(57)【要約】【課題】振動型アクチュエータの制御において、トルクの制御の精度の向上を図る。【解決手段】振動型アクチュエータ１の制御装置３は、ロータ１３の回転速度を取得する速度取得手段３１と、振動体１２の機械振動の振幅を取得する振幅取得手段３２と、振動体１２の駆動周波数を決定する周波数決定手段３５と、現在速度差分Vdiffを用いて固着部高さＨを計算し、振動体１２とロータ１３とが滑り接触している滑り部Ｊの範囲と固着部Ｇの範囲を固着部高さＨを用いて計算し、滑り部Ｊにおける摩擦力と固着部Ｇにおける摩擦力とを用いてロータ１３のトルクを計算するトルク計算手段３３とを有する。【選択図】図８
2018182898.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
交流電圧が印加されると振動する電気−エネルギー変換素子と、前記電気−エネルギー変換素子の振動によって振動する振動体と、前記振動体に接触して前記振動体の振動によって回転駆動する移動体とを有する振動型アクチュエータを制御する振動型アクチュエータの制御装置であって、
前記移動体の回転速度を取得する速度取得手段と、
前記振動体の機械振動の振幅を取得する振幅取得手段と、
前記振動体の駆動周波数を決定する周波数決定手段と、
前記速度取得手段が取得した前記移動体の回転速度と前記周波数決定手段が決定した駆動周波数に対応する無負荷時の前記移動体の回転速度との差分とを用いて前記振動体が前記移動体に固着している固着部の位置を計算し、前記振動体と前記移動体とが滑り接触している滑り部の範囲と前記固着部の範囲を前記固着部の位置を用いて計算し、前記滑り部における前記振動体と前記移動体との摩擦力と前記固着部における前記振動体と前記移動体との摩擦力とを用いて前記移動体のトルクを計算するトルク計算手段と、
を有することを特徴とする振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項２】
前記トルク計算手段は、前記回転速度の差分の大きさに応じて前記固着部の位置を変化させることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項３】
前記トルク計算手段は、前記回転速度の差分と前記固着部の位置との関係を非線形で近似する近似式を用い、前記回転速度の差分から前記固着部の位置を計算することを特徴とする請求項２に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項４】
交流電圧が印加されると振動する電気−エネルギー変換素子と、前記電気−エネルギー変換素子の振動によって振動する振動体と、前記振動体に接触して前記振動体の振動によって回転駆動する移動体とを有する振動型アクチュエータを制御する振動型アクチュエータの制御方法であって、
前記移動体の回転速度を取得する速度取得ステップと、
前記振動体の機械振動の振幅を取得する振幅取得ステップと、
前記振動体の駆動周波数を決定する周波数決定ステップと、
前記移動体のトルクを計算するトルク計算ステップと、
を有し、
前記トルク計算ステップでは、前記速度取得ステップで取得した前記移動体の回転速度と前記周波数決定ステップで決定した駆動周波数に対応する無負荷時の前記移動体の回転速度との差分とを用いて前記振動体が前記移動体に固着している固着部の位置を計算し、前記振動体と前記移動体とが滑り接触している滑り部の範囲と前記固着部の範囲を前記固着部の位置を用いて計算し、前記滑り部における前記振動体と前記移動体との摩擦力と前記固着部における前記振動体と前記移動体との摩擦力とを用いて前記移動体のトルクを計算することを特徴とする振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項５】
交流電圧が印加されると振動する電気−エネルギー変換素子と、前記電気−エネルギー変換素子の振動によって振動する振動体と、前記振動体に接触して前記振動体の振動によって回転駆動する移動体とを有する振動型アクチュエータを制御するためのプログラムであって、請求項４に記載の各ステップをコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型アクチュエータの制御装置、制御方法、プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
振動型アクチュエータは、交流電圧が印加されると振動する電気−エネルギー変換素子と、この電気−エネルギー変換素子の振動により振動する振動体と、振動体と摩擦接触しており振動体の振動によって回転する移動体とを有する。このような振動型アクチュエータの出力トルクは、振動体と移動体との間に生じる摩擦力に応じて変化する。また、振動体と移動体との摩擦力は、電気−エネルギー変換素子に励起される機械振動の振幅に応じて変化する。このため、電気−エネルギー変換素子に印加する交流電圧の振幅や周波数を変化させることで、振動体と移動体の間の摩擦力を変化させ、振動型アクチュエータの出力トルクを制御できる。特許文献１には、機械腕電流を検出し、その電流値における無負荷時回転数を計算し、現在の回転数と無負荷時の回転数とから出力トルクを計算し、計算した出力トルクが設定した出力トルクとなるように周波数を制御する構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２−１０１９７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
出力トルクの制御の精度の向上を図るためには、現在の出力トルクを精度よく取得できるようにすることが好ましい。しかしながら、特許文献１に記載の構成では、振動体と移動体の間の摩擦力を計算する手段を有していないため、現在の出力トルクの計算の精度を高められない。前記実情に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、振動型アクチュエータのトルクの制御の精度を高めることである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の振動型アクチュエータの制御装置は、交流電圧が印加されると振動する電気−エネルギー変換素子と、前記電気−エネルギー変換素子の振動によって振動する振動体と、前記振動体に接触して前記振動体の振動によって回転駆動する移動体とを有する振動型アクチュエータを制御する振動型アクチュエータの制御装置であって、前記移動体の回転速度を取得する速度取得手段と、前記振動体の機械振動の振幅を取得する振幅取得手段と、前記振動体の駆動周波数を決定する周波数決定手段と、前記速度取得手段が取得した前記移動体の回転速度と前記周波数決定手段が決定した駆動周波数に対応する無負荷時の前記移動体の回転速度との差分とを用いて前記振動体が前記移動体に固着している固着部の位置を計算し、前記振動体と前記移動体とが滑り接触している滑り部の範囲と前記固着部の範囲を前記固着部の位置を用いて計算し、前記滑り部における前記振動体と前記移動体との摩擦力と前記固着部における前記振動体と前記移動体との摩擦力とを用いて前記移動体のトルクを計算するトルク計算手段と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、振動型アクチュエータのトルクの制御の精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】振動型アクチュエータの構成例を模式的に示す図である。
【図２】振動型アクチュエータの動作例を模式的に示す図である。
【図３】制御装置の構成例を模式的に示すブロック図である。
【図４】振動体とロータの摩擦接触状態を模式的に示す図である。
【図５】トルク計算手段の構成例を模式的に示すブロック図である。
【図６】（ａ）は駆動周波数と回転速度の関係の例を示すグラフであり、（ｂ）は駆動周波数と振幅との関係の例を示すグラフであり、（ｃ）は駆動周波数と回転速度の関係の例を示すグラフであり、（ｄ）は振幅および固着部高さの変化の例を示すグラフであり、（ｅ）は現在速度差分と固着部高さの関係の例を示すグラフである。
【図７】振動体とロータのモデルの例を模式的に示す図である。
【図８】固着部と滑り部を説明する模式図である。
【図９】制御方法の処理の例を示すフローチャートである。
【図１０】固着部高さ計算の処理の例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に、本発明を適用した実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。以下の説明においては、振動型アクチュエータの制御装置と振動型アクチュエータの制御方法を、それぞれ単に「制御装置」と「制御方法」と略すことがある。
【０００９】
（振動型アクチュエータの構成例）
振動型アクチュエータ１は、金属やセラミック製の弾性体である振動体１２を、その固有振動モードの共振現象を利用して振動させ、振動体１２に接触または間接的に接続される移動体を相対的に移動させることによって駆動力を出力する。本発明の実施形態では、振動体１２を励振するための加振力の発生源である電気−エネルギー変換素子として、圧電素子１１が適用される例を示す。ただし、電気−エネルギー変換素子は圧電素子１１に限定されるものではない。例えば、電気−エネルギー変換素子として、磁歪素子、電歪素子、ボイスコイル、静電アクチュエータなどが適用できる。これらの電気−エネルギー変換素子は、加振周波数と同じ周波数の交流電圧を印加または交流電流を入力することによって加振力を発生させることができる。例えば、電気−エネルギー変換素子に圧電素子１１が適用される構成であれば、交流電圧が加振力に相当し、ボイスコイルが適用される構成であれば、交流電流が加振力に相当する。
【００１０】
まず、本発明が適用できる振動型アクチュエータ１の構成例について説明する。図１（ａ）は、振動型アクチュエータ１の構成例を模式的に示す外観図であり、図１（ｂ）は、振動型アクチュエータ１における圧電素子１１の配置の例を模式的に示す図である。図１（ａ）（ｂ）に示すように、振動型アクチュエータ１は、重ねて設けられている複数の圧電素子１１と、複数の圧電素子１１を挟持している振動体１２と、図略の付勢手段によって振動体１２に付勢されている移動体の例であるロータ１３とを有している。また、振動型アクチュエータ１にはフレキシブル配線板１４が接続されている。そして、このフレキシブル配線板１４を介して、複数の圧電素子１１のそれぞれに電圧を印加できる。また、このフレキシブル配線板１４を介して、後述するセンサ１１３が発生させる電圧を外部から測定（取得）できる。
【００１１】
図１（ｃ）は、圧電素子１１の構成例を模式的に示すである。図１（ｃ）に示すように、重ねて（積層して）設けられている複数の圧電素子１１のそれぞれは、区画された４つの電極１１２を有している。そして、４つの電極１１２のそれぞれには、フレキシブル配線板１４を介して、Ａ相（φＡ）とＢ相（φＢ）の交流電圧が印加される。図中の電極１１２に記入されている記号（ａ＋）、（ａ−）、（ｂ＋）、（ｂ−）は、圧電素子１１の分極方向を示しており、対向する電極１１２（中心に関して対称の位置にある電極１１２）は、それぞれ逆方向の極性を有するように分極されている。そして、制御装置３は、対向する電極１１２には同じ駆動電圧を印加することによって、逆方向の加振力を発生させ、Ａ相およびＢ相に対応して、それぞれ１つずつの固有振動モードの振動で励振できる。
【００１２】
図１（ｄ）は、センサ１１３が設けられている圧電素子１１の構成例を模式的に示す図である。図１（ｄ）に示すように、重ねて設けられている複数の圧電素子１１のうちの少なくとも１つには、振動体１２の機械振動の振幅を検出するためのセンサ１１３が設けられている。このセンサ１１３は、振動体１２の機械振動の振幅に応じた電圧を発生させる電圧生成手段の例である。センサ１１３が発生させる電圧から、振動体１２の機械振動の振幅を得ることができる。また、センサ１１３には、図略のスルーホールなどを介してフレキシブル配線板１４が接続されており、センサ１１３が発生させる電圧を外部に出力できる（外部から取得できる）。
【００１３】
本発明の実施形態では、制御装置３は、振動体１２の機械振動の振幅をセンサ１１３が発生させる電圧として取得し、取得した振動体１２の機械振動の振幅を振動型アクチュエータ１の出力するトルクの計算に用いる。なお、制御装置３は、圧電素子１１のＡ相の電極１１２に印加する電圧とセンサ１１３が発生させる電圧との位相差を用いることにより、周波数と回転速度の相関を得ることもできる。そして、制御装置３は、周波数と回転速度の相関を得ることで、急激な回転速度の低下が生じる共振周波数付近においても、安定した速度制御を実現できる。
【００１４】
図２は、振動型アクチュエータ１の動作の例を模式的に示す図である。振動体１２は、直交する２方向の曲げ振動の固有振動モードを有している。この２つのモードの振動を時間的に９０°ずらして発生させると、図２に示すように、振動体１２はその上部がくびれ部分を支点として振れ回るように回転振動する。このような振動体１２の回転振動が振動体１２とロータ１３（移動体）との間の摩擦によってロータ１３に伝達され、ロータ１３が回転する。このロータ１３（移動体）の回転が、振動型アクチュエータ１の出力する回転動力となる。
【００１５】
（制御装置の構成例）
図３は、上述の振動型アクチュエータ１の制御に適用できる制御装置３の構成例を模式的に示すブロック図である。制御装置３は、上述した振動型アクチュエータ１の出力トルクを制御する。
【００１６】
速度取得手段３１は、移動体の例であるロータ１３の回転速度を取得する。速度取得手段３１には、例えばロータリーエンコーダなどが適用できる。なお、速度取得手段３１は、ロータ１３の回転速度を取得（測定）できる構成であればよく、具体的な構成は限定されない。
【００１７】
振幅取得手段３２は、振動型アクチュエータ１の振動体１２の機械振動の振幅を取得する。例えば、振幅取得手段３２には、波形整形回路とＡ／Ｄ変換回路が適用できる。この場合、波形整形回路はセンサ１１３から取得した電圧信号を波形整形し、Ａ／Ｄ変換回路の入力範囲に適した電圧値に変換する。Ａ／Ｄ変換回路は、波形整形回路が成形した電圧信号をＡ／Ｄ変換してトルク計算手段３３に出力する。なお、振幅取得手段３２は、振動型アクチュエータ１の振動体１２の機械振動の振幅を取得（測定）できる構成であればよく、具体的な構成は限定されない。
【００１８】
トルク計算手段３３は、振動型アクチュエータ１が発生させている現在のトルク（トルクの現在値）を計算する。トルクの計算には、速度取得手段３１が取得したロータ１３の回転速度と、振幅取得手段３２が取得した振動体１２の機械振動の振幅と、後述する周波数決定手段３５が決定した駆動周波数とを用いる。なお、トルクの計算方法については後述する。
【００１９】
周波数決定手段３５は、トルク計算手段３３が計算したトルクを用い、振動型アクチュエータ１の出力トルクが所望の値（目標値）となるように駆動周波数を決定する。周波数決定手段３５は、例えば、トルク計算手段３３が計算したトルクの現在値とトルクの目標値の差分に制御ゲインを乗じることで駆動周波数を計算（決定）する。そして、周波数決定手段３５は、決定した駆動周波数の信号をトルク計算手段３３とパルス生成手段３６に出力する。
【００２０】
パルス生成手段３６は、周波数決定手段３５が決定した駆動周波数のパルス幅信号を生成する。パルス生成手段３６は、パルスを生成する回路などが適用できる。なお、パルス生成手段３６は、駆動周波数に応じたパルス幅信号を生成できればよく、具体的な構成は限定されない。
【００２１】
駆動手段３７は、パルス生成手段３６が生成したパルス幅信号に応じた交流電圧（すなわち、駆動周波数に応じた交流電圧）を生成し、生成した交流電圧を振動型アクチュエータ１の圧電素子１１に印加する。駆動手段３７には、例えば、スイッチング素子を有する駆動回路が適用できる。この場合、駆動手段３７としての駆動回路は、パルス生成手段３６が生成したパルス幅信号によってスイッチング素子をＯＮ／ＯＦＦすることにより交流電圧を生成する。
【００２２】
そして、振動型アクチュエータ１の圧電素子１１に交流電圧が印加されると、駆動手段３７が生成した交流電圧、すなわち、周波数決定手段３５が決定した駆動周波数に応じた進行波が振動体１２の表面に発生する。そして、ロータ１３は進行波の進行方向と逆方向に回転駆動される。このように、駆動周波数に応じた回転速度でロータ１３が回転駆動される。
【００２３】
なお、制御装置３は、ＣＰＵとＲＯＭなどの記録媒体とＲＡＭとを有するコンピュータを含んでいる。このコンピュータのＲＯＭなどの記録媒体には、振動型アクチュエータ１を制御するためのコンピュータプログラムがあらかじめ格納されている。制御装置３のコンピュータのＣＰＵは、ＲＯＭなどの記録媒体に格納されているコンピュータプログラムを読み出し、ＲＡＭをワークエリアとして用いて実行する。これにより、コンピュータが制御装置３の前述の各手段として機能し、後述する振動型アクチュエータ１の制御方法が実行される。
【００２４】
（摩擦力の計算方法）
トルク計算手段３３は、振動体１２とロータ１３との間の全摩擦力Ｆに、振動体１２とロータ１３の接触半径（回転中心から接触箇所までの距離）を乗じることによって、ロータ１３が出力する現在のトルク（トルクの現在値）を計算する。このため、トルク計算手段３３がロータ１３の現在のトルクを計算するためには、振動体１２とロータ１３との間の全摩擦力Ｆを取得（計算）しなければならない。
【００２５】
ところで、振動型アクチュエータ１は、振動体１２とロータ１３とが接触している領域において、固着と滑りとを繰り返しながらロータ１３を回転駆動している。図４（ａ）は、振動体１２とロータ１３との摩擦接触状態を模式的に示す図であり、図４（ｂ）は、振動体１２とロータ１３とが接触している領域（摩擦接触状態にある領域）を模式的に示す図である。図４（ａ）（ｂ）に示すように、振動体１２の表面の一部がロータ１３の表面１３１に接触している。具体的には、ロータ１３の表面１３１が窪むように弾性変形することにより、振動体１２の表面の一部がロータ１３の表面１３１に沈み込むようにして接触している。説明の便宜上、振動体１２がロータ１３の表面１３１に沈み込んで接触している領域Ａを、「沈み込み接触領域Ａ」と称する。
【００２６】
沈み込み接触領域Ａには、振動体１２がロータ１３に固着（stick）している固着部Ｇと、振動体１２とロータ１３との間に滑り（slip）が生じている滑り部Ｊとが存在している（図８参照）。固着部Ｇでは、振動体１２の表面がロータ１３の表面１３１にグリップしている状態にあり、振動体１２とロータ１３の速度が等しくなる。一方、滑り部Ｊでは振動体１２とロータ１３との速度が異なる。また、振動体１２とロータ１３との間の摩擦力も、固着部Ｇと滑り部Ｊとで異なる。そこで、振動体１２とロータ１３との間の全摩擦力Ｆを計算するためには、まず、固着部Ｇと滑り部Ｊの範囲を特定し、特定した固着部Ｇと滑り部Ｊのそれぞれについて摩擦力を計算する。そして、固着部Ｇの摩擦力と滑り部Ｊの摩擦力を合算することで、振動体１２とロータ１３との間に掛かる全摩擦力Ｆを計算する。全摩擦力Ｆに振動体１２とロータ１３の接触半径を乗じることで、ロータ１３の出力するトルクを計算できる。
【００２７】
本発明の実施形態では、固着部Ｇと滑り部Ｊの範囲の特定に、振動体１２とロータ１３との沈み込み接触領域Ａにおける固着部高さＨと、沈み込み部位置と、沈み込み部高さとを用いる。固着部高さＨとは、振動体１２の振幅の下死点（ロータ１３から遠い側の死点）から固着部Ｇまでの距離（ロータ１３の回転中心線方向の距離）をいう。沈み込み部Ｋとは、振動体１２がロータ１３に沈み込み始めている箇所をいうものとする（図７、図８参照）。沈み込み部位置とは、沈み込み部Ｋの回転方向（ロータ１３の円周方向）の位置をいう。沈み込み部高さとは、振動体１２の振幅の下死点から沈み込み部Ｋまでの距離（ロータ１３の回転中心線方向の距離）、換言すると、振動体１２の下死点からロータ１３の表面１３１までの距離をいう。固着部Ｇと滑り部Ｊの範囲の特定方法、および、固着部高さＨと沈み込み部位置と沈み込み部高さについては後述する。
【００２８】
（トルク計算手段）
ここで、トルク計算手段３３の構成例について、図５を参照して説明する。図５は、トルク計算手段３３の構成例を模式的に示すブロック図である。
【００２９】
周波数入力手段３３１は、周波数決定手段３５が決定する駆動周波数を取得する。なお、周波数決定手段３５が駆動周波数に応じたパルス幅信号を出力する場合には、周波数入力手段３３１は周波数決定手段３５が決定したパルス幅信号を周波数に変換する。
【００３０】
速度入力手段３３２は、速度取得手段３１が取得するロータ１３の回転速度を取得する。また、速度入力手段３３２は、取得したロータ１３の回転速度をロータ１３の角速度に変換する。
【００３１】
現在速度差分計算手段３３３は、周波数入力手段３３１が変換した周波数と速度取得手段３１が変換した現在のロータ１３の角速度とを取得する。そして、現在速度差分計算手段３３３は、これらを用いて、無負荷時のロータ１３の回転速度と現在のロータ１３の回転速度との差分である現在速度差分Vdiffを計算する。例えば、トルク計算手段３３は、無負荷時における駆動周波数とロータ１３の回転数との関係を示すＬＵＴ３３４（ルックアップテーブル）を有している。この場合、現在速度差分計算手段３３３は、周波数入力手段３３１が変換した駆動周波数をこのＬＵＴ３３４に適用することにより、無負荷時のロータ１３の回転速度を特定する。そして、現在速度差分計算手段３３３は、ＬＵＴ３３４を用いて特定した無負荷時のロータ１３の回転速度と速度入力手段３３２が変換した現在のロータ１３の回転速度との差である現在速度差分Vdiffを計算する。
【００３２】
固着部高さ計算手段３３５は、現在速度差分計算手段３３３が計算した現在速度差分Vdiffを用いて、固着部高さＨを計算する。固着部高さＨの計算方法については後述する。
【００３３】
振幅入力手段３３７は、振動体１２の機械振動の振幅を取得する。例えば、振幅取得手段３２に波形整形回路とＡ／Ｄ変換回路とが適用されている構成であれば、振幅入力手段３３７は、Ａ／Ｄ変換回路が出力する電圧値を機械振動の振幅に変換する。この場合、例えばトルク計算手段３３は、電圧値と機械振動の振幅との関係を示すＬＵＴを有している。そして、振幅入力手段３３７は、Ａ／Ｄ変換回路が出力する電圧値をこのＬＵＴに適用することにより、振動体１２の機械振動の振幅を取得（計算）する。
【００３４】
沈み込み接触領域計算手段３３８は、振幅入力手段３３７が取得した振動体１２の機械振動の振幅と、ロータ１３の機械的剛性のパラメータ（弾性係数等）とを用いて、沈み込み部位置と沈み込み部高さを計算する。これらの計算方法については後述する。
【００３５】
固着部／滑り部計算手段３３６は、沈み込み接触領域Ａにおける固着部Ｇと滑り部Ｊの範囲を計算（特定）する。これらの計算には、固着部高さＨと、沈み込み部高さおよび沈み込み部位置を基に決定した振動体１２とロータ１３の機械剛性のパラメータとを用いる。前述のとおり、固着部高さＨは固着部高さ計算手段３３５により計算され、沈み込み部高さおよび沈み込み部位置は沈み込み接触領域計算手段３３８により計算される。
【００３６】
摩擦力計算手段３３９は、固着部Ｇの摩擦力と滑り部Ｊの摩擦力を合算することで、振動体１２とロータ１３との間の全摩擦力Ｆを計算する。
【００３７】
トルク計算／出力手段３４０は、摩擦力計算手段３３９が計算した全摩擦力Ｆに振動体１２とロータ１３の接触半径を乗じることでトルクを計算する。そして、トルク計算／出力手段３４０は、計算したトルクを図３に示す周波数決定手段３５に出力する。
【００３８】
次に、固着部高さＨと、沈み込み部高さと、沈み込み部位置について説明する。
【００３９】
（固着部高さおよびその計算方法）
固着部高さＨは、振動体１２の振幅の下死点から固着部Ｇまでの距離（ロータ１３の回転中心線方向の距離）である。換言すると、固着部高さＨは、振動体１２の振幅の下死点から負荷と駆動力（摩擦力）とが平衡する位置（中立位置）までの距離である。固着部Ｇでは、振動体１２の表面がロータ１３の表面１３１にグリップ（固着）している状態にあり、振動体１２とロータ１３の速度が等しくなる。したがって、ロータ１３の回転速度を取得することにより、固着部高さＨを計算できる。
【００４０】
図６（ａ）は、無負荷時における駆動周波数とロータ１３の回転速度（回転数）の関係の例を示すグラフである。この関係を、一般的にＦ−Ｎ特性と称する。Ｆｒは振動体１２の共振周波数を示している。図６（ａ）に示す振動型アクチュエータ１のＦ−Ｎ特性は、駆動周波数を共振周波数Ｆｒよりも高い周波数とした場合には、駆動周波数を下げるほど回転数が高くなる。このため、振動型アクチュエータ１を共振周波数Ｆｒよりも高い駆動周波数で駆動する場合には、共振周波数Ｆｒよりも高い周波数の駆動周波数に応じた交流電圧を印加することにより、ロータ１３の回転を停止させている状態とする。そして、駆動周波数を下げていくことにより、ロータ１３の回転数が所望の目標値となるように制御する。
【００４１】
図６（ｂ）は、振動体１２の機械振動の振幅と固着部高さＨが駆動周波数によって変化する様子の例を示すグラフである。図６（ｂ）に示すグラフは、高周波側から低周波側に向かって共振周波数Ｆｒに近づくにしたがって、振動体１２の機械振動の振幅が大きくなることを表している。また、共振周波数が低くなるにしたがって、振幅が大きくなっていく。そして、振幅の増大に伴い、固着部高さＨも高くなっていく。前記のとおり、駆動周波数を下げていくことによりロータ１３の回転数を高くしていくように制御する構成であれば、ロータ１３の回転を高くするにしたがって、振動体１２の機械振幅の振動が大きくなっていくとともに、固着部高さＨも高くなっていく。このように、ロータ１３の回転数が変化すると、固着部高さＨも変化する。
【００４２】
図６（ｃ）は、無負荷時と有負荷時（ロータ１３に負荷が掛かった状態）のＦ−Ｎ特性の例を示すグラフである。図６（ｄ）は、駆動周波数Ｆｄにおいて、有負荷時における振動体１２の機械振動の振幅と固着部高さＨの変化の例を示すグラフである。図６（ｃ）に示すように、駆動周波数Ｆｄにおけるロータ１３の回転速度は、有負荷時には無負荷時に比較して低くなる。そして、図６（ｄ）に示すように、有負荷時の振動体１２の振幅は無負荷時に比較して小さくなり、固着部高さＨも変化する。
【００４３】
このように、負荷が増減すると、振動型アクチュエータ１の系全体の剛性が変化するため、共振周波数が変化する。そして、共振周波数が変化すると、同一駆動周波数であっても、振動体１２の機械振動の振幅が変化する。したがって、負荷が増減すると、振動体１２の機械振動の振幅および固着部高さＨが変化する。すなわち、固着部高さＨは無負荷時と有負荷時とで異なり、負荷の大きさに応じて変化する。そこで、本発明の実施形態では、ロータ１３に掛かる負荷に応じて固着部高さＨを計算することにより、トルク計算手段３３におけるトルクの計算の精度の向上を図る。これにより、トルクの制御の精度の向上を図ることができる。
【００４４】
本発明の実施形態では、振動体１２の機械振動の振幅の変化を、振幅取得手段３２により取得した振動体１２の振幅と、速度取得手段３１が取得したロータ１３の回転速度とを用いて計算する。また、固着部高さＨの変化を、ロータ１３の回転速度との関係から導かれる近似式を用いて計算する。図６（ｅ）は、無負荷時から負荷を増加させた場合の固着部高さＨとロータ１３の回転速度との関係を示すグラフである。図６（ｅ）の横軸は、現在速度差分Vdiffである。現在速度差分Vdiffは、周波数決定手段３５が決定する駆動周波数に基づくロータ１３の回転速度と速度取得手段３１により取得されたロータ１３の回転速度との差分である。換言すると、現在速度差分Vdiffは、ロータ１３の回転速度の目標値と実際の回転速度との差分である。現在速度差分Vdiffが大きいほど、負荷が高いと見做すことができる。そして、図６（ｅ）に示すように、現在速度差分Vdiffと固着部高さＨとは非線形の関係を有している。本発明の実施形態では、近似式として、次の数式（１）を用いる。そして、数式（１）に示す近似式を用いて固着部高さＨを計算する。
【００４５】
【数１】
2018182898.tif 000003
【００４６】
この近似式（数式（１））においてα、β、γはロータ１３の回転速度と固着部高さＨの相関関係を近似するための係数である。これらの係数は、振動型アクチュエータ１の固有の特性をフィッティングするためのパラメータとして使用される。なお、これらの係数は、振動型アクチュエータ１の特性に応じて決定されるものであり、具体的な数値は特に限定されない。
【００４７】
本発明の実施形態では、トルク計算手段３３は、駆動周波数と無負荷速度との関係を示すＬＵＴ３３４（ルックアップテーブル）を有している。そして、現在速度差分計算手段３３３は、周波数決定手段３５が決定する駆動周波数をこのＬＵＴ３３４に当てはめることにより、駆動周波数に対する無負荷速度を決定する。そして、現在速度差分計算手段３３３は、現在速度差分Vdiffを計算する。現在速度差分Vdiffは、決定した無負荷速度と速度取得手段３１が取得したロータ１３の回転速度との差分であり、  （現在速度差分Vdiff）＝（無負荷時のロータ１３の回転速度）−（現在のロータ１３の回転速度）  である。そして、固着部高さ計算手段３３５は、現在速度差分計算手段３３３が計算した現在速度差分Vdiffを前記近似式（数式（１））に適用することにより、固着部高さＨを計算する。
【００４８】
（沈み込み部位置および沈み込み部高さの計算方法）
次に、沈み込み部位置と沈み込み部高さの計算方法について、図７を参照して説明する。図７（ａ）は、沈み込み部位置と沈み込み部高さの計算方法を説明する図であり、計算モデルを示す。図７（ａ）に示すように、本発明の実施形態では、沈み込み部位置と沈み込み部高さの計算に離散ばねモデルを用いる。
【００４９】
本発明の実施形態では、弾性体であるロータ１３に、摩耗の少ない金属を適用している。このため、ロータ１３に掛かる力の大きさは、金属固有の弾性変形に変位量を乗じることで計算できる。本発明の実施形態では、ロータ１３が複数の線形ばね１０１（金属ばね）の集合体であるものとみなし、公知の離散ばねモデルを用いて振動体１２が接触した場合のロータ１３の変位に関する値を計算する。
【００５０】
図７（ａ）に示すモデル化したロータ１３において、ロータベース１０２に複数の線形ばね１０１（金属ばね）が固定されており、複数の線形ばね１０１はロータベース１０２を介して与圧されているものとする。そして、ロータベース１０２を介した与圧によって、複数の線形ばね１０１でモデル化されているロータ１３が振動体１２の表面に付勢されて接触する。振動体１２が励振されて表面に振動波が発生すると、振動体１２に接触している複数の線形ばね１０１のそれぞれが弾性変形する。振動体１２の機械振動の振幅が大きくなると、複数の線形ばね１０１の弾性変形量も大きくなる。この場合、沈み込み接触領域Ａにおいては、線形ばね１０１の変形量に応じた摩擦力が発生し、ロータ１３は、振動体１２の表面に発生する進行波の進行方向とは逆向きに回転する。なお、ロータベース１０２にかけられる与圧は一定であるため、線形ばね１０１の弾性変形量は、振動体１２の機械振動の振幅の大きさに応じて決まる。そして、線形ばね１０１に掛かる力は、弾性変形量にばね定数を乗じたものであるから、沈み込み接触領域Ａにおける法線方向の力の総和Ｐsumは、ばね定数をｋとし、変形量をｘｉ（ｉ＝０〜ｎ、ｎは線形ばね１０１の数）として、数式（２）に示す計算式で計算できる。
【００５１】
【数２】
2018182898.tif 000004
【００５２】
振動体１２の機械振動の振幅が小さい状態においては、振動体１２の振動は全部がロータ１３に沈み込んだ状態となる。そして、振動体１２の機械振動の振幅が大きくなり、前記計算式（数式（２））で計算されるPsumがロータベース１０２に掛けられている与圧よりも大きくなると、ロータ１３の表面１３１の一部が振動体１２の表面から離れた（浮いた）状態となる。
【００５３】
図７（ｂ）は、ロータ１３の表面１３１の一部が振動体１２の表面から離れた状態での振動体１２の機械振動の振幅とロータ１３の表面１３１および沈み込み部高さの例を示す図である。図７（ｂ）の横軸はロータ１３の正規化された回転方向位置（円周方向位置）であり、振動中心をゼロとして−π〜＋π（ｒａｄ）で示す。縦軸は振動体１２の機械振動の振幅である。
【００５４】
前述のとおり、本発明の実施形態では、沈み込み部Ｋとは、振動体１２の表面において、ロータ１３の表面１３１に沈み込み始める部分、換言すると、ロータ１３の表面１３１から離れている部分と沈み込んでいる部分との境界をいうものとする。沈み込み部位置θ3とは、沈み込み部Ｋの回転方向位置（円周方向位置）をいうものとする。換言すると、沈み込み部位置θ3とは、振動体１２の表面がロータ１３の表面１３１に沈み込み始める部分の回転方向位置をいうものとする。沈み込み部高さとは、振動の下死点（ロータ１３の表面１３１から遠い側の死点）から沈み込み部Ｋまでの距離をいうものとする。換言すると、沈み込み部高さとは、振動体１２の表面の一部がロータ１３の表面１３１から離れている状態において、振動の下死点からロータ１３の表面１３１までの距離をいうものとする。なお、振動体１２は余弦波状に変位するものとし、ロータベース１０２に掛かけられている与圧は一定であるものとする。図７（ｂ）に示す例では、沈み込み部位置θ3〜ゼロの範囲においては、振動体１２とロータ１３とは、沈み込み部高さ〜振動体１２の振動の上側（機械的振幅の振幅）の範囲で沈み込むようにして接触している。一方、−π〜θ3の範囲においては、振動体１２とロータ１３とは非接触である。
【００５５】
このようなモデルによれば、ロータベース１０２を介して掛けられている与圧と、沈み込み接触領域Ａにおける法線方向の力の総和Psumと、線形ばね１０１のばね定数とを用いて、沈み込み部高さと沈み込み部位置とを計算（特定）できる。なお、本発明の実施形態では、計算精度の向上と計算負荷の低減のため、変換テーブルを用いる。この変換テーブルは、ロータベース１０２に掛けられている与圧と沈み込み接触領域Ａにおける法線方向の力の総和Psumおよび線形ばね１０１のばね定数と、沈み込み部位置および沈み込み部高さとの関係を規定するテーブルである。そして、ロータベース１０２に掛けられている与圧と、沈み込み接触領域Ａにおける法線方向の力の総和Psumと、線形ばね１０１のばね定数とをこの変換テーブルに当てはめることによって、沈み込み部位置と沈み込み部高さを特定する。なお、この変換テーブルは、沈み込み接触領域計算手段３３８などがあらかじめ有しているものとする。また、変換テーブルを用いずに計算式を用いて計算する構成であってもよい。
【００５６】
このようにして、振幅入力手段３３７が取得した振動体１２の機械振動の振幅と、ロータ１３の機械的剛性のパラメータである弾性係数等を用いて、振動体１２の沈み込み部位置と沈み込み部高さを特定（計算）する。計算したこれらの値は、固着部／滑り部計算手段３３６に出力される。
【００５７】
（固着部と滑り部の特定）
次に、固着部Ｇと滑り部Ｊの特定方法について説明する。本発明の実施形態では、固着部高さＨと、振動体１２の機械振動の振幅と、沈み込み部位置さと、沈み込み部高さと、ロータ１３のばね定数などの機械的剛性のパラメータと、摩擦係数とから、固着部Ｇと滑り部Ｊを特定する。特に、固着部Ｇと滑り部Ｊの境界Ｂの位置を特定する。
【００５８】
図８（ａ）は、固着部Ｇと滑り部Ｊを模式的に示す図である。図８（ａ）に示すように、固着部高さ計算手段３３５が計算した固着部高さＨの正側と負側のそれぞれに、固着状態と滑り状態との間の状態が変化する境界Ｂが存在する。図８に示す例では、一方の境界Ｂの位置θ1〜他方の境界Ｂ〜θ2の範囲（区間）が固着部Ｇである。また、一方の境界Ｂの位置θ1〜ゼロの範囲と、他方の境界Ｂの位置θ2〜−πの範囲（区間）は滑り部Ｊである。
【００５９】
振動体１２が励振されて表面に進行波が発生すると、前述のとおり法線方向に摩擦力が発生する。励振により発生した進行波は振動体１２とロータ１３との接線方向に進行するため、振動体１２とロータ１３との接線方向への力も生じる。図８（ｂ）は、振動体１２とロータ１３との任意の接触点に係る力を示す。図８（ｂ）に示すように、矢印ＦNは、法線方向に掛かる掛かる力を示しており、本発明の実施形態においては摩擦力である。矢印ＦTは、接線方向に掛かる力を示している。接線方向に掛かる力ＦTが法線方向に掛かる力ＦNよりも大きい位置においては滑りが生じ、小さい位置においては固着が生じる考えられる。そこで、接線方向に掛かる力ＦNと法線方向に掛かる力ＦTとが均衡する位置（等しい位置）が、固着部Ｇと滑り部Ｊの境界Ｂであると見做す。このため、法線方向に掛かる力ＦNと接線方向に掛かる力ＦTとが均衡する位置を特定することにより、固着部Ｇと滑り部Ｊとを特定できる。
【００６０】
本発明の実施形態では、固着部高さＨと、振動体１２の機械振動の振幅と、沈み込み部高さと、沈み込み接触領域Ａの位置と、ロータ１３の機械的剛性のパラメータである弾性係数（ばね定数）と、摩擦係数とを用い、固着部Ｇと滑り部Ｊの境界Ｂの位置を計算する。例えば、ロータ１３の機械的剛性のパラメータとしては、ロータ１３に使用される材料に固有の縦弾性係数と横弾性係数を適用できる。また、摩擦係数についても、振動体１２とロータ１３に用いられている材料に応じて適宜設定できる。例えば、振動体１２とロータ１３とがいずれも金属により製造されている構成であれば、金属どうしの摩擦における一般的な摩擦係数を適用できる。そして、これらのパラメータを関係式（関数）に当てはめることによって、境界Ｂの位置を計算する。
【００６１】
本発明の実施形態では、固着部Ｇと滑り部Ｊの境界Ｂの位置θ1，θ2を、次の数式（３）（４）に示す計算式を用いて計算する。
【００６２】
【数３】
2018182898.tif 000005
【００６３】
なお、数式（３）（４）中
ｋt：ロータ１３のせん断剛性（ｋｇ／ｍ）
ｋp：ロータ１３の加圧剛性（ｋｇ／ｍ
Ｈ：固着部高さ
Ｗ：振動体の機械振動の振幅
μ：ロータ１３の摩擦係数（静摩擦係数）
ｄ：沈み込み部高さ
である。
【００６４】
以上のようにして、トルク計算手段３３の固着部／滑り部計算手段３３６は、固着部Ｇと滑り部Ｊ（より具体的には、固着部Ｇと滑り部Ｊの境界Ｂの位置）を特定できる。このように、固着部Ｇと滑り部Ｊの境界Ｂの位置θ2，θ3を計算（特定）できれば、固着部Ｇと滑り部Ｊの範囲が明らかとなる。そして、固着部Ｇと滑り部Ｊの範囲が明らかとなれば、固着部Ｇと滑り部Ｊのそれぞれに掛かる摩擦力を計算できる。摩擦力計算手段３３９は、特定された固着部Ｇと滑り部Ｊとを用いて、固着部Ｇの摩擦力と滑り部Ｊの摩擦力を計算できる。なお、固着部Ｇにおいては、ロータ１３と振動体１２とが相対的に移動しないことから、固着部Ｇにおいては静摩擦状態にある。一方、滑り部Ｇにおいては、ロータ１３と振動体１２とが相対的に移動していることから、滑り部Ｊにおいては動摩擦状態にある。そこで、固着部Ｇにおける摩擦力の計算には静摩擦係数を用い、滑り部Ｇにおける摩擦力の計算には動摩擦係数を用いる。このように、固着部Ｇと滑り部Ｊとで、摩擦力の計算に使用する摩擦係数を、摩擦接触状態に応じて異ならせる。さらに、固着部Ｇの摩擦力と滑り部Ｊの摩擦力を合算することによって、振動体１２とロータ１３との間に掛かる全摩擦力Ｆを計算できる。次の数式（５）は、全摩擦力Ｆの計算式の例を示す。なお、数式（５）中のＮは波数であり、本実施形態ではＮ＝１でよい。
【００６５】
【数４】
2018182898.tif 000006
【００６６】
トルク計算／出力手段３４０は、全摩擦力Ｆに接触半径を乗じることによって、ロータ１３の現在のトルクを計算できる。周波数決定手段３５は、所望のトルクと計算されたトルクとの差分に応じて駆動周波数を決定する。これにより、制御装置３は、振動型アクチュエータ１を、所望のトルク（目標値）を出力するように制御できる。そして、トルクの計算に使用する固着部高さＨを、負荷状態に応じて変更することにより、トルクの計算の精度の向上を図ることができる。したがって、トルク制御の精度の向上を図ることができる。
【００６７】
次に、制御装置３が実行する振動型アクチュエータ１の制御方法の内容について、図９と図１０を参照して説明する。図９は、制御装置３が実行する振動型アクチュエータ１の制御方法の処理の例を示すフローチャートである。図１０は、図９の固着部高さ計算（Ｓ１０２）の処理の例を示すフローチャートである。なお、この制御方法を実行するためのコンピュータプログラムは、あらかじめ制御装置３のコンピュータのＲＯＭ（記録媒体）に格納されている。そして、制御装置３のコンピュータのＣＰＵは、ＲＯＭに格納されているコンピュータプログラムを読み出し、ＲＡＭをワークエリアとして用いて実行する。これにより、図９および図１０に示す処理が実行され、振動型アクチュエータ１の制御が実現する。
【００６８】
ステップＳ１０１の「現在パラメータ取得」において、速度取得手段３１はロータ１３の現在の回転速度を取得する。振幅取得手段３２は、振動体１２の現在の機械振動の振幅を取得する。そして、トルク計算手段３３は、速度取得手段３１が取得したロータ１３の現在の回転速度と、振幅取得手段３２が取得した振動体１２の現在の機械振動の振幅とを取得する。また、周波数決定手段３５は、駆動周波数を継続的に計算し、計算した駆動周波数を継続的にパルス発生手段とトルク計算手段３３に出力している。
【００６９】
ステップＳ１０２の「固着部高さ計算」において、トルク計算手段３３の固着部高さ計算手段３３５は、固着部高さＨを計算する。固着部高さ計算の処理の内容について、図１０を参照して説明する。
【００７０】
ステップＳ２０１の「ロータ回転速度取得」では、速度入力手段３３２は、ロータ１３の回転速度を取得し、現在速度差分計算手段３３３は、ロータ１３の回転速度を速度入力手段３３２から取得する。
【００７１】
ステップＳ２０２の「無負荷時速度＞現在速度？」では、現在速度差分計算手段３３３は、現在のロータ１３の回転速度が現在の駆動周波数で駆動した場合の無負荷時の回転速度よりも低いか否かを判断する。換言すると、現在速度差分計算手段３３３は、現在速度差分Vdiffを計算し、現在速度差分Vdiffが０より大きいか否かを判断する。この判断には、駆動周波数と無負荷速度の関係を示すＬＵＴ３３４と、速度取得手段３１が取得した現在のロータ１３の回転速度を用いる。現在のロータ１３の回転速度が無負荷時の回転速度よりも低い場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ２０３に進む。現在のロータ１３の回転速度が無負荷時の回転速度以上である場合（Ｎｏ）には、ステップＳ２０５に進む。
【００７２】
ステップＳ２０３の「有負荷と判断」では、現在速度差分計算手段３３３は、現在、ロータ１３に負荷が掛かっている有負荷状態であると判断する。そして、ステップＳ２０４に進む。
【００７３】
ステップＳ２０４の「現在速度差分から固着部高さを計算」においては、固着部高さ計算手段３３５は、ステップＳ２０２で現在速度差分計算手段３３３が計算した現在速度差分Vdiffと前述の数式（１）を用い、固着部高さＨを計算する。
【００７４】
ステップＳ２０５の「無負荷と判断」では、現在速度差分計算手段３３３は、現在、ロータ１３に負荷が掛かっていない無負荷状態であると判断する。そして、Ｓ２０６に進む。
【００７５】
ステップＳ２０６の「現在速度差分がゼロで固着部高さを計算」においては、固着部高さ計算手段３３５は、数式（１）に示す近似式を用いて固着部高さＨを計算する。ただし、このステップＳ２０６では、現在速度差分Vdiffの値が０であるとする。
【００７６】
以上の処理により、固着部高さＨが計算される。このように、現在速度差分Vdiffを用いて無負荷状態であるか有負荷状態であるかを判断し、判断結果に応じて固着部高さＨを計算する。ただし、このような判断を行わなくてもよい。すなわち、無負荷時においては現在速度差分Vdiffの値は０（または０に近い値）となる。このため、計算した現在速度差分Vdiffを用いて固着部高さＨを計算する構成であれば、無負荷時においては、現在速度差分Vdiffの値を０として固着部高さＨを計算することになる。
【００７７】
図９に戻り、ステップＳ１０３の「沈み込み接触領域計算」において、固着部／滑り部計算手段３３６は、ステップＳ１０２で計算された固着部高さＨを取得し、取得した固着部高さＨを前述の計算方法を用いて、沈み込み部位置と沈み込み部高さを計算する。
【００７８】
ステップＳ１０４の「固着部／滑り部計算」において、固着部／滑り部計算手段３３６は、前述の方法を用いて、固着部Ｇと滑り部Ｊを特定（計算）する。具体的には、前述のとおり、固着部Ｇと滑り部Ｊの境界Ｂの位置を特定する。
【００７９】
ステップＳ１０５の「摩擦力計算」において、摩擦力計算手段３３９は、固着部Ｇと滑り部Ｊの摩擦力を計算し、計算したそれぞれの領域の摩擦力を合算して振動体１２とロータ１３との間に掛かる全摩擦力Ｆを計算する。そしてステップＳ１０６に進む。
【００８０】
ステップＳ１０６の「トルク（現在値）計算」において、トルク計算手段３３（トルク計算／出力手段３４０）は、全摩擦力Ｆに振動体１２とロータ１３との接触半径を乗じてトルクの現在値を計算する。
【００８１】
ステップＳ１０７の「駆動周波数決定」において、周波数決定手段３５は、トルク計算手段３３が計算したトルクの現在値を取得し、取得したトルクの現在値とトルクの目標値を用いて、駆動周波数を決定する。例えば、トルクの現在値と目標値の差分に制御ゲインを乗じることで駆動周波数を計算（決定）する。そして、決定した駆動周波数をパルス生成手段３６とトルク計算手段３３に出力する。
【００８２】
ステップＳ１０８の「パルス生成」において、パルス生成手段３６は、周波数決定手段３５が決定した駆動周波数に応じたパルス幅信号を生成し、生成したパルス幅信号を駆動手段３７に出力する。
【００８３】
以上の処理を継続的に実行することにより、振動型アクチュエータ１の出力トルクが目標値となるように（または目標値に近づくように）制御される。なお、トルクの目標値は限定されるものではなく、外部から入力された目標値を用いてもよく、あらかじめ規定されている目標値を用いてもよい。そして、本発明の実施形態によれば、トルク計算手段３３により計算されるトルクの精度の向上を図ることができるから、振動型アクチュエータ１の出力トルクの制御の精度の向上を図ることができる。
【００８４】
（適用例）
ここで、本発明の適用例について説明する。例えばロボットハンドが物体を把持する際の制御において、制御装置は、まず駆動周波数を共振周波数からはなれた領域で使用し速度取得手段と不図示の位置検出手段等との併用により物体とハンドが接触したことを検知する。その後、制御装置は、トルクを制御することにより物体を把持する力の大きさを制御するなどが可能である。
【００８５】
また剛性の高い重量物を把持する場合は摩擦力の大きい共振周波数付近においてトルク制御を行い、剛性の低い柔軟物などは共振周波数付近からはなれた摩擦力が比較的小さい領域でトルク制御を行うことによりさまざまな物体の把持力制御が可能となる。
【００８６】
ロボット等へ振動型アクチュエータ１を適用する場合、ロボットハンドが物体を把持するなどの作業を行う際に把持接触力を検出する接触センサ等を用いずに発生するトルクを算出することで把持力制御を実現できる。さらに、本発明の実施形態では、負荷増減の大きさに応じて固着部高さＨを算出する。このため、ロボットハンドの把持対象物の硬さ（弾性変形のしやすさ）の相違によって振動型アクチュエータ１に掛かる負荷が変化した場合にも、トルクの計算の精度を高めることができ、トルクの制御の精度を高めることができる。
【００８７】
また振動型アクチュエータ１は電磁モータに比して小型軽量高トルクである。このため安定したトルク制御を可能とすることにより電磁モータとの置き換えが可能となり、ロボットハンドの小型軽量化のみならず、さらにはロボットアームの小型軽量化を図ることができる。
【００８８】
（その他の実施例）
本発明は、上述の実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
本発明は、振動型アクチュエータの制御装置、制御方法、プログラムに好適な技術である。そして、本発明によれば、振動型アクチュエータの出力トルクの制御の精度の向上を図ることができる。
【図１】
2018182898.tif 000007
【図２】
2018182898.tif 000008
【図３】
2018182898.tif 000009
【図４】
2018182898.tif 000010
【図５】
2018182898.tif 000011
【図６】
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【図７】
2018182898.tif 000013
【図８】
2018182898.tif 000014
【図９】
2018182898.tif 000015
【図１０】
2018182898.tif 000016