(57)【要約】【課題】容器本体から蓋体が取り外される場合に、基板が容器本体から引きずり出されるおそれを抑止できる基板収納容器用蓋体及び基板収納容器を提供する。【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体と、容器本体の開口した正面に嵌合される蓋体１０と、蓋体１０から容器本体方向に伸びて相互に対向する複数の制御片２０と、複数の制御片２０間にスライド可能に挟まれて半導体ウェーハ１の前部周縁２を保持溝３１に保持する上下方向に傾斜可能な保持ブロック３０とを備え、上方の制御片２０の先端部対向面２２の最先端を下方に傾斜させ、下方の制御片２０の先端部対向面２２に、保持ブロック３０用の位置規制部２３を形成し、保持ブロック３０の上下部に複数の突起３７・３８を形成し、上方の突起３７を上方の制御片２０の先端部対向面２２に摺接可能とし、下方の突起３８を位置規制部２３に接触可能とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体の開口した正面に蓋体が嵌合され、この蓋体側に、容器本体に収納された基板が支持される基板収納容器用蓋体であって、
蓋体から容器本体方向に伸びて相互に対向する複数の制御部材と、この複数の制御部材の間にスライド可能に挟まれて基板の周縁部を前面の保持溝に保持する上下方向に傾斜可能な保持部材とを含み、
複数の制御部材の少なくともいずれか一の制御部材の先端部対向面が下方に傾斜し、複数の制御部材のいずれかの制御部材の先端部対向面に、保持部材用の位置規制部が形成され、保持部材の上下部に複数の突起が形成されており、この複数の突起のうち、一方の突起が制御部材の下方に傾斜した先端部対向面に接触可能であるとともに、他方の突起が制御部材の位置規制部に接触可能であることを特徴とする基板収納容器用蓋体。
【請求項２】
保持部材を保持して制御部材の先端部方向に付勢するバネ部材を含んでなる請求項１記載の基板収納容器用蓋体。
【請求項３】
複数の制御部材が上下一対であり、この上下一対の制御部材のうち、上方の制御部材の先端部対向面が下方に傾斜し、下方の制御部材の先端部対向面に、保持部材用の位置規制部が突出形成される請求項１又は２記載の基板収納容器用蓋体。
【請求項４】
保持部材が略ブロック形に構成されてその上下部に突起がそれぞれ形成され、保持部材の上部の突起が湾曲形成されて上方の制御部材の先端部対向面に摺接可能であり、保持部材の下部の突起が下方の制御部材の位置規制部に係合可能である請求項３記載の基板収納容器用蓋体。
【請求項５】
保持部材の保持溝が、基板の周縁部を案内する第一の傾斜面と、この第一の傾斜面から保持部材の後方に伸びる段差面と、この段差面から保持部材の上方向に傾きながら伸びる第二の傾斜面と、この第二の傾斜面から保持部材の上方向に傾きながら伸びる第三の傾斜面とから形成された請求項１ないし４いずれかに記載の基板収納容器用蓋体。
【請求項６】
複数枚の基板を上下方向に並べて収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面に圧入して嵌合される請求項１ないし５いずれかに記載の基板収納容器用蓋体とを含んでなることを特徴とする基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の基板を支持する基板収納容器用蓋体及び基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来における基板収納容器は、図１１に部分的に示すように、複数枚の半導体ウェーハを上下方向に並べて整列収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面に圧入して嵌合される蓋体１０とを備え、蓋体１０が専用の蓋体開閉装置であるオープナにより、自動的に取り付けられたり、取り外しされる（特許文献１、２、３参照）。
【０００３】
蓋体１０は、容器本体の開口した正面に圧入して嵌合される蓋本体１１と、この蓋本体１１の内部両側に回転可能に支持される複数の施錠操作リール１２と、蓋本体１１の内部両側に配置されて施錠操作リール１２の周縁部に係合し、この施錠操作リール１２の回転により蓋体１０の上下方向に往復動する複数の施錠バー１３と、蓋本体１１の内部両側に配置されて施錠バー１３の先端部に揺動可能に係合し、この施錠バー１３の往復動により蓋本体１１の周壁の内外に出没する複数の施錠爪１４と、蓋本体１１の開口した表面を覆う左右一対の蓋カバー１５と、蓋本体１１の裏面側の嵌合溝に嵌合されて容器本体の正面内周部に密接するガスケット１６とを備え、蓋本体１１の裏面に、半導体ウェーハの前部周縁を保持する樹脂製のフロントリテーナ５０が装着されている。
【０００４】
フロントリテーナ５０は、蓋本体１１の裏面中央部に間隔をおいて装着される複数の支柱５１と、この複数の支柱５１間に並べて張架される複数の弾性片５２と、各弾性片５２に一体形成されて半導体ウェーハの前部周縁を保持する複数の保持ブロック５３とを備え、各保持ブロック５３には、断面略Ｙ字形の保持溝が凹み形成される。各支柱５１は蓋体１０の上下方向に指向し、各弾性片５２は蓋体１０の左右方向に指向する。また、保持ブロック５３の保持溝は、溝の角度が二段の断面略Ｙ字形に凹み形成される場合、半導体ウェーハのリードインを容易にする鈍角部と、半導体ウェーハの保持を容易にする狭い鋭角部とから形成される。
【０００５】
このようなフロントリテーナ５０は、容器本体の開口した正面に蓋体１０が圧入して嵌合される場合には、蓋体１０の圧入に伴い、半導体ウェーハの前部周縁に保持ブロック５３の保持溝の鈍角部が接触するとともに、この鈍角部の傾斜面に半導体ウェーハの前部周縁が案内されて上昇し、その後、保持溝の狭い鋭角部に半導体ウェーハの前部周縁が嵌合することにより、保持ブロック５３が半導体ウェーハの前部周縁を保持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第５２５３４１０号公報
【特許文献２】特許第４９０３８９３号公報
【特許文献３】特開２０１６‐１８９６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、保持ブロック５３の保持溝が半導体ウェーハのリードインを容易にする鈍角部と、半導体ウェーハの保持を容易にする狭い鋭角部とから形成されているので、容器本体の開口した正面に蓋体１０が圧入して嵌合される場合には、保持溝の鋭角部と半導体ウェーハの前部周縁とが円滑、かつ適切に嵌合することとなる。
【０００８】
しかしながら、容器本体の正面から蓋体１０が取り外される場合には、保持溝の鋭角部が嵌合した半導体ウェーハの前部周縁から離れず、その結果、蓋体１０の取り外しに伴い、半導体ウェーハが容器本体から引きずり出されるおそれがある。
【０００９】
本発明は上記に鑑みなされたもので、容器本体から蓋体が取り外される場合に、基板が容器本体から引きずり出されるおそれを抑止することのできる基板収納容器用蓋体及び基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体の開口した正面に蓋体が嵌合され、この蓋体側に、容器本体に収納された基板が支持されるものであって、
蓋体から容器本体方向に伸びて相互に対向する複数の制御部材と、この複数の制御部材の間にスライド可能に挟まれて基板の周縁部を前面の保持溝に保持する上下方向に傾斜可能な保持部材とを含み、
複数の制御部材の少なくともいずれか一の制御部材の先端部対向面が下方に傾斜し、複数の制御部材のいずれかの制御部材の先端部対向面に、保持部材用の位置規制部が形成され、保持部材の上下部に複数の突起が形成されており、この複数の突起のうち、一方の突起が制御部材の下方に傾斜した先端部対向面に接触可能であるとともに、他方の突起が制御部材の位置規制部に接触可能であることを特徴としている。
【００１１】
なお、保持部材を保持して制御部材の先端部方向に付勢するバネ部材を含むことができる。
また、複数の制御部材が上下一対であり、この上下一対の制御部材のうち、上方の制御部材の先端部対向面が下方に傾斜し、下方の制御部材の先端部対向面に、保持部材用の位置規制部が突出形成されると良い。
【００１２】
また、保持部材が略ブロック形に構成されてその上下部に突起がそれぞれ形成され、保持部材の上部の突起が湾曲形成されて上方の制御部材の先端部対向面に摺接（滑る状態で接する）可能であり、保持部材の下部の突起が下方の制御部材の位置規制部に係合可能であると良い。
また、保持部材の保持溝が、基板の周縁部を案内する第一の傾斜面と、この第一の傾斜面から保持部材の後方に伸びる段差面と、この段差面から保持部材の上方向に傾きながら伸びる第二の傾斜面と、この第二の傾斜面から保持部材の上方向に傾きながら伸びる第三の傾斜面とから形成されると良い。
【００１３】
また、本発明においては上記課題を解決するため、複数枚の基板を上下方向に並べて収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面に圧入して嵌合される請求項１ないし５いずれかに記載の基板収納容器用蓋体とを含んでなることを特徴としている。
【００１４】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくともφ３００ｍｍやφ４５０ｍｍの半導体ウェーハ、ガラス基板、マスク基板等が含まれる。容器本体と蓋体とは、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。また、複数の制御部材は、蓋体に一体形成されても良いし、製造された蓋体に着脱自在に後から取り付けられても良い。保持部材は、複数の制御部材の間に単数が挟まれても良いし、複数が挟まれても良い。この保持部材の保持溝は、断面略Ｙ字形でも良いし、変形した断面略Ｙ字形でも良い。
【００１５】
保持部材は、前面の保持溝に基板を保持する場合には、基板に蓋体側に押されることにより、複数の制御部材から離れ、蓋体側方向に移動して基板を保持し、前面の保持溝に基板を保持しない場合には、バネ部材の付勢作用により、下方の制御部材の位置規制部に引っかかった下部の突起を支点にして下方に傾くことが好ましい。
【００１６】
本発明によれば、容器本体の正面から蓋体を取り外す場合、容器本体の正面から蓋体が引き離されると、保持部材は、基板による蓋体側への押圧が弱まるので、蓋体側から複数の制御部材の先端部方向に移動し、一の制御部材の先端部対向面に一方の突起が接触するとともに、別の制御部材の位置規制部に他方の突起が係合する。
【００１７】
容器本体の正面から蓋体がさらに引き離されると、保持部材は、一の制御部材の傾斜した先端部対向面に一方の突起が沿ってスライドし、位置規制部に接触した他方の突起を支点にして下方に傾く。こうして保持部材が下方に傾くと、保持溝の少なくとも一部が下方に指向して基板の滑落を容易にするので、基板が保持溝の谷から傾斜面を下降し、保持溝から基板が適切に分離されることとなる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、容器本体から蓋体が取り外される場合に、基板が容器本体から引きずり出されるおそれを有効に抑止することができるという効果がある。
請求項２記載の発明によれば、容器本体の正面から蓋体が取り外される場合には、バネ部材の付勢作用により、保持部材とその保持溝の少なくとも一部を強制的に下方に傾斜させ、基板の保持溝からの滑落を容易にすることができる。
【００１９】
請求項３又は４記載の発明によれば、容器本体の正面から蓋体が取り外される場合、保持部材は、上方の制御部材の傾斜した先端部対向面に上部の突起が沿って少ない摩擦で摺接し、下方の制御部材の位置規制部に係合した下部の突起を支点にして下方に傾斜する。この保持部材の傾斜により、保持溝の少なくとも一部が下方に指向して基板の滑落を容易にする。
【００２０】
請求項５記載の発明によれば、容器本体の正面から蓋体が取り外される場合、基板は、保持溝の第二の傾斜面、段差面、及び第一の傾斜面を順次下降し、保持溝から円滑に分離される。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る基板収納容器用蓋体及び基板収納容器の実施形態における保持溝の下部傾斜面に半導体ウェーハの前部周縁が案内されて上昇する状態を模式的に示す説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器用蓋体及び基板収納容器の実施形態における保持溝の段差面に半導体ウェーハの前部周縁が浅く支持される状態を模式的に示す説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器用蓋体及び基板収納容器の実施形態における保持溝の谷に半導体ウェーハの前部周縁が保持される状態を模式的に示す説明図である。
【図４】図３の保持ブロックが上方向に傾斜し、垂直状態に起立する状態を模式的に示す説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器用蓋体及び基板収納容器の実施形態における保持ブロックが一対の制御片から離れ、半導体ウェーハを保持する状態を模式的に示す説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器用蓋体及び基板収納容器の実施形態における保持ブロックが半導体ウェーハをその収納位置で保持する状態を模式的に示す説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器用蓋体及び基板収納容器の実施形態における保持ブロックが起立した状態で蓋体側から一対の制御片の先端部方向に移動した状態を模式的に示す説明図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器用蓋体及び基板収納容器の実施形態における保持ブロックが下方に僅かに傾斜し、保持溝の段差面と下部傾斜面とが下方に指向した状態を模式的に示す説明図である。
【図９】図８の保持溝の谷から半導体ウェーハの先端部が滑落する状態を模式的に示す説明図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器用蓋体及び基板収納容器の実施形態における半導体ウェーハと保持ブロックとが完全に分離した状態を模式的に示す説明図である。
【図１１】蓋体とフロントリテーナを示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１０に示すように、複数枚の半導体ウェーハ１を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体１０と、この蓋体１０から容器本体方向に伸びる複数の制御片２０と、この複数の制御片２０の間に挟持されて半導体ウェーハ１を保持溝３１に保持する上下方向に傾斜可能な複数の保持ブロック３０と、各保持ブロック３０を制御片２０の先端部２１方向に弾圧付勢する複数のバネ片４０とから構成するようにしている。
【００２３】
半導体ウェーハ１は、例えばφ３００ｍｍの薄く脆いシリコンウェーハからなり、容器本体の内部に収納され、上下方向に２５枚が所定の間隔で整列する。
【００２４】
容器本体と蓋体１０は、所要の樹脂を含有する成形材料により、複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料に含有される樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。
【００２５】
これらの樹脂には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等からなる導電物質やアニオン、カチオン、非イオン系等の各種帯電防止剤が必要に応じて添加される。また、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッ蓋ニリド系、ヒンダー蓋ミン系の紫外線吸収剤が添加されたり、剛性を向上させるガラス繊維や炭素繊維等も選択的に添加される。
【００２６】
容器本体は、図示しないが、正面の開口したフロントオープンボックスに射出成形され、内部の両側壁に、半導体ウェーハ１を水平に支持する左右一対の支持片が対設されるとともに、この左右一対の支持片が上下方向に所定の間隔をおいて配列されており、各支持片が前後方向に伸びる細長い板に形成される。容器本体の正面は、容器本体の周壁から段差部を介して幅方向外側に張り出し形成され、内周部の上下両側に、施錠用の施錠穴がそれぞれ凹み形成されており、各施錠穴が平面矩形に形成される。
【００２７】
蓋体１０は、図１１に部分的に示すように、容器本体の開口した正面に圧入して嵌合される断面略皿形の蓋本体１１と、この蓋本体１１の内部両側の中央に回転可能に嵌合支持される左右一対の施錠操作リール１２と、蓋本体１１の内部両側に摺動可能に配置されて施錠操作リール１２の周縁部に係合し、この施錠操作リール１２の回転により蓋本体１１の上下方向に往復動する複数の施錠バー１３と、蓋本体１１の内部両側に配置されて施錠バー１３の先端部に揺動可能に軸支され、この施錠バー１３の往復動により蓋本体１１の周壁の内外に出没する複数の施錠爪１４と、蓋本体１１の開口した表面を被覆する左右一対の蓋カバー１５と、蓋本体１１の裏面側の嵌合溝に嵌合されて容器本体の正面内周部に密接する変形可能な枠形のガスケット１６とを備えて構成される。
【００２８】
複数の制御片２０は、図１等に示すように、間隔をおいて相対向する上下一対とされ、この上下一対が半導体ウェーハ１の収納枚数に応じ、上下方向に複数配列される。一対の制御片２０は、基本的には所定の成形材料によりそれぞれ略平板に成形されて蓋体１０の蓋本体１１の裏面中央部付近に水平に形成され、蓋体１０から容器本体の内方向に指向する。この一対の制御片２０は、同じ長さ・大きさに形成される。
【００２９】
一対の制御片２０のうち、上方の制御片２０の自由端部である先端部２１は、徐々に肉厚になるよう形成され、対向面２２の最先端が下方に向けて傾斜形成される。これに対し、下方の制御片２０の自由端部である先端部２１は、徐々に肉厚になるよう形成され、対向面２２に保持ブロック３０用の位置規制部２３が断面矩形に突出形成されており、非対向面の最先端が下方に向けて傾斜形成される。
【００３０】
各保持ブロック３０は、滑りにくい樹脂（例えば、ポリカーボネート等）含有の成形材料により、略横長の長方形のブロックに成形され、図１等に示すように、一対の制御片２０の間に隙間を介しスライド可能に挟持されて半導体ウェーハ１の前部周縁２を前面の保持溝３１に保持するよう機能する。
【００３１】
保持ブロック３０の上下部には突起３７・３８がそれぞれ突出形成され、上部の突起３７が保持ブロック３０の上部中央に位置して略半球形に湾曲形成されており、上方の制御片２０の先端部対向面２２にスライド可能に点接触で摺接する。これに対し、保持ブロック３０の下部の突起３８は、保持ブロック３０の下部後方に位置して断面略矩形に形成され、下方の制御片２０の位置規制部２３に係合して保持ブロック３０を上下方向に揺動（回転）可能とする。
【００３２】
保持溝３１は、同図に示すように、保持ブロック３０の前面下方に位置して半導体ウェーハ１の前部周縁２を上下方向に案内する下部傾斜面３２と、この下部傾斜面３２の上端部から保持ブロック３０の後方に僅かに伸びる段差面３３と、この段差面３３の先端部から保持ブロック３０の上方向に傾きながら僅かに伸びる谷用傾斜面３４と、この谷用傾斜面３４の上端部から保持ブロック３０の上方向に傾きながら伸びる上部傾斜面３５とから変形した略Ｙ字形に凹み形成される。
【００３３】
保持溝３１の下部傾斜面３２と上部傾斜面３５とは、非対称に形成される。また、保持溝３１の段差面３３は、例えば５°程度の角度で保持ブロック３０の上方向に僅かに傾くよう傾斜形成される。谷用傾斜面３４の上端部と上部傾斜面３５の下端部とは、保持溝３１の最も深い奥の谷３６を区画形成する。
【００３４】
バネ片４０は、図１に示すように、例えば細長い屈曲した弾性板に形成されて一対の制御片２０の間に位置し、保持ブロック３０の後面に一体形成されており、保持ブロック３０を保持して蓋体１０側から制御片２０の先端部２１方向に弾圧付勢するよう機能する。このバネ片４０に弾圧付勢され、上方の制御片２０における先端部対向面２２の傾斜した最先端に保持ブロック３０の湾曲した上部の突起３７が案内されることにより、保持ブロック３０は、下部の突起３８を支点にして下方に僅かに揺動する。
【００３５】
上記構成において、複数枚の半導体ウェーハ１を整列収納した容器本体の開口した正面を蓋体１０で閉じる場合には、蓋体１０がオープナに真空吸着され、位置決め配置された容器本体の正面に蓋体１０がオープナにより徐々に圧入して嵌合される（図１の矢印参照）。この際、保持ブロック３０は、図１に示すように、バネ片４０の後方からの強制的な弾圧付勢作用と、上方の制御片２０における先端部対向面２２の傾斜した最先端に上部の突起３７が摺接することにより、位置規制部２３に係合した下部の突起３８を支点にして下方に僅かに傾斜した状態で停止している。
【００３６】
容器本体の正面に蓋体１０がオープナにより圧入され始めると、保持ブロック３０の保持溝３１の下部傾斜面３２が半導体ウェーハ１の前部周縁２に接触し、下部傾斜面３２に半導体ウェーハ１の前部周縁２が案内されて上昇を開始（図１参照）し、保持溝３１の段差面３３が半導体ウェーハ１の前部周縁２を浅く支持する（図２参照）。この際、保持ブロック３０は、下方に僅かに傾斜した状態を維持する。また、半導体ウェーハ１は、保持ブロック３０を蓋体１０側に押圧することなく、上昇する。
【００３７】
次いで、容器本体の正面に蓋体１０が圧入され、この蓋体１０が半導体ウェーハ１の収納位置に到達すると、保持溝３１の谷用傾斜面３４に半導体ウェーハ１の前部周縁２が案内されて上昇し、保持溝３１の谷３６に半導体ウェーハ１の前部周縁２が深く接触保持される（図３参照）。この際、保持ブロック３０は、上方向に揺動させる外力が未だ作用しないので、下方に僅かに傾斜した状態を継続する。また、半導体ウェーハ１は、保持ブロック３０を蓋体１０側に押圧することなく、上昇して保持される。
【００３８】
次いで、容器本体の正面に蓋体１０がさらに圧入されると、下方に僅かに傾斜していた保持ブロック３０が位置規制部２３を支点に上方向に揺動（図４の矢印参照）して傾斜するとともに、上方の制御片２０の先端部対向面２２の最先端を保持ブロック３０の上部の突起３７が摺動して蓋体１０方向に僅かに移動し、保持ブロック３０の姿勢が垂直に起立した状態となる（図４参照）。
【００３９】
次いで、容器本体の正面に蓋体１０が完全に嵌合されると、保持ブロック３０は、半導体ウェーハ１により蓋体１０側に押圧されることで、バネ片４０を撓ませつつ、一対の制御片２０から離れ、制御片２０の先端部２１方向から末端部方向、換言すれば、蓋体１０側方向に移動し、この状態で半導体ウェーハ１を保持する（図５参照）。こうして保持ブロック３０に半導体ウェーハ１が保持されると、蓋体１０の施錠操作リール１２が施錠方向に回転操作されるとともに、各施錠バー１３が往動して施錠爪１４を蓋本体１１の周壁の内側から外側に揺動突出させ、各施錠爪１４が容器本体の正面内の施錠穴に嵌合係止することで施錠し、容器本体の正面が蓋体１０により完全に閉じられる。
【００４０】
次に、複数枚の半導体ウェーハ１を整列収納した容器本体の正面から蓋体１０を取り外す場合には、蓋体１０の施錠操作リール１２が解錠方向に回転操作されるとともに、各施錠バー１３が復動して施錠爪１４を蓋本体１１の周壁の外側から内側に揺動没入させ、各施錠爪１４が容器本体の正面の施錠穴から外されて解錠した後、蓋体１０がオープナに真空吸着され、位置決めされた容器本体の正面から蓋体１０がオープナにより徐々に引き離される。こうして蓋体１０が引き離され始めると、保持ブロック３０は、図６に示すように、バネ片４０の後方からの弾圧付勢作用により、半導体ウェーハ１をその収納位置で保持しようとする。
【００４１】
次いで、蓋体１０が容器本体の正面から引き離されると、保持ブロック３０は、半導体ウェーハ１による蓋体１０側への押圧が解除されるので、バネ片４０の後方からの弾圧付勢作用により、垂直に起立した状態を維持しつつ、蓋体１０側から一対の制御片２０の先端部２１方向に移動し、上方の制御片２０の先端部対向面２２に上部の突起３７が摺接するとともに、下方の制御片２０の位置規制部２３に下部の突起３８が密接する（図７参照）。この際、下方の制御片２０の位置規制部２３に保持ブロック３０の下部の突起３８が密接し、位置規制部２３がストッパとして機能するので、制御片２０の先端部２１の最先端方向に保持ブロック３０が必要以上に移動する事態を有効に防止することができる。
【００４２】
次いで、蓋体１０がさらに引き離され、容器本体の正面から完全に取り外されると、保持ブロック３０は、バネ片４０の後方からの弾圧付勢作用により、上方の制御片２０の先端部対向面２２の傾斜した最先端に上部の突起３７が沿って摺動し、位置規制部２３に係合した下部の突起３８を支点にして下方に僅かに傾斜した状態となる（図８参照）。
【００４３】
こうして保持ブロック３０が下方に僅かに傾斜すると、保持溝３１の段差面３３と下部傾斜面３２とが下方に傾斜して下向きとなり、半導体ウェーハ１の前部周縁２の滑落が容易となる。半導体ウェーハ１は、その前部周縁２が保持溝３１の谷３６から下方の谷用傾斜面３４、段差面３３、及び下部傾斜面３２を順次下降（図９参照）し、保持溝３１から完全に分離される（図１０参照）。
【００４４】
上記構成によれば、容器本体の正面から蓋体１０が取り外される際、保持ブロック３０が下方に僅かに傾斜し、段差面３３と下部傾斜面３２とが下方に指向して保持溝３１の角度を傾斜角度分、拡大することにより、半導体ウェーハ１の滑落を容易にするので、保持溝３１が嵌合した半導体ウェーハ１の前部周縁２から離れないのを防止することができる。したがって、蓋体１０の取り外しに伴い、半導体ウェーハ１が容器本体から引きずり出されるおそれを有効に排除し、半導体ウェーハ１を所定の箇所に位置させることができる。
【００４５】
なお、上記実施形態では蓋体１０の蓋本体１１の裏面に一対の制御片２０を形成したが、一体形成しても良いし、後から設けても良い。また、複数の制御片２０、保持ブロック３０、及びバネ片４０を着脱自在のフロントリテーナ５０の一部としても良い。この場合、フロントリテーナ５０は、蓋体１０の裏面中央部付近に間隔をおいて装着される複数の支柱と、この複数の支柱間の上下方向に並べて架設される複数の制御片２０と、複数の支柱５１間の上下方向に並べて張架されて複数の制御片２０の間に介在する複数のバネ片４０と、各バネ片４０に必要数が一体形成されて半導体ウェーハ１の前部周縁２を保持する複数の保持ブロック３０とから成形することができる。
【００４６】
また、上方の制御片２０の先端部対向面２２は、下方に向けて直線的に徐々に傾斜しても良いし、Ｒ付きで傾斜しても良い。また、保持ブロック３０の上部と下部の突起３７・３８は、それぞれ複数でも良い。保持ブロック３０の下部の突起３８は、断面矩形でも良いが、断面半円形や半楕円形等に形成することができる。
【００４７】
また、保持ブロック３０の保持溝３１を、保持ブロック３０の前面下方に位置して半導体ウェーハ１の前部周縁２を案内する下部傾斜面３２と、この下部傾斜面３２の上端部から保持ブロック３０の後方に僅かに伸びる第一の段差面と、この第一の段差面の先端部から保持ブロック３０の上方向に傾きながら僅かに伸びる第一の谷用傾斜面と、この第一の谷用傾斜面に接続されて保持ブロック３０の上方向に傾きながら伸びる第二の谷用傾斜面と、この第二の谷用傾斜面の先端部から保持ブロック３０の前面方向に僅かに伸びる第二の段差面と、この第二の段差面の先端部から保持ブロック３０の上方向に傾きながら伸びる上部傾斜面３５とから略Ｙ字形に凹み形成し、下部傾斜面３２と上部傾斜面３５、第一、第二の段差面、第一、第二の谷用傾斜面とをそれぞれ対称の関係にすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明に係る基板収納容器用蓋体及び基板収納容器は、基板収納容器の製造分野で使用される。
【符号の説明】
【００４９】
１        半導体ウェーハ（基板）
２        前部周縁（周縁部）
１０      蓋体
１１      蓋本体
２０      制御片（制御部材）
２１      先端部
２２      対向面
２３      位置規制部
３０      保持ブロック（保持部材）
３１      保持溝
３２      下部傾斜面（第一の傾斜面）
３３      段差面
３４      谷用傾斜面（第二の傾斜面）
３５      上部傾斜面（第三の傾斜面）
３６      谷
３７      突起
３８      突起
４０      バネ片（バネ部材）
５０      フロントリテーナ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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