(57)【要約】【課題】試料との接触を抑制し、外観検査装置の小型化を可能とする光伝送体、外観検査装置、及び外観検査方法を提供する。【解決手段】外観検査装置７に用いられる光伝送体１であって、第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズ２と、前記複数の柱状レンズ２の間に設けられた遮光部３と、を備え、前記第１方向において、前記柱状レンズ２の両端部２１、２２は、突出した曲面を有することを特徴とする。【選択図】図１
2018119958.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外観検査装置に用いられる光伝送体であって、
第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズと、
前記複数の柱状レンズの間に設けられた遮光部と、
を備え、
前記第１方向において、前記柱状レンズの両端部は、突出した曲面を有すること
を特徴とする光伝送体。
【請求項２】
前記両端部は、凸状及びシリンドリカル状の何れかであること
を特徴とする請求項１記載の光伝送体。
【請求項３】
前記柱状レンズの形状は、角柱状であること
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の光伝送体。
【請求項４】
前記複数の柱状レンズは、前記第１方向に離間して配置された複数の第１柱状レンズ及び複数の第２柱状レンズを有すること
を特徴とする請求項１〜３の何れか１項記載の光伝送体。
【請求項５】
前記遮光部は、
前記複数の第１柱状レンズの間に設けられた第１遮光部と、
前記複数の第２柱状レンズの間に設けられた第２遮光部と、
を有すること
を特徴とする請求項４記載の光伝送体。
【請求項６】
光を放射する光源部と、
外観検査用試料を反射又は透過した前記光を伝送する光伝送体と、
前記光伝送体から伝送された前記光を受光する受光部と、
を備え、
前記光伝送体は、
第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズと、
前記複数の柱状レンズの間に設けられた遮光部と、
を有し、
前記第１方向において、前記柱状レンズの両端部は、突出した曲面を有すること
を特徴とする外観検査装置。
【請求項７】
前記受光部は、複数の受光素子を有し、
前記第１方向において、前記複数の柱状レンズのそれぞれは、前記外観検査用試料と、少なくとも１つの前記受光素子との間に設けられること
を特徴とする請求項６記載の外観検査装置。
【請求項８】
光源部から光を放射する放射工程と、
外観検査用試料を反射又は透過した前記光を、光伝送体を介して伝送させる光伝送工程と、
前記光伝送体から伝送された前記光を、受光部に受光させる受光工程と、
を備え、
前記光伝送体は、
第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズと、
前記複数の柱状レンズの間に設けられた遮光部と、
を有し、
前記第１方向において、前記柱状レンズの両端部は、突出した曲面を有すること
を特徴とする外観検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光伝送体、外観検査装置、及び外観検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フィルム等の欠陥を検査する装置として、フィルムの幅方向（Ｘ方向）を一度に検査できる外観検査装置が用いられる。外観検査装置の検出精度を向上させるため、例えば特許文献１では、信頼性の高い外観検査システムが開示されている。また、例えば特許文献２では、１つの検出手段で可能にするピンホール検査方法等が開示されている。
【０００３】
特許文献１では、１方向に長いライン照明を行うライン照明装置において、１又は２以上の発光部を有する光源部と、この光源部から出射した光を平行光に変換する前段光学部と、この前段光学部から出射した平行光を複数のライン状の小光源部に変換して多光源化する多光源化部と、各小光源部から出射した各光を集光し、ライン照明に変換して照射対象面に照射する後段光学系とを備える旨が開示されている。
【０００４】
特許文献２では、被検査物である遮光性フィルムに光を照射する光照射工程と、前記光照射工程にて、複数のセグメントに分割された光源から、セグメント毎に異なる単色光が照射された結果、前記遮光性フィルムのどこかで光が透過した場合に、ロッドレンズアレイによって集光される集光工程と、前記集光工程にて、集光された光が検出部の全ての分光手段に入射され、前記分光手段に備えられた光センサによって検出される検出工程と、前記検出工程にて、どのセグメントで光が検出されたかを判定し、ピンホールの位置を特定する位置特定工程とからなり、前記光照射工程から前記位置特定工程までの全ての工程が同時に実施されることを特徴とするピンホール検査方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１６−６５７７１号公報
【特許文献２】特開２０１３−１７４５２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、外観検査装置特有の課題として、装置の小型化が挙げられる。例えば、特許文献１のように、外観検査装置の受光部側には、凸型レンズ等の球面レンズを用いることがある。この場合、外観検査用試料から像面までの距離（共役長）の確保等の問題により、外観検査装置の小型化が困難とされている。
【０００７】
この点、特許文献２では、受光部側の光伝送体には、小型のロッドレンズが用いられている。このため、凸型レンズに比べて、共役長を極めて短くでき、外観検査装置の小型化を実施できる。しかしながら、ロッドレンズを用いた場合、共役長が短すぎるため、ロッドレンズが試料と接触し、キズ等の欠陥を発生させる懸念が挙げられる。特に、例えばフィルム等を搬送するような製造ライン上に外観検査装置が設けられた場合、フィルムのわずかな変動に伴い、フィルムがロッドレンズと接触する恐れがある。上記により、試料との接触を抑制し、外観検査装置を小型化できる光伝送体の実現が望まれている。
【０００８】
そこで本発明は、上述した問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的とするところは、試料との接触を抑制し、外観検査装置の小型化を可能とする光伝送体、外観検査装置、及び外観検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１発明に係る光伝送体は、外観検査装置に用いられる光伝送体であって、第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズと、前記複数の柱状レンズの間に設けられた遮光部と、を備え、前記第１方向において、前記柱状レンズの両端部は、突出した曲面を有することを特徴とする。
【００１０】
第２発明に係る光伝送体は、第１発明において、前記両端部は、凸状及びシリンドリカル状の何れかであることを特徴とする。
【００１１】
第３発明に係る光伝送体は、第１発明又は第２発明において、前記柱状レンズの形状は、角柱状であることを特徴とする。
【００１２】
第４発明に係る光伝送体は、第１発明〜第３発明の何れかにおいて、前記複数の柱状レンズは、前記第１方向に離間して配置された複数の第１柱状レンズ及び複数の第２柱状レンズを有することを特徴とする。
【００１３】
第５発明に係る光伝送体は、第４発明において、前記遮光部は、前記複数の第１柱状レンズの間に設けられた第１遮光部と、前記複数の第２柱状レンズの間に設けられた第２遮光部と、を有することを特徴とする。
【００１４】
第６発明に係る外観検査装置は、光を放射する光源部と、外観検査用試料を反射又は透過した前記光を伝送する光伝送体と、前記光伝送体から伝送された前記光を受光する受光部と、を備え、前記光伝送体は、第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズと、前記複数の柱状レンズの間に設けられた遮光部と、を有し、前記第１方向において、前記柱状レンズの両端部は、突出した曲面を有することを特徴とする。
【００１５】
第７発明に係る外観検査装置は、第６発明において、前記受光部は、複数の受光素子を有し、前記第１方向において、前記複数の柱状レンズのそれぞれは、前記外観検査用試料と、少なくとも１つの前記受光素子との間に設けられることを特徴とする。
【００１６】
第８発明に係る外観検査方法は、光源部から光を放射する放射工程と、外観検査用試料を反射又は透過した前記光を、光伝送体を介して伝送させる光伝送工程と、前記光伝送体から伝送された前記光を、受光部に受光させる受光工程と、を備え、前記光伝送体は、第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズと、前記複数の柱状レンズの間に設けられた遮光部と、を有し、前記第１方向において、前記柱状レンズの両端部は、突出した曲面を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
第１発明〜第５発明によれば、柱状レンズは、第１方向（Ｚ方向）の両端部に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズの共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料と接触しない程度の共役長を保持でき、光伝送体を用いた外観検査装置の小型化が可能である。
【００１８】
また、第１発明〜第５発明によれば、遮光部が、複数の柱状レンズの間に設けられる。このため、各柱状レンズの一端から入射した光は、隣接する柱状レンズに入射せずに、他端から出射する。これにより、柱状レンズ間における光の干渉を抑制でき、光伝送の精度を向上させることが可能である。
【００１９】
特に、第２発明及び第３発明によれば、柱状レンズの両端部は、凸状及びシリンドリカル状の何れかである。このため、ロッドレンズに比べて、光学設計の自由度を高くすることができる。これにより、外観検査用試料の種類等に応じて、柔軟に対応できる光伝送体を提供することが可能である。
【００２０】
特に、第３発明によれば、柱状レンズは、角柱状である。このため、柱状レンズ間の距離を短くでき、柱状レンズに入射しない光を最小限に抑えることができる。これにより、光伝送の精度をさらに向上させることが可能である。
【００２１】
特に、第４発明によれば、複数の柱状レンズは、複数の第１柱状レンズ及び複数の第２柱状レンズを有する。このため、第１柱状レンズ及び第２柱状レンズを介して、試料に対して正立像を形成する光を受光部等に入射させることができる。これにより、外観検査装置における設計の自由度を向上させることが可能である。
【００２２】
特に、第５発明によれば、遮光部は、第１遮光部と、第２遮光部とを有する。このため、各第１柱状レンズの間及び各第２柱状レンズの間における光の干渉を抑制できる。これにより、光伝達の精度をさらに向上させることが可能である。
【００２３】
特に、第６発明及び第７発明によれば、柱状レンズは、Ｚ方向の両端部に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズの共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料と接触しない程度の共役長を保持でき、外観検査装置の小型化が可能である。
【００２４】
特に、第６発明及び第７発明によれば、遮光部が、複数の柱状レンズの間に設けられる。このため、各柱状レンズの一端から入射した光は、隣接する柱状レンズに入射せずに、他端から出射する。これにより、柱状レンズ間における光の干渉を抑制でき、光伝送の精度を向上させることが可能である。
【００２５】
特に、第７発明によれば、柱状レンズは、外観検査用試料と、少なくとも１つの受光素子との間に設けられる。このため、試料を介して各柱状レンズに入射した光を少なくとも１つの受光素子に受光させることができる。これにより、各受光素子には、試料の所定位置に対応した光を受光させることができ、外観検査装置の検出精度を向上させることが可能である。また、１つの柱状レンズに対して複数の受光素子を配置することもできる。これにより、検出精度をさらに向上させることが可能である。
【００２６】
特に、第８発明によれば、柱状レンズは、Ｚ方向の両端部に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズの共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料と接触しない程度の共役長を保持でき、外観検査装置を小型化した外観検査方法が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本実施形態における外観検査装置の一例を示す模式断面図である。
【図２】図２（ａ）は、本実施形態における光伝送体の一例を示す模式斜視図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）の２Ｂ−２Ｂ線に対応する模式断面図であり、図２（ｃ）は、本実施形態における柱状レンズ及び遮光部の一例を示す模式斜視図である。
【図３】図３（ａ）及び図３（ｂ）は、本実施形態における光伝送体の他の例を示す模式斜視図である。
【図４】本実施形態における外観検査方法の一例を示すフローチャートである。
【図５】本実施形態における外観検査装置の変形例を示す模式断面図である。
【図６】本実施形態における光伝送体の変形例を示す模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本実施形態における光伝送体及び外観検査装置の一例について説明する。
【００２９】
図１は、本実施形態における外観検査装置７の一例を示す模式断面図である。図１以降では、外観検査用試料６（例えばフィルム：以下試料６とする）の幅方向をＸ方向とし、試料６の長さ方向をＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向と交わる方向をＺ方向（第１方向）とする。
【００３０】
図１に示すように、光伝送体１は、外観検査装置７内に設けられる。外観検査装置７は、試料６上に設けられ、試料６のＸ方向に延びる。外観検査装置７は、例えば光源部７１と、受光部７２とを備える他、例えば図示しない制御部等、入力部、及び出力部を備えてもよい。
【００３１】
光源部７１は、光を放射する。光源部７１は、試料６上に設けられる他、試料６下に設けられてもよい。光源部７１は、光を放射する任意の構成を備え、例えば複数のＬＥＤ素子を有する。光源部７１から放射される光の有する波長は任意であり、例えば３６０ｎｍ〜８３０ｎｍ程度の可視光領域の波長を有する。
【００３２】
受光部７２は、光伝送体１から伝送された光を受光する。受光部７２は、試料６上に設けられ、複数の受光素子７２ａを有する。受光素子７２ａとして、光を受光する任意の構成を備え、例えばＣＣＤが用いられる。
【００３３】
光伝送体１は、試料６を反射又は透過した光を伝送する。光伝送体１は、試料６と、受光部７２との間に設けられ、複数の柱状レンズ２を備える。Ｚ方向において、複数の柱状レンズ２のそれぞれは、試料６と、少なくとも１つの受光素子７２ａとの間に設けられる。複数の柱状レンズ２は、Ｘ方向に隣接して複数配置される。
【００３４】
外観検査装置７は、試料６の表面（外観）に形成された欠陥等を検出し、出力部等に出力する。外観検査装置７は、Ｘ方向における試料６の外観を同時に検査することができる。外観検査装置７は、例えば試料６をＹ方向に搬送するライン上に設けられ、Ｙ方向における試料６の外観を連続的に検査することができる。
【００３５】
図２（ａ）は、本実施形態における光伝送体１の一例を示す模式斜視図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）の２Ｂ−２Ｂ線に対応する模式断面図であり、図２（ｃ）は、本実施形態における柱状レンズ２及び遮光部３の一例を示す模式斜視図である。なお、図２（ｃ）では、各構成をわかり易くするため、柱状レンズ２と遮光部３とを離間させて示す。
【００３６】
図２（ａ）〜図２（ｃ）に示すように、光伝送体１は、複数の柱状レンズ２の間に設けられた遮光部３を備える。光伝送体１は、例えば複数の柱状レンズ２を囲む保持部４を有する。
【００３７】
柱状レンズ２は、Ｚ方向に両端部（一端２１、他端２２）を有する。両端部２１、２２は、突出した曲面を有し、例えばＸ方向に曲面を有するシリンドリカル状である。柱状レンズ２の形状は、例えば角柱状である。柱状レンズ２として、試料６を介した光を透過できる材料が用いられ、例えばアクリル樹脂等の合成樹脂や、無機ガラスが用いられる。柱状レンズ２の大きさは、外観検査装置７や試料６に応じて任意に設定でき、例えばＺ方向における高さが１５ｍｍ程度、ＸＹ平面における幅が１０ｍｍ程度である。
【００３８】
柱状レンズ２は、一端２１から入射した光を伝送して他端２２に放射するとき、例えば試料６に対して等倍率で倒立像を形成する光を出射する。柱状レンズ２から出射される光の倍率は、例えば柱状レンズ２のＺ方向の長さ、両端部２１、２２の曲率半径、試料６と一端２１との間の距離、及び他端２２と受光素子７２ａとの間の距離により、任意に制御できる。
【００３９】
遮光部３は、例えば両端部２１、２２を除いた柱状レンズ２の側面に接し、Ｚ方向に延びる。遮光部３は、薄膜状の他、例えば柱状レンズ２の側面に塗布法や蒸着法等により形成されてもよい。遮光部３として、柱状レンズ２に入射した光を遮光する材料が用いられる。遮光部３は、例えば光吸収剤、光反射剤、光散乱剤等を有する樹脂を含むほか、例えばアルミニウム等の材料を用いて形成されてもよい。
【００４０】
保持部４は、柱状レンズ２及び遮光部３の配置状態を保持する。保持部４として、例えば柱状レンズ２に入射した光を遮光する材料が用いられる。保持部４は、例えば光吸収剤、光反射剤、光散乱剤等を有する樹脂を含む。
【００４１】
図３（ａ）及び図３（ｂ）は、本実施形態における光伝送体１の他の例を示す模式斜視図である。
【００４２】
図３（ａ）に示すように、柱状レンズ２は、例えばＸ方向に加えてＹ方向にも複数配置されてもよい。この場合、遮光部３は、Ｙ方向に配置された柱状レンズ２の間にも設けられる。この構成により、試料６上に形成され、Ｙ方向に延びるスジ状の欠陥等を容易に検出することが可能となる。なお、Ｘ方向及びＹ方向に柱状レンズ２を配置する数は、任意である。
【００４３】
図３（ｂ）に示すように、柱状レンズ２の形状は、例えば円柱状でもよい。この場合、両端部２１、２２は、凸状である。例えば、円柱状の柱状レンズ２は、ＸＹ平面上において千鳥格子状に配置されてもよい。
【００４４】
次に、図４を参照して、本実施形態における外観検査方法の一例について説明する。図４は、本実施形態における外観検査方法の一例を示すフローチャートである。
【００４５】
先ず、外観検査装置７は、制御部等からの制御により、光源部７１から光を放射する（放射工程：ステップＳ１１０）。放射された光は試料６に達し、試料６を反射する。
【００４６】
次に、試料６を反射した光は、柱状レンズ２に入射し、受光部側に伝送される（光伝送工程：ステップＳ１２０）。試料６を反射した光は、一端２１に入射し、柱状レンズ２内を伝送し、他端２２から放射される。
【００４７】
次に、柱状レンズ２内で伝送された光は、受光素子７２ａに達し、受光される（受光工程：ステップＳ１３０）。受光部７２は、受光素子７２ａに達した光に対応する信号を、制御部等に送信する。これにより、制御部等に送信された信号に基づき、試料６の外観の状態を検出し、外観検査を行うことができる。
【００４８】
なお、外観検査装置７は、試料６を反射した光に基づいた外観検査の他、例えば試料６を透過した光に基づいた検査も行うことができる。この場合、光源部７１は、試料６下に設けられる。
【００４９】
本実施形態における光伝送体１によれば、柱状レンズ２は、Ｚ方向の両端部２１、２２に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズ２の共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料６と接触しない程度の共役長を保持でき、光伝送体１を用いた外観検査装置７の小型化が可能である。
【００５０】
また、本実施形態における光伝送体１によれば、遮光部３が、複数の柱状レンズ２の間に設けられる。このため、各柱状レンズ２の一端２１から入射した光は、隣接する柱状レンズ２に入射せずに、他端２２から出射する。これにより、柱状レンズ２間における光の干渉を抑制でき、光伝送の精度を向上させることが可能である。
【００５１】
特に、本実施形態における光伝送体１によれば、柱状レンズ２の両端部は、凸状及びシリンドリカル状の何れかである。このため、ロッドレンズに比べて、光学設計の自由度を高くすることができる。これにより、試料６の種類等に応じて、柔軟に対応できる光伝送体１を提供することが可能である。
【００５２】
特に、本実施形態における光伝送体１によれば、柱状レンズ２は、角柱状である。このため、柱状レンズ２間の距離を短くでき、柱状レンズ２に入射しない光を最小限に抑えることができる。これにより、光伝送の精度をさらに向上させることが可能である。
【００５３】
特に、本実施形態における外観検査装置７によれば、柱状レンズ２は、Ｚ方向の両端部２１、２２に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズ２の共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料６と接触しない程度の共役長を保持でき、外観検査装置７の小型化が可能である。
【００５４】
特に、本実施形態における外観検査装置７によれば、遮光部３が、複数の柱状レンズ２の間に設けられる。このため、各柱状レンズ２の一端２１から入射した光は、隣接する柱状レンズ２に入射せずに、他端２２から出射する。これにより、柱状レンズ２間における光の干渉を抑制でき、光伝送の精度を向上させることが可能である。
【００５５】
特に、本実施形態における外観検査装置７によれば、柱状レンズ２は、試料６と、少なくとも１つの受光素子７２ａとの間に設けられる。このため、試料６を介して各柱状レンズ２に入射した光を少なくとも１つの受光素子７２ａに受光させることができる。これにより、各受光素子７２ａには、試料６の所定位置に対応した光を受光させることができ、外観検査装置７の検出精度を向上させることが可能である。また、１つの柱状レンズ２に対して複数の受光素子７２ａを配置することもできる。これにより、検出精度をさらに向上させることが可能である。
【００５６】
特に、本実施形態における外観検査方法によれば、柱状レンズ２は、Ｚ方向の両端部２１、２２に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズ２の共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料６と接触しない程度の共役長を保持でき、外観検査装置７を小型化した外観検査方法が実現できる。
【００５７】
次に、図５及び図６を参照して、本実施形態における光伝送体１及び外観検査装置７の変形例について説明する。図５は、本実施形態における外観検査装置７の変形例を示す模式断面図である。図６は、本実施形態における光伝送体１の変形例を示す模式断面図である。
【００５８】
上述した光伝送体１及び外観検査装置７と、変形例との違いは、柱状レンズ２が第１柱状レンズ２ａ及び第２柱状レンズ２ｂを有する点である。なお、上述した説明と等しい構成については、説明を省略する。
【００５９】
図５に示すように、複数の柱状レンズ２は、Ｚ方向に離間して配置された複数の第１柱状レンズ２ａ及び複数の第２柱状レンズ２ｂを有する。第１柱状レンズ２ａ及び第２柱状レンズ２ｂは、図２（ａ）で示した柱状レンズ２と同様に、Ｚ方向に両端部を有し、試料６を介した光を透過できる材料によって形成される。複数の第１柱状レンズ２ａ及び複数の第２柱状レンズ２ｂは、例えば筐体内に配置される。各第１柱状レンズ２ａの一端、及び各第２柱状レンズ２ｂの他端は、例えば筐体から露出してもよいほか、例えば筐体に形成された孔に隣接して配置されてもよい。
【００６０】
第１柱状レンズ２ａには、例えば試料６を介した光が入射する。第１柱状レンズ２ａは、例えば一端から入射した光を伝送して他端に放射するとき、試料６に対して倒立像を形成する光を放射する。
【００６１】
第２柱状レンズ２ｂには、第１柱状レンズ２ａから出射した光が入射する。第２柱状レンズ２ｂは、例えば一端から入射した光を伝送して他端に放射するとき、試料６に対して正立像を形成する光を放射する。このため、受光部７２には、試料６に対して正立像を形成する光を入射させることができる。
【００６２】
図６に示すように、遮光部３は、第１遮光部３ａと、第２遮光部３ｂと、第３遮光部３ｃとを有する。第１遮光部３ａ、第２遮光部３ｂ、及び第３遮光部３ｃは、それぞれ複数設けられる。
【００６３】
第１遮光部３ａは、複数の第１柱状レンズ２ａの間に設けられ、各第１柱状レンズ２ａの側面に接する。第２遮光部３ｂは、複数の第２柱状レンズ２ｂの間に設けられ、各第２柱状レンズ２ｂの側面に接する。
【００６４】
第３遮光部３ｃは、第１遮光部３ａと第２遮光部３ｂとの間に設けられる。第３遮光部３ｃは、第１柱状レンズ２ａ及び第２柱状レンズ２ｂと離間して設けられるほか、例えば第１柱状レンズ２ａ及び第２柱状レンズ２ｂの少なくとも何れかと接して設けられてもよい。第３遮光部３ｃの厚さや形状は、任意であり、例えば第３遮光部３ｃとして、アルミニウム等の材料が用いられてもよい。
【００６５】
第３遮光部３ｃは、各第１柱状レンズ２ａの他端から出射した光を各第２柱状レンズ２ｂの一端に入射させるとき、隣接する第１柱状レンズ２ａの他端から出射した光との干渉を抑制することができる。すなわち、第３遮光部３ｃは、第１柱状レンズ２ａの他端から出射した光を、Ｚ方向に配置された１つの第２柱状レンズ２ｂのみに入射させることができる。
【００６６】
本変形例における光伝送体１によれば、上述した実施形態と同様に、柱状レンズ２は、Ｚ方向の両端部２１、２２に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズ２の共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料６と接触しない程度の共役長を保持でき、光伝送体１を用いた外観検査装置７の小型化が可能である。
【００６７】
また、本変形例における光伝送体１によれば、上述した実施形態と同様に、遮光部３が、複数の柱状レンズ２の間に設けられる。このため、各柱状レンズ２の一端２１から入射した光は、隣接する柱状レンズ２に入射せずに、他端２２から出射する。これにより、柱状レンズ２間における光の干渉を抑制でき、光伝送の精度を向上させることが可能である。
【００６８】
また、本変形例における光伝送体１によれば、複数の柱状レンズ２は、複数の第１柱状レンズ２ａ及び複数の第２柱状レンズ２ｂを有する。このため、第１柱状レンズ２ａ及び第２柱状レンズ２ｂを介して、試料６に対して正立像を形成する光を受光部７２等に入射させることができる。これにより、外観検査装置７における設計の自由度を向上させることが可能である。
【００６９】
また、本変形例における光伝送体１によれば、遮光部３は、第１遮光部３ａと、第２遮光部３ｂとを有する。このため、各第１柱状レンズ２ａの間及び各第２柱状レンズ２ｂの間における光の干渉を抑制できる。これにより、光伝達の精度をさらに向上させることが可能である。
【００７０】
また、本変形例における光伝送体１によれば、遮光部３は、第１遮光部３ａと、第２遮光部３ｂとの間に設けられた第３遮光部３ｃを有してもよい。このため、各第１柱状レンズ２ａの一端から出射した光を各第２柱状レンズ２ｂの一端に入射させるとき、隣接する第１柱状レンズ２ａの一端から出射した光との干渉を抑制することができる。これにより、光伝達の精度をさらに向上させることが可能である。
【００７１】
本発明の実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７２】
１…光伝送体、
２…柱状レンズ、
２ａ…第１柱状レンズ、
２ｂ…第２柱状レンズ、
２１…一端、
２２…他端、
３…遮光部、
３ａ…第１遮光部、
３ｂ…第２遮光部、
３ｃ…第３遮光部、
４…保持部、
６…試料、
７…外観検査装置、
７１…光源部、
７２…受光部、
７２ａ…受光素子
【図１】
2018119958.tif 000003
【図２】
2018119958.tif 000004
【図３】
2018119958.tif 000005
【図４】
2018119958.tif 000006
【図５】
2018119958.tif 000007
【図６】
2018119958.tif 000008