(57)【要約】【課題】基体上に設けたフッ素樹脂膜が剥離することを抑制した給電治具を提供することを目的とする。【解決手段】ワークに給電するための給電治具であって、  少なくとも表面がチタン製である基体を有し、  前記基体の、ワークと接続する部分に貴金属膜が配置され、  前記貴金属膜を配置した部分を除いた、前記基体の表面の少なくとも一部にフッ素樹脂膜が配置された給電治具を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに給電するための給電治具であって、
少なくとも表面がチタン製である基体を有し、
前記基体の、ワークと接続する部分に貴金属膜が配置され、
前記貴金属膜を配置した部分を除いた、前記基体の表面の少なくとも一部に直接フッ素樹脂膜が配置された給電治具。
【請求項２】
前記フッ素樹脂膜が、エチレン−テトラフルオロエチレンコポリマー膜である請求項１に記載の給電治具。
【請求項３】
前記基体は、前記貴金属膜を配置した部分と垂直な面での断面形状が、Ｌ字形状である請求項１または２に記載の給電治具。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の給電治具を一対有し、
一対の前記給電治具の、前記貴金属膜が対向するように配置したワーク保持治具。
【請求項５】
請求項４に記載のワーク保持治具を備えた化学処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、給電治具、ワーク保持治具、化学処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年各種電子機器には、絶縁性基材上に導電層や、各種機能層を形成した基板が用いられるようになっている。そして、上述の基板を製造するに当って、絶縁性基材上に導電層や、各種機能層を化学処理により形成する場合などに、様々な化学処理装置が従来から用いられている。
【０００３】
例えば特許文献１には、リールに巻かれたワークである長尺シートを供給するワーク供給装置とワークをリールに巻き取るワーク巻取り装置との間に処理槽を配置して構成し、ワークの面を垂直方向としてワーク供給装置からワーク巻取り装置へワークを連続的に搬送しながらめっき処理する長尺シートのめっき装置であって、処理槽の上部にワークの上端を挾持して給電しながら搬送する搬送装置を設け、該搬送装置のワークを挾持するワーク挾持部は処理槽内で下降してワークを挾持するものとし、ワーク巻取り装置によるワークの搬送速度と搬送装置によるワークの搬送速度とを同期させたことを特徴とする長尺シートのめっき装置が開示されている。
【０００４】
特許文献１に開示されためっき装置のように、化学処理装置の種類によってはワークに対して給電する必要があり、給電治具が用いられている。特許文献１に開示されためっき装置においては、ワークを搬送する搬送装置が、ワークを挟持して給電しながら搬送するように構成されている。
【０００５】
このような給電治具は、ワークに対して給電するため、基体には金属を用いるのが一般的である。ただし、化学処理装置により、基体についても化学処理がなされたり、基体と他の部材とが接触する等して漏電することを防止するため、ワークと接触する部分や、他の部材との接続部を除いて、基体の表面にフッ素樹脂製の膜を配置することが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１９３７９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、基体の表面にフッ素樹脂製の膜（フッ素樹脂膜）を配置した場合、基体とフッ素樹脂膜との密着性が低く、繰り返し用いることで、フッ素樹脂膜が剥離する場合があるという問題があった。
【０００８】
上記従来技術の問題に鑑み、本発明の一側面では、基体上に設けたフッ素樹脂膜が剥離することを抑制した給電治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため本発明の一側面では、
ワークに給電するための給電治具であって、
少なくとも表面がチタン製である基体を有し、
前記基体の、ワークと接続する部分に貴金属膜が配置され、
前記貴金属膜を配置した部分を除いた、前記基体の表面の少なくとも一部に直接フッ素樹脂膜が配置された給電治具を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一側面によれば、基体上に設けたフッ素樹脂膜が剥離することを抑制した給電治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係る給電治具の説明図。
【図２】本発明の実施形態に係るワーク保持治具の説明図。
【図３】本発明の実施形態に係る化学処理装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明するが、本発明は、下記の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、下記の実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。
［給電治具］
以下に本発明の給電治具の一実施形態について説明する。
【００１３】
本実施形態の給電治具は、ワークに給電するための給電治具であって、
少なくとも表面がチタン製である基体を有し、
前記基体の、ワークと接続する部分に貴金属膜が配置され、
前記貴金属膜を配置した部分を除いた、前記基体の表面の少なくとも一部に直接フッ素樹脂膜が配置された給電治具とすることができる。
【００１４】
図１（ａ）、図１（ｂ）を用いながら、本実施形態の給電治具について説明する。
【００１５】
図１（ａ）は、本実施形態の給電治具のワークと接触する部分を含む側の面を正面とした正面図を示している。また、図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ−Ａ´線での断面図を示している。
【００１６】
図１（ａ）、図１（ｂ）は、本実施形態の給電治具１０を示しており、少なくとも表面がチタン製である基体１１を有している。
【００１７】
そして、基体１１のワークと対向する面、すなわちワークと接続する部分上に貴金属膜１２が配置されている。また、貴金属膜１２を配置した部分を除いた、基体１１の表面の少なくとも一部に直接フッ素樹脂膜１３が配置されている。
【００１８】
以下、各部材について説明する。
【００１９】
基体１１は、少なくとも表面がチタン製であればよく、すなわち少なくとも表面部分がチタンにより構成されていればよく、例えばチタン以外の金属等で形成されたコア部の表面に、チタン膜を配置した構成とすることもできる。また、基体１１全体が、チタンから構成されていてもよい。
【００２０】
本発明の発明者の検討によれば、基体１１の少なくとも表面をチタン製とし、フッ素樹脂膜１３を基体１１の表面と直接接触するように配置することで、基体１１とフッ素樹脂膜１３との密着性を特に高めることができる。このため、基体１１上に設けた樹脂膜であるフッ素樹脂膜１３が剥離することを抑制することが可能になる。
【００２１】
また、基体１１の少なくとも表面をチタン製とすることで、基体１１の電気抵抗を抑制することができるため、給電治具に接続される給電手段から、ワークへ供給する電力のロスを低減することが可能になる。
【００２２】
基体１１の形状は特に限定されるものではないが、図１（ｂ）に示したように、基体１１は、後述する貴金属膜を配置した部分と垂直な面、すなわちワークと接続する部分と垂直な面であるＡ−Ａ´線での断面形状が、Ｌ字形状であることが好ましい。このため、基体１１は、図１（ｂ）に示すように屈曲部１１１を有し、貴金属膜１２を配置した部分を含む側の一方の辺１１２と、もう一方の辺、すなわち例えば給電手段等他の部材と接続する側の辺となる他方の辺１１３と、でＬ字形状を形成できる。
【００２３】
後述するように、本実施形態の給電治具は、２つ組み合わせてワーク保持治具とすることができ、給電治具の上記断面形状をＬ字形状とすることで、ワーク保持治具とした場合に、ワークへの給電と、ワークの保持との機能を両立し易いためである。
【００２４】
なお、図１（ｂ）においては、一方の辺１１２の方が、他方の辺１１３よりも短い例を示しているが、係る形態に限定されるものではない。ただし、上述のように、ワーク保持治具とする場合、ワークを保持（挟持）する爪部となる一方の辺１１２の方が短く、把持したワークの端部を収納する他方の辺１１３の方が長いことが好ましい。
【００２５】
貴金属製の膜である貴金属膜１２を、基体１１のワークと接続する部分、すなわち基体１１のワークと電気的に接続する部分に配置することにより、基体１１と、ワークとの間の接触を高め、より電気を流れやすくすることが可能になる。貴金属としては耐酸性があり、銅よりも貴な金属を好ましく使用でき、例えば、白金、金、銀、パラジウム、イリジウム等を用いることができる。このように貴金属膜１２を配置するため、本実施形態の給電治具１０の基体１１は、貴金属膜１２を介してワークと接続することになる。
【００２６】
なお、従来の給電治具においては、基体の表面全体に貴金属膜を形成する場合があったが、本実施形態の給電治具においては、貴金属膜を、基体１１のワークと接続する部分に配置し、基体１１の表面のチタンと、フッ素樹脂膜１３とを直接接触するように構成することにより、フッ素樹脂膜１３の基体１１に対する密着性を高めることができる。また、貴金属膜を形成する範囲を限定することにより、高価な貴金属の使用量を低減し、コストを抑制できる。
【００２７】
そして、フッ素樹脂膜１３は、基体１１の表面のうち、貴金属膜１２を配置した部分を除いた少なくとも一部に形成することができる。フッ素樹脂製の膜であるフッ素樹脂膜１３を設けることにより、基体１１が化学処理装置において化学処理されたり、基体１１と他の部材とが接触し、漏電することを防止できる。
【００２８】
フッ素樹脂膜１３は、基体１１のうち、上述の貴金属膜１２を配置した部分、及び他の部材と接続する部分１１４を除いた、基体１１の表面全体に配置することが好ましい。このように、所定の領域を除いた基体１１の表面全体にフッ素樹脂膜１３を配置することにより、特に基体１１が化学処理装置において化学処理されることや、他の部材との接触により漏電することをより確実に防ぐことができるため、好ましい。
【００２９】
なお、他の部材と接続する部分１１４の他の部材とは、特に限定されないが、例えば給電治具１０を固定する部材や、給電治具１０に電力を供給する給電手段や、給電手段と給電治具を接続する部材等が挙げられる。本実施形態の給電治具１０を後述するワーク保持治具に用いる場合、他の部材としては回転支持板や、ベース板等が挙げられる。
【００３０】
フッ素樹脂膜に用いるフッ素樹脂としては特に限定されるものではないが、チタン上に直接形成できるフッ素樹脂であることが好ましい。具体的にはフッ素樹脂としては、例えばエチレン−テトラフルオロエチレンコポリマー（ＥＴＦＥ）を好ましく用いることができる。すなわち、フッ素樹脂膜は、エチレン−テトラフルオロエチレンコポリマー膜（ＥＴＦＥ膜）であることが好ましい。
【００３１】
次に、本実施形態の給電治具の製造方法について説明する。
【００３２】
本実施形態の給電治具の製造方法は例えば以下の工程を有することができる。
【００３３】
基体を用意する基体準備工程。
【００３４】
基体のワークと接続する部分に貴金属膜を形成する貴金属膜形成工程。
【００３５】
基体の貴金属膜を配置した部分を除いた、基体の表面の少なくとも一部に直接フッ素樹脂膜を形成するフッ素樹脂膜形成工程。
【００３６】
上記各工程を実施する順番は特に限定されないが、上述の順に実施することが好ましい。
【００３７】
基体準備工程では、所定の形状に加工した基体を準備することができる。基体はその形状は特に限定されないが、例えば、図１（ａ）、図１（ｂ）を用いて説明したように、貴金属膜形成工程で貴金属膜を形成する部分と垂直な面であるＡ−Ａ´線での断面形状が、Ｌ字形状であることが好ましい。このため、例えばＬ字形状に加工した基体１１を準備することができる。
【００３８】
所定の形状に基体を加工する方法は特に限定されるものではないが、例えばプレス加工や、溶接等により、原料となる金属板等から所望の形状に加工することができる。また、鋳造等により、所望の形状の基体とすることもできる。
【００３９】
なお、既述のように、基体は少なくとも表面がチタン製であることが好ましい。このため、基体準備工程は、例えばチタン以外の金属等で所定の形状のコア部を形成し、該コア部の表面にチタン膜を形成（成膜）する工程とすることもできる。
【００４０】
また、基体はチタンにより構成されていても良い。このため、基体準備工程は、チタン製の金属板を用いてプレス加工や、溶接等により所望の形状を有するチタン製の基体を製造する工程とすることもできる。また、鋳造により所望の形状を有するチタン製の基体を製造する工程とすることもできる。
【００４１】
そして、貴金属膜形成工程では、基体のワークと接続する部分に貴金属膜を形成することができる。貴金属膜の形成方法は特に限定されるものではなく、任意の方法により形成することができる。例えば、スパッタリング法、イオンプレーティング法、蒸着法等の乾式めっき法や、電解めっき法等の湿式めっき法などを用いることができる。
【００４２】
フッ素樹脂膜形成工程では、貴金属膜を配置した部分を除いた、基体の表面の少なくとも一部に直接フッ素樹脂膜を形成することができる。
【００４３】
なお、本実施形態の給電治具の製造方法では、フッ素樹脂膜形成工程を実施する前に、焼成工程を実施することが好ましい。これは、焼成工程を実施することで、基体の表面に付着した有機物の低減、除去や、化学状態の改質を行うことができるからである。
【００４４】
焼成工程の条件は特に限定されないが、例えば３００℃以上６００℃以下の温度で、３０分以上３時間以下実施することが好ましい。焼成工程における雰囲気の条件は特に限定されないが、大気雰囲気等の酸素含有雰囲気であることが好ましい。
【００４５】
焼成工程は、例えば貴金属膜形成工程の後、フッ素樹脂膜形成工程の前に実施することが好ましい。
【００４６】
以上に説明した本実施形態の給電治具によれば、少なくとも表面がチタン製である基体の表面の少なくとも一部に直接フッ素樹脂膜が配置されている。このため、基体と、フッ素樹脂膜との密着性を特に高めることができ、基体上に設けたフッ素樹脂膜が剥離することを抑制できる。
［ワーク保持治具］
次に、ワーク保持治具の一実施形態について説明する。
【００４７】
本実施形態のワーク保持治具は、既述の給電治具を一対有し、一対の給電治具の、貴金属膜が対向するように配置した構成を有することができる。
【００４８】
図２を用いて、本実施形態のワーク保持治具の構成例について説明する。
【００４９】
図２に示したように、本実施形態のワーク保持治具２０は、既述の給電治具１０ａ、１０ｂを有することができる。係る一対の給電治具１０ａ、１０ｂは、貴金属膜１２ａ、１２ｂが対向するように配置することができる。このように一対の給電治具１０ａ、１０ｂを、貴金属膜１２ａ、１２ｂが対向するように配置することで、ワークを貴金属膜１２ａ、１２ｂ間で保持（挟持）し、ワークに対して貴金属膜１２ａ、１２ｂを介して給電することができるワーク保持治具とすることができる。
【００５０】
そして、ワーク保持治具２０は、貴金属膜１２ａ、１２ｂ間の距離を変化させることにより、ワークの保持と、解放とを行うことができる。
【００５１】
ワーク保持治具は、必要に応じてさらに任意の部材を有することができる。
【００５２】
例えば図２に示したように、ワーク保持治具２０は、ベース板２１や、回転支持板２２、回転軸２３、ローラ２４を有することができる。
【００５３】
ベース板２１は、例えば金属材料等の導電体で形成された板状部材とすることができ、後述する給電手段２７等からベース板２１を介して給電治具に電力を供給することができる。
【００５４】
回転支持板２２は、回転軸２３を中心に回転可能に設けられ、例えばばね等により図２における反時計回り方向に付勢されている。また、回転支持板２２は、上端部にローラ２４を設けておくことができる。
【００５５】
そして、既述の給電治具１０ａ、１０ｂは、それぞれベース板２１、回転支持板２２の下端部に接続しておくことができる。
【００５６】
回転支持板２２は、例えばローラ２４をベース板２１に向かって押圧することで、給電治具１０ｂと共に回転軸２３を中心に時計回り方向に回転し、給電治具１０ａ、１０ｂの貴金属膜１２ａ、１２ｂ間を開いた状態とすることができる。この状態で、給電治具１０ａ、１０ｂの貴金属膜１２ａ、１２ｂ間にワークが供給された後、押圧されていたローラ２４を解放することで、回転支持板２２及び給電治具１０ｂが図２に示す位置に戻り、給電治具１０ａ、１０ｂの貴金属膜１２ａ、１２ｂの間でワークを保持できる。
【００５７】
そして、ワークを保持した状態で、ローラ２４が再び押圧されて回転支持板２２及び給電治具１０ｂが回転軸２３を中心に時計回り方向に回転すると、給電治具１０ａ、１０ｂの貴金属膜１２ａ、１２ｂ間が開いてワークが開放される。
【００５８】
また、後述する化学処理装置等に装着してワーク保持治具を用いる場合、必要に応じて任意の部材をワーク保持治具に接続するように構成することもできる。これらの部材については後述する。
【００５９】
以上に説明した本実施形態のワーク保持治具によれば、既述の給電治具を有しており、係る給電治具は、基体上に設けたフッ素樹脂膜が剥離することを抑制できている。このため、例えば給電治具の交換等のメンテナンスを行う回数を減らすことができ、生産性を向上させることができる。
［化学処理装置］
次に、本実施形態の化学処理装置の一実施形態について説明する。
【００６０】
本実施形態の化学処理装置は、既述のワーク保持治具を備えた化学処理装置とすることができる。従って、本実施形態の化学処理装置は、既述の給電治具を備えた化学処理装置ということもできる。
【００６１】
本実施形態の化学処理装置について、図２、図３を用いて説明する。
【００６２】
図３は、本実施形態の化学処理装置の上面図を示している。
【００６３】
図３に示すように、化学処理装置３０は例えば、ワーク供給装置３１、ワーク回収装置３２、化学処理槽３４、ワーク保持治具２０を有することができる。また、化学処理装置３０はさらに、前処理槽３３、後処理槽３５、エンドレスベルト３６、プーリー３７１、３７２等を有することもできる。そして、被処理対象物であるワーク３８の表面に化学処理槽３４において化学処理、例えば電気めっき処理等を施すことができる。なお、以下に示す図面において、Ｘ方向はプーリー３７１からプーリー３７２までの間におけるワーク３８の搬送方向、かつ化学処理槽３４の長手方向を示し、Ｙ方向は化学処理槽３４の短手方向を示し、Ｚ方向は鉛直方向を示している。
【００６４】
ワーク３８としては特に限定されるものではなく、化学処理を要する材料が挙げられる。ワーク３８としては、例えば樹脂材料等の各種材料で形成された絶縁性基材等を用いることができる。なお、ワーク３８が絶縁性基材の場合には、ワーク保持治具２０の給電治具から給電ができるように、その表面に例えば金属薄膜等の導電体からなるシード層を配置しておくことが好ましい。係るシード層は、ワーク３８の化学処理を行う面に配置しておくことができる。従って、例えばワーク３８の両面を化学処理する場合には両面に、ワーク３８の片面を化学処理する場合には片面に、シード層を配置しておくことが好ましい。
【００６５】
図３においては、ワーク３８として長尺シート状のものを用いた例を示しているが、係る形態に限定されるものではない。ただし、生産性等の観点から長尺シート状のワークを用いることが好ましい。
【００６６】
ワーク供給装置３１の構成は特に限定されないが、化学処理装置３０の化学処理ラインにワーク３８を供給する供給手段である。図３に示した例では、ロール状に巻き取られた状態のワーク３８を複数の搬送ローラで送り出すことができるが、係る形態に限定されるものではない。
【００６７】
ワーク回収装置３２の構成についても特に限定されないが、化学処理装置３０において化学処理が施されたワーク３８を回収する回収手段である。図３に示した例では、ワーク回収装置３２は、ワーク３８をロール状に巻き取って回収することができる。
【００６８】
従って、図３に示した例では、ロール・トゥー・ロール方式によりワーク３８を搬送している。また、図３に示した例では、ワーク３８はその幅方向を地面と鉛直方向に沿って保持し、搬送するように構成されている。
【００６９】
前処理槽３３は、ワーク３８に化学処理の前処理を施す処理槽であり、例えば、ワーク３８の表面を清浄化する処理や、ワーク３８の表面の濡れ性を高める処理等を行うことができる。
【００７０】
化学処理槽３４は、ワーク３８に化学処理を施す槽であり、例えば電解めっき処理を施すことができる。化学処理槽３４において電解めっき処理を施す場合、該化学処理槽はめっき槽であり、その内部にめっき液を貯留することができる。また、電解めっき処理を施すため、電極や、めっき液を撹拌する手段等、図示しない任意の部材を配置することもできる。
【００７１】
なお、化学処理槽３４としては電解めっき処理を施すめっき槽に限定されるものではなく、例えば電解エッチング等の他の電気化学的処理を施す化学処理槽とすることもできる。
【００７２】
化学処理槽３４の形状やサイズは特に限定されるものではなく、化学処理に要する時間や、ワーク３８の搬送速度等に応じて任意に選択することができる。例えば、化学処理槽３４は、ワーク３８の搬送方向に沿って長く延びる直方体形状とすることができる。
【００７３】
また、化学処理槽３４は、図３における右側面にＺ方向、すなわち槽の高さ方向に長いスリット状の入口を、さらに左側面に右側面と同様にＺ方向に長いスリット状の出口をそれぞれ配置しておくことができる。このように化学処理槽３４の、ワークの搬送方向上流側、及び搬送方向下流側の側面にスリットを設けておくことで、ワーク３８は、該スリットを通って、図３における右側面の入口から化学処理槽３４に入り、例えば化学処理槽内の溶液に浸漬されて化学処理が施された後に左側面の出口から排出することができる。
【００７４】
後処理槽３５では、化学処理が施されたワーク３８の後処理として、例えば洗浄等を行うことができる。後処理槽３５において洗浄を行う場合、例えば水洗や、薬液を用いた薬液洗浄等であってもよい。
【００７５】
エンドレスベルト３６は、例えばステンレス等で形成された無端状の金属ベルトであり
、上述のように所定間隔で複数のワーク保持治具２０が固定して設けられ、プーリー３７１、３７２に掛け渡すことができる。プーリー３７１、３７２は、少なくとも一方が、例えば図示しないモーター等により回転駆動し、プーリー３７１、３７２の回転に伴ってエンドレスベルト３６を回転することができる。なお、エンドレスベルト３６に配置したワーク保持治具２０によりワーク３８の端部を保持するため、エンドレスベルト３６の回転速度は、ワーク供給装置３１から供給されたワーク３８の搬送速度に対応していることが好ましい。このため、ワーク供給装置３１から供給されたワーク３８の搬送速度に応じてプーリー３７１、３７２の回転速度を調整することが好ましい。
【００７６】
エンドレスベルト３６に設けられている複数のワーク保持治具２０は、エンドレスベルト３６により搬送され、ワーク供給装置３１から送り出されるワーク３８の幅方向の端部、例えば上端部を保持することができ、エンドレスベルト３６と共に回転してワーク３８を搬送できる。ワーク保持治具２０は、ワーク３８を保持した状態で前処理槽３３、化学処理槽３４、後処理槽３５を通過し、所定の処理が施された後にワーク３８を開放するように構成できる。ワーク保持治具２０から開放されたワーク３８は、ワーク回収装置３２に巻き取られて回収される。
【００７７】
このため、例えばワーク保持治具２０がワーク３８の保持（挟持）を開始する部分、及びワーク３８を解放する部分には、例えば図２を用いて説明したローラ２４をベース板２１に向かって押圧する押圧手段を設けておくことができる。押圧手段としては、例えばワーク保持治具２０の搬送経路と略平行な板状体（当て板）等を用いることができる。係る押圧手段は、エンドレスベルト３６によるワーク保持治具２０の搬送経路のうち、ワーク３８の搬送経路と合流する直前から合流した直後の間や、ワーク３８の搬送経路から離れる直前から離れた直後に渡って、該ワーク保持治具２０の搬送経路と略平行に、かつローラ２４を押圧するように設けることができる。
【００７８】
なお、ワーク３８の上端を保持するワーク保持治具２０に替えて、または加えて、ワーク３８の下端を保持するワーク保持治具２０を設けることもできる。特に、ワーク３８の幅方向の上端、および下端それぞれを保持するワーク保持治具２０を設けることが好ましい。これは、ワーク３８の両端部を保持する構成にすることで、ワーク３８にしわや弛み等の発生が防止され、より均一にめっき処理等の化学処理を行うことが可能になるからである。
【００７９】
ワーク３８の下端を保持するワーク保持治具２０を設ける場合、ワーク３８の上端を保持するワーク保持治具２０の場合と同様に、ワーク３８の下端側にプーリー間に掛け渡されたエンドレスベルトを設け、該エンドレスベルトに所定間隔で複数のワーク保持治具２０を固定することができる。この場合、係るエンドレスベルトについてもプーリーの回転にあわせて回転するように構成できる。また、ワーク３８の上端を保持するワーク保持治具の場合と同様に、ワーク保持治具２０のローラ２４をベース板２１に向かって押圧する押圧手段等を設けることもできる。
【００８０】
以上に説明した構成を有する化学処理装置３０では、まず、ワーク供給装置３１からワーク３８が送り出され、エンドレスベルト３６に設けられている複数のワーク保持治具２０がワーク３８の上端および／または下端を保持して搬送する。ワーク３８は、ワーク保持治具２０に保持された状態で搬送され、前処理槽３３、化学処理槽３４、後処理槽３５を通って各処理が施される。一連の化学処理が施されたワーク３８は、ワーク保持治具２０から開放されてワーク回収装置３２に巻き取られて回収される。化学処理装置３０における以上の動作により、ワーク３８に化学処理を施すことができる。
【００８１】
なお、図３に示した化学処理装置３０においては、化学処理槽３４に加えて、前処理槽３３、および後処理槽３５を設けた構成を用いて説明したが、前処理槽３３、および後処理槽３５はいずれか一方のみ設けるか、両方設けない構成とすることもできる。さらに、前処理槽３３、及び後処理槽３５は、それぞれ一槽のみに限定されず、複数設けることもできる。
【００８２】
また、化学処理槽３４についても、ワーク３８の搬送経路上に複数設けることもできる。複数の化学処理槽３４を設けた場合、該複数の化学処理槽３４で実施する化学処理は同じである必要はなく、異なる化学処理を行う化学処理槽３４を配置することもできる。
【００８３】
前処理槽３３、化学処理槽３４、及び後処理槽３５の間には、各槽で用いた薬液を他の槽に持ち込まないようにワークを洗浄する洗浄手段や、ワークに付着した液を液切りする液切り手段、等を設けることもできる。化学処理槽３４等を複数設けた場合には、各槽間についても同様に洗浄手段等を設けることもできる。
【００８４】
また、上述のように、エンドレスベルト３６に、ワーク保持治具２０を固定して用いる場合、ワーク保持治具２０とエンドレスベルト３６との間には必要に応じてさらに任意の部材を配置することもできる。さらに、ワーク保持治具２０が、化学処理装置が有する、図３には図示していない給電手段から電力の供給を受けられるように構成することもできる。構成例について図２を用いて説明する。
【００８５】
図２に示すように、ワーク保持治具２０は、位置決めローラ２５、ベルト固定板２６、に接続した構成とすることができる。また、ワーク保持治具２０は、ワークを保持して搬送すると共に、給電手段２７からワークに通電するように、給電手段２７と接続できるように構成することもできる。
【００８６】
位置決めローラ２５は、ベルト固定板２６の両面に設けられ、例えば化学処理槽に設けられている位置決め部材の上面に当接することで、ワークが化学処理槽内の溶液の液面に対して適切な位置で搬送されるようにワーク保持治具の位置（高さ）決めをすることができる。
【００８７】
ベルト固定板２６は、両面に位置決めローラ２５が設けられると共に、図２における右側に位置する不図示のエンドレスベルト３６に固定される。ワーク保持治具２０は、ベルト固定板２６によってエンドレスベルト３６に固定され、回転するエンドレスベルト３６に伴って移動することができる。また、ベルト固定板２６の上端側は略水平方向に屈曲し、給電手段２７の給電ブラシ２７１に接触する接触面２６１を設けておくことができる。
【００８８】
給電手段２７は、給電ブラシ２７１に加えて、カソードブスバー２７２、押圧ばね２７３を有することができる。
【００８９】
カソードブスバー２７２は、不図示の電源に整流器を介して接続されているＸ方向に長い矩形板状の電極であり、例えば化学処理槽の上部に固定して設けることができる。また、カソードブスバー２７２の下部には、複数の給電ブラシ２７１を設けておくことができる。
【００９０】
給電ブラシ２７１は、カソードブスバー２７２の下側を通過するワーク保持治具２０に接続したベルト固定板２６の接触面２６１に順次接触し、給電治具１０ａ、１０ｂに給電することができる。
【００９１】
給電ブラシ２７１は、カソードブスバー２７２との間に設けられている押圧手段としての押圧ばね２７３によって、ベルト固定板２６の接触面２６１に向かって押圧することができる。このため、給電ブラシ２７１は、ワーク保持治具２０に接続されたベルト固定板２６の接触面２６１のＺ方向における位置にばらつきがあっても、接触面２６１との接触面積を一定に保つことができる。
【００９２】
以上に説明した本実施形態の化学処理装置によれば、既述の給電治具を含むワーク保持治具を有している。そして、係る給電治具は、基体上に設けたフッ素樹脂膜が剥離することを抑制できている。このため、例えば給電治具の交換等のメンテナンスを行う回数を減らすことができ、生産性を向上することができる。
【実施例】
【００９３】
以下に具体的な実施例、比較例を挙げて説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
［実施例１］
チタン製の金属板をプレス成型によりＬ字型に折り曲げ、図１（ａ）、図１（ｂ）に示した基体１１を用意した（基体準備工程）。
【００９４】
なお、図１（ｂ）に示したように、基体１１は折り曲げた箇所に屈曲部１１１を有し、端部に貴金属膜１２を配置する側の一方の辺１１２と、給電手段等他の部材と接続する側の辺である他方の辺１１３とでＬ字形状を形成している。また、一方の辺１１２の方が他方の辺１１３よりも短くなるように、屈曲部１１１の位置を選択した。
【００９５】
次いで、基体のワークと接続する部分にのみ電解めっき法により白金めっきを施し、貴金属膜１２として白金膜を形成した（貴金属膜形成工程）。
【００９６】
そして、貴金属膜１２として白金膜を形成した基体１１を５００℃で１時間の加熱処理を行った（焼成工程）。
【００９７】
次に、基体１１の表面のうち、貴金属膜１２である白金膜を配置した部分、および他の部材と接続する部分１１４を除いて、全面にＥＴＦＥのフッ素樹脂膜を直接形成し、給電治具１０を形成した（フッ素樹脂膜形成工程）。
【００９８】
得られた給電治具を銅濃度３０ｇ／Ｌ、硫酸濃度２００ｇ／Ｌの硫酸銅水溶液中で、給電治具の露出した貴金属膜上で電着と剥離を定電圧４Ｖ、電着時間：剥離時間＝５０秒：１０秒で繰り返し行い、フッ素樹脂膜が基体から剥離するまでの日数を評価した。同様にして作製した５個の給電治具で評価したところ、剥離までの日数は平均で２１日となった。
［実施例２］
焼成工程を実施しなかった点以外は、実施例１と同様にして給電治具を作製し、評価を行った。同様にして作製した５個の給電治具で評価したところ、フッ素樹脂膜が基体から剥離するまでの日数は、平均で１８日であった。
［比較例１］
実施例１の場合と同様に、チタン製の金属板をプレス成型によりＬ字型に折り曲げ、基体を用意した（基体準備工程）。
【００９９】
次いで、基体の表面全体にスパッタリング法により白金めっきを施し、貴金属膜として白金膜を形成した（貴金属膜形成工程）。
【０１００】
さらに、ワークと接続する面、及び他の部材と接続する部分を除いて白金膜の表面に下地材で表面処理を実施した（下地材処理工程）。
【０１０１】
次に、基体の表面のうち、ワークと接続する面、及び他の部材と接続する部分を除いて、全面にＥＣＴＦＥ（エチレン−クロロトリフルオロエチレンコポリマー）のフッ素樹脂膜を形成し、給電治具を形成した（フッ素樹脂膜形成工程）。
【０１０２】
得られた給電治具を実施例１の場合と同様にして評価を行った。同様にして作製した５個の給電治具で評価したところ、フッ素樹脂膜が基体から剥離するまでの日数は平均で２日となった。
【０１０３】
以上に示した実施例１、実施例２、比較例１の結果から、少なくとも表面がチタン製である基体を有し、基体の、ワークと接続する部分に貴金属膜が配置され、貴金属膜を配置した部分を除いた、基体の表面の少なくとも一部に直接フッ素樹脂膜が配置された給電治具とすることで、基体上に設けたフッ素樹脂膜が剥離することを抑制できることを確認できた。
【０１０４】
また、実施例１、実施例２、比較例１で作製した給電治具をそれぞれ用い、図２を用いて説明したワーク保持治具２０とし、図３を用いて説明した化学処理装置３０に取付け、給電治具の貴金属膜表面に電着と剥離とを繰り返し実施した。その結果、上述の結果と同様に、実施例１、実施例２で作製した給電治具を用いたワーク保持治具を含む化学処理装置においては、比較例１で作製した給電治具を用いたワーク保持治具を含む化学処理装置と比較して、給電治具の基体上に設けたフッ素樹脂膜が剥離することを抑制できることが確認できた。このため、給電治具の交換等のメンテナンスを行う回数を減らすことができ、生産性を向上させることが可能になることを確認できた。
【０１０５】
なお、上記化学処理装置３０の評価を行う際には、化学処理槽３４として銅めっき液を入れた銅めっき槽を用意して実施した。この際、銅濃度が３０ｇ／ｌ、硫酸濃度が２００ｇ／ｌ、浴温が５０℃の銅めっき液を用いている。また、前処理槽３３としては、硫酸水溶液を入れた槽を、後処理槽３５としては水を入れた槽をそれぞれ用意して実施した。
【符号の説明】
【０１０６】
１０、１０ａ、１０ｂ                            給電治具
１１                                            基体
１２、１２ａ、１２ｂ                            貴金属膜
１３                                            フッ素樹脂膜
２０                                            ワーク保持治具
３０                                            化学処理装置
【図１】
2018016826.tif 000003
【図２】
2018016826.tif 000004
【図３】
2018016826.tif 000005