(57)【要約】【課題】。緩衝部材により接着剤中の真空泡の残留を防止しつつ、高い耐久性を有する真空貼合装置および真空貼合装置用治具を提供する。【解決手段】真空中で、第１のプレート４０及び第２のプレート６０によって第１のワークＷ１及び第２のワークＷ２を挟み、第１のワークＷ１及び第２のワークＷ２の平坦な面を、接着剤Ｒを介して貼り合わせる真空貼合装置であって、独立気泡構造体で硬度がアスカーＣ１５〜３５のシリコーンスポンジゴムからなり、第１のワークＷ１を支持する平面である支持面５１ａを有する緩衝部材５１と、緩衝部材５１の支持面５１ａと反対側の平面である固定面５１ｂに設けられ、固定面５１ｂの孔５１ｄを封止して平坦化した封止層５２と、封止層５２を第１のプレート４０に貼り付ける粘着性を有する貼付層５３と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空中で、第１のプレート及び第２のプレートによって第１のワーク及び第２のワークを挟み、前記第１のワーク及び前記第２のワークの平坦な面を、接着剤を介して貼り合わせる真空貼合装置であって、
独立気泡構造体で硬度がアスカーＣ１５〜３５のシリコーンスポンジゴムからなり、前記第１のワークを支持する平面である支持面を有する緩衝部材と、
前記緩衝部材の前記支持面と反対側の平面である固定面に設けられ、前記固定面の孔を封止して平坦化した封止層と、
前記封止層を前記第１のプレートに貼り付ける粘着性を有する貼付層と、
を有することを特徴とする真空貼合装置。
【請求項２】
前記封止層は、前記固定面を覆い、前記固定面との接触面が硬化した合成樹脂により形成されていることを特徴とする請求項１記載の真空貼合装置。
【請求項３】
前記貼付層は、前記封止層を形成する合成樹脂の前記固定面とは反対側に設けられた粘着層を含むことを特徴とする請求項２記載の真空貼合装置。
【請求項４】
前記貼付層は、粘着部材を含むことを特徴とする請求項３記載の真空貼合装置。
【請求項５】
真空中で貼り合わされる第１のワークと第２のワークのうち、第１のワークを支持する平面である支持面を有し、独立気泡構造体のアスカーＣ１５〜３５のシリコーンスポンジゴムからなる緩衝部材と、
真空貼合装置に着脱可能な基台と、
前記緩衝部材の前記支持面と反対側の平面である固定面に設けられ、前記固定面の孔を封止して平坦化した封止層と、
前記封止層を前記基台に貼り付ける粘着性を有する貼付層と、
を有することを特徴とする真空貼合装置用治具。
【請求項６】
前記封止層は、前記固定面を覆い、前記固定面との接触面が硬化した合成樹脂により形成されていることを特徴とする請求項５記載の真空貼合装置用治具。
【請求項７】
前記合成樹脂の前記固定面とは反対側の面は、粘着性を有することを特徴とする請求項６記載の真空貼合装置用治具。
【請求項８】
前記貼付層は、粘着部材を含むことを特徴とする請求項７記載の真空貼合装置用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空貼合装置及び真空貼合装置用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイを代表とする平板状の表示装置、いわゆるフラットパネルディスプレイは、表示パネルとその他のワークが筐体に組み込まれて構成されている。その他のワークとしては、操作用のタッチパネル、表面を保護するカバーパネル、バックライト、バックライトの導光板等がある。
【０００３】
これらのワークは、個別にあるいは予め積層された状態で筐体に組み込まれる。例えば、保護カバーにタッチパネルを積層した複合パネルとして構成されたものを用いることもある。
【０００４】
また、表示パネルには、タッチパネルの機能が組み込まれたものが用いられることもある。このように、ワークとしては様々な形態があるが、以下、表示装置を構成するワークを、複数積層したものを、表示装置用部材と呼ぶ。
【０００５】
このような、表示装置用部材として積層される各ワークの間にギャップが存在すると、外光反射により、ディスプレイの表示面の視認性が低下する。これに対処するため、各ワークを、接着剤を介して貼り合せて積層することによって、各ワークの間のギャップを埋めることが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−３２５７８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
接着剤を介した貼り合せには種々の方法があるが、一例として、一方のワークに接着剤を点状、線状又は面状に塗布し、他方のワークを重ね合わせて、プレートにより押圧する方法がある。このとき、接着剤の中にボイドが発生する場合がある。ボイドには、空気等の気体の混入による空気泡、接着剤が埋まらない空間が形成されることによる真空泡がある。周囲を真空として貼り合わせる真空貼合では、空気泡の混入を排除できる。しかし、真空泡は発生する可能性がある。
【０００８】
接着剤の全体がプレートにより均一に押圧されると、接着剤とワークとの間に生じた空間が押圧されて消失するので、真空泡の残留が低減する。しかし、塗布された接着剤の表面にうねりがあると、平坦なプレートにより押圧した場合、接着剤が十分に押圧されない部分が生じるため、残留する真空泡が多くなる。そこで、ワークの一方を弾性のある緩衝部材によって支持し、プレートによって押し付けた場合に、接着剤のうねりに倣って緩衝部材が変形することにより、全体が押圧されるようにすることが考えられる。このような緩衝部材は、貼り合わせるワークの一方を支持するステージ側のプレートに、両面テープなどの粘着材によって貼り付けられることにより固定される。
【０００９】
但し、接着剤の粘度によって、適切な緩衝部材の硬度が異なる。例えば、接着剤の全体を仮硬化させてから貼り合せる場合には、比較的硬い緩衝部材を用いても、接着剤の全体を押圧することができる。しかし、接着剤の粘度が低い状態で貼り合せる場合には、硬い緩衝部材では接着剤のうねりに倣って緩衝部材が変形せず、上記のように、接着剤が十分に押圧されない場合が生じる。これに対処するため、発泡性の合成樹脂による柔軟な緩衝部材を使用することが考えられる。
【００１０】
しかしながら、発泡性の合成樹脂の緩衝部材の場合、緩衝部材の表面に多数の孔が存在するため、両面テープと貼合したときに、貼合面の孔に空気が混入する。すると、真空排気したときに、孔内部の気圧が相対的に高くなり、貼合面と両面テープとの間に膨らみが生じたり、ずれが生じやすくなる。このため、真空貼合と大気開放を繰り返していると、緩衝部材が両面テープから剥がれる可能性が高くなり、耐久性がない。
【００１１】
本発明の目的は、緩衝部材により接着剤中の真空泡の残留を防止しつつ、高い耐久性を有する真空貼合装置および真空貼合装置用治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明の真空貼合装置は、真空中で、第１のプレート及び第２のプレートによって第１のワーク及び第２のワークを挟み、前記第１のワーク及び前記第２のワークの平坦な面を、接着剤を介して貼り合わせる真空貼合装置であって、独立気泡構造体で硬度がアスカーＣ１５〜３５のシリコーンスポンジゴムからなり、前記第１のワークを支持する平面である支持面を有する緩衝部材と、前記緩衝部材の前記支持面と反対側の平面である固定面に設けられ、前記固定面の孔を封止して平坦化した封止層と、前記封止層を前記第１のプレートに貼り付ける粘着性を有する貼付層と、を有する。
【００１３】
前記封止層は、前記支持面と反対側の面を覆い、前記反対側の面との接触面が硬化した合成樹脂により形成されていてもよい。
【００１４】
前記貼付層は、前記合成樹脂の前記固定面とは反対側の粘着性を有する表面を含んでいてもよい。
【００１５】
前記貼付層は、粘着性を有するシートを含んでいてもよい。
【００１６】
本発明の真空貼合装置用治具は、真空中で貼り合わされる第１のワークと第２のワークのうち、第１のワークを支持する平面である支持面を有し、独立気泡構造体のアスカーＣ１５〜３５のシリコーンスポンジゴムからなる緩衝部材と、真空貼合装置に着脱可能な基台と、前記緩衝部材の前記支持面と反対側の平面である固定面に設けられ、前記固定面の孔を封止して平坦化した封止層と、前記封止層を前記基台に貼り付ける粘着性を有する貼付層と、を有する。
【００１７】
前記封止層は、前記支持面と反対側の面を覆い、前記反対側の面との接触面が硬化した合成樹脂により形成されていてもよい。
【００１８】
前記貼付層は、前記合成樹脂の前記固定面とは反対側の粘着性を有する表面を含んでいてもよい。
【００１９】
前記貼付層は、粘着性を有するシートを含んでいてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、緩衝部材により接着剤中の真空泡の残留を防止しつつ、高い耐久性を有する真空貼合装置および真空貼合装置用治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施形態の真空貼合装置の概略断面図である。
【図２】実施形態の支持部及び第１のステージを示す斜視図である。
【図３】実施形態の緩衝部材、封止層及び貼付層を示す拡大断面図である。
【図４】実施形態の真空貼合装置の第１のワーク及び第２のワークの搬入時を示す概略断面図である。
【図５】実施形態の真空貼合装置の真空引き時を示す概略断面図である。
【図６】実施形態の真空貼合装置の貼り合せ時を示す概略断面図である。
【図７】実施形態の真空貼合装置の大気開放時を示す概略断面図である。
【図８】気泡が残留した表示装置用部材と残留していない表示装置用部材を示す説明図である。
【図９】実施形態の真空貼合装置用治具を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の実施の形態（以下、実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。なお、各構成部の位置及び大きさ等は、構造を分かり易くするための便宜的な表現に過ぎない。
【００２３】
［構成］
［ワーク］
本実施形態の真空貼合装置は、真空中で一対のワークを、接着剤を介して貼り合わせる装置である。ワークとしては、表示装置用部材を用いる。表示装置用部材には、表示パネルとカバーパネルを積層した部材のように表示機能を備えた部材も、カバーパネルとタッチパネルを積層した部材のようにその部材だけでは表示機能を備えていない部材も含まれる。すなわち、真空貼合装置の貼り合わせの対象となるワークは、表示パネル、タッチパネル、カバーパネル、バックライトやその導光板等の様々なものがあり、いずれを組み合わせても良い。
【００２４】
［真空貼合装置］
本実施形態の真空貼合装置を、図１を参照して説明する。貼り合せられる一対のワークは、第１のワークＷ１、第２のワークＷ２とする。真空貼合装置は、真空中で、第１のプレート４０及び第２のプレート６０によって第１のワークＷ１及び第２のワークＷ２を挟み、第１のワークＷ１及び第２のワークＷ２の平坦な面を、接着剤Ｒを介して貼り合せる装置である。真空貼合装置は、ステージ１０、真空チャンバ２０、減圧部３０、第１のプレート４０、支持部５０、第２のプレート６０を有する。
【００２５】
ステージ１０は、水平な平坦面を有する台である。真空チャンバ２０は、ステージ１０の平坦面を覆うことにより、内部に真空室を形成する容器である。真空チャンバ２０は、貼り合わされる第１のワークＷ１、第２のワークＷ２の周囲を覆い、ステージ１０との間を密閉することにより真空室を構成する。つまり、本実施形態は、真空中で、第１のワークＷ１と第２のワークＷ２とを接着剤を介して貼り合わせるための真空室を有する。なお、真空チャンバ２０は、図示しない駆動機構によって、ステージ１０に対して接触して真空室を形成する密閉位置と、ステージ１０から離れて内部を開放する開放位置との間を移動可能に設けられている。
【００２６】
減圧部３０は、真空チャンバ２０に接続され、真空室を減圧することにより真空とする装置である。減圧部３０は、配管３１、真空ポンプ３２及びバルブ３３を有する。配管３１は一端が真空室に連通し、他端が真空ポンプ３２に接続されている。真空ポンプ３２は、真空室内から排気する排気装置である。
【００２７】
第１のプレート４０は、第１のワークＷ１を支持する平板状の部材である。第１のプレート４０は、駆動機構４１を介して、ステージ１０上に水平方向に設置されている。駆動機構４１は、第１のプレート４０をＸ方向、Ｙ方向及びθ方向に駆動する。なお、Ｘ方向は水平な一方向であり、Ｙ方向はＸ方向に直交する水平な一方向であり、θ方向は鉛直方向を軸とする回転方向である。
【００２８】
支持部５０は、第１のワークＷ１が支持される構成部である。支持部５０は、図２に示すように、緩衝部材５１、封止層５２、貼付層５３を有する。緩衝部材５１は、独立気泡構造体で、硬度がアスカーＣ１５〜３５のシリコーンスポンジゴムである。緩衝部材５１は、第１のワークＷ１を支持する平面である支持面５１ａを有する。シリコーンスポンジゴムは、ケイ素を主成分とするシリコン樹脂の発泡体である。独立気泡構造体とは、内部の気泡が、それぞれ独立して並んでおり、気体や液体が気泡間を通過し難い構造体をいう。但し、完全な気密ではないため、周囲を真空としても、膨張等により貼り合せに支障が出ることはない。気泡には空気が入っていて、押された時に反発力があり、面で押したときの均一性が確保しやすい。緩衝部材５１は、直方体形状のシートであり、第１のワークＷ１が支持される支持面５１ａは、気泡の断面である孔が露出した面である。
【００２９】
封止層５２は、緩衝部材５１の支持面５１ａとは、反対側の平面である固定面５１ｂ（図３参照）に設けられ、図３に示すように、気泡５１ｃの断面である孔５１ｄを封止して平坦化した層である。この封止層５２は、固定面５１ｂを覆い、固定面５１ｂとの接触面が硬化した合成樹脂により形成されている。例えば、熱硬化性樹脂を加熱して、固定面５１ｂとの界面を硬化させることにより、封止層５２を形成できる。
【００３０】
貼付層５３は、封止層５２を第１のプレート４０に貼り付ける層である。貼付層５３は、粘着層５３ａ、粘着部材５３ｂを有する。粘着層５３ａは、貼付層５３の封止層５２側の粘着性を有する面である。この粘着層５３は、封止層５２を形成する合成樹脂の固定面５１ｂとは反対側の面に形成されている。例えば、封止層５２を形成する際に使用する熱硬化性樹脂の成分及び加熱温度等を調整することにより、固定面５１ｂとの界面を硬化させて封止層５２とする一方で、外表面は粘着性を維持させることにより粘着層５３ａを形成できる。つまり、合成樹脂の一方の面が封止層５２となり、他方の面が粘着層５３ａとなっている。このような合成樹脂としては、例えば、株式会社京写製「ＭａｇｉＣａｒｒｉｅｒ」（登録商標）を用いることができるが、上記のような態様の硬化が可能な合成樹脂であればよい。
【００３１】
また、粘着部材５３ｂは、例えば、両面テープを適用する。両面テープは、基材の両面に粘着材を塗布したシート状の部材である。つまり、本実施形態では、合成樹脂の粘着層５３ａと、両面テープの粘着部材５３ｂによって、貼付層５３が構成されている。
【００３２】
第２のプレート６０は、図１に示すように、第１のプレート４０に対向する平板状の部材である。第２のプレート６０は、真空チャンバ２０内に配置されている。第２のプレート６０は、緩衝部材５１に支持された第１のワークＷ１に対向する位置に、第２のワークＷ２を保持する保持部６１を有する。保持部６１としては、粘着チャックを用いる。なお、静電チャック、メカチャック等、他の保持手段も適用可能である。複数の種類のチャックを併用することも可能である。なお、保持部６１は、伸縮可能に又は第２のプレート６０に進退可能に設けられている。図１では、保持部６１は、第２のプレート６０の下面から突出して示されているが、ワークＷ２を押し付けると、第２のプレート６０の下面と同一平面となる位置まで、保持部６１は収縮又は引っ込む（図６参照）。
【００３３】
第２のプレート６０には、駆動機構６２が接続されている。この駆動機構６２は、第２のプレート６０を支持するアーム６２ａと、このアーム６２ａを昇降させる図示しないシリンダを有する。第２のプレート６０は、駆動機構６２によって、第１のプレート４０に接離する方向に駆動される。なお、駆動機構６２による第２のプレート６０の移動は、真空チャンバ２０とは独立している。第１のプレート４０と第２のプレート６０との周囲の貼り合わせ空間は、上記のように、ステージ１０と真空チャンバ２０に覆われる真空室となる。
【００３４】
［動作］
以上のような構成を有する真空貼合装置の動作例を、図１〜３に加え、図４〜図９を参照して説明する。
【００３５】
まず、第２のワークＷ２と、前工程で接着剤Ｒが塗布された第１のワークＷ１は、搬送手段により搬送され、不図示のピックアップ手段によって真空貼合装置に搬入される。これにより、図４に示すように、第１のワークＷ１は、第１のプレート４０の緩衝部材５１に支持される。第２のワークＷ２は、第２のプレート６０の保持部６１に保持される。なお、図示しない検出装置によって検出された第１のワークＷ１、第２のワークＷ２とのずれを修正するように、駆動機構４１が第１のワークＷ１を駆動する。
【００３６】
次に、図５に示すように、真空チャンバ２０が移動してステージ１０に接することにより、第１のワークＷ１及び第２のワークＷ２の周囲が密閉された真空室を形成する。そして、真空ポンプ３２が作動してバルブ３３が開き、真空室内の排気による減圧が開始する。
【００３７】
真空引き完了後は、図６に示すように、第２のプレート６０が第１のプレート４０に向かって下降し、第２のプレート６０の保持部６１に保持されている第２のワークＷ２を、第１のプレート４０の緩衝部材５１に支持されている第１のワークＷ１に押し付ける。このように、第２のプレート６０が第２のワークＷ２を第１のワークＷ１に押圧することによって、第２のワークＷ２と第１のワークＷ１とが接着剤Ｒを介して貼り合わされる。
【００３８】
その後、バルブ３３を閉じて真空ポンプ３２を停止し、図７に示すように、排気路の開放等により真空破壊が行われた後、真空チャンバ２０が上昇することにより、貼り合わされた第２のワークＷ２と第１のワークＷ１とは大気開放される。このように貼り合わされた第２のワークＷ２と第１のワークＷ１により、表示装置用部材が構成される。この表示装置用部材を、以下、積層体と呼ぶ。積層体は真空貼合装置から搬出され、搬送装置により搬送され、ピックアップ手段によって、硬化装置へ搬入されて、接着剤Ｒが硬化される。
【００３９】
（試験結果）
本実施形態に対応する緩衝部材として、アスカーＣ１５、Ｃ２２、Ｃ３５のシリコーンスポンジゴムを用いた実施例１、２、３について、貼り合わせ後の接着剤におけるボイドの発生状態を計測した結果を説明する。
【００４０】
試験条件は以下の通りである。
・第１のワーク、第２のワーク…（材質）ガラス、（形状）長方形、（大きさ）１００×２００（ｍｍ）、（厚さ）１．０ｍｍ
・貼合せ時雰囲気…真空
・接着剤…粘度３０００ｍＰａ・ｓの紫外線（ＵＶ）硬化樹脂
・接着層（接着領域）…約１００×２００（ｍｍ）
・接着剤厚み…２００μｍ
・貼り合わせギャップ…０．０７μｍ
・封止層及び貼付層…ＵＶ硬化＋熱硬化樹脂
【００４１】
上記の条件で、貼り合わせ前に接着剤を仮硬化させずに貼り合わせを行った試験を第１の試験、貼り合せ前に接着剤を仮硬化させてから貼り合わせを行った試験を第２の試験とする。仮硬化とは、接着剤を完全な硬化には至らない程度に硬化させることをいう。仮硬化状態の接着時は、表面又は内部に未硬化の部分が存在し、粘着性又は柔軟性が維持されている。仮硬化は、照射するエネルギーの強度や位置を調節することにより行うことができる。
【００４２】
まず、第１の試験において、貼り合わせ直後に接着剤に発生したボイドのサイズ（直径）を記録した。すると、実施例３では、一部に３００μｍを超えるサイズのボイドが発生したが、実施例１では、ボイドが発生しないか、発生しても５０μｍ以下であった。また、実施例２では、ボイドが発生しないか、発生しても１００μｍ以下であった。３００μｍを超えるサイズのボイドは、加圧・加熱雰囲気中に所定時間放置する、所謂、オートクレーブによる処理を行っても、消失させることができなかった。つまり、接着剤の仮硬化をしない場合、アスカーＣ３５のシリコーンスポンジゴムでは、製品にボイドが残存する可能性がある。一方、１００μｍ以下のサイズのボイドであれば、オートクレーブによって消失させることができた。つまり、接着剤の仮硬化をしない場合、アスカーＣ１５、Ｃ２２のシリコーンスポンジゴムを用いると、ボイドが発生しないか、発生したボイドをオートクレーブによって消失させることができる。
【００４３】
次に、第２の試験においては、実施例１では、一部に３００μｍを超えるサイズのボイドが発生したが、実施例３では、ボイドが発生しないか、発生しても５０μｍ以下であった。また、実施例２では、ボイドが発生しないか、発生しても１００μｍ以下であった。これは、接着剤を仮硬化させた場合、未硬化の場合よりも、貼着時の接着剤が硬くなるため、硬度が低いアスカーＣ１５のシリコーンスポンジゴムでは、押し付け力が十分に掛り難いため、ボイドが発生しやすくなるためと考えられる。一方、アスカーＣ２２、Ｃ３５のシリコーンスポンジゴムであれば、仮硬化した接着剤に対して、押し付け力を与えることができるので、ボイドが発生しないか、オートクレーブで消失できるボイドのみが残存していると考えられる。
【００４４】
このように、条件によって、好ましいシリコーンスポンジゴムの硬度の範囲は異なってくる。そして、アスカーＣ３５は、仮硬化をしない場合には有効な範囲外となる一方、仮硬化をした場合には有効な範囲内となることから、アスカーＣ３５は、有効な硬度の一方の境界となり得る。アスカーＣ１５は、仮硬化をした場合には有効な範囲外となる一方、仮硬化をしない場合には有効な範囲内となることから、アスカーＣ１５は、有効な硬度の他方の境界となり得る。アスカーＣ３５とＣ１５の間のＣ２２では、仮硬化の有無にかかわらず、有効な範囲内となる。したがって、有効な硬度の範囲として、Ｃ１５〜Ｃ３５とすることが好ましい。
【００４５】
以上のような第１の試験と、第２の試験の結果として、ボイドが発生しないか消失する場合を〇、消失しないボイドが残存する場合を×とした表を、以下に示す。
【表１】
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【００４６】
さらに、貼り合わせ直後の実施例１と実施例３における、面厚分布をタクタイルセンサで測定した。実施例３の測定箇所は、図８（Ａ）に示すように、積層体のボイドＮの発生個所を通る長辺方向のラインα−α’である。ラインα−α’は、厚さ方向の高低差が１４０．６μｍあり、ボイドＮの発生個所は、最も低い箇所の近傍であった。また、面全体の高低差は、１７８．６μｍであった。これは、緩衝部材が硬いために接着剤の凹凸に倣って、全体を均一に押すことができないため、塗布時の面厚分布が維持されてしまう部分が生じてしまい、押されていない部分にボイドＮが発生していることを意味している。
【００４７】
一方、実施例１の測定箇所は、図８（Ｂ）に示すように、積層体の長辺方向のラインβ−β’である。ラインβ−β’は、厚さ方向の高低差が１１２．８μｍであった。また、面全体の高低差は、４５９．２μｍであった。これは、面全体に高さのばらつきがあっても、緩衝部材が軟らかいために、弱い力で押しても接着剤の凹凸に倣い、全体を均一に押すことができるため、圧力のかかり具合の分布が均一となり、押されていない部分がなくなって、ボイドが発生していないことを意味している。このような傾向は、実施例３において、ボイドＮが発生していない箇所のラインで測定しても、同様である。
【００４８】
また、段落００１０で説明したように、発泡性の合成樹脂である緩衝部材を両面テープにより第１のプレート４０に貼り付けたものを、緩衝部材として貼り合せを行った比較例と、実施例３について、真空貼合と大気開放を繰り返して行った。すると、比較例は、１００回程度の真空貼合と大気開放の繰り返しで、緩衝部材に剥がれが生じた。一方、実施例３では、２４時間連続で４０日間、真空貼合と大気開放を繰り返しても、緩衝部材の剥離は認められなかった。回数に換算すると、概ね５万回の繰り返しに耐え得ると言える。このように、実施例では、繰り返し使用可能な回数が飛躍的に増大し、耐久性の向上が可能となる。
【００４９】
［作用効果］
（１）本実施形態は、真空中で、第１のプレート４０及び第２のプレート６０によって第１のワークＷ１及び第２のワークＷ２を挟み、第１のワークＷ１及び第２のワークＷ２の平坦な面を、接着剤Ｒを介して貼り合わせる真空貼合装置であって、独立気泡構造体で硬度がアスカーＣ１５〜３５のシリコーンスポンジゴムからなり、第１のワークＷ１を支持する平面である支持面５１ａを有する緩衝部材５１と、緩衝部材５１の支持面５１ａと反対側の平面である固定面５１ｂに設けられ、固定面５１ｂの孔５１ｄを封止して平坦化した封止層５２と、封止層５２を第１のプレート４０に貼り付ける粘着性を有する貼付層５３と、を有する。
【００５０】
このように、比較的柔らかい、より具体的には、上記のような構造且つ硬度を有する緩衝部材５１によって貼り合わせるため、接着剤Ｒのうねりに倣って緩衝部材５１が変形することにより、接着剤Ｒの全体が押圧されるので、ボイドが押圧されて消失する。これにより真空泡の残留が防止される。また、緩衝部材５１の固定面の孔５１ｄは封止層５２により封止されているので、貼付部５３との間に膨らみやずれが生じ難く、繰り返しの使用に耐える耐久性が向上する。
【００５１】
（２）封止層５２は、固定面５１ｂを覆い、固定面５１ｂとの接触面が硬化した合成樹脂により形成されている。
【００５２】
このように、孔５１ｄを封止する封止層５２が硬化しているので、周囲の気圧の変化の影響を受け難く、耐久性が増す。
【００５３】
（３）貼付層５３は、封止層５２を形成する合成樹脂の固定面５１ｂとは反対側に設けられた粘着層５３ａと、粘着部材５３ｂとを含む。
【００５４】
このように、合成樹脂の一方の面を封止層５２、他方の面を貼付層５３の粘着層５３ａとするので、封止層５２と貼付層５３とのずれや剥がれが生じることがない。また、貼付層５３は、粘着層５３ａと粘着部材５３ｂ同士を貼り合わせるので、気泡が混入し難く、より強力に密着するので、剥がれが生じ難い。
【００５５】
［他の実施形態］
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではない。
（１）上記と同様の構成の支持部を、真空貼合装置に着脱可能に設けた真空貼合用治具を構成してもよい。この真空貼合用治具は、図９に示すように、真空中で貼り合わされる第１のワークＷ１と第２のワークＷ２のうち、第１のワークＷ１を支持する平面である支持面５１ａを有し、独立気泡構造体のアスカーＣ１５〜３５のシリコーンスポンジゴムからなる緩衝部材５１と、真空貼合装置に着脱可能な基台７０と、緩衝部材５１の支持面５１ａとは反対側の平面である固定面５１ｂに設けられ、固定面５１ｂの孔を封止して平坦化した封止層５２と、封止層５２を基台７０に貼り付ける粘着性を有する貼付層５３と、を有する。
【００５６】
基台７０は、真空貼合装置の第１のプレート４０に着脱される平板である。基台７０の四隅部には、ボルト８０を挿入する通し穴７０ａが形成され、第１のプレート４０の四隅部における通し穴７０ａとの対応位置には、ねじ穴４０ａが形成されている。この通し穴７０ａとねじ穴４０ａとを合わせて、ボルト８０の軸をねじ込むことにより、基台７０を第１のプレート４０に固定する。
【００５７】
このような実施形態によれば、種々の緩衝部材５１を用いた真空貼合装置用治具を用意しておき、貼り合せる第１のワークＷ１、第２のワークＷ２の種類、大きさ、厚み、接着剤Ｒの種類、粘度等に応じて交換することにより、それぞれボイドの残留のない良好な貼り合せを実現できる。交換の際に、緩衝部材５１を剥がす作業が不要なので、緩衝部材５１の変形を防止できる。なお、真空貼合装置用治具を着脱可能とする構成は、ねじ止めには限定されない。磁石による吸着やクランパによる把持等、着脱自在な種々の締結手段を用いることができる。
【００５８】
（３）真空貼合装置は、第１のワークＷ１又は第２のワークＷ２に接着剤Ｒを塗布する接着剤塗布装置、第１のワークＷ１又は第２のワークＷ２を貼り合せた後に、接着剤Ｒを硬化させる硬化装置を有する表示装置用部材の製造装置を構成することもできる。つまり、本発明の真空貼合装置及び真空貼合装置用治具は、第１のワークＷ１又は第２のワークＷ２を貼り合わせた製品を製造するための装置に組み込まれている態様も含む。
【００５９】
（４）粘着部材５３ｂとしては、粘着性のある合成樹脂を使用しても、上記と同様に、粘着層５３ａと粘着部材５３ｂ同士を貼り合わせる効果が得られる。また、粘着部材５３ｂを用いずに、貼付層５３を粘着層５３ａのみにより構成することもできる。つまり、合成樹脂の粘着層５３ａの粘着性のある面を利用して、第１のプレート４０又は基台７０に貼り付けてもよい。このような態様では、封止層５２の固定面５１ｂに面する側とは反対側を粘着層５３ａとして、その表面を貼り付けてもよい。この場合、粘着層５３ａの粘着力は粘着部材５３ｂの粘着力よりも弱く設定されていることから、貼り付け作業が容易となる。また、貼付層５３を粘着部材５３ｂのみによって構成することもできる。つまり、封止層５２の表面が粘着性を維持している必要はない。
【００６０】
（５）以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。
【符号の説明】
【００６１】
１０  ステージ
２０  真空チャンバ
３０  減圧部
３１  配管
３２  真空ポンプ
３３  バルブ
４０  第１のプレート
４０ａ  ねじ穴
４１  駆動機構
５０  支持部
５１  緩衝部材
５１ａ  支持面
５１ｂ  固定面
５１ｃ  気泡
５１ｄ  孔
５２  封止層
５３  貼付層
５３ａ  粘着層
５３ｂ  粘着部材
６０  第２のプレート
６１  保持部
６２  駆動機構
６２ａ  アーム
７０  基台
７０ａ  通し穴
Ｎ  ボイド
Ｒ  接着剤
Ｗ１  第１のワーク
Ｗ２  第２のワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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