(57)【要約】【課題】吸着剤によって吸着対象成分を十分に吸着できる吸着装置を提供する。【解決手段】吸着装置３において、流路部材３３の開口部３３Ｂの内径Ｌ２は、吸着剤４０の粒子径Ｌ１よりも大きく形成されている。そのため、容器３１内に流路部材３３が配置された状態では、流路部材３３の開口部３３Ｂを介して、吸着剤４０が流路部材３３内に入り込む。すなわち、吸着装置３において、吸着剤４０は、容器３１の側面部３１１と流路部材３３との間の領域、及び、流路部材３３内に配置される。また、吸着装置３において、空気は、容器３１と流路部材３３との間の領域、及び、流路部材３３内を流れる。そのため、吸着装置３内に空気を流入させた場合に、空気を吸着剤４０に十分に触れさせることができ、空気に含まれる水分を十分に吸着できる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子からなる吸着剤を収容する容器と、
前記容器内に挿入され、内部をガスが通過する流路部材とを備え、
前記容器内に位置する前記流路部材の先端部には、前記吸着剤の粒子径よりも大きい開口部が形成されていることを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
前記容器内に前記流路部材が挿入されることにより、前記開口部から前記流路部材の内部に前記吸着剤が入り込むことを特徴とする請求項１に記載の吸着装置。
【請求項３】
前記容器を封止するための蓋部材をさらに備え、
前記流路部材は、前記蓋部材に取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の吸着装置。
【請求項４】
前記蓋部材は、前記容器に対して回転されることにより着脱され、
前記流路部材は、前記蓋部材の回転軸線に沿って一直線上に延びていることを特徴とする請求項３に記載の吸着装置。
【請求項５】
前記流路部材における前記開口部とは反対側の端部には通気孔が形成されており、
前記流路部材内には前記開口部からガスが流入し、そのガスが当該流路部材内を通過して前記通気孔から流出することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の吸着装置。
【請求項６】
前記流路部材内に設けられ、当該流路部材内を通過するガス中の異物を捕獲するフィルタをさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の吸着装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の吸着装置と、
前記吸着装置で水分を吸着させた後の空気を用いてオゾンを発生させるオゾン発生器と、
前記オゾン発生器で発生したオゾンを用いて試料ガス中の窒素酸化物を化学発光させる反応部と、
前記反応部における化学発光により生じる光の強度を検出する検出器と、
前記検出器により検出される光の強度に基づいて、試料ガス中の窒素酸化物の濃度を測定する測定部とを備えることを特徴とする化学発光式窒素酸化物濃度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部に吸着剤を収容する吸着装置、及び、これを備えた化学発光式窒素酸化物濃度計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、内部に収容された吸着剤によって、気体に含まれる吸着対象成分を吸着する吸着装置が利用されている。吸着装置は、例えば、気体が通過する流路の途中部に介在されて用いられる。吸着装置に気体が流入すると、その内部空間を気体が移動して吸着剤に接触することで、気体に含まれる吸着対象成分が吸着される。そして、吸着対象成分が低減した後の気体が、吸着装置から排出される。
【０００３】
このような吸着装置として、例えば、空気中に含まれる水蒸気を吸着剤（乾燥剤）によって捕集する乾燥空気供給装置が利用されている（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００４】
特許文献１に記載の乾燥空気供給装置では、乾燥剤収容容器内に空気通出管が配置されており、乾燥剤収容容器と空気通出管との間の領域に乾燥剤が充填されている。空気通出管の先端部は閉塞されており、その周面に微細孔が形成されている。そして、乾燥剤収容容器内に空気が流入されると、空気が乾燥剤収容容器と空気通出管との間の領域を通過する過程で、空気に含まれる水蒸気が乾燥剤によって捕集される。そして、水蒸気が除去された後の空気が、微細孔から空気通出管に流入し、空気通出管を介して乾燥剤供給装置から排出される。
このように、特許文献１に記載の乾燥空気供給装置では、簡易な構成で、空気に含まれる水蒸気が除去される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実用新案登録第３１０８２９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した従来の乾燥空気供給装置では、水蒸気が十分に除去されないことがあるという不具合があった。具体的には、従来の乾燥空気供給装置では、乾燥剤は、乾燥剤収容容器と空気通出管との間の領域のみに充填されている。そのため、乾燥剤収容容器内に流入された空気が、空気通出管の近傍に到達するまでの間でのみ、乾燥剤によって水蒸気が除去される。その結果、乾燥剤に空気を十分に触れさせることができずに、空気に含まれる水蒸気を十分に除去できない可能性がある。
【０００７】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、吸着剤によって吸着対象成分を十分に吸着できる吸着装置を提供することを目的とする。また、本発明は、試料ガス中の窒素酸化物の濃度を精度よく測定できる化学発光式窒素酸化物濃度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明に係る吸着装置は、容器と、流路部材とを備える。前記容器は、粒子からなる吸着剤を収容する。前記流路部材は、前記容器内に挿入され、内部をガスが通過する。前記容器内に位置する前記流路部材の先端部には、前記吸着剤の粒子径よりも大きい開口部が形成されている。
【０００９】
このような構成によれば、容器内に流路部材が配置された状態では、流路部材の先端部の開口を介して、吸着剤が流路部材内に入り込む。すなわち、吸着装置において、吸着剤は、容器と流路部材との間の領域、及び、流路部材内に配置される。また、吸着装置において、ガスは、容器と流路部材との間、及び、流路部材内を流れる。
そのため、吸着装置内にガスを流入させた場合に、ガスを吸着剤に十分に触れさせることができ、ガスに含まれる吸着対象成分を十分に吸着できる。
【００１０】
（２）また、前記容器内に前記流路部材が挿入されることにより、前記開口部から前記流路部材の内部に前記吸着剤が入り込んでもよい。
【００１１】
このような構成によれば、容器内に流路部材を挿入させる動作を行うのみで、開口部を介して流路部材内に吸着剤を充填できる。
そのため、簡易な動作で、流路部材内に吸着剤を充填できる。
【００１２】
（３）また、前記吸着装置は、蓋部材をさらに備えてもよい。前記蓋部材は、前記容器を封止する。前記流路部材は、前記蓋部材に取り付けられていてもよい。
【００１３】
このような構成によれば、容器内に流路部材を挿入し、蓋部材で容器を封止する動作を一連の動作で行うことができる。
そのため、ユーザの操作を簡易なものにできる。
【００１４】
（４）また、前記蓋部材は、前記容器に対して回転されることにより着脱されてもよい。前記流路部材は、前記蓋部材の回転軸線に沿って一直線上に延びていてもよい。
【００１５】
このような構成によれば、容器に対して蓋部材を回転させた場合であっても、回転軸線に沿うように流路部材を一定位置に配置させておくことができる。
そのため、流路部材が蓋部材の着脱動作の妨げになることを抑制できる。
その結果、容器に対して蓋部材を円滑に着脱できる。
【００１６】
（５）また、前記流路部材における前記開口部とは反対側の端部には通気孔が形成されていてもよい。前記流路部材内には前記開口部からガスが流入し、そのガスが当該流路部材内を通過して前記通気孔から流出してもよい。
【００１７】
このような構成によれば、吸着装置内に流入したガスは、容器と流路部材との間を流れた後、開口部を介して流路部材内に流入し、さらに、流路部材内を流れた後、通気孔を介して流路部材から流出する。
そのため、ガスを吸着装置内においてまんべんなく流すことができる。
その結果、ガスを吸着剤に十分に触れさせることができ、吸着剤によってガスに含まれる吸着対象成分を十分に吸着できる。
【００１８】
（６）また、前記吸着装置は、フィルタをさらに備えてもよい。前記フィルタは、前記流路部材内に設けられ、当該流路部材内を通過するガス中の異物を捕獲する。
【００１９】
このような構成によれば、流路部材からガスを排出する場合には、流路部材内をガスが通過する過程でフィルタによって異物が捕獲される。
そのため、異物が混入したガスが吸着装置から排出されることを抑制できる。
【００２０】
（７）本発明に係る化学発光式窒素酸化物濃度計は、前記吸着装置と、オゾン発生器と、反応部と、検出器と、測定部とを備える。前記オゾン発生器は、前記吸着装置で水分を吸着させた後の空気を用いてオゾンを発生させる。前記反応部は、前記オゾン発生器で発生したオゾンを用いて試料ガス中の窒素酸化物を化学発光させる。前記検出器は、前記反応部における化学発光により生じる光の強度を検出する。前記測定部は、前記検出器により検出される光の強度に基づいて、試料ガス中の窒素酸化物の濃度を測定する。
【００２１】
このような構成によれば、オゾン発生器において良好にオゾンを発生させることができる。そして、そのオゾンを用いて反応部で窒素酸化物が化学発光され、検出器により化学発光により生じる光の強度が検出され、測定部により検出器で検出される光の強度に基づいて、試料ガス中の窒素酸化物の濃度が測定される。
そのため、試料ガス中の窒素酸化物の濃度を精度よく測定できる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、吸着装置において、吸着剤は、容器と流路部材との間の領域、及び、流路部材内に配置される。そのため、吸着装置内にガスを流入させた場合に、ガスを吸着剤に十分に触れさせることができ、ガスに含まれる吸着対象成分を十分に吸着できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態に係る化学発光式窒素酸化物濃度計の構成を示した概略図である。
【図２】図１の化学発光式窒素酸化物濃度計の吸着装置を示した断面図であって、本体に蓋部材が取り付けられた状態を示している。
【図３】図１の化学発光式窒素酸化物濃度計の吸着装置を示した断面図であって、本体と蓋部材とが離間した状態を示している。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
１．化学発光式窒素酸化物濃度計の全体構成
図１は、本発明の一実施形態に係る化学発光式窒素酸化物濃度計１の構成を示した概略図である。
化学発光式窒素酸化物濃度計１は、試料ガスに含まれる窒素酸化物の濃度を測定するための装置である。化学発光式窒素酸化物濃度計１は、電子クーラ２と、吸着装置３と、第１ポンプ４と、バルブ５と、流量計６と、オゾン発生器７と、反応部８と、検出器９と、制御部１０と、第２ポンプ１１と、オゾン分解器１２とを備えている。また、化学発光式窒素酸化物濃度計１には、第１流路２１と、第２流路２２と、第３流路２３と、第４流路２４とが形成されている。
【００２５】
第１流路２１は、空気を取り込み、その空気にオゾン（Ｏ３）を混入して反応部８に流入させるための流路である。第１流路２１には、電子クーラ２、吸着装置３、第１ポンプ４、バルブ５、流量計６及びオゾン発生器７が、この順序で介在されており、空気の移動方向下流側の端部は、反応部８に接続されている。
【００２６】
電子クーラ２は、第１流路２１に流入される空気に対して、その温度及び湿度のそれぞれが一定となるように調整を行うためのものである。電子クーラ２には、第２流路２２の一端部が接続されている。第２流路２２には、第２ポンプ１１が介在されている。第２ポンプ１１が動作することにより、電子クーラ２において空気中から除去された水分が、第２流路２２を介して排出される。
【００２７】
吸着装置３は、電子クーラ２によって温度及び湿度が調整された後の空気に対して、さらに除湿を行うためのものである。詳しくは後述するが、吸着装置３は、空気に含まれる水分を吸着して除去することにより、除湿を行う。
第１ポンプ４は、空気を第１流路２１内に吸引し、吸引した空気を第１流路２１内を通過させて反応部８に送り込むためのものである。
バルブ５は、第１流路２１を移動する空気の流量を一定に調整するためのものである。バルブ５は、例えば、ニードルバルブである。
流量計６は、第１流路２１を移動する空気の流量を測定するためのものである。
【００２８】
オゾン発生器７は、第１流路２１を移動する空気を用いてオゾンを発生させるための装置である。具体的には、オゾン発生器７は、無性放電等により、オゾンを発生させる。
【００２９】
反応部８には、第３流路２３の一端部が接続されている。反応部８には、第１流路２１を介してオゾンを含む空気が流入されるとともに、第３流路２３を介して試料ガスが供給される。反応部８は、空気に含まれるオゾンを用いて、試料ガス中に含まれる窒素酸化物を化学発光させる。
【００３０】
検出器９は、反応部８に隣接している。検出器９は、例えば、ガラス窓などを備えており、反応部８における化学発光により生じた光を内部に取り込めるように構成されている。検出器９は、反応部８で発生した光の強度を検出するように構成されている。
【００３１】
制御部１０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を含む構成である。制御部１０は、検出器９と電気的に接続されている。制御部１０は、検出器９の動作を制御するとともに、検出器９で検出される光の強度に基づいて、試料ガス中の窒素酸化物の濃度を測定する。なお、制御部１０は、測定部の一例である。
第４流路２４は、その一端部が反応部８に接続されている。第４流路２４には、オゾン分解器１２が介在されている。
オゾン分解器１２は、空気に含まれる未反応のオゾンを加熱分解などにより分解する。
【００３２】
化学発光式窒素酸化物濃度計１では、第１ポンプ４及び第２ポンプ１１が動作されるとともに、流量計６が検出する流量が一定となるように、バルブ５の開度が調整される。そして、一定量の空気が、第１流路２１内に吸引されて、第１流路２１内を移動する。
【００３３】
このとき、第１流路２１を移動する空気は、電子クーラ２によって、一定の温度、及び、一定の湿度に調整された後、さらに、吸着装置３によって除湿される。吸着装置３によって除湿された後の空気は、オゾン発生器７に流入する。そして、オゾン発生器７において、オゾンが発生させられる。オゾン発生器７で発生したオゾンは、空気とともに、反応部８に流入する。さらに、反応部８には、第３流路２３を介して試料ガスが供給される。
【００３４】
そして、反応部８では、試料ガスとオゾンとが化学反応させられて光が生じる。このとき、検出器９は、反応部８で生じた光の強度を検出する。制御部１０は、検出器９の検出結果に基づいて、試料ガス中の窒素酸化物の濃度を測定する。また、反応部８を通過した空気は、第４流路２４を移動する過程で、オゾン分解器１２によって未反応のオゾンが分解され、その後排気される。
【００３５】
このように、化学発光式窒素酸化物濃度計１では、吸着装置４によって除湿された空気が用いられてオゾンが発生され、そのオゾンを用いて反応部８で化学反応が行われる。この吸着装置４は、空気を効率的に除湿するように、以下のように構成される。
【００３６】
２．吸着装置の詳細構成
図２は、吸着装置３を示した断面図であって、容器３１に蓋部材３２が取り付けられた状態を示している。図３は、吸着装置３を示した断面図であって、容器３１と蓋部材３２とが離間した状態を示している。
吸着装置３は、容器３１と、蓋部材３２と、流路部材３３とを備えている。
【００３７】
容器３１は、下端が閉塞された円筒状に形成されている。容器３１は、例えば、樹脂材料からなり、透明又は半透明に形成されている。容器３１は、側面部３１１と、底面部３１２と、段差部３１３と、取付部３１４とを備えている。
【００３８】
側面部３１１は、上下方向に延びる円筒状に形成されている。
底面部３１２は、平面視円形状の板状に形成されており、側面部３１１の下端を閉塞するように、側面部３１１に連続している。底面部３１２は、中央に向かうにつれて上方に向かうテーパー状に形成されている。
段差部３１３は、平面視円環状に形成されており、側面部３１１の上端から連続して、側面部３１１の径方向内方、かつ、上方に向かうように突出している。
【００３９】
取付部３１４は、上下方向に延びる円筒状に形成されており、段差部３１３の上端から上方に向かって延びている。取付部３１４の外周面には、ねじ山（図示しない）が形成されている。
【００４０】
このように構成される容器３１内には、吸着剤４０が収容されている。吸着剤４０は、例えば、シリカゲルであって、複数の粒子からなる。吸着剤４０の粒子径Ｌ１は、例えば、３．０〜４．０ｍｍである。
蓋部材３２は、容器３１を封止するための部材である。蓋部材３２は、側面部３２１と、上面部３２２とを備えている。
側面部３２１は、上下方向に延びる円筒状に形成されている。側面部３２１の内周面には、ねじ溝（図示しない）が形成されている。
【００４１】
上面部３２２は、平面視円形状に形成されており、側面部３２１の上端を閉塞するように、側面部３２１に連続している。上面部３２２には、流入管４１と、流出管４２とが取り付けられている。
流入管４１は、上面部３２２の中央部のやや外方を貫通するように、上面部３２２に取り付けられており、上下方向に延びている。
流出管４２は、上面部３２２の中央部を貫通するように、上面部３２２に取り付けられており、上下方向に延びている。
このように構成される蓋部材３２は、上下方向に延びる回転軸線Ａを中心として回転されることにより、容器３１に対して着脱される。
【００４２】
流路部材３３は、蓋部材３２に取り付けられている。具体的には、流路部材３３は、蓋部材３２の上面部３２２の底面中央部に取り付けられている。流路部材３３は、上下方向に延びる円筒状に形成されており、その軸線の延長線上には、上面部３２２の中心が位置している。すなわち、流路部材３３は、蓋部材３２の回転軸線Ａに沿って一直線上に延びている。
【００４３】
流路部材３３の上下方向の寸法は、容器３１の上下方向の寸法よりもやや小さい。流路部材３３の内径Ｌ２は、例えば、１．０〜２．０ｃｍである。すなわち、流路部材３３の内径は、吸着剤４０の粒子径よりも大きい。
【００４４】
流路部材３３の内部空間は、蓋部材３２の上面部３２２を介して、流出管４２の内部空間と連通している。流路部材３３の上端の内部空間は、通気孔３３Ａとして形成されており、流路部材３３の下端の内部空間は、開口部３３Ｂとして形成されている。流路部材３３内には、フィルタ４３が設けられている。
フィルタ４３は、流路部材３３の通気孔３３Ａを覆うように、流路部材３３の内部空間に設けられている。
【００４５】
３．容器に対する蓋部材の取り付け
吸着装置３を準備する場合には、ユーザは、まず、図３に示すように、容器３１と蓋部材３２とを離間させた状態で、容器３１内に吸着剤４０を充填する。このとき、吸着剤４０は、容器３１の側面部３１１の上部近傍まで充填される。そして、ユーザは、この状態の容器３１の上方に蓋部材３２（蓋部材３２及び流路部材３３）を配置し、さらに、その蓋部材３２を下方に向かって移動させる。これにより、図２に示すように、容器３１内に流路部材３３を挿入する。
【００４６】
上記したように、流路部材３３の開口部３３Ｂの内径Ｌ２は、吸着剤４０の粒子径Ｌ１よりも大きく形成されている。そのため、容器３１内に流路部材３３が挿入されるとともに、開口部３３Ｂを介して吸着剤４０が流路部材３３内に入り込む。
【００４７】
その後、ユーザは、蓋部材３２の側面部３２１の内周面を容器３１の取付部３１４の外周面に当接させた状態で、蓋部材３２を回転軸線Ａを中心として回転させる。これにより、蓋部材３２の側面部３２１と、容器３１の取付部３１４とを螺合させて、容器３１に対して蓋部材３２を装着する。
【００４８】
上記したように、流路部材３３は、蓋部材３２の回転軸線Ａに沿って一直線上に延びている。そのため、蓋部材３２が回転されても、流路部材３３は、水平方向にぶれることなく、容器３１内において回転軸線Ａに沿う一定位置に配置される。
容器３１に蓋部材３２が装着された状態では、流路部材３３の下端部（開口部３３Ｂ）は、底面部３１２の中央部のやや上方に配置されている。
【００４９】
このようにして吸着装置３を準備した後、ユーザは、第１流路２１の途中部の一端部を流入管４１に接続し、第１流路２１の途中部の他端部を流出管４２に接続することにより、第１流路２１に吸着装置３を介在させる。
【００５０】
４．吸着装置における空気の流れ
上記のようにして準備されて第１流路２１に介在された吸着装置３には、流入管４１から空気が流入される。流入管４１から流入する空気は、流路部材３３と容器３１との間の領域を上方から下方に向かってまんべんなく移動する。
そして、空気は、底面部３１２に接触し、底面部３１２に沿うようにして、流路部材３３の下端（開口部３３Ｂ）に案内される。
その後、空気は、開口部３３Ｂから流路部材３３内に流入し、流路部材３３内を下方から上方に向かってまんべんなく移動する。
【００５１】
上記したように、流路部材３３と容器３１との間の領域、及び、流路部材３３内には、吸着剤４０が充填されているため、これらを空気が通過する際に、空気に含まれる水分が吸着剤４０に吸着されて除湿が行われる。
【００５２】
除湿後の空気は、流路部材３３内に設けられたフィルタ４３を通過した後、通気孔３３Ａから流出し、流出管４２を介して第１流路２１に戻される。このとき、空気に異物が含まれている場合には、フィルタ４３によって、その異物が捕獲されて除去される。
【００５３】
このようにして、吸着剤４０によって水分が吸着されて除湿が行われると、吸着剤４０は、吸着する水分の量に応じて徐々に変色する。上記したように、容器３１の側面部３１１は、透明又は半透明に形成されているため、ユーザは、容器３１から蓋部材３２を取り外すことなく、吸着装置３の外部から吸着剤４０の変色を視認して、その交換時期を確認できる。
【００５４】
５．作用効果
（１）本実施形態では、図２に示すように、吸着装置３において、流路部材３３の開口部３３Ｂの内径Ｌ２は、吸着剤４０の粒子径Ｌ１よりも大きく形成されている。そのため、容器３１内に流路部材３３が配置された状態では、流路部材３３の開口部３３Ｂを介して、吸着剤４０が流路部材３３内に入り込む。すなわち、吸着装置３において、吸着剤４０は、容器３１と流路部材３３との間の領域、及び、流路部材３３内に配置される。また、吸着装置３において、空気は、容器３１と流路部材３３との間の領域、及び、流路部材３３内を流れる。
そのため、吸着装置３内に空気を流入させた場合に、空気を吸着剤４０に十分に触れさせることができ、空気に含まれる水分を十分に吸着できる。
【００５５】
（２）また、本実施形態では、図２に示すように、吸着装置３では、容器３１内に流路部材３３が挿入されることにより、開口部３３Ｂから流路部材３３の内部に吸着剤４０が入り込む。
そのため、容器３１内に流路部材３３を挿入させる動作を行うのみで、開口部３３Ｂを介して流路部材３３内に吸着剤４０を充填できる。
その結果、簡易な動作で、流路部材３３内に吸着剤を充填できる。
【００５６】
（３）また、本実施形態では、図２に示すように、吸着装置３において、流路部材３３は、蓋部材３２の上面部３２２に取り付けられている。
そのため、容器３１内に流路部材３３を挿入し、蓋部材３２で容器３１を封止する動作を一連の動作で行うことができる。
その結果、ユーザの操作を簡易なものにできる。
【００５７】
（４）また、本実施形態では、図２に示すように、流路部材３３は、蓋部材３２の回転軸線Ａに沿って一直線上に延びている。
そのため、容器３１に対して蓋部材３２を回転させた場合であっても、容器３１内において、水平方向にぶれることなく、回転軸線Ａに沿うように流路部材３３を一定位置に配置させておくことができる。
その結果、流路部材３３が蓋部材３２の着脱動作の妨げになることを抑制できる。
よって、容器３１に対して蓋部材３２を円滑に着脱できる。
【００５８】
（５）また、本実施形態では、図２に示すように、吸着装置３内に流入した空気は、容器３１と流路部材３３との間の領域を流れた後、開口部３３Ｂを介して流路部材３３内に流入し、さらに、流路部材３３内を流れた後、通気孔３３Ａを介して流路部材３３から流出する。
そのため、容器３１内において空気をまんべんなく流すことができる。
その結果、空気を吸着剤４０に十分に触れさせることができ、吸着剤４０によって空気に含まれる水分を十分に吸着できる。
【００５９】
（６）また、本実施形態では、図２に示すように、吸着装置３において、流路部材３３内には、フィルタ４３が設けている。そして、流路部材３３を通過する空気中の異物は、フィルタ４３によって捕獲される。
そのため、異物が混入した空気が吸着装置３から排出されることを抑制できる。
【００６０】
（７）また、本実施形態では、図１に示すように、化学発光式窒素酸化物濃度計１において、オゾン発生器７は、吸着装置３で水分を吸着させた後の空気を用いてオゾンを発生させる。
そのため、オゾン発生器７において良好にオゾンを発生させることができる。
また、化学発光式窒素酸化物濃度計１では、オゾン発生器７で良好に発生したオゾンを用いて試料ガス中の窒素酸化物を化学発光させる。検出器９は、反応部８における化学発光により生じる光の強度を検出する。制御部１０は、検出器９により検出される光の強度に基づいて、試料ガス中の窒素酸化物の濃度を測定する。
そのため、試料ガス中の窒素酸化物の濃度を精度よく測定できる。
【００６１】
６．変形例
上記した実施形態では、吸着装置３は、空気に含まれる水分を除去する装置であるとして説明した。しかし、吸着装置３は、ガスに含まれるにおいの成分や汚れなどを吸着する装置として用いられてもよい。
【００６２】
また、上記した実施形態では、吸着装置３は、化学発光式窒素酸化物濃度計１に用いられるとして説明した。しかし、吸着装置３は、化学発光式窒素酸化物濃度計１以外の他の装置に用いることも可能である。
【００６３】
また、上記した実施形態では、吸着装置３において、吸着剤４０は、シリカゲルであるとして説明した。しかし、吸着剤４０は、モレキュラシーブなどの他の材料からなる粒子であってもよい。
【符号の説明】
【００６４】
１        化学発光式窒素酸化物濃度計
３        吸着装置
７        オゾン発生器
８        反応部
９        検出器
１０      制御部
３１      容器
３２      蓋部材
３３      流路部材
３３Ａ    通気孔
３３Ｂ    開口部
４０      吸着剤
４３      フィルタ
Ａ        回転軸線
【図１】
2018069118.tif 000003
【図２】
2018069118.tif 000004
【図３】
2018069118.tif 000005