(57)【要約】      （修正有）【課題】レチクルを精度良く固定し、輸送中の振動によるレチクルのズレを回避し、微粒子の発生を抑えることができるレチクルポッドを提供する。【解決手段】レチクル４を収容するレチクルポッド１０００であって、ベース１と、上部カバーと２、少なくとも１つの支持装置と、を備える。前記レチクル４が前記レチクルポッド１０００に保管された場合、前記支持装置は突出部で前記レチクル４に当接する。前記レチクル４と前記突出部との最大静止摩擦力は、常に前記レチクル４の前記支持装置に対する水平方向における力より大きい。【選択図】図１
2018120201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルを収容するレチクルポッドであり、
ベースと、
前記ベースと結合する上部カバーと、
前記ベース上に設置された少なくとも１つの支持モジュールと、を備え、
前記支持装置は、
開口を有するケース体と、
前記ケース体に設置される突出部と本体部を有し、前記突出部の一部が前記開口を通して前記ケース体から突出する支持部材と、
前記ケース体と前記本体部との間に設置される複数の移動部材と、を備え、
前記支持部材は、前記移動部材で前記ケース体に対して横方向に移動可能であり、
前記レチクルが前記レチクルポッドに保管された場合、前記支持装置は前記突出部で前記レチクルに当接し、
前記レチクルと前記突出部との最大静止摩擦力は、常に前記レチクルの前記突出部に対する水平方向における力より大きいことを特徴とするレチクルポッド。
【請求項２】
前記突出部と前記レチクルの摩擦係数μは０.５〜６であることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項３】
前記突出部の中心線平均粗さＲａは８〜２５μｍであることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項４】
前記突出部と前記レチクルとの間の摩擦により、ズレが生じないことを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項５】
前記支持部材はプラスチック材料からなり、前記プラスチック材料は、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリメタクリル酸メチル樹脂（ＰＭＭＡ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ）、フェノール樹脂（ＰＦ）、ユリア樹脂（ＵＦ）、メラミン樹脂（ＭＦ）、不飽和ポリエステル樹脂（ＵＰ）、エポキシ樹脂（ＥＰ）、ポリウレタン（ＰＵ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ナイロン６６（ＰＡ−６６）、ナイロン６（ＰＡ−６）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアミドイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＡＩ）、ポリイミド（ＰＩ）、およびその混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項６】
前記支持部材はポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）からなることを特徴とする請求項５記載のレチクルポッド。
【請求項７】
前記支持部材は接触部材を備え、前記接触部材は、前記突出部の先端に設置され、前記レチクルに接触し、前記接触部材と前記レチクルとの摩擦係数μは０.５〜６であり、前記接触部材の中心線平均粗さＲａは８〜２５μｍであることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項８】
前記接触部材はシリコーンからなることを特徴とする請求項７記載のレチクルポッド。
【請求項９】
前記レチクルが前記レチクルポッドに保管された場合、前記レチクルと前記ベースは接触せず、０.０５〜０.３ｍｍの間隔で離れていることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１０】
前記レチクルと前記ベースの間隔は０.１ｍｍであることを特徴とする請求項６記載のレチクルポッド。
【請求項１１】
各前記移動部材はそれぞれボールであり、前記ケース体または前記支持部材の前記本体部には、各前記ボールに対応する位置に前記ボールが嵌まるためのボール溝が設けられることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１２】
前記移動部材は円柱体であり、前記ケース体または前記支持部材の前記本体部には、各前記円柱体に対応する位置に前記円柱体が嵌まるための円柱溝が設けられることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１３】
前記移動部材はローラーであり、前記ローラーは、前記ケース体または前記本体部に設置され、且つ前記ケース体と前記支持部材の間に備えられていることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１４】
前記ケース体は複数のホコリ排出通路を有し、前記ホコリ排出通路は前記ケース体の底面を貫通することを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか一項に記載のレチクルポッド。
【請求項１５】
前記レチクルポッドは濾過膜を備え、前記濾過膜は、前記ケース体の底面に設置され、下方から前記ホコリ排出通路を覆うことを特徴とする請求項９記載のレチクルポッド。
【請求項１６】
前記移動部材は液体であり、前記液体は前記ケース体に収容され、前記レチクルポッドは、前記液体が前記開口からこぼれないように、前記ケース体の前記開口に設置されたシーリング部材を備えることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１７】
前記液体は、油圧作動油、潤滑油、水銀、およびその混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項１６記載のレチクルポッド。
【請求項１８】
前記移動部材は、互いに対向する第１磁性部材と第２磁性部材からなり、各前記移動部材の前記第１磁性部材と前記第２磁性部材は、磁力の作用で互いに引き合い、或いは反発しあうことによって、前記本体部と前記ケース体を離間させることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１９】
前記支持部材は少なくとも１つのスペーサを備え、前記スペーサは、前記本体部の側面に形成され、前記本体部と前記ケース体を離間させるように、前記ケース体に接触することを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項２０】
前記スペーサは弾性材料からなることを特徴とする請求項１９記載のレチクルポッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レチクルポッドに関するものであり、複数の位置決め装置を利用してレチクルを安定良く保管するレチクルポッドである。
【背景技術】
【０００２】
半導体の分野で、リソグラフィ技術（Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）は、半導体の製造工程において重要な工程の一つである。リソグラフィ工程においてパターン化に使われるレチクルは、高い清浄度が求められる。レチクルに付着したホコリやキズによって、露光と現像に悪影響を与えるおそれがあり、現像の品質が悪くなる可能性がある。そのため、加工、運搬や保管などの過程で、レチクルを汚染物質から保護する必要がある。それに加えて、衝突や摩擦などによる微粒子の発生を回避し、レチクルの清浄度を維持する必要もある。
【０００３】
通常、レチクルはレチクルポッドに保管された状態で運搬されるので、汚染物質から保護されていると考えられる。レチクルポッド内にレチクルに発生する摩擦やズレによる損傷を避けるように、レチクルを安定良く保管できるレチクルポッドが求められる。また、レチクルポッドとレチクルとの接触面積が小さいほど良いと考えられる。それによって、レチクルとレチクルポッドの固定部材や支持部材との接触や摩擦による損傷を避けることが可能になる。
【０００４】
例えば、特許文献１にはレチクルポッドが掲載されて、そのベースは、突起部を有して平坦で研磨された表面を有する。上部カバーは、レチクルに接触するボールを備える。レチクルが前記レチクルポッドに保管された場合、前記ベースの突起部は、前記レチクルの下方から前記レチクルを支持し、且つ前記レチクルの位置を正確な位置に修正する。それと同時に、前記上部カバーのボールは前記レチクルの上方から前記レチクルに接触する。しかし、レチクルポッドの輸送中で、前記レチクルと前記突起部あるいは前記ボールとの間に相対的な移動が発生した場合、微粒子が発生するおそれがあり、レチクルの清浄度に悪影響を与える可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】台湾特許登録Ｉ３９１３０４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そのため、レチクルポッドに備えられた支持装置で輸送中に発生した振動を吸収し、レチクルポッドとレチクルとの接触の際に摩耗による微粒子の発生を抑えて、レチクルの清浄度を維持することができるレチクルポッドが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前述の課題に鑑みて、本発明に係るレチクルポッドは、レチクルを収容するレチクルポッドであり、ベースと、前記ベースと結合する上部カバーと、前記ベース上に設置された少なくとも１つの支持装置と、を備える。前記支持装置は、開口を有するケース体と、前記ケース体に設置される突出部と本体部を有し、前記突出部の一部が前記開口を通して前記ケース体から突出する支持部材と、前記ケース体と前記本体部との間に設置される複数の移動部材と、を備える。前記支持部材は前記移動部材で前記ケース体に対して横方向に移動可能である。前記レチクルが前記レチクルポッドに保管された場合、前記支持装置は前記突出部で前記レチクルに当接する。前記レチクルと前記突出部との最大静止摩擦力は、常に前記レチクルの前記突出部に対する水平方向における力より大きい。
【０００８】
１つの実施形態として、前記突出部と前記レチクルの摩擦係数μは０.５〜６であり、前記突出部の中心線平均粗さＲａは８〜２５μｍである。
【０００９】
１つの実施形態として、前記突出部と前記レチクルの間に相対的なズレはない。
【００１０】
１つの実施形態として、前記支持部材はプラスチック材料からなり、前記プラスチック材料は、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリメタクリル酸メチル樹脂（ＰＭＭＡ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ）、フェノール樹脂（ＰＦ）、ユリア樹脂（ＵＦ）、メラミン樹脂（ＭＦ）、不飽和ポリエステル樹脂（ＵＰ）、エポキシ樹脂（ＥＰ）、ポリウレタン（ＰＵ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ナイロン６６（ＰＡ−６６）、ナイロン６（ＰＡ−６）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアミドイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＡＩ）、ポリイミド（ＰＩ）、およびその混合物からなる群より選ばれる。前記支持部材はポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）からなると好適である。
【００１１】
１つの実施形態として、前記支持部材はさらに接触部材を備える。前記接触部材は、前記突出部の先端に設置され、前記レチクルに接触する。前記接触部材と前記レチクルとの摩擦係数μは０.５〜６であり、前記接触部材の中心線平均粗さＲａは８〜２５μｍである。
【００１２】
１つの実施形態として、前記接触部材はシリコーンからなる。
【００１３】
１つの実施形態として、前記レチクルが前記レチクルポッドに保管された場合、前記レチクルと前記ベースは接触せず、０.０５〜０.３ｍｍの間隔で離れている。前記レチクルと前記ベースの間隔は０.１ｍｍであると好適である。
【００１４】
１つの実施形態として、前記移動部材はそれぞれボールである。前記ケース体または前記支持部材の本体部には、各前記ボールに対応する位置に前記ボールが嵌まるためのボール溝が設けられる。
【００１５】
１つの実施形態として、前記移動部材は円柱体である。前記ケース体または前記支持部材の本体部には、各前記円柱体に対応する位置に前記円柱体が嵌まるための円柱溝が設けられる。
【００１６】
１つの実施形態として、前記移動部材はローラーである。前記移動部材は、前記ケース体または前記本体部に設置され、且つ前記ケース体と前記支持部材の間に備えられている。
【００１７】
１つの実施形態として、前記ケース体はさらに複数のホコリ排出通路を有する。前記ホコリ排出通路は前記ケース体の底面を貫通する。
【００１８】
１つの実施形態として、前記レチクルポッドはさらに濾過膜を備える。前記濾過膜は、前記ケース体の底面に設置され、下方から前記ホコリ排出通路を覆う。
【００１９】
１つの実施形態として、前記移動部材は、互いに対向する第１磁性部材と第２磁性部材からなる。各移動部材の前記第１磁性部材と前記第２磁性部材は、磁力の作用で互いに引き合い、或いは反発しあうことによって、前記本体部と前記ケース体を離間させる。
【００２０】
１つの実施形態として、前記移動部材は液体であり、前記液体は前記ケース体に収容される。前記レチクルポッドは、前記液体が前記開口からこぼれないように、前記ケース体の前記開口に設置されたシーリング部材を備える。
【００２１】
１つの実施形態として、前記液体は、油圧作動油、潤滑油、水銀、およびその混合物からなる群より選ばれる。
【００２２】
１つの実施形態として、前記支持部材はさらに少なくとも１つのスペーサを備える。前記スペーサは、前記本体部の側面に形成され、前記本体部と前記ケース体を離間させるように、前記ケース体に接触する。
【００２３】
１つの実施形態として、前記スペーサは弾性材料からなる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明のレチクルポッドは、レチクルをレチクルポッドの所定位置に精度良く固定することができ、輸送中の振動で横方向や垂直方向におけるレチクルのズレを回避することができ、レチクルポッドとレチクルとの接触による摩耗で発生した微粒子を抑えることができ、レチクルの清浄度と品質を維持することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施例においてレチクルポッドを示す斜視図。
【図２】本発明の実施例において支持装置と位置決め装置を示す斜視図。
【図３】本発明の実施例において支持装置と位置決め装置を示す分解図。
【図４】本発明の実施例において支持装置と位置決め装置を示す断面図。
【図５】本発明の実施例において支持装置と位置決め装置を示す断面図。
【図６】本発明の実施例において支持装置を示す模式図。
【図７】本発明のもう１つの実施例において支持装置を示す模式図。
【図８】本発明のまたもう１つの実施例において支持装置を示す模式図。
【図９】本発明のまたもう１つの実施例において支持装置を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
当業者はこの明細書の記載によって本発明のメリットと効果を理解することができる。以下の図面は簡略化した図面であり、部材の数量と、形状と、サイズとは必要に応じて種々変更することができ、実際の構造は図面より複雑な場合もある。また、複数の実施例を組合せ、必要に応じて種々変更することができる。この明細書の詳細内容についても、様々な観点や応用などに基づいて、本発明の原理に背かないことを前提として、種々変更することができる。
【実施例１】
【００２７】
図１を参照する。本発明の実施例１においてレチクルポッド１０００は、ベース１と、上部カバー２と、４つの支持装置３と、レチクル４と、４つの位置決め装置５と、８つの固定部材６と、を備える。前記レチクル４は、前記ベース１に保管され、前記ベース１における４つの上面コーナー１１に設置された４つの位置決め装置５と８つの固定部材６によって、所定の位置に固定される。また、前記上部カバー２と前記ベース１は結合した状態で前記レチクル４を収容する。
【００２８】
図２に示す支持装置３と位置決め装置５の斜視図と、図３に示すその分解図と、図４に示すその断面図で詳しく説明する。前記支持装置３は、ケース体３１と、支持部材３２と、複数の移動部材３３と、を備える。前記ケース体３１は、カバー３１１と、本体３１２と、前記カバー３１１に形成された開口３１３と、を有する。前記支持部材３２は、突出部３２１と、本体部３２２と、６つのスペーサ３２３と、を有する。前記突出部３２１は前記本体部３２２の表面に形成され、前記スペーサ３２３は前記本体部３２２の側面に形成される。前記支持部材３２は前記ケース体３１内に収容され、前記支持部材３２の突出部３２１の一部は、前記ケース体３１の開口３１３から突出し、前記ベース１より約０.１ｍｍで突出している。前記支持部材３２の本体部３２２と前記ケース体３１の間には、複数の移動部材３３が設置される。詳しく説明すると、前記支持部材３２の本体部３２２と前記ケース体３１の本体３１２の間に、及び本体部３２２と前記ケース体３１のカバー３１１の間に、移動部材として複数のボール３３が設置されている。また、前記支持部材３２の本体部３２２の上面には、複数の第１凹溝３２２１が形成され、前記ケース体３１の本体３１２の内部における底面には、複数の第２凹溝３１２１が形成され、ボール３３がそれらの溝に設置されている。
【００２９】
各第２凹溝３１２１の下方には、複数のホコリ排出通路（３１４：図６参照）が形成される。ホコリ排出通路（３１４）は、前記第２凹溝３１２１に連通し、前記本体３１２の内部における底面を貫通している。また、前記スペーサ３２３の前記本体部３２２から離れる一端は、前記ケース体３１の内側の表面に当接し、前記本体部３２２と前記ケース体３１との横方向における間隔を維持する。なお、前記固定部材６は、２つで１組になって前記ケース体３１のカバー３１１に設置される。
【００３０】
なお、前記位置決め装置５は、前記支持装置３のカバー３１１に設置され、変形部材５１と、当接部材５２と、弾性部材５３と、ハウジング５４と、を備える。前記ハウジング５４は、前記レチクル４に向かう第１開口５４１と、第２開口５４２と、を有する。前記変形部材５１は、前記ハウジング５４に設置され、その一部は前記第１開口５４１から露出し、もう一部は上方から前記ハウジング５４に覆われる。また、前記当接部材５２は、前記変形部材５１の上方に設置され、前記変形部材５１に当接することができる。前記当接部材５２の一部は、前記ハウジング５４の第２開口５４２を通して前記ハウジング５４から突出する。なお、前記変形部材５１は中空構造であり、圧力を受けた場合に変形する。前記弾性部材５３は、前記変形部材５１の内部に設置され、垂直方向に圧縮可能である。
【００３１】
前記支持部材３２はさらに接触部材３２１１を備える。接触部材３２１１は、前記突出部３２１の先端に設置され、前記レチクル４に接触する。前記支持部材３２とレチクル４との摩擦による微粒子の発生を抑えるために、前記接触部材３２１１は高い静摩擦係数μの材料からなることが好ましい。前記接触部材３２１１と前記レチクル４との間の静止摩擦力は、常に前記レチクル４の前記支持部材３２に対する水平方向における力より大きいことが必要である。また、この実施例において、支持部材３２はプラスチック材料からなり、前記プラスチック材料は、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリメタクリル酸メチル樹脂（ＰＭＭＡ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ）、フェノール樹脂（ＰＦ）、ユリア樹脂（ＵＦ）、メラミン樹脂（ＭＦ）、不飽和ポリエステル樹脂（ＵＰ）、エポキシ樹脂（ＥＰ）、ポリウレタン（ＰＵ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ナイロン６６（ＰＡ−６６）、ナイロン６（ＰＡ−６）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアミドイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＡＩ）、ポリイミド（ＰＩ）、およびその混合物からなる群より選ばれる。前記支持部材３２はポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）からなると好適である。前記接触部材３２１１はシリコーンからなり、その中心線平均粗さＲａは８〜２５μｍである。
【００３２】
ところで、その他の実施例において、前記支持部材３２は前記接触部材３２１１を含まなくてもよい。図６〜図９に示すように、前記支持部材３２は、前記突出部３２１で前記レチクル４に接触するように構成される。前記突出部３２１と前記レチクル４の接触位置における静止摩擦力は、常に前記レチクル４の前記支持部材３２に対する水平方向における力より大きいことが必要である。前記突出部３２１の中心線平均粗さＲａも８〜２５μｍである。
【００３３】
上記の構造によれば、各前記上面コーナー１１に設置された２つの固定部材６は、それぞれ前記レチクル４の側面に当接し、前記レチクル４を所定の位置に維持する。そして、図５に示すように、前記レチクル４が前記ベース１に保管された際に、前記レチクル４は、直接前記ベース１に接触せず、４つの上面コーナー１１に設置された４つの支持装置３で支持されている。図６に示す支持装置３の部分拡大図を参照する。前記支持装置３は、前記レチクル４が前記ベース１と接触せず、０.１ｍｍの間隔Ｌを維持するように、前記突出部３２１で前記レチクル４に接触する。なお、前記支持部材３２の本体部３２２と前記ケース体３１の間に移動部材として複数のボール３３が設置されている。それによって、前記支持部材３２は前記ケース体３１対して横方向に移動可能である。また、前記スペーサ３２３は、前記支持部材３２と前記ケース体３１との間隔を維持することができるので、ぶつかり合いを防ぐことができる。それによって、前記レチクル４が前記レチクルポッド１０００に収容された状態で、万が一衝突によりズレが発生した場合、前記レチクル４に接触した前記支持部材３２は、前記レチクル４の移動に伴って横方向に小幅に移動できるので、前記支持部材３２の突出部３２１と前記レチクル４との摩擦による損傷や微粒子の発生を回避することが可能になる。
【００３４】
なお、前記ボール３３が第１、第２凹溝３１２１、３２２１に回転する際に、ボール３３と凹溝（３１２１、３２２１）の摩擦で微粒子が発生する可能性がある。その場合、前記ホコリ排出通路３１４で微粒子をレチクルポッド１０００の外側に排出することによって、微粒子によるレチクル４への汚染を防ぐことができる。
【００３５】
なお、図７に示すように、前記ホコリ排出通路３１４の出口に濾過膜３１５を設けることが望ましい。濾過膜３１５は、前記レチクルポッド１０００の外部と、前記ホコリ排出通路３１４と連通する前記レチクルポッド１０００の内部とを隔離する。それによって、汚染物質は前記レチクルポッド１０００の外部から内部に侵入することはない。
【００３６】
また、前記上部カバー２が上方から前記レチクル４を覆い、前記ベース１と結合した場合、前記上部カバー２は前記当接部材５２に接触するとともに、前記当接部材５２に図５の矢印に示すように下方への圧力を与える。そして、前記当接部材５２は、垂直方向に圧力を与え、前記変形部材５１と前記変形部材５１内の弾性部材５３を圧縮させる。圧縮変形した前記変形部材５１は横方向に拡張変形して前記レチクル４接触する。前記横方向における伸長変形量はおよそ０.１ｍｍ〜３.０ｍｍである。それによって、４つの上面コーナー１１に設置された４つの変形部材５１は、それぞれ前記レチクル４の頂点に当接し、前記レチクル４を安定的に固定できる。また、前記変形部材５１は柔らかい材料からなるため、前記レチクル４を保護する緩衝の機能を果たすことが可能であるので、輸送中によるレチクルポッド１０００の振動でレチクル４のズレや他の部材とのぶつかり合いを回避することができる。
【００３７】
この実施例において、前記上部カバー２はさらに複数の上方当接部材（図示せず）を備える。前記上部カバー２が上方から前記レチクル４を覆い、前記ベース１と結合した場合、前記上方当接部材は、前記レチクルの上方から前記レチクル４に当接して、前記レチクル４を固定させる。前記レチクルの重さは０.６Ｋｇで、前記上方当接部材からの圧力は３Ｋｇであるので、前記レチクル４から前記支持部材３２にかかる荷重は３.６Ｋｇである。通常、前記レチクル４が水平方向に受ける力の加速度が４０ｍ／ｓ２に達するまで、レチクル４と前記支持部材３２にズレがないことが求められる。それによって、運動の第２法則（Ｆ＝ｍａ）及び摩擦力の公式（ｆｓ＝μＮ）で計算すると、前記接触部材３２１１と前記レチクル４の摩擦係数はμ＞４.０８である。ただし、その他の実施形態において、前記レチクル４の重さや前記上方当接部材からの圧力が異なる場合もあるので、前記摩擦係数μの範囲はμ＞４.０８に限定されなく、０．５〜６であると好適である。
【００３８】
また、その他の実施形態において、前記移動部材は、ローラー、円柱体、または前記本体部と前記ケース体を相対的に移動させる他の種類の部材であってもよい。例えば、移動部材がローラーである場合、そのローラーは、前記本体部と前記ケース体との間に設置される。前記本体部または前記ケース体には、前記ローラーに対応する位置にローラー溝が形成される。ローラーは前記ローラー溝に回転できる。それによって、前記本体部と前記ケース体は、前記ローラーで相対的に移動可能である。或いは、移動部材が円柱体である場合、前記本体部または前記ケース体に複数の溝が形成され、前記円柱体は前記溝に収容される。それによって、前記円柱体は前記溝に回転できるので、前記本体部と前記ケース体は前記円柱体によって相対的に移動可能である。
【実施例２】
【００３９】
この実施例に係るレチクルポッドは、実施例１に係るレチクルポッドとほぼ同じであるが、以下の点で異なっている。実施例２の支持装置３において、前記支持部材３２の本体部３２２と前記ケース体３１との対向する位置には、移動部材として第１磁性部材３３１と第２磁性部材３３２が設置されている。例えば、図８に示すように、前記支持部材３２の本体部３２２に３つの第１磁性部材３３１が設置され、前記ケース体３１の前記第１磁性部材３３１に対応する位置には、３つの第２磁性部材３３２が設置される。前記第１磁性部材３３１と前記第２磁性部材３３２は互いに磁力の作用で反発しあう。また、その他の実施例においては、前記第１磁性部材３３１と前記第２磁性部材３３２は磁力の作用で互いに引き合うものにしてもよく、特に制限がない。前記第１磁性部材３３１と前記第２磁性部材３３２との反発とともに、前記スペーサ３２３で前記支持部材３２と前記ケース体３１を離間させることによって、前記支持部材３２は、前記ケース体３１と接触せず、前記ケース体３１に対して横方向に小幅に移動可能になる。それによって、輸送中による振動でレチクル４のズレや他の部材とのぶつかり合いを回避することができ、微粒子の発生を抑制することができる。
【実施例３】
【００４０】
この実施例に係るレチクルポッドは、実施例１に係るレチクルポッドとほぼ同じであるが、以下の点で異なっている。実施例３の支持装置３において、前記ケース体３１と前記支持部材３２との間には、移動部材として液体３３３が充填されている。図９に示すように、前記液体３３３は前記ケース体３１に充填される。前記ケース体３１の前記開口３１３にシーリング部材３１６が設置される。前記液体３３３がこぼれないように、シーリング部材３１６は、前記開口３１３を閉じて前記突出部３２１と当接する。この実施例において、液体３３３は、油圧作動油、潤滑油、水銀、またはその混合物である。前記本体部３２２の側面にあるスペーサ３２３で、前記本体部３２２の側面と前記ケース体３１を離間させるとともに、前記本体部３２２と前記ケース体３１の間に充填されている液体３３３で潤滑の効果を提供することによって、前記支持部材３２は前記ケース体３１に対して小幅に横方向に移動可能になる。それによって、輸送中によるレチクルポッドの振動でレチクル４のズレや他の部材とのぶつかり合いを回避することができ、レチクル４とレチクルポッドのぶつかり合いによる微粒子の発生を抑制することができる。
【００４１】
上記の実施例は、本発明の実施形態と特徴を説明するための例である。本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その他種々の変更が可能である。特許請求の範囲に記載した本発明の要旨を逸脱しない限り、種々の実施の形態を含むことは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
上述のように、本発明のレチクルポッドは、レチクルをレチクルポッドの所定位置に精度良く固定することができ、輸送中の振動で横方向や垂直方向におけるレチクルのズレを回避することができ、レチクルポッドとレチクルとの接触による摩耗で発生した微粒子を抑えることができ、レチクルの清浄度と品質を維持することが可能である。
【符号の説明】
【００４３】
１０００  レチクルポッド
１  ベース
１１  上面コーナー
２  上部カバー
３  支持装置
３１  ケース体
３１１  カバー
３１２  本体
３１２１  第２凹溝
３１３  開口
３１４  ホコリ排出通路
３１５  濾過膜
３１６  シーリング部材
３２  支持部材
３２１  突出部
３２２  本体部
３２１１  接触部材
３２２１  第１凹溝
３２３  スペーサ
３３  移動部材
３３１  第１磁性部材
３３２  第２磁性部材
３３３  液体
４  レチクル
５  位置決め装置
５１  変形部材  
５２  当接部材
５３  弾性部材
５４  ハウジング
５４１  第１開口
５４２  第２開口
６  固定部材
【図１】
2018120201.tif 000003
【図２】
2018120201.tif 000004
【図３】
2018120201.tif 000005
【図４】
2018120201.tif 000006
【図５】
2018120201.tif 000007
【図６】
2018120201.tif 000008
【図７】
2018120201.tif 000009
【図８】
2018120201.tif 000010
【図９】
2018120201.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成30年4月8日(2018.4.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルを収容するレチクルポッドであり、
ベースと、
前記ベースと結合する上部カバーと、
前記ベース上に設置された少なくとも１つの支持モジュールと、を備え、
支持装置は、
開口を有するケース体と、
前記ケース体に設置される突出部と本体部を有し、前記突出部の一部が前記開口を通して前記ケース体から突出する支持部材と、
前記ケース体と前記本体部との間に設置される複数の移動部材と、を備え、
前記支持部材は、前記移動部材で前記ケース体に対して横方向に移動可能であり、
前記レチクルが前記レチクルポッドに保管された場合、前記支持装置は前記突出部で前記レチクルに当接し、
前記レチクルと前記突出部との最大静止摩擦力は、常に前記レチクルの前記突出部に対する水平方向における力より大きいことを特徴とするレチクルポッド。
【請求項２】
前記突出部と前記レチクルの摩擦係数μは０.５〜６であることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項３】
前記突出部の中心線平均粗さＲａは８〜２５μｍであることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項４】
前記突出部と前記レチクルとの間の摩擦により、ズレが生じないことを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項５】
前記支持部材はプラスチック材料からなり、前記プラスチック材料は、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリメタクリル酸メチル樹脂（ＰＭＭＡ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ）、フェノール樹脂（ＰＦ）、ユリア樹脂（ＵＦ）、メラミン樹脂（ＭＦ）、不飽和ポリエステル樹脂（ＵＰ）、エポキシ樹脂（ＥＰ）、ポリウレタン（ＰＵ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ナイロン６６（ＰＡ−６６）、ナイロン６（ＰＡ−６）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアミドイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＡＩ）、ポリイミド（ＰＩ）、およびその混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項６】
前記支持部材はポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）からなることを特徴とする請求項５記載のレチクルポッド。
【請求項７】
前記支持部材は接触部材を備え、前記接触部材は、前記突出部の先端に設置され、前記レチクルに接触し、前記接触部材と前記レチクルとの摩擦係数μは０.５〜６であり、前記接触部材の中心線平均粗さＲａは８〜２５μｍであることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項８】
前記接触部材はシリコーンからなることを特徴とする請求項７記載のレチクルポッド。
【請求項９】
前記レチクルが前記レチクルポッドに保管された場合、前記レチクルと前記ベースは接触せず、０.０５〜０.３ｍｍの間隔で離れていることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１０】
前記レチクルと前記ベースの間隔は０.１ｍｍであることを特徴とする請求項６記載のレチクルポッド。
【請求項１１】
各前記移動部材はそれぞれボールであり、前記ケース体または前記支持部材の前記本体部には、各前記ボールに対応する位置に前記ボールが嵌まるためのボール溝が設けられることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１２】
前記移動部材は円柱体であり、前記ケース体または前記支持部材の前記本体部には、各前記円柱体に対応する位置に前記円柱体が嵌まるための円柱溝が設けられることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１３】
前記移動部材はローラーであり、前記ローラーは、前記ケース体または前記本体部に設置され、且つ前記ケース体と前記支持部材の間に備えられていることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１４】
前記ケース体は複数のホコリ排出通路を有し、前記ホコリ排出通路は前記ケース体の底面を貫通することを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか一項に記載のレチクルポッド。
【請求項１５】
前記レチクルポッドは濾過膜を備え、前記濾過膜は、前記ケース体の底面に設置され、下方から前記ホコリ排出通路を覆うことを特徴とする請求項９記載のレチクルポッド。
【請求項１６】
前記移動部材は液体であり、前記液体は前記ケース体に収容され、前記レチクルポッドは、前記液体が前記開口からこぼれないように、前記ケース体の前記開口に設置されたシーリング部材を備えることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１７】
前記液体は、油圧作動油、潤滑油、水銀、およびその混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項１６記載のレチクルポッド。
【請求項１８】
前記移動部材は、互いに対向する第１磁性部材と第２磁性部材からなり、各前記移動部材の前記第１磁性部材と前記第２磁性部材は、磁力の作用で互いに引き合い、或いは反発しあうことによって、前記本体部と前記ケース体を離間させることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１９】
前記支持部材は少なくとも１つのスペーサを備え、前記スペーサは、前記本体部の側面に形成され、前記本体部と前記ケース体を離間させるように、前記ケース体に接触することを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項２０】
前記スペーサは弾性材料からなることを特徴とする請求項１９記載のレチクルポッド。
【手続補正書】
【提出日】平成30年4月16日(2018.4.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルを収容するレチクルポッドであり、
ベースと、
前記ベースと結合する上部カバーと、
前記ベース上に設置された少なくとも１つの支持装置と、を備え、
前記支持装置は、
開口を有するケース体と、
前記ケース体に設置される突出部と本体部を有し、前記突出部の一部が前記開口を通して前記ケース体から突出する支持部材と、
前記ケース体と前記本体部との間に設置される複数の移動部材と、を備え、
前記支持部材は、前記移動部材で前記ケース体に対して横方向に移動可能であり、
前記レチクルが前記レチクルポッドに保管された場合、前記支持装置は前記突出部で前記レチクルに当接し、
前記レチクルと前記突出部との最大静止摩擦力は、常に前記レチクルの前記突出部に対する水平方向における力より大きいことを特徴とするレチクルポッド。
【請求項２】
前記突出部と前記レチクルの摩擦係数μは０.５〜６であることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項３】
前記突出部の中心線平均粗さＲａは８〜２５μｍであることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項４】
前記突出部と前記レチクルとの間の摩擦により、ズレが生じないことを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項５】
前記支持部材はプラスチック材料からなり、前記プラスチック材料は、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリメタクリル酸メチル樹脂（ＰＭＭＡ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリアミド（ＰＡ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ）、フェノール樹脂（ＰＦ）、ユリア樹脂（ＵＦ）、メラミン樹脂（ＭＦ）、不飽和ポリエステル樹脂（ＵＰ）、エポキシ樹脂（ＥＰ）、ポリウレタン（ＰＵ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ナイロン６６（ＰＡ−６６）、ナイロン６（ＰＡ−６）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアミドイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＡＩ）、ポリイミド（ＰＩ）、およびその混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項６】
前記支持部材はポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）からなることを特徴とする請求項５記載のレチクルポッド。
【請求項７】
前記支持部材は接触部材を備え、前記接触部材は、前記突出部の先端に設置され、前記レチクルに接触し、前記接触部材と前記レチクルとの摩擦係数μは０.５〜６であり、前記接触部材の中心線平均粗さＲａは８〜２５μｍであることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項８】
前記接触部材はシリコーンからなることを特徴とする請求項７記載のレチクルポッド。
【請求項９】
前記レチクルが前記レチクルポッドに保管された場合、前記レチクルと前記ベースは接触せず、０.０５〜０.３ｍｍの間隔で離れていることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１０】
前記レチクルと前記ベースの間隔は０.１ｍｍであることを特徴とする請求項６記載のレチクルポッド。
【請求項１１】
各前記移動部材はそれぞれボールであり、前記ケース体または前記支持部材の前記本体部には、各前記ボールに対応する位置に前記ボールが嵌まるためのボール溝が設けられることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１２】
前記移動部材は円柱体であり、前記ケース体または前記支持部材の前記本体部には、各前記円柱体に対応する位置に前記円柱体が嵌まるための円柱溝が設けられることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１３】
前記移動部材はローラーであり、前記ローラーは、前記ケース体または前記本体部に設置され、且つ前記ケース体と前記支持部材の間に備えられていることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１４】
前記ケース体は複数のホコリ排出通路を有し、前記ホコリ排出通路は前記ケース体の底面を貫通することを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか一項に記載のレチクルポッド。
【請求項１５】
前記レチクルポッドは濾過膜を備え、前記濾過膜は、前記ケース体の底面に設置され、下方から前記ホコリ排出通路を覆うことを特徴とする請求項９記載のレチクルポッド。
【請求項１６】
前記移動部材は液体であり、前記液体は前記ケース体に収容され、前記レチクルポッドは、前記液体が前記開口からこぼれないように、前記ケース体の前記開口に設置されたシーリング部材を備えることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１７】
前記液体は、油圧作動油、潤滑油、水銀、およびその混合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項１６記載のレチクルポッド。
【請求項１８】
前記移動部材は、互いに対向する第１磁性部材と第２磁性部材からなり、各前記移動部材の前記第１磁性部材と前記第２磁性部材は、磁力の作用で互いに引き合い、或いは反発しあうことによって、前記本体部と前記ケース体を離間させることを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項１９】
前記支持部材は少なくとも１つのスペーサを備え、前記スペーサは、前記本体部の側面に形成され、前記本体部と前記ケース体を離間させるように、前記ケース体に接触することを特徴とする請求項１記載のレチクルポッド。
【請求項２０】
前記スペーサは弾性材料からなることを特徴とする請求項１９記載のレチクルポッド。