(57)【要約】【課題】トラップ全体の捕集率を向上させるとともに、流路の閉塞を抑止できるようにする。【解決手段】ガスの流れを干渉する複数のバッフルプレート２と、バッフルプレート２を内部に備えるトラップ室３と、を備える排気トラップ１であって、バッフルプレート２は、ガス通過孔２１が形成されており、ガス通過孔２１は、トラップ室３の内壁から所定距離離れた位置に形成されており、トラップ室３の外壁側には冷却装置４が配置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスの流れを干渉する複数のバッフルプレートと、
前記バッフルプレートを内部に備えるトラップ室と、
を備える排気トラップであって、
前記バッフルプレートは、ガス通過孔が形成されており、
前記ガス通過孔は、前記トラップ室の内壁から所定距離離れた位置に形成されており、
前記トラップ室の外壁側には冷却装置が配置されている、排気トラップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排気トラップに関する。
【背景技術】
【０００２】
ハウジングに設けられたガス導入口からガス導出口に至る間において、ガスをトラップする端面板（バッフルプレート）の間隔が漸減傾向に設定されたトラップが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０９−０７２２９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、主にバッフルプレートの表面に固形物が捕集されるため、バッフルプレートが少ないと、トラップ全体の捕集率が不足する。また、バッフルプレートの数を多くすると、流路の閉塞が起こりやすくなる。
【０００５】
また、固体成分を捕集するための従来のトラップによると、捕集した固体物による閉塞や捕集量の不足が問題となる場合がある。例えば、特開２００７−３０７５４５号に開示された発明においては、フィルターでの捕集の際に詰まりが発生することがある。また、特開２００６−５２５８号に開示された発明においては、トラップ下部のような捕集量が多い場所では、特開２００６−５２５８号の図６に示されている斜線部のように堆積による流路の閉塞が発生することがある。また、特開２００７−２５０６９６号に開示された発明においては、邪魔板と整流板のみの捕集を狙っているため、トラップ全体としての捕集量が不足する。
【０００６】
そこで、本発明は、トラップ全体の捕集率を向上させるとともに、流路の閉塞を抑止できるようにした排気トラップを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
かかる課題を解決するべく、本発明は、
ガスの流れを干渉する複数のバッフルプレートと、
前記バッフルプレートを内部に備えるトラップ室と、
を備える排気トラップであって、
前記バッフルプレートは、ガス通過孔が形成されており、
前記ガス通過孔は、前記トラップ室の内壁から所定距離離れた位置に形成されており、
前記トラップ室の外壁側には冷却装置が配置されている、排気トラップである。
【０００８】
このように、トラップ室の外壁に冷却装置を設け、トラップ室の壁を冷却することで、トラップ室の内壁に固形成分が捕集されるため、バッフルプレートに加えトラップ室内壁にも捕集容量が確保され、捕集率が向上する。また、ガス通過孔はトラップ室内壁からは離れた位置に存在するため、内壁に固形物が堆積しても流路の閉塞を抑制できる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、トラップ全体の捕集率を向上させるとともに、流路の閉塞を抑止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】排気トラップ等における排気の流れを説明する図である。
【図２】排気トラップの詳細を示す図である。
【図３】バッフルプレートの平面図である。
【図４】バッフルプレートの配置例を示す側面から見た排気トラップの図である。
【図５】排気トラップのウォータージャケットと壁面捕集板について説明する図である。
【図６】バッフルプレートの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の構成を図面に示す実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。
【００１２】
図１〜図６に、排気トラップ１の一実施形態を示す。本実施形態では、図１に示す排気流路にあるトラップを下記の構造とする。なお、アルファベット記号は、図中に記載されたものと対応する。
【００１３】
図１は、排気トラップ１およびその周辺の排気流れを示す図である。ドライポンプ５からの排気ガス（例えば、ピリジン（ガス））は、排気トラップ１のトラップ室３を通過後、排気ダクトから排出される（図１参照）。
【００１４】
Ａ：捕集量に合ったバッフルプレート２の配置にし、かつ１段目の閉塞を防止する（図２参照）。例えば、バッフルプレート２の１段目を広くし、２段目以降を徐々に狭く配置する。こうした場合、適正捕集量と１段目の閉塞防止の配置とすることができる。ガス入口側のバッフルプレート２の間隔よりガス出口側のバッフルプレート２の間隔が狭いことで、適正捕集量に合った間隔となり、流路の閉塞を抑制できる。
【００１５】
なお、複数のバッフルプレート２は、排気トラップ１内に設けられた主軸６に、スペーサー７を介在させて取り付けられる。また、主軸６には、バッフルプレート２を主軸６に沿って一方側に押圧するスプリング８が取り付けられる。複数のバッフルプレート２には、排気トラップ１内での流路が長くなるよう、次段には前段と異なる位置にガス通過孔２１が設けられている（図２参照）。
【００１６】
Ｃ：ウォータージャケット（冷却装置）４により排気トラップ１の内部のガスを冷却して固体化させ、Ｄの部分（壁面付着板３１）へ付着させる（図２参照）。これにより、壁面に直接堆積するのを防止する。このように壁面付着板３１を設けることで、メンテナンス時にバッフルプレート２と一緒に引き抜けるため、メンテナンス性に優れる。
【００１７】
Ｄ：排気トラップ１のトラップ室３ノ壁面への直接堆積によるメンテナンス効率悪化を防止するために壁面付着板３１が設置されている（図２参照）。
【００１８】
Ｂ：Ｄの部分（壁面付着板３１）への付着物によるガス通過孔２１の閉塞を防止するため、Ｂを設定、すなわち、ガス通過孔２１を外周部（トラップ室３の内壁）から離して配置する（図２、図３参照）。
【００１９】
続いて、排気トラップ１におけるフィルター詰まりと流路閉塞の解決手段について説明する。図４に、バッフルプレート２の配置例を示した排気トラップ１の内部構造を示す。
【００２０】
ドライポンプ５から出てすぐのガスは濃度、温度が高いため、１段目を広くすることで、図４中に符号ａで示すように多くの捕集を行う。また、１段目を広くすることで、堆積による閉塞防止にも効果がある。２段目以降は濃度が徐々に下がるので、バッフルプレート２の間隔を狭めるようにする。これにより、配置可能なバッフルプレート２の数が増え、ガス経路を長くして、濃度が下がった場所でも下がった温度によって捕集効率を変えることなく、どのエリアでも均一に捕集することが可能となる。
【００２１】
続いて、排気トラップ１における捕集不足の解決手段について説明する。図５に、排気トラップ１におけるウォータージャケット４と壁面付着板３１の構成例を示す。
【００２２】
ウォータージャケット４に水を流すことで、ガスを冷却し、固体成分を排気トラップ１内の壁面で捕集する。その際、バッフルプレート２のガス通過孔２１（図６参照）の閉塞を抑制するため、当該バッフルプレート２の外周から適宜距離ｃをとる（図６参照）。
【００２３】
また、メンテナンス性を考慮し、排気トラップ１の壁面への直接捕集を避けるために壁面付着板３１を設け、メンテナンス時にバッフルプレート２とともに例えば上方へ引き抜ける構造としてもよい（図５参照）。
【００２４】
本実施形態の排気トラップ１によれば、排気トラップ１内のバッフルプレート２の配置・形状およびトラップ室３の壁面への冷却により、メンテナンス性を維持したまま捕集率を向上させることができる。これによれば、トラップ全体の捕集率が向上し、流路の閉塞を抑止することができる。
【００２５】
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明は、ガスをトラップする排気トラップに適用して好適である。
【符号の説明】
【００２７】
１…排気トラップ
２…バッフルプレート
３…トラップ室
４…ウォータージャケット（冷却装置）
２１…ガス通過孔
３１…壁面付着板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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