(57)【要約】【課題】  吸着面に吸着保持した磁性体ワークに研削加工や研削加工をした際に、切削屑や研削屑等が有孔蓋の孔とプランジャとの間に挟まることによるプランジャの動作不良を無くし、かつ、切削屑や研削屑と加工液を確実に排出すること。【解決手段】  磁性体ワークを吸着する吸着面２１とセパレータ２６が形成され、電磁コイル２４が埋設された磁極部材２０と、吸着面２１から突出入し、磁性体ワークに当接するプランジャ３２を有し、磁極部材２０に設けられたサポート部材配設穴２８にプランジャ３２の突出入側部分を露出させた複数のサポート部材３０と、磁極部材２０の表面に設けられ、磁極部材２０の側面に開口し、磁性体ワークの切削屑もしくは研削屑、および加工液を排出する溝体５０と、を具備するマグネットチャック１０である。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体からなる台板と、
該台板を覆って設けられ、磁性体ワークを吸着する吸着面を有し、内部に電磁コイルが埋設された磁極部材と、
該磁極部材の前記吸着面に設けられたセパレータと、
流体圧によって前記吸着面から突出入し、前記磁極部材の前記吸着面から外方に突出した際、前記磁性体ワークの表面に当接するプランジャを有し、前記電磁コイルに囲まれる部位の前記磁極部材に設けられたサポート部材配設穴に、前記プランジャの突出入側部分を露出させた状態で配設された複数のサポート部材と、
前記台板を通過し、前記サポート部材に至り、流体圧を前記プランジャに及ぼす流体路と、
前記磁極部材の表面に設けられ、前記磁極部材の側面に開口し、前記磁性体ワークの切削屑もしくは研削屑、および加工液を排出する溝体と、を具備することを特徴とするマグネットチャック。
【請求項２】
前記溝体は、前記サポート部材配設穴に連通するサポート部材配設穴連通部を有していることを特徴とする請求項１記載のマグネットチャック。
【請求項３】
前記サポート部材配設穴連通部は、前記サポート部材配設穴の接線方向に沿って配設されていることを特徴とする請求項２記載のマグネットチャック。
【請求項４】
前記溝体は、前記吸着面の中央部分よりも前記吸着面の外周縁側部分の方がより深く形成されていることを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載のマグネットチャック。
【請求項５】
前記溝体は、前記吸着面からの深さ方向における断面形状が逆Ｔ字型に形成されていることを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれか一項に記載のマグネットチャック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はマグネットチャックに関し、より詳細には、特に切削加工や研削加工等に用いて好適なマグネットチャックに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気吸着面に磁性体ワークを吸着して切削加工や研削加工等に用いて好適なマグネットチャックが知られている。このようなマグネットチャックとしては、特許文献１に開示されているような構成のものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】公開特許公報  特開２００９−２５５２２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図１１、図１２に示すようにマグネットチャックは、永久磁石１４を配設した磁性体からなる台板１２と、永久磁石１４を覆って配設され、内部に電磁コイル２４が埋設された磁極部材２０と、磁極部材２０の吸着面２１に埋設されたセパレータ２６およびサポート部材３０と、を具備している。
【０００５】
そして磁極部材２０の吸着面２１には、サポート部材３０を収容した後、サポート部材３０のプランジャ３２部分に相当する平面位置にプランジャ３２が出入り可能な孔９２が形成された有孔蓋９０が配設されている。また、サポート部材３０は底部に形成された流体用通路連通孔を介して形成された流体路３６にシールされた状態で接続されている。さらに台板１２には有孔蓋９０の孔９２とプランジャ３２との隙間部分から進入した切削屑や研削屑の他加工液を外部に排出するドレイン孔４２が配設されている。
【０００６】
このような構成のマグネットチャック１０を用いて吸着面２１に図示しない磁性体ワークを吸着保持させて磁性体ワークの切削加工や研削加工を行うと、プランジャ３２と有孔蓋９０の孔９２との隙間部分に細かい切削屑や研削屑等が入り込んでしまうことがあり、このような状態になると有孔蓋９０の孔９２からのプランジャ３２の突出入動作ができなくなってしまうといった不具合が生じる。
【０００７】
そこで本発明は上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは次のとおりである。すなわち、吸着面に磁気によって吸着保持した磁性体ワークに研削加工や研削加工をした場合であっても、切削屑や研削屑等が有孔蓋の孔とプランジャとの間に挟まることによるプランジャの動作不良を無くすことを可能にしたマグネットチャックの構成を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため本願の発明者が鋭意研究した結果、以下の構成に想到した。
すなわち、本発明は、磁性体からなる台板と、該台板を覆って設けられ、磁性体ワークを吸着する吸着面を有し、内部に電磁コイルが埋設された磁極部材と、該磁極部材の前記吸着面に設けられたセパレータと、流体圧によって前記吸着面から突出入し、前記磁極部材の前記吸着面から外方に突出した際、前記磁性体ワークの表面に当接するプランジャを有し、前記電磁コイルに囲まれる部位の前記磁極部材に設けられたサポート部材配設穴に、前記プランジャの突出入側部分を露出させた状態で配設された複数のサポート部材と、前記台板を通過し、前記サポート部材に至り、流体圧を前記プランジャに及ぼす流体路と、前記磁極部材の表面に設けられ、前記磁極部材の側面に開口し、前記磁性体ワークの切削屑もしくは研削屑、および加工液を排出する溝体と、を具備することを特徴とするマグネットチャックである。
【０００９】
これにより、プランジャの突出入側部分を吸着面に露出させた状態でサポート部材を配設しているので、吸着面に磁性体ワークを吸着保持させた状態で磁性体ワークの切削加工や研削加工を施しても、細かい切削屑や研削屑がサポート部材のプランジャの伸縮動作を妨げることがなく、研削屑や切削屑を確実に排出することができる。また、吸着面に磁性体の一部が取り除かれた部分である溝体を設けることにより、溝体にセパレータの一部を構成させることができるため、吸着面におけるセパレータの占有スペースが削減され、単位吸着面面積あたりにおけるサポート部材の配設数を増やすことができる。
【００１０】
また、前記溝体は、前記サポート部材配設穴に連通するサポート部材配設穴連通部を有していることが好ましい。
【００１１】
これにより、吸着面に磁性体ワークを吸着保持させた状態で磁性体ワークの切削加工や研削加工を施しても、切削屑や研削屑をサポート部材配設穴に滞留させることなく、サポート部材配設穴連通部を介して確実に溝体に排出することができる。
【００１２】
また、前記サポート部材配設穴連通部は、前記サポート部材配設穴の接線方向に沿って配設されていることが好ましい。
【００１３】
これにより、サポート部材配設穴に磁性体ワークの切削屑や研削屑が滞留してしまった場合であっても、サポート部材配設穴に圧縮空気等の圧縮流体を吹き付けることにより、切削屑や研削屑はサポート部材配設穴連通部を介して溝体に排出されることになるため、磁性体ワークの切削加工時や磁性体ワークの研削加工時におけるマグネットチャックのメンテナンスが容易である。
【００１４】
また、前記溝体は、前記吸着面の中央部分よりも前記吸着面の外周縁側部分の方がより深く形成されていることが好ましい。
【００１５】
これにより、溝体内の切削屑や研削屑を効率的に排出することができる。
【００１６】
また、前記溝体は、前記吸着面からの深さ方向における断面形状が逆Ｔ字型に形成されていることが好ましい。
【００１７】
これにより、吸着面の面積減少を抑えつつ、溝体の流路断面積を増やすことができる。また、溝体にクランパの固定を行うことができるため、マグネットチャックの使用用途を広げることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明にかかるマグネットチャック１０の構成を採用することにより、サポート部材３０をプランジャ３２の突出入側部分が吸着面２１側に露出した状態にすることができる。したがって、吸着面２１に磁性体ワークを吸着保持させた状態で磁性体ワークに対して切削加工や研削加工を施しても、細かい切削屑や研削屑がサポート部材３０の突出入動作を妨げることがなく、切削屑や研削屑は溝体を介して確実にマグネットチャック１０の外部に排出させることができる。また、吸着面２１に溝体５０を形成することで吸着面２１の磁極部材２０の一部が取り除かれることになるため、溝体５０を吸着面２１におけるセパレータ２６として機能させることができる。このため、吸着面２１におけるセパレータ２６の占有スペースが削減し、吸着面２１の単位面積あたりにおけるサポート部材３０の配設数を増やすことができる。また、加工コストの高いセパレータ２６の配設延長が減るため、マグネットチャック１０の製造コストを低減させることができる点においても貢献する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】参考実施形態におけるマグネットチャックの平面図である。
【図２】図１中のＩＩ―ＩＩ線における断面図である。
【図３】第１実施形態におけるマグネットチャックの平面図である。
【図４】第１実施形態におけるマグネットチャックの正面図である。
【図５】図３中のＶ―Ｖ線における断面図である。
【図６】図３中のＶＩ―ＶＩ線における断面図である。
【図７】第２実施形態におけるマグネットチャックの平面図である。
【図８】第３実施形態におけるマグネットチャックの平面図である。
【図９】第４実施形態におけるマグネットチャックの平面図である。
【図１０】第４実施形態におけるマグネットチャックの右側面図である。
【図１１】従来技術におけるマグネットチャックの一例を示す平面図である。
【図１２】図１１内のＸＩＩ―ＸＩＩ線における概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明にかかるマグネットチャックの実施形態について図面に基づいて説明する。
【００２１】
（参考実施形態）
図１および図２により、このマグネットチャック１０について説明する。図１は、マグネットチャックの平面図、図２は、図１中のＩＩ―ＩＩ線における断面図である。本実施形態におけるマグネットチャック１０は、以下の構成を有している。すなわち、磁性体からなる台板１２上に複数のアルニコ製の永久磁石１４が配置され、各々の永久磁石１４の間にステンレス製の接続ブロック１６が配置されている。この永久磁石１４と接続ブロック１６とは磁性材料からなる組付鉄心１８によって覆われている。なお接続ブロック１６はボルト１９により台板１２に固定されている。このような接続ブロック１６には、アルニコ磁石に代表されるように、低保持力で高磁束密度の特性を有する磁石材を用いることが好ましい。
【００２２】
そして、組付鉄心１８上に磁性材料からなる磁極部材２０が配置されている。なお、組付鉄心１８は磁極部材２０と一体のものとすることができる。磁極部材２０の表面側が吸着面２１となる。磁極部材２０の組付鉄心１８側の面には長いリング状をなす穴２２が開口され、この長いリング状の穴２２内に電磁コイル２４が埋設されている。そして穴２２内はエポキシ樹脂２５が充填され、電磁コイル２４を封止している。
【００２３】
磁極部材２０の吸着面２１には、電磁コイル２４による磁界が及ぼされる吸着エリアを囲むようにして非磁性材料からなるセパレータ２６が設けられている。磁極部材２０の、電磁コイル２４に囲まれる部位に、吸着面２１側が大径部２８ａとなるサポート部材配設穴２８が所要間隔をおいて一列に複数個開口されている。それぞれのサポート部材配設穴２８の小径部２８ｂの内周面にはねじ山が形成されていて、このねじ山にサポート部材３０の外周面に形成されたねじ山を螺着させることでサポート部材３０をサポート部材配設穴２８に配設している。図２からも明らかなようにサポート部材３０は、サポート部材３０の上部を大径部２８ａ（プランジャ３２の突出入側部分）に露出させた状態で配設されている。なお、このようなサポート部材３０の列が吸着面２１に適宜複数列設けられている（図示せず）。
【００２４】
サポート部材３０は、油圧、空気圧等の流体圧（以下油圧で説明する）によって突出入し、磁極部材２０の吸着面２１から外方に突出した際、図示しない磁性体ワークの表面に当接するプランジャ３２を有する。サポート部材配設穴２８の大径部２８ａの底部には、磁極部材２０、組付鉄心１８、接続ブロック１６および台板１２を貫通するドレイン孔４２が設けられている。吸着面２１側が開口部になっているサポート部材配設穴２８内に入り込んだ切削屑または研削屑は加工液と共にドレイン孔４２から外部に排出される。なお、図１、図２に示すマグネットチャック１０をいわゆるドライ加工のみに用いる場合においては、ドレイン孔４２の配設を省略した形態を採用することもできる。この場合、サポート部材配設穴２８に切削屑や研削屑が入り込むことになるが、サポート部材３０のプランジャ３２が吸着面２１に対して突出入する動作を阻害するほどの不具合にはならないため問題はない。
【００２５】
図１および図２に示すマグネットチャック１０を用いて磁性体ワークを吸着面２１に吸着保持させるには次のようになされる。まず、磁性体ワークを磁極部材２０の吸着面２１の上に載置する。次いで、電磁コイル２４に比較的小さい電力を供給し、アルニコ製の永久磁石１４の磁力を増大させ、その磁力を吸着面２１に及ぼさせることで、磁性体ワークを比較的弱い磁力により吸着する。
【００２６】
次いで、図示しない油圧源からの圧油を、台板１２を通過させてサポート部材３０に至り、圧油の流体圧をプランジャ３２に及ぼす流体路３６に供給し、供給された油圧により各プランジャ３２を吸着面２１から突出させ、プランジャ３２の先端を磁性体ワークに当接させ、磁性体ワークをプランジャ３２で支持するようにする。この状態で、電磁コイル２４に十分な大きさの電力を供給し、吸着面２１に強い磁力を発生させ、磁性体ワークを吸着面２１に吸着、固定する。この状態で、磁性体ワークに必要な切削加工、研削加工等を施すようにする。このときに生じた切削屑または研削屑と加工液はドレイン孔４２からマグネットチャック１０の外部に排出することができる。
【００２７】
なお、アルニコ製の永久磁石１４は、電磁コイル２４に短時間通電するだけで、必要な磁力を継続的に得ることができ、これにより省エネルギー化を図ることができる。磁性体ワークの加工後、磁性体ワークを解放するには、電磁コイル２４に、吸着時とは逆方向に通電することで、保持力の小さいアルニコ製の永久磁石１４の磁力を低下させればよい。なお、必要に応じて、磁性体ワークに残留する残留磁力を消磁する消磁用コイルを別途設けてもよい（図示せず）。
【００２８】
上記のようにして、省エネルギー化を図れるマグネットチャック１０を提供することができた。しかしながら、図１および図２に示す参考実施形態におけるマグネットチャック１０にも、次のような課題が生じた。すなわち、上記のように、ドレイン孔４２は磁極部材２０、組付鉄心１８、接続ブロック１６、および台板１２をそれぞれの板厚方向に貫通しているため、ドレイン孔４２の内部で切削屑や研削屑が詰まってしまうおそれがある。また、ドレイン孔４２がサポート部材３０と電磁コイル２４との間に配設されているためサポート部材と電磁コイル２４との配設間隔を確保しなければならず、吸着面２１へのサポート部材３０の配設間隔に制約が生じる。
【００２９】
そこで、以下の実施形態１では、上記参考実施形態をさらに改良し、ドレイン孔４２への切削屑や研削屑の詰まりを無くし、吸着面２１へのサポート部材３０の配設間隔を狭めることが可能なマグネットチャック１０を提供する。
【００３０】
（第１実施形態）
図３〜図５は、第１実施形態におけるマグネットチャック１０を示す、図３は、その部分平面図、図４は図３におけるＩＶ−ＩＶ線における断面図、図５は図３におけるＶ−Ｖ線における断面図である。以下、図１および図２における参考実施形態と同一の部材は同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００３１】
第１実施形態におけるマグネットチャック１０は、図３および図４に示す符号の構成を具備し、台板１２の上に重ねた磁極部材２０の吸着面２１に、両端部を磁極部材２０の側面に開口させた溝体５０を配設した点にある。このような溝体５０を吸着面２１に配設したことにより、吸着面２１に磁性体ワークを保持させた状態で磁性体ワークに切削加工や研削加工を行ったときに生じる切削屑または研削屑と加工液は吸着面２１に配設された溝体５０に沿ってマグネットチャック１０の外部に排出させることができる。溝体５０は吸着面２１に近傍位置にいわゆる開水路として配設されているから、目視による状態確認をすることができ、たとえ溝体５０に切削屑または研削屑が滞留したとしても取り出しをきわめて容易に行うことができる。
【００３２】
また、吸着面２１に溝体５０を形成することにより磁極部材２０の一部が取り除かれることになるから、溝体５０がセパレータ２６の機能をも発揮することになる。吸着面２１へのセパレータ２６の設置コストは極めて高コストであるため、一部のセパレータ２６であっても配設を省略できることはマグネットチャック１０の製造コストの低減に寄与する。
【００３３】
さらには、図５および図６に示すようにドレイン孔４２の配設が省略可能になり、サポート部材３０と電磁コイル２４との配設間隔を狭くすることができる。これにより吸着面２１に配設することができるサポート部材３０の数を増やすことができるので、より精密に磁性体ワークをプランジャ３２で保持することが可能になる点においても好都合である。
【００３４】
また、溝体５０は、図３および図６に示すように、磁極部材２０の側面に開口している。溝体５０には、サポート部材配設穴２８に連通するサポート部材配設穴連通部としての通路５１が配設され、サポート部材配設穴２８の大径部２８ａと溝体５０が通じている。これによりサポート部材配設穴２８の大径部２８ａ内に入り込んだ切削屑、研削屑、加工液等は、通路５１および溝体５０を通じて磁極部材２０（マグネットチャック１０）の側方に排出されることになる。そして、溝体５０は、吸着面２１の中央部分（溝体５０の延長方向における中央部分）よりも磁極部材２０の外周縁側部分（溝体５０の延長方向における両端部側）の方がより深くなるように形成されていることが好ましい。このような溝体５０によれば、切削屑、研削屑、加工液等の排出をさらに促進させることができ、好都合である。なお、溝体５０は一方の端部側から他方の端部側に徐々に深くなるように形成することもできるし、溝体５０の延設方向において均一深さに形成することもできる。
【００３５】
また通路５１は、図３に示すようにサポート部材配設穴２８の接線方向に沿って（通路５１がサポート部材配設穴２８の接線を構成する）形成されていることが好ましい。これにより万が一サポート部材配設穴２８に切削屑、研削屑、加工液等の滞留が生じた場合であっても、圧縮空気をサポート部材配設穴２８に吹き付ければ、通路５１から切削屑、研削屑、加工液等を溝体５０に送り出すことができ、磁性体ワークの切削加工や研削加工時における切削屑、研削屑、加工液等の排出処理に要するメンテナンス頻度を低減させることができる。
【００３６】
（第２実施形態）
図７は、第２実施形態におけるマグネットチャック１０の平面図である。本実施形態においてはすでに説明した実施形態と同一の部材については、それらと同一の符号を図面中に付すことで、ここでの詳細な説明は省略する。本実施形態は、マグネットチャック１０（吸着面２１）の長手方向において所要間隔をあけて短手方向の端縁に平行な複数本の溝体５０が形成され、２本の溝体５０によりサポート部材３０が挟み込まれた状態になっている。サポート部材３０を挟み込む溝体５０とサポート部材配設穴２８との間には、サポート部材配設穴連通部としての通路５１が形成されている。
【００３７】
また、サポート部材３０を挟み込んでいる溝体５０の間には、マグネットチャック１０（吸着面２１）の短手方向において所要間隔をあけて複数配設されているサポート部材３０のうちの両端位置に配設されているサポート部材３０の外側部分にセパレータ２６が配設されている。このような構成を採用することにより、溝体５０による吸着面２１の磁極部材２０の控除により、吸着面２１に形成すべきセパレータ２６の延長を短くすることができる点で好都合である。
【００３８】
（第３実施形態）
図８は、第３実施形態におけるマグネットチャック１０の平面図である。本実施形態においてはすでに説明した実施形態と同一の部材については、それらと同一の符号を図面中に付すことで、ここでの詳細な説明は省略する。本実施形態におけるマグネットチャック１０は、図７に示すセパレータ２６の配設位置を延長させ、吸着面２１を長手方向に通貫する（磁極部材２０の長手方向における端縁に両端が開口する）溝体５０が形成され、吸着面２１にセパレータ２６の配設を省略した構成が特徴的である。これにより第２実施形態よりもさらに磁性体ワークの切削加工や研削加工における切削屑や研削屑と加工液の排出を効率的に行うことができる。また、セパレータ２６の配設が不要であることからマグネットチャック１０の製造コストの低減が促進される点においても好都合である。
【００３９】
（第４実施形態）
図９は、第４実施形態におけるマグネットチャック１０の平面図である。図１０は、第４実施形態におけるマグネットチャック１０の右側面図である。本実施形態においてはすでに説明した実施形態と同一の部材については、それらと同一の符号を図面中に付すことで、ここでの詳細な説明は省略する。
【００４０】
本実施形態におけるマグネットチャック１０は、マグネットチャック１０（吸着面２１）の長手方向における端縁に平行で吸着面２１を通貫する（磁極部材２０の短手方向における端縁に両端が開口する）溝体５０によりサポート部材３０を挟み込むようにしている。ここでは、マグネットチャック１０（吸着面２１）の短手方向に平行で長手方向の端縁に両端が開口する溝体５０が配設されていいないため、図９内の矢印Ｘ方向における往復動をする切削加工や研削加工を行う際における切削屑や研削屑と加工液がマグネットチャック１０の往復動方向に直交する溝体５０に入り込むことがないため、切削屑や研削屑と加工液の排出がさらに効率的に行うことができる点で好都合である。
【００４１】
図９に示すような吸着面２１の構成を採用した場合、吸着面２１へのセパレータ２６の配設を行うか、図１０に示すように、磁極部材２０の側面に凹部５３を配設することで、吸着面２１に溝体５０を形成することによりセパレータ２６の配設が省略可能になる理由と同一の理由によりセパレータ２６の配設を省略することもできる。
【００４２】
以上に説明した実施形態は、いわゆる永電磁式のマグネットチャック１０の構成に基づいて発明内容についての説明を行っているが、本願発明の技術的範囲は永電磁式のマグネットチャック１０に限定されるものではない。参考実施形態を含めたいずれの実施形態においても、いわゆる電磁式のマグネットチャック１０の形態を採用することも可能である。
【００４３】
以上の実施形態におけるマグネットチャック１０に対するさらに望まれる改良点は、以下のとおりである。具体的には、接続ブロック１６を無くし、アルニコ磁石製の永久磁石１４を、台板１２に設けた収納穴１５内に配設するとともに、収納穴１５間の仕切部１２ａ（台板１２と一体）に流体路３６を貫通して設けた点にある。そして、シール部材４０を、流体路３６における、仕切部１２ａと組付鉄心１８との間をシールする第１のシール部材、および組付鉄心１８と磁極部材２０との間をシールする第２のシール部材の２つのシール部材とした。なお、組付鉄心１８と磁極部材２０とを一体のものとすれば、シール部材を、仕切部１２ａと磁極部材２０との間をシールする１つのシール部材のみとすることもできる。
【００４４】
すなわち、本実施の形態では、図２に示す実施の形態における、台板１２と接続ブロック１６との間をシールするシール部材４０を無くしたので、それだけ、油（流体）漏れを少なくでき、また、吸着面２１側から最深部となるシール部材４０を無くすことで、修理も容易となる利点がある。なお、図６において、電磁コイル２４の絶縁性を向上させるために、電磁コイル２４を収納する穴２２内にガラスビーズ４８を配設している。
【００４５】
また、サポート部材配設穴２８の大径部２８ａとサポート部材３０との間にはシール部材５２が配設され、このシール部材５２によりサポート部材配設穴２８に切削屑または研削屑および加工液が入り込むことを防止している。そして、溝体５０を吸着面２１からの深さ方向における断面形状を逆Ｔ字型に形成すれば、この溝体５０を、クランパ等に代表される加工具取り付け用の係止溝等としての利用も可能となる。
【００４６】
そして以上に説明した変形例の他、実施形態において説明した変形例等を適宜組み合わせた形態を採用することも可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  マグネットチャック
１２  台板，１２ａ  仕切部，１４  永久磁石，１５  収納穴，１６  接続ブロック，
１８  組付鉄心，１９  ボルト，
２０  磁極部材，２１  吸着面，２２  穴，２４  電磁コイル，２５  エポキシ樹脂，
２６  セパレータ，２８  サポート部材配設穴，２８ａ  大径部，２８ｂ  小径部，
３０  サポート部材，３２  プランジャ，３６  流体路， 
４０  シール部材，４２  ドレイン孔，４８  ガラスビーズ，
５０  溝体，５１  通路（サポート部材配設穴連通部），
５２  シール部材，５３  凹部，
９０  有孔蓋，９２  孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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