(57)【要約】【課題】機械式の調圧弁と吐出弁とを備えて高粘性流体を調圧して吐出する装置において、吐出圧のばらつきを抑制して塗布状態等の仕上がり品質のばらつきを抑制する。【解決手段】バルブユニット１によれば、ボディ５は、流体の受入口２および吐出口３を有するとともに、受入口２から吐出口３に流体を導く流路９を形成する。また、吐出弁６は、流路９の一部である主弁室２６に収容され、吐出口３からの流体の流出を開始したり、停止したりする。また、調圧弁７は、吐出弁６の上流側に形成される調圧室２１に収容され、機械的に駆動されて流体の圧力を調圧する。これにより、機械式に駆動される調圧弁７と吐出弁６とを近傍に配置して、吐出弁６と調圧弁７とを接続する接続路４１の長さを最小限に抑制することができる。このため、上記の装置において、吐出圧のばらつきを抑制して塗布状態等の仕上がり品質のばらつきを抑制することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘度が１００００ｃｐ以上の高粘性流体の流れを開始したり、停止したりするバルブユニット（１）において、
前記高粘性流体の受入口（２）および吐出口（３）を有するとともに、前記受入口から前記吐出口に前記高粘性流体を導く流路（９）を形成する金属製のボディ（５）と、
前記流路に収容され、１つの軸方向に移動することで前記吐出口からの前記高粘性流体の流出を開始したり、停止したりする吐出弁（６）と、
前記高粘性流体の流れに関し前記吐出弁の上流側で前記流路に収容され、前記高粘性流体から受ける圧力による付勢力および所定のスプリング（１７）の付勢力とのバランスにより前記軸方向に移動することで、前記吐出口に向かう前記高粘性流体の圧力を調圧する調圧弁（７）とを備えるバルブユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のバルブユニットにおいて、
前記吐出弁の移動の軸と前記調圧弁の移動の軸とは互いに平行であり、
前記調圧弁の移動の軸は、前記吐出弁の移動の軸よりも前記バルブユニットの長手方向の軸に近いことを特徴とするバルブユニット。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のバルブユニットにおいて、
前記調圧弁は、スナッフバック方式であることを特徴とするバルブユニット。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３の内のいずれか１つに記載のバルブユニットにおいて、
前記調圧弁の移動の軸と平行に配置され、前記スプリングの座をなす第１部品（１８）と、前記調圧弁が設けられた第２部品（３７）とを連結する複数のロッド（１９ａ、１９ｂ）を備え、
前記調圧弁、前記第１部品、前記第２部品および前記複数のロッドは、一体物として移動し、
前記複数のロッドは、前記調圧弁の移動の軸を中心軸として回転対称をなすように組み付けられていることを特徴とするバルブユニット。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４の内のいずれか１つに記載のバルブユニットにおいて、
前記吐出弁と同軸に配置されて所定の駆動源により駆動され、自身の移動に前記吐出弁を連動させる別ロッド（３１）と、
この別ロッドの移動をガイドするガイド部品（３３）とを備えることを特徴とするバルブユニット。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５の内のいずれか１つに記載のバルブユニットにおいて、
このバルブユニットは、少なくとも異なる３軸の方向に駆動可能なロボットに装着され、ロボットの動作が制御されて３次元的に変位することを特徴とするバルブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘度が１００００ｃｐ以上の高粘性流体の流れを開始したり、停止したりするバルブユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば、金属製のパーツの継ぎ目等にシール材、コーキング材または接着剤等の高粘性流体を塗布する工程では、塗布後の仕上がりの品質のばらつきを抑制するため、高粘性流体を所定の圧力に調圧してノズルから吐出する必要がある。
【０００３】
また、高粘性流体の吐出時の圧力（以下、吐出圧と呼ぶことがある。）を、目標値に制御する場合、例えば、電磁ソレノイドや電動モータの出力を利用して吐出口の開度を増減することで、吐出圧を調圧する方式が考えられる。この場合、電磁ソレノイドや電動モータへの通電量をＥＣＵにより電子制御することで、吐出圧の自動制御が可能になり、さらに、吐出圧を高精度に目標値に一致させることができるようになる。
【０００４】
ところで、吐出圧を電子制御により高精度に制御しようとすると、電磁ソレノイド等の電気式のアクチュエータが必要になり、さらに、吐出圧制御用のロジックを電子制御ユニット（ＥＣＵ）に追加する必要があり、高コストになる。このため、仕上がり品質にさほどの高精度を必要としない用途では、機械式の調圧弁により調圧し、調圧弁の下流側に、ノズルからの吐出を断続する吐出弁を配置する構造が採用されている。
【０００５】
つまり、仕上がり品質にさほどの高精度を必要としない用途では、塗布装置に、調圧の機能を担う機械式の調圧弁と、吐出の開始および停止の機能を担う吐出弁とを具備させている。そして、高粘性流体の圧力による付勢力とスプリングの付勢力とにより機械的に調圧弁を駆動して高粘性流体の圧力を調圧し、吐出弁の開閉操作は、例えば、エアシリンダを用いた空気圧の加圧減圧により行っている。
【０００６】
しかし、吐出弁と調圧弁とを用いる場合、吐出弁と調圧弁とを接続する流路（以下、接続路と呼ぶことがある。）が必要になる。このため、高粘性流体の圧力は調圧弁で調圧しても、接続路を流れる間に変動する可能性があり、吐出圧のばらつきが大きくなって仕上がり品質がばらつく可能性がある。
なお、特許文献１には、サーボモータを駆動してプランジャを押し下げることでシール材を吐出する構成が開示されている。しかし、この構成によれば、吐出圧を調圧することは困難であると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１５−０４７５５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、この問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、機械式の調圧弁と吐出弁とを備えて高粘性流体を調圧して吐出する装置において、吐出圧のばらつきを抑制して塗布状態等の仕上がり品質のばらつきを抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願の第１発明のバルブユニットは、粘度が１００００ｃｔ以上の高粘性流体の流れを開始したり、停止したりするものである。また、バルブユニットは、次の金属製のボディ、吐出弁および調圧弁を備える。
【００１０】
まず、金属製のボディは、高粘性流体の受入口および吐出口を有するとともに、受入口から吐出口に高粘性流体を導く流路を形成する。また、吐出弁は、流路に収容され、１つの軸方向に移動することで吐出口からの高粘性流体の流出を開始したり、停止したりする。また、調圧弁は、高粘性流体の流れに関し吐出弁の上流側で流路に収容され、高粘性流体から受ける圧力による付勢力および所定のスプリングの付勢力とのバランスにより軸方向に移動することで、吐出口に向かう高粘性流体の圧力を調圧する。
【００１１】
これにより、機械式に駆動される調圧弁と吐出弁とを近傍に配置して、接続路の長さを最小限に抑制することができる。このため、機械式の調圧弁と吐出弁とを備えて高粘性流体を調圧して吐出する装置において、吐出圧のばらつきを抑制して塗布状態等の仕上がり品質のばらつきを抑制することができる。
【００１２】
本願の第１発明に従属する第２発明によれば、吐出弁の移動の軸と調圧弁の移動の軸とは互いに平行であり、調圧弁の移動の軸は、吐出弁の移動の軸よりもバルブユニットの長手方向の軸に近い。
これにより、調圧弁による調圧の精度を確保しつつ、バルブユニットを一体物として設けることができる。
【００１３】
ここで、吐出弁は、吐出の開始および停止の機能を担うものであり、吐出弁の動作には、さほどの高精度が要求されない。これに対し、調圧弁は、調圧の機能を担うものであり、その動作は、吐出弁の動作よりも高い精度が要求される。そこで、調圧弁の移動の軸を、吐出弁の移動の軸よりもバルブユニットの長手方向の軸に近付ける。これにより、調圧弁による調圧の精度を確保しつつ、バルブユニットを一体物として設けることができる。
【００１４】
本願の第１、第２発明に従属する第３発明によれば、調圧弁は、スナッフバック方式である。
これにより、調圧弁による流路の閉鎖時に、高粘性流体の押し出しによる吐出圧の変動を抑制することができる。このため、吐出圧のばらつきをさらに抑制することができる。
【００１５】
本願の第１〜第３発明に従属する第４発明によれば、バルブユニットは、次のような複数のロッドを備える。すなわち、複数のロッドは、調圧弁の移動の軸と平行に配置され、スプリングの座をなす第１部品と、調圧弁が設けられた第２部品とを連結する。また、調圧弁、第１部品、第２部品および複数のロッドは一体物として移動する。そして、複数のロッドは、調圧弁の移動の軸を中心軸として回転対称をなすように組み付けられている。
これにより、調圧弁の移動を安定させることができるので、調圧弁による調圧の精度を高めて吐出圧のばらつきをさらに抑制することができる。
【００１６】
本願の第１〜第４発明に従属する第５発明によれば、バルブユニットは、次のような、別ロッド、および、ガイド部品を備える。ここで、別ロッドは、吐出弁と同軸に配置されて所定の駆動源により駆動され、自身の移動に吐出弁を連動させる。また、ガイド部品は、別ロッドの移動をガイドするものである。
これにより、吐出弁の移動を安定させることができる。また、この効果は、吐出弁の移動の軸を、調圧弁の移動の軸よりもバルブユニットの長手方向の軸から遠ざけた場合に、顕著に得ることができる。
【００１７】
本願の第１〜第５発明に従属する第６発明によれば、バルブユニットは、少なくとも異なる３軸の方向に駆動可能なロボットに装着され、ロボットの動作が制御されて３次元的に変位する。
高粘性流体の吐出位置を３次元的に変化させる場合、高粘性流体を導くための配管をフレキシブルにする必要があるので、吐出弁と調圧弁とが離れるほど、吐出圧のばらつきが大きくなる可能性がある。このため、バルブユニットをロボットに装着して３次元的に変位させる場合、本願の第１発明の効果を顕著に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】バルブユニットの正面図である。
【図２】バルブユニットの平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ断面図である。
【図５】図２のＶ−Ｖ断面図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、発明を実施するための形態を実施例に基づいて説明する。なお、実施例は具体例を開示するものであり、本願発明が実施例に限定されないことは言うまでもない。
【実施例】
【００２０】
〔実施例の構成〕
実施例のバルブユニット１を、図１〜図６を用いて説明する。
バルブユニット１は、粘度が１００００ｃｐ以上の高粘性流体（以下、単に流体と呼ぶことがある。）の流れを開始したり、停止したりするものであり、例えば、金属製のパーツの継ぎ目等にシール材、コーキング材または接着剤等を塗布する塗布装置に用いられる。また、バルブユニット１は、流体の受入口２および吐出口３を有し、受入口２には、例えば、流体を供給する配管（図示せず。）が接続されるとともに、吐出口３には、例えば、流体を吐出するノズル（図示せず。）が接続される。
【００２１】
さらに、バルブユニット１は、例えば、少なくとも異なる３軸の方向に駆動可能なロボット（図示せず。）に装着され、ロボットの動作が制御されて３次元的に変位することができる。これにより、バルブユニット１は、３次元的に移動しながら、塗布対象物に流体を塗布することができる。
以下、バルブユニット１の構成を詳細に説明する。
【００２２】
バルブユニット１は、次の金属製のボディ５、吐出弁６および調圧弁７を備える。
まず、金属製のボディ５は、受入口２および吐出口３を有するとともに、受入口２から吐出口３に流体を導く流路９を形成する。ここで、ボディ５は、主に、次のボディ本体１１、ハウジング１２Ａ、１２Ｂおよびハウジングキャップ１３Ａ、１３Ｂ、および、ノズルアダプタ１４の６つのパーツからなる。
【００２３】
まず、ボディ本体１１は、バルブユニット１の長手方向の略中央に位置して中間室１６を形成し、中間室１６に、スプリング１７の一方の座をなすロッドガイド１８が収容されている。なお、スプリング１７は、２本のロッド１９ａ、１９ｂを介して調圧弁７を開側に付勢するものである。
【００２４】
ハウジング１２Ａは、受入口２を有し、ボディ本体１１の長手方向の一方側に組み付けられて調圧弁７を収容する。
ハウジングキャップ１３Ａは、調圧弁７を収容する調圧室２１を覆うようにハウジング１２Ａの長手方向の一方側に組み付けられる。なお、調圧室２１は流路９の一部をなす。また。ハウジングキャップ１３Ａは、吐出弁６を収容する。
【００２５】
ハウジング１２Ｂは、ボディ本体１１の長手方向の他方側に組み付けられてピストン２２を収容する。なお、ピストン２２はエアシリンダ２３を構成するものであり、エアシリンダ２３は、吐出弁６を駆動するアクチュエータとして利用される。
ハウジングキャップ１３Ｂは、ハウジング１２Ｂの長手方向の他方側に組み付けられ、ピストン２２が移動する筒状の空間２４を覆ってエアシリンダ２３を構成する。
【００２６】
ノズルアダプタ１４は、吐出口３を有し、吐出弁６を収容する主弁室２６を覆うようにハウジングキャップ１３Ａの一方側に組み付けられる。なお、主弁室２６は、流路９の一部をなし、流路９における流体の流れに関し調圧室２１の下流側に形成される。
【００２７】
なお、ボディ本体１１、ハウジング１２Ａ、１２Ｂ、ハウジングキャップ１３Ａ、１３Ｂ、および、ノズルアダプタ１４の長手方向に垂直な断面は、以下のような態様となっている。
すなわち、ボディ本体１１、ハウジング１２Ａ、１２Ｂおよびハウジングキャップ１３Ａ、１３Ｂの断面は略同一寸法の矩形であり、ノズルアダプタ１４の断面は円形であり、他の５つのパーツの矩形の断面よりも大幅に小さい。
【００２８】
つまり、ボディ本体１１、ハウジング１２Ａ、１２Ｂおよびハウジングキャップ１３Ａ、１３Ｂの一体物は矩形の断面を有する略角柱体であり、ノズルアダプタ１４は略円柱体である。また、ボディ本体１１、ハウジング１２Ａ、１２Ｂおよびハウジングキャップ１３Ａ、１３Ｂの軸とノズルアダプタ１４の軸とは互いに平行であって離間しており、両方ともバルブユニット１の長手方向に平行である。
【００２９】
なお、ボディ本体１１、ハウジング１２Ａ、１２Ｂ、ハウジングキャップ１３Ａ、１３Ｂ、および、ノズルアダプタ１４、ならびに、ボディ５を形成するその他の部品には、液密性、気密性を保つために、適宜、Ｏリングが装着されている。
【００３０】
吐出弁６は、主弁室２６に収容され、長手方向に移動することで吐出口３からの流体の流出を開始したり、停止したりする。つまり、吐出弁６は、吐出の開始および停止の機能を担うものである。なお、主弁室２６は、ハウジングキャップ１３Ａとノズルアダプタ１４とにより形成されている。
【００３１】
また、吐出弁６は、引き上げにより弁開口６Ａを閉じるスナッフバック方式である。ここで、吐出弁６の弁座６Ｂは、ハウジングキャップ１３Ａとノズルアダプタ１４とにより長手方向に挟まれて保持されるシート部品２８Ａの長手方向一端に存在する。そして、弁開口６Ａは、弁座６Ｂの内周に相当する。また、吐出弁６の内、弁座６Ｂに着座する着座面６Ｃは、長手方向の他方側を向く円錐のテーパ面として設けられている。
【００３２】
そして、吐出弁６は、着座面６Ｃが弁座６Ｂに対して長手方向一方側から着座することができるように、主弁室２６に収容されている。つまり、吐出弁６は、長手方向他方側への引き上げにより、着座面６Ｃが弁座６Ｂに着座することができるように設けられて組み入れられている。
なお、ノズルアダプタ１４において、主弁室２６の下流側の流路９にはオリフィス２９が存在する。
【００３３】
また、吐出弁６は、エアシリンダ２３により駆動されるものであり、延長ロッド３１の長手方向の一端側に接続されたニードル３２の一端に存在する（つまり、ニードル３２の一端部が吐出弁６として機能する。）。ここで、延長ロッド３１とは、長手方向と平行にボディ５に組み付けられてピストン２２に締結される部品であり、ピストン２２の移動の軸と吐出弁６の移動の軸とを合わせる機能を有する。
【００３４】
これにより、ニードル３２、延長ロッド３１およびピストン２２は、長手方向に一体物として移動することができ、吐出弁６は、ピストン２２に連動して長手方向に移動する。なお、延長ロッド３１は、ハウジング１２Ａ、中間室１６、および、ハウジング１２Ｂを長手方向に貫通するように、ボディ５に組み付けられており、ハウジング１２Ａに締結されたパッキンナット３３によって長手方向への移動をガイドされている。
【００３５】
また、ピストン２２は、吐出弁６を駆動するアクチュエータとしてのエアシリンダ２３を構成する。
すなわち、ピストン２２は、空間２４を長手方向に関して一方側と他方側とに気密的に区画するように収容され、ピストン２２の長手方向の一方側、他方側空間２４ａ、２４ｂには個別に圧力空気の供給および抜出ができるようになっている。
【００３６】
このため、一方側空間２４ａに圧力空気が供給され、かつ、他方側空間２４ｂから圧力空気が抜き出されると、ピストン２２は長手方向の他方側へ移動し、吐出弁６は閉弁側に駆動される。また、他方側空間２４ｂに圧力空気が供給され、かつ、一方側空間２４ａから圧力空気が抜き出されると、ピストン２２は長手方向の一方側へ移動し、吐出弁６は開弁側に駆動される。
なお、ピストン２２とハウジング１２Ｂとの間には、ピストン２２を長手方向の他方側に（他方側空間２４ｂを縮小する方向に）付勢するスプリング３４が装着されている。
【００３７】
調圧弁７は、調圧室２１に収容されて、吐出口３に向かう流体の圧力を調圧するものであり、吐出圧の調圧の機能を担う。なお、調圧室２１は、ハウジング１２Ａとハウジングキャップ１３Ａとにより形成されている。
また、調圧弁７の移動の軸と吐出弁６の移動の軸とは互いに平行であり、調圧弁７の移動の軸は、バルブユニット１の長手方向の軸（つまり、ボディ本体１１、ハウジング１２Ａ、１２Ｂおよびハウジングキャップ１３Ａ、１３Ｂの一体物の軸）と同軸であり、吐出弁６の移動の軸は、バルブユニット１の長手方向の軸から偏心している。
【００３８】
また、調圧弁７は、引き上げにより弁開口７Ａを閉じるスナッフバック方式である。ここで、調圧弁７の弁座７Ｂは、ハウジング１２Ａにパッキンナット３６を介して保持されるシート部品２８Ｂに存在し、長手方向の一方側を向くテーパ面として設けられている。そして、弁開口７Ａは弁座７Ｂの内周に相当する。また、調圧弁７の内、弁座７Ｂに着座する着座面７Ｃは、長手方向の他方側を向く球面として設けられている。
【００３９】
そして、調圧弁７は、着座面７Ｃが弁座７Ｂに対して長手方向の一方側から着座することができるように、調圧室２１に収容されている。つまり、調圧弁７は、長手方向の他方側への引き上げにより、着座面７Ｃが弁座７Ｂに着座することができるように設けられて組み入れられている。
【００４０】
また、調圧弁７は、調圧室２１の流体の圧力とスプリング１７とにより機械的に駆動されるものであり、ロッドバー３７の長手方向他端に設けられている。ロッドバー３７とは、調圧弁７とともに調圧室２１に収容される部品であり、２本のロッド１９ａ、１９ｂと、スプリング１７の座をなすロッドガイド１８とともに、一体物として長手方向に移動するものである。以下、ロッドバー３７、ロッド１９ａ、１９ｂおよびロッドガイド１８を、順次、説明する。
【００４１】
ロッドバー３７は、ロッド１９ａ、１９ｂの長手方向一端に接続して調圧室２１に収容され、調圧室２１において流体の圧力を受ける。このとき、ロッドバー３７の長手方向他端側の受圧面積は、長手方向一端側の受圧面積よりもロッド１９ａ、１９ｂの断面積の分だけ小さくなる。このため、ロッドバー３７および調圧弁７には、調圧室２１の流体の圧力とロッド１９ａ、１９ｂの断面積との積に相当する付勢力が長手方向の他方側に向かって作用する。
【００４２】
ロッド１９ａ、１９ｂは、調圧弁７の移動の軸と平行に配置され、ハウジング１２Ａに締結されたパッキンナット３８にガイドされてロッドバー３７とロッドガイド１８とを連結する。また、ロッド１９ａ、１９ｂは、調圧弁７の移動の軸を中心軸として回転対称をなすように組み付けられている。つまり、ロッド１９ａ、１９ｂは、調圧弁７の移動の軸を中心軸として１８０°回転すると互いに重なるように組み付けられている。
【００４３】
ロッドガイド１８は、ロッド１９ａ、１９ｂの長手方向他端に接続して中間室１６に収容され、スプリング１７の一端側の座をなす部品である。また、スプリング１７の他端側の座はワッシャ３９であり、スプリング１７は、ワッシャ３９を介して調整ねじ４０によって付勢力を調整されている。そして、スプリング１７の付勢力は、ロッドガイド１８およびロッド１９ａ、１９ｂを介して、ロッドバー３７および調圧弁７に対し、長手方向の一方側に向かって作用する。
【００４４】
以上により、調圧弁７は、調圧室２１においてロッドバー３７が流体から受ける他方側向きの付勢力、および、スプリング１７による一方側向きの付勢力とのバランスにより長手方向に移動することで、吐出口３に向かう流体の圧力を調圧する。
【００４５】
例えば、吐出弁６の開弁により調圧室２１から流体が流出して調圧室２１の圧力が低下すると、ロッドバー３７に作用する他方側向きの付勢力が低下するので、調圧弁７が弁座７Ｂから離座して弁開口７Ａが開かれ、調圧室２１に流体が流入する。これにより、調圧室２１の圧力が上昇し、ロッドバー３７に作用する他方側向きの付勢力が上昇するので、調圧弁７が弁座７Ｂに着座して弁開口７Ａが閉じられて、調圧室２１に流体が流入しなくなる。
このように、調圧室２１では、機械的に圧力が略一定に保たれる。
【００４６】
〔実施例の効果〕
実施例のバルブユニット１は、次の金属製のボディ５、吐出弁６および調圧弁７を備える。まず、ボディ５は、流体の受入口２および吐出口３を有するとともに、受入口２から吐出口３に流体を導く流路９を形成する。また、吐出弁６は、流路９の一部である主弁室２６に収容され、長手方向に移動することで吐出口３からの流体の流出を開始したり、停止したりする。また、調圧弁７は、流体の流れに関し吐出弁６の上流側に形成される調圧室２１に収容され、流体から受ける圧力による付勢力およびスプリング１７の付勢力とのバランスにより長手方向に移動することで、吐出口３に向かう流体の圧力を調圧する。
【００４７】
これにより、機械式に駆動される調圧弁７と吐出弁６とを近傍に配置して、吐出弁６と調圧弁７とを接続する接続路４１の長さ（流路９の内、調圧室２１と主弁室２６とを接続する部分の長さ）を最小限に抑制ことができる。このため、機械式の調圧弁７と吐出弁６とを備えて流体を調圧して吐出する塗布装置等において、吐出圧のばらつきを抑制して塗布状態等の仕上がり品質のばらつきを抑制することができる。
【００４８】
また、吐出弁６の移動の軸と調圧弁７の移動の軸とは互いに平行であり、調圧弁７の移動の軸は、バルブユニット１の長手方向の軸と同軸であり、吐出弁６の移動の軸は、バルブユニット１の長手方向の軸から偏心している。
これにより、調圧弁７による調圧の精度を確保しつつ、バルブユニット１を一体物として設けることができる。
【００４９】
ここで、吐出弁６は、吐出の開始および停止の機能を担うものであり、吐出弁６の動作には、さほどの高精度が要求されない。これに対し、調圧弁７は、調圧の機能を担うものであり、その動作は、吐出弁６の動作よりも高い精度が要求される。そこで、調圧弁７の移動の軸をバルブユニット１の長手方向の軸と同軸にし、吐出弁６の移動の軸を、バルブユニット１の長手方向の軸から偏心させる。これにより、調圧弁７による調圧の精度を確保しつつ、バルブユニット１を一体物として設けることができる。
【００５０】
また、調圧弁７は、スナッフバック方式である。
これにより、調圧弁７による流路９の閉鎖時に、流体の押し出しによる吐出圧の変動を抑制することができる。このため、吐出圧のばらつきをさらに抑制することができる。
【００５１】
また、ロッド１９ａ、１９ｂは、長手方向と平行に配置され、調圧弁７の移動の軸を中心軸として回転対称をなすように組み付けられている。
これにより、調圧弁７の移動を安定させることができるので、調圧弁７による調圧の精度を高めて吐出圧のばらつきをさらに抑制することができる。
【００５２】
また、バルブユニット１は、次のような、延長ロッド３１を備える。すなわち、延長ロッド３１は、吐出弁６と同軸に配置され、ピストン２２に締結されてエアシリンダ２３により長手方向に駆動され、自身の移動に吐出弁６を連動させる。また、延長ロッド３１は、パッキンナット３３により長手方向への移動をガイドされる。
これにより、吐出弁６の移動を安定させることができる。特に、実施例のバルブユニット１では、吐出弁６の移動の軸を、バルブユニットの軸から偏心させているので、延長ロッド３１をパッキンナット３３によりガイドする効果は顕著である。
【００５３】
さらに、バルブユニット１は、少なくとも異なる３軸の方向に駆動可能なロボットに装着され、ロボットの動作が制御されて３次元的に変位する。
流体の吐出位置を３次元的に変化させる場合、流体を導くための配管をフレキシブルにする必要があるので、吐出弁６と調圧弁７とが離れるほど、吐出圧のばらつきが大きくなる可能性がある。このため、バルブユニット１をロボットに装着して３次元的に変位させる場合、吐出弁６と調圧弁７とを近傍に配置して吐出圧のばらつきを抑制する効果を顕著に得ることができる。
【００５４】
〔変形例〕
本願発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形例を考えることができる。
例えば、実施例のバルブユニット１によれば、調圧弁７の移動の軸をバルブユニット１の長手方向の軸と同軸にし、吐出弁６の移動の軸を、バルブユニット１の長手方向の軸から偏心させていたが、調圧弁７の移動の軸を、吐出弁６の移動の軸よりもバルブユニットの長手方向の軸の近くに配置すればよく、調圧弁７の移動の軸を、必ずしもバルブユニット１の長手方向の軸と同軸にする必要はない。
【００５５】
また、実施例のバルユニット１によれば、調圧弁７はスナッフバック方式であったが、調圧弁７による流路９の閉鎖時に調圧弁７を押し下げる方式を採用してもよい。
また、実施例のバルユニット１によれば、２本のロッド１９ａ、１９ｂによりロッドガイド１８とロッドバー３７とが連結されていたが、調圧弁７の移動の軸を中心軸として回転対称をなすように組み付けるのであれば、ロッドの本数は２本に限定する必要はない。
【００５６】
また、実施例のバルユニット１によれば、延長ロッド３１は、パッキンナット３３により長手方向への移動をガイドされていたが、必要に応じて、パッキンナット３３を装着せずに延長ロッド３１のガイドを省いてもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１  バルブユニット
２  受入口
３  吐出口
５  ボディ
６  吐出弁
７  調圧弁
９  流路
１７  スプリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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