(57)【要約】【課題】パッケージデバイスの製造に係る所要時間が長時間化することを抑制しながらも、電極部を接着剤層が被覆することを抑制することができるパッケージデバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】パッケージデバイスの製造方法は、接着剤層を備えるデバイスチップを準備するチップ準備ステップＳＴ１と、デバイスチップが接着されるチップ接着領域とデバイスチップと接続される電極部とチップ接着領域と電極部との間に形成された段差部とを有する実装基板を準備する実装基板準備ステップＳＴ２と、実装基板のチップ接着領域にデバイスチップを接着する実装ステップＳＴ３と、接着剤層を硬化させる硬化ステップＳＴ４と、デバイスチップと電極部とをワイヤで電気的に接続する接続ステップＳＴ５と、デバイスチップ及びワイヤをモールド樹脂で被覆するモールドステップＳＴ６とを備える。【選択図】図９
2018117049.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージデバイスの製造方法であって、
片方の面に液状で塗布され仮硬化された接着剤層を備えるデバイスチップを準備するチップ準備ステップと、
該デバイスチップが接着されるチップ接着領域と、該チップ接着領域の近傍に設けられ接着された該デバイスチップと電気的に接続される電極部と、該チップ接着領域と該電極部との間に形成された段差部と、を表面に有する実装基板を準備する実装基板準備ステップと、
該実装基板の該チップ接着領域に該接着剤層を介して該デバイスチップを接着する実装ステップと、
該接着剤層に外的刺激を与えて硬化させる硬化ステップと、
該デバイスチップと該電極部とをワイヤで電気的に接続する接続ステップと、
該デバイスチップ及び該ワイヤをモールド樹脂で被覆するモールドステップと、を備え、
該段差部によって、仮硬化状態の該接着剤層が該電極部にはみ出すのを抑制することを特徴とするパッケージデバイスの製造方法。
【請求項２】
該段差部によって、該チップ接着領域と該電極部とに高低差が形成されている請求項１に記載のパッケージデバイスの製造方法。
【請求項３】
該段差部は、該チップ接着領域と該電極部との間に形成された溝である請求項１に記載のパッケージデバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パッケージデバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種電子機器に使用されている半導体デバイスチップは、ダイボンディング用のフレームや実装基板に接着され、使用される。従来は、フレームや基板に塗布した銀ペーストを接着剤にして半導体デバイスチップを接着していた。しかしながら、銀ペーストを狭い領域に適量を塗布するのが難しいため、ダイアタッチフィルム（ＤＡＦ）と称する接着フィルムが広く使われるようになってきた。ＤＡＦは、半導体ウェーハの裏面に貼り付けられ、半導体ウェーハをチップ分割する際に共に分割される事で、チップと同じサイズの接着層としてチップの裏面に設置される。
【０００３】
しかしながら、レーザー加工でウェーハを分割する場合やいわゆるＤＢＧ（Dicing  Before  Grinding）加工で分割する場合では、ＤＡＦを別途分割加工（クールエキスパンドやレーザーアブレーション加工）する必要があり合理的ではない（例えば、特許文献１、２参照）。また、チップサイズが小さくなると、加工本数が増えるため、更にＤＡＦの分割に時間がかかり、デバイスの製造に係る所要時間が長時間化するという課題があった。
【０００４】
そこで、フィルム状ではなく液状の接着剤をチップに吹き付けて、チップに対応した面積の接着剤層を形成する事が考案された（例えば、特許文献３参照）。液状の接着剤が塗布されて構成された接着剤層は、仮硬化された後、実装基板に接着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−０４９５９１号公報
【特許文献２】特開２００５−１１６７３９号公報
【特許文献３】特許第５４７９８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献３に示された液状の接着剤が塗布されて構成された接着剤層は、フィルム状のＤＡＦに比較して、比較的軟性が高いので、接着時の圧着で周囲に広がってしまい易く、実装基板の電極パッドまで被覆してしまう恐れがある。
【０００７】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、パッケージデバイスの製造に係る所要時間が長時間化することを抑制しながらも、電極部を接着剤層が被覆することを抑制することができるパッケージデバイスの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のパッケージデバイスの製造方法は、パッケージデバイスの製造方法であって、片方の面に液状で塗布され仮硬化された接着剤層を備えるデバイスチップを準備するチップ準備ステップと、該デバイスチップが接着されるチップ接着領域と、該チップ接着領域の近傍に設けられ接着された該デバイスチップと電気的に接続される電極部と、該チップ接着領域と該電極部との間に形成された段差部と、を表面に有する実装基板を準備する実装基板準備ステップと、該実装基板の該チップ接着領域に該接着剤層を介して該デバイスチップを接着する実装ステップと、該接着剤層に外的刺激を与えて硬化させる硬化ステップと、該デバイスチップと該電極部とをワイヤで電気的に接続する接続ステップと、該デバイスチップ及び該ワイヤをモールド樹脂で被覆するモールドステップと、を備え、該段差部によって、仮硬化状態の該接着剤層が該電極部にはみ出すのを抑制することを特徴とする。
【０００９】
該段差部によって、該チップ接着領域と該電極部とに高低差が形成されていても良い。
【００１０】
該段差部は、該チップ接着領域と該電極部との間に形成された溝でも良い。
【発明の効果】
【００１１】
本願発明のパッケージデバイスの製造方法は、パッケージデバイスの製造に係る所要時間が長時間化することを抑制しながらも、電極部を接着剤層が被覆することを抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、実施形態１に係るパッケージデバイスの製造方法により製造されるパッケージデバイスの要部を示す斜視図である。
【図２】図２は、実施形態１に係るパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の流れを示すフローチャートである。
【図３】図３（ａ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の分離溝形成工程を示す斜視図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）中のＩＩＩｂ−ＩＩＩｂ線に沿う断面図である。
【図４】図４（ａ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の保護部材貼着工程を示す斜視図であり、図４（ｂ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の保護部材貼着工程後の斜視図である。
【図５】図５（ａ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の分割工程を示す斜視図であり、図５（ｂ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の分割工程後の斜視図である。
【図６】図６（ａ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法のダイボンド用樹脂敷設工程を示す斜視図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示されたダイボンド用樹脂敷設工程の接着剤を仮硬化させる状態を示す斜視図である。
【図７】図７は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の移し替え工程を示す斜視図である。
【図８】図８（ａ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の分離工程を示す断面図であり、図８（ｂ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法により製造されたデバイスチップを示す斜視図である。
【図９】図９は、実施形態１に係るパッケージデバイスの製造方法の流れを示すフローチャートである。
【図１０】図１０は、図９に示されたパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す斜視図である。
【図１１】図１１は、図９に示されたパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す断面図である。
【図１２】図１２は、図９に示されたパッケージデバイスの製造方法の硬化ステップを示す断面図である。
【図１３】図１３は、図９に示されたパッケージデバイスの製造方法の接続ステップを示す断面図である。
【図１４】図１４は、図９に示されたパッケージデバイスの製造方法のモールドステップを示す断面図である。
【図１５】図１５は、実施形態２に係るパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す斜視図である。
【図１６】図１６は、実施形態２に係るパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す断面図である。
【図１７】図１７は、実施形態２に係るパッケージデバイスの製造方法の硬化ステップを示す断面図である。
【図１８】図１８は、実施形態２に係るパッケージデバイスの製造方法の接続ステップを示す断面図である。
【図１９】図１９は、実施形態２に係るパッケージデバイスの製造方法のモールドステップを示す断面図である。
【図２０】図２０は、実施形態３に係るパッケージデバイスの製造方法により製造されたパッケージデバイスを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１４】
〔実施形態１〕
実施形態１に係るパッケージデバイスの製造方法を図面を参照して説明する。図１は、実施形態１に係るパッケージデバイスの製造方法により製造されるパッケージデバイスの要部を示す斜視図である。
【００１５】
実施形態１に係るパッケージデバイスの製造方法は、図１に示すパッケージデバイスＰＤを製造する方法である。パッケージデバイスＰＤは、図１に示すように、デバイスチップＤＴと、デバイスチップＤＴを実装する実装基板ＰＢと、モールド樹脂ＭＲとを備える。
【００１６】
デバイスチップＤＴは、基板ＳＢと、基板ＳＢの表面ＷＳに設けられたデバイスＤと、基板ＳＢの片方の面である裏面ＷＲに設けられた接着剤層ＢＬとを備える。デバイスＤは、ＩＣ（Integrated  Circuit）、ＬＳＩ（Large-Scale  Integration）等の電子部品である。実施形態１において、デバイスチップＤＴのデバイスＤは、ＩＣ等をコントロール（制御）するコントロールデバイスであるが、コントロールデバイスに限定されない。デバイスチップＤＴは、実装基板ＰＢに一つ以上実装される。デバイスＤの表面は、実装基板ＰＢと電気的に接続するための図示しない電極を設けている。
【００１７】
接着剤層ＢＬは、デバイスチップＤＴを実装基板ＰＢに固定されるためのものである。接着剤層ＢＬは、液状の接着剤の状態で裏面ＷＲに塗布された後、液状の接着剤が仮硬化されて構成される。仮硬化とは、少なくとも表層が硬化し、表層よりも奥側が液状である状態をいう。接着剤層ＢＬは、外的刺激が与えられることにより硬化する液状の接着剤により構成される。外的刺激とは、紫外線の照射又は熱である。実施形態１において、接着剤層ＢＬを構成する接着剤は、紫外線の照射により仮硬化し、熱を付与されることにより全体が硬化する。接着剤層ＢＬを構成する接着剤は、Ｈｏｎｇｈｏｗ  Ｓｐｅｃｉａｌｔｙ  Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ  Ｉｎｃ．製の商品名「ＨＰ２０ＶＬ」、「ＳＴ２０ＶＬ」、又はＡｂｌｅｓｔｉｋ  Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ製の商品名「Ａｂｌｅｂｏｎｄ  ８２００ｃ」等を用いることができる。
【００１８】
実装基板ＰＢは、絶縁性の基板２を備える。また、実装基板ＰＢは、デバイスチップＤＴの裏面ＷＲが接着剤層ＢＬを介して接着されるチップ接着領域３と、チップ接着領域３に接着されたデバイスチップＤＴと接続される電極部４と、チップ接着領域３と電極部４との間に形成された段差部５と、電極部４同士等を所定のパターンで接続する図示しない配線パターンとを基板２の表面に備える。
【００１９】
実施形態１において、チップ接着領域３の平面形状は、デバイスチップＤＴの裏面ＷＲの平面形状よりも若干大きい。実施形態１において、チップ接着領域３は、基板２の表面から凹の凹部６により形成され、凹部６は底面６ａを備える。チップ接着領域３を形成する凹部６は、基板２の表面に切削加工、又はレーザー光線の照射によるアブレーション加工等により構成される。
【００２０】
電極部４は、チップ接着領域３の近傍に設けられ、かつチップ接着領域３の外側を取り囲むように複数設けられている。電極部４及び配線パターンは、銅又は銅合金等の導電性を有する金属により構成されている。
【００２１】
段差部５とは、基板２の表面に対して交差する面６ｂを少なくとも有し、接着剤層ＢＬを構成する接着剤の表面張力を利用してチップ接着領域３の外側に接着剤層ＢＬを構成する接着剤が漏れて、電極部４等を被覆することを抑制するものである。実施形態１において、段差部５の面６ｂは、チップ接着領域３を形成する凹部６の内側面であり、チップ接着領域３である底面６ａに対して直交する。また、実施形態１において、チップ接着領域３が凹部６の底面６ａであるので、段差部５の面６ｂによって、チップ接着領域３と電極部４とに基板２の厚み方向の高低差が形成されている。
【００２２】
また、パッケージデバイスＰＤは、デバイスチップＤＴの電極と実装基板ＰＢの電極部４とが導電性のワイヤＷＩにより接続されている。即ち、デバイスチップＤＴは、所謂ワイヤボンディングに実装基板ＰＢに実装されている。モールド樹脂ＭＲは、絶縁性の樹脂により構成され、デバイスチップＤＴ及びワイヤＷＩを被覆する。
【００２３】
次に、パッケージデバイスＰＤのデバイスチップＤＴの製造方法を図面を参照して説明する。図２は、実施形態１に係るパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の流れを示すフローチャートである。図３（ａ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の分離溝形成工程を示す斜視図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）中のＩＩＩｂ−ＩＩＩｂ線に沿う断面図である。図４（ａ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の保護部材貼着工程を示す斜視図である。図４（ｂ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の保護部材貼着工程後の斜視図である。図５（ａ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の分割工程を示す斜視図である。図５（ｂ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の分割工程後の斜視図である。図６（ａ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法のダイボンド用樹脂敷設工程を示す斜視図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）に示されたダイボンド用樹脂敷設工程の接着剤を仮硬化させる状態を示す斜視図である。図７は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の移し替え工程を示す斜視図である。図８（ａ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法の分離工程を示す断面図である。図８（ｂ）は、図２に示されたパッケージデバイスのデバイスチップの製造方法により製造されたデバイスチップを示す斜視図である。
【００２４】
パッケージデバイスＰＤのデバイスチップＤＴの製造方法（以下、デバイスチップＤＴの製造方法と記す）は、図３（ａ）に示すウエーハＷを分割予定ラインＬに沿って切断して、ウエーハＷを個々のデバイスチップＤＴに分割する方法である。
【００２５】
図３（ａ）に示すウエーハＷは、実施形態１ではシリコン、サファイア、ガリウムヒ素などを基板ＳＢとする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。ウエーハＷは、図３（ａ）に示すように、表面ＷＳの複数の分割予定ラインＬによって区画された複数の領域にそれぞれデバイスＤが形成されている。
【００２６】
デバイスチップＤＴの製造方法は、図２に示すように、分離溝形成工程ＳＴ１０と、保護部材貼着工程ＳＴ２０と、分割工程ＳＴ３０と、ダイボンド用樹脂敷設工程ＳＴ４０と、移し替え工程ＳＴ５０と、分離工程ＳＴ６０とを含む。
【００２７】
分離溝形成工程ＳＴ１０は、ウエーハＷの表面ＷＳに各分割予定ラインＬに沿った溝ＳＤを形成するステップである。分離溝形成工程ＳＴ１０は、各分割予定ラインＬに各分割予定ラインＬの長手方向に沿った溝ＳＤを形成する。分離溝形成工程ＳＴ１０で形成される溝ＳＤの深さは、デバイスチップＤＴの基板ＳＢの仕上げ厚さ以上（例えば、５０μｍ）であり、溝ＳＤの幅は、所定の幅（例えば、３０μｍ）である。実施形態１において、分離溝形成工程ＳＴ１０は、図３（ａ）に示す切削装置１０の図示しないチャックテーブルの保持面にウエーハＷの裏面ＷＲを吸引保持して、切削ユニット１２の切削ブレード１３を用いて、ウエーハＷの表面ＷＳに溝ＳＤを形成する。
【００２８】
分離溝形成工程ＳＴ１０は、チャックテーブルを図示しないＸ軸移動手段により水平方向と平行なＸ軸方向に移動させ、切削ユニット１２の切削ブレード１３を図示しないＹ軸移動手段により水平方向と平行でかつＸ軸方向と直交するＹ軸方向に移動させ、切削ユニット１２の切削ブレード１３を図示しないＺ軸移動手段により鉛直方向と平行なＺ軸方向に移動させて、切削ブレード１３を分割予定ラインＬに切り込ませて、図３（ｂ）に示すように、ウエーハＷの各分割予定ラインＬの表面ＷＳに溝ＳＤを形成する。
【００２９】
保護部材貼着工程ＳＴ２０は、ウエーハＷの表面ＷＳに保護部材ＰＰを貼着する工程である。実施形態１において、保護部材貼着工程ＳＴ２０は、図４（ａ）に示すように、ウエーハＷの表面ＷＳと保護部材ＰＰとを対向させた後、図４（ｂ）に示すように、保護部材ＰＰをウエーハＷの表面ＷＳに貼着する。
【００３０】
分割工程ＳＴ３０は、ウエーハＷを個々のデバイスチップＤＴに分割する工程である。分割工程ＳＴ３０は、図５（ａ）に示すように、ウエーハＷの表面ＷＳを保護部材ＰＰを介して研削装置２０のチャックテーブル２１の保持面２１ａに吸引保持し、ウエーハＷの裏面ＷＲに研削砥石２２を当接させて、チャックテーブル２１及び研削砥石２２を軸心回りに回転して、ウエーハＷの裏面ＷＲに研削加工を施す。分割工程ＳＴ３０は、ウエーハＷに研削加工を施して、ウエーハＷの基板ＳＢを仕上げ厚さまで薄化する。分割工程ＳＴ３０は、ウエーハＷの基板ＳＢを仕上げ厚さまで薄化することにより、図５（ｂ）に示すように、裏面ＷＲ側に溝ＳＤを表出させて、ウエーハＷを個々のデバイスチップＤＴに分割する。
【００３１】
ダイボンド用樹脂敷設工程ＳＴ４０は、ウエーハＷの基板ＳＢの裏面ＷＲに接着剤層ＢＬを形成する工程である。ダイボンド用樹脂敷設工程ＳＴ４０は、図６（ａ）に示すように、ウエーハＷの表面ＷＳを保護部材ＰＰを介してダイボンド用樹脂敷設装置３０の保持テーブル３１の保持面３１ａに吸引保持し、塗布ユニット３２の塗布ノズル３３から液状の接着剤と加圧されたエアーの混合物をウエーハＷの基板ＳＢの裏面ＷＲに噴射する。液状の接着剤と加圧されたエアーの混合物は、加圧エアー供給源３４からの加圧されたエアーと、液状樹脂タンク３５からの液状の接着剤とが混合ユニット３６により混合された後に塗布ノズル３３に供給される。また、実施形態１において、ダイボンド用樹脂敷設工程ＳＴ４０は、塗布ノズル３３を図６（ａ）中の矢印に沿って揺動させながら前述した混合物をウエーハＷの基板ＳＢの裏面ＷＲに噴射して、裏面ＷＲに接着剤を塗布する。
【００３２】
ダイボンド用樹脂敷設工程ＳＴ４０は、塗布ノズル３３が所定回数揺動する間に混合物を噴射し、塗布ノズル３３が所定回数揺動する毎に、塗布ノズル３３の揺動と混合物の噴射を停止し、図６（ｂ）に示すように、紫外線照射装置３７から裏面ＷＲに塗布された接着剤に紫外線を照射して、仮硬化させる。実施形態１において、ダイボンド用樹脂敷設工程ＳＴ４０は、液状の接着剤の塗布と紫外線の照射とを複数回繰り返して、所望の厚さの仮硬化された接着剤層ＢＬを形成する。また、ダイボンド用樹脂敷設工程ＳＴ４０は、液状の接着剤の塗布と紫外線の照射とを複数回繰り返して、接着剤の表面張力により分離溝形成工程ＳＴ１０において形成された溝ＳＤ内に液状の接着剤が流入することなく、基板ＳＢの裏面ＷＲのみに接着剤層ＢＬを形成することができる。
【００３３】
移し替え工程ＳＴ５０は、ウエーハＷの裏面ＷＲに粘着テープＴを貼着し、表面ＷＳから保護部材ＰＰを剥がす工程である。移し替え工程ＳＴ５０は、図７に示すように、外周に環状フレームＦが貼着された粘着テープＴにウエーハＷの裏面ＷＲを接着剤層ＢＬを介して貼着し、保護部材ＰＰを表面ＷＳから剥がす。
【００３４】
分離工程ＳＴ６０は、粘着テープＴから個々のデバイスチップＤＴを取り外す工程である。分離工程ＳＴ６０は、分離装置４０のフレーム保持部材４１とクランプ４２との間に環状フレームＦを保持する。分離工程ＳＴ６０は、分離装置４０の円筒状の拡張ドラム４３を、図８（ａ）に示すように、ウエーハＷと環状フレームＦとの間の粘着テープＴに押しつけて、粘着テープＴを拡張させ、隣接するデバイスチップＤＴ間の間隔を広げる。分離工程ＳＴ６０は、分離装置４０のピックアップコレット４４を用いてデバイスチップＤＴを一つずつ粘着テープＴから取り外す。こうして、図８（ｂ）に示すように、デバイスチップＤＴの製造方法は、基板ＳＢの表面ＷＳにデバイスＤが設けられ、裏面ＷＲに接着剤層ＢＬが設けられたデバイスチップＤＴを得る。
【００３５】
次に、パッケージデバイスＰＤの製造方法を図面を参照して説明する。図９は、実施形態１に係るパッケージデバイスの製造方法の流れを示すフローチャートである。図１０は、図９に示されたパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す斜視図である。図１１は、図９に示されたパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す断面図である。図１２は、図９に示されたパッケージデバイスの製造方法の硬化ステップを示す断面図である。図１３は、図９に示されたパッケージデバイスの製造方法の接続ステップを示す断面図である。図１４は、図９に示されたパッケージデバイスの製造方法のモールドステップを示す断面図である。
【００３６】
パッケージデバイスＰＤの製造方法は、実装基板ＰＢにデバイスチップＤＴを実装して、パッケージデバイスＰＤを製造する方法である。パッケージデバイスＰＤの製造方法は、図９に示すように、チップ準備ステップＳＴ１と、実装基板準備ステップＳＴ２と、実装ステップＳＴ３と、硬化ステップＳＴ４と、接続ステップＳＴ５と、モールドステップＳＴ６とを備える。
【００３７】
チップ準備ステップＳＴ１は、図２に示されたデバイスチップの製造方法により製造されたデバイスチップＤＴを準備するステップである。実装基板準備ステップＳＴ２は、図１に示す実装基板ＰＢを準備するステップである。実装基板準備ステップＳＴ２は、基板２に電極部４と配線パターンを形成するとともに、切削加工又はレーザー光線の照射によるアブレーション加工等により凹部６を形成して、段差部５及びチップ接着領域３を形成した実装基板ＰＢを準備する。
【００３８】
実装ステップＳＴ３は、実装基板ＰＢのチップ接着領域３に接着剤層ＢＬを介してデバイスチップＤＴを接着するステップである。実装ステップＳＴ３は、図１０及び図１１に示すように、デバイスチップＤＴの仮硬化した接着剤層ＢＬをチップ接着領域３に対向させた後、デバイスチップＤＴの接着剤層ＢＬをチップ接着領域３に載置して、接着剤層ＢＬによりデバイスチップＤＴをチップ接着領域３に接着する。
【００３９】
硬化ステップＳＴ４は、接着剤層ＢＬに外的刺激を与えて硬化させるステップである。実施形態１において、硬化ステップＳＴ４は、接着剤層ＢＬに外熱刺激である熱を与えて、接着剤層ＢＬを硬化させて、図１２に示すように、チップ接着領域３にデバイスチップＤＴを接着する。
【００４０】
接続ステップＳＴ５は、デバイスチップＤＴと実装基板ＰＢの電極部４とをワイヤＷＩで電気的に接続するステップである。接続ステップＳＴ５は、図１３に示すように、ワイヤＷＩの一端をデバイスチップＤＴの電極に取り付け、ワイヤＷＩの他端を実装基板ＰＢの電極部４に取り付ける。
【００４１】
モールドステップＳＴ６は、デバイスチップＤＴ及びワイヤＷＩをモールド樹脂ＭＲで被覆するステップである。モールドステップＳＴ６は、実装基板ＰＢに接着剤層ＢＬにより取り付けられ、ワイヤＷＩにより実装基板ＰＢの電極部４に接続されたデバイスチップＤＴ及びワイヤＷＩを、図１４に示すように、モールド樹脂ＭＲで被覆する。
【００４２】
実施形態１に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法は、実装基板ＰＢのチップ接着領域３と電極部４との間に面６ｂを有する段差部５を設けているので、液状で塗布された接着剤がチップ接着領域３に接着された際、接着剤の表面張力によって段差部５の面６ｂよりも外側に広がることを抑制できる。これにより、パッケージデバイスＰＤの製造方法は、電極部４が接着剤層ＢＬによって被覆されることを抑制することができる。
【００４３】
また、実施形態１に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法は、液状の接着剤を塗布して接着剤層ＢＬを形成するとともに、接着剤の塗布と仮硬化とを複数回繰り返して接着剤層ＢＬを形成するので、接着剤層ＢＬを構成する接着剤がデバイスチップＤＴ間の溝ＳＤ内に侵入することを抑制することができる。このために、実施形態１に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法は、デバイスチップＤＴの製造方法の分離工程ＳＴ６０前にデバイスチップＤＴ間の接着剤層ＢＬを切断する必要が生じないので、デバイスチップＤＴの製造にかかる所要時間が長時間化することを抑制することができる。その結果、実施形態１に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法は、パッケージデバイスＰＤの製造に係る所要時間が長時間化することを抑制しながらも、電極部４を接着剤層ＢＬが被覆することを抑制することができる。
【００４４】
また、実施形態１に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法は、段差部５の面６ｂによりチップ接着領域３と電極部４とに高低差が形成されているので、接着剤の表面張力によって段差部５の面６ｂよりも外側に広がることを抑制できる。
【００４５】
〔実施形態２〕
次に、実施形態２に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法を図面を参照して説明する。図１５は、実施形態２に係るパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す斜視図である。図１６は、実施形態２に係るパッケージデバイスの製造方法の実装ステップを示す断面図である。図１７は、実施形態２に係るパッケージデバイスの製造方法の硬化ステップを示す断面図である。図１８は、実施形態２に係るパッケージデバイスの製造方法の接続ステップを示す断面図である。図１９は、実施形態２に係るパッケージデバイスの製造方法のモールドステップを示す断面図である。図１５から図１９は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００４６】
実施形態２に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法では、実装基板ＰＢの段差部５が溝７であることにより構成され、チップ接着領域３が基板２の表面により構成されていること以外、実施形態１と同じである。溝７は、基板２の表面から凹に形成され、デバイスチップＤＴの全周に亘ってデバイスチップＤＴの外側を囲繞している。また、実施形態２において、段差部５である溝７は、チップ接着領域３である基板２の表面に対して直交する内側面７ａを備えている。溝７の内側面７ａと実装基板ＰＢとの連結部にある角部が作用し、接着剤層ＢＬを構成する接着剤の表面張力を利用してチップ接着領域３の外側に接着剤層ＢＬを構成する接着剤が漏れることを抑制する。また、角部から接着剤がはみ出したとしても、溝７内に接着剤が収容される容積があるため、接着剤がはみ出て電極部４を覆う事が抑制される。
【００４７】
実施形態２に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法は、実施形態１と同様に、チップ準備ステップＳＴ１において、デバイスチップＤＴを準備し、実装基板準備ステップＳＴ２において、実装基板ＰＢを準備し、実装ステップＳＴ３において、図１５及び図１６に示すように、デバイスチップＤＴの仮硬化した接着剤層ＢＬをチップ接着領域３に対向させた後、デバイスチップＤＴの接着剤層ＢＬをチップ接着領域３に載置して、接着剤層ＢＬによりデバイスチップＤＴをチップ接着領域３に接着する。
【００４８】
また、実施形態２に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法は、硬化ステップＳＴ４において、実装基板ＰＢ毎接着剤層ＢＬを加熱するなどして、図１７に示すように、チップ接着領域３にデバイスチップＤＴを接着し、接続ステップＳＴ５において、図１８に示すように、デバイスチップＤＴと実装基板ＰＢの電極部４とをワイヤＷＩで電気的に接続し、モールドステップＳＴ６において、図１９に示すように、デバイスチップＤＴ及びワイヤＷＩをモールド樹脂ＭＲで被覆する。
【００４９】
実施形態２に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法は、実装基板ＰＢのチップ接着領域３と電極部４との間に内側面７ａを有する段差部５を設け、接着剤の塗布と仮硬化とを複数回繰り返して接着剤層ＢＬを形成するので、パッケージデバイスＰＤの製造に係る所要時間が長時間化することを抑制しながらも、電極部４を接着剤層ＢＬが被覆することを抑制することができる。
【００５０】
また、実施形態２に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法は、段差部５が内側面７ａを有する溝ＳＤであるので、接着剤の表面張力によって段差部５の内側面７ａよりも外側に広がることを抑制できる。
【００５１】
〔実施形態３〕
次に、実施形態３に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法を図面を参照して説明する。図２０は、実施形態３に係るパッケージデバイスの製造方法により製造されたパッケージデバイスを示す断面図である。図２０は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００５２】
実施形態３において、図２０に示すように、パッケージデバイスＰＤのチップ接着領域３が基板２の表面から凸の凸部８により形成されて凸部８の上面８ａであり、段差部５がチップ接着領域３である上面８ａに直交する外側面８ｂを備えていること以外、実施形態１と同じである。外側面８ｂとチップ接着領域３との連結部である角部が作用し、接着剤層ＢＬを構成する接着剤の表面張力を利用してチップ接着領域３の外側に接着剤層ＢＬを構成する接着剤が漏れることを抑制する。また、実施形態３において、チップ接着領域３が凸部８の上面８ａであるので、段差部５の外側面８ｂによって、チップ接着領域３と電極部４とに基板２の厚み方向の高低差が形成されている。
【００５３】
実施形態３に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法は、実装基板ＰＢのチップ接着領域３と電極部４との間に外側面８ｂを有する段差部５を設け、接着剤の塗布と仮硬化とを複数回繰り返して接着剤層ＢＬを形成するので、パッケージデバイスＰＤの製造に係る所要時間が長時間化することを抑制しながらも、電極部４を接着剤層ＢＬが被覆することを抑制することができる。
【００５４】
また、実施形態３に係るパッケージデバイスＰＤの製造方法は、段差部５の外側面８ｂによりチップ接着領域３と電極部４とに高低差が形成されているので、接着剤の表面張力によって段差部５の外側面８ｂよりも外側に広がることを抑制できる。
【００５５】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【００５６】
３  チップ接着領域
４  電極部
５  段差部
７  溝
ＤＴ  デバイスチップ
ＰＤ  パッケージデバイス
ＰＢ  実装基板
ＷＲ  裏面（片方の面）
ＢＬ  接着剤層
ＷＩ  ワイヤ
ＭＲ  モールド樹脂
ＳＴ１  チップ準備ステップ
ＳＴ２  実装基板準備ステップ
ＳＴ３  実装ステップ
ＳＴ４  硬化ステップ
ＳＴ５  接続ステップ
ＳＴ６  モールドステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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