(57)【要約】【課題】水封式の真空ポンプを用いた低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置において、減圧時の到達可能圧力や封水温度の変化に応じて、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更する。【解決手段】真空ポンプ３による滅菌槽２内の減圧と、滅菌槽２内へのホルムアルデヒドガス導入による滅菌槽２内の復圧とを、設定回数繰り返す工程を含んで運転される。真空ポンプ３による減圧で到達可能な圧力、または真空ポンプ３への封水の温度に基づき、前記減圧後のホルムアルデヒドガスの導入量を変更する。たとえば、真空ポンプ３による減圧目標圧力までの減圧と、ホルムアルデヒドガス導入による復圧目標圧力までの復圧とが繰り返され、減圧目標圧力と復圧目標圧力とを変更することで、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
滅菌物が収容される滅菌槽と、
この滅菌槽内の気体を外部へ吸引排出する水封式の真空ポンプとを備え、
前記真空ポンプによる前記滅菌槽内の減圧と、前記滅菌槽内へのホルムアルデヒドガス導入による前記滅菌槽内の復圧とを、設定回数繰り返す工程を含んで運転され、
前記真空ポンプによる減圧で到達可能な圧力、または前記真空ポンプへの封水の温度に基づき、前記減圧後のホルムアルデヒドガスの導入量を変更する
ことを特徴とする低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置。
【請求項２】
前記滅菌槽内の減圧とホルムアルデヒドガス導入による復圧とを繰り返すガス置換工程と、前記滅菌槽内を滅菌温度で滅菌時間保持する滅菌工程と、前記滅菌槽内の減圧と水蒸気導入による復圧とを繰り返す蒸気脱離工程と、前記滅菌槽内の減圧と空気導入による復圧とを繰り返す空気脱離工程とを順次に含んで運転され、
前記ガス置換工程において、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更する
ことを特徴とする請求項１に記載の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置。
【請求項３】
前記設定回数の繰り返し工程よりも前の工程として、前記滅菌槽内を所定の終了条件を満たすまで前記真空ポンプにより減圧し続ける真空引き工程を含み、
この真空引き工程で到達した最低圧力に基づき、前記繰り返し工程におけるホルムアルデヒドガスの導入量を変更する
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置。
【請求項４】
前記設定回数の繰り返し工程では、前記真空ポンプによる減圧目標圧力までの減圧と、ホルムアルデヒドガス導入による復圧目標圧力までの復圧とが繰り返され、
前記減圧目標圧力と前記復圧目標圧力とを変更することで、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更する
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置。
【請求項５】
前記真空ポンプによる減圧で到達可能な圧力が低いほど、または前記真空ポンプへの封水の温度が低いほど、ホルムアルデヒドガスの導入量を少なくする
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置。
【請求項６】
前記設定回数の繰り返し工程では、前記真空ポンプによる減圧目標圧力までの減圧と、ホルムアルデヒドガス導入による復圧目標圧力までの復圧とが繰り返され、
前記真空ポンプによる到達可能圧力と、前記減圧目標圧力および前記復圧目標圧力との関係、または前記真空ポンプへの封水温度と、前記減圧目標圧力および前記復圧目標圧力との関係が、予め圧力域または温度域ごとに分けて登録されており、
前記真空ポンプによる減圧で到達可能な最低圧力、または前記真空ポンプへの封水温度に基づき、前記登録された情報から、その最低圧力または封水温度が属する減圧目標圧力および復圧目標圧力で運転する
ことを特徴とする請求項５に記載の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低温蒸気ホルムアルデヒド（ＬＴＳＦ）滅菌装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、下記特許文献１に開示されるように、真空下の滅菌槽内で、ホルムアルデヒド含有水蒸気により滅菌物を滅菌する低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置が知られている。この装置では、真空下で水蒸気を取り扱うため、ドライ式ではなく、水封式の真空ポンプが好適に用いられる。
【０００３】
水封式の真空ポンプを用いる場合、到達可能な最低圧力は、封水の温度に左右される。封水の温度が低いほど、滅菌槽内を減圧しやすく、到達可能な圧力（絶対圧）は低くなる一方、封水の温度が高いほど、滅菌槽内を減圧しにくく、到達可能な圧力は高くなる。
【０００４】
そして、滅菌槽内の減圧時の到達圧力が低いと、ホルムアルデヒドガス導入による復圧時、滅菌物（たとえばチューブ）の内部にまでホルムアルデヒドを到達させやすい。そのため、復圧量（言い換えればホルムアルデヒドガスの導入量）が少なくても、滅菌が有効になされる。また、復圧量を削減できれば、復圧時間が短くなり、全体の運転時間の短縮を図ることもできる。
【０００５】
ところが、従来、真空ポンプによる減圧で到達可能な圧力や、真空ポンプへの封水の温度によって、減圧後のホルムアルデヒドガスの導入量は調整されていない。たとえば冬場で封水温度が低い場合でも、夏場のような封水温度が高い場合と同様の制御を行っている。そのため、封水温度が低くても、ホルムアルデヒドガスの使用量を抑えたり、運転時間の短縮を図ったりすることはできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−２３５０３０号公報（段落［０００２］、［００２６］、［００３６］）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、水封式の真空ポンプを用いた低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置において、減圧時の到達可能圧力や封水温度の変化に応じて、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更可能とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、滅菌物が収容される滅菌槽と、この滅菌槽内の気体を外部へ吸引排出する水封式の真空ポンプとを備え、前記真空ポンプによる前記滅菌槽内の減圧と、前記滅菌槽内へのホルムアルデヒドガス導入による前記滅菌槽内の復圧とを、設定回数繰り返す工程を含んで運転され、前記真空ポンプによる減圧で到達可能な圧力、または前記真空ポンプへの封水の温度に基づき、前記減圧後のホルムアルデヒドガスの導入量を変更することを特徴とする低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置である。
【０００９】
請求項１に記載の発明によれば、真空ポンプによる減圧で到達可能な圧力、または真空ポンプへの封水の温度に基づき、減圧後のホルムアルデヒドガスの導入量を変更することができる。従って、封水温度が低ければ、ホルムアルデヒドガスの導入量を削減し、運転時間の短縮を図ることができる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、前記滅菌槽内の減圧とホルムアルデヒドガス導入による復圧とを繰り返すガス置換工程と、前記滅菌槽内を滅菌温度で滅菌時間保持する滅菌工程と、前記滅菌槽内の減圧と水蒸気導入による復圧とを繰り返す蒸気脱離工程と、前記滅菌槽内の減圧と空気導入による復圧とを繰り返す空気脱離工程とを順次に含んで運転され、前記ガス置換工程において、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更することを特徴とする請求項１に記載の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置である。
【００１１】
請求項２に記載の発明によれば、ガス置換工程、滅菌工程、蒸気脱離工程および空気脱離工程を順次に含んで運転することで、前処理、滅菌および後処理を図ることができる。そして、ガス置換工程において、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更することができる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、前記設定回数の繰り返し工程よりも前の工程として、前記滅菌槽内を所定の終了条件を満たすまで前記真空ポンプにより減圧し続ける真空引き工程を含み、この真空引き工程で到達した最低圧力に基づき、前記繰り返し工程におけるホルムアルデヒドガスの導入量を変更することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置である。
【００１３】
請求項３に記載の発明によれば、真空引き工程を実施することで、予め、真空ポンプによる減圧限界を知ることができる。そして、その結果に基づきホルムアルデヒドガスの導入量を変更することができる。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、前記設定回数の繰り返し工程では、前記真空ポンプによる減圧目標圧力までの減圧と、ホルムアルデヒドガス導入による復圧目標圧力までの復圧とが繰り返され、前記減圧目標圧力と前記復圧目標圧力とを変更することで、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置である。
【００１５】
請求項４に記載の発明によれば、真空ポンプによる減圧目標圧力までの減圧と、ホルムアルデヒドガス導入による復圧目標圧力までの復圧との繰り返し工程において、減圧目標圧力と復圧目標圧力とを変更することで、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更することができる。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、前記真空ポンプによる減圧で到達可能な圧力が低いほど、または前記真空ポンプへの封水の温度が低いほど、ホルムアルデヒドガスの導入量を少なくすることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置である。
【００１７】
請求項５に記載の発明によれば、真空ポンプによる減圧で到達可能な圧力が低いほど、または真空ポンプへの封水の温度が低いほど、ホルムアルデヒドガスの導入量を少なくすることで、ホルムアルデヒドの使用量の削減と、運転時間の短縮とを図ることができる。
【００１８】
さらに、請求項６に記載の発明は、前記設定回数の繰り返し工程では、前記真空ポンプによる減圧目標圧力までの減圧と、ホルムアルデヒドガス導入による復圧目標圧力までの復圧とが繰り返され、前記真空ポンプによる到達可能圧力と、前記減圧目標圧力および前記復圧目標圧力との関係、または前記真空ポンプへの封水温度と、前記減圧目標圧力および前記復圧目標圧力との関係が、予め圧力域または温度域ごとに分けて登録されており、前記真空ポンプによる減圧で到達可能な最低圧力、または前記真空ポンプへの封水温度に基づき、前記登録された情報から、その最低圧力または封水温度が属する減圧目標圧力および復圧目標圧力で運転することを特徴とする請求項５に記載の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置である。
【００１９】
請求項６に記載の発明によれば、真空ポンプによる到達可能圧力と、減圧目標圧力および復圧目標圧力との関係、または真空ポンプへの封水温度と、減圧目標圧力および復圧目標圧力との関係を予め登録しておき、実際の到達可能圧力または封水温度に基づき、減圧目標圧力および復圧目標圧力を容易に設定することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、水封式の真空ポンプを用いた低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置において、減圧時の到達可能圧力や封水温度の変化に応じて、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施例の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置を示す概略図であり、一部を断面にして示している。
【図２】図１の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置の運転工程の一例を示す概略図であり、滅菌槽内の圧力Ｐと経過時間ｔとの関係を示している。
【図３】図１の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の具体的実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施例の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置１を示す概略図であり、一部を断面にして示している。
【００２３】
本実施例の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置１は、滅菌物が収容される滅菌槽２と、この滅菌槽２内の気体を外部へ吸引排出する水封式の真空ポンプ３と、滅菌槽２内への水蒸気およびホルムアルデヒドガスの導入手段４と、滅菌槽２内への外気導入手段５と、滅菌槽２外へのホルムアルデヒドを分解する触媒反応器６と、制御手段（図示省略）とを備える。
【００２４】
滅菌物は、特に問わないが、典型的には医療器具である。本実施例の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置１は、たとえばチューブのような内空部を有する物品の滅菌に好適に用いられる。滅菌物は、滅菌用の包装資材に入れられた状態で、滅菌槽２内に収容されてもよい。
【００２５】
滅菌槽２は、内部空間の減圧に耐える中空容器であり、典型的には略矩形の箱状に形成されている。滅菌槽２は、ドア（図示省略）で開閉可能とされる。ドアを開けることで、滅菌槽２に対し滅菌物を出し入れすることができ、ドアを閉じることで、滅菌槽２を気密に閉じることができる。
【００２６】
滅菌槽２内は、ヒータ（図示省略）で加温可能とされる。滅菌槽２のヒータは、その構成を特に問わず、たとえば蒸気ジャケットでもよいが、本実施例では、滅菌槽２の外壁に設けられるヒートテープから構成される。ヒータのオンオフまたは容量を制御することで、滅菌槽２内を所望温度に維持することができる。
【００２７】
滅菌槽２には、滅菌槽２内の圧力を検出する圧力センサ７と、滅菌槽２内の温度を検出する温度センサ８とが設けられる。詳細は後述するが、圧力センサ７の検出圧力に基づき、滅菌槽２内の減圧または復圧を制御することができ、温度センサ８の検出温度に基づき、滅菌槽２のヒータを制御することができる。
【００２８】
水封式の真空ポンプ３は、周知のとおり、封水と呼ばれる水が供給されつつ運転される。具体的には、本実施例では、放射状に配置された羽根をもつインペラ（図示省略）は、封水が供給される円筒状のケーシング（符号省略）内に、ケーシングと偏心して設置されている。従って、インペラを高速回転させると、ケーシング内に水環ができ、しかもインペラとケーシングとを偏心させているので、一回転するたびに内部の気体が膨張と圧縮とを繰り返すことになる。そこで、ケーシングの適切な位置に吸気口３ａと排気口３ｂとを設けておくことで、外部の気体を吸排気することができる。ケーシングには、さらに給水口（図示省略）が設けられており、その給水口からケーシング内へ封水が供給される。給水口への給水弁（図示省略）は、真空ポンプ３の発停と連動して開閉される。排気口３ｂからは、使用後の封水も排出される。なお、後述するように、真空ポンプ３への封水温度に基づき、ガス置換工程Ｓ３におけるホルムアルデヒドガスの導入量を設定（変更）する場合、真空ポンプ３への封水給水路には、封水温度センサ（図示省略）が設けられる。
【００２９】
真空ポンプ３の吸気口３ａは、排気路９を介して、滅菌槽２に接続される。滅菌槽２内から真空ポンプ３への排気路９には、触媒反応器６が設けられる。この際、好ましくは、滅菌槽２内からの気体を、触媒反応器６を介して排出するか、触媒反応器６を介さずに排出するかを切替可能とされる。具体的には、滅菌槽２内からの排気路９は、第一排気路９ａと第二排気路９ｂとに分岐した後、再び合流して真空ポンプ３に接続されている。そして、第一排気路９ａには、入口弁１０、触媒反応器６および出口弁１１が順に設けられており、第二排気路９ｂには、バイパス弁１２が設けられている。従って、バイパス弁１２を閉じた状態で、入口弁１０および出口弁１１を開ければ、滅菌槽２内からの気体を第一排気路９ａにより、触媒反応器６を介して排出することができる。逆に、入口弁１０および出口弁１１を閉じた状態で、バイパス弁１２を開ければ、滅菌槽２内からの気体を第二排気路９ｂにより、触媒反応器６を介さずに排出することができる。
【００３０】
触媒反応器６は、ホルムアルデヒドを分解する触媒を備えて構成される。具体的には、滅菌槽２内からの気体が通される反応容器に、触媒が設けられて構成される。触媒としては、白金またはパラジウムを担持した網状材など、従来公知の各種のものを用いることができる。触媒反応器６は、ヒータ（図示省略）を備え、このヒータにより、触媒は設定温度（本実施例では２００〜２５０℃）に加温される。この際、触媒自体（または滅菌槽２内からの気体自体）を直接に加温するのではなく、反応容器の外側から加温するのが好ましい。また、触媒での分解反応を有効に図るため、所望により、滅菌槽２内からの気体に、外部からの空気を混入して、触媒反応器６に通してもよい。ホルムアルデヒドの分解反応は、反応式「ＨＣＨＯ＋Ｏ２→ＣＯ２＋Ｈ２Ｏ」で示されるとおり、酸素が必要だからである。
【００３１】
水蒸気およびホルムアルデヒドガスの導入手段４は、水タンク１３、ホルマリンタンク１４および気化器１５を備える。水タンク１３は、内部に水を貯留したタンクであり、ホルマリンタンク１４は、内部にホルマリンを貯留したタンクである。なお、ホルマリンは、所定濃度（本実施例ではホルムアルデヒド濃度２〜３７％）のホルムアルデヒド水溶液である。
【００３２】
水タンク１３およびホルマリンタンク１４は、給液路１６（１６ａ，１６ｂ）を介して気化器１５に接続される。水タンク１３から気化器１５への第一給液路１６ａと、ホルマリンタンク１４から気化器１５への第二給液路１６ｂとは、図示例の場合、気化器１５の側において共通管路とされている。そして、共通管路よりも上流側（各タンク１３，１４側）において、第一給液路１６ａには第一給液弁１７が設けられ、第二給液路１６ｂには第二給液弁１８が設けられている。但し、場合により、各給液弁１７，１８に代えて、給液ポンプを設けてもよい。
【００３３】
気化器１５は、給液路１６（１６ａ，１６ｂ）を介して水タンク１３およびホルマリンタンク１４に接続されると共に、連通路１９を介して滅菌槽２と接続される。気化器１５は、ヒータ（図示省略）を備え、このヒータにより、気化器１５内は所定温度に加温される。気化器１５のヒータを作動させると共に滅菌槽２内を減圧した状態で、第二給液弁１８を閉じたまま第一給液弁１７を開けると、水タンク１３からの水を気化器１５へ導入して気化し、水蒸気として連通路１９を介して滅菌槽２内へ供給することができる。あるいは、第一給液弁１７を閉じたまま第二給液弁１８を開けると、ホルマリンタンク１４からのホルマリンを気化器１５へ導入して気化し、ホルムアルデヒド含有水蒸気として連通路１９を介して滅菌槽２内へ供給することができる。
【００３４】
なお、本明細書において、ホルムアルデヒド含有水蒸気は、少なくともホルムアルデヒドガスを含むという意味で、単にホルムアルデヒドガスということがある。言い換えれば、ホルムアルデヒドガスとは、少なくともホルムアルデヒドを含む気体であり、本実施例では、所定濃度のホルムアルデヒドを含有した水蒸気である。
【００３５】
外気導入手段５は、減圧下の滅菌槽２内に、給気路２０を介して外気を導入する。滅菌槽２内への給気路２０には、エアフィルタ２１および給気弁２２が設けられている。滅菌槽２内を減圧した状態で、給気弁２２を開けると、滅菌槽２の内外の差圧により、外気を滅菌槽２内へ導入して、滅菌槽２内を復圧することができる。その際、エアフィルタ２１により、清浄な空気を滅菌槽２内へ導入することができる。
【００３６】
制御手段は、前記各センサ７，８の検出信号や経過時間などに基づき、真空ポンプ３や前記各弁などを制御する制御器（図示省略）である。具体的には、真空ポンプ３、入口弁１０、出口弁１１、バイパス弁１２、第一給液弁１７、第二給液弁１８、給気弁２２、圧力センサ７および温度センサ８の他、滅菌槽２、触媒反応器６および気化器１５の各ヒータなどは、制御器に接続されている。また、前述したとおり、真空ポンプ３への封水給水路に封水温度センサを設ける場合、その封水温度センサも制御器に接続される。そして、制御器は、以下に述べるように、所定の手順（プログラム）に従い、滅菌槽２内の滅菌物の滅菌を図る。
【００３７】
以下、本実施例の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置１の運転方法の具体例について説明する。
【００３８】
図２は、本実施例の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置１の運転工程の一例を示す概略図であり、滅菌槽２内の圧力Ｐと経過時間ｔとの関係を示している。この図に示すように、本実施例の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置１は、真空引き工程Ｓ１、蒸気置換工程Ｓ２、ガス置換工程Ｓ３、滅菌工程Ｓ４、蒸気脱離工程Ｓ５および空気脱離工程Ｓ６を順次に実行する。以下、各工程について説明する。
【００３９】
なお、運転開始に先立ち、滅菌槽２内には滅菌物が収容され、滅菌槽２のドアは気密に閉じられる。各工程中、滅菌槽２は、ヒータにより、設定温度（典型的には５５〜８０℃、好適には５０〜６０℃、本実施例では５５℃）に加温され維持される。また、触媒反応器６は、ヒータにより、遅くともガス置換工程Ｓ３の開始までに、設定温度（本実施例では２００〜２５０℃）に加温される。そして、ユーザがスタートボタンを押すなどして運転開始が指示されると、前記各工程を順次に実行する。
【００４０】
≪真空引き工程Ｓ１≫
真空引き工程Ｓ１では、所定の終了条件を満たすまで、真空ポンプ３により滅菌槽２内を減圧する。具体的には、入口弁１０および出口弁１１を閉じた状態で、バイパス弁１２を開けて、真空ポンプ３を作動し続ける。この際、各給液弁１７，１８および給気弁２２は、閉じられている。これにより、滅菌槽２内の気体を外部へ吸引排出して、滅菌槽２内を減圧することができる。真空引き工程Ｓ１は、本実施例では設定真空引き時間だけなされる。この時間は、真空ポンプ３の能力限界（つまり滅菌槽２内をどこまで減圧できるのか）を確認するのに必要十分な時間であるのが好ましい。設定真空引き時間の経過後、バイパス弁１２を閉じると共に真空ポンプ３を停止して、次工程へ移行する。
【００４１】
但し、真空引き工程Ｓ１は、滅菌槽２内を目標真空引き圧力まで減圧するようにしてもよく、その場合、目標真空引き圧力まで到達すると真空引き工程Ｓ１を終了するが、設定真空引き時間内に目標真空引き圧力まで到達できない場合には、設定真空引き時間の経過をもって終了するのがよい。その間、圧力センサ７により、到達した最低圧力Ｐ１を監視する。いずれにしても、真空引き工程Ｓ１で到達した最低圧力Ｐ１以上で、後述する各工程の減圧目標圧力ＰＬが設定される。また、後述するように、真空引き工程Ｓ１で到達した最低圧力Ｐ１に基づき、ガス置換工程Ｓ３におけるホルムアルデヒドガスの導入量を変更可能である。なお、各工程の減圧目標圧力ＰＬは、典型的には、１０ｋＰａ未満（たとえば４〜９ｋＰａ程度）で設定され、好ましくは５ｋＰａ以下で設定される。そして、復圧目標圧力ＰＵは、減圧目標圧力ＰＬを超え大気圧Ｐ０以下で設定される。
【００４２】
≪蒸気置換工程Ｓ２≫
蒸気置換工程Ｓ２では、滅菌槽２内の減圧と水蒸気導入による復圧とを、設定回数繰り返す。具体的には、真空ポンプ３による減圧目標圧力ＰＬまでの減圧と、水蒸気導入による復圧目標圧力ＰＵまでの復圧とを、設定回数繰り返す。なお、初回の減圧は、真空引き工程Ｓ１での減圧として、省略することができる。そのため、蒸気置換工程Ｓ２では、真空引き工程Ｓ１での減圧後、復圧目標圧力ＰＵまでの復圧と減圧目標圧力ＰＬまでの減圧とが、設定回数繰り返される。
【００４３】
なお、設定回数は、減圧状態からの復圧回数（図２において上下に振幅する圧力波の内、上方へ凸のパルス数）として定義できる。また、減復圧の繰り返し時、本実施例では、各回の減圧目標圧力ＰＬ同士は同一とされ、各回の復圧目標圧力ＰＵ同士も同一とされる。これらのことは、蒸気置換工程Ｓ２に限らず、ガス置換工程Ｓ３、蒸気脱離工程Ｓ５および空気脱離工程Ｓ６についても同様である。
【００４４】
蒸気置換工程Ｓ２での減復圧の繰り返しについて具体的に説明すると、まず、滅菌槽２内の減圧時、真空引き工程Ｓ１と同様に、入口弁１０および出口弁１１を閉じた状態で、バイパス弁１２を開けて、真空ポンプ３を作動させる。そして、圧力センサ７の検出圧力が減圧目標圧力ＰＬになると、バイパス弁１２を閉じると共に真空ポンプ３を停止する。その後、第一給液弁１７を開放すると、水タンク１３内の水が気化器１５へ吸引され、気化器１５において蒸発した水蒸気は、滅菌槽２内へ導入される。滅菌槽２内が復圧目標圧力ＰＵになると、第一給液弁１７を閉じる。そして、このような減圧と復圧との繰り返しを、設定回数だけ実行する。
【００４５】
但し、図示例のように、滅菌槽２内へ水蒸気を導入して復圧目標圧力ＰＵまで復圧後、復圧目標圧力ＰＵにて設定保持時間（たとえば３０秒）だけ保持してもよい。また、滅菌槽２内の復圧は、圧力センサ７の検出圧力が復圧目標圧力ＰＵになるまでではなく、第一給液弁１７の開放から設定開放時間経過するまででもよい。いずれにしても、蒸気置換工程Ｓ２において、滅菌槽２内の減圧と水蒸気導入による復圧とを繰り返すことで、滅菌槽２内から空気が排除され、水蒸気に置換される。
【００４６】
なお、場合により、滅菌槽２内の減圧は、圧力センサ７の検出圧力が減圧目標圧力ＰＬになるまでではなく、減圧開始から設定減圧時間経過するまででもよい。あるいは、圧力センサ７の検出圧力が減圧目標圧力ＰＬになるまで減圧する場合でも、設定減圧時間内に減圧目標圧力ＰＬまで下がらない場合には、設定減圧時間の経過をもって減圧を終了してもよい。このことは、蒸気置換工程Ｓ２に限らず、ガス置換工程Ｓ３、蒸気脱離工程Ｓ５および空気脱離工程Ｓ６についても同様である。
【００４７】
≪ガス置換工程Ｓ３≫
ガス置換工程Ｓ３では、滅菌槽２内の減圧とホルムアルデヒドガス導入による復圧とを、設定回数繰り返す。具体的には、真空ポンプ３による減圧目標圧力ＰＬまでの減圧と、ホルムアルデヒドガス導入による復圧目標圧力ＰＵまでの復圧とを、設定回数繰り返す。なお、初回の減圧は、蒸気置換工程Ｓ２での最終の減圧として、省略することができる。そのため、ガス置換工程Ｓ３では、蒸気置換工程Ｓ２の終了後、復圧目標圧力ＰＵまでの復圧と減圧目標圧力ＰＬまでの減圧とが、設定回数繰り返される。
【００４８】
なお、蒸気置換工程Ｓ２とガス置換工程Ｓ３とは、いずれも、減圧目標圧力ＰＬまでの減圧と、復圧目標圧力ＰＵまでの復圧とを、設定回数繰り返す工程であるが、両工程の設定回数は互いに異なってもよい。同様に、両工程の各減圧目標圧力ＰＬ同士も、互いに異なってもよいし、両工程の各復圧目標圧力ＰＵ同士も、互いに異なってもよい。これらのことは、蒸気置換工程Ｓ２とガス置換工程Ｓ３との関係に限らず、蒸気脱離工程Ｓ５および空気脱離工程Ｓ６も含んだ各工程相互間についても同様である。また、復圧目標圧力ＰＵでの保持時間（設定保持時間）などについても同様である。図示例では、蒸気置換工程Ｓ２、ガス置換工程Ｓ３、蒸気脱離工程Ｓ５および空気脱離工程Ｓ６において、各工程の減圧目標圧力ＰＬ同士は互いに同一とされ、空気脱離工程Ｓ６を除き、各工程の復圧目標圧力ＰＵ同士も互いに同一とされている。
【００４９】
ガス置換工程Ｓ３での減復圧の繰り返しについて具体的に説明すると、まず、滅菌槽２内の減圧時、バイパス弁１２を閉じた状態で、入口弁１０および出口弁１１を開けて、真空ポンプ３を作動させる。これにより、滅菌槽２内の気体は、触媒反応器６を介して排出され、排気中に含まれるホルムアルデヒドは、触媒にて分解され無害化される。そして、圧力センサ７の検出圧力が減圧目標圧力ＰＬになると、入口弁１０および出口弁１１を閉じると共に真空ポンプ３を停止する。その後、第二給液弁１８を開放すると、ホルマリンタンク１４内のホルマリンが気化器１５へ吸引され、気化器１５において蒸発したホルムアルデヒドガス（前述したとおり厳密にはホルムアルデヒド含有水蒸気）は、滅菌槽２内へ導入される。滅菌槽２内が復圧目標圧力ＰＵになると、第二給液弁１８を閉じる。そして、このような減圧と復圧との繰り返しを、設定回数だけ実行する。
【００５０】
但し、図示例のように、滅菌槽２内へホルムアルデヒドガスを導入して復圧目標圧力ＰＵまで復圧後、復圧目標圧力ＰＵにて設定保持時間（たとえば３０秒）だけ保持してもよい。また、滅菌槽２内の復圧は、圧力センサ７の検出圧力が復圧目標圧力ＰＵになるまでではなく、第二給液弁１８の開放から設定開放時間経過するまででもよい。いずれにしても、ガス置換工程Ｓ３において、滅菌槽２内の減圧とホルムアルデヒドガス導入による復圧とを繰り返すことで、滅菌槽２内の水蒸気は、ホルムアルデヒドガスに置換される。言い換えれば、滅菌槽２内には、ホルマリンタンク１４内と対応した濃度のホルムアルデヒドガスで充満される。詳細は後述するが、真空ポンプ３による減圧で到達可能な圧力Ｐ１（または真空ポンプ３への封水の温度）に基づき、減圧後のホルムアルデヒドガスの導入量を変更する場合でも、設定回数の減復圧により、最終的には、滅菌槽２内のホルムアルデヒド濃度は、ホルマリンタンク１４内と対応したものとなる。
【００５１】
≪滅菌工程Ｓ４≫
滅菌工程Ｓ４では、滅菌槽２内を滅菌温度で滅菌時間保持する。ここでは、ガス置換工程Ｓ３での最終の復圧（滅菌槽２内へのホルムアルデヒドガス導入による復圧）にて、滅菌槽２内を滅菌圧力（図示例ではＰＵ）に維持したまま、滅菌槽２内を滅菌温度で滅菌時間保持する。
【００５２】
具体的には、滅菌工程Ｓ４では、温度センサ８の検出温度が滅菌温度（たとえば５５℃）を維持するように、滅菌槽２内へのホルムアルデヒドガスの導入（より具体的には第二給液弁１８）を制御して、滅菌時間（たとえば６０分）保持することで、滅菌槽２内の滅菌物を滅菌する。あるいは、圧力センサ７の検出圧力が滅菌圧力（滅菌温度相当の飽和蒸気圧力）を維持するように、滅菌槽２内へのホルムアルデヒドガスの導入を制御して、滅菌時間保持することで、滅菌槽２内の滅菌物を滅菌する。その後、第二給液弁１８を閉じた状態で、次工程へ移行する。
【００５３】
≪蒸気脱離工程Ｓ５≫
蒸気脱離工程Ｓ５では、滅菌槽２内の減圧と水蒸気導入による復圧とを、設定回数繰り返す。具体的には、真空ポンプ３による減圧目標圧力ＰＬまでの減圧と、水蒸気導入による復圧目標圧力ＰＵまでの復圧とを、設定回数繰り返す。
【００５４】
蒸気脱離工程Ｓ５での減復圧の繰り返しについて具体的に説明すると、まず、滅菌槽２内の減圧時、バイパス弁１２を閉じた状態で、入口弁１０および出口弁１１を開けて、真空ポンプ３を作動させる。これにより、滅菌槽２内の気体は、触媒反応器６を介して排出され、排気中に含まれるホルムアルデヒドは、触媒にて無害化される。そして、圧力センサ７の検出圧力が減圧目標圧力ＰＬになると、入口弁１０および出口弁１１を閉じると共に真空ポンプ３を停止する。その後、第一給液弁１７を開放すると、水タンク１３内の水が気化器１５へ吸引され、気化器１５において蒸発した水蒸気は、滅菌槽２内へ導入される。滅菌槽２内が復圧目標圧力ＰＵになると、第一給液弁１７を閉じる。そして、このような減圧と復圧との繰り返しを、設定回数だけ実行する。
【００５５】
但し、図示例のように、滅菌槽２内へ水蒸気を導入して復圧目標圧力ＰＵまで復圧後、復圧目標圧力ＰＵにて設定保持時間（図示例では蒸気置換工程Ｓ２やガス置換工程Ｓ３における設定保持時間よりも短い時間）だけ保持してもよい。また、滅菌槽２内の復圧は、圧力センサ７の検出圧力が復圧目標圧力ＰＵになるまでではなく、第一給液弁１７の開放から設定開放時間経過するまででもよい。いずれにしても、蒸気脱離工程Ｓ５において、滅菌槽２内の減圧と水蒸気導入による復圧とを繰り返すことで、滅菌槽２内のホルムアルデヒドが排除され、ホルムアルデヒドを含まない水蒸気に置換される。
【００５６】
≪空気脱離工程Ｓ６≫
空気脱離工程Ｓ６では、滅菌槽２内の減圧と空気導入による復圧とを、設定回数繰り返す。具体的には、真空ポンプ３による減圧目標圧力ＰＬまでの減圧と、空気導入による復圧目標圧力ＰＵまでの復圧とを、設定回数繰り返す。なお、初回の減圧は、蒸気脱離工程Ｓ５での最終の減圧として、省略することができる。そのため、空気脱離工程Ｓ６では、蒸気脱離工程Ｓ５の終了後、復圧目標圧力ＰＵまでの復圧と減圧目標圧力ＰＬまでの減圧とが、設定回数繰り返される。
【００５７】
なお、本実施例では、空気脱離工程Ｓ６の減圧目標圧力ＰＬは、蒸気置換工程Ｓ２、ガス置換工程Ｓ３および蒸気脱離工程Ｓ５の各減圧目標圧力ＰＬと同一とされる。一方、空気脱離工程Ｓ６の復圧目標圧力ＰＵは、蒸気置換工程Ｓ２、ガス置換工程Ｓ３および蒸気脱離工程Ｓ５の各復圧目標圧力ＰＵよりも高く設定されるのが好ましく、大気圧かそれに近い圧力とされるのがよい。
【００５８】
空気脱離工程Ｓ６での減復圧の繰り返しについて具体的に説明すると、まず、滅菌槽２内の減圧時、入口弁１０および出口弁１１を閉じた状態で、バイパス弁１２を開けて、真空ポンプ３を作動させる。そして、圧力センサ７の検出圧力が減圧目標圧力ＰＬになると、バイパス弁１２を閉じると共に真空ポンプ３を停止する。その後、給気弁２２を開放すると、外気が滅菌槽２内へ導入される。滅菌槽２内が復圧目標圧力ＰＵになると、給気弁２２を閉じる。そして、このような減圧と復圧との繰り返しを、設定回数だけ実行する。
【００５９】
但し、滅菌槽２内の減圧時、滅菌槽２内からの気体を触媒反応器６に通してもよい。つまり、滅菌槽２内の減圧時、バイパス弁１２を閉じた状態で、入口弁１０および出口弁１１を開けて、真空ポンプ３を作動させてもよい。これにより、滅菌槽２内の気体は、触媒反応器６を介して排出されるので、滅菌槽２内にホルムアルデヒドが残留していても、そのホルムアルデヒドは触媒にて無害化される。そして、圧力センサ７の検出圧力が減圧目標圧力ＰＬになると、入口弁１０および出口弁１１を閉じると共に真空ポンプ３を停止して、給気弁２２を開ければよい。
【００６０】
いずれにしても、空気脱離工程Ｓ６において、滅菌槽２内の減圧と空気導入による復圧とを繰り返すことで、滅菌槽２内から蒸気が排除され、空気に置換される。そして、最終的に、真空ポンプ３を停止した状態で、給気弁２２を開けて、滅菌槽２内を大気圧に復圧すればよい。その後、滅菌槽２のドアを開けて、滅菌槽２内から滅菌物を取り出すことができる。
【００６１】
本実施例の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置１によれば、滅菌槽２内から真空ポンプ３への排気を触媒反応器６に通すことで、排気中に含まれるホルムアルデヒドを分解することができる。これにより、真空ポンプ３へのホルムアルデヒドの流入を防止して、封水ひいては排水へのホルムアルデヒドの溶込みを防止することができる。そして、ホルムアルデヒドを稀釈するための多量の水も必要とせず、ランニングコストの低減を図ることもできる。
【００６２】
また、滅菌槽２内からの排気を触媒反応器６に通すか否かを切り替えることができる。そのため、滅菌槽２内の気体に応じて（言い換えれば運転工程に応じて）、滅菌槽２内からの排気を触媒反応器６に通すか否かを切り替えることができる。触媒反応器６を介して排気する場合、触媒反応器６でホルムアルデヒドを分解することができ、触媒反応器６を介さずに排気する場合、触媒反応器６を通さない分だけ圧力損失を低減して、排気時間の短縮を図ることができる。少なくとも、滅菌槽２内からの排気中にホルムアルデヒドが含まれるガス置換工程Ｓ３および蒸気脱離工程Ｓ５では、滅菌槽２内からの気体を触媒反応器６に通して排気するのが好ましい。また、空気脱離工程Ｓ６においても、滅菌槽２内からの排気時、触媒反応器６を介して排気することで、万一、滅菌槽２内にホルムアルデヒドが残留していても、無害化しつつ排気することができる。
【００６３】
ところで、本実施例では、ガス置換工程Ｓ３において、真空ポンプ３による滅菌槽２内の減圧と、ホルムアルデヒドガス導入による滅菌槽２内の復圧とが、設定回数、繰り返される。
【００６４】
ところが、水封式の真空ポンプ３を用いる場合、到達可能な最低圧力は、封水の温度に左右される。封水の温度が低いほど、滅菌槽２内を減圧しやすく、到達可能な圧力（絶対圧）は低くなる。そして、減圧時の到達圧力が低いほど、ホルムアルデヒドガス導入による復圧時、滅菌物（たとえばチューブ）の内部にまでホルムアルデヒドを到達させやすい。そのため、復圧量（言い換えればホルムアルデヒドガスの導入量）が少なくても、有効な滅菌を図ることができる。復圧量を減らすことで、ホルマリンの使用量を削減できると共に、復圧時間ひいては全体の運転時間の短縮を図ることもできる。
【００６５】
そこで、本実施例の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置１では、真空ポンプ３による減圧で到達可能な圧力、または真空ポンプ３への封水の温度に基づき、ガス置換工程Ｓ３において、滅菌槽２内の減圧後のホルムアルデヒドガスの導入量を変更可能とされる。
【００６６】
具体的には、ガス置換工程Ｓ３の開始前に（あるいはガス置換工程Ｓ３での初回の減圧時に）、真空ポンプ３による減圧で到達可能な最低圧力を圧力センサ７で確認するか、あるいは真空ポンプ３への封水温度を封水温度センサで確認して、その結果に基づき制御器がホルムアルデヒドガスの導入量を設定する。たとえば、予め真空引き工程Ｓ１において、到達した最低圧力Ｐ１または封水温度が分かるので、その最低圧力または封水温度に基づき、減復圧の繰り返しによるホルムアルデヒドガスの導入量を設定すればよい。その際、真空ポンプ３による減圧で到達可能な圧力が低いほど、または真空ポンプ３への封水温度が低いほど、ホルムアルデヒドガスの導入量を少なくするのがよい。
【００６７】
ガス置換工程Ｓ３では、真空ポンプ３による減圧目標圧力ＰＬまでの減圧と、ホルムアルデヒドガス導入による復圧目標圧力ＰＵまでの復圧とを繰り返すが、典型的には、減圧目標圧力ＰＬと復圧目標圧力ＰＵとを変更することで、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更することができる。たとえば、減圧目標圧力ＰＬが９［ｋＰａ］の場合、復圧目標圧力ＰＵを２０［ｋＰａ］として、一回の復圧でのホルマリン注入量は１５［ｃｃ］とされるが、減圧目標圧力ＰＬが４［ｋＰａ］の場合、復圧目標圧力ＰＵを８［ｋＰａ］として、一回の復圧でのホルマリン注入量は５［ｃｃ］とされる（濃度１０％ホルマリン使用時）。減圧目標圧力ＰＬを低くできる場合、復圧目標圧力ＰＵも比較的低くして、ホルムアルデヒドガスの導入量を少なくすることができる。
【００６８】
より詳細には、次のようにして、ホルムアルデヒドガスの導入量を設定することができる。すなわち、真空ポンプ３による減圧で到達可能な圧力に基づきホルムアルデヒドガスの導入量を変更する場合、真空ポンプ３による到達可能圧力Ｐ１と、減圧目標圧力ＰＬおよび復圧目標圧力ＰＵとの関係が、予め圧力域ごとに分けて、情報記憶手段に登録されている。たとえば、（ａ）到達可能圧力Ｐ１がＰ１１［ｋＰａ］未満なら、減圧目標圧力ＰＬ１［ｋＰａ］および復圧目標圧力ＰＵ１［ｋＰａ］、（ｂ）到達可能圧力Ｐ１がＰ１１［ｋＰａ］以上Ｐ１２［ｋＰａ］未満なら、減圧目標圧力ＰＬ２［ｋＰａ］および復圧目標圧力ＰＵ２［ｋＰａ］、（ｃ）到達可能圧力Ｐ１がＰ１２［ｋＰａ］以上なら、減圧目標圧力ＰＬ３［ｋＰａ］および復圧目標圧力ＰＵ３［ｋＰａ］、という情報が、テーブルとして、情報記憶手段に登録されている（但し、Ｐ１１＜Ｐ１２、ＰＬ１＜ＰＬ２＜ＰＬ３）。ここでは、到達可能圧力Ｐ１の圧力域を前記（ａ）〜（ｃ）の三段階に分けたが、二段階に分けるか、あるいは四段階以上に分けてもよい。
【００６９】
なお、各減圧目標圧力ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３は、到達可能圧力Ｐ１以上で設定される。また、復圧目標圧力ＰＵ１（ＰＵ２，ＰＵ３）は、それに対応する減圧目標圧力ＰＬ１（ＰＬ２，ＰＬ３）よりも高い。そして、第一の減圧目標圧力ＰＬ１から復圧目標圧力ＰＵ１への復圧時のホルムアルデヒドガス導入量は、第二の減圧目標圧力ＰＬ２から復圧目標圧力ＰＵ２への復圧時のホルムアルデヒドガス導入量よりも少なく、また、第二の減圧目標圧力ＰＬ２から復圧目標圧力ＰＵ２への復圧時のホルムアルデヒドガス導入量は、第三の減圧目標圧力ＰＬ３から復圧目標圧力ＰＵ３への復圧時のホルムアルデヒドガス導入量よりも少ない。つまり、減圧目標圧力ＰＬが低いほど、ホルムアルデヒドガス導入量が少なくなるように、復圧目標圧力ＰＵが設定されている。
【００７０】
制御器は、真空引き工程Ｓ１で実際に到達した最低圧力Ｐ１に基づき、前記登録された情報から、その最低圧力Ｐ１が属する減圧目標圧力ＰＬと復圧目標圧力ＰＵ（前記ＰＬ１とＰＵ１のセット、ＰＬ２とＰＵ２のセット、ＰＬ３とＰＵ３のセットのいずれか）を取得して、その取得した圧力で、ガス置換工程Ｓ３を実行すればよい。このようにして、到達可能圧力Ｐ１が低いほど、減圧目標圧力ＰＬが低く設定され、復圧時のホルムアルデヒドガス導入量が少なくなるように、復圧目標圧力ＰＵが設定されて、ガス置換工程Ｓ３が実行される。
【００７１】
真空ポンプ３への封水の温度に基づき、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更する場合も、同様に、真空ポンプ３への封水温度Ｔ１と、減圧目標圧力ＰＬおよび復圧目標圧力ＰＵとの関係が、予め温度域ごとに分けて、情報記憶手段に登録されている。たとえば、（ａ）封水温度Ｔ１がＴ１１［℃］未満なら、減圧目標圧力ＰＬ１［ｋＰａ］および復圧目標圧力ＰＵ１［ｋＰａ］、（ｂ）封水温度Ｔ１がＴ１１［℃］以上Ｔ１２［℃］未満なら、減圧目標圧力ＰＬ２［ｋＰａ］および復圧目標圧力ＰＵ２［ｋＰａ］、（ｃ）封水温度Ｔ１がＴ１２［℃］以上なら、減圧目標圧力ＰＬ３［ｋＰａ］および復圧目標圧力ＰＵ３［ｋＰａ］、という情報が、テーブルとして、情報記憶手段に登録されている（但し、Ｔ１１＜Ｔ１２、ＰＬ１＜ＰＬ２＜ＰＬ３）。なお、封水温度Ｔ１の温度域を前記（ａ）〜（ｃ）の三段階に分けたが、二段階に分けるか、あるいは四段階以上に分けてもよい。
【００７２】
従って、制御器は、真空引き工程Ｓ１（またはその後）の真空ポンプ３への封水温度Ｔ１に基づき、前記登録された情報から、その封水温度Ｔ１が属する減圧目標圧力ＰＬと復圧目標圧力ＰＵ（前記ＰＬ１とＰＵ１のセット、ＰＬ２とＰＵ２のセット、ＰＬ３とＰＵ３のセットのいずれか）を取得して、その取得した圧力で、ガス置換工程Ｓ３を実行すればよい。このようにして、封水温度Ｔ１が低いほど、減圧目標圧力ＰＬが低く設定され、復圧時のホルムアルデヒドガス導入量が少なくなるように、復圧目標圧力ＰＵが設定されて、ガス置換工程Ｓ３が実行される。
【００７３】
このように、真空ポンプ３による減圧で到達可能な圧力、または真空ポンプ３への封水の温度に基づき、減圧後のホルムアルデヒドガスの導入量を変更することができる。従って、冬場など、封水温度が低ければ、減圧後の復圧量（ホルムアルデヒドガスの導入量）を抑制して、ホルマリンの使用量を削減することができる。また、復圧量を削減できれば、復圧時間が短くなり、全体の運転時間の短縮を図ることもできる。
【００７４】
図３は、前記実施例の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置１の変形例を示す概略図である。本変形例（図３）も、基本的には、前記実施例（図１）と同様である。そこで、以下においては、両者の異なる点を中心に説明し、対応する箇所には同一の符号を付して説明する。
【００７５】
本変形例は、滅菌槽２内から真空ポンプ３への排気系統の構成において、前記実施例と異なる。以下、具体的に説明する。まず、前記実施例と同様に、滅菌槽２内からの排気路９は、第一排気路９ａと第二排気路９ｂとに分岐した後、再び合流して真空ポンプ３に接続されている。但し、第一排気路９ａには、入口弁１０、触媒反応器６、連通弁２３、タンク２４および出口弁１１が順に設けられている。一方、第二排気路９ｂには、前記実施例と同様、バイパス弁１２が設けられている。後述するように、各弁１０，１１，１２，２３の開閉を制御することで、第一排気路９ａを介して排気するか、第二排気路９ｂを介して排気するかを切り替えることができる。
【００７６】
触媒反応器６の他、入口弁１０、出口弁１１およびバイパス弁１２の構成は、前記実施例と同様である。タンク２４は、滅菌槽２よりも小さな中空容器であり、ヒータ（たとえばヒートテープ）により設定温度（たとえば滅菌槽２内の加温温度と同じ５５℃）に加温される。このタンク２４は、連通弁２３を介して触媒反応器６に接続されると共に、出口弁１１を介して真空ポンプ３に接続される。
【００７７】
第一排気路９ａを介して排気するには、バイパス弁１２を閉じたまま、まず、入口弁１０と連通弁２３とを閉じた状態で、出口弁１１を開けて、真空ポンプ３により、タンク２４内を所定圧力まで減圧する（第一操作）。この所定圧力とは、滅菌槽２内の圧力よりも低い圧力である。その後、出口弁１１を閉じた状態で、入口弁１０と連通弁２３とを開けて、滅菌槽２内を減圧する（第二操作）。つまり、触媒反応器６を介して滅菌槽２内とタンク２４内とを連通させることで、滅菌槽２内の気体が触媒反応器６を介してタンク２４内へ吸引される。その際、滅菌槽２内からの排気中に含まれるホルムアルデヒドは、触媒にて分解され無害化される。その後、再び、入口弁１０と連通弁２３とを閉じた状態で、出口弁１１を開けて、タンク２４内を減圧する（第三操作）。これにより、タンク２４内に残留した水蒸気を、排除して、再び、タンク２４内を所定圧力まで減圧することができる。
【００７８】
滅菌槽２内からホルムアルデヒドを含んだ気体を排気する際、上述の第一操作から第三操作の実施により、第一排気路９ａを介して排気するのが好ましい。たとえば、ガス置換工程Ｓ３や蒸気脱離工程Ｓ５では、前記実施例で述べたように減圧と復圧とが設定回数繰り返されるが、その各回の減圧は、上述の第一操作から第三操作までの一セットの実施でなされるのがよい。つまり、第一操作により、タンク２４内を減圧目標圧力ＰＬ未満の所定圧力としておき、第二操作により、滅菌槽２内を減圧目標圧力ＰＬまで減圧するのがよい。その点を考慮して、タンク２４の容量や（第一操作による）減圧レベルが設定される。
【００７９】
タンク２４内の減圧（第一操作）は、たとえばガス置換工程Ｓ３では、事前（つまり工程開始前）に行うことができる他、減圧後の滅菌槽２内へのホルムアルデヒドガス導入による復圧中に並行して行うことができ、また蒸気脱離工程Ｓ５でも、事前（つまり工程開始前）に行うことができる他、減圧後の滅菌槽２内への水蒸気導入による復圧中に並行して行うことができる。
【００８０】
一方、第二排気路９ｂを介して排気するには、前記実施例と同様に、入口弁１０と出口弁１１とを閉じた状態で、バイパス弁１２を開けて、真空ポンプ３により排気すればよい。その他の構成や運転方法は、前記実施例と同様のため、説明を省略する。
【００８１】
本発明の低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置１は、前記実施例（変形例を含む）の構成（制御を含む）に限らず、適宜変更可能である。特に、真空ポンプ３による滅菌槽２内の減圧と、滅菌槽２内へのホルムアルデヒドガス導入による滅菌槽２内の復圧とを、設定回数繰り返す工程を含んで運転され、真空ポンプ３による減圧で到達可能な圧力、または真空ポンプ３への封水の温度に基づき、減圧後のホルムアルデヒドガスの導入量を変更するのであれば、その他の構成は適宜に変更可能である。
【００８２】
たとえば、前記実施例では、真空ポンプ３による減圧で到達可能な圧力（または真空ポンプ３への封水の温度）に基づき、ガス置換工程Ｓ３における減圧目標圧力ＰＬと復圧目標圧力ＰＵとを変更することで、ホルムアルデヒドガスの導入量を変更したが、ホルムアルデヒドガス導入による復圧時間を変更してもよい。つまり、減圧目標圧力ＰＬ（または設定減圧時間）まで減圧後、第二給液弁１８の開放から設定開放時間経過するまで復圧するようにしてもよく、その場合、減圧目標圧力ＰＬや設定開放時間を変更すればよい。
【００８３】
また、前記実施例では、ガス置換工程Ｓ３における各復圧時のホルムアルデヒドガス導入量を変更したが、これと同様に、蒸気置換工程Ｓ２における復圧時の蒸気導入量を変更したり、蒸気脱離工程Ｓ５における復圧時の蒸気導入量を変更したりしてもよい。その場合も、蒸気導入量を変更しようとする工程の開始前に（あるいは蒸気導入量を変更しようとする工程での初回の減圧時に）、真空ポンプ３による減圧で到達可能な最低圧力を圧力センサ７で検出するか、あるいは真空ポンプ３への封水温度を封水温度センサで検出して、その検出信号に基づき、蒸気導入量を設定すればよい。
【００８４】
また、前記実施例では、第一排気路９ａによる排気と第二排気路９ｂによる排気とは、入口弁１０、出口弁１１およびバイパス弁１２の切替えによりなされたが、滅菌槽２内の排気時に触媒反応器６を介するか否かの具体的構成は、特に問わない。一例として、入口弁１０とバイパス弁１２の代わりに、第一排気路９ａと第二排気路９ｂとの分岐部に三方弁を設けてもよく、あるいは、出口弁１１とバイパス弁１２の代わりに、第一排気路９ａと第二排気路９ｂとの合流部に三方弁を設けてもよい。
【００８５】
また、前記実施例において、第二排気路９ｂ自体の設置を省略してもよい。つまり、滅菌槽２内からの排気は、常に、触媒反応器６を介して真空ポンプ３にて排出される構成としてもよい。その場合、第二排気路９ｂの他、出口弁１１の設置も省略可能である。
【００８６】
また、前記実施例では、滅菌槽２内から真空ポンプ３への排気路に、触媒反応器６を設置したが、これは必須ではない。たとえば、触媒反応器６の設置を省略する代わりに、真空ポンプ３からの排水に含まれるホルムアルデヒドを、別途の水で希釈して排水するようにしてもよい。その場合、第二排気路９ｂの他、出口弁１１の設置も省略可能である。
【００８７】
また、前記実施例では、真空引き工程Ｓ１、蒸気置換工程Ｓ２、ガス置換工程Ｓ３、滅菌工程Ｓ４、蒸気脱離工程Ｓ５および空気脱離工程Ｓ６を順次に実行したが、真空ポンプ３による滅菌槽２内の減圧と、滅菌槽２内へのホルムアルデヒドガス導入による滅菌槽２内の復圧とを、設定回数繰り返す工程を含めば、各工程の有無や内容など、適宜に変更可能である。たとえば、蒸気置換工程Ｓ２は、滅菌槽２内からの空気排除が目的であるが、水蒸気に代えてホルムアルデヒドガスを用いることができる。そのため、蒸気置換工程Ｓ２を実施しない代わりに、ガス置換工程Ｓ３の減復圧の回数を増加させてもよい。
【００８８】
さらに、前記実施例では、真空ポンプ３による到達可能圧力と減復圧の目標圧力との関係（または真空ポンプ３への封水温度と減復圧の目標圧力との関係）を予めテーブルとして登録しておき、真空引き工程Ｓ１で到達した最低圧力Ｐ１（または真空ポンプ３への封水温度）に基づき、減復圧の目標圧力を設定する例について説明したが、これは次のようにしても実質同一である。すなわち、まずは一応、減復圧の目標圧力の基準値（減圧目標圧力ＰＬの基準値、復圧目標圧力ＰＵの基準値）を決めておき、前記最低圧力Ｐ１（または封水温度）に基づき、前記各基準値を増減してもよい。その場合、真空ポンプ３による到達可能圧力と前記各基準値に対する増減数との関係（または真空ポンプ３への封水温度と前記各基準値に対する増減数との関係）を予めテーブルとして登録しておけばよい。その際、到達可能圧力（または封水温度）によっては、増減数がゼロであってもよい。
【符号の説明】
【００８９】
１  低温蒸気ホルムアルデヒド滅菌装置
２  滅菌槽
３  真空ポンプ（３ａ：吸気口、３ｂ：排気口）
４  水蒸気およびホルムアルデヒドガスの導入手段
５  外気導入手段
６  触媒反応器
７  圧力センサ
８  温度センサ
９  排気路（９ａ：第一排気路、９ｂ：第二排気路）
１０  入口弁
１１  出口弁
１２  バイパス弁
１３  水タンク
１４  ホルマリンタンク
１５  気化器
１６  給液路（１６ａ：第一給液路、１６ｂ：第二給液路）
１７  第一給液弁
１８  第二給液弁
１９  連通路
２０  給気路
２１  エアフィルタ
２２  給気弁
２３  連通弁
２４  タンク
Ｐ０  大気圧
Ｐ１  最低圧力
ＰＬ  減圧目標圧力
ＰＵ  復圧目標圧力
Ｓ１  真空引き工程
Ｓ２  蒸気置換工程
Ｓ３  ガス置換工程
Ｓ４  滅菌工程
Ｓ５  蒸気脱離工程
Ｓ６  空気脱離工程
【図１】
2018117690.tif 000003
【図２】
2018117690.tif 000004
【図３】
2018117690.tif 000005