(57)【要約】【課題】支持対象物の支持パターンを変更することができる支持装置および支持方法を提供すること。【解決手段】支持対象物ＷＦを第１支持部材２３の支持面２３Ａで支持する第１支持手段２０と、支持対象物ＷＦを第２支持部材３５の支持面３５Ｂで支持する第２支持手段３０と、第１支持手段２０および第２支持手段３０を支持する本体部４０とを備え、第１支持手段２０および第２支持手段３０の少なくとも一方は、支持面２３Ａ、３５Ｂが支持対象物ＷＦの被支持面に対向する位置と、支持対象物ＷＦの被支持面に対向しない位置との間で、自身を構成している第１支持部材２３または第２支持部材３５を本体部４０に対して相対移動可能に構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持対象物を第１支持部材の支持面で支持する第１支持手段と、
前記支持対象物を第２支持部材の支持面で支持する第２支持手段と、
前記第１支持手段および前記第２支持手段を支持する本体部とを備え、
前記第１支持手段および前記第２支持手段の少なくとも一方は、前記支持面が前記支持対象物の被支持面に対向する位置と、前記支持対象物の被支持面に対向しない位置との間で、自身を構成している前記第１支持部材または第２支持部材を前記本体部に対して相対移動可能に構成されていることを特徴とする支持装置。
【請求項２】
前記第１支持部材と前記第２支持部材との間隔を変更可能な間隔変更手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
【請求項３】
前記第１支持部材と前記第２支持部材との間に位置する前記支持対象物を第３支持部材の支持面で支持する第３支持手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の支持装置。
【請求項４】
前記支持対象物の位置決めを行う位置決め手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載の支持装置。
【請求項５】
前記支持対象物を支持した前記第１支持部材および前記第２支持部材の少なくとも一方と前記位置決め手段とを相対移動させ、当該位置決め手段に前記支持対象物を当接させて当該支持対象物の位置決めを行うことを特徴とする請求項４に記載の切断装置。
【請求項６】
前記第１支持部材および前記第２支持部材の少なくとも一方は、前記本体部に対して前記支持面が反転するように相対回転可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５に記載の支持装置。
【請求項７】
前記第１支持部材および前記第２支持部材の少なくとも一方は、前記支持対象物の被支持面に対して交差する方向に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６に記載の支持装置。
【請求項８】
支持対象物を第１支持部材の支持面で支持する第１支持手段と、
前記支持対象物を第２支持部材の支持面で支持する第２支持手段と、
前記第１支持手段および前記第２支持手段を支持する本体部とを備え、
前記第１支持手段および前記第２支持手段の少なくとも一方が、前記支持面が前記支持対象物の被支持面に対向する位置と、前記支持対象物の被支持面に対向しない位置との間で、自身を構成している前記第１支持部材または第２支持部材を前記本体部に対して相対移動可能に構成されている支持装置における前記支持対象物の支持方法において、
前記第１支持部材および前記第２支持部材の少なくとも一方を選択し、当該選択した少なくとも一方で前記支持対象物を支持することを特徴とする支持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持装置および支持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、支持対象物を第１支持部材の支持面で支持する第１支持手段と、支持対象物を第２支持部材の支持面で支持する第２支持手段と、第１支持手段および第２支持手段を支持する本体部とを備えた支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−７９７８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の支持装置では、ウエハ（支持対象物）を支持する支持パターンが１つなので、例えば、支持対象物の形状、材質、特性、特質、性質、組成、構成、寸法および重量や、その他の要因等の関係上、中央アーム部１２（第１支持部材）の支持面のみで当該支持対象物を支持したい場合や、補助アーム１３、１４（第２支持部材）の支持面のみで当該支持対象物を支持したい場合等があっても、それに対応することができないという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、支持対象物の支持パターンを変更することができる支持装置および支持方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、第１支持部材および第２支持部材の少なくとも一方を本体部に対して相対移動させることができるので、支持対象物の支持パターンを変更することができる。
また、間隔変更手段を備えれば、支持対象物の大きさが変更になっても、確実に支持対象物を支持することができる。
さらに、第３支持手段を備えれば、支持対象物をより確実に支持することができる。
また、位置決め手段を備えれば、支持対象物を一定の位置で支持することができる。
さらに、支持対象物を支持した第１支持部材および第２支持部材の少なくとも一方を位置決め手段に対して相対移動させて支持対象物を位置決めすれば、支持対象物を確実に位置決めすることができる。
また、第１支持部材および第２支持部材の少なくとも一方が、本体部に対して支持面が反転するように相対回転する構成とすれば、支持対象物を支持する支持パターンを増やすことができる。
さらに、第１支持部材および第２支持部材の少なくとも一方が支持対象物の被支持面に対して交差する方向に移動可能な構成とすれば、支持対象物を確実に支持することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の一実施形態に係る支持装置の概略平面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は、図１の支持装置の部分断面図。
【図３】図１の支持装置の動作説明図。
【図４】支持パターンの説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）に示すＢＤ方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１、２において、本発明の支持装置１０は、支持対象物としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦを第１支持部材２３の支持面２３Ａで支持する第１支持手段２０と、ウエハＷＦを第２支持部材３５の支持面３５Ｂで支持する第２支持手段３０と、第１支持手段２０および第２支持手段３０を支持する本体部としてのベース部材４０と、第１支持部材２３と第２支持部材３５との間に位置するウエハＷＦを第３支持部材５２の支持面５２Ａで支持する第３支持手段５０と、第１支持部材２３と第２支持部材３５との間隔、第１支持部材２３と第３支持部材５２との間隔および、第２支持部材３５と第３支持部材５２との間隔を変更可能な間隔変更手段６０と、ウエハＷＦの位置決めを行う位置決め手段としてのピン状の位置決めピン７０とを備え、移動手段８０に支持されることで搬送装置１０Ａを構成している。
【００１１】
第１支持手段２０は、ベース部材４０に支持された駆動機器としてのリニアモータ２１と、そのスライダ２１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ２２と、その出力軸２２Ａに支持された第１支持部材２３と、支持面２３Ａに埋没されるように支持された５体の保持手段２４とを備え、ベース部材４０の中央に１セット配置され、支持面２３ＡがウエハＷＦの被支持面としての下面に対向する位置（図１（Ａ）中二点鎖線で示す位置）と、ウエハＷＦの被支持面に対向しない位置（図１（Ａ）中実線で示す位置）との間で、自身を構成している第１支持部材２３をベース部材４０に対して相対移動（以下、この相対移動を「往復移動」という）可能に構成されているとともに、ベース部材４０に対して支持面２３Ａが反転するように相対回転可能に構成されている。
【００１２】
第２支持手段３０は、支持プレート３１に支持された駆動機器としての１体の回動モータ３２と、支持プレート３１に支持された３体の回転軸受３３と、回動モータ３２の出力軸３２Ａおよび、各回転軸受３３に支持された回転軸３３Ａそれぞれに支持された４体の保持ローラ３４と、各保持ローラ３４それぞれの外周部に形成されたＶ溝３４Ａ内に、前後両側に形成された先尖り部３５Ａが入り込んで支持された第２支持部材３５と、支持面３５Ｂに埋没されるように支持された４体の保持手段３６とを備え、第１支持手段２０の前後に２セット配置され、支持面３５ＢがウエハＷＦの被支持面に対向する位置（図１（Ａ）中二点鎖線で示す位置）と、ウエハＷＦの被支持面に対向しない位置（図１（Ａ）中実線で示す位置）との間で、自身を構成している第２支持部材３５をベース部材４０に対して相対移動（以下、この相対移動を「往復移動」という）可能に構成されている。
【００１３】
第３支持手段５０は、駆動機器としての直動モータ５１の出力軸５１Ａに支持された第３支持部材５２と、支持面５２Ａに埋没されるように支持された２体の保持手段５３とを備え、支持面５２Ａ上に位置決めピン７０が支持されて第１支持手段２０の前後に２セット配置され、支持面５２ＡがウエハＷＦの被支持面に対向する位置（図１（Ａ）中二点鎖線で示す位置）と、ウエハＷＦの被支持面に対向しない位置（図１（Ａ）中実線で示す位置）との間で、自身を構成している第３支持部材５２をベース部材４０に対して相対移動（以下、この相対移動を「往復移動」という）可能に構成されている。
【００１４】
なお、本実施形態における１つ１つの保持手段２４、３６、５３には、気体を送る加圧ポンプやタービン等の送気手段と、気体を引き戻す減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸気手段との両方を備えた図示しない送吸気手段がそれぞれ個別に独立して接続されている。そして、各保持手段２４、３６、５３は、送吸気手段で気体をウエハＷＦの一方の面に沿うように放射状に吹き付けることで、放射状に吹き付けた気体の内部であってウエハＷＦの一方の面との間に減圧領域を形成して当該ウエハＷＦを吸着保持するベルヌーイの定理を利用した吸着（以下、この吸着を「送気吸着」という）と、送吸気手段で気体を吸気することで、減圧を利用した吸着（以下、この吸着を「吸気吸着」という）とができるようになっている。従って、本願発明で言う支持とは、支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａを支持対象物の被支持面に当接させて支持するものの他、支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａを支持対象物の被支持面に当接させることなく支持するものも含む。
また、支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａは、図１の状態で同一の平面内に位置するようになっている。
【００１５】
間隔変更手段６０は、ベース部材４０に支持された駆動機器としてのリニアモータ６１を備え、その第１スライダ６１Ａで支持プレート３１を支持し、その第２スライダ６１Ｂで直動モータ５１を支持し、第１支持手段２０の前後に２セット配置されている。
【００１６】
移動手段８０は、駆動機器としての多関節ロボット８１を備え、多関節ロボット８１の先端アーム８１Ａにベース部材４０が支持されている。
【００１７】
以上の支持装置１０を備えた搬送装置１０Ａの動作を説明する。
なお、搬送装置１０Ａは、ウエハカセットＷＣ内の上下方向に所定間隔を空けて複数形成された左右一対の桟ＷＣ２上に１枚ずつ載置されたウエハＷＦを、当該ウエハカセットＷＣから取り出して図示しない所定の搬送先の搬送台上に搬送するものとする。
初めに、各部材が図１（Ａ）中実線で示す初期位置に配置されている搬送装置１０Ａに対し、当該搬送装置１０Ａの使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、ウエハＷＦの直径寸法や厚み寸法等のサイズを入力する。その後、使用者が自動運転開始の信号を入力すると、移動手段８０が多関節ロボット８１を駆動し、図１（Ａ）中実線で示すように、上面視でウエハＷＦと各支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａとが重ならないように、支持装置１０をウエハカセットＷＣの開口部ＷＣ１に対向配置させる。これにより、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２の各支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２ＡがウエハＷＦの被支持面に対向しない位置に配置される。このとき、移動手段８０は、搬送の対象となるウエハＷＦの下面よりも下方に支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａを配置する。なお、搬送装置１０Ａの初期位置と、支持装置１０をウエハカセットＷＣの開口部ＷＣ１に対向配置させた位置は、同じ位置であってもよいし、異なる位置であってもよい。
【００１８】
次いで、第１、第２、第３支持手段２０、３０、５０がリニアモータ２１、回動モータ３２および直動モータ５１を駆動し、入力されたウエハＷＦのサイズに対応させて第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２を右方に所定の長さ分突き出す。これにより、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２の各支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２ＡがウエハＷＦの被支持面に対向する位置に配置される。
なお、図１（Ａ）に示すように、小さなサイズのウエハＷＦ１の場合、間隔変更手段６０がリニアモータ６１を駆動し、第２、第３支持部材３５、５２を第１支持部材２３に接近させ、図１（Ｂ）に示すように、大きなサイズのウエハＷＦ２の場合、間隔変更手段６０がリニアモータ６１を駆動し、第２、第３支持部材３５、５２を第１支持部材２３から遠ざける。
【００１９】
その後、移動手段８０が多関節ロボット８１を駆動し、支持装置１０を上昇させて支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２ＡをウエハＷＦの被支持面に当接させ、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２でウエハＷＦを支持して桟ＷＣ２から浮上させる。次いで、第１、第２、第３支持手段２０、３０、５０がそれぞれ図示しない送吸気手段を駆動し、保持手段２４、３６、５３でウエハＷＦを吸気吸着した後、移動手段８０が多関節ロボット８１を駆動し、ウエハＷＦをウエハカセットＷＣ内から取り出す。次に、第１、第２、第３支持手段２０、３０、５０がそれぞれ図示しない送吸気手段の駆動を停止した後、第１、第２支持手段２０、３０がリニアモータ２１および回動モータ３２を駆動し、第１、第２支持部材２３、３５を左方に移動させる。これにより、ウエハＷＦを支持した第１、第２支持部材２３、３５の両方と位置決めピン７０とを相対移動させ、位置決めピン７０にウエハＷＦを当接させて当該ウエハＷＦの位置決めを行う。
【００２０】
ウエハＷＦの位置決めが完了すると、第１、第２、第３支持手段２０、３０、５０が図示しない送吸気手段を駆動し、保持手段２４、３６、５３で吸気吸着を行う。次いで、移動手段８０が多関節ロボット８１を駆動し、支持装置１０で支持したウエハＷＦを所定の搬送先に搬送し、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２で支持していない方のウエハＷＦの面（被支持面の反対側の面）を図示しない搬送台の上に当接させる。そして、第１、第２、第３支持手段２０、３０、５０が図示しない送吸気手段の駆動を停止した後、移動手段８０が多関節ロボット８１を駆動し、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２をウエハＷＦから切り離す。その後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
ここで、支持装置１０の上記の動作説明では、第１、第２、第３支持手段２０、３０、５０が、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２の全てを突き出し、図４（１）に示すように、第１支持部材２３と第２支持部材３５と第３支持部材５２とでウエハＷＦを一方の面側から支持する場合を示したが、第１、第２、第３支持手段２０、３０、５０が、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２のうち何れか１つまたは２つを突き出し、図４（２）〜（４）に示すように、第１支持部材２３のみ、第２支持部材３５のみまたは、第３支持部材５２のみでウエハＷＦを支持してもよいし、第１、第２、第３支持手段２０、３０、５０が、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２のうち何れか２つを突き出し、図４（５）〜（７）に示すように、第１支持部材２３と第２支持部材３５とで、第１支持部材２３と第３支持部材５２とで、または、第２支持部材３５と第３支持部材５２とでウエハＷＦを支持してもよいし、第１支持手段２０が回動モータ２２を駆動し、図３に示すように、ベース部材４０に対して支持面２３Ａが反転するように第１支持部材２３を相対回転させれば、図４（８）〜（１１）に示すような支持パターンを採ることができる。
なお、第１支持部材２３は、ウエハＷＦを支持した状態で、第１支持部材２３をベース部材４０に対して支持面２３Ａが反転するように相対回転させてもよいし、ウエハＷＦを支持する前の状態で、第１支持部材２３をベース部材４０に対して相対回転させてから、当該第１支持部材２３でウエハＷＦを支持するように構成してもよい。
また、第１、第２、第３支持手段２０、３０、５０は、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２のうち何れか１つまたは２つを、ベース部材４０に対して支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａが反転するように相対回転させた際、相対回転させなかった支持部材との間隔がウエハＷＦの厚み以上になってしまう場合には、保持手段２４、３６、５３全てでウエハＷＦを送気吸着してもよいし、相対回転させた方の支持部材と相対回転させなかった支持部材とで送気吸着と吸気吸着とを分けてウエハＷＦを保持してもよいし、支持対象物が変形してもよいものの場合、保持手段２４、３６、５３全てでウエハＷＦを吸気吸着してもよい。
さらに、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２のうち何れか１つまたは２つを、ベース部材４０に対して支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａが反転するように相対回転させ、相対回転させなかった支持部材との間隔がウエハＷＦの厚み以下になってしまう場合や、ウエハＷＦの被支持面に凹凸がある場合等があるので、第１、第２、第３支持手段２０、３０、５０は、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２のうち少なくとも１つをウエハＷＦの被支持面に対して交差する方向に移動可能に構成してもよい。
【００２２】
以上のような実施形態によれば、第１支持部材２３および第２支持部材３５の両方をベース部材４０に対して相対移動させることができるので、ウエハＷＦの支持パターンを変更することができる。
【００２３】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、本体部は、第１支持手段および第２支持手段を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程も同様でありその説明は省略する）。
【００２４】
第１支持手段２０は、２セット以上でもよいし、ベース部材４０に対して支持面２３Ａが反転するように相対回転することのない第１支持部材２３を採用してもよいし、板状でなく円柱状や角柱状等の他の形状の部材で第１支持部材２３を構成してもよいし、第２支持手段３０や第３支持手段５０と同等の構成やその他の構成等によって、第１支持部材２３が往復移動可能な構成としてもよいし、第２支持部材３５が往復移動可能な構成の場合、第１支持部材２３が往復移動しない構成としてもよい。
【００２５】
第２支持手段３０は、１セットでもよいし、３セット以上でもよいし、複数の回動モータ３２のそれぞれの出力軸３２Ａで保持ローラ３４を支持し、複数の保持ローラ３４を回転させて１体の支持部材を移動させる構成でもよいし、保持ローラ３４の数を２体、３体または５体以上としてもよいし、板状でなく円柱状や角柱状等の他の形状の部材で第２支持部材３５を構成してもよいし、ベース部材４０に対して支持面３５Ｂが反転するように相対回転する第２支持部材３５を採用してもよく、この場合、図４（１２）〜（１７）に示すような支持パターンを採ることができるし、ウエハＷＦを支持した状態で、第２支持部材３５をベース部材４０に対して相対回転させてもよいし、ウエハＷＦを支持する前の状態で、第２支持部材３５をベース部材４０に対して相対回転させてから、当該第２支持部材３５でウエハＷＦを支持するように構成してもよい。
第２支持手段３０は、第１支持手段２０や第３支持手段５０と同等の構成やその他の構成等によって、第２支持部材３５が往復移動可能な構成としてもよいし、第１支持部材２３が往復移動可能な構成の場合、第２支持部材３５が往復移動しない構成としてもよい。
【００２６】
本体部は、プレート状でなく円柱状や角柱状等の他の形状の部材で構成されてもよく、第１支持手段２０および第２支持手段３０を支持できる限りどのようなものでもよいし、移動手段８０に支持されていなくてもよい。
【００２７】
第３支持手段５０は、１セットでもよいし、３セット以上でもよいし、板状でなく円柱状や角柱状等の他の形状の部材で第３支持部材５２を構成してもよいし、ベース部材４０に対して支持面５２Ａが反転するように相対回転するように構成してもよく、この場合、図４（１８）〜（２６）に示すような支持パターンを採ることができるし、ウエハＷＦを支持した状態で、第３支持部材５２をベース部材４０に対して相対回転させてもよいし、ウエハＷＦを支持する前の状態で、第３支持部材５２をベース部材４０に対して相対回転させてから、当該第３支持部材５２でウエハＷＦを支持するように構成してもよい。
第３支持手段５０は、第１支持手段２０や第２支持手段３０と同等の構成やその他の構成等によって、第３支持部材５２が往復移動可能な構成としてもよいし、往復移動しなくてもよいし、本発明の支持装置１０に備わっていなくてもよい。
【００２８】
間隔変更手段６０は、第１支持部材２３を移動させる構成としてもよいし、別々の駆動機器それぞれで、または、１体の駆動機器で第１支持部材２３と第２支持部材３５と第３支持部材５２との間隔を変更してもよいし、第１支持部材２３と第２支持部材３５との間隔のみを変更する構成でもよいし、第１支持部材２３と第３支持部材５２との間隔のみを変更する構成でもよいし、第２支持部材３５と第３支持部材５２との間隔のみを変更する構成でもよいし、本発明の支持装置１０に備わっていなくてもよい。
【００２９】
位置決め手段は、ピン形状以外に板状、ブロック形状、球形状、筒形状等どんな形状の部材で構成してもよいし、第３支持部材５２に支持されることなく、例えば、第１支持部材２３、第２支持部材３５、ベース部材４０等に支持されていてもよいし、１体で構成されてもよいし、３体以上で構成されてもよいし、本発明の支持装置１０に備わっていなくてもよい。
【００３０】
移動手段８０は、多関節ロボット８１として、所謂スカラロボット、６軸ロボット、５軸以下の多関節ロボット、７軸以上の多関節ロボット等何を採用してもよいし、ウエハＷＦの位置決めを行う際、支持装置１０を傾斜させ、第１支持部材２３、第２支持部材３５および第３支持部材５２の少なくとも１つで支持しているウエハＷＦを位置決め手段方向に移動させて当接させることで、当該ウエハＷＦの位置決めを行ってもよいし、搬送先では、ウエハＷＦの何れの面を図示しない搬送台の上に当接させるようにして受け渡してもよいし、本発明の支持装置１０に備わっていなくてもよい。
【００３１】
搬送装置１０Ａは、ウエハＷＦの近傍である上面視でウエハＷＦと各支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａとが重なる位置に、各部材が初期位置にある支持装置１０を配置させ、次いで、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２のうち少なくとも１つをベース部材４０から突き出すとともに、移動手段８０が多関節ロボット８１を駆動し、ベース部材４０を上面視でウエハＷＦと重ならない位置に移動させてもよいし、支持装置１０をウエハカセットＷＣの開口部ＷＣ１に対向させる前に、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２のうち少なくとも２つを予めベース部材４０から突き出しておき、当該突き出しておいた支持部材をウエハＷＦの被支持面に対向する位置に配置した後、それら突き出しておいた支持部材のうち少なくとも１つを残し、その他の支持部材をウエハＷＦの被支持面に対向しない位置に引っ込めてもよいし、時間差を付けて順番にベース部材４０から突き出したり、引っ込めたりしてもよいし、横向きや斜め向きに配置してウエハＷＦを支持してもよいし、搬送の対象となるウエハＷＦの上面よりも上方に支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａを配置し、当該ウエハＷＦの上面を被支持面としてもよい。
【００３２】
支持装置１０は、搬送装置１０Ａ以外に、支持対象物を搬送することなく当該支持対象物の支持のみを行うものや、例えば、接着シートを貼付するシート貼付装置の被着体支持手段や被着体支持テーブルや被着体搬送手段、接着シートを剥離するシート剥離装置の剥離対象物支持手段や剥離対象物支持テーブルや剥離対象物搬送手段、支持対象物を研削したり切断したり表面処理したり検査したり、支持対象物に印字したり印刷したり所定の加工を施したりする各種処理装置の処理対象物支持手段や処理対象物支持テーブルや処理対象物搬送手段等に採用してもよい。
保持手段２４、３６、５３は、図示しない送吸気手段が送る気体を大気や単体ガスや複合ガスとしてもよいし、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２に対してそれぞれ１体だけ備わっていてもよいし、それぞれ２体以上備わっていてもよく、数に限定されることはないし、吸気吸着のみでウエハＷＦを保持してもよいし（この場合、送吸気手段は、送気手段があってもよいし、なくてもよい）、送気吸着のみでウエハＷＦを保持してもよいし（この場合、送吸気手段は、吸気手段があってもよいし、なくてもよい）、吸気吸着と送気吸着との両方でウエハＷＦを保持してもよいし、吸気吸着と送気吸着とを切り替えてウエハＷＦを保持してもよいし、吸気吸着と送気吸着とを切り替えながらウエハＷＦを保持してもよいし、支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａに埋没されていなくてもよいし、当該保持手段の保持面が支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａと同一平面上に位置していてもよいし、当該保持手段の保持面が支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａから飛び出していてもよいし、当該保持手段の保持面が支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａから引っ込んでいてもよいし、１つの送吸気手段に複数接続されていてもよいし、１つの送吸気手段に保持手段２４全てが接続されていてもよいし、１つの送吸気手段に保持手段３６全てが接続されていてもよいし、１つの送吸気手段に保持手段５３全てが接続されていてもよいし、１つの送吸気手段に保持手段２４、３６、５３全てが接続されていてもよいし、例えば、吸着パッドや吸引孔等の吸着保持手段で吸気吸着のみでウエハＷＦを保持する構成でもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、駆動機器等でウエハＷＦを支持するものでもよいし、ウエハＷＦを重力方向下方から支えて支持するだけでよければ、あってもよいし、なくてもよい。
保持手段は、ウエハＷＦを支持したときに、ウエハＷＦを保持できない位置にある場合、吸気吸着や送気吸着等のウエハＷＦを保持する保持動作を行ってもよいし、行わなくてもよい。
第１、第２、第３支持手段２０、３０、５０は、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２のうち少なくとも１つをウエハＷＦの被支持面に交差する軸を回転中心として回転移動させることで、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２のうち少なくとも１つを往復移動可能な構成としてもよい。
支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａは、図１の状態で同一の平面内に位置していなくてもよい。
第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２のベース部材４０からの突き出し量や、第２、第３支持部材３５、５２を第１支持部材２３に接近させたり遠ざけたりする距離は、使用者が任意に決定できる。
第１、第２支持手段２０、３０の少なくとも一方は、ウエハＷＦの位置決めを行う際、図示しない送吸気手段を駆動し、保持手段２４、３６の少なくとも一方で弱い吸気吸着を行ってもよいし、送気吸着を行ってもよいし、停止している位置決めピン７０に対し、第１、第２支持部材２３、３５の少なくとも一方で支持しているウエハＷＦを移動させ、当該位置決めピン７０でウエハＷＦの位置決めを行ってもよいし、第１、第２支持部材２３、３５の少なくとも一方で支持されて停止しているウエハＷＦに対し、位置決めピン７０を移動させ、当該位置決めピン７０でウエハＷＦの位置決めを行ってもよいし、第１、第２支持部材２３、３５の少なくとも一方で支持されているウエハＷＦと、位置決めピン７０との両方を相互に接近させ、当該位置決めピン７０でウエハＷＦの位置決めを行ってもよいし、ベース部材４０に位置決め手段が支持されている場合、第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２の少なくとも１つで支持しているウエハＷＦを位置決めピン７０方向に移動させ、当該位置決めピン７０でウエハＷＦの位置決めを行ってもよい。
ウエハＷＦは、ウエハカセットＷＣ内に収納されていなくてもよい。
ウエハＷＦの被支持面は、上面側でもよいし、例えば、当該ウエハＷＦの回路面側でもよいし、回路面の反対側の面でもよいし、回路面に接着シートが貼付された接着シート側でもよく、当該ウエハＷＦの形状、材質、特性、特質、性質、組成、構成、寸法および重量や、その他の要因等に応じて使用者が任意に決定することができる。
第１、第２、第３支持手段２０、３０、５０は、ベース部材４０に対して支持面２３Ａ、３５Ｂ、５２Ａのうち少なくとも１つが反転するように第１、第２、第３支持部材２３、３５、５２のうち少なくとも１つを相対回転させる構成としてもよい。
【００３３】
本発明における支持対象物の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、支持対象物は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、支持対象物が接着シートの場合、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とだけで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、１層または２層以上のものであってよい。また、支持対象物としては、板状の部材であってもよいし板状でない部材であってもよく、例えば、食品、各種の容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３４】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
【符号の説明】
【００３５】
１０…支持装置
２０…第１支持手段
２３…第１支持部材
２３Ａ…支持面
３０…第２支持手段
３５…第２支持部材
３５Ｂ…支持面
４０…ベース部材（本体部）
５０…第３支持手段
５２…第３支持部材
５２Ａ…支持面
６０…間隔変更手段
７０…位置決めピン（位置決め手段）
ＷＦ…ウエハ（支持対象物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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