(57)【要約】【課題】天井搬送車を保持体との間で授受するに当たり、レール部を受取用高さに合せる操作と、移動部と保持体との相対移動が規制された状態にする操作とを簡素化できる天井搬送車用運搬装置を提供する。【解決手段】天井搬送車５を保持する保持体１における被係合部１３に係合する係合部Ｆを備え、係合部Ｆは移動部が受取用位置に位置する状態において昇降機構により昇降移動されることで、係合部Ｆが被係合部１３と係合する規制高さと係合部Ｆと被係合部１３との係合が解除される解除高さとに切換え自在であり、レール部２Ｒは係合部Ｆが規制高さに位置する場合に、保持体１に保持されている受け取り対象の天井搬送車５の車輪５Ｗの高さに対応する受取用高さとなる。【選択図】図９
2018039652.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井搬送車が備える車輪を下方から支持するレール部と、前記レール部を昇降させる昇降機構と、床面に沿って移動自在な移動部と、を備えた天井搬送車用運搬装置であって、
前記天井搬送車を保持する保持体における被係合部に係合する係合部を更に備え、
前記昇降機構は、前記レール部及び前記係合部を一体的に昇降させるように構成され、
前記保持体に保持されている前記天井搬送車を前記レール部により支持するべく前記天井搬送車を前記保持体から受け取る場合の前記移動部の位置を受取用位置として、
前記係合部は、前記移動部が前記受取用位置に位置する状態において前記昇降機構により昇降移動されることで、規制高さと解除高さとに切換え自在であり、
前記規制高さは、前記係合部が前記被係合部と係合して、前記保持体と前記受取用位置に位置する前記移動部との並び方向での前記保持体と前記移動部との相対移動が規制される高さであり、
前記解除高さは、前記係合部と前記被係合部との係合が解除されて、前記並び方向での前記保持体と前記移動部との相対移動が許容される高さであり、
前記レール部は、前記係合部が前記規制高さに位置する場合に、前記保持体に保持されている受け取り対象の前記天井搬送車の車輪の高さに対応する受取用高さとなる天井搬送車用運搬装置。
【請求項２】
前記レール部の延在方向での両端部のうち、前記保持体から前記天井搬送車を受け取る場合に前記保持体側に位置する第１端部に、昇降規制体が設けられ、
前記昇降規制体は、前記第１端部から前記レール部の延在方向で前記レール部の外方に向けて突出する状態で前記レール部に固定され、
前記昇降規制体は、前記移動部が前記受取用位置に位置し、かつ、前記レール部が前記受取用高さに位置する状態において、前記保持体において前記天井搬送車の車輪を下方から支持する保持体側支持部に対して上方から当接する当接部を備えている請求項１に記載の天井搬送車用運搬装置。
【請求項３】
前記レール部の延在方向での両端部のうち、前記保持体から前記天井搬送車を受け取る場合に前記保持体側に位置する端部を第１端部とし、前記並び方向のうち前記移動部から前記保持体に向う方向を第１方向とし、前記並び方向で前記第１方向とは反対の方向を第２方向として、
前記被係合部は、前記移動部が前記受取用位置に位置する状態において、前記第１端部よりも前記並び方向で前記保持体側に位置しており、
前記係合部は、前記移動部が前記受取用位置に位置する状態において、前記並び方向で前記被係合部よりも前記第１方向側に位置する第１位置と、前記並び方向で前記被係合部よりも前記第２方向側に位置する第２位置とに位置切換自在に構成されている請求項１又は２に記載の天井搬送車用運搬装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井搬送車が備える車輪を下方から支持するレール部と、前記レール部を昇降させる昇降機構と、床面に沿って移動自在な移動部と、を備えた天井搬送車用運搬装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
このような天井搬送車用運搬装置として、特許第５８５８２５０号（特許文献１）には、天井搬送車の走行輪を下方から支持するレール部を昇降移動可能に備え、下端にキャスター輪を備えた搬送台車が記載されている。特許文献１には、天井搬送車を保持する保持体との間で天井搬送車を受け取り又は受け渡す際に、受け取り又は受け渡し対象の保持体において天井搬送車の走行輪を下方から支持する支持部と、搬送台車のレール部の高さとが異なる場合には、天井搬送車の移動をスムーズに行うために、レール部の高さを調整することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５８５８２５０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の搬送台車では、レール部の端部に回転式の係止部を備えており、保持体における支持部の高さと搬送台車のレール部の高さが異なる場合においては、レール部の高さを調整した後に、係止部を回転させて保持体が備える被係止部に係合させることで、保持体と搬送台車との相対移動を規制するようになっている。
【０００５】
しかしながら、特許文献１の搬送台車のような構成では、保持体と搬送台車との間で天井搬送車を移動させるに当たって、レール部の高さを調整する作業を行った後に、保持体と搬送台車との相対移動を規制するために係合部材の操作を別途行う必要があるため、手間がかかる。
【０００６】
そこで、天井搬送車を保持体との間で授受するに当たり、レール部を受取用高さに合せる操作と、移動部と保持体との相対移動が規制された状態にする操作とを簡素化できる天井搬送車用運搬装置が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明にかかる天井搬送車用運搬装置は、天井搬送車が備える車輪を下方から支持するレール部と、前記レール部を昇降させる昇降機構と、床面に沿って移動自在な移動部と、を備えたものであって、
前記天井搬送車を保持する保持体における被係合部に係合する係合部を更に備え、前記昇降機構は、前記レール部及び前記係合部を一体的に昇降させるように構成され、前記保持体に保持されている前記天井搬送車を前記レール部により支持するべく前記天井搬送車を前記保持体から受け取る場合の前記移動部の位置を受取用位置として、前記係合部は、前記移動部が前記受取用位置に位置する状態において前記昇降機構により昇降移動されることで、規制高さと解除高さとに切換え自在であり、前記規制高さは、前記係合部が前記被係合部と係合して、前記保持体と前記受取用位置に位置する前記移動部との並び方向での前記保持体と前記移動部との相対移動が規制される高さであり、前記解除高さは、前記係合部と前記被係合部との係合が解除されて、前記並び方向での前記保持体と前記移動部との相対移動が許容される高さであり、前記レール部は、前記係合部が前記規制高さに位置する場合に、前記保持体に保持されている受け取り対象の前記天井搬送車の車輪の高さに対応する受取用高さとなる点に特徴を有する。
【０００８】
すなわち、移動部が受け取り用位置に位置する状態においてレール部を受取用高さに位置させることで、係合部が被係合部に係合する状態となり、レール部を受取用高さと異なる高さに昇降移動させることで、係合部と被係合部との係合が解除される状態となる。
このため、レール部を受取用高さと異なる高さに位置させた状態で移動部を受取用位置に移動させ、受取用位置にてレール部を受取用高さに昇降させることで、係合部と被係合部とを係合させて移動部と保持体とが相対移動（離間する方向に移動）しないように規制することができる。
【０００９】
したがって、レール部を受取用高さに昇降移動させるという操作によって、支持レールの高さを受け取り対象の天井搬送車の車輪の高さに対応する受取用高さに合せる操作と、移動部と保持体との相対移動が規制された状態にする操作の双方を同時に実行できる。
このように、天井搬送車を保持体からレール部に受け取るに当たり、レール部を受取用高さに合せる操作と、移動部と保持体との相対移動を規制する操作とを極力簡素化することができる。
【００１０】
本発明に係る天井搬送車用運搬装置においては、前記レール部の延在方向での両端部のうち、前記保持体から前記天井搬送車を受け取る場合に前記保持体側に位置する第１端部に、昇降規制体が設けられ、前記昇降規制体は、前記第１端部から前記レール部の延在方向で前記レール部の外方に向けて突出する状態で前記レール部に固定され、前記昇降規制体は、前記移動部が前記受取用位置に位置し、かつ、前記レール部が前記受取用高さに位置する状態において、前記保持体において前記天井搬送車の車輪を下方から支持する保持体側支持部に対して上方から当接する当接部を備えていることが好ましい。
【００１１】
すなわち、レール部が受取用高さに位置するときに昇降規制体が保持体側支持部に上方から当接するから、昇降機構によってレール部を下降移動させる場合に、当該昇降機構を操作する作業者等がレール部を上方から下降させる場合の下限位置を適切に知得することができ、保持体側支持部とレール部との高さとを適切に合わせることができる。
さらに、昇降規制体が保持体側支持部に上方から当接することでレール部にかかる荷重を保持体側支持部により支持することができるから、天井搬送車を保持体側支持部からレール部に受け取ったときに天井搬送車の荷重によりレール部が下方に移動する事態を抑制できる。
加えて、レール部が受取用高さに位置するときに係合部と被係合部とが係合する状態となるから、昇降規制体が保持体側支持部に上方から当接した状態にすることで、係合部と被係合部とを適切に係合させることができる。
【００１２】
本発明に係る天井搬送車用運搬装置においては、前記レール部の延在方向での両端部のうち、前記保持体から前記天井搬送車を受け取る場合に前記保持体側に位置する端部を第１端部とし、前記並び方向のうち前記移動部から前記保持体に向う方向を第１方向とし、前記並び方向で前記第１方向とは反対の方向を第２方向として、前記被係合部は、前記移動部が前記受取用位置に位置する状態において、前記第１端部よりも前記並び方向で前記保持体側に位置しており、前記係合部は、前記移動部が前記受取用位置に位置する状態において、前記並び方向で前記被係合部よりも前記第１方向側に位置する第１位置と、前記並び方向で前記被係合部よりも前記第２方向側に位置する第２位置とに位置切換自在に構成されていることが好ましい。
【００１３】
すなわち、係合部を第１位置に切換えた状態においては、係合部は第１端部よりも前記並び方向で保持体側に位置し、被係合部は、移動部が受取用位置に位置する状態において、第１端部よりも並び方向で保持体側に位置する。このため、係合部を第１位置に位置させた状態でレール部を受取用高さとすることで、係合部を保持体の被係合部と適切に係合させることが可能となる。
【００１４】
一方、天井搬送車用運搬装置に受け取った天井搬送車を、天井近傍に配設される天井走行レールに乗せ換えるために、天井搬送車を支持した状態で昇降可能な昇降レールを備えて、当該昇降レールを天井走行レールに連接する上昇位置と天井搬送車用運搬装置のレール部に連接する下降位置との間で昇降させるリフタを設ける場合がある。このようなリフタにおいては、作業者の安全のために昇降レールが存在する昇降空間とその外部の空間とを仕切る壁体を設け、天井搬送車を昇降レールと天井搬送車用運搬装置のレール部とで受け渡すために、壁体に開口を設ける場合がある。しかしながら、係合部を第１位置に切換えた状態では、係合部が第１端部よりも外方に突出した状態となるため、リフタの壁体や壁体の内部に備える機構部分等と干渉する虞がある。
【００１５】
本特徴構成によれば、係合部を第１端部よりも並び方向で内方側に位置する第２位置に切換えることで、天井搬送車を昇降レールと天井搬送車用運搬装置のレール部とで受け渡す場合であっても、係合部がリフタの壁体や壁体の内部に備える機構部分等と干渉する虞がなく、天井搬送車を受渡し対象に対して適切に受け渡し易い天井搬送車昇降装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】保持用台車とそれに保持された天井搬送車を示す側面図
【図２】保持用台車とそれに保持された天井搬送車を示す正面図
【図３】保持用台車を示す一部分解斜視図
【図４】投入用リフタによる天井搬送車の投入を説明する図
【図５】ハンドリフタの全体正面図
【図６】ハンドリフタの全体側面図
【図７】フック部を解除高さとした状態を示す図
【図８】フック部を規制高さとした状態を示す図
【図９】フック部を規制高さとして天井搬送車を保持用台車からハンドリフタに移動させた状態を示す図
【図１０】ハンドリフタの第１端部を示す要部斜視図
【図１１】ハンドリフタを経路投入用リフタに対して用いる場合を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の天井搬送車用運搬装置の実施形態について、図面に基づいて説明する。
【００１８】
図１及び２に示すように、天井搬送車５は、保持用台車１に支持された状態で天井搬送車を製造する工場から出荷され、その状態で半導体製造設備に搬入される。半導体製造設備では、天井搬送車５を保持用台車１から取り出して、当該半導体製造設備の天井レール８Ｒ（図４参照）を走行させる為に、天井搬送車５の車輪５Ｗを天井レール８Ｒの上面に下方から支持させる状態とする作業を行う必要がある。以降、この作業を、天井搬送車５の天井レール８Ｒへの投入作業と称する。天井レール８Ｒは複数の半導体基板を収容する半導体容器Ｂ（図１参照）の搬送経路に沿って設置されており、天井搬送車５は、天井レール８Ｒに沿って走行して保管装置や処理装置（図示省略）の間で半導体容器Ｂの搬送を行う。
【００１９】
図４に示すように、天井レール８Ｒは、天井から吊り下げられた状態で床面から設定高さ（例えば３〜４ｍ程度）上方に設置されている。天井搬送車５を天井レール８Ｒに投入する為に、天井レール８Ｒの設置高さである上昇位置と、床面ＦＬ上で作業を行う作業者による作業高さ（例えば１ｍ〜１．５ｍ程度）である下降位置と、に昇降移動可能な昇降レール７Ｒを備えた経路投入用リフタ７が設けられている。なお、本実施形態において、昇降レール７Ｒを昇降移動させる機構は既知の技術を用いているため、説明は省略する。
【００２０】
天井搬送車５は、図１及び２に示すように、車輪５Ｗを備えた走行体５１と、走行体５１から下方に延出する支持軸５２を介して吊下げ支持される物品支持部５３と、を備えている。物品支持部５３は、昇降移動自在な物品把持体５４を備えており、物品把持体５４を下降させた位置で半導体容器Ｂの授受を行うとともに、半導体容器Ｂを把持した物品把持体５４を上昇させて走行体５１を走行移動させることで半導体容器Ｂを搬送経路に沿って搬送する。
【００２１】
なお、図示は省略するが、物品把持体５４は、上下方向視で走行体５１の走行方向（天井レール８Ｒに沿う方向）と直交する車幅方向に出退移動可能に構成されている。このため、天井搬送車５は、上下方向視で天井レール８Ｒの側方に位置する授受箇所（例えばロードポート）との間で半導体容器Ｂを授受可能となっている。
【００２２】
また、図１及び２に示すように、走行体５１の上端には、天井レール８Ｒの上方に配置される案内レール（図示省略）に案内されて、天井レール８Ｒの分岐部分において天井搬送車５を分岐先の経路に案内する案内ローラ５Ｒが設けられている。さらに、走行体５１には、天井レール８Ｒの側部に当接して、走行体５１の車幅方向の位置を適正位置に保持するガイド輪５Ｇが設けられている。
【００２３】
保持用台車１は、図１〜３に示すように、上下方向に沿う支柱１１と、支柱１１に固定されて車輪５Ｗを下方から支持可能な載置面を上端に備えた支持部１５と、を備えている。また、床面ＦＬを走行する４つのキャスター輪１Ｗが下部枠体１８に取付けられている。支持部１５は、図２及び３に示すように、上下方向視で走行体５１の走行方向（図１及び３にてＸで示す方向。以降、走行方向Ｘと称する。）と直交する方向（図２及び３にてＹで示す方向。以降、幅方向Ｙと称する。）に離間して走行方向Ｘに並ぶ一対の支柱の夫々を接続する第１支持部１５ａと第２支持部１５ｂとから構成されている。第１支持部１５ａと第２支持部１５ｂとの間には天井搬送車５の支持軸５２が通過する空間が形成される。これにより、走行体５１が支持部１５の上方に位置し、物品支持部５３が支持部１５の下方に位置する状態で天井搬送車５を保持用台車１に保持することができる。本実施形態においては、保持用台車１が天井搬送車５を保持する保持体に相当し、支持部１５が保持体側支持部に相当する。
【００２４】
なお、天井搬送車５をその製造工場から出荷する場合には、図１〜３に示すように天井搬送車５の走行方向Ｘでの位置を保持するためのストッパ板１５Ｓを支持部１５の上面にビス止めにて取付ける。ストッパ板１５Ｓは着脱可能であり、天井搬送車５を取り出す場合には取り外すことになる。
【００２５】
また、支持部１５の上方に離間した位置に、幅方向Ｙに並ぶ一対の支柱１１（幅方向支柱対と称する）の間を接続する被係合部材１３が設けられている。被係合部材１３は、幅方向Ｙに見て上端側に下方に延出する下方延出部１３Ｔ（図７〜９参照）を備える角ばったＣ字状に形成され、走行方向Ｘで離間する一対の幅方向支柱対の夫々に、上下方向で同じ位置となる形態で、かつ、開口する側が向かい合う形態で取り付けられている。また、一対の被係合部材１３における幅方向Ｙに並ぶ一対の支柱１１の中間部分に、走行方向Ｘに沿いかつ天井搬送車５の案内ローラ５Ｒに当接する側面を有する案内ローラ固定部材１３Ｇが取り付けられている。なお、走行方向Ｘに並ぶ一対の支柱１１において、上下方向の中間部でかつ支持部１５より下方である位置に、走行方向Ｘに沿う走行方向部材１７が取り付けられている。
【００２６】
経路投入用リフタ７は、図４に示すように、昇降レール７Ｒが昇降する昇降用空間Ｐ１と作業者が作業を行う作業用空間Ｐ２とを仕切る壁体７Ｗを備えている。昇降レール７Ｒが下降位置に位置する状態で昇降レール７Ｒと連接する固定レール７ＫＲが、位置を固定される状態で設けられている。壁体７Ｗには、昇降用空間Ｐ１に位置する昇降レール７Ｒ及び固定レール７ＫＲと作業用空間Ｐ２に位置するハンドリフタ２のレール部２Ｒ（後述）との間で天井搬送車５を移動させる場合に当該天井搬送車５が通過可能な開口７Ｋが形成されている。
【００２７】
上述のように保持用台車１に保持された状態で搬入された天井搬送車５は、経路投入用リフタ７を用いて天井レール８Ｒに投入されることになるが、保持用台車１の支持部１５において車輪５Ｗが支持される高さと経路投入用リフタ７の固定レール７ＫＲにおいて車輪５Ｗが支持される高さが異なる等の理由で、天井搬送車５を保持用台車１から経路投入用リフタ７に直接受け渡すことができない場合がある。
【００２８】
そこで、図４〜６に示すようなハンドリフタ２が用いられる。ハンドリフタ２は、図５及び６に示すように後方側キャスター輪２Ｗａ及び前方側キャスター輪２Ｗｂを備えて床面ＦＬ上を移動可能な基台部２Ｄと、基台部２Ｄ上に立設された支柱２Ｓと、支柱２Ｓに取付けられた把持部２Ｔと、レール部２Ｒを一体に備える昇降体２０と、昇降体２０を昇降させる昇降機構２Ｈと、を備えている。昇降機構２Ｈは、ハンドルを回転させることで昇降体２０を支柱２Ｓに沿って移動させることができるように構成されており、例えば、ハンドルによって回転されるドラムに一端が接続されて巻取又は繰出しされるワイヤの他端を昇降体２０の上端に接続する形態で構成されている。レール部２Ｒは、天井搬送車５の車輪５Ｗを下方から支持するべく、上下方向に見て天井搬送車５の走行方向に直交する方向に離間して一対設けられている。把持部２Ｔは、ハンドリフタ２を床面ＦＬ上で移動させる場合に作業者が把持するために設けられる。本実施形態においては、ハンドリフタ２が天井搬送車用運搬装置に相当し、基台部２Ｄが移動部に相当する。すなわち、ハンドリフタ２は、天井搬送車５が備える車輪５Ｗを下方から支持するレール部２Ｒと、レール部２Ｒを昇降させる昇降機構２Ｈと、床面ＦＬに沿って移動自在な基台部２Ｄと、を備えている。
【００２９】
なお、以降の説明においては、図６〜９に示すように、レール部２Ｒの延在方向の両端部のうち、保持用台車１から天井搬送車５を受け取る場合に保持用台車１側に位置する端部を第１端部Ｅ１とし、その逆側の端部を第２端部Ｅ２とする。保持用台車１からハンドリフタ２に天井搬送車５を受け渡す場合、レール部２Ｒの延在方向を走行方向Ｘに合せた状態で、第１端部Ｅ１を保持用台車１の支持部１５の走行方向Ｘでの一方側の端部に近接するようにハンドリフタ２を位置させることになる。
【００３０】
本実施形態においては、保持用台車１の支持部１５の走行方向Ｘでの一方側の端部とレール部２Ｒの第１端部Ｅ１とを近接させたときの基台部２Ｄの位置が受取用位置に相当する。すなわち、保持用台車１に保持されている天井搬送車５をレール部２Ｒにより支持するべく天井搬送車５を保持用台車１から受け取る場合の基台部２Ｄの位置が受取用位置に相当する。以降、図４〜図１１では、ハンドリフタ２についてもレール部２Ｒの延在方向を走行方向Ｘに沿わせた状態として説明する。また、以降の説明では、図１及び図７〜９に示すように、ハンドリフタ２を受取用位置に位置させた場合における保持用台車１とハンドリフタ２との並び方向において、ハンドリフタ２から保持用台車１に向う方向を第１方向Ｘ１とし、並び方向において第１方向Ｘ１と逆の方向を第２方向Ｘ２とする。
【００３１】
図５〜１１に示すように、昇降体２０は、支柱２Ｓに沿って上下方向に移動する昇降枠２１と、昇降枠２１の上端から水平方向に沿って延出する水平支持部２２と、水平支持部２２に吊下げ支持体２３によって吊り下げ支持されるレール部２Ｒと、を備えている。
レール部２Ｒの第１端部Ｅ１及び第２端部Ｅ２には、基台部２Ｄが受取用位置に位置し、かつ、レール部２Ｒが保持用台車１に保持されている受け取り対象の天井搬送車５の車輪５Ｗの高さに対応する受取用高さに位置する状態において、保持用台車１において天井搬送車５の車輪５Ｗを下方から支持する支持部１５に対して上方から当接する昇降規制ブロック２５が、第１端部Ｅ１及び第２端部Ｅ２の夫々から外方に突出する状態で固定されている。図７に示すように、昇降規制ブロック２５の突出部分の下面は保持用台車１の支持部１５の上面に当接する当接部２５Ｍとなっている。なお、当接部２５Ｍには、保持用台車１の支持部１５の上面への当接時の衝撃を吸収する緩衝材が取り付けられている。
【００３２】
本実施形態においては、昇降規制ブロック２５が昇降規制体に相当する。すなわち、レール部２Ｒの延在方向での両端部（第１端部Ｅ１、第２端部Ｅ２）のうち、保持用台車１から天井搬送車５を受け取る場合に保持用台車１側に位置する第１端部Ｅ１に、昇降規制ブロック２５が設けられ、昇降規制ブロック２５は、第１端部Ｅ１からレール部２Ｒの延在方向でレール部２Ｒの外方に向けて突出する状態でレール部２Ｒに固定され、昇降規制ブロック２５は、基台部２Ｄが受取用位置に位置し、かつ、レール部２Ｒが受取用高さに位置する状態において、保持用台車１において天井搬送車５の車輪５Ｗを下方から支持する支持部１５に対して上方から当接する当接部２５Ｍを備えている。なお、上記では第１端部Ｅ１に備える昇降規制ブロック２５について説明したが、第２端部Ｅ２に備える昇降規制ブロック２５についても同様である。
【００３３】
さらに、第１端部Ｅ１及び第２端部Ｅ２の側部には、長手方向の一端側に切欠き２８Ｋが設けられ、他端側に幅方向Ｙに沿う回転軸２８Ｊが固定された係止体２８が設けられている。係止体２８は、回転軸２８Ｊ周りに回転して第１端部Ｅ１又は第２端部Ｅ２から外方に突出しない引退姿勢（図６〜１０参照）と、第１端部Ｅ１又は第２端部Ｅ２から外方に突出する突出姿勢（図１１参照）とに姿勢切換可能になっている。なお、係止体２８には、図７〜１１に示すように、作業者が把持して回動させるためのハンドル２８Ｈが設けられるとともに、レール部２Ｒに、係止体２８を引退姿勢に維持するためのストッパ２８Ｓが設けられている。
【００３４】
図６〜１１に示すように、幅方向Ｙに並ぶ一対の昇降規制ブロック２５の側部に、上方に向けて延出するフック支柱２４が固定されている。フック支柱２４の上端近傍には、図７〜１１に示すように、幅方向Ｙに沿う回転軸周りに後述するフック部Ｆを回転可能に支持する回転軸ＦＪが設けられている。フック部Ｆは、幅方向Ｙに見て基端部分ＦＫから一方に延出する第１部分Ｆ１と、第１部分Ｆ１の延出側端部から直角に折り曲げられて延出する第２部分Ｆ２と、第２部分Ｆ２の延出側端部から直角に折り曲げられて延出する第３部分Ｆ３とを備えて、フック支柱２４に回転自在に支持されている。なお、第１部分Ｆ１と第２部分Ｆ２、及び、第２部分Ｆ２と第３部分Ｆ３とは、折り曲げ加工により幅方向Ｙに見てアールが形成される状態で連続している。
【００３５】
図７〜９に示すように、被係合部材１３は、ハンドリフタ２の基台部２Ｄが受取用位置に位置する状態において、第１端部Ｅ１よりも並び方向で保持用台車１側に位置しており、フック部Ｆは、回転軸ＦＪ周りに回転することで、ハンドリフタ２の基台部２Ｄが受取用位置に位置する状態（図８及び９）において、第３部分Ｆ３が並び方向で被係合部材１３の下方延出部１３Ｔよりも第１方向Ｘ１側に位置する位置（図７の二点鎖線、図８〜図１０参照。第１位置に相当。）と、第３部分Ｆ３が並び方向で被係合部材１３の下方延出部１３Ｔよりも第２方向Ｘ２側に位置する位置（図６、図７の実線、図１１参照。第２位置に相当。）と、に姿勢を切換えることが可能となっている。
【００３６】
また、図７〜１１に示すように、基端部分ＦＫには幅方向Ｙに固定ピンＦＰが貫通可能な孔部が設けられ、フック支柱２４には、フック部Ｆが第１位置に位置するときに幅方向Ｙに見て基端部分ＦＫの孔部と重複する第１係止孔２４ｈ１と、フック部Ｆが第２位置に位置するときに幅方向Ｙに見て基端部分ＦＫの孔部と重複する第２係止孔２４ｈ２とが形成されている。そして、固定ピンＦＰを基端部分ＦＫの孔部を介して第１係止孔２４ｈ１と係合させることにより、フック部Ｆを第１位置に固定することができ、固定ピンＦＰを基端部分ＦＫの孔部を介して第２係止孔２４ｈ２と係合させることにより、フック部Ｆを第２位置に固定することができるようになっている。
【００３７】
本実施形態では、フック部Ｆが係合部に相当し、保持用台車１の被係合部材１３が被係合部に相当する。すなわち、ハンドリフタ２は、天井搬送車５を保持する保持用台車１における被係合部材１３に係合するフック部Ｆを備えている。また、フック部Ｆは、昇降規制ブロック２５及びフック支柱２４を介してレール部２Ｒに固定されている為、フック部Ｆはレール部２Ｒと一体的に昇降することになる。すなわち、昇降機構２Ｈは、レール部２Ｒ及び係合部を一体的に昇降させるように構成されている。また、フック部Ｆは、基台部２Ｄが受取用位置に位置する状態において、並び方向で被係合部材１３よりも第１方向Ｘ１側に位置する第１位置と、並び方向で被係合部材１３よりも第２方向Ｘ２側に位置する第２位置とに位置切換自在に構成されている。なおフック部Ｆの第３部分Ｆ３から第２部分Ｆ２にかけての劣角側の面には、被係合部材１３との当接する場合のクッションとなる緩衝体ＦＴが貼付けられている。
【００３８】
そして、保持用台車１に保持されている天井搬送車５をハンドリフタ２に受け取る場合には、一対のフック部Ｆの夫々を第１位置に位置させ、かつ、当該フック部Ｆの第３部分Ｆ３の下端の高さが被係合部材１３の上端よりも高い位置になるように昇降機構２Ｈによって昇降体２０の上下方向の位置を調整する（図７参照）。本実施形態では、この場合のフック部Ｆの高さが解除高さに相当する。
【００３９】
続いて、基台部２Ｄが受取用位置に位置するように基台部２Ｄを移動させ、基台部２Ｄが受取用位置に位置する状態において、昇降規制ブロック２５の当接部２５Ｍが支持部１５の上面に当接する高さとなるまで昇降機構２Ｈによって昇降体２０を下降移動させる。これにより、図８及び９に示すように、幅方向Ｙに見てフック部Ｆの第３部分Ｆ３が被係合部材１３の下方延出部１３Ｔよりも第１方向側に位置し、かつ、第３部分Ｆ３と下方延出部１３Ｔとが上下方向で重複する状態となる。このとき、第３部分Ｆ３の第１方向Ｘ１側の面と下方延出部１３Ｔの第２方向Ｘ２側の面とが当接するため、ハンドリフタ２と保持用台車１とが並び方向で離間方向に相対移動する事態を抑制できる。本実施形態では、この場合のフック部Ｆの高さが規制高さに相当する。
【００４０】
これにより、レール部２Ｒの高さを保持用台車１に保持された天井搬送車５の車輪５Ｗの高さに対応する高さに合せた状態で、かつ、並び方向でのハンドリフタ２と保持用台車１との相対移動を規制した状態で、図８及び図９に示すように保持用台車１に保持された天井搬送車５をスムーズにハンドリフタ２に受け取ることが可能となる。
【００４１】
すなわち、フック部Ｆは、基台部２Ｄが受取用位置に位置する状態において昇降機構２Ｈにより昇降移動されることで、規制高さと解除高さとに切換え自在であり、規制高さは、フック部Ｆが被係合部材１３と係合して、保持用台車１と受取用位置に位置する基台部２Ｄとの並び方向での保持用台車１と基台部２Ｄとの相対移動が規制される高さであり、解除高さは、フック部Ｆと被係合部材１３との係合が解除されて、並び方向での保持用台車１と基台部２Ｄとの相対移動が許容される高さであり、レール部２Ｒは、フック部Ｆが規制高さに位置する場合に、保持用台車１に保持されている受け取り対象の天井搬送車５の車輪５Ｗの高さに対応する受取用高さとなるように構成されている。
【００４２】
本実施形態のハンドリフタ２は、このような構成により、レール部２Ｒの高さを保持用台車１に保持された受け取り対象の天井搬送車５の車輪５Ｗの高さに対応する受取用高さに合せる操作と、ハンドリフタ２の基台部２Ｄと保持用台車１との相対移動を規制するための操作とを、昇降機構２Ｈを操作してレール部２Ｒを解除高さから規制高さに移動させることにより行えるものとなり、作業性がよいハンドリフタを提供できる。
【００４３】
一方、図１１に示すように、ハンドリフタ２から経路投入用リフタ７の昇降レール７Ｒに対して天井搬送車５を受け渡す場合、フック部Ｆを第１位置としていると、経路投入用リフタ７の壁体７Ｗにフック部Ｆが干渉してしまう虞がある。この場合、フック部Ｆを第２位置に切換えることで、図１１に示すように、フック部Ｆが壁体７Ｗに干渉することなく、レール部２Ｒと経路投入用リフタ７の固定レール７ＫＲとを連接させることができる。なお、このときにも、昇降規制ブロック２５の当接部２５Ｍが固定レール７ＫＲの上面に当接することで、レール部２Ｒと固定レール７ＫＲとの高さを適正に調整するとともに、天井搬送車５を支持するレール部２Ｒの荷重を固定レール７ＫＲで適正に受けることができる。また、固定レール７ＫＲには、係止体２８の切欠き２８Ｋと係合する係止ピン７Ｐが固定されており、係止体２８を突出姿勢に切換えて係止ピン７Ｐと係合させることにより、レール部２Ｒの延在方向で経路投入用リフタ７とハンドリフタ２とが相対移動する事態を抑制することができる。
【００４４】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、保持体としてキャスター輪１Ｗによって床面ＦＬ上を移動可能な保持用台車１を例示したが、このような構成に限定されるものではない。例えば、保持体を、キャスター輪１Ｗを備えない枠体としたり、複数の保持体側支持部を上下方向又は横方向に並べて備えて複数の天井搬送車５を保持可能な棚としてもよい。
【００４５】
（２）上記実施形態では、保持用台車１に保持されている天井搬送車５をハンドリフタ２に受け取る場合を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、ハンドリフタ２から保持用台車１に天井搬送車５を受け渡す場合に用いてもよい。
【００４６】
（３）上記実施形態では、天井搬送車５の搬送対象物を、半導体基板を収容する半導体容器Ｂとする構成を説明したが、天井搬送車５の搬送対象物は、上記に限定されるものではない。例えば、基板への転写パターンが記録されたレチクルを収容したレチクル容器や、液晶等のガラス基板を収容する容器を搬送するものであってもよい。また、上記実施形態では、天井搬送車用運搬装置を半導体製造設備に適用する場合を説明したが、天井搬送車用運搬装置を半導体製造設備以外の設備（例えば食品工場等の各種の加工設備や物品の保管設備等）に用いてもよい。
【００４７】
（４）上記実施形態では、フック部Ｆを、回動軸ＦＪ周りでの回動によって第１位置と第２位置とに切換える構成を説明したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、フック部Ｆをレール部２Ｒの延在方向に沿ってスライド移動可能に設け、そのスライド移動によって第１位置と第２位置とに切換える構成としたり、フック部を上下方向に沿う軸心周りで回動自在に設け、その回動によって第１位置と第２位置とに切換える構成としてもよい。
【００４８】
（５）上記実施形態では、昇降機構２Ｈとして、手回し式のハンドルによって作業者が人為操作で昇降体２０を昇降させるものを説明したが、昇降機構２Ｈの構成はこのようなものに限定されない。例えば、電動モータ等の駆動力により昇降体２０を昇降させるものとしてもよい。
【００４９】
（６）上記実施形態では、保持用台車１に対しては係止体２８を用いない構成としたが、保持用台車１の支持部に係止体２８が係合可能な切欠き部及び係合ピンを設けて、保持用台車１に対しても係止体２８を用いる構成としてもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１        保持用台車（保持体）
２        ハンドリフタ（天井搬送車用運搬装置）
２Ｄ      基台部（移動部）
２Ｈ      昇降機構
２Ｒ      レール部
５        天井搬送車
５Ｗ      車輪
１３      被係合部
１５      保持体側支持部
２５      昇降規制ブロック（昇降規制体）
２５Ｍ    当接部
Ｅ１      第１端部
Ｆ        フック部（係止部）
Ｘ１      第１方向
Ｘ２      第２方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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