(57)【要約】【課題】ノッチの形成された半導体ウエハの粘着テープ切断処理において、半導体ウエハの損傷や刃先の早期に損耗を抑制しつつ、ノッチ形状に沿って粘着テープを好適に切り抜くことができる粘着テープ切断方法および粘着テープ切断装置を提供する。【解決手段】刃先２５ａを方向Ｄ１に調整した後、開口端Ｅ１においてカッタ刃２５を粘着テープＴに突き刺す。その後、刃先２５ａの向きを方向Ｄ１に維持しつつ、傾斜Ｎ１に沿って粘着テープＴをノッチの最深部Ｆまで切断する。カッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出して刃先を方向Ｄ２に調整し、開口端Ｅ２において粘着テープＴに突き刺す。その後、刃先２５ａの向きを方向Ｄ２に維持しつつ、傾斜Ｎ２に沿って粘着テープＴをノッチの最深部Ｆまで切断する。【選択図】図１７
2018069364.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の傾斜と他方の傾斜とを備えたＶ形状のノッチが形成された半導体ウエハの外周に沿ってカッタ刃を相対移動させ、半導体ウエハの表面に貼り付けられた粘着テープを半導体ウエハの外形に沿って切断する粘着テープ切断方法において、
前記カッタ刃が前記粘着テープから抜き出ている状態で、前記半導体ウエハの径方向外側から内側に向かう第１の方向となるように前記カッタ刃の刃先の方向を調整する第１調整工程と、
前記第１の方向に刃先が調整された前記カッタ刃を前記粘着テープに突き刺し、前記カッタ刃の刃先の向きを前記第１の方向に維持した状態で、前記一方の傾斜に沿って前記粘着テープを切断する第１切断工程と、
前記カッタ刃が前記粘着テープから抜き出ている状態で、前記半導体ウエハの径方向外側から内側に向かう第２の方向となるように前記カッタ刃の刃先の方向を調整する第２調整工程と、
前記第２の方向に刃先が調整された前記カッタ刃を前記粘着テープに突き刺し、前記カッタ刃の刃先の向きを前記第２の方向に維持した状態で、前記他方の傾斜に沿って前記粘着テープを切断する第２切断工程と、
前記半導体ウエハの外周に沿って前記粘着テープを切断する外周切断工程と、
を備えることを特徴とする粘着テープ切断方法。
【請求項２】
請求項１に記載の粘着テープ切断方法において、
前記ノッチの最深部は前記一方の傾斜および前記他方の傾斜を結ぶ、湾曲した谷部となっており、
前記第１切断工程および前記第２切断工程のうち少なくとも一方において、
前記刃先は前記ノッチの傾斜に対して所定の切り込み角度を有し、
前記所定の切り込み角度を有する前記カッタ刃を前記傾斜に押し当てた状態で、前記傾斜に沿って前記ノッチの最深部まで粘着テープを切断する
ことを特徴とする粘着テープ切断方法。
【請求項３】
請求項２に記載の粘着テープ切断方法において、
前記第１切断工程および前記第２切断工程のうち少なくとも一方において、
前記カッタ刃の側面を前記傾斜に押し当てた状態で、前記傾斜に沿って前記ノッチの最深部まで粘着テープを切断する
ことを特徴とする粘着テープ切断方法。
【請求項４】
請求項３に記載の粘着テープ切断方法において、
前記第１切断工程および前記第２切断工程のうち少なくとも一方において、
前記カッタ刃の側面を前記傾斜に押し当て、かつ前記刃先と前記傾斜とが非接触の状態で、前記傾斜に沿って前記ノッチの最深部まで粘着テープを切断する
ことを特徴とする粘着テープ切断方法。
【請求項５】
請求項２ないし請求項４のいずれかに記載の粘着テープ切断方法において、
前記第１切断工程および前記第２切断工程のうち少なくとも一方において、
前記傾斜および前記谷部の各々の形状に沿って、前記カッタ刃を移動させる方向を変更させるように制御する
ことを特徴とする粘着テープ切断方法。
【請求項６】
請求項１に記載の粘着テープ切断方法において、
前記ノッチの最深部は前記一方の傾斜および前記他方の傾斜を結ぶ、湾曲した谷部となっており、
前記第１切断工程および前記第２切断工程のうち少なくとも一方において、
前記カッタ刃は前記ノッチの最深部に向けて前記刃先を直進させることによって前記粘着テープを切断する
ことを特徴とする粘着テープ切断方法。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の粘着テープ切断方法において、
前記第１切断工程および前記第２切断工程によって前記ノッチ部分の前記粘着テープが切断されていることを検知する切断検知工程を備える
ことを特徴とする粘着テープ切断方法。
【請求項８】
請求項７に記載の粘着テープ切断方法において、
前記切断検知工程は、切断された前記ノッチ部分の前記粘着テープを、半導体ウエハを保持する保持テーブルが吸着することによって行われることを特徴とする粘着テープ切断方法。
【請求項９】
一方の傾斜と他方の傾斜とを備えたＶ形状のノッチが形成された半導体ウエハの外周に沿ってカッタ刃を相対走行させて半導体ウエハの表面に貼り付けられた粘着テープを半導体ウエハの外形に沿って切断する半導体ウエハの粘着テープ切断装置であって、
請求項１から請求項８のいずれかに記載の粘着テープ切断方法によって前記粘着テープを切断することを特徴とする粘着テープ切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハの外周に沿ってカッタ刃を相対走行させて半導体ウエハに貼り付けられた粘着テープをウエハ外形に沿って切り抜くための粘着テープ切断方法および粘着テープ切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）からチップ部品を製造する場合、ウエハの表面に回路パターンが形成処理された後、ウエハ表面に保護用の粘着テープが貼り付けられ、ウエハの外形に沿って当該粘着テープを切断する。
【０００３】
近年では、位置決め用のノッチが外周に凹入形成されたウエハが用いられていることが多い。このようなＶ字型のノッチを備えるウエハにおいて、ウエハの外周に沿って円形に粘着テープを切断した場合、ノッチの内部に粘着テープが残存する。その結果、その後の裏面研削処理において発生する粉塵や、洗浄処理において使用される洗浄水が、残存した粘着テープの粘着面に付着して周囲を汚染する。そのため、ウエハの外周のみならず、ノッチ内部の粘着テープをも切断する方法が求められている。
【０００４】
ウエハ外周の粘着テープを切断しつつ、ノッチ内部の粘着テープを切断する構成としては、ウエハの外周に沿ってカッタ刃を一定方向に走行させながら、ノッチの一方の開口端からノッチ内奥に向かって当該カッタ刃を移動させる方法が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００５】
また、ノッチ内部の粘着テープを切断する別の構成としては、ノッチの一方の傾斜に沿ってカッタ刃をＶ型ノッチの谷部まで走行させ、続いてノッチ谷部において、ウエハの径方向外側から内側に刃先を向けるようにカッタ刃を回転させた後、ノッチの他方の傾斜に沿ってカッタ刃を走行させてノッチ部分の粘着テープを切断する構成が提案されている（例えば、特許文献２を参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１２５８７１号公報
【特許文献２】特開２０１１−１９８９８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。
すなわち、特許文献１に係る従来の粘着テープの切断方法では、カッタ刃はノッチ部分において、Ｖ型ノッチの傾斜から離れた部分を走行しながらノッチ内奥へ移動する。そのため、ノッチ内部の粘着テープを完全に切り抜くことは困難であり、ノッチの谷部近傍にはまだ多くの粘着テープが残存する。その結果、裏面研削処理時において、残存した粘着テープ部分を介して洗浄水や粉塵がウエハ表面に浸入し、回路などが汚染されるという問題が懸念される。
【０００８】
また、特許文献２に係る従来の方法では、粘着テープを切断しながら走行しているカッタ刃を、Ｖ型ノッチの谷部において、ウエハ表面と垂直な軸の周りに回転させて刃先の向きを変更させる。そのため、回転するカッタ刃がノッチの内縁に食い込んでウエハが損傷するという問題や、ノッチ谷部で回転する時にウエハとカッタ刃が接触することに起因してカッタ刃の刃先が損耗するという問題などが懸念される。
【０００９】
特に近年ではウエハの薄型化が進み、ウエハの剛性が低下している。そのため、低下しているウエハの剛性を補うべく、厚い保護用粘着テープをウエハに貼り付ける傾向にある。厚く、変形しにくい粘着テープが用いられている場合、粘着テープに差し込まれている状態のカッタ刃を回転させて刃先の向きを変更させることは困難である。このような状態で強引にカッタ刃の進行方向を変更させると、カッタ刃が損耗しやすくなる問題や、ウエハに割れや欠けが発生する問題、そして粘着テープが変形してウエハから剥離するといった問題などが懸念される。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、ノッチの形成された半導体ウエハの粘着テープ切断処理において、半導体ウエハの損傷や刃先の早期に損耗を抑制しつつ、ノッチ形状に沿って粘着テープを好適に切り抜くことができる粘着テープ切断方法および粘着テープ切断装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち本発明は、一方の傾斜と他方の傾斜とを備えたＶ形状のノッチが形成された半導体ウエハの外周に沿ってカッタ刃を相対移動させ、半導体ウエハの表面に貼り付けられた粘着テープを半導体ウエハの外形に沿って切断する粘着テープ切断方法において、
前記カッタ刃が前記粘着テープから抜き出ている状態で、前記半導体ウエハの径方向外側から内側に向かう第１の方向となるように前記カッタ刃の刃先の方向を調整する第１調整工程と、
前記第１の方向に刃先が調整された前記カッタ刃を前記粘着テープに突き刺し、前記カッタ刃の刃先の向きを前記第１の方向に維持した状態で、前記一方の傾斜に沿って前記粘着テープを切断する第１切断工程と、
前記カッタ刃が前記粘着テープから抜き出ている状態で、前記半導体ウエハの径方向外側から内側に向かう第２の方向となるように前記カッタ刃の刃先の方向を調整する第２調整工程と、
前記第２の方向に刃先が調整された前記カッタ刃を前記粘着テープに突き刺し、前記カッタ刃の刃先の向きを前記第２の方向に維持した状態で、前記他方の傾斜に沿って前記粘着テープを切断する第２切断工程と、
前記半導体ウエハの外周に沿って前記粘着テープを切断する外周切断工程と、
を備えることを特徴とする。
【００１２】
（作用・効果）この方法によれば、第１切断工程において、ノッチの一方の傾斜に沿って粘着テープが切断され、第２切断工程において、ノッチの他方の傾斜に沿って粘着テープが切断される。そして外周切断工程により半導体ウエハの外周に沿って粘着テープを切断することによって、ノッチを含む半導体ウエハの外形に沿って粘着テープが正確に切断される。そのため、ノッチ部分に粘着テープが残存することをより確実に回避できるので、粉塵や洗浄水が当該残存した粘着テープを介してウエハを汚染することを回避できる。
【００１３】
第１切断工程および第２切断工程において、カッタ刃の刃先の向きは常に所定の方向を維持されている。すなわち、刃先の向きの変更は、第１調整工程または第２調整工程において、粘着テープからカッタ刃が抜き出された状態で常に行われるので、粘着テープに突き刺された状態で刃先の向きを変更することがない。そのため、刃先の向きを変更することによるウエハの損傷やカッタ刃の損耗を確実に回避できる。
【００１４】
また、上述した発明において、前記ノッチの最深部は前記一方の傾斜および前記他方の傾斜を結ぶ、湾曲した谷部となっており、
前記第１切断工程および前記第２切断工程のうち少なくとも一方において、
前記刃先は前記ノッチの傾斜に対して所定の切り込み角度を有し、
前記所定の切り込み角度を有する前記カッタ刃を前記傾斜に押し当てた状態で、前記傾斜に沿って前記ノッチの最深部まで粘着テープを切断する
ことが好ましい。
【００１５】
（作用・効果）この構成によれば、第１切断工程および前記第２切断工程のうち少なくとも一方において、ノッチの傾斜に対して所定の切り込み角度を有するカッタ刃を傾斜に押し当てた状態で、傾斜に沿ってノッチの最深部まで粘着テープを切断する。この場合、所定の切り込み角度を有しているので、カッタ刃の刃先に対して付勢力がより好適に作用する。
【００１６】
そのため、ノッチの最深部が湾曲した谷部となっている場合であっても、カッタ刃は湾曲した谷部の途中などで停止することなく、押しつけ付勢力によって好適にノッチの最深部まで進行できる。従って、ノッチの部分において粘着テープの切り残しが発生することをより確実に回避できる。
【００１７】
また、上述した発明において、前記第１切断工程および前記第２切断工程のうち少なくとも一方において、前記カッタ刃の側面を前記傾斜に押し当てた状態で、前記傾斜に沿って前記ノッチの最深部まで粘着テープを切断することが好ましい。
【００１８】
（作用・効果）この構成によれば、カッタ刃の側面を傾斜に押し当てた状態で、傾斜に沿って前記ノッチの最深部まで粘着テープを切断する。この場合、傾斜に沿って粘着テープを切断する際に、傾斜などノッチの外縁部分にカッタ刃の刃先が食い込むことを好適に回避できる。そのため、第１切断工程または第２切断工程において、カッタ刃が摩耗する問題やウエハが損傷する問題をより確実に回避できる。
【００１９】
また、上述した発明において、前記第１切断工程および前記第２切断工程のうち少なくとも一方において、前記カッタ刃の側面を前記傾斜に押し当て、かつ前記刃先と前記傾斜とが非接触の状態で、前記傾斜に沿って前記ノッチの最深部まで粘着テープを切断することが好ましい。
【００２０】
（作用・効果）この構成によれば、カッタ刃の側面を傾斜に押し当て、かつ刃先とノッチの傾斜とが非接触の状態で、傾斜に沿ってノッチの最深部まで粘着テープを切断する。この場合、刃先と傾斜とが接触していないので、ノッチの外縁部分である傾斜にカッタ刃の刃先が食い込むことをより確実に回避できる。そのため、第１切断工程または第２切断工程において、カッタ刃が摩耗する問題やウエハが損傷する問題をさらに確実に回避できる。
【００２１】
また、上述した発明において、前記ノッチの最深部は前記一方の傾斜および前記他方の傾斜を結ぶ、湾曲した谷部となっており、前記第１切断工程および前記第２切断工程のうち少なくとも一方において、前記カッタ刃は前記ノッチの最深部に向けて前記刃先を直進させることによって前記粘着テープを切断することが好ましい。
【００２２】
（作用・効果）この構成によれば、第１切断工程および第２切断工程のうち少なくとも一方において、カッタ刃はノッチの最深部に向けて刃先を直進させることによって粘着テープを切断する。この場合、粘着テープに突き刺された位置からノッチの最深部に向けて刃先を直進させるので、カッタ刃の移動制御をより単純化できる。また、ノッチの最深部が湾曲した谷部となっている場合であっても、当該最深部に向けて直進するので、カッタ刃が傾斜と谷部との間で引っかかって停止することを防止できる。従って、ノッチの部分において粘着テープの切り残しが発生することをより確実に回避できる。
【００２３】
また、上述した発明において、前記第１切断工程および前記第２切断工程によって前記ノッチ部分の前記粘着テープが切断されていることを検知する切断検知工程を備えることが好ましい。
【００２４】
（作用・効果）この構成によれば、切断検知工程において、ノッチ部分の粘着テープが切断されていることを検知する。この場合、第１切断工程または第２切断工程が適切に完了されなかったためにノッチ部分の粘着テープが正確に切断されなかった場合、当該事態をより迅速かつ確実に検知できるので、ノッチ部分にいて粘着テープが切断されずに残存することをより確実に回避できる。
【００２５】
また、上述した発明において、前記切断検知工程は、切断された前記ノッチ部分の前記粘着テープを、半導体ウエハを保持する保持テーブルが吸着することによって行われることが好ましい。
【００２６】
（作用・効果）この構成によれば、切断されたノッチ部分の粘着テープを、半導体ウエハを保持する保持テーブルが吸着することによって切断検知工程が行われる。この場合、ウエハに貼り付けられている粘着テープと保持テーブルとの距離は非常に近いので、切断されたノッチ部分の粘着テープは確実に保持テーブルで吸着できる。そして吸着の可否は、吸着装置における圧力変化として、数値情報として取得可能である。従って、当該数値情報に基づいて、より正確かつ確実にノッチ部分の粘着テープの切断の可否を検知できる。
【００２７】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、本発明は、一方の傾斜と他方の傾斜とを備えたＶ形状のノッチが形成された半導体ウエハの外周に沿ってカッタ刃を相対走行させて半導体ウエハの表面に貼り付けられた粘着テープを半導体ウエハの外形に沿って切断する半導体ウエハの粘着テープ切断装置であって、請求項１から請求項８のいずれかに記載の粘着テープ切断方法によって前記粘着テープを切断することを特徴とする。
【００２８】
（作用・効果）この構成によれば、上述した粘着テープ切断方法における各々の効果を好適に実現することができる。
【発明の効果】
【００２９】
以上のような本発明によれば、第１切断工程において、ノッチの一方の傾斜に沿って粘着テープが切断され、第２切断工程において、ノッチの他方の傾斜に沿って粘着テープが切断される。そして外周切断工程により半導体ウエハの外周に沿って粘着テープを切断することによって、ノッチを含む半導体ウエハの外形に沿って粘着テープが正確に切断される。そのため、ノッチ部分に粘着テープが残存することをより確実に回避できるので、粉塵や洗浄水が当該残存した粘着テープを介してウエハを汚染することを回避できる。
【００３０】
第１切断工程および第２切断工程において、カッタ刃の刃先の向きは常に所定の方向を維持されている。すなわち、刃先の向きの変更は、第１調整工程または第２調整工程において、粘着テープからカッタ刃が抜き出された状態で常に行われるので、粘着テープに突き刺された状態で刃先の向きを変更することがない。そのため、刃先の向きを変更することによるウエハの損傷やカッタ刃の損耗を確実に回避できる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の基本構成を示す斜視図である。
【図２】実施例１に係る粘着テープ切断装置の全体を示す側面図である。
【図３】実施例１に係る粘着テープ切断装置の要部を示す斜視図である。
【図４】実施例１に係るカッタユニットの平面図である。
【図５】実施例１に係るカッタユニットの一部を縦断した正面図である。
【図６】実施例１に係るカッタ刃を粘着テープに突き刺した時点の要部を示す側面図である。
【図７】実施例１に係るカッタ刃をウエハ外周縁に接触させた状態の要部を示す側面図である。
【図８】実施例１に係るステップＳ４の工程を示す正面図である。
【図９】実施例１に係るステップＳ５の工程において、カッタ刃が粘着テープの上方に待機している状態を示す正面図である。
【図１０】実施例１に係るステップＳ５の工程において、カッタ刃を粘着テープに突き刺した状態を示す正面図である。
【図１１】実施例１に係るステップＳ６の工程を示す正面図である。
【図１２】実施例１に係るチャックテーブルの構成を示す図である。（ａ）はテーブル全体を示す平面図であり、（ｂ）はノッチ部分の粘着テープが切断されていない状態における、テーブルの要部を示す断面図であり、（ｃ）はノッチ部分の粘着テープが切断されてテーブルに吸着された状態における、テーブルの要部を示す断面図である。
【図１３】実施例１に係るウエハの構成を説明する図である。（ａ）はノッチを有するウエハの全体構成を示す平面図であり、（ｂ）はノッチ部分の拡大図である。
【図１４】実施例１に係る各工程のフローチャートである。（ａ）は粘着テープ貼り付け工程を説明するフローチャートであり、（ｂ）はウエハがノッチを有する場合における、ステップＳ５の各工程を説明するフローチャートである。
【図１５】実施例１に係るステップＳ５−１の工程を説明する図である。（ａ）はカッタ刃が回転する状態を示す、装置の側面図であり、（ｂ）は刃先の向きが第１の方向に調整されている状態を示す、ノッチ部分の拡大平面図である。
【図１６】実施例１に係るステップＳ５−１の工程を説明する図である。（ａ）は直動ユニット５４が作動してカッタ刃を変位させている状態を示す、装置の平面図であり、（ｂ）は直動ユニット４６が作動してカッタ刃を変位させている状態を示す、装置の平面図である。
【図１７】実施例１に係るステップＳ５−２の工程を説明する、ノッチ部分の拡大平面図である。（ａ）はカッタ刃が傾斜Ｎ１に沿って移動している状態を示す図であり、（ｂ）はカッタ刃がノッチの最深部まで移動した状態を示す図である。
【図１８】実施例１に係るステップＳ５−４およびステップＳ５−５の工程を説明する図である。（ａ）はステップＳ５−４において、刃先の向きが第２の方向に調整されている状態を示す平面図であり、（ｂ）はステップＳ５−５において、カッタ刃が傾斜Ｎ２に沿って移動している状態を示す図であり、（ｂ）はステップＳ５−５において、カッタ刃がノッチの最深部まで移動した状態を示す図である。
【図１９】ノッチ部分における粘着テープＴｎの位置を示す平面図である。
【図２０】実施例１に係るステップＳ５−８の工程を説明する図である。  （ａ）は第３切断開始位置、第３切断部、および第４切断部の位置関係の一例を説明する図であり、（ｂ）は第３の方向に調整された刃先の向きの一例を示す図である。
【図２１】実施例１に係る構成の効果を説明する図である。  （ａ）は実施例１に係るカッタ刃が移動する軌跡を説明する図であり、（ｂ）は従来例に係るカッタ刃が移動する軌跡および移動可能範囲を説明する図である。
【図２２】第１切断部の軌跡と刃先の向きについて、実施例１と実施例２とを比較する図である。  （ａ）は実施例１の構成を示す図であり、（ｂ）は実施例２の構成を示す図である。
【図２３】実施例２に係るステップＳ５−２の工程を説明する、ノッチ部分の拡大平面図である。（ａ）はカッタ刃が第１切断開始位置の粘着テープに突き刺された状態を示す図であり、（ｂ）はカッタ刃がノッチの最深部まで移動した状態を示す図である。
【図２４】実施例２に係るステップＳ５−５の工程を説明する、ノッチ部分の拡大平面図である。（ａ）はカッタ刃が第２切断開始位置の粘着テープに突き刺された状態を示す図であり、（ｂ）はカッタ刃がノッチの最深部まで移動した状態を示す図である。
【図２５】各実施例に係る効果を説明する図である。（ａ）は粘着テープに突き刺された状態のカッタ刃を示す平面図であり、（ｂ）は粘着テープに突き刺されたカッタ刃の向きを変えた場合の粘着テープの歪みを示す平面図であり、（ｃ）は歪みによって浮き上がった状態の粘着テープを示す断面図であり、（ｄ）は歪みによって沈み込んだ状態の粘着テープを示す断面図である。
【図２６】各変形例に係るカッタ刃の構成を説明する図である。（ａ）は変形例（２）に係るカッタ刃の断面図であり、（ｂ）は変形例（２）に係るカッタ刃と傾斜との位置関係を示す図であり、（ｃ）は変形例（３）に係るカッタ刃と傾斜との位置関係を示す図である。
【図２７】変形例に係るノッチの形状を説明する図である。
【図２８】実施例１の変形例の構成を説明する図である。（ａ）は直動ユニットがカッタ刃を移動させる方向および第１切断開始位置を示す図であり、（ｂ）はカッタ刃がウエハ外周部に接触する前におけるピストンロッドとカッタ刃の位置関係を示す図であり、（ｃ）はカッタ刃がウエハ外周部に接触した後におけるピストンロッドとカッタ刃の位置関係を示す図であり、（ｄ）はカッタ刃が移動する軌跡を説明する図である。
【図２９】実施例２の変形例の構成を説明する図である。（ａ）はカッタ刃が移動する軌跡を説明する図であり、（ｂ）はピストンロッドとカッタ刃の位置関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００３２】
以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１の全体構成を示す斜視図である。
【００３３】
＜全体構成の説明＞
この粘着テープ貼付け装置１は、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と略称する）Ｗを収納したカセットＣが装填されるウエハ供給／回収部３、ロボットアーム５を備えたウエハ搬送機構７、アライメントステージ９、ウエハＷを載置して吸着保持するチャックテーブル１１、ウエハＷに向けて表面保護用の粘着テープＴを供給するテープ供給部１３、テープ供給部１３から供給されたセパレータ付きの粘着テープＴからセパレータｓを剥離回収するセパレータ回収部１５、チャックテーブル１１に載置されて吸着保持されたウエハＷに粘着テープＴを貼付ける貼付けユニット１７、ウエハＷに貼付けられた粘着テープＴをウエハＷの外形に沿って切り抜き切断する粘着テープ切断装置１９、ウエハＷに貼付けて切断処理した後の不要な粘着テープＴを剥離する剥離ユニット２１、剥離ユニット２１で剥離された粘着テープＴを巻き取り回収するテープ回収部２３などが備えられている。上記各構造部および機構についての具体的な構成は図２〜図１２を用いて、以下に説明する。
【００３４】
ウエハ供給／回収部３は２台のカセットＣを並列して装填することが可能であり、各カセットＣには、複数枚のウエハＷが回路パターン面（表面）を上向きにした水平姿勢で多段に差込み収納されている。
【００３５】
ウエハ搬送機構７に備えられたロボットアーム５は、水平に進退移動可能に構成されるとともに、全体が駆動旋回および昇降可能となっている。そして、ロボットアーム５の先端には、馬蹄形をした真空吸着式のウエハ保持部５ａが備えられている。このウエハ保持部５ａは、カセットＣに多段に収納されたウエハＷ同士の間隙に差し入れてウエハＷを裏面から吸着保持し、吸着保持したウエハＷをカセットＣから引き出して、アライメントステージ９、チャックテーブル１１、および、ウエハ供給／回収部３の順に搬送するようになっている。
【００３６】
アライメントステージ９はｘ方向およびｙ方向へ移動する機能と、ｚ方向の軸周りに旋回する旋回機能とを有している。アライメントステージ９は、ウエハ搬送機構７によって搬入載置されたウエハＷを、その外周に形成されたノッチＮに基づいて位置合せを行うようになっている。
【００３７】
チャックテーブル１１は、ウエハ搬送機構７から移載されて所定の位置合わせ姿勢で載置されたウエハＷを真空吸着するようになっている。また、このチャックテーブル１１の上面には、後述する粘着テープ切断装置１９に備えたカッタ刃２５をウエハＷの外形に沿って旋回移動させて粘着テープＴを切断するために、図２に示すカッタ走行溝２７が形成されている。
【００３８】
また図１２（ａ）に示すように、チャックテーブル１１には切断検出部１２が設けられている。切断検出部１２はカッタ走行溝２７の外側（外側部材１１ａ）に設けられており、チャックテーブル１１における切断検出部１２の位置は、ウエハＷに形成されているノッチＮの部分と略一致するように構成される。切断検出部１２には吸着孔１４が配設されており、吸着孔１４の各々は吸引装置１６と接続されている。
【００３９】
切断検出部１２は、ノッチＮの部分に相当する粘着テープＴが切断された場合、当該切断された粘着テープＴを吸着孔１４で吸着する。吸着孔１４が粘着テープＴを吸着することに基づいて、ノッチ部分に相当する粘着テープＴの切断が検出される。ノッチ部分に相当する粘着テープＴの切断を検出する工程の詳細については後述する。
【００４０】
テープ供給部１３は、供給ボビン２９から繰り出されたセパレータｓ付きの粘着テープＴを１または２以上のガイドローラ３１に巻回案内し、セパレータｓを剥離した粘着テープＴを貼付けユニット１７に導くよう構成されている。供給ボビン２９は、適度の回転抵抗を与えられて過剰なテープ繰り出しが行われないように構成されている。
【００４１】
セパレータ回収部１５は、粘着テープＴから剥離されたセパレータｓを巻き取る回収ボビン３３が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【００４２】
貼付けユニット１７には貼付けローラ３５が前向き水平に備えられており、図８に示すスライド案内機構３７および図示されないネジ送り式の駆動機構によって左右水平に往復駆動されるようになっている。
【００４３】
剥離ユニット２１には剥離ローラ３９が前向き水平に備えられている。剥離ローラ３９は、スライド案内機構３７および図示されないネジ送り式の駆動機構によって左右水平に往復駆動されるように構成されている。
【００４４】
図１に戻り、テープ回収部２３は、不要となった粘着テープＴ、すなわち不要テープＴ’を巻き取る回収ボビン４１が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。不要テープＴ’は、ウエハＷの外形に沿って切り抜かれた残りの粘着テープ片などが挙げられる。
【００４５】
粘着テープ切断装置１９は、基本的には、駆動昇降可能な可動台４３の下部に、後述する回動軸５３の中心上に位置する縦軸心Ｐ周りに駆動旋回可能に一対の支持アーム４５が並列装備される。また、この支持アーム４５の遊端側に備えたカッタユニット４７に、刃先２５ａを下向きにしたカッタ刃２５が装着されている。つまり、支持アーム４５が縦軸心Ｐを旋回中心として旋回することにより、カッタ刃２５がウエハＷの外周に沿って移動して粘着テープＴを切り抜くよう構成されている。その詳細な構造が図２〜図６に示されている。
【００４６】
可動台４３は、モータ４９を正逆回転駆動することにより、縦レール５１に沿ってねじ送り昇降されるようになっている。この可動台４３の遊端部に縦軸心Ｐ周りに回動可能に装備された回動軸５３が、可動台４３の上に配備されたモータ５５に２本のベルト５７を介して減速連動されている。つまり、モータ５５の作動によって回動軸５３が所定の方向に回動されるようになっている。回動軸５３は、チャックテーブル１１の中心１１ｘの上方に位置するように構成される。すなわち、縦軸心Ｐは中心１１ｘを通るように構成されている。
【００４７】
回動軸５３の下方には直動ユニット５４が接続されており、直動ユニット５４の下方には支持部材５９が接続されている。直動ユニット５４は所定の水平方向（図２ではｘ方向）に延びており、接続されている支持部材５９をｘ方向へ水平移動させる。支持部材５９の水平移動に従って、支持アーム４５およびカッタ刃２５は、直動ユニットの延びる方向であるｘ方向に水平移動可能となっている。
【００４８】
支持部材５９は直動ユニット５４から下方に延出されている。そして支持部材５９の下端部に、支持アーム４５が水平方向へスライド調節可能に貫通支持されている。つまり支持アーム４５のスライド調節によって、カッタ刃２５の旋回中心である縦軸心Ｐからの距離が調節される。このような構成により、カッタ刃２５の旋回半径をウエハ径に対応して変更調節することが可能になっている。
【００４９】
支持アーム４５の水平スライド移動は、支持アーム４５の一端に接続されている直動ユニット４６によって可能となっている。図２においては、支持アーム４５はｙ方向に水平移動可能となっている。なお、直動ユニット５４は回動軸５３によって旋回可能となっている。すなわち、直動ユニット５４によって支持アーム４５およびカッタ刃２５などが水平移動する方向はｘ方向に限ることはなく、回動軸５３によって適宜変更可能である。
【００５０】
直動ユニット５４が支持アーム４５を水平移動させる方向と、直動ユニット４６が支持アーム４５を水平移動させる方向とが直交するように構成されている。そのため、直動ユニット５４の下方に接続されている構成の各々は、水平面上（ｘｙ平面上）において直交する２方向にそれぞれ移動可能に構成されている。すなわち、支持アーム４５およびカッタ刃２５などは、直動ユニット４６および直動ユニット５４の制御によって、水平面上における任意の位置へ変位可能となっている。
【００５１】
支持アーム４５の他端部にはブラケット６１が固着されている。このブラケット６１にカッタユニット４７が装着支持されている。カッタユニット４７は、図３および図４に示すように、ブラケット６１に縦向き支点Ｑ周りに所定範囲内で回動可能に支持された回動部材６３、回動部材６３の端部下面に連結された縦壁状の支持ブラケット６５、支持ブラケット６５の側面に連結されたカッタ支持部材６７、カッタ支持部材６７に支持されたブラケット６９、このブラケット６９に取り付けられたロータリーシリンダ７０、およびロータリーシリンダ７０の下方に接続されているカッタホルダ７１などから構成されている。なお、カッタ刃２５は、カッタホルダ７１の側面に交換可能に締め付け固定されている。
【００５２】
ロータリーシリンダ７０は、カッタホルダ７１を縦向き支点Ｑの軸周りに回転させる。カッタホルダ７１の回転移動に従って、カッタホルダ７１に固定されているカッタ刃２５は縦向き支点Ｑ周りでの姿勢を変更する。すなわち、カッタ刃２５の姿勢変更によって、その刃先２５ａの向きを所定の範囲内で調整することができる。
【００５３】
ここで、回動部材６３の上方には、図４に示すように、長孔７３と突起７５との係合によって回動部材６３と一体に回動する操作フランジ７７が配備されている。この操作フランジ７７をモータ７９によって回動することにより、支持アーム４５に対するカッタユニット４７全体の縦向き支点Ｑ周りでの姿勢を変更して、カッタ刃２５の移動方向に対する刃先２５ａの角度（切り込み角度）を所定の範囲内で調整することが可能となっている。
【００５４】
ロータリーシリンダ７０およびモータ７９は、いずれもその機能によって刃先２５ａの向きを縦向き支点Ｑの軸周りに変更させるために用いられる。ロータリーシリンダ７０は主に、刃先２５ａの向きを支点Ｑの軸周りに大きく（例えば１８０度程度）変更させるために用いられる。一方、モータ７９は主に、支点Ｑの軸周りにおける刃先２５ａの向きを微調整させるために用いられる。
【００５５】
カッタ支持部材６７に対してブラケット６９は、案内レール機構８１を介して支持アーム４５の長手方向（図５においては紙面表裏方向）に直線スライド移動可能に支持されている。また、カッタ支持部材６７とブラケット６９とに亘ってバネ８３が張設され、このバネ８３の弾性復元力によってブラケット６９が縦軸心（旋回中心）Ｐに近づく方向にスライド付勢されている。
【００５６】
カッタ支持部材６７の旋回中心側には、図２に示すように、ブラケット６９のスライド方向に沿った姿勢のエアーシリンダ８５がステー８７を介して固定装備され、このエアーシリンダ８５のピストンロッド８５ａがブラケット６９の端面に当接可能に配備されている。
【００５７】
エアーシリンダ８５は、電気制御によって空気圧および空気供給方向を切換える制御弁装置８９を介して加圧空気供給装置９１に接続される。また、制御弁装置８９は、コンピュータ制御による制御装置９３に接続されている。制御装置９３は、直動ユニット４６による支持アーム４５の水平スライド移動、直動ユニット５４による支持部材５９の水平移動、回動軸５３の回動、ロータリーシリンダ７０の回動、およびモータ７９による操作フランジ７７の旋回など、装置の各種動作を適宜制御する。
【００５８】
また、回動軸５３の上部に、外周部にノッチや透過孔が等ピッチで形成されたディスク９５が固着されるとともに、このディスク９５の外周部に対向して電磁式あるいは光電式のパルスセンサ９７が配備されている。
【００５９】
つまり、ディスク９５の回動に応じたパルス信号がパルスセンサ９７から出力されるようになっている。パルスセンサ９７からの信号は制御装置９３に入力され、パルスの計数によってカッタ刃２５の位置が演算されるようになっている。さらに、チャックテーブル１１の側脇上方には、ウエハＷのエッジに向かう監視カメラ９９が配備されている。この監視カメラ９９からの撮像情報が制御装置９３に伝達されて、その画像解析によってノッチの位置情報を取得するとともに、ノッチ部分における粘着テープＴの切断状態（切断不良など）の情報を取得する。
【００６０】
＜ウエハの構成の説明＞
ここで、ウエハＷ、およびウエハＷに形成されているノッチＮの構成について説明する。図１３（ａ）に示すように、ノッチＮはウエハＷの外周の一部に形成されている。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）においてノッチＮを囲む点線部分Ａの拡大図である。ノッチＮは図１３（ｂ）に示すように、ウエハＷの外周Ｗａから当該ウエハＷの径方向内側に向かう２本の傾斜を有している。当該２本の傾斜のうち、一方を傾斜Ｎ１とし、他方を傾斜Ｎ２とする。そして傾斜Ｎ１と傾斜Ｎ２とを結ぶ部分を、谷部Ｎ３とする。傾斜Ｎ１と谷部Ｎ３との境界となる点を境界点Ｊ１とする。傾斜Ｎ２と谷部Ｎ３との境界となる点を境界点Ｊ２とする。
【００６１】
傾斜Ｎ１および傾斜Ｎ２は直線状であるが、谷部Ｎ３は、ウエハＷの径方向内側に向かって、やや湾曲した形状を有している。すなわち、ノッチＮは全体としてＶ字形状であるが、正確には谷部Ｎ３において湾曲した（丸みを帯びた）、底の浅い形となっている。なお、説明の都合上、谷部Ｎ３の幅は実際の構成より広く示している。従って、実際のノッチＮにおいて、境界点Ｊ１から境界点Ｊ２までの距離は非常に小さい構成となっている。
【００６２】
実施例において、ノッチＮは内角θ１が約９０°となっている。また、ノッチＮの開放幅、すなわち一方の開口端Ｅ１から他方の開口端Ｅ２までの距離は約２ｍｍとなっている。なお、ノッチＮの内角θ１の大きさや開放幅の距離は適宜変更してよく、本実施例の構成に限られない。
【００６３】
＜基本動作の説明＞
次に、上記実施例１に係る粘着テープ貼り付け装置を用いて回路面保護用の粘着テープＴをウエハＷに貼付けるための一連の基本動作を説明する。図１４（ａ）は、保護用の粘着テープＴをウエハＷに貼付ける工程を説明するフローチャートである。なお、粘着テープはウエハの表面に貼り付けられる回路面保護用のテープに限ることはなく、任意の目的に用いられる粘着テープについても、本実施例に係る粘着テープ貼付装置の構成を適用できる。
【００６４】
貼付け指令が出されると、先ず、ウエハ搬送機構７におけるロボットアーム５がカセット台に載置装填されたカセットＣに向けて移動される。ロボットアーム５は、ウエハ保持部５ａをカセットＣに収容されているウエハ同士の隙間に挿入し、ウエハ保持部５ａでウエハＷを裏面（下面）から吸着保持して搬出し、取り出したウエハＷをアライメントステージ９に移載する（ステップＳ１）。
【００６５】
載置されたウエハＷは、アライメントステージ９によって吸着保持される。その後、ウエハＷの外周に形成されているノッチＮの位置が特定される。具体的には、ウエハＷを吸着保持したアライメントステージ９が旋回する際に、ウエハＷに形成されたノッチが監視カメラ９９によって撮像検出され、検出位置と旋回時の回転角度の検出とにより、ノッチＮの位置情報が取得される（ステップＳ２）。
【００６６】
そして特定されたノッチＮの位置情報を利用してウエハＷの位置合わせが行われる。すなわち、ウエハＷの中心Ｗｘがアライメントステージ９の中心と一致するように、アライメントステージ９はｘ方向およびｙ方向へ適宜移動する（ステップＳ３）。位置合わせが完了したウエハＷは、再びロボットアーム２によって搬出される。搬出されたウエハＷは、ウエハＷの中心Ｗｘがチャックテーブル１１の中心１１ｘの上にある状態でチャックテーブル１１に載置される。載置されたウエハＷは、チャックテーブル１１によって吸着保持される。このとき、図８に示すように、貼付けユニット１７と剥離ユニット２１は左側の初期位置にある。また、粘着テープ切断装置１９のカッタ刃２５は、上方の初期位置でそれぞれ待機している。
【００６７】
次に、図８において仮想線（二点鎖線）で示すように、貼付けユニット１７の貼付けローラ３５が下降されるとともに、この貼付けローラ３５で粘着テープＴを下方に押圧しながらウエハＷ上を前方（図８では右方向）に転動する。これによって粘着テープＴが、ウエハＷの表面全体に貼付けられる（ステップＳ４）。
【００６８】
図９に示すように、貼付けユニット１７が終端位置に達すると、上方に待機していたカッタ刃２５が下降されて、チャックテーブル１１のカッタ走行溝２７において粘着テープＴに突き刺される。
【００６９】
この場合、図６に示すように、エアーシリンダ８５に高圧の空気が供給されてピストンロッド８５ａが大きく突出作動し、ブラケット６９はバネ８３に抗してスライド移動されており、カッタ刃２５はウエハＷの外周縁から外方に少し（一例として数ｍｍ程度）離れた位置で粘着テープＴに突き刺される。その後、ピストンロッド８５ａの突出力がバネ力よりも小さくなるようにエアーシリンダ８５の空気圧が低減され、図７に示すように、ブラケット６９がバネ８３の押し付け付勢力でウエハ中心側にスライド移動される。実施例ではスライド移動により、カッタ刃２５の刃先２５ａがウエハＷの外周縁に接触される。
【００７０】
第１切断開始位置においてカッタ刃２５が粘着テープＴに突き刺されると、図１０に示すように、支持アーム４５が回転される。これに伴ってカッタ刃２５がウエハ外周縁に摺接しながら旋回移動して粘着テープＴがウエハの外周Ｗａに沿って切断される（ステップＳ５）。
【００７１】
ウエハの外周Ｗａに沿った粘着テープＴの切断が完了すると、図１１に示すように、カッタ刃２５は元の待機位置まで上昇される。次いで、剥離ユニット２１が前方へ移動しながらウエハＷ上で切り抜き切断されて残った不要テープＴ’を巻き上げて剥離する。
【００７２】
剥離ユニット２１が剥離作業の終了位置に達すると、剥離ユニット２１と貼付けユニット１７とが逆方向に移動して初期位置に復帰する。このとき、不要テープＴ’が回収ボビン４１に巻き取られるとともに、一定量の粘着テープＴがテープ供給部１３から繰り出される（ステップＳ６）。
【００７３】
ステップＳ６までの各処理が終了すると、チャックテーブル１１における吸着が解除された後、粘着テープＴの貼付け処理が完了したウエハＷはロボットアーム５のウエハ保持部５ａに移載されてウエハ供給/回収部３のカセットＣに差込み回収される（ステップＳ７）。
【００７４】
以上で１回の粘着テープ貼付け処理が完了し、以後、上記作動を順次繰返してゆく。
【００７５】
＜ノッチ部分の粘着テープを切断する工程の説明＞
ここで、ウエハＷの外周Ｗａに位置決め用としてノッチＮが形成されている場合、ステップＳ５に係る粘着テープの切断工程は、図１４（ｂ）のフローチャートで示す、ステップＳ５−１からステップＳ５−８までの工程に従って行われる。図１４（ｂ）に示す工程により、ノッチＮの部分に相当する粘着テープＴが切断されて除かれる。すなわち、ノッチＮの傾斜Ｎ１およびＮ２を含むウエハＷの外形に沿って、より正確に粘着テープＴが切り抜かれる。
【００７６】
実施例１では、最初にノッチＮの傾斜Ｎ１部分、次にノッチＮの傾斜Ｎ２部分、最後にノッチＮを除く外周Ｗａ部分、の順に粘着テープＴを切断することによって、粘着テープをウエハＷの外形に沿って切断することとする。但し、上述した３つの部分を切断する順番はこのような順に限定されることはなく、適宜入れ替えてもよい。
【００７７】
なお、ノッチＮを備えるウエハＷを用いる場合、図１３（ａ）に示すノッチＮは、ステップＳ３において、監視カメラ９９の撮影域の中心に位置するように、ウエハＷがチャックテーブル１１に位置決め装填される。位置決めされたノッチＮは、切断検出部１２の上面に位置するように構成される。また、監視カメラ９９による撮像結果に基づいて、ノッチＮの位置情報が取得される。
【００７８】
ステップＳ５−１（刃先の向きを第１方向へ調整）
図９に示すように、貼付けユニット１７が終端位置に達してステップＳ４の工程が終了することにより、傾斜Ｎ１の部分の粘着テープを切断すべく、ステップＳ５−１に係る刃先２５ａの調整が開始される。すなわち図１５（ａ）に示すように、粘着テープＴが貼り付けられたウエハＷの上方にカッタ刃２５が待機している状態で、モータ７９によって操作フランジ７７を回動させる。
【００７９】
操作フランジ７７の回動に従って、支持アーム４５に対するカッタユニット４７全体の縦向き支点Ｑ周りでの姿勢が変更される。すなわちカッタ刃２５が縦向き視点Ｑの軸回りに回転することによって、刃先２５ａの向きが微調整される。図１５（ｂ）に係る平面図で示すように、ステップＳ５−１において、カッタ刃２５は点線で示される方向から実線で示される方向へ回転するように制御され、その結果、刃先２５ａは符号Ｄ１で示す方向を向くように調整される。なお、説明の便宜上、カッタ刃２５の幅を実際より広く記載しているが、実際のカッタ刃の幅はごく狭く、またカッタ刃の側面２５ｂは刃先２５ａの向きと平行であるものとする。
【００８０】
また、刃先２５ａの向きを調整しつつ、カッタ刃２５を移動および旋回させる。すなわち、回動軸５３を可動台４３の長手方向に沿って移動させるとともに、支持アーム４５を水平方向にスライド調節させることによって、カッタホルダ７１をｘ方向およびｙ方向へ適宜変位させる。その結果、カッタホルダ７１の変位に従って、カッタ刃２５は第１切断開始位置の上方に移動する。実施例１において、第１切断開始位置はノッチＮの一方の開口端Ｅ１であるものとする。
【００８１】
なお、方向Ｄ１は図１５（ｂ）に示すように、傾斜Ｎ１との間に所定の切り込み角度αを形成することが好ましい。所定の切り込み角度を形成させることにより、カッタ刃２５は後述するスライド付勢力によって、より好適に粘着テープＴを傾斜Ｎ１に沿って切断できる。
【００８２】
説明の便宜上、図１５（ｂ）においては切り込み角度αを大きくなるように記載しているが、実際の切り込み角度αはこれより小さく、０度より大きく、５度以下であることがより好ましい。切り込み角度αは過度に大きくないので、刃先２５ａが傾斜Ｎ１などウエハＷの外縁部分に対して鋭角に接触し、刃先２５ａがウエハＷの外縁部分に食い込むことを回避できる。方向Ｄ１は本発明における第１の方向に相当する。またステップＳ５−１に係る工程は、本発明における第１調整工程に相当する。
【００８３】
ステップＳ５−２（第１切断部の形成）
カッタ刃２５の移動および刃先２５ａの向きの調整が完了することにより、ステップＳ５−２に係る第１切断工程を開始する。第１切断工程は、第１切断開始位置である開口端Ｅ１から切断終了位置Ｆまで、ノッチＮの傾斜Ｎ１および谷部Ｎ３に沿って粘着テープＴを切断する工程である。切断終了位置Ｆは、谷部Ｎ３において最もウエハＷの径方向内側に寄った位置、すなわちノッチＮの最深部であることが好ましい。  
【００８４】
第１切断工程では、まず粘着テープＴにカッタ刃２５を突き刺す。すなわち図９に示すように、刃先２５ａの向きが方向Ｄ１に調整されたカッタ刃２５が第１切断開始位置の上方に移動すると、上方に待機していたカッタ刃２５が下降されて、チャックテーブル１１のカッタ走行溝２７において粘着テープＴに突き刺される。
【００８５】
この場合、図６に示すように、エアーシリンダ８５に高圧の空気が供給されてピストンロッド８５ａが大きく突出作動し、ブラケット６９はバネ８３に抗して外方へスライド移動されており、カッタ刃２５はウエハＷにおけるノッチＮの開口端Ｅ１から外方に少し（例えば数ｍｍ程度）離れた位置で粘着テープＴに突き刺される。
【００８６】
その後、スライド移動をすることにより、ノッチＮの開口端Ｅ１の部分において、カッタ刃２５がウエハＷの外周縁に接触する。
【００８７】
第１切断開始位置（開口端Ｅ１）において、粘着テープＴの切断を開始させる。すなわち、カッタ刃２５の刃先２５ａの向きを方向Ｄ１に維持した状態で、粘着テープＴに突き刺されたカッタ刃２５を傾斜Ｎ１と平行方向に水平移動させ、粘着テープＴを傾斜Ｎ１に沿って切断させる。
【００８８】
カッタ刃２５を傾斜Ｎ１に沿って水平移動させる構成について説明する。すなわち、支持部材５９は直動ユニット５４によって、直動ユニット５４の長手方向に水平スライド移動する。直動ユニット５４による支持部材５９の移動に従って、支持部材５９に接続されている支持アーム４５、回動部材６３、およびカッタ刃２５の各々は、図１６（ａ）に示すように直動ユニット５４の長手方向に変位する。支持アーム４５などが変位する方向は符号Ｈ１を付して示すものとする。実施例１では、方向Ｈ１はｘ方向に平行となるように構成されている。
【００８９】
そして図１６（ｂ）に示すように、直動ユニット５４による支持部材５９の移動と同期して、支持アーム４５は直動ユニット４６によって支持アーム４５の長手方向に水平スライド移動する。直動ユニット４６による支持アーム４５のスライド移動に従って、支持アーム４５に支持されている回動部材３１およびカッタ刃２５の各々は、符号Ｈ２で示される方向に変位する。直動ユニット５４によって支持アーム４５が変位する方向と、直動ユニット４６によって支持アーム４５が変位する方向は直交する。すなわち、実施例１において、方向Ｈ１はｙ方向に平行となっている。
【００９０】
支持部材５９の移動速度と支持アーム４５の移動速度を適宜調整することにより、カッタ刃２５は、図１６（ｂ）において符号Ｈ３で示す方向へ水平移動する。実施例１において、方向Ｈ３は傾斜Ｎ１が延びる方向と平行であるものとする。
【００９１】
カッタ刃２５を方向Ｈ３へ移動させていくことによって、カッタ刃２５は図１７（ａ）で示すように、刃先２５ａを方向Ｄ１に向けた状態を維持しつつ、点線で示す位置から実線で示す位置へ傾斜Ｎ１に沿って移動する。
【００９２】
カッタ刃２５が第１切断部Ｃ１を形成する際、カッタ刃２５はバネ８３によって縦軸支点Ｐに向けてスライド付勢されている。また、カッタ刃２５は、傾斜Ｎ１に対して刃先２５ａが所定の切り込み角度αをもった切断作用姿勢となるように刃先２５ａの方向Ｄ１が調整されている。
【００９３】
そのため、切断作用姿勢となっているカッタ刃２５は、当該スライド付勢力によってノッチＮの傾斜Ｎ１に押し当てられつつ方向Ｈ３に移動する。カッタ刃２５の移動によって刃先２５ａは粘着テープＴを切断していくので、刃先２５ａによって、第１切断部Ｃ１が傾斜Ｎ１に沿って形成されていく（図１７（ａ））。
【００９４】
カッタ刃２５は開口端Ｅ１から傾斜Ｎ１の終点まで粘着テープＴを切断した後、さらに谷部Ｎ３の一部における粘着テープＴを切断し、切断終了位置Ｆまで移動する（図１７（ｂ））。すなわちカッタ刃２５は開口端Ｅ１から、図１７（ｂ）において点線で示す位置へ傾斜Ｎ１に沿って移動し、さらに図１７（ｂ）において実線で示す位置まで谷部Ｎ３に沿って移動する。カッタ刃２５の移動に従って、刃先２５ａは粘着テープＴをノッチＮの縁に沿って切り込んでいく。
【００９５】
カッタ刃２５の刃先２５ａが、ノッチＮにおける最深部である切断終了位置Ｆに達すると、直動ユニット４６および直動ユニット５４による支持アーム４５のスライド移動が停止される。カッタ刃２５が開口端Ｅ１から切断終了位置Ｆまで移動することにより、開口端Ｅ１と切断終了位置Ｆとを結ぶ第１切断部Ｃ１が形成される（図１７（ｂ））。
【００９６】
第１切断工程において、カッタ刃２５の刃先２５ａの向きは、常に方向Ｄ１となるように調整されている。また、カッタ刃２５の移動方向は、傾斜Ｎ１と平行である方向Ｈ３を維持するように制御される。すなわち粘着テープＴに突き刺された状態において、刃先２５ａの向きを変更させることがないので、刃先２５ａがウエハＷの縁に食い込むことに起因するウエハＷの破損およびカッタ刃２５の損耗をより確実に回避できる。
【００９７】
カッタ刃２５はバネ８３のスライド付勢力によって、ノッチＮの縁（傾斜Ｎ１または谷部Ｎ３）に押し当てられている。そのためカッタ刃２５は、より安定した姿勢を維持しつつ、粘着テープＴをノッチＮの縁に沿って好適に切断できる。さらにカッタ刃２５は傾斜Ｎ１に対して刃先２５ａが所定の切り込み角度αをもった切断作用姿勢となっている。
【００９８】
直線状にウエハの径方向内側へ向かう形状を有する傾斜Ｎ１に比べ、谷部Ｎ３はウエハの径方向内側に対してより緩やかに向かう、湾曲した曲線状となっている。実施例１の構成では、刃先２５ａが所定の切り込み角度αをもつことにより、傾斜Ｎ１と谷部Ｎ３との境界点において、カッタ刃２５が引っかかって停止することを好適に回避できる。
【００９９】
その結果、刃先２５ａは開口端Ｅ１から切断終了位置Ｆ、すなわち谷部Ｎ３の最奥部まで、ノッチＮの縁に沿って粘着テープＴを切断できる。また、カッタ刃２５に付与されている付勢力により、傾斜Ｎ１と谷部Ｎ３との境界点においてカッタ刃２５が停止することを、より確実に回避できる。開口端Ｅ１と切断終了位置Ｆとを結ぶ第１切断部Ｃ１が形成されることにより、ステップＳ５−２に係る工程は終了する。
【０１００】
ステップＳ５−３（カッタ刃の抜き出し）
切断終了位置Ｆまで粘着テープＴを切断して第１切断部を形成した後、可動台４３を上昇させてカッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出す。なお、カッタ刃２５を切断終了位置Ｆから開口端Ｅ１へ戻らせた後、カッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出してもよい。
【０１０１】
ステップＳ５−４（刃先の向きを第２方向へ調整）
カッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出した後、傾斜Ｎ２の部分の粘着テープＴを切断すべく、ステップＳ５−４に係る刃先２５ａの調整が開始される。すなわち、直動ユニット４６および５４によってカッタ刃２５を第２切断開始位置の上方へ移動させつつ、ロータリーシリンダ７０およびモータ７９によって刃先２５ａの向きを調整させる。なお、実施例１において、第２切断開始位置はノッチＮの他方の開口端Ｅ２であるものとする。
【０１０２】
ロータリーシリンダ７０はカッタホルダ７１を速やかに回転させることにより、刃先２５ａの向きについて、大凡の調整を行う。そしてロータリーシリンダ７０による調整の後、モータ７９よって操作フランジ７７を縦向き支点Ｑ周りに回動させ、刃先２５ａの向きの微調整を完了させる。ステップＳ５−４に係る工程によって、カッタ刃２５は点線で示される位置および方向から、実線で示される位置および方向へ変位するように制御され、刃先２５ａは符号Ｄ２で示す方向を向くように調整される。
【０１０３】
方向Ｄ２は図１８（ａ）に示すように、傾斜Ｎ２との間に所定の切り込み角度βを形成することが好ましい。所定の切り込み角度を形成させることにより、カッタ刃２５は後述するスライド付勢力によって、より好適に粘着テープＴを傾斜Ｎ１に沿って切断できる。切り込み角度βの大きさは、切り込み角度αと同程度である。すなわち切り込み角度βの大きさも、０度より大きく５度以下であることがより好ましい。方向Ｄ２は本発明における第２の方向に相当する。またステップＳ５−４に係る工程は、本発明における第２調整工程に相当する。
【０１０４】
ステップＳ５−５（第２切断部の形成）
カッタ刃２５の移動および刃先２５ａの向きの調整が完了することにより、ステップＳ５−５に係る第２切断工程を開始する。第２切断工程は、第２切断開始位置である開口端Ｅ２から切断終了位置Ｆまで、ノッチＮの傾斜Ｎ２および谷部Ｎ３に沿って粘着テープＴを切断する工程である。  
【０１０５】
第２切断工程では、まず第２切断開始位置の上方に待機していたカッタ刃２５を下降させて、粘着テープＴに突き刺す。この場合、ピストンロッド８５ａが大きく突出した状態で、カッタ刃２５は開口端Ｅ２から外方に少し（数ｍｍ程度）離れた位置で粘着テープＴに突き刺される。
【０１０６】
その後、スライド移動により、カッタ刃２５の刃先２５ａがウエハＷの外周縁に接触される。
【０１０７】
開口端Ｅ２において、粘着テープＴの切断を開始させる。すなわち、カッタ刃２５の刃先２５ａの向きを方向Ｄ２に維持した状態で、粘着テープＴに突き刺されたカッタ刃２５を傾斜Ｎ２と平行方向に水平移動させ、粘着テープＴを傾斜Ｎ１に沿って切断させる。カッタ刃２５を傾斜Ｎ２に沿って水平移動させる構成についはステップＳ５−２と同様である。すなわち直動ユニット４６および直動ユニット５４によって、カッタ刃２５を斜め４５度左下方向へ水平移動させる（図１８（ｂ）、符号Ｈ４で示す方向）。
【０１０８】
カッタ刃２５を方向Ｈ４へ移動させていくことによって、カッタ刃２５は図１７（ａ）で示すように、刃先２５ａを方向Ｄ１に向けた状態を維持しつつ、点線で示す位置から実線で示す位置へ傾斜Ｎ１および谷部Ｎ３に沿って移動する。刃先２５ａは傾斜Ｎ１および谷部Ｎ３に沿って粘着テープＴを切り込んでいくことにより、開口端Ｅ２と切断終了位置Ｆとを結ぶ第２切断部Ｃ２が形成される（図１８（ｃ））。第１切断部Ｃ１と第２切断部Ｃ２とが切断終了位置Ｆにおいて繋がることにより、ノッチ部分における粘着テープＴの切断が完了する。
【０１０９】
ステップＳ５−２と同様に、カッタ刃２５が第２切断部Ｃ２を形成する際においても、カッタ刃２５はバネ８３によって縦軸支点Ｐに向けてスライド付勢されている。また、カッタ刃２５は、傾斜Ｎ２に対して刃先２５ａが所定の切り込み角度βをもった切断作用姿勢となるように刃先２５ａの方向Ｄ２が調整されている。
【０１１０】
そのため、傾斜Ｎ２と谷部Ｎ３との境界点においてカッタ刃２５が停止することなく、刃先２５ａは傾斜Ｎ２および谷部Ｎ３に沿って、粘着テープＴを好適に切断できる。開口端Ｅ２と切断終了位置Ｆとを結ぶ第２切断部Ｃ２が形成されることにより、ステップＳ５−５に係る工程は終了する。
【０１１１】
ステップＳ５−６（ノッチ部分の切断を検出）
第１切断部Ｃ１および第２切断部Ｃ２を形成した後、ノッチ部分に相当する粘着テープＴについて、切断の検出を行う。第１切断部Ｃ１と第２切断部Ｃ２とが連なっている場合、ノッチ部分における粘着テープＴ（図１９において符号Ｔｎで示す部分）はウエハＷに貼り付けられている部分の粘着テープＴから切り離される。その結果、図１２（ｃ）で示すように、粘着テープＴｎの下方に位置している吸着孔１４によって、粘着テープＴｎはチャックテーブル１１に形成されている切断検出部１２に吸着される。
【０１１２】
粘着テープＴｎが切断検出部１２に吸着されることにより、吸引装置１６による吸引時の圧力が変化する。一方、第１切断部Ｃ１と第２切断部Ｃ２とが連なっていない場合、図１２（ｂ）に示すようにノッチ部分の粘着テープＴｎは、ウエハＷの部分の粘着テープＴと繋がっているので、粘着テープＴｎは切断検出部１２に吸着されない。この場合、吸引装置１６による吸引圧力は変化しない。従って、吸引装置１６における吸引圧力の変化を圧力計で検出するなどの方法を適宜用いることにより、粘着テープＴｎが正確に切り離されているか否かについての情報を、数値情報に基づいてより確実に検出できる。
【０１１３】
ステップＳ５−７（カッタ刃の抜き出し）
ノッチ部分における粘着テープＴｎの切断を確認した場合、可動台４３を上昇させてカッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出す。なお、カッタ刃２５を切断終了位置Ｆから開口端Ｅ２へ戻らせた後、カッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出してもよい。
【０１１４】
ステップＳ５−８（ノッチ以外の外周部分を切断）
カッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出した後、ノッチ以外におけるウエハの外周Ｗａにおいて粘着テープＴを切断する。実施例１では図２０（ａ）に示すように、まず第３切断開始位置Ｓから開口端Ｅ１へ向かって、粘着テープＴを外周Ｗａに沿って切断することによって第３切断部Ｃ３を形成する。続いて、第３切断開始位置Ｓから開口端Ｅ２へ向かって、粘着テープＴを外周Ｗａに沿って切断することによって第４切断部Ｃ４を形成する。第３切断部Ｃ３と第４切断部Ｃ４とが連なることにより、外周Ｗａの部分について粘着テープＴの切断が完了する。ステップＳ５−８に係る工程は、本発明における外周切断工程に相当する。
【０１１５】
ます粘着テープＴから抜き出されたカッタ刃２５は、直動ユニット４６および５４の動作に従って、第３切断開始位置Ｓの上方へ水平移動する。第３切断開始位置Ｓは外周Ｗａにおける任意の位置や、外周Ｗａのやや外側における任意の位置を選択してよい。
【０１１６】
第３切断開始位置Ｓの上方にカッタ刃２５を移動させた後、刃先２５ａの位置及び向きを調整する。すなわち、直動ユニット５４および直動ユニット４６によって、カッタホルダ７１ごとカッタ刃２５をｘ方向およびｙ方向へ適宜変位させるとともに、ロータリーシリンダ７０およびモータ７９を駆動させ、カッタ刃２５を適宜旋回させる。このときの刃先２５ａの向きＤ３は、外周Ｗａの接線に平行であってもよいし、図２０（ｂ）に示すように外周Ｗａの接線Ｂに対して所定の切り込み角度γを有する方向であってもよい。
【０１１７】
カッタ刃２５の移動および刃先２５ａの向きの調整が完了した後、第３切断開始位置Ｓの上方に移動したカッタ刃２５を下降させて、粘着テープＴに突き刺す。この場合、ピストンロッド８５ａが大きく突出作動し、カッタ刃２５は第３切断開始位置Ｓから外方に少し（例えば、数ｍｍ）離れた位置で粘着テープＴに突き刺される。
【０１１８】
その後、ピストンロッド８５ａの突出力がバネ力よりも小さくなるようにエアーシリンダ８５の空気圧が低減され、図７に示すように、ブラケット６９がバネ８３の押し付け付勢力でウエハ中心側にスライド移動される。実施例ではスライド移動により、カッタ刃２５の刃先２５ａがウエハＷの外周縁に接触される。
【０１１９】
第３切断開始位置Ｓにおいて、カッタ刃２５がウエハ外周縁への押し付けられた状態で、粘着テープＴの切断を開始させる。すなわち図１０に示すように、支持アーム４５が回転される。これに伴って、カッタ刃２５は刃先２５ａの向きを維持した状態で、外周Ｗａに摺接しながら第３切断開始位置Ｓから開口端Ｅ１まで旋回移動する。カッタ刃２５の旋回移動により、刃先２５ａの角度を所定の方向Ｄ３に維持した状態で、粘着テープＴがウエハの外周Ｗａに沿って切断され、第３切断部Ｃ３が第１切断部Ｃ１と連なるように形成される。
【０１２０】
第３切断部Ｃ３の形成が完了すると、カッタ刃２５を粘着テープＴから再度抜き出して、第４切断部Ｃ４の形成を開始させる。すなわち、粘着テープＴから抜き出したカッタ刃２５を第３切断開始位置Ｓの上方へ再度移動させつつ、ロータリーシリンダ７０およびモータ７９を駆動させ、刃先２５ａの向きを適宜調整する。
【０１２１】
そして第３切断開始位置Ｓにおいてカッタ刃２５を下降させて粘着テープＴに突き刺し、バネ８３の押し付け付勢力によってウエハＷの外周Ｗａに接触している状態のカッタ刃２５を、第３切断開始位置Ｓから開口端Ｅ２まで旋回移動させる。実施例１の場合、ピストンロッド８５ａが大きく突出作動することによって、カッタ刃２５は第３切断開始位置Ｓから外方に少し（例えば、数ｍｍ）離れた位置で粘着テープＴに突き刺される。カッタ刃２５の旋回移動により、粘着テープＴがウエハの外周Ｗａに沿って切断され、第４切断部Ｃ４が第２切断部Ｃ２および第３切断部Ｃ３の各々と連なるように形成される。
【０１２２】
第４切断部Ｃ４が形成されることにより、第１切断部Ｃ１から第４切断部Ｃ４までの各々が連なるので、ノッチＮを含むウエハＷの外形に沿って粘着テープＴが切り抜かれる。ウエハＷの外形に沿って粘着テープＴが切り抜かれることによって、ステップＳ５（粘着テープの切断）に係る全ての工程が完了し、ステップＳ６へ進行する。ステップＳ６以降の各工程を実行することにより、実施例１に係る粘着テープ切断工程を含む、粘着テープ貼り付け工程は全て完了する。
【０１２３】
＜実施例１の構成による効果＞
実施例１に係る粘着テープ切断工程では、カッタ刃の刃先の方向の調整は、カッタ刃が粘着テープに突き刺されていない状態で行われる。すなわち、カッタ刃が粘着テープに突き刺されている状態では刃先の方向を変更させないので、粘着テープに突き刺されたカッタ刃の回転に起因するウエハの損傷およびカッタ刃の損耗をいずれも回避できる。
【０１２４】
また、それぞれの傾斜に沿って粘着テープを切断する際に、刃先の方向は当該傾斜との間に所定の切り込み角度を形成するように調整される。そのため、カッタ刃２５の刃先２５ａに十分に大きい付勢力が作用するので、カッタ刃２５は境界点Ｊ１で引っかかって停止することを回避できる。
【０１２５】
そのため、カッタ刃２５を移動させる方向が常にＨ３と一定であっても、カッタ刃２５は傾斜Ｎ１を方向Ｈ３に沿って移動し、さらに谷部Ｎ３においては付勢力の作用によって、谷部の延びる方向Ｈ５に沿って移動できる。その結果、カッタ刃の刃先２５ａは、第１切断開始位置である開口端Ｅ１から、ノッチＮの最深部である切断終了位置Ｆまで確実に切り込むことができるので、ノッチＮの外縁部に沿って、ノッチの開口端Ｅ１からノッチの最深部Ｆまでを結ぶ第１切断部Ｃ１を形成できる（図２１（ａ））。
【０１２６】
第２切断部Ｃ２を形成する場合も同様に、付勢力が作用するのでカッタ刃２５が境界点Ｊ２で停止することを回避できる。そのため、第２切断部Ｃ２はノッチの開口端Ｅ２とノッチの最深部Ｆとを結ぶように形成される。従って、第１切断部Ｃ１と第２切断部Ｃ２とはノッチの最深部である切断終了位置Ｆにおいて確実に連なるので、ノッチ部分の粘着テープＴｎをノッチＮの外縁に正確に沿って、ウエハＷに貼り付けられている部分の粘着テープＴから確実に切り離すことができる。
【０１２７】
切り込み角度を形成させずに刃先の向きＤ１を傾斜の延びる方向と一致させて傾斜Ｎ１に沿って粘着テープを切断する場合、カッタ刃２５に付勢力が十分に働かない。そのためこのような従来の構成では、ノッチＮの最深部が底浅となるように湾曲する形状（谷部Ｎ３）である場合、直線である傾斜Ｎ１と曲線である谷部Ｎ３との境界点Ｊ１などにおいて引っかかって停止する問題が懸念される（図２１（ｂ））。
【０１２８】
この場合、第１切断部Ｃ１は開口端Ｅ１から境界点Ｊ１までしか形成されず、ノッチＮの最深部Ｆに到達しない。そして第２切断部Ｃ２も同様に、開口端Ｅ２から境界点Ｊ２まで形成されるにとどまるので、第１切断部Ｃ１と第２切断部Ｃ２が連なることがない。その結果、ノッチ部分の粘着テープＴｎをウエハＷの部分の粘着テープＴから切り離すことが困難となる。
【０１２９】
実施例１では切り込み角度を形成するように刃先の向きを調整したカッタ刃を、当該刃先の向きを維持しつつ、傾斜の向きに沿ってノッチの最深部まで切り込む。このような構成を有するので、本発明ではカッタ刃およびウエハの損耗を回避しつつ、ノッチの最深部の形状如何に関わらず、確実にノッチの最深部まで粘着テープを切断できる。また第１切断工程または第２切断工程においてカッタ刃を移動させる方向を一定とすることにより、制御装置９３による移動制御機構をより容易とすることができる。
【実施例２】
【０１３０】
次に、本発明の実施例２を説明する。実施例２に係る粘着テープ貼付け装置の構成は、基本的には実施例１に係る装置と同様である。但し、実施例２ではバネ８３による押し付け付勢力が発生しないように構成されているという点において実施例１と相違する。具体例としては、カッタ刃２５の軌道を直動ユニット４６および５４の制御により、ノッチＮの斜辺（傾斜Ｎ１または傾斜Ｎ２）のエッジの外側とすることによって、バネ８３による押し付け付勢力の発生を防止する構成が挙げられる。
【０１３１】
また、実施例２に係る粘着テープの貼り付け工程は、実施例１に係る工程と基本的に同じであるが、ノッチ部分の粘着テープＴを切断する工程において相違する。
【０１３２】
ここでステップＳ５−２を例に挙げて各実施例の相違点を説明する。図２２（ａ）に示すように、実施例１では刃先２５ａの向きは傾斜Ｎ１の延びる方向との間に所定の切り込み角度αを有するように調整される。そして実施例１において、カッタ刃２５はノッチＮの縁に接触した状態で傾斜Ｎ１および谷部Ｎ３に沿って粘着テープＴを切断する。
【０１３３】
具体的に、刃先２５ａは方向Ｄ１を維持した状態で傾斜Ｎ１と平行な方向（方向Ｈ３）に直進しつつ傾斜Ｎ１と谷部Ｎ３との境界点Ｊ１まで移動する。そして開口端Ｅ１から境界点Ｊ１まで直進移動した後、刃先２５ａは谷部Ｎ３を形成する曲線に沿って境界点Ｊ１から切断終了位置Ｆまで移動する。そのため、実施例１において、第１切断部Ｃ１は傾斜Ｎ１を形成する直線と、谷部Ｎ３を形成する曲線とが繋がっている形状となる。
【０１３４】
一方、実施例２では図２２（ｂ）に示すように、カッタ刃２５を開口端Ｅ１において粘着テープＴに突き刺した後、開口端Ｅ１から切断終了位置Ｆまで直進させて粘着テープＴを切断する。そのため、刃先２５ａによって形成される第１切断部Ｃ１は、開口端Ｅ１から切断終了位置Ｆまでを繋ぐ直線状となる。
【０１３５】
すなわち実施例２において、厳密には第１切断部Ｃ１の軌跡と傾斜Ｎ１とは一致しない。しかし、実際の構成において谷間Ｎ３の幅は非常に狭いので、第１切断部Ｃ１が延びる方向と傾斜Ｎ１が延びる方向とは略平行であり、第１切断部Ｃ１が形成される位置は、傾斜Ｎ１のごく近傍となる。本発明では、傾斜Ｎ１の近傍において傾斜Ｎ１と略平行な軌跡となるように切断する場合についても「傾斜Ｎ１に沿って切断する」構成に含むものとして以下説明する。
【０１３６】
＜実施例２に係る、ノッチ部分の粘着テープを切断する工程の説明＞
ここで、実施例２に係るノッチ部分の粘着テープを切断する工程について、実施例１と対比しつつ説明する。実施例２に係る当該工程の概略は実施例１と同様である。すなわち、図１４（ｂ）に示すステップＳ５−１からステップＳ５−８までの工程に従って、ノッチ部分の粘着テープＴが切断される。
【０１３７】
ステップＳ５−１（刃先の向きを第１方向へ調整）
ステップＳ４の工程が終了することにより、ステップＳ５−１に係る刃先２５ａの調整が開始される。すなわち、実施例１と同様にロータリーシリンダ７０による大凡の調整とモータ７９による微調整とによってカッタ刃２５は縦向き視点Ｑの軸回りに回転され、刃先２５ａの向きが符号Ｒ１で示す方向となるように調整される。方向Ｒ１は図２３（ａ）に示すように、第１切断開始位置である開口端Ｅ１と切断終了位置Ｆとを結ぶ直線の方向と一致する。
【０１３８】
また、刃先２５ａの向きを調整しつつ、カッタ刃２５を移動させる。すなわち、直動ユニット５４および直動ユニット４６によって、カッタホルダ７１ごとカッタ刃２５をｘ方向およびｙ方向へ適宜変位させる。その結果、カッタホルダ７１の変位に従って、カッタ刃２５は第１切断開始位置である開口端Ｅ１の上方に移動するとともに、刃先２５ａの向きがＲ１となるように旋回される。
【０１３９】
ステップＳ５−２（第１切断部の形成）
カッタ刃２５の移動および刃先２５ａの向きの調整が完了することにより、ステップＳ５−２に係る第１切断工程を開始する。すなわち、刃先２５ａの向きが方向Ｒ１に調整されたカッタ刃２５を下降させる。
【０１４０】
実施例１では、バネ８３による押しつけ付勢力が発生するように、カッタ刃２５の軌道を直動ユニットの制御により、例えばノッチＮの斜辺の内側とするので、カッタ刃２５はウエハＷにおけるノッチＮの開口端Ｅ１から外方に少し（数ｍｍ）離れた位置で粘着テープＴに突き刺される。一方、実施例２ではバネ８３による押しつけ付勢力が発生しないよう、カッタ刃２５の軌道を直動ユニットの制御により、ノッチＮの斜辺のエッジの外側とするので、実施例２において、カッタ刃２５はウエハＷにおけるノッチＮの開口端Ｅ１から外方に少し（数ｍｍ）離れた上記軌道上の位置で粘着テープＴに突き刺される。
【０１４１】
第１切断開始位置においてカッタ刃２５が粘着テープＴに突き刺された後、粘着テープＴの切断を開始させる。すなわち、カッタ刃２５の刃先２５ａの向きを方向Ｒ１に維持した状態で、カッタ刃２５を開口端Ｅ１から切断終了位置Ｆまで直進させて粘着テープＴを切断させる。その結果、図２３（ｂ）に示すように、開口端Ｅ１と切断終了位置Ｆを結ぶ直線状の第１切断部Ｃ１が形成される。
【０１４２】
カッタ刃２５は、直動ユニット４６および５４の駆動によって、開口端Ｅ１から切断終了位置Ｆまで直進する方向、すなわち方向Ｒ１へ水平移動する。実施例２では刃先２５ａの向きと、カッタ刃２５を移動させる方向Ｇ１とはいずれも同じ方向Ｒ１であるので、刃先２５ａはより好適に粘着テープＴを切断できる。刃先２５ａが切断終了位置Ｆまで切り込んでいき、第１切断部Ｃ１が形成されることによってステップＳ５−２に係る工程は完了する。
【０１４３】
ステップＳ５−３（カッタ刃の抜き出し）
切断終了位置Ｆまで粘着テープＴを切断して第１切断部Ｃ１を形成した後、実施例１と同様に可動台４３を上昇させてカッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出す。なお、カッタ刃２５を切断終了位置Ｆから開口端Ｅ１へ戻らせた後、カッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出してもよい。  
【０１４４】
ステップＳ５−４（刃先の向きを第２方向へ調整）
カッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出した後、ステップＳ５−４に係る刃先２５ａの調整が開始される。すなわち、直動ユニット４６および５４によってカッタ刃２５を第２切断開始位置である開口端Ｅ２の上方へ移動させつつ、ロータリーシリンダ７０およびモータ７９によって、刃先２５ａの向きを符号Ｒ２で示す方向に調整させる。方向Ｒ２は図２４（ａ）に示すように、第２切断開始位置である開口端Ｅ２と切断終了位置Ｆとを結ぶ直線の方向と一致する。
【０１４５】
ステップＳ５−５（第２切断部の形成）
カッタ刃２５の移動および刃先２５ａの向きの調整が完了することにより、ステップＳ５−５に係る第２切断工程を開始する。すなわち、刃先２５ａの向きが方向Ｒ２に調整されたカッタ刃２５を下降させ、第２切断開始位置である開口端Ｅ２において粘着テープＴに突き刺させる。  
【０１４６】
第２切断開始位置においてカッタ刃２５が粘着テープＴに突き刺された後、粘着テープＴの切断を開始させる。すなわち、カッタ刃２５の刃先２５ａの向きを方向Ｒ２に維持した状態で、カッタ刃２５を開口端Ｅ２から切断終了位置Ｆまで直進させて粘着テープＴを切断させる。その結果、図２４（ｂ）に示すように、開口端Ｅ２と切断終了位置Ｆを結ぶ直線状の第２切断部Ｃ２が形成される。
【０１４７】
ステップＳ５−４において調整された刃先２５ａの向きと、ステップＳ５−５においてカッタ刃２５を移動させる方向Ｇ２とはいずれも同じ方向Ｒ１である。この場合、刃先２５ａに対して効率的に力が加えられるので、刃先２５ａはより好適に粘着テープＴを切断できる。刃先２５ａが切断終了位置Ｆまで切り込んでいき、第２切断部Ｃ２が形成されることによってステップＳ５−５に係る工程は完了する。
【０１４８】
ステップＳ５−６からステップＳ５−７に係る工程については、実施例１と実施例２とは同じである。すなわち、第１切断部Ｃ１および第２切断部Ｃ２を形成した後、吸引装置１６における吸引圧力の変化に基づいて、ウエハＷに貼り付けられている部分の粘着テープＴから粘着テープＴｎが切り離されていることを検出する（ステップＳ５−６）。ノッチ部分における粘着テープＴｎの切断が確認された場合、可動台４３を上昇させてカッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出す（ステップＳ５−７）。なお、カッタ刃２５を切断終了位置Ｆから開口端Ｅ２へ戻らせた後、カッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出してもよい。
【０１４９】
ステップＳ５−８（ノッチ以外の外周部分を切断）
カッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出した後、ノッチ以外におけるウエハの外周Ｗａにおいて粘着テープＴを切断する。すなわち刃先２５ａの向きを調整した後、第３切断開始位置Ｓにおいてカッタ刃２５を粘着テープＴに突き刺させる。そして、実施例１と同様に、図２０に示されるような第３切断部Ｃ３および第４切断部を形成することによって、ノッチＮ以外の外周Ｗａに沿って粘着テープＴを切断する。
【０１５０】
なお、実施例２ではバネ８３による押しつけ付勢力が発生しないので、刃先２５ａの向きは、外周Ｗａの接線Ｂに平行となるように調整されることが好ましい。第１切断部Ｃ１から第４切断部Ｃ４までの各々が連なることによって、ノッチＮを含むウエハＷの外形に沿って粘着テープＴが正確に切り抜かれる。粘着テープＴが切り抜かれた後、図１４（ａ）に示すステップＳ６以降の工程を行う。
【０１５１】
実施例２では実施例１と同様に、刃先２５ａの向きの調整は、常にカッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出した状態で行われる。すなわち、カッタ刃２５が粘着テープＴに突き刺された状態において、縦向き支点Ｑの軸周りにおける刃先２５ａの向きは常に一定方向に維持される。そのため、粘着テープＴに突き刺されたカッタ刃２５が回転することによって、ウエハＷが損傷する問題やカッタ刃２５が迅速に損耗する問題を好適に回避できる。
【０１５２】
そして、カッタ刃２５が粘着テープＴに突き刺された状態では刃先２５ａの向きを変えずに粘着テープを切断することにより、カッタ刃２５が変形することを回避できる効果、および粘着テープＴをより好適に切断できる効果を奏することもできる。すなわち図２５（ａ）および図２５（ｂ）に示すように、カッタ刃２５が粘着テープＴに突き刺された状態で刃先２５ａの向きをＤ１からＤ２に変える場合、当該向きの変更によって、符号Ｍで示す歪みが粘着テープＴに発生する。
【０１５３】
歪みＭが発生することにより、水平姿勢をとっている粘着テープＴが浮き上がるように変形する事態（図２５（ｃ））、または沈み込むように変形する事態が発生する（図２５（ｄ））。粘着テープＴが変形することにより、粘着テープＴの断面Ｔｋと刃先２５ａとは正対しなくなるので、刃先２５ａは粘着テープＴを好適に切断することが困難となる。
【０１５４】
また近年ではウエハの薄型化が進んでいるので、より厚く弾性変形しにくい粘着テープが用いられる。厚く弾性変形しにくい粘着テープにカッタ刃２５を突き刺した状態で刃先２５ａの向きを強引に変化させる場合、カッタ刃２５の周囲には弾性変形しにくい粘着テープが存在するので、過剰な大きさの力がカッタ刃２５に作用する。その結果、過剰な力によってカッタ刃２５が変形する問題が懸念される。そこで、実施例１および実施例２のように、刃先２５ａの向きの調整を、常にカッタ刃２５を粘着テープＴから抜き出した状態で行うことによって、刃先２５ａの向きの変更によってカッタ刃２５が変形する問題を確実に回避できる。
【０１５５】
実施例２では、カッタ刃２５はノッチＮの縁に接触することなくノッチ部分の粘着テープＴｎを切断する。そのため、カッタ刃２５とウエハＷとの接触によるウエハの破損やカッタ刃の摩耗といった問題を回避できる。また、第１切断部Ｃ１は開口端Ｅ１とノッチの最深部Ｆとを結ぶ直線であるので、ノッチＮの傾斜Ｎ１の近傍において、傾斜Ｎ１と略平行に形成される。そして第２切断部Ｃ２は開口端Ｅ２とノッチの最深部Ｆとを結ぶ直線であるので、ノッチＮの傾斜Ｎ２の近傍において、傾斜Ｎ２と略平行に形成される。従って、実施例２ではノッチ部分の粘着テープＴの切り残しをより低減できるので、切り残された粘着テープＴを介して粉塵や洗浄水などがウエハＷを汚染する問題をより確実に回避できる。
【０１５６】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【０１５７】
（１）各実施例において、第１切断開始位置および第２切断開始位置は、ノッチＮの一方の開口端Ｅ１および開口端Ｅ２として説明したが、第１切断開始位置および第２切断開始位置はこれに限られない。一例として、第１切断開始位置は開口端Ｅ１からウエハＷの外方に少し（例えば数ｍｍ）離れた、開口端Ｅ１の近傍となる位置であってもよい。
【０１５８】
（２）実施例１において、ノッチＮの外縁部分（傾斜Ｎ１、Ｎ２など）に対して、カッタ刃２５の刃先２５ａが押し当てられている構成となっているが、これに限られない。すなわち、カッタ刃２５の側面の少なくとも一部がノッチＮの外縁部分に押し当てられている構成であってもよい。
【０１５９】
変形例（２）の構成の第１の例について説明する。図２６（ａ）に示すように、変形例（２）に係るカッタ刃２５は側面２５ｂおよび側面２５ｃを備えている。そして図２６（ｂ）に示すように、ステップＳ５−２において、カッタ刃２５の側面２５ｂを傾斜Ｎ１に接触させつつ、刃先２５ａの向きを方向Ｄ１に維持した状態で粘着テープＴを傾斜Ｎ１に沿って切断する。このように、カッタ刃２５の側面をノッチＮの外縁に接触させることにより、刃先２５ａがノッチＮの外縁部分に食い込んでカッタ刃２５が損耗することをより確実に回避できる。
【０１６０】
（３）また、変形例（２）に係るさらなる変形例として、図２６（ｃ）に示すように、側面２５ｂを傾斜Ｎ１に押し当てつつ、Ｄ１の方向を向いている刃先２５ａが傾斜Ｎ１から僅かに離れる位置となるようにカッタ刃２５を構成してもよい。この場合、第１接触部Ｃ１は、傾斜Ｎ１の近傍において、傾斜Ｎ１と平行に形成されていく（符号Ｙを参照）。刃先２５ａが傾斜Ｎ１から離れた状態でノッチ部分の粘着テープＴを切断する構成とすることにより、刃先２５ａとノッチＮの外縁部分との接触を確実に回避できる。その結果、刃先２５ａがウエハＷに食い込むことをより確実に防止できる。
【０１６１】
なお、本発明に係る粘着テープの切断工程における「傾斜Ｎ１に沿って粘着テープを切断する」とは、実施例１で示したように刃先２５ａを傾斜Ｎ１に接触させ、傾斜Ｎ１と平行に粘着テープＴを切断する場合のみに限られない。すなわち、実施例２や変形例（３）で示すように、刃先２５ａは傾斜の近傍領域を、傾斜Ｎ１と略平行に切断する場合をも含むものとする。
【０１６２】
（４）実施例１について、例えばステップＳ５−２においてカッタ刃２５を第１切断開始位置から切断終了位置まで移動させる際に、直動ユニット４６および５４がカッタ刃２５を移動させる方向は、常に方向Ｈ３を維持していたがこれに限られない。すなわち、刃先２５ａの向きを方向Ｄ１に維持してさえすれば、カッタ刃２５を移動させる方向をカッタ刃２５の位置に応じて適宜変更させる構成であってもよい。
【０１６３】
一例として、カッタ刃２５が傾斜Ｎ１に沿って移動している場合、カッタ刃２５を傾斜Ｎ１の延びる方向Ｈ３にカッタ刃２５を移動させ、カッタ刃２５が谷間Ｎ３に沿って移動している場合、谷間Ｎ３を構成する曲線が延びる方向Ｈ５に従って、カッタ刃２５を移動させる方向を適宜変更させる構成が挙げられる（図２２（ａ）を参照）。このような変形例では、カッタ刃２５が谷間Ｎ３に沿って移動する際に、カッタ刃から谷間Ｎ３の縁に対して押しつけ付勢力が過度に作用することを回避できるので、谷間Ｎ３においてウエハが損傷するなどの問題を好適に回避できる。
【０１６４】
（５）各実施例について、ノッチ部分の粘着テープＴｎが切り離されたことを切断検知部１２、吸着孔１４、および吸引装置１６を用いて検知する構成であったが、検知する構成はこれに限られない。他の一例としては、監視カメラ９９によって粘着テープＴｎの領域を監視することにより、第１切断部Ｃ１と第２切断部Ｃ２が正確に連なって当該粘着テープＴｎが切り離されたことを検知する構成などが挙げられる。
【０１６５】
（６）各実施例について、切断検出部１２および吸着孔１４は、チャックテーブル１１においてカッタ走行溝２７の外側に設けられる構成としたがこれに限られない。すなわち、切断された粘着テープＴｎを好適に吸着できるように構成されていれば、カッタ走行溝２７の内側に切断検出部１２および吸着孔１４を配設する構成であってもよい。
【０１６６】
（７）各実施例について、ノッチＮについて、その最深部Ｆの部分が底浅に湾曲した谷部Ｎ３である構成を例に挙げて説明したが、図２７に示すような、直線状の傾斜Ｎ１と直線状の傾斜Ｎ２とが最深部Ｆにおいて繋がった形状のノッチＮであってもよい。すなわち、ノッチＮの形状が正確なＶ字形状である場合など、ノッチＮの形状を適宜変更した場合であっても本発明に係る構成を適用できる。
【０１６７】
（８）各実施例について、ノッチＮの位置情報を取得する構成として、監視カメラ９９によってノッチＮを撮像検出する構成を例にとって説明したが、これに限られない。他の例としては、監視カメラ９９の代わりにＣＣＤセンサを設け、ウエハＷの縁の下側などに図示しない光源を配設する構成が挙げられる。この場合、光源から発生される光の量の変化をＣＣＤセンサが検知することによってノッチＮの位置情報を取得できる。
【０１６８】
（９）上述した各実施例では、第１切断開始位置を開口端Ｅ１、第２切断開始位置を開口端Ｅ２として説明したが、これに限られない。
【０１６９】
まず実施例１の変形例として図２８（ａ）に示すように、開口端Ｅ１からウエハＷの径方向外側かつ外周方向内側である、符号Ｓ１で示す位置を第１切断開始位置とする場合を例にとって説明する。ここでウエハＷの外周方向内側とは、ノッチ部分における粘着テープＴｎから遠い側を意味する。
【０１７０】
実施例１の変形例では実施例１と同様に、ノッチ部分の粘着テープＴｎをより確実に除くべく、粘着テープＴの第１切断開始位置に突き刺されたカッタ刃２５は、直動ユニット４６および５４によってノッチＮの傾斜Ｎ１と平行である方向Ｈ３へ移動するように制御される。すなわち実施例１の変形例において、第１切断開始位置Ｓ１に突き刺されたカッタ刃２５の想定される移動軌跡は、図２８（ａ）において点線で示される軌跡Ｌ１となる。
【０１７１】
カッタ刃２５が第１切断開始位置Ｓ１に突き刺される際において、図２８（ｂ）に示すように、ピストンロッド８５ａがブラケット６９に当接している。図２８（ｂ）に示す当接状態を維持した状態でカッタ刃２５を方向Ｈ３へスライド移動続けた場合、カッタ刃２５の移動軌跡は軌跡Ｌ１となる。そのため、当該当接状態を維持しつつ、刃先の向きが方向Ｄ１に調整された状態で第１切断開始位置Ｓ１に突き刺されたカッタ刃２５は、まず軌跡Ｌ１に沿って移動する。
【０１７２】
軌跡Ｌ１に沿って移動したカッタ刃２５は、符号Ｗ１で示す位置においてウエハＷの外周縁Ｗａに接触する。カッタ刃２５がウエハＷに接触することによって、図２８（ｃ）に示すように、ブラケット６９はピストンロッド８５ａの先端から離れてカッタ刃２５がウエハＷのエッジに当接するようになる。
【０１７３】
外周縁Ｗａに接触したカッタ刃２５は、ウエハの外周縁Ｗａに沿って開口端Ｅ１へ移動し、さらに傾斜Ｎ１に沿って境界点Ｊ１まで移動する。境界点Ｊ１へ移動したカッタ刃２５は谷部Ｎ３に沿って、切断終了位置Ｆへ移動する。その結果、切断開始位置Ｓ１と切断終了位置Ｆとを結ぶ第１切断部Ｃ１が、図２８（ｄ）において実線で示す軌跡を描くように形成される。なお、第２切断部Ｃ２を形成する場合も同様に、一例として切断開始位置を開口端Ｅ２からウエハＷの径方向外側かつ外周方向内側である位置に設定してよい。
【０１７４】
このように実施例１の変形例では実施例１と同様に、カッタ刃２５はウエハＷのエッジに当接しながら粘着テープＴを切断する。そのため、ノッチ部分においても粘着テープＴをウエハＷの外形に沿って正確に切断できるので、切れ残った粘着テープＴの存在による問題の発生をより好適に回避できる。
【０１７５】
まず実施例２の変形例として図２９（ａ）に示すように、開口端Ｅ１からウエハＷの径方向外側である、符号Ｓ２で示す位置を第１切断開始位置とする場合を例にとって説明する。また、谷部Ｎ３の最奥部である切断終了位置Ｆと第１切断開始位置Ｓ２とを結ぶ線は、傾斜Ｎ１と平行であるものとする。
【０１７６】
実施例２の変形例では実施例２と同様に、図２９（ｂ）に示すように、ピストンロッド８５ａがブラケット６９に当接している。当該当接状態において、カッタ刃２５は、ノッチＮのエッジ部分Ｅｄからわずかに離れた部分の粘着テープＴを切断するように構成される。
【０１７７】
そして図２９（ｂ）に示す当接状態を維持しつつ、刃先の向きが方向Ｄ１に調整された状態で第１切断開始位置Ｓ２に突き刺されたカッタ刃２５は、直動ユニット４６および５４の制御に従って、第１切断開始位置Ｓ２から切断終了位置Ｆへ直進する。その結果、切断開始位置Ｓ２と切断終了位置Ｆとを結ぶ第１切断部Ｃ１が、図２９（ａ）において実線で示す直線状の軌跡を描くように形成される。なお、第２切断部Ｃ２を形成する場合も同様に、一例として切断開始位置を開口端Ｅ２からウエハＷの径方向外側である位置に設定してよい。
【０１７８】
このように実施例２の変形例では実施例２と同様に、カッタ刃２５はウエハＷのエッジから僅かに離れた状態を維持しつつ、粘着テープＴを切断する。そのため、カッタ刃２５とウエハＷとの接触に起因するカッタ刃２５の損耗を好適に回避できる。また、ノッチのエッジ部分Ｅｄからはみ出す粘着テープＴを最小限に抑制できるので、切れ残った粘着テープＴの存在による問題の発生も好適に回避できる。
【符号の説明】
【０１７９】
１    …  粘着テープ貼付け装置
１１    …  チャックテーブル
１２    …  切断検出部
１４    …  吸着孔
１６    …  吸引装置
１９    …  粘着テープ切断装置
２１    …  剥離ユニット
２５    …  カッタ刃
２５ａ  …  刃先
２７    …  カッタ走行溝
３５    …  貼付けローラ
４３    …  可動台
４５    …  支持アーム
４６    …  直動ユニット
４７    …  カッタユニット
５３    …  回動軸
５４    …  直動ユニット
５９    …  支持部材
７０    …  ロータリーシリンダ
７１    …  カッタホルダ
７７    …  操作フランジ
７９    …  モータ
８３    …  バネ
８５    …  エアーシリンダ
８５ａ  …  ピストンロッド
９３    …  制御装置
９９    …  監視カメラ
Ｔ    …  粘着テープ
Ｗ    …  半導体ウエハ
Ｎ    …  ノッチ
Ｎ１，Ｎ２    …  傾斜
Ｎ３          …  谷部
Ｅ１，Ｅ２    …  開口端
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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