(57)【要約】【課題】自動扉除塵装置及び自動扉を提供する。【解決手段】本発明に係る自動扉除塵装置は、自動扉のレールに取り付けられる。レールは、底部に少なくとも１つの摺動溝を有すると共に、複数の可動扉板と接続される。レールは、複数の排塵孔が設けられている頂板を有する。吸塵ボックスは、頂板の上方に設けられ、内部に気流通路が形成される。複数の排塵孔は、気流通路と互いに連通する。負圧装置は、吸塵ボックスと接続されており、吸塵ボックスの内部の気流通路に負圧を生じさせる。【選択図】図１
2018096672.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの摺動溝及び少なくとも１つの前記摺動溝の上方に位置する頂板を有するレールと、上端が少なくとも１つの前記摺動溝の内部に収容される少なくとも１つの可動扉板とを含む自動扉であって少なくとも１つの前記摺動溝の長手方向に沿って往復移動する自動扉、を備えた自動扉除塵装置において、
前記頂板における少なくとも１つの前記摺動溝に対応する位置に設けられ、少なくとも１つの前記摺動溝と互いに連通する、複数の排塵孔と、
複数の前記排塵孔の上方に覆われ、内部に気流通路が形成され、複数の前記排塵孔が前記気流通路と互いに連通する、吸塵ボックスと、
前記吸塵ボックスと接続されており、前記吸塵ボックスの内部の前記気流通路に負圧を生じさせるための負圧装置と、
を含むことを特徴とする自動扉除塵装置。
【請求項２】
少なくとも１つの前記摺動溝は、底側に開口を有し、
複数の前記排塵孔は、少なくとも１つの前記摺動溝の長手方向と平行な方向に沿って前記頂板に設けられ、
前記吸塵ボックスは、前記摺動溝の長手方向と平行な方向に沿って前記頂板に設けられ、
複数の前記排塵孔は、前記吸塵ボックスによって覆われ、前記吸塵ボックスの内部の前記気流通路に負圧状態が形成された場合、前記開口から少なくとも１つの前記摺動溝に進入した後、複数の前記排塵孔を経由して前記気流通路に進入する気流が生じ、少なくとも１つの前記摺動溝の内部の塵埃の粒子が前記気流に乗って前記気流通路に導かれる、
ことを特徴とする請求項１に記載の自動扉除塵装置。
【請求項３】
前記負圧装置は、前記吸塵ボックスの側面に設けられると共に一端が前記吸塵ボックスと接続する複数の抽気装置を含むことを特徴とする請求項２に記載の自動扉除塵装置。
【請求項４】
複数の前記抽気装置における前記吸塵ボックスに対向する他端に、複数のフィルタを有する濾過装置がそれぞれ設けられており、前記抽気装置によって前記気流通路内の気体が抽出されると共に、抽出された気体が前記濾過装置を通過することを特徴とする請求項３に記載の自動扉除塵装置。
【請求項５】
前記負圧装置は、負圧抽気装置に接続される抽気管であることを特徴とする請求項２に記載の自動扉除塵装置。
【請求項６】
少なくとも１つの摺動溝及び少なくとも１つの前記摺動溝の上方に位置する頂板を有すると共に、前記頂板における少なくとも１つの前記摺動溝と対応する位置に複数の排塵孔が設けられており、複数の前記排塵孔が少なくとも１つの前記摺動溝と連通する、レールと、
上端が複数の接続装置を介して少なくとも１つの前記摺動溝の内部に接続されると共に、少なくとも１つの前記摺動溝の長手方向に沿って往復移動する、少なくとも１つの可動扉板と、
前記頂板の上方に設けられており、複数の前記排塵孔の上方に覆われ、内部に気流通路が形成され、複数の前記排塵孔が前記気流通路と互いに連通する、吸塵ボックスと、
前記吸塵ボックスと接続されており、前記吸塵ボックスの内部の前記気流通路に負圧を生じさせるための負圧装置と、
を含むことを特徴とする自動扉。
【請求項７】
前記レールはアルミ押出部材であり、少なくとも１つの前記摺動溝が前記レールの底側に形成され、
少なくとも１つの前記摺動溝は、その底側に開口を有し、
前記吸塵ボックスの内部の前記気流通路に負圧状態が形成された場合、前記開口から少なくとも１つの前記摺動溝に進入した後、複数の前記排塵孔を経由して前記気流通路に進入する気流が生じ、少なくとも１つの前記摺動溝の内部の塵埃の粒子が前記気流に乗って前記気流通路に導かれる、
ことを特徴とする請求項６に記載の自動扉。
【請求項８】
前記負圧装置は、前記吸塵ボックスの側面に設けられると共に一端が前記吸塵ボックスと接続する複数の抽気装置を含むことを特徴とする請求項７に記載の自動扉。
【請求項９】
複数の前記抽気装置における前記吸塵ボックスに対向する他端に、複数のフィルタを有する濾過装置がそれぞれ設けられており、前記抽気装置によって前記気流通路内の気体が抽出されると共に、抽出された気体が前記濾過装置を通過することを特徴とする請求項８に記載の自動扉。
【請求項１０】
前記負圧装置は、負圧抽気装置に接続される抽気管であることを特徴とする請求項７に記載の自動扉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動扉除塵装置及び自動扉に関し、特にクリーンルームの自動入退室管理装置に使用される自動扉除塵装置及び自動扉に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子、液晶パネル、太陽電池基板等の製品の製造工程は、極めて清浄な環境において行われる必要があるため、クリーンルーム内で製造されなければならない。半導体製造工程及び新時代の液晶パネル、太陽電池基板等の製造工程は、基板サイズの拡大、線幅の縮小が目標とされるようになっており、素子密度を絶えず向上させる傾向にある。そのため、クリーンルームの清浄度に対する要求も、益々高まっている。従って、クリーンルーム内の各機器の防塵能力に対する要求も益々高まっている。
【０００３】
通常、既存のクリーンルームに使用される自動扉は、レールと、レール下方に接続される複数の可動扉板とを有する。レールは、少なくとも１つの摺動溝を有する。摺動溝内部には摺動車輪及びベルト等の駆動装置が設けられている。可動扉板は、接続機構を介して摺動車輪及びベルト駆動装置と接続すると共に、ベルト駆動装置によって駆動され、摺動溝に沿って往復移動することができる。
【０００４】
既存の自動扉では、レール内部に摺動車輪、プーリー等の可動部品を有する上、自動扉の可動扉が頻繁に開閉されなければならないため、これら可動部品の作動時には必然的に塵埃の微粒子が生じると共に、こうした塵埃の微粒子がレールの開口又は間隙から吹き出され、自動扉周辺の空間が塵埃の微粒子によって汚染される。
【０００５】
以上の原因により、自動扉のレール内部の可動部品に摩擦が起きることによって生じる塵埃の微粒子は、クリーンルームの汚染源の一つとなる。しかしながら、従来採用される自動扉の塵埃の微粒子による汚染を低減する技術は、戸車、駆動ベルト等の部品として、耐摩耗性のある、塵埃が生じにくい材料を選択する方式によって塵埃が生じることを低減するものが多い。しかしながら、自動扉のレール内部の可動部品は、動作が極めて頻繁であるため、どのような材質を選んだとしても、塵埃の微粒子が生じることを完全に回避することはできない。
【０００６】
従って、従来の自動扉における粉塵汚染が生じやすい欠点を、構造上如何にして解消するかが、本技術分野における解決すべき重要な課題となっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、自動扉における粉塵汚染を効果的に低減することができる自動扉除塵装置及び自動扉を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る自動扉除塵装置は、少なくとも１つの摺動溝及び当該摺動溝の上方に位置する頂板を有するレールと、上端が摺動溝の内部に収容される少なくとも１つの可動扉板とを含む自動扉を備える。自動扉は摺動溝の長手方向に沿って往復移動する。自動扉除塵装置は複数の排塵孔、吸塵ボックス及び負圧装置を含む。複数の排塵孔は少なくとも１つの摺動溝と平行な方向に沿って頂板に設けられる。複数の排塵孔は少なくとも１つの摺動溝と互いに連通する。吸塵ボックスは複数の排塵孔の上方に覆われる。吸塵ボックスの内部には気流通路が形成される。複数の排塵孔は気流通路と互いに連通する。負圧装置は吸塵ボックスと接続する。負圧装置は吸塵ボックスの内部の気流通路に負圧を生じさせる。
【０００９】
好ましい実施例において、少なくとも１つの摺動溝は、底側に開口を有する。複数の排塵孔は、少なくとも１つの摺動溝の長手方向と平行な方向に沿って頂板に設けられる。吸塵ボックスは、摺動溝の長手方向と平行な方向に沿って頂板に設けられる。複数の排塵孔は、吸塵ボックスによって覆われ、吸塵ボックスの内部の気流通路に負圧状態が形成された場合、開口から少なくとも１つの摺動溝に進入した後、複数の排塵孔を経由して気流通路に進入する気流が生じ、少なくとも１つの摺動溝の内部の塵埃の粒子が気流に乗って気流通路に導かれる。
【００１０】
好ましい実施例において、負圧装置は、吸塵ボックスの側面に設けられると共に一端が吸塵ボックスと接続する複数の抽気装置を含む。
【００１１】
好ましい実施例において、複数の抽気装置における吸塵ボックスに対向する他端に、それぞれ濾過装置が設けられており、抽気装置によって気流通路内の気体が抽出されると共に、抽出された気体が濾過装置を通過する。
【００１２】
好ましい実施例において、負圧装置は、負圧抽気装置に接続される抽気管である。
【００１３】
本発明に係る自動扉はレール、少なくとも１つの可動扉板、吸塵ボックス及び負圧装置を含む。レールは少なくとも１つの摺動溝及び当該摺動溝の上方に位置する頂板を有する。頂板に複数の排塵孔が設けられる。複数の排塵孔は少なくとも１つの摺動溝と連通する。少なくとも１つの可動扉板の上端が複数の接続装置を介して少なくとも１つの摺動溝の内部に接続される。少なくとも１つの可動扉板は少なくとも１つの摺動溝の長手方向に沿って往復移動する。吸塵ボックスは頂板の上方に設けられる。吸塵ボックスの複数の排塵孔の上方に覆われる。吸塵ボックスの内部には気流通路が形成される。複数の排塵孔は気流通路と互いに連通する。負圧装置は吸塵ボックスと接続する。負圧装置は吸塵ボックスの内部の気流通路に負圧を生じさせる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、自動扉のレール内部の可動部品に摩擦が起きることによって生じる塵埃の微粒子のために周辺空間の空気が汚染されることを効果的に防止することができ、新時代のクリーンルームにおけるハイレベルな防塵要求をも満たすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る第１の実施例を示す断面図である。
【図１Ａ】本発明に係る第１の実施例を示す局部拡大断面図である。
【図２】本発明に係る第１の実施例を示す正面図である。
【図３】本発明に係る第１の実施例を示す平面図である。
【図４】本発明に係る自動扉除塵装置の第１の実施例を示す斜視図である。
【図５】本発明に係る第２の実施例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の特徴及び技術内容を更に理解することができるように、以下、図面を用いながら本発明を詳しく説明する。但し、図面は、説明の便宜上、参考のために用いるものに過ぎず、本発明を制限するものではない。
【００１７】
本発明は、クリーンルーム自動入退室管理装置に使用される自動扉除塵装置及び自動扉である。図１乃至図４は、本発明に係る自動扉１の第１の実施例を示す。本発明に係る自動扉１は、レール１０、可動扉２０、吸塵ボックス３０及び複数の負圧装置４０を含む。
【００１８】
レール１０は、アルミ押出成形によって作られたアルミ押出本体１１を有する。図１及び図１Ａに示すように、本実施例において、レール１０は壁面２上に取り付けられる。可動扉２０は、レール１０を介して壁面２の入口の位置に取り付けられる。レール１０は頂面に頂板１３を有する。頂板１３の底部には、互いに並列配置される２つの摺動溝１２が形成される。２つの摺動溝１２の間には、２つの摺動溝１２を離隔するための仕切り板１５を有する。２つの摺動溝１２は、底部にそれぞれ開口１２１を有すると共に、レール１０の底部における摺動溝１２の開口１２１に位置する両側は、それぞれ内側に向けて延在される底板１６を有する。
【００１９】
可動扉２０は、複数の可動扉板２１を有する。各可動扉板２１は、上端にそれぞれ複数の接続装置２２を有する。各可動扉板２１は接続装置２２を介してレール１０の底部の摺動溝１２に接続される。本実施例において、可動扉板２１の頂端の接続装置２２は、それぞれ複数の摺動車輪２３と接続する。複数の摺動車輪２３がレール１０の底板１６と互いに組み合わされることによって、可動扉板２１が摺動溝１２によって案内され、摺動溝１２の長手方向に沿って往復移動することができる。摺動溝１２の内部には、ベルト駆動装置（図示せず）が更に設けられており、各可動扉板２１が移動するように駆動することによって、可動扉２０を開閉させることができる。
【００２０】
本発明では、レール１０の頂板１３における各摺動溝１２に対応する位置に、複数の排塵孔１４が設けられている。図４に示すように、複数の排塵孔１４は、摺動溝１２の長手方向と平行な方向に頂板１３に設けられる。従って、各排塵孔１４は、摺動溝と互いに連通する。
【００２１】
吸塵ボックス３０は、レール１０の上方に設けられる。本実施例において、吸塵ボックス３０は矩形断面の箱体である。吸塵ボックス３０の底部は頂板１３の上方に接続される。吸塵ボックス３０は複数の排塵孔１４を覆う。吸塵ボックス３０の内部には、気流通路３１が形成される。従って、複数の排塵孔１４は気流通路３１と互いに連通する。負圧装置４０は吸塵ボックス３０と接続する。負圧装置４０が吸塵ボックス３０内部の気体を抽出することによって、吸塵ボックス３０内部の気流通路３１に負圧状態が形成される。
【００２２】
図１及び図１Ａに示すように、頂板１３における複数の排塵孔１４が吸塵ボックス３０によって覆われ、且つ各摺動溝１２が排塵孔１４を介して気流通路３１と連通することができるため、吸塵ボックス３０内部に負圧が生じた場合、真空吸引力によって各摺動溝１２内部の気体が吸引されて気流通路３１内に進入する。従って、摺動溝の開口１２１から摺動溝１２内に進入した後、排塵孔１４を経由して気流通路３１内部に進入する気流が形成される。従って、気流通路３１内部の負圧によって、気流を強制的に単一方向にのみ摺動溝１２から気流通路３１内に流動させることができることから、摺動溝１２内部の塵埃、微粒子等を吸塵ボックス３０内に吸入して、更に負圧装置４０を介して塵埃及び微粒子を吸塵ボックス３０から取り出すことができる。
【００２３】
図２、図３及び図４に示すように、本発明に係る第１の実施例において、各負圧装置４０は、吸塵ボックス３０の側面に取り付けられる。本実施例において、各負圧装置４０は、それぞれ抽気装置４１及び濾過装置４２を含む。抽気装置４１は、その内部に排気用送風機を有すると共に、抽気装置４１の一端が吸塵ボックス３０と接続し、他端が濾過装置４２と接続する。抽気装置４１によって気流通路３１内の気体を抽出すると共に、気流通路３１から抽出された気体を強制的に濾過装置４２に通過させることができる。
【００２４】
本実施例において、濾過装置４２は、内部に複数のフィルタを有する。濾過装置４２におけるフィルタとしては、高性能エアフィルタ（ＨＥＰＡフィルタ，Ｈｉｇｈ−Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）を採用することができる。濾過装置４２によって、抽気装置４１が抽出した気体に含まれる塵埃の微粒子が排出されるのを阻止することができ、塵埃の微粒子が空気中に拡散されることを回避することができる。これにより、塵埃の微粒子によって自動扉周辺の空間が汚染されることを回避することができる。濾過装置４２は、容易に取り外して交換又は洗浄することができるため、濾過装置４２を一定期間使用した後でも、良好な除塵効果を維持するとと共に、気流が滞留することを回避することができる。
【００２５】
本実施例において、吸塵ボックス３０は、摺動溝１２の長手方向と平行な方向に沿ってレール１０の上方に設けられる。複数の負圧装置４０は、摺動溝１２の長手方向と平行な方向に沿って、且つ適切な距離を置いて吸塵ボックス３０に設けられる。同時に、本実施例において、吸塵ボックス３０の一方の側端に、複数の負圧装置４０と接続されて、複数の負圧装置４０の動作を制御するためのコントロールボックス４３が更に設けられる。
【００２６】
複数の負圧装置４０が吸塵ボックス３０に設けられる位置及び間隔距離は、気流シミュレーション分析の結果に応じて、選択することができる。これにより、各負圧装置４０の動作時に、吸塵ボックス３０内部の気流通路３１の各位置に生じる負圧値を平均化することができ、各摺動溝１２内部の気体が安定した流速及び圧力で吸塵ボックス３０内に進入するようにして、レール１０の各摺動溝１２内部の塵埃の微粒子が吸塵ボックス３０内に吸入されるよう確保することができる。
【００２７】
本発明に係る第１の実施例では、上述した技術手段によって、自動扉１のレール１０内部の各可動部品（例えば摺動車輪２３、ベルト駆動機構等）に生じる塵埃の微粒子が、吸塵ボックス３０内に吸入されると共に、負圧装置４０によって吸塵ボックス３０から取り出されるようにすることができる。従って、本発明は、自動扉１のレール１０内部の可動部品に摩擦が起きることによって生じる塵埃の微粒子のために周辺空間の空気が汚染されることを効果的に防止することができ、新時代のクリーンルームにおけるハイレベルな防塵要求をも満たすことができる。
【００２８】
図５は、本発明に係る自動扉の第２の実施例を示す。本発明に係る第２の実施例において、自動扉１の基本構造は第１の実施例と同じであるため、同一の素子については詳しい説明を省略する。第２の実施例において採用された負圧装置は、吸塵ボックス３０と直接接続されてはおらず、延在管路を介して吸塵ボックスと接続される。本実施例において、負圧装置は抽気管３２を含む。抽気管３２は、その一端が吸塵ボックス３０と接続すると共に、その他端が負圧抽気装置４０ａと接続する。負圧抽気装置４０ａは、真空ポンプ又は送風機であってよく、半導体工場又はクリーンルーム内の真空管路であってもよい。負圧抽気装置４０ａは、真空吸引力を生じることができ、抽気管３２を介して吸塵ボックス３０内部の気体を抽出すると共に、吸塵ボックス３０内の塵埃の微粒子を吸塵ボックス３０から取り出すことができる。
【００２９】
本発明に係る第２の実施例も同様に、自動扉１のレール１０内部の可動部品に生じた塵埃の微粒子効果的に除去することができ、自動扉１の清浄度及び防塵能力を向上させる効果を達成できる。
【００３０】
以上は、本発明の好ましい実施例に過ぎず、本発明の請求の範囲を制限するものではない。従って、本発明の明細書及び図面の内容を運用することによって為された等価の技術的変更は、いずれも本発明の保護範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００３１】
１  自動扉
２  壁面
１０  レール
１１  アルミ押出本体
１２  摺動溝
１２１  開口
１３  頂板
１４  排塵孔
１５  仕切り板
１６  底板
２０  可動扉
２１  可動扉板
２２  接続装置
２３  摺動車輪
３０  吸塵ボックス
３１  気流通路
３２  抽気管
４０  負圧装置
４０ａ  負圧抽気装置
４１  抽気装置
４２  濾過装置
４３  コントロールボックス
【図１】
2018096672.tif 000003
【図１Ａ】
2018096672.tif 000004
【図２】
2018096672.tif 000005
【図３】
2018096672.tif 000006
【図４】
2018096672.tif 000007
【図５】
2018096672.tif 000008