(57)【要約】【課題】検出精度の低下を抑制するともに、検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制する【解決手段】電源フィルタ４と制御部５は、レシオメトリック特性を有するセンサデバイス２へセンサ駆動電圧Ｖｂｇを供給する。電源フィルタ４は、供給経路ＰＬ１，ＰＬ２を備える。制御部５は、起動してから切替判断時間が経過したか否かを判断する。電源フィルタ４は、切替判断時間が経過していない場合に、供給経路ＰＬ１を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇを供給する。電源フィルタ４は、切替判断時間が経過した場合に、供給経路ＰＬ２を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇを供給する。供給経路ＰＬ２は、供給経路ＰＬ１よりも電源電圧Ｖｃｃの変動に対する応答が遅い経路である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出回路へ電圧を供給する電圧供給装置であって、
前記検出回路は、対象となる状態量を検出し、検出信号として、検出結果に応じた電圧を有する信号を出力し、
前記検出回路は、前記検出回路を駆動させるために前記検出回路に供給される駆動電圧に比例して前記検出信号の電圧が変動するレシオメトリック特性を有し、
前記駆動電圧を前記検出回路に供給する第１供給経路と、
前記第１供給経路とは異なる経路であり、前記駆動電圧を前記検出回路に供給する第２供給経路と、
前記検出回路への前記駆動電圧の供給が安定していることを示す予め設定された安定判断条件が成立しているか否かを判断する安定判断部と、
前記安定判断条件が成立していないと前記安定判断部が判断した場合には、前記第１供給経路を介して前記駆動電圧を前記検出回路に供給する第１供給部と、
前記安定判断条件が成立していると前記安定判断部が判断した場合には、前記第２供給経路を介して前記駆動電圧を前記検出回路に供給する第２供給部とを備え、
前記第２供給経路は、前記第１供給経路よりも電圧変動に対する応答が遅い経路である電圧供給装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電圧供給装置であって、
前記検出回路から出力される前記検出信号を処理する信号処理回路を構成する複数の構成要素のうち、前記駆動電圧に比例して電圧が変動する信号を出力する前記構成要素をレシオメトリック要素として、前記レシオメトリック要素には、前記第１供給経路および前記第２供給経路が接続され、
前記第１供給部は、前記安定判断条件が成立していないと判断した場合には、更に、前記第１供給経路を介して前記駆動電圧を前記レシオメトリック要素に供給し、
前記第２供給部は、前記安定判断条件が成立していると判断した場合には、更に、前記第２供給経路を介して前記駆動電圧を前記レシオメトリック要素に供給する電圧供給装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の電圧供給装置であって、
前記安定判断条件は、前記電圧供給装置が起動してから予め設定された安定判断時間が経過することである電圧供給装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の電圧供給装置であって、
前記安定判断条件は、前記駆動電圧が予め設定された安定判断電圧以上であることである電圧供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、レシオメトリック特性を有する検出回路へ電圧を供給する電圧供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１のように、センサから出力されるアナログ信号の電圧値を、電子制御装置に搭載されたＡＤ変換回路でディジタル信号に変換するシステムが知られている。
電子制御装置に搭載されたＡＤ変換回路は、電子制御装置内のレギュレータ等で生成されたリファレンス電圧を基準にして、アナログ信号の電圧値をディジタル信号に変換する。このため、一定の電圧値を有するアナログ信号をセンサが出力し続けていたとしても、リファレンス電圧が変動した場合には、この変動に応じて、変換されたディジタル信号の値が変動してしまう。
【０００３】
従来、この変動の影響を回避するために、ＡＤ変換回路に供給されるリファレンス電圧をセンサにも供給し、センサからのアナログ信号の電圧値をリファレンス電圧の変動に比例して変化させ、リファレンス電圧の変動の影響を相殺させる技術が用いられていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２９６１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
電子制御装置はセンサから離れた位置に設置されるため、電子制御装置からセンサにリファレンス電圧を供給する供給経路にノイズが載った場合に、センサへ供給されるリファレンス電圧にノイズが重畳され、センサから出力されるアナログ信号にもノイズが重畳されてしまう。これにより、センサの検出精度が低下してしまうという課題があった。
【０００６】
このような課題に対して、リファレンス電圧を供給する供給経路にノイズ除去フィルタを設置することが一般的に行われている。しかし、ノイズ除去フィルタを設置することにより、電源投入時にセンサへ供給されるリファレンス電圧に遅延が発生し、センサが検出可能な状態となるまでに要する時間が長くなってしまうという問題があった。
【０００７】
本開示は、検出精度の低下を抑制するともに、検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の一態様は、検出回路へ電圧を供給する電圧供給装置である。検出回路は、対象となる状態量を検出し、検出信号として、検出結果に応じた電圧を有する信号を出力する。検出回路は、検出回路を駆動させるために検出回路に供給される駆動電圧に比例して検出信号の電圧が変動するレシオメトリック特性を有する。
【０００９】
そして本開示の電圧供給装置は、第１供給経路と、第２供給経路と、安定判断部と、第１供給部と、第２供給部とを備える。
第１供給経路は、駆動電圧を検出回路に供給する。第２供給経路は、第１供給経路とは異なる経路であり、駆動電圧を検出回路に供給する。
【００１０】
安定判断部は、検出回路への駆動電圧の供給が安定していることを示す予め設定された安定判断条件が成立しているか否かを判断する。第１供給部は、安定判断条件が成立していないと安定判断部が判断した場合には、第１供給経路を介して駆動電圧を検出回路に供給する。第２供給部は、安定判断条件が成立していると安定判断部がと判断した場合には、第２供給経路を介して駆動電圧を検出回路に供給する。
【００１１】
そして第２供給経路は、第１供給経路よりも電圧変動に対する応答が遅い経路である。
このように構成された本開示の電圧供給装置は、検出回路への駆動電圧の供給が開始された直後のように、検出回路への駆動電圧の供給が安定していない状況において、第１供給経路を介して駆動電圧を検出回路に供給する。そして第１供給経路は、第２供給経路よりも電圧変動に対する応答が速い。このため、本開示の電圧供給装置は、検出回路への駆動電圧の供給が開始された直後において、検出回路への駆動電圧の供給が遅れてしまう事態の発生を抑制し、検出回路が検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制することができる。
【００１２】
さらに本開示の電圧供給装置は、検出回路への駆動電圧の供給が安定している状況において、第２供給経路を介して駆動電圧を検出回路に供給する。そして第２供給経路は、第１供給経路よりも電圧変動に対する応答が遅い。このため、本開示の電圧供給装置は、第２供給経路にノイズが載った場合に、検出回路へ供給される駆動電圧にノイズが重畳されてしまう事態の発生を抑制し、検出回路の検出精度の低下を抑制することができる。
【００１３】
以上より、本開示の電圧供給装置は、検出回路の検出精度の低下を抑制するともに、検出回路が検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制することができる。なお、本開示において「状態量」とは、温度や流量など、対象となる物理量、ガス濃度など、対象となる化学量を指すものである。
【００１４】
本開示の一態様では、レシオメトリック要素には、第１供給経路および第２供給経路が接続されるようにしてもよい。レシオメトリック要素は、検出回路から出力される検出信号を処理する信号処理回路を構成する複数の構成要素のうち、駆動電圧に比例して電圧が変動する信号を出力する構成要素である。
【００１５】
そして、本開示の電圧供給装置では、第１供給部は、安定判断条件が成立していないと判断した場合には、更に、第１供給経路を介して駆動電圧をレシオメトリック要素に供給するようにしてもよい。さらに、本開示の電圧供給装置では、第２供給部は、安定判断条件が成立していると判断した場合には、更に、第２供給経路を介して駆動電圧をレシオメトリック要素に供給するようにしてもよい。
【００１６】
このように構成された本開示の電圧供給装置は、信号処理回路のレシオメトリック要素についても、検出回路と同様に、検出精度の低下を抑制するともに、検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制することができる。
【００１７】
本開示の一態様では、安定判断条件は、電圧供給装置が起動してから予め設定された安定判断時間が経過することであるようにしてもよいし、駆動電圧が予め設定された安定判断電圧以上であることであるようにしてもよい。
【００１８】
このように構成された本開示の電圧供給装置は、安定判断条件が成立しているか否かを簡便な方法で判断することができ、電圧供給装置の処理負荷を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施形態のセンサモジュール１の構成を示す回路図である。
【図２】第１実施形態の切替処理を示すフローチャートである。
【図３】第２実施形態の電源フィルタ４の構成を示す回路図である。
【図４】第２実施形態の切替処理を示すフローチャートである。
【図５】第３実施形態の電源フィルタ４の構成を示す回路図である。
【図６】第３実施形態の切替処理を示すフローチャートである。
【図７】第４実施形態のセンサモジュール１の構成を示すブロック図である。
【図８】第４実施形態の電源フィルタ４の構成を示す回路図である。
【図９】第４実施形態の切替処理を示すフローチャートである。
【図１０】第５実施形態の電源フィルタ４の構成を示す回路図である。
【図１１】第６実施形態の切替処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（第１実施形態）
以下に本開示の第１実施形態を図面とともに説明する。
本実施形態のセンサモジュール１は、図１に示すように、センサデバイス２と、センサ回路３と、電源フィルタ４と、制御部５とを備える。
【００２１】
センサデバイス２は、感熱抵抗体１１と、第１固定抵抗体１２と、第２固定抵抗体１３と、第３固定抵抗体１４を備えるホイートストンブリッジ回路である。
感熱抵抗体１１は、自身の温度変化に応じて抵抗値が変化する抵抗体であり、白金抵抗体などが挙げられる。
【００２２】
感熱抵抗体１１は、一端が第１固定抵抗体１２に接続され、他端が第３固定抵抗体１４に接続されている。以下、感熱抵抗体１１と第１固定抵抗体１２との接続点を接続点ＰＶという。また、感熱抵抗体１１と第３固定抵抗体１４との接続点を接続点Ｐ−という。
【００２３】
第１固定抵抗体１２は、感熱抵抗体１１に接続されていない側の端部が第２固定抵抗体１３に接続される。以下、第１固定抵抗体１２と第２固定抵抗体１３との接続点を接続点Ｐ＋という。
【００２４】
第２固定抵抗体１３は、第１固定抵抗体１２に接続されていない側の端部が、第３固定抵抗体１４において感熱抵抗体１１に接続されていない側の端部と接続される。以下、第２固定抵抗体１３と第３固定抵抗体１４との接続点を接続点ＰＧという。
【００２５】
接続点ＰＶは、電源フィルタ４に接続されて、電源フィルタ４を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇが印加される。接続点ＰＧは接地される。
センサ回路３は、オペアンプ２１と、ゲイン補正回路２２と、オフセット補正回路２３と、バッファ２４とを備える。オペアンプ２１、ゲイン補正回路２２、オフセット補正回路２３およびバッファ２４は、電源端子Ｔｖを介して供給された電源電圧Ｖｃｃにより動作する。本実施形態では、電源電圧Ｖｃｃは５Ｖである。
【００２６】
オペアンプ２１は、差動増幅回路として構成されており、非反転入力端子から入力される電圧と、反転入力端子から入力される電圧との差分に応じた電圧を、出力端子から出力する。
【００２７】
オペアンプ２１の非反転入力端子および反転入力端子はそれぞれ、センサデバイス２の接続点Ｐ＋および接続点Ｐ−に接続される。したがって、オペアンプ２１の出力端子から、（Ｖ＋−Ｖ−）に比例した電圧を有するセンサ信号Ｖｓが出力される。
【００２８】
ゲイン補正回路２２は、オペアンプ２１で増幅されたセンサ信号Ｖｓの増幅度合いを補正可能な回路であって、感熱抵抗体１１の種類や個体間ばらつきを考慮して事前に補正するための増幅度Ｋが設定されている。
【００２９】
そしてゲイン補正回路２２は、センサ信号Ｖｓの電圧値に増幅率Ｋを乗算した電圧値の電圧を有する増幅信号Ｖｇを出力する。
オフセット補正回路２３は、電源フィルタ４からセンサ駆動電圧Ｖｂｇを入力し、入力したセンサ駆動電圧Ｖｂｇと、予め設定された係数ｄを用いて、オフセット電圧Ｖｏｆｆを下式（１）により算出する。
【００３０】
Ｖｏｆｆ  ＝  ｄ×Ｖｂｇ    ・・・（１）
そしてオフセット補正回路２３は、増幅信号Ｖｇの電圧値にオフセット電圧Ｖｏｆｆを加算した電圧値の電圧を有する温度信号Ｖｐを出力する。
【００３１】
バッファ２４はインピーダンス変換のための回路であり、バッファ２４の入力端子はオフセット補正回路２３に接続され、出力端子はセンサモジュール１の出力端子Ｔｏに接続される。これにより、センサ回路３は、出力端子Ｔｏから温度信号Ｖｐを出力する。
【００３２】
電源フィルタ４は、抵抗３１，３２，３３，３４と、コンデンサ３５と、スイッチ３６，３７と、バッファ３８とを備える。
本実施形態の抵抗３１，３２，３３，３４の抵抗値は、それぞれ５０ｋΩ，２００ｋΩ，５０ｋΩ，２００ｋΩである。本実施形態のコンデンサ３５の静電容量は、０．３３μＦである。
【００３３】
抵抗３１は、一端がセンサモジュール１の電源端子Ｔｖに接続され、他端が抵抗３２に接続される。抵抗３２は、抵抗３１に接続されていない側の端部が接地される。
抵抗３３は、一端が電源端子Ｔｖに接続され、他端が抵抗３４に接続される。抵抗３４は、抵抗３３に接続されていない側の端部が接地される。
【００３４】
コンデンサ３５は、一端が抵抗３１と抵抗３２との接続点に接続されるとともに、他端が接地される。
スイッチ３６は、接続端子４１，４２を備える。接続端子４１は、抵抗３１と抵抗３２との接続点に接続され、接続端子４２はバッファ３８の入力端子に接続される。そしてスイッチ３６は、制御部５から出力される切替信号に従って、接続端子４１と接続端子４２とが接続されたオン状態と、接続端子４１と接続端子４２とが接続されていないオフ状態との何れか一方に切り替わる。
【００３５】
スイッチ３７は、接続端子４６，４７を備える。接続端子４６は、抵抗３３と抵抗３４との接続点に接続され、接続端子４７はバッファ３８の入力端子に接続される。そしてスイッチ３７は、制御部５から出力される切替信号に従って、接続端子４６と接続端子４７とが接続されたオン状態と、接続端子４６と接続端子４７とが接続されていないオフ状態との何れか一方に切り替わる。
【００３６】
バッファ３８はインピーダンス変換のための回路であり、バッファ３８の入力端子は上述のようにスイッチ３６，３７に接続され、出力端子は、センサデバイス２と、センサ回路３のオフセット補正回路２３とに接続される。
【００３７】
このように構成された電源フィルタ４では、スイッチ３６がオフ状態であり、スイッチ３７がオン状態である場合には、電源端子Ｔｖから抵抗３３、スイッチ３７およびバッファ３８を通る供給経路ＰＬ１でセンサデバイス２にセンサ駆動電圧Ｖｂｇが供給される。センサ駆動電圧Ｖｂｇは、電源電圧Ｖｃｃを抵抗３３と抵抗３４とで分圧した電圧値となる。上述のように、抵抗３３，３４の抵抗値はそれぞれ５０ｋΩ，２００ｋΩであるため、センサ駆動電圧Ｖｂｇは４Ｖである。
【００３８】
一方、スイッチ３６がオン状態であり、スイッチ３７がオフ状態である場合には、電源端子Ｔｖから抵抗３１、スイッチ３６およびバッファ３８を通る供給経路ＰＬ２でセンサデバイス２にセンサ駆動電圧Ｖｂｇが供給される。上述のように、抵抗３１，３２の抵抗値はそれぞれ５０ｋΩ，２００ｋΩであるため、センサ駆動電圧Ｖｂｇは４Ｖである。そして、供給経路ＰＬ２には、抵抗３１とコンデンサ３５とにより構成されるローパスフィルタが設けられている。このため、供給経路ＰＬ２を通って電源フィルタ４から出力されるセンサ駆動電圧Ｖｂｇは、抵抗３１の抵抗値をＲとしてコンデンサ３５の静電容量をＣとして、遮断周波数が１／（２πＲＣ）であるローパスフィルタを介した特性となる。また、供給経路ＰＬ２を通って電源フィルタ４から出力されるセンサ駆動電圧Ｖｂｇは、抵抗３１とコンデンサ３５とにより構成されるローパスフィルタの時定数に応じて、電源電圧Ｖｃｃの変化に対する応答が遅れる。
【００３９】
制御部５は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、Ｉ／Ｏ及びこれらの構成を接続するバスラインなどからなる周知のマイクロコンピュータ（以下、マイコン）を中心に構成されている。制御部５は、電源端子Ｔｖを介して供給された電源電圧Ｖｃｃにより動作する。
【００４０】
マイコンの各種機能は、ＣＰＵが不揮発性メモリに格納されたプログラムを実行することにより実現される。この例では、ＲＯＭが、プログラムを格納した不揮発性メモリに該当する。また、このプログラムの実行により、プログラムに対応する方法が実行される。なお、制御部５を構成するマイコンの数は１つでも複数でもよい。また、マイコンが実行する機能の一部または全部を、一つあるいは複数のＩＣ等によりハードウェア的に構成してもよい。
【００４１】
そして制御部５は、切替処理を実行する。
ここで、切替処理の手順を説明する。この切替処理は、電源電圧Ｖｃｃが供給されることにより制御部５のマイコンが起動した直後に、その処理を開始する。
【００４２】
この切替処理が実行されると、制御部５は、図２に示すように、まずＳ１０にて、マイコンが起動してから予め設定された切替判断時間（例えば、０．１秒）が経過したか否かを判断する。ここで、切替判断時間が経過していないと判断した場合には、Ｓ２０にて、オフ状態を指示する第１切替信号をスイッチ３６へ出力し、オン状態を指示する第２切替信号をスイッチ３７へ出力して、Ｓ１０に移行する。
【００４３】
一方、切替判断時間が経過したと判断した場合には、Ｓ３０にて、オン状態を指示する第１切替信号をスイッチ３６へ出力し、オフ状態を指示する第２切替信号をスイッチ３７へ出力して、切替処理を終了する。
【００４４】
このように構成された電源フィルタ４および制御部５は、センサデバイス２へセンサ駆動電圧Ｖｂｇを供給する。センサデバイス２は、検出信号として、検出結果に応じた電圧Ｖ＋および電圧Ｖ−を有する信号を出力する。センサデバイス２は、センサ駆動電圧Ｖｂｇに比例して検出信号の電圧が変動するレシオメトリック特性を有する。
【００４５】
電源フィルタ４は、供給経路ＰＬ１と、供給経路ＰＬ２とを備える。供給経路ＰＬ１は、センサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。供給経路ＰＬ２は、供給経路ＰＬ１とは異なる経路であり、センサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。
【００４６】
制御部５は、マイコンが起動してから切替判断時間が経過したか否かを判断する。電源フィルタ４は、切替判断時間が経過していないと制御部５が判断した場合には、供給経路ＰＬ１を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。電源フィルタ４は、切替判断時間が経過したと制御部５が判断した場合には、供給経路ＰＬ２を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。
【００４７】
供給経路ＰＬ２は、供給経路ＰＬ１よりも電源電圧Ｖｃｃの変動に対する応答が遅い経路である。
このように電源フィルタ４および制御部５は、センサデバイス２へのセンサ駆動電圧Ｖｂｇの供給が開始された直後のように、センサデバイス２へのセンサ駆動電圧Ｖｂｇの供給が安定していない状況において、供給経路ＰＬ１を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。そして供給経路ＰＬ１は、供給経路ＰＬ２よりも電源電圧Ｖｃｃの変動に対するセンサ駆動電圧Ｖｂｇの応答が速い。このため、電源フィルタ４および制御部５は、センサデバイス２へのセンサ駆動電圧Ｖｂｇの供給が開始された直後において、センサデバイス２へのセンサ駆動電圧Ｖｂｇの供給が遅れてしまう事態の発生を抑制し、センサデバイス２が検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制することができる。
【００４８】
さらに、電源フィルタ４および制御部５は、センサデバイス２へのセンサ駆動電圧Ｖｂｇの供給が安定している状況において、供給経路ＰＬ２を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。そして供給経路ＰＬ２は、供給経路ＰＬ１よりも電源電圧Ｖｃｃの変動に対するセンサ駆動電圧Ｖｂｇの応答が遅い。このため、電源フィルタ４および制御部５は、供給経路ＰＬ２にノイズが載った場合に、センサデバイス２へ供給されるセンサ駆動電圧Ｖｂｇにノイズが重畳されてしまう事態の発生を抑制し、センサデバイス２の検出精度の低下を抑制することができる。
【００４９】
以上より、電源フィルタ４および制御部５は、センサデバイス２の検出精度の低下を抑制するともに、センサデバイス２が検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制することができる。
【００５０】
また、オフセット補正回路２３は、センサデバイス２から出力される検出信号を処理するセンサ回路３を構成する複数の構成要素のうち、センサ駆動電圧Ｖｂｇに比例して電圧が変動する信号を出力する構成要素である。そして、オフセット補正回路２３には、供給経路ＰＬ１および供給経路ＰＬ２が接続される。
【００５１】
そして、電源フィルタ４は、切替判断時間が経過していないと制御部５が判断した場合には、供給経路ＰＬ１を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをオフセット補正回路２３に供給する。電源フィルタ４は、切替判断時間が経過したと制御部５が判断した場合には、供給経路ＰＬ２を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをオフセット補正回路２３に供給する。
【００５２】
このように電源フィルタ４および制御部５は、センサ回路３のオフセット補正回路２３についても、センサデバイス２と同様に、検出精度の低下を抑制するともに、検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制することができる。
【００５３】
また制御部５は、マイコンが起動してから切替判断時間が経過したか否かを判断することにより、センサデバイス２へのセンサ駆動電圧Ｖｂｇの供給が安定しているか否かを簡便な方法で判断することができ、制御部５の処理負荷を軽減することができる。
【００５４】
なお、電源フィルタ４および制御部５は電圧供給装置に相当し、センサデバイス２は検出回路に相当し、供給経路ＰＬ１は第１供給経路に相当し、供給経路ＰＬ２は第２供給経路に相当する。
【００５５】
また、Ｓ１０は安定判断部としての処理に相当し、Ｓ２０は第１供給部としての処理に相当し、Ｓ３０は第２供給部としての処理に相当する。
また、温度は状態量に相当し、センサ駆動電圧Ｖｂｇは駆動電圧に相当し、Ｓ１０の判断条件は安定判断条件に相当し、センサ回路３は信号処理回路に相当し、オフセット補正回路２３はレシオメトリック要素に相当し、切替判断時間は安定判断時間に相当する。
【００５６】
（第２実施形態）
以下に本発明の第２実施形態を図面とともに説明する。なお第２実施形態では、第１実施形態と異なる部分を説明する。共通する構成については同一の符号を付す。
【００５７】
第２実施形態のセンサモジュール１は、電源フィルタ４と切替処理が変更された点が第１実施形態と異なる。
第２実施形態の電源フィルタ４は、図３に示すように、抵抗５１，５２，５３，５４と、コンデンサ３５と、スイッチ３６と、バッファ３８とを備える。
【００５８】
本実施形態の抵抗５１，５２，５３，５４の抵抗値は、それぞれ１００ｋΩ，４００ｋΩ，１００ｋΩ，４００ｋΩである。
抵抗５１は、一端がセンサモジュール１の電源端子Ｔｖに接続され、他端が抵抗５２に接続される。抵抗５２は、抵抗５１に接続されていない側の端部が接地される。
【００５９】
抵抗５３は、一端が電源端子Ｔｖに接続され、他端が抵抗５４に接続される。抵抗５４は、抵抗５３に接続されていない側の端部が接地される。
コンデンサ３５は、一端が抵抗５１と抵抗５２との接続点に接続されるとともに、他端が接地される。
【００６０】
スイッチ３６の接続端子４１は、抵抗５１と抵抗５２との接続点に接続され、接続端子４２はバッファ３８の入力端子に接続される。
バッファ３８の入力端子は、上述のようにスイッチ３６に接続されるとともに、抵抗５３と抵抗５４との接続点に接続される。
【００６１】
このように構成された電源フィルタ４では、スイッチ３６がオフ状態である場合には、電源端子Ｔｖから抵抗５３およびバッファ３８を通る供給経路ＰＬ３でセンサデバイス２にセンサ駆動電圧Ｖｂｇが供給される。センサ駆動電圧Ｖｂｇは、電源電圧Ｖｃｃを抵抗５３と抵抗５４とで分圧した電圧値となる。上述のように、抵抗５３，５４の抵抗値はそれぞれ１００ｋΩ，４００ｋΩであるため、センサ駆動電圧Ｖｂｇは４Ｖである。
【００６２】
一方、スイッチ３６がオン状態である場合には、電源端子Ｔｖから抵抗５１、スイッチ３６およびバッファ３８を通る供給経路ＰＬ４でセンサデバイス２にセンサ駆動電圧Ｖｂｇが供給される。上述のように、抵抗５１，５２の抵抗値はそれぞれ１００ｋΩ，４００ｋΩであるため、センサ駆動電圧Ｖｂｇは４Ｖである。そして、供給経路ＰＬ４には、抵抗５１とコンデンサ３５とにより構成されるローパスフィルタが設けられている。このため、供給経路ＰＬ４を通って電源フィルタ４から出力されるセンサ駆動電圧Ｖｂｇは、抵抗５１の抵抗値をＲとしてコンデンサ３５の静電容量をＣとして、遮断周波数が１／（２πＲＣ）であるローパスフィルタを介した特性となる。また、供給経路ＰＬ４を通って電源フィルタ４から出力されるセンサ駆動電圧Ｖｂｇは、抵抗５１とコンデンサ３５とにより構成されるローパスフィルタの時定数に応じて、電源電圧Ｖｃｃの変化に対する応答が遅れる。
【００６３】
第２実施形態の切替処理は、図４に示すように、Ｓ２０，Ｓ３０の代わりにＳ２２，Ｓ３２の処理を実行する点が第１実施形態と異なる。
すなわち、Ｓ１０にて、切替判断時間が経過していないと判断した場合には、Ｓ２２にて、オフ状態を指示する第１切替信号をスイッチ３６へ出力して、Ｓ１０に移行する。一方、Ｓ１０にて、切替判断時間が経過したと判断した場合には、Ｓ３２にて、オン状態を指示する第１切替信号をスイッチ３６へ出力して、切替処理を終了する。
【００６４】
このように構成された電源フィルタ４は、供給経路ＰＬ３と、供給経路ＰＬ４とを備える。供給経路ＰＬ３は、センサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。供給経路ＰＬ４は、供給経路ＰＬ３とは異なる経路であり、センサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。
【００６５】
制御部５は、マイコンが起動してから切替判断時間が経過したか否かを判断する。電源フィルタ４は、切替判断時間が経過していないと制御部５が判断した場合には、供給経路ＰＬ３を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。電源フィルタ４は、切替判断時間が経過したと制御部５が判断した場合には、供給経路ＰＬ４を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。
【００６６】
供給経路ＰＬ４は、供給経路ＰＬ３よりも電源電圧Ｖｃｃの変動に対する応答が遅い経路である。
これにより、電源フィルタ４および制御部５は、センサデバイス２の検出精度の低下を抑制するともに、センサデバイス２が検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制することができる。
【００６７】
なお、供給経路ＰＬ３は第１供給経路に相当し、供給経路ＰＬ４は第２供給経路に相当する。また、Ｓ２２は第１供給部としての処理に相当し、Ｓ３２は第２供給部としての処理に相当する。
【００６８】
（第３実施形態）
以下に本発明の第３実施形態を図面とともに説明する。なお第３実施形態では、第１実施形態と異なる部分を説明する。共通する構成については同一の符号を付す。
【００６９】
第３実施形態のセンサモジュール１は、電源フィルタ４と切替処理が変更された点が第１実施形態と異なる。
第３実施形態の電源フィルタ４は、図５に示すように、抵抗６１，６２，６３，６４と、コンデンサ３５と、スイッチ３６，３７と、バッファ３８とを備える。
【００７０】
本実施形態の抵抗６１，６２，６３，６４の抵抗値は、それぞれ５００Ω，２ｋΩ，５０ｋΩ，２００ｋΩである。
抵抗６１は、一端がセンサモジュール１の電源端子Ｔｖに接続され、他端がスイッチ３６，３７を介して抵抗６２に接続される。抵抗６２は、抵抗６１に接続されていない側の端部が接地される。
【００７１】
抵抗６３は、一端が電源端子Ｔｖに接続され、他端が抵抗６４に接続される。抵抗６４は、抵抗６３に接続されていない側の端部が接地される。
コンデンサ３５は、一端が、抵抗６１と抵抗６２との接続点と、抵抗６３と抵抗６４との接続点とに接続される。またコンデンサ３５は、他端が接地される。
【００７２】
スイッチ３６の接続端子４１は、抵抗６１と抵抗６２との接続点に接続され、接続端子４２は抵抗６１の他端に接続される。
スイッチ３７の接続端子４６は、抵抗６２の一端に接続され、接続端子４７は抵抗６１と抵抗６２との接続点に接続される。
【００７３】
バッファ３８の入力端子は、抵抗６１と抵抗６２との接続点と、抵抗６３と抵抗６４との接続点とに接続される。
このように構成された電源フィルタ４では、スイッチ３６がオン状態であり、スイッチ３７がオン状態である場合には、電源端子Ｔｖから抵抗６１、スイッチ３６およびバッファ３８を通る供給経路ＰＬ５でセンサデバイス２にセンサ駆動電圧Ｖｂｇが供給される。センサ駆動電圧Ｖｂｇは、電源電圧Ｖｃｃを抵抗６１と抵抗６２とで分圧した電圧値となる。上述のように、抵抗６１，６２の抵抗値はそれぞれ５００Ω，２ｋΩであるため、センサ駆動電圧Ｖｂｇは４Ｖである。
【００７４】
一方、スイッチ３６がオフ状態であり、スイッチ３７がオフ状態である場合には、電源端子Ｔｖから抵抗６３およびバッファ３８を通る供給経路ＰＬ６でセンサデバイス２にセンサ駆動電圧Ｖｂｇが供給される。上述のように、抵抗６３，６４の抵抗値はそれぞれ５０ｋΩ，２００ｋΩであるため、センサ駆動電圧Ｖｂｇは４Ｖである。そして、供給経路ＰＬ６には、抵抗６３とコンデンサ３５とにより構成されるローパスフィルタが設けられている。このため、供給経路ＰＬ６を通って電源フィルタ４から出力されるセンサ駆動電圧Ｖｂｇは、抵抗６３の抵抗値をＲとしてコンデンサ３５の静電容量をＣとして、遮断周波数が１／（２πＲＣ）であるローパスフィルタを介した特性となる。また、供給経路ＰＬ６を通って電源フィルタ４から出力されるセンサ駆動電圧Ｖｂｇは、抵抗６３とコンデンサ６５とにより構成されるローパスフィルタの時定数に応じて、電源電圧Ｖｃｃの変化に対する応答が遅れる。
【００７５】
第３実施形態の切替処理は、図６に示すように、Ｓ２０，Ｓ３０の代わりにＳ２４，Ｓ３４の処理を実行する点が第１実施形態と異なる。
すなわち、Ｓ１０にて、切替判断時間が経過していないと判断した場合には、Ｓ２４にて、オン状態を指示する第１切替信号をスイッチ３６へ出力し、オン状態を指示する第２切替信号をスイッチ３７へ出力して、Ｓ１０に移行する。
【００７６】
一方、切替判断時間が経過したと判断した場合には、Ｓ３４にて、オフ状態を指示する第１切替信号をスイッチ３６へ出力し、オフ状態を指示する第２切替信号をスイッチ３７へ出力して、切替処理を終了する。
【００７７】
このように構成された電源フィルタ４は、供給経路ＰＬ５と、供給経路ＰＬ６とを備える。供給経路ＰＬ５は、センサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。供給経路ＰＬ６は、供給経路ＰＬ５とは異なる経路であり、センサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。
【００７８】
制御部５は、マイコンが起動してから切替判断時間が経過したか否かを判断する。電源フィルタ４は、切替判断時間が経過していないと制御部５が判断した場合には、供給経路ＰＬ５を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。電源フィルタ４は、切替判断時間が経過したと制御部５が判断した場合には、供給経路ＰＬ６を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。
【００７９】
供給経路ＰＬ６は、供給経路ＰＬ５よりも電源電圧Ｖｃｃの変動に対する応答が遅い経路である。
これにより、電源フィルタ４および制御部５は、センサデバイス２の検出精度の低下を抑制するともに、センサデバイス２が検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制することができる。
【００８０】
なお、供給経路ＰＬ５は第１供給経路に相当し、供給経路ＰＬ６は第２供給経路に相当する。また、Ｓ２４は第１供給部としての処理に相当し、Ｓ３４は第２供給部としての処理に相当する。
【００８１】
（第４実施形態）
以下に本発明の第４実施形態を図面とともに説明する。なお第４実施形態では、第１実施形態と異なる部分を説明する。共通する構成については同一の符号を付す。
【００８２】
第４実施形態のセンサモジュール１は、センサデバイス２とセンサ回路３との間の接続、センサデバイス２と電源フィルタ４との間の接続、および、センサ回路３と電源フィルタ４との間の接続が、第１実施形態と異なる。
【００８３】
具体的には、図７に示すように、第４実施形態の電源フィルタ４は、電源端子Ｔｖを介して供給された電源電圧Ｖｃｃをセンサ回路３へ出力する。第４実施形態のセンサ回路３は、電源フィルタ４から供給された電源電圧Ｖｃｃにより動作する。
【００８４】
第４実施形態のセンサ回路３は、電源フィルタ４から供給された電源電圧Ｖｃｃを、予め設定された係数ｋを用いて下式（２）に基づいて降圧し、降圧したセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２へ出力する。
【００８５】
Ｖｂｇ  ＝  ｋ×Ｖｃｃ        ・・・（２）
第４実施形態のセンサデバイス２は、センサ回路３から供給されたセンサ駆動電圧Ｖｂｇにより動作する。
【００８６】
さらに、第４実施形態のセンサモジュール１は、電源フィルタ４と切替処理が変更された点が第１実施形態と異なる。
第４実施形態の電源フィルタ４は、図８に示すように、抵抗７１と、コンデンサ７２と、スイッチ７３とを備える。
【００８７】
本実施形態の抵抗７１の抵抗値は、１６Ωである。本実施形態のコンデンサ７２の静電容量は、１００００μＦである。
抵抗７１は、一端がセンサモジュール１の電源端子Ｔｖに接続される。コンデンサ７２は、一端が抵抗７１の他端に接続され、他端が接地される。
【００８８】
スイッチ７３は、接続端子８１，８２を備える。スイッチ７３は、抵抗７１に対して並列に接続されている。すなわち、スイッチ７３の接続端子８１は、抵抗７１の一端に接続され、接続端子８２は抵抗７１の他端に接続される。そしてスイッチ７３は、制御部５から出力される切替信号に従って、接続端子８１と接続端子８２とが接続されたオン状態と、接続端子８１と接続端子８２とが接続されていないオフ状態との何れか一方に切り替わる。
【００８９】
このように構成されたセンサモジュール１では、スイッチ７３がオン状態である場合には、図７および図８に示すように、電源端子Ｔｖからスイッチ７３およびセンサ回路３を通る供給経路ＰＬ１１でセンサデバイス２にセンサ駆動電圧Ｖｂｇが供給される。
【００９０】
一方、スイッチ７３がオフ状態である場合には、電源端子Ｔｖから抵抗７１およびセンサ回路３を通る供給経路ＰＬ１２でセンサデバイス２にセンサ駆動電圧Ｖｂｇが供給される。そして、供給経路ＰＬ１２には、抵抗７１とコンデンサ７２とにより構成されるローパスフィルタが設けられている。このため、供給経路ＰＬ１２を通って電源フィルタ４から出力される電源電圧Ｖｃｃは、抵抗７１の抵抗値をＲとしてコンデンサ７２の静電容量をＣとして、遮断周波数が１／（２πＲＣ）であるローパスフィルタを介した特性となる。また、供給経路ＰＬ１２を通って電源フィルタ４から出力される電源電圧Ｖｃｃは、抵抗７１とコンデンサ７２とにより構成されるローパスフィルタの時定数に応じて、電源端子Ｔｖから入力される電源電圧Ｖｃｃの変化に対する応答が遅れる。
【００９１】
第４実施形態の切替処理は、図９に示すように、Ｓ２０，Ｓ３０の代わりにＳ２６，Ｓ３６の処理を実行する点が第１実施形態と異なる。
すなわち、Ｓ１０にて、切替判断時間が経過していないと判断した場合には、Ｓ２６にて、オン状態を指示する第３切替信号をスイッチ７３へ出力して、Ｓ１０に移行する。一方、Ｓ１０にて、切替判断時間が経過したと判断した場合には、Ｓ３６にて、オフ状態を指示する第３切替信号をスイッチ７３へ出力して、切替処理を終了する。
【００９２】
このように構成されたセンサ回路３と電源フィルタ４と制御部５は、センサデバイス２へセンサ駆動電圧Ｖｂｇを供給する。
センサ回路３および電源フィルタ４は、供給経路ＰＬ１１と、供給経路ＰＬ１２とを備える。供給経路ＰＬ１１は、センサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。供給経路ＰＬ１２は、供給経路ＰＬ１１とは異なる経路であり、センサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。
【００９３】
制御部５は、マイコンが起動してから切替判断時間が経過したか否かを判断する。センサ回路３および電源フィルタ４は、切替判断時間が経過していないと制御部５が判断した場合には、供給経路ＰＬ１１を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。センサ回路３および電源フィルタ４は、切替判断時間が経過したと制御部５が判断した場合には、供給経路ＰＬ１２を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。
【００９４】
供給経路ＰＬ１２は、供給経路ＰＬ１１よりも電源電圧Ｖｃｃの変動に対する応答が遅い経路である。
このように、センサ回路３と電源フィルタ４と制御部５は、センサデバイス２へのセンサ駆動電圧Ｖｂｇの供給が開始された直後のように、センサデバイス２へのセンサ駆動電圧Ｖｂｇの供給が安定していない状況において、供給経路ＰＬ１１を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。そして供給経路ＰＬ１１は、供給経路ＰＬ１２よりも電源電圧Ｖｃｃの変動に対するセンサ駆動電圧Ｖｂｇの応答が速い。このため、センサ回路３と電源フィルタ４と制御部５は、センサデバイス２へのセンサ駆動電圧Ｖｂｇの供給が開始された直後において、センサデバイス２へのセンサ駆動電圧Ｖｂｇの供給が遅れてしまう事態の発生を抑制し、センサデバイス２が検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制することができる。
【００９５】
さらに、センサ回路３と電源フィルタ４と制御部５は、センサデバイス２へのセンサ駆動電圧Ｖｂｇの供給が安定している状況において、供給経路ＰＬ１２を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。そして供給経路ＰＬ１２は、供給経路ＰＬ１１よりも電源電圧Ｖｃｃの変動に対するセンサ駆動電圧Ｖｂｇの応答が遅い。このため、センサ回路３と電源フィルタ４と制御部５は、供給経路ＰＬ１２にノイズが載った場合に、センサデバイス２へ供給されるセンサ駆動電圧Ｖｂｇにノイズが重畳されてしまう事態の発生を抑制し、センサデバイス２の検出精度の低下を抑制することができる。
【００９６】
以上より、センサ回路３と電源フィルタ４と制御部５は、センサデバイス２の検出精度の低下を抑制するともに、センサデバイス２が検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制することができる。
【００９７】
なお、センサ回路３と電源フィルタ４と制御部５は電圧供給装置に相当し、供給経路ＰＬ１１は第１供給経路に相当し、供給経路ＰＬ１２は第２供給経路に相当する。
また、Ｓ２６は第１供給部としての処理に相当し、Ｓ３６は第２供給部としての処理に相当する。
【００９８】
（第５実施形態）
以下に本発明の第５実施形態を図面とともに説明する。なお第５実施形態では、第４実施形態と異なる部分を説明する。共通する構成については同一の符号を付す。
【００９９】
第５実施形態のセンサモジュール１は、電源フィルタ４が変更された点が第４実施形態と異なる。
第５実施形態の電源フィルタ４は、図１０に示すように、抵抗７１と、コンデンサ７２と、スイッチ７３と、コイル７４とを備える。
【０１００】
抵抗７１は、一端がセンサモジュール１の電源端子Ｔｖに接続される。コイル７４は、抵抗７１に対して直列に接続される。すなわち、コイル７４は、一端が抵抗７１の他端に接続される。本実施形態のコイル７４のインダクタンスは、２２０μＨである。
【０１０１】
コンデンサ７２は、一端がコイル７４の他端に接続され、他端が接地される。
スイッチ７３は、抵抗７１およびコイル７４に対して並列に接続されている。すなわち、スイッチ７３の接続端子８１は、抵抗７１の一端に接続され、接続端子８２はコイル７４の他端に接続される。
【０１０２】
このように構成されたセンサモジュール１では、スイッチ７３がオン状態である場合には、図７および図１０に示すように、電源端子Ｔｖからスイッチ７３およびセンサ回路３を通る供給経路ＰＬ１３でセンサデバイス２にセンサ駆動電圧Ｖｂｇが供給される。
【０１０３】
一方、スイッチ７３がオフ状態である場合には、電源端子Ｔｖから抵抗７１、コイル７４およびセンサ回路３を通る供給経路ＰＬ１４でセンサデバイス２にセンサ駆動電圧Ｖｂｇが供給される。そして、供給経路ＰＬ１４には、コンデンサ７２とコイル７４とにより構成されるローパスフィルタが設けられている。このため、供給経路ＰＬ１４を通って電源フィルタ４から出力される電源電圧Ｖｃｃは、コンデンサ７２の静電容量をＣとしてコイル７４のインダクタンスをＬとして、遮断周波数が１／｛２π（ＬＣ）１／２｝であるローパスフィルタを介した特性となる。また、供給経路ＰＬ１４を通って電源フィルタ４から出力される電源電圧Ｖｃｃは、コンデンサ７２とコイル７４とにより構成されるローパスフィルタの時定数に応じて、電源端子Ｔｖから入力される電源電圧Ｖｃｃの変化に対する応答が遅れる。
【０１０４】
このように構成されたセンサ回路３と電源フィルタ４と制御部５は、センサデバイス２へセンサ駆動電圧Ｖｂｇを供給する。
センサ回路３および電源フィルタ４は、供給経路ＰＬ１３と、供給経路ＰＬ１４とを備える。供給経路ＰＬ１３は、センサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。供給経路ＰＬ１４は、供給経路ＰＬ１３とは異なる経路であり、センサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。
【０１０５】
センサ回路３および電源フィルタ４は、切替判断時間が経過していないと制御部５が判断した場合には、供給経路ＰＬ１３を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。センサ回路３および電源フィルタ４は、切替判断時間が経過したと制御部５が判断した場合には、供給経路ＰＬ１４を介してセンサ駆動電圧Ｖｂｇをセンサデバイス２に供給する。
【０１０６】
供給経路ＰＬ１４は、供給経路ＰＬ１３よりも電源電圧Ｖｃｃの変動に対する応答が遅い経路である。
これにより、センサ回路３と電源フィルタ４と制御部５は、センサデバイス２の検出精度の低下を抑制するともに、センサデバイス２が検出可能な状態になるまでの時間が長くなるのを抑制することができる。
【０１０７】
なお、供給経路ＰＬ１３は第１供給経路に相当し、供給経路ＰＬ１４は第２供給経路に相当する。
（第６実施形態）
以下に本発明の第６実施形態を図面とともに説明する。なお第６実施形態では、第１実施形態と異なる部分を説明する。共通する構成については同一の符号を付す。
【０１０８】
第６実施形態のセンサモジュール１は、電源フィルタ４から出力されたセンサ駆動電圧Ｖｂｇが制御部５に入力される点と、切替処理が変更された点が第１実施形態と異なる。
第６実施形態の切替処理は、図１１に示すように、Ｓ１０の代わりにＳ１２の処理を実行する点が第１実施形態と異なる。
【０１０９】
すなわち、切替処理が実行されると、制御部５は、まずＳ１２にて、センサ駆動電圧Ｖｂｇが予め設定された切替判断電圧（例えば、３．５Ｖ）以上であるか否かを判断する。
ここで、センサ駆動電圧Ｖｂｇが切替判断電圧未満であると判断した場合には、Ｓ２０に移行する。一方、センサ駆動電圧Ｖｂｇが切替判断電圧以上であると判断した場合には、Ｓ３０に移行する。
【０１１０】
このように構成された電源フィルタ４および制御部５は、センサ駆動電圧Ｖｂｇが切替判断電圧以上であるか否かを判断することにより、センサデバイス２へのセンサ駆動電圧Ｖｂｇの供給が安定しているか否かを簡便な方法で判断することができ、制御部５の処理負荷を軽減することができる。
【０１１１】
なお、Ｓ１２は安定判断部としての処理に相当し、切替判断電圧は安定判断電圧に相当する。
以上、本開示の一実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に限定されるものではなく、種々変形して実施することができる。
【０１１２】
例えば上記実施形態では、センサデバイス２が温度を検出するものを示した。しかし、温度を検出する回路に限定されるものではなく、レシオメトリック特性を有する検出回路であればよい。例えば、感熱抵抗体１１、第１固定抵抗体１２、第２固定抵抗体１３、第３固定抵抗体１４を、全て歪み抵抗体に代えてホイートストンブリッジ回路を構成したセンサデバイスとしてもよい。
【０１１３】
また上記実施形態では、電源フィルタ４からセンサデバイス２へセンサ駆動電圧Ｖｂｇを供給するものを示したが、電源フィルタ４から出力された後のセンサ駆動電圧Ｖｂｇを電流変換して、定電流をセンサデバイス２へ供給するようにしてもよい。
【０１１４】
上記各実施形態における１つの構成要素が有する機能を複数の構成要素に分担させたり、複数の構成要素が有する機能を１つの構成要素に発揮させたりしてもよい。また、上記各実施形態の構成の一部を、省略してもよい。また、上記各実施形態の構成の少なくとも一部を、他の上記実施形態の構成に対して付加、置換等してもよい。なお、特許請求の範囲に記載の文言から特定される技術思想に含まれるあらゆる態様が本開示の実施形態である。
【０１１５】
上述した電源フィルタ４および制御部５の他、当該電源フィルタ４および制御部５を構成要素とするシステム、当該電源フィルタ４および制御部５としてコンピュータを機能させるためのプログラム、このプログラムを記録した半導体メモリ等の非遷移的実態的記録媒体、電圧供給方法など、種々の形態で本開示を実現することもできる。
【符号の説明】
【０１１６】
２…センサデバイス、３…センサ回路、４…電源フィルタ、５…制御部、ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３，ＰＬ４，ＰＬ５，ＰＬ６，ＰＬ１１，ＰＬ１２，ＰＬ１３，ＰＬ１４…供給経路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018159641.tif 000009
【図８】
2018159641.tif 000010
【図９】
2018159641.tif 000011
【図１０】
2018159641.tif 000012
【図１１】
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