(57)【要約】【課題】タッチセンサユニットによる精度の高い検出動作と滑らかな入力とを両立した表示装置を提供する。【解決手段】表示ユニットとタッチセンサユニットを有する表示装置である。表示ユニットが表示画像を書き換える動作と異なるタイミングで、タッチセンサユニットはタッチを検出する動作を行い、精度の高い検出動作を実現する。また、表示ユニットは、書き換えが必要な領域のみ表示画像を書き換える機能を有する。表示領域の全領域を書き換える必要がない場合、タッチセンサユニットが検出動作に割り当てる時間を長くすることで、滑らかな入力を実現する。【選択図】図５
2018092161.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素アレイと、
ゲートドライバと、を有し、
前記ゲートドライバは、前記画素アレイを第１乃至第Ｎ（Ｎは２以上の整数）の画素群に分割して駆動する機能を有し、
前記ゲートドライバは、第１乃至第Ｎのシフトレジスタを有し、
第Ｋ（Ｋは１以上Ｎ以下の整数）の前記シフトレジスタは、第Ｋの前記画素群を駆動する信号を生成し、
前記ゲートドライバには、第１乃至第Ｍ（Ｍは１以上の整数）のクロックと、第１乃至第Ｌ（Ｌは１以上の整数）の信号が入力され、
前記ゲートドライバは、前記第１乃至第Ｍのクロックと、前記第１乃至第Ｌの信号を用いて、前記第１乃至第Ｎのシフトレジスタのそれぞれに、クロックとスタートパルスを供給し、
ＬはＮ／Ｍ＋１以下であることを特徴とする、表示装置。
【請求項２】
請求項１において、
タッチセンサユニットを有し、
前記タッチセンサユニットは、前記第１乃至第Ｎのシフトレジスタが動作を停止している期間に、タッチを検出することを特徴とする、表示装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
アプリケーションプロセッサを有し、
前記アプリケーションプロセッサは、前記第１乃至第Ｍのクロックと、前記第１乃至第Ｌの信号を、前記ゲートドライバに供給する機能を有し、
前記アプリケーションプロセッサは、前記第１乃至第Ｎの画素群のそれぞれにおいて、表示画像に変化があるかないかを判断し、
前記アプリケーションプロセッサは、前記第１乃至第Ｍのクロックと、前記第１乃至第Ｌの信号を用いて、前記表示画像に変化がある画素群の表示画像を書き換え、前記表示画像に変化がない画素群の表示画像を書き換えない機能を有する、表示装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、
前記画素アレイは、チャネル形成領域に金属酸化物を含むトランジスタを有する、表示装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、
前記ゲートドライバを構成するトランジスタは、チャネル形成領域に金属酸化物を含むことを特徴とする、表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一形態は、表示装置およびその動作方法に関する。また、本発明の一形態は半導体装置に関する。
【０００２】
なお本発明の一形態は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一形態は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物（コンポジション・オブ・マター）に関するものである。
【０００３】
そのため、より具体的に本明細書等で開示する本発明の一形態の技術分野としては、表示装置、半導体装置、電子機器、それらの動作方法、または、それらの製造方法を一例としてあげることができる。なお、本明細書等において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。例えば、集積回路、集積回路を備えたチップや、パッケージにチップを収納した電子部品、集積回路を備えた電子機器は、半導体装置の一例である。
【背景技術】
【０００４】
表示ユニットと、タッチセンサユニットを組み合わせた表示装置が、使用されている。表示ユニットの表示領域に、タッチセンサユニットの検出領域を重ねることで、表示領域において画像の表示を行うとともに、使用者が、表示領域のどの位置を指し示したかを情報として得ることができる。使用者は、指やスタイラス等を用いて入力を行う。
【０００５】
一方、表示ユニットの画素に、酸化物半導体を用いたトランジスタを適用することができる。酸化物半導体を用いたトランジスタは、オフ電流が非常に小さいため、表示ユニットが静止画を表示する際のリフレッシュ頻度を少なくすることができる。本明細書等において、上述のリフレッシュ頻度を少なくする技術を、「アイドリングストップ」または「ＩＤＳ駆動」と呼称する（特許文献１、特許文献２）。ＩＤＳ駆動は、表示ユニットの消費電力を低減することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１‐１４１５２２号公報
【特許文献２】特開２０１１‐１４１５２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
表示ユニットが表示画像を書き換える頻度は、１秒間に約６０回（「フレーム周波数が６０Ｈｚ」ともいう）のものが多い一方で、タッチセンサユニットには手書き入力等滑らかな入力が求められており、タッチセンサユニットの検出動作は、１秒間に８０回、より好ましくは１００回以上が必要とされている。
【０００８】
また、表示ユニットが表示画像を書き換えるタイミングで、タッチセンサユニットが検出動作を行うと、ノイズの影響を受けて、タッチセンサユニットの検出精度が悪化する問題がある。本発明の一形態は、タッチセンサユニットの検出精度と、タッチセンサユニットによる滑らかな入力とを両立した、表示装置を提供することを課題の一つとする。
【０００９】
本発明の一形態は、新規な表示装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一形態は、タッチセンサユニットの検出精度と、タッチセンサユニットによる滑らかな入力とを両立した、新規な動作方法を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一形態は、新規な表示装置を使用した、電子機器を提供することを課題の一つとする。
【００１０】
なお、本発明の一形態は、必ずしも上記の課題の全てを解決する必要はなく、少なくとも一つの課題を解決できるものであればよい。また、上記の課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。これら以外の課題は、明細書、特許請求の範囲、図面などの記載から自ずと明らかになるものであり、明細書、特許請求の範囲、図面などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一形態は、画素アレイと、ゲートドライバとを有する表示装置である。ゲートドライバは、画素アレイを第１乃至第Ｎ（Ｎは２以上の整数）の画素群に分割して駆動する機能を有する。また、ゲートドライバは、第１乃至第Ｎのシフトレジスタを有し、第Ｋ（Ｋは１以上Ｎ以下の整数）のシフトレジスタは、第Ｋの画素群を駆動する信号を生成する。ゲートドライバには、第１乃至第Ｍ（Ｍは１以上の整数）のクロックと、第１乃至第Ｌ（Ｌは１以上の整数）の信号が入力され、ゲートドライバは、第１乃至第Ｍのクロックと、第１乃至第Ｌの信号を用いて、第１乃至第Ｎのシフトレジスタのそれぞれに、クロックとスタートパルスを供給する。ＬはＮ／Ｍ＋１以下であることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の一形態は、上記形態において、タッチセンサユニットを有する表示装置である。タッチセンサユニットは、第１乃至第Ｎのシフトレジスタが動作を停止している期間に、タッチを検出することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の一形態は、上記形態において、アプリケーションプロセッサを有する表示装置である。アプリケーションプロセッサは、第１乃至第Ｍのクロックと、第１乃至第Ｌの信号を、ゲートドライバに供給する機能を有する。また、アプリケーションプロセッサは、第１乃至第Ｎの画素群のそれぞれにおいて、表示画像に変化があるかないかを判断する。アプリケーションプロセッサは、第１乃至第Ｍのクロックと、第１乃至第Ｌの信号を用いて、表示画像に変化がある画素群の表示画像を書き換え、表示画像に変化がない画素群の表示画像を書き換えない機能を有する。
【００１４】
また、上記形態において、画素アレイは、チャネル形成領域に金属酸化物を含むトランジスタを有する。
【００１５】
また、上記形態において、ゲートドライバを構成するトランジスタは、チャネル形成領域に金属酸化物を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の一形態は、新規な表示装置を提供することができる。または、タッチセンサユニットの検出精度と、タッチセンサユニットによる滑らかな入力とを両立した、表示装置を提供することができる。または、タッチセンサユニットの検出精度と、タッチセンサユニットによる滑らかな入力とを、少ない信号数で実現した、表示装置を提供することができる。または、消費電力の少ない表示装置を提供することができる。
【００１７】
または、本発明の一形態は、タッチセンサユニットの検出精度と、タッチセンサユニットによる滑らかな入力とを両立した、新規な動作方法を提供することができる。または、本発明の一形態は、新規な表示装置を使用した、電子機器を提供することができる。
【００１８】
なお本発明の一形態の効果は、上記列挙した効果に限定されない。上記列挙した効果は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお他の効果は、以下の記載で述べる、本項目で言及していない効果である。本項目で言及していない効果は、当業者であれば明細書又は図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。なお、本発明の一形態は、上記列挙した効果、および他の効果のうち、少なくとも一つの効果を有するものである。従って本発明の一形態は、場合によっては、上記列挙した効果を有さない場合もある。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】表示装置の構成例を示すブロック図。
【図２】タッチセンサユニットの構成例を示すブロック図。
【図３】表示装置の構成例を示すブロック図。
【図４】表示ユニットの構成例を示すブロック図。
【図５】ゲートドライバの構成例を示す回路図。
【図６】シフトレジスタの構成例を示す回路図。
【図７】シフトレジスタの構成例を示す回路図。
【図８】シフトレジスタの構成例を示す回路図。
【図９】シフトレジスタの構成例を示す回路図。
【図１０】デマルチプレクサの構成例を示す回路図。
【図１１】レジスタの構成例を示す回路図。
【図１２】レジスタの構成例を示す回路図。
【図１３】ゲートドライバのタイミングチャート。
【図１４】ゲートドライバのタイミングチャート。
【図１５】ゲートドライバのタイミングチャート。
【図１６】ゲートドライバのタイミングチャート。
【図１７】表示ユニットとタッチセンサユニットの動作の関係を示す図。
【図１８】タブレット型情報端末の形態および使用例を示す外観図。
【図１９】電子機器の動作例を示すフローチャート。
【図２０】ゲートドライバの構成例を示す回路図。
【図２１】デコーダの構成例を示す回路図。
【図２２】（Ａ、Ｂ）インバータの構成例を示す回路図、（Ｃ、Ｄ）ドライバの構成例を示す回路図、（Ｅ）デコーダのタイミングチャート。
【図２３】タッチセンサユニットの構成例を示す上面図と投影図。
【図２４】タッチセンサユニットの構成例を示す上面図と投影図。
【図２５】ソースドライバＩＣの構成例を示すブロック図。
【図２６】表示装置と画素の一例を説明する図。
【図２７】画素回路の構成例と、画素回路の透過領域と遮光領域を説明する図。
【図２８】表示装置の一例を説明する断面図。
【図２９】表示装置の一例を説明する断面図。
【図３０】表示装置の一例を説明する断面図。
【図３１】画素の回路構成例を説明する図。
【図３２】画素の回路構成例を説明する図。
【図３３】表示モード毎の電子機器の使用例を説明する図。
【図３４】表示装置に用いるトランジスタの一例を示す上面図及び断面図。
【図３５】表示装置に用いるトランジスタの一例を示す上面図及び断面図。
【図３６】表示装置に用いるトランジスタの一例を示す上面図及び断面図。
【図３７】情報処理装置の構成を説明する図。
【図３８】情報処理装置の構成を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。但し、実施の形態は多くの異なる形態で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、以下に示される複数の実施の形態は、適宜組み合わせることが可能である。
【００２１】
なお、実施の形態において説明する表示装置は、表示ユニット、タッチセンサユニット等によって構成される。したがって、表示装置を半導体装置、電子機器などと言い換える場合がある。
【００２２】
また、図面等において、大きさ、層の厚さ、領域等は、明瞭化のため誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。図面は、理想的な例を模式的に示したものであり、図面に示す形状または値などに限定されない。
【００２３】
また、図面等において、同一の要素または同様な機能を有する要素、同一の材質の要素、あるいは同時に形成される要素等には同一の符号を付す場合があり、その繰り返しの説明は省略する場合がある。
【００２４】
また、本明細書等において、「膜」という用語と、「層」という用語とは、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更することが可能な場合がある。または、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能な場合がある。
【００２５】
また、本明細書等において、「上」や「下」などの配置を示す用語は、構成要素の位置関係が、「直上」または「直下」であることを限定するものではない。例えば、「ゲート絶縁層上のゲート電極」の表現であれば、ゲート絶縁層とゲート電極との間に他の構成要素を含むものを除外しない。
【００２６】
また、本明細書等において、「平行」とは、二つの直線が−１０°以上１０°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、−５°以上５°以下の場合も含まれる。また、「垂直」とは、二つの直線が８０°以上１００°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、８５°以上９５°以下の場合も含まれる。
【００２７】
また、本明細書等において、「第１」、「第２」、「第３」などの序数詞は、構成要素の混同を避けるために付したものであり、数的に限定するものではない。
【００２８】
また、本明細書等において、「電気的に接続」とは、「何らかの電気的作用を有するもの」を介して接続されている場合が含まれる。ここで、「何らかの電気的作用を有するもの」は、接続対象間での電気信号の授受を可能とするものであれば、特に制限を受けない。例えば、「何らかの電気的作用を有するもの」には、電極や配線をはじめ、トランジスタなどのスイッチング素子、抵抗素子、インダクタ、容量素子、その他の各種機能を有する素子などが含まれる。
【００２９】
また、本明細書等において、「電圧」とは、ある電位と基準の電位（例えば、グラウンド電位）との電位差のことを示す場合が多い。よって、電圧、電位、電位差を、各々、電位、電圧、電圧差と言い換えることが可能である。
【００３０】
また、本明細書等において、トランジスタとは、ゲートと、ドレインと、ソースとを含む、少なくとも三つの端子を有する素子である。そして、ドレイン（ドレイン端子、ドレイン領域、またはドレイン電極）とソース（ソース端子、ソース領域、またはソース電極）の間にチャネル領域を有しており、チャネル領域を介して、ソースとドレインとの間に電流を流すことができるものである。なお、本明細書等において、チャネル領域とは、電流が主として流れる領域をいう。
【００３１】
また、ソースやドレインの機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細書等においては、ソースやドレインの用語は、入れ替えて用いることができるものとする。
【００３２】
また、本明細書等において、特に断りがない場合、オフ電流とは、トランジスタがオフ状態（非導通状態、遮断状態、ともいう）にあるときのドレイン電流をいう。オフ状態とは、特に断りがない場合、ｎチャネル型トランジスタでは、ソースに対するゲートの電圧Ｖｇｓがしきい値電圧Ｖｔｈよりも低い状態、ｐチャネル型トランジスタでは、ソースに対するゲートの電圧Ｖｇｓがしきい値電圧Ｖｔｈよりも高い状態をいう。つまり、ｎチャネル型のトランジスタのオフ電流とは、ソースに対するゲートの電圧Ｖｇｓがしきい値電圧Ｖｔｈよりも低いときのドレイン電流、という場合がある。
【００３３】
上記オフ電流の説明において、ドレインをソースと読み替えてもよい。つまり、オフ電流は、トランジスタがオフ状態にあるときのソースを流れる電流を言う場合がある。
【００３４】
また、本明細書等では、オフ電流と同じ意味で、リーク電流と記載する場合がある。また、本明細書等において、オフ電流とは、トランジスタがオフ状態にあるときに、ソースとドレインの間に流れる電流を指す場合がある。
【００３５】
また、本明細書等において、金属酸化物（ｍｅｔａｌ  ｏｘｉｄｅ）とは、広い表現での金属の酸化物である。金属酸化物は、酸化物絶縁体、酸化物導電体（透明酸化物導電体を含む）、酸化物半導体（Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ、または単にＯＳともいう）などに分類される。例えば、トランジスタの活性層に金属酸化物を用いた場合、当該金属酸化物を酸化物半導体と呼称する場合がある。つまり、金属酸化物が増幅作用、整流作用、及びスイッチング作用の少なくとも１つを有する場合、当該金属酸化物を、金属酸化物半導体（ｍｅｔａｌ  ｏｘｉｄｅ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、略してＯＳと呼ぶことができる。また、ＯＳトランジスタ、またはＯＳ  ＦＥＴと記載する場合においては、金属酸化物または酸化物半導体を有するトランジスタと換言することができる。
【００３６】
（実施の形態１）
本実施の形態では、表示ユニットと、タッチセンサユニットと、を有する表示装置について説明する。特に、表示ユニットが有するゲートドライバ、および表示ユニットが表示画像を書き換える動作と、タッチセンサユニットの検出動作（タッチを検出する動作）との関係について説明する。
【００３７】
＜＜表示装置＞＞
図１は、表示装置の構成例を示すブロック図である。表示装置１００は、表示ユニット６０、タッチセンサユニット７０、アプリケーションプロセッサ８０、を有する。
【００３８】
＜表示ユニット＞
表示ユニット６０は、画素アレイ６１、ゲートドライバ６２、ゲートドライバ６３、およびソースドライバＩＣ６４を有する。
【００３９】
画素アレイ６１は、複数の画素１０を有し、それぞれの画素１０はトランジスタを用いて駆動されるアクティブ型の素子である。また、画素アレイ６１は、表示ユニット６０の表示領域を形成し、画像を表示する機能を有する。画素アレイ６１のより具体的な構成例については、実施の形態４にて説明する。
【００４０】
ゲートドライバ６２およびゲートドライバ６３（以下、「ゲートドライバ６２、６３」と表記する）は、画素１０を選択するためのゲート線を駆動する機能を有する。ゲートドライバ６２、６３は、どちらか一方のみでもよい。なお、図１の例では、ゲートドライバ６２、６３は、画素アレイ６１と共に同一基板上に設けられている例を示しているが、ゲートドライバ６２、６３を専用ＩＣとすることもできる。
【００４１】
ソースドライバＩＣ６４は、画素１０に、データ信号を供給するソース線を駆動する機能を有する。ここでは、ソースドライバＩＣ６４の実装方式は、ＣＯＧ（Ｃｈｉｐ  ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）方式としているが、実装方式に特段の制約はなく、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  ｏｎ  Ｆｌｅｘｉｂｌｅ）方式、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）方式などでもよい。後述する、タッチセンサユニット７０のＩＣの実装方式についても同様である。
【００４２】
なお、画素１０に使用されるトランジスタはＯＳトランジスタである。ＯＳトランジスタは、Ｓｉトランジスタに比べてオフ電流が低い特徴を有する。
【００４３】
ＯＳトランジスタは、チャネル形成領域に金属酸化物を有することが好ましい。また、ＯＳトランジスタに適用される金属酸化物は、インジウム（Ｉｎ）および亜鉛（Ｚｎ）の少なくとも一方を含む酸化物であることが好ましい。
【００４４】
このような酸化物としては、Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物、Ｉｎ−Ｍ酸化物、Ｚｎ−Ｍ酸化物、Ｉｎ−Ｚｎ酸化物（元素Ｍは、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ガリウム（Ｇａ）、イットリウム（Ｙ）、スズ（Ｓｎ）、ホウ素（Ｂ）、シリコン（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、ランタン（Ｌａ）、セリウム（Ｃｅ）、ネオジム（Ｎｄ）、バナジウム（Ｖ）、ベリリウム（Ｂｅ）、ハフニウム（Ｈｆ）、タンタル（Ｔａ）、またはタングステン（Ｗ）など）が代表的である。
【００４５】
ＯＳトランジスタは、チャネル幅１μｍあたりのオフ電流を１ｙＡ／μｍ（ｙ；ヨクト、１０−２４）以上１ｚＡ／μｍ（ｚ；ゼプト、１０−２１）以下程度に低くすることができる。
【００４６】
また、ＯＳトランジスタには、ＣＡＣ（Ｃｌｏｕｄ−Ａｌｉｇｎｅｄ  Ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ）−ＯＳを用いることが好ましい。ＣＡＣ−ＯＳの詳細については、実施の形態６で説明する。
【００４７】
もしくは、画素１０に使用されるトランジスタとして、オフ電流が低ければＯＳトランジスタを適用しないことができる。例えば、バンドギャップが大きい半導体を用いたトランジスタを適用してもよい。バンドギャップが大きい半導体とは、バンドギャップが２．２ｅＶ以上の半導体を指す場合がある。例えば、炭化ケイ素、窒化ガリウム、ダイヤモンドなどが挙げられる。
【００４８】
画素１０に、オフ電流が低いトランジスタを用いることで、表示ユニット６０が表示画像を書き換える必要がない場合（すなわち静止画を表示している場合）、一時的にゲートドライバ６２、６３、およびソースドライバＩＣ６４を、停止することができる（上述した、「アイドリングストップ」または「ＩＤＳ駆動」）。
【００４９】
＜タッチセンサユニット＞
図１に示す、タッチセンサユニット７０は、センサアレイ７１、およびタッチセンサＩＣ７２を有する。
【００５０】
センサアレイ７１は、タッチセンサユニット７０がタッチを検出できる領域を形成し、表示装置１００の使用者は、この領域に指やスタイラス等を用いて入力を行う。センサアレイ７１は、画素アレイ６１と重なる領域に配置され、表示装置１００は、表示ユニット６０の表示領域において画像の表示を行うとともに、使用者が、表示領域のどの位置を指し示したかを情報として得ることができる。
【００５１】
図２は、タッチセンサユニット７０の構成例を示すブロック図である。ここでは、タッチセンサユニット７０が投影型静電容量方式（相互容量方式）のタッチセンサユニットである例を示す。
【００５２】
センサアレイ７１は、配線ＣＬおよび配線ＭＬを有し、配線ＣＬおよび配線ＭＬが重畳すること、または、配線ＣＬおよび配線ＭＬが近接して配置されること、で形成される複数の容量４０４を有する。
【００５３】
図２は、一例として、配線ＣＬをＣＬ（１）乃至ＣＬ（６）の６本の配線、配線ＭＬをＭＬ（１）乃至ＭＬ（６）の６本の配線として示しているが、配線の数はこれに限定されない。なお、配線ＣＬはパルス電圧が与えられる配線であり、配線ＭＬは電流の変化を検知する配線である。
【００５４】
センサアレイ７１に、被検知体（指やスタイラス等）の近接または接触を検知すると、容量４０４の容量値が変化し、タッチセンサユニット７０はタッチを検出する。
【００５５】
センサアレイ７１は、配線ＣＬおよび配線ＭＬを介して、タッチセンサＩＣ７２に電気的に接続されている。タッチセンサＩＣ７２は、駆動回路４０２と検出回路４０３を有する。
【００５６】
駆動回路４０２は、配線ＣＬを介して、センサアレイ７１に電気的に接続される。駆動回路４０２は、信号Ｔｘを出力する機能を有する。駆動回路４０２としては、例えばシフトレジスタ回路とバッファ回路を組み合わせた構成を用いることができる。
【００５７】
検出回路４０３は、配線ＭＬを介して、センサアレイ７１に電気的に接続される。検出回路４０３は、信号Ｒｘを検出し、タッチセンサユニット７０でタッチが行われたことを検出する。例えば、検出回路４０３として、増幅回路と、アナログデジタル変換回路（ＡＤＣ：Ａｎａｌｏｇ−Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）を有する構成を用いることができる。検出回路４０３は、センサアレイ７１から出力されるアナログ信号を、デジタル信号に変換して、アプリケーションプロセッサ８０に出力する機能を有する。
【００５８】
なお、タッチセンサユニット７０のより具体的な構成例については、実施の形態２にて説明する。
【００５９】
＜アプリケーションプロセッサ＞
アプリケーションプロセッサ８０は、ソースドライバＩＣ６４、およびタッチセンサＩＣ７２に、電気的に接続されている。
【００６０】
アプリケーションプロセッサ８０は、表示ユニット６０に表示する画像データを、ソースドライバＩＣ６４に供給する機能を有する。また、アプリケーションプロセッサ８０は、表示ユニット６０に現在表示している画像データと、次に表示する画像データの変化量を計算する機能を有する。
【００６１】
また、アプリケーションプロセッサ８０は、表示ユニット６０が表示画像を書き換えるタイミング、およびタッチセンサユニット７０が検出動作を行うタイミングを指示する機能を有する。表示ユニット６０が表示画像を書き換えるタイミングは、アプリケーションプロセッサ８０からソースドライバＩＣ６４に伝えられ、ソースドライバＩＣ６４は、ゲートドライバ６２、６３の動作を制御する機能を有する。タッチセンサユニット７０が検出動作を行うタイミングは、アプリケーションプロセッサ８０からタッチセンサＩＣ７２に伝えられる。
【００６２】
なお、図１に示すブロック図において、ゲートドライバ６２、６３を駆動するための信号は、ソースドライバＩＣ６４を経由しなくてもよい。その場合のブロック図を図３に示す。
【００６３】
図３において、アプリケーションプロセッサ８０はタイミングコントローラ８１０を経由して、ソースドライバＩＣ６４ａ乃至ソースドライバＩＣ６４ｄ、ゲートドライバ６２およびゲートドライバ６３へ信号を供給している。なお、タイミングコントローラ８１０は、アプリケーションプロセッサ８０に含まれてもよい。
【００６４】
図３に示す構成は、複数のソースドライバＩＣを有する。ソースドライバＩＣの数は画素アレイ６１の画素数に応じて設ければよい。
【００６５】
図３に示す構成は、例えば、４Ｋ（３８４０×２１６０）や８Ｋ（７６８０×４３２０）など、画素アレイ６１の画素数が大きくなるほど好ましい。ソースドライバＩＣの数を複数にし、且つ、ゲートドライバを制御する機能をソースドライバＩＣの外に設けられた回路が有することで、ソースドライバＩＣは端子の数を少なくすることができる。ソースドライバＩＣの端子の数が多いと、ソースドライバＩＣを基板に圧着する際に、ソースドライバＩＣに加える力が大きくなり、ソースドライバＩＣが破損してしまうという問題がある。そのため、図３に示す構成にすることで、ソースドライバＩＣの破損を防ぐことができる。
【００６６】
＜画素アレイ＞
図４は、表示ユニット６０の構成例を示すブロック図である。
【００６７】
画素アレイ６１は、複数の画素１０（１，１）乃至画素１０（ｍ，ｎ）と、ソース線ＳＬ（１）乃至ソース線ＳＬ（ｍ）と、ゲート線ＧＬ（１）乃至ゲート線ＧＬ（ｎ）を有する。ここで、ｍおよびｎは１以上の整数であり、ｉは１以上ｍ以下の整数であり、ｊは１以上ｎ以下の整数である。なお、図４において、電源線や容量を形成するための定電位線等は省略している。
【００６８】
ゲートドライバ６２、６３は、ゲート線ＧＬ（１）乃至ゲート線ＧＬ（ｎ）を介して画素アレイ６１と電気的に接続され、ソースドライバＩＣ６４は、ソース線ＳＬ（１）乃至ソース線ＳＬ（ｍ）を介して画素アレイ６１と電気的に接続される。
【００６９】
また、矢印Ｃ１で示す方向に配設される一群の画素１０（ｉ，１）乃至画素１０（ｉ，ｎ）は、ソース線ＳＬ（ｉ）と電気的に接続され、矢印Ｒ１で示す方向に配設される一群の画素１０（１，ｊ）乃至画素１０（ｍ，ｊ）は、ゲート線ＧＬ（ｊ）と電気的に接続される。
【００７０】
ゲートドライバ６２、６３は、ゲート線ＧＬ（ｊ）を駆動し、画素１０（１，ｊ）乃至画素１０（ｍ，ｊ）を選択する。ソースドライバＩＣ６４は、ソース線ＳＬ（１）乃至ソース線ＳＬ（ｍ）を介して、アプリケーションプロセッサ８０から供給された画像データのデータ信号を、画素１０（１，ｊ）乃至画素１０（ｍ，ｊ）に供給する。この動作を、ゲート線ＧＬ（１）からゲート線ＧＬ（ｎ）まで繰り返すことで、表示ユニット６０は、画素アレイ６１に画像を表示することができる。
【００７１】
なお、画素１０には、液晶、電子ペーパー、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）、ＱＬＥＤ（Ｑｕａｎｔｕｍ−ｄｏｔ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）等、様々な表示素子を適用することができる。また、例えば、反射型素子として適用することができる液晶素子と、発光型素子として適用することができる有機ＥＬ素子を組み合わせた、ハイブリッド型素子を画素１０に適用することができる。
【００７２】
また、例えば、反射型素子として適用することができる液晶素子と、光源（例えばＬＥＤ）と液晶を組みあわせた透過型液晶素子とを組み合わせた、ハイブリッド型素子を画素１０に適用してもよい。
【００７３】
＜ゲートドライバ＞
図５は、ゲートドライバ６２、６３に適用可能な、ゲートドライバの構成例を示す回路図である。
【００７４】
なお、ゲートドライバ６２、６３は、表示ユニット６０の表示領域を複数の領域に分割して駆動する機能を有する。すなわち、ゲートドライバ６２、６３は、画素アレイ６１を複数の画素群に分割して駆動する機能を有する。ゲートドライバ６２、６３は、第１乃至第Ｎのシフトレジスタを有し、第Ｋ（Ｋは１以上Ｎ以下の整数）のシフトレジスタは、第Ｋの画素群を駆動する信号を生成する。ゲートドライバ６２、６３には、第１乃至第Ｍ（Ｍは１以上の整数）のクロック信号と、第１乃至第Ｌ（Ｌは１以上の整数）のサンプリング信号が入力される。ゲートドライバは、第１乃至第Ｍのクロック信号と、第１乃至第Ｌのサンプリング信号を用いて、第１乃至第Ｎのシフトレジスタのそれぞれに、クロック信号とスタートパルスを供給する。
【００７５】
入力されるサンプリング信号の数Ｌは、Ｎ／Ｍ＋１以下である。なお、シフトレジスタの数Ｎがクロック信号の数Ｍで割り切れる場合、入力されるサンプリング信号の数ＬはＮ／Ｍでよいが、シフトレジスタの数Ｎがクロック信号の数Ｍで割り切れない場合を想定し、入力されるサンプリング信号の数ＬをＮ／Ｍ＋１以下とする。この結果、ゲートドライバに供給される信号数を少なくすることが可能であり、該信号の供給に伴うノイズを低減できる。また、ゲートドライバ６２、６３の動作を制御するソースドライバＩＣ６４やアプリケーションプロセッサ８０の回路規模を小さくすることができ、表示装置１００のコストを削減することができる。
【００７６】
本実施の形態においては、説明をわかりやすくするため、図４においてｎ＝１９２０、ｍ＝１０８０とし、矢印Ｃ１で示す方向に２０の領域に分割して駆動する例を説明する。また、２０の領域は均等であり、９６×１０８０個の画素１０を有する領域が２０あるとする。
【００７７】
図５に示すゲートドライバ６２、６３は、デマルチプレクサ２０を４個と、シフトレジスタ２１乃至シフトレジスタ２４をそれぞれ５個有する。外部から、クロック信号ＣＬＫ［１］乃至ＣＬＫ［４］、リセット信号ＲＥＳ、サンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］が入力される。また、ゲートドライバ６２、６３は、上述したゲート線ＧＬ（１）乃至ゲート線ＧＬ（１９２０）に、それぞれ電気的に接続されている。
【００７８】
シフトレジスタ２１乃至シフトレジスタ２４は、それぞれ９６本のゲート線ＧＬに電気的に接続され、ゲート線ＧＬを駆動する。なお、図５に示す、「ＧＬ（１：９６）」は、ゲート線ＧＬ（１）乃至ゲート線ＧＬ（９６）の意味で用いている。
【００７９】
また、シフトレジスタ２１乃至シフトレジスタ２４には、クロック信号ＣＬＫ［１］乃至ＣＬＫ［４］、リセット信号ＲＥＳ、およびスタートパルスが入力される。ここで、スタートパルスは、デマルチプレクサ２０が生成する。ゲートドライバ６２、６３は、シフトレジスタ２１乃至シフトレジスタ２４を合わせて２０個有するため、デマルチプレクサ２０は、合計で２０個のスタートパルスを生成する。
【００８０】
デマルチプレクサ２０には、クロック信号ＣＬＫ［１］乃至ＣＬＫ［４］のいずれかと、サンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］が入力され、デマルチプレクサ２０は、シフトレジスタ２１乃至シフトレジスタ２４のそれぞれにスタートパルスを出力する。デマルチプレクサ２０は、合計で２０個のスタートパルスを生成するが、シフトレジスタ２１乃至シフトレジスタ２４にも入力されるクロック信号ＣＬＫ［１］乃至ＣＬＫ［４］を利用することで、ゲートドライバ６２、６３に必要な信号数を少なくすることができる。
【００８１】
すなわち、デマルチプレクサ２０は、２０個のスタートパルスを、４つのクロック信号ＣＬＫ［１］乃至ＣＬＫ［４］と、５つのサンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］から生成する。なお、本実施の形態では、領域の数２０がクロック信号ＣＬＫの数４で割り切れる場合を示したが、割り切れない場合等、サンプリング信号ＳＭＰが追加で必要となる場合がある。
【００８２】
図６乃至図９は、シフトレジスタの構成例を示す回路図である。図６はシフトレジスタ２１の構成例を、図７はシフトレジスタ２２の構成例を、図８はシフトレジスタ２３の構成例を、図９はシフトレジスタ２４の構成例を、それぞれ示している。
【００８３】
図６（Ａ）は、シフトレジスタ２１のシンボルであり、シフトレジスタ２１の入出力の様子を示している。シフトレジスタ２１は、入力端子ＣＬＫ＿ＩＮ［１］乃至ＣＬＫ＿ＩＮ［４］、ＲＥＳ＿ＩＮ、ＳＰ＿ＩＮを有し、出力端子ＣＬＫ＿ＯＵＴ［１］乃至ＣＬＫ＿ＯＵＴ［４］、ＲＥＳ＿ＯＵＴ、ＳＲ＿ＯＵＴ［１：９６］を有する。ここで、ＳＰ＿ＩＮにはスタートパルスが入力され、ＳＲ＿ＯＵＴ［１：９６］からは、９６本のゲート線ＧＬに信号が出力される。
【００８４】
図６（Ｂ）は、シフトレジスタ２１のシンボルに対する回路図である。シフトレジスタ２１は、レジスタ３１を９５個と、レジスタ３２を有する。９５個のレジスタ３１とレジスタ３２は、それぞれ、ＣＬＫ＿ＩＮ［１］乃至ＣＬＫ＿ＩＮ［４］のいずれか２つ、およびＲＥＳ＿ＩＮと電気的に接続され、信号が入力される。また、９５個のレジスタ３１とレジスタ３２は、それぞれ、ＳＲ＿ＯＵＴ［１］乃至ＳＲ＿ＯＵＴ［９６］と電気的に接続され、信号を出力する。ＳＲ＿ＯＵＴ［１］に信号を出力するレジスタ３１は、ＳＰ＿ＩＮと電気的に接続される。
【００８５】
図７乃至図９は、それぞれ、シフトレジスタ２２乃至シフトレジスタ２４の構成例を示しているが、図６に示すシフトレジスタ２１とは、レジスタ３１およびレジスタ３２がＣＬＫ＿ＩＮ［１］乃至ＣＬＫ＿ＩＮ［４］のいずれか２つと電気的に接続される部分が異なる。シフトレジスタ２１乃至シフトレジスタ２４において、レジスタ３１およびレジスタ３２と、ＣＬＫ＿ＩＮ［１］乃至ＣＬＫ＿ＩＮ［４］との接続を変えることで、異なるスタートパルスに対応できる。この様子は、図１３乃至図１６のタイミングチャートを用いて、後述する。なお、シフトレジスタ２２乃至シフトレジスタ２４の説明は、シフトレジスタ２１の説明を援用する。
【００８６】
図１０は、デマルチプレクサの構成例を示す回路図である。
【００８７】
図１０（Ａ）は、デマルチプレクサ２０のシンボルであり、デマルチプレクサ２０の入出力の様子を示している。デマルチプレクサ２０は、入力端子ＳＭＰ＿ＩＮ［１］乃至ＳＭＰ＿ＩＮ［５］、ＣＬＫ＿ＩＮを有し、出力端子ＳＰ＿ＯＵＴ［１］乃至ＳＰ＿ＯＵＴ［５］を有する。ここで、ＣＬＫ＿ＩＮにはクロック信号ＣＬＫ［１］乃至ＣＬＫ［４］の１つが入力され、ＳＰ＿ＯＵＴ［１］乃至ＳＰ＿ＯＵＴ［５］からは、スタートパルスが出力される。また、ＳＭＰ＿ＩＮ［１］乃至ＳＭＰ＿ＩＮ［５］には、サンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］が入力される。
【００８８】
図１０（Ｂ）は、デマルチプレクサ２０のシンボルに対する回路図である。デマルチプレクサ２０は、トランジスタＴｒ１乃至トランジスタＴｒ５を有し、ＳＭＰ＿ＩＮ［１］乃至ＳＭＰ＿ＩＮ［５］に入力される信号に応じて、ＣＬＫ＿ＩＮと、ＳＰ＿ＯＵＴ［１］乃至ＳＰ＿ＯＵＴ［５］のいずれかとが、トランジスタＴｒ１乃至トランジスタＴｒ５のいずれかを介して電気的に接続される。
【００８９】
図１１および図１２は、レジスタの構成例を示す回路図である。図１１はレジスタ３１の構成例を、図１２はレジスタ３２の構成例を、それぞれ示している。
【００９０】
図１１（Ａ）は、レジスタ３１のシンボルであり、レジスタ３１の入出力の様子を示している。レジスタ３１は、入力端子ＣＬＫ＿ＩＮ［１］、ＣＬＫ＿ＩＮ［２］、ＲＥＳ＿ＩＮ、Ｌ＿ＩＮ、Ｒ＿ＩＮを有し、出力端子ＳＲ＿ＯＵＴ［１］、ＳＲ＿ＯＵＴ［２］を有する。ここで、Ｌ＿ＩＮには前段のレジスタの出力またはスタートパルスが入力され、Ｒ＿ＩＮには後段のレジスタの出力が入力される（図６乃至図９、参照）。
【００９１】
図１１（Ｂ）は、レジスタ３１のシンボルに対する回路図である。レジスタ３１は、トランジスタＴｒ６乃至トランジスタＴｒ１６と、容量素子Ｃ３および容量素子Ｃ４を有する。なお、ＶＤＤは高電位電源であり、ＶＳＳは低電位電源である。
【００９２】
図１２は、レジスタ３２の構成例を示しているが、レジスタ３１と比べて入力端子Ｒ＿ＩＮがなく、レジスタ３１におけるトランジスタＴｒ８に相当するトランジスタを有していない点以外は同様のため、レジスタ３１の説明を援用する。なお、レジスタ３２は、トランジスタＴｒ１７乃至トランジスタＴｒ２６と、容量素子Ｃ５および容量素子Ｃ６を有する。
【００９３】
なお、トランジスタＴｒ１乃至トランジスタＴｒ２６はＯＳトランジスタを用いることが好ましい。トランジスタＴｒ１乃至トランジスタＴｒ２６は、図１０乃至図１２ではシングルゲートトランジスタとして図示したが、バックゲートを有するデュアルゲートトランジスタでもよい。トランジスタＴｒ１乃至トランジスタＴｒ２６がＯＳトランジスタであることで、トランジスタのオフ電流が低くなり、ゲートドライバの消費電流を低減することができる。
【００９４】
＜タイミングチャート＞
図１３乃至図１６は、ゲートドライバ６２、６３に入力されるクロック信号ＣＬＫ［１］乃至ＣＬＫ［４］、サンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］と、ゲート線ＧＬ（１）乃至ゲート線ＧＬ（１９２０）との関係を示すタイミングチャートである。なお、実際には、ゲート線ＧＬ（１）乃至ゲート線ＧＬ（１９２０）の全てではなく、ゲート線ＧＬ（１）乃至ゲート線ＧＬ（１９２０）の一部についてタイミングチャートを示す。
【００９５】
なお、第１の領域とは、画素アレイ６１において、ゲート線ＧＬ（１）乃至ゲート線ＧＬ（９６）によって選択される画素１０を含む領域である。同様に、第２の領域とは、ゲート線ＧＬ（９７）乃至ゲート線ＧＬ（１９２）によって選択される画素１０を含む領域であり、第２０の領域とは、ゲート線ＧＬ（１８２５）乃至ゲート線ＧＬ（１９２０）によって選択される画素１０を含む領域である。つまり、表示領域の全領域を書き換える場合、第１の領域乃至第２０の領域の全てを書き換える必要がある。
【００９６】
図１３は、シフトレジスタ２１が駆動する第１の領域乃至第５の領域のうち、第１の領域乃至第３の領域について、それぞれの領域における５本のゲート線ＧＬを示している。同様に、図１４は、シフトレジスタ２２が駆動する第６の領域乃至第１０の領域のうち、第６の領域乃至第８の領域について、図１５は、シフトレジスタ２３が駆動する第１１の領域乃至第１５の領域のうち、第１１の領域乃至第１３の領域について、図１６は、シフトレジスタ２４が駆動する第１６の領域乃至第２０の領域のうち、第１６の領域乃至第１８の領域について、それぞれの領域における５本のゲート線ＧＬを示している。
【００９７】
図１３において、クロック信号ＣＬＫ［１］乃至ＣＬＫ［４］は、互いにＨｉｇｈの状態が重ならないように入力され、サンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］は、クロック信号ＣＬＫ［１］と重なるタイミングで入力される（図１３では、サンプリング信号ＳＭＰ［４］およびＳＭＰ［５］がＨｉｇｈの状態は省略されている）。クロック信号ＣＬＫ［１］と重なるタイミングで、サンプリング信号ＳＭＰ［１］が入力されると、第１の領域を駆動するシフトレジスタ２１が動作を開始し、ゲート線ＧＬ（１）から順にゲート線ＧＬが選択される。同様に、クロック信号ＣＬＫ［１］と重なるタイミングで、サンプリング信号ＳＭＰ［２］が入力されると、第２の領域を駆動するシフトレジスタ２１が動作を開始し、ゲート線ＧＬ（９７）から順にゲート線ＧＬが選択される。
【００９８】
このように、クロック信号ＣＬＫ［１］と重なるタイミングで、サンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］のどのサンプリング信号が入力されるかによって、第１の領域乃至第５の領域のうち、駆動される領域を選択することができる。
【００９９】
同様に、図１４において、クロック信号ＣＬＫ［１］乃至ＣＬＫ［４］は、互いにＨｉｇｈの状態が重ならないように入力され、サンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］は、クロック信号ＣＬＫ［２］と重なるタイミングで入力される（図１４では、サンプリング信号ＳＭＰ［４］およびＳＭＰ［５］がＨｉｇｈの状態は省略されている）。クロック信号ＣＬＫ［２］と重なるタイミングで、サンプリング信号ＳＭＰ［１］が入力されると、第６の領域を駆動するシフトレジスタ２２が動作を開始し、ゲート線ＧＬ（４８１）から順にゲート線ＧＬが選択される。クロック信号ＣＬＫ［２］と重なるタイミングで、サンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］のどのサンプリング信号が入力されるかによって、第６の領域乃至第１０の領域のうち、駆動される領域を選択することができる。
【０１００】
図１５および図１６においても同様に、図１５では、クロック信号ＣＬＫ［３］と重なるタイミングで、サンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］のどのサンプリング信号が入力されるかによって、第１１の領域乃至第１５の領域のうち、駆動される領域を選択することができる。図１６では、クロック信号ＣＬＫ［４］と重なるタイミングで、サンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］のどのサンプリング信号が入力されるかによって、第１６の領域乃至第２０の領域のうち、駆動される領域を選択することができる。
【０１０１】
このように、クロック信号ＣＬＫ［１］乃至ＣＬＫ［４］と、サンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］の組み合わせによって、第１の領域乃至第２０の領域のうち、どの領域を駆動するかを選択することができる。
【０１０２】
＜＜ＩＤＳ駆動＞＞
次に、図１７は、表示ユニットとタッチセンサユニットの動作の関係を示す図である。表示ユニット６０が表示画像を書き換える動作と、タッチセンサユニット７０がタッチを検出する動作（検出動作）との関係を、図１７を用いて説明する。
【０１０３】
なお、表示ユニット６０が表示画像を書き換える動作については、表示領域の全領域を書き換える第１のモード（以下、「通常表示」と呼ぶ）と、表示領域の一部領域を書き換える第２のモード（以下、「部分ＩＤＳ駆動」と呼ぶ）と、表示領域の全領域を書き換えない第３のモード（以下、「ＩＤＳ駆動」と呼ぶ）とに分けて、説明する。また、図１８（Ａ）乃至（Ｃ）は、表示装置１００を、タブレット型情報端末９０に適用した例である。図１８（Ａ）は通常表示の場合、図１８（Ｂ）は部分ＩＤＳ駆動の場合、図１８（Ｃ）はＩＤＳ駆動の場合をそれぞれ表している。タブレット型情報端末９０は、入力領域を兼ねる表示領域９１を有する。表示領域９１には、本発明の一形態である表示装置１００が適用されている。
【０１０４】
＜通常表示＞
図１７（Ａ）は、通常表示の場合を示している。通常表示は、全表示領域を使った動画表示など、表示領域の全領域を書き換える必要がある場合に適用される。図１８（Ａ）は、動画表示の例として、タブレット型情報端末９０が、サッカーの試合を表示している例を示している。
【０１０５】
図１７（Ａ）において、表示ユニット６０が表示画像を書き換える期間、タッチセンサユニット７０は検出動作を休止している。これは、ゲート線ＧＬ（１）乃至ゲート線ＧＬ（１９２０）が駆動されることによるノイズ、ソース線ＳＬ（１）乃至ソース線ＳＬ（１０８０）にデータ信号が供給されることによるノイズ、ゲートドライバ６２およびゲートドライバ６３が動作することによるノイズ等があり、タッチセンサユニット７０が検出動作を行うタイミングとしては好適でないためである。
【０１０６】
表示ユニット６０が表示画像を書き換え終えると、表示ユニット６０は動作を休止し、タッチセンサユニット７０は検出動作を行う。表示ユニット６０が動作を休止している期間は前述のノイズがなく、タッチセンサユニット７０は、精度の高い検出動作を行うことができる。このように、表示ユニット６０が行う表示画像の書き換え動作と、タッチセンサユニット７０が行う検出動作を合わせて１フレームとし、この動作を繰り返すことで、動画等を表示しながら精度の高い検出動作を行うことができる。
【０１０７】
＜部分ＩＤＳ駆動＞
部分ＩＤＳ駆動は、表示領域の一部で動画を表示する場合など、表示領域の一部領域を書き換える必要がある場合に適用される。
【０１０８】
図１８（Ｂ）は、タブレット型情報端末９０の使用者が、スタイラスを使ってマーカーを書き込み、特定の文字を強調している例である。この場合、表示画像を書き換える必要があるのは、図中に示されている領域Ａ１のみである。ゲートドライバ６２およびゲートドライバ６３は、領域Ａ１のみ、ゲート線ＧＬを駆動すればよい。
【０１０９】
この場合、表示ユニットとタッチセンサユニットの動作の関係は、図１７（Ｂ）に示すように、表示ユニット６０は、書き換えが必要な領域のみ書き換え動作を行う。図１７（Ｂ）では、第Ｐの領域、第Ｐ＋１の領域、第Ｑの領域、第Ｑ＋１の領域を書き換えている。ここで、ＰとＱは同じであってもよいし、フレームごとに異なる数の領域を書き換えてもよい。
【０１１０】
表示ユニット６０が、書き換えが必要な領域のみ書き換え動作を行うことで、タッチセンサユニット７０がタッチを検出する動作を行う時間を長くすることができる。このため、１フレームにおける検出動作を複数回行うことができる。例えば、通常表示の場合、１フレームに１回の検出動作を、部分ＩＤＳ駆動の場合、１フレームに２回とすることができる。このように、部分ＩＤＳ駆動では滑らかな検出動作を行うことができ、手書き入力等に好適である。また、表示画像の書き換え動作を減らすことで、表示ユニット６０の消費電力を低減することができる。
【０１１１】
＜ＩＤＳ駆動＞
ＩＤＳ駆動は、全表示領域で静止画を表示している場合など、表示領域の全領域を書き換える必要がない場合に適用される。図１８（Ｃ）は、静止画の例として、花のイラストとその解説文（図中、点線で省略）を表示している例を示している。この場合、表示ユニットとタッチセンサユニットの動作の関係は、図１７（Ｃ）に示すように、表示ユニット６０は書き換え動作を休止し、タッチセンサユニット７０は検出動作を行うことができる。
【０１１２】
ＩＤＳ駆動および部分ＩＤＳ駆動は、静止画を表示している限り、その領域の表示画像を書き換える必要はないが、実際には、オフ電流が低いトランジスタを用いた画素１０が電荷を保持できる時間、画素１０の表示素子が液晶素子である場合の反転駆動等を考慮する必要がある。
【０１１３】
このように、ＩＤＳ駆動は、部分ＩＤＳ駆動と同様に滑らかな検出動作を行うことができる。また、表示ユニット６０の消費電力を低減することができるため、携帯型情報端末に好適である。
【０１１４】
＜＜フローチャート＞＞
次に、表示装置１００を適用した電子機器が、アプリケーションを起動させてから、３つの動作モード（通常表示、部分ＩＤＳ駆動、ＩＤＳ駆動）を切り替える様子を、図１９のフローチャートを用いて説明する。
【０１１５】
表示装置１００を適用した電子機器において、アプリケーションが起動（ステップＳ１）されると、タッチセンサユニット７０は検出動作を休止（ステップＳ２）し、アプリケーションプロセッサ８０は、表示領域に書き換えが必要な領域があるか判断（ステップＳ３）する。表示領域に書き換えが必要な領域があるかの判断は、表示ユニット６０に現在表示している画像データと、次に表示する画像データの変化量を計算することで行う。
【０１１６】
書き換えが必要な領域がある場合（ステップＳ４）、アプリケーションプロセッサ８０は、書き換えに必要なクロック信号の長さや、サンプリング信号のタイミングを計算し、表示ユニット６０に入力する画像データのデータ信号を決定する（ステップＳ５）。クロック信号およびサンプリング信号を入力する（ステップＳ６）。
【０１１７】
ゲートドライバ６２、６３では、書き換えが必要な領域を担当するシフトレジスタが、ゲート線ＧＬを駆動し、表示ユニット６０は書き換え動作を行う（ステップＳ７）。書き換え動作が終わると、クロック信号を停止し、リセット信号を入力する（ステップＳ８）。
【０１１８】
タッチセンサユニット７０は検出動作を行う（ステップＳ９）。タッチを検出すると（ステップＳ１０）、ステップＳ２に戻って検出動作を休止し、表示領域に書き換えが必要な領域があるか判断（ステップＳ３）する。書き換えが必要な領域がない場合（ステップＳ４）、再びタッチセンサユニット７０は検出動作を行う（ステップＳ９）。
【０１１９】
ステップＳ１０でタッチの検出がなく、１フレームが経過していない場合（ステップＳ１１）、ステップＳ９に戻ってタッチセンサユニット７０は検出動作を行う。ステップＳ１０でタッチの検出がなく、１フレームが経過した場合（ステップＳ１１）は、ステップＳ２に戻る。
【０１２０】
このように、表示領域に書き換えが必要な領域があるか否かと、タッチの検出に応じて、適宜表示ユニット６０とタッチセンサユニット７０の動作を変えることで、精度が高く滑らかな検出動作を行うことができる。
【０１２１】
また、ステップＳ１０において、１フレームが経過する前にタッチを検出し、表示領域を書き換える場合、図１７（Ｂ）における１フレームの長さは、図１７（Ａ）における１フレームの長さより短いことになる。このことは、タッチセンサユニット７０がタッチを検出すると、すぐに表示画像が書き換わることになり、入力（タッチ）に対して反応のよい動作（表示画像の書き換え）を行うことができる。手書き入力等に好適である。
【０１２２】
＜＜ゲートドライバの変形例＞＞
図５に示すゲートドライバ６２、６３は、デコーダ２５を有してもよい。図２０は、デコーダ２５を有する場合の、ゲートドライバの構成例を示す回路図である。
【０１２３】
図２０は、図５におけるサンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］にかわって、サンプリング信号ＳＭＰ［６］乃至ＳＭＰ［８］がデコーダ２５に入力される。デコーダ２５は、サンプリング信号ＳＭＰ［６］乃至ＳＭＰ［８］を用いて、図５におけるサンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］を生成することができる。デコーダ２５を有することで、ゲートドライバ６２、６３への入力信号の数を減らすことができる。
【０１２４】
図２１は、デコーダの構成例を示す回路図である。図２１（Ａ）は、デコーダ２５のシンボルであり、デコーダ２５の入出力の様子を示している。デコーダ２５は、入力端子ＳＭＰ＿ＩＮ［６］乃至ＳＭＰ＿ＩＮ［８］を有し、出力端子ＳＭＰ＿ＯＵＴ［６］乃至ＳＭＰ＿ＯＵＴ［１０］を有する。図２０では、入力端子ＳＭＰ＿ＩＮ［６］乃至ＳＭＰ＿ＩＮ［８］にサンプリング信号ＳＭＰ［６］乃至ＳＭＰ［８］が入力され、出力端子ＳＭＰ＿ＯＵＴ［６］乃至ＳＭＰ＿ＯＵＴ［１０］からサンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］に相当する信号を出力する。
【０１２５】
図２１（Ｂ）は、デコーダ２５のシンボルに対する回路図である。デコーダ２５は、トランジスタＴｒ２７乃至トランジスタＴｒ４０と、インバータ３３を３個と、ドライバ３４を８個有する。ＶＤＤは高電位電源である。
【０１２６】
３個のインバータ３３は、それぞれ、ＳＭＰ＿ＩＮ［６］乃至ＳＭＰ＿ＩＮ［８］と電気的に接続され、反転信号を生成する。８個のドライバ３４のうち５個は、それぞれ、ＳＭＰ＿ＯＵＴ［６］乃至ＳＭＰ＿ＯＵＴ［１０］と電気的に接続され、信号を出力する。なお、トランジスタＴｒ３２、トランジスタＴｒ３８乃至トランジスタＴｒ４０、および、出力端子ＳＭＰ＿ＯＵＴ［６］乃至ＳＭＰ＿ＯＵＴ［１０］に接続されていないドライバ３４は、省略することができる。
【０１２７】
ドライバ３４は、出力端子ＳＭＰ＿ＯＵＴ［６］乃至ＳＭＰ＿ＯＵＴ［１０］と電気的に接続され、出力波形を整える役割、および、トランジスタＴｒ２７乃至トランジスタＴｒ４０で高電位電源（ＶＤＤ）と電気的に接続されなかった出力端子を低電位電源（ＶＳＳ）と等しい電位とする役割を有する。
【０１２８】
図２２（Ａ、Ｂ）は、インバータの構成例を示す回路図である。図２２（Ａ）は、インバータ３３のシンボルであり、インバータ３３の入出力の様子を示している。インバータ３３は、入力端子ＩＮを有し、出力端子ＯＵＴを有する。図２２（Ｂ）は、インバータ３３のシンボルに対する回路図である。インバータ３３は、トランジスタＴｒ４１およびトランジスタＴｒ４２を有する。ＶＤＤは高電位電源であり、ＶＳＳは低電位電源である。
【０１２９】
図２２（Ｃ、Ｄ）は、ドライバの構成例を示す回路図である。図２２（Ｃ）は、ドライバ３４のシンボルであり、ドライバ３４の入出力の様子を示している。ドライバ３４は、入力端子ＩＮを有し、出力端子ＯＵＴを有する。図２２（Ｄ）は、ドライバ３４のシンボルに対する回路図である。ドライバ３４は、トランジスタＴｒ４３およびインバータ３３を２個有する。ＶＤＤは高電位電源であり、ＶＳＳは低電位電源である。
【０１３０】
図２２（Ｅ）は、デコーダ２５の入力端子ＳＭＰ＿ＩＮ［６］乃至ＳＭＰ＿ＩＮ［８］に入力される信号（すなわち、サンプリング信号ＳＭＰ［６］乃至ＳＭＰ［８］）と、デコーダ２５の出力端子ＳＭＰ＿ＯＵＴ［６］乃至ＳＭＰ＿ＯＵＴ［１０］から出力される信号との関係を示すタイミングチャートである。
【０１３１】
デコーダ２５は、入力端子ＳＭＰ＿ＩＮ［６］乃至ＳＭＰ＿ＩＮ［８］に入力される信号に基づいて、図１３乃至図１６におけるサンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］と同様の信号を出力することができる。このように、ゲートドライバ６２、６３は、デコーダ２５を有することで、入力される信号の数を少なくすることができる。
【０１３２】
なお、トランジスタＴｒ２７乃至トランジスタＴｒ４３はＯＳトランジスタを用いることが好ましい。トランジスタＴｒ２７乃至トランジスタＴｒ４３は、図２１および図２２ではシングルゲートトランジスタとして図示したが、バックゲートを有するデュアルゲートトランジスタでもよい。トランジスタＴｒ２７乃至トランジスタＴｒ４３がＯＳトランジスタであることで、トランジスタのオフ電流が低くなり、ゲートドライバの消費電流を低減することができる。
【０１３３】
また、ゲートドライバ６２、６３には、４つのクロック信号ＣＬＫ［１］乃至ＣＬＫ［４］と、５つのサンプリング信号ＳＭＰ［１］乃至ＳＭＰ［５］が入力されているが、クロック信号の数を増やしてもよい。クロック信号の数を増やす場合も、互いにＨｉｇｈの状態が重ならないようにする。クロック信号の数を増やすことで、サンプリング信号の数を少なくできる場合がある。クロック信号の数と、サンプリング信号の数の双方を検討して、ゲートドライバ６２、６３の構成を決めることが好ましい。
【０１３４】
以上のように、表示装置１００は、表示ユニット６０が表示画像を書き換える動作と、タッチセンサユニット７０がタッチを検出する動作とを、異なるタイミングで行うことで精度の高い検出動作を行うことができる。また、表示ユニット６０は、書き換えが必要な領域のみ表示画像を書き換える動作を行うことで、表示ユニット６０の消費電力を低減し、タッチセンサユニット７０は滑らかな検出動作を行うことができる。表示ユニット６０による、書き換えが必要な領域のみ表示画像を書き換える動作は、本実施の形態で例示したゲートドライバ６２、６３を適用することで、少ない信号数で実現することができる。
【０１３５】
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【０１３６】
（実施の形態２）
本実施の形態では、上記実施の形態に記載のタッチセンサユニット７０の構成例について、図２３および図２４を用いて説明を行う。
【０１３７】
タッチセンサユニット７０のより具体的な構成例について、図２３および図２４を用いて説明を行う。
【０１３８】
図２３（Ａ）はタッチセンサユニット７０の上面図である。図２３（Ｂ）および図２３（Ｃ）は、図２３（Ａ）の一部を説明する投影図である。
【０１３９】
図２４（Ａ）は、制御線および検知信号線の隣接部の上面図である。図２４（Ｂ）は、隣接部に生じる電界を模式的に説明する投影図である。
【０１４０】
タッチセンサユニット７０はセンサアレイ７１を有する。センサアレイ７１は、配線ＣＬ（ｇ）、配線ＭＬ（ｈ）および導電膜を備える（図２３（Ａ）参照）。なお、ｇ及びｈは２以上の整数である。
【０１４１】
例えば、複数の領域に分割された導電膜をセンサアレイ７１に用いることができる（図２３（Ａ）参照）。これにより、同一の電位または異なる電位を、複数の領域のそれぞれに供給することができる。
【０１４２】
具体的には、配線ＣＬ（ｇ）に用いることができる導電膜と、配線ＭＬ（ｈ）に用いることができる導電膜と、に分割された導電膜をセンサアレイ７１に用いることができる。また、複数の領域に分割された導電膜のそれぞれに、例えば、櫛歯状の形状を備える導電膜を用いることができる（図２４、電極ＣＥ（１）、電極ＭＥ（１）および電極ＭＥ（２）参照）。これにより、分割された導電膜を検知素子の電極に用いることができる。
【０１４３】
例えば、配線ＣＬ（１）に用いることができる導電膜と、配線ＭＬ（１）に用いることができる導電膜と、配線ＭＬ（２）に用いることができる導電膜と、に分割された導電膜は、隣接部Ｘ０において互いに隣接する（図２３（Ａ）、図２３（Ｃ）、または図２４参照）。
【０１４４】
検知素子４７５（ｇ，ｈ）は、配線ＣＬ（ｇ）および配線ＭＬ（ｈ）と電気的に接続される（図２３（Ａ）参照）。
【０１４５】
配線ＣＬ（ｇ）は信号Ｔｘを供給する機能を備え、配線ＭＬ（ｈ）は、信号Ｒｘを供給される機能を備える。
【０１４６】
配線ＭＬ（ｈ）は、導電膜ＢＲ（ｇ，ｈ）を含む（図２３（Ｂ）参照）。導電膜ＢＲ（ｇ，ｈ）は、配線ＣＬ（ｇ）と重なる領域を備える。
【０１４７】
なお、検知素子４７５（ｇ，ｈ）は絶縁膜を備える。絶縁膜は、配線ＭＬ（ｈ）および導電膜ＢＲ（ｇ，ｈ）の間に挟まれる領域を備える。これにより、配線ＭＬ（ｈ）および導電膜ＢＲ（ｇ，ｈ）の短絡を防止することができる。
【０１４８】
電極ＣＥ（１）は、配線ＣＬ（１）に電気的に接続され、電極ＭＥ（１）は、配線ＭＬ（１）に電気的に接続される（図２４参照）。
【０１４９】
同様に、電極ＣＥ（ｇ）は、配線ＣＬ（ｇ）に電気的に接続され、電極ＭＥ（ｈ）は、配線ＭＬ（ｈ）に電気的に接続される。
【０１５０】
検知素子４７５（１、１）は、電極ＣＥ（１）と電極ＭＥ（１）の間に形成される容量値の変化を読み取ることで、タッチを検出する（図２４参照）。
【０１５１】
同様に、検知素子４７５（ｇ、ｈ）は、電極ＣＥ（ｇ）と電極ＭＥ（ｈ）の間に形成される容量値の変化を読み取ることで、タッチを検出する。
【０１５２】
同一の工程で形成することができる導電膜を、配線ＣＬ（１）および電極ＣＥ（１）に用いることができる。同一の工程で形成することができる導電膜を、配線ＭＬ（１）および電極ＭＥ（１）に用いることができる（図２４参照）。
【０１５３】
同様に、同一の工程で形成することができる導電膜を、配線ＣＬ（ｇ）および電極ＣＥ（ｇ）に用いることができる。同一の工程で形成することができる導電膜を、配線ＭＬ（ｈ）および電極ＭＥ（ｈ）に用いることができる。
【０１５４】
例えば、透光性を備える導電膜を、電極ＣＥ（ｇ）および電極ＭＥ（ｈ）に用いることができる。または、画素と重なる領域に開口部や櫛歯状の形状を備える導電膜を、電極ＣＥ（ｇ）および電極ＭＥ（ｈ）に用いることができる。これにより、表示パネルの表示を遮ることなく、表示パネルと重なる領域に近接するものを検知することができる。
【０１５５】
なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
【０１５６】
（実施の形態３）
本実施の形態では、上記実施の形態に記載のソースドライバＩＣ６４の構成例について、図２５を用いて説明を行う。
【０１５７】
図２５（Ａ）および図２５（Ｂ）は、ソースドライバＩＣ６４の構成例を示すブロック図である。図２５（Ａ）および図２５（Ｂ）に示すソースドライバＩＣ６４は、反射型素子と発光素子を有するハイブリッド型素子を画素１０に用いた場合のブロック図である。
【０１５８】
図２５（Ａ）に示すソースドライバＩＣ６４は、制御回路８０１と、ドライバ８０２と、フレームメモリ８０３と、フレームメモリ８０４と、ゲートドライバ信号生成回路８０６と、ゲートドライバ信号生成回路８０７と、を有する。
【０１５９】
制御回路８０１は、アプリケーションプロセッサ８０から信号を受け取り、ソースドライバＩＣ６４に含まれる各種回路へ信号を供給する機能を有する。なお、制御回路８０１が、アプリケーションプロセッサ８０から受け取る信号のインターフェース規格として、ＭＩＰＩ（Ｍｏｂｉｌｅ  Ｉｎｄｕｓｔｒｙ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）、ＳＰＩ（Ｓｅｒｉａｌ  Ｐｅｒｉｐｈｅｒａｌ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）などが挙げられる。
【０１６０】
ドライバ８０２は、画素アレイ６１へ画像信号を供給する機能を有する。
【０１６１】
フレームメモリ８０３は、画像信号を一時的に保存する機能を有する。
【０１６２】
ゲートドライバ信号生成回路８０６はゲートドライバ６２へ信号を供給する機能を有し、ゲートドライバ信号生成回路８０７はゲートドライバ６３へ信号を供給する機能を有する。
【０１６３】
ゲートドライバ信号生成回路８０６またはゲートドライバ信号生成回路８０７の一方は、画素１０が有する反射型素子を駆動するための信号を生成する機能を有し、ゲートドライバ信号生成回路８０６またはゲートドライバ信号生成回路８０７の他方は、画素１０が有する発光素子を駆動するための信号を生成する機能を有する。
【０１６４】
ソースドライバＩＣ６４は、図１に示すタッチセンサＩＣ７２としての機能を含んでいてもよい。その場合のブロック図を図２５（Ｂ）に示す。
【０１６５】
図２５（Ｂ）に示すソースドライバＩＣ６４は、図２５（Ａ）のブロック図に、図２に示す駆動回路４０２と検出回路４０３を加えている。このようにタッチセンサＩＣ７２をソースドライバＩＣ６４に含めることで、表示装置の製造コストを低減することができる。
【０１６６】
駆動回路４０２と検出回路４０３を１つのＩＣに含めた場合、これら２つの回路は、互いに離れた位置に配置されることが好ましい。駆動回路４０２が検出回路４０３の近くに配置されると、駆動回路４０２から発生するノイズによって、検出回路４０３の検出感度が低下し、タッチ検出が困難になる場合がある。そのため、駆動回路４０２と検出回路４０３は、ゲートドライバ信号生成回路８０６、ゲートドライバ信号生成回路８０７およびドライバ８０２等の回路を間に介して、配置されることが好ましい。
【０１６７】
ここで、ゲートドライバ６２は液晶素子を駆動し、ゲートドライバ６３は発光素子を駆動すると仮定する。すなわち、ゲートドライバ信号生成回路８０６は液晶素子を駆動するための信号を生成し、ゲートドライバ信号生成回路８０７は発光素子を駆動するための信号を生成すると仮定する。このとき、駆動回路４０２はゲートドライバ信号生成回路８０６の近くに配置し、検出回路４０３はゲートドライバ信号生成回路８０７の近くに配置することが好ましい。
【０１６８】
一般的に、発光素子の駆動電圧は液晶素子の駆動電圧よりも低い。そのため、ゲートドライバ信号生成回路８０７が出力する電圧の振幅は、ゲートドライバ信号生成回路８０６が出力する電圧の振幅よりも低い。ゲートドライバ信号生成回路８０７から発生するノイズは、ゲートドライバ信号生成回路８０６から発生するノイズよりも小さいと言える。そのため、検出回路４０３は、ゲートドライバ信号生成回路８０６よりも、ゲートドライバ信号生成回路８０７の近くに配置することが好ましい。
【０１６９】
なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
【０１７０】
（実施の形態４）
本実施の形態は、ハイブリッド型素子を有する表示装置１００の一形態について、図面を用いて説明する。
【０１７１】
＜構成例＞
図２６（Ａ）は、表示装置１００の斜視概略図である。表示装置１００は、基板３５１と基板３６１とが貼り合わされた構成を有する。図２６（Ａ）では、基板３６１を破線で明示している。
【０１７２】
表示装置１００は、表示領域２３５、周辺回路領域２３４、配線３６５等を有する。図２６（Ａ）では表示装置１００にソースドライバＩＣ６４及びＦＰＣ３７２が実装されている例を示している。
【０１７３】
周辺回路領域２３４には、表示領域２３５に信号を供給するための回路が含まれる。周辺回路領域２３４に含まれる回路としては、例えば、ゲートドライバ等がある。
【０１７４】
配線３６５は、表示領域２３５および周辺回路領域２３４に信号および電力を供給する機能を有する。当該信号及び電力は、ＦＰＣ３７２を介して外部から、またはソースドライバＩＣ６４から配線３６５に入力される。
【０１７５】
図２６（Ａ）では、ＣＯＧ方式により、基板３５１にソースドライバＩＣ６４が設けられている例を示す。ソースドライバＩＣ６４は、実施の形態１に示すソースドライバＩＣ６４に相当する。例えば走査線駆動回路または信号線駆動回路などを有するＩＣを適用できる。なお、ソースドライバＩＣ６４は、ＣＯＦ方式等により、ＦＰＣに実装してもよい。
【０１７６】
図２６（Ａ）には、表示領域２３５の一部の拡大図を示している。表示領域２３５には、複数の画素１０がマトリクス状に配置されている。画素１０は、表示素子として発光素子１７０および液晶素子１８０を有する。また、画素１０は、表示素子を駆動するための画素回路２３６を有する。
【０１７７】
図２６（Ｂ）に、画素１０の斜視概略図を示す。画素１０が有する発光素子１７０および液晶素子１８０は、画素回路２３６を介して互いに重なる。画素回路２３６は、発光素子１７０を駆動するための第１回路と、液晶素子１８０を駆動するための第２回路と、を有する。
【０１７８】
発光素子１７０から発せられた光２３７は、画素回路２３６および液晶素子１８０を通過して外部に射出される。また、外部から入射した光２３８は液晶素子１８０および画素回路２３６を通過して発光素子１７０の電極で反射され、再び画素回路２３６および液晶素子１８０を通過して、反射光として外部に射出される。
【０１７９】
図２７（Ａ）に、画素回路２３６の平面構成例を示す。図２７（Ａ）に示す画素回路２３６は、トランジスタ２７１、容量素子２７２、トランジスタ２８１、容量素子２８２、およびトランジスタ２８３などの素子を有する。また、画素回路２３６は、走査線２７３の一部、信号線２７４の一部、共通電位線２７５の一部、走査線２８４の一部、信号線２８５の一部、および電源線２８６の一部を含む。
【０１８０】
前述したように、光２３７は画素回路２３６を１回透過する。光２３８は画素回路２３６を２回透過する。このため、画素回路２３６は、透光性を有する材料を含むことが好ましい。
【０１８１】
トランジスタ２７１、容量素子２７２、トランジスタ２８１、容量素子２８２、およびトランジスタ２８３の少なくとも一は、透光性を有する導電性材料で形成することが好ましい。また、画素回路２３６内でこれらに接続する電極を、透光性を有する材料で形成することが好ましい。
【０１８２】
透光性を有する導電性材料としては、例えば、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物などを用いればよい。特に、エネルギーバンドギャップが２．５ｅＶ以上の導電性材料は、可視光の透過率が高いため好ましい。
【０１８３】
一方で、透光性を有する導電性材料は、銅やアルミニウムなどの遮光性を有する導電性材料と比較して抵抗率が大きい。よって、走査線２７３、信号線２７４、走査線２８４、信号線２８５、および電源線２８６などのバスラインは、信号遅延を防ぐため、抵抗率が小さい遮光性を有する導電性材料（金属材料）を用いて形成することが好ましい。ただし、表示領域２３５の大きさや、バスラインの幅、バスラインの厚さなどによっては、バスラインに透光性を有する導電性材料を用いる場合もある。
【０１８４】
また、一般に、共通電位線２７５は、画素回路２３６内に一定の電位を与えるために用いられ、共通電位線２７５に大きな電流は流れない。よって、共通電位線２７５は、抵抗率が大きい透光性を有する導電性材料で形成することができる。ただし、表示素子の駆動方法として、共通電位線２７５の電位を変動させる方法を用いる場合は、共通電位線２７５に抵抗率が小さい遮光性を有する金属材料を用いることが好ましい。
【０１８５】
図２７（Ｂ）は、画素回路２３６の透過領域２９１と遮光領域２９２を示す平面図である。光２３７および光２３８は、透過領域２９１を通過して射出される。よって、平面図において、画素１０の占有面積に対する透過領域２９１の割合（「開口率」ともいう）が大きいほど、光２３７および光２３８の取り出し効率を高めることができる。すなわち、表示装置１００の消費電力を低減できる。また、表示装置１００の視認性を高めることができる。また、表示装置１００の表示品位を高めることができる。
【０１８６】
本発明の一態様の表示装置１００では、画素回路２３６を構成する素子を、透光性を有する材料で形成することにより、開口率を６０％以上さらには８０％以上にすることができる。また、発光素子１７０と液晶素子１８０を重ねて設けることができるため、発光素子１７０の発光面積と液晶素子１８０の反射面積の合計を、画素１０の面積以上にすることができる。言い換えると、画素１０の占有面積を１００％とした時に、発光面積と反射面積の合計面積を１００％以上にすることができる。すなわち、開口率を１００％以上にすることができる、とも言える。
【０１８７】
例えば、一定の一画素当たりの発光輝度（発光量）を得る場合、発光素子１７０の発光面積を広くすることにより、単位面積当たりの発光輝度を下げることができる。よって、発光素子１７０の劣化が低減され、表示装置１００の信頼性を高めることができる。
【０１８８】
発光素子１７０は、有機ＥＬ素子、無機ＥＬ素子、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）、ＱＬＥＤ、半導体レーザーなどの自発光性の発光素子を用いることが好ましい。また、発光素子１７０として、光源（例えばＬＥＤ）と液晶を組みあわせた透過型液晶素子を用いてもよい。なお、本実施の形態において、発光素子１７０は有機ＥＬ素子として説明を行う。
【０１８９】
〔断面構成例〕
図２８に、図２６（Ａ）で示した表示装置１００の、ＦＰＣ３７２を含む領域の一部、周辺回路領域２３４を含む領域の一部、および表示領域２３５を含む領域の一部をそれぞれ切断したときの断面の一例を示す。
【０１９０】
図２８に示す表示装置１００は、基板３５１と基板３６１の間に、トランジスタ２０１、トランジスタ２０３、トランジスタ２０５、トランジスタ２０６、容量素子２０２、液晶素子１８０、発光素子１７０、絶縁層２２０、着色層１３１等を有する。基板３６１と絶縁層２２０は接着層１４１を介して接着されている。基板３５１と絶縁層２２０は接着層１４２を介して接着されている。
【０１９１】
基板３６１には、着色層１３１、遮光層１３２、絶縁層１２１、及び液晶素子１８０の共通電極として機能する電極１１３、配向膜１３３ｂ、絶縁層１１７等が設けられている。絶縁層１２１は、平坦化層としての機能を有していてもよい。絶縁層１２１により、電極１１３の表面を概略平坦にできるため、液晶１１２の配向状態を均一にできる。絶縁層１１７は、液晶素子１８０のセルギャップを保持するためのスペーサとして機能する。絶縁層１１７が可視光を透過する場合は、絶縁層１１７を液晶素子１８０の表示領域と重ねて配置してもよい。
【０１９２】
なお、基板３６１の外側の面には光学部材などの機能性部材１３５を配置することができる。光学部材としては、偏光板、位相差板、光拡散層（拡散フィルムなど）、反射防止層（「Ａｎｔｉ  Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ層」または「ＡＲ層」ともいう）、防眩層（「Ａｎｔｉ  Ｇｌａｒｅ層」または「ＡＧ層」ともいう）および集光フィルム等が挙げられる。また、光学部材以外の機能性部材としては、ゴミの付着を抑制する帯電防止膜、汚れを付着しにくくする撥水性の膜、使用に伴う傷の発生を抑制するハードコート膜などが挙げられる。機能性部材１３５として、上記部材を組み合わせて用いてもよい。例えば、直線偏光板と位相差板を組み合わせた円偏光板を用いてもよい。
【０１９３】
ＡＲ層は、光の干渉作用を利用して、外光の正反射（鏡面反射）を低減する機能を有する。機能性部材１３５としてＡＲ層を用いる場合、ＡＲ層は、基板３６１の屈折率と異なる屈折率を有する材料で形成される。ＡＲ層は、例えば、酸化ジルコニウム、フッ化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化シリコンなどの材料を用いて形成することができる。
【０１９４】
また、ＡＲ層に代えて防眩層（「Ａｎｔｉ  Ｇｌａｒｅ層」または「ＡＧ層」ともいう）を設けてもよい。ＡＧ層は、入射した外光を拡散させることにより、正反射（鏡面反射）を低減する機能を有する。
【０１９５】
ＡＧ層の形成方法としては、表面に微細な凹凸を設ける方法、屈折率の異なる材料を混合する方法、または、双方を組み合わせる方法などが知られている。例えば、透光性を有する樹脂に、セルロース繊維などのナノファイバ、酸化シリコンなどの無機ビーズ、または樹脂ビーズなどを混合して、ＡＧ層を形成することができる。
【０１９６】
また、ＡＲ層に重ねてＡＧ層を設けてもよい。ＡＲ層とＡＧ層を積層して設けることで、外光の反射や映り込みを防ぐ機能をより高めることができる。ＡＲ層、および／またはＡＧ層などを用いることにより、表示装置の表面の外光反射率を１％未満、好ましくは０．３％未満とするとよい。
【０１９７】
本実施の形態に示す液晶素子１８０は、発光素子１７０の導電層１９３を反射電極として用いる反射型の液晶素子である。また、液晶素子１８０は、電極３１１、液晶１１２、電極１１３が積層された積層構造を有する。電極３１１および電極１１３は可視光を透過する。液晶１１２と電極３１１の間に配向膜１３３ａが設けられている。液晶１１２と電極１１３の間に配向膜１３３ｂが設けられている。
【０１９８】
液晶素子１８０の反射電極を発光素子１７０の導電層１９３と兼用することで、液晶素子１８０専用の反射電極を削減できる。よって、表示装置の作製費用が低減される。また、表示装置の生産性を高めることができる。
【０１９９】
本実施の形態では、機能性部材１３５として円偏光板を用いる。基板３６１側から入射した光は、機能性部材１３５（円偏光板）により偏光され、電極１１３、液晶１１２、電極３１１を透過し、導電層１９３で反射する。そして電極３１１、液晶１１２、電極１１３を再度透過して、機能性部材１３５（円偏光板）に達する。このとき、電極３１１と電極１１３の間に与える電圧によって液晶の配向を制御し、光の光学変調を制御することができる。すなわち、機能性部材１３５（円偏光板）を介して射出される光の強度を制御することができる。また光は着色層１３１によって特定の波長域以外の光が吸収されることにより、取り出される光は、例えば赤色を呈する光となる。
【０２００】
接続部２０７において、電極３１１は、導電層２２１ｂを介して、トランジスタ２０６が有する導電層２２２ｂと電気的に接続されている。トランジスタ２０６は、液晶素子１８０の駆動を制御する機能を有する。
【０２０１】
接着層１４１が設けられる一部の領域には、接続部２５２が設けられている。接続部２５２において、電極３１１と同一の導電膜を加工して得られた導電層と、電極１１３の一部が、接続体２４３により電気的に接続されている。したがって、基板３６１側に形成された電極１１３に、ＦＰＣ３７２から入力される信号または電位を、接続部２５２を介して供給することができる。
【０２０２】
接続体２４３としては、例えば導電性の粒子を用いることができる。導電性の粒子としては、有機樹脂またはシリカなどの粒子の表面を金属材料で被覆したものを用いることができる。金属材料としてニッケルや金を用いると接触抵抗を低減できるため好ましい。またニッケルをさらに金で被覆するなど、２種類以上の金属材料を層状に被覆させた粒子を用いることが好ましい。また接続体２４３として、弾性変形、または塑性変形する材料を用いることが好ましい。このとき導電性の粒子である接続体２４３は、図２８に示すように上下方向に潰れた形状となる場合がある。こうすることで、接続体２４３と、これと電気的に接続する導電層との接触面積が増大し、接触抵抗を低減できるほか、接続不良などの不具合の発生を抑制することができる。
【０２０３】
接続体２４３は、接着層１４１に覆われるように配置することが好ましい。例えば、硬化前の接着層１４１に接続体２４３を分散させておけばよい。
【０２０４】
発光素子１７０は、ボトムエミッション型の発光素子である。発光素子１７０は、絶縁層２２０側から導電層１９１、ＥＬ層１９２、および導電層１９３の順に積層された積層構造を有する。導電層１９１は、絶縁層２１４に設けられた開口を介して、トランジスタ２０５が有する導電層２２２ｂと接続されている。トランジスタ２０５は、発光素子１７０の駆動を制御する機能を有する。絶縁層２１６が導電層１９１の端部を覆っている。導電層１９３は可視光を反射する機能を有し、導電層１９１は可視光を透過する機能を有する。導電層１９３を覆って絶縁層１９４が設けられている。発光素子１７０が発する光は、絶縁層２２０、電極３１１、着色層１３１等を介して、基板３６１側に射出される。
【０２０５】
発光素子１７０の発光色は、ＥＬ層１９２を構成する材料によって、白、赤、緑、青、シアン、マゼンタ、または黄などに変化させることができる。また、液晶素子１８０によって制御される反射光は着色層１３１を構成する材料によって白、赤、緑、青、シアン、マゼンタまたは黄などに変化させることができる。発光素子１７０および液晶素子１８０は、画素によって制御する光の色を変えることによってカラー表示を実現することができる。
【０２０６】
また、発光素子１７０に白色光を発光するＥＬ層１９２を用いて、着色層１３１で着色してもよい。
【０２０７】
カラー表示を実現するために、発光素子１７０の発光色、および、液晶素子１８０と組み合わせる着色層の色は、赤、緑、青の組み合わせだけでなく、黄、シアン、マゼンタの組み合わせであってもよい。組み合わせる着色層の色は、目的または用途などに応じて適宜設定すればよい。
【０２０８】
トランジスタ２０１、トランジスタ２０３、トランジスタ２０５、トランジスタ２０６、および容量素子２０２は、いずれも絶縁層２２０の基板３５１側の面上に形成されている。図２８では、トランジスタ２０１、トランジスタ２０３、トランジスタ２０５、およびトランジスタ２０６としてトップゲート型のトランジスタを図示している。
【０２０９】
トランジスタ２０３は、画素の選択、非選択状態を制御するトランジスタ（スイッチングトランジスタ、または選択トランジスタともいう）である。トランジスタ２０５は、発光素子１７０に流れる電流を制御するトランジスタ（駆動トランジスタともいう）である。
【０２１０】
絶縁層２２０の基板３５１側には、絶縁層２１１、絶縁層２１２、絶縁層２１３、絶縁層２１４等の絶縁層が設けられている。絶縁層２１２、および絶縁層２１３は、トランジスタ２０１、トランジスタ２０３、トランジスタ２０５、およびトランジスタ２０６のゲート電極等を覆って設けられる。絶縁層２１４は、平坦化層としての機能を有する。なお、トランジスタを覆う絶縁層の数は限定されず、単層であっても２層以上であってもよい。
【０２１１】
各トランジスタを覆う絶縁層の少なくとも一層に、水や水素などの不純物が拡散しにくい材料を用いることが好ましい。これにより、絶縁層をバリア膜として機能させることができる。このような構成とすることで、トランジスタに対して外部から不純物が拡散することを効果的に抑制することが可能となり、信頼性の高い表示装置を実現できる。
【０２１２】
容量素子２０２は、絶縁層２１１を介して互いに重なる領域を有する導電層２１７と導電層２１８を有する。導電層２１７は、導電層２２５と同様の材料および方法で形成できる。導電層２１８は、導電層２２３と同様の材料および方法で形成できる。なお、導電層２２３、導電層２２５、および導電層２２２ａは、透光性を有する材料で形成することが好ましい。
【０２１３】
トランジスタ２０３、トランジスタ２０５、およびトランジスタ２０６は、透光性を有する材料で形成される。前述したように、透光性を有する導電性材料は、銅やアルミニウムなどの遮光性を有する導電性材料と比較して抵抗率が大きい。よって、高速動作が求められる、周辺回路領域２３４に含まれるトランジスタ２０１に用いる導電層は、抵抗率が小さい遮光性を有する導電性材料（金属材料）を用いて形成する。
【０２１４】
トランジスタ２０３、トランジスタ２０５、およびトランジスタ２０６は、ゲートとして機能する導電層２２３、ゲート絶縁層として機能する絶縁層２２４、ソースおよびドレインとして機能する導電層２２２ａおよび導電層２２２ｂ、並びに、半導体層２３１を有する。ここでは、同一の導電膜を加工して得られる複数の層に、同じハッチングパターンを付している。また、トランジスタ２０５はゲートとして機能できる導電層２２５を有する。
【０２１５】
トランジスタ２０１も同様に、ゲートとして機能する導電層、ゲート絶縁層として機能する絶縁層、ソースおよびドレインとして機能する導電層、および、半導体層を有する。また、トランジスタ２０１はゲートとして機能できる導電層２２１ａを有する。導電層２２１ａと導電層２２１ｂは、同一の導電膜を加工して得ることができる。
【０２１６】
トランジスタ２０１およびトランジスタ２０５には、チャネルが形成される半導体層を２つのゲートで挟持する構成が適用されている。このような構成とすることで、トランジスタの閾値電圧を制御することができる。２つのゲートを接続し、これらに同一の信号を供給することによりトランジスタを駆動してもよい。このようなトランジスタは他のトランジスタと比較して電界効果移動度を高めることが可能であり、オン電流を増大させることができる。その結果、高速駆動が可能な回路を作製することができる。さらには、回路部の占有面積を縮小することが可能となる。オン電流の大きなトランジスタを適用することで、表示装置を大型化、または高精細化したときに配線数が増大したとしても、各配線における信号遅延を低減することが可能であり、表示ムラを抑制することができる。
【０２１７】
または、２つのゲートのうち、一方に閾値電圧を制御するための電位を与え、他方に駆動のための電位を与えることで、トランジスタの閾値電圧を制御することができる。
【０２１８】
表示装置が有するトランジスタの構造に限定はない。周辺回路領域２３４が有するトランジスタと、表示領域２３５が有するトランジスタは、同じ構造であってもよく、異なる構造であってもよい。周辺回路領域２３４が有する複数のトランジスタは、全て同じ構造であってもよく、２種類以上の構造が組み合わせて用いられていてもよい。同様に、表示領域２３５が有する複数のトランジスタは、全て同じ構造であってもよく、２種類以上の構造が組み合わせて用いられていてもよい。
【０２１９】
ゲートとして機能する導電層には、酸化物を含む導電性材料を用いてもよい。当該導電層を、酸素を含む雰囲気下で成膜することで、ゲート絶縁層に酸素を供給することができる。成膜ガス中の酸素ガスの割合を９０％以上１００％以下の範囲とすることが好ましい。ゲート絶縁層に供給された酸素は、後の熱処理により半導体層に供給され、半導体層中の酸素欠損の低減を図ることができる。
【０２２０】
基板３５１と基板３６１が重ならない領域には、接続部２０４が設けられている。接続部２０４では、配線３６５が接続層２４２を介してＦＰＣ３７２と電気的に接続されている。接続部２０４は接続部２０７と同様の構成を有している。接続部２０４の上面は、電極３１１と同一の導電膜を加工して得られた導電層が露出している。これにより、接続部２０４とＦＰＣ３７２とを接続層２４２を介して電気的に接続することができる。
【０２２１】
液晶素子１８０としては、例えば垂直配向（ＶＡ：Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モードが適用された液晶素子を用いることができる。垂直配向モードとしては、ＭＶＡ（Ｍｕｌｔｉ−Ｄｏｍａｉｎ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＰＶＡ（Ｐａｔｔｅｒｎｅｄ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）モード、ＡＳＶ（Ａｄｖａｎｃｅｄ  Ｓｕｐｅｒ  Ｖｉｅｗ）モードなどを用いることができる。
【０２２２】
液晶素子１８０には、様々なモードが適用された液晶素子を用いることができる。例えばＶＡモードのほかに、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ−Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＶＡ−ＩＰＳモード、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ  Ｆｉｅｌｄ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＡＳＭ（Ａｘｉａｌｌｙ  Ｓｙｍｍｅｔｒｉｃ  ａｌｉｇｎｅｄ  Ｍｉｃｒｏ−ｃｅｌｌ）モード、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌｌｙ  Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄ  Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ）モード、ＦＬＣ（Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ）モード、ＡＦＬＣ（ＡｎｔｉＦｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ）モード、ゲスト−ホストモード等が適用された液晶素子を用いることができる。
【０２２３】
液晶素子は、液晶の光学的変調作用によって光の透過または非透過を制御する素子である。液晶の光学的変調作用は、液晶にかかる電界（横方向の電界、縦方向の電界または斜め方向の電界を含む）によって制御される。液晶素子に用いる液晶としては、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶（ＰＤＬＣ：Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｄｉｓｐｅｒｓｅｄ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ）、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。
【０２２４】
液晶材料としては、ポジ型の液晶、またはネガ型の液晶のいずれを用いてもよく、適用するモードや設計に応じて最適な液晶材料を用いればよい。
【０２２５】
液晶の配向を制御するため、配向膜を設けることができる。なお、横電界方式を採用する場合、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つであり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善するために数重量％以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を液晶に用いる。ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が短く、光学的等方性である。また、ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。また配向膜を設けなくてもよいのでラビング処理も不要となるため、ラビング処理によって引き起こされる静電破壊を防止することができ、作製工程中の液晶表示装置の不良や破損を軽減することができる。
【０２２６】
なお、液晶素子１８０にゲスト−ホストモードで動作する液晶材料を用いることにより、光拡散層や偏光板などの機能性部材を省略することができる。よって、表示装置の生産性を高めることができる。また、偏光板などの機能性部材を設けないことにより、液晶素子１８０の反射輝度を高めることができる。よって、表示装置の視認性を高めることができる。
【０２２７】
また、円偏光板を用いる反射型の液晶表示装置のオン状態とオフ状態の切り替え（明状態と暗状態の切り替え）は、液晶分子の長軸を基板と略垂直な方向にそろえるか、基板と略水平な方向にそろえるか、によって行なわれる。一般に、ＩＰＳモードなどの横電界方式で動作する液晶素子は、オン状態およびオフ状態ともに液晶分子の長軸が基板と略水平な方向にそろうため、反射型の液晶表示装置に用いることが難しい。
【０２２８】
ＶＡ−ＩＰＳモードで動作する液晶素子は、横電界方式で動作し、かつ、オン状態とオフ状態の切り替えを、液晶分子の長軸を基板と略垂直な方向にそろえるか、基板と略水平な方向にそろえるか、によって行なわれる。このため、反射型の液晶表示装置に横電界方式で動作する液晶素子を用いる場合は、ＶＡ−ＩＰＳモードで動作する液晶素子を用いることが好ましい。
【０２２９】
機能性部材１３５よりも外側に、フロントライトを設けてもよい。フロントライトとしては、エッジライト型のフロントライトを用いることが好ましい。ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）を備えるフロントライトを用いると、消費電力を低減できるため好ましい。
【０２３０】
接着層としては、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、ＰＶＣ（ポリビニルクロライド）樹脂、ＰＶＢ（ポリビニルブチラル）樹脂、ＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。
【０２３１】
接続層２４２としては、異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）、異方性導電ペースト（ＡＣＰ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｐａｓｔｅ）などを用いることができる。
【０２３２】
発光素子としては、トップエミッション型、ボトムエミッション型、デュアルエミッション型などがある。光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。発光素子１７０は、ボトムエミッション型の発光素子ということができる。
【０２３３】
ＥＬ層１９２は少なくとも発光層を有する。ＥＬ層１９２は、発光層以外の層として、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、またはバイポーラ性の物質（電子輸送性及び正孔輸送性が高い物質）等を含む層をさらに有していてもよい。
【０２３４】
発光素子１７０の発光色は、ＥＬ層１９２を構成する材料によって、白、赤、緑、青、シアン、マゼンタ、または黄などに変化させることができる。
【０２３５】
カラー表示を実現する方法としては、発光色が白色の発光素子１７０と着色層を組み合わせて行う方法と、副画素毎に発光色の異なる発光素子１７０を設ける方法がある。前者の方法は後者の方法よりも生産性が高い。すなわち、後者の方法では副画素毎にＥＬ層１９２を作り分ける必要があるため、前者の方法よりも生産性が劣る。ただし、後者の方法では、前者の方法よりも色純度の高い発光色を得ることができる。後者の方法に加えて、発光素子１７０にマイクロキャビティ構造を付与することにより色純度をさらに高めることができる。
【０２３６】
ＥＬ層１９２には低分子系化合物および高分子系化合物のいずれを用いることもでき、無機化合物を含んでいてもよい。ＥＬ層１９２を構成する層は、それぞれ、蒸着法（真空蒸着法を含む）、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができる。
【０２３７】
ＥＬ層１９２は、量子ドットなどの無機化合物を有していてもよい。例えば、量子ドットを発光層に用いることで、発光材料として機能させることもできる。
【０２３８】
また、本発明の一態様の表示装置１００は、発光素子１７０と液晶素子１８０の間に基板を設けない。このため、発光素子１７０と液晶素子１８０の厚さ方向の距離を３０μｍ未満、好ましくは１０μｍ未満、さらに好ましくは５μｍ未満とすることができる。これにより、発光素子１７０および液晶素子１８０を同時にまたは交互に用いる表示において、両者の間に生じる視差を少なくすることができる。または、表示装置１００の重量を軽くすることができる。または、表示装置１００の厚さを薄くすることができる。または、表示装置１００を曲げやすくすることができる。
【０２３９】
［基板］
基板３５１および基板３６１に用いる材料に大きな制限はない。目的に応じて、透光性の有無や加熱処理に耐えうる程度の耐熱性などを勘案して決定すればよい。例えばバリウムホウケイ酸ガラスやアルミノホウケイ酸ガラスなどのガラス基板、セラミック基板、石英基板、サファイア基板などを用いることができる。また、半導体基板、可撓性基板（フレキシブル基板）、貼り合わせフィルム、基材フィルムなどを用いてもよい。
【０２４０】
半導体基板としては、例えば、シリコン、もしくはゲルマニウムなどを材料とした半導体基板、または炭化シリコン、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、酸化亜鉛、もしくは酸化ガリウムを材料とした化合物半導体基板などがある。また、半導体基板は、単結晶半導体であってもよいし、多結晶半導体であってもよい。
【０２４１】
なお、表示装置１００の可撓性を高めるため、基板３５１および基板３６１には可撓性基板（フレキシブル基板）、貼り合わせフィルム、基材フィルムなどを用いてもよい。
【０２４２】
可撓性基板、貼り合わせフィルム、基材フィルムなどの材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）樹脂、ポリアミド樹脂（ナイロン、アラミド等）、ポリシロキサン樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）樹脂、ＡＢＳ樹脂、セルロースナノファイバーなどを用いることができる。
【０２４３】
基板として上記材料を用いることにより、軽量な表示装置を提供することができる。また、基板として上記材料を用いることにより、衝撃に強い表示装置を提供することができる。また、基板として上記材料を用いることにより、破損しにくい表示装置を提供することができる。
【０２４４】
基板３５１および基板３６１に用いる可撓性基板は、線膨張率が低いほど環境による変形が抑制されて好ましい。基板３５１および基板３６１に用いる可撓性基板は、例えば、線膨張率が１×１０−３／Ｋ以下、５×１０−５／Ｋ以下、または１×１０−５／Ｋ以下である材質を用いればよい。特に、アラミドは、線膨張率が低いため、可撓性基板として好適である。
【０２４５】
［導電層］
トランジスタのゲート、ソースおよびドレインのほか、表示装置を構成する各種配線および電極などの導電層に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、またはタングステンなどの金属、またはこれを主成分とする合金などが挙げられる。これらの材料を含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。
【０２４６】
また、透光性を有する導電性材料としては、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグラフェンを用いることができる。または、透光性を有する導電性材料としては、酸化物導電体を適用することもできる。または、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、またはチタンなどの金属材料や、該金属材料を含む合金材料を用いることができる。または、該金属材料の窒化物（例えば、窒化チタン）などを用いてもよい。なお、金属材料、合金材料（またはそれらの窒化物）を用いる場合には、透光性を有する程度に薄くすればよい。また、上記材料の積層膜を導電層として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とインジウムスズ酸化物の積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。これらは、表示装置を構成する各種配線および電極などの導電層や、表示素子が有する導電層（画素電極や共通電極として機能する導電層）にも用いることができる。
【０２４７】
ここで、酸化物導電体について説明を行う。本明細書等において、酸化物導電体をＯＣ（Ｏｘｉｄｅ  Ｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）と呼称してもよい。酸化物導電体としては、例えば、金属酸化物に酸素欠損を形成し、該酸素欠損に水素を添加すると、伝導帯近傍にドナー準位が形成される。この結果、金属酸化物は、導電性が高くなり導電体化する。導電体化された金属酸化物を、酸化物導電体ということができる。一般に、酸化物半導体は、エネルギーギャップが大きいため、可視光に対して透光性を有する。一方、酸化物導電体は、伝導帯近傍にドナー準位を有する金属酸化物である。したがって、酸化物導電体は、ドナー準位による吸収の影響は小さく、可視光に対して酸化物半導体と同程度の透光性を有する。
【０２４８】
［絶縁層］
各絶縁層に用いることのできる絶縁材料としては、例えば、アクリル、エポキシなどの樹脂材料、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料が挙げられる。
【０２４９】
［着色層］
着色層に用いることのできる材料としては、金属材料、樹脂材料、顔料または染料が含まれた樹脂材料などが挙げられる。
【０２５０】
［遮光層］
遮光層として用いることのできる材料としては、カーボンブラック、チタンブラック、金属、金属酸化物、複数の金属酸化物の固溶体を含む複合酸化物等が挙げられる。遮光層は、樹脂材料を含む膜であってもよいし、金属などの無機材料の薄膜であってもよい。また、遮光層に、着色層の材料を含む膜の積層膜を用いることもできる。例えば、ある色の光を透過する着色層に用いる材料を含む膜と、他の色の光を透過する着色層に用いる材料を含む膜との積層構造を用いることができる。着色層と遮光層の材料を共通化することで、装置を共通化できるほか工程を簡略化できるため好ましい。
【０２５１】
〔変形例１〕
表示装置１００の変形例である表示装置１００Ａの断面を図２９に示す。表示装置１００Ａは、着色層１３１を有していない点で、表示装置１００と異なる。その他の構成については、表示装置１００と同様のため、詳細な説明を省略する。
【０２５２】
表示装置１００Ａにおいて、液晶素子１８０は、白色を呈する。着色層１３１を有していないため、表示装置１００Ａは、液晶素子１８０を用いて、白黒またはグレイスケールでの表示を行うことができる。
【０２５３】
〔変形例２〕
表示装置１００の変形例である表示装置１００Ｂの断面を図３０に示す。表示装置１００Ｂは、基板３６１と着色層１３１の間にタッチセンサ３７０を有する。本実施の形態では、タッチセンサ３７０は導電層３７４、絶縁層３７５、導電層３７６ａ、導電層３７６ｂ、導電層３７７、および絶縁層３７８を有する。
【０２５４】
導電層３７６ａ、導電層３７６ｂ、および導電層３７７は、透光性を有する導電性材料で形成することが好ましい。ただし、一般に、透光性を有する導電性材料は、透光性を有さない金属材料よりも抵抗率が高い。よって、タッチセンサの大型化、高精細化を実現するため、導電層３７６ａ、導電層３７６ｂ、および導電層３７７を抵抗率が低い金属材料で形成する場合がある。
【０２５５】
また、導電層３７６ａ、導電層３７６ｂ、および導電層３７７を金属材料で形成する場合、外光反射を低減することが好ましい。一般的に金属材料は反射率が大きい材料であるが、酸化処理などを施すことにより反射率を小さくして、暗色にすることができる。
【０２５６】
また、導電層３７６ａ、導電層３７６ｂ、および導電層３７７を、金属層と反射率の小さい層（「暗色層」ともいう）の積層としてもよい。暗色層は抵抗率が高いため、金属層と暗色層の積層とすることが好ましい。暗色層の一例としては、酸化銅を含む層、塩化銅または塩化テルルを含む層などがある。また、暗色層を、Ａｇ粒子、Ａｇファイバー、Ｃｕ粒子等の金属微粒子、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）、またはグラフェン等のナノ炭素粒子、ならびに、ＰＥＤＯＴ、ポリアニリン、またはポリピロールなどの導電性高分子などを用いて形成してもよい。
【０２５７】
また、タッチセンサ３７０として、抵抗膜方式または静電容量方式のタッチセンサのほか、光電変換素子を用いた光学式のタッチセンサなどを用いてもよい。静電容量方式としては、表面型静電容量方式、投影型静電容量方式等がある。投影型静電容量方式としては、主に駆動方式の違いから、自己容量方式、相互容量方式などがある。相互容量方式を用いると同時多点検出が可能となるため好ましい。
【０２５８】
なお、その他の構成については、表示装置１００と同様のため、詳細な説明を省略する。
【０２５９】
また、基板３６１と着色層１３１の間にタッチセンサ３７０を設けずに、表示装置１００の基板３６１と重ねてタッチセンサを設けてもよい。例えば、シート状のタッチセンサ１７６を表示領域２３５に重ねて設けてもよい。
【０２６０】
〔トランジスタについて〕
本発明の一態様において、表示装置が有するトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、プレーナ型のトランジスタとしてもよいし、スタガ型のトランジスタとしてもよいし、逆スタガ型のトランジスタとしてもよい。また、トップゲート構造またはボトムゲート構造のいずれのトランジスタ構造としてもよい。または、チャネルの上下にゲート電極が設けられていてもよい。
【０２６１】
［半導体材料］
トランジスタの半導体層に用いる半導体材料の結晶性について大きな制限はない。非晶質半導体、結晶性を有する半導体（微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、または一部に結晶領域を有する半導体）のいずれを用いてもよい。なお、結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
【０２６２】
また、例えば、トランジスタの半導体層に用いる半導体材料として、シリコンや、ゲルマニウム等を用いることができる。また、炭化シリコン、ガリウム砒素、窒化物半導体などの化合物半導体や、有機半導体などを用いることができる。
【０２６３】
例えば、トランジスタに用いる半導体材料として、多結晶シリコン（ポリシリコン）や、非晶質シリコン（アモルファスシリコン）などを用いることができる。
【０２６４】
また、トランジスタとして、金属酸化物を用いたＯＳトランジスタを用いることができる。ＯＳトランジスタを用いると、トランジスタのオフ状態におけるソースとドレインの間に流れる電流を低減できるため好ましい。
【０２６５】
＜画素１０の回路構成例＞
図３１は、画素１０の回路構成例を示す図である。図３１では、隣接する２つの画素１０を示している。
【０２６６】
画素１０は、スイッチＳＷ１、容量素子Ｃ８、液晶素子１８０、スイッチＳＷ２、トランジスタＭ、容量素子Ｃ９、および発光素子１７０等を有する。また、画素１０には、配線Ｇ１、配線Ｇ２、配線ＡＮＯ、配線ＣＳＣＯＭ、配線Ｓ１、および配線Ｓ２が電気的に接続されている。また、図３１では、液晶素子１８０と電気的に接続する配線ＶＣＯＭ１、および発光素子１７０と電気的に接続する配線ＶＣＯＭ２を示している。
【０２６７】
図３１では、スイッチＳＷ１およびスイッチＳＷ２に、トランジスタを用いた場合の例を示している。なお、スイッチＳＷ１はトランジスタ２７１に相当する。スイッチＳＷ２はトランジスタ２８１に相当する。トランジスタＭはトランジスタ２８３に相当する。容量素子Ｃ８は、容量素子２７２に相当する。容量素子Ｃ９は、容量素子２８２に相当する（図３１および図２７（Ａ）参照）。
【０２６８】
スイッチＳＷ１は、ゲートが配線Ｇ１と接続され、ソースまたはドレインの一方が配線Ｓ１と接続され、ソースまたはドレインの他方が容量素子Ｃ８の一方の電極、および液晶素子１８０の一方の電極と接続されている。容量素子Ｃ８は、他方の電極が配線ＣＳＣＯＭと接続されている。液晶素子１８０は、他方の電極が配線ＶＣＯＭ１と接続されている。
【０２６９】
スイッチＳＷ２は、ゲートが配線Ｇ２と接続され、ソースまたはドレインの一方が配線Ｓ２と接続され、ソースまたはドレインの他方が、容量素子Ｃ９の一方の電極、トランジスタＭのゲートと接続されている。容量素子Ｃ９は、他方の電極がトランジスタＭのソースまたはドレインの一方、および配線ＡＮＯと接続されている。トランジスタＭは、ソースまたはドレインの他方が発光素子１７０の一方の電極と接続されている。発光素子１７０は、他方の電極が配線ＶＣＯＭ２と接続されている。
【０２７０】
図３１では、トランジスタＭが半導体を挟む２つのゲートを有し、これらが接続されている例を示している。これにより、トランジスタＭが流すことのできる電流を増大させることができる。
【０２７１】
配線Ｇ１には、スイッチＳＷ１を導通状態または非導通状態に制御する信号を与えることができる。配線ＶＣＯＭ１には、所定の電位を与えることができる。配線Ｓ１には、液晶素子１８０が有する液晶の配向状態を制御する信号を与えることができる。配線ＣＳＣＯＭには、所定の電位を与えることができる。
【０２７２】
配線Ｇ２には、スイッチＳＷ２を導通状態または非導通状態に制御する信号を与えることができる。配線ＶＣＯＭ２および配線ＡＮＯには、発光素子１７０が発光する電位差が生じる電位をそれぞれ与えることができる。配線Ｓ２には、トランジスタＭの導通状態を制御する信号を与えることができる。
【０２７３】
図３１に示す画素１０は、例えば反射モードの表示を行う場合には、配線Ｇ１および配線Ｓ１に与える信号により駆動し、液晶素子１８０による光学変調を利用して表示することができる。また、発光モードで表示を行う場合には、配線Ｇ２および配線Ｓ２に与える信号により駆動し、発光素子１７０を発光させて表示することができる。また両方のモードで駆動する場合には、配線Ｇ１、配線Ｇ２、配線Ｓ１および配線Ｓ２のそれぞれに与える信号により駆動することができる。
【０２７４】
なお、図３１では一つの画素１０に、一つの液晶素子１８０と一つの発光素子１７０とを有する例を示したが、これに限られない。図３２は、一つの画素１０に一つの液晶素子１８０と４つの発光素子１７０（発光素子１７０ｒ、発光素子１７０ｇ、発光素子１７０ｂ、発光素子１７０ｗ）を有する例を示している。図３２に示す画素１０は、図３１とは異なり、１つの画素でフルカラーの表示が可能な画素である。
【０２７５】
図３２では図３１の例に加えて、画素１０に配線Ｇ３および配線Ｓ３が接続されている。
【０２７６】
図３２に示す例では、例えば４つの発光素子１７０を、それぞれ赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）、および白色（Ｗ）を呈する発光素子を用いることができる。また液晶素子１８０として、白色を呈する反射型の液晶素子を用いることができる。これにより、反射モードの表示を行う場合には、反射率の高い白色の表示を行うことができる。また発光モードで表示を行う場合には、演色性の高い表示を低い電力で行うことができる。
【０２７７】
＜表示モード＞
表示装置１００は、３つの表示モードで動作させることができる。第１の表示モード（ｍｏｄｅ１）は、反射型の液晶表示装置として画像を表示する表示モードである。第２の表示モード（ｍｏｄｅ２）は、発光表示装置として画像を表示する表示モードである。第３の表示モード（ｍｏｄｅ３）は、第１の表示モードと第２の表示モードを同時に作用させる表示モードである。
【０２７８】
〔第１の表示モード〕
第１の表示モードは光源が不要であるため、極めて低消費電力な表示モードである。例えば、外光の照度が十分大きく、且つ外光が白色光またはその近傍の光である場合に特に有効である。また、第１の表示モードは、照度が３００ｌｘ程度より大きい環境下、例えば日中下で使用する場合に特に有効である。ただし、目的または用途などによって、照度が３００ｌｘ程度より小さい環境下であっても、表示装置１００を第１の表示モードで動作させる場合がありうる。
【０２７９】
また、第１の表示モードは、本や書類などの文字情報を表示することに適した表示モードである。画像の表示に反射光を用いるため、目に優しい表示を行うことができ、目が疲れにくいという効果を奏する。
【０２８０】
図３３（Ａ１）は、日中の屋外で電子機器９１０を使用している様子を示している。図３３（Ａ１）において、電子機器９１０の表示装置は第１の表示モードで動作する。電子機器９１０は、例えば、スマートフォンなどの携帯情報端末である。また、電子機器９１０は、本発明の一態様の表示装置１００を有している。
【０２８１】
図３３（Ａ２）は、電子機器９１０の表示装置１００に入射する入射光９０１と、表示装置１００が反射する反射光９０２を示している。
【０２８２】
〔第２の表示モード〕
第２の表示モードは、外光の照度や色度によらず、極めて鮮やかな（コントラストが高く、且つ色再現性の高い）表示を行うことができる表示モードである。例えば、夜間や室内など、外光の照度が小さい場合などに有効である。第２の表示モードは、照度が５０００ｌｘ程度より小さい環境下での使用時に特に有効である。ただし、目的または用途などによって、照度が５０００ｌｘ程度より大きい環境下であっても、表示装置１００を第２の表示モードで動作させる場合がありうる。また、外光の照度が小さい場合、明るい表示を行うと使用者が眩しく感じてしまう場合がある。これを防ぐために、第２の表示モードでは輝度を抑えた表示を行うことが好ましい。これにより、眩しさを抑えることに加え、消費電力も低減することができる。第２の表示モードは、鮮やかな画像や滑らかな動画などを表示することに適したモードである。
【０２８３】
図３３（Ｂ１）は、夜間の屋外で電子機器９１０を使用している様子を示している。また、同図中の電子機器９２０は、デジタルサイネージに用いる電子機器である。図３３（Ｂ１）において、電子機器９１０および電子機器９２０の表示装置は第２の表示モードで動作する。また、電子機器９２０は、本発明の一態様の表示装置１００を有している。
【０２８４】
図３３（Ｂ２）は、電子機器９１０の表示装置１００から射出される発光９０３と、電子機器９２０の表示装置１００から射出される発光９０３を示している。
【０２８５】
〔第３の表示モード〕
第３の表示モードは、第１の表示モードによる反射光と、第２の表示モードによる発光の両方を利用して表示を行う表示モードである。例えば、第１の表示モードの最大反射輝度以上の光を表示装置１００から射出する必要が生じた場合に、必要な光量を第２の表示モードによる発光で補うことができる。また、例えば、第１の表示モードによる反射光と、第２の表示モードによる発光を混合することにより、１つの色を表現するように駆動することができる。
【０２８６】
第３の表示モードは、第１の表示モードよりも鮮やかな表示をしつつ、第２の表示モードよりも消費電力を抑えることができる。例えば、室内照明下や、朝方や夕方の時間帯など、外光の照度が比較的低い場合や、外光の色度が白色ではない場合などに有効である。
【０２８７】
第３の表示モードは、照度が５０００ｌｘ程度より小さい環境下での使用時に特に有効である。ただし、目的または用途などによって、照度が５０００ｌｘ程度より大きい環境下であっても、表示装置１００を第３の表示モードで動作させる場合がありうる。
【０２８８】
図３３（Ｃ１）は、室内で電子機器９１０を使用している様子を示している。また、同図中の電子機器９３０は、テレビまたはモニタとして機能できる電子機器である。また、同図中の電子機器９４０は、ノート型のパーソナルコンピュータである。図３３（Ｃ１）において、電子機器９１０、電子機器９３０、および電子機器９４０が有する表示装置は第３の表示モードで動作する。また、電子機器９３０および電子機器９４０は、本発明の一態様の表示装置１００を有している。
【０２８９】
図３３（Ｃ２）は、電子機器９１０の表示装置１００から射出される発光９０３、電子機器９１０の表示装置１００に入射する入射光９０１、および電子機器９１０の表示装置１００が反射する反射光９０２を示している。また、電子機器９３０の表示装置１００から射出される発光９０３、電子機器９３０の表示装置１００に入射する入射光９０１、および電子機器９３０の表示装置１００が反射する反射光９０２を示している。電子機器９４０の表示装置１００も、他の表示装置１００と同様に機能することができる。
【０２９０】
なお、第３の表示モードを用いた表示は、ハイブリッド表示モードとも言える。ハイブリッド表示とは、１つのパネルにおいて、反射光と、自発光とを併用して、色調または光強度を互いに補完して、文字および／または画像を表示する方法である。または、ハイブリッド表示とは、同一画素または同一副画素において複数の表示素子から、それぞれの光を用いて、文字および／または画像を表示する方法である。ただし、ハイブリッド表示を行っている表示装置（「ハイブリッド表示装置」または「ハイブリッドディスプレイ」ともいう）を局所的にみると、複数の表示素子のいずれか一を用いて表示される画素または副画素と、複数の表示素子の二以上を用いて表示される画素または副画素と、を有する場合がある。
【０２９１】
なお、本明細書等において、上記構成のいずれか１つまたは複数の表現を満たすものを、ハイブリッド表示という。
【０２９２】
また、ハイブリッドディスプレイは、同一画素または同一副画素に複数の表示素子を有する。なお、複数の表示素子としては、例えば、光を反射する反射型素子と、光を射出する自発光素子とが挙げられる。なお、反射型素子と、自発光素子とは、それぞれ独立に制御することができる。ハイブリッドディスプレイは、表示部において、反射光および自発光のいずれか一方または双方を用いて、文字および／または画像を表示する機能を有する。
【０２９３】
本実施の形態は、他の実施の形態などに記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
【０２９４】
（実施の形態５）
本実施の形態では、上記実施の形態に記載の表示装置を適用することが可能な情報処理装置について、図３７および図３８を参照しながら説明する。
【０２９５】
図３７および図３８は、本発明の一態様の情報処理装置の構成を説明する図である。図３７（Ａ）は情報処理装置のブロック図であり、図３７（Ｂ）乃至図３７（Ｅ）は情報処理装置の構成を説明する斜視図である。また、図３８（Ａ）乃至図３８（Ｅ）は情報処理装置の構成を説明する斜視図である。
【０２９６】
＜情報処理装置＞
本実施の形態で説明する情報処理装置５２００Ｂは、演算装置５２１０と、入出力装置５２２０とを、有する（図３７（Ａ）参照）。
【０２９７】
演算装置５２１０は、操作情報を供給される機能を備え、操作情報に基づいて画像情報を供給する機能を備える。
【０２９８】
入出力装置５２２０は、表示部５２３０、入力部５２４０、検知部５２５０、通信部５２９０、操作情報を供給する機能および画像情報を供給される機能を備える。また、入出力装置５２２０は、検知情報を供給する機能、通信情報を供給する機能および通信情報を供給される機能を備える。
【０２９９】
入力部５２４０は操作情報を供給する機能を備える。例えば、入力部５２４０は、情報処理装置５２００Ｂの使用者の操作に基づいて操作情報を供給する。
【０３００】
具体的には、キーボード、ハードウェアボタン、ポインティングデバイス、タッチセンサ、音声入力装置、視線入力装置などを、入力部５２４０に用いることができる。
【０３０１】
表示部５２３０は表示パネルを備え、画像情報を表示する機能を備える。例えば、上記実施の形態に記載の表示装置１００を表示部５２３０に用いることができる。
【０３０２】
検知部５２５０は検知情報を供給する機能を備える。例えば、情報処理装置が使用されている周辺の環境を検知して、検知情報として供給する機能を備える。
【０３０３】
具体的には、照度センサ、撮像装置、姿勢検出装置、圧力センサ、人感センサなどを検知部５２５０に用いることができる。
【０３０４】
通信部５２９０は通信情報を供給される機能および供給する機能を備える。例えば、無線通信または有線通信により、他の電子機器または通信網と接続する機能を備える。具体的には、無線構内通信、電話通信、近距離無線通信などの機能を備える。
【０３０５】
《情報処理装置の構成例１．》
例えば、円筒状の柱などに沿った外形を表示部５２３０に適用することができる（図３７（Ｂ）参照）。また、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える。また、人の存在を検知して、表示内容を変更する機能を備える。これにより、例えば、建物の柱に設置することができる。または、広告または案内等を表示することができる。または、デジタルサイネージ等に用いることができる。
【０３０６】
《情報処理装置の構成例２．》
例えば、使用者が使用するポインタの軌跡に基づいて画像情報を生成する機能を備える（図３７（Ｃ）参照）。具体的には、対角線の長さが２０インチ以上、好ましくは４０インチ以上、より好ましくは５５インチ以上の表示パネルを用いることができる。または、複数の表示パネルを並べて１つの表示領域に用いることができる。または、複数の表示パネルを並べてマルチスクリーンに用いることができる。これにより、例えば、電子黒板、電子掲示板、電子看板等に用いることができる。
【０３０７】
《情報処理装置の構成例３．》
例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える（図３７（Ｄ）参照）。これにより、例えば、スマートウオッチの消費電力を低減することができる。または、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に使用できるように、画像をスマートウオッチに表示することができる。
【０３０８】
《情報処理装置の構成例４．》
表示部５２３０は、例えば、筐体の側面に沿って緩やかに曲がる曲面を備える（図３７（Ｅ）参照）。または、表示部５２３０は表示パネルを備え、表示パネルは、例えば、前面、側面および上面に表示する機能を備える。これにより、例えば、携帯電話の前面だけでなく、側面および上面に画像情報を表示することができる。
【０３０９】
《情報処理装置の構成例５．》
例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える（図３８（Ａ）参照）。これにより、スマートフォンの消費電力を低減することができる。または、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に使用できるように、画像をスマートフォンに表示することができる。
【０３１０】
《情報処理装置の構成例６．》
例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える（図３８（Ｂ）参照）。これにより、晴天の日に屋内に差し込む強い外光が当たっても好適に使用できるように、映像をテレビジョンシステムに表示することができる。
【０３１１】
《情報処理装置の構成例７．》
例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える（図３８（Ｃ）参照）。これにより、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に使用できるように、画像をタブレットコンピュータに表示することができる。
【０３１２】
《情報処理装置の構成例８．》
例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える（図３８（Ｄ）参照）。これにより、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に閲覧できるように、被写体をデジタルカメラに表示することができる。
【０３１３】
《情報処理装置の構成例９．》
例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える（図３８（Ｅ）参照）。これにより、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に使用できるように、画像をパーソナルコンピュータに表示することができる。
【０３１４】
なお、本実施の形態は、本明細書で示す他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
【０３１５】
例えば、本明細書等において、ＸとＹとが接続されている、と明示的に記載されている場合は、ＸとＹとが電気的に接続されている場合と、ＸとＹとが機能的に接続されている場合と、ＸとＹとが直接接続されている場合とが、本明細書等に開示されているものとする。したがって、所定の接続関係、例えば、図または文章に示された接続関係に限定されず、図または文章に示された接続関係以外のものも、図または文章に記載されているものとする。
【０３１６】
ここで、Ｘ、Ｙは、対象物（例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など）であるとする。
【０３１７】
ＸとＹとが直接的に接続されている場合の一例としては、ＸとＹとの電気的な接続を可能とする素子（例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など）が、ＸとＹとの間に接続されていない場合であり、ＸとＹとの電気的な接続を可能とする素子（例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など）を介さずに、ＸとＹとが、接続されている場合である。
【０３１８】
ＸとＹとが電気的に接続されている場合の一例としては、ＸとＹとの電気的な接続を可能とする素子（例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など）が、ＸとＹとの間に１個以上接続されることが可能である。なお、スイッチは、オンオフが制御される機能を有している。つまり、スイッチは、導通状態（オン状態）、または、非導通状態（オフ状態）になり、電流を流すか流さないかを制御する機能を有している。または、スイッチは、電流を流す経路を選択して切り替える機能を有している。なお、ＸとＹとが電気的に接続されている場合は、ＸとＹとが直接的に接続されている場合を含むものとする。
【０３１９】
ＸとＹとが機能的に接続されている場合の一例としては、ＸとＹとの機能的な接続を可能とする回路（例えば、論理回路（インバータ、ＮＡＮＤ回路、ＮＯＲ回路など）、信号変換回路（ＤＡ変換回路、ＡＤ変換回路、ガンマ補正回路など）、電位レベル変換回路（電源回路（昇圧回路、降圧回路など）、信号の電位レベルを変えるレベルシフタ回路など）、電圧源、電流源、切り替え回路、増幅回路（信号振幅または電流量などを大きく出来る回路、オペアンプ、差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路など）、信号生成回路、記憶回路、制御回路など）が、ＸとＹとの間に１個以上接続されることが可能である。なお、一例として、ＸとＹとの間に別の回路を挟んでいても、Ｘから出力された信号がＹへ伝達される場合は、ＸとＹとは機能的に接続されているものとする。なお、ＸとＹとが機能的に接続されている場合は、ＸとＹとが直接的に接続されている場合と、ＸとＹとが電気的に接続されている場合とを含むものとする。
【０３２０】
なお、ＸとＹとが電気的に接続されている、と明示的に記載されている場合は、ＸとＹとが電気的に接続されている場合（つまり、ＸとＹとの間に別の素子又は別の回路を挟んで接続されている場合）と、ＸとＹとが機能的に接続されている場合（つまり、ＸとＹとの間に別の回路を挟んで機能的に接続されている場合）と、ＸとＹとが直接接続されている場合（つまり、ＸとＹとの間に別の素子又は別の回路を挟まずに接続されている場合）とが、本明細書等に開示されているものとする。つまり、電気的に接続されている、と明示的に記載されている場合は、単に、接続されている、とのみ明示的に記載されている場合と同様な内容が、本明細書等に開示されているものとする。
【０３２１】
なお、例えば、トランジスタのソース（又は第１の端子など）が、Ｚ１を介して（又は介さず）、Ｘと電気的に接続され、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）が、Ｚ２を介して（又は介さず）、Ｙと電気的に接続されている場合や、トランジスタのソース（又は第１の端子など）が、Ｚ１の一部と直接的に接続され、Ｚ１の別の一部がＸと直接的に接続され、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）が、Ｚ２の一部と直接的に接続され、Ｚ２の別の一部がＹと直接的に接続されている場合では、以下のように表現することが出来る。
【０３２２】
例えば、「ＸとＹとトランジスタのソース（又は第１の端子など）とドレイン（又は第２の端子など）とは、互いに電気的に接続されており、Ｘ、トランジスタのソース（又は第１の端子など）、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）、Ｙの順序で電気的に接続されている」と表現することができる。または、「トランジスタのソース（又は第１の端子など）は、Ｘと電気的に接続され、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）はＹと電気的に接続され、Ｘ、トランジスタのソース（又は第１の端子など）、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）、Ｙは、この順序で電気的に接続されている」と表現することができる。または、「Ｘは、トランジスタのソース（又は第１の端子など）とドレイン（又は第２の端子など）とを介して、Ｙと電気的に接続され、Ｘ、トランジスタのソース（又は第１の端子など）、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）、Ｙは、この接続順序で設けられている」と表現することができる。これらの例と同様な表現方法を用いて、回路構成における接続の順序について規定することにより、トランジスタのソース（又は第１の端子など）と、ドレイン（又は第２の端子など）とを、区別して、技術的範囲を決定することができる。
【０３２３】
または、別の表現方法として、例えば、「トランジスタのソース（又は第１の端子など）は、少なくとも第１の接続経路を介して、Ｘと電気的に接続され、前記第１の接続経路は、第２の接続経路を有しておらず、前記第２の接続経路は、トランジスタを介した、トランジスタのソース（又は第１の端子など）とトランジスタのドレイン（又は第２の端子など）との間の経路であり、前記第１の接続経路は、Ｚ１を介した経路であり、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）は、少なくとも第３の接続経路を介して、Ｙと電気的に接続され、前記第３の接続経路は、前記第２の接続経路を有しておらず、前記第３の接続経路は、Ｚ２を介した経路である」と表現することができる。または、「トランジスタのソース（又は第１の端子など）は、少なくとも第１の接続経路によって、Ｚ１を介して、Ｘと電気的に接続され、前記第１の接続経路は、第２の接続経路を有しておらず、前記第２の接続経路は、トランジスタを介した接続経路を有し、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）は、少なくとも第３の接続経路によって、Ｚ２を介して、Ｙと電気的に接続され、前記第３の接続経路は、前記第２の接続経路を有していない」と表現することができる。または、「トランジスタのソース（又は第１の端子など）は、少なくとも第１の電気的パスによって、Ｚ１を介して、Ｘと電気的に接続され、前記第１の電気的パスは、第２の電気的パスを有しておらず、前記第２の電気的パスは、トランジスタのソース（又は第１の端子など）からトランジスタのドレイン（又は第２の端子など）への電気的パスであり、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）は、少なくとも第３の電気的パスによって、Ｚ２を介して、Ｙと電気的に接続され、前記第３の電気的パスは、第４の電気的パスを有しておらず、前記第４の電気的パスは、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）からトランジスタのソース（又は第１の端子など）への電気的パスである」と表現することができる。これらの例と同様な表現方法を用いて、回路構成における接続経路について規定することにより、トランジスタのソース（又は第１の端子など）と、ドレイン（又は第２の端子など）とを、区別して、技術的範囲を決定することができる。
【０３２４】
なお、これらの表現方法は、一例であり、これらの表現方法に限定されない。ここで、Ｘ、Ｙ、Ｚ１、Ｚ２は、対象物（例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など）であるとする。
【０３２５】
なお、回路図上は独立している構成要素同士が電気的に接続しているように図示されている場合であっても、１つの構成要素が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合もある。例えば配線の一部が電極としても機能する場合は、一の導電膜が、配線の機能、及び電極の機能の両方の構成要素の機能を併せ持っている。したがって、本明細書における電気的に接続とは、このような、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合も、その範疇に含める。
【０３２６】
（実施の形態６）
本実施の形態では、上記実施の形態で示したＯＳトランジスタの構成例について説明を行う。
【０３２７】
＜ＯＳトランジスタの構成例１＞
まず、トランジスタの構造の一例として、トランジスタ３２００ａについて、図３４（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）を用いて説明する。図３４（Ａ）はトランジスタ３２００ａの上面図である。図３４（Ｂ）は、図３４（Ａ）に示す一点鎖線Ｘ１−Ｘ２間における切断面の断面図に相当し、図３４（Ｃ）は、図３４（Ａ）に示す一点鎖線Ｙ１−Ｙ２間における切断面の断面図に相当する。なお、図３４（Ａ）において、煩雑になることを避けるため、トランジスタ３２００ａの構成要素の一部（ゲート絶縁層としての機能を有する絶縁層等）を省略して図示している。なお、以下において、一点鎖線Ｘ１−Ｘ２方向をチャネル長方向、一点鎖線Ｙ１−Ｙ２方向をチャネル幅方向と呼称する場合がある。なお、トランジスタの上面図においては、以降の図面においても図３４と同様に、構成要素の一部を省略して図示する場合がある。
【０３２８】
トランジスタ３２００ａは、絶縁層３２２４上の導電層３２２１と、絶縁層３２２４及び導電層３２２１上の絶縁層３２１１と、絶縁層３２１１上の金属酸化物層３２３１と、金属酸化物層３２３１上の導電層３２２２ａと、金属酸化物層３２３１上の導電層３２２２ｂと、金属酸化物層３２３１、導電層３２２２ａ、及び導電層３２２２ｂ上の絶縁層３２１２と、絶縁層３２１２上の導電層３２２３と、絶縁層３２１２及び導電層３２２３上の絶縁層３２１３と、を有する。
【０３２９】
また、絶縁層３２１１及び絶縁層３２１２は、開口部３２３５を有する。導電層３２２３は、開口部３２３５を介して、導電層３２２１と電気的に接続される。
【０３３０】
ここで、絶縁層３２１１は、トランジスタ３２００ａの第１のゲート絶縁層としての機能を有し、絶縁層３２１２は、トランジスタ３２００ａの第２のゲート絶縁層としての機能を有し、絶縁層３２１３は、トランジスタ３２００ａの保護絶縁層としての機能を有する。また、トランジスタ３２００ａにおいて、導電層３２２１は、第１のゲートとしての機能を有し、導電層３２２２ａは、ソースまたはドレインの一方としての機能を有し、導電層３２２２ｂは、ソースまたはドレインの他方としての機能を有する。また、トランジスタ３２００ａにおいて、導電層３２２３は、第２のゲートとしての機能を有する。
【０３３１】
なお、トランジスタ３２００ａは、所謂チャネルエッチ型のトランジスタであり、デュアルゲート構造である。
【０３３２】
また、トランジスタ３２００ａは、導電層３２２３を設けない構成にすることもできる。この場合、トランジスタ３２００ａは、所謂チャネルエッチ型のトランジスタであり、ボトムゲート構造である。
【０３３３】
図３４（Ｂ）（Ｃ）に示すように、金属酸化物層３２３１は、導電層３２２１、及び導電層３２２３と対向するように位置し、２つのゲートの機能を有する導電層に挟まれている。導電層３２２３のチャネル長方向の長さ、及び導電層３２２３のチャネル幅方向の長さは、金属酸化物層３２３１のチャネル長方向の長さ、及び金属酸化物層３２３１のチャネル幅方向の長さよりもそれぞれ長く、金属酸化物層３２３１の全体は、絶縁層３２１２を介して導電層３２２３に覆われている。
【０３３４】
別言すると、導電層３２２１及び導電層３２２３は、絶縁層３２１１及び絶縁層３２１２に設けられる開口部３２３５において接続され、且つ金属酸化物層３２３１の側端部よりも外側に位置する領域を有する。
【０３３５】
このような構成を有することで、トランジスタ３２００ａに含まれる金属酸化物層３２３１を、導電層３２２１及び導電層３２２３の電界によって電気的に囲むことができる。トランジスタ３２００ａのように、第１のゲート及び第２のゲートの電界によって、チャネル領域が形成される金属酸化物層を、電気的に囲むトランジスタのデバイス構造をＳｕｒｒｏｕｎｄｅｄ  ｃｈａｎｎｅｌ（Ｓ−ｃｈａｎｎｅｌ）構造と呼ぶことができる。
【０３３６】
トランジスタ３２００ａは、Ｓ−ｃｈａｎｎｅｌ構造を有するため、第１のゲートの機能を有する導電層３２２１によってチャネルを誘起させるための電界を効果的に金属酸化物層３２３１に印加することができるため、トランジスタ３２００ａの電流駆動能力が向上し、高いオン電流特性を得ることが可能となる。また、オン電流を高くすることが可能であるため、トランジスタ３２００ａを微細化することが可能となる。また、トランジスタ３２００ａは、金属酸化物層３２３１が、第１のゲートの機能を有する導電層３２２１及び第２のゲートの機能を有する導電層３２２３によって囲まれた構造を有するため、トランジスタ３２００ａの機械的強度を高めることができる。
【０３３７】
例えば、金属酸化物層３２３１は、Ｉｎと、Ｍ（Ｍは、ガリウム、アルミニウム、シリコン、ホウ素、イットリウム、スズ、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウム）と、Ｚｎと、を有すると好ましい。
【０３３８】
また、金属酸化物層３２３１は、Ｉｎの原子数比がＭの原子数比より多い領域を有すると好ましい。一例としては、金属酸化物層３２３１のＩｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比を、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝４：２：３近傍とすると好ましい。ここで、近傍とは、Ｉｎが４の場合、Ｍが１．５以上２．５以下であり、且つＺｎが２以上４以下を含む。または、金属酸化物層３２３１のＩｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比を、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：６近傍とすると好ましい。
【０３３９】
また、金属酸化物層３２３１は、ＣＡＣ−ＯＳであると好適である。金属酸化物層３２３１が、Ｉｎの原子数比がＭの原子数比より多い領域を有し、且つＣＡＣ−ＯＳであることで、トランジスタ３２００ａの電界効果移動度を高くすることができる。なお、ＣＡＣ−ＯＳの詳細については、後述する。
【０３４０】
また、ｓ−ｃｈａｎｎｅｌ構造であるトランジスタ３２００ａは電界効果移動度が高く、且つ駆動能力が高いので、トランジスタ３２００ａを駆動回路、代表的にはゲート信号を生成するゲートドライバに用いることで、額縁幅の狭い（狭額縁ともいう）表示装置を提供することができる。また、トランジスタ３２００ａを、表示装置が有する信号線へ信号の供給を行うソースドライバ（とくに、ソースドライバが有するシフトレジスタの出力端子に接続されるデマルチプレクサ）に用いることで、表示装置に接続される配線数が少ない表示装置を提供することができる。
【０３４１】
また、トランジスタ３２００ａはそれぞれチャネルエッチ構造のトランジスタであるため、低温ポリシリコンを用いたトランジスタと比較して、作製工程数が少ない。また、トランジスタ３２００ａは、金属酸化物層をチャネル領域に用いているため、低温ポリシリコンを用いたトランジスタのように、レーザ結晶化工程が不要である。これらのため、大面積基板を用いた表示装置であっても、製造コストを低減することが可能である。さらに、ウルトラハイビジョン（「４Ｋ解像度」、「４Ｋ２Ｋ」、「４Ｋ」）、スーパーハイビジョン（「８Ｋ解像度」、「８Ｋ４Ｋ」、「８Ｋ」）のよう高解像度であり、且つ大型の表示装置において、トランジスタ３２００ａのように電界効果移動度が高いトランジスタを駆動回路及び表示部に用いることで、短時間での書き込みが可能であり、表示不良を低減することが可能であり好ましい。
【０３４２】
また、金属酸化物層３２３１と接する絶縁層３２１１及び絶縁層３２１２は、酸化物絶縁膜であることが好ましく、化学量論的組成よりも過剰に酸素を含有する領域（過剰酸素領域）を有することがより好ましい。別言すると、絶縁層３２１１及び絶縁層３２１２は、酸素を放出することが可能な絶縁膜である。なお、絶縁層３２１１及び絶縁層３２１２に過剰酸素領域を設けるには、例えば、酸素雰囲気下にて絶縁層３２１１及び絶縁層３２１２を形成する、もしくは成膜後の絶縁層３２１１及び絶縁層３２１２を酸素雰囲気下で熱処理すればよい。
【０３４３】
金属酸化物層３２３１としては、金属酸化物の一種である酸化物半導体を用いることができる。
【０３４４】
金属酸化物層３２３１がＩｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物の場合、Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物を成膜するために用いるスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比は、Ｉｎ＞Ｍを満たすことが好ましい。このようなスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比として、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝２：１：３、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝３：１：２、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝４：２：４．１、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：６、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：７、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：８、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝６：１：６、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：２：５等が挙げられる。
【０３４５】
また、金属酸化物層３２３１が、Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物で形成される場合、スパッタリングターゲットとしては、多結晶のＩｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物を含むターゲットを用いると好ましい。多結晶のＩｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物を含むターゲットを用いることで、結晶性を有する金属酸化物層３２３１を形成しやすくなる。なお、成膜される金属酸化物層３２３１の原子数比は、上記のスパッタリングターゲットに含まれる金属元素の原子数比のプラスマイナス４０％の変動を含む。例えば、金属酸化物層３２３１に用いるスパッタリングターゲットの組成がＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］の場合、成膜される金属酸化物層３２３１の組成は、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］の近傍となる場合がある。
【０３４６】
また、金属酸化物層３２３１は、エネルギーギャップが２ｅＶ以上、好ましくは２．５ｅＶ以上である。このように、エネルギーギャップの広い酸化物半導体を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
【０３４７】
また、金属酸化物層３２３１は、非単結晶構造であると好ましい。非単結晶構造は、例えば、ＣＡＡＣ（Ｃ−Ａｘｉｓ  Ａｌｉｇｎｅｄ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ）、多結晶構造、微結晶構造、または非晶質構造を含む。非単結晶構造において、非晶質構造は最も欠陥準位密度が高く、ＣＡＡＣは最も欠陥準位密度が低い。
【０３４８】
金属酸化物層３２３１としては、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低い金属酸化物膜を用いることで、優れた電気特性を有するトランジスタを作製することができ好ましい。ここでは、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低い（酸素欠損の少ない）ことを高純度真性または実質的に高純度真性とよぶ。なお、金属酸化物膜中の不純物としては、代表的には水、水素などが挙げられる。本明細書等において、金属酸化物膜中から水及び水素を低減または除去することを、脱水化、脱水素化と表す場合がある。また、金属酸化物膜、または酸化物絶縁膜中に酸素を添加することを、加酸素化と表す場合があり、加酸素化され且つ化学量論的組成よりも過剰の酸素を有する状態を過酸素化状態と表す場合がある。
【０３４９】
高純度真性または実質的に高純度真性である金属酸化物膜は、キャリア発生源が少ないため、キャリア密度を低くすることができる。従って、該金属酸化物膜にチャネル領域が形成されるトランジスタは、しきい値電圧がマイナスとなる電気特性（ノーマリーオンともいう）になることが少ない。また、高純度真性または実質的に高純度真性である金属酸化物膜は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。また、高純度真性または実質的に高純度真性である金属酸化物膜は、オフ電流が著しく小さく、チャネル幅が１×１０６μｍでチャネル長Ｌが１０μｍの素子であっても、ソース電極とドレイン電極間の電圧（ドレイン電圧）が１Ｖから１０Ｖの範囲において、オフ電流が、半導体パラメータアナライザの測定限界以下、すなわち１×１０−１３Ａ以下という特性を得ることができる。
【０３５０】
絶縁層３２１３は、水素及び窒素のいずれか一方または双方を有する。または、絶縁層３２１３は、窒素及びシリコンを有する。また、絶縁層３２１３は、酸素、水素、水、アルカリ金属、アルカリ土類金属等のブロッキングできる機能を有する。絶縁層３２１３を設けることで、金属酸化物層３２３１からの酸素の外部への拡散と、絶縁層３２１２に含まれる酸素の外部への拡散と、外部から金属酸化物層３２３１への水素、水等の入り込みを防ぐことができる。
【０３５１】
絶縁層３２１３としては、例えば、窒化物絶縁膜を用いることができる。該窒化物絶縁膜としては、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム等がある。
【０３５２】
＜ＯＳトランジスタの構成例２＞
次に、トランジスタの構造の一例として、トランジスタ３２００ｂについて、図３５（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）を用いて説明する。図３５（Ａ）はトランジスタ３２００ｂの上面図である。図３５（Ｂ）は、図３５（Ａ）に示す一点鎖線Ｘ１−Ｘ２間における切断面の断面図に相当し、図３５（Ｃ）は、図３５（Ａ）に示す一点鎖線Ｙ１−Ｙ２間における切断面の断面図に相当する。
【０３５３】
トランジスタ３２００ｂは、金属酸化物層３２３１、導電層３２２２ａ、導電層３２２２ｂ、および絶縁層３２１２が積層構造である点において、トランジスタ３２００ａと異なる。
【０３５４】
絶縁層３２１２は、金属酸化物層３２３１、導電層３２２２ａ及び導電層３２２２ｂの上の絶縁層３２１２ａと、絶縁層３２１２ａの上の絶縁層３２１２ｂを有する。絶縁層３２１２は、金属酸化物層３２３１に酸素を供給する機能を有する。すなわち、絶縁層３２１２は、酸素を有する。また、絶縁層３２１２ａは、酸素を透過することのできる絶縁層である。なお、絶縁層３２１２ａは、後に形成する絶縁層３２１２ｂを形成する際の、金属酸化物層３２３１へのダメージ緩和膜としても機能する。
【０３５５】
絶縁層３２１２ａとしては、厚さが５ｎｍ以上１５０ｎｍ以下、好ましくは５ｎｍ以上５０ｎｍ以下の酸化シリコン、酸化窒化シリコン等を用いることができる。
【０３５６】
また、絶縁層３２１２ａは、欠陥量が少ないことが好ましく、代表的には、ＥＳＲ測定により、シリコンのダングリングボンドに由来するｇ＝２．００１に現れる信号のスピン密度が３×１０１７ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３以下であることが好ましい。これは、絶縁層３２１２ａに含まれる欠陥密度が多いと、該欠陥に酸素が結合してしまい、絶縁層３２１２ａにおける酸素の透過性が減少してしまう。
【０３５７】
なお、絶縁層３２１２ａにおいては、外部から絶縁層３２１２ａに入った酸素が全て絶縁層３２１２ａの外部に移動せず、絶縁層３２１２ａにとどまる酸素もある。また、絶縁層３２１２ａに酸素が入ると共に、絶縁層３２１２ａに含まれる酸素が絶縁層３２１２ａの外部へ移動することで、絶縁層３２１２ａにおいて酸素の移動が生じる場合もある。絶縁層３２１２ａとして酸素を透過することができる酸化物絶縁層を形成すると、絶縁層３２１２ａ上に設けられる、絶縁層３２１２ｂから脱離する酸素を、絶縁層３２１２ａを介して金属酸化物層３２３１に移動させることができる。
【０３５８】
また、絶縁層３２１２ａは、窒素酸化物に起因する準位密度が低い酸化物絶縁層を用いて形成することができる。なお、当該窒素酸化物に起因する準位密度は、金属酸化物膜の価電子帯の上端のエネルギー（Ｅｖ＿ｏｓ）と金属酸化物膜の伝導帯の下端のエネルギー（Ｅｃ＿ｏｓ）の間に形成され得る場合がある。上記酸化物絶縁層として、窒素酸化物の放出量が少ない酸化窒化シリコン膜、または窒素酸化物の放出量が少ない酸化窒化アルミニウム膜等を用いることができる。
【０３５９】
なお、窒素酸化物の放出量の少ない酸化窒化シリコン膜は、昇温脱離ガス分析法（ＴＤＳ：Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）において、窒素酸化物の放出量よりアンモニアの放出量が多い膜であり、代表的にはアンモニアの放出量が１×１０１８／ｃｍ３以上５×１０１９／ｃｍ３以下である。なお、アンモニアの放出量は、膜の表面温度が５０℃以上６５０℃以下、好ましくは５０℃以上５５０℃以下の加熱処理による放出量とする。
【０３６０】
窒素酸化物（ＮＯｘ、ｘは０よりも大きく２以下、好ましくは１以上２以下）、代表的にはＮＯ２またはＮＯは、絶縁層３２１２ａなどに準位を形成する。当該準位は、金属酸化物層３２３１のエネルギーギャップ内に位置する。そのため、窒素酸化物が、絶縁層３２１２ａ及び金属酸化物層３２３１の界面に拡散すると、当該準位が絶縁層３２１２ａ側において電子をトラップする場合がある。この結果、トラップされた電子が、絶縁層３２１２ａ及び金属酸化物層３２３１界面近傍に留まるため、トランジスタのしきい値電圧をプラス方向にシフトさせてしまう。
【０３６１】
また、窒素酸化物は、加熱処理においてアンモニア及び酸素と反応する。絶縁層３２１２ａに含まれる窒素酸化物は、加熱処理において、絶縁層３２１２ｂに含まれるアンモニアと反応するため、絶縁層３２１２ａに含まれる窒素酸化物が低減される。このため、絶縁層３２１２ａ及び金属酸化物層３２３１の界面において、電子がトラップされにくい。
【０３６２】
絶縁層３２１２ａとして、上記酸化物絶縁層を用いることで、トランジスタのしきい値電圧のシフトを低減することが可能であり、トランジスタの電気特性の変動を低減することができる。
【０３６３】
また、上記酸化物絶縁層は、ＳＩＭＳで測定される窒素濃度が６×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である。
【０３６４】
基板温度が２２０℃以上３５０℃以下であり、シラン及び一酸化二窒素を用いたＰＥＣＶＤ法を用いて、上記酸化物絶縁層を形成することで、緻密であり、且つ硬度の高い膜を形成することができる。
【０３６５】
絶縁層３２１２ｂは、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化物絶縁層である。上記の酸化物絶縁層は、加熱により酸素の一部が脱離する。なお、ＴＤＳにおいて、上記の酸化物絶縁層は、酸素の放出量が１．０×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上、好ましくは３．０×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上の領域を有する。また、上記の酸素の放出量は、ＴＤＳにおける加熱処理の温度が５０℃以上６５０℃以下、または５０℃以上５５０℃以下の範囲での総量である。また、上記の酸素の放出量は、ＴＤＳにおける酸素原子に換算しての総量である。
【０３６６】
絶縁層３２１２ｂとしては、厚さが３０ｎｍ以上５００ｎｍ以下、好ましくは５０ｎｍ以上４００ｎｍ以下の、酸化シリコン、酸化窒化シリコン等を用いることができる。
【０３６７】
また、絶縁層３２１２ｂは、欠陥量が少ないことが好ましく、代表的には、ＥＳＲ測定により、シリコンのダングリングボンドに由来するｇ＝２．００１に現れる信号のスピン密度が１．５×１０１８ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３未満、さらには１×１０１８ｓｐｉｎｓ／ｃｍ３以下であることが好ましい。なお、絶縁層３２１２ｂは、絶縁層３２１２ａと比較して金属酸化物層３２３１から離れているため、絶縁層３２１２ａより、欠陥密度が多くともよい。
【０３６８】
また、絶縁層３２１２は、同種の材料の絶縁層を用いることができるため、絶縁層３２１２ａと絶縁層３２１２ｂの界面が明確に確認できない場合がある。したがって、本実施の形態においては、絶縁層３２１２ａと絶縁層３２１２ｂの界面は、破線で図示している。なお、本実施の形態においては、絶縁層３２１２ａと絶縁層３２１２ｂの２層構造について説明したが、これに限定されず、例えば、絶縁層３２１２ａの単層構造、あるいは３層以上の積層構造としてもよい。
【０３６９】
トランジスタ３２００ｂにおいて、金属酸化物層３２３１は、絶縁層３２１１上の金属酸化物層３２３１＿１と、金属酸化物層３２３１＿１上の金属酸化物層３２３１＿２と、を有する。なお、金属酸化物層３２３１＿１及び金属酸化物層３２３１＿２は、それぞれ同じ元素を有する。例えば、金属酸化物層３２３１＿１及び金属酸化物層３２３１＿２は、上述の金属酸化物層３２３１が有する元素を、それぞれ独立に有することが好ましい。
【０３７０】
また、金属酸化物層３２３１＿１及び金属酸化物層３２３１＿２は、それぞれ独立に、Ｉｎの原子数比がＭの原子数比より多い領域を有すると好ましい。一例としては、金属酸化物層３２３１＿１及び金属酸化物層３２３１＿２のＩｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比を、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝４：２：３近傍とすると好ましい。ここで、近傍とは、Ｉｎが４の場合、Ｍが１．５以上２．５以下であり、且つＺｎが２以上４以下を含む。または、金属酸化物層３２３１＿１及び金属酸化物層３２３１＿２のＩｎ、Ｍ、及びＺｎの原子数の比を、Ｉｎ：Ｍ：Ｚｎ＝５：１：６近傍とすると好ましい。このように、金属酸化物層３２３１＿１及び金属酸化物層３２３１＿２を概略同じ組成とすることで、同じスパッタリングターゲットを用いて形成できるため、製造コストを抑制することが可能である。また、同じスパッタリングターゲットを用いる場合、同一チャンバーにて真空中で連続して金属酸化物層３２３１＿１及び金属酸化物層３２３１＿２を成膜することができるため、金属酸化物層３２３１＿１と金属酸化物層３２３１＿２との界面に不純物が取り込まれるのを抑制することができる。
【０３７１】
ここで、金属酸化物層３２３１＿１は、金属酸化物層３２３１＿２よりも結晶性が低い領域を有していてもよい。なお、金属酸化物層３２３１＿１及び金属酸化物層３２３１＿２の結晶性としては、例えば、Ｘ線回折（ＸＲＤ：Ｘ−Ｒａｙ  Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）を用いて分析する、あるいは、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ：Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を用いて分析することで解析できる。
【０３７２】
金属酸化物層３２３１＿１の結晶性が低い領域が過剰酸素の拡散経路となり、金属酸化物層３２３１＿１よりも結晶性の高い金属酸化物層３２３１＿２にも過剰酸素を拡散させることができる。このように、結晶構造が異なる金属酸化物層の積層構造とし、結晶性の低い領域を過剰酸素の拡散経路とすることで、信頼性の高いトランジスタを提供することができる。
【０３７３】
また、金属酸化物層３２３１＿２が、金属酸化物層３２３１＿１より結晶性が高い領域を有することにより、金属酸化物層３２３１に混入しうる不純物を抑制することができる。特に、金属酸化物層３２３１＿２の結晶性を高めることで、導電層３２２２ａ及び導電層３２２２ｂを加工する際のダメージを抑制することができる。金属酸化物層３２３１の表面、すなわち金属酸化物層３２３１＿２の表面は、導電層３２２２ａ及び導電層３２２２ｂの加工の際のエッチャントまたはエッチングガスに曝される。しかしながら、金属酸化物層３２３１＿２は、結晶性が高い領域を有する場合、結晶性が低い金属酸化物層３２３１＿１と比較してエッチング耐性に優れる。したがって、金属酸化物層３２３１＿２は、エッチングストッパとして機能する。
【０３７４】
また、金属酸化物層３２３１＿１は、金属酸化物層３２３１＿２よりも結晶性が低い領域を有することで、キャリア密度が高くなる場合がある。
【０３７５】
また、金属酸化物層３２３１＿１のキャリア密度が高くなると、金属酸化物層３２３１＿１の伝導帯に対してフェルミ準位が相対的に高くなる場合がある。これにより、金属酸化物層３２３１＿１の伝導帯の下端が低くなり、金属酸化物層３２３１＿１の伝導帯下端と、ゲート絶縁膜（ここでは、絶縁層３２１１）中に形成されうるトラップ準位とのエネルギー差が大きくなる場合がある。該エネルギー差が大きくなることにより、ゲート絶縁膜中にトラップされる電荷が少なくなり、トランジスタのしきい値電圧の変動を小さくできる場合がある。また、金属酸化物層３２３１＿１のキャリア密度が高くなると、金属酸化物層３２３１の電界効果移動度を高めることができる。
【０３７６】
なお、トランジスタ３２００ｂにおいては、金属酸化物層３２３１を２層の積層構造にする例を示したが、これに限定されず、３層以上積層する構成にしてもよい。
【０３７７】
トランジスタ３２００ｂが有する導電層３２２２ａは、導電層３２２２ａ＿１と、導電層３２２２ａ＿１上の導電層３２２２ａ＿２と、導電層３２２２ａ＿２上の導電層３２２２ａ＿３と、を有する。また、トランジスタ３２００ｂが有する導電層３２２２ｂは、導電層３２２２ｂ＿１と、導電層３２２２ｂ＿１上の導電層３２２２ｂ＿２と、導電層３２２２ｂ＿２上の導電層３２２２ｂ＿３と、を有する。
【０３７８】
例えば、導電層３２２２ａ＿１、導電層３２２２ｂ＿１、導電層３２２２ａ＿３、及び導電層３２２２ｂ＿３としては、チタン、タングステン、タンタル、モリブデン、インジウム、ガリウム、錫、及び亜鉛の中から選ばれるいずれか一つまたは複数を有すると好適である。また、導電層３２２２ａ＿２及び導電層３２２２ｂ＿２としては、銅、アルミニウム、及び銀の中から選ばれるいずれか一つまたは複数を有すると好適である。
【０３７９】
より具体的には、導電層３２２２ａ＿１、導電層３２２２ｂ＿１、導電層３２２２ａ＿３、及び導電層３２２２ｂ＿３にＩｎ−Ｓｎ酸化物またはＩｎ−Ｚｎ酸化物を用い、導電層３２２２ａ＿２及び導電層３２２２ｂ＿２に銅を用いることができる。
【０３８０】
また、導電層３２２２ａ＿１の端部は、導電層３２２２ａ＿２の端部よりも外側に位置する領域を有し、導電層３２２２ａ＿３は、導電層３２２２ａ＿２の上面及び側面を覆い、且つ導電層３２２２ａ＿１と接する領域を有する。また、導電層３２２２ｂ＿１の端部は、導電層３２２２ｂ＿２の端部よりも外側に位置する領域を有し、導電層３２２２ｂ＿３は、導電層３２２２ｂ＿２の上面及び側面を覆い、且つ導電層３２２２ｂ＿１と接する領域を有する。
【０３８１】
上記構成とすることで、導電層３２２２ａ及び導電層３２２２ｂの配線抵抗を低くし、且つ金属酸化物層３２３１への銅の拡散を抑制できるため好適である。
【０３８２】
＜ＯＳトランジスタの構成例３＞
次に、トランジスタの構造の一例として、トランジスタ３２００ｃについて、図３６（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）を用いて説明する。図３６（Ａ）はトランジスタ３２００ｃの上面図である。図３６（Ｂ）は、図３６（Ａ）に示す一点鎖線Ｘ１−Ｘ２間における切断面の断面図に相当し、図３６（Ｃ）は、図３６（Ａ）に示す一点鎖線Ｙ１−Ｙ２間における切断面の断面図に相当する。
【０３８３】
図３６（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示すトランジスタ３２００ｃは、絶縁層３２２４上の導電層３２２１と、導電層３２２１上の絶縁層３２１１と、絶縁層３２１１上の金属酸化物層３２３１と、金属酸化物層３２３１上の絶縁層３２１２と、絶縁層３２１２上の導電層３２２３と、絶縁層３２１１、金属酸化物層３２３１、及び導電層３２２３上の絶縁層３２１３と、を有する。なお、金属酸化物層３２３１は、導電層３２２３と重なるチャネル領域３２３１ｉと、絶縁層３２１３と接するソース領域３２３１ｓと、絶縁層３２１３と接するドレイン領域３２３１ｄと、を有する。
【０３８４】
また、絶縁層３２１３は、窒素または水素を有する。絶縁層３２１３と、ソース領域３２３１ｓ及びドレイン領域３２３１ｄと、が接することで、絶縁層３２１３中の窒素または水素がソース領域３２３１ｓ及びドレイン領域３２３１ｄ中に添加される。ソース領域３２３１ｓ及びドレイン領域３２３１ｄは、窒素または水素が添加されることで、キャリア密度が高くなる。
【０３８５】
また、トランジスタ３２００ｃは、絶縁層３２１３上の絶縁層３２１５と、絶縁層３２１３及び絶縁層３２１５に設けられた開口部３２３６ａを介して、ソース領域３２３１ｓに電気的に接続される導電層３２２２ａと、絶縁層３２１３及び絶縁層３２１５に設けられた開口部３２３６ｂを介して、ドレイン領域３２３１ｄに電気的に接続される導電層３２２２ｂと、を有していてもよい。
【０３８６】
絶縁層３２１５としては、酸化物絶縁膜を用いることができる。また、絶縁層３２１５としては、酸化物絶縁膜と、窒化物絶縁膜との積層膜を用いることができる。絶縁層３２１５として、例えば酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化ガリウムまたはＧａ−Ｚｎ酸化物などを用いればよい。また、絶縁層３２１５としては、外部からの水素、水等のバリア膜として機能する膜であることが好ましい。
【０３８７】
絶縁層３２１１は、第１のゲート絶縁膜としての機能を有し、絶縁層３２１２は、第２のゲート絶縁膜としての機能を有する。また、絶縁層３２１３及び絶縁層３２１５は保護絶縁膜としての機能を有する。
【０３８８】
また、絶縁層３２１２は、過剰酸素領域を有する。絶縁層３２１２が過剰酸素領域を有することで、金属酸化物層３２３１が有するチャネル領域３２３１ｉ中に過剰酸素を供給することができる。よって、チャネル領域３２３１ｉに形成されうる酸素欠損を過剰酸素により補填することができるため、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
【０３８９】
なお、金属酸化物層３２３１中に過剰酸素を供給させるためには、金属酸化物層３２３１の下方に形成される絶縁層３２１１に過剰酸素を供給してもよい。この場合、絶縁層３２１１中に含まれる過剰酸素は、金属酸化物層３２３１が有するソース領域３２３１ｓ、及びドレイン領域３２３１ｄにも供給されうる。ソース領域３２３１ｓ、及びドレイン領域３２３１ｄ中に過剰酸素が供給されると、ソース領域３２３１ｓ、及びドレイン領域３２３１ｄの抵抗が高くなる場合がある。
【０３９０】
一方で、金属酸化物層３２３１の上方に形成される絶縁層３２１２に過剰酸素を有する構成とすることで、チャネル領域３２３１ｉにのみ選択的に過剰酸素を供給させることが可能となる。あるいは、チャネル領域３２３１ｉ、ソース領域３２３１ｓ、及びドレイン領域３２３１ｄに過剰酸素を供給させたのち、ソース領域３２３１ｓ及びドレイン領域３２３１ｄのキャリア密度を選択的に高めることで、ソース領域３２３１ｓ、及びドレイン領域３２３１ｄの抵抗が高くなることを抑制することができる。
【０３９１】
また、金属酸化物層３２３１が有するソース領域３２３１ｓ及びドレイン領域３２３１ｄは、それぞれ、酸素欠損を形成する元素、または酸素欠損と結合する元素を有すると好ましい。当該酸素欠損を形成する元素、または酸素欠損と結合する元素としては、代表的には水素、ホウ素、炭素、窒素、フッ素、リン、硫黄、塩素、チタン、希ガス等が挙げられる。また、希ガス元素の代表例としては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、及びキセノン等がある。上記酸素欠損を形成する元素が、絶縁層３２１３中に１つまたは複数含まれる場合、絶縁層３２１３からソース領域３２３１ｓ、及びドレイン領域３２３１ｄに拡散する、および／または不純物添加処理によりソース領域３２３１ｓ、及びドレイン領域３２３１ｄ中に添加される。
【０３９２】
不純物元素が酸化物半導体膜に添加されると、酸化物半導体膜中の金属元素と酸素の結合が切断され、酸素欠損が形成される。または、不純物元素が酸化物半導体膜に添加されると、酸化物半導体膜中の金属元素と結合していた酸素が不純物元素と結合し、金属元素から酸素が脱離され、酸素欠損が形成される。これらの結果、酸化物半導体膜においてキャリア密度が増加し、導電性が高くなる。
【０３９３】
また、導電層３２２１は、第１のゲート電極としての機能を有し、導電層３２２３は、第２のゲート電極としての機能を有し、導電層３２２２ａは、ソース電極としての機能を有し、導電層３２２２ｂは、ドレイン電極としての機能を有する。
【０３９４】
また、図３６（Ｃ）に示すように、絶縁層３２１１及び絶縁層３２１２には開口部３２３７が設けられる。また、導電層３２２１は、開口部３２３７を介して、導電層３２２３と、電気的に接続される。よって、導電層３２２１と導電層３２２３には、同じ電位が与えられる。なお、開口部３２３７を設けずに、導電層３２２１と、導電層３２２３と、に異なる電位を与えてもよい。または、開口部３２３７を設けずに、導電層３２２１を遮光膜として用いてもよい。例えば、導電層３２２１を遮光性の材料により形成することで、チャネル領域３２３１ｉに照射される下方からの光を抑制することができる。
【０３９５】
また、図３６（Ｂ）（Ｃ）に示すように、金属酸化物層３２３１は、第１のゲート電極として機能する導電層３２２１と、第２のゲート電極として機能する導電層３２２３のそれぞれと対向するように位置し、２つのゲート電極として機能する導電膜に挟まれている。
【０３９６】
また、トランジスタ３２００ｃもトランジスタ３２００ａ及びトランジスタ３２００ｂと同様にＳ−ｃｈａｎｎｅｌ構造をとる。このような構成を有することで、トランジスタ３２００ｃに含まれる金属酸化物層３２３１を、第１のゲート電極として機能する導電層３２２１及び第２のゲート電極として機能する導電層３２２３の電界によって電気的に取り囲むことができる。
【０３９７】
トランジスタ３２００ｃは、Ｓ−ｃｈａｎｎｅｌ構造を有するため、導電層３２２１または導電層３２２３によってチャネルを誘起させるための電界を効果的に金属酸化物層３２３１に印加することができるため、トランジスタ３２００ｃの電流駆動能力が向上し、高いオン電流特性を得ることが可能となる。また、オン電流を高くすることが可能であるため、トランジスタ３２００ｃを微細化することが可能となる。また、トランジスタ３２００ｃは、金属酸化物層３２３１が、導電層３２２１、及び導電層３２２３によって取り囲まれた構造を有するため、トランジスタ３２００ｃの機械的強度を高めることができる。
【０３９８】
なお、トランジスタ３２００ｃを、導電層３２２３の金属酸化物層３２３１に対する位置、または導電層３２２３の形成方法から、ＴＧＳＡ（Ｔｏｐ  Ｇａｔｅ  Ｓｅｌｆ  Ａｌｉｇｎ）型のＦＥＴと呼称してもよい。
【０３９９】
なお、トランジスタ３２００ｃにおいても、トランジスタ３２００ｂと同様に金属酸化物層３２３１を２層以上積層する構成にしてもよい。
【０４００】
また、トランジスタ３２００ｃにおいて、絶縁層３２１２が導電層３２２３と重なる部分にのみ設けられているが、これに限られることなく、絶縁層３２１２が金属酸化物層３２３１を覆う構成にすることもできる。また、導電層３２２１を設けない構成にすることもできる。
【０４０１】
本実施の形態は、他の実施の形態などに記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
【０４０２】
＜ＣＡＣ−ＯＳの構成＞
以下では、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができるＣＡＣ−ＯＳの構成について説明する。
【０４０３】
ＣＡＣ−ＯＳとは、例えば、酸化物半導体を構成する元素が、０．５ｎｍ以上１０ｎｍ以下、好ましくは、１ｎｍ以上２ｎｍ以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、酸化物半導体において、一つあるいはそれ以上の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、０．５ｎｍ以上１０ｎｍ以下、好ましくは、１ｎｍ以上２ｎｍ以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
【０４０４】
なお、酸化物半導体は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
【０４０５】
例えば、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物におけるＣＡＣ−ＯＳ（ＣＡＣ−ＯＳの中でもＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物を、特にＣＡＣ−ＩＧＺＯと呼称してもよい）とは、インジウム酸化物（以下、ＩｎＯＸ１（Ｘ１は０よりも大きい実数）とする）、またはインジウム亜鉛酸化物（以下、ＩｎＸ２ＺｎＹ２ＯＺ２（Ｘ２、Ｙ２、およびＺ２は０よりも大きい実数）とする）と、ガリウム酸化物（以下、ＧａＯＸ３（Ｘ３は０よりも大きい実数）とする）、またはガリウム亜鉛酸化物（以下、ＧａＸ４ＺｎＹ４ＯＺ４（Ｘ４、Ｙ４、およびＺ４は０よりも大きい実数）とする）などと、に材料が分離することでモザイク状となり、モザイク状のＩｎＯＸ１、またはＩｎＸ２ＺｎＹ２ＯＺ２が、膜中に均一に分布した構成（以下、クラウド状ともいう）である。
【０４０６】
つまり、ＣＡＣ−ＯＳは、ＧａＯＸ３が主成分である領域と、ＩｎＸ２ＺｎＹ２ＯＺ２、またはＩｎＯＸ１が主成分である領域とが、混合している構成を有する複合酸化物半導体である。なお、本明細書において、例えば、第１の領域の元素Ｍに対するＩｎの原子数比が、第２の領域の元素Ｍに対するＩｎの原子数比よりも大きいことを、第１の領域は、第２の領域と比較して、Ｉｎの濃度が高いとする。
【０４０７】
なお、ＩＧＺＯは通称であり、Ｉｎ、Ｇａ、Ｚｎ、およびＯによる１つの化合物をいう場合がある。代表例として、ＩｎＧａＯ３（ＺｎＯ）ｍ１（ｍ１は自然数）、またはＩｎ（１＋ｘ０）Ｇａ（１−ｘ０）Ｏ３（ＺｎＯ）ｍ０（−１≦ｘ０≦１、ｍ０は任意数）で表される結晶性の化合物が挙げられる。
【０４０８】
上記結晶性の化合物は、単結晶構造、多結晶構造、またはＣＡＡＣ（Ｃ−Ａｘｉｓ  Ａｌｉｇｎｅｄ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ、または、Ｃ−Ａｘｉｓ  Ａｌｉｇｎｅｄ  ａｎｄ  Ａ−Ｂ−ｐｌａｎｅ  Ａｎｃｈｏｒｅｄ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ）構造を有する。なお、ＣＡＡＣ構造とは、複数のＩＧＺＯのナノ結晶がｃ軸配向を有し、かつａ−ｂ面においては配向せずに連結した結晶構造である。
【０４０９】
一方、ＣＡＣ−ＯＳは、酸化物半導体の材料構成に関する。ＣＡＣ−ＯＳとは、Ｉｎ、Ｇａ、Ｚｎ、およびＯを含む材料構成において、一部にＧａを主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にＩｎを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。従って、ＣＡＣ−ＯＳにおいて、結晶構造は副次的な要素である。
【０４１０】
なお、ＣＡＣ−ＯＳは、組成の異なる二種類以上の膜の積層構造は含まないものとする。例えば、Ｉｎを主成分とする膜と、Ｇａを主成分とする膜との２層からなる構造は、含まない。
【０４１１】
なお、ＧａＯＸ３が主成分である領域と、ＩｎＸ２ＺｎＹ２ＯＺ２、またはＩｎＯＸ１が主成分である領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
【０４１２】
なお、ガリウムの代わりに、アルミニウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれている場合、ＣＡＣ−ＯＳは、一部に該金属元素を主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にＩｎを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。
【０４１３】
ＣＡＣ−ＯＳは、例えば基板を意図的に加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、ＣＡＣ−ＯＳをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス（代表的にはアルゴン）、酸素ガス、及び窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば酸素ガスの流量比を０％以上３０％未満、好ましくは０％以上１０％以下とすることが好ましい。
【０４１４】
ＣＡＣ−ＯＳは、Ｘ線回折（ＸＲＤ：Ｘ−ｒａｙ  ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）測定法のひとつであるＯｕｔ−ｏｆ−ｐｌａｎｅ法によるθ／２θスキャンを用いて測定したときに、明確なピークが観察されないという特徴を有する。すなわち、Ｘ線回折から、測定領域のａ−ｂ面方向、およびｃ軸方向の配向は見られないことが分かる。
【０４１５】
またＣＡＣ−ＯＳは、プローブ径が１ｎｍの電子線（ナノビーム電子線ともいう）を照射することで得られる電子線回折パターンにおいて、リング状に輝度の高い領域と、該リング領域に複数の輝点が観測される。従って、電子線回折パターンから、ＣＡＣ−ＯＳの結晶構造が、平面方向、および断面方向において、配向性を有さないｎｃ（ｎａｎｏ−ｃｒｙｓｔａｌ）構造を有することがわかる。
【０４１６】
また例えば、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物におけるＣＡＣ−ＯＳでは、エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＸ：Ｅｎｅｒｇｙ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ  Ｘ−ｒａｙ  ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を用いて取得したＥＤＸマッピングにより、ＧａＯＸ３が主成分である領域と、ＩｎＸ２ＺｎＹ２ＯＺ２、またはＩｎＯＸ１が主成分である領域とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
【０４１７】
ＣＡＣ−ＯＳは、金属元素が均一に分布したＩＧＺＯ化合物とは異なる構造であり、ＩＧＺＯ化合物と異なる性質を有する。つまり、ＣＡＣ−ＯＳは、ＧａＯＸ３などが主成分である領域と、ＩｎＸ２ＺｎＹ２ＯＺ２、またはＩｎＯＸ１が主成分である領域と、に互いに相分離し、各元素を主成分とする領域がモザイク状である構造を有する。
【０４１８】
ここで、ＩｎＸ２ＺｎＹ２ＯＺ２、またはＩｎＯＸ１が主成分である領域は、ＧａＯＸ３などが主成分である領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、ＩｎＸ２ＺｎＹ２ＯＺ２、またはＩｎＯＸ１が主成分である領域を、キャリアが流れることにより、酸化物半導体としての導電性が発現する。従って、ＩｎＸ２ＺｎＹ２ＯＺ２、またはＩｎＯＸ１が主成分である領域が、酸化物半導体中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度（μ）が実現できる。
【０４１９】
一方、ＧａＯＸ３などが主成分である領域は、ＩｎＸ２ＺｎＹ２ＯＺ２、またはＩｎＯＸ１が主成分である領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、ＧａＯＸ３などが主成分である領域が、酸化物半導体中に分布することで、リーク電流を抑制し、良好なスイッチング動作を実現できる。
【０４２０】
従って、ＣＡＣ−ＯＳを半導体素子に用いた場合、ＧａＯＸ３などに起因する絶縁性と、ＩｎＸ２ＺｎＹ２ＯＺ２、またはＩｎＯＸ１に起因する導電性とが、相補的に作用することにより、高いオン電流（Ｉｏｎ）、および高い電界効果移動度（μ）を実現することができる。
【０４２１】
また、ＣＡＣ−ＯＳを用いた半導体素子は、信頼性が高い。従って、ＣＡＣ−ＯＳは、ディスプレイをはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。
【０４２２】
本実施の形態は、少なくともその一部を他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【０４２３】
Ａ１    領域
Ｃ１    矢印
Ｃ３    容量素子
Ｃ４    容量素子
Ｃ５    容量素子
Ｃ６    容量素子
Ｃ８    容量素子
Ｃ９    容量素子
Ｇ１    配線
Ｇ２    配線
Ｇ３    配線
Ｒ１    矢印
Ｓ１    配線
Ｓ２    配線
Ｓ３    配線
ＳＷ１    スイッチ
ＳＷ２    スイッチ
Ｔｒ１    トランジスタ
Ｔｒ５    トランジスタ
Ｔｒ６    トランジスタ
Ｔｒ８    トランジスタ
Ｔｒ１６    トランジスタ
Ｔｒ１７    トランジスタ
Ｔｒ２６    トランジスタ
Ｔｒ２７    トランジスタ
Ｔｒ３２    トランジスタ
Ｔｒ３８    トランジスタ
Ｔｒ４０    トランジスタ
Ｔｒ４１    トランジスタ
Ｔｒ４２    トランジスタ
Ｔｒ４３    トランジスタ
ＶＣＯＭ１    配線
ＶＣＯＭ２    配線
Ｘ０    隣接部
１０    画素
２０    デマルチプレクサ
２１    シフトレジスタ
２２    シフトレジスタ
２３    シフトレジスタ
２４    シフトレジスタ
２５    デコーダ
３１    レジスタ
３２    レジスタ
３３    インバータ
３４    ドライバ
６０    表示ユニット
６１    画素アレイ
６２    ゲートドライバ
６３    ゲートドライバ
６４    ソースドライバＩＣ
６４ａ    ソースドライバＩＣ
６４ｄ    ソースドライバＩＣ
７０    タッチセンサユニット
７１    センサアレイ
７２    タッチセンサＩＣ
８０    アプリケーションプロセッサ
９０    タブレット型情報端末
９１    表示領域
１００    表示装置
１００Ａ    表示装置
１００Ｂ    表示装置
１１２    液晶
１１３    電極
１１７    絶縁層
１２１    絶縁層
１３１    着色層
１３２    遮光層
１３３ａ    配向膜
１３３ｂ    配向膜
１３５    機能性部材
１４１    接着層
１４２    接着層
１７０    発光素子
１７０ｂ    発光素子
１７０ｇ    発光素子
１７０ｒ    発光素子
１７０ｗ    発光素子
１７６    タッチセンサ
１８０    液晶素子
１９１    導電層
１９２    ＥＬ層
１９３    導電層
１９４    絶縁層
２０１    トランジスタ
２０２    容量素子
２０３    トランジスタ
２０４    接続部
２０５    トランジスタ
２０６    トランジスタ
２０７    接続部
２１１    絶縁層
２１２    絶縁層
２１３    絶縁層
２１４    絶縁層
２１６    絶縁層
２１７    導電層
２１８    導電層
２２０    絶縁層
２２１ａ    導電層
２２１ｂ    導電層
２２２ａ    導電層
２２２ｂ    導電層
２２３    導電層
２２４    絶縁層
２２５    導電層
２３１    半導体層
２３４    周辺回路領域
２３５    表示領域
２３６    画素回路
２３７    光
２３８    光
２４２    接続層
２４３    接続体
２５２    接続部
２７１    トランジスタ
２７２    容量素子
２７３    走査線
２７４    信号線
２７５    共通電位線
２８１    トランジスタ
２８２    容量素子
２８３    トランジスタ
２８４    走査線
２８５    信号線
２８６    電源線
２９１    透過領域
２９２    遮光領域
３１１    電極
３５１    基板
３６１    基板
３６５    配線
３７０    タッチセンサ
３７２    ＦＰＣ
３７４    導電層
３７５    絶縁層
３７６ａ    導電層
３７６ｂ    導電層
３７７    導電層
３７８    絶縁層
４０２    駆動回路
４０３    検出回路
４０４    容量
４７５    検知素子
８０１    制御回路
８０２    ドライバ
８０３    フレームメモリ
８０４    フレームメモリ
８０６    ゲートドライバ信号生成回路
８０７    ゲートドライバ信号生成回路
８１０    タイミングコントローラ
９０１    入射光
９０２    反射光
９０３    発光
９１０    電子機器
９２０    電子機器
９３０    電子機器
９４０    電子機器
３２００ａ    トランジスタ
３２００ｂ    トランジスタ
３２００ｃ    トランジスタ
３２１１    絶縁層
３２１２    絶縁層
３２１２ａ    絶縁層
３２１２ｂ    絶縁層
３２１３    絶縁層
３２１５    絶縁層
３２２１    導電層
３２２２ａ    導電層
３２２２ａ＿１    導電層
３２２２ａ＿２    導電層
３２２２ａ＿３    導電層
３２２２ｂ    導電層
３２２２ｂ＿１    導電層
３２２２ｂ＿２    導電層
３２２２ｂ＿３    導電層
３２２３    導電層
３２２４    絶縁層
３２３１    金属酸化物層
３２３１＿１    金属酸化物層
３２３１＿２    金属酸化物層
３２３１ｄ    ドレイン領域
３２３１ｉ    チャネル領域
３２３１ｓ    ソース領域
３２３５    開口部
３２３６ａ    開口部
３２３６ｂ    開口部
３２３７    開口部
５２００Ｂ    情報処理装置
５２１０    演算装置
５２２０    入出力装置
５２３０    表示部
５２４０    入力部
５２５０    検知部
５２９０    通信部
【図１】
2018092161.tif 000003
【図２】
2018092161.tif 000004
【図３】
2018092161.tif 000005
【図４】
2018092161.tif 000006
【図５】
2018092161.tif 000007
【図６】
2018092161.tif 000008
【図７】
2018092161.tif 000009
【図８】
2018092161.tif 000010
【図９】
2018092161.tif 000011
【図１０】
2018092161.tif 000012
【図１１】
2018092161.tif 000013
【図１２】
2018092161.tif 000014
【図１３】
2018092161.tif 000015
【図１４】
2018092161.tif 000016
【図１５】
2018092161.tif 000017
【図１６】
2018092161.tif 000018
【図１７】
2018092161.tif 000019
【図１８】
2018092161.tif 000020
【図１９】
2018092161.tif 000021
【図２０】
2018092161.tif 000022
【図２１】
2018092161.tif 000023
【図２２】
2018092161.tif 000024
【図２３】
2018092161.tif 000025
【図２４】
2018092161.tif 000026
【図２５】
2018092161.tif 000027
【図２６】
2018092161.tif 000028
【図２７】
2018092161.tif 000029
【図２８】
2018092161.tif 000030
【図２９】
2018092161.tif 000031
【図３０】
2018092161.tif 000032
【図３１】
2018092161.tif 000033
【図３２】
2018092161.tif 000034
【図３３】
2018092161.tif 000035
【図３４】
2018092161.tif 000036
【図３５】
2018092161.tif 000037
【図３６】
2018092161.tif 000038
【図３７】
2018092161.tif 000039
【図３８】
2018092161.tif 000040