(57)【要約】【課題】手振れ補正精度の向上を図ることができるカメラ制御装置及び撮像装置を提供する。【解決手段】本技術の一形態に係るカメラ制御装置は、制御部を具備する。上記制御部は、カメラに作用する加速度に関連する情報を含み、上記加速度に応じた交流波形を有する第１の加速度検出信号と、上記加速度に関連する情報を含み、上記加速度に応じた交流成分が直流成分に重畳した出力波形を有する第２の加速度検出信号と、上記カメラに作用する角速度に関連する情報を含む角速度信号とに基づいて、手振れ補正用の第１の制御信号を生成する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラに作用する加速度に関連する情報を含み、前記加速度に応じた交流波形を有する第１の加速度検出信号と、前記加速度に関連する情報を含み、前記加速度に応じた交流成分が直流成分に重畳した出力波形を有する第２の加速度検出信号と、前記カメラに作用する角速度に関連する情報を含む角速度信号とに基づいて、手振れ補正用の第１の制御信号を生成する制御部
を具備するカメラ制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載のカメラ制御装置であって、
前記制御部は、
前記第１の加速度検出信号と前記第２の加速度検出信号とに基づいて、前記加速度から動的加速度成分及び静的加速度成分を抽出する加速度演算部と、
前記角速度検出信号と前記動的加速度成分とに基づいて前記第１の制御信号を生成する補正信号生成回路と、を有する
カメラ制御装置。
【請求項３】
請求項２に記載のカメラ制御装置であって、
前記補正信号生成回路は、前記静的加速度成分に基づいて、前記カメラの水平方向に対する姿勢に関連する情報を含む第２の制御信号をさらに生成する
カメラ制御装置。
【請求項４】
請求項１に記載のカメラ制御装置であって、
前記第１の加速度検出信号は、前記カメラの光軸に対して直交する２軸方向の加速度に関連する情報を含み、
前記角速度信号は、前記２軸まわりの角速度に関連する情報を含み、
前記制御部は、前記２軸方向の加速度に関連する情報に基づいて、前記カメラの光軸に平行な軸まわりの角速度に関連する情報を取得する
カメラ制御装置。
【請求項５】
請求項２に記載のカメラ制御装置であって、
前記加速度演算部は、前記第１の加速度検出信号と前記第２の加速度検出信号との差分信号に基づいて、前記加速度から前記静的加速度成分を抽出する演算回路を有する
カメラ制御装置。
【請求項６】
請求項５に記載のカメラ制御装置であって、
前記加速度演算部は、前記第１の加速度検出信号と前記第２の加速度検出信号とが同一レベルとなるように各信号のゲインを調整するゲイン調整回路をさらに有する
カメラ制御装置。
【請求項７】
請求項５に記載のカメラ制御装置であって、
前記加速度演算部は、前記差分信号に基づいて補正係数を算出し、前記補正係数を用いて前記第１の加速度検出信号及び前記第２の加速度検出信号のいずれか一方を補正する補正回路をさらに有する
カメラ制御装置。
【請求項８】
請求項１に記載のカメラ制御装置であって、
加速度を受けて運動可能な可動部と、前記可動部に設けられ前記第１の加速度検出信号を出力する圧電型の第１の加速度検出部と、前記可動部に設けられ前記第２の加速度検出信号を出力する非圧電型の第２の加速度検出部と、を有する検出部をさらに具備する
カメラ制御装置。
【請求項９】
請求項８に記載のカメラ制御装置であって、
前記第２の加速度検出部は、ピエゾ抵抗式の加速度検出素子を含む
カメラ制御装置。
【請求項１０】
請求項８に記載のカメラ制御装置であって、
前記第２の加速度検出部は、静電容量式の加速度検出素子を含む
カメラ制御装置。
【請求項１１】
撮像素子と、
前記撮像素子に被写体光束を結像させるレンズと、
カメラに作用する加速度に関連する情報を含み、前記加速度に応じた交流波形を有する第１の加速度検出信号と、前記加速度に関連する情報を含み、前記加速度に応じた交流成分が直流成分に重畳した出力波形を有する第２の加速度検出信号と、前記カメラに作用する角速度に関連する情報を含む角速度信号とを出力する検出部と、
前記角速度検出信号と、前記第１の加速度検出信号と、前記第２の加速度検出信号とに基づいて、手振れ補正用の制御信号を生成する制御部と
を具備する撮像装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の撮像装置であって、
前記制御信号に基づいて、前記レンズ又は前記撮像素子を移動させる駆動部をさらに具備する
撮像装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載の撮像装置であって、
前記制御信号に基づいて、手振れ補正画像を生成する電子式手振れ補正画像処理回路をさらに具備する
撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、手振れ補正機能を有するカメラ制御装置及び撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カメラの手振れ補正技術には、一般的に、カメラの光軸に対して垂直な２軸、又は光軸方向を含む３軸まわりの角速度を検出する角速度センサが用いられている。一方、角速度センサは、カメラの並進方向の振れを検出することができない。したがって、例えばマクロ撮影のように被写体を接写する撮影モードにおいては、角度振れよりも並進方向の振れ（並進振れ）の影響が大きくなるため、手振れ補正を精度よく行うことができない。
【０００３】
そこで近年、角速度センサだけでなく、光軸に対して垂直な２軸、又は光軸方向を含む３軸方向の加速度を検出する加速度センサを備えたカメラが知られている（例えば特許文献１参照）。これにより、マクロ撮影時における手振れ補正の精度向上が可能になるとしている。加速度センサとしては、例えば、静電容量型の加速度センサが広く用いられている（例えば特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２５９６５号公報
【特許文献２】特開２０１６−５９１９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
静電容量型の加速度センサは、電極間の容量変化に基づいて加速度を検出するものであるため、重力の影響を受けやすく、したがって、その出力には運動加速度だけでなく重力加速度が重畳する。その結果、並進手振れ補正時にカメラの傾きが生じた場合の並進加速度推定の誤差が大きく、マクロ撮影等における並進振れを効果的に補正することが困難であった。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、手振れ補正精度の向上を図ることができるカメラ制御装置及び撮像装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本技術の一形態に係るカメラ制御装置は、制御部を具備する。
上記制御部は、カメラに作用する加速度に関連する情報を含み、上記加速度に応じた交流波形を有する第１の加速度検出信号と、上記加速度に関連する情報を含み、上記加速度に応じた交流成分が直流成分に重畳した出力波形を有する第２の加速度検出信号と、上記カメラに作用する角速度に関連する情報を含む角速度信号とに基づいて、手振れ補正用の第１の制御信号を生成する。
【０００８】
上記カメラ制御装置において、制御部は、第１の加速度検出信号と第２の加速度検出信号とに基づいて、加速度から動的加速度成分と静的加速度成分とを抽出する。これにより、カメラに作用する加速度から重力加速度に相当する加速度成分を分離して、手振れ補正精度の向上を図ることができる。
【０００９】
上記制御部は、加速度演算部と、補正信号生成回路とを有してもよい。
上記加速度演算部は、上記第１の加速度検出信号と上記第２の加速度検出信号とに基づいて、上記加速度から動的加速度成分及び静的加速度成分を抽出する。
上記補正信号生成回路は、上記角速度検出信号と上記動的加速度成分とに基づいて上記第１の制御信号を生成する。
【００１０】
上記補正信号生成回路は、上記第２の加速度検出信号に基づいて、上記カメラの水平方向に対する姿勢に関連する情報を含む第２の制御信号をさらに生成するように構成されてもよい。
上記カメラ制御装置によれば、カメラに作用する加速度から重力加速度に相当する加速度成分を抽出することができるため、カメラの水平方向に対する姿勢を高精度に検出することができる。
【００１１】
上記第１の加速度検出信号は、上記カメラの光軸に対して直交する２軸方向の加速度に関連する情報を含み、上記角速度信号は、上記２軸まわりの角速度に関連する情報を含み、上記制御部は、上記２軸方向の加速度に関連する情報に基づいて、上記カメラの光軸に平行な軸まわりの角速度に関連する情報を取得するように構成されてもよい。
これにより、光軸まわりの角速度を検出するセンサを必要とすることなく、当該軸まわりの角速度を検出することができる。
【００１２】
上記加速度演算部は、上記第１の加速度検出信号と上記第２の加速度検出信号との差分信号に基づいて、上記加速度から上記静的加速度成分を抽出する演算回路を有してもよい。
【００１３】
また、上記加速度演算部は、上記第１の加速度検出信号と上記第２の加速度検出信号とが同一レベルとなるように各信号のゲインを調整するゲイン調整回路をさらに有してもよい。
【００１４】
上記加速度演算部は、上記差分信号に基づいて補正係数を算出し、上記補正係数を用いて上記第１の加速度検出信号及び上記第２の加速度検出信号のいずれか一方を補正する補正回路をさらに有してもよい。
【００１５】
上記カメラ制御装置は、検出部をさらに具備してもよい。
上記検出部は、加速度を受けて運動可能な可動部と、上記可動部に設けられ上記第１の加速度検出信号を出力する圧電型の第１の加速度検出部と、上記可動部に設けられ上記第２の加速度検出信号を出力する非圧電型の第２の加速度検出部と、を有する。
【００１６】
上記第２の加速度検出部は、ピエゾ抵抗式の加速度検出素子を含んでもよい。
あるいは、上記第２の加速度検出部は、静電容量式の加速度検出素子を含んでもよい。
【００１７】
本技術の一形態に係る撮像装置は、撮像素子と、レンズと、検出部と、制御部とを具備する。
上記レンズは、上記撮像素子に被写体光束を結像させる。
上記検出部は、第１の加速度検出信号と、第２の加速度検出信号と、角速度信号とを出力する。上記第１の加速度検出信号は、カメラに作用する加速度に関連する情報を含み、上記加速度に応じた交流波形を有する。上記第２の加速度検出信号は、上記加速度に関連する情報を含み、上記加速度に応じた交流成分が直流成分に重畳した出力波形を有する。上記角速度信号は、上記カメラに作用する角速度に関連する情報を含む。
上記制御部は、上記角速度検出信号と、上記第１の加速度検出信号と、上記第２の加速度検出信号とに基づいて、手振れ補正用の制御信号を生成する。
【００１８】
上記撮像装置は、上記制御信号に基づいて、上記レンズ又は上記撮像素子を移動させる駆動部をさらに具備してもよい。
あるいは、上記撮像装置は、上記制御信号に基づいて、手振れ補正画像を生成する電子式手振れ補正画像処理回路をさらに具備してもよい。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように、本技術によれば、手振れ補正精度の向上を図ることができる。
なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本技術の一実施形態に係る撮像装置を示す概略斜視図である。
【図２】上記撮像装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本技術の一実施形態に係るカメラ制御装置の構成を概略的に示すブロック図である。
【図４】上記撮像装置における検出部を構成する加速度センサ素子の構成を概略的に示す表面側の斜視図である。
【図５】上記加速度センサ素子の裏面側の斜視図である。
【図６】上記加速度センサ素子の表面側の平面図である。
【図７Ａ】上記加速度センサ素子の要部の運動の様子を説明する概略側断面図であり、加速度無印加時を示している。
【図７Ｂ】上記加速度センサ素子の要部の運動の様子を説明する概略側断面図であり、ｘ軸方向に沿った加速度発生時を示している。
【図７Ｃ】上記加速度センサ素子の要部の運動の様子を説明する概略側断面図であり、ｚ軸方向に沿った加速度発生時を示している。
【図８】上記カメラ制御装置における手振れ補正制御部の構成を示すブロック図である。
【図９】上記カメラ制御装置における信号処理回路の基本構成を示すブロック図である。
【図１０】上記信号処理回路における加速度演算部の一構成例を示す回路図である。
【図１１】上記加速度演算部における一軸方向についての処理ブロックを示す図である。
【図１２】検出方式の異なる複数の加速度センサの出力特性を説明する図である。
【図１３】上記加速度演算部の一作用を説明する図である。
【図１４】上記加速度演算部の一作用を説明する図である。
【図１５】上記加速度演算部の一作用を説明する図である。
【図１６】上記加速度演算部の一作用を説明する図である。
【図１７】上記加速度演算部の一作用を説明する図である。
【図１８】上記加速度演算部の一作用を説明する図である。
【図１９】上記加速度演算部の処理手順の一例を示すフローチャートである。
【図２０】本技術の他の実施形態に係るカメラ制御装置の構成を概略的に示すブロック図である。
【図２１】加速度センサを用いた角速度検出方法を説明する図である。
【図２２】加速度センサを用いた角速度検出方法を説明する図である。
【図２３】図３の構成の変形例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２２】
＜第１の実施形態＞
図１は、本技術の一実施形態に係る撮像装置を示す概略斜視図、図２はその構成を示すブロック図である。本実施形態では、撮像装置としてデジタルスチルカメラ（以下単にカメラという）を例に挙げて説明する。なお図１において、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は相互に直交する３軸方向を示しており、Ｚ軸は、カメラの光軸方向に相当する。
【００２３】
［全体構成］
図１に示すように、カメラ１００は、筐体８０、筐体８０の前面に配置された鏡筒８１、筐体８０の上面に配置されたレリーズボタン（シャッタボタン）８２等を有する。また、図２に示すように、カメラ１００は、コントローラ８３、撮影レンズ群８４、撮像素子８５、表示部８６、検出部４０、駆動部８８、記憶デバイス８９等を有する。カメラ１００は、図示せずとも、電源スイッチやバッテリ等をさらに有する。
【００２４】
カメラ１００は、レリーズボタン８２の押圧操作を検知したコントローラ８３が撮影レンズ群８４を駆動してオートフォーカス制御を実行し、光軸８１１に沿って入射する被写体光束を撮像素子８５上に結像させる。コントローラ８３は、撮像素子８５で取得した被写体画像を処理する画像処理部を有し、画像処理部で処理した画像を表示部８６に表示し、あるいは記憶デバイス８９へ格納する。
【００２５】
コントローラ８３は、手振れ補正制御部５０をさらに有する。手振れ補正制御部５０は、検出部４０からの出力に基づいてカメラ１００の手振れを検出し、手振れによる画像のブレが解消するように駆動部８８を介して補正レンズ８４１を駆動する。
【００２６】
ここで、手振れは、角度振れと並進振れに大きく分けられる。
角度振れとは、回転アオリを伴う画像の平行移動を生じさせる手振れであって、図１に示すように、鏡筒８１を節点（回転中心）とするＸ軸まわり（ヨー方向）の角度振れＶｙ、Ｙ軸まわり（ピッチ方向）の角度振れＶｐをいう。
また、並進振れとは、回転アオリを伴わない画像の平行移動を生じさせる手振れであって、光軸８１１に垂直なＸ軸及びＹ軸方向の並進振れＤｘ、Ｄｙと、光軸８１１（Ｚ軸方向）の並進振れ（フォーカスずれ）Ｄｚ、さらに、光軸８１１まわり（ロール方向）の角度振れＶｒをいう。
【００２７】
本実施形態において検出部４０は、カメラ１００に作用するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸まわりの角速度を検出する角速度センサと、同じくＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向の加速度を検出する加速度センサとを有する。手振れ補正制御部５０は、これら角速度センサ及び加速度センサの出力に基づいて、角度振れＶｙ，Ｖｐ，Ｖｒあるいは並進振れＤｘ，Ｄｙ，Ｄｚをそれぞれ検出し、これらの手振れによる画像のブレを解消する方向に補正レンズ８４１を移動させる手振れ補正用の制御信号（第１の制御信号）を生成し、これを駆動部８８へ出力する。
【００２８】
検出部４０は、カメラ１００に作用する運動加速度を検出するためのもので、角度は主として角速度センサにより検出され、並進加速度は主として加速度センサにより検出される。なおこの例では、検出部４０と手振れ補正制御部５０とにより、本技術の一実施形態に係るカメラ制御装置１５０（図３参照）が構成される。
【００２９】
［カメラ制御装置］
図３は、カメラ制御装置１５０の構成を概略的に示すブロック図である。
【００３０】
カメラ制御装置１５０は、検出部４０と、手振れ補正制御部５０とを有する。
【００３１】
検出部４０は、加速度センサ素子１０と、角速度センサ素子３０とを有する。加速度センサ素子１０は、直交３軸方向（図５におけるｘ、ｙ及びｚ軸）の加速度を検出する。角速度センサ素子３０は、上記３軸まわりの角速度を検出する。
【００３２】
検出部４０では、各軸の加速度センサ及び角速度センサは個別に構成されてもよいし、３軸方向の加速度及び角速度を同時に検出できる単一のセンサでそれぞれ構成されてもよい。また、角速度センサ素子３０を設けずに加速度センサ素子１０を用いて角速度を検出する構成としてもよい。
【００３３】
後述するように、加速度検出素子１０は、第１の加速度検出信号と、第２の加速度検出信号とを出力する。第１の加速度検出信号は、カメラ１００に作用する加速度に関連する情報を含み、上記加速度に応じた交流波形を有する。第２の加速度検出信号は、上記加速度に関連する情報を含み、上記加速度に応じた交流成分が直流成分に重畳した出力波形を有する。
【００３４】
手振れ補正制御部５０は、信号処理回路２０と、補正信号生成回路５１と、カメラ情報取得部５２とを有する。
【００３５】
信号処理回路２０は、典型的には、ＣＰＵ／ＭＰＵ、メモリを含むコンピュータで構成される。信号処理回路２０は、検出部４０の出力信号を基に、所定のサンプリング周期で取得した動的加速度成分（Acc-x、Acc-y、Acc-z）、静的加速度成分（Gr-x、Gr-y、Gr-z）及び角速度信号（ω-x、ω-y、ω-z）を算出し、補正信号生成回路５１へ逐次出力する。
【００３６】
信号処理回路２０は、加速度センサ素子１０から出力された第１及び第２の加速度検出信号に基づいて、３軸方向の動的加速度成分（Acc-x、Acc-y、Acc-z）と静的加速度成分（Gr-x、Gr-y、Gr-z）とに分離する。
【００３７】
信号処理回路２０は、角速度センサ素子３０から検出されたカメラ１００の３軸まわりの角速度検出信号に基づいて、３軸まわりの角速度信号（ω-x、ω-y、ω-z）をそれぞれ算出する。角速度センサ素子３０は、ｘ、ｙ及びｚ軸まわりの角速度をそれぞれ検出する。角速度センサ素子３０には、典型的には振動型ジャイロセンサが用いられるが、これ以外にも、回転コマジャイロセンサ、レーザリングジャイロセンサ、ガスレートジャイロセンサ等が用いられてもよい。
【００３８】
補正信号生成回路５１は、典型的には、ＣＰＵ／ＭＰＵ、メモリを含むコンピュータで構成される。補正信号生成回路５１は、信号処理回路２０において抽出されたカメラ１００の動的加速度成分と静的加速度成分とに基づいて、手振れ量とカメラ１００の姿勢を判定する。
【００３９】
補正信号生成回路５１は、信号処理回路２０の出力に基づいて、手振れ補正用の制御信号（第１の制御信号）を生成し、これを駆動部８８へ出力する。また、補正信号生成回路５１は、信号処理回路２０の出力に基づいて、カメラ１００の水平方向に対する姿勢に関連する情報を含むカメラ姿勢検出信号（第２の制御信号）を生成し、これを表示制御部５４へ出力する。表示制御部５４は、表示部８６を制御するもので、本実施形態では、コントローラ８３の一部として構成される。
【００４０】
カメラ情報取得部５２は、レンズ光学情報（ズーム、フォーカス情報、撮影倍率等）を取得し、補正信号生成回路５１へ出力する。カメラ情報取得部５２は、例えば、フォーカスエンコーダやズームエンコーダ等により取得した上記レンズ光学情報を格納するメモリ素子を含む。
【００４１】
（加速度センサ素子）
続いて、検出部４０を構成する加速度センサ素子１０の詳細について説明する。
【００４２】
図４〜図６はそれぞれ、加速度センサ素子１０の構成を概略的に示す表面側の斜視図、裏面側の斜視図、および表面側の平面図である。
【００４３】
図においてｘ軸、ｙ軸、ｚ軸は相互に直交する３軸方向を示しており、ｚ軸方向は加速度センサ素子１０の厚み方向（高さ方向）に相当する。典型的には、加速度センサ素子１０の各軸（ｘ、ｙ及びｚ軸）は、カメラ１００の３軸（Ｘ、Ｙ及びＺ軸）方向にそれぞれ対応するように筐体８０内に搭載されるが、勿論これに限られない。
【００４４】
加速度センサ素子１０は、素子本体１１０と、第１の加速度検出部１１（第１の検出素子１１ｘ１，１１ｘ２，１１ｙ１，１１ｙ２）と、第２の加速度検出部１２（第２の検出素子１２ｘ１，１２ｘ２，１２ｙ１，１２ｙ２）とを有する。
【００４５】
素子本体１１０は、ｘｙ平面に平行な主面部１１１と、その反対側の支持部１１４とを有する。素子本体１１０は、典型的には、ＳＯＩ（Silicon On InsＵlator）基板で構成され、主面部１１１を形成する活性層（シリコン基板）と支持部１１４を形成する枠状の支持層（シリコン基板）との積層構造を有する。主面部１１１と支持部１１４とは厚みが相互に異なり、支持部１１４が主面部１１１よりも厚く形成される。
【００４６】
素子本体１１０は、加速度を受けて運動することが可能な可動板１２０（可動部）を有する。可動板１２０は、主面部１１１の中央部に設けられ、主面部１１１を形成する上記活性層を所定形状に加工することで形成される。より具体的に、主面部１１１に形成された複数の溝部１１２により、主面部１１１の中心部に関して対称な形状の複数（本例では４つ）のブレード部１２１〜１２４を有する可動板１２０が構成される。主面部１１１の周縁部は、支持部１１４とｚ軸方向に対向するベース部１１５を構成する。
【００４７】
支持部１１４は、図５に示すように、可動板１２０の裏面を開放する矩形の凹部１１３を有する枠状に形成される。支持部１１４は、図示しない支持基板に接合される接合面として構成される。上記支持基板は、センサ素子１０と信号処理回路２０とを電気的に接続する回路基板で構成されてもよいし、当該回路基板と電気的に接続される中継基板あるいはパッケージ基板で構成されてもよい。あるいは、支持部１１４には当該回路基板や中継基板等と電気的に接続される複数の外部接続端子が設けられてもよい。
【００４８】
可動板１２０の各ブレード部１２１〜１２４は、それぞれ所定形状（本例では概略六角形状）の板片で構成され、ｚ軸平行な中心軸のまわりに９０°間隔で配置される。各ブレード部１２１〜１２４の厚みは、主面部１１１を構成する上記活性層の厚みに相当する。各ブレード部１２１〜１２４は、可動板１２０の中央部１２０Ｃにおいて相互に一体的に接続され、それぞれが一体となって、ベース部１１５に対して相対移動可能に支持される。
【００４９】
可動板１２０は、図５に示すように、重錘部１２５をさらに有する。重錘部１２５は、可動板１２０の中央部裏面および各ブレード部１２１〜１２４の裏面に一体的に設けられる。重錘部１２５の大きさ、厚さ等は特に限定されず、可動板１２０の所望とする振動特性が得られる適宜の大きさに設定される。重錘部１２５は、例えば、支持部１１４を形成する上記支持層を所定形状に加工することで形成される。
【００５０】
可動板１２０は、図４および図６に示すように、複数（本例では４つ）の橋梁部１３１〜１３４を介してベース部１１５に接続される。複数の橋梁部１３１〜１３４は、ブレード部１２１〜１２４の間にそれぞれ設けられ、主面部１１１を形成する上記活性層を所定形状に加工することで形成される。橋梁部１３１および橋梁部１３３は、ｘ軸方向に相互に対向して配置され、橋梁部１３２および橋梁部１３４は、ｙ軸方向に相互に対向して配置される。
【００５１】
橋梁部１３１〜１３４は、ベース部１１５に対して相対運動可能な可動部の一部を構成し、可動板１２０の中央部１２０Ｃを弾性的に支持する。橋梁部１３１〜１３４は、それぞれ同一の構成を有し、図６に示すように、第１の梁部１３０ａと、第２の梁部１３０ｂと、第３の梁部１３０ｃとをそれぞれ有する。
【００５２】
第１の梁部１３０ａは、可動板１２０の中央部１２０Ｃの周縁部からｘ軸方向およびｙ軸方向にそれぞれ直線的に延び、相互に隣接するブレード部１２１〜１２４の間にそれぞれ配置される。第２の梁部１３０ｂは、ｘ軸方向およびｙ軸方向にそれぞれ直線的に延び、第１の梁部１３０ａとベース部１１５との間をそれぞれ連結する。
【００５３】
第３の梁部１３０ｃは、ｘ軸方向およびｙ軸方向にそれぞれ交差する方向にそれぞれ直線的に延び、第１の梁部１３０ａと第２の梁部１３０ｂとの中間部と、ベース部１１５との間をそれぞれ連結する。各橋梁部１３１〜１３４は、第３の梁部１３０ｃを２つずつ有しており、ｘｙ平面内において２つの第３の梁部１３０ｃが１つの第２の梁部１３０ｂを挟み込むように構成される。
【００５４】
橋絡部１３１〜１３４の剛性は、運動する可動板１２０を安定に支持することができる適度な値に設定される。特に、橋絡部１３１〜１３４は、可動板１２０の自重で変形することができる適宜の剛性に設定され、その変形の大きさは、後述する第２の加速度検出部１２によって検出することが可能であれば、特に限定されない。
【００５５】
以上のように可動板１２０は、素子本体１１０のベース部１１５に対して４つの橋梁部１３１〜１３４を介して支持されており、加速度に応じた慣性力によって橋梁部１３１〜１３４を支点としてベース部１１５に対して相対的に運動（移動）可能に構成される。
【００５６】
図７Ａ〜Ｃは、可動板１２０の運動の様子を説明する概略側断面図であり、Ａは加速度無印加時を、Ｂはｘ軸方向に沿った加速度発生時を、そしてＣはｚ軸方向に沿った加速度発生時を、それぞれ示している。なお、図７Ｂにおいて実線は、紙面左方向に加速度が発生したときの様子を示し、図７Ｃにおいて実線は、紙面上方向に加速度が発生したときの様子を示している。
【００５７】
加速度が発生していないとき、可動板１２０は、図４および図７Ａに示すようにベース部１１５の表面と平行な状態に維持される。この状態で、例えばｘ軸方向に沿った加速度が発生すると、可動板１２０は、図７Ｂに示すようにｙ軸方向に延びる橋梁部１３２，１３４を中心として反時計まわりに傾斜する。これにより、ｘ軸方向に相互に対向する橋梁部１３１，１３３は、それぞれｚ軸方向に沿って互いに反対方向への曲げ応力を受ける。
【００５８】
同様に、ｙ軸方向に沿った加速度が発生すると、図示せずとも、可動板１２０は、ｘ軸方向に延びる橋梁部１３１，１３３を中心として反時計まわり（又は時計まわり）に傾斜し、ｙ軸方向に相互に対向する橋梁部１３２，１３４は、それぞれｚ軸方向に沿って互いに反対方向への曲げ応力を受ける。
【００５９】
一方、ｚ軸方向に沿った加速度が発生すると、可動板１２０は、図７Ｃに示すようにベース部１１５に対して昇降し、各橋梁部１３１〜１３４は、それぞれｚ軸方向に沿って同一方向への曲げ応力を受ける。
【００６０】
第１の加速度検出部１１および第２の加速度検出部１２は、橋梁部１３１〜１３４にそれぞれ設けられる。検出部（慣性センサ）４０は、橋梁部１３１〜１３４の曲げ応力に起因する変形を加速度検出部１１，１２で検出することで、センサ素子１０に作用する加速度の向きと大きさを測定する。
【００６１】
以下、加速度検出部１１，１２の詳細について説明する。
【００６２】
第１の加速度検出部１１は、図６に示すように、複数（本例では４つ）の第１の検出素子１１ｘ１，１１ｘ２、１１ｙ１、１１ｙ２を有する。
【００６３】
検出素子１１ｘ１，１１ｘ２は、ｘ軸方向に相互に対向する２つの橋梁部１３１，１３３の表面の軸心上に設けられ、一方の検出素子１１ｘ１は橋梁部１３１における第１の梁部１３０ａに、他方の検出素子１１ｘ２は橋梁部１３３における第１の梁部１３０ａにそれぞれ配置される。これに対して、検出素子１１ｙ１，１１ｙ２は、ｙ軸方向に相互に対向する２つの橋梁部１３２，１３４の表面の軸心上に設けられ、一方の検出素子１１ｙ１は橋梁部１３２における第１の梁部１３０ａに、他方の検出素子１１ｙ２は橋梁部１３４における第１の梁部１３０ａにそれぞれ配置される。
【００６４】
第１の検出素子１１ｘ１〜１１ｙ２は、それぞれ同一の構成を有しており、本実施形態では、第１の梁部１３０ａの軸心方向に長辺を有する矩形の圧電型検出素子で構成される。第１の検出素子１１ｘ１〜１１ｙ２は、下部電極層と、圧電膜と、上部電極層との積層体で構成される。
【００６５】
圧電膜は、典型的には、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で構成されるが、勿論これに限られない。圧電膜は、第１の梁部１３０ａのｚ軸方向への曲げ変形量（応力）に応じた電位差を上部電極層と下部電極層との間に生じさせる（圧電効果）。上部電極層は、橋梁部１３１〜１３４上に形成された図示しない配線層を介して、ベース部１１５の表面に設けられた中継端子１４０にそれぞれ電気的に接続される。中継端子１４０は、上記支持基板に電気的に接続される外部接続端子として構成されてもよく、例えば、上記支持基板に一端が接続されるボンディングワイヤの他端が接続される。下部電極層は、典型的には、グランド電位等の基準電位に接続される。
【００６６】
以上のように構成される第１の加速度検出部１１は、圧電膜の特性上応力変化が有った時のみ出力し、応力が掛かっていても、応力値が変化していない状態では出力しない為、主として、可動板１２０に作用する運動加速度の大きさを検出する。したがって、第１の加速度検出部１１の出力（第１の検出信号）は、運動加速度に応じた動的成分（ＡＣ成分）である交流波形を有する出力信号を主として含む。
【００６７】
一方、第２の加速度検出部１２は、図６に示すように、複数（本例では４つ）の第２の検出素子１２ｘ１，１２ｘ２，１２ｙ１，１２ｙ２を有する。
【００６８】
検出素子１２ｘ１，１２ｘ２は、ｘ軸方向に相互に対向する２つの橋梁部１３１，１３３の表面の軸心上に設けられ、一方の検出素子１２ｘ１は橋梁部１３１における第２の梁部１３０ｂに、他方の検出素子１２ｘ２は橋梁部１３３における第２の梁部１３０ｂにそれぞれ配置される。これに対して、検出素子１２ｙ１，１２ｙ２は、ｙ軸方向に相互に対向する２つの橋梁部１３２，１３４の表面の軸心上に設けられ、一方の検出素子１２ｙ１は橋梁部１３２における第２の梁部１３０ｂに、他方の検出素子１２ｙ２は橋梁部１３４における第２の梁部１３０ｂにそれぞれ配置される。
【００６９】
第２の検出素子１２ｘ１〜１２ｙ２は、それぞれ同一の構成を有しており、本実施形態では、第２の梁部１３０ｂの軸心方向に長辺を有するピエゾ抵抗型検出素子で構成される。第２の検出素子１２ｘ１〜１２ｙ２は、抵抗層と、その軸方向の両端に接続された一対の端子部とを有する。
【００７０】
抵抗層は、例えば、第２の梁部１３０ｂの表面（シリコン層）に不純物元素をドーピングすることで形成された導体層であり、第２の梁部１３０ｂのｚ軸方向への曲げ変形量（応力）に応じた抵抗変化を上記一対の端子部間に生じさせる（ピエゾ抵抗効果）。一対の端子部は、橋梁部１３１〜１３４上に形成された図示しない配線層を介して、ベース部１１５の表面に設けられた中継端子１４０にそれぞれ電気的に接続される。
【００７１】
以上のように構成される第２の加速度検出部１２は、ピエゾ抵抗の特性上、絶対的応力値で抵抗値が決定する為、可動板１２０に作用する運動加速度だけでなく、可動板１２０に作用する重力加速度をも検出する。したがって、第２の加速度検出部１１の出力（第２の検出信号）は、運動加速度に応じた動的成分（ＡＣ成分）が、重力加速度あるいはそれに相当する静的成分（ＤＣ成分）に重畳した出力波形を有する。
【００７２】
なお、第２の検出素子１２ｘ１〜１２ｙ２は、ピエゾ抵抗型の検出素子で構成される例に限られず、例えば静電型のようにＤＣ成分の加速度を検出可能な他の非圧電式の検出素子で構成されてもよい。静電型の場合、電極対を構成する可動電極部および固定電極部は、第２の梁部１３０ｂの軸方向に対向して配置され、第２の梁部１３０ｂの上記曲げ変形量に応じて両電極部間の対向距離が変化するように構成される。
【００７３】
（手振れ補正制御部）
図８は、手振れ補正制御部５０の構成を示すブロック図である。手振れ補正制御部５０は、上述のように、信号処理回路２０と、補正信号生成回路５１とを有する。
【００７４】
第１の加速度検出部１１は、第１の検出素子１１ｘ１〜１１ｙ２の出力に基づいて、ｘ軸方向、ｙ軸方向およびｚ軸方向各々の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ、Acc-AC-ｙ、Acc-AC-ｚ（第１の加速度検出信号））を信号処理回路２０へそれぞれ出力する。
【００７５】
ｘ軸方向の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ）は、検出素子１１ｘ１の出力（ax1）と検出素子１１ｘ２の出力（ax2）との差分信号（ax1−ax2）に相当する。ｙ軸方向の加速度検出信号（Acc-AC-ｙ）は、検出素子１１ｙ１の出力（ay1）と検出素子１１ｙ２の出力（ay2）との差分信号（ay1−ay2）に相当する。そして、ｚ軸方向の加速度検出信号（Acc-AC-ｚ）は、検出素子１１ｘ１〜１１ｙ２の出力の総和（ax1＋ax2＋ay1＋ay2）に相当する。
【００７６】
同様に、第２の加速度検出部１２は、第２の検出素子１２ｘ１〜１２ｙ２の出力に基づいて、ｘ軸方向、ｙ軸方向およびｚ軸方向各々の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ、Acc-DC-ｙ、Acc-DC-ｚ（第２の加速度検出信号））を信号処理回路２０へそれぞれ出力する。
【００７７】
ｘ軸方向の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ）は、検出素子１２ｘ１の出力（bx1）と検出素子１２ｘ２の出力（bx2）との差分信号（bx1−bx2）に相当する。ｙ軸方向の加速度検出信号（Acc-DC-ｙ）は、検出素子１２ｙ１の出力（by1）と検出素子１２ｙ２の出力（by2）との差分信号（by1−by2）に相当する。そして、ｚ軸方向の加速度検出信号（Acc-DC-ｚ）は、検出素子１２ｘ１〜１２ｙ２の出力の総和（bx1＋bx2＋by1＋by2）に相当する。
【００７８】
上記各軸方向の加速度検出信号の演算処理は、検出部４０に別途設けられた演算回路において実行されてもよいし、信号処理回路２０において実行されてもよい。
【００７９】
信号処理回路２０は、前処理回路５１０と、差分演算回路部５１１とを有する。
【００８０】
前処理回路５１０は、各種フィルタ（例えばハイパスフィルタ）や積分回路、ゲイン調整回路等のうち少なくとも１つを含む。前処理回路５１０は、第１の加速度検出信号を処理する前処理回路部５１０ａと、第２の加速度検出信号を前処理する前処理回路部５１０ｂと、角速度信号（ω-x、ω-y、ω-z）を処理する２つの前処理回路部５１０ｃ，５１０ｄとを有する。前処理回路部５１０ｃ，５１０ｄは並列的に配置され、各々に角速度信号（ω-x、ω-y、ω-z）が入力される。
【００８１】
前処理回路部５１０ａにおいて処理された第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ、Acc-AC-ｙ、Acc-AC-ｚ）は、差分演算回路部５１１の一方の入力端子へ入力され、前処理回路部５１０ｂにおいて処理された第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ、Acc-DC-ｙ、Acc-DC-ｚ）は、差分演算回路部５１１の他方の入力端子へ入力される。
【００８２】
差分演算回路部５１１は、カメラ１００の撮影時（レリーズボタン８２の押圧時）に作用する運動加速度（手振れ）を算出する。差分演算回路部５１１では、第１の加速度検出信号と第２の加速度検出信号とに基づいて、上記運動加速度から動的加速度成分（Acc-ｘ、Acc-ｙ、Acc-ｚ）と静的加速度成分（Gr-ｘ、Gr-ｙ、Gr-ｚ）とをそれぞれ抽出する加速度演算部を構成する。なお、加速度演算部（差分演算回路部５１１）の詳細については後述する。
【００８３】
動的加速度成分とは、典型的には、上記加速度のＡＣ成分を意味し、本実施形態では、撮影時におけるカメラ１００の手振れによる運動加速度（並進加速度、遠心加速度、接線加速度など）に相当する。一方、静的加速度成分とは、上記加速度のＤＣ成分を意味し、典型的には、重力加速度あるいは重力加速度と推定される加速度に相当する。
【００８４】
そして、差分演算回路部５１１において抽出された動的加速度成分（Acc-ｘ、Acc-ｙ、Acc-ｚ）は、比較演算回路部５１２の一方の入力端子へ入力され、同じく差分演算回路部５１１において抽出された静的加速度成分（Gr-ｘ、Gr-ｙ、Gr-ｚ）は、水平方向算出演算部５１４へ入力される。
【００８５】
一方、前処理回路部５１０ｃにおいて処理された角速度検出信号（ω-x、ω-y、ω-z）は、比較演算回路部５１２の他方の入力端子へ入力される。比較演算回路部５１２においては、各々入力された動的加速度成分及び角速度成分を相互に比較して、角度振れ量と、並進振れ量と、手振れの回転中心とをそれぞれ算出し、これらの情報を含む出力信号を補正信号生成部５１３の一方の入力端子へ入力する。
【００８６】
ここで、角度振れ量については、各軸の角速度検出信号（ω-x、ω-y、ω-z）に基づいて算出され、並進振れ量については、各軸の動的加速度成分（Acc-ｘ、Acc-ｙ、Acc-ｚ）に基づいて算出される。また、回転中心については、これら角速度検出信号と加速度検出信号の動的加速度成分とを組み合わせて、手振れの回転半径や回転中心を算出することができる（特許第5407863号参照）。
【００８７】
そして、前処理回路部５１０ｄにおいて処理された角速度検出信号（ω-x、ω-y、ω-z）は、補正信号生成部５１３の他方の入力端子へ入力される。補正信号生成部５１３は、比較演算回路部５１２の出力と前処理回路部５１０ｄの出力とに基づき、手振れによる画像のブレを解消するための手振れ補正信号（第１の制御信号）を生成する。
【００８８】
この手振れ補正信号は、補正レンズ８４１を駆動する駆動部８８へ補正レンズ８４１の移動方向及び移動量に対して指示を与える駆動信号である。このとき、カメラ情報取得部５２から読み出された撮影レンズ群８４のレンズ光学情報（ズーム、フォーカス情報、撮影倍率等）が参照される。
なお、補正レンズ８４１を移動させて手振れを補正する方式に代えて、撮像素子８５を移動させる方式も適用可能であり、この場合、手振れ補正信号は、撮像素子８５を移動させる駆動部への駆動信号となる。
【００８９】
水平方向算出演算部５１４は、差分演算回路部５１１より入力された加速度信号の静的加速度成分に基づいて、カメラ１００の水平方向に対する姿勢に関連する情報を含むカメラ姿勢検出信号（第２の制御信号）を生成し、これを表示制御部５４へ出力する。
【００９０】
水平方向算出演算部５１４においては、加速度の静的加速度成分（Gr-ｘ、Gr-ｙ、Gr-ｚ）に基づいて検出された重力方向（鉛直方向）からカメラ１００（筐体８０）の水平方向に対する傾きが算出される。表示制御部５４は、カメラ姿勢検出信号に基づき、表示部８６に表示される画像の水平ズレを補正する。これにより、ユーザの熟練度によらず、常に水平が保たれた自然な画像を撮影することが可能となる。
【００９１】
（信号処理回路）
続いて、信号処理回路２０の詳細について説明する。
【００９２】
図９は、信号処理回路２０の基本構成を示すブロック図である。同図に示すように、加速度センサ素子１０は、３軸方向の加速度に関連する情報をそれぞれ検出する２種類の加速度検出部（第１の加速度検出部１１、第２の加速度検出部１２）を有する。角速度センサ素子３０は、角速度検出部３１を有する。
【００９３】
第１の加速度検出部１１は圧電型の加速度センサであって、ｘ軸方向に平行な加速度に関連する情報を含む信号（Acc-AC-ｘ）、ｙ軸方向に平行な加速度に関連する情報を含む信号（Acc-AC-ｙ）およびｚ軸方向に平行な加速度に関連する情報を含む信号（Acc-AC-ｚ）をそれぞれ出力する。これらの信号（第１の加速度検出信号）は、各軸の加速度に応じた交流波形を有する。
【００９４】
一方、第２の加速度検出部１２は非圧電型の加速度センサであって、ｘ軸方向に平行な加速度に関連する情報を含む信号（Acc-DC-ｘ）、ｙ軸方向に平行な加速度に関連する情報を含む信号（Acc-DC-ｙ）およびｚ軸方向に平行な加速度に関連する情報を含む信号（Acc-DC-ｚ）をそれぞれ出力する。これらの信号（第２の加速度検出信号）は、各軸の加速度に応じた交流成分が直流成分に重畳した出力波形を有する。
【００９５】
信号処理回路２０は、ＣＰＵ（Central Processing Ｕnit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等のコンピュータに用いられるハードウェア要素および必要なソフトウェアにより実現され得る。ＣＰＵに代えて、またはこれに加えて、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等のＰＬＤ(Programmable Logic Device)、あるいは、ＤＳＰ（Digital Signal Processor）等が用いられてもよい。
【００９６】
信号処理回路２０は、第１の加速度検出部１１の出力（第１の加速度検出信号）と第２の加速度検出部１２の出力（第２の加速度検出信号）とに基づいて、上記３軸方向の加速度から動的加速度成分と静的加速度成分とをそれぞれ抽出する加速度演算部２００と、３軸まわりの角速度検出信号（Gyro-ｘ、Gyro-ｙ、Gyro-ｚ）に基づいて、３軸まわりの角速度信号（ω-ｘ、ω-ｙ、ω-ｚ）（第３の検出信号）をそれぞれ算出する角速度演算部３００とを有する。加速度演算部２００は、上述の差分演算回路部５１１（図８）に相当する。
信号処理回路２０はさらに、シリアルインタフェース２０１と、パラレルインタフェース２０２と、アナログインタフェース２０３とを有する。
【００９７】
加速度演算部２００は、第１の加速度検出部１１および第２の加速度検出部１２から出力される各軸方向の加速度検出信号に基づいて、動的加速度成分（Acc-ｘ、Acc-ｙ、Acc-ｚ）および静的加速度成分（Gr-ｘ、Gr-ｙ、Gr-ｚ）をそれぞれ抽出する。
なお、加速度演算部２００は、非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体の一例であるＲＯＭに記録されたプログラムをＲＡＭ等にロードしてＣＰＵが実行することにより実現される。
【００９８】
角速度演算部３００は、３軸まわりの角速度検出信号（Gyro-ｘ、Gyro-ｙ、Gyro-ｚ）に基づいて、３軸まわりの角速度信号（ω-ｘ、ω-ｙ、ω-ｚ）をそれぞれ算出する。角速度演算部３００は、加速度演算部２００と別個に構成されてもよいし、加速度演算部２００と共通の演算部２３０で構成されてもよい。
【００９９】
シリアルインタフェース２０１は、加速度演算部２００において生成された各軸の動的および静的加速度成分、角速度演算部３００において生成された各軸の角速度信号を補正信号生成回路５１へ逐次的に出力可能に構成される。パラレルインタフェース２０２は、加速度演算部２００において生成された各軸の動的加速度成分および静的加速度成分を補正信号生成回路５１へ並列的に出力可能に構成される。信号処理回路２０は、シリアルインタフェース２０１およびパラレルインタフェース２０２のうち、少なくとも一方だけ備えていてもよいし、補正信号生成回路５１からの指令によって選択的に切り替えてもよい。アナログインタフェース２０３は、第１および第２の加速度検出部１１，１２の出力をそのまま補正信号生成回路５１へ出力可能に構成されるが、必要に応じて省略されてもよい。
【０１００】
なお、図９において符号２０４は、上記各軸の加速度検出信号をＡＤ（Analog-Digital）変換するコンバータである。図８に示す前処理回路５１０は、上記コンバータを含むブロック２０４に含まれてもよいし、演算部２３０に含まれてもよい。
【０１０１】
図１０は、加速度演算部２００の一構成例を示す回路図である。
【０１０２】
加速度演算部２００は、ゲイン調整回路２１と、符号反転回路２２と、加算回路２３と、補正回路２４とを有する。これらの回路２１〜２４は、ｘ、ｙおよびｚの各軸について共通の構成を有しており、各軸において共通の演算処理を行うことで、各軸の動的加速度成分（運動加速度）および静的加速度成分（重力加速度）が抽出される。
以下、代表的に、ｘ軸方向の加速度検出信号の処理回路を例に挙げて説明する。図１１に、ｘ軸方向の加速度検出信号から静的加速度成分を抽出する処理ブロックを示す。
【０１０３】
ゲイン調整回路２１は、第１の加速度検出部１１（１１ｘ１，１１ｘ２）から出力されるＸ軸方向に関する第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ）と、第２の加速度検出部１２（１２ｘ１，１２ｘ２）から出力されるｘ軸方向に関する第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ）とが相互に同一レベルとなるように各信号のゲインを調整する。ゲイン調整回路２１は、第１の加速検出部１１の出力（Acc-AC-ｘ）および第２の加速度検出部１２の出力（Acc-DC-ｘ）を増幅する増幅器を有する。
【０１０４】
一般に、加速度センサの出力感度およびダイナミックレンジは検出方式によって相違し、例えば図１２に示すように、圧電方式の加速度センサにおいては、非圧電方式（ピエゾ抵抗方式、静電方式）の加速度センサよりも、出力感度が高く、ダイナミックレンジが広い（大きい）。本実施形態において、第１の加速度検出部１１は圧電方式の加速度センサに相当し、第２の加速度検出部１２はピエゾ抵抗方式の加速度センサに相当する。
【０１０５】
そこでゲイン調整回路２１は、これら加速度検出部１１，１２各々の出力が同一レベルとなるように各加速度検出部１１，１２の出力（第１および第２の加速度検出信号）をそれぞれＮ倍およびＭ倍に増幅する。増幅率Ｎ，Ｍは正数であり、Ｎ＜Ｍの関係を満たす。増幅率Ｎ，Ｍの値は特に限定されず、検出部４０の使用環境（使用温度）によっては、各加速度検出部１１，１２の温度補償をも兼ねる係数として設定されてもよい。
【０１０６】
図１３は、第１の加速度検出信号および第２の加速度検出信号の出力特性の一例であって、ゲイン調整前の出力特性とゲイン調整後の出力特性とを比較して示している。図において横軸は、検出部４０に作用する加速度の周波数を、縦軸は出力（感度）をそれぞれ示す（図１４〜図１８についても同様）。
【０１０７】
同図に示すように、圧電方式の第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ）では、０．５Ｈｚ以下の低周波数領域の加速度成分の出力感度は、それよりも高い周波数領域の加速度成分の出力感度よりも低く、特に静止状態（運動加速度０）のときの出力感度はほぼ０である。これに対して、ピエゾ抵抗方式の第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ）は、全周波数領域において一定の出力感度を有するため、静止状態における加速度成分（つまり静的加速度成分）も一定の出力感度で検出することができる。したがって、ゲイン調整回路２１において第１の加速度検出信号および第２の加速度検出信号をそれぞれ同一の出力レベルとなるように各々所定の倍率で増幅することで、後述する差分演算回路において静的加速度成分を抽出することが可能となる。
【０１０８】
符号反転回路２２および加算回路２３は、第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ）と第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ）との差分信号に基づいて、各軸方向の加速度から静的加速度成分（ＤＣ成分）を抽出する差分演算回路を構成する。
【０１０９】
符号反転回路２２は、ゲイン調整後の第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ）の符号を反転する反転増幅器（増幅率：−１）を有する。図１４に、符号反転後の第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ）の出力特性の一例を示す。ここでは、センサ素子１０がｘ軸方向に１Ｇの加速度を検出する場合を例に挙げて示す。
なお、第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ）は、その符号が反転されることなく、後段の加算回路２３へ出力される。符号反転回路２２は、その前段のゲイン調整回路２１と共通に構成されてもよい。
【０１１０】
加算回路２３は、符号反転回路２２から出力される第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ）と第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ）とを加算して、静的加速度成分を出力する。図１５に、加算回路２３の出力特性の一例を示す。ゲイン調整回路２１において第１および第２の加速度検出信号が同一レベルに調整されているため、これらの差分信号を得ることで、正味の静的加速度成分（Gr-ｘ）が抽出されることになる。この静的加速度成分は、典型的には、重力加速度成分、あるいは重力加速度を含む加速度成分に相当する。
【０１１１】
加算回路２３から出力される静的加速度成分が重力加速度のみである場合、理論的には図１６に示すように、０Ｈｚ付近にのみ有意の加速度成分の出力が現れることなる。しかし実際には、圧電検出型の第１の加速度検出部１１の低周波付近での検出感度が低いこと、他軸感度の発生により対象軸以外の軸方向（ここでは、ｙ軸方向およびｚ軸方向）の加速度成分が不可避的に重畳すること等の理由により、図１５においてハッチングで示す周波数領域の動的加速度成分が誤差成分として加算回路２３の出力に漏れ込む。そこで本実施形態では、加算回路２３の出力に基づいて当該誤差分をキャンセルするための補正回路２４を有する。
【０１１２】
補正回路２４は、３軸合成値演算部２４１と、低域感度補正部２４２とを有する。補正回路２４は、加算回路２３の出力（第１および第２の加速度検出信号の差分信号）に基づいて補正係数βを算出し、この補正係数βを用いて第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ）を補正する。
【０１１３】
３軸合成値演算部２４１は、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸方向すべての静的加速度成分を抽出する処理ブロックについて共通に設けられ、各軸における加算回路２３の出力（第１および第２の加速度検出信号の差分信号）の合計値を用いて補正係数βを算出する。
【０１１４】
具体的に、３軸合成値演算部２４１は、３軸方向の静的加速度成分（Gr-ｘ、Gr-ｙ、Gr-ｚ）の合成値（√（（Gr-ｘ）２＋（Gr-ｙ）２＋（Gr-ｚ）２））を算出し、その合成値が１を超える分を、低域感度誤差分（図１５におけるハッチングで示す領域）とみなして、上記合成値の逆数に相当する補正係数βを算出する。
β＝１／（√（（Gr-ｘ）２＋（Gr-ｙ）２＋（Gr-ｚ）２））
【０１１５】
なお、３軸方向各々の静的加速度成分（Gr-ｘ、Gr-ｙ、Gr-ｚ）の値は、加速度センサ素子１０の姿勢によって異なり、また、加速度センサ素子１０の姿勢変化に応じて時々刻々と変化する。例えば、加速度センサ素子１０のｚ軸方向が重力方向（鉛直方向）と一致する場合には、ｘ軸方向およびｙ軸方向の静的加速度成分（Gr-ｘ、Gr-ｙ）よりも、ｚ軸方向の静的加速度成分（Gr-ｚ）が最も大きな値を示す。このように３軸方向各々の静的加速度成分（Gr-ｘ、Gr-ｙ、Gr-ｚ）の値から、その時刻における加速度センサ素子１０の重力方向を推定することが可能となる。
【０１１６】
低域感度補正部２４２は、補正係数βを符号反転された第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ）に乗ずる乗算器を有する。これにより第１の加速度検出信号は、低域感度誤差が減殺された状態で加算回路２３へ入力されるため、加算回路２３から図１７に示すような周波数特性の加速度信号が出力される。このように重力加速度に相当する静的加速度成分のみが出力される結果、重力加速度成分の抽出精度が向上する。
【０１１７】
本実施形態において補正回路２４は、静的加速度成分の演算に際して、第１の加速度検出信号に補正係数βを乗ずる処理を実行するように構成されているが、これに限られず、第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ）に補正係数βを乗ずる処理を実行するように構成されてもよいし、加速度変化の大きさに応じて、補正すべき加速度検出信号が第１の加速度検出信号と第２の加速度検出信号との間で切り替えられてもよい。
【０１１８】
補正回路２４は、第１の加速度検出信号および第２の加速度検出信号のいずれか一方の加速度変化が所定以上の場合には、補正係数βを用いて第１の加速度検出信号を補正するように構成される。加速度変化が大きい（印加周波数が高い）ほど、第１の加速度検出信号に誤差成分が漏れ込む割合が高まるため、当該誤差成分を効率よく減殺することができる。当該構成は、例えば運動解析用途のように、運動加速度が比較的大きい場合に特に有効である。
【０１１９】
一方、補正回路２４は、第１の加速度検出信号および第２の加速度検出信号のいずれか一方の加速度変化が所定以下の場合には、補正係数βを用いて第２の加速度検出信号を補正するように構成される。加速度変化が小さい（印加周波数が低い）ほど、第２の加速度検出信号に誤差成分が漏れ込む割合が高まるため、当該誤差成分を効率よく減殺することができる。当該構成は、例えばデジタルカメラの水平出し動作のように、運動加速度が比較的小さい場合に特に有効である。
【０１２０】
各軸方向の静的加速度成分は以上のようにして抽出されるが、各軸方向の動的加速度成分（Acc-ｘ、Acc-ｙ、Acc-ｚ）の抽出には、図１０に示すように、ゲイン調整回路２１においてゲイン調整された第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ、Acc-AC-ｙ、Acc-AC-ｚ）が参照される。
【０１２１】
ここで、動的加速度成分の抽出に第１の加速度検出信号がそのまま用いられてもよいが、上述のように動的加速度成分の一部が静的加速度成分に漏れ込む場合があるため、動的加速度成分が目減りして高精度な検出が困難になる。そこで、補正回路２４において算出される補正係数βを用いて、第１の加速度検出信号を補正することで、動的加速度成分の検出精度を図ることが可能となる。
【０１２２】
より具体的に、補正回路２４（低域感度補正部２４２）は、図１０に示すように、３軸合成値演算部２４１で取得した補正係数βの逆数（１／β）を第１の加速度信号（Acc-AC-ｘ、Acc-AC-ｙ、Acc-AC-ｚ）に乗ずる乗算器を有する。これにより、第１の加速度信号の低域感度成分が補償されるため、動的加速度成分（Acc-ｘ、Acc-ｙ、Acc-ｚ）の抽出精度が向上する。図１７に、その動的加速度成分の出力特性を模式的に示す。
【０１２３】
本実施形態において補正回路２４は、動的加速度成分の演算に際して、第１の加速度検出信号に補正係数の逆数（１／β）を乗ずる処理を実行するように構成されているが、これに限られず、第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ、Acc-DC-ｙ、Acc-DC-ｚ）に補正係数の逆数（１／β）を乗ずる処理を実行するように構成されてもよい。あるいは、上述の静的加速度成分の演算手法と同様に、加速度変化の大きさに応じて、補正すべき加速度検出信号が第１の加速度検出信号と第２の加速度検出信号との間で切り替えられてもよい。
【０１２４】
低域感度補正部２４２による動的加速度成分および静的加速度成分の補正処理は、典型的には、３軸合成値演算部２４１で算出される合成値が１Ｇ（Ｇ：重力加速度）以外の場合に有効とされる。なお、上記合成値が１Ｇ未満となる場合としては、例えばセンサ素子１０が自由落下しているときなどが挙げられる。
【０１２５】
なお、圧電方式で検出された第１の加速度検出信号は、ハイパスフィルタ（ＨＰＦ）的な出力特性を有し、そのカットオフ周波数以下の出力が低域感度の誤差成分として加算回路２３の出力に残存する（図１５参照）。本実施形態では補正回路２４を用いた演算的な手法で上記誤差成分が減殺されるが、当該誤差成分のキャンセリング精度を高める上で上記カットオフ周波数は低いほど好ましい。
【０１２６】
そこで、第１の加速度検出部１１を構成する検出素子（１１ｘ１，１１ｘ２，１１ｙ１，１１ｙ２）の圧電膜として、例えば、容量および内部抵抗が比較的大きい圧電体が用いられてもよい。これにより、例えば図１８において一点鎖線で示すように、低域感度のカットオフ周波数を極力０Ｈｚ付近まで低くすることができるため、低域感度の誤差成分を極力小さくすることが可能となる。
【０１２７】
次に、以上のように構成される加速度演算部２００における加速度信号の処理方法について説明する。
【０１２８】
加速度センサ素子１０に加速度が作用すると、可動板１２０はベース部１１５に対して加速度の方向に応じて図７Ａ〜Ｃに示す態様で運動する。第１の加速度検出部１１（検出素子１１ｘ１，１１ｘ２，１１ｙ１，１１ｙ２）および第２の加速度検出部１２（検出素子１２ｘ１，１２ｘ２，１２ｙ１，１２ｙ２）は、橋梁部１３１〜１３４の機械的変形量に応じた検出信号を信号処理回路２０へ出力する。
【０１２９】
図１９は、信号処理回路２０（加速度演算部２００）における加速度検出信号の処理手順の一例を示すフローチャートである。
【０１３０】
信号処理回路２０は、所定のサンプリング間隔で、第１の加速度検出部１１からは各軸の第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ、Acc-AC-ｙ、Acc-AC-ｚ）を取得し、第２の加速度検出部１２からは各軸の第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ、Acc-DC-ｙ、Acc-DC-ｚ）を受信（取得）する（ステップ１０１，１０２）。これら検出信号の取得は、同時に（並列的に）行われてもよいし、順次的に（直列的に）行われてもよい。
【０１３１】
続いて信号処理回路２０は、各軸について第１および第２の加速度検出信号が同一レベルとなるように各検出信号のゲインをゲイン調整回路２１において調整する（図１３、ステップ１０３，１０４）。また必要に応じて、各軸について第１および第２の加速度検出信号の温度補償等を目的とした補正が行われる（ステップ１０５，１０６）。
【０１３２】
次に、信号処理回路２０は、各軸の第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ、Acc-AC-ｙ、Acc-AC-ｚ）を動的加速度算出系統（運動加速度系統）と静的加速度算出系統（重力加速度系統）とにそれぞれ分岐する（ステップ１０７，１０８）。静的加速度算出系統に分岐した第１の加速度検出信号は、符号反転回路２２において符号が反転された後、加算回路２３に入力される（図１４、ステップ１０９）。
【０１３３】
信号処理回路２０は、加算回路２３において、各軸について、符号反転された第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ、Acc-AC-ｙ、Acc-AC-ｚ）と、第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ、Acc-DC-ｙ、Acc-DC-ｚ）とを加算して静的加速度成分（Gr-ｘ、Gr-ｙ、Gr-ｚ）を算出する（図１５、ステップ１１０）。さらに信号処理回路２０は、３軸合成値演算部２４１においてこれら静的加速度成分の３軸合成値を演算し（ステップ１１１）、その値が１Ｇ以外の場合は、低域感度補正部２４２において上記合成値の逆数である補正係数βを上記符号反転された第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ、Acc-AC-ｙ、Acc-AC-ｚ）に乗ずる処理を実行する（ステップ１１２，１１３）。信号処理回路２０は、上記合成値が１Ｇのとき、算出された重力加速度成分（静的加速度成分）を外部へ出力する（ステップ１１４）。なおこれに限られず、上記合成値を算出する毎に、算出された重力加速度成分（静的加速度成分）が外部へ出力されてもよい。
【０１３４】
一方、信号処理回路２０は、上記合成値が１Ｇ以外のとき、算出された補正係数βの逆数（１／β）を、運動加速度系統に分岐した第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ、Acc-AC-ｙ、Acc-AC-ｚ）に乗じる処理を実行する（ステップ１１２、１１５）。信号処理回路２０は、上記合成値が１Ｇのとき、算出された運動加速度成分（動的加速度成分）を外部へ出力する（ステップ１１６）。なおこれに限られず、上記合成値を算出する毎に、算出された運動加速度成分（動的加速度成分）が外部へ出力されてもよい。
【０１３５】
以上のように本実施形態の検出部４０は、第１および第２の加速度検出部１１，１２の検出方式の違いを利用することで、これらの出力から動的加速度成分と静的加速度成分とを抽出するように構成される。これにより、検出対象であるカメラ１００に作用する運動加速度を精度よく測定することができる。
【０１３６】
また、本実施形態によれば、検出部４０の出力から重力加速度成分を精度よく抽出することができるため、重力方向に対する検出対象の姿勢を高精度に検出することができる。これにより、カメラ１００の水平方向に対する姿勢を高精度に検出することができるようになる。
【０１３７】
さらに本実施形態によれば、第１の加速度検出部１１に圧電型の加速度センサが採用され、第２の加速度検出部１２として非圧電型（ピエゾ抵抗型あるいは静電容量型）の加速度センサが採用されているため、ダイナミックレンジが広く、しかも低周波領域での感度が高い慣性センサを得ることができる。
【０１３８】
以上のように構成される本実施形態のカメラ１００によれば、第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ、Acc-AC-ｙ、Acc-AC-ｚ）と第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ、Acc-DC-ｙ、Acc-DC-ｚ）とに基づいて、加速度から動的加速度成分と静的加速度成分とを抽出するようにしているため、カメラ１００に作用する加速度から重力加速度に相当する加速度成分を分離することができる。これにより、マクロ撮影等における並進振れを効果的に補正することが可能となり、手振れ補正精度の向上を図ることができる。
【０１３９】
また、本実施形態によれば、第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ、Acc-DC-ｙ、Acc-DC-ｚ）に基づいて、カメラ１００の水平方向に対する姿勢に関連する情報を取得するようにしているため、カメラ１００の水平方向に対する姿勢を高精度に検出することができる。
【０１４０】
＜第２の実施形態＞
図２０は、本技術の第２の実施形態に係るカメラ制御装置における信号処理回路２０Ａの構成を示すブロック図である。以下、第１の実施形態と異なる構成について主に説明し、第１の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。
【０１４１】
本実施形態における信号処理回路２０Ａは、カメラ１００の光軸８１１（Ｚ軸）まわりの角速度（ロール角速度（ω-z）を検出するための角速度検出素子（Gyro-z）を備えていない点で、第１の実施形態の信号処理回路２０（図９）と相違する。本実施形態の信号処理回路２０Ａは、加速度センサ素子１０の出力（Acc-AC-ｘ、Acc-AC-ｙ、Acc-AC-ｚ、Acc-DC-ｘ、Acc-DC-ｙ、Acc-DC-ｚ）を用いて、Ｚ軸まわりの角速度を算出する演算部２３１を有する。
【０１４２】
演算部２３１は、第１の実施形態における演算部２３０と同様に、加速度演算部２００と角速度演算部３００とを有する。演算部２３１は、加速度演算部２００において算出されたｘ軸方向の動的加速度成分（Acc-ｘ）とｙ軸方向の動的加速度成分（Acc-ｙ）とを用いて、カメラ１００の光軸に平行な軸（Ｚ軸）まわりの角速度（ω-z）を算出するように構成される。
【０１４３】
なお説明を容易にするため、以下の説明では、加速度センサ素子１０の座標系におけるｘ、ｙ及びｚ軸（図４参照））は、カメラの座標系におけるＸ、Ｙ及びＺ軸（図１参照）とそれぞれ一致し、かつ、ｙ軸方向が重力方向に一致するものとする。
【０１４４】
図２１及び図２２は、ｘ軸方向の加速度と、ｙ軸方向の加速度と、ｚ軸まわりの角速度との関係を示す模式図である。
【０１４５】
カメラ１００に作用する運動加速度の低周波領域では、重力加速度（１Ｇ）が支配的となる。このため、重力方向は加速度センサ素子１０の姿勢に対して、以下の式が成り立つ。
θ＝ａｒｃｔａｎ（Acc-ｘ／Acc-ｙ）
これは、センサのｙ軸に対して角度θのところで重力方向があるということになる。
【０１４６】
ここで、角速度とは、一定時間内の角度変化であるため、このθを時間微分することで、ｘｙ軸で構成される平面でのロール角速度（ω-z）を創出することができる。ゆえに、ロール角速度（ω-z）は、以下の式で算出することができる。
ロール角速度（ω-z）［rad/s］＝ｄθ／ｄｔ
【０１４７】
本実施形態において、加速度演算部２００により算出されるｘ軸及びｙ軸方向の運動加速度（Acc-ｘ、Acc-ｙ）は、静的成分すなわち重力加速度を実質的に含まないため、重力方向に対する回転角度を精度よく検出することができるので、ｚ軸まわりの角速度検出素子を用いることなく、当該ｚ軸まわりの角速度（ω-z）を高精度に得ることができる。また、重力方向の検出には加速度演算部２００により算出される静的加速度成分（Gr-ｘ、Gr-ｙ、Gr-ｚ）の合成ベクトルを参照してもよく、これによりｚ軸まわりの角速度の検出精度のさらなる向上を図ることができる。
【０１４８】
本実施形態においても上述の第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。本実施形態によれば、ロール軸まわりの角速度検出素子を必要とすることなく当該ロール軸まわりの角速度を高精度に検出することができるため、角速度センサ素子３０として、ｘ軸およびｙ軸の２軸ジャイロセンサを用いることができる。つまり、５軸センサで６軸センサの機能を得ることができるため、センサユニットの小型化、低コスト化が可能となり、さらにはカメラ１００の小型化、薄型化に貢献することができる。
【０１４９】
以上、本技術の実施形態について説明したが、本技術は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、種々変更を加え得ることは勿論である。
【０１５０】
例えば以上の実施形態では、カメラ１００として、デジタルスチルカメラを例に挙げて説明したが、これに限られず、デジタルビデオカメラ、スマートホン等の携帯情報端末用カメラ、車載用カメラ、各種監視カメラ等にも、本技術は適用可能である。
【０１５１】
また、以上の実施形態では、手振れ補正信号に基づいて補正レンズ８４（又は撮像素子８５）を移動させる光学式手振れ補正制御について説明したが、これに限られず、例えば図２３に示すように、手振れ補正信号に基づいて画素移動させる電子式手振れ補正用の画像処理回路８７を備えた撮像装置にも、本発明は適用可能である。
【０１５２】
また、加速度センサとして、図４〜６に示した加速度センサ素子１０が用いられたが、３軸方向の加速度を検出できるものであれば、構成は特に限定されない。同様に、センサ素子に作用する加速度から動的加速度成分および静的加速度成分を抽出する演算方法も上述の例に限定されず、適宜の演算手法が採用可能である。
【０１５３】
さらに以上の実施形態では、第１の加速度検出信号（Acc-AC-ｘ、Acc-AC-ｙ、Acc-AC-ｚ）と第２の加速度検出信号（Acc-DC-ｘ、Acc-DC-ｙ、Acc-DC-ｚ）とを同一のセンサ素子から取得するように構成されたが、これに限られず、各検出信号を出力するセンサ素子が別個のセンサ素子で構成されてもよい。
【０１５４】
なお、本技術は以下のような構成もとることができる。
（１）  カメラに作用する加速度に関連する情報を含み、前記加速度に応じた交流波形を有する第１の加速度検出信号と、前記加速度に関連する情報を含み、前記加速度に応じた交流成分が直流成分に重畳した出力波形を有する第２の加速度検出信号と、前記カメラに作用する角速度に関連する情報を含む角速度信号とに基づいて、手振れ補正用の第１の制御信号を生成する制御部
を具備するカメラ制御装置。
（２）上記（１）に記載のカメラ制御装置であって、
前記制御部は、
前記第１の加速度検出信号と前記第２の加速度検出信号とに基づいて、前記加速度から動的加速度成分及び静的加速度成分を抽出する加速度演算部と、
前記角速度検出信号と前記動的加速度成分とに基づいて前記第１の制御信号を生成する補正信号生成回路と、を有する
カメラ制御装置。
（３）上記（２）に記載のカメラ制御装置であって、
前記補正信号生成回路は、前記静的加速度成分に基づいて、前記カメラの水平方向に対する姿勢に関連する情報を含む第２の制御信号をさらに生成する
カメラ制御装置。
（４）上記（１）〜（３）のいずれか１つに記載のカメラ制御装置であって、
前記第１の加速度検出信号は、前記カメラの光軸に対して直交する２軸方向の加速度に関連する情報を含み、
前記角速度信号は、前記２軸まわりの角速度に関連する情報を含み、
前記制御部は、前記２軸方向の加速度に関連する情報に基づいて、前記カメラの光軸に平行な軸まわりの角速度に関連する情報を取得する
カメラ制御装置。
（５）上記（２）〜（４）のいずれか１つに記載のカメラ制御装置であって、
前記加速度演算部は、前記第１の加速度検出信号と前記第２の加速度検出信号との差分信号に基づいて、前記加速度から前記静的加速度成分を抽出する演算回路を有する
カメラ制御装置。
（６）上記（５）に記載のカメラ制御装置であって、
前記加速度演算部は、前記第１の加速度検出信号と前記第２の加速度検出信号とが同一レベルとなるように各信号のゲインを調整するゲイン調整回路をさらに有する
カメラ制御装置。
（７）上記（５）又は（６）に記載のカメラ制御装置であって、
前記加速度演算部は、前記差分信号に基づいて補正係数を算出し、前記補正係数を用いて前記第１の加速度検出信号及び前記第２の加速度検出信号のいずれか一方を補正する補正回路をさらに有する
カメラ制御装置。
（８）上記（１）〜（７）のいずれか１つに記載のカメラ制御装置であって、
加速度を受けて運動可能な可動部と、前記可動部に設けられ前記第１の加速度検出信号を出力する圧電型の第１の加速度検出部と、前記可動部に設けられ前記第２の加速度検出信号を出力する非圧電型の第２の加速度検出部と、を有する検出部をさらに具備する
カメラ制御装置。
（９）上記（８）に記載のカメラ制御装置であって、
前記第２の加速度検出部は、ピエゾ抵抗式の加速度検出素子を含む
カメラ制御装置。
（１０）上記（８）に記載のカメラ制御装置であって、
前記第２の加速度検出部は、静電容量式の加速度検出素子を含む
カメラ制御装置。
（１１）  撮像素子と、
前記撮像素子に被写体光束を結像させるレンズと、
カメラに作用する加速度に関連する情報を含み、前記加速度に応じた交流波形を有する第１の加速度検出信号と、前記加速度に関連する情報を含み、前記加速度に応じた交流成分が直流成分に重畳した出力波形を有する第２の加速度検出信号と、前記カメラに作用する角速度に関連する情報を含む角速度信号とを出力する検出部と、
前記角速度検出信号と、前記第１の加速度検出信号と、前記第２の加速度検出信号とに基づいて、手振れ補正用の制御信号を生成する制御部と
を具備する撮像装置。
（１２）上記（１１）に記載の撮像装置であって、
前記制御信号に基づいて、前記レンズ又は前記撮像素子を移動させる駆動部をさらに具備する
撮像装置。
（１３）上記（１１）に記載の撮像装置であって、
前記制御信号に基づいて、手振れ補正画像を生成する電子式手振れ補正画像処理回路をさらに具備する
撮像装置。
【符号の説明】
【０１５５】
１０…加速度センサ素子
１１…第１の加速度検出部
１２…第２の加速度検出部
２０，２０Ａ…信号処理回路
３０…角速度センサ素子
４０…検出部
５０…手振れ補正制御部
５１…補正信号生成回路
８３…コントローラ
１００…カメラ
１５０…カメラ制御装置
２００…加速度演算部
３００…角速度演算部
５１１…差分演算回路部
５１２…比較演算回路部
５１３…補正信号生成部
５１４…水平方向算出演算部
８４１…補正レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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