(57)【要約】【課題】圧力変動をより効率的に低減できる液体を吐出する装置を提供する。【解決手段】液体を吐出する複数の液体吐出ヘッド１００と、液体吐出ヘッド１００にそれぞれ液体が通じる複数のヘッドタンク３００と、を備え、ヘッドタンク３００は、前記液体を貯留する液体室と、該液体室と壁部材を介して隣接する気体室と、を備え、ヘッドタンク３００の前記気体室は、他のヘッドタンク３００の前記気体室と連通していることを特徴とする。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドにそれぞれ液体が通じる複数のヘッドタンクと、を備え、
前記ヘッドタンクは、前記液体を貯留する液体室と、該液体室と壁部材を介して隣接する気体室と、を備え、
前記ヘッドタンクの前記気体室は、他の前記ヘッドタンクの前記気体室と連通していることを特徴とする液体を吐出する装置。
【請求項２】
前記液体吐出ヘッドを介して前記液体が循環する液体経路と、
複数の前記液体吐出ヘッドの各々に対して、該液体吐出ヘッドへの前記液体の供給口に通じる液体経路に設けられる第１のヘッドタンクおよび前記液体吐出ヘッドに設けられた前記液体の排出口に通じる第２のヘッドタンクと、を備え、
前記第１のヘッドタンクの前記気体室は、他の前記第１のヘッドタンクの前記気体室と連通していることを特徴とする請求項１に記載の液体を吐出する装置。
【請求項３】
前記第２のヘッドタンクの前記気体室は、他の前記第２のヘッドタンクの前記気体室と連通していることを特徴とする請求項２に記載の液体を吐出する装置。
【請求項４】
前記液体吐出ヘッドを介して前記液体が循環する液体経路と、
複数の前記液体吐出ヘッドの各々に対して、該液体吐出ヘッドへの前記液体の供給口に通じる液体経路に設けられる第１のヘッドタンクおよび前記液体吐出ヘッドに設けられた前記液体の排出口に通じる第２のヘッドタンクと、を備え、
前記第１のヘッドタンクの前記気体室は、前記第２のヘッドタンクの前記気体室と連通していることを特徴とする請求項１に記載の液体を吐出する装置。
【請求項５】
前記液体の循環方向において、複数の前記第１のヘッドタンクよりも上流に設けられる第１のマニホールドと、
前記液体の循環方向において、複数の前記第２のヘッドタンクよりも下流に設けられる第２のマニホールドと、を備えることを特徴とする請求項２から４までのいずれかに記載の液体を吐出する装置。
【請求項６】
複数の前記第１のヘッドタンクの前記気体室、および複数の前記第２のヘッドタンクの前記気体室のうち、それぞれ少なくとも１つは、弁を介して大気に連通可能であることを特徴とする請求項２から５までのいずれかに記載の液体を吐出する装置。
【請求項７】
前記壁部材は可撓性部材からなることを特徴とする請求項１から６までのいずれかに記載の液体を吐出する装置。
【請求項８】
前記可撓性部材の変位を検出する変位検出部材と、
前記気体室に接続されて、吸気および排気をするエアーポンプと、を備えることを特徴とする請求項７に記載の液体を吐出する装置。
【請求項９】
前記可撓性部材に設けられる検出対象部材と、
前記検出対象部材の前記可撓性部材の変位に伴う変動をガイドするガイド部材と、を備え、
前記変位検出部材は、前記検出対象部材の位置を検出することで、前記可撓性部材の変位を検出することを特徴とする請求項８に記載の液体を吐出する装置。
【請求項１０】
複数の前記ヘッドタンクには、
前記変位検出部材を備えたヘッドタンクと前記変位検出部材を備えないヘッドタンクが混在し、
前記変位検出部材を備えたヘッドタンクの可撓性部材は、前記変位検出部材を備えないヘッドタンクの可撓性部材よりも剛性が低いことを特徴とする請求項８または９に記載の液体を吐出する装置。
【請求項１１】
複数の前記ヘッドタンクには、
前記変位検出部材を備えたヘッドタンクと前記変位検出部材を備えないヘッドタンクが混在し、
前記変位検出部材を備えたヘッドタンクは、前記変位検出部材を備えないヘッドタンクよりも前記エアーポンプから遠い位置に配管されることを特徴とする請求項８から１０までのいずれかに記載の液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット型の画像形成装置において、例えば特許文献１のように、サブタンク内にダンピング機能をもたせ、圧力変動を低減する技術が開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１の構成においては、複数ヘッドの圧力変動を１つのタンクでダンピングする構成であるため、圧力変動を低減する効果が十分ではない。
【０００４】
本発明は、圧力変動をより効率的に低減する液体を吐出する装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
かかる目的を達成するため、本発明に係る液体を吐出する装置は、液体を吐出する複数の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドにそれぞれ液体が通じる複数のヘッドタンクと、を備え、前記ヘッドタンクは、前記液体を貯留する液体室と、該液体室と壁部材を介して隣接する気体室と、を備え、前記ヘッドタンクの前記気体室は、他の前記ヘッドタンクの前記気体室と連通しているものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、圧力変動をより効率的に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明に係る液体を吐出する装置の一例である印刷装置の概略説明図である。
【図２】ヘッドユニットの一例を示す平面説明図である。
【図３】液体吐出ヘッドの一例を示す外観斜視説明図である。
【図４】液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。
【図５】液体を吐出する装置における液体循環機構の配管説明図である。
【図６】液体を吐出する装置の制御部の機能ブロック図である。
【図７】ヘッドタンクの構成の一例を示す説明図であって、（ａ）正面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図である。
【図８】図７に示すヘッドタンクの接続形態の説明図である。
【図９】ヘッドタンクの構成の他の例を示す説明図であって、（ａ）正面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図である。
【図１０】（ａ）ダイアフラムの挙動とフォトセンサの検出領域の説明図、（ｂ）エアーポンプの駆動の説明図である
【図１１】図９に示すヘッドタンクの接続形態の説明図である。
【図１２】ヘッドタンクの構成の他の例を示す説明図であって、（ａ）正面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図である。
【図１３】図１２に示すヘッドタンクの接続形態の説明図である。
【図１４】ヘッドタンクの接続形態の他の例における説明図である。
【図１５】ヘッドタンクの接続形態の他の例における説明図である。
【図１６】ヘッドタンクの接続形態の他の例における説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明に係る構成を図１から図１６に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
【０００９】
［第１の実施形態］
本実施形態に係る液体を吐出する装置は、液体を吐出する複数の液体吐出ヘッド（液体吐出ヘッド１００）と、液体吐出ヘッドにそれぞれ液体が通じる複数のヘッドタンク（ヘッドタンク３００）と、を備え、ヘッドタンクは、液体を貯留する液体室（液体室３０４）と、液体室と壁部材（ダイアフラム３０２）を介して隣接する気体室（空気室３０５）と、を備え、ヘッドタンクの気体室は、他のヘッドタンクの気体室と連通しているものである。
【００１０】
また、本実施形態では、液体吐出ヘッド（液体吐出ヘッド１００）を介して液体が循環する液体経路と、複数の液体吐出ヘッドの各々に対して、液体吐出ヘッドへの液体の供給口（供給ポート１７１）に通じる液体経路に設けられる第１のヘッドタンク（第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅ）および液体吐出ヘッドに設けられた液体の排出口（排出ポート１８１）に通じる第２のヘッドタンク（第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆ）と、を備え、第１のヘッドタンクの気体室は、他の第１のヘッドタンクの気体室と連通している。
更に、本実施形態では、第２のヘッドタンクの気体室は、他の第２のヘッドタンクの気体室と連通している。
なお、括弧内は実施形態での符号、適用例を示す。
【００１１】
（印刷装置）
先ず、本発明に係る液体を吐出する装置の一実施形態である印刷装置について図１及び図２を参照して説明する。図１は印刷装置の概略説明図、図２は印刷装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。
【００１２】
この液体を吐出する装置である印刷装置１０００は、連続体１０を搬入する搬入手段１と、搬入手段１から搬入された連続体１０を印刷手段５に案内搬送する案内搬送手段３と、連続体１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５と、連続体１０を乾燥する乾燥手段７と、連続体１０を排出する排出手段９などを備えている。
【００１３】
連続体１０は搬入手段１の元巻きローラ１１から送り出され、搬入手段１、案内搬送手段３、乾燥手段７、排出手段９の各ローラによって案内、搬送されて、排出手段９の巻取りローラ９１にて巻き取られる。
【００１４】
この連続体１０は、印刷手段５において、搬送ガイド部材５９上をヘッドユニット５０及びヘッドユニット５５に対向して搬送され、ヘッドユニット５０から吐出される液体によって画像が形成され、ヘッドユニット５５から吐出される処理液で後処理が行われる。
【００１５】
ここで、ヘッドユニット５０には、例えば、媒体搬送方向上流側から、４色分のフルライン型ヘッドアレイ５１Ｋ，５１Ｃ，５１Ｍ，５１Ｙ（以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ５１」という）が配置されている。
【００１６】
各ヘッドアレイ５１は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続体１０に対してブラックＫ、シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。
【００１７】
ヘッドアレイ５１は、例えば、図２に示すように、液体吐出ヘッド（以下、単に、ヘッドともいう）１００をベース部材５２上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。
【００１８】
（液体吐出ヘッド）
次に、液体吐出ヘッドの一例について図３及び図４を参照して説明する。図３は同液体吐出ヘッドの外観斜視説明図、図４は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。
【００１９】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１０１と、流路板１０２と、壁面部材としての振動板部材１０３とを積層接合している。そして、振動板部材１０３の振動領域（振動板）１３０を変位させる圧電アクチュエータ１１１と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通液室部材１２０と、カバー１２９を備えている。なお、流路板１０２と振動板部材１０３で構成される部分を流路部材１４０という。
【００２０】
ノズル板１０１は、液体を吐出する複数のノズル１０４を有している。
【００２１】
流路板１０２は、ノズル１０４にノズル連通路１０５を介して通じる個別液室１０６、個別液室１０６に通じる供給側流体抵抗部１０７、供給側流体抵抗部１０７に通じる液導入部１０８となる貫通穴や溝部を形成している。ノズル連通路１０５は、ノズル１０４と個別液室１０６にそれぞれ連なって通じる流路である。また、液導入部１０８は振動板部材１０３の開口１０９を介して供給側共通液室１１０に通じている。
【００２２】
振動板部材１０３は、流路板１０２の個別液室１０６の壁面を形成する変形可能な振動領域１３０を有する。ここでは、振動板部材１０３は２層構造（限定されない）とし、流路板１０２側から薄肉部を形成する第１層と、厚肉部を形成する第２層で形成され、第１層で個別液室１０６に対応する部分に変形可能な振動領域１３０を形成している。
【００２３】
そして、この振動板部材１０３の個別液室１０６とは反対側に、振動板部材１０３の振動領域１３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１１を配置している。
【００２４】
この圧電アクチュエータ１１１は、ベース部材１１３上に接合した圧電部材をハーフカットダイシングによって溝加工して所要数の柱状の圧電素子１１２を所定の間隔で櫛歯状に形成している。
【００２５】
そして、圧電素子１１２を振動板部材１０３の振動領域１３０に形成した島状の厚肉部である凸部１３０ａに接合している。また、圧電素子１１２にはフレキシブル配線部材１１５が接続されている。
【００２６】
共通液室部材１２０は、供給側共通液室１１０と排出側共通液室１５０を形成する。供給側共通液室１１０は供給ポート１７１に通じ、排出側共通液室１５０は排出ポート１８１に通じている。
【００２７】
なお、ここでは、共通液室部材１２０は、第１共通液室部材１２１及び第２共通液室部材１２２によって構成され、第１共通液室部材１２１を流路部材１４０の振動板部材１０３側に接合し、第１共通液室部材１２１に第２共通液室部材１２２を積層して接合している。
【００２８】
第１共通液室部材１２１は、液導入部１０８に通じる供給側共通液室１１０の一部である下流側共通液室１１０Ａと、排出流路１５１に通じる排出側共通液室１５０とを形成している。また、第２共通液室部材１２２は、供給側共通液室１１０の残部である上流側共通液室１１０Ｂを形成している。
【００２９】
また、流路板１０２には、各個別液室１０６にノズル連通路１０５を介して通じる流路板１０２の面方向に沿う排出流路１５１を形成している。排出流路１５１が排出側共通液室１５０に通じている。
【００３０】
この液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子１１２に与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子１１２が収縮し、振動板部材１０３の振動領域１３０が引かれて個別液室１０６の容積が膨張することで、個別液室１０６内に液体が流入する。
【００３１】
その後、圧電素子１１２に印加する電圧を上げて圧電素子１１２を積層方向に伸長させ、振動板部材１０３の振動領域１３０をノズル１０４に向かう方向に変形させて個別液室１０６の容積を収縮させることにより、個別液室１０６内の液体が加圧され、ノズル１０４から液体が吐出される。
【００３２】
また、ノズル１０４から吐出されない液体はノズル１０４を通過して排出流路１５１から排出側共通液室１５０に排出され、排出側共通液室１５０から外部の循環経路を通じて供給側共通液室１１０に再度供給される。
【００３３】
なお、ヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。
【００３４】
（液体循環機構）
次に、本実施形態に係る液体を吐出する装置における液体循環機構について図５を参照して説明する。図５は液体供給機構の配管説明図である。複数の循環可能なヘッド１００が連続体１０の幅方向にライン状に配置されて、液体を循環させる。
【００３５】
液体循環機構２００は、ヘッド１００から吐出する液体を貯留する液体貯留手段であるメインタンク２０１（液体タンク）と、第１サブタンク２２０（加圧サブタンク）と、第２サブタンク２１０（減圧サブタンク）と、第３サブタンク２９０と、第１送液ポンプ２０２と、第２送液ポンプ２０３と、第３送液ポンプ２０９を備えている。
【００３６】
また、複数のヘッド１００が通じる第１マニホールド２３０及び第２マニホールド２４０と、各ヘッド１００毎の第１のヘッドタンク３００ａ及び第２のヘッドタンク３００ｂと、液体中の溶存気体を除去する脱気手段である脱気装置２６０を備えている。第１のヘッドタンク３００ａ及び第２のヘッドタンク３００ｂ（以下、区別しない場合はヘッドタンク３００（バッファタンク）と称する）の詳細については後述する。
【００３７】
ここで、第１サブタンク２２０と第２サブタンク２１０との間に第３サブタンク２９０が配置され、メインタンク２０１からフィルタ２０５を含む液体経路２８９を介して第３送液ポンプ２０９によって第３サブタンク２９０に送液（供給）する。
【００３８】
第３サブタンク２９０には、液面検知手段２９１と、内部を大気開放する大気開放機構を構成する電磁弁２９２を備えている。
【００３９】
第３サブタンク２９０と第２サブタンク２１０とは液体経路２８３を通じて接続し、液体経路２８３には第２送液ポンプ２０３を設けている。また、第３サブタンク２９０と第２サブタンク２１０とは逆流液体経路２８５を通じて接続し、逆流液体経路２８５には電磁弁２８７を設けている。
【００４０】
第２サブタンク２１０は、気体室２１０ａを有し、液体と気体が共存する構成である。第２サブタンク２１０には、液面を検知する液面検知手段２１１と、内部を大気開放する大気開放機構となる電磁弁２１２が設けられている。
【００４１】
第３サブタンク２９０と第１サブタンク２２０とは液体経路２８４を通じて接続し、液体経路２８４には第１送液ポンプ２０２を設けている。また、第３サブタンク２９０と第１サブタンク２２０とは逆流液体経路２８６を通じて接続し、逆流液体経路２８６には電磁弁２８８を設けている。
【００４２】
第１サブタンク２２０は、気体室２２０ａを有し、液体と気体が共存する構成である。第１サブタンク２２０には、液面を検知する液面検知手段２２１と、内部を大気開放する大気開放機構となる電磁弁２２２が設けられている。
【００４３】
第１サブタンク２２０は、脱気装置２６０、フィルタ２６１を含む液体経路２８１を通じて第１マニホールド２３０に接続されている。
【００４４】
第１マニホールド２３０は、ヘッド１００の供給ポート１７１（供給口）側に供給経路２３１を介して通じている。供給経路２３１は、第１のヘッドタンク３００ａを介してヘッド１００の供給ポート１７１に接続されている。供給経路２３１には第１のヘッドタンク３００ａより上流側に経路を開閉する電磁弁２３２が設けられている。なお、電磁弁２３２は、ヘッド１００の数に応じて設けられ、個別に開閉制御可能となっている。また、第１マニホールド２３０には圧力センサ２３３が設けられている。
【００４５】
第２サブタンク２１０は、液体経路２８２を介して第２マニホールド２４０に接続されている。
【００４６】
第２マニホールド２４０は、ヘッド１００の排出ポート１８１（排出口）側に排出経路２４１を介して通じている。排出経路２４１は、第２のヘッドタンク３００ｂを介してヘッド１００の排出ポート１８１に接続されている。排出経路２４１には第２のヘッドタンク３００ｂより下流側に経路を開閉する電磁弁２４２が設けられている。なお、電磁弁２４２は、ヘッド１００の数に応じて設けられ、個別に開閉制御可能となっている。また、第２マニホールド２４０には圧力センサ２４３が設けられている。
【００４７】
さらに、第１マニホールド２３０と第２マニホールド２４０とを通じるバイパス経路２７０が設けられている。バイパス経路２７０には第１マニホールド２３０側に電磁弁２７１が、第２マニホールド２４０側に電磁弁２７２が設けられている。
【００４８】
ここで、第３サブタンク２９０から、液体経路２８４、第１サブタンク２２０、液体経路２８１、脱気装置２６０、第１マニホールド２３０、ヘッド１００、第２マニホールド２４０、第２サブタンク２１０を経て第３サブタンク２９０に戻る経路で循環経路が構成される。
【００４９】
また、電磁弁２３２，２４２，２７１，２７２によって、ヘッド１００と循環経路との間が遮断され、バイパス経路２７０が循環経路の一部を構成する第１経路と、バイパス経路２７０と循環経路との間が遮断され、ヘッド１００が循環経路の一部を構成する第２経路とを切り替える手段を構成している。
【００５０】
つまり、電磁弁２３２，２４２を閉じ、電磁弁２７１，２７２を開くことで、バイパス経路２７０が循環経路の一部となり、ヘッド１００が循環経路の一部とならない第１経路が構成される。
【００５１】
また、電磁弁２３２，２４２を開き、電磁弁２７１，２７２を閉じることで、ヘッド１００が循環経路の一部となり、バイパス経路２７０が循環経路の一部とならない第２経路が構成される。
【００５２】
また、第１サブタンク２２０と第２サブタンク２１０、第１送液ポンプ２０２、第２送液ポンプ２０３によって、循環経路を液体が循環する圧力を生じさせる手段を構成している。
【００５３】
次いで、液体の供給、循環について説明する。
（１）メインタンク２０１から第３サブタンク２９０への送液
液面検知手段２９１にて液体の不足を検知すると、第３送液ポンプ２０９を用いて、メインタンク２０１から液体経路２８９を介して、液面検知手段２９１で液面が満タンとなるまで第３サブタンク２９０に液体を供給する。
【００５４】
（２）第３サブタンク２９０から第１サブタンク２２０への送液
第１送液ポンプ２０２を用いて、第３サブタンク２９０から液体経路２８４を介して、第１サブタンク２２０へ液体を供給する。
【００５５】
（３）第２サブタンク２１０から第３サブタンク２９０への送液
第２送液ポンプ２０３を用いて、第２サブタンク２１０から液体経路２８３を介して、第３サブタンク２９０へ液体を供給する。
【００５６】
（４）第１サブタンク２２０からヘッド１００およびヘッド１００から第２サブタンク２１０への送液
圧力センサ２３３を目標圧力（例えば、加圧となる圧力）とするまで第１送液ポンプ２０２を用いて第１サブタンク２２０へインクを供給するとともに、圧力センサ２４３を目標圧力（例えば負圧となる圧力）とするまで第２送液ポンプ２０３を用いて第３サブタンク２９０へ液体を供給することにより、第１サブタンク２２０と第２サブタンク２１０との間に、差圧が生じる。この差圧に応じて、第１サブタンク２２０から、液体経路２８１を介し、フィルタ２６１、脱気装置２６０、第１マニホールド２３０、複数の供給経路２３１、複数の第１のヘッドタンク３００ａ、複数のヘッド１００、複数の排出経路２４１、複数の第２のヘッドタンク３００ｂ、第２マニホールド２４０、液体経路２８２を介して、第２サブタンク２１０まで液体の循環が可能となる。なお、このとき、電磁弁２３２，２４２は開、電磁弁２７１，２７２は閉である。
【００５７】
一方、電磁弁２３２，２４２を閉じ、電磁弁２７１，２７２を開いた状態において、第１送液ポンプ２０２と第２送液ポンプ２０３を駆動して差圧を発生させると、この差圧に応じて、第１サブタンク２２０から、液体経路２８１を介し、フィルタ２６１、脱気装置２６０、第１マニホールド２３０、バイパス経路２７０、第２マニホールド２４０、液体経路２８２を介して、第２サブタンク２１０まで液体の循環が可能となる。
【００５８】
なお、各サブタンクに設けられる液面検知手段２２１，２１１，２９１は、特に限られるものではなく、例えば、フロート式による液体の有無の検知や、少なくとも２本以上の電極ピンを用いて検出した電圧の出力に応じて液体の有無の検知する方式、レーザによる液面検知方式、等を用いることができる。
【００５９】
また、各サブタンクには、それぞれ大気開放機構としての電磁弁２１２，２２２，２９２が設けられており、これを制御することで、各サブタンクを大気と連通させることが可能となっている。
【００６０】
次いで、第１サブタンク２２０の気体室２２０ａと第２サブタンク２１０の気体室２１０ａとの役割について説明する。気体室２２０ａおよび気体室２１０ａでは、液体の液面が例えば、空気と接している。
【００６１】
ここで、空気の加圧状態を第１サブタンク２２０に発生させるとともに、空気の減圧状態を第２サブタンク２１０に発生させると、気体は圧縮性があるため、圧力を蓄えることができる。この場合の空気は、等価な電気回路で表現した場合のコンデンサ成分と同様と考えられ、コンプライアンス（弾性成分）とも表現できる。
【００６２】
第１サブタンク２２０と第３サブタンク２９０、第２サブタンク２１０と第３サブタンク２９０に連通している第１送液ポンプ２０２、第２送液ポンプ２０３を駆動したときには、圧力変化（脈動）が発生する。この圧力変化は液体経路を伝達し、ノズルメニスカスに伝わると、液体の溢れや気泡の巻き込みにつながる。
【００６３】
そこで、これを抑制するためのコンプライアンス（弾性成分）が必要である。一般に、空気は圧縮性の性質を有しているのでコンプライアンス成分となる。気体室２２０ａ、２１０ａを有することで、圧力変化（脈動）を抑制することができるようになる。
【００６４】
（制御部）
次に、液体を吐出する装置の制御部の概要について図６を参照して説明する。図６は制御部の機能ブロック図である。
【００６５】
制御部５００は、装置全体の制御を司るＣＰＵ５０１、ＣＰＵ５０１が実行するプログラムを含む各種プログラムなどの固定データを格納するＲＯＭ５０２と、画像データ等を一時格納するＲＡＭ５０３で構成される主制御部５００Ａを備えている。
【００６６】
制御部５００は、装置の電源が遮断されている間もデータを保持するための書き換え可能な不揮発性メモリ５０４（ＮＶＲＡＭ）を備えている。制御部５００は、画像データに対する各種信号処理、並び替え等を行う画像処理やその他の制御するための入出力信号を処理するＡＳＩＣ５０５を備えるとともに、ホストＩ／Ｆ５０６を介してプリンタドライバ５９０との間でデータの送受信を行う。
【００６７】
制御部５００は、ヘッドユニット５０の各ヘッド１００を駆動制御するためのデータ転送手段、駆動信号発生手段、バイアス電圧出力手段を含む印刷制御部５０８と、各ヘッド１００を駆動するための駆動ＩＣ（ここでは「ヘッドドライバ」という。）５０９を備えている。
【００６８】
制御部５００は、電磁弁群５５０の電磁弁２３２，２４２，２７１，２７２及び電磁弁２１２，２２２，２９２，２８７，２８８などを駆動制御する電磁弁制御部５１０を備えている。
【００６９】
制御部５００は、第３送液ポンプ２０９を駆動制御する供給系制御部５１１を備えている。
【００７０】
制御部５００は、第１送液ポンプ２０２、第２送液ポンプ２０３を駆動制御する圧力系制御部５１２を備えている。
【００７１】
制御部５００は、Ｉ／Ｏ部５１３を有している。Ｉ／Ｏ部５１３は、様々のセンサ情報を処理することができ、圧力センサ２３３，２４３の検知結果、各種のセンサ群５１５からの情報を取得する。そして、装置の制御に必要な情報を抽出し、印刷制御部５０８や電磁弁制御部５１０、供給系制御部５１１、圧力系制御部５１２による制御などに使用する。
【００７２】
制御部５００には、この装置に必要な情報の入力及び表示を行うための操作パネル５１４が接続されている。
【００７３】
（ヘッドタンク）
次に、ヘッド１００の近傍に接続される第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅ、第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆについて説明する。なお、以下の実施形態では、液体循環機構２００は、第１のヘッドタンクおよび第２のヘッドタンクの双方を備える場合を例に説明するが、いずれか一方のヘッドタンクのみを備えるものであってもよい。
【００７４】
図７は、液体循環機構２００におけるヘッドタンク３００の構成の説明図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図７に示すように、ヘッドタンク３００は、マニホールド（第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅの場合は第１マニホールド２３０、第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆの場合は第２マニホールド２４０）に繋がるチューブが接続される液体ポート３０６ａとヘッド１００につながるチューブが接続される液体ポート３０６ｂが備えられ、１面が可撓性材料からなるダイアフラム３０２（可撓性部材）で形成された液体室３０４を備えている。
【００７５】
ダイアフラム３０２の外側の空間は、ケーシング３０３でカバーされており、空気室３０５が形成されている。ケーシング３０３には空気室３０５と連通した２つのエアーポート３０７ａ，３０７ｂ（区別しない場合は、エアーポート３０７という）が備えられている。なお、図７（ｂ）において、実線で示すダイアフラム３０２は、液体室３０４が膨張して、空気室３０５側に凸になった状態を示しており、点線で示すダイアフラム３０２は、液体室３０４が収縮して、液体室３０４側に凹になった状態を示している。
【００７６】
本実施形態に係る液体循環機構２００におけるヘッドタンク３００の接続形態を図８に示す。図８は図５に示した配管説明図の一部を切り出した説明図であって、第１マニホールド２３０からヘッド１００、ヘッド１００から第２マニホールド２４０までの液体の循環経路の説明図である。なお、図８では、ヘッド１００が３つの例を示しているが、ヘッド数がこれに限られるものではないのは勿論である。
また、図８では、第１のヘッドタンクとして、第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅが図示されており、第２のヘッドタンクとして、第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆが図示されているがこれに限られるものではない。
【００７７】
ヘッド１００は、図４に示した液体の循環型のヘッド１００であり、供給側共通液室１１０に第１のヘッドタンク３００ａが接続され、排出側共通液室１５０に第２のヘッドタンク３００ｂが接続される。また、第１のヘッドタンク３００ａは第１マニホールド２３０、第２のヘッドタンク３００ｂは第２マニホールド２４０と接続される。
【００７８】
図８に示す液体の循環経路において、ヘッド１００から液滴を吐出してパターン形成する際の液体の流れは、第１マニホールド２３０、第１のヘッドタンク３００ａ（または第１のヘッドタンク３００ｃ，３００ｅ）、ヘッド１００、第２のヘッドタンク３００ｂ（または第２のヘッドタンク３００ｄ，３００ｆ）、第２マニホールド２４０となる。
【００７９】
本実施形態では、ヘッド数を３としているので、ヘッドタンク３００の数は、第１マニホールド２３０に接続される第１のヘッドタンクが３つ、第２マニホールド２４０に接続される第２のヘッドタンクが３つで、計６つ配置される。
【００８０】
３つの第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅのエアーポート３０７は、図８において一点鎖線で示すように接続経路６０２（例えばチューブ）で接続されている。図８に示す例では、第１のヘッドタンク３００ａのエアーポート３０７ａと第１のヘッドタンク３００ｃのエアーポート３０７ｂ、第１のヘッドタンク３００ｃのエアーポート３０７ａと第１のヘッドタンク３００ｅのエアーポート３０７ｂがそれぞれ接続されている。また、第１のヘッドタンク３００ａのエアーポート３０７ｂは、第１大気開放弁３２０に接続されている。また、第１のヘッドタンク３００ｅのエアーポート３０７ａは、キャップ３２１により封止されている。
【００８１】
これにより３つの第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅはすべて連通し、第１大気開放弁３２０が閉まっている状態では、３つの第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅは共通の密閉空間を有することとなる。
【００８２】
同様に、３つの第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆのエアーポート３０７は、図８において一点鎖線で示すように接続経路６０２で接続されている。図８に示す例では、第２のヘッドタンク３００ｂのエアーポート３０７ａと第２のヘッドタンク３００ｄのエアーポート３０７ｂ、第２のヘッドタンク３００ｄのエアーポート３０７ａと第２のヘッドタンク３００ｆのエアーポート３０７ｂがそれぞれ接続されている。また、第２のヘッドタンク３００ｂのエアーポート３０７ｂは、第２大気開放弁３３０に接続されている。また、第２のヘッドタンク３００ｆのエアーポート３０７ａは、キャップ３３１により封止されている。
【００８３】
これにより３つの第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆはすべて連通し、第２大気開放弁３３０が閉まっている状態では、３つの第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆは共通の密閉空間を有することとなる。
【００８４】
次に、液体循環機構２００による吐出動作と、ヘッドタンク３００の作用について、図５および図８を参照して説明する。
【００８５】
先ず、液体循環機構２００において、第１送液ポンプ２０２および第２送液ポンプ２０３が停止している状態（以下、停止状態という）において、第１大気開放弁３２０および第２大気開放弁３３０を、一旦開いて、全てのヘッドタンク３００の空気室を大気開放する。
【００８６】
次いで、第１大気開放弁３２０および第２大気開放弁３３０を閉じて第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅおよび第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆの空気室を密閉空間とした後、第１送液ポンプ２０２および第２送液ポンプ２０３を駆動させ液体を循環させる。
【００８７】
上記のように、第１送液ポンプ２０２および第２送液ポンプ２０３の送液流量は、圧力センサ２３３，２４３の検知結果に基づいて制御される。また、液体は、第３サブタンク２９０から、第１サブタンク２２０、脱気装置２６０、第１マニホールド２３０、第１のヘッドタンク３００ａ、ヘッド１００、第２のヘッドタンク３００ｂ、第２マニホールド２４０、第２サブタンク２１０、第３サブタンク２９０の経路で循環する。
【００８８】
この液体の循環において、液体は脱気装置２６０で脱気され、以後、ヘッド１００に供給される前に空気に触れないので、ヘッド１００に空気が溶け込んで脱気度が低下することなく良好に脱気された液体を供給することが可能となっている。
【００８９】
ところで、液体吐出ヘッド内の液体の圧力は、ノズル近傍で、例えば、−０．５ｋＰａ程度の負圧に設定されるが、液体を吐出することにより負圧が瞬間的に増大し、ヘッドの液室内に液体がリフィル（再充填）されることで元の圧力に戻る。このとき、リフィルされる液体の流路が長い等によりリフィル抵抗が大きい場合は、リフィル時間がかかるため液体のリフィルが吐出に対して間に合わなくなる。
【００９０】
そのため、負圧が上昇して正常な吐出ができない状態となったり、また、不吐出にまで至らなくても、吐出とリフィルによるヘッド内の圧力変動が大きくなると、吐出する液滴の体積や速度が変動したりして、良好な画像が得られない不具合となることがあった。
【００９１】
これに対し、特許文献１に記載の技術では、循環流量を作り出す２つのタンクに、ダイアフラムを備え圧力緩衝機能を持たせているが、ヘッドとの接続距離が長く、また、複数ヘッドの圧力変動を１つのタンクでダンピングする構成であるため、吐出起因の圧力変動を良好にダンピングすることができない。
【００９２】
一方、本実施形態に係る液体循環機構２００においては、ヘッド１００のごく近傍にダイアフラム３０２によって容積変化可能なヘッドタンク３００が設けられている。
【００９３】
これにより、ヘッド１００から液体を吐出したことによって生じる圧力変動を瞬時にダンピングすることができ、高周波数吐出など液体の消費量が多い吐出をした場合であっても、ヘッド１００に適宜液体をリフィルしてヘッド１００内の液室の圧力を安定して保持することが可能となっている。
【００９４】
また、ヘッド１００も含めて液体を循環させる場合、ヘッド１００内の流路の流体抵抗が大きいため、第１サブタンク２２０と第２サブタンク２１０との圧力差を大きくする必要がある。これにより、第１サブタンク２２０は加圧されるので、第１のヘッドタンクの液体室３０４が膨張した状態（図７（ｂ）の実線で示すダイアフラム３０２の状態）となる。一方で、第２サブタンク２１０は減圧されるので、第２のヘッドタンクの液体室３０４が収縮した状態（図７（ｂ）の点線で示すダイアフラム３０２の状態）となる。
【００９５】
このとき、液体の圧が大きいほどダイアフラム３０２は大きく変形するが、本実施形態のヘッドタンク３００では、ダイアフラム３０２の外側の空間である空気室３０５が密閉されているため、液体の圧力によってダイアフラム３０２が押されると空気室３０５の空気が押し返すので、液体の圧力が大きく、ダイアフラム３０２に大きな圧力がかかる場合においてもダイアフラム３０２の過剰な変形を防止することができ、ダイアフラム３０２の耐久性を向上させることができる。
【００９６】
さらに、本実施形態のヘッドタンク３００では、複数のヘッドタンク３００の空気室３０５が連通しているので、低負荷吐出の他のヘッド１００のヘッドタンク３００の空気層を利用することができ、圧力ダンピング性能を向上させることができる。
【００９７】
また、本実施形態の第１のヘッドタンク、第２のヘッドタンクは、それぞれ大気開放弁３２０，３３０が備えられ、ヘッドタンク３００の空気室３０５が大気に連通可能であるので、ヘッドタンク３００の空気室３０５の空気量をリセットすることが可能となると共に、液体循環機構２００の停止時などにおいて、空気室３０５を大気開放することができ、周囲の温度変化等に伴う圧力変動による不具合、例えば、温度上昇によって空気室３０５が膨張して液体室３０４の液体の圧力が上がってしまいヘッド１００から液体が漏洩するなどの不具合、を防止することが可能となる。
【００９８】
上記のように、本実施形態のヘッドタンク３００を用いることで、ヘッド１００の滴吐出に伴う圧力変動を低減して、圧力ダンピング性能を長期に渡り安定して維持することが可能となる。
【００９９】
［第２の実施形態］
以下、本発明に係る液体を吐出する装置における液体循環機構２００の他の実施形態について説明する。なお、上記実施形態と同様の点についての説明は適宜省略する。
【０１００】
図９は、第２の実施形態に係る液体循環機構２００におけるヘッドタンク３００の構成の説明図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【０１０１】
第２の実施形態に係るヘッドタンク３００は、ケーシング３０３が透明樹脂で形成されており、ケーシング３０３に対向する位置に、ダイアフラム３０２の変位検出部材としてのフォトセンサ３０８ａ，３０８ｂが設けられている。この２つのフォトセンサ３０８ａ，３０８ｂによってヘッドタンク３００の内部のダイアフラム３０２の位置が検出できるようになっている。
【０１０２】
ここで、ヘッド１００から液体を吐出する際、ヘッド内に液体を循環させるとともに、吐出された液体を補充し、かつ液体の圧力を極力一定に保つべく、第１送液ポンプ２０２および第２送液ポンプ２０３の制御がなされるが、ヘッド１００の液体消費に対するサブタンクからの液体のリフィルの応答に遅れが発生する。
【０１０３】
その応答遅れの期間に、ヘッドタンク３００からヘッド１００に供給して供給不足や過剰供給などの不具合が発生しないようにするため、ヘッドタンク３００のダイアフラム３０２は、圧力変化をほとんど伴わずに、液体室３０４の容積を膨張させる方向にも収縮させる方向にもできることが望ましい。
【０１０４】
すなわち、図９（ｂ）において、ダイアフラム３０２がダイアフラム３０２Ｍの状態になっていれば、ヘッド１００にヘッドタンク３００内のインクの出し入れが行われて、圧力変動を良好に防止することができる。
【０１０５】
そこで、第２の実施形態に係るヘッドタンク３００は、２つのフォトセンサ３０８ａ，３０８ｂによってダイアフラム３０２の位置が理想位置にあるかどうかを検出することができる構成になっている。
【０１０６】
図１０（ａ）はダイアフラムの挙動とフォトセンサの検出領域の説明図、（ｂ）はエアーポンプの駆動の説明図である。
【０１０７】
本実施形態では、フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂは、反射型のフォトセンサであって、ダイアフラム３０２に対しての距離が異なる位置に配置される。これにより、例えば、図１０（ａ）に示すように、フォトセンサ３０８ａはダイアフラム３０２が目標位置近傍から近接限界位置（図９（ｂ）のダイアフラム３０２Ｈ）の間でＯＮとなり、フォトセンサ３０８ｂはダイアフラム３０２が目標位置近傍から離間限界位置（図９（ｂ）のダイアフラム３０２Ｌ）の間でＯＮとなるようにすることが可能である。
【０１０８】
このとき、フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂの双方がＯＮとなる位置がダイアフラム３０２の目標位置となるため、一方のフォトセンサ３０８がＯＦＦの場合は、エアーポンプ（後述）を駆動させて、ヘッドタンク３００の空気室３０５に空気を出し入れして、ダイアフラム３０２位置を調整すればよいこととなる。
【０１０９】
第２の実施形態に係る液体循環機構２００におけるヘッドタンク３００の接続形態を図１１に示す。図１１は図５に示した配管説明図の一部を切り出した説明図であって、第１マニホールド２３０からヘッド１００、ヘッド１００から第２マニホールド２４０までの液体の循環経路の説明図である。第２の実施形態においても、ヘッド数を３としているので、ヘッドタンク３００の数は、第１マニホールド２３０に接続される第１のヘッドタンクが３つ、第２マニホールド２４０に接続される第２のヘッドタンクが３つで、計６つ配置される。
【０１１０】
なお、図１１では図８と同様に、第１のヘッドタンクとして、第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅが図示されており、第２のヘッドタンクとして、第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆが図示されているがこれに限られるものではない。
【０１１１】
図１１に示す液体循環機構２００においては、ヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅのうちの少なくとも１つ、およびヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆのうちの少なくとも１つについて、フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂを有する構成（図９）とし、他の４つのヘッドタンク３００は、フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂを有しない構成（図７）としている。
【０１１２】
第１の実施形態と同様に、３つの第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅはすべて接続経路６０２を介して連通し、一端側に第１大気開放弁３２０、他端側にキャップ３２１が設けられている。第１大気開放弁３２０が閉まっている状態では、３つの第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅは共通の密閉空間を有することとなる。
【０１１３】
また、３つの第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆもすべて接続経路６０２を介して連通し、一端側に第２大気開放弁３３０、他端側にキャップ３３１が設けられている。第２大気開放弁３３０が閉まっている状態では、３つの第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆは共通の密閉空間を有することとなる。
【０１１４】
また、第１のヘッドタンク３００ａの空気室３０５を連通している配管の一部が分岐して第１吸気用エアーポンプ３２２（Ｐ１）と、第１排気用エアーポンプ３２３（Ｐ２）が接続されている。第１吸気用エアーポンプ３２２を駆動すると、外部から第１のヘッドタンク３００ａの空気室３０５に空気を送り込み、第１排気用エアーポンプ３２３を駆動すると第１のヘッドタンク３００ａの空気室３０５から空気を吸い出す作用をする。
【０１１５】
同様に、第２のヘッドタンク３００ｂの空気室３０５を連通している配管の一部が分岐して第２吸気用エアーポンプ３３２（Ｐ１）と、第２排気用エアーポンプ３３３（Ｐ２）が接続されている。第２吸気用エアーポンプ３３２を駆動すると、外部から第２のヘッドタンク３００ｂの空気室３０５に空気を送り込み、第２排気用エアーポンプ３３３を駆動すると第２のヘッドタンク３００ｂの空気室３０５から空気を吸い出す作用をする。
【０１１６】
第２の実施形態に係る液体循環機構２００の動作について、図９〜図１１を参照しつつ説明する。
【０１１７】
停止状態において、第１のヘッドタンクおよび第２のヘッドタンクのダイアフラム３０２は、図９（ｂ）においてダイアフラム３０２Ｍで示される位置の近傍にある。なお、この液体循環機構２００においては、第１のヘッドタンクおよび第２のヘッドタンクはそれぞれ３つであるが、それぞれの液体室３０４と空気室３０５が連通するようにしているので、各ヘッドタンク３００のダイアフラム位置は、ほぼ同じ位置にある。
【０１１８】
ここから、第１送液ポンプ２０２および第２送液ポンプ２０３を駆動させ液体を循環させて、ヘッド１００からの液体吐出動作を行うと共に、各ヘッド１００から吐出された液体をリフィルするように、第１送液ポンプ２０２および第２送液ポンプ２０３（必要に応じて第３送液ポンプ２０９）を制御する。
【０１１９】
吸気用エアーポンプＰ１（３２２，３３２）、および排気用エアーポンプＰ２（３２３，３３３）の制御をしない場合は、上述のように、ヘッド１００の吐出に対するポンプ制御の遅れがあるため、図１０（ａ）の実線で示すように、ダイアフラム３０２が大きく凹んだり、大きく膨らんだりする。
【０１２０】
このようなダイアフラム３０２の大きな変動により、ダイアフラム３０２が張り切って液体室３０４のコンプライアンスが低下し、圧力変動の減衰効果が低下してしまう恐れがある。
【０１２１】
これに対し、第２の実施形態におけるヘッドタンク３００は、フォトセンサ３０８によりダイアフラム３０２の位置を検出するため、図１０（ａ）に示すように、ダイアフラム３０２が３０２Ｌで示す離間限界位置となっていることを、フォトセンサ３０８ｂが検出した際、図１０（ｂ）に示すように、排気用エアーポンプＰ２を駆動して、空気室３０５から空気を吸引する。
【０１２２】
また、逆に、ダイアフラム３０２が３０２Ｈで示す近接限界位置となっていることを、フォトセンサ３０８ａが検出した際は、図１０（ｂ）に示すように、吸気用エアーポンプＰ１を駆動して、空気室３０５へ空気を送り込む。
【０１２３】
以上の制御により、ダイアフラム３０２の位置は、図１０（ａ）の一点鎖線で示すように目標位置近傍に維持することが可能となる。
【０１２４】
以上説明した第２の実施形態にかかるヘッドタンク３００によれば、ダイアフラム３０２の変位を検出するフォトセンサ３０８と、ヘッドタンク３００の空気室３０５に接続されて空気を出し入れ可能なエアーポンプＰ１，Ｐ２を備えていることで、ヘッドタンク３００のコンプライアンスを常に大きい状態とすることができる。したがって、圧力変動のダンピング性能を最大の状態に維持することが可能となる。
【０１２５】
なお、第２の実施形態では、第１のヘッドタンク、第２のヘッドタンクのそれぞれのうちの１つのヘッドタンクについて、フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂを有する構成としたが、すべてのヘッドタンクについて、フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂを設け、各フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂの検知結果に基づいて、独立してダイアフラム３０２を制御することで、最も高い圧力変動性能を得ることができる。しかしながら、第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅの空気室３０５、第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆの空気室３０５はそれぞれ連通しているため、各１つのヘッドタンク３００について、フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂを設け、各フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂの検知結果に基づいて、ダイアフラム３０２を制御することでも、簡易かつ低コストで、同等の圧力変動性能を得ることができる。
【０１２６】
［第３の実施形態］
図１２は、第３の実施形態に係るヘッドタンク３００の構成の説明図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図１３は、第３の実施形態に係る液体循環機構２００におけるヘッドタンク３００の接続形態を示す説明図である。
【０１２７】
第３の実施形態に係るヘッドタンク３００はダイアフラム３０２に検出対象部材として筒状のターゲット３０９が貼り付けられているとともに、ケーシング３０３の内面にターゲット３０９をガイドするためのガイド部材３１０が設けられている。
【０１２８】
そして、ケーシング３０３に対向する位置に、ダイアフラム３０２の変位検出部材としてのフォトセンサ３０８ａ，３０８ｂが設けられている。この２つのフォトセンサ３０８ａ，３０８ｂによって、ターゲット３０９の位置を検出することで、ダイアフラム３０２の位置が検出できるようになっている。
【０１２９】
なお、図１３に示す液体循環機構２００においては、第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅのうちの少なくとも１つ、および第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆのうちの少なくとも１つについて、フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂおよびターゲット３０９を有する構成（図１２）とし、他の４つのヘッドタンクは、フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂを有しない構成（図７）としている。なお、図１３では、フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂの図示は省略している。このとき、フォトセンサ３０８ａ，３０８ｂおよびターゲット３０９を有するヘッドタンク３００は、エアポンプＰ１，Ｐ２から最も離れた場所とすることが好ましい。
【０１３０】
また、上記実施形態と同様に、３つの第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅはすべて接続経路６０２を介して連通し、一端側に第１大気開放弁３２０、他端側にキャップ３２１が設けられている。第１大気開放弁３２０が閉まっている状態では、３つの第１のヘッドタンク３００ａ，３００ｃ，３００ｅは共通の密閉空間を有することとなる。
【０１３１】
また、３つの第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆもすべて接続経路６０２を介して連通し、一端側に第２大気開放弁３３０、他端側にキャップ３３１が設けられている。第２大気開放弁３３０が閉まっている状態では、３つの第２のヘッドタンク３００ｂ，３００ｄ，３００ｆは共通の密閉空間を有することとなる。
【０１３２】
また、第１のヘッドタンク３００ａの空気室３０５を連通している配管の一部が分岐して第１吸気用エアーポンプ３２２（Ｐ１）と、第１排気用エアーポンプ３２３（Ｐ２）が接続されている。
【０１３３】
同様に、第２のヘッドタンク３００ｂの空気室３０５を連通している配管の一部が分岐して第２吸気用エアーポンプ３３２（Ｐ１）と、第２排気用エアーポンプ３３３（Ｐ２）が接続されている。
【０１３４】
さらに、ターゲット３０９を有するヘッドタンク３００（第１のヘッドタンク３００ｅ、第２のヘッドタンク３００ｆ）のダイアフラム３０２は、これを有しない他のヘッドタンク３００のダイアフラム３０２よりも低剛性のものとしているとともに、エアーポンプＰ１，Ｐ２から最も遠い場所に接続配管されるものとしている。なお、ターゲット３０９を有するヘッドタンク３００のダイアフラム３０２は、例えば、他のヘッドタンク３００のダイアフラム３０２よりも低弾性の材料を用いたり、肉厚を薄くすることで、低剛性とすることができる。
【０１３５】
以上説明した第３の実施形態に係るヘッドタンク３００（第１のヘッドタンク３００ｅ、第２のヘッドタンク３００ｆ）では、ダイアフラム３０２の変位を検出可能なヘッドタンク３００のダイアフラム３０２を、その他のヘッドタンク３００のダイアフラム３０２よりも低剛性としている。このため、他のヘッドタンク３００に比べて、液体室３０４の圧力に対し、ダイアフラム３０２が高感度に移動するため、ダイアフラム３０２の変位検出感度を大きくすることができる。よって、圧力ダンピング制御を高精度に行うことができる。
【０１３６】
また、ダイアフラム３０２に連動して移動するターゲット３０９を有するともに、そのターゲット３０９を案内支持するガイド部材３１０を備えているので、ダイアフラム３０２を低剛性なものとしても変位を安定化することができ、安定した圧力ダンピング性能を得ることができる。
【０１３７】
さらに、ダイアフラム３０２の変位を検出可能なヘッドタンク３００（第１のヘッドタンク３００ｅ、第２のヘッドタンク３００ｆ）をエアーポンプＰ１，Ｐ２から最も遠いところに配管することにより、他のヘッドタンク３００に供給される動作流体の出し入れがより短時間で行われるので、すべてのヘッドタンク３００の圧力ダンピングの性能をより目標に近い状態にすることが容易になる。
【０１３８】
［第４の実施形態］
図１４は、第４の実施形態にかかるヘッド及びヘッド接続図である。本実施形態は先述した各実施形態と比較して、用いているヘッドが循環型ではない部分で相違する。このような非循環型ヘッドを用いた場合でもヘッド内の圧力変動は生じうるため、エアーポート３０７ａ，３０７ｂを接続経路６０２で接続することにより、圧力変動の抑制効果を得ることができる。
【０１３９】
［第５の実施形態］
図１５は、第５の実施形態にかかるヘッド及びヘッド接続図である。本実施形態は先述した第１〜第３の実施形態と比較して、接続経路６０２の接続先が異なる。具体的には、接続経路６０２は第１のヘッドタンク３００ａのエアーポート３０７ａと、第２のヘッドタンク３００ｂのエアーポート３０７ｂとを接続している。つまり、接続経路６０２の接続先は第１のヘッドタンク同士、第２のヘッドタンク同士に限定されるものではなく、このように構成してもよい。
【０１４０】
なお、供給側のヘッドタンク（第１のヘッドタンク３００ａ）と排出側のヘッドタンク（第２のヘッドタンク３００ｂ）の圧力変動は、互いに正負が逆転することも多い。従って、上記のように構成することで、供給側のヘッドタンク（第１のヘッドタンク３００ａ）の圧力変動を排出側のヘッドタンク（第２のヘッドタンク３００ｂ）により効率よくダンピングすることができる。
【０１４１】
［第６の実施形態］
図１６は、第６の実施形態にかかるヘッド及びヘッド接続図である。本実施形態は先述した第５の実施形態と比較して、更に隣り合うヘッドタンク同士を接続経路６０２により接続している点で異なる（なお、図面上はそれぞれのサブタンクが隣り合うようにして記載しているが、実際の配置を限定するものではない。）。言いかえれば、接続経路６０２は第１のヘッドタンク３００ａのエアーポート３０７ａと、第２のヘッドタンク３００ｂのエアーポート３０７ａとを接続しつつ、更に別の接続経路６０２で、第１のヘッドタンク３００ｃのエアーポート３０７ｂと、第２のヘッドタンク３００ｂのエアーポート３０７ａとを接続している。また、いずれか１つのヘッドタンクには大気開放弁３２０を設けている。この構成により、大気開放弁が１つで済み、より簡素な構成でダンピング効果を得ることができる。
【０１４２】
本願において、吐出される「液体」は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【０１４３】
「液体吐出ヘッド」には、液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
【０１４４】
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【０１４５】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【０１４６】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【０１４７】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【０１４８】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【０１４９】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【０１５０】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【０１５１】
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【０１５２】
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【０１５３】
尚、上述の実施形態は本発明の好適な実施の例ではあるがこれに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。
【符号の説明】
【０１５４】
１  搬入手段
１１  元巻きローラ
３  案内搬送手段
５  印刷手段
５０  ヘッドユニット
５１  ヘッドアレイ
５２  ベース部材
５５  ヘッドユニット
５９  搬送ガイド部材
７  乾燥手段
９  排出手段
９１  巻取りローラ
１０  連続体
１００  液体吐出ヘッド
１０１  ノズル板
１０２  流路板
１０３  振動板部材
１０４  ノズル
１０５  ノズル連通路
１０６  個別液室
１０７  供給側流体抵抗部
１０８  液導入部
１０９  開口
１１０  供給側共通液室
１１０Ａ  下流側共通液室
１１０Ｂ  上流側共通液室
１１１  圧電アクチュエータ
１１２  圧電素子
１１３  ベース部材
１１５  フレキシブル配線部材
１２０  共通液室部材
１２１  第１共通液室部材
１２２  第２共通液室部材
１２９  カバー
１３０  振動領域
１３０ａ  凸部
１４０  流路部材
１５０  排出側共通液室
１５１  排出流路
１７１  供給ポート（供給口）
１８１  排出ポート（排出口）
２００  液体循環機構
２０１  メインタンク
２０２  第１送液ポンプ
２０３  第２送液ポンプ
２０５  フィルタ
２０９  第３送液ポンプ
２１０  第２サブタンク
２１０ａ  気体室
２１１  液面検知手段
２１２  電磁弁
２２０  第１サブタンク
２２０ａ  気体室
２２１  液面検知手段
２２２  電磁弁
２３０  第１マニホールド
２３１  供給経路
２３２  電磁弁
２３３  圧力センサ
２４０  第２マニホールド
２４１  排出経路
２４２  電磁弁
２４３  圧力センサ
２６０  脱気装置
２６１  フィルタ
２７０  バイパス経路
２７１  電磁弁
２７２  電磁弁
２８１  液体経路
２８２  液体経路
２８３  液体経路
２８４  液体経路
２８５  逆流液体経路
２８６  逆流液体経路
２８７  電磁弁
２８８  電磁弁
２８９  液体経路
２９０  第３サブタンク
２９１  液面検知手段
２９２  電磁弁
３００  ヘッドタンク
３００ａ，３００ｃ，３００ｅ  第１のヘッドタンク
３００ｂ，３００ｄ，３００ｆ  第２のヘッドタンク
３０２  ダイアフラム
３０３  ケーシング
３０４  液体室
３０５  空気室
３０６ａ，３０６ｂ  液体ポート
３０７（３０７ａ，３０７ｂ）  エアーポート
３０８（３０８ａ，３０８ｂ）  フォトセンサ
３０９  ターゲット
３１０  ガイド部材
３２０  第１大気開放弁
３２１  キャップ
３２２  第１吸気用エアーポンプ（Ｐ１）
３２３  第１排気用エアーポンプ（Ｐ２）
３３０  第２大気開放弁
３３１  キャップ
３３２  第２吸気用エアーポンプ（Ｐ１）
３３３  第２排気用エアーポンプ（Ｐ２）
５００  制御部
５００Ａ  主制御部
５０１  ＣＰＵ
５０２  ＲＯＭ
５０３  ＲＡＭ
５０４  不揮発性メモリ
５０５  ＡＳＩＣ
５０６  ホストＩ／Ｆ
５０８  印刷制御部
５０９  ヘッドドライバ
５１０  電磁弁制御部
５１１  供給系制御部
５１２  圧力系制御部
５１３  Ｉ／Ｏ部
５１４  操作パネル
５１５  センサ群
５５０  電磁弁群
５９０  プリンタドライバ
６０２  接続経路
１０００  印刷装置
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１５５】
【特許文献１】特許第５８１４１６２号公報
【図１】
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【図２】
2018199326.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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