(57)【要約】【課題】搬送面上において振動により所望の方向に搬送される搬送対象物が搬送面と接触する機会・時間を低減することによって、搬送対象物が搬送面と接触し続ける状態で搬送処理を行う装置と比べて、搬送処理能力を向上させることが可能な振動搬送装置を提供する【解決手段】搬送面Ｂ１１，Ｂ８１と、搬送面Ｂ１１，Ｂ８１を振動させる加振源とを備え、且つ搬送面Ｂ１１，Ｂ８１上の搬送対象物Ｗを振動により搬送する振動搬送装置Ｂにおいて、搬送面Ｂ１１，Ｂ８１の全部または一部を多孔質材ＢＳによって構成し、エア供給源ＢＡから供給されたエアを搬送面Ｂ１１，Ｂ８１上の搬送対象物Ｗに対して、多孔質材ＢＳを通じて下方から噴射することによって搬送対象物Ｗを搬送面Ｂ１１，Ｂ８１から浮上するように構成した。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送面及び当該搬送面を振動させる加振源を備え、且つ前記搬送面上の搬送対象物を振動により搬送する振動搬送装置であって、
前記搬送面の全部または一部を多孔質材によって構成し、
エア供給源から供給されたエアを前記搬送面上の前記搬送対象物に対して前記多孔質材を通じて噴射することによって前記搬送対象物を前記搬送面から浮上可能に構成したことを特徴とする振動搬送装置。
【請求項２】
前記エア供給源からのエアによって前記搬送面から浮上した前記搬送対象物及び浮上した前記搬送対象物の周辺に向けてイオン化空気を噴射するイオナイザを備えている請求項１に記載の振動搬送装置。
【請求項３】
前記エア供給源から供給されるエアがイオン化空気である請求項１又は２に記載の振動搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク等の搬送対象物を搬送面上において所望の搬送方向に搬送可能な振動搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、電子部品等の搬送対象物であるワークを振動によって搬送路に沿って所定の供給先へ搬送可能なパーツフィーダや、物品を載せる載置面を有する可動台を３軸方向（水平面内で直交する２方向と垂直方向）に振動させることによって可動台上に載せた物品の搬送または分別の少なくとも何れか一方を行う物品搬送装置が知られている（例えば、下記特許文献１、特許文献２参照）。以下の説明では、パーツフィーダの搬送路を構成する面及び物品搬送装置の載置面を「搬送面」とし、上述のパーツフィーダ及び物品搬送装置のように、物品を搬送面上において所望の搬送方向に搬送可能な装置全般を「振動搬送装置」と称し、「振動搬送装置」には、物品の搬送または分別の何れか一方、あるいは双方の機能を有するものを含む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３０９５４１号公報
【特許文献２】特開２０１３−０１８５９８号公報（特許第５８０３３５９号公報）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述した構成が採用された各種振動搬送装置では、搬送面上の搬送対象物を所望の搬送方向に搬送する際に、振動によって搬送面と搬送対象物が接触するため、搬送対象物の損傷・破損・汚れ、あるいは搬送面の摩耗といった事態が生じるおそれがある。また、搬送面と搬送対象物等の接触により、搬送対象物は静電気を帯び易く、静電気によって他の搬送対象物にくっついたり、搬送面に対してくっつこうとする力が大きくなり、このような静電気を帯びた状態の搬送対象物を搬送し続けることになれば、所期の搬送速度で搬送対象物を搬送することができない等、搬送処理能力が低下してしまう。加えて、搬送対象物と搬送面の擦れに起因する搬送対象物および搬送面の削れカスや埃が静電気を帯びた搬送対象物及び搬送面に付着し易く、このこともまた搬送処理能力に低下につながる。
【０００５】
本発明は、このような問題に着目してなされたものであって、主たる目的は、搬送面上において振動により所望の方向に搬送される搬送対象物と搬送面との接触度合い（接触時間や回数）を低減して、搬送処理能力の低下を防止・抑制可能な振動搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち本発明は、搬送面及び当該搬送面を振動させる加振源を備え、且つ搬送面上の搬送対象物を振動により搬送する振動搬送装置に関するものである。ここで、本発明における「搬送面」は、水平又は略水平な面（水平面）、又は水平に対して傾斜角度傾斜した面（傾斜面、鉛直面）の何れをも包含する概念であり、搬送面は、直線状に延伸する面、または螺旋状に延伸する面、平面的な広がりを有する面など特にその形状が限定されるものではない。また搬送対象物としては、例えば電子部品などの微小部品を挙げることができるが、電子部品以外の物品であってもよい。
【０００７】
そして、本発明に係る振動搬送装置は、搬送面の全部または一部を多孔質材によって構成し、エア供給源から供給されたエアを搬送面上の搬送対象物に対して多孔質材を通じて噴射することによって搬送対象物を搬送面から浮上可能に構成したことを特徴としている。
【０００８】
このような振動搬送装置であれば、加振源によって振動が付与された搬送面上に載置されている搬送対象物を、所定の振動方向に搬送することができるとともに、エア供給源から供給されたエアを搬送面上の搬送対象物に対して多孔質材を通じて噴射することによって搬送面上に、搬送対象物を搬送面から浮上させる気流が発生し、搬送対象物を強制的に搬送面から浮上させて、搬送対象物と搬送面とを相互に接触させない状態を確保することができる。そして、本発明に係る搬送装置であれば、加振源からの振動によって所定方向に動く慣性で多孔質材によって構成した搬送面上の搬送対象物を搬送面から浮上させた状態を維持しながら当該所定方向に移動させることが可能であり、移動中の搬送対象物が搬送面と接触する機会及び時間を低減することができるため、移動中の搬送対象物が搬送面と接触し続ける構成と比較して、搬送対象物の損傷・破損・汚れや搬送面の摩耗の発生を効果的に防止・抑制することができ、搬送中の搬送対象物及び搬送面の静電気（摩擦帯電、接触帯電、剥離帯電）も低減され、搬送対象物と搬送面の擦れに起因する搬送対象物及び搬送面の削れカスや埃が搬送対象物及び搬送面に付着し難くなり、静電気が原因となって生じる搬送速度の低下という不具合を解消・抑制することができ、搬送面上において搬送対象物を所期の搬送速度でスムーズに搬送することができる。
【０００９】
特に、本発明において、エア供給源からのエアによって搬送面から浮上した搬送対象物及び浮上した搬送対象物の周辺に向けてイオン化空気を噴射するイオナイザを備えた振動搬送装置にすれば、浮上した搬送対象物及びその浮上した搬送対象物の周辺にイオナイザによってイオン化空気を噴射することで、浮上する直前まで搬送面に接触していた面を含む搬送対象物全体にイオン化空気を確実に吹き付けることができるとともに、浮上した搬送対象物が直前まで接触していた搬送面の所定領域にもイオン化空気を吹き付けることが可能である。このように浮上した搬送対象物に向かってイオン化空気を噴射するイオナイザを、浮上した搬送対象物の周辺にある搬送面にイオン化空気を噴射するイオナイザとして共用することが可能な構成であれば、搬送対象物に対してイオン化空気を噴射するイオナイザと、搬送面全体に亘る広範囲にイオン化空気を噴射するイオナイザとを個別に設ける態様と比較して、部品点数の削減及び低コスト化を図ることができる点、及びイオナイザの噴射領域を限定することでイオナイザ自体のコンパクト化及びイオン化空気の使用量低減を図ることができる点で有利である。
【００１０】
加えて、イオナイザを備えた振動搬送装置であれば、搬送面上の搬送対象物に対して多孔質材を通じてから噴射するエア供給源からのエアによって、搬送面上にはエアを搬送面から浮上させる気流が形成され、このような気流中に置かれた搬送対象物に対してイオナイザによって噴射したイオン化空気の気流は、搬送対象物周りの風圧分布を変化させる要因となり、搬送面上において静電気又は粘着性などによって複数の搬送対象物同士が付着している場合であっても、搬送対象物周りの圧力分布が変化することによって各搬送対象物の相互に異なる不規則な挙動を惹起することができ、搬送対象物同士の付着状態を解除することが期待できる。
【００１１】
また、本発明では、エア供給源から供給されるエアとして、イオン化空気を適用することが可能であり、このような構成であれば、エア供給源からのエア、つまりイオン化空気によって搬送面から浮上した搬送対象物は、その時点でイオン化空気が吹き付けられた状態にあり、静電気を迅速に中和除去することができ、搬送処理能力の向上に貢献する。
【００１２】
なお、本発明では、エア供給源から供給されるエアとしてイオン化空気を適用するとともに、上述のイオナイザを備えた振動搬送装置を構成したり、エア供給源から供給されるエアとしてイオン化空気を適用せず、上述のイオナイザを備えた振動搬送装置を構成したり、上述のイオナイザを備えず、エア供給源から供給されるエアとしてイオン化空気を適用した振動搬送装置を構成することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、多孔質材で構成した搬送面にエアを供給して、搬送面上の搬送対象物に向かって多孔質材を通じて吹き付けるエアによって搬送対象物を搬送面から強制的に浮上させた状態で、加振源から付与される振動の方向に移動させることができ、搬送対象物と搬送面の接触に起因する搬送対象物の損傷・破損・汚れ、及び搬送面の摩耗を低減することが可能であり、さらには搬送面及び搬送対象物に静電気が帯び難くなり、搬送対象物を所期の搬送速度で搬送することができ、振動搬送装置の搬送処理能力低下を防止・抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動搬送装置（ボウルフィーダ）を一部破断して模式的に示す側面図。
【図２】同実施形態におけるボウルを一部省略して模式的に示す側断面図。
【図３】本発明に係る振動搬送装置に適用される搬送対象物の一例であるレンズ型ＬＥＤの外観模式図。
【図４】本発明の第２実施形態に係る振動搬送装置（リニアフィーダ）を模式的に示す平面図。
【図５】図４のａ−ａ線断面を一部省略して模式的に示す拡大図。
【図６】本発明の第３実施形態に係る振動搬送装置を模式的に示す外観図。
【図７】同実施形態における載置台を一部省略して模式的に示す側断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００１６】
〈第１実施形態〉
第１実施形態に係る振動搬送装置Ｂは、図１及び図２に示すように、電子部品等の搬送対象物Ｗ（例えば図３に示すレンズ型ＬＥＤ等）を螺旋状の搬送路（ボウル搬送路Ｂ１）上において振動により移動させながら所定の搬送先（供給先）に搬送する装置（パーツフィーダ、具体的にはボウルフィーダＢ）である。本実施形態に係るボウルフィーダＢは、収容した搬送対象物Ｗを整列させながら搬送するボウルＢ２と、ボウルＢ２を支持する支持部Ｂ３と、ボウルＢ２に振動を発生させる加振源Ｂ４とを備えている。
【００１７】
支持部Ｂ３は、図１に示すように、ボウルＢ２の底部に取り付けた可動台Ｂ５と、防振ゴムＢＧを介して床面に固定した固定台Ｂ６と、可動台Ｂ５及び固定台Ｂ６を連結する板バネ等からなる連結部Ｂ７とを備え、可動台Ｂ５を介してボウルＢ２を振動可能に支持するものである。
【００１８】
本実施形態の加振源Ｂ４は、図１に示すように、可動台Ｂ５と固定台Ｂ６との間に設けられ、これら可動台Ｂ５と固定台Ｂ６の間に電磁吸引力を作用させてボウルＢ２に対して高振動数の捩り振動を発生させるものである。ボウルＢ２に対して振動を発生させることによって、ボウルＢ２内に収容された搬送対象物ＷがボウルＢ２の搬送路２に沿って移動させることができる。
【００１９】
ボウルＢ２は、図２（同図は図１から抽出したボウルＢ２の断面模式図である）に示すように、底面に形成され多数のワークＷを貯留可能な平面視略円形の貯留部Ｂ８と、貯留部Ｂ８の周縁部における所定部分を始端として内周壁Ｂ９に沿って登り傾斜の螺旋状に形成したボウル搬送路Ｂ１（トラックとも称される）とを備えた鉢状のものである。
【００２０】
貯留部Ｂ８は、中心側を径方向外側よりも高くなるように設定された上向き面である載置面Ｂ８１を有し、ボウルＢ２の振動や貯留部Ｂ８内に収容されている搬送対象物Ｗの自重によって、載置面Ｂ８１上の搬送対象物Ｗを径方向外側へ移動させるものである。載置面Ｂ８１上において径方向外側へ移動した搬送対象物Ｗは、ボウル搬送路Ｂ１の始端に到達し、そのままボウル搬送路Ｂ１の始端を通過してボウル搬送路Ｂ１に沿って移動する。
【００２１】
ボウル搬送路Ｂ１は、始端が貯留部Ｂ８に連続しており、上向き面であるボウル搬送面Ｂ１１を例えば径方向外側に向けて下方に傾斜させた平坦な面に設定したものである。そして、振動によって搬送対象物Ｗが受ける搬送力のうち径方向外側へ向かう力とボウル搬送面Ｂ１１の傾斜によって、搬送対象物ＷはボウルＢ２の内周壁Ｂ９に接しながら下流側（ボウル搬送路Ｂ１の終端側）に向けて搬送される。本実施形態では、このようなボウル搬送路Ｂ１の所定箇所に整列手段（図示省略）を設け、整列手段によって所定姿勢である搬送対象物Ｗのみを搬送方向下流側に搬送し、所定姿勢ではない搬送対象物Ｗを貯留部Ｂ８へ戻す（落下させる）ように構成している。本実施形態のボウルフィーダＢは、ボウル搬送路Ｂ１の終端を図示しないリニアフィーダに設けた直線状の搬送路（直線トラックとも称される）の始端に連続するように接続して、整列させた搬送対象物Ｗをリニアフィーダに搬送（供給）できるように構成している。
【００２２】
そして、本実施形態に係るボウルフィーダＢは、貯留部Ｂ８のうち上向き面である載置面Ｂ８１の全部又は略全部、及びボウル搬送路Ｂ１のうち上向き面であるボウル搬送面Ｂ１１の全部又は略全部を、多孔質材からなるブロック体ＢＳによって構成している。具体的には、貯留部Ｂ８及びボウル搬送路Ｂ１のうち図２（同図は図１に示すボウルの断面模式図である）において所定のパターンを付した領域を、多孔質材からなるブロック体ＢＳで構成している。
【００２３】
本実施形態における多孔質材は、例えば無機質材料の粉粒体からなる骨材と、骨材相互を連結する結合材（バインダ）との混合物を焼結して形成されたものである。無機質材料の粉粒体からなる骨材の好適な例としては、アルミナや炭化ケイ素を挙げることができ、結合材の好適な例としては、ビトリファイド、ジレノイド、セメント、ゴム及びガラス等を挙げることができる。このようなセラミックス製の多孔質材は、骨材と結合材の混合材料を成型金型に投入して焼結することで金型に応じた成形品にすることが可能である。多孔質材は、焼結工程により内部に無数の微細気孔が形成され、多孔質材の表面に開口する微細気孔と内部の微細気孔が連なって空気流路が形成される。微細気孔は、機械加工する場合に比べてその内径が著しく小さく、多孔質材の表面全体に亘って無数に形成される。なお、本発明における骨材や結合材の種類は上述のものに特に限定されず、適宜選択したものを適用することが可能である。本実施形態では、適宜の金型等を用いて、ボウルＢ２の大部分を構成するブロック状の多孔質材（多孔質材からなるブロック体ＢＳ）を形成している。以下では、多孔質材からなるブロック体ＢＳを、「多孔質ブロック体ＢＳ」と称す。
【００２４】
多孔質ブロック体ＢＳは、上述したように内部に無数の微細気孔が形成され、表面に開口する微細気孔と内部の微細気孔が連なって形成される空気流路を有するものであり。すなわち、多孔質ブロック体ＢＳは、流体が流通（透過）可能な内部を有し、表面全体に多数の孔が満遍なく露出しているものである。なお、各孔（微細気孔）は、搬送対象物Ｗが当該孔に落下しない微小サイズ、例えば６０μｍ程度の大きさである。図２に示すように、多孔質ブロック体ＢＳの中央部分には、高さ方向に貫通する第１空洞部ＢＳ１が形成され、多孔質ブロック体ＢＳの底面には、第１空洞部ＢＳ１に連通する第２空洞部ＢＳ２が形成されている。また、多孔質ブロック体ＢＳの外周面は、金属等の適宜の素材から形成した椀状のカバーＢＣで被覆されている。
【００２５】
本実施形態のボウルフィーダＢは、エア供給ノズルＢＮを第２空洞部ＢＳ２に臨む位置に設け、エア供給源ＢＡから供給されたエアを、エア供給ノズルＢＮから多孔質ブロック体ＢＳの内部に向かって噴射するように設定している。図２では、エア供給源ＢＡとエア供給ノズルＢＮを接続する配管を二点鎖線で示すとともに、エア供給源ＢＡからエア供給ノズルＢＮに供給されるエアの流れを矢印で模式的に示している。
【００２６】
本実施形態では、複数のエア供給ノズルＢＮを所定ピッチで配置し、各エア供給ノズルＢＮから多孔質ブロック体ＢＳに向かって噴射したエアが、多孔質ブロック体ＢＳの内部に透過流入して、貯留部Ｂ８の載置面Ｂ８１やボウル搬送路Ｂ１のボウル搬送面Ｂ１１から放出されるように設定している。なお、多孔質ブロック体ＢＳの外周面を上述のカバーＢＣで被覆することによって、エア等の流体が多孔質ブロック体ＢＳの外周面を透過しないように設定している。また、多孔質ブロック体ＢＳの外周面を、樹脂等を用いた封孔処理によって形成した封止層に設定し、エア等の流体が封止層を透過しないように構成することも可能である。本実施形態では、エア供給源ＢＡから供給されるエアとしてイオン化空気を適用している。
【００２７】
本実施形態のボウルフィーダＢは、例えばボルト（図示省略）によってボウルＢ２を可動台Ｂ５に固定している。この固定処理に際して、第２空洞部ＢＳ２をボルトの固定部分として利用可能に構成している。なお、ボウルＢ２の外周付近を可動台Ｂ５に固定する構成であれば、第２空洞部ＢＳ２はボルトの固定部分として利用されることはなく、空気流路（流体流路）としてのみ機能する。何れにしても、多孔質ブロック体ＢＳの内部や周囲に形成した空洞部（第１空洞部ＢＳ１、第２空洞部ＢＳ２）は、エア供給部から供給されるエアを多孔質ブロック体ＢＳ全体に行き渡らせるためのものであると捉えることができる。
【００２８】
そして、本実施形態に係るボウルフィーダＢによれば、貯留部Ｂ８の載置面Ｂ８１上の搬送対象物Ｗ及びボウル搬送面Ｂ１１上の搬送対象物Ｗを振動によって所定方向に搬送することができ、しかもエア供給源ＢＡから供給されるエアによって搬送対象物Ｗを載置面Ｂ８１やボウル搬送面Ｂ１１から浮上した状態で所定方向に搬送することが可能である。
例えば、搬送対象物Ｗが、図３（ａ）に示すように、例えばフラットな底面Ｗ１と、半球状のレンズ部分Ｗ２とを一体的に組み付けたレンズ型ＬＥＤと呼ばれる微小な電子部品である場合、フラットな底面Ｗ１は面接触する領域が大きく、半球状のレンズ部分Ｗ２は面接触する領域が小さいため、レンズ部分Ｗ２が下を向く姿勢（下向き姿勢）であれば不安定である。
【００２９】
そこで、このようなレンズ型ＬＥＤを本実施形態に係るボウルフィーダＢで搬送する際に、貯留部Ｂ８の載置面Ｂ８１及びボウル搬送面Ｂ１１を構成する多孔質ブロック体ＢＳを通じてレンズ型ＬＥＤに向かって下方からエアを吹き付けると、図３（ｂ），（ｃ）に示す下向き姿勢にあるレンズ型ＬＥＤは、同図（ｄ）に示すような姿勢、つまりレンズ部分Ｗ２が上を向く姿勢（上向き姿勢）に変換され、姿勢変換以降もフラットな底面Ｗ１にエアが継続して吹き付けられることによって、レンズ型ＬＥＤの安定した上向き姿勢が維持され、エアによるスムーズな搬送を実現することができる。すなわち、本実施形態に係るボウルフィーダＢであれば、搬送対象物の姿勢変換機構を特別に設ける必要をなくすことができる。なお、同図（ｂ），（ｃ）では、下向き姿勢と上向き姿勢の間の中途姿勢にあるレンズ型ＬＥＤを想像線（二点鎖線）で示し、同図（ｂ），（ｃ）、（ｄ）では、エアの吹き付け方向を矢印で模式的に示している。
【００３０】
このように、本実施形態に係るボウルフィーダＢは、加振源によって振動が付与された載置面Ｂ８１上に載置されている搬送対象物Ｗやボウル搬送面Ｂ１１上を走行する搬送対象物Ｗを、所定の振動方向に搬送することができるとともに、搬送面である貯留部Ｂ８の載置面Ｂ８１及びボウル搬送面Ｂ１１の略全部を多孔質ブロック体ＢＳによって構成し、エア供給源ＢＡから供給されたエアを載置面Ｂ８１上の搬送対象物Ｗやボウル搬送面Ｂ１１上の搬送対象物Ｗに対して多孔質ブロック体ＢＳを通じて下方から噴射することによって、載置面Ｂ８１上及びボウル搬送面Ｂ１１上に、搬送対象物Ｗを載置面Ｂ８１やボウル搬送面Ｂ１１から浮上させる気流を発生させて、搬送対象物Ｗを強制的に載置面Ｂ８１やボウル搬送面Ｂ１１から浮上させた状態で搬送することができる。その結果、本実施形態に係るボウルフィーダＢによれば、搬送対象物Ｗが搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）に接触し続ける状態で搬送処理を行う態様と比較して、搬送処理中の搬送対象物Ｗが搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）と接触する機会及び時間を低減することができ、搬送対象物Ｗの損傷・破損・汚れや搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）の摩耗の発生を効果的に防止・抑制することができ、搬送中の搬送対象物Ｗ及び搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）の静電気（摩擦帯電、接触帯電、剥離帯電）も低減され、搬送対象物Ｗと搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）の擦れに起因する搬送対象物Ｗ及び搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）の削れカスや埃が搬送対象物Ｗ及び搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）に付着し難くなり、静電気が原因となって生じる搬送速度の低下という不具合を解消・抑制することができ、搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）上において搬送対象物Ｗを所期の搬送速度でスムーズに搬送することができる。
【００３１】
また、本実施形態にボウルフィーダＢは、エア供給源ＢＡからのエアによって搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）から浮上した搬送対象物Ｗ及び浮上した搬送対象物Ｗの周辺に向けてイオン化空気を噴射するイオナイザ（図示省略）を備えている。そして、浮上した搬送対象物Ｗ及びその浮上した搬送対象物Ｗの周辺にイオナイザによってイオン化空気を噴射することで、浮上する直前まで搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）に接触していた面を含む搬送対象物Ｗ全体にイオン化空気を確実に吹き付けることができるとともに、浮上した搬送対象物Ｗが直前まで接触していた搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）の所定領域にもイオン化空気を吹き付けることが可能である。加えて、浮上した搬送対象物Ｗに向かってイオン化空気を噴射するイオナイザを、浮上した搬送対象物Ｗの周辺にある搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）にイオン化空気を噴射するイオナイザとして共用することが可能な構成であるため、搬送対象物Ｗに対してイオン化空気を噴射するイオナイザと、搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）全体に亘る広範囲にイオン化空気を噴射するイオナイザとを個別に設ける態様と比較して、部品点数の削減及び低コスト化を図ることができる点で有利である。
【００３２】
さらに、イオナイザを備えたボウルフィーダＢによれば、搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）上の搬送対象物Ｗに対して多孔質ブロック体ＢＳを通じて下方から噴射するエア供給源ＢＡからのエアによって、搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）上にはエアを搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）から浮上させる気流が形成され、このような気流中に置かれた搬送対象物Ｗに対してイオナイザによって噴射したイオン化空気の気流は、搬送対象物Ｗ周りの風圧分布を変化させる要因となり、搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）上において静電気又は粘着性などによって複数の搬送対象物Ｗ同士が付着している場合であっても、搬送対象物Ｗ周りの圧力分布が変化することによって各搬送対象物Ｗの相互に異なる不規則な挙動を惹起することができ、搬送対象物Ｗ同士の付着状態を解除することが期待できる。
【００３３】
また、本実施形態では、エア供給源ＢＡから供給されるエアとしてイオン化空気を適用しているため、エア供給源ＢＡから供給されるイオン化空気によって搬送面（載置面Ｂ８１、ボウル搬送面Ｂ１１）から浮上した搬送対象物Ｗは、その時点でイオン化空気が吹き付けられた状態にあり、静電気を迅速に中和除去することができ、搬送処理能力の更なる向上を図ることが可能である。
【００３４】
〈第２実施形態〉
本発明の第２実施形態に係る振動搬送装置Ｌは、直線状の搬送路（リニア搬送路Ｌ１）を有し、リニア搬送路Ｌ１に対して加振源によって振動を与えることにより、搬送対象物Ｗをリニア搬送路Ｌ１の延伸方向に沿って所定の搬送先へ搬送する装置（パーツフィーダ、具体的にはリニアフィーダ）である。図４に示すリニアフィーダＬは、リニア搬送路Ｌ１の始端を、ボウルフィーダＢにおけるボウル搬送路（図示省略）の終端に連続するように接続したものであり、この場合、リニアフィーダＬに振動を発生させる加振源と、ボウルフィーダＢに振動を発生させる加振源とはそれぞれ個別のものであることが好ましいが、共用することも可能である。なお、本実施形態に係るリニアフィーダＬを、ボウルフィーダＢに接続することなく、単体で使用することも可能である。図４では、ボウルフィーダＢ内に搬送対象物Ｗを供給するホッパＨを、ボウルフィーダＢと同様に極めて模式的な平面図で示している。これらホッパＨ、ボウルフィーダＢ、リニアフィーダＬを備えた装置全体を振動搬送装置として捉えることもできる。
【００３５】
本実施形態のリニアフィーダＬは、搬送対象物Ｗを振動によってリニア搬送路Ｌ１の終端まで搬送して所定の搬送先に供給可能なものである。このリニアフィーダＬには、オーバーフロー時や搬送対象物Ｗが所定の搬送姿勢ではないと判別した場合にその対象となる搬送対象物Ｗ（オーバーフローとなる搬送対象物Ｗや所定の搬送姿勢ではないと判別した搬送対象物Ｗ）を所定の戻し場所（例えばボウルフィーダＢの貯留部Ｂ８又はボウル搬送路Ｂ１）に戻すリターン部Ｌ２（リターン用搬送路）を備えている。
【００３６】
そして、本実施形態のリニアフィーダＬは、直線状に延伸するリニア搬送路Ｌ１のうち、搬送対象物Ｗの搬送面として機能するリニア搬送面Ｌ１１の全部又は略全部を、多孔質材からなるブロック体ＬＳによって構成している。具体的には、リニア搬送路Ｌ１のうち図４及び図５（図５は図４から抽出したリニア搬送路Ｌ１のａ−ａ線断面模式図である）において所定のパターンを付した領域を、多孔質材からなるブロック体ＬＳで構成している。
【００３７】
本実施形態における多孔質材は、例えば無機質材料の粉粒体からなる骨材と骨材相互を連結する結合材との混合物を焼結して形成されたものである。本実施形態では、適宜の金型等を用いて、横断面形状が上方に開口する溝状であるブロック状の多孔質材（多孔質材からなるブロック体ＬＳ）を形成している。以下では、多孔質材からなるブロック体ＬＳを、「多孔質ブロック体ＬＳ」と称す。
【００３８】
多孔質ブロック体ＬＳは、内部に無数の微細気孔が形成され、表面に開口する微細気孔と内部の微細気孔が連なって形成される空気流路を有するものであり。すなわち、多孔質ブロック体ＬＳは、流体が流通（透過）可能な内部を有し、表面全体に多数の孔が露出しているものである。なお、各孔は、搬送対象物Ｗが当該孔に落下しない微小サイズの大きさである。図５に示すように、本実施形態におけるリニア搬送路Ｌ１は、多孔質ブロック体ＬＳの両側面及び底面を、金属等の適宜の素材から形成した溝状の外カバーＬＣで被覆した構成であり、多孔質ブロック体ＬＳと外カバーＬＣとの間に空洞部ＬＳ１を形成している。
【００３９】
このような多孔質ブロック体ＬＳを主体として形成されたリニア搬送路Ｌ１を有する本実施形態に係るリニアフィーダＬは、エア供給ノズルＬＮを空洞部ＬＳ１に臨む位置に設け、エア供給源ＬＡから供給されたエアを、エア供給ノズルＬＮから多孔質ブロック体ＬＳの内部に向かって噴射するように設定している。図５では、エア供給源ＬＡとエア供給ノズルＬＮを接続する配管を二点鎖線で示すとともに、エア供給源ＬＡからエア供給ノズルＬＮに供給されるエアの流れを矢印で模式的に示している。
【００４０】
本実施形態では、複数のエア供給ノズルＬＮを所定箇所に配置し、各エア供給ノズルＬＮから多孔質ブロック体ＬＳに向かって噴射したエアが、多孔質ブロック体ＬＳの内部に透過流入して、リニア搬送路Ｌ１のリニア搬送面Ｌ１１から放出されるように設定している。具体的には、多孔質ブロック体ＬＳの両側面及び底面から多孔質ブロック体ＬＳの内部に向かってエアを供給可能な位置にエア供給ノズルＬＮを配置している。なお、多孔質ブロック体ＬＳを被覆する上述の外カバーＬＣによって、エア等の流体が、多孔質ブロック体ＬＳの両側面及び底面のうち空洞部ＬＳ１に面していない領域を透過しないように設定している。また、多孔質ブロック体ＬＳの両側面及び底面のうち空洞部ＬＳ１に面していない領域を、樹脂等を用いた封孔処理によって形成した封止層に設定し、エア等の流体が封止層を透過しないように構成することも可能である。本実施形態では、エア供給源ＬＡから供給されるエアとしてイオン化空気を適用している。
【００４１】
このようなリニア搬送路Ｌ１を備えたリニアフィーダＬによれば、リニア搬送面Ｌ１１上の搬送対象物Ｗを振動によってリニア搬送路Ｌ１の終端に向かって搬送することができ、しかもエア供給源ＬＡから供給されるエアによってリニア搬送面Ｌ１１上の搬送対象物Ｗをリニア搬送面Ｌ１１から浮上した状態でリニア搬送路Ｌ１の終端に向かって搬送することが可能である。
【００４２】
例えば、搬送対象物Ｗが、図３（ａ）に示すように、例えばフラットな底面Ｗ１と、半球状のレンズ部分Ｗ２とを一体的に組み付けたレンズ型ＬＥＤと呼ばれる微小な電子部品である場合、フラットな底面Ｗ１は面接触する領域が大きく、半球状のレンズ部分Ｗ２は面接触する領域が小さいため、レンズ部分Ｗ２が下を向く姿勢であれば不安定である。
【００４３】
そこで、このようなレンズ型ＬＥＤを本実施形態に係るリニアフィーダＬで搬送する際に、リニア搬送面Ｌ１１上のレンズ型ＬＥＤに向かって多孔質ブロック体ＬＳを通じてエアを吹き付けると、レンズ型ＬＥＤを、レンズ部分Ｗ２が上を向く姿勢（上向き姿勢）に変換することができ、姿勢変換以降もフラットな底面Ｗ１にエアを吹き付け続けることによって、レンズ型ＬＥＤの安定した上向き姿勢が維持され、エアによるスムーズな搬送を実現することができる。すなわち、本実施形態に係るリニアフィーダＬであれば、搬送対象物の姿勢変換機構を特別に設ける必要をなくすことができる。
【００４４】
このように、本実施形態に係るリニアフィーダＬは、加振源によって振動が付与されたリニア搬送路Ｌ１のリニア搬送面Ｌ１１上にある搬送対象物Ｗを、所定の振動方向に搬送することができるとともに、リニア搬送面Ｌ１１の略全部を多孔質ブロック体ＬＳによって構成し、エア供給源ＬＡから供給されたエアをリニア搬送面Ｌ１１上の搬送対象物Ｗに対して多孔質ブロック体ＬＳを通じて下方から噴射することによって、リニア搬送面Ｌ１１上に、搬送対象物Ｗをリニア搬送面Ｌ１１から浮上させる気流を発生させて、搬送対象物Ｗを強制的にリニア搬送面Ｌ１１から浮上させた状態で搬送することができる。その結果、本実施形態に係るリニアフィーダＬによれば、搬送対象物Ｗがリニア搬送面Ｌ１１に接触し続ける状態で搬送処理を行う態様と比較して、搬送処理中の搬送対象物Ｗがリニア搬送面Ｌ１１と接触する機会及び時間を低減することができ、搬送対象物Ｗの損傷・破損・汚れやリニア搬送面Ｌ１１の摩耗の発生を効果的に防止・抑制することができ、搬送中の搬送対象物Ｗ及びリニア搬送面Ｌ１１の静電気（摩擦帯電、接触帯電、剥離帯電）も低減され、搬送対象物Ｗとリニア搬送面Ｌ１１の擦れに起因する搬送対象物Ｗ及びリニア搬送面Ｌ１１の削れカスや埃が搬送対象物Ｗ及びリニア搬送面Ｌ１１に付着し難くなり、静電気が原因となって生じる搬送速度の低下という不具合を解消・抑制することができ、リニア搬送面Ｌ１１上において搬送対象物Ｗを所期の搬送速度でスムーズに搬送することができる。
【００４５】
また、本実施形態にリニアフィーダＬは、エア供給源ＬＡからのエアによってリニア搬送面Ｌ１１から浮上した搬送対象物Ｗ及び浮上した搬送対象物Ｗの周辺に向けてイオン化空気を噴射するイオナイザ（図示省略）を備えている。そして、浮上した搬送対象物Ｗ及びその浮上した搬送対象物Ｗの周辺にイオナイザによってイオン化空気を噴射することで、浮上する直前までリニア搬送面Ｌ１１に接触していた面を含む搬送対象物Ｗ全体にイオン化空気を確実に吹き付けることができるとともに、浮上した搬送対象物Ｗが直前まで接触していたリニア搬送面Ｌ１１の所定領域にもイオン化空気を吹き付けることが可能である。加えて、浮上した搬送対象物Ｗに向かってイオン化空気を噴射するイオナイザを、浮上した搬送対象物Ｗの周辺にあるリニア搬送面Ｌ１１にイオン化空気を噴射するイオナイザとして共用することが可能な構成であるため、搬送対象物Ｗに対してイオン化空気を噴射するイオナイザと、リニア搬送面Ｌ１１全体に亘る広範囲にイオン化空気を噴射するイオナイザとを個別に設ける態様と比較して、部品点数の削減及び低コスト化を図ることができる点で有利である。
【００４６】
さらに、イオナイザを備えたリニアフィーダＬによれば、リニア搬送面Ｌ１１上の搬送対象物Ｗに対して多孔質ブロック体ＬＳを通じて下方から噴射するエア供給源ＬＡからのエアによって、リニア搬送面Ｌ１１上にはエアをリニア搬送面Ｌ１１から浮上させる気流が形成され、このような気流中に置かれた搬送対象物Ｗに対してイオナイザによって噴射したイオン化空気の気流は、搬送対象物Ｗ周りの風圧分布を変化させる要因となり、リニア搬送面Ｌ１１上において静電気又は粘着性などによって複数の搬送対象物Ｗ同士が付着している場合であっても、搬送対象物Ｗ周りの圧力分布が変化することによって各搬送対象物Ｗの相互に異なる不規則な挙動を惹起することができ、搬送対象物Ｗ同士の付着状態を解除することが期待できる。
【００４７】
また、本実施形態では、エア供給源ＬＡから供給されるエアとしてイオン化空気を適用しているため、エア供給源ＬＡから供給されるイオン化空気によってリニア搬送面Ｌ１１から浮上した搬送対象物Ｗは、浮上した時点でイオン化空気が吹き付けられた状態にあり、静電気を迅速に中和除去することができ、搬送処理能力の更なる向上を図ることが可能である。
【００４８】
〈第３実施形態〉
本発明の第３実施形態に係る振動搬送装置Ｔは、図６及び図７に示すように、固定部Ｔ１と、固定部Ｔ１に対して弾性的に支持された可動台Ｔ２と、可動台Ｔ２を水平面内において相互に直交するＸ方向、Y方向にそれぞれ振動させる第１加振源、第２加振源と、可動台６をＸＹ平面に直交するＺ方向（垂直方向）に振動させる第３加振源とを備え、ＸＹの水平２方向と垂直方向（Ｚ方向）の３方向に加振して可動台Ｔ２に三次元的な振動を生じさせて、その振動により可動台Ｔ２上に載せられた搬送対象物Ｗをあらゆる方向へ搬送可能なものである。また、本実施形態に係る振動搬送装置Ｔでは、振動を制御することによって、形状や質量が異なる搬送対象物の選別を行うことも可能である。
【００４９】
本実施形態に係る振動搬送装置Ｔは、可動台Ｔ２を構成する各パーツや機構を共通のケースＴ３によって被覆し、可動台Ｔ２のうちケースＴ３に被覆されずに露出している上向き面が、搬送対象物Ｗを載せるための載置面Ｔ２１（本発明の「搬送面」に相当）として機能し、載置面Ｔ２１上の搬送対象物Ｗを振動によって所定方向に搬送するものである。図６では、可動台本体Ｔ２２の上面に載置台Ｔ２３を枠部材Ｔ２４とともにネジ止めした状態を示している。なお、載置台Ｔ２３の上面が載置面Ｔ２１（本発明の「搬送面」に相当）として機能する。また、Ｘ、Ｙ、Ｚの各方向は図中に示した座標軸に示すとおりである。
【００５０】
そして、本実施形態の振動搬送装置Ｔは、可動台Ｔ２のうち、搬送対象物Ｗの搬送面として機能する載置台Ｔ２３の全部又は略全部を、多孔質材からなるブロック体ＴＳによって構成している。具体的には、可動台Ｔ２のうち図６及び図７（図７は図６から抽出した載置台Ｔ２３の断面模式図である）において所定のパターンを付した領域を、多孔質材からなるブロック体ＴＳで構成している。
【００５１】
本実施形態における多孔質材は、例えば無機質材料の粉粒体からなる骨材と骨材相互を連結する結合材との混合物を焼結して形成されたものである。本実施形態では、適宜の金型等を用いて、略矩形板状をなすプレート状の多孔質材（多孔質材からなるプレートＴＳ）を形成している。以下では、多孔質材からなるプレートＴＳを、「多孔質プレートＴＳ」と称す。
【００５２】
多孔質プレートＴＳは、内部に無数の微細気孔が形成され、表面に開口する微細気孔と内部の微細気孔が連なって形成される空気流路を有するものであり。すなわち、多孔質プレートＴＳは、流体が流通（透過）可能な内部を有し、表面全体に多数の孔が露出しているものである。なお、各孔は、搬送対象物Ｗが当該孔に落下しない微小サイズの大きさである。図７に示すように、本実施形態における載置台Ｔ２３は、多孔質プレートＴＳの正面、背面、両側面及び底面を、金属等の適宜の素材から形成したカバーＴＣで被覆した構成であり、多孔質プレートＴＳとカバーＴＣとの間に空洞部ＴＳ１を形成している。
【００５３】
このような多孔質プレートＴＳを主体として形成された載置台Ｔ２３を有する本実施形態に係る振動搬送装置Ｔは、エア供給ノズルＴＮを空洞部ＴＳ１に臨む位置に設け、エア供給源ＴＡから供給されたエアを、エア供給ノズルＴＮから多孔質プレートＴＳの内部に向かって噴射するように設定している。図７では、エア供給源ＴＡとエア供給ノズルＴＮを接続する配管を二点鎖線で示すとともに、エア供給源ＴＡからエア供給ノズルＴＮに供給されるエアの流れを矢印で模式的に示している。
【００５４】
本実施形態では、複数のエア供給ノズルＴＮを所定箇所に配置し、各エア供給ノズルＴＮから多孔質プレートＴＳに向かって噴射したエアが、多孔質プレートＴＳの内部に透過流入して、載置台Ｔ２３の載置面Ｔ２１から放出されるように設定している。具体的には、多孔質プレートＴＳの正面、背面、両側面及び底面から多孔質プレートＴＳの内部に向かってエアを供給可能な位置にエア供給ノズルＴＮを配置している。なお、多孔質プレートＴＳを被覆する上述のカバーＴＣによって、エア等の流体が、多孔質プレートＴＳの正面、背面、両側面及び底面のうち空洞部ＴＳ１に面していない領域を透過しないように設定している。また、多孔質プレートＴＳの正面、背面、両側面及び底面のうち空洞部ＴＳ１に面していない領域を、樹脂等を用いた封孔処理によって形成した封止層に設定し、エア等の流体が封止層を透過しないように構成することも可能である。本実施形態では、エア供給源ＴＡから供給されるエアとしてイオン化空気を適用している。
【００５５】
このような載置台Ｔ２３を備えた振動搬送装置Ｔによれば、載置面Ｔ２１上の搬送対象物Ｗを振動によって所定方向に向かって搬送することができ、しかもエア供給源ＴＡから供給されるエアによって載置面Ｔ２１上の搬送対象物Ｗを載置面Ｔ２１から浮上した状態で搬送することが可能である。
【００５６】
例えば、搬送対象物Ｗが、図３（ａ）に示すように、例えばフラットな底面Ｗ１と、半球状のレンズ部分Ｗ２とを一体的に組み付けたレンズ型ＬＥＤと呼ばれる微小な電子部品である場合、フラットな底面Ｗ１は面接触する領域が大きく、半球状のレンズ部分Ｗ２は面接触する領域が小さいため、レンズ部分Ｗ２が下を向く姿勢であれば不安定である。
【００５７】
そこで、このようなレンズ型ＬＥＤを本実施形態に係る振動搬送装置Ｔで搬送する際に、載置面Ｔ２１の下方からレンズ型ＬＥＤに向かって多孔質プレートＴＳを通じてエアを吹き付けると、レンズ型ＬＥＤを、レンズ部分Ｗ２が上を向く姿勢（上向き姿勢）に変換することができ、姿勢変換以降もフラットな底面Ｗ１にエアを吹き付け続けることによって、レンズ型ＬＥＤの安定した上向き姿勢が維持され、エアによるスムーズな搬送を実現することができる。すなわち、本実施形態に係る振動搬送装置Ｔであれば、搬送対象物の姿勢変換機構を特別に設ける必要をなくすことができる。
【００５８】
このように、本実施形態に係る振動搬送装置Ｔは、第１加振源、第２加振源、第３加振源によって振動が付与された可動台の載置面Ｔ２１上にある搬送対象物Ｗを、所定の振動方向に搬送することができるとともに、載置面Ｔ２１の略全部を多孔質プレートＴＳによって構成し、エア供給源ＴＡから供給されたエアを載置面Ｔ２１上の搬送対象物Ｗに対して多孔質プレートＴＳを通じて下方から噴射することによって、載置面Ｔ２１上に、搬送対象物Ｗを載置面Ｔ２１から浮上させる気流を発生させて、搬送対象物Ｗを強制的に載置面Ｔ２１から浮上させた状態で搬送することができる。その結果、本実施形態に係る振動搬送装置Ｔによれば、搬送対象物Ｗが載置面Ｔ２１に接触し続ける状態で搬送処理を行う態様と比較して、搬送処理中の搬送対象物Ｗが載置面Ｔ２１と接触する機会及び時間を低減することができ、搬送対象物Ｗの損傷・破損・汚れや載置面Ｔ２１の摩耗の発生を効果的に防止・抑制することができ、搬送中の搬送対象物Ｗ及び載置面Ｔ２１の静電気（摩擦帯電、接触帯電、剥離帯電）も低減され、搬送対象物Ｗと載置面Ｔ２１の擦れに起因する搬送対象物Ｗ及び載置面Ｔ２１の削れカスや埃が搬送対象物Ｗ及び載置面Ｔ２１に付着し難くなり、静電気が原因となって生じる搬送速度の低下という不具合を解消・抑制することができ、載置面Ｔ２１上において搬送対象物Ｗを所期の搬送速度でスムーズに搬送することができる。
【００５９】
また、本実施形態に振動搬送装置Ｔは、エア供給源ＴＡからのエアによって載置面Ｔ２１から浮上した搬送対象物Ｗ及び浮上した搬送対象物Ｗの周辺に向けてイオン化空気を噴射するイオナイザ（図示省略）を備えている。そして、浮上した搬送対象物Ｗ及びその浮上した搬送対象物Ｗの周辺にイオナイザによってイオン化空気を噴射することで、浮上する直前まで載置面Ｔ２１に接触していた面を含む搬送対象物Ｗ全体にイオン化空気を確実に吹き付けることができるとともに、浮上した搬送対象物Ｗが直前まで接触していた載置面Ｔ２１の所定領域にもイオン化空気を吹き付けることが可能である。加えて、浮上した搬送対象物Ｗに向かってイオン化空気を噴射するイオナイザを、浮上した搬送対象物Ｗの周辺にある載置面Ｔ２１にイオン化空気を噴射するイオナイザとして共用することが可能な構成であるため、搬送対象物Ｗに対してイオン化空気を噴射するイオナイザと、載置面Ｔ２１全体に亘る広範囲にイオン化空気を噴射するイオナイザとを個別に設ける態様と比較して、部品点数の削減及び低コスト化を図ることができる点で有利である。
【００６０】
さらに、イオナイザを備えた振動搬送装置Ｔによれば、載置面Ｔ２１上の搬送対象物Ｗに対して多孔質プレートＴＳを通じて下方から噴射するエア供給源ＴＡからのエアによって、載置面Ｔ２１上にはエアを載置面Ｔ２１から浮上させる気流が形成され、このような気流中に置かれた搬送対象物Ｗに対してイオナイザによって噴射したイオン化空気の気流は、搬送対象物Ｗ周りの風圧分布を変化させる要因となり、載置面Ｔ２１上において静電気又は粘着性などによって複数の搬送対象物Ｗ同士が付着している場合であっても、搬送対象物Ｗ周りの圧力分布が変化することによって各搬送対象物Ｗの相互に異なる不規則な挙動を惹起することができ、搬送対象物Ｗ同士の付着状態を解除することが期待できる。
【００６１】
また、本実施形態では、エア供給源ＴＡから供給されるエアとしてイオン化空気を適用しているため、エア供給源ＴＡから供給されるイオン化空気によって載置面Ｔ２１から浮上した搬送対象物Ｗは、浮上した時点でイオン化空気が吹き付けられた状態にあり、静電気を迅速に中和除去することができ、搬送処理能力の更なる向上を図ることが可能である。
【００６２】
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した各実施形態では、搬送面として機能する面の全部または略全部を多孔質材によって構成した態様を例示したが、搬送面において相互に区切られた複数の領域または１つの領域のみを多孔質材によって構成してもよい。すなわち、本発明に係る振動搬送装置では、搬送面全体ではなく、部分的に多孔質材を適用する構成を採用することができる。搬送面の特定部分のみを多孔質材で構成する態様の一例としては、搬送面における搬送方向上流端または上流端近傍部分や、搬送面において搬送対象物の姿勢変換を実施したい部分を挙げることができる。
【００６３】
また、本発明では、ブロック状やプレート状に形成された多孔質材に代えて、または加えて、例えばシート状に形成された多孔質材によって搬送面の全部または一部を構成するようにしてもよい。
【００６４】
また、上述の第１実施形態では、ボウルフィーダの貯留部とボウル搬送路を共通の多孔質材（多孔質ブロック体）で構成した態様を例示したが、貯留部の載置面を構成する多孔質材と、ボウル搬送路のボウル搬送面を構成する多孔質材とを別々のパーツにしても構わない。さらにはまた、ボウルの内周壁（図１の符号９参照）のうち、ボウル搬送面に対して所定角度起立した面であって且つボウル搬送面とともにボウル搬送路を構成する内向き面（ボウルの中心側を向く面）からは、エアが噴射しないように構成することも可能である。具体的には、ボウルのうち内周壁の内向き面を上述した封止処理によって流体を流通させない封止層に設定したり、ボウルのうち内周壁の内向き面を含む所定領域を、多孔質材ではない材料で形成すればよい。
【００６５】
上述の第２実施形態では、ボウルフィーダのボウル搬送路の終端にリニア搬送路の始端が連続するように構成した態様を例示したが、この場合、ボウル搬送路のボウル搬送面や貯留部の載置面もリニア搬送面と同様に多孔質材から構成することが可能である。
【００６６】
また、本発明の振動搬送装置において、搬送面から浮上した搬送対象物に対してイオン化空気を噴射するイオナイザを備えた構成を採用する場合、搬送面全体に向かってイオン化空気を噴射するように設定したり、搬送面における特定部分に向かってイオン化空間を噴射するように設定することができる。搬送面における特定部分に向かってイオン化空間を噴射するように設定した場合には、イオナイザの噴射領域を限定することでイオナイザ自体のコンパクト化及びイオン化空気の使用量低減を図ることができる。
【００６７】
また、イオナイザによって正のイオン化空気と負のイオン化空気を交互に噴射するように構成してもよい。このような構成であれば、どのような帯電状態にあるワークであっても正のイオン化空気又は負のイオン化空気の何れか一方、或いは両方のイオン化空気によって確実に中和除去することできる。
【００６８】
また、イオナイザによるイオン化空気の噴射時間は、搬送対象物の種類など種々の条件に基づいて設定・調整可能に構成すればよい。なお、イオナイザを備えていない振動搬送装置を構成してもよい。
【００６９】
また、本発明における加振源の具体的な構成は特に限定されず、周知のものを適用することができる。
【００７０】
また、本発明の振動搬送装置において、エア供給源から供給されて搬送面上の搬送対象物に向かって吹き付けるエアの噴射力を調整可能に構成したり、エアを常時噴射するか、間欠的に噴射するかを選択可能に構成することも可能である。
【００７１】
エア供給源から供給されるエアとして、イオン化空気ではなく、ドライエアを適用してもよい。エア供給源から多孔質材にエアを供給する具体的な構成（ノズル等のエア継手の種類や配管のレイアウト等）は特に限定されず、適宜の構成を採用することができる。
【００７２】
また、搬送対象物であるワークは、上述したレンズ型ＬＥＤに限られず、例えば、サイドビューＬＥＤ等の各種ＬＥＤや、ＬＥＤ以外の電子部品、あるいは食品など電子部品以外のものを搬送対象物としてもよい。
【００７３】
その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００７４】
Ｂ，Ｌ，Ｔ…振動搬送装置（ボウルフィーダ，リニアフィーダ，振動搬送装置）
Ｂ１１，Ｂ８１，Ｌ１１，Ｔ２１…搬送面（ボウル搬送面，載置面，リニア搬送面，載置面）
Ｂ４…加振源
ＢＡ，ＬＡ，ＴＡ…エア供給源
ＢＳ，ＬＳ，ＴＳ…多孔質材（多孔質ブロック体，多孔質プレート）
Ｗ…搬送対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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