(57)【要約】【課題】複数のワイヤーグリッド部を有するとともに、容易に製造できるワイヤーグリッドを提供する。【解決手段】ワイヤーグリッド１は、入射波としてのテラヘルツ波ＴＨの偏光を制御する。ワイヤーグリッド１は、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と、第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２と、一対のスペーサー９とを備える。第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１は複数の第１ワイヤー５を含む。第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２は複数の第２ワイヤー７を含む。一対のスペーサー９は、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２との間に配置される。一対のスペーサー９は、一方向Ｄ２に沿って延びており、一方向Ｄ２に交差する方向Ｄ１に沿って互いに間隔をあけて配置される。【選択図】図１
2018036517.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御するワイヤーグリッドであって、
複数の第１ワイヤーを含む第１ワイヤーグリッド部と、
複数の第２ワイヤーを含む第２ワイヤーグリッド部と、
前記第１ワイヤーグリッド部と前記第２ワイヤーグリッド部との間に配置される一対のスペーサーと
を備え、
前記複数の第１ワイヤーは、前記テラヘルツ波の波長よりも短い所定間隔で一方向に沿って配列され、
前記複数の第２ワイヤーは、前記所定間隔で前記一方向に沿って配列され、
前記第１ワイヤーと前記第２ワイヤーとは交互に位置し、
前記一対のスペーサーは、前記一方向に沿って延びており、前記一方向に交差する方向に沿って互いに間隔をあけて配置される、ワイヤーグリッド。
【請求項２】
前記スペーサーの各々は、線状形状又は帯状形状を有する、請求項１に記載のワイヤーグリッド。
【請求項３】
前記スペーサーの各々は、金属又は合成樹脂である、請求項１又は請求項２に記載のワイヤーグリッド。
【請求項４】
前記スペーサーの各々の厚みは、前記第１ワイヤーの直径の２倍以下である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のワイヤーグリッド。
【請求項５】
入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御するワイヤーグリッドの製造方法であって、
第１枠体を準備する第１準備工程と、
複数の第１ワイヤーを含む第１ワイヤーグリッド部と複数の第２ワイヤーを含む第２ワイヤーグリッド部との間に、一対の第１スペーサーが配置されるように、前記第１ワイヤーグリッド部と前記第２ワイヤーグリッド部とを前記第１枠体に形成する形成工程と
を含み、
前記形成工程では、
前記第１ワイヤーと前記第２ワイヤーとが交互に位置するように、前記複数の第１ワイヤーを、前記テラヘルツ波の波長よりも短い所定間隔で一方向に沿って配列するとともに、前記複数の第２ワイヤーを、前記所定間隔で前記一方向に沿って配列し、
前記一対の第１スペーサーを、前記一方向に沿って延びるように、前記一方向に交差する方向に沿って互いに間隔をあけて配置する、ワイヤーグリッドの製造方法。
【請求項６】
前記形成工程は、
前記第１枠体にワイヤー材を複数回巻回して、前記第１ワイヤーグリッド部及び前記第２ワイヤーグリッド部を形成する巻回工程を含み、
前記巻回工程では、
前記ワイヤー材が、前記一対の第１スペーサーに交差し、
前記ワイヤー材のうち前記一方向に沿って配列するワイヤー部分が前記一対の第１スペーサーに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合う前記ワイヤー部分の間に前記一対の第１スペーサーを通し、
複数の前記ワイヤー部分のうち、前記一方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第１ワイヤーを構成し、
前記複数のワイヤー部分のうち、前記他方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第２ワイヤーを構成する、請求項５に記載のワイヤーグリッドの製造方法。
【請求項７】
第２枠体を準備する第２準備工程と、
前記第１枠体と前記第２枠体とを積層して、積層体を形成する積層工程と
をさらに含み、
前記形成工程は、
前記積層体にワイヤー材を複数回巻回して、前記第１ワイヤーグリッド部及び前記第２ワイヤーグリッド部を前記第１枠体に形成するとともに、第３ワイヤーグリッド及び第４ワイヤーグリッドを前記第２枠体に形成する巻回工程を含み、
前記巻回工程では、
前記ワイヤー材が、前記第１枠体に配置される前記一対の第１スペーサーに交差し、
前記ワイヤー材のうち前記一方向に沿って前記第１枠体に配列するワイヤー部分が前記一対の第１スペーサーに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合う前記ワイヤー部分の間に前記一対の第１スペーサーを通し、
前記ワイヤー材が、前記第２枠体に配置される一対の第２スペーサーに交差し、
前記ワイヤー材のうち前記一方向に沿って前記第２枠体に配列するワイヤー部分が前記一対の第２スペーサーに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合う前記ワイヤー部分の間に前記一対の第２スペーサーを通し、
前記第１枠体に配列する複数の前記ワイヤー部分のうち、前記一方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第１ワイヤーを構成し、
前記第１枠体に配列する前記複数のワイヤー部分のうち、前記他方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第２ワイヤーを構成する、請求項５に記載のワイヤーグリッドの製造方法。
【請求項８】
前記形成工程は、
前記第１枠体に第１ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第１ワイヤーグリッド部を形成する第１巻回工程と、
前記一対の第１スペーサーが前記第１ワイヤーグリッド部の一対の面のうち一方面に接触するように、前記一対の第１スペーサーを前記第１枠体に固定する固定工程と、
第２ワイヤー材が前記一対の第１スペーサーに接触しつつ、前記第１ワイヤー材と前記第２ワイヤー材とが交互に位置するように、前記第１枠体に前記第２ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第２ワイヤーグリッド部を形成する第２巻回工程と
を含み、
前記第１ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第１ワイヤーを構成し、
前記第２ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第２ワイヤーを構成する、請求項５に記載のワイヤーグリッドの製造方法。
【請求項９】
第２枠体を準備する第２準備工程と、
前記第１枠体と前記第２枠体とを積層して、積層体を形成する積層工程と
をさらに含み、
前記形成工程は、
前記積層体に第１ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第１枠体に前記第１ワイヤーグリッド部を形成するとともに、前記第２枠体に第３ワイヤーグリッド部を形成する第１巻回工程と、
前記一対の第１スペーサーが前記第１ワイヤーグリッド部の一対の面のうち一方面に接触するように、前記一対の第１スペーサーを前記第１枠体に固定するとともに、一対の第２スペーサーが前記第３ワイヤーグリッド部の一対の面のうち一方面に接触するように、前記一対の第２スペーサーを前記第２枠体に固定する固定工程と、
第２ワイヤー材が前記一対の第１スペーサーと前記一対の第２スペーサーとに接触しつつ、前記第１ワイヤー材と前記第２ワイヤー材とが交互に位置するように、前記積層体に前記第２ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第１枠体に前記第２ワイヤーグリッド部を形成するとともに、前記第２枠体に第４ワイヤーグリッド部を形成する第２巻回工程と
を含み、
前記第１ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記第１枠体に前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第１ワイヤーを構成し、
前記第２ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記第１枠体に前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第２ワイヤーを構成する、請求項５に記載のワイヤーグリッドの製造方法。
【請求項１０】
前記第１スペーサーの各々は、線状形状又は帯状形状を有する、請求項５から請求項９のいずれか１項に記載のワイヤーグリッドの製造方法。
【請求項１１】
前記第１スペーサーの各々は、金属又は合成樹脂である、請求項５から請求項１０のいずれか１項に記載のワイヤーグリッドの製造方法。
【請求項１２】
前記第１スペーサーの各々の厚みは、前記第１ワイヤーの直径の２倍以下である、請求項５から請求項１１のいずれか１項に記載のワイヤーグリッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御するワイヤーグリッド、及びワイヤーグリッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載された積層型ワイヤーグリッドは、第１ワイヤーグリッド部と、第１ワイヤーグリッド部に積層された第２ワイヤーグリッド部とを備える。第１ワイヤーグリッド部は、互いに平行に並んだ複数の第１ワイヤーを第１枠体に配置することによって形成される。一方、第２ワイヤーグリッド部は、互いに平行に並んだ複数の第２ワイヤーを第２枠体に配置することによって形成される。従って、第１ワイヤーグリッド部と第２ワイヤーグリッド部とは、別部材として形成される。そして、第１ワイヤーと第２ワイヤーとが接触することなく所定間隔を有するように、第１ワイヤーグリッド部と第２ワイヤーグリッド部とが位置決めされる。さらに、位置決め後に、第１ワイヤーグリッド部と第２ワイヤーグリッド部とが固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−７４８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、複数のワイヤーグリッド部を有するとともに、容易に製造できるワイヤーグリッド、及びワイヤーグリッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一局面によれば、ワイヤーグリッドは、入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御する。ワイヤーグリッドは、第１ワイヤーグリッド部と、第２ワイヤーグリッド部と、一対のスペーサーとを備える。第１ワイヤーグリッド部は、複数の第１ワイヤーを含む。第２ワイヤーグリッド部は、複数の第２ワイヤーを含む。一対のスペーサーは、前記第１ワイヤーグリッド部と前記第２ワイヤーグリッド部との間に配置される。前記複数の第１ワイヤーは、前記テラヘルツ波の波長よりも短い所定間隔で一方向に沿って配列される。前記複数の第２ワイヤーは、前記所定間隔で前記一方向に沿って配列される。前記第１ワイヤーと前記第２ワイヤーとは交互に位置する。前記一対のスペーサーは、前記一方向に沿って延びており、前記一方向に交差する方向に沿って互いに間隔をあけて配置される。
【０００６】
本発明のワイヤーグリッドにおいて、前記スペーサーの各々は、線状形状又は帯状形状を有することが好ましい。
【０００７】
本発明のワイヤーグリッドにおいて、前記スペーサーの各々は、金属又は合成樹脂であることが好ましい。
【０００８】
本発明のワイヤーグリッドにおいて、前記スペーサーの各々の厚みは、前記第１ワイヤーの直径の２倍以下であることが好ましい。
【０００９】
本発明の他の局面によれば、ワイヤーグリッドの製造方法は、入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御するワイヤーグリッドを製造する。ワイヤーグリッドの製造方法は、第１枠体を準備する第１準備工程と、複数の第１ワイヤーを含む第１ワイヤーグリッド部と複数の第２ワイヤーを含む第２ワイヤーグリッド部との間に、一対の第１スペーサーが配置されるように、前記第１ワイヤーグリッド部と前記第２ワイヤーグリッド部とを前記第１枠体に形成する形成工程とを含む。前記形成工程では、前記第１ワイヤーと前記第２ワイヤーとが交互に位置するように、前記複数の第１ワイヤーを、前記テラヘルツ波の波長よりも短い所定間隔で一方向に沿って配列するとともに、前記複数の第２ワイヤーを、前記所定間隔で前記一方向に沿って配列し、前記一対の第１スペーサーを、前記一方向に沿って延びるように、前記一方向に交差する方向に沿って互いに間隔をあけて配置する。
【００１０】
本発明のワイヤーグリッドの製造方法において、前記形成工程は、前記第１枠体にワイヤー材を複数回巻回して、前記第１ワイヤーグリッド部及び前記第２ワイヤーグリッド部を形成する巻回工程を含むことが好ましい。前記巻回工程では、前記ワイヤー材が、前記一対の第１スペーサーに交差し、前記ワイヤー材のうち前記一方向に沿って配列するワイヤー部分が前記一対の第１スペーサーに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合う前記ワイヤー部分の間に前記一対の第１スペーサーを通すことが好ましい。複数の前記ワイヤー部分のうち、前記一方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第１ワイヤーを構成することが好ましい。前記複数のワイヤー部分のうち、前記他方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第２ワイヤーを構成することが好ましい。
【００１１】
本発明のワイヤーグリッドの製造方法は、第２枠体を準備する第２準備工程と、前記第１枠体と前記第２枠体とを積層して、積層体を形成する積層工程とをさらに含むことが好ましい。前記形成工程は、前記積層体にワイヤー材を複数回巻回して、前記第１ワイヤーグリッド部及び前記第２ワイヤーグリッド部を前記第１枠体に形成するとともに、第３ワイヤーグリッド及び第４ワイヤーグリッドを前記第２枠体に形成する巻回工程を含むことが好ましい。前記巻回工程では、前記ワイヤー材が、前記第１枠体に配置される前記一対の第１スペーサーに交差し、前記ワイヤー材のうち前記一方向に沿って前記第１枠体に配列するワイヤー部分が前記一対の第１スペーサーに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合う前記ワイヤー部分の間に前記一対の第１スペーサーを通し、前記ワイヤー材が、前記第２枠体に配置される一対の第２スペーサーに交差し、前記ワイヤー材のうち前記一方向に沿って前記第２枠体に配列するワイヤー部分が前記一対の第２スペーサーに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合う前記ワイヤー部分の間に前記一対の第２スペーサーを通すことが好ましい。前記第１枠体に配列する複数の前記ワイヤー部分のうち、前記一方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第１ワイヤーを構成することが好ましい。前記第１枠体に配列する前記複数のワイヤー部分のうち、前記他方側に位置する複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第２ワイヤーを構成することが好ましい。
【００１２】
本発明のワイヤーグリッドの製造方法において、前記形成工程は、前記第１枠体に第１ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第１ワイヤーグリッド部を形成する第１巻回工程と、前記一対の第１スペーサーが前記第１ワイヤーグリッド部の一対の面のうち一方面に接触するように、前記一対の第１スペーサーを前記第１枠体に固定する固定工程と、第２ワイヤー材が前記一対の第１スペーサーに接触しつつ、前記第１ワイヤー材と前記第２ワイヤー材とが交互に位置するように、前記第１枠体に前記第２ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第２ワイヤーグリッド部を形成する第２巻回工程とを含むことが好ましい。前記第１ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第１ワイヤーを構成することが好ましい。前記第２ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第２ワイヤーを構成することが好ましい。
【００１３】
本発明のワイヤーグリッドの製造方法は、第２枠体を準備する第２準備工程と、前記第１枠体と前記第２枠体とを積層して、積層体を形成する積層工程とをさらに含むことが好ましい。前記形成工程は、前記積層体に第１ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第１枠体に前記第１ワイヤーグリッド部を形成するとともに、前記第２枠体に第３ワイヤーグリッド部を形成する第１巻回工程と、前記一対の第１スペーサーが前記第１ワイヤーグリッド部の一対の面のうち一方面に接触するように、前記一対の第１スペーサーを前記第１枠体に固定するとともに、一対の第２スペーサーが前記第３ワイヤーグリッド部の一対の面のうち一方面に接触するように、前記一対の第２スペーサーを前記第２枠体に固定する固定工程と、第２ワイヤー材が前記一対の第１スペーサーと前記一対の第２スペーサーとに接触しつつ、前記第１ワイヤー材と前記第２ワイヤー材とが交互に位置するように、前記積層体に前記第２ワイヤー材を前記所定間隔で複数回巻回して、前記第１枠体に前記第２ワイヤーグリッド部を形成するとともに、前記第２枠体に第４ワイヤーグリッド部を形成する第２巻回工程とを含むことが好ましい。前記第１ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記第１枠体に前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第１ワイヤーを構成することが好ましい。前記第２ワイヤー材のうち複数回巻回されて前記第１枠体に前記所定間隔で並んだ複数のワイヤー部分が、それぞれ、前記複数の第２ワイヤーを構成することが好ましい。
【００１４】
本発明のワイヤーグリッドの製造方法において、前記第１スペーサーの各々は、線状形状又は帯状形状を有することが好ましい。
【００１５】
本発明のワイヤーグリッドの製造方法において、前記第１スペーサーの各々は、金属又は合成樹脂であることが好ましい。
【００１６】
本発明のワイヤーグリッドの製造方法において、前記第１スペーサーの各々の厚みは、前記第１ワイヤーの直径の２倍以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、複数のワイヤーグリッド部を有するワイヤーグリッドを容易に製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態１に係るワイヤーグリッドを示す平面図である。
【図２】実施形態１に係る第１ワイヤーグリッド部と第２ワイヤーグリッド部とスペーサーとを示す斜視図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図４】本発明の実施形態２に係るワイヤーグリッドの製造方法を示すフローチャートである。
【図５】（ａ）〜（ｃ）本発明の実施形態３に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）実施形態３に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）本発明の実施形態４に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。
【図８】（ａ）（ｂ）実施形態４に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。
【図９】（ａ）（ｂ）実施形態４に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）本発明の実施形態５に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。
【図１１】（ａ）（ｂ）実施形態５に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。
【図１２】（ａ）（ｂ）本発明の実施形態６に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。
【図１３】（ａ）（ｂ）実施形態６に係るワイヤーグリッドの製造方法を示す図である。
【図１４】本発明の実施形態７に係るワイヤーグリッドを示す断面図である。
【図１５】本発明の実施例１、本発明の実施例２、及び比較例に係るＴＥ波の透過率と周波数との関係を示す図である。
【図１６】本発明の実施例１、本発明の実施例２、及び比較例に係るＴＭ波の透過率と周波数との関係を示す図である。
【図１７】本発明の実施例３に係るワイヤーグリッドを示す写真である。
【図１８】（ａ）本発明の実施例４に係るワイヤーグリッドを示す写真である。（ｂ）実施例４に係るワイヤーグリッドを示す拡大写真である。
【図１９】実施例４に係るワイヤーグリッドの透過率と周波数との関係を示す図である。
【図２０】本発明の実施例５に係るワイヤーグリッドの消光比と周波数との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図中、同一または相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。
【００２０】
（実施形態１）
図１〜図３を参照して、本発明の実施形態１に係るワイヤーグリッド１について説明する。図１は、ワイヤーグリッド１を示す平面図である。図１に示すように、ワイヤーグリッド１は、入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御する。例えば、ワイヤーグリッド１は、テラヘルツ波領域の偏光成分を分離する。テラヘルツ波とは、例えば、０．１テラヘルツ（ＴＨｚ）以上１０テラヘルツ（ＴＨｚ）以下の電磁波のことである。
【００２１】
ワイヤーグリッド１は、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と、第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２と、枠体３と、一対のスペーサー９と、一対の第１固定具１１と、一対の第２固定具１２と、一対の固定具１６とを備える。第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１は、複数の第１ワイヤー５を含む。第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２は、複数の第２ワイヤー７を含む。第１固定具１１は、押え板１１ａと、２個のビス１１ｂとを含む。第２固定具１２は、押え板１２ａと、２個のビス１２ｂとを含む。固定具１６は、押え板１７と、一対のビス１９とを含む。
【００２２】
複数の第１ワイヤー５は、第１方向Ｄ１（一方向に交差する方向）に沿って延びており、第２方向Ｄ２（一方向）に沿って配列される。複数の第１ワイヤー５は略平行に配列される。複数の第１ワイヤー５は、枠体３に張設される。第１ワイヤー５は、金属（例えば、タングステン）である。実施形態１では、第１方向Ｄ１は第２方向Ｄ２に直交する。
【００２３】
複数の第２ワイヤー７は、第１方向Ｄ１に沿って延びており、第２方向Ｄ２に沿って配列される。複数の第２ワイヤー７は略平行に配列される。複数の第２ワイヤー７は、枠体３に張設される。第２ワイヤー７は、金属（例えば、タングステン）である。
【００２４】
第１ワイヤー５と第２ワイヤー７とは交互に位置している。第１ワイヤー５と第２ワイヤー７とは略平行に配置される。
【００２５】
なお、図面を見やすくするために、第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７の合計数を実際の数（例えば、数百）よりも少なくしてある。また、同様の理由により、第１ワイヤー５を黒色で示し、第２ワイヤー７をドットハッチングで示している。
【００２６】
枠体３は略矩形形状を有する。枠体３は、略矩形形状の開口４を有する。枠体３は、例えば、金属（例えば、アルミニウム）である。
【００２７】
一対の固定具１６のうちの一方の固定具１６は、複数の第１ワイヤー５の一端と複数の第２ワイヤー７の一端とを、枠体３に固定する。具体的には、押え板１７と枠体３とが、複数の第１ワイヤー５の一端と複数の第２ワイヤー７の一端と挟む。そして、押え板１７を介して枠体３にビス１９を捻じ込むことによって、押え板１７が複数の第１ワイヤー５の一端と複数の第２ワイヤー７の一端とを押圧する。
【００２８】
一対の固定具１６のうちの他方の固定具１６は、一方の固定具１６と同様にして、複数の第１ワイヤー５の他端と複数の第２ワイヤー７の他端とを、枠体３に固定する。
【００２９】
一対のスペーサー９は、第２方向Ｄ２に沿って延びており、第１方向Ｄ１に沿って互いに間隔をあけて配置される。従って、一対のスペーサー９は、テラヘルツ波ＴＨの光路に位置しない。一対のスペーサー９は略平行に配置される。一対のスペーサー９は、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２との間に配置される。一対のスペーサー９は、枠体３に張設される。
【００３０】
スペーサー９の各々は、例えば、略線状形状又は略帯状形状を有する。スペーサー９の各々は、例えば、金属、合成樹脂、又は糸である。金属は、例えば、タングステン又はアルミニウムである。合成樹脂は、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、又はポリメチルペンテンである。糸は、例えば、繊維（例えば、天然繊維又は化学繊維）により形成される。
【００３１】
例えば、スペーサー９は、略線状形状を有する場合、金属（例えば、タングステン）であることが好ましい。例えば、スペーサー９は、略線状形状を有する場合、ワイヤー（例えば、金属製ワイヤー）であることが好ましい。例えば、スペーサー９は、略帯状形状を有する場合、金属箔又は合成樹脂フィルムであることが好ましい。金属箔は、例えば、アルミ箔である。合成樹脂フィルムは、例えば、ラップフィルム（例えば、食品用ラップフィルム）である。
【００３２】
第１固定具１１は、一対のスペーサー９の一端を枠体３に固定する。具体的には、押え板１１ａと枠体３とが、一対のスペーサー９の一端を挟む。そして、押え板１１ａを介して枠体３にビス１１ｂを捻じ込むことによって、押え板１１ａが一対のスペーサー９の一端を押圧する。
【００３３】
第２固定具１２は、一対のスペーサー９の他端を枠体３に固定する。具体的には、押え板１２ａと枠体３とが、一対のスペーサー９の他端を挟む。そして、押え板１２ａを介して枠体３にビス１２ｂを捻じ込むことによって、押え板１２ａが一対のスペーサー９の他端を押圧する。
【００３４】
次に、図２を参照して、スペーサー９について説明する。図２は、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２とスペーサー９とを示す斜視図である。図２に示すように、スペーサー９は、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２との間に配置される。スペーサー９を配置することによって、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２との間の距離を一定に保つことができる。その結果、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７とが接触することを回避できる。
【００３５】
次に、図３を参照して、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７とスペーサー９との関係について説明する。図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。図３に示すように、複数の第１ワイヤー５は、第１所定間隔ｄ（所定間隔）で第２方向Ｄ２に沿って配列される。第１所定間隔ｄは第２方向Ｄ２に沿った間隔を示す。複数の第２ワイヤー７は、第１所定間隔ｄで第２方向Ｄ２に沿って配列される。
【００３６】
第１所定間隔ｄは、テラヘルツ波ＴＨの波長よりも短い。従って、ワイヤーグリッド１は、テラヘルツ波ＴＨのうち、第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７に垂直な偏光成分（以下、「ＴＥ波」と記載する。）を透過させる。つまり、ＴＥ波の電場は、第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７に垂直である。一方、ワイヤーグリッド１は、テラヘルツ波ＴＨのうち、第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７に平行な偏光成分（以下、「ＴＭ波」と記載する。）を透過させない。つまり、ＴＭ波の電場は、第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７に平行である。ワイヤーグリッド１は、金属（第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７）と自由空間（開口４）とで構成されるフリースタンド型であるため、基板材料による電磁波の多重反射及び吸収がほとんど無い。従って、ワイヤーグリッド１は、例えば、効率的な偏光子として機能する。
【００３７】
第２ワイヤー７は、第１ワイヤー５に対して、第２方向Ｄ２に沿ってシフト量ｐだけシフトしている。第１ワイヤー５と第２ワイヤー７とは、第２所定間隔Ｌをあけて配置される。第２所定間隔Ｌは、第３方向Ｄ３に沿った間隔を示す。第３方向Ｄ３は、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２（図２）とに直交する。第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７の各々は直径Ｄを有する。スペーサー９は厚みｔを有する。スペーサー９が略線状形状を有する場合は、厚みｔは、スペーサー９の直径を示す。スペーサー９が略帯状形状を有する場合は、厚みｔは、スペーサー９の一対の主面間の距離を示す。
【００３８】
スペーサー９の厚みｔ及び材質を調整することによって、シフト量ｐと、第１所定間隔ｄと、第２所定間隔Ｌとを容易に調整できる。
【００３９】
例えば、ｐ＝０．５×ｄ、であることが好ましい。例えば、Ｌ＝Ｄ、であることが好ましい。ただし、Ｌ＜Ｄであってもよいし、Ｌ＞Ｄであってもよい。例えば、Ｄ／ｄ＝０．５、であることが好ましい。例えば、厚みｔは、第１ワイヤー５の直径Ｄの２倍以下であることが好ましい（ｔ≦２×Ｄ）。例えば、厚みｔは、第１ワイヤー５の直径Ｄの１倍以下であることが更に好ましい（ｔ≦１×Ｄ）。例えば、厚みｔは、第１ワイヤー５の直径Ｄよりも小さいことが更に好ましい（ｔ＜Ｄ）。例えば、厚みｔは、第１ワイヤー５の直径Ｄの（√３−１）倍（＝約０．７倍）以下であることが更に好ましい（ｔ≦（√３−１）×Ｄ）。なぜなら、シミュレーションの結果、第２所定間隔Ｌが第１ワイヤー５の直径Ｄの√３倍以下で、偏光性能が飛躍的に向上するからである。例えば、厚みｔは、第１ワイヤー５の直径Ｄの０．５倍以下であることが更に好ましい（ｔ≦０．５×Ｄ）。例えば、ｐ＝１００μｍ、ｄ＝２００μｍ、Ｌ＝１００μｍ、Ｄ＝１００μｍ、ｔ＝５０μｍ、である。
【００４０】
図２及び図３の例では、スペーサー９が、略波状になって、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７との間に交互に配置されている。例えば、後記の実施形態３及び実施形態４では、スペーサー９が、略波状になって、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７との間に交互に配置される。ただし、スペーサー９が、略平坦状になって、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７との間に配置されていてもよい。例えば、後記の実施形態５及び実施形態６では、スペーサー９が、略平坦状になって、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７との間に配置される。
【００４１】
以上、図１〜図３を参照して説明したように、実施形態１によれば、スペーサー９を第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２との間に配置している。従って、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７とが接触することを回避できるため、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７とが接触しないような緻密なアライメントが緩和される。また、スペーサー９をガイドとしてワイヤー材を巻回できるため、シフト量ｐ及び第２所定間隔Ｌを有する第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７を容易に形成できる。さらに、スペーサー９の厚みｔ及び材質を調整することによって、シフト量ｐ及び第２所定間隔Ｌを容易に調整できる。その結果、スペーサー９を設けない場合と比較して、第１ワイヤー５に対する第２ワイヤー７の位置決めが容易になって、ワイヤーグリッド１を容易に製造できる。換言すれば、実施形態１に係るワイヤーグリッドは、複数のワイヤーグリッド部（第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１及び第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２）を有するとともに、容易に製造できる。
【００４２】
また、実施形態１によれば、スペーサー９を設けることによって、１つの枠体３に、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２とを形成できる。つまり、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２と一体してワイヤーグリッド１を形成できる。従って、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２とが異なる枠体に形成されて別部材である場合と比較して、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１に対する第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２の位置決めが容易になる。その結果、ワイヤーグリッド１を更に容易に製造できる。
【００４３】
さらに、実施形態１によれば、スペーサー９が略線状形状である場合、略帯状形状である場合と比較して、ワイヤーグリッド１の小型化を実現できる。一方、スペーサー９が略帯状形状である場合、合成樹脂のような比較的強度の低い材料を使用しても、ワイヤーグリッド１の耐久性を向上できる。
【００４４】
さらに、実施形態１によれば、スペーサー９が金属である場合、ワイヤーグリッド１の小型化を実現しつつ、ワイヤーグリッド１の耐久性を向上できる。一方、スペーサー９が合成樹脂である場合、金属よりも伸縮性があるため、耐久性確保のために厚みｔを大きくしても、第２所定間隔Ｌを小さくできる。
【００４５】
さらに、実施形態１によれば、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２とを設け、２層構造を採用しつつ、第２ワイヤー７が第１ワイヤー５に対してシフト量ｐだけシフトしている。従って、１層構造の場合（１つのワイヤーグリッド部だけを有する場合）と比較して、ＴＭ波がワイヤーグリッド１を透過することを抑制できる。つまり、消光比を向上できる。消光比＝（ＴＭ波の透過率Ｔｍ）／（ＴＥ波の透過率Ｔｅ）、である。また、同様の理由により、Ｆａｂｒｙ−Ｐｅｒｏｔ共鳴（ファブリ・ペリー共鳴）が効果的に発現するため、１層構造を採用する場合と比較して、損失を低減できる。損失＝１−Ｔｅ、である。さらに、同様の理由により、ワイヤーグリッド１の広帯域化を実現できる。広帯域化は、消光比が一定値（例えば、１０-4）以下になるときの周波数の帯域が広いことを示す。
【００４６】
消光比の向上と、損失の低減と、広帯域化とを効果的に実現するためには、例えば、Ｌ＝Ｄ、であることが好ましい。Ｌ＝Ｄを実現するためには、スペーサー９の厚みｔを薄くすることが好ましい。例えば、ｔ≦２×Ｄ、であることが好ましく、ｔ≦１．５×Ｄ、であることが更に好ましく、ｔ＝Ｄ、であることが更に好ましく、ｔ＜Ｄ、であることが更に好ましい。
【００４７】
実施形態１に係るワイヤーグリッド１は、例えば、偏光子又は偏光ビームスプリッターとして利用できる。
【００４８】
（実施形態２）
図１及び図４を参照して、本発明の実施形態２に係るワイヤーグリッドの製造方法について説明する。実施形態２に係る製造方法は、図１に示す実施形態１に係るワイヤーグリッド１の製造方法の一例である。
【００４９】
図４は、実施形態２に係るワイヤーグリッド１の製造方法を示すフローチャートである。図４に示すように、製造方法は、準備工程Ｓ１（第１準備工程）と、形成工程Ｓ３とを含む。
【００５０】
図１及び図４に示すように、準備工程Ｓ１において、枠体３（第１枠体）を準備する。
【００５１】
形成工程Ｓ３において、複数の第１ワイヤー５を含む第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と複数の第２ワイヤー７を含む第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２との間に、一対のスペーサー９（一対の第１スペーサー）が配置されるように、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２とを枠体３に形成する。
【００５２】
具体的には、形成工程Ｓ３では、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７とが交互に位置するように、複数の第１ワイヤー５を、テラヘルツ波の波長よりも短い第１所定間隔ｄ（所定間隔）で第２方向Ｄ２（一方向）に沿って配列するとともに、複数の第２ワイヤー７を、第１所定間隔ｄで第２方向Ｄ２に沿って配列する。また、一対のスペーサー９を、第２方向Ｄ２に沿って延びるように、第１方向Ｄ１（一方向に交差する方向）に沿って互いに間隔をあけて配置する。従って、一対のスペーサー９は、テラヘルツ波ＴＨの光路に位置しない。
【００５３】
以上、図４を参照して説明したように、実施形態２によれば、スペーサー９を使用して、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２とを形成して、ワイヤーグリッド１を製造する。従って、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７とが接触することを回避できるため、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７とが接触しないような緻密なアライメントが緩和される。また、スペーサー９をガイドとしてワイヤー材を巻回できるため、シフト量ｐ及び第２所定間隔Ｌを有する第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７を容易に形成できる。さらに、スペーサー９の厚みｔ及び材質を調整することによって、シフト量ｐ及び第２所定間隔Ｌを容易に調整できる。その結果、スペーサー９を設けない場合と比較して、第１ワイヤー５に対する第２ワイヤー７の位置決めが容易になって、ワイヤーグリッド１を容易に製造できる。
【００５４】
また、実施形態１によれば、スペーサー９を設けることによって、１つの枠体３に、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２とを形成できる。つまり、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２と一体してワイヤーグリッド１を形成できる。従って、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２とが異なる枠体に形成されて別部材である場合と比較して、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１に対する第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２の位置決めが容易になる。その結果、ワイヤーグリッド１を更に容易に製造できる。その他、実施形態２に係る製造方法によって製造されるワイヤーグリッド１は、実施形態１のワイヤーグリッド１と同様の効果を有する。
【００５５】
（実施形態３）
図５及び図６を参照して、本発明の実施形態３に係るワイヤーグリッドの製造方法について説明する。実施形態３に係る製造方法は、図１に示す実施形態１に係るワイヤーグリッド１の製造方法の一例である。また、実施形態３に係る製造方法は、略線状形状を有するスペーサー９を使用して、ワイヤーグリッド１を製造する。スペーサー９は例えば金属である。以下、実施形態３では、略線状形状を有するスペーサー９を「スペーサー９ａ」と記載する。
【００５６】
図５（ａ）〜図５（ｃ）及び図６（ａ）〜図６（ｃ）は、実施形態３に係るワイヤーグリッド１の製造方法を示す図である。図５（ａ）〜図５（ｃ）及び図６（ａ）〜図６（ｃ）に示すように、製造方法は、準備工程Ｓ１１（第１準備工程）と、第１固定工程Ｓ１３と、巻回工程Ｓ１５と、第２固定工程Ｓ１７と、第３固定工程Ｓ１９とを含む。第１固定工程Ｓ１３と、巻回工程Ｓ１５と、第２固定工程Ｓ１７と、第３固定工程Ｓ１９とは、形成工程を構成する。なお、図面を見やすくするために、第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７の合計数を実際の数（例えば、数百）よりも少なくしてある。また、同様の理由により、第１ワイヤー５を黒色で示し、第２ワイヤー７をドットハッチングで示している。
【００５７】
図５（ａ）に示すように、準備工程Ｓ１１において、枠体３を準備する。
【００５８】
図５（ｂ）に示すように、第１固定工程Ｓ１３において、一対のスペーサー９ａ（一対の第１スペーサー）の一端を、それぞれ、枠体３（第１枠体）の２箇所の起点位置に固定する。具体的には、一対のスペーサー９ａの一端は、それぞれ、一対の第１固定具１１によって、枠体３に固定される。
【００５９】
図５（ｃ）に示すように、巻回工程Ｓ１５において、まず、一本のワイヤー材ＷＲの一端を、枠体３の１箇所の起点位置に仮止めする。具体的には、ワイヤー材ＷＲの一端は、仮止め部材２１によって、枠体３に仮止めされる。仮止め部材２１は、例えば、粘着テープである。
【００６０】
図５（ｃ）、図６（ａ）、及び図６（ｂ）に示すように、巻回工程Ｓ１５において、次に、枠体３に一本のワイヤー材ＷＲを複数回巻回して、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１及び第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２を形成する。
【００６１】
具体的には、巻回工程Ｓ１５では、ワイヤー材ＷＲが一対のスペーサー９ａに交差する。そして、ワイヤー材ＷＲのうち第２方向Ｄ２（一方向）に沿って配列するワイヤー部分ＷＰが一対のスペーサー９ａに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分ＷＰの間に一対のスペーサー９ａを通しながらワイヤー材ＷＲを枠体３に巻回する。「一対のスペーサー９ａに対して一方側と他方側」は、一対のスペーサー９ａに対して枠体３の開口４に近い側と遠い側を示す。
【００６２】
換言すれば、巻回工程Ｓ１５では、複数のワイヤー部分ＷＰが第２方向Ｄ２に沿ってシフト量ｐの間隔で形成されるように、ワイヤー材ＷＲを枠体３に巻回しながら、一対のスペーサー９ａを複数のワイヤー部分ＷＰに織り込む。
【００６３】
複数のワイヤー部分ＷＰのうち、一対のスペーサー９ａに対して一方側に位置する複数のワイヤー部分ＷＰが、それぞれ、複数の第１ワイヤー５を構成する。複数のワイヤー部分ＷＰのうち、一対のスペーサー９ａに対して他方側に位置する複数のワイヤー部分ＷＰが、それぞれ、複数の第２ワイヤー７を構成する。
【００６４】
例えば、巻回工程Ｓ１５では、枠体３を軸線ＡＸの回りに回転させながら、ワイヤー材ＷＲが一対のスペーサー９ａに交差するように、枠体３にワイヤー材ＷＲをシフト量ｐの間隔で複数回巻回して、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１及び第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２を形成する。
【００６５】
例えば、巻回工程Ｓ１５では、枠体３が軸線ＡＸの回りに半回転するたびに、ワイヤー材ＷＲをシフト量ｐの１／２だけ第２方向Ｄ２に沿ってシフトする。更に、枠体３が軸線ＡＸの回りに１回転するたびに、一対のスペーサー９ａが第１位置と第２位置とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分ＷＰの間に一対のスペーサー９ａを通す。その結果、一対のスペーサー９ａが複数のワイヤー部分ＷＰに織り込まれる。「第１位置」は、ワイヤー部分ＷＰに対して開口４よりも遠い位置を示し、「第２位置」は、ワイヤー部分ＷＰに対して開口４よりも近い位置を示す。なお、半回転のたびにワイヤー材ＷＲをシフト量ｐの１／２だけシフトすることによって、第２ワイヤー７を第１ワイヤー５に対してシフト量ｐだけシフトできる。
【００６６】
図６（ｂ）に示すように、第２固定工程Ｓ１７において、ワイヤー材ＷＲを複数回巻回した後に、一対のスペーサー９ａの他端を、それぞれ、枠体３の２箇所の終点位置に固定する。具体的には、一対のスペーサー９ａの他端は、それぞれ、一対の第２固定具１２によって、枠体３に固定される。
【００６７】
図６（ｃ）に示すように、第３固定工程Ｓ１９において、複数の第１ワイヤー５の一端と複数の第２ワイヤー７の一端とを、一対の固定具１６のうちの一方の固定具１６によって枠体３に固定するとともに、複数の第１ワイヤー５の他端と複数の第２ワイヤー７の他端とを、他方の固定具１６によって枠体３に固定する。そして、枠体３の裏面に位置する複数のワイヤー部分を切断して枠体３から除去する。その結果、ワイヤーグリッド１が完成する。
【００６８】
以上、図５及び図６を参照して説明したように、実施形態３によれば、スペーサー９ａを使用するため、実施形態２と同様に、容易にワイヤーグリッド１を製造できる。その他、実施形態３では、実施形態１及び実施形態２と同様の効果を有する。
【００６９】
また、実施形態３によれば、ワイヤー部分ＷＰが一対のスペーサー９ａに対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分ＷＰの間に一対のスペーサー９ａを通して、ワイヤーグリッド１を製造する。従って、一本のワイヤー材ＷＲを用いて、シフト量ｐだけ間隔をあけて巻回することにより、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７とを一連の巻回作業で形成できる。その結果、ワイヤーグリッド１を更に容易に製造できる。
【００７０】
さらに、実施形態３によれば、スペーサー９ａは、略線状形状を有するため、略帯状形状を有する場合と比較して、互いに隣り合うワイヤー部分ＷＰの間に一対のスペーサー９ａを通す作業が容易である。その結果、ワイヤーグリッド１を更に容易に製造できる。
【００７１】
さらに、実施形態３によれば、スペーサー９ａは金属である。従って、スペーサー９ａは、略線状形状を有しつつ、強度及び耐久性を向上できる。
【００７２】
なお、巻回工程Ｓ１５では、ワイヤー材ＷＲを複数回巻回して、全てのワイヤー部分ＷＰを配列した後に、針等を使用して、複数のワイヤー部分ＷＰにスペーサー９ａを織り込むように通してもよい。
【００７３】
（実施形態４）
図７〜図９を参照して、本発明の実施形態４に係るワイヤーグリッドの製造方法について説明する。実施形態４に係る製造方法は、図１に示す実施形態１に係るワイヤーグリッド１を２個同時に製造する。また、実施形態４に係る製造方法は、略線状形状を有するスペーサー９を使用して、ワイヤーグリッド１を製造する。スペーサー９は例えば金属である。
【００７４】
以下、実施形態４では、説明の便宜のため、同時に製造される２個のワイヤーグリッド１のうちの一方のワイヤーグリッド１の枠体３及びスペーサー９を、それぞれ、第１枠体３Ａ及び第１スペーサー９ａ１と記載する。一方のワイヤーグリッド１のその他の構成については、名称及び参照符号の変更はない。また、他方のワイヤーグリッド１の枠体３、スペーサー９、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１、第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２、第１ワイヤー５、及び第２ワイヤー７を、それぞれ、第２枠体３Ｂ、第２スペーサー９ａ２、第３ワイヤーグリッド部ＷＧ３、第４ワイヤーグリッド部ＷＧ４、第３ワイヤー５Ｂ、及び第４ワイヤー７Ｂと記載する。他方のワイヤーグリッド１のその他の構成については、名称及び参照符号の変更はない。
【００７５】
図７（ａ）〜図７（ｃ）、図８（ａ）、図８（ｂ）、図９（ａ）、及び図９（ｂ）は、実施形態４に係るワイヤーグリッド１の製造方法を示す図である。図７（ａ）〜図７（ｃ）、図８（ａ）、図８（ｂ）、図９（ａ）、及び図９（ｂ）に示すように、製造方法は、第１準備工程Ｓ３１と、第２準備工程Ｓ３３と、積層工程Ｓ３５と、第１固定工程Ｓ３７と、巻回工程Ｓ３９と、第２固定工程Ｓ４１と、第３固定工程Ｓ４３とを含む。第１固定工程Ｓ３７と、巻回工程Ｓ３９と、第２固定工程Ｓ４１と、第３固定工程Ｓ４３とは、形成工程を構成する。なお、図面を見やすくするために、第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７の合計数を実際の数（例えば、数百）よりも少なくしてある。また、同様の理由により、第１ワイヤー５を黒色で示し、第２ワイヤー７をドットハッチングで示している。さらに、第２枠体３Ｂが図面の紙面奥側を向いているため、第２枠体３Ｂに形成される各構成は図面に現れていない。
【００７６】
図７（ａ）に示すように、第１準備工程Ｓ３１において、第１枠体３Ａを準備する。
【００７７】
図７（ｂ）に示すように、第２準備工程Ｓ３３において、第２枠体３Ｂを準備する。
【００７８】
図７（ｃ）に示すように、積層工程Ｓ３５において、第１枠体３Ａと第２枠体３Ｂとを積層して、積層体１０を形成する。
【００７９】
図８（ａ）に示すように、第１固定工程Ｓ３７において、一対の第１スペーサー９ａ１の一端を、それぞれ、第１枠体３Ａの２箇所の起点位置に固定する。また、第１固定工程Ｓ３７では、一対の第２スペーサー９ａ２の一端を、それぞれ、第２枠体３Ｂの２箇所の起点位置に固定する。第１固定工程Ｓ３７での具体的な固定方法は、第１固定工程Ｓ１３（図５（ｂ））と同様である。
【００８０】
図８（ｂ）に示すように、巻回工程Ｓ３９において、まず、一本のワイヤー材ＷＲの一端を、第１枠体３Ａの１箇所の起点位置に仮止めする。具体的には、ワイヤー材ＷＲは、仮止め部材２１によって、第１枠体３Ａに仮止めされる。仮止め部材２１は、例えば、粘着テープである。
【００８１】
図８（ｂ）及び図９（ａ）に示すように、巻回工程Ｓ３９において、次に、積層体１０に一本のワイヤー材ＷＲを複数回巻回して、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１及び第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２を第１枠体３Ａに形成するとともに、第３ワイヤーグリッド部ＷＧ３及び第４ワイヤーグリッド部ＷＧ４を第２枠体３Ｂに形成する。
【００８２】
具体的には、巻回工程Ｓ３９では、ワイヤー材ＷＲが、第１枠体３Ａに配置される一対の第１スペーサー９ａ１に交差する。そして、ワイヤー材ＷＲのうち第２方向（一方向）に沿って第１枠体３Ａに配列するワイヤー部分ＷＰが一対の第１スペーサー９ａ１に対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分ＷＰの間に一対の第１スペーサー９ａ１を通しながらワイヤー材ＷＲを積層体１０に巻回する。「一対の第１スペーサー９ａ１に対して一方側と他方側」は、一対の第１スペーサー９ａ１に対して第１枠体３Ａの開口４に近い側と遠い側を示す。
【００８３】
換言すれば、巻回工程Ｓ３９では、第１枠体３Ａにおいて複数のワイヤー部分ＷＰが第２方向Ｄ２に沿ってシフト量ｐの間隔で形成されるように、ワイヤー材ＷＲを積層体１０に巻回しながら、第１枠体３Ａにおいて一対の第１スペーサー９ａ１を複数のワイヤー部分ＷＰに織り込む。
【００８４】
第１枠体３Ａに配列する複数のワイヤー部分ＷＰのうち、一対の第１スペーサー９ａ１に対して一方側に位置する複数のワイヤー部分ＷＰが、それぞれ、複数の第１ワイヤー５を構成する。第１枠体３Ａに配列する複数のワイヤー部分ＷＰのうち、一対の第１スペーサー９ａ１に対して他方側に位置する複数のワイヤー部分ＷＰが、それぞれ、複数の第２ワイヤー７を構成する。
【００８５】
また、巻回工程Ｓ３９では、ワイヤー材ＷＲが、第２枠体３Ｂに配置される一対の第２スペーサー９ａ２に交差する。そして、ワイヤー材ＷＲのうち第２方向（一方向）に沿って第２枠体３Ｂに配列するワイヤー部分ＷＰが一対の第２スペーサー９ａ２に対して一方側と他方側とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分ＷＰの間に一対の第２スペーサー９ａ２を通しながらワイヤー材ＷＲを積層体１０に巻回する。「一対の第２スペーサー９ａ２に対して一方側と他方側」は、一対の第２スペーサー９ａ２に対して第２枠体３Ｂの開口４に近い側と遠い側を示す。
【００８６】
換言すれば、巻回工程Ｓ３９では、第２枠体３Ｂにおいて複数のワイヤー部分ＷＰが第２方向Ｄ２に沿ってシフト量ｐの間隔で形成されるように、ワイヤー材ＷＲを積層体１０に巻回しながら、第２枠体３Ｂにおいて一対の第２スペーサー９ａ２を複数のワイヤー部分ＷＰに織り込む。
【００８７】
第２枠体３Ｂに配列する複数のワイヤー部分ＷＰのうち、一対の第２スペーサー９ａ２に対して一方側に位置する複数のワイヤー部分ＷＰが、それぞれ、複数の第３ワイヤー５Ｂを構成する。第２枠体３Ｂに配列する複数のワイヤー部分ＷＰのうち、一対の第２スペーサー９ａ２に対して他方側に位置する複数のワイヤー部分ＷＰが、それぞれ、複数の第４ワイヤー７Ｂを構成する。
【００８８】
例えば、巻回工程Ｓ３９では、積層体１０を軸線ＡＸの回りに回転させながら、ワイヤー材ＷＲが一対の第１スペーサー９ａ１及び一対の第２スペーサー９ａ２に交差するように、積層体１０にワイヤー材ＷＲをシフト量ｐの間隔で複数回巻回して、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１及び第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２を第１枠体３Ａに形成するとともに、第３ワイヤーグリッド部ＷＧ３及び第４ワイヤーグリッド部ＷＧ４を第２枠体３Ｂに形成する。
【００８９】
例えば、巻回工程Ｓ３９では、積層体１０が軸線ＡＸの回りに半回転するたびに、ワイヤー材ＷＲをシフト量ｐの１／２だけ第２方向Ｄ２に沿ってシフトする。更に、積層体１０が軸線ＡＸの回りに１回転するたびに、一対の第１スペーサー９ａ１が第１位置と第２位置とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分ＷＰの間に一対の第１スペーサー９ａ１を通すとともに、一対の第２スペーサー９ａ２が第１位置と第２位置とに交互に位置するように、互いに隣り合うワイヤー部分ＷＰの間に一対の第２スペーサー９ａ２を通す。
【００９０】
その結果、一対の第１スペーサー９ａ１が、第１枠体３Ａにおいて複数のワイヤー部分ＷＰに織り込まれるとともに、一対の第２スペーサー９ａ２が、第２枠体３Ｂにおいて複数のワイヤー部分ＷＰに織り込まれる。「第１位置」は、ワイヤー部分ＷＰに対して開口４よりも遠い位置を示し、「第２位置」は、ワイヤー部分ＷＰに対して開口４よりも近い位置を示す。なお、半回転のたびにワイヤー材ＷＲをシフト量ｐの１／２だけシフトすることによって、第１枠体３Ａにおいて第２ワイヤー７を第１ワイヤー５に対してシフト量ｐだけシフトできるとともに、第２枠体３Ｂにおいて第４ワイヤー７Ｂを第３ワイヤー５Ｂに対してシフト量ｐだけシフトできる。
【００９１】
図９（ａ）に示すように、第２固定工程Ｓ４１において、ワイヤー材ＷＲを複数回巻回した後に、一対の第１スペーサー９ａ１の他端を、それぞれ、第１枠体３Ａの２箇所の終点位置に固定する。また、一対の第２スペーサー９ａ２の他端を、それぞれ、第２枠体３Ｂの２箇所の終点位置に固定する。第２固定工程Ｓ４１での具体的な固定方法は、第２固定工程Ｓ１７（図６（ｂ））と同様である。
【００９２】
図９（ｂ）に示すように、第３固定工程Ｓ４３において、複数の第１ワイヤー５の一端と複数の第２ワイヤー７の一端とを、第１枠体３Ａに対応する一対の固定具１６のうちの一方の固定具１６によって第１枠体３Ａに固定するとともに、複数の第１ワイヤー５の他端と複数の第２ワイヤー７の他端とを、一対の固定具１６のうちの他方の固定具１６によって第１枠体３Ａに固定する。また、複数の第３ワイヤー５Ｂの一端と複数の第４ワイヤー７Ｂの一端とを、第２枠体３Ｂに対応する一対の固定具１６のうちの一方の固定具１６によって第２枠体３Ｂに固定するとともに、複数の第３ワイヤー５Ｂの他端と複数の第４ワイヤー７Ｂの他端とを、一対の固定具１６のうちの他方の固定具１６によって第２枠体３Ｂに固定する。そして、第１枠体３Ａの固定具１６と第２枠体３Ｂの固定具１６との間において、ワイヤー材ＷＲを切断して、２個のワイヤーグリッド１を分離する。
【００９３】
以上、図７〜図９を参照して説明したように、実施形態４によれば、第１スペーサー９ａ１及び第２スペーサー９ａ２を使用するため、実施形態３と同様に、容易にワイヤーグリッド１を製造できる。その他、実施形態４では、実施形態３と同様の効果を有する。
【００９４】
また、実施形態４によれば、積層工程Ｓ３５を設けることによって、２個のワイヤーグリッド１を同時に製造できる。その結果、単位時間当たりのワイヤーグリッド１の製造個数を増加できる。
【００９５】
なお、巻回工程Ｓ３９では、ワイヤー材ＷＲを複数回巻回して、全てのワイヤー部分ＷＰを配列した後に、針等を使用して、第１枠体３Ａにおいて複数のワイヤー部分ＷＰに第１スペーサー９ａ１を織り込むように通してもよい。同様に、ワイヤー材ＷＲを複数回巻回して、全てのワイヤー部分ＷＰを配列した後に、第２枠体３Ｂにおいて複数のワイヤー部分ＷＰに第２スペーサー９ａ２を織り込むように通してもよい。
【００９６】
（実施形態５）
図１０及び図１１を参照して、本発明の実施形態５に係るワイヤーグリッドの製造方法について説明する。実施形態５に係る製造方法は、図１に示す実施形態１に係るワイヤーグリッド１の製造方法の一例である。また、実施形態５に係る製造方法は、略帯状形状を有するスペーサー９を使用して、ワイヤーグリッド１を製造する。スペーサー９は例えば合成樹脂フィルム又は金属箔である。以下、実施形態５では、略帯状形状を有するスペーサー９を「スペーサー９ｂ」と記載する。
【００９７】
図１０（ａ）〜図１０（ｃ）、図１１（ａ）、及び図１１（ｂ）は、実施形態５に係るワイヤーグリッド１の製造方法を示す図である。図１０（ａ）〜図１０（ｃ）、図１１（ａ）、及び図１１（ｂ）に示すように、製造方法は、準備工程Ｓ５１（第１準備工程）と、第１巻回工程Ｓ５３と、第１固定工程Ｓ５５（固定工程）と、第２巻回工程Ｓ５７と、第２固定工程Ｓ５９とを含む。第１巻回工程Ｓ５３と、第１固定工程Ｓ５５と、第２巻回工程Ｓ５７と、第２固定工程Ｓ５９とは、形成工程を構成する。なお、図面を見やすくするために、第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７の合計数を実際の数（例えば、数百）よりも少なくしてある。また、同様の理由により、第１ワイヤー５を黒色で示し、第２ワイヤー７をドットハッチングで示している。
【００９８】
図１０（ａ）に示すように、準備工程Ｓ５１において、枠体３を準備する。
【００９９】
図１０（ｂ）に示すように、第１巻回工程Ｓ５３において、まず、一本の第１ワイヤー材ＷＲ１の一端を、枠体３の１箇所の起点位置に仮止めする。具体的には、第１ワイヤー材ＷＲ１の一端は、仮止め部材２３によって、枠体３に仮止めされる。仮止め部材２３は、例えば、粘着テープである。
【０１００】
次に、第１巻回工程Ｓ５３では、枠体３（第１枠体）に第１ワイヤー材ＷＲ１を第１所定間隔ｄ（所定間隔）で複数回巻回して、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１を形成する。第１ワイヤー材ＷＲ１のうち複数回巻回されて第１所定間隔ｄで並んだ複数のワイヤー部分ＷＰ１が、それぞれ、複数の第１ワイヤー５を構成する。
【０１０１】
例えば、第１巻回工程Ｓ５３では、枠体３を軸線ＡＸの回りに回転させながら、枠体３に第１ワイヤー材ＷＲ１を第１所定間隔ｄで複数回巻回して、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１を形成する。
【０１０２】
例えば、第１巻回工程Ｓ５３では、枠体３が軸線ＡＸの回りに半回転するたびに、ワイヤー材ＷＲを第１所定間隔ｄの１／２だけ第２方向Ｄ２に沿ってシフトする。その結果、複数の第１ワイヤー５を第１所定間隔ｄで配列できる。
【０１０３】
さらに、第１巻回工程Ｓ５３では、第１ワイヤー材ＷＲ１の他端を、枠体３の１箇所の終点位置に仮止めする。具体的には、第１ワイヤー材ＷＲ１の他端は、仮止め部材２４によって、枠体３に仮止めされる。仮止め部材２４は、例えば、粘着テープである。
【０１０４】
図１０（ｃ）に示すように、第１固定工程Ｓ５５において、一対のスペーサー９ｂ（第１スペーサー）が第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１の一対の面のうち一方面に接触するように、一対のスペーサー９ｂを枠体３に固定する。「一方面」とは、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１の一対の面のうち、開口４に対向している面の反対の面のことである。具体的には、一対のスペーサー９ｂの一端が第１固定具１１によって枠体３に固定されるとともに、一対のスペーサー９ｂの他端が第２固定具１２によって枠体３に固定される。
【０１０５】
図１１（ａ）に示すように、第２巻回工程Ｓ５７において、まず、一本の第２ワイヤー材ＷＲ２の一端を、枠体３の１箇所の起点位置に仮止めする。具体的には、第２ワイヤー材ＷＲ２の一端は、仮止め部材２５によって、枠体３に仮止めされる。仮止め部材２５は、例えば、粘着テープである。
【０１０６】
次に、第２巻回工程Ｓ５７では、第２ワイヤー材ＷＲ２が一対のスペーサー９ｂに接触しつつ、第１ワイヤー材ＷＲ１と第２ワイヤー材ＷＲ２とが交互に位置するように、枠体３に第２ワイヤー材ＷＲ２を第１所定間隔ｄで複数回巻回して、第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２を形成する。第２ワイヤー材ＷＲ２のうち複数回巻回されて第１所定間隔ｄで並んだ複数のワイヤー部分ＷＰ２が、それぞれ、複数の第２ワイヤー７を構成する。
【０１０７】
例えば、第２巻回工程Ｓ５７では、枠体３を軸線ＡＸの回りに回転させながら、枠体３に第２ワイヤー材ＷＲ２を第１所定間隔ｄで複数回巻回して、第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２を形成する。
【０１０８】
例えば、第２巻回工程Ｓ５７では、枠体３が軸線ＡＸの回りに半回転するたびに、第２ワイヤー材ＷＲ２を第１所定間隔ｄの１／２だけ第２方向Ｄ２に沿ってシフトする。その結果、複数の第２ワイヤー７を第１所定間隔ｄで配列できる。
【０１０９】
以上、図１０及び図１１を参照して説明したように、実施形態５によれば、スペーサー９ｂを使用するため、実施形態２と同様に、容易にワイヤーグリッド１を製造できる。その他、実施形態５では、実施形態１及び実施形態２と同様の効果を有する。
【０１１０】
また、実施形態５によれば、第１巻回工程Ｓ５３で第１ワイヤー５を形成し、第１固定工程Ｓ５５でスペーサー９ｂを枠体３に固定し、第２巻回工程Ｓ５７で第２ワイヤー７を形成して、ワイヤーグリッド１を製造する。従って、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２との間にスペーサー９ｂを配置する作業が容易である。その結果、ワイヤーグリッド１を更に容易に製造できる。
【０１１１】
さらに、実施形態５によれば、第２巻回工程Ｓ５７の後に、第１固定工程Ｓ５５と同様の工程及び第１巻回工程Ｓ５３と同様の工程、並びに、第１固定工程Ｓ５５と同様の工程及び第２巻回工程Ｓ５７と同様の工程を、交互に繰り返すことによって、３層構造以上のワイヤーグリッド（３個以上のワイヤーグリッド部を有するワイヤーグリッド）を容易に製造できる。
【０１１２】
さらに、実施形態５によれば、スペーサー９ｂは、略帯状形状を有するため、互いに隣り合うワイヤー部分ＷＰ１の間に若干の鞍部が形成される。その結果、第２ワイヤー材ＷＲ２を巻回する際に、ワイヤー部分ＷＰ２が鞍部に入り込むため（自己組織化）、第２ワイヤー７を容易に形成できる。
【０１１３】
さらに、実施形態５によれば、スペーサー９ｂが合成樹脂フィルムである場合は、適度な摩擦係数を有するため、第２ワイヤー材ＷＲ２がスペーサー９ｂ上で滑ることを抑制でき、精度良く第２ワイヤー７を形成できる。また、スペーサー９ｂは、略帯状形状を有しているため、合成樹脂フィルムを使用しても強度及び耐久性を向上できる。
【０１１４】
さらに、実施形態５によれば、スペーサー９ｂが金属箔である場合は、強度及び耐久性を向上できる。
【０１１５】
（実施形態６）
図７、図１２、及び図１３を参照して、本発明の実施形態６に係るワイヤーグリッドの製造方法について説明する。実施形態６に係る製造方法は、図１に示す実施形態１に係るワイヤーグリッド１を２個同時に製造する。また、実施形態６に係る製造方法は、略帯状形状を有するスペーサー９を使用して、ワイヤーグリッド１を製造する。スペーサー９は例えば合成樹脂フィルム又は金属箔である。
【０１１６】
以下、実施形態６では、説明の便宜のため、同時に製造される２個のワイヤーグリッド１のうちの一方のワイヤーグリッド１の枠体３及びスペーサー９を、それぞれ、第１枠体３Ａ及び第１スペーサー９ｂ１と記載する。一方のワイヤーグリッド１のその他の構成については、名称及び参照符号の変更はない。また、他方のワイヤーグリッド１の枠体３、スペーサー９、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１、第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２、第１ワイヤー５、及び第２ワイヤー７を、それぞれ、第２枠体３Ｂ、第２スペーサー９ｂ２、第３ワイヤーグリッド部ＷＧ３、第４ワイヤーグリッド部ＷＧ４、第３ワイヤー５Ｂ、及び第４ワイヤー７Ｂと記載する。他方のワイヤーグリッド１のその他の構成については、名称及び参照符号の変更はない。
【０１１７】
図１２（ａ）、図１２（ｂ）、図１３（ａ）、及び図１３（ｂ）は、実施形態６に係るワイヤーグリッド１の製造方法を示す図である。図７（ａ）〜図７（ｃ）、図１２（ａ）、図１２（ｂ）、図１３（ａ）、及び図１３（ｂ）に示すように、製造方法は、第１準備工程Ｓ３１と、第２準備工程Ｓ３３と、積層工程Ｓ３５と、第１巻回工程Ｓ７１と、第１固定工程Ｓ７３と、第２巻回工程Ｓ７５と、第２固定工程Ｓ７７とを含む。第１巻回工程Ｓ７１と、第１固定工程Ｓ７３と、第２巻回工程Ｓ７５と、第２固定工程Ｓ７７とは、形成工程を構成する。なお、図面を見やすくするために、第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７の合計数を実際の数（例えば、数百）よりも少なくしてある。また、同様の理由により、第１ワイヤー５を黒色で示し、第２ワイヤー７をドットハッチングで示している。さらに、第２枠体３Ｂが図面の紙面奥側を向いているため、第２枠体３Ｂに形成される各構成は図面に現れていない。
【０１１８】
図７（ａ）〜図７（ｃ）に示すように、第１準備工程Ｓ３１、第２準備工程Ｓ３３、及び積層工程Ｓ３５は、それぞれ、実施形態４に係る第１準備工程Ｓ３１、第２準備工程Ｓ３３、及び積層工程Ｓ３５と同様であり、説明を省略する。
【０１１９】
図１２（ａ）に示すように、第１巻回工程Ｓ７１において、まず、一本の第１ワイヤー材ＷＲ１の一端を、枠体３の１箇所の起点位置に仮止めする。具体的には、第１ワイヤー材ＷＲ１の一端は、仮止め部材２３によって、枠体３に仮止めされる。仮止め部材２３は、例えば、粘着テープである。
【０１２０】
次に、第１巻回工程Ｓ７１では、積層体１０に第１ワイヤー材ＷＲ１を第１所定間隔ｄ（所定間隔）で複数回巻回して、第１枠体３Ａに第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１を形成するとともに、第２枠体３Ｂに第３ワイヤーグリッド部ＷＧ３を形成する。第１ワイヤー材ＷＲ１のうち複数回巻回されて第１枠体３Ａに第１所定間隔ｄで並んだ複数のワイヤー部分ＷＰ１が、それぞれ、複数の第１ワイヤー５を構成する。第１ワイヤー材ＷＲ１のうち複数回巻回されて第２枠体３Ｂに第１所定間隔ｄで並んだ複数のワイヤー部分ＷＰ１が、それぞれ、複数の第３ワイヤー５Ｂを構成する。
【０１２１】
例えば、第１巻回工程Ｓ７１では、積層体１０を軸線ＡＸの回りに回転させながら、積層体１０に第１ワイヤー材ＷＲ１を第１所定間隔ｄで複数回巻回して、第１枠体３Ａに第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１を形成するとともに、第２枠体３Ｂに第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２を形成する。
【０１２２】
例えば、第１巻回工程Ｓ７１では、積層体１０が軸線ＡＸの回りに半回転するたびに、第１ワイヤー材ＷＲ１を第１所定間隔ｄの１／２だけ第２方向Ｄ２に沿ってシフトする。その結果、第１枠体３Ａに複数の第１ワイヤー５を第１所定間隔ｄで配列できるとともに、第２枠体３Ｂに複数の第３ワイヤー５Ｂを第１所定間隔ｄで配列できる。
【０１２３】
さらに、第１巻回工程Ｓ７１では、第１ワイヤー材ＷＲ１の他端を、第１枠体３Ａの１箇所の終点位置に仮止めする。具体的には、第１ワイヤー材ＷＲ１の他端は、仮止め部材２４によって、第１枠体３Ａに仮止めされる。仮止め部材２４は、例えば、粘着テープである。
【０１２４】
図１２（ｂ）に示すように、第１固定工程Ｓ７３において、一対の第１スペーサー９ｂ１が第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１の一対の面のうち一方面に接触するように、一対の第１スペーサー９ｂ１を第１枠体３Ａに固定する。「一方面」とは、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１の一対の面のうち、開口４に対向している面の反対の面のことである。また、第１固定工程Ｓ７３では、一対の第２スペーサー９ｂ２が第３ワイヤーグリッド部ＷＧ３の一対の面のうち一方面に接触するように、一対の第２スペーサー９ｂ２を第２枠体３Ｂに固定する。「一方面」とは、第３ワイヤーグリッド部ＷＧ３の一対の面のうち、開口４に対向している面の反対の面のことである。第１固定工程Ｓ７３での具体的な固定方法は、第１固定工程Ｓ５５（図１０（ｃ））と同様である。
【０１２５】
図１３（ａ）に示すように、第２巻回工程Ｓ７５において、まず、一本の第２ワイヤー材ＷＲ２の一端を、第１枠体３Ａの１箇所の起点位置に仮止めする。具体的には、第２ワイヤー材ＷＲ２の一端は、仮止め部材２５によって、第１枠体３Ａに仮止めされる。仮止め部材２５は、例えば、粘着テープである。
【０１２６】
次に、第２巻回工程Ｓ７５では、第２ワイヤー材ＷＲ２が一対の第１スペーサー９ｂ１と一対の第２スペーサー９ｂ２とに接触しつつ、第１ワイヤー材ＷＲ１と第２ワイヤー材ＷＲ２とが交互に位置するように、積層体１０に第２ワイヤー材ＷＲ２を第１所定間隔ｄで複数回巻回して、第１枠体３Ａに第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２を形成するとともに、第２枠体３Ｂに第４ワイヤーグリッド部ＷＧ４を形成する。第２ワイヤー材ＷＲ２のうち複数回巻回されて第１枠体３Ａに第１所定間隔ｄで並んだ複数のワイヤー部分ＷＰ２が、それぞれ、複数の第２ワイヤー７を構成する。第２ワイヤー材ＷＲ２のうち複数回巻回されて第２枠体３Ｂに第１所定間隔ｄで並んだ複数のワイヤー部分ＷＰ２が、それぞれ、複数の第４ワイヤー７Ｂを構成する。
【０１２７】
例えば、第２巻回工程Ｓ７５では、積層体１０を軸線ＡＸの回りに回転させながら、積層体１０に第２ワイヤー材ＷＲ２を第１所定間隔ｄで複数回巻回して、第１枠体３Ａに第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２を形成するとともに、第２枠体３Ｂに第４ワイヤーグリッド部ＷＧ４を形成する。
【０１２８】
例えば、第２巻回工程Ｓ７５では、積層体１０が軸線ＡＸの回りに半回転するたびに、第２ワイヤー材ＷＲ２を第１所定間隔ｄの１／２だけ第２方向Ｄ２に沿ってシフトする。その結果、第１枠体３Ａに複数の第２ワイヤー７を第１所定間隔ｄで配列できるとともに、第２枠体３Ｂに複数の第４ワイヤー７Ｂを第１所定間隔ｄで配列できる。
【０１２９】
図１３（ｂ）に示すように、第２固定工程Ｓ７７は、図９（ｂ）を参照して説明した第３固定工程Ｓ４３と同様であり、説明を省略する。
【０１３０】
以上、図１２及び図１３を参照して説明したように、実施形態６によれば、第１スペーサー９ｂ１及び第２スペーサー９ｂ２を使用するため、実施形態５と同様に、容易にワイヤーグリッド１を製造できる。その他、実施形態６では、実施形態５と同様の効果を有する。
【０１３１】
また、実施形態６によれば、積層工程Ｓ３５を設けることによって、２個のワイヤーグリッド１を同時に製造できる。その結果、単位時間当たりのワイヤーグリッド１の製造個数を増加できる。
【０１３２】
（実施形態７）
図１４を参照して、本発明の実施形態７に係るワイヤーグリッド１について説明する。実施形態７に係るワイヤーグリッド１がＮ個以上のワイヤーグリッド部を備えている点で、２個のワイヤーグリッド部（第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１及び第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２）を備えている実施形態１に係るワイヤーグリッド１と異なる。「Ｎ」は、２以上の整数を示す。以下、実施形態７が実施形態１と異なる点を主に説明する。また、以下では、３個のワイヤーグリッド部を備えるワイヤーグリッド１について説明する（Ｎ＝３）。
【０１３３】
図１４は、実施形態７に係るワイヤーグリッド１を示す断面図である。図１４に示すように、ワイヤーグリッド１は、入射波としてのテラヘルツ波の偏光を制御する。具体的には、ワイヤーグリッド１は、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１、第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２、及び一対のスペーサー９に加えて、第３ワイヤーグリッド部ＷＧ３及び一対のスペーサー９１をさらに備える。第３ワイヤーグリッド部ＷＧ３は複数の第３ワイヤー８を含む。
【０１３４】
複数の第３ワイヤー８は、第１所定間隔ｄ（所定間隔）で第２方向Ｄ２に沿って配列される。第３ワイヤー８は、第２ワイヤー７に対して、第２方向Ｄ２に沿ってシフト量ｐだけシフトしている。第２ワイヤー７と第３ワイヤー８とは、第２所定間隔Ｌをあけて配置される。第３ワイヤー８は直径Ｄを有する。スペーサー９１は厚みｔを有する。スペーサー９１が略線状形状を有する場合は、厚みｔは、スペーサー９１の直径を示す。スペーサー９１が略帯状形状を有する場合は、厚みｔは、スペーサー９１の一対の主面間の距離を示す。
【０１３５】
直径Ｄ、厚みｔ、第１所定間隔ｄ、第２所定間隔Ｌ、及びシフト量ｐは、実施形態１と同様の条件を採用できる。また、第３ワイヤー８は、第１ワイヤー５と同様の条件を採用できる。さらに、スペーサー９１は、スペーサー９と同様の条件を採用できる。実施形態７では、実施形態１と同様に、スペーサー９及びスペーサー９１の厚みｔ及び材質を調整することによって、シフト量ｐと、第１所定間隔ｄと、第２所定間隔Ｌとを容易に調整できる。
【０１３６】
実施形態７によれば、スペーサー９及びスペーサー９１を有するため、実施形態１と同様に、複数のワイヤーグリッド部（第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１、第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２、及び第３ワイヤーグリッド部ＷＧ３）を有するワイヤーグリッド１を容易に製造できる。また、２層構造の場合と比較して、消光比を更に向上できる。一方、１層構造の場合と同等に、損失を低減できる。
【０１３７】
例えば、図１０及び図１１を参照して説明した第２巻回工程Ｓ５７の後に、第１固定工程Ｓ５５と同様の工程及び第１巻回工程Ｓ５３と同様の工程を実行することによって、第３ワイヤーグリッド部ＷＧ３を容易に形成できる。
【０１３８】
次に、Ｎ（Ｎは２以上の整数）個のワイヤーグリッド部を有するワイヤーグリッド１について説明する。Ｎ個のワイヤーグリッド部を、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１〜第Ｎワイヤーグリッド部ＷＧＮと記載する。また、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１〜第Ｎワイヤーグリッド部ＷＧＮを総称して、第ｎワイヤーグリッド部ＷＧｎと記載する場合がある。
【０１３９】
ワイヤーグリッド１は、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１〜第Ｎワイヤーグリッド部ＷＧＮと、（Ｎ−１）個のスペーサーを備える。第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１〜第Ｎワイヤーグリッド部ＷＧＮは、それぞれ、複数の第１ワイヤーＷＩＲ１〜複数の第ＮワイヤーＷＩＲＮを含む。
【０１４０】
第１ワイヤーＷＩＲ１〜第ＮワイヤーＷＩＲＮを総称して第ｎワイヤーＷＩＲｎと記載する場合がある。第ｎワイヤーＷＩＲｎの構成は、第１ワイヤー５の構成と同様である。（Ｎ−１）個のスペーサーを、第１スペーサーＳＰ１〜第（Ｎ−１）スペーサーＳＰ（Ｎ−１）と記載する。また、第１スペーサーＳＰ１〜第（Ｎ−１）スペーサーＳＰ（Ｎ−１）を総称して、第ｎスペーサーＳＰｎと記載する場合がある。第ｎスペーサーＳＰｎの構成は、スペーサー９の構成と同様である。
【０１４１】
第ｎワイヤーグリッド部ＷＧｎと第（ｎ＋１）ワイヤーグリッド部ＷＧ（ｎ＋１）との間に、第ｎスペーサーＳＰｎが配置される。複数の第ｎワイヤーＷＩＲｎは、第１所定間隔ｄで第２方向Ｄ２に沿って配列される。第（ｎ＋１）ワイヤーＷＩＲ（ｎ＋１）は、第ｎワイヤーＷＩＲｎに対して、第２方向Ｄ２に沿ってシフト量ｐだけシフトしている。第ｎワイヤーＷＩＲｎと第（ｎ＋１）ワイヤーＷＩＲ（ｎ＋１）とは、第２所定間隔Ｌをあけて配置される。第ｎワイヤーＷＩＲｎは直径Ｄを有する。第ｎスペーサーＳＰｎは厚みｔを有する。第ｎスペーサーＳＰｎが略線状形状を有する場合は、厚みｔは、第ｎスペーサーＳＰｎの直径を示す。第ｎスペーサーＳＰｎが略帯状形状を有する場合は、厚みｔは、第ｎスペーサーＳＰｎの一対の主面間の距離を示す。
【０１４２】
直径Ｄ、厚みｔ、第１所定間隔ｄ、第２所定間隔Ｌ、及びシフト量ｐは、実施形態１と同様の条件を採用できる。Ｎ個のワイヤーグリッド部（第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１〜第Ｎワイヤーグリッド部ＷＧＮ）を有する場合でも、実施形態１と同様に、第ｎスペーサーＳＰｎの厚みｔ及び材質を調整することによって、シフト量ｐと、第１所定間隔ｄと、第２所定間隔Ｌとを容易に調整できる。
【０１４３】
実施形態７によれば、第１スペーサーＳＰ１〜第（Ｎ−１）スペーサーＳＰ（Ｎ−１）を有するため、実施形態１と同様に、複数のワイヤーグリッド部（第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１〜第Ｎワイヤーグリッド部ＷＧＮ）を有するワイヤーグリッド１を容易に製造できる。また、Ｎが大きくなればなるほど、消光比を更に向上できる。一方、１層構造の場合と同等に、損失を低減できる。
【０１４４】
例えば、図１０及び図１１を参照して説明した第２巻回工程Ｓ５７の後に、第１固定工程Ｓ５５と同様の工程及び第１巻回工程Ｓ５３と同様の工程、並びに、第１固定工程Ｓ５５と同様の工程及び第２巻回工程Ｓ５７と同様の工程を、交互に繰り返すことによって、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１〜第Ｎワイヤーグリッド部ＷＧＮを有するワイヤーグリッド１を容易に製造できる。
【０１４５】
例えば、図１２及び図１３を参照して説明した第２巻回工程Ｓ７５の後に、第１固定工程Ｓ７３と同様の工程及び第１巻回工程Ｓ７１と同様の工程、並びに、第１固定工程Ｓ７３と同様の工程及び第２巻回工程Ｓ７５と同様の工程を、交互に繰り返すことによって、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１〜第Ｎワイヤーグリッド部ＷＧＮを有するワイヤーグリッド１を２個同時に容易に製造できる。
【０１４６】
なお、第１スペーサーＳＰ１〜第（Ｎ−１）スペーサーＳＰ（Ｎ−１）が、略波状になって配置されてもよいし、略平坦状になって配置されてもよい。
【０１４７】
次に、本発明が実施例に基づき具体的に説明されるが、本発明は以下の実施例によって限定されない。
【実施例】
【０１４８】
（実施例１、実施例２）
本発明の実施例１として、図１を参照して説明した実施形態１に係る二層のワイヤーグリッド１を採用した。本発明の実施例２として、図１４を参照して説明した実施形態７に係る三層のワイヤーグリッド１を採用した。比較例として、１個のワイヤーグリッド部だけを有する一層のワイヤーグリッドを採用した。
【０１４９】
そして、以下の条件で、時間領域差分法（Ｆｉｎｉｔｅ  Ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ  Ｔｉｍｅ  Ｄｏｍａｉｎ  Ｍｅｔｈｏｄ）に基づく電磁界シミュレーションを実行し、実施例１、実施例２、及び比較例の透過特性を求めた。
【０１５０】
ワイヤーの直径Ｄ＝１０μｍと直径Ｄ＝１００μｍとの各々について電磁界シミュレーションを実行した。シフト量ｐ＝Ｄであり、第１所定間隔ｄ＝２×Ｄであり、第２所定間隔Ｌ＝Ｄであった。
【０１５１】
図１５は、実施例１、実施例２、及び比較例に係るＴＥ波の透過率Ｔｅと周波数との関係を示す図である。横軸は周波数を示し、縦軸は透過率Ｔｅを示す。横軸の上段は、Ｄ＝１００μｍのときのスケールを示し、横軸の下段は、Ｄ＝１０μｍのときのスケールを示す。また、比較例の透過率Ｔｅを曲線５１で示し、実施例１の透過率Ｔｅを曲線５２で示し、実施例２の透過率Ｔｅを曲線５３で示す。
【０１５２】
図１６は、実施例１、実施例２、及び比較例に係るＴＭ波の透過率Ｔｍと周波数との関係を示す図である。図１６では、横軸は周波数を示し、縦軸は透過率Ｔｍを示す。横軸の上段は、Ｄ＝１００μｍのときのスケールを示し、横軸の下段は、Ｄ＝１０μｍのときのスケールを示す。また、比較例の透過率Ｔｍを曲線６１で示し、実施例１の透過率Ｔｍを曲線６２で示し、実施例２の透過率Ｔｍを曲線６３で示す。
【０１５３】
図１５に示すように、多層の実施例１（曲線５２）及び実施例２（曲線５３）のＴＥ波の透過率Ｔｅは、一層の比較例（曲線５１）と比較して、減少しておらず、比較的高い透過率Ｔｅが得られた。つまり、ワイヤーグリッド部の増加は、透過率Ｔｅにほとんど影響を与えなかった。また、実施例１（曲線５２）と実施例２（曲線５３）とを比較すると、ワイヤーグリッド部の個数の増加、つまり、積層数の増加は、透過率Ｔｅにほとんど影響を与えなかった。
【０１５４】
これに対して、図１６に示すように、多層の実施例１（曲線６２）及び実施例２（曲線６３）のＴＥ波の透過率Ｔｍは、一層の比較例（曲線６１）と比較して、大きく減少した。具体的には、ワイヤーグリッド部の個数の増加、つまり、積層数の増加に伴って、透過率Ｔｍが、指数関数的に減少した。
【０１５５】
ワイヤーグリッド１を偏光子として使用する場合には、ＴＥ波に対して高い透過率Ｔｅを示し、ＴＭ波に対して低い透過率Ｔｍを示すことが好ましい。実施例１及び実施例２では、図１４及び図１５に示す電磁界シミュレーションの結果から、偏光性能が飛躍的に拡大することが期待される。
【０１５６】
（実施例３）
本発明の実施例３として、図５及び図６を参照して説明した実施形態３に係る製造方法によって、ワイヤーグリッド１を製造した。ワイヤーの直径Ｄ＝１００μｍであり、スペーサー９ａの厚みｔ（スペーサー９ａの直径）＝１００μｍであり、第１ワイヤー５と第２ワイヤー７との合計数は、約５００であった。第１ワイヤー５、第２ワイヤー７、及びスペーサー９ａは、タングステンであった。
【０１５７】
図１７は、実施例３に係るワイヤーグリッド１を示す写真である。図１７に示すように、ワイヤーグリッド１は、略線状形状の一対のスペーサー９ａを利用して製造された。第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１の第１所定間隔ｄ＝２０８μｍ、第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２の第１所定間隔ｄ＝２０８μｍ、第２所定間隔Ｌ＝２３７μｍ、シフト量ｐ＝１００μｍであった。
【０１５８】
（実施例４）
本発明の実施例４として、図１２及び図１３を参照して説明した実施形態６に係る製造方法によって、ワイヤーグリッド１を製造した。ワイヤーの直径Ｄ＝１０μｍであり、スペーサー９ｂの厚みｔ＝１３μｍであった。スペーサー９ｂは、食品用ラップフィルムであった（クレハ社製）。第１ワイヤー５及び第２ワイヤー７は、タングステンであった。
【０１５９】
図１８（ａ）は、実施例４に係るワイヤーグリッド１を示す写真である。図１８（ｂ）は、実施例４に係るワイヤーグリッド１を示す拡大写真である。図１８（ｂ）では、レーザー顕微鏡により、ワイヤーグリッド１を観察した結果を示している。
【０１６０】
図１８（ａ）及び図１８（ｂ）に示すように、ワイヤーグリッド１は、略帯状形状の一対のスペーサー９ｂを利用して製造された。第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１の第１所定間隔ｄ＝１９．９３μｍ、第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２の第１所定間隔ｄ＝１９．９８μｍ、第２所定間隔Ｌ＝２８．２７μｍであった。
【０１６１】
次に、実施例４に係るワイヤーグリッド１の消光比を計測し、比較例１に係るワイヤーグリッドの消光比と比較した。消光比＝（ＴＭ波の透過率Ｔｍ）／（ＴＥ波の透過率Ｔｅ）、であった。比較例１に係るワイヤーグリッドは、１個のワイヤーグリッド部だけを有する一層のワイヤーグリッドであった。また、比較例１では、ワイヤーの直径Ｄ＝１０μｍ、第１所定間隔ｄ＝２５μｍであった。
【０１６２】
比較例１では、１ＴＨｚにおける消光比は、４．６×１０-4、であり、２ＴＨｚにおける消光比は、２．２×１０-3、であった。
【０１６３】
これに対して、実施例４では、１ＴＨｚにおける消光比は、３．８×１０-8、であり、２ＴＨｚにおける消光比は、４．７×１０-7、であった。
【０１６４】
実施例４の消光比は、比較例１と比較して、１００００倍に向上し、消光性能が飛躍的に向上した。
【０１６５】
次に、テラヘルツ時間領域分光法（ＴＨｚ  Ｄｏｍａｉｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を利用して、製造したワイヤーグリッド１の透過率を計測した。
【０１６６】
図１９は、実施例４に係るワイヤーグリッド１の透過率を示す図である。図１９の上段は、ＴＥ波の透過率Ｔｅと周波数との関係を示すグラフであり、下段は、ＴＭ波の透過率Ｔｍと周波数との関係を示すグラフである。実施例４の透過率ＴｅはドットＭ１で示され、比較例２の透過率Ｔｅは破線ＳＭ１で示される。また、実施例４の透過率ＴｍはドットＭ２で示され、比較例２の透過率Ｔｍは破線ＳＭ２で示される。比較例２は、ワイヤーの直径Ｄ＝１０μｍ、第１所定間隔ｄ＝２０μｍであるとき、１個のワイヤーグリッド部だけを有する一層のワイヤーグリッドのシミュレーション結果であった。
【０１６７】
図１９に示すように、実施例４のＴＥ波では、２ＴＨｚ〜３ＴＨｚにおいて、第１ワイヤーグリッド部ＷＧ１と第２ワイヤーグリッド部ＷＧ２との間のＦａｂｒｙ−Ｐｅｒｏｔ共鳴（ファブリ・ペリー共鳴）の効果により、比較例２よりも損失が低かった。損失＝１−Ｔｅ、であった。
【０１６８】
一方、実施例４のＴＭ波では、１ＴＨｚの透過率Ｔｍは、１０-8台となり、比較例２よりも、実施例４の性能が１００００倍向上した。
【０１６９】
（実施例５）
本発明の実施例５では、図１０及び図１１を参照して説明した実施形態５に係る製造方法で製造したワイヤーグリッド１を採用した。そして、テラヘルツ時間領域分光法では測定が難しい高周波数側の消光性能を評価するため、フーリエ変換赤外分光法（ＪＡＳＣＯ社製、ＦＴ／ＩＲ−６６０＋）による測定を行った。光源は無偏光で緩やかに集光されていた。
【０１７０】
スペーサー９ｂとしてアルミ箔を用いて製造したワイヤーグリッド１と、スペーサー９ｂとして食品用ラップフィルムを用いて製造したワイヤーグリッド１とをクロスニコルに配置して得られたスペクトルを透過スペクトルとして計測した。また、サンプルを何も置かないときのスペクトルをバックグラウンド（参照スペクトル）として計測した。入射波の偏光が無偏光であるため、計測した透過スペクトルに基づく透過率は、２つのワイヤーグリッド１の消光比を平均した結果を示した。
【０１７１】
図２０は、実施例５に係るワイヤーグリッド１の消光比と周波数との関係を示す図である。図２０では、横軸は周波数を示し、縦軸は消光比（透過率）を示す。ドットＭ３は、実施例４に係るワイヤーグリッド１の消光比を示す。破線ＳＭ３は、シミュレーションによって得られた消光比を示す。
【０１７２】
実施例４に係るワイヤーグリッド１の消光比は、シミュレーションによって得られた消光比と良い一致を示した。従って、０〜５ＴＨｚの領域でも、ワイヤーグリッド１の消光比が、破線ＳＭ３上にプロットされることが予測できた。
【０１７３】
消光比が１０-4であるときの実施例４と比較例とを比較した。比較例に係るワイヤーグリッドは、１個のワイヤーグリッド部だけを有する一層のワイヤーグリッドであった。比較例では、ワイヤーの直径Ｄ＝１０μｍ、第１所定間隔ｄ＝２５μｍであった。
【０１７４】
図２０に示すように、実施例４では、消光比が１０-4の場合、周波数は４ＴＨｚであった。これに対して、比較例に係るワイヤーグリッドでは、消光比が１０-4の場合、周波数は０．７７ＴＨｚであった。その結果、実施例４では、比較例よりも、５．２倍の広帯域化を実現できたことを確認できた。
【０１７５】
以上、図面を参照しながら本発明の実施形態及び実施例について説明した。但し、本発明は、上記の実施形態及び実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施することが可能である（例えば、下記に示す（１）〜（３））。また、上記の実施形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることによって、種々の発明の形成が可能である。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。図面は、理解しやすくするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の厚み、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の材質、形状、寸法等は一例であって、特に限定されるものではなく、本発明の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【０１７６】
（１）実施形態１では、一対のスペーサー９を備えた。ただし、一対のスペーサー９を複数備えていてもよい。実施形態２〜実施形態７でも同様である。
【０１７７】
（２）実施形態１では、第１ワイヤー５の直径及び材質は、それぞれ、第２ワイヤー７の直径及び材質と同じであった。ただし、第１ワイヤー５の直径及び／又は材質は、第２ワイヤー７の直径及び／又は材質と異なっていてもよい。実施形態２〜実施形態７でも同様である。
【０１７８】
（３）実施形態３及び実施形態４において、略帯状形状のスペーサー９を使用してもよい。また、実施形態５及び実施形態６において、略線状形状のスペーサー９を使用してもよい。すなわち、実施形態２〜実施形態６では、実施形態１のスペーサー９を使用して、ワイヤーグリッド１を製造できる。なお、実施形態３及び４では、例えば、厚みｔは、第１ワイヤー５の直径Ｄの１倍以下であることが好ましい。また、実施形態５及び６では、例えば、厚みｔは、第１ワイヤー５の直径Ｄの（√３−１）倍（＝約０．７倍）以下であることが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【０１７９】
本発明は、ワイヤーグリッド、及びワイヤーグリッドの製造方法に関するものであり、産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【０１８０】
１    ワイヤーグリッド
３    枠体
３Ａ    第１枠体
３Ｂ    第２枠体
５    第１ワイヤー
５Ｂ    第３ワイヤー
７    第２ワイヤー
７Ｂ    第４ワイヤー
９、９ａ、９ｂ、９１    スペーサー
９ａ１、９ｂ１    第１スペーサー
９ａ２、９ｂ２    第２スペーサー
ＷＧ１    第１ワイヤーグリッド
ＷＧ２    第２ワイヤーグリッド
ＷＧ３    第３ワイヤーグリッド
ＷＧ４    第４ワイヤーグリッド
ＷＲ    ワイヤー材
ＷＲ１    第１ワイヤー材
ＷＲ２    第２ワイヤー材
ＷＰ、ＷＰ１、ＷＰ２    ワイヤー部分
【図１】
2018036517.tif 000003
【図２】
2018036517.tif 000004
【図３】
2018036517.tif 000005
【図４】
2018036517.tif 000006
【図５】
2018036517.tif 000007
【図６】
2018036517.tif 000008
【図７】
2018036517.tif 000009
【図８】
2018036517.tif 000010
【図９】
2018036517.tif 000011
【図１０】
2018036517.tif 000012
【図１１】
2018036517.tif 000013
【図１２】
2018036517.tif 000014
【図１３】
2018036517.tif 000015
【図１４】
2018036517.tif 000016
【図１５】
2018036517.tif 000017
【図１６】
2018036517.tif 000018
【図１７】
2018036517.tif 000019
【図１８】
2018036517.tif 000020
【図１９】
2018036517.tif 000021
【図２０】
2018036517.tif 000022