(57)【要約】【課題】簡便な構成でワークディスタンスの変化に対応し得るレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ光をワークに向かって出射するヘッド部を備え、前記ワークに対向する集光レンズユニットを前記ヘッド部に着脱可能に取着したレーザ加工装置において、ヘッド部に固定された筐体ブロック１８の取付孔に対し、集光レンズユニット１５を取着した筒状のレンズホルダ１６をレーザ光の光軸方向に位置調節可能とする位置調節装置２４，２５を備えた。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光をワークに向かって出射するヘッド部を備え、前記ワークに対向する集光レンズユニットを前記ヘッド部に着脱可能に取着したレーザ加工装置において、
前記ヘッド部に固定された筐体ブロックの取付孔に対し、前記集光レンズユニットを取着した筒状のレンズホルダを前記レーザ光の光軸方向に位置調節可能とする位置調節装置を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ加工装置において、
前記位置調節装置は、前記筐体ブロックに対し前記レンズホルダを前記レーザ光の光軸方向にねじ込み可能とした第一のネジ部を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレーザ加工装置において、
前記位置調節装置は、
前記レンズホルダの先端部に螺合可能とした保持リングと、
前記保持リングの螺合に基づいて、前記保持リングと前記レンズホルダとの間で圧縮されて筐体ブロックとレンズホルダとの間を密封するＯリングと
を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項４】
請求項３に記載のレーザ加工装置において、
前記レンズホルダに、前記Ｏリング及び前記筐体ブロックの内周面に向かう斜面を備えたフランジ部を設け、前記保持リングのねじ込みにともなって、前記Ｏリングを前記斜面に沿って前記レンズホルダの径方向外側に向かって圧縮可能としたことを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項５】
請求項４に記載のレーザ加工装置において、
前記フランジ部に、前記レンズホルダのねじ込み操作時に、前記筐体ブロックの取付孔の内周面に摺接する先端部を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項６】
請求項２乃至５のいずれか１項に記載のレーザ加工装置において、
前記集光レンズユニットと前記レンズホルダに、前記集光レンズユニットを前記レンズホルダにねじ込み可能とした第二のネジ部を設け、前記集光レンズユニットのねじ込みにともなって前記集光レンズユニットと前記レンズホルダとの間を密封するＯリングを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項７】
請求項６に記載のレーザ加工装置において、
前記第一のネジ部のネジピッチを，前記第二のネジ部のネジピッチより小さくしたことを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項８】
請求項４に記載のレーザ加工装置において、
前記筐体ブロックの内周面には、前記レンズホルダのフランジ部に当接して、該レンズホルダの最大ねじ込み位置を規定する段差部を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レーザ加工装置は、例えば一対のガルバノミラーによってレーザ光を走査し、例えばｆθレンズ等の集光レンズを介してワーク上に所定のスポット径となるようにレーザ光を照射する。
【０００３】
集光レンズを搭載したレーザ加工装置のヘッド部は、ワークの搬送位置の上方に位置する架台に設置されるが、その架台の寸法精度によっては集光レンズとワークとの間の距離（ワークディスタンス：ＷＤ）が集光レンズの焦点距離と合致しない。すると、ワークに対し所要の印字あるいは描画を施すことができなくなる。
【０００４】
また、集光レンズはワークに対向する対物面に、レーザ加工時に発生する塵やガスの焼き付きによる汚れが発生するため、定期的に交換する必要がある。ところが、集光レンズの寸法の個体差により、交換後の集光レンズの焦点距離にずれが生じることもある。
【０００５】
そこで、特許文献１には拡大レンズと収束レンズを備え、収束レンズをレーザ光の光軸方向に移動させて焦点距離を調節可能としたビームエキスパンダを備えたレーザ加工装置が開示されている。
【０００６】
また、特許文献２には、焦点調整用光学系と、位置補正回路により、複数の反射ミラーをガルバノメータを介して制御することにより、焦点位置調整を可能としたビームポジショナが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−１２５５１０号公報
【特許文献２】特開平５−２１４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に開示されたビームエキスパンダ機構を備えたレーザ加工装置では、ヘッド部内での光路長が長くなるため、ヘッド部が大型化する。また、集光レンズの位置を光軸方向に調整するレンズ位置調節装置が必要となり、ヘッド部の構造が複雑となるという問題点がある。
【０００９】
特許文献２に開始されたビームポジショナでは、焦点調整用光学系及び位置補正回路を設ける必要があるため、焦点位置調整機構が複雑となり、コストも上昇する。
この発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は簡便な構成でワークディスタンスの変化に対応し得るレーザ加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するレーザ加工装置は、レーザ光をワークに向かって出射するヘッド部を備え、前記ワークに対向する集光レンズユニットを該ヘッド部に着脱可能に取着したレーザ加工装置において、前記ヘッド部に固定された筐体ブロックの取付孔に対し、集光レンズユニットを取着した筒状のレンズホルダを前記レーザ光の光軸方向に位置調節可能とする位置調節装置を備えたことを特徴とする。
【００１１】
この構成により、ワークディスタンスに応じて、集光レンズユニットが光軸方向に位置調節可能となる。
また、上記のレーザ加工装置では、前記位置調節装置は、前記筐体ブロックに対し前記レンズホルダを前記レーザ光の光軸方向にねじ込み可能とした第一のネジ部を備えることが好ましい。
【００１２】
この構成により、第一のネジ部によりレンズホルダを光軸方向に位置調節可能となる。
また、上記のレーザ加工装置では、前記位置調節装置は、前記レンズホルダの先端部に螺合可能とした保持リングと、前記保持リングの螺合に基づいて、前記保持リングと前記レンズホルダとの間で圧縮されて筐体ブロックとレンズホルダとの間を密封するＯリングを備えることが好ましい。
【００１３】
この構成により、筐体ブロックとレンズホルダとの間からヘッド部内への塵等の侵入が阻止される。
また、上記のレーザ加工装置では、前記レンズホルダに、前記Ｏリング及び前記筐体ブロックの内周面に向かう斜面を備えたフランジ部を設け、前記保持リングのねじ込みにともなって、前記Ｏリングを前記斜面に沿って前記レンズホルダの径方向外側に向かって圧縮可能とすることが好ましい。
【００１４】
この構成により、Ｏリングがレンズホルダの径方向外側に向かって圧縮されるので、保持リングとＯリングとの摺動摩擦が軽減される。
また、上記のレーザ加工装置では、前記フランジ部に、前記レンズホルダのねじ込み操作時に、前記筐体ブロックの取付孔の内周面に摺接する先端部を備えることが好ましい。
【００１５】
この構成により、レンズホルダのねじ込み操作時に、集光レンズユニットの光軸のぶれが抑制される。
また、上記のレーザ加工装置では、前記集光レンズユニットと前記レンズホルダに、前記集光レンズユニットを前記レンズホルダにねじ込み可能とした第二のネジ部を設け、前記集光レンズユニットのねじ込みにともなって前記集光レンズユニットと前記レンズホルダとの間を密封するＯリングを備えることが好ましい。
【００１６】
この構成により、集光レンズユニットとレンズホルダとの間からヘッド部内への塵等の侵入が阻止される。
また、上記のレーザ加工装置では、前記第一のネジ部のネジピッチを，前記第二のネジ部のネジピッチより小さくすることが好ましい。
【００１７】
この構成により、筐体ブロックへのレンズホルダのねじ込み量の微調整が容易となる。
また、上記のレーザ加工装置では、前記筐体ブロックの内周面には、前記レンズホルダのフランジ部に当接して、該レンズホルダの最大ねじ込み位置を規定する段差部を備えることが好ましい。
【００１８】
この構成により、レンズホルダ及び集光レンズユニットと、ヘッド部内の内部機構との接触が阻止される。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のレーザ加工装置によれば、簡便な構成でワークディスタンスの変化に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】レーザ加工装置を示す斜視図。
【図２】レーザ加工装置の電気的構成を示すブロック図。
【図３】筐体ブロックに取着されたレンズホルダ及び集光レンズユニットを示す断面図。
【図４】筐体ブロックに取着される集光レンズユニット及びレンズホルダの分解断面図。
【図５】レンズホルダの組み立て手順を示す断面図。
【図６】レンズホルダの組み立て手順を示す断面図。
【図７】レンズホルダの螺入位置の確認手順を説明する説明図。
【図８】糸たる補正処理を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、レーザ加工装置の一実施形態を図面に従って説明する。図１に示すように、本実施形態のレーザマーキング装置（レーザ加工装置）１は、本体部２と、本体部２にファイバケーブル３及び電気ケーブル４ａを介して接続されたヘッド部５と、本体部２に電気ケーブル４ｂを介して接続されたコンソール６とを備えている。
【００２２】
図２に示すように、本体部２内には、装置全体の稼働状態を制御する制御部７とレーザ光Ｌを発振するレーザ制御部（レーザ発振器）８とが収容されている。制御部７は、レーザ制御部８と電気的に接続されて、レーザ制御部８の動作を制御する。
【００２３】
また、制御部７は本体部２内のメモリ９、コンソール６及びヘッド部５内のガルバノモータ１０（走査制御部）に接続されている。
コンソール６には、操作部１１及び表示部１２が設けられ、手動で制御部７にマーキングデータを入力可能である。
【００２４】
メモリ９には、制御部７の動作を設定するプログラムや印字データあるいは描画データや糸たる補正を行うための相関テーブルがあらかじめ格納されている。
そして、制御部７はメモリ９に設定されたプログラム、コンソール６から入力された設定値等に基づいてレーザ制御部８及びヘッド部５内のガルバノモータ１０に制御信号を出力する。レーザ制御部８は、入力された制御信号に基づいてレーザ光を生成して、ファイバケーブル３を介してヘッド部５内のレーザ出射部１３に出力する。レーザ出射部１３は、入力されたレーザ光をガルバノミラー１４に出射する。
【００２５】
また、ガルバノモータ１０は制御部７から入力された制御信号に基づいてガルバノミラー１４の動作を制御する。そして、レーザ出射部１３から出射されたレーザ光は、ガルバノミラー１４で集光レンズユニット１５に向かって反射され、集光レンズユニット１５からヘッド部５の下方に搬送されるワークＷの印字面Ｗａに向かって照射される。
【００２６】
印字面Ｗａには、ガルバノモータ１０により制御されるガルバノミラー１４の動作によりレーザ光Ｌが照射され、所要の印字あるいは描画が施される。
集光レンズユニット１５は、ヘッド部５の下面に保持されるレンズホルダ１６に取着され、レンズホルダ１６はヘッド部５に対しレーザ光Ｌの光軸方向にスライド可能に保持され、集光レンズユニット１５はレンズホルダ１６に着脱可能に保持されている。
【００２７】
ヘッド部５内において、レンズホルダ１６の近傍にはセンサ１７が配設されている。このセンサ１７は、レンズホルダ１６の基端縁の位置を検出し、その検出信号を制御部７に出力する。集光レンズユニット１５の基端縁の位置を検出することにより、集光レンズユニット１５の光軸方向のスライド位置を検出するようになっている。
【００２８】
次に、集光レンズユニット１５及びレンズホルダ１６とヘッド部５との取付構造を説明する。
図３及び図４に示すように、集光レンズユニット１５はレンズホルダ１６を介して筐体ブロック１８に取着される。
【００２９】
筐体ブロック１８はヘッド部５のケースに固定され、その中央部にはほぼ円筒状のレンズホルダ１６を螺入可能とした円形の取付孔１９が穿設されている。取付孔１９の中央部から下方は、段差部２０を介して径が拡大された第一の拡径部２１が形成されている。
【００３０】
そして、段差部２０より上方の取付孔１９の内周面とレンズホルダ１６の外周面には互いに螺合可能とした雌ネジ部２２と雄ネジ部２３が形成され、レンズホルダ１６を下方から取付孔１９に螺合可能となっている。
【００３１】
集光レンズユニット１５は、丸軸状のレンズユニットであり、レンズホルダ１６に螺入可能な径で形成されている。そして、レンズホルダ１６の内周面と集光レンズユニット１５の外周面には雌ネジ部２４と雄ネジ部２５が形成され、集光レンズユニット１５を下方からレンズホルダ１６に螺合可能となっている。
【００３２】
筐体ブロック１８とレンズホルダ１６との間の雌ネジ部２２と雄ネジ部２３のネジピッチは、レンズホルダ１６と集光レンズユニット１５との間の雌ネジ部２４と雄ネジ部２５より細かいピッチで形成され、筐体ブロック１８に対するレンズホルダ１６のねじ込み位置を微調整可能となっている。
【００３３】
レンズホルダ１６の下端部には、段差２６を経て拡径される第二の拡径部２７が形成され、集光レンズユニット１５の下端部すなわちワークＷに対向するレンズ面の周囲には段差２６に対向する第一のフランジ部２８が形成されている。
【００３４】
そして、集光レンズユニット１５をレンズホルダ１６に取着するとき、段差２６と第一のフランジ部２８との間にＯリング２９が配設され、そのＯリング２９が段差２６と第一のフランジ部２８との間で押し潰されて挟着されるまで、集光レンズユニット１５がレンズホルダ１６に螺入される。Ｏリング２９が段差２６と第一のフランジ部２８との間で押し潰されている状態では、レンズホルダ１６の内外が密封されるようになっている。
【００３５】
また、Ｏリング２９と第一のフランジ部２８との間には平板ワッシャ３６が介在されている。集光レンズユニット１５をレンズホルダ１６に螺入するとき、集光レンズユニット１５の回転操作時に、Ｏリング２９が捻じれないように、集光レンズユニット１５が平板ワッシャ３６に対し摺動するようになっている。
【００３６】
レンズホルダ１６の第二の拡径部２７の外周面には雄ネジ部３０が形成され、その雄ネジ部３０より上方位置には、筐体ブロック１８の拡径部内周面に向かって断面三角形状に突出する第二のフランジ部３１が形成されている。
【００３７】
そして、レンズホルダ１６を筐体ブロック１８に螺入するとき、レンズホルダ１６のスライド位置は、第二のフランジ部３１が段差部２０に当接するまでの範囲に規制されている。レンズホルダ１６の最大螺入位置を規制することにより、レンズホルダ１６及び集光レンズユニット１５とヘッド部５内のガルバノミラー機構等の内部部品との衝突が防止されるようになっている。
【００３８】
また、第二のフランジ部３１の先端部３１ａは、第一の拡径部２１の内周面にほぼ当接する位置まで突出され、レンズホルダ１６を筐体ブロック１８に螺入するとき、レンズホルダ１６の中心軸がぶれないようになっている。
【００３９】
レンズホルダ１６の雄ネジ部３０には、環状の保持リング３２を螺合可能となっている。保持リング３２の内周面には、雄ネジ部３０に螺合可能とした雌ネジ部３３が形成され、保持リング３２の肉厚は、筐体ブロック１８の拡径部の内周面とレンズホルダ１６の雄ネジ部３０との間の隙間に挿通し得る肉厚で形成されている。
【００４０】
そして、保持リング３２と第二のフランジ部３１との間にＯリング３４を配設した状態で、Ｏリング３４が保持リング３２と第二のフランジ部３１との間で押し潰されるまで保持リング３２を螺入する。すると、Ｏリング３４の反発力により、保持リング３２の雌ネジ部３３には下方への力が作用し、レンズホルダ１６の雄ネジ部２３には上方への力が作用する。
【００４１】
この結果、レンズホルダ１６は筐体ブロック１８に回転不能に固定され、保持リング３２はレンズホルダ１６に回転不能に保持されるので、レンズホルダ１６が筐体ブロック１８に固定された状態に保持される。
【００４２】
図７に示すように、保持リング３２の外周面には、筐体ブロック１８へのレンズホルダ１６の螺入位置を目視にて確認するための目盛３５が形成されている。保持リング３２をレンズホルダ１６の下端部に螺合してレンズホルダ１６を固定した状態で目盛３５を目視することにより、筐体ブロック１８への保持リング３２の没入位置すなわちレンズホルダ１６の螺入位置を確認可能である。
【００４３】
次に、集光レンズユニット１５、レンズホルダ１６、保持リング３２及び筐体ブロック１８の組み立て手順を説明する。
図５に示すように、まず集光レンズユニット１５をレンズホルダ１６に螺入する。この時、第一のフランジ部２８と段差２６との間でＯリング２９が押し潰されるまで集光レンズユニット１５をレンズホルダ１６にねじ込む。
【００４４】
図６に示すように、次いでレンズホルダ１６を筐体ブロック１８に螺入する。螺入位置は、ワークＷ上にレーザ光Ｌで所要の印字が行われるように、ワークＷとの距離（ワークディスタンス）ＷＤに応じて調整する。そして、図３に示すように、保持リング３２をレンズホルダ１６に螺合して、Ｏリング３４が押し潰されるまでねじ込むと、レンズブロックの組み立てが完了する。
【００４５】
図８は、集光レンズユニット１５の位置を調整した後の糸たる補正処理動作を示す。糸たる補正処理は、ガルバノモータ１０でレーザ光ＬをワークＷの印字面Ｗａで走査する場合、集光レンズユニット１５の固有の走査歪により印字可能な最大印字エリアの周囲における糸巻状の凹みあるいは樽状のふくらみが直線となるように補正するものである。
【００４６】
上記のような集光レンズユニット１５の位置調節後に、レンズホルダ１６の位置情報が取得される（ステップ１）。その位置情報は、センサ１７の検出信号に基づいて制御部７で取得され、あるいは目盛３５の目視により、コンソール６から手動で制御部７に入力される（ステップ２）。
【００４７】
次いで、レンズホルダ１６の位置情報に基づいて、メモリ９に格納されている相関テーブルから糸たる補正値が読み出され（ステップ３）、その補正値に基づいた制御信号がガルバノモータ１０に出力される（ステップ４）。
【００４８】
そして、ガルバノモータ１０で制御されるガルバノミラー１４により、ワークＷの印字面Ｗａ上に糸たる補正された印字エリアで印字あるいは描画が行われる。
次に、上記のように構成されたレーザ加工装置の作用を説明する。
【００４９】
ワークＷへのレーザ加工処理に先立って、架台にヘッド部５が設置されると、ヘッド部の集光レンズユニット１５の焦点がワークＷの印字面Ｗａに合致するように集光レンズユニット１５の位置がレーザ光Ｌの光軸方向に調節される。
【００５０】
集光レンズユニット１５の位置調節は、集光レンズユニット１５を取着したレンズホルダ１６の筐体ブロック１８へのねじ込み位置を調節することにより調節される。レンズホルダ１６を筐体ブロック１８に螺合するネジは、例えば０．１ミリのピッチを有する細かいネジで形成され、レンズホルダ１６のねじ込み位置が微細に調整される。
【００５１】
レンズホルダ１６を筐体ブロック１８にねじ込むとき、第二のフランジ部３１の先端部３１ａが筐体ブロック１８の第一の拡径部２１の内周面に摺接しながら回転するので、レンズホルダ１６の回転中心、すなわち集光レンズユニット１５の中心軸の径方向へのぶれが生じない。
【００５２】
レンズホルダ１６のねじ込み位置を調整した後、保持リング３２をレンズホルダ１６に螺合すると、レンズホルダ１６が筐体ブロック１８に固定された状態で保持される。この時、Ｏリング３４が第二のフランジ部３１の斜面３１ｂと筐体ブロック１８の内周面との間の断面三角形状の隙間内で押し潰される。
【００５３】
すると、レンズホルダ１６に図３において上方への付勢力が作用するため、雌ネジ部２２と雄ネジ部２３との摩擦が増大して、筐体ブロック１８に対するレンズホルダ１６の回転が阻止される。
【００５４】
また、保持リング３２には押し潰されたＯリングにより、図３において下方への付勢力が作用するため、レンズホルダ１６に対する回転が阻止される。この結果、レンズホルダ１６が筐体ブロック１８に対し緩むことなく保持され、集光レンズユニット１５がレーザ光Ｌの光軸方向に位置決めされた状態で保持される。
【００５５】
レンズホルダ１６を筐体ブロック１８に保持した後、取付位置が適正か否かを確認するために、ヘッド部５の下方にワークＷを搬送し、印字面Ｗａに実際にテストマークを印字する。そして、そのテストマークの線幅が正常であるか否かを目視で確認し、適正でない場合には、保持リング３２を緩め、レンズホルダ１６のねじ込み位置を再調整する。
【００５６】
上記のようなレーザ加工装置では、次に示す効果を得ることができる。
（１）架台に固定されるヘッド部５の筐体ブロック１８に対し、集光レンズユニット１５及びレンズホルダ１６をレーザ光Ｌの光軸方向にスライドさせて、集光レンズユニット１５の焦点位置を調整することができる。従って、ビームエキスパンダ等の光学的焦点距離調整装置を必要としないので、ヘッド部５を小型化することができるとともに、部品点数を削減して、コストの削減を図ることができる。
【００５７】
（２）集光レンズユニット１５を取着したレンズホルダ１６をＯリング３４の付勢力により、筐体ブロック１８に安定して保持することができる。
（３）レンズホルダ１６を筐体ブロック１８ねじ込むためのねじピッチを小さくしたので、集光レンズユニット１５の光軸のぶれを抑制することができる。
【００５８】
（４）Ｏリング２９，３４により、レンズブロック周辺からヘッド部５内への塵や、レーザ加工時に発生するガス等の侵入を阻止することができる。
（５）保持リング３２をレンズホルダ１６の先端部に螺合して、Ｏリング３４を押し潰すことにより、Ｏリング３４の圧縮に伴う反発力を利用して、レンズホルダ１６を筐体ブロック１８に安定して保持することができる。
【００５９】
（６）レーザ光Ｌの光軸方向に沿った付勢力でレンズホルダ１６を筐体ブロック１８に保持することができるので、レンズホルダ１６の保持動作に起因する光軸のぶれが生じない。
【００６０】
（７）保持リング３２をねじ込むとき，Ｏリング３４が第二のフランジ部３１の斜面３１ｂに沿ってレンズホルダ１６の径方向に押し潰される。このため、保持リング３２のねじ込み操作時にＯリング３４と保持リング３２との摺動摩擦を軽減することができるので、保持リング３２のねじ込み操作を軽微な操作力で行うことができる。
【００６１】
（８）レンズホルダ１６の第二のフランジ部３１の先端部３１ａを、筐体ブロック１８の取付孔１９の内周面に摺接させながら、レンズホルダ１６を筐体ブロック１８にねじ込むことができる。従って、レンズホルダ１６のねじ込み操作時に、集光レンズユニット１５の光軸のぶれの発生を抑制することができる。
【００６２】
（９）筐体ブロック１８の段差部２０により、レンズホルダ１６の最大ねじ込み位置を設定することができる。従って、レンズホルダ１６のねじ込み過多によるヘッド部５内のガルバノミラー１４等の機構の損傷を防止することができる。
【００６３】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・レンズホルダ１６と筐体ブロック１８との間のねじピッチと、集光レンズユニット１５とレンズホルダ１６との間のねじピッチとを同一としてもよい。
【００６４】
・レンズホルダを筐体ブロックに対し回転させることなく光軸方向に出没可能とするスライド装置を備えてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
５…ヘッド部、１５…集光レンズユニット、１６…レンズホルダ、１８…筐体ブロック、１９…取付孔、２０…段差部、２２，２３…位置調節装置（第一のネジ部、雌ネジ部、雄ネジ部）、２４，２５…第二のネジ部（雌ネジ部、雄ネジ部）、２８…フランジ部、２９，３４…Ｏリング、３２…保持リング、Ｗ…ワーク、Ｌ…レーザ光。
【図１】
2018069302.tif 000003
【図２】
2018069302.tif 000004
【図３】
2018069302.tif 000005
【図４】
2018069302.tif 000006
【図５】
2018069302.tif 000007
【図６】
2018069302.tif 000008
【図７】
2018069302.tif 000009
【図８】
2018069302.tif 000010