(57)【要約】【課題】回り込み回路に含まれている低電圧部品に対する過電圧の印加を回避する。【解決手段】測定対象２１の一対の端子間に測定信号Ｓ１を供給して測定対象２１を測定する際に、一対の端子の各電圧のうちの一方の端子の電圧をガーディング電圧Ｖｇとして特定すると共に、複数の電気部品で構成されて測定対象２１と並列関係にある回り込み回路ＬＰ１〜ＬＰ３における各電気部品同士の接続点のうちの１つの接続点をガーディング点として特定してガーディング電圧Ｖｇに規定するガーディング処理を実行する処理部９を備え、処理部９は、回り込み回路ＬＰ１，ＬＰ３にＩＣＰ３，Ｐ７が含まれているときに、ガーディング処理において、その電圧をガーディング電圧Ｖｇとする上記の一方の端子（端子番号Ｐ０−２の端子）と上記の１つの接続点との間にＩＣＰ３，Ｐ７がそれぞれ配置されるようこの一方の端子およびこの１つの接続点を特定する。【選択図】図４
2018036240.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気部品である測定対象の一対の端子間に測定信号を供給して当該測定対象を測定する際に、当該一対の端子の各電圧のうちの一方の端子の電圧をガーディング電圧として特定すると共に、複数の電気部品で構成されて当該測定対象と並列関係にある回り込み回路における当該複数の電気部品同士の接続点のうちの１つの接続点をガーディング点として特定して前記ガーディング電圧に規定するガーディング処理を実行する処理部を備えている測定装置であって、
前記処理部は、前記複数の電気部品に低電圧部品が含まれているときに、前記ガーディング処理において、前記一方の端子と前記１つの接続点との間に当該低電圧部品が配置されるよう当該一方の端子および当該１つの接続点を特定する測定装置。
【請求項２】
電気部品である測定対象の一対の端子間に測定信号を供給して当該測定対象を測定する際に、当該一対の端子の各電圧のうちの一方の端子の電圧をガーディング電圧として特定すると共に、複数の電気部品で構成されて当該測定対象と並列関係にある回り込み回路における当該複数の電気部品同士の接続点のうちの１つの接続点をガーディング点として特定して前記ガーディング電圧に規定する測定方法であって、
前記複数の電気部品に低電圧部品が含まれているときに、前記一方の端子と前記１つの接続点との間に当該低電圧部品が配置されるよう当該一方の端子および当該１つの接続点を特定する測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導体パターンなどの導体配線を介して互いに接続された複数の電気部品のうちの任意の１つを測定対象としてその電気的特性を測定する測定装置および測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の測定装置として、本願出願人は下記の特許文献１に開示された測定装置（検査装置）を既に提案している。この測定装置は、回路基板に実装されている複数の電気部品のうちの任意の１つを検査対象とする電気的検査時において、この検査対象についてのガーディング候補点を特定可能に構成されている。具体的には、測定装置は、複数の電気部品についての部品番号、電気的諸元、および一対の端子の各端子番号を含む部品情報、並びに各電気部品間の配線情報が記憶された記憶部と、検査対象の部品番号を入力する操作部と、検査対象の部品番号および配線情報に基づいて検査対象と並列関係にある回り込み回路を探索する回り込み回路探索処理、探索した回り込み回路が複数あるときに部品情報に基づいて各回り込み回路のインピーダンスを算出するインピーダンス算出処理、および探索した各回り込み回路に複数の電気部品が含まれているときに電気的諸元から求まる各電気部品のインピーダンスに基づいてガーディング候補点を特定するガーディング候補点特定処理を実行する処理部とを備えている。
【０００３】
この測定装置では、処理部が、検査対象と並列関係にある回り込み回路を探索すると共に、回り込み回路が複数あるときに、探索した回り込み回路のインピーダンスを算出し、さらに探索した各回り込み回路に複数の電気部品が含まれているときに電気的諸元から求まる電気部品のインピーダンスに基づいてガーディング候補点を回り込み回路毎に特定する。したがって、この測定装置によれば、例えば、インピーダンスが最も小さい回り込み回路のガーディング候補点を選択することで、検査対象の検査に対して一層多くの影響を与える回り込み回路のガーディング候補点を正確、かつ短時間で特定することが可能となっている。これにより、この測定装置によれば、この特定したガーディング候補点にガーディング電圧を供給することにより、この特定したガーディング候補点を含む回り込み回路への所定の電流の流入（回り込み）を阻止できるため、検査対象の電気的特性をより正確、かつ短時間で測定することが可能となっている。
【０００４】
また、この測定装置によれば、探索した各回り込み回路に複数の電気部品が含まれているときに、電気部品のインピーダンスに基づいてガーディング候補点を特定することにより、ガーディング候補点にガーディング電圧を供給する（ガーディング候補点をガーディング電圧に維持する）ガーディング部の負荷がより軽くなる点をガーディング候補点として特定することが可能である。このため、例えば定格出力電流（定格シンク／ソース電流）の小さい安価な電子部品（一例として演算増幅器）を用いてガーディング部を構成できる結果、ガーディング部のコストを低減し、ひいては測定装置全体のコストを低減することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２０５９３４号公報（第４−５頁）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記した測定装置には、以下のような改善すべき課題が存在している。すなわち、この測定装置では、探索した回り込み回路に複数の電気部品が含まれているときに、電気部品のインピーダンスに基づいてガーディング候補点を特定することにより、ガーディング候補点にガーディング電圧を供給するガーディング部の負荷がより軽くなる点をガーディング候補点として特定している。しかしながら、回り込み回路に含まれている複数の電気部品の中に絶対最大定格電圧が電気的検査の際に検査対象に印加される電圧（電流供給部から定電流を供給して行う電気的検査のときには電流供給部の出力電圧、電圧供給部から定電圧を供給して行う電気的検査のときにはこの定電圧）未満の電気部品（例えば、半導体集積回路（ＩＣ）などの低電圧部品（低耐圧部品））が存在している場合があることから、この測定装置には、この低電圧部品に対して絶対最大定格電圧を超える電圧（過電圧ともいう）を印加する虞があるという改善すべき課題が存在している。
【０００７】
本発明は、かかる課題を改善するためになされたものであり、回り込み回路に含まれている低電圧部品に対する過電圧の印加を回避し得る測定装置および測定方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく請求項１記載の測定装置は、電気部品である測定対象の一対の端子間に測定信号を供給して当該測定対象を測定する際に、当該一対の端子の各電圧のうちの一方の端子の電圧をガーディング電圧として特定すると共に、複数の電気部品で構成されて当該測定対象と並列関係にある回り込み回路における当該複数の電気部品同士の接続点のうちの１つの接続点をガーディング点として特定して前記ガーディング電圧に規定するガーディング処理を実行する処理部を備えている測定装置であって、前記処理部は、前記複数の電気部品に低電圧部品が含まれているときに、前記ガーディング処理において、前記一方の端子と前記１つの接続点との間に当該低電圧部品が配置されるよう当該一方の端子および当該１つの接続点を特定する。
【０００９】
請求項２記載の測定方法は、電気部品である測定対象の一対の端子間に測定信号を供給して当該測定対象を測定する際に、当該一対の端子の各電圧のうちの一方の端子の電圧をガーディング電圧として特定すると共に、複数の電気部品で構成されて当該測定対象と並列関係にある回り込み回路における当該複数の電気部品同士の接続点のうちの１つの接続点をガーディング点として特定して前記ガーディング電圧に規定する測定方法であって、前記複数の電気部品に低電圧部品が含まれているときに、前記一方の端子と前記１つの接続点との間に当該低電圧部品が配置されるよう当該一方の端子および当該１つの接続点を特定する。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の測定装置および請求項２記載の測定方法では、測定対象と並列関係にある回り込み回路を構成する複数の電気部品に低電圧部品が含まれているときに、測定対象の一対の端子間への測定信号の供給状態において、測定対象の一対の端子のうちのその電圧をガーディング電圧とする一方の端子とガーディング点とする１つの接続点との間に低電圧部品が配置されるように、この一方の端子とこの１つの接続点を特定する。
【００１１】
したがって、この測定装置および測定方法によれば、低電圧部品を含む回り込み回路が存在している場合においても、低電圧部品に印加される電圧を理論上ゼロボルトにしつつ、ガーディング電圧を回り込み回路のガーディング点（１つの接続点）に供給（印加）することができる。したがって、この測定装置およびこの測定方法によれば、測定信号の電圧のような過電圧の低電圧部品への印加を回避しつつ（過電圧の印加に起因した低電圧部品の損傷などを防止ししつ）、例えば電流測定部を用いて測定対象に流れる電流のみを測定できる。また、この結果、この電流の電流値と例えば電圧測定部で測定される測定対象の両端間電圧値に基づいて、測定対象の電気的特性を正確に測定することができる。また、この測定装置およびこの測定方法によれば、この測定した電気的特性に基づき、測定対象に対する検査、さらにはこの測定対象が実装されている回路基板に対する検査を正確に実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】測定装置１の構成を示す構成図である。
【図２】ガーディング処理のフローチャートである。
【図３】測定対象２１に対する測定および検査を実施する際の測定装置１の各構成要素と、測定対象２１および各回り込み回路ＬＰ１〜ＬＰ３との接続状態を示す説明図である。
【図４】測定対象２１に対する測定および検査を実施する際の測定装置１の各構成要素と、測定対象２１および各回り込み回路ＬＰ１〜ＬＰ３との他の接続状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、測定装置および測定方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
まず、測定装置の一例である図１に示す測定装置１の構成について説明する。
【００１５】
この測定装置１は、信号供給部２、ガーディング部３、電圧測定部４、電流測定部５、スキャナ部６、記憶部７、操作部８、処理部９および出力部１０を備え、所定の測定信号Ｓ１（直流電圧信号や直流電流信号や交流電圧信号や交流電流信号）の供給時における測定対象２１の電気的特性を測定すると共に、この測定した電気的特性に基づいて測定対象２１を検査可能（この場合、測定対象２１は検査対象でもある）に構成されている。本例では一例として、回路基板２２に実装されて、導体パターンなどの導体配線（図示せず）を介して互いに接続された複数の電気部品２３（抵抗、コンデンサ、インダクタ、トランジスタおよびダイオードなどのディスクリート部品や、ＲＯＭ、ＲＡＭ、Ａ／Ｄ変換器、Ｄ／Ａ変換器およびＣＰＵなどの種々の半導体集積回路（ＩＣ）など）のうちの任意の１つの電気部品２３を測定対象２１とするものとする。また、測定装置１は、例えば、電気部品２３同士を接続する導体配線上に規定された複数のプロービング点ＰＰに一対一で対応して配設されて、各プロービング点ＰＰに同時に接触する複数の接触プローブ（コンタクトプローブ）ＣＰを備えたジグ型の測定装置とする。
【００１６】
信号供給部２は、処理部９の制御下で、測定対象２１毎に予め規定されたパターンの測定信号Ｓ１を、測定装置１の基準電位（内部グランドＧの電位。ゼロボルト）を基準として生成して、出力端子２ａから出力する。また、信号供給部２は、その出力端子２ａがスキャナ部６に接続されている。ガーディング部３は、一例として、同図に示すように、演算増幅器３ａを用いたボルテージフォロワ回路で構成されている。この構成により、ガーディング部３は、入力端子（演算増幅器３ａの非反転端子）３ｂに印加されている電圧（本例では測定信号Ｓ１の電圧、または内部グランドＧと同電圧（ゼロボルト））をハイインピーダンスで入力して、この電圧の電圧値と同じ電圧値の電圧信号を出力端子（演算増幅器３ａの出力端子）３ｃからローインピーダンスでガーディング電圧Ｖｇとして出力する機能を有している。また、ガーディング部３は、その入力端子３ｂおよび出力端子３ｃがスキャナ部６に接続されている。
【００１７】
電圧測定部４は、一対の入力端子４ａ，４ｂ間の電位差（電圧値Ｖ１）を測定すると共に、測定した電圧値Ｖ１を示す電圧データＤｖを処理部９に出力する。また、電圧測定部４は、その一対の入力端子４ａ，４ｂがスキャナ部６に接続されている。電流測定部５は、一対の入力端子５ａ，５ｂのうちの一方の入力端子から流入して他方の入力端子から流出する電流の電流値Ｉ１を測定すると共に、測定した電流値Ｉ１を示す電流データＤｉを処理部９に出力する。また、電流測定部５は、その一対の入力端子５ａ，５ｂがスキャナ部６に接続されている。
【００１８】
スキャナ部６には、すべての接触プローブＣＰと、信号供給部２の出力端子２ａと、ガーディング部３の入力端子３ｂおよび出力端子３ｃと、電圧測定部４の一対の入力端子４ａ，４ｂと、電流測定部５の一対の入力端子５ａ，５ｂと、内部グランドＧとが接続されている。また、スキャナ部６は、例えばリレー切替回路で構成されて、処理部９の制御下で、出力端子２ａ、入力端子３ｂおよび出力端子３ｃ、各入力端子４ａ，４ｂ、各入力端子５ａ，５ｂ、並びに内部グランドＧを各接触プローブＣＰに対して任意の接続状態で接続可能となっている。
【００１９】
記憶部７は、例えばＲＯＭおよびＲＡＭ等の半導体メモリで構成されて、回路基板２２に実装されている複数の電気部品２３のすべてについての部品番号、電気的諸元（電気的特性を含む）、および備わっている端子の各端子番号を含む部品情報Ｄ１、並びに各電気部品２３の各端子間の配線情報Ｄ２を記憶する。ここで、配線情報Ｄ２とは、いわゆるネットリストとして機能するものであり、すべての電気部品２３のすべての端子の各々にどの電気部品２３のどの端子が導体配線を介して接続（直接接続）されているかを示す接続情報である。また、記憶部７には、処理部９の動作を規定するプログラムが記憶されている。
【００２０】
操作部８は、例えばキーボードで構成されて、回路基板２２に実装されている複数の電気部品２３のうちから選択された任意の１つを測定対象２１として、この測定対象２１の部品番号を入力可能に構成されている。また、操作部８は、処理部９に対して選択された測定対象２１の電気的特性（例えば、測定対象２１が抵抗のときにはインピーダンス値、コンデンサのときには容量値）を測定させるための測定指示を入力可能に構成されている。
【００２１】
処理部９は、コンピュータを備えて構成されて、記憶部７に記憶されているプログラムに従い、図２に示すガーディング処理１００（回り込み回路探索処理、ガーディング点特定処理、およびガーディング電圧供給処理）、および測定処理を実行する。出力部１０は、例えばＬＣＤ（液晶ディスプレイ）などの表示装置で構成されて、処理部９によって実行された検査処理（測定処理を含む）の結果を画面に表示させる。なお、出力部１０は、表示装置に代えて、種々のインターフェース回路で構成してもよく、例えば、メディアインターフェース回路としてリムーバブルメディアに測定結果を記憶させたり、ネットワークインターフェース回路としてネットワーク経由で外部装置に測定結果を伝送させたりする構成を採用することもできる。
【００２２】
次に、測定装置１の動作について、測定方法と併せて説明する。
【００２３】
測定装置１では、操作部８に対する操作により、操作部８から処理部９に測定対象２１とする電気部品２３の部品番号（一例として「Ｐ０」。図３，４参照）が入力されたときには、処理部９は、図２に示すガーディング処理１００を実行する。
【００２４】
このガーディング処理１００では、処理部９は、まず、回り込み回路探索処理を実行して、測定対象２１の部品番号「Ｐ０」と、記憶部７に記憶されている部品情報Ｄ１および配線情報Ｄ２とに基づいて、測定対象２１と並列関係にある（並列接続されている）回り込み回路を公知の手法（例えば、背景技術で挙げた特開２００７−２０５９３４号公報に開示されている手法）を用いて探索する（ステップ１０１）。なお、ガーディング処理１００の理解を容易にするため、以下では、一例として、図３，４に示すように、回路基板２２に実装されている電気部品２３は、耐圧が測定信号Ｓ１の電圧以上の電気部品２３（高電圧部品（高耐圧部品ともいう））の一例としての抵抗と、耐圧が測定信号Ｓ１の電圧未満の電気部品２３（低電圧部品（低耐圧部品ともいう））の一例としてのＩＣだけであるとして説明する。
【００２５】
一例として、測定対象２１についての回り込み回路が図３に示すように３つ存在しているときには、処理部９は回り込み回路探索処理を実行することにより、これらをすべて探索して、各回り込み回路についての回路情報（例えば、端子番号Ｐ０−１から端子番号Ｐ０−２に向けて順次直列に接続されている複数の電気部品２３の部品番号およびその端子番号を特定可能な記号をこの順に並べたもの）と、その回り込み回路を特定する識別情報ＬＰ１，ＬＰ２，ＬＰ３とを組にして記憶部７の所定領域に順次記憶させる。
【００２６】
この回路情報としては、例えば、部品番号「Ｐ０」の測定対象２１の一対の端子（端子番号Ｐ０−１，Ｐ０−２）のうちの一方の端子（例えば端子番号Ｐ０−１）から他方の端子（例えば端子番号Ｐ０−２）に向けて順次直列に接続されている複数の電気部品２３の部品番号およびその端子番号を特定可能な記号（一例として、電気部品の部品番号（「Ｐ０」，「Ｐ１」，「Ｐ２」，・・）と、端子番号を示す数値（１，２，３，・・・）とを、記号「−」で結合したもの）を順番に並べたもので構成することができる。
【００２７】
これにより、例えば、識別情報ＬＰ１の回り込み回路（以下では、回り込み回路ＬＰ１ともいう）については、回路情報「Ｐ０−１，Ｐ１−１，Ｐ１−２，Ｐ２−１，Ｐ２−２，Ｐ３−２，Ｐ３−５，Ｐ０−２」が、識別情報「ＬＰ１」と共に記憶部７に記憶される。また、識別情報ＬＰ２の回り込み回路（以下では、回り込み回路ＬＰ２ともいう）については、回路情報「Ｐ０−１，Ｐ４−１，Ｐ４−２，Ｐ５−１，Ｐ５−２，Ｐ０−２」が、識別情報「ＬＰ２」と共に記憶部７に記憶される。また、識別情報ＬＰ３の回り込み回路（以下では、回り込み回路ＬＰ３ともいう）については、回路情報「Ｐ０−１，Ｐ６−１，Ｐ６−２，Ｐ７−１，Ｐ７−４，Ｐ８−１，Ｐ８−２，Ｐ９−１，Ｐ９−２，Ｐ０−２」が、識別情報「ＬＰ４」と共に記憶部７に記憶される。なお、図３に示すように、各回り込み回路ＬＰ１，ＬＰ２，ＬＰ３（以下、特に区別しないときには、回り込み回路ＬＰともいう）を構成する各電気部品２３のうちの部品番号「Ｐ３」，「Ｐ７」の電気部品２３はＩＣであるものとする。また、以下では、部品番号「Ｐ１」，「Ｐ２」，「Ｐ３」，・・・の電気部品２３については、この部品番号を使用して、電気部品Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，・・・ともいうものとする。
【００２８】
次いで、処理部９は、回り込み回路探索処理において探索した回り込み回路の回路数をカウントする（ステップ１０２）。この結果、回路数が０個のとき（回り込み回路が存在しないとき）には、測定対象２１に対するガーディングは不要なため、処理部９は、ガーディング処理１００を終了させる。なお、このようにガーディングが不要な状態でガーディング処理１００を終了させる際に、処理部９が出力部１０に対して「ガーディング不要」の文字を表示させるようにしてもよい。
【００２９】
一方、ステップ１０２でのカウントの結果、回路数が図３に示すように１個以上のとき（回り込み回路が存在するとき）には、処理部９は、ガーディング点特定処理を実行する（ステップ１０３）。このガーディング点特定処理では、処理部９は、測定対象２１の一対の端子（端子番号Ｐ０−１，Ｐ０−２）のうちのいずれか一方の端子の電圧をガーディング電圧Ｖｇとして特定し、かつ各回り込み回路ＬＰにおける複数の電気部品２３同士の接続点のうちの１つの接続点をガーディング点として特定したときに、各回り込み回路ＬＰに含まれるＩＣなどの低電圧部品が、この一方の端子（その電圧をガーディング電圧Ｖｇとする端子）とこの１つの接続点との間に配置されるように、この一方の端子とこのガーディング点とする１つの接続点（以下では、ガーディング点ともいう）とを特定する。
【００３０】
具体的には、処理部９は、まず、測定対象２１の一方の端子（端子番号Ｐ０−１）に接続されているプロービング点ＰＰ、および他方の端子（端子番号Ｐ０−２）に接続されているプロービング点ＰＰに接触する一対の接触プローブＣＰに対して、信号供給部２の出力端子２ａと、ガーディング部３の入力端子３ｂと、電圧測定部４の一対の入力端子４ａ，４ｂと、電流測定部５の一対の入力端子５ａ，５ｂと、内部グランドＧとが図３に示す接続状態で接続されている場合での、各回り込み回路ＬＰにおける上記の１つのガーディング点を特定する。なお、この図３や後述する図４では、スキャナ部６についての図示は省略するものとする。
【００３１】
図３に示す接続状態では、信号供給部２の出力端子２ａは、電流測定部５を介して測定対象２１の一方の端子（端子番号Ｐ０−１）に接続されているプロービング点ＰＰに接触する接触プローブＣＰ（以下では、第１接触プローブＣＰともいう）に接続される。このため、ガーディング部３の入力端子３ｂは、この第１接触プローブＣＰに接続される。これにより、ガーディング部３の出力端子３ｃから出力されるガーディング電圧Ｖｇは、信号供給部２から出力される測定信号Ｓ１が測定対象２１に供給されることによってこの測定対象２１の一方の端子（端子番号Ｐ０−１）に発生する電圧（測定信号Ｓ１の電圧）の電圧値Ｖｓと同電圧となる。また、内部グランドＧは、測定対象２１の他方の端子（端子番号Ｐ０−２）に接続されているプロービング点ＰＰに接触する接触プローブＣＰ（以下では、区別のため、第２接触プローブＣＰともいう）に接続される。また、電圧測定部４の入力端子４ａは第１接触プローブＣＰに接続され、入力端子４ｂは第２接触プローブＣＰに接続される。
【００３２】
処理部９は、上記したように、ガーディング電圧Ｖｇが測定対象２１の一方の端子（端子番号Ｐ０−１）の電圧値Ｖｓと同電圧となることを考慮して、各回り込み回路ＬＰにおけるガーディング点を特定する。
【００３３】
具体的には、回り込み回路ＬＰ１については、信号供給部２からの電流の漏れ込みを防止するという観点でのガーディング点となり得る接続点は、電気部品Ｐ１の端子（端子番号Ｐ１−２）と電気部品Ｐ２の端子（端子番号Ｐ２−１）との接続点、および電気部品Ｐ２の端子（端子番号Ｐ２−２）と電気部品Ｐ３の端子（端子番号Ｐ３−２）との接続点の２つ存在する。
【００３４】
しかしながら、この２つの接続点のうちのいずれをガーディング点としたとしても、この回り込み回路ＬＰ１に含まれるＩＣ（低電圧部品）である電気部品Ｐ３が、測定対象２１の一方の端子（その電圧をガーディング電圧Ｖｇとする端子。この例では、一方の端子（端子番号Ｐ０−１））と、ガーディング電圧Ｖｇが印加されるガーディング点との間に配設されることはない。このため、この電気部品Ｐ３の端子（端子番号Ｐ３−２）と端子（端子番号Ｐ３−５）との間に、最大で測定信号Ｓ１の電圧値Ｖｓと同じ電圧値の電圧が印加される虞がある。したがって、処理部９は、回り込み回路ＬＰ１について、ガーディング点とすべき接続点は存在しないと判別して、図３に示す接続状態（信号供給部２の出力端子２ａが電流測定部５を介して第１接触プローブＣＰに接続される接続状態）でのガーディング点特定処理を中止し、図４に示す接続状態（信号供給部２の出力端子２ａが第１接触プローブＣＰに接続され、内部グランドＧが電流測定部５を介して第２接触プローブＣＰに接続される接続状態）でのガーディング点特定処理に移行する。なお、処理部９は、仮に、回り込み回路ＬＰ１について、ガーディング点とする接続点を特定できたときには、残りの回り込み回路ＬＰ２，ＬＰ３についても、回り込み回路ＬＰ１のときと同様にして、ガーディング点とする接続点の特定を試みて、すべての回り込み回路ＬＰにおいて、ガーディング点とする接続点の特定ができたときにはガーディング点特定処理を完了させる。
【００３５】
図４に示す接続状態では、信号供給部２の出力端子２ａは電流測定部５を介することなく第１接触プローブＣＰに直接接続され、内部グランドＧは電流測定部５を介して第２接触プローブＣＰに接続される。このため、ガーディング部３の入力端子３ｂは、この第２接触プローブＣＰに接続される。また、電流測定部５での電圧降下は理想的にはゼロボルトである。これにより、ガーディング部３の出力端子３ｃから出力されるガーディング電圧Ｖｇは、内部グランドＧと同電圧（ゼロボルト）となる。また、電圧測定部４の入力端子４ａは第１接触プローブＣＰに接続され、入力端子４ｂは第２接触プローブＣＰに接続される。
【００３６】
処理部９は、上記したように、ガーディング電圧Ｖｇが内部グランドＧと同電圧となること、つまり、測定対象２１の他方の端子（端子番号Ｐ０−２）の電圧値と同電圧（ゼロボルト）となることを考慮して、各回り込み回路ＬＰにおける上記の１つの接続点を特定する。
【００３７】
具体的には、回り込み回路ＬＰ１については、回り込み回路ＬＰ１から電流測定部５への電流の漏れ出しを防止するという観点でのガーディング点となり得る接続点は、電気部品Ｐ１の端子（端子番号Ｐ１−２）と電気部品Ｐ２の端子（端子番号Ｐ２−１）との接続点、および電気部品Ｐ２の端子（端子番号Ｐ２−２）と電気部品Ｐ３の端子（端子番号Ｐ３−２）との接続点の２つが存在する。
【００３８】
また、この２つの接続点のうちのいずれをガーディング点としたとしても、この回り込み回路ＬＰ１に含まれるＩＣ（低電圧部品）である電気部品Ｐ３が、測定対象２１の一方の端子（その電圧をガーディング電圧Ｖｇとする端子（この例では、他方の端子（端子番号Ｐ０−２）））と、ガーディング電圧Ｖｇが印加されるガーディング点との間に配設されることになる。つまり、電気部品Ｐ３の端子（端子番号Ｐ３−２）と端子（端子番号Ｐ３−５）との間の電位差は理論上ゼロボルトになる。つまり、この回り込み回路ＬＰ１に対するガーディング電圧Ｖｇの印加に起因して、耐圧を超える電圧（過電圧。本例では電圧値Ｖｓ）が電気部品Ｐ３に印加される虞がなくなる。したがって、処理部９は、回り込み回路ＬＰ１について、上記の２つの接続点のうちのいずれか１つをガーディング点として特定する。
【００３９】
なお、回り込み回路ＬＰ１へのガーディング電圧Ｖｇの印加により、図４において破線で示すように、測定対象２１の一方の端子（端子番号Ｐ０−１）からガーディング点として特定した接続点を経由してガーディング部３に至る経路で電流Ｉｇ１（ガーディング電流Ｉｇ１ともいう）が流れるが、ガーディング部３にとっては、このガーディング電流Ｉｇ１の電流値は少ない方が好ましい。このため、処理部９が上記の２つの接続点のうちの電気部品Ｐ３により近い方の接続点（つまり、測定対象２１の一方の端子（端子番号Ｐ０−１）との間のインピーダンス（抵抗値）がより大きくなる接続点）をガーディング点として特定する構成を採用するのが好ましい。
【００４０】
また、回り込み回路ＬＰ２については、回り込み回路ＬＰ２から電流測定部５への電流の漏れ出しを防止するという観点でのガーディング点となり得る接続点は、電気部品Ｐ４の端子（端子番号Ｐ４−２）と電気部品Ｐ５の端子（端子番号Ｐ５−１）との接続点が１つ存在し、またこの回り込み回路ＬＰ２にはＩＣ（低電圧部品）は含まれていない。したがって、処理部９は、この接続点をガーディング点として特定する。
【００４１】
また、回り込み回路ＬＰ３については、回り込み回路ＬＰ３から電流測定部５への電流の漏れ出しを防止するという観点でのガーディング点となり得る接続点は、電気部品Ｐ６の端子（端子番号Ｐ６−２）と電気部品Ｐ７の端子（端子番号Ｐ７−１）との接続点、電気部品Ｐ７の端子（端子番号Ｐ７−４）と電気部品Ｐ８の端子（端子番号Ｐ８−１）との接続点、および電気部品Ｐ８の端子（端子番号Ｐ８−２）と電気部品Ｐ９の端子（端子番号Ｐ９−１）との接続点の３つ存在する。
【００４２】
しかしながら、この３つの接続点のうちの最初の接続点だけが、この接続点をガーディング点としたときに、この回り込み回路ＬＰ３に含まれるＩＣ（低電圧部品）である電気部品Ｐ７が、測定対象２１の一方の端子（この例では、他方の端子（端子番号Ｐ０−２））と、ガーディング電圧Ｖｇが印加されるガーディング点との間に配設されることになる。つまり、電気部品Ｐ７の端子（端子番号Ｐ７−１）と端子（端子番号Ｐ７−４）との間の電位差は理論上ゼロボルトになる。つまり、この回り込み回路ＬＰ３に対するガーディング電圧Ｖｇの印加に起因して、耐圧を超える電圧（過電圧。本例では電圧値Ｖｓ）が電気部品Ｐ７に印加される虞がなくなる。したがって、処理部９は、回り込み回路ＬＰ３について、上記の３つの接続点のうちの最初の接続点（電気部品Ｐ６の端子（端子番号Ｐ６−２）と電気部品Ｐ７の端子（端子番号Ｐ７−１）との接続点）をガーディング点として特定する。
【００４３】
これにより、処理部９は、すべての回り込み回路ＬＰ１，ＬＰ２，ＬＰ３について、ガーディング点とする接続点を特定できたため、ガーディング点特定処理を完了させる。なお、図示はしないが、処理部９は、図４に示す接続状態においても、すべての回り込み回路ＬＰ１，ＬＰ２，ＬＰ３についてガーディング点とする接続点を特定できなかったときには、測定対象２１に対するガーディングはできない旨を示す文字（例えば、「ガーディング不可」の文字）を出力部１０に表示させてガーディング処理１００を終了させる。
【００４４】
続いて、処理部９は、ガーディング電圧供給処理を実行する（ステップ１０４）。このガーディング電圧供給処理では、処理部９は、スキャナ部６に対する制御を実際に実行して、測定対象２１および各回り込み回路ＬＰ１，ＬＰ２，ＬＰ３に対する（具体的には、測定対象２１の各端子（端子番号Ｐ０−１，Ｐ０−２）に接続されている各プロービング点ＰＰに接触する一対の接触プローブＣＰ、および各回り込み回路ＬＰ１，ＬＰ２，ＬＰ３について特定したガーディング点とする接続点にそれぞれ接続されているプロービング点ＰＰに接触する各接触プローブＣＰに対する）、信号供給部２の出力端子２ａと、ガーディング部３の入力端子３ｂおよび出力端子３ｃと、電圧測定部４の一対の入力端子４ａ，４ｂと、電流測定部５の一対の入力端子５ａ，５ｂと、内部グランドＧとの接続状態を、すべての回り込み回路ＬＰ１，ＬＰ２，ＬＰ３についてガーディング点とする接続点を特定できた接続状態（図３に示す接続状態または図４に示す接続状態のいずれか。この例では、図４に示す接続状態）に切り替える。
【００４５】
また、処理部９は、信号供給部２に対する制御を実行して、測定信号Ｓ１の供給を開始させる。この測定対象２１の各端子（端子番号Ｐ０−１，Ｐ０−２）間への測定信号Ｓ１の供給に起因して、測定対象２１には一方の端子（端子番号Ｐ０−１）から電流Ｉｍが流入し、また各回り込み回路ＬＰ１，ＬＰ２，ＬＰ３にも一方の端子（端子番号Ｐ０−１）からガーディング電流Ｉｇ１，Ｉｇ２，Ｉｇ３がそれぞれ流入する。しかしながら、ガーディング電流Ｉｇ１，Ｉｇ２，Ｉｇ３については、各回り込み回路ＬＰ１，ＬＰ２，ＬＰ３におけるガーディング点とした接続点からガーディング部３にすべて流出する。したがって、測定対象２１の他方の端子（端子番号Ｐ０−２）に接続された電流測定部５には、測定対象２１に流入した電流Ｉｍのみが流れる状態となる。また、回り込み回路ＬＰ１，ＬＰ３に含まれているＩＣ（低電圧部品）である電気部品Ｐ３および電気部品Ｐ７については、印加される電圧はゼロボルトに維持されている。これにより、ガーディング電圧供給処理が完了し、またガーディング処理も完了する。
【００４６】
この状態において、電圧測定部４は、一対の入力端子４ａ，４ｂ間の電位差（電圧値Ｖ１）、すなわち、測定対象２１の両端間電圧値（測定信号Ｓ１の供給に起因して測定対象２１の一方の端子（端子番号Ｐ０−１）に発生する電圧の電圧値Ｖｓ）を測定すると共に、測定した電圧値Ｖ１（＝Ｖｓ）を示す電圧データＤｖを出力する。また、電流測定部５は、一方の入力端子（図４では一例として入力端子５ａ）から流入して他方の入力端子（図４では一例として入力端子５ｂ）から流出する電流Ｉｍの電流値Ｉ１、すなわち、測定対象２１に流れる電流Ｉｍの電流値Ｉ１を測定すると共に、測定した電流値Ｉ１を示す電流データＤｉを出力する。
【００４７】
また、処理部９は、検査処理を実行する。この検査処理では、処理部９は、まず、この電圧データＤｖおよびこの電流データＤｉに基づいて測定対象２１の電気的特性（この例では、測定対象２１は抵抗であるため、そのインピーダンス（抵抗値））を算出（測定）する測定処理を実行する。次いで、処理部９は、記憶部７に記憶されているこの測定対象２１についての電気的諸元に含まれている電気的特性を読み出して、この読み出した電気的特性（以下では、説明のため、基準電気的特性ともいう）と、上記の算出した電気的特性とを比較して、算出した電気的特性が例えば基準電気的特性を中心とする所定の基準範囲に含まれているときには、測定対象２１は正常であると判別し、所定の基準範囲に含まれていないときには、測定対象２１は異常であると判別する判別処理を実行する。続いて、処理部９は、測定処理で算出した電気的特性および判別処理での判別結果を出力部１０に表示させる。これにより、この測定対象２１に対する測定処理を含む検査処理が完了する。
【００４８】
このように、この測定装置１およびこの測定方法では、測定対象２１と並列関係にある回り込み回路ＬＰを構成する複数の電気部品２３に低電圧部品が含まれているときに、測定対象２１の一対の端子のうちのその電圧をガーディング電圧Ｖｇとして特定する一方の端子（具体的には、回り込み回路ＬＰにおけるこの一方の端子と接続される端子）とガーディング点とする１つの接続点との間に低電圧部品が配置されるように、この一方の端子とこの１つの接続点を特定する。
【００４９】
これにより、この測定装置１およびこの測定方法によれば、低電圧部品を含む回り込み回路ＬＰが存在している場合においても、低電圧部品に印加される電圧を理論上ゼロボルトにしつつ、ガーディング電圧Ｖｇを回り込み回路ＬＰのガーディング点に供給（印加）することができる。したがって、この測定装置１およびこの測定方法によれば、測定信号Ｓ１の電圧（過電圧。本例では電圧値Ｖｓ）の低電圧部品への印加を回避しつつ（過電圧の印加に起因した低電圧部品の損傷などを防止ししつ）、電流測定部５において測定対象２１に流れる電流Ｉｍのみを測定できるため、この電流Ｉｍの電流値Ｉ１と電圧測定部４で測定される測定対象２１の両端間電圧値Ｖ１（＝Ｖｓ）に基づいて、測定対象２１の電気的特性を正確に測定することができる。また、この測定装置１、およびこの測定方法を含む検査方法によれば、この測定対象２１に対する検査、さらにはこの測定対象２１が実装されている回路基板２２に対する検査を正確に実行することができる。
【００５０】
なお、上記した測定装置１では、上記した測定処理を含む検査処理を実行することにより、測定対象２１に対する検査を実行する構成（つまり、測定対象２１を検査対象とする検査装置として機能する構成）を採用しているが、測定対象２１の電気的特性を測定するだけの構成とすることもできる。
【００５１】
また、上記した測定装置１では、ジグ型を採用しているが、フライングプローブ型を採用することもできる。また、処理部９が、測定対象とすべき複数の電気部品２３を自動的に１つずつ特定する構成を採用して、この測定対象とすべき複数の電気部品２３に対して上記のガーディング処理１００および検査処理を自動的に実行する構成とすることもできる。
【符号の説明】
【００５２】
１  測定装置
９  処理部
２１  測定対象
２２  回路基板
ＬＰ１，ＬＰ２，ＬＰ３  回り込み回路
Ｐ０−１，Ｐ０−２  一対の端子
Ｐ３，Ｐ７  低電圧部品としての電気部品
Ｓ１  測定信号
Ｖｇ  ガーディング電圧
Ｖｓ  一方の端子の電圧
【図１】
2018036240.tif 000003
【図２】
2018036240.tif 000004
【図３】
2018036240.tif 000005
【図４】
2018036240.tif 000006