(57)【要約】【課題】高速に精度の高い発光パルスの光量の計測を可能とする。【解決手段】光量計測器１０３は、照明部から受光した光を光電変換して、光の光量に応じた電気信号を出力する光量センサ３０１と、光量センサ３０１から出力された電気信号を積分する複数の積分回路と、光量センサ３０１から積分回路への出力を制御する切換回路３０８と、積分回路の出力を計測し、計測した積分回路の出力に基づいて光量を算出する計測制御部３０７とを備る。切換回路３０８は、複数の積分回路のうち少なくとも１つの積分回路が光量センサ３０１から出力された電気信号を積分するように光量センサ３０１から積分回路への出力を制御する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明部から受光した光を光電変換して、前記光の光量に応じた電気信号を出力する光電変換部と、
前記光電変換部から出力された前記電気信号を積分する複数の積分回路と、
前記光電変換部から前記積分回路への出力を制御する制御部と、
前記積分回路の出力を計測し、計測した前記積分回路の出力に基づいて前記光量を算出する算出部と、を備え
前記制御部は、前記複数の積分回路のうち少なくとも１つの積分回路が前記光電変換部から出力された電気信号を積分するように前記光電変換部から前記積分回路への出力を制御する
ことを特徴とする光量計測器。
【請求項２】
前記複数の積分回路は、それぞれ前記光電変換部から出力された前記電気信号に応じた電荷を蓄積するコンデンサを有し、
前記光量計測器は、さらに、前記コンデンサに蓄積した電荷を放電するリセット部を備え、
前記リセット部は、前記複数の積分回路のそれぞれが有する前記コンデンサを個別に放電できる
ことを特徴とする請求項１に記載の光量計測器。
【請求項３】
前記リセット部は、前記複数の積分回路のうち少なくとも１つの積分回路が積分している場合に、他の前記積分回路が有する前記コンデンサを放電することを特徴とする請求項２に記載の光量計測器。
【請求項４】
前記算出部は、前記照明部の発光時に計測した前記積分回路の出力および前記照明部の非発光時に前記発光時と同じ時間で計測した前記積分回路の出力に基づいて光量を算出することを特徴とする請求項３に記載の光量計測器。
【請求項５】
前記制御部は、前記発光時の計測と、前記非発光時の計測とを異なる積分回路で行うよう前記光電変換部の出力を制御し、
前記リセット部は、計測に用いていない積分回路のコンデンサを放電することを特徴とする請求項４に記載の光量計測器。
【請求項６】
前記制御部は、前記発光時の計測と、前記非発光時の計測とを同じ積分回路で行うよう前記光電変換部の出力を制御し、
前記リセット部は、計測に用いていない積分回路のコンデンサを放電することを特徴とする請求項４に記載の光量計測器。
【請求項７】
前記算出部は、前記非発光時に積分した第１の積分回路の出力と前記リセット部により放電した第２の積分回路の出力の差を前記光電変換部の暗電流として算出し、さらに、前記発光時に積分した前記第２の積分回路の出力と前記リセット部により放電した前記第１の積分回路の出力の差を前記暗電流を含む光量として算出し、前記暗電流を含む光量と前記暗電流の差から前記照明部の光量を算出することを特徴とする請求項４または請求項５に記載の光量計測器。
【請求項８】
前記算出部は、同じ条件における前記複数の積分回路ごとの出力の対比を表す対比表を保持し、前記対比表に基づいて前記複数の積分回路ごとの出力の差を補正して光量を算出する
ことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の光量計測器。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の光量計測器と、
被検物を照明する照明部と、
前記光量計測器が算出した前記照明部の光量に基づいて、前記照明部を制御する制御部と、を備えることを特徴とする特徴とする光照射装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の光照射装置と、
前記照明部により照明された前記被検物を撮像し、画像を取得する撮像部と、
前記撮像部により取得された画像に基づいて前記被検物の検査を行う検査部と、を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項１１】
複数の積分回路を有する光量計測装置の制御方法であって、
照明部から受光した光を光電変換して、前記光の光量に応じた電気信号を出力する光電変換工程と、
前記複数の積分回路への前記電気信号の出力を制御する制御工程と、
前記光電変換工程において出力された前記電気信号を積分回路で積分する積分工程と、
前記積分回路の出力を計測する計測工程と、
前記計測工程において計測した前記積分回路の出力に基づいて光量を算出する算出工程と、を有し、
前記制御工程においては、前記複数の積分回路のうち少なくとも１つの積分回路が前記積分工程を行うように、前記積分回路への前記電気信号の出力を制御する
ことを特徴とする制御方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の検査装置を用いて物体の検査を行う工程と、
前記工程で検査が行われた物体または前記工程で検査が行われるべき物体の処理を行う工程と、を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光量計測器、光照射装置、検査装置、光量計測器の制御方法および物品製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
照明された被検物を撮像して画像データを取得し、取得した画像データから被検物の表面の傷、部分的色違い等の欠陥を検出する検査装置が知られている。部分的色違いを検査する場合、例えば、青色ＬＥＤで照明して撮像した画像と赤色ＬＥＤで照明して撮像した画像の差分画像により部分的色違い欠陥を検出する。このとき、青色ＬＥＤ照明と赤色ＬＥＤ照明の光量の再現性が低いと、撮像毎に画像が変化してしまい、欠陥か否かの判定精度が低下してしまう恐れがある。再現性良く判定するため、光量を精度良く再現するように制御する必要がある。
【０００３】
ＬＥＤの照明光量を制御する場合、ＬＥＤの通電電流の大きさと通電時間を制御する必要がある。ＬＥＤの照明光量の制御には、制御回路の発熱によるロスの低減と制御回路規模の小型化を両立するために、ＰＷＭ制御を採用する場合が比較的多い。ＰＷＭ制御では、通電電流の大きさと通電時間の積算量で決まる積算光量が所定の値になるように、短時間のパルス通電を複数回繰り返し、複数回のパルス発光を行う。積算光量を正確に制御するためには、パルスの時間を示すパルス幅およびパルスの大きさを正確に制御することが望ましい。要求される誤差許容値が小さい場合は、積算光量を随時計測して、積算光量計測結果に応じて、随時パルス幅またはパルス数を変更するフィードバック補正することが有効である。したがって、積算光量を正確に制御するためには、積算光量を素早く正確に計測する必要がある。
【０００４】
光量を計測する光量センサは、光電変換回路によって光を電気信号へ変換し、変換した電気信号を積分処理してその出力を計測することで、光量を計測している。このとき、光量センサの暗電流も一緒に計測されるため、その成分を除去する必要がある。特許文献１は、パルス発行毎に、発光パルスを光電変換して積分回路で積分して検出し、さらに、オフセット（暗電流）を計測して、検出した値からオフセット分を除去する方法を開示している。また、特許文献２は、短周期で連続するパルス発光に対して、複数の光電変換部（光量センサ）を複数のブロックに分割し、１ブロックずつ読み出す方法を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０２−１７７４１５号公報
【特許文献２】特開平２００４−１８６２３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、暗電流の計測のために発光を停止する期間を設ける必要があるので、計測の高速化の点で不利となり得る。また、特許文献２のように複数の光量センサを設けた場合、光量分布に偏りがあると光量センサの位置によって計測結果が変化してしまう恐れがある。また、特許文献２での計測方法に、暗電流などの誤差の補正処理を加えた場合は、高速化の点で不利となり得る。
【０００７】
本発明は、例えば、高速に精度の高い発光パルスの光量の計測が可能な計測器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の一側面である光量計測器は、照明部から受光した光を光電変換して、前記光の光量に応じた電気信号を出力する光電変換部と、前記光電変換部から出力された前記電気信号を積分する複数の積分回路と、前記光電変換部から前記積分回路への出力を制御する制御部と、前記積分回路の出力を計測し、計測した前記積分回路の出力に基づいて前記光量を算出する算出部と、を備え、前記制御部は、前記複数の積分回路のうち少なくとも１つの積分回路が前記光電変換部から出力された電気信号を積分するように前記光電変換部から前記積分回路への出力を制御する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、例えば、高速に精度の高い発光パルスの光量の計測が可能な計測器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】表面検査装置の構成を示す図である。
【図２】照明を説明するための図である。
【図３】光量計測器を説明するための図である。
【図４】光量計測器の回路を説明するための図である。
【図５】光量計測器の動作を説明するフローチャートである。
【図６】光量計測器の動作を説明するフローチャートである。
【図７】光量計測器の動作を説明するフローチャートである。
【図８】光量計測器の動作を説明するフローチャートである。
【図９】対比表の作成動作を説明するフローチャートである。
【図１０】光量計測器を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（実施例１）
図１は、検査装置１０の主要部概略図である。図１では、上下方向をＺ軸、左右方向をＸ軸、奥行き方向をＹ軸とする。検査装置１０は、被検物１０５の表面の傷、部分的な色違い等、被検物１０５の表面に表れる欠陥を検出する表面検査装置である。検査装置１０は、被検物１０５を載せるステージ１０４と、被検物１０５を照らす照明部１０２と、被検物１０５の表面を撮像する撮像部１０１と、照明部１０２の光量を測定する光量計測器１０３を備える。また、検査装置１０は、照明部１０２、撮像部１０１及び光量計測器１０３を制御する機器制御部１０６と、撮像部１０１の取得した画像データを処理する画像処理部１０７と、検査装置１０の全体を制御する主制御部１０８を備える。被検物１０５は、例えば、板状の部品である。形状は、板状に限らず、曲面や凹凸のある複雑な形状であって良い。また、材質は、光を反射すれば良く、金属やプラスチックでも良い。
【００１２】
検査装置１０は、被検物１０５を照明部１０２で照明し、照明された被検物１０５を撮像部１０１で撮像し、被検物１０５の画像データを取得する。そして、画像処理部１０７で取得した画像データに基づいて被検物１０５の表面に欠陥があるかないかを判定する。このとき、被検物１０５を照明する際に光量計測器１０３で照明光量を測定し、撮像を開始して所定の光量となったときに撮像部１０１の露光を完了し撮像を終え、照明部１０２を消灯する。
【００１３】
撮像部１０１は、機器制御部１０６の信号に基づき撮像を行う。撮像部１０１は、撮像素子と光学系を有する。光学系は、被検物１０５の像を撮像素子に結像する。撮像素子は、被検物１０５の像をデジタル画像データにして、画像処理部１０７へ出力する。
ステージ１０４は、被検物１０５を支持する台である。被検物１０５を所定の位置に設置できるように位置決めピンが設けられていても良い。また、被検物１０５を位置決めピンに押し当てて固定するような構造があっても良い。また、真空チャック等で固定できるようにしても良い。
【００１４】
画像処理部１０７は、撮像部１０１が出力した一枚以上の画像データに基づき被検物１０５表面を検査し、表面に欠陥があるかどうか判定する。このとき、画像処理部１０７は、被検物１０５表面を検査する検査部として機能する。そして、判定結果を主制御部１０８に出力する。画像処理部１０７は、例えば、ＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）である。なお、画像処理部１０７は、ＰＣに限らず、画像データを処理できるものであれば良く、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）であってもよい。また、ＧＰＧＰＵ（Ｇｅｎｅｒａｌ  Ｐｕｒｐｏｓｅ  ｃｏｍｐｕｔｉｎｇ  ｏｎ  ＧＰＵ）などでもよい。さらに、ＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｉｇｎａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）であってもより。
【００１５】
機器制御部１０６は、照明部１０２、撮像部１０１及び光量計測器１０３を制御する。機器制御部１０６は、主制御部１０８の信号に基づき、照明部１０２を点灯し、撮像部１０１で撮像する制御を行う。また、光量計測器１０３からの所定の光量に到達したという信号に基づき、撮像部１０１の撮像（露光）を終了させ、照明部１０２を消灯させる。機器制御部１０６は、例えば、ＦＰＧＡを備えた電装品である。機器制御部１０６は、ＦＰＧＡに限らず、機器を制御できれば良く、マイコン、ＰＣ、ＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）等を備えた電装品であっても良い。
【００１６】
主制御部１０８は、検査装置１０全体の動作制御を統括する制御中枢部であり、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）を含むプロセッサやメモリ等を備える。主制御部１０８は、例えば、ＰＣである。主制御部は、ＰＣに限らず機器を制御できれば良く、マイコン、ＰＣ、ＰＬＣ等を備えた電装品であっても良い。また、主制御部１０８は、ユーザによる不図示のボタン操作に基づき、機器制御部１０６に画像データを取得開始させる。そして、画像処理部１０７から欠陥の有無の判定結果を取得する。
【００１７】
次に、図２を用いて、照明部１０２について説明する。図２は、照明部１０２を説明するための概要図であり、照明部１０２を検査装置１０において下から上に、すなわちＺ軸方向に見た図である。照明部１０２は、撮像部１０１を取り囲むように、４つの直方体の面光源を配置したものである。その内、対向する２つの面光源は赤色照明の照明Ｒ２０１であり、残りの２つの面光源は青色照明の照明Ｂ２０２である。なお、照明部１０２は、撮像部１０１を取り囲むように複数の光源が配置されていればよく、光源の数も４つに限られるものではない。また、面光源の照明の色も赤色及び青色に限られるものではない。
【００１８】
照明Ｒ２０１は、複数の赤色ＬＥＤを格子状に並べたものであり、被検物１０５にＬＥＤの像が写りこみにくくするため、ＬＥＤと被検物１０５の間に光を拡散する拡散板を備えている。照明Ｂ２０２は、照明Ｒ２０１と同様の構成であるが赤色ＬＥＤの代わりに青色ＬＥＤを用いている。機器制御部１０６からの信号に基づき、照明Ｒ２０１と照明Ｂ２０２を個々に点灯および消灯させることができる。照明部１０２は、ＬＥＤに限らず、青色フィルタ又は赤色フィルタとハロゲンランプ等の幅広い波長の光源の組合せでも良い。
【００１９】
ここで、検査装置１０により部分的色違い欠陥を検査する動作を説明する。ます、不図示の手段により、ステージ１０４に検査対象となる被検物１０５を載置する。不図示のボタン操作の押下により、主制御部１０８は機器制御部１０６に画像データの取得を指示する。指示を受けた機器制御部１０６は、撮像部１０１で撮像を開始する。最初に、青色照明である照明Ｂ２０２で照明した画像を取得する。このとき、光量計測器１０３を用いて、照明Ｂ２０２の光量を計測する。照明Ｂ２０２は、例えば、周期１ｍｓ、２５６階調、点灯消灯時間比上限５０％のＰＷＭ制御で点灯する。つまり、１ｍｓ×５０％×階調／２５５だけ点灯し、１ｍｓ−１ｍｓ×５０％×階調／２５５だけ消灯する。光量計測器１０３は、０．５ｍｓの点灯中に暗電流を含む光量を計測し、０．５ｍｓの消灯中に暗電流を計測する。光量計測器１０３は、計測した光量が所定の光量を超過した際に、機器制御部１０６へ計測完了信号を送る。光量計測器１０３から計測完了信号を受信した機器制御部１０６は、撮像部１０１へ画像データ取得完了信号を送る。撮像部１０１は、撮像を完了し、取得した画像データを画像処理部１０７へ送る。
【００２０】
続いて、機器制御部１０６は、照明部１０２、撮像部１０１および光量計測器１０３を制御して、赤色照明である照明Ｒ２０１を用いて、青色照明の場合と同様に撮像を行い、画像データを画像処理部１０７へ送る。画像処理部１０７は、照明Ｒ２０１と照明Ｂ２０２の画像に各画素の比が、所定の範囲内であるか否か判定し、判定結果を主制御部１０８へ送る。光量計測器１０３で、照明Ｒ２０１と照明Ｂ２０２の光量を計測しつつ画像データを取得するので、照明が経時変化で暗くなった場合にも光量の総量を正確に保つことができる、欠陥の有無を再現良く判定できる。
【００２１】
次に、図３及び図４を用いて、光量計測器１０３について説明する。図３は、光量計測器１０３の概略構成を説明するための図である。図４は、光量計測器１０３の各部の具体的な回路構成を説明するための図である。
光量計測器１０３は、光量センサ３０１、ＩＶ変換回路３０２、計測制御部３０７および切換回路３０８を備える。また、光量計測器１０３は、複数の積分系統を有し、本実施例では、積分系統Ａ３１１と積分系統Ｂ３１２の２つの積分系統を有する。
【００２２】
光量センサ３０１は、照明部１０２から受けた光を光電変換部で電気信号である電流に変換して、ＩＶ変換回路３０２に出力する。光量センサ３０１は、例えば、フォトダイオードである。フォトダイオードは、光を受けていないときでも暗電流と呼ばれるノイズ成分を出力する。フォトダイオードは、光を受けたときには暗電流と受光量に応じた電流の和を光量計測値として出力する。そのため、光量（受光量）を計測するときは、フォトダイオードの暗電流も計測し、光量計測値から暗電流成分を差引し、光量を計測する必要がある。なお、光量センサは、フォトダイオードに限らず、受光に応じて抵抗値を変えるＣｄＳ光センサ等であっても良い。
【００２３】
ＩＶ変換回路３０２は、光量センサ３０１の出力電流を電圧に変換し、切換回路３０８を介して積分系統に出力する。ＩＶ変換回路３０２は、オペアンプと抵抗を用いた、電流を電圧に変換する回路である。オペアンプを用いることにより、光量センサの微弱な電流を電圧に変換し、かつ、後段の複数の積分系統に電圧を出力する。
【００２４】
切換回路３０８は、ＩＶ変換回路３０２から積分系統Ａ３１１と積分系統Ｂ３１２それぞれへの回路を切り換える切り換え回路である。切換回路３０８は、アナログスイッチを有しており、１つの積分系統に対し１つのアナログスイッチを用いる。本実施例において、切換回路３０８は、並列に接続した２つのアナログスイッチを有し、一方のアナログスイッチを積分系統Ａ３１１へ接続し、他方を積分系統Ｂ３１２へ接続している。アナログスイッチが閉じている場合、ＩＶ変換回路３０２からの出力が積分系統に入力され、電圧が積分される。一方、アナログスイッチが開いている場合、ＩＶ変換回路３０２からの出力は積分系統に入力されない。
【００２５】
本実施例において、切換回路３０８は、複数のアナログスイッチのうち少なくとも１つのアナログスイッチが閉じているように、すなわち、複数の積分系統のうち少なくとも１つの積分系統にＩＶ変換回路３０２からの電圧が出力されるように制御される。そのため、本実施例の２つのアナログスイッチでは、片側を閉じ他方を開いて片側だけに電圧を出力する場合と、アナログスイッチを同時に閉じて、両方の積分系統に電圧を出力する場合とがある。なお、切換回路３０８は電圧降下しないで回路を開閉する物であれば良く、リードスイッチ等でも良い。また、回路オフセットを補正するために積分系統の入力を接地する機能を備えても良い。
【００２６】
積分系統Ａ３１１は、積分回路Ａ３０３、積分リセット回路Ａ３０９及びＡＤ変換回路Ａ３０４を有している。同様に、積分系統Ｂ３１２は、積分回路Ｂ３０５、積分リセット回路Ｂ３１０及びＡＤ変換回路Ｂ３０６を有している。積分系統Ａ３１１と積分系統Ｂ３１２は同様の構成のため、以下では積分系統Ａ３１１について詳細を説明する。
【００２７】
積分回路Ａ３０３は、ＩＶ変換回路３０２の出力電圧を積分して、蓄積した電圧をＡＤ変換回路Ａ３０４に出力する。すなわち、積分回路Ａ３０３は、ＩＶ変換回路３０２を介して光量センサ３０１の出力である電気信号を積分する。積分回路Ａ３０３は、オペアンプとコンデンサと抵抗を用いた回路で、ＩＶ変換回路３０２からの入力電圧に応じた電荷がコンデンサに蓄積され積分される。
【００２８】
積分リセット回路Ａ３０９は、積分回路Ａ３０３のコンデンサに蓄積した電荷を放電することで、積分回路Ａ３０３の積分電圧出力をリセットするリセット部である。積分リセット回路Ａ３０９は、アナログスイッチと抵抗を有する。積分回路Ａ３０３のコンデンサに蓄積した電荷を放電するときは、積分リセット回路Ａ３０９のアナログスイッチを閉じてコンデンサの両端を抵抗で接続する。一方、積分回路Ａ３０３コンデンサに電荷を蓄積するときは、積分リセット回路Ａ３０９のアナログスイッチを開く。積分リセット回路は、積分回路ごとに設けられており、各積分回路のコンデンサを個別に放電可能である。
【００２９】
ＡＤ変換回路Ａ３０４は、積分回路Ａ３０３で積分された電圧をＡＤ変換し、計測制御部３０７に出力する。本実施例において、ＡＤ変換回路Ａ３０４は、計測制御部３０７と一体のＡＤ変換機能を用いる。なお、ＡＤ変換回路Ａ３０４を、独立したＡＤ変換ＩＣとしても良い。
【００３０】
計測制御部３０７は、積分系統からの出力に基づいて光量を算出し、算出した光量を機器制御部１０６に出力する。このとき、計測制御部３０７は、光量を算出する算出部として機能する。また、計測制御部３０７は、光量計測器１０３の各部を制御する。計測制御部３０７は、例えば、ＭＰＵ３１５（Ｍｉｃｒｏ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ  Ｕｎｉｔ）を有しているが、これに限らずＦＰＧＡ等でも良い。また、計測制御部３０７は、計測した出力や、算出した光量を記録するメモリ３１６を有している。
【００３１】
次に、光量計測器１０３の動作を、図５を用いて説明する。図５は、本実施例における光量計測器１０３の動作を説明するフローチャートである。本実施例においては、光量計測器１０３の積分系統Ａで光量センサの暗電流を計測し、積分系統Ｂで暗電流成分を含む照明光量を計測し、これらの差分から照明光量を演算する。
【００３２】
まず、積分系統Ａで光量センサ３０１の暗電流を測定する。暗電流の測定は、照明部１０２を点灯していない非発光時に行う。Ｓ５０１では、積分リセット回路Ａ３０９で積分回路Ａ３０３をリセットする。具体的には、積分リセット回路Ａ３０９のアナログスイッチを閉じ、積分回路Ａ３０３のコンデンサを放電する。そして、所定の時間待機後、同アナログスイッチを開き、放電を終了する。Ｓ５０２では、切換回路３０８で、ＩＶ変換回路３０２の出力先を積分系統Ａ３１１に切換える。具体的には、切換回路３０８の積分系統Ａ３１１側のアナログスイッチを閉じ、積分系統Ｂ３１２側のアナログスイッチを開き、積分系統Ａ３１１でＩＶ変換回路３０２の出力を積分できるようにする。
【００３３】
Ｓ５０３では、積分回路Ａ３０３の出力Ａ１をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。Ｓ５０４では、暗電流を計測するため、照明部１０２の点灯時間と同じ時間だけ待機し、積分回路Ａ３０３で光量センサの出力を積分する。Ｓ５０６では、積分回路Ａ３０３の出力Ａ２をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。Ｓ５０７では、計測制御部３０７が出力Ａ２から出力Ａ１を差し引き、暗電流を算出し記憶する。
【００３４】
一方、ＩＶ変換回路３０２の出力先を積分系統Ａ３１１に切換えた後、積分系統Ａ３１１においてＳ５０３〜Ｓ５０４にて暗電流を計測している間に、積分系統Ｂ３１２では、Ｓ５０５で、積分系統Ｂ３１２の積分回路Ｂ３０５をリセットする。具体的には、積分リセット回路Ｂ３１０のアナログスイッチを閉じ、積分回路Ｂ３０５のコンデンサを放電する。そして、所定の時間経過後、同アナログスイッチを開き、放電を終了する。
【００３５】
続いて、積分系統Ｂで暗電流成分を含む照明光量を計測し、この照明光量と先に計測した暗電流から照明光量を算出する。暗電流成分を含む照明光量の計測は、照明部１０２を点灯している発光時に行う。Ｓ５０８では、切換回路３０８の積分系統Ｂ３１２側のアナログスイッチを閉じ、積分系統Ａ３１１側のアナログスイッチを開き、ＩＶ変換回路３０２の出力を積分系統Ｂ３１２に出力する。
【００３６】
Ｓ５０９では、積分回路Ｂ３０５の出力Ｂ１をＡＤ変換回路Ｂ３０６でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。Ｓ５１０では、照明部１０２を点灯する。Ｓ５１２では、所定の時間経過後、照明部１０２を消灯する。Ｓ５１０で照明部１０２を点灯してからＳ５１２で消灯するまでの点灯時間は、Ｓ５０４で暗電流を計測した時間と同じである。Ｓ５１３では、積分回路Ｂ３０５の出力Ｂ２をＡＤ変換回路Ｂ３０６でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。Ｓ５１４では、出力Ｂ２から出力Ｂ１を差し引き、暗電流成分を含む照明光量Ｓ１を算出し、記憶する。そして、Ｓ５１５では、Ｓ５１４で算出した暗電流成分を含む照明光量Ｓ１からＳ５０７で算出した暗電流を差引し、暗電流を除いた正味の照明光量Ｓ２を算出する。
【００３７】
一方、ＩＶ変換回路３０２の出力先を積分系統Ｂ３１２に切換えた後、積分系統Ｂ３１２において計測を行い、照明光量Ｓ１及び照明光量Ｓ２を算出している間に、積分系統Ａ３１１では、Ｓ５１１で、積分系統Ａ３１１の積分回路Ａ３０３をリセットする。このような処理を繰り返すことで、光量計測器１０３は、照明光量を計測する。
【００３８】
なお、Ｓ５０５およびＳ５１１の積分回路のリセットは、毎回行わなくてもよい。積分回路のコンデンサの充電容量に対し、充電されている量が少なく、リセットを行わなくても次回の積分で電荷を蓄積可能であれば位、リセットを行わず、コンデンサに所定の容量以上蓄積されている場合にのみリセットを行うようにしてもよい。また、Ｓ５０４では暗電流を計測するとき点灯時間と同じ時間の計測をしているが、照明時間と異なる時間で計測してもよい。この場合、暗電流計測値に暗電流計測時間と照明時間の比を掛け、照明時間相当の暗電流を推測して用いればよい。また、暗電流が誤差の範囲として無視してもよい程度に小さい場合、暗電流を計測しなくてもよい。また、本実施例では、先に暗電流を計測する例を示したが、照明光量を計測した後に暗電流を計測してもよい。
【００３９】
図３及び図４では、切換回路３０８を用いて積分回路の切り換えを行う例を説明した。積分系統の切り換えはこれに限られるものではなく、例えば、切換回路３０８を用いずに、一方の積分系統で計測を行っている間は、他方の積分系統は常にリセット状態になるようにすればよい。例えば、Ｓ５０１で積分回路Ａ３０３のリセットを完了した後、積分系統Ｂ３１２では、積分回路Ｂ３０５を積分リセット回路Ｂ３１０に接続した状態にする。そして、Ｓ５０３〜Ｓ５０６にて積分回路Ａ３０３での計測が行われている間、リセット状態を維持する。このようにすることで、Ｓ５０２において切換回路３０８を用いて積分系統Ａ３１１に切り換えたのと同様の効果が得られる。
【００４０】
以上説明したように、本実施例によれば、２つの積分系統を交互に用いて暗電流の計測と暗電流成分を含む照明光量の計測を行い、一方で計測を行っている間に計測を行っていない積分系統の積分回路をリセットすることができる。そのため、積分回路のリセットに必要な時間を考慮する必要がなくなり、高速に点滅する光源を計測できる。
【００４１】
（実施例２）
本実施例における、光量計測器１０３の動作を、図６を用いて説明する。実施例１では、積分系統Ａ３１１で暗電流を計測し、積分系統Ａ３１１とは異なる積分系統Ｂ３１２で暗電流成分を含む照明光量を計測する動作を行った。本実施例では、同一の積分系統で暗電流と暗電流成分を含む照明光量の計測を行う。図６は、本実施例における光量計測器１０３の動作を説明するフローチャートである。本実施例では、積分系統Ａ３１１で光量センサの暗電流と暗電流成分を含む照明光量を計測し、これらの差分から照明光量を演算した後、積分系統Ｂ３１２でも同様の動作を繰り返す。
【００４２】
まず、積分系統Ａ３１１で光量センサ３０１の暗電流を測定する。Ｓ６０１では、積分リセット回路Ａ３０９で積分回路Ａ３０３をリセットする。Ｓ６０２では、切換回路３０８で、ＩＶ変換回路３０２の出力先を積分系統Ａ３１１に切換える。Ｓ６０３では、積分回路Ａ３０３の出力Ａ１をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。Ｓ６０４では、暗電流を計測するため、照明部１０２を点灯しないまま、照明光量を測定するときの照明部１０２の点灯時間と同じ時間だけ待機し、光量センサの出力を積分する。Ｓ６０５では、積分回路Ａ３０３の出力Ａ２をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。
【００４３】
続いて、暗電流を計測したのと同じ積分系統Ａ３１１で照明光量を計測する。Ｓ６０６では、照明部１０２を点灯する。Ｓ６０８では、所定の時間経過後、照明部１０２を消灯する。Ｓ６０６からＳ６０８の間の照明部１０２の点灯時間は、Ｓ６０４で暗電流を計測するために待機した時間と同じ時間である。Ｓ６０９では、積分回路Ａ３０３の出力Ａ３をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。
【００４４】
Ｓ６１０では、計測制御部３０７は、Ｓ６０５で計測した出力Ａ２からＳ６０３で計測した出力Ａ１を差し引いて暗電流を算出し、記憶する。Ｓ６１１では、計測制御部３０７Ｓ６０９で計測した出力Ａ３からＳ６０５で計測した出力Ａ２を差し引いて、暗電流成分含む照明光量Ｓ１を算出し、記憶する。Ｓ６１２では、計測制御部３０７は、暗電流成分含む照明光量Ｓ１から暗電流を差し引いて、正味の照明光量である照明光量Ｓ２を算出する。
【００４５】
一方、ＩＶ変換回路３０２の出力先を積分系統Ａ３１１に切換えた後、積分系統Ａ３１１においてＳ６０３〜Ｓ６１２にて計測を行い、照明光量Ｓ２を算出している間に、積分系統Ｂ３１２では、Ｓ６０７で、積分系統Ｂの積分回路Ｂ３０５をリセットする。Ｓ６１３〜Ｓ６２３では、Ｓ６０２〜Ｓ６１２の積分系統Ａ３１１と積分系統Ｂ３１２を入れ替えた動作を行う。このような処理を、積分系統Ｂと積分系統Ａで交互に繰り返すことで、光量計測器１０３は、照明光量を計測する。
【００４６】
以上説明したように、本実施例によれば、２つの積分系統を交互に用いて照明光量の計測を行っているので、一方で計測を行っている間に計測を行っていない積分系統の積分回路をリセットすることができる。そのため、積分回路のリセットに必要な時間を考慮する必要がなくなり、高速に点滅する光源を計測できる。
【００４７】
（実施例３）
本実施例における、光量計測器１０３の動作を、図７を用いて説明する。実施例２では、計測を行って暗電流を含まない照明光量の算出を１回行っている間に、計測を行っていない積分系統の積分回路をリセットしていた。本実施形態では、計測を行って暗電流を含まない照明光量の算出を複数回行っている間に、計測を行っていない積分系統の積分回路をリセットする。
【００４８】
図７は、本実施例における光量計測器１０３の動作を説明するフローチャートである。本実施例においては、積分系統Ａ３１１で光量センサの出力を照明点灯前に２回、照明点灯消灯後に１回の計３回計測し、これらから照明光量を算出した後、積分系統Ｂ３１２でも同様の動作を繰り返す。
【００４９】
Ｓ７０１では、積分リセット回路Ａ３０９で積分回路Ａ３０３をリセットする。Ｓ７０２では、切換回路３０８で、ＩＶ変換回路３０２の出力先を積分系統Ａ３１１に切換える。Ｓ７０３〜Ｓ７１６では、積分系統Ａ３１１で計測を行って、暗電流を含まない照明光量を算出する動作を２回行っている。Ｓ７０３〜Ｓ７０９は、図６のＳ６０３〜Ｓ６１２と同様の動作を行う。また、Ｓ７０９に続いて、Ｓ７１０〜Ｓ７１６でも図６のＳ６０４〜Ｓ６１２と同様の動作を行う。
【００５０】
具体的には、まず、暗電流を算出するための計測を行う。Ｓ７０３では、積分回路Ａ３０３の出力Ａ１をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。Ｓ７０４では、暗電流を計測するため、照明部１０２の点灯時間と同じ時間だけ待機し、光量センサの出力を積分する。Ｓ７０５では、積分回路Ａ３０３の出力Ａ２をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。
【００５１】
続いて、暗電流を含む照明光量を算出するための計測を行う。Ｓ７０６では、照明部１０２を点灯する。そして、Ｓ７０７では、所定の時間経過後、照明部１０２を消灯する。Ｓ７０８では、積分回路Ａ３０３の出力Ａ３をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。Ｓ７０９では、（出力Ａ３−出力Ａ２）−（出力Ａ２−出力Ａ１）の演算により、暗電流を含まない照明光量Ｓ１を算出する。（出力Ａ３−出力Ａ２）は、図６のＳ６１１と同様の演算であり、暗電流を含む照明光量が算出される。一方、（出力Ａ２−出力Ａ１）は、図６のＳ６１０と同様の演算であり、暗電流が算出される。暗電流を含む照明光量から暗電流を差し引くことで、暗電流を含まない照明光量Ｓ１が算出される。
【００５２】
続いて、再度、積分系統Ａで測定を行い、照明光量を算出する。このとき、積分回路Ａ３０３のコンデンサが飽和しておらず、電荷を蓄積可能であるので、積分回路Ａ３０３コンデンサをリセットは行わなくてよい。Ｓ７１０では、照明部１０２の点灯時間と同じ時間だけ待機し、光量センサの出力を積分する。Ｓ７１１では、積分回路Ａ３０３の出力Ａ４をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。Ｓ７１２では、照明部１０２を点灯する。Ｓ７１４では、所定の時間経過後、照明部１０２を消灯する。
Ｓ７１５では、積分回路Ａ３０３の出力Ａ５をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。Ｓ７１６では、（出力Ａ５−出力Ａ４）−（出力Ａ４−出力Ａ３）の演算により、暗電流を含まない照明光量Ｓ２を算出する。
【００５３】
一方、ＩＶ変換回路３０２の出力先を積分系統Ａ３１１に切換えた後、積分系統Ａ３１１においてＳ７０３〜Ｓ７１６にて計測を繰り返し、照明光量を２回算出している間に、積分系統Ｂ３１２では、Ｓ７１３で、積分系統Ｂの積分回路Ｂ３０５をリセットする。Ｓ７１７〜Ｓ７３１では、Ｓ７０２〜Ｓ７１６の積分系統Ａ３１１と積分系統Ｂ３１２を入れ替えた動作を行う。このような処理を、積分系統Ｂと積分系統Ａで交互に繰り返すことで、光量計測器１０３は、照明光量を計測する。
【００５４】
なお、本実施例では、積分系統を切り換えた後、計測を行って暗電流を含まない照明光量の算出を２回行う例を示したが、これに限られるものではない。積分回路のコンデンサが飽和しておらず、電荷を蓄積可能である状態であれば、リセットを行わずに、複数回、計測を行って暗電流を含まない照明光量の算出を行うようにしてもよい。また、照明一回について一回暗電流を計測しているが、照明複数回について一回暗電流を計測してもよい。
【００５５】
以上説明したように、本実施例によれば、リセットが必要ないうちは一方の積分系統での照明光量の計測を複数回行い、当該積分系統でのリセットを行う場合には、他方の積分系統で照明光量の計測を複数回行う。このように、複数の積分系統を交互に用いて照明光量の計測を行っているので、一方で計測を行っている間に計測を行っていない積分系統の積分回路をリセットすることができる。そのため、積分回路のリセットに必要な時間を考慮する必要がなくなり、高速に点滅する光源を計測できる。また、このように一方の積分系統を用いて暗電流と照明光量の計測を複数回行うので、積分回路のリセットにかける時間を長くできる。よって、各積分系統のコンデンサの放電電流を小さくでき、コンデンサの発熱を抑制し、コンデンサの容量変動を抑制しやすくなり、積分精度を維持しやすくなる。
【００５６】
（実施例４）
本実施例における、光量計測器１０３の動作を、図８を用いて説明する。実施例１〜３においては、例えば積分系統Ａ３１１で積分を行う場合、積分系統Ａ３１１の積分前後の出力を計測していた。本実施例においては、積分前の出力の計測を、積分を行わない他の系統、例えば積分系統Ａ３１１で積分を行う場合には、積分系統Ｂ３１２で積分前の出力の計測を行う。すなわち、リセットした状態の他の積分回路の出力を積分開始時の値とし、積分完了後の値から差し引くことで、積分値を演算する。
【００５７】
図８は、本実施例における光量計測器１０３の動作を説明するフローチャートである。本実施例においては、まず、積分系統Ｂ３１２をリセットした状態で積分系統Ｂ３１２の出力を計測し、同時に、リセットを行った後、照明を点灯しない状態で積分回路Ａ３０３で積分を行って、積分系統Ａ３１１の出力を計測する。そして、積分系統Ａ３１１の出力から積分系統Ｂ３１２の出力を差し引くことで、暗電流を算出する。続いて、積分系統Ａ３１１をリセットした状態で積分系統Ａ３１１の出力を計測し、同時に、リセットを行った後、照明を点灯して積分系統Ｂ３１２で積分を行って積分系統Ｂ３１２の出力を計測する。そして、積分系統Ｂ３１２の出力から積分系統Ａ３１１の出力を差し引くことで、暗電流成分を含む照明光量を算出する。最後に、暗電流成分を含む照明光量と暗電流の差分から正味の照明光量を算出する。
【００５８】
まず、光量センサ３０１の暗電流を測定する。Ｓ８０１では、積分リセット回路Ａ３０９で積分回路Ａ３０３をリセットする。Ｓ８０２では、切換回路３０８で、ＩＶ変換回路３０２の出力先を積分系統Ａ３１１に切換える。Ｓ８０３では、暗電流を計測するため、積分回路Ａ３０３で、照明部１０２の点灯時間と同じ時間だけ光量センサ３０１の出力を積分する。Ｓ８０４では、積分回路Ａ３０３の出力Ａ１をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。
【００５９】
Ｓ８０２で積分系統Ａ３１１に切換えられてから、Ｓ８０７で暗電流を算出するまでの間に、積分系統Ｂ３１２ではＳ８０５およびＳ８０６を行う。Ｓ８０５では、積分リセット回路Ｂ３１０で積分回路Ｂ３０５をリセットする。具体的には、積分リセット回路Ｂ３１０のアナログスイッチを閉じ、積分回路Ｂ３０５のコンデンサを放電する。所定の時間経過し、積分回路Ｂ３０５のコンデンサの放電が完了すると、積分リセット回路Ｂ３１０のアナログスイッチを閉じた状態のまま、Ｓ８０６で、積分回路Ｂ３０５の出力Ｂ１をＡＤ変換回路Ｂ３０６でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。出力Ｂ１の計測が終わった後に、同アナログスイッチを開き、放電を終了する。なお、Ｓ８０６でリセット状態のまま出力を計測する例を説明したが、これに限られるものではなく、リセットされた積分回路の出力が計測できればよい。例えば、Ｓ８０５で積分リセット回路Ｂ３１０のアナログスイッチを閉じ、積分回路Ｂ３０５のコンデンサを放電し、所定の時間経過後、同アナログスイッチを開き放電を終了する。Ｓ８０６では、この放電終了直後の、まだ積分されていない積分回路Ｂ３０５の出力を計測するようにしてもよい。
【００６０】
Ｓ８０７では、出力Ａ１から出力Ｂ１を差し引き、暗電流として記憶する。これは、Ｓ８０３で積分を開始する直前の積分回路Ａ３０３の出力と、出力Ｂ１とが、どちらも積分回路のリセットを行って積分回路のコンデンサに蓄電する前の値であり、略等しい値と見なせるためである。
【００６１】
続いて、照明光量を計測する。Ｓ８０８では、切換回路３０８で、ＩＶ変換回路３０２の出力先を積分系統Ｂ３１２に切換える。Ｓ８０９では、照明部１０２を点灯する。Ｓ８１０では、所定の時間経過後、照明部１０２を消灯する。Ｓ８１１では、所定の時間積分を行った積分回路Ｂ３０５の出力Ｂ２をＡＤ変換回路Ｂ３０６でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。
【００６２】
Ｓ８０８で積分系統Ｂ３１２に切換えられてから、Ｓ８１４で照明光量Ｓ１を算出するまでの間に、積分系統Ａ３１１ではＳ８１２およびＳ８１３を行う。Ｓ８１２では、積分リセット回路Ａ３０９で積分回路Ａ３０３をリセットする。具体的には、積分リセット回路Ａ３０９のアナログスイッチを閉じ、積分回路Ａ３０３のコンデンサを放電する。所定の時間経過し、積分回路Ａ３０３のコンデンサの放電が完了すると、積分リセット回路Ａ３０９のアナログスイッチを閉じた状態のまま、Ｓ８１３で、積分回路Ａ３０３の出力Ａ２をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、計測制御部３０７で記憶する。
【００６３】
Ｓ８１４では、出力Ｂ２から出力Ａ２を差し引き、暗電流成分を含む照明光量Ｓ１を算出する。Ｓ８１５では、暗電流成分を含む照明光量Ｓ１から暗電流成分を差し引き、照明光量Ｓ２を算出する。以上のような処理を繰り返すことで、光量計測器１０３は、照明光量を計測する。
【００６４】
以上説明したように、本実施例によると、暗電流もしくは暗電流を含む照明光量を算出するために必要な積分回路の出力の２回の計測を異なる積分系統で行うことで計測に係る時間を短縮できるため、高速に精度の高い計測を行うことが可能となる。
【００６５】
（実施例５）
計測した光量は、積分系統毎で異なる場合があるので、対比表を参照することにより光量を補正する。対比表は、同じ条件のもとで各積分系統において計測を行い、その計測結果を対比させた表である。この補正に用いる対比表を生成する手順を図９により説明する。図９は、対比表の生成を説明するフローチャートである。
【００６６】
Ｓ９０１では、積分回路Ａ３０３および積分回路Ｂ３０５をリセットする。積分回路Ａ３０３は、積分リセット回路Ａ３０９のアナログスイッチを閉じ、積分回路Ａ３０３のコンデンサを放電することでリセットする。積分回路Ｂ３０５は、積分リセット回路Ｂ３１０のアナログスイッチを閉じ、積分回路Ｂ３０５のコンデンサを放電することでリセットする。Ｓ９０２では、切換回路３０８が、ＩＶ変換回路３０２の出力先を積分系統Ａ３１１および積分系統Ｂ３１２に切換える。
【００６７】
Ｓ９０３では、積分回路Ａ３０３の出力をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、出力Ａ０として記憶する。さらに、積分回路Ｂ３０５の出力をＡＤ変換回路Ｂ３０６でＡＤ変換し、出力Ｂ０として記憶する。Ｓ９０４では、照明部１０２を点灯する。Ｓ９０５では、照明部１０２を点灯した状態で所定の時間待機して、積分回路Ａ３０３および積分回路Ｂ３０５のコンデンサで蓄電する。
【００６８】
Ｓ９０６では、積分回路Ａ３０３の出力をＡＤ変換回路Ａ３０４でＡＤ変換し、出力Ａｎとして記憶する。さらに、積分回路Ｂ３０５の出力をＡＤ変換回路Ｂ３０６でＡＤ変換し、出力Ｂｎとして記憶する。ここで、ｎは繰り返した測定回数である。Ｓ９０７では、Ｓ９０６と同時刻に不図示の積算光量計により照明部１０２の積算光量を計測し、積算光量Ｏｎとして記憶する。Ｓ９０８では、計測制御部３０７が、Ｓ９０５〜Ｓ９０７の処理を所定の回数実施したか否か、すなわち、繰り返し測定回数ｎが所定の回数に達したか否か判定する。繰り返し測定回数ｎが所定の回数に達していない場合、Ｓ９０５に戻り、Ｓ９０５〜Ｓ９０７の処理を繰り返す。繰り返し測定回数ｎが所定の回数に達した場合は、Ｓ９０９に進む。
【００６９】
Ｓ９０９では、照明部１０２を消灯する。
Ｓ９１０では、対比表で対比する光量の値を算出する。具体的には、積分系統Ａ３１１で測定した出力Ａｎから出力Ａ０を差し引き光量ａｎとする。さらに、積分系統Ｂ３１２で測定した出力Ｂｎから出力Ｂ０を差し引き光量ｂｎとする。Ｓ９１１では、積算光量計で計測した積算光量Ｏｎ、Ｓ９１０で算出した積分系統Ａ３１１の光量ａｎおよび積分系統Ｂ３１２の光量ｂｎの関係を対比させた表を対比表として生成し、保持する。
【００７０】
実施例１〜４で説明した光量計測器１０３による光量の計測において、各積分系統で計測した値を用いて演算する場合に、本実施形態で生成した対比表を用いて積分系統同士の光量の補正を行うことが可能となり、計測精度を向上させることができる。
【００７１】
（実施例６）
先の実施例においては、光量計測器１０３に２つの積分系統を用いる場合について説明したが、積分系統は２つ以上であればよい。例えば、図１０に示すように、光量計測器１０３が４つの積分系統により構成されていてもよい。また、先の実施例においては、１つの発光における光量を１つの積分系統で計測する方法について説明したが、１つの発光を複数の積分系統で分割しながら計測してもよい。
【００７２】
（実施例７）
先の実施例で説明した光量計測器１０３と、光量計測器１０３の測定対象となる照明部１０２と、光量計測器１０３の測定結果に基づいて照明部１０２を制御する機器制御部１０６とを有する光照射装置として実現してもよい。
【００７３】
（物品製造方法に係る実施例）
以上に説明した実施例に係る光量計測器を搭載した検査装置は、物品製造方法に使用しうる。当該物品製造方法は、当該検査装置を用いて物体の計測を行う工程と、検査の結果に基づいて当該工程で検査を行われた物体の処理を行う工程と、を含みうる。当該処理は、例えば、加工、切断、搬送、組立（組付）、検査、および選別のうちの少なくともいずれか一つを含みうる。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストのうちの少なくとも１つにおいて有利である。
【００７４】
（その他の実施例）
本発明は、上述の実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。
【００７５】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【符号の説明】
【００７６】
１０３  光量計測器
３０１  光量センサ
３０２  ＩＶ変換回路
３０３  積分回路Ａ
３０４  ＡＤ変換回路Ａ
３０５  積分回路Ｂ
３０６  ＡＤ変換回路Ｂ
３０７  計測制御部
３０８  切換回路
３０９  積分リセット回路Ａ
３１０  積分リセット回路Ｂ
３１１  積分系統Ａ
３１２  積分系統Ｂ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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