(57)【要約】【課題】経時的な変形による隙間を防止し、計測精度を維持可能な流量計測ユニットを提供すること。【解決手段】流路断面が矩形の流路ブロック１１と、流路ブロック１１の対向する側面の間に配置された複数の仕切り板１６と、仕切り板１６を挿入する為に流路ブロック１１に設けた開口部１１ａと、開口部１１ａの上流と下流に配置された一対の超音波送受信器１８ａ，１８ｂを保持する計測ブロック１８と、開口部１１ａを覆い超音波を透過させる為の透過開口部１９ａ、１９ｂを有する透過膜１９と、透過膜１９の外周に配置されたシール部材１７とを備え、シール部材１７を計測ブロック１８と流路ブロック１１で挟持した。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被計測流体が流れる流路断面が矩形の流路ブロックと、
前記流路ブロックの対向する側面の間に、前記被計測流体が流れる方向に沿って配置された複数の仕切り板であって、前記対向する側面の間にＭ本（Ｍ：２以上の整数）の部分流路を規定する複数の仕切り板と、
前記仕切り板を挿入する為に前記流路ブロックに設けた開口部と、
前記開口部の上流と下流に配置された一対の超音波送受信器を保持する計測ブロックと、前記開口部を覆い、連続的に隣接するＮ本（Ｎ：１以上、Ｍ未満の整数）の部分流路に前記超音波送受信器で送受信される超音波を透過させる為の透過開口部を有する透過膜と、前記透過膜の外周に配置されたシール部材と、
を備え、
前記シール部材を前記計測ブロックと前記流路ブロックで挟持したことを特徴とする流量計測ユニット。
【請求項２】
被計測流体が流れる流路断面が矩形の流路ブロックと、
前記流路ブロックの対向する側面の間に、前記被計測流体が流れる方向に沿って配置された複数の仕切り板であって、前記対向する側面の間にＭ本（Ｍ：２以上の整数）の部分流路を規定する複数の仕切り板と、
前記仕切り板を挿入する為に前記流路ブロックに設けた開口部と、
前記開口部の上流と下流に配置された一対の超音波送受信器を保持する計測ブロックと、前記開口部を覆い、連続的に隣接するＮ本（Ｎ：１以上、Ｍ未満の整数）の部分流路に前記超音波送受信器で送受信される超音波を透過させる為の透過開口部を有する透過膜と、を備え、
前記透過膜の全周若しくは前記被計測流体の流れ方向の上流と下流に位置する外周部を前記計測ブロックと前記流路ブロックで挟持したことを特徴とする流量計測ユニット。
【請求項３】
流体を配送する配管と接続され、前記配管を流れる前記流体の流量を計測する流量計であって、
上流側の配管と接続される流体入口部と、
下流側の配管と接続される流体出口部と、
請求項１または２に記載の流量計測ユニットと、
前記流量計測ユニットと前記流体出口部とを接続するアダプタと
を備える流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスなどの流体の流量を計測する流量計測ユニット、及び、この流量計測ユニットが組み込まれた流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスメータ等の流量計で、大流量を計測可能な流量計として断面形状が矩形の流路を仕切板で複数の部分流路に分割し、この分割流路の一部の部分流路の流速を計測することで全体の流量を計測するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図１１は、前記特許文献１に開示された流量計の流量計測ユニット１１０の側面断面図（図１１（ａ））及び、平面断面図（図１１（ｂ））である。
【０００４】
この流量計測ユニット１１０は、流体入口１１２ａと、流体出口１１２ｂと、流路１１４と、複数の仕切り板１１６と、計測器１１８とを備えている。計測対象となる流体は、流体入口１１２ａから流量計測ユニット１１０内に入り、流路１１４を通過して流体出口１１２ｂから出る。流路１１４は流体入口１１２ａおよび流体出口１１２ｂを接続する単一の経路である。
【０００５】
複数の仕切り板１１６は、流体が流れる方向に沿って流路１１４内に配置されて複数の部分流路を形成している。
【０００６】
計測器１１８は、上流側に配置された第１の超音波送受信器１１８ａと、下流側に配置された第２の超音波送受信器１１８ｂとを利用して超音波の送受信を行い、超音波の伝播時間から流量を計測する。計測器１１８は、超音波を利用して複数の部分流路を流れる流体の流量を計測し、その結果に基づいて、流路１１４の全体に流れる流体の流量を算出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１７−１５４７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載の流量計測ユニット１１０では、流路１１４に仕切り板１１６を挿入する為に設けたれた開口部１１３を覆うように計測器１１８を載置して固定する構成となっており、流路１１４と計測器１１８との間は密閉されていない。
【０００９】
図１２は、図１１の流路１１４と計測器１１８との接合部であるａ部の拡大図であり、図において、開口部１１３から挿入された仕切り板１１６の上部には透過膜１３１が配置されており、更に、開口部１１３全体は、計測器１１８で覆われている。
【００１０】
この構成において、流路１１４と計測器１１８とは完全に密着しておらず僅かな隙間１２０が生じており、この隙間１２０を被計測流体であるガスが点線の矢印で示すような経路で僅かではあるが通過する構成となっている。
【００１１】
即ち、流体入口１１２ａから流入するガス流量をＱｉｎ、隙間１２０から流入するガスの流量をｑとすると、流体出口１１２ｂから流出するガス流量Ｑｏｕｔは、Ｑｏｕｔ＝Ｑ
ｉｎ＋ｑで表される。そして、この流量計測ユニット１１０を製造する際にはこの隙間１２０を流れるガス流量ｑを含めて補正が行われる。
【００１２】
超音波の伝搬時間から被計測流体であるガスの平均流速（Ｖ）が求められ、これに流路１１４の流路の断面積（Ｓ）を乗算することで流量（Ｑ）を求めることが出来るが、実際には、補正の為の流量係数（ｋ）を乗算し、Ｑ＝ｋ×Ｓ×Ｖで求められる。
【００１３】
この流量係数（ｋ）は、規定の流量を流したときの計測値を規定の流量に合わせる為の係数で、製造時の検定により設定され、ＥＥＰＲＯＭ等に保持されて、設置後は、この流量係数を用いて流量を算出している。
【００１４】
従って、上述のように僅かな隙間１２０があっても、この隙間１２０を流れるガス流量ｑを含めて補正を行うことで計測上の問題はない。
【００１５】
しかしながら、この隙間が経時変化によって大きくなる傾向があり、隙間が大きくなると、この隙間を通過するガスの量が増えてしまう為に、製造時の検定で設定された流量係数で補正しても、実際の流量と計測により求めた流量とが一致しなくなる可能性があった。
【００１６】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、流路１１４と計測器１１８との間の隙間１２０が経時的に変化しないようにする、或いは、この隙間を通過するガスの量を抑制することで常に正確な計測を可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記従来の課題を解決するために、本発明の流量計測ユニットは、被計測流体が流れる流路断面が矩形の流路ブロックと、前記流路ブロックの対向する側面の間に、前記被計測流体が流れる方向に沿って配置された複数の仕切り板であって、前記対向する側面の間にＭ本（Ｍ：２以上の整数）の部分流路を規定する複数の仕切り板と、前記仕切り板を挿入する為に前記流路ブロックに設けた開口部と、前記開口部の上流と下流に配置された一対の超音波送受信器を保持する計測ブロックと、前記開口部を覆い、連続的に隣接するＮ本（Ｎ：１以上、Ｍ未満の整数）の部分流路に前記超音波送受信器で送受信される超音波を透過させる為の透過開口部を有する透過膜と、前記透過膜の外周に配置されたシール部材と、を備え、前記シール部材を前記計測ブロックと前記流路ブロックで挟持したことを特徴とするものである。
【００１８】
これによって、流路と計測器との間の隙間が経時的に変化しないようにすることができ、正確な計測を可能とすることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の本発明の流量計測ユニットは、流路と計測器との間の隙間が経時的に変化しないようにする、或いは、この隙間を通過するガスの量を抑制することで正確な計測を可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態１における流量計測ユニットの概観斜視図
【図２】本発明の実施の形態１における流量計測ユニットの側面図
【図３】本発明の実施の形態１における流量計測ユニットの平面図
【図４】図２の流量計測ユニットのＡ−Ａ断面図
【図５】図２の流量計測ユニットのＢ−Ｂ断面図
【図６】超音波を用いた流量計測方法を説明する為の図
【図７】（ａ）本発明の実施の形態１における流量計測ユニットの分解図、（ｂ）計測部の要部断面図、（ｃ）（ｂ）のａ部拡大図
【図８】（ａ）本発明の実施の形態２における流量計測ユニットの分解図、（ｂ）計測部の要部断面図、（ｃ）（ｂ）のａ部拡大図
【図９】本発明の実施の形態３における流量計測ユニットの分解図
【図１０】本発明の実施の形態３における流量計の断面図
【図１１】（ａ）従来の流量計測ユニットの断面図、（ｂ）同平面図
【図１２】図１１（ｂ）のａ部拡大図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
第１の発明は、被計測流体が流れる流路断面が矩形の流路ブロックと、前記流路ブロックの対向する側面の間に、前記被計測流体が流れる方向に沿って配置された複数の仕切り板であって、前記対向する側面の間にＭ本（Ｍ：２以上の整数）の部分流路を規定する複数の仕切り板と、前記仕切り板を挿入する為に前記流路ブロックに設けた開口部と、前記開口部の上流と下流に配置された一対の超音波送受信器を保持する計測ブロックと、前記開口部を覆い、連続的に隣接するＮ本（Ｎ：１以上、Ｍ未満の整数）の部分流路に前記超音波送受信器で送受信される超音波を透過させる為の透過開口部を有する透過膜と、前記透過膜の外周に配置されたシール部材と、を備え、前記シール部材を前記計測ブロックと前記流路ブロックで挟持したことを特徴とする流量計測ユニットとしたもので、流路と計測器との間の隙間が経時的に変化しないようにすることができ、正確な計測を可能とすることができる。
【００２２】
第２の発明は、被計測流体が流れる流路断面が矩形の流路ブロックと、前記流路ブロックの対向する側面の間に、前記被計測流体が流れる方向に沿って配置された複数の仕切り板であって、前記対向する側面の間にＭ本（Ｍ：２以上の整数）の部分流路を規定する複数の仕切り板と、前記仕切り板を挿入する為に前記流路ブロックに設けた開口部と、前記開口部の上流と下流に配置された一対の超音波送受信器を保持する計測ブロックと、前記開口部を覆い、連続的に隣接するＮ本（Ｎ：１以上、Ｍ未満の整数）の部分流路に前記超音波送受信器で送受信される超音波を透過させる為の透過開口部を有する透過膜と、を備え、前記透過膜の全周若しくは前記被計測流体の流れ方向の上流と下流に位置する外周部を前記計測ブロックと前記流路ブロックで挟持したことを特徴とする流量計測ユニットとしたもので、流路と計測器との間の隙間が経時的に変化しないようにすることができ、正確な計測を可能とすることができる。
【００２３】
第３の発明は、流体を配送する配管と接続され、前記配管を流れる前記流体の流量を計測する流量計であって、上流側の配管と接続される流体入口部と、下流側の配管と接続される流体出口部と、請求項１または２に記載の流量計測ユニットと、前記流量計測ユニットと前記流体出口部とを接続するアダプタとを備える流量計である。
【００２４】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明による流量計測ユニットおよび流量計の実施の形態を説明する。同じ構成要素には同じ参照符号を付す。既に説明した構成要素については再度の説明を省略する。なお、本発明は、以下で説明する実施の形態によって限定されるものではない。
【００２５】
本明細書において、流量計は流体を配送する配管と接続され、配管を流れる流体の流量を計測する。流体は、典型的には気体（ガス）であるが、他の流体、たとえば液体であってもよい。流量計には流量計測ユニットが組み込まれており、流量計測ユニットが流体の流量を計測する。つまり、流量計測ユニットは流量計の一部品であるとする。以下では、まず流量計測ユニットの詳細な構成を説明し、その後、流量計測ユニットが組み込まれた流量計を説明する。
【００２６】
（実施の形態１）
図１は流量計測ユニット１０の外観斜視図である。また、図２は正面図であり、図３は上面図である。主として図１を参照する。
【００２７】
流量計測ユニット１０は、流体入口１２ａと、流体出口１２ｂと、流体入口１２ａと流体出口１２ｂとを連通する流路１４と、流路１４を複数の部分流路２０に仕切るための複数の仕切り板１６とで構成された流路ブロック１１と、計測ブロック１８とを備えている。計測対象となる流体は、流体入口１２ａから流量計測ユニット１０内に入り、流路１４を通過して流体出口１２ｂから出る。流路１４は流体入口１２ａおよび流体出口１２ｂを接続する単一の経路である。
【００２８】
複数の仕切り板１６は、流体が流れる方向に沿って流路１４内に配置されている。流体が流れる方向とは、流体入口１２ａから流体出口１２ｂに向かう方向である。本実施の形態においては、仕切り板１６の数は２３枚である。ただしこれは一例である。複数の仕切り板１６の数は、より多くてもよいし、より少なくてもよい。
【００２９】
図４は、図２に示すＡ−Ａを含む平面による断面図である。また図５は、図２に示すＢ−Ｂを含む平面による断面図である。
【００３０】
図４から理解されるように、複数の仕切り板１６は、流路１４内の対向する側面１４−１および１４−２の間に、流体が流れる方向に沿って平行に設けられている。本実施の形態においては、隣接する仕切り板１６の間隔は実質的に等しい。
【００３１】
流路１４は、複数の仕切り板１６によって複数の部分流路２０に分割される。例えば、部分流路２０は、２枚の仕切り板１６および流路１４の対向する上面１４−３および下面１４−４（図５）によって規定されている。
【００３２】
次に図５および図６を参照しながら、計測ブロック１８における超音波を用いた流量計測方法を説明する。
【００３３】
図５には計測ブロック１８の断面が示されている。本実施の形態においては、計測ブロック１８は超音波を用いて流量を計測する超音波センサユニットである。計測ブロック１８は、超音波を利用して複数の部分流路を流れる流体の流量を計測し、その結果に基づいて、流路１４の全体に流れる流体の流量を算出する。
【００３４】
計測ブロック１８は、上流側に配置された第１の超音波送受信器１８ａと、下流側に配置された第２の超音波送受信器１８ｂとを利用して超音波の送受信を行う。流路１４の上面１４−３は第１の透過開口部１９ａ、および第２の透過開口部１９ｂを有している。第１の透過開口部１９ａおよび第２の透過開口部１９ｂはシート状の透過膜１９（具体的な形状は後述する）に開口部として形成されている。
【００３５】
また、透過開口部１９ａおよび第２の透過開口部１９ｂは超音波が透過可能な素材で形成されてもよく、その場合には、入射面の音響インピーダンスおよび透過面の音響インピーダンスの差が予め定められた値よりも小さければよい。上面１４−３の、第１の透過開口部１９ａおよび第２の透過開口部１９ｂ以外の部分は、たとえばパネルで覆われていてもよい。下面１４−４は超音波の反射面として作用するように構成されている。
【００３６】
以下、図６を参照しながら、超音波を利用した流量計測の原理を説明する。なお、本実施の形態では、部分流路の総数はＭ本であるとし、計測ブロック１８はそのうちのＮ本の
部分流路を覆うように配置されているとする。計測ブロック１８は、当該Ｎ本の部分流路を流れる流体の流量Ｓを計測する。
【００３７】
図６は、計測ブロック１８の具体的な構成を示す。計測ブロック１８は、第１の超音波送受信器１８ａ、第２の超音波送受信器１８ｂ、制御回路２２および演算回路２４を備えている。
【００３８】
流路１４を流れる流体の流速をＶ、流体中の音速をＣ、流体の流れる方向と超音波が下面１４−４で反射するまでの超音波伝搬方向とのなす角度をθとする。また、第１の超音波送受信器１８ａと第２の超音波送受信器１８ｂとの間で伝搬する超音波の伝搬経路の有効長さをＬとする。
【００３９】
制御回路２２は、第１の超音波送受信器１８ａからの超音波の送信と、第２の超音波送受信器１８ｂにおける超音波の受信とを制御する。第１の超音波送受信器１８ａから送信された超音波が第２の超音波送受信器１８ｂに到達するまでの伝搬時間ｔ１は、下式にて示される。
【００４０】
ｔ１ ＝ Ｌ ／（Ｃ＋Ｖｃｏｓθ）                          （１）
制御回路２２は、第２の超音波送受信器１８ｂからの超音波の送信と、第１の超音波送受信器１８ａにおける超音波の受信とを制御する。第２の超音波送受信器１８ｂから送信された超音波が第１の超音波送受信器１８ａに到達するまでの伝搬時間ｔ２は、下式にて示される。
【００４１】
ｔ２ ＝ Ｌ ／（Ｃ−Ｖｃｏｓθ）                          （２）
式（１）と式（２）から流体の音速Ｃを消去すると、下式が得られる。
【００４２】
Ｖ ＝（ Ｌ ／（２ｃｏｓθ））  ×  （（１／ｔ１）−（１／ｔ２））    （３）
式（３）から理解されるように、Ｌとθが既知なら、制御回路２２が伝搬時間ｔ１およびｔ２を計測することにより、流速Ｖが求められる。演算回路２４が流速Ｖの演算を行う。
【００４３】
更に、演算回路２４は、下式に示すように、流速ＶにＮ本の部分流路の断面積ＳＮを乗じてＮ本の部分流路を通過する流量ｑｅＮを算出する。なお断面積ＳＮは既知である。
【００４４】
ｑｅＮ  ＝  Ｖ  ×  ＳＮ                                    （４）
演算回路２４は、部分流路を流れる流体の流量を、流路１４を流れるに換算する処理を行う。すなわち演算回路２４は、部分流路の流量ｑｅＮの値に基づいて、流路１４全体の流量ｑｅを算出する。Ｑｅｓとｑｅの関係は、予め実験により検定されている。演算回路２４は、流量ｑｅＮを予め検定された係数Ｋで補正し、流量ｑｅを求める。
【００４５】
ｑｅ  ＝  Ｋ  ×  ｑｅＮ                                    （５）
式（４）および（５）から、下記の式（６）が得られる。
【００４６】
ｑｅ  ＝  Ｋ  ×  Ｖ  ×  ＳＮ
＝  Ｋ’ ×  Ｖ                                        （６）
つまり、演算回路２４は、Ｎ本の部分流路の断面積ＳＮを考慮した係数Ｋ’（＝Ｋ・ＳＮ）を用いることにより、式（４）の演算を行うことなく、流速Ｖから流路１４の流量を算出できる。
【００４７】
予め実験による検定を行って係数ＫまたはＫ’を求めておくことにより、流路１４を流
れる流体の流量に対する、Ｎ本の部分流路に流れる流体の流量に偏りが生じていたとしても、正しく流路１４を流れる流体の流量を算出できる。なお、流速に応じて、Ｎ本の部分流路に流れる流体の流量に偏りが生じる場合があり得る。そのような場合には、流速範囲ごとに係数ＫまたはＫ’を実験により検定しておき、流速範囲と、係数ＫまたはＫ’を対応付けて、演算回路２４の内部メモリ（図示せず）に記憶しておいてもよい。演算回路２４は、得られた流速Ｖから、その流速に対応する係数ＫまたはＫ’を読み出し、流路１４の流量を算出することができる。
【００４８】
上述の例では、いわゆるＶパス方式の流量計測原理を説明したが、これは一例である。いわゆるＺパス方式、Ｉパス方式と呼ばれる計測原理を用いてもよい。
【００４９】
計測ブロック１８が超音波式であることは必須ではない。一部の部分流路を流れる流体の流量を計測できれば、公知の計測器を用いることができる。公知の計測器とは、たとえば流れによる熱の移動を利用して流量を測定するサーマルフローセンサーであってもよい。これらは公知であるためその説明は省略する。
【００５０】
以上の構成により、流量計測ユニット１０はその流路１４を流れる流体の流量を計測することができる。
【００５１】
本実施の形態による流量計測ユニット１０は、たとえば毎時１０立方メートル以上、より好ましくは、毎時１５立方メートルから３０立方メートルの流量を計測することができる。一般家庭向けの計測ユニットは、高々毎時６立方メートル程度である。よって業務上利用される施設において、比較的大流量を計測することができる。ただし、本実施の形態による流量計測ユニット１０を一般家庭において利用してもよい。
【００５２】
構造上、流体入口１２ａおよび流体出口１２ｂの開口面積を大きくすれば、より大流量の流体を計測することが可能である。対向する側面１４−１および１４−２（図４）の幅を広げて開口面積を大きくした場合には仕切り板１６の枚数を増加させればよい。あるいは上面１４−３および下面１４−４（図５）の幅を広げて開口面積を大きくした場合には、仕切り板１６の高さを増加させればよい。
【００５３】
さらに、流量計測ユニット１０を複数台設けることにより、より大流量を計測できるようにしてもよい。
【００５４】
図７（ａ）は、流量計測ユニット１０の分解斜視図であり、各構成部品を示している。図において、計測ブロック１８は、全体を覆っているケースを取り外した状態を示しており、センサブロック１８ｃに第１の超音波送受信器１８ａ、第２の超音波送受信器１８ｂ、制御回路２２が実装された回路基板１８ｄが搭載されており、第１の超音波送受信器１８ａ、第２の超音波送受信器１８ｂは、リード線１８ｅにより、回路基板１８ｄと接続されている。
【００５５】
流路ブロック１１は、１つの面（図７（ａ）における上面）に仕切り板１６を挿入する為の開口部１１ａを有しており、この開口部１１ａの全面が透過膜１９で覆われる。この透過膜１９には、前述したように透過開口部１９ａおよび第２の透過開口部１９ｂが開口している。
【００５６】
センサベース２１は、計測ブロック１８を流路ブロック１１に取り付けるためのアダプタであり、中央部２１ｂには計測ブロック１８を取り付け可能になっており、周囲には流路ブロック１１の開口部１１ａの周囲に設けた突起部１１ｂに嵌合する為の孔を設けた係合部２１ａが複数設けられている。
【００５７】
シール部材１７は、開口部１１ａの外周部１１ｃに配置され、外周部１１ｃとセンサベース２１で挟持される。
【００５８】
なお、本実施の形態において、計測ブロック１８とセンサベース２１を別体として構成しているが、これは、計測ブロック１８を大流量の計測に使用する場合と小流量の計測に使用する場合とで共用する為である。即ち、本実施の形態では、流路ブロック１１を２４個の部分流路で構成して大流量を計測可能としているが、計測ブロック１８は、最小で４個の部分流路の計測が可能であり、部分流路の数を４個以上の任意の数とし、部分流路の数で決定される開口部の大きさに合わせてセンサベース２１を製作することで、小流量から大流量まで計測可能な流量計測ユニットを実現することが可能となる。
【００５９】
従って、計測ブロック１８を共用する必要がない場合は、計測ブロック１８とセンサベース２１を一体とすることが可能である。
【００６０】
図７（ｂ）は、計測ブロック１８を開口部１１ａに取り付けた状態を示す要部断面図であり、図７（ｃ）は図７（ｂ）のａ部の模式図である。
【００６１】
ここで、仕切り板１６は、端部に凸部１６ａが設けられており、この凸部１６ａが流路ブロック１１に設けられた保持部１１ｄに勘合することで保持されている。他端にも同様の構成が設けられており、仕切り板１６は両端で保持されている。仕切り板１６上には透過膜１９が載置され、更に、流路ブロック１１に設けられた外周部１１ｃにはシール部材１７が載置され、透過膜１９とシール部材１７は、センサベース２１で流路ブロック１１側に押し当てられている。
【００６２】
以上の構成により、センサベース２１と流路ブロック１１との隙間２５にシール部材１７が介在することで、隙間２５が拡大しても実質的な隙間はシール部材で吸収することができるので、経時変化による隙間の実質的な拡大を防止することができる。
【００６３】
（実施の形態２）
図８（ａ）は、実施の形態２における流量計測ユニット３０の分解斜視図であり、各構成部品を示している。  図８（ｂ）は、計測ブロック１８を開口部１１ａに取り付けた状態を示す要部断面図であり、図８（ｃ）は図８（ｂ）のａ部の模式図である。
【００６４】
本実施の形態において、実施の形態１と異なるのは、シール部材１７の代わりに透過膜３１の４辺に延出部３１ｃ、３１ｂ、３１ｄ、３１ｅを設けた点で有り、この延出部３１ｃ、３１ｂ、３１ｄ、３１ｅを開口部１１ａの外周部１１ｃとセンサベース２１で挟持するようにした点である。
【００６５】
そして、この延出部３１ｃ、３１ｂ、３１ｄ、３１ｅで実施の形態１と同様に、隙間２５におけるシール効果を得ることができる。
【００６６】
（実施の形態３）
図９は、実施の形態３における流量計測ユニット３２の分解斜視図であり、各構成部品を示している。
【００６７】
本実施の形態において、実施の形態２と異なるのは、透過膜３３の４辺の内の流路の上流と下流の２辺のみに延出部３３ｃ、３３ｄを設けて、この延出部３３ｃ、３３ｄを開口部の外周で挟持するようにした点である。
【００６８】
隙間２５の発生による流量計測における影響は、上流と下流の２箇所が大きいことから、この延出部３３ｃ、３３ｄだけでも実施の形態２と同様のシール効果を得ることができる。
【００６９】
（実施の形態４）
図１０は、この流量計測ユニット１０、３０、３２のいずれかが組み込まれた流量計４０の一例を示す内部構造図である。図において、流量計４０内の流体の流れは白抜きの矢印によって示している。
【００７０】
流量計４０の筐体４１の内部には、流量計測ユニット１０（３０、３２）と、流体入口部４２と、流体出口部４３とを有する。流体入口部４２の内部には流入した流体を流量計４０内に拡散する為の拡散板４４が配置されており、流体が直接を流量計測ユニット１０（３０、３２）の流体入口１２ａに流入するのを防止している。即ち、流体は、流量計内部に入った後、拡散板４４により拡散されて流体入口１２ａに流入することで流れが安定し、計測精度の向上が図れるのである。
【００７１】
また、流体出口１２ｂと流体出口部４３との間にはアダプタ４５が取り付けられており、流量計測ユニット１０で計測された流体は流体出口部４３へ導かれる。
【００７２】
以上のような構成により、流量計測ユニット１０を用いた流量計を実現することが出来る。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明にかかる計測ユニットは、単一の流路を有しており、その流路を流れる流体の流量を算出する。流路を大きく取ることが容易であるため、業務用の大型ガスメータ等、大流量の計測を必要とする幅広い用途に適用できる。そのような計測ユニットを複数用いた流量計は、さらに容易に大流量の計測に適用可能である。
【符号の説明】
【００７４】
１０、３０、３２  流量計測ユニット
１１  流路ブロック
１１ａ  開口部
１２ｂ  流体出口
１６  仕切り板
１７  シール部材
１８  計測ブロック
１８ａ、１８ｂ  超音波送受信器
１９、３１、３３  透過膜
１９ａ、１９ｂ  透過開口部
２０  部分流路
４０  流量計
４２  流体入口部
４３  流体出口部
４５  アダプタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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