(57)【要約】【課題】基端側で片持ち梁状に固定された振動素子において、振動素子の先端側が素子搭載部材や蓋部材に衝突することを防止する。【解決手段】圧電振動子は、基端側としての支持腕部１３及び先端側としての付設腕部１４を有する振動素子１０と、支持腕部１３を導電性接着剤３３ａ，３３ｂを介して固定することにより振動素子１０を片持ち梁状に固定する素子搭載部材３０と、振動素子１０を収容する凹部空間を素子搭載部材とともに形成する蓋部材と、付設腕部１４において蓋部材との間及び素子搭載部材との間の少なくとも一方に設けられた緩衝部材５０と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基端側及び先端側を有する振動素子と、
前記基端側を導電性接着剤を介して固定することにより前記振動素子を片持ち梁状に固定する素子搭載部材と、
前記振動素子を収容する凹部空間を前記素子搭載部材とともに形成する蓋部材と、
前記先端側において前記蓋部材との間及び前記素子搭載部材との間の少なくとも一方に設けられた緩衝部材と、
を備えた圧電振動子。
【請求項２】
前記緩衝部材は、前記先端側及び前記蓋部材の一方に接した状態で他方に設けられ、又は、前記先端側及び前記素子搭載部材の一方に接した状態で他方に設けられた、
請求項１記載の圧電振動子。
【請求項３】
前記緩衝部材は、前記先端側及び前記蓋部材の一方から離れた状態で他方に設けられ、又は、前記先端側及び前記素子搭載部材の一方から離れた状態で他方に設けられた、
請求項１記載の圧電振動子。
【請求項４】
前記緩衝部材は、前記先端側から離れた状態で前記蓋部材又は前記素子搭載部材に設けられた、
請求項１記載の圧電振動子。
【請求項５】
前記素子搭載部材には、前記先端側に接触した状態の載置用突起部が設けられ、
前記緩衝部材は、前記先端側と前記蓋部材との間に設けられた、
請求項１乃至４のいずれか一つに記載の圧電振動子。
【請求項６】
前記振動素子は、
第一辺並びに前記第一辺に隣接する第二辺及び第三辺を有する平面視略四角形状の基部と、
前記第一辺から同じ方向に延びた一対の振動腕部と、
前記第二辺から前記振動腕部の短手方向に延び、その先端から更に前記振動腕部の長手方向に延びた、前記基端側に相当する支持腕部と、
前記第三辺から前記振動腕部の短手方向に延びた、前記先端側に相当する付設腕部と、
を有する、
請求項１乃至５のいずれか一つに記載の圧電振動子。
【請求項７】
前記緩衝部材は合成樹脂からなる、
請求項１乃至６のいずれか一つに記載の圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電極が形成された圧電片からなる振動素子を備え、例えば基準信号源やクロック信号源に用いられる圧電振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧電振動子として、振動素子と、振動素子を導電性接着剤を介して片持ち梁状に固定する素子搭載部材と、振動素子を収容する凹部空間を素子搭載部材とともに形成する蓋部材と、を備えたものが知られている（例えば特許文献１）。振動素子を片持ち梁状に固定する主な理由は、振動素子を両持ち梁状に固定すると、振動素子の振動が阻害され、ＣＩ（クリスタルインピーダンス）値が増加するからである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１３４６３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の圧電振動子では、片持ち梁状に固定された振動素子の先端が宙に浮いていることから、落下時などの衝撃によってその先端が素子搭載部材や蓋部材に衝突し、振動素子の破損を招くことがあった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、基端側が片持ち梁状に固定された振動素子を備えた圧電振動子において、振動素子の先端側が素子搭載部材や蓋部材に衝突することを防止し得る技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る圧電振動子は、
基端側及び先端側を有する振動素子と、
前記基端側を導電性接着剤を介して固定することにより前記振動素子を片持ち梁状に固定する素子搭載部材と、
前記振動素子を収容する凹部空間を前記素子搭載部材とともに形成する蓋部材と、
前記先端側において前記蓋部材との間及び前記素子搭載部材との間の少なくとも一方に設けられた緩衝部材と、
を備えたものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、基端側が片持ち梁状に固定された振動素子の先端側において蓋部材との間及び素子搭載部材との間の少なくとも一方に緩衝部材を設けたことにより、振動素子の先端側の揺動を緩衝部材によって緩和できるので、振動素子の先端側が素子搭載部材や蓋部材に衝突することを防止でき、これにより振動素子の破損を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態１の圧電振動子における振動素子を示す平面図である。
【図２】図２［Ａ］は図１におけるIIａ−IIａ線断面図であり、図２［Ｂ］は図１におけるIIｂ−IIｂ線断面図であり、図２［Ｃ］は図１におけるIIｃ−IIｃ線断面図である。
【図３】実施形態１に対する比較例及び変形例の圧電振動子を示す部分側面図であり、図３［Ａ］は比較例１、図３［Ｂ］は変形例１、図３［Ｃ］は変形例２、図３［Ｄ］は変形例３、図３［Ｅ］は変形例４、図３［Ｆ］は変形例５である。
【図４】実施形態１の変形例を付設腕部の上側の構造と下側の構造との組み合わせとして示す図表である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（以下「実施形態」という。）について説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の構成要素については同一の符号を用いる。また、図面に描かれた形状は、当業者が理解しやすいように描かれているため、実際の寸法及び比率とは必ずしも一致していない。
【００１０】
図１は、実施形態１の圧電振動子における振動素子を示す平面図である。図２［Ａ］は図１におけるIIａ−IIａ線断面図であり、図２［Ｂ］は図１におけるIIｂ−IIｂ線断面図であり、図２［Ｃ］は図１におけるIIｃ−IIｃ線断面図である。以下、これらの図面に基づき説明する。なお、図２［Ｂ］及び図２［Ｃ］は圧電振動子全体の断面を示す。
【００１１】
図１及び図２に示すように、本実施形態１の圧電振動子６０は、基端側としての支持腕部１３及び先端側としての付設腕部１４を有する振動素子１０と、支持腕部１３を導電性接着剤３３ａ，３３ｂを介して固定することにより振動素子１０を片持ち梁状に固定する素子搭載部材３０と、振動素子１０を収容する凹部空間３５を素子搭載部材３０とともに形成する蓋部材４０と、付設腕部１４において蓋部材４０との間及び素子搭載部材３０との間の少なくとも一方に設けられた緩衝部材５０と、を備えている。
【００１２】
つまり、緩衝部材５０は、付設腕部１４において、蓋部材４０との間にのみ、素子搭載部材３０との間にのみ、又は、蓋部材４０との間及び素子搭載部材３０との間の両方に設けてもよい。また、緩衝部材５０は、付設腕部１４及び蓋部材４０の一方に接した状態で他方に設けてもよいし、付設腕部１４及び素子搭載部材３０の一方に接した状態で他方に設けてもよいし、付設腕部１４及び蓋部材４０の一方から離れた状態で他方に設けてもよいし、付設腕部１４及び素子搭載部材３０の一方から離れた状態で他方に設けてもよい。更に、緩衝部材５０は、付設腕部１４から離れた状態で蓋部材４０又は素子搭載部材３０に設けてもよい。これらの組み合わせについては、幾つかを変形例として後述する。
【００１３】
緩衝部材５０の材質は、例えば合成樹脂である。その合成樹脂としては、適度な弾性を有することにより変形して衝撃を吸収するものであればどのようなものでもよく、例えば電子材料用のエポキシ樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂などが挙げられ、硬化方法で分類すれば熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂などが好ましい。緩衝部材５０の形状は、例えば半球状、半楕円球状、球状、楕円球状、円錐状、円錐台状、角錐状、角錐台状、円柱状、角柱状など、衝撃をある程度吸収できる形状であることが好ましい。緩衝部材５０の形成方法の一例を述べれば、まず液状の合成樹脂を用意し、これをディスペンサで付設腕部１４上、蓋部材４０上又は素子搭載部材３０上のいずれかに塗布し、熱を加えたり光を当てたりすることによって液状の合成樹脂を硬化させる。
【００１４】
本実施形態１では、付設腕部１４に接した状態の載置用突起部３２が素子搭載部材３０に設けられ、蓋部材４０に接した状態の緩衝部材５０が付設腕部１４に設けられている。
【００１５】
振動素子１０は、第一辺１１１並びに第一辺１１１に隣接する第二辺１１２及び第三辺１１３を有する平面視略四角形状の基部１１と、第一辺１１１から同じ方向に延びた一対の振動腕部１２ａ，１２ｂと、第二辺１１２から振動腕部１２ａ，１２ｂの短手方向に延び、その先端から更に振動腕部１２ａ，１２ｂの長手方向に延びた、基端側に相当する支持腕部１３と、第三辺１１３から振動腕部１２ａ，１２ｂの短手方向に延びた、先端側に相当する付設腕部１４と、を有する。
【００１６】
次に、圧電振動子６０の構成について更に詳しく説明する。
【００１７】
圧電振動子６０は、水晶振動子である。振動素子１０は、基部１１、一対の振動腕部１２ａ，１２ｂ、支持腕部１３及び付設腕部１４を備えた、音叉型屈曲水晶振動素子である。基部１１は、対向する第一辺１１１及び第四辺１１４並びに対向する第二辺１１２及び第三辺１１３からなる平面視略四角形状（実線及び二点鎖線で囲まれた領域）の平板となっている。図１では、左側を第二辺１１２とし、右側を第三辺１１３とし、第二辺１１２に支持腕部１３を設け、第三辺１１３に付設腕部１４を設けている。これとは逆に、右側を第二辺１１２とし、左側を第三辺１１３とし、第二辺１１２に支持腕部１３を設け、第三辺１１３に付設腕部１４を設けてもよい。
【００１８】
一対の振動腕部１２ａ，１２ｂは、第一辺１１１から同じ方向に延設され、その延設方向に沿って溝部１５ａ，１５ｂが設けられている。振動腕部１２ａ，１２ｂの先端には、それぞれ錘部１６ａ，１６ｂが設けられている。
【００１９】
溝部１５ａ，１５ｂは、振動腕部１２ａの表裏面に二本ずつ及び振動腕部１２ｂの表裏面に二本ずつ、基部１１との境界部分から振動腕部１２ａ，１２ｂの先端に向って、振動腕部１２ａ，１２ｂの長手方向と平行に所定の長さで設けられる。なお、溝部１５ａ，１５ｂは、本実施形態１では振動腕部１２ａの表裏面に二本ずつ及び振動腕部１２ｂの表裏面に二本ずつ設けられているが、それらの本数に制限はなく、例えば振動腕部１２ａの表裏面に一本ずつ及び振動腕部１２ｂの表裏面に一本ずつ設けてもよく、また、表裏のどちらか片面にのみ設けてもよい。溝部１５ａ，１５ｂ内には、ウェットエッチング時に水晶振動片１９の外形形成と同時に貫通しない溝部１５ａ、１５ｂを形成できるように、エッチング抑制パターンを設けてもよい。
【００２０】
錘部１６ａ，１６ｂは、振動素子１０全体の大きさを小さくするために用いられる。錘部１６ａは、平面視略矩形であり、振動腕部１２ａのＹ’軸方向の先端に、振動腕部１２ａから±Ｘ軸方向に突出した形状に設けられている。同様に、錘部１６ｂも、平面視略矩形であり、振動腕部１２ｂのＹ’軸方向の先端に、振動腕部１２ｂから±Ｘ軸方向に突出した形状に設けられている。錘部１６ａ，１６ｂを備えることにより、錘部１６ａ，１６ｂの慣性質量の増加によってＱ値が向上するので、Ｑ値を維持しながら振動腕部１２ａ，１２ｂのＹ’軸方向の長さを短くでき、よって振動素子１０全体を小型化できる。
【００２１】
基部１１、振動腕部１２ａ，１２ｂ、支持腕部１３、付設腕部１４及び錘部１６ａ，１６ｂは、水晶振動片１９からなる。水晶振動片１９は、全体として音叉形状をなしており、成膜技術、フォトリソグラフィ技術、ウェットエッチング技術によって製造される。
【００２２】
水晶の結晶は三方晶系である。水晶の頂点を通る結晶軸をＺ軸、Ｚ軸に垂直な平面内の稜線を結ぶ三つの結晶軸をＸ軸、Ｘ軸及びＺ軸に直交する座標軸をＹ軸とする。ここで、これらのＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸からなる座標系をＸ軸を中心として±５度の範囲で回転させたときの回転後のＹ軸及びＺ軸を、それぞれＹ’軸及びＺ’軸とする。この場合、本実施形態１では、二本の振動腕部１２ａ，１２ｂの長手方向がＹ’軸の方向であり、二本の振動腕部１２ａ，１２ｂの短手方向がＸ軸の方向である。また、法線が＋Ｘ軸方向を向く結晶面が＋Ｘ面であり、法線が−Ｘ軸方向を向く結晶面が−Ｘ面である。
【００２３】
振動素子１０は、水晶振動片１９の他に、パッド電極２１ａ，２１ｂ、励振電極２２ａ，２２ｂ、周波数調整用金属膜２３ａ，２３ｂ、配線パターン２４ａ，２４ｂなども備えている。
【００２４】
振動腕部１２ａには、水晶を挟んで対向する平面同士が同極となるように、両側面に励振電極２２ａが設けられ、表裏面の溝部１５ａの内側に励振電極２２ｂが設けられる。同様に、振動腕部１２ｂには、水晶を挟んで対向する平面同士が同極となるように、両側面に励振電極２２ｂが設けられ、表裏面の溝部１５ｂの内側に励振電極２２ａが設けられる。したがって、振動腕部１２ａにおいては両側面に設けられた励振電極２２ａと溝部１５ａ内に設けられた励振電極２２ｂとが異極同士となり、振動腕部１２ｂにおいては両側面に設けられた励振電極２２ｂと溝部１５ｂ内に設けられた励振電極２２ａとが異極同士となる。
【００２５】
支持腕部１３にはパッド電極２１ａ，２１ｂが設けられ、支持腕部１３及び基部１１には配線パターン２４ａ，２４ｂが設けられ、錘部１６ａ，１６ｂには周波数調整用金属膜２３ａ，２３ｂが設けられる。配線パターン２４ａはパッド電極２１ａと励振電極２２ａとの間を電気的に接続し、配線パターン２４ｂはパッド電極２１ｂと励振電極２２ｂとの間を電気的に接続する。パッド電極２１ａ、励振電極２２ａ、周波数調整用金属膜２３ａ及び配線パターン２４ａは、互いに電気的に導通している。パッド電極２１ｂ、励振電極２２ｂ、周波数調整用金属膜２３ｂ及び配線パターン２４ｂも、互いに電気的に導通している。パッド電極２１ａ，２１ｂは、支持腕部１３の裏面（素子搭載部材３０に対向する面）にも設けられている。なお、図２［Ａ］及び図２［Ｂ］では、振動素子１０の電極のうち、支持腕部１３の裏面に設けられたパッド電極２１ａ，２１ｂのみを示す。
【００２６】
ここで、振動素子１０の寸法の一例を述べる。基部１１の第一辺１１１の長さは、２５０〜３５０μｍとなっており、基部１１の第三辺１１３の長さは、１１５〜２１０μｍとなっている。振動腕部１２ａ，１２ｂは、長さが４５０〜５５０μｍとなっており、幅が２０〜５５μｍとなっている。また、錘部１６ａ，１６ｂは、長さが１９５〜５８０μｍとなっており、幅が４１〜１６０μｍとなっている。
【００２７】
図２［Ａ］及び図２［Ｂ］に示すように、振動素子１０は、パッド電極２１ａ，２１ｂ及び導電性接着剤３３ａ，３３ｂを介して、素子搭載部材３０側の素子用パッド３１ａ，３１ｂに片持ち梁状に固定されると同時に電気的に接続される。このとき、載置用突起部３２上に付設腕部１４が載置されるので、振動素子１０は三点で支持される。ただし、ＣＩ値の増加に繋がるので、載置用突起部３２上に接着剤を介して付設腕部１４を固定することはない。
【００２８】
振動素子１０が実装された素子搭載部材３０を、封止材４１を介して蓋部材４０によって封止することにより、圧電振動子６０が完成する。このとき、緩衝部材５０は付設腕部１４と蓋部材４０とによって挟持される。
【００２９】
素子搭載部材３０は、一面が開口された直方体の箱状になっており、内面に設けられた素子用パッド３１ａ，３１ｂと、外面の四隅に設けられた外部接続端子３４と、素子用パッド３１ａ，３１ｂと外部接続端子３４とを電気的に接続する導体（図示せず）と、を有する。素子搭載部材３０は、例えば積層セラミックスからなる。その場合、複数の四角形状のグリーンシートを重ね、その上に複数の四角枠状のグリーンシートを重ね、全体を焼成する。
【００３０】
載置用突起部３２は、素子搭載部材３０の一部としてグリーンシートに形成してもよいし、素子搭載部材３０上に別部材として形成してもよい。載置用突起部３２の高さは、素子用パッド３１ｂ、導電性接着剤３３ｂ及びパッド電極２１ｂの厚みの和に概ね等しい。
【００３１】
素子用パッド３１ａ，３１ｂは、例えばタングステン等のメタライズに金メッキ等を施した導体からなる。導電性接着剤３３ａ，３３ｂは、例えばシリコーン樹脂等のバインダの中に導電フィラとして導電性粉末を含有するもの（例えば銀ペーストなど）からなり、硬化前は流動性を有する。蓋部材４０は、例えばセラミックスや金属などからなる長方形の平板である。封止材４１には、例えば溶融ガラスやろう材が用いられる。また、封止材４１として金属枠を用い、電気溶接によって封止することもできる。
【００３２】
次に、圧電振動子６０の動作を説明する。
【００３３】
振動素子１０を屈曲振動させる場合、パッド電極２１ａ，２１ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的に捉えると、振動腕部１２ａの表裏の溝部１５ａに設けられた励振電極２２ｂはプラス電位となり、振動腕部１２ａの両側面に設けられた励振電極２２ａはマイナス電位となり、プラスからマイナスに電界が生じる。このとき、振動腕部１２ｂの表裏の溝部１５ｂに設けられた励振電極２２ａはマイナス電位となり、振動腕部１２ｂの両側面に設けられた励振電極２２ｂはプラス電位となり、振動腕部１２ａに生じた極性とは反対の極性となり、プラスからマイナスに電界が生じる。この交番電圧で生じた電界によって、振動腕部１２ａ，１２ｂに伸縮現象が生じ、所定の共振周波数の屈曲振動モードが得られる。
【００３４】
次に、本実施形態１の変形例について説明する。
【００３５】
図３［Ｂ］に示す変形例１では、付設腕部１４と蓋部材４０との間に緩衝部材５１が設けられている。緩衝部材５１は、蓋部材４０から離れた状態で、付設腕部１４に設けられている。
【００３６】
図３［Ｃ］に示す変形例２では、付設腕部１４と蓋部材４０との間に緩衝部材５２が設けられている。緩衝部材５２は、付設腕部１４に接した状態で、蓋部材４０に設けられている。
【００３７】
図３［Ｄ］に示す変形例３では、付設腕部１４と蓋部材４０との間に緩衝部材５３が設けられている。緩衝部材５３は、付設腕部１４から離れた状態で、蓋部材４０に設けられている。
【００３８】
図３［Ｅ］に示す変形例４では、載置用突起部３２に代えて緩衝部材５４が設けられることにより、付設腕部１４と素子搭載部材３０との間に緩衝部材５４が設けられ、付設腕部１４と蓋部材４０との間に緩衝部材５０が設けられている。緩衝部材５４は付設腕部１４に接した状態で素子搭載部材３０に設けられ、緩衝部材５０は蓋部材４０に接した状態で付設腕部１４に設けられている。
【００３９】
図３［Ｆ］に示す変形例５では、載置用突起部３２に代えて緩衝部材５４が設けられることにより、付設腕部１４と素子搭載部材３０との間に緩衝部材５４が設けられ、付設腕部１４と蓋部材４０との間に緩衝部材５１が設けられている。緩衝部材５４は付設腕部１４に接した状態で素子搭載部材３０に設けられ、緩衝部材５１は蓋部材４０から離れた状態で付設腕部１４に設けられている。
【００４０】
次に、圧電振動子６０の作用及び効果について説明する。なお、以下で述べる緩衝部材５０とは、変形例における緩衝部材５１〜５４を含めた総称である。
【００４１】
（１）図３［Ａ］に示す比較例１の圧電振動子は、緩衝部材５０が無い点を除き、圧電振動子６０と同じ構成である。比較例１の圧電振動子では、緩衝部材５０が無いため、落下等の衝撃を受けると、先端側である付設腕部１４が揺動して蓋部材４０に衝突することにより（仮想線で示す）、付設腕部１４や付設腕部１４に連なる基部１１が破損することがあった。これに伴い、錘部１６ａ，１６ｂも大きく揺動して蓋部材４０や素子搭載部材３０に衝突することにより、錘部１６ａ，１６ｂや錘部１６ａ，１６ｂに連なる振動腕部１２ａ，１２ｂが破損することがあった。
【００４２】
これに対し、圧電振動子６０によれば、付設腕部１４において蓋部材４０との間及び素子搭載部材３０との間の少なくとも一方に設けられた緩衝部材５０を備えたことにより、先端側である付設腕部１４や錘部１６ａ，１６ｂの揺動を緩衝部材５０によって緩和できるので、付設腕部１４や錘部１６ａ，１６ｂが素子搭載部材３０や蓋部材４０に衝突することを防止でき、これにより振動素子１０の破損を抑制できる。なお、緩衝部材５０は、接着剤とは異なり、付設腕部１４を蓋部材４０又は素子搭載部材３０に固定するものではない。よって、緩衝部材５０を設けたことによるＣＩ値の増加等は抑えられる。
【００４３】
（２）付設腕部１４及び蓋部材４０の一方に接した状態で他方に緩衝部材５０を設けた場合、又は、付設腕部１４及び素子搭載部材３０の一方に接した状態で他方に緩衝部材５０を設けた場合は、図２［Ａ］、図３［Ｃ］及び図３［Ｅ］に相当する。この場合は、付設腕部１４と蓋部材４０又は素子搭載部材３０とによって緩衝部材５０が常に挟持されるので、付設腕部１４や錘部１６ａ，１６ｂの揺動を緩衝部材５０によって更に緩和できる。
【００４４】
（３）付設腕部１４及び蓋部材４０の一方から離れた状態で他方に緩衝部材５０を設けた場合、又は、付設腕部１４及び素子搭載部材３０の一方から離れた状態で他方に緩衝部材５０を設けた場合は、図３［Ｂ］、図３［Ｄ］及び図３［Ｆ］に相当する。この場合は、付設腕部１４から緩衝部材５０を経て蓋部材４０又は素子搭載部材３０へ至る経路のどこかに隙間があることにより、この経路を通る振動漏れが生じないので、緩衝部材５０を設けたことによる電気的特性の劣化等を防止できる。なお、落下等の異常時には、付設腕部１４と蓋部材４０又は素子搭載部材３０とによって緩衝部材５０が挟持されるので、付設腕部１４や錘部１６ａ，１６ｂの揺動を緩衝部材５０によって緩和できる。
【００４５】
（４）付設腕部１４から離れた状態で蓋部材４０又は素子搭載部材３０に緩衝部材５０を設けた場合は、図３［Ｄ］に相当する。この場合は、付設腕部１４から離れた箇所に緩衝部材５０が設けられるので、緩衝部材５０を設けたことによる電気的特性の劣化等を更に防止できる。なお、落下等の異常時には付設腕部１４が緩衝部材５０に接触することにより、付設腕部１４や錘部１６ａ，１６ｂの揺動を緩衝部材５０によって緩和できる。
【００４６】
（５）付設腕部１４に接触した状態の載置用突起部３２が素子搭載部材３０に設けられ、付設腕部１４と蓋部材４０との間に緩衝部材５０が設けられた場合は、図２［Ａ］、図３［Ｂ］、図３［Ｃ］及び図３［Ｄ］に相当する。この場合は、付設腕部１４の素子搭載部材３０への衝突は載置用突起部３２によって防止でき、付設腕部１４の蓋部材４０への衝突は緩衝部材５０によって防止できる。なお、載置用突起部３２は、付設腕部１４を載置するものであり、付設腕部１４を接着剤等によって固定するものではない。よって、載置用突起部３２によるＣＩ値の増加は抑えられている。
【００４７】
（６）第一辺１１１並びに第一辺１１１に隣接する第二辺１１２及び第三辺１１３を有する平面視略四角形状の基部１１と、第一辺１１１から同じ方向に延びた一対の振動腕部１２ａ，１２ｂと、第二辺１１２から振動腕部１２ａ，１２ｂの短手方向に延び、その先端から更に振動腕部１２ａ，１２ｂの長手方向に延びた、基端側に相当する支持腕部１３と、第三辺１１３から振動腕部１２ａ，１２ｂの短手方向に延びた、先端側に相当する付設腕部１４と、を有する振動素子１０を備えた場合は、振動素子１０が複雑な構造であるゆえに破損しやすいので、本実施形態１による効果を顕著に発揮できる。
【００４８】
（７）緩衝部材５０が合成樹脂からなる場合は、合成樹脂は弾性率、粘度、硬化方法などを広範囲から選択できるので、適切な緩衝部材５０を得ることができる。
【００４９】
次に、図４に基づき、本実施形態１の変形例を付設腕部１４の上側の構造と下側の構造との組み合わせとして説明する。
【００５０】
付設腕部１４の上側（Upper）の構造は次のようになる。
Ｕ１：付設腕部１４に緩衝部材５０を設置、緩衝部材５０は蓋部材４０に接触。
Ｕ２：付設腕部１４に緩衝部材５０を設置、緩衝部材５０は蓋部材４０に非接触。
Ｕ３：蓋部材４０に緩衝部材５０を設置、緩衝部材５０は付設腕部１４に接触。
Ｕ４：蓋部材４０に緩衝部材５０を設置、緩衝部材５０は付設腕部１４に非接触。
Ｕ５：緩衝部材５０無し。
【００５１】
付設腕部１４の下側（Lower）の構造は次のようになる。
Ｌ１：素子搭載部材３０に載置用突起部３２を設置。載置用突起部３２は付設腕部１４に接触。
Ｌ２：素子搭載部材３０に緩衝部材５０を設置、緩衝部材５０は付設腕部１４に接触。
Ｌ３：素子搭載部材３０に緩衝部材５０を設置、緩衝部材５０は付設腕部１４に非接触。
Ｌ４：付設腕部１４に緩衝部材５０を設置、緩衝部材５０は素子搭載部材３０に接触。
Ｌ５：付設腕部１４に緩衝部材５０を設置、緩衝部材５０は素子搭載部材３０に非接触。
Ｌ６：緩衝部材５０無し。
【００５２】
図４において、組み合わせＵ１／Ｌ１は実施形態１（図２［Ａ］）、Ｕ２／Ｌ１は変形例１（図３［Ｂ］）、Ｕ３／Ｌ１は変形例２（図３［Ｃ］）、Ｕ４／Ｌ１は変形例３（図３［Ｄ］）、Ｕ５／Ｌ１は比較例１（図３［Ａ］）、Ｕ１／Ｌ２は変形例４（図３［Ｅ］）、Ｕ２／Ｌ２は変形例５（図３［Ｆ］）にそれぞれ相当する。その他の組み合わせ「○」は本発明に含まれ、「×」は本発明に含まれない。
【００５３】
以上、上記実施形態及び各変形例を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態及び各変形例に限定されるものではない。本発明の構成や詳細については、当業者が理解し得るさまざまな変更を加えることができる。また、本発明には、上記実施形態及び各変形例の構成の一部又は全部を相互に適宜組み合わせたものも含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、片持ち梁状に固定された振動素子を有する圧電振動子であれば、どのようなものにでも利用可能である。例えば、前述の水晶の他に、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムなどの圧電セラミックスを用いた圧電振動子にも利用可能である。また、上記実施形態における音叉型屈曲振動素子に代えて、例えば厚みすべり振動素子や輪郭すべり振動素子などにも利用可能である。
【符号の説明】
【００５５】
６０  圧電振動子
１０  振動素子
１１  基部
１１１  第一辺
１１２  第二辺
１１３  第三辺
１１４  第四辺
１２ａ，１２ｂ  振動腕部
１３  支持腕部（基端側）
１４  付設腕部（先端側）
１５ａ，１５ｂ  溝部
１６ａ，１６ｂ  錘部
１９  水晶振動片
２１ａ，２１ｂ  パッド電極
２２ａ，２２ｂ  励振電極
２３ａ，２３ｂ  周波数調整用金属膜
２４ａ，２４ｂ  配線パターン
３０  素子搭載部材
３１ａ，３１ｂ  素子用パッド
３２  載置用突起部
３３ａ，３３ｂ  導電性接着剤
３４  外部接続端子
３５  凹部空間
４０  蓋部材
４１  封止材
５０，５１，５２，５３，５４  緩衝部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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