(57)【要約】【課題】例えトレイケースと粘着層との間の気体が外部に排気されても、小物品の移動、位置ずれ、回転を防ぐことのできるトレイ保持治具及びその製造方法を提供する。【解決手段】上部が開口した有底角筒形のトレイケース１と、このトレイケース１に内蔵されて小型のＬＥＤデバイス１０を着脱自在に保持する変形可能な可撓性の粘着シート２０とを備えたトレイ保持治具であり、トレイケース１の内底面８に、粘着シート２０用の複数の支持突起３０を所定の間隔をおいて配列形成し、各支持突起３０の粘着シート２０に接触する上端部３１を半球形に湾曲させ、トレイケース１に、トレイケース１の内底面８と粘着シート２０との間の空間３に連通する排気孔４を穿孔し、トレイケース１の内底面８と粘着シート２０との間の空間３の空気が排気孔４を通過してトレイケース１の外部に排気された場合に、複数の支持突起３０に沿うよう粘着シート２０を凹凸に変形させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部が開口したトレイケースと、このトレイケースに内蔵されて小物品を着脱自在に保持する可撓性の粘着層とを備えたトレイ保持治具であって、
トレイケースの内底面に、粘着層を支持する複数の支持突起が所定の間隔をおいて一体形成され、支持突起の粘着層に接触する上部が湾曲し、トレイケースには、トレイケースの内底面と粘着層との間の空間に連通する排気孔が設けられており、
トレイケースの内底面と粘着層との間の空間の気体が排気孔を通過してトレイケースの外部に排気された場合に、複数の支持突起に沿うよう粘着層が変形することを特徴とするトレイ保持治具。
【請求項２】
トレイケースの周壁に、外方向に張り出すフランジが設けられ、このフランジとトレイケースの底面との間に嵌合穴が区画形成される請求項１記載のトレイ保持治具。
【請求項３】
トレイケースの内底面の周縁部に、粘着層の周縁部を支持するスペーサが取り付けられ、このスペーサの厚さと複数の支持突起の高さが揃えられる請求項１又は２記載のトレイ保持治具。
【請求項４】
トレイケースの内底面に、複数の支持突起が平面視で三角形を描くよう千鳥配列される請求項１、２、又は３記載のトレイ保持治具。
【請求項５】
トレイケースの内底面に、複数の支持突起が平面視で正三角形を描くよう千鳥配列される請求項１、２、又は３記載のトレイ保持治具。
【請求項６】
支持突起が先細りの略円錐体に形成され、この支持突起の粘着層に接触する上端部が略半球形に湾曲する請求項１ないし５のいずれかに記載のトレイ保持治具。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載したトレイ保持治具の製造方法であり、所定の樹脂を含有した成形材料によりトレイケースを射出成形し、このトレイケースに可撓性の粘着層を内蔵し、この粘着層をトレイケースの複数の支持突起の上部に支持させることを特徴とするトレイ保持治具の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＥＤ、ＬＥＤデバイス、各種回路素子、各種センサ、半導体ウェーハ、半導体デバイス等からなる小物品の保持、検査、搬送、輸送等に使用されるトレイ保持治具及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年のＬＥＤデバイス１０は、携帯機器の薄型化や小型化に伴い、益々薄型化、小型化、軽量化が図られているが、反面、非常に脆く損傷しやすくなって来ているので、製造時の取り扱いに細心の注意を払う必要がある。そこで、従来においては、薄い小型のＬＥＤデバイス１０を保持・検査・搬送する場合には、そのまま保持・検査・搬送するのではなく、強度や剛性に優れる専用のトレイ保持治具に保持させ、このトレイ保持治具に保持させた状態で安全に保持・検査・搬送するようにしている（特許文献１、２、３、４参照）。
【０００３】
この種のトレイ保持治具は、様々なタイプがあるが、例えば図１０に示すように、上部が開口した箱形のトレイケース１Ａと、このトレイケース１Ａの底部２の内底面８の全面にシート形の両面粘着テープ４０により積層粘着される粘着シート２０とを備え、この粘着シート２０の表面にＬＥＤデバイス１０を着脱自在に粘着保持するタイプが知られている。
【０００４】
しかしながら、このタイプの場合、粘着シート２０の表面にＬＥＤデバイス１０を強固に粘着保持させることができるものの、トレイケース１Ａの内底面８の全面に粘着シート２０が隙間なく積層粘着されているので、ＬＥＤデバイス１０を剥離して取り外す際、粘着シート２０が撓んで変形せず、その結果、粘着シート２０の粘着力よりも大きな剥離力でＬＥＤデバイス１０を引き上げなければ、取り外すのが非常に困難である。
【０００５】
この点に鑑み、上部が開口した箱形のトレイケース１Ａと、このトレイケース１Ａの底部２の内底面８に複数本の両面粘着テープ４０により粘着される粘着シート２０とを備え、これらトレイケース１Ａの内底面８と粘着シート２０との間に、粘着シート２０変形用の空間３を区画形成し、粘着シート２０の表面にＬＥＤデバイス１０を着脱自在に粘着保持するタイプが提案されている（図１１参照）。
【０００６】
このタイプの場合、粘着シート２０が上方に撓んで変形し、ＬＥＤデバイス１０を剥離する契機となるので、ＬＥＤデバイス１０を図１０のタイプよりは容易に取り外すことができる。しかし、このタイプの場合、ＬＥＤデバイス１０を剥離する際、粘着シート２０にＬＥＤデバイス１０の底面の全面が粘着しているので、粘着シート２０とＬＥＤデバイス１０との間に空気が容易に侵入せず、その結果、大きな剥離力でＬＥＤデバイス１０を引き上げなければ、取り外すのが困難である。
【０００７】
以上を踏まえ、上部が開口した箱形のトレイケース１Ａと、このトレイケース１Ａの底部２の内底面８に敷設されるメッシュ構造体４１と、このメッシュ構造体４１に変形可能に積層される粘着シート２０とを備え、この粘着シート２０の表面にＬＥＤデバイス１０を着脱自在に粘着保持するタイプが開発され、提案されている（図１２〜図１４に部分的に示す）。
【０００８】
このタイプのトレイ保持治具は、トレイケース１Ａの底部２に、内部の空気を外部に排気する排気孔が穿孔され、この排気孔が真空ポンプ等のバキューム装置に着脱自在に接続される。また、メッシュ構造体４１は、細い複数の線材４２が連続した波形に屈曲しながら縦横に織り込まれることで形成され、この織り込まれた複数の線材４２が交差して粘着シート２０の一部が没入する網目４３を区画形成しており、トレイケース１Ａの内底面８に配置されて粘着シート２０を支持するよう機能する。
【０００９】
このような構成のトレイ保持治具からＬＥＤデバイス１０を剥離する場合には、トレイケース１Ａの排気孔とバキューム装置とを接続し、バキューム装置を駆動して減圧すれば、トレイケース１Ａの内底面８と粘着シート２０との間の空気が外部に排気され、この空気の排気に伴い、メッシュ構造体４１の複数の網目４３に粘着シート２０の一部がそれぞれ没入し、粘着シート２０が凹凸に変形する。この結果、ＬＥＤデバイス１０の被粘着面積が減少し、粘着シート２０とＬＥＤデバイス１０との間に隙間が生じて空気が容易に侵入可能となるので、所定の剥離力でＬＥＤデバイス１０を引き上げれば、ＬＥＤデバイス１０を簡単に取り外すことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平７‐２９７３０６号公報
【特許文献２】特開２０００‐１０９７１０号公報
【特許文献３】特開２０１０‐１０２０５号公報
【特許文献４】特開２０１０‐１５３４０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
従来におけるトレイ保持治具は、以上のように構成され、トレイケース１Ａの内底面にメッシュ構造体４１が単に配置されているので、トレイケース１Ａの内底面と粘着シート２０との間の空気が外部に排気されると、メッシュ構造体４１自体が軋んで変形し、その結果、ＬＥＤデバイス１０がＸＹＺ方向に移動したり回転し、ＬＥＤデバイス１０のピックアップ作業や検査作業に支障を来すおそれがある。
【００１２】
また、空気が外部に排気されると、メッシュ構造体４１の網目４３に粘着シート２０の一部が没入して変形するが、この際、メッシュ構造体４１を形成する複数の線材４２の屈曲形状に沿って粘着シート２０が不規則に上下に変形することがある。粘着シート２０が不規則に上下に変形すると、ＬＥＤデバイス１０がＸＹＺ方向に位置ずれ（図１２、図１３参照）したり、メッシュ構造体４１の複数の線材４２の交差する交差部４４に粘着シート２０を介して支持されたＬＥＤデバイス１０が回転（図１４参照）し、その結果、ＬＥＤデバイス１０のピックアップ作業や検査作業に遅延を招くおそれがある。
【００１３】
本発明は上記に鑑みなされたもので、例えトレイケースと粘着層との間の気体が外部に排気されても、小物品の移動、位置ずれ、回転を防ぐことのできるトレイ保持治具及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明においては上記課題を解決するため、上部が開口したトレイケースと、このトレイケースに内蔵されて小物品を着脱自在に保持する可撓性の粘着層とを備えたものであって、
トレイケースの内底面に、粘着層を支持する複数の支持突起が所定の間隔をおいて一体形成され、支持突起の粘着層に接触する上部が湾曲し、トレイケースには、トレイケースの内底面と粘着層との間の空間に連通する排気孔が設けられており、
トレイケースの内底面と粘着層との間の空間の気体が排気孔を通過してトレイケースの外部に排気された場合に、複数の支持突起に沿うよう粘着層が変形することを特徴としている。
【００１５】
なお、トレイケースの周壁に、外方向に張り出すフランジが設けられ、このフランジとトレイケースの底面との間に嵌合穴が区画形成されるようにすることができる。
また、トレイケースの内底面の周縁部に、粘着層の周縁部を支持するスペーサが取り付けられ、このスペーサの厚さと複数の支持突起の高さが揃えられるようにすることができる。
【００１６】
また、トレイケースの内底面に、複数の支持突起が平面視で三角形を描くよう千鳥配列されるようにすることもできる。
また、トレイケースの内底面に、複数の支持突起が平面視で正三角形を描くよう千鳥配列されるようにすることも可能である。
また、支持突起が先細りの略円錐体に形成され、この支持突起の粘着層に接触する上端部が略半球形に湾曲することが好ましい。
【００１７】
また、本発明においては上記課題を解決するため、請求項１ないし６のいずれかに記載したトレイ保持治具の製造方法であり、所定の樹脂を含有した成形材料によりトレイケースを射出成形し、このトレイケースに可撓性の粘着層を内蔵し、この粘着層をトレイケースの複数の支持突起の上部に支持させることを特徴としている。
【００１８】
ここで、特許請求の範囲におけるトレイケースには、透明、不透明、半透明性を付与することができる。また、必要に応じ、導電性や絶縁性を付与することもできる。小物品には、少なくとも１〜１０ｍｍの大きさでアスペクト比が大きい物品が含まれる。具体的には、１〜１０ｍｍの大きさでアスペクト比が大きいＬＥＤ、ＬＥＤデバイス、回路素子、センサ、半導体ウェーハ、半導体デバイス等が含まれる。
【００１９】
複数の支持突起は、二等辺三角形を描く４５°の千鳥配列（ｓｔａｇｇｅｒｅｄ  ａｒｒａｙ）、又は正三角形を描く６０°の千鳥配列で配置されることが好ましい。支持突起は、上部の丸まった円錐体、円柱形、半楕球形等に形成することができる。この支持突起の上端部が略半球形に湾曲形成される場合、この略半球形という用語には、厳密な意味の半球形と、おおよそ半球形と認められる類似形のいずれもが含まれる。また、粘着層は、弱粘着性であれば、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。スペーサは、枠形でも良いが、Ｉ字形やＬ字形等とすることができる。
【００２０】
本発明によれば、小物品を保持・検査・搬送等する場合には、トレイ保持治具の弱粘着性を有する粘着層に小物品を配置し、軽く押せば、粘着層の表面に小物品が粘着され、保持される。
これに対し、トレイ保持治具の粘着層から小物品を剥離して取り外す場合には、トレイケースの内底面と粘着層との間の気体を排気孔からトレイケースの外部に排気すれば良い。すると、気体の排気に伴い、複数の支持突起間に粘着層の一部が陥没し、複数の支持突起に沿うよう粘着層が凹凸に変形する。
【００２１】
この際、支持突起の上部が丸く湾曲形成されているので、支持突起の上部付近に気体が滞留することが少なく、気体がトレイケースの排気孔から外部に排気される。したがって、粘着層の一部が想定外に変形したり、小物品が上下方向に傾斜等するのを抑制することができる。粘着層が凹凸に変形すると、小物品の被粘着面積が減少し、粘着層と小物品との間に隙間が生じて気体が侵入可能となる。この結果、僅かな力で小物品を引き上げるだけで、粘着層に粘着保持されていた小物品を簡単に剥離して取り外すことができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、例えトレイケースと粘着層との間の気体が外部に排気されても、小物品の移動、位置ずれ、回転を有効に防ぐことができるという効果がある。
【００２３】
請求項２記載の発明によれば、トレイ保持治具の嵌合穴に他のトレイ保持治具を嵌め合わせることにより、複数のトレイ保持治具を積層してまとめて搬送したり、保管することができる。
【００２４】
請求項３記載の発明によれば、トレイケースに粘着層を直接内蔵するのではなく、粘着層をスペーサを介して内蔵するので、トレイケースに弱粘着性の粘着層を簡易に内蔵することができる。また、スペーサの厚さと複数の支持突起の高さが整合して揃えられるので、粘着層に凹凸の生じることが少なく、粘着層の粘着面積減少を防止することが可能になる。
【００２５】
請求項４記載の発明によれば、複数の支持突起が平面視で三角形を描くよう千鳥配列されるので、小物品の位置ずれや回転を低減することが可能になる。
請求項５記載の発明によれば、複数の支持突起が６０°の角度で平面正三角形を描くよう千鳥配列されるので、粘着層や小物品の位置ずれ抑制効果の向上が大いに期待できる。したがって、小物品の移動、位置ずれ、回転をきわめて有効に防止することができ、小物品の姿勢を適正に維持することが可能になる。
【００２６】
請求項６記載の発明によれば、支持突起がテーパ付きの略円錐体なので、支持突起を金型により成形した場合、金型を型開きした後の支持突起の離型が実に容易となる。また、支持突起の上端部が滑らかな略半球形に湾曲形成されるので、支持突起の上端部付近に気体が滞留することがなく、気体をトレイケースの排気孔から外部に円滑に排気することが可能になる。したがって、気体の滞留に伴い、粘着層の一部が想定外に変形したり、小物品が上下方向に傾斜するのを有効に防止することができる。
【００２７】
請求項７記載の発明によれば、トレイケースを射出成形するので、高品質のトレイケースを量産することができる。また、複数の支持突起を内蔵したトレイケースを後加工することなく、安価に成形することができる。また、トレイケースと複数の支持突起とが別部品ではなく、一体構造なので、トレイケースの内底面に複数の支持突起を後から位置決めしながら慎重に取り付ける必要がなく、製造作業の作業性の向上が期待できる。さらに、別部品の支持突起の位置ずれに伴い、粘着層の一部が想定外に変形し、小物品が移動、位置ずれ、回転、傾斜するのを防ぐことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明に係るトレイ保持治具の実施形態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図２】本発明に係るトレイ保持治具の実施形態における粘着シート上にＬＥＤデバイスが粘着保持された状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図３】図２の粘着シートが変形した状態を模式的に示す部分断面説明図である。
【図４】本発明に係るトレイ保持治具の実施形態における複数の支持突起を模式的に示す断面説明図である。
【図５】本発明に係るトレイ保持治具の実施形態における複数の支持突起の千鳥配列を模式的に示す平面説明図である。
【図６】本発明に係るトレイ保持治具の実施形態におけるトレイケースを模式的に示す平面説明図である。
【図７】図６の部分断面説明図である。
【図８】本発明に係るトレイ保持治具の実施形態におけるトレイケースを模式的に示す裏面説明図である。
【図９】本発明に係るトレイ保持治具の実施形態におけるトレイケースとフランジとを模式的に示す部分断面説明図である。
【図１０】従来のトレイ保持治具を示す断面説明図である。
【図１１】従来の他のトレイ保持治具を示す断面説明図である。
【図１２】従来のトレイ保持治具、メッシュ構造体、及び粘着シートの関係を示す断面説明図である。
【図１３】図１２のＸＩＩＩ部を拡大して示す拡大断面説明図である。
【図１４】回転するＬＥＤデバイス、及びメッシュ構造体の線材の交差部を示す拡大平面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態におけるトレイ保持治具は、図１ないし図９に示すように、上部が開口した箱形のトレイケース１と、このトレイケース１に内蔵されて小型のＬＥＤデバイス１０を着脱自在に保持する可撓性の粘着シート２０とを備え、トレイケース１の底部２の内底面８に、粘着シート２０用の複数の支持突起３０を所定の間隔をおいて形成し、各支持突起３０の粘着シート２０に接触する上部を丸く湾曲させて空気の流通性を向上させるようにしている。
【００３０】
トレイケース１は、図１、図７、図８に示すように、所定の成形材料により上面が開口した背の低い（例えば、高さ１３〜２０ｍｍ）有底角筒形に成形され、底部２の中心に、内底面８と粘着シート２０の裏面との間の空間３に連通する丸い排気孔４が貫通して穿孔されており、この排気孔４に図示しない真空ポンプ等のバキューム装置がチューブを介し外部から着脱自在に接続される。このトレイケース１は、例えば加工性、剛性、成形性、耐衝撃性等に優れるＡＢＳ樹脂含有の成形材料により、扱いやすい４３×４４ｍｍ等の大きさに射出成形される。
【００３１】
トレイケース１の成形材料は、射出成形に好適なＡＢＳ樹脂が主ではあるが、何らこれに限定されるものではない。例えば必要に応じ、透明性や耐衝撃性等に優れるポリカーボネート、機械的特性、耐環境特性、耐熱性、耐薬品性、難燃性に優れるポリエーテルエーテルケトン、ポリアセタール、ポリフェニレンエーテル等が使用され、導電性に資するカーボン粒子等の各種フィラーが選択的に添加される。
【００３２】
トレイケース１の周壁の外面下部には図６ないし図９に示すように、幅方向外側に張り出す平面枠形のフランジ５が必要に応じて周設され、このフランジ５とトレイケース１の底部２の底面との間には、平面矩形の嵌合穴６が区画形成されており、この嵌合穴６に他のトレイ保持治具の上部が嵌合されることにより、複数のトレイ保持治具が積層して搬送されたり、保管される。フランジ５の四隅部のうち、少なくとも一隅部７は、斜めに切り欠かれて位置決め用の印となり、トレイ保持治具の方向を定めた位置決めに利用される。
【００３３】
粘着シート２０は、図１ないし図３に示すように、柔軟性、弱粘着性、透明性、通気性、引張強さ、引裂強さ、衝撃強さ等の機械的性質、防水・防湿性、耐薬品性に優れる軽量で透明なポリオレフィン系の薄い樹脂フィルムからなり、平面矩形に加工されるとともに、平面枠形のスペーサ２１に変形可能に緊張して覆着されており、このスペーサ２１がトレイケース１の平坦な内底面８の周縁部に嵌着される。
【００３４】
粘着シート２０は、２０〜２００μｍの厚さを有するポリオレフィン系の樹脂フィルムが主ではあるが、何らこれに限定されるものではない。例えば、弱粘着性を長期に亘って維持することができ、ＬＥＤデバイス１０に悪影響を及ぼさないのであれば、アクリル系の粘着剤が積層された薄いポリエステル製の樹脂フィルム、ウレタン系、シリコーン系、フッ素系等の薄いエラストマーシートが用いられる。また、スペーサ２１は、例えばトレイケース１と同様の成形材料により射出成形され、表面に粘着シート２０の周縁部が接着される。このスペーサ２１の厚さは、支持突起３０の高さと同等とされ、支持突起３０の高さと揃えられる。
【００３５】
複数の支持突起３０は、図４ないし図６に示すように、トレイケース１の平坦な内底面８、具体的には内底面８の周縁部を除く大部分の面のＸＹ方向に０．６ｍｍ等の所定のピッチで一体形成され、平面視で三角形を描くよう規則的に千鳥配列されており、スペーサ２１に包囲された状態で粘着シート２０を下方から支持するよう機能する。この複数の支持突起３０が平面視で三角形を描くよう千鳥配列されるのは、例えば複数の支持突起３０が９０°の角度で平面矩形を描くよう配列される場合、ＬＥＤデバイス１０が位置ずれしたり、回転することがあるからである。
【００３６】
これに対し、複数の支持突起３０が三角形を描くよう千鳥配列される場合には、実験結果からＬＥＤデバイス１０の位置ずれや回転を有効に防止することができる。特に、複数の支持突起３０が６０°の角度で平面正三角形ＥＴを描くよう千鳥配列される場合には、複数の支持突起３０に粘着シート２０が安定して支持されるので、ＬＥＤデバイス１０の移動、位置ずれ、回転をきわめて有効に防止することができ、ＬＥＤデバイス１０の姿勢を適正に保つことができる。
【００３７】
係る点に鑑み、複数の支持突起３０は、好ましくは平面視で二等辺三角形あるいは正三角形ＥＴを描くよう千鳥配列され、より好ましくは平面視で正三角形ＥＴを描くよう千鳥配列（支持突起３０間ピッチの半分の位置に、交互に支持突起３０が並ぶ配置）される（図５参照）。
【００３８】
各支持突起３０は、図４に示すように、上方に向かうにしたがい徐々に細くなる先細りの円錐体に形成され、粘着シート２０の裏面に接触する上端部３１が平坦面ではなく、角部の無い滑らかな半球形に湾曲形成される。この支持突起３０は、例えば高さが０．３ｍｍとされ、上端部３１がＲ０．２ｍｍに湾曲形成される。支持突起３０の上端部３１が半球形に湾曲形成されるのは、支持突起３０が先細りの円錐台形に形成され、この支持突起３０の上端部３１が平坦面の場合、支持突起３０の上端部３１付近に空気が滞留し、粘着シート２０の一部が想定外に変形し、ＬＥＤデバイス１０が上下方向に傾斜することがあるからである。
【００３９】
これに対し、支持突起３０の上端部３１が滑らかな半球形に湾曲形成される場合、粘着シート２０の裏面と支持突起３０の上端部３１付近との間に空気が挟まり、滞留することがない。したがって、空気を支持突起３０の上端部３１付近から空間３のＸＹ方向に逃がすことができるので、粘着シート２０の一部が想定外に変形したり、ＬＥＤデバイス１０が上下方向に傾斜するのを有効に防止することができる。
【００４０】
上記構成において、トレイ保持治具を製造する場合には、先ず、所定の成形材料によりトレイケース１とスペーサ２１とをそれぞれ射出成形する。トレイケース１とスペーサ２１とをそれぞれ射出成形するので、高品質のトレイケース１とスペーサ２１とを量産することができる。また、複数の支持突起３０を内蔵したトレイケース１を後加工することなく、安価に成形することができる。また、トレイケース１と複数の支持突起３０とが別部品ではなく、一体構造なので、トレイケース１の内底面８に複数の支持突起３０を後から位置決めしながら慎重に取り付ける必要がない。
【００４１】
トレイケース１とスペーサ２１とを射出成形したら、スペーサ２１の表面に可撓性の粘着シート２０を緊張させて貼着し、スペーサ２１の周縁部から食み出た樹脂シートの余剰部を切断除去し、その後、トレイケース１の周壁内にスペーサ２１を裏面側から嵌合するとともに、トレイケース１の内底面８の周縁部にスペーサ２１を嵌着固定し、トレイケース１と一体の支持突起３０の上端部３１に粘着シート２０を下方から支持させ、粘着シート２０の形状を平坦に安定させれば、トレイ保持治具を製造することができる。
【００４２】
次に、薄い小型のＬＥＤデバイス１０を保持・検査・搬送する場合には、トレイ保持治具の弱粘着性を有する粘着シート２０の表面に複数のＬＥＤデバイス１０を配置し、各ＬＥＤデバイス１０を軽く押圧操作すれば、平坦な粘着シート２０の表面に複数のＬＥＤデバイス１０が粘着され、安定した姿勢で保持される。
【００４３】
この際、スペーサ２１の厚さが複数の支持突起３０の高さと揃えられ、整合するので、粘着シート２０が複数の支持突起３０の上端部３１に確実に接触支持され、粘着シート２０の平坦な形状が保たれる。したがって、粘着シート２０が複数の支持突起３０の上端部３１から浮き、ＬＥＤデバイス１０の粘着保持時に粘着シート２０が不必要に変形し、ＬＥＤデバイス１０の粘着保持作業に支障を来すことがない。
【００４４】
次に、トレイ保持治具の粘着シート２０からＬＥＤデバイス１０を剥離して取り外す場合には、トレイケース１の排気孔４にバキューム装置をチューブを介して接続し、バキューム装置を駆動して減圧すれば良い。すると、トレイケース１の内底面８と粘着シート２０との間の空間３の空気（図１の矢印参照）が外部に排気され、この空気の排気に伴い、複数の支持突起３０の間に粘着シート２０の一部が陥没し、複数の支持突起３０に沿うよう粘着シート２０が凹凸に変形する。
【００４５】
この際、複数の支持突起３０が平面視で正三角形ＥＴを描くよう千鳥配列されているので、粘着シート２０が凹凸に変形しても、ＬＥＤデバイス１０が移動、位置ずれ、回転するのをきわめて有効に防止することができる。また、各支持突起３０の上端部３１が滑らかな半球形に湾曲形成され、空気の流通性に資するので、支持突起３０の上端部３１付近に空気が滞留することがなく、排気孔４から外部に円滑に排気される。したがって、粘着シート２０の一部が想定外に変形したり、ＬＥＤデバイス１０が上下方向に傾斜してＺ方向にずれるのを有効に防止することができる。
【００４６】
また、支持突起３０が先細りの円錐台形でＬＥＤデバイス１０が薄い場合、粘着シート２０が凹凸に変形すると、支持突起３０の平坦な上端部３１の周縁付近が角張っているので、この支持突起３０の平坦な上端部３１の周縁付近の粘着シート２０に大きな力が作用し、薄いＬＥＤデバイス１０が割れることがある。しかしながら、本実施形態における支持突起３０の上端部３１は、半球形に湾曲形成され、角部が存在しないので、粘着シート２０に大きな力が作用することがなく、例えＬＥＤデバイス１０が薄くても損傷することがない。この効果は、剥離して取り外す対象が薄く脆い電子部品の場合、例えば薄く脆い半導体ウェーハの場合、きわめて有意義である。
【００４７】
粘着シート２０が凹凸に変形すると、ＬＥＤデバイス１０の被粘着面積が大幅に減少し、粘着シート２０とＬＥＤデバイス１０との間に隙間が生じて空気が容易に侵入可能となる。この結果、僅かな剥離力でＬＥＤデバイス１０を引き上げるだけで、粘着保持されていたＬＥＤデバイス１０を簡単に剥離して取り外すことができる。
【００４８】
上記構成によれば、トレイケース１と複数の支持突起３０とを一体形成し、メッシュ構造体４１を省略するので、メッシュ構造体４１が軋んで変形し、ＬＥＤデバイス１０がＸＹＺ方向に移動したり回転することがない。したがって、ＬＥＤデバイス１０のピックアップ作業や検査作業に支障を来すおそれを排除することができる。また、メッシュ構造体４１を形成する線材４２の屈曲形状に沿って粘着シート２０が不規則に上下に変形することもないので、ＬＥＤデバイス１０がＸＹＺ方向に位置ずれしたり回転することがない。したがって、ＬＥＤデバイス１０のピックアップ作業や検査作業の円滑化、迅速化、容易化を図ることができる。
【００４９】
なお、上記実施形態ではトレイケース１を有底角筒形に成形したが、何らこれに限定されるものではなく、例えば、トレイケース１を有底円筒形や有底多角形の筒形に成形しても良い。また、トレイケース１の底部２の中心に排気孔４を穿孔したが、トレイケース１の周壁とスペーサ２１に排気孔４をそれぞれ穿孔し、これらの排気孔４を連通させても良い。また、トレイケース１のフランジ５は、必要性に乏しければ、省略しても良い。また、トレイケース１の内底面８の周縁部付近にスペーサ２１用のガイド壁を立設し、トレイケース１の周壁内面とガイド壁との間にスペーサ２１を挟持させて位置決めすることができる。
【００５０】
また、トレイケース１の内底面８の周縁部にスペーサ２１用の一対のガイド壁を立設し、この一対のガイド壁の間にスペーサ２１を挟持させて位置決めすることができる。また、スペーサ２１を上下一対のスペーサ２１に分割し、この上下一対のスペーサ２１の間に粘着シート２０の周縁部を挟持させ、粘着シート２０のスペーサ２１からの脱落を防止することができる。また、各支持突起３０の上端部３１を半球形に湾曲形成したが、複数の支持突起３０のうち、一部の支持突起３０の上端部３１を半球形に湾曲形成することもできる。さらに、複数の支持突起３０のうち、少なくとも一部の支持突起３０を半楕球形とし、上端部３１を湾曲させることも可能である。
【実施例】
【００５１】
以下、本発明に係るトレイ保持治具の実施例を比較例と共に説明する。
〔実施例１〕
上部が開口した箱形のトレイケースと、このトレイケースに内蔵されて小型の半導体デバイスを着脱自在に保持する可撓性の粘着シートとを備えた図６ないし図９のトレイ保持治具を製造し、トレイケースの底部の内底面に、粘着シート用の複数の支持突起を所定の間隔をおいて形成した。
【００５２】
トレイケースは、ＡＢＳ樹脂を用いて５１×５１ｍｍの大きさに射出成形し、底部の中心に排気孔を穿孔した。また、粘着シートについては、５０μｍの厚さを有するポリオレフィン系の樹脂フィルムを採用し、スペーサによりトレイケースに内蔵した。
複数の支持突起は、トレイケースの平坦な内底面の周縁部を除く大部分の面のＸＹ方向に０．６ｍｍのピッチで一体形成し、平面視で正三角形を描くよう規則的に千鳥配列した。各支持突起は、徐々に細くなる先細りの円錐体に高さ０．３ｍｍで形成し、粘着シートの裏面に接触する上端部を滑らかな半球形に湾曲形成した。この支持突起の上端部は、Ｒ０．２ｍｍに形成した。
【００５３】
トレイ保持治具を製造したら、このトレイ保持治具の弱粘着性を有する粘着シートに小型の２種類の半導体デバイスを粘着保持させ、その後、トレイ保持治具を９０°に立てて軽く振動させ、２種類の半導体デバイスが粘着シートから滑落するか否かを試験した。小型の２種類の半導体デバイスは、シリコンウェーハから切り出した厚さ１００μｍで２×７ｍｍの大きさのデバイス（１）、シリコンウェーハから切り出した厚さ１００μｍで８×８ｍｍの大きさのデバイス（２）とした。
【００５４】
２種類の半導体デバイス（１）、（２）が滑落するか否かを試験したら、トレイケースの排気孔に真空ポンプをチューブにより接続し、この真空ポンプを駆動して減圧することにより、粘着シートを凹凸に変形させ、減圧した状態で２種類の半導体デバイス（１）、（２）にＸＹ方向の位置ずれが生じるか否かを試験してその結果を表１にまとめた。半導体デバイス（１）、（２）の位置ずれ試験は、減圧時に画像寸法測定器（株式会社キーエンス製：商品名Ｍ-６１４０）を用い、トレイ粘着部の壁面と半導体デバイスとのずれを観察することで試験した。
【００５５】
〔比較例１〕
上部が開口した箱形のトレイケースと、このトレイケースに内蔵されて小型の半導体デバイスを着脱自在に保持する可撓性の粘着シートとを備えた従来のトレイ保持治具を製造し、トレイケースの底部に、トレイケースの内底面と粘着シートの間に介在するメッシュ構造体を敷設した。
トレイケースは、ＡＢＳ樹脂を用いて５１×５１ｍｍの大きさに射出成形し、底部の中心に排気孔を穿孔した。また、粘着シートについては、５０μｍの厚さを有するポリオレフィン系の樹脂フィルムを採用した。メッシュ構造体は、ポリエチレン樹脂により、線材の線径０．２５ｍｍ、網目の目開きが０．６００ｍｍの３０メッシュタイプとした。
【００５６】
トレイ保持治具を製造したら、このトレイ保持治具の弱粘着性を有する粘着シートに小型の２種類の半導体デバイスを粘着保持させ、その後、トレイ保持治具を９０°に立てて軽く振動させ、２種類の半導体デバイスが粘着シートから滑落するか否かを試験した。小型の２種類の半導体デバイスは、シリコンウェーハから切り出した厚さ１００μｍで２×７ｍｍの大きさのデバイス（１）、シリコンウェーハから切り出した厚さ１００μｍで８×８ｍｍの大きさのデバイス（２）とした。
【００５７】
２種類の半導体デバイス（１）、（２）が滑落するか否かを試験したら、トレイケースの排気孔に真空ポンプをチューブにより接続し、この真空ポンプを駆動して減圧することにより、粘着シートを凹凸に変形させ、減圧した状態で２種類の半導体デバイス（１）、（２）にＸＹ方向の位置ずれが生じるか否かを試験してその結果を表１にまとめた。半導体デバイス（１）、（２）の位置ずれ試験は、減圧時に画像寸法測定器（株式会社キーエンス製：商品名Ｍ-６１４０）を用い、トレイ粘着部の壁面と半導体デバイスとのずれを観察することで試験した。
【００５８】
〔比較例２〕
比較例１と同様のトレイ保持治具を製造したが、敷設するメッシュ構造体を変更した。メッシュ構造体は、ポリエチレン樹脂により、線材の線径０．１２ｍｍ、網目の目開きが０．１９８ｍｍの８０メッシュタイプとした。
その他の部分は比較例１と同様とし、２種類の半導体デバイス（１）、（２）が滑落するか否かを試験した後、２種類の半導体デバイス（１）、（２）にＸＹ方向の位置ずれが生じるか否かを試験してその結果を表１にまとめた。
【００５９】
〔比較例３〕
比較例１と同様のトレイ保持治具を製造したが、敷設するメッシュ構造体を変更した。メッシュ構造体は、ポリエチレン樹脂により、線材の線径０．０６ｍｍ、網目の目開きが０．１０９ｍｍの１５０メッシュタイプとした。
その他の部分は比較例１と同様とし、２種類の半導体デバイス（１）、（２）が滑落するか否かを試験した後、２種類の半導体デバイス（１）、（２）にＸＹ方向の位置ずれが生じるか否かを試験してその結果を表１にまとめた。
【００６０】
【表１】
2018098303.tif 000003
【００６１】
試験の結果、実施例１の場合、２種類の半導体デバイス（１）、（２）は、トレイ保持治具を軽く振動させても、共に粘着シートから滑落しなかった。また、位置ずれ試験で真空ポンプにより減圧し、粘着シートを凹凸に変形させても、共にＸＹ方向の位置ずれを認めなかった。
比較例１、２、３の場合、２種類の半導体デバイス（１）、（２）は、トレイ保持治具を軽く振動させても、共に粘着シートから滑落しなかった。しかしながら、位置ずれ試験で真空ポンプを駆動して減圧し、粘着シートを凹凸に変形させたとき、ＸＹ方向の位置ずれが認められた。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明に係るトレイ保持治具及びその製造方法は、家電製品、携帯機器、情報機器、自動車機器、電気電子部品、半導体等の製造分野で使用される。
【符号の説明】
【００６３】
１        トレイケース
２        底部
３        空間
４        排気孔
５        フランジ
６        嵌合穴
８        内底面
１０      ＬＥＤデバイス（小物品）
２０      粘着シート（粘着層）
２１      スペーサ
３０      支持突起
３１      上端部（上部）
４１      メッシュ構造体
４２      線材
４３      網目
ＥＴ      正三角形
【図１】
2018098303.tif 000004
【図２】
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【図３】
2018098303.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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