(57)【要約】【課題】基板処理装置の稼働率を容易に向上させる。【解決手段】基板処理システムは、１つ以上の処理ユニット、記憶部、液貯留部、取得部、設定部、検知部、認識部および検出部を備えている。１つ以上の処理ユニットは、処理液を用いて基板に処理を施す。記憶部は、１つ以上の処理ユニットにおける、複数の基板群に係る複数の連続処理についての実行タイミングを示す処理計画情報を記憶する。液貯留部は、処理液を貯留している。取得部は、処理液の状態に係る数値を取得する。設定部は、取得部で取得された数値と、処理液の寿命に係るルールと、に基づいて、液貯留部の処理液の交換時期を設定する。検知部は、交換時期に、１つ以上の処理ユニットで連続処理が実行されていない待機状態を検知する。認識部は、処理計画情報に基づいて、待機状態の継続時間を認識する。検出部は、継続時間が予め設定された基準時間以上である液交換可能状態を検出する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液を用いて基板に処理を施す１つ以上の処理ユニットと、
前記１つ以上の処理ユニットにおける、第１基板群に含まれる複数枚の基板に対して順次に処理を施す第１連続処理と、第２基板群に含まれる複数枚の基板に対して順次に処理を施す第２連続処理と、を含む複数の基板群に係る複数の連続処理についての実行タイミングを示す処理計画情報を記憶する記憶部と、
前記１つ以上の処理ユニットで使用する前記処理液を貯留している液貯留部と、
前記処理液の状態に係る数値を取得する取得部と、
前記取得部で取得された数値と、前記処理液の寿命に係る予め設定されたルールと、に基づいて、前記液貯留部に貯留されている前記処理液の交換時期を設定する設定部と、
前記交換時期において、前記１つ以上の処理ユニットで前記複数の連続処理の何れの連続処理も実行されていない待機状態を検知する検知部と、
前記処理計画情報に基づいて、前記待機状態が継続する継続時間を認識する認識部と、
前記継続時間が予め設定された基準時間以上である液交換可能状態を検出する検出部と、を備えている、基板処理システム。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理システムであって、
前記液貯留部に貯留されている前記処理液を交換する液交換処理を実行する液交換部、をさらに備え、
前記液交換部は、前記検出部による前記液交換可能状態の検出に応答して、前記液交換処理を実行する、基板処理システム。
【請求項３】
請求項２に記載の基板処理システムであって、
前記液交換部は、前記交換時期において前記検出部によって前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記複数の連続処理のうちの前記１つ以上の処理ユニットにおいて実行中の連続処理が完了したことに応答して、前記液交換処理を実行する、基板処理システム。
【請求項４】
請求項２に記載の基板処理システムであって、
キャリアに収容されている複数枚の基板を前記キャリアから前記１つ以上の処理ユニットに向けて搬出する搬送部、をさらに備え、
前記液交換部は、前記交換時期において前記検出部によって前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記搬送部によって前記キャリアから前記１つ以上の処理ユニットに向けて既に搬出されていた全ての基板に対して、前記１つ以上の処理ユニットにおける処理が完了したことに応答して、前記液交換処理を実行する、基板処理システム。
【請求項５】
請求項４に記載の基板処理システムであって、
前記搬送部は、前記交換時期において前記検出部によって前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記交換時期の終了時から前記液交換処理の完了時まで、前記キャリアから前記１つ以上の処理ユニットに向けた基板の搬出を中止する、基板処理システム。
【請求項６】
請求項２に記載の基板処理システムであって、
前記液交換部は、前記交換時期において前記検出部によって前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記１つ以上の処理ユニット内に既に位置している全ての基板に対して、前記１つ以上の処理ユニットにおける処理が完了したことに応答して、前記液交換処理を実行する、基板処理システム。
【請求項７】
請求項６に記載の基板処理システムであって、
前記１つ以上の処理ユニットは、前記液交換部による前記液交換処理の実行の開始時から完了時まで、基板に対する処理の実行を停止する、基板処理システム。
【請求項８】
請求項１に記載の基板処理システムであって、
前記検出部による前記液交換可能状態の検出に応答して、ユーザが認識可能な第１の出力を行う出力部、をさらに備えている、基板処理システム。
【請求項９】
請求項８に記載の基板処理システムであって、
前記出力部は、前記交換時期において前記検出部によって前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたことに応答して、ユーザが認識可能な第２の出力を行う、基板処理システム。
【請求項１０】
請求項１から請求項９の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムであって、
基板処理装置と、該基板処理装置に通信可能に接続されている管理装置と、を備え、
前記基板処理装置は、前記１つ以上の処理ユニット、前記液貯留部、前記取得部、前記設定部および前記検知部を含み、
前記管理装置は、前記記憶部、前記認識部および前記検出部を含み、
前記基板処理装置は、前記検知部による前記待機状態の検知に応答して第１信号を前記管理装置に送信する送信部、をさらに含み、
前記管理装置は、前記送信部からの前記第１信号を受信する受信部、をさらに含み、
前記管理装置において、前記受信部による前記第１信号の受信に応答して、前記認識部は、前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出部は、前記液交換可能状態を検出する、基板処理システム。
【請求項１１】
請求項１０に記載の基板処理システムであって、
前記送信部は、前記取得部で取得された数値が予め設定された特定条件を満たしていることに応答して第２信号を前記管理装置に送信し、
前記管理装置において、前記受信部によって前記第２信号を受信した後に、前記受信部による前記第１信号の受信に応答して、前記認識部は、前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出部は、前記液交換可能状態を検出する、基板処理システム。
【請求項１２】
請求項１から請求項９の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムであって、
基板処理装置と、該基板処理装置に通信可能に接続されている管理装置と、を備え、
前記基板処理装置は、前記１つ以上の処理ユニット、前記液貯留部、前記取得部、前記設定部および前記検知部を含み、
前記管理装置は、前記記憶部、前記認識部および前記検出部を含み、
前記基板処理装置は、前記設定部によって設定された前記交換時期に係る交換時期情報を前記管理装置に送信し、前記検知部による前記待機状態の検知に応答して第１信号を前記管理装置に送信する送信部、をさらに含み、
前記管理装置は、前記送信部によって送信された前記交換時期情報および前記第１信号を受信する受信部、をさらに含み、
前記管理装置において、前記交換時期に、前記受信部による前記第１信号の受信に応答して、前記認識部は、前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出部は、前記液交換可能状態を検出する、基板処理システム。
【請求項１３】
請求項１２に記載の基板処理システムであって、
前記送信部は、前記取得部で取得された数値が予め設定された特定条件を満たしていることに応答して第２信号を前記管理装置に送信し、
前記管理装置において、前記受信部によって前記第２信号を受信した後、前記交換時期に、前記受信部による前記第１信号の受信に応答して、前記認識部が、前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出部が、前記液交換可能状態を検出する、基板処理システム。
【請求項１４】
処理液を用いて基板に処理を施す１つ以上の処理ユニットと、該１つ以上の処理ユニットにおける、第１基板群の複数枚の基板に対して順次に処理を施す第１連続処理および第２基板群の複数枚の基板に対して順次に処理を施す第２連続処理を含む複数の基板群に係る複数の連続処理についての実行タイミングを示す処理計画情報を記憶する記憶部と、前記１つ以上の処理ユニットで使用する前記処理液を貯留している液貯留部と、を備えている基板処理システムの制御方法であって、
前記処理液の状態に係る数値を取得する取得ステップと、
前記取得ステップで取得された数値と、前記処理液の寿命に係る予め設定されたルールと、に基づいて、前記液貯留部に貯留されている前記処理液の交換時期を設定する設定ステップと、
前記交換時期において、前記１つ以上の処理ユニットで前記複数の連続処理の何れの連続処理も実行されていない待機状態を検知する検知ステップと、
前記処理計画情報に基づいて、前記待機状態が継続する継続時間を認識する認識ステップと、
前記継続時間が予め設定された基準時間以上である液交換可能状態を検出する検出ステップと、を有している、基板処理システムの制御方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の基板処理システムの制御方法であって、
前記検出ステップによる前記液交換可能状態の検出に応答して、前記液貯留部に貯留されている前記処理液を交換する液交換処理を実行する第１液交換ステップ、をさらに有している、基板処理システムの制御方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の基板処理システムの制御方法であって、
前記交換時期において前記検出ステップで前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記複数の連続処理のうちの前記１つ以上の処理ユニットにおいて実行中の連続処理が完了したことに応答して、前記液交換処理を実行する第２液交換ステップ、をさらに有している、基板処理システムの制御方法。
【請求項１７】
請求項１５に記載の基板処理システムの制御方法であって、
キャリアに収容されている複数枚の基板を前記キャリアから前記１つ以上の処理ユニットに向けて搬出する搬出ステップ、をさらに有し、
前記交換時期において前記検出ステップで前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記搬出ステップにおいて前記キャリアから前記１つ以上の処理ユニットに向けて既に搬出されていた全ての基板に対して前記１つ以上の処理ユニットにおける処理が完了したことに応答して、前記液交換処理を実行する第２液交換ステップ、をさらに有している、基板処理システムの制御方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の基板処理システムの制御方法であって、
前記交換時期において前記検出ステップで前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記交換時期の終了時から前記液交換処理の完了時まで、前記搬出ステップにおける、前記キャリアから前記１つ以上の処理ユニットに向けた基板の搬出を中止する、基板処理システムの制御方法。
【請求項１９】
請求項１５に記載の基板処理システムの制御方法であって、
前記交換時期において前記検出ステップで前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記１つ以上の処理ユニット内に既に位置している全ての基板に対して、前記１つ以上の処理ユニットにおける処理が完了したことに応答して、前記液交換処理を実行する第２液交換ステップ、をさらに有している、基板処理システムの制御方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の基板処理システムの制御方法であって、
前記１つ以上の処理ユニットは、前記第２液交換ステップにおける前記液交換処理の実行の開始時から完了時まで、基板に対する処理の実行を停止する、基板処理システムの制御方法。
【請求項２１】
請求項１４に記載の基板処理システムの制御方法であって、
前記検出ステップにおける前記液交換可能状態の検出に応答して、ユーザが認識可能な第１の出力を行う第１出力ステップ、をさらに有している、基板処理システムの制御方法。
【請求項２２】
請求項２１に記載の基板処理システムの制御方法であって、
前記交換時期において前記検出ステップで前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたことに応答して、ユーザが認識可能な第２の出力を行う第２出力ステップ、をさらに有している、基板処理システムの制御方法。
【請求項２３】
請求項１４から請求項２２の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムの制御方法であって、
前記基板処理システムは、基板処理装置と、該基板処理装置に通信可能に接続されている管理装置と、を備え、
前記基板処理装置は、前記１つ以上の処理ユニットおよび前記液貯留部を含み、
前記管理装置は、前記記憶部を含み、
前記基板処理システムの制御方法は、さらに、
前記基板処理装置において、前記検知ステップにおける前記待機状態の検知に応答して第１信号を前記管理装置に送信する第１信号送信ステップと、
前記管理装置において、前記第１信号を受信する第１信号受信ステップと、を有し、
前記管理装置において、前記第１信号受信ステップにおける前記第１信号の受信に応答して、前記認識ステップで前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出ステップで前記液交換可能状態を検出する、基板処理システムの制御方法。
【請求項２４】
請求項２３に記載の基板処理システムの制御方法であって、
前記基板処理装置において、前記取得ステップで取得された数値が予め設定された特定条件を満たしていることに応答して第２信号を前記管理装置に送信する第２信号送信ステップと、
前記管理装置において、前記第２信号を受信する第２信号受信ステップと、をさらに有し、
前記管理装置において、前記第２信号受信ステップにおける前記第２信号の受信後に、前記第１信号受信ステップにおける前記第１信号の受信に応答して、前記認識ステップで前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出ステップで前記液交換可能状態を検出する、基板処理システムの制御方法。
【請求項２５】
請求項１４から請求項２２の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムの制御方法であって、
前記基板処理システムは、基板処理装置と、該基板処理装置に通信可能に接続されている管理装置と、を備え、
前記基板処理装置は、前記１つ以上の処理ユニットおよび前記液貯留部を含み、
前記管理装置は、前記記憶部を含み、
前記基板処理システムの制御方法は、さらに、
前記基板処理装置において、前記設定ステップで設定された前記交換時期に係る交換時期情報を前記管理装置に送信する時期情報送信ステップと、
前記基板処理装置において、前記検知ステップにおける前記待機状態の検知に応答して第１信号を前記管理装置に送信する第１信号送信ステップと、
前記管理装置において、前記交換時期情報を受信する時期情報受信ステップと、
前記管理装置において、前記第１信号を受信する第１信号受信ステップと、を有し、
前記管理装置において、前記交換時期に、前記第１信号受信ステップにおける前記第１信号の受信に応答して、前記認識ステップで前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出ステップで前記液交換可能状態を検出する、基板処理システムの制御方法。
【請求項２６】
請求項２５に記載の基板処理システムの制御方法であって、
前記基板処理装置において、前記取得ステップで取得された数値が予め設定された特定条件を満たしていることに応答して第２信号を前記管理装置に送信する第２信号送信ステップと、
前記管理装置において、前記第２信号を受信する第２信号受信ステップと、をさらに有し、
前記管理装置において、前記第２信号受信ステップで前記第２信号を受信した後、前記交換時期に、前記第１信号受信ステップにおける前記第１信号の受信に応答して、前記認識ステップで前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出ステップで前記液交換可能状態を検出する、基板処理システムの制御方法。
【請求項２７】
基板処理システムに含まれる演算処理部によって実行されることで、該基板処理システムを、請求項１から請求項１３の何れか１つの請求項に記載の基板処理システムとして機能させる、プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理システム、基板処理システムの制御方法およびプログラムに関する。特に、薬液を含む処理液の寿命によって液交換の作業が生じる基板処理システムの制御技術に関する。処理対象となる基板には、例えば、半導体基板、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、ＦＥＤ（Field Emission Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などが含まれる。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置では、薬液などの処理液を用いた処理が基板に施される。ただし、この処理液には寿命がある。このため、例えば、処理液の寿命を規定するライフタイムがアップした時点で液処理の交換作業が行われる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１の技術では、例えば、基板処理の開始前に、処理液の寿命に到達する時点に合わせた液交換予定を配置し、この液交換予定に対して、複数の基板からなる各ロットの処理に用いる基板処理装置の各部位の使用タイミングが重複しないように、各部位の使用タイミングを配置する。そして、例えば、液交換予定と各ロットの処理に用いる各部位の使用タイミングとの間に待機時間が生じている場合には、その液交換予定を各部位の使用タイミングに合わせて後ろにずらすことで、処理液の寿命の無駄が低減される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５１１８５３０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１の技術では、例えば、液交換予定を避けるように、各ロットの処理に用いる基板処理装置の各部位を使用するようにスケジュールを作成する。このため、例えば、処理液を交換する期間に、交換中の処理液を用いる基板処理を実行することができない。すなわち、基板処理装置における稼働率の低下を招く。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、基板処理装置の稼働率を容易に向上させることが可能な、基板処理システム、基板処理システムの制御方法およびプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、第１の態様に係る基板処理システムは、１つ以上の処理ユニットと、記憶部と、液貯留部と、取得部と、設定部と、検知部と、認識部と、検出部と、を備えている。前記１つ以上の処理ユニットは、処理液を用いて基板に処理を施す。前記記憶部は、前記１つ以上の処理ユニットにおける、第１基板群に含まれる複数枚の基板に対して順次に処理を施す第１連続処理と、第２基板群に含まれる複数枚の基板に対して順次に処理を施す第２連続処理と、を含む複数の基板群に係る複数の連続処理についての実行タイミングを示す処理計画情報を記憶する。前記液貯留部は、前記１つ以上の処理ユニットで使用する前記処理液を貯留している。前記取得部は、前記処理液の状態に係る数値を取得する。前記設定部は、前記取得部で取得された数値と、前記処理液の寿命に係る予め設定されたルールと、に基づいて、前記液貯留部に貯留されている前記処理液の交換時期を設定する。前記検知部は、前記交換時期において、前記１つ以上の処理ユニットで前記複数の連続処理の何れの連続処理も実行されていない待機状態を検知する。前記認識部は、前記処理計画情報に基づいて、前記待機状態が継続する継続時間を認識する。前記検出部は、前記継続時間が予め設定された基準時間以上である液交換可能状態を検出する。
【０００８】
第２の態様に係る基板処理システムは、第１の態様に係る基板処理システムであって、前記液貯留部に貯留されている前記処理液を交換する液交換処理を実行する液交換部、をさらに備え、前記液交換部は、前記検出部による前記液交換可能状態の検出に応答して、前記液交換処理を実行する。
【０００９】
第３の態様に係る基板処理システムは、第２の態様に係る基板処理システムであって、前記液交換部は、前記交換時期において前記検出部によって前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記複数の連続処理のうちの前記１つ以上の処理ユニットにおいて実行中の連続処理が完了したことに応答して、前記液交換処理を実行する。
【００１０】
第４の態様に係る基板処理システムは、第２の態様に係る基板処理システムであって、キャリアに収容されている複数枚の基板を前記キャリアから前記１つ以上の処理ユニットに向けて搬出する搬送部、をさらに備え、前記液交換部は、前記交換時期において前記検出部によって前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記搬送部によって前記キャリアから前記１つ以上の処理ユニットに向けて既に搬出されていた全ての基板に対して、前記１つ以上の処理ユニットにおける処理が完了したことに応答して、前記液交換処理を実行する。
【００１１】
第５の態様に係る基板処理システムは、第４の態様に係る基板処理システムであって、前記搬送部は、前記交換時期において前記検出部によって前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記交換時期の終了時から前記液交換処理の完了時まで、前記キャリアから前記１つ以上の処理ユニットに向けた基板の搬出を中止する。
【００１２】
第６の態様に係る基板処理システムは、第２の態様に係る基板処理システムであって、前記液交換部は、前記交換時期において前記検出部によって前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記１つ以上の処理ユニット内に既に位置している全ての基板に対して、前記１つ以上の処理ユニットにおける処理が完了したことに応答して、前記液交換処理を実行する。
【００１３】
第７の態様に係る基板処理システムは、第６の態様に係る基板処理システムであって、前記１つ以上の処理ユニットは、前記液交換部による前記液交換処理の実行の開始時から完了時まで、基板に対する処理の実行を停止する。
【００１４】
第８の態様に係る基板処理システムは、第１の態様に係る基板処理システムであって、前記検出部による前記液交換可能状態の検出に応答して、ユーザが認識可能な第１の出力を行う出力部、をさらに備えている。
【００１５】
第９の態様に係る基板処理システムは、第８の態様に係る基板処理システムであって、前記出力部は、前記交換時期において前記検出部によって前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたことに応答して、ユーザが認識可能な第２の出力を行う。
【００１６】
第１０の態様に係る基板処理システムは、第１から第９の何れか１つの態様に係る基板処理システムであって、基板処理装置と、該基板処理装置に通信可能に接続されている管理装置と、を備えている。前記基板処理装置は、前記１つ以上の処理ユニット、前記液貯留部、前記取得部、前記設定部および前記検知部を含む。前記管理装置は、前記記憶部、前記認識部および前記検出部を含む。前記基板処理装置は、前記検知部による前記待機状態の検知に応答して第１信号を前記管理装置に送信する送信部、をさらに含む。前記管理装置は、前記送信部からの前記第１信号を受信する受信部、をさらに含む。前記管理装置において、前記受信部による前記第１信号の受信に応答して、前記認識部は、前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出部は、前記液交換可能状態を検出する。
【００１７】
第１１の態様に係る基板処理システムは、第１０の態様に係る基板処理システムであって、前記送信部は、前記取得部で取得された数値が予め設定された特定条件を満たしていることに応答して第２信号を前記管理装置に送信し、前記管理装置において、前記受信部によって前記第２信号を受信した後に、前記受信部による前記第１信号の受信に応答して、前記認識部は、前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出部は、前記液交換可能状態を検出する。
【００１８】
第１２の態様に係る基板処理システムは、第１から第９の何れか１つの態様に係る基板処理システムであって、基板処理装置と、該基板処理装置に通信可能に接続されている管理装置と、を備えている。前記基板処理装置は、前記１つ以上の処理ユニット、前記液貯留部、前記取得部、前記設定部および前記検知部を含む。前記管理装置は、前記記憶部、前記認識部および前記検出部を含む。前記基板処理装置は、前記設定部によって設定された前記交換時期に係る交換時期情報を前記管理装置に送信し、前記検知部による前記待機状態の検知に応答して第１信号を前記管理装置に送信する送信部、をさらに含む。前記管理装置は、前記送信部によって送信された前記交換時期情報および前記第１信号を受信する受信部、をさらに含む。前記管理装置において、前記交換時期に、前記受信部による前記第１信号の受信に応答して、前記認識部は、前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出部は、前記液交換可能状態を検出する。
【００１９】
第１３の態様に係る基板処理システムは、第１２の態様に係る基板処理システムであって、前記送信部は、前記取得部で取得された数値が予め設定された特定条件を満たしていることに応答して第２信号を前記管理装置に送信し、前記管理装置において、前記受信部によって前記第２信号を受信した後、前記交換時期に、前記受信部による前記第１信号の受信に応答して、前記認識部が、前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出部が、前記液交換可能状態を検出する。
【００２０】
第１４の態様に係る基板処理システムの制御方法は、処理液を用いて基板に処理を施す１つ以上の処理ユニットと、該１つ以上の処理ユニットにおける、第１基板群の複数枚の基板に対して順次に処理を施す第１連続処理および第２基板群の複数枚の基板に対して順次に処理を施す第２連続処理を含む複数の基板群に係る複数の連続処理についての実行タイミングを示す処理計画情報を記憶する記憶部と、前記１つ以上の処理ユニットで使用する前記処理液を貯留している液貯留部と、を備えている基板処理システムの制御方法であって、取得ステップと、設定ステップと、検知ステップと、認識ステップと、検出ステップと、を有している。前記取得ステップにおいて、前記処理液の状態に係る数値を取得する。前記設定ステップにおいて、前記取得ステップで取得された数値と、前記処理液の寿命に係る予め設定されたルールと、に基づいて、前記液貯留部に貯留されている前記処理液の交換時期を設定する。前記検知ステップにおいて、前記交換時期において、前記１つ以上の処理ユニットで前記複数の連続処理の何れの連続処理も実行されていない待機状態を検知する。前記認識ステップにおいて、前記処理計画情報に基づいて、前記待機状態が継続する継続時間を認識する。前記検出ステップにおいて、前記継続時間が予め設定された基準時間以上である液交換可能状態を検出する。
【００２１】
第１５の態様に係る基板処理システムの制御方法は、第１４の態様に係る基板処理システムの制御方法であって、前記検出ステップによる前記液交換可能状態の検出に応答して、前記液貯留部に貯留されている前記処理液を交換する液交換処理を実行する第１液交換ステップ、をさらに有している。
【００２２】
第１６の態様に係る基板処理システムの制御方法は、第１５の態様に係る基板処理システムの制御方法であって、前記交換時期において前記検出ステップで前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記複数の連続処理のうちの前記１つ以上の処理ユニットにおいて実行中の連続処理が完了したことに応答して、前記液交換処理を実行する第２液交換ステップ、をさらに有している。
【００２３】
第１７の態様に係る基板処理システムの制御方法は、第１５の態様に係る基板処理システムの制御方法であって、キャリアに収容されている複数枚の基板を前記キャリアから前記１つ以上の処理ユニットに向けて搬出する搬出ステップ、をさらに有し、前記交換時期において前記検出ステップで前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記搬出ステップにおいて前記キャリアから前記１つ以上の処理ユニットに向けて既に搬出されていた全ての基板に対して前記１つ以上の処理ユニットにおける処理が完了したことに応答して、前記液交換処理を実行する第２液交換ステップ、をさらに有している。
【００２４】
第１８の態様に係る基板処理システムの制御方法は、第１７の態様に係る基板処理システムの制御方法であって、前記交換時期において前記検出ステップで前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記交換時期の終了時から前記液交換処理の完了時まで、前記搬出ステップにおける、前記キャリアから前記１つ以上の処理ユニットに向けた基板の搬出を中止する。
【００２５】
第１９の態様に係る基板処理システムの制御方法は、第１５の態様に係る基板処理システムの制御方法であって、前記交換時期において前記検出ステップで前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたとき、前記１つ以上の処理ユニット内に既に位置している全ての基板に対して、前記１つ以上の処理ユニットにおける処理が完了したことに応答して、前記液交換処理を実行する第２液交換ステップ、をさらに有している。
【００２６】
第２０の態様に係る基板処理システムの制御方法は、第１９の態様に係る基板処理システムの制御方法であって、前記１つ以上の処理ユニットは、前記第２液交換ステップにおける前記液交換処理の実行の開始時から完了時まで、基板に対する処理の実行を停止する。
【００２７】
第２１の態様に係る基板処理システムの制御方法は、第１４の態様に係る基板処理システムの制御方法であって、前記検出ステップにおける前記液交換可能状態の検出に応答して、ユーザが認識可能な第１の出力を行う第１出力ステップ、をさらに有している。
【００２８】
第２２の態様に係る基板処理システムの制御方法は、第２１の態様に係る基板処理システムの制御方法であって、前記交換時期において前記検出ステップで前記液交換可能状態が検出されることなく、前記交換時期を過ぎたことに応答して、ユーザが認識可能な第２の出力を行う第２出力ステップ、をさらに有している。
【００２９】
第２３の態様に係る基板処理システムの制御方法は、第１４から第２２の何れか１つの態様に係る基板処理システムの制御方法であって、前記基板処理システムは、基板処理装置と、該基板処理装置に通信可能に接続されている管理装置と、を備えている。前記基板処理装置は、前記１つ以上の処理ユニットおよび前記液貯留部を含む。前記管理装置は、前記記憶部を含む。前記基板処理システムの制御方法は、さらに、前記基板処理装置において、前記検知ステップにおける前記待機状態の検知に応答して第１信号を前記管理装置に送信する第１信号送信ステップと、前記管理装置において、前記第１信号を受信する第１信号受信ステップと、を有し、前記管理装置において、前記第１信号受信ステップにおける前記第１信号の受信に応答して、前記認識ステップで前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出ステップで前記液交換可能状態を検出する。
【００３０】
第２４の態様に係る基板処理システムの制御方法は、第２３の態様に係る基板処理システムの制御方法であって、前記基板処理装置において、前記取得ステップで取得された数値が予め設定された特定条件を満たしていることに応答して第２信号を前記管理装置に送信する第２信号送信ステップと、前記管理装置において、前記第２信号を受信する第２信号受信ステップと、をさらに有し、前記管理装置において、前記第２信号受信ステップにおける前記第２信号の受信後に、前記第１信号受信ステップにおける前記第１信号の受信に応答して、前記認識ステップで前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出ステップで前記液交換可能状態を検出する。
【００３１】
第２５の態様に係る基板処理システムの制御方法は、第１４から第２２の何れか１つの態様に係る基板処理システムの制御方法であって、前記基板処理システムは、基板処理装置と、該基板処理装置に通信可能に接続されている管理装置と、を備えている。前記基板処理装置は、前記１つ以上の処理ユニットおよび前記液貯留部を含む。前記管理装置は、前記記憶部を含む。前記基板処理システムの制御方法は、さらに、前記基板処理装置において、前記設定ステップで設定された前記交換時期に係る交換時期情報を前記管理装置に送信する時期情報送信ステップと、前記基板処理装置において、前記検知ステップにおける前記待機状態の検知に応答して第１信号を前記管理装置に送信する第１信号送信ステップと、前記管理装置において、前記交換時期情報を受信する時期情報受信ステップと、前記管理装置において、前記第１信号を受信する第１信号受信ステップと、を有し、前記管理装置において、前記交換時期に、前記第１信号受信ステップにおける前記第１信号の受信に応答して、前記認識ステップで前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出ステップで前記液交換可能状態を検出する。
【００３２】
第２６の態様に係る基板処理システムの制御方法は、第２５の態様に係る基板処理システムの制御方法であって、前記基板処理装置において、前記取得ステップで取得された数値が予め設定された特定条件を満たしていることに応答して第２信号を前記管理装置に送信する第２信号送信ステップと、前記管理装置において、前記第２信号を受信する第２信号受信ステップと、をさらに有し、前記管理装置において、前記第２信号受信ステップで前記第２信号を受信した後、前記交換時期に、前記第１信号受信ステップにおける前記第１信号の受信に応答して、前記認識ステップで前記処理計画情報に基づいて前記継続時間を認識し、前記検出ステップで前記液交換可能状態を検出する。
【００３３】
第２７の態様に係るプログラムは、基板処理システムに含まれる演算処理部によって実行されることで、該基板処理システムを、第１から第１３の何れか１つの態様に係る基板処理システムとして機能させる。
【発明の効果】
【００３４】
第１から第１３の態様に係る基板処理システム、第１４から第２６の態様に係る基板処理システムの制御方法および第２７の態様のプログラムの何れによっても、例えば、処理液の状態に係る数値に基づいて設定される処理液の交換時期において、１つ以上の処理ユニットの待機状態が検知され、この待機状態の継続時間が基準時間以上である液交換可能状態が検出される。これにより、例えば、液交換可能状態の検出に応じて、液貯留部に貯留されている処理液を交換することができる。このため、例えば、ある程度の幅を持たせた交換時期において、１つ以上の処理ユニットが待機している十分な長さの継続時間を有効利用して、液貯留部の処理液を交換することができる。その結果、例えば、１つ以上の処理ユニットの稼働率が向上し得る。したがって、基板処理装置の稼働率を容易に向上させることができる。
【００３５】
第２の態様に係る基板処理システムおよび第１５の態様に係る基板処理システムの制御方法の何れによっても、例えば、処理液の交換時期において、処理液の交換を行うための基準時間以上、待機状態が継続するのであれば、処理液の交換が自動で行われる。これにより、例えば、処理液を適正なタイミングで交換することができる。
【００３６】
第３の態様に係る基板処理システムおよび第１６の態様に係る基板処理システムの制御方法の何れによっても、例えば、液交換可能状態が検出されることなく処理液の交換時期が過ぎても、１つの基板群に対する連続処理が完了すれば、処理液が交換される。これにより、例えば、劣化した処理液を用いて処理が施される基板の数が低減される。また、例えば、１つの基板群に対する連続処理が中断されず、１つ以上の処理ユニットの稼働率が低下しにくくなる。
【００３７】
第４および第５の態様に係る基板処理システムならびに第１７および第１８の態様に係る基板処理システムの制御方法の何れによっても、例えば、液交換可能状態が検出されることなく処理液の交換時期が過ぎても、キャリアから既に搬出済みの全ての基板に対する処理が完了すれば、処理液が交換される。これにより、例えば、劣化した処理液を用いて処理が施される基板の数が低減される。また、例えば、１つの基板群に対する連続処理において、複数の基板に対する処理条件のばらつきが生じにくいため、処理後の基板の特性にばらつきが生じにくくなる。
【００３８】
第５の態様に係る基板処理システムおよび第１８の態様に係る基板処理システムの制御方法の何れによっても、例えば、液交換可能状態が検出されることなく処理液の交換時期が過ぎれば、交換時期の終了時から処理液の交換処理の完了時まで、キャリアから１つ以上の処理ユニットに向けた基板の搬出が中止される。これにより、例えば、キャリアに収容される複数の基板に対する搬送および処理の内容にばらつきが生じにくく、基板の搬送および処理の制御が容易となる。
【００３９】
第６および第７の態様に係る基板処理システムならびに第１９および第２０の態様に係る基板処理システムの制御方法の何れによっても、例えば、処理液の交換時期が過ぎても、１つ以上の処理ユニットに既に位置している全ての基板に対する処理が完了すれば、処理液が交換される。これにより、例えば、処理液の交換が早期に実行され、劣化した処理液を用いた基板処理が実行されにくくなる。
【００４０】
第７の態様に係る基板処理システムおよび第２０の態様に係る基板処理システムの制御方法の何れによっても、例えば、処理液の交換の開始時から完了時まで、基板に対する処理の実行が停止される。これにより、例えば、１つ以上の処理ユニットにおける基板処理の制御が容易となる。
【００４１】
第８および第９の態様に係る基板処理システムおよび第２１および第２２の態様に係る基板処理システムの制御方法の何れによっても、例えば、処理液の交換時期において、処理液の交換を行うための基準時間以上、待機状態が継続するのであれば、ユーザが認識可能な第１の出力が行われる。これにより、例えば、ユーザは、処理液の交換を開始しても良いタイミングを容易に知ることができる。
【００４２】
第９の態様に係る基板処理システムおよび第２２の態様に係る基板処理システムの制御方法の何れによっても、例えば、液交換可能状態が検出されることなく処理液の交換時期が過ぎたことがユーザに報知され得る。これにより、劣化した処理液を用いた基板処理が行われにくくなる。
【００４３】
第１０および第１１の態様に係る基板処理システムならびに第２３および第２４の態様に係る基板処理システムの制御方法の何れによっても、例えば、基板処理の計画を管理する管理装置において、基板処理装置における処理液の交換時期に係る情報が得られなくても、液交換可能状態が検出され得る。
【００４４】
第１１の態様に係る基板処理システムおよび第２４の態様に係る基板処理システムの制御方法の何れによっても、例えば、基板処理の計画を管理する管理装置において、基板処理装置における処理液の交換時期に係る情報が得られなくても、処理液の交換時期の到来後に液交換可能状態が検出される。これにより、例えば、１つ以上の処理ユニットの稼働率を容易に向上させることができる。その結果、基板処理装置の稼働率を容易に向上させることができる。
【００４５】
第１２および第１３の態様に係る基板処理システムならびに第２５および第２６の態様に係る基板処理システムの制御方法の何れによっても、例えば、基板処理の計画を管理する管理装置において、基板処理装置における処理液の交換時期において、液交換可能状態が検出され得る。
【００４６】
第１３の態様に係る基板処理システムおよび第２６の態様に係る基板処理システムの制御方法の何れによっても、例えば、基板処理の計画を管理する管理装置において、処理液の交換時期の到来後に、基板処理装置における処理液の交換時期において、液交換可能状態が検出され得る。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】一実施形態に係る基板処理システムの概略構成の一例を示す図である。
【図２】ホストコンピュータの電気的な構成の一例を示すブロック図である。
【図３】基板処理装置の概略構成の一例を示す模式的な平面図である。
【図４】処理ユニットの一構成例を模式的に示す図である。
【図５】制御ユニットの電気的な構成の一例を示すブロック図である。
【図６】演算処理部で実現される機能的な構成の一例を示すブロック図である。
【図７】基板処理システムの動作の一例を示すタイミングチャートである。
【図８】基板処理システムの動作の他の一例を示すタイミングチャートである。
【図９】基板処理システムの液交換処理に係る動作フローの一例を示す流れ図である。
【図１０】基板処理システムの液交換処理に係る動作フローの一例を示す流れ図である。
【図１１】基板処理システムの液交換処理に係る動作フローの一例を示す流れ図である。
【図１２】基板処理システムの液交換処理に係る動作フローの一例を示す流れ図である。
【図１３】第１変形例に係る基板処理システムの液交換処理に係る動作フローの一例を示す流れ図である。
【図１４】第２変形例に係る基板処理システムの液交換処理に係る動作フローの一例を示す流れ図である。
【図１５】第２変形例に係る基板処理システムの液交換処理に係る動作フローの一例を示す流れ図である。
【図１６】第２変形例に係る基板処理システムの液交換処理に係る動作フローの一例を示す流れ図である。
【図１７】第２変形例に係る基板処理システムの液交換処理に係る動作フローの一例を示す流れ図である。
【図１８】第３変形例に係る制御ユニットの電気的な構成の一例を示すブロック図である。
【図１９】第３変形例に係る演算処理部で実現される機能的な構成の一例を示すブロック図である。
【図２０】基板処理システムの動作の一参考例を示すタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００４８】
基板処理装置では、薬液などの処理液を用いた処理が基板に施される。ただし、この処理液には寿命がある。このため、例えば、処理液の寿命を規定するライフタイムがアップした時点で、処理液の交換作業を行うことが考えられる。
【００４９】
図２０は、基板処理装置に、複数の基板をそれぞれ収容している４つの収容器（キャリアともいう）を保持する機構としての第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４が存在する場合について、基板処理のタイミングと処理液の交換のタイミングとの関係の一例を示す図である。
【００５０】
図２０で示されるように、例えば、時刻ｔ０１から時刻ｔ０２の期間に、第１ロードポートＬＰ１から基板が順次搬出されながら処理ユニットで処理液を用いた基板処理が行われる。また、時刻ｔ０２から時刻ｔ０３の期間に、第２ロードポートＬＰ２から基板が順次搬出されながら処理ユニットで処理液を用いた基板処理が行われる。時刻ｔ０３から時刻ｔ０４の期間に、第３ロードポートＬＰ３から基板が順次搬出されながら処理ユニットで処理液を用いた基板処理が行われる。ここで、例えば、時刻ｔ０３と時刻ｔ０４との間の時刻ｔ０ｃに処理液の寿命が到来した場合には、時刻ｔ０４から時刻ｔ０５にかけて処理液の交換が行われた後に、時刻ｔ０５から時刻ｔ０６の期間に、第４ロードポートＬＰ４から基板が順次搬出されながら処理ユニットで処理液を用いた基板処理が行われる。このような処理が行われる場合には、本来は、時刻ｔ０４から時刻ｔ０６の期間に、第４ロードポートＬＰ４から基板が順次搬出されながら処理ユニットで処理液を用いた基板処理が行われるところが、時刻ｔ０４から時刻ｔ０５にかけて処理液の交換が行われる。これにより、例えば、時刻ｔ０４から時刻ｔ０５までの時間が、基板処理を行うことができない待機時間となり、基板処理装置における稼働率の低下を招く。
【００５１】
このような問題に対して、例えば、複数の基板処理装置における基板処理の処理計画を管理するホストコンピュータにおいて、処理計画に基づいて基板処理装置で処理液を交換するスケジュールを最適化することが考えられる。
【００５２】
しかしながら、例えば、処理液が寿命に到達する時点と、基板処理装置の１日における稼働開始時または稼働終了時とは、必ずしも一致しない。また、例えば、処理液の寿命が数日以上にわたる場合も多い。これに対して、例えば、ホストコンピュータでは、処理計画が毎日作成される場合が多い。このため、ホストコンピュータにおいて、処理計画に基づいて基板処理装置で処理液を交換するスケジュールを最適化して、基板処理装置における稼働率を向上させることは難しい。
【００５３】
このような場合には、例えば、基板処理装置において、個別に処理液の使用時間または使用回数などの処理液の寿命に係る値を管理して、処理液を交換するタイミングを決定することが考えられる。ただし、処理液には、交換すべき時期が到来してから処理液を交換することなくその処理液を用いた基板処理を継続しても構わない許容期間は、処理液の種類によって大きく異なる。また、例えば、基板処理装置のオペレータが、処理液の交換の前後で何が発生するのか予測することも難しい。したがって、例えば、基板処理装置のオペレータが、処理液を交換するタイミングを決定することは容易ではない。
【００５４】
そこで、本願発明者は、基板処理装置の稼働率を容易に向上させることが可能な技術を創出した。これについて、以下、一実施形態および各種変形例を図面に基づいて説明する。なお、図面においては同様な構成および機能を有する部分に同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。また、図面は模式的に示されたものである。
【００５５】
＜１．基板処理システムの概略構成＞
図１は、一実施形態に係る基板処理システム１の概略構成の一例を示す図である。
【００５６】
図１で示されるように、基板処理システム１は、例えば、ホストコンピュータ１０と、複数の基板処理装置２０と、を備えている。複数の基板処理装置２０には、例えば、第１の基板処理装置２０ａ、第２の基板処理装置２０ｂおよび第３の基板処理装置２０ｃが含まれている。ここでは、ホストコンピュータ１０と複数の基板処理装置２０とが、通信回線５を介して通信可能に接続されている。通信回線５は、例えば、有線回線であってもよいし、無線回線であってもよい。
【００５７】
＜２．ホストコンピュータの構成＞
図２は、ホストコンピュータ１０の電気的な構成の一例を示すブロック図である。ホストコンピュータ１０は、複数の基板処理装置２０を統括的に管理するための装置（管理装置ともいう）である。
【００５８】
図２で示されるように、ホストコンピュータ１０は、例えば、コンピュータなどによって実現され、バスラインＢｕ１を介して接続された、通信部１１、入力部１２、出力部１３、記憶部１４、制御部１５およびドライブ１６を備えている。
【００５９】
通信部１１は、例えば、通信回線５を介して各基板処理装置２０に対して信号を送信することができる送信部としての機能を有する。また、通信部１１は、例えば、通信回線５を介して各基板処理装置２０からの信号を受信することができる受信部としての機能を有する。
【００６０】
入力部１２は、例えば、ホストコンピュータ１０を使用するユーザの動作などに応じた信号を入力することができる。入力部１２には、例えば、操作部、マイクおよび各種センサなどが含まれ得る。操作部は、ユーザの操作に応じた信号を入力することができるマウスおよびキーボードなどを含み得る。マイクは、ユーザの音声に応じた信号を入力することができる。各種センサは、ユーザの動きに応じた信号を入力することができる。
【００６１】
出力部１３は、例えば、各種情報を出力することができる。出力部１３には、例えば、表示部およびスピーカなどが含まれ得る。表示部は、例えば、各種情報をユーザが認識することができる態様で可視的に出力することができる。ここで、この表示部は、入力部１２と一体化されたタッチパネルの形態を有していても良い。スピーカは、例えば、各種情報をユーザが認識することができる態様で可聴的に出力することができる。
【００６２】
記憶部１４は、例えば、各種の情報を記憶することができる。この記憶部１４は、例えば、ハードディスクおよびフラッシュメモリなどの記憶媒体によって構成され得る。記憶部１４では、例えば、１つの記憶媒体を有する構成、２つ以上の記憶媒体を一体的に有する構成、および２つ以上の記憶媒体を２つ以上の部分に分けて有する構成の何れが採用されても良い。記憶部１４には、例えば、プログラムＰ１および処理計画の情報（処理計画情報ともいう）ＰＰ１などの各種情報が記憶され得る。記憶部１４には、後述するメモリ１５ｂが含まれても良い。処理計画情報ＰＰ１は、各基板処理装置２０について、後述するＮ台（Ｎは自然数）の処理ユニット２１（図３など参照）における、複数の基板群に係る複数の連続した基板処理（連続処理ともいう）を実行するタイミング（実行タイミングともいう）などを示す。ここで、基板群は、例えば、１つのロットを構成する複数枚の基板Ｗ（図４など参照）によって構成される。複数の基板群に係る複数の連続処理には、例えば、第１基板群に含まれる複数枚の基板Ｗに対して順次に処理を施す連続処理（第１連続処理ともいう）と、第２基板群に含まれる複数枚の基板Ｗに対して順次に処理を施す連続処理（第２連続処理ともいう）と、が含まれ得る。
【００６３】
制御部１５は、例えば、プロセッサーとして働く演算処理部１５ａおよび情報を一時的に記憶するメモリ１５ｂなどを含む。演算処理部１５ａとしては、例えば、中央演算部（ＣＰＵ）などの電気回路が採用され、メモリ１５ｂとしては、例えば、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）などが採用され得る。演算処理部１５ａにおいて、例えば、記憶部１４に記憶されているプログラムＰ１が読み込まれて実行されることで、基板処理システム１の機能が実現され得る。制御部１５における各種情報処理によって一時的に得られる各種情報は、適宜メモリ１５ｂなどに記憶され得る。
【００６４】
ドライブ１６は、例えば、可搬性の記憶媒体ＲＭ１の脱着が可能な部分である。ドライブ１６では、例えば、記憶媒体ＲＭ１が装着されている状態で、この記憶媒体ＲＭ１と制御部１５との間におけるデータの授受が行われ得る。また、プログラムＰ１が記憶された記憶媒体ＲＭ１がドライブ１６に装着されることで、記憶媒体ＲＭ１から記憶部１４内にプログラムＰ１が読み込まれて記憶される態様が採用されても良い。
【００６５】
＜３．基板処理装置の構成＞
図３は、基板処理装置２０の概略構成の一例を示す模式的な平面図である。基板処理装置２０は、例えば、基板Ｗの表面に対して処理液を供給することで各種処理を行うことができる枚葉式の装置である。ここでは、基板Ｗの一例として、半導体基板（ウエハ）が用いられる。各種処理には、例えば、薬液などでエッチングを施す薬液処理、液体で汚れを除去する洗浄処理、水で洗い流すリンス処理およびレジストなどを塗布する塗布処理などが含まれる。
【００６６】
基板処理装置２０は、収容器としての複数のキャリアＣを保持する収容器保持機構としての第ＭロードポートＬＰＭ（Ｍは自然数、この実施形態ではＭは１〜４）と、基板Ｗを処理するＮ台（この実施形態では、１２台）の処理ユニット２１と、を含む。具体的には、例えば、平面的に配置されている４台の処理ユニット２１でそれぞれ構成されている３組の処理ユニット２１が、上下方向に積層するように配置されている。ここで、第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４には、例えば、キャリアＣを搬送する機構（キャリア搬送機構ともいう）によってキャリアＣが載置される。
【００６７】
基板処理装置２０は、さらに、例えば、インデクサロボットＩＲと、センターロボットＣＲと、液貯留部２２と、制御ユニット２３と、液交換部２４と、を含む。
【００６８】
インデクサロボットＩＲは、例えば、第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４とセンターロボットＣＲとの間で基板Ｗを搬送することができる。センターロボットＣＲは、例えば、インデクサロボットＩＲと各処理ユニット２１との間で基板Ｗを搬送することができる。換言すれば、インデクサロボットＩＲとセンターロボットＣＲとが、キャリアＣに収容されている複数枚の基板ＷをキャリアＣからＮ台の処理ユニット２１に向けて搬出する、搬送部ＴＲとして機能する。
【００６９】
液貯留部２２は、例えば、Ｎ台の処理ユニット２１で使用する処理液Ｌｑ０（図４など参照）を貯留することができる。液貯留部２２には、例えば、Ｎ台の処理ユニット２１に対して１つ以上のタンクが含まれていてもよいし、Ｎ台の処理ユニット２１のうちの１台以上の処理ユニット２１ごとに１つ以上のタンクが含まれていてもよい。ここでは、各タンクに、同じ種類の処理液Ｌｑ０が貯留されていてもよいし、異なる種類の処理液Ｌｑ０が貯留されていてもよい。
【００７０】
制御ユニット２３は、例えば、基板処理装置２０に備えられた各部の動作およびバルブの開閉などを制御することができる。
【００７１】
液交換部２４は、例えば、制御ユニット２３からの指令に応じて、液貯留部２２に貯留されている処理液を交換する処理（液交換処理ともいう）を実行することができる。この液交換部２４は、例えば、液排出部２４１と液供給部２４２とを有している。液排出部２４１は、例えば、バルブの開閉などによって液貯留部２２から処理液Ｌｑ０を排出することができる。液供給部２４２は、例えば、バルブの開閉などによって処理液Ｌｑ０の供給源から液貯留部２２へ処理液Ｌｑ０を供給することができる。処理液Ｌｑ０の供給源は、例えば、基板処理システム１の外部に位置しており、処理液Ｌｑ０を貯留しているタンク、このタンクと液貯留部２２とをつなぐ配管部、およびタンクから液貯留部２２に向けて処理液Ｌｑ０を送出するポンプなどを有している。液交換部２４によれば、例えば、液排出部２４１によって液貯留部２２から処理液Ｌｑ０がすべて排出された後に、液供給部２４２によって液貯留部２２に処理液Ｌｑ０が供給される。これにより、液交換処理が実行される。
【００７２】
ここでは、図３で示されるように、第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４と各処理ユニット２１とは、水平方向に間隔を空けて配置されている。第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４において、１つの基板群を成す複数枚の基板Ｗをそれぞれ収容する複数のキャリアＣは、平面視したときに水平な配列方向Ｄに沿って配列されている。ここで、インデクサロボットＩＲは、例えば、キャリアＣからセンターロボットＣＲに複数枚の基板Ｗを一枚ずつ搬送することができるとともに、センターロボットＣＲからキャリアＣに複数枚の基板Ｗを一枚ずつ搬送することができる。同様に、センターロボットＣＲは、例えば、インデクサロボットＩＲから各処理ユニット２１に複数枚の基板Ｗを一枚ずつ搬入することができるとともに、各処理ユニット２１からインデクサロボットＩＲに複数枚の基板Ｗを一枚ずつ搬送することができる。また、例えば、センターロボットＣＲは、必要に応じて複数の処理ユニット２１の間において基板Ｗを搬送することができる。
【００７３】
図３の例では、インデクサロボットＩＲは、平面視Ｕ字状の２つのハンドＨを有している。２つのハンドＨは、異なる高さに配置されている。各ハンドＨは、基板Ｗを水平な姿勢で支持することができる。インデクサロボットＩＲは、ハンドＨを水平方向および鉛直方向に移動させることができる。さらに、インデクサロボットＩＲは、鉛直方向に沿った軸を中心として回転（自転）することで、ハンドＨの向きを変更することができる。インデクサロボットＩＲは、受渡位置（図３でインデクサロボットＩＲが描かれている位置）を通る経路２５において配列方向Ｄに沿って移動する。受渡位置は、平面視したときにインデクサロボットＩＲとセンターロボットＣＲとが配列方向Ｄに直交する方向において対向する位置である。インデクサロボットＩＲは、任意のキャリアＣおよびセンターロボットＣＲにそれぞれハンドＨを対向させることができる。ここで、例えば、インデクサロボットＩＲは、ハンドＨを移動させることにより、キャリアＣに基板Ｗを搬入する搬入動作と、キャリアＣから基板Ｗを搬出する搬出動作と、を行うことができる。また、例えば、インデクサロボットＩＲは、センターロボットＣＲと協働して、インデクサロボットＩＲおよびセンターロボットＣＲの一方から他方に基板Ｗを移動させる受渡動作を受渡位置で行うことができる。
【００７４】
図３の例では、センターロボットＣＲは、インデクサロボットＩＲと同様に、平面視Ｕ字状の２つのハンドＨを有している。２つのハンドＨは、異なる高さに配置されている。各ハンドＨは、基板Ｗを水平な姿勢で支持することができる。センターロボットＣＲは、各ハンドＨを水平方向および鉛直方向に移動させることができる。さらに、センターロボットＣＲは、鉛直方向に沿った軸を中心として回転（自転）することで、ハンドＨの向きを変更することができる。センターロボットＣＲは、平面視したときに、複数台の処理ユニット２１に取り囲まれている。センターロボットＣＲは、任意の処理ユニット２１およびインデクサロボットＩＲの何れかにハンドＨを対向させることができる。ここで、例えば、センターロボットＣＲは、ハンドＨを移動させることにより、各処理ユニット２１に基板Ｗを搬入する搬入動作と、各処理ユニット２１から基板Ｗを搬出する搬出動作と、を行うことができる。また、例えば、センターロボットＣＲは、インデクサロボットＩＲと協働して、インデクサロボットＩＲおよびセンターロボットＣＲの一方から他方に基板Ｗを移動させる受渡動作を行うことができる。
【００７５】
図４は、処理ユニット２１の一構成例を模式的に示す図である。処理ユニット２１は、処理液Ｌｑ０を用いて基板Ｗに処理を施すことができる。処理ユニット２１では、例えば、平面内で回転している基板Ｗの一主面上（上面ともいう）Ｕｓ１に処理液Ｌｑ０を供給することで、基板Ｗの上面Ｕｓ１に対して各種処理を施すことができる。処理液Ｌｑ０には、例えば、粘度が比較的低い水または薬液などの流動性を有する基板の処理に用いるための液体一般が適用される。図４で示されるように、処理ユニット２１は、例えば、保持部２１１と、回転機構２１２と、処理液供給系２１３と、を備えている。
【００７６】
保持部２１１は、例えば、基板Ｗを略水平姿勢で保持して回転させることができる。保持部２１１には、例えば、基板Ｗの上面Ｕｓ１の逆の他の一主面（下面ともいう）Ｂｓ１を真空吸着可能な上面２１１ｕを有する真空チャック、または基板Ｗの周縁部を挟持可能な複数個のチャックピンを有する挟持式のチャックなどが適用される。
【００７７】
回転機構２１２は、例えば、保持部２１１を回転させることができる。回転機構２１２には、例えば、上端部に保持部２１１が連結されて鉛直方向に沿って延在している回転支軸２１２ｓと、この回転支軸２１２ｓを鉛直方向に沿った仮想的な回転軸Ａｘ１を中心として回転させることが可能なモータなどを有する回転駆動部２１２ｍと、を有する構成が適用される。ここでは、例えば、回転駆動部２１２ｍによって回転支軸２１２ｓが回転軸Ａｘ１を中心として回転されることで、保持部２１１が略水平面内で回転される。これにより、例えば、保持部２１１上に保持されている基板Ｗが、回転軸Ａｘ１を中心として回転される。ここで、例えば、基板Ｗの上面Ｕｓ１および下面Ｂｓ１が略円形であれば、回転軸Ａｘ１は、基板Ｗの上面Ｕｓ１および下面Ｂｓ１の中心を通る。回転駆動部２１２ｍによる回転支軸２１２ｓの回転、すなわち保持部２１１および基板Ｗの回転の有無および速度は、例えば、制御ユニット２３によって制御される。
【００７８】
処理液供給系２１３は、例えば、ノズル２１３ｎと、配管部２１３ｐと、吐出バルブ２１３ｖと、液送給部２１３ｔと、を備えている。ノズル２１３ｎは、例えば、保持部２１１に保持された基板Ｗに向けて処理液Ｌｑ０を吐出することができる。例えば、処理液Ｌｑ０が、リンス水または薬液である場合には、ノズル２１３ｎとしては、例えば、連続流の状態で処理液Ｌｑ０を吐出するストレートノズルが採用される。処理ユニット２１の隔壁で区画された処理室（チャンバー）内には、例えば、少なくともノズル２１３ｎと保持部２１１とが配置されていればよい。配管部２１３ｐは、液送給部２１３ｔとノズル２１３ｎとをつないでおり、処理液Ｌｑ０が流れる経路を形成している。吐出バルブ２１３ｖは、例えば、配管部２１３ｐの途中に配されており、制御ユニット２３からの信号に応じて開閉することができる。ここでは、例えば、吐出バルブ２１３ｖが開放されることで、液送給部２１３ｔとノズル２１３ｎとが連通している状態となる。また、例えば、吐出バルブ２１３ｖが閉鎖されることで、液送給部２１３ｔとノズル２１３ｎとが連通していない状態となる。液送給部２１３ｔは、例えば、制御ユニット２３からの信号に応じて、液貯留部２２から処理液Ｌｑ０を配管部２１３ｐに向けて送給することができる。液送給部２１３ｔには、例えば、ポンプが適用される。ここで、ノズル２１３ｎから基板Ｗに向けて吐出される処理液Ｌｑ０は、例えば、基板Ｗの側方から下方にかけて設けられたカップなどで回収され、液貯留部２２に戻される。換言すれば、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０は、循環するように繰り返して基板処理に使用される。このとき、例えば、処理液Ｌｑ０は、徐々に劣化する傾向を示す。なお、処理ユニット２１から液貯留部２２に処理液Ｌｑ０が戻される際には、フィルタなどで処理液Ｌｑ０が浄化されてもよい。
【００７９】
図５は、制御ユニット２３の電気的な構成の一例を示すブロック図である。図５で示されるように、制御ユニット２３は、例えば、コンピュータなどによって実現され、バスラインＢｕ２を介して接続された、通信部２３１、入力部２３２、出力部２３３、記憶部２３４、制御部２３５およびドライブ２３６を備えている。
【００８０】
通信部２３１は、例えば、通信回線５を介してホストコンピュータ１０に対して信号を送信することができる送信部としての機能を有する。また、通信部２３１は、例えば、通信回線５を介してホストコンピュータ１０からの信号を受信することができる受信部としての機能を有する。
【００８１】
入力部２３２は、例えば、基板処理装置２０を使用するユーザの動作などに応じた信号を入力することができる。入力部２３２には、例えば、操作部、マイクおよび各種センサなどが含まれ得る。操作部は、ユーザの操作に応じた信号を入力することができるマウスおよびキーボードなどを含み得る。マイクは、ユーザの音声に応じた信号を入力することができる。各種センサは、ユーザの動きに応じた信号を入力することができる。
【００８２】
出力部２３３は、例えば、各種情報を出力することができる。出力部２３３には、例えば、表示部およびスピーカなどが含まれ得る。表示部は、例えば、各種情報をユーザが認識することができる態様で可視的に出力することができる。ここで、この表示部は、入力部２３２と一体化されたタッチパネルの形態を有していても良い。スピーカは、例えば、各種情報をユーザが認識することができる態様で可聴的に出力することができる。
【００８３】
記憶部２３４は、例えば、各種の情報を記憶することができる。この記憶部２３４は、例えば、ハードディスクおよびフラッシュメモリなどの記憶媒体によって構成され得る。記憶部２３４では、例えば、１つの記憶媒体を有する構成、２つ以上の記憶媒体を一体的に有する構成、および２つ以上の記憶媒体を２つ以上の部分に分けて有する構成の何れが採用されても良い。記憶部２３４には、例えば、プログラムＰ２および各種情報Ｄ２が記憶され得る。記憶部２３４には、後述するメモリ２３５ｂが含まれても良い。
【００８４】
制御部２３５は、例えば、プロセッサーとして働く演算処理部２３５ａおよび情報を一時的に記憶するメモリ２３５ｂなどを含む。演算処理部２３５ａとしては、例えば、中央演算部（ＣＰＵ）などの電子回路が採用され、メモリ２３５ｂとしては、例えば、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）などが採用され得る。演算処理部２３５ａにおいて、例えば、記憶部２３４に記憶されているプログラムＰ２が読み込まれて実行されることで、基板処理システム１の機能が実現され得る。制御部２３５における各種情報処理によって一時的に得られる各種情報は、適宜メモリ２３５ｂなどに記憶され得る。
【００８５】
ドライブ２３６は、例えば、可搬性の記憶媒体ＲＭ２の脱着が可能な部分である。ドライブ２３６では、例えば、記憶媒体ＲＭ２が装着されている状態で、この記憶媒体ＲＭ２と制御部２３５との間におけるデータの授受が行われ得る。また、プログラムＰ２が記憶された記憶媒体ＲＭ２がドライブ２３６に装着されることで、記憶媒体ＲＭ２から記憶部２３４内にプログラムＰ２が読み込まれて記憶される態様が採用されても良い。
【００８６】
＜４．基板処理システムの機能的な構成＞
図６は、演算処理部１５ａ，２３５ａで実現される機能的な構成の一例を示すブロック図である。図６には、ホストコンピュータ１０の演算処理部１５ａでプログラムＰ１の実行によって実現されるデータ処理に係る各種機能、および基板処理装置２０の演算処理部２３５ａでプログラムＰ２の実行によって実現されるデータ処理に係る各種機能が例示されている。
【００８７】
図６で示されるように、演算処理部１５ａは、実現される機能的な構成として、認識部１５１と、検出部１５２と、を有している。これらの各部１５１，１５２での処理におけるワークスペースとして、例えば、メモリ１５ｂが使用される。また、演算処理部２３５ａは、実現される機能的な構成として、取得部２３５１と、設定部２３５２と、検知部２３５３と、判定部２３５４と、を有している。これらの各部２３５１〜２３５４での処理におけるワークスペースとして、例えば、メモリ２３５ｂが使用される。
【００８８】
取得部２３５１は、例えば、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０の状態に係る数値（液状態値ともいう）を取得することができる。液状態値としては、例えば、処理液Ｌｑ０の使用開始時からの経過時間、使用回数または使用時間、あるいは処理液Ｌｑ０の濃度または水素イオン指数（ｐＨ：power of hydrogen）などの測定値が採用される。ここで、処理液Ｌｑ０の使用開始時としては、例えば、処理液Ｌｑ０を液貯留部２２に貯留した時刻が採用される。使用開始時は、例えば、制御ユニット２３の時刻機能と液交換部２４の制御タイミングとに基づいて取得され得る。使用開始時からの経過時間は、例えば、単純に時間が経過した時間であればよい。経過時間は、例えば、制御ユニット２３の時刻機能と使用開示時の時刻情報とによって取得され得る。使用開始時からの使用回数は、例えば、処理ユニット２１で処理液Ｌｑ０を用いて基板Ｗに処理を施した回数であればよい。使用回数は、例えば、制御ユニット２３において処理ユニット２１の制御回数の積算によって取得され得る。使用開始時からの使用時間は、例えば、処理ユニット２１で処理液Ｌｑ０を用いて基板Ｗに処理を施した時間であればよい。使用時間は、例えば、制御ユニット２３において処理ユニット２１で処理液Ｌｑ０を使用した時間の累積によって取得され得る。また、処理液Ｌｑ０の濃度は、例えば、薬液濃度モニタでリアルタイムに取得され得る。処理液Ｌｑ０のｐＨは、例えば、ｐＨメータでリアルタイムに取得され得る。
【００８９】
設定部２３５２は、例えば、取得部２３５１で取得された液状態値と、処理液Ｌｑ０の寿命に係る予め設定されたルール（寿命ルールともいう）と、に基づいて、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０の交換時期を設定することができる。ここで、設定部２３５２では、例えば、液状態値と寿命ルールとに基づいて、処理液Ｌｑ０の交換時期が到来したか否か判定することができればよい。
【００９０】
ここで、交換時期が設定される処理液Ｌｑ０としては、例えば、フッ化水素酸（ＨＦ）水溶液、硫酸・過酸化水素水の混合溶液（ＳＰＭ：Sulfuric acid/hydrogen Peroxide Mixture）、アンモニア水・過酸化水素水の混合溶液（ＡＰＭ（Ammonia Hydroxide/Hydrogen Peroxide Mixture），ＳＣ１（Standard Clean 1））、塩酸・過酸化水素水の混合溶液（ＨＰＭ（Hydrochloride/Hydrogen Peroxide Mixture），ＳＣ２（Standard Clean 2））などが挙げられる。
【００９１】
寿命ルールは、例えば、処理液Ｌｑ０を用いた実験結果またはシミュレーション結果などに基づいて規定される。寿命ルールは、例えば、プログラムＰ２などに記述されていればよい。交換時期は、基板処理装置２０側で取得される液状態値によって、処理液Ｌｑ０の交換時期が到来した時点から処理液Ｌｑ０の交換を開始することなく処理液Ｌｑ０を用いた基板処理を継続しても問題ない期間を示す。交換時期の長さは、例えば、処理液Ｌｑ０の種類に対して予め規定されていてもよいし、オペレータが予め任意に設定してもよい。液貯留部２２には、例えば、複数種類の処理液Ｌｑ０が貯留され、処理液Ｌｑ０の種類毎に交換時期の長さが設定されていてよい。ただし、以下の説明では、説明の複雑化を避けるために、液貯留部２２に１種類の処理液Ｌｑ０が貯留されている場合を例にとって説明する。
【００９２】
ここで、例えば、液状態値が経過時間であれば、寿命ルールで第１経過時間と第２経過時間とが規定されていてよい。この場合、例えば、設定部２３５２によって、経過時間が第１経過時間に到達した時点で、交換時期が到来したものと判定されて、第１経過時間から第２経過時間までの期間が、交換時期として設定される。また、例えば、液状態値が使用回数であれば、寿命ルールで第１使用回数と第２使用回数とが規定されていてよい。この場合、例えば、設定部２３５２によって、使用回数が第１使用回数に到達した時点で、交換時期が到来したものと判定されて、第１使用回数から第２使用回数までの期間が、交換時期として設定される。また、例えば、液状態値が使用時間であれば、寿命ルールで第１使用時間と第２使用時間とが規定されていてよい。この場合、例えば、設定部２３５２によって、使用時間が第１使用時間に到達した時点で、交換時期が到来したものと判定されて、第１使用時間から第２使用時間までの期間が、交換時期として設定される。また、例えば、液状態値が測定値であれば、寿命ルールで第１基準値と第２基準値とが規定されていてよい。この場合、例えば、設定部２３５２によって、測定値が第１基準値に到達した時点で、交換時期が到来したものと判定されて、測定値が第１基準値から第２基準値になるまでの期間が、交換時期として設定される。ここで、例えば、液状態値が測定値である場合、測定値の変化の度合いから交換時期の開始時点と終了時点とが規定されてもよい。開示時点および終了時点は、例えば、経過時間、使用回数および使用時間の何れによって規定されてもよい。このようにして、例えば、ある程度の幅を持たせた交換時期を設定することができる。
【００９３】
検知部２３５３は、例えば、交換時期において、Ｎ台の処理ユニット２１で複数の基板群に係る複数の連続処理のうちの何れの連続処理も実行されていない状態（待機状態ともいう）を検知することができる。ここで、待機状態は、例えば、制御ユニット２３による処理ユニット２１の制御状況に応じて検知され得る。待機状態としては、例えば、基板処理装置２０内に存在していた全ての基板Ｗが第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４に戻ってきたタイミングが採用される。
【００９４】
本実施形態では、例えば、検知部２３５３による待機状態の検知に応答して、基板処理装置２０における送信部としての機能を有する通信部２３１が、第１信号をホストコンピュータ１０に送信する。第１信号は、例えば、待機状態が検知されたことをホストコンピュータ１０に通知する信号であればよい。このとき、ホストコンピュータ１０では、例えば、受信部としての機能を有する通信部１１が、基板処理装置２０の通信部２３１からの第１信号を受信することができる。これにより、ホストコンピュータ１０に、Ｎ台の処理ユニット２１の待機状態が通知され得る。
【００９５】
認識部１５１は、例えば、記憶部１４に記憶されている処理計画情報ＰＰ１に基づいて、待機状態が継続する時間（継続時間ともいう）を認識することができる。本実施形態では、ホストコンピュータ１０において、例えば、通信部１１による第１信号の受信に応答して、認識部１５１が、処理計画情報ＰＰ１に基づいて継続時間を認識することができる。
【００９６】
検出部１５２は、例えば、認識部１５１で認識された継続時間が予め設定された基準時間以上である状態（液交換可能状態ともいう）を検出することができる。ここで、基準時間は、例えば、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０の交換に要する時間以上であればよい。本実施形態では、ホストコンピュータ１０において、例えば、通信部１１による第１信号の受信に応答して、検出部１５２が、認識部１５１で処理計画情報ＰＰ１に基づいて認識された継続時間の長さに応じて、液交換可能状態を検出することができる。これにより、例えば、基板処理の計画を管理するホストコンピュータ１０では、基板処理装置２０における処理液Ｌｑ０の交換時期に係る情報が得られなくても、液交換可能状態が検出され得る。
【００９７】
また、例えば、検出部１５２による液交換可能状態の検出に応じて、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０を交換するようにすればよい。その結果、例えば、ある程度の幅を持たせた交換時期において、Ｎ台の処理ユニット２１が待機している十分な長さの継続時間を有効利用して、液貯留部２２の処理液Ｌｑ０を交換することができる。その結果、例えば、Ｎ台の処理ユニット２１の稼働率が向上し得る。したがって、基板処理装置２０の稼働率を容易に向上させることができる。
【００９８】
本実施形態では、例えば、液交換部２４が、検出部１５２による液交換可能状態の検出に応答して、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０を交換する処理（液交換処理）を実行することができる。換言すれば、例えば、処理液Ｌｑ０の交換時期において、処理液Ｌｑ０の交換を行うための基準時間以上、待機状態が継続するのであれば、処理液Ｌｑ０の交換が自動で行われる。これにより、例えば、処理液Ｌｑ０が適正なタイミングで交換され得る。また、例えば、ユーザであるオペレータは、処理液Ｌｑ０を交換するための指示および作業を行わなくて済む。したがって、Ｎ台の処理ユニット２１の稼働率が容易に向上し得る。なお、本実施形態では、例えば、検出部１５２による液交換可能状態の検出に応答して、通信部１１によって基板処理装置２０に液交換可能状態を通知するための第３信号が送信されれば、基板処理装置２０において、液交換可能状態が認識され得る。
【００９９】
また、ここでは、例えば、基板処理装置２０における送信部としての機能を有する通信部２３１が、取得部２３５１で取得された液状態値が予め特定の条件（特定条件ともいう）を満たしていることに応答して第２信号をホストコンピュータ１０に送信してもよい。特定条件としては、例えば、液状態値が、処理液Ｌｑ０の交換時期の到来に対応する数値に到達している条件が挙げられる。ここで、例えば、液状態値が経過時間であれば、特定条件として、液状態値が寿命ルールで規定された第１経過時間に到達している条件が採用され得る。例えば、液状態値が使用回数であれば、特定条件として、液状態値が寿命ルールで規定された第１使用回数に到達している条件が採用され得る。例えば、液状態値が使用時間であれば、特定条件として、液状態値が寿命ルールで規定された第１使用時間に到達している条件が採用される。例えば、液状態値が測定値であれば、特定条件として、測定値が寿命ルールで規定された第１基準値に到達している条件が採用される。また、第２信号は、例えば、液状態値が特定条件を満たしていることを示す信号、すなわち交換時期の到来を通知するための信号であればよい。
【０１００】
ここで、ホストコンピュータ１０では、例えば、受信部としての通信部１１によって第２信号を受信した後に、受信部としての通信部１１による待機状態に係る第１信号の受信に応答して、認識部１５１が処理計画情報ＰＰ１に基づいて継続時間を認識してもよい。この場合、例えば、ホストコンピュータ１０では、この継続時間が認識された後に、検出部１５２が、継続時間の長さに応じて、液交換可能状態を検出することができる。これにより、例えば、ホストコンピュータ１０では、基板処理装置２０における処理液Ｌｑ０の交換時期に係る情報が得られなくても、処理液Ｌｑ０の交換時期の到来後に液交換可能状態が検出され得る。
【０１０１】
図７は、本実施形態に係る基板処理システム１の動作の一例を示すタイミングチャートである。図７では、上から順に、ホストコンピュータ１０の動作と、基板処理装置２０の動作と、第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対するＮ台の処理ユニット２１における連続処理と、が実行されるタイミングが示されている。
【０１０２】
図７の例では、時刻ｔ１から時刻ｔ２の期間に、第１ロードポートＬＰ１で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が行われる。時刻ｔ２から時刻ｔ４の期間に、第２ロードポートＬＰ２で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が行われる。時刻ｔ３から時刻ｔ６の期間に、第４ロードポートＬＰ４で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が行われる。時刻ｔ４から時刻ｔ７の期間に、第３ロードポートＬＰ３で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が行われる。
【０１０３】
ここで、時刻ｔ５において、取得部２３５１で取得された液状態値が特定条件を満たしていることに応答して、通信部２３１によって基板処理装置２０からホストコンピュータ１０に処理液Ｌｑ０の交換時期が到来したことを通知する第２信号が送信される。このとき、設定部２３５２によって処理液Ｌｑ０の交換時期Ｔｒ０（時刻ｔ５から時刻ｔ１２の期間）が設定される。その後、時刻ｔ７において、第３ロードポートＬＰ３で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が終了し、検知部２３５３によって待機状態が検知される。ここで、検知部２３５３による待機状態の検知に応答して、通信部２３１によって基板処理装置２０からホストコンピュータ１０に待機状態を通知する第１信号が送信される。このとき、ホストコンピュータ１０では、通信部１１による第１信号の受信に応答して、認識部１５１によって処理計画情報ＰＰ１に基づき継続時間（例えば、時刻ｔ７から時刻ｔ１１までの期間）が認識される。次に、時刻ｔ８において、検出部１５２によって、継続時間が予め設定された基準時間以上であれば、液交換可能状態が検出される。ここで、通信部１１によってホストコンピュータ１０から基板処理装置２０に液交換可能状態を通知するための第３信号が送信される。基板処理装置２０では、通信部２３１による第３信号の受信に応答して、時刻ｔ９から時刻１０の期間に、液交換部２４によって液交換処理が行われる。その後、時刻ｔ１１から時刻１３の期間に、第１ロードポートＬＰ１で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が行われる。時刻ｔ１３から、第２ロードポートＬＰ２で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が開始される。
【０１０４】
また、判定部２３５４は、例えば、設定部２３５２で設定された交換時期が終了したか否か判定することができる。
【０１０５】
ところで、例えば、検出部１５２で液交換可能状態が検出されずに、交換時期Ｔｒ０を過ぎる場合もある。この場合、例えば、交換時期を過ぎたとき、複数の連続処理のうちのＮ台の処理ユニット２１において実行中の連続処理が完了したことに応答して、制御ユニット２３の制御によって液交換部２４が液交換処理を強制的に実行してよい。このような交換時期を過ぎた後の強制的な液交換処理を、以下では「第１強制液交換処理」ともいう。ここでは、例えば、液交換可能状態が検出されることなく交換時期を過ぎたときに、予め第１強制液交換処理を実行する設定（第１の設定ともいう）が指定されていれば、第１強制液交換処理が実行される。第１の設定の指定、例えば、オペレータによって実施され得る。この場合、第１の設定が指定されているか否か、および複数の連続処理のうちのＮ台の処理ユニット２１において実行中の連続処理が完了したか否かは、例えば、判定部２３５４で判定されてよい。実行中の連続処理が完了したか否かを判定する際には、実行中の連続処理の対象となっているキャリアＣ内の基板群（対象基板群ともいう）の全ての基板Ｗに対する基板処理が終了したか否かを判定すればよい。ここでは、処理ユニット２１で実行中の連続処理が完了したタイミングとして、例えば、実行中の連続処理に係る全ての基板Ｗが第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４に戻ってきたタイミングが採用される。
【０１０６】
上記のように、例えば、処理液Ｌｑ０の交換時期が過ぎても、１つの基板群に対する連続処理の完了に応答して処理液Ｌｑ０が交換されれば、劣化した処理液Ｌｑ０を用いて処理が施される基板Ｗの数が低減される。また、例えば、１つの基板群に対する連続処理が中断されず、Ｎ台の処理ユニット２１の稼働率が低下しにくくなる。また、この場合、例えば、検出部１５２によって液交換可能状態が検出されることなく、交換時期を過ぎたときには、キャリア搬送機構による基板処理装置２０の第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４に対するキャリアＣの載置が停止されてもよいし、キャリアＣに係る処理内容の指示を示す情報（指示情報ともいう）のホストコンピュータ１０から基板処理装置２０に対する送信が停止されてもよい。
【０１０７】
図８は、本実施形態に係る基板処理システム１の動作の他の一例を示すタイミングチャートである。図８では、図７と同様に、上から順に、ホストコンピュータ１０の動作と、基板処理装置２０の動作と、第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対するＮ台の処理ユニット２１における連続処理と、が実行されるタイミングが示されている。
【０１０８】
図８の例では、時刻ｔ１から時刻ｔ２の期間に、第１ロードポートＬＰ１で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が行われる。時刻ｔ２から時刻ｔ４の期間に、第２ロードポートＬＰ２で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が行われる。時刻ｔ３から時刻ｔ６の期間に、第４ロードポートＬＰ４で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が行われる。時刻ｔ４から時刻ｔ７の期間に、第３ロードポートＬＰ３で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が行われる。
【０１０９】
ここで、時刻ｔ５において、取得部２３５１で取得された液状態値が特定条件を満たしていることに応答して、通信部２３１によって基板処理装置２０からホストコンピュータ１０に処理液Ｌｑ０の交換時期が到来したことを通知する第２信号が送信される。このとき、設定部２３５２によって処理液Ｌｑ０の交換時期Ｔｒ０（時刻ｔ５から時刻ｔ１０の期間）が設定される。その後、時刻ｔ７において、第３ロードポートＬＰ３で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が終了し、検知部２３５３によって待機状態が検知される。このとき、検知部２３５３による待機状態の検知に応答して、通信部２３１によって基板処理装置２０からホストコンピュータ１０に待機状態を通知する第１信号が送信される。ここで、ホストコンピュータ１０において、認識部１５１によって処理計画情報ＰＰ１に基づき継続時間（時刻ｔ７から時刻ｔ８までの期間）が認識される。そして、この継続時間が予め設定された基準時間未満であれば、検出部１５２によって液交換可能状態は検出されない。このとき、通信部１１によって、ホストコンピュータ１０から基板処理装置２０に、液交換可能状態を通知する第３信号は送信されない。次に、時刻ｔ８から時刻ｔ１１の期間に、第１ロードポートＬＰ１で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が行われる。このとき、時刻ｔ１０において、交換時期Ｔｒ０が終了する。ただし、時刻ｔ１０から時刻ｔ１１までの間、第１ロードポートＬＰ１で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が完了するまで、液交換部２４は液交換処理を実行することなく待機する。そして、時刻ｔ１１において、基板処理装置２０では、第１ロードポートＬＰ１で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が完了したことに応答して、制御ユニット２３の制御により液交換部２４によって液交換処理が強制的に実行される。
【０１１０】
この強制的な液交換処理の実行によって、第２ロードポートＬＰ２で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理の開始時刻が、時刻ｔ１１から時刻ｔ１２までずらされる。その後、時刻ｔ１２から時刻１３の期間に、第２ロードポートＬＰ２で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が行われる。時刻ｔ１３から、第３ロードポートＬＰ３で保持されたキャリアＣ内の複数の基板Ｗ（基板群）に対する連続処理が開始される。
【０１１１】
また、例えば、検出部１５２で液交換可能状態が検出されずに、交換時期を過ぎたとき、搬送部ＴＲによってキャリアＣからＮ台の処理ユニット２１に向けて既に搬出されていた搬出済みの全ての基板Ｗに対して、Ｎ台の処理ユニット２１における処理が完了したことに応答して、液交換部２４が液交換処理を強制的に実行してもよい。このような交換時期を過ぎた後の強制的な液交換処理を、以下では「第２強制液交換処理」ともいう。ここでは、例えば、液交換可能状態が検出されることなく交換時期を過ぎたときに、予め第２強制液交換処理を実行する設定（第２の設定ともいう）が指定されていれば、第２強制液交換処理が実行される。第２の設定の指定は、例えば、オペレータによって実行され得る。この場合、第２の設定が指定されているか否か、および搬送部ＴＲによってキャリアＣからＮ台の処理ユニット２１に向けて搬出されていた搬出済みの全ての基板Ｗに対する処理が終了したか否かは、例えば、判定部２３５４で判定されてよい。ここでは、搬出済みの全ての基板Ｗに対する処理が終了したタイミングとして、例えば、搬出済みの全ての基板Ｗが第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４に戻ってきたタイミングが採用される。
【０１１２】
上記のように、例えば、処理液Ｌｑ０の交換時期が過ぎたときに、キャリアＣから既に搬出された基板Ｗに対する処理の完了に応答して、処理液Ｌｑ０が交換されれば、劣化した処理液Ｌｑ０を用いて処理が施される基板Ｗの数が低減される。また、例えば、１つの基板群に対する連続処理において、複数の基板Ｗに対する処理条件のばらつきが生じにくいため、処理後の基板Ｗの特性にばらつきが生じにくくなる。また、この場合、例えば、検出部１５２によって液交換可能状態が検出されることなく、交換時期を過ぎたときは、制御ユニット２３の制御により、交換時期の終了時から液交換処理の完了時まで、搬送部ＴＲによるキャリアＣからＮ台の処理ユニット２１に向けた基板Ｗの搬出が中止されてよい。これにより、例えば、キャリアＣに収容される複数の基板Ｗに対する搬送および処理の内容にばらつきが生じにくく、基板Ｗの搬送および処理の制御が容易となる。
【０１１３】
また、例えば、検出部１５２で液交換可能状態が検出されずに、交換時期を過ぎたとき、Ｎ台の処理ユニット２１内に既に位置している全ての基板Ｗに対して、Ｎ台の処理ユニット２１における処理が完了したことに応答して、液交換部２４が液交換処理を強制的に実行してもよい。このような交換時期を過ぎた後の強制的な液交換処理を、以下では「第３強制液交換処理」ともいう。ここでは、例えば、液交換可能状態が検出されることなく交換時期を過ぎたときに、予め第３強制液交換処理を実行する設定（第３の設定ともいう）が指定されていれば、第３強制液交換処理が実行される。第３の設定の指定は、例えば、オペレータによって実行され得る。この場合、第３の設定が指定されているか否か、およびＮ台の処理ユニット２１に既に位置していた全ての基板Ｗに対する処理が終了したか否かは、例えば、判定部２３５４で判定されてよい。ここでは、Ｎ台の処理ユニット２１に既に位置していた全ての基板Ｗに対する処理が終了したタイミングとして、例えば、Ｎ台の処理ユニット２１に既に位置していた全ての基板Ｗに対して処理液Ｌｑ０を用いた基板処理が終了したタイミングが採用されてもよいし、Ｎ台の処理ユニット２１に既に位置していた全ての基板Ｗが第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４に戻ってきたタイミングが採用されてもよい。
【０１１４】
上記のように、例えば、処理液Ｌｑ０の交換時期が過ぎたときは、Ｎ台の処理ユニット２１内に既に位置していた全ての基板Ｗに対する処理の完了に応答して、処理液Ｌｑ０が交換されれば、処理液Ｌｑ０の交換が早期に実行される。これにより、例えば、劣化した処理液Ｌｑ０を用いた基板処理が実行されにくくなる。この場合、例えば、制御ユニット２３の制御により、Ｎ台の処理ユニット２１によって、液交換部２４による液交換処理の実行の開始時から完了時まで、基板Ｗに対する処理の実行が停止されればよい。別の観点から言えば、例えば、液交換部２４による液交換処理の実行の開始時から完了時まで、Ｎ台の処理ユニット２１に対する基板Ｗの搬入が停止されてよい。これにより、例えば、Ｎ台の処理ユニット２１における基板処理の制御が容易となる。
【０１１５】
なお、本実施形態では、例えば、キャリア搬送機構によって、第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４にキャリアＣが載置されると、ホストコンピュータ１０から基板処理装置２０に、載置されたキャリアＣに係る処理内容の指示を示す指示情報が送られてくる。指示情報には、例えば、キャリアＣに格納されている基板Ｗの枚数および基板処理の内容を示すレシピなどの情報が含まれる。基板処理装置２０では、例えば、指示情報に基づいて、搬送部ＴＲによる基板Ｗの搬送およびＮ台の処理ユニット２１による基板処理が実行される。
【０１１６】
＜５．基板処理システムの液交換処理に係る制御方法＞
図９から図１２は、基板処理システム１の液交換処理に係る制御方法についての動作フローの一例を示す流れ図である。ここでは、例えば、ホストコンピュータ１０の演算処理部１５ａでプログラムＰ１が実行され、基板処理装置２０の演算処理部２３５ａでプログラムＰ２が実行されることで、ホストコンピュータ１０と基板処理装置２０と協働により、液交換処理に係る動作フローが実現される。ここでは、本動作フローが開始される時点で、ホストコンピュータ１０の記憶部１４に処理計画情報ＰＰ１が記憶されており、液貯留部２２に処理液Ｌｑ０が貯留されている例について説明する。
【０１１７】
まず、図９のステップＳｐ１では、取得部２３５１が、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０の状態に係る数値（液状態値）を取得する。
【０１１８】
次に、ステップＳｐ２では、設定部２３５２が、ステップＳｐ１で取得された液状態値と、処理液Ｌｑ０の寿命に係る寿命ルールと、に基づいて、処理液Ｌｑ０の交換時期が到来したか否か判定する。ここでは、例えば、液状態値が予め設定された特定条件を満たしていれば、交換時期が到来したものと判定されてよい。ここで、交換時期が到来していなければ、ステップＳｐ１に戻る。一方、交換時期が到来していれば、ステップＳｐ３に進む。
【０１１９】
ステップＳｐ３では、基板処理装置２０において、通信部２３１が、交換時期の到来を通知する第２信号をホストコンピュータ１０に送信する。このとき、ホストコンピュータ１０において、通信部１１が、第２信号を受信する。これにより、例えば、ホストコンピュータ１０側において、交換時期の到来が認識され得る。
【０１２０】
次に、ステップＳｐ４では、設定部２３５２が、ステップＳｐ１で取得された液状態値と、処理液Ｌｑ０の寿命に係る寿命ルールと、に基づいて、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０の交換時期を設定する。
【０１２１】
次に、ステップＳｐ５では、検知部２３５３が、交換時期において、Ｎ台の処理ユニット２１で複数の連続処理の何れの連続処理も実行されていない待機状態を検知したか否か判定する。ここでは、待機状態を検知すれば、ステップＳｐ６に進む。一方、待機状態を検知していなければ、ステップＳｐ７に進む。
【０１２２】
ステップＳｐ６では、判定部２３５４が、交換時期が終了したか否か判定する。ここでは、交換時期が終了していなければ、ステップＳｐ５に戻る。一方、交換時期が終了していれば、図１０のステップＳｐ２１に進む。換言すれば、交換時期において検出部１５２によって液交換可能状態が検出されることなく、交換時期を過ぎたとき、図１０のステップＳｐ２１に進む。
【０１２３】
ステップＳｐ７では、基板処理装置２０において、通信部２３１が、待機状態の検知に応答して待機状態を通知する第１信号をホストコンピュータ１０に送信する。このとき、ホストコンピュータ１０において、通信部１１が、第１信号を受信する。これにより、例えば、ホストコンピュータ１０側において、待機状態の到来が認識され得る。
【０１２４】
次に、ステップＳｐ８では、ホストコンピュータ１０において、認識部１５１が、処理計画情報ＰＰ１に基づいて、待機状態が継続する継続時間を認識する。
【０１２５】
次に、ステップＳｐ９では、ホストコンピュータ１０において、検出部１５２が、ステップＳｐ８で認識された継続時間が予め設定された基準時間以上である液交換可能状態を検出したか否か判定する。ここでは、液交換可能状態を検出しなければ、ステップＳｐ１０に進む。一方、液交換可能状態を検出すれば、ステップＳｐ１１に進む。このとき、ホストコンピュータ１０では、例えば、基板処理装置２０における処理液Ｌｑ０の交換時期に係る情報が得られていなくても、第１信号の受信に応答して、継続時間を認識し、液交換可能状態を検出することができる。
【０１２６】
本動作フローでは、次の［条件１］から［条件３］の３条件が揃ったときに、検出部１５２によって液交換可能状態が検出される。
【０１２７】
［条件１］基板処理装置２０からホストコンピュータ１０に交換時期の到来を通知する第２信号が送信されている。
【０１２８】
［条件２］基板処理装置２０からホストコンピュータ１０に待機状態が検知されたことを通知する第１信号が送信されている。
【０１２９】
［条件３］Ｎ台の処理ユニット２１において次のロットの基板処理が開始されるまでの待機状態が基準時間以上の十分な時間継続する。
【０１３０】
ステップＳｐ１０では、判定部２３５４が、交換時期が終了したか否か判定する。ここでは、交換時期が終了していなければ、ステップＳｐ９に戻る。一方、交換時期が終了していれば、図１０のステップＳｐ２１に進む。換言すれば、交換時期において検出部１５２によって液交換可能状態が検出されることなく、交換時期を過ぎたとき、図１０のステップＳｐ２１に進む。
【０１３１】
一方、例えば、検出部１５２による液交換可能状態の検出に応じて、以下のステップＳｐ１１〜Ｓｐ１３の処理によって、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０を交換することができる。これにより、例えば、ある程度の幅を持たせた交換時期において、Ｎ台の処理ユニット２１が待機している十分な長さの継続時間を有効利用して、液貯留部２２の処理液Ｌｑ０を交換することができる。その結果、例えば、Ｎ台の処理ユニット２１の稼働率が向上し得る。したがって、基板処理装置２０の稼働率が容易に向上し得る。
【０１３２】
ステップＳｐ１１では、ホストコンピュータ１０において、通信部１１が、基板処理装置２０に液交換可能状態を通知する第３信号を送信する。このとき、基板処理装置２０において、通信部２３１が、第３信号の受信を受信する。これにより、例えば、基板処理装置２０側において、液交換可能状態が認識され得る。
【０１３３】
ステップＳｐ１２では、液交換部２４が、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０の液交換処理の実行を開始する。これにより、例えば、処理液Ｌｑ０の交換時期において、処理液Ｌｑ０の交換を行うための基準時間以上、待機状態が継続するときに、処理液Ｌｑ０の交換が自動で行われる。その結果、例えば、処理液Ｌｑ０が適正なタイミングで交換され得る。したがって、Ｎ台の処理ユニット２１の稼働率が容易に向上し得る。
【０１３４】
ステップＳｐ１３では、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０について液交換部２４による液交換処理の実行が完了したか否か判定する。この判定は、例えば、判定部２３５４などで実行され得る。ここでは、液交換処理の実行が完了するまで、ステップＳｐ１３の判定を繰り返す。一方、液交換処理の実行が完了すれば、ステップＳｐ１４に進む。
【０１３５】
ステップＳｐ１４では、取得部２３５１が、液状態値を初期化し、ステップＳｐ１に戻る。ここでは、例えば、液状態値が、処理液Ｌｑ０の使用開始時からの経過時間であれば、経過時間が０となるように経過時間をリセットする。例えば、液状態値が、使用開始時からの使用回数であれば、使用回数が０となるように使用回数をリセットする。例えば、液状態値が、使用開始時からの使用時間であれば、使用時間が０となるように使用時間がリセットされる。ただし、例えば、液状態値が、処理液Ｌｑ０の濃度またはｐＨなどのリアルタイムに取得され得る測定値であれば、液状態値を初期化しなくてもよい。
【０１３６】
図１０のステップＳｐ２１では、判定部２３５４が、第１の設定が指定されているか否か判定する。ここでは、例えば、第１の設定から第３の設定のうち、第１強制液交換処理を実行する第１の設定がオペレータによって予め指定されていれば、ステップＳｐ２２に進む。一方、例えば、第１強制液交換処理を実行する第１の設定がオペレータによって予め指定されていなければ、図１１のステップＳｐ３１に進む。
【０１３７】
ステップＳｐ２２からステップＳｐ２５では、液交換部２４が、複数の連続処理のうちのＮ台の処理ユニット２１において実行中の連続処理が完了したことに応答して、液交換処理を実行する。これにより、例えば、処理液Ｌｑ０の交換時期が過ぎても、１つの基板群に対する連続処理の完了に応答して、処理液Ｌｑ０が交換されれば、劣化した処理液Ｌｑ０を用いて処理が施される基板Ｗの数が低減される。また、例えば、１つの基板群に対する連続処理が中断されず、Ｎ台の処理ユニット２１の稼働率が低下しにくくなる。
【０１３８】
具体的には、ステップＳｐ２２では、搬送部ＴＲが、第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４に載置されるキャリアＣからＮ台の処理ユニット２１への新規な基板群に含まれる基板Ｗの搬出を中止する。
【０１３９】
ステップＳｐ２３では、判定部２３５４が、複数の連続処理のうちのＮ台の処理ユニット２１において実行中の連続処理の対象となっているキャリアＣ内の基板群（対象基板群）の全ての基板Ｗに対する基板処理が終了したか否か判定する。ここでは、例えば、対象基板群の全ての基板Ｗに対する処理が終了するまで、ステップＳｐ２３の判定が繰り返し行われ、対象基板群の全ての基板Ｗに対する処理が終了すれば、ステップＳｐ２４に進む。
【０１４０】
ステップＳｐ２４では、液交換部２４が、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０の液交換処理の実行を開始する。
【０１４１】
ステップＳｐ２５では、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０について液交換部２４による液交換処理の実行が完了したか否か判定する。この判定は、例えば、判定部２３５４などで実行され得る。ここでは、液交換処理の実行が完了するまで、ステップＳｐ２５の判定を繰り返す。一方、液交換処理の実行が完了すれば、ステップＳｐ２６に進む。
【０１４２】
ステップＳｐ２６では、取得部２３５１が、図９のステップＳｐ１４と同様に、液状態値を初期化し、ステップＳｐ２７に進む。
【０１４３】
次に、ステップＳｐ２７では、搬送部ＴＲが、第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４に載置されるキャリアＣ内の新規の基板群からのＮ台の処理ユニット２１に向けた基板Ｗの搬出を再開し、図９のステップＳｐ１に戻る。
【０１４４】
図１１のステップＳｐ３１では、判定部２３５４が、第２の設定が指定されているか否か判定する。ここでは、例えば、第１の設定から第３の設定のうち、第２強制液交換処理を実行する第２の設定がオペレータによって予め指定されていれば、ステップＳｐ３２に進む。一方、例えば、第２強制液交換処理を実行する第２の設定がオペレータによって予め指定されていなければ、図１２のステップＳｐ４１に進む。
【０１４５】
ステップＳｐ３２からステップＳｐ３５では、搬送部ＴＲがキャリアＣからＮ台の処理ユニット２１に向けて既に搬出していた全ての基板Ｗに対してＮ台の処理ユニット２１における処理が完了したことに応答して、液交換部２４が、液交換処理を実行する。これにより、劣化した処理液Ｌｑ０を用いて処理が施される基板Ｗの数が低減される。また、例えば、１つの基板群に対する連続処理において、複数の基板Ｗに対する処理条件のばらつきが生じにくいため、処理後の基板Ｗの特性にばらつきが生じにくくなる。
【０１４６】
具体的には、ステップＳｐ３２では、搬送部ＴＲが、第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４に載置されるキャリアＣからＮ台の処理ユニット２１に向けた新規の基板Ｗの搬出を中止する。これにより、例えば、１つのキャリアＣに収容されている複数の基板Ｗによって構成されている同一ロットの基板Ｗに対する搬送および処理の内容にばらつきが生じにくく、基板の搬送および処理の制御が容易となる。
【０１４７】
ステップＳｐ３３では、判定部２３５４が、キャリアＣからＮ台の処理ユニット２１に向けて既に搬出されていた搬出済みの全ての基板Ｗに対する処理が終了したか否か判定する。ここでは、例えば、搬出済みの全ての基板Ｗに対する処理が終了するまで、ステップＳｐ３３の判定が繰り返し行われ、搬出済みの全ての基板Ｗに対する処理が終了すれば、ステップＳｐ３４に進む。
【０１４８】
ステップＳｐ３４では、液交換部２４が、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０の液交換処理の実行を開始する。
【０１４９】
ステップＳｐ３５では、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０について液交換部２４による液交換処理の実行が完了したか否か判定する。この判定は、例えば、判定部２３５４などで実行され得る。ここでは、液交換処理の実行が完了するまで、ステップＳｐ３５の判定を繰り返す。一方、液交換処理の実行が完了すれば、ステップＳｐ３６に進む。
【０１５０】
ステップＳｐ３６では、取得部２３５１が、図９のステップＳｐ１４と同様に、液状態値を初期化する。
【０１５１】
ステップＳｐ３７では、搬送部ＴＲが、第１〜４ロードポートＬＰ１〜ＬＰ４に載置されるキャリアＣからＮ台の処理ユニット２１に向けた新規の基板Ｗの搬出を再開し、図９のステップＳｐ１に戻る。
【０１５２】
ステップＳｐ４１からステップＳｐ４４では、Ｎ台の処理ユニット２１に既に位置している全ての基板Ｗに対してＮ台の処理ユニット２１における処理が完了したことに応答して、液交換部２４が、液交換処理を実行する。これにより、例えば、処理液Ｌｑ０の交換が早期に実行され、劣化した処理液Ｌｑ０を用いた基板処理が実行されにくくなる。
【０１５３】
具体的には、ステップＳｐ４１では、搬送部ＴＲによるＮ台の処理ユニット２１への新規の基板Ｗの搬送を中止する。
【０１５４】
ステップＳｐ４２では、判定部２３５４が、Ｎ台の処理ユニット２１に既に位置していた全ての基板Ｗに対する処理が終了したか否か判定する。ここでは、例えば、Ｎ台の処理ユニット２１に既に位置していた全ての基板Ｗに対する処理が終了するまで、ステップＳｐ４２の判定が繰り返し行われ、Ｎ台の処理ユニット２１に既に位置していた全ての基板Ｗに対する処理が終了すれば、ステップＳｐ４３に進む。
【０１５５】
ステップＳｐ４３では、液交換部２４が、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０の液交換処理の実行を開始する。
【０１５６】
ステップＳｐ４４では、液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０について液交換部２４による液交換処理の実行が完了したか否か判定する。この判定は、例えば、判定部２３５４などで実行され得る。ここでは、液交換処理の実行が完了するまで、ステップＳｐ４４の判定を繰り返す。一方、液交換処理の実行が完了すれば、ステップＳｐ４５に進む。
【０１５７】
ステップＳｐ４５では、取得部２３５１が、図９のステップＳｐ１４と同様に、液状態値を初期化する。
【０１５８】
ステップＳｐ４６では、搬送部ＴＲによるＮ台の処理ユニット２１への新規の基板Ｗの搬送およびＮ台の処理ユニット２１における基板処理を再開し、図９のステップＳｐ１に戻る。このように、ここでは、Ｎ台の処理ユニット２１は、液交換処理の実行の開始時から完了時まで、基板Ｗに対する処理の実行を停止している。これにより、例えば、Ｎ台の処理ユニット２１における基板処理の制御が容易となる。
【０１５９】
＜６．まとめ＞
以上のように、第１実施形態に係る基板処理システム１およびその液交換処理に係る制御方法では、例えば、基板処理装置２０で設定される処理液Ｌｑ０の交換時期において、基板処理装置２０でＮ台の処理ユニット２１の待機状態が検知され、この待機時間が継続する継続時間が基準時間以上である液交換可能状態がホストコンピュータ１０によって検出される。これにより、例えば、液交換可能状態の検出に応じて、基板処理装置２０の液貯留部２２に貯留されている処理液Ｌｑ０を交換することができる。換言すれば、例えば、ホストコンピュータ１０の処理計画情報ＰＰ１だけで処理液Ｌｑ０を交換するタイミングを決定するのではなく、基板処理装置２０で処理液Ｌｑ０の状態に係る数値に応じて設定される交換時期と、ホストコンピュータ１０で管理する処理計画情報ＰＰ１と、に基づいて液交換可能状態が検出される。このため、例えば、ある程度の幅を持たせた交換時期において、Ｎ台の処理ユニット２１が待機している十分な長さの継続時間を有効利用して、液貯留部２２の処理液Ｌｑ０を交換することができる。その結果、例えば、Ｎ台の処理ユニット２１の稼働率が向上し得る。したがって、基板処理装置２０の稼働率が容易に向上し得る。
【０１６０】
また、例えば、基板処理装置２０において、通信部２３１が、取得部２３５１で取得された数値が予め設定された特定条件を満たしていることに応答して第２信号をホストコンピュータ１０に送信する。このとき、ホストコンピュータ１０において、通信部１１で第２信号を受信した後、交換時期に、通信部１１による待機状態を通知する第１信号の受信に応答して、認識部１５１が処理計画情報ＰＰ１に基づいて継続時間を認識し、検出部１５２が液交換可能状態を検出する。これにより、例えば、基板処理の計画を管理するホストコンピュータ１０において、処理液Ｌｑ０の交換時期の到来後に、基板処理装置２０における処理液Ｌｑ０の交換時期において、液交換可能状態が検出され得る。
【０１６１】
＜７．変形例＞
本発明は上述の一実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。
【０１６２】
＜７−１．第１変形例＞
例えば、上記一実施形態において、基板処理装置２０の通信部２３１が、設定部２３５２で設定された交換時期に係る交換時期情報をホストコンピュータ１０に送信してもよい。この場合には、例えば、ホストコンピュータ１０の通信部１１が、交換時期情報を受信する。このとき、例えば、ホストコンピュータ１０では、交換時期における通信部１１による第１信号の受信に応答して、認識部１５１が処理計画情報ＰＰ１に基づいて待機状態の継続時間を認識し、検出部１５２が液交換可能状態を検出する。これにより、例えば、基板処理の計画を管理するホストコンピュータ１０では、基板処理装置２０における処理液Ｌｑ０の交換時期において、液交換可能状態が検出され得る。
【０１６３】
図１３は、第１変形例に係る基板処理システム１の液交換処理に係る制御方法についての動作フローの一例を示す流れ図である。図１３の動作フローは、図９の動作フローを基本として、ステップＳｐ４がステップＳｐ４ａ，Ｓｐ４ｂの２つのステップに分割され、ステップＳｐ８がステップＳｐ８Ａに変更されたものである。
【０１６４】
ここで、図１３のステップＳｐ４ａでは、図９のステップＳｐ４と同様に設定部２３５２が交換時期を設定する。次に、図１３のステップＳｐ４ｂでは、例えば、基板処理装置２０の通信部２３１が、ステップＳｐ４ａで設定された交換時期に係る交換時期情報をホストコンピュータ１０に送信するとともに、ホストコンピュータ１０の通信部１１が、交換時期情報を受信する。図１３のステップＳｐ８Ａでは、例えば、ホストコンピュータ１０において、交換時期に、ステップＳｐ７における通信部１１による第１信号の受信に応答して、認識部１５１が処理計画情報ＰＰ１に基づいて待機状態の継続時間を認識し、検出部１５２が液交換可能状態を検出する。
【０１６５】
上記構成が採用される場合には、上記一実施形態における［条件１］から［条件３］の３条件に１つの条件（次の［条件４］）を加えた４条件が揃ったときに、液交換可能状態が検出される。
【０１６６】
［条件４］基板処理装置２０からホストコンピュータ１０に交換時期が通知されている。
【０１６７】
＜７−２．第２変形例＞
例えば、上記一実施形態および上記第１変形例において、例えば、検出部１５２による液交換可能状態の検出に応答して、出力部１３および出力部２３３の少なくとも一方が、ユーザとしてのオペレータが認識可能な第１の出力を行ってもよい。これにより、例えば、処理液Ｌｑ０の交換時期において、処理液Ｌｑ０の交換を行うための基準時間以上、待機状態が継続するのであれば、ユーザが認識可能な第１の出力が行われる。このため、オペレータは、例えば、処理液Ｌｑ０の交換を開始しても良いタイミングを容易に知ることができる。
【０１６８】
また、例えば、交換時期に検出部１５２によって液交換可能状態が検出されることなく、交換時期を過ぎたことに応答して、出力部１３および出力部２３３の少なくとも一方が、ユーザとしてのオペレータが認識可能な第２の出力を行ってもよい。これにより、例えば、処理液Ｌｑ０の交換時期が過ぎたことがユーザに報知されることで、ユーザは処理液Ｌｑ０を交換することができる。その結果、例えば、劣化した処理液Ｌｑ０を用いた基板処理が行われにくくなる。
【０１６９】
ここで、例えば、ユーザが認識可能な第１の出力および第２の出力のそれぞれには、例えば、出力部１３および出力部２３３の少なくとも一方による、可視的に認識可能な、テキスト情報の出力またはランプの点灯もしくは点滅、可聴的に認識可能な音声または警告音の出力などが、含まれ得る。また、ここで、例えば、ホストコンピュータ１０の出力部１３で第１の出力または第２の出力が行われる場合、ホストコンピュータ１０のオペレータの動作に応じて入力部１２で入力される信号に応答して、基板処理装置２０の液交換部２４による液交換処理が実行される態様が考えられる。また、ここで、例えば、基板処理装置２０の出力部２３３で第１の出力または第２の出力が行われる場合、基板処理装置２０のオペレータの動作に応じて入力部２３２で入力される信号に応答して、基板処理装置２０の液交換部２４による液交換処理が実行されてもよい。また、ここで、例えば、基板処理装置２０のオペレータが、液貯留部２２のタンクを入れ替えることで、液交換処理を行ってもよい。
【０１７０】
図１４から図１７は、第２変形例に係る基板処理システム１の液交換処理に係る制御方法についての動作フローの一例を示す流れ図である。ここでは、第１の出力および第２の出力が基板処理装置２０の出力部２３３によって行われる例を挙げて説明する。図１４から図１７の動作フローは、上記一実施形態に係る図９から図１２の動作フローを基本として、図９のステップＳｐ１２が図１４のステップＳｐ１２Ｂに変更され、図１０のステップＳｐ２４が図１５のステップＳｐ２４Ｂに変更され、図１１のステップＳｐ３４が図１６のステップＳｐ３４Ｂに変更され、図１２のステップＳｐ４３が図１７のステップＳｐ４３Ｂに変更されたものである。
【０１７１】
ここで、図１４のステップＳｐ１２Ｂでは、基板処理装置２０の出力部２３３が、オペレータが認識可能な第１の出力を行う。これにより、例えば、オペレータは、処理液Ｌｑ０の交換を開始しても良いタイミングを容易に知ることができる。図１５のステップＳｐ２４Ｂ、図１６のステップＳｐ３４Ｂおよび図１７のステップＳｐ４３Ｂでは、基板処理装置２０の出力部２３３が、オペレータが認識可能な第２の出力を行う。これにより、例えば、処理液Ｌｑ０の交換時期が過ぎたことがユーザに報知されるため、ユーザは処理液Ｌｑ０を交換することができる。
【０１７２】
ただし、ここでは、例えば、図１５のステップＳｐ２１からステップＳｐ２４Ｂで示されるように、交換時期において検出部１５２で液交換可能状態が検出されることなく、交換時期が過ぎた後に、複数の連続処理のうちのＮ台の処理ユニット２１において実行中の連続処理が完了したことに応答して、出力部２３３が第２の出力を行ってもよい。これにより、例えば、処理液Ｌｑ０の交換時期が過ぎても、１つの基板群に対する連続処理が完了した後に、処理液Ｌｑ０を交換することで、例えば、１つの基板群に対する連続処理が中断されず、Ｎ台の処理ユニット２１の稼働率が低下しにくくなる。
【０１７３】
また、例えば、図１６のステップＳｐ３１からステップＳｐ３４Ｂで示されるように、交換時期において検出部１５２で液交換可能状態が検出されることなく、交換時期が過ぎた後に、搬送部ＴＲがキャリアＣからＮ台の処理ユニット２１に向けて既に搬出していた全ての基板Ｗに対してＮ台の処理ユニット２１における処理が完了したことに応答して、出力部２３３が第２の出力を行ってもよい。これにより、例えば、第２の出力に応じて、オペレータが液交換処理を行えば、劣化した処理液Ｌｑ０を用いて処理が施される基板Ｗの数が低減され得る。また、例えば、１つの基板群に対する連続処理において、複数の基板Ｗに対する処理条件のばらつきが生じにくいため、処理後の基板Ｗの特性にばらつきが生じにくくなる。
【０１７４】
また、例えば、図１７のステップＳｐ４１からステップＳｐ４３Ｂで示されるように、検出部１５２で液交換可能状態が検出されることなく、交換時期が過ぎた後に、Ｎ台の処理ユニット２１に既に位置している全ての基板Ｗに対してＮ台の処理ユニット２１における処理が完了したことに応答して、出力部２３３が第２の出力を行ってもよい。これにより、例えば、オペレータは、第２の出力に応じて処理液Ｌｑ０の交換を早期に行うことができ、劣化した処理液Ｌｑ０を用いた基板処理が実行されにくくなる。
【０１７５】
＜７−３．その他＞
また、上記一実施形態および上記各変形例において、例えば、図１８および図１９で示されるように、基板処理装置２０の演算処理部２３５ａは、記憶部２３４内のプログラムＰ２Ｃの実行によって実現される機能的な構成として、取得部２３５１、設定部２３５２、検知部２３５３および判定部２３５４に加えて、認識部１５１に対応する認識部２３５５Ｃおよび検出部１５２に対応する検出部２３５６Ｃを有していてもよい。この場合、例えば、ホストコンピュータ１０から基板処理装置２０に係る処理計画の情報（処理計画情報）ＰＰ２が送信されていれば、基板処理装置２０において、認識部２３５５Ｃは、例えば、記憶部２３４に記憶されている処理計画情報ＰＰ２に基づいて、待機状態が継続する継続時間を認識することができる。また、基板処理装置２０において、例えば、検出部２３５６Ｃは、認識部２３５５Ｃで認識された継続時間が予め設定された基準時間以上である液交換可能状態を検出することができる。この場合、例えば、ホストコンピュータ１０と基板処理装置２０との間における、第１の信号、第２の信号および第３の信号の送受信がされなくてよい。
【０１７６】
また、上記一実施形態および上記各変形例において、例えば、ホストコンピュータ１０の記憶部１４に寿命ルールに係る情報が記憶されていれば、ホストコンピュータ１０の演算処理部１５ａが、寿命ルールに基づいて、処理液Ｌｑ０の交換時期を設定してもよい。この場合、例えば、基板処理装置２０からホストコンピュータ１０に対して、交換時期に係る交換時期情報を送信しなくてよい。
【０１７７】
なお、上記一実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。
【符号の説明】
【０１７８】
１  基板処理システム
５  通信回線
１０  ホストコンピュータ
１１  通信部（送信部、受信部）
１２  入力部
１３  出力部
１４  記憶部
１５  制御部
１５ａ  演算処理部
２０  基板処理装置
２０ａ〜２０ｃ  第１〜第３の基板処理装置
２１  処理ユニット
２２  液貯留部
２３  制御ユニット
２４  液交換部
１５１，２３５５Ｃ  認識部
１５２，２３５６Ｃ  検出部
２３１  通信部（送信部、受信部）
２３２  入力部
２３３  出力部
２３４  記憶部
２３５  制御部
２３５ａ  演算処理部
２３５１  取得部
２３５２  設定部
２３５３  検知部
２３５４  判定部
Ｃ  キャリア
ＬＰ１〜ＬＰ４  第１〜４ロードポート
Ｌｑ０  処理液
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ２Ｃ  プログラム
ＰＰ１，ＰＰ２  処理計画情報
ＴＲ  搬送部
Ｔｒ０  交換時期
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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