(57)【要約】【課題】紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを区画することができる紫外線照射装置を提供すること。【解決手段】紫外線照射装置６０は、フレームユニットＦＵに紫外線を照射する紫外線照射ユニット６２と、紫外線照射ユニット６２を収容するハウジング６１と、フレームユニットＦＵを案内する一対のガイドレール６３と、紫外線の透過を許容する透過領域６５ａと紫外線を遮蔽する遮蔽領域６５ｂとを有するマスクユニット６４とを備える。マスクユニット６４は、透過領域６５ａと遮蔽領域６５ｂを有するシート状マスク６５と、シート状マスク６５を巻回する巻き取り部６６と、シート状マスク６５の他端に固定され、ハウジングに挿入される環状フレームＦの先端と係合する係合部６７とを有する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周縁が環状フレームに装着された紫外線硬化型の粘着テープに板状物が貼着されたフレームユニットに紫外線を照射する紫外線照射ユニットと、該紫外線照射ユニットを収容するハウジングと、該ハウジングに出し入れされる該フレームユニットを案内する一対のガイドレールと、該紫外線の透過を許容する透過領域と該紫外線を遮蔽する遮蔽領域とを有し該フレームユニットと該紫外線照射ユニットとの間で紫外線が照射される領域を限定するマスクユニットと、を備える紫外線照射装置であって、
該マスクユニットは、
該透過領域と該遮蔽領域を有するシート状マスクと、
該シート状マスクを巻回する巻き取り部と、
該巻き取り部に一端側から巻き取られた該シート状マスクの他端に固定され、該ハウジングに挿入される該環状フレームの先端と係合する係合部と、を有し、
該フレームユニットが該ハウジングに挿入される搬入口近傍に該巻き取り部が設置され、
該フレームユニットの該ハウジングへの進退に伴って、該フレームユニットの該紫外線照射ユニットに対面する側で該シート状マスクが伸縮することを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】
該紫外線照射ユニットは、該フレームユニットの進退方向と交差する方向に整列する複数の紫外線発光ダイオードであり、該搬入口近傍に設置されていることを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。
【請求項３】
外周縁が環状フレームに装着された紫外線硬化型の粘着テープに板状物が貼着されたフレームユニットを収容するカセットを載置するカセット載置領域と、該カセット載置領域に載置された該カセットに収容された該フレームユニットを搬出入する搬送ユニットと、該搬送ユニットで搬出された該フレームユニットの板状物を加工する加工ユニットと、を備える加工装置であって、
請求項１又は請求項２に記載の紫外線照射装置が所定位置に設置されていることを特徴とする加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線照射装置及び加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
紫外線硬化型の粘着材を備えるいわゆるＵＶ（ultraviolet）硬化タイプのダイシングテープが半導体ウエーハの搬送などに広く使用されている。ＵＶ硬化タイプのダイシングテープには、板状物を強い力で粘着させ、紫外線を照射することで粘着材が硬化して粘着力が低下する特徴があり、ダイシングの工程で広く利用されており、それに伴い紫外線照射装置や紫外線照射装置を搭載した切削装置も開発されてきた（特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００３】
ダイシングテープに紫外線を照射する際、環状フレームには強い力で貼着されたまま板状物だけを剥離容易にしたい場合や、ダイシング前に、板状物と環状フレームとの間の領域だけ粘着力を下げておき、加工屑が付着しない用にする、被加工物のデバイス面に紫外線を照射してデバイス面に残存した保護テープの糊層（有機物）を除去し撥水性を下げるため（特許文献３参照）など、所望の領域のみに紫外線を照射したい場合がある。その場合、紫外線を透過する領域と遮蔽する領域とが形成された板状のマスクを介して、ダイシングテープに紫外線を照射する。また、マスクを用いることなく、所望の領域のみに紫外線を照射するためにＵＶ−ＬＥＤ（Light  Emitting  Diode）を選択的に点灯する紫外線照射装置が開発された（特許文献４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２１９３５８号公報
【特許文献２】特開２０１４−１５４６４２号公報
【特許文献３】特開２０１５−７６５４５号公報
【特許文献４】特開２００７−３２９３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
板状のマスクを用いると、マスクを設置するためのスペースが必要となるとともに、紫外線を照射する領域及び照射しない領域を変更する際に、マスクの交換などのセッティングを行う必要がある。また、特許文献４に示された選択的に点灯されるＵＶ−ＬＥＤを備える紫外線照射装置は、紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを区画することは難しかった。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを区画することができる紫外線照射装置及び加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の紫外線照射装置は、外周縁が環状フレームに装着された紫外線硬化型の粘着テープに板状物が貼着されたフレームユニットに紫外線を照射する紫外線照射ユニットと、該紫外線照射ユニットを収容するハウジングと、該ハウジングに出し入れされる該フレームユニットを案内する一対のガイドレールと、該紫外線の透過を許容する透過領域と該紫外線を遮蔽する遮蔽領域とを有し該フレームユニットと該紫外線照射ユニットとの間で紫外線が照射される領域を限定するマスクユニットと、を備える紫外線照射装置であって、該マスクユニットは、該透過領域と該遮蔽領域を有するシート状マスクと、該シート状マスクを巻回する巻き取り部と、該巻き取り部に一端側から巻き取られた該シート状マスクの他端に固定され、該ハウジングに挿入される該環状フレームの先端と係合する係合部と、を有し、該フレームユニットが該ハウジングに挿入される搬入口近傍に該巻き取り部が設置され、該フレームユニットの該ハウジングへの進退に伴って、該フレームユニットの該紫外線照射ユニットに対面する側で該シート状マスクが伸縮することを特徴とする。
【０００８】
該紫外線照射ユニットは、該フレームユニットの進退方向と交差する方向に整列する複数の紫外線発光ダイオードであり、該搬入口近傍に設置されても良い。
【０００９】
本発明の加工装置は、外周縁が環状フレームに装着された紫外線硬化型の粘着テープに板状物が貼着されたフレームユニットを収容するカセットを載置するカセット載置領域と、該カセット載置領域に載置された該カセットに収容された該フレームユニットを搬出入する搬送ユニットと、該搬送ユニットで搬出された該フレームユニットの板状物を加工する加工ユニットと、を備える加工装置であって、前記紫外線照射装置が所定位置に設置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
そこで、本願発明の紫外線照射装置は、紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを区画することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施形態１に係る紫外線照射装置を備える加工装置である切削装置の構成例を示す図である。
【図２】図２は、実施形態１に係る切削装置の紫外線照射装置を示す断面図である。
【図３】図３は、実施形態１に係る紫外線照射装置の構成例を示す斜視図である。
【図４】図４は、図３に示された紫外線照射装置の要部を拡大して示す斜視図である。
【図５】図５は、図３に示された紫外線照射装置のハウジングにフレームユニットを挿入する状態を示す平面図である。
【図６】図６は、図３に示された紫外線照射装置のハウジングにフレームユニットを収容した状態を示す平面図である。
【図７】図７は、図３に示された紫外線照射装置のシート状マスクを示す斜視図である。
【図８】図８は、図１に示された切削装置のカセット内からフレームユニットを取り出す状態を示す断面図である。
【図９】図９は、図１に示された切削装置の紫外線照射装置のハウジング内にフレームユニットを挿入する状態を示す断面図である。
【図１０】図１０は、実施形態２に係る紫外線照射装置を示す断面図である。
【図１１】図１１は、図１０に示された紫外線照射装置の第２マスクユニットのシート状マスクを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１３】
〔実施形態１〕
図１は、実施形態１に係る紫外線照射装置を備える加工装置である切削装置の構成例を示す図である。図２は、実施形態１に係る切削装置の紫外線照射装置を示す断面図である。
【００１４】
実施形態１に係る加工装置である切削装置１は、板状物Ｗを保持したチャックテーブル１０と切削ブレード２１を有する加工ユニットである切削ユニット２０とを相対移動させることで、板状物Ｗを加工である切削するものである。実施形態１において、板状物Ｗは、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。板状物Ｗは、図１に示すように、表面ＷＳに形成された複数のデバイスＤが複数のストリートによって格子状に区画されている。
【００１５】
板状物Ｗは、図１に示すように、フレームユニットＦＵを構成する。フレームユニットＦＵは、外周縁が環状フレームＦに装着された紫外線硬化型の粘着テープＴに板状物ＷのデバイスＤが複数形成されている表面ＷＳの反対側の裏面ＷＲが貼着されている。粘着テープＴは、紫外線を透過する図示しない樹脂層と、紫外線が照射されることにより硬化して粘着力が低下する図示しない粘着層とを備える。また、本発明で用いられる板状物Ｗは、半導体ウエーハや光デバイスウエーハに限ることなく、ガラス、樹脂などからなる板状部材であっても良い。
【００１６】
切削装置１は、図１に示すように、フレームユニットＦＵを収容するカセット３０を載置するカセット載置領域ＰＲと、搬送ユニット４０と、フレームユニットＦＵの板状物Ｗを保持面１０ａで吸引保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗを切削する切削ユニット２０と、切削ユニット２０により切削された板状物Ｗを洗浄する洗浄装置５０と、紫外線照射装置６０と、制御装置１００とを備える。
【００１７】
カセット３０は、フレームユニットＦＵを複数枚収容するものである。カセット３０は、複数枚のフレームユニットＦＵを鉛直方向と平行なＺ軸方向に間隔をあけて重ねる。カセット３０は、フレームユニットＦＵを出し入れ自在とする開口３１を備える。カセット３０は、切削装置１の装置本体２にＺ軸方向に昇降自在に設けられたカセット載置領域ＰＲ上に設置されて、Ｚ軸方向に昇降自在に設けられている。
【００１８】
搬送ユニット４０は、カセット載置領域ＰＲに載置されたカセット３０に収容されたフレームユニットＦＵを搬出入するものである。搬送ユニット４０は、切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵをカセット３０から１枚取り出すとともに切削後の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵをカセット３０内に挿入する搬出入手段４１と、切削前後の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵを一時的に載置する一対のレール４２と、搬送手段４３と、第２搬送手段４４とを備える。搬送手段４３は、切削前の板状物Ｗを備えかつ一対のレール４２上のフレームユニットＦＵをチャックテーブル１０に搬送し、洗浄装置５０により洗浄された切削後の板状物Ｗを備えたフレームユニットＦＵを一対のレール４２上に搬送する。第２搬送手段４４は、切削後の板状物Ｗを備えかつチャックテーブル１０上のフレームユニットＦＵを洗浄装置５０に搬送する。
【００１９】
また、切削装置１は、チャックテーブル１０を水平方向及び装置本体２の長手方向と平行なＸ軸方向に加工送りする図示しないＸ軸移動手段と、切削ユニット２０を水平方向及び装置本体２の短手方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りする図示しないＹ軸移動手段と、切削ユニット２０をＺ軸方向に切り込み送りする図示しないＺ軸移動手段とを備える。
【００２０】
Ｘ軸移動手段、Ｙ軸移動手段及びＺ軸移動手段は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のパルスモータ及びチャックテーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。
【００２１】
チャックテーブル１０は、円盤形状であり、板状物Ｗを保持する保持面１０ａがポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動手段により移動自在で回転駆動源により回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、フレームユニットＦＵの板状物Ｗを吸引、保持する。
【００２２】
切削ユニット２０は、搬送ユニット４０で搬出されたフレームユニットＦＵの板状物Ｗを切削するものである。切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗを切削する切削ブレード２１を装着する図示しないスピンドルを備える。切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗに対して、Ｙ軸移動手段によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動手段によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動手段及びＺ軸移動手段により、チャックテーブル１０の保持面１０ａの任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。
【００２３】
切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。スピンドルは、切削ブレード２１を回転させることで板状物Ｗを切削する。スピンドルは、スピンドルハウジング内に収容されている。切削ユニット２０のスピンドル及び切削ブレード２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。
【００２４】
また、切削装置１は、チャックテーブル１０に保持された切削前の板状物Ｗの表面ＷＳを撮像する撮像手段７０を備える。撮像手段７０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の板状物Ｗの分割すべき領域を撮像するＣＣＤカメラを備えている。ＣＣＤカメラは、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗを撮像して、板状物Ｗと切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するための画像を得、得た画像を制御装置１００に出力する。
【００２５】
洗浄装置５０は、板状物Ｗを回転させながら洗浄水を板状物Ｗに向けて噴射することで、板状物Ｗの表面ＷＳを洗浄する、所謂、スピンナ洗浄装置である。
【００２６】
紫外線照射装置６０は、図１に示すように、装置本体２の所定位置に設置されている。紫外線照射装置６０は、図２に示すように、装置本体２内に設けられた昇降機構３により支持されて、Ｚ軸方向に昇降自在に設けられている。昇降機構３は、図２に示すように、軸心回りに回転自在に設けられた周知のねじ軸３ａと、ねじ軸３ａを軸心回りに回転させる周知のパルスモータ３ｂと、ねじ軸３ａに螺合するナット部３ｃを備える支持部３ｄとを備える。ねじ軸３ａは、Ｚ軸方向と平行に配置される。支持部３ｄは、紫外線照射装置６０が載置されて、紫外線照射装置６０を支持する。実施形態１において、紫外線照射装置６０は、昇降機構３の所定位置である支持部３ｄ上に設置されている。
【００２７】
次に、実施形態１に係る紫外線照射装置６０を図面を参照しつつ詳細に説明する。図３は、実施形態１に係る紫外線照射装置の構成例を示す斜視図である。図４は、図３に示された紫外線照射装置の要部を拡大して示す斜視図である。図５は、図３に示された紫外線照射装置のハウジングにフレームユニットを挿入する状態を示す平面図である。図６は、図３に示された紫外線照射装置のハウジングにフレームユニットを収容した状態を示す平面図である。図７は、図３に示された紫外線照射装置のシート状マスクを示す斜視図である。
【００２８】
紫外線照射装置６０は、フレームユニットＦＵの粘着テープＴの一部分に紫外線を照射して、粘着テープＴの一部分の粘着力を低下させるものである。実施形態１において、紫外線照射装置６０は、切削後のフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗを貼着した部分に紫外線を照射して、切削後の板状物Ｗを粘着テープＴから剥がし易くするものである。
【００２９】
紫外線照射装置６０は、図２及び図３に示すように、扁平な箱状のハウジング６１と、紫外線照射ユニット６２と、一対のガイドレール６３と、マスクユニット６４とを備える。ハウジング６１は、昇降機構３の支持部３ｄに支持されている。ハウジング６１は、紫外線照射ユニット６２と、一対のガイドレール６３と、マスクユニット６４とを収容する。ハウジング６１は、搬送ユニット４０の一対のレール４２と対向する搬入口６１ａを備え、搬入口６１ａを通してＹ軸方向に沿って搬出入手段４１によりフレームユニットＦＵが出し入れされる。
【００３０】
紫外線照射ユニット６２は、搬出入手段４１によりハウジング６１に出し入れされるフレームユニットＦＵの粘着テープＴ側から紫外線を照射するものである。紫外線照射ユニット６２は、図３及び図４に示すように、ハウジング６１の搬入口６１ａの隣りに配置され、かつ、図２に示すように、ハウジング６１に出し入れされるフレームユニットＦＵの下方に配置されている。紫外線照射ユニット６２は、図５に示すように、複数の紫外線発光ダイオードであるＵＶ（ultraviolet）−ＬＥＤ（Light  Emitting  Diode）６２ａである。ＵＶ−ＬＥＤ６２ａは、紫外線を照射するものである。紫外線照射ユニット６２は、複数のＵＶ−ＬＥＤ６２ａをハウジング６１にフレームユニットＦＵが出し入れされるＹ軸方向（フレームユニットＦＵの進退方向に相当する）と交差（実施形態では、直交）するＸ軸方向に並べている。このように、紫外線照射ユニット６２は、ハウジング６１に対するフレームユニットＦＵの進退方向と交差するＸ軸方向に整列する複数のＵＶ−ＬＥＤ６２ａであり、ハウジング６１の搬入口６１ａ近傍に設置されているとともに、Ｘ軸方向と平行な直線状に形成されている。
【００３１】
一対のガイドレール６３は、ハウジング６１に出し入れされるフレームユニットＦＵを案内するものである。一対のガイドレール６３は、図５及び図６に示すように、ハウジング６１にフレームユニットＦＵが出し入れされるＹ軸方向（フレームユニットＦＵの進退方向に相当する）と交差（実施形態では、直交）するＸ軸方向に対向するハウジング６１の内壁面６１ｂに設置されている。また、一対のガイドレール６３は、ハウジング６１にフレームユニットＦＵが出し入れされるＹ軸方向（フレームユニットＦＵの進退方向に相当する）と平行な直線状に形成されている。一対のガイドレール６３は、互いに対向する表面にフレームユニットＦＵの環状フレームＦの外縁部が挿入されて、フレームユニットＦＵが出し入れされる方向をＹ軸方向と平行にするガイド溝６３ａが設けられている。ガイド溝６３ａは、Ｙ軸方向と平行に形成されている。
【００３２】
マスクユニット６４は、図７に示すように、紫外線の透過を許容する透過領域６５ａと、紫外線を遮蔽する遮蔽領域６５ｂとを有し、フレームユニットＦＵと紫外線照射ユニット６２との間で紫外線が粘着テープＴに照射される領域を限定するものである。マスクユニット６４は、ハウジング６１に出し入れされるフレームユニットＦＵと、紫外線照射ユニット６２との間に配置されている。マスクユニット６４は、図３及び図４に示すように、シート状マスク６５と、巻き取り部６６と、係合部６７とを有する。
【００３３】
シート状マスク６５は、紫外線を透過し且つ可撓性を有する合成樹脂により構成されて、シート状に形成されている。シート状マスク６５は、図７に示すように、紫外線の透過を許容する透過領域６５ａと、紫外線を遮蔽する遮蔽領域６５ｂとを有する。透過領域６５ａは、紫外線を透過する合成樹脂のみにより構成されている。実施形態１において、透過領域６５ａは、シート状マスク６５上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの板状物Ｗと同等な平面形状に形成されている。透過領域６５ａは、シート状マスク６５上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗに貼着された部分に紫外線照射ユニット６２からの紫外線が照射されることを許容する。実施形態１において、透過領域６５ａは、粘着テープＴの板状物Ｗに貼着された部分の粘着力が低下することを許容する。
【００３４】
遮蔽領域６５ｂは、紫外線を透過する合成樹脂の表面に紫外線を遮蔽する塗料等が塗布されて構成される。なお、遮蔽領域６５ｂを構成する塗料が、金属などを含む場合には、アースに接続されることが望ましい。遮蔽領域６５ｂがアースに接続されることにより、シート状マスク６５が発生する静電気に板状物ＷのデバイスＤが帯電することを抑制することができる。シート状マスク６５が金属のシートで形成されていても良く、その場合もアース接続により静電気を抑制できる。さらには、後述するばね部（ぜんまいばね）６６ｂから延在した金属のシートでシート状マスク６５を構成しても良い。実施形態１において、遮蔽領域６５ｂは、シート状マスク６５上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの板状物Ｗ以外と同等な平面形状に形成されている。遮蔽領域６５ｂは、シート状マスク６５上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗに貼着された部分以外に紫外線照射ユニット６２からの紫外線が照射されることを規制する。実施形態１において、遮蔽領域６５ｂは、粘着テープＴの環状フレームＦに貼着された部分の粘着力が低下することを規制する。
【００３５】
巻き取り部６６は、シート状マスク６５を巻回するものである。巻き取り部６６は、フレームユニットＦＵがハウジング６１に挿入される搬入口６１ａ近傍に設置されている。巻き取り部６６は、円柱状に形成され、かつシート状マスク６５の一端が取り付けられているとともに、軸心回りに回転自在に設けられた巻き取り軸部材６６ａと、巻き取り軸部材６６ａがシート状マスク６５を巻き取る方向に巻き取り軸部材６６ａを付勢する図４に示すばね部６６ｂとを備える。
【００３６】
巻き取り軸部材６６ａは、Ｘ軸方向と平行に配置され、かつ両端が回転支持部材６６ｃにより軸心回りに回転自在に支持されている。ばね部６６ｂは、巻き取り軸部材６６ａの一端に設けられ、巻き取り軸部材６６ａとハウジング６１とに取り付けられた図示しないぜんまいばねを備える。ぜんまいばねは、巻き取り軸部材６６ａをシート状マスク６５を巻き取る方向に付勢する。
【００３７】
係合部６７は、巻き取り部６６に一端側から巻き取られたシート状マスク６５の他端に固定され、ハウジング６１に挿入される環状フレームＦの先端と係合する。係合部６７は、シート状マスク６５の他端にＸ軸方向の全長に亘って設けられ、側方からみて中央に屈曲部６７ａが形成されたく字状に形成されている。係合部６７の屈曲部６７ａは、搬入口６１ａに近付くにしたがって徐々にＺ軸方向の幅が大きくなるように、屈曲している。係合部６７は、搬入口６１ａを通してハウジング６１内に挿入される環状フレームＦの先端が屈曲部６７ａに当接して、環状フレームＦの先端が係合する。係合部６７は、ハウジング６１外に搬出される環状フレームＦが屈曲部６７ａから離れて、環状フレームＦの先端の係合が解除される。
【００３８】
前述した構成の紫外線照射装置６０は、ハウジング６１内にフレームユニットＦＵを収容する前では、図３の破線、図４及び図５に示すように、シート状マスク６５が巻き取り軸部材６６ａに巻き取られているとともに、係合部６７が搬入口６１ａの近傍に位置する。搬出入手段４１によりフレームユニットＦＵが搬入口６１ａを通してハウジング６１内に挿入されると、図３の破線、図４及び図５に示すように、フレームユニットＦＵの先端が係合部６７に係合する。紫外線照射装置６０は、搬出入手段４１にフレームユニットＦＵがハウジング６１の奥に挿入されるのにしたがって、ばね部６６ｂのぜんまいばねの付勢力に抗して、巻き取り軸部材６６ａがシート状マスク６５を送り出す方向に回転する。
【００３９】
そして、紫外線照射装置６０は、ハウジング６１内にフレームユニットＦＵを収容すると、図３の実線及び図６に示すように、係合部６７がハウジング６１の奥に位置して、シート状マスク６５の透過領域６５ａがフレームユニットＦＵの板状物Ｗに重なり、遮蔽領域６５ｂがフレームユニットＦＵの環状フレームＦに重なる。こうして、紫外線照射装置６０は、フレームユニットＦＵのハウジング６１への進退である出し入れに伴って、フレームユニットＦＵの紫外線照射ユニット６２に対面する側でシート状マスク６５が図５に示す位置と図６に示す位置とに亘って伸縮する。
【００４０】
また、実施形態１において、紫外線照射装置６０の上には、図２に示すように、カセット３０が載置される。実施形態１において、紫外線照射装置６０の上面は、カセット３０を載置するカセット載置領域ＰＲである。
【００４１】
制御装置１００は、上述した構成要素をそれぞれ制御して、板状物Ｗに対する加工動作を切削装置１に実施させるものである。なお、制御装置１００は、コンピュータシステムを含む。制御装置１００は、ＣＰＵ（central  processing  unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read  only  memory）又はＲＡＭ（random  access  memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御装置１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の上述した構成要素に出力する。また、制御装置１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示手段や、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力手段と接続されている。入力手段は、表示手段に設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。
【００４２】
次に、実施形態１に係る切削装置１の加工動作について図面を参照して説明する。図８は、図１に示された切削装置のカセット内からフレームユニットを取り出す状態を示す断面図である。図９は、図１に示された切削装置の紫外線照射装置のハウジング内にフレームユニットを挿入する状態を示す断面図である。
【００４３】
加工動作では、オペレータが加工内容情報を制御装置１００に登録し、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に、切削装置１が加工動作を開始する。まず、オペレータが切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵをカセット３０内に収容し、開口３１が搬出入手段４１に対向する向きでカセット３０をカセット載置領域ＰＲに載置して、オペレータから加工動作の開始指示が入力される。加工動作の開始指示が入力されると、制御装置１００は、図８に示すように、昇降機構３を制御してカセット３０から取り出すフレームユニットＦＵを搬出入手段４１と同一平面上に位置付けて、搬出入手段４１  にカセット３０から切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵを一枚取り出させて、一対のレール４２上に載置させる。制御装置１００は、搬送手段４３に一対のレール４２上のフレームユニットＦＵをチャックテーブル１０に搬送させ、搬出入手段４１が取り出したフレームユニットＦＵの板状物Ｗをチャックテーブル１０の保持面１０ａに吸引保持させる。
【００４４】
次に、制御装置１００は、Ｘ軸移動手段によりチャックテーブル１０を切削ユニット２０の下方に向かって移動して、撮像手段７０の下方にチャックテーブル１０に保持されたフレームユニットＦＵを位置付け、撮像手段７０にフレームユニットＦＵの板状物Ｗを撮像させる。制御装置１００が、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗのストリートと、切削ユニット２０の切削ブレード２１との位置合わせを行なうためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、チャックテーブル１０に保持された板状物Ｗと切削ユニット２０との相対位置を調整する。
【００４５】
そして、制御装置１００は、加工内容情報に基づいて、Ｘ軸移動手段とＹ軸移動手段とＺ軸移動手段と回転駆動源により、切削ブレード２１と板状物Ｗとをストリートに沿って相対的に移動させて、切削ブレード２１によりストリートを切削する。
【００４６】
制御装置１００は、すべてのストリートを切削して、板状物Ｗを個々のデバイスＤに分割すると、チャックテーブル１０を切削ユニット２０の下方から退避させた後、チャックテーブル１０の吸引保持を解除する。そして、制御装置１００は、第２搬送手段４４にチャックテーブル１０上のフレームユニットＦＵを洗浄装置５０に搬送させ、洗浄装置５０にフレームユニットＦＵを洗浄させた後、搬送手段４３に洗浄済みのフレームユニットＦＵを一対のレール４２上に搬送させる。
【００４７】
制御装置１００は、昇降機構３を制御して紫外線照射装置６０のハウジング６１の搬入口６１ａを搬出入手段４１と同一平面上に位置付けて、紫外線照射装置６０の紫外線照射ユニット６２のＵＶ−ＬＥＤ６２ａを点灯させて、図９に示すように、搬出入手段４１に一対のレール４２上のフレームユニットＦＵをハウジング６１内に所定の速度で挿入させる。すると、フレームユニットＦＵの環状フレームＦが係合部６７に係合し、フレームユニットＦＵの環状フレームＦが一対のガイドレール６３のガイド溝６３ａに案内されて、フレームユニットＦＵがハウジング６１の奥に挿入される。このとき、フレームユニットＦＵの侵入とともに、シート状マスク６５が巻き取り軸部材６６ａから送り出されて、透過領域６５ａが板状物Ｗに重なり、遮蔽領域６５ｂが環状フレームＦに重なる。そして、紫外線照射ユニット６２のＵＶ−ＬＥＤ６２ａからの紫外線が粘着テープＴの板状物Ｗが貼着された部分に照射される。
【００４８】
制御装置１００は、フレームユニットＦＵをハウジング６１内に収容して、予め設定された時間紫外線が照射されると、搬出入手段４１にフレームユニットＦＵをハウジング６１外に所定の速度で搬出させ、一対のレール４２上に載置させるとともに、紫外線照射ユニット６２のＵＶ−ＬＥＤ６２ａを消灯させる。制御装置１００は、昇降機構３を制御してカセット３０の取り出したフレームユニットＦＵを収容していた箇所を搬出入手段４１と同一平面上に位置付けて、搬出入手段４１にカセット３０内に切削後の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵを収容させる。制御装置１００は、切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵを再度、チャックテーブル１０上に載置し、前述の工程を繰り返して、板状物Ｗを個々のデバイスＤに分割する。
【００４９】
以上のように、実施形態１に係る紫外線照射装置６０によれば、紫外線照射ユニット６２をＸ軸方向と平行な直線状に形成しても、シート状マスク６５に透過領域６５ａと遮蔽領域６５ｂとを形成しているので、フレームユニットＦＵの紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを区画することができる。
【００５０】
また、紫外線照射装置６０は、透過領域６５ａと遮蔽領域６５ｂとを有するシート状マスク６５を巻き取り部６６に巻回してハウジング６１内に収容しているので、シート状マスク６５の設置に必要なスペースを抑制することができる。また、紫外線照射装置６０は、シート状マスク６５の他端にフレームユニットＦＵの環状フレームＦに係合する係合部６７を設けているので、ハウジング６１内にフレームユニットＦＵを挿入することにより、シート状マスク６５を巻き取り部６６から送り出させて、シート状マスク６５を紫外線照射ユニット６２とフレームユニットＦＵとの間に位置付けることができる。また、紫外線照射装置６０は、ハウジング６１内にフレームユニットＦＵが挿入される際に、巻き取り部６６から順に送り出されるシート状マスク６５の透過領域６５ａが紫外線が粘着テープＴに照射されることを許容し、遮蔽領域６５ｂが紫外線が粘着テープＴに照射されることを規制する。その結果、紫外線照射装置６０は、紫外線が照射される領域を限定するシート状マスク６５の設置にかかるスペースを抑制しながらも、フレームユニットＦＵの紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを確実に区画することができる。
【００５１】
また、紫外線照射装置６０は、巻き取り部６６の巻き取り軸部材６６ａがばね部６６ｂによりシート状マスク６５を巻き取る方向に付勢されているので、ハウジング６１の外にフレームユニットＦＵを搬出するのにしたがって、巻き取り軸部材６６ａにシート状マスク６５が巻き取られることとなる。その結果、紫外線照射装置６０は、未使用時のシート状マスク６５の設置にかかるスペースを抑制することができる。また、紫外線照射装置６０は、ばね部６６ｂにより巻き取る方向に付勢された巻き取り軸部材６６ａに巻回されたシート状マスク６５の他端にフレームユニットＦＵの環状フレームＦに係合する係合部６７を設けているので、ハウジング６１への挿入時に移動するフレームユニットＦＵに１列のＵＶ−ＬＥＤ６２ａから紫外線を照射することで、駆動部を別途設けることなくフレームユニットＦＵ全体に紫外線を照射でき、効率的な構成を実現できるという効果もある。
【００５２】
実施形態１に係る加工装置である切削装置１は、紫外線照射装置６０を備えているので、紫外線が照射される領域を限定するシート状マスク６５の設置にかかるスペースを抑制しながらも、フレームユニットＦＵの紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを確実に区画することができる。
【００５３】
〔実施形態２〕
実施形態２に係る紫外線照射装置６０を図面を参照して説明する。図１０は、実施形態２に係る紫外線照射装置を示す断面図である。図１１は、図１０に示された紫外線照射装置の第２マスクユニットのシート状マスクを示す斜視図である。なお、図１０及び図１１は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。  
【００５４】
実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２は、図１０に示すように、マスクユニット６４に加えて第２マスクユニット６４−２を備え、かつ、ガイドレール６３に加えて第２ガイドレール６３−２を備え、ハウジング６１が、搬入口６１ａに加えて第２搬入口６１ａ−２を備える。第２ガイドレール６３−２は、ガイドレール６３と同じ構成であり、第２搬入口６１ａ−２は、搬入口６１ａと同じ構成である。第２搬入口６１ａ−２は、搬入口６１ａとＺ軸方向に重ねられ、第２ガイドレール６３−２は、ガイドレール６３とＺ軸方向に重ねられ、第２マスクユニット６４−２は、マスクユニット６４とＺ軸方向に重なる位置に配置されている。
【００５５】
第２マスクユニット６４−２は、図１１に示すシート状マスク６５−２を除いて、マスクユニット６４と同じ構成である。実施形態２の紫外線照射装置６０−２は、マスクユニット６４，６４−２を二つ備えるが、本発明では、マスクユニット６４，６４−２を三つ以上備えて、三つ以上のマスクユニット６４，６４−２をＺ軸方向に重ねても良い。
【００５６】
第２マスクユニット６４−２のシート状マスク６５−２は、図１１に示すように、透過領域６５ａ−２がシート状マスク６５−２上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの板状物Ｗと環状フレームＦとの間と同等な平面形状（リンク形状）に形成されている。透過領域６５ａ−２は、シート状マスク６５−２上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗと環状フレームＦとの間の部分に紫外線照射ユニット６２からの紫外線が照射されることを許容する。
【００５７】
実施形態２において、遮蔽領域６５ｂ−２は、シート状マスク６５−２上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの板状物Ｗと環状フレームＦとの間以外と同等な平面形状に形成されている。遮蔽領域６５ｂ−２は、シート状マスク６５上に配置されるハウジング６１内に収容されたフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗと環状フレームＦとの間以外に紫外線照射ユニット６２からの紫外線が照射されることを規制する。実施形態２において、遮蔽領域６５ｂ−２は、粘着テープＴの環状フレームＦに貼着された部分の粘着力が低下することを規制する。
【００５８】
実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２を備える切削装置１の制御装置１００は、カセット３０から取り出した切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵを第２搬入口６１ａ−２を通してハウジング６１内に挿入して、紫外線照射ユニット６２のＵＶ−ＬＥＤ６２ａを点灯させて、フレームユニットＦＵの環状フレームＦを第２マスクユニット６４−２の係合部６７に係合させる。実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２を備える切削装置１の制御装置１００は、カセット３０から取り出した切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗと環状フレームＦとの間に紫外線を照射する。実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２を備える切削装置１の制御装置１００は、切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗと環状フレームＦとの間に紫外線を照射して、切削の際に生じる加工屑が粘着テープＴに貼着されることを規制する。実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２を備える切削装置１の制御装置１００は、切削前の板状物Ｗを備えるフレームユニットＦＵの粘着テープＴの板状物Ｗ  と環状フレームＦとの間に紫外線を照射した後は、実施形態１と同様に板状物Ｗを切削する。
【００５９】
実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２は、透過領域６５ａ，６５ａ−２と遮蔽領域６５ｂ，６５ｂ−２とを有するシート状マスク６５，６５−２を巻き取り部６６に巻回してハウジング６１内に収容しているので、実施形態１と同様に、紫外線が照射される領域を限定するシート状マスク６５，６５−２の設置にかかるスペースを抑制しながらも、フレームユニットＦＵの紫外線を照射する領域と、紫外線を照射しない領域とを確実に区画することができる。
【００６０】
また、実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２は、複数のマスクユニット６４，６４−２をＺ軸方向に重ねているので、複数のシート状マスク６５，６５−２を設けても設置にかかるスペースが大きくなることを抑制できる。また、実施形態２に係る紫外線照射装置６０−２は、複数のマスクユニット６４，６４−２をＺ軸方向に重ねているので、所望のマスクユニット６４，６４−２にフレームユニットＦＵを挿入することで、任意のシート状マスク６５，６５−２を選択でき、使用するシート状マスク６５，６５−２を変更する度に、シート状マスク６５，６５−２のセッティングを変更する必要が無いという効果を奏する。
【００６１】
実施形態１及び実施形態２において、加工ユニットとして、切削ユニット２０を示しているが、これに限定されずに、加工ユニットが、レーザ加工装置のレーザ光線照射ユニット、研削装置の研削ユニット又は研磨装置の研磨ユニットでも良い。即ち、実施形態１及び実施形態２において、紫外線照射装置６０，６０−２は、加工装置である切削装置１を構成するものを示しているが、本発明の紫外線照射装置６０，６０−２は、加工装置としてのレーザ加工装置、研削装置及び研磨装置を構成しても良い。また、本発明の紫外線照射装置６０は、加工装置を構成することなく、単独で用いられても良い。ほかに、本発明は、紫外線照射ユニット６２がマスクユニット６４，６４−２を挟んでフレームユニットＦＵと対向する位置に位置づけられて、紫外線照射ユニット６２が上下に設置されて対面する位置に配置されても良い。この場合、板状物Ｗの表面ＷＳにも紫外線を照射でき、板状物Ｗの表面ＷＳ上の有機物を除去することができる。
【００６２】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【００６３】
１  切削装置（加工装置）
２０  切削ユニット（加工ユニット）
３０  カセット
４０  搬送ユニット
６０  紫外線照射装置
６１  ハウジング
６１ａ  搬入口
６１ａ−２  第２搬入口（搬入口）
６２  紫外線照射ユニット
６２ａ  ＵＶ−ＬＥＤ（紫外線発光ダイオード）
６３  ガイドレール
６３−２  第２ガイドレール（ガイドレール）
６４  マスクユニット
６４−２  第２マスクユニット（マスクユニット）
６５，６５−２  シート状マスク
６５ａ，６５ａ−２  透過領域
６５ｂ，６５ｂ−２  遮蔽領域
６６  巻き取り部
６７  係合部
ＰＲ  カセット載置領域
Ｆ  環状フレーム
ＦＵ  フレームユニット
Ｔ  粘着テープ
Ｗ  板状物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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