(57)【要約】【課題】Ｘ線厚み計装置及び被測定対象物の厚み測定方法を提供すること。【解決手段】Ｘ線厚み計装置は、検出器と、Ｘ線発生器と、検出部と、記憶部と、演算部と、を備える。検出器は、Ｘ線を検出する。Ｘ線発生器は、前記Ｘ線を発生させるとともに、前記検出器に向かって前記Ｘ線を照射する。検出部は、前記Ｘ線発生器に供給された管電圧及び管電流の少なくとも一方を測定する。記憶部は、前記管電圧の変動値に対する前記Ｘ線の線量の変化率のデータである管電圧テーブル、並びに、前記管電流の変動値に対する前記Ｘ線の線量の変化率のデータである管電流テーブルの少なくとも一方が記憶される。演算部は、前記検出部で検出された前記管電圧及び前記管電流の少なくとも一方、並びに、前記管電圧テーブル又は前記管電流テーブルの少なくとも一方から、前記Ｘ線の線量の変化率を求め、求めた前記Ｘ線の線量の変化率に基づいて、前記検出器で検出された前記Ｘ線の線量を補正する。【選択図】図１
2018100849.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を検出する検出器と、
前記Ｘ線を発生させるとともに、前記検出器に向かって前記Ｘ線を照射するＸ線発生器と、
前記Ｘ線発生器に供給された管電圧及び管電流の少なくとも一方を測定する検出部と、
前記管電圧の変動値に対する前記Ｘ線の線量の変化率のデータである管電圧テーブル、並びに、前記管電流の変動値に対する前記Ｘ線の線量の変化率のデータである管電流テーブルの少なくとも一方と前記Ｘ線の線量に対する前記Ｘ線発生器及び前記検出器の間にある被測定対象物の板厚である検量線とが記憶された記憶部と、
前記検出部で検出された前記管電圧及び前記管電流の少なくとも一方、並びに、前記管電圧テーブル又は前記管電流テーブルの少なくとも一方から、前記Ｘ線の線量の変化率を求め、求めた前記Ｘ線の線量の変化率に基づいて、前記検出器で検出された前記Ｘ線の線量を補正し、補正した前記Ｘ線の線量及び前記検量線から前記被測定対象物の板厚を求める演算部と、
を備えるＸ線厚み計装置。
【請求項２】
前記記憶部には、前記管電圧テーブル及び前記管電流テーブルが記憶され、
前記演算部は、前記検出部で検出された前記管電圧及び前記管電流の双方が所定の管電圧及び所定の管電流から変動しているときに、前記管電圧テーブル及び前記管電流テーブルから前記管電圧の変動による前記Ｘ線の線量の変化率及び前記管電流の変動による前記Ｘ線の線量の変化率を求め、これら変化率を前記所定の管電圧及び前記所定の管電流におけるＸ線の線量に乗算して求めた前記Ｘ線の線量及び前記検量線から前記被測定対象物の板厚を求める、請求項１に記載のＸ線厚み計装置。
【請求項３】
前記演算部は、定期的に、前記検出部で検出された前記Ｘ線発生器へ供給された前記管電圧及び前記管電流を、設定管電圧及び設定管電流に設定し、新たな設定管電圧及び設定管電流を基準とした新たな前記管電圧テーブル及び前記管電流テーブルを記憶部に記憶する、請求項１に記載のＸ線厚み計装置。
【請求項４】
Ｘ線を検出する検出器と、
前記Ｘ線を発生させるとともに、前記検出器に向かって前記Ｘ線を照射するＸ線発生器と、
前記Ｘ線発生器の消費電力を検出する検出部と、
前記消費電力の変動値に対する前記Ｘ線の線量の変化率である消費電力テーブル、並びに、前記Ｘ線の線量に対する前記Ｘ線発生器及び前記検出器の間にある被測定対象物の板厚である検量線が記憶された記憶部と、
前記検出部で検出された前記消費電力及び前記消費電力テーブルから、前記Ｘ線の線量の変化率を求め、求めた前記Ｘ線の線量の変化率に基づいて、前記検出器で検出された前記Ｘ線の線量を補正し、補正した前記Ｘ線の線量及び前記検量線から前記被測定対象物の板厚を求める演算部と、
を備えるＸ線厚み計装置。
【請求項５】
Ｘ線を検出する検出器と、
前記Ｘ線を発生させるとともに、前記検出器に向かって前記Ｘ線を照射するＸ線発生器と、
前記Ｘ線発生器の管電流及び暗電流を検出する検出部と、
前記管電流から前記暗電流を減算した値の変動値に対する前記Ｘ線の線量の変化率であるテーブル、並びに、前記Ｘ線の線量に対する前記Ｘ線発生器及び前記検出器の間にある被測定対象物の板厚である検量線が記憶された記憶部と、
前記検出部で検出された前記値及び前記テーブルから、前記Ｘ線の線量の変化率を求め、求めた前記Ｘ線の線量の変化率に基づいて、前記検出器で検出された前記Ｘ線の線量を補正し、補正した前記Ｘ線の線量及び前記検量線から前記被測定対象物の板厚を求める演算部と、
を備えるＸ線厚み計装置。
【請求項６】
Ｘ線発生器から照射されたＸ線を検出器で検出し、
検出部で前記Ｘ線発生器に供給された管電圧及び管電流の少なくとも一方を測定し、
演算部が、前記検出部で検出された前記管電圧及び前記管電流の少なくとも一方、並びに、記憶部に記憶された、前記管電圧の変動値に対する前記Ｘ線の線量の変化率のデータである管電圧テーブル、並びに、前記管電流の変動値に対する前記Ｘ線の線量の変化率のデータである管電流テーブルの少なくとも一方から、前記Ｘ線の線量の変化率を求め、
前記演算部が、求めた前記Ｘ線の線量の変化率に基づいて、前記検出器で検出された前記Ｘ線の線量を補正し、
前記演算部が、補正した前記Ｘ線の線量、並びに、前記Ｘ線の線量に対する前記Ｘ線発生器及び前記検出器の間にある被測定対象物の板厚である検量線から前記被測定対象物の板厚を求める、
被測定対象物の厚み測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、Ｘ線厚み計装置及び被測定対象物の厚み測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、Ｘ線発生器からＸ線を被測定対象物に照射し、被測定対象物を透過する際にＸ線が減衰する減衰量から被測定対象物の厚みを測定する技術が知られている。このようなＸ線により厚みを測定する技術は、例えば、鋼板等の圧延工程にいて、鋼板の板厚の測定に用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−５９０００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、Ｘ線発生器から照射される基準線量が変化しても、高い精度で被測定対象物の厚みを測定できるＸ線厚み計装置及び被測定対象物の厚み測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態のＸ線厚み計装置は、検出器と、Ｘ線発生器と、検出部と、記憶部と、演算部と、を備える。検出器は、Ｘ線を検出する。Ｘ線発生器は、前記Ｘ線を発生させるとともに、前記検出器に向かって前記Ｘ線を照射する。検出部は、前記Ｘ線発生器に供給された管電圧及び管電流の少なくとも一方を測定する。記憶部は、前記管電圧の変動値に対する前記Ｘ線の線量の変化率のデータである管電圧テーブル、並びに、前記管電流の変動値に対する前記Ｘ線の線量の変化率のデータである管電流テーブルの少なくとも一方と前記Ｘ線の線量に対する前記Ｘ線発生器及び前記検出器の間にある被測定対象物の板厚である検量線とが記憶される。演算部は、前記検出部で検出された前記管電圧及び前記管電流の少なくとも一方、並びに、前記管電圧テーブル又は前記管電流テーブルの少なくとも一方から、前記Ｘ線の線量の変化率を求め、求めた前記Ｘ線の線量の変化率に基づいて、前記検出器で検出された前記Ｘ線の線量を補正し、補正した前記Ｘ線の線量及び前記検量線から前記被測定対象物の板厚を求める。
【０００６】
実施形態の被測定対象物の厚み測定方法は、Ｘ線発生器から照射されたＸ線を検出器で検出し、検出部で前記Ｘ線発生器に供給された管電圧及び管電流の少なくとも一方を測定し、前記Ｘ線の線量の変化率を求め、前記Ｘ線の線量を補正し、前記被測定対象物の板厚を求める。前記Ｘ線の線量の変化率を求めることは、演算部が、前記検出部で検出された前記管電圧及び前記管電流の少なくとも一方、並びに、記憶部に記憶された、前記管電圧の変動値に対する前記Ｘ線の線量の変化率のデータである管電圧テーブル、並びに、前記管電流の変動値に対する前記Ｘ線の線量の変化率のデータである管電流テーブルの少なくとも一方から、前記Ｘ線の線量の変化率を求める。前記Ｘ線の線量を補正することは、前記演算部が、求めた前記Ｘ線の線量の変化率に基づいて、前記検出器で検出された前記Ｘ線の線量を補正する。前記被測定対象物の板厚を求めることは、前記演算部が、補正した前記Ｘ線の線量、並びに、前記Ｘ線の線量に対する前記Ｘ線発生器及び前記検出器の間にある被測定対象物の板厚である検量線から前記被測定対象物の板厚を求める。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１の実施形態に係るＸ線厚み計装置の構成を模式的に示す説明図。
【図２】同Ｘ線厚み計装置に用いられる管電圧テーブルの一例を示す説明図。
【図３】同Ｘ線厚み計装置に用いられる管電流テーブルの一例を示す説明図。
【図４】同Ｘ線厚み計装置を用いた被測定対象物の板厚の測定方法の一例を示す流れ図。
【図５】第３の実施形態に係るＸ線厚み計装置の構成を模式的に示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
（第１の実施形態）
以下、第１の実施形態に係るＸ線厚み計装置１を図１乃至図３を用いて説明する。  
図１は、第１の実施形態に係るＸ線厚み計装置１の構成を模式的に示す説明図、図２は、Ｘ線厚み計装置１の記憶部４３に記憶された管電圧テーブルの一例を示す説明図、図３は、Ｘ線厚み計装置１の記憶部４３に記憶された管電流テーブルの一例を示す説明図である。
【０００９】
図１に示すように、Ｘ線厚み計装置１は、筐体１１と、検出器１２と、Ｘ線発生器１３と、制御装置１５と、を備えている。Ｘ線厚み計装置１は、Ｘ線発生器１３から被測定対象物１００の所定の範囲に照射されたＸ線２００を検出器１２で検出し、この検出したＸ線量に基づいて、被測定対象物１００の厚みを測定する。ここで、被測定対象物１００は、例えば、板状の鋼板であり、Ｘ線厚み計装置１は、被測定対象物１００の板厚を測定する。このようなＸ線厚み計装置１は、例えば、被測定対象物１００である鋼板の製造ライン上であって、且つ、鋼板が一方向に搬送される搬送路に配置される。
【００１０】
筐体１１は、被測定対象物１００が通過可能に、被測定対象物１００の移動方向に開口して構成される。筐体１１は、検出器１２、Ｘ線発生器１３を保持する。筐体１１は、例えば、一方向に流れる被測定対象物１００の移動方向に対して直交する一方向に往復動可能に構成される。筐体１１は、通過する被測定対象物１００の厚み方向の一方に検出器１２を保持し、通過する被測定対象物１００の厚み方向の他方にＸ線発生器１３を保持する。
【００１１】
具体例として、筐体１１は、図１に示すように、筐体１１を設置した状態で、水平方向に延びる上フレーム１１ａと、上フレーム１１ａと平行な下フレーム１１ｂと、上フレーム１１ａ及び下フレーム１１ｂを、これらの一方の端部で連結する縦フレーム１１ｃと、を備えている。例えば、筐体１１は、上フレーム１１ａに検出器１２が配置される。また、筐体１１は、下フレーム１１ｂ内にＸ線発生器１３が配置される。
【００１２】
検出器１２は、Ｘ線量を検出可能に構成される。検出器１２は、検出したＸ線量を検出信号に変換し、制御装置１５に送信可能に構成される。
【００１３】
Ｘ線発生器１３は、Ｘ線２００を発生させるとともに、検出器１２に向かって照射可能に構成される。Ｘ線発生器１３は、所定の管電圧及び管電流が供給されることで、所定の基準線量のＸ線を照射可能に構成される。
【００１４】
制御装置１５は、電力供給部４１と、検出部４２と、記憶部４３と、演算部４４と、を備えている。制御装置１５は、検出器１２及びＸ線発生器１３と電気的に接続される。電力供給部４１は、検出器１２、Ｘ線発生器１３、記憶部４３及び演算部４４に電気的に接続され、各構成に電力を供給する。電力供給部４１は、例えば、Ｘ線発生器１３に供給する管電圧及び管電流が予め設定される。
【００１５】
検出部４２は、電力供給部４１からＸ線発生器１３へ供給された管電圧及び管電流を検出可能に構成される。例えば、検出部４２は、Ｘ線発生器１３の陽極及び陰極において、電圧及び電流を検出し、検出した当該電圧及び電流を演算部４４に送信可能に構成される。
【００１６】
記憶部４３には、基準線量のＸ線２００が被測定対象物１００を通過したときに検出器１２で検出されるＸ線２００の検出線量に対する被測定対象物１００の板厚の関係である検量線が記憶されている。検量線は、例えば、検出器１２で検出されたＸ線量が変換された検出信号に対する被測定対象物１００の板厚のデータである。
【００１７】
また、記憶部４３には、被測定対象物１００の板厚毎に、管電圧及び管電流の変動に基づくＸ線発生器１３から照射されるＸ線量の変化のテーブルが記憶されている。具体的には、図２及び図３に示すように、Ｘ線発生器１３が基準線量を照射する所定の管電圧から増減した変動値に対する検出線量の増加率及び減少率である変化率の関係である管電圧テーブルと、Ｘ線発生器１３が基準線量を照射する所定の管電流から増減した変動値に対する検出線量の増加率及び減少率である変化率の関係である管電流テーブルと、が記憶部４３に記憶される。即ち、各テーブルは、所定の管電圧又は管電流が増減することで生じる基準線量の変化により検出線量が変化したときに、Ｘ線発生器１３から照射された線量を仮定して当該検出線量を補正するためのテーブルである。
【００１８】
例えば、管電圧テーブル及び管電流テーブルを求める方法としては、管電圧及び管電流が変動していない所定の電圧及び電流、即ち電力供給部４１に予め設定された設定管電圧及び設定管電流において、ある板厚の被測定対象物１００における検出線量を測定する。次いで、管電圧及び管電流を所定の幅で増減させてＸ線２００を当該板厚の被測定対象物１００に照射し、それぞれの検出線量を測定する。そして、当該板厚の被測定対象物１００に基準線量のＸ線２００を照射したときの検出線量と、同被測定対象物１００に管電圧及び管電流を増減させたＸ線２００を照射したときの各検出線量と比較し、管電圧及び管電流を増減させたときの検出線量の増加率及び減少率を算出する。このような方法で、管電圧テーブル及び管電流テーブルが求められる。
【００１９】
図２に示す様に、具体例として、管電圧の所定の電圧に対して−０．５ｋＶだけ減少させたときのＸ線量を被測定対象物１００に照射して検出線量を検出し、当該検出した検出線量が、基準線量を同被測定対象物１００に照射して検出された検出線量に対して−０．３％減少した場合には、管電圧変動を−０．５ｋＶ、線量変化を−０．３％として記憶部４３にテーブルデータとして記憶する。このように、管電圧テーブルは、各管電圧変動に対する線量変化を予め、記憶部４３に記憶される。同様に、管電流テーブルも予め求められ、記憶部４３に記憶される。また、測定される被測定対象物１００の板厚が複数あるときは、管電圧テーブル及び管電流テーブルは、各板厚の被測定対象物１００の全てで求められ、記憶部４３に記憶される。
【００２０】
演算部４４は、検出器１２、Ｘ線発生器１３、電力供給部４１、検出部４２及び記憶部４３と、電気的に接続される。また、演算部４４は、以下の機能（１）及び機能（２）を有する。  
機能（１）は、被測定対象物１００の測定時に、検出部４２で検出された電圧及び電流から、設定された管電圧及び管電流に対する電圧及び電流の変動値を演算する機能である。
【００２１】
機能（２）は、機能（１）で演算された電圧及び電流の少なくとも一方の変動値と、記憶部４３に記憶された管電圧テーブル及び管電流テーブルの少なくとも一方のテーブルデータと比較し、検出線量を補正し、当該補正した検出線量から板厚を求める機能である。
【００２２】
機能（２）の具体例として、演算部４４は、管電圧が設定管電圧から変化し、且つ、管電流が設定管電流と同じである場合には、管電圧テーブルに記憶された管電圧の変動値に近い２つのテーブルデータを用いた直線補間により、検出線量の変化率を演算する。また、演算部４４は、当該演算した検出線量の変化率に基づいて、検出器１２で検出されたＸ線量を補正し、当該補正したＸ線量及び記憶部４３に記憶された検量線から、被測定対象物１００の板厚を求める。
【００２３】
また、機能（２）の具体例として、演算部４４は、管電圧が設定管電圧と同じであり、且つ、管電流が設定管電流から変化している場合には、同様に、管電流テーブルから検出線量の変化率を演算する。そして、演算部４４は、当該演算した検出線量の変化率に基づいて、Ｘ線発生器１３から照射されたＸ線量を算出することで、検出器１２で検出されたＸ線量を補正し、当該補正したＸ線量及び記憶部４３に記憶された検量線から、被測定対象物１００の板厚を求める。
【００２４】
さらに、機能（２）の具体例として、演算部４４は、管電圧及び管電流の双方が、設定管電圧及び設定管電流から変化している場合には、管電圧テーブル及び管電流テーブルから管電圧変動による線量変化率Ａ［％］及び管電流変動による線量変化率Ｂ［％］を求める。演算部４４は、これら変化率Ａ、Ｂを、管電圧及び管電流が変動していないときの検出線量Ｉに乗算して補正するＸ線量を求める。即ち、演算部４４は、補正線量ＴをＴ＝Ｉ×Ａ×Ｂの演算式から求め、当該求めた補正線量Ｔにより検出器１２で検出されたＸ線量を補正し、当該補正したＸ線量及び検量線から、被測定対象物１００の板厚を求める。
【００２５】
次に、このように構成されたＸ線厚み計装置１を用いた被測定対象物１００の厚みの測定方法を、図４に示す流れ図を用いて説明する。
【００２６】
被測定対象物１００の板厚の測定を開始すると、先ず、演算部４４は、検出部４２で検出された電圧及び電流から、設定された管電圧及び管電流に対する電圧及び電流の変動値を演算する（ステップＳＴ１）。次に、演算部４４は、管電圧及び管電流の少なくとも一方が設定管電圧及び管電流から変動しているか否かを判断する（ステップＳＴ２）。管電圧及び管電流が設定管電圧及び設定管電流から変動していない場合には（ステップＳＴ２のＹＥＳ）、演算部４４は、検出したＸ線量を補正せず（ステップＳＴ３）、検出したＸ線量及び検量線から被測定対象物１００の板厚を求める（ステップＳＴ４）。
【００２７】
管電圧及び管電流の少なくとも一方が設定管電圧及び設定管電流から変動している場合には（ステップＳＴ２のＮＯ）、演算部４４は、管電圧及び管電流の一方が変動しているか、又は、管電圧及び管電流の双方が変動しているかを判断する（ステップＳＴ５）。
【００２８】
管電圧及び管電流の一方が変動している場合（ステップＳＴ５のＹＥＳ）には、管電圧テーブル又は管電流テーブルに記憶された管電圧又は管電流の変動値に近い２つのテーブルデータを用いた直線補間により、検出線量の変化率を演算する（ステップＳＴ６）。次に、演算部４４は、当該演算した検出線量の変化率に基づいて、検出器１２で検出されたＸ線量を補正し（ステップＳＴ７）、当該補正したＸ線量及び記憶部４３に記憶された検量線から、被測定対象物１００の板厚を求める（ステップＳＴ４）。
【００２９】
管電圧及び管電流の双方が変動している場合（ステップＳＴ５のＮＯ）には、演算部４４は、補正線量Ｔを求め（ステップＳＴ８）、当該求めた補正線量Ｔにより検出器１２で検出されたＸ線量を補正（ステップＳＴ９）し、当該補正したＸ線量及び検量線から、被測定対象物１００の板厚を求める（ステップＳＴ４）。
【００３０】
これらの工程を、搬送され、検出器１２及びＸ線発生器１３の間を通過する被測定対象物１００に、筐体１１を被測定対象物１００の幅方向に往復動させながら連続的に行うことで、被測定対象物１００の板厚を測定する。
【００３１】
このように構成されたＸ線厚み計装置１によれば、Ｘ線発生器１３に供給された管電圧及び管電流が、設定管電圧及び設定管電流と異なり、照射されるＸ線量が変化しても、記憶部４３に記憶された管電圧テーブル及び管電流テーブルに基づいて、検出されたＸ線量を補正することができる。これにより、Ｘ線発生器１３で検出器１２に向かって被測定対象物１００に照射されるＸ線量が変化しても、当該変化を考慮した検出線量で被測定対象物１００の板厚を求めることができる。結果、Ｘ線発生器１３から照射されるＸ線の基準線量が変化しても、検出器１３で検出された検出線量を補正することから、測定された被測定対象物１００の板厚に誤差が生じることを防止できる。これにより、高い精度で被測定対象物１００の板厚を測定することが可能となる。
【００３２】
上述したように第１の実施形態に係るＸ線厚み計装置１によれば、Ｘ線発生器１３から被測定対象物１００に照射される基準線量が変化しても、各テーブルから検出線量の変化率を求めて検出線量を補正することで、高い精度で被測定対象物の板厚を測定できる。
【００３３】
（第２の実施形態）
以下、第２の実施形態に係るＸ線厚み計装置１を説明する。  
なお、第２の実施形態に係るＸ線厚み計装置１は、上述した第１の実施形態に係るＸ線厚み計装置１と同一の構成であり、演算部４４が機能（３）をさらに備える構成であることから、その構成の説明は省略する。
【００３４】
Ｘ線厚み計装置１の演算部４４は、上記機能（１）及び機能（２）に加え、以下の機能（３）を有する。
【００３５】
機能（３）は、定期的に検出部４２で検出された電力供給部４１からＸ線発生器１３へ供給された管電圧及び管電流を、設定管電圧及び設定管電流に設定し、新たな設定管電圧及び設定管電流を基準とした新たな管電圧テーブル及び管電流テーブルを記憶部４３に記憶する機能である。
【００３６】
機能（３）の具体例として、演算部４４は、所定の時間が経過したとき又は所定の使用回数に到達したとき等のように定期的に電力供給部４１からＸ線発生器１３へ供給された管電圧及び管電流を検出部４２で検出する。演算部４４は、検出された管電圧及び管電流を、電力供給部４１に予め設定された設定管電圧及び設定管電流と比較し、検出された管電圧及び管電流が、予め設定された設定管電圧及び設定管電流から変動している場合には、当該管電圧及び管電流を設定管電圧及び設定管電流に設定する。
【００３７】
演算部４４は、新たに設定された設定管電圧及び設定管電流でＸ線発生器１３から照射し検出器１２で検出された検出線量を、基準線量が被測定対象物１００を透過したときに検出された検出線量として新たに設定し、記憶部４３に記憶する。演算部４４は、新たな設定管電圧及び設定管電流から管電圧及び管電流を所定の幅で増減させて、それぞれの検出線量を測定し、当該検出した検出線量の変化率である増加率及び減少率を算出し、新たな管電圧テーブル及び管電流テーブルを記憶部４３に記憶する。演算部４４は、新たに記憶された管電圧テーブル及び管電流テーブルを用いて、機能（１）及び機能（２）として、検出線量の補正を行う。
【００３８】
このように構成されたＸ線厚み計装置１によれば、第１の実施形態に係るＸ線厚み計装置１の効果に加え、経年劣化により基準線量が変化した場合であっても、被測定対象物１００の板厚を高い精度で測定することが可能となる。
【００３９】
（第３の実施形態）
以下、第３の実施形態に係るＸ線厚み計装置１Ａを図５を用いて説明する。  
なお、第３の実施形態に係るＸ線厚み計装置１Ａは、上述した第１の実施形態及び第２の実施形態に係るＸ線厚み計装置１の構成と同等の構成に加え、Ｘ線量を検出するＸ線計１４を備える構成であり、第１の実施形態及び第２の実施形態に係るＸ線厚み計装置１の構成と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００４０】
Ｘ線厚み計装置１Ａは、筐体１１と、検出器１２と、Ｘ線発生器１３と、Ｘ線計１４と、制御装置１５と、を備えている。
【００４１】
Ｘ線計１４は、検出器１２及びＸ線発生器１３の間に設けられる。Ｘ線計１４は、Ｘ線量を検出可能な、透過型の検出器である。Ｘ線計１４は、Ｘ線発生器１３から照射されたＸ線２００のビーム中に配置されることで、Ｘ線量を検出し、制御装置１５に検出した情報を送信可能に構成される。換言すると、Ｘ線計１４は、Ｘ線量を検出することで、検出線量の変化を直接測定可能に構成される。
【００４２】
記憶部４３は、管電圧テーブル及び管電流テーブルを記憶していない。演算部４４は、Ｘ線計１４で検出されたＸ線量から、検出線量の変化を求め、当該変化量に基づいて、検出線量を補正し、被測定対象物１００の板厚を求める。
【００４３】
このように構成されたＸ線厚み計装置１Ａによれば、基準線量が変化し、検出線量が変化したときに、検出線量を直接検出されたＸ線量に基づいて補正し、被測定対象物１００の板厚を求めることが可能となる。結果、Ｘ線厚み計装置１Ａは、被測定対象物１００の板厚を高い精度で測定することが可能となる。
【００４４】
なお、実施形態は、上述の実施形態に限定されない。例えば、上述した例では、Ｘ線厚み計装置１は、電力供給部４１からＸ線発生器１３へ供給された管電圧及び管電流を検出部４２により検出する構成を説明したがこれに限定されない。例えば、Ｘ線厚み計装置１は、管電圧及び管電流を検出するのではなく、Ｘ線発生器１３の消費電力を検出部４２で検出する構成とし、この消費電力の変動値に対する線量の変化率である消費電力テーブルを記憶部４３に記憶する構成であってもよい。
【００４５】
また、例えば、Ｘ線厚み計装置１は、検出部４２を管電流及びＸ線発生器１３の内壁を流れる暗電流を検出可能な構成とし、記憶部４３に管電流から暗電流を減算した値及び線量変化のテーブルを記憶する構成としてもよい。このようなＸ線厚み計装置１は、管電流から暗電流を減算した値を用いて管電流の変動を求め、この管電流の変動から検出線量の変化を推定して検出線量を補正する構成であってもよい。即ち、Ｘ線発生器１３からＸ線を発生させることに寄与しない暗電流を管電流から減算し、当該減算した値に基づいて検出線量を補正することで、より高い精度で検出線量を補正することができる。
【００４６】
また、上述した例では、記憶部４３は、管電圧テーブル及び管電流テーブルの双方が記憶された構成を説明したがこれに限定されない。記憶部４３は、管電圧テーブル及び管電流テーブルの一方のみを記憶し、演算部４４は、記憶部４３に記憶された管電圧テーブル及び管電圧テーブルの一方と、検出部４２で検出した管電圧又は管電流の一方とを用いて、Ｘ線の検出線量を補正する構成であってもよい。
【００４７】
以上述べた少なくともひとつの実施形態のＸ線厚み計装置１、１Ａによれば、Ｘ線発生器から照射される基準線量が変化しても、当該変化に基づいて検出器１２で検出された検出線量を補正することで、高い精度で被測定対象物１００の板厚を測定できる。
【００４８】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４９】
１、１Ａ…Ｘ線厚み計装置、１１…筐体、１１ａ…上フレーム、１１ｂ…下フレーム、１１ｃ…縦フレーム、１２…検出器、１３…Ｘ線発生器、１４…Ｘ線計、１５…制御装置、４１…電力供給部、４２…検出部、４３…記憶部、４４…演算部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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