(57)【要約】【課題】ランニングコストを抑えながら第１空間から流出する空気が局所的に酸素濃度が低くなることを抑制できる物品収納設備を提供する。【解決手段】物品収納棚の側周囲を覆う壁体は、設置床に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向に沿う姿勢で設置された壁部と、設置床に対して上方に間隔を空けた位置に設置された副壁部と、を備え、主壁部の上端に流入口が形成され、主壁部に囲われた第１空間と副壁部の直下の第２空間とが連通し、副壁部における第２方向の端部の下方に流出口を形成し、副壁部における第１方向の端部を、副壁部と主壁部との間を空気の通流を規制する状態で主壁部における下端に接続する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気の通流を規制するように構成された設置床に立設された物品収納棚と、前記物品収納棚の側周囲を空気の通流を規制するように覆う壁体と、を備えている物品収納設備であって、
前記壁体は、前記設置床に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向に沿う姿勢で設置されると共に空気の通流を規制する主壁部と、前記設置床に対して上方に間隔を空けた位置に前記設置床に沿って設置されると共に空気の通流を規制する副壁部と、を備え、
上下方向に見て前記主壁部の厚み方向において、前記主壁部に対して前記物品収納棚が存在する方向を第１方向、前記第１方向とは反対の方向を第２方向として、
前記主壁部の上端に、前記主壁部に囲われた第１空間に前記主壁部の上方から空気を流入させる流入口が形成され、
前記第１空間と前記副壁部の直下の第２空間とが連通し、
前記副壁部における前記第２方向の端部の下方に、前記第２空間から前記副壁部の前記第２方向に空気を流出させる流出口が形成され、
前記副壁部における前記第１方向の端部が、前記副壁部と前記主壁部との間を空気の通流を規制する状態で前記主壁部における下端に接続されている物品収納設備。
【請求項２】
前記物品収納棚は、物品としての容器を収納する収納部を複数備え、
前記収納部に収納された容器の内部に不活性気体を供給する不活性気体供給装置を更に備え、
前記不活性気体供給装置は、前記収納部に供給する不活性気体の供給量を調節する流量調節装置を備え、
前記流量調節装置は、前記副壁部と前記設置床との間で且つ前記流量調節装置の少なくとも一部が前記主壁部より前記第２方向に位置し且つ前記流量調節装置の少なくとも一部が前記副壁部における前記第１方向の端部より前記第１方向に位置するように設置されている請求項１記載の物品収納設備。
【請求項３】
複数の前記収納部の夫々が、前記容器を下方から支持する支持部を備え、
前記流量調節装置が、上下方向に見て前記支持部と重ならないように前記支持部に対して前記第２方向に設置されている請求項２記載の物品収納設備。
【請求項４】
前記壁体の内側に、前記物品収納棚に対して物品を搬送する搬送装置が設置されている請求項１から３のいずれか１項に記載の物品収納設備。
【請求項５】
前記壁体は、清浄空気を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井の直下に設置されている請求項１から４のいずれか１項に記載の物品収納設備。
【請求項６】
前記流出口が、閉板材により部分的に閉じられている請求項１から５のいずれか１項に記載の物品収納設備。
【請求項７】
作業者が歩行可能で且つ上下方向に通気可能な作業床を前記副壁部より上方に更に備え、
前記副壁部は、前記作業床と上下方向に並ぶ状態で設置され、
前記作業床における前記副壁部と上下方向に並ぶ部分は、前記副壁部により上下方向への通気が規制されている請求項１から６のいずれか１項に記載の物品収納設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気の通流を規制するように構成された設置床に立設された物品収納棚と、前記物品収納棚の側周囲を空気の通流を規制するように覆う壁体と、を備えている物品収納設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品収納設備の従来例が、特開２００９−１８４７８７号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の物品収納設備では、壁体（周壁Ｗ）は、上端及び下端が開口する四角筒状に形成されており、壁体における上端の開口は、壁体の上方から壁体に囲われた空間に空気を流入させる流入口が形成され、壁体における下端の開口は、設置床により閉じられている。そして、壁体の下端部には、壁体に囲われた空間から横側方に空気を流出させる流出口が形成されており、この流出口には送風装置（周壁用ファンフィルタユニット３５）が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１８４７８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した従来の物品収納設備では、流出口に送風装置を設けているため、物品収納設備のランニングコストが高くなっていた。そこで、流出口に送風装置を設けないようにしてランニングコストを抑えることが考えられるが、次のような問題が生じる。
つまり、例えば、物品収納棚に収納されている物品が半導体基板を収容する容器である場合に、容器内に充満している窒素ガス等の不活性気体が容器から流出する場合がある。このように物品からガスが発生した場合に、そのガスの濃度が局所的に高くなる場合があり、換言すれば、酸素の濃度が局所的に低くなる場合がある。従来の物品収納設備では、送風装置により流出口から強制的に空気を送出することで空気を撹拌され、流出口から送出する空気における酸素の濃度が局所的に低くなることを抑制できていた。しかし、ランニングコストを抑えるべく流出口に送風装置を設けない場合は、流出口から流出する空気が撹拌され難くなり、局所的に酸素濃度が低い状態で壁体から流出される。
【０００５】
そこで、ランニングコストを抑えながら壁体から流出する空気の酸素濃度が局所的に低くなることを抑制できる物品収納設備が求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る物品収納設備の特徴構成は、空気の通流を規制するように構成された設置床に立設された物品収納棚と、前記物品収納棚の側周囲を空気の通流を規制するように覆う壁体と、を備えている物品収納設備において、
前記壁体は、前記設置床に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向に沿う姿勢で設置されると共に空気の通流を規制する主壁部と、前記設置床に対して上方に間隔を空けた位置に前記設置床に沿って設置されると共に空気の通流を規制する副壁部と、を備え、上下方向に見て前記主壁部の厚み方向において、前記主壁部に対して前記物品収納棚が存在する方向を第１方向、前記第１方向とは反対の方向を第２方向として、前記主壁部の上端に、前記主壁部に囲われた第１空間に前記主壁部の上方から空気を流入させる流入口が形成され、前記主壁部に囲われた前記第１空間と前記副壁部の直下の第２空間とが連通し、前記副壁部における前記第２方向の端部の下方に、前記第２空間から前記副壁部の前記第２方向に空気を流出させる流出口が形成され、前記副壁部における前記第１方向の端部が、前記副壁部と前記主壁部との間を空気の通流を規制する状態で前記主壁部における下端に接続されている点にある。
【０００７】
この特徴構成によれば、主壁部の上端に形成された流入口から第１空間に流入した空気は、下方に流動した後、副壁部より下方において第２方向に流動し、副壁部の直下の第２空間を流れた後、副壁部の端部の下方に形成された流出口から壁体の外部に流出される。
つまり、壁体内の空気を、主壁部から直接に壁体の外部に流出させるのではなく、副壁部を設けることで形成された第２空間を流動させてから壁体の外部に流出させることで、第２空間を流動している間に空気が撹拌される。このように、送風装置を設けることなく副壁部の直下の第２空間により空気を撹拌できるため、流出口から流出する空気の酸素濃度の均一化を図ることができる。従って、ランニングコストを抑えながら壁体から流出する空気の酸素濃度が局所的に低くなることを抑制できる。
【０００８】
ここで、前記物品収納棚は、物品としての容器を収納する収納部を複数備え、前記収納部に収納された容器の内部に不活性気体を供給する不活性気体供給装置を更に備え、前記不活性気体供給装置は、前記収納部に供給する不活性気体の供給量を調節する流量調節装置を備え、前記流量調節装置は、前記副壁部と前記設置床との間で且つ前記流量調節装置の少なくとも一部が前記主壁部より前記第２方向に位置し且つ前記流量調節装置の少なくとも一部が前記副壁部における前記第１方向の端部より前記第１方向に位置するように設置されていると好適である。
【０００９】
この構成によれば、不活性気体供給路により、収納部に収納した容器の内部に不活性気体を供給することで、容器に収容されている収容物（例えば半導体基板）の酸化を防止できる。そして、このように収納部に収納した容器に不活性気体を供給することで、その不活性気体の容器内への供給に伴って、容器の内部に存在している気体が容器から流出する。そして、このように流出した不活性気体が集まることで局所的に不活性気体の濃度が高くなる場合があるが、第２空間で空気を撹拌した後に空気を流出部から壁体の外部に流出することで、壁体から流出する空気が局所的に酸素濃度が低くなることを抑制できる。
【００１０】
また、複数の前記収納部の夫々が、前記容器を下方から支持する支持部を備え、前記流量調節装置が、上下方向に見て前記支持部と重ならないように前記支持部に対して前記第２方向に設置されていると好適である。
【００１１】
この構成によれば、支持部の高さを低くしたとしても支持部が流量調節装置と干渉しないため、流量調節装置を副壁部と設置床との間に設置しながら、支持部を副壁部と設置床との間に位置する高さに設置できる。また、上下方向に見て支持部と重なるように流量調節装置を設置した場合では、流量調節装置により熱せられた空気が上昇して、収納部に収納された容器を加熱することが考えられるが、上下方向に見て支持部と重ならないように流量調節装置を設置することで、そのような加熱を抑制することができる。
【００１２】
また、前記壁体の内側に、前記物品収納棚に対して物品を搬送する搬送装置が設置されていると好適である。
【００１３】
この構成によれば、搬送装置の作動により、壁体内における空気が流出口から押し出され、その流出口から流出した空気が上方に流動する虞があるが、副壁部を備えてその副壁部の第２方向の端部に流出口を形成することで、物品収納棚の近くで空気が流動することを防止できる。そのため、物品収納棚に対して物品の出し入れ作業を行う作業者が壁体の近くに存在していたとしても、その作業者が存在している箇所よりも第２方向の箇所で空気が上方に流動することとなるため、流出した空気による作業者への影響を抑えることができる。
【００１４】
また、前記壁体は、清浄空気を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井の直下に設置されていると好適である。
【００１５】
この構成によれば、天井の流出部から下方に向けて流出する清浄空気を、壁体の上端の流入口から流入させることができる。そのため、壁体の流入口に空気を流入させるための送風装置を設ける必要がないため、物品収納棚のコストを抑えることができる。
【００１６】
また、前記流出口が、閉板材により部分的に閉じられていると好適である。
【００１７】
この構成によれば、流出口が閉板材により部分的に閉じられていることにより、第２空間がチャンバーとして機能するため、第２空間における空気の撹拌を促進させることができる。
【００１８】
また、作業者が歩行可能で且つ上下方向に通気可能な作業床を前記副壁部より上方に更に備え、前記副壁部は、前記作業床と上下方向に並ぶ状態で設置され、前記作業床における前記副壁部と上下方向に並ぶ部分は、前記副壁部により上下方向への通気が規制されていると好適である。
【００１９】
この構成によれば、作業床は、設置床に対して上方に間隔を空けた位置に設置された副壁部よりも更に上方に設置されているため、物品収納棚における高い部分に対して作業者が作業を行うことができる。そして、第２空間は作業床の下方の空間を利用して形成できるために、周囲の邪魔になり難い状態で第２空間を形成することができる。さらに、作業床における副壁部と上下方向に並ぶ部分が副壁部により通気が規制されるため、作業床を変更することなく作業床の下方に第２空間を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】物品収納設備の正面図
【図２】物品収納設備における空気の流れを示す図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明にかかる物品収納設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品収納設備は、物品としての容器Ｗを収納する物品収納棚１と、容器Ｗを搬送するスタッカークレーン２と、不活性気体供給装置３と、を備えている。また、物品収納設備には、物品収納棚１やスタッカークレーン２が設置される内部空間Ｓ１の側周囲を空気の通流を規制するように覆う壁体Ｋと、壁体Ｋを貫通する状態で設置されて容器Ｗを搬送する搬入出装置４と、が備えられている。
【００２２】
物品収納棚１には、容器Ｗを収納する収納部１ａが複数備えられている。不活性気体供給装置３は、収納部１ａに収納されている容器Ｗの内部に、気体としての不活性気体（詳しくは、窒素ガス）を供給するように構成されている。
容器Ｗは、１枚の基板を収容可能に構成されている。本実施形態では、基板をＥＵＶリソグラフィ用のレチクルとし、容器Ｗを、レチクルを収容する容器Ｗとしている。
【００２３】
搬入出装置４は、壁体Ｋの外側に位置する外部箇所と壁体Ｋの内側に位置する内部箇所との間で容器Ｗを搬送するように設置されている。高い位置に設置されている搬入出装置４の外部箇所に対しては、天井搬送車（図示せず）が容器Ｗの載せ降しを行い、低い位置に設置されている搬入出装置４の外部箇所に対しては、作業者が容器Ｗの載せ降しを行うように、搬入出装置４は高い位置と低い位置とに設置されている。尚、低い位置に設置されている搬入出装置４は図示していない。
スタッカークレーン２は、搬入出装置４の内部箇所から物品収納棚１の収納部１ａに容器Ｗを搬送し、物品収納棚１の収納部１ａから搬入出装置４の内部箇所に容器Ｗを搬送する。
【００２４】
物品収納設備は、室空間Ｓを天井側から床側に向けて気体を下方に流動するダウンフロー式のクリーンルーム内に設置されている。
クリーンルームの床部Ｆは、下床部Ｆ１と、下床部Ｆ１よりも上方に設置された上床部Ｆ２とを備えている。下床部Ｆ１は、通気孔を有さない通気不能な床であり、上床部Ｆ２は、通気孔を有する上下方向Ｙに通気可能な床である。本実施形態では、下床部Ｆ１は、無孔状のコンクリートにより構成されており、スタッカークレーン２は下床部Ｆ１上を走行する。また、本実施形態では、上床部Ｆ２は、上下方向Ｙに貫通する通気孔が複数形成されたグレーチングにより構成されており、作業者はこの上床部Ｆ２上を歩行する。
クリーンルームの天井部Ｃは、上天井部Ｃ１と、上天井部Ｃ１よりも下方に設置された下天井部Ｃ２とにより構成されている。上天井部Ｃ１は、通気孔を有さない通気不能な天井であり、下天井部Ｃ２は、上下方向Ｙに通気可能な天井である。本実施形態では、上天井部Ｃ１は、無孔状のコンクリートにより構成されており、下天井部Ｃ２は、ＨＥＰＡフィルタ等のフィルタにより構成されている。
尚、フィルタが備えられた下天井部Ｃ２は、清浄空気を下方に向けて流出する流出部が備えられた天井に相当する。下床部Ｆ１は、上下方向Ｙに空気を通気不能に構成された設置床に相当し、通気不能に構成することで空気の通流を規制する構成となっている。上床部Ｆ２は、下天井部Ｃ２より下方に設置され且つ下床部Ｆ１より上方に設置されて、上下方向Ｙに空気を通気可能に構成された作業床に相当する。
【００２５】
下床部Ｆ１と上床部Ｆ２との間には床空間ＦＳが形成されており、上天井部Ｃ１と下天井部Ｃ２との間には天井空間ＣＳが形成されている。また、上床部Ｆ２と下天井部Ｃ２との間には室空間Ｓが形成されている。そして、図外の送風装置の作動により天井空間ＣＳに空気（清浄空気）を吐出することで、室空間Ｓを空気が天井部Ｃから床部Ｆに向けて下方に流動させている。
【００２６】
〔容器〕
容器Ｗの底部には、給気部（図示せず）と排気部（図示せず）とを備えている。給気部は、不活性気体供給装置３の接続部（図示せず）から吐出された不活性気体を容器Ｗの内部に給気するための部分である。排気部は、容器Ｗの内部の気体を容器Ｗの外部に排気するための部分である。
容器Ｗの給気部は、スプリング等の付勢体によって閉じ状態に付勢されており、容器Ｗの給気部に不活性気体供給装置３の接続部が接続された状態で、その接続部から不活性気体が噴出されると、その噴出した不活性気体の圧力により給気部が開き操作されて、不活性気体が容器Ｗの内部に供給される。また、容器Ｗの排気部は、スプリング等の付勢体によって閉じ状態に付勢されており、不活性気体供給装置３による不活性気体の供給により容器Ｗの内部の圧力が高まるとその圧力により排気部が開き操作されて、容器Ｗの内部の気体が排気部から排気される。
【００２７】
以下、物品収納設備の各構成について説明するが、物品収納棚１の長手方向（スタッカークレーン２が走行する走行方向）に見て、物品収納棚１とスタッカークレーン２とが並ぶ方向を前後方向Ｘとし、物品収納棚１に対してスタッカークレーン２が存在する方向を内方Ｘ１とし、その反対方向を外方Ｘ２として説明する。
【００２８】
〔物品収納棚〕
図１に示すように、物品収納棚１は、互いに対向する状態で一対設置されている。物品収納棚１には、上下方向Ｙ及び長手方向に並ぶ状態で収納部１ａが複数備えられている。
複数の収納部１ａの夫々には、容器Ｗを下方から支持する支持部９が備えられており、収納部１ａは、支持部９により下方から支持した状態で容器Ｗを収納するようになっている。支持部９は、収納部１ａに収納された容器Ｗに接続される接続部（図示せず）を支持している。この接続部は、支持部９に容器Ｗを支持した状態で、その容器Ｗの給気部に接続される箇所に設けられている。
つまり、容器Ｗが収納部１ａに収納されて支持部９に支持されると、不活性気体供給装置３が容器Ｗに接続される。そして、容器Ｗが支持部９に支持されている状態において、不活性気体供給装置３の接続部から不活性気体が吐出されることにより、容器Ｗの給気部から容器Ｗの内部に不活性気体が供給されるとともに、容器Ｗの内部の気体が容器Ｗの排気部から排気される。
【００２９】
物品収納棚１は、上床部Ｆ２を上下に貫通する状態で下床部Ｆ１上に立設されており、物品収納棚１の全体が下床部Ｆ１より上方に位置し、物品収納棚１の一部が上床部Ｆ２より上方に位置する状態で設置されている。つまり、物品収納棚１は、室空間Ｓ（内部空間Ｓ１）と床空間ＦＳとに亘って設置されている。また、物品収納棚１の上端部が下天井部Ｃ２に接続されている。
物品収納棚１における複数の収納部１ａのうち、最も下方に位置する収納部１ａを最下段の収納部１ａとして、その最下段の収納部１ａに備えられている支持部９は、その上面が上床部Ｆ２の上面と同じ高さとなるように設置されている。最下段の収納部１ａ以外の収納部１ａに備えられている支持部９は、上床部Ｆ２より上方に位置するように配設されている。尚、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９を、その上面が上床部Ｆ２の上面より低い高さとなるように設置して、最下段の収納部１ａの一部又は全部が上床部Ｆ２の上面より下方に位置するようにしてもよい。
【００３０】
〔スタッカークレーン〕
図１に示すように、スタッカークレーン２は、一対の物品収納棚１の間を走行方向（以下、長手方向と称する）に移動自在に設置されている。スタッカークレーン２は、物品収納棚１の前方を長手方向に走行する走行台車１１と、走行台車１１に立設されたマスト１２と、マスト１２に沿って昇降する昇降体１３と、昇降体１３に支持されている移載装置１４と、を備えている。尚、スタッカークレーン２が、物品収納棚１に対して容器Ｗ（物品）を搬送する搬送装置に相当する。
【００３１】
走行台車１１が走行することで移載装置１４が長手方向に沿って移動し、昇降体１３が昇降することでマスト１２に沿って移載装置１４が上下方向Ｙに移動する。また、詳細な説明は省略するが、移載装置１４には、容器Ｗを支持する支持体と、当該支持体を前後方向に沿って移動させるリンク機構と、を備えており、移載装置１４は、自己と収納部１ａとの間や、自己と搬入出装置４との間で、容器Ｗを記載可能に構成されている。
そして、スタッカークレーン２は、走行台車１１の走行、昇降体１３の昇降及び移載装置１４の移載作動により、搬入出装置４から収納部１ａに容器Ｗを搬送し、収納部１ａから搬入出装置４に容器Ｗを搬送する。
【００３２】
走行台車１１は、走行レール１５上をその走行レール１５に沿って走行する。当該走行台車１１について、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９より下方に、走行台車１１の少なくとも一部が位置している。本実施形態では、走行台車１１の全体が、最下段の収納部１ａに備えられている支持部９より下方で、且つ、上床部Ｆ２より下方に位置している。
【００３３】
〔不活性気体供給装置〕
不活性気体供給装置３は、収納部１ａに収納されている容器Ｗの内部に不活性気体を供給する。
不活性気体供給装置３は、先端に接続部を備えた配管１９と、接続部から吐出する不活性気体の流量を調節するマスフローコントローラ２０と、を備えている。配管１９には、母配管１９ａと、この母配管１９ａから分岐する分岐配管（図示せず）と、が備えられており、分岐配管の先端に接続部が備えられている。母配管１９ａは、物品収納棚１における列ごとに設けられており、母配管１９ａには、上下方向Ｙに１列に並ぶ複数の収納部１ａの夫々に対して備えられた複数の分岐配管が接続されている。供給源（図示せず）から供給される不活性気体は、配管１９を通流して複数の接続部に分岐供給される。マスフローコントローラ２０は、母配管１９ａ内を通流する不活性気体の流量を制御するものであり、物品収納棚１の列ごとに設置されている。ちなみに、本実施形態では、上下方向Ｙに並ぶ３１の収納部１ａに対して１つのマスフローコントローラ２０を設置したが、物品収納棚１の１列に対して２本以上の母配管１９ａを設置して、上下方向Ｙに並ぶ３１の収納部１ａに対して２つ以上のマスフローコントローラ２０を設置してもよい。
【００３４】
次に、壁体Ｋ及びマスフローコントローラ２０について説明を加える。
〔壁体〕
図１及び図２に示すように、床上壁２２と床下壁２３とを備えている。床上壁２２は、上床部Ｆ２より上方で且つ下天井部Ｃ２より下方に位置しており、物品収納棚の側周囲を空気の通流を規制する状態で室空間Ｓに設置されている。床下壁２３は、上床部Ｆ２より下方で且つ下床部Ｆ１より上方に位置しており、床空間ＦＳに設置されている。床下壁２３は、床上壁２２に比べて前後方向Ｘに幅広に形成されており、壁体Ｋ全体として、長手方向に見て上下反転させたＴ字状に形成されている。尚、図１及び図２においては、前後方向Ｘが、上下方向Ｋに見て床上壁２２の厚み方向となる。また、内方Ｘ１が、床上壁２２に対して物品収納棚１が存在する方向である第１方向となり、外方Ｘ２が、第１方向とは反対の方向である第２方向となる。
【００３５】
床上壁２２は、上下方向Ｙに貫通する四角筒状に形成されている。説明を加えると、内部空間Ｓ１の長手方向の一方向を塞ぐ床上壁部２２ａと、内部空間Ｓ１の長手方向の他方向を塞ぐ床上壁部２２ａと、内部空間Ｓ１の前後方向Ｘの一方向を塞ぐ床上壁部２２ａと、内部空間Ｓ１の前後方向Ｘの他方向を塞ぐ床上壁部２２ａと、を備えている。図１及び図２では、内部空間Ｓ１の前後方向Ｘの一方向を塞ぐ床上壁部２２ａと、内部空間Ｓ１の前後方向Ｘの他方向を塞ぐ床上壁体２２ｂと、が示されている。尚、床上壁２２が、下床部Ｆ１に対して上方に間隔を空けた位置に上下方向Ｙに沿う姿勢で設置された主壁部に相当する。
尚、内部空間Ｓ１の側周囲について、クリーンルームの壁が存在する等により床上壁部２２ａを設けなくても内部空間Ｓ１から外部空間Ｓ２への空気の通流が規制されている部分については、床上壁部２２ａを設けなくてもよい。また、床上壁２２には、搬出入装置を設置するための開口等が必要に応じて形成されており、このように装置を設置するためや物品を通過させる為等の主目的が通気以外の為に床上壁２２に開口を形成している場合も、空気の通流を規制する構成としている。また、床上壁２２は、四角筒状以外に円筒状等の別の形成でもよい。つまり、空気の通流を規制するように構成とは、空気を通気不能に構成する場合に加えて、空気の通流させることを主目的としない開口が形成されている場合や、据付誤差等により物品収納棚１と床上壁部２２ａとの間に隙間が生じている場合等により、部分的に通気可能となっている構成も含んでいる。
【００３６】
床上壁２２の上端は下天井部Ｃ２に接触しており、床上壁２２の下端は上床部Ｆ２に接触している。床上壁２２は、下天井部Ｃ２と上床部Ｆ２との間の室空間Ｓを、床上壁２２の内側の空間であり物品収納棚１やスタッカークレーン２が設置される空間である内部空間Ｓ１と、床上壁２２の外側の空間である外部空間Ｓ２と、に仕切っている。
床上壁２２は、物品収納棚１の枠体に連結した状態で設置されている。尚、床上壁２２を、上床部Ｆ２に立設する等により、物品収納棚１に連結することなく設置してもよい。また、床上壁２２は、その上端を下天井部Ｃ２に対して下方に離間する状態で設置してもよく、床上壁２２は、その上端が最上段の支持部９に容器Ｗを支持した場合にその容器Ｗの上端より高ければよい。
【００３７】
床下壁２３は、上面の一部が開口する四角箱状に形成されている。説明を加えると、床下壁２３は、四角筒状に形成された４面の床下壁部２３ａに加えて、上面を形成する一対の遮断壁部２３ｂと、下面を形成する底壁部２３ｃと、を備えている。図１及び図２では、前後方向Ｘの一方向を塞ぐ床下壁部２３ａと、前後方向Ｘの他方向を塞ぐ床下壁部２３ａと、上面を形成する一対の遮断壁部２３ｂと、下面を形成する底壁部２３ｃと、が示されている。床下壁２３における上面を形成する一対の遮断壁部２３ｂは、下床部Ｆ１に対して上方に間隔を空けた位置に下床部Ｆ１に沿って設置されると共に空気を通気不能に構成されている。尚、遮断壁部２３ｂが、空気の通流を規制する副壁部に相当する。
【００３８】
遮断壁部２３ｂは、その内方Ｘ１の端部は、前後方向Ｘにおいて床下壁部２３ａの内面と支持部９の外方側端との間に位置し、外方Ｘ２の端部は、床下壁部２３ａの外面より外方Ｘ２に位置している。
床下壁２３の外方Ｘ２の端部には、外方Ｘ２に向けて開口する流出口２５が形成されているが、この流出口２５は、空気を前後方向に通気可能な床下壁部２３ａにより閉じられている。つまり、床下壁２３の外方Ｘ２の端部には、空気が流出する流出口２５が形成されており、その流出口２５が、床下壁部２３ａにより部分的に閉じられている。尚、床下壁部２３ａが、閉板材に相当する。
【００３９】
床上壁２２の下端に形成された開口と床下壁２３の上面に形成された開口とは、上床部Ｆ２を介して接続されており、床上壁２２に囲われた内部空間Ｓ１と遮断壁部２３ｂの直下の撹拌空間ＭＳとが連通している。また、床上壁２２の上端に、床上壁２２の上方から内部空間Ｓ１に空気を流入させる流入口２４が形成されている。また、床下壁２３の外方Ｘ２の端部に、撹拌空間ＭＳから床下壁２３の外方Ｘ２に空気を流出させる流出口２５が形成されている。この流出口２５は、遮断壁部２３ｂにおける外方Ｘ２の端部の下方に形成される。
【００４０】
そして、遮断壁部２３ｂにおける内方Ｘ１の部分が、遮断壁部２３ｂと床上壁２２との間を空気の通流を規制する状態で床上壁２２における下端に接続されている。
説明を加えると、遮断壁部２３ｂは上床部Ｆ２の下面に連結されており、床上壁２２の床上壁部２２ａの下端は上床部Ｆ２の上面に連結されている。このように、床上壁２２における床上壁部２２ａの下端と遮断壁部２３ｂの上面との間に上床部Ｆ２を挟む状態で、床上壁２２及び遮断壁部２３ｂを設置することで、主壁部２２と遮断壁部２３ｂとの間を空気の通流を規制する状態となっている。
尚、遮断壁部２３ｂにおける内方Ｘ１の端部は、遮断壁部２３ｂにおける内方Ｘ１の端から１／３の部分としている。
【００４１】
〔マスフローコントローラ〕
マスフローコントローラ２０の全体が遮断壁部２３ｂの内方Ｘ１の端より外方Ｘ２に位置し且つマスフローコントローラ２０の全体が遮断壁部２３ｂの外方Ｘ２の端より内方Ｘ１に位置しており、マスフローコントローラ２０は、その全体が撹拌空間ＭＳに位置するように設置されている。また、マスフローコントローラ２０は、上下方向Ｙに見て支持部９と重ならないように支持部９に対して外方Ｘ２に設置されている。
【００４２】
下天井部Ｃ２から下方に流出した空気は、室空間Ｓ（内部空間Ｓ１及び外部空間Ｓ２）を下方に流動する。外部空間Ｓ２おいては、外部空間Ｓ２を下方に流動した後、上床部Ｆ２と通って床空間ＦＳに流動する。内部空間Ｓ１においては、下天井部Ｃ２から下方に流出した空気は、壁体Ｋにおける床上壁２２の上端に形成された流入口２４から内部空間Ｓ１に流入し、床上壁２２の内側を下方に流動して内部空間Ｓ１から床空間ＦＳに流動する。その後、床空間ＦＳを外方Ｘ２に流入して撹拌空間ＭＳを通過した後、床下壁部２３ａを通って流出口２５から壁体Ｋの外部に流出する。
このように、遮断壁部２３ｂを設けることで形成された撹拌空間ＭＳを流動させてから壁体Ｋの外部に流出させることで、撹拌空間ＭＳと流動している間に空気が撹拌されるため、壁体Ｋから流出する空気が局所的に酸素濃度が低くなることを抑制できる。
【００４３】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、床下壁２３を、上面の一部が開口する四角箱状に形成したが、床下壁２３を遮断壁部のみで構成して板状に形成してもよい。
【００４４】
（２）上記実施形態では、床下壁に床下壁部を備えて、床下壁部により流出口を部分的に閉じたが、床下壁に床下壁部を備えず、床下壁部により流出口を閉じないようにしてもよい。
【００４５】
（３）上記実施形態では、遮断壁部に加えて作業床を備えたが、遮断壁部のみを備えて、遮断壁部上を作業者が歩行するようにしてもよい。
【００４６】
（４）上記実施形態では、ダウンフローにより流入口から空気を流入させたが、流入口にファンフィルタユニットを設けて流入口から空気を流入させるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１    物品収納棚
１ａ  収納部
２    スタッカークレーン（搬送装置）
３    不活性気体供給装置
９    支持部
２０    流量調節装置
２２    床上壁（主壁部）
２３ａ  床下壁部（閉板材）
２３ｂ  遮断壁部（副壁部）
２４    流入口
２５    流出口
Ｃ２  下天井部（天井）
Ｆ１  下床部（設置床）
Ｆ２  上床部（作業床）
Ｋ    壁体
Ｓ１  内部空間（第１空間）
Ｓ２  撹拌空間（第２空間）
Ｗ    容器（物品）
Ｘ    前後方向（厚み方向）
Ｘ１  内方（第１方向）
Ｘ２  外方（第２方向）
【図１】
2018039657.tif 000003
【図２】
2018039657.tif 000004