(57)【要約】【課題】  基材に対して高い密着性を有するポリパラキシリレン蒸着膜を形成する方法、及び、該方法により形成された、基材と蒸着膜とが高い層間接着強度を有する蒸着体を提供すること。【解決手段】  有機材料からなる基材上にポリパラキシリレンを蒸着する方法であって、パラキシリレンダイマーと、基材と、気化室、熱分解室及び蒸着室を有する蒸着装置とを用意する工程と、蒸着装置内の圧力を、１.３３×１０-1〜６６.７Ｐａに調整する工程と、パラキシリレンダイマーを気化室内に導入し、１００〜２５０℃で気化する工程と、該気化したパラキシリレンダイマーを熱分解室内に導入し、５００〜８００℃でパラキシリレンモノマーに分解する工程と、該パラキシリレンモノマーを蒸着室内に導入し、蒸着室内に別途導入した基材表面に、吸着させると共に重合させて、ポリパラキシリレンの蒸着膜を形成する工程と、を含む上記方法【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機材料からなる基材上にポリパラキシリレンを蒸着する方法であって、
パラキシリレンダイマーと、基材と、気化室、熱分解室及び蒸着室を有する蒸着装置とを用意する工程と、
蒸着装置内の圧力を、１.３３×１０-1〜６６.７Ｐａに調整する工程と、
パラキシリレンダイマーを気化室内に導入し、１００〜２５０℃で気化する工程と、
該気化したパラキシリレンダイマーを熱分解室内に導入し、５００〜８００℃でパラキシリレンモノマーに分解する工程と、
該パラキシリレンモノマーを蒸着室内に導入し、蒸着室内に別途導入した基材表面に、吸着させると共に重合させて、ポリパラキシリレンの蒸着膜を形成する工程と、
を含む、上記方法。
【請求項２】
前記ポリパラキシリレンが、非置換ポリパラキシリレン及びポリモノクロロパラキシリレンから選択される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記基材を蒸着室内に導入する前に、該基材の表面をプラズマ処理する工程を更に含む、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記プラズマ処理が、リアクティブイオンエッチング方式又はダイレクトプラズマ方式で、アルゴンガス又は酸素ガスの存在下で、１〜１００Ｐａの圧力下で、プラズマ出力１０〜５００Ｗで、処理時間５〜５００秒で行われる、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法により、基材上にポリパラキシリレンを蒸着してなる蒸着体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機材料からなる基材上にポリパラキシリレンを蒸着する方法、及び、該方法により得られる蒸着体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、医療用材料等において、各種樹脂フィルムや、シリンジ用ガスケット等の成形品、シリコーンチューブ等の基材表面に、ポリパラキシリレン等の生体適合性材料からなる被膜を積層し、生体適合性を高めることが検討されている（特許文献１）。
しかしながら、生体適合性材料は、その構造的安定性の高さから、基材への密着が悪く、剥離し易いという問題がある。特に、シリンジ用ガスケット等の樹脂成形品は、その表面に、脱型を助ける離型材が残留している。そのため、生体適合性材料、例えばポリパラキシリレンの被膜を積層しても、使用に耐え得る十分な密着性が得られにくい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００１−５２２６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記の問題点を解決して、基材に対して高い密着性を有するポリパラキシリレン蒸着膜を形成する方法、及び、該方法により形成された、基材と蒸着膜とが高い層間接着強度を有する蒸着体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、種々研究の結果、ポリパラキシリレンの蒸着に際し、原料の気化工程、熱分解工程、及び蒸着工程における各種条件を検討することによって、上記課題を解決し、基材との高い密着性が得られることを見出した。
すなわち、有機材料からなる基材上にポリパラキシリレンを蒸着する方法であって、パラキシリレンダイマーと、基材と、気化室、熱分解室及び蒸着室を有する蒸着装置とを用意する工程と、蒸着装置内の圧力を、１.３３×１０-1〜６６.７Ｐａに調整する工程と、パラキシリレンダイマーを気化室内に導入し、１００〜２５０℃で気化する工程と、該気化したパラキシリレンダイマーを熱分解室内に導入し、５００〜８００℃でパラキシリレンモノマーに分解する工程と、該パラキシリレンモノマーを蒸着室内に導入し、蒸着室内に別途導入した基材表面に、吸着させると共に重合させて、ポリパラキシリレンの蒸着膜を形成する工程と、を含む上記方法が、上記の目的を達成することを見出したものである。
【０００６】
そして、本発明は、以下の点を特徴とする。
（１）有機材料からなる基材上にポリパラキシリレンを蒸着する方法であって、パラキシリレンダイマーと、基材と、気化室、熱分解室及び蒸着室を有する蒸着装置とを用意する工程と、蒸着装置内の圧力を、１.３３×１０-1〜６６.７Ｐａに調整する工程と、パラキシリレンダイマーを気化室内に導入し、１００〜２５０℃で気化する工程と、該気化したパラキシリレンダイマーを熱分解室内に導入し、５００〜８００℃でパラキシリレンモノマーに分解する工程と、該パラキシリレンモノマーを蒸着室内に導入し、蒸着室内に別途導入した基材表面に、吸着させると共に重合させて、ポリパラキシリレンの蒸着膜を形成する工程と、を含む、上記方法。
（２）前記ポリパラキシリレンが、非置換ポリパラキシリレン及びポリモノクロロパラキシリレンから選択される、上記（１）に記載の方法。
（３）前記基材を蒸着室内に導入する前に、該基材の表面をプラズマ処理する工程を更に含む、上記（１）又は（２）に記載の方法。
（４）前記プラズマ処理が、リアクティブイオンエッチング方式又はダイレクトプラズマ方式で、アルゴンガス又は酸素ガスの存在下で、１〜１００Ｐａの圧力下で、プラズマ出力１０〜５００Ｗで、処理時間５〜５００秒で行われる、上記（３）に記載の方法。
（５）上記（１）〜（４）のいずれかに記載の方法により、基材上にポリパラキシリレンを蒸着してなる蒸着体。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の方法によれば、基材と高い密着性を有するポリパラキシリレン蒸着膜を、基材や膜質の劣化なしに、効率よく形成することができる。
また、本発明の方法により得られるポリパラキシリレン蒸着膜は、長期にわたって基材から剥離しにくく、また十分な透明性を有し、さらに、生体適合性に加えて、良好な滑り性、耐薬品性、熱安定性、絶縁性、及びガスバリア性を付与することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明において用いられる蒸着装置について、その一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明について以下に詳しく説明する。
本発明において使用される蒸着装置は、図１に示すように、気化室、熱分解室、蒸着室、及び冷却筒を介してバキュームポンプを順に繋げた構成である。
この蒸着装置において、有機材料からなる基材を、蒸着室内に導入する。
一方、気化室内にパラキシリレンダイマーを投入し、バキュームポンプを作動させて所定の低圧条件に調整し、気化室を加熱する。これにより、原料ダイマーを気化する。
気化したダイマーは、次いで、熱分解室内に移動し、パラキシリレンモノマー（ラジカルモノマー、ジラジカルパラキシリレン）に分解される。
パラキシリレンモノマーは、次いで、蒸着室に移動し、蒸着室内に置かれた基材表面に吸着すると共に重合し、基材上にポリパラキシリレン蒸着膜が形成される。
【００１０】
本発明において、蒸着膜を構成するポリパラキシリレンは、非置換であっても塩素で置換されていてもよく、下記式（Ｉ）で表される構成単位からなる非置換ポリパラキシリレン（パリレン(R)Ｎ、日本パリレン株式会社製）、下記式（II）で表される構成単位からなるポリモノクロロパラキシリレン（パリレン(R)Ｃ、日本パリレン株式会社製）、下記式（III）で表される構成単位からなるポリジクロロパラキシリレン（パリレン(R)Ｄ、日本パリレン株式会社製）、又はこれらの１種又は２種以上の混合物を用いることができる。
【００１１】
【化１】
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【００１２】
本発明の方法によれば、特に、非置換ポリパラキシリレン（パリレン(R)Ｎ）及びポリモノクロロパラキシリレン（パリレン(R)Ｃ）を好適に蒸着することができる。パリレン(R)Ｎは、絶縁性に優れ、また、シリコーンチューブや筒状成形体に蒸着膜を形成する際に、筒内部に均質に蒸着膜を形成することができる点において好適に用いられる。一方、パリレン(R)Ｃは、摺動性に優れ、また、反応性及び取扱い性に優れ、効率よく短時間で所望の厚さの蒸着膜を形成することができる点において特に好ましい。
【００１３】
ポリパラキシリレンの原料として、粉末状のパラキシリレンダイマーが使用される。パリレン(R)Ｎの原料としては、下記式（IV）で表される非置換のパラキシリレンダイマー（[2,2]パラシクロファン）が使用され、パリレン(R)Ｃの原料としては、下記式（V）で表されるモノクロロパラキシリレンダイマー（ジクロロ[2,2]パラシクロファン）が使用され、パリレン(R)Ｄの原料としては、下記式（VI）で表されるジクロロパラキシリレンダイマー（テトラクロロ[2,2]パラシクロファン）が使用される。
【００１４】
【化２】
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【００１５】
上記の原料ダイマーを気化室内に入れ、減圧下で加熱することによって気化させる。
ダイマー量が0.1ｇ以下であると、蒸着釜の気圧が低く、蒸着膜もほとんど形成されない。またダイマー量が500ｇ以上であると、蒸着釜の長時間気圧が一定(機械制御)ではあるが、膜が厚すぎることもあり、作成に長時間かかるため望ましくない。
これらを考慮してダイマー投入量は、0.1〜500ｇで有ることが望ましい。
蒸着装置の各室は、バキュームポンプを作動させることによって１.３３×１０-1〜６６.７Ｐａ（１〜５００ｍＴｏｒｒ）に減圧されることが好ましく、特に１〜３０ｍＴｏｒｒに減圧されることが望ましい。
室内の圧力が低すぎると、ラジカルモノマーの密度が小さくなり、所望の厚さの蒸着膜を得るのに時間がかかり、生産効率が低下する。逆に圧力が高すぎる場合も、ラジカルモノマーの密度が高くなりすぎて、基材表面に到達する前にポリマー化が発生し易く、また、形成される蒸着膜の膜質が低下し、基材と蒸着膜との密着性が低下するため好ましくない。
【００１６】
気化室の温度は、好ましくは１０〜２５０℃であり、より好ましくは６０〜２００℃である。
気化室の温度が低すぎると、十分量のダイマーを気化することができない。一方、温度が高すぎると、ダイマーが炭化するため好ましくない。
【００１７】
気化したダイマーが、次いで熱分解室に導入され、ラジカルモノマーに分解される。ここで、熱分解室の温度は、好ましくは５００〜８００℃であり、より好ましくは６００〜
７５０℃である。
熱分解室の温度が低すぎると、十分量のラジカルモノマーが得られない。一方、温度が高すぎると、ダイマーが炭化するため好ましくない。
反応性の高いラジカルモノマーは、次いで、蒸着室内に導入された基材の表面に、吸着すると同時にポリマー化し、ポリパラキシリレンの蒸着膜を形成する。
上記の熱分解室から出たパリレンは、蒸着室に向かい、基材に接触して膜を形成する。
蒸着工程は、基材を予め蒸着室内に置くバッチ処理で行うものであってもよく、または、フィルムやシート等の基材を所定の速度で搬送して順次巻き取る連続処理で行うものであってもよい。
【００１８】
本発明において、ポリパラキシリレン蒸着膜の厚さは、蒸着体の用途等に応じて当業者が適宜に決定することができ、所望の厚さとなるように、蒸着時間や蒸着室内への基材搬送速度を調整すればよい。具体的には、蒸着体が樹脂フィルムやシートである場合、蒸着膜の厚さは、０．１μｍ〜３０μｍであってよい。
また、シリンジ用ガスケットやシリコーンチューブである場合、蒸着膜の厚さは、０．５μｍ〜１０μｍであってよい。蒸着膜が薄過ぎると所望の効果が得られない。逆に厚過ぎると、生産効率が低下し好ましくない。
【００１９】
本発明において、蒸着膜を積層する基材としては、各種有機材料からなる基材が使用される。具体的には、樹脂フィルムやシート、熱可塑性または熱硬化性樹脂からなる成型品、例えばシリンジ用ガスケット及びシリコーンチューブ等が挙げられる。
樹脂フィルム及びシートとしては、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂等のポリオレフィン系樹脂、環状ポリオレフィン樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、セルロース樹脂等の各種の樹脂フィルムやシートが好適に使用されるが、これらに限定されない。
なお、上記各種の樹脂１種ないしそれ以上を使用し、製膜化に際して、例えば、フィルムの加工性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離型性、難燃性、抗菌性、電機的特性、強度、ラミネート強度、その他等を改良、改質する目的で、種々のプラスティック配合剤や添加剤等を添加することができ、その添加量としては、極微量から数十％まで、その目的に応じて、任意に添加することができる。
上記において、一般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、補強剤、帯電防止剤、顔料、その他等を使用することができ、更に、改質用樹脂等も使用することができる。
【００２０】
あるいは、これらの添加剤を含まない、無添加の樹脂フィルムやシート、例えば添加剤無添加のポリエチレンフィルムやシートは、予め表面処理を施す必要なしに、本発明によるポリパラキシリレン蒸着膜と良好な密着性を発揮するため、好適に使用される。
【００２１】
また、成型品としては、アクリル樹脂、アクリル変性ポリオレフィン樹脂、塩素化ポリオレフィン樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂（例えば、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレンゴム、ブチルゴム、シリコーンゴム等）、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂等の各種の成型品が好適に使用されるが、これらに限定されない。特に、摺動性、耐内容物性、耐薬品性、及び生体適合性等が求められる医療機器、例えば、ゴム製シリンジ用ガスケットやシリコーンチューブ等の種々の成型品において、本発明によるポリパラキシリレン蒸着膜が好適に適用される。
【００２２】
添加物を含む樹脂フィルムやシート及び成型品については、ポリパラキシリレンを蒸着する前に、予めその表面に特定の前処理を施し、離型剤や各種添加剤等を除去したり、表面を洗浄することが望ましい。
このような前処理としては、プラズマ処理、及び、トルエンやエタノール等の溶媒による洗浄処理が挙げられるが、蒸着膜との密着性が著しく高まるため、プラズマ処理が特に好ましく行われる。
【００２３】
本発明において、ポリパラキシリレン蒸着膜との密着性を高めるために、プラズマ処理は、アルゴンガス、酸素ガス、又はアルゴンガスに酸素ガスを添加した混合ガスの存在下で行われる。
また、その反応方式としては、リアクティブイオンエッチング方式又はダイレクトプラズマ方式が使用される。
【００２４】
上記プラズマ処理は、１〜１００Ｐａ、より好ましくは２０〜５０Ｐａである。
プラズマ出力１０〜５００Ｗ、より好ましくは１００〜３００Ｗで、処理時間５〜５００秒で、より好ましくは５秒〜３００秒で行うことにより、表面の添加剤や汚染が除去され、適切な表面粗さが得られ、極性が付与される。
圧力がこれより低いと、蒸着膜との密着性向上効果が得られない。逆に高すぎると、基材が劣化するため好ましくない。また、プラズマ出力が１０Ｗ未満であると、蒸着膜との密着性向上効果が得られない。
逆に５００Ｗより大きいと、基材が劣化するため好ましくない。さらに、処理時間が５秒未満であると、蒸着膜との密着性向上効果が得られない。逆に５００秒より長いと、基材が劣化するため好ましくない。
本発明において好ましくは、プラズマ処理は、圧力、プラズマ出力及び処理時間を調整することが好ましい。
【００２５】
本発明の方法により基材上にポリパラキシリレンを蒸着してなる蒸着体は、基材と蒸着膜とが高い密着性を示し、蒸着膜が剥離しにくく、長期にわたって所望の生体適合性、滑り性、耐薬品性、熱安定性、絶縁性、及びガスバリア性等のポリパラキシリレン蒸着膜の特性を維持することができる。
【実施例】
【００２６】
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、これらは本発明を制限するものではない。
実施例及び比較例で得られる蒸着体について、その密着性、摺動性及びガスバリア性は、以下の評価試験により評価した。
【００２７】
（密着性試験）
得られた蒸着体の蒸着面に、１２ｍｍ巾のテープ（ニチバン株式会社製セロテープ(R)Ｎｏ．４０５）を貼ってこすり、引き離した後、蒸着膜がテープに取られていないかを目視にて確認した。
【００２８】
（フィルムの摺動性試験）
得られた蒸着フィルムの摺動性を、静摩擦係数及び動摩擦係数により評価した。静摩擦係数及び動摩擦係数は、新東科学社製のＨＥＩＤＯＮ  ＮＨＳ２０００を使用し、ＪＩＳ
Ｋ７１２５に準拠して測定した。
静摩擦係数及び動摩擦係数は、蒸着体の蒸着膜表面に対し、ステンレス板を接触させ、移動速度１００ｍｍ／分で、移動距離５０ｍｍで、荷重２００ｇの条件で測定した。
【００２９】
（ガスバリア性試験）
得られた蒸着体のガスバリア性を、酸素透過度及び水蒸気透過度により評価した。酸素透過度は、温度２３℃、湿度９０％ＲＨの条件で、ＭＯＣＯＮ社製ＯＸ−ＴＲＡＮ２／２０にて測定した。水蒸気透過度は、温度４０℃、湿度１００％ＲＨの条件で、ＭＯＣＯＮ
社製ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ−Ｗ３／３１にて測定した。
【００３０】
（ガスケットの摺動性試験）
得られた蒸着ガスケットを押し子に装着し、ポリプロピレン製シリンジ内に押し込んだ後、引張速度５０ｍｍ／分、移動距離１００ｍｍで押し子を引張り、その際の引張強度を測定し、摺動性を評価した。引張強度は、シングルコラム型材料試験機(STAシリーズ)を用いて測定した。
【００３１】
［実施例１］
厚さ６０μｍのポリエチレンフィルム（三井化学東セロ（株）製Ｔ.Ｕ.Ｘ(R)ＦＣＤ−ＮＰ）のコロナ処理面上に、リアクティブイオンエッチング方式で、アルゴンガスの存在下で、処理内部圧力３０Ｐａ、プラズマ出力２００Ｗにて６０秒間プラズマ処理を行った。
この基材フィルムを、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、モノクロロパラキシリレンダイマー１０ｇを投入し、装置内の圧力を６.６７Ｐａ（５０ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１６０℃に、熱分解室を６５０℃に設定し、上記基材のプラズマ処理面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリモノクロロパラキシリレン蒸着膜を形成し、本発明の蒸着体を得た。
反応時間は１５０分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は４.０３μｍであった。密着性試験に付したところ、蒸着膜の剥離は確認されず、優れた密着性を有するものであった。また、以下の表１に示されるとおり、良好な滑り性及びガスバリア性を示した。
【００３２】
［実施例２］
厚さ３００μｍのシリコーンシートの一方の面上に、ダイレクトプラズマ方式で、酸素ガスの存在下で、処理内部圧力１００Ｐａ、プラズマ出力２００Ｗにて６０秒間プラズマ処理を行った。この基材シートを、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、モノクロロパラキシリレンダイマー１０ｇを投入し、装置内の圧力を４.６７Ｐａ（３５ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１７５℃に、熱分解室を６９０℃に設定し、上記基材のプラズマ処理面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリモノクロロパラキシリレン蒸着膜を形成し、本発明の蒸着体を得た。
反応時間は２５０分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は４.０３μｍであった。密着性試験に付したところ、蒸着膜の剥離は確認されず、優れた密着性を有するものであった。また、以下の表１に示されるとおり、良好な滑り性及びガスバリア性を示した。
【００３３】
［実施例３］
厚さ７０μｍのポリプロピレンフィルム（東レフィルム加工株式会社製トレファン(R)ＮＯ  ＺＫ９９Ｓ）のコロナ処理面上に、リアクティブイオンエッチング方式で、酸素ガスの存在下で、処理内部圧力３５Ｐａ、プラズマ出力１５０Ｗにて６０秒間プラズマ処理を行った。
この基材シートを、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、非置換パラキシリレンダイマー１０ｇを投入し、装置内の圧力を７.３３Ｐａ（５５ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１６５℃に、熱分解室を６５０℃に設定し、上記基材のプラズマ処理面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリパラキシリレン蒸着膜を形成し、本発明の蒸着体を得た。
反応時間は２６０分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は１.９３μｍであった。密着性試験に付したところ、蒸着膜の剥離は確認されず、優れた密着性を有するものであった。また、以下の表１に示されるとおり、良好な滑り性及びガスバリア性を示した。
【００３４】
［実施例４］
厚さ５０μｍの添加剤無添加のポリエチレンフィルム（日本ポリエチレン株式会社製ハーモレックス(TM)ＮＦ４６４Ｎ）を、表面前処理を行わず、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、モノクロロパラキシリレンダイマー１０ｇを投入し、装置内の圧力を４.６７Ｐａ（３５ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１７５℃に、熱分解室を６９０℃に設定し、上記基材の一方の面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリモノクロロパラキシリレン蒸着膜を形成し、本発明の蒸着体を得た。
反応時間は２１０分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は１.９３μｍであった。密着性試験に付したところ、蒸着膜の剥離は確認されず、良好な密着性を有するものであった。また、以下の表１に示されるとおり、良好な滑り性及びガスバリア性を示した。
【００３５】
［実施例５］
ブチルゴム製２０ｍＬシリンジ用ガスケットを用意し、その表面上に、リアクティブイオンエッチング方式で、アルゴンガスの存在下で、処理内部圧力３０Ｐａ、プラズマ出力２００Ｗにて６０秒間プラズマ処理を行った。
この基材を、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、モノクロロパラキシリレンダイマー１ｇを投入し、装置内の圧力を６.６７Ｐａ（５０ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１６０℃に、熱分解室を６５０℃に設定し、上記基材の表面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリモノクロロパラキシリレン蒸着膜を形成し、本発明の蒸着体を得た。
反応時間は３５分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は０.７８μｍであった。密着性試験に付したところ、蒸着膜の剥離は確認されず、優れた密着性を有するものであった。また、以下の表２に示されるとおり、良好な滑り性を示した。
【００３６】
［実施例６］
ブチルゴム製２０ｍＬシリンジ用ガスケットを用意し、その表面上に、ダイレクトプラズマ方式で、酸素ガスの存在下で、処理内部圧力１００Ｐａ、プラズマ出力２００Ｗにて６０秒間プラズマ処理を行った。この基材を、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、パラキシリレンダイマー２ｇを投入し、装置内の圧力を４.６７Ｐａ（３５ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１７５℃に、熱分解室を６９０℃に設定し、上記基材の表面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリパラキシリレン蒸着膜を形成し、本発明の蒸着体を得た。
反応時間は７０分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は０.８１μｍであった。密着性試験に付したところ、蒸着膜の剥離は確認されず、優れた密着性を有するものであった。また、以下の表２に示されるとおり、良好な滑り性を示した。
【００３７】
［実施例７］
ブチルゴム製２０ｍＬシリンジ用ガスケットを用意し、その表面上に、リアクティブイオンエッチング方式で、アルゴンガスの存在下で、処理内部圧力３０Ｐａ、プラズマ出力２００Ｗにて６０秒間プラズマ処理を行った。
この基材を、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、モノクロロパラキシリレンダイマー１.５ｇを投入し、装置内の圧力を６.６７Ｐａ（５０ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１６０℃に、熱分解室を６５０℃に設定し、上記基材の表面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリモノクロロパラキシリレン蒸着膜を形成し、本発明の蒸着体を得た。
反応時間は３５分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は１.２１μｍであった。密着性試験に付したところ、蒸着膜の剥離は確認されず、優れた密着性を有するものであった。また、以下の表２に示されるとおり、良好な滑り性を示した。
【００３８】
［実施例８］
外径１０ｍｍ内径８ｍｍのシリコーンチューブを用意し、リアクティブイオンエッチング方式で、アルゴンガスの存在下で、処理内部圧力３０Ｐａ、プラズマ出力２００Ｗにて３０秒間プラズマ処理を行った。
この基材を、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、パラキシリレンダイマー１.８ｇを投入し、装置内の圧力を５.３３Ｐａ（４０ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１５０℃に、熱分解室を６９０℃に設定し、上記基材の表面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリパラキシリレン蒸着膜を形成し、本発明の蒸着体を得た。
反応時間は４０分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は１.３２μｍであった。密着性試験に付したところ、蒸着膜の剥離は確認されず、優れた密着性を有するものであった。また、シリコーンチューブの滑りの悪さが改善され、滑り性が向上した。
【００３９】
［比較例１］
厚さ１００μｍのポリエチレンフィルム（三井化学東セロ（株）製Ｔ.Ｕ.Ｘ(R)ＦＣＤ−ＮＰ）のコロナ処理面上に、リアクティブイオンエッチング方式で、酸素ガスの存在下で、処理内部圧力３５Ｐａ、プラズマ出力１５０Ｗにて６０秒間プラズマ処理を行った。この基材フィルムを、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、モノクロロパラキシリレンダイマー１０ｇを投入し、装置内の圧力を７３.３Ｐａ（５５０ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１７５℃に、熱分解室を６９０℃に、気化室温度を２６０℃に設定し、上記基材のプラズマ処理面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリモノクロロパラキシリレン蒸着膜を形成し、蒸着体を得た。
反応時間は２０分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は２.３２μｍであった。蒸着膜は基材からすぐに剥離し、実用性に欠けていた。
【００４０】
［比較例２］
厚さ１００μｍのポリエチレンフィルム（三井化学東セロ（株）製Ｔ.Ｕ.Ｘ(R)ＦＣＤ−ＮＰ）のコロナ処理面上に、リアクティブイオンエッチング方式で、酸素ガスの存在下で、処理内部圧力３５Ｐａ、プラズマ出力１５０Ｗにて６０秒間プラズマ処理を行った。この基材フィルムを、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、モノクロロパラキシリレンダイマー１０ｇを投入し、装置内の圧力を４.６７Ｐａ（３５ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１７５℃に、熱分解室を４５０℃に設定し、上記基材のプラズマ処理面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリモノクロロパラキシリレン蒸着膜を形成し、蒸着体を得た。
反応時間は２２０分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は１.１２μｍであった。蒸着膜は基材からすぐに剥離し、実用性に欠けていた。
【００４１】
［比較例３］
厚さ５０μｍのポリエチレンフィルム（三井化学東セロ（株）製Ｔ.Ｕ.Ｘ(R)ＦＣＳ−Ｕ）を、プラズマ処理を施さずに、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、パラキシリレンダイマー１０ｇを投入し、装置内の圧力を５.３３Ｐａ（４０ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１６０℃に、熱分解室を６５０℃に設定し、上記基材のコロナ処理面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリパラキシリレン蒸着膜を形成し、蒸着体を得た。
反応時間は２８０分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は１.８４μｍであった。蒸着膜は基材からすぐに剥離し、実用性に欠けていた。
【００４２】
［比較例４］
ブチルゴム製２０ｍＬシリンジ用ガスケットを用意し、その表面上に、リアクティブイオンエッチング方式で、酸素ガスの存在下で、処理内部圧力３５Ｐａ、プラズマ出力１５０Ｗにて６０秒間プラズマ処理を行った。
この基材を、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、モノクロロパラキシリレンダイマー１０ｇを投入し、装置内の圧力を４.６７Ｐａ（３５ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１７５℃に、熱分解室を４００℃に設定し、上記基材の表面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリモノクロロパラキシリレン蒸着膜を形成し、蒸着体を得た。
反応時間は９０分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は１.１２μｍであった。蒸着膜は基材からすぐに剥離し、実用性に欠けていた。
【００４３】
［比較例５］
クロロプレンゴム製２０ｍＬシリンジ用ガスケットを用意し、その表面上に、リアクティブイオンエッチング方式で、酸素ガスの存在下で、処理内部圧力３５Ｐａ、プラズマ出力１５０Ｗにて６０秒間プラズマ処理を行った。
この基材を、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、モノクロロパラキシリレンダイマー１０ｇを投入し、装置内の圧力を７３.３Ｐａ（５５０ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１７５℃に、熱分解室を６９０℃に、気化室を２６０℃に設定し、上記基材の表面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリモノクロロパラキシリレン蒸着膜を形成し、蒸着体を得た。
反応時間は２０分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は２.３２μｍであった。蒸着膜は基材からすぐに剥離し、実用性に欠けていた。
【００４４】
［比較例６］
クロロプレンゴム製２０ｍＬシリンジ用ガスケットを用意し、プラズマ処理を施さずに、蒸着装置の蒸着室内に設置した。
一方、蒸着装置の気化室内に、パラキシリレンダイマー１０ｇを投入し、装置内の圧力を５.３３Ｐａ（４０ｍＴｏｒｒ）に設定し、気化室を１６０℃に、熱分解室を６５０℃に設定し、上記基材の表面に、熱分解により生じたラジカルモノマーを吸着させると共に重合させて、ポリパラキシリレン蒸着膜を形成し、蒸着体を得た。
反応時間は２６０分間であり、得られた蒸着膜の平均膜厚は１.８４μｍであった。蒸着膜は基材からすぐに剥離し、実用性に欠けていた。
【００４５】
上記の測定結果について、下記の表１及び表２に示す。
【００４６】
【表１】
2018053341.tif 000005
【００４７】
【表２】
2018053341.tif 000006
【図１】
2018053341.tif 000007