(57)【要約】      （修正有）【課題】スリットを設けたらせん状の搬送トラックにおいてワークを効率よく搬送することが可能であり、さらには、ワークが搬送トラックから脱線するといった不具合にも対処し得る、従来にはない搬送装置を提供する。【解決手段】弾性変形可能な搬送トラックを有する搬送部と、搬送部に進行波を発生させる進行波発生手段と、搬送トラックと交差するように形成されるスリットと、を備え、進行波発生手段が発生させた進行波により搬送トラック上のワークＷを搬送するワークＷ搬送装置であって、搬送部は、逆円錐状のフィーダ本体４に設けられ、フィーダ本体４内部に形成される搬送トラックはらせん状であり、らせん軌跡の始点を円周上に有する仮想円を搬送トラック内側に形成し、スリットが仮想円に接するように形成した。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性変形可能な搬送トラックを有する搬送部と、当該搬送部に進行波を発生させる進行波発生手段と、前記搬送トラックと交差するように形成されるスリットと、を備え、前記進行波発生手段が発生させた進行波により前記搬送トラック上のワークＷを搬送するワーク搬送装置であって、前記搬送部は、逆円錐状のフィーダ本体に設けられ、該フィーダ本体内部に形成される前記搬送トラックはらせん状であり、該らせん軌跡の始点を円周上に有する仮想円を前記搬送トラック内側に形成し、前記スリットが前記仮想円に接するように形成されていることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記スリットの形成方向と前記ワークの搬送方向が直交するように、前記スリットが形成されていることを特徴とする請求項1記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記ワークの搬送方向が前記スリットの直交方向よりも前記搬送トラックの内周側を向くように前記搬送トラックが形成されていることを特徴とする請求項1記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記スリットは前記ワークの搬送方向に沿って等間隔で複数形成されており、前記搬送トラックと前記スリットがなす角度は互いに同一であることを特徴とする請求項１乃至４記載のワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、進行波を発生させることによりワークを搬送するワーク搬送装置に係り、特に、らせん状の搬送トラックにおいてワークを効率よく安定搬送し得るワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品等のワークを搬送するパーツフィーダにおいて、搬送トラックを弾性変形させて生じる進行波を利用してワークを搬送する技術がある（例えば特許文献１）。特許文献１には、駆動部の周波数を超音波領域とし、リング状または円板状の振動体（搬送面）上の各質点が楕円軌道を描くように運動することで、振動体の表面に進行する進行波を生成してワークを搬送させるものであり、振動面半周に複数のスリットを設けるパーツフィーダが開示されている。
【０００３】
このように複数スリットを設けることにより、振動体の中立軸から振動面までの距離がスリットを設けない場合と比べて大きくなり、搬送トラックにおける楕円振動の水平振幅が大きくなることでワークの搬送速度を上げることができる。なお、特許文献１には、振動面半周にメタルソーで直径方向に切込みを入れる記載があるだけで、搬送トラックに対して切込み（スリット）を具体的にどのように設けるかとした内容は何ら開示されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−１２７６５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本出願人は、内周部から外周部に向かって徐々に広がりを有する逆円錐状のフィーダ本体内部に、らせん状の搬送トラックが形成されるボウルフィーダに対し、特許文献１に基づきボウルの直径方向、すなわち、単にフィーダ本体の中心を通るようなスリットを設ける構成では、解決できない新たな課題があることを見出した。
【０００６】
まず第１に、ワークの搬送方向とワークに作用する搬送力の方向が一致せず、効率よく搬送できない場合がある。ここで述べるワークに作用する搬送力の方向とは、進行波を生成する楕円振動の水平振幅の方向を指す。
【０００７】
例えば、特開２０１７−０４３４３１のように、直線状の搬送トラックに対してスリットを設ける場合、楕円振動の水平振幅の方向がワークの搬送方向と一致するため、効率よく搬送することができる。
【０００８】
しかし、上述のようならせん状の搬送トラックを有するボウルフィーダに対し、フィーダ本体の中心を通るスリットを設けても、搬送トラックがらせん状であり、かつフィーダ本体内部が内周部から外周部に向かって徐々に広がりを有しているため、楕円振動の水平振幅の方向がワークの搬送方向と一致せず、ワークを効率よく搬送することが出来ない。
【０００９】
第２に、搬送トラック上から脱落するように、フィーダ本体内部へ落ち込む力がワークに作用するため、搬送効率低下を招来する。
【００１０】
例えば、図１４（ａ）及び（ｂ）に示すようなボウルフィーダＢは、フィーダ本体４の中央部４１を固定して、搬送部１をたわみ振動させるので、フィーダ本体４の外周側から内周側に向かう径方向の力Ｆ１がワークＷに作用する。この作用により、ワークＷが搬送トラック１１上から脱線して、フィーダ本体４内周側へ脱落しやすい。
【００１１】
また、上述のボウルフィーダＢはフィーダ本体４の中央部４１を固定するので、図１４（ｂ）に示すように、フィーダ本体４内周側より外周側の進行波の振幅は大きくなる。この振幅差によっても、ワークＷが搬送トラック１１から外れてフィーダ本体４内周側へ脱落するようなことが生じやすい。
【００１２】
さらに、図１５に示すように、フィーダ本体４内部に形成される搬送トラック１１上の一部、具体的には搬送トラック１１の内側１１１と外側１１２でも上述と同様の振幅差が生じる。ここで述べる「搬送トラック１１の内側１１１と外側１１２」とは、フィーダ本体４の中央部４１に近い側を「搬送トラック１１の内側１１１」とし、フィーダ本体４中心部から径方向に離れる側を「搬送トラック１１の外側１１２」としている。
【００１３】
また図１５において、ワークＷは紙面手前から奥に向かって搬送トラック１１上を搬送される。図１５に示すように、ワークＷには搬送面１２から搬送トラック１１の内側１１１の振幅Ａ１と外側１１２の振幅Ａ２に応じた反力Ｎ１、Ｎ２が生じる。この反力Ｎ１及びＮ２の差によって、搬送トラック１１の外側１１２から内側１１１へ向かう力Ｆ１’がワークＷに作用することで、ワークＷが搬送トラック１１から外れてフィーダ本体４内周側へ脱落するようなことが起こりうる。
【００１４】
上述のボウルフィーダＢは一例として、フィーダ本体４の中央部４１を固定する態様を示したが、例えば、フィーダ本体４の外周側を固定する場合においても、搬送トラック４の内側１１１と外側１１２の振幅の大小関係が変わるだけで、同様の課題が生じる。
【００１５】
こうしたボウルフィーダＢに対して、図１６に示すように、フィーダ本体４の中心Ｃ１を通るようにフィーダ本体４の直径方向にスリット３を設ける場合には、ワークＷに作用する楕円振動の水平成分の力Ｆの方向が、フィーダ本体４内周部へ向かっているため、前述の作用に加えて、ワークＷには搬送トラック１１から外れてフィーダ本体４内周側へ脱落するような力が作用しやすい。
【００１６】
本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、らせん状の搬送トラックを有するボウルフィーダにおいてワークを効率よく搬送することが可能な、従来にはない搬送装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成するために、本発明のワーク搬送装置は、弾性変形可能な搬送トラックを有する搬送部と、当該搬送部に進行波を発生させる進行波発生手段と、搬送トラックと交差するように形成されるスリットと、を備え、進行波発生手段が発生させた進行波により搬送トラック上のワークを搬送するワーク搬送装置であって、搬送部は、逆円錐状のボウル状のフィーダ本体に設けられ、該ボウル状のフィーダ本体内部に形成される搬送トラックはらせん状であり、該らせん軌跡の始点を円周上に有し仮想円を搬送トラック内側に形成し、スリットが仮想円に接するように形成されていること特徴としている。
【００１８】
このような構成により、らせん状の搬送トラックと交差するスリットの形成方向を搬送状態に応じて所望の方向に設定することができるため、搬送効率を向上させるという効果を奏する。
【００１９】
そして、上記の場合において、スリットの形成方向とワークの搬送方向が直交するように、スリットが形成されていることが望ましい。
【００２０】
このような構成であると、楕円振動の水平成分の方向がワークの搬送方向と一致するため、ワークの搬送速度を十分に上げる効果を得ることができる。
【００２１】
さらには、ワークの搬送方向がスリットの直交方向よりも搬送トラックの内周側を向くように搬送トラックが形成されていることが望ましい。
【００２２】
このような構成であると、搬送トラックの内側と外側で振幅差や速度差が生じる場合に、ワークに作用する搬送トラックの内側に脱落する力に対して、搬送トラック外側に向かう楕円振動の水平振幅による摩擦力が作用するため、ワークが搬送トラックから脱落するといった問題を解消することができる。
【００２３】
そして、上記の場合において、スリットはワークの搬送方向に沿って等間隔で複数形成されており、搬送トラックとスリットがなす角度は互いに同一であることが望ましい。
【００２４】
このような構成であると、複数のスリットを設けた搬送トラック上の各部位においてワークの搬送速度のアンバランスが抑制されるため、ワークの安定した搬送が実現される。
【発明の効果】
【００２５】
以上、説明した本発明によれば、ワークを効率よく搬送することができ、さらには、ワークが搬送トラックから脱線することを防止した搬送装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施形態に係るワーク搬送装置であるボウルフィーダを示す斜視図。
【図２】図１に示すボウルフィーダを一部破断して示す斜視図。
【図３】同ボウルフィーダに備わる搬送部の模式的な図。
【図４】同搬送部に進行波を発生させるための圧電素子の構造を示す図。
【図５】スリットがない搬送部に進行波が発生する状態を説明するための図。
【図６】スリットがない搬送部に進行波が発生する状態を説明するための図。
【図７】同実施形態における中立軸と搬送面との関係を説明するための図。
【図８】スリットを設けた搬送部に進行波が発生する状態を説明するための図。
【図９】らせんトラックに対してスリットの形成方向が直交する関係を表す平面図。
【図１０】らせんトラックの内側と外側において振幅差がある場合に、らせんトラック内側に向けて作用する力と楕円振動の水平成分による摩擦力の関係を説明するための図。
【図１１】らせんトラックに対してスリットを等間隔する状態を説明するための図。
【図１２】ワークに作用する遠心力が大きくなった場合に、ワークに対して作用するらせんトラック外側へ向かう力を説明するための図。
【図１３】本発明のスリットの変形例を示す図。
【図１４】従来のボウルフィーダの構造を示す図。（ａ）斜視図、（ｂ）Ａ−Ａ断面
【図１５】図１４の部分拡大図
【図１６】従来のスリットと搬送トラックの関係を説明するための部分拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２８】
本実施形態に係るワーク搬送装置Ｘは、図１に示すように、電子部品等のワークＷを搬送トラック１１上において振動により移動させながら所定の搬送先に搬送するボウルフィーダＢと、このボウルフィーダＢに近接配置され、ボウルフィーダＢでらせん状に登坂されて搬送されるワークＷが受け渡されるリニアフィーダＬとから構成されている。図１乃至図４に示すように、本実施形態に係るワーク搬送装置ＸにおけるボウルフィーダＢは、ワークＷを収容可能なフィーダ本体４と、このフィーダ本体４の搬送部１に進行波を発生させる進行波発生手段２を含んで構成される。搬送部１はたわみ進行波を生成する弾性部材で構成されており、図１４等に示すように、進行波発生手段２は圧電素子５１を用いた駆動手段５によって搬送部１にたわみ変形を引き起こす。
【００２９】
図２に示すようにフィーダ本体４は、平坦な中央部４１と、この中央部から外周に向かって下り勾配で傾斜する円錐部４２と、この円錐部４２の外周側より外周に向かって登り勾配で傾斜する逆円錐部４３と、円錐部４２から逆円錐部４３までの間に形成された平坦なワーク溜まり部４４と、逆円錐部４３の外側に位置する外縁部４５とを、底面４６の位置を揃えて一体に設けたもので、中央部が押え板４７を介して止着具４８により支持基部である台座４９に固定され、中央部以外の部位が接地面６から浮いた状態に設けられている。このフィーダ本体４は、中心線ｍの回りに少なくとも２つ以上の上下方向のたわみ波を発生させることが可能な程度の弾性を有する部材で構成されている。
【００３０】
そして、図２および図３に示すように、搬送部１に搬送トラック１１の一形態であるらせんトラック１１を形成している。このらせんトラック１１は、一端１１ａがワーク溜まり部４４の外周に接続され、そこかららせん状に１回以上周回して他端１１ｂにまで延び、外縁部４５に設けた出口１１ｚに連なるようにフィーダ本体４の表面に溝を凹設することによって構成されている。出口１１ｚはワークＷが滑り落ちるように傾斜がつけてある。
【００３１】
図３に示すように、進行波発生手段２を構成する圧電素子５１を用いた駆動手段５は、図２に示すらせんトラック１１が形成された逆円錐部４３から外縁部４５に亘る部分の底面４６に張り付けられている。駆動手段５は、らせんトラック１１にほぼ沿う形で中心線ｍの周方向に伸縮することで搬送部１にたわみを発生させる。複数の駆動手段５は、図４に示すように、振動モードの腹の位置に１／２波長間隔で極性を交互に入れ替えて張り付けられている。また駆動手段５は、周波数を同じにしつつ、空間的に波の位相が９０°ずれた２つのたわみ定在波モードで効率良く加振するために、加振する領域のうちフィーダ本体４の略半周を第１加振領域Ａ、残り略半周を第２加振領域Ｂとして、第１加振領域Ａと第２加振領域Ｂに駆動手段５を、進行波の波長の３／４波長分だけ空間的位相をずらして貼り付ける。これとともに、２相交流信号発信部２１で発生させた９０°位相の異なる交流信号を第１のアンプ２２ａおよび第２のアンプ２２ｂを介して第１加振領域Ａおよび第２加振領域Ｂの各駆動手段５に印加している。
【００３２】
また、図４に示す２相交流信号発信部２１は、波形選択部２１ａで選択された波形の周波数を加振周波数調整手段２１ｂで調整し、第１の振幅調整手段２１ｃで振幅調整した後に第１のアンプ２２ａに、また電気的位相調整手段２１ｄで位相を調整した上で第２の振幅調整手段２１ｅ振幅調整した後に第２のアンプ２２ｂに、それぞれ入力している。なお、定在波とは、共振するとその場で単に上下に振動するものである。
【００３３】
このような駆動手段５により、搬送部１に、周方向に沿って２箇所に時間的に位相を９０°ずらした超音波の正弦波振動を与えると、空間的かつ時間的に９０°ずれた２つの定在波が重ね合わされ、搬送部１自体が共振して弾性変形し、たわみ振動が進行波となる。進行波が発生した搬送部１の一点Ｚでは、図５に示すように、起算点ｔ＝０からｔ＝３／４Ｔを経て楕円振動が生じる。また、搬送部１に生成された進行波によって、波の頂点の一点ＺでワークＷに力が働き、ワークＷと搬送部１との間に図６に示すように摩擦力ｅが発生することで、楕円振動の水平成分（水平振幅）の推進力により、進行波の進む方向（図６に示す矢符ｄ）と逆方向（図６に示す矢符ｃ）にワークＷが搬送される。搬送部１でこのようなたわみ波の進行波が循環することで、ワークＷはらせんトラック１１を登坂する。
【００３４】
このように搬送部１をたわみ振動させるので、前述のようにフィーダ本体４の中央部を固定しても搬送部１のたわみ振動モードに影響を与えず、進行波が得られる。なお、第１の加振領域Ａと第２の加振領域Ｂとで駆動手段５に与える正弦波の位相差を反転させることで（時間位相を反転（−９０°））、逆方向にワークＷを搬送させることができ、外縁部４５からワーク溜まり部４４に向かってワークＷを搬送したい事情がある場合に有効となる。進行波を発生させる構成は上記のものに限定されず、従来既知の技術である両端加振方式により進行波を発生させてもよい。
【００３５】
上記のように生成された進行波によってワークＷを搬送する場合、搬送部１に生じる楕円振動（図５参照）の垂直成分を抑えつつ水平成分を大きくすることが望ましい。このように、楕円振動の垂直成分が小さいほどワークＷの跳躍が抑えられ、楕円振動の水平成分が大きいほどワークＷの搬送速度が上がることで、ワークＷの供給効率が向上する。すなわち、楕円振動の水平振幅／垂直振幅比が大きいか小さいかで、ワークＷ搬送の速度や跳躍の程度が決まってくる。
【００３６】
そこで、垂直振幅を抑えつつ水平振幅を大きくするために、図７に示す搬送部１の中立軸Ｎから搬送部１の表面である搬送面１２までの距離Ｅを大きくすることを考える。中立軸Ｎは、基本的には厚みの中心に位置するが、図７に示すようにスリット３を入れると中立軸Ｎが下に位置するため、中立軸Ｎから搬送面１２までの距離Ｅを大きくすることができる。
【００３７】
スリット３を設けた場合の進行波の挙動を図８に示す。図８に示したように、ワーク搬送面１２にスリット３が形成されていない場合は中立軸Ｎが搬送部１の厚み方向中央に位置するが、図７に示すようにワーク搬送面１２にスリット３が形成されることで中立軸Ｎが下がるので、進行波によりワーク搬送面１２に発生する水平成分（水平振幅）が垂直成分に比して大きくなり、ワークＷの跳躍を抑えつつ、ワークＷにかかる水平方向の推進力ひいては速度が増大する。
【００３８】
しかし、らせんトラック１１を有するボウルフィーダＢに対して、単にスリット３をボウルの直径方向に設ける構成では、前述したような第１及び第２の課題が存在する。
【００３９】
そこで、第１の課題に対する解決手段として、本実施形態のスリット３は図９に示すように、らせんトラック１１のらせん軌跡の始点を円周上に有する仮想円Ｃ’をらせんトラック１１の内側に形成し、スリット３が仮想円Ｃ’に接する、すなわち仮想円Ｃ’の接線となるように形成される。
【００４０】
ここで述べる仮想円Ｃ’とは、図９で示されるように、半径ａを有する円の中心がフィーダ本体４の中心と一致するように形成される。この仮想円Ｃ’の円周上の１点をらせん軌跡の始点として、らせんトラック１１が搬送部１に形成される。
【００４１】
上述のように、本実施形態に係るボウルフィーダＢは、内周側から外周側に向かって逆円錐状、換言すると、外周側に向かうにつれて径が変化するすり鉢状のフィーダ本体４の内部に、らせん軌跡を描くようにらせんトラック１１を形成している。このらせんトラック１１上でワークＷを効率よく搬送するためには、ワークＷの搬送状態やらせんトラック１１のらせん軌跡に応じてスリット３の形成方向を所望の方向に設定できることが望ましい。
【００４２】
例えば、進行波を生成する楕円振動の水平成分ＦをワークＷの搬送方向Ｄに一致させることで、搬送力を最大限ワークＷに作用させることができる。ここで述べる「楕円振動の水平成分Ｆ」は、スリット３の形成方向と直交する方向に最も作用する。そのため、ワークＷの搬送方向Ｄとスリット３の形成方向が直交するようにスリット３を形成することで、ワークＷを効率よく搬送することが可能となる。
【００４３】
しかし、図１６で示すように、単にフィーダ本体４の中心Ｃ１を通るようにフィーダ本体４の直径方向にスリット３を形成する場合には、ワークＷの搬送方向Ｄとスリット３の形成方向が直交しない場合がある。フィーダ本体４の直径方向に形成されるスリット３の直交方向は、フィーダ本体４の中心を中心とする円Ｃの接線方向となる。よって、円Ｃの軌跡と搬送トラック１１のらせん軌跡が一致することで効率よくワークＷを搬送することができるが、らせんトラック１１のらせん軌跡は外周側に向かって径が変化するため、円Ｃの軌跡とは一致しない。すなわち、上述のようなスリット３を形成することでは課題を解決することができない。
【００４４】
本実施形態に係るスリット３は、図９に示すように、フィーダ本体４の中心Ｃ１を中心とする円Ｃ’の接線となるようにスリット３が形成される。そのため、らせんトラック１１のらせん軌跡に応じてらせんトラック１１の方向、つまりワークの搬送方向Ｄとスリット３の形成方向が直交するように設定することができる。こうした構成により、ワークＷの搬送方向ＤとワークＷに作用する搬送力の方向が一致するので、効率よい搬送が実現される。
【００４５】
次に第２の課題に対する解決手段として、ワークＷの搬送方向Ｄがスリット３の直交方向よりもらせんトラック１１の内周側を向くようにらせんトラック１１が形成されている。
【００４６】
前述したように、らせんトラック１１上を搬送するワークＷにはフィーダ本体４内部へ落ち込む力Ｆ２が作用するため、搬送効率低下を招来しやすい。そこで、図１０に示すように、ワークＷに作用する内部へ落ち込む力回転力Ｆ２とスリット３の形成方向と直交する方向の力Ｆとの合力Ｆ’の方向がワークＷの搬送方向Ｄと一致するように、仮想円Ｃ’の接線となるスリット３を形成する。換言すれば、ワークＷの搬送方向Ｄがスリット３の形成方向に直交する方向よりもらせんトラック１１の内周側を向くようにらせんトラック１１が形成される。
【００４７】
このように構成すれば、フィーダ本体４内部へ落ち込む力Ｆ２を抑制するように、スリット３の形成方向に直交する方向の力Ｆが作用するため、フィーダ本体４内部へ落ち込む力Ｆ２がワークＷに作用する場合においても、効率良い搬送が実現される。
【００４８】
さらに本実施形態に係るスリット３は、図１１に示すように、ワークＷの搬送方向Ｄに沿って等間隔で複数形成されており、らせんトラック１１とスリット３がなす角度は互いに同一であるように構成される。
【００４９】
前述のように、らせんトラック１１に対してフィーダ本体４の直径方向に複数のスリット３を設ける構成では、らせんトラック１１と複数のスリット３のなす角度が互いに異なるため、複数のスリット３を設けたらせんトラック１１上の搬送位置によってワークＷの搬送速度にバラツキ（搬送速度のアンバランス）が生じるので、進行波を用いた所望の搬送が実現されない可能性がある。
【００５０】
しかし、本実施形態においては、複数のスリット３がすべて同一の仮想円Ｃ’の接線となるようにし、かつ複数のスリット３の間隔を等しくすることで、搬送部１の機械的対称性が保持される（対称性を有する）。これにより、進行波の生成に影響を与えることがなく、ワークＷの安定した搬送が実現され、結果、ワークＷの搬送効率が向上する。
【００５１】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、上述した実施形態のみに限定されるものではない。
【００５２】
例えば、ワークＷの搬送速度によっては第２の課題とは別の理由で、ワークＷがらせんトラック１１上から脱線しやすくなるといったことが起こりうる。図１２に示すように、らせんトラック１１上を搬送されるワークＷの搬送速度が上がると、これに応じてワークＷに作用する遠心力Ｆ３が大きくなるために、フィーダ本体４外周側に向かう力Ｆ４がワークＷに作用し、らせんトラック１１上から脱線しやすくなる。
【００５３】
このような場合には、図１３に示すように、ワークＷの搬送方向Ｄがスリット３の直交方向よりもらせんトラック１１の外周側を向くようにらせんトラック１１を形成することが望ましい。つまり、ワークＷに対しらせんトラック１１の径方向外方に作用する遠心力Ｆ３を抑制するように、前述するようなスリット３の形成方向と直交する方向の力Ｆを作用させる。具体的には、図１２に示すように、ワークＷに作用する遠心力Ｆ３と、スリット３の形成方向と直交する方向の力Ｆとの合力Ｆ’’の方向がワークＷの搬送方向Ｄと一致するように、仮想円Ｃ’の接線となるスリット３を形成する。
【００５４】
このように構成することで、ワークＷに対しらせんトラック１１の内周側に向かう摩擦力Ｆが作用するため、ワークＷがらせんトラック１１上から脱線しやすいといった問題を解消することができる。
【００５５】
また、仮想円Ｃ’の大きさは、らせんトラック１１上を搬送されるワークＷの搬送状態に応じて、適宜設定することが可能である。
【００５６】
また、上記実施形態においては、らせんトラック１１に対して所定の関係（角度、間隔など）を満たすようにスリット３が形成されているが、逆に、この所定の関係を満たすように、スリット３に対してらせんトラック１１を形成しても良い。
【００５７】
その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００５８】
１    搬送部
２    進行波発生手段
３    スリット
４    フィーダ本体
５    駆動手段
１１    搬送トラック（らせんトラック）
１２    搬送面
４１    中央部
５１    圧電素子
１１１    搬送トラックの内側
１１２    搬送トラックの外側
Ｃ‘    仮想円
Ｆ    スリットの形成方向に直交する方向に作用する摩擦力
Ｆ’    摩擦力Ｆと回転力Ｆ２の合力
Ｆ’’    摩擦力Ｆと遠心力Ｆ３の合力
Ｆ１    フィーダ本体外周側から内周側へ作用する力
Ｆ１’    搬送トラックの外側から内側へ向かう力
Ｆ２    振幅差によって生じる力
Ａ１    搬送トラック内側の振幅
Ａ２    搬送トラック外側の振幅
Ｎ１    搬送トラック内側の反力
Ｎ２    搬送トラック外側の反力
Ｄ    ワークの搬送方向  
Ｗ    ワーク
Ｘ    ワーク搬送装置Ｘ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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