(57)【要約】【課題】従来と比較してコンタクトピッチを狭めることの可能なソケットを提供する。【解決手段】ソケット１は、絶縁支持体５と、絶縁支持体５に並列支持された２つのコンタクトプローブ７と、を備える。各コンタクトプローブ７は、第１プランジャー１０及び第２プランジャー２０と、それらを互いに離れる方向に付勢するスプリング３５と、を有する。第１プランジャー１０は、自身の絶縁支持体５からの抜けを防止するためのフランジ部１２を有する。絶縁支持体５は、２つのコンタクトプローブ７のフランジ部１２の間が空間５ｈとなっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁支持体と、
前記絶縁支持体に並列支持された２つのコンタクトプローブと、を備え、
各コンタクトプローブは、
第１及び第２プランジャーと、
前記第１及び第２プランジャーを互いに離れる方向に付勢するスプリングと、を有し、
前記第１プランジャーは、自身の前記絶縁支持体からの抜けを防止するためのフランジ部を有し、
前記絶縁支持体は、前記２つのコンタクトプローブの前記フランジ部の間が空間となっている、ソケット。
【請求項２】
前記第１及び第２プランジャーの基端側、並びに前記スプリングを収容する導電性チューブを備え、前記導電性チューブの外径が前記フランジ部の外径よりも小さい、請求項１に記載のソケット。
【請求項３】
絶縁支持体と、
前記絶縁支持体に並列支持された２つのコンタクトプローブと、を備え、
各コンタクトプローブは、
第１及び第２プランジャーと、
前記第１及び第２プランジャーを互いに離れる方向に付勢するスプリングと、
前記第１及び第２プランジャーの基端側、並びに前記スプリングを収容する導電性チューブと、を有し、
前記第１プランジャー及び前記導電性チューブは一体にストローク動作するように相互に組み合わされ、
前記導電性チューブは、自身及び前記第１プランジャーの前記絶縁支持体からの抜けを防止するためのフランジ部を有し、
前記絶縁支持体は、前記２つのコンタクトプローブの前記フランジ部の間が空間となっている、ソケット。
【請求項４】
前記絶縁支持体は、
各コンタクトプローブの前記第１プランジャーの先端側をガイドする２つの第１ガイド穴を有する第１絶縁支持体と、
各コンタクトプローブの前記第２プランジャーの先端側をガイドする２つの第２ガイド穴を有する第２絶縁支持体と、を有し、
前記２つの第１ガイド穴間の距離が、前記２つの第２ガイド穴間の距離よりも小さい、請求項１から３のいずれか一項に記載のソケット。
【請求項５】
前記２つのコンタクトプローブが、前記第１プランジャーの先端側に向かって互いに近づくように斜めに傾いている、請求項４に記載のソケット。
【請求項６】
前記第１プランジャーは、先端に接触部を有する円柱部を有し、
前記円柱部の外周面よりも前記フランジ部が径方向外側に突出し、
前記絶縁支持体は、前記円柱部をガイドする、前記フランジ部よりも小径の丸穴を有する、請求項１から５のいずれか一項に記載のソケット。
【請求項７】
前記第１プランジャーが検査対象物との接続用で、前記第２プランジャーが検査用基板との接続用である、請求項１から６のいずれか一項に記載のソケット。
【請求項８】
前記フランジ部は、前記第１プランジャーの長さ方向と垂直な断面が円形である、請求項１から７のいずれか一項に記載のソケット。
【請求項９】
前記フランジ部が、前記コンタクトプローブの最外周面を成している、請求項１から８のいずれか一項に記載のソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体集積回路等の被測定デバイスの検査に使用するソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路等の検査対象物の検査を行う場合において、検査対象物と測定器側の検査用基板とを電気的に接続するために、複数のコンタクトプローブを絶縁支持体によって並列支持したソケットが使用される。図７は、従来のケルビン測定用のソケットの一端の拡大断面図である。ケルビン測定とは、電流供給用プローブ及び電圧監視用プローブを検査対象物の電極、例えば電極バンプに当接させて電気的特性を測定するものである（必要に応じて下記特許文献２参照）。
【０００３】
図７のソケットは、２つのコンタクトプローブ８０１を絶縁支持体９００で並列支持した構成であり、コンタクトピッチＰ１は、次式で示される。
Ｐ１＝Ａ＋（Ｂ×２）＋（Ｃ×２）＋（Ｄ×２）  …式１
ただし、
Ａ：絶縁支持体９００の最小肉厚
Ｂ：絶縁支持体９００とフランジ部８１２の側面との隙間（クリアランス）
Ｃ：フランジ部８１２と先端側円柱部８２４との半径差
Ｄ：先端側円柱部８２４の側面（隣の先端側円柱部８２４と最も距離が近い側面）から先端面の山の頂点までの距離
※Ｄの距離は、隣り合うコンタクトプローブ８０１同士を結ぶ方向に沿う距離である。先端側円柱部８２４の回転角度次第ではゼロになることもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１４９９２７号公報
【特許文献２】特開２００８−４５９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記式１において、一例として、Ａ＝４０μｍ、Ｂ＝１０μｍ、Ｃ＝１５μｍ、Ｄ＝０として計算すると、Ｐ１＝９０μｍとなる。式１において、Ｃに対応するフランジ部８１２の出っ張りは、コンタクトピッチＰ１に直接影響しており、狭ピッチ化の妨げとなっている。なお、上記の長さＡ〜ＤのうちＡとＢは、設計上ゼロにすることは不可能である。
【０００６】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、従来と比較してコンタクトピッチを狭めることの可能なソケットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある態様は、ソケットである。このソケットは、
絶縁支持体と、
前記絶縁支持体に並列支持された２つのコンタクトプローブと、を備え、
各コンタクトプローブは、
第１及び第２プランジャーと、
前記第１及び第２プランジャーを互いに離れる方向に付勢するスプリングと、を有し、
前記第１プランジャーは、自身の前記絶縁支持体からの抜けを防止するためのフランジ部を有し、
前記絶縁支持体は、前記２つのコンタクトプローブの前記フランジ部の間が空間となっている。
【０００８】
前記第１及び第２プランジャーの基端側、並びに前記スプリングを収容する導電性チューブを備え、前記導電性チューブの外径が前記フランジ部の外径よりも小さくてもよい。
【０００９】
本発明のもう１つの態様は、ソケットである。このソケットは、
絶縁支持体と、
前記絶縁支持体に並列支持された２つのコンタクトプローブと、を備え、
各コンタクトプローブは、
第１及び第２プランジャーと、
前記第１及び第２プランジャーを互いに離れる方向に付勢するスプリングと、
前記第１及び第２プランジャーの基端側、並びに前記スプリングを収容する導電性チューブと、を有し、
前記第１プランジャー及び前記導電性チューブは一体にストローク動作するように相互に組み合わされ、
前記導電性チューブは、自身及び前記第１プランジャーの前記絶縁支持体からの抜けを防止するためのフランジ部を有し、
前記絶縁支持体は、前記２つのコンタクトプローブの前記フランジ部の間が空間となっている。
【００１０】
前記絶縁支持体は、
各コンタクトプローブの前記第１プランジャーの先端側をガイドする２つの第１ガイド穴を有する第１絶縁支持体と、
各コンタクトプローブの前記第２プランジャーの先端側をガイドする２つの第２ガイド穴を有する第２絶縁支持体と、を有し、
前記２つの第１ガイド穴間の距離が、前記２つの第２ガイド穴間の距離よりも小さくてもよい。
【００１１】
前記２つのコンタクトプローブが、前記第１プランジャーの先端側に向かって互いに近づくように斜めに傾いていてもよい。
【００１２】
前記第１プランジャーは、先端に接触部を有する円柱部を有し、
前記円柱部の外周面よりも前記フランジ部が径方向外側に突出し、
前記絶縁支持体は、前記円柱部をガイドする、前記フランジ部よりも小径の丸穴を有してもよい
【００１３】
前記第１プランジャーが検査対象物との接続用で、前記第２プランジャーが検査用基板との接続用であってもよい。
【００１４】
前記フランジ部は、前記第１プランジャーの長さ方向と垂直な断面が円形であってもよい。
【００１５】
前記フランジ部が、前記コンタクトプローブの最外周面を成してもよい。
【００１６】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、従来と比較してコンタクトピッチを狭めることの可能なソケットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１（Ａ）は、本発明の実施の形態１に係るソケット１の正断面図。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）の状態からソケット１を検査用基板９にセットした状態の正断面図。図１（Ｃ）は、図１（Ｂ）の状態から検査対象物８をソケット１にセットした状態の正断面図。
【図２】図１（Ｃ）の要部拡大図。
【図３】本発明の実施の形態２に係るソケット２の正断面図。
【図４】図４（Ａ）は、本発明の実施の形態３に係るソケット３の正断面図。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の状態からソケット３を検査用基板９にセットした状態の正断面図。図４（Ｃ）は、図４（Ｂ）の状態から検査対象物８をソケット３にセットした状態の正断面図。
【図５】図４（Ｃ）の要部拡大図。
【図６】本発明の実施の形態４に係るソケット４の正断面図。
【図７】従来のケルビン測定用のソケットの一端の拡大断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００２０】
（実施の形態１）
図１（Ａ）は、本発明の実施の形態１に係るソケット１の正断面図である。図１（Ａ）により、上下方向を定義する。ソケット１は、ケルビン測定用であり、絶縁支持体５によって並列支持された相互に同一構成の２本のコンタクトプローブ７の一方を電流供給用プローブ、他方を電圧監視用プローブとして使用する。図１（Ａ）は、コンタクトプローブ７が絶縁支持体５に対して上限位置にある状態を示している。
【００２１】
絶縁支持体５は、第１絶縁支持体としてのリテーナ５ａ、ピンブロック５ｂ、及び第２絶縁支持体としてのピンプレート５ｃの三部品（いずれも例えば樹脂成形体）を組み合わせたものである。リテーナ５ａに形成された第１ガイド穴としての貫通穴５ｄ、ピンブロック５ｂに形成された貫通穴５ｅ、及びピンプレート５ｃに形成された貫通穴５ｆに、コンタクトプローブ７が貫通され、コンタクトプローブ７の姿勢を保持する。貫通穴５ｆの下端部は、第２ガイド穴としての小径穴部５ｇとなっている。貫通穴５ｄ〜５ｆは、小径穴部５ｇも含め、いずれも丸穴であって、ドリルにより高い位置精度で形成可能である。リテーナ５ａの貫通穴５ｄのピッチは、ピンブロック５ｂの貫通穴５ｅのピッチ及びピンプレート５ｃの貫通穴５ｆピッチよりも狭い。貫通穴５ｄ間の隔壁５ｉの肉厚は、フランジ部１２同士が接触しない範囲で最も小さい幅であり、図７に示す従来例の該当部分の肉厚と比較して薄い。貫通穴５ｄ〜５ｆは、コンタクトプローブ７を斜めにすることができるだけの余裕を持った内径寸法となっている。リテーナ５ａとピンブロック５ｂとの間には、空間５ｈが設けられる。空間５ｈは、後述の第１プランジャー１０のフランジ部１２のストローク範囲を包含する上下方向長さを有する。
【００２２】
コンタクトプローブ７は、第１プランジャー１０と、第２プランジャー２０と、導電性チューブ３０と、スプリング３５と、を有する。第１プランジャー１０は、図１（Ｃ）に示す検査対象物８との接続部品であり、銅又は銅合金等の導電性金属体からなる。第２プランジャー２０は、図１（Ｃ）に示す検査用基板９との接続部品であり、銅又は銅合金等の導電性金属体からなる。導電性チューブ３０は、第１プランジャー１０の基端側、第２プランジャー２０の基端側、及びスプリング３５を内部に収容する部品であり、銅又は銅合金等の導電性金属体からなる。スプリング３５は、例えばピアノ線やステンレス線等の一般的な導体金属材質で形成されたコイルスプリングであり、第１プランジャー１０及び第２プランジャー２０を互いに離れる方向に付勢し、第１プランジャー１０及び第２プランジャー２０に対して検査対象物８及び検査用基板９との接触力を与える。検査対象物８は、例えば電極が所定間隔で配列された半導体集積回路であり、図示の場合、電極バンプ８ａが所定間隔で配列されたものである。検査用基板９は、不図示の測定器側に接続される電極パッド９ａを所定間隔で有するものである。
【００２３】
第１プランジャー１０は、先端側から順に、先端側円柱部１１、フランジ部１２、及び基端側円柱部１３を有する。先端側円柱部１１の先端は、ここでは八つ割り形状の接触部１１ａとされている。先端側円柱部１１は、リテーナ５ａの貫通穴５ｄを貫通し、貫通穴５ｄにガイドされる。フランジ部１２は、貫通穴５ｄよりも大径であり、第１プランジャー１０がリテーナ５ａから上方に抜けるのを防止する。フランジ部１２は、第１プランジャー１０の長さ方向と垂直な断面が円形である。ここでは、フランジ部１２は円柱形状である。フランジ部１２の外周面は、コンタクトプローブ７の最外周面を成す。フランジ部１２は、リテーナ５ａとピンブロック５ｂとの間の空間５ｈに位置する。フランジ部１２の下面は、導電性チューブ３０の上端と係合（当接）する。基端側円柱部１３は、導電性チューブ３０の内側に位置する。基端側円柱部１３は、長さ方向中間部に部分的に小径化されたくびれ部１３ａを有する。くびれ部１３ａは、導電性チューブ３０の凸部３０ａと係合し、これにより第１プランジャー１０と導電性チューブ３０は一体にストローク動作するように相互に組み合わされる。
【００２４】
第２プランジャー２０は、先端側から順に、先端側円柱部２１及び基端側円柱部２２を有する。先端側円柱部２１の先端は、テーパー状に先細り形状とされた接触部２１ａとなっている。先端側円柱部２１は、ピンプレート５ｃの小径穴部５ｇを貫通し、小径穴部５ｇにガイドされる。基端側円柱部２３は、導電性チューブ３０の内側に位置する。基端側円柱部２３は、先端側円柱部２１よりも大径であり、導電性チューブ３０の絞り部３０ｂと係合することで、第２プランジャー２０が導電性チューブ３０から下方に抜けるのを防止する。
【００２５】
導電性チューブ３０は、内側に突出する所定数の凸部３０ａを有する。凸部３０ａは、例えば導電性チューブ３０の外周面をポンチで打撃して形成され、ここでは周方向に９０度間隔で４個設けられる。凸部３０ａは、第１プランジャー１０のくびれ部１３ａと係合し、導電性チューブ３０を第１プランジャー１０と一体にストローク可能とする。導電性チューブ３０の下端部は、絞り部３０ｂとなっている。絞り部３０ｂは、第２プランジャー２０の基端側円柱部２２よりも小径となるように例えば絞り加工によって径が絞られた部分である。導電性チューブ３０の上端は、第１プランジャー１０のフランジ部１２の下端面と係合（当接）する。導電性チューブ３０は、ピンプレート５ｃの小径穴部５ｇよりも大径であり、ピンプレート５ｃから下方に抜けない。導電性チューブ３０の外径は、第１プランジャー１０の外径以下である（図示の例では同外径）。スプリング３５は、導電性チューブ３０内にあり、上端が第１プランジャー１０の基端側円柱部１３の下端面と係合（当接）し、下端が第２プランジャー２０の基端側円柱部２２の上端面と係合（当接）する。
【００２６】
図１（Ｂ）は、図１（Ａ）の状態からソケット１を検査用基板９にセットした状態の正断面図である。ピンプレート５ｃの下面は、検査用基板９の上面と接触する。また、第２プランジャー２０の先端側円柱部２１の接触部２１ａが検査用基板９の電極パッド９ａと接触し、第２プランジャー２０は、図１（Ａ）に示す突出状態からスプリング３５の付勢力に抗して後退する。図１（Ｂ）に示すように、リテーナ５ａの２つの貫通穴５ｄ間の距離Ｌ１は、ピンプレート５ｃの２つの小径穴部５ｇ間の距離Ｌ２よりも小さい。これにより、２つのコンタクトプローブ７は、第１プランジャー１０の先端側に向かって（上方に向かって）、互いに近づくように斜めに傾いている。
【００２７】
図１（Ｃ）は、図１（Ｂ）の状態から検査対象物８をソケット１にセットした状態の正断面図である。図２は、図１（Ｃ）の要部拡大図である。第１プランジャー１０の先端側円柱部１１の接触部１１ａが検査対象物８の電極バンプ８ａと接触し、第１プランジャー１０は、図１（Ｂ）に示す突出状態から、スプリング３５の付勢力に抗して、導電性チューブ３０を伴って後退する。図１（Ｃ）に示す状態では、コンタクトプローブ７により検査対象物８の電極バンプ８ａと検査用基板９の電極パッド９ａとが電気的に接続され、検査対象物８の検査が可能となる。
【００２８】
図２に示すように、本実施の形態におけるコンタクトピッチＰ２は、リテーナ５ａの２つの貫通穴５ｄ間の隔壁５ｉの厚さＡ（加工上の最小肉厚以上かつフランジ部１２同士が接触しない範囲で最も小さい幅）と同等以下、ないし厚さＡに先端側円柱部１１と隔壁５ｉとの間のクリアランスの２倍を足した長さ以下に狭められていて、図７に示す従来例と比較して狭ピッチ化を実現できる。なお、図７に示す従来例のコンタクトピッチＰ１の式１のＤに対応する、先端側円柱部１１の側面から先端面の山の頂点までの距離は、本実施の形態及び図７に示す従来例のいずれにおいても制御範囲外のため考慮しない。
【００２９】
本実施の形態において、図７に示す従来例と同様に、２つの第１プランジャー１０のフランジ部１２間に隔壁を設けようとすると、当該隔壁はリテーナ５ａの２つの貫通穴５ｄ間の隔壁５ｉよりも薄くする必要があるため、隔壁５ｉを加工上の最小肉厚にすると、フランジ部１２間の隔壁を加工することができない（隔壁が成立しない）。これに対し本実施の形態では、フランジ部１２間を空間５ｈとし、コンタクトプローブ７を斜めに傾けることで、導電性チューブ３０間の隔壁５ｊを成立可能としている。隔壁５ｊの成立可能高さは、コンタクトプローブ７の傾き具合、導電性チューブ３０の外径、及び隔壁５ｊの肉厚によって変化する。なお、フランジ部１２間の隔壁が存在しないため、フランジ部１２同士が接触してショートしないための条件として、隔壁５ｉの厚さＡは、先端側円柱部１１とフランジ部１２の半径差Ｃに対して、Ａ＞Ｃ×２を満たす必要がある。
【００３０】
ソケット１の組立方法は、次のとおりである。第１の方法では、リテーナ５ａとピンブロック５ｂをネジ止め等により相互に固定しておき、コンタクトプローブ７をピンブロック５ｂの下面側から貫通穴５ｅ,５ｄに挿入し、その後コンタクトプローブ７が貫通穴５ｆを貫通するようにピンプレート５ｃをピンブロック５ｂの下面にネジ止め等により固定する。第２の方法では、ピンブロック５ｂとピンプレート５ｃをネジ止め等により相互に固定しておき、コンタクトプローブ７をピンブロック５ｂの上面側から貫通穴５ｅ,５ｆに挿入し、その後コンタクトプローブ７が貫通穴５ｄを貫通するようにリテーナ５ａをピンブロック５ｂの上面にネジ止め等により固定する。第２の方法の場合、ピンブロック５ｂとピンプレート５ｃは別部品ではなく一体成形品であってもよい。
【００３１】
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
【００３２】
(1) リテーナ５ａとピンブロック５ｂとの間に空間５ｈを設け、２つのコンタクトプローブ７の第１プランジャー１０のフランジ部１２間に隔壁が無い構成とし、かつ２つのコンタクトプローブ７が上方に向かって互いに近づくように斜めに傾いているため、導電性チューブ３０間の隔壁５ｊを設けながら、図２に示すようにコンタクトピッチＰ２をリテーナ５ａの２つの貫通穴５ｄ間の隔壁５ｉの厚さＡと同等以下に狭めることができる（先端側円柱部１１とフランジ部１２との半径差をコンタクトピッチＰ２から排除し、狭ピッチ化が可能となる）。
【００３３】
(2) コンタクトプローブ７の姿勢が傾いた状態で安定するため、従来のように絶縁支持体５との間の隙間の範囲でどのような姿勢になるか不定の構成と比較して、先端側円柱部１１の先端位置が高精度に定められ、接点が安定化する。これにより、接点が電極バンプ８ａの側方寄りとなって電極バンプ８ａの側面を削ることを抑制できる。
【００３４】
(3) コンタクトプローブ７は、長さ方向と垂直な断面が円形であって方向性が無いため、製造容易であると共に、コンタクトプローブ７を絶縁支持体５に組み合わせる作業性も良い。また、コンタクトプローブ７に回転方向の力が加わっても絶縁支持体５を傷つけるリスクが小さい。
【００３５】
（実施の形態２）
図３は、本発明の実施の形態２に係るソケット２の正断面図である。本実施の形態のソケット２は、実施の形態１のものと比較して、導電性チューブ３０がフランジ部１２よりも小径となっている点で相違し、その他の点で一致する。導電性チューブ３０をフランジ部１２より小径とすることで、導電性チューブ３０がピンブロック５ｂの隔壁５ｊの上端エッジ部やピンプレート５ｃの貫通穴５ｆの内面と干渉することを抑制できる。本実施の形態も、実施の形態１と同様の効果を奏することができる。
【００３６】
（実施の形態３）
図４（Ａ）は、本発明の実施の形態３に係るソケット３の正断面図である。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の状態からソケット３を検査用基板９にセットした状態の正断面図である。図４（Ｃ）は、図４（Ｂ）の状態から検査対象物８をソケット３にセットした状態の正断面図である。図５は、図４（Ｃ）の要部拡大図である。
【００３７】
本実施の形態のソケット３では、第１プランジャー１０が中空であり、不図示のスプリングが第１プランジャー１０内にある。絶縁支持体はピンブロック５ｂとピンプレート５ｃの二部品構成であり、第１プランジャー１０の先端側円柱部１１はピンブロック５ｂの貫通穴５ｅにガイドされる。第１プランジャー１０の基端側円柱部１３は、基端が絞り部１３ｂとされ、実施の形態１の導電性チューブ３０の絞り部３０ｂ（図１（Ａ））と同様に、第２プランジャー２０の抜けを防止する。空間５ｈは、ピンブロック５ｂとピンプレート５ｃとの間に設けられる。ピンブロック５ｂの貫通穴５ｅとピンプレート５ｃの小径穴部５ｇは同軸であり、２つのコンタクトプローブ７は互いに略平行（上下方向と平行）に支持される。
【００３８】
図５に示すように、本実施の形態におけるコンタクトピッチＰ３は、ピンブロック５ｂの隔壁５ｊの厚さＡ（例えば加工上の最小肉厚）と、先端側円柱部１１と隔壁５ｊとの間の隙間Ｂにより、Ｐ３＝Ａ＋（Ｂ×２）と表される。コンタクトピッチＰ３は、図７に示す従来例のコンタクトピッチＰ１（式１）と異なり、先端側円柱部１１とフランジ部１２の半径差（フランジ部１２の出っ張り長）が入らない分、狭ピッチ化されている。本実施の形態のその他の点は、実施の形態１と同様である。
【００３９】
（実施の形態４）
図６は、本発明の実施の形態４に係るソケット４の正断面図である。本実施の形態のソケット４では、実施の形態１と異なり、第１プランジャー１０はフランジ部１２を有さず、導電性チューブ３０がフランジ部３１を有する。絶縁支持体はピンブロック５ｂとピンプレート５ｃの二部品構成であり、第１プランジャー１０の先端側円柱部１１はピンブロック５ｂの貫通穴５ｅにガイドされる。空間５ｈは、ピンブロック５ｂとピンプレート５ｃとの間に設けられる。ピンブロック５ｂの貫通穴５ｅとピンプレート５ｃの小径穴部５ｇは同軸であり、２つのコンタクトプローブ７は互いに略平行（上下方向と平行）に支持される。第２プランジャー２０の先端側円柱部２１の中間部に設けられたテーパー部（傾斜部）２１ｂは、検査時における第２プランジャー２０の傾きを低減する役割を持つ。本実施の形態のその他の点は、実施の形態１と同様である。本実施の形態の狭ピッチ化の効果は、実施の形態３と同様である。
【００４０】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。
【００４１】
空間５ｈは、ピンブロック５ｂの貫通穴５ｅ及び隔壁５ｊの上方となる部分に形成されていればよく、その他の部分、すなわち貫通穴５ｅ及び隔壁５ｊ以外の部分の上方においてはピンブロック５ｂはリテーナ５ａの下面に接触するまで延ばされてもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１〜４  ソケット、５  絶縁支持体、５ａ  リテーナ、５ｂ  ピンブロック、５ｃ  ピンプレート、５ｄ  貫通穴（第１ガイド穴）、５ｅ,５ｆ  貫通穴、５ｇ  小径穴部（第２ガイド穴）、５ｈ  空間、５ｉ,５ｊ  隔壁、７  コンタクトプローブ、８  検査対象物、８ａ  電極バンプ、９  検査用基板、９ａ  電極パッド、１０  第１プランジャー、１１  先端側円柱部、１１ａ  接触部、１２  フランジ部、１３  基端側円柱部、１３ａ  くびれ部、１３ｂ  絞り部、２０  第２プランジャー、２１  先端側円柱部、２１ａ  接触部、２１ｂ  テーパー部（傾斜部）、２２  基端側円柱部、３０  導電性チューブ、３０ａ  凸部、３０ｂ  絞り部、３１  フランジ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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