(57)【要約】【課題】ガラスパネルエッジ研磨装置を提供すること。【解決手段】ベースフレームと、ベースフレームに装着されるスピンドルモータと、スピンドルモータの回転軸に結合されて高速で回転し、所定研磨ポイントでガラスパネルのエッジに接触し、回転摩擦を介して研磨を行う研磨ホイールと、ガラスパネルの上部に位置し、研磨ホイールの外周部を回転するように、ベースフレームに結合される第１ノズルと、ガラスパネルの側部に位置し、研磨ホイールの外周部を回転するように、前記ベースフレームに結合される第２ノズルと、研磨ホイールとは独立し、前記第１ノズルと前記第２ノズルとを前記研磨ホイールの外周部に沿って回転させるロータリノズル駆動部と、第１ノズル及び第２ノズルに研磨水を供給する研磨水供給部と、を含むガラスパネルエッジ研磨装置である。【選択図】図３
2018134730.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフレームと、
該ベースフレームに装着されるスピンドルモータと、
該スピンドルモータの回転軸に結合されて高速で回転し、所定研磨ポイントでガラスパネルのエッジに接触し、回転摩擦を介して研磨を行う研磨ホイールと、
前記ガラスパネルの上部に位置し、前記研磨ホイールの外周部を回転するように、前記ベースフレームに結合される第１ノズルと、
前記ガラスパネルの側部に位置し、前記研磨ホイールの外周部を回転するように、前記ベースフレームに結合される第２ノズルと、
前記研磨ホイールとは独立し、前記第１ノズルと前記第２ノズルとを前記研磨ホイールの外周部に沿って回転させるロータリノズル駆動部と、
前記第１ノズル及び前記第２ノズルに研磨水を供給する研磨水供給部と、を含むガラスパネルエッジ研磨装置。
【請求項２】
前記第１ノズルは、前記ガラスパネルの上部から下方に、前記研磨水供給部を介して供給された研磨水を噴射する垂直噴射ノズルを含み、
前記第２ノズルは、前記研磨ホイールの前方から、前記研磨ポイントに向けて側方向に、前記研磨水供給部を介して供給された研磨水を噴射する精密集中ノズルを含むことを特徴とする請求項１に記載のガラスパネルエッジ研磨装置。
【請求項３】
前記ロータリノズル駆動部が、前記ガラスパネルに対する前記研磨ホイールの位置により、前記第１ノズルと前記第２ノズルとが所定噴射位置に移動するように、前記第１ノズルと前記第２ノズルとを回転させることにより、前記第１ノズルは、前記研磨ポイント近辺において、前記ガラスパネルの上部に位置し、前記第２ノズルは、前記研磨ホイールの前方から、前記研磨ポイントを見る地点に位置することを特徴とする請求項２に記載のガラスパネルエッジ研磨装置。
【請求項４】
前記研磨ホイールの外周部に沿ってドーナツ形状に形成され、前記ベースフレームに結合される第１部材と、
該第１部材の外周部に回転自在に結合されるドーナツ形状の第２部材と、をさらに含み、
前記第１ノズル及び前記第２ノズルは、前記第２部材にそれぞれ結合され、前記ロータリノズル駆動部が、前記第２部材を回転させることにより、前記第１ノズルと前記第２ノズルとが前記研磨ホイールの外周部に沿って回転することを特徴とする請求項１に記載のガラスパネルエッジ研磨装置。
【請求項５】
前記研磨水供給部は、
前記第１部材の所定地点に穿孔される研磨水供給ポートと、
前記研磨水供給ポートと流体的に連結され、前記第１部材の外周縁に沿って表面に露出されるように陥入形成された研磨水供給流路と、
該研磨水供給流路と流体的に連結されるように、前記第２部材の所定地点に穿孔された２個の研磨水排出ポートと、を含むことを特徴とする請求項４に記載のガラスパネルエッジ研磨装置。
【請求項６】
前記第１ノズルは、第１研磨水排出ポートと連結されるように、前記第２部材に結合され、前記第２ノズルは、第２研磨水排出ポートと連結されるように、前記第２部材に結合され、前記研磨水供給ポートに研磨水注入ホースを連結することにより、前記第１ノズル及び前記第２ノズルに研磨水が供給されることを特徴とする請求項５に記載のガラスパネルエッジ研磨装置。
【請求項７】
前記第１部材と前記第２部材とが結合される部位には、前記研磨水供給流路に供給された研磨水の流出を防止するためのシーリング材が結合されることを特徴とする請求項６に記載のガラスパネルエッジ研磨装置。
【請求項８】
前記スピンドルモータと前記ロータリノズル駆動部とで発生する振動値を感知する振動センサと、
該振動センサからリアルタイムで信号を受信する点検部と、をさらに含み、
該点検部は、前記振動センサによって測定された値を使用し、研磨品質及びノズル異常の有無を判断することを特徴とする請求項１に記載のガラスパネルエッジ研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスパネルエッジ研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＣＤ（liquid crystal display）、ＡＭＯＬＥＤ（active matrix organic light emitting display）、ソーラーセル（solar cell）などの製造工程において、ガラス基板（glass substrate）が基材として使用されており、当該製造工程が終わった後、ガラス基板に形成された所定サイズのパネルが切断され分離される。切断・分離されたパネルは、エッジ部位が研磨されるエッジ研磨工程において、研磨された後、エッジ部位を検査する工程などが遂行される。
【０００３】
上記工程のうち、エッジ研磨工程においては、研磨ホイールが所定の回転速度で回転しながら、ガラスパネルのエッジ部位と接触し、研磨がなされる。該工程において、研磨面には、摩擦によって高熱が発生し、連続的な研磨作業が遂行される場合、研磨面に亀裂が発生するという問題点があった。従って、これを解決するためには、研磨面が加熱されないようにしながらも、ソフト研磨作業が遂行されるように、研磨面に研磨水が供給される。
【０００４】
特許文献１には、研磨ホイール周囲に回転可能なノズルを配し、必要な位置に集中的に研磨水を噴射する技術が開示されており、特許文献２には、研磨石と基板とが接触する研磨面周囲に、研磨水を垂直に噴射する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】韓国公開特許第１０−２０１３−００１０７０７号
【特許文献２】韓国公開特許第１０−２００５−０００２２７９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述の、エッジ研磨工程において、研磨ホイールがオープンヒューム（open fume）を多量に飛散させ、研磨されたガラスパネルにスクラッチなどが発生する場合があった。したがって、スクラッチによる研磨品質の低下を防止するために、研磨地点に正確かつ確実に研磨水を噴射する必要性がある。
【０００７】
図１Ａ及び図１Ｂは、従来の研磨水供給装置が結合された研磨装置の一例に係わる概念図、及びそれを利用した異形研磨加工方法について説明するための図面である。
図１Ａに記載されるように、該研磨装置は、研磨ホイール１１と研磨水供給装置２１とを含み、研磨ホイール１１の一部分だけが、ガラスパネル１のエッジと接触自在に研磨水供給装置２１から外部に露出されている。外部に露出された研磨ホイール１１の一部分のうち、ガラスパネルエッジと接触する部分を、研磨ポイントＰ１であるとするとき、研磨水供給装置２１は、研磨ポイントＰ１に対して研磨水が噴射されるようにする。ここで、研磨水供給装置２１の位置は固定されており、研磨水が噴射される研磨水供給ポイントも、研磨ポイントに固定されている。
【０００８】
また、図１Ｂに記載されるように、ガラスパネルのエッジ２ａに対する直線部の加工（Ａ参照）の場合には、何らの問題なしに研磨が可能であるが、他のエッジ２ｂに対する直線部の加工（Ｂ参照）、及びエッジ間の曲線部２ｃの加工（Ｃ参照）の場合には、その位置が固定された研磨水供給装置２１の機構物により、ガラスパネル１及び研磨テーブル（図示せず）と干渉が発生し、Ｘ，Ｙ軸円弧補間による異形研磨加工が不可能であるという問題点があった。
【０００９】
これを防止するため、研磨ホイール１１のガラスパネル１に対する相対的な位置により、研磨水供給装置２１を回転させる方式が提案されたが、その場合、研磨ホイール１１の周囲を回転する研磨水供給装置２１に、外部から研磨水を注入するためのホースのねじれの問題が発生する。
研磨水注入ホースのねじれの問題に対する補完策として、スピンドルモータの中心部に空洞が形成された中空スピンドルモータを使用し、中空を介してホースを連結する方式が適用されたが、中空スピンドルモータは、高価であり、スピンドル長が長く、研磨ホイールの回転による振動問題が研磨品質を悪化させるなど、他の問題も露呈した。
【００１０】
なお、前述の研磨装置に関する問題点は、発明者が本発明導出のために保有していたり、本発明の導出過程で習得したりした技術情報であって、必ずしも本発明の出願前に一般公衆に公開された公知技術とするものではない。
【００１１】
上記問題点に鑑み、本発明は、研磨水供給装置が、研磨ホイールに干渉されず、ガラスパネルの研磨地点に、正確かつ確実に研磨水を噴射することにより、研磨品質を向上させ、さらに、一般のスピンドルモータの使用を可能とし、振動問題を解決することができるガラスパネルエッジ研磨装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の一実施態様によれば、ベースフレームと、該ベースフレームに装着されるスピンドルモータと、該スピンドルモータの回転軸に結合されて高速で回転し、所定研磨ポイントにおいてガラスパネルのエッジに接触し、回転摩擦を介して研磨を行う研磨ホイールと、該ガラスパネルの上部に位置し、研磨ホイールの外周部を回転するようにベースフレームに結合される第１ノズルと、該ガラスパネルの側部に位置し、該研磨ホイールの外周部を回転するようにベースフレームに結合される第２ノズルと、該研磨ホイールとは独立して、該第１ノズルと該第２ノズルとを該研磨ホイールの外周部に沿って回転させるロータリノズル駆動部と、該第１ノズル及び該第２ノズルに研磨水を供給する研磨水供給部と、を含むガラスパネルエッジ研磨装置が提供される。
【００１３】
該第１ノズルは、該ガラスパネルの上部から下方に、該研磨水供給部を介して供給された研磨水を噴射する垂直噴射ノズルを含み、該第２ノズルは、該研磨ホイールの前方から研磨ポイントに向けて側方向に、該研磨水供給部を介して供給された該研磨水を噴射する精密集中ノズルを含んでもよい。
該ロータリノズル駆動部が、該ガラスパネルに対する該研磨ホイールの位置により、該第１ノズルと該第２ノズルとが所定噴射位置に移動するように、該第１ノズルと該第２ノズルとを回転させることにより、該第１ノズルは、該研磨ポイント近辺で該ガラスパネルの上部に位置し、該第２ノズルは、該研磨ホイールの前方から研磨ポイントを見る地点に位置することができる。
【００１４】
該研磨ホイールの外周部に沿って、ドーナツ形状に形成され、該ベースフレームに結合される第１部材と、該第１部材の外周部に回転自在に結合されるドーナツ形状の第２部材をさらに含み、該第１ノズル及び該第２ノズルは、該第２部材にそれぞれ結合され、該ロータリノズル駆動部が該第２部材を回転させることにより、該第１ノズルと該第２ノズルとが該研磨ホイールの外周部に沿って回転することができる。
該研磨水供給部は、該第１部材の所定地点に穿孔される研磨水供給ポートと、該研磨水供給ポートと流体的に連結され、該第１部材の外周縁に沿って表面に露出されるように陥入形成された研磨水供給流路と、該研磨水供給流路と流体的に連結されるように、第２部材の所定地点に穿孔された２個の研磨水排出ポートを含んでもよい。
【００１５】
該第１ノズルは、第１研磨水排出ポートと連結されるように、該第２部材に結合され、該第２ノズルは、第２研磨水排出ポートと連結されるように、該第２部材に結合され、該研磨水供給ポートに研磨水注入ホースを連結することにより、該第１ノズル及び該第２ノズルに研磨水が供給される。
該第１部材と該第２部材とが結合される部位には、該研磨水供給流路に供給された研磨水の流出を防止するためのシーリング材が結合される。
該スピンドルモータと該ロータリノズル駆動部で発生する振動値を感知する振動センサと、該振動センサからリアルタイムで信号を受信する点検部と、をさらに含み、該点検部は、該振動センサによって測定された値を使用し、研磨品質及びノズルの異常の有無を判断することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の望ましい実施形態によれば、研磨水噴射ノズルが研磨ホイールの周囲を回転するように設けられ、該研磨ホイールがガラスパネルのエッジに沿って移動しながら研磨を行うとき、該研磨水噴射ノズルを適正位置に回転させ、研磨水噴射点を決定することにより、研磨水供給装置が該研磨ホイールに干渉されずに研磨が進められる。
また、２個の噴射ノズル、すなわち、垂直噴射ノズルと精密集中ノズルとを設けることにより、該研磨ホイールとガラスパネルとが接触する地点に、研磨水の浪費なしに、正確であって確実に研磨水が噴射されるようにし、ヒュームがパネルに進入し、パネル損傷を生じさせることを防止するなど研磨品質を向上させることができる。
【００１７】
また、該研磨水噴射ノズルの回転機構に研磨水供給流路を形成し、研磨水注入ホースを連結することにより、中空スピンドルを使用せずとも、ホースのねじれ問題なしに回転する研磨水噴射ノズルに研磨水を供給することができ、それにより、一般スピンドルモータを使用しながら、中空スピンドルで発生した振動問題を解決することができる。
さらに、振動センサを導入することで、振動センサを介して、リアルタイムで、振動値をフィードバックすることができるため、スピンドルの異常による過研磨現象や、ノズルの異常による研磨品質低下のような問題が生じないようにチェックすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１Ａ】従来の研磨水供給装置が結合された研磨装置の一例に係わる概念図である。
【図１Ｂ】従来の研磨水供給装置が結合された研磨装置の一例に係わる概念図である。
【図２】本発明の一実施形態におけるガラスパネルエッジ研磨装置の概念図である。
【図３】本発明の一実施形態におけるガラスパネルエッジ研磨装置の斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態における、研磨ホイール及び２個の研磨水噴射ノズルを示す斜視図である。
【図５】本発明の一実施形態におけるロータリノズル駆動部を示した断面図である。
【図６】本発明の一実施形態における研磨水供給部を示した拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明は、多様な変形を加えることができ、さまざまな実施形態を持つことができるが、特定の実施形態を図面に例示し、以下、詳細に説明する。
しかし、これらは、本発明を特定の実施形態に限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変形、均等物ないし代替物を含むものであると理解されなければならない。本発明の説明において、関連公知技術に係わる具体的な説明が、本発明の要旨を不明確にすると判断される場合、その詳細な説明を省略する。
【００２０】
第１、第２のような用語は、多様な構成要素についての説明に使用されるが、当該構成要素は、前記用語によって限定されるものではない。前記用語は、１つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみに使用される。
また、本出願で使用される用語は、単に特定の実施形態についての説明に使用されるものであり、本発明を限定する意図ではない。単数の表現は、文脈上明白に異なっていることを意味しない限り、複数の表現を含む。
本出願において、「含む」または「持つ」というような用語は、明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品、またはそれらの組み合わせが存在するということを指定するものであり、一つまたはそれ以上の他の特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品、またはそれらの組み合わせの存在または付加の可能性をあらかじめ排除するものではないと理解されなければならない。
【００２１】
以下、本発明の実施形態について、添付した図面を参照し、詳細に説明するが、添付図面を参照しての説明において、同一であるか、あるいは対応する構成要素は、同一図面番号を付し、それらに係わる重複説明は省略する。
【００２２】
図２は、本発明の一実施形態におけるガラスパネルエッジ研磨装置の概念図であり、図３は、本発明の一実施形態におけるガラスパネルエッジ研磨装置の斜視図であり、図４は、本発明の一実施形態における、研磨ホイール及び２個の研磨水噴射ノズルを示した斜視図であり、図５は、本発明の一実施形態におけるロータリノズル駆動部を示した断面図であり、図６は、本発明の一実施形態における研磨水供給部を示した拡大断面図である。
図２ないし図６には、ガラスパネル１０、ベースフレーム１００、スピンドルモータ１１０、研磨ホイール１２０、垂直噴射ノズル１３０、精密集中ノズル１４０、ロータリノズル駆動部１５０、第１部材１５２、第２部材１５４、研磨水供給部１６０、研磨水供給ポート１６２、研磨水供給流路１６４、研磨水排出ポート１６６、シーリング材１６８、振動センサ１７０が図示されている。
【００２３】
本実施形態は、研磨水（ＤＩ water）噴射のためのノズルを２ヵ所に設け、それぞれのノズルを、電動を利用し、研磨ホイール周辺に回転させるロータリノズルユニット（rotary nozzle unit）で構成しただけではなく、振動センサを具備したガラスパネルエッジ研磨装置を特徴とする。
すなわち、本実施形態では、研磨ホイール周辺において、研磨水を噴射するノズルとして、垂直噴射ノズル１３０と精密集中ノズル１４０との２種を具備する。該２個のノズル１３０及び１４０がいずれも研磨ホイール周囲を回転して移動するように構成することにより、ガラスパネルの形状に応じて決定される、研磨ホイールのパネルエッジに対する相対的位置に合わせ、適切な噴射位置でそれぞれのノズルを回転させて移動させる方式でノズルの位置が制御される。
【００２４】
また、ロータリノズルに研磨水を供給するために、中空スピンドルモータを使用せず、一般スピンドルモータを使用するが、ノズルを回転させるための機構物に、研磨水供給流路を形成することにより、研磨水注入ホースのねじれ問題に対して、安定して研磨水が供給されるように構成したことを特徴とする。これにより、高価であって振動問題が大きい中空スピンドルモータを使用しなくともよいので、振動問題において安定しており、価格が高くなく、研磨品質を向上させることができる。
【００２５】
本実施形態に係る研磨装置は、図２に図示されているように、研磨対象になるガラスパネル１０のエッジに沿って移動しながら研磨を行う装置であって、基本的に、図３及び図４に図示されているように、ベースフレーム１００にスピンドルモータ１１０を装着し、スピンドルモータ１１０の回転軸に研磨ホイール１２０が結合された構造を有する。
【００２６】
ベースフレーム１００は、鉄製構造物であり、研磨装置の各構成要素が、装着、設置、固定、結合される基本的枠を提供する役割を担う。
スピンドルモータ１１０は、その回転軸に結合される研磨ホイール１２０を高速で回転させるモータであって、前述のように、本実施形態による研磨装置には、高価な中空スピンドルモータの代わりに、一般スピンドルモータを使用することができる。
研磨ホイール１２０は、高速で回転しながら、ガラスパネル１０のエッジに接触することにより、回転摩擦を介して、ガラスパネル１０の研磨を行う構成要素である。研磨ホイール１２０がガラスパネル１０のエッジに接触する地点を、研磨ポイントＰ（図２）とするとき、後述する精密集中ノズル１４０においては、研磨ポイントＰに向け、研磨水を集中的に噴射することにより、研磨品質を向上させることができる。
【００２７】
本実施形態に係る研磨装置は、図４に図示されているように、２個のノズル、すなわち、垂直噴射ノズル１３０と精密集中ノズル１４０とが設けられることを特徴とする。２個のノズル１３０及び１４０は、いずれも研磨ホイール１２０の外周部に沿って、回転自在にベースフレーム１００に結合されることを特徴とする。ノズルの回転機構の詳細な構成については、後述する。
【００２８】
垂直噴射ノズル１３０は、ガラスパネル１０の上方、すなわち、上部に位置するように結合され、ガラスパネル１０の上部から下方に研磨水を噴射するノズルである。噴射される研磨水は、後述する研磨水供給部１６０を介して供給される。
このように、上部から下方に研磨水を噴射することにより、研磨ポイントＰ近辺のガラスパネル１０上に、一種の「ウォーターカーテン（water curtain）」が形成される。このようなウォーターカーテンは、研磨過程で発生したヒューム(fume)がガラスパネル１０側に飛散することを防止し、研磨過程において、パネルの損傷を防止し、研磨品質を向上させる役割を担う。
なお、本実施形態による垂直噴射ノズル１３０は、上部から下方へ研磨水を噴射する役割を担うが、必ずしも数学的な意味において、厳密に垂直方向に研磨水を噴射するノズルに限定されるものではない。
【００２９】
精密集中ノズル１４０は、ガラスパネル１０の脇側、すなわち、側部に位置するように設置され、研磨ホイール１２０の前方から、研磨ポイントＰに向けて側方向に研磨水を噴射するノズルである。噴射される研磨水は、後述する研磨水供給部１６０を介して供給される。
このように、脇側から研磨ポイントＰに向けて精密に集中的に研磨水を噴射することにより、研磨水が必要以上に浪費されず、効率的に使用される。言い換えれば、供給された研磨水が、研磨ポイントＰ部位にのみ十分に供給され、ソフト研磨品質を維持することができ、研磨費用（running cost）を最小化することができる。
【００３０】
本実施形態に係る研磨装置は、前述のように、相互補完的な役割を行う２個のノズル、すなわち、垂直噴射ノズル１３０と精密集中ノズル１４０とをいずれも具備することにより、研磨過程においてパネルの損傷を防止し、研磨水をさらに効率的に使用し、研磨品質が向上して研磨費用が節減される。
【００３１】
一方、図２に図示されているように、研磨ホイール１２０は、ガラスパネル１０のエッジに沿って、直線移動と曲面部回転とを反復しながら研磨を進めるが、このとき、本実施形態による２個のノズル１３０及び１４０は、電動装置を利用して回転しながら、適正位置に移動する方式で位置が制御される。
すなわち、本実施形態に係るロータリノズル駆動部１５０は、２個のノズル１３０及び１４０を研磨ホイール１２０の周囲で回転させ、それぞれのノズルが所定噴射位置に移動する。ロータリノズル駆動部１５０は、２個のノズル１３０及び１４０を回転させることができる電動モータ、プーリー及び／またはギアなどの回転機構によっても構成される。
【００３２】
２個のノズル１３０及び１４０のそれぞれの位置は、ガラスパネル１０に対する研磨ホイール１２０の位置によって異なるが、垂直噴射ノズル１３０の場合には、研磨ポイントＰから若干ガラスパネル１０の内側に入った位置のガラスパネル１０の上部に位置することにより、前述の「ウォーターカーテン」が形成される。
精密集中ノズル１４０の場合には、研磨ホイール１２０の移動軌跡から、研磨ホイール１２０の若干前（前方）に位置するが、研磨ポイントＰを見ることができる地点に位置することにより、研磨ポイントＰに向け、集中的に研磨水が噴射される。
【００３３】
このように、ガラスパネル１０に対する研磨ホイール１２０の相対的な位置により、それぞれのノズルが位置される地点が決定され、本実施形態によるロータリノズル駆動部１５０は、研磨ホイール１２０の回転とは独立して、別途の電動モータを使用し、各ノズルが研磨ホイール１２０の外周部に沿って回転し、決定された地点に位置させる役割を担う。
研磨対象ガラスパネル１０に対する研磨ホイール１２０の相対的な位置についての情報は、研磨前にあらかじめ入力されたパネル形状についてのデータから導出するか、あるいは研磨過程において、リアルタイムでセンシングする方式によって導出するなど、当業者に自明な多様な方法によって導出することができる。
【００３４】
以下、本実施形態に係るロータリノズル駆動部１５０の構成について、さらに詳細に説明する。
本実施形態においては、２個のノズル１３０及び１４０が研磨ホイール１２０の周辺を回転するように構成されるために、図３及び図４の縦断面図である図５に図示されているように、ドーナツ形状（リング形状）の部材２個を、互いに回転自在に結合した構成を適用した。
すなわち、研磨ホイール１２０の外周部に位置するように、ドーナツ形状の第１部材１５２をベースフレーム１００に結合し、第１部材１５２の外周部に、ドーナツ形状の第２部材１５４を回転自在に結合し、ノズルの回転機構を構成することができる。
【００３５】
第２部材１５４が第１部材１５２に回転自在に結合されるために、第２部材１５４の内径と、第１部材１５２の外径とが一致するようにし、第２部材１５４の内周面が、第１部材１５２の外周面に接するように結合され、その結合部位には、ベアリングが介在される。
このように、研磨ホイール１２０の外周部に沿って回転することができる部材（第２部材１５４）を設けた状態で、２個のノズル１３０及び１４０を、第２部材１５４にそれぞれ結合することにより、２個のノズル１３０及び１４０も、研磨ホイール１２０の外周部に沿って回転することができることになる。
本実施形態に係るロータリノズル駆動部１５０は、第２部材１５４に連結され、第２部材１５４を回転させることにより、２個のノズル１３０及び１４０が、研磨ホイール１２０の外周部に沿って必要な位置に回転することになる。
【００３６】
前述のように、本実施形態に係るロータリノズル駆動部１５０は、電動モータ、プーリー、ギアなどでも構成されるが、図５に例示された実施形態の場合、電動モータの回転軸と、第２部材１５４とをプーリーで連結することにより、電動モータからの駆動力を印加され、第２部材１５４が第１部材１５２を中心に回転し、結果として、第２部材１５４に結合された２個のノズル１３０及び１４０が、ロータリノズル駆動部１５０に沿って回転することになる。
【００３７】
一方、本実施形態に係る２個のノズル１３０及び１４０には、研磨水供給部１６０を介して研磨水が供給される。前述のように、本実施形態に係る２個のノズル１３０及び１４０は、研磨ホイール１２０の外周部に沿って回転しながら、適正位置に移動することになるが、このように、ノズルが研磨ホイール１２０の周辺を回転すれば、研磨水供給のためのホースがスピンドルモータを取り囲む方式により、ねじれ問題が発生する。
このようなねじれ問題を防止するために、中空スピンドルモータを使用し、スピンドルモータ中心部の空洞を介して研磨水注入ホースを連結したが、中空スピンモータは、価格が高く、振動問題が発生するという限界があった。
【００３８】
本実施形態に係る研磨装置は、中空スピンドルモータを使用せずにも、研磨水注入ホースのねじれ問題が発生しない研磨水供給部１６０を構成したことを特徴とする。
すなわち、図５の「Ａ」部分を拡大して示した図６から分かるように、第１部材１５２に研磨水供給ポート１６２を穿孔し、第１部材１５２の外周縁（周囲）に沿って、研磨水供給流路１６４を陥入形成し、研磨水供給流路１６４が第１部材１５２の外周面（周囲面）に露出される。
研磨水供給ポート１６２と研磨水供給流路１６４は、流体的に連結されるようにすることにより、研磨水供給ポート１６２を介して注入された研磨水が、研磨水供給流路１６４まで流れるようになる。ここで、「流体的に連結」されるということは、ある一方の研磨水が他方まで流れるように連通されることを意味する。
【００３９】
一方、前述のように、第１部材１５２の外周面に、第２部材１５４の内周面が接するように、第２部材１５４が結合されているので、第１部材１５２の外周面に露出されるように陥入された研磨水供給流路１６４は、第２部材１５４の内周面に沿って閉鎖された形態の流路になる。
本実施形態による第２部材１５４の所定地点に、２個の研磨水排出ポート１６６を穿孔し、研磨水排出ポート１６６が研磨水供給流路１６４と流体的に連結されるようにすることにより、研磨水供給ポート１６２を介して注入された研磨水が、研磨水排出ポート１６６を介して排出される。
【００４０】
図６に図示されているように、第２部材１５４の内周面が、研磨水供給流路１６４を閉鎖している形態であるので、本実施形態による研磨水排出ポート１６６を、第２部材１５４の内周面（研磨水供給流路１６４を閉鎖している部分）に露出されるように穿孔することにより、研磨水排出ポート１６６が、研磨水供給流路１６４と流体的に連結されることになる。
【００４１】
本実施形態による第２部材１５４には、２個のノズル１３０及び１４０がそれぞれ結合されるので、第２部材１５４に、２個の研磨水排出ポート１６６を穿孔する地点は、２個のノズル１３０及び１４０が結合される位置に相応する。
すなわち、１つの研磨水排出ポート１６６は、垂直噴射ノズル１３０が結合される位置に穿孔し、垂直噴射ノズル１３０が、研磨水排出ポート１６６と連結されるようにし、他の１つの研磨水排出ポート１６６は、集中噴射ノズル１４０が結合される位置に穿孔し、集中噴射ノズル１４０が、研磨水排出ポート１６６と連結されるようにする。
【００４２】
このように、研磨水供給部１６０を構成した状態において、研磨水供給ポート１６２に研磨水注入ホース（図示せず）を連結することにより、注入された研磨水が、研磨水供給ポート１６２、研磨水供給流路１６４、研磨水排出ポート１６６を介して、２個のノズル１３０及び１４０にそれぞれ供給される。
これにより、中空スピンドルモータを使用せず、研磨水注入ホースのねじれ問題も防止しながら、研磨ホイール１２０の周囲を回転する噴射ノズルに研磨水を供給することができる。
【００４３】
一方、前述のように、本実施形態に係る第１部材１５２と第２部材１５４は、互いに回転自在に機械的に結合されているので、第１部材１５２と第２部材１５４との結合部位には、間隙が存在してしまう。すなわち、固定された上部供給ポート１６２（第１部材１５２に形成）を介して供給された研磨水が、回転する下部排出ポート１６６（第２部材１５４に形成）に排出される過程において、第１部材１５２と第２部材１５４との間隙を介して流出する恐れがある。
これを防止するために、本実施形態による、第１部材１５２と第２部材１５４とが結合される部位には、図６に図示されているように、シーリング材１６８を介在させることができる。シーリング材１６８により、研磨水供給流路１６４に存在する研磨水が、第１部材１５２と第２部材１５４との間隙に流出されることを防止することができる。
【００４４】
本実施形態による研磨装置は、中空スピンドルモータを使用せず、振動問題をあらかじめ防止しようとした。さらに、スピンドルモータ１１０やロータリノズル駆動部１５０（電動モータ）で発生する振動に、さらに確実に対処するために、本実施形態による研磨装置には、図３に図示されているように、振動センサ１７０がさらに設けられる。
振動センサ１７０は、スピンドルモータ１１０やロータリノズル駆動部１５０の振動値をセンシングし、点検部（図示せず）に伝送し、該点検部においては、センシングデータをリアルタイムで記録することができる。該点検部は、センシングデータを受信、記録することができるプロセッサ、メモリ及び／またはハードディスクなどで構成される。
【００４５】
このように、振動センサ１７０を介して、スピンドルモータ１１０とロータリノズル駆動部１５０とで発生した振動値をリアルタイムでチェックすることにより、研磨品質及びノズルの異常の有無を判断することができ、結果として、研磨品質が向上する。
以上のように、本発明の望ましい実施形態を参照して説明したが、当該技術分野の当業者であるならば、特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から外れない範囲内で、本発明を多様に修正させたり変更させたりする可能性があることを理解することができるであろう。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明のガラスパネルエッジ研磨装置は、例えば、表示装置関連の技術分野に効果的に適用可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１    ガラスパネル
１０    ガラスパネル
１１    研磨ホイール
２１    研磨水供給装置
１００    ベースフレーム
１１０    スピンドルモータ
１２０    研磨ホイール
１３０    垂直噴射ノズル
１４０    精密集中ノズル
１５０    ロータリノズル駆動部
１５２    第１部材
１５４    第２部材
１６０    研磨水供給部
１６２    研磨水供給ポート
１６４    研磨水供給流路
１６６    研磨水排出ポート
１６８    シーリング材
１７０    振動センサ
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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