(57)【要約】      （修正有）【課題】電極材料として金属酸化物を使用しつつ、更にフレキシブル性を有する高性能フレキシブル透明電極を提供する。【解決手段】フレキシブル性を有する透明基材フィルム２と、該基材フィルム２上に形成された、金属酸化物３からなるメッシュ状パターンを有する透明電極膜とを備えるフレキシブル透明電極。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレキシブル性を有する透明基材フィルムと、該基材フィルム上に形成された、金属酸化物からなるメッシュ状パターンを有する透明電極膜とを備えるフレキシブル透明電極。
【請求項２】
前記金属酸化物が、インジウムスズ酸化物、インジウム亜鉛酸化物、インジウムガリウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム、酸化チタン、フッ素ドープ酸化スズ、アルミニウム亜鉛酸化物である請求項１記載のフレキシブル透明電極。
【請求項３】
前記金属酸化物が、インジウムスズ酸化物である請求項２記載のフレキシブル透明電極。
【請求項４】
前記メッシュ状パターンの開口率が、１０〜９５％である請求項１〜３のいずれか１項記載のフレキシブル透明電極。
【請求項５】
曲率半径が６.８５ｍｍとなるように１,０００回屈曲させた後の抵抗値が、屈曲前の抵抗値の５倍以下である請求項１〜４のいずれか１項記載のフレキシブル透明電極。
【請求項６】
有機エレクトロルミネッセンス素子用である請求項１〜５のいずれか１項記載のフレキシブル透明電極。
【請求項７】
陽極と、陰極と、これらの間に介在し、液状発光材料を含む発光層とを備える有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記陽極及び陰極の少なくとも一方が請求項６記載のフレキシブル透明電極である有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項８】
前記液状発光材料が、常温で液体の化合物である請求項７記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項９】
前記常温で液体の化合物が、下記式（１）で表されるものである請求項８記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
Ｚ−Ｗ            （１）
（式中、Ｚは、色素部であって、炭素縮合環系色素、ペリレン誘導体、キサンテン系色素、シアニン系色素、クマリン系色素、キナクリドン系色素、スクアリウム系色素、スチリル系色素、ピラゾロン誘導体、フェノキサゾン系色素、カルバゾール、トリアリールアミン、イリジウム錯体、又はアルミニウム、亜鉛、ベリリウム若しくは希土類金属からなる中心金属及び配位子から構成される金属錯体を表し；Ｗは、前記色素部Ｚに連結する少なくとも１つの置換基であって、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、炭酸エステル結合又はアミド結合を含んでいてもよい炭素数１〜３０のアルキル基を表す。）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブル透明電極及び有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、透明電極は、ディスプレイ、タッチパネル、太陽電池、電磁波シール、電子ペーパー、照明装置等の電子・電気素子に広く用いられている。しかし、現在実現されているこのような素子は、平面にほぼ限定されており、操作性や素子の応用性を広げるために曲面上への形成が求められている。
【０００３】
通常、平面に形成される電子・電気素子ではインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）のような金属酸化物からなる透明電極が使用されている。このような透明電極は、透明性や導電性としては良好な特性を有し、化学的・物理的にも安定性や素子への親和性が高い。しかし、金属酸化物電極は、その化学構造のため剛性が大きく、機械的な付加には弱い。そのほか、湾曲等の応力によりクラックが入ったり断線したりすることにより、電気抵抗が大幅に大きくなる等の欠点がある。そこで、湾曲等の機械的な付加に耐えられる透明電極を形成するために、種々の構造のフレキシブル透明電極が提案されている。
【０００４】
特許文献１には、透明導電性高分子を電極材料として用いたフレキシブル電極が開示されている。特許文献２には、金属ナノワイヤ、金属・金属酸化物微粒子及び還元剤を含む塗布膜を用いることで、液相成膜により容易に製造できる透明導電膜が開示されている。ここでは、繊維状又は粒状の材料を用いることで、電気的なネットワークが形成され導電性を発現し、フレキシブル透明電極を提供することができることが記載されている。特許文献３及び４には、ＩＴＯ等の金属酸化物からなる透明導電膜を用いずに、Ａｇ等の金属を含有するメッシュ電極を用いることで透明電極の形成ができることや、フレキシブル電極が提供できることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−４７０２６号公報
【特許文献２】特開２０１３−８４６２８号公報
【特許文献３】特開２００９−７６６６８号公報
【特許文献４】特開２００８−１４０５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一方で、特許文献１〜４に記載されたフレキシブル電極は、配線抵抗や透明性の面において、ＩＴＯ等の金属酸化物電極に劣る。また、フレキシブル電極を用いた素子の製造工程中における化学・物理的安定性や仕事関数の面からも、素子への親和性が金属酸化物電極に比べ低い。また、特許文献３及び４に記載されたメッシュ電極は、延展性のある金属材料を透明化する技術であり、延展性の乏しい材料をフレキシブル化する技術ではない。そのため、これまで金属酸化物電極の特性とフレキシブル性との両方を兼ね備えた電極は知られていない。
【０００７】
本発明は、このような問題に鑑みなされてもので、電極材料として金属酸化物を使用しつつ、更にフレキシブル性を有する高性能フレキシブル透明電極を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、前記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結果、フレキシブル性を有する透明基材フィルムの上に設けられた透明な金属酸化物電極膜をメッシュ状にパターニングすることで、このように構成された透明電極が、湾曲時に発生する応力が分散、緩和され、またクラックが発生した場合もその伸長を防ぐことができ、その結果、剛性の高い金属酸化物電極であっても、フレキシブル性を担保することが可能となることを見出し、本発明を完成させた。
【０００９】
すなわち、本発明は、下記フレキシブル透明電極及び有機ＥＬ素子を提供する。
１．フレキシブル性を有する透明基材フィルムと、該基材フィルム上に形成された、金属酸化物からなるメッシュ状パターンを有する透明電極膜とを備えるフレキシブル透明電極。
２．前記金属酸化物が、インジウムスズ酸化物、インジウム亜鉛酸化物、インジウムガリウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム、酸化チタン、フッ素ドープ酸化スズ、アルミニウム亜鉛酸化物である１のフレキシブル透明電極。
３．前記金属酸化物が、インジウムスズ酸化物である２のフレキシブル透明電極。
４．前記メッシュ状パターンの開口率が、１０〜９５％である１〜３のいずれかのフレキシブル透明電極。
５．曲率半径が６.８５ｍｍとなるように１,０００回屈曲させた後の抵抗値が、屈曲前の抵抗値の５倍以下である１〜４のいずれかのフレキシブル透明電極。
６．有機ＥＬ素子用である１〜５のいずれかのフレキシブル透明電極。
７．陽極と、陰極と、これらの間に介在し、液状発光材料を含む発光層とを備える有機ＥＬ素子であって、前記陽極及び陰極の少なくとも一方が６のフレキシブル透明電極である有機ＥＬ素子。
８．前記液状発光材料が、常温で液体の化合物である７の有機ＥＬ素子。
９．前記常温で液体の化合物が、下記式（１）で表されるものである８の有機ＥＬ素子。
Ｚ−Ｗ            （１）
（式中、Ｚは、色素部であって、炭素縮合環系色素、ペリレン誘導体、キサンテン系色素、シアニン系色素、クマリン系色素、キナクリドン系色素、スクアリウム系色素、スチリル系色素、ピラゾロン誘導体、フェノキサゾン系色素、カルバゾール、トリアリールアミン、イリジウム錯体、又はアルミニウム、亜鉛、ベリリウム若しくは希土類金属からなる中心金属及び配位子から構成される金属錯体を表し；Ｗは、前記色素部Ｚに連結する少なくとも１つの置換基であって、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、炭酸エステル結合又はアミド結合を含んでいてもよい炭素数１〜３０のアルキル基を表す。）
【発明の効果】
【００１０】
本発明のフレキシブル透明電極は、メッシュ状のパターンを有することにより、支持基板の屈曲時に発生した応力が分散し、また発生したクラックの伸張も防ぐことにより、一般的に剛性の高いといわれる金属酸化物電極であってもフレキシブル性を担保することができる。また、本発明のフレキシブル透明電極は、金属酸化物由来の化学・物理的安定性を有する。更に、本発明のフレキシブル透明電極は、特殊な加工を施すことなくパターニングのみで製造することが可能であり、製造が容易である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のフレキシブル透明電極の一例を示す模式図である。
【図２】実施例１で作製したＩＴＯ透明電極Ａの光学顕微鏡像である。
【図３】実施例２で作製したＩＴＯ透明電極Ｂの光学顕微鏡像である。
【図４】実施例３で作製したＩＴＯ透明電極Ｃの光学顕微鏡像である。
【図５】実施例４で作製したＩＴＯ透明電極Ｄの光学顕微鏡像である。
【図６】実施例５で作製したＩＴＯ透明電極Ｅの光学顕微鏡像である。
【図７】比較例１で作製したＩＴＯ透明電極Ｆの光学顕微鏡像である。
【図８】実施例１〜５及び比較例１で作製した各ＩＴＯ透明電極の抵抗値増加率を屈曲回数に対してプロットしたグラフである。
【図９】実施例１で作製したＩＴＯ透明電極Ａを１,０００回屈曲させた後の表面ＳＥＭ鏡像である。
【図１０】実施例２で作製したＩＴＯ透明電極Ｂを１,０００回屈曲させた後の表面ＳＥＭ鏡像である。
【図１１】実施例３で作製したＩＴＯ透明電極Ｃを１,０００回屈曲させた後の表面ＳＥＭ鏡像である。
【図１２】実施例４で作製したＩＴＯ透明電極Ｄを１,０００回屈曲させた後の表面ＳＥＭ鏡像である。
【図１３】実施例５で作製したＩＴＯ透明電極Ｅを１,０００回屈曲させた後の表面ＳＥＭ鏡像である。
【図１４】比較例１で作製したＩＴＯ透明電極Ｆを１,０００回屈曲させた後の表面ＳＥＭ鏡像である。
【図１５】実施例１で作製したＩＴＯ透明電極Ａを用いて作製した有機ＥＬ素子を示す模式図である。
【図１６】実施例１で作製したＩＴＯ透明電極Ａを用いて作製した有機ＥＬ素子の電界発光像である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
［フレキシブル透明電極］
本発明のフレキシブル透明電極は、フレキシブル性を有する透明基材フィルムと、該基材フィルム上に形成された、金属酸化物からなるメッシュ状パターンを有する透明電極膜とを備えるものである。
【００１３】
［基材フィルム］
前記基材フィルムは、フレキシブル性を有し、透明であるものであれば特に限定されない。このような基材フィルムの材料としては、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリイミド、トリアセチルセルロース、ポリエチレンナフタレート、シンジオタクチックポリスチレン、ポリフェニレンスルフィド、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリスルフォン、ポリエステルスルフォン、ポリエーテルイミド、環状ポリオレフィン、ブロム化フェノキシ樹脂、ノルボルネン樹脂、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、ポリアセタール等が挙げられる。
【００１４】
前記基材フィルムの厚さは、基板の柔軟性、可視光透過度、強度の観点から、１０〜５００μｍが好ましく、５０〜３００μｍがより好ましく、１００〜２００μｍがより一層好ましい。
【００１５】
［メッシュ状透明電極膜］
前記メッシュ状透明電極膜は、金属酸化物からなる透明電極膜にメッシュ状パターンが形成されたものである。なお、本発明においてメッシュ状パターンとは、複数の開口部を有する形状を意味し、前記開口部は、規則的に配列していても、不規則的に設けられていれもよい。本発明において、メッシュ状パターンとしては、例えば、格子状、ホールアレイパターン状、ハニカム構造状、網目状、鱗文様状、菱形状等が挙げられる。メッシュ状パターンの開口率は、抵抗値や駆動部面積との関係から、１０〜９５％が好ましく、２０〜８０％がより好ましく、４０〜６０％がより一層好ましい。
【００１６】
前記金属酸化物としては、従来公知のものでよく、例えば、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、インジウムガリウム亜鉛酸化物（ＩＧＺＯ）、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム、酸化チタン、フッ素ドープ酸化スズ、アルミニウム亜鉛酸化物等が挙げられる。
【００１７】
前記透明電極膜は、膜厚が１０〜３００ｎｍ程度であることが好ましく、２０〜２００ｎｍ程度であることがより好ましく、５０〜１５０ｎｍ程度であることがより一層好ましい。膜厚が前記範囲であれば、電子・電気素子に十分な電流を供給できるほどの電気伝導度、及びフレキシブル性が有意に発現できるため好ましい。
【００１８】
透明電極膜にメッシュ状パターンを形成する方法としては、フォトリソグラフィー、凸版印刷法、凹版印刷法、スクリーン印刷法、インクジェット印刷法等が挙げられる。これらのうち、パターンの均一性の観点から、フォトリソグラフィーが好ましい。以下、フォトリソグラフィーによる形成方法について説明する。
【００１９】
まず、透明電極膜上にフォトレジスト膜を形成する。前記フォトレジスト膜の形成方法としては、従来公知の方法でよい。例えば、フォトレジスト組成物を透明電極膜上に、スピンコート、キャストコート、ブレードコート、ディップコート、ロールコート、バーコート、ダイコート、インクジェット、印刷法（凸版、凹版、平版、スクリーン印刷等）、スプレーコート等の方法で塗布し、加熱処理（プリベーク）する方法が挙げられる。プリベークは、ホットプレート又はオーブンを用いて、好ましくは５０〜２００℃で０．５〜６０分間、より好ましくは８０〜１５０℃で１〜１０分間行うことがよい。なお、前記フォトレジスト組成物は、ポジ型でもネガ型でもよく、必要に応じて適切なものを選択すればよい。
【００２０】
フォトレジスト膜を形成後、必要に応じてフォトマスクを用いて、所望のパターンを露光する。露光に用いる光としては、紫外線、ＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、極端紫外線、電子線等が挙げられる。露光量は、１００〜１,０００ｍＪ／ｃｍ2程度が好ましく、２００〜４００ｍＪ／ｃｍ2程度がより好ましい。
【００２１】
露光後は、必要に応じて、加熱処理（ポストエクスポージャーベーク（ＰＥＢ））を行ってもよい。ＰＥＢは、ホットプレート又はオーブンを用いて、好ましくは５０〜２００℃で０.５〜６０分間、より好ましくは８０〜１５０℃で１〜１０分間行うことがよい。
【００２２】
次いで、現像液を用いて、露光したフォトレジスト膜を現像する。前記現像液は、使用したフォトレジスト組成物に応じて、適宜公知の無機若しくは有機アルカリ水溶液又は有機溶媒から選択して使用すればよい。現像方法も特に限定されず、浸漬法、パドル法、スプレー法等の公知の方法により行うことができる。現像温度及び時間は、２０〜３０℃で３０秒〜１０分間程度が好ましい。
【００２３】
現像後、パターンが形成されたフォトレジスト膜をマスクとして、露出した透明電極膜をエッチングする。エッチングは、公知の方法で行えばよく、ドライエッチングで行っても、ウェットエッチングで行ってもよい。
【００２４】
ドライエッチングに用いられるエッチングガスとしては、四フッ化メタン、三フッ化メタン、二フッ化メタン、六フッ化エタン、四フッ化エタン、八フッ化プロパン、クロロトリフルオロメタン、フッ化カルボニル、六フッ化硫黄、四塩化炭素、三塩化炭素、フッ素、塩素、臭素、酸素、アルゴン、ネオン、フッ化キセノン、三フッ化臭素、三フッ化塩素等が挙げられる。ウェットエッチングに用いられるエッチング液としては、塩酸と硝酸との混合酸、塩酸と塩化鉄(III)との混合溶液、ヨウ化水素溶液、臭化水素溶液等が挙げられる。
【００２５】
エッチング後、フォトレジスト膜を酸素プラズマや有機溶媒等を用いて除去することで、所望のメッシュ状パターンを有する透明電極膜を製造することができる。
【００２６】
このような構成を有する本発明のフレキシブル透明電極は、屈曲を繰り返しても抵抗値が増加しにくいという特徴を有する。具体的には、曲率半径が６.８５ｍｍとなるように本発明のフレキシブル透明電極を１,０００回屈曲させた後の該電極の抵抗値が、初期抵抗値の５倍以下であることが好ましく、４倍以下であることがより好ましく、３倍以下であることがより一層好ましく、２倍以下であることが更に好ましい。
【００２７】
本発明のフレキシブル透明電極は、有機ＥＬ素子、有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ、光半導体素子、電子ペーパー、固体撮像素子、有機薄膜太陽電池、色素増感太陽電池、有機薄膜トランジスタ、３Ｄディスプレイ、タッチパネル、無機電界発光素子、電磁波シールド材、電子ペーパー等の基板として有用である。
【００２８】
［有機ＥＬ素子］
本発明の有機ＥＬ素子は、陽極と、陰極と、これらの間に介在し、液状発光材料を含む発光層とを備えるものであって、前記陽極及び陰極の少なくとも一方が、前述したフレキシブル透明電極である。なお、本発明において、液状とは、常温で液体であることを意味し、常温とは、JIS Z 8703で規定されている、２０℃±１５℃（５〜３５℃）の範囲を意味する。
【００２９】
［電極］
陽極及び陰極の一方が前記フレキシブル透明電極である場合、その対極を構成する材料としては、アルミニウム、マグネシウム−銀合金、アルミニウム−リチウム合金、リチウム、ナトリウム、カリウム、セシウム、ＩＴＯ、セシウム添加ＩＴＯ等が挙げられる。なお、前記電極のうち、少なくとも一方が前記フレキシブル透明電極であればよいが、両方とも前記フレキシブル透明電極であってもよい。
【００３０】
［発光層］
前記発光層は、液状発光材料を含むものである。このとき、発光層全体として液状を示すもの（すなわち、発光層そのものが液状であるもの）であってもよい。前記液状発光材料としては、液状の化合物や、キャリア輸送材料及び発光材料を含む溶液、キャリア輸送材料及び発光材料の少なくとも一方が液体であるとともに発光材料を構成する組成物全体として液状のもの等を使用することができる。なお、物質によっては、キャリア輸送能及び発光能の両機能を明確に分離できず、例えば、カルバゾール、トリアリールアミン、炭素縮合環系色素等の中には、両機能を併せ持つものも存在する。本発明では、このような両機能を併せ持つ物質も使用することができる。
【００３１】
前記液状の化合物としては、下記式（１）で表されるものが挙げられる。
Ｚ−Ｗ            （１）
【００３２】
式（１）中、Ｚは、色素部であって、炭素縮合環系色素、ペリレン誘導体、キサンテン系色素、シアニン系色素、クマリン系色素、キナクリドン系色素、スクアリウム系色素、スチリル系色素、ピラゾロン誘導体、フェノキサゾン系色素、カルバゾール、トリアリールアミン、イリジウム錯体、又はＡｌ、Ｚｎ、Ｂｅ若しくは希土類金属からなる中心金属及び配位子から構成される金属錯体を表す。
【００３３】
式（１）中、Ｗは、前記色素部Ｚに連結する少なくとも１つの置換基であって、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、炭酸エステル結合又はアミド結合を含んでいてもよい炭素数１〜３０のアルキル基を表す。なお、これらエーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、炭酸エステル結合又はアミド結合は、ＺとＷとの連結部に存在していてもよい。
【００３４】
前記アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖状のアルキル基を用いた場合、アルキル鎖同士のパッキング等の分子間相互作用により、結晶性の向上や粘度の増加が考えられるため、分岐状のアルキル基がより好ましい。
【００３５】
前記炭素数１〜３０のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、シクロブチル基、ｎ−ペンチル基、１−メチル−ｎ−ブチル基、２−メチル−ｎ−ブチル基、３−メチル−ｎ−ブチル基、１,１−ジメチル−ｎ−プロピル基、シクロペンチル基、２−メチル−シクロブチル基、ｎ−ヘキシル基、１−メチル−ｎ−ペンチル基、２−メチル−ｎ−ペンチル基、１,１−ジメチル−ｎ−ブチル基、１−エチル−ｎ−ブチル基、１,１,２−トリメチル−ｎ−プロピル基、シクロヘキシル基、１−メチル−シクロペンチル基、１−エチル−シクロブチル基、１,２−ジメチル−シクロブチル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、ｎ−ノニル基、ｎ−デシル基、ｎ−ウンデシル基、ｎ−ドデシル基、ｎ−トリデシル基、ｎ−テトラデシル基、ｎ−ペンタデシル基、ｎ−ヘキサデシル基、ｎ−ヘプタデシル基、ｎ−オクタデシル基、ｎ−ノナデシル基、ｎ−エイコシル基等が挙げられる。
【００３６】
エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、炭酸エステル結合又はアミド結合を含む炭素数１〜３０のアルキル基とは、前述したようなアルキル基の任意の位置にこれらの結合を有するものが挙げられる。
【００３７】
エーテル結合を含むアルキル基の具体例としては、-CH2OCH3、-CH2OCH2CH3、-CH2O(CH2)2CH3、-CH2OCH(CH3)2、-CH2O(CH2)3CH3、-CH2OCH2CH(CH3)2、-CH2OCH(CH3)3、-CH2O(CH2)4CH3、-CH2OCH(CH3)(CH2)2CH3、-CH2OCH2CH(CH3)CH3、-CH2O(CH2)2CH(CH3)CH3、-CH2OC(CH3)2CH3、-CH2OCH(CH3)(CH2)3CH3、-CH2O(CH2)5CH3、-CH2OCH(CH3)(CH2)3CH3、-CH2OCH2CH(CH3)(CH2)2CH3、-CH2O(CH2)2CH(CH3)CH2CH3、-CH2O(CH2)3CH(CH3)CH3、-CH2OC(CH3)2(CH2)2CH3、-CH2OCH(CH2CH3)(CH2)2CH3、-CH2OC(CH3)2CH(CH3)CH3、-CH2O(CH2)6CH3、-CH2O(CH2)7CH3、-CH2OCH2CH(CH2CH3)(CH2)3CH3、-CH2O(CH2)8CH3、-CH2O(CH2)9CH3、-CH2O(CH2)10CH3、-CH2O(CH2)11CH3、-CH2O(CH2)12CH3、-CH2O(CH2)13CH3、-CH2O(CH2)14CH3、-CH2O(CH2)15CH3、-CH2O(CH2)16CH3、-CH2O(CH2)17CH3、-CH2O(CH2)18CH3、-CH2O(CH2)19CH3、-CH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2O(CH2)2CH3、-CH2CH2OCH(CH3)2、-CH2CH2O(CH2)3CH3、-CH2CH2OCH2CH(CH3)2、-CH2CH2OCH(CH3)3、-CH2CH2O(CH2)4CH3、-CH2CH2OCH(CH3)(CH2)2CH3、-CH2CH2OCH2CH(CH3)CH3、-CH2CH2O(CH2)2CH(CH3)CH3、-CH2CH2OC(CH3)2CH3、-CH2CH2OCH(CH3)(CH2)3CH3、-CH2CH2O(CH2)5CH3、-CH2CH2OCH(CH3)(CH2)3CH3、-CH2CH2OCH2CH(CH3)(CH2)2CH3、-CH2CH2O(CH2)2CH(CH3)CH2CH3、-CH2CH2O(CH2)3CH(CH3)CH3、-CH2CH2OC(CH3)2(CH2)2CH3、-CH2CH2OCH(CH2CH3)(CH2)2CH3、-CH2CH2OC(CH3)2CH(CH3)CH3、-CH2CH2O(CH2)6CH3、-CH2CH2O(CH2)7CH3、-CH2CH2OCH2CH(CH2CH3)(CH2)3CH3、-CH2CH2O(CH2)8CH3、-CH2CH2O(CH2)9CH3、-CH2CH2O(CH2)10CH3、-CH2CH2O(CH2)11CH3、-CH2CH2O(CH2)12CH3、-CH2CH2O(CH2)13CH3、-CH2CH2O(CH2)14CH3、-CH2CH2O(CH2)15CH3、-CH2CH2O(CH2)16CH3、-CH2CH2O(ＣＨ2)17CH3、-CH2CH2O(CH2)18CH3、-CH2CH2O(CH2)19CH3、-CH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)2CH3、-CH2CH2CH2OCH(CH3)2、-CH2CH2CH2O(CH2)3CH3、-CH2CH2CH2OCH2CH(CH3)2、-CH2CH2CH2OCH(CH3)3、-CH2CH2CH2O(CH2)4CH3、-CH2CH2CH2OCH(CH3)(CH2)2CH3、-CH2CH2CH2OCH2CH(CH3)CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)2CH(CH3)CH3、
-CH2CH2CH2OC(CH3)2CH3、-CH2CH2CH2OCH(CH3)(CH2)3CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)5CH3、-CH2CH2CH2OCH(CH3)(CH2)3CH3、-CH2CH2CH2OCH2CH(CH3)(CH2)2CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)2CH(CH3)CH2CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)3CH(CH3)CH3、-CH2CH2CH2OC(CH3)2(CH2)2CH3、-CH2CH2CH2OCH(CH2CH3)(CH2)2CH3、-CH2CH2CH2OC(CH3)2CH(CH3)CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)6CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)7CH3、-CH2CH2CH2OCH2CH(CH2CH3)(CH2)3CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)8CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)9CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)10CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)11CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)12CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)13CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)14CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)15CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)16CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)17CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)18CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)19CH3、
-CH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCＨ2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH2CH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH3
、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH3や、下記式で表される基等が挙げられる。
【００３８】
【化１】
2018181490.tif 000003
【００３９】
【化２】
2018181490.tif 000004
【００４０】
チオエーテル結合を含むアルキル基の具体例としては、前記エーテル結合を含むアルキル基の酸素原子（Ｏ）を、硫黄原子（Ｓ）に代えた基等が挙げられる。エステル結合を含むアルキル基の具体例としては、前記エーテル結合を含むアルキル基の酸素原子（Ｏ）を、−Ｃ(Ｏ)Ｏ−又は−ＯＣ(Ｏ)−に代えた基等が挙げられる。炭酸エステル結合を含むアルキル基の具体例としては、前記エーテル結合を含アルキル基の酸素原子（Ｏ）を、−ＯＣ(Ｏ)Ｏ−に代えた基等が挙げられる。アミド結合を含むアルキル基の具体例としては、前記エーテル結合を含むアルキル基の酸素原子（Ｏ）を、−Ｃ(Ｏ)ＮＨ−又は−ＮＨＣ(Ｏ)−に代えた基等が挙げられる。
【００４１】
これらの中でも、液体になりやすいという点から、炭素数６〜３０の置換基が好ましく、具体的には、シクロヘキシル基、１−メチルシクロペンチル基、１−エチルシクロブチル基、１,２−ジメチルシクロブチル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、２−エチルヘキシル基、ｎ−ノニル基、ｎ−デシル基、ｎ−ウンデシル基、ｎ−ドデシル基、ｎ−トリデシル基、ｎ−テトラデシル基、ｎ−ペンタデシル基、ｎ−ヘキサデシル基、ｎ−ヘプタデシル基、ｎ−オクタデシル基、ｎ−ノナデシル基、ｎ−エイコシル基、-CH2O(CH2)5CH3、-CH2OCH(CH3)(CH2)3CH3、-CH2OCH2CH(CH3)(CH2)2CH3、-CH2O(CH2)2CH(CH3)CH2CH3、-CH2O(CH2)3CH(CH3)CH3、-CH2OC(CH3)2(CH2)2CH3、-CH2OCH(CH2CH3)(CH2)2CH3、-CH2OC(CH3)2CH(CH3)CH3、-CH2O(CH2)6CH3、-CH2O(CH2)7CH3、-CH2OCH2CH(CH2CH3)(CH2)3CH3、-CH2O(CH2)8CH3、-CH2O(CH2)9CH3、-CH2O(CH2)10CH3、-CH2O(CH2)11CH3、-CH2O(CH2)12CH3、-CH2O(CH2)13CH3、-CH2O(CH2)14CH3、-CH2O(CH2)15CH3、-CH2O(CH2)16CH3、-CH2O(CH2)17CH3、-CH2O(CH2)18CH3、-CH2O(CH2)19CH3、-CH2CH2O(CH2)5CH3、-CH2CH2OCH(CH3)(CH2)3CH3、-CH2CH2OCH2CH(CH3)(CH2)2CH3、-CH2CH2O(CH2)2CH(CH3)CH2CH3、-CH2CH2O(CH2)3CH(CH3)CH3、-CH2CH2OC(CH3)2(CH2)2CH3、-CH2CH2OCH(CH2CH3)(CH2)2CH3、-CH2CH2OC(CH3)2CH(CH3)CH3、-CH2CH2O(CH2)6CH3、-CH2CH2O(CH2)7CH3、-CH2CH2OCH2CH(CH2CH3)(CH2)3CH3、-CH2CH2O(CH2)8CH3、-CH2CH2O(CH2)9CH3、-CH2CH2O(CH2)10CH3、-CH2CH2O(CH2)11CH3、-CH2CH2O(CH2)12CH3、-CH2CH2O(CH2)13CH3、-CH2CH2O(CH2)14CH3、-CH2CH2O(CH2)15CH3、-CH2CH2O(CH2)16CH3、-CH2CH2O(CH2)17CH3、-CH2CH2O(CH2)18CH3、-CH2CH2O(CH2)19CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)5CH3、-CH2CH2CH2OCH(CH3)(CH2)3CH3、-CH2CH2CH2OCH2CH(CH3)(CH2)2CH3、
-CH2CH2CH2O(CH2)2CH(CH3)CH2CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)3CH(CH3)CH3、-CH2CH2CH2OC(CH3)2(CH2)2CH3、-CH2CH2CH2OCH(CH2CH3)(CH2)2CH3、-CH2CH2CH2OC(CH3)2CH(CH3)CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)6CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)7CH3、-CH2CH2CH2OCH2CH(CH2CH3)(CH2)3CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)8CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)9CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)10CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)11CH3
、-CH2CH2CH2O(CH2)12CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)13CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)14CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)15CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)16CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)17CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)18CH3、-CH2CH2CH2O(CH2)19CH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2ＯCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH2CH2CH2OCH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH3、-CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH2OCH2CH3基等、並びにこれらの基の酸素原子(Ｏ)を、硫黄原子(Ｓ)に代えた基、−Ｃ(Ｏ)Ｏ−又はＯＣ(Ｏ)に代えた基、−ＯＣ(Ｏ)Ｏ−に代えた基、及び−Ｃ(Ｏ)ＮＨ−又は−ＮＨＣ(Ｏ)−に代えた基等が好適である。
【００４２】
好適なＺとしては、炭素縮合環系色素、特に、ルブレン誘導体、ピレン誘導体が挙げられ、好適なＷとしては、炭素数１〜３０のアルキル基、特に、炭素数６〜３０のアルキル基が挙げられる。
【００４３】
発光材料として使用し得る液状の化合物としては、例えば、発光特性に優れる炭素縮合環系色素である、下記式（２）で表されるピレン誘導体が挙げられる。
【化３】
2018181490.tif 000005
【００４４】
式（２）中、Ｗ1〜Ｗ4は、それぞれ独立に、水素原子、又はエーテル結合、チオエーテル、エステル結合、炭酸エステル結合若しくはアミド結合等を含んでもよい炭素数１〜３０のアルキル基を表す。ただし、Ｗ1〜Ｗ4の少なくとも１つは、前記アルキル基である。Ａ1〜Ａ4は、単結合、又は置換若しくは非置換の２価の芳香族基を表す。ここで、アルキル基の具体例としては、前記Ｗと同様のものが挙げられ、芳香族基としては、フェニレン基、ナフタレンジイル等が挙げられる。
【００４５】
このうち、分子量の増加に伴う粘度上昇を防止すべく、Ａ1〜Ａ4が単結合のもの、すなわち、Ｗ1〜Ｗ4がピレン環に直接結合した下記式（３）で表される化合物が好ましい。
【化４】
2018181490.tif 000006
【００４６】
更に、Ｗ1〜Ｗ4の少なくとも１つが水素原子のもの、特に、３つが水素原子のものがより好ましい。これらの点から、下記式（４）で表される化合物が好ましいが、これに限定されない。
【化５】
2018181490.tif 000007
【００４７】
このような液状の発光材料を使用することによって、ホストゲストシステムによらない発光層を備える有機ＥＬ素子とすることができる。
【００４８】
また、液状の発光材料としては、キャリア輸送材料及び発光材料の少なくとも一方が液体であるとともに発光材料を構成する組成物全体として液状のものを使用することができる。
【００４９】
前記液体のキャリア輸送材料としては、式（５）で表される化合物を好適に用いることができる。
Ｘ−Ｙ            （５）
【００５０】
式（５）中、Ｘは、電荷輸送部であって、カルバゾール、トリアゾール、イミダゾール、オキサジアゾール、２,５−ジフェニル−１,３,４−オキサジアゾール、アリールシクロアルカン、トリアリールアミン、フェニレンジアミン、スチルベン、オキサゾール、トリフェニルメタン、ピラゾリン系化合物、アントラセン、フルオレノン、ポリアニリン、シラン、ピロール、フルオレン、ポルフィリン、キナクリドン、トリフェニルホスフィンオキシド、アントラセン誘導体、テトラセン誘導体、ピレン誘導体、ルブレン誘導体、デカシクレン誘導体、ペリレン誘導体等の炭素縮合環系色素、金属又は無金属のフタロシアニン、金属又は無金属のナフタロシアニン、ベンジジンを表す。これらの中でも、優れた正孔輸送性能を有するという点から、カルバゾールが好ましい。
【００５１】
式（５）中、Ｙは、上記電荷輸送部Ｘに連結する少なくとも１つの置換基であって、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、炭酸エステル結合又はアミド結合を含んでいてもよい炭素数１〜３０のアルキル基を表す。なお、これらエーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、炭酸エステル結合又はアミド結合は、ＸとＹとの連結部に存在していてもよい。前記アルキル基の具体例としては、Ｚの説明において例示したものと同様のものが挙げられる。
【００５２】
なお、キャリア輸送材料が液体の場合、発光層を構成する材料全体として液体となる限りにおいて、発光材料として常温で固体のものを用いることもできる。このような、発光材料としては、従来公知の材料から適宜選択すればよく、例えば、アントラセン誘導体、テトラセン誘導体、ピレン誘導体、ルブレン誘導体、デカシクレン誘導体等の炭素縮合環系色素；ペリレンジイミド等のペリレン誘導体；ローダミンＢ等のキサンテン系色素；シアニン系色素；クマリン６、Ｃ５４５Ｔ等のクマリン系色素；Ｑｄ４、ＤＥＱ等のキナクリドン系色素；スクアリウム系色素；スチリル系色素；ピラゾロン誘導体；ＮｉｌｅＲｅｄ等のフェノキサゾン系色素；カルバゾール；トリアリールアミン；トリス(２−フェニルピリジン)イリジウム(III)（Ir(ppy)3）、トリス[２−フェニル−４−(２−エチルシクロヘキシルオキシ)ピリジン]イリジウム(III)（Ir(ehppy)3）等のイリジウム錯体；アルミキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾリル亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、ユーロピウム錯体等の、Ａｌ、Ｚｎ、Ｂｅ又はＴｂ、Ｅｕ、Ｄｙ等の希土類金属からなる中心金属、及びオキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造等の配位子から構成される金属錯体、トリス(８−キノリノラート)アルミニウム(III)（Ａｌｑ3）、ビス(８−キノリノラート)亜鉛(II)（Ｚｎｑ2）、ビス(２−メチル−８−キノリノラート)(ｐ−フェニルフェノラート)アルミニウム(III)（ＢＡｌｑ）、４,４'−ビス(２,２−ジフェニルビニル)ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）等が挙げられる。
【００５３】
一方、発光材料として前述したもののような液体材料を用いる場合、発光層を構成する材料全体として液体となる限りにおいて、キャリア輸送材料として常温で固体のものを用いることもできる。このような、キャリア輸送材料としては、従来公知の材料から適宜選択すればよく、例えば、(トリフェニルアミン)ダイマー誘導体（ＴＰＤ）、(α−ナフチルジフェニルアミン)ダイマー（α−ＮＰＤ）、[(トリフェニルアミン)ダイマー]スピロダイマー（Ｓｐｉｒｏ−ＴＡＤ）等のトリアリールアミン類；４,４',４''−トリス[３−メチルフェニル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン（ｍ−ＭＴＤＡＴＡ）、４,４',４''−トリス[１−ナフチル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン（１−ＴＮＡＴＡ）等のスターバーストアミン類；５,５''−ビス−{４−[ビス(４−メチルフェニル)アミノ]フェニル}−２,２'：５',２''−ターチオフェン（ＢＭＡ−３Ｔ）等のオリゴチオフェン類；ポリビニルカルバゾール類等の正孔輸送材料；Ａｌｑ3、ＢＡｌｑ、ＤＰＶＢｉ、(２−(４−ビフェニル)−５−(４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル)−１，３，４−オキサジアゾール)（ＰＢＤ）、トリアゾール誘導体（ＴＡＺ）、バソクプロイン（ＢＣＰ）、シロール誘導体等の電子輸送材料が挙げられる。
【００５４】
前述したキャリア輸送材料及び発光材料の配合比率は、組成物全体が液体となる範囲であれば特に限定されないが、質量比で、キャリア輸送材料：発光材料＝９９.９９：０.０１〜５０：５０程度とすることが好ましい。
【００５５】
本発明の有機ＥＬ素子は、陽極、陰極及び発光層のほかに、有機ＥＬ素子に一般的に用いられる各種機能層を備えていてもよい。このような機能層としては、正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層、キャリアブロック層等が挙げられる。
【００５６】
正孔輸送層は、陽極と発光層との間に設けられ、陽極から注入された正孔を発光層へ輸送する機能を有する層であり、その材料としては、前記キャリア輸送材料で例示した正孔輸送材料と同様のものが挙げられる。また、正孔注入層は、正孔輸送層と陽極との間に設けられ、陽極からの正孔注入効率を高める機能を有する層である。正孔注入層を形成する材料としては、銅フタロシアニン、４,４',４''−トリス[３−メチルフェニル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン（ｍ−ＭＴＤＡＴＡ）等が挙げられる。
【００５７】
電子輸送層は、陰極と発光層との間に設けられ、陰極から注入された電子を発光層へ輸送する機能を有する層であり、その材料としては、前記キャリア輸送材料で例示した電子輸送材料と同様のものが挙げられる。電子注入層は、電子輸送層と陰極との間に設けられ、陰極からの電子注入効率を高める機能を有する層である。このような電子注入層を形成する材料としては、酸化リチウム（Ｌｉ2Ｏ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ2）、フッ化ストロンチウム（ＳｒＦ2）、Ｌｉ(ａｃａｃ)、酢酸リチウム、安息香酸リチウム等が挙げられる。
【００５８】
キャリアブロック層は、発光領域をコントロールするための層であり、前述した任意の層間に形成し得る層である。キャリアブロック層を形成する材料としては、ＰＢＤ、ＴＡＺ、ＢＣＰ等が挙げられる。
【００５９】
本発明の有機ＥＬ素子の製造方法としては特に限定されないが、例えば、以下のような方法を用いることができる。
【００６０】
前記フレキシブル透明電極の対極となる電極上に、液状発光材料を導入するためのスペーサー部を形成し、該スペーサー部を介して、前記フレキシブル透明電極と対極とを接合させる。接合後、前記スペーサー部に、液状発光材料を導入することで、有機ＥＬ素子を得ることができる。なお、対極上にスペーサー部を形成した後、液状発光材料を導入し、その後に前記フレキシブル透明電極と対極とを接合させてもよい。
【００６１】
前記スペーサー部の形成方法としては、特に限定されないが、例えば、Ａｇ等の金属を電極上に蒸着させたり、電極上にフォトレジスト膜を形成して、リソグラフィーによって開口部を形成する等の方法が挙げられる。
【００６２】
また、液状発光材料を、スペーサーを用いずに単に陽極及び陰極で挟み込んだ構成を有する有機ＥＬ素子としてもよい。
【００６３】
更に、前述した各種機能層を形成する場合は、各層の成膜方法も特に限定されず、用いる材料に応じて、スピンコート、スプレーコート、インクジェット等の塗布法や、蒸着法、スパッタリング法等の公知の方法を適宜採用することができる。
【実施例】
【００６４】
以下、実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は下記実施例に限定されない。なお、なお、実施例で使用した装置は以下のとおりである。
（１）光学顕微鏡：(株)キーエンス製ＶＨ−Ｚ  １００Ｒ
（２）電子顕微鏡（ＳＥＭ）：(株)日立ハイテクノロジーズ社製ＳＵ−８２４０、(株)日立ハイテクノロジーズ社製Ｓ−４８００
（３）デジタル抵抗計：ホーザン(株)製ＤＴ−１１７
（４）エキシマＵＶランプ：ウシオ電機(株)製Ｈ００１７
（５）スピンコーター：ミカサ(株)製１Ｈ−ＤＸ２
（６）露光装置：ズースマイクロテック社製Ｍ６
【００６５】
［実施例１］
外形サイズ４０ｍｍ×３０ｍｍ、膜厚１２５μｍのＰＥＴフィルム基材の片面全面に、膜厚１３０ｎｍのＩＴＯ膜（シート抵抗：３０Ω／□）が形成された基板を用意した。ＩＴＯ膜の前面に、フォトレジスト組成物（ＡＺエレクトロニックマテリアルズ(株)製ＡＺ４６２０、ポジ型）を７μｍの厚みでスピンコートし、１００℃でプリベークし、フォトレジスト膜を形成した。その後、フォトマスクを介してＵＶ照射（波長３６５ｎｍ、露光量２５０ｍＪ／ｃｍ2）を行い、フォトレジスト膜上に、幅５０μｍ、スペース５０μｍの格子状パターンを転写した。その後、現像液（ＡＺエレクトロニックマテリアルズ(株)製ＡＺ４００Ｋ）中にてフォトレジスト膜の露光部を除去し、パターンを形成した。１００℃で１分ＰＥＢを行うことでフォトレジスト膜を安定化させた。続いて、塩酸、硝酸及び純水を５：１：６の割合で混合した希王水溶液中にて、フォトレジスト膜をマスクとして、露出しているＩＴＯ膜をエッチングした。ＩＴＯ膜をエッチングするのに要した時間は、３０秒であった。その後、有機溶剤（アセトン、２−プロパノール）によりフォトレジスト膜を除去し、幅３６.５μｍ、スペース６６μｍの格子状パターンの開口部を有するＩＴＯ透明電極Ａを作製した。ＩＴＯ透明電極Ａの光学顕微鏡像を図２に示す。
【００６６】
［実施例２］
パターン形状を、直径５０μｍ、ピッチ５０μｍのホールアレイパターンとしたこと以外は、実施例１と同様にしてＩＴＯ透明電極Ｂを作製した。ＩＴＯ透明電極Ｂの光学顕微鏡像を図３に示す。
【００６７】
［実施例３］
パターン形状を、外接円半径５０μｍ、ピッチ１００μｍのハニカム構造パターンとしたこと以外は、実施例１と同様にしてＩＴＯ透明電極Ｃを作製した。ＩＴＯ透明電極Ｃの光学顕微鏡像を図４に示す。
【００６８】
［実施例４］
パターン形状を、幅１０μｍ、スペース１０μｍの格子状パターンとしたこと以外は、実施例１と同様にしてＩＴＯ透明電極Ｄを作製した。ＩＴＯ透明電極Ｄの光学顕微鏡像を図５に示す。
【００６９】
［実施例５］
パターン形状を、幅５０μｍ、スペース１００μｍの網目状パターンとしたこと以外は、実施例１と同様にしてＩＴＯ透明電極Ｅを作製した。ＩＴＯ透明電極Ｅの光学顕微鏡像を図６に示す。
【００７０】
［比較例１］
外形サイズ４０ｍｍ×３０ｍｍ、膜厚１２５μｍのＰＥＴフィルム基材の片面全面に、膜厚１３０ｎｍのＩＴＯ膜（シート抵抗：３０Ω／□）を有し、パターンが形成されていない基板を、ＩＴＯ透明電極Ｆとした。ＩＴＯ透明電極Ｆの光学顕微鏡像を図７に示す。
【００７１】
［電気特性の評価］
ＩＴＯ透明電極Ａ〜Ｆについて、曲げ試験を実施した。曲げ試験は、曲率半径が６.８５ｍｍとなるように、ＩＴＯ面を上向きにして電極を下向きに１,０００回同じ箇所を屈曲させた後、屈曲後の抵抗値をデジタル抵抗計で測定することで行った。
ＩＴＯ透明電極Ａ〜Ｆの初期抵抗値、及び１,０００回屈曲後の抵抗値を表１に示す。
【００７２】
【表１】
2018181490.tif 000008
【００７３】
また、ＩＴＯ透明電極Ａ〜Ｆの抵抗値増加率を屈曲回数に対してプロットした結果を、図８に示す。パターニングした金属酸化物透明電極（ＩＴＯ透明電極Ａ〜Ｅ）は、屈曲に伴う抵抗値の増加が緩やかであり、１,０００回屈曲後においても抵抗値の増加率は初期抵抗値の１.８４倍にとどまることができた。これに対して、パターニングしていない金属酸化物透明電極（ＩＴＯ透明電極Ｆ）は、屈曲回数に対して急激に抵抗値が増加し、１,０００回屈曲後において抵抗値の増加率は初期抵抗値の１,６９０倍になった。このことから、金属酸化物透明電極にパターニングをすることにより、電極のフレキシブル性が高くなることが確認できた。
【００７４】
［表面状態評価］
ＩＴＯ透明電極Ａ〜Ｆについて、曲率半径が６.８５ｍｍとなるように、ＩＴＯ面を上向きにして電極を下向きに１,０００回屈曲させた後の、表面ＳＥＭ像を図９〜１４に示す。ＩＴＯ透明電極Ｆは表面に多数のクラックが発生しているが、パターニングしたＩＴＯ透明電極Ａ〜Ｅでは表面にクラック等の発生は見られなかった、このことより、金属酸化物透明電極にパターニングをすることにより、クラックの発生が抑制できることが確認できた。
【００７５】
［有機ＥＬ素子用電極としての特性］
ＩＴＯ透明電極Ａについて、有機ＥＬ素子の電極としての特性を評価した。評価に用いた有機ＥＬ素子の構造を図１５に示す。表面に陰極として１３０ｎｍのＩＴＯが成膜された第１基板を用意し、その上に、フォトレジスト組成物（マイクロケム社製、ＳＵ−８、ネガ型）を６μｍの厚みでスピンコートし、１００℃でプリベークし、フォトレジスト膜を形成した。その後、フォトマスクを介してＵＶ照射（波長３６５ｎｍ、露光量２４０ｍＪ／ｃｍ2）を行い、パターンを露光した。また、１００℃で５分間ＰＥＢを行うことでフォトレジスト膜を安定化させた。
その後、現像液としてSU-8 developer（マイクロケム社製）を用いて現像を行い、フォトレジスト膜上に流路壁を形成した。
実施例１で作製したＩＴＯ透明電極Ａを第２基板とした。
その後、第１基板及び第２基板の電極が設けられた面に対して、エキシマＵＶランプにより真空紫外光（ＶＵＶ／Ｏ3）を照射して表面を親水化した後、第１基板の上には自己組織化膜として３−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン（ＧＯＰＴＳ）を、第２基板の上には自己組織化膜として３−アミノプロピルトリエトキシシラン（ＡＰＴＥＳ）を形成した。第１基板を１ｖ／ｖのＧＯＰＴＳ水溶液に２０分浸漬し、５分ごとに撹拌を行うことで形成した。また、第２基板は５体積％のＡＰＴＥＳ水溶液に２０分浸漬し、５分毎に撹拌を行うことで形成した。続いて、第１基板と第２基板の電極面を接触させ、この状態のまま加重を加えるとともに加熱し、エポキシ・アミノ反応によって両基板を接合させた。最後に、液状発光材料として前述した式（４）で表される化合物を前記流路に導入し、有機ＥＬ素子を作製した。
第２基板（ＩＴＯ透明電極Ａ）を屈曲させずに作製した有機ＥＬ素子、及び第２基板を曲率半径が６.８５ｍｍとなるように、ＩＴＯ面を上向きにして電極を下向きに１００回屈曲させた素子の、印加電圧７０Ｖにおける有機ＥＬ特性を図１６に示す。実施例１を含む第２基板を用いることで、屈曲後も均一な発光が得られることが確認された。
【符号の説明】
【００７６】
１  金属酸化物透明電極
２  ＰＥＴ基板
３  金属酸化物層
４  基板
５  陰極
６  流路壁
７  液状発光材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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