(57)【要約】【課題】固体撮像素子のカラーフィルタを形成する際に使用される感光性着色組成物として、着色剤含有率が高くとも、現像後の画素パターンの断面形状の矩形性が良好であり、かつ解像性が良好な感光性着色組成物を提供する。【解決手段】この発明の感光性着色組成物は、親水性ポリマーと、光重合性モノマーと、着色剤と、光重合開始剤と、溶剤と、特定の添加剤と、を含み、親水性ポリマーおよび光重合性モノマーからなる感光性成分の二重結合当量が２００以下である。特定の添加剤は、分子軌道法により計算されるＬＵＭＯ（Lowest Unoccupied Molecular Orbital）のエネルギー値が−３ｅＶ〜−１ｅＶであり、共役している二重結合の数が３個以上８個以下であり、分子中に酸素原子および窒素原子の少なくともいずれかを２個以上８個以下の範囲で有する化合物、又は露光によりこの化合物を生成する化合物からなる。【選択図】図１
2018120028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
親水性ポリマーと、
光重合性モノマーと、
着色剤と、
光重合開始剤と、
溶剤と、
分子軌道法により計算されるＬＵＭＯ（Lowest Unoccupied Molecular Orbital）のエネルギー値が−３ｅＶ〜−１ｅＶであり、共役している二重結合の数が３個以上８個以下であり、分子中に酸素原子および窒素原子の少なくともいずれかを２個以上８個以下の範囲で有する化合物、又は露光により前記化合物を生成する化合物からなる添加剤と、
を含み、
前記親水性ポリマーおよび前記光重合性モノマーからなる感光性成分の二重結合当量が２００以下である感光性着色組成物。
【請求項２】
前記添加剤の固形分含有率が０．０５質量％以上０．８質量％以下である請求項１記載の感光性着色組成物。
【請求項３】
前記光重合開始剤がオキシムエステル系重合開始剤である請求項１又は２に記載の感光性着色組成物。
【請求項４】
平坦な下地上に形成された請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性着色組成物からなる層に基づく着色パターニング層を有するカラーフィルタ。
【請求項５】
請求項４記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを形成するのに好適な感光性着色組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤやＣＭＯＳなどの固体撮像素子は、二次元的に配列した複数画素を含んでいる。
カラー画像を読み取る固体撮像素子では、例えば、入射光をカラーフィルタの緑、青及び赤色着色層に通過させることによって、緑、青及び赤色の３色の光へと色分解し、これら着色光の強度を各画素が含んでいる光電変換素子で検出する。固体撮像素子は、このようにして、色情報を含んだ画像信号を出力する。
特許文献１に記載されているように、カラーフィルタは、フォトリソグラフィー法を利用して形成することができる。例えば、着色顔料を含んだ感光性組成物を下地上に塗布し、塗膜をパターン露光し、その後、この塗膜を現像し、残った塗膜をベークする。これにより、複数のフィルタセグメントからなる着色層を得る。このようにして第１番目の着色層を形成し、その後、同様の方法により、第２及び第３番目の着色層を順次形成する。
【０００３】
人間の視感度は、緑色光が、青色光及び赤色光よりも高い。そのため、パターン形成された緑色着色層のパターン寸法及びパターン形状精度は、青色及び赤色着色層のパターン寸法及びパターン形状精度と比較して、再生画像の画質に及ぼす影響が大きい。したがって、多くの場合、緑色着色層を第１番目に形成している。
市松模様のベイヤー配列では、第１番目に緑色着色層を形成するので、緑色着色層の解像度が、そのまま固体撮像素子のカラーフィルタの解像度に影響する。特に近年は、固体撮像素子の高精細化の要求の強く、付随するカラーフィルタの画素サイズは１．１μｍ以下のものも多くなってきており、このような微細パターンでは解像性が低下しやすいという問題がある。
【０００４】
ここで、ベイヤー配列のカラーフィルタの厚みは、例えば画素サイズが３μｍ×３μｍの場合、好ましくは０．８ないし１．２μｍであり、画素サイズが２μｍ×２μｍ以下では好ましくは１．０μｍ以下、より好ましくは０．４μｍないし０．８μｍである。これは、アスペクト比との関係のためで、画素サイズが小さくなっても厚みがそのままであると、解像性が低下し、また、受光素子までの距離が相対的に長くなる傾向があることによる。
薄いカラーフィルタであれば、解像度が高いため生産性に優れ、かつ、集光のために設けられるマイクロレンズと受光素子との距離が近くなるのでデバイス特性が向上し得る。しかし、膜厚が薄くなっても分光特性を保とうとすれば顔料濃度が高くなり、通常解像度は低下しやすい。そのため、分光特性が良好で、かつ解像度の高い緑色着色層の形成が強く求められていた。
【０００５】
一方、着色剤含有量を増加させた感光性組成物を用いて、着色層を形成すると、感光性組成物中の着色剤を増加させた分、アルカリ現像液に可溶する成分が少なくなるために、現像後の四角形状の画素パターン上部の角が丸くなってしまうことがある。画素上部の角が丸くなると隣接画素との間に隙間ができてしまう。
隣接画素との間に隙間があると、光が画素の上面から垂直に入射した際に、隙間のところで光路が曲げられ、隣接画素に流れ込んでしまい、本来光が入るべき画素の感度は低下する。また、隣接画素に流れることで混色が起き、分光感度特性が悪くなり、ノイズが大きく、ざらつきが目立ち、画質劣化といった問題が起こる。また、隣接部の厚みが薄くなり色特性が悪くなる。従って、パターン上部の角が丸くならないような、断面形状の矩形性が良好であることが求められている。
【０００６】
パターンの断面形状の矩形性を良好にするために様々な対策が行われている。
特許文献２には、特定量の重合禁止剤を含む組成物が開示されている。先に述べたように、パターンの微細化が求められており、それに伴いカラーフィルタの薄膜化が必要である。そこで、感光性組成物中の着色剤含有量は増加傾向にあり、他の成分は少なくせざるを得ない。添加剤成分が増えると、モノマーやポリマーの量を減らさなくてはいけないため、現像性や解像性が不足することが懸念される。
特に、着色剤含有量を増加させた感光性組成物において、光硬化成分そのものが減少することで、感度低下が生じやすくなる。その結果、低露光量領域ではパターン剥れが生じ、高露光量領域ではパターン寸法の太りが生じ、パターン解像性が著しく劣るといった現象が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−５４１９号公報
【特許文献２】特開２０１０−２３０８４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の課題は、固体撮像素子のカラーフィルタを形成する際に使用される感光性着色組成物として、着色剤含有率が高くとも、現像後の画素パターンの断面形状の矩形性が良好であり、かつ解像性が良好な感光性着色組成物を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の一態様の感光性着色組成物は、下記の構成(1)〜(3)を有することを特徴とする。
(1)親水性ポリマーと、光重合性モノマーと、着色剤と、光重合開始剤と、溶剤と、添加剤と、を含む。
(2)添加剤は、分子軌道法により計算されるＬＵＭＯ（Lowest Unoccupied Molecular Orbital）のエネルギー値が−３ｅＶ〜−１ｅＶであり、共役している二重結合の数が３個以上８個以下であり、分子中に酸素原子および窒素原子の少なくともいずれかを２個以上８個以下の範囲で有する化合物、又は露光により前記化合物を生成する化合物からなる。
(3)親水性ポリマーおよび光重合性モノマーからなる感光性成分の二重結合当量が２００以下である。この感光性成分の二重結合当量とは、親水性ポリマーおよび光重合性モノマーの混合モル比に応じて算出される感光性成分の分子量（ＭAB）を、この感光性成分ＭABグラムに含まれる「二重結合の個数（Ｋ）」で割った数値「ＭAB/Ｋ」を意味する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一態様の感光性着色組成物は、着色剤含有率が高くとも、現像後の画素パターンの断面形状の矩形性が良好であり、かつ解像性が良好なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態の固体撮像素子の構成を概略的に示す断面図である。
【図２】図１の固体撮像素子を構成するカラーフィルタを概略的に示す平面図である。
【図３】画素パターンのテーパー状断面形状のテーパー量を示す断面図である。
【図４】画素パターンの断面形状がテーパー状になっていることで固体撮像素子の解像度が悪くなることを説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、全ての図面を通じて、同様又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１３】
図１は、本発明の態様の一例である実施形態の固体撮像素子を概略的に示す断面図である。図２は、図１の固体撮像素子１を構成するカラーフィルタ４を概略的に示す平面図である。
図１に示す固体撮像素子１は、例えば、ＣＣＤイメージセンサ及びＣＭＯＳイメージセンサなどの二次元イメージセンサである。この固体撮像素子１は、半導体チップ２と平坦化層３とカラーフィルタ４とマイクロレンズアレイ５とを含んでいる。また、固体撮像素子１は、カラーフィルタ４とマイクロレンズアレイ５との間にも平坦化層６を備えている。半導体チップ２は、平面視で二次元的に配列した複数の画素を含んでいる。各画素は、入射した光の量に応じた信号電荷を発生する光電変換素子２１を含んでいる。光電変換素子２１は、例えば、画素電極と対向電極とそれらの間に介在した半導体層とを含んだフォトダイオードである。
【００１４】
半導体チップ２は、図示しない読出し回路をさらに含んでいる。読出し回路は、光電変換素子２１が発生した電荷を読み出す。光電変換素子２１は、例えば、ＣＣＤやＣＭＯＳデバイスなどで構成することができる。平坦化層３は、半導体チップ２上に形成されている。平坦化層３は、カラーフィルタ４に平坦な下地を提供する。平坦化層３は、光透過性を有しており、典型的には無色透明である。また、典型的には、平坦化層３は、紫外線吸収特性を有している。平坦化層３は、例えば透明樹脂からなる。
平坦化層３の厚さは、例えば０．８μｍ以下である。なお、半導体チップ２が表面平坦性に優れている場合や、固体撮像素子１の厚みを薄くしたい場合などには、平坦化層３は省略することができる。カラーフィルタ４は、平坦化層３上に形成されている。
【００１５】
カラーフィルタ４は、緑色着色層と青色着色層と赤色着色層とを含んでいる。
この例では、緑色着色層は、平面視で市松模様状の配列パターンを形成している複数の緑色フィルタセグメントＧからなる。青色着色層は、互いから離間すると共に正方格子状の配列パターンを形成している複数の青色フィルタセグメントＢからなる。赤色着色層は、互いから離間すると共に正方格子状の配列パターンを形成している複数の赤色フィルタセグメントＲからなる。フィルタセグメントＧ、Ｂ及びＲは、面内方向に隣り合っており、ここでは、正方配列を採用している。これらフィルタセグメントＧ、Ｂ及びＲは、それぞれ画素と向き合っている。
フィルタセグメントＧ、Ｂ及びＲの平面視での縦横の寸法は、例えば約０．９μｍないし約１０μｍの範囲内にあり、典型的には約１．１μｍないし約２．５μｍの範囲内にある。なお、一般的な液晶表示装置における画素の寸法は、数１００μｍである。これらの比較から明らかなように、固体撮像素子用のカラーフィルタには、表示装置用のカラーフィルタと比較して、遥かに高い寸法及び形状精度が要求される。
【００１６】
固体撮像素子１では、緑色着色層の厚さを、例えば０．４ないし２．５μｍの範囲内、典型的には０．５μｍないし１．５μｍの範囲内とする。緑色着色層及び青色着色層及び赤色着色層の厚さとほぼ等しい。また、緑色着色層は、例えば、４００ｎｍ及び７００ｎｍの波長についての分光透過率が２０％以下であり、５０％の分光透過率を示す波長が４８５ないし５２５ｎｍ及び５７５ないし６１５ｎｍの範囲内にあり、５４５ｎｍの波長についての分光透過率が７５％以上である。かかる分光透過率を有する緑色着色層では、緑領域の波長の透過率が高く、他の色の波長域では透過率が低いので、色分離性に優れたものとなる。そのため、他色の混色の少ない画像が得られる。
カラーフィルタ４上には、平坦化層６を介してマイクロレンズアレイ５が形成されている。平坦化層６の厚さは、例えば０．８μｍ以下である。平坦化層６は省略可能である。マイクロレンズアレイ５は、例えば、画素の行若しくは列に対応して複数のシリンドリカルレンズを並べた構造を有しているか、又は、画素に対応して複数の半球レンズを並べた構造を有している。
【００１７】
この固体撮像素子１は、例えば、以下の方法により製造する。
まず、半導体チップ２上に、平坦化層３を形成する。次に、平坦化層３上に、緑色着色層を形成する。即ち、緑色顔料を含んだ感光性組成物を平坦化層３上に塗布し、塗膜をパターン露光し、その後、塗膜を現像し、更に例えば２２０℃程度の温度でベークを行う。
パターン露光には、例えば紫外線を使用し、現像には例えばアルカリ現像液を使用する。これにより、パターン露光の際に未露光部とした部分が開口部となった緑色着色層を得る。なお、緑色着色層の平面視での形状は、図２に示すように市松模様とするのが一般的である。次いで、平坦化層３上に、緑色着色層について説明したのと同様の方法により、青色着色層及び赤色着色層を形成する。青色着色層及び赤色着色層は、どちらを先に形成してもよい。これにより、カラーフィルタ４を得る。その後、このようにして得られたカラーフィルタ４上に、平坦化層６を形成した後、平坦化層６の上にマイクロレンズアレイ５を形成する。
【００１８】
以上のようにして、図１に示す固体撮像素子１を完成する。
画素寸法が１．４μｍより小さくなっても解像性が良好な場合には、図１に示すように、破線で示す入射角Ｘの光を光電素子２１は問題なく画像信号として受光する。しかしながら、解像性が良好でない場合、すなわち図３で示すように、画素の形状が丸まりテーパーGT（緑色画素のテーパーの略）が大きくなると、図４で示すように、入射角Ｘで入射してきた光の一部は、隣接した他の色のフィルタセグメントも透過してしまうことになり、混色することで、再生画像に黒キズと呼ばれる表示ムラを生じる可能性がある。
本実施形態の感光性着色組成物は、図１の破線で示す入射角Ｘの光を、光電素子２１が正しく画像信号として受光することが出来るような解像性の良好な着色層を形成できるものであり、通常、ネガ型の感光性組成物である。
【００１９】
以下に、本実施形態の感光性着色組成物について説明する。
本実施形態の感光性着色組成物は、親水性ポリマー（Ａ）と、光重合性モノマー（Ｂ）と、着色剤（Ｃ）と、光重合開始剤（Ｄ）と、溶剤（Ｅ）と、添加剤（Ｆ）と、を含む。また、親水性ポリマー（Ａ）および光重合性モノマー（Ｂ）からなる感光性成分の二重結合当量が２００以下である。この感光性成分の二重結合当量とは、親水性ポリマーおよび光重合性モノマーの混合モル比に応じて算出される感光性成分の分子量（ＭAB）を、この感光性成分ＭABグラムに含まれる「二重結合の個数（Ｋ）」で割った数値「ＭAB /Ｋ」を意味する。
【００２０】
感光性成分の二重結合当量（ＭAB/Ｋ）は、親水性ポリマー（A）の二重結合当量(TA)、光重合性モノマー（Ｂ）の二重結合当量(TB)、ＡとＢとの混合質量比(mA:mB)を用い、以下の(1)式または(2)式により算出できる。(1)式は親水性ポリマー（A）が二重結合を有する化合物である場合に使用し、(2)式は親水性ポリマー（A）が二重結合を有さない化合物である場合に使用する。
ＭAB/Ｋ＝（mA＋mB）／（mA/TA＋mB/TB）    …(1)
ＭAB/Ｋ＝（mA＋mB）／（mB/TB）           …(2)
【００２１】
二重結合を有する化合物（エチレン性不飽和化合物）は、光ラジカル発生剤や光酸発生剤により発生した活性種によって重合し得る反応性化合物であり、二重結合部が反応点となって、他の反応性基と結合でき、架橋構造を形成する。感光性成分の二重結合当量が小さいほど、感光性着色組成物に含まれる反応性基の数が多くなるため、感光性着色組成物の硬化度が高くなり、強固なパターンが得られる。強固なパターンであれば、パターンの角部が現像液で削られにくくなり、画素パターンの断面形状の上部の角部が丸くなりにくい。
【００２２】
［親水性ポリマー（Ａ）］
親水性ポリマー（Ａ）（以下、単に（Ａ）と表記する場合がある）としては、溶解度パラメーター（以下、ＳＰ値という）が７〜１４であり、かつＨＬＢ値が７〜２０であるポリマーを用いることが好ましい。
（Ａ）のＳＰ値は、現像性と耐水性の観点から、好ましくは７〜１４、さらに好ましくは８〜１３、特に好ましくは１１〜１３である。
ＳＰ値は、Ｆｅｄｏｒｓ法によって、次式から計算される。
なお、ＳＰ値は、次式で表せる。
ＳＰ値（δ）＝（ΔＨ／Ｖ）１／２
【００２３】
ただし、式中、ΔＨはモル蒸発熱（ｃａｌ）を、Ｖはモル体積（ｃｍ3）を表す。
また、ΔＨ及びＶは、「ＰＯＬＹＭＥＲ ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧＡＮＤ ＦＥＢＲＵＡＲＹ，１９７４，Ｖｏｌ．１４，Ｎｏ．２，ＲＯＢＥＲＴＦ．ＦＥＤＯＲＳ．（１５１〜１５３頁）」に記載の、原子団のモル蒸発熱（△ｅｉ）の合計（ΔＨ）と、モル体積（△ｖｉ）の合計（Ｖ）を用いることができる。この数値が近いもの同士はお互いに混ざりやすく（分散性が高い）、この数値が離れているものは混ざりにくいことを表す指標である。
【００２４】
（Ａ）のＨＬＢ値は、現像性と耐水性の観点から、好ましくは７〜２０、より好ましくは７〜１９、さらに好ましくは８〜１８、特に好ましくは１０〜１８である。
ＨＬＢ値とは、一般にこの数値が大きいほど親水性が高いことを示す指標である。
本明細書中で記載するＨＬＢ値は、小田法による値である。なお、小田法によるＨＬＢ値とは、親水性−疎水性バランス値のことであり、有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から計算することができる。
ＨＬＢ≒１０×無機性／有機性また、無機性の値及び有機性の値は、文献「界面活性剤の合成とその応用」（槇書店発行、小田、寺村著）の５０１頁；「新・界面活性剤入門」（藤本武彦著、三洋化成工業株式会社発行）の１９７〜１９８頁に詳しく記載されている。
【００２５】
（Ａ）は、エチレン性不飽和基を含むモノマー（ＡＡ）からなる群より選ばれる少なくとも二つ以上のモノマーを共重合して得られるポリマーである。
エチレン性不飽和基を含むモノマー（ＡＡ）（以下、単に（ＡＡ）と記載する場合がある）としては、カルボキシル基含有ビニルモノマー（ＡＡ１）、（メタ）アクリル酸エステル（ＡＡ２）、芳香族炭化水素系モノマー（ＡＡ３）、脂肪族もしくは芳香族スルホン酸基含有ビニルモノマー（ＡＡ４）、ヒドロキシル基含有ビニルモノマー（ＡＡ５）、含窒素ビニルモノマー（ＡＡ６）、ハロゲン基含有ビニルモノマー（ＡＡ７）、ビニルエステル系モノマー（ＡＡ８）、ビニルエーテル系モノマー（ＡＡ９）、ビニルケトン系モノマー（ＡＡ１０）、ポリオキシアルキレン鎖を有するビニル系モノマー（ＡＡ１１）、エポキシ基含有ビニル系モノマー（ＡＡ１２）、イソシアネート基含有ビニル系モノマー（ＡＡ１３）等が挙げられる。
【００２６】
（ＡＡ１）としては、カルボキシル基とビニル基とを含有する炭素数３〜５０（好ましくは３〜２０）のモノマー及びその塩等が使用できる。具体的には、（メタ）アクリル酸、（無水）マレイン酸、マレイン酸モノアルキル（炭素数１〜１０のアルキル基、以下同じ）エステル、フマル酸、フマル酸モノエステル、クロトン酸、イタコン酸、イタコン酸モノエステル、イタコン酸グリコールモノエーテル、シトラコン酸、シトラコン酸モノエステル、桂皮酸；及びこれらの有機酸のアルカリ金属塩（ナトリウム塩、カリウム塩等）、アルカリ土類金属塩（カルシウム塩、マグネシウム塩等）、アミン塩又はアンモニウム塩等が挙げられる。
【００２７】
（ＡＡ２）としては、例えば、炭素数３〜２０の（メタ）アクリル酸エステルが挙げられ、具体的には、メチルアクリレート、エチルアクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｉ−プロピルアクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ヘキシルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、グリシジルアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−メトキシエチルアクリレート、２−エトキシエチルアクリレート、ジシクロペンタニルアクリレート、シジクロペンテニルアクリレート、イソボルニルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、ｉ−プロピルメタクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、ｎ−ヘキシルメタクリレート、２−エチルヘキシルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−メトキシエチルメタクリレート、２−エトキシエチルメタクリレート、ジシクロペンタニルメタクリレート、シジクロペンテニルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート等が挙げられる。
【００２８】
（ＡＡ３）としては、炭素数８〜５０（好ましくは８〜１８）の芳香族ビニル炭化水素等が使用できる。具体的には、スチレン、α −メチルスチレン、ビニルトルエン、２，４−ジメチルスチレン、エチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、フェニルスチレン、シクロヘキシルスチレン、ベンジルスチレン、クロチルベンゼン及びビニルナフタレン等が挙げられる。
（ＡＡ４）としては、ビニル硫酸（ＡＡ４−１）、ビニル硫酸塩（ＡＡ４−２）及びビニル硫酸エステル（ＡＡ４−３）等が用いられる。ビニル硫酸（ＡＡ４−１）としては、放射線重合性基及びスルホ基を含む炭素数２〜５０（好ましくは２〜２０）の化合物等が使用できる。例えば、ビニルスルホン酸（エチレンスルホン酸）、（メタ）アリルスルホン酸（２−プロペンスルホン酸又は２−メチル−２−プロペンスルホン酸）、スチレンスルホン酸、α−メチルスチレンスルホン酸等が挙げられる。
【００２９】
ビニル硫酸塩（ＡＡ４−２）としては、ビニル硫酸（ＡＡ４−１）の、アルカリ金属（ナトリウム及びカリウム等）塩、アルカリ土類金属（カルシウム及びマグネシウム等）塩、亜鉛塩、カドミウム塩、水銀塩、第１〜３級アルキル（炭素数１〜４）アミン（エチルアミン、メチルエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジブチルアミン及びイソブチルアミン等）塩、アンモニウム（Ｎ＋Ｈ４）塩及び第４級アルキル（炭素数１〜４）アンモニウム塩（テトラメチルアンモニウム塩、ジメチルジエチルアンモニウム塩、トリメチルブチルアンモニウム及びテトラエチルアンモニウム等）等が使用できる。例えば、ビニルスルホン酸ナトリウム、２−（メタ）アクリロイルアミノ−２−メチルプロパンスルホン酸カルシウム等が挙げられる。
【００３０】
ビニル硫酸エステル（ＡＡ４−３）としては、ビニル硫酸（ＡＡ４−１）と炭素数２〜５０（好ましくは３〜２０）のアルコールとからなるエステル等が使用できる。アルコールとしては、第１級アルコール（炭素数１〜１８）、第２級アルコール（炭素数３〜１８）及び第３級アルコール（炭素数４〜１８）等が使用できる。例えば、ビニルスルホン酸メチルエステル、（メタ）アリルスルホン酸エチルエステル、スチレンスルホン酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。
【００３１】
（ＡＡ５）としては、ヒドロキシル基とビニル基とを含有する炭素数４〜５０（好ましくは４〜２０）のモノマー等が使用できる。例えば、ヒドロキシスチレン、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチルプロペニルエーテル等が挙げられる。
（ＡＡ６）としては、アミノ基含有ビニルモノマー（ＡＡ６−１）、アミド基含有ビニルモノマー（ＡＡ６−２）、ニトリル基含有ビニルモノマー（ＡＡ６−３）、４級アンモニオ基含有ビニルモノマー（ＡＡ６−４）及びニトロ基含有ビニルモノマー（ＡＡ６−５）等が使用できる。
【００３２】
アミノ基含有ビニルモノマー（ＡＡ６−１）としては、アミノ基とビニル基とを含有する炭素数４〜５０（好ましくは５〜２０）のモノマー等が使用できる。例えば、アミノエチル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
アミド基含有ビニルモノマー（ＡＡ６−２）としては、アミド基とビニル基とを含有する炭素数３〜５０（好ましくは３〜２０）のモノマー等が使用できる。例えば、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｉ−プロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチルアクリルアミド等が挙げられる。
【００３３】
ニトリル基含有ビニルモノマー（ＡＡ６−３）としては、ニトリル基とビニル基とを含有する炭素数３〜５０（好ましくは３〜２０）のモノマー等が使用できる。例えば、（メタ）アクリロニトリル、シアノスチレン等が挙げられる。
４級アンモニオ基含有ビニルモノマー（ＡＡ６−４）としては、炭素数６〜５０（好ましくは８〜２０）の第３級アミン基含有ビニルモノマーの４級化物（例えば、メチルクロライド、ジメチル硫酸、ベンジルクロライド及びジメチルカーボネート等の４級化剤を用いて４級化したもの等）等が使用できる。例えば、トリメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、トリエチルアミノエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
ニトロ基含有ビニルモノマー（ＡＡ６−５）としては、ニトロ基とビニル基とを含有する炭素数６〜５０（好ましくは６〜２０）のモノマー等が使用できる。例えば、ニトロスチレン、ジニトロスチレン等が挙げられる。
【００３４】
（ＡＡ７）としては、ハロゲン元素を有する炭素数２〜５０（好ましくは２〜２０）のビニル基含有炭化水素等が使用できる。例えば、塩化ビニル、臭化ビニル、塩化ビニリデン、クロルスチレン、ブロムスチレン等が挙げられる。
（ＡＡ８）としては、ビニル基とエステル結合とを含有する炭化水素（炭素数４〜５０（好ましくは６〜２０）等が使用できる。例えば、酢酸ビニル、ビニルブチレート、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル等が挙げられる。
【００３５】
（ＡＡ９）としては、炭素数３〜５０（好ましくは６〜２０）のエーテル結合を有するビニル基含有炭化水素等が使用できる。例えば、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルプロピルエーテル、ビニルブチルエーテル等が挙げられる。
（ＡＡ１０）としては、炭素数６〜５０のビニルケトン等が使用できる。具体的には、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトン、ビニルフェニルケトン等が挙げられる。
【００３６】
（ＡＡ１１）としては、Ｍｎ１００〜１０，０００（好ましくは３００〜５，０００）のポリオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリレート等が使用できる。具体的には、ポリエチレングリコール（Ｍｎ３００）モノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール（Ｍｎ５００）モノアクリレート、メチルアルコールエチレンオキサイド（ＥＯ）１０モル付加物（メタ）アクリレート、ラウリルアルコールエチレンオキサイド（ＥＯ）３０モル付加物（メタ）アクリレート等が挙げられる。
なお、Ｍｎは、ゲルパミエーションクロマトグラフィー法（以下ＧＰＣ法と略す）により測定されるポリスチレン換算の数平均分子量である。
【００３７】
（ＡＡ１２）としては、エポキシ基とビニル基とを含有する炭化水素（炭素数６〜５０（好ましくは６〜２０））等が使用できる。具体的には、グリシジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
（ＡＡ１３）としては、イソシアネート基とビニル基とを含有する炭化水素（炭素数４〜５０（好ましくは４〜２０））等が使用できる。具体的には、イソシアナトエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
これらのうち好ましいものは（ＡＡ１）、（ＡＡ２）、（ＡＡ５）、（ＡＡ１１）、（ＡＡ１２）及び（ＡＡ１３）、さらに好ましくは、（ＡＡ１）、（ＡＡ２）、（ＡＡ５）、（ＡＡ１２）、及び（ＡＡ１３）、特に好ましくは、（ＡＡ１）及び（ＡＡ５）である。
【００３８】
（Ａ）を得るためのラジカル共重合の方法としては、（ＡＡ）を、必要により溶剤で希釈した後、ラジカル重合開始剤によって重合を行うものである。
溶剤としては、エステル（例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル等）、エチレングリコールモノアルキルエーテル、ケトン（例えば、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等）、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ブチルアセテート等が好ましく、さらに好ましくはケトン及びエステルである。
溶剤を使用する場合、その使用量は特に限定されないが、（ＡＡ）の合計１００質量部に対して、好ましくは１〜４００質量部、さらに好ましくは５〜３００質量部、特に好ましくは１０〜２００質量部である。
【００３９】
ラジカル重合開始剤としては、過酸化物及びアゾ化合物が挙げられる。
過酸化物としては、例えば、ｔ−ブチルパーオキシアセテート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ジ−ｔ−ブチルパーオキシド等が挙げられる。
アゾ化合物としては、例えば、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビスアミジノプロパン塩、アゾビスシアノバレリックアシッド（塩）、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］等が挙げられる。
これらのうち、好ましいものとしてはアゾ化合物である。
【００４０】
ラジカル重合開始剤の使用量としては、（ＡＡ）の合計１００質量部に対して、０．０００１〜２０質量部が好ましく、さらに好ましくは０．００１〜１５質量部、特に好ましくは０．００５〜１０質量部である。
反応温度は、ラジカル重合開始剤の種類により適宜決定される。
（ＡＡ）をラジカル共重合して得られた親水性ポリマー（Ａ）は、必要に応じて感光性官能基が付与されていてもよい。感光性官能基とは、光ラジカル発生剤や、光酸発生剤により発生した活性種によって重合し得る反応性基を意味し、例えば、エポキシ基、ビニル基、（メタ）アクリロイル基、ビニルオキシ基、ビニルオキシカルボニル基、（メタ）アリルオキシ基、（メタ）アリルオキシカルボニル基、アルキルイミノ基、プロペニルオキシ基、１−オキサ−２−オキソ−３−ブテニレン基及びプロペニルオキシカルボニル基等が挙げられる。
【００４１】
これらのうち、エポキシ基、（メタ）アクリロイル基、ビニルオキシ基、（メタ）アリルオキシ基、プロペニルオキシ基が好ましく、さらに好ましくはエポキシ基及び（メタ）アクリロイル基である。
（Ａ）に含まれる当該感光性官能基の濃度は、保存安定性と感光性の観点から、０．１ｍｍｏｌ／ｇ以上、４ｍｍｏｌ以下が好ましく、さらに好ましくは０．２ｍｍｏｌ／ｇ以上３．５ｍｍｏｌ以下、特に好ましくは０．３ｍｍｏｌ／ｇ以上、３ｍｍｏｌ以下である。
【００４２】
感光性官能基の付与の方法としては、例えば上記モノマー（ＡＡ）を共重合して得られるポリマーの側鎖と、感光性官能基含有化合物（ＰＳ）を反応させて得る方法等が挙げられる。
感光性官能基含有化合物（ＰＳ）としては、ヒドロキシル基含有ビニルモノマー（ＰＳ１）、エポキシ基含有ビニル系モノマー（ＰＳ２）、イソシアネート基含有ビニル系モノマー（ＰＳ３）等が挙げられる。
（ＰＳ１）としては、（ＡＡ５）と同様のものが使用できる。（ＰＳ２）としては、（ＡＡ１２）と同様のものが使用できる。（ＰＳ３）としては、（ＡＡ１３）と同様のものが使用できる。
【００４３】
これらのうち好ましいものは（ＰＳ２）及び（ＰＳ３）、特に好ましいものは（ＰＳ３）である。具体的には、イソシアナトエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
上記モノマー（ＡＡ）を共重合して得られるポリマーの側鎖と、感光性官能基含有化合物（ＰＳ）との反応は、例えば、これらを無溶剤あるいは前述した溶剤（Ｅ）の存在下に溶解させ、必要に応じて加熱、反応触媒添加を行うことにより得ることができる。
加熱する場合の温度としては、反応の進行しやすさに応じて適宜決定されるが、通常反応温度は５０℃以上、９０℃以下である。また、反応時間は１〜６時間である。
【００４４】
反応触媒としては、反応させる官能基に応じて適宜設定することができる。例えば、感光性官能基含有化合物（ＰＳ）が上記（ＰＳ１）、（ＰＳ２）及び（ＰＳ３）の場合、金属触媒、アミン系触媒等が使用できる。
金属触媒としては、錫系触媒（例えば、トリメチル錫ラウレート、トリメチル錫ヒドロキシド、ジメチル錫ジラウレート、ジブチル錫ジアセテート、ジブチル錫ジラウレート、スタナスオクトエート及びジブチル錫マレエート等）；鉛系触媒（例えば、オレイン酸鉛、２−エチルヘキサン酸鉛、ナフテン酸鉛及びオクテン酸鉛等）等が挙げられる。その他の金属触媒としては、例えばナフテン酸コバルト等が挙げられる。
【００４５】
アミン系触媒としては、３級アミン（例えば、トリエチルアミン等）；ジアミン（例えば、トリエチレンジアミン、テトラメチルエチレンジアミン、テトラメチルヘキシレンジアミン等）；モルホリン（例えば、Ｎ−メチルモルホリン、Ｎ−エチルモルホリン等）；アルカノールアミン（例えば、ジエチルエタノールアミン、ジメチルエタノールアミン等）；１，８−ジアザビシクロ[５，４，０]ウンデセン（サンアプロ社登録商標：ＤＢＵ）；アミン炭酸塩及び有機酸塩（例えば、ジメチルアミノエチルアミンの炭酸塩及び有機酸塩、ジメチルアミノプロピルアミンの炭酸塩及び有機酸塩、ジエチルアミノプロピルアミンの炭酸塩及び有機酸塩、ジブチルアミノエチルアミンの炭酸塩及び有機酸塩、ジメチルアミノオクチルアミンの炭酸塩及び有機酸塩、ジプロピルアミノプロピルアミンの炭酸塩及び有機酸塩、２−（１−アジリジニル）エチルアミンの炭酸塩及び有機酸塩、並びに４−（１−ピペリジニル）−２−ヘキシルアミンの炭酸塩及び有機酸塩等）等が挙げられる。
【００４６】
（Ａ）のＭｗ（ＧＰＣ法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量）は、カラーフィルタとなったときの強度と現像性の観点から、好ましくは２，０００以上、１００，０００以下であり、さらに好ましくは３，０００以上、５０，０００以下、特に好ましくは５，０００以上、２０，０００以下である。
（Ａ）の酸価（ＡＶ）は、耐水性と現像性の観点から、１〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、１０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましく、５０〜１６０ｍｇＫＯＨ／ｇが特に好ましい。
【００４７】
（Ａ）の含有量（質量％）は、感光性着色組成物の固形分に基づいて、現像性と耐水性の観点から、１〜５０、好ましくは３〜４５、特に好ましくは５〜４０である。
なお、本明細書中で述べる「感光性着色組成物の固形分」とは、感光性着色組成物から溶剤を除いた成分を意味する。従って、当該含有量（質量％）とは、感光性着色組成物の固形分に基づいて、当該固形分中に占める質量％（以下、単に％と表記する場合もある）を示す。
【００４８】
［光重合性モノマー（Ｂ）］
光重合性モノマー（Ｂ）（以下、単に（Ｂ）と記載する場合がある）としては、エチレン性不飽和結合を有する化合物を指す。具体的には、カルボキシル基含有ビニルモノマー（ＢＢ１）、芳香族炭化水素系モノマー（ＢＢ２）、脂肪族もしくは芳香族スルホン酸基含有ビニルモノマー（ＢＢ３）、ヒドロキシル基含有ビニルモノマー（ＢＢ４）、含窒素ビニルモノマー（ＢＢ５）、ハロゲン基含有ビニルモノマー（ＢＢ６）、ビニルエステル系モノマー（ＢＢ７）、ビニルエーテル系モノマー（ＢＢ８）、ビニルケトン系モノマー（ＢＢ９）、ポリオキシアルキレン鎖を有するビニル系モノマー（ＢＢ１０）、エポキシ基含有ビニル系モノマー（ＢＢ１１）、多官能（メタ）アクリレート類（ＢＢ１２）、ウレタン変性（メタ）アクリレート（ＢＢ１３）等が挙げられる。
【００４９】
（ＢＢ１）としては、前述の（ＡＡ１）と同様のものを使用することができる。また、（ＢＢ２）〜（ＢＢ１１）としては、それぞれ、前述の（ＡＡ３）〜（ＡＡ１２）と同様のものを使用することができる。
（ＢＢ１２）としては、２官能（メタ）アクリレート、３官能（メタ）アクリレート、４〜６官能（メタ）アクリレートが挙げられる。具体的には、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等が挙げられる。
【００５０】
（ＢＢ１３）としては、例えば、特開昭５１−３７１９３号、特公平２−３２２９３号、特公平２−１６７６５号の各公報に記載のもの等が挙げられる。
これらのうち好ましいものは、（ＢＢ１２）及び（ＢＢ１３）、より好ましいものは、（ＢＢ１２）である。市場から容易に入手できる光重合性モノマー（Ｂ）の具体例としては、例えば、アロニックスＭ−１０１、Ｍ−２０８、Ｍ−２４０、Ｍ−３０５、Ｍ−４００、Ｍ-４０２（以上、東亞合成製）、ＤＡ−６００（三洋化成製）等が挙げられる。
光重合性モノマー（Ｂ）の含有量（質量％）は、感光性着色組成物の固形分に基づいて、１０〜６０が好ましく、さらに好ましくは２０〜５５、特に好ましくは２５〜５０である。
【００５１】
［着色剤（Ｃ）］
着色剤（C）としては、赤色着色層を形成する場合には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ７、９、１４、４１、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、８１：１、８１：２、８１：３、１２２、１２３、１４６、１４９、１６８、１７７、１７８、１７９、１８４、１８５、１８７、１９２、２００、２０２、２０８、２１０、２１６、２２０、２２３、２２４、２２６、２４０、２５４、２５５、２６４、２７２等の赤色顔料を用いることができる。感光性赤色組成物には、黄色顔料、オレンジ色顔料を併用することができる。
【００５２】
緑色着色層を形成する場合には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ７、１０、３６、３７、５８等の緑色顔料を用いることができる。感光性緑色組成物には黄色顔料を併用することができる。
青色着色層を形成する場合には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、６４、８０等の青色顔料を用いることができる。感光性青色組成物には紫色顔料を併用することができる。
【００５３】
黄色着色層を形成する場合には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１、２、３、４、５、６、１０、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２６、１２７、１２８、１２９、１３８、１３９、１４７、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９３、１９４、１９８、１９９、２１３、２１４等の黄色顔料を用いることができる。
【００５４】
紫色着色層を形成する場合には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ１、１９、２３、２７、２９、３０、３２、３７、４０、４２、５０等の顔料を用いることができる。
マゼンタ色着色層を形成する場合には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ７、１４、４１、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、８１：１、８１：２、８１：３、１４６、１７７、１７８、１８４、１８５、１８７、２００、２０２、２０８、２１０、２４６、２５４、２５５、２６４、２７０、２７２等の顔料を用いることができる。感光性マゼンタ色組成物には黄色顔料を併用することができる。
シアン色着色層を形成する場合には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、８０等の顔料を用いることができる。
オレンジ色着色層を形成する場合には、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ３６、４３、５１、５５、５９、６１、７１、７３等の顔料を用いることができる。
【００５５】
着色剤（Ｃ）は、色素を分散させる色素担体中に、三本ロールミル、二本ロールミル、サンドミル、ニーダー、アトライター等の各種分散手段を用いて微細に分散して製造することができる。また、各色素を別々に色素担体中に微細に分散したものを混合して製造することもできる。色素を色素担体中に分散する際には、適宜、樹脂型顔料分散剤、界面活性剤、色素誘導体等の分散助剤を含有させることができる。分散助剤は、顔料の分散に優れ、分散後の顔料の再凝集を防止する効果が大きいので、分散助剤を用いて顔料を色素担体中に分散してなる着色組成物を用いた場合には、透明性に優れた固体撮像素子用カラーフィルタが得られる。
【００５６】
樹脂型顔料分散剤は、顔料に吸着する性質を有する顔料親和性部位と、色素担体と相溶性のある部位とを有し、顔料に吸着して顔料の色素担体への分散を安定化する働きをするものである。樹脂型顔料分散剤として具体的には、ポリウレタン、ポリアクリレートなどのポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸（部分）アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物、ポリ（低級アルキレンイミン）と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩などの油性分散剤、（メタ）アクリル酸−スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン−マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドンなどの水溶性樹脂や水溶性高分子化合物、ポリエステル系、変性ポリアクリレート系、エチレンオキサイド／プロピレンオキサイド付加化合物、燐酸エステル系等が用いられ、これらは単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
【００５７】
界面活性剤としては、ラウリル硫酸ソーダ、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ、スチレン−アクリル酸共重合体のアルカリ塩、ステアリン酸ナトリウム、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステルなどのアニオン性界面活性剤；ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレートなどのノニオン性界面活性剤；アルキル４級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物などのカオチン性界面活性剤；アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤が挙げられ、これらは単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
【００５８】
［光重合開始剤（Ｄ）］
光重合開始剤（Ｄ）（以下、単に（D）と記載する場合がある）としては、オキシムエステル化合物が用いられ、電子部品用途等の感光性組成物の光重合開始剤として知られている公知の化合物を使用することができる。例えば、特開昭５７−１１６０４７号公報、特開昭６１−２４５５８号公報、特開昭６２−２０１８５９号公報、特開昭６２−２８６９６１号公報、特開平７−２７８２１４号公報、特開２０００−８００６８号公報、特開２００１−２３３８４２号公報、特開２００４−５３４７９７号公報、特開２００２−５３８２４１号公報、特開２００４−３５９６３９号公報、特開２００５−９７１４１号公報、特開２００５−２２００９７号公報、ＷＯ２００５−０８０３３７Ａ１、特開２００２−５１９７３２号公報、特開２００１−２３５８５８号公報、特開２００５−２２７５２５号公報などの各公報に記載の化合物から選択して使用することができる。
【００５９】
オキシムエステル化合物としては、１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−オクタン−１−オン−２−オンオキシム−Ｏ−アセテート、１−〔４−（２−メチルフェニルチオ）フェニル〕−オクタン−１−オン−２−オンオキシム−Ｏ−アセテート、１−〔４−（２，４，６−トリメチルフェニルチオ）フェニル〕−オクタン−１−オン−２−オンオキシム−Ｏ−アセテート、１−〔４−（２−エチルフェニルチオ）フェニル〕−オクタン−１−オン−２−オンオキシム−Ｏ−アセテート、１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−オクタン−１−オン−２−オンオキシム−Ｏ−ベンゾエート、１−〔４−（２−メチルフェニルチオ）フェニル〕−オクタン−１−オン−２−オンオキシム−Ｏ−ベンゾエート、１−〔４−（２，４，６−トリメチルフェニルチオ）フェニル〕−オクタン−１−オン−２−オンオキシム−Ｏ−ベンゾエート、１−〔４−（２−エチルフェニルチオ）フェニル〕−オクタン−１−オン−２−オンオキシム−Ｏ−ベンゾエート１，２−オクタジオン−１−[４−（フェニルチオ)フェニル−、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム)] 、１−〔９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−オクタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセテート、１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾエート、１−〔９−エチル−６−（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾエート、１−〔９−ｎ−ブチル−６−（２−エチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾエート、エタノン，１−[９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル)−９Ｈ−カルバゾール−３−イル]−１−（Ｏ−アセチルオキシム）等が挙げられるが本発明は、これらに限定されるものではない。
【００６０】
また、これらの市販品としては、ＡＤＥＫＡ社製アデカクルーズＮ−５０５０、アデカクルーズＮ−１９１９、ＢＡＳＦ社製ＯＸＥ−０１、ＯＸＥ−０２、東洋インキ社製ＴＲＧ−Ｎ５６２などが挙げられる。
また、オキシムエステル化合物と併用して、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン等のアセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４'−メチルジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサンソン、２−クロルチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系光重合開始剤、２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペロニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（ピペロニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（４'−メトキシスチリル）−６−トリアジン等のトリアジン系光重合開始剤、ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、イミダゾール系光重合開始剤等も用いても良い。
【００６１】
増感剤として、α−アシロキシエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、４，４'−ジエチルイソフタロフェノン、３，３'，４，４'−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４'−ジエチルアミノベンゾフェノン等の化合物を併用することもできる。また、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタ感光性組成物は、連鎖移動剤としての作用を有する多官能チオールを含有することができる。
【００６２】
多官能チオールは、チオール基を２個以上有する化合物であればよく、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ブタンジオールビスチオプロピオネート、１，４−ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロビオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、２，４，６−トリメルカプト−ｓ−トリアジン、２−（Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノ）−４，６−ジメルカプト−ｓ−トリアジン等が挙げられる。これらの多官能チオールは、１種または２種以上を混合して用いることができる。
（Ｄ）の含有量（質量％）は、感光性着色組成物の固形分に基づいて、０．０００１〜２０が好ましく、さらに好ましくは０．００１〜１５、特に好ましくは０．００５〜１０である。
【００６３】
［溶剤（Ｅ）］
溶剤（Ｅ）としては、上述の（Ａ）の製造に使用される溶剤として挙げたものと同様のものを使用できる。さらに具体的には、シクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−ｎアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤等が挙げられ、モノマー組成、用いる重合開始剤の種類等に応じて、これらを単独でもしくは混合して用いることができる。
【００６４】
［添加剤（Ｆ）］
添加剤（Ｆ）は、分子軌道法により計算されるＬＵＭＯ（Lowest Unoccupied Molecular Orbital）のエネルギー値が−３ｅＶ〜−１ｅＶであり、共役している二重結合の数が３個以上８個以下であり、分子中に酸素原子および窒素原子の少なくともいずれかを２個以上８個以下の範囲で有する化合物（Ｆ１）、又は露光により化合物（Ｆ１）を生成する化合物（Ｆ２）からなる。
分子軌道法によるＬＵＭＯ値の計算は、（株）富士通システムエンジニアリング社製の半経験的分子軌道計算ソフトＭＯＰＡＣを用い、ＰＭ５のパラメーターを用いて行った。
添加剤（Ｆ）におけるＬＵＭＯ値は、−３〜−１ｅＶであり、好ましくは−２．５〜−１．５ｅＶである。
【００６５】
なお、ＬＵＭＯ値は、露光により発生したラジカルとの反応のし易さを示すものであり、上記範囲内であると、十分な露光ラチチュードと良好な解像性が得られる。
添加剤（Ｆ）のうち、（Ｆ１）の具体例としては、キノン化合物、ニトロ化合物、シアノ化合物等が挙げられる。キノン化合物としては、具体的には、１，２−ベンゾキノン、１，４−ベンゾキノン、１，２−ナフトキノン、１，４−ナフトキノン、２，３−ナフトキノン、アントラキノン等が挙げられる。ニトロ化合物としては、例えば、ニトロベンゼン、ｏ−ニトロトルエン、ｍ−ニトロトルエン、ｐ−ニトロトルエン、ｐ−ニトロアニリン等が挙げられる。シアノ化合物としては、例えば、テトラシアノエチレン等が挙げられる。
【００６６】
また、系中で露光により該（Ｆ１）を生成しうる化合物（Ｆ２）としては、ヒドロキノン化合物等が挙げられる。ヒドロキノン化合物としては、例えば、１，２−ジヒドロキシベンゼン、１，４−ジヒドロキシベンゼン、１，２−ジヒドロキシナフトール、１，４−ジヒドロキシナフトール、２，３−ジヒドロキシナフトール、ジヒドロキシアントラセン等が挙げられる。
添加剤（Ｆ）は、単独で用いても、２種以上を併用してもよい。添加剤（Ｆ）のうち、感度の観点から、好ましくはキノン化合物、ヒドロキノン（ハイドロキノン）化合物であり、より好ましくは１，４−ベンゾキノン、１，４−ジヒドロキシベンゼンである。
添加剤（Ｆ）の含有量（質量％）としては、感光性着色組成物の固形分に基づいて、解像性及び露光感度の観点から、０．０５〜０．８が好ましく、より好ましくは０．１〜０．５、さらに好ましくは０．１５〜０．４５、特に好ましくは０．２〜０．４である。
【００６７】
［その他］
本発明の一態様の感光性着色組成物には、その他の添加物（G）、例えば、シランカップリング剤、染料、黄変防止剤、酸化防止剤、消泡剤、レベリング剤、連鎖移動剤、重合禁止剤、粘度調整剤等を、必要に応じて使用できる。添加物（G）を使用する場合、添加物（G）の含有量（質量％）は、感光性着色組成物の固形分に基づいて、０．１〜２０が好ましい。
【００６８】
また、本発明の一態様の感光性着色組成物には、組成物の経時粘度を安定化させるために貯蔵安定剤を含有させることができる。貯蔵安定剤としては、例えばベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの４級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸およびそのメチルエーテル、ｔ−ブチルピロカテコール、テトラエチルホスフィン、テトラフェニルフォスフィンなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。
本発明の一態様の感光性着色組成物に対しては、遠心分離、焼結フィルタ、メンブレンフィルタ等の手段にて、５μｍ以上の粗大粒子、好ましくは１μｍ以上の粗大粒子さらに好ましくは、０．３μｍ以上の粗大粒子および混入した塵の除去を行うことが好ましい。
【実施例】
【００６９】
以下、本発明をより具体的に説明する。なお、この実施例においては、緑色感光性組成物を例として説明する。
［親水性ポリマーの調製］
＜親水性ポリマーの製造例１＞
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（PGMAc）６８６ｇ、グリシジルメタクリレート（GMA）３３２ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（AIBN）６．６ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で6時間加熱し、GMAのポリマー溶液を得た。
【００７０】
次に、得られたGMAのポリマー溶液に、アクリル酸（AA）１６８ｇ、メトキノン（MQ）０．０５ｇ、トリフェニルフォスフィン（TPP）０．５ｇを加え、空気を吹き込みながら１００℃で２４時間加熱し、GMA樹脂のアクリル酸付加物溶液を得た。更に、得られたGMA樹脂のアクリル酸付加物溶液に、テトラヒドロフタル酸無水物１８６ｇを加え、７０℃で１０時時間加熱し、樹脂（A-1）溶液を得た。
樹脂（A-1）の理論二重結合当量（重量平均分子量（Ｍｗ）を用いて算出した値。以下、単に「二重結合当量」と称する。）は２９４である。
【００７１】
＜親水性ポリマーの製造例２＞
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（PGMAc）５００ｇ、フェノールノボラックエポキシ樹脂（日本化薬製「EPPN-201」[エポキシ当量：１９０]）２６４ｇ、アクリル酸（AA）１００ｇ、メトキノン（MQ）０．０７ｇ、トリフェニルフォスフィン（TPP）１．８ｇを加え、空気を吹き込みながら１００℃で４８時間加熱し、ノボラック樹脂のアクリル酸付加物溶液を得た。
更に、得られたノボラック樹脂のアクリル酸付加物溶液に、テトラヒドロフタル酸無水物１３６ｇを加え、７０℃で１０時時間加熱し、樹脂（A-2）溶液を得た。
樹脂（A-2）の二重結合当量は３６１である。
【００７２】
＜親水性ポリマーの製造例３＞
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、実施例１で得られた樹脂（A）溶液１０００ｇ、メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（昭和電工製「カレンズMOI」）８５ｇ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（PGMAc）８５ｇを加え、空気を吹き込みながら６０℃で１２時間加熱し、樹脂（A-3）溶液を得た。
樹脂（A-3）の二重結合当量は２６０である。
【００７３】
＜親水性ポリマーの製造例４＞
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（PGMAc）８００ｇ、ブチルメタクリレート（BMA）１４０ｇ、メタクリル酸（MAA）３０ｇ、ヒドロキシエチルメタクリレート（HEMA）３０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル（AIBN）４ｇを加え窒素を吹き込みながら８０℃で6時間加熱し、樹脂（A-4）溶液を得た。
樹脂（A-4）は二重結合を有さない親水性ポリマーである。
【００７４】
＜親水性ポリマーの製造例５＞
内容量が２リットルの５つ口反応容器内に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（PGMAc）４８６ｇ、フェノールノボラックエポキシ樹脂（日本化薬製「EPPN-201」[エポキシ当量：１９０]）２６４ｇ、酢酸８４ｇ、トリフェニルフォスフィン（TPP）１．８ｇを加え、空気を吹き込みながら１００℃で４８時間加熱し、ノボラック樹脂の酢酸付加物溶液を得た。
更に、得られたノボラック樹脂の酢酸付加物溶液に、テトラヒドロフタル酸無水物１３６ｇを加え、７０℃で１０時時間加熱し、樹脂（A-5）溶液を得た。
【００７５】
樹脂（A-5）は二重結合を有さない親水性ポリマーである。
上記製造例１〜５で得られた各親水性ポリマーの、数平均分子量（Ｍｎ）、重量平均分子量（Ｍｗ）、二重結合当量、ＳＰ値、ＨＬＢ値、酸価の化学構造特性値を表１に示す。
なお、二重結合当量以外の各物性は以下のようにして測定した。
数平均分子量（Ｍｎ）、重量平均分子量（Ｍｗ）は、ＧＰＣ測定機器（ＨＬＣ−８１２０ＧＰＣ、東ソー（株）製）、カラム（ＴＳＫｇｅｌＧＭＨＸＬ２本＋ＴＳＫｇｅｌ ＭｕｌｔｉｐｏｒｅＨＸＬ−Ｍ、東ソー（株）製）を用い、ＧＰＣ法により測定されるポリスチレン換算の値として求めた。
ＳＰ値、ＨＬＢ値は、前述のようにして求めた。
酸価は、ＪＩＳ  Ｋ  ６９０１；１９９９（５．３酸価）に準拠して測定して求めた。
【００７６】
【表１】
2018120028.tif 000003
【００７７】
［感光性着色組成物の調製］
下記の要領で、固体撮像素子用カラーフィルタ作製に用いる感光性着色組成物を調製した。
＜実施例１＞
《アクリルワニスの合成》
反応容器にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３７０質量部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら８０℃に加熱して、同温度で、メタクリル酸：１２．３質量部、メタクリル酸ベンジル：４９．２質量部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート（アロニックスＭ−１１０（東亞合成社製））：２４．２質量部、および２−ヒドロキシエチルメタクリレート：１４．３質量部からなる混合物を、１時間かけて滴下して重合反応を行った。
【００７８】
滴下終了後、さらに８０℃で３時間反応させた後、アゾビスイソブチロニトリル：１．０質量部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート：５０質量部からなる溶液を添加し、さらに８０℃で１時間反応を続けて、アクリル樹脂の溶液を得た。
得られたアクリル樹脂の重量平均分子量は、約１０，０００であった。室温まで冷却した後、樹脂溶液約２ｇをサンプリングして１８０℃、２０分で加熱乾燥し、不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が２０質量％になるように、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して、アクリルワニス溶液を得た。
【００７９】
《緑色顔料分散体の調製》
緑色顔料「Ｃ．Ｉ．  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６」（リオノールグリーン  ６ＹＫ（東洋インキ製造社製））：７．５質量部、黄色顔料「Ｃ．Ｉ．  Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０」（ファンチョンファーストイエロー  Ｙ-５６８８（バイエル社製））：６．５質量部、分散剤「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ-１６３」（ビックケミー社製）：１．１７質量部、アクリルワニス（固形分２０％）：２４．１８質量部、およびＰＧＭＡＣ：６０．６５質量部を、容器内に入れて均一になるように攪拌混合した。得られた混合物を、直径１ｍｍのガラスビースを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して緑色顔料分散体を得た。得られた緑色顔料分散体の固形分は２０％である。
【００８０】
《感光性着色組成物１の調製》
上記緑色顔料分散体：６０．０質量部、光重合性モノマー（Ｂ）として「Ｍ−４０２」（東亜合成製、重量平均分子量（Ｍｗ）は５７８、二重結合当量は１０５）：４．２質量部、親水性ポリマー（Ａ）として上述の方法で得られた樹脂（Ａ-1）溶液（二重結合当量は２９４）：１０．６質量部（樹脂固形分は５．３質量部）、オキシムエステル系光重合開始剤「ＯＸＥ−０２」（ＢＡＳＦ社製）：１．２質量部、添加剤（Ｆ）として１，４−ベンゾキノン（ナカライテスク社製）：０．３質量部、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート：１４．８質量部を、容器内に入れて均一になるように攪拌混合した。得られた混合物を、０．４５μｍのフィルタで濾過して、感光性着色組成物１を得た。
この感光性着色組成物１における親水性ポリマー（A）と光重合性モノマー（Ｂ）からなる感光性成分の二重結合当量は１６４である。この値は、(1)式を用いて算出した値（ＭAB/Ｋ）である。
【００８１】
＜実施例２＞
《感光性着色組成物２の調製》
実施例１記載の感光性着色組成物中の樹脂（Ａ-1）溶液の代わりに樹脂（A-2）溶液を同じ量だけ配合した以外は、実施例１と同様の組成で感光性着色組成物２を得た。
この感光性着色組成物２の親水性ポリマー（A）と光重合性モノマー（Ｂ）からなる感光性成分の二重結合当量は１７４である。この値は、(1)式を用いて算出した値（ＭAB/Ｋ）である。
【００８２】
＜実施例３＞
《感光性着色組成物３の調製》
実施例１記載の感光性着色組成物中の樹脂（Ａ-1）溶液の代わりに樹脂（A-３）溶液を同じ量だけ配合した以外は、実施例１と同様の組成で感光性着色組成物３を得た。
この感光性着色組成物３の親水性ポリマー（A）と光重合性モノマー（Ｂ）からなる感光性成分の二重結合当量は１５７である。この値は、(1)式を用いて算出した値（ＭAB/Ｋ）である。
【００８３】
＜実施例４＞
《感光性着色組成物４の調製》
実施例１記載の感光性着色組成物中の１，４−ベンゾキノンメチルの代わりにハイドロキノン（東京化成工業（株）製）を同じ量だけ配合した以外は、実施例１と同様の組成で感光性着色組成物４を得た。
【００８４】
＜実施例５＞
《感光性着色組成物５の調製》
実施例２記載の感光性着色組成物中の１，４−ベンゾキノンメチルの代わりにハイドロキノン（東京化成工業（株）製）を同じ量だけ配合した以外は、実施例２と同様の組成で感光性着色組成物５を得た。
【００８５】
＜実施例６＞
《感光性着色組成物６の調製》
実施例３記載の感光性着色組成物中の１，４−ベンゾキノンメチルの代わりにハイドロキノン（東京化成工業（株）製）を同じ量だけ配合した以外は、実施例３と同様の組成で感光性着色組成物６を得た。
【００８６】
＜実施例７＞
《感光性着色組成物７の調製》
実施例１記載の感光性着色組成物において、樹脂（Ａ-1）溶液の代わりに樹脂（A-４）溶液を３．０質量部（樹脂固形分は１．５質量部）配合し、光重合性モノマー（Ｂ）として同じ「Ｍ−４０２」（東亜合成製、二重結合当量は１０５）を７．０質量部配合した以外は、実施例１と同様の組成で感光性着色組成物７を得た。
この感光性着色組成物７の親水性ポリマー（A）と光重合性モノマー（Ｂ）からなる感光性成分の二重結合当量は１２８である。この値は、(2)式を用いて算出した値（ＭAB/Ｋ）である。
【００８７】
＜実施例８＞
《感光性着色組成物８の調製》
実施例７記載の感光性着色組成物中の樹脂（Ａ-４）溶液の代わりに樹脂（A-５）溶液を同じ量だけ配合した以外は、実施例７と同様の組成で感光性着色組成物８を得た。
この感光性着色組成物８の親水性ポリマー（A）と光重合性モノマー（Ｂ）からなる感光性成分の二重結合当量は１２８である。この値は、(2)式を用いて算出した値（ＭAB/Ｋ）である。
【００８８】
＜比較例１＞
《感光性着色組成物９の調製》
実施例１記載の感光性着色組成物において、親水性ポリマー（Ａ）として同じ樹脂（Ａ-1）溶液を１８．６質量部（樹脂固形分は９．３質量部）配合し、光重合性モノマー（Ｂ）として同じ「Ｍ−４０２」（東亜合成製、二重結合当量は１０５）を１．５質量部配合した以外は、実施例１と同様の組成で感光性着色組成物９を得た。
この感光性着色組成物９の親水性ポリマー（A）と光重合性モノマー（Ｂ）からなる感光性成分の二重結合当量は２３５である。この値は、(1)式を用いて算出した値（ＭAB/Ｋ）である。
【００８９】
＜比較例２＞
《感光性着色組成物１０の調製》
比較例１記載の感光性着色組成物中の樹脂（Ａ-1）溶液の代わりに樹脂（A-2）溶液を同じ量だけ配合した以外は、比較例１と同様の組成で感光性着色組成物１０を得た。
この感光性着色組成物１０の親水性ポリマー（A）と光重合性モノマー（Ｂ）からなる感光性成分の二重結合当量は２７０である。この値は、(1)式を用いて算出した値（ＭAB/Ｋ）である。
【００９０】
＜比較例３＞
《感光性着色組成物１１の調製》
比較例１記載の感光性着色組成物中の樹脂（Ａ-1）溶液の代わりに樹脂（A-３）溶液を同じ量だけ配合した以外は、比較例１と同様の組成で感光性着色組成物１１を得た。
この感光性着色組成物１１の親水性ポリマー（A）と光重合性モノマー（Ｂ）からなる感光性成分の二重結合当量は２１６である。この値は、(1)式を用いて算出した値（ＭAB/Ｋ）である。
【００９１】
＜比較例４＞
《感光性着色組成物１２の調製》
実施例１記載の感光性着色組成物中の樹脂（Ａ-1）溶液の代わりに樹脂（A-４）溶液を同じ量だけ配合した以外は、実施例１と同様の組成で感光性着色組成物１２を得た。
この感光性着色組成物１２の親水性ポリマー（A）と光重合性モノマー（Ｂ）からなる感光性成分の二重結合当量は２３８である。この値は、(2)式を用いて算出した値（ＭAB/Ｋ）である。
【００９２】
＜比較例５＞
《感光性着色組成物１３の調製》
実施例１記載の感光性着色組成物中の樹脂（Ａ-1）溶液の代わりに樹脂（A-５）溶液を同じ量だけ配合した以外は、実施例１と同様の組成で感光性着色組成物１３を得た。
この感光性着色組成物１３の親水性ポリマー（A）と光重合性モノマー（Ｂ）からなる感光性成分の二重結合当量は２３８である。この値は、(2)式を用いて算出した値（ＭAB/Ｋ）である。
各感光性着色組成物１〜１３に含まれる親水性ポリマー（Ａ）と光重合性モノマー感光性成分（Ｂ）の含有率と二重結合当量を下記の表２にまとめた。
【００９３】
【表２】
2018120028.tif 000004
【００９４】
［感光性着色組成物の評価］
次に、＜実施例１〜８＞及び＜比較例１〜５＞で得られた緑色の感光性着色組成物１〜１３をそれぞれ用いて、６インチシリコンウエハ上に、以下の方法で塗布、マスク露光、現像を行い、緑色パターンを形成し、解像性（形状）、露光感度及び密着性を評価した。その結果を表３に記載した。
【００９５】
＜緑色パターンの形成＞
６インチシリコンウエハ上に、平坦化膜用レジスト液をスピンコートで塗布し、１００℃のホットプレートで１分間加熱し、その後２３０℃で６分間加熱処理し０．１μｍの平坦化膜を形成した。上記で得られた緑色の感光性着色組成物を平坦化膜付シリコンウエハ上に塗布し、プリベイクとして、１００℃のホットプレートで１分間加熱した。次に、ｉ線ステッパー（キャノン製ＦＰＡ−５５１０ｉＺ）を用い、１．１μｍ角の正方形ピクセルパターンのマスクを介し、焦点距離を−０．３μｍ、露光量５０００Ｊ／ｍ2で露光を行った。
露光後の塗膜を有機アルカリ現像液（ＡＤＥＫＡ製ＯＤ−２６０Ｃ）で１分間現像し、その後１分間水洗し、スピン乾燥で乾燥させた。得られた緑色着色パターンを２３０℃で４分間熱処理を行い、緑色パターンを得た。形成した緑色パターンをＡＦＭで測定したところ膜厚は０．７μｍであった。
【００９６】
＜解像性（形状）＞
形成した緑色パターンをＳＥＭ（ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ社製ｅＣＤ２−ＸＰ）で観察し評価した。形成した緑色パターン部のテーパー長さ（上底線幅と下底線幅の差）が０．２μｍ以下の場合は「○」、０．２μｍ以上の場合は「×」とした。
【００９７】
＜露光感度＞
ｉ線ステッパー（キャノン製ＦＰＡ−５５１０ｉＺ）を用い、１．１μｍ角の正方形ピクセルパターンのマスクを介し、焦点距離を−０．３μｍ、露光量１０００〜１００００Ｊ／ｍ2以下の範囲で１０００Ｊ／ｍ2間隔で露光し、現像水洗、２３０℃で４分の焼成後の上底線幅が１．１μｍになる露光量を適正感度とし、適正感度が５０００Ｊ／ｍ2以下の場合に○、５０００Ｊ／ｍ2より大きい場合は×とした。
【００９８】
＜密着性＞
ｉ線ステッパー（キャノン製ＦＰＡ−５５１０ｉＺ）を用い、１．１μｍ角の正方形ピクセルパターンのマスクを介し、焦点距離を−０．３μｍ、露光量１０００〜１００００Ｊ／ｍ2以下の範囲で１０００Ｊ／ｍ2間隔で露光し、現像水洗後に露光量３０００Ｊ／ｍ2以上でパターンが残存している場合を「○」、パターンが残存していない場合は「×」とした。
【００９９】
＜ＬＵＭＯ値計算＞
添加剤（Ｆ）成分のＬＵＭＯ値は、（株）富士通システムエンジニアリング社製の半経験的分子軌道計算ソフトＭＯＰＡＣを用い、ＰＭ５のパラメーターを用いて、分子軌道法によるＬＵＭＯ値の計算を行って求めた。
【０１００】
【表３】
2018120028.tif 000005
【産業上の利用可能性】
【０１０１】
本発明の感光性着色組成物を用いて作製された固体撮像素子用カラーフィルタは、解像性、露光ラチチュードに優れているため、それを用いた固体撮像素子において、入射光の取り込み効率をこれまで以上に向上することができる。
【符号の説明】
【０１０２】
１・・固体撮像素子、２・・半導体チップ、３・・平坦化層、４・・カラーフィルタ、５・・マイクロレンズアレイ、６・・平坦化層、２１・・光電変換素子
【図１】
2018120028.tif 000006
【図２】
2018120028.tif 000007
【図３】
2018120028.tif 000008
【図４】
2018120028.tif 000009