(57)【要約】【課題】長寿命化を図ることができる半導体検査治具を得る。【解決手段】半導体装置１を載せるベース４の上に、導電パターン５ａ，５ｂを有する基板６ａ，６ｂが設けられている。導電パターン５ａ，５ｂは、ベース４に載せられた半導体装置１のリード３ａ，３ｂに対して水平方向ではない方向からリード３ａ，３ｂに交差し、リード３ａ，３ｂの先端に接触することなくリード３ａ，３ｂの中間部分に接触する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置を載せるベースと、
前記ベースの上に設けられ、導電パターンを有する基板とを備え、
前記導電パターンは、前記ベースに載せられた前記半導体装置のリードに対して水平方向ではない方向から前記リードに交差し、前記リードの先端に接触することなく前記リードの中間部分に接触することを特徴とする半導体検査治具。
【請求項２】
半導体装置を載せるベースと、
前記ベースの上に設けられ、前記ベースに載せられた前記半導体装置のリードに接触しない第１の導電パターンを有する基板と、
第２の導電パターンを有するコンタクトシートとを備え、
前記半導体装置を前記ベースに載せて前記コンタクトシートを前記リード及び前記基板の上に被せることで、前記第２の導電パターンが前記リードの先端に接触することなく前記リードの中間部分に接触し、前記第２の導電パターンを介して前記リードと前記第１の導電パターンが接続されることを特徴とする半導体検査治具。
【請求項３】
前記コンタクトシートには、前記半導体装置の本体部の外径寸法に合わせた形状の穴が設けられ、
前記コンタクトシートの前記穴に前記本体部を通すように位置合わせして前記コンタクトシートを被せることを特徴とする請求項２に記載の半導体検査治具。
【請求項４】
半導体装置を載せるベースと、
前記ベースの上に設けられ、前記ベースに載せられた前記半導体装置のリードに接触しない第１の導電パターンを有する基板と、
第２の導電パターンを有するリード押さえとを備え、
前記半導体装置を前記ベースに載せて前記リード押さえで前記リードを押さえることで、前記第２の導電パターンが前記リードの先端に接触することなく前記リードの中間部分に接触し、前記第２の導電パターンを介して前記リードと前記第１の導電パターンが接続されることを特徴とする半導体検査治具。
【請求項５】
半導体装置を載せるベースと、
前記ベースの上に設けられ、導電パターンを有する基板と、
前記ベースの上面から突出したバネ式のプローブとを備え、
前記半導体装置を前記ベースに載せると前記プローブにより前記半導体装置が持ち上がって前記半導体装置のリードが前記導電パターンから離れた状態となり、
前記半導体装置を押さえつけて前記プローブを収縮させることで前記リードが前記導電パターンに接触することを特徴とする半導体検査治具。
【請求項６】
前記基板の上面に凹部が設けられ、
前記導電パターンは前記凹部内に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の半導体検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の電気的特性の検査に用いられる半導体検査治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
電極のコンタクト性向上のため、リードを上下から電極で挟み込む半導体検査治具が提案されている（例えば、特許文献１参照）。半導体装置のマウント部をテーパ状に加工して位置決めとし、パターンではなくプローブを半導体装置のリードの中間部分を接触させる半導体検査治具が提案されている（例えば、特許文献２参照）。リードレス半導体装置を対象とした検査治具であって、押えとコンタクト用の電極が一体になったものが提案されている（例えば、特許文献３参照）。多ピンのフレームリード品の検査治具であって、厚さ方向に導通のあるインターポーザーを介して半導体装置のリードと治具のパターンを導通させるものが提案されている（例えば、特許文献４参照）。バネで半導体装置ガイドを浮かせ、治具の電極プローブをリードの中間部分に接触させる光半導体測定用のソケットが提案されている（例えば、特許文献５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１−２１７２６９号公報
【特許文献２】特開平６−１８６１３号公報
【特許文献３】特開２０１４−１５３２９３号公報
【特許文献４】特開２０１０−１４５８５号公報
【特許文献５】特開平１−１８４４７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
高い電力を扱う高周波電力増幅器の電気的特性の検査には、耐電力の問題から高周波信号の伝送線路にプローブは使用できず、金属パターンを形成したセラミック基板を金属ブロックに半田で接合した検査治具を用いる。この金属パターンに半導体装置のリードを接触させて検査を行う。金属パターンには金が用いられ、厚みも４〜１０μｍと薄い。このため、機械的な耐久性が弱く、リードとの接触により摩耗し、使用回数を重ねるたびに劣化していく。特に、半導体装置のリードの先端はバリが発生している。さらに、半導体装置をセットする際にリードとパターンが接触した状態でリードに対して垂直方向への位置調整が必要である。このため、リードの先端とパターンが接触する箇所が最も摩耗し易い。長期の使用によりパターンの摩耗が進行すると、最終的にはパターンが断線し、検査不可能となるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は長寿命化を図ることができる半導体検査治具を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る半導体検査治具は、半導体装置を載せるベースと、前記ベースの上に設けられ、導電パターンを有する基板とを備え、前記導電パターンは、前記ベースに載せられた前記半導体装置の前記リードに対して水平方向ではない方向から前記リードに交差し、前記リードの先端に接触することなく前記リードの中間部分に接触することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明では、リードの先端が導電パターンと接触しないため、導電パターンの摩耗が緩和され、検査治具の長寿命化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】検査対象である半導体装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る半導体検査治具を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る半導体検査治具により半導体装置の検査を行う状態を示す斜視図である。
【図４】比較例に係る半導体検査治具により半導体装置の検査を行う状態を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る半導体検査治具を示す斜視図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係る半導体検査治具により半導体装置の検査を行う状態を示す斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態３に係る半導体検査治具を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施の形態３に係る半導体検査治具により半導体装置の検査を行う状態を示す斜視図である。
【図９】本発明の実施の形態４に係る半導体検査治具を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の実施の形態に係る半導体検査治具について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
【００１０】
実施の形態１．
図１は、検査対象である半導体装置を示す斜視図である。半導体装置１は高い電力を扱う高周波電力増幅器である。半導体装置１は、半導体チップが封止された本体部２と、本体部２から互いに反対方向に突出したリード３ａ，３ｂとを有する。本体部２の内部においてリード３ａ，３ｂは半導体チップに接続されている。なお、本体部２における半導体チップの封止方法は、例えば樹脂封止であるが、これに限定されない。
【００１１】
図２は、本発明の実施の形態１に係る半導体検査治具を示す斜視図である。ベース４は、半導体装置１を載せるマウント部である。ベース４の上に、導電パターン５ａ，５ｂを有するアルミナ基板６ａ，６ｂが設けられている。導電パターン５ａ，５ｂは、半導体検査治具の外部部品と半導体装置１を繋ぐ、高周波信号の伝送線路である。アルミナ基板６ａ，６ｂの裏面にも導電パターンが形成され、このパターンはベース４とアルミナ基板６ａ，６ｂの半田付けに使用される。
【００１２】
図３は、本発明の実施の形態１に係る半導体検査治具により半導体装置の検査を行う状態を示す斜視図である。導電パターン５ａ，５ｂは、ベース４の上面に対して垂直方向から見た平面視において、ベース４に載せられた半導体装置１のリード３ａ，３ｂに対して水平方向ではない方向からリード３ａ，３ｂに交差し、リード３ａ，３ｂの先端に直接的に接触することなくリード３ａ，３ｂの中間部分に直接的に接触する。また、リード３ａ，３ｂと導電パターン５ａ，５ｂを確実に導通させるために、樹脂製の押え棒７で一定量の荷重を加えてリード３ａ，３ｂを導電パターン５ａ，５ｂに押し付ける。
【００１３】
外部部品からアルミナ基板６ａの導電パターン５ａを介して半導体装置１に高周波信号を入力する。そして、半導体装置１の出力信号をアルミナ基板６ｂの導電パターン５ｂを介して外部部品に出力する。これにより、半導体装置１の検査を行うことができる。
【００１４】
続いて、本実施の形態の効果を比較例と比較して説明する。図４は、比較例に係る半導体検査治具により半導体装置の検査を行う状態を示す斜視図である。導電パターン５ａ，５ｂは、半導体装置１のリード３ａ，３ｂに対して水平方向に延びる直線状パターンである。従って、リード３ａ，３ｂの先端が導電パターン５ａ，５ｂと直接的に接触し、導電パターン５ａ，５ｂが摩耗するという問題がある。これに対して、本実施の形態では、リード３ａ，３ｂの先端が導電パターン５ａ，５ｂと直接的に接触しないため、導電パターン５ａ，５ｂの摩耗が緩和され、検査治具の長寿命化を図ることができる。
【００１５】
実施の形態２．
図５は、本発明の実施の形態２に係る半導体検査治具を示す斜視図である。アルミナ基板６ａ，６ｂの導電パターン５ａ，５ｂは、ベース４に載せられた半導体装置１のリード３ａ，３ｂに直接的に接触せず、離間している。コンタクトシート８は、リード３ａ，３ｂに対し垂直方向に導電パターン９ａ，９ｂが設けられた樹脂製のフィルムである。コンタクトシート８には、半導体装置１の本体部２の外径寸法に合わせた形状の穴１０が設けられている。
【００１６】
図６は、本発明の実施の形態２に係る半導体検査治具により半導体装置の検査を行う状態を示す斜視図である。半導体装置１をベース４に載せ、コンタクトシート８の穴１０に本体部２を通すように位置合わせしてコンタクトシート８をリード３ａ，３ｂ及びアルミナ基板６ａ，６ｂの上に被せる。導電パターン９ａ，９ｂは、それぞれリード３ａ，３ｂの先端に直接的に接触することなくリード３ａ，３ｂの中間部分に直接的に接触し、導電パターン９ａ，９ｂを介してリード３ａ，３ｂと導電パターン５ａ，５ｂが接続される。また、確実に導通させるために、樹脂製の押え棒７で一定量の荷重を加えてコンタクトシート８の導電パターン９ａ，９ｂをそれぞれリード３ａ，３ｂ及び導電パターン５ａ，５ｂに押し付ける。
【００１７】
本実施の形態でも、実施の形態１と同様に、リード３ａ，３ｂの先端が導電パターン５ａ，５ｂと直接的に接触しないため、導電パターン５ａ，５ｂの摩耗が緩和され、検査治具の長寿命化を図ることができる。
【００１８】
実施の形態３．
図７は、本発明の実施の形態３に係る半導体検査治具を示す斜視図である。実施の形態２のコンタクトシート８の代わりに、本実施の形態ではリード３ａ，３ｂに対し垂直方向に導電パターン９ａ，９ｂがそれぞれ形成されたリード押さえ１１ａ，１１ｂを用いる。その他の構成は実施の形態２と同様である。
【００１９】
図８は、本発明の実施の形態３に係る半導体検査治具により半導体装置の検査を行う状態を示す斜視図である。半導体装置１をベース４に載せてリード押さえ１１ａ，１１ｂでそれぞれリード３ａ，３ｂを押さえる。これにより、導電パターン９ａ，９ｂがそれぞれリード３ａ，３ｂの先端に直接的に接触することなくリード３ａ，３ｂの中間部分に直接的に接触し、導電パターン９ａ，９ｂを介してリード３ａ，３ｂと導電パターン５ａ，５ｂがそれぞれ接続される。
【００２０】
本実施の形態でも、実施の形態１，２と同様に、リード３ａ，３ｂの先端が導電パターン５ａ，５ｂと直接的に接触しないため、導電パターン５ａ，５ｂの摩耗が緩和され、検査治具の長寿命化を図ることができる。
【００２１】
実施の形態４．
図９は、本発明の実施の形態４に係る半導体検査治具を示す斜視図である。導電性のバネ式のプローブ１２がベース４の上面から突出している。アルミナ基板６ａ，６ｂの上面に、それぞれリード３ａ，３ｂの幅に合わせて凹部１３ａ，１３ｂが設けられている。導電パターン５ａ，５ｂはそれぞれ凹部１３ａ，１３ｂ内に設けられている。
【００２２】
半導体装置１をベース４に載せるとプローブ１２により半導体装置１が持ち上がってリード３ａ，３ｂが導電パターン５ａ，５ｂから離れた状態となる。この状態で、半導体装置１をリード３ａ，３ｂに対して垂直方向に動かして、リード３ａ，３ｂと導電パターン５ａ，５ｂの位置合わせを行う。その後、半導体装置１を押さえつけてプローブ１２を収縮させることでリード３ａ，３ｂがそれぞれ導電パターン５ａ，５ｂに直接的に接触する。リード３ａ，３ｂが凹部１３ａ，１３ｂ内に入ることで、導電パターン５ａ，５ｂに対して垂直方向に半導体装置１が動かなくなる。
【００２３】
本実施の形態では、リード３ａ，３ｂの先端が導電パターン５ａ，５ｂと直接的に接触していない状態で半導体装置１の位置調整を行うことができる。このため、導電パターン５ａ，５ｂの摩耗が緩和され、検査治具の長寿命化を図ることができる。
【符号の説明】
【００２４】
１  半導体装置、２  本体部、３ａ，３ｂ  リード、４  ベース、５ａ，５ｂ，９ａ，９ｂ  導電パターン、６ａ，６ｂ  アルミナ基板、８  コンタクトシート、１０  穴、１１ａ，１１ｂ  リード押さえ、１２  プローブ、１３ａ，１３ｂ  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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