(57)【要約】【課題】高効率の光接続を可能とした並列光モジュールを提供する。【解決手段】並列光モジュールは、主面を有する基板１００と、基板の主面上に位置し、複数の光素子５０１を有する光素子アレイ５００と、光素子アレイ５００を囲むように、基板１００の主面上に配置され、断面視にて、主面に対して直線的に傾斜した傾斜面２２１を有する台座２００と、複数の光ファイバ４１０からなる光ファイバアレイと、光ファイバ４１０と光素子５０１とを光学的に接続する光コネクタ３００と、を有する。そして、光コネクタ３００の光素子アレイ５００と向かい合う面は、平坦部３０６と、平坦部３０６を囲む曲面部３０８とからなり、断面視にて、曲面部３０８は円弧状であり、光コネクタ３００の曲面部３０８は、台座２００の傾斜面２２１と点接触している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主面を有する基板と、
前記基板の前記主面の上に位置し、複数の光素子を有する光素子アレイと、
前記光素子アレイを囲むように、前記基板の前記主面上に配置され、断面視にて、前記主面に対して直線的に傾斜した傾斜面を有する台座と、
複数の光ファイバからなる光ファイバアレイと、
前記光ファイバと前記光素子とを光学的に接続する光コネクタと、
を有し、
前記光コネクタの前記光素子アレイに向かい合う面は、平坦部と、前記平坦部を囲む曲面部とからなり、
断面視にて、前記光コネクタの前記曲面部は、円弧状であり、前記台座の前記傾斜面と点接触している、並列光モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の並列光モジュールにおいて、
前記台座の前記傾斜面は、平面視にて、リング状である、並列光モジュール。
【請求項３】
請求項１に記載の並列光モジュールにおいて、
前記光コネクタの前記曲面部は、平面視にて、リング状である、並列光モジュール。
【請求項４】
請求項１に記載の並列光モジュールにおいて、
前記光コネクタの前記平坦部には、複数のレンズが設けられている、並列光モジュール。
【請求項５】
請求項１に記載の並列光モジュールにおいて、
前記光コネクタは、前記平坦部に対向する上面を有し、前記上面は、前記平坦部と平行である、並列光モジュール。
【請求項６】
請求項５に記載の並列光モジュールにおいて、
前記光コネクタは、前記上面と前記曲面部との間に、前記基板の前記主面に垂直な側面を有し、
前記台座は、前記基板の前記主面に垂直な方向に延在する内壁を含む壁部を有し、
前記光コネクタの前記側面は、前記台座の前記内壁に当接している、並列光モジュール。
【請求項７】
主面を有する基板と、
前記基板の前記主面の上に位置し、複数の光素子を有する光素子アレイと、
前記光素子アレイが配置された第１溝部を囲む第１側面と、前記第１溝部より広く、前記第１溝部を開口する第２溝部を囲む第２側面と、前記第２溝部より広く、前記第２溝部を開口する第３溝部を囲む第３側面と、を有し、前記基板の前記主面上に配置された台座と、
複数の光ファイバからなる光ファイバアレイと、
前記光ファイバと前記光素子とを光学的に接続する光コネクタと、
を有し、
前記台座の前記第２側面は、前記基板の前記主面に対して直線的に傾斜した傾斜面であり、
前記光コネクタは、前記台座の前記第２溝部および前記第３溝部に配置されており、
前記光コネクタの前記光素子アレイに向かい合う面は、平坦部と、前記平坦部を囲む曲面部とからなり、
断面視にて、前記光コネクタの前記曲面部は、円弧状であり、前記台座の前記第２側面と点接触している、並列光モジュール。
【請求項８】
請求項７に記載の並列光モジュールにおいて、
前記光コネクタは、前記台座の前記第３側面と対向する第４側面を有し、
前記第４側面は、前記第３側面に当接している、並列光モジュール。
【請求項９】
請求項７に記載の並列光モジュールにおいて、
平面視にて、前記第２溝部は、円形である、並列光モジュール。
【請求項１０】
請求項７に記載の並列光モジュールにおいて、
前記第３溝部は、矩形である、並列光モジュール。
【請求項１１】
請求項７に記載の並列光モジュールにおいて、
前記基板の前記主面に対して、前記第２側面の傾斜角は、１０〜４５°である、並列光モジュール。
【請求項１２】
（ａ）主面を有する基板を準備する工程、
（ｂ）第１溝部を囲む第１側面と、前記第１溝部より広く、前記第１溝部を開口する第２溝部を囲む第２側面と、前記第２溝部より広く、前記第２溝部を開口する第３溝部を囲む第３側面と、を有する台座と、前記第１溝部内に位置する光素子アレイとを、前記基板の前記主面の上に設置する工程、
（ｃ）前記光素子アレイと向かい合う下面が、平坦部と、前記平坦部を囲む円弧状の曲面部とを有し、さらに、前記基板の前記主面に垂直な第４側面を有する第１光コネクタを、前記第２溝部および前記第３溝部に挿入する工程、
（ｄ）前記第１光コネクタを、前記台座に接着する工程、
を有し、
前記台座の前記第２側面は、前記基板の前記主面に対して直線的に傾斜した傾斜面であり、
前記（ｃ）工程では、断面視にて、前記第１光コネクタの前記第４側面が、前記台座の前記第３側面に沿うように挿入し、前記第１光コネクタの前記曲面部を、前記台座の前記第２側面に点接触させる、並列光モジュールの製造方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の並列光モジュールの製造方法において、
前記（ｃ）工程と前記（ｄ）工程の間に、さらに、
（ｅ）前記平坦部が、前記基板の前記主面と平行になるように、前記第１光コネクタの傾きを補正する工程、
を有する、並列光モジュールの製造方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載の並列光モジュールの製造方法において、
前記基板は、前記主面に、行列状に配置された複数の並列光モジュール形成領域を有し、
前記（ｄ）工程の後に、さらに、
（ｆ）前記並列光モジュール形成領域毎に、前記基板を複数に個片化する工程、
を有する、並列光モジュールの製造方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の並列光モジュールの製造方法において、
前記（ｆ）工程の後に、さらに、
（ｇ）前記第１光コネクタに、光ファイバアレイが接続された第２光コネクタを接続する工程、
を有する、並列光モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報機器などの装置間、または装置内ボード間で送受信される高速光信号を伝送する際の、インターフェース部となる並列光モジュールおよびその製造方法に関する
。
【背景技術】
【０００２】
近年、一般ユーザに向けたＩｏＴ（Internet of Things）やクラウドなどの高速ブロードバンドサービスの普及により、データセンタ内でのサーバ、ストレージ等の機器で処理されるデータ量が飛躍的に増加している。データ処理速度の高速化には、サーバ等の情報機器間を繋ぐ信号伝送ケーブルや装置内配線の信号伝送速度、いわゆるインターコネクトの大容量化が重要となっている。そこで、今後はインターコネクト速度もチャンネル当たり２５Ｇｂｐｓ以上の高速化が求められ、高密度化および伝送線路の軽量化を可能とする光インターコネクト技術が期待されている。
【０００３】
このような高速光配線システムを実現して機器間・装置内に適用するために、高速信号伝送路として、光ファイバケーブルとインターフェースとなる光モジュールの適用が検討されている。今後、光モジュールは、光配線の大容量化のため、多チャンネル（並列）化が必要となる。
【０００４】
並列光モジュールに求められる技術課題として、先ず低損失化が挙げられる。低損失化のためには、光素子アレイと、光ファイバアレイが接続された光コネクタとを、高位置精度に光接続する必要がある。
【０００５】
例えば、特開２００８−４０３１８号公報（特許文献１）には、アクティブアライメント方式、特許第４８６７０４７号公報（特許文献２）には、パッシブアライメント方式、と呼ばれる光接続方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−４０３１８号公報
【特許文献２】特許第４８６７０４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特開２００８−４０３１８号公報（特許文献１）のアクティブアライメント方式は、光素子に電圧を加え、出力される電気や光の信号強度をモニタしながら光位置合せを行う方法である。この方式は、高精度で光素子アレイと光ファイバアレイとの光学接続を実現できる反面、測定系が煩雑で多種の光学部品および機構が必要のため、光モジュールの作製コストが大きくなる。さらに、光モジュールを個々に調整するため、大量生産で多数個をまとめて製造する事が困難である。
【０００８】
また、特許第４８６７０４７号公報（特許文献２）のパッシブアライメント方式は、例えば、光素子アレイが搭載された基板上に位置決めピンが設けられており、それを光ファイバアレイが接続された光コネクタに設けられた位置決め穴に差し込むことで、光素子と光ファイバとの光接続を行う。この方式は、光素子と光ファイバとの光接続精度が、光素子アレイの実装精度、並びに、位置決めピンおよび位置決め穴の加工精度等に依存するため、光素子アレイと光ファイバアレイとを一括して高効率に光接続することが困難である。
【０００９】
そこで、本発明は、高効率の光接続を可能とした並列光モジュールを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
一実施例の並列光モジュールは、主面を有する基板と、基板の主面上に位置し、複数の光素子を有する光素子アレイと、光素子アレイを囲むように、基板の主面上に配置され、断面視にて、主面に対して直線的に傾斜した傾斜面を有する台座と、複数の光ファイバからなる光ファイバアレイと、光ファイバと光素子とを光学的に接続する光コネクタと、を有する。そして、光コネクタの光素子アレイと向かい合う面は、平坦部と、平坦部を囲む曲面部とからなり、断面視にて、曲面部は円弧状であり、光コネクタの曲面部は、台座の傾斜面と点接触している。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、高効率の光接続を可能とした並列光モジュールを得ることが出来る。
【００１２】
上記した以外の課題、構成および効果は、以下の実施の形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施例１の並列光モジュールの平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図４】実施例１の並列光モジュールの台座の平面図である。
【図５】実施例１の並列光モジュールの光コネクタの平面図である。
【図６】光コネクタの水平方向位置ずれと結合効率の関係を示すグラフである。
【図７】光コネクタの上面の水平方向に対する回転角度と結合効率の関係を示すグラフである。
【図８】実施例１の並列光モジュールの製造工程中の断面図である。
【図９】図８に続く並列光モジュールの製造工程中の断面図である。
【図１０】図９に続く並列光モジュールの製造工程中の断面図である。
【図１１】図１０に続く並列光モジュールの製造工程中の断面図である。
【図１２】図１１に続く並列光モジュールの製造工程中の斜視図である。
【図１３】実施例２の並列光モジュールの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１５】
＜並列光モジュールの構造＞
図１は、本発明の実施例１の並列光モジュールの平面図である。図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。図３は、図１のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。図４は、実施例１の並列光モジュールの台座の平面図である。図５は、実施例１の並列光モジュールの光コネクタ３００の平面図である。
【００１６】
図１〜図３に示すように、並列光モジュールは、基板１００、台座２００、光コネクタ３００および４００、および、光素子アレイ５００を有している。
【００１７】
基板１００は、セラミックまたはガラスエポキシ樹脂等で形成された配線基板であり、基板１００の主面には、銅（Ｃｕ）等の金属配線が形成されている。金属配線は、基板１００の主面だけでなく、裏面にも設けることができる。さらに、主面と裏面との間の内層に複数層の配線層を設けることも出来る。基板１００の主面とは、光素子アレイ５００、台座２００または光コネクタ３００および４００を搭載する側の面である。
【００１８】
図２に示すように、光素子アレイ５００は、複数個の光素子５０１からなる。図２では４個の光素子５０１からなる光素子アレイ５００の例（つまり、４チャンネルの例）を示すが、光素子５０１の数（チャンネル数）は、これに限定するものではない。光素子５０１は、発光ダイオード、受光ダイオード、または、発光ダイオードおよび受光ダイオードとすることができる。なお、光素子アレイ５００の主面とは、発光面または受光面であり、主面は光コネクタ３００と向かい合っている。
【００１９】
台座２００は、基板１００の主面上に配置されており、例えば、エポキシ樹脂で構成されている。台座２００は、図２、３または４に示すように、光コネクタ３００が挿入される溝部２１０および２２０と、光素子アレイ５００の収納部である溝部２３０と、を有している。さらに、溝部２３０の底面２３１には、エポキシ樹脂などの接着剤２４１を入れるための凹部２４０が形成されている。平面視（Ｘ−Ｙ平面）にて、溝部２２０は、溝部２３０よりも広く、溝部２３０の全域を露出している。そして、溝部２１０は、溝部２２０よりも広く、溝部２２０の全域を露出している。また、図２および３に示すように、断面視（Ｘ−Ｚ平面およびＹ−Ｚ平面）にて、基板１００の主面側から、溝部２３０、溝部２２０、溝部２１０の順に配置されている。
【００２０】
図４に示すように、溝部２１０は、平面視（Ｘ−Ｙ平面）にて、正方形を有し、図２および３に示すように、断面視（Ｘ−Ｚ平面およびＹ−Ｚ平面）にて、壁部２１１に囲まれている。壁部２１１の内壁２１１ａは、基板１００の主面に垂直であり、溝部２１０の上部および下部は、平面視（Ｘ−Ｙ平面）にて、その一辺が等しい正方形となっている。
【００２１】
また、溝部２２０は、平面視（Ｘ−Ｙ平面）にて、円形を有し、図２および３に示すように、断面視（Ｘ−Ｚ平面およびＹ−Ｚ平面）にて、直線からなる傾斜面２２１に囲まれている。図３に示すように、傾斜面２２１は、基板１００の主面に対して傾斜角θ（１０°〜４５°）を有している。つまり、溝部２２０は、円錐を底面に平行な２つの面で切り取った形状となっており、溝部２２０の上部および下部は、円形を有し、上部の円の半径は、下部の円の半径よりも大きい。傾斜面２２１は、円錐の側面の一部と見なすことも出来る。図４に示すように、傾斜面２２１は、平面視（Ｘ−Ｙ平面）にて、リング形状を有する。なお、壁部２１１の内壁２１１ａと傾斜面２２１との間には、特に限定されないが、基板１００の主面と平行な面を有する平坦部２２２が設けられている。ただし、平坦部２２２は、光コネクタ３００と接触しないように、基板１００の主面に対して、傾斜面２２１よりも小さい傾斜角とするのが好適である。
【００２２】
また、溝部２３０は、平面視（Ｘ−Ｙ平面）にて、円形を有し、図２および３に示すように、断面視（Ｘ−Ｚ平面およびＹ−Ｚ平面）にて、直線からなる傾斜面である側面２３２に囲まれている。溝部２３０の底部には、円形の底面２３１があり、底面２３１の中央部には、例えば、長方形の凹部２４０が形成されている。
【００２３】
図４に示すように、凹部２４０は、光素子アレイ５００よりも小さく、光素子アレイ５００からはみ出すことなく、凹部２４０の外周は、光素子アレイ５００と重なっている。つまり、長方形の凹部２４０は、図２および３に示すように、長手方向および短手方向において、光素子アレイ５００よりも短い。また、接着剤２４１は、凹部２４０内のみに形成されていて溝部２３０の底面２３１上にはみ出さないので、断面視（Ｘ−Ｚ平面およびＹ−Ｚ平面）にて、光素子アレイ５００の傾きを防止できる。つまり、溝部２３０の底面２３１は、基板１００の主面に平行なので、光素子アレイ５００の主面（光コネクタ３００に向かい合う面）も基板１００の主面に平行となる。
【００２４】
また、図４に示すように、長方形の光素子アレイ５００の４つの角部は、円形状の底面２３１の円弧上に位置しており、光素子アレイ５００の４つの角部は、溝部２３０の底部で側面２３２に接触している。つまり、基板１００の主面に対して傾斜した側面２３２は、光素子アレイ５００を底面２３１の中央に搭載するためのガイドとなっている。
【００２５】
次に、図１または図５に示すように、光コネクタ３００は、平面視（Ｘ−Ｙ平面）において、正方形の上面３０１を有する。上面３０１には、光コネクタ４００を搭載する凹部３０４および３０５が形成されている。さらに、光コネクタ３００は、図２、３または５に示すように、４つの側面３０３と、下面３０２とを有している。そして、下面３０２は、中央部に位置する平坦部３０６と、平坦部３０６の周囲を囲む曲面部３０８とを有している。さらに、平坦部３０６の中央部には、複数個（例えば、４個）のレンズ３０７が配置されている。平坦部３０６、曲面部３０８およびレンズ３０７を纏めて下面３０２と呼ぶことも出来る。
【００２６】
図５に示すように、平坦部３０６は、円形であり、曲面部３０８は、平坦部３０６の周囲を囲むリング形状を有する。また、図２および３に示すように、平坦部３０６は、基板１００の主面と平行の平面を有する。また、平坦部３０６の周囲の曲面部３０８は、断面視（Ｘ−Ｚ平面およびＹ−Ｚ平面）にて、円弧状となっている。図２および３において、平坦部３０６の両側に位置する曲面部３０８は、１つの円の円弧または等しい半径を有する２つの円の円弧である。
【００２７】
図２および３に示すように、光コネクタ３００の側面３０３は、基板１００の主面に垂直であり、光コネクタ３００の側面３０３は、台座２００の壁部２１１の内壁２１１ａに当接している。従って、光コネクタ３００の断面視（Ｘ−Ｚ平面およびＹ−Ｚ平面）における回転ずれを低減または防止することができ、光コネクタ３００の平坦部３０６および上面３０１を、光素子アレイ５００の主面および基板１００の主面と平行にすることができる。
【００２８】
また、断面視（Ｘ−Ｚ平面およびＹ−Ｚ平面）にて、光コネクタ３００の曲面部３０８は、台座２００の傾斜面２２１に、接点２２３で点接触している。また、図４および５において、一点鎖線で示すように、接点２２３は、円形となっている。従って、平面視（Ｘ−Ｙ平面）において、光コネクタ３００の平坦部３０６に設けたレンズ３０７（言い換えると、後述する光経路４４０）と光素子５０１の位置ずれを低減または防止することができる。
【００２９】
また、図２および３に示すように、台座２００の壁部２１１の上面２１１ｂと、光コネクタ３００の側面３０３とは、例えば、光コネクタ３００の全周囲にわたって、接着剤２１２で接着されている。
【００３０】
次に、図１、２または３に示すように、光コネクタ４００は、光コネクタ３００の上に配置されている。光コネクタ４００は、上面４０１、下面４０２、および４つの側面４０３を有する。下面４０２には、光経路４４０となる凸部４０５が形成されており、光コネクタ３００の凹部３０４および３０５に、光コネクタ４００の側面４０３および凸部４０５がはめ込まれている。また、光コネクタ４００には、複数の光ファイバ４１０が接続されており、光ファイバ４１０は、光コネクタ４００の側面４０３から突出している。なお、複数の光ファイバ４１０の束を光ファイバアレイと呼ぶ。
【００３１】
光コネクタ４００には、レンズ４２０およびミラー４３０が内蔵されており、図３に示すように、光ファイバ４１０と光素子５０１間に、光コネクタ４００、レンズ４２０、ミラー４３０、光コネクタ３００およびレンズ３０７を通過する光経路４４０が形成される。
【００３２】
光コネクタ３００および４００は、エポキシ樹脂またはアクリル樹脂などの透明樹脂にて形成される。ここでは、故障の際の部品交換の容易性を考慮して、光コネクタ３００および４００を別体としたが、両者を一体形成しても良い。
【００３３】
＜並列光モジュールの特徴および効果＞
断面視（Ｘ−Ｚ平面およびＹ−Ｚ平面）にて、光コネクタ３００の円弧状の曲面部３０８と、台座２００の直線からなる傾斜面２２１とが接点２２３で点接触しているため、平面視（Ｘ−Ｙ平面）における、光素子アレイ５００と光コネクタ３００の位置ずれを低減または防止することができる。そして、各光素子５０１と、対応する各光ファイバ４１０との間の光結合効率を向上させることができる。
【００３４】
図６は、光コネクタの水平方向位置ずれと結合効率の関係を示すグラフである。実施例１によれば、水平方向（Ｘ−Ｙ平面）の位置ずれを±１０μｍ以下とすることができ、結合効率を−３ｄＢ以上とすることができる。
【００３５】
また、円弧状の曲面部３０８と直線からなる傾斜面２２１とは、平面視（Ｘ−Ｙ平面）にて、リング形状となっており、曲面部３０８と傾斜面２２１との接点２２３は、円形となっている。平面視（Ｘ−Ｙ平面）における、Ｘ方向およびＹ方向において、光素子アレイ５００と光コネクタ３００の位置ずれを低減または防止することができ、各光素子５０１と、対応する各光ファイバ４１０との間の光結合効率を向上させることができる。
【００３６】
台座２００の壁部２１１の内壁２１１ａに、光コネクタ３００の側面３０３が当接しているため、断面視（Ｘ−Ｚ平面およびＹ−Ｚ平面）において、光コネクタ３００の回転方向ずれを低減または防止することができ、各光素子５０１と、対応する各光ファイバ４１０との間の光結合効率を向上させることができる。
【００３７】
図７は、光コネクタの上面の水平方向に対する回転角度と結合効率の関係を示すグラフである。実施例１によれば、水平方向（Ｘ−Ｚ平面およびＹ−Ｚ平面）の回転方向ずれを２０°以下とすることができ、結合効率を−３ｄＢ以上とすることができる。
【００３８】
光素子アレイ５００の周囲（例えば、４つの角部）を、台座２００の側面２３２に当接させたことで、光素子アレイ５００と光コネクタ３００の位置ずれを低減または防止することができ、全ての光素子５０１と光ファイバ４１０間の光結合効率を向上させることができる。
【００３９】
光コネクタ４００と光コネクタ３００とを別体としたことで、光コネクタ４００または光コネクタ３００が故障した場合でも、部分的に部品交換が出来るため、並列光モジュールの低コスト化および信頼性の向上を図ることができる。
【００４０】
光コネクタ４００を光コネクタ３００上に重ねて配置したことで、並列光モジュールの小型化および高密度化をすることができる。
【００４１】
＜並列光モジュールの製造方法＞
図８〜図１１は、実施例１の並列光モジュールの製造工程中の断面図である。図１２は、実施例１の並列光モジュールの製造工程中の斜視図である。
【００４２】
先ず、並列光モジュール形成領域６００がマトリックス状に配置されたマトリックス基板１００ａを準備する。以下、図８〜図１１では、１つの並列光モジュール形成領域６００について説明するが、他の並列光モジュール形成領域６００でも同様の処理がされる。マトリックス基板１００ａにおいて、基板１００は、１つの並列光モジュール形成領域６００に相当する。
【００４３】
次に、図８に示すように、基板１００の主面上に台座２００を搭載する。
【００４４】
次に、図９に示すように、台座２００の凹部２４０内に、接着剤２４１を充填する。次に、台座２００に設けられた溝部２３０の底面２３１に光素子アレイ５００を載置し、光素子アレイ５００を台座２００に接着する。ここで、前述のとおり、接着剤２４１が底面２３１上にはみ出さないようにすることが肝要である。
【００４５】
次に、図１０に示すように、台座２００の溝部２１０および２２０に光コネクタ３００を挿入する。光コネクタ３００は、台座２００の壁部２１１の内壁２１１ａに沿って挿入し、光コネクタ３００の曲面部３０８を、台座２００の傾斜面２２１に点接触させる。次に、平板冶具６１０を光コネクタ３００の上面３０１に接触させ、光コネクタ３００の傾き補正をすることで、光コネクタ３００の下面３０２の平坦部３０６を基板１００の主面に対して平行にする。図１０では、Ｘ−Ｚ平面を示しているが、Ｙ−Ｚ平面でも同時に傾き補正がなされる。
【００４６】
壁部２１１をガイドとして、光コネクタ３００を挿入することで、光コネクタ３００の断面視（Ｘ−Ｚ平面およびＹ−Ｚ平面）における回転ずれは低減されるが、挿入後に光コネクタ３００の傾き補正をすることで、より一層、回転ずれを低減することができる。
【００４７】
なお、光コネクタ３００の傾き補正は、複数の並列光モジュール形成領域６００に対して同時に実施する。つまり、１枚の平板冶具６１０で複数の光コネクタ３００の傾き補正をするのが好適である。
【００４８】
次に、図１１に示すように、光コネクタ３００を台座２００に固定する。台座２００の壁部２１１の上面２１１ｂおよび光コネクタ３００の側面３０３に接着剤２１２を付着し、両者を固定する。
【００４９】
次に、図１２に示すように、マトリックス基板１００ａを分割し、複数の並列光モジュール形成領域６００に個片化する。
【００５０】
次に、図２または図３に示すように、光コネクタ３００の凹部３０４に光コネクタ４００を設置して並列光モジュールが完成する。
【００５１】
＜並列光モジュールの製造方法の特徴および効果＞
台座２００の壁部２１１をガイドとして光コネクタ３００を挿入し、台座２００の傾斜面２２１に光コネクタ３００の曲面部３０８を点接触させることで、台座２００内に配置された光素子アレイ５００と光コネクタ３００のＸ−Ｙ方向ずれ、Ｘ−Ｚ方向ずれおよびＹ−Ｚ方向ずれを低減または防止できる。
【００５２】
台座２００に光コネクタ３００を挿入後に、光コネクタ３００の傾き補正をすることで、さらに、Ｘ−Ｚ方向ずれおよびＹ−Ｚ方向ずれを低減できる。
【００５３】
マトリックス基板１００ａに複数の並列光モジュールを形成する際、複数の光コネクタ３００に対して同時に傾き補正をすることで、並列光モジュールの製造コストを低減することができる。
【００５４】
マトリックス基板１００ａに複数の並列光モジュールを形成し、個片化する製法とすることで、並列光モジュールの大量生産およびコスト低減が可能となる。
【実施例２】
【００５５】
図１３は、実施例２の並列光モジュールの断面図である。実施例２では、台座２００に設けられた溝部２３０ａが基板１００の主面まで貫通している。さらに、溝部２３０ａ内において、基板１００の主面上に光素子アレイ５００および集積回路素子５０２が搭載されており、光素子アレイ５００および集積回路素子５０２は、ワイヤ７００により基板１００の金属配線に接続されている。また、光素子アレイ５００および集積回路素子５０２は、互いに電気的に接続されており、電気信号の授受が可能である。
【００５６】
なお、上記以外の構成は、実施例１と同様であり、その説明は省略する。
【００５７】
光素子アレイ５００に近接して集積回路素子５０２を配置したことで、並列光モジュールの高速動作が可能となる。
【００５８】
なお、本発明は、上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１００  基板
１００ａ  マトリックス基板
２００  台座
２０１  下面
２１０、２２０、２３０、２３０ａ  溝部
２１１  壁部
２１１ａ  内壁
２１１ｂ  上面
２１２  接着剤
２２１  傾斜面
２２２  平坦部
２２３  接点
２３１  底面
２３２  側面
２４０  凹部
２４１  接着剤
３００  光コネクタ
３０１  上面
３０２  下面
３０３  側面
３０４、３０５  凹部
３０６  平坦部
３０７  レンズ
３０８  曲面部
４００  光コネクタ
４０１  上面
４０２  下面
４０３  側面
４０５  凸部
４１０  光ファイバ
４２０  レンズ
４３０  ミラー
４４０  光経路
５００  光素子アレイ
５０１  光素子
５０２  集積回路素子
６００  並列光モジュール形成領域
６１０  平板冶具
７００  ワイヤ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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