(57)【要約】【課題】シンプルな構造で容易にカバー部材を開閉させることが可能なウェーハ処理装置を提供する。【解決手段】ウェーハ（Ｗ）を保持する保持テーブル（１２）を筐体（１１）内に有し、筐体の開口部（１１ｅ）をシート状カバー部材（３０）で開閉するウェーハ処理装置（１０）において、シート状カバー部材に回転軸（３１）への巻き取り癖を持たせ、ウェーハを保持テーブル上へ搬送する搬送手段（２０）の搬送アーム（２２）の上下移動に連動してシート状カバー部材に開閉方向の移動を行わせる移動機構（４０）を備えた。移動機構は、搬送アームの上下移動を搬送アーム係合爪（４３）で受けて無端ベルト（４４）に伝えてプーリ（４７）を回転させ、プーリに接続する第２のベルト（４８）を介して、シート状カバー部材の開閉方向に可動のカバー部材ガイド部（４２）に駆動力を伝達する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保持する保持テーブルと該保持テーブルに保持されたウェーハの表面に洗浄或いは溶液塗布の処理を施すウェーハ処理手段とを備えるウェーハ処理装置であって、
少なくとも該ウェーハ処理手段及び該保持テーブルを内部に収容して上方に開口した開口部を備える筐体と、
少なくとも該開口部を閉塞し得る大きさを有し固定端部が回転軸に巻き取り部により開閉自在に巻回したシート状カバー部材と、
該シート状カバー部材の自由端部を前記開口部を閉塞する閉塞位置と前記開口部を開放する開放位置との間で移動させる移動機構と、
ウェーハの上面を吸引保持して該保持テーブル上へ搬送する搬送手段と、を備え、
該搬送手段は、
ウェーハの上面を吸引保持する吸引パッドを備える搬送アームと、該搬送アームを上下移動させる上下駆動部と、を少なくとも備え、
該移動機構は、
該シート状カバー部材の移動方向に延在する長さで且つ開閉方向に平行して配設されたガイドレールと、
該シート状カバー部材の該自由端部に装着され該ガイドレールにガイドされ該シート状カバー部材を巻回した状態から引き出し又は引き戻すためのカバー部材ガイド部と、
第１のプーリ及び第２のプーリに巻回し該搬送アームの上下移動方向に延在する無端ベルトと、
該第２のプーリに巻回し、ベルトガイド部材に案内されて該シート状カバー部材の該自由端部を引き出す又は引き戻す方向に配設され、該カバー部材ガイド部に連結された第２のベルトと、
該無端ベルトに装着され且つ該搬送アーム先端が係合して該搬送アームの上下駆動に連動させて該無端ベルトを上下に動かす搬送アーム係合爪と、を備え、
該シート状カバー部材を閉塞位置から開放位置に移動させる際には、
該搬送アーム係合爪に係合した該搬送アームが下降すると、該搬送アーム係合爪の下降と共に該無端ベルトが移動して該第２のプーリが回転するのに連動して該カバー部材ガイド部側に該第２のベルトが移動し、該シート状カバー部材が巻き取り癖により該回転軸に巻き取られ該開口部が開放し、
該シート状カバー部材を開放位置から閉塞位置に移動させる際には、
該搬送アーム係合爪に係合した該搬送アームが上昇すると、該搬送アーム係合爪の上昇と共に該無端ベルトが移動して該第２のプーリが回転するのに連動して該カバー部材ガイド部が閉塞位置に移動する方向に該第２のベルトが移動し、該シート状カバー部材により該開口部が閉塞される、ことを特徴とするウェーハ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体ウェーハや光デバイスウェーハなどのウェーハを分割する方法として、ウェーハに形成されたストリートに沿ってレーザー光線を照射（レーザーアブレーション加工）することによりレーザー加工溝を形成し、このレーザー加工溝に沿ってメカニカルブレーキング装置によって割断する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、ウェーハのストリートに沿ってレーザー光線を照射すると、照射された領域に熱エネルギーが集中してデブリと称する粘着性のある飛沫が発生し、飛散したデブリがウェーハのデバイス表面に付着し、デバイスの品質を低下させるという新たな問題が生じる。このようなデブリの飛散や付着の問題を解決するために、ウェーハの加工面にポリビニルアルコール等の保護被膜を被覆し、保護被膜を通してウェーハにレーザー光線を照射するようにしたレーザー加工方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
この種の保護膜被覆用の装置は、上方に開口部を有する筐体の内部に、ウェーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウェーハの表面に保護被膜塗布の処理を施すウェーハ処理手段とを備えている。そして、保護被膜の材料となる溶液が処理作業中に筐体外部に飛散しないように、筐体の上方の開口部を覆う開閉自在な筐体カバー機構を備える（例えば、特許文献３参照）。筐体カバー機構は、巻き取り癖を予め持たせたシート状（フィルム状）のカバー部材を備え、開口部を開放させるときには、巻き取り癖によってシート状カバー部材を巻き取ることで開口部が開放され、開口部を閉塞させるときには、移動手段でシート状カバー部材を引き出すことで開口部を閉塞させている。
【０００５】
この種の筐体カバー機構が有用なウェーハ処理装置として、上記のような保護膜被覆装置以外に、ウェーハを洗浄する洗浄装置がある。洗浄時に洗浄水が筐体の外部に飛散することを防ぐために、筐体の開口部を開閉するシート状カバー部材を用いることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−３０５４２０号公報
【特許文献２】特開２００４−１８８４７５号公報
【特許文献３】特開２０１３−１０５８５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、既存のウェーハ処理装置に設けられる筐体カバー機構は、シート状カバー部材を開閉動作させるための移動手段として、筐体の外側に専用のアクチュエータを配設する必要があり、スペースが限られている装置への適用が難しいという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、シンプルな構造で、容易にカバー部材を開閉させることが可能なウェーハ処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、ウェーハを保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持されたウェーハの表面に洗浄或いは溶液塗布の処理を施すウェーハ処理手段とを備えるウェーハ処理装置に関するものである。本発明のウェーハ処理装置は、少なくともウェーハ処理手段及び保持テーブルを内部に収容して上方に開口した開口部を備える筐体と、少なくとも筐体の開口部を閉塞し得る大きさを有し固定端部が回転軸に巻き取り部により開閉自在に巻回されるシート状カバー部材と、シート状カバー部材の自由端部を前記開口部を閉塞する閉塞位置と前記開口部を開放する開放位置との間で移動させる移動機構と、ウェーハの上面を吸引保持して保持テーブル上へ搬送する搬送手段と、を備える。搬送手段は、ウェーハの上面を吸引保持する吸引パッドを備える搬送アームと、搬送アームを上下移動させる上下駆動部を少なくとも備えている。移動機構は、シート状カバー部材の移動方向に延在する長さで且つ開閉方向に平行して配設されたガイドレールと、シート状カバー部材の自由端部に装着されてガイドレールにガイドされ、シート状カバー部材を巻回した状態から引き出し又は引き戻すためのカバー部材ガイド部と、第１のプーリ及び第２のプーリに巻回されて搬送アームの上下移動方向に延在する無端ベルトと、第２のプーリに巻回し、ベルトガイド部材に案内されてシート状カバー部材の自由端部を引き出す又は引き戻す方向に配設され、カバー部材ガイド部に連結する第２のベルトと、無端ベルトに装着され且つ搬送アーム先端が係合して搬送アームの上下駆動に連動させて無端ベルトを上下に動かす搬送アーム係合爪と、を備える。シート状カバー部材を閉塞位置から開放位置に移動させる際には、搬送アーム係合爪に係合した搬送アームが下降すると、搬送アーム係合爪の下降と共に無端ベルトが移動して第２のプーリが回転するのに連動して、カバー部材ガイド部側に第２のベルトが移動し、シート状カバー部材が巻き取り癖により回転軸に巻き取られて筐体の開口部が開放される。シート状カバー部材を開放位置から閉塞位置に移動させる際には、搬送アーム係合爪に係合した搬送アームが上昇すると、搬送アーム係合爪の上昇と共に無端ベルトが移動して第２のプーリが回転するのに連動して、カバー部材ガイド部が閉塞位置に移動する方向に第２のベルトが移動し、シート状カバー部材により筐体の開口部が閉塞される。
【００１０】
本発明のウェーハ処理装置によれば、搬送手段を構成する搬送アームの上下駆動に連動してシート状カバー部材による開口部の開閉動作を行わせるので、シート状カバー部材を動作させるための駆動手段を筐体の外部に別途備える必要がなく、構造の簡略化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、シンプルな構造で、容易にカバー部材を開閉させることが可能なウェーハ処理装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施の形態に係るウェーハ処理装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】保持テーブル上にウェーハを保持し、シート状カバー部材が筐体の開口部を閉塞している状態のウェーハ処理装置を模式的に示す図である。
【図３】図２の状態から搬送アームの下降に連動してシート状カバー部材が開放された状態のウェーハ処理装置を模式的に示す図である。
【図４】図３の状態から保持テーブルが上昇して吸引パッドにウェーハを受け渡した状態のウェーハ処理装置を模式的に示す図である。
【図５】図４の状態から保持テーブルが下降した状態のウェーハ処理装置を模式的に示す図である。
【図６】図５の状態から搬送アームを上昇させ且つ水平方向に移動させた状態のウェーハ処理装置を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係るウェーハ処理装置の概略構成を示しており、図２から図６はウェーハ処理装置の動作状態を模式的に示している。以下に述べるＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は、各図中に示す矢印の方向に対応している。Ｘ軸方向とＹ軸方向は水平面に沿う方向であり、Ｚ軸方向は水平面に対して垂直な上下方向である。
【００１４】
図１に示すウェーハ処理装置１０は、筐体１１内に備えた保持テーブル１２上に保持されたウェーハＷの表面に、ウェーハ処理手段１３を用いて洗浄或いは溶液塗布の処理を施す装置である。
【００１５】
ウェーハ処理装置１０は、ウェーハＷに対して所定の加工を行う加工装置の一部を構成するものであってもよいし、加工装置とは独立したものであってもよい。一例として、ウェーハＷに対してレーザーアブレーションによってレーザー加工溝を形成するレーザー加工装置に付随させて、ウェーハ処理装置１０を設けることができる。この場合、ウェーハ処理装置１０は、レーザー加工前のウェーハＷの表面に対して、ポリビニルアルコール等の水溶性樹脂を含んだ溶液を塗布して保護被膜を被覆させるための装置として用いられる。また、レーザー加工後に、レーザー加工時に生じたデブリ等と共に保護被膜を洗い流すための装置としてウェーハ処理装置１０を用いることもできる。
【００１６】
ウェーハ処理装置１０は、上記のようなレーザー加工装置に限らず、ウェーハＷに対する洗浄や溶液塗布を要する加工装置であれば、広く適用することができる。例えば、切削ブレードを用いた切削加工、研削砥石を用いた研削加工、研磨パッドを用いた研磨加工等で、加工後にウェーハに対して行われる洗浄用にウェーハ処理装置１０を用いることができる。
【００１７】
また、ウェーハ処理装置１０で処理するウェーハＷは、洗浄や溶液塗布の対象となるものであればよく、半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等の種類を問わずに適用することができる。
【００１８】
筐体１１は、図示を省略する底壁から上方に向けて突出する４つの側壁１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを備える箱状体である。側壁１１ａと側壁１１ｂはＹ軸方向及びＺ軸方向に延びる壁部であり、側壁１１ｃと側壁１１ｄはＸ軸方向及びＺ軸方向に向けて延びる壁部である。筐体１１の上面部分には、上方に向けて開口する開口部１１ｅが形成されている。図２から図６に、筐体１１における開口部１１ｅの位置を二点鎖線で仮想的に示した。
【００１９】
筐体１１の内部に保持テーブル１２が設けられている。保持テーブル１２は上方を向く保持面１２ａを有しており、保持面１２ａ上にウェーハＷを保持することができる。保持面１２ａ上にウェーハＷを保持する手段として、保持面１２ａ上に負圧を作用させてウェーハＷを吸着保持するものや、ウェーハＷを支持するフレーム（不図示）の周縁部分をクランプで保持するもの等を用いることができる。保持テーブル１２は、図２から図６に示す昇降機構１５を介して上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に支持されている。
【００２０】
先に述べたように、ウェーハ処理手段１３は、保持テーブル１２上に保持されたウェーハＷの表面に対して、洗浄或いは溶液塗布の処理を施すものである。図１ではウェーハ処理手段１３を筐体１１の外部に模式的に示しているが、ウェーハ処理手段１３は筐体１１の内部に設けられている。洗浄処理を行う場合には、ウェーハ処理手段１３は、ウェーハＷの表面に洗浄水を噴射するノズルや、該ノズルまで洗浄水を供給する管路等によって構成される。溶液塗布処理を行う場合には、ウェーハ処理手段１３は、ウェーハＷの表面に溶液を滴下するノズルや、該ノズルまで溶液を供給する管路等によって構成される。また、ウェーハ処理手段１３が洗浄と溶液塗布の両方の機能を備えていてもよい。
【００２１】
図２から図６に示すように、保持テーブル１２上にウェーハＷを搬送する搬送手段２０を備えている。搬送手段２０は、ウェーハＷの上面（表面）を吸引保持する吸引パッド２１と、吸引パッド２１を支持する搬送アーム２２と、搬送アーム２２を上下移動させる上下駆動部２３を備えている。上下駆動部２３はエアシリンダを内蔵しており、エアシリンダの空気圧調整によって昇降ロッド２４を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させることができる。昇降ロッド２４の上端に搬送アーム２２が支持されており、昇降ロッド２４の上下移動に伴って搬送アーム２２と吸引パッド２１が昇降する。
【００２２】
搬送手段２０はさらに、Ｘ軸方向とＹ軸方向を含む水平方向に吸引パッド２１の位置を変化させることができる（図６参照）。この水平駆動機構は任意のものとすることができる。例えば、上下方向（Ｚ軸方向）に向く軸を中心として搬送アーム２２を旋回可能に支持する構成や、Ｘ軸方向やＹ軸方向に延びるガイドレールに沿って移動可能に搬送アーム２２を支持する構成等を用いることができる。
【００２３】
吸引パッド２１は下方を向く保持面２１ａを有し、吸引手段２５によって、吸引パッド２１の保持面２１ａに負圧を作用させてウェーハＷを吸着保持することができる。
【００２４】
以上の構成を備える搬送手段２０によって、未処理状態のウェーハＷをウェーハ処理装置１０の外部から保持テーブル１２まで搬送したり、ウェーハ処理手段１３を用いた処理完了後のウェーハＷをウェーハ処理装置１０の外部に搬出させたりすることができる。
【００２５】
ウェーハ処理装置１０は、筐体１１の開口部１１ｅをシート状カバー部材３０によって開閉することが可能な筐体カバー機構を備えている。シート状カバー部材３０は可撓性を有する薄膜状の部材である。シート状カバー部材３０は、平面状に展開した状態で、少なくとも筐体１１の開口部１１ｅを閉塞する大きさを有している。つまり、展開状態でのシート状カバー部材３０は、Ｘ軸方向の長さが筐体１１の側壁１１ａと側壁１１ｂの間隔よりも大きく、Ｙ軸方向の長さが筐体１１の側壁１１ｃと側壁１１ｄの間隔よりも大きい。
【００２６】
シート状カバー部材３０は、ウェーハ処理装置１０で行う処理に応じた特性を持つ材質で構成することが望ましい。例えば、シート状カバー部材３０を構成する材質は、ウェーハＷを洗浄する洗浄水やウェーハＷに保護被膜を形成する溶液に対する撥水性や親水性を有するものを適宜選択することができる。また、耐薬品性を有する材質や静電気対策が施された材質でシート状カバー部材３０を構成することも可能である。
【００２７】
筐体１１の側壁１１ｄの近傍に、Ｘ軸方向に延びる回転軸３１を備え、シート状カバー部材３０の一端である固定端部が回転軸３１に接続している。シート状カバー部材３０の他端である自由端部には、Ｘ軸方向に延びる板状の端末部３２が装着されている。回転軸３１と端末部３２のＸ軸方向の長さは、開口部１１ｅのＸ軸方向の長さ（側壁１１ａと側壁１１ｂの間隔）よりも大きい。
【００２８】
Ｙ軸方向への端末部３２の位置変化に応じて、シート状カバー部材３０が開口部１１ｅを覆う量（面積）が変化する。端末部３２が回転軸３１から最も離れた閉塞位置（図２、図６参照）にあるときには、シート状カバー部材３０が開口部１１ｅを全面的に閉塞する。端末部３２が回転軸３１に近接した開放位置（図３、図４、図５参照）にあるときには、シート状カバー部材３０が開口部１１ｅを覆わずに開放させる。
【００２９】
回転軸３１の回転に応じて、回転軸３１に対するシート状カバー部材３０の巻回量が変化する。図２から図６に示す巻き取り方向Ｒ１（時計方向）に回転軸３１が回転すると、回転軸３１へのシート状カバー部材３０の巻回量が大きくなり、巻き取り方向Ｒ１とは反対方向（反時計方向）に回転軸３１が回転すると、回転軸３１へのシート状カバー部材３０の巻回量が小さくなる。
【００３０】
シート状カバー部材３０は、回転軸３１に内蔵されている巻き取り部によって、回転軸３１への巻回量が大きくなるように巻き取り癖がつけられている。図示を省略するが、回転軸３１は、固定的に支持される台座と、台座に対してＸ軸方向に延びる軸線を中心として回転可能な回転部を備えており、回転部にシート状カバー部材３０の自由端部が接続している。回転部は台座に設けた軸部を囲む円筒状をなし、回転部の内側に渦巻きバネが配置されている。渦巻きバネの内端部が台座の軸部に係合し、渦巻きバネの外端部が回転部に係合している。渦巻きバネによって、回転部が図２から図６に示す巻き取り方向Ｒ１に回転付勢される。その結果、シート状カバー部材３０に対して上記の巻き取り癖が与えられる。なお、シート状カバー部材３０に巻き取り癖を持たせる巻き取り部の構成は、これに限られるものではない。
【００３１】
ウェーハ処理装置１０は、搬送手段２０における搬送アーム２２の上下方向（Ｚ軸方向）の移動力を、端末部３２のＹ軸方向の移動に変換させて閉塞位置と開放位置に移動させる移動機構４０を備えている。移動機構４０は、ガイドレール４１と、カバー部材ガイド部４２と、搬送アーム係合爪４３と、無端ベルト４４と、重り４５と、第１プーリ４６と、第２プーリ４７と、第２ベルト４８と、第３プーリ４９と、ストッパ５０を有している。
【００３２】
図１に示すように、ガイドレール４１は、筐体１１の外側に設けられ、側壁１１ａに沿ってＹ軸方向（すなわち、シート状カバー部材３０の開閉方向と平行な方向）に延びている。Ｙ軸方向におけるガイドレール４１の長さは、閉塞位置（図２、図６）から開放位置（図３、図４、図５）までの端末部３２の移動量をカバーしている。
【００３３】
ガイドレール４１に対してＹ軸方向に移動可能にカバー部材ガイド部４２が支持されている。端末部３２のうちＸ軸方向の一端部がカバー部材ガイド部４２に接続している。そのため、ガイドレール４１に沿ってカバー部材ガイド部４２がＹ軸方向に移動すると、端末部３２がＹ軸方向に移動し、シート状カバー部材３０を回転軸３１に巻回された状態から引き出したり、シート状カバー部材３０を回転軸３１に巻回される状態に引き戻させたりする。この端末部３２の移動に伴って、シート状カバー部材３０が開口部１１ｅを閉塞する状態（図２、図６）と、シート状カバー部材３０が開口部１１ｅを開放させる状態（図３、図４、図５）に変化する。シート状カバー部材３０は回転軸３１への巻き取り癖を与えられているため、端末部３２の位置変化に応じて回転軸３１へのシート状カバー部材３０の巻回量が変化し、シート状カバー部材３０は常にＹ軸方向へ所定のテンションが作用した状態で弛みが除去される。
【００３４】
図１から図６に示すように、ガイドレール４１にはストッパ５０が設けられている。ストッパ５０は、端末部３２が閉塞位置に達したときにカバー部材ガイド部４２に当接して、カバー部材ガイド部４２のそれ以上の移動を規制する。
【００３５】
図２から図６に示すように、第１プーリ４６と第２プーリ４７は上下方向（Ｚ軸方向）に位置を異ならせて配置されている。第１プーリ４６と第２プーリ４７はそれぞれ、Ｘ軸方向に延びる軸を中心として回転可能である。第１プーリ４６と第２プーリ４７に対して無端ベルト４４が巻回される。無端ベルト４４は、第１プーリ４６と第２プーリ４７の間で上下方向（Ｚ軸方向）に向けて延びる一対の平行部分を有しており、この一対の平行部分の一方に搬送アーム係合爪４３が装着され、他方に重り４５が装着されている。
【００３６】
搬送アーム係合爪４３は、搬送アーム２２の先端を上下方向に挟んでおり、上下駆動部２３によって搬送アーム２２が上下に移動すると、搬送アーム２２に伴って搬送アーム係合爪４３が上下に移動する。搬送アーム係合爪４３が上下に移動すると、無端ベルト４４が連動して上下に動く。より詳しくは、無端ベルト４４は、第１プーリ４６と第２プーリ４７を回転させながら、周回移動を行う。また、搬送アーム係合爪４３が上下に移動すると、重り４５が搬送アーム係合爪４３とは逆方向に上下移動する。
【００３７】
第２ベルト４８は、一端が第２プーリ４７に接続し、他端がカバー部材ガイド部４２に連結し、途中部分が第３プーリ４９に巻回されている。第３プーリ４９は、第２プーリ４７よりも下方に位置し、かつＹ軸方向でガイドレール４１の延長上に位置している。そのため、第２プーリ４７から延出された第２ベルト４８は、Ｙ軸方向で回転軸３１から離れる方向に延び、第３プーリ４９の周面に沿って延設方向が反転されてＹ軸方向で回転軸３１に接近する方向に延びて、カバー部材ガイド部４２に連結する。
【００３８】
カバー部材ガイド部４２がガイドレール４１に沿ってＹ軸方向に移動すると、第２プーリ４７への第２ベルト４８の巻回量が変化する。第３プーリ４９はＸ軸方向に延びる軸を中心として回転可能であり、カバー部材ガイド部４２の移動に伴う第２ベルト４８の進退に応じて、第３プーリ４９が回転される。
【００３９】
なお、第３プーリ４９の位置に設ける第２ベルト４８の案内用の部材（ベルトガイド部材）は、第２プーリ４７の回転をカバー部材ガイド部４２の直線移動に変換させるように第２ベルト４８の延設方向を設定する機能を備えていればよく、第３プーリ４９のような回転部材でなくても成立する。一例として、第３プーリ４９に代えて、第２ベルト４８を案内する円弧状のガイド溝を周面に有する固定部材を用いてもよい。
【００４０】
以上の構成のウェーハ処理装置１０は、次のように動作する。図２は、シート状カバー部材３０の自由端部に設けた端末部３２が閉塞位置にあり、シート状カバー部材３０が開口部１１ｅの上方を全面的に覆う状態を示している。保持テーブル１２の保持面１２ａ上にはウェーハＷが保持されている。
【００４１】
図２の状態では、搬送手段２０は、吸引パッド２１と搬送アーム２２を上方に引き上げた状態にあり、搬送アーム２２の先端に係合する搬送アーム係合爪４３が上方に保持されている。この状態では、第２プーリ４７による第２ベルト４８の巻回量が大きく、第２ベルト４８は、回転軸３１における巻き取り方向の力Ｒ１に抗してカバー部材ガイド部４２をストッパ５０に当接する位置まで牽引している。その結果、シート状カバー部材３０が回転軸３１から引き出されて、筐体１１の開口部１１ｅを閉塞した状態に保持される。なお、可視光線を所定の割合で通過させる透光性をシート状カバー部材３０に持たせて、図２の閉塞状態においてシート状カバー部材３０を通して筐体１１内を観察できるようにしてもよい。
【００４２】
図２の状態では、搬送アーム係合爪４３が無端ベルト４４の上端近く（第１プーリ４６の近傍）に位置するのに対して、重り４５が無端ベルト４４の下端近く（第２プーリ４７の近傍）に位置している。
【００４３】
図２に示すシート状カバー部材３０の閉塞状態で、保持テーブル１２の保持面１２ａ上に保持されたウェーハＷに対して、ウェーハ処理手段１３を用いて処理を行う。先に述べたように、ウェーハ処理手段１３による処理は、ウェーハＷの表面（上面）に対する洗浄や溶液の塗布である。開口部１１ｅの上方がシート状カバー部材３０によって閉塞されているため、筐体１１の外部への洗浄水や溶液の飛散を防止できる。
【００４４】
筐体１１内でのウェーハ処理手段１３によるウェーハＷへの処理が完了すると、処理済みのウェーハＷを保持テーブル１２上から外部へ搬送するために、搬送手段２０の上下駆動部２３が駆動されて吸引パッド２１及び搬送アーム２２が下方に移動する。
【００４５】
図３に示すように、搬送アーム２２の下降動作によって、搬送アーム２２の先端に係合する搬送アーム係合爪４３が下方に移動する。すると、搬送アーム係合爪４３の移動に連動して無端ベルト４４が周回移動され、第１プーリ４６及び第２プーリ４７が回転(図３中の反時計方向の回転)する。この第２プーリ４７の回転によって、第２ベルト４８が第２プーリ４７から繰り出されて（巻回量が少なくなり）カバー部材ガイド部４２側に移動する。その結果、第２ベルト４８によるカバー部材ガイド部４２の牽引（ストッパ５０に当接する方向への牽引）が解除され、回転軸３１に接近する方向への端末部３２の移動が可能になる。そして、図３に示すように、シート状カバー部材３０が巻き取り方向Ｒ１への巻き取り癖によって回転軸３１に巻回されて、筐体１１の開口部１１ｅを開放した状態になる。この段階で、吸引パッド２１は開口部１１ｅよりも上方に位置している。
【００４６】
図３の状態では、搬送アーム係合爪４３が無端ベルト４４の下端近く（第２プーリ４７の近傍）に位置するのに対して、重り４５が無端ベルト４４の上端近く（第１プーリ４６の近傍）に位置している。重り４５の負荷によって、搬送アーム係合爪４３を上方に移動させようとする力が加わるが、搬送アーム係合爪４３が搬送アーム２２の下面に当接しているため、搬送アーム係合爪４３の上方への移動は規制される。
【００４７】
続いて、保持テーブル１２から吸引パッド２１へ処理済みのウェーハＷの受け渡しを行うために、図４に示すように、昇降機構１５を駆動して保持テーブル１２を上方に移動させる。このときシート状カバー部材３０は開放状態にあるので、シート状カバー部材３０と干渉せずに、開口部１１ｅの上方の位置まで保持テーブル１２及びウェーハＷを移動させることができる。
【００４８】
そして、図５に示すように、搬送手段２０に設けた吸引手段２５によって吸引パッド２１の保持面２１ａに吸引力を作用させて、吸引パッド２１にウェーハＷを吸引保持させる。吸引パッド２１へのウェーハＷの受け渡しが完了すると、昇降機構１５を駆動して保持テーブル１２を下方に移動させて、保持テーブル１２を筐体１１内に収容する。
【００４９】
図５のように吸引パッド２１にウェーハＷを吸引保持してから、上下駆動部２３を駆動して搬送アーム２２を上方に移動させる。すると、搬送アーム２２の上方への移動に伴って搬送アーム係合爪４３が上方に移動し、搬送アーム係合爪４３の移動に連動して無端ベルト４４を介して第１プーリ４６及び第２プーリ４７が回転(図５の時計方向の回転)する。
【００５０】
搬送アーム係合爪４３の上昇に伴う第２プーリ４７の回転によって、第２ベルト４８が第２プーリ４７に巻き取られ（巻回量が多くなり）、第２ベルト４８に牽引されたカバー部材ガイド部４２がストッパ５０側に移動する。すると、端末部３２が閉鎖位置に向けて移動しながら、回転軸３１からシート状カバー部材３０が引き出される。保持テーブル１２は既に筐体１１内に収容されているので、引き出されるシート状カバー部材３０と保持テーブル１２は互いに干渉しない。カバー部材ガイド部４２がストッパ５０に当接するまで移動すると、シート状カバー部材３０が開口部１１ｅを閉塞した状態になる。この段階では、ウェーハＷが保持テーブル１２ではなく吸引パッド２１の保持面２１ａに吸引保持されている以外は図２と同じ状態になる。
【００５１】
搬送手段２０はさらに、図６に示すように、搬送アーム２２を水平方向に移動させて、処理済みのウェーハＷをウェーハ処理装置１０から外部に移送させる。図６のように搬送アーム２２が搬送アーム係合爪４３から離れた状態では、重り４５の負荷によって搬送アーム係合爪４３の上下方向位置が保たれ、シート状カバー部材３０が開口部１１ｅを閉塞した状態を維持できる。
【００５２】
以上でウェーハ処理装置１０におけるウェーハＷへの処理サイクルが完了する。続いて、未処理状態のウェーハＷを搬送手段２０によって搬入することで、ウェーハ処理装置１０における次の処理サイクルに入る。まず、ウェーハＷの搬入に際して、ウェーハＷを吸引保持した状態の吸引パッド２１を保持テーブル１２の上方に位置させる。この段階では、ウェーハＷが保持テーブル１２ではなく吸引パッド２１の保持面２１ａに吸引保持されている以外は図２と同じ状態になる。
【００５３】
そして、吸引パッド２１から保持テーブル１２に未処理のウェーハＷを受け渡すために、搬送手段２０の上下駆動部２３が駆動されて搬送アーム２２を下方に移動させる。搬送アーム２２の下降動作によって、搬送アーム２２を上下に挟む搬送アーム係合爪４３が下方に移動し、先に述べたように、搬送アーム係合爪４３の移動に連動して無端ベルト４４を介して第１プーリ４６及び第２プーリ４７が回転(図２の反時計方向の回転)する。このときの第２プーリ４７の回転によって、第２ベルト４８が第２プーリ４７から繰り出されて（巻回量が少なくなり）カバー部材ガイド部４２側に移動する。その結果、回転軸３１によるシート状カバー部材３０の巻き取り方向へカバー部材ガイド部４２の移動が可能になり、シート状カバー部材３０が開口部１１ｅを開放した状態になる。この段階では、ウェーハＷが保持テーブル１２ではなく吸引パッド２１の保持面２１ａに吸引保持されている以外は図３と同じ状態になる。
【００５４】
続いて、昇降機構１５を駆動して保持テーブル１２を上方に移動させ、吸引パッド２１の保持面２１ａから保持テーブル１２の保持面１２ａへウェーハＷを受け渡す（図４参照）。保持テーブル１２へのウェーハＷの受け渡しが完了したら、昇降機構１５を駆動して保持テーブル１２を下方に移動させて筐体１１内に収容する。また、上下駆動部２３を駆動して搬送アーム２２を上方に移動させる。搬送アーム２２の上昇移動に連動して、シート状カバー部材３０が閉塞状態になり、図２に示す状態に戻る。
【００５５】
以上のように、本実施の形態のウェーハ処理装置１０によれば、搬送手段２０を構成する搬送アーム２２の上下方向の移動に連動してシート状カバー部材３０の開閉動作を行わせる。シート状カバー部材３０を開閉させる駆動源として、搬送手段２０で搬送アーム２２を昇降させる上下駆動部２３を用いるので、シート状カバー部材３０を動作させるための専用の駆動手段（アクチュエータ等）を筐体１１の外部に設ける必要がなく、筐体カバー機構を省スペース且つシンプルな構造にすることができる。
【００５６】
搬送手段２０は、少なくとも搬送アーム２２の上下動作を行わせるものであればよく、様々な加工装置に適用可能な高い汎用性を有するものであるため、既存の加工装置を大きく変更することなく、ウェーハ処理装置１０を構成することができる。
【００５７】
なお、上記実施の形態とは異なり、保持テーブル１２を上下に移動しないタイプに変更することも可能である。この場合、搬送手段２０における搬送アーム２２の昇降移動量を大きくして、保持テーブル１２との間でのウェーハＷの受け渡しに際して、吸引パッド２１が筐体１１内まで進入するように構成するとよい。
【００５８】
また、上記実施の形態とは異なり、搬送手段２０は昇降動作のみを行うように構成することも可能である。この場合、水平方向へのウェーハＷの移送については、図２のように引き上げた状態の吸引パッド２１の下方位置に進出する別の搬送テーブル等を用いることができる。
【００５９】
先に述べたように、第３プーリ４９に代わるベルトガイド部材として、回転しない固定部材を用いることも可能である。
【００６０】
第１プーリ４６と第２プーリ４７に巻回される周回部材（無端ベルト４４）として、横幅の広い帯状体や、帯状体よりも細幅の紐状体等を適宜用いることができる。また、図１には、横幅の広い帯状体の第２ベルト４８を示しているが、第２ベルト４８についても、帯状体に限らず、細幅の紐状体等を適宜用いることができる。
【００６１】
また、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態や変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
【００６２】
また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
以上説明したように、本発明は、シンプルな構造で容易にシート状のカバー部材を開閉させることができるという効果を有し、特に、カバー部材で筐体の開口部を閉塞した状態でウェーハに対する洗浄や溶液塗布を行うウェーハ処理装置に有用である。
【符号の説明】
【００６４】
１０    ウェーハ処理装置
１１    筐体
１１ｅ  開口部
１２    保持テーブル
１３    ウェーハ処理手段
２０    搬送手段
２１    吸引パッド
２２    搬送アーム
２３    上下駆動部
２５    吸引手段
３０    シート状カバー部材
３１    回転軸
３２    端末部（自由端部）
４０    移動機構
４１    ガイドレール
４２    カバー部材ガイド部
４３    搬送アーム係合爪
４４    無端ベルト
４５    重り
４６    第１プーリ
４７    第２プーリ
４８    第２ベルト
４９    第３プーリ（ベルトガイド部材）
５０    ストッパ
Ｗ      ウェーハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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