(57)【要約】【課題】汎用性を高めつつも、取付対象に対する本体側の配置スペースを最小限に抑えること。【解決手段】複合運動装置１１は、従動軸２０を軸方向へ往復動させる流体圧シリンダ３０を備えている。また、本体１２は、一対の第１ベアリング寄りにそれぞれ配置される一対の第１外面１２１ａと、一対の第２ベアリング寄りにそれぞれ配置される一対の第２外面１２２ａと、を含む六つの外面１２ａを有する直方体形状である。六つの外面１２ａは取付対象１００に接触する取付面として機能する。そして、流体圧シリンダ３０は、本体１２に対して六つの外面１２ａのうち取付面となる外面１２ａ側に設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動軸と、
前記駆動軸に設けられる駆動カムと、
前記駆動軸に直交し、前記駆動軸の回転により前記駆動カムを介して回転する中空状の回転軸と、
前記回転軸内に挿入され、前記回転軸に対してスプライン結合される従動軸と、
前記駆動カムを収容する本体と、
前記本体に対して前記駆動軸の両端部を回転可能に支持する一対の第１ベアリングと、
前記本体に対して前記回転軸の両端部を回転可能に支持する一対の第２ベアリングと、
前記従動軸を往復動させるためにシリンダチューブから出没可能なピストンロッドを有する流体圧シリンダと、
前記従動軸の回転における前記ピストンロッドへの伝達を規制する転がり軸受を有するとともに前記従動軸と前記ピストンロッドとを軸方向で連結する継手と、を備え、
前記本体は、前記一対の第１ベアリング寄りにそれぞれ配置される一対の第１外面と、前記一対の第２ベアリング寄りにそれぞれ配置される一対の第２外面と、を含む六つの外面を有する直方体形状であり、前記六つの外面は取付対象に接触する取付面として機能し、前記流体圧シリンダは、前記本体に対して前記六つの外面のうち前記取付面となる外面側に設けられていることを特徴とする複合運動装置。
【請求項２】
前記従動軸の中心軸線と前記ピストンロッドの中心軸線とを一致させる位置決め機構を備えていることを特徴とする請求項１に記載の複合運動装置。
【請求項３】
前記流体圧シリンダは、前記位置決め機構を有するシリンダベースを介して前記本体に対して前記六つの外面のうち前記取付面となる外面側に取り付けられていることを特徴とする請求項２に記載の複合運動装置。
【請求項４】
前記位置決め機構は、
前記本体に形成されるとともに第１位置決め内周面を有する凹部と、
前記シリンダベースに設けられるとともに第２位置決め内周面を有し、前記継手を内部に収容する収容壁と、
前記シリンダベースに設けられるとともに前記第１位置決め内周面に接触する第１位置決め外周面を有する取付部と、
前記継手を構成するとともに前記第２位置決め内周面に接触する第２位置決め外周面を有する連結部材と、を備え、
前記取付部は、前記第１位置決め外周面における前記第１位置決め内周面との接触により、前記第１位置決め外周面の中心軸線及び前記第２位置決め内周面の中心軸線が前記従動軸の中心軸線に一致した状態で締結部材を介して前記本体に取り付けられており、
前記連結部材は、前記ピストンロッドに連結される軸部を有する第１連結部材と、前記第１連結部材に連結される第２連結部材と、を有し、
前記従動軸は、前記転がり軸受を介して前記第２連結部材に回転可能に支持されており、
前記継手は、前記第２位置決め外周面における前記第２位置決め内周面との接触により、前記従動軸の中心軸線と前記ピストンロッドの中心軸線とが一致した状態で前記収容壁の内部に位置決めされていることを特徴とする請求項３に記載の複合運動装置。
【請求項５】
前記シリンダベースには、前記第１連結部材と前記第２連結部材との連結作業及び前記第１連結部材と前記第２連結部材との連結の解除作業、前記軸部と前記ピストンロッドとの連結作業及び前記軸部と前記ピストンロッドとの連結の解除作業を、前記継手が前記収容壁の内部に収容された状態で可能とする開口部が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の複合運動装置。
【請求項６】
前記駆動カムの回転に同期して回転する同期カムと、
前記同期カムの回転に基づいて前記流体圧シリンダの駆動制御に用いられる流体の流路を切り換える弁体を有するメカニカルバルブと、を備えていることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の複合運動装置。
【請求項７】
前記メカニカルバルブは、前記同期カムの回転に基づいて前記弁体の移動を操作する操作軸を有し、
前記同期カムは、前記同期カムの回転方向に沿って延びる小径部と、前記回転方向に沿って延び、前記小径部よりも外径が大きい大径部と、を有し、
前記操作軸が前記小径部又は前記大径部に接触することにより前記操作軸が移動して、前記操作軸の移動に伴い前記弁体の移動が操作され、
前記同期カムは着脱可能に前記駆動軸又は前記従動軸に設けられていることを特徴とする請求項６に記載の複合運動装置。
【請求項８】
ワークを搬送する搬送部を備え、
請求項１〜請求項７のいずれか一項の複合運動装置を用いて、前記搬送部を移動させることを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複合運動装置、及びそれを備えた搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワークの搬送を行うための装置として、所謂ピックアンドプレース装置と称される搬送装置が知られている。搬送装置は、複合運動装置と、ワークを搬送するために用いられるアームやテーブル等の搬送部とを備えている。複合運動装置は、モータ等の外部駆動源によって回転する駆動軸と、駆動軸の回転に基づいて駆動される従動軸とを備えている。従動軸は、往復運動と回転運動とを組み合わせた複合運動を行うようになっている。
【０００３】
例えば特許文献１の搬送装置は、駆動軸が回転することにより駆動される第１カム機構及び第２カム機構を備えている。従動軸は、第１カム機構及び第２カム機構にそれぞれ連結され、第１カム機構の駆動により所定の角度で間欠的に回転するとともに、第２カム機構の駆動により所定の方向に往復動する。搬送部は、従動軸の端部に連結されており、従動軸の回転運動や往復運動によって移動され、ワークを初期位置から異なる位置へ繰り返し搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０４１７２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のように、カム機構を用いて従動軸を往復動させる構成では、従動軸の往復動のストロークが一義的に決まってしまうため汎用性が低く、搬送装置の仕様に合わせて、カム機構をその都度設計する必要がある。また、複合運動装置の本体は、取付面を有しており、複合運動装置は、取付面が取付対象に接触するようにして取付対象に取り付けられる。しかし、複合運動装置が配置される配置スペースの制約等もあって、取付対象に対する本体側の配置スペースを最小限に抑えたいという要望がある。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、汎用性を高めつつも、取付対象に対する本体側の配置スペースを最小限に抑えることができる複合運動装置、及びそれを備えた搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する複合運動装置は、駆動軸と、前記駆動軸に設けられる駆動カムと、前記駆動軸に直交し、前記駆動軸の回転により前記駆動カムを介して回転する中空状の回転軸と、前記回転軸内に挿入され、前記回転軸に対してスプライン結合される従動軸と、前記駆動カムを収容する本体と、前記本体に対して前記駆動軸の両端部を回転可能に支持する一対の第１ベアリングと、前記本体に対して前記回転軸の両端部を回転可能に支持する一対の第２ベアリングと、前記従動軸を往復動させるためにシリンダチューブから出没可能なピストンロッドを有する流体圧シリンダと、前記従動軸の回転における前記ピストンロッドへの伝達を規制する転がり軸受を有するとともに前記従動軸と前記ピストンロッドとを軸方向で連結する継手と、を備え、前記本体は、前記一対の第１ベアリング寄りにそれぞれ配置される一対の第１外面と、前記一対の第２ベアリング寄りにそれぞれ配置される一対の第２外面と、を含む六つの外面を有する直方体形状であり、前記六つの外面は取付対象に接触する取付面として機能し、前記流体圧シリンダは、前記本体に対して前記六つの外面のうち前記取付面となる外面側に設けられている。
【０００８】
上記複合運動装置において、前記従動軸の中心軸線と前記ピストンロッドの中心軸線とを一致させる位置決め機構を備えていることが好ましい。
上記複合運動装置において、前記流体圧シリンダは、前記位置決め機構を有するシリンダベースを介して前記本体に対して前記六つの外面のうち前記取付面となる外面側に取り付けられていることが好ましい。
【０００９】
上記複合運動装置において、前記位置決め機構は、前記本体に形成されるとともに第１位置決め内周面を有する凹部と、前記シリンダベースに設けられるとともに第２位置決め内周面を有し、前記継手を内部に収容する収容壁と、前記シリンダベースに設けられるとともに前記第１位置決め内周面に接触する第１位置決め外周面を有する取付部と、前記継手を構成するとともに前記第２位置決め内周面に接触する第２位置決め外周面を有する連結部材と、を備え、前記取付部は、前記第１位置決め外周面における前記第１位置決め内周面との接触により、前記第１位置決め外周面の中心軸線及び前記第２位置決め内周面の中心軸線が前記従動軸の中心軸線に一致した状態で締結部材を介して前記本体に取り付けられており、前記連結部材は、前記ピストンロッドに連結される軸部を有する第１連結部材と、前記第１連結部材に連結される第２連結部材と、を有し、前記従動軸は、前記転がり軸受を介して前記第２連結部材に回転可能に支持されており、前記継手は、前記第２位置決め外周面における前記第２位置決め内周面との接触により、前記従動軸の中心軸線と前記ピストンロッドの中心軸線とが一致した状態で前記収容壁の内部に位置決めされていることが好ましい。
【００１０】
上記複合運動装置において、前記シリンダベースには、前記第１連結部材と前記第２連結部材との連結作業及び前記第１連結部材と前記第２連結部材との連結の解除作業、前記軸部と前記ピストンロッドとの連結作業及び前記軸部と前記ピストンロッドとの連結の解除作業を、前記継手が前記収容壁の内部に収容された状態で可能とする開口部が形成されていることが好ましい。
【００１１】
上記複合運動装置において、前記駆動カムの回転に同期して回転する同期カムと、前記同期カムの回転に基づいて前記流体圧シリンダの駆動制御に用いられる流体の流路を切り換える弁体を有するメカニカルバルブと、を備えていることが好ましい。
【００１２】
上記複合運動装置において、前記メカニカルバルブは、前記同期カムの回転に基づいて前記弁体の移動を操作する操作軸を有し、前記同期カムは、前記同期カムの回転方向に沿って延びる小径部と、前記回転方向に沿って延び、前記小径部よりも外径が大きい大径部と、を有し、前記操作軸が前記小径部又は前記大径部に接触することにより前記操作軸が移動して、前記操作軸の移動に伴い前記弁体の移動が操作され、前記同期カムは着脱可能に前記駆動軸又は前記従動軸に設けられていることが好ましい。
【００１３】
上記課題を解決する搬送装置は、ワークを搬送する搬送部を備え、請求項１〜請求項７のいずれか一項の複合運動装置を用いて、前記搬送部を移動させる。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、汎用性を高めつつも、取付対象に対する本体側の配置スペースを最小限に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態における搬送装置の斜視図。
【図２】搬送装置を流体圧シリンダ側から見た斜視図。
【図３】（ａ）は複合運動装置の一部分を破断して示す断面図、（ｂ）はカム溝の展開図。
【図４】図３（ａ）における４−４線断面図。
【図５】流体圧シリンダの周辺を拡大して示す断面図。
【図６】継手の周囲を拡大して示す断面図。
【図７】第１切換弁の周辺を拡大して示す断面図。
【図８】流体圧シリンダ、第１切換弁及び第２切換弁の関係を示す図。
【図９】ピストンがヘッドカバーに向けて移動した状態を示す断面図。
【図１０】駆動軸の回転角度と従動軸の往復運動及び回転運動との関係や、駆動軸の回転角度と第１切換弁の操作軸の動きとの関係を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、複合運動装置、及びそれを備えた搬送装置を具体化した一実施形態を図１〜図１０にしたがって説明する。
図１及び図２に示すように、搬送装置１０は、複合運動装置１１と、ワークＷを搬送するために用いられる搬送部としてのアーム１０ａとを備えている。アーム１０ａの先端には、ワークＷを吸着可能な吸着部１０ｂが設けられている。搬送装置１０は、複合運動装置１１を用いて、アーム１０ａを移動させ、ワークＷを搬送する。
【００１７】
複合運動装置１１は、直方体形状である中空箱状の本体１２と、本体１２から一部が突出するとともに突出端部にアーム１０ａが設けられた従動軸２０と、本体１２に取り付けられる流体圧シリンダ３０及びメカニカルバルブＭＶとを有している。本体１２には、駆動軸１３が貫通している。
【００１８】
図３（ａ）に示すように、本体１２は、本体１２における駆動軸１３の軸方向に位置する両外面１２ａに取り付けられる筒状のベアリングケース１４ａ，１４ｂを有する。駆動軸１３の両端部は、両ベアリングケース１４ａ，１４ｂを貫通して本体１２から突出している。駆動軸１３の両端部と両ベアリングケース１４ａ，１４ｂとの間には、第１ベアリング２１ａ，２１ｂが介在されている。駆動軸１３の一端部は、第１ベアリング２１ａを介してベアリングケース１４ａに回転可能に支持されるとともに、駆動軸１３の他端部は、第１ベアリング２１ｂを介してベアリングケース１４ｂに回転可能に支持されている。よって、一対の第１ベアリング２１ａ，２１ｂは、本体１２に対して駆動軸１３の両端部を回転可能に支持する。駆動軸１３の一端部には、図示しないモータ等の外部駆動源が連結されている。駆動軸１３は、外部駆動源の駆動によって回転する。
【００１９】
駆動軸１３には、円環状の駆動カム１５が設けられている。駆動カム１５は、本体１２内に収容されている。駆動カム１５は、駆動軸１３に一体的に回転可能に設けられている。駆動カム１５の外周面には、カム溝１５ａが形成されている。
【００２０】
図４に示すように、複合運動装置１１は、駆動軸１３に直交し、駆動軸１３の回転により駆動カム１５を介して回転する中空状の回転軸１６（タレット軸）を備えている。本体１２は、本体１２における回転軸１６の軸方向に位置する両外面１２ａの一方に取り付けられる筒状のベアリングケース１７を有する。回転軸１６の一端部は、ベアリングケース１７を貫通して本体１２から突出している。回転軸１６の一端部とベアリングケース１７との間には第２ベアリング２２ａが介在されている。回転軸１６の一端部は、第２ベアリング２２ａを介してベアリングケース１７に回転可能に支持されている。
【００２１】
また、本体１２における回転軸１６の軸方向に位置する両外面１２ａの他方には、貫通孔である軸受固定部１２ｈが形成されている。回転軸１６の他端部は、軸受固定部１２ｈを貫通している。回転軸１６の他端部と軸受固定部１２ｈとの間には第２ベアリング２２ｂが介在されている。回転軸１６の他端部は、第２ベアリング２２ｂを介して軸受固定部１２ｈに回転可能に支持されている。よって、一対の第２ベアリング２２ａ，２２ｂは、本体１２に対して回転軸１６の両端部を回転可能に支持する。
【００２２】
図３（ａ）に示すように、駆動軸１３の両端部と両ベアリングケース１４ａ，１４ｂとの間における一対の第１ベアリング２１ａ，２１ｂよりも駆動カム１５寄りには、シール部材２１ｓがそれぞれ介在されている。図４に示すように、回転軸１６の一端部とベアリングケース１７との間における第２ベアリング２２ａよりも駆動カム１５寄り、及び回転軸１６の他端部と軸受固定部１２ｈとの間における第２ベアリング２２ｂよりも駆動カム１５寄りには、シール部材２２ｓがそれぞれ介在されている。そして、各シール部材２１ｓ，２２ｓにより、本体１２の内部に貯留されている潤滑油の本体１２外への洩れが抑制されている。潤滑油は、本体１２の内部の摺動部分の潤滑に寄与している。
【００２３】
図１〜図４に示すように、本体１２は、一対の第１ベアリング２１ａ，２１ｂ寄りにそれぞれ配置される一対の第１外面１２１ａと、一対の第２ベアリング２２ａ，２２ｂ寄りにそれぞれ配置される一対の第２外面１２２ａと、を含む六つの外面１２ａを有する直方体形状である。六つの外面１２ａは取付対象１００に接触する取付面として機能する。本実施形態では、第２ベアリング２２ｂ寄りに配置される第２外面１２２ａ（本体１２の六つの外面１２ａのうちの軸受固定部１２ｈが形成されている外面１２ａ）を取付面として機能させている。
【００２４】
図３（ａ）及び図４に示すように、回転軸１６の外周面には、カムフォロア１８が複数突設されている。複数のカムフォロア１８は、回転軸１６の周方向において等間隔をおいて配置されている。各カムフォロア１８は、駆動カム１５のカム溝１５ａに順次係脱可能になっている。
【００２５】
そして、駆動軸１３が回転することにより、駆動軸１３の回転力が駆動カム１５とカムフォロア１８とのカム作用によって回転軸１６に伝達され、回転軸１６が所定の角度で間欠的に回転する。回転軸１６の回転角度は、カムフォロア１８の数や駆動カム１５のカム溝１５ａの形状等を変更することにより、任意に変更することが可能である。
【００２６】
図３（ｂ）に示すように、カム溝１５ａは、駆動軸１３が１回転する間で、駆動カム１５とカムフォロア１８とのカム作用によって駆動軸１３の回転力が伝達されて回転軸１６が正方向に所定の回転角度だけ回転するようにカムフォロア１８を案内する第１案内溝１５１ａを有している。また、カム溝１５ａは、駆動軸１３が１回転する間で、回転軸１６が正方向に所定の回転角度だけ回転した後に、回転軸１６が回転しないようにカムフォロア１８を案内する第２案内溝１５２ａを有している。さらに、カム溝１５ａは、駆動軸１３が１回転する間で、駆動カム１５とカムフォロア１８とのカム作用によって駆動軸１３の回転力が伝達されて回転軸１６が正方向とは逆方向に所定の回転角度だけ回転するようにカムフォロア１８を案内する第３案内溝１５３ａを有している。また、カム溝１５ａは、駆動軸１３が１回転する間で、回転軸１６が正方向とは逆方向に所定の回転角度だけ回転した後に、回転軸１６が回転しないようにカムフォロア１８を案内する第４案内溝１５４ａを有している。
【００２７】
図４に示すように、回転軸１６の一端部には、筒状のスプラインナット１９が装着されている。スプラインナット１９は、回転軸１６内に挿入される筒部１９ａと、筒部１９ａの一端部から径方向外側に突出する環状のフランジ部１９ｂとを有する。フランジ部１９ｂは、回転軸１６の一端面に接触しており、複数のボルト１９ｃによって回転軸１６に締結されている。よって、スプラインナット１９は、回転軸１６に固定されており、回転軸１６の一部を構成している。
【００２８】
従動軸２０は、スプラインナット１９内に挿入されている。スプラインナット１９と従動軸２０との間には複数のボール１９ｄが介在されており、従動軸２０は、スプラインナット１９に対してスプライン結合されている。よって、従動軸２０は、スプラインナット１９に対して従動軸２０の軸方向に移動可能であり、且つ回転軸１６と一体的に回転可能である。
【００２９】
図２に示すように、流体圧シリンダ３０は、本体１２に対して第２ベアリング２２ｂ寄りに配置される第２外面１２２ａ側に設けられている。すなわち、流体圧シリンダ３０は、本体１２に対して六つの外面１２ａのうち取付対象１００に接触する取付面となる外面１２ａ側に設けられている。流体圧シリンダ３０にはシリンダベース４０が連結されており、流体圧シリンダ３０は、本体１２に対してシリンダベース４０を介して本体１２の外面１２ａ側に取り付けられている。
【００３０】
図５に示すように、流体圧シリンダ３０は、筒状のシリンダチューブ３１と、シリンダチューブ３１の軸方向一端側の開口を閉塞するヘッドカバー３２と、シリンダチューブ３１の軸方向他端側の開口を閉塞するロッドカバー３３とを備えている。そして、シリンダチューブ３１、ヘッドカバー３２及びロッドカバー３３によってシリンダチューブ３１内にシリンダ室３４が区画されている。
【００３１】
シリンダチューブ３１の外周壁におけるロッドカバー３３寄りには、シリンダ室３４に連通する第１流体給排ポート３１ａが形成されている。シリンダチューブ３１の外周壁におけるヘッドカバー３２寄りには、シリンダ室３４に連通する第２流体給排ポート３１ｂが形成されている。
【００３２】
シリンダ室３４には、シリンダ室３４内を往復動可能な円環状のピストン３５が収容されている。ピストン３５は、シリンダ室３４を、ロッドカバー３３側の第１圧力作用室３４ａと、ヘッドカバー３２側の第２圧力作用室３４ｂとに区画している。第１圧力作用室３４ａは第１流体給排ポート３１ａに連通するとともに、第２圧力作用室３４ｂは第２流体給排ポート３１ｂに連通している。
【００３３】
ピストン３５の外周面には、第１圧力作用室３４ａと第２圧力作用室３４ｂとの間をシールするゴム製のピストンパッキン３５ｓが装着されている。ピストン３５の外周面におけるピストンパッキン３５ｓよりもヘッドカバー３２寄りには、不完全環状のウェアリング３６が装着されている。そして、ウェアリング３６の外周面がシリンダチューブ３１の内周面に摺接することにより、ピストン３５が偏心してしまうことが抑制されている。
【００３４】
ピストン３５には、ピストンロッド３７の端部が取り付けられている。ピストンロッド３７におけるピストン３５とは反対側は、ロッドカバー３３に形成されたロッド挿通孔３３ｈを介してシリンダチューブ３１外に突出している。なお、ロッド挿通孔３３ｈとピストンロッド３７との間には環状の滑り軸受３３ａが介在されている。ピストンロッド３７は、滑り軸受３３ａによってロッドカバー３３に対して摺動可能に支持されている。ピストン３５とピストンロッド３７とは、シリンダチューブ３１の軸方向に沿って一体的に移動する。よって、ピストンロッド３７は、シリンダチューブ３１に対して出没可能になっている。
【００３５】
ピストン３５におけるロッドカバー３３側の端面３５ａには、円環状のクッションゴム３８が設けられている。また、ピストン３５におけるヘッドカバー３２側の端面３５ｂには、円環状のクッションゴム３９が設けられている。
【００３６】
図２に示すように、本体１２には、軸受固定部１２ｈの周囲に凹部２３が形成されている。凹部２３は、従動軸２０の中心軸線を中心とした同心円上に延びる第１位置決め内周面２３ａを有する。第１位置決め内周面２３ａは、軸受固定部１２ｈを取り囲むように従動軸２０の周方向に延びている。
【００３７】
シリンダベース４０は、一対の取付部４１と、一対の取付部４１同士を連結する複数の連結部４２とを有する。各取付部４１は、平面視すると略四角板状である。各取付部４１の外周部（外側面）における四つの角部には第１位置決め外周面４１ａが形成されている。各第１位置決め外周面４１ａは弧状に湾曲している。各取付部４１には、挿通孔４１ｂが形成されている。
【００３８】
各連結部４２は、柱状である。各連結部４２は、一対の取付部４１の外周部が延びる方向で隣り合う第１位置決め外周面４１ａの間にそれぞれ設けられている。よって、複数の連結部４２は、取付部４１の外周部が延びる方向において間隔をおいて配置されている。そして、シリンダベース４０には、取付部４１の外周部が延びる方向において隣り合う連結部４２同士の間に開口部４３が形成されている。開口部４３は、連結部４２が延びる方向において、一対の取付部４１の四隅に重なっている。各連結部４２の外面は、一対の取付部４１の外周部に連続するとともに、各連結部４２の内面は、挿通孔４１ｂの内周面に連続する弧状の第２位置決め内周面４２ａになっている。
【００３９】
一対の取付部４１の一方は、四つの第１位置決め外周面４１ａにおける第１位置決め内周面２３ａとの接触により、四つの第１位置決め外周面４１ａの中心軸線及び第２位置決め内周面の中心軸線が従動軸２０の中心軸線に一致した状態で四つの締結部材４４（例えばボルト）を介して本体１２に取り付けられている。
【００４０】
四つの締結部材４４は、取付部４１の四隅にそれぞれ配置されている。よって、各締結部材４４は、各第１位置決め外周面４１ａよりも従動軸２０の径方向の内側に配置されている。シリンダベース４０は、本体１２に四つの締結部材４４を介して着脱可能に取り付けられている。
【００４１】
図５に示すように、一対の取付部４１の他方は、シリンダチューブ３１におけるロッドカバー３３側の外端面に取り付けられている。そして、シリンダチューブ３１外に突出したピストンロッド３７におけるピストン３５とは反対側の端部は、一対の取付部４１の他方の挿通孔４１ｂを通過して複数の連結部４２の内側に位置している。
【００４２】
図６に示すように、複合運動装置１１は、従動軸２０とピストンロッド３７とを軸方向で連結する継手５０を備えている。継手５０は、複数の連結部４２の内側に配置されている。よって、各連結部４２は、継手５０を内部に収容するとともに第２位置決め内周面４２ａを有する収容壁である。継手５０は、連結部材５０Ａを有する。連結部材５０Ａは、ピストンロッド３７の端部に連結される有底筒状の第１連結部材５１と、第１連結部材５１に連結される筒状の第２連結部材５２とを有する。
【００４３】
第１連結部材５１は、底壁５１ａと、底壁５１ａの周囲から延設される筒壁５１ｂと、底壁５１ａにおける筒壁５１ｂとは反対側の面の中央部に設けられるとともに筒壁５１ｂとは反対側に延びる軸部５１ｃとを有する。軸部５１ｃの外周面には雄ねじが形成されている。そして、軸部５１ｃが、ピストンロッド３７の端部に形成される雌ねじ孔３７ａに挿入されて螺合されることにより、第１連結部材５１とピストンロッド３７とが連結されている。
【００４４】
第２連結部材５２は、従動軸２０におけるピストンロッド３７側の端部が挿通される挿通孔５２ａを有する。挿通孔５２ａは、本体１２寄りの小径孔５２１ａと、小径孔５２１ａに連続するとともに小径孔５２１ａよりも孔径が大径であり、小径孔５２１ａよりもピストンロッド３７寄りに位置する大径孔５２２ａと、小径孔５２１ａと大径孔５２２ａとを繋ぐ段差部５２３ａとを有する。段差部５２３ａは、従動軸２０の軸方向において、第１連結部材５１の筒壁５１ｂにおける第２連結部材５２側の端面の内周部に対向配置されている。
【００４５】
従動軸２０におけるピストンロッド３７側の端部は、本体１２寄りの大径軸２０ａと、大径軸２０ａに連続するとともに大径軸２０ａよりも外径が小径であり、大径軸２０ａよりもピストンロッド３７寄りに位置する小径軸２０ｂと、大径軸２０ａと小径軸２０ｂとを繋ぐ段差部２０ｃとを有する。
【００４６】
継手５０は、従動軸２０の小径軸２０ｂと挿通孔５２ａの大径孔５２２ａとの間に介在されるとともに従動軸２０の軸方向に並んで配列される転がり軸受としての二つのアンギュラ玉軸受５３を有している。各アンギュラ玉軸受５３は、内輪部５３ａ、外輪部５３ｂ及び複数の玉５３ｃを有する。各内輪部５３ａは環状であり、小径軸２０ｂの外周面に嵌合されている。各外輪部５３ｂは環状であり、その外周面が挿通孔５２ａの内周面に接している。複数の玉５３ｃは、内輪部５３ａの外周面と外輪部５３ｂの内周面との間に介在されている。
【００４７】
そして、従動軸２０は、二つのアンギュラ玉軸受５３を介して第２連結部材５２に回転可能に支持されている。また、二つのアンギュラ玉軸受５３は、従動軸２０の回転がピストンロッド３７へ伝達されることを規制している。よって、継手５０は、従動軸２０の回転がピストンロッド３７へ伝達されることが規制された状態で従動軸２０とピストンロッド３７とを軸方向で連結している。
【００４８】
二つのアンギュラ玉軸受５３のうち、本体１２寄りに配置されるアンギュラ玉軸受５３において、内輪部５３ａの外周面には、従動軸２０の軸方向において複数の玉５３ｃにおける本体１２に向けた移動を規制する玉保持部５３１ａが形成されている。また、二つのアンギュラ玉軸受５３のうち、本体１２寄りに配置されるアンギュラ玉軸受５３において、外輪部５３ｂの内周面には、従動軸２０の軸方向において複数の玉５３ｃにおける流体圧シリンダ３０に向けた移動を規制する玉保持部５３１ｂが形成されている。
【００４９】
二つのアンギュラ玉軸受５３のうち、流体圧シリンダ３０寄りに配置されるアンギュラ玉軸受５３において、内輪部５３ａの外周面には、従動軸２０の軸方向において複数の玉５３ｃにおける流体圧シリンダ３０に向けた移動を規制する玉保持部５３２ａが形成されている。また、二つのアンギュラ玉軸受５３のうち、流体圧シリンダ３０寄りに配置されるアンギュラ玉軸受５３において、外輪部５３ｂの内周面には、従動軸２０の軸方向において複数の玉５３ｃにおける本体１２に向けた移動を規制する玉保持部５３２ｂが形成されている。よって、二つのアンギュラ玉軸受５３は、従動軸２０に作用するアキシャル荷重を受ける。
【００５０】
小径軸２０ｂの先端部には、ナット２０ｄが螺合されている。そして、二つのアンギュラ玉軸受５３の内輪部５３ａは、ナット２０ｄが小径軸２０ｂの先端部に螺合されることにより、段差部２０ｃとナット２０ｄとの間で従動軸２０の軸方向に挟み込まれている。具体的には、二つのアンギュラ玉軸受５３のうち、本体１２寄りに配置されるアンギュラ玉軸受５３の内輪部５３ａが段差部２０ｃに接触して、玉５３ｃが玉保持部５３１ａにより流体圧シリンダ３０に向けて押圧される。そして、玉５３ｃが玉保持部５３１ｂを押圧することにより、二つのアンギュラ玉軸受５３のうち、流体圧シリンダ３０寄りに配置されるアンギュラ玉軸受５３が流体圧シリンダ３０に向けて押圧される。さらに、二つのアンギュラ玉軸受５３のうち、流体圧シリンダ３０寄りに配置されるアンギュラ玉軸受５３の玉５３ｃが玉保持部５３２ｂにより流体圧シリンダ３０に向けて押圧され、玉５３ｃが玉保持部５３２ａを押圧することにより、ナット２０ｄに押圧力が伝達される。これにより、従動軸２０と二つのアンギュラ玉軸受５３とが従動軸２０の軸方向でのがたつきが抑えられた状態で固定される。なお、ナット２０ｄの締め付け力を調整することにより、玉５３ｃに作用する力が調整される。
【００５１】
また、二つのアンギュラ玉軸受５３の外輪部５３ｂは、第１連結部材５１と第２連結部材５２とが、複数のボルト５０ａによって締結されることにより、段差部５２３ａと筒壁５１ｂにおける第２連結部材５２側の端面の内周部との間で従動軸２０の軸方向に挟み込まれている。これにより、二つのアンギュラ玉軸受５３における従動軸２０の軸方向での位置決めが確保されている。したがって、継手５０は、従動軸２０とピストンロッド３７との軸方向における相対位置を位置決めした状態で、従動軸２０とピストンロッド３７とを軸方向で連結している。よって、段差部２０ｃ、ナット２０ｄ、複数のボルト５０ａ、段差部５２３ａ及び筒壁５１ｂは、従動軸２０とピストンロッド３７との軸方向における相対位置を位置決めしている。
【００５２】
第１連結部材５１及び第２連結部材５２の外周面５１ｆ，５２ｆは、各連結部４２の内面に接触している。そして、第１連結部材５１及び第２連結部材５２の外周面５１ｆ，５２ｆは、第２位置決め内周面４２ａに接触する第２位置決め外周面として機能する。よって、連結部材５０Ａは、第２位置決め外周面を有する。
【００５３】
軸部５１ｃの中心軸線は、第１連結部材５１と第２連結部材５２とが連結されている状態において、従動軸２０の中心軸線と一致するようになっている。そして、継手５０は、第１連結部材５１及び第２連結部材５２の外周面５１ｆ，５２ｆにおける第２位置決め内周面４２ａとの接触により、従動軸２０の中心軸線とピストンロッド３７の中心軸線とが一致した状態で連結部４２の内部に位置決めされている。四つの第１位置決め外周面４１ａが第１位置決め内周面２３ａに接触するとともに、第１連結部材５１及び第２連結部材５２の外周面５１ｆ，５２ｆが第２位置決め内周面４２ａに接触することで、従動軸２０の中心軸線とピストンロッド３７の中心軸線とがずれることが規制されている。
【００５４】
よって、第１位置決め内周面２３ａを有する凹部２３と、第２位置決め内周面４２ａを有する各連結部４２と、第１位置決め外周面４１ａを有する取付部４１と、外周面５１ｆ，５２ｆを有する第１連結部材５１及び第２連結部材５２は、従動軸２０の中心軸線とピストンロッド３７の中心軸線とを一致させる位置決め機構を構成する。
【００５５】
ボルト５０ａは、開口部４３を介して外部に臨む位置に配置されている。また、軸部５１ｃとピストンロッド３７との連結部位は、開口部４３を介して外部に臨む位置に配置されている。よって、各開口部４３は、第１連結部材５１と第２連結部材５２との連結作業及び第１連結部材５１と第２連結部材５２との連結の解除作業、軸部５１ｃとピストンロッド３７との連結作業及び軸部５１ｃとピストンロッド３７との連結の解除作業を、継手５０が連結部４２の内部に収容された状態で可能とする。また、各締結部材４４は、開口部４３を介して外部に臨む位置に配置されている。よって、各開口部４３は、各締結部材４４の操作を可能とする操作空間でもある。
【００５６】
図７に示すように、複合運動装置１１は、駆動カム１５の回転に同期して回転する同期カム６１を備えている。同期カム６１は、駆動軸１３の他端部（駆動軸１３における外部駆動源が連結される端部とは反対側の端部）に取り付けられている。また、複合運動装置１１は、メカニカルバルブＭＶの一部を構成する第１切換弁６０を備えている。第１切換弁６０は、同期カム６１の回転に基づいて流体圧シリンダ３０の駆動制御に用いられる流体の流路を切り換える弁体６２と、同期カム６１の回転に基づいて弁体６２の移動を操作する操作軸６３とを有する。
【００５７】
同期カム６１は、略円板状のカム部６１１と、カム部６１１における本体１２とは反対側の端面から突出する筒状のボス部６１２とを有する。カム部６１１及びボス部６１２には、駆動軸１３が挿通される挿通孔６１３が形成されている。
【００５８】
また、ボス部６１２の外周面には、ボス部６１２の外周面から内周面にかけて貫通する雌ねじ孔６１２ａが二つ形成されている。各雌ねじ孔６１２ａにはボルト６１２ｂが螺合されている。そして、各ボルト６１２ｂの先端が駆動軸１３の外周面に当接することにより、同期カム６１が駆動軸１３に対して取り付けられている。よって、同期カム６１は着脱可能で、且つ回転可能に駆動軸１３に設けられている。
【００５９】
カム部６１１は、同期カム６１の回転方向に沿って延びる小径部６１ａと、回転方向に沿って延び、小径部６１ａよりも外径が大きい大径部６１ｂとを有している。小径部６１ａと大径部６１ｂとは連続しており、大径部６１ｂは、小径部６１ａの外周面において、駆動軸１３を径方向で挟む両側の部位にそれぞれ配置されている。
【００６０】
本体１２における同期カム６１が配置されている側の外面１２ａには、弁体６２を収容するバルブハウジング６４がブラケット６５を介して取り付けられている。バルブハウジング６４は、供給ポート６４ａ及び出力ポート６４ｂを有している。供給ポート６４ａには、流体供給源Ｐ１が接続されている。また、バルブハウジング６４内には、弁体６２が収容される弁室６４ｃが形成されている。弁室６４ｃは供給ポート６４ａに連通している。さらに、バルブハウジング６４内には、弁室６４ｃに連通する弁孔６４ｄが形成されている。バルブハウジング６４の内面における弁室６４ｃに臨む弁孔６４ｄの先端部は、弁体６２が着座する弁座６４ｅになっている。弁室６４ｃ内には、弁体６２を弁座６４ｅに向けて付勢する付勢ばね６４ｆが収容されている。さらに、バルブハウジング６４内には、弁孔６４ｄと出力ポート６４ｂとを繋ぐ出力流路６４ｇが形成されている。
【００６１】
バルブハウジング６４には、同期カム６１に向けて突出する筒部６４ｈが形成されている。操作軸６３は、筒部６４ｈに対して出没可能に筒部６４ｈ内に挿入されている。操作軸６３における同期カム６１側の端部は、筒部６４ｈから同期カム６１に向けて突出している。操作軸６３は、同期カム６１側の端部に設けられるローラ６３ａを有している。ローラ６３ａは、同期カム６１の小径部６１ａ及び大径部６１ｂに摺接しながら回転する。また、バルブハウジング６４内には、操作軸６３を筒部６４ｈから突出する方向へ付勢する付勢ばね６４ｋが設けられている。
【００６２】
操作軸６３における同期カム６１とは反対側の端部は、バルブハウジング６４内において弁孔６４ｄの内側を通過可能になっている。操作軸６３には、軸内通路６３ｂが形成されている。また、操作軸６３における弁孔６４ｄとは反対側には、軸内通路６３ｂと筒部６４ｈ内とを連通する流路孔６３ｃが形成されている。軸内通路６３ｂの一端は弁孔６４ｄに連通するとともに、他端は流路孔６３ｃを介して筒部６４ｈ内に連通している。筒部６４ｈの外周壁には、排出ポート６４ｐが形成されている。
【００６３】
同期カム６１の回転に基づいて、操作軸６３のローラ６３ａが小径部６１ａ又は大径部６１ｂに接触することにより操作軸６３が筒部６４ｈに対する出没方向に移動して、操作軸６３の移動に伴い弁体６２の移動が操作される。
【００６４】
操作軸６３のローラ６３ａが大径部６１ｂに接触すると、操作軸６３は、大径部６１ｂに押圧されて、付勢ばね６４ｋの付勢力に抗してローラ６３ａが小径部６１ａに接触していたときよりも筒部６４ｈに対して没入する方向へ移動する。そして、操作軸６３における同期カム６１とは反対側の端部が弁孔６４ｄの内側を通過して、弁体６２に当接するとともに弁体６２を押圧し、付勢ばね６４ｆの付勢力に抗して弁体６２が弁座６４ｅから離れる方向へ移動する。これにより、弁孔６４ｄが開放され、供給ポート６４ａと出力ポート６４ｂとが弁室６４ｃ、弁孔６４ｄ及び出力流路６４ｇを介して連通する。そして、流体供給源Ｐ１から供給ポート６４ａに供給された流体が、弁室６４ｃ、弁孔６４ｄ及び出力流路６４ｇを介して出力ポート６４ｂに至る。この状態を、以下の説明において、第１切換弁６０の開弁状態と言う。
【００６５】
図８に示すように、操作軸６３のローラ６３ａが小径部６１ａに接触すると、操作軸６３は、付勢ばね６４ｋの付勢力によって、ローラ６３ａが大径部６１ｂに接触していたときよりも筒部６４ｈに対して突出する方向へ移動する。そして、操作軸６３における同期カム６１とは反対側の端部が弁体６２から離間して、付勢ばね６４ｆの付勢力によって弁体６２が弁座６４ｅに着座する。これにより、弁孔６４ｄが弁体６２によって閉鎖され、供給ポート６４ａと出力ポート６４ｂとの弁室６４ｃ、弁孔６４ｄ及び出力流路６４ｇを介した連通が遮断される。この状態を、以下の説明において、第１切換弁６０の閉弁状態と言う。
【００６６】
第１切換弁６０が開弁状態から閉弁状態に切り換わると、出力ポート６４ｂから出力流路６４ｇ、弁孔６４ｄ、軸内通路６３ｂ、流路孔６３ｃ及び排出ポート６４ｐを介した外部への流体の流れが生じる。
【００６７】
本実施形態では、同期カム６１が１回転する際に、第１切換弁６０における開弁状態と閉弁状態との切り換えが２度行われる。なお、同期カム６１は着脱可能で、且つ回転可能に駆動軸１３に設けられているため、同期カム６１を駆動軸１３から一旦取り外して、同期カム６１の大径部６１ｂの回転位相を調整することが可能である。したがって、第１切換弁６０の開閉のタイミングが調整可能である。
【００６８】
複合運動装置１１は、メカニカルバルブＭＶの一部を構成する第２切換弁７０を備えている。第２切換弁７０は、単動バネ復帰型のエアーオペレイトバルブである。第２切換弁７０は、接続配管８１を介して第１切換弁６０の出力ポート６４ｂに接続されている。また、第２切換弁７０は、接続配管８２を介して流体圧シリンダ３０の第１流体給排ポート３１ａに接続されている。さらに、第２切換弁７０は、接続配管８３を介して流体圧シリンダ３０の第２流体給排ポート３１ｂに接続されている。また、第２切換弁７０には、流体供給源Ｐ２が接続されている。
【００６９】
図９に示すように、第２切換弁７０は、第１切換弁６０が開弁状態であるとき、出力ポート６４ｂから接続配管８１を介して流体が導入される。すると、第２切換弁７０は、流体供給源Ｐ２から第２切換弁７０に供給された流体が、接続配管８２及び第１流体給排ポート３１ａを介して第１圧力作用室３４ａに供給されるとともに、第２圧力作用室３４ｂ内の流体が、第２流体給排ポート３１ｂ、接続配管８３及び第２切換弁７０を介して外部へ排出される第１切換状態に切り換えられる。
【００７０】
図８に示すように、第２切換弁７０は、第１切換弁６０が閉弁状態であるとき、接続配管８１、出力ポート６４ｂ、出力流路６４ｇ、弁孔６４ｄ、軸内通路６３ｂ、流路孔６３ｃ及び排出ポート６４ｐを介して外部に連通する。すると、第２切換弁７０は、流体供給源Ｐ２から第２切換弁７０に供給された流体が、接続配管８３及び第２流体給排ポート３１ｂを介して第２圧力作用室３４ｂに供給されるとともに、第１圧力作用室３４ａ内の流体が、第１流体給排ポート３１ａ、接続配管８２及び第２切換弁７０を介して外部へ排出される第２切換状態に切り換えられる。
【００７１】
図９に示すように、第２切換弁７０が第１切換状態に切り換えられると、ピストン３５がヘッドカバー３２側のストロークエンドに到るまで移動する。これにより、ピストンロッド３７がシリンダチューブ３１に対して没入する方向へ移動する。ピストン３５がヘッドカバー３２側のストロークエンドに到ると、クッションゴム３９がヘッドカバー３２に当接する。具体的には、ハの字状に開いたクッションゴム３９のリップ先端がヘッドカバー３２に接触し、その間に囲まれた空間の流体が圧縮されるとともに、ヘッドカバー３２に設けられたスリット３２ｋを介して流体が絞られて排出される。そして、最終的にクッションゴム３９が圧縮される。これにより、ピストン３５からの衝撃が吸収され、ピストン３５がヘッドカバー３２側のストロークエンドで緩衝的に停止する。
【００７２】
ピストンロッド３７におけるシリンダチューブ３１に対する没入によって、従動軸２０が継手５０を介してピストンロッド３７と一体的に本体１２に対して没入する方向に移動する。これにより、従動軸２０は、本体１２からの突出端部が本体１２に対して没入した没入位置に切り換わる。
【００７３】
図５に示すように、第２切換弁７０が第２切換状態に切り換えられると、ピストン３５がロッドカバー３３側のストロークエンドに到るまで移動する。これにより、ピストンロッド３７がシリンダチューブ３１に対して突出する方向へ移動する。ピストン３５がロッドカバー３３側のストロークエンドに到ると、クッションゴム３８がロッドカバー３３に当接する。具体的には、ハの字状に開いたクッションゴム３８のリップ先端がロッドカバー３３に接触し、その間に囲まれた空間の流体が圧縮されるとともに、ロッドカバー３３に設けられたスリット３３ｋを介して流体が絞られて排出される。そして、最終的にクッションゴム３８が圧縮される。これにより、ピストン３５からの衝撃が吸収され、ピストン３５がロッドカバー３３側のストロークエンドで緩衝的に停止する。
【００７４】
ピストンロッド３７におけるシリンダチューブ３１に対する突出によって、従動軸２０が継手５０を介してピストンロッド３７と一体的に本体１２に対して突出する方向に移動する。これにより、従動軸２０は、本体１２からの突出端部が本体１２に対して突出した突出位置に切り換わる。よって、ピストンロッド３７は、従動軸２０を出没方向へ往復動させるためにシリンダチューブ３１から出没する。
【００７５】
次に、本実施形態の作用について説明する。
図１０は、駆動軸１３の回転角度と従動軸２０の往復運動及び回転運動との関係や、駆動軸１３の回転角度と第１切換弁６０の操作軸６３の動きとの関係を示す図である。図１０では、操作軸６３が突出位置と没入位置との間を動く過程で、第１切換弁６０の弁体６２の開閉動作が行われる時点を「Ｐ」で示す。「弁体６２の開閉動作が行われる時点」とは、弁体６２が弁座６４ｅから離れる瞬間や、弁体６２が弁座６４ｅに着座する瞬間である。また、図１０では、弁体６２の開閉動作が行われる時点Ｐから従動軸２０の往復運動が行われるまでに要する駆動軸１３の回転角度を「ｔ１」で示している。さらに、図１０では、従動軸２０の往復運動が開始されてから従動軸２０の往復運動が完了するまでに要する駆動軸１３の回転角度を「ｔ２」で示している。
【００７６】
図１０に示すように、上記構成の搬送装置１０において、第１切換弁６０が閉弁状態であるとともに第２切換弁７０が第２切換状態であり、従動軸２０が突出位置にある状態（搬送装置１０の初期状態）から、駆動軸１３が回転すると、駆動軸１３の回転に基づいて第１切換弁６０が開弁状態になって第２切換弁７０が第１切換状態に切り換わる。そして、流体圧シリンダ３０のピストンロッド３７における没入方向への移動によって従動軸２０が没入位置に切り換わる。従動軸２０が突出位置から没入位置に切り換わる間では、カムフォロア１８は、カム溝１５ａにおける第４案内溝１５４ａに案内されており、このとき、従動軸２０の回転は行われない。続いて、従動軸２０が没入位置に到達すると、吸着部１０ｂにおけるワークＷの吸着が行われる。
【００７７】
続いて、アーム１０ａの吸着部１０ｂによってワークＷを吸着した状態において、駆動軸１３の回転に基づいて第１切換弁６０が閉弁状態になって第２切換弁７０が第２切換状態に切り換わり、流体圧シリンダ３０のピストンロッド３７における突出方向への移動によって従動軸２０が突出位置に切り換わる。従動軸２０が没入位置から突出位置に切り換わる間においても、カムフォロア１８は、カム溝１５ａにおける第４案内溝１５４ａに案内されており、従動軸２０の回転が行われない。
【００７８】
続いて、従動軸２０が突出位置に到達すると、カムフォロア１８が、カム溝１５ａにおける第１案内溝１５１ａに案内されて、駆動軸１３の回転力が駆動カム１５とカムフォロア１８とのカム作用によって回転軸１６に伝達され、従動軸２０が回転軸１６と一体的に正方向に所定の角度で間欠的に回転する。
【００７９】
続いて、駆動軸１３の回転に基づいて第１切換弁６０が開弁状態になって第２切換弁７０が第１切換状態に切り換わり、流体圧シリンダ３０のピストンロッド３７における没入方向への移動によって従動軸２０が没入位置に切り換わる。従動軸２０が突出位置から没入位置に切り換わる間では、カムフォロア１８は、カム溝１５ａにおける第２案内溝１５２ａに案内されており、従動軸２０の回転が行われない。続いて、従動軸２０が没入位置に到達すると、吸着部１０ｂにおけるワークＷの吸着状態が解除され、ワークＷの搬送が完了する。
【００８０】
続いて、駆動軸１３の回転に基づいて第１切換弁６０が閉弁状態になって第２切換弁７０が第２切換状態に切り換わり、流体圧シリンダ３０のピストンロッド３７における突出方向への移動によって従動軸２０が突出位置に切り換わる。従動軸２０が没入位置から突出位置に切り換わる間においても、カムフォロア１８は、カム溝１５ａにおける第２案内溝１５２ａに案内されており、従動軸２０の回転が行われない。
【００８１】
続いて、従動軸２０が突出位置に到達すると、カムフォロア１８が、カム溝１５ａにおける第３案内溝１５３ａに案内されて、駆動軸１３の回転力が駆動カム１５とカムフォロア１８とのカム作用によって回転軸１６に伝達され、従動軸２０が回転軸１６と一体的に正方向とは逆方向に所定の角度で間欠的に回転する。これにより、搬送装置１０が初期状態に復帰する。
【００８２】
このように、複合運動装置１１では、駆動軸１３が１回転する毎に、上述した従動軸２０における往復運動と回転運動とを組み合わせた複合運動が繰り返し行われる。そして、搬送装置１０によるワークＷの搬送が繰り返し行われる。
【００８３】
上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）従動軸２０の軸方向への往復動を、流体圧シリンダ３０を用いて行っている。よって、従動軸２０の軸方向への往復動を、カム機構を用いて行う構成に比べて、従動軸２０の軸方向へのストロークの設計が容易となり、汎用性を高めることができる。また、本体１２は、一対の第１ベアリング２１ａ，２１ｂ寄りにそれぞれ配置される一対の第１外面１２１ａと、一対の第２ベアリング２２ａ，２２ｂ寄りにそれぞれ配置される一対の第２外面１２２ａと、を含む六つの外面１２ａを有する直方体形状である。六つの外面１２ａは取付対象１００に接触する取付面として機能する。そして、流体圧シリンダ３０は、本体１２に対して六つの外面１２ａのうち取付面となる外面１２ａ側に設けられている。これによれば、例えば、流体圧シリンダ３０が取り付けられる側の本体１２の外面１２ａが取付面として機能しておらず、流体圧シリンダ３０における本体１２とは反対側の部位が取付対象１００に取り付けられる場合に比べて、取付対象１００に対する本体１２側の配置スペースを最小限に抑えることができる。よって、汎用性を高めつつも、取付対象１００に対する本体１２側の配置スペースを最小限に抑えることができる。
【００８４】
（２）取付部４１は、第１位置決め外周面４１ａにおける第１位置決め内周面２３ａとの接触により、第１位置決め外周面４１ａの中心軸線及び第２位置決め内周面４２ａの中心軸線が従動軸２０の中心軸線に一致した状態で締結部材４４を介して本体１２に取り付けられている。継手５０は、第２位置決め外周面として機能する外周面５１ｆ，５２ｆを有する第１連結部材５１及び第２連結部材５２を備えており、外周面５１ｆ，５２ｆにおける第２位置決め内周面４２ａとの接触により、従動軸２０の中心軸線とピストンロッド３７の中心軸線とが一致した状態で連結部４２の内部に位置決めされている。したがって、取付部４１を本体１２に取り付けるとともに、第１連結部材５１と第２連結部材５２とを連結し、さらに、軸部５１ｃとピストンロッド３７とを連結することにより、従動軸２０の中心軸線とピストンロッド３７の中心軸線とが一致した状態で、流体圧シリンダ３０をシリンダベース４０を介して本体１２に取り付けることができる。そして、従動軸２０の中心軸線とピストンロッド３７の中心軸線とが一致した状態を維持することができる。
【００８５】
（３）各開口部４３は、第１連結部材５１と第２連結部材５２との連結作業及び第１連結部材５１と第２連結部材５２との連結の解除作業、軸部５１ｃとピストンロッド３７との連結作業及び軸部５１ｃとピストンロッド３７との連結の解除作業を、継手５０が連結部４２の内部に収容された状態で可能とする。よって、第１連結部材５１と第２連結部材５２との連結作業及び第１連結部材５１と第２連結部材５２との連結の解除作業、軸部５１ｃとピストンロッド３７との連結作業及び軸部５１ｃとピストンロッド３７との連結の解除作業を容易に行うことができ、従動軸２０の中心軸線とピストンロッド３７の中心軸線とを容易に一致させることができる。また、ワークＷの質量やサイズに対応した流体圧シリンダ３０に適宜交換することが可能となり、柔軟な仕様変更が可能になる。
【００８６】
（４）メカニカルバルブＭＶは、同期カム６１の回転に基づいて流体圧シリンダ３０の駆動制御に用いられる流体の流路を切り換える弁体６２を有する。これによれば、流体圧シリンダ３０の駆動を電気制御によって行う必要が無くなるため、複雑な制御用プログラムを作成する手間を省くことができる。
【００８７】
（５）同期カム６１は、着脱可能に駆動軸１３に設けられるとともに、同期カム６１の回転方向に沿って延びる小径部６１ａと、回転方向に沿って延び、小径部６１ａよりも外径が大きい大径部６１ｂとを有している。そして、操作軸６３が小径部６１ａ又は大径部６１ｂに接触することにより操作軸６３が移動して、操作軸６３の移動に伴い弁体６２の移動が操作される。
【００８８】
流体圧シリンダ３０の駆動制御に用いられる流体は、第１切換弁６０の駆動と第２切換弁７０の駆動とが行われることにより、流体圧シリンダ３０に供給される。従動軸２０の回転運動及び操作軸６３は、駆動軸１３に設けられた駆動カム１５及び同期カム６１により動作するため、従動軸２０の回転運動及び操作軸６３の動きは、駆動軸１３の回転速度の変化に追従して変化する。よって、例えば、駆動軸１３が高速回転しているときの回転角度ｔ１は、駆動軸１３が低速回転しているときの回転角度ｔ１よりも大きくなる。
【００８９】
さらに、流体圧シリンダ３０においては、流体圧の応答速度によりピストンロッド３７の動作速度が一定である。したがって、例えば、駆動軸１３が高速回転しているときの回転角度ｔ２は、駆動軸１３が低速回転しているときの回転角度ｔ２よりも大きくなる。すると、図１０に示すように、駆動軸１３が高速回転しているときには、例えば、従動軸２０が没入位置から突出位置に移動している最中に、従動軸２０の回転運動が行われてしまうといった駆動軸１３の回転角度の領域Ｚ１が存在してしまう場合がある。
【００９０】
そこで、複合運動装置１１の複合運動を高速で行いたい場合には、同期カム６１を駆動軸１３から一旦取り外して、例えば、複合運動が低速で行われていたときに操作軸６３に接触していた同期カム６１の大径部６１ｂのタイミングよりも速くなるように、同期カム６１の大径部６１ｂの回転位相を調整する。これにより、駆動軸１３が高速回転のときに、例えば、従動軸２０が没入位置から突出位置に移動している最中に、従動軸２０の回転運動が行われてしまうといった駆動軸１３の回転角度の領域Ｚ１が発生してしまう問題に対応することができる。
【００９１】
また、駆動軸１３が高速回転すると、従動軸２０が没入位置に存在する時間が短くなる。この場合、例えば、複合運動が低速で行われていたときに用いられていた同期カム６１から、複合運動装置１１の複合運動を高速で行う際に用いる同期カム６１に交換する。複合運動装置１１の複合運動を高速で行う際に用いる同期カム６１とは、例えば、複合運動装置１１の複合運動を低速で行う際に用いる同期カム６１の大径部６１ｂよりも、回転方向に沿った寸法が大きい大径部６１ｂを有するものである。これによれば、大径部６１ｂが操作軸６３に接触している時間が長くなり、従動軸２０が没入位置に存在する時間が長くなる。
【００９２】
このように、同期カム６１を駆動軸１３に着脱可能な構成にすることにより、駆動軸１３が高速回転のときに起こり得る不具合に対応することができる。なお、複合運動装置１１の複合運動を低速で行う際に、複合運動装置１１の複合運動を高速で行う際に用いる同期カム６１を使用してもよい。しかし、吸着部１０ｂにおけるワークＷの吸着時間に余裕を持たせたいときには、回転方向の寸法が長い大径部６１ｂを有する同期カム６１を使用するほうが好ましい。
【００９３】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・  実施形態において、例えば、第１外面１２１ａを取付面として機能させてもよい。要は、六つの外面１２ａのうちの一つを取付面として機能させればよい。
【００９４】
・  実施形態において、本体１２に第１位置決め内周面２３ａを有する凹部２３を設けなくてもよい。また、連結部４２に第２位置決め内周面４２ａを設けなくてもよい。
・  実施形態において、シリンダベース４０と本体１２との間に介在部材が設けられていてもよい。そして、シリンダベース４０が介在部材を介して本体１２に取り付けられていてもよい。
【００９５】
・  実施形態において、流体圧シリンダ３０が、本体１２に対して着脱不能に設けられていてもよい。
・  実施形態において、流体圧シリンダ３０の駆動を電気制御によって行うようにしてもよい。
【００９６】
・  実施形態において、同期カム６１が、従動軸２０に着脱可能に設けられていてもよい。
・  実施形態において、同期カム６１が駆動軸１３に対して着脱不能に設けられていてもよい。
【００９７】
・  実施形態において、継手５０は、アンギュラ玉軸受５３を一つだけ備えた構成であってもよい。
・  実施形態において、継手５０は、アンギュラ玉軸受５３に代えて、例えば、ころ軸受等の転がり軸受を備えた構成であってもよい。
【００９８】
・  実施形態において、搬送部として搬送テーブルを用いてもよい。
・  実施形態において、複合運動装置１１を、ワークＷを搬送する搬送装置１０以外の装置に用いてもよい。
【符号の説明】
【００９９】
ＭＶ…メカニカルバルブ、Ｗ…ワーク、１０…搬送装置、１０ａ…搬送部としてのアーム、１１…複合運動装置、１２…本体、１２ａ…取付面として機能する外面、１３…駆動軸、１５…駆動カム、１６…回転軸、２０…従動軸、２１ａ，２１ｂ…第１ベアリング、２２ａ，２２ｂ…第２ベアリング、２３…凹部、２３ａ…第１位置決め内周面、３０…流体圧シリンダ、３１…シリンダチューブ、３７…ピストンロッド、４０…シリンダベース、４１…取付部、４１ａ…第１位置決め外周面、４２…収容壁である連結部、４２ａ…第２位置決め内周面、４３…開口部、４４…締結部材、５０…継手、５０Ａ…連結部材、５１…第１連結部材、５１ｃ…軸部、５１ｆ，５２ｆ…第２位置決め外周面として機能する外周面、５２…第２連結部材、５３…転がり軸受としてのアンギュラ玉軸受、６１…同期カム、６１ａ…小径部、６１ｂ…大径部、６２…弁体、６３…操作軸、１００…取付対象、１２１ａ…第１外面、１２２ａ…第２外面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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