(57)【要約】【課題】電解還元析出法（電解法）によって得られるアルミニウム箔の表面腐食や表面変色の問題を解決し、表面腐食や表面変色が発生し難いアルミニウム箔を連続して得ることが可能なアルミニウム箔の製造方法およびアルミニウム箔の製造装置を提供する。【解決手段】電解法によってアルミニウム被膜をカソード電極の表面に析出させた後、アルミニウム被膜をカソード電極から剥離してアルミニウム箔を得る製箔工程と、製箔工程を経たアルミニウム箔が第１洗浄溶媒中を通過する第１洗浄工程と、第１洗浄工程を経たアルミニウム箔が第２洗浄溶媒中を通過する第２洗浄工程と、第２洗浄工程を経たアルミニウム箔の表面を乾燥させる乾燥工程と、乾燥工程を経たアルミニウム箔を巻取る巻取り工程を具備し、少なくとも製箔工程から乾燥工程までを連続して行う、アルミニウム箔の製造方法、その製造方法を適用したアルミニウム箔の製造装置とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電解還元析出法によってアルミニウム被膜をカソード電極の表面に析出させた後、前記アルミニウム被膜を前記カソード電極から剥離してアルミニウム箔を得る製箔工程と、
前記製箔工程を経たアルミニウム箔が第１洗浄溶媒中を通過する第１洗浄工程と、
前記第１洗浄工程を経たアルミニウム箔が第２洗浄溶媒中を通過する第２洗浄工程と、
前記第２洗浄工程を経たアルミニウム箔の表面を乾燥させる乾燥工程と、
前記乾燥工程を経たアルミニウム箔を巻取る巻取り工程を具備し、
少なくとも前記製箔工程から前記乾燥工程までを連続して行う、アルミニウム箔の製造方法。
【請求項２】
前記第１洗浄工程では、アルミニウム箔の送材方向と反対方向に流れが付与された第１洗浄溶媒中を前記アルミニウム箔が通過する、請求項１に記載のアルミニウム箔の製造方法。
【請求項３】
前記第１洗浄工程では、アルミニウム箔を洗浄した後の第１洗浄溶媒を第１洗浄系外へ排出する、請求項１または２に記載のアルミニウム箔の製造方法。
【請求項４】
前記第１洗浄工程では、アルミニウム箔を洗浄した後の第１洗浄溶媒を該アルミニウム箔の前記第１洗浄溶媒中への送材口から排出する、請求項３に記載のアルミニウム箔の製造方法。
【請求項５】
前記第１洗浄工程では、アルミニウム箔を洗浄した後の第１洗浄溶媒が多孔質部材中を通過してから排出される、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のアルミニウム箔の製造方法。
【請求項６】
前記第１洗浄工程では、アルミニウム箔を鉛直方向に送材する、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のアルミニウム箔の製造方法。
【請求項７】
前記第２洗浄工程では、アルミニウム箔の表面に第２洗浄溶媒をかけ流す、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のアルミニウム箔の製造方法。
【請求項８】
前記第２洗浄工程では、アルミニウム箔を鉛直方向に送材する、請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のアルミニウム箔の製造方法。
【請求項９】
前記乾燥工程では、鉛直方向に送材されるアルミニウム箔の表面に気体を送風する、請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載のアルミニウム箔の製造方法。
【請求項１０】
電解還元析出法によってアルミニウム被膜をカソード電極の表面に析出させた後、前記アルミニウム被膜を前記カソード電極から剥離してアルミニウム箔を得る製箔装置と、
前記製箔装置から送材されたアルミニウム箔が第１洗浄槽内の第１洗浄溶媒中を通過する第１洗浄装置と、
前記第１洗浄装置から送材されたアルミニウム箔が第２洗浄槽内の第２洗浄溶媒中を通過する第２洗浄装置と、
前記第２洗浄装置から送材されたアルミニウム箔の表面を乾燥させる乾燥装置と、
前記乾燥装置から送材されたアルミニウム箔を巻取る巻取り装置を具備し、
少なくとも前記製箔装置から前記乾燥装置まで前記アルミニウム箔の連続送材が可能に配置されている、アルミニウム箔の製造装置。
【請求項１１】
前記第１洗浄槽には、アルミニウム箔の送材方向と反対方向に流れが付与された前記第１洗浄溶媒が充満する、請求項１０に記載のアルミニウム箔の製造装置。
【請求項１２】
前記第１洗浄装置では、アルミニウム箔を洗浄した後の第１洗浄溶媒が溜まる排出槽を具備する、請求項１０または請求項１１に記載のアルミニウム箔の製造装置。
【請求項１３】
前記第１洗浄装置では、アルミニウム箔を洗浄した後の第１洗浄溶媒が該アルミニウム箔の前記第１洗浄槽への送材口から排出される、請求項１２に記載のアルミニウム箔の製造装置。
【請求項１４】
前記第１洗浄装置では、アルミニウム箔を洗浄した後の第１洗浄溶媒が通過する多孔質部材を具備する、請求項１０乃至１３のいずれか１項に記載のアルミニウム箔の製造装置。
【請求項１５】
前記第１洗浄装置では、アルミニウム箔が鉛直方向に送材される、請求項１０乃至１４のいずれか１項に記載のアルミニウム箔の製造装置。
【請求項１６】
前記第２洗浄装置では、アルミニウム箔の表面に第２洗浄溶媒をかけ流すための洗浄溶媒供給部を具備する、請求項１０乃至１５のいずれか１項に記載のアルミニウム箔の製造装置。
【請求項１７】
前記第２洗浄装置では、アルミニウム箔が鉛直方向に送材される、請求項１０乃至１６のいずれか１項に記載のアルミニウム箔の製造装置。
【請求項１８】
前記乾燥装置では、鉛直方向に送材されるアルミニウム箔の表面に気体を送風するための気体供給部を具備する、請求項１０乃至１７のいずれか１項に記載のアルミニウム箔の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電解還元析出法によってアルミニウム箔を得るアルミニウム箔の製造方法およびアルミニウム箔の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
アルミニウム箔の製造方法として、アルミニウムイオンを含有した電解液からアルミニウムを電解還元により析出させる電解還元析出法が知られている。電解還元析出法は、単に「電解法」とも呼ばれる。例えば、本発明者は、特許文献１に、ジアルキルスルホン、アルミニウムハロゲン化物、含窒素化合物を少なくとも含むアルミニウム電解液（めっき液）を用いた電解法を適用し、連続的にアルミニウム箔を得る方法を提案している。アルミニウム箔の製造装置は、カソード電極とアノード電極がめっき液を介して対向して配置され、カソード電極とアノード電極の両電極間に通電し、カソード電極を回転させながらカソード電極の電析面に析出させたアルミニウム被膜を連続的に剥離してロール状に巻き取るものである。
【０００３】
特許文献１に開示される実施例では、ジメチルスルホン、無水塩化アルミニウム、トリメチルアミン塩酸塩を含むめっき液を用いて析出させたアルミニウム被膜を剥離し、剥離直後のアルミニウム箔を窒素ガス雰囲気下にある電解槽の外部に引き出し、すぐにアルミニウム箔の両面に水を吹き付ける１次洗浄が行なわれている。これは、アルミニウム箔の表面に付着しているめっき液を除去するためのものである。また、特許文献１では、１次洗浄した後に、アルミニウム箔を水槽に水没させる２次洗浄が行なわれ、その後にアルミニウム箔の両面の乾燥が行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１５５５６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示されるアルミニウム箔の製造方法は、折り曲りや捩じれによって、巻き取りに支障が生じることがない優れた可撓性を有するアルミニウム箔が得られる点では有用な技術である。特許文献１に開示されるめっき液は、ジアルキルスルホン（例えばジメチルスルホン）およびアルミニウムハロゲン化物（例えば無水塩化アルミニウム）を含み、高い吸湿性を有する。そのため、製箔工程を経たアルミニウム箔の表面の水洗を、一般的な大気雰囲気下で洗浄する方法で行うと、アルミニウム箔の表面に付着しているめっき液が吸湿（水と反応）し、腐食性の高いハロゲン化水素（例えば塩化水素）が生成され、アルミニウム箔の表面に腐食、変色、あるいは厚い酸化膜が発生することを確認した。これは、剥離された製箔直後の活性が高いアルミニウム箔の表面に、めっき液（残渣）、めっき液中の不純物やダスト、アノード電極から溶出される不純物などがアルミニウム箔の表面に付着していることや、アルミニウム箔が剥離直後に電解槽の外部に引き出されたことに起因すると考えられる。このようなアルミニウム箔の表面腐食や表面変色は、例えば蓄電デバイスの正極集電体として実用化する上で大きな問題となる。
【０００６】
本発明の目的は、電解法によって得られるアルミニウム箔の表面腐食や表面変色の問題を解決し、表面変色が発生し難いアルミニウム箔を連続して得ることが可能なアルミニウム箔の製造方法およびアルミニウム箔の製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、電解法によるアルミニウム箔の連続製造を行うに際して、アルミニウム箔の表面変色の問題を検討し、剥離直後のアルミニウム箔が洗浄溶媒中を通過する第１洗浄工程および第２洗浄工程を経た後に乾燥されることで、アルミニウム箔の表面の清浄度合いが大きく改善されることを見出し、本発明に到達した。
【０００８】
すなわち、本発明のアルミニウム箔の製造方法は、電解還元析出法（電解法）によってアルミニウム被膜をカソード電極の表面に析出させた後、アルミニウム被膜をカソード電極から剥離してアルミニウム箔を得る製箔工程と、製箔工程を経たアルミニウム箔が第１洗浄溶媒中を通過する第１洗浄工程と、第１洗浄工程を経たアルミニウム箔が第２洗浄溶媒中を通過する第２洗浄工程と、第２洗浄工程を経たアルミニウム箔の表面を乾燥する乾燥工程と、乾燥工程を経たアルミニウム箔を巻取る巻取り工程を具備し、少なくとも製箔工程から乾燥工程までを連続して行う。
【０００９】
第１洗浄工程では、アルミニウム箔の送材方向と反対方向に流れが付与された第１洗浄溶媒中をアルミニウム箔が通過することが好ましい。
第１洗浄工程ではアルミニウム箔を洗浄した後の第１洗浄溶媒を第１洗浄系外へ排出することが好ましい。
第１洗浄工程では、アルミニウム箔を洗浄した後の第１洗浄溶媒を該アルミニウム箔の第１洗浄溶媒中への送材口から排出することが好ましい。
第１洗浄工程では、アルミニウム箔を洗浄した後の第１洗浄溶媒が多孔質部材中を通過してから排出されることが好ましい。
第１洗浄工程ではアルミニウム箔を鉛直方向に送材することが好ましい。
【００１０】
第２洗浄工程では、アルミニウム箔の表面に第２洗浄溶媒をかけ流すことが好ましい。
第２洗浄工程ではアルミニウム箔を鉛直方向に送材することが好ましい。
【００１１】
乾燥工程では、鉛直方向に送材されるアルミニウム箔の表面に気体を送風することが好ましい。
【００１２】
上述した本発明のアルミニウム箔の製造方法に基づいて、アルミニウム箔の製造装置を構成することができる。すなわち、本発明のアルミニウム箔の製造装置は、電解還元析出法（電解法）によってアルミニウム被膜をカソード電極の表面に析出させた後、アルミニウム被膜をカソード電極から剥離してアルミニウム箔を得る製箔装置と、製箔装置から送材されたアルミニウム箔が第１洗浄槽内の第１洗浄溶媒中を通過する第１洗浄装置と、第１洗浄装置から送材されたアルミニウム箔が第２洗浄槽内の第２洗浄溶媒中を通過する第２洗浄装置と、第２洗浄装置から送材されたアルミニウム箔の表面を乾燥させる乾燥装置と、乾燥装置から送材されたアルミニウム箔を巻取る巻取り装置を具備し、少なくとも製箔装置から乾燥装置までアルミニウム箔の連続送材が可能に配置されている。
【００１３】
第１洗浄槽には、アルミニウム箔の送材方向と反対方向に流れが付与された第１洗浄溶媒が充満することが好ましい。
第１洗浄装置では、アルミニウム箔を洗浄した後の第１洗浄溶媒が溜まる排出槽を具備することが好ましい。
第１洗浄装置では、アルミニウム箔を洗浄した後の第１洗浄溶媒中が該アルミニウム箔の第１洗浄槽への送材口から排出されることが好ましい。
第１洗浄装置では、アルミニウム箔を洗浄した後の第１洗浄溶媒が通過する多孔質部材を具備することが好ましい。
第１洗浄装置では、アルミニウム箔が鉛直方向に送材されることが好ましい。
【００１４】
第２洗浄装置では、アルミニウム箔の表面に第２洗浄溶媒をかけ流すための洗浄溶媒供給部を具備することが好ましい。
第２洗浄装置では、アルミニウム箔が鉛直方向に送材されることが好ましい。
【００１５】
乾燥装置では、鉛直方向に送材されるアルミニウム箔の表面に気体を送風するための気体供給部を具備することが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、電解還元析出法（電解法）によって得られるアルミニウム箔の表面腐食や表面変色の問題が解決され、表面腐食や表面変色が発生し難いアルミニウム箔を連続的に得ることができる。これにより、例えば、蓄電デバイスの正極集電体などに使用するアルミニウム箔の量産化にとって有用な技術となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明のアルミニウム箔の製造装置の一例を示す模式図である。
【図２】排出槽内への多孔質部材の設置例を示す模式図である。
【図３】排出槽内への仕切り板および多孔質部材の設置例を示す模式図である。
【図４】本発明例となるアルミニウム箔の一例を示す図（外観写真）である。
【図５】比較例となるアルミニウム箔の一例を示す図（外観写真）である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明のアルミニウム箔の製造方法における重要な特徴は、アルミニウム箔の連続製造に際して、少なくとも製箔工程から乾燥工程までを連続して行うとともに、アルミニウム箔の表面に付着しためっき液（残渣）および付着物（めっき液中の不純物やダスト、アノード電極から溶出される不純物など）を除去するために、製箔工程を経たアルミニウム箔が第１洗浄溶媒中を通過する第１洗浄工程および第１洗浄工程を経たアルミニウム箔が第２洗浄溶媒中を通過する第２洗浄工程を具備し、その後に乾燥工程および巻取り工程を具備する構成を採用したことである。
【００１９】
本発明のアルミニウム箔の製造装置は、本発明のアルミニウム箔の製造方法に基づくものである。本発明のアルミニウム箔の製造装置における重要な特徴は、アルミニウム箔の連続製造装置として、少なくとも、電解還元析出法（電解法）によってアルミニウム被膜をカソード電極の表面に析出させた後、アルミニウム被膜をカソード電極から剥離してアルミニウム箔を得る製箔装置（例えば図１に示す電解槽２を参照）から、製箔装置から送材されたアルミニウム箔が第１洗浄槽内の第１洗浄溶媒中を通過する第１洗浄装置、第１洗浄装置から送材されたアルミニウム箔が第２洗浄槽内の第２洗浄溶媒中を通過する第２洗浄装置、および第２洗浄装置から送材されたアルミニウム箔の表面を乾燥させる乾燥装置まで、アルミニウム箔の連続送材が可能に配置されている構成を採用したことである。また、乾燥装置の後段には、乾燥装置から送材されたアルミニウム箔を巻取る巻取り装置を具備する。
【００２０】
本発明において、めっき液は、ジアルキルスルホンとアルミニウムハロゲン化物および含窒素化合物を少なくとも含むもの、例えば、ジメチルスルホンと無水塩化アルミニウムおよびトリメチルアミン塩酸塩または塩化アンモニウムを少なくとも含むものを用いることができる。製箔工程（製箔装置）を経たアルミニウム箔の表面にはめっき液および付着物がある。そのため、本発明の第１洗浄工程（第１洗浄装置）および第２洗浄工程（第２洗浄装置）では、第１洗浄溶媒および第２洗浄溶媒をアルミニウム箔の全表面に接触させる。第２洗浄工程（第２洗浄装置）を経たアルミニウム箔の表面には第２洗浄溶媒の付着がある。そのため、本発明の乾燥工程（乾燥装置）ではアルミニウム箔の全表面を乾燥させる。乾燥工程（乾燥装置）を経たアルミニウム箔を巻取り工程（巻取り装置）へ移行することにより、アルミニウム箔を連続製造することができる。
【００２１】
以下、本発明に係るアルミニウム箔の製造方法およびアルミニウム箔の製造装置について、その実施形態の例を挙げて、図面を参照して説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００２２】
図１は、本発明のアルミニウム箔の製造装置の一例を示す模式図である。図１に示すアルミニウム箔の製造装置１（以下、「製造装置１」という。）は、電解法によって製箔を行う電解槽２と、バッファ槽３と、排出層４と、第１洗浄装置５と、第２洗浄装置６と、乾燥装置７および巻取り装置８を具備する。電解槽２には、下方表面がめっき液１０に浸漬されたカソード電極２０と、実質の全部がめっき液１０に浸漬されたアノード電極３０が設置されている。製箔工程では、電解によってアルミニウム被膜をカソード電極２０の表面に析出させた後、アルミニウム被膜をカソード電極２０の表面から剥離してアルミニウム箔４０を得ることができる。
【００２３】
具体的には、カソード電極２０を矢印Ａの向きに回転しながらカソード電極２０とアノード電極３０の間に直流電流を印加することにより、カソード電極２０の表面にアルミニウムを析出させて、アルミニウム皮膜を形成する。そのままカソード電極２０の回転を継続しながら析出したアルミニウム被膜をカソード電極２０の表面から剥離する。アルミニウム被膜の剥離により、剥離面（カソード電極２０側）と析出面（めっき液１０側）を有するアルミニウム箔４０を得ることができる。電解槽２内は、アルミニウム被膜およびそれを剥離したアルミニウム箔４０の表面の酸化を抑制するために、窒素ガス雰囲気などの非酸化性雰囲気に保持されていることが好ましい。このとき、電解槽２内をバッファ槽３側よりも高い気圧として雰囲気ガスがバッファ槽３側へ流動するように構成することが好ましく、アルミニウムの析出に影響を及ぼす虞がある第１洗浄装置５の雰囲気ガスや第１洗浄溶媒５ａの蒸気が電解槽２側へ流動することを抑制することができる。
【００２４】
製箔工程を経たアルミニウム箔４０は、電解槽２からそのまま第１洗浄装置５に送材され、アルミニウム箔４０が第１洗浄溶媒５ａ中を通過する第１洗浄工程が連続して行われる。詳しくは、製箔工程を経たアルミニウム箔４０は、巻き取られることなく、そのまま矢印Ｂの向きに移行し、電解槽２からバッファ槽３で繋がった第１洗浄装置５へ送材される。図１に示す製造装置１の場合、実質の製箔装置となる電解槽２からバッファ槽３を介して送材されたアルミニウム箔４０は、第１洗浄装置５の第１洗浄槽５ｂ内へ送材される。バッファ槽３を配置することは好ましく、第１洗浄装置５から電解槽２への水蒸気等の水分の逆流を防ぐ、あるいは緩和するのに有効である。電解槽２からバッファ層３への送材口およびバッファ層３から第１洗浄層５への送材口の開口面積は、アルミニウム箔４０が通過可能な範囲で最小限にすることが好ましい。
【００２５】
第１洗浄工程では、製箔工程を経て第１洗浄装置５に送材されたアルミニウム箔４０が、第１洗浄槽５ｂ内に送材される。第１洗浄装置５へ送材されたアルミニウム箔４０は、排出槽４の上方を通過し、第１洗浄装置５の第１洗浄槽５ｂ内へ送材される。第１洗浄装置５に排出槽４を配置することは好ましく、アルミニウム箔４０を洗浄した後の使用済の第１洗浄溶媒５ａ（以下、「洗浄排液４ａ」という。）を実質的な第１洗浄系となる第１洗浄槽５ｂから排出し、第１洗浄槽５ｂ内の使用前の第１洗浄溶媒５ａへの洗浄排液４ａの混入防止に有効である。
【００２６】
第１洗浄槽５ｂ内に送材されたアルミニウム箔４０は、第１洗浄槽５ｂ内に充満する第１洗浄溶媒５ａの中を通過する。製箔工程を経たアルミニウム箔４０の表面には、めっき液１０（残渣）、めっき液１０に含まれる不純物、あるいはアノード電極３０から溶出される不純物などの付着物がある。アルミニウム箔４０の表面の付着物は、アルミニウム箔４０の全表面が第１洗浄槽５ｂ内の第１洗浄溶媒５ａに接触しながら通過する間に除去される。このとき、製箔工程を経たアルミニウム箔４０が通過するバッファ槽３から第１洗浄装置５までの間は窒素ガス雰囲気などの非酸化性雰囲気に保持し、アルミニウム箔４０の表面酸化を抑制することが好ましい。これにより、アルミニウム箔４０の表面酸化を抑制するとともに、アルミニウム箔４０の表面の付着物を除去することができる。
【００２７】
製箔工程を経たアルミニウム箔の表面の洗浄方法としては、特許文献１に開示されるアルミニウム箔の両面に水を吹き付ける１次洗浄のような方法も考えられる。しかし、このような方法では、アルミニウム箔の全表面が水に確実かつ均等に接触するとは限らず、アルミニウム箔の表面にめっき液（残渣）などの付着物が残ってしまう虞がある。アルミニウム箔の表面に付着物が残ると、アルミニウム箔の表面腐食や表面変色が誘発される虞がある。そこで、上述したように、アルミニウム箔４０が第１洗浄槽５ｂ内を通過する間に、アルミニウム箔４０の全表面が第１洗浄溶媒５ａに接触するように構成する。
【００２８】
第１洗浄工程では、製箔工程を経たアルミニウム箔４０が第１洗浄溶媒５ａ中を通過することにより、アルミニウム箔４０の全表面を確実かつ均等に第１洗浄溶媒５ａに接触させることができる。アルミニウム箔４０の全表面が第１洗浄溶媒５ａに接触するようにして洗浄することで、めっき液１０（残渣）、めっき液１０に含まれる不純物、あるいはアノード電極３０から溶出される不純物などの付着物が除去される。こうした第１洗浄工程を経たアルミニウム箔は、表面腐食や表面変色の誘発が抑制される。また、第１洗浄工程では、第１洗浄溶媒５ａの加温や超音波加振を行うことが好ましい。第１洗浄溶媒５ａが適度に加温されていると、あるいは第１洗浄溶媒５ａが適度に超音波振動していると、めっき液１０（残渣）などの付着物が効率的に除去される。こうした第１洗浄工程を経たアルミニウム箔は、表面腐食や表面変色の誘発がより抑制される。
【００２９】
第１洗浄工程で適用可能なアルミニウム箔用の洗浄溶媒（第１洗浄溶媒５ａ）は、めっき液１０（残渣）、めっき１０液に含まれる不純物、アノード電極３０から溶出される不純物などの付着物の組成に適する洗浄溶媒を適宜選択することが好ましい。例えば、水、めっき液１０との親和性に優れた有機溶媒などを、第１洗浄溶媒５ａに用いることができる。第１洗浄溶媒５ａとして有機溶媒を用いる場合は、例えば炭酸プロピレンなど、極性を有するものを用いることが好ましい。
【００３０】
アルミニウムは、水よりも卑な金属である。そのため、水系のめっき液では水の電解が優先し、水系のめっき液からアルミニウムを電解によって析出させることは極めて困難である。アルミニウムを電解によって析出させるためのめっき液１０としては、アルミニウム源となる例えばハロゲン化アルミニウム（例えば無水塩化アルミニウム）および溶媒となる例えばジアルキルスルホン（例えばジメチルスルホン）を含む非水系のものが用いられている。このような非水系のめっき液１０（残渣）が表面に付着したアルミニウム箔４０を洗浄すると、除去されためっき液１０（残渣）が第１洗浄溶媒５ａ中に混入する虞がある。ハロゲン（例えば塩素）を含むめっき液１０（残渣）が第１洗浄溶媒５ａ中に混入すると、第１洗浄溶媒５ａ中にハロゲン（例えば塩素）が持ち込まれ、第１洗浄溶媒５ａ中のハロゲンイオン濃度（例えば塩素イオン濃度）が上昇する。第１洗浄溶媒５ａ中のハロゲンイオン（例えば塩素イオン）濃度の上昇に伴い、アルミニウム箔４０の表面腐食が助長される虞や、排出槽４を含む第１洗浄装置５の腐食が懸念される。
【００３１】
このため、第１洗浄溶媒５ａ中へのハロゲン（例えば塩素）の持ち込みを防止することが望まれる。そこで、第１洗浄工程では、アルミニウム箔４０の送材方向と反対方向に流れが付与された第１洗浄溶媒５ａ中をアルミニウム箔４０が通過する構成が好ましい。図１に示す第１洗浄装置５の第１洗浄槽５ｂにはアルミニウム箔４０の送材方向と反対方向に流れが付与された第１洗浄溶媒５ａが充満している。そのため、アルミニウム箔４０が、その送材方向と反対方向に流れが付与された第１洗浄溶媒５ａが充満する第１洗浄槽５ｂ内を通過する。この構成により、アルミニウム箔４０の送材方向と反対方向の第１洗浄溶媒５ａの流れによって大きな擦過力を得ることができる。つまり、付与された流れ（流速）によって速度が増した第１洗浄溶媒５ａが、アルミニウム箔４０の表面の付着物を除去する駆動力として作用する。こうした第１洗浄溶媒５ａをアルミニウム箔４０の全表面に接触させることにより、アルミニウム箔４０の表面を効率よく洗浄し、表面に付着しためっき液１０（残渣）を積極的に除去することができる。こうした第１洗浄工程を経たアルミニウム箔は、表面腐食や表面変色の誘発がより抑制される。
【００３２】
ハロゲンイオン（例えば塩素イオン）を含むめっき液１０が第１洗浄溶媒５ａに過度に混入した場合、アルミニウム箔４０が過度にハロゲンイオン（例えば塩素イオン）と接触し、アルミニウム箔４０に表面腐食や表面変色が発生する虞がある。上述したアルミニウム箔４０が、その送材方向と反対方向に流れが付与された第１洗浄溶媒５ａを充満させた第１洗浄槽５ｂの中を通過する構成であることにより、アルミニウム箔４０の表面から除去されためっき液１０（残渣）などの付着物を含む使用済の第１洗浄溶媒５ａ（洗浄排液４ａ）を、アルミニウム箔４０の第１洗浄系内への送材口となる第１洗浄槽５ｂの開口部から矢印Ｃの向きに流し出し、排出することができる。
【００３３】
除去されためっき液１０（残渣）などの付着物は矢印Ｃの向きにオーバーフローする第１洗浄溶媒５ａの流れに含まれ、そのまま排出槽４に排出され、矢印Ｅで示す箇所から第１洗浄系外へ排出される。この洗浄排液４ａの実質的な第１洗浄系となる第１洗浄槽５ｂの外部、さらには完全に第１洗浄系外となる第１洗浄装置５の外部への排出により、第１洗浄溶媒５ａ中へのハロゲン（例えば塩素）の持ち込みが抑制され、第１洗浄溶媒５ａ中のハロゲン濃度（例えば塩素濃度）を低く保つことができる。使用済の第１洗浄溶媒（洗浄排液）の排出は、図１に示す矢印Ｅの箇所に限らず、アルミニウム箔の第１洗浄系内への送材口となる第１洗浄装置への送材口（図１に示す製造装置１で示せばバッファ槽３から第１洗浄装置５への送材口）から第１洗浄装置５の外部の第１洗浄系外へ排出してもよい。
【００３４】
上述したように、アルミニウム源としてハロゲン化アルミニウム（例えば無水塩化アルミニウム）を含むめっき液１０は、ハロゲンイオン（例えば塩素イオン）を含む。そのため、第１洗浄溶媒５ａとして水を用いる場合、めっき液１０（残渣）と第１洗浄溶媒５ａ（水）が反応し、ハロゲン化水素（例えば塩化水素）が生成される。ハロゲン化水素（例えば塩化水素）がアルミニウム箔４０に過度に接触すると、アルミニウム箔４０に表面腐食や表面変色が発生する虞がある。そこで、製造装置１では、排出槽４の上方から矢印Ｆの向きに雰囲気ガスの排気を行う構成とすることにより、ハロゲン化水素（例えば塩化水素）を含む虞がある雰囲気ガスの実質的な第１洗浄系となる第１洗浄槽５ｂ内への侵入防止および第１洗浄装置５内への滞留抑制を行うことができる。
【００３５】
製造装置１では、第１洗浄槽５ｂからオーバーフローした洗浄排液４ａを、第１洗浄装置５内に設けられた排出槽４へ排出し、矢印Ｅで示す箇所から第１洗浄装置５の外部の第１洗浄系外へ適度に排出する構成としている。排出槽４へ排出された洗浄排液４ａが第１洗浄系外へ適度に排出される構成は好ましく、洗浄排液４ａの第１洗浄槽５ｂ内への混入を確実に防止することができる。また、図１に示すように、洗浄排液４ａが排出槽４の底部に適度に溜まる構成とすることが好ましい。洗浄排液４ａを排出槽４の底部に適度に溜めるためには、例えば、排出部の大きさ（例えば排出用配管の断面積）と洗浄排液４ａ量のバランスを適切に保つなどの方法が考えられる。こうした構成により、矢印Ｅで示す箇所からの洗浄排液４ａあるいはハロゲン化水素（例えば塩化水素）を含む虞がある雰囲気ガスの逆流防止効果が期待できる。また、第１洗浄槽５ｂからの洗浄排液４ａの排出効率を高めるためには、第１洗浄槽５ｂ内の第１洗浄溶媒５ａの流速を大きくすることが好ましい。具体的には、第１洗浄溶媒５ａの供給量を増やす方法や、第１洗浄槽５ｂの開口面積をアルミニウム箔４０が通過可能な範囲で最小限にする方法などが適用できる。
【００３６】
上述した第１洗浄工程ではアルミニウム箔４０を鉛直方向に送材することが好ましく、図１に示す第１洗浄槽５ｂのように竪型洗浄槽としてアルミニウム箔４０を図中の上方から下方へ送材する構成が好ましい。これにより、アルミニウム箔４０を水平方向に送材する横型洗浄槽に比べて、排出槽４内の雰囲気ガスが侵入し難くなる。図１に示す第１洗浄装置５では、第１洗浄溶媒５ａが第１洗浄槽５ｂ内を下方から上方に流れ、第１洗浄溶媒５ａが第１洗浄槽５ｂの上方の開口部分から矢印Ｃで示すようにオーバーフローするように構成し、その第１洗浄溶媒５ａの流れに対して反対方向にアルミニウム箔４０を送材している。第１洗浄槽５ｂが竪型洗浄槽であることにより、第１洗浄槽５ｂから排出槽４への第１洗浄溶媒５ａのオーバーフローが簡便に行なえるとともに、アルミニウム箔４０を洗浄した後の第１洗浄溶媒５ａ（洗浄排液４ａ）の排出を容易に行うことができる。アルミニウム箔４０を鉛直方向に送材する竪型洗浄槽は、アルミニウム箔４０を水平方向に送材する横型洗浄槽に比べて洗浄槽（第１洗浄槽５ｂ）の設置スペース（面積）を低減することができるため、第１洗浄装置５を含む製造装置１のコンパクト化や省スペース化に寄与することができる。
【００３７】
第１洗浄工程では、アルミニウム箔４０を洗浄した後の第１洗浄溶媒５ａ（洗浄排液４ａ）が多孔質部材中を通過してから第１洗浄系外へ排出されることが好ましい。例えば、図２および図３に示すように、第１洗浄装置５では、アルミニウム箔４０を洗浄した後の第１洗浄溶媒５ａ（洗浄排液４ａ）が通過可能な微細な網目構造を有する多孔質部材４ｂを具備することができる。図２に示す第１洗浄装置５では、排出槽４内に多孔質部材４ｂが配置され、多孔質部材４ｂを通過した雰囲気ガスが矢印Ｆで示す箇所から第１洗浄装置５の外部の第１洗浄系外へ排出されるように構成されている。図３に示す第１洗浄装置５では、排出槽４内に仕切り板４ｃが配置され、仕切り板４ｃの右方側（第１洗浄槽５ｂ側）に多孔質部材４ｂが配置されている。仕切り板４ｃの左方側は、多孔質部材４ｂを通過した雰囲気ガスが矢印Ｇで示すように流れ、矢印Ｆで示す箇所から第１洗浄装置５の外部の第１洗浄系外へ排出されるように構成されている。
【００３８】
第１洗浄槽５ｂからオーバーフローして排出槽４に排出された第１洗浄溶媒５ａ（洗浄排液４ａ）は、微細な網目構造を有する多孔質部材４ｂ中を下方に向かって流れて行く。多孔質部材４ｂ中を通過した洗浄排液４ａは、排出槽４の底部に適度に溜まるとともに、矢印Ｅで示す箇所から第１洗浄装置５の外部の第１洗浄系外へ排出される。このとき、排出槽４内の雰囲気ガスが、多孔質部材４ｂを通過する前の箇所（図１中に矢印Ｆで示すような箇所）から排出される構成ではなく、多孔質部材４ｂを通過した後の箇所（図２中に矢印Ｆで示すような箇所）から排出される構成にするのがよい。この構成により、排出槽４内の雰囲気ガスが洗浄排液４ａとともに微細な網目構造を有する多孔質部材４ｂ中を通過するようになる。洗浄排液４ａが排出槽４の底部に適度に溜まる構成であると、矢印Ｅで示す箇所からの洗浄排液４ａあるいはハロゲン化水素（例えば塩化水素）を含む虞がある雰囲気ガスの逆流防止効果が期待できる。
【００３９】
排出槽４内の雰囲気ガスには、好ましい構成として供給された場合の窒素ガスなどの非酸化性ガスに限らず、めっき液１０の溶媒である例えばジアルキルスルホン（例えばジメチルスルホン）の蒸気や、めっき液１０のアルミニウム源である例えばハロゲン化アルミニウム（例えば無水塩化アルミニウム）に由来する上述したハロゲン化水素（例えば塩化水素）が含まれる。そのため、排出槽４内あるいは排出途中の雰囲気ガスが冷却されると、雰囲気ガスに含まれるめっき液１０由来の蒸気の液化や固化が起こると考えられる。特に、雰囲気ガス中に比較的多く含まれると考えられるめっき液１０の溶媒の蒸気が固化すると、固化物により雰囲気ガスの排出経路などが閉塞する虞がある。例えば、水溶性のジメチルスルホン（融点は１１０℃程度）の蒸気は、温度低下により容易に固化する。
【００４０】
そこで、上述したように、排出槽４内の雰囲気ガスと洗浄排液４ａとが同時に微細な網目構造を有する多孔質部材４ｂ中を通過することができる構成とすることが好ましい。多孔質部材４ｂは、微細な網目構造を有する部材、つまり、多数の空孔（セル）が連通する空間を形成する網目状の骨格を有する部材である。微細な網目構造を有する多孔質部材４ｂの内部は、十分に大きな表面積（骨格表面の総面積）を有する。例えばセル数が１３個／２５ｍｍ程度の多孔質部材は、特段に高粘度でない限り、液体の通過が容易である。多孔質部材４ｂは、５〜２０個／２５ｍｍ程度のセル数を有することが好ましい。こうした十分に大きな表面積を有する多孔質部材４ｂを配置することにより、多孔質部材４ｂの内部において雰囲気ガスと洗浄排液４ａとの接触面積を十分に確保することができる。
【００４１】
雰囲気ガスと洗浄排液４ａとの接触面積が十分に確保されていると、雰囲気ガスに含まれるめっき液１０由来の物質を洗浄排液４ａ中により多く溶かすことができる。洗浄排液４ａ中に溶け込んだめっき液１０由来の物質は、洗浄排液４ａとともに矢印Ｅで示す箇所から第１洗浄系外へ排出される。雰囲気ガスは、洗浄排液４ａ中に溶け込んだ分だけめっき液１０由来の物質が低減され、矢印Ｆで示す箇所から第１洗浄装置５の外部の第１洗浄系外へ排出される。そのため、めっき液１０由来の物質の固化に起因する雰囲気ガスの排出経路などの閉塞を抑制することができる。
【００４２】
第１洗浄工程を経たアルミニウム箔４０は、その全表面が第１洗浄溶媒５ａと確実に接触するため、その全表面からめっき液１０（残渣）などの付着物が除去される。この観点では、第１洗浄工程を経るだけでも清浄な表面性状を有するアルミニウム箔４０が得られると考えられる。本発明では、第１洗浄工程を経たアルミニウム箔４０の表面に付着物が残存している場合を考慮し、第１洗浄工程を経たアルミニウム箔４０が第１洗浄装置５からそのまま第２洗浄装置６に送材されて、アルミニウム箔４０が第２洗浄溶媒中を通過する第２洗浄工程を連続して行うように構成する。第１洗浄工程を経て、さらに第２洗浄工程を経ることにより、アルミニウム箔４０の表面に付着物が残存していた場合であっても、アルミニウム箔４０が第２洗浄溶媒中を通過する間に除去される。
【００４３】
図１に示す製造装置１では、第１洗浄装置５から第２洗浄装置６へ矢印Ｂの向きに送材されたアルミニウム箔４０が、第２洗浄槽６ｂ内に溜まる第２洗浄溶媒６ａ中を通過する。これにより、アルミニウム箔４０の全表面が第２洗浄溶媒６ａと接触するので、アルミニウム箔４０の全表面に付着していた第１洗浄溶媒５ａが濯がれるとともに、付着物が残存していた場合であっても除去される。こうした第２洗浄工程を経たアルミニウム箔は、表面腐食や表面変色の誘発が抑制される。なお、アルミニウム箔４０が通過する第２洗浄装置６の空間内を窒素ガス雰囲気などの非酸化性雰囲気に保持してもよい。第１洗浄工程を経たアルミニウム箔４０の表面には酸化膜が形成されていると考えられが、アルミニウム箔４０が第２洗浄装置６の空間内を通過する間の酸化膜の厚肉化を抑制することができる。これにより、アルミニウム箔４０の表面に厚い酸化膜が形成されることを抑制することができる。
【００４４】
第１洗浄工程を経た後に行う第２洗浄工程でのアルミニウム箔４０の表面の洗浄方法としては、特許文献１に開示されるアルミニウム箔を水槽に水没させて行なう２次洗浄のような方法が考えられる。この単純なアルミニウム箔を浸漬する方法は、アルミニウム箔の全表面が水と接触するので、アルミニウム箔と洗浄溶媒との擦過作用により洗浄することができる点では有利である。この観点では、上述した第２洗浄工程（第２洗浄装置６）においても同様に、アルミニウム箔４０が第２洗浄槽６ｂ内の第２洗浄溶媒６ａ中を通過し、アルミニウム箔４０の全表面が第２洗浄溶媒６ａ中に浸漬される。
【００４５】
第２洗浄装置６では、好ましくは第２洗浄槽６ｂの後段に洗浄溶媒供給部６ｃを具備する構成とする。例えば、アルミニウム箔４０の表面に残存する付着物の付着力が比較的大きい場合は、そうした付着物をアルミニウム箔４０の表面から確実に除去する洗浄力を付与する必要がある。そこで、第２洗浄槽６ｂ内の第２洗浄溶媒６ａ中の通過による擦過作用によりアルミニウム箔４０の全表面を洗浄した後、さらに洗浄力を付与するために、洗浄溶媒供給部６ｃから第２洗浄溶媒６ａを供給してアルミニウム箔４０の表面に第２洗浄溶媒６ａをかけ流すことが好ましい。第２洗浄溶媒６ａのかけ流しにより、アルミニウム箔４０と第２洗浄溶媒６ａとの擦過力が大きくなるので、付着力が比較的大きい付着物を除去するための十分な洗浄力を得ることができる。こうした第２洗浄工程を経たアルミニウム箔は、表面腐食や表面変色の誘発がより抑制される。
【００４６】
洗浄溶媒供給部６ｃは、例えば、アルミニウム箔４０の表面に向かって第２洗浄溶媒６ａを噴射や噴霧するノズルを具備する構成とすることができる。ノズルなどの構成は、除去対象となる付着物の付着力、付着物の形態、あるいは付着範囲などに適するように適宜選択すればよい。洗浄溶媒供給部６ｃは直列に多段化してもよい。洗浄溶媒供給部６ｃおよび第２洗浄槽５ｂを直列に多段化することもできる。こうしたアルミニウム箔４０の全表面を段階的に洗浄することができる第２洗浄工程を経たアルミニウム箔は、表面腐食や表面変色の誘発がより一層抑制される。
【００４７】
第２洗浄工程では、アルミニウム箔４０が通過する第２洗浄溶媒６ａの加温や、アルミニウム箔４０の表面にかけ流す第２洗浄溶媒６ａの加温や、超音波加振などを行うことが好ましい。第２洗浄溶媒６ａが適度に加温されていると、あるいは第２洗浄溶媒６ａが適度に超音波振動していると、付着力が比較的大きい付着物を除去するための十分な洗浄力を得ることができる。こうした第２洗浄工程を経たアルミニウム箔は、表面腐食や表面変色の誘発がより一層抑制される。
【００４８】
第２洗浄工程で適用可能なアルミニウム箔用の洗浄溶媒（第２洗浄溶媒６ａ）は、めっき液１０（残渣）、めっき液１０に含まれる不純物、アノード電極３０から溶出される不純物などの付着物の組成に適し、第１洗浄溶媒５ａと親和性がある洗浄溶媒を適宜選択することが好ましい。例えば、水、めっき液１０との親和性に優れた有機溶媒などを、第２洗浄溶媒６ａに用いることができる。第２洗浄溶媒６ａとして有機溶媒を用いる場合は、例えば炭酸プロピレンなど、極性を有するものを用いることが好ましい。
【００４９】
第１洗浄工程で用いる洗浄溶媒（第１洗浄溶媒５ａ）と第２洗浄工程で用いる洗浄溶媒（第２洗浄溶媒６ａ）は、貯留および廃液処理の観点からは同じ種類の洗浄溶媒を用いることが好ましい。例えば、第２洗浄溶媒６ａが第１洗浄溶媒５ａと同じ種類であると、図１に示す製造装置１のように、第１洗浄装置５における第１洗浄溶媒５ａの貯留槽と第２洗浄装置６における第２洗浄溶媒６ａの貯留槽との共用が可能になる。図１に示す第２洗浄装置６では、洗浄溶媒供給部６ｃから供給された第２洗浄溶媒６ａは、第２洗浄槽６ｂ内に適度に溜まり、第２洗浄槽６ｂの下方のアルミニウム箔４０の送材口から矢印Ｄの向きに適度に流れ落ちる。この場合、洗浄溶媒供給部６ｃが第２洗浄槽６ｂへの第２洗浄溶媒６ａの供給装置としても機能している。第２洗浄溶媒６ａが第１洗浄溶媒５ａと同じ種類であると、第１洗浄装置５および第２洗浄装置５を含む製造装置１のコンパクト化や省スペース化に寄与することができる。なお、洗浄効率が向上する場合は、第１洗浄工程と第２洗浄工程とで異なる種類の洗浄溶媒を用いることができる。
【００５０】
上述した第２洗浄工程では、アルミニウム箔４０を鉛直方向に送材することが好ましく、図１に示す第２洗浄槽６ｂと洗浄溶媒供給部６ｃとが直列する竪型洗浄装置としてアルミニウム箔４０を図中の下方から上方へ送材する構成が好ましい。これにより、第２洗浄槽６ｂと洗浄溶媒供給部６ｃを通過するアルミニウム箔４０の表面に付着した第２洗浄溶媒６ａが、重力の作用でアルミニウム箔４０の表面を適度に流れ落ちる。第２洗浄溶媒６ａがアルミニウム箔４０の表面を流れ落ちる際に、アルミニウム箔４０の表面と第２洗浄溶媒６ａの間に擦過力が生じる。そのため、アルミニウム箔４０の表面に付着物が残存していた場合でも、アルミニウム箔４０が第２洗浄装置６内を通過する間に、付着物をより確実に除去することができる。
【００５１】
第２洗浄溶媒６ａがアルミニウム箔４０の表面を流れ落ちる構成は、第２洗浄工程を経たアルミニウム箔４０を乾燥工程に送材する際に持ち込まれる第２洗浄溶媒６ａの量を最小限に抑えるためにも有効である。図１に示す第２洗浄装置６では、アルミニウム箔４０を鉛直方法に送材することで、洗浄溶媒供給部６ｃから供給された第２洗浄溶媒６ａが第２洗浄槽６ｂ内に適度に溜まり、第２洗浄槽６ｂの下方のアルミニウム箔４０の送材口から矢印Ｄの向きに適度に流れ落ちる。アルミニウム箔４０を水平方向に送材する横型洗浄装置では、こうした作用効果を得ることは困難と考えられる。
【００５２】
第２洗浄工程を経たアルミニウム箔４０は、第２洗浄装置６からそのまま乾燥装置に送材され、アルミニウム箔４０の表面を乾燥させる乾燥工程が連続して行われる。図１に示す製造装置１の場合、第２洗浄工程である第２洗浄装置６内において、アルミニウム箔４０が鉛直方向に送材される。そのため、アルミニウム箔４０の表面に付着した第２洗浄溶媒６ａは、重力により除去されると考えられるが、重力のみで完全に除去することは容易ではない。そこで、第２洗浄工程を経て第２洗浄溶媒６ａが残存していると考えられるアルミニウム箔４０の表面を乾燥させる乾燥工程を連続して行う構成とする。乾燥工程では、乾燥装置７を用いて第２洗浄装置６から送材されたアルミニウム箔４０の表面から第２洗浄溶媒６ａを除去し、アルミニウム箔４０の表面を十分に乾燥させる。乾燥工程では、第２洗浄溶媒６ａの除去を助長するため、ワイパーなどの液切り装置を設けることもできる。
【００５３】
乾燥工程では、アルミニウム箔４０の表面に直接接触しない間接乾燥が好ましい。乾燥に用いる接触ユニットなどがアルミニウム箔４０の表面に直接接触すると、その接触に起因してアルミニウム箔４０に表面腐食や表面変色ありは擦過疵などの不具合が発生する虞がある。乾燥工程で用いる乾燥装置７は、ヒータなどによる加熱乾燥や、ブロアなどによる気体送風乾燥や、あるいはこれらの組合せによる間接乾燥を適用することができる。図１に示す乾燥装置７には、鉛直方向に送材されるアルミニウム箔４０の表面に気体を送風するための気体供給部（図示略）を具備することが好ましい。アルミニウム箔４０の表面に気体を送風し、好ましくは気体を可能な限り強く吹き付けることにより、アルミニウム箔４０の表面に残存していた場合の第２洗浄溶媒６ａの除去（液切り）や、アルミニウム箔４０の乾燥を効果的に行うことができる。
【００５４】
気体の送風による乾燥方法は、アルミニウム箔４０が薄い場合（例えば１０μｍ以下）に効果的であり、ヒータなどによる加熱乾燥の場合に懸念されるアルミニウム箔４０の変質などの不具合を防止することができる。乾燥に用いる気体は、常温の大気や非酸化性ガス（例えば窒素ガス）であってよく、加温処理や乾燥処理されていてもよい。好ましくは例えば窒素ガスなどの非酸化性ガスであり、アルミニウム箔４０の表面に厚い酸化膜が形成されることを抑制することができる。こうした乾燥工程を経たアルミニウム箔４０は、その表面から第２洗浄溶媒６ａが十分に除去され、その表面が十分に乾燥しているため、表面腐食や表面変色が発生し難い表面性状を有することができる。
【００５５】
上述したように、少なくとも製箔工程から乾燥工程までを連続して行う本発明のアルミニウム箔の製造方法を適用することにより、電解還元析出法（電解法）によって得られるアルミニウム箔の表面腐食や表面変色の問題を解決することができる。例えば、図１に示す製造装置１により、少なくとも実質の製箔装置となる電解槽２から第１洗浄装置５および第２洗浄装置６を経て乾燥装置７までアルミニウム箔４０の連続送材を行うことより、表面変色が発生し難いアルミニウム箔４０を連続的に得ることができる。
【００５６】
乾燥工程を経たアルミニウム箔４０は、アルミニウム箔４０を巻取る巻取り工程に送材される。乾燥工程を経たアルミニウム箔４０は、そのまま連続して巻取り工程に送材されることが好ましい。図１に示す製造装置１は、乾燥装置７を経て矢印Ｂの向きに送材されたアルミニウム箔４０をリールに連続して巻取る巻取り装置８を具備する。図１に示す製造装置１では、乾燥装置７から送材されたアルミニウム箔４０は、そのまま連続して矢印Ｂの向きに送材され、矢印Ａの向きに連続回転する巻取り装置８によって巻取られ、コイル状の形態に形成される。乾燥工程を経たアルミニウム箔４０は、そのまま巻取り工程を行わず、時間を空けて、巻取り工程を行うことができる。例えば、乾燥工程を経たアルミニウム箔４０が常温を超えて温度上昇している場合など、アルミニウム箔４０をそのまま巻取らずにバッファスペースなどに溜めて、冷却処理などを行ってもよい。その後、巻取り工程を行うことにより、アルミニウム箔４０を巻取り装置で巻き取ることができる。
【実施例】
【００５７】
（本発明例）
図１および図３に示す製造装置１と同等の構成を有する製造装置（以下、図中の符号を援用する。）を用いて、本発明例となるアルミニウム箔４０を作製した。具体的には、実質の製箔装置となる電解槽２内で、電解法によってアルミニウム被膜をカソード電極２０の表面に析出させた後、アルミニウム被膜をカソード電極２０から剥離してアルミニウム箔４０を得る製箔工程を実施した。そのまま続いて、製箔工程を経たアルミニウム箔４０を電解槽２から第１洗浄装置５へ送材し、第１洗浄工程を実施した。
【００５８】
第１洗浄装置５へ送材されたアルミニウム箔４０は、第１洗浄槽５ｂ内を鉛直方向に上方から下方へ移動し、下方から上方へ流れが付与された第１洗浄溶媒５ａ中を毎分０．５ｍの速度（送材速度）で通過した。このとき、アルミニウム箔４０の全表面は、第１洗浄溶媒５ａに接触して洗浄され、めっき液１０（残渣）などの付着物が除去される。第１洗浄溶媒５ａには常温（２５℃）の水を用いた。アルミニウム箔４０を洗浄した後の第１洗浄溶媒５ａ（洗浄排液４ａ）は、常時、アルミニウム箔４０を送材した第１洗浄槽５ｂの上方の送材口から矢印Ｃの向きに流れ出るようにし、排出槽４内に排出した。そのまま続いて、第１洗浄工程を経たアルミニウム箔４０を第１洗浄装置５から第２洗浄装置６へ送材し、第２洗浄工程を実施した。
【００５９】
なお、排出槽４内に排出された洗浄排液４ａおよび排出槽４内の雰囲気ガスは、ともに多孔質部材４ｂ中を通過してから第１洗浄系外へ排出された。多孔質部材４ｂには株式会社イノアックコーポレーションのウレタン素材のモルトフィルター（タイプ：ＭＦ−１３、密度：３０±５（ｋｇ／ｍ３）、セル数：１３（精度−２〜＋３）（個／２５ｍｍ））を用いた。こうした洗浄排液４ａおよび排出槽４内の雰囲気ガスの排出を連続的に実施していても、アルミニウム箔４０の連続的な製箔を損ねるような排出配管の閉塞などの不具合は発生しなかった。
【００６０】
第２洗浄装置６へ送材されたアルミニウム箔４０は、第２洗浄槽６ｂ内を鉛直方向に下方から上方へ移動し、第２洗浄槽６ｂ内に溜まる第２洗浄溶媒６ａ中を毎分０．５ｍの速度（送材速度）で通過した。このとき、アルミニウム箔４０の全表面は、第２洗浄溶媒６ａに接触して洗浄され、たとえ付着物が残存していたとしても除去される。その直後、洗浄溶媒供給部６ｃから第２洗浄溶媒６ａを供給し、鉛直方向の上方へ送材されるアルミニウム箔４０の両面に、さらに２洗浄溶媒６ａをかけ流した。これにより、アルミニウム箔４０の全表面は、第２洗浄溶媒６ａに接触して洗浄され、たとえ付着力が大きな付着物が残存していたとしても除去される。第２洗浄溶媒６ａには第１洗浄溶媒５ａと同質の常温（２５℃）の水を用いた。洗浄溶媒供給部６ｃから供給され、アルミニウム箔４０を洗浄した後の第２洗浄溶媒６ａは、常時、第２洗浄槽６ｂ内に適度に溜まるとともに、第２洗浄槽６ｂの下方のアルミニウム箔４０の送材口から下方へ適度に流れ出た。そのまま続いて、第２洗浄工程を経たアルミニウム箔４０を第２洗浄装置６から乾燥装置７へ送材し、乾燥工程を実施した。
【００６１】
乾燥装置７へ送材されたアルミニウム箔４０は、乾燥装置７内を鉛直方向に下方から上方へ移動し、乾燥装置７に具備する気体供給部（図示略）からアルミニウム箔４０の表面に常温（２５℃）の空気を吹きかけるように送風した。このとき、アルミニウム箔４０の表面に残存していた第２洗浄溶媒６ａが吹き飛ばされて除去されるとともに、アルミニウム箔４０の全表面が常温（２５℃）の空気によって乾燥された状態になった。常温（２５℃）の空気の送風を利用した乾燥工程を経たアルミニウム箔４０は温度が上昇しなかった。そこで、そのまま続いて、乾燥工程を経たアルミニウム箔４０を乾燥装置７から巻取り装置８へ送材し、巻取り工程を実施した。
【００６２】
巻取り装置８へ送材されたアルミニウム箔４０は、リールを具備し、矢印Ａの向きに連続回転する巻取り装置８によって連続的に巻き取られ、コイル状の形態に形成された。上述したように、少なくとも製箔工程から乾燥工程までを連続して行うことにより、電解法を適用した本発明例となるアルミニウム箔４０を連続的に製造した。
【００６３】
（比較例）
図１および図３に示す製造装置１において、第１洗浄装置５を具備しないこと以外は同等の構成を有する製造装置（以下、簡便のため本発明例と同じ図中の符号を援用する。）を用いて、比較例となるアルミニウム箔４０を作製した。具体的には、実質の製箔装置となる電解槽２内で、電解法によってアルミニウム被膜をカソード電極２０の表面に析出させた後、アルミニウム被膜をカソード電極２０から剥離してアルミニウム箔４０を得る製箔工程を実施した。そのまま続いて、製箔工程を経たアルミニウム箔４０を電解槽２からバッファ槽３内を通過させて第２洗浄装置６へ送材し、第２洗浄工程を実施した。つまり、本発明例で行ったアルミニウム箔４０の第１洗浄工程を行わなかった。比較例における第２洗浄工程は、常温（２５℃）の水を第２洗浄溶媒６ａに用いて、上述した本発明例の場合と同様に実施した。
【００６４】
そのまま続いて、第２洗浄工程を経たアルミニウム箔４０を第２洗浄槽６ｂから乾燥装置７へ送材し、乾燥工程を実施した。乾燥工程は、常温（２５℃）の空気の送風を利用して、上述した本発明例の場合と同様に実施した。そのまま続いて、乾燥工程を経たアルミニウム箔４０を乾燥７から巻取り装置８へ送材し、巻取り工程を実施した。巻取り装置８へ送材されたアルミニウム箔４０は、上述した本発明例の場合と同様にリールに連続的に巻き取られ、コイル状の形態に形成された。上述したように、本発明例で行った第１洗浄工程を行わずに、少なくとも製箔工程から乾燥工程まで連続して行うことにより、電解法を適用した比較例となるアルミニウム箔４０を連続的に製造した。
【００６５】
本発明例となるアルミニウム箔の表面（図中の左方の部分）の外観写真の一例を図４に示し、比較例となるアルミニウム箔の表面の外観写真の一例を図５に示す。いずれの図中でも、比較的明るく観える部分がアルミニウム箔の表面である。図５に示す比較例となるアルミニウム箔は、めっき液（残渣）などの付着物の残存に起因すると推測される多数の微細な表面腐食痕や白色よりも暗く濃灰色に観える表面変色が確認される。これに対し、図４に示す本発明例となるアルミニウム箔は、比較例のアルミニウム箔で観察された微細な表面腐食痕や濃灰色に観える表面変色などが確認されない。
【００６６】
これらの結果から、比較例となるアルミニウム箔に比べて、本発明例となるアルミニウム箔の表面が清浄であると判定することができる。したがって本発明によれば、電解法によって得られるアルミニウム箔の表面腐食や表面変色の問題が解決され、表面腐食や表面変色が発生し難いアルミニウム箔が連続的に得られることが確認された。
【符号の説明】
【００６７】
１．製造装置
２．電解槽
３．バッファ槽
４．排出槽、４ａ．洗浄排液、４ｂ．多孔質部材、４ｃ．仕切り板５．第１洗浄装置、５ａ．第１洗浄溶媒、５ｂ．第１洗浄槽６．第２洗浄装置、６ａ．第２洗浄溶媒、６ｂ．第２洗浄槽、６ｃ．洗浄溶媒供給部
７．乾燥装置
８．巻取り装置
１０．めっき液
２０．カソード電極
３０．アノード電極
４０．アルミニウム箔
【図１】
2018059194.tif 000003
【図２】
2018059194.tif 000004
【図３】
2018059194.tif 000005
【図４】
2018059194.tif 000006
【図５】
2018059194.tif 000007