(57)【要約】【課題】部品装着ヘッドを軽量化でき、かつ、移動速度を向上させることができる部品実装装置を提供する。【解決手段】この部品実装装置１は、ノズル３２により部品を吸着して基板に実装可能な部品装着ヘッド２を備える。部品装着ヘッド２は、固定的に円周状に並んで配置される複数のノズル３２と、複数のノズル３２のうちの所望のノズル３２を選択的に上下移動させるノズル押圧部材４とを含む。【選択図】図３
2018082020.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルにより部品を吸着して基板に実装可能な部品装着ヘッドを備え、
前記部品装着ヘッドは、
固定的に円周状に並んで配置される複数のノズルと、
前記複数のノズルのうちの所望のノズルを選択的に上下移動させるノズル押圧部材とを含む、部品実装装置。
【請求項２】
前記部品装着ヘッドは、前記ノズル押圧部材を前記複数のノズルが並ぶ周方向に沿って前記所望のノズルの位置に移動させる周方向移動機構をさらに含む、請求項１に記載の部品実装装置。
【請求項３】
前記周方向移動機構は、
第１駆動源と、
前記第１駆動源の駆動力により中心軸線回りに回転する第１回転軸と、
前記第１駆動源の駆動力を前記第１回転軸に伝達する回転用伝達機構とを有し、
前記ノズル押圧部材は、前記第１回転軸の回転とともに前記第１回転軸の中心軸線回りを回転可能なように構成されている、請求項２に記載の部品実装装置。
【請求項４】
前記部品装着ヘッドは、前記ノズル押圧部材を上下方向に昇降移動させる昇降移動機構をさらに含み、
前記昇降移動機構は、
第２駆動源と、
前記第２駆動源の駆動力により前記ノズル押圧部材を昇降させる昇降部材と、
前記第２駆動源の駆動力を前記昇降部材に伝達する昇降用伝達機構とを有し、
前記ノズル押圧部材は、前記昇降部材の昇降とともに前記第１回転軸の中心軸線に沿って昇降可能なように構成されている、請求項３に記載の部品実装装置。
【請求項５】
前記ノズル押圧部材は、前記第１回転軸とともに一体的に回転可能で、かつ、前記第１回転軸に対して独立して昇降可能なように、前記第１回転軸に取り付けられている、請求項４に記載の部品実装装置。
【請求項６】
前記部品装着ヘッドは、前記複数のノズルの各々を中心軸線回りに自転させるノズル自転機構を含み、
前記ノズル自転機構は、
第３駆動源と、
前記第１回転軸と同軸上に前記第１回転軸に対して独立して回転可能に設けられ、前記第３駆動源の駆動力により中心軸線回りに前記複数のノズルを回転させる第２回転軸と、
前記第３駆動源の動力を前記第２回転軸に伝達する自転用伝達機構とを含む、請求項３〜５のいずれか１項に記載の部品実装装置。
【請求項７】
前記第２回転軸は、前記第１回転軸の内側に配置される二重構造となっている、請求項６に記載の部品実装装置。
【請求項８】
実装する部品を供給する複数の部品供給部と、
複数の前記部品装着ヘッドとを備え、
前記ノズル押圧部材は、前記複数の部品装着ヘッドのそれぞれの前記複数のノズルのうち、前記複数の部品供給部の互いのピッチの整数倍の間隔をあけて並ぶノズル群を下降させる構成となっている、請求項１〜７のいずれか１項に記載の部品実装装置。
【請求項９】
前記部品装着ヘッドは、前記複数のノズルを収容するハウジングを含み、
前記複数のノズルのそれぞれは、前記部品を吸着および実装するための空気を通す空気通路を有し、
前記ハウジングには、前記空気通路と少なくとも前記所望のノズルの先端部に正圧および負圧を発生させる供給源とを連通させる連通路が、前記ハウジングの前記複数のノズルが配置されている領域よりも外側に形成されている、請求項１〜８のいずれか１項に記載の部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、部品実装装置に関し、特に、周方向に並ぶ複数のノズルを有する部品装着ヘッドを備える部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、周方向に並ぶ複数のノズルを有する部品装着ヘッドを備える部品実装装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１に記載の部品実装装置は、回転体と、回転体の回転軸線の回りに周状に配置される複数の吸着ノズルとを含む部品装着ヘッドを備えている。部品装着ヘッドは、さらに、回転体を回転させて複数のノズルを回転軸線周りに回転させる回転体駆動装置と、ノズルを回転体の軸方向に平行に昇降させる昇降装置とを含んでいる。昇降装置は、ノズルを上方から押圧して下降させるローラを有している。ローラは、回転体駆動装置により回転するノズルが通る経路上の所定位置に配置されている。
【０００４】
部品実装を行う際には、まず、回転体駆動装置により回転体が回転されることにより、部品実装を行うノズルが昇降部材の下方位置に配置される。そして、昇降装置は、部品実装を行なうノズルを下降させる。このようにして、部品装着ヘッドへの部品の吸着、および、回路基板への部品の実装が行なわれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−６９７９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１の部品実装装置では、回転体が回転体駆動装置により回転し、複数のノズルが回転体の回転軸線回りを回転するように構成されている。ここで、回転体には複数のノズルが取り付けられているため、回転体を回転させる回転体駆動装置は、回転体を回転させると同時に複数のノズルを回転させるだけの駆動力を有している必要がある。そのため、回転体駆動装置により、部品装着ヘッドの重量が大きくなってしまい易い。さらに、部品装着ヘッドの重量が大きくなってしまうことにより、部品装着ヘッドの移動速度を大きくすることが困難となってしまう。
【０００７】
また、複数のノズルのそれぞれが部品を吸着した状態において、複数のノズルを回転させると、吸着した部品に遠心力がかかる。ここで、複数のノズルのそれぞれが部品を吸着し、かつ、複数のノズルを回転させた状態の部品装着ヘッドが移動する場合、移動速度によっては、吸着した部品がノズルから落下してしまう。そのため、複数のノズルを回転させる場合、部品装着ヘッドの移動速度を大きくすることが困難となる。このため、部品装着ヘッドを軽量化でき、かつ、移動速度を向上させることが可能な部品実装装置が望まれている。
【０００８】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、部品装着ヘッドを軽量化でき、かつ、移動速度を向上させることができる部品実装装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面による部品実装装置は、ノズルにより部品を吸着して基板に実装可能な部品装着ヘッドを備え、部品装着ヘッドは、固定的に円周状に並んで配置される複数のノズルと、複数のノズルのうちの所望のノズルを選択的に上下移動させるノズル押圧部材とを含む。
【００１０】
この発明の一の局面による部品実装装置では、上記のように、複数のノズルは固定的に円周状に配置されるため、複数のノズルは、周方向への回転が行なわれない。また、複数のノズルでは、選択された所望のノズルがノズル押圧部材により上下移動する。これにより、部品装着ヘッドには、複数のノズルが並ぶ周方向に沿って複数のノズルを一体的に回転させるための構成が必要とならない。その結果、周方向に複数のノズルを一体的に回転させる部品装着ヘッドよりも部品装着ヘッドを軽量化することが可能となっている。さらに、部品装着ヘッドを軽量化することができるので、部品装着ヘッドの移動速度を大きくすることができる。また、複数のノズルが固定的であることにより、複数のノズルのそれぞれに吸着した部品に遠心力がかからないので、部品装着ヘッドの移動の際、複数のノズルのそれぞれに吸着した部品がノズルから落下し難くなる。この結果、部品装着ヘッドの移動速度を大きくすることができる。
【００１１】
上記一の局面による部品実装装置において、好ましくは、部品装着ヘッドは、ノズル押圧部材を複数のノズルが並ぶ周方向に沿って所望のノズルの位置に移動させる周方向移動機構をさらに含む。このように構成すれば、ノズル押圧部材は、直線的に移動することにより所望のノズルの位置へ移動するよりも、周方向移動機構を有することにより、よりスムーズに所望のノズルへと移動することができる。その結果、ノズル押圧部材の所望のノズルへの移動の効率を向上させることができる。
【００１２】
上記周方向移動機構を有する部品実装装置において、好ましくは、周方向移動機構は、第１駆動源と、第１駆動源の駆動力により中心軸線回りに回転する第１回転軸と、第１駆動源の動力を第１回転軸に伝達する回転用伝達機構とを有し、ノズル押圧部材は、第１回転軸の回転とともに第１回転軸の中心軸線回りを回転可能なように構成されている。このように構成すれば、部品装着ヘッドは、ノズル押圧部材が直線的に移動することにより所望のノズルの位置へ移動する機構を有する場合よりも、ノズル押圧部材の移動機構の構成を簡素化することができる。その結果、ノズル押圧部材を直線的に移動することにより所望のノズルの位置へ移動する機構を有する部品装着ヘッドよりも、より部品装着ヘッドを軽量化し易くすることができる。
【００１３】
上記ノズル押圧部材を有する部品実装装置において、好ましくは、部品装着ヘッドは、ノズル押圧部材を上下方向に昇降移動させる昇降移動機構をさらに含み、昇降移動機構は、第２駆動源と、第２駆動源の駆動力によりノズル押圧部材を昇降させる昇降部材と、第２駆動源の動力を昇降部材に伝達する昇降用伝達機構とを有し、ノズル押圧部材は、昇降部材の昇降とともに第１回転軸の中心軸線に沿って昇降可能なよう構成されている。このように構成すれば、昇降部材は、第２駆動源の駆動力により昇降するため、第２駆動源の駆動を調節することにより、ノズル押圧部材の昇降位置を調節することができる。その結果、部品が実装される基板の上下方向の位置に合わせて、ノズル押圧部材の昇降位置を調節することができる。
【００１４】
上記周方向移動機構および昇降移動機構を有する部品実装装置において、好ましくは、ノズル押圧部材は、第１回転軸とともに一体的に回転可能で、かつ、第１回転軸に対して独立して昇降可能なように、第１回転軸に取り付けられている。このように構成すれば、ノズル押圧部材を、第１回転軸の中心軸線回りに回転可能で、かつ、第１回転軸の中心軸線に沿って移動可能に、第１回転軸に取り付けることができる。その結果、周方向移動機構と昇降移動機構とで第１回転軸が共通の構成として用いることができるので、周方向移動機構および昇降移動機構の構成を簡略化することができる。
【００１５】
上記第１回転軸を有する部品実装装置において、好ましくは、部品装着ヘッドは、複数のノズルの各々を中心軸線回りに自転させるノズル自転機構を含み、ノズル自転機構は、第３駆動源と、第１回転軸と同軸上に第１回転軸に対して独立して回転可能に設けられ、第３駆動源の駆動力により中心軸線回りに複数のノズルを回転させる第２回転軸と、第３駆動源の動力を第２回転軸に伝達する自転用伝達機構とを含む。このように構成すれば、第２回転軸により複数のノズルをそれぞれの中心軸回りに回転させることができる。その結果、ノズルに吸着された部品の水平面に対する位置および角度を調節することができる。
【００１６】
上記第１回転軸および第２回転軸を有する部品実装装置において、好ましくは、第２回転軸は、第１回転軸の内側に配置される二重構造となっている。このように構成すれば、第１回転軸および第２回転軸を別々に設ける場合よりも、第１回転軸および第２回転軸を配置するスペースを小さくすることができる。その結果、部品装着ヘッドを小型化することが可能となるので、部品装着ヘッドの重量を小さくすることができる。
【００１７】
上記複数のノズルを有する部品実装装置において、好ましくは、実装する部品を供給する複数の部品供給部と、複数の部品装着ヘッドとを備え、ノズル押圧部材は、複数の部品装着ヘッドのそれぞれの複数のノズルのうち、複数の部品供給部の互いのピッチの整数倍の間隔をあけて並ぶノズル群を下降させる構成となっている。このように構成すれば、複数の部品供給部にある部品のそれぞれを同時に吸着および実装することが可能となる。その結果、部品装着ヘッドの１回の部品の吸着の動作により、より多くの部品を吸着することができる。また、部品装着ヘッドは、一のノズルにより部品の実装の動作を行なっているとき、他のノズルを基板近傍まで下降させておくことができるので、部品装着ヘッドによる部品の実装時間を短縮させることができる。
【００１８】
上記複数のノズルを有している部品実装装置において、好ましくは、部品装着ヘッドは、複数のノズルを収容するハウジングを含み、複数のノズルのそれぞれは、部品を吸着および実装するための空気を通す空気通路を有し、ハウジングには、空気通路と少なくとも所望のノズルの先端部に正圧および負圧を発生させる供給源とを連通させる連通路が、ハウジングの複数のノズルが配置されている領域よりも外側に形成されている。このように構成すれば、回転軸に空気通路を形成することなく、正圧または負圧を発生させる供給源にノズルの空気通路を連通させることができる。その結果、回転軸の構成が、回転軸の内部に空気通路を形成した場合よりも、簡略化することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、上記のように、部品装着ヘッドを軽量化でき、かつ、移動速度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１、第２および第３実施形態による部品実装装置の概略を示した平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態による部品装着ヘッドの左側面図である。
【図３】本発明の第１実施形態による第１ハウジングを外した状態の部品装着ヘッドの斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態による第１ハウジングを外した状態の部品装着ヘッドの左側面図である。
【図５】本発明の第１実施形態による部品装着ヘッドにおける図４の１００−１００線に沿った断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態による部品装着ヘッドの図５の２００部分の拡大図である。
【図７】本発明の第１実施形態による部品装着ヘッドの図５の３００部分の拡大図である。
【図８】図８（ａ）は図２の４００−４００線に沿った断面図であり、図８（ｂ）は図２の５００−５００線に沿った断面図であり、図８（ｃ）は図２の６００−６００線に沿った断面図である。
【図９】本発明の第２実施形態による複数の部品装着ヘッドの斜視図である。
【図１０】本発明の第２実施形態による複数の部品装着ヘッドの底面図である。
【図１１】本発明の第３実施形態による部品装着ヘッドの左側面図である。
【図１２】図１２（ａ）は図１１の７００−７００線に沿った断面図であり、図１２（ｂ）は図１１の８００−８００線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
［第１実施形態］
図１〜図８を参照して、本発明の第１実施形態による部品実装装置１の構成について説明する。特に、第１実施形態の部品実装装置１は、周状に並ぶ複数のノズル３２が周方向に回転しないように固定されている部品装着ヘッド２の例について説明する。
【００２３】
（部品実装装置）
部品実装装置１は、図１に示すように、水平方向に移動自在な部品装着ヘッド２により基板１６に部品を装着させるように構成されている。具体的には、部品実装装置１は、基台１０と、基板搬送部１１と、部品供給部１２と、部品装着ヘッド２とを備えている。基板搬送部１１および部品供給部１２は、基台１０上に設置されている。
【００２４】
基板搬送部１１は、Ｘ方向に基板１６を搬送するように構成されている。具体的には、基板搬送部１１は、基板１６の搬送方向（Ｘ方向）に延びる一対のコンベア１３を有している。一対のコンベア１３は、Ｘ１方向側から搬入された基板１６を所定の作業位置に搬送する。一対のコンベア１３は、作業後に、作業済みの基板１６をＸ２方向側に搬出する。また、作業時には、基板１６は、図示しないクランプ機構により基台１０の上方の所定位置で保持（固定）される。
【００２５】
部品供給部１２は、基板１６に実装される部品を保持するように構成されている。具体的には、部品供給部１２は、基板搬送部１１の前方側（Ｙ２方向側）および後方側（Ｙ１方向側）に配置されている。部品供給部１２には、複数のテープフィーダ１２ａがＸ方向に並べて配置されている。複数のテープフィーダ１２ａには、ＩＣ、トランジスタおよびコンデンサ等の部品が収納されたテープ（図示せず）が保持されている。そして、テープフィーダ１２ａは、部品を間欠的に基板搬送部１１近傍の所定の部品供給位置１２ｂ（１２ｃ）に供給する。
【００２６】
図１および図２に示すように、部品装着ヘッド２は、部品供給部１２から供給される部品をノズル３２に吸着させて基板１６に実装する機能を有している。具体的には、部品装着ヘッド２は、基板搬送部１１および部品供給部１２よりも上方の位置において、基板１６の搬送方向（Ｘ方向）および前後方向（Ｙ方向）に移動可能となっている。部品装着ヘッド２は、Ｘ方向に延びるヘッド支持部材１１ｄによりＸ方向に移動可能に支持されている。ヘッド支持部材１１ｄは、ボールねじ軸１１ａに螺合するナット（図示せず）を有している。部品装着ヘッド２は、Ｘ軸モータ１１ｂによりボールねじ軸１１ａが回動されることによって、ヘッド支持部材１１ｄに沿ったＸ方向に移動される。
【００２７】
ヘッド支持部材１１ｄは、Ｙ方向に延びる一対の固定レール１１ｃを介してＹ方向に移動可能に支持されている。ヘッド支持部材１１ｄは、ボールねじ軸１１ｅに螺合するナット（図示せず）を有している。ヘッド支持部材１１ｄは、Ｙ軸モータ１１ｆによりボールねじ軸１１ｅが回動されることによって固定レール１１ｃに沿ったＹ方向に移動される。
【００２８】
部品装着ヘッド２は、部品の吸着および部品の実装が可能なように構成されている。具体的には、部品装着ヘッド２は、複数のノズル３２（図２参照）を有している。複数のノズル３２は、それぞれが個別に部品の吸着および部品の実装が可能となっている。部品装着ヘッド２は、部品供給部１２の上方に配置される。そして、部品装着ヘッド２は、部品供給部１２から部品を吸着する。また、部品装着ヘッド２は、部品を吸着した状態において、基板１６の上方に配置される。そして、部品装着ヘッド２は、基板１６に部品を実装する。
【００２９】
また、部品装着ヘッド２は、図１に示すように、基板１６を撮像して認識するための基板撮像部１４を含む。基板撮像部１４は、基板１６の位置および姿勢を認識する機能を有する。具体的には、基板撮像部１４は、クランプ機構（図示せず）により固定された基板１６のフィデューシャルマーク（図示せず）を上方から撮像する。これにより、部品装着ヘッド２と基板１６との相対的な位置関係を補正することができる。そのため、部品実装装置１では、基板１６の任意の実装位置の上方に部品装着ヘッド２のノズル３２を位置付け、部品実装を行うことが可能となっている。
【００３０】
また、部品実装装置１は、基台１０上の前方側（Ｙ２方向側）および後方側（Ｙ１方向側）にそれぞれ設けられた部品撮像部１５を含んでいる。部品撮像部１５は、部品装着ヘッド２のノズル３２に吸着された状態の部品を下方から撮像して認識する機能を有する。具体的には、部品撮像部１５は、部品装着ヘッド２により吸着された部品を下方から撮像する。このようにして、部品撮像部１５は、部品装着ヘッド２（ノズル３２）により部品供給部１２から取り出された部品の保持状態を認識する。これにより、部品実装装置１では、保持状態における、部品の吸着位置ずれおよび向きが認識される。また、部品実装装置１では、認識結果に基づいて基板１６の実装位置に適切な位置および向きにおいて部品実装を行うことが可能となっている。
【００３１】
（部品装着ヘッド）
部品装着ヘッド２は、図２、図３および図４に示すように、ノズル３２により部品を吸着して基板１６に実装可能に構成されている。具体的には、部品装着ヘッド２は、先端にノズル３２が設けられた複数のノズル部材３と、第１ハウジング２１と、第２ハウジング２２とを含んでいる。また、部品装着ヘッド２は、図５に示すように、ノズル押圧部材４と、周方向移動機構５と、昇降移動機構６と、ノズル自転機構７とを含んでいる。ここで、第２ハウジング２２は、特許請求の範囲の「ハウジング」の一例である。
【００３２】
ノズル部材３は、周方向に複数並んで配置されている。また、ノズル部材３は、第２ハウジング２２に回転自在、かつ、上下移動可能に取り付けられている。ノズル押圧部材４は、周方向に沿って回転可能となり、上下方向に移動可能となっている。ここで、ノズル部材３は、ノズル押圧部材４の上下移動に伴い上下移動する。
【００３３】
周方向移動機構５は、ノズル押圧部材４を複数のノズル部材３が並ぶ周方向に沿って所望のノズル３２の位置に移動させる構成となっている。具体的には、回転用モーター５１、回転用駆動ギア５２、第１回転軸５３および回転用従動ギア５４を有している。回転用モーター５１には、サーボモーターが用いられている。回転用モーター５１は、上下方向（Ｚ軸方向）を中心軸線とする。回転用モーター５１は、出力軸を中心軸線回りに回転させる。回転用モーター５１の出力軸には、回転用駆動ギア５２が取り付けられている。図６に示すように、回転用駆動ギア５２は、上下方向（Ｚ方向）の中心軸線回りに回転する。回転用駆動ギア５２は、中心軸線回りに回転する。回転用従動ギア５４は、第１回転軸５３に固定されている。回転用従動ギア５４は、第１回転軸５３の上端部に固定されている。回転用従動ギア５４は、上下方向の中心軸線回りを回転する。回転用従動ギア５４は、回転用駆動ギア５２と機械的に噛み合って接続されている。回転用駆動ギア５２および回転用従動ギア５４は、回転用モーター５１の動力を第１回転軸５３に伝達する。ここで、回転用モーター５１は、特許請求の範囲の「第１駆動源」の一例である。また、回転用駆動ギア５２、第１回転軸５３および回転用従動ギア５４は、特許請求の範囲の「回転用伝達機構」の一例である。
【００３４】
図５に示すように、第１回転軸５３は、回転用モーター５１の駆動力により中心軸線回りに回転するように構成されている。具体的には、第１回転軸５３は、上下方向の回転軸線上の回りを回転する。第１回転軸５３には、上下方向に貫通する貫通孔５３ａ（図６参照）が形成されている。図４に示すように、第１回転軸５３は、周面に形成される溝部５３ｂを有する。溝部５３ｂは、第１回転軸５３の周面に形成されている。溝部５３ｂは、上下方向に長く形成されている。また、溝部５３ｂは、第１回転軸５３の回転方向に複数形成されている。溝部５３ｂは、第１回転軸５３の径方向の内方向に凹んでいる。このように、第１回転軸５３はスプライン軸となっている。また、図５に示すように、第１回転軸５３には、突出部５３ｃが形成されている。突出部５３ｃは、第１回転軸５３の下端部に形成されている。突出部５３ｃは、第１回転軸５３の径外方向に突出している。
【００３５】
昇降移動機構６は、図５に示すように、ノズル押圧部材４を上下方向に昇降移動させるように構成されている。具体的には、昇降移動機構６は、昇降用モーター６１（第２駆動源の一例）と、ボールねじ６２（昇降用伝達機構の一例）と、移動体６３（昇降用伝達機構の一例）と、連結体６４（昇降部材の一例）とを有している。昇降用モーター６１は、サーボモーターとなっている。昇降用モーター６１は、上下方向を中心軸線とする。昇降用モーター６１は、中心軸線回りに回転する。ここで、昇降用モーター６１は、特許請求の範囲の「第２駆動源」の一例である。また、ボールねじ６２および移動体６３は、特許請求の範囲の「昇降用伝達機構」の一例である。連結体６４は、特許請求の範囲の「昇降部材」の一例である。
【００３６】
ボールねじ６２および移動体６３は、図５に示すように、昇降用モーター６１の駆動力を連結体６４に伝達するように構成されている。具体的には、ボールねじ６２は、昇降用モーター６１に接続されている。ボールねじ６２は、上下方向を回転軸線として回転する。ボールねじ６２には、移動体６３が取り付けられている。移動体６３は、ボールナットとなっている。移動体６３は、ボール軸に回転軸線に沿って上下方向に移動可能に取り付けられている。すなわち、移動体６３は、ボールねじ６２の回転軸線回りの回転により、ボールねじ６２の回転軸線方向を移動する。
【００３７】
連結体６４は、昇降用モーター６１（第２駆動源）の駆動力によりノズル押圧部材４を昇降させるように構成されている。具体的には、連結体６４は、一方が移動体６３の中間部に固定されている。連結体６４は、他方がノズル押圧部材４の上端部に上下移動可能に取り付けられている。連結体６４は、移動体６３とノズル押圧部材４とを連結している。さらに、連結体６４は、ノズル押圧部材４と一体的に回転しないように取り付けられている。連結体６４の他方の端部は、回転用従動ギア５４とノズル押圧部材４との間に配置されている。また、連結体６４の他方の端部は、第２回転軸７１に回転可能に取り付けられている。連結体６４の他方の端部は、第２回転軸７１に上下方向に移動可能に取り付けられている。
【００３８】
ノズル押圧部材４は、複数のノズル部材３のうちの所望のノズル部材３を選択的に上下移動させる構成となっている。具体的には、図６に示すように、ノズル押圧部材４は、ベース４１と、押圧体４２とを有している。ベース４１は、第１回転軸５３の溝部５３ｂに嵌まり合うことにより、第１回転軸５３に機械的に接続されている。ベース４１は、第１回転軸５３に上下移動自在に取り付けられている。すなわち、ベース４１は、第１回転軸５３の回転軸線に沿って上下方向に移動可能となっている。また、ベース４１は、第１回転軸５３と一体的に回転可能となっている。このように、ノズル押圧部材４は、ベース４１を介して第１回転軸５３に、上下方向に移動可能に取り付けられている。また、ノズル押圧部材４は、ベース４１を介して第１回転軸５３に、回転軸線回りを回転可能に取り付けられている。このように、ノズル押圧部材４は、第１回転軸５３の回転とともに第１回転軸５３の中心軸回りを回転可能なように構成されている。さらに、ノズル押圧部材４は、連結体６４の昇降とともに第１回転軸５３の中心軸線に沿って昇降可能なように構成されている。すなわち、ノズル押圧部材４は、第１回転軸５３に独立して昇降可能となっている。このようにして、ノズル押圧部材４は第１回転軸５３に取り付けられている。
【００３９】
ベース４１は、図６に示すように、円筒状となっている。ベース４１は、回転用従動ギア５４よりも下方に配置されている。ベース４１には、第２回転軸７１が挿入される挿入孔４１ａが形成されている。挿入孔４１ａは、ベース４１を上下方向に貫通している。ベース４１には、押圧体４２が取り付けられる取付部４１ｂが設けられている。取付部４１ｂは、ベース４１の下端部に配置されている。押圧体４２は、取付部４１ｂの外側部分に取り付けられている。ベース４１には、カバー体４３が取り付けられている。カバー体４３は、ベース４１の外側に配置されている。すなわち、カバー体４３は、外方側からベース４１を覆っている。カバー体４３は、円筒状に形成されている。
【００４０】
第１回転軸５３には、図５に示すように、第１弾性材５３ｄが取り付けられている。第１弾性材５３ｄは、下端部が突出部５３ｃに固定されている。第１弾性材５３ｄは、上端部がノズル押圧部材４のベース４１に固定されている。第１弾性材５３ｄは、突出部５３ｃを基点として上下方向に伸縮する。第１弾性材５３ｄは、ノズル押圧部材４のベース４１を上方向へ付勢している。第１弾性材５３ｄは、バネ材となっている。
【００４１】
ノズル自転機構７は、複数のノズル部材３の各々を中心軸線回りに自転させるように構成されている。具体的には、ノズル自転機構７は、第２回転軸７１、自転用モーター７２と、自転用駆動ギア７３とを有している。また、ノズル自転機構７は、第１自転用従動ギア７４と、第２自転用従動ギア７５とを有している。ここで、自転用モーター７２は、特許請求の範囲の「第３駆動源」の一例である。また、自転用駆動ギア７３、第１自転用従動ギア７４および第２自転用従動ギア７５は、特許請求の範囲の「自転用伝達機構」の一例である。
【００４２】
第２回転軸７１は、第１回転軸５３と同軸上に第１回転軸５３に対して独立して回転可能に設けられるように構成されている。また、第２回転軸７１は、自転用モーター７２の駆動力により中心軸線回りに回転し、複数のノズル部材３をそれぞれの回転軸線回りに回転させるように構成されている。具体的には、第２回転軸７１は、第１回転軸５３の内側に配置されている。すなわち、第２回転軸７１は、第１回転軸５３の貫通孔５３ａ（図６参照）に回転自在に挿入されている。また、第２回転軸７１は、第１ハウジング２１および第２ハウジング２２に回転自在に取り付けられている。第２回転軸７１は、上下方向に平行な回転軸線上の回りを回転する。第２回転軸７１は、第１回転軸５３の回転軸線と同軸となっている。
【００４３】
図６に示すように、第２回転軸７１には、第１空気通路７１ａが形成されている。第１空気通路７１ａは、第２回転軸７１の内部に形成されている。第１空気通路７１ａは、第２回転軸７１を上下方向に貫通している。また、第１回転軸５３の貫通孔５３ａにおいて、第２回転軸７１の外面と第１回転軸５３の内面との間には、第２空気通路５３ｅが形成されている。
【００４４】
図５に示す自転用モーター７２には、サーボモーターが用いられている。自転用モーター７２は、上下方向を中心軸線とする。自転用モーター７２の出力軸は、中心軸線回りに回転する。自転用モーター７２の出力軸には、自転用駆動ギア７３が取り付けられている。自転用駆動ギア７３は、上下方向を中心軸線としている。自転用駆動ギア７３は、中心軸線回りに回転する。第１自転用従動ギア７４および第２自転用従動ギア７５は、第２回転軸７１に固定されている。第１自転用従動ギア７４は、第２回転軸７１の上部に配置されている。第１自転用従動ギア７４は、第２回転軸７１の回転軸線と同軸となっている。第２自転用従動ギア７５は、第２回転軸７１の下部に配置されている。第２自転用従動ギア７５は、第２回転軸７１の回転軸線と同軸となっている。第１自転用従動ギア７４は、第２自転用従動ギア７５よりも上方に配置されている。第１自転用従動ギア７４は、自転用駆動ギア７３に機械的に噛み合って接続されている。このように、自転用駆動ギア７３および第１自転用従動ギア７４は、自転用モーター７２の駆動力を第２回転軸７１に伝達している。
【００４５】
ノズル部材３は、部品の吸着および実装を行なう機能を有している。具体的には、ノズル部材３は、第２ハウジング２２に上下移動可能に取り付けられている。ノズル部材３は、第１回転軸５３（第２回転軸７１）の周囲に複数（１２本）配置されている。ノズル部材３は、第１回転軸５３（第２回転軸７１）の周囲に円周状に等角度間隔（約３０°間隔）において配置されている。ノズル部材３は、ノズルシャフト３１と、ノズルシャフト３１に取り付けられるノズル３２とを有している。ノズル部材３において、ノズルシャフト３１は円柱状の部分であり、ノズル３２は円筒状の部分となっている。複数のノズルシャフト３１および複数のノズル３２は、第１回転軸５３（第２回転軸７１）の周囲に配置されている。
【００４６】
図５に示すように、ノズルシャフト３１は、シャフト本体３１ａと、上側規制部３１ｂと、下側規制部３１ｃと、第２弾性材３３とを有している。シャフト本体３１ａは、上下方向に延びる円柱状に形成されている。シャフト本体３１ａの中心軸は、上下方向と平行となっている。上側規制部３１ｂは、シャフト本体３１ａの上端部に位置している。下側規制部３１ｃは、上側規制部３１ｂよりも下方に配置されている。下側規制部３１ｃは、シャフト本体３１ａの下部に位置している。また、下側規制部３１ｃは、シャフト本体３１ａに沿って上下移動可能となっている。第２弾性材３３は、上側規制部３１ｂと下側規制部３１ｃとの間に配置されている。第２弾性材３３は、上端部が上側規制部３１ｂに固定されている。第２弾性材３３は、下端部が下側規制部３１ｃに固定されている。第２弾性材３３は、上側規制部３１ｂを基点として上下方向に伸縮する。第２弾性材３３は、バネ材となっている。下側規制部３１ｃには、図７に示すように、第３自転用従動ギア３１ｄが回転可能に取り付けられている。第３自転用従動ギア３１ｄは、第２自転用従動ギア７５に機械的に噛み合って接続されている。
【００４７】
ノズル３２は、図５に示すように、ノズルシャフト３１の下端部に取り付けられている。ノズル３２は、上下方向に延びる円筒状に形成されている。ノズル３２は、先細り形状となっている。ノズル３２は、部品を吸着および実装するための空気を通す第３空気通路３２ａを有している。第３空気通路３２ａは、ノズル３２の内部に形成されている。第３空気通路３２ａは、上下方向にノズル３２内を貫通している。ノズル３２は、第１回転軸５３の周りに複数配置されている。複数のノズル３２は、第１回転軸５３の回りに周状に配置されている。ここで、複数のノズル３２は、第１回転軸５３線上の回りを回転しないように固定的に円周状に並んで配置されている。複数のノズル３２は、第１回転軸５３（第２回転軸７１）の周囲に円周状に等角度間隔（約３０°間隔）において１２本配置されている。ここで、第３空気通路３２ａは、特許請求の範囲の「空気通路」の一例である。
【００４８】
第２ハウジング２２は、円筒状となっている。第２ハウジング２２は、１つの第１取付孔２２ａと、複数の第２取付孔２２ｂとを有している。第１取付孔２２ａには、第１回転軸５３が回転自在に取り付けられている。第１取付孔２２ａは、第１回転軸５３が挿入可能な位置に配置されている。第１取付孔２２ａは、第２ハウジング２２を上下方向に貫通している。第２取付孔２２ｂは、第２ハウジング２２に複数形成されている。ぞれぞれの第２取付孔２２ｂは、それぞれのノズル部材３が挿入可能な位置に配置されている。複数の第２取付孔２２ｂのそれぞれには、ノズル部材３が回転自在に取り付けられている。第２取付孔２２ｂは、第２ハウジング２２を上下方向に貫通している。
【００４９】
第２ハウジング２２は、図８に示すように、第１連通路２２ｃおよび第２連通路２２ｄを有している。また、第２ハウジング２２には、第３空気通路３２ａに連通させる空気通路を切り替えるための電磁弁２２３が設けられている。第１連通路２２ｃは、第１空気通路７１ａと第３空気通路３２ａとを電磁弁２２３を介して接続している。複数のノズル３２の第３空気通路３２ａは、それぞれ第１連通路２２ｃおよび電磁弁２２３を介して第１空気通路７１ａに接続されている。第２連通路２２ｄは、第２空気通路５３ｅと第３空気通路３２ａとを電磁弁２２３を介して接続している。複数のノズル３２の第３空気通路３２ａは、それぞれ第２連通路２２ｄおよび電磁弁２２３を介して第２空気通路５３ｅに接続されている。
【００５０】
＜ノズル部材＞
以下、自転用モーター７２、回転用モーター５１および昇降用モーター６１による、ノズル部材３の回転および移動について記載する。
【００５１】
図５に示すように、自転用モーター７２が駆動することにより、自転用駆動ギア７３に機械的に接続された第２回転軸７１の第１自転用従動ギア７４が回転する。第１自転用従動ギア７４が回転することにより、第２回転軸７１が上下方向を回転軸線として回転する。第２回転軸７１が回転することにより、第２自転用従動ギア７５が回転する。そして、第２自転用従動ギア７５が回転することにより、ノズル部材３のそれぞれに固定された第３自転用従動ギア３１ｄが回転する。このようにして、複数のノズル部材３のそれぞれが、ノズルシャフト３１の回転軸線を回転中心として回転（自転）する。
【００５２】
回転用モーター５１が駆動することにより、第１回転軸５３が上下方向を回転軸線として回転する。第１回転軸５３が回転することにより、ノズル押圧部材４が回転する。ここで、ノズル押圧部材４が回転することにより、ベース４１と押圧体４２とが一体的に第１回転軸５３の回転軸線上回りを回転する。これにより、所望のノズル部材３の上方位置へ、ノズル押圧部材４が移動可能となっている。
【００５３】
昇降用モーター６１が駆動することにより、ボールねじ６２が回転する。ボールねじ６２が回転（正回転）することにより、移動体６３が下方に移動する。移動体６３が下方に移動することにより、移動体６３と連結体６４とが一体的に下方に移動する。そして、連結体６４が下方に移動することにより、連結体６４とノズル押圧部材４とが一体的に下方に移動する。これにより、ノズル押圧部材４の押圧体４２が下方へ移動することができる。このとき、第１弾性材５３ｄは、移動体６３が下方へ移動し連結体６４が下方へ移動することにより、ノズル押圧部材４のベース４１が下方に移動すると、第１弾性材５３ｄに下方への力が加えられて縮む。このとき、ノズル３２は、部品を吸着または実装する位置へと移動する。
【００５４】
昇降用モーター６１が駆動することにより、ボールねじ６２が回転する。ボールねじ６２が回転（逆回転）することにより、移動体６３が上方に移動する。移動体６３が上方に移動することにより、移動体６３と連結体６４とが一体的に上方に移動する。そして、連結体６４が上方に移動することにより、連結体６４とノズル押圧部材４とが一体的に上方に移動する。これにより、ノズル押圧部材４の押圧体４２が上方へ移動することができる。このとき、第１弾性材５３ｄは、移動体６３が上方へ移動し連結体６４が上方へ移動することにより、ノズル押圧部材４のベース４１が上方に移動する。これにより、第１弾性材５３ｄの付勢力により、第１弾性材５３ｄは、上方向へ伸びる。このとき、ノズル３２は、待機位置へと移動する。
【００５５】
このように、自転用モーター７２、回転用モーター５１および昇降用モーター６１の駆動をさせることにより、所望のノズル部材３の自転および上下移動が行なわれている。
【００５６】
ノズル部材３のノズル３２では、第１空気通路７１ａに負圧がかかっている。このとき、電磁弁２２３を作動させ、第１空気通路７１ａと第３空気通路３２ａとを連通させると、第１連通路２２ｃを介して第３空気通路３２ａに負圧がかかる。これにより、ノズル３２の先端に負圧がかかり、ノズル３２に部品を吸着することができる。また、ノズル部材３のノズル３２では、第２空気通路５３ｅに正圧がかかっている。このとき、電磁弁２２３を作動させ、第２空気通路５３ｅと第３空気通路３２ａとを連通させると、第２連通路２２ｄを介して第３空気通路３２ａに正圧がかかる。これにより、ノズル３２の先端に正圧がかかり、ノズル３２に吸着された部品を基板１６に実装することができる。
【００５７】
［第１実施形態の効果］
第１実施形態では、部品装着ヘッド２は、円周状に固定的に配置される複数のノズル３２と、所望のノズル３２を選択的に上下移動させるノズル押圧部材４とを含んでいる。すなわち、複数のノズル３２は、円周上に固定的に配置されているので、複数のノズル３２が並ぶ周方向への回転が行なわれない。また、複数のノズル３２では、選択された所望のノズル３２がノズル押圧部材４により上下移動する。これにより、部品装着ヘッド２には、複数のノズル３２を第１回転軸５３の回転軸線回りに回転させる構成が必要とならない。この結果、複数のノズル３２を回転させる部品装着ヘッド２よりも、部品装着ヘッド２の構成を簡略化することができ、かつ、部品装着ヘッド２を軽量化できる。さらに、部品装着ヘッド２を軽量化することができるので、部品装着ヘッド２の移動速度を大きくすることができる。また、複数のノズル３２が固定的であることにより、複数のノズル３２のそれぞれに吸着した部品に遠心力がかからないので、部品装着ヘッド２の移動の際、複数のノズル３２のそれぞれに吸着した部品がノズル３２から落下し難くなる。この結果、部品装着ヘッド２の移動速度を大きくすることができる。
【００５８】
また、第１実施形態では、部品装着ヘッド２は、ノズル押圧部材４を移動させる周方向移動機構５をさらに含む。これにより、ノズル押圧部材４は、直線的に移動することにより所望のノズル３２の位置へ移動するよりも、よりスムーズに所望のノズル３２へと移動することができる。この結果、ノズル押圧部材４の所望のノズル３２への移動の効率を向上させることができる。
【００５９】
また、第１実施形態では、ノズル押圧部材４は、第１回転軸５３の回転とともに第１回転軸５３の中心軸線回りを回転可能なように構成されている。これにより、部品装着ヘッド２は、ノズル押圧部材４が直線的に移動する機構を有する場合よりも、ノズル押圧部材４の移動機構の構成がより簡素化することができる。この結果、ノズル押圧部材４を直線的に移動する機構を有する部品装着ヘッド２よりも、より部品装着ヘッド２を軽量化し易くすることができる。
【００６０】
また、第１実施形態では、ノズル押圧部材４は、昇降移動機構６により、ノズル押圧部材４の昇降とともに第１回転軸５３の中心軸線に沿って昇降可能なよう構成されている。これにより、ノズル押圧部材４が昇降用モーター６１の駆動力により昇降するため、昇降用モーター６１の駆動を調節することにより、ノズル押圧部材４の昇降位置を調節することができる。この結果、部品が実装される基板１６の上下方向の位置に合わせて、ノズル押圧部材４の昇降位置を調節することができる。
【００６１】
また、本実施形態では、ノズル押圧部材４は、第１回転軸５３とともに一体的に回転可能となっている。さらに、ノズル押圧部材４は、第１回転軸５３に対して独立して昇降可能なようになっている。これにより、ノズル押圧部材４は、第１回転軸５３の中心軸線回りに回転可能、かつ、第１回転軸５３の中心軸線に沿って移動可能となっている。その結果、周方向移動機構５と昇降移動機構６とにおいて、第１回転軸５３が共通の構成として用いられていることにより、周方向移動機構５および昇降移動機構６の構成を簡略化することができる。
【００６２】
また、第１実施形態では、部品装着ヘッド２は、複数のノズル３２の各々を中心軸線回りに自転させるノズル自転機構７を含んでいる。これにより、第２回転軸７１により複数のノズル３２をそれぞれの中心軸回りに回転させることができる。その結果、ノズル３２に吸着された部品の水平面に対する位置および角度を調節することができる。
【００６３】
また、第１実施形態では、第２回転軸７１は、第１回転軸５３の内側に配置される二重構造となっている。これにより、第１回転軸５３および第２回転軸７１を別体とするよりも、第１回転軸５３および第２回転軸７１を配置するスペースを小さくすることができる。その結果、部品装着ヘッド２を小型化することが可能となるので、部品装着ヘッド２の重量を小さくすることができる。
【００６４】
[第２実施形態]
次に、図９および図１０を参照して、本発明の第２実施形態の部品実装装置１について説明する。特に、第２実施形態の部品実装装置１では、部品装着ヘッド２が複数設けられていることを特徴とする。
【００６５】
部品実装装置１は、図９に示すように、第１実施形態の部品装着ヘッド２と同様の構成を２つ有している。部品実装装置１は、第１装着ヘッド２０１と、第２装着ヘッド２０２とを有している。第１装着ヘッド２０１は、複数の部品装着ヘッド２のうちの一方側（Ｘ２方向側）の部品装着ヘッド２となっている。また、第２装着ヘッド２０２は、複数の部品装着ヘッド２のうちの他方側（Ｘ１方向側）の部品装着ヘッド２となっている。部品実装装置１は、第１装着ヘッド２０１および第２装着ヘッド２０２を用いて部品の吸着および実装を行なうことができる。
【００６６】
第１装着ヘッド２０１は、図１０に示すように、中心軸周りに複数のノズル３２（以下、第１ノズル部２３０）を有している。第１装着ヘッド２０１は、１２個のノズル３２を有している。第１ノズル部２３０は、第１装着ヘッド２０１の中心角に対して等角度に配置されている。第１ノズル部２３０は、第１装着ヘッド２０１における部品供給部１２が並ぶ方向に直交する方向（Ｙ方向）に延びる中心線（以下、第１中心線Ｃ１）に対して線対称に配置（以下、第１線対称配置）されている。第１線対称配置において、第１ノズル部２３０は、それぞれが部品供給部１２が並ぶ方向（Ｘ方向）に対向している。ここで、第１装着ヘッド２０１では、第１中心線Ｃ１上に配置されている２つのノズル３２のうち、部品供給部１２側のノズル３２を第１ノズル２３１とする。また、第１装着ヘッド２０１では、第１中心線Ｃ１上に配置されている２つのノズル３２のうち、部品供給部１２とは反対側のノズル３２を第２ノズル２３２とする。
【００６７】
第２装着ヘッド２０２は、中心軸周りに複数のノズル３２（以下、第２ノズル部２４０）を有している。第２装着ヘッド２０２は、１２個のノズル３２を有している。第２ノズル部２４０は、第２装着ヘッド２０２の中心角に対して等角度に配置されている。第２ノズル部２４０は、第２装着ヘッド２０２における部品供給部１２が並ぶ方向に直交する方向（Ｙ方向）に延びる中心線（以下、第２中心線ｃ２）に対して線対称に配置（以下、第２線対称配置）されている。第２線対称配置において、第２ノズル部２４０は、それぞれが部品供給部１２が並ぶ方向（Ｘ方向）に対向している。ここで、第２装着ヘッド２０２では、第２中心線ｃ２上に配置されている２つのノズル３２のうち、部品供給部１２側のノズル３２を第３ノズル２４１とする。また、第２装着ヘッド２０２では、第２中心線ｃ２上に配置されている２つのノズル３２のうち、部品供給部１２とは反対側のノズル３２を第４ノズル２４２とする。
【００６８】
部品実装装置１では、第１装着ヘッド２０１の中心と第２装着ヘッド２０２の中心との間隔が、複数の部品供給部１２の互いのピッチの３倍となっている。すなわち、第１装着ヘッド２０１の中心と第２装着ヘッド２０２の中心との間隔が、複数の部品供給部１２が保持しているそれぞれの部品同士の間隔（以下、部品間隔）の３倍となっている。そのため、第１ノズル２３１と第３ノズル２４１との間隔は、部品間隔の３倍となっている。すなわち、第１ノズル２３１と第３ノズル２４１との間隔は、部品間隔の整数倍となっている。また、第２ノズル２３２と第４ノズル２４２との間隔は、部品間隔の整数倍となっている。たとえば、図１０において、第１ノズル２３１と第３ノズル２４１との間隔は、部品間隔の３倍となっている。ここで、第１ノズル２３１および第３ノズル２４１は、第１ノズル群２５１となっている。第２ノズル２３２および第４ノズル２４２は、第２ノズル群２５２となっている。ここで、第１ノズル群２５１および第２ノズル群２５２は、特許請求の範囲の「ノズル群」の一例である。
【００６９】
図９に示すように、部品実装装置１では、第１装着ヘッド２０１はノズル押圧部材４（以下、第１押圧部材２０５）を有し、第２装着ヘッド２０２はノズル押圧部材４（以下、第２押圧部材２０６）を有している。部品実装装置１は、第１押圧部材２０５と第２押圧部材２０６とを有している。本実施形態の部品実装装置１では、第１押圧部材２０５が第１ノズル２３１を昇降させ、第２押圧部材２０６が第３ノズル２４１を昇降させている。また、部品実装装置１では、第１押圧部材２０５および第２押圧部材２０６の昇降動作を連動させるように制御する制御部（図示せず）を有している。これにより、部品実装装置１において、第１装着ヘッド２０１の第１ノズル２３１を用いて部品を吸着すると同時に、第２装着ヘッド２０２の第３ノズル２４１を用いて部品を吸着することができる。
【００７０】
このように、第２実施形態では、部品実装装置１は、複数の部品装着ヘッド２を備えている。ノズル押圧部材４は、複数の部品装着ヘッド２のそれぞれの複数のノズル３２のうち、複数の部品供給部１２の互いのピッチの整数倍の間隔をあけて並ぶ第１ノズル群２５１または第２ノズル群２５２を下降させる。なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００７１】
（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００７２】
第２実施形態では、部品実装装置１は、部品装着ヘッド２が実装する部品を供給する複数の部品供給部１２を備えている。また、ノズル押圧部材２０４は、複数のノズル３２のうち、第１ノズル２３１（第２ノズル２３２）および第３ノズル２４１（第４ノズル２４２）を昇降させる構成となっている。これにより、ノズル押圧部材２０４により第１ノズル２３１および第３ノズル２４１を昇降させて、複数の部品供給部１２にある部品を同時に吸着および実装することが可能となる。この結果、部品装着ヘッド２の１回の部品の吸着の動作において、第１ノズル２３１および第３ノズル２４１により部品を吸着することができる。また、部品装着ヘッド２は、第１ノズル２３１により部品の実装を行なっているとき、第３ノズル２４１を基板近傍まで下降させて置くことができ、部品装着ヘッド２による部品の実装時間を短縮させることができる。
【００７３】
[第３実施形態]
次に、図１１および図１２を参照して、本発明の第３実施形態の部品実装装置１について説明する。特に、第３実施形態の部品実装装置１では、第１回転軸５３および第２回転軸７１に空気通路が形成されていない。
【００７４】
部品装着ヘッド２の第２ハウジング２２には、図１１に示すように、アダプター３０１が取り付けられている。アダプター３０１は、第２ハウジング２２の側面部に取り付けられている。アダプター３０１は、第１アダプター３０２と、第２アダプター３０３とを有している。第１アダプター３０２は、第２アダプター３０３よりも上方に配置されている。ここで、第１アダプター３０２は、ノズル３２に負圧を発生させるための第１供給源（図示せず）に接続されている。また、第２アダプター３０３は、ノズル３２に正圧を発生させるための第２供給源（図示せず）に接続されている。
【００７５】
部品装着ヘッド２の第２ハウジング２２には、ノズル３２の第３空気通路３２ａとアダプター３０１の内部通路とを連通させる連通路が形成されている。連通路は、第２ハウジング２２内の水平断面の領域において、第３空気通路３２ａが形成されている領域（以下、環状領域３３０）よりも外側の領域に形成されている。
【００７６】
連通路は、第３連通路３１２と、第４連通路３１３とを有している。第３連通路３１２は、第１アダプター３０２の内部通路と第３空気通路３２ａとを連通している。第３連通路３１２は、環状領域３３０よりも外側に形成されている。第３連通路３１２は、第４空気通路３２１と、第５空気通路３２２とを有している。第４空気通路３２１は、第３空気通路３２ａから外側に延びている。第４空気通路３２１は、複数の第３空気通路３２ａのそれぞれから外側に延びている。第５空気通路３２２は、複数の第４空気通路３２１と第１アダプター３０２の内部通路とを連通させている。第５空気通路３２２は、環状に形成されている。第５空気通路３２２は、回転軸と同心上に形成されている。第４連通路３１３は、第２アダプター３０３の内部通路と第３空気通路３２ａとを連通している。第４連通路３１３は、環状領域３３０よりも外側に形成されている。第４連通路３１３は、第６空気通路３２３と、第７空気通路３２４とを有している。第６空気通路３２３は、第３空気通路３２ａから外側に延びている。第６空気通路３２３は、複数の第３空気通路３２ａのそれぞれから外側に延びている。第７空気通路３２４は、複数の第６空気通路３２３と第２アダプター３０３の内部通路とを連通させている。第７空気通路３２４は、環状に形成されている。第７空気通路３２４は、回転軸と同心となっている。ここで、第３連通路３１２および第４連通路は、特許請求の範囲の「連通路」の一例となっている。
【００７７】
本実施形態の部品装着ヘッド２では、第１供給源である真空ポンプにより、負圧が第３連通路３１２にかかっている。そのため、電磁弁２２３を切り替えることにより、ノズル３２の先端付近の空気が、第３空気通路３２ａ、第４空気通路３２１および第５空気通路３２２の順に通過する。これにより、ノズル３２の先端に負圧が発生する。また、第２供給源からの圧縮空気の供給により、正圧が第４連通路３１３にかかっている。そのため、電磁弁２２３を切り替えることにより、圧縮空気が第７空気通路３２４、第６空気通路３２３および第３空気通路３２ａの順に通過する。これにより、ノズル３２の先端に正圧が発生する。
【００７８】
このように、第３実施形態では、部品装着ヘッド２は、複数のノズル３２を収容する第２ハウジング２２を含んでいる。第２ハウジング２２には、第３空気通路３２ａと少なくとも所望のノズル３２の先端部に正圧および負圧を発生させる供給源とを連通させる第１連通路２２ｃおよび第２連通路２２ｄが形成されている。また、第１連通路２２ｃおよび第２連通路２２ｄは、第２ハウジング２２の複数のノズル３２が配置されている領域よりも外側に形成されている。なお、第３実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００７９】
（第３実施形態の効果）
第３実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００８０】
第３実施形態では、第２ハウジング２２には、ノズル３２の第３空気通路３２ａと第１供給源とを連通するための第１連通路２２ｃが形成されている。また、第２ハウジング２２には、ノズル３２の第３空気通路３２ａと第２供給源とを連通するための第２連通路２２ｄが形成されている。これにより、第１回転軸５３および第２回転軸７１に空気通路を形成することなく、第１供給源または第２供給源に第３空気通路３２ａを連通させることができる。この結果、第１回転軸５３および第２回転軸７１の構成を、第１回転軸５３および第２回転軸７１の内部に空気通路を形成した場合よりも、簡略化することができる。なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００８１】
（変形例）
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【００８２】
たとえば、上記第１〜３第３実施形態では、第１回転軸５３および第２回転軸７１が平面視において円状である例を示したが、本発明はこれに限られない。すなわち、本発明は、回転軸が平面視において多角形状であってもよい。
【００８３】
また、上記第１〜第３実施形態では、複数のノズル３２の本数が１２本となっている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明は、複数のノズルの本数が１２本未満または１３本以上であってもよい。
【００８４】
また、上記第１〜第３実施形態では、ノズル押圧部材４が周方向移動機構５により回転している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明は、ノズル押圧部材を直線状に移動させる構成であってもよい。
【００８５】
また、上記第１〜第３実施形態では、部品供給部１２がテープフィーダ１２ａとなっている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明は、部品供給部がパレット上に部品を載せている構成であってもよい。
【００８６】
また、上記第２実施形態では、複数の部品装着ヘッド２の中心位置の互いの間隔は、複数の部品供給部１２の互いのピッチの３倍の間隔となっているが、本発明はこれに限られない。本発明は、複数のヘッドの中心位置の互いの間隔が、複数の部品供給部の互いのピッチの３倍以外であってもよい。
【００８７】
また、上記第２実施形態では、第１ノズル２３１および第３ノズル２４１の２本を用いて、同時に部品供給部１２の部品を吸着および実装を行なうことができるが、本発明はこれに限定されない。本発明は、図１０に示すように、第５ノズル２６１、第７ノズル２７１、第６ノズル２６２および第８ノズル２７２の４本を用いて、部品供給部の部品を吸着および実装を行なう構成であってもよい。
【００８８】
また、上記第２実施形態では、第１装着ヘッド２０１および第２装着ヘッド２０２のそれぞれの第１ノズル２３１および第３ノズル２４１を用いて、部品供給部１２の部品を吸着および実装を行なっているが、本発明はこれに限定されない。本発明は、第２装着ヘッドを用いず、第１装着ヘッドに２つのノズル押圧部材を設ける構成であってもよい。
【符号の説明】
【００８９】
１  部品実装装置
２  部品装着ヘッド
４  ノズル押圧部材
５  周方向移動機構
６  昇降移動機構
７  ノズル自転機構
１２  部品供給部
２２  第２ハウジング（ハウジング）
３２  ノズル
３２ａ  第３空気通路（空気通路）
５１  回転用モーター（第１駆動源）
５２  回転用駆動ギア（回転用伝達機構）
５３  第１回転軸（回転用伝達機構）
５４  回転用従動ギア（回転用伝達機構）
６１  昇降用モーター（第２駆動源）
６２  ボールねじ（昇降用伝達機構）
６３  移動体（昇降用伝達機構）
６４  連結体（昇降用伝達機構）
７１  第２回転軸（自転用伝達機構）
７２  自転用モーター（第３駆動源）
７３  自転用駆動ギア（自転用伝達機構）
７４  第１自転用従動ギア（自転用伝達機構）
７５  第２自転用従動ギア（自転用伝達機構）
２０１  第１装着ヘッド（複数の部品装着ヘッド）
２０２  第２装着ヘッド（複数の部品装着ヘッド）
２０５  第１押圧部材（複数の押圧部材）
２０６  第２押圧部材（複数の押圧部材）
２５１  第１ノズル群（ノズル群）
２５２  第２ノズル群（ノズル群）
３１２  第３連通路（連通路）
３１３  第４連通路（連通路）
３３０  環状領域（領域）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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