(57)【要約】【課題】透明導電膜が形成されたガラスフィルムによって構成されるガラスロールの損傷を防止する。【解決手段】ガラスロールの製造方法は、帯状の第一ガラスフィルム２Ａを所定の方向に送り出すガラスフィルム供給工程と、第一ガラスフィルム２Ａの一方の面２ａに透明導電膜３を加熱成膜して第二ガラスフィルム２Ｂを形成する成膜工程と、粘着面を有する帯状の保護フィルム４を第二ガラスフィルム２Ｂの他方の面２ｂに重ねて第三ガラスフィルム２Ｃを形成する保護フィルム供給工程と、第三ガラスフィルム２Ｃをロール状に巻き取る巻取工程を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状のガラスフィルムをロール状に巻き取ってなるガラスロールの製造方法であって、
帯状の第一ガラスフィルムを所定の方向に送り出すガラスフィルム供給工程と、
前記第一ガラスフィルムの一方の面に透明導電膜を加熱成膜して第二ガラスフィルムを形成する成膜工程と、
粘着面を有する帯状の保護フィルムを前記第二ガラスフィルムの他方の面に重ねて第三ガラスフィルムを形成する保護フィルム供給工程と、
前記第三ガラスフィルムをロール状に巻き取る巻取工程と、を備えることを特徴とするガラスロールの製造方法。
【請求項２】
前記成膜工程後の前記第二ガラスフィルムをロール状に巻き取る仮巻取工程と、
前記仮巻取工程により構成される仮ガラスロールから前記第二ガラスフィルムを引き出して所定の方向に送り出す第二ガラスフィルム供給工程と、
前記第二ガラスフィルム供給工程後に前記第三ガラスフィルムを形成する前記保護フィルム供給工程と、を備える請求項１に記載のガラスロールの製造方法。
【請求項３】
前記巻取工程では、前記保護フィルムが外側となるように前記第三ガラスフィルムをロール状に巻き取ることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラスロールの製造方法。
【請求項４】
前記保護フィルム供給工程は、前記第三ガラスフィルムを巻き取る巻芯と、前記保護フィルムを案内するガイドローラとによって前記第二ガラスフィルム及び前記保護フィルムを挟むことにより前記第三ガラスフィルムを形成する請求項１から３のいずれか一項に記載のガラスロールの製造方法。
【請求項５】
前記成膜工程は、真空チャンバ内でスパッタリング法により前記透明導電膜を前記第一ガラスフィルムに形成する請求項１から４のいずれか一項に記載のガラスロールの製造方法。
【請求項６】
前記透明導電膜は、単層であってシート抵抗が２０Ω／□以下である請求項１から５のいずれか一項に記載のガラスロールの製造方法。
【請求項７】
帯状のガラスフィルムがロール状に巻き取られたガラスロールにおいて、
前記ガラスフィルムの一方の面に形成される透明導電膜と、前記ガラスフィルムの他方の面に重ねられるとともに粘着面を有する保護フィルムと、を備え、
前記透明導電膜は単層であってシート抵抗が２０Ω／□以下であることを特徴とするガラスロール。
【請求項８】
前記保護フィルムが外側となるように前記ガラスフィルムが巻き取られていることを特徴とする請求項７に記載のガラスロール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面に透明導電膜が形成されたガラスフィルムにより構成されるガラスロール及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどの薄型表示機器、さらには近年急速に普及しているスマートフォンやタブレット型ＰＣなどのモバイル機器は、軽量であることが要求される。そのため、これらの機器に採用されるガラス基板としては、フィルム状に薄板化されたガラスフィルムが使用されつつある。このガラスフィルムは、最終製品の段階では、略矩形状等の形態をなすが、それ以前の製造工程や各種処理工程などの段階では、帯状の形態をなすものとして取り扱われている。
【０００３】
この種のガラスフィルムは、適切な可撓性を有することから、保管時や輸送時等の利便性を考慮して、巻芯等の廻りにロール状に巻き取ったガラスロールの形態とすることが通例となっている。ガラスフィルムをガラスロールの形態としておけば、保管性等に優れるだけでなく、略矩形状等のガラスフィルムを多数枚に亘って切り出すことも容易に行い得る。
【０００４】
ガラスロールの表面には、各種機器における様々な機能を具備させるために、機能性膜が形成される。機能性膜を高性能にするために、ガラスフィルムを加熱しながら成膜する場合がある。例えば特許文献１には、基板ロールから供給されるガラスフィルム（ガラスシート）を、３００℃以上に加熱されたキャンを用いて加熱し、このガラスフィルムの表面に、スパッタリング法により透明導電膜（例えばインジウムスズ酸化物）を形成する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１１９３２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ガラスフィルムは、樹脂フィルムと比較して耐熱性に優れるため、上記のように加熱成膜を行う場合に特に適している。その一方で、ガラスフィルムは機械的強度が低いため、上記構成のガラスロールから膜付ガラスフィルムを引き出して各種機器の製造工程を行う場合に、損傷するおそれがある。
【０００７】
本発明は上記の事情に鑑みて為されたものであり、透明導電膜が形成されたガラスフィルムによって構成されるガラスロールの損傷を防止することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記の課題を解決するためのものであり、帯状のガラスフィルムをロール状に巻き取ってなるガラスロールの製造方法であって、帯状の第一ガラスフィルムを所定の方向に送り出すガラスフィルム供給工程と、前記第一ガラスフィルムの一方の面に透明導電膜を加熱成膜して第二ガラスフィルムを形成する成膜工程と、粘着面を有する帯状の保護フィルムを前記第二ガラスフィルムの他方の面に重ねて第三ガラスフィルムを形成する保護フィルム供給工程と、前記第三ガラスフィルムをロール状に巻き取る巻取工程と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
上記のように、第二ガラスフィルムの他方の面に保護フィルムを重ねて第三ガラスフィルムとすることで、ガラスフィルムを保護フィルムによって保護できる。この第三ガラスフィルムにより構成されるガラスロールは、保護フィルムによってガラスフィルムを保護した状態で各種機器の製造関連処理を実施できる。これにより、処理中におけるガラスフィルムの損傷を防止できる。
【００１０】
本発明に係るガラスロールの製造方法では、前記成膜工程後の前記第二ガラスフィルムをロール状に巻き取る仮巻取工程と、前記仮巻取工程により構成される仮ガラスロールから前記第二ガラスフィルムを引き出して所定の方向に送り出す第二ガラスフィルム供給工程と、前記第二ガラスフィルム供給工程後に前記第三ガラスフィルムを形成する前記保護フィルム供給工程と、を備えてもよい。
【００１１】
また、前記巻取工程では、前記保護フィルムが外側となるように前記第三ガラスフィルムをロール状に巻き取ることが好ましい。これにより、ガラスロールの状態のガラスフィルムが破断するのを好適に防止することができる。
【００１２】
また、前記保護フィルム供給工程は、前記第三ガラスフィルムを巻き取る巻芯と、前記保護フィルムを案内するガイドローラとによって前記第二ガラスフィルム及び前記保護フィルムを挟むことにより前記第三ガラスフィルムを形成することが望ましい。このように、第三ガラスフィルムの巻芯とガイドローラとによって、第二ガラスフィルムと前記保護フィルムとを挟むことで、第二ガラスフィルムに対して保護フィルムを確実かつ正確に重ねることができる。また、第三ガラスフィルムの形成に巻芯を利用することで、ガイドローラの構成を簡素化できる。
【００１３】
本発明に係るガラスロールの製造方法において、前記成膜工程は、真空チャンバ内でスパッタリング法により前記透明導電膜を前記第一ガラスフィルムに形成することが望ましい。スパッタリング法により、第一ガラスフィルムに透明導電膜を加熱成膜することで、第一ガラスフィルムから剥離し難い強固な透明導電膜を形成するとともに、当該透明導電膜の低抵抗化を実現できる。すなわち、前記透明導電膜は、単層で構成した場合にシート抵抗を２０Ω／□以下の低抵抗とすることが可能になる。
【００１４】
本発明は上記の課題を解決するためのものであり、帯状のガラスフィルムがロール状に巻き取られたガラスロールにおいて、前記ガラスフィルムの一方の面に形成される透明導電膜と、前記ガラスフィルムの他方の面に重ねられるとともに粘着面を有する保護フィルムと、を備え、前記透明導電膜は単層であってシート抵抗が２０Ω／□以下であることを特徴とする。
【００１５】
上記の構成によれば、ガラスフィルムの他方の面に保護フィルムを重ねることで、当該ガラスフィルムを保護できる。したがって、本発明に係るガラスロールは、ガラスフィルムの損傷を防止しながらガラスフィルムの透明導電膜に所定の製造関連処理を行うことができる。また、透明導電膜は、単層で構成した場合のシート抵抗が２０Ω／□以下とされることから、各種機器の電極等に好適に使用され得る。
【００１６】
上記構成のガラスロールにおいて、前記保護フィルムが外側となるように前記ガラスフィルムが巻き取られていることが好ましい。これにより、ガラスロールの状態のガラスフィルムが破断するのを防止することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、透明導電膜が形成されたガラスフィルムによって構成されるガラスロールの損傷を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】ガラスロールの側面図である。
【図２】ガラスロールの製造装置を示す側面断面図である。
【図３】ガラスロールの製造方法を示すフローチャートである。
【図５】他の形態に係るガラスロールの製造装置の一部を示す側面断面図である。
【図４】ガラスロールの製造装置の一部を示す側面図である。
【図６】ガラスロールの製造方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。図１乃至図３は、本発明に係るガラスロール及びその製造方法に係る第一実施形態を示す。
【００２０】
図１に示すように、ガラスロール１は、帯状のガラスフィルム２の一方の面（以下、「第一の面」という）２ａに透明導電膜３を成膜し、他方の面（以下「第二の面」という）２ｂに保護フィルム４を重ねた状態で、巻芯５の周囲にロール状に巻き取ったものである。本実施形態に係るガラスロール１では、ガラスフィルム２の第一の面２ａが内周面となり、第二の面２ｂが外周面となるように構成される。すなわち、ガラスフィルム２の内側（第一の面２ａ）に透明導電膜３が形成され、外側（第二の面２ｂ）に保護フィルム４が重ねられる。
【００２１】
ガラスフィルム２の厚みは、５００μｍ以下とされ、好ましくは１０μｍ以上３００μｍ以下とされ、最も好ましくは３０μｍ以上２００μｍ以下である。
【００２２】
ガラスフィルム２の材質としては、ケイ酸塩ガラス、シリカガラスが用いられ、好ましくはホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラス、アルミノ珪酸塩ガラス、化学強化ガラスが用いられ、最も好ましくは無アルカリガラスが用いられる。ガラスフィルム２として無アルカリガラスを使用することで、化学的に安定したガラスとすることができる。ここで、無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分の重量比が３０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。本発明におけるアルカリ成分の重量比は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、最も好ましくは３００ｐｐｍ以下である。
【００２３】
ガラスフィルム２は、公知のフロート法、ロールアウト法、スロットダウンドロー法、リドロー法等により成形できるが、オーバーフローダウンドロー法によって成形されていることが好ましい。オーバーフローダウンドロー法は、断面が略くさび形の成形体の上部に設けられたオーバーフロー溝に溶融ガラスを流し込み、このオーバーフロー溝から両側に溢れ出た溶融ガラスを成形体の両側の側壁部に沿って流下させながら、成形体の下端部で融合一体化し、一枚のガラスフィルム２を連続成形するというものである。
【００２４】
オーバーフローダウンドロー法により、厚み３００μｍ以下のガラスフィルム２を大量かつ安価に作製することができる。これにより作製されたガラスフィルム２は、研磨や研削、ケミカルエッチング等によってガラスフィルム２の厚みの調整をする必要がない。また、オーバーフローダウンドロー法は、成形時にガラスフィルム２の両面が成形体と接触しない成形法であり、得られたガラスフィルム２の両面（透光面）は火造り面となり、研磨しなくても高い表面品位を得ることができる。
【００２５】
透明導電膜３の厚みは、１０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下が好ましく、５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下がより好ましく、最も好ましくは、１００ｎｍ以上３００ｎｍ以下である。また、ガラスフィルム２に形成された透明導電膜３のシート抵抗は、２０Ω／□以下であることが好ましく、より好ましくは、１５Ω／□以下である。
【００２６】
透明導電膜３の材質としては、透光性及び導電性を有するものであれば、特に限定されない。透明導電膜３は、例えば、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、フッ素ドープスズ酸化物（ＦＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ亜鉛酸化物（ＡＺＯ）などにより構成される。
【００２７】
保護フィルム４は、一方の面４ａが粘着面とされている。粘着面は、ガラスフィルム２の第二の面２ｂに接触する。粘着面の粘着力は、ガラスロール１に対して各種機器の製造関連処理が行われた後に、ガラスフィルム２から剥離できる程度に設定されることが望ましい。この粘着力は、０．００１Ｎ／２５ｍｍ以上１．５Ｎ／２５ｍｍ以下とされることが好ましいが、この範囲に限定されない。また、保護フィルム４の厚みは、１０μｍ以上１０００μｍ以下が好ましく、より好ましくは、２０μｍ以上５００μｍ以下である。
【００２８】
保護フィルム４の材質としては、例えば、アイオノマーフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロニトリルフィルム、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルム、エチレン−ビニルアルコール共重合体フィルム、エチレン−メタクリル酸共重合体フィルム、ナイロン(登録商標)フィルム（ポリアミドフィルム）、ポリイミドフィルム、セロファンなどの有機樹脂フィルム（合成樹脂フィルム）などを使用でき、ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）を使用することが好ましい。
【００２９】
巻芯５は、この実施形態では、中空の円筒状を呈しているが、中実の円柱状であってもよい。巻芯５の材質は、特に限定されるものではないが、例えば、アルミニウム合金、ステンレス鋼、マンガン鋼、炭素鋼等の金属、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン、ジリアルテレフタレート樹脂等の熱硬化性樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ＡＳ樹脂、ＡＢＳ樹脂、メタクリル樹脂、塩化ビニル等の熱可塑性樹脂、もしくはこれらの熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂にガラス繊維や炭素繊維などの強化繊維を混合した強化プラスチック、紙管等を使用することができる。
【００３０】
なお、以下の説明では、母材となるガラスフィルムを第一ガラスフィルム２Ａといい、第一ガラスフィルム２Ａに透明導電膜３が形成されたものを第二ガラスフィルム２Ｂという。また、第二ガラスフィルム２Ｂに保護フィルム４が重ねられた積層体（ガラスフィルム２、透明導電膜３及び保護フィルム４からなる積層体）を第三ガラスフィルム２Ｃという。
【００３１】
図２は、本実施形態におけるガラスロール１の製造装置６を示す。製造装置６は、成膜装置７と、保護フィルム供給装置８とを備える。成膜装置７は、真空チャンバ９を有する。真空チャンバ９は、ガラスフィルム供給室９ａと、成膜室９ｂと、ガラスフィルム回収室９ｃとを有する。
【００３２】
ガラスフィルム供給室９ａには、第一ガラスフィルム２Ａを巻芯５Ａによりロール状に巻き取った母材ガラスロール１Ａが配置される。巻芯５Ａの回転により、母材ガラスロール１Ａから引き出される第一ガラスフィルム２Ａが、ガラスフィルム供給室９ａから成膜室９ｂへと供給される。
【００３３】
成膜室９ｂには、第一ガラスフィルム２Ａの第一の面２ａに透明導電膜３を形成する成膜部１０が配置される。成膜部１０は、スパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法等の各種成膜法により、第一ガラスフィルム２Ａに透明導電膜３を形成できる。本実施形態では、スパッタリング法により透明導電膜３としてのＩＴＯ膜を形成する場合について説明する。
【００３４】
成膜部１０は、イオンビームスパッタ装置やマグネトロンスパッタ装置などにより構成される。スパッタ装置としての成膜部１０は、ターゲットを含むスパッタ源１１と、第一ガラスフィルム２Ａを支持する加熱ローラ１２とを主に備える。
【００３５】
スパッタ源１１は、ターゲットから飛散するスパッタ粒子（ＩＴＯ粒子）が第一ガラスフィルム２Ａの第一の面２ａに付着するように、加熱ローラ１２から一定の間隔をおいて配置される。
【００３６】
加熱ローラ１２は、第一ガラスフィルム２Ａを支持する円筒状のローラ本体１３と、このローラ本体１３を加熱するヒータ１４とを備える。ローラ本体１３は、ガラス又はセラミックスにより構成される。ローラ本体１３は、軸部１５により回転自在に支持される。
【００３７】
ヒータ１４は、ローラ本体１３を加熱すべく、当該ローラ本体１３の内側に配置される。ヒータ１４は、例えば赤外線ヒータ又は近赤外線ヒータにより構成されるが、これらに限定されるものではない。
【００３８】
成膜部１０によって第一ガラスフィルム２Ａに透明導電膜３が形成されることで、第二ガラスフィルム２Ｂが構成される。第二ガラスフィルム２Ｂは、ガラスフィルム回収室９ｃへと搬送され、その後、保護フィルム４が重ねられて第三ガラスフィルム２Ｃとなる。
【００３９】
真空チャンバ９のガラスフィルム回収室９ｃには、第三ガラスフィルム２Ｃを巻き取る巻芯５と、保護フィルム供給装置８とが配置される。巻芯５は、第三ガラスフィルム２Ｃを巻き取ることにより、最終形態としてのガラスロール１を形成する。母材ガラスロール１Ａ及びガラスロール１は、ロールトゥロール（Ｒｏｌｌ  ｔｏ  Ｒｏｌｌ）方式により、各ガラスフィルム２Ａ〜２Ｃを連続的に搬送するように構成される。
【００４０】
保護フィルム供給装置８は、保護フィルムロール１６と、ガイドローラ１７と、ガイドローラ１７の支持機構１８とを備える。
【００４１】
保護フィルムロール１６は、ガラスロール１の上方に配置されるが、この構成に限定されない。保護フィルムロール１６は、ガラスロール１の下流側の位置又は下方位置に設けられてもよい。
【００４２】
ガイドローラ１７は、一個のローラにより構成される。ガイドローラ１７は、ガラスロール１の巻芯５とともに、第三ガラスフィルム２Ｃと保護フィルム４とを挟むように構成される。ガイドローラ１７は、ガラスロール１の巻芯５よりも上方に配されるが、この位置に限定されない。ガイドローラ１７のローラ面１７ａは、緩衝材により構成される。緩衝材は、ゴムその他の弾性体により構成されることが望ましい。
【００４３】
支持機構１８は、ガイドローラ１７を回転自在に支持する支持部材１９と、この支持部材１９を回動自在に支持する支持軸２０とを備える。ガイドローラ１７は、支持部材１９を介して支持軸２０まわりに作用するモーメントにより、適度な押圧力でガラスロール１の一部に接触する。また、ガイドローラ１７は、この支持機構１８により、製造途中におけるガラスロール１の外径の拡大に追従して移動するように支持される。
【００４４】
以下、本実施形態におけるガラスロール１の製造方法について説明する。本方法は、図３に示すように、ガラスフィルム供給工程と、成膜工程と、保護フィルム供給工程と、巻取工程とを備える。
【００４５】
ガラスフィルム供給工程では、ガラスフィルム供給室９ａに配置される母材ガラスロール１Ａから第一ガラスフィルム２Ａが引き出され、下流側の成膜室９ｂ内の成膜部１０へと送られる。
【００４６】
成膜工程では、ガラスフィルム供給室９ａから供給される第一ガラスフィルム２Ａの第一の面２ａに、成膜部１０によって透明導電膜３を形成する。成膜室９ｂでは、図示しない真空ポンプによって所定の真空度に設定されるとともに、アルゴンガス等の不活性ガスが供給される。成膜部１０は、スパッタ源１１からスパッタ粒子（例えばＩＴＯ粒子）を飛散させ、第一ガラスフィルム２Ａの第一の面２ａに順次付着させる。
【００４７】
加熱ローラ１２のローラ本体１３は、図示しない駆動源により軸部１５を駆動することで、第一ガラスフィルム２Ａの搬送方向に沿うように所定の方向（図２における矢印Ｒの方向）に回転する。ローラ本体１３の一部は、第一ガラスフィルム２Ａの第二の面２ｂに接触している。ローラ本体１３は、その回転により、第一ガラスフィルム２Ａを下流側（ガラスフィルム回収室９ｃ側）に案内する。
【００４８】
ローラ本体１３は、ヒータ１４によって所定の温度に加熱されている。ローラ本体１３の温度は、例えば２００℃以上５００℃以下に設定されるが、この範囲に限定されない。これにより、ローラ本体１３は、第一ガラスフィルム２Ａを加熱しながら下流側に案内する。第一ガラスフィルム２Ａは、ローラ本体１３によって、１５０℃以上に加熱される。スパッタ粒子がＩＴＯである場合、第一ガラスフィルム２Ａは、２００℃以上に加熱されることが望ましく、２５０℃に加熱されることが更に望ましく、３００℃以上に加熱されることが最も望ましい。第一ガラスフィルム２Ａによって加熱されることで、当該第一ガラスフィルム２Ａに付着したＩＴＯ粒子が結晶化し、低抵抗（２０Ω／□以下）の透明導電膜３が形成される。以上により、第二ガラスフィルム２Ｂが形成される。
【００４９】
保護フィルム供給工程では、保護フィルム供給装置８における保護フィルムロール１６の巻芯２１の回転とともに、保護フィルム４が引き出される。保護フィルム４及び第二ガラスフィルム２Ｂは、ガイドローラ１７とガラスロール１の巻芯５とによって挟まれる。これにより、保護フィルム４の一方の面４ａ（粘着面）は、第二ガラスフィルム２Ｂの外周面である第二の面２ｂに接着される。これにより、第三ガラスフィルム２Ｃの形成が開始される。
【００５０】
巻取工程では、保護フィルム供給工程を経て形成される第三ガラスフィルム２Ｃを巻芯５の回転により即座に巻き取る。これにより、巻芯５の周囲にガラスロール１が形成される。ガラスロール１は、巻芯５の回転に応じてその外径を拡大する。
【００５１】
このとき、保護フィルム供給装置８のガイドローラ１７は、ガラスロール１の外径の拡大に追従して外方に移動する。支持機構１８の支持部材１９は、ガイドローラ１７を移動させるべく、支持軸２０の周りに（時計回りに）回動する。すなわち、ガイドローラ１７は、ガラスロール１の外径の拡大に応じて、図２において実線で示す位置から二点鎖線で示す位置へと移動する。これにより、ガイドローラ１７は、ガラスロール１に過度な押圧力を加えることなく、保護フィルム４を第二ガラスフィルム２Ｂに確実に接触させる。
【００５２】
巻芯５が所定長さの第三ガラスフィルム２Ｃを巻き取ることにより、巻取工程が終了し、本実施形態に係るガラスロール１が完成する。
【００５３】
なお、その後の工程において、ガラスロール１から第三ガラスフィルム２Ｃが引き出され、フォトリソグラフィ等の手段により、透明導電膜３に所定の回路パターン（例えば電極パターン）が形成される。所定の製造関連処理が実行されると、保護フィルム４は、ガラスフィルム２から除去（剥離）される。
【００５４】
以上説明した本実施形態に係るガラスロール１の製造方法によれば、ガラスフィルム２に保護フィルム４を重ねることにより、当該ガラスフィルム２を保護できる。これにより、各種機器の製造関連工程におけるガラスフィルム２の損傷を防止できる。また、巻取工程において、保護フィルム４が外側となるように第三ガラスフィルムを巻き取ることで、ガラスロール１が構成された際、ガラスフィルム２の第二の面２ｂに引張応力が作用するが、保護フィルム４により、ガラスフィルム２の第二の面２ｂを適切に保護できる。これにより、ガラスロール２の状態のガラスフィルム２が破断するのを効果的に防止することができる。さらに、ガラスフィルム２の第一の面２ａに形成される透明導電膜３は、加熱成膜されることから、２０Ω／□以下という低抵抗を実現でき、各種機器の電極等に好適に使用され得る。
【００５５】
また、保護フィルム供給工程を真空チャンバ９内で行うことにより、ガラスロール１の製造効率を向上させることができる。さらに、保護フィルム供給装置８を成膜装置７の真空チャンバ９内に配置することにより、製造装置６を小型化できる。
【００５６】
図４乃至図６は、ガラスロール及びその製造方法の第二実施形態を示す。
【００５７】
ガラスロール１の製造装置６は、成膜装置７と、保護フィルム供給装置８とを個別に備える。図４に示すように、成膜装置７の真空チャンバ９は、第一実施形態と同様に、ガラスフィルム供給室９ａ、成膜室９ｂ及びガラスフィルム回収室９ｃを備える。第一実施形態と同様に、ガラスフィルム供給室９ａには、母材ガラスロール１Ａが配置され、成膜室９ｂには、成膜部１０が設けられる。
【００５８】
ガラスフィルム回収室９ｃには、保護フィルム供給装置８が設けられていない。ガラスフィルム回収室９ｃには、第二ガラスフィルム２Ｂを巻き取る巻芯５Ｂが配される。巻芯５Ｂが第二ガラスフィルム２Ｂを巻き取ることにより、その周囲に仮ガラスロール１Ｂが形成される。成膜装置７におけるその他の構成は、第一実施形態と同じである。
【００５９】
保護フィルム供給装置８は、成膜装置７における真空チャンバ９の外側であって、当該成膜装置７の近傍位置に配される。図５に示すように、保護フィルム供給装置８は、保護フィルムロール１６と、保護フィルム４を案内するガイドローラ１７とを備える。保護フィルムロール１６は、保護フィルム４を巻芯２１によって巻き取ることにより構成される。ガイドローラ１７は、ニップローラにより構成されるが、この構成に限定されない。
【００６０】
図５に示すように、仮ガラスロール１Ｂ及びガラスロール１は、ロールトゥロール方式により連結されており、保護フィルムロール１６は、仮ガラスロール１Ｂとガラスロール１との間に配置される。保護フィルム供給装置８は、ガイドローラ１７を介して、巻芯５Ｂの回転に伴って仮ガラスロール１Ｂから引き出された第二ガラスフィルム２Ｂに、保護フィルムロール１６から引き出された保護フィルム４を接触させる。これにより、ガイドローラ１７の下流側において、第三ガラスフィルム２Ｃが連続的に形成される。巻芯５は、この第三ガラスフィルム２Ｃを巻き取ることで、その周囲にガラスロール１を構成する。
【００６１】
以下、上記構成の製造装置６により、ガラスロール１を製造する方法について説明する。
【００６２】
本方法は、図６に示すように、第一ガラスフィルム２Ａを供給する第一ガラスフィルム供給工程と、第一ガラスフィルム２Ａに透明導電膜３を形成する成膜工程と、成膜工程後に第二ガラスフィルム２Ｂを仮ガラスロール１Ｂとして回収する第一巻取工程と、仮ガラスロール１Ｂから第二ガラスフィルム２Ｂを引き出して供給する第二ガラスフィルム供給工程と、第二ガラスフィルム２Ｂに保護フィルム４を重ねて第三ガラスフィルム２Ｃを構成する保護フィルム供給工程と、第三ガラスフィルム２Ｃをガラスロール１として回収する第二巻取工程とを備える。
【００６３】
第一ガラスフィルム供給工程及び成膜工程は、第一実施形態のガラスフィルム供給工程及び成膜工程と同様に、成膜装置７における真空チャンバ９のガラスフィルム供給室９ａに配置される母材ガラスロール１Ａから第一ガラスフィルム２Ａを引き出して成膜室９ｂへと供給し、成膜部１０によって、第一ガラスフィルム２Ａの第一の面２ａに透明導電膜３を形成する。これにより、第二ガラスフィルム２Ｂが形成される。
【００６４】
第一巻取工程は、第三ガラスフィルム２Ｃを巻芯５によって巻き取る前に、第二ガラスフィルム２Ｂを別の巻芯５Ｂにより、仮に巻き取る工程（仮巻取工程）である。第一巻取工程では、成膜室９ｂを通過した第二ガラスフィルム２Ｂがガラスフィルム回収室９ｃに導入され、巻芯５Ｂによって巻き取られる。巻芯５Ｂは、第二ガラスフィルム２Ｂを巻き取るように、図示しない駆動源によって回転駆動される。これにより、巻芯５Ｂの周囲に仮ガラスロール１Ｂが形成される。仮ガラスロール１Ｂは、巻芯５Ｂの回転に伴って徐々に外径を拡大する。巻芯５Ｂが所定長さの第二ガラスフィルム２Ｂを巻き取ると、第一巻取工程が終了する。その後、仮ガラスロール１Ｂは、ガラスフィルム回収室９ｃから取り出される。
【００６５】
第二ガラスフィルム供給工程では、ガラスフィルム回収室９ｃから取り出された仮ガラスロール１Ｂから第二ガラスフィルム２Ｂが引き出され、下流側の保護フィルム供給装置８に供給される。
【００６６】
保護フィルム供給工程では、保護フィルムロール１６から保護フィルム４が引き出される。保護フィルム４は、ガイドローラ１７（ニップローラ）によって第二ガラスフィルム２Ｂとともに挟まれる。これにより、保護フィルム４の一方の面４ａ（粘着面）が第二ガラスフィルム２Ｂの第二の面２ｂに接着する。以上により、第三ガラスフィルム２Ｃが形成される。
【００６７】
第二巻取工程では、第三ガラスフィルム２Ｃを巻芯５によって巻き取る。巻芯５は、図示しない駆動源により回転駆動される。これにより、巻芯５の周囲にガラスロール１が形成される。ガラスロール１は、巻芯５の回転に伴って徐々に外径を拡大する。巻芯５が所定長さの第三ガラスフィルム２Ｃを巻き取ると、第二巻取工程が終了し、ガラスロール１が完成する。
【００６８】
なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００６９】
上記の実施形態では、真空チャンバ９内に母材ガラスロール１Ａを配置し、ロールトゥロール方式により、第一ガラスフィルム２Ａに透明導電膜３を形成する例を示したが、この構成に限定されない。例えば、オーバーフローダウンドロー法により連続的に成形されるガラスフィルム２（第一ガラスフィルム２Ａ）を真空チャンバ９内に導入し、当該ガラスフィルム２に透明導電膜３を形成してもよい。この場合、母材ガラスロール１Ａが使用されることなく、第二ガラスフィルム２Ｂが形成される。
【００７０】
上記の実施形態では、ヒータ１４で加熱されたローラ本体１３によって第一ガラスフィルム２Ａを加熱する例を示したが、この構成に限定されない。例えば、真空チャンバ９の成膜室９ｂ内において、第一ガラスフィルム２Ａの近傍にヒータ１４を配置し、このヒータ１４によって第一ガラスフィルム２Ａを加熱してもよい。
【００７１】
上記の実施形態では、ガラスフィルム２の第一の面２ａのみに透明導電膜３が形成されたガラスロール１を例示したが、これに限定されず、ガラスフィルム２の両面２ａ，２ｂに透明導電膜３が形成されてもよい。
【００７２】
上記の実施形態では、保護フィルム４の一方の面４ａを粘着面として、第一ガラスフィルム２Ａの第二の面２ｂに接着した例を示したが、この構成に限定されない。保護フィルム４の両面を粘着面として、ガラスロール１において、保護フィルム４の他方の面を透明導電膜３に接着させてもよい。この場合、保護フィルム４の一方の面４ａの粘着力を、他方の面の粘着力よりも大きく設定することが望ましい。
【００７３】
上記の実施形態では、ガラスフィルム２の内側（第一の面２ａ）に透明導電膜３が形成され、外側（第二の面２ｂ）に保護フィルム４が重ねられたガラスロール１を例示したが、この構成には限定されない。ガラスフィルム２の内側に保護フィルム４が重ねられ、ガラスフィルム２の外側に透明導電膜３が形成されたガラスロール１でも良い。
【００７４】
上記の実施形態では、第一ガラスフィルム２Ａ（ガラスフィルム２）のみからなる母材ガラスロール１Ａを例示したが、この構成に限定されない。母材ガラスロール１Ａは、母材となるガラスフィルム２に、ＰＥＴ等の樹脂からなる帯状の緩衝フィルムを重ねたものをロール状に構成したものであってもよい。この場合、ガラスフィルム供給工程において、真空チャンバ９のガラスフィルム供給室９ａにおいて、母材ガラスロール１Ａから引き出された第一ガラスフィルム２Ａと緩衝フィルムとを分離させ、緩衝フィルムをガラスフィルム供給室９ａ内において巻芯等により巻き取ることが望ましい。また、仮ガラスロール１Ｂの作製時にもＰＥＴ等の樹脂からなる帯状の緩衝フィルムを適宜重ねても良い。
【００７５】
また、帯状のガラスフィルム２の始端部及び終端部には、巻芯５，５Ａ、５Ｂとガラスフィルム２（２Ａ〜２Ｃ）とを連結するためのリーダ（例えば帯状の樹脂フィルム）が取り付けられてもよい。
【符号の説明】
【００７６】
１          ガラスロール
２          ガラスフィルム
２ａ        ガラスフィルムの一方の面
２ｂ        ガラスフィルムの他方の面
２Ａ        第一ガラスフィルム
２Ｂ        第二ガラスフィルム
２Ｃ        第三ガラスフィルム
３          透明導電膜
４          保護フィルム
４ａ        粘着面
５          第三ガラスフィルムの巻芯
９          真空チャンバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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