(57)【要約】      （修正有）【課題】装置を小型化できる研磨装置を提供する。【解決手段】複数形成された貫通孔２２から回転駆動により砥粒を噴射する噴射用ロータ２と、噴射用ロータ２を回転駆動する駆動部３と、噴射用ロータ２に砥粒を供給する供給部４とを備え、供給された砥粒を、貫通孔２２を経て噴射用ロータ２の外方に噴出させ被研磨材に吹き付け研磨する研磨装置１において、噴射用ロータ２は、所定の厚みの円板体２０にて形成され、円板体２０に所定の大きさの中空部を有し、供給部は、中空部に砥粒を供給し、各貫通孔２２は、一端が中空部に開口し、他端が円板体２０の外周側面に開口して形成され、各貫通孔２２には貫通孔２２を開閉する蓋部７がそれぞれ形成され、各蓋部７の開閉を、噴射用ロータ２の回転位置に応じて調整する調整部を備える。【選択図】図１
2018134734.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数形成された貫通孔から回転駆動により砥粒を噴射する噴射用ロータと、
前記噴射用ロータを回転駆動する駆動部と、
前記噴射用ロータに砥粒を供給する供給部とを備え、
供給された前記砥粒を、前記貫通孔を経て前記噴射用ロータの外方に噴出させ被研磨材に吹き付け研磨する研磨装置において、
前記噴射用ロータは、所定の厚みの円板体にて形成され、前記円板体に所定の大きさの中空部を有し、
前記供給部は、前記中空部に前記砥粒を供給し、
各前記貫通孔は、一端が前記中空部に開口し、他端が前記円板体の外周側面に開口して形成され、
各前記貫通孔には前記貫通孔を開閉する蓋部がそれぞれ形成され、
各前記蓋部の開閉を、前記噴射用ロータの回転位置に応じて調整する調整部を備えた研磨装置。
【請求項２】
前記調整部は、カム本体と、各前記蓋部にそれぞれ接続され前記カム本体に接触するカムフォロアとを有し、
前記カム本体は、前記噴射用ロータの軸方向側に、前記噴射用ロータの回転位置に応じて前記噴射用ロータとの軸方向の距離が変動する円環状にて形成される請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記カム本体は、前記噴射用ロータとの軸方向の距離が、一番短い第一距離を有する第一箇所と、一番長い第二距離を有する第二箇所と、回転方向において前記第一箇所から前記第二箇所へ至る第一傾斜部と、回転方向において前記第二箇所から前記第一箇所へ至る第二傾斜部とを備え、
前記第一傾斜部は、前記第二傾斜部よりも急傾斜にて形成される請求項２に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記蓋部は、軸方向に伸縮するばねを有し、前記ばねの伸縮により前記貫通孔上を軸方向に移動して開閉する請求項２または請求項３に記載の研磨装置。
【請求項５】
前記蓋部は、軸方向にねじりモーメントが生じるねじりばねを有し、前記ねじりばねのねじりモーメントにより前記貫通孔上をねじり方向に移動して開閉する請求項２または請求項３に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記調整部は、前記噴射用ロータの軸方向の回転位置において、前記貫通孔の前記蓋部を開とする位置に磁石部を設置し、
前記蓋部は、磁性体にて形成され、軸方向に伸縮するばねを有し、前記磁石部上においては前記ばねの伸縮により前記貫通孔上を軸方向に移動して開とし、前記磁石部上以外の箇所では前記ばねの伸縮により前記貫通孔を閉とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項７】
前記調整部は、前記噴射用ロータの軸方向に、前記噴射用ロータの回転位置に応じて前記噴射用ロータとの軸方向の距離が変動する円環状の第一電磁石部と、
前記第一電磁石部の軸方向において一定の間隔を隔てたスライド部を形成する円環状の第二電磁石部と、磁石にて形成され各前記蓋部に一端が接続され他端が前記スライド部に配置された移動部とを有し、
前記第一電磁石部と前記移動部との間、および、前記第二電磁石部と前記移動部との間にそれぞれ反発力を発生させ、各前記移動部が前記スライド部を移動可能とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項８】
前記第一電磁石部は、前記噴射用ロータとの軸方向の距離が、一番短い第一距離を有する第一箇所と、一番長い第二距離を有する第二箇所と、回転方向において前記第一箇所から前記第二箇所へ至る第一傾斜部と、回転方向において前記第二箇所から前記第一箇所へ至る第二傾斜部とを備え、
前記第一傾斜部は、前記第二傾斜部よりも急傾斜にて形成される請求項７に記載の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、装置を小型化できる研磨装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の研磨装置は、回転軸が水平となる姿勢で配置された噴射用ロータ、この噴射用ロータを回転駆動する駆動手段、噴射用ロータの開口部内に砥粒を供給する砥粒供給手段、および噴射用ロータの下端近傍から回転方向に沿ってその上端近傍に至る位置においてその外周面を閉塞するようにベルトを噴射用ロータの外周の一部に係合させるベルト係合手段を備え、開口部から導入された砥粒を、貫通孔を経て噴射用ロータの上端近傍のベルトによる閉塞が開放される位置から周方向外方に噴出させ被研磨材に吹き付けるものである（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２０５４６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の研磨装置は、貫通孔の開閉をベルトにより行っていたため、ベルトおよびベルトを駆動する駆動部などのベルト機構を、噴射用ロータの外周に設置する必要があり、装置が大型化するという問題点があった。
【０００５】
本願は、上記のような課題を解決するための技術を開示するものであり、装置を小型化できる研磨装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願に開示される研磨装置は、
複数形成された貫通孔から回転駆動により砥粒を噴射する噴射用ロータと、
前記噴射用ロータを回転駆動する駆動部と、
前記噴射用ロータに砥粒を供給する供給部とを備え、
供給された前記砥粒を、前記貫通孔を経て前記噴射用ロータの外方に噴出させ被研磨材に吹き付け研磨する研磨装置において、
前記噴射用ロータは、所定の厚みの円板体にて形成され、前記円板体に所定の大きさの中空部を有し、
前記供給部は、前記中空部に前記砥粒を供給し、
各前記貫通孔は、一端が前記中空部に開口し、他端が前記円板体の外周側面に開口して形成され、
各前記貫通孔には前記貫通孔を開閉する蓋部がそれぞれ形成され、
各前記蓋部の開閉を、前記噴射用ロータの回転位置に応じて調整する調整部を備えたものである。
【発明の効果】
【０００７】
本願に開示される研磨装置によれば、装置を小型化できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の形態１による研磨装置の一部の構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示した研磨装置の構成を示す側面図である。
【図３】図１に示した研磨装置の構成を示す上面図である。
【図４】図１に示した研磨装置の噴射用ロータの構成を示す正面図である。
【図５】図１に示した研磨装置のカム本体の構成を示す斜視図である。
【図６】図１に示した研磨装置の全体構成を示す正面図である。
【図７】実施の形態１による他の研磨装置のカム本体の構成を示す側面図である。
【図８】実施の形態１による他の研磨装置の一部の構成を示す側面図である。
【図９】図８に示した研磨装置の蓋部の開閉状態を説明するための図である。
【図１０】実施の形態２による研磨装置の一部の構成を示す側面図である。
【図１１】図１０に示した研磨装置の構成を示す正面図である。
【図１２】実施の形態３による研磨装置の一部の構成を示す側面図である。
【図１３】図１２に示した研磨装置の構成を示す上面図である。
【図１４】図１２に示した研磨装置の両電磁石部の構成を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
実施の形態１．
図１は実施の形態１による研磨装置の一部の構成を示す斜視図である。図２は図１に示した研磨装置の構成を示す側面図である。図３は図１に示した研磨装置の構成を示す上面図である。図４は図１に示した研磨装置の噴射用ロータを軸方向から見た構成を示す正面図である。図５は図１に示した研磨装置のカム本体の構成を示す斜視図である。図６は図１に示した研磨装置の全体構成を示す正面図である。
【００１０】
図において、研磨装置１は、筐体１３内に、噴射用ロータ２と、供給部４と、ベルトコンベア１２とを備える。さらに、筐体１３の壁面１０に、筐体１３外に配置された噴射用ロータ２の駆動部３を備える。噴射用ロータ２は、軸方向Ｙに所定の厚みを有する円板体２０にて形成される。円板体２０には、所定の大きさ、すなわち所定の開口径および所定の軸方向Ｙの幅を有する中空部２１が形成される。
【００１１】
噴射用ロータ２には、複数の貫通孔２２が、周方向に等間隔に形成される。各貫通孔２２は、一端２２０が中空部２１に開口し、他端２２１が円板体２０の外周側面に開口して形成される（図４参照）。円板体２０は、例えば、鉄材、ステンレス材、または、超高分子量ポリエチレン樹脂材にて形成することが考えられる。特に、超高分子量ポリエチレン樹脂材にて形成すれば、砥粒５に対して耐摩耗性に優れているので、装置の長寿命化が期待できる。
【００１２】
噴射用ロータ２は、回転軸が水平になるように壁面１０に設置され、回転軸の他端は駆動部３に接続される。駆動部３は、噴射用ロータ２を回転方向Ｚに回転駆動する。噴射用ロータ２は、駆動部３の回転駆動により、中空部２に供給された砥粒５を、貫通孔２２を経て噴射用ロータ２の外方の被研磨材６に吹き付ける。ベルトコンベア１２は筐体１３の下部に溜まった砥粒５を上方へ搬送し、供給部４により一定量の割合で噴射用ロータ２の中空部２１に砥粒５を供給する。
【００１３】
各貫通孔２２には、貫通孔２２を開閉する蓋部７がそれぞれ形成される。各蓋部７の開閉を、噴射用ロータ２の回転位置に応じて調整する調整部９０を備える。ここでは図４および図６に示したように、調整部９０は、砥粒５を噴射する必要がある回転位置に到達している貫通孔２２が、開状態となるように、また、それ以外の回転位置にある貫通孔２２が、閉状態、または、開状態から閉状態への移行途中となるように調整する。このように調整部９０は、砥粒５を噴射する必要がある回転位置に到達した貫通孔２２に対して、当該蓋部７が開くように調整するものである。
【００１４】
調整部９０は、カム本体９と、各蓋部７にそれぞれ接続されカム本体９に接触するカムフォロア８とを有するカム機構にて形成される。カム本体９は、噴射用ロータ２の軸方向Ｙ側に、噴射用ロータ２の回転位置に応じて噴射用ロータ２との軸方向Ｙの距離が変動する円環状にて形成される。具体的には、カム本体９は、噴射用ロータ２との軸方向Ｙの距離が、一番短い第一距離を有する第一箇所Ａと、一番長い第二距離を有する第二箇所Ｂとを有し、回転方向Ｚにおいて第一箇所Ａから第二箇所Ｂへ至る第一傾斜部９１と、回転方向Ｚにおいて第二箇所Ｂから第一箇所Ａへ至る第二傾斜部９２とを備える。第一傾斜部９１と第二傾斜部９２とは同様の傾斜角度にて形成される。各蓋部７と噴射用ロータ２との間には、軸方向Ｙに伸縮するばね１７（図２参照）が配置され、ばね１７は各蓋部７が貫通孔２２を開く方向に付勢している。
【００１５】
カム本体９の第一箇所Ａにカムフォロア８が接触するときは、カム本体９と噴射用ロータ２との軸方向Ｙの距離が一番短いため、カムフォロア８は軸方向Ｙにおいて噴射用ロータ２に一番近接し、カムフォロア８に接続された蓋部７は、貫通孔２２上に接触し、貫通孔２２を閉状態とする。
【００１６】
カム本体９の第二箇所Ｂにカムフォロア８が接触するときは、カム本体９と噴射用ロータ２との軸方向Ｙの距離が一番長いため、カムフォロア８は軸方向Ｙにおいて噴射用ロータ２から離れ、カムフォロア８に接続された蓋部７は、貫通孔２２を開状態とする。
【００１７】
次に上記のように構成された研磨装置１の動作について説明する。噴射用ロータ２の中空部２１に導入された砥粒５は、噴射用ロータ２の回転による遠心力で、所定の回転位置であって蓋部７が開状態にある貫通孔２２を経て、図４および図６の矢印で示す方向に噴射される。このように調整部９０は、所定の回転位置にある貫通孔２２の蓋部７が開状態となるように、そして、他の回転位置にある貫通孔２２は、蓋部７が閉状態または開状態から閉状態への移行途中となるように調整する。そして、砥粒５は被研磨材６に噴射され所望の研磨を行う。被研磨材６に噴射された砥粒５は、筐体１３の下部に溜まり、再び、ベルトコンベア１２および供給部４を経て噴射用ロータ２の中空部２１に導入される。
【００１８】
次に、当該調整部９０の調整について説明する。調整部９０は、カム本体９の第一箇所Ａにカムフォロア８が接触する場合には、カム本体９と蓋部７との軸方向Ｙの距離が一番短い第一距離となり、蓋部７はカムフォロア８により軸方向Ｙの貫通孔２２側に押され、蓋部７のばね１７は軸方向Ｙに縮められて保持される。よって、貫通孔２２は蓋部７により閉状態に調整される。
【００１９】
また、カム本体９の第一箇所Ａから第二箇所Ｂに至る第一傾斜部９１に、カムフォロア８が接触する場合には、カム本体９と蓋部７との軸方向Ｙの距離が第一箇所Ａより長い距離となるため、蓋部７のばね１７は軸方向Ｙに伸びる。よって、蓋部７は貫通孔２２上から軸方向Ｙに離れる方向に移動し、貫通孔２２は蓋部７により閉状態から開状態へ移行するように調整される。
【００２０】
また、カム本体９の第二箇所Ｂに、カムフォロア８が接触する場合には、カム本体９と蓋部７との軸方向Ｙの距離が一番長い第二距離となり、蓋部７はカムフォロア８により軸方向Ｙの貫通孔２２と反する側に移動し、蓋部７のばね１７は軸方向Ｙに伸ばされて保持される。よって、貫通孔２２は蓋部７により開状態に調整される。
【００２１】
また、カム本体９の第二箇所Ｂから第一箇所Ａに至る第二傾斜部９２に、カムフォロア８が接触する場合には、カム本体９と蓋部７との軸方向Ｙの距離が第二箇所Ｂより短い距離となるため、蓋部７のばね１７は軸方向Ｙに縮められる。よって、蓋部７は軸方向Ｙに貫通孔２２に近づく方向に移動し、貫通孔２２は蓋部７により開状態から閉状態へ移行するように調整される。このように調整部９０により、噴射用ロータ２の回転位置に応じて、蓋部７の貫通孔２２の開閉が調整され、所定の回転位置にて貫通孔２２を開状態として砥粒５を噴射できる。
【００２２】
上記実施の形態１にて示したカム本体９は、回転方向Ｚにおいて第一箇所Ａから第二箇所Ｂへ至る第一傾斜部９１と、回転方向Ｚにおいて第二箇所Ｂから第一箇所Ａへ至る第二傾斜部９２との傾斜角度が同様にて構成される例を示したが、これに限られることはなく、例えば図７に示すように、カム本体１９を、回転方向Ｚにおいて第一箇所Ａから第二箇所Ｂへ至る第一傾斜部９３と、回転方向Ｚにおいて第二箇所Ｂから第一箇所Ａへ至る第二傾斜部９４とを備える。そして、上記実施の形態１と異なり、第二傾斜部９４は、第一傾斜部９３よりも緩やかな傾斜にて形成される。
【００２３】
このように形成された場合、第一傾斜部９３では、上記実施の形態１と同様に、急傾斜にて形成されているので、蓋部７を閉状態から開状態に瞬時に移動できる。また、第二傾斜部９４では、蓋部７を開状態から閉状態に緩やかに移動できる。よって、蓋部７の開閉を最適に行うことができるのはもちろんのこと、蓋部７の移動に対する研磨装置１の物理的ストレスを低減できる。
【００２４】
また、上記実施の形態１にて示した蓋部７をばね１７の伸縮により貫通孔２２上を軸方向Ｙに移動して開閉する例を示したが、これに限られることはなく、例えば、図８および図９に示すように、ねじりばね１８を用いることも考えられる。図８は実施の形態１による他の研磨装置の一部の構成を示す側面図である。図９は図８に示した研磨装置の蓋部の開閉状態を説明するための図である。図において、各貫通孔２２には、当該各貫通孔２２を開閉する鉤型の蓋部７０がそれぞれ設置される。蓋部７０は、カムフォロア８に接続される。蓋部７０は、円板体２０との間にねじりモーメントＸを発生させるねじりばね１８を有し、ねじりばね１８のねじりモーメントＸにより貫通孔２２上をねじり方向Ｘに移動して開閉する。
【００２５】
図９の上方の図に示すように、カムフォロア８が第一箇所Ａに接触する場合には、カム本体９と蓋部７０との軸方向Ｙの距離が一番短い第一距離となり、蓋部７０はカムフォロア８により軸方向Ｙの貫通孔２２側に押され、蓋部７０のねじりばね１８はねじりモーメントＸが付勢されて保持される。よって、貫通孔２２は蓋部７により閉状態に調整される。
【００２６】
また、図９の下方の図に示すように、カムフォロア８が第二箇所Ｂに接触する場合には、カム本体９と蓋部７０との軸方向Ｙの距離が一番長い第二距離となり、蓋部７０はカムフォロア８により軸方向Ｙの貫通孔２２と反する側に移動し、蓋部７０のねじりばね１８はねじり方向Ｘに移動されて保持される。よって、貫通孔２２は蓋部７により開状態に調整される。
【００２７】
このように上記実施の形態１と同様に調整部９０により、噴射用ロータ２の回転位置に応じて、蓋部７０の貫通孔２２の開閉が調整され、所定の回転位置にて貫通孔２２を開状態として砥粒５を噴射できる。
【００２８】
上記のように構成された実施の形態１の研磨装置は、
複数形成された貫通孔から回転駆動により砥粒を噴射する噴射用ロータと、
噴射用ロータを回転駆動する駆動部と、
噴射用ロータに砥粒を供給する供給部とを備え、
供給された砥粒を、貫通孔を経て噴射用ロータの外方に噴出させ被研磨材に吹き付け研磨する研磨装置において、
噴射用ロータは、所定の厚みの円板体にて形成され、円板体に所定の大きさの中空部を有し、
供給部は、中空部に砥粒を供給し、
各貫通孔は、一端が中空部に開口し、他端が円板体の外周側面に開口して形成され、
各貫通孔には貫通孔を開閉する蓋部がそれぞれ形成され、
各蓋部の開閉を、噴射用ロータの回転位置に応じて調整する調整部を備えたので、
貫通孔の開閉においてベルト機構を必要としないため、装置を小型化できる。
【００２９】
また、調整部は、カム本体と、各蓋部にそれぞれ接続されカム本体に接触するカムフォロアとを有し、
カム本体は、噴射用ロータの軸方向側に、噴射用ロータの回転位置に応じて噴射用ロータとの軸方向の距離が変動する円環状にて形成されるので、蓋部を開閉の調整を、カム機構にて行うことができるため、蓋部の開閉を簡便にかつ確実にできる。
【００３０】
また、カム本体は、噴射用ロータとの軸方向の距離が、一番短い第一距離を有する第一箇所と、一番長い第二距離を有する第二箇所と、回転方向において第一箇所から第二箇所へ至る第一傾斜部と、回転方向において第二箇所から第一箇所へ至る第二傾斜部とを備え、
第一傾斜部は、第二傾斜部より急傾斜にて形成されるので、蓋部の開状態を確実に得るとともに、蓋部の開状態から閉状態へ緩やかに戻すことができるため、研磨装置の物理的ストレスを軽減できる。
【００３１】
また、蓋部は、軸方向に伸縮するばねを有し、ばねの伸縮により貫通孔上を軸方向に移動して開閉するので、蓋部の軸方向の移動の調整を容易にかつ簡便に行うことができる。
【００３２】
また、蓋部は、軸方向にねじりモーメントが生じるねじりばねを有し、ねじりばねのねじりモーメントにより貫通孔上をねじり方向に移動して開閉するので、蓋部の軸方向の移動の調整を容易にかつ簡便に行うことができる。
【００３３】
実施の形態２．
上記実施の形態１においては、調整部９０としてカム本体９およびカムフォロア８などにて構成されるカム機構を用いる例を示したが、これに限られることはなく、本実施の形態２においては、調整部９０として他の構成の例について説明する。
【００３４】
図１０は実施の形態２による研磨装置１の一部の構成を示す側面図である。尚、図１０は便宜上、全ての蓋部７１は示していない。図１１は図１０に示した研磨装置１の軸方向Ｙから見た構成を示す正面図である。図において、上記実施の形態１と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。各貫通孔２２には各貫通孔２２の開閉を行う蓋部７１がそれぞれ形成される。
【００３５】
本実施の形態２において、調整部９０は、噴射用ロータ２の回転位置において、貫通孔２２の蓋部７１を開状態とする位置に、磁石部３０を設置して形成される（図１１参照）。磁石部３０は、筐体１３の壁面１０の内側に設置される。磁石部３０は、１例として、電磁石にて構成し、図示しない制御部により電磁吸引力が制御される。蓋部７１は、磁性体、例えば、鉄材にて形成され、軸方向Ｙに伸縮するばね１１を有し、磁石部３０上においてはばね１１の縮みにより軸方向Ｙに移動して貫通孔２２を開状態とし、磁石部３０上以外の箇所ではばね１１の伸びにより貫通孔２２を閉状態とする。
【００３６】
上記のように構成された実施の形態２の蓋部７１の開閉動作について説明する。尚、実施の形態２の研磨装置１が被研磨材６を研磨する動作において、調整部９０が当該蓋部７１の開閉を調整する動作以外は、上記実施の形態１と同様であるため、その説明は適宜省略する。調整部９０は、磁石部３０を備えている。よって、噴射用ロータ２の回転位置により、蓋部７１が磁石部３０上に達すると、蓋部７１は磁石部３０の磁力に引き寄せられる。これにより、蓋部７１のばね１１は軸方向Ｙの磁石部３０側に縮められ保持される。よって、貫通孔２２は蓋部７１により開状態に調整される。
【００３７】
また、蓋部７１が磁石部３０以外の箇所に達すると、蓋部７１は磁石部３０の磁力を受けない。これにより、蓋部７１のばね１１は軸方向Ｙの磁石部３０から離れる側に伸ばされて保持される。よって、貫通孔２２は蓋部７１により開状態に調整される。このように調整部９０により、噴射用ロータ２の回転位置に応じて、蓋部７１の貫通孔２２の開閉が調整され、所定の回転位置にて貫通孔２２を開状態として砥粒５を噴射できる。
【００３８】
上記のように構成された実施の形態２の研磨装置によれば、上記実施の形態１と同様の効果を奏するのはもちろんのこと、
調整部は、噴射用ロータの軸方向の回転位置において、貫通孔の蓋部を開とする位置に磁石部を設置し、
蓋部は、磁性体にて形成され、軸方向に伸縮するばねを有し、磁石部上においてはばねの伸縮により貫通孔上を軸方向に移動して開とし、磁石部上以外の箇所ではばねの伸縮により貫通孔を閉とするので、
蓋部を開閉の調整を、磁石部の磁力にて行うことができるため、蓋部の開閉を簡便にかつ確実にできる。
【００３９】
実施の形態３．
上記実施の形態１においては、調整部９０としてカム機構を用いる例を示したが、これに限られることはなく、本実施の形態３においては、調整部９０として他の構成の例について説明する。
【００４０】
図１２は実施の形態３による研磨装置の一部の構成を示す側面図である。図１３は図１２に示した研磨装置の構成を示す上面図である。図１４は図１２に示した研磨装置の両電磁石部の構成を示す側面図である。図において、上記実施の形態１と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。各貫通孔２２には各貫通孔２２の開閉を行う蓋部７２がそれぞれ形成される。
【００４１】
調整部９０は、第一電磁石部４１、第二電磁石部４２、移動部４４にて構成される。第一電磁石部４１は、噴射用ロータ２の軸方向Ｙに、噴射用ロータ２の回転位置に応じて噴射用ロータ２との軸方向Ｙの距離が変動する円環状にて形成される。第二電磁石部４２は、第一電磁石部４１の軸方向Ｙにおいて一定の間隔を隔てたスライド部４３を形成する円環状にて形成される。
【００４２】
移動部４４は、各蓋部７２にそれぞれ設置される。移動部４４は、磁石、例えば永久磁石にて形成され、蓋部７２に一端が接続され、他端がスライド部４３に配置される。第一電磁石部４１および第二電磁石部４２は図示しない制御部により制御され、各移動部４４は、第一電磁石部４１と移動部４４との間、および、第二電磁石部４２と移動部４４との間にそれぞれ発生する反発力により、スライド部４３を周方向に移動可能として形成される。
【００４３】
第一電磁石部４１は、噴射用ロータ２との軸方向Ｙの距離が、一番短い第一距離を有する第一箇所Ａと、一番長い第二距離を有する第二箇所Ｂと、回転方向Ｚにおいて第一箇所Ａから第二箇所Ｂへ至る第一傾斜部９５と、回転方向Ｚにおいて第二箇所Ｂから第一箇所Ａへ至る第二傾斜部９６とを備える。第一傾斜部９５と第二傾斜部９６とは同様の傾斜角度にて形成される。
【００４４】
上記のように構成された実施の形態３の蓋部７２の開閉動作について説明する。尚、実施の形態３の研磨装置１が被研磨材６を研磨する動作において、調整部９０が当該蓋部７２の開閉を調整する動作以外は、上記実施の形態１と同様であるため、その説明は適宜省略する。まず、噴射用ロータ２が回転すると、第一電磁石部４１と第二電磁石部４２とにて形成されるスライド部４３に沿って、各蓋部７２に接続されている移動部４４が移動する。この際、第一電磁石部４１と移動部４４との間、および、第二電磁石部４２と移動部４４との間にそれぞれ反発力が発生しているため、移動部４４が第一電磁石部４１または第二電磁石部４２に接触することはない。
【００４５】
そして、調整部９０は、第一電磁石部４１の第一箇所Ａのスライド部４３に移動部４４が存在する場合には、第一電磁石部４１と蓋部７２との軸方向Ｙの距離が一番短い第一距離となり、蓋部７２は移動部４４により軸方向Ｙにおいて貫通孔２２側に押され保持される。よって、貫通孔２２は蓋部７により閉状態に調整される。
【００４６】
また、第一電磁石部４１の第一箇所Ａから第二箇所Ｂに至る第一傾斜部９５のスライド部４３に移動部４４が存在する場合には、第一電磁石部４１と蓋部７２との軸方向Ｙの距離が第一箇所Ａより長い距離となるため、移動部４４は軸方向Ｙにおいて噴射用ロータ２から離れる側に移動する。よって、貫通孔２２は蓋部７２により閉状態から開状態へ移行するように調整される。
【００４７】
また、第一電磁石部４１の第二箇所Ｂのスライド部４３に、移動部４４が存在する場合には、第一電磁石部４１と蓋部７２との軸方向Ｙの距離が一番長い第二距離となり、蓋部７２は軸方向Ｙにおいて貫通孔２２と反する側に移動し保持される。よって、貫通孔２２は蓋部７２により開状態に調整される。
【００４８】
また、第一電磁石部４１の第二箇所Ｂから第一箇所Ａに至る第二傾斜部９６のスライド部４３に、移動部４４が存在する場合には、第一電磁石部４１と蓋部７２との軸方向Ｙの距離が第二箇所Ｂより短い距離となるため、移動部４４は軸方向Ｙにおいて噴射用ロータ２に近づく側に移動する。貫通孔２２は蓋部７２により開状態から閉状態へ移行するように調整される。このように調整部９０により、噴射用ロータ２の回転位置に応じて、蓋部７２の貫通孔２２の開閉が調整され、所定の回転位置にて貫通孔２２を開状態として砥粒５を噴射できる。
【００４９】
尚、本実施の形態３において、上記実施の形態１の図７にて示した場合と同様に、第一電磁石部４１を、回転方向Ｚにおいて第一箇所Ａから第二箇所Ｂへ至る第一傾斜部を、回転方向Ｚにおいて第二箇所Ｂから第一箇所Ａへ至る第二傾斜部より急傾斜にて形成することも考えられる。この場合、上記実施の形態１と同様の動作が可能となり、同様の効果を奏することができる。
【００５０】
上記のように構成された実施の形態３の研磨装置によれば、上記各実施の形態と同様の効果を奏するのはもちろんのこと、
調整部は、噴射用ロータの軸方向に、噴射用ロータの回転位置に応じて噴射用ロータとの軸方向の距離が変動する円環状の第一電磁石部と、
第一電磁石部の軸方向において一定の間隔を隔てたスライド部を形成する円環状の第二電磁石部と、磁石にて形成され各蓋部に一端が接続され他端がスライド部に配置された移動部とを有し、
前記第一電磁石部と前記移動部との間、および、前記第二電磁石部と前記移動部との間にそれぞれ反発力を発生させ、各前記移動部が前記スライド部を移動可能とするので、
蓋部の開閉の調整を、第一電磁石および第二電磁石により、移動部が他の箇所に接触することなく行うことができるため、蓋部の開閉を簡便にかつ確実にできるとともに、物理的な摩耗が軽減される。
【００５１】
また、第一電磁石部は、噴射用ロータとの軸方向の距離が、一番短い第一距離を有する第一箇所と、一番長い第二距離を有する第二箇所と、回転方向において第一箇所から第二箇所へ至る第一傾斜部と、回転方向において第二箇所から第一箇所へ至る第二傾斜部とを備え、
第一傾斜部は、第二傾斜部より急傾斜にて形成されるので、
蓋部の開状態を確実に得るとともに、蓋部の開状態から閉状態へ緩やかに戻すことができるため、研磨装置の物理的ストレスを軽減できる。
【００５２】
尚、上記各実施の形態においては、調整部９０にて回転位置の一の位置にて、貫通孔２２を開状態とする例を示しが、これに限られることはなく、調整部は、回転位置において、必要となる他の位置、または、複数の位置など、研磨装置１の砥粒５が噴射する必要となる回転位置にて砥粒５を噴射できるように蓋部の位置を調整しても、上記各実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００５３】
本開示は、様々な例示的な実施の形態および実施例が記載されているが、１つ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、および機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。従って、例示されていない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも１つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
【符号の説明】
【００５４】
１  研磨装置、２  噴射用ロータ、３  駆動部、４  供給部、５  砥粒、
６  被研磨材、７  蓋部、８  カムフォロア、９  カム本体、１０  壁面、１１  ばね、１２  ベルトコンベア、１３  筐体、１７  ばね、１８  ねじりばね、１９  カム本体、２０  円板体、２１  中空部、２２  貫通孔、３０  磁石部、４１  第一電磁石部、
４２  第二電磁石部、４３  スライド部、４４  移動部、７０  蓋部、７１  蓋部、
７２  蓋部、９０  調整部、９１  第一傾斜部、９２  第二傾斜部、９３  第一傾斜部、９４  第二傾斜部、９５  第一傾斜部、９６  第二傾斜部、Ａ  第一箇所、
Ｂ  第二箇所、Ｘ  ねじりモーメント（ねじり方向）、Ｙ  軸方向、Ｚ  回転方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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