(57)【要約】【課題】  軟質材料からなる薄肉のフィルム状基板の表裏主面に貼り付けられた保護フィルムを、簡便な方法で確実に剥離することができる保護フィルム剥離装置を提供することを目的とする。【解決手段】  保護フィルム剥離装置１は、対象物供給部２と、樹脂製基板１００の保護フィルム１０１ａ，１０１ｂの表面に粘着テープ９が供給される粘着テープ供給部３と、剥離対象物１０の表裏主面を粘着テープ９で挟んだ状態で搬送する搬送部４と、粘着テープ９を搬送部４の送り方向に対して反転させる反転部５と、粘着テープ９とともに剥離対象物１０から剥離された保護フィルム１０１ａ，１０１ｂを回収する粘着テープ回収部６とを備えている。保護フィルム１０１ａ，１０１ｂは、剥離対象物１０が反転部５を通過することによって樹脂製基板１００の表裏主面から同時に剥離される。【選択図】  図１
2018150146.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表裏主面に当該主面を保護するための保護フィルムが貼り付けられてなる剥離対象物から、前記保護フイルムを剥離するための保護フィルム剥離装置であって、
前記剥離対象物が供給される対象物供給部と、
前記基板の表裏主面に貼り付けられた前記保護フィルムの表面に、その粘着面が接触するように粘着テープが供給される粘着テープ供給部と、
前記剥離対象物の表裏主面を前記粘着テープで挟んだ状態で当該粘着テープを搬送する搬送部と、
前記粘着テープを前記搬送部の送り方向に対して反転させる反転部と、
前記粘着テープとともに前記剥離対象物から剥離された保護フィルムを回収する粘着テープ回収部とを備え、
前記剥離対象物が前記反転部を通過することによって、前記保護フィルムが前記基板の表裏主面から同時に剥離されることを特徴とする保護フィルム剥離装置。
【請求項２】
前記反転部では２つの反転部材が、前記剥離対象物の表裏主面に付着した前記粘着テープを挟んで対向配置され、前記反転部材は前記搬送部の送り方向の終端側に向かって２つの反転部材の対向面側に漸次薄肉となる傾斜面を備え、
前記２つの反転部材の傾斜面によって前記粘着テープが各々鋭角に折り返され、
一方の反転部材は、剥離対象物の表裏主面の各々に付着した粘着テープの一方に対して隙間を隔てて配置されていることを特徴とする請求項１に記載の保護フィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表裏主面を外部から保護するための保護フィルムを、当該基板から剥離する保護フィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラスや水晶等の透明基板の主面に、高屈折率材料および低屈折率材料からなる誘電体が交互に多層積層された誘電体多層膜が形成された光学ローパスフィルタ等の光学素子の製造過程では、前記透明基板はその表裏主面を保護するための保護フィルムが貼り付けられずに供給されることが多い。これに対して、ガラスや水晶等の透明基板に比べて非常に薄肉で，かつ樹脂等の軟質材料からなるフィルム状基板の場合、その製造過程でロール状に巻き取られることや、前記基板の表裏主面の汚染防止や傷防止等のために当該基板の表裏主面に保護フィルムが貼り付けられた状態で供給される。
【０００３】
前記フィルム状基板を用いた光学素子の製造時には、まずフィルム状基板に貼り付けられた保護フィルムを当該基板の表裏主面から剥離する必要がある。これを手作業で行う場合、まず前記基板の周縁部をピンセットで保持する必要があるため、基板を保持した箇所に汚れが付着したり、傷が発生したりする虞がある。また、前記フィルム状基板からの保護フィルムの剥離が手作業であるため、作業者からの発塵や、生産効率が悪いといった問題も存在する。さらに近年の小型化に対応するとともに、製造コストを低減するためには、１枚のフィルム状基板からより多くの個片（基板）を得るために余白(捨て代)となる領域を確保し難くなってくる。そのため、前記基板の保持によって汚れや傷が発生した部分を廃棄するという方法を取り難くなってきている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４０７１０８７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１には、シート状部材１（偏光板）の表裏主面に保護膜２，３（保護フィルム）が貼り付けられた保護膜付き偏光板４から、保護膜２，３を剥離することができる剥離装置が開示されている。この剥離装置では、シート状部材を吸着手段で吸着保持し、粘着テープを移動させることでシート状部材から保護膜を剥離する機構となっている。さらに、粘着テープの移動方向と逆方向に移動させて保護膜を剥離する剥離板も備わっている。
【０００６】
特許文献１に開示されている剥離装置では、シート状部材を吸着手段で吸着保持する機構となっているが、シート状部材が前述したフィルム状基板のように非常に薄肉で軟らかい材料の場合、シート状部材が吸着手段によって撓んでしまい、シート状部材から保護膜を確実に剥離するのが困難になってくる。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、軟質材料からなる薄肉のフィルム状基板の表裏主面に貼り付けられた保護フィルムを、簡便な方法で確実に剥離することができる保護フィルム剥離装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、基板の表裏主面に当該主面を保護するための保護フィルムが貼り付けられてなる剥離対象物から、前記保護フイルムを剥離するための保護フィルム剥離装置であって、
前記剥離対象物が供給される対象物供給部と、
前記基板の表裏主面に貼り付けられた前記保護フィルムの表面に、その粘着面が接触するように粘着テープが供給される粘着テープ供給部と、
前記剥離対象物の表裏主面を前記粘着テープで挟んだ状態で当該粘着テープを搬送する搬送部と、
前記粘着テープを前記搬送部の送り方向に対して反転させる反転部と、
前記粘着テープとともに前記剥離対象物から剥離された保護フィルムを回収する粘着テープ回収部とを備え、
前記剥離対象物が前記反転部を通過することによって、前記保護フィルムが前記基板の表裏主面から同時に剥離されることを特徴とする保護フィルム剥離装置となっている。
【０００９】
上記発明によれば、前記基板の表裏主面に保護フィルムが貼り付けられた剥離対象物から、保護フィルムを簡便な方法で確実に剥離することができる。これは前記粘着テープ供給部において、基板の表裏主面に貼り付けられた保護フィルムの表面に、その粘着面が接触するように粘着テープが供給され、この粘着テープが搬送部によって剥離対象物の表裏主面を粘着テープで挟んだ状態で搬送され、反転部によって粘着テープを前記搬送部の送り方向に対して反転させることで保護フィルムが基板の表裏主面から同時に剥離されるからである。
【００１０】
また、上記目的を達成するために請求項２の発明は、前記反転部では２つの反転部材が、前記剥離対象物の表裏主面に付着した前記粘着テープを挟んで対向配置され、前記反転部材は前記搬送部の送り方向の終端側に向かって２つの反転部材の対向面側に漸次薄肉となる傾斜面を備え、
前記２つの反転部材の傾斜面によって前記粘着テープが各々鋭角に折り返され、
一方の反転部材は、剥離対象物の表裏主面の各々に付着した粘着テープの一方に対して隙間を隔てて配置されていることを特徴とする。
【００１１】
上記発明によれば、前記剥離対象物から保護フィルムを確実に剥離することができる。これは、前記反転部で２つの反転部材が剥離対象物の表裏主面に付着した粘着テープを挟んで対向配置され、前記２つの反転部材の傾斜面によって粘着テープが各々鋭角に折り返されていることによる。つまり、前記粘着テープが、反転部材の傾斜面によって鋭角に折り返されるとともに前記傾斜面によって支持されながら送り出されることによって、基板の表裏主面に対して保護フィルムを安定した状態で剥離させることができる。また、一方の反転部材は剥離対象物の表裏主面の各々に付着した粘着テープの一方に対して隙間を隔てて配置されているため、剥離対象物を挟んだ状態の粘着テープが一方の反転部材との接触による抵抗を受けることが無く、スムーズに搬送させることができるからである。
【００１２】
なお前記隙間が、前記剥離対象物の厚みと当該剥離対象物の表裏主面に付着した各粘着テープの厚みとの総和に対して２．５倍以下であってもよい。前記構成によれば、前記剥離対象物から保護フィルムを確実に剥離することができる。これは、一方の反転部材と剥離対象物の表裏主面の各々に付着した粘着テープの一方との隙間が、剥離対象物の厚みと当該剥離対象物の表裏主面に付着した各粘着テープの厚みとの総和に対して２．５倍以下であるので、２つの粘着テープに挟まれた剥離対象物が２つの反転部材間の隙間で撓み過ぎるのを防止することができる。これにより、基板の表裏主面の各々から保護フィルムを同時に剥離することができる。
【００１３】
さらに、前記粘着テープ供給部に、前記剥離対象物の表裏主面に接触した粘着テープの各々を加圧することで、前記保護フィルムと前記粘着テープとを圧着させる加圧部が設けられていてもよい。前記構成によれば、基板の表裏主面に貼り付けられた保護フィルムの各々に対して、粘着テープを確実に付着させることができる。これにより、保護フィルムが基板の表裏主面から剥離されずに、粘着テープと保護フィルムの界面で剥離されてしまうのを防止することができる。なお、前記加圧部における加圧手段として、例えばバネ等の弾性体を用いて所定量の加圧を行ったり、カム機構を用いて加圧力を可変させることも可能である。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように、本発明によれば、軟質材料からなる薄肉のフィルム状基板の表裏主面に貼り付けられた保護フィルムを、簡便な方法で確実に剥離することができる保護フィルム剥離装置を提供することを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る保護フィルム剥離装置の要部の概略模式図
【図２】本発明の実施形態に係る剥離対象物の断面模式図
【図３】本発明の実施形態に係る保護フィルム剥離装置の対象物供給部の拡大模式図
【図４】本発明の実施形態に係る保護フィルム剥離装置の反転部周辺の拡大模式図
【図５】本発明の実施形態の変形例に係る保護フィルム剥離装置の反転部の部分拡大図
【図６】本発明の実施形態の変形例に係る保護フィルム剥離装置の反転部の部分拡大図
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を、剥離対象物に用いられる基板として樹脂製基板を例に挙げ、図１乃至４を参照しながら説明する。なお図１は本発明の実施形態に係る保護フィルム剥離装置の要部についての概略模式図となっている。まず、剥離対象物について説明した後に、本発明の実施形態に係る保護フィルム剥離装置について説明する。
【００１７】
本発明の実施形態に係る剥離対象物１０は直方体状であり、平面視では１辺の寸法が８０ｍｍの正方形となっている。なお当該寸法は一例であり、剥離対象物の平面視寸法は当該寸法に限定されるものではない。また、平面視の形状は正方形に限らず、矩形であってもよい。例えば、平面視矩形の剥離対象物の長辺寸法が１５０ｍｍで、短辺寸法が１３５ｍｍ等の，一回り大きなサイズであってもよい。
【００１８】
本実施形態では、保護フィルム剥離装置１を用いて剥離対象物１０から保護フィルム１０１ａ，１０１ｂを剥離した後、当該保護フィルムが剥離された樹脂製基板１００の両主面（一方の主面と、当該主面の反対側の他方の主面）上に、高屈折材料からなる薄膜と低屈折材料からなる薄膜とが交互に多層積層した誘電体多層膜を形成する。これにより、樹脂製基板を用いた光学フィルタが形成される。前記光学フィルタの特性の例としては、可視光領域の光を透過させるとともに近赤外光領域を含む波長領域の光線を遮断する赤外線カットフィルタや、可視光領域と，近赤外光領域の一部の波長域の両方における光線を透過させる２波長帯域透過型フィルタなどが挙げられる。
【００１９】
樹脂製基板１００は、透明のフィルム状の樹脂からなる薄肉の基板であり、本実施形態ではシクロオレフィン樹脂（ＣＯＰ：シクロオレフィンポリマー）が使用されている。この樹脂製基板１００の厚みは０．１ｍｍの薄板となっている。本実施形態における樹脂製基板１００には赤外線吸収機能を有する樹脂が用いられている。なお、前記樹脂製基板の材料としてシクロオレフィン樹脂以外の樹脂を使用してもよく、例えば、ポリメタクリル酸メチル樹脂（ＰＭＭＡ）や、ポリカーボネート樹脂（ＰＣ）、ポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）、エポキシ樹脂（ＥＰ）等も使用可能である。
【００２０】
本発明は、軟質材料からなる薄肉のフィルム状基板に好適である。例えばガラスのような硬質材料からなる基板の場合、軟質材料（例えば樹脂等）からなるフィルム状の基板に比べて剛性が高く、融点も比較的高いことから、基板の表裏主面を洗浄することは比較的容易である。そのため、基板の表裏主面に保護フィルムを必ずしも貼り付ける必要は無い。
【００２１】
これに対して、樹脂等からなるフィルム状基板の場合、洗浄時に加わる熱に対する基板の耐性や、洗浄治具に収容された前記フィルム状基板が洗浄時に変形することによる当該治具から脱落の問題等により、洗浄は容易ではない。そのため、前記フィルム状基板の表裏主面を保護フィルムで保護する必要がある。しかし、前記フィルム状基板は可撓性を有するため変形し易く、フィルム状基板から保護フィルムを剥離するのが困難になってくる。本発明の実施形態に係る保護フィルム剥離装置は、このような軟質材料からなる薄肉のフィルム状基板から保護フィルムを簡便な方法で確実に剥離することができるものである。
【００２２】
図２に示す保護フィルム１０１ａ，１０１ｂの厚みは、各々０．０５ｍｍとなっている。これらの保護フィルム１０１ａ，１０１ｂに、樹脂製基板１００の厚みを加味した剥離対象物１０の全体の厚みは約０．２ｍｍとなっている。前記保護フィルム１０１ａ，１０１ｂは、基材に粘着層が積層された構成となっている。本発明の実施形態では、前記基材の材料は低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）であり、前記粘着層の材料は特殊ポリオレフィン（特殊ＰＯ）となっている。前記保護フィルム１０１ａ，１０１ｂの粘着力は、０．０５Ｎ／２５ｍｍ（アクリル板に対する数値）となっている。なお、本発明は０．１Ｎ／２５ｍｍ程度までの粘着力を有する弱粘性の保護フィルムに対して好適である。剥離対象物１０は、樹脂製基板１００の表裏主面１００ａ，１００ｂに保護フィルム１０１ａ，１０１ｂが貼り付けられた状態で、後述する対象物供給部２に供給される。
【００２３】
図１に示す本発明の実施形態に係る保護フィルム剥離装置１は、樹脂製基板１００の表裏主面１００ａ，１００ｂに保護フィルム１０１ａ，１０１ｂが貼り付けられた剥離対象物１０から、保護フイルム１０１ａ，１０１ｂを剥離するための装置である。図１に示すように保護フィルム剥離装置１は、対象物供給部２と、粘着テープ供給部３と、搬送部４と、反転部５と、粘着テープ回収部６を備えている。以下、保護フィルム剥離装置１を構成する主要な要素について説明する。
【００２４】
―対象物供給部―
図３は、本発明の実施形態に係る保護フィルム剥離装置１の対象物供給部２の拡大模式図である。対象物供給部２では、剥離対象物１０が、後述する粘着テープ（９ａ）の粘着面に供給されるようになっている。具体的には本実施形態における対象物供給部２は、地面に対して略水平となるように粘着テープ供給部３（３ａ）から送り出された粘着テープ９ａの粘着面（９０ａ）上に、剥離対象物１０の保護フィルム１０１ａが対向するようにして水平に載置される。なお本発明の実施形態では、平面視正方形の剥離対象物１０の２組の対向辺の一方が、帯状の粘着テープ９ａの幅方向と略平行になるように、剥離対象物１０が粘着面（９０ａ）上に載置される。
【００２５】
―粘着テープ供給部―
粘着テープ供給部３では、樹脂製基板１００の表裏主面１００ａ，１００ｂに貼り付けられた保護フィルム１０１ａ，１０１ｂの表面に、その粘着面（図３における符号９０ａ，９０ｂ）が接触するように粘着テープ９（９ａ，９ｂ）が供給される（図１、３参照）。本発明の実施形態では粘着テープ９としてセロハンテープが用いられているが、セロハンテープ以外にポリエチレンを基材とする粘着テープ等、他の種類のテープを使用してもよい。なお本発明の実施形態では、粘着テープ９ａ，９ｂの幅寸法は１００ｍｍであり、その厚みは０．０６３ｍｍとなっている。
【００２６】
粘着テープ９ａは、図１に示すように対象物供給部２に対して下方に位置する粘着テープ供給部３ａの第１供給部３０から供給される。第１供給部３０では粘着テープ９ａがロール状に巻かれており、図１において反時計回りにロールが回転して、粘着テープ９ａが上方（上向き矢印で示す方向）に送り出された後、小ローラー１１を経由して右側に向きを変えて地面に対して略水平の状態で送り出される。
【００２７】
一方、粘着テープ９ｂは、図１に示すように対象物供給部２に対して上方に位置する粘着テープ供給部３ｂの第２供給部３１から供給される。第２供給部３１では粘着テープ９ｂがロール状に巻かれており、図１において時計回りにロールが回転して、粘着テープ９ｂが左方（左向き矢印で示す方向）に送り出された後、他の小ローラー１２を経由して下側に向きを変えて送り出される。
【００２８】
―加圧部―
粘着テープ９ａの粘着面９０ａに載置された剥離対象物１０は、粘着テープ９ａに対向する側の保護テープ１０１ａが粘着面９０ａに接触することによって粘着面９０ａに貼り付いた状態で、図１，図３において右向き矢印で示す方向に搬送される。そして、第２供給部３１から供給される粘着テープ９ｂの粘着面９０ｂに、剥離対象物１０の上側の保護テープ１０１ｂが接触することで剥離対象物１０の表裏の保護テープ１０１ａ，１０１ｂが粘着テープ９ａ，９ｂによって上下方向に挟み込まれる。
【００２９】
ここで図１，図３に示すように、粘着テープ９ａの非粘着面に接触するように粘着テープ９ａ下方に設けられた加圧ローラー８０と、粘着テープ９ｂの非粘着面に接触するように粘着テープ９ｂの上方に設けられた加圧ローラー８１との間を、剥離対象物１０を挟み込んだ粘着テープ９ａ，９ｂが通過することになる（加圧部８）。なお、加圧ローラー８０，８１の幅寸法は、粘着テープ９ａ，９ｂの幅寸法よりも大きく設定されている。
【００３０】
加圧部８は、前述した加圧ローラー８０および加圧ローラー８１とからなり、これらの加圧ローラーは一対で設けられている。加圧ローラー８０と加圧ローラー８１とは、鉛直方向において同じ位置にローラーの回転軸が位置し、加圧ローラー８０は粘着テープ９ａと，加圧ローラー８１は粘着テープ９ｂと、それぞれ隙間が無い状態で接触している。
【００３１】
上側の加圧ローラー８１の回転軸に嵌合されたベアリング８２には、金属製の押圧部８３が取付けられており、押圧部８３の上方には弾性体９（コイルばね）が接続されている。このような機構により、上側の加圧ローラー８１は鉛直方向に可動となっている。なお、前記コイルばね（９）には、その弾性力を調整するための調整ねじ（図示省略）が取付けられている。前記コイルばね（９）および前記調整ねじは、上側の加圧ローラー８１だけでなく、下側の加圧ローラー８０に対して取付けられていてもよい。
【００３２】
剥離対象物１０の表裏主面に接触した粘着テープ９ａ，９ｂの各々が、一対の加圧ローラー８０，８１の間を通過することによって剥離対象物１０が上下方向から加圧され、保護フィルム１０１ａ，１０１ｂと粘着テープ９ａ，９ｂとが圧着される。
【００３３】
前記加圧部８が存在することにより、樹脂製基板１００の表裏主面に貼り付けられた保護フィルム１０１ａ，１０１ｂの各々に対して、粘着テープ９ａ，９ｂを確実に付着させることができる。これにより、保護フィルム１０１ａ，１０１ｂが樹脂製基板１００の表裏主面から剥離されずに、粘着テープ９ａ，９ｂと保護フィルム１０１ａ，１０１ｂの界面で剥離されてしまうのを防止することができる。
【００３４】
―搬送部―
粘着テープ９ａ，９ｂは、図示しないモーターの駆動力が、後述する粘着テープ回収部６の回収用ローラー６０，６１の各軸に取り付けられた歯車に伝達して回収用ローラー６０，６１が回転することによって、図１の右向き矢印の方向に搬送される仕組みになっている。本発明の実施形態においては、加圧部８を通過した後の剥離対象物１０の表裏主面を挟み込んだ状態の粘着テープ９ａ，９ｂを搬送する領域を便宜上、搬送部と呼んでいる。
【００３５】
搬送部４は所定の張力を以って一方向に搬送される部位であり、剥離対象物１０の裏面側に圧着された粘着テープ９ａの下面には何ら部材が接触しておらず、宙に浮いた状態となっている。
【００３６】
―反転部―
搬送部４から一方向に搬送される粘着テープ９ａ，９ｂは、当該粘着テープを搬送部４の送り方向（図１の右向き矢印の方向）に対して反転させる反転部５へと送られる。反転部５は、図４に示すように上下一対の反転部材５ａと反転部材５ｂとで構成されている。
【００３７】
反転部材５ａ，５ｂは鉛直方向に隙間Ｇを隔てて対向配置されている。本実施形態では隙間Ｇは約１ｍｍに設定されている。剥離対象物１０を挟み込んだ状態において、上側の粘着テープ９ｂの上面９１ｂであって剥離対象物１０の上面（保護フィルム１０１ｂの上面）を覆っている領域９２と、反転部材５ｂの下面側５０ｂとの間には、微小な隙間ｄが確保されている。下側の粘着テープ９ａの下面９１ａは、下側の反転部材５ａの上面５０ａと接触しながら、反転部材５ａの上面５０ａを滑るように搬送される。なお、下側の反転部材５ａの上面５０ａを平滑化する加工を行うことにより、下側の粘着テープ９ａの下面９１ａとの摩擦抵抗を低減させるようにしてもよい。あるいは下側の反転部材５ａの上面５０ａ等に潤滑材を塗布するようにしてもよい。
【００３８】
本発明の実施形態では、反転部材５ｂと剥離対象物１０の表面に付着した粘着テープ９ｂとの隙間ｄは、剥離対象物１０の厚みと，剥離対象物１０の表裏主面に付着した粘着テープ９ａ，９ｂの各厚みとの総和Ｔに対して２．５倍以下となるように設定されている。なお、図４では説明の便宜上、「Ｔ」を誇張して図示している。
【００３９】
本発明の実施形態では、前記総和Ｔは約０．３ｍｍであり、前記隙間ｄは約０．７ｍｍとなっている。すなわち、ｄはＴの約２．３倍となっている。なおｄが「０」の場合は、反転部材５ｂと上側の粘着テープ９ｂとが接触状態となるため、ｄは「０」以上が好ましい。また、本実施形態における樹脂製基板の厚みと異なる他の基板厚み（例えば０．１８ｍｍ）の場合、ｄはＴの約１．５倍となる。このような範囲になるように隙間ｄを設定することによって、剥離対象物１０から保護フィルム１０１ａ，１０１ｂを確実に剥離することができる。このことについて次に説明する。
【００４０】
本来、前記隙間ｄは小さいほど２つの反転部材の隙間内で剥離対象物（樹脂製基板）が撓み難くなるので好ましいが、隙間ｄが過小であると剥離対象物１０が外部へ排出され難くなってしまう。一方、隙間ｄが過大であると剥離対象物１０の表裏主面の一方の保護フィルムだけが剥離されてしまうことになる。
【００４１】
これに対して本発明に係る保護フィルム剥離装置では、反転部材５ｂと剥離対象物１０の表面に付着した粘着テープ９ｂとの隙間ｄが、剥離対象物の厚みと当該剥離対象物の表裏主面に付着した各粘着テープの厚みとの総和に対して２．５倍以下であるので、２つの粘着テープ９ａ，９ｂに挟まれた剥離対象物１０が、２つの反転部材間５ａ，５ｂの隙間で撓み過ぎるのを防止することができる。これにより、樹脂製基板１００の表裏主面の各々から保護フィルム１０１ａ，１０１ｂを同時に剥離することができる。
【００４２】
反転部材５ａ，５ｂは、搬送部４の送り方向の終端側（図４における右端側）に向かって、２つの反転部材の対向面（５０ｂ，５０ｄ）側に漸次薄肉となるように傾斜した傾斜面５０ｃ，５０ｄを有している。そして反転部材５ａ，５ｂは、反転部材の搬送部の送り方向の終端部において最も薄肉となっている。この最も薄肉となっている終端部は尖っておらず、傾斜面に連続して薄肉部５１ａ，５１ｂが垂直方向に延びている。この薄肉部５１ａ，５１ｂが傾斜面に連続して形成されていることによって、粘着テープ９ａ，９ｂをスムーズに粘着テープ回収部６０，６１へ導くことができる。
【００４３】
また、薄肉部５１ａ，５１ｂは粘着テープ９ａ，９ｂの反転部材からの出口部分となるが、当該出口部分における開口寸法は、反転部材の入口部分および中間部分と同様に一定となっている。つまり、反転部材からの出口部分で開口寸法が拡大されていないため、フィルム状の薄肉である剥離対象物１０の保護フィルム剥離時の上下方向の撓み量を抑制することができる。
【００４４】
反転部材５ａ，５ｂの傾斜面５０ｃ，５０ｄと、２つの反転部材５ａ，５ｂの対向面５０ｂ，５０ｄとの成す角度θは鋭角となっている。そして、後述する粘着テープ回収部６０，６１が反転部材に対して手前（反転部よりも上流側）に位置しているため、粘着テープ９ａ，９ｂは鋭角に折り返される。本実施形態では前記角度θは約３０度となっている。なお、前記角度θは３０度に限定されるものではなく、鋭角であれば任意の角度で設定可能である。好ましくは角度θはできるだけ小さい方が良い。
【００４５】
本実施形態では反転部材５ａ，５ｂは一対で形成されているため２つの反転部材の前記角度θは同一となっているが、２つの反転部材の間で前記角度θが異なっていてもよい。反転部５を剥離対象物１０が通過することによって、保護フィルム１０１ａ，１０１ｂが樹脂製基板１００の表裏主面（１００ａ，１００ｂ）から同時に剥離される。
【００４６】
上記構成によれば、樹脂製基板１００の表裏主面に保護フィルム１０１ａ，１０１ｂが貼り付けられた剥離対象物１０から、保護フィルム１０１ａ，１０１ｂを簡便な方法で確実に剥離することができる。これは粘着テープ供給部３において、樹脂製基板１００の表裏主面に貼り付けられた保護フィルム１０１ａ，１０１ｂの表面に、その粘着面が接触するように粘着テープ９ａ，９ｂが供給され、この粘着テープが搬送部４によって剥離対象物１０の表裏主面を粘着テープ９ａ，９ｂで挟んだ状態で搬送され、反転部５によって粘着テープを搬送部４の送り方向に対して反転させることで保護フィルム１０１ａ，１０１ｂが樹脂製基板１００の表裏主面から同時に剥離されるからである。
【００４７】
また上記反転部５によれば、反転部材５ａ，５ｂの各傾斜面と、２つの反転部材の対向面５０ｂ，５０ｄとの成す角度θが鋭角であるので、粘着テープ９ａ，９ｂが鋭角に折り返される。このように粘着テープ９ａ，９ｂが鋭角に折り返されることによって、樹脂製基板１００の表裏主面１０１ａ，１０１ｂに対して保護フィルム１０１ａ，１０１ｂを安定した状態で剥離させることができる。また、一方の反転部材（５ｂ）は剥離対象物１０の表裏主面の各々に付着した粘着テープ９ａ，９ｂの一方（９ｂ）に対して隙間を隔てて配置されているため、剥離対象物１０を挟んだ状態の粘着テープ９ａ，９ｂが一方の反転部材（５ｂ）との接触による抵抗を受けることが無く、スムーズに搬送させることができる。
【００４８】
―粘着テープ回収部―
粘着テープ回収部６は、図１に示すように上下一対の反転部材５ａ，５ｂの各々から送り出された粘着テープ９ａ，９ｂとともに、剥離対象物１０から剥離された保護フィルム１０１ａ，１０１ｂを巻き取って回収する回収用ローラー６０，６１で構成されている。すなわち、回収用ローラー６０は、粘着テープ９ａとともに剥離対象物１０から剥離された保護フィルム１０１ａを巻き取るローラーとなっている。同様に回収用ローラー６１は、粘着テープ９ｂとともに剥離対象物１０から剥離された保護フィルム１０１ｂを巻き取るローラーとなっている。
【００４９】
回収用ローラー６０は、図示しないモーターの駆動力が回収用ローラー６０の軸に取り付けられた歯車に伝達することによって、図１に示すように反時計回りに回転するようになっている。そして、回収用ローラー６１は、回収用ローラー６０の軸に取り付けられた歯車に回収用ローラー６１の軸に取り付けられた歯車が噛み合うことによって、図１に示すように時計回りに回転する仕組みになっている。本実施形態では２つの回収用ローラー６０，６１は鉛直方向に所定の距離を空けて整列配置されている。
【００５０】
―基板回収部―
反転部５を通過することによって剥離対象物１０から保護フィルム１０１ａ，１０１ｂが剥離された樹脂製基板１００は、そのまま反転部５の下流側にある基板回収部７に送り出される。基板回収部７は図１では簡略化して記載しているが、実際には基板回収部７の底部に向かって傾斜する傾斜面が設けられている。この傾斜面によって基板回収部７の底部に向かって深さ方向に漸次開口幅が狭くなっており、保護フィルム１０１ａ，１０１ｂが剥離された樹脂製基板１００の周縁部が前記傾斜面に接触するようになっている。
【００５１】
上記構成により、基板回収部７と樹脂製基板１００の表裏主面１００ａ，１００ｂとの接触を防止して、樹脂製基板１００の表裏主面１００ａ，１００ｂへの傷の発生や汚れの付着等を防止することができる。なお前記基板回収部７の形状は一例であり、他の形状であってもよい。例えば基板回収部の形状を擂鉢状にしてもよい。あるいは、保護フィルムが剥離された樹脂製基板１００が反転部５から送り出された際の衝撃を緩和するために、基板回収部を構成する壁面や底面に緩衝材を設けたり、基板回収部自体を緩衝性がある材料で構成するようにしてもよい。
【００５２】
剥離対象物１０から保護フィルム１０１ａ，１０１ｂを確実に剥離するには、図３に示すように剥離対象物１０の上面側および下面側であって、剥離対象物１０と粘着テープ９ａ，９ｂとが最初に接触する部位である稜部１０ｅ，１０ｆを含む一部領域に対して、粘着テープ９ａ，９ｂを確実に付着させることが重要となる（図３の任意の時間経過後の位置Ａを参照）。
【００５３】
そのため、剥離対象物１０の上面側の稜部１０ｆと、上側の粘着テープ９ｂとの接触をセンサーで検出し、接触開始時からの加圧部８による加圧力を調整できるようにしてもよい。例えば剥離対象物１０の上面側の稜部１０ｆと粘着テープ９ｂとが接触し始めた時に、加圧力を最大化させ、稜部１０ｆを含む上面の一部領域を通過したときに加圧力を弱める等の調整を行ってもよい。これにより、保護フィルムの剥離に寄与する剥離対象物の稜部を含む周縁部が重点的に加圧されるため、加圧によって剥離対象物が受けるダメージを軽減させることができる。
【００５４】
本発明の実施形態では、平面視正方形の剥離対象物１０の２組の対向辺の一方が、帯状の粘着テープ９ａの幅方向と平行になるように、剥離対象物１０が粘着テープ９ａ上に載置されている。しかし、剥離対象物の粘着テープ上への載置方向は前記方向に限定されるものではない。例えば平面視正方形の保護フィルム１０１ｂの角部が、上側の粘着テープ９ｂと最初に接触するように、剥離対象物１０の載置方向を粘着テープ９ａの幅方向に対して４５度回転させてもよい。また、平面視形状が矩形の剥離対象物の場合は、前記矩形の１つの角部が先頭になるように、剥離対象物を所定の角度だけ回転させた状態で粘着テープ上に載置すればよい。このように剥離対象物の角部を起点とすることによって、保護フィルムを樹脂製基板から、より剥離し易くすることができる。なお剥離対象物の幅寸法が、粘着テープの幅寸法よりも大きい場合であっても本発明は適用可能である。
【００５５】
−本発明の実施形態の変形例−
本発明の実施形態の変形例を図５乃至６に示す。なお、前述した本発明の実施形態と同様の部分はその説明を割愛する。図５乃至６は本発明の実施形態の変形例に係る反転部の部分拡大図であり、一対で形成されている反転部材のうち、一方（上側）のみについて表したものである。図中の矢印は搬送部の送り方向を表している。
【００５６】
図５に示すように本発明の実施形態の変形例では、反転部材１３の傾斜面の終端部Ｂが曲率を帯びるように丸められている。このような形態により、粘着テープがよりスムーズに粘着テープ回収部６に巻き取られ易くなる。特に上側の粘着テープは、下側の粘着テープと異なり、上側の反転部材の対向面とは非接触の状態であり、上側の粘着テープと最初に接触する部位が反転部材の傾斜面の終端部となるためである。
【００５７】
また図６に示す本発明の実施形態の変形例では、反転部材１４の傾斜面の終端部Ｃが曲率を帯びるとともに、図中の矢印で示す送り方向と反対の方向へ回り込むように丸められている。このような形態であっても、図５に示す変形例と同様に粘着テープがよりスムーズに粘着テープ回収部６に巻き取られ易くなる。
【００５８】
本発明は前述したように、軟質材料からなる薄肉のフィルム状基板に好適であるが、ガラスのような硬質材料からなる基板であっても適用は可能である。
【００５９】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
基板の表裏主面から保護フィルムを剥離するための保護フィルム剥離装置の量産に適用できる。
【符号の説明】
【００６１】
１    保護フィルム剥離装置
２    対象物供給部
３    粘着テープ供給部
４    搬送部
５    反転部
６    粘着テープ回収部
７    基板回収部
８    加圧部
１０    剥離対象物
１００    樹脂製基板
１０１ａ，１０１ｂ    保護フィルム
５ａ，５ｂ、１３、１４    反転部材
９ａ，９ｂ    粘着テープ
【図１】
2018150146.tif 000003
【図２】
2018150146.tif 000004
【図３】
2018150146.tif 000005
【図４】
2018150146.tif 000006
【図５】
2018150146.tif 000007
【図６】
2018150146.tif 000008