(57)【要約】【課題】一般に入手可能な原材料を用いて調製することができ、高温環境下においても、高濃度のオゾン及びフッ素ラジカルに対して良好な耐性を示す架橋物を形成できるパーフルオロエラストマー組成物、及びそれを含むシール材を提供する。【解決手段】ニトリル基含有モノマー由来の構成単位を含むパーフルオロエラストマー１００重量部と、ケッチェンブラック０．０１〜５重量部とを含むパーフルオロエラストマー組成物、及び該パーフルオロエラストマー組成物の架橋物からなるシール材が提供される。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ニトリル基含有モノマー由来の構成単位を含むパーフルオロエラストマー１００重量部と、ケッチェンブラック０．０１〜５重量部と、を含む、パーフルオロエラストマー組成物。
【請求項２】
ケッチェンブラックの含有量が、パーフルオロエラストマー１００重量部に対して３重量部以下である、請求項１に記載のパーフルオロエラストマー組成物。
【請求項３】
パーフルオロエラストマーの架橋系が、トリアジン架橋系、オキサゾル架橋系又はイミダゾル架橋系である、請求項１又は２に記載のパーフルオロエラストマー組成物。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のパーフルオロエラストマー組成物の架橋物からなるシール材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パーフルオロエラストマー組成物及びそれを含むシール材に関する。
【背景技術】
【０００２】
シール材（ガスケット、パッキン等）は、各種用途に用いられており、その用途に応じた特性が求められる。例えば、高温環境下で使用される場合には耐熱性が求められる。半導体装置やフラットパネルディスプレイの製造における成膜工程では、強力な酸化力を有するオゾンを使用する場合がある。オゾンを使用する製造装置に用いられるシール材には、オゾンに対する耐性（耐オゾン性）が求められる。また、プラズマに晒される環境下で使用される場合にはプラズマに対する耐性（耐プラズマ性）が求められる。
【０００３】
ＣＶＤ（Chemical vapor deposition、化学気相成長）装置を用いた半導体装置の製造においては、成膜の際にプロセスチャンバー内に発生する不要な堆積物を除去するために、プラズマによるクリーニングを実施することがある。なかでも、クリーニング効率に優れることから、ＮＦ３のリモートプラズマによって発生させたフッ素ラジカルをプロセスチャンバー内に導入することによってクリーニングする方法が広く用いられている。
【０００４】
特開平０８−１５１４５０号公報（特許文献１）、特開２００４−２６３０３８号公報（特許文献２）及び特開２０１０−０３７５５８号公報（特許文献３）は、シール材の耐オゾン性に着目している。特開２０１５−０９８６０９号公報（特許文献４）及び国際公開第２００４／０９４５２７号（特許文献５）は、シール材の耐プラズマ性に着目している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０８−１５１４５０号公報
【特許文献２】特開２００４−２６３０３８号公報
【特許文献３】特開２０１０−０３７５５８号公報
【特許文献４】特開２０１５−０９８６０９号公報
【特許文献５】国際公開第２００４／０９４５２７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１〜３に記載の技術は、少なくとも次の点で改善の余地があった。
（１）特許文献１：高温環境下における耐オゾン性が不十分である。また、特許文献１に記載のフッ素ゴム成形体には、耐オゾン性等を良好に保持しつつゴム配合量を削減する観点から、好ましくは無機充填剤等の充填剤が配合されるが、無機充填剤は、シール材を適用した装置やそれを用いて製造される製品を汚染する要因となり得る。すなわち、耐オゾン性が良好なシール材を用いる場合であっても、過酷なオゾン環境下ではシール材のエラストマー成分がオゾンによってエッチングされることがあり、この場合、配合されている無機充填剤が上記装置内に飛散するおそれがある。
【０００７】
（２）特許文献２：テトラフルオロエチレン−プロピレン系共重合体を用いたフッ素ゴム成形体を開示するが、テトラフルオロエチレン−プロピレン系共重合体は、ポリマー骨格にＣ−Ｈ結合を含むため、パーフルオロエラストマーに比べて耐オゾン性に劣る。
【０００８】
（３）特許文献３：特定の架橋剤を含む含フッ素エラストマー組成物を開示するが、その架橋剤は一般に入手することが困難である。
【０００９】
また特許文献４及び５に記載の発明において、高温環境下で使用される場合におけるシール材のフッ素ラジカルに対する耐性、さらには高濃度のフッ素ラジカルに対する耐性については考慮されていない。
【００１０】
本発明の目的は、一般に入手可能な原材料を用いて調製することができ、高温環境下においても、高濃度のオゾン及びフッ素ラジカルに対して良好な耐性を示す架橋物を形成できるパーフルオロエラストマー組成物、及びそれを含むシール材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、以下に示すパーフルオロエラストマー組成物及びシール材を提供する。
［１］  ニトリル基含有モノマー由来の構成単位を含むパーフルオロエラストマー１００重量部と、ケッチェンブラック０．０１〜５重量部と、を含む、パーフルオロエラストマー組成物。
［２］  ケッチェンブラックの含有量が、パーフルオロエラストマー１００重量部に対して３重量部以下である、［１］に記載のパーフルオロエラストマー組成物。
［３］  パーフルオロエラストマーの架橋系が、トリアジン架橋系、オキサゾル架橋系又はイミダゾル架橋系である、［１］又は［２］に記載のパーフルオロエラストマー組成物。
［４］  ［１］〜［３］のいずれかに記載のパーフルオロエラストマー組成物の架橋物からなるシール材。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、一般に入手可能な原材料を用いて調製することができ、高温環境下においても、高濃度のオゾン及びフッ素ラジカルに対して良好な耐性を示す架橋物を形成できるパーフルオロエラストマー組成物、及びそれを含むシール材を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
＜パーフルオロエラストマー組成物＞
〔ａ〕パーフルオロエラストマー
本発明で使用するパーフルオロエラストマーは、ニトリル基含有モノマー由来の構成単位を含む。ニトリル基含有モノマーは、架橋部位モノマー（架橋反応可能な部位を有するモノマー）である。すなわち、ニトリル基含有モノマー由来の構成単位を含むパーフルオロエラストマーは、ニトリル基を架橋点とする架橋が可能な架橋性のパーフルオロエラストマーである。
【００１４】
パーフルオロエラストマーは、例えば、ニトリル基含有モノマー由来の構成単位を含むテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）系共重合体や、ＴＦＥ−パーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）系共重合体等であることができる。これらの共重合体は、他のパーフルオロモノマー由来の構成単位をさらに含んでいてもよい。パーフルオロエラストマーを含むパーフルオロエラストマー組成物によれば、水素原子含有フッ素エラストマーを含む組成物に比べて、耐オゾン性及び耐フッ素ラジカル性をより高めることができる。パーフルオロエラストマー組成物は、パーフルオロエラストマーを１種のみ含んでいてもよいし、２種以上を含んでいてもよい。
【００１５】
テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）系共重合体を形成するパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）は、アルキル基の炭素数が１〜５であることができ、例えばパーフルオロ（メチルビニルエーテル）、パーフルオロ（エチルビニルエーテル）、パーフルオロ（プロピルビニルエーテル）等であることができる。
【００１６】
ＴＦＥ−パーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）系共重合体を形成するパーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）は、ビニルエーテル基（ＣＦ2＝ＣＦＯ−）に結合する基の炭素数が３〜１２であることができ、例えば
ＣＦ2＝ＣＦＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）ＯＣnＦ2n+1、
ＣＦ2＝ＣＦＯ（ＣＦ2）3ＯＣnＦ2n+1、
ＣＦ2＝ＣＦＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ（ＣＦ2Ｏ）mＣnＦ2n+1、又は
ＣＦ2＝ＣＦＯ（ＣＦ2）2ＯＣnＦ2n+1
であることができる。上記式中、ｎは例えば１〜５であり、ｍは例えば１〜３である。
【００１７】
ニトリル基含有モノマーの一例は、ニトリル基含有パーフルオロビニルエーテルである。ニトリル基含有パーフルオロビニルエーテルとしては、例えば、
ＣＦ2＝ＣＦＯ（ＣＦ2）nＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＮ（ｎは例えば２〜４）、
ＣＦ2＝ＣＦＯ（ＣＦ2）nＣＮ（ｎは例えば２〜１２）、
ＣＦ2＝ＣＦＯ［ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ］m（ＣＦ2）nＣＮ（ｎは例えば２、ｍは例えば１〜５）、
ＣＦ2＝ＣＦＯ［ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ］m（ＣＦ2）nＣＮ（ｎは例えば１〜４、ｍは例えば１〜２）、
ＣＦ2＝ＣＦＯ［ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ］nＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）ＣＮ（ｎは例えば０〜４）
等を挙げることができる。
【００１８】
パーフルオロエラストマーにおけるＴＦＥ由来の構成単位／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）又はパーフルオロ（アルコキシアルキルビニルエーテル）由来の構成単位／架橋部位モノマー由来の構成単位の比は、モル比で、通常５０〜７４．８％／２５〜４９．８％／０．２〜５％であり、好ましくは６０〜７４．８％／２５〜３９．５％／０．５〜２％である。本発明のパーフルオロエラストマー組成物は、上記構成単位の比が異なる２種以上のパーフルオロエラストマーを含むこともできる。
【００１９】
〔ｂ〕ケッチェンブラック
パーフルオロエラストマー組成物は、パーフルオロエラストマー１００重量部あたり、ケッチェンブラックを０．０１〜５重量部含む。当該含有量でケッチェンブラックを含む本発明に係るパーフルオロエラストマー組成物によれば、高温環境下においても、高濃度のオゾン及びフッ素ラジカルに対して良好な耐性を示す架橋物を形成することができる。また、当該含有量でケッチェンブラックを含む本発明に係るパーフルオロエラストマー組成物によれば、これを架橋してなる架橋物に好適なゴム弾性を付与し得、また、耐熱性の良好な架橋物を形成し得る。
【００２０】
ケッチェンブラックの含有量は、高温環境下における耐オゾン性及び耐フッ素ラジカル性の観点から、好ましくは０．０５重量部以上である。ケッチェンブラックの含有量は、パーフルオロエラストマー１００重量部あたり４重量部以下であってもよく、３重量部以下であってもよく、３重量部未満であってもよい。
【００２１】
ケッチェンブラックの含有量が、パーフルオロエラストマー１００重量部あたり０．０１重量部未満であると、高温環境下における耐オゾン性と耐フッ素ラジカル性とを両立させることが困難である。ケッチェンブラックの含有量が、パーフルオロエラストマー１００重量部あたり５重量部を超える場合、高濃度のオゾン及びフッ素ラジカルの両方に対して良好な耐性を示す架橋物を形成することが困難となり、また、架橋物の硬度が過度に高くなってゴム弾性を損なうおそれがある。
また、ケッチェンブラックの含有量が、パーフルオロエラストマー１００重量部あたり５重量部を超える場合、パーフルオロエラストマー組成物を調製する際における配合成分の混練容易性が低下することがある。さらに、ケッチェンブラックの含有量が、パーフルオロエラストマー１００重量部あたり５重量部を超える場合には、過酷なオゾン環境下又はフッ素ラジカル環境下でケッチェンブラックが飛散する問題が顕在化し得る。
さらに、ケッチェンブラックの含有量が、パーフルオロエラストマー１００重量部あたり５重量部を超える場合には、パーフルオロエラストマー組成物から架橋物を作製する際の架橋時間（成形時間）が長くなったり、得られる架橋物における架橋度のバラツキが大きくなったりすることがある。
なおさらに、ケッチェンブラックの含有量が、パーフルオロエラストマー１００重量部あたり５重量部を超える場合には、成形性が低くなることに起因して良好な性状を有する架橋物が得られにくい傾向にある。
【００２２】
〔ｃ〕架橋剤、その他の架橋助剤
パーフルオロエラストマー組成物は、ニトリル基含有モノマー由来の構成単位を含むパーフルオロエラストマーの架橋系に応じた架橋剤、その他の架橋助剤を含むことができる。パーフルオロエラストマーの架橋系は、例えば、トリアジン架橋系、オキサゾル架橋系、イミダゾル架橋系、チアゾール架橋系等であり得る。架橋剤は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
上記の中でも、パーフルオロエラストマーの架橋系は、高温環境下においても、高濃度のオゾン及びフッ素ラジカルに対して良好な耐性を示す架橋物を形成する観点から、トリアジン架橋系、オキサゾル架橋系又はイミダゾル架橋系であることが好ましい。
【００２３】
トリアジン架橋系においては、有機スズ化合物、４級ホスホニウム塩や４級アンモニウム塩等のオニウム塩、尿素、窒化ケイ素等の架橋触媒が用いられる。
【００２４】
オキサゾル架橋系で用いる架橋剤としては、例えば、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン（ＢＯＡＰ）、４，４’−スルホニルビス（２−アミノフェノール）、９，９−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）フルオレンを含む。好ましくは、ＢＯＡＰが用いられる。
【００２５】
イミダゾル架橋系、チアゾール架橋系で用いる架橋剤としては、従来公知のものを用いることができる。イミダゾル架橋系で用いる架橋剤としては、３，３’，４，４’−テトラアミノベンゾフェノン、３，３’−ジアミノベンジジン等を挙げることができる。
【００２６】
パーフルオロエラストマー組成物における架橋剤や架橋触媒（２種以上を用いる場合はその合計量）の含有量は、パーフルオロエラストマー１００重量部あたり、例えば０．０１〜２０重量部であり、高温環境下における耐オゾン性、耐フッ素ラジカル及び／又は耐熱性（圧縮永久歪特性）の向上の観点から、好ましくは１０重量部以下であり、より好ましくは５重量部以下である。
【００２７】
〔ｄ〕その他の配合剤
パーフルオロエラストマー組成物は、加工性改善や物性調整等を目的として、必要に応じて、老化防止剤、酸化防止剤、加硫促進剤、加工助剤（ステアリン酸等）、安定剤、粘着付与剤、シランカップリング剤、可塑剤、難燃剤、離型剤、ワックス類、滑剤等の添加剤を含むことができる。添加剤の他の例は、フッ素系オイル（例えば、パーフルオロエーテル等）のような粘着性低減（防止）剤である。添加剤は１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２８】
ただし、シール材を高温環境下で使用する場合などにおいては、揮発、溶出又は析出を生じるおそれがあることから、添加剤の量はできるだけ少ないことが好ましく（例えば、パーフルオロエラストマー１００重量部あたり１０重量部以下、好ましくは５重量部以下、より好ましくは２重量部以下、さらに好ましくは１重量部以下）、添加剤を含有しないことが望ましい。
【００２９】
また、パーフルオロエラストマー組成物は、必要に応じて、シリカ、アルミナ、酸化亜鉛、酸化チタン、クレー、タルク、珪藻土、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化カルシウム、マイカ、グラファイト、水酸化アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、ハイドロタルサイト、金属粉、ガラス粉、セラミックス粉のような無機充填剤を含むことができる。
【００３０】
ただし、無機充填剤は、その含有量が多くなると、過酷なオゾン環境下又はフッ素ラジカル環境下で飛散する問題が顕在化するおそれがあることから、無機充填剤の量はできるだけ少ないことが好ましく（例えば、パーフルオロエラストマー１００重量部あたり１０重量部以下、好ましくは５重量部以下、より好ましくは２重量部以下、さらに好ましくは１重量部以下）、無機充填剤を配合しないことが望ましい。なお、無機充填剤とは、金属元素（Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｉ等）を含有する充填剤をいう。
【００３１】
パーフルオロエラストマー組成物は、フッ素樹脂をさらに含むことができる。フッ素樹脂の形態は特に制限されないが、例えばフッ素樹脂粒子としてパーフルオロエラストマー組成物に含有させることができる。
【００３２】
フッ素樹脂は、分子内にフッ素原子を有する樹脂であり、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリビニルフルオライド（ＰＶＦ）、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＶＤＦ−ＨＦＰ共重合体）、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＶＤＦ−ＨＦＰ−ＴＦＥ共重合体）等であることができる。フッ素樹脂は、１種のみを単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３３】
上記の中でも、高温環境下で樹脂が溶融して圧縮永久歪等の特性が損なわれることを防ぐ観点から、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ等の融点が比較的高いフッ素樹脂を用いることが好ましい。
【００３４】
フッ素樹脂は、官能基を含有するものであってもよい。官能基は、例えば当該官能基を有するモノマーを共重合させることによって導入できる。官能基を有するモノマーとして、ニトリル基等の架橋部位を有する架橋部位モノマーを共重合させると、上記架橋触媒や架橋剤によってフッ素樹脂とパーフルオロエラストマーとの架橋も進行するので、パーフルオロエラストマー組成物の架橋物の機械的強度等をさらに高め得る。官能基を含有するフッ素樹脂の例として、特開２０１３−１７７６３１号公報に記載されるニトリル基含有ポリテトラフルオロエチレンを挙げることができる。
【００３５】
また、フッ素樹脂は、例えば「ＴＦＭ変性ＰＴＦＥ」（ダイニオン社製）のような、変性されたフッ素樹脂であることもできる。
【００３６】
フッ素樹脂を用いる場合、パーフルオロエラストマー組成物におけるフッ素樹脂の含有量（２種以上のフッ素樹脂を用いる場合はその合計量）は、架橋物の機械的強度等を効果的に高める観点から、パーフルオロエラストマー１００重量部あたり、好ましくは１〜１００重量部であり、より好ましくは５〜５０重量部である。フッ素樹脂の含有量が過度に多いと、弾性を示すパーフルオロエラストマーの含有量が相対的に減少して、圧縮永久歪特性が悪化し得る。
【００３７】
〔ｅ〕パーフルオロエラストマー組成物の調製
パーフルオロエラストマー組成物は、パーフルオロエラストマー、ケッチェンブラック、架橋剤又は架橋触媒、及び必要に応じて添加されるその他の配合剤を均一に混練りすることにより調製できる。混練り機としては、例えば、オープンロールのようなミキシングロール；ニーダー、バンバリーミキサーのようなミキサー等の従来公知のものを用いることができる。これらの配合剤は、一度に混合して混練されてもよいし、一部の配合剤を混練した後、残りの配合剤を混練するといったように複数段に分けてすべての配合剤を混練するようにしてもよい。
【００３８】
パーフルオロエラストマーとフッ素樹脂との混練に関していえば、例えば、１）パーフルオロエラストマー粉末とフッ素樹脂粉末とをミキシングロールを用いて混練する方法、２）パーフルオロエラストマー粉末又はペレットとフッ素樹脂粉末又はペレットとをミキサーや二軸押出機等の装置を用いて溶融混練する方法のほか、３）パーフルオロエラストマーの調製段階でフッ素樹脂を添加する方法を用いることができる。
【００３９】
上記３）の方法としては、いずれも乳化重合法で得られたパーフルオロエラストマーの水性分散液とフッ素樹脂の水性分散液とを混合した後、共凝析によりパーフルオロエラストマーとフッ素樹脂との混合物を得る方法を挙げることができる。
【００４０】
＜シール材＞
上記パーフルオロエラストマー組成物を架橋成形（加硫成形）することにより、シール材のような架橋成形物を得ることができる。すなわち、シール材は、パーフルオロエラストマー組成物の架橋物からなる。架橋成形は、必要に応じてパーフルオロエラストマー組成物を予備成形した後、金型を用いてプレス成形することにより行うことができる。成形温度は、例えば１５０〜２２０℃程度である。送りプレス成形、インジェクション成形、押出成形等により成形を行ってもよい。必要に応じて、１５０〜３２０℃程度の温度で二次架橋を行ってもよい。
【００４１】
上記のような架橋成形（プレス成形等）を行った後に、さらに電離性放射線を照射して架橋させる工程を設けてもよい。これにより、圧縮永久歪特性をさらに向上させ得る。電離性放射線としては、電子線やγ線を好ましく用いることができる。
【００４２】
シール材は、パッキンやガスケット等であることができる。シール材の形状はその用途に応じて適宜選択され、その代表例は、断面形状がＯ型であるＯリングである。本発明に係るシール材は、高温環境下においても良好な耐オゾン性及び耐フッ素ラジカル性を示すため、半導体装置やフラットパネルディスプレイの製造における成膜工程で使用されるＣＶＤ装置など、高温環境下でオゾンを使用したり、高温環境下でＮＦ３のリモートプラズマによってクリーニングを行うことがある装置内の真空度を保持するためのシール材として好適に用いることができる。
【実施例】
【００４３】
以下、実施例及び比較例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００４４】
＜実施例１〜６、比較例１〜３＞
次の手順に従って、パーフルオロエラストマー組成物を調製し、次いでシール材を作製した。まず、表１に示される配合組成に従って（表１における配合量の単位は重量部である）、各配合剤の所定量をオープンロールにより混練した。次に、得られたパーフルオロエラストマー組成物を、下記の条件でプレス成形した後、下記の条件で熱による２次架橋を行ってシール材（Ｏリング）を得た。
【００４５】
実施例１〜５、比較例１及び３：プレス成形条件  １８０℃×２０分；２次架橋条件  ２５０℃×２４時間、
実施例６、比較例２：プレス成形条件  １８０℃×２５分；２次架橋条件  ２５０℃×２４時間。
【００４６】
【表１】
2018016795.tif 000002
【００４７】
上記の実施例及び比較例で用いた各配合剤の詳細は次のとおりである。
〔１〕ＦＦＫＭ１：テトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）−ニトリル基含有モノマー共重合体であるパーフルオロエラストマーとフッ素樹脂とを含む組成物〔３Ｍ社製「ＰＦＥ  １３３ＴＢＺ」〕。表１には、「ＦＦＫＭ１」の欄に、ＦＦＫＭ１に含まれるパーフルオロエラストマーの含有量（重量部）を示し、「フッ素樹脂１」の欄に、ＦＦＫＭ１に含まれるフッ素樹脂の含有量（重量部）を示している。
〔２〕ＦＦＫＭ２：テトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）−ニトリル基含有モノマー共重合体であるパーフルオロエラストマー〔３Ｍ社製「ＰＦＥ  １９１ＴＺ」〕。
〔３〕ＦＦＫＭ３：テトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）−ニトリル基含有モノマー共重合体であるパーフルオロエラストマーとトリアジン触媒とを含む組成物〔３Ｍ社製「ＰＦＥ  ０１ＣＺ」〕。表１には、「ＦＦＫＭ３」の欄に、ＦＦＫＭ３に含まれるパーフルオロエラストマーの含有量（重量部）を示し、「トリアジン触媒」の欄に、ＦＦＫＭ３に含まれるトリアジン触媒の含有量（重量部）を示している。〔４〕ケッチェンブラック：ライオン・スペシャリティ・ケミカルズ株式会社製「ケッチェンブラックＥＣ６００ＪＤ」。
〔５〕シーストＧＳＯ：東海カーボン株式会社製のＮ−５５０  ＦＥＦカーボンブラック「シーストＧＳＯ」。
〔６〕ＢＯＡＰ：東京化成工業株式会社製のオキサゾル架橋剤（化学名：２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン）。
【００４８】
（シール材の評価）
得られた架橋成形品（シール材）について、下記の項目を測定、評価した。結果を表１に示す。
【００４９】
〔１〕耐オゾン性の評価
下記の条件下にシール材をオゾンに暴露させるオゾン暴露試験を行った。試験前後のシール材の重量を測定し、下記式：
重量減少率（％）＝｛（試験前の重量−試験後の重量）／（試験前の重量）｝×１００に従って重量減少率を求めた。重量減少率は０．６５％未満であることが好ましい。
【００５０】
（オゾン暴露試験の条件）
・オゾン濃度：２００ｇ／ｍ3、
・試験温度：１７０℃、
・試験時間：２４時間。
また、オゾン暴露試験後のシール材の外観を目視観察し、下記の評価基準に従ってシール材の外観を評価した。
Ａ：シール材表面の溶解及びクラックの発生がない。
Ｂ：シール材表面の溶解又はクラックの発生が部分的に、又は小さい程度にある。
Ｃ：シール材表面の溶解又はクラックの発生が全体的にあるか、又はその程度が大きい。
【００５１】
〔２〕耐フッ素ラジカル性の評価
下記の条件下にシール材を、ＮＦ３のリモートプラズマによって発生させたフッ素ラジカルに暴露させるフッ素ラジカル暴露試験を行った。試験前後のシール材の重量を測定し、下記式：
重量減少率（％）＝｛（試験前の重量−試験後の重量）／（試験前の重量）｝×１００に従って重量減少率を求めた。重量減少率は０．５％未満であることが好ましい。
【００５２】
（フッ素ラジカル暴露試験の条件）
・プラズマソース（プラズマ源）：リモートプラズマソース、
・プラズマ出力：５０００Ｗ、
・ガス流量：ＮＦ３  ２ｓｌｍ、アルゴン  ２ｓｌｍ、
・真空度：５ｔｏｒｒ、
・試験温度：２６０℃、
・試験時間：３時間。
また、フッ素ラジカル暴露試験後のシール材の外観を目視観察し、オゾン暴露試験と同じ評価基準に従ってシール材の外観を評価した。
【００５３】
〔３〕成形性の評価
得られた架橋成形品（シール材）を目視観察し、下記の評価基準に従ってシール材の成形性を評価した。
Ａ：表面の荒れ及びＯリング形状の変形がない。
Ｂ：部分的に表面の荒れが認められる。
Ｃ：全体的に表面の荒れが認められる。
Ｄ：表面の荒れが大きく、かつＯリング形状の変形が認められる。
【００５４】
＜実施例７〜９、比較例４〜８＞
次の手順に従って、パーフルオロエラストマー組成物を調製し、次いでシール材を作製した。まず、表２に示される配合組成に従って（表２における配合量の単位は重量部である）、各配合剤の所定量をオープンロールにより混練した。次に、得られたパーフルオロエラストマー組成物を、下記の条件でプレス成形した後、下記の条件で熱による２次架橋を行ってシール材（Ｏリング）を得た。なお、比較例８のパーフルオロエラストマー組成物は、プレス成形できなかった。
プレス成形条件  １８０℃×３０分；２次架橋条件  ２５０℃×２４時間。
【００５５】
【表２】
2018016795.tif 000003
【００５６】
上記の実施例及び比較例で用いた各配合剤の詳細は次のとおりである。
〔１〕ＦＦＫＭ２：テトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）−ニトリル基含有モノマー共重合体であるパーフルオロエラストマー〔３Ｍ社製「ＰＦＥ  １９１ＴＺ」〕。
〔２〕ＦＦＫＭ３：テトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）−ニトリル基含有モノマー共重合体であるパーフルオロエラストマーとトリアジン触媒とを含む組成物〔３Ｍ社製「ＰＦＥ  ０１ＣＺ」〕。表２には、「ＦＦＫＭ３」の欄に、ＦＦＫＭ３に含まれるパーフルオロエラストマーの含有量（重量部）を示し、「トリアジン触媒」の欄に、ＦＦＫＭ３に含まれるトリアジン触媒の含有量（重量部）を示している。
〔３〕フッ素樹脂２：ダイキン工業株式会社製のフッ素樹脂パウダー「ルブロンＬ−５」。
〔４〕ケッチェンブラック：ライオン・スペシャリティ・ケミカルズ株式会社製「ケッチェンブラックＥＣ６００ＪＤ」。
【００５７】
（シール材の評価）
得られた架橋成形品（シール材）について、下記の項目を測定、評価した。結果を表２に示す。
【００５８】
〔１〕耐オゾン性の評価
実施例１〜６、比較例１〜３と同様の方法で評価した。
【００５９】
〔２〕耐フッ素ラジカル性の評価
実施例１〜６、比較例１〜３と同様の方法で評価した。
【００６０】
〔３〕成形性の評価
実施例１〜６、比較例１〜３と同様の方法で評価した。
【００６１】
〔４〕パーフルオロエラストマー組成物の架橋特性の評価
キュラストメータ（ＪＳＲトレーディング社製のキュラストメータ５型）を用い、ＪＩＳ  Ｋ６３００−２：２００１に準拠して架橋特性（加硫特性）を求めた（温度１８０℃、時間６０分）。得られた最小トルク値ＭＬ〔ｋｇｆ・ｃｍ〕、最大トルク値ＭＨ〔ｋｇｆ・ｃｍ〕、誘導時間ｔｃ（１０）〔分〕、５０％加硫時間ｔｃ（５０）〔分〕、９０％加硫時間ｔｃ（９０）〔分〕を表２に示す。
【００６２】
＜実施例１０〜１６、比較例９〜１４＞
次の手順に従って、パーフルオロエラストマー組成物を調製し、次いでシール材を作製した。まず、表３に示される配合組成に従って（表３における配合量の単位は重量部である）、各配合剤の所定量をオープンロールにより混練した。次に、得られたパーフルオロエラストマー組成物を、下記の条件でプレス成形した後、下記の条件で熱による２次架橋を行ってシール材（Ｏリング）を得た。なお、比較例１３のパーフルオロエラストマー組成物は、プレス成形できなかった。
プレス成形条件  １８０℃×３０分；２次架橋条件  ２５０℃×２４時間。
【００６３】
【表３】
2018016795.tif 000004
【００６４】
上記の実施例及び比較例で用いた各配合剤の詳細は次のとおりである。
〔１〕ＦＦＫＭ２：テトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）−ニトリル基含有モノマー共重合体であるパーフルオロエラストマー〔３Ｍ社製「ＰＦＥ  １９１ＴＺ」〕。
〔２〕ＦＦＫＭ３：テトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）−ニトリル基含有モノマー共重合体であるパーフルオロエラストマーとトリアジン触媒とを含む組成物〔３Ｍ社製「ＰＦＥ  ０１ＣＺ」〕。表３には、「ＦＦＫＭ３」の欄に、ＦＦＫＭ３に含まれるパーフルオロエラストマーの含有量（重量部）を示し、「トリアジン触媒」の欄に、ＦＦＫＭ３に含まれるトリアジン触媒の含有量（重量部）を示している。
〔３〕ケッチェンブラック：ライオン・スペシャリティ・ケミカルズ株式会社製「ケッチェンブラックＥＣ６００ＪＤ」。
〔４〕シーストＧＳＯ：東海カーボン株式会社製のＮ−５５０  ＦＥＦカーボンブラック「シーストＧＳＯ」。
【００６５】
（シール材の評価）
得られた架橋成形品（シール材）について、下記の項目を測定、評価した。結果を表３に示す。
【００６６】
〔１〕耐オゾン性の評価
実施例１〜６、比較例１〜３と同様の方法で評価した。
【００６７】
〔２〕耐フッ素ラジカル性の評価
実施例１〜６、比較例１〜３と同様の方法で評価した。
【００６８】
〔３〕成形性の評価
実施例１〜６、比較例１〜３と同様の方法で評価した。
【００６９】
〔４〕パーフルオロエラストマー組成物の架橋特性の評価
実施例７〜９、比較例４〜８と同様の方法で評価した。
【００７０】
＜比較例１５及び１６＞
次の手順に従って、パーフルオロエラストマー組成物を調製し、次いでシール材を作製した。まず、表４に示される配合組成に従って（表４における配合量の単位は重量部である）、各配合剤の所定量をオープンロールにより混練した。次に、得られたパーフルオロエラストマー組成物を、下記の条件でプレス成形した後、下記の条件で熱による２次架橋を行ってシール材（Ｏリング）を得た。
プレス成形条件  １７０℃×２０分；２次架橋条件  ２００℃×１２時間。
【００７１】
【表４】
2018016795.tif 000005
【００７２】
上記の比較例で用いた各配合剤の詳細は次のとおりである。
〔１〕ＦＦＫＭ４：テトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）−ハロゲン原子含有モノマー共重合体であるパーフルオロエラストマー〔３Ｍ社製「ＰＦＥ  ９０Ｚ」〕。
〔２〕フッ素樹脂２：ダイキン工業株式会社製のフッ素樹脂パウダー「ルブロンＬ−５」。
〔３〕ケッチェンブラック：ライオン・スペシャリティ・ケミカルズ株式会社製「ケッチェンブラックＥＣ６００ＪＤ」。
〔４〕共架橋剤：日本化成株式会社製のトリアリルイソシアヌレート「ＴＡＩＣ  ＷＨ−６０」。
〔５〕有機過酸化物：日油株式会社製のパーオキサイド「パーヘキサ２５Ｂ−４０」（化学名：２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルペルオキシ）ヘキサン）。
【００７３】
（シール材の評価）
得られた架橋成形品（シール材）について、下記の項目を測定、評価した。結果を表４に示す。
【００７４】
〔１〕耐オゾン性の評価
実施例１〜６、比較例１〜３と同様の方法で評価した。
【００７５】
〔２〕耐フッ素ラジカル性の評価
実施例１〜６、比較例１〜３と同様の方法で評価した。
【００７６】
〔３〕成形性の評価
実施例１〜６、比較例１〜３と同様の方法で評価した。