(57)【要約】      （修正有）【課題】三次元造形装置において、光学部品へのヒュームの付着によって造形物の造形精度が低下することを簡易な構成で抑制可能な技術を提供する。【解決手段】三次元造形装置１００は、金属粉末を含む材料が供給される造形部１０と、金属粉末を焼結または溶融させるためのレーザーを射出するレーザー光源２０と、レーザー光源２０から射出されたレーザーが、造形部上の材料に到達するまでに通る光学部品３０と、を備える。光学部品３０は、造形部１０側を向きレーザーが通る第１領域Ａ１を備え、第１領域Ａ１の周囲の少なくとも一部に、第１領域Ａ１よりも表面自由エネルギーが高い第２領域Ａ２が配置されている。これにより、光学部品３０のレーザーが通る領域（第１領域Ａ１）よりもその周囲の領域（第２領域Ａ２）にヒュームが付着しやすくなるので、光学部品３０へのヒュームの付着によって造形物１０の造形精度が低下することを簡易な構成で抑制できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
三次元造形装置であって、
金属粉末を含む材料が供給される造形部と、
前記金属粉末を焼結または溶融させるためのレーザーを射出するレーザー光源と、
前記レーザー光源から射出された前記レーザーが、前記造形部上の前記材料に到達するまでに通る光学部品と、
を備え、
前記光学部品は、前記造形部側を向き前記レーザーが通る第１領域を備え、
前記第１領域の周囲の少なくとも一部に、前記第１領域よりも表面自由エネルギーが高い第２領域が配置されている、
三次元造形装置。
【請求項２】
請求項１に記載の三次元造形装置であって、
前記第１領域が、撥液性を有する、三次元造形装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２までのいずれか一項に記載の三次元造形装置であって、
前記第２領域が、親液性を有する、三次元造形装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の三次元造形装置であって、
前記第１領域が、モスアイ構造を有する、三次元造形装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の三次元造形装置であって、
前記第１領域に付着した粒子を除去する除去部を備える、三次元造形装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、三次元造形装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、金属粉末にレーザーを照射して焼結あるいは溶融して固化させることにより三次元造形物を製造する三次元造形装置が知られている。このような三次元造形装置では、金属粉末が焼結あるいは溶融する際に、ヒュームが発生する場合がある。ヒュームとは、金属蒸気が凝集することにより生じる微細な粒子のことをいう。レーザーが通る光学部品にヒュームが付着すると、金属粉末に対するレーザーの集光度が低下し、三次元造形物の造形精度が低下する場合がある。このような問題に関し、例えば、特許文献１には、レーザーが通過するウィンドウを備えるチャンバ内で三次元造形物を製造する三次元造形装置において、チャンバの容積を変化させることによって、チャンバ内のヒュームの排気を促進させる技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２６５５２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１記載の技術では、チャンバの容積を可変させるための機構やチャンバから排気を行うための機構が複雑になる可能性がある。そのため、三次元造形装置において、光学部品へのヒュームの付着によって造形物の造形精度が低下することを簡易な構成で抑制可能な技術が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００６】
（１）本発明の一形態によれば、三次元造形装置が提供される。この三次元造形装置は、金属粉末を含む材料が供給される造形部と；前記金属粉末を焼結または溶融させるためのレーザーを射出するレーザー光源と；前記レーザー光源から射出された前記レーザーが、前記造形部上の前記材料に到達するまでに通る光学部品と；を備え、前記光学部品は、前記造形部側を向き前記レーザーが通る第１領域を備え、前記第１領域の周囲の少なくとも一部に、前記第１領域よりも表面自由エネルギーが高い第２領域が配置されていることを特徴とする。このような形態の三次元造形装置であれば、光学部品のレーザーが通る領域（第１領域）よりもその周囲の領域（第２領域）にヒュームが付着しやすくなるので、光学部品へのヒュームの付着によって造形物の造形精度が低下することを簡易な構成で抑制できる。
【０００７】
（２）上記形態の三次元造形装置において、前記第１領域が、撥液性を有してもよい。このような構成であれば、第１領域の表面自由エネルギーを容易に低下させることができる。
【０００８】
（３）上記形態の三次元造形装置において、前記第２領域が、親液性を有してもよい。このような構成であれば、第２領域の表面自由エネルギーを容易に高めることができる。
【０００９】
（４）上記形態の三次元造形装置において、前記第１領域が、モスアイ構造を有してもよい。このような構成であれば、第１領域へのヒュームの付着をより効果的に抑制できる。
【００１０】
（５）上記形態の三次元造形装置において、前記第１領域に付着した粒子を除去する除去部を備えてもよい。このような構成であれば、第１領域へのヒュームの付着をより効果的に抑制できる。
【００１１】
本発明は、上述した三次元造形装置としての形態以外にも、種々の形態で実現することが可能である。例えば、三次元造形装置による三次元造形物の製造方法などの形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態としての三次元造形装置の概略構成を示す説明図である。
【図２】第２実施形態としての三次元造形装置の概略構成を示す説明図である。
【図３】第３実施形態としての三次元造形装置の概略構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
Ａ．第１実施形態：
図１は、本発明の第１実施形態としての三次元造形装置１００の概略構成を示す説明図である。三次元造形装置１００は、造形部１０とレーザー光源２０と光学部品３０とを備える。また、本実施形態の三次元造形装置１００は、ディスペンサー４０と乾燥部５０と移動機構６０と除去部７０とを備える。
【００１４】
造形部１０は、金属粉末を含む材料が供給される造形ステージである。造形部１０の上面は平坦であり、その平坦な上面に材料が供給される。造形部１０は、移動機構６０によって、水平方向および鉛直方向に移動可能である。
【００１５】
ディスペンサー４０は、造形部１０上に材料を供給する装置である。本実施形態では、ディスペンサー４０は、金属粉末と溶媒とバインダーとを含むペースト状の材料を、造形部１０の上方から造形部１０に向けて吐出して供給する。造形部１０に対する材料の供給位置は、移動機構６０が造形部１０を移動させることによって任意に制御される。
【００１６】
本実施形態では、金属粉末としては、鉄を用いる。その他、金属粉末として、例えば、アルミニウム、チタン、銅、マグネシウム、ステンレス鋼、マルエージング鋼等を用いることができる。
【００１７】
本実施形態では、溶媒としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドンを用いる。その他、溶媒として、例えば、水；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｉｓｏ−プロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ｉｓｏ−ブチル等の酢酸エステル類；ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、エチル−ｎ−ブチルケトン、ジイソプロピルケトン、アセチルアセトン等のケトン類；エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類；テトラアルキルアンモニウムアセテート類；ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド等のスルホキシド系溶剤；ピリジン、γ−ピコリン、２，６−ルチジン等のピリジン系溶剤；テトラアルキルアンモニウムアセテート（例えば、テトラブチルアンモニウムアセテート等）等のイオン液体等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００１８】
本実施形態において、バインダーとしては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、セルロース系樹脂或いはその他の合成樹脂又はＰＬＡ（ポリ乳酸）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）或いはその他の熱可塑性樹脂を用いることができる。
【００１９】
乾燥部５０は、材料へのレーザーの照射に先立ち、造形部１０上に供給された材料を加熱することにより、材料中の溶媒およびバインダーの含有量を削減する装置である。乾燥部５０としては、例えば、ランプヒーターやレーザーを用いることができる。なお、乾燥部５０によって加熱される温度は、金属粉末が溶融する温度よりも低い温度である。また、乾燥部５０によって加熱される温度は、溶媒の沸点以下もしくはバインダーの分解温度以下であることが好ましい。
【００２０】
レーザー光源２０は、金属粉末を溶融させるためのレーザーを射出する光源である。レーザー光源２０としては、例えば、ファイバーレーザーを用いることができる。レーザーによって金属粉末が溶融すると、その際に、ヒュームが発生する場合がある。ヒュームとは、金属蒸気が凝集することにより生じる微細な粒子のことをいう。また、本実施形態では、材料に金属粉末だけではなく溶媒やバインダーが含まれるため、レーザーの照射によって材料から炭化物が飛散する場合がある。
【００２１】
光学部品３０は、レーザー光源２０から射出されたレーザーが、造形部１０上の材料に到達するまでに通る部品である。光学部品３０は、レーザー光源２０から射出されたレーザーを造形部１０上の材料まで導く。本実施形態において、光学部品３０には、ミラー３１と、レンズ３２と、ウィンドウ３３とが含まれる。ミラー３１は、レーザー光源２０から射出されたレーザーをレンズ３２に向けて反射する。レンズ３２は、所定のＦ値（＝焦点距離Ｌ／レンズ有効口径Ｒ）を有する集光レンズであり、ミラー３１が反射したレーザーを、造形部１０上の材料に対して集光する。ウィンドウ３３は、レンズ３２から射出されたレーザーを透過する。光学部品３０は、レーザーを材料に導くために、複数のミラーを含んでもよく、また、複数のレンズを含んでもよい。また、ウィンドウの数も任意である。
【００２２】
本実施形態では、ウィンドウ３３は、第１領域Ａ１を備えている。第１領域Ａ１は、造形部１０側を向きレーザーが通る領域である。第１領域Ａ１の周囲の少なくとも一部には、第１領域Ａ１よりも表面自由エネルギーが高い第２領域Ａ２が配置されている。「第１領域Ａ１が造形部１０側を向く」とは、第１領域Ａ１が造形部１０と正対する場合と、第１領域Ａ１が造形部１０とある角度を持って向き合う場合と、の両方を含む意味であり、光学部品３０と造形部１０とが平行の関係にある場合に限られない。そのため、光学部品３０（ウィンドウ３３）の設置角度にかかわらず、造形部１０側から光学部品３０としてのウィンドウ３３を見た場合には、光学部品３０（ウィンドウ３３）の造形部１０側に、レーザーが通る第１領域Ａ１が備えられ、その第１領域Ａ１の周囲の少なくとも一部に、第１領域Ａ１よりも表面自由エネルギーが高い第２領域Ａ２が配置されていることになる。
【００２３】
本実施形態では、第１領域Ａ１は、レーザーが透過する領域であり、パーフルオロアルキルシランやフッ素系ポリマーなどのフッ素系材料やシリコーンがコーティングされることによって、撥液処理が施された領域である。つまり、第１領域Ａ１は、撥液性を有している。第１領域Ａ１が撥液性を有していれば、第１領域Ａ１の表面自由エネルギーを容易に低下させることができる。また、本実施形態では、第２領域Ａ２は、第１領域Ａ１の周囲の全周に亘ってウィンドウ３３に設けられた領域であり、酸化チタン材料がコーティングされることにより、親液処理が施された領域である。つまり、第２領域Ａ２は、親液性を有している。第２領域Ａ２が親液性を有していれば、第２領域Ａ２の表面自由エネルギーを容易に高めることができる。
【００２４】
ヒュームや炭化物を、第１領域Ａ１よりも第２領域Ａ２に付着しやすくなるため、第１領域Ａ１の表面自由エネルギーは、より小さいことが好ましい。例えば、ヒュームに含まれる金属の表面自由エネルギーは、１０００ｍＪ／ｍ2 以上であり、フッ素系のコーティング膜の表面自由エネルギーは、２０ｍＪ／ｍ2 前後である。従って、第２領域Ａ２の表面自由エネルギーの値は、第１領域Ａ１の表面自由エネルギーの値よりも、２桁以上大きい値であることが好ましい。より具体的には、第１領域Ａ１の表面自由エネルギーは、５０ｍＪ／ｍ2 以下であることが好ましく、３０ｍＪ／ｍ2 以下であることがより好ましい。また、第２領域Ａ２の表面自由エネルギーは、１０００ｍＪ／ｍ2 以上であることが好ましい。このように、本実施形態では、第１領域Ａ１よりも第２領域Ａ２の表面自由エネルギーが高い。そのため、同一の液体（例えば、水）について、第１領域Ａ１よりも第２領域Ａ２の方がぬれ性が高く、第１領域Ａ１よりも第２領域Ａ２の方が接触角が小さいと言える。
【００２５】
除去部７０は、第１領域Ａ１に付着した粒子を除去する装置である。本実施形態では、除去部７０は、ガスを噴射するガス噴射装置によって構成されている。除去部７０から噴射されるガスは、窒素ガスやアルゴンガスなどの不活性ガスであることが好ましい。除去部７０は、造形物の造形時に、常時、ガスを第１領域Ａ１に向けて噴射することにより、ヒュームや炭化物が、第１領域Ａ１に付着することを抑制する。また、ヒュームや炭化物が第１領域Ａ１に付着した場合には、除去部７０からガスが噴射されることによりそれらが除去される。除去部７０によるガス噴射量は、例えば、５０〜１５０ｌ／ｍｉｎであり、除去部７０のガス噴射能力を抑制する観点および粒子を確実に除去する観点から、例えば、１００ｌ／ｍｉｎ程度であることが好ましい。また、ヒュームの温度低下によって金属粒子が第２領域Ａ２に付着する前に落下することを抑制するため、除去部７０から噴射するガスは、温風であることが好ましく、１００〜２００℃のガスであることが好ましい。
【００２６】
以上で説明した本実施形態の三次元造形装置１００によれば、ウィンドウ３３のレーザーが通る第１領域Ａ１よりも、その周囲のレーザーが通らない第２領域Ａ２の表面自由エネルギーが高いため、材料から飛来したヒュームは、レーザーが通る第１領域Ａ１よりも、レーザーが通らない第２領域Ａ２に付着しやすい。これは、固体の表面自由エネルギーが高いほど、気体や微粒子は吸着しやすく、液体と塗れやすく、他の固体と付着しやすくなり、また、逆に、固体の表面自由エネルギーが低いほど、界面が安定状態になるため、外部から飛来する微粒子は結合しづらくなるからである。そのため、本実施形態によれば、光学部品へのヒュームの付着によって造形物の造形精度が低下することを、第１領域Ａ１よりも第２領域Ａ２の表面自由エネルギーを高くするという簡易な構成で抑制できる。特に本実施形態では、造形部１０に供給される材料に、溶媒やバインダーが含まれるため、ヒューム以外にも炭化物が飛散しやすくなっている。そのため、本実施形態によれば、レーザーが通る第１領域に、ヒュームだけではなく、炭化物が付着することも抑制できる。
【００２７】
また、本実施形態では、三次元造形装置１００は除去部７０を備えているため、第１領域Ａ１の界面で不安定な状態となっているヒュームや炭化物を効率的に第２領域Ａ２に捕捉させることができる。しかも、本実施形態では、ウィンドウ３３の第１領域Ａ１の表面自由エネルギーが低いため、除去部７０から大量にガスを噴射しなくてもヒュームや炭化物が第１領域Ａ１に付着することを抑制できる。そのため、除去部７０を小型化でき、三次元造形装置１００全体のサイズを小さくすることができる。
【００２８】
Ｂ．第２実施形態：
図２は、本発明の第２実施形態としての三次元造形装置１０１の概略構成を示す説明図である。上述した第１実施形態と第２実施形態とでは、光学部品３０の構成が異なり、他の点は共通である。そのため、以下では、光学部品３０以外の構成についての説明は省略する。
【００２９】
第２実施形態では、光学部品３０は、ミラー３１とレンズ３２を含み、ウィンドウを含んでいない。本実施形態では、レンズ３２は、レンズホルダー８０の中央部に設けられた貫通孔内に嵌め込まれている。レンズホルダー８０は、例えば、樹脂や金属など、レンズ３２の材料（ガラス）とは異なる材料によって構成されている。
【００３０】
本実施形態では、光学部品３０のうちのレンズ３２が、造形部１０側を向く面に、レーザーが通る第１領域Ａ１を備えている。また、レンズホルダー８０の造形部１０側を向く面に、第２領域Ａ２が配置されている。そして、第１実施形態と同様に、第１領域Ａ１よりも第２領域Ａ２の方が、表面自由エネルギーが高い。
【００３１】
以上で説明した第２実施形態においても、光学部品３０としてのレンズ３２のレーザーが通る第１領域Ａ１よりもその周囲の第２領域Ａ２の表面自由エネルギーが高いため、材料から飛来したヒュームは、レーザーが通る第１領域Ａ１よりもレーザーが通らない第２領域Ａ２に付着しやすい。そのため、第１実施形態と同様に、光学部品３０へのヒュームの付着に起因して造形物の造形精度が低下することを、簡易な構成で抑制できる。
【００３２】
Ｃ．第３実施形態：
図３は、本発明の第３実施形態としての三次元造形装置１０３の概略構成を示す説明図である。上述した第１実施形態と第３実施形態とでは、光学部品３０の構成が異なり、他の点は共通である。そのため、以下では、光学部品３０以外の構成についての説明は省略する。
【００３３】
第３実施形態では、光学部品３０は、ミラー３１とレンズ３２とを含み、ウィンドウを含んでいない。本実施形態では、レンズ３２が、レーザー光源２０とミラー３１の間に配置されている。
【００３４】
本実施形態では、光学部品３０のうち、ミラー３１が、造形部１０側を向く面に、レーザーが通る第１領域Ａ１を備えている。また、ミラー３１の第１領域Ａ１の周囲には、第２領域Ａ２が配置されている。そして、第１実施形態と同様に、第１領域Ａ１よりも第２領域Ａ２の方が、表面自由エネルギーが高い。
【００３５】
以上で説明した第３実施形態においても、光学部品３０としてのミラー３１のレーザーが通る第１領域Ａ１よりもその周囲の第２領域Ａ２の表面自由エネルギーが高いため、材料から飛来したヒュームは、レーザーが通る第１領域Ａ１よりもレーザーが通らない第２領域Ａ２に付着しやすい。そのため、第１実施形態と同様に、光学部品３０へのヒュームの付着に起因して造形物の造形精度が低下することを、簡易な構成で抑制できる。
【００３６】
Ｄ．他の実施形態：
（１）上記実施形態では、除去部７０からガスを噴射することによって、第１領域Ａ１に粒子が付着することを抑制している。これに対して、除去部７０は、種々の構成を採用することが可能である。例えば、除去部７０は、第１領域Ａ１を有する光学部品３０に、振動を加える振動装置であってもよく、この振動装置が、光学部品３０に振動を加えることによって、第１領域Ａ１に粒子が付着することを抑制してもよい。振動装置によって、振動ふるい効果を効果的に作用させるためには、遠心効果として、振動加速度を重力加速度の３倍以上与えるとよい。遠心効果Ｋは、以下の式（１）で表される。ただし、ｒは片振幅であり、ｇは重力加速度、Ｎは振動数である。例えば、振動装置によって光学部品３０を片振幅１μｍ程度に振動させるには、５０ＫＨｚ程度の振動数を与えればよい。
Ｋ（＝ｒ（２πＮ／６０）2 ／ｇ）  ・・・（１）
【００３７】
（２）除去部７０は、また、第１領域Ａ１に磁力を与える磁力発生装置であってもよい。例えば、磁力発生装置が、磁石を第１領域Ａ１に対して平行に高速動作（例えば、回転）させると、電磁誘導によってヒュームに含まれる金属粒子の内部自由電子に誘導起電力が生じるため、金属粒子は、電子が流れようとする方向に移動しようとする。そのため、ヒュームを第１領域Ａ１に付着させにくくすることができる。
【００３８】
（３）除去部７０は、また、第１領域Ａ１を拭き取る清浄装置であってもよい。例えば、清浄装置は、第１領域Ａ１の下面に沿って往復移動するピストンを有し、そのピストンの先端に極細繊維の不織布等を設け、その不織布を往第１領域Ａ１の表面に沿って往復移動させることより、第１領域Ａ１に粒子が付着することを抑制してもよい。
【００３９】
（４）除去部７０は、上述したガス噴射装置、振動装置、磁力発生装置、清浄装置のうち、２以上の装置を含んでもよい。また、三次元造形装置から、除去部７０を省略することも可能である。
【００４０】
（５）上述した各実施形態において、第１領域Ａ１には、微細な凹凸からなるモスアイ構造が形成されていてもよい。ヒュームに含まれる金属粒子の直径は、０．１〜数μｍであることから、モスアイ構造に含まれる凸部のピッチは、金属粒子の直径の半分以下である１００ｎｍ以下であることが好ましい。第１領域Ａ１にモスアイ構造のような微細な凹凸が形成されていれば、金属粒子との接触面積が低減し、金属粒子が付着することを抑制できる。また、モスアイ構造の反射抑制効果により、レーザーの反射を抑制することも可能である。なお、第１領域Ａ１には、モスアイ構造が単独で形成されていてもよいし、モスアイ構造の上から、フッ素系材料等による撥液処理が施されていてもよい。その他、第１領域Ａ１に、モスアイ構造に代えて、フラクタル構造を形成してもよい。
【００４１】
（６）上述した各実施形態において、三次元造形装置は、第２領域Ａ２に向けて紫外線を照射する紫外線照射装置を備えてもよい。紫外線照射装置によって第２領域Ａ２に紫外線を照射すれば、第２領域Ａ２にコーティングした酸化チタンの光触媒効果によって、第２領域Ａ２に付着した炭化物を分解することができる。
【００４２】
（７）上記実施形態の三次元造形装置は、金属粉末を溶融して三次元造形物を製造する。これに対して三次元造形装置は、金属粉末を焼結して三次元造形物を製造してもよい。また、三次元造形装置は、金属粉末のみを材料として用いてもよい。この場合、三次元造形装置は、ディスペンサー４０や乾燥部５０を省略してもよく、例えば、ホッパーやスキージを制御して材料を造形部１０に供給してもよい。
【００４３】
（８）上記実施形態では、第１領域Ａ１と第２領域Ａ２とに異なる材料をコーティングすることによって、第１領域よりも第２領域の表面自由エネルギーを高くしている。これに対して、第１領域Ａ１を有する基材と第２領域Ａ２を有する基材とを、異なる表面自由エネルギーを有する材質とすることによって、第１領域よりも第２領域の表面自由エネルギーを高くしてもよい。
【００４４】
（９）上記実施形態では、第１領域Ａ１と第２領域Ａ２との両方にそれぞれ異なる材料をコーティングすることによって、第１領域よりも第２領域の表面自由エネルギーを高くしている。これに対して、第１領域Ａ１と第２領域Ａ２とのいずれか一方にコーティングを行うことによって、第１領域よりも第２領域の表面自由エネルギーを高くしてもよい。
【００４５】
（１０）上記第１実施形態において、例えば、第１領域Ａ１は、第２領域Ａ２よりも造形部１０側に突出していてもよい。このような構造であれば、上昇するヒュームを第２領域Ａ２に効率的に付着させることができる。
【００４６】
本発明は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１０…造形部、２０…レーザー光源、３０…光学部品、３１…ミラー、３２…レンズ、３３…ウィンドウ、４０…ディスペンサー、５０…乾燥部、６０…移動機構、７０…除去部、８０…レンズホルダー、１００…三次元造形装置、１０１…三次元造形装置、１０３…三次元造形装置、Ａ１…第１領域、Ａ２…第２領域
【図１】
2018003109.tif 000003
【図２】
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【図３】
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