(57)【要約】【課題】フィルム状のワークを負圧により吸着した場合に、ワークに撓み、しわ、変形などが生じないようにすることができるフィルム状ワーク吸着装置を提供する。【解決手段】下向きの開口２１を備えた吸引ボックス２０の内側を複数個に分割して、各々分割吸着空間を形成する複数の分割吸着部２４及びその下端の分割吸着面２５を構成し、それぞれの分割吸着部２４に弱い吸引力でフィルム状ワーク１３を吸引する吸引ファン２６と、これら吸引ファン２６を個別に制御する制御装置３０と、を設け、吸引ファン２６をＯＮとしたとき、各分割吸着面２５の吸着領域１２内では、フィルム状ワーク１３を同時に均一に吸着することにより、吸着されたフィルム状ワーク１３に撓み、しわ、変形などが起きないようにしたフィルム状ワーク吸着装置１０。【選択図】図１
2018188243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチングプレートと、
下側が、前記エッチングプレートと大きさ及び形状が等しい下向きの開口、及び、前記開口の上方に離間して配置された上底部を備えた箱状体からなる吸引ボックスと、
ｎを３以上の整数としたとき、前記吸引ボックスの内側空間及び前記開口を、仕切板により、前記吸引ボックスの長手方向に少なくともｎ個に仕切って形成されていて、各々の下側が分割吸着面とされたｎ個の分割吸着部と、
前記分割吸着部の背後の前記上底部に、前記分割吸着部内のエアを吸出すことにより前記分割吸着面にフィルム状ワークを吸着可能とされた１基の吸引ファンと、
前記吸引ファンを制御する制御装置と、
前記吸引ボックスの内側空間及び前記開口を仕切る前記仕切板に設けられ、前記長手方向に隣接する前記分割吸着部間を連通する連通孔と、
を有してなることを特徴とするフィルム状ワーク吸着装置。
【請求項２】
エッチングプレートと、
下側が、前記エッチングプレートと大きさ及び形状が等しい下向きの開口、及び、前記開口の上方に離間して配置された上底部を備えた箱状体からなる吸引ボックスと、
ｎを３以上の整数としたとき、前記吸引ボックスの内側空間及び前記開口を、仕切板により、前記吸引ボックスの長手方向に少なくともｎ個に仕切って形成されていて、各々の下側が分割吸着面とされたｎ個の分割吸着部と、
これら分割吸着部の各々の背後の前記上底部に１基ずつ設けられ、前記分割吸着部内のエアを吸出すことにより前記分割吸着面にフィルム状ワークを吸着可能とされたｎ基の吸引ファンと、
前記複数の吸引ファンを個別に制御する制御装置と、
を有してなり、
前記吸引ファンは、前記フィルム状ワークを１基の吸引源で吸着する場合の吸引源の吸着力の、１／ｎの吸着力とされたことを特徴とするフィルム状ワーク吸着装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記吸引ボックスの長手方向に隣接する少なくとも３面の前記分割吸着面は、長手方向中央部の前記分割吸着面において、その両側部の前記分割吸着面におけるよりも、前記吸引ファン側に接近して、前記上底部から浅くなるように連続する上向きに凸の湾曲面とされていることを特徴とするフィルム状ワーク吸着装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記制御装置は、前記吸引ファンを制御して、前記中央部の吸引ファンが、前記両側部の吸引ファンよりも先に前記フィルム状ワークを吸引するように構成されたことを特徴とするフィルム状ワーク吸着装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記分割吸着面はトレイ上に並べられた前記フィルム状ワークの複数枚分の大きさ及び形状とされ、該複数枚の前記フィルム状ワークを同時に吸引するように構成されたことを特徴とするフィルム状ワーク吸着装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
前記エッチングプレートを、前記分割吸着面との間に挟み込んで、該エッチングプレートとともに、前記複数の分割吸着部に固定され配置される１枚のマスキングシートを有してなり、
前記マスキングシートは、前記エッチングプレートとともに前記分割吸着面に固定された状態で、前記ｎ個の分割吸着部の周壁となる枠を有する枠構造であって、枠内が貫通孔とされたことを特徴とするフィルム状ワーク吸着装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記分割吸着面及び前記マスキングシートは、ともに導電性材料により形成されていることを特徴とするフィルム状ワーク吸着装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかにおいて、
前記上底部に設けられた高速吸着分離装置を有してなり、
前記高速吸着分離装置は、前記分割吸着部に連通し、且つ、上方に突出して前記上底部に取付けられ、外側端に前記吸引ファンが配置された吸引パイプと、この吸引パイプの側面に設けられたエア取込み開口と、前記吸引パイプから離間した位置で前記上底部に形成された圧力導入開口と、前記吸引パイプを開閉する主仕切弁と、前記エア取込み開口を開閉する取込み開口仕切弁と、前記圧力導入開口を開閉する導入開口仕切弁と、前記主仕切弁、前記取込み開口仕切弁及び前記導入開口仕切弁を制御する仕切弁制御部と、を有してなり、
前記仕切弁制御部は、前記フィルム状ワークの吸着時には、前記主仕切弁を開くとともに前記取込み開口仕切弁及び前記導入開口仕切弁を閉じ、前記フィルム状ワークの分離時には、前記主仕切弁を閉じるとともに前記取込み開口仕切弁及び前記導入開口仕切弁を開くように構成されたことを特徴とするフィルム状ワーク吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム状有機ＥＬなどのフィルム状ワーク吸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、セラミックグリーンシートの積層工程などにおいて、グリーンシートを吸着板で真空吸着して積層するシート吸着板が開示されている。又、特許文献２にはフィルム状部品用吸着ヘッドが開示されている。
【０００３】
特許文献１に記載された発明は、小径で多数の吸引穴を有し、且つ、吸引穴の大きさにばらつきが少なく、均一な吸着を得ることが可能なシート吸着板を提供するものである。このシート吸着板は、表裏に貫通する多数の吸引穴が所定ピッチ間隔で分散形成された第１プレートと、表面の周囲に枠部を有し、枠部の内側に吸引穴と通じる格子状の通気溝が形成され、且つ、通気溝の底部に裏面に通じる複数個の通気穴が形成された第２プレートとを備え、通気穴が真空源と接続されていることを特徴とするものである。
【０００４】
このようなシート吸着板は、各種のワーク形状やワークの配置に対応するためには、複数種類を準備しなければならないという問題点がある。
【０００５】
又、非常に薄いフィルム状のワークで、且つ、これが大型の場合は、均一に吸着することが困難であり、その結果、吸着したときに、フィルム状ワークに撓み、しわ、変形などが生じてしまうという問題点がある。また、小さなフィルム状ワークをトレイ上に並べて、これを吸着する場合も、均一な吸着ができないときに、隣接するフィルム状ワークとの吸着のタイミング差、吸着力の差が生じると、フィルム状ワークの姿勢に乱れが生じ、これによってもフィルム状ワークに撓み、しわ、変形などが生じてしまうという問題点がある。
【０００６】
特許文献２に記載される吸着ヘッドは、フィルム状の部品を吸着することにより、ハンドリングする際に用いられるものであり、吸着ヘッドは吸着されるワークが吸着の際に接触する部分に、開口を有し、この開口は複数個のほぼ同じ寸法、形状の孔により構成されているものである。
【０００７】
従って、一つの吸着ヘッドには、ワーク吸着のための複数の開口が配置され、且つこれら複数の開口が一つの負圧源に接続されることになっている。更に、これら複数の開口間には、吸引孔が設けられていない部分がある。
【０００８】
このため、非常に薄いフィルム状ワークを吸着する際に、開口に吸着される部分とこれらの開口の間の吸着されない部分が生じ、これが撓みやしわ、変形を起きやすくするという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−２６７９８６号公報
【特許文献２】特開平６−４０５９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、フィルム状のワークを負圧により吸着した場合に、ワークに撓み、しわ、変形などが生じないようにすることができるフィルム状ワーク吸着装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、エッチングプレートと、下側が、前記エッチングプレートと大きさ及び形状が等しい下向きの開口、及び、前記開口の上方に離間して配置された上底部を備えた箱状体からなる吸引ボックスと、ｎを３以上の整数としたとき、前記吸引ボックスの内側空間及び前記開口を、仕切板により、前記吸引ボックスの長手方向に少なくともｎ個に仕切って形成されていて、各々の下側が分割吸着面とされたｎ個の分割吸着部と、前記分割吸着部の背後の前記上底部に、前記分割吸着部内のエアを吸出すことにより前記分割吸着面にフィルム状ワークを吸着可能とされた１基の吸引ファンと、前記吸引ファンを制御する制御装置と、前記吸引ボックスの内側空間及び前記開口を仕切る前記仕切板に設けられ、前記長手方向に隣接する前記分割吸着部間を連通する連通孔と、を有してなることを特徴とするフィルム状ワーク吸着装置により、上記課題を解決するものである。
【００１２】
また、本発明は、エッチングプレートと、下側が、前記エッチングプレートと大きさ及び形状が等しい下向きの開口、及び、前記開口の上方に離間して配置された上底部を備えた箱状体からなる吸引ボックスと、ｎを３以上の整数としたとき、前記吸引ボックスの内側空間及び前記開口を、仕切板により、前記吸引ボックスの長手方向に少なくともｎ個に仕切って形成されていて、各々の下側が分割吸着面とされたｎ個の分割吸着部と、これら分割吸着部の各々の背後の前記上底部に１基ずつ設けられ、前記分割吸着部内のエアを吸出すことにより前記分割吸着面にフィルム状ワークを吸着可能とされたｎ基の吸引ファンと、前記複数の吸引ファンを個別に制御する制御装置と、を有してなり、前記吸引ファンは、前記フィルム状ワークを１基の吸引源で吸着する場合の吸引源の吸着力の、１／ｎの吸着力とされたことを特徴とするフィルム状ワーク吸着装置により、同様に上記課題を解決するものである。
【００１３】
なお、長手方向をｎ個に仕切る場合、分割吸着面が同一の面積、形状、例えば正方形、正六角形、正三角形となるように、短手方向を１乃至ｍ個（ｍは２以上の整数）に分割するものとする。
【００１４】
また、フィルム状ワークの厚さは、０．０１ｍｍ〜０．２ｍｍとする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係るフィルム状ワーク吸着装置は、下向きに開口した吸引ボックスにおけるワークの吸着面を仕切板により分割して、各々が分割吸着空間及び分割吸着面を形成する複数の分割吸着部を構成し、これらの分割吸着部の空気を吸引することにより、フィルム状ワークを吸引する吸引ファンと、この吸引ファンを制御する制御装置と、を設け、各分割吸着部は、その分割吸着面の範囲内のフィルム状ワークを同時に吸着するので、吸着されたフィルム状ワークに撓み、しわ、変形などが起きないようにすることができるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例１に係るフィルム状ワーク吸着装置及びフィルム状ワークを示す分解斜視図
【図２】同フィルム状ワーク吸着装置を下側から見た状態を示す分解斜視図
【図３】図１のIII−III線に沿う拡大断面図
【図４】同フィルム状ワーク吸着装置における制御装置と吸引ファンとの関係を示すブロック図
【図５】本発明の実施例２に係るフィルム状ワーク吸着装置を示す図２と同様の分解斜視図
【図６】同実施例２に係るフィルム状ワーク吸着装置における吸着面とフィルム状ワーク及びマスキングシートとの関係を模式的に示す拡大断面図
【図７】同実施例２に係るフィルム状ワーク吸着装置によってフィルム状ワークを吸着する過程を模式的に示す断面図
【図８】本発明の実施例３に係るフィルム状ワーク吸着装置を示す図３と同様の断面図
【図９】同実施例３に係るフィルム状ワーク吸着装置を示す斜視図
【図１０】フィルム状ワークを高速で吸着分離するようにした高速吸着分離装置を模式的に拡大して示す断面図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施例について詳細に説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１に示されるように、本発明の実施例１に係るフィルム状ワーク吸着装置１０は、吸引ボックス２０と、分割吸着部２４−１〜２４−６と、吸引ファン２６−１〜２６−６と、エッチングプレート１２とマスキングシート１４と、制御装置３０（図４参照）とから構成されている。
【００１９】
図１の符号１３はフィルム状ワーク吸着装置１０により吸着されるフィルム状ワークを示す。この実施例１においては、２４枚のフィルム状ワーク１３が、トレイ１５上で４×６に並べられていて、２×２＝４枚毎に、１つの分割吸着部２４に吸着するものであり、２４枚のフィルム状ワーク１３を、同時に全部又は４枚ずつ吸着するようにされている。
【００２０】
吸引ボックス２０は、下側が、エッチングプレート１２と大きさ及び形状が等しい下向きの開口２１、及び、開口２１の上方に離間して配置された上底部２２を備えた箱状体からなっている。
【００２１】
分割吸着部２４は、吸引ボックス２０の内側空間及び開口２１を、仕切板２０Ａにより格子状に仕切って、該吸引ボックス２０の長手方向に３個及び幅方向に２個の合計６個形成されていて、各々の下端面が分割吸着面２５とされている。
【００２２】
吸引ファン２６−１〜２６−６は、分割吸着部２４−１〜２４−６の各々の背後（上方）の上底部２２に１基ずつ設けられ、前記分割吸着部２４内のエアを吸出すことにより、分割吸着面２５−１〜２５−６に、フィルム状ワーク１３を吸着可能とされている。
【００２３】
エッチングプレート１２は孔径が０．６ｍｍの微細な貫通孔が、開口率５０％となるように全面に形成されたものであり、均一な吸引力を伝達するようにされている。
【００２４】
マスキングシート１４は、小型のフィルム状ワーク１３を同時に多数吸着する場合に用いられるものであり、エッチングプレート１２の下に配置され（貼付けられ）、エッチングプレート１２とともに、複数の分割吸着部２４に吸着可能に配置されている。
【００２５】
この実施例１において、マスキングシート１４は、エッチングプレート１２を間にして、これとともに開口２１に接着（貼付け）された状態で、６個の分割吸着面２５の周壁となる枠１４Ａを有する枠構造であって、枠１４Ａ内は貫通孔１４Ｂとされていて、その大きさ（面積及び形状）は、分割吸着面２５と同一形状、同一の位置とされ、田型に並べられた４枚のフィルム状ワーク１３を吸着できるようにされている。
【００２６】
制御装置３０は、複数の吸引ファン２６−１〜２６−６を個別に制御するようにされている。
【００２７】
なお、分割吸着部２４−１〜２４−６、分割吸着面２５−１〜２５−６、吸引ファン２６−１〜２６−６及び後述のファンモータ２７−１〜２７−６は、これらを総称する場合、単に、分割吸着部２４、分割吸着面２５、吸引ファン２６、ファンモータ２７として示すものとする。吸引ファン２６−１〜２６−６は、１枚のマスキングシート１４を１基の吸引源で吸着する場合の吸引源の吸着力の、１／６の吸着力とされている。
【００２８】
制御装置３０は、図４に示されるように、ファンモータ制御部３０Ａと、仕切弁制御部３０Ｂとから構成されている（仕切弁制御部３０Ｂについては詳細を後述する）。
【００２９】
吸引ファン２６−１〜２６−６にはそれぞれ、ファンモータ２７−１〜２７−６が設けられている。これらファンモータ２７−１〜２７−６は、いずれもファンモータ制御部３０Ａにより、個別にＯＮ−ＯＦＦ制御するようにされている。
【００３０】
図１の符号１２−１〜１２−６は、分割吸着面２５−１〜２５−６に吸着される部分を、分割吸着面２５−１〜２５−６に対応してエッチングプレート１２の上面に想定して示した分割吸着領域を示す。
【００３１】
次に、上記フィルム状ワーク吸着装置１０により、フィルム状ワーク１３を吸着する過程について説明する。
【００３２】
フィルム状ワーク１３は、フィルム状ワーク吸着装置１０の下側の吸着位置で、トレイ１５上に並べて配置されている。
【００３３】
これらフィルム状ワーク１３の上方から、フィルム状ワーク吸着装置１０を下降させ、その開口２１が、フィルム状ワーク１３の外周に近づいて、予め設定した隙間１６（図３参照）の位置となったとき、各分割吸着面２５−１〜２５−６の吸引ファン２６−１〜２６−６のファンモータ２７−１〜２７−６をファンモータ制御部３０ＡによってＯＮさせる。これにより、トレイ１５上に並列された２４枚のフィルム状ワーク１３が、４枚ずつ同時に分割吸着部２４−１〜２４−６に吸着される。
【００３４】
なお、分割吸着部２４は、分割吸着面２５により、その分割吸着領域１２−１〜１２−６内の４枚のフィルム状ワーク１３を同時に吸着できるものであればよく、分割吸着部２４−１〜２４−６間で、吸引に時間差があってもよい。
【００３５】
このように時間差があっても、仕切板２０Ａにより仕切られているので、分割吸着部２４−１〜２４−６間での吸引エアの流入、流出がない。このため、隣接する分割吸着部２４の、その内部の空気流を乱すことがなく、４枚のフィルム状ワーク１３が同時に吸着されるので、吸着されたフィルム状ワーク１３にしわ、撓み、変形などの発生が少ない。
【００３６】
フィルム状ワーク吸着装置１０により吸着したフィルム状ワーク１３は、所定の位置まで搬送し、ここで、ファンモータ制御部３０Ａによりファンモータ２７をＯＦＦとすれば、これらフィルム状ワーク１３が所定の位置で分割吸着面２５から分離される。
【００３７】
なお、フィルム状ワーク１３の寸法や形状が変わった場合は、マスキングシート１４のみを、該フィルム状ワーク１３と合わせて変更すればよい。
【００３８】
この実施例１では、複数の小型のフィルム状ワークを吸着するものであるが、実施例１のフィルム状ワーク吸着装置１０は、一枚の大きなフィルム状ワークを吸着する場合にも適用されるものである。この場合、マスキングシート１４は不要である。
【００３９】
また、本実施例１におけるフィルム状ワーク吸着装置１０は、その分割吸着面２５が、吸引ボックス２０がフィルム状ワーク１３に対して、開口２１の周壁の下端面がフィルム状ワーク１３に近づいたときに、該フィルム状ワーク１３の上面との間で非接触状態となるように隙間１６をもって対峙する形状とされているが、本発明はこれに限定されるものではなく、次の実施例２のように構成してもよい。
【実施例２】
【００４０】
実施例２に係るフィルム状ワーク吸着装置４０は、図５乃至図７に示されるように、１枚の大きなフィルム状ワーク１３Ａを吸着するのに好適であり、分割吸着面４４（４４−１〜４４−６）のうち、吸引ボックス４１の長手方向に隣接する３面の分割吸着面、例えば分割吸着面４４−１〜４４−３は、長手方向中央部の分割吸着面４４−２において、その両側の分割吸着面４４−１及び４４−３におけるよりも、吸引ファン２６側に接近して、即ち、上底部２２から浅くなるように連続する上向きに凸の湾曲面４２とされている。符号４３（４３−１〜４３−６）は分割吸着部を示す。
【００４１】
１枚の大きなフィルム状ワーク１３Ａを吸着するときは、図７に示されるように、（１）の状態から、まず、吸引ファン２６−２（２６−５）を駆動して、長手方向中央部の分割吸着面４４−２（４４−５）において、フィルム状ワーク１３Ａのトレイ１５の長手方向中央部を吸着して（２）の状態とし、次に、吸引ファン２６−１（２６−４）、２６−３（２６−６）を駆動して、その両側の分割吸着面４４−１及び４４−３において、トレイ１５の長手方向中央部の両側で、フィルム状ワーク１３Ａを吸着して（３）の状態とする。
【００４２】
このようにすると、分割吸着面４４−１〜４４−３が連続的な直線となるので、吸着した１枚の大きなフィルム状ワーク１３Ａでも、しわ、撓み、変形などが更に発生しにくいという利点がある。
【００４３】
なおフィルム状ワーク吸着装置４０は、実施例１のように小型のフィルム状ワークを吸着する場合にも用いることができる。
【実施例３】
【００４４】
次に図８、図９を参照して、実施例３に係るフィルム状ワーク吸着装置６０について説明する。
【００４５】
この実施例３において、実施例１及び２と同一部分には、これらと同一の符号を付することにより説明を省略するものとする。
【００４６】
この実施例３に係るフィルム状ワーク吸着装置６０は、吸引ボックス６１と、分割吸着部６４（６４−１〜６４−６）と、１基の吸引ファン６６と、エッチングプレート１２と、マスキングシート１４と、制御装置７０とを備えて構成されている。分割吸着部６４（６４−１〜６４−６）の下端面は、分割吸着面６５（６５−１〜６５−６）とされている。
【００４７】
吸引ボックス６１は、実施例１、２と同様の開口２１、及び、開口２１の上方に離間して配置された上底部２２を備えた箱状体から構成されている。
【００４８】
分割吸着部６４は、吸引ボックス６１の内側空間及び開口２１を仕切板６０Ａにより格子状に仕切って、該吸引ボックス６１の長手方向に３個及び幅方向に２個の合計６個形成されていて、各々の下端面が分割吸着面６５とされている。
【００４９】
１基の吸引ファン６６は、分割吸着部６４−２及び６４−５の背後（上方）の上底部２２に設けられている。
【００５０】
又、分割吸着部６４−１と６４−２との間、６４−２と６４−３との間、６４−４と６４−５との間、６４−５と６４−６との間の仕切板６０Ａにそれぞれ、連通孔６８が設けられている。
【００５１】
分割吸着部６４−１〜６４−６が上記のような構成であるので、吸引ファン６６により、まず中央部の分割吸着部６４−２及び６４−５内に負圧が伝達されてエアが吸い出されることにより、先に分割吸着面６５−２及び６５−５に、フィルム状ワーク１３を吸着することができる。
【００５２】
次に、フィルム状ワーク１３により、分割吸着面６５−２と６５−５が塞がれると、分割吸着部６４−２と６４−５の負圧が、連通孔６８を介して、両側の分割吸着部６４−１と６４−３、及び、６４−４と６４−６にそれぞれ伝達され、続いて、これらにフィルム状ワーク１３が吸着されるので、吸着されたフィルム状ワーク１３に撓み、しわ、変形が生じ難くなる。
【００５３】
なお、実施例３において、各分割吸着部６４−１〜６４−６から吸引ファン６６に直接連通する吸引孔を設け、その面積を同一とした場合、吸引ファン６６が吸引ボックス６１の中央に設けられているため、中央の分割吸着部６４−２、６４−５に発生する負圧がその両側の分割吸着部６４−１、６４−３及び６４−４、６４−６に発生する負圧よりも大きくなる。これにより、上記と同様に、フィルム状ワーク１３が、先に、分割吸着面６５−２、６５−５に吸着される。
【００５４】
実施例３のフィルム状ワーク吸着装置６０は、図６、図７に示されるような一枚の大きなフィルム状ワーク１３Ａの吸着にも用いることができる。
【００５５】
上記実施例１〜３において、吸着したフィルム状ワーク１３又は１３Ａ（図１０においては「１３Ａ」とのみ表示する）の吸着後の分離は、ファンモータ２７をＯＦＦとすることによってなされているが、これは、分割吸着部２４内の負圧が正圧になるまでにやや時間がかかるので、図１０に示されるように、吸引ボックス２０の分割吸着部２４毎に設けた高速吸着分離装置５０によって、高速で分離することができる。
【００５６】
詳細には、高速吸着分離装置５０は、分割吸着部２４に連通し、且つ、上方に突出して上底部２２に取付けられ、外側端に吸引ファン２６が配置された吸引パイプ５２と、この吸引パイプ５２の側面に設けられたエア取込み開口５４と、吸引パイプ５２から離間した位置で上底部２２に形成された圧力導入開口５６と、吸引パイプ５２を開閉する主仕切弁５２Ａと、エア取込み開口５４を開閉する取込み開口仕切弁５４Ａと、圧力導入開口５６を開閉する導入開口仕切弁５６Ａと、主仕切弁５２Ａ、取込み開口仕切弁５４Ａ、導入開口仕切弁５６Ａを制御する仕切弁制御部３０Ｂから構成されている。
【００５７】
仕切弁制御部３０Ｂは、フィルム状ワーク１３Ａの吸着時には、主仕切弁５２Ａを開くとともに、取込み開口仕切弁５４Ａ及び導入開口仕切弁５６Ａを閉じ、また、フィルム状ワーク１３の分離時には、主仕切弁５２Ａを閉じるとともに、取込み開口仕切弁５４Ａ及び導入開口仕切弁５６Ａを開くように構成されている。
【００５８】
詳細には、図１０（１）に示されるように、フィルム状ワーク１３Ａの吸着時には、主仕切弁５２Ａを開き、取込み開口仕切弁５４Ａ及び導入開口仕切弁５６Ａを閉じることによって、吸引パイプ５２、これに連続する分割吸着部２４内を速やかに負圧状態として、フィルム状ワーク１３Ａを吸着し、また、図１０（２）に示されるように、分離時には、主仕切弁５２Ａを閉じ、取込み開口仕切弁５４Ａ及び導入開口仕切弁５６Ａを開いて、大気圧を吸引パイプ５２及び分割吸着部２４内に導入して、速やかに吸着しているフィルム状ワーク１３Ａを開放分離させるものである。
【００５９】
なお、上記実施例において、分割吸着部２４が６個設けられて、吸着面は６面の分割吸着面２５によって構成されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、分割吸着面がフィルム状ワーク１３又は１３Ａの長手方向に３個以上設けられるものであればよい。換言すれば、ｎを３以上の整数とし、ｎ個設けてもよい。
【００６０】
また、実施例では２４枚の小さなフィルム状ワーク１３を、１回で吸着する場合のものであるが、本発明は、フィルム状ワークが、１枚を含む２３枚以下の場合、２５枚以上の場合にも適用されるものである。
【００６１】
ここで、ｎは吸着されるフィルム状ワーク及びマスキングシートの大きさによるものであり、１個当たりの分割吸着面の面積は、フィルム状ワークの剛性によるが、概ね１０００ｃｍ2〜２０００ｃｍ2とするのがよい。
【００６２】
１０００ｃｍ2以上としたのは、これ以下に分割吸着部を小さくすると、製造コストが大きくなり、また、２０００ｃｍ2以上とすると、各分割吸着面において、吸着したフィルム状ワーク１３にしわ、撓み、変形などが発生しやすいという問題点が生じるためである。
【符号の説明】
【００６３】
１０、４０、６０…フィルム状ワーク吸着装置
１２…エッチングプレート
１２−１〜１２−６…分割吸着領域
１３、１３Ａ…フィルム状ワーク
１４…マスキングシート
１４Ａ…枠
１４Ｂ…貫通孔
１５…トレイ
１６…隙間
２０、４１、６１…吸引ボックス
２０Ａ、６０Ａ…仕切板
２１…開口
２２…上底部
２４（２４−１〜２４−６）、４３（４３−１〜４３−６）、６４（６４−１〜６４−６）…分割吸着部
２５（２５−１〜２５−６）、４４（４４−１〜４４−６）、６５（６５−１〜６５−６）…分割吸着面
２６（２６−１〜２６−６）、６６…吸引ファン
２７（２７−１〜２７−６）…ファンモータ
３０、７０…制御装置
３０Ａ…ファンモータ制御部
３０Ｂ…仕切弁制御部
４２…湾曲面
５０…高速吸着分離装置
５２…吸引パイプ
５２Ａ…主仕切弁
５４…エア取込み開口
５４Ａ…取込み開口仕切弁
５６…圧力導入開口
５６Ａ…導入開口仕切弁
６８…連通孔
【図１】
2018188243.tif 000003
【図２】
2018188243.tif 000004
【図３】
2018188243.tif 000005
【図４】
2018188243.tif 000006
【図５】
2018188243.tif 000007
【図６】
2018188243.tif 000008
【図７】
2018188243.tif 000009
【図８】
2018188243.tif 000010
【図９】
2018188243.tif 000011
【図１０】
2018188243.tif 000012