(57)【要約】【課題】ワイピングの際、ノズル内への塵ケバの侵入を抑制し、また、ワイピング後のノズル内の液体の乾燥を抑制することにより、吐出の安定化を図ることができる液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッド５０は、液体を吐出するノズル５１が配置される第１の底面６１と、第１の底面６１の外側に第１の底面６１を挟むように位置し、第１の底面６１よりも液体の吐出方向に突出した第２の底面６２と、第２の底面６２の外側に第２の底面６２を挟むように位置し、第２の底面６２よりも吐出方向に突出した第３の底面６３と、を備える。【選択図】図４
2018199279.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズルが配置される第１の底面と、
前記第１の底面の外側に前記第１の底面を挟むように位置し、前記第１の底面よりも前記液体の吐出方向に突出した第２の底面と、
前記第２の底面の外側に前記第２の底面を挟むように位置し、前記第２の底面よりも前記吐出方向に突出した第３の底面と、
を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第２の底面と前記第３の底面との間の壁面は、前記吐出方向に広がるテーパー形状を備えることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドと、液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インク等の液体を吐出ヘッドのノズルから吐出するインクジェットプリンター等の液体吐出装置が知られている。このような装置では、ノズルから吐出された液体や塵ケバが吐出ヘッドのノズル形成面に付着することがある。ノズル形成面への液体や塵ケバの付着が進行すると、ノズルからの液体の吐出が適切に行われず、画質の劣化等を招くおそれがある。そのため、通常、ノズルの使用前後において、液体吐出装置に備えたワイパーにより、ノズル形成面を移動させることで、ノズルに残った液体や、ノズルに付着した塵ケバ等を拭き取らせている。
【０００３】
特許文献１の液体吐出装置によれば、ノズルプレートが、縁部の表面がなだらかな凹部を備えていることが開示されている。従って、ワイパーにノズル形成面を拭き取らせる際、凹部の縁部をワイパーになめらかに通過させることができる。よって、凹部の縁部に液体の拭き残しが生じにくい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１８４５５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１も含め、液体吐出装置において、ノズル列が、ノズルプレートの凹部の底部や、段差部の底面に形成されている場合、ノズル列の方向にワイパーによるワイピングを行うと、ワイパーの移動に従動して移動する塵ケバがノズル内に侵入することがあり、その場合、ノズルが詰り吐出不良になるという課題があった。
【０００６】
また、ノズル内のインクが乾燥して粘性が上がる（増粘する）ことにより、飛行曲がりや吐出タイミングの遅れ等の不具合が発生し、結果的に着弾位置が不規則となる等の不具合が発生するという課題があった。
従って、ワイピングの際、ノズル内への塵ケバの侵入を抑制し、また、ワイピング後のノズル内の液体の乾燥を抑制することにより、吐出の安定化を図ることができる液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置が要望されていた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例に係る液体吐出ヘッドは、液体を吐出するノズルが配置される第１の底面と、第１の底面の外側に第１の底面を挟むように位置し、第１の底面よりも液体の吐出方向に突出した第２の底面と、第２の底面の外側に第２の底面を挟むように位置し、第２の底面よりも吐出方向に突出した第３の底面と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
本適用例の液体吐出ヘッドによれば、ノズルが配置される第１の底面と、第１の底面を挟んで吐出方向に突出する第２の底面と、第２の底面を挟んで吐出方向に更に突出する第３の底面と、を備えている。
この構成により、ワイピングを行った際、第２の底面と、第２の底面と第３の底面との間を繋ぐ壁面とで形成される領域において、残留する液体の除去、及び液体中や付着により残留する大きな塵ケバのほとんどを除去することができる。そして、除去されなかった少量の小さい塵ケバは、ノズルが配置される第１の底面と、第１の底面と第２の底面との間を繋ぐ壁面とで形成される領域に引っ掛かることで移動を止められ、この領域に残留する状態となる。しかし、この領域に残留する塵ケバは、領域に引っ掛かり移動を止められることにより、ノズル内への塵ケバの侵入を抑制することができる。これにより、ノズルが詰ることにより吐出不良となることを防止することができる。
また、ノズルが配置される第１の底面は、第３の底面からは奥まった位置となる構成のため、ノズルの領域を保湿することができることで、ノズル内の液体が乾燥して粘性が上がる（増粘する）ことを抑制することができる。これにより、ノズルが液体を間欠的に吐出する場合、飛行曲がりや吐出タイミングの遅れ等の不具合が防止でき、着弾位置が不規則となる等の不具合を防止することができる。
これらにより、液体吐出ヘッドの吐出の安定化を図ることができる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例に係る液体吐出ヘッドにおいて、第２の底面と第３の底面との間の壁面は、吐出方向に広がるテーパー形状を備えることが好ましい。
【００１１】
本適用例の液体吐出ヘッドによれば、第２の底面と第３の底面との間の壁面は、吐出方向に広がるテーパー形状に形成される。これにより、壁面と第２の底面とで形成される領域で、ワイパーが第２の底面方向に滑らかに入り込むことができ、この領域の塵ケバを更に除去しやすくすることができる。従って、液体吐出ヘッドの吐出の安定化を更に図ることができる。
【００１２】
［適用例３］本適用例に係る液体吐出装置は、上述したいずれかの液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする。
【００１３】
本適用例の液体吐出装置によれば、上述したいずれかの液体吐出ヘッドを備えることにより、ワイピングの際、ノズル内への塵ケバの侵入を抑制することができる。また、ノズル内の液体が乾燥して増粘することを抑制することができる。これらにより、液体吐出装置の吐出の安定化を図ることができ、描画品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態に係るプリンターの構成を示す概略図。
【図２】ヘッド機構とメンテナンス機構の構成の一例を示す概略図。
【図３】吐出ヘッドのノズル列（ノズル）を吐出方向から見た概平面図。
【図４】吐出ヘッドを示す断面図。
【図５】ワイピングの状態を示す模式図。
【図６】従来の吐出ヘッドの一例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明を行う。なお、各図面における各部材は、図面上で認識可能な大きさとするために各部材毎に尺度を実際とは異ならせて図示している。
【００１６】
〔実施形態〕
図１は、実施形態に係るプリンター１の構成を示す概略図である。図１を参照してプリンター１の構成の概略について説明する。
【００１７】
本実施形態の液体吐出装置としてのプリンター１は、概略、紙送り機構２と、インク供給機構３と、制御部４と、ヘッド機構５と、メンテナンス機構７（図２参照）等を備えて構成されている。
【００１８】
紙送り機構２は、紙送りモーター（ＰＦモーター）２１と、紙送りモーター２１からの駆動力が伝達される給紙ローラー２２等を備えている。なお、給紙ローラー２２には、本実施形態では、印刷媒体としてのロール紙Ｐがセットされる。なお、ロール紙Ｐには限られず、定形の印刷用紙であってもよい。
【００１９】
インク供給機構３は、カートリッジホルダー３１と、加圧ポンプ３２と、インク供給路３３と、インクカートリッジ３４等を備えている。カートリッジホルダー３１は、例えば、シャーシ（図示省略）に取り付けられる。カートリッジホルダー３１には、着脱自在にインクカートリッジ３４が装着されている。そのため、本実施形態のプリンター１は、いわゆるオフキャリッジタイプの構成となっている。
【００２０】
インク（液体に対応）の供給に際しては、加圧ポンプ３２が作動し、インクカートリッジ３４の内部に空気を圧送してインクパック（図示省略）を押し潰すことにより、インク供給路３３にインクを押し出すように構成されている。
【００２１】
制御部４は、ＣＰＵ、メモリー（ＲＯＭ、ＲＡＭ、不揮発性メモリー等）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、バス、タイマー、インターフェイス等（いずれも図示省略）を有している。制御部４は、各種センサーからの信号が入力されると共に、このセンサーからの信号に基づいて、紙送りモーター２１等のモーター、加圧ポンプ３２、吸引ポンプ（図示省略）、ヘッド機構５、及びメンテナンス機構７（図２参照）等の駆動を統括制御する。
【００２２】
また、メモリーに記憶されるデータ及びプログラムがＣＰＵで実行され、制御部４の各構成が協働することにより、種々の機能的な構成が実現される。なお、本実施形態では、メモリーには、後述する液体吐出ヘッド５０の圧電素子（図示省略）を駆動する圧電駆動部（図示省略）、液体吐出ヘッド５０の印刷時及びメンテナンス時に液体吐出ヘッド５０の移動等を行わせるヘッド駆動機構５５（図２参照）、及びメンテナンス時にメンテナンス機構７を駆動するワイパー駆動機構７５（図２参照）の駆動制御を行うプログラム及びデータが記憶されている。そして、制御部４は、そのプログラム及びデータを読み出すことにより、各駆動用ドライバー（図示省略）に指示を行い、液体吐出ヘッド５０からのインクの吐出動作や、メンテナンス機構７のワイパー７０（図２参照）によるワイピングの動作を行わせる。
【００２３】
また、制御部４は、送受信部４１を介してコンピューターＰＣ等に接続されて通信を行う。それにより、プリンター１は、コンピューターＰＣ側からの印刷信号ＰＳを受信すると、受信した印刷信号ＰＳに基づき、印刷のための処理を開始する。また、プリンター１は、コンピューターＰＣ側からのメンテナンス信号ＭＳを受信すると、受信したメンテナンス信号ＭＳに基づき、メンテナンスのための処理を開始する。
【００２４】
本実施形態のヘッド機構５は、紙等の印刷媒体の搬送方向に対して垂直方向で、インク色毎（液種毎）に列状に配置され、印刷媒体の幅寸法と同等の長さを有して形成される、いわゆるラインヘッドとして構成されている。ヘッド機構５は、液体吐出ヘッド５０（以降、吐出ヘッド５０と称する）を搬送方向に対して垂直方向に複数備えて構成されている。
【００２５】
図２は、ヘッド機構５とメンテナンス機構７の構成の一例を示す概略図である。
プリンター１には、ヘッド機構５（吐出ヘッド５０）に対するメンテナンスを実行するメンテナンス機構７が設けられている。メンテナンス機構７は、インク色毎に吐出ヘッド５０に対して１つずつ配設されており、吐出ヘッド５０に対してワイピング等のメンテナンスを実行する。メンテナンス機構７は、ノズル列に隣り合わせて設けられている。一方、吐出ヘッド５０は、ヘッド駆動機構５５により、給紙ローラー２２の上方向の印刷位置と、メンテナンス機構７の上方向のメンテナンス位置との間を移動自在となっている。
【００２６】
さらに、吐出ヘッド５０は、メンテナンス位置において、メンテナンス機構７に近づく拭き取り位置や、メンテナンス機構７から離間する退避位置等を取ることができるように、ヘッド駆動機構５５によりノズル形成面としての第１の底面６１と直交する出退方向Ｄｈに移動自在となっている。そして、メンテナンス時には、メンテナンスのプロセスに応じて吐出ヘッド５０は出退方向Ｄｈに適宜移動して、拭き取り位置、退避位置に移動する。
【００２７】
吐出ヘッド５０は、第１の底面６１に開口するノズル５１と、インクを一時的に貯留するリザーバー５２と、ノズル５１とリザーバー５２とを連通するキャビティー５３とを有し、リザーバー５２からキャビティー５３を介してノズル５１へインクが供給される。そして、制御部４からの動作指示に応じて、圧電駆動部（圧電素子）が動作することによりキャビティー５３がインクに圧力を加えることで、ノズル５１からインクが吐出される。
【００２８】
メンテナンス機構７は、ワイパー７０と、ワイパー７０を支持する支持部材７１を有する移動体７２と、移動体７２を第１の底面６１に対して平行に移動させるワイパー駆動機構７５と、筐体（図示省略）等を備えて構成される。
【００２９】
本実施形態では、吐出ヘッド５０のクリーニング後、ワイパー７０は、先端部７０１を後述する第３の底面６３に当接させた状態でワイピング方向Ｄｗ（ノズル列に沿う方向）に移動することでワイピングが行われる。なお、本実施形態では、ワイパー７０の拭き取り方向は、１方向（ワイピング方向Ｄｗ）となる。拭き取った後のワイパー７０は、ワイピング方向Ｄｗとは反対方向に移動して待機する。ワイパー７０のワイピング動作の詳細は後述する。なお、ワイパー７０の拭き取り方向は、往復方向で行ってもよい。
【００３０】
メンテナンス機構７は、制御部４によってその動作が制御される。制御部４は、吐出ヘッド５０とワイパー７０との相対位置を変位させるように吐出ヘッド５０及びワイパー７０の移動を制御する。例えば、制御部４は、ヘッド駆動機構５５を制御することで、吐出ヘッド５０を、出退方向Ｄｈに移動させ、退避位置、拭き取り位置等の各位置に適宜配置させる。例えば、ワイパー７０による拭き取り作業を行う場合には、吐出ヘッド５０は拭き取り位置に移動する。
【００３１】
また、制御部４は、ワイパー駆動機構７５を制御することで、移動体７２を駆動し、ワイパー７０を第１の底面６１に平行でワイピング方向Ｄｗに移動させる。このように、制御部４は、メンテナンスのプロセスに応じて、吐出ヘッド５０とワイパー７０との相対位置を変位させる制御を行う。
【００３２】
図３は、吐出ヘッド５０のノズル列（ノズル５１）を吐出方向から見た概平面図である。図４は、吐出ヘッド５０を示す断面図である。詳細には、図４は、図３に示すＢ-Ｂ断面図となる。図３、図４を参照して、吐出ヘッド５０のノズル５１周りの構成を説明する。
【００３３】
図３、図４に示すように、ノズル５１は、ノズル基板６０に形成されている。ノズル基板６０にはエッチング等により、第１の底面６１、第２の底面６２、第３の底面６３が形成され、第１底面６１と第２底面６２との間には第１壁面６５と、第２底面６２と第３底面６３との間には第２壁面６６が形成されている。なお、第１底面６１には、インクを吐出する複数のノズル５１が列状に形成される。第１底面６１がノズル形成面となる。
【００３４】
なお、第２底面６２は、第１底面６１の外側に第１底面６１を挟むように位置し、第１底面６１よりもインクの吐出方向に突出して形成されている。第３底面６３は、第２底面６２の外側に第２底面６２を挟むように位置し、第２底面６２よりもインクの吐出方向に突出して形成されている。なお、本実施形態での吐出方向は第１底面６１に対して垂直方向となる。
【００３５】
なお、第１底面６１、第２底面６２、第３底面６３はそれぞれ平行に形成されている。また、相対する第１壁面６５は、第１底面６１に対して垂直な面として形成されている。そして、相対する第２壁面６６は、吐出方向に広がるテーパー形状に形成されている。
【００３６】
また、相対する第１壁面６５は、ノズル列（ノズル５１）の中心を通る仮想の中心線をＸとした場合、中心線Ｘを通る第１底面６１に垂直な面に対して対称となるように形成されている。同様に、相対する第２壁面６６も、中心線Ｘを通る第１底面６１に垂直な面に対して対称となるように形成されている。なお、本実施形態では、中心線Ｘは、ワイパー７０がワイピングを行う際のワイピング方向Ｄｗと一致している。
【００３７】
第１底面６１と、相対する第１壁面６５とで囲まれる領域は、言い換えると、幅の狭いスリット状の溝として構成されている。また、第２底面６２と、相対する第２壁面６６とで囲まれる領域は、言い換えると、幅の広いスリット状の溝として構成されている。
【００３８】
なお、第１底面６１と、相対する第１壁面６５とで囲まれる領域を、以降では、第１領域Ａ１と称する。また、第２底面６２と、相対する第２壁面６６とで囲まれる領域を、以降では、第２領域Ａ２と称する。
【００３９】
また、本実施形態のノズル５１の周囲の構成は、言い換えれば、第１底面６１、第１壁面６５、および第２底面６２による第１段差部と、第２底面６２、第２壁面６６、および第３底面６３による第２段差部とによる、２段の段差部を備える構成となっている。
【００４０】
図５は、ワイピングの状態を示す模式図である。詳細には、図５は、図４に示す断面位置でのノズル５１をワイパー７０で拭き取る状態をワイピング方向Ｄｗから見た模式図である。
【００４１】
図５に示すように、ワイパー７０は、ワイピング時において、先端部７０１を第３底面６３に所定の押圧力を有して当接させた状態で、ワイピング方向Ｄｗ（ノズル列に沿う方向）に移動する。なお、本実施形態では、先端部７０１は第１底面６１には当接させない設定となっている。また、本実施形態のワイパー７０は、ゴム系ワイパーを用いている。しかし、ワイパー７０は布系ワイパーを用いてもよい。
【００４２】
図５に示すように、ワイパー７０が先端部７０１を第３底面６３に当接させて押圧することで、先端部７０１は、第２領域Ａ２に入り込む状態となる。この場合、第２壁面６６がテーパー形状に形成されるため、第２壁面６６に沿ってワイパー７０は第２領域Ａ２に入り込みやすくなっている。そして、ワイパー７０は、先端部７０１が第２底面６２に接した状態となる。また、ワイパー７０は、先端部７０１が、第１領域Ａ１にも若干入り込む状態となる。
【００４３】
図６は、従来の吐出ヘッドの一例を示す断面図である。詳細には、図６は、従来の吐出ヘッド８０およびワイピング時のワイパー７０を含めて示す図である。なお、本実施形態の吐出ヘッド５０と同様の構成には同様の符号を付記して説明は省略する。
【００４４】
図６に示すように、従来の吐出ヘッドの一例としての吐出ヘッド８０は、ノズル基板９０の第１底面９１にノズル５１が形成されている。そして、第１底面９１の外側に第１底面９１を挟むように位置し、第１底面９１よりもインクの吐出方向に突出して第２底面９２が形成されている。また、第１底面９１と第２底面９２との間には壁面９５が形成されている。このように、従来の吐出ヘッド（吐出ヘッド８０）は、１段の段差部を備える構成となっているものがある。なお、以降では、第１底面９１と、相対する壁面９５とで囲まれる領域を領域Ａ３と称する。この構成の場合、ワイパー７０は、領域Ａ３内にも侵入してワイピングを行っていた。
【００４５】
このような従来の構成の場合、ワイパー７０でワイピングを行うことにより、第２底面９２を含め、領域Ａ３に残留するインク及びインク中の大きな塵ケバを、ワイパー７０の移動に従動させて除去することになる。この場合、ワイピング動作時において、領域Ａ３の内部で塵ケバがワイパー７０の移動に従動して移動することにより、塵ケバがノズル５１内に直接的に侵入しやすくなっていた。
【００４６】
これに対して、本実施形態の吐出ヘッド５０は、上述した図５に示す状態で、ワイパー７０をワイピング方向Ｄｗに移動させてワイピングを行った場合、第２領域Ａ２において、残留するインクの除去、及びインク中や付着により残留する大きな塵ケバのほとんどを除去することができる。そして、除去されなかった少量の小さい塵ケバ等は、第１領域Ａ１に引っ掛かることで移動を止められ、第１領域Ａ１に残留する状態となる。しかし、第１領域Ａ１に残留する塵ケバは、第１領域Ａ１に引っ掛かり移動を止められることにより、塵ケバがノズル５１内に直接的に侵入することを抑制することができる。
【００４７】
上述した実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）本実施形態の液体吐出ヘッド５０において、ワイパー７０によるワイピングを行った際、第２底面６２と、第２底面６２と第３底面６３との間の第２壁面６６とで形成される第２領域Ａ２において、残留するインクの除去、及びインク中や付着により残留する大きな塵ケバのほとんどを除去することができる。そして、除去されなかった少量の小さい塵ケバは、ノズル５１が配置される第１底面６１と、第１底面６１と第２底面６２との間の第１壁面６５とで形成される第１領域Ａ１に引っ掛かることで移動を止められ、この第１領域Ａ１に残留する状態となる。しかし、この第１領域Ａ１に残留する塵ケバは、第１領域Ａ１に引っ掛かり移動を止められることにより、ノズル５１内への塵ケバの侵入を抑制することができる。これにより、ノズル５１が詰ることにより吐出不良となることを防止することができ、液体吐出ヘッド５０の吐出の安定化を図ることができる。
【００４８】
（２）本実施形態の液体吐出ヘッド５０において、ノズル５１が配置される第１底面６１は、第３底面６３からは奥まった位置となる構成のため、ノズル５１の領域を保湿することができることで、ノズル５１内のインクが乾燥して増粘することを抑制することができる。これにより、ノズル５１がインクを間欠的に吐出する場合、飛行曲がりや吐出タイミングの遅れ等の不具合が防止でき、着弾位置が不規則となる等の不具合を防止することができる。これにより、液体吐出ヘッド５０の吐出の安定化を図ることができる。
【００４９】
（３）本実施形態の液体吐出ヘッド５０において、第２底面６２と第３底面６３との間の第２壁面６６は、吐出方向に広がるテーパー形状に形成されている。この構成により、相対する第２壁面６６と第２底面６２とで形成される第２領域Ａ２で、ワイパー７０が第２底面６２方向に滑らかに入り込むことができ、この第２領域Ａ２の塵ケバを更に除去しやすくすることができる。従って、液体吐出ヘッド５０の吐出の安定化を更に図ることができる。
【００５０】
（４）本実施形態の液体吐出装置（プリンター１）は、上述の液体吐出ヘッド５０を備えることにより、ワイピングの際、ノズル５１内への塵ケバの侵入を抑制することができる。また、ノズル５１内のインクが乾燥して増粘することを抑制することができる。これらにより、液体吐出装置（プリンター１）の吐出の安定化を図ることができる。従って、描画品質を向上させる液体吐出装置（プリンター１）を実現することができる。
【００５１】
なお、上述した実施形態に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更や改良等を加えて実施することが可能である。変形例を以下に述べる。
【００５２】
上記、実施形態の液体吐出ヘッド５０において、第２壁面６６は、吐出方向に広がるテーパー形状に形成されている。しかし、これに限られず、第２壁面６６は、第１底面６１や第２底面６２等に垂直に形成されていてもよい。この構成の場合、ワイパー７０の第２領域Ａ２への入り込みやすさの点で若干劣るが、吐出の安定化を図る効果は奏することができる。
【００５３】
上記、実施形態の液体吐出ヘッド５０において、第１底面６１に撥水処理を施すことでもよい。第１底面６１に撥水処理を施すことで形成される撥水処理層により、ワイピング後において、ノズル５１周囲の第１底面６１の濡れ具合が均一（均一なインク溜り）となることで、吐出するインクが不均一なインク溜りに引っ張られることや、不均一なインク溜りによってノズル５１内のインクのメニスカスの安定化が損なわれること等を防止することができる。そのため、インクの飛行曲がりを起こすことなく、第１底面６１に対して垂直に吐出することができ、吐出の安定化を図ることができる。
【００５４】
上記、実施形態のプリンター１のヘッド機構５は、印刷媒体の幅寸法と同等の長さを有して形成されるラインヘッドとして構成されている。しかし、これには限られず、ヘッド機構は、印刷媒体の搬送方向に対して垂直方向で正逆方向に往復移動させながら印刷を行う通常のヘッドとして構成されていてもよい。また、このように構成されるヘッドに対応させて、メンテナンス機構を設置することでよい。
【符号の説明】
【００５５】
１…液体吐出装置としてのプリンター、５０…液体吐出ヘッド、５１…ノズル、６１…第１の底面、６２…第２の底面、６３…第３の底面、６５…第１壁面、６６…第２の底面と第３の底面との間の壁面としての第２壁面。
【図１】
2018199279.tif 000003
【図２】
2018199279.tif 000004
【図３】
2018199279.tif 000005
【図４】
2018199279.tif 000006
【図５】
2018199279.tif 000007
【図６】
2018199279.tif 000008