(57)【要約】【課題】柔軟性があり高い熱伝導率を有する放熱シートを得る。【解決手段】樹脂材料３００と面方向への広がりと厚みを備えた放熱部材１００とを含む放熱シート２００である。放熱部材１００は、隣接する切り込み列５３、５３間における薄板材部分５４は凸部５５と凹部５６とがＸ軸方向に交互に繰り返す状態に、Ｙ軸方向では隣接する凸部５５と凹部５６は相互に対向して位置するように折り曲げられている。放熱部材１００は、凸部５５と凹部５６の頂部を残して全体が樹脂材料３００中に埋入している。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂材料と前記樹脂材料より熱伝導率の高い材料でできた面方向への広がりと所要厚みを備えた放熱部材とを含む放熱シートであって、
前記放熱部材は薄板材からなり、該薄板材には、所定長さの直線状の切り込みの適数個が所定長さの非切り込み部を介してＸ軸方向に直線状に配列している切り込み列の適数本がＸ軸に直交するＹ軸方向に間隔をおいて互いに平行に形成されており、隣接する前記切り込み列間における前記切り込みと切り込みの間に位置する薄板材部分は凸部と凹部とがＸ軸方向に交互に繰り返す状態に折り曲げられ、かつＹ軸方向で隣接する前記凸部と凹部は凸部と凹部とが対向して位置するように折り曲げられている形状であり、
前記放熱部材は、その凸部と凹部の頂部を残して全体が前記樹脂材料中に埋入していることを特徴とする放熱シート。
【請求項２】
請求項１に記載の放熱シートであって、前記凸部と凹部の頂部は平坦面とされていることを特徴とする放熱シート。
【請求項３】
請求項１または２に記載の放熱シートであって、放熱シートの表裏面には絶縁層が形成されていることを特徴とする放熱シート。
【請求項４】
請求項１または２に記載の放熱シートであって、前記放熱部材は表裏面に絶縁皮膜を有することを特徴とする放熱シート。
【請求項５】
請求項１に記載の放熱シートであって、前記放熱部材は熱伝導率が１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上の単一材料または複合材料からなることを特徴とする放熱シート。
【請求項６】
請求項１に記載の放熱シートであって、前記樹脂材料は、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイト樹脂およびポリイミド樹脂のいずれか１つまたは２つ以上の組み合わせからなることを特徴とする放熱シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば発熱する電子部品からの発熱を外部に放熱するのに好適な放熱シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＰＵのような自ら発熱する電子部品は、過度に昇温すると適正に作動しなくなる恐れがある。それを回避するために、適宜の冷却デバイスが電子部品とともに用いられる。そのような冷却デバイスの一例として、特許文献１に記載される放熱シートや特許文献２に記載される熱輸送デバイスが挙げられる。
【０００３】
特許文献１に記載の放熱シートは、マトリックス樹脂および熱伝導性フィラーからなる熱伝導性接着剤層とその熱伝導性接着剤層を担持する一方向に延伸したエキスパンドシートより構成されている。特許文献２に記載の熱輸送デバイスは、ハウジング内に封入された作動流体と、ハウジング内に設けられ作動流体の流路を形成するエキスパンドシートと、毛細管構造体とで構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２９１８１０号公報
【特許文献２】特開２０１１−０８６７５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載される放熱シートにおいても、特許文献２に記載される熱輸送デバイスにおいても、エキスパンドシートは、姿勢保持等の構造部材としての機能と、伝熱性あるいは放熱性を確保する熱伝導パスとしての機能とを備えている。特許文献１および特許文献２にも記載されているように、従来、この種の放熱シート等で用いられるエキスパンドシート１０は、図１１（ａ）に示すように、薄板状の金属シート１に、幅Ｌの間隔で、千鳥状に多列に切り込み２・・を入れ、それを切り込み２の方向に直交する方向にシート１を延伸する（エキスパンドする）ことで形成される。図１１（ｂ）は、そのようにして形成された従来のエキスパンドシート１０の一例であり、引き延ばすことで前記切り込み２・・の箇所が切り込み２の形成方向に直交する方向に次第に拡開され、その拡開によって前記切り込み２の箇所は菱形の開口部３・・に変形する。
【０００６】
この形態のエキスパンドシート１０は、薄板状のシート１を延伸したものであり、図１１（ｃ）に図１１（ｂ）のＡ−Ａ線での断面図を示すように、連結部４の領域では、隣接する切り込み２、２間の距離Ｌの２倍（２Ｌ）の幅を有しているが、連結部４と連結部４との間であるストランド部５では、隣接する切り込み間の距離Ｌの幅となっている。
【０００７】
図１２（ａ）は、このエキスパンドシート１０の開口部３にマトリックスとしての樹脂材料１１を充填して形成した放熱シート２０の平面図であり、図１２（ｂ）は図１２（ａ）のＢ−Ｂ線による断面図、図１２（ｃ）は図１２（ａ）のＣ−Ｃ線による断面図である。図示のように、エキスパンドシート１０は全体が樹脂材料１１中に埋入しており、エキスパンドシート１０の開口部３には樹脂材料１１が充填されている。この形態の放熱シート２０において、図１２（ｂ）に示すように、放熱部材１０における前記連結部４は、放熱シート２０の厚みＳを規制していて、放熱シート２０の上面２０ａと下面２０ｂとの間の全域に亘るようにして、連結部４が位置している。そして、連結部４の上端部４ａは放熱シート２０の上面２０ａ側に露出してあるいはごく近接して位置しており、連結部４の下端部４ｂは放熱シート２０の下面２０ｂ側に露出してあるいはごく近接して位置している。
【０００８】
一方、図１２（ｃ）に示すように、前記ストランド部５では、その幅Ｌが連結部４の幅２Ｌの１／２であることから、図で上位に位置するストランド部５Ｕの上端部５ａは放熱シート２０の上面２０ａ側に露出してあるいはごく近接して位置しているが、その下端部５ｂは放熱シート２０の厚み方向のほぼ中間部に位置していて、放熱シート２０の下面２０ｂ側には達していない。また、図で下位に位置するストランド部５Ｄの下端部５ｂは放熱シート２０の下面２０ｂ側に露出してあるいはごく近接して位置しているが、その上端部５ａは放熱シート２０の厚み方向のほぼ中間部に位置していて、放熱シート２０の上面２０ａ側には達していない。
【０００９】
そのために、従来のこの形態の放熱シート２０ではエキスパンドシート１０における連結部４が位置する部位とストランド部５が位置する部位とでは、熱伝導パスとしての機能に差が出るのを避けられず、結果、放熱シート２０全体としてみた場合、放熱部材１０による熱伝導パスの形成が不十分とならざるを得ず、高熱伝導化するためには放熱部材１０の放熱シート２０に占める割合を高めることが必要とされている。このことは、樹脂材料の比率を下げることを意味しており、放熱シート２０の柔軟性を犠牲にせざるをえなくなっている。
【００１０】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、所要の柔軟性を保持することができながら、より高い熱伝導性を確保することができる放熱シートを開示することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明による放熱シートは、基本的に、樹脂材料と前記樹脂材料より熱伝導率の高い材料でできた面方向への広がりと所要厚みを備えた放熱部材とを含む放熱シートであって、前記放熱部材は薄板材からなり、該薄板材には、所定長さの直線状の切り込みの適数個が所定長さの非切り込み部を介してＸ軸方向に直線状に配列している切り込み列の適数本がＸ軸に直交するＹ軸方向に間隔をおいて互いに平行に形成されており、隣接する前記切り込み列間における前記切り込みと切り込みの間に位置する薄板材部分は凸部と凹部とがＸ軸方向に交互に繰り返す状態に折り曲げられ、かつＹ軸方向で隣接する前記凸部と凹部は凸部と凹部とが対向して位置するように折り曲げられている形状であり、前記放熱部材は、その凸部と凹部の頂部を残して全体が前記樹脂材料中に埋入していることを特徴とする。
【００１２】
この放熱シートにおいて、前記凸部と凹部の頂部は平坦面とされていることは好ましい態様である。
【００１３】
この放熱シートにおいて、放熱シートの表裏面には絶縁層が形成されていてもよい。また、この放熱シートにおいて、前記放熱部材は表裏面に絶縁皮膜を有していてもよい。
【００１４】
この放熱シートにおいて、前記放熱部材は熱伝導率が１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上の単一材料または複合材料からなることは好ましい。
【００１５】
この放熱シートにおいて、前記樹脂材料は、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイト樹脂およびポリイミド樹脂のいずれか１つまたは２つ以上の組み合わせからなることは好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、柔軟性を犠牲にすることなく、高い熱伝導性を備えた放熱シートが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】放熱シートで用いる放熱部材をその製造工程とともに説明する第１の図。
【図２】図１に続く第２の図。
【図３】製造された放熱部材の斜視図。
【図４】製造された放熱部材の側面図。
【図５】放熱部材の一部を拡大して示す側面図。
【図６】放熱シートを製造する工程を説明する第１の図。
【図７】放熱シートを製造する工程を説明する第２の図。
【図８】製造後の放熱シートを示す側面図。
【図９】放熱シートの他の実施の形態を示す側面図。
【図１０】放熱シートのさらに他の実施の形態を示す側面図。
【図１１】従来の放熱シートで用いられている放熱部材であるエキスパンドシートを説明するための図。
【図１２】従来の放熱シートを説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図面を参照しながら、本発明による放熱シートの一実施の形態を説明する。
【００１９】
［放熱部材］
最初に、この実施の形態の放熱シートで用いる放熱部材の一例をその製造工程とともに説明する。
【００２０】
放熱部材の素材としては、金属、セラミックス、グラファイト等を挙げることができる。金属としては、銅、アルミニウム、金、銀、ニッケル、亜鉛、等を例示できる。セラミックスとしては、アルミナ、シリカ、窒化ホウ素、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、等を例示できる。セラミックスを用いる場合は、焼成前のグリーンシートの状態で成形することは、成形が容易なことから好ましい。好ましくは、熱伝導率が１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であるそれらの単一または複合材料である。素材は、好ましくは１０μｍ〜５００μｍの薄板状の原シート５０とされる。
【００２１】
図１に示すよう、最初に、薄板状の原シート５０に対して、適宜の工作機械を用いて、Ｘ軸方向に伸びる切り込み列５３を適数本だけ形成する切り込み加工を行う。前記切り込み列５３は、長さａの直線状の切り込み５１の適数個と、Ｘ軸方向で隣接する切り込み５１と切り込み５１の間に位置する長さｂの非切り込み部５２とからなり、全体として直線状である。
【００２２】
前記切り込み列５３の適数本が、Ｘ軸に直交するＹ軸方向に適宜の間隔Ｌをおいて互いに平行に形成されている。前記間隔Ｌはすべてが等しいことが望ましいが、すべてが等しい間隔であることは必ずしも必要でない。前記平行に隣接する切り込み列５３と切り込み列５３の間の間隔Ｌは、０．０５ｍｍ〜５ｍｍ程度であってよい。なお、各切り込み列５３における前記切り込み５１および非切り込み部５２のＸ軸方向での位置は、同じ位置となるように切り込み加工を行う。
【００２３】
次に、プレス装置を用いて、Ｙ軸方向で隣接する前記切り込み列５３、５３間における前記切り込み５１、５１の間に位置する原シート５０の領域５４・・に対して、曲げ加工を行う。曲げ加工は、図２（ａ）に側面図を示すように、前記領域５４におけるＸ軸方向に隣接する場所においては、例えば山折り部である凸部５５と谷折り部である凹部５６が交互に繰り返すようにする。一例として前記した原シート５０に対して、図で上に凸の形状である作動子６１を下から上に向けて押し上げ加工することで凸部５５が形成され、Ｘ軸方向に隣接する図で下に凸の形状である作動子６２を上から下に向けて押し下げ加工することで凹部５６が形成される。それを繰り返すことで、例えば図１にＬ１で示す原シート５０の領域、すなわち、切り込み列５３、５３の間の領域には、山折り部である凸部５５と谷折り部である凹部５６とがＸ軸方向に交互に繰りかえした状態で連続して形成される。そして、凸部５５と凹部５６の間には、前記非切り込み部５２の領域である平面領域５７が残った状態となる。
【００２４】
なお、前記凸部５５および凹部５６の形状は、前記作動子６１、６２の形状に依存する。先端が尖った形状の作動子を用いる場合には、凸部５５および凹部５６の頂部は鋭角な頂部となり、図２（ｂ）に示すように、先端が平坦面６３となった作動子を用いる場合には、凸部５５および凹部５６の頂部は平坦面となる。なお、作動子６１、６２の横幅Ｔは前記切り込み列５３、５３間の間隔Ｌにほぼ等しく、先端の平坦面６３の長さＰは前記切り込み５１の長さａより短い。作動子６１、６２として、図示のものでは側面視で台形のものを示したが、側面視で半円形あるいは楕円形をなす形状であってもよく、それらにおいて、頂部が水平面に切除された形状であってもよい。
【００２５】
図１に示すように、前記したＬ１で示す領域にＹ軸方向で隣接する領域Ｌ２、Ｌ３に対しても、同様にして、曲げ加工を行う。ただし、隣接する領域Ｌ２、Ｌ３においては、図２において鎖線で示すように、前記領域Ｌ１における山折り部である凸部５５に対向する部位では谷折り部である凹部５６が対向して形成されるように、また、谷折り部である凹部５６に対向する部位では山折り部である凸部５５が対向して形成されるように、曲げ加工を行う。
【００２６】
そのようにして、原シート５０の面方向に折り曲げ加工を行った状態の放熱部材１００の斜視図が図３に、また、その側面図が図４に示される。そして、図５は、図４の一部を拡大して示している。なお、図４および図５において、斜線を付した部分は前記したＬ１の領域の側面図を、白抜きの部分は前記Ｌ１にＹ軸方向で隣接するＬ２（Ｌ３）の領域の側面図を示している。
【００２７】
図示のように、曲げ加工された放熱部材１００は、全体として厚みｈである平板状の部材であり、厚み方向のほぼ中央部には、Ｘ軸方向の幅がｂであり、Ｙ軸方向の長さが原シート５０のＹ軸方向の全幅におよぶ平面領域５７が、Ｘ軸方向に所要の間隔をおいて、適数個存在することとなる。
【００２８】
そして、隣接する２つの前記平面領域５７、５７の間には、平面領域５７よりも上に膨らむ前記凸部５５と下に膨らむ前記凹部５６とがＹ軸方向に交互に形成されており、前記凸部５５と凹部５６のＹ軸方向での位置関係は、凸部５５と凹部５６とが対向して向かい合うようになっている。そのために、所定の厚みｈを備えた放熱部材１００は、上下方向の圧縮には所要の耐性を備えながら、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の双方において、曲げの自由度も大きくなっている。
【００２９】
前記したように、プレス加工に用いる作動子６１、６２の先端形状と大きさを変えることで、前記凸部５５と凹部５６の形状や大きさを任意に変更することができる。もちろん、前記直線状の切り込み５１の長さａ、非切り込み部５２の長さｂ、隣接する切り込み列５３の間隔Ｌの値を適宜変更することで、所望の柔軟性を備えた放熱部材１００を得ることができる。さらに、所望の曲げ加工を終えた後に、放熱部材１００にＸ軸方向の延伸を与えることでも、前記凸部５５と凹部５６の形状や高さを変えることができる。
【００３０】
［樹脂材料３００］
前記した放熱部材１００を樹脂材料３００内に埋入することで、放熱シート２００が得られる。樹脂材料３００は、樹脂単体でもよく、機能向上のためにフィラーを充填した樹脂であってもよい。樹脂としては、湿気硬化型、常温硬化型（１液タイプ、２液混合タイプのいずれも可）のシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、等の熱硬化型樹脂、あるいは、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイト樹脂、ポリイミド樹脂、等の熱可塑性樹脂を例示できる。フィラーとしては、銅、アルミ、銀、ニッケル、亜鉛、等の金属充填材、アルミナ、シリカ、窒化ホウ素、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、グラファイト、等の無機充填材、を例示できる。さらに、前記した放熱部材１００の製造に用いる材料を粒子化して前記樹脂材料３００に混合した混合材料も用いることができる。
【００３１】
［放熱シート２００の製造］
放熱部材１００を前記の樹脂材料３００中に埋入するには任意の方法で行うことができる。図６および図７はその一例を示しており、図６に示すように、形成した放熱部材１００を金型４００に入れ、端部をピン等の適宜の手段で抑えて寸法を固定する。そして、その上から、前記した樹脂材料３００を流し込む。次に、図７に示すように、金型４００に蓋４０１をして高さを整えた後、恒温槽に投入し、樹脂材料３００を加熱硬化させる。冷却後に、型から取り外すことで、図８に側面図を示す厚みｈの放熱シート２００が得られる。
【００３２】
［放熱シート２００の利点］
上記のように、この実施の形態の放熱シート２００は、１枚の熱伝導性の高い薄板状の原シート５０に切り込み加工と曲げ加工を施した放熱部材１００を構造材とし、その全体を樹脂材料３００に埋入させることで、製造される。
【００３３】
前記放熱部材１００は、前記したように、１つの構造体でありながら、面方向だけでなく厚み方向へも連続して配向しており、そのために、図８に示すように、途中で途切れることのない熱伝導パスＰが形成される。また、放熱シート２００の上下面に放熱部材１００の一部が位置しているために、被着体（発熱体等）との界面での熱伝達を効率的に行うことができ、実用時の熱抵抗を小さくできる。さらに、放熱部材１００の前記凸部５５と凹部５６は前記のように上下方向で重複しないように、平面視で交互に配置されているために、ＸＹの平面方向、厚みｈの方向のどちらにも、柔軟に変形することができる。さらに、放熱部材１００は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に連続的に繋がった空間領域を有しており、そのために、樹脂材料３００中に埋設するときでの樹脂材料３００の充填性に優れている。また、そのために、充填後の放熱シート１００から樹脂材料３００の脱落等も無く、耐久性も向上する。
【００３４】
さらに、放熱部材１００は、構造的にも強くかつ曲げの自由度が高いことから、ＣＰＵのような自ら発熱する電子部品に対する取り付け方の自由度が大きくなる利点もある。また、平面だけでなく、凹凸面、Ｒ面等のワーク形状にも追従可能であり、使用場所も広がってくる。使用の態様も、樹脂充填後の放熱シート２００を使用することはもちろん、ワーク側に放熱部材１００のみを密着した状態としたところに、樹脂材料３００を充填して放熱シート２００とするような使用態様も可能となる。
【００３５】
［放熱シートの他の構成］
放熱シート２００の全容積に対する放熱部材１００の占める体積分率に特に制限はないが、５％以上、８０％以下であることが望ましい。５％未満では、熱伝導率を高めることができず放熱材として有用でない。また放熱に寄与しない領域が広くなり、放熱シート内での伝熱ムラが大きくなるため製品内で想定外の高温部ができる可能性がある。８０％を超えると、高い熱伝導率の放熱シートとなるが、硬くなりすぎて製品との界面熱抵抗が大きくなり、所望の放熱性能が得られないことが起こりうる。
【００３６】
放熱部材１００を構成する原シート５０の厚みと放熱シート２００の厚みの比は、１：３以上、１：１０以下が好ましい。１：３未満であると、圧縮応力に対する放熱部材の厚み方向の柔軟性が低くなり、放熱シートとしての柔軟性が損なわれるため、製品との界面熱抵抗が大きくなり、所望の放熱性能が得られない恐れがある。１：１０を超えると、放熱部材の体積分率を上げることができず、高熱伝導化できない。
【００３７】
図５に示すように、前記凸部５５と凹部５６の側面視形状がほぼ台形をなす場合において、斜面５８と前記平面領域５７とのなす角度である配向角度（図５での傾斜角度Ｄ、Ｅ）は、９０度以上、１５０度以下が好ましい。なお、この傾斜角度は、放熱部材１００をＸ軸方向に延伸することで任意に調整することもできる。それにより、放熱シート２００の熱伝導率および柔軟性を、適宜調整することが可能となる。また、角度Ｄと角度Ｅは、同じであってもよく、異なっていてもよい。
【００３８】
放熱部材１００がその山折り部である凸部５５と谷折り部である凹部５６の頂部を平坦面としている形状の場合に、図３、図４に示すように、前記凸部５５の頂部平坦面のＸ軸方向の長さＷ１と、凹部５６の頂部平坦面のＸ軸方向の長さＷ２と、前記平面領域５７のＸ軸方向の長さｂは、Ｗ１≧Ｗ２＞ｂの関係にあることが好ましい。ｂの値がＷ１、Ｗ２の値よりも大きくなると、結果的にＷ１、Ｗ２の値が小さいものとなり、熱伝導率の低下を招く。また、特にＹ軸方向での柔軟性が低下する。さらに、前記平面領域５７の幅ｂは、形状追従性の観点から、原シート５０の厚みの１０倍以下が好ましい。
【００３９】
［他の実施の形態−１］
図９は、放熱シートの他の実施の形態を示している。この放熱シート２００ａは、放熱シート１００の表裏面に絶縁層１０１が設けられている点で、上記した絶縁シート２００と相違する。他の構成は、放熱シート２００と同じである。絶縁層１０１の素材には、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、等の熱硬化型樹脂、あるいは、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイト樹脂、ポリイミド樹脂のような樹脂材料、あるいはアルミナ、シリカ、窒化ホウ素などのセラミックス材料、のような材料を用いることができる。絶縁層１０１を設けることで、高熱伝導率と絶縁性の双方を確保した放熱シート２００ａが得られる。
【００４０】
［他の実施の形態−２］
図１０は、放熱シートのさらに他の実施の形態を示している。この放熱シート２００ｂは原シート５０として表裏面に絶縁皮膜１０２を有する材料を用いて放熱部材１００を形成している。絶縁皮膜１０２の素材としては、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、等の熱硬化型樹脂、あるいは、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイト樹脂、ポリイミド樹脂のような樹脂材料、あるいはアルミナ、シリカ、窒化ホウ素などのセラミックス材料、のような材料を用いることができる。この絶縁シート２００ｂでも、放熱部材１００自体が絶縁性能を有することで、高熱伝導率と絶縁性の双方を確保することができる。
【実施例】
【００４１】
以下、実施例と比較例により、本発明による放熱シート２００の優位性を説明する。
［実施例品］
薄板状の原シート５０である２００μｍ厚の純Ｃｕ箔に、切り込み加工およびプレス加工を施して、表１の実施例１、２、３に具体的寸法を示す、図３に示す形状の放熱部材１００を製造した。作成した放熱部材１００を、図６および図７に示したようにして、樹脂材料３００としての液状シリコーン樹脂中に埋入させた後、恒温槽にて加熱硬化させて、放熱シート２００とした。
【００４２】
表１に示すように、実施例１、２、３では放熱部材１００の寸法や形状を異ならせることで、放熱シート２００における放熱部材（Ｃｕ）の体積分率をそれぞれ異ならせた。なお、用いたシリコーン樹脂は、信越化学製ＫＥ−１８７０（付加反応型）であり、硬化条件は１５０℃×３０分、粘度４００ｍＰａ・ｓ、硬化後硬さ１５（デュロメータＡ）である。
【００４３】
［比較例品］
同じ素材を用い、先に図１１に基づき説明した従来法により、放熱部材１０を作製した。放熱部材１０の作製時に、引き延ばし量を変え、表１に示す、放熱部材（Ｃｕ）の体積分率が異なる比較例放熱シート１〜３を作成した。なお、比較例１〜３の傾斜角度は、図１２（ｂ）に示す傾斜角度Ａ°である。
【００４４】
［特性試験］
実施例品１〜３、比較例品１〜３について、定常法により、熱伝導率を測定した。その結果を表１に示した。
【００４５】
【表１】
2018120907.tif 000003
【００４６】
［評価］
実施例品１、２、３と比較例品１、２、３では、仕上がり厚み（ｈ、ｓ）がいずれも１ｍｍと等しく、さらに、放熱部材と樹脂との体積分率もほぼ等しいにもかかわらず、実施例品１、２、３は比較例品１、２、３とそれぞれ比較して、熱伝導率が大きく向上している。また、熱抵抗は、実施例品１、２、３は比較例品１、２、３とそれぞれ比較して、小さくなっている。
【００４７】
これは、本実施例で用いている放熱部材が、基本的に図３に示した形状であり、それにより、熱伝導パスＰが、比較例品と比較して、実質上多くなった結果である。
【符号の説明】
【００４８】
５０…薄板状の原シート、
５１…切り込み、
５２…非切り込み部
５３…切り込み列、
５４…切り込み列間における原シートの領域、
５５…山折り部である凸部、
５６…谷折り部である凹部、
５７…非切り込み部の領域である平面領域、
６１、６２…プレス装置の作動子、
６３…作動子の先端の平坦面、
１００…原シートの面方向に折り曲げ加工を行った状態の放熱部材、
１０１…絶縁層、
１０２…絶縁皮膜、
２００、２００ａ、２００ｂ…放熱シート、
３００…樹脂材料、
４００…金型、
ａ…切込みの長さ、
ｂ…非切り込み部の長さ、
ｈ…放熱部材の厚み、
Ｌ（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３）…切り込み列と切り込み列との間の間隔、
Ｐ…熱伝導パス、
Ｗ１…凸部の平面部のＸ軸方向の長さ、
Ｗ２…凹部の平坦面のＸ軸方向の長さ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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