(57)【要約】【課題】導電性や磁性を有する新しい微細な細線状の材料であるナノリボン及びその製造方法を提供すること。【解決手段】ＭＸ2で表される層状物質からなるナノリボン、及び基礎結晶の端部から結晶成長させることにより、ＭＸ2（式中、Ｍは、遷移金属原子を示し、Ｘはカルコゲン原子を示す）で表される層状物質からなるナノリボンを製造するナノリボンの製造方法であって、基板上で、不活性ガスの存在下、遷移金属酸化物とカルコゲン原子とを反応させて１又は複数の層が積層されてなる層状の結晶成分である基礎結晶を得る基礎結晶製造工程と、上記基礎結晶が形成された基板上において、不活性ガスの存在下、上記基礎結晶用いたものとは異なる遷移金属化合物と、カルコゲン原子とを反応させてナノリボンを形成するナノリボン製造工程とを具備するナノリボンの製造方法。（式中、Ｍは、遷移金属原子を示し、Ｘはカルコゲン原子を示す）【選択図】図１
2018123039.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＭＸ2で表される層状物質からなるナノリボン。
（式中、Ｍは、遷移金属原子を示し、Ｘはカルコゲン原子を示す）
【請求項２】
上記遷移金属原子が、モリブンデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、レニウム（Ｒｅ）又はクロム（Ｃｒ）であり、上記カルコゲン原子が、硫黄（Ｓ）、セレン（Ｓｅ）又はテルル（Ｔｅ）であることを特徴とする請求項１記載のナノリボン。
【請求項３】
厚みが、０．６〜  ２０  ｎｍであり、幅が１  〜  １０００ｎｍであることを特徴とする請求項１又は２記載のナノリボン。
【請求項４】
上記層状物質がＷＳ2で表される層状物質であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のナノリボン。
【請求項５】
基礎結晶の端部から結晶成長させることにより、ＭＸ2（式中、Ｍは、遷移金属原子を示し、Ｘはカルコゲン原子を示す）で表される層状物質からなるナノリボンを製造するナノリボンの製造方法であって、
基板上で、不活性ガスの存在下、遷移金属酸化物とカルコゲン原子とを反応させて１又は複数の層が積層されてなる層状の結晶成分である基礎結晶を得る基礎結晶製造工程と、
上記基礎結晶が形成された基板上において、不活性ガスの存在下、上記基礎結晶用いたものとは異なる遷移金属化合物と、カルコゲン原子とを反応させてナノリボンを形成するナノリボン製造工程と
を具備するナノリボンの製造方法。
【請求項６】
上記基礎結晶がＭｏＳ2の層状の結晶成分であることを特徴とする請求項５記載のナノリボンの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性や磁性を有する新規な微細細線状の材料であるナノリボン及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高い電気伝導性と熱伝導性、強磁性状態を活用した新規デバイスという観点からグラフェンなどを用いたナノリボンの開発がすすめられており、多数提案がなされている。
例えば、特許文献１には、受光面となる半導体基板の表面をウィスカー群（ナノワイヤー群）で被覆されるようにして、表面反射を低減させるべく、新規なナノワイヤーが提案されている。
また、特許文献２には、金属フタロシアニンを含むナノワイヤーの簡便で工業的に優れた製造方法として、水溶性多価アルコール中において、金属フタロシアニンスルファモイル化合物の存在下、イソインドリン化合物と金属イオンとを反応させる金属フタロシアニンナノワイヤーの製造方法が提案されている。また、特許文献３には、ヘテロナノワイヤーの可能性を発展させたものとして、長手方向では同様な組成よりなり、それを横断する一側側と他側側では相互に異なる組成域となっているヘテロナノワイヤーであって、相異なる組成域の一方が硫化亜鉛で、他方が酸化亜鉛であり、さらに、前記硫化亜鉛からなる組成域は、長手方向に六方晶系硫化亜鉛と立方晶系硫化亜鉛とが交互に結晶成長しているかあるいは単結晶成長しているナノワイヤーが提案されている。また、特許文献４には、結晶構造を利用したナノワイヤーの製造方法として、複数の結晶面を有する粒子をシードとして利用し、所定範囲内の格子定数差を有する結晶成長物質を蒸着して、前記結晶面のうち少なくとも一つにナノワイヤーを成長させる製造方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2012-023349 号公報
【特許文献２】特開2010-253598号公報
【特許文献３】特開2010-120136号公報
【特許文献４】特開2006-306688号公報
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】Nature Materials 12, 554-561 (2013) doi:10.1038/nmat3633
【非特許文献２】Science  31 Jul 2015:Vol. 349, Issue 6247, pp. 524-528,DOI: 10.1126/science.aab4097
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来提案されているようなグラフェン系のナノリボンでは要求されているような十分な導電性や磁性を発揮得ることができておらず、より導電性や磁性に優れたナノリボンの開発が要望されていた。
かかる観点から遷移金属化合物からなるナノリボンの開発も要望されており、各種開発もなされている（非特許文献１及び２参照）が、現状ではシート状の微細化合物は得られているものの、ナノリボンほどの形態のものは未だ得られていないのが現状である。
このため、遷移金属化合物からなるナノリボン及びその製造方法の開発が要望されているのが現状である。
【０００６】
したがって、本発明の目的は、導電性や磁性を有する新しい微細な細線状の材料であるナノリボン及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上記課題を解消すべく鋭意検討した結果、ＭｏＳ２の結晶を作製し、この結晶の端を成長の起点と利用することでナノリボンを製造できることを知見し、かかる知見に基づきさらに鋭意検討した結果、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は以下の各発明を提供するものである。
１．ＭＸ2で表される層状物質からなるナノリボン。
（式中、Ｍは、遷移金属原子を示し、Ｘはカルコゲン原子を示す）
２．上記遷移金属原子が、モリブンデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、レニウム（Ｒｅ）又はクロム（Ｃｒ）であり、上記カルコゲン原子が、硫黄（Ｓ）、セレン（Ｓｅ）又はテルル（Ｔｅ）であることを特徴とする１記載のナノリボン。
３．厚みが、０．６〜  ２０  ｎｍであり、幅が１  〜  １０００ｎｍであることを特徴とする１又は２記載のナノリボン。
４．上記層状物質がＷＳ2で表される層状物質であることを特徴とする１〜３のいずれかに記載のナノリボン。
５．基礎結晶の端部から結晶成長させることにより、ＭＸ2（式中、Ｍは、遷移金属原子を示し、Ｘはカルコゲン原子を示す）で表される層状物質からなるナノリボンを製造するナノリボンの製造方法であって、
基板上で、不活性ガスの存在下、遷移金属酸化物とカルコゲン原子とを反応させて１又は複数の層が積層されてなる層状の結晶成分である基礎結晶を得る基礎結晶製造工程と、
上記基礎結晶が形成された基板上において、不活性ガスの存在下、上記基礎結晶用いたものとは異なる遷移金属化合物と、カルコゲン原子とを反応させてナノリボンを形成するナノリボン製造工程と
を具備するナノリボンの製造方法。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のナノリボンは、導電性や磁性を有する新しい微細な細線状の材料である。
また、本発明のナノリボンの製造方法によれば、導電性や磁性を有する新しい微細な細線状の材料を簡易且つ簡便に得ることができる。
ものである。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本発明のナノリボンの１形態を模式的に示す概要図である。
【図２】図２は、本発明のナノリボンの製造にもちいられる製造装置を摸式的に示す概略図である。
【図３】図３(a)は発光強度マップ、(b)は原子間力顕微鏡像、(c)はbの白点線に沿って取得した高さプロファイル、(d)はaの白点線に沿って測定した発光スペクトルを示す。
【図４】図４(a)は発光強度マップ、(b)はaの白点線に沿って測定した発光スペクトルを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明をさらに詳細に説明する。
本発明のナノリボンは、ＭＸ2で表される遷移金属ダイカルコゲナイド(Transition metal dichalcogenide, 以下、「TMDC」と称する場合がある)からなる層状物質からなるものである。
ここで、Ｍは、遷移金属原子を示し、Ｘはカルコゲン原子を示す。
上記遷移金属原子としては、モリブンデン(Mo)、タングステン(W)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、レニウム(Re)又はクロム(Cr)を挙げることができる。
また、上記カルコゲン原子としては、硫黄(S)、セレン(Se)又はテルル(Te)を挙げることができる。
上記のＭＸ2で表される遷移金属ダイカルコゲナイドとしては、特に、WS2、MoS2、WSe2、MoSe2、WTe2、MoTe2、SnS2、SnSe2  等を好ましく挙げることができる。
【００１１】
本発明のナノリボンは、厚みが、０．６〜  ２０ｎｍであり、幅が  １〜  １０００  ｎｍであるのが好ましく、厚みが、  ０．６〜  ５  ｎｍであり、幅が  １  〜  ５００  ｎｍであるのがさらに好ましい。
図１に、幅1.3nm、厚み0.6nmのサイズのWS2ナノリボンの構造モデルを摸式的に示す。図１に示すように、本発明のナノリボンは各分子が上面側から見たときには正６角形の頂点となるように位置して、ハニカム状の構造を形成していると共に、側面視した場合には３層の構造体と理解できる構造を有する。具体的には、（ａ）に示すように平面図において１番上の列の分子群１０、２番目の列の分子群２０、３番目の列の分子群３０は、（ｂ）の側面図における一番上に位置する分子群１０、真ん中に位置する分子群２０及び一番下に位置する分子群３０にそれぞれ対応している。このため平面図において分子群１０、分子群２０、分子群３０分子群２０、分子群１０・・・・のように分子群２０を挟んで分子群１０及び分子群２０が並ぶように配置される。このようにハニカム状の構造は上述の特定の化学式に該当する化合物でのみ示される特徴的な構造であり、このような構造を有することで種々の特性を発揮することが可能となっている。
【００１２】
＜製造方法＞
ついで、本発明のナノリボンの製造方法について説明する。
本発明のナノリボンの製造方法は、
基礎結晶の端部から結晶成長させることにより、上記のＭＸ2で表される層状物質からなるナノリボンを製造するナノリボンの製造方法であって、
基板上で、不活性ガスの存在下、遷移金属酸化物とカルコゲン原子とを反応させて１又は複数の層が積層されてなる層状の結晶成分である基礎結晶を得る基礎結晶製造工程と、
上記基礎結晶が形成された基板上において、不活性ガスの存在下、上記基礎結晶とは異なる遷移金属化合物とカルコゲン原子とを反応させてナノリボンを形成するナノリボン製造工程とを行うことにより実施できる。
非特許文献１には、単層二硫化モリブンデン（ＭｏＳ2)の合成法が、非特許文献２には、単層のＷＳｅ2の端からＭｏＳ2をシート状の結晶として成長させることが開示されているが、これらの報告ではいずれにもナノリボンを形成できることは開示されていない。本発明においては、ＴＭＤＣナノリボンを成長させるために、別のＴＭＤＣの端を成長起点として活用することを特徴とし、また後述するように結晶成長を非常に初期の段階で止めることが好ましい。
すなわち、本発明の製造方法は、ＭｏＳ2の結晶を作製し、この結晶の端を成長の起点と利用することでナノリボンを製造するが、特に、ＷＳ2の成長速度を抑えるために、合成条件を以下のように制御することで好ましくナノリボンを製造することが可能となる。
以下、各工程について詳述する。
【００１３】
（基礎結晶製造工程）
まず、本発明において用いる装置について図２を参照して説明する。図２に示す装置１は、結晶生成部１０と、結晶生成部１０の周囲を囲んで設置された炉２２（本実施形態においては電気炉）と炉２２に並んで設置された炉２４とからなる。結晶生成部１０は円筒状であり、一端からは不活性ガス（Ａｒ等）を導入できるようにガス導入口（図示せず）が設けられている。また、他端にも内部のガスを外部に排出するためのガス排出口（図示せず）が設けられている。また、結晶生成部１０の内部には元老や基板を設置するための設置部３２、３４、３６がそれぞれ結晶生成部１０の一端側から順に所定間隔を空けて配置されている。なお、結晶生成部１０の大きさは特に制限なく、また形成材料もとくに制限ないが、本実施形態では、長さ１０００〜１２００ｍｍ、内径２６ｍｍの石英管を用いることができる。
そして、一端側から、設置部３２にカルコゲン原子の物質を、設置部３４に遷移金属化合物を、設置部３６に基板を設置する。この際遷移金属化合物としては、酸化モリブデン (ＩＶ) (ＭｏＯ2)粉末、酸化モリブデン(VI)（MoO3）粉末、塩化モリブデン(V)（MoCl5）、  酸化タングステン(VI)（WO3）、塩化タングステン(VI)（WCl6）等の遷移金属酸化物を挙げることができる。またカルコゲン原子の物質としては、硫黄フレーク、セレン、テルルなどを挙げることができる。また、基板としては、グラファイト、窒化ホウ素、石英、サファイアなどからなる、厚さ  ０．０１〜２  ｍｍの板状体を用いることができる。
そして、一端側から不活性ガスを矢印方向に流しつつ、まず、炉２４を５００〜１５００℃に上昇させ、次いで炉２２を１００〜３００℃に上昇させることにより、基板上にて遷移金属カルコゲナイトの結晶を成長させる。
この際、設置部３４は、後述する実施例に記載の量の結晶を成長させる場合には、設置部３２の５０〜５００ｍｍ下流に設けるのが好ましく、設置部３６は、設置部３４の１〜２００ｍｍ下流に設け、これらの距離を変えることで原料の供給速度を変えることができる。この設置部の間隔は製造する結晶のスケールにより任意であり、この距離に制限されるものではない。
原料を設置した後、不活性ガスを１００〜１０００ｓｃｃｍで５〜３０分ほど流し、内部の大気を排除し、内部の気体を不活性ガスに置換した。その後に、炉２４の温度を室温から上述の温度に１０〜１２０分程度かけて昇温し、その後、任意のタイミングで炉２２の温度を室温から上述の温度に上昇させる。この際、炉２２の温度を適宜調整することでカルコゲナイト原子の供給量を制御することができる。この後、２０〜６０分間温度を一定にし、その後常温まで温度を低下させて、所望の基礎結晶を得ることができる。
なお、ＭｏＯ2粉末が硫黄で硫化することを防ぐために、別の細い石英管（外径８ｍｍ〜内径６ｍｍ程度）を、外側の石英管の内部に設置することも可能である。この場合、ＭｏＯ2粉末の細い石英管に入れた場合、硫黄とＭｏＯ2は互いに別の流路を流れて基板に供給されることになる。
また、別の基礎結晶の作成手法としては、基板上にＴＭＤＣの結晶を剥離して積層させてもよい。
【００１４】
（ナノリボン製造工程）
本工程においても、上述の図２に示す装置を用いて行うことができる。結晶生成部１０の中に、設置部３２にカルコゲナイト原子の物質（上述のカルコゲナイト原子の物質と同じである）を、設置部３４に遷移金属化合物（上述の遷移金属化合物と同じである）を設置する。
設置部３２，３４、３６それぞれの位置関係も上述の基礎結晶製造工程と同じである。
そして、不活性ガスを１００〜１０００ｓｃｃｍで５〜３０分ほど流し、内部の大気を排除して不活性ガスに置換する。その後に、炉２４の温度を５００〜１５００℃に上昇させ、次いで炉２２を１００〜３００℃に上昇させることにより、先に存在する他の遷移金属カルコゲナイト結晶の端を、成長起点として、ナノリボンとしての遷移金属カルコゲナイト結晶の結晶成長が始まる。
この際の結晶成長時間は、１０〜４０分とするのが好ましく。２０〜３０分とするのがさらに好ましい。この程度の短時間で成長を終了させることにより、ナノリボンを得ることができ、これ以上の時間結晶成長させると、層が積層させてしまうか、結晶が平面的に広がり過ぎてシート状となってしまう。また、上記の範囲未満では十分に結晶成長せずナノリボンが得られない。このため、上述の範囲内とするのが好ましい。
また、遷移金属化合物とカルコゲナイト原子の物質との使用量比は、カルコゲナイト原子の物質の使用量を１００重量部とした場合、遷移金属化合物の使用量を５〜２０重量部とするのが好ましく、５〜１５とするのがさらに好ましい。遷移金属化合物の使用量がこの範囲であれば、ナノリボンとして結晶成長するがこの範囲を超えると図1に示す構造のものが多数積層された積層構造となるかリボン状とは言えない程度に幅広のシート状となり、この範囲未満であると十分に結晶成長しない場合がある。そのためこの範囲内とするのが好ましい。
【００１５】
本発明においては、上述の各工程の他に必要に応じて適宜他の工程を用いて製造を行ってもよい。
【００１６】
＜用途・効果＞
本発明のナノリボンは、従来のグラフェン性のナノリボンに比して導電性と磁性とに優れ、各種電子デバイス材料として有用である。
また、本発明のナノリボンの製造方法によれば、従来得られなかった遷移金属カルコゲナイト化合物からなるナノリボンを得ることができる。
【００１７】
本発明は上述した実施形態に何ら制限されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。
【実施例】
【００１８】
以下、本発明について実施例及び比較例を示してさらに具体的に説明するが本発明はこれらに何ら制限されるものではない。
【００１９】
〔実施例１〕
１．テンプレートとなるＴＭＤＣ原子層、単層の二硫化タングステン（WS2）結晶の作成
基板（グラファイト製）、酸化タングステン（ＶＩ） ＷＯ3粉末、硫黄フレークを、図２に示す装置における設置部３６、３４、３２それぞれに設置した。また、結晶生成部１０としては、長さ１０００〜１２００ｍｍ、内径２６ｍｍの石英管を用いた。そして、図２に示す装置１は、硫黄を加熱する電気炉２２と、遷移金属酸化物及び成長基板を加熱する電気炉２４の二つの電気炉を利用して、結晶生成部１０の上流からは不活性ガス（アルゴン（Ａｒ）等）を流すことで、原料を基板上に効率よく輸送し、また原料や生成物の酸化を防ぐように構成されている。
本実施例においては、Ａｒを流す上流側の設置部３２に硫黄を設置し、その５０〜５００ｍｍ下流に設置部３４を設けてＷＯ3粉末を設置し、設置部３４の１〜２００ｍｍ下流に設置部３６を設け基板を設置した。距離を変えることで原料の供給速度を変えることができる。
原料を設置した後、Ａｒを５００ｓｃｃｍで１０分ほど流し、内部の大気を排除し、Ａｒに置換した。その後に、炉２４の温度を室温から１１００℃まで７５分程度かけて昇温した。炉２４の温度が１０００〜１１００℃の間に到達したら、任意のタイミングで炉２２の温度を室温から１６０〜２００℃まで上昇させ、炉２２の温度を適宜調整して硫黄の供給量を制御した。
この後、硫黄と酸化モリブデンの蒸気が基板上に供給され、基板上の様々な点においてWS2の結晶成長が始まり、通常は、単層から２０層までの様々な厚さ、サイズの結晶が得られる。特に、物質の構造を反映し、三角形や六角形のシート状の結晶が得られる。
この時、シートの端はある特定の結晶面が出やすいため、直線的になる。
３０分温度を一定にした後に、電気炉は扇風機等で冷やし、室温に戻して基板を回収した。得られた基板上に形成されたWS2結晶は、１層の結晶体であった。
【００２０】
２．ナノリボンの成長
次に、同様に図２に示す装置を用いて、結晶生成部１０の中に、設置部３２に硫黄のフレークを２ｇ、設置部３４に酸化モリブデン (ＩＶ) (ＭｏＯ2)粉末を１６ｍｇ設置した。
なお、設置部３４は設置部３２の５０〜５００ｍｍ下流に設置されており、設置部３４の１〜２００ｍｍ下流に設置部３６を設け、二硫化タングステン結晶の形成された基板を設置した。
原料を設置した後、Ａｒを５００ｓｃｃｍで１０分ほど流し、内部の大気を排除し、Ａｒに置換した。置換後に、炉２４の温度を室温から１１００℃までおよそ７５分程度かけて上昇させた。炉２４の温度が１０００〜１１００℃の間に到達したら、任意のタイミングで炉２２の温度を室温から１６０℃まで上昇させた。
この後、硫黄と酸化モリブデンの蒸気が基板上に供給され、基板上の様々な箇所からMoS2の結晶成長を行った。この時、先に存在するWS2結晶の端は、成長起点として働くため、最も優先的にMoS2の結晶成長が始まる。３０分ほど、成長を進めた後に、電気炉は扇風機等で冷やし、室温に戻して基板を回収する。
得られたナノリボンは、光学顕微鏡、蛍光顕微鏡、発光・ラマン分光マッピング、走査プローブ顕微鏡等で観察し結果、厚さ  0.7 ｎｍ、幅  400 ｎｍのナノリボンであった。
発光強度マップと原子間顕微鏡像とをそれぞれ図３に示す。図３において、(a)は発光強度マップ（青がWS2、赤がMoS2の発光強度に対応）、(b)が原子間力顕微鏡像、(c)がbの白点線に沿って取得した高さプロファイル、(d)がaの白点線に沿って測定した発光スペクトルである。
化学気相成長により、単層WS2結晶の周囲に成長させた単層MoS2ナノリボンは、図3に示すように、（ａ）に示す点線の上部（すなわち赤い部分ではMoS2、下部（すなわち青い部分）ではWS2の発光ピークがそれぞれ観測されており、ＷＳ2結晶の周囲に成長させた単層ＭｏＳ2ナノリボンが生成しているのがわかる。
【００２１】
〔実施例２〕
１．テンプレートとなるＴＭＤＣ原子層、単層の二硫化モリブデン（ＭｏＳ2）結晶の作成
基板、酸化モリブデン (ＩＶ) (ＭｏＯ2)粉末、硫黄フレークを、図２に示す装置における設置部３６、３４、３２それぞれに設置した。また、結晶生成部１０としては、長さ１０００〜１２００ｍｍ、内径２６ｍｍの石英管を用いた。そして、図２に示す装置１は、硫黄を加熱する電気炉２２と、遷移金属酸化物及び成長基板を加熱する電気炉２４の二つの電気炉を利用して、結晶生成部１０の上流からは不活性ガス（アルゴン（Ａｒ）等）を流すことで、原料を基板上に効率よく輸送し、また原料や生成物の酸化を防ぐように構成されている。
本実施例においては、Ａｒを流す上流側の設置部３２に硫黄を設置し、その５０〜５００ｍｍ下流に設置部３４を設けてＭｏＯ2粉末を設置し、設置部３４の１〜２００ｍｍ下流に設置部３６を設け基板を設置した。距離を変えることで原料の供給速度を変えることができる。
原料を設置した後、Ａｒを５００ｓｃｃｍで１０分ほど流し、内部の大気を排除し、Ａｒに置換した。その後に、炉２４の温度を室温から１１００℃まで７５分程度かけて昇温した。炉２４の温度が１０００〜１１００℃の間に到達したら、任意のタイミングで炉２２の温度を室温から１６０〜２００℃まで上昇させ、炉２２の温度を適宜調整して硫黄の供給量を制御した。
この後、硫黄と酸化モリブデンの蒸気が基板上に供給され、基板上の様々な点においてＭｏＳ2の結晶成長が始まり、通常は、単層から２０層までの様々な厚さ、サイズの結晶が得られる。特に、物質の構造を反映し、三角形や六角形のシート状の結晶が得られる。
この時、シートの端はある特定の結晶面が出やすいため、直線的になる。
３０分温度を一定にした後に、電気炉は扇風機等で冷やし、室温に戻して基板を回収した。得られた基板上に形成された二硫化モリブデン結晶は、１層の結晶体であった。
【００２２】
２．ナノリボンの成長
次に、同様に図２に示す装置を用いて、結晶生成部１０の中に、設置部３２に硫黄のフレークを２ｇ、設置部３４に酸化タングステン（ＶＩ） ＷＯ3の粉末を６ｍｇ設置した。
なお、設置部３４は設置部３２の５０〜５００ｍｍ下流に設置されており、設置部３４の１〜２００ｍｍ下流に設置部３６を設け、二硫化モリブデン結晶の形成された基板を設置した。
原料を設置した後、Ａｒを５００ｓｃｃｍで１０分ほど流し、内部の大気を排除し、Ａｒに置換した。置換後に、炉２４の温度を室温から１１００℃までおよそ７５分程度かけて上昇させた。炉２４の温度が１０００〜１１００℃の間に到達したら、任意のタイミングで炉２２の温度を室温から１６０℃まで上昇させた。
この後、硫黄と酸化タングステンの蒸気が基板上に供給され、基板上の様々な箇所からＷＳ2の結晶成長を行った。この時、先に存在するＭｏＳ2結晶の端は、成長起点として働くため、最も優先的にＷＳ2の結晶成長が始まる。３０分ほど、成長を進めた後に、電気炉は扇風機等で冷やし、室温に戻して基板を回収する。
得られたナノリボンは、光学顕微鏡、蛍光顕微鏡、ラマン分光マッピング、走査プローブ顕微鏡等で観察し結果、厚さ  0.7 ｎｍ、幅  300 ｎｍのナノリボンであった。
化学気相成長により、単層MoS2結晶の周囲に成長させた単層WS2ナノリボンの(a)発光強度マップ（青がWS2、赤がMoS2の発光強度に対応）、(b) aの白点線に沿って測定した発光スペクトルを示す。
図４に得られたナノリボンの発光強度マップと発光スぺクトルとを示す。図４に示す結果から、ａの点線の上部（すなわち赤い部分）ではMoS2、下側（すなわち青い部分）ではWS2の発光ピークがそれぞれ観測されており、MoS2の周囲にWS2ナノリボンが生成しているのがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明のナノリボンは導電性や磁性を有する新しい微細な細線状の材料であるため、電子デバイス、光学デバイス用材料などとして使用されることが期待される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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