(57)【要約】      （修正有）【課題】歩留りを高めて製造コストを低減することができるタッチセンシング部、及びそれを含む表示装置を提供。【解決手段】基板上に配置される複数の第１電極ＴＥ１ａ〜ｂ、基板上に配置される複数の第２電極ＴＥ２ａ、ｂ、複数の第１電極のうち、隣接した２つの第１電極の間に各々配置されて複数の第１電極を第１方向に連結する複数の第１連結部２２２ａ及び第１連結部と異なる層に配置され、かつ、複数の第２電極のうち、隣接した２つの第２電極の間に各々配置されて複数の第２電極を第１方向と異なる第２方向に連結する複数の第２連結部２２２ｂを含む。複数の第１連結部のうちの少なくとも１つの第１連結部は、第１配線と、第１配線と所定間隔を置いて配置される第２配線を含み、第１配線と第２配線のうちの少なくとも１つが複数の電極を第１方向に連結するセンシング部、それを含む表示装置、及びその製造方法。【選択図】図３
2018206349.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に配置される複数の第１電極と、
前記基板上に配置される複数の第２電極と、
前記複数の第１電極のうち、隣接した２つの第１電極の間に各々配置され、互いに分離された第１配線と第２配線と、
を含み、
前記第１配線と前記第２配線のうちの少なくとも１つは、隣接した２つの第１電極を第１方向に連結する複数の第１連結部を含む、
センシングユニット。
【請求項２】
前記第１連結部は、前記複数の第１電極と異なる層に形成され、各々隣接した前記２つの第１電極とビアを通じて連結される少なくとも２つの第１配線と、前記第１配線とフローティングされている第２配線を含む、
請求項１に記載のセンシングユニット。
【請求項３】
前記第１配線は、交差する金属領域及び前記交差する金属領域により形成された開口を含む、
請求項１に記載のセンシングユニット。
【請求項４】
第１方向で前記第１配線の長さは、前記第２配線の長さより長い、
請求項１に記載のセンシングユニット。
【請求項５】
前記第１配線の長さは、前記第２配線の長さより短い、
請求項３に記載のセンシングユニット。
【請求項６】
前記隣接した２つの第１電極は、各々電極領域と前記電極領域内に開口を含み、
前記第１配線の開口は、隣接した第１電極の１つ以上の開口と重畳する、
請求項３に記載のセンシングユニット。
【請求項７】
前記隣接した２つの第１電極は、各々電極領域と前記電極領域内に開口を含み、
前記第１配線の前記交差する金属領域は、隣接した第１電極の前記電極領域の一部と重畳する、
請求項３に記載のセンシングユニット。
【請求項８】
前記第１配線は、第１連結パターンを含み、
前記第２配線は、第２連結パターンを含み、
前記第１連結パターンは、前記第１方向で前記第２連結パターンの外周に配置される、
請求項１に記載のセンシングユニット。
【請求項９】
前記第１連結パターンは、複数の開口を定義する交差する金属領域を含む、
請求項８に記載のセンシングユニット。
【請求項１０】
前記第１連結パターンは、Ｌ字に形成された複数の金属領域を含む、
請求項８に記載のセンシングユニット。
【請求項１１】
前記第１連結パターンは、第１金属領域と、前記第１金属領域と平行した第２金属領域、前記第１金属領域と前記第２金属領域と交差する第３金属領域、前記第３金属領域と平行し、前記第１金属領域と前記第２金属領域と交差する第４金属領域を含み、
前記第３金属領域と前記第４金属領域は、前記第１金属領域と前記第２金属領域のうちの少なくとも１つを超えて延長される、
請求項８に記載のセンシングユニット。
【請求項１２】
前記第２連結パターンは、２つのＬ字形態の金属領域を含む、
請求項８に記載のセンシングユニット。
【請求項１３】
前記複数の第１電極のうち、第１電極は、第１電極領域と第２電極領域を含み、
前記第２電極領域は、第１電極領域と分離されている、
請求項１に記載のセンシングユニット。
【請求項１４】
前記複数の第１連結部と異なる層に配置される第２連結部をさらに含み、前記各々の第２連結部は、前記複数の第２電極のうち、隣接した２つの第２電極の間に配置されて前記第１方向と異なる第２方向に前記複数の第２電極が連結されるようにする、
請求項１に記載のセンシングユニット。
【請求項１５】
第１基板と、
前記第１基板上に配置される第２基板を含む表示パネルと、
前記表示パネルに実装されるセンシングユニットと
を含み、かつ、
前記センシングユニットは、
前記第２基板上に配置される複数の第１電極と、
前記複数の第１電極のうち、隣接した２つの第１電極の間に配置され、互いに分離されている第１配線と第２配線と
を含み、
前記第１配線と前記第２配線のうちの少なくとも１つは、各々バーを通じて前記隣接した第１電極を第１方向に連結する、
表示装置。
【請求項１６】
前記第１配線と前記第２配線は、前記複数の第１電極と異なる層に配置され、
前記第１配線は、前記第１配線とフローティングされている、
請求項１５に記載の表示装置。
【請求項１７】
前記センシングユニットは、
前記第２基板上に配置される複数の第２電極と、
前記複数の第１連結部と異なる層に配置される複数の第２連結部と
をさらに含み、
前記各々の第２連結部は、前記複数の第２電極のうち、隣接した２つの第２電極の間に配置されて前記第１方向と異なる方向である第２方向に前記複数の第２電極が連結されるようにする、
請求項１５に記載の表示装置。
【請求項１８】
前記第１配線は、複数の交差する金属領域と前記複数の交差する金属領域により定義される開口を含む、
請求項１５に記載の表示装置。
【請求項１９】
前記第２基板上に配置される少なくとも１つのカラーフィルタをさらに含み、
前記センシングユニットは、前記複数の第１電極の間の少なくとも１つの開口をさらに含み、
前記少なくとも１つの開口は、前記少なくとも１つのカラーフィルタに対応する、
請求項１５に記載の表示装置。
【請求項２０】
基板上に第１金属層を形成するステップと、
パターニングして複数の第１連結部を形成し、かつ前記複数の第１連結部のうちの少なくとも１つの第１連結部は、第１配線と第２配線を含み、前記第１配線と前記第２配線が所定の間隔を有するように形成するステップと、
第１連結部が形成された基板上に絶縁膜を形成するステップと、
前記絶縁膜上に前記第１配線と結合する複数のビアホールを形成するステップと、
前記絶縁膜上に第２金属層を形成するステップと、
前記第１連結部が形成された前記基板上に絶縁膜を蒸着した後、第２金属層を形成しパターニングして複数の第１電極と複数の第２電極を形成し、かつ前記複数の第１電極のうち、隣接した２つの第１電極は、前記第１配線と連結するステップと、
前記複数の第１電極と前記複数の第２電極の連結を検査するステップと、
を含む表示装置の製造方法。
【請求項２１】
前記検査するステップで、第１方向に隣接した２つの第１電極が前記１つの第１連結部に連結されないものとして判断されれば、前記第２配線を用いて隣接する前記２つの第１電極が連結されるようにするステップ
を含む、請求項２０に記載の表示装置の製造方法。
【請求項２２】
基板を含む表示パネルと、
前記表示パネルに実装されるセンシングユニットと
を含み、かつ、
前記センシングユニットは、
前記基板上に配置される複数の第１電極と、
前記複数の第１電極のうち、隣接した２つの第１電極の間に配置され、互いに分離されている第１配線と第２配線と
を含み、
少なくとも一対の第１電極は、少なくとも１つの第１配線または第２配線を通じて連結され、
少なくとも他の一対の隣接した第１電極は、前記第２配線を通じて連結される、
表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本実施形態は、タッチを感知するセンシング部、それを含む表示装置、及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
情報化社会が発展するにつれて、画像を表示するための表示装置に対する要求が多様な形態に増加しており、液晶表示装置（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display Device）、プラズマ表示装置（Plasma Display Device）、有機発光表示装置（ＯＬＥＤ：Organic Light Emitting Display Device）などの種々のタイプの表示装置が活用されている。
【０００３】
また、表示装置は、キーボード、マウスなどの多様な入力装置を通じてユーザの命令の入力を受けて動作できるが、表示装置の画面をタッチして直観的で、かつ便利にユーザの命令が入力できるようにするタッチセンサーを用いてタッチを感知する表示装置が開発されている。タッチセンサーは、表示装置の画面上に配置されており、ユーザが表示装置の画面の特定の地点をタッチすることによって、表示装置は、ユーザの命令の入力を受けるようになることができる。
【０００４】
タッチセンサーは、表示装置の基板上に多数の工程を通じて複数の電極が互いに交差するように形成され、複数の電極に対応して形成された静電容量を感知してタッチ地点を判断することができるようにする。この際、交差する地点で複数の電極は、接触されてはならないが、多数の工程を遂行しながら発生した異物により交差地点で接触が発生するか、または各電極の連結が切れるようになる不良が発生することがあり、このような不良により表示装置を廃棄しなければならないという問題が発生して、歩留まりが低くなり、これによる製造コストの増加が発生する問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本実施形態の目的は、歩留まりを高めて製造コストを低減することができるタッチを感知するセンシング部、それを含む表示装置、及びその製造方法を提供することにある。
【０００６】
本実施形態の他の目的は、タッチ電極の不良を簡単に修理することができるタッチを感知するセンシング部、それを含む表示装置、及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一態様において、本実施形態は、基板上に配置される複数の第１電極、基板上に配置される複数の第２電極、複数の第１電極のうち、隣接した２つの第１電極の間に各々配置されて、複数の第１電極を第１方向に連結する複数の第１連結部、及び第１連結部と異なる層に配置され、かつ複数の第２電極のうち、隣接した２つの第２電極の間に各々配置されて複数の第２電極を第１方向と異なる第２方向に連結する複数の第２連結部を含み、かつ複数の第１連結部のうちの少なくとも１つの第１連結部は、第１配線と、第１配線と所定間隔を置いて配置される第２配線を含み、第１配線と第２配線のうちの少なくとも１つが複数の電極を第１方向に連結するセンシング部を提供するものである。
【０００８】
他の一態様において、本実施形態は、第１基板と、第１基板に対向する第２基板を含む表示パネル；及び表示パネルに実装されるセンシング部を含む表示装置において、センシング部は、第２基板上に配置される複数の第１電極；第２基板上に配置される複数の第２電極、複数の第１電極のうち、隣接した２つの第１電極の間に各々配置されて複数の第１電極を第１方向に連結する複数の第１連結部、及び第１連結部と異なる層に配置され、かつ前記複数の第２電極のうち、隣接した２つの第２電極の間に各々配置されて複数の第２電極を前記第１方向と異なる第２方向に連結する複数の第２連結部を含み、かつ複数の第１連結部のうち、少なくとも１つの第１連結部は、第１配線と、第１配線と所定間隔を置いて配置される第２配線を含み、第１配線と第２配線のうちの少なくとも１つが複数の電極を第１方向に連結する表示装置を提供するものである。
【０００９】
他の一態様において、本実施形態は、基板上に第１金属層を形成し、パターニングして複数の第１連結部を形成し、かつ複数の第１連結部のうちの少なくとも１つの第１連結部は、第１配線と第２配線を含み、第１配線と第２配線が所定の間隔を有するように形成するステップ、第１連結部が形成された基板上に絶縁膜を蒸着した後、第２金属層を形成し、パターニングして複数の第１電極と複数の第２電極を形成し、かつ複数の第１電極のうち、隣接した２つの第１電極は、第１配線と連結するステップ、及び隣接した２つの第１電極と前記１つの第１連結部の連結を検査するステップを含む表示装置の製造方法を提供するものである。
【発明の効果】
【００１０】
本実施形態によれば、歩留まりを高めて製造コストを低減することができるタッチパネル、タッチ電極を含む表示装置、及びそれを製造する方法を提供することができる。
【００１１】
本実施形態によれば、タッチ電極の不良を簡単に修理することができるタッチパネル、タッチ電極を含む表示装置、及びそれを製造する方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態に係る表示装置の一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１に図示された表示装置で採用したセンシング部の一実施形態を示す平面図である。
【図３】本発明に従うセンシング部の第２実施形態を示す平面図である。
【図４】図３に図示されたセンシング部の断面を示す断面図である。
【図５】本発明に従うセンシング部の第３実施形態を示す平面図である。
【図６】図５に図示されたセンシング部における電極パターンとフローティングパターンを説明するための概念図である。
【図７】図５に図示されたセンシング部に採用された第１連結部の第１実施形態を示す平面図である。
【図８】図５に図示されたセンシング部に採用された第１連結部の第２実施形態を示す平面図である。
【図９】図５に図示されたセンシング部に採用された第１連結部の第３実施形態を示す平面図である。
【図１０】図５に図示されたセンシング部に採用された第３連結部と電極パターンを示す平面図である。
【図１１】図１に図示された有機発光表示装置に採用された画素の構造を示す回路図である。
【図１２】本実施形態に係るセンシング部を含む表示装置の第１実施形態を示す断面図である。
【図１３】本実施形態に係るセンシング部を含む表示装置の第２実施形態を示す断面図である。
【図１４】本実施形態に係る表示装置の製造方法の第１実施形態を示す順序図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一部の実施形態を例示的な図面を通じて詳細に説明する。各図面の構成要素に参照符号を付加するに当たって、同一な構成要素に対しては、たとえ他の図面上に表示されてもできる限り同一な符号を有することができる。また、本発明を説明するに当たって、関連した公知構成または機能に対する具体的な説明が本発明の要旨を曖昧にすることがあると判断される場合には、その詳細な説明は、省略する。
【００１４】
また、本発明の構成要素を説明するに当たって、第１、第２、Ａ、Ｂ、（ａ）、（ｂ）などの用語を使用することができる。このような用語は、その構成要素を他の構成要素と区別するためのものであり、その用語により当該構成要素の本質や回順序または順序などが限定されない。ある構成要素が他の構成要素に“連結”、“結合”、または“接続”されると記載された場合、その構成要素は、その他の構成要素に直接的に連結、または接続できるが、各構成要素の間に更に他の構成要素が“連結”、“結合”、または“接続”されることもできると理解されるべきである。
【００１５】
図１は、本実施形態に係る表示装置の一実施形態を示す断面図である。
【００１６】
図１を参照すると、表示装置１００は、第１基板１１０、第１基板１１０上に蒸着されて光を発光する有機膜１３０、及び第１基板１１０上に蒸着されている有機膜１３０を保護する第２基板１２０を含むことができる。また、第２基板１２０の上部にセンシング部１４０が配置できる。第２基板１２０は、シーリング材（図示せず）により第１基板１１０と合着されて有機膜１３０をシーリングすることができるので、シーリング基板と称することができる。
【００１７】
第１基板１１０は、複数の画素回路（図示せず）及び画素回路と連結されている有機膜１３０を含み、各画素回路は、複数のトランジスタ（図示せず）、キャパシタ（図示せず）などの素子が形成され、選択的に電流を有機膜１３０に伝達して有機膜１３０で光が発光できるようにすることができる。しかしながら、これに限定されるものではなく、第１基板１１０上に複数の画素回路が形成されているものでありうる。また、第１基板１１０は、絶縁材質または金属材質からなることができる。有機膜１３０は、光を発光する発光領域に対応して形成できる。
【００１８】
第２基板１２０は、第１基板１１０と対向し合着されて、水分または異質物から有機膜１３０を保護することができる。第２基板１２０の厚さは、５μｍ以上であって、絶縁材質からなることができる。第２基板１２０の上部には、タッチ位置を感知するセンシング部１４０が配置できる。ここで、センシング部１４０は、表示装置と区分される別途のタッチパネルを含むことができる。また、センシング部１４０は、第２基板１２０上に形成されたタッチ電極を含むことができる。即ち、センシング部１４０は、タッチを感知するための別途のタッチパネルが第２基板１２０上に形成されるものだけでなく、第２基板１２０上にタッチ電極を形成して有機発光表示装置１００にタッチ電極が実装されることを含むことができる。これによって、有機発光表示装置１００の厚さを薄く具現することができる。しかしながら、タッチ電極の位置は、これに限定されるものではない。センシング部１４０は、第２基板１２０と区別される要素として図示されているが、これに限定されるものではなく、例えばセンシング部１４０と第２基板１２０は、少なくとも部分的に互いに統合できる。そして、タッチパネルを含むセンシング部１４０は、表示装置１００に統合または内蔵できる。本実施形態において、第２基板１２０は、センシング部１４０の一部分であるものとして説明できる。
【００１９】
有機膜１３０は、各画素回路から駆動電流の供給を受けて駆動電流の伝達を受けて光を発光することができる。有機膜１３０は、各画素別に独立的に形成できる。そして、有機膜により発光する複数の発光領域が第１基板１１０上に配置できる。また、有機膜１３０は、有機発光ダイオードの複数の有機化合物層でありうる。有機発光ダイオードは、アノード電極、カソード電極、及びこれらの間に形成された有機化合物層を含む。有機化合物層は、正孔注入層（hole Injection Layer、ＨＩＬ）、正孔輸送層（Hole Transport Layer、ＨＴＬ）、発光層（Emission Layer、ＥＭＬ）、電子輸送層（Electron Transport Layer、ＥＴＬ）、及び電子注入層（Electron Injection Layer、ＥＩＬ）を含むことができる。そして、画素回路の動作によりアノード電極とカソード電極に駆動電圧が印加されれば、正孔輸送層（ＨＴＬ）を通過した正孔と電子輸送層（ＥＴＬ）を通過した電子が発光層（ＥＭＬ）に移動して励起子を形成し、その結果、発光層（ＥＭＬ）で可視光を発生させることができるようになる。
【００２０】
ここで、表示装置は、有機発光表示装置であるものとして図示されているが、液晶表示装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）であって、これに限定されるものではない。
【００２１】
図２は、図１に図示された表示装置で採用したセンシング部の一実施形態を示す平面図である。
【００２２】
図２を参照すると、センシング部１４０は、第２基板１２０、複数の電極ＴＥ１、ＴＥ２を含むことができる。複数の電極ＴＥ１、ＴＥ２は、タッチ駆動信号の伝達を受けるタッチ駆動電極、例えばＴＥ１と、タッチ駆動信号に対応するタッチ感知電極、例えばＴＥ２を含むことができる。複数の電極ＴＥ１、ＴＥ２は、第１連結部２２２により行方向／第１方向２５０に連結されて複数の電極行をなす第１電極ＴＥ１と、第２連結部２２４により列方向／第２方向２６０に連結されて複数の電極列をなす第２電極ＴＥ２を含むことができる。複数の電極が、ここでは４×３形態に配置されているものを図示しているが、これに限定されるものではない。
【００２３】
第１電極ＴＥ１は、タッチ駆動信号の伝達を受けることができ、第２電極ＴＥ２は、タッチ駆動信号に対応するタッチ感知信号を伝達することができる。第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２は、第２基板１２０上で同一なレイヤに形成できる。しかしながら、これに限定されるものではない。
【００２４】
各第１連結部２２２は、１つの第１電極ＴＥ１が他の隣接した第１電極ＴＥ１と連結されるようにし、各第２連結部２２４は、１つの第２電極ＴＥ２が他の隣接した第２電極ＴＥ２と連結されるようにすることができる。第１連結部２２２と第２連結部２２４は、互いに交差するようになるが、第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２が直接的に連結されないようにするために、第１電極ＴＥ１を連結する第１連結部２２２は、第１電極ＴＥ１及び第２電極ＴＥ２と異なる層に形成され、ビアを通じて第１電極ＴＥ１と第１連結部２２２が連結できる。第２電極ＴＥ２を連結する第２連結部２２４は、第１電極ＴＥ１及び第２電極ＴＥ２と同一な層に形成されて同一な層で第２電極ＴＥ２が連結されるようにすることができる。
【００２５】
図２を参照すると、第１連結部２２２と第２連結部２２４は、必ず第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２のサイズと比例関係で図示されておらず、第１連結部２２２と第２連結部２２４は、第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２に比べて相対的に小さい。
【００２６】
また、第１電極ＴＥ１及び第２電極ＴＥ２は、導電性を有する金属層をパターニングして形成することができる。また、第１電極ＴＥ１及び第２電極ＴＥ２は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）のような透明物質で形成できる。また、パターニングされた第１電極ＴＥ１及び第２電極ＴＥ２は、メッシュ（Mesh）形態に形成された電極パターンを含むことができ、第１電極ＴＥ１及び第２電極ＴＥ２は、複数の開口部を含むことができる。ＩＴＯ電極からなる第１電極ＴＥ１及び第２電極ＴＥ２、または第１電極ＴＥ１及び第２電極ＴＥ２に含まれた複数の開口部を通じて表示装置から放出された光が第１電極ＴＥ１及び第２電極ＴＥ２を透過するか、または複数の開口部を通じて外部に放出できる。
【００２７】
メッシュ形態に形成された第１電極ＴＥ１及び第２電極ＴＥ２のパターンをタッチ電極配線と称することができる。そして、第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２は、駆動する駆動信号がタッチ電極に印加されるようにする駆動ライン２２１ａと、タッチ電極で感知したタッチに対応して生成されるセンシング信号が伝達されるようにするセンシングライン２２１ｂと連結できる。駆動ライン２２１ａとセンシングライン２２１ｂをタッチ配線と称することができる。
【００２８】
図３は、図２に図示されているセンシング部の領域Ａを拡大して図示した平面図である。
【００２９】
図３を参照すると、センシング部１４０は、基板上に配置される複数の第１電極ＴＥ１、基板上に配置される複数の第２電極ＴＥ２、複数の第１電極ＴＥ１のうち、隣接した２つの第１電極ＴＥ１ａ、ＴＥ１ｂの間に各々配置されて複数の第１電極ＴＥ１を第１方向２５０に連結する複数の第１連結部２２２、及び複数の第１連結部２２２と異なる層に配置され、かつ複数の第２電極ＴＥ２のうち、隣接した２つの第２電極ＴＥ２ａ、ＴＥ２ｂの間に各々配置されて複数の第２電極ＴＥ２を第１方向２５０と異なる第２方向２６０に連結する複数の第２連結部２２４を含むことができる。複数の第１連結部２２２と複数の第２連結部２２４は、各々交差できるが、互いに異なる層に配置されて物理的に連結されていないようになる。したがって、センシング部３４０は、第１電極ＴＥ１ａ、ＴＥ１ｂと第２電極ＴＥ２ａ、ＴＥ２ｂとは互いに物理的に連結されていないので、第１電極ＴＥ１ａ、ＴＥ１ｂと第２電極ＴＥ２ａ、ＴＥ２ｂにより容量性結合が発生し、容量性結合の静電容量の変化を感知してタッチを認識することができる。
【００３０】
また、センシング部１４０は、複数の第１連結部２２２のうちの少なくとも１つの第１連結部２２２は、第１配線２２２ａと、第１配線２２２ａと所定間隔を置いて配置される第２配線２２２ｂを含むことができる。したがって、複数の電極を形成する過程で第１連結部２２２の第１配線２２２ａが切れるようになっても第２配線２２２ｂにより複数の第１電極ＴＥ１が連結されて第１電極ＴＥ１が第１方向２５０に連結されるようになることができる。この際、第１配線２２２ａと第２配線２２２ｂは、同時に隣接した第１電極ＴＥ１ａ、ＴＥ１ｂの間に連結されることができ、第１配線２２２ａまたは第２配線２２２ｂのうち、いずれか１つのみ隣接した第１電極ＴＥ１ａ、ＴＥ１ｂの間に連結された後、検査工程を通じて第１配線２２２ａまたは第２配線２２２ｂが隣接した第１電極ＴＥ１ａ、ＴＥ１ｂの間に不良が発生したと判断されれば、連結されないように設計された第１配線２２２ａまたは第２配線２２２ｂを連結するようにして、第１電極ＴＥ１が連結されるようにすることができる。
【００３１】
また、複数の第２連結部２２４のうちの少なくとも１つの第２連結部２２４は、第１配線２２４ａと、第１配線２２４ａと所定間隔を置いて配置される第２配線２２４ｂを含むことができる。そして、第１配線２２４ａまたは第２配線２２４ｂのうちの１つを連結して、第２電極ＴＥ２が第２方向２６０に連結されるようにした後、検査を行い、検査した結果、連結されていないと判断されれば、第１配線２２４ａまたは第２配線２２４ｂを用いて第２電極ＴＥ２ａ、ＴＥ２ｂが第２方向２６０に連結されるようにすることができる。
【００３２】
ここで、第１電極ＴＥ１ａ、ＴＥ１ｂと第２電極ＴＥ２ａ、ＴＥ２ｂは、正四角形形態であるものとして図示されているが、これに限定されるものではない。
【００３３】
図４は、図３に図示されたセンシング部のＩ−Ｉ’断面を示す断面図である。
【００３４】
図４を参照すると、センシング部は、基板１２０上に第１金属層を形成しパターニングして、第１連結部４２２を形成する。この際、第１連結部４２２は、図３に図示したように、第１配線及び第２配線を含むことができる。ここで、基板１２０は、図１に図示した第２基板１２０でありうる。しかしながら、これに限定されるものではない。
【００３５】
そして、第１連結部２２２が配置されている基板１２０上に第１絶縁膜４２３を形成し、既に設定された位置にビアホールが形成されるようにすることができる。そして、第１絶縁膜４２３が形成された基板１２０上に第２金属層をパターニングして複数の電極を形成することができる。複数の電極は、第１電極ＴＥ１（ＴＥ１ａ、ＴＥ１ｂ）と第２電極ＴＥ２を含むことができる。ビアホールを通じてビアＶ１、Ｖ２が形成され、対応するビアＶ１、Ｖ２を通じて隣接した第１電極ＴＥ１ａ、ＴＥ１ｂが連結できる。この際、第２電極ＴＥ２は、第２連結部を通じて連結できる。そして、その上部に第２絶縁膜４２４を形成することができる。
【００３６】
上記のようにセンシング部が基板１２０上に構成される時、第２金属層をパターニングして複数の電極を形成した後、後検査工程を遂行してセンシング部に不良が発生したか否かを判断することができる。不良は、第１連結部２２２が形成された後、追って工程中に発生した異物などによりビアが形成されなくて、少なくとも１つの隣接した第１電極が第１連結部２２２と連結されないようになったものでありうる。また、不良は、異物により第２電極ＴＥ２が第１連結部２２２と連結されるようになるものでありうる。
【００３７】
検査を行って不良が発生したと判断されれば、図４に第１連結部２２２と分離されていないと見える第２配線２２２ｂを用いてリペア（repair）を進行するようにすることができる。修理が進行された後、また検査することができる。したがって、第１連結部２２２の第２配線２２２ｂを通じて修理を簡単にすることができるので、センサー部の歩留まりを高めることができるので、製造コストを低減することができる。
【００３８】
図５は、図２に図示されたタッチ電極のうち、第１電極と第２電極を含むセンシング部の第１実施形態を示す平面図である。
【００３９】
図５を参照すると、センシング部１４０は、横方向に第１電極ＴＥ１が配置され、縦方向に第２電極ＴＥ２が配置できる。そして、水平方向／第１方向２５０に配置される２つの第１電極ＴＥ１と垂直方向／第２方向２６０に配置され、２つの第１電極ＴＥ１と交差する２つの第２電極ＴＥ２を１つの独立的なサブセンシングユニットＳＵと判断することができる。第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２は、複数の電極パターンが互いに交差して開口部（図示せず）を含むことができる。
【００４０】
また、第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２は、各々複数のフローティングパターン５１０を含むことができる。ここで、フローティングパターン５１０が形成されている部分は、空白で表示されているが、これは区分のためのものであって、空白で表示されている部分やはり電極パターンが交差する。また、フローティングパターン５１０は、第１電極または第２電極ＴＥ２の一領域に交差する形態に配置されている電極パターンのうち、切れている部分を意味する。また、第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２は、互いに隣接した領域で噛み合った形態でありうる。また、図面で第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２は、当接しているものとして図示されているが、これは図面上に表示されていない間隔で離隔している。これで、第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２は、互いに当接していないので、容量性結合をすることができ、第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２が互いに隣接した面をより長く具現することができるので、第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２との間の静電容量のサイズをより大きく具現することができる。また、互いに異なる第２電極ＴＥ２は、互いに延長されて連結されているが、下部の異なる層に配置されている第１連結部を通じて互いに異なる第２電極ＴＥ２が連結できる。
【００４１】
図６は、図５に図示されたセンシングサブユニットＳＵで電極領域とフローティング電極領域を説明するための概念図である。
【００４２】
図６を参照すると、電極６００は、複数の電極パターン６０１、６０２により形成され、互いに交差することができる。電極６００は、電極パターン６０１、６０２が開口部６０３を囲むようにすることができる。したがって、電極領域６０１、６０２は、メッシュ形状が含まれることができる。また、表示装置１００から放出される光は、開口部６０３を通じて外部に伝達できる。また、電極６００は、互いに交差する電極パターンを含み、異なる電極パターンと短絡地点で切れていることがあるフローティング電極領域６１０を含むことができる。フローティング電極領域６１０は、電極パターン６０１、６０２と連結されていないので、フローティング状態でありうる。
【００４３】
電極６００は、センシング部１４０の下部に配置されている表示装置１００内のカソード電極（図示せず）などと容量性結合をすることができる。カソード電極と容量性結合をするようになれば、電極パターン６００に流れる信号によりカソード電極の電圧が揺れるか、またはカソード電極の電圧の変化により電極パターン６００に流れる信号が歪曲される問題が発生することがある。しかしながら、電極６００がフローティング電極領域６１０を含めば、フローティング電極領域６１０には電圧が印加されていないので、フローティング電極領域６１０により電極６００がカソード電極に対応する面積が減少するようになることができる。これで、電極６００とカソード電極との間の容量性結合のサイズが非常に小さくて、タッチ誤動作または表示装置の誤動作が発生することを抑制することができる。
【００４４】
図７は、図５に図示されたセンシング部に採用された電極領域の第１実施形態を示す平面図である。
【００４５】
図７を参照すると、第１電極ＴＥ１は、電極領域７１１と、電極領域７１１により定義される開口７１０を含むことができる。金属層をパターニングすることによって形成される第１連結部（図示せず）の連結パターン１７２２ａ、１７２２ｂ、２７２２は、第１電極ＴＥ１と関連できる。ここで、連結パターン１７２２ａ、１７２２ｂ、２７２２は、電極領域７１１の第１電極ＴＥ１と互いに異なる層に形成され、電極領域７１１の一部と１つの投影面で重畳するものとして図示されている。これを図面に表示するために、連結パターン１７２２ａ、１７２２ｂ、２７２２と電極領域７１１が重畳した部分は、濃い色で表示し、電極領域７１１のみ形成されている部分は薄い色で表示した。また、連結パターン１７２２ａ、１７２２ｂ、２７２２と電極領域７１１は、ビア（図示せず）を通じて互いに特定の地点で連結できる。
【００４６】
連結パターン１７２２ａ、１７２２ｂ、２７２２と、連結パターン１７２２ａ、１７２２ｂ、２７２２により形成された開口部７１３は、図２から図４に図示された第１連結部２２２の一部でありうる。例えば、連結パターン１７２２ａ、１７２２ｂは、図３の第１配線２２２ａの一部であり、連結パターン２７２２は、図３の第２連結配線２２４の一部でありうる。本明細書の記載において、連結パターン１７２２ａ、１７２２ｂは、第１連結パターン１７２２及び／又は第１配線１７２２と称されることができ、連結パターン２７２２は、第２連結パターン２７２２及び／又は第２配線２７２２と称されることができる。しかしながら、発明の範囲がこれに制限されるものではない。
【００４７】
一実施形態において、連結パターン１７２２ａ、１７２２ｂ、２７２２は、第１配線１７２２ａ、１７２２ｂと第２配線２７２２を含むことができる。例えば、第１連結パターン／配線１７２２ａ、１７２２ｂは、各々少なくとも２つの並んでいる金属領域（第１及び第２金属領域７２６）と交差する少なくとも他の１つの金属領域（第３金属領域）を含むことができる。例えば、第４金属領域７２６は、第３金属領域７２６と平行に配置され、第１金属領域及び第２金属領域７２６と交差することができる。第３金属領域及び第４金属領域７２６は、第１金属領域及び第２金属領域のうちの少なくとも１つを超えて延長されて、第１連結パターン１７２２は透明面でＬ形状を含むことができる。
【００４８】
一実施形態において、第２配線２７２２は、少なくとも１つの連結パターンが第１配線１７２２ａ、１７２２ｂの内側に配置されているものであるか、または少なくとも１つのＬ形状及び／又は四角形形状を有する金属領域７３０でありうる。金属領域７３０は、第１電極ＴＥ１の電極領域７１１と重畳できる。しかしながら、これに限定されるものではない。ここで、第１配線１７２２ａ、１７２２ｂと第２配線２７２２は、互いに連結されていないものとして図示されているが、これに限定されるものではなく、第１配線１７２２ａ、１７２２ｂと第２配線２７２２は、特定の地点で連結できる。
【００４９】
連結パターン１７２２、２７２２は、一部の電極パターンと重畳しているので、電極領域７１１により形成された開口７１０は、連結パターン１７２２ａ、１７２２ｂ、２７２２に遮られなくて、連結パターン１７２２ａ、１７２２ｂ、２７２２により表示装置１００の開口率が落ちることを防止することができる。また、第１配線／連結パターン１７２２ａ、１７２２ｂ及び第２配線／連結パターン２７２２のうち、第１配線１７２２ａ、１７２２ｂは、少なくとも２つの並んでいる連結パターンと、２つの並んでいる連結パターンと交差する少なくとも他の１つの連結パターンを含んでいるので、連結パターンのうち、第１配線１７２２ａ、１７２２ｂが形成されている領域と電極パターンとの間の静電容量のサイズが均一に維持できるので、タッチ感度が落ちないようになることができる。
【００５０】
また、第１配線１７２２ａ、１７２２ｂに対する連結パターンは、左側と右側に２部分に区分されているものとして図示されているが、これに限定されないで連結されていることも可能である。
【００５１】
図８は、図５に図示されたセンシング部に採用された第１連結部の第２実施形態を示す平面図であり、図９は、図５に図示されたセンシング部に採用された第１連結部の第３実施形態を示す平面図である。
【００５２】
図８を参照すると、第１連結部２２２は、外郭に第１配線１８２２ａ、１８２２ｂが配置され、第１配線１８２２ａ、１８２２ｂの内部に第２配線２８２２が配置できる。第１配線１８２２ａ、１８２２ｂは、金属層をパターニングして複数の配線が交差して開口部が形成され、第１配線１８２２ａ、１８２２ｂの中央に折った部分（８３４）が存在することができる。そして、第１配線１８２２ａ、１８２２ｂは、パターニングされて左側（１８２２ａ）と右側（１８２２ｂ）の２部分に区分されているものとして図示されているが、これに限定されるものではなく、互いに連結されて１つのパターンとして認識することもできる。そして、第１配線１８２２ａ、１８２２ｂの内部に配置されている第２配線２８２２は、パターンになっていないので、開口部が別途に形成されていないものとして図示されているが、これに限定されるものではない。
【００５３】
また、第１配線１８２２ａ、１８２２ｂと第２配線２８２２は、互いに連結されていないものとして図示されているが、これに限定されるものではなく、互いに連結されていることも可能である。また、第１配線１８２２ａ、１８２２ｂが第２配線２８２２の外郭部に形成されて第１配線１８２２ａ、１８２２ｂの長さは、第２配線２８２２の長さより長くなることができる。
【００５４】
図９を参照すると、第１連結部２２２は、外郭に第２配線２９２２ａ、２９２２ｂが配置され、第２配線２９２２ａ、２９２２ｂの内部に第１配線１９２２ａ、１９２２ｂが配置できる。第１配線１９２２ａ、１９２２ｂは、金属層をパターニングして複数の配線が交差して開口が形成され、第１配線１９２２ａ、１９２２ｂの中央に折った部分が存在することができる。そして、第１配線は、１９２２ａ、１９２２ｂと第２配線２９２２ａ、２９２２ｂは、各々パターニングされて左側（１９２２ａ、２９２２ａ）と右側（１９２２ｂ、２９２２ｂ）の２部分に区分されているものとして図示されているが、これに限定されるものではなく、互いに連結されて１つのパターンとして認識することもできる。そして、第１配線１９２２ａ、１９２２ｂの外郭に配置されている第２配線２９２２ａ、２９２２ｂは、パターンになっていないので、開口が別途に形成されていないものとして図示されているが、これに限定されるものではない。また、第１配線１９２２ａ、１９２２ｂが第２配線２９２２ａ、２９２２ｂの内部に形成されて第１配線１９２２ａ、１９２２ｂの長さは第２配線２９２２ａ、２９２２ｂの長さより短いことがある。
【００５５】
図１０は、図５に図示されたセンシング部に採用された第３連結部と電極パターンを示す平面図である。
【００５６】
図１０を参照すると、電極１０００は、各々複数の電極パターン１０１１が交差して互いに電気的に連結できる。しかしながら、電極パターン１０１１が切れている場合、例えば図２に図示されている第１電極ＴＥ１と第２電極ＴＥ２との間の静電容量がより小さくなる問題点がある。このような場合に、２つの切れた地点ＣＰを有する切れた電極パターン１０１１ａは、第３連結部１１００を用いて連結することができる。例えば、第３連結部１１００は、切れた電極パターン１０１１ａの２つの連結されていない領域を連結することができる。
【００５７】
図１１は、図１に図示された有機発光表示装置に採用された画素の構造を示す回路図である。
【００５８】
図１１を参照すると、画素は、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）及び画素回路７０１を含むことができる。画素回路１１０１は、第１及び第２トランジスタＭ１、Ｍ２及びキャパシタＣ１を備えて有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）に流れる電流を制御することができる。ここで、第１トランジスタＭ１は、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）に流れる電流を駆動する駆動トランジスタでありうる。そして、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）のカソード電極に印加される低電位電圧（ＥＶＳＳ）は、接地でありうる。しかしながら、これに限定されるものではない。
【００５９】
第１トランジスタＭ１は、第１電極が高電位電圧（ＥＶＤＤ）が印加される高電位電圧線ＶＬに連結され、第２電極が有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）のアノード電極に連結され、ゲート電極は、第１ノードＮ１に連結できる。そして、第１トランジスタＭ１は、第１電極とゲート電極の電圧差に対応して第１電極から第２電極方向に駆動電流が駆動されるようにすることができる。
【００６０】
第２トランジスタＭ２の第１電極は、データ信号に対応するデータ電圧（Ｖｄａｔａ）が印加されるデータラインＤＬに連結され、第２電極は、第１ノードＮ１に連結され、ゲート電極は、ゲートラインＳに連結できる。第２トランジスタＭ２は、ゲートラインＳを通じて伝達されるゲート信号の電圧に対応してデータラインＤＬを通じて伝達されるデータ信号に対応するデータ電圧（Ｖｄａｔａ）を第１ノードＮ１に伝達することができる。
【００６１】
キャパシタＣ１は、第１ノードＮ１と第２ノードＮ２との間に連結され、第１ノードＮ１と第２ノードＮ２との間の電圧を維持して第１トランジスタＭ１のゲート電極に印加される電圧が維持されるようにすることができる。有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）のカソード電極に印加される低電位電圧（ＥＶＳＳ）が揺れれば、第１ノードＮ１と第２ノードＮ２との間の電圧差が一定に維持できなくなって、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）に流れる電流の量に変化が発生する問題点が生じることがある。
【００６２】
上記の第１トランジスタＭ１及び第２トランジスタＭ２の第１電極は、ドレイン電極であり、第２電極は、ソース電極でありうる。しかしながら、これに限定されるものではない。また、各トランジスタは、ＮＭＯＳトランジスタとして図示されているが、これに限定されるものではなく、ＰＭＯＳトランジスタでもある。また、ここに図示された画素回路は、例示的なものであり、これに限定されるものではない。
【００６３】
図１２は、本実施形態に係るセンシング部を含む表示装置の第１実施形態を示す断面図であり、図１３は、本実施形態に係るセンシング部を含む表示装置の第２実施形態を示す断面図である。
【００６４】
センシング部ＴＥ、例えば、第１電極ＴＥ１及び／又は第２電極ＴＥ２は、図１に図示された表示装置１００に実装または設置できる。ここで、表示装置は、有機発光ダイオードを用いた有機発光表示装置であって、センシング部ＴＥが表示装置に実装される場合、センシング部は、第２基板ＥＮＣＡＰとディスプレイカバー（COVER）との間に位置することができる。また、センシング部ＴＥは、複数の電極パターンからなる多数の電極と多数の信号ラインでありうる。また、図１２に図示されているように、センサー部ＴＥが第２基板ＥＮＣＡＰ上に配置されることがあり、図１３に図示されているように、センサー部ＴＥがオーバーコート層ＯＣ上に配置できる。即ち、センサー部ＴＥが別途のタッチパネルを利用せず、表示装置に実装できる。
【００６５】
図１２を参照すると、センシング部ＴＳＰが第２基板ＥＮＣＡＰ上に形成され、センシング部ＴＥ上にオーバーコート層ＯＣが形成できる。そして、オーバーコート層ＯＣ上にセンシング部の電極パターンに対応する位置にブラックマトリックスＢＭが配置され、ブラックマトリックスＢＭの上部にカラーフィルタＣＦが配置できる。カラーフィルタＣＦ上にディスプレイカバー（図示せず）が配置できる。
【００６６】
前述したように、第２基板ＥＮＣＡＰ上にタッチ電極ＴＥを形成することによって、ディスプレイ性能及びディスプレイのための層の形成に大きい影響を与えず、タッチ電極ＴＥを形成することができる。
【００６７】
一方、相互静電容量方式のタッチセンシング方式の場合、複数の電極ＴＥのうち、駆動電極間の連結及び／又はセンシング電極間の連結のための連結部が存在することができるが、このような連結部は、タッチ電極ＴＥとは絶縁層を挟んで他の層に存在することができる。
【００６８】
図１２で、説明の便宜のために、タッチ電極ＴＥと連結部ＢＰとの間の絶縁層と、連結部ＢＰは、図示していない。
【００６９】
一方、図１２を参照すると、表示装置１２００は、第２基板ＥＮＣＡＰの下に有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）のカソード（Cathode）が存在することができる。
【００７０】
第２基板ＥＮＣＡＰの厚さ（Ｔ）は、一例に、５マイクロメートル以上でありうる。
【００７１】
前述したように、第２基板ＥＮＣＡＰの厚さを５マイクロメートル以上に設計することによって、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）のカソード（Cathode）とタッチ電極ＴＥとの間に形成される寄生キャパシタンスを減らすことができる。これによって、寄生キャパシタンスによるタッチ感度の低下を防止することができる。
【００７２】
一方、タッチ電極ＴＥがオープン領域（ＯＡ）があるメッシュタイプの電極金属ＥＭとなっている時、垂直方向から見ると、各オープン領域（ＯＡ）の各々の位置は、１つまたは２つ以上のサブピクセルまたはその発光部の位置と対応できる。
【００７３】
したがって、図１２に図示したように、多数のオープン領域（ＯＡ）は、多数のカラーフィルタＣＦと対応できる。
【００７４】
前述したように、有機発光表示装置において、ホワイトＯＬＥＤを用いる場合などに必要なカラーフィルタＣＦをオープン領域（ＯＡ）に対応させて配置することによって、優れる発光性能を有する表示装置１００を提供することができる。
【００７５】
カラーフィルタＣＦとタッチ電極ＴＥとの間の垂直位置関係を説明すると、次の通りである。
【００７６】
前述したことによれば、発光性能などのディスプレイ性能とタッチ性能を考慮して、カラーフィルタＣＦとタッチ電極ＴＥとの間の最適の位置関係を有するタッチ表示装置１００を提供することができる。
【００７７】
一方、タッチ表示装置１００の製作便利性の向上及びサイズ縮小などのために、センシングユニットのタッチ電極ＴＥからなるタッチパネルＴＳＰを表示パネル１１０に内蔵するための試みが従来にもなされている。
【００７８】
しかしながら、表示装置１００にセンサー部ＴＳＰを内蔵するためには、相当な難しさや多くの制約事項がある。仮に、表示装置１００の製作工程時、有機物によって、一般的に金属物質からなっているセンサー部ＴＥをパネルの内部に形成するための高温工程が不自由である限界点がある。したがって、センサー部ＴＥをオーバーコート層ＯＣ上に形成すれば、高温工程より自由でありうる。
【００７９】
図１３を参照すると、表示装置１００は、センシング部ＴＳＰが第２基板ＥＮＣＡＰ上にブラックマトリックスが形成され、ブラックマトリックス上にカラーフィルタＣＦが配置できる。カラーフィルタＣＦ上にオーバーコート層ＯＣが形成できる。そして、オーバーコート層ＯＣ上にセンシング部ＴＳＰの電極パターンがブラックマトリックスＢＭと対応する位置に配置できる。カラーフィルタＣＦ上にディスプレイカバー（図示せず）が配置できる。
【００８０】
一方、相互静電容量方式のタッチセンシング方式の場合、複数の電極ＴＥのうち、駆動電極間の連結及び／又はセンシング電極間の連結のための連結部が存在することができるが、このような連結部は、タッチ電極ＴＥとは絶縁層を挟んで異なる層に存在することができる。
【００８１】
図１４は、本実施形態に係る表示装置の製造方法の第１実施形態を示す順序図である。
【００８２】
図１４を参照すると、表示装置の製造方法は、基板上に第１金属層を形成し、パターニングして複数の第１連結部を形成し、かつ複数の第１連結部のうち、少なくとも１つの第１連結部は、第１配線と第２配線を含み、第１配線と第２配線が所定の間隔を有するように形成することができる（Ｓ１４００）。
【００８３】
第１連結部が形成された基板上に絶縁膜を蒸着しパターニングして絶縁膜に複数のビアを形成し、絶縁膜上に第２金属層を蒸着しパターニングする。複数の第１電極のうち、隣接した２つの第１電極は、第１連結部のビアを通じて第１配線に連結できる（Ｓ１４１０）。
【００８４】
隣接した２つの第１電極と１つの第１連結部の連結を検査することができる（Ｓ１４２０）。検査で、不良と判断されなければ、第２金属層の上部に絶縁膜を蒸着することができる。そして、検査で、隣接した２つの第１電極と１つの第１連結部が連結されていない（例えば、第１配線を通じて）と判断されれば、第２配線を用いて２つの第１電極が連結されるように修理することができる（Ｓ１４３０）。したがって、表示装置を完成する前に検査をし、不良を受理することができるので、表示装置の歩留まりを高めて製造コストを低減することができる。
【００８５】
ここで、不良は、第１連結部の第１配線がビアホールを通じて第２電極と連結されなければならないが、異物によりビアが切れることを意味することができ、絶縁膜を通じて第１配線と第１電極が分離されていなければならない部分で異物により互いに連結されるようになることを意味することができる。
【００８６】
検査が終われば、第１電極と第２電極の上部に有機膜を蒸着する（Ｓ１４４０）。有機膜を蒸着した後。また検査をすることができる。
【００８７】
以上の説明及び添付の図面は、本発明の技術思想を例示的に示すことに過ぎないものであって、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者であれば本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲で構成の結合、分離、置換、及び変更などの多様な修正及び変形が可能である。したがって、本発明に開示された実施形態は、本発明の技術思想を限定するためのものでなく、説明するためのものであり、このような実施形態によって本発明の技術思想の範囲が限定されるものではない。本発明の保護範囲は、請求範囲によって解釈されなければならず、それと同等な範囲内にある全ての技術思想は、本発明の権利範囲に含まれるものとして解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００８８】
３４０  センシング部、２２２ａ  第１連結部、２２２ｂ  第２連結部、１２２２ａ、１２２２ｂ  第１配線、２２２２ａ、２２２２ｂ  第２配線、ＴＥ１ａ、ＴＥ１ｂ  第１電極、ＴＥ２ａ、ＴＥ２ｂ  第２電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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