(57)【要約】【課題】ランプを交換する際の安全性および作業性を向上させるために有利な技術を提供する。【解決手段】気体を吹き出す吹出口と雄ネジとを有する保持部によって保持されるランプ装置であって、一対の電極が対向して配置された放電空間を覆うガラス管と、前記ガラス管から延伸し、前記一対の電極のうち一方の電極に接続された口金部と、前記保持部の前記雄ネジに螺合されることにより前記保持部に締結される締結部と、を含み、前記締結部は、前記保持部に締結されたときに前記吹出口に連通する流路を有し、前記吹出口から吹き出された気体を前記ガラス管および前記口金部のいずれか一方または両方に導風する。【選択図】図２
2018098044.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体を吹き出す吹出口と雄ネジとを有する保持部によって保持されるランプ装置であって、
一対の電極が対向して配置された放電空間を覆うガラス管と、
前記ガラス管から延伸し、前記一対の電極のうち一方の電極に接続された口金部と、
前記口金部が貫通する穴を有するリング部分と、前記リング部分から延びた筒部分とを有し、前記筒部分の内側に設けられた雌ネジが前記保持部の前記雄ネジに螺合されることにより前記保持部に締結される締結部と、
を含み、
前記口金部は、前記保持部の前記雄ネジの先端に設けられた凹部に挿入される挿入部と、前記締結部が前記保持部に締結されるときに前記締結部の前記リング部分によって押圧されるフランジ部とを有し、
前記ランプ装置は、前記保持部の前記凹部に前記挿入部が挿入された状態で前記締結部が前記保持部に締結されることにより前記保持部に固定され、
前記締結部は、前記保持部に締結されたときに前記吹出口に連通する流路を有し、前記吹出口から吹き出された気体を前記ガラス管および前記口金部のいずれか一方または両方に導風する、
ことを特徴とするランプ装置。
【請求項２】
前記流路は、前記保持部の前記吹出口から吹き出された気体を前記ガラス管に向けて導風するように構成された第１流路を含む、ことを特徴とする請求項１に記載のランプ装置。
【請求項３】
前記流路は、前記保持部の前記吹出口から吹き出された気体を前記口金部に向けて導風するように構成された第２流路を含む、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のランプ装置。
【請求項４】
前記保持部と共に前記締結部を挟み込む第２保持部が前記保持部の周囲に配置され、
前記締結部は、前記第２保持部に設けられた雌ネジに螺合される雄ネジを有する、ことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のランプ装置。
【請求項５】
前記締結部は、前記フランジ部より前記ガラス管側を前記口金部に沿って移動可能である、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のランプ装置。
【請求項６】
前記ランプ装置は、前記ガラス管から延伸し、前記一対の電極のうち他方の電極に接続された第２口金部を更に含み、
前記口金部と前記第２口金部とは、前記ガラス管を挟み込むように配置されている、ことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載のランプ装置。
【請求項７】
前記ランプ装置は、前記締結部の前記筒部分の外周に巻きつけられた帯部材を更に含む、ことを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のランプ装置。
【請求項８】
前記帯部材は、前記締結部が前記保持部に締結される際における前記筒部分の回転方向に沿って、前記筒部分の外周に巻き付けられている、ことを特徴とする請求項７に記載のランプ装置。
【請求項９】
基板を露光する露光装置であって、
マスクを照明する照明光学系と、
前記マスクに形成されたパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
を含み、
前記照明光学系は、請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載のランプ装置を保持する保持部を含む、ことを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ランプ装置、露光装置、および物品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスなどの製造工程（リソグラフィ工程）で用いられる装置の１つとして、基板を露光する露光装置がある。露光装置は、マスクに形成されたパターンの像を投影光学系を介して基板上の感光材（レジスト）に投影することにより、マスクのパターンを基板上の感光材に転写することができる。
【０００３】
露光装置では、例えば波長３６５ｎｍの光（ｉ線）を用いて基板（感光材）を露光する場合、水銀ランプが光源として用いられることが多く、水銀ランプから発せられた光は、凹面ミラーで集光されてマスクに照射されうる。このような水銀ランプは、例えば１５００時間程度の寿命を有するため、防護服を着た作業者によって定期的に交換されうる。しかしながら、水銀ランプの交換作業において、水銀ランプの取り付けは、凹面ミラーの下部に形成された開口に水銀ランプを通した状態で行われるため、防護服を着た作業者にとって煩雑な作業であった。
【０００４】
特許文献１には、水銀ランプをランプホルダ（保持部）に取り付ける際の作業性を向上させる構成が記載されている。特許文献１に記載された構成では、ランプホルダの上面に設けられた凹部に水銀ランプの先端を挿入させた状態で、ランプホルダ側に設けられた回転部を上方向に持ち上げながら回転させて、回転部のネジ溝を水銀ランプの口金のネジ溝に螺合させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４３２９８４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載された構成では、回転部のネジ溝を水銀ランプの口金のネジ溝に螺合させるために回転部を上方向に持ち上げたときに、回転部のネジ溝と口長根のネジ溝とが衝突し、ランプホルダの凹部から水銀ランプの先端が抜けてしまう場合がある。この場合、一方の片手で水銀ランプを押さえておかないと、水銀ランプが周辺の部材に接触して破損する可能性があり、安全性および作業性が不十分である。
【０００７】
そこで、本発明は、ランプを交換する際の安全性および作業性を向上させるために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのランプ装置は、気体を吹き出す吹出口と雄ネジとを有する保持部によって保持されるランプ装置であって、一対の電極が対向して配置された放電空間を覆うガラス管と、前記ガラス管から延伸し、前記一対の電極のうち一方の電極に接続された口金部と、前記口金部が貫通する穴を有するリング部分と、前記リング部分から延びた筒部分とを有し、前記筒部分の内側に設けられた雌ネジが前記保持部の前記雄ネジに螺合されることにより前記保持部に締結される締結部と、を含み、前記口金部は、前記保持部の前記雄ネジの先端に設けられた凹部に挿入される挿入部と、前記締結部が前記保持部に締結されるときに前記締結部の前記リング部分によって押圧されるフランジ部とを有し、前記ランプ装置は、前記保持部の前記凹部に前記挿入部が挿入された状態で前記締結部が前記保持部に締結されることにより前記保持部に固定され、前記締結部は、前記保持部に締結されたときに前記吹出口に連通する流路を有し、前記吹出口から吹き出された気体を前記ガラス管および前記口金部のいずれか一方または両方に導風する、ことを特徴とする。
【０００９】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、例えば、ランプを交換する際の安全性および作業性を向上させるために有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】露光装置を示す概略図である。
【図２】ランプの構成を示す図である。
【図３】ランプを保持部に取り付ける様子を示す図である。
【図４】ランプが保持部に取り付けられた状態を示す図である。
【図５】ランプが保持部に取り付けられた状態を示す図である。
【図６】気体吹出部を上方から見た図である。
【図７】締結部を上方から見た図である。
【図８】ランプを保持部に取り付ける様子を示す図である。
【図９】第３実施形態のランプの全体構造を示す図である。
【図１０】第３実施形態のランプの締結部を示す図である。
【図１１】締結部に帯部材を巻き付けている様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材ないし要素については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【００１３】
＜第１実施形態＞
本発明に係る第１実施形態の露光装置１００について、図１を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態の露光装置１００の構成を示す概略図である。第１実施形態の露光装置１００は、例えば、照明光学系ＩＬと、マスクＭ（レチクル）を保持するマスクステージＭＳと、投影光学系ＰＬと、基板Ｗ（ウェハ）を保持する基板ステージＷＳと、制御部ＣＮＴとを含みうる。そして、露光装置１００は、マスクＭのパターンの像を基板上に投影して当該基板Ｗを露光する処理（露光処理）を行う。照明光学系ＩＬは、マスクステージＭＳにより保持されたマスクＭを照明する。投影光学系ＰＬは、所定の投影倍率を有し、マスクＭのパターンを基板Ｗに投影する。また、制御部ＣＮＴは、例えばＣＰＵやメモリなどを有するコンピュータによって構成され、露光装置１００の各部を制御する（露光処理を制御する）。
【００１４】
次に、照明光学系ＩＬの構成について説明する。照明光学系ＩＬは、例えば、ランプ１０を保持する保持部１（保持装置）と、凹面ミラー２と、ＮＤフィルタ３と、コンデンサレンズ４と、波長フィルタ５と、蠅の目レンズ６と、マスキングブレード７と、レンズ８とを含みうる。保持部１は、例えばｉ線などの光を射出するランプ１０を保持する。本実施形態では、ランプ１０として水銀ランプを用いる例について説明するが、水銀ランプ以外のランプがランプ１０として用いられてもよい。保持部１によって保持されたランプ１０から発せられた光は、凹面ミラー２によって集光され、ＮＤフィルタ３によって光強度が調整された後、コンデンサレンズ４で集光されて波長フィルタ５に入射する。波長フィルタ５は、所望の範囲内の波長の光を透過させる。波長フィルタ５を透過した光は、蠅の目レンズ６によって光強度分布を均一化され、マスキングブレード７およびレンズ８を介して、マスクＭに照射される。
【００１５】
このように構成された照明光学系ＩＬでは、ランプ１０は例えば１５００時間程度の寿命を有するため、ランプ１０の交換作業が定期的に行われうる。ここで、ランプ１０の交換作業は、安全面上、防護服を着た作業者によって行われることが義務付けられているため、視野が狭く且つ指先の感覚が鈍い状況下での作業となり煩雑である。特に、保持部１へのランプ１０の取り付けは、凹面ミラー２の下部に形成された開口にランプ１０を通した状態で、ランプ１０が凹面ミラー２に接触して破損しないように行われるため、防護服を着た作業者にとって煩雑な作業である。そこで、本実施形態のランプ１０（ランプ装置）および保持部１は、保持部１にランプ１０を取り付ける際の作業者の安全性および作業性を考慮して構成されている。即ち、本実施形態のランプ１０および保持部１は、作業者が、ランプ１０を凹面ミラー２などに接触させずに、ランプ１０を保持部１に片手で容易に取り付けることができるように構成されている。
【００１６】
以下に、本実施形態に係るランプ１０の構成、および保持部１へのランプ１０の取り付け手順について、図２〜図４を参照しながら説明する。図２（ａ）は、ランプ１０の全体構成を示す図であり、図２（ｂ）は、ランプ１０の第１口金部１２および締結部１４の構成を示す拡大図である。また、図３は、ランプ１０を保持部１に取り付ける様子を示す図であり、図３では、ランプ１０の第１口金部１２と保持部１と凹面ミラー２とが図示されている。図４は、ランプ１０が保持部１に取り付けられた状態を示す図であり、図４では、ランプ１０の第１口金部１２と保持部１とが図示されている。ここで、本実施形態の保持部１は、雄ネジ１ａを有しており、雄ネジ１ａの先端には、後述するように、第１口金部１２の挿入部１２ｃが挿入される凹部１ｂが設けられている。また、保持部１の雄ネジ１ａに設けられた凹部１ｂの側壁には、例えば水平方向（Ｘ方向）に突出したピン１ｃが設けられている。
【００１７】
まず、ランプ１０の構成について、図２を参照しながら説明する。ランプ１０は、発光部１１と、第１口金部１２と、第２口金部１３と、締結部１４とを含みうる。発光部１１は、一対の電極１１ａが対向して配置された放電空間を覆うガラス管１１ｂを有し、一対の電極１１ａに高電圧が印加されることにより発光する。また、発光部１１は、第１口金部１２および第２口金部１３をガラス管１１ｂにそれぞれ連結するための連結部１１ｃおよび１１ｄを有する。そして、第１口金部１２および第２口金部１３は、発光部１１（ガラス管１１ｂ）を上下（±Ｚ方向）から挟み込むように配置される。
【００１８】
第１口金部１２は、発光部１１（ガラス管１１ｂ）から下方向（−Ｚ方向）に延伸し、一対の電極１１ａのうち一方の電極１１ａ１に電気的に接続される。第１口金部１２は、ステム部１２ａと、ステム部１２ａの径より大きい径を有するフランジ部１２ｂと、保持部１の雄ネジ１ａの先端に設けられた凹部１ｂに挿入される挿入部１２ｃ（先端部）とを有する。フランジ部１２ｂは、後述する締結部１４が第１口金部１２から脱落することを防止するとともに、締結部１４が保持部１に締結されるときに締結部１４のリング部分１４ａに接触して、当該リング部分１４ａにより力が加えられる（押圧される）。また、挿入部１２ｃには、保持部１（雄ネジ１ａ）の凹部１ｂに設けられたピン１ａが通る（嵌合する）溝１２ｄが設けられている。
【００１９】
ここで、本実施形態の第１口金部１２では、ステム部１２ａ、フランジ部１２ｂおよび挿入部１２ｃが、導電性材料（例えば金属）によって構成されているが、それに限られるものではない。例えば、第１口金部１２のうち、導電性材料によって構成された保持部１の雄ネジ１ａに接触する部分のみが導電性材料によって構成されてもよい。また、本実施形態の挿入部１２ｃは、ステム部１２ａの径より小さい径を有するが、それに限られるものではなく、ステム部１２ａの径と同じ径を有してもよい。
【００２０】
第２口金部１３は、発光部１１（ガラス管１１ｂ）から上方向（＋Ｚ方向）に延伸し、一対の電極１１ａのうち他方の電極１１ａ２に電気的に接続される。そして、第２口金部１３の先端には、リード線１５が設けられている。
【００２１】
締結部１４は、第１口金部１２（ステム部１２ａ）が貫通する穴を有するリング部分１４ａと、リング部分１４ａから延び（取り囲み）、内側に雌ネジ（ネジ溝）が設けられた筒部分１４ｂとを有する。そして、締結部１４は、筒部分１４ｂの雌ネジが保持部１の雄ネジ１ａに螺合されることにより保持部１（雄ネジ１ａ）に締結される。ここで、リング部分１４ａは、第１口金部１２が貫通する穴の径が、ステム部１２ａの径より大きく且つフランジ部１２ｂの径より小さくなるように形成される。これにより、締結部１４は、フランジ部１２ｂよりガラス管側を第１口金部１２に沿って（即ち、ステム部１２ａに沿って）移動可能となる。
【００２２】
次に、上述のように構成されたランプ１０を保持部１に取り付ける方法について、図３を参照しながら説明する。ランプ１０を保持部１に取り付ける際には、凹面ミラー２の下部に設けられた開口２ａにランプ１０の第１口金部１２および締結部１４を通す。そして、保持部１（雄ネジ１ａ）の凹部１ｂに設けられたピン１ｃが、第１口金部１２の挿入部１２ｃに設けられた溝１２ｄに嵌合するように、ランプ１０のωＺ方向（Ｚ軸周りの回転方向）の回転位置を調整しながら挿入部１２ｃを当該凹部１ｂに挿入する。これにより、ランプ１０は、保持部１によって仮固定された状態となる。
【００２３】
挿入部１２ｃを仮固定した後、締結部１４に下方向（重力方向（−Ｚ方向））への力を加えながら締結部１４を回転させ、締結部１４（筒部分１４ｂ）の雌ネジを保持部１の雄ネジ１ａに螺合させて、締結部１４を保持部１（雄ネジ１ａ）に締結させる。このとき、保持部１の凹部１ｂに設けられたピン１ｃと挿入部１２ｃに設けられた溝１２ｄとが嵌合しているため、締結部１４の回転に応じてランプ１０の本体（発光部１１、第１口金部１２、第２口金部１３）が回転することを抑制することができる。そして、締結部１４が保持部１に締結されるときにリング部分１４ａによって第１口金部１２のフランジ部１２ｂに下方向の力（ランプ１０を保持部１に押圧する力）が加えられ、図４に示すように、ランプ１０が保持部１に固定される。これにより、第１口金部１２と保持部１（雄ネジ１ａ）とを電気的に接続させることができる。ここで、本実施形態では、締結部１４に雌ネジを設け、保持部１に雄ネジ１ａを設けたが、それに限られるものではなく、締結部１４に雄ネジを設け、保持部１に雌ネジを設けてもよい。
【００２４】
上述したように、本実施形態のランプ１０は、第１口金部１２の挿入部１２ｃを保持部１の凹部１ｂに挿入した仮固定の状態で、締結部１４の雌ネジを保持部１の雄ネジ１ａに螺合させて締結部１４を保持部１に締結させる。この際、締結部１４に対して重力方向に力を加えながら締結部１４を回転させることができるため、仮固定された第１口金部１２の挿入部１２ｃが保持部１の凹部１ｂから抜けることを抑制することができる。したがって、本実施形態のランプ１０は、作業者によって保持部１に容易に且つ安全に取り付けることができる。
【００２５】
＜第２実施形態＞
ランプ１０では、一対の電極１１ａに高電圧が印加されて発光部１１（ガラス管１１ｂ）が高温になるため、ガラス管１１ｂに気体（例えば空気）を吹き付けて、当該ガラス管１１ｂを冷却することが好ましい。このようにガラス管１１ｂに気体を吹き付けて当該ガラス管１１ｂを冷却する場合、気体を吹き出す機構をガラス管１１ｂに可能な限り近づける方が、ガラス管１１ｂを効率よく冷却する上で好ましい。しかしながら、当該機構を、凹面ミラー２で反射された光の光路内に配置することは、基板Ｗの露光光量を低下させることになりうる。よって、凹面ミラー２の下部に設けられた開口２ａを介してガラス管１１ｂに気体を吹き付けるとよい。ここで、当該機構をランプ１０の第１口金部１２付近に配置してしまうと、当該機構と第１口金部１２との間で放電する可能性があるため、当該機構と第１口金部１２との間に一定の絶縁距離を設けるとよい。その一方で、当該機構と第１口金部１２との間に一定の絶縁距離を設けてしまうと、凹面ミラー２の開口２ａを介してガラス管１１ｂに効率よく気体を吹き付けることが困難となりうる。
【００２６】
そこで、本実施形態の照明光学系ＩＬは、気体を吹き出す吹出口９ａを有する気体吹出部９を有する。気体吹出部９の吹出口９ａは、保持部１の周囲（外周）に設けられうる。そして、本実施形態のランプ１０の締結部１４には、締結部１４が保持部１に締結されたときに気体吹出部９の吹出口９ａに連通する流路を有する。そして、当該流路は、吹出口９ａから吹き出された気体をガラス管１１ｂおよび第１口金部１２のいずれか一方または両方に導風するように構成されうる。以下に、本実施形態の気体吹出部９およびランプ１０（第１口金部１２）の具体的な構成について、図５〜図８を参照しながら説明する。
【００２７】
図５は、ランプ１０が保持部１に取り付けられた状態を示す図であり、図５では、ランプ１０の第１口金部１２と保持部１と気体吹出部９とが図示されている。気体吹出部９は、締結部１４が保持部１に締結されたときに、締結部１４の下面が接触する面９ｂを有し、当該面９ｂには、気体を吹き出す吹出口９ａとしての溝が設けられている。吹出口９ａは、例えば、図６に示すように、保持部１の外周を取り囲むように円環状に形成されており、吹出口９ａには、配管９ｃを介して気体が供給されうる。図６は、気体吹出部９を上方（＋Ｚ方向）から見た図である。
【００２８】
締結部１４に設けられた流路は、例えば、気体吹出部９の吹出口９ａから吹き出された気体をガラス管１１ｂに向けて導風するように構成された第１流路１４ｃを含みうる。これにより、ガラス管１１ｂに効率よく気体を吹き付けることができ、ガラス管１１ｂを効率よく冷却することができる。また、締結部１４に設けられた流路は、気体吹出部９の吹出口９ａから吹き出された気体を第１口金部１２に向けて横方向に導風するように構成された第２流路１４ｄを含んでもよい。これにより、第１口金部１２にも気体を吹き付けて、当該第１口金部１２を冷却することができる。このような流路（第１流路１４ｃ、第２流路１４ｄ）は、第１口金部１２を囲むように締結部１４に複数設けられうる（図７参照）。図７は、締結部１４を上方（＋Ｚ方向）から見た図である。
【００２９】
ここで、吹出口９ａから吹き出された気体を、締結部１４に設けられた流路を介してガラス管１１ｂ（第１口金部１２）に更に効率よく吹き付けるためには、気体吹出部９の面９ｂと締結部１４の下面との隙間から気体が漏れることを低減することが好ましい。そのため、図５に示すように、気体吹出部９の吹出口９ａを取り囲み、且つ、保持部１（雄ネジ１ａ）と共に締結部１４を挟み込む第２保持部１ｄを、照明光学系ＩＬ（保持部１）に設けることが好ましい。第２保持部１ｄの内側には雌ネジが設けられており、締結部１４の外側には、第２保持部１ｄの雌ネジに螺合される雄ネジが設けられうる。これにより、締結部１４が保持部１に締結されたときに、締結部１４の内側部分および外側部分の双方が保持部１および第２保持部１ｄによってそれぞれ保持される。そのため、気体吹出部９の面９ｂと締結部１４の下面との隙間から気体が漏れることを低減することができる。
【００３０】
次に、本実施形態のランプ１０を保持部１（第２保持部１ｄ）に取り付ける方法について、図８を参照しながら説明する。図８は、ランプ１０を保持部１に取り付ける様子を示す図である。ランプ１０を保持部１に取り付ける際には、凹面ミラー２の下部に設けられた開口２ａにランプ１０の第１口金部１２および締結部１４を通す。そして、保持部１（雄ネジ１ａ）の凹部１ｂに設けられたピン１ｃが、第１口金部１２の挿入部１２ｃに設けられた溝１２ｄに嵌合するように、ランプ１０のωＺ方向の回転位置を調整しながら挿入部１２ｃを保持部１の凹部１ｂに挿入する。これにより、ランプ１０は、保持部１によって仮固定された状態となる。次いで、締結部１４に下方向（重力方向）への力を加えながら締結部１４を回転させ、締結部１４の雌ネジおよび雄ネジを保持部１の雄ネジ１ｂおよび第２保持部１ｄの雌ネジにそれぞれ螺合させる。気体吹出部９の吹出口９ａは、前述したように円環状に設けられているため、締結部１４に設けられた流路１４ｃを当該吹出口９ａに連通させることができる。
【００３１】
＜第３実施形態＞
ランプ１０を保持部１に取り付ける際には、前述したように、凹面ミラー２の開口２ａにランプ１０の第１口金部１２および締結部１４を通す作業が行われる。このとき、第１口金部１２および締結部１４が凹面ミラー２に接触してしまうと、凹面ミラー２を破損したり歪ませたりする虞がある。特に、締結部１４は、他の部分に比べて径が大きいため、凹面ミラー２の開口２ａに締結部１４を通す際に締結部１４を凹面ミラー２に接触させてしまう可能性が大きい。そこで、本実施形態では、図９に示すように、緩衝材（例えばゴム）によって構成された帯部材１６が締結部１４の筒部分１４ｂの外周に設けられている（巻きつけられている）。図９は、本実施形態のランプ１０の全体構造を示す図である。これにより、ランプ１０を凹面ミラー２の開口２ａに通す作業において、締結部１４が凹面ミラー２に接触しても、それによる影響を低減することができる。
【００３２】
また、帯部材１６は、締結部１４を保持部１に締結（螺合）させる際にも用いられうる。例えば、帯部材１６は、締結部１４が保持部１に締結される際に締結部１４を回転させる回転方向に沿って、締結部１４（筒部分１４ｂ）の外周に巻き付けられている。巻き数は、締結部１４のネジ溝の山数と同じ、またはそれ以上であることが好ましい。これにより、締結部１４を保持部１に締結させる際に、図１０に示すように、作業者が帯部材１６の一端が引っ張ることで、締結部１４を回転させることができる。即ち、帯部材１６は、作業者によって一端が引っ張られることにより締結部１４を回転させて、締結部１４を保持部１に締結させることができる。
【００３３】
ここで、締結部１４への帯部材１６の巻き付け方法について、図１１を参照しながら説明する。図１１は、締結部１４に帯部材１６を巻き付けている様子を示す図である。帯部材１６には、作業者によって引っ張られうる終端部１６ａとは反対側の始端部１６ｂにピン１６ｃが設けられている。そして、締結部１４への帯部材１６の巻きつけは、締結部１４の外壁に設けられた穴１４ｅに当該ピン１６ｃを差し込んでから帯部材１６を締結部１４の外周に沿って巻き始め、巻き終わりの終端部１６ａは、テープなどによって固定されうる。
【００３４】
上述したように、本実施形態のランプ１０では、締結部１４の外周に沿って帯部材１６が巻きつけられている。これにより、ランプ１０を凹面ミラー２の開口２ａに通す作業において、締結部１４が凹面ミラー２に接触しても、それによる影響を低減することができる。また、帯部材１６の終端部１６ａを引っ張ることにより締結部１４を回転させ、締結部１４を保持部１に容易に締結（螺合）させることができる。この際、帯部材１６を引っ張ることにより、締結部１４を保持部１に巻き締める力（締結力）を効率よく締結部１４に伝えることができる。そのため、締結部１４を保持部１に十分に巻き締めることができ、ランプ１０の第１口金部１２と保持部１との接触不良が生じる可能性を低減することができる。ここで、締結力は、例えば、帯部材１６の巻き数、帯部材１６材質の弾性係数およびピン１６ｃの保持力により変更することができる。
【００３５】
＜物品の製造方法の実施形態＞
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、上記の露光装置を用いて基板（に塗布された感光剤）にパターン（潜像）を形成する工程（基板を露光する工程）と、かかる工程で露光（パターンを形成された）基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。
【００３６】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【符号の説明】
【００３７】
１：保持部、１ａ：雄ネジ、２：凹面ミラー、１０：ランプ、１１：発光部、１２：第１口金部、１３：第２口金部、１４：締結部、１５：リード線、１６：帯部材
【図１】
2018098044.tif 000003
【図２】
2018098044.tif 000004
【図３】
2018098044.tif 000005
【図４】
2018098044.tif 000006
【図５】
2018098044.tif 000007
【図６】
2018098044.tif 000008
【図７】
2018098044.tif 000009
【図８】
2018098044.tif 000010
【図９】
2018098044.tif 000011
【図１０】
2018098044.tif 000012
【図１１】
2018098044.tif 000013