(57)【要約】【課題】ヘッドを大型化することなく、個別液室の液体を良好な加熱制御性で加熱できない。【解決手段】液滴を吐出するノズル４が通じる個別液室６と、個別液室６の壁面を形成する振動板３０に形成された圧電素子１１とを有する流路基板２０と、流路基板２０の個別液室６が設けられる側と反対側に接合されて流路基板２０を保持する保持基板５０とを備え、保持基板５０と流路基板２０との接合領域８０に、圧電素子１１を構成する下部電極１３を形成する層と同じ層９１で形成した抵抗体パターンからなる加熱手段９０が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルが通じる個別液室と、
前記個別液室の壁面を形成する振動板に形成された圧電素子と、を有する流路基板と、
前記流路基板の前記個別液室が設けられる側と反対側に接合されて前記流路基板を保持する保持基板と、を備え、
前記保持基板と前記流路基板との接合領域に、前記圧電素子を構成する電極を形成する層を含む加熱手段が形成されている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記圧電素子は、前記振動板上に順次形成された下部電極、圧電体及び上部電極を有し、
前記加熱手段は前記下部電極を形成する層と同じ層で形成され、
前記下部電極を形成する層と同じ層で形成された前記前記加熱手段上にはセラミック層が形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記セラミックス層は、前記圧電体を形成する層と同じ層である
ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像形成装置として、例えば液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置、例えばインクジェット記録装置などが知られている。
【０００３】
液体吐出ヘッドとして、使用する液体の粘度を下げるために加熱手段を備えるものがある。例えば、圧電素子の上部電極を形成する電極形成層でヒータを構成して共通液室の液体を加熱するもの（特許文献１）、圧電素子を形成した基板に接合する保持基板で形成されるキャビティ内に、圧電素子に並べて加熱手段を配置したもの（特許文献２）も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−０６９７５６公報
【特許文献２】特開２００５−０５３０８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されているように共通液室の液体を加熱するのでは、滴吐出を行う個別液室における液体に対する加熱制御性が悪いという課題がある。また、特許文献２のように圧電素子の並びに加熱手段を配置するのでは、同様に、滴吐出を行う個別液室における液体に対する加熱制御性が悪く、またヘッドも大型化するという課題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ヘッドを大型化することなく、個別液室の液体を良好な加熱制御性で加熱できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出するノズルが通じる個別液室と、
前記個別液室の壁面を形成する振動板に形成された圧電素子と、を有する流路基板と、
前記流路基板の前記個別液室が設けられる側と反対側に接合されて前記流路基板を保持する保持基板と、を備え、
前記保持基板と前記流路基板との接合領域に、前記圧電素子を構成する電極を形成する層を含む加熱手段が形成されている
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ヘッドを大型化することなく、個別液室の液体を良好な加熱制御性で加熱できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視説明図である。
【図２】同ヘッドの流路基板側の平面説明図である。
【図３】同じく流路基板と保持基板の接合領域の説明に供する平面説明図である。
【図４】図２のＡ−Ａ線に沿う断面説明図である。
【図５】図１のＢ−Ｂ線に沿う断面説明図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの流路基板側の平面説明図である。
【図７】図６のＣ−Ｃ線に沿う断面説明図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの流路基板側の平面説明図である。
【図９】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例の説明に供する断面説明図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例の説明に供する断面説明図である。
【図１１】本発明に係る画像形成装置の一例の平面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図５を参照して説明する。図１同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドの流路基板側の平面説明図、図３は同じく流路基板と保持基板の接合領域の説明に供する平面説明図、図４は図２のＡ−Ａ線に沿う断面説明図、図５は図１のＢ−Ｂ線に沿う断面説明図である。
【００１１】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、振動板部材３と、圧電素子１１と、保持基板５０と、共通液室部材７０とを備えている。本実施形態では、流路板２、振動板部材３及び圧電素子１１で構成される部分を「流路基板２０」とする。ただし、流路基板２０として独立の部材が形成された後にノズル板１や保持基板５０、共通液室部材７０と接合されることまで意味するものではない。
【００１２】
ノズル板１には、液滴を吐出する複数のノズル４が形成されている。ここでは、ノズル４を配列したノズル列を４列配置した構成としている。
【００１３】
流路板２は、ノズル板１及び振動板部材３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部（通路）８を形成している。
【００１４】
この液導入部８は振動板部材３の通路（供給口）９と保持基板５０の共通液室の一部である流路１０Ａを介して共通液室部材７０で形成される共通液室に通じている。
【００１５】
振動板部材３は、個別液室６の壁面の一部をなす変形可能な振動領域（これを「振動板」という。）３０を形成している。そして、この振動板部材３の振動板３０の個別液室６と反対側の面には、振動板３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動板３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。
【００１６】
本実施形態では、上述したように流路板２、振動板部材３及び圧電素子１１（圧電アクチュエータ）によって流路基板２０を構成している。
【００１７】
圧電素子１１は、振動板部材３側から下部電極１３、圧電層（圧電体）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には層間絶縁膜２１が形成されている。
【００１８】
圧電素子１１の下部電極１３は共通配線１５を介して接続パッド２３に引き出されている。上部電極１４は個別配線１６を介して駆動ＩＣ５０９に接続され、駆動ＩＣ５０９は引出し配線１８を介して接続パッド２４に引き出されている。接続パッド２３、２４にはフレキシブル配線部材であるＦＰＣ６０がワイヤボンディングで接続するワイヤ６１を介して接続される。
【００１９】
なお、個別配線１６を形成するメタル層は接合隔壁１７（図４参照）も形成する。
【００２０】
この圧電素子１１は、上部電極１４と下部電極１３の間に電圧を与えることで、圧電層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動板部材３と平行な方向に収縮する。
【００２１】
このとき、下部電極１３側は振動板部材３で拘束されているため、振動板部材３の下部電極１３側に引っ張り応力が発生し、振動板部材３の振動板３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液滴が吐出される。
【００２２】
そして、圧電素子１１を収容する凹部（振動室）５１を形成する保持基板５０を設けている。
【００２３】
保持基板５０は共通液室の一部１０Ａも形成している。この保持基板５０は、接着剤によって流路基板２０を構成する振動板部材３に接合されている。ここで、保持基板５０と流路基板２０との接合領域は、図３に示す網点を施した領域８０である。後述するように、この領域８０内に加熱手段９０を配置する。
【００２４】
そして、この保持基板５０を内包して、保持基板５０の流路１０Ａを含む共通液室を形成する共通液室部材７０を設けている。
【００２５】
なお、流路基板２０の振動板部材３にはヘッド温度を測定する測温抵抗体３５が配置され、引出し配線３６を介して接続パッド３７に接続されている。測温抵抗体３５は下部電極１３を形成する層で形成し、圧電層１２を形成する層（セラミック層）で覆っている。
【００２６】
次に、各部の具体例について簡単に説明する。
【００２７】
ノズル板１は、例えば、ＳＵＳ板にプレス加工と研磨加工によってノズル４を形成しているが、これに限るものではない。例えば、ニッケル（Ｎｉ）の金属プレートをエレクトロフォーミング法（電鋳）で製造したもの、その他の金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができる。また、ノズル板１の液滴吐出側面（吐出方向の表面：吐出面）には撥液層を設けている。
【００２８】
本実施形態では、ノズル板１に４列のノズル列を形成し、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の各色の液滴を吐出可能としている。
【００２９】
流路板２は、シリコン基板上にシリコン酸化膜を介してシリコンを形成した部材を用いて、シリコン酸化膜をエッチングストップ層としてエッチングし、個別液室６、流体抵抗部７、液導入部８などを構成する溝部及び貫通穴を形成するとともに、振動板３０を形成したものである。
【００３０】
流路板２の材料はこれに限るものではない。例えば、シリコン以外のガラス、セラミックスなどの無機材料、ＳＵＳなどの合金材料、樹脂などで形成することができる。
【００３１】
振動板部材３の振動板３０上に圧電素子１１を形成することによりユニモルフ型の圧電アクチュエータを構成している。
【００３２】
振動板部材３は、例えば上述したシリコン基板上にシリコン酸化膜を介してシリコンを形成した部材を用いた場合、シリコン酸化膜とシリコンの部分で形成される。
【００３３】
また、振動板部材３の材質は、無機材料を用いることが好ましい。例えば、半導体、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物を挙げることができる。半導体としては、多結晶Ｓｉ、アモルファスＳｉ，Ｇｅなどを挙げることができ、金属酸化物や金属窒化物は一般的なセラミックスに用いられるＳｉ化合物、Ａｌ化合物、Ｚｒ化合物、Ｔｉ化合物、Ｙ化合物、Ｔａ化合物、Ｓｎ化合物、Ｉｎ化合物などが挙げられる。
【００３４】
振動板部材３は、単一膜でも多層膜のいずれでもよい。シリコン基板を用いて流路板２に振動板部材３を形成する場合には、ＣＶＤやスパッタリングなどの気相法によって成膜することもできる。
【００３５】
圧電素子１１の上部電極１４及び下部電極１３の材料は導電性材料である必要があり、金属及び合金、導電性化合物などを用いることができる。材料は、振動板部材３及び圧電層１２との密着性の高い材料を用いる必要があるが、各界面に密着性を高める密着層を形成することで対応することもできる。
【００３６】
上部電極１４及び下部電極１３の材料としては、例えば、Ａｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｉｒ，Ｐｄ，Ｗ，Ｔａなどの高融点金属が好ましい。
【００３７】
また、上部電極１４及び下部電極１３と圧電層１２との界面、下部電極１３と振動板部材３との界面には、相互拡散を防止するために、耐熱性が高く、電極材料と相互拡散しづらい化学的安定性の高い材料を用いることが好ましい。例えば、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物などが利用でき、さらにこれらの複合化合物を用いることもできる。また、導電性をもつ化合物を用いることで電極としての機能を持たせても良い。
【００３８】
圧電層１２を形成する圧電材料としては、公知の材料を用いることができる。圧電材料としては、高い圧電定数と高い信頼性、安定した温度特性をもつチタン酸ジルコン酸鉛を用いることが好ましい。圧電体の組成は、所望の圧電性能、信頼性から任意に設定することができる。
【００３９】
次に、この液体吐出ヘッドにおける本発明に係る加熱手段９０について説明する。
【００４０】
加熱手段９０は、図２及び図３に示す流路基板２０と保持基板５０との接合領域８０のうち、平面で見て、流路基板２０の接続パッドが配置された辺以外の３辺の外周側縁部分に形成した線状の抵抗体パターンで形成している。
【００４１】
ここで、図４に示すように、加熱手段９０となる抵抗体パターンは、圧電素子１１の下部電極１３を形成する層（電極形成層）と同じ層９１で形成している。そして、この加熱手段９０は、図２に示すように、引出し配線９５を介して接続パッド９６に接続している。
【００４２】
このように構成したので、加熱手段９０に給電を行うことによって抵抗加熱によるジュール熱によって振動板部材３から流路板２を経て個別液室６の液体、例えばインクが加熱される。なお、加熱制御は、例えば紫外線硬化型インクなどの高粘度インクを使用する場合に行うことが好ましい。
【００４３】
このように、個別液室６を含む流路基板２０に加熱手段９０を配置して加熱するので、個別液室６と加熱手段９０とが近い位置関係にあり、個別液室６の液体を良好な加熱制御性で加熱することができる。そして、この場合、流路基板２０と保持基板５０との接合領域８０内に加熱手段９０を配置しているので、ヘッドサイズを大型化することもない。
【００４４】
また、加熱手段９０を保持基板５０と流路基板２０との接合領域に配置しているので、加熱手段９０で発生した熱は保持基板５０を介して共通液室の一部１０Ａ中の液体も加熱することができる。
【００４５】
また、本実施形態のように流路板２及び振動板部材３にシリコン基板を使用した場合には、シリコン基板の熱伝導率が非常に高い部材であるので、個別液室６の液体（インク）を効率的に加熱することができるようになる。
【００４６】
本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図６及び図７を参照して説明する。図６は同ヘッドの流路基板側の平面説明図、図７は図６のＣ−Ｃ線に沿う断面説明図である。
【００４７】
本実施形態でも、加熱手段９０は、図３に示す流路基板２０と保持基板５０との接合領域８０のうち、平面で見て、流路基板２０の接続パッドが配置された辺以外の３辺の外周側縁部分に形成した線状の抵抗体パターンで形成している。
【００４８】
そして、ここでは、圧電素子１１の下部電極１３を形成する層（電極形成層）と同じ層９１で形成した加熱手段９０となる抵抗体パターンの表面を、圧電層１２を形成する層と同じ層９２で覆っている。この圧電層１２を形成する層と同じ層９２は、圧電層１２であるとともに、セラミック層でもある。
【００４９】
このように、加熱手段９０となる電極形成層と同じ層９１の抵抗体パターン上にセラミック層９２を形成することで、電極形成層と同じ層９１をエッチングで形成するときの加工精度を高めることができる。
【００５０】
これにより、加熱手段９０の発熱を均一化することができる。
【００５１】
次に、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図８を参照して説明する。図８は同ヘッドの流路基板側の平面説明図である。
【００５２】
本実施形態では、下部電極１３は各個別液室６に対応する領域に形成し、平面で見て、各個別液室６の周りに下部電極１３と同じ層からなる加熱手段９０となる抵抗体パターンを這い回している。この抵抗体パターンの一部は、個別液室６間を区画する隔壁に対応する領域にも這い回されている。
【００５３】
これにより、個別液室６により近い位置で加熱を行うことができ、個別液室６の液体をより良好な加熱制御性で加熱することができる。
【００５４】
次に、本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例について図９を参照して説明する。
【００５５】
まず、図９（ａ）に示す流路板２となるφ６インチ、厚さ６００μｍのシリコンウェハ３０２を準備する。そして、図９（ｂ）に示すように、ＳｉＯ２膜を厚み０．６μｍ、Ｓｉ膜を厚み１．５μｍ、ＳｉＯ２膜を厚み０．４μｍで積層することで３層構成の振動板部材３０３を形成する。さらに、振動板部材３０３上に、下部電極１３及び加熱手段９０の層９１となる電極形成層３１３として、Ｔｉ膜を厚み２０ｎｍ、Ｐｔ膜を厚み２００ｎｍで、スパッタリング法で成膜する。
【００５６】
そして、図９（ｃ）に示すように、電極形成層３１３上に、圧電層１２となるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を有機金属溶液に用いたゾルゲル法で厚さ２μｍを成膜し、７００℃で焼成して、ＰＺＴの圧電体膜３１２を形成する。
【００５７】
次いで、図９（ｄ）に示すように、圧電体膜３１２上に、上部電極１４となる電極形成層３１４として、Ｐｔ膜を厚み２００ｎｍでスパッタリング法によって成膜する。
【００５８】
その後、図９（ｅ）に示すように、電極形成層３１４をドライエッチング法でパターニングして上部電極１４を形成する。
【００５９】
次いで、図９（ｆ）に示すように、圧電体膜３１２をドライエッチング法でパターニングし、圧電層１２を形成する。
【００６０】
さらに、図９（ｇ）に示すように、電極形成層３１３をドライエッチング法でパターニングして、下部電極１３と、層９１からなる加熱手段９０とを形成する。
【００６１】
なお、ここでは、圧電素子１１の配列ピッチは８５μｍとし、圧電層１２の幅は４０μｍとした。圧電素子１１の長手方向の長さは１０００μｍとした。圧電素子１１の配列数は３００個とした。測温抵抗体３５の幅は５０μｍで形成した。加熱手段９０の幅は５０μｍとし、厚みはＰｔ膜の厚み２００ｎｍとして、長さを６０ｍｍとしたとき、４０ｍＡの電流を流すことで１Ｗの出力を得られる。
【００６２】
次に、図５の工程後の工程について説明する。
【００６３】
圧電素子１１の形成後、プラズマＣＶＤ法によって、層間絶縁膜２１を成膜し、上部電極１４上に個別配線コンタクトホール、共通配線コンタクトホールを層間絶縁膜２１に形成する。そして、Ｔｉ膜を厚み５０ｎｍで、Ａｌ膜を厚み２μmで、順次積層し、ドライエッチングすることで、メタル層を形成し、個別配線１６及び共通配線１５と供給口９周りのメタル層１７を形成する。共通配線１５の幅は３００μｍとした。
【００６４】
このとき、測温抵抗体３５及び加熱手段９０となる層９１上にも同様にコンタクトホールを形成し、上記と同様に配線を引き出した。
【００６５】
その後、供給口９部分の振動板部材３をドライエッチングで除去し、流路板２に供給口９に対応する液導入部を形成する。
【００６６】
一方、保持基板５０をφ６インチのシリコンウェハを用いて製作した。
【００６７】
まず、ウェハを厚さ４００μｍに研磨し、流路板２側に酸化膜などを形成する。その後、その酸化膜を保持基板５０の凹部５１及び保持基板５０の開口部が開口するようにフォトリソパターニングする。そして、さらにその上にレジストを形成し、保持基板５０の開口部だけが開口するようにレジストをフォトリソパターニングする。
【００６８】
そして、ＩＣＰエッチングで流路板２側から開口部を貫通形成する。その後、流路板２側のレジストのみを除去し、はじめにパターニングした酸化膜パターンをマスクとして、流路板２側をＩＣＰエッチングでハーフエッチングする。最後に酸化膜を除去すると、流路板２側の凹部５１と貫通開口部を形成することができる。
【００６９】
作製した保持基板５０の接合面にエポキシ系接着剤をフレキソ印刷機で膜厚２μｍで塗布して接合し、接着剤を硬化することで、保持基板５０を流路基板２０に接合した。
【００７０】
上述したように、流路基板２０のうち、測温抵抗体３５と加熱手段９０及び供給口９周りのメタル層１７が保持基板５０と主に接合される。上述のように層厚を同等にしているので、問題なく接合ができる。
【００７１】
その後、振動板部材３に駆動ＩＣ５０９をフリップチップボンディングによって実装した。
【００７２】
その後、６００μｍの流路板２を８０μｍまで研磨した後に、個別液室６及び流体抵抗部をＩＣＰドライエッチング法で形成した。
【００７３】
個別液室６の幅は６０μｍとし、流体抵抗部の幅は３０μｍ、長さは３００μｍとした。流体抵抗部及び個別液室６のエッチングは、振動板部材３に到達するまで行い、同一の高さとした。また、供給口部の振動板部材３は、事前にエッチングしたため、貫通口を形成することができる。
【００７４】
次いで、ウエハをダイシングによりチップに切り出した後に、保持基板５０と同様の手法でノズル板１と流路板２を接合した。ノズル板１は、厚さ３０μｍのＳＵＳ材にプレス加工でφ２０μｍのノズル４を８５μｍピッチで形成したものを用いた。
【００７５】
そして、保持基板５０上に、ＳＵＳ製の共通液室部材７０を接合した。
【００７６】
このようにして得られた液体吐出ヘッドの接続パッドにワイヤボンディング接合にて、ＦＰＣ６０を接合し、外部回路と接続した。
【００７７】
そして、測温抵抗体３５によってヘッド温度を検出し、検出したヘッド温度に基づいて加熱手段９０に給電する電流又は電圧を制御することで、個別液室６の液体を目標とする温度に加熱し、液体粘度を制御することで、滴吐出特性を高精度に制御することができる。
【００７８】
次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例について図１０を参照して説明する。
【００７９】
ここでは、図１０（ｆ）に示すように、圧電体膜３１２をドライエッチング法でパターニングし、圧電層１２を形成するとき、併せて、加熱手段９０上に形成する層９２のパターンも形成している点が前記図９で説明した工程と異なる。その他の説明は省略する。
【００８０】
次に、本発明に係る画像形成装置の一例について図１１を参照して説明する。図１１は同画像形成装置の平面説明図である。
【００８１】
この画像形成装置は、シリアル型インクジェット記録装置であり、図示しない左右の側板に横架した主ガイド部材４０１及び図示しない従ガイド部材でキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して主走査方向（キャリッジ移動方向）に往復移動する。
【００８２】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド４０４を搭載している。記録ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出する４列のノズル列４０４ｎを有している。また、記録ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列４０４ｎを主走査方向と直交する副走査方向に配置し、滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００８３】
一方、用紙４１０を搬送するために、用紙を静電吸着して記録ヘッド４０４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト４１２を備えている。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３とテンションローラ４１４との間に掛け渡されている。
【００８４】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。この搬送ベルト４１２は、周回移動しながら図示しない帯電ローラによって帯電（電荷付与）される。
【００８５】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に記録ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置され、他方側には搬送ベルト４１２の側方に記録ヘッド４０４から空吐出を行う空吐出受け４２１がそれぞれ配置されている。
【００８６】
維持回復機構４２０は、例えば記録ヘッド４０４のノズル面（ノズル４が形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２０ａ、ノズル面を払拭するワイパ部材４２０ｂなどで構成されている。
【００８７】
また、キャリッジ４０３の主走査方向に沿って両側板間に、所定のパターンを形成したエンコーダスケール４２３を張装し、キャリッジ４０３にはエンコーダスケール４２３のパターンを読取る透過型フォトセンサからなるエンコーダセンサ４２４を設けている。これらのエンコーダスケール４２３とエンコーダセンサ４２４によってキャリッジ４０３の移動を検知するリニアエンコーダ（主走査エンコーダ）を構成している。
【００８８】
また、搬送ローラ４１３の軸にはコードホイール４２５を取り付け、このコードホイール４２５に形成したパターンを検出する透過型フォトセンサからなるエンコーダセンサ４２６を設けている。これらのコードホイール４２５とエンコーダセンサ４２６によって搬送ベルト４１２の移動量及び移動位置を検出するロータリエンコーダ（副走査エンコーダ）を構成している。
【００８９】
このように構成したこの画像形成装置においては、図示しない給紙トレイから用紙４１０が帯電された搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【００９０】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０にインク滴を吐出して１行分を記録する。そして、用紙４１０を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙４１０の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙４１０を図示しない排紙トレイに排紙する。
【００９１】
なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。
【００９２】
また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。
【００９３】
また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用いる。
【００９４】
また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
【００９５】
また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。
【符号の説明】
【００９６】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板部材
４  ノズル
６  個別液室
１１  圧電素子
２０  流路基板
５０  保持基板
８０  接合領域
９０  加熱手段
４０３  キャリッジ
４０４  記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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