(57)【要約】【課題】被加工物を確実に個々のチップへと分割しうるとともに、分割済みの被加工物のチップ間に十分な間隔を形成しうるエキスパンドシート及びエキスパンドシートを用いたエキスパンド方法を提供する。【解決手段】本発明に係るエキスパンドシート１は、被加工物対応領域２よりも外周領域３のエキスパンド性が低いため、エキスパンドシート１をエキスパンドする際に、外力を効率よく被加工物対応領域２に作用させ、被加工物対応領域２に貼着された被加工物Ｗに十分な外力を加えることが可能となる。よって、チップサイズが例えば１ｍｍ以下と小さい場合であっても、被加工物Ｗを確実に個々のチップＣへと分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物ＷのチップＣ間に十分な間隔を形成することが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物に貼着されるエキスパンドシートであって、
被加工物に対応した被加工物対応領域と、該被加工物対応領域を囲繞する外周領域と、を有し、該外周領域は該被加工物対応領域よりもエキスパンド性が低いことを特徴とするエキスパンドシート。
【請求項２】
請求項１に記載のエキスパンドシートを用いた被加工物のエキスパンド方法であって、
該エキスパンドシートの前記被加工物対応領域に被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、
該被加工物貼着ステップを実施した後、該エキスパンドシートの前記外周領域の外周部分を保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該外周領域を押圧することで該被加工物対応領域をエキスパンドさせるエキスパンドステップと、を備えたエキスパンド方法。
【請求項３】
請求項１に記載のエキスパンドシートを用いた被加工物のエキスパンド方法であって、
該エキスパンドシートの前記被加工物対応領域に被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、
該被加工物貼着ステップを実施した後、被加工物を挟んで第一方向で対面する一対の第一挟持手段と該第一方向に直交する第二方向で被加工物を挟んで対面する一対の第二挟持手段とで該エキスパンドシートの前記外周領域を挟持する挟持ステップと、
該挟持ステップを実施した後、一対の該第一挟持手段を互いに離反する方向に移動させるとともに一対の該第二挟持手段を互いに離反する方向に移動させることで該被加工物対応領域をエキスパンドさせるエキスパンドステップと、を備えたエキスパンド方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハに貼着されるエキスパンドシート及びエキスパンドシートを用いたエキスパンド方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハなどの被加工物は、その表面において格子状の分割予定ラインによって区画された領域にそれぞれデバイスが形成されており、分割予定ラインに沿って分割することによって、デバイスを有する個々のチップに分割される。ウェーハを個々のチップに分割する方法としては、分割予定ラインに沿ってその内部にレーザ光を集光して改質層を形成して、ウェーハに外力を加えることによりチップ間の間隔を拡張させて分割する方法がある。
【０００３】
ウェーハに外力を加える装置として、例えば下記の特許文献１にエキスパンドシートの四辺を挟持して引っ張る拡張装置が提案されている。この拡張装置では、エキスパンドシートに分割前のウェーハを貼着して、エキスパンドシートの四辺を挟持して拡張することにより改質層を起点にウェーハを個々のチップに分割することができる。また、チップに分割済みで全体として分割前の形状を維持した状態でエキスパンドシートに貼着されたウェーハのチップ間隔を拡張させる場合においても、上記拡張装置を利用することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−７７４８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、個片化されるチップが、例えば１ｍｍ角以下とチップサイズが小さい場合には、上記の拡張装置を用いても、エキスパンドでウェーハを個々のチップへ分割したり分割済みのウェーハのチップ間に十分な間隔を形成したりすることが困難となっている。
【０００６】
本発明の目的は、被加工物を確実に個々のチップへと分割しうるとともに、分割済みの被加工物のチップ間に十分な間隔を形成しうるエキスパンドシート及びエキスパンドシートを用いたエキスパンド方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、被加工物に貼着されるエキスパンドシートであって、被加工物に対応した被加工物対応領域と、該被加工物対応領域を囲繞する外周領域と、を有し、該外周領域は該被加工物対応領域よりもエキスパンド性が低いことを特徴とする。
【０００８】
本発明は、上記エキスパンドシートを用いた被加工物のエキスパンド方法であって、該エキスパンドシートの上記被加工物対応領域に被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、該被加工物貼着ステップを実施した後、該エキスパンドシートの上記外周領域の外周部分を保持する保持ステップと、該保持ステップを実施した後、該外周領域を押圧することで該被加工物対応領域をエキスパンドさせるエキスパンドステップと、を備えた。
【０００９】
また、本発明は、上記エキスパンドシートを用いた被加工物のエキスパンド方法であって、該エキスパンドシートの上記被加工物対応領域に被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、該被加工物貼着ステップを実施した後、被加工物を挟んで第一方向で対面する一対の第一挟持手段と該第一方向に直交する第二方向で被加工物を挟んで対面する一対の第二挟持手段とで該エキスパンドシートの上記外周領域を挟持する挟持ステップと、該挟持ステップを実施した後、一対の該第一挟持手段を互いに離反する方向に移動させるとともに一対の該第二挟持手段を互いに離反する方向に移動させることで該被加工物対応領域をエキスパンドさせるエキスパンドステップと、を備えた。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るエキスパンドシートは、被加工物対応領域よりも外周領域のエキスパンド性が低いため、エキスパンドシートをエキスパンドする際に、外力を効率よく被加工物対応領域に作用させることができるため、被加工物対応領域に貼着された被加工物に十分な外力を加えることが可能となる。よって、チップサイズが例えば１ｍｍ以下と小さい場合であっても、被加工物を確実に個々のチップへと分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物のチップ間に十分な間隔を形成することが可能となる。
【００１１】
本発明に係るエキスパンド方法は、エキスパンドシートの被加工物対応領域に被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、エキスパンドシートの外周領域の外周部分を保持する保持ステップと、外周領域を押圧することで被加工物対応領域をエキスパンドさせるエキスパンドステップとを備えたため、エキスパンドシートを例えば放射状にエキスパンドする際に、外周領域よりも被加工物対応領域に放射方向の外力を効率よく作用させ、被加工物対応領域に貼着された被加工物に放射方向の外力を十分に加えることができる。よって、チップサイズが例えば１ｍｍ以下と小さい場合であっても、被加工物を確実に個々のチップへと分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物のチップ間に十分な間隔を形成することが可能となる。
【００１２】
また、本発明に係るエキスパンド方法は、エキスパンドシートの被加工物対応領域に被加工物を貼着する被加工物貼着ステップと、被加工物を挟んで第一方向で対面する一対の第一挟持手段と第一方向に直交する第二方向で被加工物を挟んで対面する一対の第二挟持手段とでエキスパンドシートの外周領域を挟持する挟持ステップと、一対の第一挟持手段を互いに離反する方向に移動させるとともに一対の第二挟持手段を互いに離反する方向に移動させることで被加工物対応領域をエキスパンドさせるエキスパンドステップとを備えたため、エキスパンドシートを第一方向及び第二方向にエキスパンドする際に、外周領域よりも被加工物対応領域に第一方向及び第二方向の外力を効率よく作用させ、被加工物対応領域に貼着された被加工物に第一方向及び第二方向の外力を十分に加えることができる。よって、上記同様に、チップサイズが例えば１ｍｍ以下と小さい場合であっても、被加工物を確実に個々のチップへと分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物Ｗのチップ間に十分な間隔を形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】エキスパンドシートの一例の構成を示す平面図及び断面図である。
【図２】被加工物貼着ステップの第１例を示す斜視図である。
【図３】（ａ）は保持ステップを示す斜視図である。（ｂ）はエキスパンドステップを示す斜視図である。
【図４】被加工物貼着ステップの第２例を示す斜視図である。
【図５】挟持ステップを示す平面図である。
【図６】（ａ）はエキスパンドステップの第２例において第一方向にエキスパンドシートをエキスパンドする状態を示す断面図である。（ｂ）はエキスパンドステップの第２例において第二方向にエキスパンドシートをエキスパンドする状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
１  エキスパンドシート
図１に示すエキスパンドシート１は、例えば図２に示す被加工物Ｗに貼着されるエキスパンドシートである。エキスパンドシート１は、被加工物Ｗよりも大きいサイズを有し、例えば正方形状にカットされている。エキスパンドシート１は、被加工物Ｗに対応した被加工物対応領域２と、被加工物対応領域２を囲繞する外周領域３とを有している。エキスパンドシート１は、正方形状にカットされている他、被加工物対応領域２と外周領域３とが交互に複数隣接して配置されロール状に巻回されていてもよい。
【００１５】
図示の例における被加工物対応領域２は、被加工物Ｗが貼着される円形状の領域であり、被加工物Ｗの直径と例えば略同径に形成されている。被加工物対応領域２は、例えばポリオレフィンやポリ塩化ビニル等からなる基材層２ａの上に糊層２ｂが積層された２層構造となっており、エキスパンド性を有している。なお、加工しようとする被加工物Ｗのサイズや形状に応じて、被加工物対応領域２の範囲を適宜変更することができる。
【００１６】
上記実施形態に示す被加工物対応領域２は、基材層２ａの上に糊層２ｂを積層して構成しているが、かかる構成に限定されず、糊層２ｂを設けずにタック力を有するシリコンシートで被加工物対応領域２を構成してもよい。これにより、糊層２ｂを用いる場合と比較して被加工物Ｗが被加工物対応領域２に強固に貼着されないため、エキスパンドシート１から分割済みの被加工物Ｗのチップを容易にピックアップすることが可能となる。
【００１７】
外周領域３は、例えばＰＥＴ樹脂や伸縮性の低いゴム等で構成され、少なくとも被加工物対応領域２よりも硬質で、かつ被加工物対応領域２よりもエキスパンド性が低く、被加工物対応領域２と比べて外力が作用しにくい領域となっている。このように構成されるエキスパンドシート１の被加工物対応領域２に被加工物Ｗを貼着してから、例えば放射状に引っ張ると、放射方向の外力を被加工物対応領域２に効率よく作用させることができるため、被加工物対応領域２に貼着された被加工物Ｗに十分な外力を加えることが可能となる。したがって、チップサイズが例えば１ｍｍ以下と小さい場合であっても、被加工物Ｗを確実に個々のチップに分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物Ｗのチップ間に十分な間隔を形成することが可能となる。
【００１８】
２  エキスパンド方法の第１例
次に、エキスパンドシート１を用いた被加工物Ｗのエキスパンド方法の第１例について説明する。図２に示す被加工物Ｗは、円形板状の基板を有し、その表面Ｗａに交差する複数の分割予定ラインＳで区画された各領域にそれぞれデバイスＤが形成されている。一方、被加工物Ｗの表面Ｗａと反対側の裏面Ｗｂは、所定の加工が施される被加工面となっている。本発明の適用対象となる被加工物Ｗは、分割予定ラインＳに沿って分割起点（例えば改質層）が形成された被加工物、または分割予定ラインＳに沿って個々のチップに分割された被加工物である。
【００１９】
（１）  被加工物貼着ステップ
図２に示すように、中央が開口した環状のフレームＦの下面にエキスパンドシート１を貼着し、フレームＦの中央からエキスパンドシート１の被加工物対応領域２及び外周領域３を露出させる。続いて、エキスパンドシート１の被加工物対応領域２に被加工物Ｗの裏面Ｗｂ側から貼着して、表面Ｗａを上向きにさせる。エキスパンドシート１への被加工物Ｗの貼着の仕方は、特に限定されず、例えば図示しない貼り付けテーブル上に裏面Ｗｂ側を上にして被加工物Ｗを載置するとともに、この被加工物ＷにフレームＦの中央から露出したエキスパンドシート１の被加工物対応領域２を位置づけて、被加工物ＷとフレームＦとに対してプレスローラー等によりエキスパンドシート１を押し付けて貼着するようにしてもよい。このようにして、被加工物Ｗの外周からエキスパンドシート１の外周領域３がはみ出した状態で、エキスパンドシート１の被加工物対応領域２に被加工物Ｗを貼着する。
【００２０】
上記フレームＦのほか、刺繍枠タイプのフレームを用いて被加工物貼着ステップを実施してもよい。刺繍枠タイプのフレームは、例えば大径リングと小径リングとを含み、大径リングの内周面と小径リングの外周面との間にエキスパンドシート１を挟み込んで支持することできる。
【００２１】
（２）  保持ステップ
被加工物貼着ステップを実施した後、図３（ａ）に示すように、フレームＦと一体となった被加工物Ｗを例えば拡張手段１０に搬送する。本実施形態に示す被加工物Ｗは、分割予定ラインＳに沿って改質層Ｍが形成されているものとする。拡張手段１０は、被加工物Ｗを下方から支持する支持テーブル１１と、支持テーブル１１の外周側に配設されフレームＦが載置されるフレーム載置台１２と、フレーム載置台１２に載置されたフレームＦをクランプするクランプ部１３と、フレーム載置台１２の下部に連結されフレーム載置台１２を上下方向に昇降させる昇降手段１４とを備えている。昇降手段１４は、シリンダ１４０と、シリンダ１４０により昇降駆動されるピストン１４１とにより構成され、ピストン１４１が上下に移動することにより、フレーム載置台１２を昇降させることができる。
【００２２】
エキスパンドシート１を介して被加工物Ｗの裏面Ｗｂ側を支持テーブル１１に載置するとともに、フレームＦ側をフレーム載置台１２に載置する。これにより、支持テーブル１１の上にエキスパンドシート１の被加工物対応領域２が位置付けられ、フレーム載置台１２の上にエキスパンドシート１の外周領域３の外周部分３ａが位置付けられる。その後、クランプ部１３によりフレームＦの上部を押さえて動かないように固定することにより、エキスパンドシート１の外周領域３の外周部分３ａを保持する。
【００２３】
（３）  エキスパンドステップ
保持ステップを実施した後、図３（ｂ）に示すように、ピストン１４１が下方に移動し、支持テーブル１１に対して相対的にフレーム載置台１２を下降させて、外周領域３の外周部分３ａを下方に押圧することで、被加工物対応領域２を放射状にエキスパンドさせる。このとき、外周領域３は被加工物対応領域２と比べてエキスパンド性が低くなっていることから、被加工物対応領域２に外力を効率よく作用させることができる。すなわち、被加工物対応領域２が放射状に拡張されると、被加工物Ｗに対して放射方向の外力が十分に付与されるため、被加工物Ｗが図３（ａ）に示した改質層Ｍを起点にして個々のチップＣに分割される。また、エキスパンド後にさらにエキスパンドシート１を拡張することにより、隣り合うチップＣの間隔を広げることもできる。個々のチップＣは、エキスパンドシート１からピックアップされ、次のステップ（例えば実装ステップ）に移送される。
【００２４】
このように、本発明に係るエキスパンド方法の第１例は、エキスパンドシート１の被加工物対応領域２に被加工物Ｗを貼着する被加工物貼着ステップと、エキスパンドシート１の外周領域３の外周部分３ａを保持する保持ステップと、外周領域３を押圧することで被加工物対応領域２をエキスパンドさせるエキスパンドステップとを備えたため、例えば拡張手段１０を用いてエキスパンドシート１を放射状にエキスパンドする際に、外周領域３よりも被加工物対応領域２に放射方向の外力を効率よく作用させ、被加工物対応領域２に貼着された被加工物Ｗに放射方向の外力を十分に加えることができ、チップサイズが例えば１ｍｍ以下と小さい場合であっても、被加工物Ｗを確実に個々のチップＣへと分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物ＷのチップＣ間に十分な間隔を形成することが可能となる。
【００２５】
３  エキスパンド方法の第２例
次に、図４〜図６を参照しながら、エキスパンドシート４を用いた被加工物Ｗのエキスパンド方法の第２例について説明する。図４に示すエキスパンドシート４は、例えば、ロール部（図示せず）にロール状に巻かれており、水平方向に引き出されて使用される。エキスパンドシート４の材質は上記エキスパンドシート１と同様である。すなわち、エキスパンドシート４は、被加工物Ｗに対応した被加工物対応領域５と、被加工物対応領域５を囲繞する外周領域６とを有している。
【００２６】
（１）被加工物貼着ステップ
まず、ロール部からエキスパンドシート４を例えば第一方向に引き出し、図示しない保持テーブルの上にエキスパンドシート４を水平に載置する。次いで、エキスパンドシート４の被加工物対応領域５に被加工物Ｗの裏面Ｗｂ側から貼着して、表面Ｗａを上向きにさせる。このようにして、被加工物Ｗの外周からエキスパンドシート４の外周領域６がはみ出した状態で、被加工物対応領域５に被加工物Ｗを貼着する。この貼着時は、縦横の分割予定ラインＳの方向を、第一方向または第二方向と平行にするとよい。
【００２７】
（２）挟持ステップ
被加工物貼着ステップを実施した後、図５に示すように、拡張手段２０を用いて、エキスパンドシート４の外周領域６における四辺を挟持する。拡張手段２０は、エキスパンドシート４に貼着された被加工物Ｗを挟んで第一方向で対面する一対の第一挟持手段２１と第一方向に直交する第二方向でエキスパンドシート４に被加工物Ｗを挟んで対面する一対の第二挟持手段２２と、各第一挟持手段２１を支持する２つの可動基台２３ａと、各第二挟持手段２２を支持する２つの可動基台２３ｂと、各第一挟持手段２１を第一方向において互いに離反する向きに移動させる２つの第一方向移動手段２４と、各第二挟持手段２２を第二方向において互いに離反する向きに移動させる２つの第二方向移動手段２５とを備えている。
【００２８】
各第一挟持手段２１は、エキスパンドシート４の上面を押圧する上側挟持部２１０と、エキスパンドシート４の下面を押圧する図６（ａ）に示す下側挟持部２１１と、一端が上側挟持部２１０，下側挟持部２１１にそれぞれ連結され他端に可動基台２３ａが接続されたＬ字形状のアーム部２１２と、上側挟持部２１０の下面及び下側挟持部２１１の上面に第二方向と平行な方向に整列して配設された複数のローラ２１３とをそれぞれ備えている。複数のローラ２１３は、第一方向と平行な回転軸を中心として回転可能となっている。図５に示す一対のアーム部２１２は、左右対称となるように配置され、各アーム部２１２は、エキスパンドシート４の上下から挟んだ状態で第一方向と直交する第二方向に延在している。
【００２９】
各第二挟持手段２２は、エキスパンドシート４の上面を押圧する上側挟持部２２０と、エキスパンドシート４の下面を押圧する図６（ｂ）に示す下側挟持部２２１と、一端が上側挟持部２２０，下側挟持部２２１にそれぞれ連結され他端に可動基台２３ｂが接続されたアーム部２２２と、上側挟持部２２０の下面及び下側挟持部２２１の上面に第一方向と平行な方向に整列して配設された複数のローラ２２３とをそれぞれ備えている。各アーム部２２２は、エキスパンドシート４の上下から挟んだ状態で第一方向と直交する第二方向に延在している。
【００３０】
各第一方向移動手段２４は、第一方向に延在するボールネジ２４０と、ボールネジ２４０の一端に接続されたモータ２４１と、ボールネジ２４０の他端を回転可能に支持する軸受部２４２とをそれぞれ備えている。可動基台２３ａの内部に形成されたナットにはボールネジ２４０が螺合しており、モータ２４１によりボールネジ２４０を駆動することで可動基台２３ａとともに第一挟持手段２１を第一方向に往復移動させることができる。
【００３１】
各第二方向移動手段２５は、第二方向に延在するボールネジ２５０と、ボールネジ２５０の一端に接続されたモータ２５１と、ボールネジ２５０の他端を回転可能に支持する軸受部２５２とをそれぞれ備えている。可動基台２３ｂの内部に形成されたナットにはボールネジ２５０が螺合しており、モータ２５１によりボールネジ２５０を駆動することで可動基台２３ｂとともに第二挟持手段２２を第二方向に往復移動させることができる。
【００３２】
このように構成される拡張手段２０によりエキスパンドシート４を挟持するときは、各第一方向移動手段２４を作動させ、一対の第一挟持手段２１が互いに接近するように第一方向に水平移動させる。また、各第二方向移動手段２５を作動させ、一対の第二挟持手段２２が互いに接近するように第二方向に水平移動させる。このとき、第一方向に延在するエキスパンドシート４は、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、各第一挟持手段２１の各上側挟持部２１０と各下側挟持部２１１との間および各第二挟持手段２２の各上側挟持部２２０と各下側挟持部２２１との間に位置付けられている。次いで、図示しない昇降機構によって、各下側挟持部２１１，２２１を上昇させるとともに、各上側挟持部２１０，２２０を下降させ、上下の各ローラ２１３，２２３がエキスパンドシート４の上下面を挟持する。このようにして、一対の第一挟持手段２１と一対の第二挟持手段２２とでエキスパンドシート４の外周領域６を挟持する。
【００３３】
（３）エキスパンドステップ
挟持ステップを実施した後、図５に示した各第一方向移動手段２４を作動させ、一対の第一挟持手段２１を第一方向において互いに離反するように移動させる。これにより、図６（ａ）に示すように、各下側挟持部２１１のローラ２１３と各上側挟持部２１０のローラ２１３とによって挟持されたエキスパンドシート４をそれぞれ外側に引っ張り、被加工物対応領域５を第一方向にエキスパンドさせる。このとき、外周領域６は被加工物対応領域５と比べてエキスパンド性が低くなっていることから、被加工物対応領域５に外力を効率よく作用させることができる。すなわち、被加工物対応領域５が第一方向に拡張されると、被加工物Ｗに対して第一方向の外力が十分に付与されるため、例えば分割予定ラインＳに沿って改質層が形成されている場合は、改質層を起点にして被加工物Ｗが破断される。
【００３４】
第一方向におけるエキスパンドシート４の拡張とともに、図５に示した各第二方向移動手段２５を作動させ、一対の第二挟持手段２２を第二方向において互いに離反するように移動させる。これにより、図６（ｂ）に示すように、各下側挟持部２２１のローラ２２３と各上側挟持部２２０のローラ２２３とによって挟持されたエキスパンドシート４をそれぞれ外側に引っ張り、被加工物対応領域５を第二方向にエキスパンドさせる。このとき、被加工物対応領域５が第二方向に拡張されると、上記同様に、被加工物Ｗに対して第二方向の外力が十分に付与されるため、改質層を起点にして被加工物Ｗが破断される。このようして、エキスパンドシート４を第一方向及び第二方向にエキスパンドすることによって被加工物Ｗが個々のチップＣに分割される。また、分割後にさらにエキスパンドシート４を拡張することにより、隣り合うチップＣの間隔を広げることもできる。個々のチップＣは、エキスパンドシート４からピックアップされ、次のステップ（例えば実装ステップ）に移送される。
【００３５】
本実施形態に示す第２例のエキスパンドステップでは、エキスパンドシート４の第一方向の拡張と第二方向の拡張とを同時に行っているが、この場合に限定されず、エキスパンドシート４の第一方向の拡張を行った後にエキスパンドシート４の第二方向の拡張を行ってもよいし、第二方向の拡張をしてから第一方向の拡張を行ってもよい。また、エキスパンドシート４の第一方向の拡張量と第二方向の拡張量とは、等しくてもよいし、異なっていてもよい。
【００３６】
このように、本発明に係るエキスパンド方法の第２例は、エキスパンドシート４の被加工物対応領域５に被加工物Ｗを貼着する被加工物貼着ステップと、被加工物Ｗを挟んで第一方向で対面する一対の第一挟持手段２１と第一方向に直交する第二方向で被加工物Ｗを挟んで対面する一対の第二挟持手段２２とでエキスパンドシート４の外周領域６を挟持する挟持ステップと、一対の第一挟持手段２１を互いに離反する方向に移動させるとともに一対の第二挟持手段２２を互いに離反する方向に移動させることで被加工物対応領域５をエキスパンドさせるエキスパンドステップとを備えたため、例えば拡張手段２０を用いてエキスパンドシート４を第一方向及び第二方向にエキスパンドする際に、外周領域６よりも被加工物対応領域５に第一方向及び第二方向の外力を効率よく作用させ、被加工物対応領域５に貼着された被加工物Ｗに第一方向及び第二方向の外力を十分に加えることができ、第１例と同様に、被加工物Ｗを確実に個々のチップＣへと分割することが可能となるとともに、分割済みの被加工物ＷのチップＣ間に十分な間隔を形成することが可能となる。
【符号の説明】
【００３７】
１：エキスパンドシート  ２：被加工物対応領域  ２ａ：基材層  ２ｂ：糊層
３：外周領域  ３ａ：外周部分  ４：エキスパンドシート
５：被加工物対応領域  ６：外周領域
１０：拡張手段  １１：支持テーブル  １２：フレーム載置台
１３：クランプ部  １４：昇降手段  １４０：シリンダ  １４１：ピストン
２０：拡張手段  ２１：第一挟持手段  ２１０：上側挟持部  ２１１：下側挟持部
２１２：アーム部  ２１３：ローラ
２２：第二挟持手段  ２２０：上側挟持部  ２２１：下側挟持部  ２２２：アーム部
２３ａ，２３ｂ：可動基台
２４：第一方向移動手段  ２４０：ボールネジ  ２４１：モータ  ２４２：軸受部
２５：第二方向移動手段  ２５０：ボールネジ  ２５１：モータ  ２５２：軸受部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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