(57)【要約】【課題】軸受性能を向上させ得る流体軸受装置用軸部材を提供する。【解決手段】流体軸受装置用軸部材は、外周面に、軸方向に離間した二つの軸受面３１，３２と、軸受面３１，３２の間に形成された、軸受面よりも小径の中逃げ部３３とを有する。中逃げ部３３に、研削面からなる円筒面部３３１と、円筒面部の軸方向両側に配置され、円筒面部に対して径差を有する段差部３３２とを設ける。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面に、軸方向に離間した二つの軸受面と、前記二つの軸受面の間に形成された、前記二つの軸受面よりも小径の中逃げ部とを有する流体軸受装置用軸部材において、
前記中逃げ部に、研削面からなる円筒面部と、円筒面部の軸方向両側に配置され、前記円筒面部に対して径差を有する段差部とを設けたことを特徴とする流体軸受装置用軸部材。
【請求項２】
円筒面部にシューマークが形成されている請求項１に記載の流体軸受装置用軸部材。
【請求項３】
円筒面部と段差部の直径寸法の径差が８０μｍ以下である請求項１または２に記載の流体軸受装置用軸部材。
【請求項４】
段差部の軸方向長さが４ｍｍ以下である請求項１〜３何れか１項に記載の流体軸受装置用軸部材。
【請求項５】
前記段差部が旋削面である請求項１〜４何れか１項に記載の流体軸受装置用軸部材。
【請求項６】
前記段差部が研削面である請求項１〜４何れか１項に記載の流体軸受装置用軸部材。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか１項に記載の軸部材と、軸部材の外周に配置した軸受部材とを有し、軸部材の軸受面と軸受部材の内周面との間にラジアル軸受隙間が形成された流体軸受装置。
【請求項８】
軸方向に離間した二つの軸受面と、二つの軸受面の間に形成された、両軸受面よりも小径の中逃げ部とを有する流体軸受装置用軸部材の製造方法であって、
中逃げ部をシューで支持しながら、前記中逃げ部および前記軸受面を同時研削することを特徴とする流体軸受装置用軸部材の製造方法。
【請求項９】
金属素材に対する旋削で前記中逃げ部および軸受面を形成した後、請求項８に記載の同時研削を行う流体軸受装置用軸部材の製造方法。
【請求項１０】
金属素材を鍛造した後、前記中逃げ部および軸受面を研削し、次いで請求項８に記載の同時研削を行う流体軸受装置用軸部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体軸受装置用軸部材及びその製造方法、並びに流体軸受装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、小型モータ等の軸を支持する軸受装置として、軸部材と軸受部材の間に潤滑流体膜を形成することにより、軸部材を回転自在に支持する流体軸受装置が広く使用されている。流体軸受装置の中でも、軸部材の外周面あるいは軸受部材の内周面に形成した動圧発生溝により軸受隙間に流体動圧を発生させる流体動圧軸受装置は、高速回転あるいは高回転精度が求められる用途、例えばレーザビームプリンタのポリゴンスキャナモータ、小型の冷却用ファンモータ、ハードディスクドライブ用モータ等における軸受装置として広く使用されている。
【０００３】
流体動圧軸受装置の一例が、例えば特許第４５０４３９１号（特許文献１）に開示されている。この種の流体動圧軸受装置で使用される軸部材には、その振れ回りを抑えるため、軸方向に離間した二カ所にラジアル軸受面を設けるのが通例である。二つのラジアル軸受面の間には、軸部材の低トルク化を図るため、外径寸法をラジアル軸受面よりも小さくした中逃げ部が形成される。
【０００４】
以上の形態を有する軸部材は、例えば、金属素材を旋削して外周面にラジアル軸受面や中逃げ部を有する軸素材を形成し、その後、図８に示すように、軸素材３００のラジアル軸受面３１０，３２０に砥石１００を押し当てて円筒研削を行うことで製作される。流体動圧軸受装置に軸部材を組み込んだ状態では、中逃げ部３３０は潤滑油中に浸されており、特にその精度は必要とされない。そのため、中逃げ部３３０の研削は省略される場合が多い。
【０００５】
ところで、軸素材３００を研削する際には、回転する軸素材の軸方向中間部付近を、支持部材としてのシュー１２０で支持することで、砥石１００からの研削荷重Ｗを受ける必要がある。この際、シュー１２０による軸素材３００の支持精度は研削後の表面精度に大きく影響するため、シュー１２０による軸素材３００の支持は、旋削面である中逃げ部３３０ではなく、研削面であるラジアル軸受面３１０で行うのが好ましい（特許文献１の図１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４５０４３９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来では、軸素材の反フランジ側の軸受面３１０が軸素材の軸方向中間付近に存在しているため、円筒研削に際し、シュー１２０は研削荷重Ｗの作用線（研削荷重中心線）付近に配置することができる。そのため、研削中の軸素材の姿勢は安定した状態にあると考えられる。
【０００８】
その一方で、近年では、サーバー等での使用に適合するように、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の更なる高容量化が要望されている。このような高容量タイプのＨＤＤでは、ディスクの搭載枚数が増えるために軸が振れ回り易く、これを抑制するために流体動圧軸受装置の軸受剛性をより一層高める必要がある。その一方で、消費電力の低減も要望されており、流体動圧軸受装置のさらなる低トルク化も必要とされている。
【０００９】
以上の要望に応えるためには、図９に示すように、中逃げ部３３０の軸方向寸法を大きくして軸受面３１０，３２０間のスパンを拡大する設計を行う必要がある。この場合、反フランジ側の軸受面３１０が軸部材３００の反フランジ側に偏った位置に形成されるため、従来と同様に反フランジ側の軸受面３１０をシュー１２０で支持したのでは、研削荷重Ｗの作用線とシュー１２０による支持領域との間の軸方向のずれが大きくなる。この場合、二つの軸受面３１０，３２０とシュー１２０による支持領域との間の軸方向距離の差が大きいこともあり、研削中の軸素材３００がシュー１２０で支持された領域を中心として微小揺動する（揺動方向を矢印で示し、揺動中心を符号Ｏで示している）。そのため、軸素材３００の仕上げ精度、特に二つのラジアル軸受面３１０，３２０の同軸度が低下し、軸受性能の低下を招くことが明らかになった。
【００１０】
なお、以上の問題の解決手段として、軸部材の軸方向長さの３／４程度の領域をシューで支持する（特許文献１の図４）ことも考えられる。しかしながら、この場合、シューと軸素材を全面接触させることは不可能であり、限定された狭い領域でしか両者を接触させることはできないため、量産時にシューによる支持位置がばらつく問題がある。そのため、却って研削精度の低下を招き、軸受性能を低下させる要因となる。
【００１１】
そこで、本発明は、軸受性能を向上させ得る流体軸受装置用軸部材およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
以上の目的を達成するため、本発明は、外周面に、軸方向に離間した二つの軸受面と、前記二つの軸受面の間に形成された、前記二つの軸受面よりも小径の中逃げ部とを有する流体軸受装置用軸部材において、前記中逃げ部に、研削面からなる円筒面部と、円筒面部の軸方向両側に配置され、前記円筒面部に対して径差を有する段差部とを設けたことを特徴とするものである。なお、段差部は、旋削面で形成し、あるいは研削面で形成することができる。
【００１３】
このように、本発明では円筒面部を研削面とし、中逃げ部に高精度領域（円筒面部）を形成している。従って、軸受面を研削する際に、この高精度領域をシューで支持することで、軸受面の研削精度を高めることができる。また、中逃げ部の円筒面部をシューで支持することで、軸受面間のスパンを拡大させた長軸タイプの軸部材においても、研削荷重の作用線（研削荷重中心線）をシューで支持された領域と接近させ、好ましくはシューで支持された領域中に配置することができる。この場合、シューで支持された領域と各軸受面との間の軸方向距離の差が小さくなる。従って、研削中の軸素材が振れ回り難くなり、振れ回ったとしても二つの軸受面の研削精度に与える影響を小さくすることができる。以上に述べた作用から、研削後の軸受面の個々の表面精度（真円度等）、さらに二つの軸受面相互間の精度（同軸度等）を高めることが可能となる。
【００１４】
また、中逃げ部に、円筒面部に対して径差を有する段差部を設けているため、中逃げ部と軸受面を研削する際に、径差付きの砥石を使用することで、中逃げ部と軸受面の研削を同時に開始することができる。従って、研削時間の短縮化を図ることができる。また、摩耗した成形工具（ドレッサー）で成形された砥石を用いて研削した際にも、軸受面の中逃げ部側の端縁位置が変動することはない。従って、軸受面の軸方向幅を安定させることができる。
【００１５】
さらに、中逃げ部をシューで支持しながら、中逃げ部および軸受面を同時研削することにより、中逃げ部が軸受面を研削する際の加工基準となる。従って、中逃げ部と軸受面の間で高い同軸度を確保することができる。軸受面に対して高精度で同軸に保たれる円筒面部をシューで支持することにより、軸受面の研削精度をさらに高めることができる。
【００１６】
なお、円筒面部は軸受面よりも小径の領域であるから、円筒面部の精度が軸受性能に影響を及ぼすことは殆ど考えられない。従って、中逃げ部に、わざわざコストをかけて研削を施す必要性は乏しい。本願発明は、かかる技術常識とは異なり、中逃げ部に軸受機能上は特に必要のない研削領域（いわゆる捨て研領域）を設けたことを特徴とするものである。
【００１７】
研削中に円筒面部をシューで支持することにより、円筒面部にシューの擦過痕であるシューマークが形成される。シューマークが円筒面部に残っていれば、研削時に円筒面部をシューで支持していたことが理解できる。
【００１８】
中逃げ部と軸受部材の内周面との間に形成される隙間の容積が大きいと、軸受装置内部に封入される潤滑油量が増大する。従って、温度変化による油面レベルの変動量が大きくなり、軸受装置のシール構造が大型化する問題を生じる。この弊害を防止するため、軸部材の円筒面部と段差部の直径寸法の径差は８０μｍ以下とするのが好ましい。また、段差部の軸方向長さは４ｍｍ以下とするのが好ましい。
【００１９】
本発明にかかる流体軸受装置は、以上に述べた軸部材と、軸部材の外周に配置した軸受部材とを有し、軸部材の軸受面と軸受部材の内周面との間にラジアル軸受隙間が形成されたものである。上記軸部材を使用することで、振れ回り等の少ない高回転精度の流体軸受装置を得ることができる。
【００２０】
また、本発明は、軸方向に離間した二つの軸受面と、二つの軸受面の間に形成された、両軸受面よりも小径の中逃げ部とを有する流体軸受装置用軸部材の製造方法であって、  中逃げ部をシューで支持しながら、前記中逃げ部および前記軸受面を同時研削することを特徴とするものである。
【００２１】
この場合、金属素材に対する旋削で前記中逃げ部および軸受面を形成した後、上記の同時研削を行うことが考えられる。この他、金属素材を鍛造した後、中逃げ部および軸受面を研削し、次いで上記同時研削を行うようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明にかかる軸部材であれば、流体動圧軸受装置の軸受性能を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】流体動圧軸受装置の全体構成を示す断面図である。
【図２】本発明にかかる軸部材を示す正面図である。
【図３】旋削工程を含む、軸部材の製造工程を示す断面図である。
【図４】軸部材の研削工程の実施形態を示す断面図である。
【図５】軸部材の研削工程の比較例を示す断面図である。
【図６】軸部材の研削工程の他の実施形態を示す断面図である。
【図７】鍛造工程を含む、軸部材の製造工程を示す断面図である。
【図８】軸部材の研削工程の従来例を示す断面図である。
【図９】従来の軸部材の研削工程における問題点を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１に流体軸受装置の一例として、汎用ＨＤＤに用いられる流体動圧軸受装置を示す。
【００２５】
この流体動圧軸受装置は、有底円筒状のハウジング１と、ハウジング１の内周に固定された円筒状の軸受部材２と、軸受部材の内周に挿入された軸部材３と、ハウジングの開口部に配置されたシール部材４とを有する。
【００２６】
ハウジング１は、円筒状の側部１ａと、側部１ａの軸方向一端の開口部を閉鎖する底部１ｂとを有している。ハウジング１の底部１ｂは、側部１ａと別体にする他、側部１ａと一体に形成することもできる。軸部材３は、ステンレス鋼等で形成され、軸部３ａと軸部３ａの軸方向一端に設けられたフランジ部３ｂとを有する。軸部３ａとフランジ部３ｂは、一体に形成する他、別部材で形成することもできる。ハウジング１の側部１ａの内周面に焼結金属等からなる円筒状の軸受部材２が固定され、軸受部材２の内周に軸部材３の軸部３ａが挿入される。底部１ｂのハウジング内側の端面１ｂ１（内底面）と軸受部材２の軸方向一方側の端面２ａとの間に、軸部材３のフランジ部３ｂが配置されている。
【００２７】
ハウジング１の内周には、軸受部材２の軸方向他方側の端面と接するシール部材４が固定されている。ハウジング１の内部空間は、焼結金属からなる軸受部材２の内部気孔も含め、全て潤滑油で満たされる。シール部材４の内周面と軸部３ａの外周面との間にテーパ状のシール隙間６が形成され、このシール隙間６内に油面が位置するようにハウジング１内の潤滑油量が設定される。テーパ状のシール隙間６は、潤滑油のハウジング１外への漏れを防止する一方で、温度変化に伴う潤滑油の容積変化を吸収するオイルバッファとしても機能する。
【００２８】
図２に、本発明にかかる軸部材３を示す。この軸部材３の軸部３ａは、二つのラジアル軸受面３１，３２と、中逃げ部３３と、ハブ固定部３４とを備える。二つの軸受面３１，３２は、同径寸法を有し、かつ軸方向に離隔して形成されている。二つの軸受面３１，３２の間に、軸受面３１，３２よりも小径に形成された中逃げ部３３が配置されている。中逃げ部３３は、円筒面部３３１と円筒面部３３１の軸方向両側に配置された段差部３３２とを有する。中逃げ部３３の段差部３３２は、円筒面部３３１に対して径差を有する部分であり、本実施形態では、円筒面部３３１よりも小径に形成した段差部３３２を例示している。円筒面部３３１の軸方向長さＬ２（図４参照）は、例えば５ｍｍとする。
【００２９】
ハブ固定部３４は、軸受面３１，３２と同径寸法を有しており、軸部３ａの反フランジ側の端部に形成されている。このハブ固定部３４には、流体軸受装置の組立完了後に、複数の磁気ディスクを保持するディスクハブが圧入等の手段によって固定される。ハブ固定部３４と反フランジ側の軸受面３１との間に第一ヌスミ部３５が形成される。また、フランジ側の軸受面３２とフランジ部３ｂの上端面３ｂ１との間に第二ヌスミ部３６が形成されている。
【００３０】
軸部３ａの軸受面３１，３２と、これに対向する軸受部材２の内周面のうち、何れか一方（例えば軸受部材２の内周面）に、ヘリングボーン型等に配列した複数の動圧発生溝が形成される。また、フランジ部３ｂの上端面３ｂ１と、これに対向する軸受部材２の端面２ａの何れか一方（例えば軸受部材２の端面２ａ）にスパイラル型等に配列した複数の動圧発生溝が形成される。また、フランジ部３ｂの下端面３ｂ２とハウジング１の内底面１ｂ１のうち、何れか一方（例えばハウジングの内底面１ｂ１）にも、同様にスパイラル型等に配列した複数の動圧発生溝が形成される。
【００３１】
軸部材３と軸受部材２の相対回転時（例えば軸部材３の回転時）には、軸部材３のラジアル軸受面３１，３２と軸受部材２の内周面との間のラジアル軸受隙間に、動圧発生溝によって潤滑油の動圧効果が発生する。また、フランジ部３ｂの上端面３ｂ１と軸受部材２の下端面２ａとの間に形成されるスラスト軸受隙間、およびフランジ部３ｂの下端面３ｂ２とハウジング１の内底面１ｂ１との間に形成されるスラスト隙間にも、それぞれ動圧発生溝によって潤滑油の動圧効果が発生する。かかる構成から、軸部材２は、ラジアル方向およびスラスト方向の双方で非接触支持される。
【００３２】
以上に述べた流体動圧軸受装置における軸部材３は、図３（ａ）に示すように、旋削により金属素材から軸素材３８を形成し、次いで図３（ｂ）に示すように、軸素材３８に円筒研削を施すことで製作される。
【００３３】
旋削工程では、軸素材３８に軸受面３１，３２、中逃げ部３３、ハブ固定部３４、第一ヌスミ部３５、および第二ヌスミ部３６がそれぞれ形成される。この際、中逃げ部３３には、円筒面部３３１と段差部３３２の双方が形成される。旋削後の軸素材３８は、研削工程に移送され、研削工程にて図４に示す円筒状の砥石１０を用いた研削加工が行われる。
【００３４】
この研削工程では、円筒研削が行われる。図４に示すように、研削中の軸素材３８は、フランジ部３ｂの下端面と軸部３ａの先端面をそれぞれドライビングプレート８，９で挟み込んだ状態で回転駆動される。砥石１０は大径部１０ａと小径部１０ｂを有しており、大径部１０ａを中逃げ部３３に押し当て、小径部１０ｂを軸受面３１，３２とハブ固定部３４に押し当てることにより、軸受面３１，３２、中逃げ部３３の円筒面部３３１、およびハブ固定部３４が同時研削される。砥石１０の大径部１０ａの軸方向長さＬ１は、円筒面部３３１の全面が研削されるように円筒面部３３１の軸方向長さＬ２よりも長くする。一方、砥石１０の大径部１０ａが軸受面３１，３２と干渉しないように、大径部１０ａの軸方向長さＬ１は、中逃げ部３３の軸方向長さＬ３よりも小さくする。従って、Ｌ２＜Ｌ１＜Ｌ３となる。なお、各軸方向長さＬ１，Ｌ２，Ｌ３は、大径部１０ａ、円筒面部３３１、および中逃げ部３３のそれぞれの軸方向両側に隣接するチャンファを含まない長さを意味する。
【００３５】
以上の研削工程を経ることで、軸受面３１，３２、円筒面部３３１、およびハブ固定部３４が、研削痕の残る研削面となる。その一方で、段差部３３２、第一ヌスミ部３５、および第二ヌスミ部３６は、旋削痕の残る旋削面となる。また、軸受面３１，３２、円筒面部３３１、およびハブ固定部３４は、段差部３３２、第一ヌスミ部３５、および第二ヌスミ部３６よりも表面精度（表面粗さ、真円度等）が良好なものとなる。
【００３６】
研削中の軸素材３８は、砥石荷重を支持する支持部材としてのシュー１２で支持される。シュー１２の軸方向長さは、中逃げ部３３の円筒面部３３１の軸方向長さＬ２よりも短い。そのため、研削中は、シュー１２の全面が中逃げ部３３の円筒面部３３１と摺動する。シュー１２を軸方向に大型化して軸部３ａの全面をシュー１２で支持することも考えられるが、かかる構成では、シュー１２と軸素材３８の接触箇所が一個所に定まらないため、研削中の軸素材３８の姿勢が却って不安定化する問題がある。従って、上記のように、シュー１２は、円筒面部３３１のみと接触する軸方向長さに設定するのが好ましい。研削中のシュー１２との摺動により、円筒面部３３１の表面にはシューの擦過痕（シューマーク）が形成される。
【００３７】
軸受面３１，３２および円筒面部３３１の研削が完了した後、フランジ部３ｂの両端面を研削し、さらに必要に応じて軸素材３８の全体に最終仕上げ（バレル研磨等）を行うことで、図２に示す軸部材３が完成する。その後、軸部材３を、フランジ部３ｂをハウジング底部側に向けてハウジング１内に収容し、さらに軸受部材２およびシール部材４を順次ハウジング１内に収容して、各部材２，４をハウジング１に固定することにより、流体動圧軸受装置が組み立てられる。潤滑油は、上記の組み立て前にハウジング１内に予め注油することにより、あるいは組立完了後に真空含浸等を行うことにより、ハウジング１内に供給される。これにより、少なくともラジアル軸受隙間と、スラスト軸受隙間と、中逃げ部３３および軸受部材２の内周面で形成される隙間とが潤滑油で満たされ（好ましくはハウジング１内の全ての空間が潤滑油で満たされ）、図１に示す流体動圧軸受装置が完成する。
【００３８】
ところで、図２に示す軸部材３は、サーバー等での使用に適合する、高容量型ＨＤＤ用の流体動圧軸受装置に使用されるものである。この種の流体動圧軸受装置では、ディスク枚数が多いことから高い軸受剛性が求められる一方、消費電力の削減のため、軸受トルクを極力低くすることも必要とされる。以上の要請に応えるべく、図２に示す軸部材３は、汎用軸部材との対比で中逃げ部３３の軸方向長さを長くすることにより、軸受スパンを長くしている。具体的には、図２の軸部材３における、軸受面中心間距離Ｓ（軸受面３１，３２の軸方向中心間の距離）と中逃げ部３３の軸方向長さとの比（Ｓ／Ｌ３）は、１．１＜Ｓ／Ｌ３＜２．５の範囲内にある（この特徴を有する軸部を「長軸タイプ」と呼ぶ）。
【００３９】
本発明では、中逃げ部３３の一部を研削することで、中逃げ部３３に高精度領域（円筒面部３３１）を形成している。従って、軸受面３１，３２を研削する際に、この高精度領域をシューで支持することで、軸受面３１，３２の研削精度を高めることができる。また、中逃げ部３２の円筒面部３３１をシュー１２で支持することで、研削荷重の作用線（研削荷重中心線）をシュー１２で支持された領域と接近させ、好ましくはシュー１２で支持された領域中に配置することができる。この場合、シュー１２で支持された領域と各軸受面３１，３２との間の軸方向距離の差が小さくなる。従って、研削中の軸素材３８が振れ回り難くなり、振れ回ったとしても二つの軸受面３１，３２の研削精度に与える影響を小さくすることができる。以上に述べた作用から、研削後の軸受面の個々の表面精度（真円度等）、さらに二つの軸受面相互間の精度（同軸度等）を高めることが可能となる。
【００４０】
加えて、中逃げ部３３の円筒面部３１１を軸受面３３，３２と同時に研削しているため、円筒面部３１１が軸受面３１，３２を研削する際の加工基準となる。従って、円筒面部３３１と軸受面３１，３２の間で高い同軸度（例えば１０μｍ以下の同軸度）を確保することができる。軸受面３１，３２に対して高精度に同軸に保たれる円筒面部３１１をシュー１２で支持することにより、軸受面３１，３２の研削精度をさらに高めることができる。
【００４１】
以上に述べた作用効果は、図５に示す総形砥石１３を使用し、軸受面３１，３２と中逃げ部３３を同時研削することでも得ることができる。しかしながら、かかる構成では、中逃げ部３３での研削取り代が、軸受面３１，３２での研削取り代よりも大きくなるため、軸受面３１，３２の研削に先立って中逃げ部３３での研削を開始する必要がある。従って、研削時間が長期化し、製造コストが高騰する問題を生じる。また、ドレッサー等の成形工具による砥石１０の成形時に、成形工具の摩耗が進展していると、砥石１０の大径部１０ａと小径部１０ｂの境界角部の位置が変動することになる。これは、研削した軸受面３１，３２の軸方向長さの変動につながるので、軸受機能上好ましくない。これに対し、本発明のように、中逃げ部３３のうち、円筒面部３３１の軸方向両側に円筒面部３３１に対して径差を持つ段差部３３２を形成することにより、かかる不具合を防止することができる。
【００４２】
その一方で、中逃げ部３３と軸受部材２の内周面との間の隙間の容積が大きすぎると、その分だけハウジング１内の潤滑油量が増え、温度変化に伴う油面レベルの変動が大きくなるため、シール隙間６を大型化する必要がある。かかる不具合を防止するため、中逃げ部３３と軸受部材２の内周面との間の容積は極力小さくするのが好ましい。その一方で、中逃げ部３３と軸受部材２の内周面との間の隙間幅が小さすぎると、トルクロスが増大することになる。以上の問題を解決するため、図２に示すように、円筒面部３３１と段差部３３２の直径寸法の径差（２×ｄ）や段差部の軸方向長さＬ４，Ｌ５は極力小さくするのが好ましい。具体的には前記直径寸法の径差は、８０μｍ以下、好ましくは５０μｍ以下とする。また、各段差部３３２の軸方向長さＬ４、Ｌ５は、何れも４ｍｍ以下とする。
【００４３】
以上に説明した実施形態では、中逃げ部３３において、段差部３３２の外径寸法を円筒面部３３１の外径寸法よりも小さくしているが、これとは逆に、図６に示すように段差部３３２の外径寸法を円筒面部３３１の外径寸法よりも大きくしてもよい。但し、この場合も段差部３３２の外径寸法は軸受面３１，３２の外径寸法よりも小さくする。かかる構成では、砥石で段差部３３２が僅かに研削されることになるが、研削取り代はごく僅かであるので加工時間が長期化することはない。また、砥石成形工具の摩耗による軸受面３１，３２の軸方向長さの変動が問題となることもない。
【００４４】
以上の説明では、旋削により中逃げ部３３、軸受面３１，３２、ハブ固定部３４等を旋削で粗形成してから、これらの部分を円筒研削により仕上げる場合を説明したが、軸部材３の製作手順はこれには限定されない。例えば、図７（ａ）に示すように、軸素材３８を鍛造成形してから、図７（ｂ）に示すように、総形砥石１４によるアンギュラ研削で、中逃げ部３３、軸受面３１，３２、ハブ固定部３４、第一ヌスミ部３５、および第二ヌスミ部３６の各部を形成し、その後、図７（ｃ）に示すように、軸受面３１，３２やハブ固定部３４を円筒研削により仕上げる手順も考えられる。この場合、図７（ｃ）に示す円筒研削として図４や図６に示す研削方法を採用することで、上記と同様の作用効果を得ることができる。
【００４５】
この手順で製作された軸部材３では、軸受面３１，３２、円筒面部３３１、ハブ固定部３４、段差部３３２、第一ヌスミ部３５、および第二ヌスミ部３６が何れも研削面となる。但し、段差部３３２、第一ヌスミ部３５、および第二ヌスミ部３６の各部がアンギュラ研削による研削面であるのに対し、軸受面３１，３２、円筒面部３３１、およびハブ固定部３４の各部は、アンギュラ研削に加えて円筒研削が施された研削面である。従って、通常は、前者よりも後者の方が表面精度（表面粗さ、真円度等）は良好となる。
【００４６】
以上の説明では、サーバー用ＨＤＤに使用される流体動圧軸受装置を例示したが、本発明にかかる流体軸受装置は、ＨＤＤに限定されず、各種用途に広く使用することができる。また、流体動圧軸受装置の構成も図１に示す構成に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００４７】
１        ハウジング
２        軸受部材
３        軸部材
３ａ      軸部
３ｂ      フランジ部
４        シール部材
１０      砥石
１２      シュー
３１      軸受面（反フランジ側）
３２      軸受面（フランジ側
３３      中逃げ部
３４      ハブ固定部
３３１    円筒面部
３３２    段差部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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