(57)【要約】【課題】吐出口を高密度に配置しても、接着剤による不具合を抑制することが可能な素子基板を提供する。【解決手段】  素子基板２０では、複数の部材が互いに積層され、複数の部材としてプレート３０〜３３および基板２２が積層され、互いに接着されている。素子基板２０は、液体を吐出する複数の吐出口４０と、互いに異なる吐出口４０と連通した複数の供給口とを有する。部材３０〜３３、２２の少なくとも１つは、吐出口４０が形成された面から見て、互いに異なる供給口と連通した２つの吐出口４０の間に形成された溝を有する。【選択図】図３
2018039121.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の部材が互いに積層され、各部材が互いに接着剤で接着された素子基板において、
液体を吐出する複数の吐出口と、互いに異なる前記吐出口と連通した複数の供給口とを有し、
前記複数の部材の少なくとも１つは、前記吐出口が形成された面から見て、互いに異なる前記供給口と連通した２つの前記吐出口の間に形成された溝を有することを特徴とする素子基板。
【請求項２】
複数の前記吐出口が配列され、互いに並設された複数の吐出口列を有し、
前記溝は、前記吐出口列に沿って形成されることを特徴とする請求項１に記載の素子基板。
【請求項３】
複数の前記吐出口が配列され、互いに並設された複数の吐出口列を有し、
同一の前記吐出口列に含まれる吐出口は、同一の前記供給口と連通し、
前記溝は、前記吐出口列を囲むように形成されることを特徴とする請求項１に記載の素子基板。
【請求項４】
前記溝は、前記２つの吐出口のそれぞれを部分的に囲むように形成されることを特徴とする請求項１に記載の素子基板。
【請求項５】
前記溝は、前記２つの吐出口のそれぞれを全て囲むように形成されることを特徴とする請求項１に記載の素子基板。
【請求項６】
前記複数の部材の全てにおいて、互いに同じ前記供給口と連通した２つの前記吐出口の間には、溝が形成されていないことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に素子基板。
【請求項７】
前記複数の部材の少なくとも１つは、前記面から見て、互いに同じ前記供給口と連通した２つ前記吐出口の間に、前記溝が形成された表面積よりも小さい表面積を有する溝が形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の素子基板。
【請求項８】
前記複数の部材の少なくとも１つは、前記面から見て、互いに同じ前記供給口と連通した２つの吐出口のそれぞれを部分的に囲むように形成された溝を有することを特徴とする請求項５に記載の素子基板。
【請求項９】
前記溝は、複数の前記部材に形成され、各部材に形成された溝は互いに連通していることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の素子基板。
【請求項１０】
前記溝は、互いに分断された複数の溝で構成される請求項１ないし９のいずれか１項に記載の素子基板。
【請求項１１】
複数の部材が互いに積層され、各部材が互いに接着剤で接着された素子基板を備えた液体吐出装置において、
前記素子基板は、液体を吐出する複数の吐出口を備え、
前記複数の部材の少なくとも１つは、前記吐出口が形成された面から見て、互いに異なる種類の液体を吐出する２つの前記吐出口の間に形成された溝を有することを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する素子基板および液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタのような液体吐出装置で使用される液体吐出ヘッドには、通常、液体を吐出するための素子基板が備わっている。素子基板には、複数の部材が積層された構造を有するものが知られている。
特許文献１に記載の液体吐出ヘッドでは、液体を吐出する吐出口を備えた部材と、吐出口から吐出する液体を貯留する圧力室を備えた部材と、圧力室と連通した流路を備えた部材と、液体を吐出するエネルギーを発生させる部材とが積層されている。
上記のような各部材を接着剤で接着する場合、通常、各部材の接着面に接着剤が塗布され、その接着剤が塗布された状態で各部材が挟持または押圧される。このとき、各部材の接着面から接着剤がはみ出し、そのはみ出した接着剤が吐出口や流路などに入り込んで硬化してしまうことがある。この場合、硬化した接着剤により吐出口や流路の一部または全部が塞がれてしまい、液体の流通が不能になったり液体の流通量が極端に減少したりするなど液体の流通に影響を与え、その結果、所望の吐出量の液体を吐出できなくなる恐れがある。
これに対して接着剤を塗布する塗布領域や塗布量を制限して接着剤のはみ出しを抑制する方法が考えられる。しかしながら、この方法では、接着が不十分な領域が発生し、その領域から液体が漏れることがある。このとき、異なる色の液体を吐出する吐出口が隣接していると、それらの吐出口付近から漏れた液体が交わり、混色が生じ、その結果、記録される画像の画像品位の劣化などが発生することがある。
このため、素子基板には、吐出口や流路の周囲に、はみ出した接着剤を逃すための逃がし溝が形成されているものが多い。この種の素子基板では、はみ出した接着剤が吐出口や流路などに入り込むことを抑制することが可能になるため、塗布領域や塗布量を制限しなくても、液体の流通を正常な状態に保つことが可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６２−１１１７５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、記録の高品質化や高速化などのために、素子基板に対して吐出口の数を増やすことが求められており、それに伴い、吐出口を高密度に配置することが望まれている。しかしながら、吐出口を高密度に配置すると、圧力室や流路なども高密度に配置する必要が生じるため、互いに隣接する圧力室の間や流路の間が狭くなり、吐出口や流路の周囲に接着剤の逃がし溝を十分に形成することが困難になる。このため、液体の流通を正常な状態に保つことが難しくなったり、液体の流通を正常な状態に保つために接着剤の塗布領域や塗布量を制限することで、液体の漏れが発生したりするなどの不具合が生じる恐れがある。
【０００５】
そこで本発明は、上記の問題を鑑みてなされたものであり、吐出口を高密度に配置しても、接着剤による不具合を抑制することが可能な素子基板および液体吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による素子基板は、複数の部材が互いに積層され、各部材が互いに接着剤で接着された素子基板において、液体を吐出する複数の吐出口と、互いに異なる前記吐出口と連通した複数の供給口とを有し、前記複数の部材の少なくとも１つは、前記吐出口が形成された面から見て、互いに異なる前記供給口と連通した２つの前記吐出口の間に形成された溝を有することを特徴とする。
本発明による液体吐出装置は、複数の部材が互いに積層され、各部材が互いに接着剤で接着された素子基板を備えた液体吐出装置において、前記素子基板は、液体を吐出する複数の吐出口を備え、前記複数の部材の少なくとも１つは、前記吐出口が形成された面から見て、互いに異なる種類の液体を吐出する２つの前記吐出口の間に形成された溝を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、互いに異なる供給口と連通した吐出口の間に溝が形成される。このため、複数の部材を接着する際、互いに異なる供給口と連通した吐出口付近では、各部材からはみ出した接着剤を溝に逃がすことが可能になる。このため、接着剤を十分に塗布することで、液体の漏れを抑制し、各供給口に対して異なる色の液体が供給されても、混色を防ぐことが可能になる。また、互いに異なる供給口と連通した吐出口以外の場所では、接着剤の塗布量を制限することで、接着剤が吐出口などに入り込んで硬化することを抑制することが可能になる。さらに同じ供給口と連通しているため、接着剤の塗布量の制限に起因する液体の漏れが発生しても、異なる色の液体が混じることを抑制することが可能になる。したがって、互いに異なる供給口と連通した吐出口以外の場所では、溝を形成しなくても、接着剤による不具合を抑制することが可能になるため、溝を形成する領域を減らすことが可能になる。このため、吐出口を高密度に配置しても、接着剤による不具合を抑制することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係る液体吐出装置を模式的に示す平面図である。
【図２】液体吐出装置で使用される液体吐出ヘッドを模式的に示す平面図である。
【図３】図２における領域Ａの一例を示す図である。
【図４】図２における領域Ｂの一例を示す図である。
【図５】図２における領域Ａの他の例を示す図である。
【図６】図２における領域Ａの他の例を示す図である。
【図７】図２における領域Ｂの他の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、各図面において同じ機能を有するものには同じ符号を付け、その説明を省略する場合がある。
【００１０】
図１は、本発明の一実施形態に係る液体吐出装置を模式的に示す平面図である。図１に示す液体吐出装置１は、液体として複数の色のインクを吐出して、紙などの記録媒体に画像を記録するインクジェットプリンタである。しかしながら、本発明に係る液体吐出装置は、インクジェットプリンタに限らず、液体を吐出する一般的な装置に適用することできる。また、図１では、液体吐出装置１は水平面上に設置されている。
図１に示すように、液体吐出装置１は、記録媒体Ｐに画像を記録する記録部２と、記録部２のメンテナンスを行うメンテナンスユニット３を有する。
記録部２は、予め定められた走査方向Ｘに往復移動可能なキャリッジ４と、キャリッジ４に搭載された液体吐出ヘッド５と、記録媒体Ｐを走査方向と交差する搬送方向Ｙに搬送する搬送機構６とを有する。本実施形態では、走査方向Ｘは、図１における左右方向であり、搬送方向Ｙは、走査方向Ｘとは直交する前後方向である。
また、液体吐出装置１には筐体７が備わっており、筐体７の中に、記録媒体Ｐを支持するプラテン８が水平方向に沿って設置されている。プラテン８の上方には、互いに平行な２つのガイドレール９および１０が走査方向Ｘに沿って設置され、キャリッジ４は、ガイドレール９に支持されている。キャリッジ４は、キャリッジ駆動モータ（不図示）によって駆動され、プラテン８の上方をガイドレール９および１０に沿って走査方向Ｘに往復移動する。
液体吐出ヘッド５は、キャリッジ４の下部に、プラテン８と対向するように取り付けられ、プラテン８に支持された記録媒体Ｐに対して液体を吐出する。液体吐出ヘッド５とプラテン８との間には、隙間が設けられる。
液体吐出ヘッド５は、吐出する液体を蓄えるタンク１２が装着されるホルダ１１と不図示のチューブを介して接続されている。図１の例では、ホルダ１１には、タンク１２として、４つのタンク１２ａ〜１２ｄが装着されている。タンク１２ａ〜１２ｄのそれぞれに貯留されている液体の種類は、同じでもよいし、異なっていてもよい。本実施形態では、タンク１２ａ〜１２ｄのそれぞれには、異なる種類の液体として、異なる色の液体、具体的には、マゼンタ、シアン、イエローおよびブラックの４色の液体が貯留されている。
搬送機構６は、キャリッジ４およびプラテン８を挟むように前後方向に並設された２つの搬送ローラ１３および１４を有する。搬送ローラ１３および１４は、搬送モータ（不図示）によってそれぞれ駆動され、プラテン８に支持された記録媒体Ｐを搬送方向Ｙへ搬送する。
液体を吐出して画像を記録する記録動作では、記録部２は、キャリッジ４を走査方向Ｘに往復移動させながら、液体吐出ヘッド５から液体を吐出させる。そして、記録部２は、液体の吐出に合わせて、搬送機構６の搬送ローラ１３および１４を用いて記録媒体Ｐを間欠的に搬送方向Ｙに移動させることで、記録媒体Ｐに画像を記録する。
なお、液体吐出ヘッド５は、プラテン８上の記録媒体Ｐと対向する範囲だけでなく、この範囲の走査方向Ｘにおける外側まで移動することができる。本実施形態では、液体吐出装置１は、液体吐出ヘッド５を使用しない場合、キャリッジ４が記録媒体Ｐと対向する範囲よりも右側に待機し、キャリッジ４が待機位置に存在するときに、液体吐出ヘッド５がメンテナンスユニット３と対向するように設計されている。
メンテナンスユニット３は、記録部２のメンテナンスを行うメンテナンス動作を行う。メンテナンス動作は、例えば、液体を吐出する吐出口（図１では図示せず）から液体を吸引する吸引動作や、液体吐出ヘッド５の吐出口が形成された面に付着した液体を拭き取るワイピングなどである。
【００１１】
以下、液体吐出ヘッド５についてより詳細に説明する。図２は、液体吐出ヘッド５（具体的には、液体吐出ヘッド５に備わった素子基板２０）を模式的に示す平面図である。図３は、図２における領域Ａの一例を示す図であり、図４は、図２における領域Ｂの一例を示す図である。具体的には、図３（ａ）は領域Ａの拡大図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図である。図４（ａ）は領域Ｂの拡大図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
図２〜図４に示すように、液体吐出ヘッド５に備わった素子基板２０は、複数の部材が積層された積層構造を有する。各部材は、接着剤で互いに接着されている。図の例では、素子基板２０は、吐出口形成部材２１と基板２２とが積層された積層構造を有し、さらに吐出口形成部材２１が積層構造を有する。吐出口形成部材２１では、具体的には、４枚の板状の部材であるプレート３０〜３３が積層されている。プレート３０〜３３および基板２２が素子基板２０の積層構造を構成する部材である。
液体吐出ヘッド５が図１に示したキャリッジ４に取り付けられた状態では、プレート３０〜３３の積層方向が上下方向を向き、上からプレート３０、３１、３２、３３の順に配置される。以下では、プレート３０〜３３を、上から順に、キャビティプレート３０、ベースプレート３１、マニホールドプレート３２、吐出口プレート３３と呼ぶこともある。
プレート３０〜３３は、接着剤を用いて互いに接着されている。積層方向の端部（具体的には、最下層）に設けられた吐出口プレート３３を除く３枚のプレート３０〜３２は、ステンレスやニッケル合金などの金属材料で形成される。吐出口プレート３３は、ポリイミドなどの合成樹脂材料で形成される。
吐出口プレート３３には、液体を吐出する複数の吐出口４０が所定の方向（本実施形態では、搬送方向Ｙ）に沿って所定のピッチで配列された吐出口列５０が形成されている。吐出口列５０は、搬送方向Ｙと交差する走査方向Ｘに複数並設されている。
最上層のキャビティプレート３０には、吐出口４０と同様に、所定の方向である搬送方向Ｙに沿って所定のピッチで配列された複数の圧力室４１が形成されている。複数の圧力室４１は、吐出口列５０に対応する、走査方向Ｘに並設される圧力室列を構成する。また、図２に示すようにキャビティプレート３０の搬送方向Ｙの端部には、複数の供給口４２が形成されている。複数の供給口４２は、図１に示したタンク１２ａ〜１２ｄとチューブを介して連通され、タンク１２ａ〜１２ｄから液体が供給される。本実施形態では、１つの供給口４２は、１つのタンク１２と連通している。タンク１２ａ〜１２ｄと連通した供給口４２を、それぞれ供給口４２ａ〜４２ｄと呼ぶこともある。
マニホールドプレート３２は、図３（ｂ）および図４（ｂ）に示すように、供給口４２に供給された液体を圧力室４１に分配する共通液室（マニホールド）４３が形成されている。
ベースプレート３１およびマニホールドプレート３２には、図２に示すように、供給口４２と共通液室４３とを連通する供給部４４が形成されている。また、ベースプレート３１およびマニホールドプレート３２には、図３（ｂ）および図４（ｂ）に示すように、共通液室４３と圧力室４１とを連通する流路４５と、圧力室４１と吐出口４０を連通する流路４６とが形成されている。
以上説明した圧力室４１、共通液室４３、供給部４４、流路４５および流路４６は、供給口４２を吐出口４０と連通する液体流路４７を形成する。供給口４２に供給された液体は、液体流路４７の供給部４４、共通液室４３、流路４５、圧力室４１、流路４６の順に流通して吐出口４０まで到達する。
【００１２】
本実施形態では、各供給口４２が互いに異なる複数の吐出口列５０の吐出口４０と連通し、１つの供給口４２は１つのタンク１２と連通している。また、タンク１２ａ〜１２ｄには、それぞれ色が異なる液体が貯留される。このため、吐出口列５０は、吐出口４０から吐出される液体の色が異なる複数の吐出口列群を構成する。図２の例では、６列の吐出口列５０で構成されている４つの吐出口列群５１〜５４が形成されている。吐出口列群５１は、マゼンタの液体を吐出し、吐出口列群５２は、イエローの液体を吐出し、吐出口列群５３は、シアンの液体を吐出し、吐出口列群５４は、ブラックの液体を吐出する。
また、吐出口列群５１〜５３と吐出口列群５４とでは、供給口４２と吐出口４０とを連通する液体流路４７内の共通液室４３の構成が異なる。吐出口列群５１〜５３では、それぞれ搬送方向Ｙに沿って延在した３つの共通液室４３が走査方向Ｘに並設されている。各共通液室４３は、互いに隣接する２つの吐出口列５０の間に設けられ、両側に位置する２つの吐出口列５０に含まれる吐出口４０と連通している。
また、吐出口列群５４では、搬送方向Ｙに沿って延在した４つの共通液室４３が走査方向Ｘに並設されている。４つの共通液室４３のうち２つの共通液室４３ａは、吐出口列群５４の走査方向Ｘの両端部に設けられた吐出口列５０の外側に設けられ、その両端部に設けられた吐出口列５０に含まれる吐出口４０と連通している。また、４つの共通液室４３のうち共通液室４３ａとは異なる２つの共通液室４３ｂは、吐出口列群５４の走査方向Ｘの両端部に設けられた吐出口列５０以外の互いに隣接する２つの吐出口列５０の間に設けられる。共通液室４３ｂは、両側に位置する２つの吐出口列５０に含まれる吐出口４０と連通している。
【００１３】
図３に示した領域Ａは、互いに異なる供給口４２に連通された吐出口４０を含み、かつ、互いに隣接する２つの吐出口列５０、つまり、互いに異なる色の液体を吐出する互いに隣接した２つの吐出口列５０が設けられた領域である。また、図４に示した領域Ｂは、互いに同じ供給口４２に連通された吐出口４０を含み、かつ、互いに隣接する２つの吐出口列５０、つまり、互いに同じ色の液体を吐出する互いに隣接した２つの吐出口列が設けられた領域である。
領域Ａの拡大図である図３（ａ）に示すように、互いに異なる色の液体を吐出する互いに隣接した２つの吐出口列５０である第１の吐出口列５０ａの間には、第１の溝として、プレート３０〜３２を接着する接着剤の逃がし溝１００が形成されている。ここで、２つの第１の吐出口列５０ａの間とは、素子基板２０における吐出口４０が設けられた面（ＸＹ平面）から見た間である。これにより、逃がし溝１００は、ＸＹ平面から見て、互いに異なる供給口４２と連通した２つの吐出口４０の間に設けられる。これにより、逃がし溝１００は、この２つの吐出口に連通した液体流路４７（具体的には、流路４６）の間に設けられることになる。なお、逃がし溝１００には、プレート３０〜３３を接着する際に、プレート３０〜３３の間からはみ出した接着剤が流れ込むだけでなく、吐出口４０の周囲などから漏れた液体が流れ込むこともある。
逃がし溝１００は、プレート３０〜３３の少なくとも１つに形成されればよいが、キャビティプレート３０、ベースプレート３１およびマニホールドプレート３２に形成されることが望ましい。また、逃がし溝１００は、基板２２に形成されてもよい。  図３の例では、逃がし溝１００は、第１の吐出口列５０ａの間の中心線上を、第１の吐出口列５０ａに沿って直線状に連続して形成されているが、これは単なる一例であって、逃がし溝１００の形状や配置は本例に限らない。例えば、逃がし溝１００は、第１の吐出口列５０ａの間の中心線とは異なる線上に形成されてもよいし、曲線状に形成されてもよい。また、逃がし溝１００は、図５および図６に示すような形状および配置でもよい。
図５（ａ）の例では、逃がし溝１００は、図３の例と同様に第１の吐出口列５０ａに沿って直線状に形成されているが、図３の例とは異なり、互いに分断された複数の溝１００ａで構成されている。溝１００ａの数や長さ、溝１００ａの間の距離などは特に限定されない。また、溝１００ａは、曲がっていてもよいし、吐出口列５０ａに対して傾いて形成されてもよい。後者の場合、溝１００ａの吐出口列５０ａに対する傾き角は、溝１００ａごとに異なっていてもよい。
図５（ｂ）の例では、逃がし溝１００は、第１の吐出口列５０ａの間だけでなく、第１の吐出口列５０ａのそれぞれを個別に囲むように形成されている。逃がし溝１００は、第１の吐出口列５０ａの一方のみを囲むように形成されてもよい。また、逃がし溝１００は、図の例では、矩形状に形成されているが楕円形状や角丸矩形状などの他の形状にでもよい。
図６（ａ）の例では、逃がし溝１００は、第１の吐出口列５０ａに含まれる複数の吐出口４０を個別に完全に囲むように形成されている。より具体的には、逃がし溝１００は、吐出口４０だけでなく、吐出口４０と連通した圧力室４１および流路４５を囲むように形成されている。また、逃がし溝１００は、図の例では、角丸矩形状に形成されているが、矩形や楕円形状などの他の形状でもよい。
図６（ｂ）の例では、逃がし溝１００は、第１の吐出口列５０ａに含まれる複数の吐出口４０を個別に部分的に囲むように形成されている。ぐたいてきには、逃がし溝１００は、１つの第１の吐出口列５０ａに含まれる複数の吐出口４０の少なくとも隣接する第１の吐出口列５０ａの側に、吐出口４０ごとに形成されている。図の例では、逃がし溝１００は、圧力室４１の半分以上を囲んでいるが、第１の吐出口列５０ａに挟まれた領域にだけ形成されればよい。
なお、図５（ｂ）、図６（ａ）、図６（ｂ）の例に示した逃がし溝１００は、連続した溝であるが、図５（ａ）に示した溝１００ａと同様に、互いに分断された複数の溝で構成されてもよい。
また、第１の吐出口列５０ａは、吐出口列群５１と吐出口列群５２との境界、吐出口列群５２と吐出口列群５３との境界、吐出口列群５３と吐出口列群５４との境界のそれぞれに形成される。逃がし溝１００は、これらの境界の少なくとも１つに設けられればよい。例えば、互いに異なる色の液体が混じることで生じる混色の画像への影響は、イエローの液体とシアンの液体とが混じった際に最も強くなる。このため、逃がし溝１００は、イエローの液体を吐出する吐出口列群５２とシアンの液体を吐出する吐出口列群５３との境界にだけ設けられてもよい。
逃がし溝１００は、同一のプレート３０〜３２の別の場所に形成された逃がし溝（図示せず）と連結されてもよい。また、逃がし溝１００は、異なるプレート３０〜３２間で連通されてもよい。例えば、プレート３０〜３２のいずれかに形成された逃がし溝１００に、他のプレートの逃がし溝１００と連通する貫通孔を設けることで、逃がし溝１００を異なるプレート３０〜３２間で連通させてもよい。また、逃がし溝１００を大気と連通させてもよい。この場合、接着剤が逃がし溝１００から溢れることを抑制することができる。
また、領域Ｂの拡大図である図４（ａ）に示すように、互いに同じ色の液体が吐出される吐出口４０を有する互いに隣接する２つの吐出口列５０である第２の吐出口列５０ｂの間には、逃がし溝は形成されていない。
図４（ａ）の例では、第２の吐出口列５０ｂ付近には、逃がし溝が全く形成されていなかったが、図３、図５および図６で示した逃がし溝１００よりも形成面積が狭い逃がし溝が形成されてもよい。形成面積は、逃がし溝１００が形成された表面積である。例えば、第１の吐出口列５０ａの間に図６（ａ）に示したような吐出口４０を全て囲む逃がし溝１００が形成されている場合、第２の吐出口列５０ｂの間には、図７に示すような逃がし溝１００ｂが形成されてもよい。逃がし溝１００ｂは、第２の吐出口列５０ｂに含まれる複数の吐出口４０を個別に、部分的に囲むように形成されている第２の溝である。図７の例では、逃がし溝１００ｂは、各吐出口４０における隣接する吐出口列５０の側が開き、その隣接する吐出口列５０とは反対側を囲むように形成されている。
なお、逃がし溝１００ｂは、逃がし溝１００と同様に、キャビティプレート３０、ベースプレート３１およびマニホールドプレート３２に形成されることが望ましい。また、逃がし溝１００ｂは、逃がし溝１００と同様に、同一のプレート３０〜３２の別の場所に形成された逃がし溝（図示せず）と連結されてもよいし、異なるプレート３０〜３２間で連通されてもよいし、大気と連通させてもよい。
また、逃がし溝１００および１００ｂの断面形状や寸法（深さや幅）などは、素子基板２０の大きさや接着剤の塗布量などに応じて適宜調整される。
【００１４】
基板２２は、図３（ａ）および図４（ａ）に示すように振動板６０と、圧電層６１および６２と、共通電極６３と、複数の個別電極６４とを有する。
振動板６０は、略矩形状の金属板であり、複数の圧力室４１を覆うようにキャビティプレート３０の上面に接着剤で接着されている。振動板６０、例えば、ステンレス鋼などの鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金またはチタン系合金などで形成される。
振動板６０の上面には、複数の圧力室４１に跨って形成され板状の圧電層６１および６２が積層され、圧電層６１と６２との間には、常にグランド電位に保たれる共通電極６３が設けられている。圧電層６１および６２は、例えば、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料で形成される。なお、チタン酸ジルコン酸鉛は、強誘電体である。本構成により、圧電層６１および６２は、後述する個別電極６４に印加された電圧を力に変換する圧電素子を構成する。本実施形態では、圧電層６２が電圧に応じて駆動する活性部であり、分極方向が積層方向を向いている。
圧電層６２の上面には、圧力室４１よりも小さい略楕円形を有する板状の個別電極６４が圧力室４１のそれぞれに対応して複数形成されている。複数の個別電極６４は、対応する圧力室４１の中央部と対向する位置にそれぞれ配置されている。また、個別電極６４は、例えば、金、銅、銀、パラジウム、白金、または、チタンなどの導電性材料で形成される。
個別電極６４の端部（具体的には、圧力室４１と対向しない領域）には、電気配線基板（図示せず）と電気的に接続される複数の接点部６５が設けられている。個別電極６４は、電気配線基板に実装された駆動回路（図示せず）から接点部６５を介して駆動電圧が印加される。
個別電極６４に駆動電圧が印加されると、共通電極６３がグランド電位に保たれているため、個別電極６４と共通電極６３との間に電位差が生じ、その結果、個別電極６４と振動板６０の間に挟まれた部分に積層方向の電場が生じる。この電場により、圧電層６２は分極方向である積層方向に伸び、積層方向と直交する面方向に収縮する。この圧電層６２の変形に伴って、振動板６０の圧力室４１と対向する部分が圧力室４１側に凸となるように撓む。これにより、圧力室４１の容積が減少するため、圧力室４１の内部に貯留された液体に圧力が加わり、その結果、その液体に対して吐出する吐出エネルギーが付与され、その吐出エネルギーにより、液体が吐出口４０から吐出される。
【００１５】
以上説明した各実施形態において、図示した構成は単なる一例であって、本発明はその構成に限定されるものではない。
例えば、基板２２は、吐出エネルギーを液体に付与するための吐出エネルギー発生素子として、圧電素子を備えていたが、吐出エネルギー発生素子は、圧力室４１内の液体に吐出エネルギーを付与できるものであれば、圧電素子に限らない。
【符号の説明】
【００１６】
２１  吐出口形成部材（部材）
２２  基板（部材）
３０〜３３  プレート（部材）
４０  吐出口
４２、４２ａ〜４２ｄ  供給口
５０  吐出口列
１００  逃がし溝
１００ａ  溝
１００ｂ  逃がし溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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