(57)【要約】【課題】基体を被覆する被覆層の接合性及び耐久性が高い切削工具が求められていた。【解決手段】一態様の切削工具は、基体と、基体の表面に位置する被覆層とを備え、被覆層は、基体の上に位置して、チタン化合物を含有する第１層と、第１層の上に位置して、アルミナを含有する第２層とを有し、第２層は、第１層の上に位置する第１層領域と、第１層領域の上に位置する第２層領域とを有している。そして、カソードルミネッセンス法を用いて第２層における波長３３５ｎｍで現れる光の強度を測定した場合に、第１層領域における強度値が第２層領域における強度値よりも大きい。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と、該基体の表面に位置する被覆層とを備えた切削工具であって、
前記被覆層は、
前記基体の上に位置して、チタン化合物を含有する第１層と、
該第１層の上に位置して、アルミナを含有する第２層とを有し、
該第２層は、
前記第１層の上に位置する第１層領域と、
該第１層領域の上に位置する第２層領域とを有し、
カソードルミネッセンス法を用いて波長３３５ｎｍで現れる光の強度を測定した場合に、前記第１層領域における強度値が前記第２層領域における強度値よりも大きい、切削工具。
【請求項２】
前記第１層領域は、前記第１層に近付くにしたがって前記光の強度値が大きくなっている、請求項１に記載の切削工具。
【請求項３】
前記第２層は、炭素を含有し、
前記第２層領域における炭素の含有比率が、前記第１層領域における炭素の含有比率よりも小さい、請求項１又は２に記載の切削工具。
【請求項４】
前記第２層は、前記第２層領域の上に位置する第３層領域をさらに有し、
前記被覆層は、前記第３層領域の上に位置して、チタン化合物を含有する第３層をさらに有し、
前記第３層領域における前記光の強度値が前記第２層領域における前記光の強度値よりも大きい、請求項１〜３のいずれか１つに記載の切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本態様は、旋削加工及び転削加工のような切削加工において用いられる切削工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
切削加工に用いられる切削工具は、一般的に基体及び被覆層によって構成されている。例えば特許文献１に記載されているように、基体の上に位置してＴｉ（チタン）化合物を含有する下部層及びこの下部層の上に位置してＡｌ２Ｏ３（アルミナ）を含有する中間層を備えた被覆層が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−０４６９５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
中間層におけるアルミナの酸素欠損が多い場合には、下部層との接合性が低下し易い。また、中間層におけるアルミナの酸素の酸素欠損が少ない場合には、中間層を形成する際にアルミナの配向性が低くなるため、中間層の耐久性が低下し易い。本態様は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、下部層との接合性が高く、且つ、耐久性の高い中間層を備えた切削工具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一態様に基づく切削工具は、基体と、該基体の表面に位置する被覆層とを備え、前記被覆層は、前記基体の上に位置して、チタン化合物を含有する第１層と、該第１層の上に位置して、アルミナを含有する第２層とを有し、該第２層は、前記第１層の上に位置する第１層領域と、該第１層領域の上に位置する第２層領域とを有している。そして、カソードルミネッセンス法を用いて前記第２層における波長３３５ｎｍで現れる光の強度を測定した場合に、前記第１層領域における強度値が前記第２層領域における強度値よりも大きい。
【発明の効果】
【０００６】
上記態様の切削工具では、被覆層における第１層と第２層とが、高い接合性を有する。また、第２層は、高い耐久性を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】一実施形態の切削工具を示す斜視図である。
【図２】図１に示す切削工具におけるＡ１−Ａ１断面図である。
【図３】図２における領域Ｂ１の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、一実施形態の切削工具１について、図面を用いて詳細に説明する。但し、以下で参照する各図は、説明の便宜上、各実施形態を説明する上で必要な主要部材のみを簡略化して示したものである。したがって、切削工具は、参照する各図に示されていない任意の構成部材を備え得る。また、各図中の部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び各部材の寸法比率等を忠実に表したものではない。
【０００９】
本実施形態の切削工具１は、図１に示すように、基体３と、この基体３の表面に位置する被覆層５とを備えている。基体３の材質としては、例えば、超硬合金、サーメット及びセラミックスなどの無機材料が挙げられる。なお、基体３の材質としては、これらに限定されるものではない。
【００１０】
超硬合金の組成としては、例えば、ＷＣ（炭化タングステン）−Ｃｏ、ＷＣ−ＴｉＣ（炭化チタン）−Ｃｏ及びＷＣ−ＴｉＣ−ＴａＣ（炭化タンタル）−Ｃｏが挙げられる。ここで、ＷＣ、ＴｉＣ及びＴａＣは硬質粒子であり、Ｃｏは結合相である。また、サーメットは、セラミック成分に金属を複合させた焼結複合材料である。具体的には、サーメットとして、ＴｉＣ又はＴｉＮ（窒化チタン）を主成分とした化合物が挙げられる。
【００１１】
本実施形態における被覆層５は、図３に示すように、基体３の上に位置する第１層７と、この第１層７の上に位置する第２層９とを有している。第１層７は、チタン化合物を含有している。第１層７におけるチタン化合物としては、チタンの炭化物、窒化物、炭窒化物及び炭酸窒化物などが挙げられる。具体的には、チタン化合物として、ＴｉＣ、ＴｉＮ、ＴｉＣＮ及びＴｉＣＮＯなどが挙げられる。また、第２層９はアルミナを含有している。第２層９がアルミナを含有していることによって、被覆層５は基体３よりも耐摩耗性が高められている。
【００１２】
第１層７は、チタン化合物を主成分として含有しており、また、第２層９は、アルミナを主成分として含有している。このとき、主成分とは、第１層７及び第２層９の各層において、この層を構成する材質のうち最も含有比率が大きい成分であることを意味している。
【００１３】
第２層９は、第１層７の上に位置して、第１層７に隣接している第１層領域１１と、この第１層領域１１の上に位置する第２層領域１３とを有している。言い換えれば、第１層領域１１は、第２層９において第２層領域１３よりも基体３の近くに位置しており、第２層領域１３は、第２層９において第１層領域１１よりも基体３から離れて位置している。
【００１４】
そして、本実施形態においては、カソードルミネッセンス法（ＣＬ法）を用いて第２層９における第１層領域１１及び第２層領域１３での波長３３５ｎｍで現れる光の強度を測定した場合に、第１層領域１１における強度値が第２層領域１３における強度値よりも大きい。
【００１５】
ＳＥＭ画像を利用して第１層領域１１及び第２層領域１３の位置を確認しつつ、ＣＬ法を用いて第２層９の結晶構造を評価した場合において、第１層領域１１及び第２層領域１３から放出される光のうちアルミナの結晶での酸素欠損に起因する光は波長３３５ｎｍに現れる。そのため、この波長３３５ｎｍで現れる光の強度を比較することによって、第１層領域１１及び第２層領域１３におけるアルミナの酸素欠損の大小関係が評価される。以下、識別のため、第１層領域１１における強度値を強度値Ｉ１、第２層領域１３における強度値を強度値Ｉ２と記載する。
【００１６】
本実施形態においては、第１層領域１１における強度値Ｉ１が第２層領域１３における強度値Ｉ２よりも大きいことから、第１層領域１１における酸素欠損が第２層領域１３における酸素欠損よりも少なくなっている。このように、第１層７の上に位置する第１層領域１１の酸素欠損が相対的に少ないことから、第１層７と第２層９とは、高い接合性を有する。
【００１７】
また、第２層領域１３における強度値Ｉ２が第１層領域１１における強度値Ｉ１よりも小さいことから、第２層領域１３における酸素欠損が第１層領域１１における酸素欠損よ
りも多くなっている。このような第２層９は、アルミナの結晶の配向性が高いため、高い耐久性を有する。
【００１８】
結果として、本実施形態における被覆層５は、基体３に対する接合性が良好であって、耐久性の高いものとなる。
【００１９】
第１層領域１１における強度値Ｉ１及び第２層領域１３における強度値Ｉ２の関係は、Ｉ１＞Ｉ２の関係にあれば、特定の値に限定されるものではない。
【００２０】
第１層領域１１における強度値Ｉ１及び第２層領域１３での強度値Ｉ２の比率（Ｉ１／Ｉ２）が１．０５〜１．３倍である場合には、第１層７と第２層９との接合性がより高くなり、かつ、第２層９の耐久性が高くなる。
【００２１】
第１層領域１１における強度値Ｉ１及び第２層領域１３における強度値Ｉ２は、各領域内において一定であってもよく、また、各領域内において変化していてもよい。例えば、第１層領域１１における強度値Ｉ１が、第１層７に近付くにしたがって大きくなっている場合には、第１層７と第１層領域１１との接合性を高めつつ第１層領域１１におけるアルミナの結晶の配向性も高めることができる。
【００２２】
第１層領域１１における強度値Ｉ１が、第１層７に近付くにしたがって強くなっているか否かは、下記の方法によって評価できる。まず、第１層領域１１における第２層領域１３に隣接した部分での強度値Ｉ１（Ｘ１）を評価する。次に、第１層領域１１における厚み方向の中央部分での強度値Ｉ１（Ｘ２）を評価する。さらに、第１層領域１１における第１層７に隣接した部分での強度値Ｉ１（Ｘ３）を評価する。Ｘ１＜Ｘ２＜Ｘ３である場合には、第１層領域１１における強度値Ｉ１が第１層７に近付くにしたがって大きくなっていると判断する。
【００２３】
なお、強度値が一定であるとは、対象とする領域の全体において強度値が厳密に同じであることを意味するものではない。対象とする領域内において強度値に切削工具の製造上不可避な程度のばらつきがあってもよいものとする。具体的には、対象とする領域における強度値の平均値に対して、９５〜１０５％程度であってもよい。
【００２４】
本実施形態の切削工具１は、上面１５と、上面１５の反対側に位置する下面１７と、上面１５及び下面１７の間に位置する側面１９とを有している。上面１５及び下面１７は、それぞれ四角形状であり、側面１９は、上面１５及び下面１７の４つの辺に対応する４つの平面領域によって構成されている。そのため、本実施形態の切削工具１は、四角板形状となっている。
【００２５】
基体３は、図１に示すように、第１面と、この第１面の反対側に位置する第２面と、第１面及び第２面の間に位置する第３面と、第１面及び第２面を貫通する貫通孔２１を有している。基体３における第１面は、切削工具１における上面１５に対応し、基体３における第２面は、切削工具１における下面１７に対応し、基体３における第３面は、切削工具１における側面１９に対応している。そのため、本実施形態における基体３は四角板形状となっている。
【００２６】
切削工具１の大きさは特に限定されるものではないが、例えば、本実施形態においては、上面１５の一辺の長さが３〜２０ｍｍ程度に設定される。また、上面１５から下面１７までの高さは５〜２０ｍｍ程度に設定される。
【００２７】
切削工具１における上面１５及び側面１９が交わる稜線部の少なくとも一部には切刃２
３が位置する。切刃２３は、切削加工において被削材を切削する際に用いられる。切刃２３が、上記の稜線部に位置している場合には、上面１５及び側面１９の一方をすくい面として機能させることができ、また、上面１５及び側面１９のもう一方を逃げ面として機能させることができる。
【００２８】
なお、切削工具１は上記の形状に限定されるものではなく、任意の形状に設定できる。例えば、上面１５及び下面１７が円形状の円板形状であってもよい。また、切刃２３は、上面１５及び側面１９が交わる稜線部だけでなく、下面１７及び側面１９が交わる稜線部に位置していてもよい。
【００２９】
本実施形態の切削工具１は、旋削加工において好適に使用することが可能であるが、例えば転削加工に使用してもよい。また、穴あけ加工に用いられる切削工具にも適用可能である。穴あけ加工における基体３として、端部に切刃２３を有する円柱形状に設定してもよい。
【００３０】
基体３の上に位置する被覆層５は、基体３の表面の全体を覆っていてもよく、また、基体３の表面の一部を覆っていてもよい。例えば、本実施形態における被覆層５は、貫通孔２１の内周面を除く基体３の表面の全体を覆うように位置している。
【００３１】
被覆層５が、貫通孔２１の内周面を除く基体３の表面の全体を覆うように位置している場合のように、切刃２３、すくい面及び逃げ面として機能する領域に位置している場合には、切削工具１の耐久性を高めることができる。切刃２３、すくい面及び逃げ面は、切削工具１において被削材に接触し易い部分であるが、これらの部分に基体３よりも耐摩耗性が高められた被覆層５が位置している場合には、切削工具１の耐久性を高めることができる。
【００３２】
被覆層５は、化学蒸着（ＣＶＤ）法又は物理蒸着（ＰＶＤ）法を用いることによって、基体３の上に位置させることが可能である。例えば、貫通孔２１の内周面で基体３を保持した状態で上記の蒸着法を利用して被覆層５を形成する場合には、貫通孔２１の内周面を除く基体３の表面の全体を覆うように被覆層５を位置させることができる。
【００３３】
第２層９はアルミナを含有しているが、このとき第２層９が他の成分を含有していてもよい。例えば、炭素を第２層９が含有していてもよい。第２層９が炭素を含有する場合において、炭素の含有比率は第２層９の全体で一定であってもよいが、例えば、第２層領域１３における炭素の含有比率が、第１層領域１１における炭素の含有比率よりも小さくてもよい。
【００３４】
第２層領域１３における炭素の含有比率が、第１層領域１１における炭素の含有比率よりも小さい場合には、第２層領域１３におけるアルミナの結晶の配向性が阻害されにくくなるので、第２層９の耐久性を高いものにできる。
【００３５】
被覆層５の厚みは特に限定されるものではないが、例えば、３〜２５μｍに設定できる。被覆層５における第１層７の厚みも特に限定されるものではないが、例えば、１〜２０μｍに設定できる。第１層７の厚みが５μｍ以上である場合には耐摩耗性が高められる。また、第１層７の厚みが１０μｍ以下、特に５μｍ以下である場合には耐欠損性が高められる。
【００３６】
被覆層５は、上記の第１層７及び第２層９を有しているが、これらの層に加えて別の層を有していてもよい。例えば、被覆層５が、第２層９の上に位置する第３層２５をさらに有していてもよい。第３層２５としては、例えばＴｉＣＮのようなチタン化合物を含有す
る層が挙げられる。チタン化合物を含有する第３層２５を有している場合には、被覆層５の耐摩耗性が向上する。
【００３７】
第２層９は、第１層領域１１及び第２層領域１３を有しているが、これらの層領域に加えて別の層領域を有していてもよい。例えば、第２層９が、第２層領域の上に位置する第３層領域２７をさらに有していてもよい。
【００３８】
被覆層５が第３層２５を有し、第２層９が第３層領域２７を有している場合において、第３層領域２７における強度値Ｉ３が、第２層領域１３における強度値Ｉ２よりも大きいときには、第２層９と第３層２５とは高い接合性を有する。また、第２層９全体における強度値が大きいのではなく、第１層領域１１における強度値Ｉ１及び第３層領域２７における強度値Ｉ３が、これらの領域の間に位置する第２層領域１３における強度値Ｉ２よりも大きいことから、第２層領域１３におけるアルミナの結晶は高い配向性を有している。そのため、第２層９の耐久性を高いものにできる。
【００３９】
以下、本実施形態の切削工具の製造方法について説明する。
【００４０】
まず、基体３となる硬質合金を焼成によって形成しうる金属炭化物、窒化物、炭窒化物及び酸化物などの無機材料の粉末に、金属粉末及びカーボン粉末などを適宜添加、混合する。次に、プレス成形、鋳込成形、押出成形又は冷間静水圧プレス成形などの公知の成形方法を利用して、上記の混合粉末を所定の工具形状に成形する。その後、成形された粉末を真空中又は非酸化性雰囲気中にて焼成することによって、上記の硬質合金からなる基体３が作製される。そして、この基体３の表面に研磨加工や切刃２３のホーニング加工を施す。なお、研磨加工及びホーニング加工は不要であれば省略しても構わない。
【００４１】
次に、基体３の表面に化学気相蒸着（ＣＶＤ）法によって被覆層５を成膜する。
【００４２】
まず、チタン化合物を含有する第１層７を形成する。例えば第１層７としてＴｉＮを主成分とする層を形成する場合には、四塩化チタン（ＴｉＣｌ４）ガスを０．５〜１０体積％、窒素（Ｎ２）ガスを１０〜６０体積％、残りが水素（Ｈ２）ガスからなる混合ガスを調整してチャンバ内に導入すればよい。
【００４３】
また、第１層７としてＭＴ−ＴｉＣＮを主成分とする層を形成する場合には、四塩化チタン（ＴｉＣｌ４）ガスを０．５〜１０体積％、窒素（Ｎ２）ガスを５〜６０体積％、アセトニトリル（ＣＨ３ＣＮ）ガスを０．１〜３体積％、残りが水素（Ｈ２）ガスからなる混合ガスを調整してチャンバ内に導入すればよい。
【００４４】
また、第１層７としてＨＴ−ＴｉＣＮを主成分とする層を形成する場合には、四塩化チタン（ＴｉＣｌ４）ガスを１〜４体積％、窒素（Ｎ２）ガスを５〜２０体積％、メタン（ＣＨ４）ガスを０．１〜１０体積％、残りが水素（Ｈ２）ガスからなる混合ガスを調整してチャンバ内に導入すればよい。
【００４５】
なお、チタン化合物を含有する第１層７を形成する前に、基体３に対して、一酸化炭素（ＣＯ）ガスを１〜５体積％、残りが水素（Ｈ２）ガスからなる混合ガスを調整してチャンバ内に導入する前処理を施してもよい。この前処理によって、基体３の表面における炭素の含有比率を向上させることができる。
【００４６】
次に、アルミナを含有する第２層９を形成する。
【００４７】
まず、酸化アルミニウム結晶の核を形成する。三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）ガス
を５〜１０体積％、塩化水素（ＨＣｌ）ガスを０．１〜１体積％、二酸化炭素（ＣＯ２）ガスを０．１〜５体積％、残りが水素（Ｈ２）ガスからなる混合ガスを調整してチャンバ内に導入する。
【００４８】
次に、三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）ガスを０．５〜５体積％、塩化水素（ＨＣｌ）ガスを１．５〜５体積％、二酸化炭素（ＣＯ２）ガスを４〜８体積％、硫化水素（Ｈ２Ｓ）ガスを０〜１体積％、残りが水素（Ｈ２）ガスからなる混合ガスを調整してチャンバ内に導入する。この工程によって、第１層領域１１が形成される。
【００４９】
続いて、三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）ガスを５〜１５体積％、塩化水素（ＨＣｌ）ガスを０．５〜２．５体積％、二酸化炭素（ＣＯ２）ガスを０．５〜５体積％、硫化水素（Ｈ２Ｓ）ガスを０．１〜１体積％、残りが水素（Ｈ２）ガスからなる混合ガスを調整してチャンバ内に導入する。この工程によって、第２層領域１３が形成される。
【００５０】
このとき、第１層領域１１を形成する工程における混合ガスに含まれるＣＯ２ガスの体積％が、第２層領域１３を形成する工程における混合ガスに含まれるＣＯ２ガスの体積％よりも大きくなるように設定される。そのため、上記の工程を経て形成された第１層領域１１及び第２層領域１３に関して、第１層領域１１における酸素欠損が、第２層領域１３における酸素欠損よりも少なくなる。
【００５１】
なお、第３層領域２７を形成する場合においては、第２層領域１３を形成した後に、三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）ガスを０．５〜５体積％、塩化水素（ＨＣｌ）ガスを１．５〜５体積％、二酸化炭素（ＣＯ２）ガスを４〜８体積％、硫化水素（Ｈ２Ｓ）ガスを０〜１体積％、残りが水素（Ｈ２）ガスからなる混合ガスを調整してチャンバ内に導入すればよい。
【００５２】
また、第１層領域１１における強度値Ｉ１が、第１層７に近付くにしたがって大きくなっている構成の第２層９を形成するためには、第１層領域１１を形成する工程において、混合ガスに含まれるＣＯ２ガスの体積％を変化させればよい。なお、ＣＯ２ガスの体積％の変化は、段階的であっても連続的であってもよい。
【００５３】
＜実施例＞
まず、平均粒径１．２μｍの金属コバルト粉末及び平均粒径１．５μｍのタングステンカーバイト粉末を準備した。これらの粉末を、金属コバルト粉末が６質量％、タングステンカーバイト粉末が９４質量％となるように混合して、混合された粉末をプレス成形により工具形状（ＣＮＭＧ１２０４０８）に成形して成形体を得た。
【００５４】
成形体に脱バインダ処理を施した後に、１５００℃、０．０１Ｐａの真空中において１時間焼成して、超硬合金からなる基体を作製した。その後、作製した基体にブラシ加工をし、切刃となる部分にＲホーニングを施した。
【００５５】
次に、上記の超硬合金の基体に対して、化学気相蒸着（ＣＶＤ）法により、前述の製造方法に沿って被覆層を成膜して、切削工具を作製した。試料１においては、第１層領域を形成する際に用いられる混合ガスにおけるＣＯ２の含有比率を４．５体積％、第２層領域を形成する際に用いられる混合ガスにおけるＣＯ２の含有比率を体積２．５％にそれぞれ設定した。また、試料２においては、第１層領域を形成する際に用いられる混合ガス及び第２層領域を形成する際に用いられる混合ガスにおけるＣＯ２の含有比率をそれぞれ２．５体積％に設定し、試料３においては、第１層領域を形成する際に用いられる混合ガス及び第２層領域を形成する際に用いられる混合ガスにおけるＣＯ２の含有比率をそれぞれ４．５体積％に設定した。
【００５６】
作成された各試料について、ＣＬ法を用いて波長３３５ｎｍで現れる光の強度を測定した。第１層領域において波長３３５ｎｍで現れた光の強度値をＩ１、第２層領域において波長３３５ｎｍで現れた光の強度値をＩ２として表１に示す。
【００５７】
次に、得られた切削工具を用いて、下記の条件において、試験１（連続切削試験）及び試験２（断続切削試験）を行い、耐摩耗性及び耐欠損性を評価した。結果を表１に示す。なお、表１における試験１の結果としては、走査型電子顕微鏡にて刃先ホーニング部分を観察し、逃げ面における摩耗幅（ｍｍ）を示している。また、表１における試験２の結果としては、欠損に至る衝撃回数を測定し、その値を示している。
【００５８】
（試験１：連続切削条件）
被削材  ：ダクタイル鋳鉄材（ＦＣＤ７００）
工具形状：ＣＮＭＧ１２０４０８
切削速度：３００ｍ／分
送り速度：０．３ｍｍ／ｒｅｖ
切り込み：１．５ｍｍ
切削時間：５分
その他  ：水溶性切削液を使用。
【００５９】
（試験２：断続切削条件）
被削材  ：ダクタイル鋳鉄  ８本溝入り材（ＦＣＤ７００）
工具形状：ＣＮＭＧ１２０４０８
切削速度：３００ｍ／分
送り速度：０．３ｍｍ／ｒｅｖ
切り込み：２．０ｍｍ
その他  ：水溶性切削液を使用。
【００６０】
【表１】
2018069376.tif 000003
【００６１】
試料２は、第１層領域及び第２層領域における光の強度値Ｉ１、Ｉ２がいずれも１．９と同じ値であった。そして、試料２の結果としては、試験１において摩耗幅が大きく、また、試験２において欠損に至る衝撃回数が少なかった。
【００６２】
試料３は、第１層領域及び第２層領域における光の強度値Ｉ１、Ｉ２がいずれも２．２と同じ値であった。そして、試料３の結果としては、試料２と同様に、試験１において摩耗幅が大きく、また、試験２において欠損に至る衝撃回数が少なかった。
【００６３】
一方、第１層領域における光の強度値Ｉ１が第２層領域における光の強度値Ｉ２よりも大きい試料１では、試験１において摩耗幅が小さく、また、試験２において欠損に至る衝撃回数が多かった。
【符号の説明】
【００６４】
１・・・切削工具
３・・・基体
５・・・被覆層
７・・・第１層
９・・・第２層
１１・・・第１層領域
１３・・・第２層領域
１５・・・上面
１７・・・下面
１９・・・側面
２１・・・貫通孔
２３・・・切刃
２５・・・第３層
２７・・・第３層領域
【図１】
2018069376.tif 000004
【図２】
2018069376.tif 000005
【図３】
2018069376.tif 000006