(57)【要約】【課題】Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石のＲとして、Ｎｄを用いずに、磁化を向上させた希土類磁石を提供する。【解決手段】式（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））ｙＦｅ（１００−ｙ−ｗ−ｚ−ｖ）ＣｏｗＢｚＭｖ（前記式中、Ｍは、Ｇａ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｚｎ、Ｉｎ、及びＭｎから選ばれる１種以上の元素、並びに不可避的不純物元素であり、かつｘ、ｙ、ｚ、ｗ、及びｖが、０．１０≦ｘ≦０．３０、５≦ｙ≦２０、４≦ｚ≦６．５、０≦ｗ≦８、及び０≦ｖ≦２．０である。）で表される全体組成を有する、希土類磁石。【選択図】図９
2018082177.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
式（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））ｙＦｅ（１００−ｙ−ｗ−ｚ−ｖ）ＣｏｗＢｚＭｖ
（前記式中、Ｍは、Ｇａ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｚｎ、Ｉｎ、及びＭｎから選ばれる１種以上の元素、並びに不可避的不純物元素であり、かつ
ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、及びｖが、
０．１０≦ｘ≦０．３０、
５≦ｙ≦２０、
４≦ｚ≦６．５、
０≦ｗ≦８、及び
０≦ｖ≦２．０である。）
で表される全体組成を有する、希土類磁石。
【請求項２】
前記ｘが、０．１５≦ｘ≦０．３０である、請求項１に記載の希土類磁石。
【請求項３】
前記ｘが、０．１０≦ｘ≦０．２５である、請求項１に記載の希土類磁石。
【請求項４】
前記ｘが、０．１５≦ｘ≦０．２５である、請求項１に記載の希土類磁石。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、希土類磁石に関する。本発明は、特に、（Ｌａ，Ｃｅ）−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石（Ｒは希土類元素）は、主相と、主相を包囲する粒界相とを有する。主相は、Ｒ２Ｆｅ１４Ｂで表される組成を有し、磁性相である。以下の説明で、Ｒ２Ｆｅ１４Ｂで表される組成を有する相を「Ｒ２Ｆｅ１４Ｂ相」ということがある。
【０００３】
Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石において、ＲがＮｄであるとき、磁気特性が特に優れる。そのため、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石は、高性能磁石として、電気自動車及びハイブリッド車等を駆動するモータ等に多く使用されている。
【０００４】
特許文献１には、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石中のＮｄの一部を、Ｃｅ、Ｌａ、及び／又はＹで置換して、希土類磁石の熱間加工性を改善することが開示されている。
【０００５】
特許文献１に開示されたＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石においては、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ相中のＮｄの一部をＣｅ、Ｌａ、及び／又はＹで置換した分だけ、磁気特性が低下する。そのため、磁気特性の低下が実用上問題とならない範囲内で、熱間加工性を改善する。その結果、Ｃｅ、Ｌａ、及び／又はＹによるＮｄの置換割合は小さかった。
【０００６】
Ｎｄの価格は高騰しつつあり、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石中のＮｄの一部を、Ｎｄよりも安価な、Ｃｅ、Ｌａ、Ｇｄ、Ｙ、及び／又はＳｃで置換することが試みられている。
【０００７】
特許文献２には、その一例として、主相と、主相を包囲する粒界相とを有する希土類磁石であって、主相が所謂コア／シェル構造を有する希土類磁石が開示されている。そして、特許文献２には、コアがＣｅ２Ｆｅ１４Ｂ相であり、シェルが（Ｎｄ０．５Ｃｅ０．５）Ｆｅ１４Ｂ相であることが開示されている。さらに、特許文献２には、この希土類磁石の製造方法として、Ｃｅ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石粉末の圧粉体又は焼結体と、Ｎｄ−Ｃｕ合金とを接触させ、このＣｅ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石粉末中に、Ｎｄ−Ｃｕ合金の溶融液中のＮｄを拡散させる方法が開示されている。
【０００８】
特許文献２で開示された一例において、コアはＣｅ２Ｆｅ１４Ｂ相であり、Ｎｄを含有していない。一方、シェルは（Ｎｄ０．５Ｃｅ０．５）Ｆｅ１４Ｂ相であり、Ｎｄを含有している。さらに、主相を包囲する粒界相は、Ｎｄ−Ｃｕ合金の溶融液の浸透によって、多くのＮｄを含有する。
【０００９】
このように、特許文献２で開示された一例において、コアが、Ｎｄリッチのシェルと粒界相によって磁気的に分断されているため、複数のコアを跨いで磁化反転が伝播しない。したがって、コアがＮｄを含有せず、コア自体の磁気特性は低下しているにもかかわらず、希土類磁石全体の磁化は、それほど低下していない。しかしこのことは、Ｃｅ２Ｆｅ１４Ｂ相をＮｄリッチ相で包囲しないと、希土類磁石全体で所望の磁気特性を確保できないことを意味している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平４−２１７４４号公報
【特許文献２】国際公開第２０１４／１９６６０５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石において、Ｒとして、Ｎｄよりも安価なＣｅを用いて、希土類磁石全体の磁気特性を向上させるには、主相の磁化の向上を図る必要がある、という課題を本発明者らは見出した。
【００１２】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものである。本発明は、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石のＲとして、Ｎｄを用いずに、磁化を向上させた希土類磁石を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者らは、上記目的を達成すべく、鋭意検討を重ね、本発明を完成させた。その要旨は、次のとおりである。
〈１〉式（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））ｙＦｅ（１００−ｙ−ｗ−ｚ−ｖ）ＣｏｗＢｚＭｖ
（前記式中、Ｍは、Ｇａ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｚｎ、Ｉｎ、及びＭｎから選ばれる１種以上の元素、並びに不可避的不純物元素であり、かつ
ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、及びｖが、
０．１０≦ｘ≦０．３０、
５≦ｙ≦２０、
４≦ｚ≦６．５、
０≦ｗ≦８、及び
０≦ｖ≦２．０である。）
で表される全体組成を有する、希土類磁石。
〈２〉前記ｘが、０．１５≦ｘ≦０．３０である、〈１〉項に記載の希土類磁石。
〈３〉前記ｘが、０．１０≦ｘ≦０．２５である、〈１〉項に記載の希土類磁石。
〈４〉前記ｘが、０．１５≦ｘ≦０．２５である、〈１〉項に記載の希土類磁石。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石において、主相のＣｅの一部をＬａで置換し、かつ、ＬａによるＣｅの置換割合ｘを一定範囲にすることにより、ＲとしてＮｄを用いずに、磁化を向上させた希土類磁石を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、スパッタリング法で用いたターゲット材を示す。
【図２】図２は、厚膜の目標組成分布を示す図である。
【図３】図３は、厚膜の評価位置を示す図である。
【図４】図４は、ｘが０．０５〜０．１７の試料のＸＲＤ分析結果を示す図である。
【図５】図５は、ｘが０．０５〜０．１７の試料について、測定位置と組成分析結果の関係を示す図である。
【図６】図６は、ｘが０．１９〜０．３７の試料について、測定位置と組成分析結果の関係を示す図である。
【図７】図７は、ｘが小さい領域でのＭＯＫＥ測定結果を示す図である。
【図８】図８は、ｘが中程度の領域でのＭＯＫＥ測定結果を示す図である。
【図９】図９は、ｘと信号強度の関係を示す図である。
【図１０】図１０は、図９の（ａ）における、振動試料型磁力計を用いた測定結果（ヒステリシス曲線）を示す図である。
【図１１】図１１は、図９の（ｂ）における、振動試料型磁力計を用いた測定結果（ヒステリシス曲線）を示す図である。
【図１２】図１２は、図９の（ｃ）における、振動試料型磁力計を用いた測定結果（ヒステリシス曲線）を示す図である。
【図１３】図１３は、図９の（ｄ）における、振動試料型磁力計を用いた測定結果（ヒステリシス曲線）を示す図である。
【図１４】図１４は、図９の（ｅ）における、振動試料型磁力計を用いた測定結果（ヒステリシス曲線）を示す図である。
【図１５】図１５は、図９の（ｆ）における、振動試料型磁力計を用いた測定結果（ヒステリシス曲線）を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る希土類磁石の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態は、本発明を限定するものではない。
【００１７】
Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石は、主相と、主相を包囲する粒界相を有する。主相はＲ２Ｆｅ１４Ｂ相であり、磁性相である。粒界相はＲリッチ相であり、非磁性相である。磁性相のＲ２Ｆｅ１４Ｂ相が、非磁性相のＲリッチ相で包囲されているため、各Ｒ２Ｆｅ１４Ｂ相は磁気的に分断されて、複数のＲ２Ｆｅ１４Ｂ相を跨いで磁化反転が伝播しない。その結果、希土類磁石全体として、優れた磁化を有する。
【００１８】
Ｃｅの原子価は、３価又は４価であることができる。Ｃｅの原子価が３価であるとき、４ｆ電子が局在する。Ｃｅの原子価が４価であるとき、４ｆ電子が局在しない。
【００１９】
Ｃｅの原子価が４価であるとき、Ｃｅ２Ｆｅ１４Ｂ相は安定である。しかし、４価のＣｅには、磁気特性の向上に寄与する４ｆ電子が局在していないため、Ｃｅ２Ｆｅ１４Ｂ相の磁化は、Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ相の磁化よりも低い。
【００２０】
本発明者らは、Ｃｅ２Ｆｅ１４Ｂ相中のＣｅの一部をＬａで置換し、かつ、ＬａによるＣｅの置換割合ｘを一定範囲にすることにより、（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））２Ｆｅ１４Ｂ相の磁化を著しく向上できることを知見した。
【００２１】
また、本発明者らは、理論に拘束されないが、（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））２Ｆｅ１４Ｂ相のｘが一定範囲であるとき、ＬａがＣｅに作用して、Ｃｅ中で４ｆ電子の局在を促進することによって、Ｃｅが４価から３価になることを知見した。
【００２２】
これらの知見に基づく、本発明に希土類磁石の構成を次に説明する。
【００２３】
（全体組成）
本発明の希土類磁石の全体組成は、式（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））ｙＦｅ（１００−ｙ−ｗ−ｚ−ｖ）ＣｏｗＢｚＭｖで表される。
【００２４】
前記式中、Ｍは、Ｇａ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｚｎ、Ｉｎ、及びＭｎから選ばれる１種以上の元素、並びに不可避的不純物元素である。
【００２５】
前記式中、ｘ、ｙ、ｚ、ｗ、及びｖは、それぞれ、０．１０≦ｘ≦０．３０、５≦ｙ≦２０、４≦ｚ≦６．５、０≦ｗ≦８、及び０≦ｖ≦２．０である。ｘは、ＬａによるＣｅの置換割合である。ｙはＬａとＣｅの合計含有量、ｚはＢの含有量、ｗはＣｏの含有量、そして、ｖはＭの含有量であり、ｙ、ｚ、ｗ、及びｖは、いずれも原子％である。
【００２６】
上記式が、５≦ｙ≦２０、４≦ｚ≦６．５、０≦ｗ≦８、及び０≦ｖ≦２．０を満たすとき、主相と、主相を包囲する粒界相とを有する、希土類磁石となる。このとき、主相は（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））２（Ｆｅ，Ｃｏ）１４Ｂ相であり、粒界相は（Ｌａ，Ｃｅ）リッチ相である。Ｍは、その多くが粒界相に存在している。
【００２７】
次に、上記式中の各成分、すなわち、Ｌａ、Ｃｅ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｂ、及びＭについて説明する。
【００２８】
（Ｌａ）
Ｌａは希土類元素であり、希土類磁石中で、主相と粒界相の両方に存在する。主相においては、ＬａがＣｅに作用して、Ｃｅが４価から３価になることにより、主相の磁化が向上する。
【００２９】
主相の中では、ＬａはＣｅに置換する形で存在している。ＬａによるＣｅの置換割合ｘについては、全体組成におけるｘと、主相におけるｘは、ほぼ同一である。
【００３０】
ｘが０．１以上であれば、Ｌａによって、Ｃｅが４価から３価になる効果が明瞭に発現し、その結果、磁化が向上する（以下、これを、「磁化向上効果」ということがある）。磁化向上効果の観点からは、ｘは０．１５以上がより好ましい。
【００３１】
そして、ｘが０．２程度で、磁化向上効果がピークに達する。このピークを超えると、ｘの増加に伴って、磁化向上効果が減少する。
【００３２】
ｘが０．３０以下であれば、磁化向上効果は認められる。磁化向上効果がより明瞭に認められるという観点からは、ｘは０．２５以下がより好ましい。
【００３３】
Ｌａ２Ｆｅ１４Ｂ相はＣｅ２Ｆｅ１４Ｂ相よりもキュリー温度が高いため、ＬａによってＣｅが置換されることより、高温時の磁化の向上も期待できる。
【００３４】
粒界相においては、ＬａはＣｅとともに、（Ｌａ，Ｃｅ）リッチ相を構成する。この（Ｌａ，Ｃｅ）リッチ相は、非磁性相であり、主相同士を磁気的に分断する。
【００３５】
（Ｃｅ）
Ｃｅは希土類元素であり、希土類磁石中で、主相と粒界相の両方に存在する。主相においては、Ｃｅ２Ｆｅ１４Ｂ相は磁化が小さいが、（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））２Ｆｅ１４Ｂ相は、ｘが上述した範囲のとき、磁化が向上する。
【００３６】
全体組成で、ＬａとＣｅの合計含有量はｙ原子％である。ｙが５〜２０原子％であれば、希土類磁石として必要な量の主相を確保できる。ｙは７原子％以上、９原子％以上、又は１１原子％以上であってよく、１８原子％以上、１６原子％以上、又は１４原子％以上であってよい。
【００３７】
粒界相においては、ＣｅはＬａとともに、（Ｌａ，Ｃｅ）リッチ相を構成する。この（Ｌａ，Ｃｅ）リッチ相は、非磁性相であり、主相同士を磁気的に分断する。
【００３８】
（Ｆｅ）
Ｆｅは、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系希土類磁石の主成分であり、Ｌａ、Ｃｅ、及びＢとともに主相を構成する。全体組成で、Ｆｅの含有量は、Ｌａ、Ｃｅ、Ｃｏ、Ｂ、及びＭの残部で表される。
【００３９】
（Ｃｏ）
Ｃｏは鉄族元素に分類され、希土類磁石中で、ＣｏはＦｅと置換する。本明細書中で、例えば、（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））２Ｆｅ１４Ｂ相等、特に断りがなければ、Ｃｏが示されていなくても、（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））２Ｆｅ１４Ｂ相中のＦｅの一部はＣｏで置換されていてもよい。Ｃｏは、希土類磁石の耐熱性を改善するため、必要に応じて、添加される。全体組成で、Ｃｏの含有量ｗは、０〜８原子％である。耐熱性の改善の観点からは、Ｃｏの含有量ｗは、１原子％以上、２％原子以上、又は３％原子％以上であってよい。耐熱性向上の飽和及び経済性の観点からは、Ｃｏの含有量ｙは、７原子％以下、６原子％以下、又は５原子％以下であってよい。
【００４０】
（Ｂ）
Ｂは、Ｌａ、Ｃｅ、及びＦｅとともに主相を構成する。全体組成でＢの含有量ｚが４〜６．５原子％であれば、希土類磁石に必要な主相を確保できる。ｚは４．２原子％以上、４．５原子％以上、又は４．８原子％以上であってよく、６．２原子％以下、５．９原子％以下、又は５．６原子％以下であってよい。
【００４１】
Ｍは、Ｇａ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｚｎ、Ｉｎ、及びＭｎから選ばれる１種以上の元素である。Ｍは、本発明の希土類磁石の効果を損なわない範囲で、必要に応じて含有する。これらの他に、Ｍは不可避的不純物を含む。不可避的不純物とは、原材料に含まれる不純物等、その含有を回避することが避けられない、あるいは、回避するためには著しい製造コストの上昇を招く不純物のことをいう。全体組成で、Ｍの含有量ｖが０〜２原子％であれば、本発明の効果を損なわない。Ｍの含有量ｖは、０．０５原子％以上、０．１原子％以上、又は０．２原子％以上であってよく、１．０原子％以下、０．８原子％以下、又は０．５原子％以下であってよい。
【００４２】
（希土類磁石の形態）
これまで説明してきた組成等を満たせば、希土類磁石の形態に、特に制限はない。希土類磁石の形態としては、鋳物、急冷体、薄膜、及び厚膜等が挙げられる。急冷体としては、薄帯、薄片、及び粉末等が挙げられる。
【００４３】
（希土類磁石の製造方法）
これまで説明してきた組成等を満たせば、希土類磁石の製造方法に特に制限はない。製造方法としては、鋳造、液体急冷法、又はスパッタリング法等が挙げられる。
【実施例】
【００４４】
以下、本発明を実施例により、さらに具体的に説明する。なお、本発明は、以下の実施例で用いた条件に限定されるものではない。
【００４５】
（試料の作製）
ＳｉＯ２基板にスパッタリング法によって、（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））１１．７６Ｆｅ８２．３６Ｂ５．８８の組成を有する厚膜を作製した。膜厚は５００ｎｍであった。
【００４６】
図１は、スパッタリング法で用いたターゲット材を示す。ターゲット材１は、Ｃｅ−Ｆｅ−Ｂ合金板２とＬａ−Ｆｅ−Ｂ合金板３を有し、Ｃｅ−Ｆｅ−Ｂ合金板２とＬａ−Ｆｅ−Ｂ合金板３は、図１に示すように、互いに接合されている。Ｃｅ−Ｆｅ−Ｂ合金板２の組成はＣｅ１９．５Ｆｅ７２．３Ｂ８．２であり、Ｌａ−Ｆｅ−Ｂ合金板３の組成はＬａ１９．５Ｆｅ７２．３Ｂ８．２であった。
【００４７】
このターゲット材とＳｉＯ２基板をスパッタリング装置に装入し、厚膜を形成した。この厚膜を、真空雰囲気中で、４５０℃で９０分にわたって熱処理した。
【００４８】
図２は、厚膜の目標組成分布を示す図である。図２に示したように、厚膜は、図２の上部から下部に向かって、Ｃｅ２Ｆｅ１４Ｂ相のＣｅがＬａによって徐々に置換されていく傾斜材料となるように形成された。なお、試料は２枚準備し、それらの試料のＬａによるＣｅの置換割合ｘについては、一方が０．０５〜０．１７、他方が０．１９〜０．３７であった。この置換割合ｘの評価方法については、後述する。
【００４９】
（試料の評価）
図３は、厚膜の評価位置を示す図である。図３の（１）の位置は、図２のＣｅ２Ｆｅ１４Ｂ相の位置に相当する。図３の（９）の位置は、図２のＬａ２Ｆｅ１４Ｂ相の位置に相当する。
【００５０】
（相の同定）
図３に示した（１）、（５）、及び（９）のそれぞれの位置について、Ｘ線回折（ＸＲＤ：Ｘ−Ｒａｙ  Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）分析を行い、相の同定をした。分析は、２枚の試料について行った。
【００５１】
ｘが０．０５〜０．１７の試料の分析結果を、図４に示す。図４中、「２−１４−１」は、（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））２Ｆｅ１４Ｂ相を意味する。図４から分かるように、図２の（１）の位置、すなわち、厚膜の一方の端部を除き、（ＬａｘＣｅ（１−ｘ））２Ｆｅ１４Ｂ相が形成できていることを確認できた。ｘが０．１９〜０．３７の試料についても同様であった。
【００５２】
（相の組成分析）
エネルギー分散型Ｘ線分析（Ｅｎｅｒｇｙ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ  Ｘ−ｒａｙ  ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）を用いて、厚膜の組成分析を行った。
【００５３】
ｘが０．０５〜０．１７の試料の組成分析結果を表１及び図５に、ｘが０．１９〜０．３７の試料の組成分析結果を表２及び図６に示す。
【００５４】
【表１】
2018082177.tif 000003
【００５５】
【表２】
2018082177.tif 000004
【００５６】
表１及び図５並びに表２及び図６から、いずれの試料も、傾斜材料になっていることを確認できた。
【００５７】
図３の（１）〜（９）のそれぞれの位置について、磁気特性を評価した。評価方法としては、ＭＯＫＥ（Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｋｅｒｒ  Ｅｆｆｅｃｔ）測定と、振動試料型磁力計（ＶＳＭ：Ｖｉｂｒａｔｉｎｇ  Ｓａｍｐｌｅ  Ｍａｇｎｅｔｏｍｅｔｅｒ）を用いた測定を採用した。
【００５８】
ＭＯＫＥ測定は、磁気カー効果を利用した測定方法である。磁気カー効果とは、直線偏光した光を、磁化した材料の表面に照射すると、磁化に応して反射光の強度が変化する効果をいう。ＭＯＫＥ測定では、その反射光の変化を検出器で評価することによって、材料の磁化を測定する。ＭＯＫＥ測定を採用することによって、連続的にＬａの濃度を傾斜させた試料に対して、組成と磁気特性との関係を正確に把握できる。今回の測定では、直径２０μｍの領域（照射した光の直径）を測定できた。また、参考までに、一般的な振動試料型磁力計を用いた測定も行った。
【００５９】
結果を図７〜図１５に示す。図７は、ｘが小さい領域でのＭＯＫＥ測定結果を示す図である。図８は、ｘが中程度の領域でのＭＯＫＥ測定結果を示す図である。図９は、ｘと信号強度の関係を示す図である。図１０〜図１５は、図９の（ａ）〜（ｆ）における振動試料型磁力計を用いた測定結果（ヒステリシス曲線）を示す図である。なお、図１０〜図１５のヒステリシス曲線から、図１３の磁化の数値（１１９．９ｅｍｕ／ｇ）を図９（ｄ）のＭＯＫＥ測定による信号強度（０．０８５）に合わせて基準値として規格化した。そして、図１０、図１１、図１２、図１４、及び図１５の磁化のそれぞれの数値を、図９の信号強度に規格化して換算した。
【００６０】
図７及び図８から分かるように、ＭＯＫＥ測定においては、カー効果を利用しているため、磁化が高くなるほど信号強度が高くなることを確認できた。
【００６１】
図９から、ＭＯＫＥ測定結果と振動試料型磁力計を用いた測定結果のいずれについても、次のことがわかる。すなわち、ｘが０．１から信号が強くなり始め、ｘが０．２付近で信号強度がピークに達し、その後、信号強度が徐々に弱まり、ｘが０．３のときの信号強度は、ｘが０．１のときの信号強度と同程度になっていることを確認できた。また、ｘが０．１から磁化が強くなり始め、ｘが０．２付近で磁化がピークに達し、その後、磁化が徐々に弱まり、ｘが０．３のときの磁化は、ｘが０．１のときの磁化と同程度になっていることを確認できた。そして、振動試料型磁力計を用いた測定よりも、ＭＯＫＥ測定の方が、厚膜の組成が徐々に変化していることを、より正確に測定できていることを確認できた。
【００６２】
以上の結果から、本発明の効果を確認できた。
【符号の説明】
【００６３】
１    ターゲット材
２    Ｃｅ−Ｆｅ−Ｂ合金板
３    Ｌａ−Ｆｅ−Ｂ合金板
【図１】
2018082177.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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