(57)【要約】【課題】良好な品質の被めっき物を供給できる電解めっき装置を提供することを課題とする。【解決手段】整流器に接続された給電用プレート３と、各々導電性の上辺および下辺ならびに左辺および右辺が、垂直に立てられた四角平板状の被めっき物Ｐの外周辺を囲繞するように配置され、被めっき物Ｐの上端部および下端部をそれぞれ上辺および下辺に電気的に接続して固定する四角枠状のフレーム１と、を具備して成る電解めっき装置Ａであって、フレーム１は、上辺と左辺および右辺ならびに下辺とが電気的に絶縁されて形成されており、給電用プレート３と左辺および右辺ならびに下辺とが電気的に接続された下端用給電経路を形成しているとともに、給電用プレート３と上辺とが抵抗調整材４を介して接続されることで下端用給電経路と同じ抵抗値を有する上端用給電経路を形成している。【選択図】図２
2018059164.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
整流器に接続された給電用プレートと、
各々導電性の上辺および下辺ならびに左辺および右辺が、垂直に立てられた四角平板状の被めっき物の外周辺を囲繞するように配置され、前記被めっき物の上端部および下端部をそれぞれ前記上辺および下辺に電気的に接続して固定する四角枠状のフレームと、
を具備して成る電解めっき装置であって、
前記フレームは、前記上辺と前記左辺および右辺ならびに下辺とが電気的に絶縁されて形成されており、
前記給電用プレートと前記左辺および右辺ならびに下辺とが電気的に接続された下端用給電経路を形成しているとともに、前記給電用プレートと前記上辺とが抵抗調整材を介して接続されることで前記下端用給電経路と同じ抵抗値を有する上端用給電経路を形成していることを特徴とする電解めっき装置。
【請求項２】
前記上辺および下辺ならびに左辺および右辺と前記抵抗調整材とが、同じ素材によって形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電解めっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電解めっき装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電解めっき技術は、例えば配線基板の配線形成用途に広く用いられており、配線基板の絶縁層表面に電解めっき金属層を析出させることで配線が形成される。
【０００３】
ここで、図３に従来の電解めっき装置Ｂを概略図で示す。電解めっき装置Ｂは、導電性フレーム１１と、導電性ハンガー１２と、給電部１３と、整流器（不図示）と、アノード電極１４と、めっき浴槽１５とを備えている。
【０００４】
導電性フレーム１１は、図４に示すように、上辺および下辺ならびに左辺および右辺を有する四角枠状をしている。そして、垂直に立てられた四角平板状の被めっき物Ｐの外周辺を囲繞するように配置される。被めっき物Ｐの上端部および下端部は、それぞれ導電性フレーム１１の上辺および下辺に配設されたクランプ１１ａにより導電性フレーム１１に電気的に接続して固定される。
【０００５】
導電性ハンガー１２は、一方の端部が整流器の陰極側と電気的に接続されるとともに、移動装置（不図示）に接続されている。また、他方の端部が導電性フレーム１１の上辺に電気的に接続されている。そして、導電性ハンガー１２は、電荷の供給を行いながら被めっき物Ｐを装着した導電性フレーム１１を搬送する。
なお、導電性フレーム１１と導電性ハンガー１２との接続部は、整流器からの電荷を導電性フレーム１１に付与する給電部１３として機能する。
【０００６】
アノード電極１４は、めっき浴槽１５の対向する両内壁付近に等間隔で配置されている。
【０００７】
めっき浴槽１５は、内部に電解めっき液（不図示）が入れられている。そして、導電性ハンガー１２により吊り下げられた導電性フレーム１１が、対向するアノード電極１４同士の間を、電解めっき液に浸漬された状態で被めっき物Ｐの主面に沿った水平方向に搬送されることで、被めっき物Ｐの主面に電解めっき金属層が析出する。
【０００８】
ところで、従来の電解めっき装置Ｂにおいては、給電部１３に近い被めっき物Ｐの上端部付近では、電荷の供給経路が短く経路の抵抗値が小さいため電荷の供給量が多くなる。一方で、給電部１３から遠い被めっき物Ｐの下端部付近では、電荷の供給経路が長く経路の抵抗値が大きいため電荷の供給量が少なくなっている。このため、被めっき物Ｐの上端部付近では析出する電解めっき金属層の厚みが厚くなり、被めっき物Ｐの下端部付近では析出する電解めっき金属層の厚みが薄くなってしまう。その結果、例えば配線基板の絶縁層表面に電解めっき金属層を析出させて配線を形成する場合に、配線基板内において配線厚みのバラツキが大きくなって電気特性に不具合が生じる等、良好な品質の被めっき物を供給することができないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０００−３５５７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、被めっき物内における電解めっき金属層の析出厚みのバラツキを小さくすることによって、良好な品質の被めっき物を供給できる電解めっき装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る電解めっき装置は、整流器に接続された給電用プレートと、各々導電性の上辺および下辺ならびに左辺および右辺が、垂直に立てられた四角平板状の被めっき物の外周辺を囲繞するように配置され、被めっき物の上端部および下端部をそれぞれ上辺および下辺に電気的に接続して固定する四角枠状のフレームと、を具備して成る電解めっき装置であって、フレームは、上辺と左辺および右辺ならびに下辺とが電気的に絶縁されて形成されており、給電用プレートと左辺および右辺ならびに下辺とが電気的に接続された下端用給電経路を形成しているとともに、給電用プレートと上辺とが抵抗調整材を介して接続されることで下端用給電経路と同じ抵抗値を有する上端用給電経路を形成していることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る電解めっき装置によれば、被めっき物の上端部に電荷を供給する上端用給電経路の抵抗値と、被めっき物の下端部に電荷を供給する下端用給電経路の抵抗値とが、下端用給電経路に設けられた抵抗調整材によって同じになるように形成されている。
このため、配線基板内に析出する電解めっき金属層の厚みバラツキを小さくすることが可能になる。これにより、良好な品質の被めっき物を供給できる電解めっき装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明に係る電解めっき装置の実施形態の一例を示す概略斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す電解めっき装置の要部拡大図である。
【図３】図３は、従来の電解めっき装置を示す概略斜視図である。
【図４】図４は、図３に示す電解めっき装置の要部拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に、本発明に係る電解めっき装置の実施形態の一例を、図１および図２を基にして説明する。なお、図１と図２において同一の箇所には、同じ符号を付して説明する。
本例の電解めっき装置Ａは、フレーム１と、導電性ハンガー２と、給電用プレート３と、抵抗調整材４と、整流器（不図示）と、アノード電極５と、めっき浴槽６とを備えている。
【００１５】
フレーム１は、めっき液による腐食に強いステンレス等の良導電性金属同士を接合することで、図２に示すように、上辺および下辺ならびに左辺および右辺を有する四角枠状に形成されている。上辺の両端部と左辺および右辺とは、それぞれ絶縁体７を介して接続されており、上辺と他の辺とは電気的に絶縁されている。
このようなフレーム１は、垂直に立てられた四角平板状の被めっき物Ｐの外周辺を囲繞するように配置される。そして、被めっき物Ｐの上端部および下端部をそれぞれ導電性フレーム１の上辺および下辺に配設されたクランプ１ａにより固定することで両者が電気的に接続される。
【００１６】
導電性ハンガー２は、例えばステンレス等の良導電性金属から成る。導電性ハンガー２は、被めっき物Ｐが装着されたフレーム１をめっき浴槽６内に浸漬するとともに、めっき浴槽６内に浸漬された被めっき物Ｐを移動させるために、一方の端部が移動装置（不図示）に接続されている。
また、導電性ハンガー２の他方の端部は、フレーム１の上辺に絶縁体８を介して固定されている。これにより、フレーム１と導電性ハンガー２との固定部は、電気的に絶縁されている。
【００１７】
給電用プレート３は、例えばステンレス等の良導電性金属から成る。給電用プレート３の一方の端部は、整流器の陰極側に接続されている。また、給電用プレート３の他方の端部は、整流器からの電荷を被めっき物Ｐに供給するための給電部３ａとして機能する。
給電部３ａとフレーム１の左辺および右辺とは、導電ケーブル９を介して電気的に接続されることで下端用給電経路を形成している。
【００１８】
抵抗調整材４は、例えばステンレス、チタン、クロム、鉄、ニッケル、マグネシウム、アルミニウム等の金属から成る。
抵抗調整材４の一方の端部は給電部３ａに接続されるとともに、他方の端部はフレーム１の上辺に接続されることで上端用給電経路を形成している。
抵抗調整材４は、下端用給電経路の経路長さと上端用給電経路の経路長さとの差により生じる抵抗値の違いをなくして、両経路の抵抗値を同じにする機能を有している。
なお、下端用給電経路の抵抗値と上端用給電経路の抵抗値との測定値の差が３ｍΩ以下の場合には、測定誤差の範囲として同じ抵抗値とみなす。
【００１９】
アノード電極５は、例えばチタン板に酸化イリジウム等をコーティングした良導電性の金属から成り、フレーム１の搬送方向に沿って等間隔で並ぶようにめっき浴槽５の対向する両内壁付近に配置される。なお、アノード電極５は、例えば銅から成るボールタイプの金属を、メッシュ状のアノードバッグに複数投入したものであっても構わない。
【００２０】
めっき浴槽６は、例えば塩化ビニルから成る複数の平板同士を接合することで容器状に形成される。めっき浴槽６は、内部に電解めっき液（不図示）が入れられている。そして、導電性ハンガー２により吊り下げられたフレーム１が、対向するアノード電極５同士の間を、電解めっき液に浸漬された状態で被めっき物Ｐの主面に沿った水平方向に搬送することで、被めっき物Ｐの主面に電解めっき金属層が析出する。
【００２１】
ところで、本発明に係る電解めっき装置Ａによれば、被めっき物Ｐの上端部に電荷を供給する上端用給電経路の抵抗値と、被めっき物Ｐの下端部に電荷を供給する下端用給電経路の抵抗値とが、下端用給電経路に設けられた抵抗調整材４によって同じになるように形成されている。
このため、被めっき物Ｐ内に析出する電解めっき金属層の厚みバラツキを小さくすることが可能になる。これにより、良好な品質の被めっき物Ｐを供給できる電解めっき装置を提供することができる。
【符号の説明】
【００２２】
１    フレーム
３    給電用プレート
４    抵抗調整材
Ａ    電解めっき装置
Ｐ    被めっき物
【図１】
2018059164.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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