(57)【要約】【課題】スルーホールの穴埋めと微細な配線パターンの形成を容易に両立できるようにした配線基板及び多層配線基板、配線基板の製造方法を提供する。【解決手段】配線基板は、絶縁材２と、絶縁材２の表面及び裏面の間を貫通するスルーホール２１と、スルーホール２１の壁面に設けられて、スルーホール２１の表面側開口部と裏面側開口部とを導通させるスルーホール導体２４と、表面側開口部の周囲及び裏面側開口部の周囲のそれぞれに設けられるとともに、スルーホール導体２４に接続されるスルーホールランド２５と、絶縁材２の表面側及び裏面側のそれぞれに設けられるとともに、スルーホールランド２５上に載置される蓋めっき導体２８と、絶縁材２の表面及び裏面のそれぞれに形成された配線パターン２９とを備える。スルーホールランド２５の厚みＴ１は１．０μｍ以上１０．０μｍ以下であり、蓋めっき導体２８の面積はスルーホールランド２５の面積より小さい。【選択図】図１
2018098424.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁材と、前記絶縁材の表面及び裏面の間を貫通するスルーホールと、前記スルーホールの壁面に設けられて、前記スルーホールの表面側開口部と裏面側開口部とを導通させるスルーホール導体と、前記表面側開口部の周囲及び前記裏面側開口部の周囲のそれぞれに設けられるとともに、前記スルーホール導体に接続されるスルーホールランドと、前記絶縁材の表面側及び裏面側のそれぞれに設けられるとともに、前記スルーホールランド上に載置される蓋めっき導体と、前記絶縁材の表面及び裏面のそれぞれに形成された配線パターンとを備え、
前記スルーホールランドの厚みは１．０μｍ以上１０．０μｍ以下であり、前記蓋めっき導体の面積は前記スルーホールランドの面積より小さいことを特徴とする配線基板。
【請求項２】
前記スルーホールの内部に充填された樹脂を備え、
前記樹脂と前記スルーホールの壁面との間に前記スルーホール導体が介在することを特徴とする請求項１に記載の配線基板。
【請求項３】
前記配線パターンの幅は２．０μｍ以上２５μｍ以下であり、
前記配線パターンと該配線パターンに隣接する間隙部とを含み、且つ前記スルーホールランドを含まない領域の、前記絶縁材の表面及び裏面のそれぞれにおける導体面積率は５０％以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の配線基板。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の配線基板と、
前記配線基板の表面及び裏面のうち少なくとも一方の面側において、交互に積層された絶縁層及び導体層と、を備えることを特徴とする多層配線基板。
【請求項５】
絶縁材の表面及び裏面の間を貫通するスルーホールを形成する工程と、
前記スルーホールの壁面に、前記スルーホールの表面側開口部と裏面側開口部とを導通させるスルーホール導体を形成する工程と、
前記絶縁材の前記表面側開口部の周囲と前記裏面側開口部の周囲とのそれぞれに、前記スルーホール導体に接続されるスルーホールランドを形成する工程と、
セミアディティブ工法によって、前記絶縁材の表面側及び裏面側のそれぞれに、前記スルーホールランド上に載置される蓋めっき導体及び配線パターンを形成する工程と、を備え、
前記スルーホールランドの厚みを１．０μｍ以上１０．０μｍ以下にするとともに、前記蓋めっき導体の面積はスルーホールランドの面積よりも小さくすることを特徴とする配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板、多層配線基板、及び配線基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の多層プリント配線板の製造方法としては、配線形成された導体層（配線層）と絶縁層（層間絶縁層）とを交互に積み上げていく、ビルドアップ方式が広く用いられている。ビルドアップ方式における層間導通および配線形成は、メカニカルドリルによる貫通孔形成、貫通孔内壁へのめっき、樹脂充填、必要に応じて蓋めっきを行い、続いてサブトラクティブ工法により実施するのが一般的である。
【０００３】
また近年、電子機器の小型化・高性能化に伴い、電子部品を実装する多層プリント配線板も導体配線の微細化・高精度化が望まれている。このような中、貫通孔形成、貫通孔内壁へのめっきを従来と同様に行い、配線形成をセミアディティブ工法により行う技術が提案されている（特許文献１及び２参照）。セミアディティブ工法は、サブトラクティブ工法よりも微細なパターンを形成することが可能な工法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２００５／０２２９７０号
【特許文献２】特許第５５６５９５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の工法には以下のような問題点があった。
すなわち、特許文献１記載の技術では、絶縁層から成る基板にスルーホールを形成し、めっきにより表裏の導通を形成し、サブトラクティブ工法によるスルーホールランド形成を行い、感光性樹脂によってスルーホールの穴埋め樹脂充填を行い、その上にあらためてセミアディティブ工法により蓋めっきおよび配線の形成を行う。この方法で形成される多層プリント配線板は、一般的に１０〜１５μｍより厚いめっき導体、一般的に１０〜２０μｍが基板の表面及び裏面に被着されるため、薄型化の困難な構造となる。また、基板表裏の導体厚が厚くなることにより、サブトラクティブ工法における配線形成のためのエッチング量が嵩むことでエッチングレジストの下に回りこむ形のサイドエッチング量も大きくなり、配線の微細化を妨げることになる。
また、スルーホールに充填した感光性樹脂の硬化収縮量によっては、スルーホール開口部周囲の樹脂が突出したままになるか、スルーホールランドと比べて凹んでしまう。この上に形成するビルドアップ層において、スルーホール上にビアを形成する場合、この凹凸はビア形成不良につながり接続不良の原因になる。
【０００６】
また、スルーホールランドの上にセミアディティブ工法による蓋めっきをどのように重ねるかについては、特許文献１においては考慮されていないが、特許文献２のようにスルーホールランドを被覆するかたちでセミアディティブ工法による蓋めっきを形成する構造が提案されている。この構造においては、ある位置精度をもって形成されるスルーホールに対して、サブトラクティブ工法のフォトリソグラフィの位置合わせ精度およびエッチングによる配線細りを考慮した大きさにスルーホールランドを形成し、さらにその上にセミアディティブ工法における配線形成精度を考慮した蓋めっきを重ねるため、最終的に形成されるランドのサイズは、それぞれの工程のマージンの分大きくなるため、配線の微細化を妨げることになる。
そこで、本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、スルーホール（貫通孔）の穴埋めと微細な配線パターンの形成を容易に両立できるようにした配線基板、多層配線基板、及び配線基板の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、発明者は鋭意研究を行った。すなわち、スルーホールの狭ピッチ化のための障害のうち配線形成エッチング時のサイドエッチング量が嵩むことに対して、これを低減させるため該当のエッチングを蓋めっき前に行うこと、またスルーホールランド自体の厚みを薄くする構成を採用した（図７（ｂ）におけるスルーホールランド２５の厚みＴ１を図６（ｂ）におけるスルーホールランド１２５の厚みより薄くする）。図６および図７に示すサイドエッチング量Ｓ１とＳ２の関係がＳ１＞Ｓ２となる。サイドエッチング量が嵩むとスルーホールランド径のばらつきも大きくなるが、本発明の構成だとサイドエッチング量が小さく抑えられるため、スルーホールランド径のばらつきも小さく抑えられる。図６及び図７については、後に詳述する。
【０００８】
また、スルーホール周辺を覆う導体パターンの小径化に関しては、スルーホール形成・スルーホールランド形成・蓋めっき導体形成それぞれの内外の位置関係を精査し、比較的位置精度の低いスルーホールに対して、形成される径のばらつきの一番大きなスルーホールランドを最も大きく被せる構成を採用することにより、位置合わせ不良による接続信頼性の低下を抑制しつつ小径化が実現できることを知見した。
【０００９】
すなわち、本発明の一態様に係る配線基板は、絶縁材と、前記絶縁材の表面及び裏面の間を貫通するスルーホールと、前記スルーホールの壁面に設けられて、前記スルーホールの表面側開口部と裏面側開口部とを導通させるスルーホール導体と、前記表面側開口部の周囲及び前記裏面側開口部の周囲のそれぞれに設けられるとともに、前記スルーホール導体に接続されるスルーホールランドと、前記絶縁材の表面側及び裏面側のそれぞれに設けられるとともに、前記スルーホールランド上に載置される蓋めっき導体と、前記絶縁材の表面及び裏面のそれぞれに形成された配線パターンとを備え、前記スルーホールランドの厚みは１．０μｍ以上１０．０μｍ以下であり、  前記蓋めっき導体の面積は前記スルーホールランドの面積より小さいことを特徴とする。
【００１０】
本発明の別の態様に係る多層配線基板は、上記の配線基板と、前記配線基板の表面及び裏面のうち少なくとも一方の面側において、交互に積層された絶縁層及び導体層と、を備えることを特徴とする。
本発明のさらに別の態様に係る配線基板の製造方法は、絶縁材の表面及び裏面の間を貫通するスルーホールを形成する工程と、前記スルーホールの壁面に、前記スルーホールの表面側開口部と裏面側開口部とを導通させるスルーホール導体を形成する工程と、前記絶縁材の前記表面側開口部の周囲と前記裏面側開口部の周囲とのそれぞれに、前記スルーホール導体に接続されるスルーホールランドを形成する工程と、セミアディティブ工法によって、前記絶縁材の表面側及び裏面側のそれぞれに、前記スルーホールランド上に載置される蓋めっき導体及び配線パターンを形成する工程と、を備え、前記スルーホールランドの厚みを１．０μｍ以上１０．０μｍ以下にするとともに、前記蓋めっき導体の面積はスルーホールランドの面積よりも小さくすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の一態様によれば、スルーホールの穴埋めと微細な配線パターンの形成を容易に両立することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係る配線基板の部分断面図である。
【図２】図１に示す配線基板の製造工程を示し、（ａ）は絶縁材の表面及び裏面のそれぞれに銅箔が形成された基板を準備する工程を示す断面図、（ｂ）は基板の所望の位置にスルーホールを形成する工程を示す断面図、（ｃ）は基板の表面及び裏面の全面及びスルーホールの壁面に導体を形成する工程を示す断面図である。
【図３】図１に示す配線基板の製造方法を示し、（ａ）は図２（ｃ）で示す工程に続いてスルーホールに穴埋め樹脂を充填する工程を示す断面図、（ｂ）は基板の表面側及び裏面側のそれぞれにおいて表層導体の厚みＴ１を１．０〜１０μｍとする工程を示す断面図、（ｃ）は基板の表面側及び裏面側のそれぞれにおいてエッチングレジストを形成する工程を示す断面図である。
【図４】図１に示す配線基板の製造方法を示し、（ａ）は図３（ｃ）で示す工程に続いて基板の表面側及び裏面側のそれぞれにおいて表層導体のエッチングレジストで覆われていない部分の銅をエッチング除去するとともにエッチングレジストを除去し、スルーホール導体及びスルーホールランドを形成する工程を示す断面図、（ｂ）は基板の表面側及び裏面側のそれぞれにおいて無電解銅めっきを形成する工程を示す断面図、（ｃ）は基板の表面側及び裏面側のそれぞれにおいてめっきレジストを形成する工程を示す断面図である。
【図５】図１に示す配線基板の製造方法を示し、（ａ）は図４（ｃ）で示す工程に続いて基板の表面側及び裏面側のそれぞれにおいて電解銅めっき処理を施すとともに、めっきレジストを除去し、蓋めっき導体及び配線パターンを形成する工程を示す断面図、（ｂ）は基板の表面側及び裏面側のそれぞれにおいて、無電解銅めっきのうち、蓋めっき導体及び配線パターンから露出している部分をエッチング除去する工程を示す断面図である。
【図６】従来の配線基板の製造工程を示し、（ａ）はスルーホールに穴埋め樹脂を充填した基板の表面側及び裏面側において表層導体の厚みを所定の厚みにした後、蓋めっき導体となる電解銅めっき処理を施し、更に、エッチングレジストを形成する工程を示す断面図、（ｂ）は基板の表面側及び裏面側において無電解銅めっき及び表層導体のエッチングレジストで覆われていない部分の銅をエッチング除去し、スルーホールランド及び蓋めっき導体を形成する工程を示す断面図である。
【図７】図１に示す配線基板の、図６に対比した製造工程を示し、（ａ）はスルーホールに穴埋め樹脂を充填した基板の表面側及び裏面側において表層導体の厚みを１．０〜１０μｍとした後、エッチングレジストを形成する工程を示す断面図（図３（ｃ）と同様の断面図）、（ｂ）は基板の表面側及び裏面側のそれぞれにおいて表層導体のエッチングレジストで覆われていない部分の銅をエッチング除去し、スルーホールランドを形成する工程を示す断面図（図４（ａ）においてエッチングレジストを除去していない状態の断面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
＜実施形態＞
本発明の一実施形態に係る配線基板は、図１に示されており、この配線基板は、平板形状を有する絶縁材２と、絶縁材２の表面（図１における上側の面）及び裏面の間を貫通するスルーホール２１と、スルーホール２１の壁面に設けられて、スルーホール２１の表面側開口部と裏面側開口部とを導通させるスルーホール導体２４と、表面側開口部の周囲及び裏面側開口部の周囲のそれぞれに設けられるとともに、スルーホール導体２４に接続されるスルーホールランド２５と、絶縁材２の表面側及び裏面側のそれぞれに設けられるとともに、スルーホールランド２５上に載置される蓋めっき導体２８とを備えている。
【００１４】
ここで、スルーホールランド２５は、絶縁材２の表面あるいは裏面上に形成された銅箔２５ａ及び銅箔２５ａ上に形成された銅製の導体２５ｂで構成され、スルーホール導体２４からスルーホール２１の表面側開口部あるいは裏面側開口部の周囲に延びるように形成されている。
このスルーホールランド２５の厚みＴ１は、１．０μｍ以上１０．０μｍ以下である。また、蓋めっき導体２８の面積はスルーホールランド２５の面積より小さくなっている。
【００１５】
スルーホールランド２５の厚みＴ１を１．０μｍ以上１０．０μｍ以下とすることにより、サブトラクティブ工法のエッチング量、サイドエッチング量を低減することができ、これにより、スルーホールランド２５の直径のばらつきを抑制でき、配線の微細化を図ることができる。スルーホールランド２５の厚みＴ１が１．０μｍを下回ると、その後の工程のエッチングによりスルーホールランド２５が大きく形を崩してしまう恐れがある。一方、スルーホールランド２５の厚みＴ１が１０μｍよりも大きいと、サブトラクティブ工法のエッチング量を低減することによる配線の微細化効果が小さくなる。また、蓋めっき導体２８の面積をスルーホールランド２５の面積より小さくすることにより、スルーホールの周辺を覆う導体パターンを小型化することができきる。
また、スルーホール２１の内部には、充填された穴埋め樹脂（樹脂）２２を備え、この穴埋め樹脂２２とスルーホール２１の壁面との間にスルーホール導体２４が介在するようになっている。
【００１６】
そして、絶縁材２の表面及び裏面のそれぞれには、導電性を有する配線パターン２９が形成されている。この配線パターン２９の幅は２．０μｍ以上２５μｍ以下となっている。そして、絶縁材２の表面及び裏面のそれぞれにおいて、配線パターン２９と配線パターン２９に隣接する間隙部とを含み、且つスルーホールランド２５を含まない領域の、絶縁材２の表面及び裏面のそれぞれにおける導体面積率、つまり、絶縁材２の表面及び裏面におけるスルーホールランド２５を含まない領域における配線パターン２９の導体面積率は、５０％以下となっている。
【００１７】
配線パターン２９の幅を２．０μｍよりも小さくすると、寸法のばらつきが大きくなり、配線パターン２９を高精度に形成することが困難である。一方、配線パターン２９の幅が２５μｍよりも大きかったり、前述の配線パターン２９の導体面積率が５０％よりも大きいと、蓋めっき導体２８と配線パターン２９との電流集中の度合いの差が小さく、蓋めっき導体２８の導体厚と配線パターン２９の導体厚との差が生じ難いため、望ましくない。
なお、図１において、符号４は、無電解銅めっきであり、絶縁材２と配線パターン２９との間及びスルーホールランド２５と蓋めっき導体２８との間に形成される。
【００１８】
次に、図１に示す配線基板の製造方法について、図２乃至図５を参照して説明する。
配線基板の製造に際し、先ず、図２（ａ）に示すように、まず、絶縁材２の表面及び裏面のそれぞれに銅箔１が形成された基板を用意する。この基板は、銅箔１、絶縁材２、銅箔１をこの順に重ねて熱圧着処理を行うことにより形成することができる。銅箔１はエッチング等により０．１〜６μｍ厚まで薄化する。この銅箔１は、後の工程で前述のスルーホールランド２５を構成する銅箔２５ａとなる。
【００１９】
次に、図２（ｂ）に示すように、メカニカルドリルによって、基板の所望の位置にスルーホール２１を形成する。ドリルビットのサイズの制約上、スルーホール２１の直径Ｄ１は７５μｍ〜３００μｍ程度である。
続いて、図２（ｃ）に示すように、基板の表面及び裏面の全面とスルーホール２１の壁面に厚さ０．５〜１．０μｍ程度無電解銅めっき処理を行った後、電解銅めっき処理にて、基板の表面及び裏面の全面とスルーホール２１の壁面とに５〜２０μｍ程度の導体３を形成する。この導体３により、スルーホール２１の表面側開口部と裏面側開口部とが導通する。導体３は、後の工程でスルーホール導体２４及びスルーホールランド２５を構成する銅製の導体２５ｂとなる。
【００２０】
次に、図３（ａ）に示すように、導体３で導通させたスルーホール２１に、スクリーン印刷工法などにより穴埋め樹脂２２を充填する。穴埋め樹脂２２を印刷後にキュアすると、穴埋め樹脂２２は硬化収縮により縮む。このため、穴埋め樹脂２２は基板の表面側及び裏面側にそれぞれ５μｍ以上張り出すように印刷する。
次に、基板の表面側及び裏面側にそれぞれ物理研磨を実施する。これにより、図３（ｂ）に示すように、基板の表面側及び裏面側のそれぞれにおいて、表層導体（すなわち、銅箔１及び導体３）の厚みＴ１を１．０〜１０μｍとする。この厚みＴ１は、前述のスルーホールランド２５の厚みＴ１であり、１．０μｍを下回ると、その後の工程のエッチングによりスルーホールランド２５が大きく形を崩してしまう恐れがある。また、厚みＴ１は１０μｍを超えると、本発明の効果である、サブトラクティブ工法のエッチング量を低減することによる配線の微細化効果が小さくなる。発明の効果を得るには、厚みＴ１は４μｍ〜８μｍであることがより望ましい。
【００２１】
次に、図３（ｃ）に示すように、基板の表面側及び裏面側のそれぞれにおいて、スルーホール２１とその周囲の領域を覆い、それ以外の領域を露出させるエッチングレジスト２３を形成する。エッチングレジスト２３は、ドライフィルム状のものをラミネータによって貼りあわせ、露光・現像することによりパターン形成する。
続いて、表層導体（銅箔１及び導体３）のエッチングレジスト２３で覆われていない部分の銅をエッチング除去し、その後、図４（ａ）に示すようにエッチングレジスト２３を除去し、スルーホール導体２４及びスルーホールランド２５を形成する。エッチング液としては、下地の樹脂との相性により、塩化銅、塩化鉄、過酸化水素・硫酸系、過硫酸ナトリウム等の薬液から選択できる。スルーホールランド２５の直径Ｄ２は、図２（ｂ）に示したスルーホール２１の直径（Ｄ１）よりも７０μｍ以上大きく仕上がるようにする。
【００２２】
次に、図４（ｂ）に示すように、スルーホール導体２４及びスルーホールランド２５が形成された基板の表面側及び裏面側に、この後に行うパターンめっきの給電層として、無電解銅めっき４を形成する。無電解銅めっき４の厚みは０．２〜０．９μｍ程度で充分である。必要に応じて絶縁材２の表面及び裏面には無電解銅めっき４のつきまわりがよいプライマーレジンを設けておく。
【００２３】
次に、図４（ｃ）に示すように、基板の表面側及び裏面側のそれぞれにめっきレジスト５を形成する。このめっきレジスト５は、セミアディティブ工法のマスクに用いられる。セミアディティブ工法では、所望のパターンを形成する予定領域をめっきレジスト５下から露出させ、所望のパターンを形成する予定領域以外の領域はめっきレジスト５で被覆する。
【００２４】
図４（ｃ）に示すレジスト開口部２６、２７は、めっきレジスト５に形成された開口部である。レジスト開口部２６は、蓋めっき導体２８を形成する予定領域である。レジスト開口部２６の直径Ｄ３は、スルーホールランド２５の直径（すなわち、スルーホールランド径）よりも３０μｍ程度小さくする。これにより、蓋めっき導体２８はスルーホールランド２５上からはみ出すことなく形成することができる。また、レジスト開口部２７は、配線パターン２９を形成する予定領域である。
【００２５】
次に、めっきレジスト５が形成された基板に電解銅めっき処理を行う。これにより、レジスト開口部２６、２７内に蓋めっき導体及び配線パターンを形成する。レジスト開口部２６内に形成された電解銅めっきが蓋めっき導体２８であり、レジスト開口部２７内に形成された電解銅めっきが配線パターン２９である。その後、図５（ａ）に示すように、めっきレジストを除去する。
【００２６】
その後、図５（ｂ）に示すように、無電解銅めっき４のうち、蓋めっき導体２８や配線パターン２９下から露出している部分をエッチング除去する。これにより、図１に示す本発明の一実施形態に係る配線基板が完成する。
セミアディティブ工法により、幅方向の寸法が２０μｍを下回るような微細な配線パターン２９を形成する場合、電解めっき時に電流が集中し、配線パターン２９の厚みＴ２が厚くなる。これに対し、直径１４０μｍを超えるような比較的大きい蓋めっき導体２８を形成する場合、電流は集中しないため、蓋めっき導体２８のめっき厚Ｔ３は比較的薄くなる。一般的に配線パターン２９の厚みＴ２と蓋めっき導体２８のめっき厚Ｔ３との差は、めっき浴の特性によって決まるが、スルーホールランド２５の厚みＴ１を調整することで、スルーホール周りの導体の高さＴ４を調整することができる。
【００２７】
すなわち、本発明の実施形態においては、予め設けたスルーホールランド２５が厚みＴ１で存在する。このため、スルーホールランド２５の厚みＴ１と無電解銅めっき４の厚みと蓋めっき導体２８のめっき厚Ｔ３とを加えた厚み（すなわち、Ｔ４の厚み）で、スルーホール周りの導体を形成することができる。また、スルーホール２１上に限らず、例えばグランド導体パターン中の任意の位置に、図３（ｃ）に示したエッチングレジスト２３を形成することで、任意の位置における導体の厚みをスルーホールランド２５の厚みＴ１分底上げすることが可能である。
この後は、配線基板の表面及び裏面のうち少なくとも一方の面側において、絶縁層と導体層とを交互に積層する。また、この積層の過程で、層間導通形成・回路形成を行う工程を適宜繰り返す。これにより、多層配線基板（多層プリント配線板）が完成する。
【００２８】
＜実施形態の効果＞
本発明の実施形態によれば、スルーホールランドになる導体が薄い（Ｔ１）ためスルーホールランド形成のためのエッチング量が抑えられ、スルーホールを従来より狭ピッチで形成することが出来る。
これについて、図６及び図７を参照して説明する。
【００２９】
図６には、従来の配線基板の製造工程が示されており、図６（ａ）は絶縁材１０２に形成されたスルーホール１２１に穴埋め樹脂１２２を充填した基板の表面側及び裏面側において表層導体（銅箔１０１及び銅製の導体１０３）の厚みを所定の厚みにした後、蓋めっき導体１２８となる無電解銅めっき１０４処理を施し、更に、エッチングレジスト１２３を形成する工程を示している。そして、図６（ａ）に示す状態から図６（ｂ）に示すように、基板の表面側及び裏面側において無電解銅めっき１０４及び表層導体（銅箔１０１及び銅製の導体１０３）のエッチングレジスト１２３で覆われていない部分の銅をエッチング除去し、スルーホールランド１２５及び蓋めっき導体１２８を形成する。図６（ｂ）において、符号１２５ａは、スルーホールランド１２５を形成する銅箔、符号１２５ｂは銅箔２５ａ上に形成された銅製の導体である。
【００３０】
ここで、無電解銅めっき１０４及び表層導体（銅箔１０１及び銅製の導体１０３）のエッチングレジスト１２３で覆われていない部分の銅をエッチング除去する際に、エッチングレジスト１２３の下の銅の部分の厚みは、スルーホールランド１２５の厚みと蓋めっき導体１２８の厚みとを加えた厚みＴ１１となる。
これに対して、図７には、本実施形態の図１示す配線基板の、図６に対比した製造工程が示されており、図７（ａ）はスルーホール２１に穴埋め樹脂２２を充填した基板の表面側及び裏面側において表層導体（銅箔１及び銅製の導体３）の厚みを１．０〜１０μｍとした後、エッチングレジスト２３を形成する工程を示している。そして、図７（ａ）に示す状態から図７（ｂ）に示すように、基板の表面側及び裏面側のそれぞれにおいて表層導体（銅箔１及び銅製の導体３）のエッチングレジスト２３で覆われていない部分の銅をエッチング除去し、スルーホールランド２５を形成する。
【００３１】
ここで、表層導体（銅箔１及び銅製の導体３）のエッチングレジスト２３で覆われていない部分の銅をエッチング除去する際に、エッチングレジスト２３の下の銅の部分の厚みは、スルーホールランド２５の厚みＴ１である。このスルーホールランド２５の厚みＴ１は、従来のスルーホールランド１２５の厚みと蓋めっき導体１２８の厚みとを加えた厚みＴ１１よりも薄いのみならず、１．０〜１０μｍであり、スルーホールランド１２５自体の厚みよりも薄くなっている。
【００３２】
このため、図６（ｂ）及び図７（ｂ）を対比して示すように、本実施形態におけるサイドエッチング量Ｓ２が従来のサイドエッチング量Ｓ１よりも小さくなり、本実施形態においてはスルーホールランド形成のためのエッチング量が抑えられ、スルーホールを従来より狭ピッチで形成することが出来る。
また、本実施形態においては、蓋めっき導体２８及び配線パターン２９の形成をセミアディティブ工法で行う。これにより、配線・間隙の幅が３０μｍを下回るような、従来よりも微細な配線パターン２９を形成することができる。
【００３３】
また、本実施形態においては、蓋めっき導体２８及び配線パターン２９を形成する前に、予め、スルーホール２１の周りに厚みＴ１の表層導体を形成しておく。これにより、めっき時に電流が集中してめっき厚が厚くなりがちな配線パターン２９に対して、電流の集中度合いが小さくてめっき厚が薄くなりがちな蓋めっき導体２８と、ベタ部の（絶縁材２の表面又は裏面からの）各高さを高くすることができる。このため、配線パターン２９の厚みＴ２、スルーホール２１の回りの導体厚、ベタ部の間で、高さのばらつきを小さくすることができる。
【００３４】
また、本実施形態においては、導体３で導通させたスルーホール２１に、スクリーン印刷工法などにより穴埋め樹脂２２を充填する。このとき、穴埋め樹脂２２は基板の表面側及び裏面側にそれぞれ５μｍ以上張り出すように印刷する。その後、穴埋め樹脂２２をキュアし、研磨する。この研磨により、穴埋め樹脂２２と導体３の高さが揃う。これにより、スルーホールランド２５がおおきく凹んだり突出することがない。したがって、スルーホールランド２５と、その上に形成されるビルドアップ層とのビア接続不良を少なくすることができる。
以上より、スルーホール２１の穴埋めと微細な配線パターン２９の形成を容易に両立することができる。その結果、完成品として実装性が高く微細な配線を有する配線基板と多層プリント配線板とを高い収率で製造することができる。
【００３５】
＜その他の実施形態＞
以上説明した本発明の実施形態は単なる例示に過ぎず、本発明を限定するものではない。したがって本発明は、その要旨を逸脱しない範囲での改変が可能である。
例えばスルーホール２１をレーザー加工によって形成してもよいし、スルーホール２１の穴埋めの充填材に導電性ペーストを使用してもよい。また、エッチングレジスト２３およびめっきレジスト５は液状のものをスピンコートやロールコートによって基板上に形成してもよい。また、図４（ｂ）の無電解銅めっき４と穴埋め樹脂２２との密着性が悪い場合、図４（ａ）に示す基板全面に樹脂粗化処理を行ってもよい。
【実施例】
【００３６】
（実施例）
下記に示す工程で、配線基板を作成した。
両面銅張積層板として絶縁材２にガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸漬したもの（絶縁層厚８００μｍ  プライマーレジンつき銅箔厚１２μｍ）を使用し、両面に過酸化水素・硫酸系エッチング液により銅箔１の厚みを３μｍまで薄化した（図２（ａ））。
【００３７】
次に、基板の所望の位置にメカニカルドリルにより直径１０５μｍのスルーホール２１を形成した（図２（ｂ））。
続いて、過マンガン酸ナトリウムを含む水溶液によりスルーホール２１内のデスミア処理を行ったのち、無電解銅めっきにより０．５μｍ厚の銅薄膜（導体３）を基板全面に形成し、スルーホールめっき用のハイスロー浴を使用して電解銅めっきを厚さ１０μｍ分実施した（図２（ｃ））。
【００３８】
さらに、スルーホール２１内に穴埋め専用の絶縁樹脂（穴埋め樹脂２２）をスクリーン印刷機によって埋め込み（図３（ａ））、ベルトサンダー装置により両面を平滑に研磨し、導体厚（Ｔ１）を３μｍとした（図３（ｂ））。
そして、基板両面に、エッチングレジスト２３として、厚さ１５μｍのドライフィルムレジストをホットロールラミネータによりラミネートし、ガラスマスク、密着露光機によりパターン露光した（メーカー推奨露光量にて）。
【００３９】
続いて、コンベア・スプレー装置による現像（ブレイクポイントの２．５倍時間処理）（図３（ｃ））、塩化第二銅を使用したスプレーエッチング（ジャストエッチング）、同じくスプレーによるレジスト剥離（リフティングポイントの４倍時間処理）を一貫ラインにより実施し、図４（ａ）のようにスルーホールランド２５を形成した。
基板全面に過マンガン酸ナトリウム水溶液を施して穴埋め樹脂２２の表面を粗化し、セミアディティブ用無電解銅めっきを２０分間実施し、１．０μｍ厚の無電解銅めっき４を形成した（図４（ｂ））。
【００４０】
めっきレジスト５としてドライフィルム（２５μｍ厚  高解像度品）をホットロールラミネータにより貼り付け、ステッパー露光機により露光し（メーカー推奨露光量）、コンベア・スプレー装置により現像（ブレイクポイントの２．５倍時間処理）を行った（図４（ｃ））。
次いで、パターンめっき用電解銅めっき装置を用いてパターンめっきを行い、スプレー装置を用いて剥離（アミン系剥離液  リフティングポイントの４倍処理）を行い、蓋めっき導体２８及び配線パターン２９を形成した（図５（ａ））。
【００４１】
続いて、給電層の無電解銅めっき４を過酸化水素・硫酸系エッチング液により除去した（図５（ｂ））。
以上の方法で形成した配線基板は、広いスペースの中に独立して敷設されている配線パターン２９（図５（ｂ）参照）を配線／間隙＝１０／１０μｍの設計通りに形成することができた。また、蓋めっき導体２８（図５（ｂ）参照）を、直径１８０μｍの設計通りに形成することができた。配線パターン２９の高さ（すなわち、無電解銅めっき４の厚みと配線パターン２９の厚みＴ２との和）は１８μｍ、スルーホールランド２５と蓋めっき導体２８の高さの合計Ｔ４は１９μｍに仕上がった。
【００４２】
１ｍｍ方眼程度に局所的にみて銅面積率５０％を下回る部分の配線パターン２９の厚みＴ２と、広い面積をもつ蓋めっき導体２８の厚みＴ３については、通常のビアフィル・パターンめっき用電解銅めっき装置で１５μｍ程度形成すると、蓋めっき導体２８の厚みＴ３に比べて配線パターン２９の厚みＴ２の方が３〜４μｍ程度厚くなる。しかし、本例ではスルーホール部分に合計４μｍのスルーホールランド２５の厚みＴ１を追加することで、蓋めっき導体２８の高さＴ４を、配線パターン２９の高さ（すなわち、無電解銅めっき４の厚みと配線パターン２９の厚みＴ２との和）に近づけることができた。
以上により、スルーホール２１と微細な配線パターン２９が形成されており、ビルドアップ層の下地として平坦性の高い、多層プリント配線板のコア層（配線基板）を作製することができた。
【００４３】
（比較例１）
なお、スルーホールランド２５の厚みＴ１に関して、１．０μｍを下回るような研磨を行うことは可能だが、本発明の実施形態の効果である厚みＴ４の制御の効果がなくなるため、これを採用することは不可能であった。
（比較例２）
また、スルーホールランド２５の厚みＴ１が１０μｍを超えると、そのパターンがめっきレジスト形成時にロール表面に傷をつける可能性があり、またパターンめっき時に前記厚みＴ４が２５μｍを超えて、めっきレジストの解像度が犠牲になる懸念がある。そのため、本発明における実用に適さないものであった。
【００４４】
（比較例３）
また、スルーホールランド２５の直径Ｄ２＜レジスト開口部２６の直径Ｄ３となるような設計は、スルーホールピッチを狭くできる本発明の主旨を逸脱するため推奨されないうえ、セミアディティブ工法におけるめっき時に、めっきレジスト５とスルーホールランド２５の間を充分にとらないと、ごく狭い隙間が生じてめっき液の交換不良のためめっき導体が形成されない不具合が発生するため、本発明において採用することはできない。
【００４５】
（比較例４）
また、図５（ａ）において、配線パターン２９の幅Ｗ２やＷ４が２５μｍより大きくなるような設計、またはセミアディティブのみによって形成される配線パターン２９の導体面積率、たとえば図５（ａ）に示す（Ｗ２＋Ｗ４）／（Ｗ１＋Ｗ２＋Ｗ３＋Ｗ４＋Ｗ５）の百分率が５０％より大きくなる設計は、蓋めっき導体２８と配線パターン２９との電流集中の度合いの差が小さく、導体厚に差が生じないため、本発明において、これを採用することは推奨されない。
【００４６】
（結論）
実施例と比較例１〜４とを比較して、表層導体の研磨後の厚み（スルーホールランド２５の厚み）Ｔ１は、１．０以上、１０μｍ以下である必要がある、ということがわかった。
また、蓋めっき導体２８をセミアディティブ工法で形成する場合、蓋めっき導体２８の直径Ｄ４はスルーホールランド２５の直径Ｄ２より小さい（Ｄ２＞Ｄ４）ことが必要である、ということがわかった。
【００４７】
また、配線パターン２９の幅Ｗ２やＷ４は２５μｍ以下である必要がある、ということがわかった（なお、Ｗ２やＷ４は２．０μｍ以上であることが好ましい。Ｗ２やＷ４が２．０μｍ未満の場合、寸法のばらつきが大きくなり、高精度に形成することが困難なためである。）。
また、例えば図５（ａ）に示す領域Ａにおいて、導体面積率は５０％以下である必要がある、ということがわかった。なお、領域Ａは、配線パターン２９とこれに隣接する間隙部とを含み、且つ蓋めっき導体２８を含まない領域である。間隙部は、断面視で互いに隣り合う配線パターン２９間の隙間や、互いに隣り合う配線パターン２９と蓋めっき導体２８との間の隙間である。
【符号の説明】
【００４８】
１  銅箔
２  絶縁材
３  導体
４  無電解銅めっき
５  めっきレジスト
２１  スルーホール
２２  穴埋め樹脂
２３  エッチングレジスト
２４  スルーホール導体
２５  スルーホールランド
２５ａ  銅箔
２５ｂ  導体
２６  レジスト開口部
２７  レジスト開口部
２８  （セミアディティブ工法によって形成された）蓋めっき導体
２９  （セミアディティブ工法によって形成された）配線パターン
１０１  銅箔
１０２  絶縁材
１０３  導体
１０４  無電解銅めっき
１２１  スルーホール
１２２  穴埋め樹脂
１２３  エッチングレジスト
１２４  スルーホール導体
１２５  スルーホールランド
１２５ａ  銅箔
１２５ｂ  導体
１２８  蓋めっき導体
Ａ  領域（配線パターンと間隙部とを含み、且つ蓋めっき導体を含まない
領域）
Ｄ１  スルーホールの直径
Ｄ２  スルーホールランドの直径
Ｄ３  レジスト開口部の直径
Ｄ４  蓋めっき導体の直径
Ｓ１  従来工法のサイドエッチング量
Ｓ２  本発明でのサイドエッチング量
Ｔ１  スルーホールランドの厚み（研磨後の表層導体（銅箔１及び導体３）の厚み）
Ｔ２  配線パターンの厚み
Ｔ３  蓋めっき導体の厚み
Ｔ４  蓋めっき導体の高さ（Ｔ１と無電解銅めっき４の厚みとＴ３とを加
えた厚み）
Ｔ１１  スルーホールランドの厚みと蓋めっき導体の厚みとを加えた厚み
Ｗ１、Ｗ３、Ｗ５  間隙部の幅
Ｗ２、Ｗ４  配線パターンの幅
【図１】
2018098424.tif 000003
【図２】
2018098424.tif 000004
【図３】
2018098424.tif 000005
【図４】
2018098424.tif 000006
【図５】
2018098424.tif 000007
【図６】
2018098424.tif 000008
【図７】
2018098424.tif 000009