(57)【要約】【課題】優れた耐摩耗性を有する摺動部材、内燃機関の摺動部材、及び摺動部材の製造方法を提供する。【解決手段】摺動部材は、基材と、基材上に形成された被膜層とを備える。被膜層は、析出硬化型銅合金の粒子を含み、粒子同士が界面を介して結着した構造を有している。析出硬化型銅合金は、添加元素として、ニッケル及びケイ素を含む。析出硬化型銅合金におけるニッケルの含有量は、２〜５質量％である。  内燃機関の摺動部材は、摺動部材を内燃機関の摺動部位に有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、
上記基材上に形成された被膜層と、を備え、
上記被膜層は、析出硬化型銅合金の粒子を含み、粒子同士が界面を介して結着した構造を有しており、
上記析出硬化型銅合金が、添加元素として、ニッケル及びケイ素を含み、
上記析出硬化型銅合金における上記ニッケルの含有量が２〜５質量％である
ことを特徴とする摺動部材。
【請求項２】
上記粒子の少なくとも１つが、その内部及び／又は界面にケイ化ニッケルからなる少なくとも１つの析出相を含むことを特徴とする請求項１に記載の摺動部材。
【請求項３】
上記基材及び上記被膜層の少なくとも一方が、塑性変形部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の摺動部材。
【請求項４】
上記被膜層の断面における気孔率が、３面積％以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の摺動部材。
【請求項５】
上記基材と上記被膜層との間の少なくとも一部に形成された拡散層及び金属間化合物層の少なくとも一方を含む中間層を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つの項に記載の摺動部材。
【請求項６】
上記被膜層が、上記粒子よりも硬質である硬質粒子を含むことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つの項に記載の摺動部材。
【請求項７】
上記硬質粒子が、鉄基合金粒子、コバルト基合金粒子、クロム基合金粒子、ニッケル基合金粒子及びモリブデン基合金粒子からなる群より選ばれた少なくとも１種の合金粒子、並びに／又はセラミックス粒子からなることを特徴とする請求項６に記載の摺動部材。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１つの項に記載の摺動部材を内燃機関の摺動部位に有することを特徴とする内燃機関の摺動部材。
【請求項９】
基材と、
上記基材上に形成された被膜層と、を備え、
上記被膜層は、析出硬化型銅合金の粒子、又は該粒子及び該粒子よりも硬質である硬質粒子を含み、粒子同士が界面を介して結着した構造を有しており、
上記析出硬化型銅合金が、添加元素として、ニッケル及びケイ素を含み、
上記析出硬化型銅合金における上記ニッケルの含有量が２〜５質量％である
摺動部材の製造方法であって、
非溶融の状態であり、かつ、上記析出硬化型銅合金の粉末、又は該粉末及び該粉末より硬質である硬質粉末を含む混合粉末を、上記基材上に吹き付けて、上記被膜層を該基材上に形成する工程を含む
ことを特徴とする摺動部材の製造方法。
【請求項１０】
上記粉末又は上記混合粉末を上記基材上に吹き付ける際に、該粉末又は該混合粉末を、該基材上に、該粉末が該基材上に吹き付けられて、該基材及び上記被膜層の少なくとも一方に塑性変形部を形成する速度で、吹き付けることを特徴とする請求項９に記載の摺動部材の製造方法。
【請求項１１】
上記粉末が、過飽和固溶体の状態であることを特徴とする請求項９又は１０に記載の摺動部材の製造方法。
【請求項１２】
上記粉末が、急冷凝固粉末であることを特徴とする請求項９〜１１のいずれか１つの項に記載の摺動部材の製造方法。
【請求項１３】
上記粉末は、該粉末に含まれる粒子の圧縮強度が５０〜１１０Ｎ／ｍｍ２であることを特徴とする請求項９〜１２のいずれか１つの項に記載の摺動部材の製造方法。
【請求項１４】
上記粉末及び上記硬質粉末の粒度が、１５０μｍ以下であることを特徴とする請求項９〜１３のいずれか１つの項に記載の摺動部材の製造方法。
【請求項１５】
上記粉末及び上記硬質粉末の粒度が、７５μｍ以下であることを特徴とする請求項９〜１４のいずれか１つの項に記載の摺動部材の製造方法。
【請求項１６】
上記粉末の平均粒子径が、上記硬質粒子の平均粒子径より小さいことを特徴とする請求項９〜１５のいずれか１つの項に記載の摺動部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、摺動部材、内燃機関の摺動部材、及び摺動部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１は、冷間で加工誘起変態を生じさせることにより基材の表面に硬質皮膜を形成することを可能とした硬質皮膜の形成方法を開示している。そして、この硬質皮膜の形成方法は、基材の表面に固相状態の金属粉末を圧縮性の気体を媒体として吹き付けて硬質の金属皮膜を形成する硬質皮膜の形成方法であって、該金属粉末は加工誘起変態が生じる金属材料で構成されており、該金属粉末を該加工誘起変態が生じる高速で該基材に叩きつけることにより、該金属粉末を扁平に塑性変形させながら該基材の表面に幾重にも堆積させ且つ堆積した該金属粉末に該加工誘起変態を生じさせて該基材に叩きつける前の該金属粉末より高い硬さの金属皮膜を該基材の表面に形成することを特徴とする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５２０２０２４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された硬質皮膜は、耐摩耗性が不十分であるという問題点があった。
【０００５】
本発明は、このような従来技術の有する課題に鑑みてなされたものである。そして、本発明は、優れた耐摩耗性を有する摺動部材、内燃機関の摺動部材、及び摺動部材の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた。その結果、所定の析出硬化型銅合金の粒子を含み、粒子同士が界面を介して結着した構造を有する被膜層を基材上に形成することにより、上記目的が達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、優れた耐摩耗性を有する摺動部材、内燃機関の摺動部材、及び摺動部材の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る摺動部材を模式的に示す断面図である。
【図２】図２は、図１に示した摺動部材のＩＩ線で囲んだ部分の拡大図である。
【図３】図３は、図１に示した摺動部材のＩＩＩ線で囲んだ部分の拡大図である。
【図４】図４は、本発明の第２の実施形態に係る摺動部材を模式的に示す断面図である。
【図５】図５は、図４に示した摺動部材のＶ線で囲んだ部分の拡大図である。
【図６】図６は、図４に示した摺動部材のＶＩ線で囲んだ部分の拡大図である。
【図７】図７は、本発明の第３の実施形態に係る摺動部材を模式的に示す断面図である。
【図８】図８は、図７に示した摺動部材のＶＩＩＩ線で囲んだ部分の拡大図である。
【図９】図９は、図７に示した摺動部材のＩＸ線で囲んだ部分の拡大図である。
【図１０】図１０は、本発明の第４の実施形態に係る摺動部材を模式的に示す断面図である。
【図１１】図１１は、摺動部材を内燃機関の摺動部位に有する内燃機関の摺動部材を模式的に示す断面図である。
【図１２】図１２は、摺動部材を内燃機関の軸受機構の軸受メタルに有する内燃機関の軸受機構を模式的に示す断面図である。
【図１３】図１３は、摩耗試験装置の概略を示す断面図である。
【図１４】図１４は、実施例３の摺動部材における断面透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）像である。
【図１５】図１５は、実施例３の摺動部材におけるエネルギー分散型Ｘ線（ＥＤＸ）分析の結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態に係る摺動部材、内燃機関の摺動部材、及び摺動部材の製造方法について詳細に説明する。
【００１０】
（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態に係る摺動部材について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の各実施形態で引用する図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる場合がある。
【００１１】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る摺動部材を模式的に示す断面図である。また、図２は、図１に示した摺動部材のＩＩ線で囲んだ部分の拡大図である。さらに、図３は、図１に示した摺動部材のＩＩＩ線で囲んだ部分の拡大図である。図１及び図２に示すように、本実施形態の摺動部材１は、基材１０と、基材１０上に形成された被膜層２０とを備えたものである。そして、この被膜層２０は、析出硬化型銅合金の粒子（以下「第１粒子」ということがある。）２１を含む。また、この被膜層２０においては、析出硬化型銅合金の粒子２１，２１同士が界面２１ａを介して結着した構造を有している。さらに、図示しないが、析出硬化型銅合金は、添加元素として、ニッケル及びケイ素を含み、析出硬化型銅合金におけるニッケルの含有量は、２〜５質量％である。なお、被膜層２０は、気孔２０ａを有することがある。
【００１２】
また、図３に示すように、本実施形態の摺動部材１は、析出硬化型銅合金の粒子２１の少なくとも１つが、析出硬化型銅合金の粒子の内部及び析出硬化型銅合金の粒子２１，２１同士の界面２１ａに少なくとも１つの析出相２５を含むことが好ましい。なお、被膜層２０は、気孔２０ａを有することがある。
【００１３】
ここで、本発明において、「析出硬化型銅合金」とは、析出硬化した後の銅合金のみを意味するのではなく、析出硬化する前の銅合金を含むことを意味する。そして、析出硬化型銅合金の粒子において、全ての粒子が析出硬化した後の銅合金の粒子であることが好ましいが、これに限定されるものではない。例えば、析出硬化型銅合金の複数の粒子において、一部の粒子が析出硬化した後の銅合金の粒子であり、残部の粒子が析出硬化する前の銅合金の粒子であってもよい。また、例えば、析出硬化型銅合金の複数の粒子において、全ての粒子が析出硬化する前の銅合金の粒子であってもよい。なお、析出硬化型銅合金は、粒子分散強化型銅合金と呼ばれることもある。
【００１４】
上述のように、基材と、基材上に形成された被膜層とを備え、被膜層が析出硬化型銅合金の粒子を含み、かつ、粒子同士が界面を介して結着した構造を有し、析出硬化型銅合金が添加元素としてニッケル及びケイ素を含み、析出硬化型銅合金におけるニッケルの含有量が２〜５質量％であるものとすることにより、優れた耐摩耗性を有するものとなる。
【００１５】
また、上述のように、析出硬化型銅合金の粒子の少なくとも１つが、析出硬化型銅合金の粒子の内部及び析出硬化型銅合金の粒子同士の界面に少なくとも１つの析出相を含むものとすることにより、より優れた耐摩耗性を有するものとなる。
【００１６】
現時点においては、以下のような理由の少なくとも１つにより、その効果が得られていると考えている。
【００１７】
ニッケル及びケイ素を含む析出硬化型銅合金においては、ニッケルの含有量が２〜５質量％であると、耐摩耗性の向上効果に優れたケイ化ニッケル（Ｎｉ２Ｓｉ）からなる析出相が被膜層において均一に含まれることとなるためと考えられる。ニッケルの含有量が２質量％未満の場合には、耐摩耗性の向上効果に優れたケイ化ニッケル（Ｎｉ２Ｓｉ）からなる析出相の被膜層における形成量が十分なものとならない。また、ニッケルの含有量が５質量％超の場合には、耐摩耗性の向上効果に優れたケイ化ニッケル（Ｎｉ２Ｓｉ）からなる析出相が被膜層において均一に形成されない。なお、特に限定されるものではないが、ニッケルとケイ素の含有量の比（Ｎｉ：Ｓｉ）が質量比で３．５〜４．５：１の範囲内にあることが好ましい。また、ケイ素の含有量が０．５〜１．２５質量％であることが好ましい。但し、このような範囲に何ら制限されるものではなく、本発明の作用効果を発現できるものであれば、この範囲を外れていてもよいことは言うまでもない。
【００１８】
また、例えば、詳しくは後述するが、析出硬化型銅合金の粉末（以下「第１粉末」ということがある。）を基材上に吹き付けると、第１粉末が基材や基材に付着した第１粒子に衝突したときに、その運動エネルギーの一部が熱エネルギーに変換され、基材と第１粉末との間や第１粉末と第１粒子との間における溶着や原子拡散が進行し、析出相が均一に形成されるためとも考えられる。
【００１９】
但し、上記の理由以外の理由により上述のような効果が得られていたとしても、本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
【００２０】
なお、本発明において、「粒子同士が界面を介して結着している」とは、粒子間において、溶着、原子拡散、さらには詳しくは後述する、めり込み（進入）、塑性変形部形成のうちの少なくとも１つが生じていることを意味する。なお、第１又は第２の実施形態において、めり込み（進入）や塑性変形部形成が生じていてもよい。
【００２１】
ここで、各構成についてさらに詳細に説明する。
【００２２】
上記基材１０としては、特に限定されるものではないが、詳しくは後述する摺動部材の製造方法、つまり、被膜層の形成方法に適用し得る金属であることが好ましい。また、基材は、摺動部材が内燃機関の摺動部材として用いられた場合において、摺動部材が適用される高温環境下で使用可能であるものであることが好ましいことは言うまでもない。
【００２３】
そして、金属としては、例えば、従来公知のアルミニウムや鉄、チタン、銅などの合金を適用することが好ましい。
【００２４】
また、アルミニウム合金としては、例えば、日本工業規格で規定されているＡＣ２Ａ、ＡＣ８Ａ、ＡＤＣ１２などを適用することが好ましい。さらに、鉄合金としては、例えば、日本工業規格で規定されているＳＵＳ３０４、鉄系焼結合金などを適用することが好ましい。また、銅合金としては、例えば、ベリリウム銅や銅合金系焼結合金などを適用することが好ましい。
【００２５】
また、上記被膜層２０としては、その気孔率に関して、特に限定されるものではないが、例えば、被膜層の気孔率が大きいと強度が不足し、耐摩耗性を低下させる可能性があるという観点から、被膜層の気孔率は可能な限り小さいことが好ましい。そして、高い熱伝導性を有する摺動部材とすることができるという観点から、被膜層の断面における気孔率は３面積％以下であることが好ましく、１面積％以下であることがより好ましく、特に０面積％であることが好ましい。なお、現時点においては、気孔率を０．１面積％まで低減することが可能となっているため、優れた耐摩耗性や生産性の向上などをバランス良く実現し得るという観点から、０．１〜３面積％とすることが好ましい。但し、このような範囲に何ら制限されるものではなく、本発明の作用効果を発現できるものであれば、この範囲を外れていてもよいことは言うまでもない。また、被膜層の断面における気孔率は、例えば、被膜層における断面の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像などの観察、及び断面走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像の２値化などの画像処理によって、算出することができる。
【００２６】
さらに、上記被膜層２０としては、その厚みに関して、特に限定されるものではない。つまり、被膜層の厚みは適用される部位の温度や摺動環境により適宜調整すればよいが、例えば、０．０５〜５．０ｍｍとすることが好ましく、０．１〜２．０ｍｍとすることがより好ましい。０．０５ｍｍ未満であると、被膜層自体の剛性が不足するため、特に基材強度が低い場合に塑性変形を起こすことがある。また、１０ｍｍ超であると、成膜時に発生する残留応力と界面密着力の関係により被膜層の剥離が生じる可能性がある。
【００２７】
上記析出硬化型銅合金の粒子２１を構成する析出硬化型銅合金としては、ニッケル及びケイ素を含み、ニッケルの含有量が２〜５質量％であれば、特に限定されるものではない。いわゆるコルソン合金と呼ばれるものを適用することが好ましい。これにより、優れた耐摩耗性を有するものとなる。
【００２８】
しかしながら、これに限定されるものでなく、例えば、クロム、ジルコニウム若しくはバナジウムを単独で又はこれらを任意に組み合わせてさらに添加した析出硬化型銅合金を適用することもできる。これにより、摺動部材に要求される仕様に応じた種々の材料を適用することが可能である。なお、上記の析出硬化型銅合金に、さらに他の元素を添加してもよいことは言うまでもない。
【００２９】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態に係る摺動部材について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、上記の実施形態において説明したものと同等のものについては、それらと同一の符号を付して説明を省略する。
【００３０】
図４は、本発明の第２の実施形態に係る摺動部材を模式的に示す断面図である。また、図５は、図４に示した摺動部材のＶ線で囲んだ部分の拡大図である。さらに、図６は、図４に示した摺動部材のＶＩ線で囲んだ部分の拡大図である。図４〜図６に示すように、本実施形態の摺動部材２は、被膜層２０が、第１粒子２１よりも硬質である硬質粒子（以下「第２粒子」ということがある。）２３を含み、例えば、第１粒子２１，２１同士、第１粒子２１と第２粒子２３同士、第２粒子２３，２３同士が界面を介して結着した構造を有している構成が、上記の第１の実施形態と相違している。
【００３１】
また、図５に示すように、本実施形態の摺動部材２は、第１粒子２１の少なくとも１つが、その内部及び第１粒子２１，２１同士の界面２１ａに少なくとも１つの析出相２５を含むことが好ましい。なお、被膜層２０は、気孔２０ａを有することがある。
【００３２】
さらに、図６に示すように、本実施形態の摺動部材２は、第１粒子２１より第２粒子２３が硬質であるため、第２粒子２３に隣接する第１粒子２１の界面２１ａ近傍（ここで、「第１粒子の界面近傍」とは、例えば、図中矢印Ｘで示すように界面２１ａから第１粒子２１内部に向かって１μｍ程度までの領域である。）において析出相２５が析出し易く、ケイ化ニッケル（Ｎｉ２Ｓｉ）からなる析出相２５が均一に含まれ易い。なお、被膜層２０は、気孔２０ａを有することがある。
【００３３】
上述のように、基材と、基材上に形成された被膜層とを備え、被膜層が上述した所定の第１粒子と、第１粒子よりも硬質である第２粒子とを含み、粒子同士が界面を介して結着した構造を有するものとすることにより、より優れた耐摩耗性を有するものとなる。
【００３４】
現時点においては、以下のような理由の少なくとも１つにより、その効果が得られていると考えている。
【００３５】
例えば、詳しくは後述するが、第１粉末と、第１粉末よりも硬質である硬質粉末（以下「第２粉末」ということがある。）とを含む混合粉末を基材上に吹き付けると、第２粉末が基材に衝突したときに、例えば、基材がその表面に基材と被膜層との密着性を阻害する酸化被膜を有する場合に、その酸化被膜が除去され、被膜層との密着性に優れた新生界面が基材に露出形成されるためと考えられる。
【００３６】
また、例えば、詳しくは後述するが、第１粉末と第２粉末とを基材上に吹き付けると、第２粉末が基材に付着した第１粒子に衝突したときに、その運動エネルギーの一部が熱エネルギーに変換され、第１粒子における溶着や原子拡散が進行し、析出相が均一に形成されるためとも考えられる。
【００３７】
なお、第１粒子２１，２１同士や第１粒子２１と第２粒子２３同士は、第２粒子２３，２３同士と比較して結着し易いと考えている。
【００３８】
但し、上記の理由以外の理由により上述のような効果が得られていたとしても、本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
【００３９】
ここで、上記硬質粒子２３についてさらに詳細に説明する。硬質粒子としては、析出硬化型銅合金の粒子よりも硬質であれば、特に限定されるものではないが、例えば、合金粒子若しくはセラミックス粒子又はこれらを任意の割合で混合したものを適用することができる。また、特に限定されるものではないが、例えば、基材よりも硬質であることが好ましい。さらに、例えば、合金粒子としては、より優れた耐摩耗性を有するものとなり得るという観点から、鉄基合金粒子、コバルト基合金粒子、クロム基合金粒子、ニッケル基合金粒子若しくはモリブデン基合金粒子、又はこれらを任意の割合で混合したものを適用することが好ましい。
【００４０】
なお、析出硬化型銅合金の粒子や硬質粒子、さらには、詳しくは後述する析出硬化型銅合金の粉末や硬質粉末の硬さは、例えば、日本工業規格で規定されているビッカース硬さ試験（ＪＩＳ  Ｚ  ２２４４）に準拠して測定・算出されるビッカース硬さを指標とすればよい。また、このビッカース硬さとしては、例えば、粉末に関しては３〜３０個程度、少なくとも３〜５個程度、被膜層における粒子については３〜３０箇所程度、少なくとも３〜５箇所程度について測定して得られる算出平均値を適用する。さらに、析出硬化型銅合金の粒子や硬質粒子のビッカース硬さを測定・算出する際には、必要に応じて、被膜層の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像や透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）像などの観察、エネルギー分散型Ｘ線（ＥＤＸ）分析などを組み合わせればよい。
【００４１】
また、上記鉄基合金としては、例えば、日本工業規格で規定されているＳＵＳ４４０Ｃなどを挙げることができる。また、コバルト基合金としては、例えば、ＴＲＩＢＡＬＯＹ（登録商標）Ｔ−４００、Ｔ−８００などを挙げることができる。さらに、クロム基合金としては、例えば、フェロクロムなどを挙げることができる。また、ニッケル基合金としては、例えば、ＴＲＩＢＡＬＯＹ（登録商標）Ｔ−７００などを挙げることができる。さらに、モリブデン基合金としては、例えば、フェロモリブデンなどを挙げることができる。また、セラミックスとしては、例えば、ＷＣ／Ｃｏ、Ａｌ２Ｏ３などを挙げることができる。その中で、耐摩耗性に優れたコバルト基合金を適用することが好ましく、具体的には、ＴＲＩＢＡＬＯＹ（登録商標）Ｔ−４００、Ｔ−８００などを適用することが好ましい。
【００４２】
また、特に限定されるものではないが、被膜層の断面における硬質粒子の割合は、耐摩耗性、必要に応じて熱伝導性をより優れたものとするという観点からは、１〜５０面積％とすることが好ましく、１〜２５面積％とすることがより好ましく、１〜１８面積％とすることがさらに好ましく、５〜１８面積％とすることが特に好ましい。但し、このような範囲に何ら制限されるものではなく、本発明の作用効果を発現できるものであれば、この範囲を外れていてもよいことは言うまでもない。なお、被膜層の断面における硬質粒子の割合は、例えば、被膜層における断面の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像などの観察、及び断面走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像の２値化などの画像処理によって、算出することができる。また、断面で観察し、算出した面積％を体積％に読み替えることが可能であり、体積％を各粒子の密度で換算することにより重量％に読み替えることが可能であることは言うまでもない。
【００４３】
なお、上述のように、耐摩耗性及び熱伝導性をより優れたものとするという観点からは、被膜層の断面における硬質粒子の割合は、１〜５０面積％とすることが好ましいが、高い熱伝導性が必ずしも必要でない一方で、優れた耐摩耗性が必要である場合には、被膜層の断面における硬質粒子の割合は、５０〜９９面積％としても構わない。また、析出硬化型銅合金の粒子及び硬質粒子以外の他の粒子を含んでいてもよい。
【００４４】
また、上記硬質粒子２３としては、析出硬化型銅合金の粒子よりも硬質であれば、特に限定されるものではないが、例えば、析出硬化型銅合金の粒子との接触面積が向上し、耐摩耗性が向上し得るという観点からは、不規則形状粒子であることが好ましい。
【００４５】
また、ここで、「不規則形状粒子」とは、不規則形状を有する粒子を意味する。なお、「粒子が不規則形状を有する」とは、粒子のアスペクト比がメジアン値において１．３以上であることを意味する。そして、特に限定されるものではないが、具体的には、粒子のアスペクト比がメジアン値において１．３以上２．０以下であることが好ましい。また、「アスペクト比」とは、被膜層の層厚み方向に沿った任意の断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）などによって観察したときの各粒子において、（最大長径／最大長径に直交する幅）で定義される。さらに、「最大長径」とは、被膜層の層厚み方向に沿った任意の断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）などによって観察したときの粒子の輪郭線上の任意の２点間の距離のうち最大の距離を意味する。また、アスペクト比のメジアン値を算出するに際しては、例えば、数〜数十視野中に観察される３〜３０個程度、少なくとも３〜５個程度の粒子について測定すればよい。
【００４６】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態に係る摺動部材について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、上記の実施形態において説明したものと同等のものについては、それらと同一の符号を付して説明を省略する。
【００４７】
図７は、本発明の第３の実施形態に係る摺動部材を模式的に示す断面図である。また、図８は、図７に示した摺動部材のＶＩＩＩ線で囲んだ部分の拡大図である。さらに、図９は、図７に示した摺動部材のＩＸ線で囲んだ部分の拡大図である。図７〜図９に示すように、本実施形態の摺動部材３は、基材１０が扁平な凹部からなる塑性変形部１０ｂを有し、被膜層２０が扁平形状の第１粒子２１が堆積された構造を有する塑性変形部２０ｂを有する構成が、上記の第１又は第２の実施形態と相違している。なお、図示しないが、被膜層が第１粒子と第２粒子のうち第１粒子のみを含んで形成される場合や、基材及び被膜層の一方が塑性変形部を有する場合が本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
【００４８】
上述のように、基材と、基材上に形成された被膜層とを備え、被膜層が上述した所定の第１粒子を含み、必要により第１粒子よりも硬質である第２粒子をさらに含み、粒子同士が界面を介して結着した構造を有し、さらに、基材及び被膜層の少なくとも一方が塑性変形部を有するものとすることにより、さらに優れた耐摩耗性を有するものとなる。
【００４９】
現時点においては、以下のような理由の少なくとも１つにより、その効果が得られていると考えている。
【００５０】
詳しくは後述するが、第１粉末と、第１粉末よりも硬質である第２粉末とを含む混合粉末を基材上に吹き付けると、第２粉末が基材に衝突したときに、例えば、基材がその表面に基材と被膜層との密着性を阻害する酸化被膜を有する場合に、その酸化被膜が除去され、被膜層との密着性に優れた新生界面が基材に露出形成されるためと考えられる。
【００５１】
また、例えば、第１粉末が基材や基材に付着した第１粒子に衝突したときに、その運動エネルギーの一部が熱エネルギーに変換され、基材と第１粉末との間や第１粉末と第１粒子との間における溶着や原子拡散が進行するためとも考えられる。
【００５２】
さらに、例えば、第１粉末が基材に衝突したときに、第１粉末が基材にめり込むことによるアンカー効果により、基材と被膜層との密着性が向上するためとも考えられる。つまり、上述したように、基材に扁平な凹部からなる塑性変形部が形成されることにより、基材と被膜層との密着性が向上するためとも考えられる。
【００５３】
また、例えば、第１粉末が基材や基材に付着した第１粒子に衝突したときに、第１粉末や第１粒子が扁平形状となることによって、被膜層における第１粒子同士の密着性が向上するためとも考えられる。つまり、上述したように、被膜層に扁平形状の第１粒子が堆積された構造を有する塑性変形部が形成されることにより、第１粒子と第１粒子との間における隙間（気孔）が少なくなって、被膜層における第１粒子同士の密着性が向上するためとも考えられる。例えば、図５においては、被膜層２０が気孔２０ａを有することがある。一方、図８においては被膜層２０の気孔が少なくなって観察され難くなる。
【００５４】
さらに、例えば、第１粉末が基材や基材に付着した第１粒子に衝突したときに、基材に扁平な凹部が形成される過程や、第１粉末や第１粒子が扁平形状となる過程において、換言すれば、基材や被膜層に塑性変形部が形成される過程において、塑性変形による発熱により、基材と第１粉末との間や第１粉末と第１粒子との間における溶着や原子拡散が進行するためとも考えられる。
【００５５】
また、例えば、第２粉末が基材や基材に付着した第１粒子に衝突したときに、第２粉末が基材や第１粒子にめり込むことによるアンカー効果により、基材と被膜層との密着性が向上するためとも考えられる。つまり、上述したように、基材に扁平な凹部からなる塑性変形部が形成されることにより、基材と被膜層との密着性が向上するためとも考えられる。
【００５６】
さらに、例えば、詳しくは後述するが、第１粉末と第２粉末とを基材上に吹き付けると、第２粉末が基材に付着した第１粒子に又は第１粉末が基材に付着した第２粒子にめり込むことによるアンカー効果により、被膜層における第１粒子と第２粒子との密着性が向上するためとも考えられる。なお、第２粒子が上述した不規則形状を有する場合には、第２粉末が基材に付着した第１粒子にめり込み易く、また、第１粉末が基材に付着した第２粒子にめり込み易い。
【００５７】
但し、上記の理由以外の理由により上述のような効果が得られていたとしても、本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
【００５８】
（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態に係る摺動部材について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、上記の実施形態において説明したものと同等のものについては、それらと同一の符号を付して説明を省略する。
【００５９】
図１０は、本発明の第４の実施形態に係る摺動部材を模式的に示す断面図である。図１０に示すように、本実施形態の摺動部材４は、基材１０と被膜層２０との間の全体に亘って形成された所定の中間層３０を備えた構成が、上記の第１〜第３の実施形態と相違している。ここで、所定の中間層３０は、拡散層若しくは金属間化合物層又は拡散層及び金属間化合物層を含むものである。また、中間層が拡散層を含むものである場合には、中間層が拡散層である場合を含む。さらに、中間層が金属間化合物層を含むものである場合には、中間層が金属間化合物層である場合を含む。なお、図示しないが、被膜層が第１粒子と第２粒子のうち第１粒子のみを含んで形成される場合や、基材及び被膜層の双方が塑性変形部を有する場合、被膜層の一方が塑性変形部を有する場合が本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
【００６０】
上述のように、基材と、基材上に形成された被膜層とを備え、被膜層が上述した所定の第１粒子を含み、必要により第１粒子よりも硬質である第２粒子をさらに含み、粒子同士が界面を介して結着した構造を有し、さらに、基材と被膜層との間の少なくとも一部に形成された拡散層及び金属間化合物層の少なくとも一方を含む中間層を備えたものとすることにより、さらに優れた耐摩耗性を有するものとなる。なお、基材及び被膜層の少なくとも一方が塑性変形部を有する構成を有していてもよいことは言うまでもない。
【００６１】
現時点においては、以下のような理由により、その効果が得られていると考えている。
【００６２】
詳しくは後述するが、第１粉末を基材上に吹き付けると、例えば、第１粉末が基材に衝突したときに、その運動エネルギーの一部が熱エネルギーに変換され、基材と第１粉末及び基材に付着した第１粒子の少なくとも一方との間でそれぞれに含まれる成分元素の拡散が生じて、基材と被膜層との間に拡散層及び金属間化合物層の少なくとも一方を含む中間層が形成されるためと考えられる。
【００６３】
また、例えば、第２粉末をさらに含む混合粉末を吹き付けると、第２粉末が基材に衝突したときに、例えば、基材がその表面に基材と被膜層との密着性を阻害する酸化被膜を有する場合に、その酸化被膜が除去され、新生界面が基材に露出形成され、上記成分元素の拡散が促進されたためとも考えられる。
【００６４】
但し、上記の理由以外の理由により上述のような効果が得られていたとしても、本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
【００６５】
ここで、上記中間層３０についてさらに詳細に説明する。中間層は、拡散層若しくは金属間化合物層又は拡散層及び金属間化合物層を含むものである。拡散層としては、組成について傾斜構造を有するものを好適例として挙げることができる。しかしながら、拡散層は、組成について傾斜構造を有するものに限定されるものではない。また、特に限定されるものではないが、金属間化合物層を含む中間層としては、金属間化合物層が組成に関して傾斜構造を有する拡散層で挟まれた構造を有するものを好適例として挙げることができる。中間層は、例えば、基材に含まれる成分元素と第１粒子に含まれる成分元素とで構成されている。具体的には、基材としてアルミニウム合金を適用した場合には、アルミニウムと銅を含む合金からなる中間層が形成される。しかしながら、これに限定されるものではなく、例えば、基材として、ステンレス鋼（ＳＵＳ）を適用した場合には、ステンレス鋼（ＳＵＳ）の成分元素と銅を含む合金からなる中間層が形成される。
【００６６】
（第５の実施形態）
次に、本発明の第５の実施形態に係る内燃機関の摺動部材、つまり、上述した摺動部材を内燃機関の摺動部位に有する内燃機関の摺動部材について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、被膜層の表面側を摺動面とすることは言うまでもない。なお、上記の実施形態において説明したものと同等のものについては、それらと同一の符号を付して説明を省略する。
【００６７】
図１１は、摺動部材を内燃機関の摺動部位に有する内燃機関の摺動部材を模式的に示す断面図である。より具体的には、エンジンバルブを含む動弁機構を模式的に示す断面図である。図１１に示すように、カムロブ４０が回転すると、バルブリフタ４１がバルブスプリング４２を圧縮しつつ押し下げられると同時に、エンジンバルブ４３がステムシール４４を有するバルブガイド４５に案内されて押し下げられ、シリンダヘッド４６におけるエンジンバルブ４３の着座部４６Ａからエンジンバルブ４３が離間して、排気ポート４７と図示しない燃焼室とが連通する（エンジンバルブの開き状態）。その後、カムロブ４０がさらに回転すると、バルブスプリング４２の反発力により、バルブリフタ４１、リテーナ４８及びコッタ４９とともにエンジンバルブ４３が押し上げられ、着座部４６Ａにエンジンバルブ４３が接触して排気ポート４７と図示しない燃焼室とを遮断する（エンジンバルブの閉じ状態）。このようなエンジンバルブ４３開閉をカムロブ４０の回転と同期して行う。そして、このようにエンジンバルブ４３のバルブステム４３Ａはシリンダヘッド４６側に圧入されたバルブガイド４５の中を通って、オイル潤滑されながら組み込まれている。また、図示しない燃焼室の開閉弁部分にあたるエンジンバルブ４３のバルブフェース４３Ｂは動作時にシリンダヘッド４６におけるエンジンバルブ４３の着座部４６Ａと接触又は非接触状態となる。なお、図１１においては、排気ポート４７側を示したが、本発明の摺動部材は、図示しない吸気ポート側に適用することもできる。
【００６８】
そして、シリンダヘッド及びエンジンバルブの摺動部位であるシリンダヘッドにおけるエンジンバルブの着座部４６Ａの摺動面４６ａに、上述した被膜層が形成された摺動部材、例えば、上述した第１の実施形態〜第４の実施形態における摺動部材（１，２，３，４）が適用されている。このような構成とすることにより、優れた耐摩耗性を有するものとなる。また、本発明の摺動部材をシリンダヘッドに適用することにより、圧入型のバルブシートをなくすことが可能となる。その結果、排気ポートや吸気ポートの形状自由化やエンジンバルブの径拡大を図ることが可能となり、燃費や出力、トルクなどを向上させることが可能となる。
【００６９】
また、例えば、図示しないが、バルブステムの摺動面及び相手材であるバルブガイドの摺動面の一方若しくは双方に、並びに／又は、バルブステム軸端の摺動面、バルブフェースの摺動面及び圧入型のバルブシートの摺動面からなる群より選ばれた少なくとも１ヶ所に、上述した被膜層が形成された摺動部材、例えば、上述した第１の実施形態〜第４の実施形態における摺動部材を適用することもできる。このような構成とすることにより、優れた耐摩耗性を有するものとなる。
【００７０】
つまり、本実施形態のシリンダヘッドは、上記実施形態の摺動部材をエンジンバルブの着座部に有するものであることが好ましい。また、本実施形態の他のシリンダヘッドは、上記実施形態の摺動部材を有するバルブシートを備えたシリンダヘッドであって、該摺動部材を該バルブシートのエンジンバルブの着座部に有するものであることが好ましい。さらに、本実施形態のバルブシートは、上記実施形態の摺動部材をエンジンバルブの着座部に有するものであることが好ましい。また、本実施形態のエンジンバルブは、上記実施形態の摺動部材をバルブフェースに有するものであることが好ましい。さらに、本実施形態の他のエンジンバルブは、上記実施形態の摺動部材をバルブガイドとの摺動部位に有するものであることが好ましい。
【００７１】
（第６の実施形態）
次に、本発明の第６の実施形態に係る摺動部材について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、被膜層の表面側を摺動面とすることは言うまでもない。また、上記の実施形態において説明したものと同等のものについては、それらと同一の符号を付して説明を省略する。
【００７２】
図１２は、摺動部材を内燃機関の軸受機構の軸受メタルに有する内燃機関の軸受機構を模式的に示す断面図である。より具体的には、コンロッドの摺動部材である軸受メタルを模式的に示す断面図である。図１２に示すように、コンロッド６０の図示しないクランク側の大端部６０Ａは上下に２分されている。そして、大端部６０Ａには、クランクピン６１を受けるための２分された軸受メタル６２が配設されている。
【００７３】
そして、軸受メタル６２として、その摺動面６２ａに、上述した被膜層が形成された摺動部材、例えば、上述した第１の実施形態〜第４の実施形態における摺動部材（１，２，３，４）が適用されている。このような構成とすることにより、優れた耐摩耗性を有するものとなる。
【００７４】
また、例えば、図示しないが、コンロッドの図示しないピストン側の小端部におけるピストンピンを受けるための２分された軸受メタルの摺動面に、上述した被膜層が形成された摺動部材、例えば、上述した第１の実施形態〜第４の実施形態における摺動部材を適用することもできる。このような構成とすることにより、優れた耐摩耗性を有するものとなる。
【００７５】
つまり、本実施形態の内燃機関の軸受機構は、上記実施形態の摺動部材を内燃機関の軸受機構の軸受メタルに有するものであることが好ましい。なお、本発明の摺動部材は、ピストンリングやピストンに適用することもできる。つまり、被膜層をピストンリングの表面に適用することが好ましい。また、被膜層をピストンのリング溝内面に適用することが好ましい。
【００７６】
（第７の実施形態）
次に、本発明の第７の実施形態に係る摺動部材の製造方法について詳細に説明する。本実施形態の摺動部材の製造方法は、例えば、上述した第１の実施形態〜第４の実施形態における基材と、基材上に形成された被膜層とを備え、被膜層が上述した所定の第１粒子、又は上述した所定の第１粒子及び第２粒子を含み、粒子同士が界面を介して結着した構造を有する摺動部材を製造する方法である。この摺動部材の製造方法は、非溶融の状態であり、かつ、上述した所定の第１粉末、又は、非溶融の状態であり、かつ、上述した所定の第１粉末及び非溶融の状態である第２粉末を含む混合粉末を、基材上に吹き付けて、上述した所定の第１粒子、又は上述した所定の第１粒子及び第２粒子を含み、粒子同士が界面を介して結着した構造を有する被膜層を基材上に形成する工程を含む。
【００７７】
上述のように、非溶融の状態として添加元素を析出させないようにした上述した所定の第１粉末、又は上述した所定の第１粉末及び第２粉末を含む混合粉末を、基材上に吹き付けて、上述した所定の第１粒子、又は上述した所定の第１粒子及び第２粒子を含み、粒子同士が界面を介して結着した構造を有する被膜層を基材上に形成することにより、耐摩耗性に優れた被膜層を効率良く形成することができる。換言すれば、キネティックスプレー、コールドスプレー、ウォームスプレーなどと呼ばれる方法により被膜層を形成することにより、耐摩耗性に優れた被膜層を効率良く形成することができる。但し、本発明の摺動部材は、このような製造方法により製造されたものに限定されるものではない。
【００７８】
ここで、より具体的な製造方法についてさらに詳細に説明する。
【００７９】
上述したように、第１粉末又は混合粉末を基材上に吹き付ける際には、第１粉末又は混合粉末を、基材上に、第１粉末が基材上に吹き付けられて、基材及び被膜層の少なくとも一方に塑性変形部を形成する速度で、吹き付けることが好ましい。これにより、より耐摩耗性に優れた被膜層を効率良く形成することができる。
【００８０】
しかしながら、粉末を吹き付ける速度は、上述のものに限定されるものではない。例えば、粉末速度を３００〜１２００ｍ／ｓとすることが好ましく、５００〜１０００ｍ／ｓとすることがより好ましく、６００〜８００ｍ／ｓとすることがさらに好ましい。また、粉末を吹き付けるために供給する作動ガスの圧力を２〜５ＭＰａとすることが好ましく、３．５〜５ＭＰａとすることがより好ましい。２ＭＰａ未満とすると、粉末速度が得られず、気孔率が大きくなることがある。但し、このような範囲に何ら制限されるものではなく、本発明の作用効果を発現できるものであれば、この範囲を外れていてもよいことは言うまでもない。
【００８１】
また、作動ガスの温度は、特に限定されるものではないが、例えば、４００〜８００℃とすることが好ましく、６００〜８００℃とすることがより好ましい。作動ガスの温度を４００℃未満とすると、気孔率が大きくなり、耐摩耗性が低くなることがある。また、作動ガスの温度を８００℃超とすると、ノズル詰まりを起こすことがある。但し、このような範囲に何ら制限されるものではなく、本発明の作用効果を発現できるものであれば、この範囲を外れていてもよいことは言うまでもない。
【００８２】
さらに、作動ガスの種類としては、特に限定されるものではないが、例えば、窒素、ヘリウムなどを挙げることができる。これらは、１種を単独で用いてもよく、複数種を組み合わせて用いてもよい。また、燃料ガスと窒素とを混合して用いてもよい。
【００８３】
また、被膜層を形成した後、例えば、２５０〜５００℃で０．５〜４時間時効処理ないし焼き戻しをしてもよい。これにより、耐摩耗性を向上させることができる。また、この時効処理ないし焼き戻しは、例えば、エンジン組立後の検査における試運転の際の燃焼室からの受熱を利用することも可能である。
【００８４】
さらに、上記原料として用いる第１粉末としては、特に限定されるものではないが、非溶融の状態であり、かつ、上述した所定の析出硬化型銅合金からなるものであることが好ましい。なお、析出硬化する前の銅合金であることが好ましいことは言うまでもない。なお、第１粉末は、例えば、過飽和固溶体の状態であることが好ましい。過飽和固溶体の状態であることにより、大きい延性を有する、換言すれば、変形能を有するため、被膜層を効率よく形成することができ、成膜性を向上させることができる。ここで、過飽和固溶体の状態である粉末としては、特に限定されるものではないが、例えば、アトマイズ法などにより急冷凝固させて得られる急冷凝固粉末を適用することが好ましい。また、第１粉末が基材等に衝突したときに、その衝撃による加圧、及びその扁平化による基材等との変形速度の差により生じる摩擦熱により、微細な硬質相（析出相）が形成される。その結果、被膜層の強度が高まる。
【００８５】
また、上記原料として用いる第１粉末としては、特に限定されるものではないが、粉末に含まれる粒子、換言すれば、粉末を構成する粒子の圧縮強度が５０〜１１０Ｎ／ｍｍ２であることが好ましい。このような第１粉末を用いて摺動部材を形成すると、より耐摩耗性に優れた被膜層を効率良く形成することができる。
【００８６】
ここで、本発明において、「粒子の圧縮強度」とは、粉末を構成する粒子にフラットな圧子などにより荷重を付加して、荷重負荷方向における粒子径が１０％変化したときの圧縮強度で定義される。測定方法は、ＪＩＳ  Ｒ  １６３９−５「ファインセラミックス−か（顆）粒特性の測定方法−第５部：単一か粒圧壊強さ」に準拠し、試験荷重は、５００ｍＮである。
【００８７】
また、上記原料として用いる第２粉末としては、特に限定されるものではないが、非溶融の状態であることが好ましく、第１粉末よりも硬質であることが好ましく、不規則形状を有するものであることが好ましい。例えば、合金粉末若しくはセラミックス粒子又はこれらを任意の割合で混合したものを適用することが好ましい。合金粉末としては、鉄基合金粉末、コバルト基合金粉末、クロム基合金粉末、ニッケル基合金粉末若しくはモリブデン基合金粉末又はこれらを任意の割合で混合したものを適用することが好ましい。
【００８８】
さらに、上記原料として用いる第２粉末としては、特に限定されるものではないが、水アトマイズ法によって製造された粉末を適用することが好ましい。水アトマイズ法によって粉末を製造すると、不規則形状を有する粉末を製造し易い。
【００８９】
また、上記原料として用いる第１粉末及び第２粉末の粒度は、特に限定されるものではないが、１５０μｍ以下であることが好ましく、７５μｍ以下であることがより好ましい。なお、粉末の粒度は、ふるいや従来公知の適切な方法で調整することができる。ここで、「粒度」としては、画像解析式粒子径分布測定装置を用いて測定・算出した、個数基準のｄ９５を用いることができる。なお、このような粒度を測定・算出する際の「粒子径」としては、例えば、観察される粉末（観察面）の輪郭線上の任意の２点間の距離の最大の距離を採用することができる。しかしながら、これに限定されるものではなく、例えば、観察される粉末（観察面）の円相当径を採用することができる。さらに、レーザー回折・散乱式粒子径分布測定装置を用いて測定・算出した、個数基準のｄ９５を用いてもよい。このような第１粉末及び第２粉末を用いて被膜層を形成すると、より耐摩耗性に優れた被膜層を効率良く形成することができる。
【００９０】
さらに、上記原料として用いる第１粉末や第２粉末の平均粒子径は、特に限定されるものではないが、例えば５〜４０μｍとすることが好ましく、２０〜４０μｍとすることがより好ましい。平均粒子径を５μｍ未満とすると、流動性の低さから粉末供給不良となることがある。また、平均粒子径を５０μｍ超とすると、成膜時の粒子速度不足から成膜不良となることがある。なお、「平均粒子径」としては、例えば、画像解析式粒子径分布測定装置を用いて測定・算出した、個数基準の平均粒子径（ｄ５０）を用いることができる。なお、このような平均粒子径を測定・算出する際の「粒子径」としては、例えば、観察される粉末（観察面）の輪郭線上の任意の２点間の距離の最大の距離を採用することができる。しかしながら、これに限定されるものではなく、例えば、観察される粉末（観察面）の円相当径を採用することもできる。さらに、レーザー回折・散乱式粒子径分布測定装置を用いて測定・算出した、個数基準の平均粒子径（ｄ５０）を用いてもよい。但し、このような範囲に何ら制限されるものではなく、本発明の作用効果を発現できるものであれば、この範囲を外れていてもよいことは言うまでもない。
【００９１】
また、特に限定されるものではないが、第１粉末の平均粒子径は、第２粉末の平均粒子径より小さいことが好ましい。このような第１粉末及び第２粉末を用いて摺動部材を形成すると、より耐摩耗性に優れた被膜層を効率良く形成することができる。
【００９２】
なお、上記原料として用いる第１粉末や第２粉末のメジアン値におけるアスペクト比は、特に限定されるものではない。このようなアスペクト比は、例えば、画像解析式粒子径分布測定装置を用いて測定・算出した、アスペクト比を用いることができる。なお、アスペクト比は、各粉末の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像を拡大し、スケールを用いて測定・算出することももちろん可能である。
【実施例】
【００９３】
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００９４】
（実施例１）
まず、原料としての第１粉末として、銅−ニッケル−ケイ素合金粉末（組成：Ｃｕ−３Ｎｉ−０．７Ｓｉ、水アトマイズ粉末、粒度（ｄ９５）：６０．７μｍ、平均粒子径（ｄ５０）：２７．７μｍ、アスペクト比（メジアン値）：１．５９、圧縮強度６７．１Ｎ／ｍｍ２、ビッカース硬さ：６４．１ＨＶ０．０１）を用意した。
【００９５】
ここで、粒度（ｄ９５）は、個数基準であり、画像解析式粒子径分布測定装置を用いて測定・算出した。「粒子径」としては、観察される粉末（観察面）の輪郭線上の任意の２点間の距離の最大の距離を採用した。また、平均粒子径（ｄ５０）は、個数基準であり、画像解析式粒子径分布測定装置を用いて測定・算出した。「粒子径」としては、観察される粉末（観察面）の輪郭線上の任意の２点間の距離の最大の距離を採用した。さらに、アスペクト比（メジアン値）は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像を拡大し、スケールを用いて測定・算出した。また、圧縮強度は、粉末を構成する粒子について島津製作所株式会社製超微小圧縮試験機（ＭＣＴ−５１０）により荷重付加し、荷重負荷方向における粒子径が１０％変化したときの圧縮強度を測定した。なお、算術平均値を求めるために測定数を１０個とした。さらに、ビッカース硬さは、日本工業規格で規定されているビッカース硬さ試験（ＪＩＳ  Ｚ  ２２４４）に準拠して測定・算出した。なお、算術平均値を求めるために測定数を１０個とした。
【００９６】
一方、シリンダヘッドにおけるエンジンバルブの着座部の加工完了状態で、狙い被膜層厚み０．２ｍｍを想定して、アルミニウム基材（日本工業規格  Ｈ  ４０４０  Ａ５０５６）の前加工を行って、前加工されたアルミニウム基材を用意した。
【００９７】
次いで、回転テーブルに用意したアルミニウム基材を装着し、回転テーブルを回転させながら、用意した第１粉末と第２粉末との混合粉末（第１粉末：第２粉末＝５０：５０（質量比））を、用意したアルミニウム基材上に、高圧型コールドスプレー装置（プラズマ技研工業株式会社製、ＰＣＳ−１０００、作動ガス：種類；窒素、温度；６００℃、粒子速度；７００〜７５０ｍ／ｓ、圧力；４ＭＰａ）を用いて吹き付けて、被膜層厚み０．４〜０．５ｍｍの被膜層を基材上に形成した。
【００９８】
しかる後、機械加工により、実際のシリンダヘッドにおけるエンジンバルブの着座部の形状に仕上げて、本例の摺動部材を得た。なお、被膜層厚みは、０．２ｍｍである（以下、同様である。）。
【００９９】
（実施例２〜実施例４）
表１に示すように、第１粉末や第２粉末の仕様や配合比率を変えたこと以外は、実施例１と同様の操作を繰り返して、各例の摺動部材を得た。なお、表１において「Ｃｏ−Ｍｏ−Ｃｒ」はコバルト基合金を意味する。
【０１００】
（比較例１〜比較例３）
表２に示すように、第１粉末の仕様を変えたこと以外は、実施例１と同様の操作を繰り返して、各例の摺動部材を得た。
【０１０１】
【表１】
2018123401.tif 000003
【０１０２】
【表２】
2018123401.tif 000004
【０１０３】
ここで、表１及び表２において、各例の被膜層における第１粒子や第２粒子のビッカース硬さは、日本工業規格で規定されているビッカース硬さ試験（ＪＩＳ  Ｚ  ２２４４）に準拠して測定・算出した。なお、算術平均値を求めるために測定数を１０箇所とした。また、測定位置を定めるに当たって、被膜層の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像や透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）像などの観察、エネルギー分散型Ｘ線（ＥＤＸ）分析の結果などを利用した。さらに、各例の被膜層の断面における第２粒子の割合や気孔率は、被膜層における断面の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像などの観察、及び断面走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像の２値化などの画像処理を複数回行うことによって、算出した。また、各例の第１粒子における析出相は、被膜層における断面の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）像などの観察、及びエネルギー分散型Ｘ線（ＥＤＸ）分析によって特定した。さらに、各例における摺動部材の断面における中間層の有無や塑性変形部の有無は、被膜層における断面の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像などの観察、及びエネルギー分散型Ｘ線（ＥＤＸ）分析によって特定した。なお、実施例１〜実施例４のいずれにおいても、析出相が観察され、基材及び被膜層に塑性変形部が観察された。
【０１０４】
［性能評価］
上記各例の摺動部材用いて、下記の各種性能を評価した。
【０１０５】
（耐摩耗性）
図１３は摩耗試験装置の概略を示す断面図である。図１３に示すように、バルブスプリング４２、エンジンバルブ４３、ステムシール４４、バルブガイド４５、シリンダヘッド４６、４６’、コッタ４９等の実際のエンジンの部品を用いて、エンジンの動弁機構に似た摩耗試験装置を構築した。なお、シリンダヘッド４６におけるエンジンバルブ４３の着座部４６Ａとしては、上記各例において得られた摺動部材（１，２，３，４）を適用した。また、摺動部材（１，２，３，４）は、基材１０上に形成された所定の被膜層２０を備えている。さらに、図中のエンジンバルブ４３は、開き状態を示しており、エンジンバルブ４３は、図示しない偏心カムにより図中矢印Ｙで示す上下方向に振動して、エンジンバルブ４３の開閉を繰り返す。なお、シリンダヘッド４６におけるエンジンバルブ４３の着座部４６Ａの摺動面４６ａは、ガスバーナＢの火炎Ｆにより高温環境下とされている。また、着座部４６Ａは、温度計Ｔにより温度が計測されている。さらに、シリンダヘッド４６内には冷却水Ｗが循環している。
【０１０６】
上述した摩耗試験装置を用い、下記の試験条件下、摩耗量を測定、算出した。具体的には、形状測定装置を用いて試験前と試験後のシリンダヘッドにおけるエンジンバルブの着座部の形状を取得し、４カ所の摩耗量を測定し、平均値を算出して、これを摩耗量とした。得られた結果を表１及び表２に併記する。
【０１０７】
＜試験条件＞
・温度：３００℃（排気ポート側のシリンダヘッドにおけるエンジンバルブの着座部を想定した。）
・入力回数：５４００００回
【０１０８】
表１及び表２より、本発明の範囲に属する実施例１〜実施例４は、本発明外の比較例１〜比較例３と比較して、摩耗量が少なく、高温においても優れた耐摩耗性を有することが分かる。また、実施例１〜実施例４は、第１粉末として銅合金を採用しているため、熱伝導性にも優れる。
【０１０９】
実施例１〜実施例４のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、上述した所定の第１粒子、好ましくは上述した所定の第１粒子及び第２粒子を含み、粒子同士が界面を介して結着した構造を有する被膜層を基材上に形成したためと考えられる。
【０１１０】
また、実施例１〜実施例４のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、第１粒子の少なくとも１つが、その内部及び／又は界面にケイ化ニッケルからなる少なくとも１つの析出相を含むためとも考えられる。
【０１１１】
また、実施例１〜実施例４のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、基材及び上記被膜層の少なくとも一方が、塑性変形部を有するためとも考えられる。
【０１１２】
さらに、実施例１〜実施例４のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、被膜層の断面における気孔率が、１面積％以下であるためとも考えられる。
【０１１３】
ここで、図１４は、実施例３の摺動部材の基材１０と被膜層２０との境界面付近における断面透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）像である。また、図１５は、実施例３の摺動部材の図１４に示す線分Ｚにおけるエネルギー分散型Ｘ線（ＥＤＸ）分析（線分析）の結果を示すグラフである。なお、図１４に示す位置Ｐと図１５に示す位置Ｐとは同じ位置を示している。また、図１５において、図１４に示す線分Ｚの基材２０側端部の位置を０．０μｍの位置とし、線分Ｚの被膜層２０側端部の位置を２．０μｍの位置としている。
【０１１４】
図１４及び図１５より、摺動部材は、アルミニウム合金の基材１０と、基材１０上に形成された銅合金の被膜層２０とを備えており、基材１０と被膜層２０との間に中間層が形成されていることが分かる。そして、中間層は、約０．７５〜１．３１μｍの位置に形成されていることが分かる。また、拡散層は、約０．７５〜０．９６μｍの位置と約１．２３〜１．３１μｍ位置に形成されていることが分かる。さらに、拡散層は、組成に関して傾斜構造を有していることが分かる。また、約０．９６〜１．２３μｍの位置においては、アルミニウムとマグネシウムと銅との比が、Ａｌ：Ｍｇ：Ｃｕ＝２：１：１（原子比）程度であり、金属間化合物層が形成されていることが分かる。
【０１１５】
このように、実施例３のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、基材と被膜層との間の少なくとも一部に形成された拡散層及び金属間化合物層の双方を含む中間層を備えたためとも考えられる。さらに、実施例３のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、組成に関して傾斜構造を有する拡散層を含む中間層を備えるためや、金属間化合物層が組成に関して傾斜構造を有する拡散層で挟まれた構造を有する中間層を備えるためとも考えられる。
【０１１６】
さらに、実施例１〜実施例４のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、第２粒子が、コバルト基合金粒子のような硬質粒子からなるためとも考えられる。
【０１１７】
さらに、実施例１〜実施例４のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、上述した摺動部材の製造方法において、非溶融の状態であり、かつ、上述した所定の第１粉末、好ましくは非溶融の状態であり、かつ、上述した所定の第１粉末及び第２粉末を含む混合粉末を、基材上に吹き付けて、被膜層を基材上に形成する工程を含むためとも考えられる。
【０１１８】
さらに、実施例１〜実施例４のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、上述した所定の第１粉末や混合粉末を基材上に吹き付ける際に、第１粉末や混合粉末を、基材上に、第１粉末が基材上に吹き付けられて、基材及び被膜層の少なくとも一方に塑性変形部を形成する速度で、吹き付けたためとも考えられる。
【０１１９】
また、実施例１〜実施例４のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、第１粉末が、過飽和固溶体の状態であったためや、急冷凝固粉末であったため、水アトマイズ法によって製造された粉末であったとも考えられる。
【０１２０】
また、実施例１〜実施例４のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、第１粉末に含まれる粒子の圧縮強度が、５０〜１１０Ｎ／ｍｍ２であるためとも考えられる。
【０１２１】
さらに、実施例１〜実施例４のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、第１粉末や第２粉末の粒度が、７５μｍ以下であるためとも考えられる。
【０１２２】
さらに、実施例３のような優れた耐摩耗性を有する摺動部材が得られたのは、第１粉末の平均粒子径が、第２粉末の平均粒子径より小さいためとも考えられる。
【０１２３】
以上、本発明を若干の実施形態及び実施例によって説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。
【０１２４】
例えば、上述した各実施形態や各実施例に記載した構成は、実施形態毎や実施例毎に限定されるものではなく、例えば、第１粉末や第２粉末の仕様や配合比率などの構成や成膜条件を変更したり、各実施形態や各実施例の構成を上述した各実施形態や各実施例以外の組み合わせにしたりすることができる。
【符号の説明】
【０１２５】
１，２，３，４  摺動部材
１０  基材
１０ｂ  塑性変形部
２０  被膜層
２０ａ  気孔
２０ｂ  塑性変形部
２１  析出硬化型銅合金の粒子（第１粒子）
２１ａ  界面
２３  硬質粒子（第２粒子）
２５  析出相
３０  中間層
４０  カムロブ
４１  バルブリフタ
４２  バルブスプリング
４３  エンジンバルブ
４３Ａ  バルブステム
４３ａ  摺動面
４３Ｂ  バルブフェース
４３ｂ  摺動面
４４  ステムシール
４５  バルブガイド
４５ａ  摺動面
４６，４６’  シリンダヘッド
４６Ａ  着座部
４６ａ  摺動面
４７  排気ポート
４８  リテーナ
４９  コッタ
６０  コンロッド
６０Ａ  大端部
６１  クランクピン
６２  軸受メタル
６２ａ  摺動面
Ｂ  ガスバーナ
Ｆ  火炎
Ｔ  温度計
Ｗ  冷却水
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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