(57)【要約】【課題】標準的な照明とカメラにより、短時間で液滴の量を推定する。【解決手段】塗布量推定装置は、塗布対象面に塗布された液滴の量を推定する。まず、塗布量推定装置は、塗布対象面に塗布され、第１入射角方向から照明光を照射される液滴を、前記第１入射角に対応する第１反射角方向から撮像する。そして、前記撮像部により撮像された画像中の、前記照明光の前記液滴表面での反射による明部領域の大きさに基づいて、前記液滴の量を推定する。【選択図】図１
2018004502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布対象面に塗布され、第１入射角方向から照明光を照射される液滴を、前記第１入射角に対応する第１反射角方向から撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された画像中の、前記照明光の前記液滴表面での反射による明部領域の大きさに基づいて、前記液滴の量を推定する推定部と、
を備えることを特徴とする塗布量推定装置。
【請求項２】
前記液滴に対して前記撮像部の光軸と同軸方向から、前記照明光を照射する照明部を
備えることを特徴とする請求項１に記載の塗布量推定装置。
【請求項３】
前記推定部は、前記塗布対象面の面積に応じて、前記液滴の量を推定することを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布量推定装置。
【請求項４】
前記推定部は、前記塗布対象面と前記液滴との接触面の形状が、当該塗布対象面の形状に制限されて円状とならない場合に、前記明部領域の大きさが大きいほど前記液滴の量が少ないと推定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の塗布量推定装置。
【請求項５】
前記推定部は、前記塗布対象面と前記液滴との接触面の形状が、当該塗布対象面の形状に制限されることなく円状となる場合に、前記明部領域の大きさが大きいほど前記液滴の量が多いと推定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の塗布量推定装置。
【請求項６】
前記推定部は、前記画像中の前記明部領域の周囲の領域であって、前記液滴表面での前記照明光の反射光が前記撮像部方向に反射されないことにより生じる暗部領域の形状を、前記塗布対象面と前記液滴との接触面の形状として検出することを特徴とする請求項４又は５に記載の塗布量推定装置。
【請求項７】
前記推定部は、前記液滴の粘度に応じて、前記液滴の量を推定することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の塗布量推定装置。
【請求項８】
塗布対象面に液滴を塗布する塗布部と、
前記塗布部を制御し、液滴の塗布量を変化させる制御部と、
請求項１〜７のいずれか一項に記載の塗布量推定装置と、を備えるディスペンサ装置であって、
前記制御部は、目標塗布量と、前記塗布量推定装置により推定された塗布量とに応じて、前記液滴の塗布量を変化させることを特徴とするディスペンサ装置。
【請求項９】
撮像部を備える塗布量推定装置によって実行される塗布量推定方法であって、
塗布対象面に塗布され、第１入射角方向から照明光を照射される液滴を、前記撮像部により、前記第１入射角に対応する第１反射角方向から撮像する撮像工程と、
前記撮像工程により撮像された画像中の、前記照明光の前記液滴表面での反射による明部領域の大きさに基づいて、前記液滴の量を推定する推定工程と、
を備えることを特徴とする塗布量推定方法。
【請求項１０】
撮像部及びコンピュータを備える塗布量推定装置によって実行されるプログラムであって、
塗布対象面に塗布され、第１入射角方向から照明光を照射される液滴を、前記撮像部により、前記第１入射角に対応する第１反射角方向から撮像する撮像工程、
前記撮像工程により撮像された画像中の、前記照明光の前記液滴表面での反射による明部領域の大きさに基づいて、前記液滴の量を推定する推定工程、
を前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対する液滴の塗布量を推定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板やフィルムなどに対して接着剤などの液滴を塗布する装置が知られている。特許文献１は、塗布面上側から塗布面上の液滴を撮影するカメラと、カメラの撮影方向に一致する照明手段とを備え、カメラが撮像した画像に基づいて白色干渉色測定を行って液滴の体積を計測する手法を記載している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１３６８３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１は、干渉ユニットを使用し、干渉縞による等高線を検出して面積算出を繰り返すことにより液滴の体積を推計している。しかし、干渉ユニットは複数の光学部品を使用するので比較的高価となる。また、干渉縞は干渉ユニットの振動により変化するので、振動対策が必要となる。その結果、測定精度を高めようとすると、測定に要する時間が長くなるという課題がある。
【０００５】
本発明の解決しようとする課題としては、上記のものが一例として挙げられる。本発明は、標準的な照明とカメラにより、短時間で液滴の量を推定することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、塗布量推定装置であって、塗布対象面に塗布され、第１入射角方向から照明光を照射される液滴を、前記第１入射角に対応する第１反射角方向から撮像する撮像部と、前記撮像部により撮像された画像中の、前記照明光の前記液滴表面での反射による明部領域の大きさに基づいて、前記液滴の量を推定する推定部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
請求項９に記載の発明は、撮像部を備える塗布量推定装置によって実行される塗布量推定方法であって、塗布対象面に塗布され、第１入射角方向から照明光を照射される液滴を、前記撮像部により、前記第１入射角に対応する第１反射角方向から撮像する撮像工程と、前記撮像工程により撮像された画像中の、前記照明光の前記液滴表面での反射による明部領域の大きさに基づいて、前記液滴の量を推定する推定工程と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項１０に記載の発明は、撮像部及びコンピュータを備える塗布量推定装置によって実行されるプログラムであって、塗布対象面に塗布され、第１入射角方向から照明光を照射される液滴を、前記撮像部により、前記第１入射角に対応する第１反射角方向から撮像する撮像工程、前記撮像工程により撮像された画像中の、前記照明光の前記液滴表面での反射による明部領域の大きさに基づいて、前記液滴の量を推定する推定工程、を前記コンピュータに実行させることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】塗布量推定装置による塗布量の推定方法を説明する図である。
【図２】矩形ワークの場合における液滴の塗布量毎の撮影画像例を示す。
【図３】明部領域の面積と液滴の塗布量との関係を示すグラフである。
【図４】円形ワーク及びワークなしの場合における撮影画像例を示す。
【図５】矩形ワーク及びワークなしの場合における他の撮影画像例を示す。
【図６】塗布量推定処理のフローチャートである。
【図７】ディスペンサ装置の構成を示すブロック図である。
【図８】変形例に係るカメラ及び照明部の構成例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の１つの好適な実施形態では、塗布量推定装置は、塗布対象面に塗布され、第１入射角方向から照明光を照射される液滴を、前記第１入射角に対応する第１反射角方向から撮像する撮像部と、前記撮像部により撮像された画像中の、前記照明光の前記液滴表面での反射による明部領域の大きさに基づいて、前記液滴の量を推定する推定部と、を備える。
【００１１】
上記の塗布量推定装置は、塗布対象面に塗布された液滴の量を推定する。まず、塗布量推定装置は、塗布対象面に塗布され、第１入射角方向から照明光を照射される液滴を、前記第１入射角に対応する第１反射角方向から撮像する。そして、前記撮像部により撮像された画像中の、前記照明光の前記液滴表面での反射による明部領域の大きさに基づいて、前記液滴の量を推定する。これにより、標準的な照明とカメラを用いて、液滴の塗布量を短時間で推定することができる。
【００１２】
上記の塗布量推定装置は、好適には前記液滴に対して前記撮像部の光軸と同軸方向から、前記照明光を照射する照明部を備える。
【００１３】
上記の塗布量推定装置の一態様では、前記推定部は、前記塗布対象面の面積に応じて、前記液滴の量を推定する。この態様では、塗布対象面の面積の違いを考慮して適切に液滴の量を推定することができる。
【００１４】
上記の塗布量推定装置の他の一態様では、前記推定部は、前記塗布対象面と前記液滴との接触面の形状が、当該塗布対象面の形状に制限されて円状とならない場合に、前記明部領域の大きさが大きいほど前記液滴の量が少ないと推定する。この態様では、塗布対象面と液滴との接触面の形状が塗布対象面の形状に制限されて円状とならない場合に、液滴の量を正しく推定することができる。
【００１５】
上記の塗布量推定装置の他の一態様では、前記推定部は、前記塗布対象面と前記液滴との接触面の形状が、当該塗布対象面の形状に制限されることなく円状となる場合に、前記明部領域の大きさが大きいほど前記液滴の量が多いと推定する。この態様では、塗布対象面と液滴との接触面の形状が塗布対象面の形状に制限されることなく円状となる場合に、液滴の量を正しく推定することができる。
【００１６】
上記の塗布量推定装置の他の一態様では、前記推定部は、前記画像中の前記明部領域の周囲の領域であって、前記液滴表面での前記照明光の反射光が前記撮像部方向に反射されないことにより生じる暗部領域の形状を、前記塗布対象面と前記液滴との接触面の形状として検出する。この態様では、明部領域の周囲に生じる暗部領域の形状に基づいて液滴の量を推定する。
【００１７】
上記の塗布量推定装置の他の一態様では、前記推定部は、前記液滴の粘度に応じて、前記液滴の量を推定する。この態様では、塗布する液滴の粘度を考慮して液滴の量を推定することができる。
【００１８】
本発明の他の好適な実施形態では、ディスペンサ装置は、塗布対象面に液滴を塗布する塗布部と、前記塗布部を制御し、液滴の塗布量を変化させる制御部と、上記の塗布量推定装置と、を備え、前記制御部は、目標塗布量と、前記塗布量推定装置により推定された塗布量とに応じて、前記液滴の塗布量を変化させる。このディスペンサ装置は、推定された液滴の量に基づいて、目標塗布量が塗布されるように液滴の塗布量を制御する。
【００１９】
本発明の他の好適な実施形態では、撮像部を備える塗布量推定装置によって実行される塗布量推定方法は、塗布対象面に塗布され、第１入射角方向から照明光を照射される液滴を、前記撮像部により、前記第１入射角に対応する第１反射角方向から撮像する撮像工程と、前記撮像工程により撮像された画像中の、前記照明光の前記液滴表面での反射による明部領域の大きさに基づいて、前記液滴の量を推定する推定工程と、を備える。この方法によれば、標準的な照明とカメラを用いて、液滴の塗布量を短時間で推定することができる。
【００２０】
本発明の他の好適な実施形態では、撮像部及びコンピュータを備える塗布量推定装置によって実行されるプログラムは、塗布対象面に塗布され、第１入射角方向から照明光を照射される液滴を、前記撮像部により、前記第１入射角に対応する第１反射角方向から撮像する撮像工程、前記撮像工程により撮像された画像中の、前記照明光の前記液滴表面での反射による明部領域の大きさに基づいて、前記液滴の量を推定する推定工程、を前記コンピュータに実行させる。このプログラムをコンピュータで実行することにより、上記の塗布量推定装置を実現することができる。
【実施例】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について説明する。
［塗布量推定装置］
（構成）
以下、実施例に係る塗布量推定装置について説明する。塗布量推定装置は、撮影画像に基づいて、ワークに塗布された液滴の量を推定する。なお、ワークの典型的な例はＬＥＤなどの素子、部品、基板などであり、液滴の典型的な例は接着剤である。
【００２２】
図１（Ａ）は、塗布量推定装置１による塗布量の推定方法を説明する図である。なお、図１（Ａ）は、既に液滴が塗布されたワークが塗布量推定装置１の下方に配置された状態を示している。図示のように、ガラスなどの透明な基板１１上に透明なワーク１２が貼り付けられており、ワーク１２の上面に液滴７が塗布されている。具体的には、図示しないディスペンサ装置により、基板１１に貼り付けられたワーク１２上に液滴が塗布される。なお、以下の説明では、平面形状が矩形のワークを「矩形ワーク１２ｒ」と呼び、平面形状が円形のワークを「円形ワーク１２ｃ」と呼ぶ。また、ワークの形状を区別しない場合には単に「ワーク１２」と呼ぶ。
【００２３】
塗布量推定装置１は、制御部４と、カメラ５と、照明部６とを備える。照明部６は、光源６ａと反射板６ｂとを備える。光源６ａから出射した照明光は、反射板６ｂによりワーク１２の方向へ反射され、ワーク１２を上方から照明する。カメラ５は、照明光により照明されたワーク１２を上方から撮像し、撮影画像を生成する。ここで、照明部６は、カメラ５と同軸に配置されることが好ましい。即ち、照明部６は、ワーク１２上の液滴に対して、カメラ５の光軸と同軸の方向から照明光を照射するように配置されることが好ましい。制御部４は、カメラ５から出力される撮影画像に基づいて、ワーク１２上の液滴の塗布量を推定する。
【００２４】
（矩形ワークの場合）
次に、矩形ワークの場合における液滴の塗布量と撮影画像との関係について説明する。矩形ワーク１２ｒの場合、図１（Ａ）に示すように、液滴７は矩形ワーク１２ｒの全面に濡れ広がって付着する。このため、液滴７の中央部では液滴７の表面は平坦に近くなり、液滴７の周辺部では液滴７の表面は傾斜を有するようになる。よって、液滴７の中央部で反射された照明光はカメラ５へ戻るが、液滴７の周辺部で反射された照明光は外側へ進み、カメラ５へは戻らなくなる。その結果、撮影画像においては、液滴７の中央部は明るくなるが、液滴７の周辺部は暗くなる。
【００２５】
図１（Ｂ）は、矩形ワーク１２ｒの撮影画像例を示す。撮影画像は、領域１４〜１６を有する。領域１４は、透明な基板１１に対応する領域であり、基板１１により照明光が正反射するので、輝度の高い、明るい領域となる。その内側の領域１５は、矩形ワーク１２ｒの周辺部に相当し、液滴７の表面で反射された照明光が外側へ進むので、輝度の低い、暗い領域（以下、「暗部領域」と呼ぶ。）となる。さらにその内側の領域１６は、矩形ワーク１２ｒの中央部に相当し、液滴７の表面で反射された照明光がカメラ５へ戻るので、輝度の高い、明るい領域（以下、「明部領域」と呼ぶ。）となる。
【００２６】
図１（Ｃ）は液滴の塗布量と矩形ワーク１２ｒ上における液滴の形状との関係を模式的に示す。液滴７は矩形ワーク１２ｒの全面に広がるため、塗布量が少ない場合、矩形ワーク１２ｒ上における液滴７の高さは低く、液滴７は平坦に近い形で広がる。図１（Ｃ）において、領域７ｃは液滴の表面が平坦に近い領域（以下、「平坦部」と呼ぶ。図１（Ｃ）では斜線で示す。）を示す。平坦部７ｃでは、照明光の反射光がカメラ５へ戻るため、撮影画像は明部領域を構成する。
【００２７】
塗布量が増えると、液滴全体が上方へ盛り上がり、ワーク１２ｒの周辺部では液滴の表面が傾斜した領域７ｐ（以下、「傾斜部」と呼ぶ。図１（Ｃ）では白の領域として示す。）ができる。傾斜部７ｐでは、照明光の反射光がカメラ５へ戻らないため、撮影画像は暗部領域を構成する。さらに液滴７の量が増えると、液滴全体がさらに上方へ盛り上がるので、傾斜部７ｐが増加し、その分平坦部７ｃは減少する。従って、矩形ワーク１２ｒの場合、液滴７の量が少ないほど平坦部７ｃの面積は大きく、液滴７の量が多いほど平坦部７ｃの面積は小さくなる。ここで、平坦部７ｃの面積は、カメラ５による撮影画像中の明部領域１６の面積に対応するので、撮影画像においては、液滴７の量が少ないほど明部領域１６の面積が大きくなり、液滴７の量が多いほど明部領域１６の面積が小さくなる。
【００２８】
図２は、矩形ワークの場合における液滴の塗布量毎の撮影画像例を示す。なお、ワーク１２は透明であるが、実際にはザラザラとした表面加工が施されているため、塗布量が０ｎＬであっても散乱が生じる。このため、塗布量０の撮影画像は全体が暗くなっている。
【００２９】
塗布量が５ｎＬ程度の場合には、図示のように矩形ワーク１２ｒ上の液滴７の表面は平坦部７ｃであるので、照明光のほとんどがカメラ５へ戻り、撮影画像における矩形ワーク１２ｒに対応する領域の全体が明部領域となる。その後、塗布量を増やしていくと、矩形ワーク１２ｒの周辺部に傾斜部７ｐができるため、その分平坦部７ｃが減少し、撮影画像における明部領域１６の面積は減少していく。塗布量２０ｎＬの例では、液滴７の平坦部７ｃでは照明光はカメラ５へ反射するが、傾斜部７ｐでは照明光は外側へ反射され、カメラ５には戻らない。このため、撮影画像においては、暗部領域１５が増加し、明部領域１６が減少する。
【００３０】
図３は、ワーク１２の面積を一定とした場合の、明部領域１６の面積と液滴７の塗布量との関係を示すグラフである。横軸は明部領域１６の面積を示し、縦軸は液滴７の塗布量を示す。図示のように、明部領域１６の面積が小さいほど塗布量は大きく、明部領域１６の面積が大きいほど塗布量は小さい。このように、実験により複数の実測値を求め、それらに基づいて近似式を求めておく。実際の推定時には、撮影画像における明部領域１６の面積を算出し、この近似式に代入することにより液滴７の塗布量を推定することができる。なお、このような近似式は、ワークの形状（円形、矩形）、ワークのサイズ（底面積）、塗布する液滴の粘度などの複数のパラメータごとに予め用意される。
【００３１】
（円形ワークの場合）
次に、円形ワークの場合における液滴の塗布量と撮影画像との関係について説明する。円形ワークの場合でも、基本的には矩形ワークの場合と同様に塗布量を推定することができる。図４（Ａ）は円形ワーク１２ｃの場合の液滴７の状態を示し、図４（Ｂ）は撮影画像の例を示す。円形ワーク１２ｃの場合でも、塗布量が少ない場合には液滴７が円形ワーク１２ｃの全体に平坦に広がるので、撮影画像における明部領域１６の面積が大きくなる。また、塗布量が増加すると、円形ワーク１２ｃの周辺部に傾斜が生じるため、撮影画像における暗部領域１５が大きくなり、その分明部領域１６が小さくなる。よって、円形ワーク１２ｃの場合も、塗布量と、撮影画像における明部領域１６の面積との関係は、基本的に図３に示す矩形ワーク１２ｒの場合と同様の傾向となる。よって、円形ワークの場合も、実測値に基づいて予め近似式を求めておき、撮影画像における明部領域１６の面積を近似式に代入することにより塗布量を推定することができる。
【００３２】
（ワークなしの場合）
図４（Ｃ）は、ワークを用いず、基板１１に直接液滴７を塗布する例を示す。図４（Ｄ）はその場合の撮影画像の例を示す。液滴７を基板１１に直接塗布する場合、液滴７が広がることができる領域はワークの形状による制限を受けない。このため、液滴７の塗布量を増やすと、それに応じて液滴７の領域が増大していく。即ち、液滴７は、その高さがあまり変わらず、表面が平坦なまま、外側へ広がっていく。なお、液滴７が広がる範囲は、液滴７および基板１１の夫々の表面張力、並びに液滴７と基板１１の間の界面張力のバランスによって定まる。よって、液滴７の塗布量と明部領域１６の面積の関係は図３のグラフとは逆に、右肩上がりのグラフとなる。即ち、液滴７の塗布量が少ないほど明部領域１６の面積は小さく、液滴７の塗布量が多いほど明部領域１６の面積は大きくなる。よって、ワークなしの場合も、実測値に基づいて予め近似式を求めておき、撮影画像における明部領域１６の面積を近似式に代入することにより塗布量を推定することができる。
【００３３】
（その他の場合）
次に、上記以外の場合における塗布量の推定方法について説明する。図５（Ａ）、（Ｂ）は、矩形ワーク１２ｒを用いるが、塗布すべき液滴７の量が少なく、液滴７が矩形ワーク１２ｒの全体に広がらない場合の例を示す。この場合でも、液滴７が広がる領域は矩形ワーク１２ｒの平面形状によって制限される。図５（Ａ）の例では、矩形ワーク１２ｒの上下左右の辺により液滴７の広がる領域が制限されている。図５（Ｂ）の例では、矩形ワーク１２ｒの上下の辺により液滴７の広がる領域が制限されている。このような場合であっても、上述のように、撮影画像における明部領域１６の面積に基づいて、塗布量を推定することができる。
【００３４】
図５（Ｃ）は、矩形ワーク１２ｒを用いるが、液滴７の塗布量に対して矩形ワーク１２ｒの面積が大きい場合の例である。この場合、液滴７は矩形ワーク１２ｒの平面形状による制限を受けないため、塗布量と撮影画像における明部領域１６の面積との関係は、前述したワークなしの場合と同様となる。即ち、塗布量が少ないほど明部領域１６の面積は小さくなり、塗布量が多いほど明部領域１６の面積は大きくなる。この関係に基づいて、ワークなしの場合と同様に、予め用意した近似式を用いて塗布量を推定することができる。
【００３５】
図５（Ｄ）は、表面反射の少ない材料の基板１１を用い、かつ、ワークを用いない場合の例を示す。この場合、基板１１により反射されカメラに戻る照明光は少ないため、撮影画像における領域１４は暗い領域となる。一方、塗布量と撮影画像における明部領域１６の面積との関係は、図５（Ｃ）と同様となる。即ち、塗布量が少ないほど明部領域１６の面積は小さくなり、塗布量が多いほど明部領域１６の面積は大きくなる。この関係に基づいて、ワークなしの場合と同様に、予め用意した近似式を用いて塗布量を推定することができる。
【００３６】
［塗布量推定処理］
次に、塗布量推定装置１によって実行される塗布量推定処理について説明する。図６は、塗布量推定処理のフローチャートである。この処理は、塗布量推定装置１の制御部４を構成するコンピュータが、予め用意されたプログラムを実行することにより実現される。なお、この処理の開始時には、既にディスペンサ装置により、ワーク１２又は基板１１上に液滴が塗布されているものとする。
【００３７】
まず、制御部４は、カメラ５を制御してワーク１２を上方から撮影する（ステップＳ１１）。これにより、液滴７を含む撮影画像が取得される。次に、制御部４は、撮影画像に対する画像処理を行い、撮影画像中の暗部領域１５を特定する（ステップＳ１２）。次に、制御部４は、暗部領域１５に囲まれた明部領域１６を特定し、その面積を算出する（ステップＳ１３）。そして、制御部４は、予め用意された近似式を用いて、算出した明部領域１６の面積に対応する塗布量を算出する（ステップＳ１４）。こうして、撮影画像に基づいて液滴７の塗布量が推定される。
【００３８】
［ディスペンサ装置］
次に、上記の塗布量推定装置１を含むディスペンサ装置について説明する。図７は、ディスペンサ装置１００の構成を示す。図示のように、ディスペンサ装置１００は、上述の塗布量推定装置１と、ディスペンサ２０とを備える。ディスペンサ２０は、ノズル２１により、接着剤などの液滴７をワーク１２又は基板１１に塗布する。ディスペンサ２０による液滴７の塗布量は、制御部４により制御される。なお、図７の例ではディスペンサ２０はノズル式であるが、これ以外に針転写方式など様々なディスペンサを適用することができる。
【００３９】
次に、ディスペンサ装置１００の動作について説明する。まず、ディスペンサ装置１００は、ワーク１２に液滴を塗布する。具体的には、制御部４が液滴の塗布量を指示する信号Ｃ２をディスペンサ２０に送る。ディスペンサ２０は、基板１１がディスペンサ２０の下方に位置した状態で、信号Ｃ２により指示された塗布量の液滴をワーク１２上に塗布する。
【００４０】
次に、基板１１がカメラ５の下方に位置した状態で、制御部４はカメラ５を制御してワーク１２の画像を撮影し、撮影画像を含む信号Ｃ１を取得する。そして、制御部４は、上述のように撮影画像中の明部領域１６の面積を算出することにより、液滴７の塗布量を推定する。さらに、制御部４は推定された塗布量が予め決められた目標塗布量と一致するように、信号Ｃ２によりディスペンサ２０に指示する塗布量を変更する。こうして、ディスペンサ装置２０は、目標塗布量の液滴をワーク１２又は基板１１に塗布する。
【００４１】
なお、上記の例では、制御部４は、撮影画像に基づいて塗布量を推定し、推定された塗布量が目標塗布量と一致するようにディスペンサ２０による塗布量を調整している。その代わりに、制御部４は、塗布量を推定するのではなく、撮影画像における明部領域１６の面積に基づいて、ディスペンサ２０による塗布量を調整しても良い。即ち、前述のように液滴の塗布量と、撮影画像における明部領域１６の面積とは一対一の関係にあるので、制御部４は明部領域１６の面積に基づいて塗布量の多い、少ないを判定し、ディスペンサ２０による塗布量を調整してもよい。
【００４２】
［変形例］
以下の変形例は、任意に組み合わせて上記の実施例に適用することができる。
（変形例１）
上記の実施例では、撮影画像に含まれる明部領域１６の面積に基づいて塗布量を推定しているが、円形ワーク１２ｃの場合には、その代わりに明部領域１６の外径及び暗部領域１５の外径を利用して塗布量を推定しても良い。円形ワーク１２ｃの場合、円形ワーク１２ｃ上に形成される液滴７の形状は球体の一部に相当する。よって、明部領域１６と暗部領域１５の外径がわかれば、基礎となる球体の大きさを特定できるので、液滴７の塗布量をより正確に算出することが可能となる。
【００４３】
（変形例２）
上記の実施例では、カメラ５の光軸と照明光の光軸とが一致するようにカメラ５と照明部６を配置しているが、その代わりに、ワーク１２又は基板１１に対して照明光の光軸とカメラ５の光軸とが入射角と反射角の関係となるように、カメラ５と照明部６を配置してもよい。この配置例を図８に模式的に示す。ワーク１２又は基板１１の平面に垂直な平面内で、照明部６からの照明光がワーク１２又は基板１１の平面に対して角度（入射角）θで入射し、これと等しい反射角θで照明光が反射する方向にカメラ５を配置する。これにより、カメラ５と照明光とを同軸状に配置したのと同等の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００４４】
１  塗布量推定装置
４  制御部
５  カメラ
６  照明部
１１  基板
１２  ワーク
２０  ディスペンサ
１００  ディスペンサ装置
【図１】
2018004502.tif 000003
【図２】
2018004502.tif 000004
【図３】
2018004502.tif 000005
【図４】
2018004502.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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