(57)【要約】【課題】矩形の輪郭を持つ被処理基板を鉛直方向に起立させた姿勢で保持し、搬送する場合に、その板厚が薄い場合でも自重で変形しないように被処理基板を保持できる基板搬送装置用のキャリアを提供する。【解決手段】本発明のキャリアＣａは板状の枠体２を有し、枠体が、起立姿勢の被処理基板の下辺が当接する基板受け部４と、被処理基板の周縁部がその全周に亘って当接して当該被処理基板に対する処理範囲を区画するマスク部３と、マスク部に対して被処理基板の縁部を局所的に押圧する複数個のクランプ５とを備える。クランプが、被処理基板に対し線状に圧接するブレード部５７と、ブレード部が被処理基板に圧接する圧接位置とブレード部が被処理基板から離間した退避位置との間でブレード部を移動自在とする操作部５４とを有する。【選択図】図２
2018098377.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形の輪郭を持つ被処理基板を鉛直方向に起立させた姿勢で保持する基板搬送装置用のキャリアであって、板状の枠体を有し、この枠体が、起立姿勢の被処理基板の下辺が当接する基板受け部と、被処理基板の周縁部がその全周に亘って当接して当該被処理基板に対する処理範囲を区画するマスク部と、マスク部に対して被処理基板の縁部を局所的に押圧する複数個のクランプとを備えるものにおいて、
クランプが、被処理基板に対し線状に圧接するブレード部と、ブレード部が被処理基板に圧接する圧接位置とブレード部が被処理基板から離間した退避位置との間でブレード部を移動自在とする操作部とを有することを特徴とする基板搬送装置用のキャリア。
【請求項２】
前記被処理基板の鉛直方向の両縁部にて、前記ブレード部の各々が鉛直方向の同一線上に位置するように前記クランプの複数個が設けられ、各ブレード部によって被処理基板の鉛直方向の両縁部がその全長に亘ってマスク部に対して押圧されるように構成したことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置用のキャリア。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の基板搬送装置用のキャリアであって、前記クランプが枠体に支軸を介して揺動自在に連結されるアーム部と、アーム部を押圧方向に付勢する付勢手段とを更に備えるものにおいて、
前記ブレード部がその長手方向の中央で押圧方向に貫通する取付孔を有し、この取付孔に遊挿された軸体を介してアーム部にブレード部が取り付けられることを特徴とする基板搬送装置用のキャリア。
【請求項４】
前記クランプは、前記ブレード部の長手方向に対する当該ブレード部の傾動を規制する規制部材を更に備えることを特徴とする請求項３記載の基板搬送装置用のキャリア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、矩形の輪郭を持つ被処理基板を鉛直方向に起立させた姿勢で保持する基板搬送装置用のキャリアに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、フラットパネルディスプレイの製造工程においては、被処理基板としてのガラス基板の表面に各種の薄膜を成膜する工程があり、このような成膜工程にはインライン式のスパッタリング装置が従来から用いられている。この場合、ガラス基板の大型化に伴うスパッタリング装置の設置面積の拡大化の影響を可及的に小さくするため、ガラス基板を鉛直方向に起立させた姿勢にし、この姿勢でガラス基板を基板搬送装置によってスパッタリング装置内のターゲットに対向する位置に搬送し、成膜処理を施すことがある。
【０００３】
このような基板搬送装置は例えば特許文献１で知られている。このものは、ガラス基板を鉛直方向に起立させた姿勢で保持するキャリアと、スパッタリング装置内でキャリアを水平方向に搬送するキャリア搬送手段とを備える。キャリアは、板状の枠体（フレーム）を有し、この枠体には、起立姿勢のガラス基板の下辺が当接する基板受け部と、ガラス基板の縁部がその全周に亘って当接して当該ガラス基板に対する処理範囲を区画するマスク部と、鉛直方向及び水平方向に所定の間隔を置いて枠体の所定位置に設けられ、マスク部に対してガラス基板の縁部を局所的に押圧する複数個のクランプとを備える。クランプとしては、例えば、枠体に支軸を介して揺動自在に連結されるアーム部とアーム部を押圧方向に付勢する付勢手段とを備え、アームの先端に設けた押圧部をガラス基板に点接触させることでガラス基板の縁部を局所的に押圧するものが知られている。
【０００４】
ガラス基板をキャリアにセットするのに際しては、例えば、基板受け部やマスク部が存する枠体の一方の面の背面側に水平な姿勢で設置されているガラス基板を、吸着パッドを有する多関節ロボットのロボットアームでピックアップする。次に、ロボットアームにより、枠体の上辺側を跨ぐようにガラス基板を回転させ、枠体の一方の面側にてガラス基板を起立姿勢にしながら、ガラス基板の下辺が枠体の基板受け部に当接する位置まで移動させ、ガラス基板を枠体の一方の面側に立て掛けた状態とする。そして、各クランプを操作してマスク部に対してガラス基板の縁部を局所的に押圧し、その後、多関節ロボットを退避させることで、キャリアに対するガラス基板のセットが完了する。
【０００５】
ここで、近年では、ガラス基板としてその板厚が０．５ｍｍ以下の薄いガラス基板も用いられるようになっている。この場合、上記従来例のように、点接触するクランプの各々でガラス基板をマスク部に対して押圧しているだけでは、下辺が基板受け部に当接した状態のガラス基板がその自重で変形する場合がある。ガラス基板が変形すると、ガラス基板の成膜面が歪んだり、ガラス基板の縁部とマスク部との間に隙間が生じたりして正常の成膜が阻害されるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−１０３２２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、以上の点に鑑み、被処理基板の板厚が薄い場合でも、自重で変形することなく、マスク部との間で隙間が生じないように被処理基板を保持できる基板搬送装置用のキャリアを提供することをその課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、矩形の輪郭を持つ被処理基板を鉛直方向に起立させた姿勢で保持する本発明の基板搬送装置用のキャリアは、板状の枠体を有し、この枠体が、起立姿勢の被処理基板の下辺が当接する基板受け部と、被処理基板の周縁部がその全周に亘って当接して当該被処理基板に対する処理範囲を区画するマスク部と、マスク部に対して被処理基板の縁部を局所的に押圧する複数個のクランプとを備え、クランプが、被処理基板に対し線状に圧接するブレード部と、ブレード部が被処理基板に圧接する圧接位置とブレード部が被処理基板から離間した退避位置との間でブレード部を移動自在とする操作部とを有することを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、枠体の基板受け部に被処理基板の下辺を当接させて被処理基板を枠体の一方の面側に立て掛けた状態で、操作部によりクランプを操作してブレード部を圧接位置に移動すると、被処理基板の縁部の所定範囲に亘って各ブレード部が線状に圧接する。このように本発明では、線状に圧接する各クランプのブレード部で基板を押圧する構成を採用したため、上記従来例のものと比較して、自重で変形することなく、マスク部との間で隙間が生じないように被処理基板を確実に保持できる。
【００１０】
本発明においては、前記被処理基板の鉛直方向の両縁部にて、前記ブレード部の各々が鉛直方向の同一線上に位置するように前記クランプの複数個が設けられ、各ブレード部によって被処理基板の鉛直方向の両縁部がその全長に亘ってマスク部に対して押圧されるように構成しておけば、被処理基板としてその板厚が０．５ｍｍ以下のガラス基板を用いるような場合にも、自重で変形することなく、マスク部との間で隙間が生じないように被処理基板を保持できる構成が確実に実現できる。しかも、例えば、多関節ロボットを用い、枠体の上辺側を跨ぐように被処理基板を回転させながら枠体の一方の面側にセットする場合に、クランプが干渉して多関節ロボットの動作が阻害されるといった不具合も生じない。なお、被処理基板の水平方向の両縁部にて、多関節ロボットの動作が阻害されない位置に、被処理基板の縁部の所定範囲に亘って線状に圧接するブレード部を備えるクランプを複数個設けることもでき、また、枠体に対する基板のセット方法によっては、ブレード部の各々が水平方向の同一線上に位置するようにクランプの複数個を設け、各ブレード部によって被処理基板の水平方向の両縁部がその全長に亘ってマスク部に対して押圧されるように構成することもできる。
【００１１】
ところで、クランプが枠体に支軸を介して揺動自在に連結されるアーム部と、アーム部を押圧方向に付勢する付勢手段（コイルバネや板バネ等）とを備え、アーム部の先端にブレード部がその長手方向の中央にて固定されていると、操作部を操作して退避位置から圧接位置に移動させたとき、ブレード部がアーム部への固定箇所を支点に押圧方向前後に傾動する虞がある。この場合、ブレード部が傾いた状態で被処理基板に接触して押圧することになり、これでは、ブレード部が、その全長に亘って同等の押圧力で被処理基板の縁部に対して線状に圧接せず、これに起因して、被処理基板のその自重での変形を防止したり、マスク部との間での隙間の発生を防止したりできない虞がある。そこで、前記ブレード部がその長手方向の中央で押圧方向に貫通する取付孔を有し、この取付孔に遊挿された軸体を介してアーム部にブレード部が取り付けられることが好ましい。この場合、ブレード部が当該ブレード部の長手方向に対して傾動する虞があり、これでは、複数のクランプの各ブレード部を同一線状に位置させることができないため、前記クランプは、前記ブレード部の長手方向に対する当該ブレード部の傾動を規制する規制部材を更に備えることが好ましい。これにより、付勢手段の付勢力をブレード部の全長に亘って確実に作用させることができ、常時、ブレード部を被処理基板の縁部に線状に圧接させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態のキャリアを有する基板搬送装置の構成を模式的に示す断面図。
【図２】本発明の実施形態のキャリアを説明する背面図。
【図３】図２の点線で囲う部分Ａの拡大斜視図。
【図４】図２の点線で囲う部分Ａの拡大図。
【図５】図２のＶ−Ｖ線に沿う断面図。
【図６】図４のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図。
【図７】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面図。
【図８】図５のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う断面図。
【図９】規制部材の変形例を説明する、図７に対応する断面図。
【図１０】変形例に係るクランプの拡大斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、被処理基板を、板厚が０．５ｍｍ以下で矩形の輪郭を持つガラス基板（以下、「基板Ｓ」という）とし、基板Ｓを鉛直方向に起立させた姿勢で保持する本発明の基板搬送装置用のキャリアの実施形態を説明する。以下においては、鉛直方向をＺ軸方向、水平方向のうちマスク部に対する基板の縁部の押圧方向をＸ軸方向及びＸ軸に直交する方向をＹ軸方向とし、また、上、下等の方向を示す用語は図１を基準とする。
【００１４】
図１を参照して、ＴＭは、インライン式のスパッタリング装置の真空チャンバＶｃ内で基板Ｓを搬送する基板搬送装置であり、基板搬送装置ＴＭは、基板Ｓを鉛直方向に起立させた姿勢で保持する本実施形態のキャリアＣａと、真空チャンバＶｃ内でキャリアＣａをＹ軸方向に搬送するキャリア搬送手段Ｔｐとを備える。キャリア搬送手段Ｔｐは上部搬送機構１１と下部搬送機構１２とで構成され、下部搬送機構１２は、真空チャンバＶｃ内の下部に、Ｙ軸方向に所定間隔で列設された複数個のローラ１３と、ローラ１３に摺動自在に係合するスライダ１４とを有し、真空チャンバＶｃの外壁に設けられるモータ１５により各ローラ１３を回転駆動することでスライダ１４がＹ軸方向に移動するようになっている。上部搬送機構１１は、真空チャンバＶｃの上部に、Ｘ軸方向に所定間隔を置いて設けた一対のマグネットユニット１６ａ，１６ｂを有し、キャリアＣａに設けたマグネットＭｇと反発させることで、キャリアＣａが鉛直方向に起立した姿勢に保持されるようにしている。なお、キャリア搬送手段Ｔｐとしては、公知のものが利用できるため、これ以上の詳細な説明は省略する。また、キャリア搬送手段Ｔｐとしては上記のものに限定されるものではなく、他の形態のものを用いることができる。
【００１５】
図２〜図５を参照して、キャリアＣａは、スライダ１４の上面に固定される板状の第１枠体（枠体）２を有する。第１枠体２としては、例えば、所定の剛性及び耐熱性を持つ、アルミニウム、チタンやステンレス製のものが利用される。基板Ｓがセットされる第１枠体２のＸ軸方向の一方の面（図１中、右側）には、板状の第２枠体３が接合され、基板Ｓの周縁部Ｓｅがその全周に亘って当接して基板Ｓに対する処理範囲を区画するマスク部を構成する。以下においては、マスク部に面接触する基板Ｓの周縁部ＳｅのうちＺ軸方向上側の上縁部をＳ１、Ｚ軸方向下側の下縁部をＳ２、Ｚ軸方向に沿う両側縁部をＳ３，Ｓ３とする。第２枠体３としては、例えば、所定の剛性及び耐熱性を持つ、アルミニウム、チタンやステンレス製のものが利用される。第２枠体３の一方の面には、基板Ｓの輪郭に対応させて、Ｘ軸方向（板厚方向）にくぼむ凹部３１が形成され、凹部３１内に基板Ｓを嵌め込むことができるようにしている。また、第２枠体３の下辺部３ａには、水平方向に所定間隔で矩形の輪郭を持つ突片４の複数個が設けられ、起立姿勢の基板Ｓの下辺が当接する基板受け部を構成する。この場合、突片４は、その水平な上面が第２枠体３の下辺部３ａ側に位置する凹部３１の側壁面と面一になるように配置され、マスク部としての第２枠体３に対して基板Ｓを位置決めする役割を果たす。更に、第２枠体３には、矩形の切欠き部３２の複数個が形成され、この切欠き部３２を臨むようにしてクランプ５が第１枠体２に固定されている。この場合、切欠き部３２は、Ｚ軸方向またはＹ軸方向においてクランプ５を位置決めする役割を果たす。このように切欠き部３２に第１枠体２とクランプ５との位置決めの役割を持たせれば、後述するように複数のクランプ５を設けるときに、各ブレード部が互いに干渉せずに同一線状に位置するように各クランプ５を第１枠体２に取り付けることが容易にでき、有利である。
【００１６】
各クランプ５は同一の形態を有し、Ｚ軸方向に沿って設けられる一のクランプ５を例に説明すると、クランプ５は、第１枠体２の一方の面に図示省略のボルトを介して取り付けられる台枠５１を有し、台枠５１には、Ｚ軸方向に間隔を存して一対のブラケット５２，５２が立設されている。両ブラケット５２，５２間には、支軸５３が軸支され、支軸５３には、操作部としての操作レバー５４が一体に設けられている。支軸５３にはまた、操作レバー５４に付勢力を作用させる、線材を巻回してなるバネ材５５が外挿されている。そして、常時は、バネ材５５の付勢力で後述のブレード部が基板Ｓに圧接する圧接位置にあり、バネ材５５の付勢力に抗して操作レバー５４を支軸５３回りに回動させると、ブレード部が基板Ｓから離間した退避位置に移動するようになっている。操作レバー５４には、第２枠体３の内方にのびるように角棒状のアーム部５６が設けられ、アーム部５６の先端に、第２枠体３の凹部３１に嵌め込まれた基板Ｓの周縁部Ｓｅに圧接するブレード部５７が連結されている。
【００１７】
図６〜図８も参照して、ブレード部５７は、断面Ｌ字状の取付枠５７ａと、取付枠５７ａの基板Ｓに対向する面に取り付けられた板状の圧接パッド５７ｂとで構成される。圧接パッド５７ｂとしては、バイトンゴムや工業用プラスチックが用いられる。また、取付枠５７ａと圧接パッド５７ｂとのＺ軸方向（ブレード部５７の長手方向）の中央には、Ｘ軸方向（ブレード部５７の押圧方向）に貫通する取付孔５７ｃが開設されている。そして、取付孔５７ｃに、その内径より小さい外径を持つボルトＢの軸部Ｂｓを遊挿し、軸体としての軸部Ｂｓの端部にナットＮｔを締結することで、アーム部５６に対するブレード部５７のＸ軸平面における回転（即ち、押圧方向前後に傾動）が許容されるようにアーム部５６にブレード部５７が取り付けられている。更に、アーム部５６には、２個の規制部材５８，５８が突設されている。規制部材５８，５８は、略三角形状の板材で構成されている。この場合、取付孔５７ｃとブレード部５７の端部との間の中点に位置する取付枠５７ａの部分には、規制部材５８，５８を部分的に収納する取付溝５７ｄが設けられると共に、取付枠５７ａの所定位置にはＺ軸方向に長手の長孔５７ｅが形成されている（図８参照）。そして、規制部材５８，５８を部分的に各取付溝５７ｄに収容した状態で、両規制部材５８，５８に垂直に夫々立設したピン部材Ｐを長孔５７ｅに挿通することで、規制部材５８，５８がブレード部５７に連結されている。この場合、取付溝５７ｄと長孔５７ｅによって、規制部材５８，５８がＺ軸方向にのみ移動が許容され、言い換えると、ブレード部５７の長手方向に対する当該ブレード部５７の傾動が規制されて、アーム部５６に対してブレード部５７がＸ軸平面において回転しても、常時、ブレード部５７がＺ軸線上に位置するように保持される。
【００１８】
ここで、Ｚ軸方向に位置する基板Ｓの両側縁部Ｓ３，Ｓ３においては、ブレード部５７の各々がＺ軸方向の同一線上に位置するようにクランプ５の複数個がＺ軸方向に所定間隔を置いて列設され（図２参照）、各クランプ５のブレード部５７によって基板ＳのＺ軸方向の両側縁部Ｓ３，Ｓ３がその全長に亘ってマスク部としての第２枠体３に対して押圧されるようにしている。なお、本発明において、各ブレード部５７によって基板Ｓの両側縁部Ｓ３がその全長に亘って第２枠体３に対して押圧されるといった場合、操作レバー５４を操作してブレード部５７を圧接位置と退避位置との間で移動させるときに、各ブレード部５７が互いに干渉しないように、隣接するブレード部５７相互の間に隙間を設けて配置している場合も含む。この場合、基板Ｓの両側縁部Ｓ３全長の８０％以上に各クランプ５のブレード部５７が圧接していれば、基板Ｓの板厚が０．５ｍｍ以下のものでも、自重で変形することなく、マスク部との間で隙間が生じないように保持できる。
【００１９】
各クランプ５のブレード部５７の長さは、基板ＳのＺ軸方向の長さやバネ材５５の付勢力等を考慮して、ブレード部５７がその全長に亘って略均等に基板Ｓに圧接するように適宜設定され、これに応じて、Ｚ軸方向に列設すべきクランプ５の数が決定されている。なお、本実施形態では、両側縁部Ｓ３，Ｓ３に沿って列設される各クランプ５として、同一のものを用いた場合を例に説明しているが、ブレード部５７の長さを変えたものや、バネ材５５の付勢力を変えたものを適宜用いることができる。他方、基板Ｓの上縁部Ｓ１及び下縁部Ｓ２においては、ブレード部５７の各々がＹ軸方向の同一線上に位置するようにクランプ５の複数個が所定間隔を置いて列設されている。この場合、多関節ロボットの動作を阻害しないように、ブレード部５７の長さを、Ｚ軸方向に所定間隔を置いて列設されるクランプ５のブレード部５７より短くしている。
【００２０】
以上の実施形態によれば、操作レバー５４により各クランプ５を夫々退避位置に移動させた状態で、基板受け部４に基板Ｓの下辺を当接させて当該基板Ｓを第２枠体３の一方の面側に立て掛ける。そして、操作レバー部５４によりブレード部５７を圧接位置に戻すと、基板Ｓの縁部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３に対して各クランプ５のブレード部５７が線状に夫々圧接する。すると、凹部３１内に基板Ｓが嵌め込まれて基板Ｓの周縁部Ｓ１がマスク部としての第２枠体３にその全周に亘って当接して基板Ｓに対する処理範囲が区画される。そして、基板ＳのＺ軸方向の両側縁部Ｓ１が、各クランプ５のブレード部５７によってその全長に亘って第２枠体３に対して押圧され、これに加えて、Ｙ軸方向の上縁部Ｓ１及び下縁部Ｓ２も、線状に圧接するクランプ５のブレード部５７で局所的に線状に押圧されていることで、基板Ｓとしてその板厚が０．５ｍｍ以下のガラス基板を用いるような場合にも、自重で変形せず、マスク部としての第２枠体３との間で隙間が生じないように基板ＳがキャリアＣａで確実に保持される。また、例えば、公知の構造の多関節ロボットを用い、第１枠体２の上辺側を跨ぐように基板Ｓを回転させながら第２枠体３の一方の面側にセットする場合に、クランプ５が干渉して多関節ロボットの動作が阻害されるといった不具合も生じない。
【００２１】
ところで、仮にアーム部５６の先端にブレード部５７が固定されていると、操作レバー５４を操作して退避位置から圧接位置に移動させたとき、ブレード部５７がアーム部５６への固定箇所を支点にＸ軸方向前後に傾動する虞がある。この場合、ブレード部５７が傾いた状態で基板Ｓに接触して押圧することになり、これでは、ブレード部５７が、その全長に亘って同等の押圧力で基板Ｓの縁部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３に対して線状に圧接せず、これに起因して、基板Ｓのその自重での変形を防止したり、マスク部との間での隙間の発生を防止したりできない虞がある。それに対して、本実施形態では、上記のようにしてアーム部５６にブレード部５７が取り付けられているため、退避位置から圧接位置への移動を繰り返しても、常時、コイルバネ５５の付勢力をブレード部５７の全長に亘って作用させて基板Ｓに圧接させることができ、しかも、常時、ブレード部５７を基板Ｓの縁部Ｓ１に線状に圧接させることができる。
【００２２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記のものに限定されるものではなく、種々の変形が可能である。上記実施形態では、キャリアＣａは、基板を鉛直方向に起立した姿勢で保持するものであるが、鉛直方向に対して傾斜させた姿勢で被処理基板を保持するものにも本発明は適用できる。また、操作レバー５４等を備える構成を例に操作部を説明したが、ブレード部５７を退避位置と圧接位置との間で移動できるものであれば、これに限定されるものではない。更に、付勢手段としては、板バネを用いることもできる。また、上記実施形態では、マスク部としての第２枠体３を第１枠体２に接合したものを例に説明したが、第２枠体を省略して、第１枠体にマスク部を直接加工してもよい。更に、上記実施形態では、規制部材５８として、取付溝５７ｄに部分的に収容される略三角形状の板材で構成したものを例に説明したが、これに限定されるものではない。例えば、図９に示すように、ブレード部５７に平行に板状の規制板５８０をアーム部５６に固定し、規制板５８０に長手方向に間隔を存して設けた２個クッション材５８１をブレード部５７に当接させて規制部材を構成することもできる。
【００２３】
また、上記実施形態では、規制部材５８として略三角形状の板材を用い、規制部材５８，５８を部分的に各取付溝５７ｄに収容した状態で、両規制部材５８，５８に垂直に夫々立設したピン部材Ｐを長孔５７ｅに挿通することで、規制部材５８，５８がブレード部５７に連結されるものを例に説明したが、これに限定されるものではない。同一の部材または要素については同一の符号で示す図１０を参照して、変形例に係るクランプ５０では、台枠５１には間隔を存して２対のブラケット５２，５２が立設されている。各対のブラケット５２，５２間には支軸５３が夫々軸支され、両支軸５３で支承されるように操作部としての門型の操作レバー５４０が設けられている。そして、操作レバー５４０に、第２枠体３の内方にのびるように２本の角棒状のアーム部５６０，５６１を設け、両アーム部５６０，５６１の先端を夫々ブレード部５７にボルトＢｔにより固定して構成することができる。
【００２４】
また、上記実施形態では、クランプ５の各々が、アーム部５６の先端に夫々独立のブレード部５７を有するものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、各クランプ５のアーム部５６の先端に例えば基板Ｓの側縁部Ｓ３の全長と同等の長さを持つ単一のブレード部を連結するようにしてもよい。更に、上記実施形態では、基板Ｓの上縁部と下縁部にて、多関節ロボットの動作が阻害されない位置に、クランプ５を設けたものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、ブレード部５７の各々が水平方向の同一線上に位置するようにクランプ５の複数個を設け、各ブレード部５７によって基板Ｓの基板Ｓの上縁部Ｓ１と下縁部Ｓ２がその全長に亘ってマスク部に対して押圧されるように構成することもできる。
【００２５】
ＴＭ…基板搬送装置、Ｃａ…キャリア、Ｓ…基板（被処理基板）、Ｖｃ…真空チャンバ（チャンバ）、２…第１枠体（枠体）、３…第２枠体（マスク部）、４…基板受け部、５…クランプ、５３…支軸（操作部の構成要素）、５４…操作レバー（操作部の構成要素）、５５…バネ材（付勢手段）、５６…アーム部、５７…ブレード部、５７ｃ…取付孔、５８…規制部材、Ｂ…ボルト（軸体）。
【図１】
2018098377.tif 000003
【図２】
2018098377.tif 000004
【図３】
2018098377.tif 000005
【図４】
2018098377.tif 000006
【図５】
2018098377.tif 000007
【図６】
2018098377.tif 000008
【図７】
2018098377.tif 000009
【図８】
2018098377.tif 000010
【図９】
2018098377.tif 000011
【図１０】
2018098377.tif 000012