(57)【要約】【課題】移動ブロックの端部に装着されたシール部材による潤滑剤の弾き飛ばしに起因する汚損を抑制できるスライド案内装置及びこれを用いた作業装置を提供することを目的とする。【解決手段】剛球４２の走行面３１Ｓを有する軌道レール３１、剛球４２を介して軌道レール３１に装着され、剛球４２の転動に伴い軌道レール３１上を移動する移動ブロック３２のほか、移動ブロック３２の移動方向における端部に装着され、軌道レール３１と摺接するリップ部５３Ｌが形成された樹脂製のシール部材５３を有するサイドシール３３と、サイドシール３３に装着され、サイドシール３３の外側においてリップ部５３Ｌによって弾き飛ばされた軌道レール３１上の潤滑剤ＪＺを受け止める潤滑剤受け部材３４を備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
転動体の走行面を有する軌道レールと、
前記転動体を介して前記軌道レールに装着され、前記転動体の転動に伴い前記軌道レール上を移動する移動ブロックと、
前記移動ブロックの移動方向における端部に装着され、前記軌道レールと摺接するリップ部が形成された樹脂製のシール部材を有するサイドシールと、
前記サイドシールに装着され、前記サイドシールの外側において前記リップ部によって弾き飛ばされた前記軌道レール上の潤滑剤を受け止める潤滑剤受け部材とを備えたスライド案内装置。
【請求項２】
前記潤滑剤受け部材は、前記軌道レールの表面に対向する潤滑剤受け面を備えている請求項１に記載のスライド案内装置。
【請求項３】
前記移動ブロックの移動方向における前記潤滑剤受け面の寸法は、３ｍｍ以上かつ前記軌道レールの表面から前記潤滑剤受け面までの距離の１０倍以上である請求項２に記載のスライド案内装置。
【請求項４】
作業ヘッドをスライド案内装置を介して支持する支持部材を有し、この作業ヘッドを移動させながら前記作業ヘッドで所定の作業を行う作業装置であって、
前記スライド案内装置は、
転動体の走行面を有し、前記支持部材に固定された軌道レールと、
前記作業ヘッドが装着された移動ベースに固定され、前記転動体を介して前記軌道レールに装着され、前記転動体の転動に伴い前記軌道レール上を移動する移動ブロックと、
前記移動ブロックの移動方向における端部に装着され、前記軌道レールと摺接するリップ部が形成された樹脂製のシール部材を有するサイドシールと、
前記サイドシールに装着され、前記サイドシールの外側において前記リップ部によって弾き飛ばされた前記軌道レール上の潤滑剤を受け止める潤滑剤受け部材とを備えた作業装置。
【請求項５】
潤滑剤受け部材は、前記軌道レールの表面に対向する潤滑剤受け面を備えている請求項４に記載の作業装置。
【請求項６】
前記移動ブロックの移動方向における前記潤滑剤受け面の寸法は、３ｍｍ以上かつ前記軌道レールの表面から前記潤滑剤受け面までの距離の１０倍以上である請求項５に記載の作業装置。
【請求項７】
Ｘ方向に移動する作業ヘッドを有するＸ軸ビームと、前記Ｘ軸ビームを前記Ｘ方向に直交するＹ方向に案内するスライド案内装置を介して支持して前記Ｘ軸ビームをＹ方向へ移動させるＹ軸ベースを有し、前記作業ヘッドをＸＹ方向へ移動させながら前記作業ヘッドで所定の作業を行う作業装置であって、
前記スライド案内装置は、
転動体の走行面を有し、前記Ｙ軸ベースに固定され、前記Ｙ方向に延びる軌道レールと、
前記Ｘ軸ビームに固定され、前記転動体を介して前記軌道レールに装着され、前記転動体の転動に伴い前記軌道レール上を移動する移動ブロックと、
前記移動ブロックの移動方向における端部に装着され、前記軌道レールと摺接するリップ部が形成された樹脂製のシール部材を有するサイドシールと、
前記サイドシールに装着され、前記サイドシールの外側において前記リップ部によって弾き飛ばされた前記軌道レール上の潤滑剤を受け止める潤滑剤受け部材とを備えた作業装置。
【請求項８】
潤滑剤受け部材は、前記軌道レールの表面に対向する潤滑剤受け面を備えている請求項７に記載の作業装置。
【請求項９】
前記移動ブロックの移動方向における前記潤滑剤受け面の寸法は、３ｍｍ以上かつ前記軌道レールの表面から前記潤滑剤受け面までの距離の１０倍以上である請求項８に記載の作業装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転動体を介して軌道レール上を移動する移動ブロックを備えたスライド案内装置及びこのスライド案内装置を有する作業装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板に部品を搭載する部品搭載装置のような作業装置では、作業ヘッドを移動させるヘッド移動機構にスライド案内装置が組み込まれている。スライド案内装置は一般に、転動体の走行面を有する軌道レールと、転動体を介して軌道レールに装着され、転動体の転動に伴い軌道レール上を移動する移動ブロックを備えている。軌道レールの走行面と転動体との間には転動体の転動を滑らかにするための潤滑剤が供給され、移動ブロックの移動方向における端部には、潤滑剤を移動ブロックの下方領域内に封入するためのサイドシールが装着されている（例えば、下記の特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−２０５４８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来のスライド案内装置では、サイドシールを構成するシール部材のリップ部が潤滑剤を弾き飛ばしてしまい、これが作業装置を汚損する場合があるという問題点があった。このような潤滑剤の弾き飛ばしに起因する問題は、移動ブロックの移動速度が向上した近年において顕著になってきており、早急な対策が望まれていた。
【０００５】
そこで本発明は、移動ブロックの端部に装着されたシール部材による潤滑剤の弾き飛ばしに起因する汚損を抑制できるスライド案内装置及びこれを用いた作業装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のスライド案内装置は、転動体の走行面を有する軌道レールと、前記転動体を介して前記軌道レールに装着され、前記転動体の転動に伴い前記軌道レール上を移動する移動ブロックと、前記移動ブロックの移動方向における端部に装着され、前記軌道レールと摺接するリップ部が形成された樹脂製のシール部材を有するサイドシールと、前記サイドシールに装着され、前記サイドシールの外側において前記リップ部によって弾き飛ばされた前記軌道レール上の潤滑剤を受け止める潤滑剤受け部材とを備えた。
【０００７】
本発明の作業装置は、作業ヘッドをスライド案内装置を介して支持する支持部材を有し、この作業ヘッドを移動させながら前記作業ヘッドで所定の作業を行う作業装置であって、前記スライド案内装置は、転動体の走行面を有し、前記支持部材に固定された軌道レールと、前記作業ヘッドが装着された移動ベースに固定され、前記転動体を介して前記軌道レールに装着され、前記転動体の転動に伴い前記軌道レール上を移動する移動ブロックと、前記移動ブロックの移動方向における端部に装着され、前記軌道レールと摺接するリップ部が形成された樹脂製のシール部材を有するサイドシールと、前記サイドシールに装着され、前記サイドシールの外側において前記リップ部によって弾き飛ばされた前記軌道レール上の潤滑剤を受け止める潤滑剤受け部材とを備えた。
【０００８】
本発明の作業装置は、Ｘ方向に移動する作業ヘッドを有するＸ軸ビームと、前記Ｘ軸ビームを前記Ｘ方向に直交するＹ方向に案内するスライド案内装置を介して支持して前記Ｘ軸ビームをＹ方向へ移動させるＹ軸ベースを有し、前記作業ヘッドをＸＹ方向へ移動させながら前記作業ヘッドで所定の作業を行う作業装置であって、前記スライド案内装置は、転動体の走行面を有し、前記Ｙ軸ベースに固定され、前記Ｙ方向に延びる軌道レールと、前記Ｘ軸ビームに固定され、前記転動体を介して前記軌道レールに装着され、前記転動体の転動に伴い前記軌道レール上を移動する移動ブロックと、前記移動ブロックの移動方向における端部に装着され、前記軌道レールと摺接するリップ部が形成された樹脂製のシール部材を有するサイドシールと、前記サイドシールに装着され、前記サイドシールの外側において前記リップ部によって弾き飛ばされた前記軌道レール上の潤滑剤を受け止める潤滑剤受け部材とを備えた。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、移動ブロックの端部に装着されたシール部材による潤滑剤の弾き飛ばしに起因する汚損を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態における部品搭載装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における部品搭載装置の一部の斜視図
【図３】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備えるスライド案内装置の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図４】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備えるスライド案内装置の一部分解斜視図
【図５】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備えるスライド案内装置の一部の断面側面図
【図６】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備えるスライド案内装置の一部の断面側面図
【図７】本発明の一実施の形態の変形例における部品搭載装置が備えるスライド案内装置の（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の作業装置の一例としての部品搭載装置１を示している。部品搭載装置１は、基板ＰＢに部品ＰＴを搭載する装置であり、基台１１に基板搬送部１２、複数の部品供給部１３、搭載ヘッド移動機構１４及び搭載ヘッド移動機構１４によって移動自在な作業ヘッドとしての部品搭載ヘッド１５を備えている。部品搭載ヘッド１５は上下方向（Ｚ方向）に延びた部品吸着用の複数の保持ノズル１６を備えている。
【００１２】
図１において、基板搬送部１２は例えばコンベア機構から成り、部品搭載装置１の上流工程側（作業者ＯＰから見た左側）から送られてきた基板ＰＢを作業者ＯＰから見た左右方向（Ｘ方向）に搬送して所定の作業位置に位置決めする。複数の部品供給部１３は基板搬送部１２の側方にＸ方向に並んで設けられている。各部品供給部１３は基板搬送部１２側の端部に部品（図示せず）を供給する。
【００１３】
図１において、搭載ヘッド移動機構１４は基台１１の上方を作業者ＯＰから見た前後方向（Ｙ方向）に延びたＹ軸ベース２１、Ｘ方向に延びたＸ軸ビーム２２及び移動プレート２３を備えている（図２も参照）。Ｙ軸ベース２１はＹ方向の両端部が基台１１に固定されている。Ｙ軸ベース２１にはＹ軸ベース固定子２１ＡがＹ軸ベース２１に沿って延びて設けられており、Ｘ軸ビーム２２の端部にはＸ軸ビーム可動子２２Ａが設けられている。Ｘ軸ビーム２２にはＸ軸ビーム固定子２２ＢがＸ軸ビーム２２に沿って延びて設けられており、移動プレート２３には移動プレート可動子２３Ｂが設けられている。
【００１４】
Ｙ軸ベース固定子２１ＡとＸ軸ビーム可動子２２Ａはリニアモータを構成している。Ｘ軸ビーム可動子２２ＡがＹ軸ベース固定子２１Ａに対して移動することで、Ｘ軸ビーム２２がＹ軸ベース２１に沿ってＹ方向に移動する。Ｘ軸ビーム固定子２２Ｂと移動プレート可動子２３Ｂはリニアモータを構成している。移動プレート可動子２３ＢがＸ軸ビーム固定子２２Ｂに対して移動することで、移動プレート２３がＸ軸ビーム２２に沿ってＸ方向に移動する。
【００１５】
部品搭載ヘッド１５は移動プレート２３に取り付けられている。部品搭載ヘッド１５は、Ｙ軸ベース２１に対するＸ軸ビーム２２のＹ方向への移動と、移動プレート２３のＸ軸ビーム２２に対するＸ方向への移動とによって、水平面内を移動する。
【００１６】
部品搭載装置１が行う部品搭載動作では、先ず、基板搬送部１２が上流工程側の装置（例えば基板ＰＢに半田等のペーストを印刷する装置）から基板ＰＢを受け取って搬送し、作業位置に位置決めする。そして、搭載ヘッド移動機構１４が部品搭載ヘッド１５を移動させて各部品供給部１３が供給する部品ＰＴを保持ノズル１６によって吸着し、基板ＰＢの上の定められた位置にその部品ＰＴを搭載する。基板ＰＢに搭載されるべき部品ＰＴが部品搭載ヘッド１５によって搭載されたら、基板搬送部１２は基板ＰＢを下流工程側に搬出する。
【００１７】
このような構成の部品搭載装置１において、本実施の形態では、図２に示すように、Ｘ軸ビーム２２はその端部とＹ軸ベース２１との間に設けられたスライド案内装置３０を介してＹ方向に移動自在となっている。また、移動プレート２３はＸ軸ビーム２２との間に設けられたスライド案内装置３０を介してＸ方向に移動自在となっている。
【００１８】
図２において、スライド案内装置３０はそれぞれ、軌道レール３１と移動ブロック３２を備えている。Ｘ軸ビーム２２とＹ軸ベース２１との間に設けられたスライド案内装置３０では、軌道レール３１はＹ軸ベース２１に設けられており、移動ブロック３２はＸ軸ビーム２２の端部に設けられている。Ｘ軸ビーム２２と移動プレート２３との間に設けられたスライド案内装置３０では、軌道レール３１はＸ軸ビーム２２に設けられており、移動ブロック３２は移動プレート２３に設けられている。
【００１９】
図３（ａ），（ｂ）において、軌道レール３１の表面には、軌道レール３１の延びる方向に延びた複数の溝状の走行面３１Ｓが形成されている。移動ブロック３２は、本実施の形態では、全体として直方体形状を有している。移動ブロック３２の内部には、図４に示すように、複数（ここでは４つ）の周回路４１が形成されている。各周回路４１内には多数の剛球４２（転動体）が周回路４１内を移動自在に収容されている。
【００２０】
各周回路４１は全体として軌道レール３１の延びる方向に延びている。各周回路４１の一部は軌道レール３１が備える複数の走行面３１Ｓのそれぞれに対応する位置に開口しており、周回路４１内の多数の剛球４２のうちの一部がその開口から軌道レール３１の側に露出して軌道レール３１の走行面３１Ｓに接触している。
【００２１】
このように本実施の形態において、移動ブロック３２は、作業ヘッドである部品搭載ヘッド１５が装着された移動ベース（移動プレート２３又は移動プレート２３を備えたＸ軸ビーム２２）に固定され、転動体である剛球４２を介して軌道レール３１に装着され、剛球４２の転動に伴い軌道レール３１上を移動する構成となっている。
【００２２】
図３（ａ），（ｂ）及び図４において、スライド案内装置３０は上記軌道レール３１と移動ブロック３２のほか、サイドシール３３と潤滑剤受け部材３４を備えている。サイドシール３３は、移動ブロック３２の両端部（軌道レール３１に沿った方向の両端部）のそれぞれに設けられている。
【００２３】
図４において、サイドシール３３は、移動ブロック３２の端部に装着されるケース５１と、ケース５１内に設けられる２つの挟持部材５２と、２つの挟持部材５２によって状態が挟持されるシール部材５３と、ケース５１に取り付けられたカバー板５４を備えている。サイドシール３３は結合螺子５５によって移動ブロック３２に結合されている（図５も参照）。
【００２４】
図５において、各シール部材５３は下端にリップ部５３Ｌを有している。リップ部５３Ｌは下端が走行面３１Ｓを含む軌道レール３１の表面に接している。各シール部材５３は樹脂製であり、移動ブロック３２が軌道レール３１上を走行すると、その移動ブロック３２の走行に応じた方向に柔軟にしなり、軌道レール３１と摺接し得るようになっている。
【００２５】
図５において、軌道レール３１の走行面３１Ｓ上には剛球４２の転動を滑らかにするための潤滑剤ＪＺが供給されている。移動ブロック３２の両端部に設けられた２つのシール部材５３は、走行面３１Ｓ上の潤滑剤ＪＺを、移動ブロック３２の下方領域内に封入する働きをする。
【００２６】
図４及び図５において、潤滑剤受け部材３４は、移動ブロック３２が備える各サイドシール３３の外側に取り付けられている。潤滑剤受け部材３４のサイドシール３３側の端部には枠状の係止部３４Ｋが設けられており、この係止部３４Ｋをサイドシール３３の外周に設けられた係止溝３３Ｍに係合させることで、潤滑剤受け部材３４をサイドシール３３に着脱自在に取り付けることができる。
【００２７】
図５及び図６において、潤滑剤受け部材３４の平坦な下面は、軌道レール３１の表面と一定間隔をおいて軌道レール３１の表面に対向する潤滑剤受け面３４Ｍとなっている。潤滑剤受け面３４Ｍは、移動ブロック３２の走行方向の転換時等において、シール部材５３のリップ部５３Ｌが軌道レール３１に沿った方向の外方（剛球４２が設けられている側とは反対の側）に弾き飛ばした潤滑剤ＪＺを受け止めることによって（図６）、潤滑剤ＪＺが飛散してしまうことを防止する。このように本実施の形態において、潤滑剤受け部材３４は、サイドシール３３に装着され、サイドシール３３の外側においてシール部材５３のリップ部５３Ｌによって弾き飛ばされた軌道レール３１上の潤滑剤ＪＺを受け止める構成となっている。
【００２８】
ここで、潤滑剤受け面３４Ｍが、シール部材５３のリップ部５３Ｌが外方に弾き飛ばした潤滑剤ＪＺを確実に受け止めることができるようにするためには、移動ブロック３２の移動方向における潤滑剤受け面３４Ｍの寸法（幅Ｌ。図５）が３ｍｍ以上、かつ軌道レール３１の表面から潤滑剤受け面３４Ｍまでの距離（隙間ｄ。図５）の１０倍以上であることが好ましい。従って、例えば、隙間ｄが０．１〜０．３ｍｍである場合には、幅Ｌは、３〜８ｍｍ程度であることが好ましい。なお、幅Ｌの上限は、設計上許容できる範囲であれば、特に制限はない。
【００２９】
上述のように、本実施の形態におけるスライド案内装置３０は、剛球４２（転動体）の走行面３１Ｓを有し、Ｙ軸ベース２１又はＸ軸ビーム２２に固定されてＹ方向に延びる軌道レール３１とこれら軌道レール３１上を走行する移動ブロック３２、サイドシール３３及び潤滑剤受け部材３４を備えた構成となっている。このスライド案内装置３０では、移動ブロック３２が軌道レール３１上を移動した際、サイドシール３３のシール部材５３が潤滑剤ＪＺを外方に弾き飛ばしたとしても、その潤滑剤ＪＺが潤滑剤受け部材３４によって受け止められて部品搭載装置１の基板搬送部１２や基板ＰＢ上に飛散してしまうようなことがない。このためシール部材５３による潤滑剤ＪＺの弾き飛ばしに起因する部品搭載装置１や基板ＰＢの汚損を防止できる。
【００３０】
本実施の形態の部品搭載装置１は、作業ヘッドとしての部品搭載ヘッド１５を上記構成のスライド案内装置３０を介して支持する支持部材を備え、部品搭載ヘッド１５を移動させながら部品搭載ヘッド１５で所定の作業（部品搭載作業）を行う作業装置の一例であって、支持機構に上述の構成を有するスライド案内装置３０が組み込まれたものとなっている。ここで、上記支持部材は、上述の実施の形態では、Ｘ方向に移動する部品搭載ヘッド１５を有するＸ軸ビーム２２と、Ｘ軸ビーム２２をＸ方向に直交するＹ方向に案内するスライド案内装置３０を介して支持してＸ軸ビーム２２をＹ方向へ移動させるＹ軸ベース２１が該当する。
【００３１】
上記構成を有する部品搭載装置１では、Ｘ軸ビーム２２がＹ軸ベース２１上を移動した際及び移動プレート２３がＸ軸ビーム２２上を移動した際において、潤滑剤ＪＺがＹ軸ベース２１の軌道レール３１上及びＸ軸ビーム２２の軌道レール３１上に飛散してしまうようなことがない。このため部品搭載装置１では、搭載ヘッド移動機構１４、ひいては部品搭載装置１や基板ＰＢの潤滑剤ＪＺによる汚損が防止される。
【００３２】
図７（ａ），（ｂ）は、上述のスライド案内装置３０の変形例におけるスライド案内装置３０Ａを示している。このスライド案内装置３０Ａは、一つの軌道レール３１上に２つの移動ブロック３２を備えており、これら２つの移動ブロック３２が移動ベースとしてのＸ軸ビーム２２又は移動プレート２３に取り付けられる。この場合、２つの移動ブロック３２の間の距離は不変となる。
【００３３】
変形例におけるスライド案内装置３０Ａでは、２つの移動ブロック３２それぞれの外側に位置する２つのサイドシール３３によって、潤滑剤ＪＺは２つの移動ブロック３２の下方領域で封入された状態となる。このため、変形例におけるスライド案内装置３０Ａでは、２つの移動ブロック３２の互いに対向する側から潤滑剤が弾き飛ばされたとしてもその潤滑剤ＪＺによって部品搭載装置１や基板ＰＢが汚損されることはない。よって、スライド案内装置３０Ａでは、２つの移動ブロック３２の互いに対向する側の端部には、潤滑剤受け部材３４は設けられていない（図７（ａ），（ｂ））。このようなスライド案内装置３０Ａでは、前述の例に示した移動ブロック３２（両端のサイドシール３３のそれぞれに潤滑剤受け部材３４が装着された移動ブロック３２）を単に２つ並べる場合と比較して、構成が簡易となる。
【００３４】
以上説明したように、本実施の形態におけるスライド案内装置３０，３０Ａは、軌道レール３１上を移動する移動ブロック３２の移動方向における端部に装着されたサイドシール３３が備える樹脂製のシール部材５３が弾き飛ばした潤滑剤ＪＺをサイドシール３３に装着された潤滑剤受け部材３４が受け止めるようになっているので、シール部材５３による潤滑剤ＪＺの弾き飛ばしに起因する部品搭載装置１の汚損を抑制できる。
【００３５】
これまで本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、移動ブロック３２の形状、シール部材５３を含むサイドシール３３の形状及び潤滑剤受け部材３４の形状は一例であり、特に限定されない。例えば、潤滑剤受け部材３４の形状はブロック状や板状であってもよい。サイドシール３３におけるシール部材５３の固定の仕方も一例に過ぎない。例えば、ブロック状のシール部材をサイドシール３３とともに移動ブロック３２に螺子で固定してもよい。また、リップ部５３Ｌの形状は、上述の実施の形態では、図５に示すように、移動ブロック３２の走行方向に二股に分かれた形状をしていたが、これはリップ部５３Ｌの形状の一例に過ぎず、必ずしも二股に分かれていなければならないわけではない。
【００３６】
また、上述の実施の形態では、スライド案内装置３０，３０Ａを介して作業ヘッド（部品搭載ヘッド１５）を支持する支持部材が、Ｘ方向に移動する作業ヘッドを有するＸ軸ビーム２２と、Ｘ軸ビーム２２をＸ方向に直交するＹ方向に移動させるＹ軸ベース２１を有して成る構成（すなわち直交する２軸構成）であったが、作業ヘッドを有する部材を一の方向にのみ移動させる構成（１軸構成）であってもよい。
【００３７】
また、上述の実施の形態では、スライド案内装置３０，３０Ａが適用される対象として、作業ヘッドが部品搭載ヘッド１５であり、この部品搭載ヘッド１５によって基板ＰＢに部品ＰＴを搭載する部品搭載装置１を示したが、作業装置は、作業ヘッドをスライド案内装置３０，３０Ａを介して支持する支持部材を有し、この作業ヘッドを移動させながら作業ヘッドで所定の作業を行う作業装置であれば、部品搭載装置１でなくてもよい。例えば、作業ヘッドである印刷ヘッドによって基板ＰＢに半田等のペーストを塗布する印刷装置や、作業ヘッドである検査ヘッドによって基板ＰＢを撮像して検査する検査装置等であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
移動ブロックの端部に装着されたシール部材による潤滑剤の弾き飛ばしに起因する汚損を抑制できるスライド案内装置及びこれを用いた作業装置を提供する。
【符号の説明】
【００３９】
１  部品搭載装置（作業装置）
１５  部品搭載ヘッド（作業ヘッド）
２１  Ｙ軸ベース（支持部材）
２２  Ｘ軸ビーム（支持部材）（移動ベース）
２３  移動プレート（移動ベース）
３０，３０Ａ  スライド案内装置
３１  軌道レール
３１Ｓ  走行面
３２  移動ブロック
３３  サイドシール
３４  潤滑剤受け部材
３４Ｍ  潤滑剤受け面
４２  剛球（転動体）
５３  シール部材
５３Ｌ  リップ部
ＪＺ  潤滑剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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