(57)【要約】【課題】比較的簡易な構成によって、液体に含まれる粒子を分級、回収することが可能な分級・回収装置及び加工液浄化システムの提供。【解決手段】液体に含まれる粒子を分級、回収する装置であって、液体（加工液）の流路を形成する搬送路１１１と、搬送路１１１の上流から下流方向に複数形成された粒子分級孔と、当該各粒子分級孔を介して沈降してくる粒子をそれぞれ回収する複数の回収部１１２とを備えることにより、各回収部１１２において粒子を分級・回収する。【選択図】図２
2018130770.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体に含まれる粒子を分級、回収する装置であって、
前記液体の流路を形成する搬送路と、
前記搬送路の上流から下流方向に複数形成された粒子分級孔と、
前記各粒子分級孔を介して沈降してくる前記粒子をそれぞれ回収する複数の回収部と、
を備えることを特徴とする分級・回収装置。
【請求項２】
前記搬送路が傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の分級・回収装置。
【請求項３】
前記傾斜角度を調節可能な傾斜角度調節機構を備えていることを特徴とする請求項２に記載の分級・回収装置。
【請求項４】
前記回収部の下部に排出口を備えることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の分級・回収装置。
【請求項５】
前記粒子分級孔の近傍に磁性粒子回収用磁石を備えることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の分級・回収装置。
【請求項６】
前記粒子分級孔と前記回収部の接続部の下流側において、前記搬送路の流路方向と略平行に上流側に突出し、当該突出量が下方に行くに従い漸減して最終的に前記回収部の側壁と同一となる整流部材が形成されていることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の分級・回収装置。
【請求項７】
前記粒子分級孔と前記回収部の接続部の下流側において、フィン部材を備えることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載の分級・回収装置。
【請求項８】
前記搬送路における前記液体の流れを阻害する、流れ阻害部材を備えることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の分級・回収装置。
【請求項９】
前記液体が研削または切削加工に使用される加工液であり、
請求項１から８の何れかに記載の分級・回収装置と、
前記分級・回収装置の下流に備えられる加工液タンクと、
前記加工液タンクにマイクロバブルを発生させるマイクロバブル発生装置と、
を備えることを特徴とする加工液浄化システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体に含まれる粒子を分級、回収することが可能な分級・回収装置及び加工液浄化システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体中に含まれるなんらかの個相（粒子等）を除去したいという要望は色々な分野・局面であり、そのようなものの一つに、工業的な生産工程において使用される各種の加工液に含まれる粒子（砥粒、切削屑、研削屑、その他の異物など）を除去したいという要請がある。
これに関する技術が特許文献１や２によって開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２９６３６
【特許文献２】特開平１１−５８２３５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液中の粒子を除去する方式としては、特許文献１で示されるようなフィルタで濾過するものや、遠心分離、沈降分離等がある。沈降分離は、特許文献２に記載されているように、液中の粒子を分級するためにも用いられる。
ペーパーフィルタやカートリッジフィルタなどによる濾過の場合、フィルタ詰まりの問題及びフィルタ交換が必須となるため、ランニングコストがかかるものである。遠心分離の場合は、サイクロン方式の遠心分離装置等を要するため、イニシャル及びランニングコストがかかる。沈降分離方式においては、従来、大きな沈降槽を必要としていた。また、特許文献２の図２に記載されているように、沈降分離方式にて分級をする場合にはそのための複数の分級槽を要するものであるため、装置が比較的大掛かりとなり、イニシャル及びランニングコストがかかるものであった。
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑み、比較的簡易な構成によって、液体に含まれる粒子を分級、回収することが可能な分級・回収装置及び加工液浄化システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（構成１）
液体に含まれる粒子を分級、回収する装置であって、前記液体の流路を形成する搬送路と、前記搬送路の上流から下流方向に複数形成された粒子分級孔と、前記各粒子分級孔を介して沈降してくる前記粒子をそれぞれ回収する複数の回収部と、を備えることを特徴とする分級・回収装置。
【０００７】
（構成２）
前記搬送路が傾斜していることを特徴とする構成１に記載の分級・回収装置。
【０００８】
（構成３）
前記傾斜角度を調節可能な傾斜角度調節機構を備えていることを特徴とする構成２に記載の分級・回収装置。
【０００９】
（構成４）
前記回収部の下部に排出口を備えることを特徴とする構成１から３の何れかに記載の分級・回収装置。
【００１０】
（構成５）
前記粒子分級孔の近傍に磁性粒子回収用磁石を備えることを特徴とする構成１から４の何れかに記載の分級・回収装置。
【００１１】
（構成６）
前記粒子分級孔と前記回収部の接続部の下流側において、前記搬送路の流路方向と略平行に上流側に突出し、当該突出量が下方に行くに従い漸減して最終的に前記回収部の側壁と同一となる整流部材が形成されていることを特徴とする構成１から５の何れかに記載の分級・回収装置。
【００１２】
（構成７）
前記粒子分級孔と前記回収部の接続部の下流側において、フィン部材を備えることを特徴とする構成１から６の何れかに記載の分級・回収装置。
【００１３】
（構成８）
前記搬送路における前記液体の流れを阻害する、流れ阻害部材を備えることを特徴とする構成１から７の何れかに記載の分級・回収装置。
【００１４】
（構成９）
前記液体が研削または切削加工に使用される加工液であり、構成１から８の何れかに記載の分級・回収装置と、前記分級・回収装置の下流に備えられる加工液タンクと、前記加工液タンクにマイクロバブルを発生させるマイクロバブル発生装置と、を備えることを特徴とする加工液浄化システム。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の分級・回収装置及び加工液浄化システムによれば、液体の流路となる搬送路上に形成される比較的簡易な構成の分級・回収装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る実施形態の分級・回収装置の設置例を示す概略図
【図２】実施形態の分級・回収装置を示す概略図
【図３】実施形態の分級・回収装置の性能実験の結果を示す図
【図４】ストークスの式を用いて算出した各粒子（切り屑等を想定）の沈降速度を示したグラフ
【図５】分級・回収効率を向上させるための変形例を示した図
【図６】分級・回収効率を向上させるための変形例を示した図
【図７】加工液収集シートを用いた分級・回収装置の設置例を示す概略図
【図８】傾斜角度と加工液流速の関係についての実験装置の概略図
【図９】マニングの公式の設定条件についての説明図
【図１０】傾斜角度と加工液流速の関係についての実験結果とマニングの公式の計算結果を示すグラフ
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施態様について、図面を参照しながら具体的に説明する。なお、以下の実施態様は、本発明を具体化する際の一形態であって、本発明をその範囲内に限定するものではない。
【００１８】
＜実施形態１＞
図１は、本実施形態の分級・回収装置の設置例を示す概略図であり、図２は本実施形態の分級・回収装置を示す概略図である。
本実施形態の分級・回収装置１１は、研削・研摩に使用される加工液に含まれる切り屑や砥粒を取り除くための加工液浄化システム１として設置されるものである。図１にその概略を示したように、研削機械２が備える砥石２１（加工点）に対して加工液を供給するための、「ノズル３２から加工点へ加工液を供給 → 加工液タンク１２に加工液を回収 → ポンプ３１によって加工液タンク１２からノズル３２へ加工液を供給」という循環システムにおいて、加工点へ供給後の加工液（切り屑や砥粒等が含まれている）の回収経路の一部として分級・回収装置１１が設置されるものである。
【００１９】
分級・回収装置１１は、液体（加工液等）の流路を形成する搬送路１１１と、搬送路１１１の上流から下流方向に複数形成された粒子分級孔１１１ｈ（図５参照）と、各粒子分級孔１１１ｈを介して沈降してくる粒子（切り屑や砥粒等）をそれぞれ回収する複数の回収部１１２と、磁性粒子回収用磁石１１４を備える。
搬送路１１１はパイプ状の閉塞された流路として形成されるものであってもよいし、樋状に上部を解放された流路として形成されるものであってもよい。また、流路の断面形状についても円形状であるものや矩形状であるもの等であってよい。本実施形態では上部が解放された断面矩形状の流路として形成された搬送路１１１を例とする。
搬送路１１１には、図５に示されるように、複数の粒子分級孔１１１ｈが形成され、それぞれの粒子分級孔１１１ｈに接続されるように各回収部１１２が設けられる。本実施形態においては、粒子分級孔１１１ｈは矩形状の穴であり、これと接続される回収部１１２も断面が矩形状（即ち、基本態様が略四角柱）である。なお、粒子分級孔１１１ｈやこれと接続される回収部１１２の形状をこれに限るものではなく、円形や多角形等であってよい。
各回収部１１２は、本実施形態においては同一の構成であり、下部に排出口１１３を備える。本実施形態における回収部１１２は、下部がロート状に先細りに形成され、その先端部に着脱可能なキャップを備えることで、排出口１１３が形成されている。
磁性粒子回収用磁石１１４は、粒子分級孔１１１ｈの近傍に設けられ、本実施形態では、図２に示されるように、各回収部１１２の側面上部に備えられる。
【００２０】
分級・回収装置１１は、前述のごとく、切り屑や砥粒等が含まれている加工後の加工液の回収経路の一部として設置されるものであり、その設置においては、各回収部１１２に液体（システムで循環する加工液と同一であることが望ましい）が充填される。これにより、搬送路１１１上を流れる加工液は、粒子分級孔１１１ｈ上においても、その流れに大きな乱れを受けずに流れていく。
当該搬送路１１１上を流れる加工液には、前述のごとく切り屑や砥粒等が含まれている。切り屑や砥粒等は、基本的には加工液より比重が重いため、時間とともに沈降するものであるが、その大きさや比重が異なっているため、沈降速度に差が生じる。即ち、搬送路１１１上を流れる加工液に含まれる切り屑や砥粒のうち、重いもの程早く沈降し、従って、より上流側の粒子分級孔１１１ｈから落ちて上流側の回収部１１２に溜まることとなる。一方、軽いものは沈降に時間がかかるため、加工液の流れによって搬送路１１１上を長い距離運ばれ、結果としてより下流側の粒子分級孔１１１ｈから落ちて下流側回収部１１２に溜まることとなる。
分級・回収装置１１では、このようにして、切り屑や砥粒の分級及び回収が行われるものである。
【００２１】
加工液流れが緩やかで乱れが無いと仮定すると、粒子（切り屑や砥粒等）の沈降速度ｖは、粒子密度ρs、加工液密度ρｗ、粒子平均径ｄ、加工液粘度ηとすると、ストークスの式より、
v＝（ρs−ρw）ｇｄ２／１８η              ・・・・・式１
で表され、粒子径や密度が大きい粒子が先に沈降して回収される。なお、ｇは重力加速度である。
ここで、砥石２１の砥石幅をＢ（ｍ）、切込み深さをａｐ（ｍ）、被加工材の送り速度をＶｗ（ｍ／ｍｉｎ）とした時、単位時間当たりの研削除去率Ｍは、次式で与えられる。
Ｍ＝Ｂ・ａｐ・Ｖｗ                        ・・・・・式２
従って、一般的な平面研削盤作業における一日の切り屑量を推定すると、Ｂ＝１０ｍｍの砥石でａｐ＝１０μｍ／ｐａｓｓ、Ｖｗ＝１０ｍ／ｍｉｎの時、エアカット無しで連続１０時間研削加工した場合の切り屑量は０．６×１０−３ｍ３であり、切り屑回収用となる回収部１１２の容量は１〜３Ｌ／日程度あれば十分である。
【００２２】
次に、分級・回収装置１１の性能実験として、加工液に粒子（砂塵）をまぜ、これを分級・回収装置１１によって、分級・回収する実験を行った。
当該実験は、ランダムな粒径の粒子を想定してグラウンドの砂塵を用い、この砂塵５００００ｍｇを、分級・回収装置１１の上流に設置したトレー上に置き、このトレーに対して流量Ｑ＝２Ｌ／ｍｉｎ、および１０Ｌ／ｍｉｎで加工液を５分間供給した。即ち、概ねこれと同等の流量となる砂塵入りの加工液を、分級・回収装置１１に供給する実験とした。
なお、分級・回収装置１１としては、上流側からＰ０〜Ｐ４の５つの回収部１１２を有するものを使用し、分級・回収装置１１の設置においては、これを２０度傾斜させて流路を形成した。
【００２３】
図３に実験結果を示した。
図３の下には、Ｐ０〜Ｐ３の回収部１１２で捕集された砂塵の写真を示した。写真に示されるごとく、上流側の回収部１１２（Ｐ０）から下流側の回収部１１２（Ｐ３）に行くに従い細かい砂塵が捕集され、分級が可能であることが示された。
各回収部１１２の砂塵をＳＳ測定用吸引濾過装置で収集して乾燥させて重量を測定し、回収率を算出した。当該結果が図３のグラフである。
流量２Ｌ／ｍｉｎでは、最初の回収部１１２（Ｐ０）で回収率は９７．０％となり、流量１０Ｌ／ｍｉｎのＰ０の回収率は８５．０％であった。分級・回収装置１１の最終回収率はそれぞれ９７．２％、９８．０％となった。本実験によれば、加工液タンク内に２〜３％の残存物質が流れ込むことになるが、今回の実験ではグラウンドの砂塵を用いたので、比重が加工液よりも小さな物質（枯れ葉等）も含まれている可能性がある。実際の研削加工システム等においてはこのような物質が混入する可能性は比較的小さく、加工液タンクまで到達する粒子は、加工に影響を及ぼさないほど軽量かつ微細な粒子にすることができると考えられる。
なお、加工液タンク１２内（若しくは加工液タンクの上流側に設置されるタンク内）に、マイクロバブルを発生させるマイクロバブル発生装置を備えさせることにより、残存物質（微細な粒子や浮遊物）についても、マイクロバブル浮選で除去することができる。実際の生産現場では、水溶性加工液の腐敗が問題視されているが、このような、マイクロバブル発生装置を備えた加工液浄化システムとすることにより、腐敗原因となる細菌類やその死骸や排泄物などもマイクロバブル浮選で除去されるため、加工液の悪臭防止および長寿命化が図られる。
【００２４】
次に、ストークスの式１を用いて、切り屑と砥粒を想定した粒子の沈降速度を算出した結果を図４に示す。加工液粘度ηには水の粘度を用いた。同図より、材料密度順に応じて沈降速度が決定される。また、沈降速度は粒子径の２乗に比例して増加するため、研削加工に悪影響を及ぼす大きな粒子等が優先的に除去できることになる。密度差を利用することで、砥粒（砥石２１から脱落した砥粒）と切り屑との分離回収が期待できる。
【００２５】
以上のごとく、本実施形態よれば、研削機械と研削加工液タンクとの間の流路内に設置することが可能（回収経路の一部として設置可能）な、非常にコンパクトな分級・回収装置１１によって、加工液に含まれる切り屑や砥粒を回収することができる。加工液タンクへの流路の一部として分級・回収装置を設置することができ、加工液タンクへ粒子が到達してしまうことを抑止すること（事前処理）が可能であり、ろ過の効率化及び省力化が図られる。
さらに、砥粒（砥石２１から脱落した砥粒）と切り屑との分離回収をすることが可能となるため、ダイヤモンド等の砥粒を回収して再利用することが簡便にできる。また、粒子分級孔１１１ｈの近傍に磁性粒子回収用磁石１１４を備えているため、金属などの磁性体の切り屑の回収効率が向上される。
本実施形態によれば、このような分級・回収の機能を有する装置でありながら、簡易な構成でこれを実現することができ、分級・回収装置１１の動作において動力を必要とせず、また、フィルタ等の部材も不要である。従って、その導入コストを低廉なものとすることができ、分級・回収の処理動作に対するエネルギーを要せず、また、消耗品としてのフィルタの取り換え若しくはフィルタの洗浄等の手間やコストもかからないため非常に有用である。
加えて、各回収部１１２は下部に排出口１１３を備えるため、分級した粒子をそれぞれ容易に回収できる。例えば、生産現場で本方式を採用すれば、その日の稼働で除去した実際の切り屑量等が把握できるため、生産加工の管理に用いることもでき、非常に有用である。
【００２６】
なお、本実施形態では、分級のために複数形成される各粒子分級孔１１１ｈや各回収部１１２が同一の形状・大きさのものとして説明したが、分級の目的に応じてそれぞれ異ならせるようにしてもよい。例えば、下流側の微細な粒子を捕集するための粒子分級孔１１１ｈについては、流れに沿って長い孔として形成する等してもよい（微細（軽い）粒子ほど沈降速度が遅くなり、落下するまでの時間（＝距離）の誤差も大きくなりがちと考えられるため）。また、上流側の回収部１１２について、その容量を大きく形成し、下流側の回収部１１２の容量は小さくする等してもよい。
【００２７】
また、図５、６に例示したように、回収効率をさらに向上させる構成をとりいれてもよい。
図５は、各回収部１１２の下流側の堰の部分にコーナーＲを設けることによって、液中に漂流する粒子の分級・回収効率を向上させるものである。即ち、粒子分級孔１１１ｈと回収部１１２の接続部の下流側において、搬送路１１１の流路方向と略平行に上流側に突出し、当該突出量が下方に行くに従い漸減して最終的に回収部１１２の側壁と同一となる整流部材１１７を形成した。これにより、図５の一部拡大図に示したように、粒子径と密度が大きい物質が優先的に沈降するため、比較的流量が少なく、特に層流で安定的な流れの場合は分級精度が高くなる。
図６は、粒子分級孔１１１ｈと回収部１１２の接続部の下流側となる堰の部分に脱着可能な分離フィン（フィン部材）１１５を設けたものである。分離フィン１１５は、その高さや形状を任意に設定することができ、これが搬送路１１１内に少し突出する形となることで、粒子分級孔１１１ｈへ粒子を落とす（沈降させる）効果を有するものである。例えば、分離フィン１１５の幅を、搬送路１１１の幅より小さく形成し、分離フィン１１５の幅方向の設置位置を各回収部１１２で異ならせることにより、加工液の流れをコントロールする等してもよい。また、分離フィン１１５の高さを変えることにより分級をアレンジする等してもよい。
なお、図５で示した整流部材１１７についてもアタッチメント式としてもよい。
【００２８】
また、搬送路１１１における加工液の流れを阻害する流れ阻害部材を設けるようにしても良い。搬送路１１１における加工液の流量や流速は分級能力を左右する要因であり、これを流れ阻害部材を設けることによってコントロールするものである。
流れ阻害部材は、搬送路１１１における加工液の流れを阻害する何らかの部材であればよく、例えば流れをコントロールしたい箇所に棒状の部材を複数配置するものや、スポンジ状の部材を配置するもの、ブラシ状の部材を配置するもの等、加工液の流れに対する障害物となるものであればよい。上記説明した分離フィン１１５も、流れ阻害部材の一例といえる。どのような部材をどのような大きさや数で設けるかについては、コントロールしたい流れに応じて適宜設定すればよい。
【００２９】
＜実施形態２＞
次に、切削加工のシステムにおいて、本発明に係る分級・回収装置を設置することで、特別な清浄化装置（遠心分離、ペーパーフィルタ、マグネットセパレータ等）を要せずに、研削加工を行えるようにした加工液浄化システムについて説明する。
近年、切削加工機の多軸化・複合化が主流となっており、切削加工機で研削するニーズも増えてきている。この場合、加工液は切削・研削ともに共通であり、つまり切削屑、研削屑（＋脱落砥粒）の両者が一つの加工液タンクに収納されることになる。切削屑と研削屑（研削加工で生じる加工屑は極めて小さい）が大容量の加工液タンクに投入されると、加工液の清浄化は困難になり、加工液タンクとは別に、特別な清浄化装置（遠心分離、ペーパーフィルタ、マグネットセパレータ等）を直列配置する必要がある。
これに対し、研削時においては加工屑を含んだ加工液を別途に集合させ、本発明に係る分級・回収装置を通過させることで、特別な清浄化装置を要することなく、容易に清浄化できるものである。
【００３０】
図７は、旋盤型５軸複合加工機で研削加工する場合の配置模式図である。なお、実施形態１と同様の構成要素については同一の符号を使用している。
旋盤型５軸複合加工機に砥石２１を取り付けて研削加工をする場合には、加工エリアの下部に加工液収集シート１３を広げることによって、飛散して落下する加工液を収集して一箇所から排出できるようにする。加工液収集シート１３による加工液の流れのイメージを図７（ｂ）に示す。この加工液収集シート１３を、切削時には収納しておき、研削時にだけ拡げることができるように構成することで、加工液タンク１２内への研削屑の混入を最小限に留めることができる。
【００３１】
＜実施形態３＞
実施形態３は、実施形態１や２の分級・回収装置１１の設置において、その傾斜角度を調整可能としたものである。
分級・回収装置１１の搬送路１１１の傾斜角度を調節することにより、そこを流れる加工液の流速を調節することができ、これにより、分級の効率や精度を調整することができるものである。
なお、分級・回収装置１１の搬送路１１１の傾斜角度を調節可能とするための傾斜角度調節機構については特に図示しないが、周知の機構（例えばヒンジ機構やフレキシブル管等）を適宜採択・組み合わせる等して実現すればよい。
【００３２】
ここで、装置設置の勾配や供給流量を変更に基づいて変化する加工液の流速について検討する。
図８は当該検討の実験装置の概略を示した図である。また、図９は、マニングの公式の設定条件についての説明図である。
加工液の流速Ｖは、設定流量と実際に流れる液の断面積によって算出される。
Ｖ＝Ｑ／Ａ                                  ・・・・・式３
ここで、Ｑ：設定流量、Ａ：流れる液の断面積である。実際に流路を流れる水位（水の高さ）を測定した（図８参照）。
また、水路を流れる流体の流速を検討する場合、一般にマニングの式が用いられる。そこで、断面積が台形の場合（図９参照）について開水路の等流計算に用いる次のマニングの公式で算出した。
Ａ＝（ｂ＋ｍＨ）Ｈ                          ・・・・・式４
Ｓ＝ｂ＋２Ｈ（１＋ｍ２）１／２              ・・・・・式５
Ｒ＝Ａ／Ｓ                                  ・・・・・式６
Ｖ＝（１／ｎ）・Ｒ２／３・Ｉ１／２          ・・・・・式７
ここで、各記号は次のことを示している。
Ｑ：流量
Ｖ：平均流速
ｎ：粗度係数（水路壁面、底面の粗さを示す値で、水路の材質や状態により異なる。）
Ｒ：径深（水理学的平均水深とも言う。  流積を潤辺で割ったもの）
Ｓ：潤辺（水路断面において、水が周囲の壁や底と接する長さ。）図９中の点線の長さ。
Ａ：水路における流水の断面積
Ｉ：動水勾配
ｈｆ／Ｌ（ｈｆ：エネルギー損失、Ｌ：水路延長）
等流では、動水勾配＝水面勾配＝水路床勾配であるので、計算には水路床勾配を用いることが多い。
流路の勾配と流量に対する加工液流速の関係を求めた実験結果およびマニング式による計算結果を図１０に示す（図１０（ａ）：実験結果、図１０（ｂ）：マニング式による計算結果）。マニング式の粗度係数はｎ＝０．０２を用いた。
流路の勾配によって、流路内を流れる加工液の流速を変更できることがわかる。
【００３３】
以上のごとく、分級・回収装置１１の搬送路１１１の傾斜角度が調節可能であることにより、そこを流れる加工液の流速を調節することができ、これにより、分級能力、効率や精度を調整することができる。
なお、搬送路１１１の傾斜角度は、搬送路１１１の全体にわたって同一に傾斜させるものに限らず、場所によって傾斜角度を変化させることができるものであってよい。これにより、例えば、上流側から下流側に行くに従い傾斜角度を小さくしたもの等とすることができ、分級能力をより綿密に調整することが可能となる。
従来の装置において、回収や分級の能力を変更しようとした場合、装置そのものの入れ替えや大掛かりな改修等が必要になるものであったが、本実施形態によれば、分級・回収装置１１の搬送路１１１の傾斜角度を調節するだけでこれを実現することができ、非常に有用である。
なお、傾斜角度の調整は、上流から下流に向かって下りであるものに限定されるものではなく、上流から下流に向かって上り勾配となるようにしてもよい。
【００３４】
本発明に係る分級・回収装置は、簡易な構成にて省スペースに設置できる（加工液の流路上に設置できる）ものであるが、加工液の使用量が膨大である場合、単位時間当たりの処理量能力を担保するためには、それに応じた大きさを要することになる。
そこで、特許第４５２３３２９号公報の加工液供給方法および装置（フローティングノズルを利用した加工液供給法において、加工液の供給位置よりも工具回転順方向において加工液流の外層を可撓性の導液部材で覆うことにより、移動する加工液流を回転工具表面に封じ込め、加工点よりも手前で導液部材開放端から排出する技術）を用いることにより、加工液の有効活用が図られ、加工液の使用量を可及的に押さえることができる。これにより、本発明に係る分級・回収装置も可及的に小型化することが可能である。
特許第４５２３３２９号公報の加工液供給方法および装置と本発明に係る分級・回収装置を組み合わせることで、極めて効率的、経済的であり、環境に配慮したシステムとすることが可能である。
【００３５】
なお、上記各実施形態においては、搬送路１１１の断面形状が一定であるものを例として説明したが、搬送路１１１の断面形状を変化させるものであってもよい。例えば、上流側から下流側に行くに従い搬送路１１１が広くなるような構成等としてもよい。またこれと上記の傾斜角度の調整を組み合わせ、例えば、上流側から下流側に行くに従い、傾斜角度を小さくし、且つ、上流側から下流側に行くに従い搬送路１１１が広くなるような構成（下流側での微細粒子の捕集能力を高めつつ、時間あたりの処理能力を維持できるようにしたもの）等としてもよい。
【００３６】
また、分級能力の均一化のため、加工液中の粒子を分散させる機構を、分級・回収装置１１の上流側に設けてもよい。当該機構は、粒子を含んだ加工液を攪拌させるもの等であればよく、動力を用いて攪拌させるものであってもよいし、加工液の流れを乱す流路とすることにより、動力を用いずに攪拌させるもの等であってもよい。
【符号の説明】
【００３７】
１１．．．分級・回収装置
１１１．．．搬送路
１１１ｈ．．．粒子分級孔
１１２．．．回収部
１１３．．．排出口
１１４．．．磁性粒子回収用磁石
１１５．．．分離フィン（フィン部材）
１１７．．．整流部材
１２．．．加工液タンク
【図１】
2018130770.tif 000003
【図２】
2018130770.tif 000004
【図３】
2018130770.tif 000005
【図４】
2018130770.tif 000006
【図５】
2018130770.tif 000007
【図６】
2018130770.tif 000008
【図７】
2018130770.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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