(57)【要約】【課題】本発明は、部品交換によりアウトレットの気密性能を回復させることができ、繰り返し使用することが可能なバルブを提供する。【解決手段】本発明のバルブは、高圧ガスの流入路１２及び流出路１４が設けられた本体１０と、流入路１２を開閉させる弁体７１と、を含み、本体１０には、アウトレット１５が一体に設けられ、アウトレット１５は、流出路１４に連通し、配管を接続可能に構成された略円筒状の壁部を有し、壁部の内径は、高圧ガスの種類に応じて定められ、壁部内には、本体１０と別体に設けられたシール部品２が交換可能に結合され、シール部品２の正面には、配管側との気密接続を形成するための環状の金属シール部２ｂが突設され、シール部品２の背面には、アウトレット１５との気密接続を形成するためのＯリング２ｄが取り付けられ、シール部品２の中央には、金属シール部２ｂ及びＯリング２ｄの内側を貫通し、且つ流出路１４に連通するガス通過孔２ｃが設けられる。【選択図】図１
2018009677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボンベ内に貯蔵された高圧ガスを配管に流出させるバルブであって、
前記高圧ガスの流入路及び流出路が設けられた金属製の本体と、
前記流入路を開閉させる弁体と、を含み、
前記本体には、アウトレットが一体に設けられ、
前記アウトレットは、前記流出路に連通し、前記配管を接続可能に構成された略円筒状の壁部を有し、前記壁部の内径は、前記高圧ガスの種類に応じて定められ、前記壁部内には、前記本体と別体に設けられた金属製のシール部品が交換可能に結合され、
前記シール部品の正面には、前記配管側との気密接続を形成するための環状の金属シール部が突設され、前記シール部品の背面には、前記アウトレットとの気密接続を形成するためのＯリングが取り付けられ、前記シール部品の中央には、前記金属シール部及び前記Ｏリングの内側を貫通し、且つ前記流出路に連通するガス通過孔が設けられた、
ことを特徴とするバルブ。
【請求項２】
前記シール部品の外周面に、前記アウトレットの内壁面に螺合する雄ねじを設け、且つ前記シール部品のガス通過孔の断面形状の全部又は一部を、六角レンチに適合する六角形とした請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
前記シール部品がオーステナイト系のステンレス鋼からなり、前記Ｏリングがニトリルブタジエンゴムからなる請求項１又は２に記載のバルブ。
【請求項４】
前記アウトレットの壁部の内径が、日本のＪＩＳ規格、米国のＣＧＡ規格又はＣＧＡ  ＤＩＳＳ規格、英国のＢＳ規格、ドイツのＤＩＮ規格、又はフランスのＮＦ規格に基づいて定められた請求項１〜３のいずれか１項に記載のバルブ。
【請求項５】
ボンベ内に貯蔵された高圧ガスを配管に流出させるバルブのアウトレットに交換可能に結合される金属製のシール部品であって、
前記シール部品の正面には、前記配管側との気密接続を形成するための環状の金属シール部が突設され、前記シール部品の背面には、前記アウトレットとの気密接続を形成するためのＯリングが取り付けられ、前記シール部品の中央には、前記金属シール部及び前記Ｏリングの内側を貫通し、且つ前記高圧ガスの流出路に連通するガス通過孔が設けられた、
ことを特徴とするシール部品。
【請求項６】
前記シール部品の外周面に、前記アウトレットの内壁面に螺合する雄ねじを設け、且つ前記シール部品のガス通過孔の断面形状の全部又は一部を、六角レンチに適合する六角形とした請求項５に記載のシール部品。
【請求項７】
前記シール部品がオーステナイト系のステンレス鋼からなり、前記Ｏリングがニトリルブタジエンゴムからなる請求項５又は６に記載のシール部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボンベ内に貯蔵された高圧ガスを配管に流出させるバルブ、及びこのバルブのアウトレットに用いられる交換可能なシール部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から一般工業や半導体の製造工程では、ボンベ内に貯蔵された高圧ガスが用いられる。ボンベには、高圧ガスの充填及び供給に用いられるバルブが直接接続される。ボンベ内の高圧ガスは、バルブを介してガス配管に接続される。ボンベ用のバルブとしては、ダイヤフラム式バルブとパック式バルブとがある。ダイヤフラム式バルブは、弁体の移動とともに撓む金属製のダイヤフラムを備える。ダイヤフラム式バルブは、ダイヤフラムによってバルブ内の気密性能を高くすることができる。このようなダイヤフラム式バルブは、例えば、半導体用の特殊材料ガスの供給に適用される。一方、パック式バルブは、パッキンとＯリングとの組み合わせによってバルブ内の気密性を確保する。このようなパック式バルブは、構造が単純であり、多量のガスを供給することができる。
【０００３】
以下、共同出願人の一方である株式会社幸田が設計したダイヤフラム式のボンベ用バルブについて、図３〜図５を参照しつつ説明する。
【０００４】
図３は、ボンベ及び配管に接続されていない単体のダイヤフラム式バルブ１００を示す断面図である。図３において、ダイヤフラム式バルブ１００は、本体１０と、スピンドル２０と、ハンドル３０と、グランドナット４０と、スピンドル受け部５０と、ダイヤフラム６０と、シーティングステム７０と、リテーナ８０と、ダイヤフラム押さえ部９０と、複数の皿ばね１１０とを含む。
【０００５】
本体１０には、中空部１１、高圧ガスの流入路１２及び流出路１４が設けられる。流入路１２及び流出路１４は、いずれも中空部１１内に開口する。中空部１１内には、スピンドル受け部５０と、ダイヤフラム６０と、シーティングステム７０と、リテーナ８０と、ダイヤフラム押さえ部９０と、複数の皿ばね１１０との組立体が収納される。シーティングステム７０の下端面には、流入路１２の開口を開閉するためのシートディスク（弁体）７１が取り付けられる。
【０００６】
シーティングステム７０は、円形のダイヤフラム６０の中心を貫通した状態で、リテーナ８０の下端側に螺合される。これにより、ダイヤフラム６０の内周部が、シーティングステム７０とリテーナ８０との間に気密状態で挟持される。また、リテーナ８０の下端側には、ダイヤフラム押さえ部９０が装着される。ダイヤフラム押さえ部９０は、グランドナット４０の下端面に押圧され、ダイヤフラム６０の外周部を気密状態で挟持する。これにより、ダイヤフラム６０は、中空部１１内に閉鎖弁室１３を形成する。閉鎖弁室１３内には、シートディスク７１を含むシーティングステム７０の下端側が位置する。さらに、ダイヤフラム押さえ部９０の上に、複数の皿ばね１１０が積層され、リテーナ８０の上端側に、スピンドル受け部５０が螺合される。スピンドル受け部５０の上端面には、平面座５１が設けられる。
【０００７】
一方、中空部１１は、上述した組立体が収納された状態で、グランドナット４０により閉鎖される。グランドナット４０には、スピンドル２０が螺合される。スピンドル２０の上端には、ハンドル３０が固定される。ハンドル３０を回転させると、スピンドル２０がねじのピッチで上下方向に直線運動する。このスピンドル２０の直線運動に伴って、ダイヤフラム６０が変形し、シーティングステム７０が上下動する。これにより、シートディスク７１が流入路１２の開口を開閉する。
【０００８】
本体１０の下端側には、雄ねじ１０ａが設けられる。この雄ねじ１０ａには、図示しないボンベが直接接続される。ボンベに充填された高圧ガスは、流入路１２から閉鎖弁室１３に入り、流出路１４へ流れる。流出路１４は、アウトレット１５に連通する。アウトレット１５は、略円筒状の壁部を有し、その外壁面に雄ねじ１５ａが設けられる。
【０００９】
ここで、図３に示すように、未使用のダイヤフラム式バルブ１００のアウトレット１５には、アウトレットキャップ１６が装着される。アウトレットキャップ１６の内壁面には、アウトレット１５の雄ねじ１５ａに螺合される雌ねじ１６ａが設けられる。アウトレットキャップ１６は、アウトレット１５を気密状態で閉鎖する。
【００１０】
一方、ダイヤフラム式バルブ１００を使用する場合には、アウトレットキャップ１６がアウトレット１５から取り外され、図４に示す配管のコネクション１７がアウトレット１５に接続される。コネクション１７の内壁面にも、アウトレット１５の雄ねじ１５ａに螺合される雌ねじ１７ａが設けられる。
【００１１】
図５は、コネクション１７とアウトレット１５との気密構造を示す部分拡大図である。コネクション１７の端面には、環状の金属シール部１７ｂが一体的に形成される。この金属シール部１７の手前には、Ｏリングを介して金属ガスケット１７ｃが取り付けられる。一方、アウトレット１５の底面には、環状の金属シール部１５ｂが一体的に形成される。コネクション１７の金属シール部１７ｂと、アウトレット１５の金属シール部１５ｂとは、いずれも金属ガスケット１７ｃに圧接され、気密接続を形成する。なお、上述したアウトレットキャップ１６も、図５に示すコネクション１７と同様の気密構造１６ｂ、１６ｃを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００８−３２１１３号公報
【特許文献２】特開２００３−７４７９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところが、上述した従来のダイヤフラム式バルブ１００は、配管との気密接続を長期に渡って維持することができず、製品寿命が短いという課題があった。すなわち、ボンベ内の高圧ガスが空になった場合は、ダイヤフラム式バルブ１００のアウトレット１５と、配管のコネクション１７との気密接続を解除して、ボンベに高圧ガスを充填しなければならない。アウトレット１５に対して、コネクション１７やアウトレットキャップ１６の着脱を繰り返すと、アウトレット１５の金属シール部１５ｂが損耗してしまう。また、アウトレット１５の金属シール部１５ｂは、腐食によって劣化する場合もある。そして、従来のダイヤフラム式バルブ１００は、金属シール部１５ｂの気密性能が低下した場合に廃棄される。
【００１４】
ここで、図５に示すように、コネクション１７の外径φＭＭと、アウトレット１５の内径φＮＮとが、国内外の規格、例えば、日本のＪＩＳ規格、米国のＣＧＡ規格又はＣＧＡ  ＤＩＳＳ規格、英国のＢＳ規格、ドイツのＤＩＮ規格、又はフランスのＮＦ規格等に基づいて定められる場合がある。上述した金属シール部１５ｂの課題を解決するために改良されたアウトレット１５の内径φＮＮは、国内外の規格に適合するものでなければならない。
【００１５】
本発明は、部品交換によってアウトレットの気密性能を回復させることができ、繰り返し使用することが可能なバルブ及びシール部品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
（１）上記目的を達成するために、本発明のバルブは、ボンベ内に貯蔵された高圧ガスを配管に流出させるバルブであって、前記高圧ガスの流入路及び流出路が設けられた金属製の本体と、前記流入路を開閉させる弁体と、を含み、前記本体には、アウトレットが一体に設けられ、前記アウトレットは、前記流出路に連通し、前記配管を接続可能に構成された略円筒状の壁部を有し、前記壁部の内径は、前記高圧ガスの種類に応じて定められ、前記壁部内には、前記本体と別体に設けられた金属製のシール部品が交換可能に結合され、前記シール部品の正面には、前記配管側との気密接続を形成するための環状の金属シール部が突設され、前記シール部品の背面には、前記アウトレットとの気密接続を形成するためのＯリングが取り付けられ、前記シール部品の中央には、前記金属シール部及び前記Ｏリングの内側を貫通し、且つ前記流出路に連通するガス通過孔が設けられた構成としてある。
【００１７】
（２）好ましくは、上記（１）のバルブにおいて、前記シール部品の外周面に、前記アウトレットの内壁面に螺合する雄ねじを設け、且つ前記シール部品のガス通過孔の断面形状の全部又は一部を、六角レンチに適合する六角形とした構成とする。
【００１８】
（３）好ましくは、上記（１）又は（２）のバルブにおいて、前記シール部品がオーステナイト系のステンレス鋼からなり、前記Ｏリングがニトリルブタジエンゴムからなる構成とする。
【００１９】
（４）好ましくは、上記（１）〜（３）のいずれかのバルブにおいて、前記アウトレットの壁部の内径が、日本のＪＩＳ規格、米国のＣＧＡ規格又はＣＧＡ  ＤＩＳＳ規格、英国のＢＳ規格、ドイツのＤＩＮ規格、又はフランスのＮＦ規格に基づいて定められた構成とする。
【００２０】
（５）上記目的を達成するために、本発明のシール部品は、ボンベ内に貯蔵された高圧ガスを配管に流出させるバルブのアウトレットに交換可能に結合される金属製のシール部品であって、前記シール部品の正面には、前記配管側との気密接続を形成するための環状の金属シール部が突設され、前記シール部品の背面には、前記アウトレットとの気密接続を形成するためのＯリングが取り付けられ、前記シール部品の中央には、前記金属シール部及び前記Ｏリングの内側を貫通し、且つ前記高圧ガスの流出路に連通するガス通過孔が設けられた構成としてある。
【００２１】
（６）好ましくは、上記（５）のシール部品の外周面に、前記アウトレットの内壁面に螺合する雄ねじを設け、且つ前記シール部品のガス通過孔の断面形状の全部又は一部を、六角レンチに適合する六角形とした構成にする。
【００２２】
（７）好ましくは、上記（５）又は（６）のシール部品がオーステナイト系のステンレス鋼からなり、前記Ｏリングがニトリルブタジエンゴムからなる構成にする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のバルブ及びシール部品によれば、シール部品を交換することにより、アウトレットの気密性能を回復させることができ、バルブを繰り返し使用することが可能となる。また、シール部品を交換可能としても、アウトレットの内径は、国内外の種々の規格に適合する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係るダイヤフラム式バルブを示す断面図である。
【図２】図２（ａ）は、図１のＡ部を示す部分拡大図である。図２（ｂ）は、本実施形態に係るシール部品を示す斜視図である。
【図３】図３は、未使用状態の従来のダイヤフラム式バルブを示す断面図である。
【図４】図４は、使用状態の従来のダイヤフラム式バルブを示す断面図である。
【図５】図５は、図４のＢ部を示す部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態に係るダイヤフラム式バルブ及びシール部品について、図面を参照しつつ説明する。なお、本発明は、アウトレットに結合される交換可能なシール部品を備えた構成に特徴がある。したがって、本発明は、以下に例示するダイヤフラム式バルブに限定されるものではなく、例えば、パック式バルブに適用することも可能である。
【００２６】
＜ダイヤフラム式バルブの構成＞
図１において、本実施形態に係るダイヤフラム式バルブ１は、主として、本体１０と、スピンドル２０と、ハンドル３０と、グランドナット４０と、スピンドル受け部５０と、ダイヤフラム６０と、シーティングステム７０と、リテーナ８０と、ダイヤフラム押さえ部９０と、複数の皿ばね１１０とを含む。
【００２７】
＜＜本体＞＞
図１に示すように、本体１０は、耐腐食性を有する金属材料、例えば、ＳＵＳ３１６Ｌなどのステンレス鋼により形成される。本体１０は、上部、下部、及び側方に突出する部分を有する。
【００２８】
本体１０の上部には、中空部１１が設けられる。中空部１１内には、スピンドル受け部５０と、ダイヤフラム６０と、シーティングステム７０と、リテーナ８０と、ダイヤフラム押さえ部９０と、複数の皿ばね１１０との組立体が収納される。シーティングステム７０の下端面には、シートディスク（弁体）７１が取り付けられる。
【００２９】
本体１０の下部は、図示しないボンベとの接続部となっている。本体１０の下部外面には、雄ねじ１０ａが設けられる。この雄ねじ１０ａは、図示しないボンベが直接接続される。本体１０の下部内には、中空部１１に連通する高圧ガスの流入路１２が設けられる。
【００３０】
本体１０の側方に突出する部分は、配管のコネクション１７（図４、図５を参照）を接続するためのアウトレット１５である。図１は、未使用のダイヤフラム式バルブ１を示すものであり、アウトレット１５には、アウトレットキャップ１６が装着される。
【００３１】
アウトレット１５は、略円筒状の壁部を有する。この壁部の内径φＮＮは、高圧ガスの種類に応じて定められる。壁部内は、高圧ガスの流出路１４に連通する。ここで、本実施形態のアウトレット１５の壁部内には、本体１０と別体に設けられた金属製のシール部品２が交換可能に結合される。シール部品２の詳細については後述する。
【００３２】
上述した高圧ガスの流入路１２及び流出路１４は、いずれも中空部１１の下端側に開口する。この中空部１１の下端側を、円板状のダイヤフラム６０で密閉することにより、閉鎖弁室１３が形成される。閉鎖弁室１３内には、シートディスク７１を含むシーティングステム７０の下端側が位置する。高圧ガスの流入路１２の開口は、シートディスク７１によって開閉される。
【００３３】
＜＜スピンドル及びハンドル＞＞
スピンドル２０は、シートディスク７１を開閉動作させるための軸部材である。スピンドル２０は、例えば、耐腐食性を有するＳＵＳ３０４などのステンレス鋼により形成される。スピンドル２０の上端部には、ハンドル３０を取り付けるための雄ねじが設けられる。この雄ねじにナットを締結することで、ハンドル３０は、スピンドル２０の上端部に固定される。ハンドル３０は、例えば、ＡＤＣ１２などのアルミニウム合金により形成される。
【００３４】
スピンドル２０の下端部は、上端部よりも大径となっている。大径の下端部の外周には、雄ねじが設けられる。この雄ねじは、グランドナット４０の雌ねじに螺合される。これにより、ハンドル３０を回転させると、スピンドル２０が、ねじのピッチで図中の上下方向（すなわち、シートディスク７１の開閉方向）に直線運動する。
【００３５】
スピンドル２０の下端部の端面は、凸曲面となっている。この凸曲面は、スピンドル受け部５０に組み付けられた平面座５１に当接する。スピンドル２０の回転運動及び直線運動は、その下端部の凸曲面と、平面座５１との僅かな面接触を通じて、スピンドル受け部５０に伝達される。
【００３６】
＜＜グランドナット＞＞
グランドナット４０は、本体１０の中空部１１の内壁面に設けられた雌ねじに螺合される。グランドナット４０は、本体１０の中空部１１を密閉するとともに、スピンドル２０を回転自在に支持する。グランドナット４０は、本体１０に螺合されたときに、その環状の下端面でダイヤフラム押さえ部９０を押圧する。
【００３７】
グランドナット４０は、例えば、ＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０４などのステンレス鋼、又はニッケルメッキを施して耐食性をもたせたＣ３６０４ＢＤなどの黄銅（真鍮）により形成される。特に、ニッケルメッキを施して耐食性をもたせたＣ３６０４ＢＤなどの黄銅（真鍮）が好適である。
【００３８】
＜＜スピンドル受け部＞＞
スピンドル受け部５０は、平面座５１と雄ねじとを有する。平面座５１は、スピンドル２０の下端部の凸曲面を受ける。平面座５１の当接面はフラット面となっており、スピンドル２０の下端部の凸曲面と僅かに面接触する。スピンドル受け部５０は、例えば、耐腐食性を有するＳＵＳ３０４などのステンレス鋼により形成される。また、平面座５１は、例えば、スピンドル受け部５０よりも高硬度を有するＪＩＳ  ＳＫ５等の炭素工具工鋼を焼き入れ硬化処理したものにより形成される。平面座５１を高硬度とすることで、スピンドル２０の下端部の凸曲面との当接によるスピンドル受け部５０の摩損、変形、焼き付きを防止することができる。
【００３９】
＜＜ダイヤフラム＞＞
ダイヤフラム６０は、シートディスク７１の開閉動作を許容しつつ、本体１０の閉鎖弁室１３を密閉する。ダイヤフラム６０は、その直径方向と直交する方向に変形することができる。ダイヤフラム６０の動作量（変形量）が大きいほど、シートディスク７１と、流入路１２の開口との間の距離が大きくなり、単位時間当たりのガス流量が多くなる。ダイヤフラム６０の中心には、貫通孔が設けてある。この貫通孔には、シーティングステム７０の雄ねじの部分が挿通される。
【００４０】
ダイヤフラム６０の内周部（貫通孔の周り）は、シーティングステム７０と、リテーナ８０との間に気密状態で挟持される。すなわち、本実施形態では、ダイヤフラム６０がシーティングステム７０に溶接されない。この構成により、損耗又は劣化したダイヤフラム６０及びシーティングステム７０を、リテーナ８０から分離させて交換することが可能である。ダイヤフラム６０は、耐食性に優れ、閉鎖弁室１３の高圧に耐え得る材料によって形成される。ダイヤフラム６０は、例えば、ＳＵＳ３１６Ｌ、ＳＵＳ３０４のステンレス鋼により形成される。
【００４１】
＜＜シーティングステム＞＞
シーティングステム７０の上部には、雄ねじが設けられる。この雄ねじは、ダイヤフラム６０の貫通孔に挿通され、リテーナ８０の雌ねじに螺合される。一方、シーティングステム７０の下端面には、凹部が形成される。この凹部内には、シートディスク７１が加締め固定される。シーティングステム７０は、リテーナ８０の強力な締め付けトルクに耐えられる機械強度があり、且つ耐食性を持つ材料、例えば、ＳＵＳ６３０などのステンレス鋼により形成される。
【００４２】
＜＜リテーナ＞＞
リテーナ８０は、例えば、ＳＵＳ３０４などのステンレス鋼により形成される。リテーナ８０の外側には、ダイヤフラム押さえ部９０及び皿ばね１１０が装着される。リテーナ８０の内壁面には、雌ねじが形成される。この雌ねじの上側には、スピンドル受け部５０の雄ねじが螺合される。この雌ねじの下側には、ダイヤフラム６０を介して、シーティングステム７０の雄ねじが螺合される。これにより、スピンドル受け部５０、リテーナ８０、ダイヤフラム６０及びシーティングステム７０が、互いに連結される。スピンドル受け部５０、リテーナ８０及びシーティングステム７０は、スピンドル２０の直線運動に伴って、シートディスク７１の開閉方向に移動する。
【００４３】
＜＜ダイヤフラム押さえ部＞＞
ダイヤフラム押さえ部９０は、例えば、ＳＵＳ３０４などのステンレス鋼により形成される。ダイヤフラム押さえ部９０は、厚肉の円板状の部材であり、ダイヤフラム６０とほぼ同じ直径を有する。このようなダイヤフラム押さえ部９０は、Ｏリングを介して、本体１０の中空部１１内に密閉固定される。ダイヤフラム押さえ部９０は、グランドナット４０の環状の下端面により押圧され、ダイヤフラム６０の外周部を気密状態で挟持する。
【００４４】
＜＜皿ばね＞＞
複数の皿ばね１１０は、例えば、ＳＵＳ３０４などのステンレス鋼により形成される。各皿ばね１１０は、交互に裏表を逆にして重ね合わせられる。各皿ばね１１０は、スピンドル受け部５０とダイヤフラム押さえ部９０との間で、図中の上方向（シートディスク７１の開方向）の付勢力を生じさせる。
【００４５】
＜＜シートディスク＞＞
シートディスク７１は、閉鎖弁室１３内において流入路１２の開口を開閉させ、ガス流通を制御する。シートディスク７１は、気密性に優れ、長年使用しても容易に変形しない樹脂材料により形成される。シートディスク７１は、例えば、ＰＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ又はポリアミドなどにより形成される。シートディスク７１の材料としては、特に、ＰＣＴＦＥが好適である。
【００４６】
＜＜シール部品＞＞
上述したように、本実施形態のダイヤフラム式バルブ１のアウトレット１５には、交換可能なシール部品２が結合される。このシール部品２は、本体１０とは別体の金属部品であり、例えば、ＳＵＳ３１６Ｌ又はＳＵＳ３０４などのオーステナイト系のステンレス鋼により形成される。図２（ａ）は、図１中のＡ部の部分拡大断面図であり、シール部品２とアウトレット１５との結合状態を示す。また、図２（ｂ）は、単体のシール部品２の外観を示す。以下、本実施形態のシール部品２について、詳細に説明する。
【００４７】
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施形態のシール部品２は、アウトレット１５の内壁面に螺合される。すなわち、アウトレット１５の内壁面には、雌ねじ１５ｃが設けられる。これに対応して、シール部品２の外周面には、雌ねじ１５ｃに螺合する雄ねじ２ａが設けられる。さらに、シール部品２の中央には、ガス通過孔２ｃが形成される。このガス通過孔２ｃは、図示しない六角レンチに適合する六角形の断面形状を有する。このような構成により、本実施形態のシール部材２は、六角レンチを用いて、アウトレット１５に容易に着脱することが可能である。
【００４８】
シール部品２の正面には、環状の金属シール部２ｂが突設される。金属シール部２ｂは、アウトレットキャップ１６又はコネクション１７の金属ガスケット１６ｃ、１７ｃに圧接され、気密接続を形成する。一方、シール部品２の背面には、Ｏリング２ｄが取り付けられる。Ｏリング２ｄは、アウトレット１５の底面及び側面に圧接され、気密接続を形成する。上述したガス通過孔２ｃは、金属シール部２ｂ及びＯリング２ｄの内側を貫通し、且つ高圧ガスの流出路１４に連通する。Ｏリング２ｄは、例えば、ニトリルブタジエンゴムなどにより形成される。
【００４９】
＜ダイヤフラム式バルブの作用効果＞
本実施形態のダイヤフラム式バルブ１及びシール部品２によれば、シール部品２を交換することにより、アウトレット１５の気密性能を回復させることができ、ダイヤフラム式バルブ１を繰り返し使用することが可能となる。
【００５０】
すなわち、アウトレット１５に対して、コネクション１７やアウトレットキャップ１６の着脱を繰り返すと、シール部品２の金属シール部２ｂが損耗してしまう。また、シール部品２の金属シール部２ｂは、腐食によって劣化する場合もある。このような場合であっても、金属シール部２ｂが損耗又は劣化したシール部品２を、新しいシール部品２に交換することで、アウトレット１５の気密性能を回復させることができる。さらに、本実施形態のダイヤフラム式バルブ１は、損耗又は劣化したダイヤフラム６０及びシーティングステム７０を交換することが可能な構成となっている。したがって、シール部品２、ダイヤフラム６０及びシーティングステム７０を交換することにより、ダイヤフラム式バルブ１を、長期間に渡って繰り返し使用することができる。
【００５１】
また、図２（ａ）に示すように、本実施形態のシール部品２、及びこのシール部材２を交換可能にするための構成をアウトレット１５に適用した場合でも、アウトレット１５の内径φＮＮを、国内外の種々の規格、例えば、日本のＪＩＳ規格、米国のＣＧＡ規格又はＣＧＡ  ＤＩＳＳ規格、英国のＢＳ規格、ドイツのＤＩＮ規格、又はフランスのＮＦ規格に適合させることができる。これにより、アウトレット１５の内径φＮＮを、高圧ガスの種類に応じて定められた寸法にすることができ、配管のコネクション１７の誤接続を防止することが可能となる。
【符号の説明】
【００５２】
１、１００  ダイヤフラム式バルブ
２  シール部品
２ａ  雄ねじ
２ｂ  金属シール部
２ｃ  ガス通過孔
２ｄ  Ｏリング
１０  本体
１０ａ  雄ねじ
１１  中空部
１２  流入路
１３  閉鎖弁室
１４  流出路
１５  アウトレット
１５ａ  雄ねじ
１５ｂ  金属シール部
１５ｃ  雌ねじ
１６  アウトレットキャップ
１６ａ  雌ねじ
１６ｂ  金属シール部
１６ｃ  金属ガスケット
１７  コネクション
１７ａ  雌ねじ
１７ｂ  金属シール部
１７ｃ  金属ガスケット
１８  金属シール部
２０  スピンドル
３０  ハンドル
４０  グランドナット
５０  スピンドル受け部
５１  平面座
６０  ダイヤフラム
７０  シーティングステム
７１  シートディスク（弁体）
８０  リテーナ
９０  ダイヤフラム押さえ部
１１０  皿ばね
【図１】
2018009677.tif 000003
【図２】
2018009677.tif 000004
【図３】
2018009677.tif 000005
【図４】
2018009677.tif 000006
【図５】
2018009677.tif 000007