(57)【要約】【課題】支持面上に不要物が付着することを極力防止することができる搬送装置および搬送方法を提供すること。【解決手段】搬送対象物ＷＦを支持する支持面２１Ａを有する支持手段２０と、支持面２１Ａを覆うことが可能なカバー手段３０と、支持手段２０およびカバー手段３０を支持して移動させる移動手段５０と、支持面２１Ａがカバー手段３０で覆われる位置と、カバー手段３０で覆われることのない位置との間で、支持手段２０とカバー手段３０とを相対移動させる変位手段６０とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物を支持する支持面を有する支持手段と、
前記支持面を覆うことが可能なカバー手段と、
前記支持手段およびカバー手段を支持して移動させる移動手段と、
前記支持面が前記カバー手段で覆われる位置と、前記カバー手段で覆われることのない位置との間で、前記支持手段とカバー手段とを相対移動させる変位手段とを備えていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記支持面を清掃する清掃手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記清掃手段は、気体を送風する送風手段を備えていることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記清掃手段は、気体を吸引する吸引手段を備えていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記清掃手段は、前記支持面上を掃く掃き取り手段を備えていることを特徴とする請求項２乃至請求項４に記載の搬送装置。
【請求項６】
搬送対象物を支持する支持面を有する支持手段と、
前記支持面を覆うことが可能なカバー手段と、
前記支持手段およびカバー手段を支持して移動させる移動手段と、
前記支持面が前記カバー手段で覆われる位置と、前記カバー手段で覆われることのない位置との間で、前記支持手段とカバー手段とを相対移動させる変位手段とを備えている搬送装置における前記搬送対象物の搬送方法において、
前記支持面が前記カバー手段で覆われた状態の前記支持手段を前記搬送対象物の近傍に配置させる配置工程と、
前記支持面が前記カバー手段で覆われることのない位置へ前記支持手段とカバー手段とを相対移動させることで、前記搬送対象物の被支持面に前記支持面を対向させる対向工程と、
前記支持面で前記搬送対象物を支持して搬送する搬送工程とを有することを特徴とする搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置および搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、搬送対象物を支持する支持面を有する支持手段と、当該支持手段を支持して移動させる移動手段とを備えた搬送装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−９３４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の搬送装置では、ウェーハ４（搬送対象物）を支持するフィンガ部１２（支持手段）の支持面は、常にむき出しとなっているため、当該支持面上に塵埃等の不要物が付着しやすくなり、搬送対象物を支持した際、不要物によって当該搬送対象物を損傷させたり、当該搬送対象物に不要物を付着させたりするという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、支持面上に不要物が付着することを極力防止することができる搬送装置および搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、変位手段を備えたことで、支持手段の支持面がむき出しとなる時間を減少させ、当該支持面上に不要物が付着することを極力防止することができる。
また、清掃手段を備えれば、万が一支持面上に不要物が付着したとしても、当該不要物を除去することができる。
さらに、清掃手段が送風手段を備えれば、簡単な構成で不要物を除去することができる。
また、清掃手段が吸引手段を備えれば、除去した不要物を周囲にまき散らすことを防止することができる。
さらに、清掃手段が掃き取り手段を備えれば、簡単な構成で不要物を除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の一実施形態に係る搬送装置の概略平面図。
【図２】（Ａ）は、図１の搬送装置の断面図。（Ｂ）〜（Ｄ）は、変形例の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）に示すＢＤ方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本発明の搬送装置１０は、搬送対象物としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦを支持する支持面２１Ａを有する支持手段２０と、支持面２１Ａを覆うことが可能なカバー手段３０と、支持手段２０およびカバー手段３０を支持して移動させる移動手段５０と、支持面２１Ａがカバー手段３０で覆われる位置と、カバー手段３０で覆われることのない位置との間で、支持手段２０とカバー手段３０とを相対移動させる変位手段６０と、支持面２１Ａを清掃する清掃手段７０とを備えている。
【００１１】
支持手段２０は、上面がウエハＷＦを支持する支持面２１Ａとされ、前後端部に先尖り部２１Ｂが形成された支持部材２１と、支持面２１Ａに埋没されるように支持された４体の保持手段２２とを備え、変位手段６０を介して移動手段５０上に前後２セット支持されている。
【００１２】
なお、本実施形態における１つ１つの保持手段２２には、気体を送る加圧ポンプやタービン等の送気手段と、気体を引き戻す減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸気手段との両方を備えた図示しない送吸気手段がそれぞれ個別に独立して接続されている。そして、各保持手段２２は、送吸気手段で気体をウエハＷＦの一方の面に沿うように放射状に吹き付けることで、放射状に吹き付けた気体の内部であってウエハＷＦの一方の面との間に減圧領域を形成して当該ウエハＷＦを吸着保持するベルヌーイの定理を利用した吸着（以下、この吸着を「送気吸着」という）と、送吸気手段で気体を吸引することで、減圧を利用した吸着（以下、この吸着を「吸気吸着」という）とができるようになっている。従って、本願発明で言う支持とは、支持面２１Ａを搬送対象物の被支持面に当接させて支持するものの他、支持面２１Ａを搬送対象物の被支持面に当接させることなく支持するものも含む。
また、各支持面２１Ａは、図１の状態で同一の平面内に位置するようになっている。
【００１３】
カバー手段３０は、移動手段５０上に支持されることで、接続口３１Ａと、支持部材２１の出入を許容する開口部３１Ｂと、内部空間３１Ｃとを形成するカバー部材３１を備えている。
【００１４】
移動手段５０は、駆動機器としての多関節ロボット５１と、当該多関節ロボット５１の先端アーム５１Ａにブラケット５２を介して支持されたベース部材５３とを備えている。なお、多関節ロボット５１は、例えば、上記特許文献１に記載された従来の搬送装置の搬送ロボット１１０や、特開２０１６−１７８２４１に記載された搬送装置の多関節ロボット３１等が例示できる。
【００１５】
変位手段６０は、ベース部材５３に支持された駆動機器であって間隔変更手段としてのリニアモータ６１と、そのスライダ６１Ａに支持された支持プレート６２と、支持プレート６２上に支持された駆動機器としての１体の回動モータ６３と、支持プレート６２上に支持された３体の回転軸受６４と、回動モータ６３の出力軸６３Ａおよび、各回転軸受６４に支持された回転軸６４Ａそれぞれに支持された４体の保持ローラ６５とを備え、各保持ローラ６５それぞれの外周部に形成されたＶ溝６５Ａ内に、先尖り部２１Ｂが入り込むことで支持部材２１を保持している。
【００１６】
清掃手段７０は、気体を送風する送風手段７１と、気体を吸引する吸引手段７２と、支持面２１Ａ上を掃く掃き取り手段７３とを備えている。
送風手段７１は、内部空間３１Ｃ内でベース部材５３およびカバー部材３１に支持され、加圧ポンプやタービン等の図示しない加圧手段から送られる気体を噴出する噴出部材７１Ａを備えている。本実施形態の場合、噴出部材７１Ａから噴出される気体の噴出方向は、支持面２１Ａおよび当該支持面２１Ａの反対側の面に対して傾斜し、接続口３１Ａ方向に向かう方向に設定されている。
吸引手段７２は、接続口３１Ａに接続され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段で内部空間３１Ｃ内の気体を吸引する排気ダクト７２Ａと、吸引した気体と共に運ばれてくる不要物を回収するフィルタや除塵袋等の図示しない回収手段とを備えている。
掃き取り手段７３は、開口部３１Ｂ側でベース部材５３およびカバー部材３１に支持され、支持部材２１の内部空間３１Ｃへの出入の際、当該支持部材２１上から不要物を払い落とすブラシ７３Ａを備えている。
【００１７】
以上の搬送装置１０の動作を説明する。
なお、搬送装置１０は、ウエハカセットＷＣ内の上下方向に所定間隔を空けて複数形成された左右一対の桟ＷＣ２上に１枚ずつ載置されたウエハＷＦを、当該ウエハカセットＷＣから取り出して図示しない所定の搬送先に搬送するものとする。
初めに、各部材が図１中実線で示す初期位置に配置されている搬送装置１０に対し、当該搬送装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、ウエハＷＦの直径寸法や厚み寸法等のサイズを入力する。次いで、使用者が自動運転開始の信号を入力すると、清掃手段７０が図示しない加圧手段および図示しない減圧手段を駆動し、噴出部材７１Ａから気体を噴出する（以下、「第１の除塵」という）とともに、排気ダクト７２Ａから内部空間３１Ｃ内の気体を吸引する（以下、「第２の除塵」という）。これにより、もしも支持面２１Ａ上に不要物が付着していたとしても、当該不要物は、第１の除塵によって吹き飛ばされて接続口３１Ａ方向に向かい、第２の除塵によって吸引されて図示しない回収手段で回収される。
【００１８】
その後、搬送装置１０は、支持面２１Ａがカバー手段３０で覆われた状態の支持手段２０をウエハＷＦの近傍に配置させる配置工程を行う。すなわち、移動手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、図１に示すように、上面視でウエハＷＦとカバー手段３０とが重ならないように、開口部３１ＢをウエハカセットＷＣの開口部ＷＣ１に対向させる。このとき、移動手段５０は、搬送の対象となるウエハＷＦの下面よりも下方に支持面２１Ａを配置する。
【００１９】
次いで、搬送装置１０は、支持面２１Ａがカバー手段３０で覆われることのない位置へ支持手段２０とカバー手段３０とを相対移動させることで、ウエハＷＦの被支持面としての下面に支持面２１Ａを対向させる対向工程を行う。すなわち、変位手段６０が回動モータ６３を駆動し、入力されたウエハＷＦのサイズに対応させて各支持部材２１を内部空間３１Ｃ内から所定の長さ分突き出し、支持面２１ＡをウエハＷＦの被支持面に対向させる。
ここで、支持部材２１は、開口部３１Ｂを通過する際、ブラシ７３Ａによって掃かれる（以下、「第３の除塵」という）ので、第１の除塵および、第２の除塵で除去しきれなかった不要物が支持面２１Ａ上に万が一存在していたとしても、当該不要物を支持面２１Ａから取り去ることができる。
なお、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、ウエハＷＦがサイズの小さなウエハＷＦ１のような場合、変位手段６０がリニアモータ６１を駆動し、各支持部材２１を相互に接近させ、図１（Ｂ）に示すように、ウエハＷＦがサイズの大きなウエハＷＦ２のような場合、変位手段６０がリニアモータ６１を駆動し、各支持部材２１を相互に遠ざける。
【００２０】
その後、搬送装置１０は、支持面２１ＡでウエハＷＦを支持して搬送する搬送工程を行う。すなわち、移動手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、支持部材２１を上昇させて支持面２１ＡをウエハＷＦの被支持面に当接させ、当該支持部材２１でウエハＷＦを支持して桟ＷＣ２から浮上させる。次いで、支持手段２０が図示しない送吸気手段を駆動し、保持手段２２でウエハＷＦを吸気吸着または送気吸着した後、移動手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、ウエハＷＦをウエハカセットＷＣ内から取り出す。このとき、支持面２１Ａは、第１第〜第３の除塵が行われているので、支持手段２０が吸気吸着でウエハＷＦを支持した場合でも、不要物が支持面２１ＡとウエハＷＦの被支持面との間に介在することで、当該ウエハＷＦが損傷したり、ウエハＷＦに不要物が付着したりすることはない。また、支持手段２０が送気吸着でウエハＷＦを支持した場合でも、支持面２１Ａ上に付着していた不要物が送気吸着の送気によって舞い上がることで、ウエハＷＦを損傷させたり、当該ウエハＷＦに不要物を付着させたり、不要物を周囲にまき散らしたりすることもない。
【００２１】
その後、移動手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、支持部材２１で支持したウエハＷＦを所定の搬送先に搬送し、当該支持部材２１で支持していない方のウエハＷＦの面（被支持面の反対側の面）を図示しない搬送台の上に当接させる。そして、支持手段２０が図示しない送吸気手段の駆動を停止した後、移動手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、支持部材２１をウエハＷＦから切り離す。その直後に、変位手段６０が回動モータ６３を駆動し、支持部材２１を内部空間３１Ｃ内に引っ込ませ、支持面２１Ａがカバー手段３０で覆われた状態に戻す。ここで、支持部材２１は、上記と同様に開口部３１Ｂを通過する際、第３の除塵が行われるので、先のウエハＷＦの搬送によって不要物が支持部材２１の表面に付着したとしても、当該不要物を支持面２１Ａから取り去ることができる。
次いで、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２２】
以上のような実施形態によれば、変位手段６０を備えたことで、支持部材２１の支持面２１Ａがむき出しとなる時間を減少させ、当該支持面２１Ａ上に不要物が付着することを極力防止することができる。
【００２３】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、カバー手段は、支持面を覆うことが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程も同様でありその説明は省略する）。
【００２４】
支持手段２０は、ウエハＷＦの長さ（Ｘ軸方向の長さ）を検知するカメラ等の撮像手段や光学センサ等の長さ検知手段を備え、当該長さ検知手段の検知結果を基にして、各支持部材２１の内部空間３１Ｃ内からの突き出し量を変更するようにしてもよいし、板状でなく円柱状や角柱状等の他の形状の支持部材２１を採用してもよいし、駆動機器を介して支持面２１Ａが天地反転するように相対回転する支持部材２１を採用してもよいし、１セットでもよいし、３セット以上でもよいし、図１の状態で各支持面２１Ａが同一の平面内に位置していなくてもよい。
保持手段２２は、図示しない送吸気手段が送る気体を大気や単体ガスや複合ガスとしてもよいし、支持部材２１に対して１体だけ備わっていてもよいし、２体以上備わっていてもよく、数に限定されることはないし、吸気吸着のみでウエハＷＦを保持してもよいし、送気吸着のみでウエハＷＦを保持してもよいし、吸気吸着と送気吸着との両方でウエハＷＦを保持してもよいし、吸気吸着と送気吸着とを切り替えてウエハＷＦを保持してもよいし、吸気吸着と送気吸着とを切り替えながらウエハＷＦを保持してもよいし、支持面２１Ａに埋没されていなくてもよいし、当該保持手段２２の保持面が支持面２１Ａと同一平面上に位置していてもよいし、当該保持手段２２の保持面が支持面２１Ａから飛び出していてもよいし、当該保持手段２２の保持面が支持面２１Ａから引っ込んでいてもよいし、１つの送吸気手段に複数接続されていてもよいし、１つの送吸気手段に全てが接続されていてもよいし、例えば、吸着パッドや吸引孔等の吸着保持手段で吸気吸着のみでウエハＷＦを保持する構成でもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、駆動機器等でウエハＷＦを支持するものでもよいし、ウエハＷＦを重力方向下方から支えるだけでよければ、あってもよいし、なくてもよい。
保持手段２２は、ウエハＷＦを支持したときに、ウエハＷＦを保持できない位置にある場合、吸気吸着や送気吸着等のウエハＷＦを保持する保持動作を行ってもよいし、行わなくてもよい。
【００２５】
カバー手段３０は、支持面２１Ａを覆うことができる限り、どのような形状のカバー部材３１を採用してもよく、少なくとも支持面２１Ａを覆うことができればよく、支持部材２１における支持面２１Ａ以外の面は、覆ってもよいし、覆わなくてもよいし、移動手段５０上に支持されることで接続口３１Ａ、開口部３１Ｂおよび内部空間３１Ｃが形成されるのではなく、単独で接続口３１Ａ、開口部３１Ｂおよび内部空間３１Ｃが設けられた構成でもよいし、接続口３１Ａがなくてもよい。
【００２６】
移動手段５０は、多関節ロボット５１として、所謂スカラロボット、６軸ロボット、５軸以下の多関節ロボット、７軸以上の多関節ロボット等何を採用してもよいし、ベース部材５３として、プレート状でなく円柱状や角柱状等、他の形状のものを採用してもよいし、ベース部材を、ブラケット５２を介することなく直接支持していてもよいし、搬送先では、ウエハＷＦの何れの面を図示しない搬送台の上に当接させるようにして受け渡してもよい。
【００２７】
変位手段６０は、１セットでもよいし、３セット以上でもよいし、複数の回動モータ６３のそれぞれの出力軸６３Ａで保持ローラ６５を支持し、複数の保持ローラ６５を回転させて１体の支持部材２１を移動させる構成でもよいし、保持ローラ６５の数を２体、３体または５体以上としてもよいし、図２（Ｂ）に示すように、駆動機器としてのリニアモータ６６のスライダ６６Ａで支持手段２０を支持してもよいし、前記実施形態やリニアモータ６６以外の構成のもので支持手段２０とカバー手段３０とを相対移動させてもよいし、支持手段２０を移動させつつ、または、支持手段２０を静止させておいてカバー手段３０を移動させることで、支持面２１Ａがカバー手段３０で覆われる位置と、カバー手段３０で覆われることのない位置との間で、支持手段２０とカバー手段３０とを相対移動させる構成としてもよいし、支持部材２１をウエハＷＦの被支持面に交差する軸を回転中心として回転移動させることで、支持面２１Ａがカバー手段３０で覆われる位置と、カバー手段３０で覆われることのない位置との間で、支持手段２０とカバー手段３０とを相対移動させる構成としてもよい。
間隔変更手段は、ウエハＷＦの幅（Ｙ軸方向の長さ）を検知するカメラ等の撮像手段や光学センサ等の幅検知手段を備え、当該幅検知手段の検知結果を基にして、各支持部材２１の相互の間隔を変更するようにしてもよいし、１体の駆動機器に備わっている複数のスライダそれぞれで支持部材２１を支持し、それらの相互の間隔を変更してもよいし、本発明の搬送装置１０に備わっていなくてもよい。
【００２８】
清掃手段７０は、噴出部材７１Ａを図１で示す状態のカバー部材３１の前側の面や後ろ側の面等、内部空間３１Ｃを形成する複数の面の内、何れか１つの面または複数の面の何れの面に設けてもよいし、噴出部材７１Ａを１つまたは２つ以上で構成してもよいし、噴出部材７１Ａから噴出される気体の噴出方向を支持面２１Ａおよび当該支持面２１Ａの反対側の面に対して傾斜することなく、例えば、支持面２１Ａに直交する方向や支持面２１Ａと平行な方向としたり、接続口３１Ａ方向に向かうことのない方向としたりしてもよいし、排気ダクト７２Ａを複数で構成してもよいし、排気ダクト７２Ａを内部空間３１Ｃを形成する複数の面の内、何れか１つの面または複数の面の何れの面に設けてもよいし、送風手段７１が送風する気体を大気や単体ガスや複合ガスとしてもよいし、支持部材２１や不要物に帯電している静電気を除去可能なイオンを含んだ気体を送風可能な送風手段７１を採用してもよいし、支持部材２１や不要物に帯電している静電気の極性を検知可能な極性検知手段を設け、当該極性検知手段の結果を基にして、それら支持部材２１や不要物に帯電している静電気の逆の極性を有するイオンを含んだ気体を送風手段７１で送風してもよいし、駆動機器でブラシ７３Ａを移動させ、静止または移動している支持部材２１の支持面２１Ａ上を掃く掃き取り手段７３を採用してもよいし、送風手段７１、吸引手段７２および掃き取り手段７３のうち少なくとも１つで構成されてもよいし、送風手段７１、吸引手段７２および掃き取り手段７３のうち少なくとも１つと併用または併用せずに、例えば、布、スポンジ、ゴム等で支持面２１Ａ上を拭く拭き取り手段を設けてもよく、このような拭き取り手段は、布、スポンジ、ゴム等に水、洗剤、溶剤等を付着させる付着手段を備えていてもよいし、掃き取り手段７３として布、スポンジ、ゴム等で支持面２１Ａを掃く構成のものを採用してもよいし、掃き取り手段７３として支持面２１Ａのみを掃くものを採用してもよいし、本発明の搬送装置１０に備わっていなくてもよい。
【００２９】
本発明の搬送装置は、図２（Ｃ）に示すように、カバー手段３０および移動手段５０の代わりにカバー手段３０Ａおよび移動手段５０Ａが採用された搬送装置１０Ａとしてもよい。このカバー手段３０Ａは、接続口３２Ａと開口部３２Ｂとが形成され、その内部が内部空間３２Ｃとされたカバー部材３２を備えている。また、移動手段５０Ａは、多関節ロボット５１の先端アーム５１Ａに支持されたブラケット５２でカバー部材３２を支持している。この場合も、カバー部材３２は、少なくとも支持面２１Ａを覆うことができればよく、支持部材２１における支持面２１Ａ以外の面は、覆ってもよいし、覆わなくてもよいし、接続口３２Ａがなくてもよい。
【００３０】
本発明の搬送装置は、図２（Ｄ）に示すように、カバー手段３０、移動手段５０および変位手段６０の代わりにカバー手段３０Ｂ、移動手段５０Ｂおよび変位手段６０Ａが採用された搬送装置１０Ｂとしてもよい。このカバー手段３０Ｂは、変位手段６０Ａ上に支持されることで、それぞれに接続口３３Ａと、開口部３３Ｂと、内部空間３３Ｃとを形成する２体のカバー部材３３を備えている。また、移動手段５０Ｂは、多関節ロボット５１と、当該多関節ロボット５１の先端アーム５１Ａにブラケット５４を介して支持されたベース部材５５とを備えている。さらに、変位手段６０Ａは、ベース部材５５に支持された駆動機器であって間隔変更手段としてのリニアモータ６７と、その各スライダ６７Ａにそれぞれ支持された支持プレート６８とを備え、各支持プレート６８上にそれぞれ回動モータ６３および３体の回転軸受６４が支持されている。この場合も、カバー部材３３は、少なくとも支持面２１Ａを覆うことができればよく、支持部材２１における支持面２１Ａ以外の面は、覆ってもよいし、覆わなくてもよいし、変位手段６０Ａ上に支持されることで接続口３３Ａ、開口部３３Ｂおよび内部空間３３Ｃが形成されるのではなく、単独で接続口３３Ａ、開口部３３Ｂおよび内部空間３３Ｃが設けられた構成でもよいし、接続口３３Ａがなくてもよい。
【００３１】
搬送装置１０、１０Ａ、１０Ｂは、支持面２１Ａがカバー手段３０、３０Ａ、３０Ｂで覆われた状態の支持手段２０を、ウエハＷＦの近傍である上面視でウエハＷＦとカバー手段３０、３０Ａ、３０Ｂとが重なる位置に配置させる配置工程を行い、次いで、変位手段６０、６０Ａが支持手段２０を静止させておいてカバー手段３０、３０Ａ，３０Ｂを移動させることで、支持面２１Ａをカバー手段３０、３０Ａ、３０Ｂで覆われることのない位置へ相対移動させ、ウエハＷＦの被支持面に支持面２１Ａを対向させる対向工程を行ってもよいし、支持面２１Ａがカバー手段３０、３０Ａ、３０Ｂで覆われた状態の支持手段２０を、ウエハＷＦの近傍である上面視でウエハＷＦとカバー手段３０、３０Ａ、３０Ｂとが重なる位置に配置させる配置工程を行い、次いで、変位手段６０、６０Ａが支持手段２０とカバー手段３０、３０Ａ、３０Ｂとの両方を移動させることで、支持面２１Ａをカバー手段３０、３０Ａ、３０Ｂで覆われることのない位置へ相対移動させ、ウエハＷＦの被支持面に支持面２１Ａを対向させる対向工程を行ってもよいし、支持手段２０を、ウエハＷＦの近傍に配置させる前に、支持部材２１を予め内部空間３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃ内から所定の長さ分突き出しておいてもよいし、横向きや斜め向きに配置してウエハＷＦを支持してもよいし、例えば、接着シートを貼付するシート貼付装置や接着シートを剥離するシート剥離装置の被着体搬送手段、搬送対象物を研削したり切断したり表面処理したり検査したり、搬送対象物に印字したり印刷したり所定の加工を施したりする各種処理装置の処理対象物を搬送する搬送手段等に採用してもよい。
【００３２】
支持部材２１の内部空間３１Ｃ、３２Ｃ、３３Ｃ内からの突き出し量や、支持部材２１を相互に接近させたり遠ざけたりする距離は、使用者が任意に決定できる。
ウエハＷＦは、ウエハカセットＷＣ内に収納されていなくてもよい。
ウエハＷＦの被支持面は、上面側でもよいし、例えば、当該ウエハＷＦの回路面側でもよいし、回路面の反対側の面でもよいし、回路面に接着シートが貼付された接着シート側でもよく、当該ウエハＷＦの形状、材質、特性、特質、性質、組成、構成、寸法および重量や、その他の要因等に応じて使用者が任意に決定することができる。
【００３３】
本発明における搬送対象物の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、搬送対象物は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、搬送対象物が接着シートの場合、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とだけで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、１層または２層以上のものであってよい。また、搬送対象物としては、板状の部材であってもよいし板状でない部材であってもよく、例えば、食品、各種の容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３４】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
【符号の説明】
【００３５】
１０、１０Ａ、１０Ｂ…搬送装置
２０…支持手段
２１Ａ…支持面
３０、３０Ａ、３０Ｂ…カバー手段
５０、５０Ａ、５０Ｂ…移動手段
６０、６０Ａ…変位手段
７０…清掃手段
７１…送風手段
７２…吸引手段
７３…掃き取り手段
ＷＦ…ウエハ（搬送対象物）
【図１】
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【図２】
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