(57)【要約】      （修正有）【課題】部材間における隙間の発生が抑制された液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】ヘッド本体と、第１の面６１及び第２の面６２を有し、ヘッド本体（を保持する第１の部材（ヘッド固定部材１３）と、第３の面６３を有し、第３の面が第２の面の面方向に沿うように第１の面に第１の接着剤５９で接着された第２の部材（ベース部材１４）と、第２の面及び第３の面に亘って配置され、第２の接着剤６０を介して第２の面及び第３の面に接着された第３の部材（保護部材１５）と、を備え、第１の接着剤と第２の接着剤とが交差する交差部６６に、第１の接着剤又は第２の接着剤の少なくとも一方が流入可能な接着剤受容空間６７が形成されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズルが形成されたヘッド本体と、
第１の面及び前記第１の面に交差する第２の面を有し、前記第１の面及び前記第２の面から外れた位置で前記ヘッド本体を保持する第１の部材と、
第３の面を有し、前記第３の面が前記第１の部材の前記第２の面の面方向に沿うように前記第１の部材の前記第１の面に第１の接着剤を介して接着された第２の部材と、
前記第２の面及び前記第３の面に亘って配置され、第２の接着剤を介して前記第２の面及び前記第３の面に接着された第３の部材と、を備え、
前記第１の部材、前記第２の部材、前記第３の部材、前記第１の接着剤、及び、前記第２の接着剤に囲われた空間を有する液体噴射ヘッドであって、
前記第１の接着剤と前記第２の接着剤とが交差する交差部に連通し、前記第１の接着剤又は前記第２の接着剤の少なくとも一方が流入可能な接着剤受容空間が形成されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記接着剤受容空間は、前記第１の部材又は前記第２の部材の何れか一方を前記第１の面側から前記第３の部材側に向けて斜めに切欠いて形成されたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記接着剤受容空間は、前記第１の部材を前記第１の面側から前記第３の部材側に向けて斜めに切欠くと共に、前記第２の部材を前記第１の面側から前記第３の部材側に向けて斜めに切欠いて形成されたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記切欠きは、曲面で形成されたことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記切欠きの前記第１の面側の端から前記第３の部材側の端までの寸法は、前記空間側と前記空間とは反対側とで異なることを特徴とする請求項２から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記接着剤受容空間の第１の面側の開口幅は、前記接着剤受容空間の前記第３の部材側の開口幅よりも大きいことを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記第２の接着剤は、硬化する前の液体状態において、硬化する前の液体状態の前記第１の接着剤よりも粘度が低いことを特徴とする請求項１から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【請求項９】
液体を噴射するノズルが形成されたヘッド本体と、第１の面及び前記第１の面に交差する第２の面を有し、前記第１の面及び前記第２の面から外れた位置で前記ヘッド本体を保持する第１の部材と、第３の面を有し、前記第３の面が前記第１の部材の前記第２の面の面方向に沿うように前記第１の部材の前記第１の面に第１の接着剤を介して接着された第２の部材と、前記第２の面及び前記第３の面に亘って配置され、第２の接着剤を介して前記第２の面及び前記第３の面に接着された第３の部材と、を備え、前記第１の部材、前記第２の部材、前記第３の部材、前記第１の接着剤、及び、前記第２の接着剤に囲われた空間を有し、前記第１の接着剤と前記第２の接着剤とが交差する交差部に連通し、前記第１の接着剤又は前記第２の接着剤の少なくとも一方が流入可能な接着剤受容空間が形成された液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記第１の部材と前記第２の部材とを前記第１の接着剤により接着する第１の接着工程と、
前記第１の接着工程の後、前記第１の部材及び前記第２の部材と前記第３の部材とを前記第２の接着剤により接着する第２の接着工程と、
を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着剤により接着された３つの部材を有する液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
上記の液体噴射ヘッドは、ノズルが形成されたヘッド本体を保持した第１保持部材と、この第１保持部材に接着された第２保持部材と、第１保持部材と第２保持部材との間の空間に配置された回路基板と、を備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。上記した空間は、第１保持部材及び第２保持部材の側面に開口され、当該開口を塞ぐ保護部材により密封されている。すなわち、上記した空間は、第１保持部材、第２保持部材、及び、保護部材により密封されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２０７１８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、従来の構成においては、接着剤のばらつきにより保護部材の接着が阻害されたり、内部の空間が十分に密封できなかったりする虞ある。具体的に説明すると、例えば、図１６に示すように、第１保持部材９１と第２保持部材９２とを第１接着剤９３により接着した後、接着された第１保持部材９１及び第２保持部材９２に保護部材９４を近づけて（図１６の矢印参照）、第２接着剤９５により当該保護部材９４を接着する場合において、第１接着剤９３の量がばらつきにより多くなりすぎると、第１接着剤９３が第１保持部材９１及び第２保持部材９２から外側にはみ出て硬化する虞がある。その結果、このはみ出た第１接着剤９３により保護部材９４の第１保持部材９１及び第２保持部材９２への接着が阻害される虞がある。このような不具合を抑制するため、第１接着剤９３の量がばらついたとしても、第１接着剤９３が外側にはみ出ないように塗布する量を抑えることが考えられる。しかしながら、この場合、第１接着剤９３の量がばらつきにより少なくなりすぎると、図１７に示すように、第１保持部材９１と第２保持部材９２との間において第１接着剤９３が十分に行き渡らず、第１保持部材９１と第２保持部材９２との間に隙間（空隙）９６が生じる虞がある。このような隙間９６が生じると、第１保持部材９１、第２保持部材９２、及び、保護部材９４により区画される内部の空間が、この隙間９６を介して外部の空間と連通する。その結果、インクや埃等の異物が内部の空間に侵入し、この空間内に配置される部材、例えば、回路基板等が汚損される虞がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、部材間における隙間の発生が抑制された液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明における液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体を噴射するノズルが形成されたヘッド本体と、
第１の面及び前記第１の面に交差する第２の面を有し、前記第１の面及び前記第２の面から外れた位置で前記ヘッド本体を保持する第１の部材と、
第３の面を有し、前記第３の面が前記第１の部材の前記第２の面の面方向に沿うように前記第１の部材の前記第１の面に第１の接着剤を介して接着された第２の部材と、
前記第２の面及び前記第３の面に亘って配置され、第２の接着剤を介して前記第２の面及び前記第３の面に接着された第３の部材と、を備え、
前記第１の部材、前記第２の部材、前記第３の部材、前記第１の接着剤、及び、前記第２の接着剤に囲われた空間を有する液体噴射ヘッドであって、
前記第１の接着剤と前記第２の接着剤とが交差する交差部に連通し、前記第１の接着剤又は前記第２の接着剤の少なくとも一方が流入可能な接着剤受容空間が形成されたことを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、第１の部材と第２の部材とを接着する際に第１の接着剤の量が多かったとしても、第１の接着剤が接着剤受容空間に流入するため、第１の接着剤が第１の部材及び第２の部材から外側にはみ出ることを抑制できる。これにより、第１の接着剤の量を多くすることができ、第１の部材と第２の部材との接合部に第１の接着剤を充填させ易くなる。その結果、第１の部材と第２の部材との間に隙間が生じることを抑制できる。
【０００９】
また、上記構成において、前記接着剤受容空間は、前記第１の部材又は前記第２の部材の何れか一方を前記第１の面側から前記第３の部材側に向けて斜めに切欠いて形成されたことが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、接着剤受容空間を容易に作製できる。
【００１１】
さらに、上記構成において、前記接着剤受容空間は、前記第１の部材を前記第１の面側から前記第３の部材側に向けて斜めに切欠くと共に、前記第２の部材を前記第１の面側から前記第３の部材側に向けて斜めに切欠いて形成されたことが望ましい。
【００１２】
この構成によれば、接着剤受容空間を容易に作製できる。また、接着剤受容空間に受け入れられる接着剤の量が増えるため、第１の接着剤の量のばらつきが大きい場合でも、第１の接着剤が第１の部材及び第２の部材から外側にはみ出ることを抑制できる。これにより、第１の接着剤の量を更に多くすることができ、第１の部材と第２の部材との接合部に第１の接着剤を一層充填させ易くなる。その結果、第１の部材と第２の部材との間に隙間が生じることを一層抑制できる。
【００１３】
また、上記各構成において、前記切欠きは、曲面で形成されたことが望ましい。
【００１４】
この構成によれば、第１の接着剤又は第２の接着剤が曲面に沿って接着剤受容空間に流入し易くなる。その結果、接着剤受容空間に第１の接着剤又は第２の接着剤、或いはその両方が充填され易くなり、第１の部材と第２の部材との間に隙間が生じることをより一層抑制できる。
【００１５】
さらに、上記各構成の何れかにおいて、前記切欠きの前記第１の面側の端から前記第３の部材側の端までの寸法は、前記空間側と前記空間とは反対側とで異なることが望ましい。
【００１６】
この構成によれば、第１の接着剤又は第２の接着剤、或いはその両方のはみ出しをコントロールし易くなる。すなわち、空間側及び空間とは反対側のうち接着剤のはみ出しを抑制したい側において、切欠きの大きさ（すなわち、第１の面側の端から第３の部材側の端までの寸法）を小さくすることで、同側への接着剤のはみ出しを抑制できる。その結果、例えば、接着剤が他の部品等に付着する不具合を抑制でき、液体噴射ヘッドの信頼性を高めることができる。
【００１７】
また、上記各構成の何れかにおいて、前記接着剤受容空間の第１の面側の開口幅は、前記接着剤受容空間の前記第３の部材側の開口幅よりも大きいことが望ましい。
【００１８】
この構成によれば、第１の部材と第２の部材とを接着する際に第１の接着剤の量のばらつきが大きい場合でも、第１の接着剤を接着剤受容空間までより確実に到達させることができる。その結果、第１の部材と第２の部材との間に隙間が生じることをより一層抑制できる。
【００１９】
さらに、上記各構成の何れかにおいて、前記第２の接着剤は、硬化する前の液体状態において、硬化する前の液体状態の前記第１の接着剤よりも粘度が低いことが望ましい。
【００２０】
この構成によれば、第３の部材を接着する際において、第１の部材と第２の部材との間の第１の接着剤が充填されていない部分に、第２の接着剤を充填し易くなる。その結果、第１の部材と第２の部材との間に隙間が生じることをより確実に抑制できる。
【００２１】
そして、本発明における液体噴射装置は、上記各構成の何れかの液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。
【００２２】
本発明によれば、液体噴射装置の信頼性を高めることができる。
【００２３】
また、本発明における液体噴射ヘッドの製造方法は、液体を噴射するノズルが形成されたヘッド本体と、第１の面及び前記第１の面に交差する第２の面を有し、前記第１の面及び前記第２の面から外れた位置で前記ヘッド本体を保持する第１の部材と、第３の面を有し、前記第３の面が前記第１の部材の前記第２の面の面方向に沿うように前記第１の部材の前記第１の面に第１の接着剤を介して接着された第２の部材と、前記第２の面及び前記第３の面に亘って配置され、第２の接着剤を介して前記第２の面及び前記第３の面に接着された第３の部材と、を備え、前記第１の部材、前記第２の部材、前記第３の部材、前記第１の接着剤、及び、前記第２の接着剤に囲われた空間を有し、前記第１の接着剤と前記第２の接着剤とが交差する交差部に連通し、前記第１の接着剤又は前記第２の接着剤の少なくとも一方が流入可能な接着剤受容空間が形成された液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記第１の部材と前記第２の部材とを前記第１の接着剤により接着する第１の接着工程と、
前記第１の接着工程の後、前記第１の部材及び前記第２の部材と前記第３の部材とを前記第２の接着剤により接着する第２の接着工程と、
を含むことを特徴とする。
【００２４】
本発明によれば、第１の部材と第２の部材との間の隙間の発生が抑制された液体噴射ヘッドを作製できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】プリンターの内部構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】記録ヘッドの断面図である。
【図４】ヘッド本体の断面図である。
【図５】記録ヘッドの要部を拡大した斜視図である。
【図６】図３における領域Ａの拡大図である。
【図７】記録ヘッドの製造方法を説明する断面図である。
【図８】記録ヘッドの製造方法を説明する断面図である。
【図９】記録ヘッドの製造方法を説明する断面図である。
【図１０】第２実施形態における記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。
【図１１】第３実施形態における記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。
【図１２】第４実施形態における記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。
【図１３】第５実施形態における記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。
【図１４】第６実施形態におけるヘッド固定部材の要部を拡大した斜視図である。
【図１５】第７実施形態におけるヘッド固定部材の要部を拡大した斜視図である。
【図１６】従来の記録ヘッドの構成を説明する要部を拡大した断面図である。
【図１７】従来の記録ヘッドの構成を説明する要部を拡大した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、液体噴射装置の一種であるインクジェット式プリンター（以下、プリンター）１、及び、プリンター１に搭載された液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）３を例に挙げて説明する。
【００２７】
図１は、プリンター１の内部構成を説明する斜視図である。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対してインク（液体の一種）を噴射して画像等の記録を行う装置である。図１に示すように、このプリンター１は、記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送する搬送機構６等を備えている。ここで、上記のインクは、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジがプリンターの本体側に配置され、当該インクカートリッジからインク供給チューブを通じて記録ヘッドに供給される構成を採用することもできる。
【００２８】
上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。したがってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー（図示せず）によって検出される。リニアエンコーダーは、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部に送信する。
【００２９】
次に記録ヘッド３について説明する。図２は、記録ヘッド３の分解斜視図である。図３は、記録ヘッド３の端部における断面の模式図である。図４は、ヘッド本体１２の断面の模式図である。なお、以下の説明においては、適宜、各部材の積層方向を上下方向として説明する。
【００３０】
本実施形態における記録ヘッド３は、図２及び図３に示すように、インクを噴射するヘッド本体１２、ヘッド本体１２が１つ以上（本実施形態では５つ）固定されるヘッド固定部材１３（本発明における第１の部材に相当）、ヘッド固定部材１３の上側（ヘッド本体１２とは反対側）に設けられたベース部材１４（本発明における第２の部材に相当）、ヘッド固定部材１３及びベース部材１４の側面に取り付けられる保護部材１５（本発明における第３の部材に相当）、及び、供給針１６が取り付けられる針ホルダー１７等を備えている。
【００３１】
供給針１６は、インクカートリッジ７内に挿入される中空針状の部材である。この供給針１６の先端部には、導入孔（図示せず）が開設されている。インクカートリッジ７内のインクは、この導入孔から記録ヘッド３側に導入される。本実施形態においては、１０本の供給針１６が針ホルダー１７の上面に取り付けられている。針ホルダー１７は、内部に供給針１６と連通する流路（図示せず）が設けられた部材である。この針ホルダー１７は、下面側（供給針１６とは反対側）に配置されたベース部材１４に、シール部材１８を介して固定されている。すなわち、シール部材１８は、針ホルダー１７とベース部材１４との間に挟まれた部材である。このシール部材１８は、例えば、エラストマーやゴムなどの弾性体からなり、針ホルダー１７の内部の流路と、これに対応するベース部材１４の内部の流路（図示せず）とを液密に連通する。
【００３２】
ヘッド固定部材１３は、図２及び図３に示すように、上面側にベース部材１４が取り付けられ、下面側（すなわち、ベース部材１４が接合される部分から外れた位置、且つ、保護部材１５が接合さる部分から外れた位置）にヘッド本体１２が保持される部材である。本実施形態におけるヘッド固定部材１３は、その上面から下方の途中まで凹んだ第１の収容凹部４８を有しており、この第１の収容凹部４８に第１の回路基板４９を収容している。換言すると、第１の収容凹部４８は、その底面から上方に向けて立設された第１の隔壁５０により囲われている。本実施形態における第１の隔壁５０は、第１の収容凹部４８を囲う四方のうち保護部材１５が取り付けられる側以外の三方に設けられている。すなわち、第１の収容凹部４８は、保護部材１５が取り付けられる側の側面に開口されている。また、第１の収容凹部４８は、上面側の開口がベース部材１４により封止され、保護部材１５側の開口が当該保護部材１５により覆われている。そして、この第１の収容凹部４８は、保護部材１５の第２の収容凹部５５（後述）と連通して収容空間５１（本発明における空間に相当）を形成する。第１の回路基板４９は、この収容空間５１内に封止される。なお、ベース部材１４、ヘッド固定部材１３、及び、保護部材１５の接合部に関し、詳しくは後述する。
【００３３】
また、ヘッド固定部材１３の内部には、各ヘッド本体１２に対応する基板挿通孔５２が厚さ方向に貫通した状態に形成されている。各基板挿通孔５２の上端は、第１の収容凹部４８の底面に開口されている。本実施形態では、５つのヘッド本体１２に対応して５つの基板挿通孔５２が設けられている。ヘッド本体１２から延出されたフレキシブル基板３５（後述）は、この基板挿通孔５２に挿通され、第１の収容凹部４８に配置された第１の回路基板４９と接続される。さらに、ヘッド固定部材１３の内部には、複数のインク流路５３が形成されている。インク流路５３の上端は、第１の収容凹部４８の底面から上方に向けて立設され、対応するベース部材１４の内部の流路と接続される。なお、第１の回路基板４９には、第１の収容凹部４８に立設されたインク流路５３に対応して、貫通孔（図示せず）が設けられている。このため、インク流路５３の上端は、第１の回路基板４９に阻害されることなく、ベース部材１４の内部の流路と連通可能になる。さらに、インク流路５３の下端は、後述するヘッド本体１２の液体導入路２１と接続される。
【００３４】
保護部材１５は、ヘッド固定部材１３及びベース部材１４の一側（図２及び図３における右側）の側方に亘って配置され、当該ヘッド固定部材１３及びベース部材１４の一側の側面に取り付けられる部材である。この保護部材１５には、ベース部材１４側（又は、ヘッド固定部材１３側）、及び、上側（すなわち、ヘッド本体１２側とは反対側）が開口した第２の収容凹部５５が形成されている。すなわち、第２の収容凹部５５は、ヘッド固定部材１３の側面及びベース部材１４の側面に対向する面における四方の縁のうち上側以外の三方の縁に立設された第２の隔壁５７により囲われている。また、第２の収容凹部５５は、ベース部材１４側の開口がヘッド固定部材１３及びベース部材１４により封止されると共に、ベース部材１４側の開口の下端部が第１の収容凹部４８と連通して収容空間５１を形成する。要するに、収容空間５１は、ヘッド固定部材１３、ベース部材１４、保護部材１５、及び、これらを接着する接着剤（具体的には、後述する第１の接着剤５９及び第２の接着剤６０）に囲われた空間である。
【００３５】
また、本実施形態における第２の収容凹部５５には、第２の回路基板５６が収容されている。換言すると、保護部材１５とベース部材１４との間に、第２の回路基板５６が配置されている。すなわち、ベース部材１４の側面に第２の回路基板５６が配置され、この第２の回路基板５６を覆うように保護部材１５が取り付けられている。これにより、第２の回路基板５６を保護部材１５で保護することができる。この第２の回路基板５６は、下端部（具体的には、第１の収容凹部４８と第２の収容凹部５５との連通部分）において、第１の回路基板４９と接続されている。なお、第１の回路基板４９と第２の回路基板５６とは、例えば、両者に設けられたコネクターを噛み合わせて直接的に接続することもできるし、配線部材等を介して間接的に接続することもできる。さらに、第２の回路基板５６の上端部には、コネクター５８が設けられている。このコネクター５８は、第２の収容凹部５５の上側の開口に露出し、外部の配線と接続可能となっている。すなわち、収容空間５１は、ベース部材１４の側方であって、記録ヘッド３の上方に、コネクター５８を露出するための開口を備えている。このように、収容空間５１が記録ヘッド３の上方に開口されていても、インクを噴射（吐出）する側は、記録ヘッド３の下方であるため、インクが収容空間５１の内部に入り難くなっている。なお、収容空間５１の開口のうちコネクター５８の周囲を樹脂等で塞ぐようにしてもよい。すなわち、収容空間５１を密封することもできる。このようにすれば、より確実に収容空間５１へのインクの浸入を抑制できる。
【００３６】
次に、ヘッド本体１２について説明する。本実施形態におけるヘッド本体１２は、図４に示すように、ノズルプレート２３、流路基板２９、圧電素子３２（アクチュエーターの一種）、封止板３３、及び、コンプライアンス基板３７等が積層された状態で、ヘッドケース１９に取り付けられている。
【００３７】
本実施形態におけるヘッドケース１９は、合成樹脂製の箱体状部材である。図４に示すように、ヘッドケース１９の中央部には、ノズル列方向に沿って長尺な空間である挿通空間２０が形成されている。挿通空間２０は、フレキシブル基板３５が挿通される空間であり、ヘッドケース１９を板厚方向に貫通した状態に形成されている。この挿通空間２０は、ヘッドケース１９の下方に接合される封止板３３の接続空間３６と連通する。また、ヘッドケース１９の内部にはインクが流れる液体導入路２１が形成されている。この液体導入路２１の下端は、後述する共通液室２６と接続されている。本実施形態では、挿通空間２０を間に挟んでノズル列方向に直交する方向の両側に液体導入路２１が形成されている。さらに、ヘッドケース１９の下面のうち共通液室２６に対向する部分には、共通液室２６の上面を区画する封止膜３９（後述）の可撓変形を阻害しない程度のコンプライアンス空間２２が設けられている。
【００３８】
圧電素子３２が積層される流路基板２９は、ノズル列方向に沿って長尺なシリコン製の基板（例えば、シリコン単結晶基板）である。この流路基板２９には、図４に示すように、流路基板２９の長手方向に沿って長尺な連通部２７が２本形成されている。この連通部２７は、それぞれ封止板３３の貫通部４２と連通して共通液室２６を構成する。また、流路基板２９の２つの連通部２７に挟まれた領域には、ノズル列方向に沿って複数の圧力室３０が、並設されている。この圧力室３０の列は、２つの連通部２７に対応して２列に形成されている。各圧力室３０は、圧力室３０よりも狭い幅に形成された供給路２８を介して、連通部２７と連通されている。なお、２列に形成された圧力室３０の列同士は、ノズル２４の配列に対応して、ノズル列方向に、互いに半ピッチずれて配置されている。
【００３９】
流路基板２９の下面（圧電素子３２とは反対側の面）には、ノズルプレート２３が、接着剤等を介して固定されている。このノズルプレート２３は、シリコン製の基板（例えば、シリコン単結晶基板）からなり、圧力室３０に連通するノズル２４が圧力室３０毎に複数穿設されている。すなわち、ノズルプレート２３には、複数のノズル２４（ノズル列という）がノズルプレート２３の長手方向に沿って直線状（換言すると、列状）に開設（形成）されている。この並設された複数のノズル２４（ノズル列）は、一端側のノズル２４から他端側のノズル２４までドット形成密度に対応したピッチで等間隔に設けられている。本実施形態では、２列に形成された圧力室３０の列に対応して、ノズル列が２列形成されている。なお、これらのノズル列同士は、ノズル２４の配列方向（すなわち、ノズル列方向）において、互いに半ピッチずれて配置されている。すなわち、一方のノズル列に含まれるノズル２４と他方のノズル列に含まれるノズル２４とは、ノズル列方向に位置をずらして互い違いに配置されている。
【００４０】
流路基板２９の上面（ノズルプレート２３とは反対側の面）には、振動板３１が積層されている。この振動板３１は、例えば、流路基板２９の上面（すなわち、封止板３３側とは反対側の面）に形成された二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された二酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜と、から成る。この振動板３１によって、圧力室３０となるべき空間の上部開口が封止されている。換言すると、振動板３１によって、圧力室３０の上面が区画されている。この振動板３１における圧力室３０（詳しくは、圧力室３０の上部開口）に対応する部分は、圧電素子３２の撓み変形に伴ってノズル２４から遠ざかる方向あるいは近接する方向に変位する変位部として機能する。すなわち、振動板３１における圧力室３０の上部開口に対応する領域が、撓み変形が許容される駆動領域となる。この駆動領域（変位部）の変形（変位）により、圧力室３０の容積が変化し、圧力室３０内のインクに圧力変動が生じることになる。そして、この圧力変動を利用することで、圧力室３０内のインクを、ノズル２４から噴射することができる。なお、振動板３１のうち連通部２７に対応する領域は、振動板３１が除去された開口となっている。
【００４１】
振動板３１（詳しくは振動板３１の絶縁膜）の上面（すなわち、振動板３１の流路基板２９側とは反対側の面）における各圧力室３０に対応する領域には、圧電素子３２がそれぞれ積層されている。本実施形態における圧電素子３２は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子３２は、各ノズル２４に対応してノズル列方向に沿って複数並設されている。各圧電素子３２は、例えば、振動板３１上から順に、個別電極となる下電極層、圧電体層及び共通電極となる上電極層が順次積層されてなる。なお、駆動回路や配線の都合によって、下電極層を共通電極、上電極層を個別電極にすることもできる。このように構成された圧電素子３２は、下電極層と上電極層との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると、ノズル２４から遠ざかる方向あるいは近接する方向に撓み変形する。また、各圧電素子３２からは、２列に形成された圧力室３０の列間（すなわち、圧電素子３２の列間）における振動板３１上の領域に向けてリード配線（図示せず）が延在されている。そして、このリード配線の圧電素子３２とは反対側の端部に、フレキシブル基板３５が接続されている。
【００４２】
振動板３１の上面には、圧電素子３２に対向する領域にその変位を阻害しない程度の大きさの圧電素子収容空間３４を有する封止板３３が接合されている。圧電素子収容空間３４は、２列に形成された圧電素子３２の列に対応して、２列に形成されている。この２つの圧電素子収容空間３４の間には、封止板３３が板厚方向に除去された接続空間３６が形成されている。接続空間３６は挿通空間２０と連通し、その内部には挿通空間２０に挿通されたフレキシブル基板３５の端部が配置される。さらに、封止板３３の連通部２７に対応する位置には、厚さ方向に貫通したノズル列方向に沿って長尺な貫通部４２が設けられている。本実施形態における貫通部４２は、２つの連通部２７に対応して２つ設けられている。この貫通部４２は、連通部２７と連通して、共通液室２６を構成する。すなわち、貫通部４２は共通液室２６の上部を構成する空間である。
【００４３】
連通部２７の上面を封止して共通液室２６を区画するコンプライアンス基板３７は、可撓性を有する封止膜３９と金属等の硬質な部材からなる固定基板３８とが積層された基板である。本実施形態におけるコンプライアンス基板３７は、封止膜３９を下方（すなわち、封止板３３側）に配置した状態で、封止板３３の上面に接合されている。このコンプライアンス基板３７の挿通空間２０に対応する位置には、挿通空間２０と接続空間３６とを連通させる開口が厚さ方向に貫通した状態に形成されている。また、コンプライアンス基板３７の液体導入路２１に対応する位置にも、液体導入路２１と共通液室２６とを連通させる開口が厚さ方向に貫通した状態に形成されている。さらに、コンプライアンス基板３７の共通液室２６に対向する領域のうち液体導入路２１と共通液室２６とを連通させる開口以外の領域は、固定基板３８が除去された封止膜３９のみからなる封止部４３となっている。この封止部４３は、共通液室２６内のインクの圧力変動を吸収するコンプライアンス部として機能する。
【００４４】
また、図２〜図４に示すように、ヘッド本体１２の下面（すなわち、ノズルプレート２３の下面）には、固定板４５が取り付けられている。本実施形態における固定板４５は、ステンレス鋼等の導電性を有する板材から作製され、ノズルプレート２３から外れた位置で上方（ヘッド固定部材１３側）に屈曲されている。また、この固定板４５のノズルプレート２３と平行な部分には、ヘッド本体１２に対応してノズル露出開口４６が複数形成されている。なお、固定板４５は、このノズル露出開口４６にノズル２４を露出させた状態でノズル面１６の周縁部に当接されている。これにより、固定板４５とノズルプレート２３とが電気的に導通される。
【００４５】
次に、ベース部材１４、ヘッド固定部材１３、及び、保護部材１５の接合部について説明する。図５は、記録ヘッド３の要部を拡大した斜視図である。また、図６は、図３における領域Ａの拡大図である。すなわち、記録ヘッド３の要部を拡大した断面図である。なお、図５においては、保護部材１５を破線で表している。
【００４６】
図５及び図６に示すように、ベース部材１４とヘッド固定部材１３とは、第１の接着剤５９により接着されている。具体的には、第１の接着剤５９は、ヘッド固定部材１３の平らな上面、換言すると、第１の隔壁５０の上面（以下、第１の面６１と称する）と、ベース部材１４の平らな下面とを接着する接着剤である。要するに、ベース部材１４は、第１の接着剤５９を介してヘッド固定部材１３の第１の面６１に接着されている。本実施形態における第１の接着剤５９は、第１の収容凹部４８の外周領域に設けられている。すなわち、ベース部材１４とヘッド固定部材１３との間において、第１の収容凹部４８を囲う四方のうち保護部材１５が取り付けられる側以外の三方が、第１の接着剤５９により接着される。これにより、第１の収容凹部４８の保護部材１５側の開口以外の外周領域が封止される。
【００４７】
また、ベース部材１４と保護部材１５、及び、ヘッド固定部材１３と保護部材１５とは、第２の接着剤６０により接着されている。具体的には、第２の接着剤６０は、ヘッド固定部材１３の保護部材１５側の平らな側面、換言すると、第１の面６１に交差（本実施形態では、直交）する面（以下、第２の面６２と称する）、及び、ベース部材１４の保護部材１５側の平らな側面、換言すると、第２の面６２に沿った面（以下、第３の面６３と称する）と、保護部材１５のベース部材１４側（又は、ヘッド固定部材１３側）の平らな面、換言すると、第２の隔壁５７の端面（以下、第４の面６４と称する）とを接着する接着剤である。要するに、保護部材１５の第４の面６４は、第２の面６２及び当該第２の面６２の面方向に沿った第３の面６３に亘って配置され、第２の接着剤６０を介して当該第２の面６２及び第３の面６３に接着されている。本実施形態における第２の接着剤６０は、第２の収容凹部５５の外周領域に設けられている。すなわち、第２の面６２と第４の面６４との間、及び、第３の面６３と第４の面６４との間において、第２の収容凹部５５を囲う四方のうち上側以外の三方が、第２の接着剤６０により接着される。これにより、第１の収容凹部４８と第２の収容凹部５５とが連通された状態で、第２の収容凹部５５の上側の開口以外の外周領域が封止される。したがって、収容空間５１は、上側の開口を除いて、ヘッド固定部材１３、ベース部材１４、保護部材１５、第１の接着剤５９、及び、第２の接着剤６０により封止される。
【００４８】
そして、第１の接着剤５９と第２の接着剤６０とが交差する交差部６６（換言すると、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との接合面と、ヘッド固定部材１３及びベース部材１４と保護部材１５との接合面と、が交差する交差部６６、すなわち、ヘッド固定部材１３とベース部材１４、ヘッド固定部材１３と保護部材１５、及び、ベース部材１４と保護部材１５がそれぞれ対向し合う交差部６６）を含む部分には、交差部６６に連通して第１の接着剤５９又は第２の接着剤６０の少なくとも一方が流入可能な接着剤受容空間６７が形成されている。本実施形態における接着剤受容空間６７は、ヘッド固定部材１３を第１の面６１側から第２の面６２側（すなわち、第３の部材側）に向けて斜めに切欠いて形成されている。換言すると、ヘッド固定部材１３の第１の面６１と第２の面６２とが交差する角部（第１の面６１の第２の面６２側の縁）を切欠いて形成、すなわち、面取り状態に形成することで、当該角部に接着剤受容空間６７が設けられている。このように、切欠きにより接着剤受容空間６７を形成したので、接着剤受容空間６７の形成が容易になり、ひいては、ヘッド固定部材１３の製造が容易になる。なお、本実施形態においては、切欠きは第１の面６１に対して略４５度の角度で下り傾斜した状態に形成されている。
【００４９】
ここで、接着剤受容空間６７は、第１の接着剤５９の量（塗布量）のばらつきにより、第１の接着剤５９又は第２の接着剤６０、或いは、その両方が充填される空間である。すなわち、この接着剤受容空間６７に何れの接着剤が充填されるかは、ヘッド固定部材１３とベース部材１４とを固定する際の第１の接着剤５９の量（塗布量）により変化する。例えば、第１の接着剤５９の量が少ない設計上の下限値の場合、第１の接着剤５９が接着剤受容空間６７内にほぼ流入せず、当該接着剤受容空間６７内に第２の接着剤６０が充填される。また、第１の接着剤５９の量が多い設計上の上限値の場合には、第１の接着剤５９が接着剤受容空間６７内に流入し、当該接着剤受容空間６７内に第１の接着剤５９がほぼ充填される。さらに、第１の接着剤５９の量が設計上の下限値と上限値との間の中間値の場合には、第１の接着剤５９が接着剤受容空間６７内の一部に流入し、当該接着剤受容空間６７内の一部に第１の接着剤５９が充填されると共に、残りの残部に第２の接着剤６０が充填される。なお、第１の接着剤５９、及び、第２の接着剤６０は、同じ接着剤を使用することもできるし、異なる接着剤を使用することもできる。また、第１の接着剤５９、及び、第２の接着剤６０としては、例えば、エポキシ系接着剤やシリコン系接着剤等を使用することができる。要するに、第１の接着剤５９、及び、第２の接着剤６０としては、硬化する前の状態において液体状であれば、どのような接着剤であっても良い。
【００５０】
次に、記録ヘッド３の製造方法、特に、ヘッド固定部材１３、ベース部材１４、及び、保護部材１５の接合方法について、詳しく説明する。図７〜図９は、記録ヘッド３の製造方法を説明する要部の断面図である。
【００５１】
初めに、ヘッド固定部材１３にヘッド本体１２等を固定し、第１の収容凹部４８に第１の回路基板４９を配置してフレキシブル基板３５を第１の回路基板４９に接続したならば、ヘッド固定部材１３とベース部材１４とを接着する第１の接着工程に移行する。詳しくは、まず、ヘッド固定部材１３（具体的には、第１の面６１の第１の収容凹部４８の縁）に硬化する前の状態の第１の接着剤５９を塗布する。次に、図７に示すように、ヘッド固定部材１３に対してベース部材１４が近づく方向（図７における矢印参照）に、ヘッド固定部材１３又はベース部材１４、或いはその両方を相対的に移動させ、第１の接着剤５９を間に挟んでヘッド固定部材１３とベース部材１４とを接着する。すなわち、第１の接着剤５９が硬化する所定時間が経過するまで、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との相対位置を維持する。この際、図８に示すように、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との間において第１の接着剤５９が押し広げられ、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との間の所定位置に第１の接着剤５９が充填される。ここで、塗布ばらつきにより第１の接着剤５９の量が多かったとしても、第１の接着剤５９が接着剤受容空間６７に流入するため、第１の接着剤５９がヘッド固定部材１３及びベース部材１４の外側にはみ出ることを抑制できる。なお、本実施形態における第１の接着工程においては、第１の接着剤５９がヘッド固定部材１３側に塗布されたが、これには限られない。例えば、ベース部材１４側に第１の接着剤５９が塗布されても良いし、ヘッド固定部材１３側、及び、ベース部材１４側の両側に第１の接着剤５９が塗布されても良い。
【００５２】
第１の接着工程において、ヘッド固定部材１３とベース部材１４とを接着したならば、第２の回路基板５６を第１の回路基板４９に接続すると共に、第２の回路基板５６をベース部材１４の側面に取り付ける。次に、ヘッド固定部材１３及びベース部材１４と保護部材１５とを接着する第２の接着工程に移行する。詳しくは、まず、保護部材１５（具体的には、第４の面６４の第２の収容凹部５５の縁）に硬化する前の状態の第２の接着剤６０を塗布する。そして、図９に示すように、ヘッド固定部材１３（又はベース部材１４）に対して保護部材１５が近づく方向（図９における矢印参照）に、ヘッド固定部材１３とベース部材１４とが積層された積層部材又は保護部材１５、或いはその両方を相対的に移動させ、第２の接着剤６０を間に挟んでヘッド固定部材１３及びベース部材１４と保護部材１５とを接着する。すなわち、第２の接着剤６０が硬化する所定時間が経過するまで、ヘッド固定部材１３及びベース部材１４と保護部材１５との相対位置を維持する。この際、ヘッド固定部材１３と保護部材１５との間及びベース部材１４と保護部材１５との間において第２の接着剤６０が押し広げられ、ヘッド固定部材１３と保護部材１５との間及びベース部材１４と保護部材１５との間の所定位置に第２の接着剤６０が充填される。また、接着剤受容空間６７に第１の接着剤５９が充填されていない場合、第２の接着剤６０は接着剤受容空間６７（接着剤受容空間６７の一部に第１の接着剤５９が流入し硬化していた場合には、その残りの空間）に流入し、当該接着剤受容空間６７に充填される。一方、第１の接着剤５９が接着剤受容空間６７内に既に充填されている場合、第２の接着剤６０は第１の接着剤５９の露出部分を覆うようにヘッド固定部材１３と保護部材１５との間及びベース部材１４と保護部材１５との間に充填される。これにより、接着剤受容空間６７が接着剤（第１の接着剤５９又は第２の接着剤６０或いはその両方）で充填された状態となる。すなわち、交差部６６において、第１の接着剤５９と第２の接着剤６０とが隙間なく連続した状態となる。なお、本実施形態における第２の接着工程においては、第２の接着剤６０が保護部材１５側に塗布されたが、これには限られない。例えば、ヘッド固定部材１３とベース部材１４とに第２の接着剤６０が塗布されても良いし、ヘッド固定部材１３、ベース部材１４、及び、保護部材１５に第２の接着剤６０が塗布されても良い。
【００５３】
このように、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との間に接着剤受容空間６７を形成したので、ヘッド固定部材１３とベース部材１４とを接着する際に第１の接着剤５９の量が多かったとしても、第１の接着剤５９が接着剤受容空間６７に流入するため、第１の接着剤５９がヘッド固定部材１３及びベース部材１４から外側にはみ出ることを抑制できる。これにより、第１の接着剤５９の量を多くすることができ、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との接合部に第１の接着剤５９を充填させ易くなる。その結果、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との間に隙間が生じることを抑制できる。また、第１の接着剤５９の量がばらつき等により少なくなり、第１の接着剤５９が接着剤受容空間６７にほとんど流入しなかったとしても、第２の接着剤６０が接着剤受容空間６７に流入し充填されるため、交差部６６に隙間が生じることを抑制できる。これにより、ヘッド固定部材１３、ベース部材１４、及び、保護部材１５に囲われた収容空間５１の周囲が第１の接着剤５９及び第２の接着剤６０により封止され、記録ヘッド３の外部からインクや埃等の異物が収容空間５１内に侵入することを抑制できる。したがって、この収容空間５１内に配置される第１の回路基板４９及び第２の回路基板５６の汚損を抑制できる。
【００５４】
最後に、ベース部材１４に針ホルダー１７等を取り付けることで、上記したような記録ヘッド３が作成される。なお、記録ヘッド３の製造方法は、上記した方法に限られず、ヘッド固定部材１３とベース部材１４とを接着する第１の接着工程の後、ヘッド固定部材１３及びベース部材１４と保護部材１５とを接着する第２の接着工程を経る方法であればどのような方法であっても良い。例えば、第１の接着工程の後に、ヘッド本体１２や第１の回路基板４９等をヘッド固定部材１３に取り付けてもよい。また、第２の接着工程の前に、ベース部材１４に針ホルダー１７等を取り付けてもよい。
【００５５】
また、第１の接着剤５９、及び、第２の接着剤６０に関し、両者を異なる接着剤とする場合、液体状態における第２の接着剤６０は液体状態における第１の接着剤５９の粘度よりも低いことが望ましい。すなわち、硬化する前の液体状態における第２の接着剤６０の粘度は、硬化する前の液体状態における第１の接着剤５９の粘度よりも低いことが望ましい。このようにすれば、第２の接着工程で保護部材１５を接着する際において、接着剤受容空間６７を含むヘッド固定部材１３とベース部材１４との間の第１の接着剤５９が充填されていない空間に、第２の接着剤６０を充填し易くなる。その結果、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との間に隙間が生じることをより確実に抑制できる。
【００５６】
ところで、接着剤受容空間６７の構成は、上記した第１の実施形態で例示したものに限られず、種々の構成を採用することが可能である。例えば、図１０に示す第２の実施形態における接着剤受容空間６７は、ベース部材１４を第１の面６１側から第２の面６２側（すなわち、第３の部材側）に向けて斜めに切欠いて形成されている。換言すると、ベース部材１４の第１の面６１に接着される面と第３の面６３とが交差する角部を切欠いて形成することで、当該角部に接着剤受容空間６７が形成されている。なお、本実施形態においては、この切欠きは第１の面６１に対して略４５度の角度で上り傾斜した状態に形成されている。そして、本実施形態における接着剤受容空間６７にも、上記した第１の実施形態と同様に、接着剤（第１の接着剤５９又は第２の接着剤６０或いはその両方）が充填されている。このように、本実施形態でもヘッド固定部材１３とベース部材１４との間に接着剤受容空間６７を形成したので、ヘッド固定部材１３とベース部材１４とを接着する際に第１の接着剤５９の量が多かったとしても、第１の接着剤５９がヘッド固定部材１３及びベース部材１４から外側にはみ出ることを抑制できる。これにより、第１の接着剤５９の量を多くすることができ、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との接合部に第１の接着剤５９を充填させ易くなる。その結果、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との間に隙間が生じることを抑制できる。なお、その他の構成は、上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００５７】
また、図１１に示す第３の実施形態における接着剤受容空間６７は、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との両方を切欠いて形成されている。すなわち、ヘッド固定部材１３を第１の面６１側から第２の面６２側に向けて斜めに切欠くと共に、ベース部材１４を第１の面６１側から第３の面６３側に向けて斜めに切欠いて形成されている。すなわち、本実施形態における接着剤受容空間６７は、ヘッド固定部材１３からベース部材１４に亘って形成された空間である。なお、ヘッド固定部材１３側の切欠きは、第１の実施形態と同様に、第１の面６１に対して略４５度の角度で下り傾斜した状態に形成されている。また、ベース部材１４側の切欠きは、第２の実施形態と同様に、第１の面６１に対して略４５度の角度で上り傾斜した状態に形成されている。さらに、本実施形態における接着剤受容空間６７にも、上記した第１の実施形態と同様に、接着剤（第１の接着剤５９又は第２の接着剤６０或いはその両方）が充填されている。そして、本実施形態によれば、容量の大きい接着剤受容空間６７を容易に作製できる。また、接着剤受容空間６７に受け入れられる接着剤の量が増えるため、第１の接着剤５９の量のばらつきが大きい場合でも、第１の接着剤５９がヘッド固定部材１３及びベース部材１４から外側にはみ出ることを抑制できる。これにより、第１の接着剤５９の量を更に多くすることができ、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との接合部に第１の接着剤５９を一層充填させ易くなる。その結果、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との間に隙間が生じることを一層抑制できる。なお、その他の構成は、上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００５８】
さらに、図１２に示す第４の実施形態における接着剤受容空間６７は、ヘッド固定部材１３を第１の面６１側から第２の面６２側に向けてＲ形状に切欠いて形成されている。すなわち、本実施形態における切欠きは、曲面で形成さてれている。なお、本実施形態における接着剤受容空間６７にも、上記した第１の実施形態と同様に、接着剤（第１の接着剤５９又は第２の接着剤６０或いはその両方）が充填されている。そして、本実施形態によれば、第１の接着剤５９又は第２の接着剤６０が曲面に沿って接着剤受容空間６７に流入し易くなる。その結果、接着剤受容空間６７に第１の接着剤５９又は第２の接着剤６０、或いはその両方が充填され易くなり、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との間に隙間が生じることをより一層抑制できる。なお、その他の構成は、上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。また、上記した第２の実施形態における切欠きや第３の実施形態における切欠きにおいても、本実施形態のようなＲ形状の切欠きとすることができる。
【００５９】
また、図１３に示す第５の実施形態における接着剤受容空間６７は、ヘッド固定部材１３を第１の面６１側から第２の面６２側に向けて斜めに切欠いてに形成され、且つ第１の面６１側の開口幅ａが、第２の面６２側（すなわち、保護部材１５側）の開口幅ｂよりも大きくなるように形成されている。なお、ここで言う第１の面６１側の開口幅ａとは、接着剤受容空間６７の第１の面６１側に開口した領域における第２の面６２に垂直な方向（又は第４の面６４に垂直な方向）における寸法である。換言すると、切欠きの第１の面６１側の端から第２の面６２側の端までの第２の面６２に垂直な方向における距離である。一方、第２の面６２側の開口幅ｂとは、接着剤受容空間６７の第２の面６２側に開口した領域における第１の面６１に垂直な方向における寸法である。換言すると、切欠きの第１の面６１側の端から第２の面６２側の端までの第１の面６１に垂直な方向における距離である。すなわち、本実施形態における切欠きは、第１の面６１に対して緩やかに下り傾斜した状態に形成されている。なお、本実施形態における接着剤受容空間６７にも、上記した第１の実施形態と同様に、接着剤（第１の接着剤５９又は第２の接着剤６０或いはその両方）が充填されている。そして、本実施形態においては、第１の面６１側の開口幅ａが第２の面６２側の開口幅ｂよりも大きくなるため、切欠きの第１の面６１側の端が第２の面６２（保護部材１５）からより離れて位置することになる。すなわち、接着剤受容空間６７を第２の面６２からより離れた位置まで形成することができる。これにより、ヘッド固定部材１３とベース部材１４とを接着する際に第１の接着剤５９の量のばらつきが大きい場合でも、第１の接着剤５９を接着剤受容空間６７までより確実に到達させることができる。例えば、塗布された第１の接着剤５９の量が少なく、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との間において、第１の接着剤５９が第２の面６２又は第３の面６３まで到達しない場合でも、第１の接着剤５９が接着剤受容空間６７に到達し易くなる。そして、保護部材１５を接着する際に、第２の接着剤６０が接着剤受容空間６７に充填されるため、ヘッド固定部材１３とベース部材１４との間に隙間が生じることをより一層抑制できる。なお、その他の構成は、上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。また、上記した各実施形態で例示したそれぞれの切欠きの寸法に関しても、本実施形態の切欠きの寸法と同様に形成することができる。
【００６０】
ところで、上記した各実施形態における切欠きは、第１の面６１に平行、且つ、第２の面６２に平行な方向に沿って、同じ形状に揃えられていたが、これには限られない。例えば、図１４に示す第６の実施形態におけるヘッド固定部材１３、及び、図１５に示す第７の実施形態におけるヘッド固定部材１３では、第１の面６１に平行、且つ、第２の面６２に平行な方向に形状（大きさ）が変化した切欠きが形成されている。
【００６１】
具体的には、図１４に示す第６の実施形態における切欠きは、収容空間５１側（換言すると、内側）における第１の面６１側の端から第２の面６２側（すなわち、保護部材１５側）の端までの寸法ｃよりも収容空間５１とは反対側（換言すると、外側）における第１の面６１側の端から第２の面６２側（すなわち、保護部材１５側）の端までの寸法ｄの方が小さくなっている。また、本実施形態においては、切欠きの第１の面６１側の端から第２の面６２側（すなわち、保護部材１５側）の端までの寸法が、収容空間５１側から収容空間５１とは反対側に向けて、次第に小さくなるように形成されている。このようにすれば、ヘッド固定部材１３とベース部材１４とを接着する際に第１の接着剤５９が、収容空間５１とは反対側（換言すると、外側）にはみ出ることを抑制できる。また、保護部材１５を接着する際に第２の接着剤６０が、収容空間５１とは反対側（換言すると、外側）にはみ出ることを抑制できる。その結果、図１４に示すように、第１の隔壁５０の外側に、例えば、ヘッド固定部材１３とキャリッジ４とを固定するためのネジ穴６９が形成されていた場合でも、当該ネジ穴６９に接着剤（第１の接着剤５９又は第２の接着剤６０）が付着することを抑制できる。その結果、ネジ穴６９にネジを取り付ける際に、ネジの取り付けが接着剤に阻害される不具合を抑制できる。したがって、記録ヘッド３の信頼性を高めることができる。
【００６２】
また、図１５に示す第７の実施形態における切欠きは、収容空間５１とは反対側（換言すると、外側）における第１の面６１側の端から第２の面６２側（すなわち、保護部材１５側）の端までの寸法が略ゼロとなっている。すなわち、本実施形態においても、収容空間５１側（換言すると、内側）における第１の面６１側の端から第２の面６２側（すなわち、保護部材１５側）の端までの寸法ｅよりも収容空間５１とは反対側（換言すると、外側）における第１の面６１側の端から第２の面６２側（すなわち、保護部材１５側）の端までの寸法の方が小さくなっている。また、本実施形態においても、切欠きの第１の面６１側の端から第２の面６２側（すなわち、保護部材１５側）の端までの寸法が、収容空間５１側から収容空間５１とは反対側に向けて、次第に小さくなるように形成されている。これにより、ヘッド固定部材１３とベース部材１４とを接着する際に第１の接着剤５９が、収容空間５１とは反対側（換言すると、外側）にはみ出ることを抑制できる。また、保護部材１５を接着する際に第２の接着剤６０が、収容空間５１とは反対側（換言すると、外側）にはみ出ることを抑制できる。その結果、第１の隔壁５０の外側に、例えば、ヘッド固定部材１３とキャリッジ４とを固定するためのネジ穴６９が形成されていた場合でも、当該ネジ穴６９に接着剤（第１の接着剤５９又は第２の接着剤６０）が付着することを抑制できる。その結果、ネジ穴６９にネジを取り付ける際に、ネジの取り付けが接着剤に阻害される不具合を抑制できる。したがって、記録ヘッド３の信頼性を高めることができる。
【００６３】
なお、図１０に示す第２の実施形態から図１３に示す第５の実施形態における切欠きの形状と、図１４に示す第６の実施形態の切欠き及び図１５に示す第７の実施形態の切欠きの形状とを組み合わせることもできる。また、設計に応じて、切欠きの第１の面６１側の端から第２の面６２側の端までの寸法（すなわち、切欠きの大きさ）を、収容空間５１側よりも収容空間５１とは反対側の方が大きくなるようにすることもできる。このように、設計に応じて、切欠きの大きさを変えることで、接着剤のはみ出しをコントロールし易くなる。要するに、収容空間５１側及び収容空間５１とは反対側のうち接着剤のはみ出しを抑制したい側において、切欠きの大きさを小さくすることで、同側への接着剤のはみ出しを抑制できる。その結果、例えば、接着剤が他の部品等に付着する不具合を抑制でき、記録ヘッド３の信頼性を高めることができる。
【００６４】
ところで、上記した各実施形態では、第１の回路基板４９が収容される第１の収容凹部４８と第２の回路基板５６が収容される第２の収容凹部５５とからなる収容空間５１を例示したが、これには限られない。例えば、第２の回路基板及び第２の収容凹部を備えず、第１の収容凹部をベース部材及び保護部材で封止する構成を採用することもできる。この場合、保護部材は、第２の収容凹部を有さない平板状の部材であっても良い。また、第１の収容凹部をベース部材側に形成することもできる。さらに、上記した各実施形態では、接着剤受容空間６７がヘッド固定部材１３側、及び、ベース部材１４側の何れか一方、或いは、その両方に形成されたが、これには限られない。例えば、接着剤受容空間が保護部材に形成される構成を採用することもできる。
【００６５】
また、上記した各実施形態では、圧力室内のインクに圧力変動を生じさせる駆動素子として、所謂撓み振動型の圧電素子を例示したが、これには限られない。例えば、所謂縦振動型の圧電素子や、発熱素子、静電気力を利用して圧力室の容積を変動させる静電アクチュエーター等の各種アクチュエーターを採用することができる。さらに、記録ヘッドとして、記録媒体の搬送方向（副走査方向）と交差する方向（主走査方向）に走査（往復移動）しつつインクの噴射を行う所謂シリアルヘッドを例示したが、これには限られない。記録ヘッドを記録媒体の幅方向に複数並べた所謂ラインヘッドを備えたプリンターにも本発明を適用できる。
【００６６】
そして、以上においては、液体噴射ヘッドとしてインクジェット式記録ヘッド３を例に挙げて説明したが、本発明は、流路部材を備えた他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドでは液体の一種としてＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液体の一種として液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは液体の一種として生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００６７】
１…プリンター，２…記録媒体，３…記録ヘッド，４…キャリッジ，５…キャリッジ移動機構，６…搬送機構，７…インクカートリッジ，８…タイミングベルト，９…パルスモーター，１０…ガイドロッド，１２…ヘッド本体，１３…ヘッド固定部材，１４…ベース部材，１５…保護部材，１６…供給針，１７…針ホルダー，１８…シール部材，１９…ヘッドケース，２０…挿通空間，２１…液体導入路，２２…コンプライアンス空間，２３…ノズルプレート，２４…ノズル，２６…共通液室，２７…連通部，２８…供給路，２９…流路基板，３０…圧力室，３１…振動板，３２…圧電素子，３３…封止板，３４…圧電素子収容空間，３５…フレキシブル基板，３６…接続空間，３７…コンプライアンス基板，３８…固定基板，３９…封止膜，４２…貫通部，４３…封止部，４５…固定板，４６…ノズル露出開口，４８…第１の収容凹部，４９…第１の回路基板，５０…第１の隔壁，５１…収容空間，５２…基板挿通孔，５３…インク流路，５５…第２の収容凹部，５６…第２の回路基板，５７…第２の隔壁，５８…コネクター，５９…第１の接着剤，６０…第２の接着剤，６１…第１の面，６２…第２の面，６３…第３の面，６４…第４の面，６６…交差部，６７…接着剤受容空間，６９…ネジ穴，９１…第１保持部材，９２…第２保持部材，９３…第１接着剤，９４…保護部材，９５…第２接着剤，９６…隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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