(57)【要約】      （修正有）【課題】多モード干渉部内における戻り光の多重反射を抑制できる光導波路デバイス、および、光回路を提供する。【解決手段】光導波路デバイスは、多モード干渉部１３と、多モード干渉部へ入力光１２を伝搬する入力導波路１１と、多モード干渉部からの出力光を伝搬する出力導波路１４、１５と、出力導波路側から入力導波路側に多モード干渉部を伝搬する戻り光１９を、多モード干渉部の内から外へ導く戻り光導波路１７、１８を備える。【選択図】図１
2018017808.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多モード干渉部と、
前記多モード干渉部へ入力光を伝搬する入力導波路と、
前記多モード干渉部からの出力光を伝搬する出力導波路と、
前記出力導波路側から前記入力導波路側に前記多モード干渉部を伝搬する戻り光を、前記多モード干渉部の内から外へ導く戻り光導波路を備える、
光導波路デバイス。
【請求項２】
前記戻り光導波路は、前記入力導波路が接続される側の前記多モード干渉部の端面のうち、前記入力導波路と前記多モード干渉部との接続箇所以外で前記多モード干渉部と接続する、
請求項１に記載の光導波路デバイス。
【請求項３】
前記戻り光は、前記多モード干渉部に入力された前記入力光が、前記出力導波路が接続される側の前記多モード干渉部の端面のうち、前記出力導波路と前記多モード干渉部との接続箇所以外で反射された光である、
請求項１又は２に記載の光導波路デバイス。
【請求項４】
前記戻り光は、前記出力導波路を伝搬する前記出力光が、前記出力導波路と光素子との接続箇所で反射された光である、
請求項１又は２に記載の光導波路デバイス。
【請求項５】
前記戻り光導波路は、前記戻り光導波路を伝搬する前記戻り光を除去する除去機構を備える、
請求項１から４のいずれか１つに記載の光導波路デバイス。
【請求項６】
前記除去機構は、前記戻り光導波路に設けられた光放射領域、前記戻り光導波路の端面に設けられた無反射コーティング、又は、前記戻り光導波路に設けられた光吸収領域である、
請求項５に記載の光導波路デバイス。
【請求項７】
前記入力導波路と前記多モード干渉部の間に接続され、前記多モード干渉部に近い部分ほど幅が広くなる形状の多モード導波路を更に備え、
前記戻り光導波路は、前記入力導波路が接続される側の前記多モード導波路の端面のうち、前記入力導波路と前記多モード導波路との接続箇所以外で前記多モード導波路と接続する、
請求項１から６のいずれか１つに記載の光導波路デバイス。
【請求項８】
前記戻り光導波路は、前記多モード干渉部の側で広く、前記戻り光の伝搬方向に向かって狭くなるテーパ形状を有する、
請求項１から７のいずれか１つに記載の光導波路デバイス。
【請求項９】
信号光を分岐して同相となる２の光を出力する第１分岐素子と、
局発光を分岐して移相となる２つの光を出力する第２分岐素子と、
前記第１分岐素子からの一の光と、前記第２分岐素子から一の光を合波する第１合波素子と、
前記第１分岐素子からの他の光と、前記第２分岐素子からの他の光を合波する第２合波素子を備える光回路であって、
前記第１分岐素子、又は、前記第２分岐素子が、請求項１から８のいずれか１つに記載の光導波路デバイスである、光回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路デバイスに関し、特に、多モード干渉部を有する光導波路デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
高速なデジタル信号処理の実現に伴い、光ファイバの分散や非線形性による信号劣化を、デジタル処理で回復できるデジタルコヒーレント技術が進展している。デジタルコヒーレント技術では、信号光の周波数利用効率を向上させるため、波長多重化に加えて、偏光多重化、及び、多値位相変調技術が用いられている。
【０００３】
多値位相変調技術が採用された光ファイバ伝送システムでは、光ファイバを伝送してきた信号光と、変調されていない一定の振幅および位相を持つ局部発振光（以下、局発光と表す）を干渉させることで位相変調信号を強度変調信号に変換するコヒーレントミキサが利用されている。
【０００４】
このようなコヒーレントミキサにおいて、信号光及び局発光を分岐するために多モード干渉（Ｍｕｌｔｉ−Ｍｏｄｅ  Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ：ＭＭＩ）型の光分岐デバイスが用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１３７３６０号公報
【特許文献２】国際公開第２００７／０８０８９１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一方、多モード干渉型の光分岐デバイスでは、デバイス特性に影響を与える戻り光が問題となっている。
【０００７】
図１０は、多モード干渉型の光分岐デバイスの戻り光を示す説明図である。図１０に示す光分岐デバイスの多モード干渉部１３は、入力導波路１１、第１出力導波路１４、及び、第２出力導波路１５と接続されている。入力導波路１１を導波した入力光１２は、多モード干渉部１３で２つに分岐され、第１出力導波路１４、第２出力導波路１５とそれぞれ結合し、出力光として出力される。
【０００８】
光分岐デバイスのデバイス特性に影響を与える戻り光は、多モード干渉部１３の内部と外部で発生する。多モード干渉部１３の内部で発生する戻り光の一例は、第１出力導波路１４と第２出力導波路１５の間の出力側端面で発生する戻り光４１である。戻り光４１は、多モード干渉部１３内で第１出力導波路１４、第２出力導波路１５と結合しない光が、多モード干渉部１３の出力側端面で反射した光である。
【０００９】
多モード干渉部１３の外部で発生する戻り光の一例は、第１出力導波路１４または第２出力導波路１５とそれぞれ結合して導波した出力光が、その先で接続される光素子との接続箇所で反射して発生する戻り光４２、戻り光４３である。
【００１０】
戻り光４１、４２、４３は、多モード干渉部１３の入力側端面の反射領域４４、反射領域４５、及び、側面（図１０で示す多モード干渉部１３の上側又は下側）で多重反射を繰り返し、再び第１出力導波路１４、第２出力導波路１５に結合する。
【００１１】
入力導波路１１の入力光１２が信号光の場合、戻り光４１、４２、４３が主信号光に結合して、光分岐デバイスの波長依存性にリップルが生じる、あるいは、主信号光の光位相が変化するなど、デバイス特性に影響を与えることになる。
【００１２】
特許文献１には、多モード干渉部の内部で発生する戻り光の発生を抑えるために、多モード干渉部と各ポート導波路との間に、テーパ形状の多モード導波路を設けることが記載されている。
【００１３】
しかしながら、特許文献１における開示は、多モード干渉部の出力側端面での戻り光の光強度のみであって、入力側端面の反射領域４４、４５での戻り光の反射を伴う多重反射の影響は考慮されていない。
【００１４】
また、特許文献１の構成で入力導波路側の端面における反射強度が小さくなっても、エネルギー保存則から多モード干渉部の内部で戻り光のパワーが無くなるわけではない。このため、戻り光は、反射を繰り返して出力導波路に結合することになる。
【００１５】
本発明の目的は、多モード干渉部内における戻り光の多重反射を抑制できる光導波路デバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の光導波路デバイスは、多モード干渉部と、前記多モード干渉部へ入力光を伝搬する入力導波路と、前記多モード干渉部からの出力光を伝搬する出力導波路と、前記出力導波路側から前記入力導波路側に前記多モード干渉部を伝搬する戻り光を、前記多モード干渉部の内から外へ導く戻り光導波路を備える。
【００１７】
本発明の光回路は、信号光を分岐して同相となる２の光を出力する第１分岐素子と、局発光を分岐して移相となる２つの光を出力する第２分岐素子と、前記第１分岐素子からの一の光と、前記第２分岐素子から一の光を合波する第１合波素子と、前記第１分岐素子からの他の光と、前記第２分岐素子からの他の光を合波する第２合波素子を備える光回路であって、前記第１分岐素子、又は、前記第２分岐素子が、上記光導波路デバイスである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、戻り光によるデバイス特性への影響を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１の実施形態の光分岐デバイスの構成例を示す図である。
【図２】第１戻り光導波路を導波する戻り光を除去する構成例を示す図である。
【図３】第１戻り光導波路の除去機構の一例を示す上面図である。
【図４】第１戻り光導波路の除去機構の一例を示す上面図である。
【図５】第２の実施形態の光分岐デバイスの構成例を示す図である。
【図６】第３の実施形態の光分岐デバイスの構成例を示す図である。
【図７】第４の実施形態の光分岐デバイスの構成例を示す図である。
【図８】第５の実施形態のコヒーレントミキサの構成例を示す図である。
【図９】第１〜第５の実施形態の光分岐デバイスに適用可能な光導波路の構造を示す断面図である。
【図１０】多モード干渉型の光分岐デバイスの戻り光を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（第１の実施形態）
第１の実施形態の光導波路デバイスについて、図面を用いて説明する。第１の実施形態の光導波路デバイスの一例は、多モード干渉部を有する光分岐デバイスである。
【００２１】
図１は、第１の実施形態の光分岐デバイスの構成例を示す図である。図１に示すように、光分岐デバイスは、多モード干渉部１３を有する。多モード干渉部１３は、入力導波路１１、第１出力導波路１４、及び、第２出力導波路１５と接続されている。
【００２２】
入力導波路１１を導波する入力光１２は、多モード干渉部１３で２つに分岐され、第１出力導波路１４、第２出力導波路１５とそれぞれ結合し、出力光１６として出力される。入力光１２は、具体的には、信号光、又は、局発光である。
【００２３】
さらに、第１戻り光導波路１７、及び、第２戻り光導波路１８が、多モード干渉部１３の入力側端面に接続される。具体的には、第１戻り光導波路１７、第２戻り光導波路１８は、多モード干渉部１３の入力側端面の反射領域に接続される。入力側端面の反射領域は、例えば、入力側端面のうち、入力導波路１１が接続された端面以外の端面である。
【００２４】
より好ましくは、第１戻り光導波路１７および第２戻り光導波路１８は、多モード干渉部１３の出射側端面からの戻り光、あるいは、第１出力導波路１４、第２出力導波路１５からの戻り光と結合する位置に配置される。第１戻り光導波路１７、および、第２戻り光導波路１８によって、戻り光が多モード干渉部１３の内から外に導かれる。
【００２５】
多モード干渉部１３の内部で発生する戻り光の一例は、第１出力導波路１４と第２出力導波路１５の間の出力側端面で発生する戻り光である。
【００２６】
多モード干渉部１３の外部で発生する戻り光の他の例は、第１出力導波路１４または第２出力導波路１５とそれぞれ結合して導波した出力光が、その先で接続される光素子との接続箇所で反射して発生する戻り光である。
【００２７】
第１戻り光導波路１７および第２戻り光導波路１８にそれぞれ結合した戻り光１９は、入力導波路１１を伝搬する入力光１２と逆方向に伝搬する。更に、第１戻り光導波路１７、第２戻り光導波路１８は、それぞれ戻り光１９を除去する除去機構を有する。
【００２８】
以下、図２、図３、図４を用いて、第１戻り光導波路１７の戻り光１９の除去について説明する。第２戻り光導波路１８の戻り光１９の除去についても同様である。
【００２９】
図２は、第１戻り光導波路１７を導波する戻り光を除去する構成例を示す図である。図２（ａ）は、第１戻り光導波路１７の除去機構の一例を示す上面図である。図２（ｂ）、（ｃ）は、図２（ａ）Ａ−Ａ’、Ｂ−Ｂ’の断面図である。
【００３０】
図２（ａ）に示す戻り光１９の除去機構は、第１戻り光導波路１７に設けられた光放射領域である。光放射領域は、第１戻り光導波路１７の光導波路の幅を、戻り光１９が伝搬方向に向けて狭くし、光導波路のコアの実効屈折率をクラッドの屈折率に近づける構成である。第１戻り光導波路１７がリブ型導波路の場合、図２（ｂ）、（Ｃ）に示すように、上部クラッド２０のリブ幅が狭くなることでスラブモードとなり、第１戻り光導波路１７で戻り光１９は放射され、除去される。
【００３１】
図３は、第１戻り光導波路１７の除去機構の一例を示す上面図である。図３に示す戻り光１９の除去機構は、第１戻り光導波路１７のチップ端面２１に無反射コーティング２２を配置する構成である。これにより、第１戻り光導波路１７を伝搬する戻り光１９が多モード干渉部１３に戻らないようにしている。
【００３２】
図４は、第１戻り光導波路１７の除去機構の一例を示す上面図である。図４に示す戻り光１９の除去機構は、第１戻り光導波路１７に戻り光１９を吸収する光吸収領域２３を配置する構成である。光吸収領域２３は、例えば、光導波路のコアに不純物を添加して自由キャリア吸収による赤外光吸収を利用する構成とする。具体的には、光導波路のコアが、ケイ素（Ｓｉ）で構成される場合、ボロン（Ｂ）、リン（Ｐ）、アンチモン（Ｓｂ）等をイオン注入することで光吸収領域２３を形成することができる。
【００３３】
なお、第１戻り光導波路１７、又は、第２戻り光導波路１８の導波路幅は、入力側端面において、入力導波路１１の導波路幅以上が好ましい。
【００３４】
（第１の実施形態の効果）
第１の実施形態によれば、多モード干渉部内における戻り光の多重反射を抑制できる。これにより、多モード干渉部を有する光分岐デバイスにおいて、戻り光によるデバイス特性への影響を低減することができる。
【００３５】
その理由は、多モード干渉部１３に接続された第１戻り光導波路１７、および、第２戻り光導波路１８によって、戻り光が多モード干渉部１３の内から外に導かれるからである。更に、第１戻り光導波路１７、第２戻り光導波路１８に結合した戻り光が除去されるからである。
【００３６】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態の光導波路デバイスについて、図面を用いて説明する。第２の実施形態の光導波路デバイスは、第１の実施形態と同様に、多モード干渉部を有する光分岐デバイスである。第２の実施形態は、多モード干渉部の入力側端面に接続される戻り光導波路がテーパ形状を有する点で、第１の実施形態と相違する。以下、第２の実施形態の光分岐デバイスの説明において、第１の実施形態の光分岐デバイスと同一の構成には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００３７】
図５は、第２の実施形態の光分岐デバイスの構成例を示す図である。図５に示すように、光分岐デバイスは、多モード干渉部１３を有する。多モード干渉部１３は、入力導波路１１、第１出力導波路１４、及び、第２出力導波路１５と接続されている。
【００３８】
第１戻り光導波路２４、及び、第２戻り光導波路２５が、多モード干渉部１３の入力側端面に接続される。具体的には、第１戻り光導波路２４、第２戻り光導波路２５は、多モード干渉部１３の入力側端面の反射領域に接続される。
【００３９】
より好ましくは、第１戻り光導波路２４および第２戻り光導波路２５は、多モード干渉部１３の出射側端面からの戻り光、あるいは、第１出力導波路１４、第２出力導波路１５からの戻り光と結合する位置に配置される。第１戻り光導波路２４、および、第２戻り光導波路２５によって、戻り光が多モード干渉部１３の内から外に導かれる。
【００４０】
さらに、第２の実施形態では、第１戻り光導波路２４、又は、第２戻り光導波路２５は、テーパ形状を有する。テーパ形状は、多モード干渉部１３の側で広く、戻り光１９の伝搬方向に向かって狭くなる形状である。更に、第１戻り光導波路２４、第２戻り光導波路２５は、それぞれ戻り光１９を除去する除去機構を有する。
【００４１】
第１戻り光導波路２４、第２戻り光導波路２５と、多モード干渉部１３との接続にテーパ形状を用いることで、多モード干渉部１３内の戻り光が第１戻り光導波路２４、第２戻り光導波路２５に結合し易くなる。
【００４２】
（第２の実施形態の効果）
第２の実施形態によれば、多モード干渉部内における戻り光の多重反射を抑制できる。これにより、多モード干渉部を有する光分岐デバイスにおいて、戻り光によるデバイス特性への影響を低減することができる。
【００４３】
その理由は、多モード干渉部１３に接続された第１戻り光導波路２４、および、第２戻り光導波路２５によって、戻り光が多モード干渉部１３の内から外に導かれるからである。更に、第１戻り光導波路２４、第２戻り光導波路２５に結合した戻り光が除去されるからである。
【００４４】
さらに、第２の実施形態では、第１戻り光導波路２４、又は、第２戻り光導波路２５がテーパ形状を有することで、入力側端面で戻り光と結合し易くなる。
【００４５】
（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態の光導波路デバイスについて、図面を用いて説明する。第３の実施形態の光導波路デバイスは、第１の実施形態と同様に、多モード干渉部を有する光分岐デバイスである。第３の実施形態は、入力導波路１１と多モード干渉部２６の間に多モード導波路２７が設けられ、第１戻り光導波路１７、第２戻り光導波路１８は、多モード導波路２７の入力側端面に接続されている点で、第１の実施形態と相違する。以下、第３の実施形態の光分岐デバイスの説明において、第１の実施形態の光分岐デバイスと同一の構成には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００４６】
図６は、第３の実施形態の光分岐デバイスの構成例を示す図である。図６に示すように、光分岐デバイスの多モード導波路２７は、入力導波路１１と多モード干渉部２６の間に接続され、多モード干渉部２６に近い部分ほど幅が広くなる形状を有する。
【００４７】
入力導波路１１を導波する入力光１２は、多モード導波路２７を介して多モード干渉部１３で２つに分岐され、第１出力導波路１４、第２出力導波路１５とそれぞれ結合し、出力光１６として出力される。
【００４８】
さらに、第１戻り光導波路１７、及び、第２戻り光導波路１８が、多モード導波路２７の入力側端面に接続される。具体的には、第１戻り光導波路１７、第２戻り光導波路１８は、多モード導波路２７の入力側端面の反射領域に接続される。入力側端面の反射領域は、例えば、入力側端面のうち、入力導波路１１が接続された端面以外の端面である。
【００４９】
より好ましくは、第１戻り光導波路１７および第２戻り光導波路１８は、多モード干渉部１３の出射側端面からの戻り光、あるいは、第１出力導波路１４、第２出力導波路１５からの戻り光と結合する位置に配置される。第１戻り光導波路１７、および、第２戻り光導波路１８によって、戻り光が多モード干渉部１３の内から外に導かれる。
【００５０】
（第３の実施形態の効果）
第３の実施形態によれば、多モード干渉部内における戻り光の多重反射を抑制できる。これにより、多モード干渉部を有する光分岐デバイスにおいて、戻り光によるデバイス特性への影響を低減することができる。
【００５１】
その理由は、多モード導波路２７の入力型端面に接続された第１戻り光導波路１７、および、第２戻り光導波路１８によって、戻り光が、多モード導波路２７を介して多モード干渉部２６の内から外に導かれるからである。更に、第１戻り光導波路１７、第２戻り光導波路１８に結合した戻り光が除去されるからである。
【００５２】
（第４の実施形態）
第４の実施形態の光導波路デバイスについて、図面を用いて説明する。第４の実施形態の光導波路デバイスの一例は、多モード干渉部を有する光分岐デバイスである。第４の実施形態は、２×２多モード干渉部を有する光分岐デバイスの例である。
【００５３】
図７は、第４の実施形態の光分岐デバイスの構成例を示す図である。図７に示すように、光分岐デバイスは、多モード干渉部２８を有する。多モード干渉部２８は、入力導波路１１、第１出力導波路１４、及び、第２出力導波路１５と接続されている。
【００５４】
入力導波路１１を導波する入力光１２は、多モード干渉部２８で２つに分岐され、第１出力導波路１４、第２出力導波路１５とそれぞれ結合し、出力光１６として出力される。
【００５５】
さらに、第１戻り光導波路１７が、多モード干渉部２８の入力側端面に接続される。具体的には、第１戻り光導波路１７は、多モード干渉部２８の入力側端面の反射領域に接続される。入力側端面の反射領域は、例えば、入力側端面のうち、入力導波路１１が接続された端面以外の端面である。
【００５６】
より好ましくは、第１戻り光導波路１７は、多モード干渉部２８の出射側端面からの戻り光、あるいは、第１出力導波路１４、第２出力導波路１５からの戻り光と結合する位置に配置される。第１戻り光導波路１７によって、戻り光が多モード干渉部２８の内から外に導かれる。
【００５７】
第１戻り光導波路１７に結合した戻り光１９は、入力導波路１１を伝搬する入力光１２と逆方向に伝搬する。更に、第１戻り光導波路１７は、戻り光１９を除去する除去機構を有する。
【００５８】
なお、第４の実施形態は、２×２多モード干渉部を有する光分岐デバイスの例として説明したが、戻り光と結合する位置であれば、第１戻り光導波路１７は、第１出力導波路１４と同軸上に配置されていなくともよい。
【００５９】
また、第４の実施形態の第１戻り光導波路１７には、第２の実施形態で説明したテーパ形状の第１戻り光導波路２４を適用することもできる。
【００６０】
（第４の実施形態の効果）
第４の実施形態によれば、多モード干渉部内における戻り光の多重反射を抑制できる。これにより、多モード干渉部を有する光分岐デバイスにおいて、戻り光によるデバイス特性への影響を低減することができる。
【００６１】
その理由は、多モード干渉部２８に接続された第１戻り光導波路１７によって、戻り光が多モード干渉部２８の内から外に導かれるからである。更に、第１戻り光導波路１７に結合した戻り光が除去されるからである。
【００６２】
（第５の実施形態）
次に、第５の実施形態の光回路について、図面を用いて説明する。第５の実施形態の光回路は、コヒーレントミキサに、第１の実施形態、及び、第５の実施形態の光分岐デバイスを適用した例である。コヒーレントミキサは、信号光の位相状態を光強度信号へ変換するための光回路である。
【００６３】
図８は、第５の実施形態のコヒーレントミキサの構成例を示す図である。図８に示す第５の実施形態のハイブリッドミキサにおいて、信号光は、入力導波路５１を伝搬して３×２ＭＭＩ５３に入力され、３×２ＭＭＩ５３は、入力された信号光を１：１の分岐比で分岐する。３×２ＭＭＩ５３で分岐された信号光の位相差は等位相である。分岐された信号光は、分配光導波路５５、５６で伝搬される。３×２ＭＭＩ５３は、第１分岐素子とも呼ばれる。
【００６４】
局発光は、入力導波路５２を伝搬して２×２ＭＭＩ５４に入力され、２×２ＭＭＩ５４は、入力された局発光を１：１の分岐比で分岐する。２×２ＭＭＩ５４で分岐された局発光の位相差は、９０度である。分岐された局発光は、分配光導波路５７、５８で伝搬される。２×２ＭＭＩ５４は、第２分岐素子とも呼ばれる。
【００６５】
なお、ＭＭＩから出力される出力光を同相とするか、９０°移相とするかは、入力導波路と出力導波路の横断面位置（オフセットの有無）とＭＭＩ伝搬長を用いて設定できる。
【００６６】
２×２ＭＭＩ５９は、分配光導波路５５を伝搬した信号光と、分配光導波路５７を伝搬した局発光を干渉させる。２×２ＭＭＩ６０は、分配光導波路５６を伝搬した信号光と、分配光導波路５８を伝搬した局発光を干渉させる。２×２ＭＭＩ５９は、第１合波素子とも呼ばれる。２×２ＭＭＩ６０は、第２合波素子とも呼ばれる。
【００６７】
ハイブリッドミキサ１０は、例えば、ケイ素、二酸化ケイ素を用いてシリコン光導波路を構成することができる。
【００６８】
第５の実施形態のコヒーレントミキサは、信号光を分岐する３×２ＭＭＩ５３に戻り光を除去するための戻り光導波路６１、戻り光導波路６２が接続され、局発光を分岐する２×２ＭＭＩに戻り光を除去するための戻り光導波路６３が接続されている。
【００６９】
３×２ＭＭＩ５３の戻り光導波路６１、６２に結合した戻り光が除去されることで、３×２ＭＭＩ５３のデバイス特性に与える影響を低減することができる。具体的には、ＭＭＩ５３内における戻り光による多重反射を抑制することで、出力される信号光に損失リップルが発生することを防止することできる。
【００７０】
さらに、２×２ＭＭＩ５４の戻り光導波路６３に結合した戻り光が除去されることで、２×２ＭＭＩのデバイス特性に与える影響を低減することができる。具体的には、ＭＭＩ５４内における戻り光による多重反射を抑制することで、戻り光による局発光の位相変化を防止することができる。
【００７１】
（第５の実施形態の効果）
第５の実施形態のコヒーレントミキサによれば、３×２ＭＭＩ５３、２×２ＭＭＩ５４における戻り光よる多重反射を抑制することで、コヒーレントミキサの伝送特性の影響を低減することができる。
【００７２】
（光導波路構造）
図９は、第１〜第５の実施形態の光分岐デバイスに適用可能な光導波路の構造を示す断面図である。図９（ａ）〜（ｄ）は、いずれも光導波路における光の導波方向と垂直な面における断面図である。
【００７３】
図９（ａ）、（ｂ）は、リブ型光導波路の構造を示す断面図である。具体的には、シリコン基板３１上にシリコン酸化層３２、シリコン層３３が形成されたＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｏｎ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）のリブ型光導波路である。
【００７４】
図９（ｃ）、（ｄ）は、リッジ型光導波路の構造を示す断面図である。具体的には、ＩｎＰ基板３４上にＩｎＰ下部クラッド層３５、ＩｎＧａＡｓＰコア層３６、ＩｎＰ上部クラッド層３７が形成されたリッジ型光導波路である。
【００７５】
図９（ａ）、（ｃ）は、例えば、図１に示す第１の実施形態の入力導波路１１における光導波路構造である。また、図９（ｂ）、（ｄ）は、例えば、図１に示す第１の実施形態の多モード干渉部１３における光導波路構造である。
【００７６】
以上、実施形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施形態に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００７７】
１１  入力導波路
１２  入力光
１３  多モード干渉部
１４  第１出力導波路
１５  第２出力導波路
１６  出力光
１７  第１戻り光導波路
１８  第２戻り光導波路
１９  戻り光
２０  上部クラッド
２１  チップ端面
２２  無反射コーティング
２３  光吸収領域
２４  第１戻り光導波路
２５  第２戻り光導波路
２６  多モード干渉部
２７  多モード導波路
２８  多モード干渉部
３１  シリコン基板
３２  シリコン酸化層
３３  シリコン層
３４  ＩｎＰ基板
３５  ＩｎＰ下部クラッド層
３６  ＩｎＧａＡｓＰコア層
３７  ＩｎＰ上部クラッド層
４１  戻り光
４２  戻り光
４３  戻り光
４４  反射領域
４５  反射領域
５１  入力導波路
５２  入力導波路
５３  ３×２ＭＭＩ
５４  ２×２ＭＭＩ
５５  分配光導波路
５６  分配光導波路
５７  分配光導波路
５８  分配光導波路
５９  ２×２ＭＭＩ
６０  ２×２ＭＭＩ
６１  戻り光導波路
６２  戻り光導波路
６３  戻り光導波路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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