(57)【要約】【課題】シート剥離方法において、不良領域となる領域をなるべく少なくする。【解決手段】シート剥離方法は、長尺状かつシート状の基材１の表面に長尺状の第１シート２が付着しているものを第１の向き８１に第１速度以上の速度で搬送しつつ、第１シート２と基材１とが異なる向きに分かれて進行する分岐点Ｐ２において第１シート２が基材１から剥離し続ける第１工程と、前記第１工程が行なわれる状態から、基材１の搬送速度が前記第１速度未満になるように減速または停止する第２工程と、基材１を第２の向き８２に搬送することによって、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第１の向き８１に変位させる第３工程と、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第２の向き８２に変位させつつ、分岐点Ｐ２から見た相対的な基材１の搬送速度を前記第１速度以上まで上げることによって、前記第１工程を再開する第４工程とを含む。【選択図】図６
2018002411.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着しているものを第１の向きに第１速度以上の速度で搬送しつつ、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離し続ける第１工程と、
前記第１工程が行なわれる状態から、前記基材の搬送速度が前記第１速度未満になるように減速または停止する第２工程と、
前記基材を前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに搬送することによって、前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第１の向きに変位させる第３工程と、
前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第２の向きに変位させつつ、前記分岐点から見た相対的な前記基材の搬送速度を前記第１速度以上まで上げることによって、前記第１工程を再開する第４工程とを含む、シート剥離方法。
【請求項２】
長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着している基材付き第１シートを、第１の向きが下流となる向きに配置した状態で、前記第１シートおよび前記基材のうちの一方に治具を当接させて前記一方が前記治具に沿って折り曲げられた状態で、前記治具が前記基材から見て相対的に前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに第１速度以上で移動することによって、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離し続ける第Ａ１工程と、
前記第Ａ１工程が行なわれる状態から、前記基材から見た前記治具が、相対的な移動速度が前記第１速度未満になるように減速または停止する第Ａ２工程と、
前記治具を前記基材にとって相対的に前記第１の向きに変位させることによって、前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第１の向きに変位させる第Ａ３工程と、
前記基材付き第１シートを前記第１の向きに搬送する第Ａ４工程と、
前記治具が前記基材から見て相対的に前記第２の向きに移動を開始して相対的に前記第２の向きに第１速度以上となるように加速することによって、前記第Ａ１工程を再開する、第Ａ５工程とを含む、シート剥離方法。
【請求項３】
前記第１工程を行なう場所より上流側および下流側のうち少なくとも一方に、前記基材および前記第１シートのうち少なくとも一方に対して間欠動作で処理すべき第５工程を行なう第１設備が存在し、前記第２工程を行なうタイミングにおいては、前記第１設備において前記第５工程を並行して行なう、請求項１に記載のシート剥離方法。
【請求項４】
前記第Ａ１工程を行なう場所より上流側および下流側のうち少なくとも一方に、前記基材および前記第１シートのうち少なくとも一方に対して間欠動作で処理すべき第Ａ６工程を行なう第１設備が存在し、前記第Ａ２工程を行なうタイミングにおいては、前記第１設備において前記第Ａ６工程を並行して行なう、請求項２に記載のシート剥離方法。
【請求項５】
前記第１工程を行なう場所より上流側および下流側のうち少なくとも一方に、前記基材および前記第１シートのうち少なくとも一方に対して、前記第１から第４工程とは異なるタイミングの間欠動作または連続動作で処理される第６工程を行なう第２設備が存在し、前記第２設備が所在する場所と、前記第１工程、前記第２工程、前記第３工程および前記第４工程が行なわれる場所との間には、前記基材の流れを一時的に動作を止めることができるバッファ機構が配置されており、前記バッファ機構を介して前記基材および前記第１シートのうち少なくとも一方の受渡しが行なわれる、請求項１に記載のシート剥離方法。
【請求項６】
長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着しているものを搬送する搬送装置と、
前記第１シートと前記基材とを異なる向きに分かれて進行させることによって分岐点において前記第１シートを前記基材から剥離させる分岐進行装置とを備え、
前記搬送装置は、
前記基材を第１の向きに第１速度以上の速度で搬送する定常搬送制御部と、
前記基材の搬送速度が前記第１速度未満になるように減速または停止するように搬送状況を制御する間欠動作制御部と、
前記基材を前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに搬送することによって、前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第１の向きに変位させるように搬送状況を制御する逆搬送制御部と、
前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第２の向きに変位させつつ前記分岐点から見た相対的な前記基材の搬送速度を前記第１速度以上まで上げることによって、前記定常搬送制御部による搬送のもとで前記第１シートを前記基材から剥離させ続ける状態を再開する再開制御部とを備える、シート剥離装置。
【請求項７】
長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着している基材付き第１シートを、第１の向きが下流となる向きに配置した状態で保持し、前記第１シートおよび前記基材のうちの一方に治具を当接させて前記一方が前記治具に沿って折り曲げられた状態で、前記治具が前記基材から見て相対的に前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに移動することによって、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離する治具制御装置と、
前記基材付き第１シートを前記第１の向きに搬送する搬送装置とを備え、
前記治具制御装置は、
前記分岐点を決定する治具と、
前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第１の向きに変位させるように前記治具を変位させる治具前進制御部と、
前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第２の向きに第１速度以上で変位させることができる治具後退制御部とを備える、シート剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離方法およびシート剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
キャリアフィルムをセラミックグリーンシートから剥離させる方法および装置が、特開２０００−２５２１６１号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１では、キャリアフィルム上に保持されて搬送されるセラミックグリーンシートを、回転可能な加熱ロールによって加熱するとともに、テーブル上の積層体に押し付けて圧着させている。このようにしてセラミックグリーンシートが圧着した積層体を剥離領域に搬送する一方で、方向転換用当接治具を支点としてキャリアフィルムを所定の角度で方向転換させることにより、キャリアフィルムをセラミックグリーンシートから剥離させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２５２１６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、搬送方向に移動させたテーブルを元の位置に戻すなどの動作が必要であり、その動作の際には、それまで連続的に行なってきた積層処理などが行なえない。したがって、搬送などの動作が間欠的にならざるを得ない。このように間欠的に行なわれる動作を以下「間欠動作」という。間欠動作を行なう場合、剥離機構を停止したり、搬送速度を落としたりする必要がある。搬送動作を停止したり減速したりした場合、通常速度に戻すために一定時間を要する。通常速度に戻るまでの間に行なわれる剥離には不具合を生じるおそれがある。言い換えれば、本来予定されている搬送速度より低い速度で剥離が行なわれることによって剥離の状態が本来予定されているものと異なり、不具合が生じうる。
【０００５】
特許文献１では、上述のように、剥離工程の後にテーブルを戻す工程があることにより剥離工程が間欠動作となる例が示されている。このような理由に限らず、たとえば、長尺状のキャリアフィルム付きシートを搬送する際に、剥離工程の前に印刷工程（印刷に要する時間は搬送が停止する。）が存在する場合などのように間欠動作で行なわざるを得ない種類の工程を行なうことにより、剥離工程のための搬送の進行が間欠動作となってしまう場合もありうる。
【０００６】
特許文献１ではキャリアフィルムをセラミックグリーンシートから剥離することについて記載されているが、剥離して得たい物がセラミックグリーンシートである場合に限らず、他の種類のシートである場合も含めて、一般的に同様の不都合は問題となりうる。
【０００７】
長尺状のキャリアフィルム付きシートを搬送しながら剥離を行ない、なおかつ、搬送が間欠動作となる場合、キャリアフィルム付きシートには、本来予定されている搬送速度より低い速度でキャリアフィルムの剥離が進行する領域が生じる。このような領域では、不具合が生じている可能性があるので、これらの領域は不良領域であるものとして扱われる。これらの不良領域から剥離されて得られた物は製品としては採用できない。不良領域の増加は、製品の歩留まりの悪化や生産コストの増加をもたらす。
【０００８】
そこで、本発明は、不良領域となる領域をなるべく少なくすることができるシート剥離方法およびシート剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明に基づくシート剥離方法は、長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着しているものを第１の向きに第１速度以上の速度で搬送しつつ、上記第１シートと上記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において上記第１シートが上記基材から剥離し続ける第１工程と、上記第１工程が行なわれる状態から、上記基材の搬送速度が上記第１速度未満になるように減速または停止する第２工程と、上記基材を上記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに搬送することによって、上記分岐点を上記基材にとって相対的に上記第１の向きに変位させる第３工程と、上記分岐点を上記基材にとって相対的に上記第１の向きとは反対の第２の向きに変位させつつ、上記分岐点から見た相対的な上記基材の搬送速度を上記第１速度以上まで上げることによって、上記第１工程を再開する第４工程とを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、逆搬送により戻された部分を助走区間として利用して搬送速度を上げて剥離を再開することとなるので、不良領域の比率を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に基づく実施の形態１におけるシート剥離方法のフローチャートである。
【図２】本発明に基づく実施の形態１におけるシート剥離方法により分岐点において第１シートが基材から剥離する様子の説明図である。
【図３】比較例における搬送距離と搬送速度との関係を示す模式的なグラフである。
【図４】本発明に基づく実施の形態１におけるシート剥離方法における搬送距離と搬送速度との関係を示す模式的なグラフである。
【図５】本発明に基づく実施の形態１におけるシート剥離方法の第２工程を終えた状態の説明図である。
【図６】本発明に基づく実施の形態１におけるシート剥離方法の第３工程を終えた状態の説明図である。
【図７】本発明に基づく実施の形態２におけるシート剥離装置の概念図である。
【図８】本発明に基づく実施の形態２におけるシート剥離装置で搬送のために採用可能な機構の第１の例の説明図である。
【図９】本発明に基づく実施の形態２におけるシート剥離装置で搬送のために採用可能な機構の第２の例の説明図である。
【図１０】本発明に基づく実施の形態２におけるシート剥離装置で搬送のために採用可能な機構の第３の例の説明図である。
【図１１】本発明に基づく実施の形態２におけるシート剥離装置で搬送のために採用可能な機構の第４の例の説明図である。
【図１２】本発明に基づく実施の形態３におけるシート剥離方法の第１の状態の説明図である。
【図１３】本発明に基づく実施の形態３におけるシート剥離方法の第２の状態の説明図である。
【図１４】本発明に基づく実施の形態３におけるシート剥離方法の第３の状態の説明図である。
【図１５】本発明に基づく実施の形態３におけるシート剥離方法における時間と速度との関係を示すグラフである。
【図１６】本発明に基づく実施の形態３におけるシート剥離方法の第４の状態の説明図である。
【図１７】本発明に基づく実施の形態４におけるシート剥離装置の概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図面において示す寸法比は、必ずしも忠実に現実のとおりを表しているとは限らず、説明の便宜のために寸法比を誇張して示している場合がある。以下の説明において、上または下の概念に言及する際には、絶対的な上または下を意味するとは限らず、図示された姿勢の中での相対的な上または下を意味する場合がある。
【００１３】
本来予定されている搬送速度より低い速度で剥離が行なわれることによって剥離の状態が本来予定されているものと異なる結果として生じてしまう不都合の一例としては、たとえば以下のようなものが挙げられる。たとえば、セラミックグリーンシートを貫通するように導体ビアを形成するために、基材としてのキャリアフィルムがセラミックグリーンシートを支持している状態で、基材およびセラミックグリーンシートを一括して貫通するように設けられた貫通孔に導体ペーストを充填した後、基材をセラミックグリーンシートから剥離する場合を想定する。ある程度以上の速度でキャリアフィルムの剥離が行なわれた場合には、剥離後にもセラミックグリーンシートの貫通孔の内部に導体ペーストが正しく残る。しかし、低すぎる速度でキャリアフィルムの剥離が行なわれた場合には、キャリアフィルムの貫通孔の内部にある導体ペーストに引きずられてセラミックグリーンシートの貫通孔から必要以上に導体ペーストが脱落してしまうという事態が起こりうる。したがって、適用可能な剥離速度に下限が存在する。これはあくまで不具合の一例であり、剥離速度が一定以上でないと不具合が生じる事例は、この他にもさまざまに存在する。
【００１４】
以下では、正常に剥離が行なえるために必要な最低限の速度を「第１速度」として扱っている。
【００１５】
（実施の形態１）
（シート剥離方法）
図１を参照して、本発明に基づく実施の形態１におけるシート剥離方法について説明する。本実施の形態におけるシート剥離方法のフローチャートを図１に示す。
【００１６】
本実施の形態におけるシート剥離方法は、長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着しているものを第１の向きに第１速度以上で搬送しつつ、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離し続ける第１工程Ｓ１と、前記第１工程が行なわれる状態から、前記基材の搬送速度が前記第１速度未満になるように減速または停止する第２工程Ｓ２と、前記基材を前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに搬送することによって、前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第１の向きに変位させる第３工程Ｓ３と、前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第１の向きとは反対の第２の向きに変位させつつ、前記分岐点から見た相対的な前記基材の搬送速度を前記第１速度以上まで上げることによって、第１工程Ｓ１を再開する第４工程Ｓ４とを含む。
【００１７】
第１工程Ｓ１では、図２に示すように、長尺状かつシート状の基材１の表面に長尺状の第１シート２が付着しているもの（以下「基材付き第１シート」ともいう。）が第１の向き８１に搬送されており、分岐点Ｐ２において第１シート２が基材１から剥離し続ける。図２に示した例では、剥離ロール２１，２２によって、第１シート２と基材１とが異なる向きに分かれて進行している。本実施の形態では、基材付き第１シートを、より上流で行なわれる前工程（たとえば導体ペーストの印刷工程）から続けて搬送しており、この前工程で間欠動作（たとえば印刷動作）を行なっているものを想定している。前工程で間欠動作を行なっていることにより、後に続くこの剥離工程においても間欠動作が発生している。なお、本発明は上述のような状況のものに限らず、剥離工程の後の工程が間欠動作になることによって剥離工程に間欠動作が発生するものであってもよい。また、剥離工程そのものが何らかの理由で間欠動作を行なわなければならない場合であってもよい。
【００１８】
基材１の搬送距離と搬送速度との関係を模式的なグラフにして説明する。
比較のために、本実施の形態におけるシート剥離方法とは異なり、第３工程Ｓ３を行なわない場合を図３に示す。図３に示したのはあくまで比較例である。この比較例では、第１工程Ｓ１および第２工程Ｓ２を行なうが、第３工程Ｓ３および第４工程Ｓ４を行なわない。区間３０１では基材１が加速している。区間３０２では、基材１は第１速度以上の速度で搬送されている。この状態では分岐点Ｐ２において剥離が続いている。この工程は第１工程Ｓ１に相当する。区間３０３では基材１が減速している。この工程は第２工程Ｓ２に相当する。その後、速度０になっている点があるが、この時点で基材１は完全に停止している。区間３０６では、基材１は再び加速し、第１速度を超え、区間３０７では、再び基材１は第１速度を超える一定速度で搬送され、分岐点Ｐ２において剥離が続く状態となる。この場合、図３における領域Ａは第１速度を超える一定速度で搬送されつつ剥離が行なわれているので、剥離して得られた第１シート２は製品として採用できるが、領域Ｂは第１速度を下回る速度で剥離が行なわれているので不良領域となる。このように間欠動作を繰り返せば、領域Ａと領域Ｂとが交互に繰り返されることになり、剥離して得られる第１シート２上には不良領域が一定の比率で発生してしまう。
【００１９】
これに対して、本実施の形態におけるシート剥離方法では、図４に示すようになる。区間３０１では基材１が加速している。区間３０２では、第１工程Ｓ１として、基材１は第１の向き８１に第１速度以上の速度で搬送され、分岐点Ｐ２において剥離が続いている。区間３０３では、工程Ｓ２として基材１の搬送速度が第１速度未満になるように減速している。そして、最終的には速度０となっている。その後、区間３０４，３０５にあるように、基材１は第２の向き８２に搬送される。これが第３工程Ｓ３に相当する。図４に示すＰは、加工ピッチを表す。ここで示すように、第３工程Ｓ３は、基材１を第２の向き８２に搬送することによって行なわれる。このように行なわれる第３工程Ｓ３について以下に詳しく説明する。
【００２０】
たとえば区間３０３と区間３０４との境目の時点で図５に示す状態にあるものとする。これは第２工程Ｓ２を終えた状態である。この状態に至るまでは、基材１は第１の向き８１に搬送されていたが、この時点では停止しており、基材１の搬送速度は０である。図５には基準点Ｐ０、剥離点Ｐ１、分岐点Ｐ２が示されている。基準点Ｐ０は、説明の便宜のために基材１上の特定の位置に定められた目印としての点であり、基材１が移動すれば基準点Ｐ０も移動する。剥離点Ｐ１とは、基材１と第１シート２との間の剥離が既になされた区間とまだ剥離していない区間との境界となる点を意味する。この時点までは、剥離ロール２１，２２によって規定される分岐点Ｐ２において剥離が続いていたので、剥離点Ｐ１と分岐点Ｐ２とは一致している。この状態から、図６に示すように、基材１を第２の向き８２に搬送する。こうすることにより、基準点Ｐ０と剥離点Ｐ１との間の距離は一定に保たれたまま、基準点Ｐ０および剥離点Ｐ１は第２の向き８２に移動する。分岐点Ｐ２は、基材１の動きにかかわらず剥離ロール２１，２２の位置によって定まるものであるので、分岐点Ｐ２の位置は変わらず、結果的に図６に示すように、分岐点Ｐ２は剥離点Ｐ１から離れていく。基材１自体は第２の向き８２に移動するが、基材１から見れば、分岐点Ｐ２が第１の向き８１に変位する。図４に示す区間３０４，３０５においては、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第１の向き８１に変位させているといえ、これは第３工程Ｓ３に相当する。こうして区間３０５を終えた時点では、図６に示すようになる。この時点で、剥離点Ｐ１と分岐点Ｐ２との間の距離は最大となっている。
【００２１】
次に第４工程Ｓ４として、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第２の向き８２に変位させつつ基材１の搬送速度を第１速度以上まで上げることによって、第１工程Ｓ１を再開する。これは図４における区間３０６に相当する。第４工程Ｓ４では、基材１は第１の向き８１に搬送されつつ加速する。これにより、基準点Ｐ０と剥離点Ｐ１との間の距離は一定に保たれたまま、基準点Ｐ０および剥離点Ｐ１は第１の向き８１に移動する。分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第２の向き８２に変位する。分岐点Ｐ２は剥離点Ｐ１に接近し、最終的には分岐点Ｐ２は再び剥離点Ｐ１と一致するようになる。ここまでの間に搬送速度は第１速度以上となる。図４における区間３０７では再び第１工程Ｓ１が行なわれる。区間３０７の始まりに達するところまでが、第４工程Ｓ４である。
【００２２】
（作用・効果）
本実施の形態では、第３工程Ｓ３において区間３０４，３０５（図４参照）に示されるように基材１を逆搬送しており、第４工程Ｓ４において区間３０６に示されるように基材１を再加速する際には、既に剥離して逆搬送により戻された部分を助走区間として利用して搬送速度を上げている。このように搬送速度を上げて剥離が再開される。したがって、図４では、図３に比べて領域Ｂが小さくなっている。言い換えれば、不良領域の比率が小さくなっている。
【００２３】
本実施の形態におけるシート剥離方法によれば、このようにして、不良領域となる領域を少なくすることができる。
【００２４】
実施の形態１で説明したシート剥離方法は、たとえば以下に述べるシート剥離装置によって実施することができる。
【００２５】
（実施の形態２）
（シート剥離装置）
図７を参照して、本発明に基づく実施の形態２におけるシート剥離装置について説明する。
【００２６】
本実施の形態におけるシート剥離装置１０１は、図７に示すように、長尺状かつシート状の基材１の表面に長尺状の第１シート２が付着しているものを搬送する搬送装置４０と、第１シート２と基材１とを異なる向きに分かれて進行させることによって分岐点Ｐ２において第１シート２を基材１から剥離させる分岐進行装置１３とを備える。搬送装置４０は、基材１を第１の向き８１に第１速度以上の速度で搬送する定常搬送制御部４１と、基材１の搬送速度が前記第１速度未満になるように減速または停止するように搬送状況を制御する間欠動作制御部４３と、基材１を第１の向き８１とは反対の向きである第２の向き８２に搬送することによって、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第１の向き８１に変位させるように搬送状況を制御する逆搬送制御部４２と、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第１の向き８１とは反対の第２の向き８２に変位させつつ分岐点Ｐ２から見た相対的な基材１の搬送速度を前記第１速度以上まで上げることによって、定常搬送制御部４１による搬送のもとで第１シート２を基材１から剥離させる状態を再開する再開制御部４４とを備える。ここではいくつかの種類の制御部について言及したが、これらの制御部は、それぞれ物理的に別体であるとは限らない。たとえば１つの装置が複数の種類の制御部の役割を兼ねていることもありうる。
【００２７】
搬送装置４０は巻出しロール１１を備える。巻出しロール１１が矢印９２の向きに回転することによって、基材１と第１シート２とが重なって一体となったもの、すなわち、基材付き第１シートが分岐進行装置１３に向けて供給される。分岐進行装置１３は、剥離ロール２１，２２と巻取りロール２３とを備える。巻取りロール２３は剥離した基材１を回収するためのものである。巻取りロール２３が矢印９１ａの向きに回転することにより、基材１は第１の向き８１に搬送される。このとき、巻取りロール１２が矢印９１ｂの向きに回転することにより、分岐点Ｐ２で剥離した第１シート２は引き続き搬送され、巻取りロール１２によって回収される。
【００２８】
巻出しロール１１は、たとえば逆搬送制御部４２の制御によって矢印９３の向きに回転することも可能である。巻出しロール１１がこのように回転することによって、基材付き第１シートは第２の向き８２に搬送される。こうすることによって、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第１の向き８１に変位させることができる。
【００２９】
シート剥離装置１０１は、分岐進行装置１３を挟むように配置された剥離前加工機５１および剥離後加工機５２を備える。剥離前加工機５１および剥離後加工機５２のうち少なくとも一方が間欠動作を行なう。シート剥離装置１０１は、剥離前加工機５１および剥離後加工機５２の両方を備えているとは限らず、これらのうちいずれか一方のみを備えていてもよい。シート剥離装置１０１は、間欠動作を行なう剥離前加工機５１を備えていてもよい。シート剥離装置１０１は、間欠動作を行なう剥離後加工機５２を備えていてもよい。
【００３０】
本実施の形態では、基材１、第１シート２または基材付き第１シートの搬送は、ロールの回転によって行なわれていた。他に、搬送のための機構としては、図８に示すような機構も採用可能である。図８に示した例では、クリップ３１によって対象物を搬送している。このような搬送のための機構は、ロールと併用して付加的に用いられてもよいし、一部のロールを置き換えるように用いられてもよい。以下、図９〜図１１に示す機構についても同様である。
【００３１】
搬送のための機構は、図９に示すように２つのロール２４，２５を用いた機構であってもよい。図９では、ロール２４，２５によって対象物を挟み込んだ状態で、ロール２４，２５を回転させることによって対象物を搬送している。
【００３２】
搬送のための機構は、図１０に示すようにサクションロール２６による機構であってもよい。図１０に示した例では、サクションロール２６によって対象物を吸引した状態でサクションロール２６を回転させることによって、対象物を搬送している。サクションロール２６の外周面には、対象物を吸引することができる機構が設けられている。
【００３３】
搬送のための機構は、図１１に示すように吸着ステージ３２による機構であってもよい。図１１に示した例では、吸着ステージ３２によって対象物を吸引した状態で、吸着ステージ３２を平行移動することによって、対象物を搬送している。
【００３４】
（作用・効果）
本実施の形態におけるシート剥離装置によれば、実施の形態１で説明したシート剥離方法を容易に行なうことができる。したがって、不良領域となる領域をなるべく少なくすることができる。
【００３５】
（実施の形態３）
（シート剥離方法）
図１２〜図１６を参照して、本発明に基づく実施の形態３におけるシート剥離方法について説明する。
【００３６】
本実施の形態におけるシート剥離方法は、長尺状かつシート状の基材の表面に長尺状の第１シートが付着している基材付き第１シートを、第１の向きが下流となる向きに配置した状態で、前記第１シートおよび前記基材のうちの一方に治具を当接させて前記一方が前記治具に沿って折り曲げられた状態で、前記治具が前記基材から見て相対的に前記第１の向きとは反対の向きである第２の向きに第１速度以上で移動することによって、前記第１シートと前記基材とが異なる向きに分かれて進行する分岐点において前記第１シートが前記基材から剥離し続ける第Ａ１工程と、前記第Ａ１工程が行なわれる状態から、前記基材から見た前記治具が、相対的な移動速度が前記第１速度未満になるように減速または停止する第Ａ２工程と、前記治具を前記基材にとって相対的に前記第１の向きに変位させることによって、前記分岐点を前記基材にとって相対的に前記第１の向きに変位させる第Ａ３工程と、前記基材付き第１シートを前記第１の向きに搬送する第Ａ４工程と、前記治具が前記基材から見て相対的に前記第２の向きに移動を開始して相対的に前記第２の向きに第１速度以上となるように加速することによって、前記第Ａ１工程を再開する、第Ａ５工程とを含む。
【００３７】
本実施の形態におけるシート剥離方法では、図１２に示すように、基材１に治具１６を当接させて基材１を折り曲げた状態を用意する。この状態で、基材１はステージ１５に対して相対的に停止している。実際、この時点では、基材１は搬送されることなく停止していてよい。これにより、基材１の搬送は間欠動作となっている。このように停止した状態では、たとえばステージ１５の上面に何らかの吸着機能を設けておいてステージ１５が基材１を固定することとしてもよい。図１２では、説明の便宜のために基準点Ｐ０が示されている。図１２では、剥離が始まる直前の状態を示しており、剥離点Ｐ１と分岐点Ｐ２とは別々の位置にある。このように別々の位置にある理由は、後述する説明により明らかとなる。分岐点Ｐ２はステージ１５の図中右端付近に位置している。次に、治具１６を第２の向き８２に移動させる。分岐点Ｐ２を境に基材１と第１シート２とで異なる向きに張力がかかっており、治具１６が移動することにより、剥離が進行し、剥離済の基材１は図中左上に向かって進行する。治具１６はたとえば紙面奥手前方向に延在する三角柱であってもよい。治具１６は加速され、基材１から見たときの治具１６の第２の向き８２に向かう速度は、途中で第１速度以上となる。治具１６が第２の向き８２に移動することにより、分岐点Ｐ２は第２の向き８２に変位し、いずれ剥離点Ｐ１に到達する。こうして、図１３に示す状態に至る。図１３では、剥離点Ｐ１と分岐点Ｐ２とは一致している。
【００３８】
図１３の状態からさらに治具１６が第１速度以上の速度で第２の向き８２に移動することにより、剥離点Ｐ１および分岐点Ｐ２は、互いに一致した状態のまま第２の向き８２に変位する。このとき第１シート２からの基材１の剥離が進行する。こうして第１速度以上で剥離が進行する工程が第Ａ１工程に相当する。その後、治具１６は速度を落とし、ステージ１５の図中左端付近で停止する。このように減速して停止する過程が第Ａ２工程に相当する。こうして、図１４に示す状態になる。
【００３９】
図１３〜図１４に示す状態では剥離点Ｐ１は分岐点Ｐ２と一致している。第１シート２はステージ１５の上面に当接している。基材１および第１シート２には、それぞれ矢印で示す向きに張力がかけられている。図１４では１回分の剥離が既に終わった時点の状態を示している。
【００４０】
図１５のグラフにおいては、基材１の搬送の様子を破線で示し、治具１６の移動の様子を実線で示している。図１２〜図１４における治具１６の動きは、図１５における折れ線５０３に相当する。図１５に示した例では、折れ線５０３が終わってから折れ線５０２が始まるまでに、しばらく間があいているが、ここは間をあけずに連続して動作させてもよい。
【００４１】
図１５において折れ線５０１に示すように、基材１は停止している状態から加速して一定速度に至り、そのまま一定時間だけ前進し、その後、減速して停止する。この際、折れ線５０２に示すように、治具１６は基材１を常に上回る速度となるように、加速し、基材１の速度より速い速度で一定時間だけ前進する。したがって、基材１の進行を追い越すような状態で第１の向き８１に移動する。この様子を図１６に示す。基材１は第１の向き８１に搬送されるが、治具１６はこれを追い越す速度で矢印９６に示すように第１の向き８１に進行する。これにより、分岐点Ｐ２は剥離点Ｐ１から離れる。ここで、基材１が第１の向き８１に搬送されることは、第Ａ４工程に相当する。図１４から図１６に移行する際に、基材１は第１の向き８１に搬送されるので、基準点Ｐ０と剥離点Ｐ１との距離が一定に保たれたまま基準点Ｐ０および剥離点Ｐ１は、ステージ１５の上面に沿って第１の向き８１に移動している。ほぼ同時に治具１６がより速い速度で進行したことにより、基材１から見て相対的に、分岐点Ｐ２は剥離点Ｐ１よりも第１の向き８１に移動している。このように分岐点Ｐ２を剥離点Ｐ１よりも第１の向き８１に移動させることは、第Ａ３工程に相当する。第Ａ３工程が行なわれる時期と第Ａ４工程が行なわれる時期とは、一部または全部が重なっていてもよい。
【００４２】
ここでは、治具１６が基材１を追い越すために、治具１６の速度が基材１の搬送速度より速いものとして説明したが、治具１６が基材１の搬送速度より速い速度で進行することは必須ではない。治具１６の進行速度が基材１の搬送速度より速くなくても、たとえば治具１６が基材１より早い時期から進行を開始すること、あるいは、たとえば治具１６が基材１より遅い時期まで進行を続けること、あるいはこれらの両方によっても、分岐点Ｐ２を剥離点Ｐ１よりも第１の向き８１に移動させることができる。
【００４３】
こうして、図１２に示した状態へと戻る。ただし、図１２に比べて、剥離点Ｐ１および分岐点Ｐ２はステージ１５から見て相対的に元の位置に戻っているが、基準点Ｐ０はステージ１５から見て相対的に第１の向き８１に既に一定距離だけ変位した位置にあり、基準点Ｐ０は当初の位置には戻らない。基準点Ｐ０の位置が異なる点を除けば図１２に示されたとおりの状態に戻る。元々、図１２において、剥離点Ｐ１と分岐点Ｐ２とが別々の位置にあったのは、図１２より以前に第Ａ３工程が行なわれた結果である。図１２に示した状態で、治具１６が基材１から見て相対的に第２の向き８２に移動を開始して相対的に第２の向き８２に第１速度以上となるように加速することによって、第Ａ１工程が再開する。このように第Ａ１工程の再開に至らしめる工程が、第Ａ５工程に相当する。このようにサイクルを繰り返すことにより、基材１は一定の長さずつ第１の向き８１に送られ、治具１６が第２の向き８１に移動する度に剥離は一定の長さ分ずつ進行する。
【００４４】
（作用・効果）
本実施の形態では、基材１自体を逆向きに搬送させなくても治具１６の移動によって、分岐点Ｐ２から見た相対的な基材１の搬送速度を第１速度以上まで上げることができ、第１速度以上での剥離を行なうことができる。剥離の速度が減速しつつあった区間については、第１速度未満での剥離が行なわれたこととなるが、ステージ１５に沿った治具１６の往復移動によって、次回の加速の際の助走区間として利用されるので不良領域を少なくすることができる。
【００４５】
（実施の形態４）
（シート剥離装置）
図１７を参照して、本発明に基づく実施の形態４におけるシート剥離装置について説明する。
【００４６】
本実施の形態におけるシート剥離装置１０２は、図１７に示すように、治具制御装置２０と搬送装置４０とを備える。治具制御装置２０は、長尺状かつシート状の基材１の表面に長尺状の第１シート２が付着している基材付き第１シートを、第１の向きが下流となる向きに配置した状態で保持し、第１シート２および基材１のうちの一方に治具１６を当接させて前記一方が治具１６に沿って折り曲げられた状態で、治具１６が基材１から見て相対的に第１の向き８１とは反対の向きである第２の向き８２に移動することによって、第１シート２と基材１とが異なる向きに分かれて進行する分岐点Ｐ２において第１シート２が基材１から剥離する。搬送装置４０は、前記基材付き第１シートを第１の向き８１に搬送する。治具制御装置２０は、分岐点Ｐ２を決定する治具１６と、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第１の向き８１に変位させるように治具１６を変位させる治具前進制御部４５と、分岐点Ｐ２を基材１にとって相対的に第２の向き８２に第１速度以上で変位させることができる治具後退制御部４６とを備える。
【００４７】
巻出しロール１１は矢印９２の向きに回転することによって、基材付き第１シートを供給する。搬送装置４０は、基材１を第１の向き８１に搬送する搬送制御部４１ａと、基材１の搬送を停止させる停止制御部４３ａとを備える。治具１６は矢印９５に沿って往復移動することができる。巻取りロール１４は、矢印９４の向きに回転することにより、基材１を回収する。
【００４８】
第１シート２は、ロール２４，２５によって第１の向き８１に搬送され、切断刃１７によって所望の長さごとに切断される。個別サイズに切断された後の第１シート２ｒは、吸着装置１８によって吸着保持され、トレイ１９内へと移送される。トレイ１９内には、第１シート２ｒが積み重ねられている。
【００４９】
（作用・効果）
本実施の形態におけるシート剥離装置によれば、実施の形態３で説明したシート剥離方法を容易に行なうことができる。したがって、不良領域となる領域をなるべく少なくすることができる。
【００５０】
（実施の形態５）
（シート剥離方法）
本発明に基づく実施の形態５におけるシート剥離方法について説明する。本実施の形態におけるシート剥離方法は、実施の形態１などで説明したシート剥離方法と同様の工程を含むが、以下の点で異なる。本発明に基づく実施の形態５におけるシート剥離方法では、第１工程Ｓ１を行なう場所より上流側および下流側のうち少なくとも一方に、基材１および第１シート２のうち少なくとも一方に対して間欠動作で処理すべき第５工程を行なう第１設備が存在し、第２工程Ｓ２を行なうタイミングにおいては、前記第１設備において前記第５工程を並行して行なう。図７および図１７に示した各例では、第１工程Ｓ１を行なう場所より上流側に剥離前加工機５１が配置され、下流側に剥離後加工機５２が配置されていたが、剥離前加工機５１および剥離後加工機５２のうち少なくとも一方が第１設備に該当してもよい。
【００５１】
（作用・効果）
本実施の形態では、第１設備において、間欠動作で処理すべき第５工程を行ないながらその間欠動作に同期するように、第２工程Ｓ２を行なうこととなる。第５工程と同期するように第２工程Ｓ２を行なった後には、第３工程Ｓ３、第４工程Ｓ４が行なわれるので、実施の形態１で説明したように、既に剥離して逆搬送により戻された部分を用いて搬送速度を上げることができる。その結果、不良領域となる領域をなるべく少なくすることができる。
【００５２】
実施の形態３などで説明したシート剥離方法についても、同様のことがいえる。すなわち、前記第Ａ１工程を行なう場所より上流側および下流側のうち少なくとも一方に、前記基材および前記第１シートのうち少なくとも一方に対して間欠動作で処理すべき第Ａ６工程を行なう第１設備が存在し、前記第Ａ２工程を行なうタイミングにおいては、前記第１設備において前記第Ａ６工程を並行して行なうこととしてもよい。
【００５３】
（実施の形態６）
（シート剥離方法）
本発明に基づく実施の形態６におけるシート剥離方法について説明する。本実施の形態におけるシート剥離方法は、実施の形態１などで説明したシート剥離方法と同様の工程を含むが、以下の点で異なる。本実施の形態におけるシート剥離方法では、第１工程Ｓ１を行なう場所より上流側および下流側のうち少なくとも一方に、基材１および第１シート２のうち少なくとも一方に対して、第１工程Ｓ１から第４工程Ｓ４とは異なるタイミングの間欠動作または連続動作で処理される第６工程Ｓ６を行なう第２設備が存在する。前記第２設備が所在する場所と、第１工程Ｓ１、第２工程Ｓ２、第３工程Ｓ３および第４工程Ｓ４が行なわれる場所との間には、前記基材の流れを一時的に動作を止めることができるバッファ機構が配置されている。前記バッファ機構を介して基材１および第１シート２のうち少なくとも一方の受渡しが行なわれる。バッファ機構は、たとえばコンペンセータロール、ダンサロールなどのうちのいずれかを含む機構であってもよい。バッファ機構は、たとえば基材１のうち第２設備による第６工程Ｓ６を終えた領域を一時的に蓄積し、その後、第１工程Ｓ１を行なう場所に向けて供給する機構であってよい。
【００５４】
（作用・効果）
本実施の形態では、異なるタイミングの間欠動作または連続動作で処理すべき第６工程Ｓ６を行なう第２設備が存在するが、バッファ機構が配置されているので、第１工程Ｓ１、第２工程Ｓ２、第３工程Ｓ３および第４工程Ｓ４は、第２設備における第６工程Ｓ６の動作のタイミングから独立して所望のタイミングの間欠動作で行なうことができる。その結果、不良領域となる領域をなるべく少なくすることができる。
【００５５】
なお、上記実施の形態のうち複数を適宜組み合わせて採用してもよい。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【符号の説明】
【００５６】
１  基材、２  第１シート、２ｒ  （個別サイズに切断した後の）対象物、１１  巻出しロール、１２  巻取りロール、１３  分岐進行装置、１４  （剥離した基材のための）巻取りロール、１５  ステージ、１６  治具、１７  切断刃、１８  吸着装置、１９  トレイ、２０  治具制御装置、２１，２２  剥離ロール、２３  （剥離した基材のための）巻取りロール、２４，２５  ロール、２６  サクションロール、３１  クリップ、３２  吸着ステージ、４１  定常搬送制御部、４１ａ  搬送制御部、４２  逆送制御部、４３  間欠動作制御部、４３ａ  停止制御部、４４  再開制御部、４５  治具前進制御部、４６  治具後退制御部、５１  剥離前加工機、５２  剥離後加工機、８１  第１の向き、８２  第２の向き、９１ａ，９１ｂ，９２，９３，９４，９５，９６，９７  矢印、１０１，１０２  シート剥離装置、３０１，３０２，３０３，３０４，３０５，３０６，３０７，３０８  区間、５０１，５０２，５０３  折れ線、Ｐ０  基準点、Ｐ１  剥離点、Ｐ２  分岐点。
【図１】
2018002411.tif 000003
【図２】
2018002411.tif 000004
【図３】
2018002411.tif 000005
【図４】
2018002411.tif 000006
【図５】
2018002411.tif 000007
【図６】
2018002411.tif 000008
【図７】
2018002411.tif 000009
【図８】
2018002411.tif 000010
【図９】
2018002411.tif 000011
【図１０】
2018002411.tif 000012
【図１１】
2018002411.tif 000013
【図１２】
2018002411.tif 000014
【図１３】
2018002411.tif 000015
【図１４】
2018002411.tif 000016
【図１５】
2018002411.tif 000017
【図１６】
2018002411.tif 000018
【図１７】
2018002411.tif 000019