(57)【要約】  【課題】  比較的簡単な構造で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入装置を提供する。  【解決手段】  外部環境との隔離が必要な空間において物品の搬出入を行う物品搬出入装置であって、前記物品搬出入装置の筐体となるフレームと、前記フレームの内側において前記物品の搬出入方向に延在して設けられ、前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材と、を備えることを特徴とする。【選択図】  図２Ａ
2018053459.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部環境との隔離が必要な空間において物品の搬出入を行う物品搬出入装置であって、
前記物品搬出入装置の筐体となるフレームと、
前記フレームの内側において前記物品の搬出入方向に延在して設けられ、前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材と、
を備えることを特徴とする物品搬出入装置。
【請求項２】
請求項１に記載の物品搬出入装置であって、
前記伸縮部材は、袋に充填されたゲルであることを特徴とする物品搬出入装置。
【請求項３】
請求項１に記載の物品搬出入装置であって、
前記フレームの両端に、前記物品の搬出入口となるフタ付きの開口ポートが各々設けられており、
前記フレームの内部にゲルが充填されていることを特徴とする物品搬出入装置。
【請求項４】
請求項３に記載の物品搬出入装置であって、
前記フタは分割構造であり、前記物品の通過時に当該物品により押し開けられ、
当該物品の通過後、前記フタの弾性力により閉となることを特徴とする物品搬出入装置。
【請求項５】
請求項３に記載の物品搬出入装置であって、
前記フレームの内部に２つの通路を備え、
前記ゲルは前記２つの通路内に充填されており、
前記フタ付きの開口ポートは、いずれも一方向にのみ開放可能であることを特徴とする物品搬出入装置。
【請求項６】
請求項２に記載の物品搬出入装置であって、
前記複数の伸縮部材は、前記フレームの内側において前記物品の搬出入方向に分割して設けられ、
前記分割して設けられた伸縮部材の間に、ゲル球が充填されていることを特徴とする物品搬出入装置。
【請求項７】
請求項２に記載の物品搬出入装置であって、
前記複数の伸縮部材は、前記フレームの内側において前記物品の搬出入方向に分割して設けられ、
前記分割して設けられた伸縮部材の間に、中間室となる空洞が設けられていることを特徴とする物品搬出入装置。
【請求項８】
請求項１に記載の物品搬出入装置であって、
前記伸縮部材は、粘着性を有するゲルであり、前記物品の搬出入時に当該物品に付着したダストを前記ゲルにより吸着することを特徴とする物品搬出入装置。
【請求項９】
請求項８に記載の物品搬出入装置であって、
前記ゲルが前記ダストを吸着した後、前記ダストを吸着した部分のゲルが当該ダストと共に剥がれ落ち、前記伸縮部材の表面に再び粘着性を有するゲルが出現することを特徴とする物品搬出入装置。
【請求項１０】
外部環境との隔離が必要な空間において物品の搬出入を行う物品搬出入方法であって、
前記物品の搬出入方向に延在して設けられた前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材の境界部分に沿って、前記物品を搬出入することを特徴とする物品搬出入方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の物品搬出入方法であって、
前記伸縮部材は、袋に充填されたゲルであることを特徴とする物品搬出入方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載の物品搬出入方法であって、
前記伸縮部材は、前記物品の搬出入経路内に充填されたゲル球であることを特徴とする物品搬出入方法。
【請求項１３】
請求項１０に記載の物品搬出入方法であって、
前記複数の伸縮部材は、前記物品の搬出入経路内において前記物品の搬出入方向に分割して設けられていることを特徴とする物品搬出入方法。
【請求項１４】
請求項１０に記載の物品搬出入方法であって、
前記伸縮部材は、粘着性を有するゲルであり、前記物品の搬出入時に当該物品に付着したダストを前記ゲルにより吸着することを特徴とする物品搬出入方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の物品搬出入方法であって、
前記ゲルが前記ダストを吸着した後、前記ダストを吸着した部分のゲルが当該ダストと共に剥がれ落ち、前記伸縮部材の表面に再び粘着性を有するゲルが出現することを特徴とする物品搬出入方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品の搬出入を行う搬出入口の構造に関し、特に、外部環境との隔離が必要な場所との物品の搬出入に適用して有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場や医薬品製造施設等のクリーンルームにおける物品の搬出入、原子炉建屋内部からの燃料デブリの取り出し等、外部環境との隔離が必要な場所での物品の搬出入においては、隔離状態を維持しつつ、物品を容易に通過可能な搬出入口の構造が求められている。
【０００３】
本技術分野の背景技術として、例えば、特許文献１のような技術がある。特許文献１には、「入り口のドアやシャッターなどの代わりに水平方向に振幅するように波状に湾曲させた可撓性シートを入り口の手前から奥に向かって配置して、そのシートの山と谷とで入り口を閉鎖し、出入りの際にはシートに前進波動を起こさせて、シートの端部が山もしくは谷になったとき出入りを行い、その山もしくは谷の前進とともに移動するようにした閉鎖部材および閉鎖構造」が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１３３６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように、隔離状態を維持しつつ、物品を容易に通過可能な搬出入口は、様々な産業分野において需要があり、例えば、従来の一般的なクリーンルームでは、前室にエアーシャワー装置を設け、HEPAフィルター（High-Efficiency Particulate Air filter）で清浄化された高速ジェットエアーを、人や搬入物の表面に直接当てて、付着した塵埃を除塵している。また、ドアを二重に設け、それらのドアが同時に開放しない構造とすることで外気とクリーンルームとを遮断するエアーロック機能なども備えている。
【０００６】
ところで、従来のエアーシャワー装置による除塵では、搬入しようとする物品の形状が複雑である場合、高速ジェットエアーが直接当たらない箇所の除塵が不十分であったり、質量が大きく運動エネルギーの高い拡散物質に対してはエアーシャワーでは十分に隔離できない可能性がある。
【０００７】
上記特許文献１の閉鎖構造は、可撓性シートに前進波動を起こさせるための駆動装置が必要であるなど構造が複雑で、前進波動に合せたコンベアの制御が必要であるなど物品の搬出入も容易ではない。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、比較的簡単な構造で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入装置を提供することにある。
【０００９】
また、本発明は、比較的簡便な方法で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、外部環境との隔離が必要な空間において物品の搬出入を行う物品搬出入装置であって、前記物品搬出入装置の筐体となるフレームと、前記フレームの内側において前記物品の搬出入方向に延在して設けられ、前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、外部環境との隔離が必要な空間において物品の搬出入を行う物品搬出入方法であって、前記物品の搬出入方向に延在して設けられた前記外部環境と前記空間とを隔離する変形自在な複数の伸縮部材の境界部分に沿って、前記物品を搬出入することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、比較的簡単な構造で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入装置を実現できる。
【００１３】
また、本発明によれば、比較的簡便な方法で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、物品の通過が容易な物品搬出入方法を実現できる。
【００１４】
上記した以外の課題、構成および効果は、以下の実施形態の説明によって明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。
【図１Ｂ】図１ＡにおけるＡ−Ａ’断面図である。
【図２Ａ】本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。
【図２Ｂ】図２ＡにおけるＢ−Ｂ’断面図である。
【図３】図２ＡにおけるＢ−Ｂ’断面図である。
【図４Ａ】本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置を示す図である。
【図４Ｂ】図４ＡにおけるＣ−Ｃ’矢視図である。
【図４Ｃ】図４ＡにおけるＣ−Ｃ’矢視図である。
【図５Ａ】本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置を示す図である。
【図５Ｂ】図５ＡにおけるＤ−Ｄ’矢視図である。
【図６Ａ】本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。
【図６Ｂ】図６ＡにおけるＥ−Ｅ’断面図である。
【図７Ａ】本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の正面図である。
【図７Ｂ】図７ＡにおけるＦ−Ｆ’断面図である。
【図７Ｃ】図７ＢにおけるＧ−Ｇ’断面図である。
【図８】図７ＡにおけるＦ−Ｆ’断面図である。
【図９Ａ】本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の断面図である。
【図９Ｂ】本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の断面図である。
【図９Ｃ】本発明の一実施形態に係る物品搬出入装置の断面図である。
【図１０Ａ】ダストおよびゲルを概念的に示す図である。
【図１０Ｂ】ダストおよびゲルを概念的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。なお、各図面において、同一の構成については同一の符号を付し、重複する部分についてはその詳細な説明は省略する。
【実施例１】
【００１７】
図１Ａから図３を参照して、実施例１の物品搬出入装置について説明する。図１Ａはゲル充填袋を使用する本実施例の物品搬出入装置の正面図である。図１Ｂは図１ＡのＡ−Ａ’断面図であり、物品搬出入装置の断面構造を示している。図２Ａおよび図２Ｂは物品搬出入装置により台車を搬入する様子を示す図であり、それぞれ図１Ａ，図１Ｂに対応している。また、図３は物品搬出入装置の途中まで台車を搬入した状態を示している。
【００１８】
図１Ａに示すように、本実施例の物品搬出入装置は、搬出入口１側から見て、床２上に設置されたフレーム３と、フレーム３に固定されたゲル袋４と、ゲル袋４の内部に充填されたゲル球５とで構成されている。フレーム３は物品搬出入装置の筐体である。ゲル袋４は、フレーム３の内側の上部と左右の側面の３か所以上に設置され、上部のゲル袋４が自重で側面のゲル袋４を押し付けて気密を保持する。
【００１９】
なお、ゲル袋４は、フレーム３にゲル投入用の袋を設置し、ホース等でゲルを投入することでゲル球５が内部に充填されている。或いは、予めゲル球５を充填したゲル袋４を製作し、フレーム３に取り付けて設置する形態であってもよい。
【００２０】
ゲル袋４を構成する袋は、内部にゲル球５を充填して保持するための充分な強度を有する素材を用いるのが望ましく、例えば、アラミド繊維やカーボンファイバー（炭素繊維）などの高強度な繊維を用いる。但し、ゲル袋４はこれらの素材に限定されるものではなく、物品搬出入装置の用途や規模によって最適な素材の袋を選択するのがより好適である。
【００２１】
また、図１Ｂに示すように、本実施例の物品搬出入装置は、搬出入口１の奥行方向すなわち物品の搬入方向に沿って、ゲル袋４がフレーム３に延在して設けられている。ゲル袋４を物品搬出入装置の奥行方向に十分な幅を持たせて設置することで、物品を搬入する際にも確実に外部環境との隔離状態を維持することができる。
【００２２】
図２Ａから図３に、本実施例の物品搬出入装置により台車を搬入する際の様子を示す。台車６などの搬入物を搬入する際、フレーム３の内側に設けられた複数のゲル袋４同士の境界に沿って搬入される。内部にゲル球５が充填されたゲル袋４は変形が容易（変形自在）な伸縮部材であり、ある程度の質量も有するため、台車６などの搬入物の形状に合わせて変形し、台車が通過した後はゲル袋４の形状が元に戻り、気密を保持することができる。これにより、外部環境との隔離状態を維持しながら、台車６などの搬入物を搬入することができる。
【００２３】
以上説明したように、本実施例によれば、比較的簡単な構造で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、容易に物品の搬出入を行うことができる。
【実施例２】
【００２４】
図４Ａから図４Ｃを参照して、実施例２の物品搬出入装置について説明する。図４Ａはゲル球を袋に入れずに使用する本実施例の物品搬出入装置の側面図であり、搬出口付近の端部を示している。図４Ｂは図４ＡをＣ−Ｃ’方向から見た搬出口付近を示す図であり、フタ８が閉じた状態を示している。また、図４Ｃはフタ８を押し出して内部から搬入物が搬入される状態を示している。
【００２５】
図４Ａに示すように、本実施例の物品搬出入装置は、気密保持装置７の内部にゲル球５が充填されており、気密保持装置７の両端にはフタ８を有する搬入口および搬出口が設けられた構成となっている。なお、図４Ａでは気密保持装置７の一端（搬出口）のみを図示している。また、フタ８は図４Ａから図４Ｃに示すように分割構造となっている。
【００２６】
図４Ｂに示すように、搬入物の搬入を行わない場合、複数に分割されたフタ８は閉じた状態となり、気密保持装置７の内部にゲル球５が保持される。一方、搬入物を搬入する場合は、図４Ａおよび図４Ｃに示すように、搬入物に押されてフタ８が開き、搬入物９が搬入される。搬入物９が気密保持装置７を通過後は、フタ８はバネやゴム等の弾性力で元に戻り、フタ８が閉じられる。
【００２７】
なお、フタ８が開いて搬入物９が通過する際に、ある程度のゲル球５は搬入物９と共に外部に漏れ出るため、新たなゲル球５を気密保持装置７内にホース等で供給するようにしてもよい。或いは、フタ８を二重構造とし、２つのフタの間に気密保持装置７から溢れたゲル球５を回収する機構（設備）を設けて、ゲル球５が外部に溢れないようにすることもできる。
【００２８】
以上説明したように、本実施例によれば、比較的簡単な構造で、確実に外部環境との隔離状態を維持しつつ、容易に物品の搬出入を行うことができる。なお、本実施例の物品搬出入装置は、例えば、クリーンルームのパスボックスのような比較的軽量で小型の物品の搬出入に好適である。
【実施例３】
【００２９】
図５Ａおよび図５Ｂを参照して、実施例３の物品搬出入装置について説明する。図５Ａはゲル球を袋に入れずに使用する本実施例の物品搬出入装置の平面図である。図５Ｂは図５ＡをＤ−Ｄ’方向から見た図であり、一方（右側）の開口ポート１０から搬入物９が搬入される状態を示し、もう一方（左側）の開口ポート１０はフタ８が閉じた状態を示している。
【００３０】
図５Ａに示すように、本実施例の物品搬出入装置は、気密保持装置７の内部にゲル球が充填された２つの搬入（搬出）物通路１１が設けられており、搬入（搬出）物通路１１の両端にはフタ付の開口ポート１０がそれぞれ設置されている。
【００３１】
本実施例のように、搬入（搬出）物通路１１を２つ設けて搬出用通路と搬入用通路を分けることで、開口ポート１０のフタ８が片側にしか開閉できない構造の場合、例えば、図５Ｂに示すように、右側の開口ポート１０のフタ８が紙面手前側にのみ開く構造であり、左側の開口ポート１０のフタ８が紙面奥側にのみ開く構造であっても、物品の搬出と搬入のいずれにも対応可能となる。
【００３２】
また、搬出用通路と搬入用通路をそれぞれ別個に設けているため、搬出と搬入を同時に行うことができ、搬出入作業の作業効率を向上することができる。また、汚染物品を搬出し、汚染されていない新しい物品を搬入するような場合でも、搬出用通路と搬入用通路が異なるため、新しい物品の汚染を防止することができる。
【実施例４】
【００３３】
図６Ａから図７Ｃを参照して、実施例４の物品搬出入装置について説明する。図６Ａはゲル充填袋とゲル単体を組合せて使用する本実施例の物品搬出入装置の正面図である。図６Ｂは図６ＡのＥ−Ｅ’断面図であり、物品搬出入装置の断面構造を示している。図７Ａおよび図７Ｂは物品搬出入装置により台車を搬入する様子を示す図であり、それぞれ図６Ａ，図６Ｂに対応している。また、図７Ｃは物品搬出入装置の途中まで台車を搬入した状態を示している。
【００３４】
図６Ａに示すように、本実施例の物品搬出入装置は、搬出入口１側から見て、床２上に設置されたフレーム３と、フレーム３の正面側に設けられたスライド式扉１２と、で構成されている。また、図６Ｂに示すように、断面構造は、フレーム３の両側つまり搬入口側と搬出口側の両方に設けられたスライド式扉１２と、それぞれのスライド式扉１２の内側に設けられ、フレーム３に固定されたゲル袋４と、ゲル袋４の内部に充填されたゲル球５と、両側のゲル袋４に挟まれた物品搬出入装置の中央部に充填された複数のゲル球１３で構成されている。
【００３５】
ゲル袋４は、両側のフレーム３の内側の上部と左右の側面の３か所以上にそれぞれ設置され、上部のゲル袋４が自重で側面のゲル袋４を押し付けて気密を保持する。また、搬入口側と搬出口側の両方に設けられたゲル袋４は、スライド式扉１２と共に、中央に充填された複数のゲル球１３が外側へ漏れるのを防止する抑え（固定部）としての役割も果たしている。
【００３６】
図７Ａから図７Ｃに、本実施例の物品搬出入装置により台車を搬入する際の様子を示す。図７Ａに示すように、搬出入口１のスライド式扉１２が開き、台車６などの搬入物が物品搬出入装置内に搬入される。この際、物品搬出入装置の中央に充填されている複数のゲル球１３はゲル袋４により抑えられているため、物品搬出入装置の外部に漏れ出ることはない。なお、図７Ａでは両開きのスライド式扉の例を示しているが、これに限定されるものではなく、片開きのスライド式扉や引き戸式の扉であってもよい。
【００３７】
続いて、図７Ｂおよび図７Ｃに示すように、台車６は複数のゲル袋４同士の境界に沿って搬入される。内部にゲル球５，１５が充填されたゲル袋４は変形が容易であり、ある程度の質量も有するため、台車６などの搬入物の形状に合わせて変形し、台車が通過した後はゲル袋４の形状が元に戻り、気密を保持することができる。また、物品搬出入装置の中央に複数のゲル球１３，１４を充填することで、より気密性を向上することができる。なお、図７Ｂ，図７Ｃに示すように、ゲル球１４は台車６を搬入する際の圧力を受けて圧縮されて変形するが、ゲルは伸縮性が高いため、台車６が通過した後は、元の形状に戻る。
【００３８】
以上説明したように、本実施例の物品搬出入装置では、搬入（搬出）物が通過する際はゲル袋が変形して物品を容易に通過させることができ、また、中央に充填したゲル球が隙間を埋めるため、より隔離性が高まる。これにより、外部環境との隔離状態をより確実に維持しながら、台車６などの搬入物を搬入することができる。
【実施例５】
【００３９】
図８を参照して、実施例５の物品搬出入装置について説明する。本実施例の物品搬出入装置は実施例４の変形例であり、図８は図７Ｂに対応する図である。本実施例の物品搬出入装置は、内部にゲル球５，１５を充填したゲル袋４のみを使用し、中央にゲル単体を充填しない例である。
【００４０】
図８に示すように、ゲル袋４は両側のフレーム３の内側の上部と左右の側面の３か所以上にそれぞれ設置されており、上部のゲル袋４が自重で側面のゲル袋４を押し付けて気密を保持する。このため、本実施例のように物品搬出入装置の中央にゲルを充填せず、ゲル袋４のみで気密性を確保することも可能である。
【００４１】
図８のように、物品搬出入装置の中央にゲルを充填せず、空洞１６を設けることで、空洞１６において、物品の清掃や洗浄、組み立てなどの作業を行うことができる。つまり、空洞１６を前室（中間室）として利用することができる。
【実施例６】
【００４２】
図９Ａから図１０Ｂを参照して、実施例６の物品搬出入装置について説明する。図９Ａから図９Ｃはゲル充填袋無しで粘着性（吸着性）のあるゲルを単体で使用する本実施例の物品搬出入装置の断面図であり、台車６の搬入（搬出）と同時に台車６に付着したダスト１９が除去される様子を示している。また、図１０Ａおよび図１０Ｂは粘着性のあるゲルによりダストが除去される仕組みを概念的に示す図である。
【００４３】
図９Ａに示すように、本実施例の物品搬出入装置は、物品搬出入装置の筐体であるフレーム３と、フレーム３に固定された粘着性ゲル１７，１８とで構成されている。粘着性ゲル１７，１８は、フレーム３の内側の上部と左右の側面の３か所以上に設置され、上部の粘着性ゲル１７が自重で側面の粘着性ゲル１８を押し付けて気密を保持する。
【００４４】
先ず、図９Ａに示すように、表面にダスト１９が付着した台車６が搬出入口１から物品搬出入装置内へ搬入される。
【００４５】
続いて、図９Ｂに示すように、台車６はフレーム３の内側に設けられた複数の粘着性ゲル１７，１８の境界に沿って搬入される。粘着性ゲル１７，１８は変形が容易であり、ある程度の質量も有するため、台車６などの搬入物の形状に合わせて変形し、台車が通過した後はゲル袋４の形状が元に戻り、気密を保持することができる。台車６が複数の粘着性ゲル１７，１８の境界を通過する際、台車６に付着したダスト１９は粘着性ゲル１７，１８に吸着される。
【００４６】
その後、図９Ｃに示すように、ダスト１９を吸着し汚れたゲル表面は次第に乾燥し、ダスト１９と共に剥がれ落ちる。このようにして、外部環境との隔離状態を維持しつつ、容易に台車６の搬出入を行うと共に、台車６からダスト１９が除去される。
【００４７】
図１０Ａおよび図１０Ｂに粘着性ゲル１７，１８によりダスト１９が除去される仕組みを概念的に示す。先ず、図１０Ａに示すように、ダストが付着した搬入（搬出）物が通過する際、粘着性ゲルの表面２０に対し、多数のダスト１９が吸着する。その後、図１０Ｂに示すように、多数のダストが付着し汚れたゲル表面は次第に乾燥し、ダスト１９と共に剥がれ落ち、粘着性ゲルの内側部分２１が露出することでゲルの表面は再び粘着性を持つようになる。
【００４８】
つまり、汚れた表面部分が剥がれ落ちることで内部から新たに綺麗でかつ粘着性を有する部分が出現することにより繰り返し使用することが可能である。また、ダスト１９をある程度固まりとして除去できるため、物品搬出入装置内の清掃時に剥がれ落ちた粘着性ゲルの表面２０とダスト１９の除去が容易になる。
【００４９】
以上説明したように、本実施例の物品搬出入装置によれば、外部環境との隔離状態をより確実に維持しながら、台車６などの搬入物を搬入することができるのと同時に、搬入物（搬出物）に付着したダストは汚染を効果的に除去することができる。
【００５０】
なお、以上の各実施例において説明した物品搬出入装置および物品搬出入方法は、半導体製造工場や医薬品製造施設等のクリーンルームにおける物品の搬出入、原子炉建屋内部からの燃料デブリの取り出し等の他、食品製造加工施設や石油化学工場、防虫用の隔離室など、外部環境との隔離が必要な一般産業の分野においても有効であるのは言うまでもない。
【００５１】
また、本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１…搬出入口、２…床、３…フレーム、４…ゲル袋、５，１５…ゲル球（充填）、６…搬入物（台車）、７…気密保持装置、８…フタ、９…搬入物、１０…開口ポート（フタ付）、１１…搬入（搬出）物通路（ゲル球充填）、１２…スライド式扉、１３，１４…ゲル球、１６…空洞（中間室）、１７，１８…粘着性ゲル、１９…ダスト、２０…粘着性ゲルの表面（外側部分）、２１…粘着性ゲルの内側部分。
【図１Ａ】
2018053459.tif 000003
【図１Ｂ】
2018053459.tif 000004
【図２Ａ】
2018053459.tif 000005
【図２Ｂ】
2018053459.tif 000006
【図３】
2018053459.tif 000007
【図４Ａ】
2018053459.tif 000008
【図４Ｂ】
2018053459.tif 000009
【図４Ｃ】
2018053459.tif 000010
【図５Ａ】
2018053459.tif 000011
【図５Ｂ】
2018053459.tif 000012
【図６Ａ】
2018053459.tif 000013
【図６Ｂ】
2018053459.tif 000014
【図７Ａ】
2018053459.tif 000015
【図７Ｂ】
2018053459.tif 000016
【図７Ｃ】
2018053459.tif 000017
【図８】
2018053459.tif 000018
【図９Ａ】
2018053459.tif 000019
【図９Ｂ】
2018053459.tif 000020
【図９Ｃ】
2018053459.tif 000021
【図１０Ａ】
2018053459.tif 000022
【図１０Ｂ】
2018053459.tif 000023