(57)【要約】【課題】異なる方向から照射された第１光源光および第２光源光を同時に変調することのできる投射型表示装置、および電気光学装置を提供すること。【解決手段】投射型表示装置１０００の電気光学装置１００において、第１駆動素子３０−１は、第１ミラー５０−１の姿勢を、第１照射方向Ｌｉ−１からの第１光源光Ｌ１をオン方向Ｌｏｎに反射する第１オン姿勢と、第１光源光Ｌ１を第１オフ方向Ｌｏｆｆ−１に反射する第１オフ姿勢とに切り換える。また、第２駆動素子３０−２は、第２ミラー５０−２の姿勢を、第２光源光Ｌ２をオン方向Ｌｏｎに反射する第２オン姿勢と、第２光源光Ｌ２を第２オフ方向Ｌｏｆｆ−２に反射する第２オフ姿勢とに切り換える。【選択図】図２
2018017890.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学装置と、
前記電気光学装置に対して、第１照射方向から第１光源光を照射するとともに、前記第１照射方向とは異なる第２照射方向から第２光源光を照射する光源部と、
前記電気光学装置により前記第１光源光を変調した第１変調光、および前記電気光学装置により前記第２光源光を変調した第２変調光を投射する投射光学系と、
を有し、
前記電気光学装置は、
光変調用の第１ミラーと、
前記第１ミラーを揺動させて前記第１ミラーの姿勢を切り換える第１駆動素子と、
前記第１ミラーと同一方向に向けて配置された光変調用の第２ミラーと、
前記第２ミラーを揺動させて前記第２ミラーの姿勢を切り換える第２駆動素子と、
を備え、
前記第１駆動素子は、前記第１ミラーの姿勢を、前記第１光源光を前記投射光学系に向かうオン方向に反射する第１オン姿勢と、前記第１光源光を前記オン方向、前記第１照射方向および前記第２照射方向と異なる第１オフ方向に反射する第１オフ姿勢と、に切り換え、
前記第２駆動素子は、前記第１ミラーの揺動方向と異なる方向に揺動させて、前記第２ミラーの姿勢を、前記第２光源光を前記オン方向に反射する第２オン姿勢と、前記第２光源光を前記オン方向、前記第１照射方向および前記第２照射方向と異なる第２オフ方向に反射する第２オフ姿勢と、に切り換えることを特徴とする投射型表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載の投射型表示装置において、
前記オン方向は、前記第１駆動素子による駆動が休止しているときの定常姿勢における前記第１ミラーに垂直な方向であり、
前記第１照射方向および前記第２照射方向は、前記オン方向に対して斜めに傾いた方向であることを特徴とする投射型表示装置。
【請求項３】
請求項２に記載の投射型表示装置において、
前記第１駆動素子は、前記定常姿勢にある前記第１ミラーに平行な第１軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オン姿勢および前記第１オフ姿勢の一方の姿勢とし、前記定常姿勢にある前記第１ミラーに平行かつ前記第１軸線と交差する第２軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オン姿勢および前記第１オフ姿勢の他方の姿勢とし、
前記第２駆動素子は、前記第１軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オン姿勢および前記第２オフ姿勢の一方の姿勢とし、前記第２軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オン姿勢および前記第２オフ姿勢の他方の姿勢とすることを特徴とする投射型表示装置。
【請求項４】
請求項３に記載の投射型表示装置において、
前記第１照射方向は、前記第１軸線方向の一方側から他方側に向かう方向であり、
前記第２照射方向は、前記第１軸線方向の他方側から一方側に向かう方向であり、
前記第１駆動素子は、前記第２軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オン姿勢とし、前記第１軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オフ姿勢とし、
前記第２駆動素子は、前記第２軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オン姿勢とし、前記第１軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オフ姿勢とすることを特徴とする投射型表示装置。
【請求項５】
請求項３に記載の投射型表示装置において、
前記第１照射方向は、前記第１軸線方向の一方側から他方側に向かう方向であり、
前記第２照射方向は、前記第２軸線方向の一方側から他方に向かう方向であり、
前記第１駆動素子は、前記第２軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オン姿勢とし、前記第１軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オフ姿勢とし、
前記第２駆動素子は、前記第１軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オン姿勢とし、前記第２軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オフ姿勢とすることを特徴とする投射型表示装置。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか一項に記載の投射型表示装置において、
前記第１光源光および前記第２光源光は、第１波長域の光と、前記第１波長域と異なる第２波長域の光と、前記第１波長域および前記第２波長域と異なる第３波長域の光とに順次、切り換わり、
前記第１光源光と前記第２光源光とでは、同一の波長域の光となる周期がずれていることを特徴とする投射型表示装置。
【請求項７】
請求項６に記載の投射型表示装置において、
前記第１光源光が、前記第１波長域、前記第２波長域、および前記第３波長域のいずれか１つの波長域の光になっている期間、前記第２光源光は、他の波長域の光に順次、切り換わることを特徴とする投射型表示装置。
【請求項８】
請求項７に記載の投射型表示装置において、
前記光源部は、白色光源と、前記第１波長域の光を透過する第１領域、前記第２波長域の光を透過する第２領域、および前記第３波長域の光を透過する第３領域を備えカラーホイールと、前記カラーホイールの回転に連動して動作する色分離装置と、を備え、
前記第１光源光は、前記カラーホイールを透過した光であり、
前記第２光源光は、前記カラーホイールを反射した光を前記色分離装置によって分離した光であることを特徴とする投射型表示装置。
【請求項９】
請求項１乃至５の何れか一項に記載の投射型表示装置において、
前記第１光源光は第１コヒーレント光であり、
前記第２光源光は、前記第１コヒーレント光に対して逆位相の第２コヒーレント光であることを特徴とする投射型表示装置。
【請求項１０】
請求項１乃至５の何れか一項に記載の投射型表示装置において、
前記第１光源光は第１直線偏光の光であり、
前記第２光源光は、前記第１直線偏光の光と偏波面が直交する第２直線偏光の光であることを特徴とする投射型表示装置。
【請求項１１】
光変調用の第１ミラーと、
前記第１ミラーを揺動させて前記第１ミラーの姿勢を切り換える第１駆動素子と、
前記第１ミラーと同一方向に向けて配置された光変調用の第２ミラーと、
前記第２ミラーを前記第１ミラーとは異なる方向に揺動させて前記第２ミラーの姿勢を切り換える第２駆動素子と、
を有することを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の電気光学装置において、
前記第１駆動素子は、前記第１駆動素子による駆動を休止した定常姿勢にある前記第１ミラーに平行な第１軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて第１オン姿勢および第１オフ姿勢の一方の姿勢とし、前記定常姿勢にある前記第１ミラーに平行かつ前記第１軸線と交差する第２軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オン姿勢および前記第１オフ姿勢の他方の姿勢とし、
前記第２駆動素子は、前記第１軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて第２オン姿勢および第２オフ姿勢の一方の姿勢とし、前記第２軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オン姿勢および前記第２オフ姿勢の他方の姿勢とすることを特徴とする電気光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源光をミラーにより変調する投射型表示装置および電気光学装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ミラーを備えた電子機器として、光源部から出射された光源光をＤＭＤ（デジタル・ミラー・デバイス）と呼ばれる電気光学装置によって変調した後、変調光を投射光学系によって拡大投射する表示装置が提案されている。かかる電子機器において、光源部は、ミラーに垂直な方向に対して斜めに傾いた１つの方向からミラーに光源光を照射する。ここで、電気光学装置では、同一方向に揺動可能なミラーがマトリクス状に配置されており、複数のミラーの各々の姿勢を、光源光を投射光学系に向かうオン方向に反射するオン姿勢と、光源光をオン方向と異なるオフ方向に反射するオフ姿勢とに切り換えることにより、光源光を変調する（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許ＵＳ２０１５／００７０７４９  Ａ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本願発明者は、投射型表示装置等において、隣り合うミラーで反射した光同士の干渉やカラーブレイクアップの抑制等を図る手法として、異なる種類の光源光を電気光学装置に入射させるとともに、複数の光源光の各々を同時に変調して投射光学系から出射することを検討している。しかしながら、１つの電気光学装置によって複数の光源光を同時に変調する場合、各光源光を異なる方向から入射させる必要があるが、特許文献１に記載の電気光学装置では、複数のミラーにおいてオン姿勢およびオフ姿勢が同一であるため、異なる方向から入射した複数の光源光を光変調するのは困難である。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、異なる方向から照射された第１光源光および第２光源光を同時に変調することのできる投射型表示装置、および電気光学装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係る投射型表示装置の一態様は、電気光学装置と、前記電気光学装置に対して、第１照射方向から第１光源光を照射するとともに、前記第１照射方向とは異なる第２照射方向から第２光源光を照射する光源部と、前記電気光学装置により前記第１光源光を変調した第１変調光、および前記電気光学装置により前記第２光源光を変調した第２変調光を投射する投射光学系と、を有し、前記電気光学装置は、光変調用の第１ミラーと、前記第１ミラーを揺動させて前記第１ミラーの姿勢を切り換える第１駆動素子と、前記第１ミラーと同一方向に向けて配置された光変調用の第２ミラーと、前記第２ミラーを揺動させて前記第２ミラーの姿勢を切り換える第２駆動素子と、を備え、前記第１駆動素子は、前記第１ミラーの姿勢を、前記第１光源光を前記投射光学系に向かうオン方向に反射する第１オン姿勢と、前記第１光源光を前記オン方向、前記第１照射方向および前記第２照射方向と異なる第１オフ方向に反射する第１オフ姿勢と、に切り換え、前記第２駆動素子は、前記第１ミラーの揺動方向と異なる方向に揺動させて、前記第２ミラーの姿勢を、前記第２光源光を前記オン方向に反射する第２オン姿勢と、前記第２光源光を前記オン方向、前記第１照射方向および前記第２照射方向と異なる第２オフ方向に反射する第２オフ姿勢と、に切り換えることを特徴とする。
【０００７】
本発明では、第１ミラーを第１駆動素子によって駆動することによって、第１照射方向から入射した第１光源光を、第１オン姿勢の第１ミラーによって投射光学系に向かうオン方向に反射し、第２ミラーを第２駆動素子によって駆動することによって、第２照射方向から入射した第２光源光を、第２オン姿勢の第２ミラーによって投射光学系に向かうオン方向に反射する。その際、第１ミラーが揺動する方向と、第２ミラーが揺動する方向とが異なる。従って、第１光源光が第２ミラーでオン方向に反射されることがなく、第２光源光が第１ミラーでオン方向に反射されることがない。それ故、複数の第１ミラーおよび複数の第２ミラーの各々の姿勢を制御すれば、第１ミラーによって第１光源光を変調した変調光、および第２ミラーによって第２光源光を変調した変調光を投射光学系から投射することができる。
【０００８】
本発明に係る投射型表示装置の一態様において、前記オン方向は、前記第１駆動素子による駆動が休止しているときの定常姿勢における前記第１ミラーに垂直な方向であり、前記第１照射方向および前記第２照射方向は、前記オン方向に対して斜めに傾いた方向である構成を採用することができる。
【０００９】
本発明に係る投射型表示装置の一態様において、前記第１駆動素子は、前記定常姿勢にある前記第１ミラーに平行な第１軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オン姿勢および前記第１オフ姿勢の一方の姿勢とし、前記定常姿勢にある前記第１ミラーに平行かつ前記第１軸線と交差する第２軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オン姿勢および前記第１オフ姿勢の他方の姿勢とし、前記第２駆動素子は、前記第１軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オン姿勢および前記第２オフ姿勢の一方の姿勢とし、前記第２軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オン姿勢および前記第２オフ姿勢の他方の姿勢とする構成を採用することができる。
【００１０】
本発明に係る投射型表示装置の一態様において、前記第１照射方向は、前記第１軸線方向の一方側から他方側に向かう方向であり、前記第２照射方向は、前記第１軸線方向の他方側から一方側に向かう方向であり、前記第１駆動素子は、前記第２軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オン姿勢とし、前記第１軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オフ姿勢とし、前記第２駆動素子は、前記第２軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オン姿勢とし、前記第１軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オフ姿勢とする構成を採用することができる。
【００１１】
本発明に係る投射型表示装置の一態様において、前記第１照射方向は、前記第１軸線方向の一方側から他方側に向かう方向であり、前記第２照射方向は、前記第２軸線方向の一方側から他方に向かう方向であり、前記第１駆動素子は、前記第２軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オン姿勢とし、前記第１軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オフ姿勢とし、前記第２駆動素子は、前記第１軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オン姿勢とし、前記第２軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オフ姿勢とする構成を採用することができる。かかる構成によれば、第１オフ姿勢の第１ミラーが第１光源光を反射する方向と、第２オフ姿勢の第２ミラーが第２光源光を反射する方向とが同じである。このため、第１オフ姿勢の第１ミラーが反射した第１光源光と、第２オフ姿勢の第２ミラーが反射した第２光源光とが同一方向に向かうので、これらの反射光を１個所に設けた光吸収装置によって吸収することができる。
【００１２】
本発明に係る投射型表示装置の一態様において、前記第１光源光および前記第２光源光は、第１波長域の光と、前記第１波長域と異なる第２波長域の光と、前記第１波長域および前記第２波長域と異なる第３波長域の光とに順次、切り換わり、前記第１光源光と前記第２光源光とでは、同一の波長域の光となる周期がずれている態様を採用することができる。かかる構成によれば、シーケンシャル方式でカラー画像を表示しても、カラーブレイクアップを抑制することができる。
【００１３】
本発明に係る投射型表示装置の一態様において、前記第１光源光が、前記第１波長域、前記第２波長域、および前記第３波長域のいずれか１つの波長域の光になっている期間、前記第２光源光は、他の波長域の光に順次、切り換わる態様を採用してもよい。かかる構成によれば、シーケンシャル方式でカラー画像を表示しても、カラーブレイクアップを抑制することができる。
【００１４】
この場合、前記光源部は、白色光源と、前記第１波長域の光を透過する第１領域、前記第２波長域の光を透過する第２領域、および前記第３波長域の光を透過する第３領域を備えカラーホイールと、前記カラーホイールの回転に連動して動作する色分離装置と、を備え、前記第１光源光は、前記カラーホイールを透過した光であり、前記第２光源光は、前記カラーホイールを反射した光を前記色分離装置によって分離した光である態様を採用することができる。
【００１５】
本発明に係る投射型表示装置の別の態様において、前記第１光源光は第１コヒーレント光であり、前記第２光源光は、前記第１コヒーレント光に対して逆位相の第２コヒーレント光である態様を採用してもよい。ここでいう「コヒーレント光」とは、シングルモードで発振するレーザーの出力光等、コヒーレント光に近い状態の光を含む意味である。かかる構成によれば、隣り合う第１ミラーと第２ミラーとから出射された光同士が干渉しにくいという利点がある。
【００１６】
本発明に係る投射型表示装置の別の態様において、前記第１光源光は第１直線偏光の光であり、前記第２光源光は、前記第１偏光の光と偏波面が直交する第２直線偏光の光である態様を採用してもよい。かかる構成によれば、第１ミラーと第２ミラーとから出射された光によって３Ｄ画像を投射することができる。
【００１７】
本発明に係る電気光学装置の一態様は、光変調用の第１ミラーと、前記第１ミラーを揺動させて前記第１ミラーの姿勢を切り換える第１駆動素子と、前記第１ミラーと同一方向に向けて配置された光変調用の第２ミラーと、前記第２ミラーを前記第１ミラーとは異なる方向に揺動させて前記第２ミラーの姿勢を切り換える第２駆動素子と、を有することを特徴とする。
【００１８】
本発明に係る電気光学装置の一態様において、前記第１駆動素子は、前記第１駆動素子による駆動を休止した定常姿勢にある前記第１ミラーに平行な第１軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オン姿勢および前記第１オフ姿勢の一方の姿勢とし、前記定常姿勢にある前記第１ミラーに平行かつ前記第１軸線と交差する第２軸線周りの一方側に前記第１ミラーを揺動させて前記第１オン姿勢および前記第１オフ姿勢の他方の姿勢とし、前記第２駆動素子は、前記第１軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オン姿勢および前記第２オフ姿勢の一方の姿勢とし、前記第２軸線周りの他方側に前記第２ミラーを揺動させて前記第２オン姿勢および前記第２オフ姿勢の他方の姿勢とする構成を採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態１に係る投射型表示装置の説明図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る投射型表示装置の平面構成を示す説明図である。
【図３】図２に示す電気光学装置の一部を拡大して示す斜視図である。
【図４】図３に示す駆動素子等の平面図である。
【図５】図２に示す電気光学装置においてミラーを駆動したときの説明図である。
【図６】図１に示す投射型表示装置で用いられる第１光源光および第２光源光の第１具体例を示す説明図である。
【図７】図１に示す投射型表示装置で用いられる第１光源光および第２光源光の第２具体例を示す説明図である。
【図８】図７に示す第１光源光および第２光源光を生成する光源部の構成を示す説明図である。
【図９】本発明の実施の形態２に係る投射型表示装置の平面構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。また、図面に示しているミラー等の数は、図面上で認識可能な程度の大きさとなるように設定しているが、この図面に示した数よりも多くのミラー等を設けてもよい。
【００２１】
［実施の形態１］
（投射型表示装置１０００の全体構成）
図１は、本発明の実施の形態１に係る投射型表示装置１０００の説明図であり、図１には、電気光学装置１００に設けられた複数のミラー５０の一部のみを示してある。
【００２２】
図１に示す投射型表示装置１０００は、光源部１１０と、光源部１１０から出射された光を画像情報に応じて変調する電気光学装置１００と、電気光学装置１００で変調された光を投射画像として壁面やスクリーン等の被投射物２００に投射する投射光学系１２０とを有している。本形態において、電気光学装置１００は、図３、図４および図５を参照して後述するように、光変調用のミラー５０と、ミラー５０を駆動する駆動素子３０とを有しており、駆動素子３０は、後述するように、ミラー５０を揺動させて、ミラー５０の姿勢をオン姿勢とオフ姿勢とに切り換える。
【００２３】
本形態において、光源部１１０は、第１照射方向Ｌｉ−１から第１光源光Ｌ１を電気光学装置１００に出射する第１出射部１１０−１と、第１照射方向Ｌｉ−１と異なる第２照射方向Ｌｉ−２から第２光源光Ｌ２を電気光学装置１００に出射する第２出射部１１０−２とを有している。第１照射方向Ｌｉ−１および第２照射方向Ｌｉ−２は、方向が異なるが、ミラー５０に垂直な方向から同じ角度で斜めに傾いた方向である。光源部１１０は光源制御部１６０によって制御され、第１出射部１１０−１および第２出射部１１０−２は各々、赤色光、緑色光および青色光を順次、出射する。電気光学装置１００は、画像制御部１７０によって制御され、光源部１１０から出射された赤色光、緑色光および青色光の光源光を順次、光変調し、変調光を投射光学系１２０に出射する。本形態において、光源制御部１６０および画像制御部１７０は各々、上位の制御部１５０によって制御され、電気光学装置１００は、第１出射部１１０−１および第２出射部１１０−２から赤色光、緑色光および青色光が出射されるタイミングに同期して赤色光、緑色光および青色光を変調する。
【００２４】
光源部１１０には、例えば、光源から出射された白色光を、カラーホイールを介して電気光学装置１００に出射する構成を採用することができる。この場合、光源およびカラーホイールが各々、第１出射部１１０−１および第２出射部１１０−２に設けられる構成が採用される他、光源部１１０に一組の光源およびカラーホイールが設けられ、カラーホイールから出射された光の一部を第１出射部１１０−１から出射し、カラーホイールから出射された他の光を第２出射部１１０−２から出射される構成を採用することができる。また、光源部１１０において、第１出射部１１０−１および第２出射部１１０−２の各々に、赤色光を出射する発光素子、緑色光を出射する発光素子、および青色光を出射する発光素子を設け、これらの発光素子を順次、点灯させて、赤色光、緑色光および青色光を順次、出射する構成を採用してもよい。
【００２５】
（電気光学装置１００の構成）
図２は、本発明の実施の形態１に係る投射型表示装置１０００の平面構成を示す説明図であり、図２には、第１ミラー５０−１および第２ミラー５０−２を駆動する様子も示してある。図３は、図２に示す電気光学装置１００の一部を拡大して示す斜視図であり、ミラー５０が定常姿勢にあるときを示してある。図４は、図３に示す駆動素子３０等の平面図である。図５は、図５に示す電気光学装置１００においてミラー５０を駆動したときの説明図であり、ミラー５０が軸線Ｌａ周りの一方側ＣＷａに傾いたオン姿勢、およびミラー５０が軸線Ｌｂ周りの一方側ＣＣＷｂに傾いたオフ姿勢を示してある。なお、図３および図５では、ミラー５０を二点鎖線で示してある。
【００２６】
図１に示す投射型表示装置１０００において、電気光学装置１００では、図２に示すように、複数のミラー５０がマトリクス状に配置されている。ここで、電気光学装置１００では、ミラー５０として、第１ミラー５０−１と、第１ミラー５０−１と同一方向に向けて配置された第２ミラー５０−２とが設けられている。従って、電気光学装置１００には、駆動素子３０として、第１ミラー５０−１を駆動する第１駆動素子３０−１と、第２ミラー５０−２を駆動する第２駆動素子３０−２とが設けられている。本形態においては、第１ミラー５０−１が第２軸線Ｙ０の延在方向に並んだ列と、第２ミラー５０−２が第２軸線Ｙ０の延在方向に並んだ列とが第１軸線Ｘ０の延在方向に交互に配置されている。
【００２７】
ここで、第１ミラー５０−１と第２ミラー５０−２とは、図３、図４および図５を参照して以下に説明するミラー５０を、向きを変えて配置されたものであり、同一の構成を有している。また、第１駆動素子３０−１と第２駆動素子３０−２とは、図３、図４および図５を参照して以下に説明する駆動素子３０をミラー５０と同様に向きを変えて配置されたものであり、同一の構成を有している。
【００２８】
図３および図４に示す電気光学装置１００において、ミラー５０は、素子基板１の一方面１ｓから離間して設けられている。素子基板１は、例えば、シリコン基板である。ミラー５０は、例えば、１辺の長さが例えば１０〜３０μｍの平面サイズを有するマイクロミラーである。ミラー５０は、例えば、８００×６００から１１９２０×１０８０の配列をもって配置されている。ミラー５０の表面はアルミニウム等の反射金属膜からなる反射面になっている。
【００２９】
電気光学装置１００は、素子基板１の一方面１ｓに形成された基板側バイアス電極１１および基板側アドレス電極１２、１３等を含む１階部分１００ａと、高架アドレス電極３２、３３、ヒンジ３５およびヒンジスプリング３８を含む２階部分１００ｂと、ミラー５０を含む３階部分１００ｃとを備えている。１階部分１００ａでは、素子基板１の一方面に、メモリセルや、ワード線、ビット線等からなるアドレス指定回路（図示せず）が形成されている。
【００３０】
２階部分１００ｂは、高架アドレス電極３２、３３、ヒンジ３５、ヒンジスプリング３８、およびミラーポスト５１を含んでいる。高架アドレス電極３２、３３は、ヒンジ３５の両側で電極ポスト３２１、３３１を介して基板側アドレス電極１２、１３に導通している。ヒンジスプリング３８は、ヒンジポスト３８０を介して基板側バイアス電極１１に支持され、ヒンジポスト３８０を介して基板側バイアス電極１１に導通している。ヒンジスプリング３８からは、ヒンジ３５が突出しており、ヒンジ３５の先端には、ミラーポスト５１を介してミラー５０が支持されている。また、ミラー５０は、ミラーポスト５１およびヒンジ３５を介してヒンジスプリング３８に導通し、ヒンジスプリング３８およびヒンジポスト３８０を介して基板側バイアス電極１１に導通している。従って、ミラー５０には、基板側バイアス電極１１からバイアス電圧が印加される。基板側バイアス電極１１からは、ヒンジ３５と沿うように中央バイアス電極３７が延在し、中央バイアス電極３７の先端部には、ヒンジスプリング３８と同層の電極３９が電極ポスト３９０を介して支持されている。ヒンジスプリング３８および電極３９には、ミラー５０が傾いたときに当接するストッパー３８１、３８２、３９１が形成されている。
【００３１】
高架アドレス電極３２、３３は、ヒンジ３５を挟む両側でミラー５０との間に静電力を発生させてミラー５０を傾くように駆動する駆動素子３０を構成している。また、基板側アドレス電極１２、１３も、ミラー５０との間に静電力を発生させてミラー５０を傾くように駆動するように構成される場合があり、この場合、駆動素子３０は、高架アドレス電極３２、３３、および基板側アドレス電極１２、１３によって構成されることになる。ヒンジ３５は、高架アドレス電極３２、３３に駆動電圧が印加されて、図５に示すように、ミラー５０が高架アドレス電極３２あるいは高架アドレス電極３３に引き寄せられるように傾いた際にねじれ、高架アドレス電極３２、３３に対する駆動電圧の印加が停止してミラー５０に対する吸引力が消失した際、ミラー５０が素子基板１に平行な定常姿勢に戻す力を発揮する。従って、駆動素子３０がミラー５０に対する駆動を休止している期間、ミラー５０は、素子基板１に平行な定常姿勢となっている。
【００３２】
このように構成した電気光学装置１００において、ミラー５０、高架アドレス電極３２および高架アドレス電極３３の電位を制御し、高架アドレス電極３２、３３とミラー５０との間に静電力を発生させれば、ヒンジ３５が捩れ、図５に示すように、ミラー５０が軸線Ｌａ周りの一方側ＣＷａに傾いたオフ姿勢、およびミラー５０が軸線Ｌｂ周りの一方側ＣＣＷｂに傾いたオン姿勢を実現することができる。ここで、軸線Ｌｂは、定常姿勢にあるミラー５０と平行な軸線であり、軸線Ｌａは、定常姿勢にあるミラー５０と平行かつ軸線Ｌｂと交差する方向に延在する軸線である。
【００３３】
（第１ミラー５０−１および第２ミラー５０−２等の構成）
図１に示すように、投射光学系１２０は、駆動素子３０（高架アドレス電極３２、３３）に対する駆動電圧の印加を休止して、ミラー５０が定常姿勢にあるときに、ミラー５０（第１ミラ−５０−１および第２ミラー５０−２）に垂直な方向に配置されており、ミラー５０（第１ミラ−５０−１および第２ミラー５０−２）から投射光学系１２０に向かう方向がオン方向Ｌｏｎである。
【００３４】
図２に示すように、本形態では、電気光学装置１００では、第１ミラー５０−１と、第１ミラー５０−１と同一方向に向けて配置された第２ミラー５０−２とが設けられている。ここで、第１ミラー５０−１および第２ミラー５０−２は、図２、図３、図４および図５を参照して説明した駆動素子３０の位置および向きを変えたものであり、基本的な構成が同一である。以下、定常姿勢にあるミラー５０（第１ミラー５０−１および第２ミラー５０−２）に平行な軸線を第１軸線Ｘ０とし、定常姿勢にあるミラー５０に平行かつ第１軸線Ｘ０に交差する軸線を第２軸線Ｙ０として説明する。
【００３５】
より具体的には、第１ミラー５０−１および第１駆動素子３０−１は、図３、図４および図５を参照して説明したミラー５０および駆動素子３０を、軸線Ｌａが第１軸線Ｘ０に沿って延在し、軸線Ｌｂが第２軸線Ｙ０に沿って延在するように設けたものである。これに対して、第２ミラー５０−２および第２駆動素子３０−２は、図３、図４および図５を参照して説明したミラー５０および駆動素子３０を、軸線Ｌａが第２軸線Ｙ０に沿って延在し、軸線Ｌｂが第１軸線Ｘ０に沿って延在するように設けたものである。但し、第１駆動素子３０−１が定常姿勢から第１ミラー５０−１を揺動させる方向（揺動方向）と、第２駆動素子３０−２が定常姿勢から第２ミラー５０−２を揺動させる方向（揺動方向）とが相違する。
【００３６】
また、第１出射部１１０−１は、第１軸線Ｘ０が延在する方向（第１軸線Ｘ０方向）の一方側Ｘ０ａに配置されており、第１照射方向Ｌｉ−１は、第１軸線Ｘ０が延在する方向の一方側Ｘ０ａから他方側Ｘ０ｂに向かう方向である。これに対して、第２出射部１１０−２は、第１軸線Ｘ０が延在する方向の他方側Ｘ０ｂに配置されており、第２照射方向Ｌｉ−２は、第１軸線Ｘ０が延在する方向の他方側Ｘ０ｂから一方側Ｘ０ａに向かう方向である。
【００３７】
従って、第１出射部１１０−１から第１光源光Ｌ１が照射された際、第１駆動素子３０−１が第１ミラー５０−１を第２軸線Ｙ０周りの一方側ＣＣＷＹに揺動させて、第１ミラー５０−１が第１軸線Ｘ０の延在方向の一方側Ｘ０ａに傾いた第１オン姿勢になったとき、第１ミラー５０−１は、第１光源光Ｌ１を投射光学系１２０に向かうオン方向Ｌｏｎに反射する。これに対して、第１駆動素子３０−１が第１ミラー５０−１を第１軸線Ｘ０周りの一方側ＣＷＸに揺動させて、第１ミラー５０−１が第２軸線Ｙ０の延在方向（第２軸線Ｙ０方向）の他方側Ｙ０ｂに傾いた第１オフ姿勢になったとき、第１ミラー５０−１は、第１光源光Ｌ１を第１軸線Ｘ０が延在する方向の他方側Ｘ０ｂかつ第２軸線Ｙ０が延在する方向の他方側Ｙ０ｂ（第１オフ方向Ｌｏｆｆ−１）に反射する。ここで、第１オフ方向Ｌｏｆｆ−１には第１光吸収装置１４０−１が配置されているので、第１オフ方向Ｌｏｆｆ−１に反射された第１光源光Ｌ１は、第１光吸収装置１４０−１に吸収される。それ故、複数の第１ミラー５０−１の各々についてオン姿勢およびオフ姿勢を制御すれば、第１光源光Ｌ１を変調した第１変調光を投射光学系１２０に反射することができる。その間、複数の第２ミラー５０−２はいずれも、以下に説明するように、第１軸線Ｘ０が延在する方向の他方側Ｘ０ｂに傾いた第２オン姿勢、あるいは第２軸線Ｙ０が延在する方向の一方側Ｙ０ａに傾いた第２オフ姿勢になっているため、第１光源光Ｌ１が第２ミラー５０−２によってオン方向Ｌｏｎに反射されることはない。
【００３８】
これに対して、第２出射部１１０−２から第２光源光Ｌ２が照射された際、第２駆動素子３０−２が第２ミラー５０−２を第２軸線Ｙ０周りの他方側ＣＷＹに揺動させて、第２ミラー５０−２が第１軸線Ｘ０の延在方向の他方側Ｘ０ｂに傾いた第２オン姿勢になったとき、第２ミラー５０−２は、第２光源光Ｌ２を投射光学系１２０に向かうオン方向Ｌｏｎに反射する。これに対して、第２駆動素子３０−２が第２ミラー５０−２を第１軸線Ｘ０周りに他方側ＣＣＷＸに揺動させて、第２ミラー５０−２が第２軸線Ｙ０の延在方向の一方側Ｙ０ａに傾いた第２オフ姿勢になったとき、第２ミラー５０−２は、第２光源光Ｌ２を第１軸線Ｘ０が延在する方向の一方側Ｘ０ａかつ第２軸線Ｙ０が延在する方向の一方側Ｙ０ａ（第２オフ方向Ｌｏｆｆ−２）に反射する。ここで、第２オフ方向Ｌｏｆｆ−２には第２光吸収装置１４０−２が配置されているので、第２オフ方向Ｌｏｆｆ−２に反射された第２光源光Ｌ２は、第２光吸収装置１４０−２に吸収される。それ故、複数の第２ミラー５０−２の各々についてオン姿勢およびオフ姿勢を制御すれば、第２光源光Ｌ２を変調して第２変調光として投射光学系１２０に反射することができる。その間、複数の第１ミラー５０−１はいずれも、前記したように、第１軸線Ｘ０が延在する方向の一方側Ｘ０ａに傾いた第１オン姿勢、あるいは第２軸線Ｙ０が延在する方向の他方側Ｙ０ｂに傾いた第１オフ姿勢になっているため、第２光源光Ｌ２が第１ミラー５０−１によってオン方向Ｌｏｎに反射されることはない。
【００３９】
（本形態の主な効果）
このように、本形態では、第１駆動素子３０−１は、定常姿勢にある第１ミラー５０−１を第１軸線Ｘ０周りの一方側ＣＷＸに揺動させて第１オン姿勢および第１オフ姿勢の一方の姿勢とし、定常姿勢にある第１ミラー５０−１を第２軸線Ｙ０周りの一方側ＣＣＷＹを揺動させて第１オン姿勢および第１オフ姿勢の他方の姿勢とする。また、第２駆動素子３０−２は、第１軸線Ｘ０周りの他方側ＣＣＷＸに第２ミラー５０−２を揺動させて第２オン姿勢および第２オフ姿勢の一方の姿勢とし、第２軸線Ｙ０周りの他方側ＣＷＹに第２ミラー５０−２を揺動させて第２オン姿勢および第２オフ姿勢の他方の姿勢とする。ここで、第１駆動素子３０−１が定常姿勢から第１ミラー５０−１を揺動させる方向と、第２駆動素子３０−２が定常姿勢から第２ミラー５０−２を揺動させる方向とが相違する。それ故、投射光学系１２０を介して被投射物２００に向けて、第１ミラー５０−１によって第１光源光Ｌ１を変調した第１変調光、および第２ミラー５０−２によって第２光源光Ｌ２を変調した第２変調光が投射されると、被投射物２００には、第１光源光Ｌ１を変調した変調光と第２光源光Ｌ２を変調した変調光とを合成した画像が投射される。
【００４０】
（第１光源光Ｌ１および第２光源光Ｌ２の第１具体例）
図６は、図１に示す投射型表示装置１０００で用いられる第１光源光Ｌ１および第２光源光Ｌ２の第１具体例を示す説明図である。図６に示すように、本形態において、第１光源光Ｌ１および第２光源光Ｌ２は、第１波長域の光Ｌ（Ｒ）と、第１波長域と異なる第２波長域の光Ｌ（Ｇ）と、第１波長域および第２波長域と異なる第３波長域の光Ｌ（Ｂ）とに順次、切り換わる。また、第１光源光Ｌ１と第２光源光Ｌ２とでは、同一の波長域の光となる周期がずれている。例えば、第１光源光Ｌ１は、時間ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４・・において光Ｌ（Ｒ）、Ｌ（Ｇ）、Ｌ（Ｂ）、Ｌ（Ｒ）・・の順に切り換わる一方、第２光源光Ｌ２は、時間ｔ１、ｔ２、ｔ３、ｔ４・・において光Ｌ（Ｇ）、Ｌ（Ｂ）、Ｌ（Ｒ）、Ｌ（Ｇ）・・の順に切り換わる。このため、シーケンシャル方式でカラー画像を表示しても、カラーブレイクアップを抑制することができる。
【００４１】
（第１光源光Ｌ１および第２光源光Ｌ２の第２具体例）
図７は、図１に示す投射型表示装置１０００で用いられる第１光源光Ｌ１および第２光源光Ｌ２の第２具体例を示す説明図である。図８は、図７に示す第１光源光Ｌ１および第２光源光Ｌ２を生成する光源部１１０の構成を示す説明図である。
【００４２】
図７に示すように、本形態において、第１光源光Ｌ１および第２光源光Ｌ２は、第１波長域の光Ｌ（Ｒ）と、第１波長域と異なる第２波長域の光Ｌ（Ｇ）と、第１波長域および第２波長域と異なる第３波長域の光Ｌ（Ｂ）とに順次、切り換わる。また、第１光源光Ｌ１と第２光源光Ｌ２とでは、同一の波長域の光となる周期がずれている。また、第１光源光Ｌ１が、光Ｌ（Ｒ）、Ｌ（Ｇ）、Ｌ（Ｂ）のいずれか１つの波長域の光になっている期間、第２光源光Ｌ２は、他の波長域の光に順次、切り換わる。例えば、第１光源光Ｌ１は、時間ｔ１では光Ｌ（Ｒ）になっている一方、第２光源光Ｌ２は、時間ｔ１の前半ｔ１−１において光Ｌ（Ｇ）であり、時間ｔ１の後半ｔ１−２において光Ｌ（Ｂ）に切り換わる。また、第１光源光Ｌ１は、時間ｔ２では光Ｌ（Ｇ）になっている一方、第２光源光Ｌ２は、時間ｔ２の前半ｔ２−１において光Ｌ（Ｂ）であり、時間ｔ２の後半ｔ２−２において光Ｌ（Ｒ）に切り換わる。このため、シーケンシャル方式でカラー画像を表示しても、カラーブレイクアップを抑制することができる。
【００４３】
かかる構成は、例えば、図８に示すように、光源部１１０に白色光源１１１と、第１波長域の光を透過する第１領域１１６、第２波長域の光を透過する第２領域１１７、および第３波長域の光を透過する第３領域１１８を備えカラーホイール１１５と、カラーホイール１１５の回転に連動して動作するカラーシャッター等の色分離装置１１３とを設けることによって構成することができる。この場合、第１光源光Ｌ１は、カラーホイール１１５を透過して第１出射部１１０−１から出射され光である。これに対して、第２光源光Ｌ２は、カラーホイール１１５を反射した光を色分離装置１１３によって分離して第１出射部１１０−１から出射された光である。
【００４４】
（第１光源光Ｌ１および第２光源光Ｌ２の第３具体例）
本例において、第１光源光Ｌ１は第１コヒーレント光であり、第２光源光Ｌ２は、第１コヒーレント光に対して逆位相の第２コヒーレント光である。ここで、ここでいう「コヒーレント光」とは、シングルモードで発振するレーザーの出力光等、コヒーレント光に近い状態の光を含む意味である。かかる構成によれば、隣り合う第１ミラー５０−１と第２ミラー５０−２とから出射された光同士が干渉しにくいという利点がある。
【００４５】
（第１光源光Ｌ１および第２光源光Ｌ２の第４具体例）
本例において、第１光源光Ｌ１は第１直線偏光の光であり、第２光源光Ｌ２は、第１直線偏光の光と偏波面が直交する第２直線偏光の光である。かかる構成によれば、第１ミラー５０−１と第２ミラー５０−２とから出射された光によって３Ｄ画像を投射することができ、利用者は、偏光眼鏡等を用いて３Ｄ画像を視認することができる。
【００４６】
［実施の形態２］
図９は、本発明の実施の形態２に係る投射型表示装置１０００の平面構成を示す説明図であり、図９には、第１ミラー５０−１および第２ミラー５０−２を駆動する様子も示してある。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【００４７】
図９に示すように、本形態の電気光学装置１００でも、実施の形態１と同様、ミラー５０として、第１ミラー５０−１と、第１ミラー５０−１と同一方向に向けて配置された第２ミラー５０−２とが設けられている。ここで、第１ミラー５０−１と第２ミラー５０−２とは、図３、図４および図５を参照して説明した駆動素子３０の位置および向きを変えて配置されたものであり、基本的な構成が同一である。より具体的には、第１ミラー５０−１および第１駆動素子３０−１は、図３、図４および図５を参照して説明したミラー５０および駆動素子３０を、軸線Ｌａが第１軸線Ｘ０に沿って延在し、軸線Ｌｂが第２軸線Ｙ０に沿って延在するように設けたものである。これに対して、第２ミラー５０−２および第２駆動素子３０−２は、図３、図４および図５を参照して説明したミラー５０および駆動素子３０を、軸線Ｌａが第２軸線Ｙ０に沿って延在し、軸線Ｌｂが第１軸線Ｘ０に沿って延在するように設けたものである。
【００４８】
本形態においても、実施の形態１と同様、投射光学系１２０は、駆動素子３０（高架アドレス電極３２、３３）に対する駆動電圧の印加が停止して、ミラー５０が定常姿勢にあるときに、ミラー５０（第１ミラー５０−１および第２ミラー５０−２）に垂直な方向に配置されており、ミラー５０（第１ミラー５０−１および第２ミラー５０−２）から投射光学系１２０に向かう方向がオン方向である。本形態においても、実施の形態１と同様、第１照射方向Ｌｉ−１と第２照射方向Ｌｉ−２とが異なる方向である。より具体的には、第１出射部１１０−１は、実施の形態１と同様、第１軸線Ｘ０が延在する方向の一方側Ｘ０ａに配置されており、第１照射方向Ｌｉ−１は、第１軸線Ｘ０が延在する方向の一方側Ｘ０ａから他方側Ｘ０ｂに向かう方向である。これに対して、第２出射部１１０−２は、第１実施の形態と違って、第２軸線Ｙ０が延在する方向の一方側Ｙ０ａに配置されており、第２照射方向Ｌｉ−２は、第２軸線Ｙ０が延在する方向の一方側Ｙ０ａから他方側Ｙ０ｂに向かう方向である。
【００４９】
このように構成した電気光学装置１００では、第１出射部１１０−１から第１光源光Ｌ１が照射された際、第１ミラー５０−１が第２軸線Ｙ０周りの一方側ＣＣＷＹに揺動して第１軸線Ｘ０が延在する方向の一方側Ｘ０ａに傾いた第１オン姿勢になったとき、第１ミラー５０−１は、第１光源光Ｌ１を投射光学系１２０に向かうオン方向Ｌｏｎに反射する。これに対して、第１ミラー５０−１が第１軸線Ｘ０周りの一方側ＣＷＸに揺動して第２軸線Ｙ０が延在する方向の他方側Ｙ０ｂに傾いた第１オフ姿勢になったとき、第１ミラー５０−１は、第１光源光Ｌ１を第１軸線Ｘ０が延在する方向の他方側Ｘ０ｂかつ第２軸線Ｙ０が延在する方向の他方側Ｙ０ｂ（第１オフ方向Ｌｏｆｆ−１）に反射する。ここで、第１オフ方向Ｌｏｆｆ−１には光吸収装置１４０が配置されているので、第１オフ方向Ｌｏｆｆ−１に反射された第１光源光Ｌ１は、光吸収装置１４０に吸収される。それ故、複数の第１ミラー５０−１の各々についてオン姿勢およびオフ姿勢を制御すれば、第１光源光Ｌ１を変調して第１変調光を投射光学系１２０に反射することができる。その間、複数の第２ミラー５０−２はいずれも、以下に説明するように、第２軸線Ｙ０が延在する方向の一方側Ｙ０ａに傾いた第２オン姿勢、あるいは第１軸線Ｘ０が延在する方向の他方側Ｘ０ｂに傾いた第２オフ姿勢になっているため、第１光源光Ｌ１が第２ミラー５０−２によってオン方向Ｌｏｎに反射されることはない。
【００５０】
これに対して、第２出射部１１０−２から第２光源光Ｌ２が照射された際、第２ミラー５０−２が第１軸線Ｘ０周りの他方側ＣＣＷＸに揺動して第２軸線Ｙ０が延在する方向の一方側Ｙ０ａに傾いた第２オン姿勢になったとき、第２ミラー５０−２は、第２光源光Ｌ２を投射光学系１２０に向かうオン方向Ｌｏｎに反射する。これに対して、第２ミラー５０−２が第２軸線Ｙ０周りの他方側ＣＷＹに揺動して第１軸線Ｘ０が延在する方向の他方側Ｘ０ｂに傾いた第２オフ姿勢になったとき、第２ミラー５０−２は、第２光源光Ｌ２を第１軸線Ｘ０が延在する方向の他方側Ｘ０ｂかつ第２軸線Ｙ０が延在する方向の他方側Ｙ０ｂ（第２オフ方向Ｌｏｆｆ−２）に反射する。ここで、第２オフ方向Ｌｏｆｆ−２は第１オフ方向Ｌｏｆｆ−１と同一であり、第１オフ方向Ｌｏｆｆ−１および第２オフ方向Ｌｏｆｆ−２には光吸収装置１４０が配置されている。従って、第２オフ方向Ｌｏｆｆ−２に反射された第２光源光Ｌ２は、光吸収装置１４０に吸収される。それ故、複数の第２ミラー５０−２の各々についてオン姿勢およびオフ姿勢を制御すれば、第２光源光Ｌ２を変調して投射光学系１２０に反射することができる。その間、複数の第１ミラー５０−１はいずれも、前記したように、第１軸線Ｘ０が延在する方向の一方側Ｘ０ａに傾いた第１オン姿勢、あるいは第２軸線Ｙ０が延在する方向の他方側Ｙ０ｂに傾いた第１オフ姿勢になっているため、第２光源光Ｌ２が第１ミラー５０−１によってオン方向Ｌｏｎに反射されることはない。
【００５１】
このように、本形態では、第１駆動素子３０−１は、定常姿勢にある第１ミラー５０−１を第１軸線Ｘ０周りの一方側ＣＷＸに揺動させて第１オン姿勢および第１オフ姿勢の一方の姿勢とし、定常姿勢にある第１ミラー５０−１を第２軸線Ｙ０周りの一方側ＣＣＷＹを揺動させて第１オン姿勢および第１オフ姿勢の他方の姿勢とする。また、第２駆動素子３０−２は、第１軸線Ｘ０周りの他方側ＣＣＷＸに第２ミラー５０−２を揺動させて第２オン姿勢および第２オフ姿勢の一方の姿勢とし、第２軸線Ｙ０周りの他方側ＣＷＹに第２ミラー５０−２を揺動させて第２オン姿勢および第２オフ姿勢の他方の姿勢とする。ここで、第１駆動素子３０−１が定常姿勢から第１ミラー５０−１を揺動させる方向と、第２駆動素子３０−２が定常姿勢から第２ミラー５０−２を揺動させる方向とが相違する。それ故、投射光学系１２０を介して被投射物２００に向けて、第１ミラー５０−１によって第１光源光Ｌ１を変調した変調光、および第２ミラー５０−２によって第２光源光Ｌ２を変調した変調光が投射される結果、被投射物２００には、第１光源光Ｌ１を変調した変調光と第２光源光Ｌ２を変調した変調光とを合成した画像が投射される。
【００５２】
また、本形態では、第１オフ方向Ｌｏｆｆ−１および第２オフ方向Ｌｏｆｆ−２が同一であるため、第１オフ方向Ｌｏｆｆ−１および第２オフ方向Ｌｏｆｆ−２に反射された光を共通の光吸収装置１４０によって吸収することができる。それ故、各部材を適正な位置に配置するのが容易である。
【００５３】
［他の実施の形態］
上記実施の形態では、ミラー５０を２つの軸線Ｌａ、Ｌｂ周りに揺動させる駆動素子３０の位置（向き）を変えて第１ミラー５０−１、第２ミラー５０−２、第１駆動素子３０−１および第２駆動素子３０−２を構成したが、ミラー５０を１つの軸線周りに揺動させる駆動素子３０の位置（向き）を変えて、第１ミラー５０−１および第２ミラー５０−２を異なる軸線周りに揺動させてもよい。
【符号の説明】
【００５４】
１…素子基板、３０…駆動素子、３０−１…第１駆動素子、３０−２…第２駆動素子、３２，３３…高架アドレス電極、３５…ヒンジ、５０…ミラー、５０−１…第１ミラー、５０−２…第２ミラー、１００…電気光学装置、１１０…光源部、１１０−１…第１出射部、１１０−２…第２出射部、１１１…白色光源、１１３…色分離装置、１１５…カラーホイール、１１６…第１領域、１１７…第２領域、１１８…第３領域、１２０…投射光学系、１４０…光吸収装置、１４０−１…第１光吸収装置、１４０−２…第２光吸収装置、１５０…制御部、１６０…光源制御部、１７０…画像制御部、２００…被投射物、１０００…投射型表示装置、Ｌ１…第１光源光、Ｌ２…第２光源光、Ｘ０…第１軸線、Ｙ０…第２軸線、Ｌｉ−１…第１照射方向、Ｌｉ−２…第２照射方向、Ｌｏｎ…オン方向、Ｌｏｆｆ−１…第１オフ方向、Ｌｏｆｆ−２…第２オフ方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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