(57)【要約】      （修正有）【課題】矩形長穴状の送風開口を有する送風ノズルを、長手方向の一方の端部側で接続ダクトと接続し、そこから冷却風を供給してワークを冷却する場合に、ワーク全面の温度を均一にするように冷却することができる紫外線硬化装置を提供する。【解決手段】直管型のランプを光源として備え、ワークに紫外線を照射する照射器と、照射器の対向位置にワークが配置される照射ステージと、ワークを冷却する冷却機構と、を備え、冷却機構は、装置内外への冷却空気の吸排気を行うダクトと、ダクトにダクト接続部６４で接続される送風ノズルと、を備え、ダクト接続部６４は、照射器の長手方向の一端側に設けられ、送風ノズルは、照射器の脇にその長手方向に沿って延び、ワークに送風する送風開口７０を有し、送風開口７０に、開口幅を照射器の長手方向に沿って所定長さ毎に可変にする遮風板６９と、遮風板６９の下流に配置されるルーバー７３と、を備えた。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
直管型ランプを光源として備え、ワークに紫外線を照射する照射器と、前記照射器の対向位置に前記ワークが配置される照射ステージと、前記ワークを冷却する冷却機構と、を備え、
前記冷却機構は、装置内外への冷却空気の吸排気を行うダクトと、前記ダクトにダクト接続部で接続される送風ノズルと、を備え、
前記ダクト接続部は、前記照射器の長手方向の一端側に設けられ、
前記送風ノズルは、前記照射器の脇にその長手方向に沿って延び、前記ワークに送風する送風開口を有し、
前記送風開口に、開口幅を前記照射器の長手方向に沿って所定長さ毎に可変にする遮風板と、前記遮風板の下流に配置されるルーバーと、を備えた
ことを特徴とする紫外線硬化装置。
【請求項２】
前記ルーバーは、前記送風開口の長手方向に並べて設けられた複数の羽板を備え、前記羽板の角度が各々調整可能に構成されている特徴とする請求項１に記載の紫外線硬化装置。
【請求項３】
前記送風ノズルの吹出開口に送風ノズルの幅方向で送風角度を可変にする角度可変吹出ノズルを設けた
ことを特徴とする請求項１または２に記載の紫外線硬化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線硬化装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ：以下、ＬＣＤともいう。）は、対向配置された２枚の電極付き透明基板と、これら電極付き透明基板の間に挟まれた液晶と、を備える。これら２枚の電極付き透明基板は、その周囲がシール材でシールされており、シール材で囲まれた中に液晶が保持される。
【０００３】
また比較的大型の複数枚のＬＣＤを製造する方法として、液晶滴下工法（ＯＤＦ：Ｏｎｅ ｄｒｏｐ ｆｉｌｌ ｐｒｏｃｅｓｓ、以下、ＯＤＦともいう。）が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。ＯＤＦでは、複数枚のＬＣＤを切り出し可能な面積の２枚の電極付き透明基板が準備される。そして、先ず、一方の電極付き透明基板に、切り出し予定の各ＬＣＤの周囲を縁取ったシールパターンがシール材によって形成される。シール材には、一般に、紫外線硬化性の材料が用いられる。次いで、シール材が未硬化の状態において、この電極付き透明基板に液晶の微小滴が滴下塗布される。そして、この電極付き透明基板に他方の電極付き透明基板が重ね合わせられた後、２枚の透明基板と、紫外線を照射する照射器との間に、２枚の透明基板におけるシールパターンを除いた箇所への紫外線照射を遮光する遮光マスクが配置されて、シール材が、紫外線硬化装置によって硬化され、２枚の電極付き透明基板が貼り合わせられて、液晶が封止される。そして、貼り合わさった２枚の電極付き透明基板からＬＣＤが切り出される（例えば、特許文献２、及び特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−３３３１１０号公報
【特許文献２】特開２０１０−２０２８６号公報
【特許文献３】特開２００８−３３０５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
紫外線硬化装置は、一般に、紫外線を照射する照射器を備え、この照射器には、複数のロングアーク式ランプが並列に並べて収められており、重ね合った２枚の電極付き透明基板の全面が照射器によって均一に照射される。そして、紫外線硬化装置においては、ロングアーク式ランプのランプ表面温度を９００℃前後に維持しつつ、かつ、照射器、遮光マスク、及び、透明基板の熱保護を図る必要がある。このため装置の内部及び外回りには、これら部材の冷却、及びランプ表面の温度調整に用いる多数のファンや多数本の太いダクトが配置されている。
【０００６】
近年、ランプの高出力化、及び、遮光マスクや透明基板の大面積化が進んでいる。そこで、遮光マスクや透明基板から成るワークの広い範囲を効率よく熱処理を行わなければいけないという状況がある。しかしながら、装置の内部及び外回りに冷却機構を収めるためのスペースは限られている。そのため、ワークに冷却風を送るための送風ノズルと接続するダクト接続部を最適な位置に配置できない場合があり、その場合には、送風ノズルからワークの全面に均一に送風することができなくなるという課題があった。
【０００７】
そこで本発明は、矩形長穴状の送風開口を有する送風ノズルを、長手方向の一方の端部側で接続ダクトと接続し、そこから冷却風を供給してワークを冷却する場合に、ワーク全面の温度を均一にするように冷却することができる紫外線硬化装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、直管型ランプを光源として備え、ワークに紫外線を照射する照射器と、前記照射器の対向位置に前記ワークが配置される照射ステージと、前記ワークを冷却する冷却機構と、を備え、前記冷却機構は、装置内外への冷却空気の吸排気を行うダクトと、前記ダクトにダクト接続部で接続される送風ノズルと、を備え、前記ダクト接続部は、前記照射器の長手方向の一端側に設けられ、前記送風ノズルは、前記照射器の脇にその長手方向に沿って延び、前記ワークに送風する送風開口を有し、前記送風開口に、開口幅を前記照射器の長手方向に沿って所定長さ毎に可変にする遮風板と、前記遮風板の下流に配置されるルーバーと、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
また、上述の紫外線硬化装置において、前記ルーバーは、前記送風開口の長手方向に並べて設けられた複数の羽板を備え、前記羽板の角度が各々調整可能に構成されている特徴とする。
【００１０】
また、上述の紫外線硬化装置において、前記送風ノズルの吹出開口に送風ノズルの幅方向で送風角度を可変にする角度可変吹出ノズルを設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明では、送風開口に、開口幅を前記照射器の長手方向に沿って所定長さ毎に可変にする遮風板と、前記遮風板の下流に配置されるルーバーと、を備えるので、矩形長穴状の送風開口を有する送風ノズルを、長手方向の一方の端部側で接続ダクトと接続し、そこから冷却風を供給しても、遮光マスクや透明基板の全面の温度を均一にするように冷却することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係る紫外線硬化装置を示す図である。
【図２】紫外線硬化装置の構成を示す図である。
【図３】照射器と冷却ノズルの構成を示す図である。
【図４】送風ノズルの構成を示す図である。
【図５】送風ノズルの構成を示す分解示図である。
【図６】送風ノズルを正面側からみた図である。
【図７】図６のＡ部拡大図である。
【図８】送風ノズル内の冷却風の風速分布の例を示す図である。
【図９】本実施形態に係る送風ノズル内の冷却風の風速分布を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態に係る紫外線硬化装置１の内部を正面側から示す図である。図２は、紫外線硬化装置１の内部を側面側から示す図である。
図１及び図２に示すように、紫外線硬化装置１は、装置外装としての筐体３０内に複数の照射器７Ａ〜７Ｄ（本実施形態では、４つの）を内蔵している。紫外線硬化装置１は、上記ＯＤＦによるＬＣＤの製造において、照射領域たるワーク２の全域に良好な均斉度で照射器７Ａ〜７Ｄに備えられた紫外線ランプ１０から紫外線を照射してシール材を硬化させる処理を施すものである。
【００１４】
筐体３０内には、上述した照射器７Ａ〜７Ｄに加えて、制御ユニット操作部１５と、冷却機構６０と、照射ステージ１４と、マスクホルダー１３と、が備えられている。
図示は省略するが、筐体３０内には、ＣＰＵや各種メモリー等のハードウェアを備えた制御ユニットが設けられ、制御ユニットによって、制御プログラム等のソフトウェーが実行されて紫外線硬化装置１の各部が制御される。制御ユニット操作部１５は、例えば、照射器７Ａ〜７Ｄの点灯・消灯や、冷却機構６０の風量（後述するダンパー６８の開度）等の制御を行う際に、ユーザーによって操作される。
【００１５】
各照射器７Ａ〜７Ｄは、ケース１１内に、１本の紫外線ランプ１０と、紫外線ランプ１０の放射光を制御する反射体１２とを有している。紫外線ランプ１０には、直管型の高出力なランプが用いられている。なお、管長が長いロングアークのランプを紫外線ランプ１０に用いることでワーク２の大面積化を図ることが可能となる。紫外線ランプ１０は、紫外線硬化装置１の幅方向Ｗ（紫外線ランプ１０の軸線方向に直交する方向）に互いに略平行に複数並べて配置され、面状の照射領域を形成している。また、紫外線ランプ１０は、ワーク２の真上に並列に延在している。なお、図１、図２に示すように、以下の説明において、紫外線ランプ１０の軸線方向を紫外線硬化装置１の長さ方向Ｌとし、長さ方向Ｌに直交する紫外線硬化装置１の幅方向Ｗとしている。
【００１６】
ワーク２は、平面視矩形状に形成され、搬送ロボット等の搬送手段（不図示）によって装置内の照射ステージ１４に搬入、搬出可能に構成されている。照射ステージ１４は、昇降可能に構成され、載置されたワーク２を照射位置に基づいて上昇、下降させることができるように構成されている。
また、ワーク２は、図示は省略するが、上下に重ね合せられた液晶表示装置用の２枚の透明基板３と、これらの間に挟まれたシール材を備え、透明基板３の面上には、所定のパターンに沿って紫外線硬化性のシール材が塗られている。また、ワーク２は、シール材に紫外線を照射する際に、２枚の透明基板３におけるシールパターンを除いた箇所への紫外線照射を遮光するマスク５を備えている。マスク５は、照射器７Ａ〜７Ｄの下方に備えられたマスクホルダー１３によって保持されている。なお、マスクホルダー１３は、例えば吸着によってマスクを保持することができるように構成されている。
【００１７】
冷却機構６０は、筐体３０内への冷却空気の吸気を行うダクト６１と、前記ダクト６１にダクト接続部６４で接続される送風ノズル６３とを備えている。例えば、ダクト６１は筐体３０の外部でファンに接続され、当該ファンの動作によってダクト６１内に冷却空気が導入される構成とすることができる。冷却機構６０は、ダクト６１から導いた冷却風を、送風ノズル６３を通じてワーク２に吹き付けることで、ワーク２を冷却して、ワーク２の紫外線照射による熱影響を緩和する。ところで、マスク５が透明基板３の上部に配設されている場合には、送風ノズル６３から吹き出された冷却空気はマスク５を冷却する。一方で、マスク５が透明基板３の上部に配設されていない場合もあり、このような場合には、送風ノズル６３から吹き出された冷却空気は透明基板を冷却する。なお、図示は省略するが、マスクホルダー１３や照射ステージ１４近傍から熱排風を回収する戻り管を設けて、回収した排熱を筐体３０の外に排出する構成であっても良い。
【００１８】
ところで近年、紫外線ランプ１０の高出力化及び透明基板３やマスク５の大面積化が進み、より効率よく透明基板３やマスク５を冷却する必要がある。そこで、送風ノズル６３から効率よく冷却風をワーク２に向けて吹き出すためには、送風ノズル６３の吹出開口６７を照射器７Ａ〜７Ｄの長さ方向に沿って矩形長穴状に形成し、送風ノズル６３と、ダクト６１との接続部を、送風ノズル６３の略中央に設けることが好ましい。しかしながら、筐体３０内での冷却機構６０を配設するスペースが限られているため、送風ノズル６３をダクト６１に、送風ノズル６３の長手方向一端部側から冷却風を供給するように接続しなければならない場合がある。送風ノズル６３の長手方向一端部側から冷却風を供給した場合、冷却風は送風ノズル６３の長手方向他端部側に強く吹き出され、一端部側からは十分な冷却風が吹き出されない。このように、送風ノズル６３の長手方向一端部側から冷却風を供給した場合、紫外線ランプ１０の軸方向に沿って細長い吹出開口６７から吹き出される冷却風の風速分布が均一にはならない（図８参照）。このように、吹出開口６７から吹き出される冷却風の風速分布が均一ではない場合には、ワーク２全体を均一に冷却することができず、ワーク２に紫外線照射による熱影響が生じる可能性がある。
【００１９】
以下に、送風ノズル６３の長手方向一端部側から冷却風が供給される場合に、送風ノズル６３の吹出開口６７から吹き出される冷却風でワーク２全体を均一に冷却することができるようにした送風ノズル６３の構成について説明する。
図１、図２に示すように、ダクト６１は、筐体３０の上部空間に配置され、吸気ダクト６１Ａと、連結ダクト６１Ｂと、接続ダクト６１Ｃとを備えている。
【００２０】
吸気ダクト６１Ａは、筐体３０の両側面で、側面パネルＳ１，Ｓ２の近傍を、筐体３０の背面側から前面側に延びる一対のダクトであり、背面パネルＢを貫通して筐体３０の外に連通している。一対の吸気ダクト６１Ａは、筐体３０の前面側で、前面パネルＦの近傍を左右に延びる連結ダクト６１Ｂで連結される。連結ダクト６１Ｂからは、下方に延びる３本の接続ダクト６１Ｃが筐体３０の幅方向Ｗに互いに所定の間隔で並べて設けられている。接続ダクト６１Ｃの各々は、送風ノズル６３のノズル接続部６４に接続される。なお、吸気ダクト６１Ａ、連結ダクト６１Ｂ、接続ダクト６１Ｃは、夫々管状のダクトであっても良いし、蛇腹状の所謂フレキシブルダクトであっても良い。このように、本実施形態の紫外線硬化装置１では、ダクト６１と、送風ノズル６３とが、筐体１３の前面パネルＦの近傍で接続される。つまり、送風ノズル６３には、送風ノズル６３の長手方向端部側から冷却風が供給される。
【００２１】
図３は、照射器７Ａ〜７Ｄと、送風ノズル６３との配置構成を示す図である。図３に示すように、照射器７Ａ〜７Ｄと、送風ノズル６３とは、互い違いに並べて配置されている。本実施形態では、４つの照射器７Ａ〜７Ｄと、３つの送風ノズル６３とを備え、１つの送風ノズル６３が２つの照射器７Ａ〜７Ｄの間に配置されるように並べられている。３つの送風ノズル６３は、照射器７Ａ〜７Ｄの長さ方向に亘って延び、照射器７Ａ〜７Ｄからの光が照射させるワーク２の照射面の全体に冷却風を送風するように構成されている。
【００２２】
図４は、送風ノズル６３の構成を示す図である。図５は、送風ノズル６３の分解斜視図である。図４、図５に示すように、送風ノズル６３は、ダクト接続部６４と、送風管６５と、送風ヘッド６６と、を備えている。ダクト接続部６４は、管状の部材であり、送風ノズル６３をダクト６１に接続し、ダクト６１から冷却風を送風ノズル６３に導入する。ダクト接続部６４は、照射器７Ａ〜７Ｄの長さ方向に亘って延びる送風ノズル６３の、一方の長さ方向端部に設けられている。ダクト接続部６４の内部には、ダクト６１から送風ノズル６３に導く冷却風の風量を調整するダンパー６８が設けられている。ダンパー６８の開度は、制御部１５によって制御される構成であっても良いし、ダクト接続部６４の外側から手動で調整可能に構成されていても良い。
【００２３】
送風管６５は、ダクト接続部６４から、照射器７Ａ〜７Ｄの長さ方向に延びている。送風管６５は断面矩形薄型の管状であり、各照射器７Ａ〜７Ｄ間の隙間に収めることができるように構成されている。送風管６５の下面には、送風ヘッド６６が取り付けられている。送風ヘッド６６は、送風管６５の下面に設けられた送風開口７０から、送風ヘッド６６内に導入された冷却空気を吹出開口６７に導く断面矩形薄型の管状部材である。吹出開口６７は、少なくともワーク２の長さに亘る範囲に冷却風を送風することが出来る長さに形成されている。吹出開口６７は、送風開口７０よりも紫外線ランプ１０の軸線方向に長く、送風ヘッド６６は、送風開口７０から、吹出開口６７に向かって長さ方向に拡がる形状となっていても良い。
【００２４】
図５に示すように、送風管６５の送風開口７０には、送風開口７０の開口幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３を長さ方向に沿って所定長さ毎に調整できるようにする遮風板６９が設けられている。遮風板６９は、送風開口７０の幅方向両縁に設けられる一対の板材７２Ａ，７２Ｂを有している。各板材７２Ａ，７２Ｂは、送風開口７０を長さ方向に３分割する位置で分割され、個別に送風開口７０の開口幅を開閉する方向に動かせることができるように構成されている。このように、遮風板６９は、送風開口７０を長さ方向に第１開口部７１Ａ、第２開口部７１Ｂ、第３開口部７１Ｃに３分割し、各開口部７１Ａ〜７１Ｃの開口幅Ｗ１〜Ｗ３を調整することができるように構成されている。例えば、第１開口部７１Ａ、第２開口部７１Ｂ、第３開口部７１Ｃのうち、ダクト接続部６４に近い長さ方向の一端側の第１開口部７１Ａの開口幅Ｗ１が一番広く、長さ方向の他端側に向かって、第２開口部７１Ｂ、第３開口部７１Ｃと徐々にその開口幅Ｗ２、Ｗ３が狭くなるように各板材７２Ａ，７２Ｂを取り付けることができる。
【００２５】
また、送風開口７０には、遮風板６９の下流に、ルーバー７３が取り付けられる。送風開口７０には、遮風板６９と、ルーバー７３と、送風ヘッド６６とを、ねじで送風管６５の下面に共締めすることで取り付けることができる構成とすることができる。
ルーバー７３は、遮風板６９と略平行な平板状の取付板７４と、取付板７４からワーク２の方向に突設された複数の羽板７５と、を備えている。羽板７５は、取付板７４に切り起こし曲げ加工を施して形成されている構成であっても良い。複数の羽板７５は、送風開口７０の長さ方向に所定間隔で並べて設けられている。羽板７５は、取付板７４に対する角度がダクト接続部６４に近い長さ方向の一端側で小さく、長さ方向の他端側に向かうに従って略直角に近づくように構成されているのが望ましい。
【００２６】
羽板７５の取付板７４に対する角度は、例えば、ダクト接続部６４に近い取付板７４の長さ方向の一端側で４０°、取付板７４の中央部で６０°、取付板７４の長さ方向の他端側で９０°に設定することができる。
図６は、送風ノズル６３を一端側から視た側面図であり、送風管６５、送風ヘッド６６、遮風板６９、及び、ルーバー７３を断面図で示している。また、図７は、図６のＡ部拡大図であり、送風管６５、送風ヘッド６６、遮風板６９、及び、ルーバー７３の取り付け構成を詳細に示す図である。
【００２７】
図６、図７に示すように、送風管６５の下面には、送風開口７０の開口幅を調整する遮風板６９と、遮風板６９の左右の板材７２Ａ，７２Ｂの間を通った冷却風空気の流れる方向を調整するルーバー７３とが、送風ヘッド６６と共締めされて取り付けられている。送風ヘッド６６の上端には、送風管６５の下面に取り付けられた際に送風開口７０に連通し、ルーバー７３の羽板７５が挿入される導入開口７６が設けられている。導入開口７６の周囲には、外側に張り出したフランジ部７７が設けられ、当該フランジ部７７には、遮風板６９及びルーバー７３と共に、送風管６５の下面にねじ止めされるねじ孔が複数設けられている。
【００２８】
このように、送風管６５から、送風ヘッド６６へは、遮風板６９及びルーバー７３を介して冷却空気が導かれる。そして、遮風板６９によって、送風開口７０の開口幅を調整すると共に、ルーバー７３の羽板７５の取付板７４に対する角度を適宜の角度に設定することができる。これにより、図９に示すように、送風ノズル６３の長手方向端部側から冷却風を供給する場合でも、送風ヘッド６６から、照射器７Ａ〜７Ｄの長さ方向に亘る範囲で風速が略均一になるように冷却風を吹き出すことができる。なお、本実施形態では、ルーバー７３の羽板７５の取付板７４に対する角度は、予め適宜の角度に設定されている構成であるが、ルーバー７３を薄板の板金などで構成することで、羽板７５の取付板７４に対する折り曲げ角度を羽板７５の角度を調整することが出来る。なお、図示は省略するが、ルーバー７３に羽板７５の角度を可変にし、適宜の角度に調整することが出来る角度調整機構を設けて、ワーク２の大きさや種類に応じて、羽板７５の角度を調整することができる構成としても良い。なお、ルーバー角度調整機構の追加や、取付板７４に対して予め適宜の角度に設定した羽板７５の設置を行なえば、ダクト接続部６４の位置を、送風ノズル６３の長手方向端部以外の適宜の位置にすることが出来ることは言うまでもない。
【００２９】
また、送風ヘッド６６の吹出開口６７には、吹出開口６７の長さ方向に亘る長さの吹出ノズル７８Ａ，７８Ｂが幅方向に２つ並べて設けられている。吹出ノズル７８Ａ，７８Ｂは、上端部、及び、下端部に開口を有し、２つ並べて吹出開口６７に取り付けられた際に、吹出開口６７を塞ぎ、送風ヘッド６６を通った冷却空気が吹出ノズル７８Ａ，７８Ｂ内に導かれ、吹出ノズル７８Ａ，７８Ｂを介してワーク２に送風されるように構成されている。また、吹出ノズル７８Ａ，７８Ｂは、各々、吹出開口６７の幅方向の吹きだし角度を調整すべく角度可変に構成されている。これにより、ワーク２の幅方向全体に、ワーク２を均一に冷却することができるように冷却風を吹き出すことができる。
【００３０】
以上説明した実施形態によれば、次のような効果を奏する。
【００３１】
本実施形態の紫外線硬化装置１によれば、直管型のランプ１０を光源として備え、ワーク２に紫外線を照射する照射器７Ａ〜７Ｄと、照射器７Ａ〜７Ｄの対向位置にワーク２が配置される照射ステージ１４と、ワーク２を冷却する冷却機構６０と、を備え、冷却機構６０は、装置内外への冷却空気の吸排気を行うダクト６１と、ダクト６１にダクト接続部６４で接続される送風ノズル６３と、を備え、ダクト接続部６３は、照射器７Ａ〜７Ｄの長手方向の一端側に設けられ、送風ノズル６３は、照射器７Ａ〜７Ｄの脇にその長手方向に沿って延び、ワーク２に送風する送風開口７０を有し、送風開口７０に、開口幅を照射器７Ａ〜７Ｄの長手方向に沿って所定長さ毎に可変にする遮風板６９と、遮風板６９の下流に配置されるルーバー７３と、を備えた。
【００３２】
この構成によれば、送風開口７０に対して開口長の片側端部から冷却風が供給される場合に、送風開口７０の開口幅Ｗ１〜Ｗ３を長手方向に沿って所定長さ毎に変えることができ、かつ、遮風板６９の下流にルーバー７３を配置することで、送風ヘッド６６に導かれる冷却風の風向きを調整することができ、従って、送風開口７０から送風ヘッド６６に導かれる冷却風の風速を、送風開口７０の長さ方向で均一にすることができ、ワーク２の全面の温度を均一にするように冷却風を吹き出させることができる。
【００３３】
また、本実施形態の紫外線硬化装置１によれば、ルーバー７３は、送風開口７０の長手方向に並べて設けられた複数の羽板７５を備え、羽板７５の角度が各々調整可能に構成されている。これにより、送風ヘッド６６に導かれる冷却風の風向きを適宜に調整することができ、ワーク２の全面の温度を均一にするように冷却風を吹き出させることができる。
【００３４】
また、本実施形態の紫外線硬化装置１によれば、送風ノズル６３の吹出開口６７に送風ノズル６３の幅方向の送風角度を可変にする角度可変吹出ノズル７８Ａ，７８Ｂを設けた。この構成によれば、送風ノズル６３から、幅方向の吹出し角度も適宜に調整することができ、ワーク２の全面の温度を均一にするように冷却風を吹き出させることができる。
【００３５】
なお、上述した実施形態は、あくまでも本発明の一態様の例示であり、本発明の要旨の範囲において任意に変形、及び応用が可能である。
【００３６】
例えば、上述した実施形態においては、シール材の硬化の用途に紫外線硬化装置１を用いる場合について説明したが、本発明の紫外線硬化装置１は、シール材の硬化以外の用途にも適用可能である。一例としては、ある程度広い面積を持つ平面被照射物に光照射してある種の処理を行う際に、該被照射物の照射面を均一に冷却する場合に上述した実施形態の冷却機構６０を備えた紫外線硬化装置を用いることができる。
【符号の説明】
【００３７】
１  紫外線硬化装置
２  ワーク
７Ａ、７Ｄ  照射器
１４  照射ステージ
１５  制御ユニット
３０  筐体
６０  冷却機構
６１  ダクト
６３  送風ノズル
６４  ダクト接続部
６７  吹出開口
６９  遮風板
７０  送風開口
７１Ａ  第１開口部
７１Ｂ  第２開口部
７１Ｃ  第３開口部
７２Ａ、７２Ｂ  板材
７３  ルーバー
７５  羽板
７８Ａ、７８Ｂ  吹出ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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