(57)【要約】【課題】電子機器の製造工程で可及的に問題を生じないガラス基板を製造する。【解決手段】ガラス基板の製造方法は、マザーガラス板からガラス基板を製造する工程１を含む。ガラス基板を製造する工程１では、欠陥検出工程Ｓ１で、所定の判定基準で合格とされる合格欠陥と前記判定基準で不合格とされる不合格欠陥から成る総合欠陥を前記マザーガラス板から検出する。その後に、ロット形成工程Ｓ３で、複数枚の前記マザーガラス板で１つのロットを形成する。データ算出工程Ｓ４で、前記ロットに対して前記マザーガラス板１枚当りの前記総合欠陥又は前記合格欠陥の平均個数が算出される。そして、ロット判定工程Ｓ５で、データ算出工程Ｓ４で算出された前記総合欠陥又は前記合格欠陥の平均個数に基づき、前記ロットの合否を判定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マザーガラス板からガラス基板を製造する工程を含むガラス基板の製造方法であって、
前記ガラス基板を製造する工程では、
所定の判定基準で合格とされる合格欠陥と前記判定基準で不合格とされる不合格欠陥から成る総合欠陥を前記マザーガラス板から検出した後に、複数枚の前記マザーガラス板で１つのロットを形成し、
前記ロットに対して算出された前記マザーガラス板１枚当りの前記総合欠陥又は前記合格欠陥の平均個数に基づき、前記ロットの合否を判定することを特徴とするガラス基板の製造方法。
【請求項２】
前記不合格欠陥の無い前記マザーガラス板を合格と判定するとともに、前記不合格欠陥の有る前記マザーガラス板を不合格と判定し、
合格と判定された前記マザーガラス板のみで前記ロットを形成し、
前記ロットの合否を判定する際、前記ロットに対して算出された前記マザーガラス板１枚当りの前記合格欠陥の平均個数を用いることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記ロットの合否を判定する際、前記マザーガラス板から採取可能な前記ガラス板の品種から成るグループから、前記マザーガラス板１枚当りの前記合格欠陥の平均個数に基づき、前記品種の判定基準を満足する前記品種を選択することを特徴とする請求項２に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記マザーガラス板１枚当りの前記合格欠陥の平均個数に基づいて算出された前記ガラス基板１枚当りの合格欠陥の平均個数に基づき、前記品種を選択することを特徴とする請求項３に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項５】
前記グループが、１枚の前記マザーガラス板から製造可能な最大サイズの品種と、前記最大サイズより小さいサイズの品種とを含むことを特徴とする請求項３又は４に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項６】
前記マザーガラス板において前記合格欠陥の分布に偏りがある場合に、前記合格欠陥が少ない領域のみを使用する品種を選択することを特徴とする請求項３〜５の何れか１項に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項７】
前記マザーガラス板の前記合格欠陥の個数が増加した場合に、前記合格欠陥と前記不合格欠陥の判定基準を厳しくすることを特徴とする請求項３〜６の何れか１項に記載のガラス基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器に使用されるガラス基板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）、有機ＥＬ照明、タッチパネル、更には太陽電池のパネル等の電子機器には、ガラス基板が広く用いられている。
【０００３】
この種のガラス基板は、マザーガラスと呼ばれるガラス板（以下、マザーガラス板と称す）から切り出されることによって製造されるのが通例である（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第０３／０８７９２３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ガラス基板の製造工程を流通するマザーガラス板やガラス基板には、泡や異物等の欠陥が存在する場合がある。そして、このような欠陥が電子機器の不良を生じないように、ガラス基板の製造工程では、マザーガラス板やガラス基板の検査が行われる。しかしながら、このような検査を通って完成したガラス基板であっても、電子機器の製造工程で欠陥に起因した問題を生じる可能性があった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑み、電子機器の製造工程で可及的に問題を生じないガラス基板を製造することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために創案された本発明に係るガラス基板の製造方法は、マザーガラス板からガラス基板を製造する工程を含み、前記ガラス基板を製造する工程では、所定の判定基準で合格とされる合格欠陥と前記判定基準で不合格とされる不合格欠陥から成る総合欠陥を前記マザーガラス板から検出した後に、複数枚の前記マザーガラス板で１つのロットを形成し、前記ロットに対して算出された前記マザーガラス板１枚当りの前記総合欠陥又は前記合格欠陥の平均個数に基づき、前記ロットの合否を判定することを特徴とする。ここで、ロットとは、複数のマザーガラス板の集合体であり、搬送、製造処理等を行う単位である（以下、同様）。
【０００８】
合格欠陥は、電子機器に致命的な不良を生じる可能性が低い欠陥であり、不合格欠陥は、電子機器に致命的な不良を生じる可能性が高い欠陥である。不合格欠陥が、従来の欠陥用の検査で不合格とされる欠陥に相当し、合格欠陥が、従来の欠陥用の検査で合格とされる欠陥に相当する。つまり、従来の欠陥用の検査を通ったガラス基板において、不合格欠陥を含むガラス基板は除去されるため、電子機器の製造工程で問題を生じる可能性がある欠陥は、合格欠陥である場合が多い。上記構成によれば、総合欠陥（合格欠陥及び不合格欠陥）のマザーガラス板１枚当たりの平均個数に基づいて、ロットの合否を判定する際に、合格欠陥といえどもロット当たりの欠陥個数が制限されているため、電子機器の製造工程で不合格欠陥に起因する問題はもとより、合格欠陥に起因する問題の発生を抑制できる。また、上記構成で、合格欠陥の基板１枚当たりの平均個数に基づいて、ロットの合否を判定する際にも、同様のことが言える。すなわち、本発明のガラス基板の製造方法によれば、電子機器の製造工程で可及的に問題を生じないガラス基板を製造できる。
【０００９】
上記の構成において、前記不合格欠陥の無い前記マザーガラス板を合格と判定するとともに、前記不合格欠陥の有る前記マザーガラス板を不合格と判定し、合格と判定された前記マザーガラス板のみで前記ロットを形成し、前記ロットの合否を判定する際、前記ロットに対して算出された前記マザーガラス板１枚当りの前記合格欠陥の平均個数を用いることが好ましい。
【００１０】
この構成であれば、ロットのマザーガラス板に不合格欠陥が存在しないので、ロットのマザーガラス板について不合格欠陥による電子機器の製造工程による致命的な欠陥の発生を考慮する必要が無くなる。
【００１１】
上記の構成において、前記ロットの合否を判定する際、前記マザーガラス板から採取可能な前記ガラス板の品種から成るグループから、前記マザーガラス板１枚当りの前記合格欠陥の平均個数に基づき、前記品種の判定基準を満足する前記品種を選択してもよい。ここで、品種とは、サイズや用途等で決定されるガラス基板の種類である（以下、同様）。
【００１２】
その品種に対する判定基準は品種ごとに設定されており、ロットは、ある品種で不合格となっても他の品種で合格となる場合がある。従って、品種を選択すれば、ロットの合格を増加させることが可能である。これにより、ロットのマザーガラス板を有効に活用することが可能である。
【００１３】
上記の構成において、前記マザーガラス板１枚当りの前記合格欠陥の平均個数に基づいて算出された前記ガラス基板１枚当りの合格欠陥の平均個数に基づき、前記品種を選択してもよい。
【００１４】
この構成であれば、マザーガラス板１枚当りの合格欠陥の平均個数に基づいて算出されたガラス基板１枚当りの合格欠陥の平均個数を使用するので、品種の選択をより適切に行うことが可能である。
【００１５】
上記の構成において、前記グループが、１枚の前記マザーガラス板から製造可能な最大サイズの品種と、前記最大サイズより小さいサイズの品種とを含んでもよい。
【００１６】
最大サイズより小さいサイズの品種（ダウンサイズ品種）の場合には、ロットが合格となる可能性が高く、ロットの合格を増加させることが可能である。これにより、更に、ロットのマザーガラス板を有効に活用することが可能である。
【００１７】
上記の構成において、前記マザーガラス板において前記合格欠陥の分布に偏りがある場合に、前記合格欠陥が少ない領域のみを使用する品種を選択してもよい。
【００１８】
この構成であれば、マザーガラス板１枚当りの合格欠陥の平均個数に基づいて不合格とされるロットでも、品種を選択することによって合格となる場合がある。従って、ロットの合格を増加させることが可能で、ロットのマザーガラス板を有効に活用することが可能である。
【００１９】
上記の構成において、前記マザーガラス板の前記合格欠陥の個数が増加した場合に、前記合格欠陥と前記不合格欠陥の判定基準を厳しくしてもよい。
【００２０】
この構成であれば、ロットのマザーガラス板の合格欠陥の個数の増加を抑制でき、これにより、マザーガラス板１枚当たりの合格欠陥の平均個数の増加を抑制できる。従って、マザーガラス板１枚当たりの合格欠陥の平均個数に基づくロットの不合格の増加を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明によれば、電子機器の製造工程で可及的に問題を生じないガラス基板を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に係るガラス基板の製造方法が含むガラス基板を製造する工程の概略を示すフローチャートである。
【図２】マザーガラス板上のガラス基板の配置を示す概略平面図である。
【図３】ロット判定を説明するためのフローチャートである。
【図４】マザーガラス板上の合格欠陥の分布を示す概略平面図である。
【図５】欠陥のサイズと累積検出数の関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明を実施するための形態について図面に基づき説明する。
【００２４】
図１は、本発明の実施形態に係るガラス基板の製造方法が含むガラス基板３を製造する工程１の概略を示すフローチャートである。また、図２は、マザーガラス板２上のガラス基板３の配置を示す概略平面図である。本発明の実施形態に係るガラス基板の製造方法は、マザーガラス板２からガラス基板３を製造する工程１を含む。前工程として、ダウンドロー法やフロート法等によってガラスリボンを成形し、そのガラスリボンからマザーガラス板２を製造する工程を含んでもよい。
【００２５】
ガラス基板３は、マザーガラス板２から切り出されることによって製造される。この際、１枚のマザーガラス板２から切り出されるガラス基板３のサイズや枚数は、ガラス基板３の品種により異なる。
【００２６】
例えば、図２（Ａ）に示すガラス基板３は、マザーガラス板２から採取可能な最大のサイズの品種（以下、最大サイズ品種３ａと称す）である。また、図２（Ｂ）〜図２（Ｆ）に示すガラス基板３は、図２（Ａ）のガラス基板３よりサイズが小さいダウンサイズ品種３ｂである。
【００２７】
また、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）に示すガラス基板３は、１枚のマザーガラス板２から切り出されるガラス基板３は１枚である。図２（Ｃ）〜図２（Ｆ）に示すガラス基板３は、１枚のマザーガラス板２から切り出される枚数は、それぞれ２枚、３枚、４枚、３枚である。
【００２８】
また、図２（Ｃ）〜図２（Ｅ）に示すガラス基板３は、１枚のマザーガラス板２から切り出されるガラス基板３は、同一サイズ（同一品種）であり、図２（Ｆ）に示すガラス基板３は、１枚のマザーガラス板２から切り出されるガラス基板３が、異なるサイズ（異なる品種）である。このように１枚のマザーガラス板２から採取可能な品種は複数あり、予め、それらの品種から成るグループを形成しておいて、需給動向や製造ラインの稼働状況等を鑑みて選択することが好ましい。
【００２９】
図１に示すように、ガラス基板を製造する工程１は、欠陥検出工程Ｓ１と、マザーガラス板判定工程Ｓ２と、ロット形成工程Ｓ３と、データ算出工程Ｓ４と、ロット判定工程Ｓ５とを備える。
【００３０】
欠陥検出工程Ｓ１では、公知の画像検査装置で、マザーガラス板２上に存在する欠陥を検出する。この欠陥は、例えば、泡、異物等であり、所定の判定基準で合格と判定される合格欠陥と、前記判定基準で不合格と判定される不合格欠陥から成る。本実施形態の判定基準は、所定の欠陥サイズであり、このサイズ未満の欠陥が合格欠陥であり、このサイズ以上の欠陥が不合格欠陥である。この判定基準となる欠陥サイズは、品種に応じて適宜設定され、例えば、欠陥が泡であれば５０μｍ〜１０００μｍであり、欠陥が異物であれば２０μｍ〜３００μｍである。なお、画像検査装置では、例えば、泡であれば、１０数μｍ以上のものが欠陥として検出され、異物であれば、数μｍ以上のものが欠陥として検出される。
【００３１】
また、欠陥検出工程Ｓ１では、公知の画像検査装置で検出した欠陥の種類（泡、異物等）、個数、サイズ、座標等のデータを取得する。
【００３２】
マザーガラス板判定工程Ｓ２は、欠陥検出工程Ｓ１で検出された不合格欠陥の個数に基づき、マザーガラス板２の合否を１枚ずつ判定する。例えば、不合格欠陥の個数が所定の閾値以下であれば、そのマザーガラス板２は合格と判定され、ロット形成工程Ｓ３に進む。そして、不合格欠陥の個数が所定の閾値より多ければ、そのマザーガラス板２は不合格と判定され、処理される。なお、マザーガラス板２の合否の判定材料に、欠陥検出工程Ｓ１で取得されたその他のデータ（泡、異物等の不合格欠陥の種類、不合格欠陥の座標等）を加えてもよい。不合格欠陥の所定の閾値は、例えばマザーガラス基板毎に０（ゼロ）個であり、この場合、不合格欠陥の有無で合否を判定し、不合格欠陥の無いマザーガラス板２が合格となり、不合格欠陥の有るマザーガラス板２が不合格となる。
【００３３】
ロット形成工程Ｓ３では、マザーガラス板判定工程Ｓ２で合格と判定されたマザーガラス板２のみを複数枚集めて１つのロットを形成する。
【００３４】
データ算出工程Ｓ４では、欠陥検出工程Ｓ１で取得された欠陥のデータから、ロット判定工程Ｓ５で使用されるロット判定用データを算出する。このロット判定用データには、主要なものとして、「１つのロットにおけるマザーガラス板２の１枚当りの欠陥の平均個数」と、「１つのロットにおけるガラス基板３の１枚当りの欠陥の平均個数」がある。これらの欠陥の平均個数において、合格欠陥及び不合格欠陥の両方（総合欠陥）を対象としてもよく、合格欠陥のみを対象としてもよい。ここで、１枚のマザーガラス板に含まれる不合格欠陥の個数は、合格欠陥の個数に比べて少ない傾向を有する。このため、不合格欠陥が含まれる欠陥の平均個数であっても、合格欠陥が占める割合が大きいことから、合格欠陥の個数を評価でき、電子機器の製造工程で合格欠陥に起因する問題の発生を抑制できる。
【００３５】
「１つのロットにおけるマザーガラス板２の１枚当りの欠陥の平均個数」には、第１平均個数と第２平均個数がある。第１平均個数は、欠陥の全種類の個数に対して算出されるものである。第２平均個数は、欠陥のうち、特定の種類の個数に対して算出されるものである。本実施形態では、第２平均個数は、「泡」に対するものと「異物」に対するものの２種類であるが、１種類でもよいし、３種類以上でもよい。
【００３６】
「１つのロットにおけるガラス基板３の１枚当りの欠陥の平均個数」（以下、第３平均個数と称す）は、第１平均個数に基づいてガラス基板３のダウンサイズ品種３ｂごとに算出される。例えば、第３平均個数は、マザーガラス板２の面積をＳｍとし、ガラス基板３の面積をＳｂとした場合、第３平均個数＝第１平均個数×Ｓｂ／Ｓｍという式から算出される。
【００３７】
ロット判定工程Ｓ５では、１つのロットに対して算出されたマザーガラス板２の１枚当りの欠陥の平均個数（第１平均個数）に基づき、そのロットの合否を判定する。
【００３８】
また、ロット判定工程Ｓ５では、マザーガラス板２において合格欠陥の分布に偏りがある場合に、合格欠陥が少ない領域のみを使用するダウンサイズ品種３ｂを選択する。
【００３９】
また、ロット判定工程Ｓ５では、品種のグループから、第１平均個数に基づき、ロットのマザーガラス板２から製造するガラス基板３の品種を選択する。この場合に品種のグループには、最大サイズ品種３ａとダウンサイズ品種３ｂが含まれる。この場合のダウンサイズ品種３ｂは、第３平均個数に基づき選択される。なお、ロット判定工程Ｓ５で選択候補となるダウンサイズ品種３ｂは、需給動向や製造ラインの稼働状況等を鑑みて選択される。
【００４０】
ロット判定工程Ｓ５で、合格と判定されたロットは、切断ラインに搬送され、選択された品種のガラス基板３が、そのロットのマザーガラス板２から切り出されて製造される。一方、ロット判定工程Ｓ５で、不合格と判定されたロットは、廃棄処分される。
【００４１】
なお、本実施形態では、最大サイズ品種３ａのガラス基板３の判定基準とダウンサイズ品種３ｂのガラス基板３の判定基準は、同一とされているが、異なっていてもよい。最大サイズ品種３ａ及びダウンサイズ品種３ｂの判定基準は、閾値（欠陥の許容個数）によって設定することができる。全種類の合格欠陥を対象とする第１平均個数を判定に用いる場合、閾値は、例えば０．１〜５個とすることができる。
【００４２】
ダウンサイズ品種３ｂでは、最大サイズ品種３ａと比べ、ガラス基板３の面積が減少することから、第３平均個数（ガラス基板３の１枚当りの欠陥の平均個数）も減少する。同様にダウンサイズ品種３では、ガラス基板３の面積が小さい品種ほど、第３平均個数が減少する。したがって、最大サイズ品種３ａと、各ダウンサイズ品種３ｂとで閾値が同じであれば、ガラス基板３の面積が小さい品種ほど、品種の判定基準を満足しやすく、すなわち、ダウンサイズ品種が判定基準の閾値を満足できるようになる。
【００４３】
次に、図３に基づいてロット判定工程Ｓ５について詳細に説明する。
【００４４】
最初に、ステップＳ５１で、合格欠陥の分布に偏りが有るか否かを判定する。合格欠陥の分布に偏りが有る場合には、ステップＳ５２に進み、合格欠陥の分布に偏りが無い場合には、ステップＳ５３に進む。
【００４５】
ステップＳ５２では、２種類の第２平均個数（泡の平均個数及び異物の平均個数）のそれぞれが最大サイズ品種３ａの判定基準を満足するか判定する。具体的には、両方の第２平均個数が所定の閾値以下の場合には、そのロットを使用する品種として最大サイズ品種３ａを選択し（ステップＳ５４）、そのロットを合格とする（ステップＳ５５）。何れかの第２平均個数が所定の閾値を超える場合には、ステップＳ５６に進む。
【００４６】
ステップＳ５６では、図４に示すようにマザーガラス板２における合格欠陥ｄが少ない領域のみを使用するダウンサイズ品種３ｂが有るか否かを判定する。
【００４７】
なお、図４に示す品種（図２（Ｂ）の品種）では、マザーガラス板２から得られるガラス基板３が１枚であるが、複数枚でもよく、また、複数枚のうち１枚だけが、マザーガラス板２における合格欠陥ｄが少ない領域のみを使用するものであってもよい。また、本実施形態では、合格欠陥ｄが少ない領域のみを使用する品種が、ダウンサイズ品種３ｂであるが、最大サイズ品種３ａであってもよい。
【００４８】
ステップＳ５６で、マザーガラス板２における合格欠陥ｄが少ない領域のみを使用するダウンサイズ品種３ｂが有る場合には、このロットを使用する品種としてそのダウンサイズ品種３ｂを選択し（ステップＳ５７）、このロットを合格とする（ステップＳ５８）。なお、マザーガラス板２における合格欠陥ｄが少ない領域のみを使用するダウンサイズ品種３ｂが複数有る場合には、それらのうち優先順位が最も高いものを選択する。この優先順位は、需給動向や製造ラインの稼働状況等により予め設定されている。
【００４９】
ステップＳ５６で、マザーガラス板２における合格欠陥ｄが少ない領域のみを使用するダウンサイズ品種３ｂが無い場合には、このロットを不合格とする（ステップＳ５９）。
【００５０】
一方、ステップＳ５３では、第１平均個数（全種類の欠陥の平均個数）が最大サイズ品種３ａの判定基準を満足するか判定する。具体的には、第１平均個数が所定の閾値以下の場合には、このロットが使用される品種として最大サイズ品種３ａを選択し（ステップＳ６０）、このロットを合格とする（ステップＳ６１）。第１平均個数が所定の閾値を超える場合には、ステップＳ６２に進む。
【００５１】
ステップＳ６２では、判定基準を満足するダウンサイズ品種３ｂが有るか否か判定する。この判定は、第３平均個数をガラス基板３の製造後の欠陥の個数と仮定して行うものである。
【００５２】
詳述すれば、品種（ガラス基板３）ごとの第３平均個数と、品種ごとの判定基準である閾値（欠陥の許容個数）とを比較し、第３平均個数が判定基準の閾値以下であるダウンサイズ品種３ｂが有るか否かを判定する。
【００５３】
ステップＳ６２で、判定基準を満足するダウンサイズ品種３ｂが有る場合には、このロットが使用される品種としてそのダウンサイズ品種３ｂを選択し（ステップＳ６３）、このロットを合格とする（ステップＳ６４）。なお、判定基準を満足するダウンサイズ品種３ｂが複数有る場合には、それらのうち優先順位が最も高いものを選択する。この優先順位は、需給動向や製造ラインの稼働状況等を鑑みて選択される。
【００５４】
ステップＳ６２で、判定基準を満足するダウンサイズ品種３ｂが無い場合には、このロットを不合格とする（ステップＳ６５）。
【００５５】
ところで、図５は、欠陥検出工程Ｓ１で検出される欠陥のサイズと累積検出数の関係を示すグラフである。横軸が、欠陥のサイズであり、縦軸が、所定の枚数のマザーガラス板２の欠陥の検出数を累積したものである。そして、グラフＡが通常の場合を示し、グラフＢが、欠陥が連続して多く検出された場合を示す。
【００５６】
図５にグラフＢで示すように、欠陥が連続して多く検出される場合、マザーガラス板２の欠陥の個数も当然増加し、不合格欠陥の増加のみならず合格欠陥も増加しており、何ら対策を講じなければ、ロット判定工程Ｓ５で、第１及び第２平均個数が高くなり、不合格とされるロットが増大する可能性がある。このような事態を回避するために、欠陥が多く検出される場合における合格欠陥と不合格欠陥を判別する判定基準ｂが、通常の場合における合格欠陥と不合格欠陥を判別する判定基準ａより、厳しくする（ｂ＜ａ）。すなわち、欠陥が多く検出される場合に合格欠陥と不合格欠陥を判別する閾値を小さくして厳しい側に変更している。
【００５７】
更には、欠陥が多く検出される場合の第１及び第２平均個数が、通常の場合とほぼ同等になるように、判定基準ｂ（閾値）を設定している。詳述すれば、領域Ｒ２の面積が領域Ｒ１の面積とほぼ同等となるように判定基準ｂを設定している。領域Ｒ１は、グラフＡより下側でａより左側の領域である。領域Ｒ２は、グラフＢより下側でｂより左側の領域である。
【００５８】
領域Ｒ１の面積が、通常の判定基準ａでの欠陥の個数の総数を示す。また、領域Ｒ２の面積が、欠陥が多く検出される場合の判定基準ｂでの欠陥の個数の総数を示す。従って、領域Ｒ２の面積を、領域Ｒ１の面積と同等となるようにすれば、欠陥が多く検出される場合の第１及び第２平均個数を、通常の場合とほぼ同等にすることができる。
【００５９】
以上のように構成された本実施形態のガラス基板の製造方法１は、以下の効果を享受できる。
【００６０】
欠陥の平均個数（第１平均個数）に基づいて、ロットの合否を判定するため、電子機器の製造工程で合格欠陥に起因する問題の発生を抑制できる。すなわち、本実施形態のガラス基板の製造方法１によれば、電子機器の製造工程で可及的に問題を生じないガラス基板３を製造できる。
【００６１】
本発明は、上記実施形態に限定されるものでは無く、その技術的思想の範囲内で様々な変形が可能である。例えば、上記実施形態のロット判定工程Ｓ５では、マザーガラス板２において合格欠陥の分布に偏りがある場合に、ステップＳ５２で、第２平均個数の判定を行っているが、ステップＳ５２を省略してもよい。
【符号の説明】
【００６２】
１      ガラス基板を製造する工程
２      マザーガラス板
３      ガラス基板
３ａ    最大サイズ品種
３ｂ    ダウンサイズ品種
Ｓ１    欠陥検出工程
Ｓ２    マザーガラス板判定工程
Ｓ３    ロット形成工程
Ｓ４    データ算出工程
Ｓ５    ロット判定工程
ｄ      合格欠陥
【図１】
2018100199.tif 000003
【図２】
2018100199.tif 000004
【図３】
2018100199.tif 000005
【図４】
2018100199.tif 000006
【図５】
2018100199.tif 000007