(57)【要約】【課題】特定ガス成分の検知精度を向上させると共に、小型化及び省電力化を実現できるガスセンサを提供する。【解決手段】第１チャンバＣ１に導入された被測定ガスＧに含まれる特定ガス成分の濃度を変化させる濃度調整部１４を備える調整ユニット１０と、調整ユニットを通過した被測定ガスを導入するための第２チャンバＣ２が設けられるとともに、特定ガス成分の濃度に応じて電気的特性が変化する検知部２４ａを備えるセンサユニット２０と、濃度調整部、及び検知部を加熱するための単一のヒータ２４ｂと、少なくとも一部が調整ユニットの外部及びセンサユニットの外部に引き回された状態で、第１チャンバと第２チャンバと連通させるパイプ状のガス流通管４０と、を備え、調整ユニットとヒータ、及び、センサユニットとヒータがそれぞれ熱結合する形態で、調整ユニット、センサユニット、及び、ヒータが一体化されてなるガスセンサ１Ａである。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
自身の内部に被測定ガスを導入するための第１チャンバが設けられるとともに、前記第１チャンバに導入された該被測定ガスに含まれる特定ガス成分の濃度を変化させる濃度調整部を備える調整ユニットと、
自身の内部に前記調整ユニットを通過した前記被測定ガスを導入するための第２チャンバが設けられるとともに、前記特定ガス成分の濃度に応じて電気的特性が変化する検知部を備えるセンサユニットと、
前記濃度調整部、及び、前記検知部を加熱するための単一のヒータと、
少なくとも一部が前記調整ユニットの外部及び前記センサユニットの外部に引き回された状態で、前記第１チャンバと前記第２チャンバと連通させるパイプ状のガス流通管と、
を備え、
前記調整ユニットと前記ヒータ、及び、前記センサユニットと前記ヒータがそれぞれ熱結合する形態で、前記調整ユニット、前記センサユニット、及び、前記ヒータが一体化されてなるガスセンサ。
【請求項２】
請求項１に記載のガスセンサであって、
前記単一のヒータは対向する第１面、第２面を有し、前記第１面側に前記濃度調整部が配置され、前記第２面側に前記検知部が配置されてなるガスセンサ。
【請求項３】
請求項２に記載のガスセンサであって、
前記単一のヒータの前記第２面上に前記検知部が配置され、前記濃度調整部は断熱層を介して前記ヒータの前記第１面側に配置されてなるガスセンサ。
【請求項４】
請求項１に記載のガスセンサであって、
前記調整ユニットの前記第１チャンバを構成するための構成部材の一部と前記センサユニットの前記第２チャンバを構成するための構成部材の一部とは、共通の部材からなり、前記共通の部材の前記第１チャンバに臨む面側に前記濃度調整部が配置される一方、前記共通の部材の前記第２チャンバに臨む面側に前記検知部が配置され、
前記単一のヒータは、前記濃度調整部と前記共通の部材との間、又は、前記検知部と前記共通の部材との間のいずれかに介在してなるガスセンサ。
【請求項５】
請求項４に記載のガスセンサであって、
前記単一のヒータは、前記検知部と前記共通の部材との間に介在し、前記ヒータと前記共通の部材との間に断熱層が配置されてなるガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定ガスに含まれる特定ガス成分の濃度を検知するガスセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、被測定ガスに含まれる特定ガス成分の濃度を検知するガスセンサが知られている（特許文献１）。
このガスセンサは、チャンバ内に被測定ガスとしての大気が一定量供給されるように構成され、チャンバ内でＣＯ等の可燃性ガスを燃焼除去する前処理を行った後、被測定ガスをセンサ素子に接触させて、ＮＯｘ濃度を検知している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平10-300702号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、特定ガス成分の濃度検知に影響を与える他のガスを除去するための前処理を行う部位と、特定ガス成分の濃度を検知するセンサ素子とにそれぞれ別個にヒータを設け、双方を加熱して前処理機能とセンシング機能を発揮させている。しかしながら、上記前処理機能のように特定ガス成分の濃度を変化させる機能と、センシング機能を発揮させるために別個にヒータを設置した場合、ヒータが増えてガスセンサが大型化したり、各ヒータから散逸する無駄な熱が増えてヒータの電力消費も増えるという問題がある。一方、特定ガス成分の検知精度を向上させるためには、少なくともガス検知部を動作温度以上に加熱する必要があり、ヒータを非設置とすることは現実的ではない。
そこで、本発明は、特定ガス成分の検知精度を向上させると共に、小型化及び省電力化を実現できるガスセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明のガスセンサは、自身の内部に被測定ガスを導入するための第１チャンバが設けられるとともに、前記第１チャンバに導入された該被測定ガスに含まれる特定ガス成分の濃度を変化させる濃度調整部を備える調整ユニットと、自身の内部に前記調整ユニットを通過した前記被測定ガスを導入するための第２チャンバが設けられるとともに、前記特定ガス成分の濃度に応じて電気的特性が変化する検知部を備えるセンサユニットと、前記濃度調整部、及び、前記検知部を加熱するための単一のヒータと、少なくとも一部が前記調整ユニットの外部及び前記センサユニットの外部に引き回された状態で、前記第１チャンバと前記第２チャンバと連通させるパイプ状のガス流通管と、を備え、前記調整ユニットと前記ヒータ、及び、前記センサユニットと前記ヒータがそれぞれ熱結合する形態で、前記調整ユニット、前記センサユニット、及び、前記ヒータが一体化されてなる。
【０００６】
このガスセンサによれば、調整ユニットとセンサユニットとにそれぞれ別個にヒータを設けた場合に比べ、単一のヒータで両ユニットを加熱すればよいので、ガスセンサの小型化及び省電力化を実現できる。又、検知部をヒータで動作温度に加熱することで、特定ガス成分を安定して検知でき、特定ガス成分の検知精度を向上させることができる。
さらに、調整ユニットで特定ガス成分の濃度が調整された被測定ガスは、ヒータが介在しないガス流通管を通ってセンサユニットに導入されるので、例えば調整ユニットとセンサユニットの間で被測定ガスが不用意にヒータで加熱され、濃度がさらに変化することが無い。このため、調整ユニットで処理された状態の被測定ガスをセンサユニットに導入することができ、特定ガス成分の検知精度をさらに向上させることができる。
【０００７】
請求項１に記載のガスセンサであって、前記単一のヒータは対向する第１面、第２面を有し、前記第１面側に前記濃度調整部が配置され、前記第２面側に前記検知部が配置されていてもよい。
このガスセンサによれば、ヒータの両面に濃度調整部及び検知部がそれぞれ配置されるので、ヒータの熱を濃度調整部及び検知部に無駄なく伝えることができ、省電力化をさらに実現できる。なお、ヒータの第１面側に濃度調整部が配置される状態は、濃度調整部がヒータの第１面に直接又は他部材を介して間接的に配置されていればよく、また、ヒータの第２面側に検知部が配置される状態は、検知部がヒータの第２面に直接又は他部材を介して間接的に配置されていればよいものである。
【０００８】
請求項２に記載のガスセンサであって、前記単一のヒータの前記第２面上に前記検知部が配置され、前記濃度調整部は断熱層を介して前記ヒータの前記第１面側に配置されていてもよい。
このガスセンサによれば、単一のヒータを用いても、検知部を動作温度に良好に維持することができ、特定ガス成分の検知精度を向上させることができる。
【０００９】
請求項１に記載のガスセンサであって、前記調整ユニットの前記第１チャンバを構成するための構成部材の一部と前記センサユニットの前記第２チャンバを構成するための構成部材の一部とは、共通の部材からなり、前記共通の部材の前記第１チャンバに臨む面側に前記濃度調整部が配置される一方、前記共通の部材の前記第２チャンバに臨む面側に前記検知部が配置され、前記単一のヒータは、前記濃度調整部と前記共通の部材との間、又は、前記検知部と前記共通の部材との間のいずれかに介在していてもよい。
このガスセンサによれば、共通の部材によってガスセンサの部品点数を削減できると共に、ガスセンサをより小型化できる。
【００１０】
請求項４に記載のガスセンサであって、前記単一のヒータは、前記検知部と前記共通の部材との間に介在し、前記ヒータと前記共通の部材との間に断熱層が配置されていてもよい。
このガスセンサによれば、ヒータが共通の部材よりも検知部側に配置されるので、ヒータによって検知部を迅速に動作温度に加熱でき、特定ガス成分の検知精度をさらに向上させることができる。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、特定ガス成分の検知精度を向上させると共に、小型化及び省電力化を実現できるガスセンサが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るガスセンサの分解斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係るガスセンサの分解斜視図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明を、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の第１の実施形態におけるガスセンサ１Ａの分解斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図１において、ガスセンサ１Ａは、調整ユニット１０と、センサユニット２０と、パイプ状のゴム管（ガス流通管）４０と、板状のセラミック配線基板５０と、を備え、全体として箱状に形成されている。
【００１４】
調整ユニット１０は、略矩形箱状でフランジを有し上面（図１の上方に向く面）が開口する金属製のケース１２と、ケース１２のフランジに当接する矩形枠状のシール材（のパッキン）１３と、ケース１２内に収容される濃度調整部１４と、上記セラミック配線基板５０と、を有している。そして、シール材１３の枠体にケース１２のフランジ及びセラミック配線基板５０の下面の外周部分が当接することで、ケース１２の開口をセラミック基板５０が閉塞し、ケース１２の内部空間が第１チャンバＣ１を形成する。
ケース１２の下面には、配管の接続口となるパイプ状のインレット１２ａ及びアウトレット１２ｂがそれぞれ離間して突出しており、インレット１２ａ及びアウトレット１２ｂは第１チャンバＣ１に連通している。
【００１５】
第１チャンバＣ１におけるインレット１２ａとアウトレット１２ｂとの間に、多孔質状をなしガスを透過可能な濃度調整部１４が配置され、濃度調整部１４の表面には第１チャンバＣ１の壁面との隙間をシールするシール材１４ａが設けられている。
そして、インレット１２ａから第１チャンバＣ１に導入された被測定ガスＧが濃度調整部１４に接触して特定ガス成分の濃度が調整された後、アウトレット１２ｂから調整ユニット１０の外部に排出される。濃度調整部１４は、特定ガス成分とは異なる雑ガスを除去し、被測定ガス中の特定ガス成分の濃度を調整するように機能する構造体である。
【００１６】
センサユニット２０は、ケース１２と同一形状で下面が開口する金属製のケース２２と、ケース２２のフランジに接着剤（図示せず）を介して接着される矩形枠状のシール材（パッキン）２３と、ケース２２内に収容されるセンサ素子部２４と、無機繊維の不織物からなる断熱シート（断熱層）２６と、上記セラミック配線基板５０と、を有している。そして、シール材２３の枠体にケース２２のフランジ及びセラミック配線基板５０の上面の外周部分が接着剤（図示せず）を介して固着されることで、ケース２２の開口をセラミック配線基板５０が閉塞し、ケース２２の内部空間が第２チャンバＣ２を形成する。
【００１７】
センサ素子部２４は略矩形板状をなし、図２に示すように、ベース部２４ｃの上面（図１の上方に向く面）側に検知部２４ａが配置され、ベース部２４ｃの下面側にヒータ２４ｂが配置されており、検知部２４ａとヒータ２４ｂがベース部２４ｃの上下に積層された一体構造となっている。
セラミック配線基板５０の上面の中央には凹部５０ｒが形成され、凹部５０ｒに断熱シート２６が配置され、断熱シート２６の上面にヒータ２４ｂ側が接するようにしてセンサ素子部２４が配置されている。
ケース２２の上面には、配管の接続口となるパイプ状のインレット２２ａ及びアウトレット２２ｂがそれぞれ離間して突出しており、インレット２２ａ及びアウトレット２２ｂは第２チャンバＣ２に連通している。
【００１８】
センサ素子部２４は、第２チャンバＣ２におけるインレット２２ａとアウトレット２２ｂとの間で凹部５０ｒに配置され、インレット２２ａはゴム管４０でアウトレット１２ｂと接続されている。そして、調整ユニット１０を通過して特定ガス成分の濃度が調整された被測定ガスＧは、ゴム管４０を通ってインレット２２ａから第２チャンバＣ２に導入され、検知部２４ａに接触して特定ガス成分の濃度が測定された後、アウトレット２２ｂからセンサユニット２０の外部に排出される。
【００１９】
検知部２４ａは特定ガス成分の濃度に応じて電気的特性が変化し、その変化した電気信号を検知することで特定ガス成分の濃度を検出する。又、ヒータ２４ｂは通電加熱により、検知部２４ａを動作温度に加熱する。そして、検知部２４ａの出力端子、及びヒータ２４ｂの通電端子はセラミック配線基板５０にワイヤボンディング等で電気的に接続されている。
ベース部２４ｃは例えば絶縁性のセラミック基板を用いて構成することができる。又、検知部２４ａは例えば金属酸化物半導体を用いて構成することができる。ヒータ２４ｂは例えばベース部２４ｃの表面に形成されて発熱抵抗体となる回路とすることができる。なお、検知部２４ａは、固体電解質体に電極を設けた構成等の公知の構成を採用してもよい。
【００２０】
ここで、セラミック基板５０の端部５０ｅ（図１の左側）はケース１２、２２よりも狭幅とされて外側（図１の左側）へ延びており、端部５０ｅの表裏面には、検知部２４ａ及びヒータ２４ｂに上記ワイヤボンディング及びセラミック配線基板５０の表面上に形成された配線（リード導体）を介して電気的に接続された電極パッド５０ｐが複数配置されている。そして、検知部２４から出力された電気信号はセラミック配線基板５０の電極パッド５０ｐを介して外部に出力され、電極パッド５０ｐを介して外部から供給された電力によりヒータ２４ｂが通電加熱する。
【００２１】
ここで、図２に示すように、センサユニット２０とヒータ２４ｂとは、ヒータ２４ｂがセンサユニット２０内の検知部２４ａとベース部２４ｃを介して積層されている（接している）ことにより、矢印Ｈ１のように熱結合している。
同様に、調整ユニット１０とヒータ２４ｂとは、ヒータ２４ｂが調整ユニット１０内の濃度調整部１４と、断熱シート２６及びプリント基板５０の凹部５０ｒを介して積層されている（接している）ことにより、矢印Ｈ２のように熱結合している。
なお、「センサユニット２０とヒータ２４ｂとが熱結合している」とは、センサユニット２０を構成する何らかの部材とヒータ２４ｂとが空気を挟まずに（隙間を介さずに）結合していることをいう。例えば、検知部２４と別個のヒータがセンサユニット２０を構成するケース２２に熱結合し、ケース２２を介して第２チャンバＣ２内の空間を加熱する場合も含める。
「調整ユニット１０とヒータ２４ｂとが熱結合している」の意味も同様である。
【００２２】
以上により、調整ユニット１０とセンサユニット２０とにそれぞれ別個にヒータを設けた場合に比べ、単一のヒータ２４ｂで両ユニットを加熱すればよいので、ガスセンサ１Ａの小型化及び省電力化を実現できる。又、検知部２４ａをヒータ２４ｂで動作温度に加熱することで、特定ガス成分を安定して検知でき、特定ガス成分の検知精度を向上させることができる。
さらに、調整ユニット１０で特定ガス成分の濃度が調整された被測定ガスＧは、ヒータ２４ｂが介在しないゴム管４０を通ってセンサユニット２０に導入されるので、例えば調整ユニット１０とセンサユニット２０の間で被測定ガスＧが不用意にヒータで加熱され、濃度がさらに変化することが無い。このため、調整ユニット１０で処理された状態の被測定ガスＧをセンサユニット２０に導入することができ、特定ガス成分の検知精度をさらに向上させることができる。
【００２３】
なお、図２に示すように、第１の実施形態においては、ヒータ２４ｂは板状であり、対向する下面（第１面）Ｓ１と、上面（第２面）Ｓ２と、を有し、下面Ｓ１側に濃度調整部１４が配置され、上面Ｓ２側に検知部２４ａが配置されている。
これにより、ヒータ２４ｂの両面に濃度調整部１４及び検知部２４ａがそれぞれ配置されるので、ヒータ２４ｂの熱を濃度調整部１４及び検知部２４ａに無駄なく伝えることができ、省電力化をさらに実現できる。
【００２４】
又、第１の実施形態においては、濃度調整部１４は断熱シート２６を介してヒータ２４ｂの下面Ｓ１側に配置されている。
これにより、単一のヒータ２４ｂを用いても、検知部２４ａを動作温度に良好に維持することができる。
【００２５】
又、第１の実施形態においては、調整ユニット１０の第１チャンバＣ１を構成するための構成部材の一部と、センサユニット２０の第２チャンバＣ２を構成するための構成部材の一部とは、共通の部材であるセラミック配線基板５０からなっている。
そして、セラミック配線基板５０の第１チャンバＣ１に臨む面側（下面）に濃度調整部１４が配置される一方、第２チャンバＣ２に臨む面側（上面）に検知部２４ａが配置されている。さらに、ヒータ２４ｂは、検知部２４ａとセラミック配線基板５０の間に介在している。
これにより、共通の部材であるセラミック配線基板５０によってガスセンサ１Ａの部品点数を削減できると共に、ガスセンサ１Ａをより小型化できる。
【００２６】
又、第１の実施形態においては、ヒータ２４ｂとセラミック配線基板５０の間に断熱シート２６が配置されている。
これにより、ヒータ２４ｂがセラミック配線基板５０よりも検知部２４ａ側に配置されるので、ヒータ２４ｂによって検知部２４ａを迅速に動作温度に加熱でき、特定ガス成分の検知精度をさらに向上させることができる。
【００２７】
次に、図３、図４を参照し、本発明の第２の実施形態におけるガスセンサ１Ｂについて説明する。図３は、ガスセンサ１Ｂの分解斜視図、図４は図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
図３において、ガスセンサ１Ｂは、調整ユニット１００と、センサユニット２００と、ゴム管（ガス流通管）４２と、を備え、全体として箱状に形成されている。
【００２８】
調整ユニット１００は、略矩形箱状で一方の側面（図３の左側）が開口する金属製の第１ケース１２０と、第１ケース１２０の開口を閉塞する蓋状金属製の第２ケース１２１と、第１ケース１２０内に収容される濃度調整部１４０と、を有する。第２ケース１２１で閉塞された第１ケース１２０の内部空間が第１チャンバＣ１を形成する。
第１ケース１２０の他方の側面（図３の右側）には、配管の接続口となるパイプ状のインレット１２０ａが突出している。同様に、第２ケース１２１のうち、第１ケース１２０と反対側の側面には、配管の接続口となるパイプ状のアウトレット１２０ｂが突出している。インレット１２０ａ及びアウトレット１２０ｂは第１チャンバＣ１に連通している。
【００２９】
第１チャンバＣ１におけるインレット１２０ａとアウトレット１２０ｂとの間に濃度調整部１４０が配置され、濃度調整部１４０の表面には第１チャンバＣ１の壁面との隙間をシールするシール材１４０ａが設けられている。濃度調整部１４０は、ガス透過性を有し、特定ガス成分とは異なる雑ガスを除去し、被測定ガス中の特定ガス成分の濃度を調整するように機能する構造体である。
そして、インレット１２０ａから第１チャンバＣ１に導入された被測定ガスＧが濃度調整部１４０に接触して特定ガス成分の濃度が調整された後、アウトレット１２０ｂから調整ユニット１００の外部に排出される。
なお、図４に示すように、第２の実施形態では第１ケース１２０の内部のすべてに濃度調整部１４０が充填されており、第１チャンバＣ１は第１ケース１２０のうちインレット１２０ａの内部空間である。
【００３０】
センサユニット２００は、略矩形箱状でフランジを有し上面が開口する金属製の第１ケース２２０と、蓋状でフランジを有し下面が開口する金属製の第２ケース２２１と、矩形枠状のセラミック配線基板１５０と、セラミック配線基板１５０の枠内にワイヤボンディング１５０ｗで固定されたセンサ素子部２４０と、２枚の断熱シート（断熱層）２６１、２６２と、を有している。
第１ケース２２０の対向する両側面には、フランジから下方に延びるＵ字の切欠き（アウトレット）２２０ｂが設けられている。そして、第１ケース２２０の内部に断熱シート２６２を介して調整ユニット１００が配置され、両切欠き２２０ｂからそれぞれインレット１２０ａ及びアウトレット１２０ｂが第１ケース２２０の外側に突出するようになっている。
【００３１】
さらに調整ユニット１００（第１ケース１２０）の上面に断熱シート２６１を介してセラミック配線基板１５０が配置され、セラミック配線基板１５０の上に第２ケース２２１が配置されている。そして、セラミック配線基板１５０の枠体に第１ケース２２０及び第２ケース２２１の各フランジが接着剤（図示せず）を介して接着されることで、第１ケース２２０の開口を第２ケース２２１が閉塞し、第１ケース２２０及び第２ケース２２１のうち調整ユニット１００より外側の内部空間が第２チャンバＣ２を形成する。
センサ素子部２４０は、第２チャンバＣ２におけるセラミック配線基板１５０の枠体の内側にワイヤボンディング１５０ｗで宙づり固定されると共にセラミック配線基板１５０よりも下側に突出し、断熱シート２６１と接触している。
【００３２】
センサ素子部２４０は略矩形板状をなし、第１の実施形態のセンサ素子部２４と同様な構造になっている。すなわち、図４に示すように、ベース部２４０ｃの上面（図３の上方に向く面）側に検知部２４０ａが配置され、ベース部２４０ｃの下面側にヒータ２４０ｂが配置されており、検知部２４０ａとヒータ２４０ｂがベース部２４０ｃの上下に積層された一体構造となっている。検知部２４０ａ及びヒータ２４０ｂは、第１の実施形態における検知部２４ａ及びヒータ２４ｂと同一の構成であるので説明を省略する。
そして、ヒータ２４０ｂが断熱シート２６１に接している。
【００３３】
第２ケース２２１の上面には、配管の接続口となるパイプ状のインレット２２０ａが突出しており、インレット２２０ａは第２チャンバＣ２に連通している。インレット２２０ａはゴム管４２でアウトレット１２０ｂと接続されている。
そして、調整ユニット１００を通過して特定ガス成分の濃度が調整された被測定ガスＧは、ゴム管４２を通ってインレット２２０ａから第２チャンバＣ２に導入され、検知部２４０ａに接触して特定ガス成分の濃度が測定された後、プリント基板１５０の枠内を通って切欠き２２０ｂからセンサユニット２００の外部に排出される。
なお、図４に示すように、両切欠き２２０ｂはそれぞれインレット１２０ａ及びアウトレット１２０ｂの外径よりも大きく、切欠き２２０ｂとインレット１２０ａ及びアウトレット１２０ｂとの隙間がアウトレットとなっている。
【００３４】
検知部２４０ａの出力端子、及びヒータ２４０ｂの通電端子はセラミック配線基板１５０にワイヤボンディング１５０ｗで電気的に接続され、セラミック配線基板１５０の下方には、ワイヤボンディング１５０ｗと電気的に接続された複数のピン状の端子１５０ｐが突出されている。そして、検知部２４０ａから出力された電気信号はセラミック配線基板１５０の端子１５０ｐを介して外部に出力され、端子１５０ｐを介して外部から供給された電力によりヒータ２４０ｂが通電加熱される。
【００３５】
ここで、図４に示すように、センサユニット２００とヒータ２４０ｂとは、ヒータ２４０ｂがセンサユニット２００内の検知部２４０ａとベース部２４０ｃを介して積層されている（接している）ことにより、矢印Ｈ１のように熱結合している。
同様に、調整ユニット１００とヒータ２４０ｂとは、ヒータ２４０ｂが調整ユニット１００内の濃度調整部１４０と、断熱シート２６１及び第１ケース１２０を介して積層されている（接している）ことにより、矢印Ｈ２のように熱結合している。
【００３６】
なお、図４に示すように、第２の実施形態においても、ヒータ２４０ｂは板状であり、対向する下面（第１面）Ｓ１と、上面（第２面）Ｓ２と、を有し、下面Ｓ１側に濃度調整部１４０が配置され、上面Ｓ２側に検知部２４０ａが配置されている。
又、第２の実施形態においても、濃度調整部１４０は断熱シート２６１を介してヒータ２４０ｂの下面Ｓ１側に配置されている。
【００３７】
又、第２の実施形態においても、調整ユニット１００の第１チャンバＣ１を構成するための構成部材の一部と、センサユニット２００の第２チャンバＣ２を構成するための構成部材の一部とは、共通の部材である第１ケース１２０（及び第２ケース１２１）からなっている。
そして、第１ケース１２０の第１チャンバＣ１に臨む面側（下面）に濃度調整部１４０が配置される一方、第２チャンバＣ２に臨む面側（上面）に検知部２４０ａが配置されている。さらに、ヒータ２４０ｂは、検知部２４０ａと第１ケース１２０の間に介在している。
又、第２の実施形態においても、ヒータ２４０ｂと第１ケース１２０の間に断熱シート２６１が配置されている。
【００３８】
本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。
ガスセンサ、及びそれを構成する調整ユニット、センサユニットの形状等は上記実施形態に限定されない。濃度調整部及び検知部の種類等も限定されない。ガス流通管もゴム管に限らず、金属パイプ、樹脂パイプ、または、金属パイプとゴム管とを繋ぎ合わせた管等を用いてもよい。
【符号の説明】
【００３９】
１Ａ，１Ｂ    ガスセンサ
１０、１００    調整ユニット
１４、１４０    濃度調整部
２０、２００    センサユニット
２４、２４０    センサ素子部
２４ａ、２４０ａ  検知部
２４ｂ、２４０ｂ  ヒータ
２６、２６１    断熱シート（断熱層）
４０、４２    ガス流通管
５０、１２０、１２１    共通の部材（プリント基板、第１ケース、第２ケース）
Ｃ１    第１チャンバ
Ｃ２    第２チャンバ
Ｇ    被測定ガス
Ｓ１    第１面
Ｓ２    第２面
【図１】
2018004583.tif 000003
【図２】
2018004583.tif 000004
【図３】
2018004583.tif 000005
【図４】
2018004583.tif 000006