(57)【要約】【課題】  大型の被処理物や輪郭が特殊な異形状の被処理物に対しても容易に加熱処理することができる加熱装置を提供することにある。【解決手段】  加熱装置は、互いに異なる複数の加熱パターンのそれぞれに従って被処理物をゾーン加熱する加熱装置であって、点光源型および／または線光源型の加熱ランプの複数が略同一平面内に配置されてなる光源部と、複数のリレーユニットとを備え、前記複数のリレーユニットは、それぞれ、互いに異なる加熱パターンに従って選択された前記光源部の加熱ランプに給電する機能を有する、交換可能なものであり、目的とする加熱パターンに対応する一のリレーユニットが択一的に用いられることを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる複数の加熱パターンのそれぞれに従って被処理物をゾーン加熱する加熱装置であって、
点光源型および／または線光源型の加熱ランプの複数が略同一平面内に配置されてなる光源部と、複数のリレーユニットとを備え、
前記複数のリレーユニットは、それぞれ、互いに異なる加熱パターンに従って選択された前記光源部の加熱ランプに給電する機能を有する、交換可能なものであり、
目的とする加熱パターンに対応する一のリレーユニットが択一的に用いられることを特徴とする加熱装置。
【請求項２】
前記複数のリレーユニットの各々は、給電部に対応する着脱可能な入力側端子と、前記光源部に対応する着脱可能な出力側端子とを備えることを特徴とする請求項１に記載の加熱装置。
【請求項３】
前記複数のリレーユニットの少なくとも一つにおける入力側端子および出力側端子が、光源部の選択された加熱ランプに対応したものであることを特徴とする請求項２に記載の加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、種々の異形状の被処理物を加熱処理する加熱装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、対象物を加熱する方法の一つとして、近赤外線を利用した光加熱がある。光加熱を行うための加熱装置は、近赤外線を放射するハロゲンランプを多数備えてなり、この加熱装置は、非接触加熱が可能なことから様々な分野で利用されている。
【０００３】
このような光加熱用の加熱装置を用いて、特定エリアのみを部分的に高温に加熱すること、いわゆるゾーン加熱を行うことが行われている。このようなゾーン加熱に好適な加熱装置としては、例えば、多数の点光源型のハロゲンランプを略同一平面内に縦横に並設させたものや、多数の線光源型の加熱ランプを略同一平面内に互いに離間して並設させたものが挙げられる。
例えば特許文献１には、複数の線光源型の加熱ランプをゾーン制御して被処理物を部分的に加熱処理する加熱装置が開示されている。このような加熱装置は、特定の形状の被処理物について、限られた数種類のゾーン制御を実現するために好適なものである。例えば、当該特許文献１においては、円盤状のウエハを被処理物として想定し、加熱装置においては、ウエハ領域、ガードリング内側領域、ガードリング外側領域の３つのゾーンに分割し、各ゾーンに対応させて加熱ランプのフィラメントの長さが設定されている。
【０００４】
一方、近年においては、種々の異形状の被処理物のいずれにも対応して加熱処理を行うことが求められている。
しかしながら、上記の加熱装置は、特定の形状の被処理物に特化して対応するものであり、種々の異形状の被処理物のいずれに対しても加熱処理を施すことが難しく、汎用性が乏しい、という問題がある。
【０００５】
また、特許文献２には、種々の異形状の被処理物のいずれにも対応して加熱処理を行うことができるよう、被処理物に対応して複数の点光源型の加熱ランプを略同一平面内に縦横に並設させた加熱装置が開示されている。このような点光源型の加熱ランプを複数並設させた構成の加熱装置によれば、異形状の被処理物に対応する加熱ランプを選択的に点灯させることによって、種々の異形状の被処理物に対して適切な加熱処理を施すことができると考えられる。
【０００６】
しかしながら、特許文献２に記載の加熱装置においては、図５に示されるように、光源部３１における各加熱ランプ３２の光出力を個別に制御するため、当該加熱ランプ３２の光出力を制御する給電部３８の各入力端子３９まで各加熱ランプ３２から個別に一対一で接続されるよう配線３３を設ける必要があり、配線部３５における配線３３の取り回しが非常に煩雑となってしまう。
特に、その径が５０ｃｍから１ｍを超えるような大型の被処理物に対して、特許文献２に記載されるような加熱装置を採用する場合は、配線３３が膨大な数になってしまうので装置設計が非常に困難となる。
【０００７】
配線の取り回しの煩雑さを低減させる配線方法として、図６に示されるように、光源部４１における、特定の加熱領域の個数に応じて予めグループ化された加熱ランプ４２からの配線４３を、配線部４５において統合し、各グループ（図６において破線で囲んで示す。）について当該配線部４５と、加熱ランプ４２の光出力を制御する給電部４８の入力端子４９とを接続する方法が考えられる。
しかしながら、このような配線方法を採用した場合には、ゾーン加熱を行うことはできるものの、加熱することができる加熱領域の位置や形状を適宜変更することができない。従って、特定の加熱領域の位置や形状に一致しない異なる形状の被処理物について加熱処理する際には、別の特定の加熱領域が選択された別の加熱装置を専用に用意しなければならない。
【０００８】
また、図７に示されるように、任意の加熱領域のそれぞれに応じて、光源部５１における各加熱ランプ５２の光出力を制御するため、リレー方式で各加熱ランプ５２を制御する配線方法を採用することも考えられる。この配線方法においては、各加熱ランプ５２に個別に一対一で接続されて伸びる配線５３を介したランプ側接点５６に対して、任意の加熱領域に応じて給電部５８の入力端子５９から伸びるリレー接点５７がリレー接続される。
しかしながら、このようなリレー方式の制御を行う加熱装置においては、リレー接点５７を設けなければならないため、配線も煩雑なものとなり、装置自体が極めて大型化されてしまう。特に、ゾーン加熱すべき任意の加熱領域の数が増えれば増えるほど、各加熱ランプ５２に必要なリレー接点５７の数が増えるため、事実上実施することが困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特許第５２８２３９３号公報
【特許文献２】特開２００２−２７０５３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、大型の被処理物や輪郭が特殊な異形状の被処理物に対しても容易に加熱処理することができる加熱装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の加熱装置は、互いに異なる複数の加熱パターンのそれぞれに従って被処理物をゾーン加熱する加熱装置であって、
点光源型および／または線光源型の加熱ランプの複数が略同一平面内に配置されてなる光源部と、複数のリレーユニットとを備え、
前記複数のリレーユニットは、それぞれ、互いに異なる加熱パターンに従って選択された前記光源部の加熱ランプに給電する機能を有する、交換可能なものであり、
目的とする加熱パターンに対応する一のリレーユニットが択一的に用いられることを特徴とする。
【００１２】
本発明の加熱装置においては、前記複数のリレーユニットの各々は、給電部に対応する着脱可能な入力側端子と、前記光源部に対応する着脱可能な出力側端子とを備える構成とすることができる。
【００１３】
本発明の加熱装置においては、前記複数のリレーユニットの少なくとも一つにおける入力側端子および出力側端子が、光源部の選択された加熱ランプに対応したものであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の加熱装置においては、互いに異なる加熱パターンに従って選択された加熱ランプに給電するリレーユニットの複数が交換可能に設けられてなり、目的とする加熱パターンに対応する一のリレーユニットが択一的に用いられる。従って、ある加熱パターンに従った光源部の各加熱ランプの制御を、当該加熱パターンに対応するリレーユニットを装着することのみよって行うことができるので、給電部と光源部との間の配線の数が抑制されて加熱装置自体の過度な大型化を招くことなく、大型の被処理物や輪郭が特殊な異形状の被処理物に対しても容易に加熱処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の加熱装置の一例を模式的に示す配線図である。
【図２】本発明の加熱装置の光源部を概略的に示す平面図である。
【図３】（ａ）は実施例において用いたワークＡを示す斜視図であり、（ｂ）はワークＡに対応する加熱パターンに係る光源部を概略的に示す平面図である。
【図４】（ａ）は実施例において用いたワークＢを示す斜視図であり、（ｂ）はワークＢに対応する加熱パターンに係る光源部を概略的に示す平面図である。
【図５】従来の加熱装置の一例を模式的に示す配線図である。
【図６】従来の加熱装置の別の一例を模式的に示す配線図である。
【図７】従来の加熱装置の更に別の一例を模式的に示す配線図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００１７】
図１は、本発明の加熱装置の一例を模式的に示す配線図である。
本発明の加熱装置は、互いに異なる複数の加熱パターンのそれぞれに従って被処理物をゾーン加熱する加熱装置である。具体的には、点光源型および／または線光源型の加熱ランプ１２の複数が略同一平面内に固定的に配置されてなる面状の光源部１１と、複数のリレーユニット１６の一つが択一的に装着される配線部１５と、当該配線部１５に装着されたリレーユニット１６を介して加熱ランプ１２に給電する給電部１８とを備える。
この加熱装置は、光源部１１から被処理物が載置されるべき載置領域（以下、「ワーク載置領域」ともいう。）に向かって赤外線を照射することにより、ワーク載置領域に載置された被処理物を加熱して加熱処理するものである。
【００１８】
〔光源部〕
光源部１１は、点光源型および／または線光源型の加熱ランプ１２の複数がランプ収容体１０内における、ワーク載置領域と対向する略同一平面内に配置されてなる。図１の加熱装置においては、光源部１１は、全て点光源型の加熱ランプ１２よりなり、これらの加熱ランプ１２が、ワーク載置領域における異なる略円状の領域にそれぞれ対応して当該領域に光を照射するよう、面状に縦横に並設されている。
光源部１１においては、温度制御性の観点から、例えば隣接する加熱ランプ１２の距離が全て等間隔となるよう設置されていることが好ましい。
【００１９】
加熱ランプ１２としては、例えば点光源型のものとしてはシングルエンド型のフィラメントランプを挙げることができ、線光源型のものとしてはダブルエンド型のフィラメントランプを挙げることができる。
【００２０】
シングルエンド型のフィラメントランプは、例えば石英ガラスよりなる封体（バルブ）を備え、バルブ内には、例えばタングステンよりなるフィラメントが配置されると共にバッファガスとハロゲンガスとが封入され、バルブの一端側に設けられた封止部からフィラメントの両端がそれぞれ接続された一対の外部リード線が導出されたものである。具体的には、例えば石英ガラスよりなる球欠体状の封体（バルブ）を備え、バルブ内には、例えばタングステンよりなる１本の線材がコイル状に巻回されて形成されたフィラメントがその巻回軸がバルブの割平面に沿って伸びるよう配置されると共に、例えばハロゲンガスが封入されているものを挙げることができる。シングルエンド型のフィラメントランプにおいては、バルブの内表面または外表面における、被処理物と対向する側と反対側に位置する領域に、当該シングルエンド型のフィラメントランプからの光を反射させて当該被処理物に向かって放射する反射部材が設けられることが好ましい。バルブの外表面における反射部材が形成されていない領域によって光取り出し部が形成されている。
シングルエンド型のフィラメントランプの具体例としては、例えば特許第４６４０１９９号明細書や特許第５６９１２９９号明細書に記載されたものを挙げることができる。
【００２１】
ダブルエンド型のフィラメントランプは、両端に封止部が形成された、例えばガラス材料よりなる直管状の発光管を有し、この発光管の内部空間に、例えばハロゲンガスが封入されると共に、例えばタングステン素線がコイル状に巻回されて形成されたコイル状のフィラメントが、発光管の管軸に沿って伸びるよう配置されてなるものである。ダブルエンド型のフィラメントランプには、当該ダブルエンド型のフィラメントランプの管軸に沿って伸びる帯状の反射部材が、発光管の外周面における被処理物に対向する側に光取り出し領域が形成されるよう、当該被処理物に対向する側と反対側に位置する領域に形成されていることが好ましい。発光管の外周面における反射部材が形成されていない領域によって光取り出し部が形成される。
【００２２】
光源部１１における加熱ランプ１２の個数は、例えば当該加熱ランプ１２が全て点光源型のものである場合には１００〜３０００個とされることが好ましく、特に、１００個以上である場合に本発明の効果、すなわち給電部１８と光源部１１との間の配線１３ｂの数が抑制されて加熱装置自体の過度な大型化を招くことなく、大型の被処理物や輪郭が特殊な異形状の被処理物に対しても容易に加熱処理を行うことができる、という効果を好適に得ることができる。
【００２３】
加熱ランプ１２は、各々交流点灯される。
【００２４】
〔リレーユニット〕
複数のリレーユニット１６は、目的とする加熱パターンに対応する一のリレーユニット１６が択一的に用いられるものであって、それぞれ、互いに異なる加熱パターンに従って選択された加熱ランプ１２に給電する機能を有し、一方と他方とを交換可能なものである。
リレーユニット１６は、当該リレーユニット１６と一対一で対応する加熱パターンに従って、光源部１１における多数の加熱ランプ１２からの各配線１３ａを、当該加熱パターンにおける加熱領域ごとにグルーピングする構成を有する。具体的には、リレーユニット１６は、給電部１８に対して着脱可能な入力側端子１７と、光源部１１に対して着脱可能な出力側端子１４とを備え、これらの入力側端子１７および出力側端子１４が、光源部１１の選択された加熱ランプ１２に対応したものとされる。すなわち、各加熱ランプ１２から一本ずつ伸びる配線１３ａに、リレーユニット１６の出力側端子１４が一対一で対応して着脱可能に接続されると共に、加熱ランプ１２のうち、加熱パターンにおいて同じ出力の光を照射すべき同じ加熱領域に光を照射する加熱ランプ１２群から伸びる配線１３ａ群に対応する出力側端子１４から伸びる配線１３ｂ群が統合されて一つの入力側端子１７に接続される。そして、入力側端子１７が、給電部１８の入力端子１９に一対一で対応して着脱可能に接続される。リレーユニット１６の出力側端子１４および入力側端子１７がいずれも着脱可能なものであることによって、各リレーユニット１６は、加熱装置から着脱可能なものとされている。
一つのリレーユニット１６における入力側端子１７の数は、給電部１８の入力端子１９の数以下とされ、入力側端子１７が接続されない入力端子１９があってもよい。
【００２５】
リレーユニット１６の数は、加熱パターンと同数であることが好ましい。
【００２６】
一つのリレーユニット１６において、全ての加熱ランプ１２が当該リレーユニット１６に接続されることは必須ではなく、リレーユニット１６に接続されない加熱ランプ１２の存在によって、当該リレーユニット１６に対応する加熱パターンに非加熱領域が形成されていてもよい。
【００２７】
〔加熱パターン〕
加熱パターンには、大型の被処理物、輪郭が特殊な異形状の被処理物に対応するものが含まれることが好ましい。
加熱パターンの数は、既定の複数であって、特に限定されず、被処理物のサイズや用途によって任意に設定することができる。
また、加熱パターン内の加熱領域の数は、５０個以下であることが好ましく、例えば加熱ランプ１２の数が１０００個である場合に、２０〜３０個とされる。
【００２８】
加熱パターンには、単数または分割された複数の加熱領域が包含される。
具体的には、図２に示されるように、加熱領域ＧＡと、加熱領域ＧＣと、加熱領域ＧＥとを有する加熱パターンや、加熱領域ＧＢと、加熱領域ＧＤと、加熱領域ＧＥと、加熱領域ＧＦとを有する加熱パターン、加熱領域ＧＤのみを有する加熱パターンなどが挙げられる。
各加熱パターン間において、ある１つの加熱ランプ１２が重複して選択されてもよい。例えば、加熱領域ＧＡと加熱領域ＧＢとの間では、６つの加熱ランプ１２が共有されている（図２において、６行目の１列目、２列目、３列目および７行目の１列目、２列目、３列目の加熱ランプ１２）。また、加熱領域ＧＣと加熱領域ＧＤとの間では４つの加熱ランプ１２が共有されている（図２において、５行目の８列目、９列目および６行目の８列目、９列目の加熱ランプ１２）。これらの重複を有する加熱領域は、同一加熱パターン内に含まれることはない。
【００２９】
〔給電部〕
給電部１８は、加熱パターンの加熱領域に所属する加熱ランプ１２（ランプグループ）毎の光出力を制御するために入力端子１９からの入力電力を制御するものである。
一つのランプグループに所属する各加熱ランプ１２の光出力は、全て同じとされる。異なるランプグループ間の加熱ランプ１２の光出力は、同じであっても異なっていてもよい。
給電部１８において、全ての加熱領域に係るランプグループに出力することは必須ではなく、リレーユニット１６を介して接続されていても、出力されないランプグループの加熱ランプ１２の存在によって、当該加熱ランプ１２に対向する領域を非加熱領域とすることもできる。
【００３０】
〔被処理物〕
この加熱装置において加熱処理される被処理物としては、その形状が、例えば略平板状のものや、異なる厚みの部位を有するもの、その輪郭が長方形や正方形のものや、輪郭が特殊な形状のものなどが挙げられ、その素材としては、鉄、アルミ、炭素繊維などが挙げられる。
【００３１】
上記の加熱装置においては、以下のように加熱処理が行われる。すなわち、まず、被処理物の形状等に適合したリレーユニット１６が択一的に選択され、その入力側端子１７が給電部１８の入力端子１９に一対一で接続されると共に、出力側端子１４が光源部１１の加熱ランプ１２に接続され、これにより配線部１５に装着される。
具体例を示すと、図１（ａ）に示されるように、７つの加熱ランプ１２のうち、ランプグループＷに所属する加熱ランプ１２が出力側端子１４のうちの同一の入力側端子１７に接続されたものに一対一で接続され、ランプグループＸに単独で所属する加熱ランプ１２が出力側端子１４のうちの対応する入力側端子１７に接続されたものに一対一で接続され、ランプグループＹに単独で所属する加熱ランプ１２が出力側端子１４のうちの対応する入力側端子１７に接続されたものに一対一で接続され、ランプグループＺに所属する加熱ランプ１２が出力側端子１４のうちの同一の入力側端子１７に接続されたものに一対一で接続される。
次いで、給電部１８においてランプグループＷ〜Ｚ毎に適宜の出力がなされてこれらに所属する加熱ランプ１２から適宜の強度の光が放射されて、被処理物に照射され、当該被処理物が適宜にゾーン加熱される。
一方、前回の加熱処理とは異なる加熱パターンでゾーン加熱を行うときには、まず、配線部１５から前回の加熱処理に用いたリレーユニット１６を、入力側端子１７および出力側端子１４をそれぞれ給電部１８の入力端子１９および加熱ランプ１２から離脱させると共に、図１（ｂ）に示すように、新たな所期の加熱パターンに対応するリレーユニット１６Ａを配線部１５に装着し、前回の加熱処理と同様にしてゾーン加熱を行う。
【００３２】
以上のような加熱装置によれば、互いに異なる加熱パターンに従って選択された加熱ランプ１２に給電するリレーユニット１６の複数が交換可能に設けられてなり、目的とする加熱パターンに対応する一のリレーユニット１６が択一的に用いられる。従って、ある加熱パターンに従った光源部１１の各加熱ランプ１２の制御を、当該加熱パターンに対応するリレーユニット１６を装着することのみよって行うことができるので、給電部１８と光源部１１との間の配線１３ｂの数が抑制されて加熱装置自体の過度な大型化を招くことなく、大型の被処理物や輪郭が特殊な異形状の被処理物に対しても容易に加熱処理を行うことができる。
このような効果は、少数種の特定の加熱パターンに対応して、それぞれ多量の被処理物に対して加熱処理する加熱装置である場合に、特に好適に得ることができる。
【００３３】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、光源部は、点光源型の加熱ランプのみから構成されたものであることに限定されず、線光源型のいわゆる棒状の加熱ランプのみから構成されたものであってもよく、点光源型の加熱ランプおよび線光源型の加熱ランプが混合されたものであってもよい。光源部が線光源型の加熱ランプを含んで構成されたものである場合、各線光源型の加熱ランプは、光源部の加熱ランプのランプ軸が、配置されるべき平面に沿って伸びると共に隣接する加熱ランプのランプ軸が平行になるよう配置されることが好ましい。また、複数の線光源型の加熱ランプは、互いに異なる長さのものを組み合わせて用いて構成されていてもよい。光源部においては、温度制御性の観点から、例えば隣接する加熱ランプの距離が全て等間隔となるよう設置されていることが好ましい。
【実施例】
【００３４】
以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００３５】
＜実施例１＞
図１に従った構成を有する加熱装置を作製した。
具体的には、光源部は、シングルエンド型のフィラメントランプ（定格電力５００Ｗ、外径２０ｍｍ）が、縦２０個、横５０個、ランプ間配列ピッチ２５ｍｍで略同一平面内に並設されてなるものである。
また、リレーユニットとしては、２種の加熱パターンに対応する２つを用意した。
１つ目のリレーユニット〔Ａ〕は、図３に示すように、ワークＡ（図３（ａ））に適合する加熱パターン（図３（ｂ））の配線経路を備えるものである。具体的には、ワークＡは、十字形の厚みの大きい部分Ｗ１と、４つの矩形の厚みの小さい部分Ｗ２とを有し、全体が矩形の平板状のものである。さらに、１つの矩形部分Ｗ２には、貫通孔Ｗ０が形成されている。このワークＡに適合する加熱パターンは、厚みの大きい部分Ｗ１における外縁領域に対向する加熱領域Ｇ１ａと、厚みの大きい部分Ｗ１における外縁以外の中央領域に対向する加熱領域Ｇ１ｂと、厚みの小さい部分Ｗ２に対向する加熱領域Ｇ２と、貫通孔Ｗ０に対向する非加熱領域Ｇ０とよりなる。そして、加熱領域Ｇ１ａに係るフィラメントランプには１９．２ｋＷの電力を供給し、加熱領域Ｇ１ｂに係るフィラメントランプには、３２ｋＷの電力を供給し、加熱領域Ｇ２に係るフィラメントランプには１８．８ｋＷの電力を供給し、非加熱領域Ｇ０に係るフィラメントランプには電力を供給しなかった。
２つ目のリレーユニット〔Ｂ〕は、図４に示すように、ワークＢ（図４（ａ））に適合する加熱パターン（図４（ｂ））の配線経路を備えるものである。具体的には、ワークＢは、２つの平行に設けられた長方形の厚みの大きい部分Ｗ３と、当該厚みの大きい部分Ｗ３に隣接する３つの長方形の厚みの小さい部分Ｗ４とを有し、全体が矩形の平板状のものである。このワークＢに適合する加熱パターンは、厚みの大きい部分Ｗ３における外縁領域に対向する加熱領域Ｇ３ａと、厚みの大きい部分Ｗ３における外縁以外の中央領域に対向する加熱領域Ｇ３ｂと、厚みの小さい部分Ｗ４に対向する加熱領域Ｇ４とよりなる。そして、加熱領域Ｇ３ａに係るフィラメントランプには２４ｋＷの電力を供給し、加熱領域Ｇ３ｂに係るフィラメントランプには、２４ｋＷの電力を供給し、加熱領域Ｇ４に係るフィラメントランプには２０ｋＷの電力を供給した。
このような加熱装置において、まず、リレーユニット〔Ａ〕を装着し、被処理物であるワークＡに対して赤外線の照射による加熱処理を行ったところ、所期の加熱領域を適切に加熱することができることが確認された。
次いで、リレーユニット〔Ａ〕をリレーユニット〔Ｂ〕に交換して装着し、他の被処理物であるワークＢに対して赤外線の照射による加熱処理を行ったところ、所期の加熱領域を適切に加熱することができることが確認された。
【符号の説明】
【００３６】
１０  ランプ収容体
１１  光源部
１２  加熱ランプ
１３ａ，１３ｂ  配線
１４  出力側端子
１５  配線部
１６  リレーユニット
１７  入力側端子
１８  給電部
１９  入力端子
３１  光源部
３２  加熱ランプ
３３  配線
３５  配線部
３８  給電部
３９  入力端子
４１  光源部
４２  加熱ランプ
４３  配線
４５  配線部
４８  給電部
４９  入力端子
５１  光源部
５２  加熱ランプ
５３  配線
５５  配線部
５６  ランプ側接点
５７  リレー接点
５８  給電部
５９  入力端子
ＧＡ，ＧＢ，ＧＣ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＦ  加熱領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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