(57)【要約】【課題】基板処理ユニットの異常を簡便にかつ迅速に検知することができる異常検知方法および異常検知装置を提供する。【解決手段】塗布処理ユニット８０から発生した音をマイクロフォン１０によって集音して音データを取得する。ＦＦＴコンパレータ２０は、その音データに高速フーリエ変換を施して当該音データの周波数スペクトルを求める。判定部３２は、その周波数スペクトルに含まれる周波数成分が予め設定された周波数範囲から外れているとき、または、大きさの閾値を超えているときには、塗布処理ユニット８０に異常が発生していると判定する。また、塗布処理ユニット８０に異常が発生していると判定されたときには、警告発報部３３がメインパネル４０に異常発生の警告を発報する。【選択図】図１
2018119870.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する基板処理ユニットの異常を検知する異常検知方法であって、
前記基板処理ユニットから発生した音を集音して音データを取得する集音工程と、
前記音データに高速フーリエ変換を施して前記音データの周波数スペクトルを求める周波数解析工程と、
前記周波数スペクトルに含まれる周波数成分が予め設定された周波数範囲から外れているとき、または、大きさの閾値を超えているときには、前記基板処理ユニットに異常が発生していると判定する判定工程と、
を備えることを特徴とする異常検知方法。
【請求項２】
基板を処理する基板処理ユニットの異常を検知する異常検知方法であって、
前記基板処理ユニットから発生した音を集音して音データを取得する集音工程と、
前記音データに高速フーリエ変換を施して前記音データの周波数スペクトルを求める周波数解析工程と、
前記基板処理ユニットが正常に動作しているときに取得された音データに高速フーリエ変換を施して求められた標準周波数スペクトルと前記周波数スペクトルとを比較し、一致率が予め設定された閾値未満のときには、前記基板処理ユニットに異常が発生していると判定する判定工程と、
を備えることを特徴とする異常検知方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の異常検知方法において、
前記基板処理ユニットに異常が発生していると判定されたときに警告を発報する警告発報工程をさらに備えることを特徴とする異常検知方法。
【請求項４】
基板を処理する基板処理ユニットの異常を検知する異常検知装置であって、
前記基板処理ユニットに設けられ、前記基板処理ユニットから発生した音を集音する集音器と、
前記集音器によって取得された音データに高速フーリエ変換を施して前記音データの周波数スペクトルを求める周波数解析部と、
前記周波数解析部によって求められた周波数スペクトルに基づいて前記基板処理ユニットに異常が発生しているか否かを判定する判定部と、
を備え、
前記判定部は、前記周波数スペクトルに含まれる周波数成分が予め設定された周波数範囲から外れているとき、または、大きさの閾値を超えているときには、前記基板処理ユニットに異常が発生していると判定することを特徴とする異常検知装置。
【請求項５】
基板を処理する基板処理ユニットの異常を検知する異常検知装置であって、
前記基板処理ユニットに設けられ、前記基板処理ユニットから発生した音を集音する集音器と、
前記集音器によって取得された音データに高速フーリエ変換を施して前記音データの周波数スペクトルを求める周波数解析部と、
前記周波数解析部によって求められた周波数スペクトルに基づいて前記基板処理ユニットに異常が発生しているか否かを判定する判定部と、
前記基板処理ユニットが正常に動作しているときに取得された音データに高速フーリエ変換を施して求められた標準周波数スペクトルを記憶する記憶部と、
を備え、
前記判定部は、前記標準周波数スペクトルと前記周波数スペクトルとを比較し、一致率が予め設定された閾値未満のときには、前記基板処理ユニットに異常が発生していると判定することを特徴とする異常検知装置。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の異常検出装置において、
前記判定部によって前記基板処理ユニットに異常が発生していると判定されたときに警告を発報する警告発報部をさらに備えることを特徴とする異常検知装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハーや液晶表示装置用ガラス基板等の薄板状精密電子基板（以下、単に「基板」と称する）を処理する基板処理ユニットの異常を検知する異常検知方法および異常検知装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、半導体デバイスや液晶ディスプレイなどの製品は、上記基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理、ダイシングなどの一連の諸処理を施すことにより製造されている。これらの各処理は塗布処理ユニットや熱処理ユニットなどの基板処理ユニットによって実行される。基板処理中に基板処理ユニットに故障が生じると、処理中の基板が不良となってスクラップウェハーを発生させることとなる。
【０００３】
基板処理ユニットの構成部品のうち、特に故障が生じ易いのがモータ等の駆動系の部品である。このため、特に駆動系部品の故障発生を事前に予測することができれば、当該部品を修理または交換することによって基板処理ユニットの故障を未然に防ぐことができ、スクラップウェハーの発生防止に有効である。特許文献１には、基板処理ユニットにおける駆動系部品からの音を検出し、その検出した音データを解析することによって駆動系部品の異常を検知する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１４０１３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に開示の異常検知技術は複雑なアルゴリズムを用いており、簡易な手法によって基板処理ユニットの異常を迅速に検知することも強く望まれている。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、基板処理ユニットの異常を簡便にかつ迅速に検知することができる異常検知方法および異常検知装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板を処理する基板処理ユニットの異常を検知する異常検知方法において、前記基板処理ユニットから発生した音を集音して音データを取得する集音工程と、前記音データに高速フーリエ変換を施して前記音データの周波数スペクトルを求める周波数解析工程と、前記周波数スペクトルに含まれる周波数成分が予め設定された周波数範囲から外れているとき、または、大きさの閾値を超えているときには、前記基板処理ユニットに異常が発生していると判定する判定工程と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、請求項２の発明は、基板を処理する基板処理ユニットの異常を検知する異常検知方法において、前記基板処理ユニットから発生した音を集音して音データを取得する集音工程と、前記音データに高速フーリエ変換を施して前記音データの周波数スペクトルを求める周波数解析工程と、前記基板処理ユニットが正常に動作しているときに取得された音データに高速フーリエ変換を施して求められた標準周波数スペクトルと前記周波数スペクトルとを比較し、一致率が予め設定された閾値未満のときには、前記基板処理ユニットに異常が発生していると判定する判定工程と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明に係る異常検知方法において、前記基板処理ユニットに異常が発生していると判定されたときに警告を発報する警告発報工程をさらに備えることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項４の発明は、基板を処理する基板処理ユニットの異常を検知する異常検知装置において、前記基板処理ユニットに設けられ、前記基板処理ユニットから発生した音を集音する集音器と、前記集音器によって取得された音データに高速フーリエ変換を施して前記音データの周波数スペクトルを求める周波数解析部と、前記周波数解析部によって求められた周波数スペクトルに基づいて前記基板処理ユニットに異常が発生しているか否かを判定する判定部と、を備え、前記判定部は、前記周波数スペクトルに含まれる周波数成分が予め設定された周波数範囲から外れているとき、または、大きさの閾値を超えているときには、前記基板処理ユニットに異常が発生していると判定することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項５の発明は、基板を処理する基板処理ユニットの異常を検知する異常検知装置において、前記基板処理ユニットに設けられ、前記基板処理ユニットから発生した音を集音する集音器と、前記集音器によって取得された音データに高速フーリエ変換を施して前記音データの周波数スペクトルを求める周波数解析部と、前記周波数解析部によって求められた周波数スペクトルに基づいて前記基板処理ユニットに異常が発生しているか否かを判定する判定部と、前記基板処理ユニットが正常に動作しているときに取得された音データに高速フーリエ変換を施して求められた標準周波数スペクトルを記憶する記憶部と、を備え、前記判定部は、前記標準周波数スペクトルと前記周波数スペクトルとを比較し、一致率が予め設定された閾値未満のときには、前記基板処理ユニットに異常が発生していると判定することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項６の発明は、請求項４または請求項５の発明に係る異常検出装置において、前記判定部によって前記基板処理ユニットに異常が発生していると判定されたときに警告を発報する警告発報部をさらに備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１および請求項３の発明によれば、基板処理ユニットから発生した音を集音して取得された音データに高速フーリエ変換を施して音データの周波数スペクトルを求め、その周波数スペクトルに含まれる周波数成分が予め設定された周波数範囲から外れているとき、または、大きさの閾値を超えているときには、基板処理ユニットに異常が発生していると判定するため、音データに高速フーリエ変換を施して閾値判定をするという簡易な手法によって基板処理ユニットの異常を簡便にかつ迅速に検知することができる。
【００１４】
請求項２および請求項３の発明によれば、基板処理ユニットから発生した音を集音して取得された音データに高速フーリエ変換を施して音データの周波数スペクトルを求め、基板処理ユニットが正常に動作しているときに取得された音データに高速フーリエ変換を施して求められた標準周波数スペクトルと当該周波数スペクトルとを比較し、一致率が予め設定された閾値未満のときには、基板処理ユニットに異常が発生していると判定するため、音データに高速フーリエ変換を施して正常動作時のリファレンスと比較するという簡易な手法によって基板処理ユニットの異常を簡便にかつ迅速に検知することができる。
【００１５】
請求項４および請求項６の発明によれば、基板処理ユニットから発生した音を集音して取得された音データに高速フーリエ変換を施して音データの周波数スペクトルを求め、その周波数スペクトルに含まれる周波数成分が予め設定された周波数範囲から外れているとき、または、大きさの閾値を超えているときには、基板処理ユニットに異常が発生していると判定するため、音データに高速フーリエ変換を施して閾値判定をするという簡易な手法によって基板処理ユニットの異常を簡便にかつ迅速に検知することができる。
【００１６】
請求項５および請求項６の発明によれば、基板処理ユニットから発生した音を集音して取得された音データに高速フーリエ変換を施して音データの周波数スペクトルを求め、基板処理ユニットが正常に動作しているときに取得された音データに高速フーリエ変換を施して求められた標準周波数スペクトルと当該周波数スペクトルとを比較し、一致率が予め設定された閾値未満のときには、基板処理ユニットに異常が発生していると判定するため、音データに高速フーリエ変換を施して正常動作時のリファレンスと比較するという簡易な手法によって基板処理ユニットの異常を簡便にかつ迅速に検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る異常検知装置の全体構成を示す図である。
【図２】マイクロフォンによって取得された音データの一例を示す図である。
【図３】塗布処理ユニットに異常が発生していないときの周波数スペクトルの一例を示す図である。
【図４】塗布処理ユニットに異常が発生しているときの周波数スペクトルの一例を示す図である。
【図５】標準周波数スペクトルの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１９】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明に係る異常検知装置１の全体構成を示す図である。異常検知装置１は、基板処理ユニットの異常を検知する装置であり、典型的には複数の基板処理ユニットを組み込んだ基板処理装置に設けられるものである。なお、図１および以降の各図においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。
【００２０】
本実施形態においては、異常検知装置１は、基板処理ユニットとしての塗布処理ユニット８０の異常を検知する。塗布処理ユニット８０は、基板Ｗを回転させつつ、その基板Ｗに処理液としてフォトレジスト液を吐出してレジスト塗布処理を行うスピンユニットである。基板Ｗはシリコンの円板形状の半導体ウェハーであり、そのサイズは特に限定されるものではないが、例えばφ３００ｍｍやφ４５０ｍｍである。
【００２１】
塗布処理ユニット８０は、主たる要素として、基板Ｗを回転可能に保持するスピンチャック８１、回転する基板Ｗに処理液を吐出する吐出ノズル８３および回転する基板Ｗから飛散した処理液を回収するカップ８６を備える。
【００２２】
スピンチャック８１は、基板Ｗの下面中心近傍を吸着支持して当該基板Ｗを水平姿勢（法線が鉛直方向と一致する姿勢）に保持する。基板Ｗを保持するスピンチャック８１は、スピンモータ８２によって回転駆動される。なお、スピンチャック８１は、基板Ｗの端縁部を機械的に把持する形態のものであっても良い。
【００２３】
吐出ノズル８３は、ノズルアーム８４によってスピンチャック８１よりも上方に支持されている。ノズルアーム８４の基端側はモータ８５に連結されている。モータ８５はノズルアーム８４を旋回駆動させる。吐出ノズル８３は、モータ８５の旋回駆動によって、スピンチャック８１に保持された基板Ｗの中心部上方の処理位置とカップ８６よりも外方の待機位置との間で移動可能とされている。処理位置の吐出ノズル８３は、スピンチャック８１に保持されて回転する基板Ｗの中心近傍に処理液としてのフォトレジスト液を吐出する。
【００２４】
カップ８６は、スピンチャック８１の周囲を囲むように配置されている。カップ８６は、回転する基板Ｗから飛散した処理液を受け止めて回収する。カップ８６は、昇降駆動機構８７によって昇降可能とされている。
【００２５】
塗布処理ユニット８０にて基板Ｗのレジスト塗布処理を行うときには、まず処理対象となる基板Ｗをスピンチャック８１に吸着保持させる。続いて、スピンモータ８２がスピンチャック８１を回転させることによって基板Ｗも水平面内にて回転する。基板Ｗの回転数が所定数に到達した後、吐出ノズル８３から回転する基板Ｗの中心近傍に処理液としてのフォトレジスト液が吐出される。基板Ｗに着液したフォトレジスト液は、遠心力によって基板Ｗの上面を拡がるように流れ、基板Ｗの上面に薄く均一に塗布される。このようにして、基板Ｗの上面にレジスト膜が形成される。レジスト塗布処理の終了した基板Ｗはスピンチャック８１による吸着が解除されて塗布処理ユニット８０から搬出される。
【００２６】
異常検知装置１は、マイクロフォン１０、ＦＦＴコンパレータ２０、制御部３０およびメインパネル４０を備える。マイクロフォン１０は、上記の塗布処理ユニット８０の内部に設置される。塗布処理ユニット８０内におけるマイクロフォン１０の設置位置は特に限定されるものではないが、塗布処理ユニット８０の駆動機構（スピンモータ８２、モータ８５、昇降駆動機構８７）の近傍が好ましい。マイクロフォン１０は、塗布処理ユニット８０から発生した音、特に塗布処理ユニット８０の駆動機構から発生した音を集音して音データを取得し、その音データをＦＦＴコンパレータ２０に出力する。
【００２７】
ＦＦＴコンパレータ２０は、マイクロフォン１０によって取得された音データに高速フーリエ変換（FFT:Fast Fourier Transform）を施して当該音データの周波数スペクトルを求める。高速フーリエ変換は離散フーリエ変換を高速で演算するアルゴリズムであり、ＦＦＴコンパレータ２０は入力された信号の時間波形を単純な周波数に分解して各周波数成分の振幅（大きさ）として示す。換言すれば、ＦＦＴコンパレータ２０は、信号の時間波形を周波数領域で見て周波数成分とその大きさで表された周波数スペクトルに変換する周波数解析器である。
【００２８】
ＦＦＴコンパレータ２０によって求められた周波数スペクトルは制御部３０に出力される。制御部３０は、塗布処理ユニット８０および異常検知装置１を含む基板処理装置全体の制御部でもある。制御部３０のハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様である。すなわち、制御部３０は、各種演算処理を行う回路であるＣＰＵ、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭおよび制御用ソフトウェアやデータなどを記憶しておく磁気ディスク３１等を備えている。
【００２９】
また、制御部３０は、判定部３２および警告発報部３３を備える。判定部３２および警告発報部３３は、制御部３０のＣＰＵが所定の処理プログラムを実行することによって実現される機能処理部である。判定部３２および警告発報部３３の処理内容についてはさらに後述する。
【００３０】
また、制御部３０には、メインパネル４０が接続されている。メインパネル４０は、塗布処理ユニット８０および異常検知装置１を含む基板処理装置全体の操作パネルであっても良い。メインパネル４０には制御部３０が所定の情報を表示することができるとともに、オペレータがメインパネル４０から制御部３０にコマンドやパラメータを入力することもできる。
【００３１】
次に、異常検知装置１による塗布処理ユニット８０の異常検知方法について説明する。第１実施形態では、異常検知装置１が塗布処理ユニット８０の異常を常時監視している。まず、塗布処理ユニット８０から発生した音をマイクロフォン１０によって集音して音データを取得する。特に、塗布処理ユニット８０の駆動機構が動作することによって発生した音がマイクロフォン１０によって集音される。マイクロフォン１０によって取得された音データはＦＦＴコンパレータ２０に出力される。
【００３２】
図２は、マイクロフォン１０によって取得された音データの一例を示す図である。マイクロフォン１０によって集音される音は主に塗布処理ユニット８０の駆動機構から発生した音であり、その音データは図２に示すように、経過時間とともに振幅が変化する複雑な形状の時間波形である。
【００３３】
ＦＦＴコンパレータ２０は、マイクロフォン１０によって取得された音データに高速フーリエ変換を施して当該音データの周波数スペクトルを求める。すなわち、ＦＦＴコンパレータ２０は、図２に示すような音データの時間波形を周波数に分解し、周波数成分とその大きさで表された周波数スペクトルに変換する。そして、ＦＦＴコンパレータ２０によって求められた音データの周波数スペクトルは制御部３０に出力される。
【００３４】
制御部３０の判定部３２は、ＦＦＴコンパレータ２０によって求められた周波数スペクトルに基づいて塗布処理ユニット８０に異常が発生しているか否かを判定する。第１実施形態においては、判定部３２は、ＦＦＴコンパレータ２０によって求められた周波数スペクトルに含まれる周波数成分が予め設定された周波数範囲から外れているとき、または、振幅（大きさ）の閾値を超えているときには、塗布処理ユニット８０に異常が発生していると判定する。
【００３５】
図３は、塗布処理ユニット８０に異常が発生していないときの周波数スペクトルの一例を示す図である。第１実施形態では、塗布処理ユニット８０に異常が発生していないと判定するための、周波数スペクトルにおける周波数範囲および振幅の閾値が予め設定されている。すなわち、図３に点線で示すように、塗布処理ユニット８０に異常が発生していないと判定するための、周波数スペクトルにおけるウィンドウが設定されているのである。このような周波数範囲および振幅の閾値は、例えば塗布処理ユニット８０が正常に動作しているときの所定時間にわたる実測値から予め設定するようにすれば良い。或いは、周波数範囲および振幅の閾値は、シミュレーションによって求めるようにしても良い。設定された周波数範囲および振幅の閾値は、制御部３０の記憶部（例えば、磁気ディスク３１）に格納される。
【００３６】
図３に示すように、塗布処理ユニット８０に異常が発生していないときには、ＦＦＴコンパレータ２０によって求められた周波数スペクトルに含まれる全ての周波数成分が予め設定された周波数範囲内に収まるとともに、全ての周波数成分の振幅が閾値以下である。すなわち、周波数スペクトルに含まれる全ての周波数成分が図中に点線で示すウィンドウの枠内に収まるのである。よって、判定部３２は、ＦＦＴコンパレータ２０によって求められた周波数スペクトルに含まれる全ての周波数成分が予め設定された周波数範囲内に収まり、かつ、全ての周波数成分の振幅が閾値以下である場合には、塗布処理ユニット８０に異常が発生していないと判定する。
【００３７】
一方、図４は、塗布処理ユニット８０に異常が発生しているときの周波数スペクトルの一例を示す図である。塗布処理ユニット８０に異常が発生しているときには、ＦＦＴコンパレータ２０によって求められた周波数スペクトルに含まれる周波数成分の一部が予め設定された周波数範囲から外れる、または、周波数成分の一部の振幅が閾値を超える。すなわち、周波数スペクトルに含まれる周波数成分の一部が図中に点線で示すウィンドウの枠からはみ出るのである。よって、判定部３２は、ＦＦＴコンパレータ２０によって求められた周波数スペクトルに含まれる周波数成分の少なくとも一部が予め設定された周波数範囲から外れているとき、または、周波数成分の少なくとも一部が振幅の閾値を超えているときには、塗布処理ユニット８０に異常が発生していると判定する。
【００３８】
異常検知装置１は、塗布処理ユニット８０の異常を常時リアルタイムで監視している。そして、判定部３２によって塗布処理ユニット８０に異常が発生していると判定されたときには、警告発報部３３がメインパネル４０に異常発生の警告を発報する。塗布処理ユニット８０に異常が発生している場合には、近い将来塗布処理ユニット８０が故障する可能性が高い。このため、メインパネル４０に警告が表示されたときには、塗布処理ユニット８０の特に駆動機構の点検を行うのが好ましい。
【００３９】
第１実施形態においては、塗布処理ユニット８０から発生した音の音データに高速フーリエ変換を施して当該音データの周波数スペクトルを求め、その周波数スペクトルに含まれる周波数成分が予め設定された周波数範囲から外れているとき、または、大きさの閾値を超えているときには、塗布処理ユニット８０に異常が発生していると判定している。すなわち、マイクロフォン１０によって取得した音データに高速フーリエ変換を施して閾値判定をするという簡便な手法によって塗布処理ユニット８０の異常を迅速に検知することができるのである。これにより、塗布処理ユニット８０の故障を予測することができる。
【００４０】
また、塗布処理ユニット８０に異常が発生していると判定されたときには、その旨の警告が発報されるため、塗布処理ユニット８０の故障を未然に防いで基板Ｗが処理不良となるのを効果的に防止することができる。
【００４１】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。第２実施形態の異常検知装置１の全体構成は第１実施形態と同じである（図１）。また、塗布処理ユニット８０の構成および処理内容も第１実施形態と同じである。第２実施形態が第１実施形態と相違するのは、異常検知装置１による異常検知方法である。
【００４２】
第２実施形態においては、まず塗布処理ユニット８０が正常に動作しているときに発生した音をマイクロフォン１０によって集音して取得した音データにＦＦＴコンパレータ２０が高速フーリエ変換を施して正常動作時の周波数スペクトルを求める。このような塗布処理ユニット８０が正常に動作しているときに取得された音データに高速フーリエ変換を施して求められた周波数スペクトルを「標準周波数スペクトル」として制御部３０の記憶部（例えば、磁気ディスク３１）に格納しておく。
【００４３】
塗布処理ユニット８０では基板Ｗのレジスト塗布処理が行われるのであるが、その処理内容には種々のパターンが存在している。具体的には、スピンモータ８２の回転数・回転時間、フォトレジスト液の種類・吐出量等が異なる種々のパターンが存在している。典型的には、処理内容のパターンはスピンモータ８２の回転数等の処理条件を記述したレシピによって規定され、制御部３０がレシピの記述内容に従って塗布処理ユニット８０の各種機構を制御することによって基板Ｗに所定のパターンのレジスト塗布処理が行われる。第２実施形態では、塗布処理ユニット８０における複数の処理パターンのそれぞれについて正常動作時の標準周波数スペクトルを求めて制御部３０の記憶部に格納しておく。
【００４４】
図５は、標準周波数スペクトルの一例を示す図である。このような標準周波数スペクトルが複数の処理パターン毎に予め求められ、それら複数の標準周波数スペクトルが制御部３０の記憶部に記憶されている。
【００４５】
第２実施形態においては、塗布処理ユニット８０が基板Ｗのレジスト塗布処理を行うときに異常検知装置１が塗布処理ユニット８０の異常を監視する。具体的には、塗布処理ユニット８０が基板Ｗのレジスト塗布処理を行うときに塗布処理ユニット８０から発生した音をマイクロフォン１０によって集音して音データを取得する。続いて、ＦＦＴコンパレータ２０がマイクロフォン１０によって取得された音データに高速フーリエ変換を施して当該音データの周波数スペクトルを求め、その周波数スペクトルを制御部３０に出力する。
【００４６】
また、制御部３０の判定部３２は、異常検知処理に先立って、処理対象となっている基板Ｗの処理パターンに対応した標準周波数スペクトルを選択しておく。判定部３２は、選択した標準周波数スペクトルと処理対象となっている基板Ｗの処理時に塗布処理ユニット８０から発生した音の音データに高速フーリエ変換を施して求められた実測の周波数スペクトルとを比較する。そして、判定部３２は、標準周波数スペクトルと実測の周波数スペクトルとの一致率が予め設定された閾値未満のときには、正常動作時と乖離が大きいため、塗布処理ユニット８０に異常が発生していると判定する。一方、判定部３２は、その一致率が当該閾値以上である場合には、塗布処理ユニット８０に異常が発生していないと判定する。なお、一致率判定のための閾値も予め設定されて制御部３０の記憶部に記憶されている。
【００４７】
第１実施形態と同様に、判定部３２によって塗布処理ユニット８０に異常が発生していると判定されたときには、警告発報部３３がメインパネル４０に異常発生の警告を発報する。
【００４８】
第２実施形態においては、塗布処理ユニット８０から発生した音の音データに高速フーリエ変換を施して当該音データの周波数スペクトルを求め、その周波数スペクトルと塗布処理ユニット８０が正常に動作しているときに取得された音データに高速フーリエ変換を施して求められた標準周波数スペクトルとを比較している。そして、比較の結果、一致率が予め設定された閾値未満のときには、塗布処理ユニット８０に異常が発生していると判定している。すなわち、マイクロフォン１０によって取得した音データに高速フーリエ変換を施して正常動作時のリファレンスと比較するという簡便な手法によって塗布処理ユニット８０の異常を迅速に検知することができるのである。これにより、塗布処理ユニット８０の故障を予測することができる。
【００４９】
また、第１実施形態と同様に、塗布処理ユニット８０に異常が発生していると判定されたときには、その旨の警告が発報されるため、塗布処理ユニット８０の故障を未然に防いで基板Ｗが処理不良となるのを効果的に防止することができる。
【００５０】
＜変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態においては、異常検知装置１によって塗布処理ユニット８０の異常を検知していたが、異常検知の対象は塗布処理ユニット８０に限定されるものではなく、他の基板処理ユニットであっても良い。例えば、異常検知装置１のマイクロフォン１０を現像処理ユニットや洗浄処理ユニット等の基板Ｗを回転させつつ処理を行う他のスピンユニットに設置してその異常を検知するようにしても良い。また、異常検知装置１によって基板Ｗの加熱処理を行うベークユニットの異常を検知するようにしても良い。ベークユニットには専用のローカル搬送機構が設けられているものもあるが、そのローカル搬送機構から発生した音を集音して異常検知装置１が異常の検知を行う。或いは、異常検知装置１によって基板Ｗを搬送する搬送ユニットの異常を検知するようにしても良い。
【００５１】
また、複数の基板処理ユニットに個別にマイクロフォン１０を設置し、それら複数のマイクロフォン１０とＦＦＴコンパレータ２０との接続を順次に切り替えることによって、複数の基板処理ユニットの異常を並行して検知するようにしても良い。
【００５２】
さらには、基板処理ユニットによって処理対象となる基板Ｗは半導体ウェハーに限定されるものではなく、液晶表示装置などのフラットパネルディスプレイに用いるガラス基板や太陽電池用の基板であっても良い。
【００５３】
要するに、異常検知装置１は、半導体ウェハーやガラス基板等の基板に何らかの処理を行う基板処理ユニットから発生した音を集音して取得した音データを周波数解析して当該基板処理ユニットの異常を検知する。特に、動作時に音が発生する駆動系の構成要素を備える基板処理ユニットの異常を検知するのに本発明に係る異常検知技術は好適である。
【００５４】
また、異常検知装置１のマイクロフォン１０は、基板処理ユニットの外部からのノイズ（例えば、工場内の作業者の声）を集音することもあるため、異常検知装置１にノイズ除去フィルターを設けるようにしても良い。或いは、ＦＦＴコンパレータ２０によって求められた周波数スペクトルからノイズに相当する周波数成分を除去するようにしても良い。
【００５５】
また、判定部３２は、装置の制御部３０内に設けられることに限定されるものではなく、ＦＦＴコンパレータ２０に内蔵されていても良いし、専用のコンピュータによって実現されるものであっても良い。
【符号の説明】
【００５６】
１  異常検知装置
１０  マイクロフォン
２０  ＦＦＴコンパレータ
３０  制御部
３１  磁気ディスク
３２  判定部
３３  警告発報部
４０  メインパネル
８０  塗布処理ユニット
８２  スピンモータ
８５  モータ
８７  昇降駆動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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