(57)【要約】【課題】保存安定性や現像性が良好であり、低温でポストベークしても耐溶剤性に優れた硬化膜を形成可能な感光性組成物を提供すること。【解決手段】次の成分；［Ａ］同一分子内又は異なる分子内に酸性官能基及び脂環式エポキシ基を有する化合物、並びに［Ｂ］感光剤を含有する感光性組成物であって、  ［Ａ］成分が下記の（ａ１）重合体を含むか、又は下記の（ａ２）重合体及び下記の（ａ３）重合体の組み合わせを含む、感光性組成物。（ａ１）重合体：同一分子内に酸性官能基及び脂環式エポキシ基を有する重合体（ａ２）重合体：酸性官能基を有し、脂環式エポキシ基を有しない重合体（ａ３）重合体：脂環式エポキシ基を有し、酸性官能基を有しない重合体【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の成分；
［Ａ］同一分子内又は異なる分子内に酸性官能基及び脂環式エポキシ基を有する化合物、
並びに
［Ｂ］感光剤
を含有する感光性組成物であって、
［Ａ］成分が下記の（ａ１）重合体を含むか、又は下記の（ａ２）重合体及び下記の（ａ３）重合体の組み合わせを含む、感光性組成物。
（ａ１）重合体：同一分子内に酸性官能基及び脂環式エポキシ基を有する重合体
（ａ２）重合体：酸性官能基を有し、脂環式エポキシ基を有しない重合体
（ａ３）重合体：脂環式エポキシ基を有し、酸性官能基を有しない重合体
【請求項２】
更に［Ｃ］着色剤として少なくとも染料を含有し、該染料の含有割合が［Ｃ］着色剤の合計に対して５質量％以上である、請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項３】
更に［Ｃ］着色剤として少なくとも染料を含有し、該染料の含有割合が［Ｃ］着色剤の合計に対して９０質量％以上である、請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項４】
前記（ａ１）重合体〜（ａ３）重合体がポリシロキサン及び（メタ）アクリル系重合体から選ばれる重合体である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項５】
［Ａ］成分が前記（ａ２）重合体と前記（ａ３）重合体との組み合わせを含み、その含有質量比が（ａ２）重合体：（ａ３）重合体＝２０：８０〜８０：２０である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項６】
更に［Ｄ］水素供与体を有する硬化促進剤を含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項７】
［Ｄ］成分がシラノール基を有する化合物及びカルボキシル基を有する酸無水物よりなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を含む、請求項６に記載の感光性組成物。
【請求項８】
更に［Ｅ］重合性化合物を含む、請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項９】
更に［Ｆ］金属キレート化合物を含む、請求項１〜８のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の感光性組成物の硬化物である硬化膜。
【請求項１１】
請求項１０に記載の硬化膜を具備する表示素子。
【請求項１２】
請求項１０に記載の硬化膜を具備する発光素子。
【請求項１３】
請求項１０に記載の硬化膜を具備する受光素子。
【請求項１４】
下記工程（１）〜（４）を含むことを特徴とする、硬化膜の製造方法。
工程（１）：基板上に、請求項１〜９のいずれか１項に記載の感光性組成物を塗布して塗膜を形成する工程
工程（２）：前記工程（１）で得られた塗膜に、放射線を照射する工程
工程（３）：前記工程（２）で得られた塗膜を現像する工程
工程（４）：前記工程（３）で得られた塗膜を７０〜１８０℃で加熱する工程
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性組成物、硬化膜及びその製造方法、並びに表示素子、発光素子及び受光素子に関わり、より詳しくは、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示素子、固体撮像素子、有機ＥＬ表示素子、電子ペーパー等に用いられる硬化膜の形成に用いられる感光性組成物、当該感光性組成物を用いて形成された硬化膜及びその製造方法、並びに当該硬化膜を具備する表示素子、発光素子及び受光素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタの製造方法としては、例えば、インクジェット方式、電着法、印刷法、フォトリソグラフィ法等が知られているが、近年ではフォトリソグラフィ法が主流となっている。フォトリソグラフィ法によりカラーフィルタを製造する場合、例えば、基板上に着色感光性組成物を塗布して塗膜を形成した後、所定の開口パターンを有するフォトマスクを介して放射線を露光し、次いで現像して未露光部分を溶解除去することにより、パターンを形成する方法が採用されている（特許文献１）。そして、パターン形成後は、耐熱性や耐溶剤性、基板への密着性、電気特性等の信頼性を確保するために、２００〜２５０℃の温度で３０〜６０分程度ポストベークすることにより、塗膜の硬化を促進させるのが通常である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２−１４４５０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、カラーフィルタは、液晶表示素子（ＬＣＤ）用途においてモニタのみならずテレビへと用途が拡大する傾向にある。この用途拡大の傾向に伴い、カラーフィルタには、色度、コントラスト等において高度の色特性が要求されている。また、イメージセンサ（固体撮像素子）用途のカラーフィルタにおいても、色ムラの低減、色分解能の向上など色特性の更なる向上が求められている。しかしながら、着色剤として顔料を使用すると、顔料の粗大粒子による散乱の発生、低温保存安定性不良による粘度上昇等の問題が起きやすく、コントラスト及び輝度を更に向上させることに限界があった。そこで、着色剤として染料を使用すれば、染料自体の色純度やその色相の鮮やかさにより、画像表示させたときの色相や輝度が高められ、また粗大粒子がなくなるため、コントラストの向上に有効であると考えられる。しかしながら、染料は一般に耐熱性等に劣るため、染料を含有する感光性組成物を用いて形成された塗膜を２００〜２５０℃のポストベーク温度で加熱することが困難である。
また、カラーフィルタの技術分野においては、表示素子の高色純度化や受光素子の高色分解能のために着色剤濃度が高くなる傾向にあるが、現像時に未露光部の基板上あるいはパターン上に残渣や地汚れを生じやすくなる傾向がある。このような残渣や地汚れの発生を回避するためには、現像時間を長くすることが効果的であるが、現像時間を長くするとタクトタイムが長くなるという弊害がある。
ところで、表示素子の中でもフレキシブル表示装置が注目されており、従来のガラス基板からフレキシブルなプラスチック基板への代替が検討されている。しかしながら、プラスチック基板は一般に耐熱性が低いため、２００〜２５０℃のポストベーク温度ではプラスチック基板の伸長や収縮が起こりやすい。
このような問題に対し、ポストベークをより低い温度で行うことが考えられるが、硬化膜の耐久性や強度が不十分となるため、プラスチック基板のたわみや、硬化膜のひび割れ、耐溶剤性の低下といった問題が生ずる。そのため、保存安定性や現像性が良好であり、低温でポストベークしても耐溶剤性に優れる硬化膜を形成可能な感光性組成物が求められている。
【０００５】
本発明の課題は、保存安定性や現像性が良好であり、低温でポストベークしても耐溶剤性に優れる硬化膜を形成可能な感光性組成物を提供することにある。さらに、本発明の課題は、該感光性組成物を用いて形成された硬化膜及びその製造方法、並びに該硬化膜を具備する、表示素子、発光素子及び受光素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる実情に鑑み、本発明者らは鋭意研究を行ったところ、特定の官能基を有する重合体を感光性組成物に含有させることにより、保存安定性や現像性が良好であり、低温でポストベークしても耐溶剤性に優れた硬化膜を形成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００７】
即ち、本発明は、次の成分；
［Ａ］同一分子内又は異なる分子内に酸性官能基及び脂環式エポキシ基を有する化合物、
並びに
［Ｂ］感光剤
を含有する感光性組成物であって、
［Ａ］成分が下記の（ａ１）重合体を含むか、又は下記の（ａ２）重合体及び下記の（ａ３）重合体の組み合わせを含む、感光性組成物を提供するものである。
（ａ１）重合体：同一分子内に酸性官能基及び脂環式エポキシ基を有する重合体
（ａ２）重合体：酸性官能基を有し、脂環式エポキシ基を有しない重合体
（ａ３）重合体：脂環式エポキシ基を有し、酸性官能基を有しない重合体
【０００８】
本発明はまた、上記感光性組成物の硬化物である硬化膜、並びに当該硬化膜を具備する、表示素子、発光素子及び受光素子を提供するものである。ここで、「硬化膜」とは、表示素子や固体撮像素子に用いられる各色画素、保護膜、ブラックマトリックス、スペーサー、絶縁膜等を意味する。
【０００９】
本発明は更に、下記の工程（１）〜（４）を含むことを特徴とする、硬化膜の製造方法を提供するものである。
工程（１）：基板上に、上記感光性組成物を塗布して塗膜を形成する工程
工程（２）：上記工程（１）で得られた塗膜に、放射線を照射する工程
工程（３）：上記工程（２）で得られた塗膜を現像する工程
工程（４）：上記工程（３）で得られた塗膜を７０〜１８０℃で加熱する工程
【発明の効果】
【００１０】
本発明の感光性組成物を用いれば、低温でポストベークしても耐溶剤性に優れる硬化膜を形成することができる。また、本発明の感光性組成物は、保存安定性や現像性が良好であり、粘度上昇等の問題が生じ難いため、コントラスト及び輝度をより一層向上させることができる。したがって、本発明の感光性組成物は、カラー液晶表示素子用カラーフィルタ、固体撮像素子の色分解用カラーフィルタ、有機ＥＬ表示素子用カラーフィルタ、電子ペーパー用カラーフィルタを始めとする各種のカラーフィルタの作製に極めて好適に使用できるだけでなく、保護膜材料やスペーサー材料、絶縁膜材料としても極めて有用である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明について詳細に説明する。
〔感光性組成物〕
以下、本発明の感光性組成物の構成成分について詳細に説明する。
【００１２】
−［Ａ］成分−
［Ａ］成分は、同一分子内又は異なる分子内に酸性官能基及び脂環式エポキシ基を有する化合物であって、下記の（ａ１）重合体、（ａ２）重合体及び（ａ３）重合体のうち、（ａ１）重合体、あるいは（ａ２）重合体及び（ａ３）重合体の組み合わせを必須成分として含有するものである。ここで、本明細書において「酸性官能基」とは、有機酸が構造中に有する酸性を示すために機能する官能基をいい、また「脂環式エポキシ基」とは、脂環式構造を構成する炭素原子のうちの２個の炭素原子と、１個の酸素原子とで形成されるエポキシ基をいう。
【００１３】
（ａ１）重合体：同一分子内に酸性官能基及び脂環式エポキシ基を有する重合体
（ａ２）重合体：酸性官能基を有し、脂環式エポキシ基を有しない重合体
（ａ３）重合体：脂環式エポキシ基を有し、酸性官能基を有しない重合体
【００１４】
［Ａ］成分は、感光性組成物を用いて硬化膜を形成する際の露光、ポストベーク工程において、分子間又は分子内において架橋構造を形成し、塗膜の硬化性を高める成分である。［Ａ］成分としては、（ａ１）重合体、あるいは（ａ２）重合体及び（ａ３）重合体の組み合わせ以外の重合体を含有してもよく、また（ａ１）重合体とともに、（ａ２）重合体又は（ａ３）重合体を含有してもよく、（ａ２）重合体及び（ａ３）重合体の組み合わせとともに、（ａ１）重合体を含有してもよい。また、（ａ１）重合体、（ａ２）重合体及び（ａ３）重合体は、それぞれ１種又は２種以上含有することができる。
【００１５】
＜（ａ２）重合体＞
先ず、（ａ２）重合体について説明する。（ａ２）重合体は、酸性官能基を有し、脂環式エポキシ基を有しない重合体である。酸性官能基としては、酸性を示す官能基であれば特に限定されないが、例えば、カルボキシル基、チオカルボキシル基、ジチオカルボキシル基、メルカプトカルボニル基、ヒドロペルオキシ基、フェノール性水酸基、スルホ基、スルフィノ基、スルフェノ酸基、アルコール性水酸基、チオール基、ホスフィニコ基、ホスホノ基、セレノノ基、セレニノ基、セレネノ基、アルシニコ基、アルソノ基、ボロン酸基、ボラン酸基等を挙げることができる。中でも、カルボキシル基が好ましい。
【００１６】
（ａ２）重合体としては、酸性官能基を有し、脂環式エポキシ基を有しない重合体であれば特に限定されないが、１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体（以下、「不飽和単量体（α１）」とも称する）を構造単位として有する重合体（但し、（ａ１）重合体を除く。以下、「カルボキシル基含有重合体」とも称する）であるか、あるいは１個以上のカルボキシル基を有する構造単位を有するポリシロキサン（但し、（ａ１）重合体を除く。以下、「カルボキシル基含有ポリシロキサン」とも称する）が好ましい。
【００１７】
カルボキシル基含有重合体において、不飽和単量体（α１）としては、
（メタ）アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸；
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸又はその無水物；
こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸のモノ〔（メタ）アクリロイルオキシアルキル〕エステル；
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート等のポリカプロラクトンオリゴマーに（メタ）アクリロイルオキシ基と水酸基とを導入したマクロモノマー
等を挙げることができる。
不飽和単量体（α１）は、１種又は２種以上を使用することが可能である。
【００１８】
カルボキシル基含有重合体としては、不飽和単量体（α１）として（メタ）アクリル酸を含有する（メタ）アクリル系重合体であることが好ましい。また、カルボキシル基含有重合体は、不飽和単量体（α１）と共重合可能な他のエチレン性不飽和単量体（以下、「不飽和単量体（α２）」とも称する）を構造単位として有していても構わない。不飽和単量体（α２）は、１種又は２種以上を使用することができる。
【００１９】
不飽和単量体（α２）としては、例えば、
Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドベンゾエート、Ｎ−スクシンイミジル−４−マレイミドブチレート、Ｎ−スクシンイミジル−６−マレイミドカプロエート、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドプロピオネート、Ｎ−（アクリジニル）マレイミドの如きＮ−置換マレイミド；
スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテルの如き芳香族ビニル化合物；
インデン、１−メチルインデンの如きインデン化合物；
【００２０】
メチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（重合度２〜１０）メチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール（重合度２〜１０）メチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（重合度２〜１０）モノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール（重合度２〜１０）モノ（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０2,6］デカン−８−イル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、３−〔（メタ）アクリロイルオキシメチル〕オキセタン、３−〔（メタ）アクリロイルオキシメチル〕−３−エチルオキセタンの如き（メタ）アクリル酸エステル；
【００２１】
シクロヘキシルビニルエーテル、イソボルニルビニルエーテル、トリシクロ［５．２．１．０2,6］デカン−８−イルビニルエーテル、ペンタシクロペンタデカニルビニルエーテル、３−（ビニルオキシメチル）−３−エチルオキセタンの如きビニルエーテル；
ポリスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリ−ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ポリシロキサンの如き重合体分子鎖の末端にモノ（メタ）アクリロイル基を有するマクロモノマー等を挙げることができる。
【００２２】
不飽和単量体（α１）と不飽和単量体（α２）との共重合体は、例えば、不飽和単量体（α１）と不飽和単量体（α２）とを公知の重合反応に供することにより製造することが可能である。該共重合体中の不飽和単量体（α１）の共重合割合は、好ましくは５〜４０質量％、更に好ましくは１０〜３０質量％である。このような態様とすることにより、露光、ポストベーク工程において、分子間又は分子内において架橋構造が形成されやすいため、低温でポストベークしても塗膜の硬化性をより一層高めることができる。
【００２３】
不飽和単量体（α１）と不飽和単量体（α２）との共重合体の具体例としては、例えば、特開平７−１４０６５４号公報、特開平８−２５９８７６号公報、特開平１０−３１３０８号公報、特開平１０−３００９２２号公報、特開平１１−１７４２２４号公報、特開平１１−２５８４１５号公報、特開２０００−５６１１８号公報、特開２００４−１０１７２８号公報等に開示されている共重合体を挙げることができる。
【００２４】
また、本発明においては、例えば、特開平５−１９４６７号公報、特開平６−２３０２１２号公報、特開平７−２０７２１１号公報、特開平０９−３２５４９４号公報、特開平１１−１４０１４４号公報、特開２００８−１８１０９５号公報等に開示されているように、側鎖に（メタ）アクリロイル基等の重合性不飽和結合を有するカルボキシル基含有重合体を、（ａ２）重合体として使用することもできる。
【００２５】
カルボキシル基含有ポリシロキサンにおいて、１個以上のカルボキシル基を有する構造単位としては、下記一般式（１−１）〜（１−４）で表される構造単位を挙げることができる。１個以上のカルボキシル基を有する構造単位は、１種又は２種以上有することが可能であるが、中でも、保存安定性の向上、低温ポストベークでの硬化性向上の観点から、少なくとも下記一般式（１―１）で表される構造単位を有することが好ましい。
【００２６】
【化１】
2018120216.tif 000002
【００２７】
〔式（１−１）〜（１−４）において、
Ｚ１は、カルボキシル基を有する基を示し、
Ｙは、１価の炭化水素基を示す。〕
【００２８】
Ｚ１に係るカルボキシル基を有する基としては、例えば、下記の（ａ）又は（ｂ）で表される基を挙げることができる。
【００２９】
【化２】
2018120216.tif 000003
【００３０】
〔式（ａ）及び（ｂ）において、
Ｘ１は、単結合又は２価の炭化水素基を示し、
＊は、結合手を示す。〕
【００３１】
Ｘ１に係る２価の炭化水素基としては、２価の脂肪族炭化水素基、２価の脂環式炭化水素基、２価の芳香族炭化水素基等を挙げることができる。ここで、本明細書において「脂環式炭化水素基」とは、環状構造を有さない脂肪族炭化水素基を除く概念である。また、本明細書において「脂環式炭化水素基」、「芳香族炭化水素基」とは、環構造のみからなる基だけでなく、当該環構造に更に２価の脂肪族炭化水素基が置換した基をも包含する概念であり、その構造中に少なくとも脂環式炭化水素又は芳香族炭化水素を含んでいればよい。２価の脂肪族炭化水素基は直鎖及び分岐鎖のいずれの形態でもよく、また２価の脂肪族炭化水素基及び２価の脂環式炭化水素基は飽和炭化水素基でも不飽和炭化水素基でもよい。
【００３２】
２価の脂肪族炭化水素基としては、例えば、アルカンジイル基、アルケンジイル基が挙げられ、その炭素数は、好ましくは１〜２０、より好ましくは１〜１２、更に好ましくは１〜６である。具体例としては、例えば、メチレン基、エタン−１，１−ジイル基、エタン−１，２−ジイル基、プロパン−１，１−ジイル基、プロパン−１，２−ジイル基、プロパン−１，３−ジイル基、プロパン−２，２−ジイル基、ブタン−１，２−ジイル基、ブタン−１，３−ジイル基、ブタン−１，４−ジイル基、ペンタン−１，４−ジイル基、ペンタン−１，５−ジイル基、ヘキサン−１，５−ジイル基、ヘキサン−１，６−ジイル基、２−メチルプロパン−１，２−ジイル基、２，２−ジメチルプロパン−１，３−ジイル基、エテン−１，１−ジイル基、エテン−１，２−ジイル基、プロペン−１，２−ジイル基、プロペン−１，３−ジイル基、プロペン−２，３−ジイル基、１−ブテン−１，２−ジイル基、１−ブテン−１，３−ジイル基、１−ブテン−１，４−ジイル基、２−ペンテン−１，５−ジイル基、３−ヘキセン−１，６−ジイル基等を挙げることができる。
２価の脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロアルキレン基、シクロアルケニレン基が挙げられ、その炭素数は、好ましくは３〜２０、更に好ましくは３〜１２である。具体例としては、例えば、シクロプロピレン基、シクロブチレン基、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基、シクロブテニレン基、シクロペンテニレン基、シクロヘキセニレン基等の単環式炭化水素環基、１，４−ノルボルニレン基、２，５−ノルボルニレン基等のノルボルニレン基、１，５−アダマンチレン基、２，６−アダマンチレン基等の橋かけ環炭化水素基等を挙げることができる。
２価の芳香族炭化水素基としては、例えば、アリーレン基が挙げられ、炭素数６〜１４の単環から３環のアリーレン基が好ましい。具体例としては、例えば、フェニレン基、ビフェニレン基、ナフチレン基、フェナントレン基、アンスリレン基等を挙げることができる。
【００３３】
Ｙに係る１価の炭化水素基としては、脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基等を挙げることができる。
脂肪族炭化水素基としては、直鎖及び分岐鎖のいずれの形態でもよく、また飽和炭化水素基でも不飽和炭化水素基でもよい。脂肪族炭化水素基としては、例えば、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基が挙げられる。アルキル基としては、炭素数１〜２０のアルキル基が好ましく、炭素数１〜１５のアルキル基がより好ましく、炭素数１〜１０のアルキル基が更に好ましい。具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、２−エチルヘキシル基、デシル基、ドデシル基等が挙げられる。また、アルケニル基としては、炭素数２〜２０のアルケニル基が好ましく、炭素数２〜１５のアルケニル基がより好ましく、炭素数２〜１０のアルケニル基が更に好ましい。また、アルキニル基としては、炭素数２〜２０のアルキニル基が好ましく、炭素数２〜１５のアルキニル基がより好ましく、炭素数２〜１０のアルキニル基が更に好ましい。具体例としては、例えば、エチニル基、１−プロピニル基、１−ブチニル基、１−ペンチニル基、３−ペンチニル基、１−ヘキシニル基、２−エチル-２−ブチニル基、２−オクチニル基、（４−エチニル）−５−ヘキシニル基、２−デシニル基等を挙げることができる。
【００３４】
脂環式炭化水素基には、シクロアルキル基、シクロアルケニル基、縮合多環炭化水素基、橋かけ環炭化水素基、スピロ炭化水素基、環状テルペン炭化水素基等が包含される。脂環式炭化水素基としては、炭素数３〜３０の脂環式炭化水素基が好ましく、炭素数３〜１８の脂環式炭化水素基がより好ましく、炭素数３〜１２の脂環式炭化水素基が更に好ましい。具体例としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ｔ−ブチルシクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、トリシクロデカニル基、デカヒドロ−２−ナフチル基、トリシクロ［５．２．１．０2,6］デカン−８−イル基、ペンタシクロペンタデカニル基、イソボルニル基、アダマンチル基、ジシクロペンタニル基、ジシクロペンテニル基、トリシクロペンタニル基、トリシクロペンテニル基等を挙げることができる。
【００３５】
芳香族炭化水素基としては、炭素数６〜２０のアリール基が好ましく、炭素数６〜１０のアリール基が更に好ましい。ここで、本明細書において「アリール基」とは、単環〜３環式芳香族炭化水素基をいい、例えば、フェニル基、ｏ−トリル基、ｍ−トリル基、ｐ−トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基、アズレニル基、９−フルオレニル基、ベンジル基、1−フェニルエチル基、ビフェニル基等を挙げることができる。
【００３６】
２価の炭化水素基及び１価の炭化水素基は、置換基を有していてもよく、置換基としては、例えば、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基等を挙げることができる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子を挙げられる、中でも、フッ素原子が好ましい。アルコキシ基は、直鎖状でも分岐鎖状でも構わないが、炭素数は１〜６が好ましい。具体例としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基等を挙げることができる。なお、置換基の位置及び数は任意であり、例えば、置換基としてフッ素原子を有する場合、パーフルオロアルキル基とすることもできる。また、置換基を２以上有する場合、当該置換基は同一でも異なっていてもよい。
また、２価の炭化水素基及び１価の炭化水素基は、炭素−炭素結合間又はその末端に、炭素原子及び水素原子以外の原子を含む１以上の連結基を有していてもよい。かかる連結基としては、例えば、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＳＯ2−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＮＲa−（Ｒaは、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を示す）、−ＮＲa−（Ｒaは、前記と同義である）が挙げられる。連結基は、１種又は２種以上有することができる。また、炭化水素基と連結基とが結合して環構造を形成してもよい。なお、前述の炭化水素基の炭素数は、連結基を構成する炭素原子を除いた部分の総炭素数を意味する。
【００３７】
前記一般式（１−１）で表される構造単位を与えるシラン化合物としては、例えば、カルボキシ置換アルキルトリアルコキシシラン等が挙げられる。具体例としては、例えば、カルボキシメチルトリメトキシシラン、カルボキシエチルトリメトキシシラン、２−カルボキシエチルトリメトキシシラン、カルボキシプロピルトリメトキシシラン、カルボキシメチルトリエトキシシラン、カルボキシメチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルトリアセトキシシラン、カルボキシメチルトリ（メトキシエトキシ）シラン等を挙げることができる。
前記一般式（１−２）で表される構造単位を与えるシラン化合物としては、例えば、ジ（カルボキシ置換アルキル）ジアルコキシシラン等を挙げることができる。
前記一般式（１−３）で表される構造単位を与えるシラン化合物としては、例えば、カルボキシ置換アルキルアルキルジアルコキシシラン、カルボキシ置換アルキルアリールジアルコキシシラン等が挙げられる。具体例としては、例えば、カルボキシメチルメチルジメトキシシラン、カルボキシメチルメチルジエトキシシラン、カルボキシメチルメチルジアセトキシシラン、カルボキシメチルエチルジメトキシシラン、２−カルボキシエチルメチルジメトキシシラン、カルボキシメチルフェニルジメトキシシラン、カルボキシメチルフェニルジエトキシシラン、２−カルボキシエチルフェニルジメトキシシラン等を挙げることができる。
前記一般式（１−４）で表される構造単位を与えるシラン化合物としては、例えば、カルボキシ置換アルキルジアルキルアルコキシシラン、カルボキシ置換アルキルアルキルアリールアルコキシシラン、カルボキシ置換アルキルジアリールアルコキシシラン等が挙げられる。
【００３８】
１個以上のカルボキシル基を有する構造単位は１種又は２種以上を有することが可能であり、また当該構造単位以外の他の構造単位を有していても構わない。他の構造単位としては、下記一般式（２−１）〜（２−４）で表される構造単位が挙げられる。なお、前記一般式（２−１）〜（２−４）で表される構造単位は、１種又は２種以上を有することができる。
【００３９】
【化３】
2018120216.tif 000004
【００４０】
〔式（２−１）〜（２−４）において、Ｙは前記（１−３）及び（１−４）におけるＹと同義である。〕
【００４１】
前記一般式（２−１）で表される構造単位を与えるシラン化合物としては、例えば、アルキルトリアルコキシシラン、アルケニルトリアルコキシシラン、アルキニルトリアルコキシシラン、シクロアルキルトリアルコキシシラン、アリールトリアルコキシシラン、（メタ）アクリロイルオキシ置換アルキルトリアルコキシシラン等を挙げることができる。具体例としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、ブチルトリメトキシシラン、デシルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、スチリルトリアルコキシシラン等が挙げられる。
前記一般式（２−２）で表される構造単位を与えるシラン化合物としては、例えば、ジアルキルジアルコキシシラン、アルキルフェニルジアルコキシシラン、ジフェニルジアルコキシシラン、ジビニルジアルコキシシラン、ビニルアルキルジアルコキシシラン、アリルアルキルジアルコキシシラン、スチリルアルキルジアルコキシシラン等を挙げることができる。具体例としては、例えば、ジメチルジメトキシシラン、ジブチルジメトキシシラン、フェニルメチルジメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロイルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロイルオキシプロピルフェニルジメトキシシラン、３，３’−ジ（メタ）アクリロイルオキシプロピルジメトキシシラン、３，３’−ジ（メタ）アクリロイルオキシプロピルジエトキシシラン等が挙げられる。
前記一般式（２−３）で表される構造単位を与えるシラン化合物としては、例えば、トリアルキルアルコキシシラン、ジアルキルアリールアルコキシシラン、アルキルジアリールアルコキシシラン等を挙げることができる。具体例としては、例えば、トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリブチルメトキシシラン、トリブチルエトキシシラン、トリフェニルメトキシシラン、３，３’，３”−トリ（メタ）アクリロイルオキシプロピルメトキシシラン、３，３’，３”−トリ（メタ）アクリロイルオキシプロピルエトキシシラン等が挙げられる。
前記一般式（２−４）で表される構造単位を与えるシラン化合物としては、例えば、テトラアルコキシシランが挙げることができる。具体例としては、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロピルオキシシラン、テトライソプロピルオキシシラン、テトラブトキシシラン等が挙げられる。
【００４２】
カルボキシル基含有ポリシロキサンは、例えば、原料シラン化合物を加水分解縮合することにより製造することができる。加水分解縮合反応は、公知の方法により行うことが可能であるが、例えば、溶剤中にて原料シラン化合物を混合し、混合溶液に水を加え、加水分解縮合する方法が挙げられる。加水分解縮合反応は、酸触媒を添加してもよく、酸触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、ポリリン酸等の無機酸、蟻酸、シュウ酸、酢酸、トリフルオロ酢酸、トリフルオロメタンスルホン酸等の有機酸、酸性イオン交換樹脂等を挙げることができる。溶剤としては、例えば、炭化水素、ケトン、エステル、エーテル、アルコール等が挙げられる。水の使用量は、原料シラン化合物の加水分解性基の合計１モルに対して、好ましくは０．１〜３モル、より好ましくは０．３〜２モル、更に好ましくは０．５〜１．５モルである。
【００４３】
カルボキシル基含有ポリシロキサン中の１個以上のカルボキシル基を有する構造単位の割合は適宜選択することが可能であるが、全構造単位中に、５〜４０質量％が好ましく、１０〜３０質量％が更に好ましい。なお、かかる割合の上限値は特に限定されず、１００質量％であっても構わない。
【００４４】
中でも、（ａ２）重合体としては、１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体を単量体単位として含む重合体が好ましく、前記式（ａ）又は（ｂ）で表されるカルボキシル基を有する（メタ）アクリル化合物を単量体単位として含む（メタ）アクリル系重合体がより好ましく、（メタ）アクリル酸を単量体単位として含む（メタ）アクリル系重合体が更に好ましい。
【００４５】
（ａ２）重合体の酸価は、１０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５０〜１６０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、７０〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇが更に好ましい。ここで、本明細書において「酸価」とは、重合体溶液の溶媒を除いた不揮発分１ｇを中和するのに必要なＫＯＨのｍｇ数である。また、本明細書において「不揮発分」とは、後述する溶媒以外の成分である。
【００４６】
（ａ２）重合体は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（以下、ＧＰＣと略す，溶出溶媒：テトラヒドロフラン）で測定したポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）が、通常１，０００〜５０，０００であり、好ましくは３，０００〜３０，０００である。
【００４７】
＜（ａ３）重合体＞
次に、（ａ３）重合体について説明する。
（ａ３）重合体は、脂環式エポキシ基を有し、酸性官能基を有しない重合体である。脂環式エポキシ基としては、脂環式構造中の隣接する２個の炭素原子と、１個の酸素原子とで形成されるエポキシ基が好ましく、例えば、２，３−エポキシシクロブチル基、２，３−エポキシシクロペンチル基、３，４−エポキシシクロヘキシル基、５，６−エポキシ−トリシクロ［５．２．１．０２,６］デカン−８−イル基、２，３−エポキシ−トリシクロ［４．２．１．０２,５］ノナン−７−イル基、３−（３，４−エポキシシクロヘキシル）−９−ヒドロキシ−１，５−ジオキサスピロ［５．５］ウンデカン−８−イル基、３−（３，４−エポキシシクロヘキシル）−９−ヒドロキシ−２，４−ジオキサスピロ［５．５］ウンデカン−８−イル基等が挙げられる。中でも、３，４−エポキシシクロヘキシル基が好ましい。
【００４８】
（ａ３）重合体としては、脂環式エポキシ基を有し、酸性官能基を有しない重合体であれば特に限定されないが、１個以上の脂環式エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体（以下、「不飽和単量体（α３）」とも称する）を構造単位として有する重合体（但し、（ａ１）重合体を除く。以下、「脂環式エポキシ基含有重合体」とも称する）であるか、あるいは１個以上の脂環式エポキシ基を有する構造単位を有するポリシロキサン（但し、（ａ１）重合体を除く。以下、「脂環式エポキシ基含有ポリシロキサン」とも称する）が好ましい。
【００４９】
脂環式エポキシ基含有重合体において、不飽和単量体（α３）としては、例えば、脂環式エポキシ基を有するビニル化合物、脂環式エポキシ基を有する（メタ）アクリレートを挙げることができる。なお、脂環式エポキシ基を有するビニル化合物としては、例えば、１，２−エポキシ−４−ビニルシクロヘキサン等が挙げられる。
脂環式エポキシ基含有重合体としては、不飽和単量体（α３）として脂環式エポキシ基を有する（メタ）アクリレートを含有する（メタ）アクリル系重合体であることが好ましい。
脂環式エポキシ基を有する（メタ）アクリレートとしては、下記一般式（３）〜（５）で表される化合物が好ましい。
【００５０】
【化４】
2018120216.tif 000005
【００５１】
〔式（３）〜（５）において、
Ｒ1は、相互に独立に、水素原子又はメチル基を示し、
Ｘ２は、相互に独立に、単結合又は２価の炭化水素基を示す。〕
【００５２】
Ｘ２に係る２価の炭化水素基としては、前記式（ａ）及び（ｂ）におけるＸ１と同義であり、その具体的構成は、前記式（ａ）及び（ｂ）において説明したとおりである。
Ｘ２としては、炭素数１〜６のアルカンジイル基が好ましく、炭素数１〜４のアルカンジイル基がより好ましく、メチレン基、エチレン基、エタン−１，１−ジイル基、プロパン−１，１−ジイル基、プロパン−１，２−ジイル基、プロパン−１，３−ジイル基、プロパン−２，２−ジイル基が更に好ましい。
【００５３】
式（３）で表される化合物としては、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート（市販品としては商品名サイクロマーＭ１００、ダイセル化学工業（株）製；式（３）においてＲ1がメチル基、Ｘ２がメチレン基である化合物）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート（市販品としては商品名サイクロマーＡ４００、ダイセル化学工業（株）製；式（３）においてＲ1が水素原子、Ｘ２がメチレン基である化合物）を挙げることができる。
【００５４】
式（４）で表される化合物としては、式（４−１）〜（４−８）で表される化合物等が挙げられる。
【００５５】
【化５】
2018120216.tif 000006
【００５６】
式（５）で表される化合物としては、式（５−１）〜（５−８）で表される化合物等が挙げられる。
【００５７】
【化６】
2018120216.tif 000007
【００５８】
式（４）で表される化合物の中では、式（４−１）、（４−４）、（４−５）及び（４−８）で表される化合物が好ましく、式（５）で表される化合物の中では、式（５−１）、（５−４）、（５−５）及び（５−８）で表される化合物が好ましい。
【００５９】
不飽和単量体（α３）は、１種又は２種以上を使用することが可能であり、また不飽和単量体（α３）と共重合可能な他のエチレン性不飽和単量体を構造単位として有していても構わない。他のエチレン性不飽和単量体としては、例えば、前述の不飽和単量体（α２）を挙げることができる。
【００６０】
（ａ３）重合体が不飽和単量体（α３）と不飽和単量体（α２）との共重合体である場合は、例えば、不飽和単量体（α３）と不飽和単量体（α２）とを公知の重合反応に供することにより製造することが可能である。該共重合体中の不飽和単量体（α３）の共重合割合は、好ましくは２０〜９９質量％、更に好ましくは５０〜９５質量％である。このような態様とすることにより、露光、ポストベーク工程において、分子間又は分子内において架橋構造が形成されやすいため、低温でポストベークしても塗膜の硬化性をより一層高めることができる。
【００６１】
脂環式エポキシ基含有ポリシロキサンにおいて、１個以上の脂環式エポキシ基を有する構造単位としては、下記一般式（６−１）〜（６−４）で表される構造単位を挙げることができる。１個以上の脂環式エポキシ基を有する構造単位は１種又は２種以上有することが可能であるが、中でも、保存安定性の向上、低温ポストベークでの硬化性向上の観点から、少なくとも下記一般式（６―１）で表される構造単位を有することが好ましい。
【００６２】
【化７】
2018120216.tif 000008
【００６３】
〔式（６−１）〜（６−４）において、
Ｚ２は、脂環式エポキシ基を有する基を示し、
Ｙは、１価の炭化水素基を示す。〕
【００６４】
Ｚ２に係る脂環式エポキシ基としては、例えば、前述の脂環式エポキシ基を挙げることができる。中でも、脂環式エポキシ基を有する基としては、下記の（ｃ）〜（ｅ）で表される基が好ましい。
【００６５】
【化８】
2018120216.tif 000009
【００６６】
〔式（ｃ）〜（ｅ）において、
Ｘ2は、前記式（３）〜（５）におけるＸ２と同義であり、
＊は、結合手を示す。〕
【００６７】
式（ｃ）〜（ｅ）におけるＸ2の具体的構成は、前記式（ａ）及び（ｂ）において説明したとおりである。
【００６８】
前記一般式（６−１）で表される構造単位を与えるシラン化合物としては、例えば、脂環式エポキシ置換アルキルトリアルコキシシランが挙げられる。具体例としては、例えば、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリｎ−プロポキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリイソプロポキシシラン等を挙げることができる。
前記一般式（６−２）で表される構造単位を与えるシラン化合物としては、例えば、ジ（脂環式エポキシ置換アルキル）ジアルコキシシランを挙げることができる。具体例としては、例えば、ジ（β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチル）ジメトキシシラン、ジ（β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチル）ジエトキシシラン等を挙げることができる。
前記一般式（６−３）で表される構造単位を与えるシラン化合物としては、例えば、
脂環式エポキシ置換アルキルアルキルジアルコキシシラン、脂環式エポキシ置換アルキルアリールジアルコキシシランが挙げられる。具体例としては、例えば、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルメチルジメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルメチルジエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルメチルジプロポキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルメチルジイソプロポキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルエチルジメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルエチルジエトキシシラン等を挙げることができる。
前記一般式（６−４）で表される構造単位を与えるシラン化合物としては、例えば、脂環式エポキシ置換アルキルジアルキルアルコキシシラン、脂環式エポキシ置換アルキルアルキルアリールアルコキシシラン、脂環式エポキシ置換アルキルジアリールアルコキシシラン等が挙げられる。具体例としては、例えば、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルジメチルメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルジメチルエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルジメチルプロポキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルジメチルイソプロポキシシラン等を挙げることができる。
【００６９】
１個以上の脂環式エポキシ基を有する構造単位は１種又は２種以上を有することが可能であり、また当該構造単位以外の他の構造単位を有していても構わない。他の構造単位としては、前記一般式（２−１）〜（２−４）で表される構造単位が挙げられる。なお、前記一般式（２−１）〜（２−４）で表される構造単位は、１種又は２種以上を有することが可能であり、その具体的構成は、前述の（ａ２）重合体において説明したとおりである。
【００７０】
脂環式エポキシ基含有ポリシロキサンは、例えば、原料シラン化合物を加水分解縮合することにより製造することが可能であり、加水分解縮合反応の具体的態様は、前述の（ａ２）重合体において説明したとおりである。
【００７１】
脂環式エポキシ基含有ポリシロキサン中の１個以上の脂環式エポキシ基を有する構造単位の割合は適宜選択することが可能であるが、全構造単位中に、２０質量％以上が好ましく、５０質量％以上がより好ましく、７０質量％以上が更に好ましい。なお、かかる割合の上限値は特に限定されず、１００質量％であっても構わないが、より一層の耐溶剤性向上の観点から、９９質量％以下が好ましく、９５質量％以下が更に好ましい。
【００７２】
中でも、（ａ３）重合体としては、前記一般式（６−１）で表される構造単位を有するポリシロキサン、１個以上の脂環式エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体を単量体単位として含む重合体が好ましく、前記一般式（６−１）で表される構造単位を有するポリシロキサンであって、脂環式エポキシ基が前記式（ｃ）〜（ｅ）で表される基の少なくとも１種であるポリシロキサン、前記式（ｃ）〜（ｅ）で表される脂環式エポキシ基の少なくとも１種を有する（メタ）アクリル化合物を単量体単位として含む（メタ）アクリル系重合体がより好ましく、前記一般式（６−１）で表される構造単位を有するポリシロキサンであって、脂環式エポキシ基が前記式（ｃ）〜（ｅ）で表される基の少なくとも１種であるポリシロキサン、前記一般式（３）〜（５）で表される化合物の少なくとも１種を単量体単位として含む（メタ）アクリル系重合体が更に好ましい。
【００７３】
（ａ３）重合体のエポキシ当量は、１００〜１０，０００ｇ／モルが好ましく、１５０〜１，０００ｇ／モルが更に好ましい。なお、エポキシ当量は、ＪＩＳ Ｋ ７２３６に準拠して測定することができる。
【００７４】
（ａ３）重合体は、ＧＰＣ（溶出溶媒：テトラヒドロフラン）により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）が、５００〜１００，０００であることが好ましく、１，０００〜５０，０００であることがより好ましく、１，５００〜３０，０００であることが更に好ましい。
【００７５】
＜（ａ１）重合体＞
次に、（ａ１）重合体について説明する。（ａ１）重合体は、同一分子内に酸性官能基及び脂環式エポキシ基を有する重合体である。
（ａ１）重合体としては、前述の不飽和単量体（α１）と不飽和単量体（α３）を構造単位として有する共重合体（以下、「酸性官能基及び脂環式エポキシ基含有共重合体」とも称する）であるか、あるいは１個以上のカルボキシル基を有する構造単位と、１個以上の脂環式エポキシ基を有する構造単位とを有するポリシロキサン（以下、「酸性官能基及び脂環式エポキシ基含有ポリシロキサン」とも称する）が好ましい。
【００７６】
酸性官能基及び脂環式エポキシ基含有共重合体は、不飽和単量体（α１）と不飽和単量体（α３）を公知の重合反応に供することで製造することが可能であり、ブロック共重合体でも、ランダム共重合体でもよい。また、（ａ３）重合体において説明した脂環式エポキシ基含有重合体の脂環式エポキシ基の一部を、多価カルボン酸又はその酸無水物と反応させてカルボキシル基を導入してもよい。多価カルボン酸としては、例えば、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、コハク酸、アジピン酸、ブタンテトラカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸等が挙げられる。なお、不飽和単量体（α１）及び不飽和単量体（α３）の具体的構成は、（ａ２）重合体及び（ａ３）重合体において説明したとおりである。 
不飽和単量体（α１）及び不飽和単量体（α３）は、それぞれ１種又は２種以上を有することが可能であり、また不飽和単量体（α１）及び不飽和単量体（α３）と共重合可能な他のエチレン性不飽和単量体を構造単位として有していても構わない。他のエチレン性不飽和単量体としては、例えば、前述の不飽和単量体（α２）を挙げることができる。不飽和単量体（α２）の具体的構成は、（ａ２）重合体において説明したとおりである。
【００７７】
酸性官能基及び脂環式エポキシ基含有共重合体中の不飽和単量体（α１）と不飽和単量体（α３）との共重合割合は、不飽和単量体（α１）／（不飽和単量体（α１）＋不飽和単量体（α３））の質量比として、好ましくは０．０２〜０．９、更に好ましくは０．０５〜０．５である。このような態様とすることにより、露光、ポストベーク工程において、分子間又は分子内において架橋構造が形成されやすいため、低温でポストベークしても塗膜の硬化性をより一層高めることができる。
また、酸性官能基及び脂環式エポキシ基含有共重合体が不飽和単量体（α２）を有する場合、該共重合体中の不飽和単量体（α２）の共重合割合は、好ましくは１０〜９０質量％、更に好ましくは１５〜７０質量％である。
【００７８】
酸性官能基及び脂環式エポキシ基含有ポリシロキサンにおいて、１個以上のカルボキシル基を有する構造単位としては、前記一般式（１−１）〜（１−４）で表される構造単位を挙げられ、１種又は２種以上有することができる。中でも、保存安定性の向上、低温ポストベークでの硬化性向上の観点から、少なくとも前記一般式（１―１）で表される構造単位を有することが好ましい。また、１個以上の脂環式エポキシ基を有する構造単位としては、前記一般式（６−１）〜（６−４）で表される構造単位が挙げられ、１種又は２種以上有することができる。中でも、保存安定性の向上、低温ポストベークでの硬化性向上の観点から、少なくとも前記一般式（６―１）で表される構造単位を有することが好ましい。なお、前記一般式（１−１）〜（１−４）で表される構造単位、及び前記一般式（６−１）〜（６−４）で表される構造単位の具体的構成は、（ａ２）重合体及び（ａ３）重合体において説明したとおりである、
【００７９】
また、カルボキシル基及び脂環式エポキシ基を有する構造単位として、下記一般式（７−１）又は一般式（７−２）で表される構造単位を有していても構わない。
【００８０】
【化９】
2018120216.tif 000010
【００８１】
〔式（７−１）、（７−２）において、Ｚ１、Ｚ２及びＹは、ぞれぞれ前記式（１−１）〜（１−４）におけるＺ１、（１−３）及び（１−４）におけるＹ、前記式（６−１）〜（６−４）におけるＺ２と同義である。〕
【００８２】
式（７−１）、（７−２）に係るＺ１、Ｚ２及びＹの具体的構成は、前述の（ａ２）重合体及び（ａ３）重合体において説明したとおりである。
【００８３】
また、酸性官能基及び脂環式エポキシ基含有ポリシロキサンは、１個以上のカルボキシル基を有する構造単位、１個以上の脂環式エポキシ基を有する構造単位、並びにカルボキシル基及び脂環式エポキシ基を有する構造単位以外の他の構造単位を有していても構わない。他の構造単位としては、前記一般式（２−１）〜（２−４）で表される構造単位が挙げられる。なお、前記一般式（２−１）〜（２−４）で表される構造単位は、１種又は２種以上を有することが可能であり、その具体的構成は、前述の（ａ２）重合体において説明したとおりである。
【００８４】
酸性官能基及び脂環式エポキシ基含有ポリシロキサンは、例えば、原料シラン化合物を加水分解縮合することにより製造することが可能であり、加水分解縮合反応の具体的態様は、前述の（ａ２）重合体において説明したとおりである。
また、（ａ３）重合体において説明した脂環式エポキシ基含有ポリシロキサンの脂環式エポキシ基の一部を、多価カルボン酸又はその酸無水物と反応させてカルボキシル基を導入してもよい。なお、１個以上のカルボキシル基を有する構造単位、及び１個以上の脂環式エポキシ基を有する構造単位の具体的構成は、前述の（ａ２）重合体及び（ａ３）重合体において説明したとおりである。
【００８５】
酸性官能基及び脂環式エポキシ基含有ポリシロキサン中の１個以上のカルボキシ基を有する構造単位と１個以上の脂環式エポキシ基を有する構造単位との割合は適宜選択することが可能であるが、カルボキシ基含有構造単位／脂環式エポキシ基含有構造単位の質量比として、好ましくは０．０２〜１．０、更に好ましくは０．０５〜１．０である。このような態様とすることにより、分子間又は分子内において架橋構造が形成されやすいため、低温でポストベークしても塗膜の硬化性をより一層高めることができる。
酸性官能基及び脂環式エポキシ基含有ポリシロキサン中の他の構造単位の割合は、全構造単位に対する質量比として、５〜９０質量％が好ましく、５〜８０質量％が更に好ましい。かかる質量比の下限値は特に限定されず、０質量％であっても構わない。
【００８６】
中でも、（ａ１）重合体としては、１個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体と１個以上の脂環式エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体とを単量体単位として含む重合体が好ましく、前記式（ａ）又は（ｂ）で表されるカルボキシル基を有する（メタ）アクリル化合物と、前記式（ｃ）〜（ｅ）で表される脂環式エポキシ基の少なくとも１種を有する（メタ）アクリル化合物とを単量体単位として含む（メタ）アクリル系重合体がより好ましく、（メタ）アクリル酸と、前記一般式（３）〜（５）で表される化合物の少なくとも１種とを単量体単位として含む（メタ）アクリル系重合体が更に好ましい。
【００８７】
（ａ１）重合体の酸価は、１０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５０〜１６０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、７０〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇが更に好ましい。
（ａ１）重合体のエポキシ当量は、１００〜１０，０００ｇ／モルが好ましく、１５０〜１，０００ｇ／モルが更に好ましい。
【００８８】
（ａ１）重合体は、ＧＰＣ（溶出溶媒：テトラヒドロフラン）で測定したポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）が、通常１，０００〜１００，０００、好ましくは３，０００〜５０，０００である。
【００８９】
中でも、［Ａ］成分としては、保存安定性、現像性及び耐溶剤性の全てをバランスよく高水準で達成する観点から、（ａ１）重合体を含有することが好ましい。（ａ１）重合体を含有する場合、現像性の観点から、更に（ａ２）重合体又は（ａ３）重合体を含有することが好ましく、更に（ａ２）重合体を含有することがより好ましい。（ａ１）重合体と（ａ２）重合体とを併用する場合、（ａ１）重合体と（ａ２）重合体の合計含有割合は、［Ａ］成分中に７５質量％以上であることが好ましい。
また、［Ａ］成分として、（ａ２）重合体と（ａ３）重合体との組み合わせを含有する場合、（ａ２）重合体と（ａ３）重合体との含有質量比は、保存安定性の向上、低温ポストベークでの硬化性向上の観点から、（ａ２）重合体：（ａ３）重合体＝２０：８０〜８０：２０が好ましく、２５：７５〜７５：２５がより好ましく、３０：７０〜７０：３０がより更に好ましい。
【００９０】
感光性組成物中の［Ａ］成分の含有量は、感光性組成物の固形分中に、好ましくは５〜９０質量％、より好ましくは１０〜８５質量％、更に好ましくは１５〜８０質量％である。このような態様とすることで、保存安定性が良好であり、しかも分子間又は分子内において架橋構造が形成されやすいため、低温でポストベークしても塗膜の硬化性をより一層高めることができる。ここで、本明細書において「固形分」とは、後述する溶媒以外の成分を意味する。
【００９１】
−［Ｂ］感光剤−
［Ｂ］感光剤としては、放射線に感応してラジカルを発生し重合を開始できる化合物（即ち、［Ｂ−１］光ラジカル発生剤）、あるいは放射線に感応して酸を発生する化合物（即ち、［Ｂ−２］光酸発生剤）を挙げることができる。本発明の感光性組成物は、［Ｂ］感光剤を含有することにより、感放射線性を有することができる。例えば、［Ｂ−１］光ラジカル発生剤を含有することによりネガ型の感放射線性を、また［Ｂ−２］光酸発生剤を含有することによりポジ型の感放射線性を、それぞれ有することができる。
【００９２】
［Ｂ−１］光ラジカル発生剤としては、例えば、チオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、Ｏ−アシルオキシム系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、ジアゾ系化合物、イミドスルホナート系化合物等を挙げることができる。光ラジカル発生剤は、１種又は２種以上を含有することができる。中でも、光ラジカル発生剤としては、チオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、Ｏ−アシルオキシム系化合物の群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。
【００９３】
チオキサントン系化合物としては、例えば、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等を挙げることができる。
【００９４】
アセトフェノン系化合物としては、例えば、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、２−（４−メチルベンジル）−２−（ジメチルアミノ）−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン等を挙げることができる。
【００９５】
ビイミダゾール系化合物としては、例えば、２，２'−ビス（２−クロロフェニル）−４，４'，５，５'−テトラフェニル−１，２'−ビイミダゾール、２，２'−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４'，５，５'−テトラフェニル−１，２'−ビイミダゾール、２，２'−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４'，５，５'−テトラフェニル−１，２'−ビイミダゾール等を挙げることができる。
【００９６】
なお、［Ｂ−１］光ラジカル発生剤としてビイミダゾール系化合物を用いる場合、水素供与体を併用することが、感度を改良することができる点で好ましい。ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。水素供与体としては、例えば、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール等のメルカプタン系水素供与体、４，４'−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等のアミン系水素供与体を挙げることができる。水素供与体は、１種又は２種以上を使用することができるが、１種以上のメルカプタン系水素供与体と１種以上のアミン系水素供与体とを組み合わせて使用することが、更に感度を改良することができる点で好ましい。
【００９７】
トリアジン系化合物の具体例としては、例えば、特公昭５７−６０９６号公報、特開２００３−２３８８９８号公報の段落〔００６３〕〜〔００６５〕に記載の化合物を挙げることができる。
【００９８】
Ｏ−アシルオキシム系化合物としては、例えば、１，２−オクタンジオン，１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−〔９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−〔９−エチル−６−｛２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル｝−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）や、ＷＯ２０１４／１８７１７０号パンフレットに記載されている化合物Ｎｏ．１〜Ｎｏ．５２の化合物等を挙げることができる。Ｏ−アシルオキシム系化合物の市販品としては、ＮＣＩ−８３１、ＮＣＩ−９３０（以上、株式会社ＡＤＥＫＡ社製）、ＤＦＩ−０２０、ＤＦＩ−０９１（以上、ダイトーケミックス株式会社製）等を使用することもできる。
【００９９】
また、アセトフェノン系化合物等のビイミダゾール系化合物以外の光ラジカル発生剤を用いる場合には、増感剤を併用することもできる。増感剤としては、例えば、４，４'−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４−ジエチルアミノアセトフェノン、４−ジメチルアミノプロピオフェノン、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、２，５−ビス（４−ジエチルアミノベンザル）シクロヘキサノン、７−ジエチルアミノ−３−（４−ジエチルアミノベンゾイル）クマリン、４−（ジエチルアミノ）カルコン等を挙げることができる。
【０１００】
感光性組成物中の［Ｂ−１］光ラジカル発生剤の含有量は、後述の［Ｅ］重合性化合物１００質量部に対して、０．０１〜３０質量部が好ましく、１〜１５質量部が更に好ましい。このような態様とすることで、分子間又は分子内において架橋構造が形成されやすいため、低温でポストベークしても塗膜の硬化性をより一層高めることができる。
【０１０１】
［Ｂ−２］光酸発生剤としては、例えば、オキシムスルホネート化合物、オニウム塩、スルホンイミド化合物、ハロゲン含有化合物、ジアゾメタン化合物、スルホン化合物、スルホン酸エステル化合物、カルボン酸エステル化合物、キノンジアジド化合物等が挙げられる。なお、［Ｂ−２］光酸発生剤は、１種又は２種以上を含有することができる。
【０１０２】
オキシムスルホネート化合物としては、下記式（８）で表されるオキシムスルホネート基を含む化合物が好ましい。
【０１０３】
【化１０】
2018120216.tif 000011
【０１０４】
〔式（８）中、Ｒａは、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数１〜１２のフルオロアルキル基、炭素数４〜１２の脂環式炭化水素基、炭素数６〜２０のアリール基、あるいはこれらのアルキル基、脂環式炭化水素基及びアリール基が有する水素原子の一部又は全部が置換基で置換された基である。〕
【０１０５】
Ｒａに係るアルキル基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のアルキル基が好ましい。この炭素数１〜１２の直鎖状または分岐状のアルキル基は置換基により置換されていてもよく、置換基としては、例えば、炭素数１〜１０のアルコキシ基、７，７−ジメチル−２−オキソノルボルニル基等の有橋式脂環基を含む脂環式基等が挙げられる。炭素数１〜１２のフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプチルフルオロプロピル基等が挙げられる。
【０１０６】
Ｒａに係る脂環式炭化水素基としては、炭素数４〜１２の脂環式炭化水素基が好ましい。この炭素数４〜１２の脂環式炭化水素基は置換基により置換されていてもよく、置換基としては、例えば、炭素数１〜５のアルキル基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、ハロゲン原子等が挙げられる。
【０１０７】
Ｒａに係るアリール基としては、炭素数６〜２０のアリール基が好ましく、フェニル基、ナフチル基がより好ましい。アリール基は置換基により置換されていてもよく、置換基としては、例えば、炭素数１〜５のアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子等が挙げられる。例えば、置換アリール基の具体例としては、トリル基、キシリル基等を挙げることができる。
【０１０８】
オキシムスルホネート化合物としては、例えば、（５−プロピルスルフォニルオキシイミノ−５Ｈ−チオフェン−２−イリデン）−（２−メチルフェニル）アセトニトリル、（５−オクチルスルフォニルオキシイミノ−５Ｈ−チオフェン−２−イリデン）−（２−メチルフェニル）アセトニトリル、（カンファースルフォニルオキシイミノ−５Ｈ−チオフェン−２−イリデン）−（２−メチルフェニル）アセトニトリル、（５−ｐ−トルエンスルフォニルオキシイミノ−５Ｈ−チオフェン−２−イリデン）−（２−メチルフェニル）アセトニトリル、２−（オクチルスルホニルオキシイミノ）−２−（４−メトキシフェニル）アセトニトリル等を挙げることができ、これらは市販品として入手することができる。
【０１０９】
オニウム塩としては、例えば、ジフェニルヨードニウム塩、トリフェニルスルホニウム塩、スルホニウム塩、ベンゾチアゾニウム塩、テトラヒドロチオフェニウム塩、ベンジルスルホニウム塩等が挙げられる。中でも、オニウム塩としては、テトラヒドロチオフェニウム塩、ベンジルスルホニウム塩が好ましく、４，７−ジ−ｎ−ブトキシ−１−ナフチルテトラヒドロチオフェニウムトリフルオロメタンスルホネート、ベンジル−４−ヒドロキシフェニルメチルスルホニウムヘキサフルオロホスフェートがより好ましく、４，７−ジ−ｎ−ブトキシ−１−ナフチルテトラヒドロチオフェニウムトリフルオロメタンスルホネートが更に好ましい。
【０１１０】
スルホンイミド化合物としては、例えば、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（カンファスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（４−フルオロフェニルスルホニルオキシ）スクシンイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）フタルイミド、Ｎ−（カンファスルホニルオキシ）フタルイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ）フタルイミド、Ｎ−（２−フルオロフェニルスルホニルオキシ）フタルイミド、Ｎ−（トリフルオロメチルスルホニルオキシ）ジフェニルマレイミド、Ｎ−（カンファスルホニルオキシ）ジフェニルマレイミド、Ｎ−（４−メチルフェニルスルホニルオキシ）ジフェニルマレイミド等が挙げられる。
【０１１１】
スルホン酸エステル化合物の好適な例としては、ハロアルキルスルホン酸エステルが挙げられ、より好ましい例として、Ｎ−ヒドロキシナフタルイミド−トリフルオロメタンスルホン酸エステルを挙げることができる。
【０１１２】
キノンジアジド化合物としては、例えば、フェノール性化合物又はアルコール性化合物（以下、「母核」ともいう）と、１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸ハライド又は１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸アミドとの縮合物を用いることができる。
【０１１３】
母核としては、例えば、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、ペンタヒドロキシベンゾフェノン、ヘキサヒドロキシベンゾフェノン、（ポリヒドロキシフェニル）アルカンの他、上記母核以外のその他の母核等が挙げられる。
母核の具体例としては、例えば、
トリヒドロキシベンゾフェノンとして、２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，４，６−トリヒドロキシベンゾフェノン等；
テトラヒドロキシベンゾフェノンとして、２，２’，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，３’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，２’−テトラヒドロキシ−４’−メチルベンゾフェノン、２，３，４，４’−テトラヒドロキシ−３’−メトキシベンゾフェノン等；
ペンタヒドロキシベンゾフェノンとして、２，３，４，２’，６’−ペンタヒドロキシベンゾフェノン等；
ヘキサヒドロキシベンゾフェノンとして、２，４，６，３’，４’，５’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン、３，４，５，３’，４’，５’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン等；
（ポリヒドロキシフェニル）アルカンとして、ビス（２，４−ジヒドロキシフェニル）メタン、ビス（ｐ−ヒドロキシフェニル）メタン、トリス（ｐ−ヒドロキシフェニル）メタン、１，１，１−トリス（ｐ−ヒドロキシフェニル）エタン、ビス（２，３，４−トリヒドロキシフェニル）メタン、２，２−ビス（２，３，４−トリヒドロキシフェニル）プロパン、１，１，３−トリス（２，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）−３−フェニルプロパン、４，４’−〔１−〔４−〔１−〔４−ヒドロキシフェニル〕−１−メチルエチル〕フェニル〕エチリデン〕ビスフェノール、ビス（２，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、３，３，３’，３’−テトラメチル−１，１’−スピロビインデン−５，６，７，５’，６’，７’−ヘキサノール、２，２，４−トリメチル−７，２’，４’−トリヒドロキシフラバン等；
を挙げることができる。
【０１１４】
上記母核以外のその他の母核としては、例えば、２−メチル−２−（２，４−ジヒドロキシフェニル）−４−（４−ヒドロキシフェニル）−７−ヒドロキシクロマン、１−［１−（３−｛１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル｝−４，６−ジヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル］−３−（１−（３−｛１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル｝−４，６−ジヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル）ベンゼン、４，６−ビス｛１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル｝−１，３−ジヒドロキシベンゼン等が挙げられる。
【０１１５】
中でも、母核としては、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、１，１，１−トリス（ｐ−ヒドロキシフェニル）エタン、４，４’−〔１−〔４−〔１−〔４−ヒドロキシフェニル〕−１−メチルエチル〕フェニル〕エチリデン〕ビスフェノールが好ましい。
【０１１６】
また、１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸ハライドとしては、１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸クロリドが好ましく、１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸クロリド、１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸クロリドがより好ましく、１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸クロリドが更に好ましい。
【０１１７】
１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸アミドとしては、２，３，４−トリアミノベンゾフェノン−１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸アミドが好ましい。
【０１１８】
フェノール性化合物又はアルコール性化合物（母核）と、１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸ハライドとの縮合反応においては、フェノール性化合物又はアルコール性化合物中のＯＨ基数に対して、好ましくは３０モル％以上８５モル％以下、より好ましくは５０モル％以上７０モル％以下に相当する１，２−ナフトキノンジアジドスルホン酸ハライドを用いることができる。なお、縮合反応は、公知の方法によって実施することができる。
【０１１９】
中でも、[Ｂ−２]光酸発生剤としては、オキシムスルホネート化合物、オニウム塩、スルホンイミド化合物、キノンジアジド化合物が好ましく、オキシムスルホネート化合物、キノンジアジド化合物がより好ましい。[Ｂ−２]光酸発生剤として、このような化合物を含有することで、分子間又は分子内において架橋構造が形成されやすいため、低温でポストベークしても塗膜の硬化性をより一層高めることができる。
【０１２０】
感光性組成物中の［Ｂ−２］光酸発生剤の含有量は、［Ａ］成分１００質量部に対して、０．１〜３０質量部が好ましく、１〜２０質量部がより好ましい。［Ｂ−２］光酸発生剤の含有量を上記範囲とすることで、分子間又は分子内において架橋構造が形成されやすいため、低温でポストベークしても塗膜の硬化性をより一層高めることができる。
【０１２１】
−［Ｃ］着色剤−
本発明の感光性組成物は、更に［Ｃ］着色剤を含有することができる。これにより、例えば、カラーフィルタの着色層を形成するための着色感光性組成物とすることができる。ここで、「着色層」とは、カラーフィルタに用いられる各色画素、ブラックマトリックス、ブラックスペーサー等を意味する。［Ｃ］着色剤としては、着色性を有する限り特に限定されることなく使用することが可能であり、感光性組成物の用途に応じて色彩や材質を適宜選択することができる。
本発明の感光性組成物を、カラーフィルタを構成する各色画素の形成に用いる場合、カラーフィルタには高い色純度、輝度、コントラスト等が求められることから、着色剤として顔料及び染料から選択される少なくとも１種が好ましく、有機顔料及び有機染料から選択される少なくとも１種がより好ましい。中でも、本発明の効果を享受しやすい点から、少なくとも染料を含有することが更に好ましい。なお、顔料及び染料は、それぞれ１種又は２種以上を含有することができる。
【０１２２】
有機顔料としては、例えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ  社発行）においてピグメントに分類されている化合物を挙げることができ、中でも、下記のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものを好ましく用いることができる。
【０１２３】
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２７９等の赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５９等の緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー７９、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー８０等の青色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２１１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２３１等の黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８等の橙色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３等の紫色顔料。
このほか、特表２０１１−５２３４３３号公報の式（Ｉｃ）で表されるブロモ化ジケトピロロピロール顔料も好ましく用いることができる。
【０１２４】
また、無機顔料としては、カーボンブラック、チタンブラック等を挙げることができる。その他、特開２００１−０８１３４８号公報、特開２０１０−０２６３３４号公報、特開２０１０−２３７３８４号公報、特開２０１０−２３７５６９号公報、特開２０１１−００６６０２号公報、特開２０１１−１４５３４６号公報等に記載のレーキ顔料を挙げることができる。
【０１２５】
本発明においては、顔料を、再結晶法、再沈殿法、溶剤洗浄法、昇華法、真空加熱法又はこれらの組み合わせにより精製して使用することもできる。また、顔料は、所望により、その粒子表面を樹脂で改質して使用してもよい。また、有機顔料は、いわゆるソルトミリングにより、一次粒子を微細化して使用することができる。ソルトミリングの方法としては、例えば、特開平０８−１７９１１１号公報に開示されている方法を採用することができる。
【０１２６】
染料としては特に限定されるものではなく、例えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ  社発行）においてダイ（Ｄｙｅ）に分類されている化合物の他、公知の染料を用いることができる。このような染料としては、発色団の構造面からは、例えば、トリアリールメタン染料、シアニン染料、キサンテン染料、アントラキノン染料、アゾ染料、ジピロメテン染料、キノフタロン染料、クマリン染料、ピラゾロン染料、キノリン染料、ニトロ染料、キノンイミン染料、フタロシアニン染料、スクアリリウム染料等を挙げることができる。中でも、中でも、耐熱性の観点から、トリアリールメタン染料、シアニン染料、キサンテン染料、アントラキノン染料、ジピロメテン染料、フタロシアニン染料が好ましい。
【０１２７】
また、染料はカチオン部分とアニオン部分とから構成されていてもよく、例えば、カチオン性発色団と対アニオンとの塩、又はアニオン性発色団と対カチオンとの塩であってもよい。ここで、本明細書において「アニオン性染料」とは、発色団が酸性基を有するイオン性染料を意味し、該酸性基と塩を形成しているイオン性染料もアニオン性染料とする。また、本明細書において「カチオン性染料」とは、イオン性染料のうち酸性基を有さないイオン性染料を意味し、通常は塩基性基を有する染料である。更に、「非イオン性染料」とは、カチオン性染料及びアニオン性染料以外の染料を意味する。
【０１２８】
カチオン性発色団としては、例えば、トリアリールメタン発色団、シアニン発色団、キサンテン発色団、ポリメチン発色団、アゾ発色団、ジアリールメタン発色団、キノンイミン発色団、アントラキノン発色団、フタロシアニン発色団、スクアリリウム発色団、キノフタロン発色団等を挙げることができる。中でも、トリアリールメタン発色団、シアニン発色団、キサンテン発色団、ポリメチン発色団、アゾ発色団が好ましく、トリアリールメタン発色団、シアニン発色団が更に好ましい。カチオン性発色団としては、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ  社発行）において、Ｃ．Ｉ.ベーシックに分類される染料のカチオン部を用いることもできる。
また、対アニオンとしては特に限定されないが、例えば特開２０１５−１２９２６３号公報の段落〔００３４〕に記載のアニオンが挙げられ、中でもスルホネートアニオン、イミドアニオン、カルボキシレートアニオンが好ましく、イミドアニオンがより好ましく、スルホニルイミドアニオンが更に好ましい。
【０１２９】
アニオン性発色団としては、例えば、トリアリールメタン発色団、ポリメチン発色団、アゾ発色団、ジアリールメタン発色団、キノンイミン発色団、アントラキノン発色団、フタロシアニン発色団、キサンテン発色団、スクアリリウム発色団、キノフタロン発色団等を挙げることができる。中でも、トリアリールメタン発色団、アゾ発色団、フタロシアニン発色団、キサンテン発色団が好ましく、−ＳＯ3-及び−ＣＯ2-から選ばれる１以上の置換基を有する、トリアリールメタン発色団、アゾ発色団、フタロシアニン発色団、又はキサンテン発色団がより好ましい。アニオン性発色団としては、カラーインデックスにおいてＣ．Ｉ.アシッドに分類される染料のアニオン部を用いることもできる。
対カチオンとしては、アンモニウムカチオン、ホスホニウムカチオン、スルホニウムカチオン、ヨードニウムカチオン、ジアゾニウムカチオンが挙げられ、中でも、アンモニウムカチオン、ホスホニウムカチオンが好ましく、アンモニウムカチオンがより好ましい。
【０１３０】
着色剤として顔料を使用する場合、所望により、分散剤、分散助剤と共に使用することができる。分散剤としては、例えば、塩基性分散剤、酸性分散剤を適宜選択することができる。ここで、本明細書において「塩基性分散剤」とは、顔料吸着サイトとして塩基性基を有するものをいう。また、「酸性分散剤」とは、顔料吸着サイトとして酸性基を有するものをいい、但し、［Ａ］成分を除く。中でも、保存安定性の向上の観点から、酸性分散剤が好ましい。なお、塩基性分散剤を使用する場合、塩基性分散剤の含有割合は、保存安定性の観点から、分散剤の総量に対して２０質量％以下が好ましく、５質量％以下がより好ましく、１質量％以下が更に好ましい。
【０１３１】
分散剤は公知の材料から選択することが可能であり、塩基性分散剤としては、例えば、ソルスパーズ１１２００、ソルスパーズ１３２４０、ソルスパーズ１３６５０、ソルスパーズ１３９４０、ソルスパーズ１６０００、ソルスパーズ１７０００、ソルスパーズ１８０００、ソルスパーズ２００００、ソルスパーズ２４０００ＳＧ、ソルスパーズ２４０００ＧＲ、ソルスパーズ２８０００、ソルスパーズ３１８４５、ソルスパーズ３２０００、ソルスパーズ３２５００、ソルスパーズ３２５５０、ソルスパーズ３２６００、ソルスパーズ３３０００、ソルスパーズ３４７５０、ソルスパーズ３５１００、ソルスパーズ３５２００、ソルスパーズ３７５００、ソルスパーズ３８５００、ソルスパーズ３９０００、ソルスパーズ５６０００、ソルスパーズ７１０００、ソルスパーズ７６４００、ソルスパーズ７６５００、ソルスパーズＸ３００、ソルスパーズ９０００、ソルスパーズＪ２００（以上、ルーブリゾール社製）、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１０８、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１０９、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１１２、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１１６、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１３０、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１６１、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１６２、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１６３、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１６４、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１６６、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１６７、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１６８、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１８２、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１８３、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１８４、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１８５、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−２０００、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−２００８、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−２００９、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−２０２２、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−２０５０、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−２１５０、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−２１５５、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−２１６３、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−２１６４、ＢＹＫ−９０７７（以上、ビックケミー社製）、アジスパーＰＢ８２１、ＰＢ８２２、ＰＢ８２３、ＰＢ８２４、ＰＢ８２７（以上、味の素ファインテクノ社製）等が挙げられる。
また、酸性分散剤として、ソルスパーズ３０００、ソルスパーズ２１０００、ソルスパーズ２６０００、ソルスパーズ３６６００、ソルスパーズ４１０００、ソルスパーズ４１０９０、ソルスパーズ４３０００、ソルスパーズ４４０００、ソルスパーズ４６０００、ソルスパーズ４７０００、ソルスパーズ５５０００（以上、ルーブリゾール社製）、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１０２、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１１１、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１７０、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１７１、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１７４、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−２０９６、ＢＹＫ−Ｐ１０４、ＢＹＫ−Ｐ１０４Ｓ、ＢＹＫ−Ｐ１０５、ＢＹＫ−２２０Ｓ（以上、ビックケミー社製）が挙げられる。
【０１３２】
感光性組成物中の［Ｃ］着色剤の含有量は用途等に応じて適宜選択可能であるが、輝度、耐熱性及び耐溶剤性に優れる画素、あるいは遮光性に優れるブラックマトリックス及びブラックスペーサーを形成する点から、感光性組成物の固形分中に、好ましくは５〜７０質量％、更に好ましくは１０〜６０質量％である。
また、［Ｃ］着色剤として染料を含有する場合、染料の含有割合は［Ｃ］着色剤の合計に対して５質量％以上とすることが好ましく、２０質量％以上とすることがより好ましく、５０質量％以上とすることが更に好ましく、９０質量％以上とすることが特に好ましい。前述の通り、染料は一般に耐熱性等に劣るため、染料を含有する感光性組成物を用いて形成された塗膜を２００〜２５０℃のポストベーク温度で加熱することが困難であるのが通常であったのに対し、本発明の感光性組成物は低温でポストベークしても耐溶剤性に優れる硬化膜を形成することができる。従って、本発明の感光性組成物は、染料の含有割合が大きくても、各種のカラーフィルタの作製に極めて好適に使用できる。
【０１３３】
−［Ｄ］硬化促進剤
［Ｄ］硬化促進剤は、水素供与体を有する硬化促進剤であって、［Ａ］成分中の脂環式エポキシ基に対して触媒活性を発現させるものであれば特に限定されない。［Ｄ］硬化促進剤としては、例えば、フェノール基、シラノール基、チオール基、リン酸基、スルホン酸基、カルボキシル基等を有する化合物や、カルボン酸無水物等が挙げられる。中でも、フェノール基を有する化合物、シラノール基を有する化合物、カルボキシル基を有する化合物、カルボン酸無水物が好ましく、カルボキシル基を有する化合物、シラノール基を有する化合物、カルボン酸無水物がより好ましい。
【０１３４】
カルボキシル基を有する化合物としては、２個以上のカルボキシル基を有する化合物が好ましい。このような化合物としては、不飽和ジカルボン酸の無水物、３価以上の多価カルボン酸の無水物が挙げられる。不飽和ジカルボン酸、３価以上の多価カルボン酸としては、前述の（ａ２）重合体及び（ａ１）重合体において説明したものと同様のものを挙げることができる。中でも、３価以上の多価カルボン酸の無水物が好ましい。
【０１３５】
フェノール基を有する化合物としては、例えば、下記式で表される化合物等が挙げられる。
【０１３６】
【化１１】
2018120216.tif 000012
【０１３７】
シラノール基含有硬化促進剤としては、例えば、トリメチルシラノール、トリエチルシラノール、１，１，３，３−テトラフェニル−１，３−ジシロキサンジオール、１，４−ビス（ヒドロキシジメチルシリル）ベンゼン、下記式（９）で表される化合物等のシラノール化合物が挙げられる。
【０１３８】
【化１２】
2018120216.tif 000013
【０１３９】
〔式（９）中、
Ｒ２２は、水素原子、フッ素原子で置換されていてもよい炭素数１〜４のアルキル基、ハロゲン原子、ＮＯ２又はＣＮを示し、Ｒ２２は、−ＣＯＯＲ２４、ＳＯ２ＯＲ２４としてフェニル基と結合していてもよい。但し、Ｒ２４は、炭素数１〜４のアルキル基である。
Ｒ２３は、炭素数１〜４のアルキル基、又は脂環式炭化水素基を示す。
ｌ及びｎは、相互に独立に、１〜３の整数である。
ｍは、０〜２の整数である。但し、ｌ＋ｎ＋ｍは４の条件を満たす。
ｖは、０〜５の整数である。但し、Ｒ２２が複数の場合、複数のＲ２２は同一であっても異なっていてもよい。〕
【０１４０】
Ｒ２２〜Ｒ２４に係る炭素数１〜４のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等が挙げられる。また、Ｒ２３に係る脂環式炭化水素基としては、炭素数４〜１２の脂環式炭化水素基が好ましい。
【０１４１】
シラノール基含有硬化促進剤としては、上記式（９）で表される化合物が好ましく、ｎが２又は３であって、Ｒ２２が水素原子、フッ素原子で置換されていてもよい炭素数１〜４のアルキル基、フッ素原子又はＣＮである化合物（例えば下記式（９−１）〜（９−８）で表される化合物）がより好ましく、ｎが３であって、Ｒ２２が水素原子又はフッ素原子で置換されていてもよい炭素数１〜４のアルキル基である化合物（例えば下記式（９−１）〜（９−４）で表される化合物）が更に好ましく、下記式（９−１）及び（９−２）で表される化合物がより更に好ましい。
【０１４２】
【化１３】
2018120216.tif 000014
【０１４３】
また、シラノール基含有硬化促進剤としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリメチルイソプロポキシシラン、トリメチルイソブトキシシラン、トリメチル−１−メチルプロポキシシラン、トリメチルブトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルメチルエトキシシラン、メチルフェニルジエトキシシラン、メチルジメトキシシラン、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、ジメチルエトキシシラン、ジエトキシシラン、テトラメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ジメチルビニルメトキシシラン、ジメチルビニルエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、メチルジエトキシシラン、ブチルトリメトキシシラン、トリメチルフェノキシシラン、トリメチル−３−ヒドロキシフェノキシシラン、メチル−２−ヒドロキシフェノキシトリシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルメチルジメトキシシラン、トリメチルシクロヘキシロキシシラン、アリルトリエトキシシラン、３−グリシジロキシプロピルトリメトキシシラン、ヘキシロキシトリメチルシラン、プロピルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、ジメチルフェニルエトキシシラン、トリプロピルメトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、オクチロキシトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ベンジルトリエトキシシラン、ジフェニルビニルエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、トリフェニルエトキシシラン、テトラフェノキシシラン、１，２−ビス（トリメチルシロキシ）ベンゼン、１，３−ビス（トリメチルシロキシ）ベンゼン、１，４−ビス（トリメチルシロキシ）ベンゼン、１，３−ジメトキシテトラメチルジシロキサン、１，３−ジエトキシテトラメチルジシロキサン等の加水分解縮合物等が挙げられる。
【０１４４】
なお、フェノール基を有する化合物及びシラノール基含有硬化促進剤について、フェノール基又はシラノール基を、例えば下記式で表される保護基で保護することもできる。保護基を導入することにより触媒活性を保ったまま、室温での保存安定性を向上させることができる。
【０１４５】
【化１４】
2018120216.tif 000015
【０１４６】
感光性組成物中の［Ｄ］硬化促進剤の含有量は、 ［Ａ］成分１００質量部に対して、０．５〜７０質量部が好ましく、０．５〜５０質量部がより好ましく、１〜２０質量部が更に好ましい。
【０１４７】
−［Ｅ］重合性化合物−
本明細書において[Ｅ]重合性化合物とは、２個以上の重合可能な基を有する化合物をいう。重合可能な基としては、例えば、エチレン性不飽和基、Ｎ−アルコキシメチルアミノ基等を挙げることができる。[Ｅ]重合性化合物としては、２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物、又は２個以上のＮ−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物が好ましい。
【０１４８】
２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する化合物の具体例としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と（メタ）アクリル酸との反応物〔多官能（メタ）アクリレート〕、カプロラクトン変性された多官能（メタ）アクリレート、アルキレンオキサイド変性された多官能（メタ）アクリレート、水酸基を有する（メタ）アクリレートと多官能イソシアネートとの反応物〔多官能ウレタン（メタ）アクリレート〕、水酸基を有する（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物〔カルボキシル基を有する多官能（メタ）アクリレート〕等を挙げることができる。
【０１４９】
脂肪族ポリヒドロキシ化合物としては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールの如き２価の脂肪族ポリヒドロキシ化合物；グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールの如き３価以上の脂肪族ポリヒドロキシ化合物を挙げることができる。上記水酸基を有する（メタ）アクリレートとしては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、グリセロールジメタクリレート等を挙げることができる。上記多官能イソシアネートとしては、例えば、トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等を挙げることができる。酸無水物としては、例えば、無水こはく酸、無水マレイン酸、無水グルタル酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸の如き二塩基酸の無水物、無水ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物の如き四塩基酸二無水物を挙げることができる。
【０１５０】
また、カプロラクトン変性された多官能（メタ）アクリレートとしては、例えば、特開平１１−４４９５５号公報の段落〔００１５〕〜〔００１８〕に記載されている化合物を挙げることができる。上記アルキレンオキサイド変性された多官能（メタ）アクリレートとしては、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドから選ばれる少なくとも１種により変性されたビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドから選ばれる少なくとも１種により変性されたイソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドから選ばれる少なくとも１種により変性されたトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドから選ばれる少なくとも１種により変性されたペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドから選ばれる少なくとも１種により変性されたペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドから選ばれる少なくとも１種により変性されたジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドから選ばれる少なくとも１種により変性されたジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等を挙げることができる。
【０１５１】
また、２個以上のＮ−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物としては、例えば、メラミン構造、ベンゾグアナミン構造、ウレア構造を有する化合物等を挙げることができる。なお、メラミン構造、ベンゾグアナミン構造とは、１以上のトリアジン環又はフェニル置換トリアジン環を基本骨格として有する化学構造をいい、メラミン、ベンゾグアナミン又はそれらの縮合物をも含む概念である。２個以上のＮ−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物の具体例としては、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’−ヘキサ（アルコキシメチル）メラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（アルコキシメチル）ベンゾグアナミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（アルコキシメチル）グリコールウリル等を挙げることができる。
【０１５２】
中でも、［Ｅ］重合性化合物としては、３価以上の脂肪族ポリヒドロキシ化合物と（メタ）アクリル酸との反応物〔多官能（メタ）アクリレート〕、カプロラクトン変性された多官能（メタ）アクリレート、多官能ウレタン（メタ）アクリレート、カルボキシル基を有する多官能（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’−ヘキサ（アルコキシメチル）メラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（アルコキシメチル）ベンゾグアナミンが好ましい。３価以上の脂肪族ポリヒドロキシ化合物と（メタ）アクリル酸との反応物の中では、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが、カルボキシル基を有する多官能（メタ）アクリレートの中では、ペンタエリスリトールトリアクリレートと無水こはく酸との反応物、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートと無水こはく酸との反応物が、分子間又は分子内における架橋密度が高められるため、低温ポストベークでも塗膜の硬化性をより一層向上できる点で更に好ましい。
【０１５３】
感光性組成物中の［Ｅ］重合性化合物の含有量は、［Ｃ］着色剤を含む着色感光性組成物を構成する場合にあっては、［Ａ］成分１００質量部に対して、通常５〜６００質量部、好ましくは２０〜４００質量部である。また、［Ｃ］着色剤を含まない感光性組成物を構成する場合の［Ｅ］重合性化合物の含有量は、［Ａ］重合体１００質量部に対して、通常１０〜５００質量部、好ましくは５０〜３００質量部である。このような態様とすることで、分子間又は分子内における架橋密度がより一層高められるため、低温ポストベークでも塗膜の硬化性をより一層向上させることができる。
【０１５４】
−［Ｆ］金属キレート化合物−
［Ｆ］金属キレート化合物は触媒として作用し、架橋反応を促進し、低温、短時間の熱処理であっても基材フィルムとの密着性、膜硬度に優れる硬化膜を形成することができる。
［Ｆ］金属キレート化合物としては、例えば、ジルコニウム化合物、チタニウム化合物、アルミニウム化合物等が挙げられる。
【０１５５】
ジルコニウム化合物、チタニウム化合物及びアルミニウム化合物の構造は、例えば、それぞれ下記式（１０−１）〜（１０−４）等で表すことができる。
【０１５６】
【化１５】
2018120216.tif 000016
【０１５７】
〔式（１０−１）〜（１０−３）中、
Ｒ１３、Ｒ１４、Ｒ１６、Ｒ１７、Ｒ１９及びＲ２０は、相互に独立に、炭素数１〜６のアルキル基、アリール基、シクロアルキル基又はアルコキシ基を示し、
Ｒ１５、Ｒ１８及びＲ２１は、相互に独立に、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜１６のアルコキシ基、アリール基、シクロアルキル基又はアルコキシ基を示し、
ＲＡは、水素原子又はメチル基を示し、
ｐ及びｐ’は、相互に独立に、０〜３の整数を示し、
ｐ’ ’は、０〜２の整数を示す。但し、Ｒ１３〜Ｒ２１が、それぞれ複数ある場合、複数のＲ１３〜Ｒ２１はそれぞれ同一であっても異なっていてもよい。
式（１０−４）中、
ＲＢは、水素原子、炭素数１〜６のアルキル基、アリール基、シクロアルキル基又はアルコキシ基を示し、
Ａｒは、アリール基を示す。但し、ＲＢ及びＡｒが、それぞれ複数ある場合、複数のＲＢ及びＡｒはそれぞれ同一であっても異なっていてもよい。
Ｒｅは、炭素数１〜６のアルキル基、アリール基、シクロアルキル基又はアルコキシ基を示し、
ｐ’’’は、０〜２の整数を示す。但し、Ｒｅが複数ある場合、複数のＲｅは同一であっても異なっていてもよい。
【０１５８】
炭素数１〜６のアルキル基としては、例えば、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基等が挙げられる。炭素数１〜１６のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、ｉ−プロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基、ｔ−ブトキシ基、ラウリルオキシ基、ステアリルオキシ基等が挙げられる。アリール基としては、例えば、フェニル基等が挙げられる。シクロアルキル基としては、シクロヘキシル基等が挙げられる。アリール基としては、ベンジル基等が挙げられる。
【０１５９】
アルミニウム化合物としては、例えば、ジイソプロポキシエチルアセトアセテートアルミニウム、ジイソプロポキシアセチルアセトナートアルミニウム、イソプロポキシビス（エチルアセトアセテート）アルミニウム、イソプロポキシビス（アセチルアセトナート）アルミニウム、トリス（エチルアセトアセテート）アルミニウム、トリス（アセチルアセトナート）アルミニウム、モノアセチルアセトナート−ビス（エチルアセトアセテート）アルミニウム、下記式で表される化合物等が挙げられる。
【０１６０】
【化１６】
2018120216.tif 000017
【０１６１】
ジルコニウム化合物としては、例えば、トリ−ｎ−ブトキシエチルアセトアセテートジルコニウム、ジ−ｎ−ブトキシビス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、ｎ−ブトキシトリス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム、テトラキス（ｎ−プロピルアセトアセテート）ジルコニウム、テトラキス（アセチルアセトアセテート）ジルコニウム、テトラキス（エチルアセトアセテート）ジルコニウム等が挙げられる。
【０１６２】
チタニウム化合物としては、例えば、ジイソプロポキシビス（エチルアセトアセテート）チタニウム、ジイソプロポキシビス（アセチルアセテート）チタニウム、ジイソプロポキシビス（アセチルアセトン）チタニウム等のチタニウム化合物等が挙げられる。
【０１６３】
中でも、［Ｆ］金属キレート化合物としては、アルミニウム化合物が好ましく、ジイソプロポキシエチルアセトアセテートアルミニウム、トリス（アセチルアセトナート）アルミニウム、トリス（エチルアセトアセテート）アルミニウムがより好ましい。
【０１６４】
［Ｆ］金属キレート化合物は、１種又は２種以上を含有することができる。また、［Ｆ］金属キレート化合物として、これらの金属キレート化合物の部分加水分解物を使用することもできる。
【０１６５】
感光性組成物中の［Ｆ］金属キレート化合物の含有量は、［Ａ］成分１００質量部に対して、０．１〜３０質量部が好ましく、０．５〜１５質量部がより好ましい。［Ｆ］金属キレート化合物の含有量を上記特定範囲とすることで、架橋反応を促進し、低温、短時間の熱処理であっても硬化膜の形成が可能となり、かつ保存安定性を良好に保持することができる。
【０１６６】
−［Ｇ］溶媒−
本発明の感光性組成物は、［Ａ］及び［Ｂ］成分、及び任意的に加えられる他の成分を含有するものであるが、通常、有機溶媒を配合して液状組成物として調製される。
有機溶媒としては、感光性組成物を構成する［Ａ］及び［Ｂ］成分や他の成分を分散又は溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。［Ｇ］溶媒は、１種又は２種以上を含有することができる。
【０１６７】
このような有機溶媒としては、例えば、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル；
【０１６８】
乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸アルキルエステル；
メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、イソプロパノール、イソブタノール、ｔ−ブタノール、オクタノール、２−エチルヘキサノール、シクロヘキサノール等の（シクロ）アルキルアルコール；
ジアセトンアルコール等のケトアルコール；
【０１６９】
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート；
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等のグリコールエーテル；
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等のケトン；
【０１７０】
プロピレングリコールジアセテート、１，３−ブチレングリコールジアセテート、１，６−ヘキサンジオールジアセテート等のジアセテート；
３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、３−メチル−３−メトキシブチルプロピオネート等のアルコキシカルボン酸エステル；
酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｉ−プロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ｉ−ブチル、ぎ酸ｎ−アミル、酢酸ｉ−アミル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ−プロピル、酪酸ｉ−プロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸エチル等の脂肪酸アルキルエステル；
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素；
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミド、又はラクタム
等を挙げることができる。
【０１７１】
中でも、［Ｇ］溶媒としては、溶解性、顔料分散性、塗布性等の観点から、（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル、（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテートが好ましい。また、［Ｇ］溶媒を混合して使用する場合は、少なくとも（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルと（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテートを混合して使用することが好ましい。
【０１７２】
感光性組成物中の［Ｇ］溶媒の含有量は特に限定されるものではないが、［Ｃ］着色剤を含む着色感光性組成物の場合には、感光性組成物の［Ｇ］溶媒を除いた各成分の合計濃度が、５〜５０質量％となる量が好ましく、１０〜４０質量％となる量がより好ましい。また、［Ｃ］着色剤を含まない感光性組成物の場合には、感光性組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、１０〜７５質量％となる量が好ましく、１５〜７０質量％となる量がより好ましい。このような態様とすることにより、塗布性、保存安定性の良好な感光性組成物とすることができる。
【０１７３】
−添加剤−
本発明の感光性組成物は、必要に応じて、種々の添加剤を含有することもできる。
添加剤としては、例えば、ガラス、アルミナ等の充填剤；ポリビニルアルコール、ポリ（フルオロアルキルアクリレート）類等の高分子化合物；フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤；２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）等の熱ラジカル開始剤；下記式（１１）で表される構造を有する熱酸発生剤；２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール、ペンタエリスリトールテトラキス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、３，９−ビス［２−［３−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）−プロピオニルオキシ］−１，１−ジメチルエチル］−２，４，８，１０−テトラオキサ−スピロ［５．５］ウンデカン、チオジエチレンビス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］等の酸化防止剤；２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤；ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤；マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸、２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、５−アミノ−１−ペンタノール、３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール等の残渣改善剤；こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート等の現像性改善剤等を挙げることができる。
【０１７４】
【化１７】
2018120216.tif 000018
【０１７５】
〔 式（１１）中、
Ｒｂ及びＲｃは、相互に独立に、１価の炭化水素基を示し、
Ｒｄは、炭素数１〜１２のアルキル基、アルコキシカルボニル基又はアルコキシカルボニルアルキル基を示す。〕
【０１７６】
Ｒｂ及びＲｃに係る１価の炭化水素基は、前記式（１−３）及び（１−４）におけるＹと同義であり、その具体的態様は前述したとおりである。中でも、Ｒｂ及びＲｃに係る１価の炭化水素基としては、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数４〜１２の脂環式炭化水素基、炭素数６〜２０のアリール基が好ましく、これらのアルキル基、脂環式炭化水素基及びアリール基が有する水素原子の一部又は全部は、置換基で置換されていてもよい。置換基としては、ハロゲン原子、炭素数１〜５のアルキル基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、７，７−ジメチル−２−オキソノルボルニル基等を挙げることができる。その具体的態様は、前記式（８）におけるＲａと同様のものを挙げることができる。
Ｒｄに係るアルコキシカルボニル基としては、Ｃ１−４アルコキシカルボニル基が好ましく、具体例としては、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。また、アルコキシカルボニルアルキル基としては、総炭素数が３〜９のアルコキシカルボニルアルキル基が好ましく、その具体例としては、例えば、メトキシカルボニルメチル基、エトキシカルボニルメチル基、ｎ−プロポキシカルボニルメチル基、イソプロポキシカルボニルエチル基、フェノキシカルボニルメチル基、フェノキシカルボニルエチル基等を挙げることができる。中でも、Ｒｄとしては、炭素数１〜１２のアルキル基が好ましく、炭素数１〜６のアルキル基がより好ましい。
【０１７７】
本発明の感光性組成物は、適宜の方法により調製することができる。例えば、［Ａ］及び［Ｂ］成分を、溶媒や任意的に加えられる他の成分と共に、ビーズミル、ロールミル等を用いて混合・分散することにより調製することができる。
【０１７８】
〔硬化膜及びその製造方法〕
本発明の硬化膜は、本発明の感光性組成物を用いて形成されたものであり、工程（１）〜（４）を含むものである。硬化膜としては、表示素子や受光素子に用いられる各色画素、層間絶縁膜、平坦化膜、発光層を形成するための領域を規定するバンク（隔壁）、ブラックマトリックス、スペーサー、保護膜等が挙げられる。また、表示素子としては、例えば、カラー液晶表示素子、有機ＥＬ素子、電子ペーパー等が挙げられ、受光素子としては、例えば、ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサ等を挙げることができる。
【０１７９】
−工程（１）−
工程（１）は、基板上に、本発明の感光性組成物を塗布して塗膜を形成する工程である。
＜基板＞
基板としては、可視光に対して透過率の高い透明基板が挙げられる。具体例としては、例えば、ホウ珪酸ガラス、アルミノホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、合成石英ガラス、ソーダライムガラス、ホワイトサファイア等のガラス基板；ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリイミド等の樹脂製基板を挙げることができる。
また、基板として、発光素子が搭載された基板を用いてもよい。発光素子としては、例えば、発光ダイオード、半導体レーザ、有機ＥＬ発光素子等の固体発光素子が挙げられ、固体発光素子の表面は透明樹脂やシート等で被覆されていてもよい。基板としては、通常前述の透明基板が用いられ、ガラス基板でも、樹脂製基板でもよい。発光素子と基板とのボンディング形式は特に限定されず、例えば、導電性ペースト、熱伝導性シート、熱伝導性接着剤、両面テープ、半田等を適宜選択することができる。
中でも、基板としては、本発明の効果を享受しやすい点から、樹脂製基板、発光素子搭載基板が好ましい。
【０１８０】
また、基板には、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理が施されていてもよく、またパネル化後の液晶駆動や有機ＥＬ発光のために、酸化インジウム、酸化錫等からなる透明電極が形成されていてもよい。更に、基板には、画素を形成する部分を区画するように遮光層（ブラックマトリックス）が形成されてもよい。遮光層としては、例えば、クロム、窒化チタニウム等の無機膜、クロム／酸化クロムの多層膜、遮光剤を分散した樹脂膜が挙げられる。また、黒色の感放射線性組成物を基板上に塗布し、フォトリソグラフィ法により所望のパターンを形成してもよい。遮光層の膜厚は、通常０．１〜０．２μｍである。
【０１８１】
＜塗布＞
感光性組成物の塗布方法としては公知の方法を採用することができる。例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法（スピンコート法）、スリットダイ塗布法、バーコート法等が挙げられ、中でも、均一な膜厚の塗膜が得られる点から、スピンコート法、スリットダイ塗布法が好ましい。
塗布後、減圧乾燥を行うことができる。減圧乾燥は、通常室温にて１〜１５分間程度、好ましくは１〜１０分間であり、通常５０〜２００Ｐａに到達するまで行う。また、塗膜の厚さは、乾燥後の膜厚として、通常０．６〜８μｍ、好ましくは１．２〜５μｍである。
【０１８２】
また、基板上に感光性組成物の塗膜を形成する他の例として、インクジェット方式を採用してもよく、例えば、特開平７−３１８７２３号公報、特開２０００−３１０７０６号公報等に記載の方法を挙げることができる。この方法においては、先ず基板上に、遮光機能も兼ねた隔壁を形成し、次いでこの隔壁内に感放射線性組成物をインクジェット装置により吐出する。その後、減圧乾燥を行って溶媒を蒸発させ製膜する。
【０１８３】
また、基板上に感光性組成物の塗膜を形成する更なる例として、ドライフィルム法を採用することが可能であり、例えば、特開平９−５９９１号公報等に記載の方法が挙げられる。この方法においては、フィルム状の支持体上に、感光性組成物を塗布し、プレベークを行って溶媒を蒸発させることにより、支持体上に感光性組成物層が形成されたドライフィルムを製造する。そして、この感光性組成物層が形成された支持体を、ラミネーターを用いて基板にラミネートする。その後、感光性組成物層を支持体から剥離し、感光性組成物層を基板に転写する。支持体上に感光性組成物を塗布する方法や、プレベークの方法及び条件は、前述と同様である。
【０１８４】
−工程（２）−
工程（２）は、工程（１）で得られた塗膜に放射線を照射する工程である。
工程（２）は、通常、工程（１）で得られた塗膜の少なくとも一部に、所定のパターンを有するフォトマスクを介して露光すればよく、また走査露光を行ってもよい。なお、フォトマスク上のパターン形状は特に限定されず、目的とする用途に応じたパターン形状が用いられる。
放射線としては、ｇ線、ｈ線、ｉ線、ｊ線の紫外線が挙げられ、ｇ線、ｈ線、ｉ線及びｊ線を含む紫外線が好ましい。なお、分光分布において、４３６ｎｍのピークがｇ線であり、４０５ｎｍのピークがｈ線であり、３６５ｎｍのピークがｉ線であり、３１３ｎｍのピークがｊ線である。
光源としては、超高圧、高圧、中圧、低圧の各水銀灯、ケミカルランプ、カーボンアーク灯、キセノン灯、メタルハライド灯、可視及び紫外の各種レーザ等を使用することができる。
露光量は、通常１〜１，０００ｍＪ／ｃｍ2であるが、所望の効果を高めるには、好ましくは５〜５００ｍＪ／ｃｍ2、より好ましくは１０〜２００ｍＪ／ｃｍ2、更に好ましくは３０〜１００ｍＪ／ｃｍ2である。
【０１８５】
−工程（３）−
工程（３）は、工程（２）で得られた塗膜を現像する工程である。
現像は、現像液を用いて、ポジ型の場合には露光部を、ネガ型の場合には非露光部を、それぞれ溶解除去する。
現像液としては、ポジ型の場合には露光部を溶解し非露光部を溶解しないもの、またネガ型の場合には非露光部を溶解し露光部を溶解しないものであれば、いかなるものも使用することができる。例えば、種々の有機溶媒の組み合わせ、アルカリ水溶液を用いることができる。中でも、アルカリ水溶液が好ましい。アルカリ水溶液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、１，８−ジアザビシクロ−［５．４．０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ−［４．３．０］−５−ノネン等の水溶液が挙げられる。現像液には、例えば、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤、消泡剤、界面活性剤等を適量添加することもできる。
現像方法としては、例えば、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ（浸漬）現像法、パドル（液盛り）現像法等を適用することができる。現像条件は、例えば、常温で５〜３００秒間とすることができる。
なお、現像液としてアルカリ水溶液を使用した場合には、現像後、通常水で洗浄する。また、洗浄後、例えば、圧縮空気や圧縮窒素等で塗膜を風乾させることもできる。
【０１８６】
−工程（４）−
工程（４）は、工程（３）で得られた塗膜を７０〜１８０℃で加熱する工程である。
工程（４）は、ポストベークする工程であり、ポストベークは、パターニングされた塗膜を７０〜１８０℃で加熱するが、硬化性、耐溶剤性及び基板との密着性の向上、色移り抑制、並びに基板保護の観点を考慮して、８０〜１２０℃、１２０〜１８０℃など、用途に応じて加熱温度を設定することができる。加熱時間は加熱温度により適宜設定可能であるが、例えば８０〜１２０℃の低温においては、通常５〜１２０分、好ましくは３０〜１００分である。
【０１８７】
このようにして、本発明の硬化膜を製造することができる。
硬化膜の膜厚は、通常０．５〜５μｍ、好ましくは１〜４μｍである。得られた硬化膜は、耐溶剤性、基板との密着性が良好であり、剥がれを効果的に抑制することができる。
【０１８８】
カラーフィルタを構成する各色画素を形成する場合には、青色、緑色又は赤色の着色剤を含有する本発明の感光性組成物を用い、上述した本発明の硬化膜の形成方法に供して、青色の画素パターン、緑色の画素パターン及び赤色の画素パターンを同一基板上に順次形成する。これにより、青色、緑色及び赤色の三原色の画素パターンが基板上に配置されたカラーフィルタが得られる。但し、本発明においては、各色の画素を形成する順序は、上記のものに限定されない。
【０１８９】
また、表示素子用の硬化膜、特にＰＳＡ技術によって製造される液晶表示素子の層間絶縁膜は、例えば、液晶表示素子が、通常（ａ）第１基板の一方の面側に層間絶縁膜を形成する工程、（ｂ）層間絶縁膜の外面側及び第２基板の一方の面側に液晶配向膜を形成する工程、（ｃ）液晶配向膜が形成された面同士を対向配置した状態で、第１基板と第２基板との間に重合性液晶組成物を充填する工程、及び（ｄ）重合性液晶組成物に対する光照射により液晶層を形成する工程により製造されるところ、層間絶縁膜の形成に本発明の感光性組成物を用い、上述した本発明の硬化膜の形成方法にしたがって形成することができる。なお、一方の面側又は外面側に形成するとは、その面に直接接した状態で形成することのみならず、他の層を介して形成する場合も含む意味である。
【０１９０】
〔表示素子〕
本発明の表示素子は、本発明の硬化膜を具備するものである。
表示素子としては、カラー液晶表示素子、有機ＥＬ表示素子、電子ペーパー等を挙げることができる。本発明の硬化膜を具備するカラー液晶表示素子は、透過型でも反射型でもよく、適宜の構造を採ることができる。例えば、カラーフィルタを、薄膜トランジスター（ＴＦＴ）が配置された駆動用基板とは別の基板上に形成して、駆動用基板とカラーフィルタを形成した基板とが、液晶層を介して対向した構造を採ることができ、さらに薄膜トランジスター（ＴＦＴ）が配置された駆動用基板の表面上にカラーフィルタを形成した基板と、ＩＴＯ（錫をドープした酸化インジュウム）電極を形成した基板とが、液晶層を介して対向した構造を採ることもできる。後者の構造は、開口率を格段に向上させることができ、明るく高精細な液晶表示素子が得られるという利点を有する。なお、後者の構造を採用する場合、ブラックマトリックスやスペーサーは、カラーフィルタを形成した基板側、ＩＴＯ電極を形成した基板側のどちらに形成されていてもよい。また、薄膜トランジスター（ＴＦＴ）が配置された駆動用基板を構成する層間絶縁膜として、本発明の硬化膜を適用することもできる。
【０１９１】
〔発光素子〕
本発明の発光素子は、本発明の硬化膜を具備するものである。
本発明の発光素子は適宜の構造を採り得るが、例えば、透明電極からなる陽極の透明導電層と、発光層と、金属電極からなる陰極層を積層した構造を有する有機ＥＬ発光素子において、保護膜、絶縁膜、また発光波長選択部材として本発明の硬化膜を利用するものである。発光層は、本発明の感光性組成物を用い、上述した本発明の硬化膜の形成方法にしたがって形成することができる。
【０１９２】
〔受光素子〕
本発明の受光素子は、本発明の硬化膜を具備するものである。
本発明の受光素子は適宜の構造を採り得るが、例えば、本発明の着色硬化膜を固体撮像素子を構成するカラーフィルタとし、それをフォトダイオードと組み合わせることで、固体撮像素子等の撮像素子を構成することができる。また、本発明の硬化膜を赤外光透過フィルタとして使用し、それをフォトダイオードと組み合わせることで、赤外光検出用画素を構成することができる。
【実施例】
【０１９３】
以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施例に限定されるものではない
【０１９４】
重合体の合成
重合体合成例１
冷却管と攪拌機を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート８０質量部を仕込んで窒素置換した。８０℃に加熱して、同温度で、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５０質量部、メタクリル酸１２質量部、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート８８質量部及び２，２'−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）６質量部の混合溶液を２時間かけて滴下し、この温度を保持して１時間重合した。その後、反応溶液の温度を９０℃に昇温させ、さらに１時間重合することにより、重合体（ａ１−１）を含む溶液を得た。これをジイソアミルエーテルを用いて再沈殿を行い、沈殿物をｎ−ヘキサンにて洗浄を行った後乾燥させ、重合体（ａ１−１）の固体（粉体）を得た。重合体（ａ１−１）は（ａ１）重合体に該当する。
【０１９５】
重合体合成例２〜５、８
重合体合成例１において、用いる単量体の種類及び量を表１に示すように変更した以外は重合体合成例１と同様にして、重合体（ａ１−２）、重合体（β１）、重合体（ａ２−１）、重合体（ａ２−２）及び重合体（β２）を含む固体（粉体）得た。なお、重合体（ａ１−２）は（ａ１）重合体に該当し、また重合体（ａ２−１）及び重合体（ａ２−２）は（ａ２）重合体に該当する。一方、重合体（β１）及び重合体（β２）は（ａ１）重合体、（ａ２）重合体、（ａ３）重合体のいずれにも該当しない。
【０１９６】
重合体合成例６
窒素雰囲気下、三つ口フラスコにβ−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン１２１質量部を仕込み、エトキシプロパノール１００質量部を加えて溶解させ、得られた混合溶液をマグネチックスターラにより撹拌しながら７０℃に加温した。この溶液に、１質量％のシュウ酸を含んだシュウ酸水溶液４０．４質量部を添加し、７０℃で３時間反応を行った。その後、減圧下で水、メタノール、エトキシプロパノールを留去することにより、重合体（ａ３−１）の固体を得た。重合体（ａ３−１）は（ａ３）重合体に該当する。
【０１９７】
重合体合成例７、９
重合体合成例６において、用いる単量体の種類及び量を表１に示すように変更した以外は重合体合成例６と同様にして、重合体（ａ３−２）及び重合体（β３）を得た。なお、重合体（ａ３−２）は（ａ３）重合体に該当する。一方、重合体（β３）は（ａ１）重合体、（ａ２）重合体、（ａ３）重合体のいずれにも該当しない。
【０１９８】
【表１】
2018120216.tif 000019
【０１９９】
表１において、「単量体Ａ」は３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２,６］デシルアクリレートであり、下記式（４−１）で表される化合物と下記式（５−１）で表される化合物の５０：５０（モル比）混合物である。
【０２００】
【化１８】
2018120216.tif 000020
【０２０１】
分散剤の合成
分散剤合成例１
ガス導入管、温度計、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、ｎ−ブチルアクリレート８０質量部、メチルメタクリレート６０質量部、メタクリル酸２０質量部、カレンズＭＯＩ−ＢＭ（昭和電工株式会社製）２０質量部、ＥＴＥＲＮＡＣＯＬＬ  ＯＸＭＡ（宇部興産株式会社製）２０質量部を仕込み、窒素ガスで置換した。反応容器内を８０℃に加熱した後、２−メルカプト−２−メチル−１，３−プロパンジオール１４質量部と２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．１質量部とを混合した溶液を反応容器に添加し、１０時間反応した。固形分測定により９５％が反応したことを確認した。次に、９，９−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）フルオレン二酸無水物（商品名ＢＰＡＦ（ＪＦＥケミカル株式会社製））３９質量部、Ｃ−１０１５Ｎ（２官能ポリカーボネートポリオール、商品名クラレポリオールＣ−１０１５Ｎ（水酸基価１１２ｍｇＫＯＨ／ｇ、クラレ株式会社製））１０６質量部、トリメリット酸無水物３３質量部、シクロヘキサノン３９２質量部及び触媒として１，８−ジアザビシクロ−［５．４．０］−７−ウンデセン０．４０質量部を追加し、１００℃で７時間反応させた。酸価測定により９８％以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し、反応を終了した。このようにして、アミン価０ｍｇＫＯＨ／ｇ、酸価７３ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量２５，０００の分散剤Ａを得た。
【０２０２】
分散剤合成例２
ガス導入管、温度計、コンデンサ、攪拌機を備えた反応容器に、１−ドデカノール６２．６質量部、ε−カプロラクトン２８７．４質量部及び触媒としてモノブチルスズ（ＩＶ）オキシド０．１質量部を仕込み、窒素ガスで置換した後、１２０℃で４時間加熱、撹拌した。固形分測定により９８％が反応したことを確認したのち、無水ピロメリット酸７３．３質量部を加え、１２０℃で２時間反応させた。酸価測定により９８％以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し、反応を終了した。このようにして、アミン価０ｍｇＫＯＨ／ｇ、酸価４９ｍｇＫＯＨ／ｇの分散剤Ｂを得た。
【０２０３】
顔料分散液の調製
顔料分散液調製例１
着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３を１２質量部、分散剤としてＢＹＫ−ＬＰＮ２１１１６（固形分濃度４０質量％、アミン価２９ｍｇＫＯＨ／ｇ、酸価０ｍｇＫＯＨ／ｇ、ビックケミー（ＢＹＫ）社製）１２質量部、重合体（ａ２−１）溶液（固形分濃度４０質量％）を１２．５質量部、及び溶媒としてメトキシプロパノール１２質量部並びにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５１．５質量部を用いて、ビーズミルにより処理して、顔料分散液（ｐ−１）を調製した。
【０２０４】
顔料分散液調製例２
顔料分散液調製例１において、ＢＹＫ−ＬＰＮ２１１１６  １２質量部に代えて、分散剤Ａ  ３．３６質量部及び分散剤Ｂ  １．４４質量部の混合物を用いた以外は顔料分散液調製例１と同様にして、顔料分散液（ｐ−２）を調製した。
【０２０５】
染料溶液の調製
染料溶液調製例１
染料（１）１０質量部とプロピレングリコールモノメチルエーテル９０質量部とを混合し、染料溶液（Ｃ１）を調製した。染料（１）は後述の通りである。
【０２０６】
染料溶液調製例２〜５
染料（１）に代えて、染料（２）〜（５）を用いた以外は染料溶液調製例１と同様にして、染料溶液（Ｃ２）〜（Ｃ５）を調製した。染料（２）〜（５）は後述の通りである。
【０２０７】
・染料（１）：特表２０１６−５０５６５５号公報の合成例６に従って得られる、トリアリールメタン骨格を有する繰り返し単位を有するアクリル系重合体である、トリアリールメタン染料。
・染料（２）：特開２０１３−０５０６９３号公報の合成例３に従って得られる「式（１−８）で表される化合物」。（キサンテン染料）
・染料（３）：特開２０１４−１９４００７号公報の表１に記載されている「重合体Ｆ」。（イミドアニオンを有する繰り返し単位を有するアクリル系重合体とＣ．Ｉ．ベーシックレッド１２との造塩化合物である、シアニン染料。）
・染料（４）：特開２０１５−１１８２６８号公報の表２に記載されている「造塩化合物ＺＣ−３８」。（イミドアニオンを有するシアニン染料。）
・染料（５）：下記式（１２）で表されるキサンテン染料
【０２０８】
【化１９】
2018120216.tif 000021
【０２０９】
感光性組成物の調製及び評価
実施例１
［Ａ］成分として、（ａ１）重合体である重合体（ａ１−１）Ｗ質量部、並びに（ａ２）重合体である重合体（ａ２−１）Ｘ質量部、［Ｂ］感光剤として国際公開第２０１４／１８７１７０号パンフレットに記載されている「化合物Ｎｏ．４２」５質量部、［Ｃ］着色剤として染料（１）Ｙ質量部、［Ｅ］重合性化合物としてＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ（日本化薬株式会社製、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物）２５質量部並びにアロニックスＭ−５１０（東亞合成株式会社製）２５質量部、［Ｈ］添加剤としてメガファックＦ−５５４（ＤＩＣ株式会社製）０．５質量部、及び［Ｇ］溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート／プロピレングリコールモノメチルエーテル＝８０／２０（体積比）混合溶媒Ｚ質量部を混合し、固形分濃度１６質量％の感光性組成物（Ｓ−１）を調製した。このとき、Ｗ，Ｘ，Ｙ及びＺの値は、以下の条件Ａ１〜Ａ４を満たすように定めた。なお、本実施例においては、Ｘ＝Ｗ＝２５質量部であり、Ｙ＝２１．１質量部であり、Ｚ＝７１７質量部である。
【０２１０】
・条件Ａ１：感光性組成物（Ｓ−１）において、（ａ１）重合体である重合体（ａ１−１）：（ａ２）重合体である重合体（ａ２−１）＝５０：５０（質量比）である。
・条件Ａ２：感光性組成物（Ｓ−１）において、ポリマーと［Ｅ］重合性化合物との合計含有量が１００質量部である。なお「ポリマー」とは、［Ａ］成分及びその他の重合体（［Ａ］成分及び分散剤を除く。）を指すものとする。
・条件Ａ３：感光性組成物（Ｓ−１）における固形分濃度が１６質量％である。
・条件Ａ４：感光性組成物（Ｓ−１）における［Ｃ］着色剤の含有割合が２０質量％である。
【０２１１】
保存安定性の評価
感光性組成物（Ｓ−１）の調製直後の粘度を、Ｅ型粘度計（東京計器製）を用いて測定した。次に感光性組成物（Ｓ−１）を遮光ガラス容器に充填し、密封状態で５℃にて１４日間静置した後、Ｅ型粘度計（東京計器製）を用いて再度粘度を測定した。そして調製直後の粘度に対する１４日間保存後の粘度の増加率を算出した。評価基準は以下の通りであり、結果を表２に示す。
【０２１２】
（評価基準）
○：増加率が５％未満
△：増加率が５％以上１０％未満
×：増加率が１０％以上
【０２１３】
現像性の評価
得られた感光性組成物（Ｓ−１）を、ガラス基板の表面上に、スピンコーターを用いて塗布したのち、室温で減圧乾燥を行い、膜厚２．５μｍの塗膜を形成した。次いで、基板上の塗膜に、高圧水銀ランプを用い、９０μｍラインアンドスペースのフォトマスクを介して、６００Ｊ／ｍ２の露光量で露光した。その後、基板上の塗膜に、２３℃の０．０４質量％水酸化カリウム水溶液を１．５ｋｇｆ／ｃｍ２の現像圧(ノズル径１ｍｍ)吐出することにより、シャワー現像を行った。その後、超純水で洗浄して風乾した。更に、１００℃で３０分間ポストベークを行って、基板上に９０μｍのストライプ状硬化膜パターンを形成した。
ここで、前記シャワー現像において、未露光部の現像に要する時間を計測し、下記の評価基準で評価を行った。
【０２１４】
（評価基準）
◎：現像に要する時間が４５秒未満である
○：現像に要する時間が４５秒以上６０秒未満である
△：現像に要する時間が６０秒以上１２０秒未満である
×：１２０秒の現像を行った後でも、未露光部に残膜が確認できる
【０２１５】
耐溶剤性の評価
感光性組成物（Ｓ−１）を、ナトリウムイオンの溶出を防止するＳｉＯ２膜が表面に形成されたソーダガラス基板上に、スピンコーターを用いて塗布した後、室温で減圧乾燥を行い、膜厚２．５μｍの塗膜を形成した。
次いで、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に３６５ｎｍ、４０５ｎｍ及び４３６ｎｍの各波長を含む放射線を６００Ｊ／ｍ２の露光量で露光した。その後、この基板に対して、２３℃の０．０４質量％水酸化カリウム水溶液からなる現像液を現像圧１．５ｋｇｆ／ｃｍ２（ノズル径１ｍｍ）で吐出することにより、１２０秒間シャワー現像を行った。その後、この基板を超純水で洗浄し、風乾した後、更に１００℃のクリーンオーブン内で３０分間ポストベークを行うことにより、基板上に短冊状パターンを形成した。この短冊状パターンについて、カラーアナライザー（大塚電子（株）製ＭＣＰＤ２０００）を用い、Ｃ光源、２度視野にて、ＣＩＥ表色系における色度座標値（ｘ，ｙ）及び刺激値（Ｙ）を測定した。
次に、上記基板を、８０℃のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに３分浸漬した。浸漬後の短冊状パターンについて、カラーアナライザー（大塚電子（株）製ＭＣＰＤ２０００）を用い、Ｃ光源、２度視野にて、ＣＩＥ表色系における色度座標値（ｘ，ｙ）及び刺激値（Ｙ）を測定した。浸漬前後での色変化、即ちΔＥ＊ａｂを算出し、下記の基準で評価した。結果を表２に示す。ΔＥ＊ａｂ値が小さい程、耐溶剤性が良好であると言える。
【０２１６】
（評価基準）
◎：ΔＥ＊ａｂの値が１．０以下
○：ΔＥ＊ａｂの値が１．０より大きく２．０以下
△：ΔＥ＊ａｂの値が２．０より大きく３．０以下
×：ΔＥ＊ａｂの値が３．０より大きい
【０２１７】
実施例２〜１９、２３〜２４及び比較例１〜６
実施例１において、各成分の種類及び量を表２に示すように変更した以外は実施例１と同様にして感光性組成物を調製し、実施例１と同様にして評価を行った。評価結果を表２に示す
なお表２において、「重合体（重合体の含有比）」欄及び「［Ｃ］着色剤（着色剤の含有比）」欄中のカッコ内の数値は、それぞれ重合体中の含有割合、着色剤中の含有割合を質量比で示した値である。また「［Ｂ］感光剤」欄、「［Ｄ］硬化促進剤」欄、「［Ｅ］重合性化合物」欄、「［Ｆ］金属キレート化合物」欄及び「［Ｈ］添加剤」欄中のカッコ内の数値は含有量（質量部）を示す。「［Ｇ］溶媒」欄の数値は混合溶媒の体積比を示す。そしてこれら感光性組成物においても、実施例１の感光性組成物（Ｓ−１）と同じく条件Ａ２〜Ａ４を満たすように［Ａ］成分、［Ｃ］着色剤及び［Ｇ］溶媒の量を定めた。条件Ａ１は感光性組成物毎に異なる。
【０２１８】
実施例２０
［Ａ］成分として、（ａ２）重合体である重合体（ａ２−２）Ｗ質量部、並びに（ａ３）重合体である重合体（ａ３−１）Ｘ質量部、［Ｂ］感光剤として国際公開第２０１４／１８７１７０号パンフレットに記載されている「化合物Ｎｏ．４２」５質量部、［Ｄ］硬化促進剤として無水トリメリット酸５質量部、［Ｅ］重合性化合物としてＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ（日本化薬株式会社製、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物）２５質量部並びにアロニックスＭ−５１０（東亞合成株式会社製）２５質量部、［Ｈ］添加剤としてメガファックＦ−５５４（ＤＩＣ株式会社製）０．５質量部、及び［Ｇ］溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート／プロピレングリコールモノメチルエーテル＝８０／２０（体積比）混合溶媒Ｚ質量部を混合し、固形分濃度１６質量％の感光性組成物（Ｓ−２０）を調製した。このとき、Ｗ，Ｘ及びＺの値は、以下の条件Ｂ１〜Ｂ３を満たすように定めた。なお、本実施例においては、Ｘ＝３５質量部であり、Ｗ＝１５質量部であり、Ｚ＝５５４質量部である。
【０２１９】
・条件Ｂ１：感光性組成物（Ｓ−２０）において、（ａ２）重合体である重合体（ａ２−２）：（ａ３）重合体である重合体（ａ３−１）＝３０：７０（質量比）である。
・条件Ｂ２：感光性組成物（Ｓ−２０）において、ポリマーと［Ｅ］重合性化合物との合計含有量が１００質量部である。なお「ポリマー」とは、［Ａ］成分及びその他の重合体（［Ａ］成分及び分散剤を除く。）を指すものとする。
・条件Ｂ３：感光性組成物（Ｓ−２０）における固形分濃度が１６質量％である。
【０２２０】
感光性組成物（Ｓ−２０）について、実施例１と同様にして保存安定性の評価及び現像性の評価を行った。評価結果を表２に示す。また、実施例１における耐溶剤性の評価に代えて、以下の剛体振り子試験を行った。
【０２２１】
剛体振り子試験
感光性組成物（Ｓ−２０）を、塗布量が７０ｍｇ／ｄｍ２となるようにアルミ板上にバーコーターを用いて塗布し、液膜を作成した。この液膜上にＦＲＥ−１６０タイプの振り子を乗せ、剛体振り子粘弾性測定器（ＲＰＴ−３０００Ｗ型：Ａ＆Ｄ社）を用いて、硬化温度を測定した。具体的には、昇温温度５℃／分の条件下、振り子の揺れの対数減衰率が０．１となった時点を液膜の硬化温度とした。評価基準は以下の通りであり、結果を表２に示す。この温度が低い程、より低温のポストベークで十分な硬化性を示す感光性組成物であると言える。
【０２２２】
（評価基準）
○：硬化温度が１００℃以下である
△：硬化温度が１０１〜１５０℃以下
×：硬化温度が１５１℃以上である
【０２２３】
実施例２１〜２２及び比較例７
実施例２０において、各成分の種類及び量を表２に示すように変更した以外は実施例２０と同様にして感光性組成物を調製し、実施例２０と同様にして評価を行った。評価結果を表２に示す
なお表２において、「重合体（含有比）」欄中のカッコ内は、重合体中の含有割合を質量比で示した値である。また「［Ｂ］感光剤」欄、「［Ｄ］硬化促進剤」欄、「［Ｅ］重合性化合物」欄及び「［Ｈ］添加剤」欄中のカッコ内は含有量（質量部）を示す。「［Ｇ］溶媒」欄は混合溶媒の体積比を示す。そしてこれら感光性組成物においても、実施例２０の感光性組成物（Ｓ−２０）と同じく条件Ｂ２〜Ｂ３を満たすように［Ａ］成分及び［Ｇ］溶媒の量を定めた。条件Ｂ１は感光性組成物毎に異なる。
【０２２４】
【表２】
2018120216.tif 000022
【０２２５】
表２において、略号は以下の通りである。
・ｂ−１：国際公開第２０１４／１８７１７０号パンフレットに記載されている「化合物Ｎｏ．４２」
・ｄ−１：無水トリメリット酸
・ｄ−２：トリス（４−メチルフェニル）シラノール
・ｅ−１：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ（日本化薬株式会社製、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物）
・ｅ−２：アロニックスＭ−５１０（東亞合成株式会社製）
・ｆ−１：トリス（アセチルアセトナート）アルミニウム
・ｇ−１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・ｇ−２：プロピレングリコールモノメチルエーテル
・ｈ−１：メガファックＦ−５５４（ＤＩＣ株式会社製）
・ｈ−２：国際公開第２０１２／１０１２４５号のＥｘａｍｐｌｅ  １で得られる、下記式（１３）で表される化合物
【０２２６】
【化２０】
2018120216.tif 000023