１）について説明する。マグネット脱着方法（その１）は、マグネット脱着治具１１を用いマグネットＭを第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へ移し替える方法である。
【００２１】
すなわち、マグネット脱着方法（その１）は、第一収容凹部２３にマグネットＭが収容されている場合に（図１［Ａ］）、第一下面２２と第二上面３１とを接触させ（図１［Ｂ］）、第二下面３２に板状マグネット４１を接触させることにより、第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へマグネットＭを移し替えるものである（図１［Ｃ］）。ここで、「第一下面２２と第二上面３１とを接触させ、第二下面３２に板状マグネット４１を接触させる」とは、この順に接触させる場合、この順と逆に接触させる場合、及び、両方同時に接触させる場合が含まれる。
【００２２】
換言すると、マグネット脱着方法（その１）は次の工程を含む。
【００２３】
図１［Ｂ］に示すように、第一下面２２と第二上面３１とを接触させる第一工程。
【００２４】
図１［Ｃ］に示すように、第二下面３２と板状マグネット４１とを接触させることにより、第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へマグネットＭを移し替える第二工程。
【００２５】
図１［Ｄ］に示すように、第一下面２２と第二上面３１とを分離させる第三工程。
【００２６】
図１［Ｅ］に示すように、第二下面３２と板状マグネット４１とを分離させる第四工程。
【００２７】
次に、マグネット脱着方法（その１）の各工程について更に詳しく説明する。
【００２８】
図１［Ａ］に示す磁性体トレー２０に吸着している複数のマグネットＭを、一個ずつ手作業で取り外すことは容易ではない。そこで、本実施形態１では、次の各工程を採用する。
【００２９】
まず、図１［Ｂ］に示す第一工程では、第一下面２２と第二上面３１とを接触させる。このとき、マグネットＭはまだ動かない。
【００３０】
続いて、図１［Ｃ］に示す第二工程では、第二下面３２と板状マグネット４１とを接触させる。これにより、マグネットＭが第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へ移動する。つまり、マグネットＭが磁性体トレー２０に吸着する磁力よりも、板状マグネット４１がマグネットＭを引き剥がす磁力の方が大きい。このようなマグネットＭの磁力と板状マグネット４１の磁力との関係は、予め設定しておく。
【００３１】
なお、前述したように、第二下面３２と板状マグネット４１とを先に接触させ、次いで第一下面２２と第二上面３１とを接触させてもよいし、第一下面２２と第二上面３１とを接触させると同時に、第二下面３２と板状マグネット４１とを接触させてもよい。
【００３２】
続いて、図１［Ｄ］に示す第三工程では、第一下面２２と第二上面３１とを分離させる。このとき、第二下面３２と板状マグネット４１とを接触させたままである。そのため、第二収容凹部３３内のマグネットＭは、板状マグネット４１に吸着されることにより、振動などによって飛び出すことなく強く固定されている。
【００３３】
最後に、図１［Ｅ］に示す第四工程では、第二下面３２と板状マグネット４１とを分離させる。これにより、第二収容凹部３３内のマグネットＭが板状マグネット４１の吸着から解放される。そのため、例えば非磁性体トレー３０を傾けたり逆さにしたりすることによって、全てのマグネットＭを一度に取り出すことができる。
【００３４】
次に、本実施形態１のマグネット脱着方法（その２）について説明する。マグネット脱着方法（その２）は、マグネット脱着方法（その１）とは逆に、マグネット脱着治具１１を用いマグネットＭを第二収容凹部３３から第一収容凹部２３へ移し替える方法である。
【００３５】
すなわち、マグネット脱着方法（その２）は、第二収容凹部３３にマグネットＭが収容されている場合に（図１［Ｅ］）、第二下面３２と板状マグネット４１とを接触させることにより、マグネットＭを第二収容凹部３３内に固定し（図１［Ｄ］）、第一下面２２と第二上面３１とを接触させ（図１［Ｃ］）、第二下面３２と板状マグネット４１とを分離させることにより、第二収容凹部３３から第一収容凹部２３へマグネットＭをマグネットＭの磁力によって移し替えるものである（図１［Ｂ］）。
【００３６】
換言すると、マグネット脱着方法（その２）は次の工程を含む。
【００３７】
図１［Ｄ］に示すように、第二下面３２と板状マグネット４１とを接触させる第五工程。
【００３８】
図１［Ｃ］に示すように、第一下面２２と第二上面３１とを接触させる第六工程。
【００３９】
図１［Ｂ］に示すように、第二下面３２と板状マグネット４１とを分離させることにより、第二収容凹部３３から第一収容凹部２３へマグネットＭをマグネットＭの磁力によって移し替える第七工程。
【００４０】
図１［Ａ］に示すように、第一下面２２と第二上面３１とを分離させる第八工程。
【００４１】
次に、マグネット脱着方法（その２）の各工程について更に詳しく説明する。
【００４２】
まず、図１［Ｅ］に示すように、マグネットＭを例えば一個ずつ手作業で第二収容凹部３３に収容しておく。ただし、この作業は、非磁性体に対するマグネットＭの取り付けになるので、磁性体に対するマグネットＭの取り付けと比べて容易である。なぜなら、磁性体に対するマグネットＭの取り付けでは、マグネットＭが勝手に磁性体に吸着してしまうからである。また、マグネット脱着方法（その１）によってマグネットＭを第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へ移し替え、マグネットＭが取り出された磁性体トレー２０を例えば洗浄工程へ移すとともに洗浄済みの別の磁性体トレー２０を用意し、マグネットＭを第二収容凹部３３から第一収容凹部２３へ戻す場合などは、この収容作業は不要である。
【００４３】
続いて、図１［Ｄ］に示す第五工程では、第二下面３２と板状マグネット４１とを接触させる。このとき、第二収容凹部３３内のマグネットＭは、板状マグネット４１に吸着されることにより、振動などによって飛び出すことなく強く固定される。
【００４４】
続いて、図１［Ｃ］に示す第六工程では、第一下面２２と第二上面３１とを接触させる。このとき、マグネットＭはまだ動かない。なぜなら、マグネットＭが磁性体トレー２０に吸着する磁力よりも、板状マグネット４１がマグネットＭを吸着する磁力の方が大きいからである。
【００４５】
続いて、図１［Ｂ］に示す第七工程では、第二下面３２と板状マグネット４１とを分離させる。これにより、マグネットＭが第二収容凹部３３から第一収容凹部２３へ移動する。つまり、第二収容凹部３３内のマグネットＭが板状マグネット４１の吸着から解放されるので、マグネットＭは自らの磁力によって第二収容凹部３３を飛び出して第一収容凹部２３に吸着する。このときマグネットＭが自ら第一収容凹部２３に吸着するように、マグネットＭの磁力や第二収容凹部３３の深さなどを予め設定しておく。もしもマグネットＭの磁力が弱い場合は、非磁性体トレー３０を揺すったり傾けたりすることにより、マグネットＭを第一収容凹部２３に吸着させてもよい。
【００４６】
最後に、図１［Ａ］に示す第八工程では、第一下面２２と第二上面３１とを分離させる。これにより、複数のマグネットＭが取り付けられた磁性体トレー２０を、電極形成などに使用することができる。
【００４７】
次に、本実施形態１のマグネット脱着治具が備える上下動機構について説明する。まず、図２［Ａ］及び図２［Ｂ］に基づき、上下動機構の第一例を説明する。
【００４８】
本実施形態１のマグネット脱着治具１１（図１）は、非磁性体トレー３０及び板状マグネット４１の少なくとも一方（本実施形態１では両方）を水平に保ったまま上下動させる上下動機構５０を更に備えてもよい。上下動機構５０は、基本的に同じ構造の二台が具備され、一方が非磁性体トレー３０用、他方が板状マグネット４１用である。以下、非磁性体トレー３０用の上下動機構５０について説明する。
【００４９】
上下動機構５０は、左右方向に延設された１以上のレール５１と、レール５１にスライド自在に設けられたスライド部材５２と、スライド部材５２のスライドに付勢されて上下動するとともに非磁性体トレー３０を支持する支持部材５５と、を備えている。スライド部材５２は、棒状に突き出たハンドル５３と、水平方向に対して斜めに穿設された長孔５４と、を有する。長孔５４は、図において左端が低く右端が高くなっている。支持部材５５は、長孔５４にスライド自在に挿通する円柱状のスライド軸５６を有する。
【００５０】
なお、支持部材５５は、図示しない規制部材によって上下方向にのみ動くようになっている。支持部材５５と非磁性体トレー３０との間に介在する部材については、図示を略す。支持部材５５の構造及び形状は、単純化して柱状を例示しているが、実際には多様な構成を採り得る。
【００５１】
図２［Ａ］は非磁性体トレー３０を上げた状態を示す。このとき、スライド軸５６は長孔５４の右端に位置している。この状態からハンドル５３を手で右方向へ押し始めると、スライド部材５２が右方向へ動き、長孔５４がスライド軸５６を押し下げるため、スライド軸５６に一体化された支持部材５５及び支持部材５５に支持された非磁性体トレー３０も下がり始める。そして、図２［Ｂ］に示すように、最終的にスライド軸５６が長孔５４の左端で止まることにより、非磁性体トレー３０が下げられたことになる。
【００５２】
図２［Ｂ］は非磁性体トレー３０を下げた状態を示す。このとき、スライド軸５６は長孔５４の左端に位置している。この状態からハンドル５３を手で左方向へ押し始めると、スライド部材５２が左方向へ動き、長孔５４がスライド軸５６を押し上げるため、スライド軸５６に一体化された支持部材５５及び支持部材５５に支持された非磁性体トレー３０も上がり始める。そして、図２［Ａ］に示すように、最終的にスライド軸５６が長孔５４の右端で止まることにより、非磁性体トレー３０が上げられたことになる。
【００５３】
このように、上下動機構５０は、手動で駆動するので、マグネット吸着手段を板状マグネット４１とすることにより、配線、配管、駆動源などの設備を必要としない。そのため、マグネット脱着治具１１（図１）をどこへでも設置でき、マグネット脱着治具１１（図１）の移設も容易になる。なお、板状マグネット４１用の上下動機構も、非磁性体トレー３０が板状マグネット４１に置き換わる点を除き、非磁性体トレー３０用の上下動機構５０と基本的に同じ構造である。
【００５４】
次に、図２［Ｃ］及び図２［Ｄ］に基づき、上下動機構の第二例を説明する。
【００５５】
本実施形態１のマグネット脱着治具１１（図１）は、非磁性体トレー３０又は板状マグネット４１を水平に保ったまま上下動させる上下動機構６０を更に備えている。上下動機構６０は、基本的に同じ構造の二台が具備され、一方が非磁性体トレー３０用、他方が板状マグネット４１用である。以下、非磁性体トレー３０用の上下動機構６０について説明する。
【００５６】
上下動機構６０は、複数のアクチュエータ６１と、アクチュエータ６１によって上下動するとともに非磁性体トレー３０を支持するロッド６２と、を備えている。アクチュエータ６１には、コイル及び可動鉄芯を有するソレノイドなどの電気的アクチュエータや、シリンダ及びピストンを有するエアシリンダなどの空気圧アクチュエータなどがある。ロッド６２は、アクチュエータ６１の一部でもよいし、別途設けてもよい。ロッド６２と非磁性体トレー３０との間に介在する部材については、図示を略す。なお、アクチュエータ６１は、複数の場合を例示したが、もちろん単数としてもよい。
【００５７】
図２［Ｃ］は非磁性体トレー３０を上げた状態を示す。このとき、ロッド６２は伸びている。この状態からアクチュエータ６１を動作させてロッド６２を縮めると、図２［Ｄ］に示すように、非磁性体トレー３０が下げられたことになる。
【００５８】
図２［Ｄ］は非磁性体トレー３０を下げた状態を示す。このとき、ロッド６２は縮んでいる。この状態からアクチュエータ６１を動作させてロッド６２を伸ばすと、図２［Ｃ］に示すように、非磁性体トレー３０が上げられたことになる。
【００５９】
なお、板状マグネット４１用の上下動機構も、非磁性体トレー３０が板状マグネット４１に置き換わる点を除き、非磁性体トレー３０用の上下動機構６０と基本的に同じ構造である。
【００６０】
次に、本実施形態１のマグネット脱着治具の具体的な使用例を説明する。図３は、実施形態１のマグネット脱着治具が使用される電極形成治具を示す分解斜視図である。以下、この図面を中心に説明する。
【００６１】
電極形成治具７０は、フレーム７１、メタルマスク７２、スペーサ７３、メタルマスク７４、マグネットフレーム７５及びマグネットカバー７６を備えている。分解時は図示するように五つの部材に分けることができ、成膜時は全ての部材を重ねて組み立てた状態で使用する。マグネットフレーム７５及びマグネットカバー７６は、一体化されており、図１における磁性体トレー２０に相当する。つまり、マグネットフレーム７５の透孔とマグネットカバー７６の底板とから第一収容凹部２３が構成されている。ここでは、マグネットフレーム７５のみが例えばＳＵＳ３０４などの非磁性体からなり、これ以外のフレーム７１、メタルマスク７２、スペーサ７３、メタルマスク７４及びマグネットカバー７６は例えばＳＵＳ４３０などの磁性体からなる。
【００６２】
換言すると、電極形成治具７０は、水晶片８０を保持する収容孔８３を有するスペーサ７３と、スペーサ７３の両面に配置される一対のメタルマスク７２，７４と、スペーサ７３及び一対のメタルマスク７２，７４を挟持する一対の磁性体フレーム（フレーム７１及び磁性体トレー２０）とを備えている。一対の磁性体フレーム（フレーム７１及び磁性体トレー２０）は、磁性体トレー２０に取り付けられたマグネットＭの吸着力によって互いに引き合うことにより、スペーサ７３及び一対のメタルマスク７２，７４を挟持する。メタルマスク７２，７４には電極のパターンと同じ形状の透孔８２，８４が穿設され、磁性体フレーム（フレーム７１及び磁性体トレー２０）には電極材料がメタルマスク７２，７４を通って水晶片８０に到達するように透孔８１，８５が穿設されている。透孔８１，８２，８４，８５及び収容孔８３は、縦横に多数設けられているが、図３では●で示すことにより詳しい形状の図示を略す。
【００６３】
電極形成治具７０には電極材料が付着するため、定期的に電極形成治具７０を分解して洗浄する必要がある。その洗浄時には、図１に示すマグネット脱着治具１１を用いることにより、磁性体トレー２０に取り付けられた複数のマグネットＭを一度に取り外すことができる。そして、図１に示すマグネット脱着治具１１を用いることにより、洗浄した複数のマグネットＭを磁性体トレー２０に一度に取り付けることができる。
【００６４】
次に、マグネット脱着治具１１の作用及び効果について、図１乃至図３に基づき説明する。
【００６５】
（１）本実施形態１によれば、磁性体トレー２０の下面（第一収容凹部２３）と非磁性体トレー３０の上面（第二収容凹部３３）とが接触した状態で、第一収容凹部２３と第二収容凹部３３との間で複数の小片状のマグネットＭを一度に移し替えできるので、マグネットＭを一個ずつ脱着する手作業に比べて、作業性を改善できるとともに、マグネットＭの破損を抑制できる。
【００６６】
つまり、マグネット脱着治具１１を使用することにより、マグネットＭの脱着時間を大幅に短縮できる。例えば、電極形成治具７０から全てのマグネットＭを取り外す場合、一個ずつ取り外す従来技術では１２０秒かかっていたのに対し、本実施形態１では１０秒に短縮できる。また、電極形成治具７０に全てのマグネットＭを取り付ける場合、一個ずつ取り付ける従来技術では３００秒かかっていたのに対し、本実施形態１では１０秒に短縮できる。また、従来の手作業によるマグネット脱着ではマグネットＭに不均一な力が加わるのに対して、マグネット脱着治具１１を使用した場合は、マグネットＭの全体に均一な力が加わるので、マグネットＭの破損を抑制できる。したがって、破損したマグネットＭの交換費用をほぼ０にできるとともに、マグネットＭの破片による弊害もほぼ無くなる。
【００６７】
（２）マグネット吸着手段が板状マグネット４１である場合は、配線、電源などを必要としないため、簡素な構造のマグネット吸着手段を実現できる。
【００６８】
（３）非磁性体トレー３０及び板状マグネット４１の少なくとも一方を水平に保ったまま上下動させる上下動機構５０，６０を更に備えた場合は、磁性体トレー２０に非磁性体トレー３０全体が一度に接触し、非磁性体トレー３０に板状マグネット４１全体が一度に接触する。そのため、磁性体トレー２０又は非磁性体トレー３０に偏った力が加わらないことにより、磁性体トレー２０又は非磁性体トレー３０の揺動を抑えられるので、第一収容凹部２３内又は第二収容凹部３３内からのマグネットＭの脱落を抑制できる。
【００６９】
次に、実施形態２のマグネット脱着治具及び方法を説明する。図４は実施形態２のマグネット脱着治具及び方法を示す断面図である。
【００７０】
図４［Ａ］に示すように、本実施形態２のマグネット脱着治具１２は、マグネット吸着手段が板状電磁石４２である点で、実施形態１と異なる。つまり、板状電磁石４２は、第一下面２２と第二上面３１とが接し、第二下面３２と板状電磁石４２とが接した状態で、第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へマグネットＭを移し替え可能な磁力を有する。なお、板状電磁石４２は、例えば小型の電磁石を多数埋め込んだ金属板であり、電源４３及びスイッチ４４が付設されている。
【００７１】
次に、本実施形態２のマグネット脱着方法（その１）について説明する。マグネット脱着方法（その１）は、マグネット脱着治具１２を用いマグネットＭを第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へ移し替える方法である。
【００７２】
すなわち、マグネット脱着方法（その１）は、第一収容凹部２３にマグネットＭが収容されている場合に（図４［Ａ］）、第一下面２２と第二上面３１とを接触させ（図４［Ｂ］）、第二下面３２に接触する板状電磁石４２をオンにすることにより、第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へマグネットＭを移し替えるものである（図４［Ｃ］）。ここで、「板状電磁石４２をオンにする」とは、スイッチ４４をオン（二つの接点間を短絡）することにより、電源４３から板状電磁石４２へ電力を供給することである。「板状電磁石４２をオフにする」とは、スイッチ４４をオフ（二つの接点間を開放）することにより、電源４３から板状電磁石４２へ電力を供給しないことである。
【００７３】
換言すると、マグネット脱着方法（その１）は次の工程を含む。
【００７４】
図４［Ｂ］に示すように、第一下面２２と第二上面３１とを接触させる第一工程。
【００７５】
図４［Ｃ］に示すように、第二下面３２に接触する板状電磁石４２をオンにすることにより、第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へマグネットＭを移し替える第二工程。
【００７６】
図４［Ｄ］に示すように、第一下面２２と第二上面３１とを分離させる第三工程。
【００７７】
図４［Ｅ］に示すように、第二下面３２に接触する板状電磁石４２をオフにする第四工程。
【００７８】
次に、マグネット脱着方法（その１）の各工程について更に詳しく説明する。
【００７９】
図４［Ａ］に示す磁性体トレー２０に吸着している複数のマグネットＭを、一個ずつ手作業で取り外すことは容易ではない。そこで、本実施形態２では、次の各工程を採用する。
【００８０】
まず、図４［Ｂ］に示す第一工程では、第一下面２２と第二上面３１とを接触させる。このとき、マグネットＭはまだ動かない。
【００８１】
続いて、図４［Ｃ］に示す第二工程では、第二下面３２に接触する板状電磁石４２をオンにする。これにより、マグネットＭが第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へ移動する。つまり、マグネットＭが磁性体トレー２０に吸着する磁力よりも、板状電磁石４２がマグネットＭを引き剥がす磁力の方が大きい。このようなマグネットＭの磁力と板状電磁石４２の磁力との関係は、予め設定しておく。なお、板状電磁石４２の磁力の変更は容易である。例えば電源４３の出力電圧を変えればよいからである。
【００８２】
続いて、図４［Ｄ］に示す第三工程では、第一下面２２と第二上面３１とを分離させる。このとき、第二下面３２の板状電磁石４２はオンのままである。そのため、第二収容凹部３３内のマグネットＭは、板状電磁石４２に吸着されることにより、振動などによって飛び出すことなく強く固定されている。
【００８３】
最後に、図４［Ｅ］に示す第四工程では、第二下面３２に接触する板状電磁石４２をオフにする。これにより、第二収容凹部３３内のマグネットＭが板状電磁石４２の吸着から解放される。そのため、例えば非磁性体トレー３０を傾けたり逆さにしたりすることによって、全てのマグネットＭを一度に取り出すことができる。
【００８４】
次に、本実施形態２のマグネット脱着方法（その２）について説明する。マグネット脱着方法（その２）は、マグネット脱着方法（その１）とは逆に、マグネット脱着治具１２を用いマグネットＭを第二収容凹部３３から第一収容凹部２３へ移し替える方法である。
【００８５】
すなわち、マグネット脱着方法（その２）は、第二収容凹部３３にマグネットＭが収容されている場合に（図４［Ｅ］）、第二下面３２に接触する板状電磁石４２をオンにすることにより、マグネットＭを第二収容凹部３３内に固定し（図４［Ｄ］）、第一下面２２と第二上面３１とを接触させ（図４［Ｃ］）、第二下面３２に接触する板状電磁石４２をオフにすることにより、第二収容凹部３３から第一収容凹部２３へマグネットＭをマグネットＭの磁力によって移し替えるものである（図４［Ｂ］）。
【００８６】
換言すると、マグネット脱着方法（その２）は次の工程を含む。
【００８７】
図４［Ｄ］に示すように、第二下面３２に接触する板状電磁石４２をオンにする第五工程。
【００８８】
図４［Ｃ］に示すように、第一下面２２と第二上面３１とを接触させる第六工程。
【００８９】
図４［Ｂ］に示すように、第二下面３２に接触する板状電磁石４２をオフにすることにより、第二収容凹部３３から第一収容凹部２３へマグネットＭをマグネットＭの磁力によって移し替える第七工程。
【００９０】
図４［Ａ］に示すように、第一下面２２と第二上面３１とを分離させる第八工程。
【００９１】
次に、マグネット脱着方法（その２）の各工程について更に詳しく説明する。
【００９２】
まず、図４［Ｅ］に示すように、マグネットＭを例えば一個ずつ手作業で第二収容凹部３３に収容しておく。ただし、マグネット脱着方法（その１）によってマグネットＭを第一収容凹部２３から第二収容凹部３３へ移し替え、マグネットＭが取り出された磁性体トレー２０を例えば洗浄工程へ移すとともに洗浄済みの別の磁性体トレー２０を用意し、マグネットＭを第二収容凹部３３から第一収容凹部２３へ戻す場合などは、この収容作業は不要である。
【００９３】
続いて、図４［Ｄ］に示す第五工程では、第二下面３２に接触する板状電磁石４２をオンにする。このとき、第二収容凹部３３内のマグネットＭは、板状電磁石４２に吸着されることにより、振動などによって飛び出すことなく強く固定される。
【００９４】
続いて、図４［Ｃ］に示す第六工程では、第一下面２２と第二上面３１とを接触させる。このとき、マグネットＭはまだ動かない。なぜなら、マグネットＭが磁性体トレー２０に吸着する磁力よりも、板状電磁石４２がマグネットＭを引き剥がす磁力の方が大きいからである。
【００９５】
続いて、図４［Ｂ］に示す第七工程では、第二下面３２に接触する板状電磁石４２をオフにする。これにより、マグネットＭが第二収容凹部３３から第一収容凹部２３へ移動する。つまり、第二収容凹部３３内のマグネットＭが板状電磁石４２の吸着から解放されるので、マグネットＭは自らの磁力によって第二収容凹部３３を飛び出して第一収容凹部２３に吸着する。
【００９６】
最後に、図４［Ａ］に示す第八工程では、第一下面２２と第二上面３１とを分離させる。これにより、複数のマグネットＭが取り付けられた磁性体トレー２０を、電極形成などに使用することができる。
【００９７】
本実施形態２のその他の構成、作用及び効果は実施形態１のそれらと同様である。
【００９８】
以上、上記各実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細については、当業者が理解し得るさまざまな変更を加えることができる。また、本発明には、上記各実施形態の構成の一部又は全部を相互に適宜組み合わせたものも含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００９９】
本発明は、前述の水晶振動素子の電極形成の他に、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムなどの圧電セラミックスを圧電素材として用いた圧電デバイスの電極形成、又は圧電デバイス以外の半導体デバイスなどの電子部品の電極形成にも利用可能である。
【符号の説明】
【０１００】
１１，１２  マグネット脱着治具
２０  磁性体トレー
２２  第一下面
２３  第一収容凹部
３０  非磁性体トレー
３１  第二上面
３２  第二下面
３３  第二収容凹部
４１  板状マグネット（マグネット吸着手段）
４２  板状電磁石（マグネット吸着手段）
４３  電源
４４  スイッチ
５０  上下動機構
５１  レール
５２  スライド部材
５３  ハンドル
５４  長孔
５５  支持部材
５６  スライド軸
６０  上下動機構
６１  アクチュエータ
６２  ロッド
７０  電極形成治具
７１  フレーム
７２，７４  メタルマスク
７３  スペーサ
７５  マグネットフレーム
７６  マグネットカバー
８０  水晶片
８１，８２，８４，８５  透孔
８３  収容孔
Ｍ  マグネット
【図１】
2018078505.tif 000003
【図２】
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【図３】
2018078505.tif 000005
【図４】
2018078505.tif 000006