(57)【要約】【課題】  構造を簡素化して小型化且つ軽量化しながらも確実に半導体ウェーハを清浄空間に保持して表面汚染を防止する半導体ウェーハ用キャリーボックスの提供。【解決手段】  本発明に係る半導体ウェーハ用キャリーボックス１は、半導体ウェーハを保持する内部空間２ａと該内部空間を上方に開放する上部開口を有する本体２と、該本体２に回動可能に軸支され、閉状態で上記上部開口を密閉する蓋体３とを備え、該蓋体３を開方向へ弾発付勢する弾性手段４と、該弾性手段４の弾性反発力に抗して上記蓋体３を強制的に閉方向へと回動させる螺合手段５とを有し、該螺合手段５のみを操作することにより上記蓋体３を開閉できるため、容易にグローブボックス外から上記蓋体３を開閉でき、簡単に上記内部空間２ａの雰囲気ガスを不活性ガスへと置換することができる。【選択図】  図３
2018120931.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハを保持する内部空間と該内部空間を上方に開放する上部開口を有する本体と、該本体に回動可能に軸支され、閉状態で上記上部開口を密閉する蓋体とを備える半導体ウェーハ用キャリーボックスであって、上記蓋体を開方向へ弾発付勢する弾性手段と、該弾性手段の弾性反発力に抗して上記蓋体を強制的に閉方向へと回動させる螺合手段とを有し、該螺合手段のみを操作することにより上記蓋体を開閉できることを特徴とする半導体ウェーハ用キャリーボックス。
【請求項２】
上記螺合手段は、ボルトと該ボルトの軸部を挿入するボルト挿入部とナット部とから成り、該ナット部を上記本体又は上記蓋体の何れか一方に設け、同他方に上記ボルト挿入部を設ける構成を有することを特徴とする請求項１記載の半導体ウェーハ用キャリーボックス。
【請求項３】
上記弾性手段は上記本体と上記蓋体間に介在する圧縮コイルばねであり、上記螺合手段を構成するボルトの軸部と同軸に配置することを特徴とする請求項２記載の半導体ウェーハ用キャリーボックス。
【請求項４】
上記本体と上記蓋体の何れか一方又は双方に、上記蓋体が閉じた状態で上記弾性手段たる圧縮コイルばねを収納する凹部を設けたことを特徴とする請求項３記載の半導体ウェーハ用キャリーボックス。
【請求項５】
上記蓋体を軸支するための軸受孔が上下方向に長い長孔形状であることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の半導体ウェーハ用キャリーボックス。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れかに記載の半導体ウェーハ用キャリーボックスを利用した半導体ウェーハ運搬方法であって、以下のＡ乃至Ｆの構成を有することを特徴とする、
Ａ：上記キャリーボックスの内部空間に運搬対象の半導体ウェーハを保持する、
Ｂ：上記キャリーボックスの蓋体を上記弾性手段により開状態に保ち、該キャリーボックスをそのままガス置換作業用グローブボックス内の作業空間に入れる、
Ｃ：上記グローブボックスの作業空間を密閉して真空引き作業を行い、上記キャリーボックスの内部空間を真空状態にする、
Ｄ：次いで上記グローブボックスの作業空間内に１〜１．５気圧の不活性ガスを充填し、当該不活性ガスを上記キャリーボックスの内部空間にも充填する、
Ｅ：上記キャリーボックスの螺合手段を上記グローブボックスの外部から操作し、該キャリーボックスの蓋体を閉状態にして内部空間に上記不活性ガスを密閉する、
Ｆ：上記キャリーボックスを上記グローブボックスから取り出して所望の運搬先へ運ぶ。
【請求項７】
上記グローブボックスはグローブ手段と併用し又はグローブ手段の代わりに上記キャリーボックスの螺合手段を操作する操作手段を有していることを特徴とする請求項６記載の半導体ウェーハ運搬方法。
【請求項８】
上記不活性ガスが窒素ガス又はアルゴンガスであることを特徴とする請求項６記載の半導体ウェーハ運搬方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料や製造材料としての半導体ウェーハを、表面汚染を防ぎつつ他所に運搬する際に用いるキャリーボックス及び運搬方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェーハ等の半導体ウェーハの運搬においては、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）技術等によって当該半導体ウェーハの表面に成膜された薄膜を大気中の汚染物質から保護しつつ運搬を行わねばならない。
【０００３】
従来、大気中の汚染物質として酸素や水分が考えられており、これら汚染物質をキャリーボックスの半導体ウェーハ保持空間から取り除くと共に新たに混入させないようにするために、当該キャリーボックスに上記保持空間を真空状態に維持する機構を付与したり、上記保持空間内の雰囲気ガスを不活性ガスと置換する機構を付与したりしている。
【０００４】
例えば、下記特許文献１に示すキャリーボックスは、不活性ガス入りのボンベを内蔵し、該ボンベ内の不活性ガスの保持空間内への供給と同保持空間からの排気を電磁弁を介して定期的に行う機構を具備している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−３２６６７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１のキャリーボックスは、半導体ウェーハを清浄に保ちながら有効に運搬することができる反面、ガスボンベやガス置換機構を内蔵せねばならない。したがって、自ずと大型化且つ高重量化してしまう問題点がある。
【０００７】
また、運搬中もガス置換作業を行わねばならず、運搬作業が煩雑となってしまう問題点もある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る半導体ウェーハ用キャリーボックスは、従来のキャリーボックスの問題点を抜本的に解決し、構造を簡素化して小型化且つ軽量化しながらも確実に半導体ウェーハを清浄空間に保持して表面汚染を防止するものである。
【０００９】
要述すると、本発明に係る半導体ウェーハ用キャリーボックスは、半導体ウェーハを保持する内部空間と該内部空間を上方に開放する上部開口を有する本体と、該本体に回動可能に軸支され、閉状態で上記上部開口を密閉する蓋体とを備える半導体ウェーハ用キャリーボックスであって、上記蓋体を開方向へ弾発付勢する弾性手段と、該弾性手段の弾性反発力に抗して上記蓋体を強制的に閉方向へと回動させる螺合手段とを有し、該螺合手段のみを操作することにより上記蓋体を開閉できる構成を有し、後記するように容易にグローブボックス外から上記蓋体を開閉でき、簡単に上記内部空間の雰囲気ガスを不活性ガスへと置換することができる。加えてガス置換機構や真空維持機構が不要であり、小型化且つ軽量化することができる。
【００１０】
好ましくは、上記螺合手段は、ボルトと該ボルトの軸部を挿入するボルト挿入部とナット部とから成り、該ナット部を上記本体又は上記蓋体の何れか一方に設け、同他方に上記ボルト挿入部を設ける構成を有することにより、簡易構造ながら上記蓋体を確実に閉状態とすることができる。
【００１１】
また、上記弾性手段は上記本体と上記蓋体間に介在する圧縮コイルばねであり、上記螺合手段を構成するボルトの軸部と同軸に配置する構成として、開方向と閉方向の何れにも同軸方向で力を加えることができる。
【００１２】
また、上記本体と上記蓋体の何れか一方又は双方に、上記蓋体が閉じた状態で上記弾性手段たる圧縮コイルばねを収納する凹部を設けることにより、上記蓋体と上記本体間のシール性を向上させると共に見栄えを向上する。
【００１３】
また、上記蓋体を軸支するための軸受孔を上下方向に長い長孔形状とすることにより、上記内部空間の上部開口を完全に開放できるので、運搬対象の半導体ウェーハを容易に出し入れすることができる。
【００１４】
本発明に係る半導体ウェーハ運搬方法は、本発明に係る半導体ウェーハ用キャリーボックスを利用した運搬方法であって、以下のＡ乃至Ｆの構成を有することを特徴とする、
Ａ：上記キャリーボックスの内部空間に運搬対象の半導体ウェーハを保持する、
Ｂ：上記キャリーボックスの蓋体を上記弾性手段により開状態に保ち、該キャリーボックスをそのままガス置換作業用グローブボックス内の作業空間に入れる、
Ｃ：上記グローブボックスの作業空間を密閉して真空引き作業を行い、上記キャリーボックスの内部空間を真空状態にする、
Ｄ：次いで上記グローブボックスの作業空間内に１〜１．５気圧の不活性ガスを充填し、当該不活性ガスを上記キャリーボックスの内部空間にも充填する、
Ｅ：上記キャリーボックスの螺合手段を上記グローブボックスの外部から操作し、該キャリーボックスの蓋体を閉状態にして内部空間に上記不活性ガスを密閉する、
Ｆ：上記キャリーボックスを上記グローブボックスから取り出して所望の運搬先へ運ぶ。
【００１５】
好ましくは、上記グローブボックスはグローブ手段と併用し又はグローブ手段の代わりに上記キャリーボックスの螺合手段を操作する操作手段を有する構成とし、上記キャリーボックスの蓋体の閉作業を容易にすることができる。
【００１６】
また、上記不活性ガスとしては窒素ガス又はアルゴンガスを用いる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る半導体ウェーハ用キャリーボックスは、螺合手段のみを操作するだけで蓋体を開閉することができるため、グローブボックス内で内部空間の雰囲気ガスを不活性ガスに置換した後、グローブボックス外から容易に且つ確実に蓋体を閉じることができる。したがって、真空維持機構やガス置換機構等を備えなくとも半導体ウェーハを保持する内部空間を不活性ガス雰囲気下に維持して該半導体ウェーハの表面汚染を防止しつつ運搬することができる。
【００１８】
また、本発明に係る半導体ウェーハ運搬方法は、既述のように本発明のキャリーボックスにより容易に且つ確実に半導体ウェーハを不活性ガス雰囲気下で運搬できることに加えて、上記不活性ガスを大気圧以上の気圧で内部空間に封入することにより、該内部空間に外部大気が流入し難いと共に、該内部空間へ万が一に外部大気が流入したときには当該内部空間内の気圧低下により検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る半導体ウェーハ用キャリーボックスの分解斜視図である。
【図２】上記キャリーボックスの斜視図である。
【図３】上記キャリーボックスの側面図である。
【図４】螺合手段及び弾性手段を一部切欠して示す拡大図である。
【図５】ヒンジ及び蓋体の軸支手段を示す拡大断面図であり、（Ａ）は蓋体を閉じた状態の拡大断面図、（Ｂ）は蓋体を全開した状態の拡大断面図である。
【図６】ワゴンに載せたグローブボックスを一部切欠して示す側面図である。
【図７】ワゴンに載せたグローブボックスの平面図である。
【図８】操作手段の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る半導体ウェーハ用キャリーボックス及び半導体ウェーハ運搬方法の最良の形態について、図１乃至図８に基づき説明する。
【００２１】
まず、本発明に係る半導体ウェーハ用キャリーボックス１について説明する。なお、説明の便宜上、以降は単に「キャリーボックス」と称する。
【００２２】
図１乃至図３に示すように、本発明に係るキャリーボックス１は、半導体ウェーハを保持する内部空間２ａと該内部空間２ａを上方に開放する上部開口を有する本体２と、該本体に回動可能に軸支され、閉状態で上記上部開口を密閉する蓋体３とを備える基本構成を具備している。軽量化のために蓋体３はアルミ製とするのが望ましい。また、本体２は内部空間２ａ内の気圧に耐えられる強度を確保するためにステンレス製とするが、可及的に側壁や底壁を薄くする。なお、蓋体３の上面側に把手を兼ねる圧力計８が接続管９を介して取り付けられており、常時、内部空間２ａ内の気圧を測定することができる。該把手兼圧力計として禁油処理又は禁油・禁水処理したものを用いる。新たな汚染源を内部空間２ａ内に混入させないためである。
【００２３】
また、本体２においては、図１に示すように、内部空間２ａの上部開口周りには溝２ｃを介してゴム製又はシリコン製のＯリング２ｄが埋設されており、蓋体３による内部空間２ａの密閉に貢献する構成となっている。また、本体２の正面側には前方に張り出した張り出し部２ｂを形成し、該張り出し部２ｂを閉状態の蓋体３の自由端部３ａと対向させる構成となっている。
【００２４】
また、蓋体３は軸支手段６により本体２に回動可能に軸支されている。該軸支手段６は、図５に示すように、本体２に設けた支軸６Ａと、蓋体３に設けたヒンジ７の軸受孔６Ｂとから成り、該軸受孔６Ｂは上下方向に長い長孔形状となっている。このような長孔形状の軸受孔６Ｂにより、図５（Ａ）に示す如く、蓋体３を確実に閉状態にすることができる一方、図５（Ｂ）に示す如く、蓋体３を全開状態にして内部空間２ａの上部開口を開放することができるので、半導体ウェーハや半導体ウェーハを保持したウェーハホルダーＨを容易に出し入れすることができる。なお、軸支手段６として、支軸６Ａを蓋体３側に設け、軸受孔６Ｂを本体２側に設けても良いことは勿論である。
【００２５】
また、本発明に係るキャリーボックス１は、蓋体３を開方向へ弾発付勢する弾性手段４と、該弾性手段４の弾性反発力に抗して蓋体３を強制的に閉方向へと回動させる螺合手段５とを有し、該螺合手段５のみを操作することにより蓋体３を開閉できる構成を有する。すなわち、本発明に係るキャリーボックス１は螺合手段５を締緩するだけで容易に且つ確実に蓋体３を開閉できる。なお、本発明において螺合手段５の数は特に問わない。
【００２６】
まず弾性手段４について詳述すると、図４（Ａ）・図４（Ｂ）に示す如く、好ましくは弾性手段４として圧縮コイルばねを用い、蓋体３の自由端部３ａを当該蓋体３の開方向へ常時弾発付勢する構成とする。なお、弾性手段４として上記圧縮コイルばね以外の弾性体を用いることも実施に応じ任意であるが、後記する螺合手段５のボルト５Ａの軸部と同軸配置するためには上記のように圧縮コイルばねを用いることが望ましい。
【００２７】
次に、螺合手段５は、図４（Ａ）・図４（Ｂ）に示すように、ボルト５Ａと、ボルト５Ａの軸部５Ａａを挿入するボルト挿入部５Ｂと、ボルト５Ａの軸部５Ａａと螺合するナット部５Ｃとから成り、該ナット部５Ｃを本体２の張り出し部２ｂに設け、該張り出し部２ｂに対向する蓋体３の自由端部３ａにボルト挿入部５Ｂを設ける構成となっている。よって蓋体３の自由端部３ａをボルト５Ａの頭部とナット部５Ｃとで強固に挾持することができ、もって確実に蓋体３による内部空間２ａの密閉を行うことが可能となる。ボルト５Ａの軸部５Ａａは頭部直下の上半部には雄ねじ山を形成せず、下半部のみに雄ねじ山を形成する構成とすることが望ましい。この構成により、雄ねじ山が形成された下半部はボルト挿入部５Ｂの雌ねじ溝と螺合するときのみに進退可能とし、一旦ボルト挿入部５Ｂを通過した後には不用意に抜け外れない状態となる。
【００２８】
なお、本発明においては、ナット部５Ｃを蓋体３側に設け、ボルト挿入部５Ｂを本体２側に設けることも包含するが、グローブボックス外からの螺合操作（締緩操作）を容易にするためには、既述のようにナット部５Ｃを本体２側に設け、ボルト挿入部５Ｂを蓋体３側に設けておけば上方から螺合操作できるので都合が良い。
【００２９】
また、弾性手段４たる圧縮コイルばねは螺合手段５を構成するボルト５Ａの軸部と同軸に配置する構成として、開方向と閉方向の何れにも同軸方向で力を加えることができる。
【００３０】
また、蓋体３の自由端部３ａ下面に、該蓋体３が閉じた状態で弾性手段４たる圧縮コイルばねを収納する凹部１０Ａを設けると共に、本体２の張り出し部２ｂ上面に、同じく圧縮コイルばねを収納する凹部１０Ｂを設けることにより、蓋体３と本体２間のシール性を向上させると共に見栄えを向上する。なお、本発明においては、当該圧縮コイルばねを収納することができれば、本体２か蓋体３の何れか一方のみに凹部１０を設ける構成としてもよい。
【００３１】
上記説明したように、本発明に係るキャリーボックス１は、螺合手段５を操作するのみ、つまり螺合手段５を構成するボルト５Ａを締めたり緩めたりするのみで蓋体３を開閉できる構成としたから、ガス置換作業を行うグローブボックスの外から容易に蓋体３を開閉でき、簡単に内部空間２ａの雰囲気ガスを不活性ガスへと置換することができる。加えてボックス自体にガス置換機構や真空維持機構が不要であり、当然に従来に比して小型化且つ軽量化することができる。
【００３２】
好ましくは、図１に示すように、保持用スリット付きのウェーハホルダーＨを介して内部空間２ａ内に半導体ウェーハを保持する。ウェーハホルダーＨには位置決め孔Ｈａを設け、本体２の内部空間２ａ内には位置決め突起２ｅを設けて、これら位置決め孔Ｈａと位置決め突起２ｅを係合させて位置決めし、ガタツキなく半導体ウェーハを保持できるようにする。また、ウェーハホルダーＨはポリテトラフルオロエチレン製とし、内部空間２ａ内で不要なガスが発生しないようにする。
【００３３】
次いで、上記説明した本発明に係るキャリーボックス１を用いて行う、本発明に係る半導体ウェーハ運搬方法について説明する。
【００３４】
最初にキャリーボックス１以外に使用するものについて説明すると、図６・図７に示す１１は、キャリーボックス１の内部空間２ａ内の雰囲気ガスを不活性ガスに置換するためのグローブボックスであり、同１４はグローブボックス１１を載置しつつ移動できるワゴンである。
【００３５】
グローブボックス１１は、ガス置換作業を行う作業空間１２ａを有する円筒形の本体１２と、該作業空間１２ａを密閉するための円盤状の蓋体１３を具備しており、該蓋体１３はヒンジ１７により本体１２に回動可能に軸支されている。また、蓋体１３の中央に設けられた１３ａは作業空間１２ａ内での作業時に使用する覗き窓である。
【００３６】
また、グローブボックス１１の本体１２には作業空間１２ａ内の雰囲気ガスを排気するための排気口１２ｂと、該作業空間１２ａ内に不活性ガスを供給する供給口１２ｃとが設けられている。排気口１２ｂはパイプ等を通じてワゴン１４に積んだドライポンプ（真空ポンプ）Ｐと繋がっており、供給口１２ｃは、具体的には図示しないが、該供給口１２ｃに連なる供給パイプ１８を通じてガスボンベやガス発生装置等の不活性ガスの供給源に繋がっている。なお、図６中の１６は連成計であり、真空引き作業時の負圧と不活性ガス供給時の正圧の双方を測定するものである。また、図６中の１９はリークバルブである。
【００３７】
ここで、本発明に係る運搬方法において用いる不活性ガスとしては、超高純度又は高純度で乾燥した窒素ガス又はアルゴンガスを用いる。また、これら不活性ガスに１％〜２％の超高純度又は高純度の水素ガスを混入しても良い。
【００３８】
また、グローブボックス１１の蓋体１３には、キャリーボックス１の螺合手段５を操作する操作手段１５が当該螺合手段５に対応する位置に設けられている。この螺合操作手段１５は、図８に示すように、回転可能（図中Ｘ方向へ回転可能）且つ上下動可能（図中Ｙ方向に移動可能）に設けられており、作業者の手に直接触れる摘み部１５Ａと、該摘み部１５Ａから垂下するドライバー部１５Ｃと、該ドライバー部１５Ｃをシール性をもって作業空間１２ａ内に挿入するための接続筒部１５Ｂとから成る。該接続筒部１５Ｂ内にはゴム製のＯリング１５Ｂａと該Ｏリング１５Ｂａを押圧する金属製のリング１５Ｂｂを配置し、シール性を向上する。金属製のリング１５Ｂｂはゴム製Ｏリングを覆うように凹む、すり鉢状の表裏面を有している。
【００３９】
なお、本来のグローブボックスには作業空間内での作業を行うためのグローブ手段が備えられているが、図６・図７に示したように、グローブ手段の代わりに螺合操作手段１５を設けて螺合手段５を操作しても良いし、グローブ手段と螺合操作手段１５の双方を備えても良い。また、本発明は既知のグローブボックスを用い、該グローブボックスのグローブ手段によりキャリーボックス１の螺合手段５を操作することも包含する。
【００４０】
以下、本発明に係る運搬方法を順を追って説明する。まず、キャリーボックス１の内部空間２ａに運搬対象の半導体ウェーハを保持する。半導体ウェーハの保持方法は特に問わないが、当然に不用意に移動しないように固定するものとする。
【００４１】
次いで、キャリーボックス１の蓋体３を弾性手段４たる圧縮コイルばねにより図３に示すような開状態に保ち、該キャリーボックス１をそのままグローブボックス１１内の作業空間１２ａ内に入れる。この際にはキャリーボックス１をグローブボックス１１に設けた位置決めピン等の位置決め手段により作業空間１２ａ内の所定の位置に固定することが望ましい。
【００４２】
そして、グローブボックス１１の作業空間１２ａを蓋体１３で密閉し、排気口１２ｂを通じてドライポンプＰにて真空引き作業を行い、当該作業空間１２ａを真空状態とすると同時に同空間１２ａ内に配されているキャリーボックス１の内部空間２ａを真空状態にする。
【００４３】
次いでグローブボックス１１の作業空間１２ａ内に供給口１２ｃを通じて１〜１．５気圧の不活性ガスを充填し、当該作業空間１２ａを１〜１．５気圧の不活性ガスで満たすと同時に当該不活性ガスをキャリーボックス１の内部空間２ａにも充填する。したがってキャリーボックス１の内部空間２ａも１〜１．５気圧の不活性ガスで満たされる。
【００４４】
さらに、キャリーボックス１の螺合手段５をグローブボックス１１の外部から操作する。すなわち、作業者は操作手段１５の摘み部１５Ａを掴んでドライバー部１５Ｃを回転及び上下動させて、螺合手段５のボルト５Ａを締める操作を行ってキャリーボックス１の蓋体３を強制的に閉方向に回動させる。この操作により、キャリーボックス１の蓋体３を閉状態にして内部空間２ａに上記充填した不活性ガスを密閉する。
【００４５】
最後に、蓋体３を閉状態にしたキャリーボックス１をグローブボックス１１の作業空間１２ａから取り出して所望の運搬先へ運ぶ。なお、この取り出しの際や運搬の際にはキャリーボックス１の把手兼圧力計８により内部空間２ａの内圧を確認しながら運搬することができ、この内圧が大気圧以上である限り半導体ウェーハの表面が清浄に保たれていることを確認することができる。
【００４６】
上記説明したように、本発明に係る半導体ウェーハ運搬方法は、キャリーボックス１により容易に且つ確実に半導体ウェーハを不活性ガス雰囲気下で運搬できることに加えて、不活性ガスを大気圧以上の気圧で内部空間２ａに封入することにより、該内部空間２ａに外部大気が流入し難いと共に、該内部空間２ａへ万が一に外部大気が流入したときには当該内部空間２ａ内の気圧低下を把手兼圧力計８により把握して上記流入を検知することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１…半導体ウェーハ用キャリーボックス、２…本体、２ａ…内部空間、２ｂ…張り出し部、２ｃ…溝、２ｄ…Ｏリング、２ｅ…位置決め突起、３…蓋体、３ａ…自由端部、４…弾性手段（圧縮コイルばね）、５…螺合手段、５Ａ…ボルト、５Ａａ…軸部、５Ｂ…ボルト挿入部、５Ｃ…ナット部、６…軸支手段、６Ａ…支軸、６Ｂ…軸受孔、７…ヒンジ、８…把手兼圧力計、９…接続管、１０…凹部、１０Ａ…蓋体側凹部、１０Ｂ…本体側凹部、１１…ガス置換用グローブボックス、１２…本体、１２ａ…作業空間、１２ｂ…排気口、１２ｃ…供給口、１３…蓋体、１３ａ…覗き窓、１４…ワゴン、１５…操作手段、１５Ａ…摘み部、１５Ｂ…接続筒部、１５Ｂａ…Ｏリング、１５Ｂｂ…リング、１５Ｃ…ドライバー部、１６…連成計、１７…ヒンジ、１８…供給パイプ、１９…リークバルブ、Ｐ…ドライポンプ、Ｈ…ウェーハホルダー、Ｈａ…位置決め孔。
【図１】
2018120931.tif 000003
【図２】
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【図３】
2018120931.tif 000005
【図４】
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【図５】
2018120931.tif 000007
【図６】
2018120931.tif 000008
【図７】
2018120931.tif 000009
【図８】
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【手続補正書】
【提出日】平成29年3月21日(2017.3.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハを保持する内部空間と該内部空間を上方に開放する上部開口を有する本体と、該本体に回動可能に軸支され、閉状態で上記上部開口を密閉する蓋体とを備える半導体ウェーハ用キャリーボックスであって、上記蓋体を開方向へ弾発付勢する弾性手段と、該弾性手段の弾性反発力に抗して上記蓋体を強制的に閉方向へと回動させる螺合手段とを有し、該螺合手段のみを操作することにより上記蓋体を開閉できる構成を有し、上記螺合手段はボルトと該ボルトの軸部を挿入するボルト挿入部とナット部とから成り、該ナット部を上記本体又は上記蓋体の何れか一方に設け、同他方に上記ボルト挿入部を設けると共に、上記弾性手段は上記本体と上記蓋体間に介在する圧縮コイルばねであり、上記螺合手段を構成するボルトの軸部と同軸に配置することを特徴とする半導体ウェーハ用キャリーボックス。
【請求項２】
上記本体と上記蓋体の何れか一方又は双方に、上記蓋体が閉じた状態で上記弾性手段たる圧縮コイルばねを収納する凹部を設けたことを特徴とする請求項１記載の半導体ウェーハ用キャリーボックス。
【請求項３】
上記蓋体を軸支するための軸受孔が上下方向に長い長孔形状であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の半導体ウェーハ用キャリーボックス。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れかに記載の半導体ウェーハ用キャリーボックスを利用した半導体ウェーハ運搬方法であって、以下のＡ乃至Ｆの構成を有することを特徴とする、
Ａ：上記キャリーボックスの内部空間に運搬対象の半導体ウェーハを保持する、
Ｂ：上記キャリーボックスの蓋体を上記弾性手段により開状態に保ち、該キャリーボックスをそのままガス置換作業用グローブボックス内の作業空間に入れる、
Ｃ：上記グローブボックスの作業空間を密閉して真空引き作業を行い、上記キャリーボックスの内部空間を真空状態にする、
Ｄ：次いで上記グローブボックスの作業空間内に１〜１．５気圧の不活性ガスを充填し、当該不活性ガスを上記キャリーボックスの内部空間にも充填する、
Ｅ：上記キャリーボックスの螺合手段を上記グローブボックスの外部から操作し、該キャリーボックスの蓋体を閉状態にして内部空間に上記不活性ガスを密閉する、
Ｆ：上記キャリーボックスを上記グローブボックスから取り出して所望の運搬先へ運ぶ。
【請求項５】
上記グローブボックスはグローブ手段と併用し又はグローブ手段の代わりに上記キャリーボックスの螺合手段を操作する操作手段を有していることを特徴とする請求項４記載の半導体ウェーハ運搬方法。
【請求項６】
上記不活性ガスが窒素ガス又はアルゴンガスであることを特徴とする請求項４記載の半導体ウェーハ運搬方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
加えて、上記螺合手段はボルトと該ボルトの軸部を挿入するボルト挿入部とナット部とから成り、該ナット部を上記本体又は上記蓋体の何れか一方に設け、同他方に上記ボルト挿入部を設ける構成を有することにより、簡易構造ながら上記蓋体を確実に閉状態とすることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
さらに、上記弾性手段は上記本体と上記蓋体間に介在する圧縮コイルばねであり、上記螺合手段を構成するボルトの軸部と同軸に配置する構成として、開方向と閉方向の何れにも同軸方向で力を加えることができる。