(57)【要約】【課題】従来のリニアフィーダとは全く異なる振動原理で長尺のトラフを長手方向に振動させることを実現し、特に、トラフ上の被搬送物を安定した搬送速度で搬送可能なリニアフィーダを提供する。【解決手段】固定部１と、上端部にトラフＴを固定した可動部２と、固定部１と可動部２とを連結する支持バネ３と、一端側に設定した可動部２に対する取付部４１、取付部４１からトラフＴの幅方向Ｗに延伸する梁部４２、及び自由端である他端側に設定したウェイト部４３を有し、且つ振り子運動を行う振動子４と、振動子４を振動させる加振源５とを備え、加振源５を駆動させることによって振動子４、可動部２及びトラフＴが被搬送物を搬送するように振動するように構成した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線状に延伸するトラフに振動を与えて、当該トラフ上に載置された被搬送物を当該トラフの長手方向に沿って搬送するリニアフィーダであって、
床面上に直接または間接的に固定される固定部と、
上端部に前記トラフを固定した可動部と、
前記固定部と前記可動部とを連結する支持バネと、
一端側に設定した前記可動部に対する取付部、当該取付部から前記トラフの幅方向に延伸する梁部、及び自由端である他端側に設定したウェイト部を有し、且つ振り子運動を行う振動子と、
前記振動子を振動させる加振源とを備え、
前記加振源を稼動させることによって前記振動子、前記可動部及び前記トラフが前記被搬送物を搬送するように振動することを特徴としたリニアフィーダ。
【請求項２】
一対の前記振動子を一組または複数組備え、各組における前記各振動子が、前記ウェイト部の位置が前記トラフの幅方向において相互に逆となる姿勢となるように前記取付部を前記可動部に固定している請求項１に記載のリニアフィーダ。
【請求項３】
複数の前記振動子を前記トラフの長手方向、高さ方向、または幅方向から選択される一以上の方向に沿って並べて配置している請求項１又は２記載のリニアフィーダ。
【請求項４】
前記可動部が、高さ方向において前記振動子を挟む位置に配置される天板及び底板を用いて構成されたもの、または内部空間に前記振動子を収容する筐体を用いて構成されたものである請求項１乃至３の何れかに記載のリニアフィーダ。
【請求項５】
板状をなす前記支持バネを、高さ方向を鉛直方向に一致させた鉛直姿勢と、当該鉛直姿勢から所定角度傾斜させた傾斜姿勢に変更可能に構成している請求項１乃至４の何れかに記載のリニアフィーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動を利用して部品等を搬送するリニアフィーダに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、直線状をなす長尺のトラフ（搬送台またはシュートとも称される）に振動を与えることで、トラフ上に設定された搬送路に沿って被搬送物を搬送方向下流側へ供給可能なリニアフィーダが知られている。
【０００３】
この種のリニアフィーダとしては、固定台（固定部）と、トラフが接続された可動台（可動部）と、固定部及び可動部を相互に連結し且つ固定部に対して可動部を弾性支持する駆動用バネと、加振源とを備え、加振源から与えられる加振力によって駆動用バネを直接または間接的に起振させると、可動部及び固定部は相対的に振動し、この振動は可動部と一体的に連結されたトラフに伝達され、これによりトラフ上に設定された搬送路上で被搬送物を振動搬送する装置が知られている（例えば、下記特許文献１、２参照）。
【０００４】
従来のリニアフィーダでは、例えば図３９に模式的に示すように、駆動用バネ１０４として板状のバネ（板バネ）が適用され、このような駆動用バネ１０４が、相互に離間した搬送方向上流側の所定位置と搬送方向下流側の所定位置とに対にして配置されている。なお、搬送方向はトラフ１０２の長手方向と同一方向である。
【０００５】
これら一対の駆動用バネ１０４は、それぞれ厚み方向を搬送方向と一致させた姿勢で配置されている。また、一対の駆動用バネ１０４は、トラフ１０２の搬送路上における被搬送物のピッチング現象やローリング現象等の挙動を防止・抑制すべく、所定の傾斜姿勢で配置されている（図３９参照）。
【０００６】
そして、加振源（図示省略）から与えられる加振力によって、可動部１０３及び固定部１０１が駆動用バネ１０４を介して互いに逆方向に振動し、これによって可動部１０３に接続されているトラフ１０２が長手方向に振動し、被搬送物が搬送方向に沿って下流側へ搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１２−０６６９３１号公報（特許第５７４１９９３号）
【特許文献２】特開２０１５−１０１４３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述のように、従来のリニアフィーダでは、加振源によって駆動用バネを直接又は間接的に起振させて、駆動用バネ自体を撓ませながら可動部及び固定部の両者に相対変位を行わせることができるように構成されている。
【０００９】
したがって、このような構成であれば、図４０に模式的に示すように、一対の駆動用バネ１０４がＳ字形に撓み変形することによって可動部１０３及び固定部１０１も撓み、その結果、可動部１０３に対して一体的に動作するように固定されているトラフ１０２も撓むことになり、搬送速度にムラが生じる等、安定した搬送処理に支障を来す場合があると考えられる。特に、振動時（通電ＯＮ状態）においてＳ字変形する駆動用バネ１０４を用いた従来のリニアフィーダにおいて、高速振動搬送を実現するために振動周波数を高くすべく、駆動用バネ１０４の厚み寸法を大きく設定する（分厚くする）ほど、トラフの撓みがより一層大きくなると考えられる。
【００１０】
そこで、このような駆動用バネ１０４のＳ字変形を考慮した上で可動部１０３及び固定部１０１を高い精度で加工製作することによって、トラフ１０２の撓みを軽減する対策が講じられている場合もあるが、可動部１０３及び固定部１０１の加工精度が低い場合には、駆動用バネ１０４が歪み、それがトラフ１０２の撓みの要因となり得る。
【００１１】
さらにはまた、従来のリニアフィーダでは、駆動用バネがＳ字状に変形するため、例えば弓状に変形するバネと比較すると、変形前の時点から最大に変形した時点までの変位量が半分程度であり、振動減衰も大きいため共振による振動増幅率も少なく、効率の点で改善の余地があると考えられる。
【００１２】
本発明は、このような点に着目してなされたものであって、主たる目的は、従来のリニアフィーダとは全く異なる振動原理で長尺のトラフを長手方向に振動させることを実現し、特に、トラフ上の被搬送物を安定した搬送速度で搬送可能なリニアフィーダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
すなわち本発明のリニアフィーダは、直線状に延伸するトラフに振動を与えて、トラフ上に載置された被搬送物をトラフの長手方向に沿って搬送するリニアフィーダに関するものである。ここで、被搬送物としては、例えば微小サイズの電子部品（ワーク）等を挙げることができるが、本発明のリニアフィーダによって搬送可能なものであれば特に限定されない。
【００１４】
そして、本発明に係るリニアフィーダは、床面上に直接または間接的に固定される固定部と、上端部にトラフを固定した可動部と、固定部と可動部とを連結する支持バネと、一端側に設定した可動部に対する取付部、当該取付部からトラフの幅方向に延伸する梁部、及び自由端である他端側に設定したウェイト部を有し、且つ振り子運動を行う振動子と、振動子を振動させる加振源とを備え、加振源を稼動させることによって振動子、可動部及びトラフが被搬送物を搬送するように振動することを特徴としている。
【００１５】
このような本発明に係るリニアフィーダであれば、加振源によって振動子を振動させると、ウェイト部を有する他端側を自由端に設定した振動子のうち梁部が、可動部に取り付けた取付部を支点にしてばねのように振る舞い、振動子全体が振り子運動を行うことで振動し、その反作用で可動部が振動し、可動部の上端部に固定したトラフにその振動が伝達する。その結果、直線状に延伸するトラフが振動し、トラフ上に載置された被搬送物をトラフの長手方向に沿って搬送することができる。特に、本発明に係るリニアフィーダであれば、取付部から延伸する梁部の延伸方向がトラフの幅方向に一致する姿勢で振動子を配置する構成、すなわち振動子を寝かせた姿勢で配置する構成を採用しているため、梁部の延伸方向が高さ方向に一致する姿勢で振動子を配置する構成（振動子を起立姿勢で配置する構成）と比較して、リニアフィーダ全体の高さ寸法をコンパクトにすることができる
。また、振動子が、水平面内または水平面に近い面（水平面と見なせる面）内において振り子運動を行うように振動子の配置姿勢を設定することで、振り子運動時に往復動する振動子の自由端の移動軌跡（振動子の往復軌跡）が、側面視した場合、水平姿勢で配置されているトラフの長手方向と平行または略平行となり、長尺のトラフ上に載置された被搬送物をトラフの長手方向に沿って振動搬送することができる。また、振動子が、水平面に対して所定角度をなす面内（鉛直面内を除く）において振り子運動を行うように振動子の配置姿勢を設定することで、振り子運動時に往復動する振動子の自由端の移動軌跡（振動子の往復軌跡）が、側面視した場合、水平面に対して所定角度をなす方向と平行または略平行となる。
【００１６】
また、本発明において、固定部が直接または間接的に固定される「床面」は、人が歩く床面はもちろんのこと、リニアフィーダを載置する台の載置面も包含する概念である。このような床面に固定された固定部は、支持バネによって可動部を弾性支持しているため、振動子の振り子運動時にも撓み変形することなく静止している。
【００１７】
このように、本発明に係るリニアフィーダは、振動子の振り子動作を利用した振動によってトラフ上の被搬送物を搬送するというこれまでに着想されることのなかった斬新な振動原理を採用したことによって、従来のリニアフィーダで採用されていた一対の駆動用バネをＳ字形に撓み変形させる構成であれば必然的に生じる可動部及び固定部の撓み、ひいてはトラフの撓みを回避・抑制することが可能であり、トラフの撓みに伴う搬送速度のばらつき等の不具合を防止・抑制することができ、安定した搬送処理を実現することができる。
【００１８】
特に、本発明に係るリニアフィーダであれば、振動子の振動に伴って曲げ変形や撓み変形が生じない可動部及びトラフの振動周波数を、振動子の振動周波数を変更することで容易に変更することができ、従来のリニアフィーダでは困難であった例えば１０００Ｈｚ乃至２０００Ｈｚ等の高周波振動搬送も可能になり、搬送処理速度の高速化を図ることができる。
【００１９】
また、本発明に係るリニアフィーダであれば、トラフの曲げ撓み現象が生じないか、ごく僅かに生じる程度であるため、トラフの長手寸法を大きく設定しても被搬送物を安定して搬送することができる。とりわけ、本発明に係るリニアフィーダであれば、従来のリニアフィーダであればトラフの撓み変形が顕著になる高い周波数域の振動であっても、トラフの撓み変形が生じないか、生じても従来装置と比べればごく僅かな撓み変形に抑制することができるため、トラフの長手寸法を大きく設定することが可能になる。
【００２０】
駆動用バネの歪みがトラフの撓みの要因となり得る従来のリニアフィーダであれば要求される可動部及び固定部に対する高い精度の加工製作が、本発明に係るリニアフィーダには特段要求されないため、この点でも有利である。
【００２１】
さらに、本発明に係るリニアフィーダであれば、振り子運動を行う振動子のうち梁部がＳ字状に変形するのではなく、弓状に変形するため、Ｓ字状に変形する駆動用バネを用いた従来のリニアフィーダと比較して、変形前の時点から最大に変形した時点までの振動子の変位量（ばねのように振る舞う梁部の変位量）を格段に大きくすることができ、振動減衰も少なく、共振による振動増幅率も高くなり、効率の向上を図ることができる。
【００２２】
本発明に係るリニアフィーダは、単数の振動子を備えたものであってもよいし、複数の振動子を備えたものであってもよい。特に、本発明に係るリニアフィーダにおいて、振動子の振り子運動による円弧運動から、可動部及びトラフに直線的な振動を効率良く伝達することが可能な構成としては、一対の振動子を一組または複数組備え、各組における各振動子を、互いに逆向きに配設している構成を挙げることができる。つまり、本発明に係るリニアフィーダにおいて、ウェイト部の位置がトラフの幅方向において（平面視において）相互に逆となる姿勢となるように各組における各振動子の取付部を可動部に固定することによって、各組における各振動子の円弧運動が合成されて回転モーメントが打ち消し合う結果として直線的な振動が生じ、この振動が可動部及びトラフに伝わり、トラフ上の被搬送物を搬送可能な安定した振動を得ることができる。
【００２３】
特に、本発明に係るリニアフィーダでは、複数の振動子をトラフの長手方向、高さ方向、または幅方向から選択される一以上の方向に沿って並べて配置することができる。例えば、リニアフィーダの低背化を図る場合には、複数の振動子をトラフの長手方向または幅方向に沿って並べて配置すればよく、リニアフィーダの幅方向におけるコンパクト化を図る場合には、複数の振動子をトラフの長手方向または高さ方向に沿って並べて配置すればよい。
【００２４】
本発明に係るリニアフィーダでは、可動部として、上端部にトラフを固定し、且つ振動子の取付部が取付可能なものであればよく、好適な具体例としては、高さ方向において振動子を挟む位置に配置される天板及び底板を備えた可動部や、内部空間に振動子を収容する筐体を備えた可動部を挙げることができる。特に、内部空間に振動子を収容する筐体を用いて構成した可動部を適用したリニアフィーダであれば、振り子運動を行う振動子を筐体の内部空間に収容することによって、防音性・遮音性が向上する。
【００２５】
本発明に係るリニアフィーダは、固定部と可動部を連結する支持バネの傾斜角度次第でトラフの振動方向を任意の方向に設定することができる。したがって、本発明において、固定部と可動部を連結する板状をなす支持バネを、高さ方向を鉛直方向に一致させた鉛直姿勢と、当該鉛直姿勢から所定角度傾斜させた傾斜姿勢に変更可能に構成すれば、被搬送物の種類や形状、仕様等の諸条件を考慮して、最適なトラフの振動方向を選択・設定することができる。このように、本発明に係るリニアフィーダでは、支持バネが、振動角度調整用バネとして機能し、支持バネの角度を変更することで、トラフの振動方向を変更することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、振り子運動を行う振動子のうち一端側に設定した取付部を可動部に取り付け、振動子の振動を可動部及びトラフに伝達して、トラフ上の被搬送物を所定のトラフの長手方向に搬送するという斬新な構成を採用したことによって、構造の複雑化を招来することなく、トラフに曲げ撓みが伝達する従来の不具合を解消し、安定した振動搬送を実現可能なリニアフィーダを提供することができる。特に、本発明に係るリニアフィーダでは、振動子を寝かせた姿勢で配置する構成を採用しているため、振動子を起立姿勢で配置する構成と比較して、リニアフィーダ全体の高さ寸法をコンパクトにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態に係るリニアフィーダの平面図。
【図２】図１の矢印Ａ方向から見た同実施形態に係るリニアフィーダを一部省略して示す図（側面図）。
【図３】図１の矢印Ｂ方向から見た同実施形態に係るリニアフィーダを一部省略して示す図（正面図）。
【図４】同実施形態において支持バネを傾斜姿勢に設定したリニアフィーダの図１対応図。
【図５】図１から振動子及び加振源のみを抽出して示す図。
【図６】図３から振動子及び加振源のみを抽出して示す図。
【図７】同実施形態における振動子の振り子運動を模式的に示す図。
【図８】同実施形態に係るリニアフィーダにおいて直進振動が発生する原理図。
【図９】板バネの変形の違いによって板バネに対する圧電素子の付帯面積が異なることを説明する模式図。
【図１０】板バネの変形の違いによって板バネの変位量が異なることを説明する模式図。
【図１１】同実施形態における振動子の一変形例。
【図１２】同実施形態における振動子の一変形例。
【図１３】同実施形態における振動子の一変形例。
【図１４】同実施形態における振動子の一変形例。
【図１５】同実施形態における振動子の一変形例。
【図１６】同実施形態に係るリニアフィーダの一変形例の平面図。
【図１７】図１６に示すリニアフィーダを図２に対応して示す図。
【図１８】同実施形態における振動子の一変形例。
【図１９】図１８に示す振動子を備えたリニアフィーダの平面図。
【図２０】図１８に示す振動子を備えたリニアフィーダを図２に対応して示す図。
【図２１】図１８に示す振動子を備えたリニアフィーダを図３に対応して示す図。
【図２２】同実施形態における振動子の一変形例。
【図２３】同実施形態に係るリニアフィーダの一変形例を図２に対応して示す図。
【図２４】同実施形態に係るリニアフィーダの一変形例の平面図。
【図２５】図２４に示すリニアフィーダを図２に対応して示す図。
【図２６】図２４に示すリニアフィーダを図３に対応して示す図。
【図２７】同実施形態に係るリニアフィーダの一変形例を図２に対応して示す図。
【図２８】図２７に示すリニアフィーダを図３に対応して示す図。
【図２９】同実施形態に係るリニアフィーダの一変形例の平面図。
【図３０】同実施形態に係るリニアフィーダの一変形例の平面図。
【図３１】同実施形態に係るリニアフィーダの一変形例を図２に対応して示す図。
【図３２】図３１に示すリニアフィーダを図３に対応して示す図。
【図３３】同実施形態に係るリニアフィーダの一変形例の平面図。
【図３４】図３３に示すリニアフィーダを図２に対応して示す図。
【図３５】図３３に示すリニアフィーダを図３に対応して示す図。
【図３６】同実施形態に係るリニアフィーダの一変形例の平面図。
【図３７】図３６に示すリニアフィーダを図２に対応して示す図。
【図３８】図３６に示すリニアフィーダを図３に対応して示す図。
【図３９】従来のリニアフィーダを模式的に示す側面図。
【図４０】従来のリニアフィーダの振動時を模式的に示す図３９対応図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２９】
本実施形態に係るリニアフィーダＸは、直線状に延伸するトラフＴに振動を与えて、トラフＴ上に載置された被搬送物（図示省略）をトラフＴの長手方向Ｈに沿って搬送するものである。被搬送物としては、極小サイズの電子部品等を挙げることができるが、振動によってトラフＴ上を搬送可能なものであれば特に限定されない。
【００３０】
本実施形態に係るリニアフィーダＸは、図１乃至図３（図１はリニアフィーダＸの平面図であり、図２はリニアフィーダＸを図１の矢印Ａ方向から見た図（側面図）であり、図３はリニアフィーダＸを図１の矢印Ｂ方向から見た図（正面図）である。）に示すように、固定部１と、上端部にトラフＴを固定した可動部２と、固定部１と可動部２とを連結する支持バネ３と、一端側に設けた取付部４１を可動部２に固定し且つ取付部４１における所定のポイントを支点として振り子運動を行う振動子４と、振動子４を振動させる加振源５とを備え、加振源５を稼動させることで振動子４を振動させて、振動子４に直接固定している可動部２、及び可動部２に固定しているトラフＴが被搬送物を搬送するように振動するものである。ここで、直線状に延伸するトラフＴの長手方向Ｈに沿った一方向と、トラフＴ上を搬送する被搬送物の搬送方向は一致する。
【００３１】
トラフＴは、長尺ブロック状をなし、横断面Ｖ字形状をなすように形成された一対の傾斜面によって、被搬送物を搬送するための搬送面Ｔ１を構成している（図３参照）。つまり、長手方向に延伸する一対の傾斜面からなる搬送面Ｔ１が、被搬送物の搬送路として機能する。本実施形態では、トラフＴの上面に搬送面Ｔ１（搬送路）を形成している。
【００３２】
固定部１は、床面上に直接または間接的に固定されるものである。本実施形態では、床面上に固定される取付ブロック１１によって固定部１を構成している。固定部１を構成する取付ブロック１１は、カウンターウェイト（振動調整用ウェイト）としても機能するものである。本実施形態では、例えばネジ（図示省略）によって取付ブロック１１を床面に固定している。
【００３３】
可動部２は、高さ方向において対向する位置に配置した天板２１及び底板２２を備えたものであり、天板２１及び底板２２をトラフＴの幅方向Ｗにおいて挟むように対向配置した一対の側板２３をさらに備えたものである。側板２３は、略矩形状をなし、板厚方向（厚み方向）をトラフＴの幅方向Ｗに一致させた姿勢で配置され、搬送方向（トラフＴの長手方向）に沿った寸法をトラフＴの長手寸法よりも短く設定したものである。天板２１は、側板２３の上端部同士を連結する位置に配置され、底板２２は、側板２３の下端部同士を連結する位置に配置されている。これら天板２１及び底板２２は、側板２３の内向き面（対向配置した側板２３同士が向き合う面）同士の間に挟まれる姿勢で配置され、ネジＮ１によって側板２３と一体的に固定されている。これら天板２１、底板２２及び左右一対の側板２３によって囲まれる空間、つまり可動部２の内部空間は、後述する振動子４の配置スペースとして利用している。なお、本実施形態に係るリニアフィーダＸでは、可動子２の内部空間、すなわち天板２１、底板２２及び左右一対の側板２３によって囲まれる空間を、トラフＴの長手方向Ｈ（前後方向）において外部空間に連通するように設定している。
【００３４】
本実施形態では、可動部２の幅寸法をトラフＴの幅寸法よりも長く設定し（図１及び図３参照）、天板２１の上向き面にトラフＴを載置した状態でトラフＴの上方から天板２１に挿通させたネジＮ２によって、トラフＴを天板２１に固定している（図１及び図２参照）。図３ではネジＮ２を省略している。また、本実施形態では、図３に示すように、可動部２の幅寸法（一方の側板２３の外向き面から他方の側板２３の外向き面までの寸法）を固定部１の幅寸法に略一致させている。
【００３５】
支持バネ３は、固定部１に設けたバネ第１取付部１ａに一端を固定し、可動部２に設けたバネ第２取付部２ａに他端を固定したものである。本実施形態では、薄板状の板バネで構成した支持バネ３を、その板厚方向（厚み方向）をトラフＴの長手方向Ｈと一致させた姿勢で配置している。なお、図１では支持バネ３を省略している。また、本実施形態では、バネ第１取付部１ａをネジＮ３によって固定部１に固定するとともに、バネ第２取付部２ａをネジＮ４によって可動部２に固定している。本実施形態では、図２及び図４に示すように、固定部１に、ネジＮ３の数よりも多いネジ孔を形成し、ネジＮ３を螺合するネジ孔を適宜選択・変更することによって、固定部１に対するバネ第１取付部１ａの取付姿勢を変更可能に構成している。固定部１に対するバネ第１取付部１ａの取付姿勢を変更する場合には、バネ第２取付部２ａを固定しているネジＮ４を緩めておくことで、固定部１に対するバネ第１取付部１ａの取付姿勢を変更させる処理に伴って、支持バネ３を介してバネ第１取付部１ａに連結しているバネ第２取付部２ａを、ネジＮ４を枢支点として回転させることができる。そして、バネ第１取付部１ａをネジＮ３によって固定部１に固定した後に、ネジＮ４を締め付け直すことでバネ第２取付部２ａを可動部２に対して相対移動不能に固定することができる。本実施形態では、可動部２を構成する側板２３の外向き面にバネ第２取付部２ａをネジＮ４によって固定するとともに、固定部１のうち、可動部２の側板２３の外向き面と略面一となる側面にバネ第１取付部１ａをネジＮ３によって固定している。
【００３６】
以上のように、本実施形態のリニアフィーダＸは、板状をなす支持バネ３を、高さ方向を鉛直方向に一致させた鉛直姿勢（図２参照）と、鉛直姿勢から所定角度傾斜させた傾斜姿勢（図４参照）に変更可能に構成している。
【００３７】
振動子４は、図５及び図６（図５、図６は、それぞれ図１、図３に示すリニアフィーダＸから振動子４及び加振源５を抽出した図である。）に示すように、一端側に設けられ且つ可動部２に対して固定可能な取付部４１と、取付部４１からトラフＴの幅方向Ｗに延伸する梁部４２と、自由端である他端側に設定したウェイト部４３とを備えたものである。本実施形態では、振動子４全体を横臥姿勢（寝かせた姿勢）で可動部２に固定している。振動子４は、梁部４２の両端部に、トラフＴの長手方向Ｈに延伸する第１鍔部４４及び第２鍔部４５を備え、何れか一方の鍔部（本実施形態では、トラフＴの長手方向Ｈに沿った寸法が相対的に短い方の第１鍔部４４）によって取付部４１を構成し、他方の鍔部（本実施形態では、トラフＴの長手方向Ｈに沿った寸法が相対的に長い方の第２鍔部４５）によってウェイト部４３の一部を構成している。
【００３８】
本実施形態では、図２及び図３に示すように、振動子４の取付部４１の上向き面を可動部２のうち天板２１の下向き面に接触させるとともに、取付部４１の下向き面を、可動部２のうち底板２２の上向き面に接触させた状態で固定するように設定している。本実施形態のリニアフィーダＸでは、取付部４１を構成する第１鍔部４４として、図３及び図６に示すように、振動子４の他の部分（梁部４２やウェイト部４３）よりも高さ方向において所定寸法分だけ突出し、梁部４２、第２鍔部４５及びウェイト部４３よりも優先して可動部２の内向き面（天板２１の下向き面、底板２２の上向き面）に接触する突出端面４４１を有するものを適用している。そして、突出端面４４１を天板２１の下向き面及び底板２２の上向き面に接触させた状態で、天板２１の上方及び底板２２の下方からそれぞれ挿入したネジＮ５を、取付部４１に形成したネジ孔４４２に螺合させることによって、振動子４を可動部２に固定している（図１乃至図３参照）。したがって、取付部４１のうち可動部２の内向き面（天板２１の下向き面及び底板２２の上向き面）に接触している面（取付部４１の上向き面及び下向き面）である突出端面４４１が振動子４の固定面として機能する。本実施形態では、天板２１と底板２２の間に振動子４を挟んだ姿勢で、振動子４を可動部２に固定している。
【００３９】
特に、本実施形形態のリニアフィーダＸでは、トラフＴの幅方向Ｗに延伸する梁部４２に対して、取付部４１を構成する第１鍔部４４をトラフＴの長手方向Ｈに延伸する形状に設定し、第１鍔部４４及び梁部４２が全体として側面視Ｔ字形状をなすように設定している。本実施形態では、図５に示すように、取付部４１を構成する第１鍔部４４のうち、トラフＴの長手方向Ｈに沿った両端に近い位置にネジ孔４４２を形成している。これらネジ孔４４２の形成箇所は、梁部４２の軸中心（後出の図７に示す想像線Ｌ１）から外れた位置にある。
【００４０】
本実施形態の振動子４は、取付部４１を構成する第１鍔部４４と、ウェイト部４３の一部を構成する第２鍔部４５と、梁部４２とを一体に形成している。
【００４１】
ウェイト部４３は、振動子４のうち自由端である他端側に設定したものである。本実施形態では、上述の第２鍔部４５と、第２鍔部４５とは別体のウェイト部本体４６とを備えたウェイト部４３を適用している。
【００４２】
ウェイト部本体４６は、第２鍔部４５のうち長手方向両端部において第１鍔部４４に対向する面に接触させた状態でネジＮ６によって固定されたものである。ウェイト部本体４６は、トラフＴの幅方向Ｗに沿った一方の端面を第２鍔部４５に接触させた状態で固定され、この固定状態において、トラフＴの幅方向Ｗに沿った他方の端面が第２鍔部４５よりも第１鍔部４４に近寄った位置となる。そして、ウェイト部本体４６を第２鍔部４５に固定する際のネジＮ６の取付方向（螺合進退方向）を、トラフＴの延伸方向（長手方向Ｈ）以外の方向に設定している。具体的には、ネジＮ６の取付方向（螺合進退方向）をトラフＴの幅方向Ｗに設定している。第２鍔部４５のうち長手方向両端部には、それぞれ左右一対のネジ挿通孔を形成し、１つのウェイト部本体４６を２本のネジＮ６で固定している（図６参照）。ウェイト部本体４６には、ネジ孔を形成しておき、第２鍔部４５のネジ挿通孔から挿入したネジＮ６をウェイト部本体４６のネジ孔に螺合させて固定している。各ネジ挿通孔には、ネジ頭を収容可能な凹部を形成し、ネジ頭が外部に突出して露出しないように設定している。
【００４３】
このように、本実施形態では、振動子４のうち自由端である他端側に設けた第２鍔部４５及びウェイト部本体４６を用いてウェイト部４３を構成している。また、梁部４２のうち第２鍔部４５近傍の部分は自由端であり、当該部分もウェイト部４３の一部を構成するパーツとして捉えることができる。
【００４４】
そして、本実施形態に係るリニアフィーダＸでは、図７に示すように、取付部４１のうち、梁部４２の軸中心（梁部４２の厚み方向（トラフＴの長手方向Ｈと同一方向）の中心であり、同図において１点鎖線で示す線Ｌ１）に一致するポイントを支点として振動子４が振り子運動を行うように設定している。この際、振動子４の梁部４２が、素材自体の弾性を利用してばねのように振る舞う。振り子運動を行う振動子４の振動方向は、図７に示す矢印Ｙ方向（リニアフィーダＸの側方）から見ると、トラフＴの長手方向Ｈと平行である。
【００４５】
本実施形態に係るリニアフィーダＸは、図５及び図６に示すように、振動子４を振動させる加振源５を、板状をなす梁部４２のうちトラフＴの延伸方向を向く一対の対向面にそれぞれ設けた圧電素子５によって構成している。本実施形態では、梁部４２の対向面のうち両側端近傍領域を除く大半の領域を被覆し得るサイズの圧電素子５を適用している（図６参照）。そして、梁部４２の対向面にそれぞれ設けた圧電素子５を伸縮させる（例えば、圧電素子５に正弦波状の電圧を印加して周期的な伸びを生じさせる）ことによって、梁部４２が、可動部２に対する振動子４の固定面である取付部４１のうち梁部４２の軸中心Ｌ１が通る位置を支点として全体的に弓状に撓み、振り子動作を行う。その結果、振動子４は、ウェイト部４３の重量も相俟って適度な振り子動作を行い、振動子４の振動が発生する。ここで、梁部４２の厚み寸法（梁部４２の厚み方向(図５等に示す矢印Ｈ方向と同一方向)に沿った寸法）を変えることで振動周波数を容易に変えることができる。また、梁部４２の厚み寸法を大きく設定して高周波振動（例えば１０００Ｈｚ乃至２０００Ｈｚ）を発生させた場合であっても、可動部２に対する振動子４の固定面である突出端面４４１のうち振動する梁部４２の支点から外れた位置に形成したネジ孔４４２に固定用ネジＮ５を螺合して、振動子４を可動部２に固定しているため、振り子運動時における梁部４２の大きな撓みを好適に支えることができる。また、梁部４２が弓形に撓み変形して振動減衰が少なく、共振による振動増幅率が大きいため、所望の振幅を得るために必要な圧電素子５の枚数を少なくすることも可能である。圧電素子５は、例えば貼付処理等の適宜の処理によって梁部４２の対向面に固定されている。トラフＴの長手方向Ｈにおいて、圧電素子５とウェイト部４３（具体的にはウェイト部本体４６）との間には所定の隙間を確保し、圧電素子５とウェイト部４３が相互に干渉する事態を回避している（図５及び図７参照）。
【００４６】
本実施形態に係るリニアフィーダＸは、上述した振動子４を対にして設け、これら１組の振動子４（振動子４のペア）をトラフＴの長手方向Ｈに沿って並べて配置している。そして、各振動子４は、ウェイト部４３の位置がトラフＴの幅方向Ｗにおいて相互に逆となる姿勢で取付部４１を共通の可動部２に固定している（図１及び図５参照）。つまり、各振動子４を平面視においてウェイト部４３の位置が互いに逆向きとなる姿勢で配設している。各振動子４は、相互に同じ構造である。なお、本実施形態に係るリニアフィーダＸの正面図である図３では、線図が極端に煩雑になることを回避するために、一対の振動子４のうち、図１における紙面向かって右側の振動子４のみを模式的に示し、図１における紙面向かって左側の振動子４は省略している。図６も同様である。
【００４７】
以上に説明した本実施形態に係るリニアフィーダＸは、ウェイト部４３の位置が相互に逆向きとなる横臥姿勢で配置した一対の振動子４を可動部２のうち天板２１と底板２２の間に挟んだ形態で固定し、可動部２のうち天板２１の上向き面にトラフＴを固定し、可動部２の下方に支持バネ３を介して固定部１を配置し、振動子４を弾性支持する構成である。
【００４８】
本実施形態に係るリニアフィーダＸは、加振源５が稼動状態（圧電素子５が伸縮するＯＮ状態）になると、振動子４が振り子動作を行い、振動することによって、その反作用で可動部２が振動し、その振動がトラフＴに伝播してトラフＴ自体も振動する。具体的には、少なくとも何れか一方の振動子４における加振源５を構成する圧電素子５を伸び縮みさせると、梁部４２が撓んで振動し、振動子４全体が、可動部２に固定されている取付部４１の所定箇所（梁部４２の軸中心Ｌ１が通る位置）を支点として自由端側を円弧状に往復移動させる振り子動作を行う。特に、振動子４のうち自由端側にウェイト部本体４６を設けているため、振動の反力が大きくなり、振動子４を効率良く振り子動作させることができる。また、「１組の振動子ペア」を構成する２つの振動子４のうち、一方の振動子４に付帯させた圧電素子５のみを通電ＯＮ状態にし、他方の振動子４に付帯させた圧電素子５は通電ＯＦＦ状態にした場合であっても、通電ＯＦＦ状態の圧電素子５を付帯している振動子４は共振によって振動する。
【００４９】
そして、本実施形態に係るリニアフィーダＸは、このような振動子４を対にして、トラフＴの幅方向Ｗにおいて相互に逆向きの姿勢で配置しているため、対をなす振動子４の振動が合成されて直線運動を生み出すことができる。すなわち、一対の振動子４をトラフＴの幅方向Ｗにおいて相互に逆向きの姿勢（左右逆向きの姿勢）で組み合わせると、図８に示すように、振動子４の固定面４４１は直線振動をする。詳述すると、振り子運動を行う振動子４を対にして相互に左右逆向きの姿勢で可動部２に設け、各振動子４の支点に働く反力の方向が等しく、且つ振動子４が振れる方向が互いに反対方向になると、可動部２には一方向の反力が作用し、各振動子４の支点に働く回転モーメントが相殺し合うため、可動部２を変形させる力を発生させることなく、振動子４の固定面４４１は直線振動をする。図８では、左右逆向きの姿勢で配置した振動子４がそれぞれ振り子運動を行っている最中のある時点における各振動子４の振動方向と、振動子４の振動によって各振動子４の固定面４４１が直線振動をする方向を、それぞれ相対的に太い矢印で模式的に示している。図５では、各振動子４の振動方向を矢印で模式的に示しており、同図紙面向かって右側の振動子４の振動方向と、図８に示す一対の振動子４のうち相対的に上側の振動子４の振動方向は同じであり、図５に示す紙面向かって左側の振動子４の振動方向と、図８に示す一対の振動子４のうち相対的に下側の振動子４の振動方向は同じである。
【００５０】
このように、本実施形態に係るリニアフィーダＸは、対をなす振動子４の振り子運動が合成されて直線運動になり、振動子４を固定している可動部２、及び可動部２に一体的に設けたトラフＴにもこの振動が伝わり、これら可動部２及びトラフＴは直線振動を行う。したがって、本実施形態に係るリニアフィーダＸによれば、トラフＴに対して曲げ撓みが伝わらず、共振する一対の振動子４の振動によって、トラフＴ上の被搬送物を所定方向に振動搬送可能な安定した振動を得ることができ、搬送速度のムラを低減することができる。特に、本実施形態に係るリニアフィーダＸは、振動子４を寝かせた姿勢で配置しているため、振動子４を起立姿勢で配置する構成と比較して、高さ寸法を小さく設定することができ、高さ方向におけるコンパクト化（低背化）を図ることが可能である。
【００５１】
また、本実施形態に係るリニアフィーダＸは、可動部２と固定部１を相互に連結する板状の支持バネ３を、高さ方向を鉛直方向に一致させた鉛直姿勢（図２参照）と、鉛直姿勢から所定角度傾斜させた傾斜姿勢（図４参照）に変更可能に構成しているため、支持バネ３の傾き次第でトラフＴの振動方向を任意の方向に設定することが可能である。図４では、支持バネ３を傾斜姿勢に設定した場合におけるトラフＴの振動方向ＴＤを模式的に示している。ここで、鉛直姿勢にある支持バネ３を基準姿勢とした場合、支持バネ３が傾倒姿勢に近付くほど、つまり支持バネ３の傾斜角度が基準姿勢の角度である９０度よりも大きい角度または小さい角度になるほどトラフＴの上下方向の振動ベクトルは大きくなる。
【００５２】
また、本実施形態に係るリニアフィーダＸは、トラフＴを駆動する駆動部を備え、駆動部を、加振源５、振動子４及び可動部２を用いて構成した態様であると捉えることができる。そして、振動子４の振動周波数を変えることで、トラフＴを駆動させる駆動部全体の振動周波数を変えることができ、高周波振動搬送（例えば１０００Ｈｚ乃至２０００Ｈｚ）も容易に実現できる。
【００５３】
本実施形態に係るリニアフィーダＸでは、上述の構成を採用したことによってトラフＴへの曲げ撓みの影響は少なくなり、トラフＴの長手寸法を長く設定した場合であってもトラフＴに形成した搬送路Ｔ１上の被搬送物を安定して搬送することができる。特に、本実施形態に係るリニアフィーダＸは、トラフＴの撓みの影響が顕著になる周波数域でも高周波振動搬送が可能である。
【００５４】
加えて、本実施形態に係るリニアフィーダＸは、振動子４のうち、ばねのように振る舞う梁部４２が弓状に変形するため、面積の大きい圧電素子５を梁部４２に貼付等の適宜の手段によって付帯させることができ、振動子４一つあたりの加振力は大きくなる。ここで、図９の紙面向かって左側に、従来のリニアフィーダで適用されていたＳ字形状に変形させる板バネに対して圧電素子５を貼付可能な部分及び圧電素子５のサイズを極めて模式的に示し（図９（ａ））、同図の紙面向かって右側に、本実施形態のリニアフィーダＸで適用している弓形に変形させる梁部（ばね）に対して圧電素子５を貼付可能な部分及び圧電素子５のサイズを、従来例と比較できるように模式的に示している（図９（ｂ））。
【００５５】
特に、本実施形態に係るリニアフィーダＸでは、振動子４の梁部４２が弓状に変形するばねのように振る舞うため、従来のように板バネがＳ字形状に変形する態様と比較して、変形前の基準状態から最も変形した最大変形状態までの変位量が大きくなる。ここで、図１０の紙面向かって左側に、従来のリニアフィーダで適用されていたＳ字形状に変形させる板バネの基準状態から最大変形状態までの変位量Ｄ１を極めて模式的に示し（図１０（ａ））、同図の紙面向かって右側に、本実施形態のリニアフィーダＸで適用している弓形に変形させる梁部（ばね）の基準状態から最大変形状態までの変位量Ｄ２を、従来例と比較できるように模式的に示している（図１０（ｂ））。このように、本実施形態に係るリニアフィーダＸは、振動減衰が少なく共振による振動増幅率が大きいため、圧電素子５の枚数が、板バネをＳ字形状に変形させる従来のリニアフィーダが備える圧電素子の枚数の半分であっても、従来と同等の振幅を得ることができる。このことは、本実施形態における圧電素子５の枚数が、板バネをＳ字形状に変形させる従来のリニアフィーダが備える圧電素子と同じ枚数なら、電流が従来よりも半分程度で済むことを意味する。
【００５６】
加えて、本実施形態に係るリニアフィーダＸでは、一対の振動子４がそれぞれ独立しているため、これら一対の振動子４の配置箇所が特に制限されることなく、任意の位置に設置することができる。そして、本実施形態に係るリニアフィーダＸは、一対の振動子４をトラフＴの長手方向Ｈに沿って並べて配置しているため、高さ方向におけるコンパクト化を実現することができる。特に、本実施形態に係るリニアフィーダＸは、各振動子４の振り子運動を確保できる条件を満たせば、トラフＴを振動させて被搬送物を搬送することができるため、複数の振動子４を相互に連結するための部品（本実施形態であれば可動部２を構成する天板２１、底板２２及び一対の側板２３）に高い加工精度が要求されないというメリットも得ることができる。
【００５７】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、ウェイト部４３の一部を構成する振動子４の第２鍔部４５及びウェイト部本体４６が別体である態様を例示したが、第２鍔部とウェイト部本体を一体に備えた振動子を適用することが可能である。自由端側に第２鍔部４５とウェイト部本体４６を一体に有するウェイト部４３を備えた振動子４の一例を図１１に示す。
【００５８】
また、ウェイト部の形状や重量は適宜変更することが可能である。例えば、図１２に示すように、梁部４２の自由端側において、取付部４１（第１鍔部４４）から離間する方向に延伸する形状のウェイト部４３を適用すれば、上述の実施形態で例示した態様と比較して、ウェイト部４３の位置を、可動部２に対する振動子４の固定面から離れた位置に設定することができる。
【００５９】
また、図１３に示すように、梁部４２の軸中心を対称軸として非対称形に設定したウェイト部４３を適用することも可能である。なお、図１３には、梁部４２の厚み方向（同図のＨ方向と同一方向）に沿った第２鍔部４５の寸法を、梁部４２の厚み方向に沿った第１鍔部４４の寸法よりも短く設定し、その第２鍔部４５のうち梁部４２の厚み方向を向く面にウェイト部本体４６を接触させた状態で固定した態様を例示している。このように、梁部４２の厚み方向に沿った第２鍔部４５の寸法は適宜変更することができる。図１３では、ウェイト部本体４６を第２鍔部４５に固定するネジを省略している。
【００６０】
ウェイト部として直方体（立方体含む）以外の形状のもの、例えば所定方向から見た形状が円形や部分円形をなすウェイト部や、球状または部分球状をなすウェイト部を採用しても構わない。また、振動子のうち少なくとも梁部とウェイト部の部分が全体としてＹ字形状、またはマッチ棒形状をなす振動子を適用することも可能である。
【００６１】
さらにはまた、図１４に示すように、それぞれ別体である梁部４２、取付部４１及びウェイト部４３を用いて振動子４を構成することもできる。この場合、ネジ等の固定具によって別体のパーツ同士を一体的に組み付けてよいし、適宜の接着処理によって別体のパーツ同士を一体的に固定してもよい。なお、図１４には、梁部４２の自由端部を厚み方向に挟む位置に配置するウェイト部本体４６同士を共通のネジＮ６で固定した態様を例示している。同図に示す振動子４は、上述の実施形態における第２鍔部４５に相当する部分を、梁部４２の自由端部と、ウェイト部本体４６の一部とによって形成したものであると捉えることができる。
【００６２】
振動子を構成する梁部の長手寸法（トラフＴの幅方向Ｗに沿った寸法）や重量によっては、図１５に示すように、第２鍔部やウェイト部本体を備えず、梁部４２のうち自由端側領域をウェイト部４３として機能させるように構成することもできる。
【００６３】
また、上述の実施形態では一対の振動子を一組備えた態様を例示したが、一対の振動子を複数組備え、各組における横臥姿勢の振動子のペアを互いにトラフＴの幅方向Ｗにおいて左右逆向きに配設した態様を採用することもできる。一対の振動子４（振動子４のペア）を２組備え、各組におけるそれぞれの振動子４が、ウェイト部４３の位置が相互に左右逆となる姿勢となるように取付部４１を共通の可動部２に固定したリニアフィーダＸを図１６及び図１７（図１６は当該リニアフィーダＸの平面図であり、図１７は図１６のＡ方向矢視図（側面図）である）に示す。図１６及び図１７に示すリニアフィーダＸは、全ての振動子４をトラフＴの長手方向Ｈに沿って並べて配設しているため、上述の実施形態で例示したリニアフィーダＸよりもトラフＴの長手寸法を大きく設定することができる。このように、本発明に係るリニアフィーダＸであれば、振動子４の数を増加することで、長尺のトラフＴを振動させるための駆動部（複数の振動子４を備えた駆動部）を容易に製作することができる。なお、振動子４の数を増加させることによって、トラフＴの長手方向Ｈに沿った可動部２のサイズも大きくなるため、必要に応じて、可動部２と固定部１とを連結する支持バネ３の数（言い換えれば、支持バネ３による可動部２と固定部１との連結箇所）を増やしてもよい。そして、支持バネ３を、図１７に示す鉛直姿勢と図示しない傾斜姿勢との間で姿勢変更することで、トラフＴの振動方向を変更することができる。この場合、支持バネ３は、振動角度調整用バネとして機能する。なお、図１６では図１と同様に支持バネ３を省略している。
【００６４】
また、一対の振動子（振動子のペア）をトラフＴの幅方向Ｗに沿って並べて配置する構成を採用することができる。この場合、例えば図１８に示すように、各振動子４の取付部４１（第１鍔部４４）を共通化し、取付部４１を中心にトラフＴの幅方向Ｗにおいて対称形（左右対称形）となるように振動子４のペアを並べた構成を採用することもできる。このような図１８に示す振動子４のペアを備えたリニアフィーダＸを実現するには、図１９乃至図２１（図１９は振動子４のペアを備えたリニアフィーダＸの平面図であり、図２０は図１９の矢印Ａ方向から見た図（側面図）であり、図２１は図１９の矢印Ｂ方向から見た図（正面図）である。）に示すように、例えば共通の取付部４１を可動部２の天板２１及び底板２２に接触させた状態で、取付部４２に形成したネジ孔４４２にネジを螺合することによって可動部２に固定することができる。図１９乃至図２１に示すリニアフィーダＸは、振動子４のペアを１組備えた構成でありながら、図１乃至図３に示すリニアフィーダＸと比較して、トラフＴの長手方向Ｈにおける振動子４のペア全体の配置領域を縮小することができる。なお、図１９では図１と同様に支持バネ３を省略している。
【００６５】
一対の振動子（振動子のペア）をトラフＴの幅方向Ｗに沿って並べて配置する構成の一例として、例えば図２２（同図（ａ）は平面図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ方向矢視図（正面図）である）に示すように、長尺の梁要素４Ａにおける長手方向（トラフＴの幅方向Ｗ）中央部にネジ孔４２ａを形成し、このネジ孔４２ａを可動部に固定することによって、当該固定部分を取付部４１として機能させ、１本の梁要素４Ａのうち長手方向中央部分を堺にした一方側の領域と他方側の領域をそれぞれ振動子４の梁部４２として機能させるとともに、梁要素４Ａの両端部をそれぞれ振動子４のウェイト部４３として機能させるようにした構成を挙げることができる。このような振動子４のペアであっても、共通の取付部４１を適宜の手段で可動部２の所定箇所に取り付けて固定すると、共通の取付部４２を支点にして各振動子４が振り子動作を行うことが可能な状態になる。図２２に示す一対の振動子４（振動子のペア）を備えたリニアフィーダであれば、対をなす振動子４同士がトラフＴの幅方向Ｗに並ぶ配置になることによって、振動子トラフＴの長手方向Ｈにおける振動子４全体の配置領域を縮小することができる。なお、図２２では、第２鍔部４５及びウェイト部本体４６を一体に有するウェイト部４３をそれぞれ備えた振動子４のペアの一例を示している。
【００６６】
図１及び図４には、可動部２と固定部１を相互に連結する板状の支持バネ３を、高さ方向を鉛直方向に一致させた鉛直姿勢（図２参照）と、鉛直姿勢から所定角度傾斜させた傾斜姿勢（図４参照）に変更可能に構成し、支持バネ３の傾き次第でトラフＴの振動方向を任意の方向に設定することが可能なリニアフィーダＸを示したが、本発明では、図２３に示すリニアフィーダＸのように、寝かせた姿勢で可動部２の所定位置に固定される振動子４を、搬送方向Ｈに所定角度傾斜させた姿勢に設定することで、トラフＴの振動方向ＴＤを任意の方向に設定することも可能である。同図に示すリニアフィーダＸは、可動子２のうち振動子４の取付部４１が接触した状態で固定される面、具体的には、天板２１の下向き面及び底板２２の上向き面を所定角度傾斜させた面に設定することで、振動子４を搬送方向Ｈに所定角度傾斜させた姿勢で可動子２に固定できるように設定している。寝かせた姿勢で可動部２の所定位置に固定される振動子４の傾斜角度がゼロである場合と基準とすると、振動子４の傾斜角度が大きい角度になるほどトラフＴの上下方向の振動ベクトルは大きくなる。
【００６７】
また、本発明のリニアフィーダでは、図２４乃至図２６（図２５は図２４の矢印Ａ方向から見た図であり、図２６は図２４の矢印Ｂ方向から見た図である。）に示すように、可動部２として、内部空間２Ｓに振動子４を収容する筐体２５（中空状のブロック体）を適用することが可能である。この筐体２５は、複数の振動子４を個別に収容可能なスペースを内部に形成したもの（図２４参照）、または、複数の振動子４をまとめて収容可能なスペースを内部に形成したもの、或いは１つの振動子４を収容可能なスペースを内部に形成したもの、何れであってもよい。このような筐体２５によって可動部２を構成した場合、筐体４の内部において密閉された空間２Ｓに振動子４を配設することによって静音化（遮音化）を図ることが可能である。なお、図２４では図１と同様に支持バネ３を省略し、図２５では、各振動子４を収容する２つの内部空間２Ｓ同士の境界ラインを省略している。
【００６８】
また、可動部２として筐体２５を適用したリニアフィーダＸのさらに異なる一例を図２７及び図２８（図２７は、図２５に対応させて示す図であり、図２８は図２７の矢印Ｂ方向から見た図を一部省略して示す図である。）に示す。図２７及び図２８に示すリニアフィーダＸは、固定部１と可動部２を連結する支持バネ３として、図２６等に示す支持バネ３よりもトラフＴの幅方向Ｗに幅広なプレート状のものを適用している。また、図２７及び図２８に示すように、トラフＴの長手方向Ｈに沿って対向配置される一対の支持バネ３は、それぞれ所定角度傾斜させた姿勢でネジＮ８により固定部１及び可動部２に取り付けられている。このような幅広の支持バネ３を、可動部２及び固定部１の幅寸法内に収まる所定位置に配置することにより、図３や図２６等に示す板バネ３を用いた構成、すなわち、可動部２及び固定部１の両サイドにそれぞれ板バネ３を配置する構成と比較して、リニアフィーダＸ全体の幅寸法を小さく設定することが可能である。
【００６９】
可動部２の一例である筐体２５としては、例えば、図２４乃至図２８に示すように、上方にのみ開口した筐体本体２６と、筐体本体２６の開口を上方から蓋封可能な蓋部２７とを備えたタイプ、または、下方または一方の側方にのみ開口した筐体本体と、筐体本体の開口を下方または一方の側方から蓋封可能な蓋部とを備えたタイプ（図示省略）を挙げることができる。筐体本体２６及び蓋部２７はネジＮ７によって一体的に固定されている。図２４では、蓋部２７の四隅をネジＮ７で筐体本体２６に固定する態様を例示したが、ネジＮ７による固定箇所やネジＮ７の数は適宜変更することができる。
【００７０】
図２４及び図２８では、振動子４を筐体２５に固定するネジＮ５の取付方向(螺進方向)をトラフＴの幅方向Ｗに設定し、振動子４を筐体２５の側壁部（具体的には筐体本体２６の側壁部）に固定した態様を例示している。この場合、振動子４の取付部４１には、可動部に固定するためのネジ孔がトラフＴの幅方向Ｗに沿って形成され、このネジ孔にネジＮ５を螺合することで、振動子４を筐体２５の側壁部に固定することができる。なお、振動子を筐体に固定するネジの取付方向を高さ方向に設定し、筐体の上壁部または下壁部に固定する態様としても構わない。振動子の取付部（第１鍔部）を筐体に固定する対象は、筐体本体であってもよいし、筐体本体の開口を蓋封可能な蓋部であってもよい。また、筐体として、所定方向（例えばトラフの幅方向、トラフの長手方向、あるいは高さ方向）に二分割可能な一対の筐体本体を相互に組み付け、内部に振動子を収容可能な空間を有するものを採用することもできる。
【００７１】
本発明において、直線状に延伸するトラフは、可動部の上端部に固定されたものであればよく、可動部として天板、底板及び一対の側板を備えたものを適用した場合、上述の図２等で例示するように、天板にトラフを固定した態様以外に、トラフを、一対の側板の上端部に載置した姿勢（一対の側板の上端部を跨ぐ姿勢であってもよい）で当該トラフを側板または天板に固定した態様にしても構わない。また、筐体を用いて可動部を構成したリニアフィーダでは、トラフを、筐体の上端部を構成する部分に載置した姿勢で当該トラフを筐体に固定することができる。なお、図２５及び図２７では、筐体２５の上端部を構成する蓋部２７にトラフＴを載置した姿勢で当該トラフＴを筐体２５に固定した構成を示している。
【００７２】
また、本発明のリニアフィーダは、単数の振動子を備えたものであっても構わない。さらには、３以上の奇数の振動子を備えたリニアフィーダであってもよい。図２９に示すリニアフィーダＸは、可動部２を構成する天板２１及び底板２２に単数の振動子４を固定したものである。なお、可動部２に対する振動子４の取付位置は、図２９に示すように、可動部２のうちトラフＴの長手方向Ｗに沿った一端部側に寄った位置であってもよいし、図３０に示すように、可動部２のうちトラフＴの長手方向Ｗに沿った中央部分に相当する位置であってもよい。なお、図２９及び図３０では図１と同様に支持バネ３を省略している。
【００７３】
３以上の振動子を備えたリニアフィーダ、あるいは一対の振動子（振動子のペア）を複数組備えたリニアフィーダである場合には、複数の振動子をトラフの長手方向、高さ方向、または幅方向の３方向から選択される一以上の方向に沿って並べて配置すればよい。したがって、例えば、相互にトラフの幅方向において逆の姿勢（左右逆の姿勢）で配設される振動子のペアを２組備えたリニアフィーダにおいて、各組において振動子をトラフの長手方向に沿って並べるとともに、組同士を高さ方向に沿って並べたレイアウトを採用することも可能である。
【００７４】
本発明に係るリニアフィーダは、加振源を、圧電素子に代えて、電磁石、アクチュエータ、またはモータの何れかから構成することも可能である。何れの加振源であっても加振源内蔵型のリニアフィーダにすることができる。なお、加振源を外付けにしたリニアフィーダであってもよい。
【００７５】
また、本発明に係るリニアフィーダでは、図３１及び図３２（図３２は図３１の矢印Ｂ方向から見た図であって図３１の紙面向かって左側の振動子４を省略している。）に示すように、固定部１として、床面上に直接載置した状態で固定されるベース部１４と、支持バネ３によって可動部２に連結したカウンターウェイト１５と、ベース部１４とカンターウェイト１５との間に介在させた防振バネ１６とを備えたものを適用することもできる。同図には、Ｌ形の防振バネ１６を適用した態様を例示している。このような固定部１を適用することによって、床面に振動が伝わることを防止・抑制する防振性能に優れたリニアフィーダＸを実現することができる。
【００７６】
床面に振動が伝わることを防止・抑制する防振性能を高めるリニアフィーダＸとしては、図３３乃至図３５（図３４は図３３の矢印Ａ方向から見た図であり、図３５は図３３の矢印Ｂ方向から見た図であって振動子４を省略したものである。）に示すように、上述した各種リニアフィーダ（図３１及び図３２で示すリニアフィーダＸを除く）をリニアフィーダ本体Ｘ１として捉え、リニアフィーダ本体Ｘ１を防振ユニット７によって吊り下げた状態で支持し、この支持状態でリニアフィーダ本体Ｘ１を振動可能に構成した態様を挙げることができる。防振ユニット７は、床面上に直接載置した状態で固定されるベース部７１と、ベース部７１から上方に向かって延伸し、トラフＴの搬送方向において対向配置される一対の起立壁部７２と、起立壁部７２の下端部同士を連結する連結壁部７３と、各起立壁部７２の上端に一端部を固定し且つ他端部を可動部２に固定可能な防振バネ７４とを備えている。一対の防振バネ７４は、トラフＴの幅方向Ｗに沿って対向する姿勢で配置され、ネジＮ９によって可動部２に固定されている。このように防振バネ７４を備えた防振ユニット７によってリニアフィーダ本体Ｘ１を支持した状態で、振動子４及び可動部２で構成される駆動部を駆動させると、上述の実施形態と同様の原理でトラフＴは長手方向に沿った直線振動を行い、トラフＴ上の被搬送物を長手方向Ｈに沿った一方向に振動搬送することができるとともに、防振ユニット７によってリニアフィーダ本体Ｘ１の振動が床面に伝播する事態を防止・抑制することができる。なお、リニアフィーダ本体Ｘ１の取付台１１は、カウンターウェイトとして機能する。また、防振ユニット７は、本発明の「床面上に直接または間接的に固定される固定部」に相当するパーツであり、防振ユニット７の防振バネ７４は、本発明の「固定部と可動部とを連結する支持バネ」に相当するものであると捉えることができる。図３３乃至図３５に示すリニアフィーダ本体Ｘ１は、上述の図１及び図２に示すリニアフィーダＸに相当するものである。図３３では図１と同様に支持バネ３を省略している。
【００７７】
なお、防振性能を高めるリニアフィーダＸとして、図３６及び図３８（図３７は図３６の矢印Ａ方向から見た図であり、図３８は図３６の矢印Ｂ方向から見た図であって振動子４を省略したものである。）に示すように、防振ユニット７で支持するリニアフィーダ本体Ｘ１が、内部空間２Ｓに振動子４を収容する筐体２５（ブロック体）を用いて構成した可動部２を備えたものであっても構わない。なお、図３６に示すリニアフィーダ本体Ｘ１は、上述の図２４に示すリニアフィーダＸに相当するものである。図３６では図２４と同様に支持バネ３を省略している。
【００７８】
また、複数の振動子を備えたリニアフィーダにおいて、全ての振動子が何れも同じ構造であることが好ましいが、構造が異なる振動子の組み合わせであってもよい。例えば、取付部、梁部及びウェイト部を一体に有する振動子と、ウェイト部の一部を構成するウェイト部本体が、取付部及び梁部と別体である振動子とを組み合わせて併用することができる。
【００７９】
さらにまた、複数の振動子を備えたリニアフィーダでは、全ての振動子にそれぞれ加振源を設けた態様にすることもできるが、共振作用に着目して、選択した一つの振動子または全部を除く複数の振動子にのみ加振源を設けた態様を採用することもできる。
【００８０】
本発明に係るリニアフィーダは、支持バネを、高さ方向を鉛直方向に一致させた鉛直姿勢と当該鉛直姿勢から所定角度傾斜させた傾斜姿勢に変更する具体的な機構も適宜変更することができる。したがって、支持バネの傾斜姿勢を複数の傾斜姿勢から選択可能に設定することも可能である。この場合、支持バネの傾斜姿勢を予め決定されている複数の傾斜姿勢から段階的に選択できるように設定したり、支持バネの傾斜姿勢を予め決定されている所定傾斜角度範囲内から無段階的に調整して適宜選択できるように設定することもできる。
【００８１】
また、支持バネの姿勢を一定の姿勢に維持し、支持バネの姿勢を他の姿勢に変更不能に構成したリニアフィーダであっても構わない（例えば図２７及び図２８に示すリニアフィーダＸ）。
【００８２】
また、振動子の梁部は、取付部からトラフの幅方向に延伸するものであればよく、振動子が振り子運動を行う際にばねのように振る舞う条件を満たせば、素材や形状は特に限定されない。
【００８３】
振動子が、別体をなす梁部とウェイト部とをネジによって連結したものである場合、ネジの取付方向を、トラフの延伸方向に設定しても構わない。
【００８４】
また、本発明のリニアフィーダでは、振動子の一端側に設定した取付部のうち、可動部に固定するためのネジ孔の形成箇所を、振り子運動を行う際の支点から外れた位置に設定することが好ましいが、敢えて支点に一致する箇所に設定してもよい。
【００８５】
本発明に係るリニアフィーダであれば、一対の振動子が互いの慣性モーメントを打ち消すように各振動子の梁部（ばね）の長さとウェイト部として機能する部分の重量を調整することも可能である。
【００８６】
振動子を構成する梁部のうち、トラフの長手方向と同一方向の寸法（梁部の幅寸法）を大きく設定するほど、高周波数の振動を発生させることが可能である。したがって、梁部の幅寸法を適宜の値に設定するだけで、所望の周波数の振動を発生させることができる。
【００８７】
固定部は、カウンターウェイトとして機能するものであることが好ましいが、カウンターウェイトとして機能しないものであってもよい。
【００８８】
その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００８９】
１…固定部
２…可動部
２１…側板
２５…筐体
３…支持バネ
４…振動子
４１…取付部
４２…梁部
４３…ウェイト部
５…加振源
Ｔ…トラフ
Ｘ…リニアフィーダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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