(57)【要約】【課題】リードフレーム基材となる金属板にＰＰＦめっき層を形成後、リードフレーム形状をエッチング加工する方法により製造されるＱＦＮタイプのリードフレームにおいて、製造コストの増加や製造効率の低下を抑えることができ、且つ、ＰＰＦめっき層のバリの折れを防止可能なリードフレームを提供する。【解決手段】金属板１に、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部２を区画する凹部３が形成され、柱状部の上部には、柱状部の上部に対して順に、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕを積層してなるめっき層４が形成されたリードフレームであって、柱状部の上部は、直線部２１と、隣接する直線部同士の間に位置するＲ部２２を有し、Ｒ部におけるめっき層の側面は、金属板の側面最上部よりも横方向に突出し、直線部中央におけるめっき層の側面は、金属板の側面最上部と横方向の位置が略同じである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板に、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部を区画する凹部が形成され、
前記柱状部の上部には、卑金属と貴金属を積層してなるめっき層が形成されたリードフレームであって、
前記柱状部の上部は、直線部と、隣接する前記直線部同士の間に位置するＲ部を有し、
前記Ｒ部における前記めっき層の側面は、前記金属板の側面最上部よりも横方向に突出し、
前記直線部中央における前記めっき層の側面は、前記金属板の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項２】
前記Ｒ部における前記めっき層の側面は、前記金属板の側面最上部よりも５〜５０μｍ横方向に突出していることを特徴とする請求項１に記載のリードフレーム。
【請求項３】
前記めっき層は、前記柱状部の上部に対して順に、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕが積層されてなり、総厚さが５μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のリードフレーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＱＦＮ型パッケージ(Quad Flat Non-leaded Package)の製造に用いるためのリードフレームに関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯機器向けを中心として、半導体装置（パッケージ）の小型化が進んでいる。そして、パッケージの小型化の要求に対応するリードフレームとして、下側に外部接続端子を形成するＱＦＮ型のリードフレームが提案されている。
【０００３】
この種のリードフレームの端子には、例えば、次の特許文献１に記載されているように、一般に、基材となる銅材の上面に、順に、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕが積層されてなる、いわゆるＰＰＦ(Pre Plating Flame)めっき層が形成されている。
【０００４】
特許文献１に記載のリードフレームは、リードフレームの基材をなす金属板にエッチング等により端子を備えたリードフレーム形状を形成した後、順に、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕめっき層を形成することによって製造されている。
【０００５】
しかし、特許文献１に記載のようにリードフレーム形状を形成後に、めっき層を形成する製造方法では、半導体素子やリードが接続する部位以外の不必要な部位（側面）にも高価なＰｄめっきやＡｕめっき等の貴金属めっきが施されてしまい、コスト高となってしまう。
【０００６】
このような問題を解決するリードフレームとして、本件出願人は、次の特許文献２に記載のように、金属板における端子部に相当する部位に、順に、Ｎｉ、Ｐｄ，Ａｕめっきを施してＰＰＦめっき層を形成した後に、リードフレーム形状を形成する製造方法を提案してきた。
【０００７】
しかし、リードフレーム基材となる金属板の所定部位に、順に、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕめっきを施してＰＰＦめっき層を形成後、リードフレーム形状をエッチング加工する方法で製造するリードフレームには、図４に示すように、エッチング処理時にＮｉめっき層も基材と一緒に所定量エッチングされ易いという問題がある。
Ｎｉ層が所定量エッチングされると、Ｐｄ、Ａｕめっき層が、エッチングされずに残るＮｉめっき層の周囲から所定量突出してバリを形成し、バリが折れ、欠け等して、不良の原因となることがあり、半導体装置の信頼性を落とす要因となる。
【０００８】
しかるに、次の特許文献３には、金属板の所定部位に、順に、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕめっきを施してＰＰＦめっき層を形成後、リードフレーム形状をエッチング加工する方法で製造するリードフレームにおける、Ｎｉめっき層のエッチングによる側面方向の侵食を抑えるために、Ｎｉめっき層を５〜５０μｍの厚さに形成することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−２７０５１２号公報
【特許文献２】特許第４８５２８０２号公報
【特許文献３】特開２０１２−４９３２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、特許文献３に記載のリードフレームのように、Ｎｉめっき層の厚さを増やすと、その分、材料のロスが大きく製造コストが増加する上、Ｎｉめっきの時間が大きくとられて製造効率が低下する。
【００１１】
そこで、本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、リードフレーム基材となる金属板にＰＰＦめっき層を形成後、リードフレーム形状をエッチング加工する方法により製造されるＱＦＮタイプのリードフレームにおいて、製造コストの増加や製造効率の低下を抑えることができ、且つ、ＰＰＦめっき層のバリの折れや欠けを防止可能なリードフレームを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明によるリードフレームは、金属板に、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部を区画する凹部が形成され、前記柱状部の上部には、卑金属と貴金属を積層してなるめっき層が形成されたリードフレームであって、前記柱状部の上部は、直線部と、隣接する前記直線部同士の間に位置するＲ部を有し、前記Ｒ部における前記めっき層の側面は、前記金属板の側面最上部よりも横方向に突出し、前記直線部中央における前記めっき層の側面は、前記金属板の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されていることを特徴としている。
【００１３】
また、本発明のリードフレームにおいては、前記Ｒ部における前記めっき層の側面は、前記金属板の側面最上部よりも５〜５０μｍ横方向に突出しているのが好ましい。
【００１４】
また、本発明のリードフレームにおいては、前記めっき層は、前記柱状部の上部に対して順に、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕが積層されてなり、総厚さが５μｍ以下であるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、リードフレーム基材となる金属板にＰＰＦめっき層を形成後、リードフレーム形状をエッチング加工する方法により製造されるＱＦＮタイプのリードフレームにおいて、製造コストの増加や製造効率の低下を抑えることができ、且つ、ＰＰＦめっき層のバリの折れや欠けを防止可能なリードフレームが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態にかかるリードフレームの凹部により区画される柱状部の構成を示す図で、(a)は平面図、(b)は(a)のＡ−Ａ断面図、(c)は(a)のＢ−Ｂ断面図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかるリードフレーム及び本発明の比較例にかかるリードフレームにおける柱状部の上部に形成されるめっき層の面のサイズ及び形状とめっき層の突出部の形成範囲を示す説明図で、(a)〜(f)は本発明の一実施形態にかかるリードフレームにおける柱状部の上部に形成されるめっき層の面のサイズ及び形状とめっき層の突出部の形成範囲を夫々示す平面図、(g)〜(i)は比較例にかかるリードフレームにおける柱状部の上部に形成されるめっき層の面のサイズ及び形状とめっき層の突出部の形成範囲を夫々示す平面図である。
【図３】本発明の一実施例にかかるリードフレームの凹部により区画される柱状部の構成を示す写真の画像で、(a)は柱状部の側面を斜め上方から示す画像、(b)は柱状部を構成する内部接続端子のＲ部の側面を横方向から示す画像、(c)は内部接続端子の直線部の側面を横方向から示す画像、(d)は柱状部を構成するパッドのＲ部の側面を横方向から示す画像、(c)はパッドの直線部の側面を横方向から示す画像である。
【図４】従来のＰＰＦめっき層を形成後、リードフレーム形状をエッチング加工する方法により製造されるリードフレームのめっき層に生じる問題を模式的に示す説明図で、(a)はエッチング加工前の状態を示す図、(b)はエッチング加工後の状態を示す図である。
【図５】本件発明者が、本件発明を導出する試行錯誤の過程において、めっき層に生じた問題を模式的に示す説明図で、(a)はエッチング加工前の状態を示す図、(b)はエッチング加工後の状態を示す図である。
【図６】本発明の比較例にかかるリードフレームの凹部により区画される柱状部の構成を示す写真の画像で、(a)は柱状部の側面を斜め上方から示す画像、(b)は柱状部の側面を横方向から示す画像、(c)は(b)の一部を拡大して示す画像である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
実施形態の説明に先立ち、本発明のリードフレームの導出過程及びその作用効果について説明する。
上述したように、特許文献２に記載のような、リードフレーム基材となる金属板の所定部位に、順に、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕめっきを施してＰＰＦめっき層を形成（図４(a)参照）後、リードフレーム形状をエッチング加工すると、エッチング処理時にＮｉめっき層も基材と一緒に所定量エッチングされ易い。Ｎｉめっき層がエッチングされると、図４(b)に示すように、Ｐｄ、Ａｕめっき層がエッチングされずに残るＮｉ層の周囲から所定量突出してバリを形成し、バリが折れ、欠け等して、不良の原因となることがある。その結果、このリードフレームを用いて製造した場合、半導体装置の信頼性を落とす要因となる。
また、特許文献３に記載のような、Ｎｉめっき層の厚みを厚くしたリードフレームでは、Ｎｉめっき層の厚みを持たせた分、材料のロスが大きく製造コストが増加する上、Ｎｉめっき時間が大きくとられて製造効率が低下する。
【００１８】
しかるに、本件発明者は、Ｐｄ、Ａｕめっき層が、エッチングされずに残るＮｉめっき層の周囲から所定量突出してバリを形成し、バリが折れ、欠け等して、不良の原因となる問題を解決するための上記以外の方策として、図５(a)に示すように、リードフレーム基材となる金属板と、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕを積層してなるめっき層との間に、Ｎｉめっき層に対するエッチングのバリアとなる層として、金属板の上面に対して順に、Ａｕ、Ｐｄめっきからなる層を設け、全体で、順に、Ａｕ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕを積層してなるめっき層を構成することを着想した。そして、リードフレーム基材となる金属板の所定部位に金属板側から順に、Ａｕ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕめっきを施してＰＰＦめっき層を形成（図５(a)参照）後、リードフレーム形状をエッチング加工し、ＰＰＦめっき層のエッチング状態を観察した。
その結果、金属板がエッチングされて、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部を区画する凹部が形成された後、めっき層の裏面（即ち、バリア層を構成するＡｕめっき層の裏面）は、エッチングされずに残った。しかし、バリア層の上のＮｉめっき層は、側方からエッチングが進行し、バリア層を構成するＡｕ、Ｐｄめっき層と、表面側のＰｄ、Ａｕめっき層が所定量突出してバリを形成し、バリの折れや欠けが生じた。
また、上記方策においては、バリア層を構成するＡｕ、Ｐｄめっき層を形成するためのめっき工程が増えるため、製造コストが増大し、製造効率が低下することが問題となった。
【００１９】
これらの結果を踏まえて、本件発明者は、製造コストの増加や製造効率の低下を抑えることができ、且つ、Ｎｉめっきのエッチングの進行を遅らせることのできるエッチング方法について、さらに様々な試行錯誤及び考察検討を重ねた。
試行錯誤及び考察検討を重ねた結果、めっき層が突出して形成されるバリは、柱状部の全周囲に及ぶときに折れや欠けを生じ易いが、断続的に形成された場合には折れや欠けが生じ難いことが判明した。
そこで、本発明者は、めっき層が突出してバリが形成されたとしても、柱状部の全周囲に連続的には形成されないようにエッチングすることで、バリの折れや欠けを抑えることができると考え、本発明を導出するに至った。
【００２０】
本発明のリードフレームは、金属板に、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部を区画する凹部が形成され、柱状部の上部には、順に、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕを積層してなるめっき層が形成されたリードフレームであって、柱状部の上部は、直線部と、隣接する直線部同士の間に位置するＲ部を有し、Ｒ部におけるめっき層の側面は、金属板の側面最上部よりも横方向に突出し、直線部中央におけるめっき層の側面は、金属板の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されている。
なお、本願発明においては、直線部中央におけるめっき層の側面が、金属板の側面最上部と横方向の位置が「略同じ」とは、直線部中央におけるめっき層の側面が、金属板の側面最上部と横方向の位置が一致する他に、直線部中央におけるめっき層の側面が、金属板の側面最上部から横方向へ５μｍ以下の長さで突出している場合を含むものとする。
【００２１】
本発明のリードフレームのようにすれば、Ｒ部におけるめっき層の側面のみが、金属板の側面最上部よりも横方向に突出し、その他の直線部中央におけるめっき層の側面は金属板の側面最上部よりも横方向に略突出せず、全周囲にわたって横方向に大きく突出するバリが連続的には形成されず、横方向に大きく突出するバリの形成箇所が断続的且つ最小範囲に抑えられる。直線部中央におけるめっき層の側面は、略同じ位置に残存する金属板に補強されるため、金属板の側面最上部から横方向へ僅かに突出してバリが形成されても、バリの折れや欠けが生じ難い。また、Ｒ部におけるめっき層の側面が横方向に突出して形成されたバリは、Ｒ部の両側に隣接する、金属板により補強された直線部のめっき層と接続していることで補強されるため、バリの折れや欠けを生じ難くなる。
その結果、本発明のリードフレームのようにすれば、ＰＰＦめっき層のバリの折れや欠けを防止することが可能となる。
しかも、特許文献３に記載のリードフレームのようにＮｉめっき層を厚くする必要がなく、また、本件発明者が本発明を導出する前の段階で着想したリードフレームのようにＮｉめっき層に対するエッチングのバリアとなる層として、金属板側から順に、Ａｕ、Ｐｄめっきからなる層を設ける必要もないため、製造コストの増加や製造効率の低下を抑えることができる。
【００２２】
なお、好ましくは、Ｒ部におけるめっき層の側面は、金属板の側面最上部よりも５〜５０μｍ横方向に突出している程度に形成する。
この程度のバリの突出量であれば、バリの折れや欠けが生じ難い。
【００２３】
また、好ましくは、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕが積層されてなるめっき層の総厚さは、５μｍ以下であるようにする。
このようにすれば、材料のロスを低減でき、より一層、製造コストの増加や製造効率の低下を抑えることができる。
【００２４】
このような本発明のリードフレームは、銅板における、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部に相当する部位に、順に、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕをめっきして、めっき層を形成する工程と、銅と親和性のあるエッチング抑制剤を含有するエッチング液を用いて、銅板におけるめっき層の周囲にハーフエッチングを施し、柱状部を形成する工程と、を有することによって製造可能である。
銅板の上面側からハーフエッチング加工を施す場合、通常のエッチング液を用いると、上面側から下面側に向けて、順次、エッチング処理が施され、めっき層の側面が柱状部の全周囲にわたって横方向に突出した形状のバリが形成されてしまう。
これに対し、銅と親和性のあるエッチング抑制剤を含有するエッチング液を用いると、ハーフエッチング加工後に残すべき、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部となる銅板の上面側部分にエッチング抑制剤が吸着され、その部分のエッチング処理が抑制され易くなる。そして、柱状部の直線部の方向に対しては、銅と親和性のあるエッチング抑制剤の特性により、側面上部のエッチングの進行が遅くなる。一方、隣接する直線部同士の間に位置するＲ部に対しては、２つの異なる直線部の方向に沿って流れるエッチング液の回り込みが速くなり、直線部に比べてエッチング抑制剤が吸着され難いため、側面上部のエッチングの進行が直線部に比べて速くなる。その結果、柱状部における、Ｒ部のめっき層の側面は、金属板の側面最上部よりも横方向に突出し、直線部中央におけるめっき層の側面は、金属板の側面最上部と横方向の位置が略同じで略突出しないリードフレームが形成される。
【００２５】
従って、本発明によれば、リードフレーム基材となる金属板にＰＰＦめっき層を形成後、リードフレーム形状をエッチング加工する方法により製造されるＱＦＮタイプのリードフレームにおいて、製造コストの増加や製造効率の低下を抑えることができ、ＰＰＦめっき層のバリの折れや欠けを防止可能なリードフレームが得られる。
【００２６】
次に、本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の一実施形態にかかるリードフレームの凹部により区画される柱状部の構成を示す図で、(a)は平面図、(b)は(a)のＡ−Ａ断面図、(c)は(a)のＢ−Ｂ断面図である。図２は本発明の一実施形態にかかるリードフレーム及び本発明の比較例にかかるリードフレームにおける柱状部の上部に形成されるめっき層の面のサイズ及び形状とめっき層の突出部の形成範囲を示す説明図で、(a)〜(f)は本発明の一実施形態にかかるリードフレームにおける柱状部の上部に形成されるめっき層の面のサイズ及び形状とめっき層の突出部の形成範囲を夫々示す平面図、(g)〜(i)は比較例にかかるリードフレームにおける柱状部の上部に形成されるめっき層の面のサイズ及び形状とめっき層の突出部の形成範囲を夫々示す平面図である。図３は本発明の一実施例にかかるリードフレームの凹部により区画される柱状部の構成を示す写真の画像で、(a)は柱状部の側面を斜め上方から示す画像、(b)は柱状部を構成する内部接続端子のＲ部の側面を横方向から示す画像、(c)は内部接続端子の直線部の側面を横方向から示す画像、(d)は柱状部を構成するパッドのＲ部の側面を横方向から示す画像、(c)はパッドの直線部の側面を横方向から示す画像である。
本発明の一実施形態のリードフレームは、図１(a)〜図１(c)に示すように、金属板１に、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部２を区画する凹部３が形成されている。
柱状部２の上部には、金属板１の上面に対して順に、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕを積層してなるめっき層４が形成されている。なお、めっき層４の総厚さは５μｍ以下に形成されているのが好ましい。
柱状部２の上部は、直線部２１と、隣接する直線部２１同士の間に位置するＲ部２２を有する。Ｒ部２２は、Ｒ形状に形成されている。
Ｒ部２２におけるめっき層４の側面は、金属板１の側面最上部よりも５〜５０μｍ横方向に突出している。
また、直線部２１の中央におけるめっき層４の側面は、金属板１の側面最上部と横方向の位置が略同じ（即ち、めっき層４の側面の金属板１の側面最上部からの横方向の突出長さが０〜５μｍの範囲内であって、金属板１がめっき層４よりも横方向には突出しない位置）に形成されている。
【００２７】
なお、本実施形態のリードフレームにおける柱状部２の上部に形成されるめっき層４の面は、少なくとも２つの直線辺を有し、且つ、めっき層４の面における二方向のサイズのうち、少なくとも一方向のサイズは０．３ｍｍ以上となっている。
例えば、柱状部２の上部に形成されるめっき層４の面が４つの直線辺を有し、且つ、めっき層４の面における二方向のサイズが、いずれも０．３ｍｍ以上である場合は、図２(a)〜図２(c)に示すように、金属板１には４つの直線部２１が形成され、４つの直線部２１の中央におけるめっき層４の側面は、金属板１の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されて金属板１の側面最上部から横方向には突出せず、４つのＲ部２２におけるめっき層４の側面のみが金属板１の側面最上部から横方向に突出する。また、めっき層４の突出部の形成範囲及びサイズは、柱状部２の上部に形成されるめっき層４の面のサイズを大きくしても、ほとんど変化がない。そして、直線部２１における、めっき層４の側面は、金属板１の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されるため、横方向に突出部が形成されない部位が広がる。
また、例えば、柱状部２の上部に形成されるめっき層４の面が４つの直線辺を有し、且つ、めっき層４の面における二方向のサイズのうちの一方向（図２における矢印Ｃ方向）のサイズが０．３ｍｍ以上で、他方向（図２における矢印Ｄ方向）のサイズが０．３ｍｍを下回る場合は、図２(d)〜図２(f)に示すように、めっき層４の面における０．３ｍｍ以上のサイズとなる方向（矢印Ｃ方向）においては、金属板１に２つの直線部２１が形成され、２つの直線部２１の中央におけるめっき層４の側面は、金属板１の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されて金属板１の側面最上部から横方向には突出せず、２つの直線部２１の間に径の大きなＲ部２２が形成され、２つのＲ部２２におけるめっき層４の側面のみが金属板１の側面最上部から横方向に突出する。また、めっき層４の突出部の形成範囲及びサイズは、柱状部２の上部に形成されるめっき層４の面における０．３ｍｍ以上である一方向（矢印Ｃ方向）の辺のサイズを大きくしても、他方向（矢印Ｄ方向）の辺が０．３ｍｍを下回る限り、ほとんど変化がない。そして、直線部２１における、めっき層４の側面は、金属板１の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されるため、横方向に突出部が形成されない部位が広がる。
なお、めっき層４の面における他方向のサイズが０．３ｍｍ以下である場合は、図２(d)〜図２(f)に示すように、Ｒ部２２の中央においては、めっき層４の側面の金属板１の側面最上部から横方向への突出長さが小さくなる。このため、他方向のサイズによっては、Ｒ部２２の中央において、めっき層４の側面が金属板１の側面最上部と横方向の位置が略同じに形成されて金属板１の側面最上部から横方向には略突出しない態様に形成され得る。その場合には、めっき層４の突出部は、４つの角部にのみ形成される。
【００２８】
なお、本実施形態のリードフレームとは異なり、柱状部２の上部に形成されるめっき層４の面が直線辺を有さず、例えば、全周にわたって曲線の辺で輪郭が形成されているような場合は、めっき層４の面における二方向のサイズが、いずれも０．３ｍｍ以上であっても、図２(g)〜図２(i)に示すように、柱状部２の周囲全体にわたり、めっき層４の側面が金属板１の側面最上部から横方向に突出してしまう。また、めっき層４の突出部の形成範囲及びサイズは、めっき層４の面のサイズを大きくしても、ほとんど変化がない。
【００２９】
このように構成される本実施形態のリードフレームは、例えば、次のようにして製造できる。なお、製造の各工程において実施される、薬液洗浄や水洗浄等を含む前処理・後処理等は、便宜上説明を省略する。
【００３０】
まず、金属板１を用意する。金属板１としては銅材を用いる。銅材は、通常のリードフレームで用いられている高強度のものが望ましく、また厚みはハンドリングなどを鑑み、通常１００〜２００μｍの範囲で選択する。
【００３１】
次に、銅材の両面にドライフィルムレジストをラミネートする。ドライフィルムレジストの種類、厚みは特に限定されないが、通常感光部が硬化するネガタイプのものを用いる。この他にポジタイプのドライフィルムレジストでも良い。また液状のフォトレジストを塗布することでも良い。レジストの厚みは形成するパターンの線幅・線間距離で決定されるが、通常は１５〜４０μｍの範囲のものを用いる。
【００３２】
次に、ドライフィルムレジストに所定の位置に所定の形状のめっき層を形成するためのパターンを露光する。これは、一般的な方法と同じで、ドライフィルムレジストにパターンを形成したフォトマスクを密着させ、紫外線を所定量照射することでフォトマスクのパターンをドライフィルムレジストに露光する。このとき、半導体素子が搭載される面側となる表面側と反対側の外部接続端子となる裏面側が区別される。
【００３３】
次に、現像し、銅材の両面に所定形状の開口部が形成されためっき用のレジストマスクを形成する。
【００３４】
次に、めっき用のレジストマスクの開口部に電気めっきで、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕめっきを順に施し、めっき層４を形成する。なお、めっき層４の総厚さは５μｍ以下となるようにする。
【００３５】
次に、めっき用のレジストマスクを除去する。
【００３６】
次に、表面側には形成しためっき層４を覆うエッチング用のレジストマスクを形成し、裏面側には全面を覆うエッチング用のレジストマスクを形成する。このエッチング用のレジストマスクの形成方法は、上述のめっき用レジストマスクの形成における、ドライフィルムレジストのラミネート、露光、現像と同様である。そして、ハーフエッチング処理の後におけるめっき層４のＲ部２２及び直線部２１の中央の夫々における側面の、銅板の側面最上部との横方向の位置関係が、上述したような位置関係となるように、エッチング量や露光の位置ズレを考慮した大きさに設計したレジストマスクを形成する。
【００３７】
次に、表面側のレジストマスク開口部からハーフエッチングを行ない、柱状部２を区画する凹部３を形成する。
エッチング液には、銅と親和性のある窒素や硫黄をエッチング抑制剤として含有する塩化第二銅液を用いる。これにより、ハーフエッチング加工後に残すべき、内部接続端子又は内部接続端子及びパッドとなる柱状部２となる銅板の上面側部分にエッチング抑制剤が吸着され、その部分のエッチング処理が抑制され易くなる。そして、柱状部２における直線部２１の方向に対しては、銅と親和性のあるエッチング抑制剤の特性により、金属板１である銅板の側面上部に対するエッチングの進行が遅くなる。一方、隣接する直線部２１同士の間に位置するＲ部２２に対しては、２つの異なる直線部２１の方向に沿って流れるエッチング液の回り込みが速くなり、直線部２１に比べてエッチング抑制剤が吸着され難くなるため、金属板１である銅板の側面上部に対するエッチングの進行が直線部２１に比べて速くなる。その結果、柱状部２における、Ｒ部２２のめっき層４の側面は、金属板１の側面最上部よりも横方向に突出し、直線部２１の中央におけるめっき層４の側面は、金属板１の側面最上部と横方向の位置が略同じで略突出しないリードフレームが形成される。
【００３８】
次に、レジストマスクを剥離する。これにより本発明の一実施形態のリードフレームが得られる。
【００３９】
本発明の一実施形態のリードフレームを用いて半導体装置（パッケージ）を製造する場合は、リードフレームの表面側に形成されている柱状部２のうちのパッドに半導体素子を、ダイペースト等を用いて搭載し、半導体素子と柱状部２のうちの内部接続端子をワイヤボンディングする。
【００４０】
次に、エポキシ樹脂等を用いて銅材の半導体素子搭載側を樹脂封止する。このとき、封止樹脂は、リードフレームの凹部３に介在し、区画された夫々の柱状部２を固定する。
次に、裏面側に形成しためっき層をエッチングマスクとして、銅材をエッチング加工して、端子部を独立させる。次に、ダイシングなどの方法で個々のパッケージサイズに切断する。
これにより、パッケージが得られる。
【００４１】
本実施形態のリードフレームによれば、Ｒ部２２におけるめっき層４の側面のみが、金属板１の側面最上部よりも横方向に突出し、その他の直線部２１の中央におけるめっき層４の側面は金属板１の側面最上部よりも横方向に略突出せず、全周囲にわたって横方向に大きく突出するバリが連続的には形成されず、横方向に大きく突出するバリの形成箇所が断続的且つ最小範囲に抑えられる。直線部２１の中央におけるめっき層４の側面は、略同じ位置に残存する金属板１に補強されるため、金属板１の側面最上部から横方向へ僅かに突出してバリが形成されても、バリの折れや欠けが生じ難い。また、Ｒ部２２におけるめっき層４の側面が横方向に突出して形成されたバリは、Ｒ部２２の両側に隣接する、金属板１により補強された直線部２１のめっき層４と接続していることで補強されるため、バリの折れや欠けを生じ難くなる。
しかも、特許文献３に記載のリードフレームのようにＮｉめっき層を厚くする必要がなく、また、本件発明者が本発明を導出する前の段階で着想したリードフレームのようにＮｉめっき層に対するエッチングのバリアとなる層として、金属板側から順に、Ａｕ、Ｐｄめっきからなる層を設ける必要もないため、製造コストの増加や製造効率の低下を抑えることができる。
【００４２】
実施例
まず、金属板１として、厚さ０．１２５ｍｍの銅系合金材を用いて、両面にドライフィルムレジストをラミネートした。
【００４３】
次に、所定のパターンで両面に露光を行ない、現像してめっきが必要な部分が開口されためっき用のレジストマスクを形成した。
次に、めっき用のレジストマスクの開口部に電気めっきで、順に、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕをめっきし、めっき層４を形成した。
【００４４】
次に、めっき用のレジストマスクを剥離し、めっき層４が形成された金属板１の両面に、上記と同じドライフィルムレジストをラミネートし、半導体素子が搭載される表面側には、形成しためっき層４を覆う所定パターンで露光し現像を行ない、エッチング用のレジストマスクを形成した。また、反対面の裏面側には、全面を覆うエッチング用のレジストマスクを形成した。
【００４５】
次に、銅と親和性のある窒素や硫黄をエッチング抑制剤として含有する塩化第二銅液をエッチング液として用いて、所定のスプレー圧で数分間、表面側から約８０μｍの深さまでハーフエッチングを行ない、柱状部２を区画する凹部３を形成した。
【００４６】
その後、両面のレジストマスクを剥離して本実施例のリードフレームを得た（図３参照）。
【００４７】
このようにして得られた本実施例のリードフレームは、内部接続端子となる柱状部２のＲ部２２（図３(b)参照）、パッドとなる柱状部２のＲ部２２（図３(d)参照）で、夫々、Ｒ部２２におけるめっき層４の側面が、金属板１の側面最上部よりも横方向に２０μｍ程度、突出した。一方、内部接続端子となる柱状部２の直線部２１（図３(b)参照）、パッドとなる柱状部２の直線部２１（図３(d)参照）では、夫々、直線部２１の中央におけるめっき層４の側面は、金属板１の側面最上部と横方向の位置が略同じであり、横方向に突出しても最大で５μｍであった。
また、Ｒ部２２において横方向に突出しためっき層４に折れや欠けは生じなかった。
【００４８】
比較例
比較例として、上記と同じレジストマスクを形成した材料を用いて、エッチング加工において、エッチング液として、従来使用されている塩化第二鉄液を用いて、ハーフエッチングを行なうとともに、めっき層の形成工程において、金属板１に対して順に、Ａｕ、Ｐｄめっきを施してＮｉのバリア層を形成した後に、上記と同様の、Ｎｉ、Ｐｄ，Ａｕめっきを施すことによってめっき層を形成した以外は、上記と同様の手順でリードフレームを得た（図６参照）。
【００４９】
比較例のリードフレームは、めっき層４の側面が、柱状部２の周囲全体にわたり、金属板１の側面最上部より２５μｍ以上突出した。また、めっき層４におけるＮｉめっき層は側面からエッチングが進行した。その結果、順にＡｕ、Ｐｄが積層されてなるバリア層と、Ｎｉめっき層の上方のＰｄ、Ａｕめっき層が、柱状部２の周囲全体にわたり、横方向に突出したバリとなり、バリの一部に折れや欠けが生じた。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明のリードフレームは、卑金属と貴金属を積層してなるめっき層を備えたＱＦＮ型パッケージ(Quad Flat Non-leaded Package)の製造に用いる分野に有用であるが、それ以外の卑金属と貴金属を積層してなる表面実装型の封止樹脂型半導体装置を組み立てることが必要とされる分野にも有用である。
【符号の説明】
【００５１】
１          金属板
２          柱状部
２１        直線部
２２        Ｒ部
３          凹部
４          めっき層
【図１】
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【図２】
2018098299.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【手続補正書】
【提出日】平成29年2月28日(2017.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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