(57)【要約】【課題】加工が容易かつ部品点数が少ない静圧気体軸受機構を用いた直線スライド装置を提供すること。【解決手段】  スライド軸１１０と該スライド軸１１０のスライド軸方向に静圧気体層を介して移動するスライダ１２０とで構成される静圧気体軸受機構を用いた直線スライド装置において、スライド軸１１０が、スライド軸１１０方向に沿ったスライド円周面部１１２とスライド軸１１０方向に沿ったスライド平面部１１１とを備え、スライダ１２０が、スライド平面部１１１に対面して静圧気体を噴出するエアプレート１２１と、スライド円周面部１１２に対面して静圧気体を噴出するエアブッシュ１２２とを備えていることを特徴とする直線スライド装置１００。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライド軸と該スライド軸のスライド軸方向に静圧気体層を介して移動するスライダとで構成される静圧気体軸受機構を用いた直線スライド装置において、
前記スライド軸が、前記スライド軸方向に沿ったスライド円周面部と前記スライド軸方向に沿ったスライド平面部とを備え、
前記スライダが、前記スライド平面部に対面して静圧気体を噴出するエアプレートと、前記スライド円周面部に対面して静圧気体を噴出するエアブッシュとを備えていることを特徴とする直線スライド装置。
【請求項２】
前記スライド平面部が、前記スライド軸方向の中央部位に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の直線スライド装置。
【請求項３】
前記スライド平面部が、前記スライド軸方向の両端部位に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の直線スライド装置。
【請求項４】
前記スライド平面部が、前記スライド軸方向に沿って複数形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の直線スライド装置。
【請求項５】
前記スライダのエアプレートが、前記スライド平面部との間隙に生じる静圧気体層を調整する静圧気体層調整部を有していることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の直線スライド装置。
【請求項６】
前記静圧気体層調整部が、前記スライド軸方向と直交する幅方向の両端付近に配置された引きボルト、押しボルトを有していることを特徴とする請求項５に記載の直線スライド装置。
【請求項７】
前記静圧気体が、空気であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の直線スライド装置。
【請求項８】
前記スライド軸が、中実部材から形成されていることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の直線スライド装置。
【請求項９】
前記スライド軸が、中空部材から成形されていることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の直線スライド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧気体軸受機構を用いた直線スライド装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、静圧気体軸受機構を用いた直線スライド装置は、精密測定機器や超精密加工機に用いられており、固定されるガイド軸とこのガイド軸を案内要素としてガイド軸に沿って移動する可動体とから構成され、これらの可動体とガイド軸との隙間に静圧気体層を形成し、この静圧気体層が流体の潤滑膜となって、ガイド軸が可動体を非接触で受けている。
【０００３】
このような静圧気体軸受機構を用いた直線スライド装置としては、可動体が移動する際にガイド軸周りの位置ずれやブレをなくすため、例えば、矩形断面のガイド軸とこのガイド軸を囲繞する可動体とで構成されたもの（例えば、特許文献１）や、一つの可動体が二本並設した円形断面のガイド軸を囲繞するように構成されたものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−６０８３３号公報（特に、請求項１、図１を参照。）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されている静圧気体軸受機構の場合には、矩形断面のガイド軸が用いられており、このような矩形断面のガイド軸は、隣り合うそれぞれの面同士の直角度や、一つの面とその反対側の面との平行度を高い精度で加工する必要がある。
他方、一つの可動体が二本並置した円形断面のガイド軸を囲繞する静圧気体軸受機構の場合には、円形断面のガイド軸自体は、高い真円度で形成することは容易であるが、ガイド軸を２本配置すると共に、これら２本のガイド軸に対応するスライダとしなければならない。
【０００６】
したがって、前者は、ガイド軸および可動体に対する高精度の加工とガイド軸に対する可動体の高精度の嵌合形態を要求されるという問題があり、後者は、単にガイド軸の部品点数が増加するばかりでなく、２本のガイド軸に対する高精度の組み付け負担が要求され、製造コストが増大するという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、前述したような従来技術の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、加工が容易かつ部品点数が少ない静圧気体軸受機構を用いた直線スライド装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本請求項１に係る発明は、スライド軸と該スライド軸のスライド軸方向に静圧気体層を介して移動するスライダとで構成される静圧気体軸受機構を用いた直線スライド装置において、前記スライド軸が、前記スライド軸方向に沿ったスライド円周面部と前記スライド軸方向に沿ったスライド平面部とを備え、前記スライダが、前記スライド平面部に対面して静圧気体を噴出するエアプレートと、前記スライド円周面部に対面して静圧気体を噴出するエアブッシュとを備えていることにより、前述した課題を解決するものである。
【０００９】
本請求項２に係る発明は、請求項１に記載された直線スライド装置に加えて、前記スライド平面部が前記スライド軸方向の中央部位に形成されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１０】
本請求項３に係る発明は、請求項１に記載された直線スライド装置に加えて、前記スライド平面部が前記スライド軸方向の両端部位に形成されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１１】
本請求項４に係る発明は、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載された直線スライド装置に加えて、前記スライド平面部が、前記スライド軸方向に沿って複数形成されていることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１２】
本請求項５に係る発明は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載された直線スライド装置に加えて、前記スライダのエアプレートが、前記スライド平面部との間隙に生じる静圧気体層を調整する静圧気体層調整部を有していることにより、前述した課題をさらに解決するものである。
【００１３】
本請求項６に係る発明は、請求項５に記載された直線スライド装置に加えて、前記静圧気体層調整部が、前記スライド軸方向と直交する幅方向の両端付近に配置された引きボルト、押しボルトを有していることにより、前述した課題を解決するものである。
【００１４】
本請求項７に係る発明は、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載された直線スライド装置に加えて、前記静圧気体が、空気であることにより、前述した課題を解決するものである。
【００１５】
本請求項８に係る発明は、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載された直線スライド装置に加えて、前記スライド軸が、中実部材から形成されていることにより、前述した課題を解決するものである。
【００１６】
本請求項９に係る発明は、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載された直線スライド装置に加えて、前記スライド軸が、中空部材から成形されていることにより、前述した課題を解決するものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の直線スライド装置は、スライド軸と該スライド軸のスライド軸方向に静圧気体層を介して移動するスライダとで構成される静圧気体軸受機構を用いていることにより、スライダをスライド軸のスライド軸方向に沿って非接触状態で円滑に移動させることができるばかりでなく、以下のような特有の効果を奏する。
【００１８】
本請求項１に係る発明の直線スライド装置によれば、スライド軸が、スライド軸方向に沿ったスライド円周面部とスライド軸方向に沿ったスライド平面部とを備え、スライダが、スライド平面部に対面して静圧気体を噴出するエアプレートと、スライド円周面部に対面して静圧気体を噴出するエアブッシュとを備えていることにより、スライド軸方向に沿ったスライド円周面部によって位置精度のズレが少ない移動を実現するとともに、スライド軸方向に沿ったスライド平面部が静圧気体を噴出するエアプレートで支持されるため、スライド軸の回転を防止することができる。
【００１９】
なお、本請求項１に係る発明の直線スライド装置において、スライド円周面部は略円形の外周側面を含む部分を指し、例えば、スライド平面部が形成された部分であってもスライド平面部以外の外周側面が円形であれば、スライド円周面部と称する。
【００２０】
本請求項２に係る発明の直線スライド装置によれば、請求項１に係る発明が奏する効果に加えて、スライド平面部が、スライド軸方向の中央部位に形成されていることにより、スライダの移動範囲が限定されるため、スライダの移動を予め設定した範囲に規制することができるばかりでなく、スライダの移動制御範囲を超えて、スライダが移動することを防止するストッパの機能を奏するため、スライダ移動に起因する計測や加工における不測の事態を防止することができる。
【００２１】
本請求項３に係る発明の直線スライド装置によれば、請求項１に係る発明が奏する効果に加えて、スライド平面部が、スライド軸方向の両端部位に形成されていることにより、スライド平面部を容易に長尺化できるため、スライダの移動範囲を広く設定することができる。
【００２２】
本請求項４に係る発明の直線スライド装置によれば、請求項１から請求項３のいずれか１項に係る発明が奏する効果に加えて、前記スライド平面部が、スライド軸方向に沿って複数形成されていることにより、スライド軸が２面以上の水平面からなるスライド平面部でエアプレートを臨むように設定されるため、従来のようなガイド面同士の直角度の精度出しを必要とすることなく、スライダを設置する精密測定機器や超精密加工機に応じて設定することができる。
【００２３】
本請求項５に係る発明の直線スライド装置によれば、請求項１から請求項４のいずれか１項に係る発明が奏する効果に加えて、スライダのエアプレートが、スライド平面部との間隙に生じる静圧気体層を調整する静圧気体層調整部を有していることにより、スライダのエアプレートとスライド平面部との間隔が任意に設定されるため、スライダの最適な移動を実現することができる。
【００２４】
本請求項６に係る発明の直線スライド装置によれば、請求項５に係る発明が奏する効果に加えて、静圧気体層調整部が、スライド軸方向と直交する幅方向の両端付近に配置された引きボルト、押しボルトを有していることにより、これらの引きボルトおよび押しボルトを回転させてスライダのエアプレートとスライド軸のスライド平面部との距離を設定して調整することが可能になるため、スライダのエアブッシュによる支持と、スライダのエアプレートによる支持とのバランスをとって、高精度なスライダ移動を実現することができる。
【００２５】
本請求項７に係る発明の直線スライド装置によれば、請求項１から請求項６のいずれか１項に係る発明が奏する効果に加えて、静圧気体が、空気であることにより、一般的に、供給が可能な圧縮空気を使用するため、汎用的な設備を利用することができる。
【００２６】
本請求項８に係る発明の直線スライド装置によれば、請求項１から請求項７のいずれか１項に係る発明が奏する効果に加えて、スライド軸が、中実部材から形成されていることにより、高い真円度にて加工可能な円柱状シャフトにスライド平面部を切削等の加工を行うことでスライド軸を形成できるため、位置精度のズレが少ない移動を実現することができる。
【００２７】
すなわち、本請求項８に係る発明の直線スライド装置によれば、真円度の高い円柱状の周側面を持つスライド軸は、従来のような矩形断面のガイド軸を加工するよりも高精度に加工することが容易であるため、精密測定機器や超精密加工機の案内機構として信頼できるスライド軸を安価に提供することができる。
【００２８】
また、円柱状の周側面を持つスライド軸に形成されるスライド平面部の加工も困難性がないため、例えば、一つのスライド平面部だけを形成するスライド軸とするならば、従来のような矩形断面のガイド軸において生じたガイド面同士の直角度や平行度にとらわれることなく、簡便に形成・加工することができる。
【００２９】
本請求項９に係る発明の直線スライド装置によれば、請求項１から請求項７のいずれか１項に係る発明が奏する効果に加えて、前記スライド軸が、中空部材から成形されていることにより、円環状の鋼管等を成形することによってスライド軸を構成することもできるため、スライド軸を容易に製作することができる。
【００３０】
さらに、本請求項９に係る発明の直線スライド装置によれば、高い精度が要求されないスライド軸を安価に提供できるとともに、金属材料によらず樹脂等での一体成形としてもスライド軸を成形することできる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の第１実施例である直線スライド装置の全体を示す斜視図。
【図２】図１に示す直線スライド装置におけるスライド軸方向の断面斜視図。
【図３】図１におけるスライド軸の全体形状を示す斜視図。
【図４】図２に示す直線スライド装置の移動状態を説明する断面斜視図。
【図５】図１に示す静圧気体層調整部を説明するスライド軸方向の断面斜視図。
【図６】図１に示す静圧気体層調整部を説明するスライド軸と直交方向の断面斜視図。
【図７】本発明の第２実施例である直線スライド装置を示すスライド軸方向の断面斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
本発明は、スライド軸とこのスライド軸のスライド軸方向に静圧気体層を介して移動するスライダとで構成される静圧気体軸受機構を用いた直線スライド装置において、スライド軸が、スライド軸方向に沿ったスライド円周面部とスライド軸方向に沿ったスライド平面部とを備え、スライダが、スライド平面部に対面して静圧気体を噴出するエアプレートと、スライド円周面部に対面して静圧気体を噴出するエアブッシュとを備え、加工が容易かつ部品点数が少ない静圧気体軸受機構を用いた直線スライド装置を実現するものであれば、その具体的な実施態様は、いかなるものであっても構わない。
例えば、以下で説明する部材は、金属であっても、樹脂であっても良い。
静圧気体は、空気以外の気体であっても良い。
【実施例１】
【００３３】
以下、本発明の第１実施例である直線スライド装置１００について、図１から図６に基づいて説明する。
ここで、図１は、本発明の第１実施例である直線スライド装置の全体を示す斜視図であり、図２は、図１に示す直線スライド装置におけるスライド軸方向の断面斜視図であり、図３は、図１におけるスライド軸の全体形状を示す斜視図であり、図４は、図２に示す直線スライド装置の移動状態を説明する断面斜視図であり、図５は、図１に示す静圧気体層調整部を説明するスライド軸方向の断面斜視図であり、図６は、図１に示す静圧気体層調整部を説明するスライド軸と直交方向の断面斜視図である。
【００３４】
図１および図２を参照すると、本発明の第１実施例である直線スライド装置１００は、円形の外周側面を有する棒状のスライド軸１１０と、このスライド軸１１０と静圧気体層を介してスライド軸１１０のスライド軸方向に沿って移動するスライダ１２０とで構成される静圧気体軸受機構を用いたものである。
【００３５】
図３も併せて参照すると、本実施例においてスライド軸１１０は、円柱状の周側面を持つシャフトから加工する構成としている。
しかしながら、円柱状のシャフト以外であっても、例えば、円環状の鋼管等によってスライド軸１１０を構成することもできる。
そして、この円柱状のシャフトから構成されるスライド円周面部１１２の一部には、スライド軸１１０のスライド軸方向に沿って水平を有するスライド平面部１１１が形成されている。
なお、スライド平面部１１１以外の部分はスライド円周面部１１２の円柱状が外周側面に残った第２スライド円周面部１１４となっている。
【００３６】
なお、本発明の直線スライド装置１００において、スライド円周面部は略円形の外周側面を含む部分を指し、例えば、第２スライド円周面部１１４のようにスライド平面部が形成された部分であってもスライド平面部以外の外周側面が円形であればスライド円周面部と称する。
【００３７】
スライド平面部１１１は、円柱状シャフトの切削加工によって形成することができるが、円環状の鋼管の場合では成形によって形成することができ、また、スライド円周面部１１２とスライド平面部１１１（第２スライド円周面部１１４）とは、直線スライダ装置１００の使用形態に応じて、任意に配置することもできる。
【００３８】
ここで、上述したスライド軸１１０としては、例えば、ステンレス鋼等の金属を熱処理、無電解ニッケルめっき処理を施した材料を用いることができるが、金属に限定されず、耐摩耗性の合成樹脂等も用いることもできる。
【００３９】
本実施例における金属製のスライド軸１１０の場合には、上述した円形断面を有するスライド円周面部１１２および第２スライド円周面部１１４は、旋盤などを用いて円柱状に切削・研磨加工を施すことにより、スライダ１２０の移動時の狂いとなる軸ブレをなくすべく、必要な寸法精度や仕上げ面粗さに簡便に加工することができる。
【００４０】
なお、円形断面を有するスライド軸１１０の精度出しは、スライド軸１１０となるワークを回転させる切削加工により行うため、従来のような矩形断面のスライド軸におけるガイド面同士の直角度、平行度の精度出しと比べて、容易に要求を満たすことができる。
【００４１】
また、前述したスライド軸１１０の水平面からなるスライド平面部１１１は、円形断面を有するスライド円周面部１１２を両軸端部に残すように、スライド軸１１０のそれぞれの軸端部に形成されたスライド円周面部１１２、スライド円周面部１１２の間に挟み込まれるようにスライド平面部１１１が形成されている。
【００４２】
すなわち、スライド平面部１１１は、スライド軸１１０の水平度を維持しながら、円形断面を有するスライド円周面部１１２の周側面をエンドミル等で加工することで、スライド軸１１０のスライド軸方向に沿った水平な面として形成されている。
したがって、これらのスライド円周面部１１２とスライド平面部１１１との間には、スライド軸方向から見てローマ字「Ｄ」の断面形状になる壁部１１３（いわゆる、「Ｄカット」という。）が形成されることになる。
【００４３】
これにより、本実施例の直線スライド装置１００は、スライド軸１１０のスライド軸方向に沿って形成された２つの壁部１１３、１１３の相互間でスライダ１２０が移動可能なスライド幅となるストロークが規定される。
なお、このようなスライド平面部１１１を１面のみに設けた場合には、このスライド平面部１１１の平面度を保持するだけでよく、前述したスライダ１２０を挿通する際のセッティングが容易となることから、これらの組み付け負担が著しく軽減される。
【００４４】
一方、前述したスライダ１２０は、スライド軸１１０のスライド平面部１１１に対面して圧縮空気（静圧気体）を噴出するエアプレート１２１と、このエアプレート１２１をスライド軸１１０のスライド軸方向に沿って挟むように配置してスライド軸１１０のスライド円周面部１１２もしくは第２スライド円周面部１１４に対面して圧縮空気（静圧気体）を噴出する二つのエアブッシュ１２２、１２２とを備えている。
【００４５】
さらに、前述したエアプレート１２１は、エアプレートブロック１２３の底面側に保持され、二つのエアブッシュ１２２、１２２は、エアプレートブロック１２３を挟んだエアブッシュブロック１２４にそれぞれ保持されている。
すなわち、エアブッシュブロック１２４には、スライド軸１１０を挿入するスライド軸方向の貫通穴１２４ａが形成されており、この貫通穴１２４ａの開口には、エアブッシュ１２２が嵌め込まれた状態で配置されている。
【００４６】
そして、スライダ１２０のエアブッシュ１２２、１２２とスライド軸１１０のスライド円周面部１１２もしくは第２スライド円周面部１１４との間に形成される間隙は、流体の潤滑膜となる静圧気体層が生じるような遊嵌状態に適宜設定されている。
なお、スライダ１２０のエアブッシュ１２２、１２２へ供給される圧縮空気は、２つの注気口１２５，１２５からそれぞれ取り入れられる。
【００４７】
圧縮空気は、エアブッシュ１２２、１２２内のオリフィスや多孔質材等を通り抜け、スライダ１２０のエアブッシュ１２２、１２２とスライド軸１１０のスライド円周面部１１２もしくは第２スライド円周面部１１４との隙間に流れ込む流量は適切に調整されて、両者を非接触状態に維持してスライダ１２０を支持している。
【００４８】
図５および図６も併せて参照すると、エアプレートブロック１２３は、エアブッシュブロック１２４のスライド軸方向中央付近に設けられ、貫通穴１２４ａまで達してスライド軸１１０を臨むように形成されたエアブッシュブロック１２４の凹部１２４ｂに設置される。
【００４９】
エアプレートブロック１２３は、略直方体のブロック体からなり、スライド軸１１０と直交方向となる幅方向の両端部は、図５のＡ矢視も併せて参照すると、後述する引きボルト１２６、押しボルト１２７を介して、エアブッシュブロック１２４の凹部１２４ｂの底面となるスライド軸１１０側の両側の載置面１２４ｃに載置される。
【００５０】
エアプレートブロック１２３の底面側には、スライド軸１１０のスライド平面部１１１を臨むようにエアプレート１２１が設置される。
そして、エアプレート１２１へ供給される圧縮空気は、注気口１２８から取り入れられる。
圧縮空気は、エアプレート１２１内のオリフィスや多孔質材等を通り抜け、このスライダ１２０のエアプレート１２１とスライド軸１１０のスライド平面部１１１との隙間に流れ込む流量は、適切に調整されて、両者を非接触状態に維持している。
【００５１】
スライダ１２０のエアプレート１２１とスライド軸１１０のスライド平面部１１１との隙間を調整する静圧気体層調整部１２０Ａとして、スライド軸１１０と直交する幅方向の両端付近に引きボルト１２６、押しボルト１２７が配置されている。
【００５２】
エアプレートブロック１２３のスライド軸と直交する幅方向の両端付近には、それぞれ引きボルト１２６用のキリ穴１２３ａが１カ所、キリ穴１２３ａを軸方向に挟むように押しボルト１２７用のねじ穴１２３ｂが２カ所、両端を合わせると、エアプレートブロック１２３全体で合計６カ所のねじ穴が穿孔されている。
【００５３】
さらに、引きボルト１２６用のキリ穴１２３ａに対応するように、エアプレートブロック１２３をエアブッシュブロック１２４に固定するためのねじ穴１２４ｄが、エアブッシュブロック１２４にそれぞれ設けられている。
なお、引きボルト１２６と押しボルト１２７の配置は、エアプレートブロック１２３のスライド軸と直交する幅方向の一端側に２本の引きボルト１２６とその間に１本の押しボルト１２７、他端側に２本の押しボルト１２７とその間に１本の引きボルト１２６を配設しても良い。
【００５４】
このようにして、エアプレートブロック１２３は、引きボルト１２６がキリ穴１２３ａに挿入されてねじ穴１２４ｄと螺合することにより、エアブッシュブロック１２４に固定される。
このとき、スライダ１２０のエアプレート１２１が、スライド軸１１０のスライド平面部１１１に対して所定の隙間を保持し、かつ、面同士が倒れもなく対応できるように、押しボルト１２７を適宜旋回させることによって、押し出し長さの調整が図られる。
【００５５】
すなわち、押しボルト１２７のねじ穴１２３ｂへの螺合回旋数を調整することで、押しボルト１２７の先端がエアプレートブロック１２３の下面から突出する長さを調節し、この押しボルト１２７の突出した先端が凹部１２４ｂの載置面１２４ｃに接触することで、エアプレートブロック１２３とこのエアプレートブロック１２３に対面するエアブッシュブロック１２４の載置面１２４ｃとの間隙が一定に保持される。
【００５６】
上述したような引きボルト１２６および押しボルト１２７の協同によって形成されたエアプレートブロック１２３とエアブッシュブロック１２４の載置面１２４ｃとの間の隙間は、スライダ１２０のエアプレート１２１とスライド軸１１０のスライド平面部１１１との隙間に波及して、両者の隙間を安定的に形成する。
このような隙間の調整により、スライダ１２０のエアブッシュ１２２による両持ち状態の支持と、スライダ１２０のエアプレート１２１による支持とのバランスをとり、高精度なスライダ１２０の移動を実現させることができる。
【００５７】
なお、本実施例の直線スライド装置１００では、スライド平面部１１１が、図中の上側となる上面に形成されている実施例としているが、スライド平面部１１１の位置は、上面に限定されるものではない。
すなわち、スライド平面部１１１の位置は、スライダ１２０の移動方向となるスライド軸１１０の載置方向に応じて、支持する荷重のバランス、重力等を考慮して適切に設定される。
例えば、スライダ１２０が垂直方向（水平に対して上下方向）に移動する場合には、精密測定機器や超精密加工機の案内機構としてスライダ１２０が備えられたときの負荷状態がどの方向に働くかによって設定することが好ましい。
【００５８】
次に、図２と図４とを比較しながら、本実施例の直線スライド装置１００におけるスライダ１２０の移動を説明する。
まず、図２に示すように、スライド平面部１１１の略中央にスライダ１２０のエアプレート１２１が臨むように、スライダ１２０がスライド軸１１０に対して配置されている。
【００５９】
そこで、スライダ１２０が、図２の左方向へ移動すると、図４に示すようになる。
このときエアプレートブロック１２３の移動方向の端面（図上の左側端面）は、スライド軸１１０に形成されたスライド軸１１０のスライド軸方向から見てローマ字「Ｄ」の形状になる壁部１１３に接触して、さらなる左方向への移動が規制される。
【００６０】
そして、上述した壁部１１３は、スライダ１２０の移動制御範囲を超えて、スライダ１２０が移動することを防止するストッパの機能を奏することができ、スライダ１２０の移動に起因する計測や加工における不測の事態を防止することができる。
【実施例２】
【００６１】
つぎに、本発明の第２実施例である直線スライド装置２００について、図７に基づいて説明する。
本発明の第２実施例である直線スライド装置２００は、前述した本発明の第１実施例である直線スライド装置１００に比較すると、スライド軸１１０に形成したスライド平面部の形態のみが異なり、その他の装置構成は同一であるため、同一の部材については、本発明の第１実施例である直線スライド装置１００と同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００６２】
すなわち、本第２実施例の直線スライド装置２００は、スライド平面部がスライド軸１１０の軸方向全長に及ぶように形成されている。
これにより、本発明の第２実施例である直線スライド装置２００は、前述した第１実施例である直線スライド装置１００よりも広いストロークでスライダ１２０を移動させることができる。
スライダ１２０の移動制御範囲に厳格な限定がない場合には、好適な形態となる。
【００６３】
また、図示しないが、本実施例の変形例として、２面以上の水平面からなるスライド平面部を有したスライド軸１１０として、これらのスライド平面部がエアプレート１２１を臨むように設定することもできる。
【００６４】
これらのスライド平面部の具体的な設置形態については、スライド平面部が全て水平面から構成されていれば、従来のようなガイド面同士の直角度の精度出しを必要とすることなく、スライダ１２０を設置する精密測定機器や超精密加工機に応じて設定することができる。
【００６５】
以上で、本実施形態の説明を終えるが、本発明の態様は、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で変形が可能である。
【符号の説明】
【００６６】
１００，２００・・・直線スライド装置
１１０・・・スライド軸
１１１・・・スライド平面部
１１２  ・・・スライド円周面部
１１３  ・・・壁部
１１４  ・・・第２スライド円周面部
１２０  ・・・スライダ
１２０Ａ・・・静圧気体層調整部
１２１  ・・・エアプレート
１２２  ・・・エアブッシュ
１２３  ・・・エアプレートブロック
１２３ａ・・・キリ穴
１２３ｂ・・・ねじ穴
１２４  ・・・エアブッシュブロック
１２４ａ・・・貫通穴
１２４ｂ・・・凹部
１２４ｃ・・・載置面
１２４ｄ・・・ねじ穴
１２５  ・・・注気口
１２６  ・・・引きボルト
１２７  ・・・押しボルト
１２８  ・・・注気口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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