(57)【要約】      （修正有）【課題】光電面の量子効率の低下を抑制しつつ光電面の寿命を延ばす。【解決手段】光を受けて電子を放出する光電面を有する光電部と、当該光電面に沿った平面上で前記光電部を運動させる運動機構部と、当該運動機構部を制御する制御部と、を有し、光の光軸は当該光電面の中心から外れており、制御部は、当該光の当該光電面における照射位置移動速度が規定速度以下になるよう当該運動機構部を制御する。【選択図】図１
2018181403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を受けて電子を放出する光電面を有する光電部と、
前記光電面に沿った平面上で前記光電部を運動させる運動機構部と、
前記運動機構部を制御する制御部と、
を備え、
前記光の光軸は前記光電面の中心から外れており、
前記制御部は、前記光の前記光電面における照射位置移動速度が規定速度以下になるよう前記運動機構部を制御する
検査装置。
【請求項２】
前記規定速度は、前記光電面における照射対象領域全体を前記光が移動するのにかかる時間が規定時間となる速度であり、
前記制御部は、前記光電面における照射対象領域全体を前記光が移動するのにかかる時間が規定時間以上になるよう前記運動機構部を制御する
請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
光を受けて電子を放出する光電面を有する光電部と、
前記光電面に沿った平面上で前記光電部を回転させる運動機構部と、
前記運動機構部を制御する制御部と、
を備え、
前記光の光軸は前記光電面の中心から外れており、
前記制御部は、前記光電面における特定の場所を一度光で照射してから再度当該特定の場所を照射するまでの時間を設定時間以内にするよう前記運動機構部を制御する
検査装置。
【請求項４】
前記設定時間は、１秒である
請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記制御部は、試料を検査する前に、前記光電面に前記光を照射するよう前記運動機構部を制御する
請求項１から４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記試料を検査する際に前記光電面に照射する光は、第１のパワー密度であり、
前記試料を検査する前に前記光電面に照射する光は、前記第１のパワー密度より高い第２のパワー密度である
請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記光電面から放出された電子が通過する経路の周りに配置された電極を更に備え、
前記光電面に比べて前記電極の電位が高い
請求項１から６のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記光電面を基準とする前記電極の電位は、１００〜１０００Ｖである
請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記光電部は、前記光電面を支持する支持体を有し、
前記運動機構部は、前記支持体を回転させることによって前記光電面を回転させる
請求項１から８のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記支持体にはネジが切られており、
前記運動機構部は、モータと、当該モータの回転軸に連結され且つ前記支持体の前記ネジに噛み合う歯車とを有し、
前記モータが回転することによって前記歯車が回転し、当該歯車の回転に伴い前記支持体が回転することによって前記光電面が回転する
請求項９に記載の検査装置。
【請求項１１】
真空に引くことが可能で側面に第１の穴と第２の穴が設けられたケーシングと、
前記光電部が固定された固定台と、
一端部が前記固定台の一端部に連結され且つ他端部が前記ケーシングの前記第１の穴の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する第１の伸縮体と、
一端部が前記固定台の他端部に連結され且つ他端部が前記ケーシングの前記第２の穴の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する第２の伸縮体と、
を更に備え、
前記運動機構部は、前記固定台を前記ケーシングの長軸方向と略垂直な面において移動させる請求項１から１０のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記第１の穴と前記第２の穴を通るように配置され、前記固定台に連結しており且つ内部が中空であり、両方の端部が大気に開放されている中空軸を更に備え、
前記運動機構部は、前記中空軸を前記ケーシングの長軸方向と略垂直な面において移動させる請求項１１に記載の検査装置。
【請求項１３】
前記運動機構部は、
前記中空軸の長軸方向と略垂直な方向に配置された第１のラックと、
前記中空軸の長軸方向と略垂直な方向に前記第１のラックを移動させる駆動部と、
前記第１のラックに噛み合う第１のギヤと、
前記第１のギヤに噛み合い且つ前記中空軸の長軸方向と略垂直な方向に配置された第２のラックと、
を有し、
前記中空軸の内部に配置されており且つ一端部に前記第１のギヤが固定されている連結軸を備えており、
前記第１のラックが直線運動し、それに伴って前記第１のギヤが回転することにより前記第１のギヤが前記第２のラックに沿って移動し、それに伴って前記連結軸が前記中空軸の長軸方向と略垂直な方向に移動する
請求項１２に記載の検査装置。
【請求項１４】
前記運動機構部は、
前記連結軸に連結されており且つ前記連結軸とともに連れ回る第２のギヤと、
前記第２のギヤに噛み合い且つ前記中空軸の長軸方向と略垂直な方向に配置された第３のラックと、
を更に備え、
前記第１のギヤと前記第２のギヤのピッチは略同じであり、
前記第２のラックと前記第３のラックのピッチは略同じであり、
前記連結軸が前記第２のラックだけでなく前記第３のラックに沿っても移動する
請求項１３に記載の検査装置。
【請求項１５】
前記第２のギヤは前記連結軸の他端部に連結されており、
前記第３のラックは前記ケーシングの外側に配置されている
請求項１４に記載の検査装置。
【請求項１６】
前記ケーシングの側面に更に第３の穴と第４の穴が設けられており、
一端部が前記固定台の一側面に連結され且つ他端部が前記ケーシングの前記第３の穴の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する第３の伸縮体と、
一端部が前記固定台に他側面に連結され且つ他端部が前記ケーシングの前記第４の穴の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する第４の伸縮体と、
前記第３の穴と前記第４の穴を通り且つ前記中空軸とは異なる角度に配置されており、前記第３の穴と前記第４の穴を通るように配置され、前記固定台に連結しており且つ内部が中空であり、両方の端部が大気に開放されている第２の中空軸と、
を備え、
前記第３のラックは、前記第２の中空軸の内部を通っており、
前記第２のギヤが、前記第２の中空軸の内部に配置されている
請求項１４に記載の検査装置。
【請求項１７】
前記中空軸の内部に形成された中空を前記連結軸が通っており、
前記駆動部は、前記中空軸の長軸方向に前記中空軸を移動させる
請求項１２から１６のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１８】
前記ケーシングの前記第２の穴の内部に配置され且つ前記第２の伸縮体の他端部に接続され且つ円環状で内部の空間に前記中空軸が通っている円環部材と、
前記円環部材と対向する対向面に円周状の段差が設けられており当該段差によって当該対向面が外縁側の第１の領域と内側の第２の領域に区分けされており、且つ当該第１の領域に略円環状の第１の溝が設けられており且つ内部の空間に前記中空軸が通っているフランジと、
前記第１の溝に嵌め込まれている第１のシール部材と、
を備え、
前記第１のシール部材と前記ケーシングの外面が面している状態で、前記フランジが前記ケーシングに固定されている
請求項１２から１７のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１９】
前記フランジには、当該表面の前記第２の領域に略円環状の第２の溝が設けられており、
前記第２の溝に嵌め込まれている第２のシール部材を更に備え、
前記第２のシール部材が前記円環部材の端面に面している状態で、前記フランジが前記ケーシングに固定されている
請求項１８に記載の検査装置。
【請求項２０】
前記運動機構部を制御する制御部を更に備える
請求項１１から１９のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項２１】
光を受けて電子を放出する光電面を有する光電部と、
前記光電面に沿った平面上で前記光電部を回転させる運動機構部と、
前記運動機構部を制御する制御部と、
を備え、
前記光の光軸は前記光電面の中心から外れており、
前記制御部は、前記光電面を活性化させるために、前記光の前記光電面における照射位置移動速度が規定速度以下になるよう前記運動機構部を制御する
照射装置。
【請求項２２】
光を受けて電子を放出する光電面を有する光電部と、
前記光電面に沿った平面上で前記光電部を回転させる運動機構部と、
前記運動機構部を制御する制御部と、
を備え、
前記光の光軸は前記光電面の中心から外れており、
前記制御部は、前記光電面を活性化させるために、前記光電面における特定の点を一度光で照射してから再度当該特定の点を照射するまでの時間を規定時間以内にするよう前記運動機構部を制御する
照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置及び照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、試料の表面に形成されたパターンの欠陥等を検査する検査装置が開発されてきた（特許文献１参照）。例えば、検査装置試料の表面の性状に応じて変化する二次荷電粒子を捕捉して画像データを形成し、その画像データに基づいて検査対象の表面に形成されたパターン等を高いスループットで検査する。ここで試料とは、露光用マスク、ＥＵＶマスク、ナノインプリント用マスク（及びテンプレート）、半導体ウエハ、光学素子用基板、光回路用基板等である。これらは、パターンを有するものとパターンがないものとがある。パターンが有るものは、凹凸のあるものとないものとが有る。凹凸のないパターンは、異なった材料によるパターン形成がなされている。パターンがないものには、酸化膜がコーティングされているものと、酸化膜がコーティングされていないものとが有る。
【０００３】
従来から、半導体製造の分野では、電子ビームを照射して試料の表面処理を行う照射装置が用いられている（特許文献２参照）。例えば、電子ビームを用いて半導体チップのパターンを露光する電子ビーム露光装置が用いられている。これらの検査装置及び照射装置では、光を受けて電子を放出する光電面が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−１２７０２３号公報
【特許文献２】特開２０１６−２７６０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
光電面の一箇所に光を照射し続けた場合、光電面の寿命（すなわちある一定電流以上の電流が得られる期間）が短いという問題がある。これに対し、光電面の寿命を延ばすために、光電面に照射する光の照射位置を移動させることが考えられる。その場合、その移動速度に関して好ましくない速度領域が存在する。その理由は、光電面上の光の照射部以外の領域に、カーボンコンタミネーション等の異物が付着し、この付着した異物の影響で光電面の量子効率が低下するからである。ここで光電面の量子効率は、光の照射パワーに対する電子ビームの放射電流の割合である。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、光電面の量子効率の低下を抑制しつつ光電面の寿命を延ばすことを可能とする検査装置及び照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の態様に係る検査装置は、光を受けて電子を放出する光電面を有する光電部と、前記光電面に沿った平面上で前記光電部を運動させる運動機構部と、前記運動機構部を制御する制御部と、を備え、前記光の光軸は前記光電面の中心から外れており、前記制御部は、前記光の前記光電面における照射位置移動速度が規定速度以下になるよう前記運動機構部を制御する。
【０００８】
この構成により、光電面における光の照射位置をゆっくり移動させることができるので、カーボンコンタミネーション等の異物を除去することができる。また、光電面における光の照射位置を変更することによって、光電面の寿命を延ばすことができる。このため、光電面の量子効率の低下を抑制しつつ光電面の寿命を延ばすことができる。
【０００９】
第２の態様に係る検査装置は、第１の態様に係る検査装置であって、前記規定速度は、前記光電面における照射対象領域全体を前記光が移動するのにかかる時間が規定時間となる速度であり、前記制御部は、前記光電面における照射対象領域全体を前記光が移動するのにかかる時間が規定時間以上になるよう前記運動機構部を制御する。
【００１０】
この構成により、光電面における光の照射位置をゆっくり移動させることができる。
【００１１】
第３の態様に係る検査装置は、光を受けて電子を放出する光電面を有する光電部と、前記光電面に沿った平面上で前記光電部を回転させる運動機構部と、前記運動機構部を制御する制御部と、を備え、前記光の光軸は前記光電面の中心から外れており、前記制御部は、前記光電面における特定の場所を一度光で照射してから再度当該特定の場所を照射するまでの時間を設定時間以内にするよう前記運動機構部を制御する。
【００１２】
この構成により、一度照射した特定の場所から光照射位置が移動した後に、この特定の場所に異物が付着する前に再度この特定の場所に光を照射することにより、光電面の量子効率の低下を抑制することができる。
【００１３】
第４の態様に係る検査装置は、第３の態様に係る検査装置であって、前記設定時間は、１秒である。
【００１４】
この構成により、１秒以内に再度同じ場所を照射することができ、光電面の量子効率の低下を抑制することができる。
【００１５】
第５の態様に係る検査装置は、第１から４のいずれかの態様に係る検査装置であって、前記制御部は、試料を検査する前に、前記光電面に前記光を照射するよう前記運動機構部を制御する。
【００１６】
この構成により、予め光電面の量子効率を高めることができる。
【００１７】
第６の態様に係る検査装置は、第５の態様に係る検査装置であって、前記試料を検査する際に前記光電面に照射する光は、第１のパワー密度であり、前記試料を検査する前に前記光電面に照射する光は、前記第１のパワー密度より高い第２のパワー密度である。
【００１８】
この構成により、予め光電面の量子効率を高めるときに、短時間で量子効率を高めることができる。
【００１９】
第７の態様に係る検査装置は、第１から６のいずれかの態様に係る検査装置であって、前記光電面から放出された電子が通過する経路の周りに配置された電極を更に備え、前記光電面に比べて前記電極の電位が高い。
【００２０】
この構成により、光電面から放射された電子を引き出すことができる。
【００２１】
第８の態様に係る検査装置は、第７の態様に係る検査装置であって、前記光電面を基準とする前記電極の電位は、１００〜１０００Ｖである。
【００２２】
この構成により、光電面の活性化効率が高くなるので、光電面の量子効率のピーク値を高くすることができる。
【００２３】
第９の態様に係る検査装置は、第１から８のいずれかの態様に係る検査装置であって、  前記光電部は、前記光電面を支持する支持体を有し、前記運動機構部は、前記支持体を回転させることによって前記光電面を回転させる。
【００２４】
この構成により、光電面を回転させることができ、光の照射位置を移動させることができるので、光電面の寿命を延ばすことができる。
【００２５】
第１０の態様に係る検査装置は、第９の態様に係る検査装置であって、前記支持体にはネジが切られており、前記運動機構部は、モータと、当該モータの回転軸に連結され且つ前記支持体の前記ネジに噛み合う歯車とを有し、前記モータが回転することによって前記歯車が回転し、当該歯車の回転に伴い前記支持体が回転することによって前記光電面が回転する。
【００２６】
この構成により、光電面を回転させることができ、光の照射位置を移動させることができるので、光電面の寿命を延ばすことができる。
【００２７】
第１１の態様に係る検査装置は、第１から１０のいずれかの態様に係る検査装置であって、真空に引くことが可能で側面に第１の穴と第２の穴が設けられたケーシングと、移動対象物と、前記移動対象物が固定された固定台と、一端部が前記固定台の一端部に連結され且つ他端部が前記ケーシングの前記第１の穴の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する第１の伸縮体と、一端部が前記固定台の他端部に連結され且つ他端部が前記ケーシングの前記第２の穴の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する第２の伸縮体と、を更に備え、前記運動機構部は、前記固定台を前記ケーシングの長軸方向と略垂直な面において移動させる。
【００２８】
この構成により、固定台をケーシングの長軸方向と略垂直な面において移動させることにより、固定台に固定された光電部をコラム４１の長軸方向と略垂直な面において移動させることができる。また第１の伸縮体、第２の伸縮体それぞれにかかる差圧が釣り合うことにより、運動機構部にかかる力がキャンセルされる。このため、運動機構部を支持する頑丈な構造体を設置する必要がなくなりコストを低減するとともに、構造体のメンテナンスからも開放される。
【００２９】
第１２の態様に係る検査装置は、第１１の態様に係る検査装置であって、前記第１の穴と前記第２の穴を通るように配置され、前記固定台に連結しており且つ内部が中空であり、両方の端部が大気に開放されている中空軸を更に備え、前記運動機構部は、前記中空軸を前記ケーシングの長軸方向と略垂直な面において移動させる。
【００３０】
この構成により、ケーシングの中を、内部に空気が充満している中空軸が貫通していることにより、ケーシングを真空にしても中空軸の内部は大気のままであるので中空軸の長軸方向に圧力が発生しない。このため、運動機構部に大きな力がかからないようすることができる。このため、運動機構部の故障リスクを低減することができる。また、運動機構部を支持する頑丈な構造体を設置する必要がなくなりコストを低減するとともに、構造体のメンテナンスからも開放される。
【００３１】
第１３の態様に係る検査装置は、第１２の態様に係る検査装置であって、前記運動機構部は、前記中空軸の長軸方向と略垂直な方向に配置された第１のラックと、前記中空軸の長軸方向と略垂直な方向に前記第１のラックを移動させる駆動部と、前記第１のラックに噛み合う第１のギヤと、前記第１のギヤに噛み合い且つ前記中空軸の長軸方向と略垂直な方向に配置された第２のラックと、を有し、前記中空軸の内部に配置されており且つ一端部に前記第１のギヤが固定されている連結軸を備えており、前記第１のラックが直線運動し、それに伴って前記第１のギヤが回転することにより前記第１のギヤが前記第２のラックに沿って移動し、それに伴って前記連結軸が前記中空軸の長軸方向と略垂直な方向に移動する。
【００３２】
この構成により、連結軸が中空軸の長軸方向と略垂直な方向に移動することで、中空軸が連結軸に引っ張られて同じ方向に移動し、それに付随して中空軸に連結された固定台も同じ方向に移動するので、固定台に固定された移動対象物を当該同じ方向に移動させることができる。
【００３３】
第１４の態様に係る検査装置は、第１３の態様に係る検査装置であって、前記運動機構部は、前記連結軸に連結されており且つ前記連結軸とともに連れ回る第２のギヤと、前記第２のギヤに噛み合い且つ前記中空軸の長軸方向と略垂直な方向に配置された第３のラックと、を更に備え、前記第１のギヤと前記第２のギヤのピッチは略同じであり、前記第２のラックと前記第３のラックのピッチは略同じであり、前記連結軸が前記第２のラックだけでなく前記第３のラックに沿っても移動する。
【００３４】
この構成により、連結軸が回転することによって、第１のギヤと第２のギヤが同じだけ回転して、同じだけ中空軸の長軸方向と略垂直な方向に動くので、動きの精度を向上させることができる。
【００３５】
第１５の態様に係る検査装置は、第１４の態様に係る検査装置であって、前記第２のギヤは前記連結軸の他端部に連結されており、前記第３のラックは前記ケーシングの外側に配置されている。
【００３６】
この構成により、連結軸の両端部が同じだけ中空軸の長軸方向と略垂直な方向に動くので、動きの精度を向上させることができる。
【００３７】
第１６の態様に係る検査装置は、第１４の態様に係る検査装置であって、前記ケーシングの側面に更に第３の穴と第４の穴が設けられており、一端部が前記固定台の一側面に連結され且つ他端部が前記ケーシングの前記第３の穴の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する第３の伸縮体と、一端部が前記固定台に他側面に連結され且つ他端部が前記ケーシングの前記第４の穴の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する第４の伸縮体と、前記第３の穴と前記第４の穴を通り且つ前記中空軸とは異なる角度に配置されており、前記第３の穴と前記第４の穴を通るように配置され、前記固定台に連結しており且つ内部が中空であり、両方の端部が大気に開放されている第２の中空軸と、を備え、前記第３のラックは、前記第２の中空軸の内部を通っており、前記第２のギヤが、前記第２の中空軸の内部に配置されている。
【００３８】
この構成により、第２のギヤが第２の中空軸の内部においてラックに噛み合いながら回転する。それに伴って連結軸が回転しながら第３のラックの長軸方向に移動し、それに連られて中空軸も第３のラックの長軸方向に移動する。その結果、中空軸に連結している固定台とともに、固定台に固定された光電部が第３のラックの長軸方向に移動する。
【００３９】
第１７の態様に係る検査装置は、第１２から第１６のいずれかの態様に係る検査装置であって、前記中空軸の内部に形成された中空を前記連結軸が通っており、前記駆動部は、前記中空軸の長軸方向に前記中空軸を移動させる。
【００４０】
この構成により、中空軸が中空軸の長軸方向に移動することで、中空軸が連結された固定台が付随して同じ方向に移動するので、固定台に固定された移動対象物を当該同じ方向に移動させることができる。
【００４１】
第１８の態様に係る検査装置は、第１２から第１７のいずれかの態様に係る検査装置であって、前記ケーシングの前記第２の穴の内部に配置され且つ前記第２の伸縮体の他端部に接続され且つ円環状で内部の空間に前記中空軸が通っている円環部材と、前記円環部材と対向する対向面に円周状の段差が設けられており当該段差によって当該対向面が外縁側の第１の領域と内側の第２の領域に区分けされており、且つ当該第１の領域に略円環状の第１の溝が設けられており且つ内部の空間に前記中空軸が通っているフランジと、前記第１の溝に嵌め込まれている第１のシール部材と、を備え、前記第１のシール部材と前記ケーシングの外面が面するように、前記フランジが前記ケーシングに固定されている。
【００４２】
この構成により、第１のシール部材はケーシングの外周面とフランジの対向面とが面する領域をシールすることができるので、フランジの外周側からケーシングの内側への空気の流入を遮断することができる。
【００４３】
第１９の態様に係る検査装置は、第１８の態様に係る検査装置であって、前記フランジには、当該表面の前記第２の領域に略円環状の第２の溝が設けられており、前記第２の溝に嵌め込まれている第２のシール部材を更に備え、前記第２のシール部材が前記円環部材の端面に面するように、前記フランジが前記ケーシングに固定されている。
【００４４】
この構成により、第２のシール部材は、フランジの表面と円環部材の端面との間の領域をシールすることができるので、フランジの空洞側からケーシングの内側への空気の流入を遮断することができる。
【００４５】
第２０の態様に係る検査装置は、第１１から１９のいずれかの態様に係る検査装置であって、前記運動機構部を制御する制御部を更に備える。
【００４６】
この構成により、制御部が運動機構部を制御するので、自動で移動対象物をケーシングの長軸方向と略垂直な面において移動させることができる。
【００４７】
第２１の態様に係る照射装置は、光を受けて電子を放出する光電面を有する光電部と、前記光電面に沿った平面上で前記光電部を回転させる運動機構部と、前記運動機構部を制御する制御部と、を備え、前記ＵＶ光の光軸は前記光電面の中心から外れており、前記制御部は、前記光電面を活性化させるために、前記光の前記光電面における照射位置移動速度が規定速度以下になるよう前記運動機構部を制御する。
【００４８】
この構成により、光電面における光の照射位置をゆっくり移動させることができるので、カーボンコンタミネーション等の異物を除去することができる。また、光電面における光の照射位置を変更することによって、光電面の寿命を延ばすことができる。このため、光電面の量子効率の低下を抑制しつつ光電面の寿命を延ばすことができる。
【００４９】
第２２の態様に係る照射装置は、光を受けて電子を放出する光電面を有する光電部と、前記光電面に沿った平面上で前記光電部を回転させる運動機構部と、前記運動機構部を制御する制御部と、を備え、前記光の光軸は前記光電面の中心から外れており、前記制御部は、前記光電面を活性化させるために、前記光電面における特定の点を一度光で照射してから再度当該特定の点を照射するまでの時間を規定時間以内にするよう前記運動機構部を制御する。
【００５０】
この構成により、一度照射した特定の場所から光照射位置が移動した後に、この特定の場所に異物が付着する前に再度この特定の場所に光を照射することにより、光電面の量子効率の低下を抑制することができる。
【発明の効果】
【００５１】
本発明の一態様によれば、光電面における光の照射位置をゆっくり移動させることができるので、カーボンコンタミネーション等の異物を除去することができる。また、光電面における光の照射位置を変更することによって、光電面の寿命を延ばすことができる。このため、光電面の量子効率の低下を抑制しつつ光電面の寿命を延ばすことができる。
また本発明の他の態様によれば、一度照射した特定の場所から光照射位置が移動した後に、この特定の場所に異物が付着する前に再度この特定の場所に光を照射することにより、光電面の量子効率の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】第１の実施形態に係る検査装置１００の一次光学系を示す説明図である。
【図２】第１の実施形態に係る検査装置１００の一次光学系の一部の概略断面図である。
【図３】光電面２１における光の照射位置の軌跡の説明図である。
【図４】図３の領域Ｒ１の拡大図である。
【図５】実施例１における照射領域全体の放出電流量と時間との概略関係を示すグラフである。
【図６】実施例１における光電面２１から放射される電子ビームの電流とレーザ光の移動軌跡に沿った位置との間の概略関係を示すグラフである。
【図７】実施例１における活性化効果と光電面２１を基準とする電極４の電位との概略関係を示すグラフである。
【図８】実施例２における照射領域全体の放出電流量と時間との概略関係を示すグラフである。
【図９】実施例２における光電面２１から放射される電子ビームの電流とレーザ光の移動軌跡に沿った位置との間の概略関係を示すグラフである。
【図１０】第２の実施形態に係る照射装置２００の主要部の構成を示す図である。
【図１１】比較例に係る検査装置の概略模式断面図である。
【図１２】第３の実施形態に係る検査装置の概略模式断面図である。
【図１３】第３の実施形態に係る検査装置の変形例１の概略模式断面図である。
【図１４】第３の実施形態に係る検査装置の変形例２の概略模式断面図である。
【図１５】第３の実施形態に係る検査装置の変形例３の概略模式断面図である。
【図１６】第４の実施形態に係る検査装置の概略模式断面図である。
【図１７】第４の実施形態に係る運動機構部６８の概略斜視図である。
【図１８】第４の実施形態に係る運動機構部６８の概略断面図である。
【図１９】第４の実施形態に係る運動機構部６８の主要部の透視斜視図である。
【図２０】中空軸の長軸方向に対して略垂直方向への移動機構を説明するための模式図である。
【図２１】中空軸の長軸方向への移動機構を説明するための模式図である。
【図２２】第４の実施形態に係る検査装置において、固定台が取り付けられるときの操作を示す一部斜視図である。
【図２３】フランジ９０を取り付ける前の検査装置の一部断面図である。
【図２４】フランジ９０を取り付けた後の検査装置の一部断面図である。
【図２５】第４の実施形態に係る検査装置における、光電部の運動に関わる機構部の組み立ての流れの一例を示すフローチャートである。
【図２６】第４の実施形態の変形例に係る検査装置の概略模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００５３】
以下、各実施形態について、図面を参照しながら説明する。
＜第１の実施形態＞
第１の実施形態に係る検査装置の構成を、図面を参照して説明する。ここでは特に、一次光学系を中心に説明する。図１は、第１の実施形態に係る検査装置１００の一次光学系を示す説明図である。図１に示すように、検査装置１００の一次光学系は、光を出射する光源１と、レーザ光が照射されることにより一次ビームを発生する光電部２を備えている。光源１は例えば、ガウス分布のレーザ光を発生するレーザ光源である。ここで光電部２は、光を受けて電子を放出する光電面２１と、当該光電面２１を支持する支持体（ホルダーともいう）２２を有する。
【００５４】
また、検査装置１００の一次光学系は、光電面２１に沿った平面上で光電部２を運動させる運動機構部３を備える。この運動の方式は回転、らせん、直線、渦巻きなど何でもよい。本実施形態では一例として運動機構部３は、支持体２２を回転させることによって光電面２１を回転させる。これにより、光電面２１を回転させることができ、光の照射位置を移動させることができるので、光電面２１の寿命を延ばすことができる。なお、光電部２の回転のさせ方については、図２を参照しながら後で詳しく説明する。また、検査装置１００の一次光学系は、運動機構部３を制御する制御部１０を備える。更に、検査装置１００の一次光学系は、光電面２１から放出された電子が通過する経路の周りに配置された電極４を備える。光電面２１が放射された電子を引き出すため、光電面２１に比べて電極４の電位が高い。これにより、光電面２１から放射された電子を引き出すことができる。
【００５５】
図１に示すように、一次光学系は、ガンレンズ（ＧＬ）５と、Ｅ×Ｂフィルタ６を備える。光電面２１から発生した一次ビームは、フォーカス位置からずらされた位置で一次ビームが試料に照射されるように、ガンレンズ５によって焦点位置が調整される。ガンレンズ５の出力（磁場強度）は、ＧＬ制御部７より制御されている。一次ビームの焦点位置の調整は、ＧＬ制御部７でガンレンズ５の出力を制御することによって行うことができる。また、Ｅ×Ｂフィルタ６は、磁界と電界によるローレンツ力により、一次ビームの進む向きを変える機能を備える。一次ビームは、斜め方向からＥ×Ｂフィルタ６に入射して、鉛直下方向に偏向され、ステージ８上の試料９に向けられる。
【００５６】
図２は、第１の実施形態に係る検査装置１００の一次光学系の一部の概略断面図である。支持体２２にはネジが切られている。図２に示すように、運動機構部３は、モータ３１と、当該モータ３１の回転軸３２に連結され且つ支持体２２のネジに噛み合う歯車３３とを有する。そしてモータ３１が回転することによって歯車３３が回転し、当該歯車３３の回転に伴い支持体２２が回転することによって光電面２１が回転する。これにより、光電面２１を回転させることができ、光の照射位置を移動させることができるので、光電面２１の寿命を延ばすことができる。
【００５７】
図２に示すように、光の光軸Ａ３は光電面２１の中心Ｃから外れており、光の光軸Ａ３と光電面２１の中心Ｃとの距離はｄ／２である。また、矢印Ａ４に示すように、光電面２１から発生した電子が放出される。
【００５８】
続いて、制御部の処理について実施例１と実施例２に分けて説明する。
（実施例１）
カーボンコンタミネーション等の異物は、光電面２１に数秒以内に付着し、除去には数分から数時間かかることもある。そこで本実施例では、光電面２１をゆっくり動かすことによって、光電面２１における光の照射位置がゆっくり移動し、カーボンコンタミネーション等の異物を長時間かけて除去する。これにより、光の照射によって異物が除去されるので、光電面２１の量子効率の低下を抑制することができる。
【００５９】
以下、本実施例に係る制御部１０の処理について説明する。制御部１０は、光の光電面２１における照射位置移動速度が規定速度以下になるよう運動機構部３を制御する。これにより、光電面２１における光の照射位置をゆっくり移動させることができるので、カーボンコンタミネーション等の異物を除去することができる。また、光電面２１における光の照射位置を変更することによって、光電面２１の寿命を延ばすことができる。このため、光電面２１の量子効率の低下を抑制しつつ光電面２１の寿命を延ばすことができる。
【００６０】
ここで規定速度は例えば、光電面２１における照射対象領域全体を光が移動するのにかかる時間が規定時間（例えば、１時間）となる速度であり、制御部１０は、光電面２１における照射対象領域全体を光が移動するのにかかる時間が規定時間以上になるよう運動機構部３を制御する。これにより、光電面２１における光の照射位置をゆっくり移動させることができる。
【００６１】
図３及び図４を用いて、具体例について説明する。図３は、光電面２１における光の照射位置の軌跡の説明図である。図３に示すように、光の照射位置の軌跡ＭＬは一例として円であり、その直径はｄである。光電面２１における光の照射領域ＬＳは、矢印Ａ５に沿って進行する。図４は、図３の領域Ｒ１の拡大図である。図４に示すように、光電面２１における光の照射領域ＬＳ１から、光電面２１における光の照射領域ＬＳ２へ進むのに、一例として１０分以上かけて進むよう光電面２１が回転する。
【００６２】
ここで、レーザ光の直径の距離を１０分以上かけてゆっくり移動する速度であるから、規定速度は、レーザ光の直径が１００μｍの場合、規定速度は１０μｍ／ｍｉｎとなる。すなわち、１０μｍ／ｍｉｎ以下の速度で、レーザ光の照射位置が移動するよう光電面２１が回転する。光の照射位置の軌跡ＭＬの円の直径ｄが４ｍｍ（円周約１２ｍｍ）の場合、約２０時間以上の周期で、光電面２１における光の照射位置が回転する。
【００６３】
図５は、実施例１における照射領域全体の放出電流量と時間との概略関係を示すグラフである。図５に示すように、レーザ光の照射位置が光電面２１上をゆっくりと移動するので、照射領域全体の放出電流量は、時間の経過によらず、一定である。
【００６４】
図６は、実施例１における光電面２１から放射される電子ビームの電流とレーザ光の移動軌跡に沿った位置との間の概略関係を示すグラフである。図６の上部に、レーザ光の移動軌跡が示されており、矢印Ａ６に示すように、光電面２１において、光の照射領域ＬＳ３から光の照射領域ＬＳ４に移動する。グラフは、このレーザ光の移動軌跡に対応する。
光の照射領域ＬＳ４では、位置Ｐ１〜Ｐ２までの範囲では、合計の照射時間が他の照射領域よりも短い。光電面２１の量子効率は、光照射直後は低く、徐々に高くなってピークに達するため、波形Ｗ１に示すように、位置Ｐ１〜Ｐ２までの範囲では光電面２１から放射される電子ビームの電流が下がっている。ここで光の照射パワーに対する電子ビームの放射電流の割合である。
【００６５】
一方、予め光を照射して光電面２１の量子効率を高めておくのが望ましい。図６の波形Ｗ２は、予め光を照射した場合のグラフである。波形Ｗ２では、波形Ｗ１のように、位置Ｐ１〜Ｐ２までの範囲において、光電面２１から放射される電子ビームの電流が下がることはなく、右肩上がりで上昇しており、光の照射領域ＬＳ４の先端側において最も電子ビームの電流が大きくなっている。
【００６６】
よって、予め光を照射して、光電面２１の量子効率を高めておくのが望ましい。ここで光電面２１の量子効率を高めておくことを活性化ともいう。その際、制御部１０は、当該試料を検査する前に、光電面２１に光を照射するよう運動機構部３を制御する。これにより、予め光電面２１の量子効率を高めることができる。
【００６７】
また光電面２１の量子効率がピークに達する時間は、照射する光のパワー密度が高いほど早い。したがって、試料を検査する際に光電面２１に照射する光が第１のパワー密度であるとすると、この第１のパワー密度より高い第２のパワー密度で、試料を検査する前に光を光電面２１に照射することが好ましい。その際、制御部１０は、第１のパワー密度より高い第２のパワー密度になるよう光源１を制御してもよい。これにより、予め光電面２１の量子効率を高めるときに、短時間に光電面２１の量子効率を高めておくことができる。
【００６８】
ここで、第２のパワー密度は、好ましくは１ｋＷ／ｃｍ2以上、より好ましくは１０ｋＷ／ｃｍ2以上、さらに好ましくは１００ｋＷ／ｃｍ2以上である。
【００６９】
また量子効率のピーク値は、光電面２１を基準とする電極４の電位（引出電圧という）に大きく依存する。図７は、実施例１における活性化効果と光電面２１を基準とする電極４の電位との概略関係を示すグラフである。図７に示すように、光電面２１よりも電極４の電位が、１００〜１０００Ｖの範囲で高い場合に活性化効果が高くなる。このように、図７から、引出電圧が１００〜１０００Ｖの間で活性化効率が高く、それに伴い量子効率のピーク値が高くなる。従って、１００〜１０００Ｖの引出電圧を電極４に印加しておくことが好ましい。これにより、光電面２１の量子効率のピーク値を高くすることができる。
【００７０】
（実施例２）
カーボンコンタミネーション等の異物は、光電面２１に数秒以内に付着し、除去には数分から数時間かかることもある。そこで本実施例では、光電面２１を速く動かすことによって、光電面２１における光の照射位置が速く移動し、カーボンコンタミネーション等の異物の光電面２１への付着を抑制する。これにより、一度照射した特定の場所から光照射位置が移動した後に、この特定の場所に異物が付着する前に再度この特定の場所に光を照射することにより、光電面２１の量子効率の低下を抑制することができる。
【００７１】
以下、本実施例に係る制御部１０の処理について説明する。制御部１０は、光電面２１における特定の場所を一度光で照射してから再度当該特定の場所を照射するまでの時間を設定時間以内にするよう運動機構部３を制御する。これにより、一度照射した特定の場所から光照射位置が移動した後に、この特定の場所に異物が付着する前に再度この特定の場所に光を照射することにより、光電面２１の量子効率の低下を抑制することができる。
【００７２】
ここでこの設定時間は好ましくは１秒である。これにより、１秒以内に再度同じ場所を照射することができ、光電面２１の量子効率の低下を抑制することができる。本実施例のように、光電面２１が回転する場合、１秒間以内に１回転するから６０ｒｐｍ以上に相当する。
【００７３】
図８は、実施例２における照射領域全体の放出電流量と時間との概略関係を示すグラフである。図８に示すように、照射領域全体の放出電流量は、時間の経過とともに落ちていく。
【００７４】
図９は、実施例２における光電面２１から放射される電子ビームの電流とレーザ光の移動軌跡に沿った位置との間の概略関係を示すグラフである。光電面２１から放射される電子ビームの電流は、レーザ光の移動軌跡に沿った位置によらず一定である。これは、一度照射した特定の場所から光照射位置が移動した後に、この特定の場所に異物が付着する前に再度この特定の場所に光を照射することにより、この特定の場所における量子効率の低下を抑制することができるからである。
【００７５】
本実施例においても第２の実施例と同様に、予め光を照射して光電面２１の量子効率を高めておくのが望ましい。具体的には例えば、試料を検査する際の第１のパワー密度より高い第２のパワー密度で、試料を検査する前に光を光電面２１に照射することが好ましい。その際、制御部１０は、第１のパワー密度より高い第２のパワー密度になるよう光源１を制御し、その後に制御部１０は、当該試料を検査する前に、光電面２１に光を照射するよう運動機構部３を制御してもよい。これにより、短時間に光電面２１の量子効率を高めておくことができる。ここで、第２のパワー密度は、好ましくは１ｋＷ／ｃｍ2以上、より好ましくは１０ｋＷ／ｃｍ2以上、さらに好ましくは１００ｋＷ／ｃｍ2以上である。
更に、電極４に光電面２１より１００〜１０００Ｖ高い引出電圧を印加しておくことが好ましい。これにより、量子効率のピーク値を高くすることができる。
【００７６】
＜第２の実施形態＞
続いて、第２の実施形態について説明する。第１の実施形態では検査装置について説明したが、この第２の実施形態では照射装置について説明する。第１の実施形態における第１の実施例の制御及び第２の実施例の制御は両方とも、第２の実施形態に係る照射装置に適用可能である。
【００７７】
図１０は、第２の実施形態に係る照射装置２００の主要部の構成を示す図である。ここで、主要部は、電子光学系とメインチャンバとを含む主要部を含む。図１０に示すように、照射装置２００は、光を出射する光源２０１と、光源２０１からの光の照射により電子ビームを発生する光電部２０２を備える。光源２０１は例えば、所定の波長の光を発生させる。また、照射装置２００は、電子ビームが照射される試料２２０が設置されるステージ２３０を備える。さらに、照射装置２００は、電子ビームの照射位置を確認するための光学顕微鏡２７０を備える。なお、光学顕微鏡２７０は、メインチャンバ２６０に設けられてもよく、また、不図示のロードロックに設けられてもよい。
【００７８】
光源２０１は、メインチャンバ２６０の外に設置することができる。この場合、光源２０１からの光は、メインチャンバ２６０に設けた透過窓２４０を通して光電部２０２に達するように構成することができる。透過窓２４０としては、合成石英、クオーツ、ＦＯＰ（ファイバオプティクプレート）などを用いることができる。
【００７９】
光電部２０２からの放射電子量や、電子ビームの方向性および均等性は、電極２０４によって制御することができる。電極２０４を設け且つ電極２０４に光電部２０２より高い電圧を印加することにより、電子の拡散を抑えて、余分な領域に照射される電子を低減することができ、引出し効果により電子発生効率を高めることができる。なお、電極２０４は、必ずしも設けなくてもよい。電極２０４を設けない場合には、電子ビームが広がる（電子が広い領域に照射される）ことになるものの、コストを低減することができる。
【００８０】
試料２２０に照射される電子ビームの電流量は、１０ｎＡ〜１００Ａに設定されている。光源２０１としては、ＤＵＶランプ、ＤＵＶレーザ、Ｘ線レーザ、ＵＶレーザ、ＵＶランプ、ＬＥＤ、ＬＤなどが使用可能である。光電部２０２は、光を受けて電子を放出する光電面２２１と、光電面２２１を支持する支持体２２２とを有する。図１０に示すように、光の光軸Ａ７は光電面２２１の中心Ｃ２から外れており、光の光軸Ａ７と光電面２２１の中心Ｃとの距離はｄ／２である。また、矢印Ａ８に示すように、光電面２２１から発生した電子が放出される。
【００８１】
光電面２２１には、０〜−５０００Ｖの電圧が印加され、試料２２０には、０〜−２０００Ｖの電圧が印加される。ランディングエナジーＬＥは、０〜５０００ｅＶに設定される。
【００８２】
照射装置２００は更に運動機構部２０３を備える。運動機構部２０３は、支持体２２２を回転させることによって光電面２２１を回転させる。
支持体２２２にはネジが切られており、運動機構部２０３は、モータ２３１と、当該モータ２３１の回転軸２３２に連結され且つ支持体２２２のネジに噛み合う歯車２３３とを有する。モータ２３１が回転することによって歯車２３３が回転し、当該歯車２３３の回転に伴い支持体２２２が回転することによって光電面２２１が回転する。
【００８３】
本実施の形態では一例として、試料２２０の形状は、円形であり、電子ビームの照射領域の形状は一例として、その円形（試料２２０の形状）の一部を構成する扇形である。したがって、光源２０１や光電部２０２などの電子源の構成は小さくて済む。この場合、表照射装置２００は、試料２２０の全面に電子ビームを照射できるようにステージ２３０を回転移動させるステージ制御部２５０を備える。
【００８４】
この場合、ステージ制御部２５０の制御により、ステージ２３０を回転移動させて、電子ビームの照射領域を制御することができる。例えば、電子ビームの照射領域の形状が、試料２２０の形状（円形）の一部を構成する扇形である場合、ステージ２３０を回転移動させることにより、試料２２０の全面に均一に電子ビームを照射することができる。
【００８５】
更に照射装置２００は、運動機構部２０３を制御する制御部２１０を備える。続いて、制御部の処理について実施例１と実施例２に分けて説明する。
【００８６】
（実施例１）
第１の実施形態の実施例１と同様に、光電面２２１をゆっくり動かすことによって、光電面２２１における光の照射位置がゆっくり移動し、カーボンコンタミネーション等の異物を長時間かけて除去する。これにより、光の照射によって異物が除去されるので、光電面２２１の量子効率の低下を抑制することができる。
【００８７】
以下、本実施例に係る制御部２１０の処理について説明する。制御部２１０は、光の光電面２２１における照射位置移動速度が規定速度以下になるよう運動機構部２０３を制御する。これにより、光電面２２１における光の照射位置をゆっくり移動させることができるので、カーボンコンタミネーション等の異物を除去することができる。また、光電面２２１における光の照射位置を変更することによって、光電面２２１の寿命を延ばすことができる。このため、光電面２２１の量子効率の低下を抑制しつつ光電面２２１の寿命を延ばすことができる。
【００８８】
ここで規定速度は例えば、光電面２２１における照射対象領域全体を光が移動するのにかかる時間が規定時間（例えば、１時間）となる速度であり、制御部２１０は、光電面２２１における照射対象領域全体を光が移動するのにかかる時間が規定時間以上になるよう運動機構部２０３を制御する。これにより、光電面２２１における光の照射位置をゆっくり移動させることができる。
【００８９】
本実施例においても第１の実施形態の実施例１と同様に、予め光を照射して光電面２２１の量子効率を高めておくのが望ましい。具体的には例えば、試料を検査する際の第１のパワー密度より高い第２のパワー密度で、試料を検査する前に光を光電面２２１に照射することが好ましい。その際、制御部２１０は、第１のパワー密度より高い第２のパワー密度になるよう光源２０１を制御し、その後に制御部２１０は、当該試料を検査する前に、光電面２２１に光を照射するよう運動機構部３を制御してもよい。これにより、短時間に光電面２２１の量子効率を高めておくことができる。ここで、第２のパワー密度は、好ましくは１ｋＷ／ｃｍ2以上、より好ましくは１０ｋＷ／ｃｍ2以上、さらに好ましくは１００ｋＷ／ｃｍ2以上である。
更に、電極２０４に光電面２２１より１００〜１０００Ｖ高い引出電圧を印加しておくことが好ましい。これにより、量子効率のピーク値を高くすることができる。
【００９０】
（実施例２）
第１の実施形態の実施例２と同様に、光電面２２１を速く動かすことによって、光電面２２１における光の照射位置が速く移動し、カーボンコンタミネーション等の異物の光電面２２１への付着を抑制する。これにより、一度照射した特定の場所から光照射位置が移動した後に、この特定の場所に異物が付着する前に再度この特定の場所に光を照射することにより、光電面２２１の量子効率の低下を抑制することができる。
【００９１】
以下、本実施例に係る制御部２１０の処理について説明する。制御部２１０は、光電面２２１における特定の場所を一度光で照射してから再度当該特定の場所を照射するまでの時間を設定時間以内にするよう運動機構部２０３を制御する。これにより、一度照射した特定の場所から光照射位置が移動した後に、この特定の場所に異物が付着する前に再度この特定の場所に光を照射することにより、光電面２２１の量子効率の低下を抑制することができる。
【００９２】
ここでこの設定時間は好ましくは１秒である。これにより、１秒以内に再度同じ場所を照射することができ、光電面２２１の量子効率の低下を抑制することができる。本実施例のように、光電面２２１が回転する場合、１秒間以内に１回転するから６０ｒｐｍ以上に相当する。
【００９３】
本実施例においても第１の実施形態の実施例２と同様に、予め光を照射して光電面２２１の量子効率を高めておくのが望ましい。具体的には例えば、試料を検査する際の第１のパワー密度より高い第２のパワー密度で、試料を検査する前に光を光電面２２１に照射することが好ましい。その際、制御部２１０は、第１のパワー密度より高い第２のパワー密度になるよう光源２０１を制御し、その後に制御部２１０は、当該試料を検査する前に、光電面２２１に光を照射するよう運動機構部３を制御してもよい。これにより、短時間に光電面２２１の量子効率を高めておくことができる。ここで、第２のパワー密度は、好ましくは１ｋＷ／ｃｍ2以上、より好ましくは１０ｋＷ／ｃｍ2以上、さらに好ましくは１００ｋＷ／ｃｍ2以上である。
更に、電極２０４に光電面２２１より１００〜１０００Ｖの引出電圧を印加しておくことが好ましい。これにより、量子効率のピーク値を高くすることができる。
【００９４】
（比較例）
続いて第３の実施形態に係る検査装置を説明する前に、比較例に係る検査装置６００の構造について説明する。図１１は、比較例に係る検査装置の概略模式断面図である。図１１に示すように、コラム４１と、光電部２１を固定する固定台（ステージともいう）４２と、一端が固定台４２に連結された柱４３と、柱４３の一部を囲むベローズ４４と、柱４３の他端に連結された駆動部４５と、駆動部４５を支持する構造体である支持部４６とを備える。駆動部４５は、柱４３を矢印Ｂ１及びＢ１の方向に動かすことにより、固定台４２を矢印Ｂ１及びＢ２の方向に動かすことができる。その結果、固定台４２に固定された光電部２１を矢印Ｂ１及びＢ２の方向に動かすことができる。
【００９５】
このように、一つの柱４３で固定台４２を支えているため、ベローズ４４は大気に開放されているため、コラム４１内を真空にすると、ベローズ４４内の圧力とコラム４１内の圧力差によって図１１の矢印Ａ１１の向きにベローズ４４に差圧がかかり、この差圧で駆動部４５に矢印Ａ１１の向きに大きな力がかかる。この差圧に対抗するため駆動部４５の周りに頑丈な構造の支持部４６が必要になるという問題がある。
【００９６】
（第３の実施形態）
続いて第３の実施形態について説明する。第３の実施形態に係る検査装置は、第１の実施形態の検査装置に対して光電部２１の移動機構が変更されたものである。比較例に対して、第３の実施形態に係る検査装置３００は、図１２に示すように、コラム４１の長軸方向とは略垂直な面（図１２の断面）において、固定台４２の両側に（すなわち固定台４２を中心として互いに略反対方向に）、柱４３と柱４７が設けられている。
【００９７】
図１２は、第３の実施形態に係る検査装置の概略模式断面図である。図１２に示すように、第３の実施形態に係る検査装置は、ケーシングの一例であるコラム４１と、光電面を有する光電部２１を固定する固定台（ステージともいう）４２と、一端が固定台４２に連結された柱４３と、柱４３の一部を囲むベローズ４４と、運動機構部４０と、一端が固定台４２に連結された柱４７と、柱４７の一部を囲むベローズ４８とを備える。運動機構部４０は、柱４３の他端に連結された駆動部４５を備える。図１１と同様に図１２の駆動部４５は、柱４３を矢印Ｂ３及びＢ４の方向に動かすことにより、固定台４２を矢印Ｂ３及びＢ４の方向に動かすことができる。その結果、固定台４２に固定された光電部２１を矢印Ｂ３及びＢ４の方向に動かすことができる。
【００９８】
コラム４１は、真空に引くことが可能で側面に第１の穴と第２の穴が設けられている。またベローズ４４は第１の伸縮体の一例であり、一端部がコラム４１の一端部に連結しており且つ他端部がコラム４１の第１の穴Ｈ１１の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する。ベローズ４４は当該コラム４１の第１の穴を介して内部が大気に開放されている。同様にベローズ４８は第２の伸縮体の一例であり、一端部がコラム４１の他端部に連結され且つ他端部がコラム４１の第２の穴Ｈ１２の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する。ベローズ４４は当該コラム４１の第２の穴を介して内部が大気に開放されている。
【００９９】
ベローズ４４には矢印Ａ１２の向きに差圧がかかり、ベローズ４８には矢印Ａ１３の向きに差圧がかかる。ベローズ４４、４７それぞれにかかる差圧が釣り合うことにより、駆動部４５にかかる力がキャンセルされる。このため、駆動部４５を支持する頑丈な構造体を設置する必要がなくなりコストを低減するとともに、構造体のメンテナンスからも開放される。
【０１００】
以上、第３の実施形態に係る検査装置は、真空に引くことが可能で側面に第１の穴と第２の穴が設けられたコラム４１と、移動対象物としての光電部２１と、当該光電部２１が固定された固定台４２と、一端部がコラム４１に連結しており当該コラム４１の第１の穴を介して内部が大気に開放されているベローズ４４と、一端部がコラム４１に連結しており当該コラム４１の第２の穴を介して内部が大気に開放されているベローズ４８と、固定台４２をコラム４１の長軸方向と略垂直な面において移動させる運動機構部４０と、を備える。
【０１０１】
この構成により、固定台４２をコラム４１の長軸方向と略垂直な面において移動させることにより、固定台４２に固定された光電部２１をコラム４１の長軸方向と略垂直な面において移動させることができる。またベローズ４４、４７それぞれにかかる差圧が釣り合うことにより、駆動部４５にかかる力がキャンセルされる。このため、運動機構部４０の駆動部４５を支持する頑丈な構造体を設置する必要がなくなりコストを低減するとともに、構造体のメンテナンスからも開放される。
【０１０２】
（変形例１）
続いて、第３の実施形態の変形例１について説明する。第３の実施形態では、片方の柱４３にだけ駆動部４５が連結しているので、図１２において駆動部４５が連結していない点Ｐ２における動きが悪くなり、点Ｐ１、点Ｐ２で移動量が異なる可能性が高くなる。その結果、精度の良い動きは難しいという課題がある。
【０１０３】
図１３は、第３の実施形態に係る検査装置の変形例１の概略模式断面図である。本変形例１の検査装置３００ｂでは、運動機構部４０が運動機構部４０ｂに変更され、運動機構部４０ｂが備える駆動部４５ｂを柱４３、柱４７の両方に連結している。このように連結していることによって、両方の柱４３、柱４７の動きの精度は良くなる。駆動部４５ｂは、柱４３を矢印Ｂ５〜Ｂ８の方向に動かすことにより、固定台４２を矢印Ｂ５〜Ｂの方向に動かすことができる。その結果、固定台４２に固定された光電部２１を矢印Ｂ５〜Ｂの方向に動かすことができる。
【０１０４】
（変形例２）
続いて、第３の実施形態の変形例２について説明する。変形例１では、全体の構造が大きくなり、駆動部４５ｂの構造も複雑になるという課題がある。
図１４は、第３の実施形態に係る検査装置の変形例２の概略模式断面図である。本変形例２の検査装置３００ｃでは、運動機構部４０が運動機構部４０ｃに変更され、運動機構部４０ｃが備える駆動部４５が柱４３に連結しており、運動機構部４０ｃが備える駆動部４９が柱４７に連結している。これにより、全体の構造の大きさを抑えることができる。
【０１０５】
駆動部４５は、柱４３を矢印Ｂ９及びＢ１０の方向に動かすことにより、固定台４２を矢印Ｂ９及びＢ１０の方向に動かすことができる。その結果、固定台４２に固定された光電部２１を矢印Ｂ９及びＢ１０の方向に動かすことができる。また、駆動部４９は、柱４７を矢印Ｂ１１及びＢ１２の方向に動かすことにより、固定台４２を矢印Ｂ１１及びＢ１２の方向に動かすことができる。その結果、固定台４２に固定された光電部２１を矢印Ｂ１１及びＢ１２の方向に動かすことができる。
【０１０６】
制御システム５０は、両側の駆動部４５、４９の位置を測定するための位置センサ５０１と、両方の柱４３、４７の移動量を調整するための制御部５０２を備える。このように、変形例２では、制御システム５０を新たに設ける必要がある。
【０１０７】
（変形例３）
続いて、第３の実施形態の変形例３について説明する。図１５は、第３の実施形態に係る検査装置の変形例３の概略模式断面図である。図１５に示すように、第３の実施形態の変形例３の検査装置３００ｃは、図１２の第３の実施形態の検査装置３００に比べて、固定台（ステージ）４２の一側面に連結された柱５２と、柱５２を一部覆うベローズ５３と、固定台（ステージ）４２の他側面に連結された柱５４と、柱５４を一部覆うベローズ５５とを備える。ベローズ５３及びベローズ５５は大気に開放されている。ここで、ベローズ５３を第３の伸縮体の一例であり、一端部が固定台４２の一側面に連結され且つ他端部がコラム４１の第３の穴Ｈ１３の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する。またベローズ５５は第４の伸縮体の一例であり、一端部が固定台４２に他側面に連結され且つ他端部がコラム４１の第４の穴Ｈ１４の近傍に接続されて内部が大気に開放されている。駆動部４５は、柱４３を矢印Ｂ１３及びＢ１４の方向に動かすことにより、固定台４２を矢印Ｂ１３及びＢ１４の方向に動かすことができる。その結果、固定台４２に固定された光電部２１を矢印Ｂ１３及びＢ１４の方向に動かすことができる。
【０１０８】
上述したように、ベローズ４４には矢印Ａ２１の向きに差圧がかかり、ベローズ４８には矢印Ａ２２の向きに差圧がかかる。ベローズ４４、４７それぞれにかかる差圧が釣り合うことにより、駆動部４５にかかる力がキャンセルされる。このため、駆動部４５を支持する頑丈な構造体は必要なくなる。更に、ベローズ５３には矢印Ａ２３の向きに差圧がかかり、ベローズ５５には矢印Ａ２４の向きに差圧がかかる。ベローズ５３、５５それぞれにかかる差圧が釣り合うことにより、固定台（ステージ）４２にかかる力がキャンセルされる。
【０１０９】
なお、ベローズ５３、５５は、ベローズ４４、４７とは略垂直な方向に配置されたが、その方向は任意の方向であってもよく、コラムの長軸方向と略垂直な面において、互いに反対方向にベローズを設ければよい。
【０１１０】
＜第４の実施形態＞
続いて、第４の実施形態について説明する。第４の実施形態に係る検査装置は、第１の実施形態の検査装置に対して光電部２１の移動機構が、第３の実施形態に係る検査装置とは異なる態様に変更されたものである。第４の実施形態では、固定台（ステージ）を支える柱は、内部にコラムの外の大気とつながっている空間が形成された中空軸である。この構成により、コラムの中を、内部に空気が充満している中空軸が貫通していることにより、コラムを真空にしても中空軸の内部は大気のままであるので中空軸の長軸方向に圧力が発生しない。
【０１１１】
図１６は、第４の実施形態に係る検査装置の概略模式断面図である。図１６に示すように、検査装置４００は、ケーシング（以下、コラムという）６１、不図示の光電部２１が固定され且つ中空の固定台（ステージ）６２、ベローズ６３、ベローズ６４、中空軸６５、連結軸６７、運動機構部６８、及び制御部１０を備える。コラム６１は、真空に引くことが可能で側面に第１の穴Ｈ１と第２の穴Ｈ２が設けられたケーシングの一例である。中空軸６５は、第１の穴Ｈ１と第２の穴Ｈ２と通るように配置され、固定台６２に連結しており且つ内部が中空であり、両方の端部が大気に開放されている。本実施形態では一例として中空軸６５は固定台６２に連結されている。
【０１１２】
コラム６１は、真空に引くことが可能である。固定台６２は、中空であり、ベローズ６３、固定台６２、ベローズ６４それぞれの内部を順に通る中空軸６５が設置されている。中空軸６５は大気に開放されている。これにより、中空軸６５が大気に開放されているので、コラム６１を真空にしても中空軸６５の内部は大気のままであるので中空軸６５の長軸方向に圧力が発生しない。このため、運動機構部６８に大きな力がかからないようすることができる。このため、運動機構部６８の故障リスクを低減することができる。
【０１１３】
ベローズ６３は、第１の伸縮体の一例であり、一端部が固定台６２の一端部に連結され且つ他端部がコラム６１の第１の穴Ｈ１の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する。またベローズ６３は、内部が大気に開放されている。また、ベローズ６４は第２の伸縮体の一例であり、一端部が固定台６２の他端部に連結され且つ他端部がコラム６１の第２の穴Ｈ２の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する。またベローズ６４は、内部が大気に開放されている。運動機構部６８は、ベローズ６３の他端部に連結され、且つ移動対象物（ここでは光電部２１）をコラム６１の長軸方向と略垂直な面において移動させる。制御部１０は、運動機構部６８を制御する。
【０１１４】
図１７は、第４の実施形態に係る運動機構部６８の概略斜視図である。光電部２１は移動対象物の一例であり、ＵＶレーザ光を受けて電子を放出する光電面を有する。図１７に示すように、光電部２１は、固定台６２に固定されている。
【０１１５】
続いて中空軸と垂直方向への移動機構について図１７〜２０を用いて説明する。図１８は、第４の実施形態に係る運動機構部６８の概略断面図である。図１９は、第４の実施形態に係る運動機構部６８の主要部の透視斜視図である。図２０は、中空軸の長軸方向に対して略垂直方向への移動機構を説明するための模式図である。
【０１１６】
図１７及び図１８に示すように、運動機構部６８は、駆動部７０を備え、この駆動部７０は第１のアクチュエータ７１と第２のアクチュエータ８１とを有する。
更に運動機構部６８は、第１のアクチュエータ７１を支持する支持部材７１１と、一端部が第１のアクチュエータ７１に連結された動力伝達部材７２と、一端部が動力伝達部材７２の他端部に連結されたシャフト７３と、シャフト７３に連結された連結部７４と、連結部７４に固定された第１のラック７５とを備える。第１のラック７５は、ベローズ６３の長軸方向と略垂直な方向に配置されている。
【０１１７】
また図１７及び図１８に示すように運動機構部６８には、連結軸６７の長軸方向に略垂直方向に動かすためのガイドレールＧＬ１、ＧＬ２、ＧＬ３、ＧＬ４が設けられている。
【０１１８】
更に図１７及び図１８に示すように運動機構部６８は、第１のラック７５に噛み合う第１のギヤ７６と、第１のギヤ７６に噛み合い且つベローズ６３の長軸方向と略垂直な方向に配置された第２のラック７７を備える。連結軸６７は、中空軸６５の内部に配置されており且つ一端部に第１のギヤ７６が固定されている。更に連結軸６７は、中空軸６５の内面と間隔を設けて挿入されており、連結軸６７の一端は支持部材８２に固定されている。
これにより、図１９に示すように、第１のギヤ７６が回転すると、この回転によって第１のギヤ７６が第２のラック７７上を直線状に移動するので、第１のギヤ７６に固定された連結軸６７も第１のギヤ７６に連れられて、連結軸６７の長軸方向に対して略垂直方向に移動する。
【０１１９】
このような構成を有することにより、第１のアクチュエータ７１が作動して、第１のアクチュエータ７１の一端が図２０の矢印Ａ３３に変位すると、シャフト７３が矢印Ａ３４の方向に変位する。これにより、シャフト７３に連結された第１のラック７５も矢印Ａ３４の方向に変位するので、第１のギヤ７６が第１のラック７５に噛み合いながら矢印Ａ３５の方向に変位する。逆に、第１のアクチュエータ７１の一端が図２０の矢印Ａ３６に変位すると、シャフト７３が矢印Ａ３７の方向に変位する。これにより、シャフト７３に連結された第１のラック７５も矢印Ａ３７の方向に変位するので、第１のギヤ７６が第１のラック７５に噛み合いながら矢印Ａ３８の方向に変位する。
【０１２０】
このように、第１のラック７５が直線運動し、それに伴って第１のギヤ７６が回転することにより第１のギヤ７６が第２のラック７７に沿って移動し、それに伴って連結軸６７が連結軸６７の長軸方向と略垂直な方向（図１９、２０のｙ軸方向）に移動する。これにより、連結軸６７が連結軸６７の長軸方向と略垂直な方向（図１９、２０のｙ軸方向）に移動することで、中空軸６５が連結軸６７に引っ張られて同じ方向に移動し、それに付随して中空軸６５に連結された固定台６２も同じ方向に移動するので、固定台６２に固定された光電部２１を当該同じ方向に移動させることができる。
【０１２１】
更に図１９に示すように、運動機構部６８は、連結軸６７に連結されており且つ連結軸６７とともに連れ回る第２のギヤ７８と、第２のギヤ７８に噛み合い且つベローズ６３の長軸方向と略垂直な方向に配置された第３のラック７９とを備える。第１のギヤ７６と第２のギヤ７８のピッチは略同じであり、第２のラック７７と第３のラック７９のピッチは略同じである。そして、図１９の矢印Ａ３１、矢印Ａ３２に示すように、連結軸６７が第２のラック７７だけでなく第３のラック７９に沿っても移動する。この構成により、連結軸６７が回転することによって、第１のギヤ７６と第２のギヤ７８が同じだけ回転して、同じだけ中空軸６５の長軸方向と略垂直な方向に動くので、動きの精度を向上させることができる。
【０１２２】
また本実施形態では、第２のギヤ７８は連結軸６７の他端部に連結されており、第３のラック７９はコラム６１の外側に配置されている。これにより、連結軸６７の両端部が同じだけ中空軸６５の長軸方向と略垂直な方向に動くので、動きの精度を向上させることができる。
【０１２３】
続いてｘ軸方向への移動機構について説明する。図１７及び１８に示すように、第２のアクチュエータ８１を支持する支持部材８２と、この支持部材８２を支持する支持部材８３を備える。支持部材８２及び支持部材８３は、第２のアクチュエータ８１を固定するための部材として機能する。
【０１２４】
図２１は、中空軸の長軸方向への移動機構を説明するための模式図である。更に図２１に示すように運動機構部６８は、一端部が第２のアクチュエータ８１の一端部に連結されており（固定されており）且つ他端部が中空軸６５に連結されている（固定されている）動力伝達部材８４を備える。第２のアクチュエータ８１が図２１の矢印Ａ４１に沿って変位すると、それに伴って動力伝達部材８４も同じ方向に変位し、それに伴って中空軸６５も同じ方向に変位する。また図２１に示すように、中空軸６５の内部に形成された中空を連結軸６７が通っている。
【０１２５】
このような構成を有することにより、第２のアクチュエータ８１が作動し、それに伴って動力伝達部材８４を介して中空軸６５が中空軸６５の長軸方向に移動する。これにより、中空軸６５が中空軸６５の長軸方向（図２１のｚ軸方向）に移動することで、中空軸６５が連結された固定台６２が付随して同じ方向に移動するので、固定台６２に固定された光電部２１を当該同じ方向に移動させることができる。
【０１２６】
続いて、図２２、図２３及び図２４を参照しつつ、光電部２１の移動に関わる機構部の組み立て方法を説明する。図２２は、第４の実施形態に係る検査装置において、固定台が取り付けられるときの操作を示す一部斜視図である。図２３は、フランジ９０を取り付ける前の検査装置の一部断面図である。図２４は、フランジ９０を取り付けた後の検査装置の一部断面図である。図２５は、第４の実施形態に係る検査装置における、光電部２１の運動に関わる運動機構部の組み立ての流れの一例を示すフローチャートである。以下、図２５のフローチャートに沿って説明する。
【０１２７】
（ステップＳ１０１）まず、図２２に示すように、矢印Ａ５１の方向に、固定台６２を挿入することによって、ベローズ６３、６４が連結された固定台６２をコラム６１に取り付ける。ここで光電部２１は固定台６２に固定されている。
【０１２８】
（ステップＳ１０２）次に、図２３及び図２４に示すように、中空軸６５にフランジ９０を通し、フランジ９０を取り付ける。
【０１２９】
ここで検査装置４００は、コラム６１の第２の穴Ｈ２の内部に配置され且つベローズ６４の他端部に接続され且つ円環状で内部の空間に中空軸６５が通っている円環部材９１を更に備える。更に検査装置４００は、円環部材９１と対向する対向面に円周状の段差が設けられており当該段差によって当該対向面が外縁側の第１の領域と内側の第２の領域に区分けされており、且つ当該第１の領域に略円環状の第１の溝Ｄ１が設けられており且つ内部の空間に中空軸６５が通っているフランジ９０を備える。更に検査装置４００は、第１の溝Ｄ１に嵌め込まれている第１のシール部材１０１を備える。
【０１３０】
これにより、図２４のようにフランジ９０が中空軸６５に通されてベローズ６４まで押し込まれることにより、第１のシール部材１０１とコラム６１の外面が面している。この状態、すなわち第１のシール部材１０１とコラム６１の外面が面している状態で、フランジ９０がケーシング６１に固定されている。この構成により、第１のシール部材１０１はコラム６１の外周面とフランジ９０の対向面とが面する領域をシールすることができるので、フランジ９０の外周側からコラム６１の内側への空気の流入を遮断することができる。
【０１３１】
フランジ９０は、更に第１の溝Ｄ１の内側に略円環状の第２の溝Ｄ２が設けられている。そして、検査装置４００は第２の溝Ｄ２に嵌め込まれている第２のシール部材１０２を更に備える。これにより、図２４のようにフランジ９０がベローズ６４まで押し込まれることにより、第２のシール部材１０２が円環部材９１の端面に面している。この状態、すなわち第２のシール部材１０２が円環部材９１の端面に面している状態で、フランジ９０がケーシング６１に固定されている。この構成により、第２のシール部材１０２は、フランジ９０の表面と円環部材９１の端面との間の領域をシールすることができるので、フランジ９０の空洞側からコラム９１の内側への空気の流入を遮断することができる。
【０１３２】
（ステップＳ１０３）次に、中空軸６５に連結軸６７を通す。
（ステップＳ１０４）次に、光電部２１の運動に関わる運動機構部６８を取り付ける。
【０１３３】
以上、第４の実施形態に係る検査装置４００は、真空に引くことが可能で側面に第１の穴Ｈ１と第２の穴Ｈ２が設けられたコラム６１と、移動対象物としての光電部２１と、光電部２１が固定された固定台６２とを備える。更に検査装置４００は、固定台６２に連結しており且つ内部が中空であり、一端部が第１の穴Ｈ１を介して大気に開放されており且つ他端部が第２の穴Ｈ２を介して大気に開放されている中空軸６５と、中空軸６５をコラム６１の長軸方向と略垂直な面において移動させる運動機構部６８と、を備える。
【０１３４】
この構成により、コラム６１の中を、内部に空気が充満している中空軸６５が貫通していることにより、コラム６１を真空にしても中空軸６５の内部は大気のままであるので中空軸６５の長軸方向に圧力が発生しない。このため、運動機構部６８に大きな力がかからないようすることができる。このため、運動機構部６８の故障リスクを低減することができる。
【０１３５】
本実施形態では、移動対象物として光電部２１を一例として説明したが、これに限ったものではない。すなわち、検査装置は、真空に引くことが可能で側面に第１の穴と第２の穴が設けられたケーシングと、移動対象物と、前記移動対象物が固定された固定台と、一端部が前記固定台の一端部に連結され且つ他端部が前記ケーシングの前記第１の穴の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する第１の伸縮体と、一端部が前記固定台の他端部に連結され且つ他端部が前記ケーシングの前記第２の穴の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する第２の伸縮体と、前記固定台を前記ケーシングの長軸方向と略垂直な面において移動させる運動機構部と、を備える検査装置という構成が可能である。この構成により、第１の伸縮体、第２の伸縮体それぞれにかかる差圧が釣り合うことにより、運動機構部にかかる力がキャンセルされる。このため、運動機構部を支持する頑丈な構造体を設置する必要がなくなりコストを低減するとともに、構造体のメンテナンスからも開放される。
【０１３６】
その場合の具体的な構成として、当該検査装置は、前記第１の穴と前記第２の穴を通るように配置され、前記固定台に連結しており且つ内部が中空であり、両方の端部が大気に開放されている中空軸を更に備え、前記運動機構部が前記中空軸を前記ケーシングの長軸方向と略垂直な面において移動させてもよい。この構成により、ケーシングの中を、内部に空気が充満している中空軸が貫通していることにより、ケーシングを真空にしても中空軸の内部は大気のままであるので中空軸の長軸方向に圧力が発生しない。このため、運動機構部に大きな力がかからないようすることができる。このため、運動機構部の故障リスクを低減することができる。
【０１３７】
＜変形例＞
続いて、第４の実施形態の検査装置の変形例について説明する。図２６は、第４の実施形態の変形例に係る検査装置の概略模式図である。第４の実施形態の変形例に係る検査装置４００ｂは、図１６の第４の実施形態に係る検査装置４００と比べて、連結軸６７ｂが短くなっている。そして、連結軸６７ｂは、軸受１１７、１１８、１１９によって支持されている。検査装置４００ｂは、図１６の第４の実施形態に係る検査装置４００と比べて、更に、第３の伸縮体の一例であるベローズ１１３と、第４の伸縮体の一例であるベローズ１１３と、第２の中空軸１１５を備える。
【０１３８】
コラム６１ｂは、コラム６１と比べて、更に側面に第３の穴と第４の穴が設けられている。ベローズ１１３は、一端部がコラム６１ｂに連結しており当該コラム６１ｂの前記第３の穴を介して内部が大気に開放されている。ベローズ１１４は、一端部がコラム６１ｂに連結しており当該コラム６１ｂの前記第４の穴を介して内部が大気に開放されている。第２の中空軸１１５は、中空軸６５とは異なる角度（ここでは略直角）に配置されており、固定台６２に連結しており且つ内部が中空であり、一端部が第３の穴を介して大気に開放されており且つ他端部が第４の穴を介して大気に開放されている。
【０１３９】
検査装置４００ｂは、図１６の第４の実施形態に係る検査装置４００と比べて、第３のラック７９ｂが、第２の中空軸１１５の内部を通っている。
また検査装置４００ｂは、図１６の第４の実施形態に係る検査装置４００と比べて、第２のギヤ７８ｂが、第２の中空軸１１５の内部に配置されている。
【０１４０】
この構成により、第２のギヤ７８ｂが第２の中空軸１１５の内部において第３のラック７９ｂに噛み合いながら回転する。それに伴って連結軸６７が回転しながら第３のラック７９ｂの長軸方向（図２６のｙ軸方向）に移動し、それに連られて中空軸６５も第３のラック７９ｂの長軸方向（図２６のｙ軸方向）に移動する。その結果、中空軸６５に連結している固定台６２とともに、固定台６２に固定された光電部が第３のラック７９ｂの長軸方向（図２６のｙ軸方向）に移動する。
【０１４１】
なお、検査装置の光電部の移動機構について、第３及び第４の実施形態で説明したが、この移動機構を、第２の実施形態に係る照射装置に適用してもよい。その場合、照射装置は、真空に引くことが可能で側面に第１の穴と第２の穴が設けられたケーシングと、移動対象物と、前記移動対象物が固定された固定台と、一端部が前記固定台の一端部に連結され且つ他端部が前記ケーシングの前記第１の穴の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する第１の伸縮体と、一端部が前記固定台の他端部に連結され且つ他端部が前記ケーシングの前記第２の穴の近傍に接続されて内部が大気に開放されており且つ伸縮性を有する第２の伸縮体と、前記第１の伸縮体の他端部に連結され、且つ前記固定台を前記ケーシングの長軸方向と略垂直な面において移動させる運動機構部と、を備える構成が可能である。この構成により、第１の伸縮体、第２の伸縮体それぞれにかかる差圧が釣り合うことにより、運動機構部にかかる力がキャンセルされる。このため、運動機構部を支持する頑丈な構造体を設置する必要がなくなりコストを低減するとともに、構造体のメンテナンスからも開放される。
【０１４２】
その場合の具体的な構成として、当該照射装置は、前記第１の穴と前記第２の穴を通るように配置され、前記固定台に連結しており且つ内部が中空であり、両方の端部が大気に開放されている中空軸を更に備え、前記運動機構部が前記中空軸を前記ケーシングの長軸方向と略垂直な面において移動させてもよい。この構成により、ケーシングの中を、内部に空気が充満している中空軸が貫通していることにより、ケーシングを真空にしても中空軸の内部は大気のままであるので中空軸の長軸方向に圧力が発生しない。このため、運動機構部に大きな力がかからないようすることができる。このため、運動機構部の故障リスクを低減することができる。
【０１４３】
また、検査装置の光電部の移動機構について、第４の実施形態で説明したが、この移動機構を、第２の実施形態に係る照射装置に適用してもよい。
【０１４４】
以上、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【０１４５】
１、２０１  光源
２、２０２  光電部
２１、２２１  光電面
２２、２２２  支持体
３、２０３  運動機構部
３１  モータ
３２  回転軸
３３  歯車
４、２０４  電極
５  ガンレンズ
６  Ｅ×Ｂフィルタ
７  ＧＬ制御部
８  ステージ
９、２２０  試料
１０、２１０  制御部
１００  検査装置
１０１  第１のシール部材
１０２  第２のシール部材
１１３、１１４  ベローズ
１１５  第２の中空軸
１１７  軸受
２００  照射装置
２３０  ステージ
２３１  モータ
２３２  回転軸
２３３  歯車
２４０  透過窓
２５０  ステージ制御不
２６０  メインチャンバ
３００、３００ｂ、３００ｃ  検査装置
４０、４０ｂ、４０ｃ  運動機構部
４００、４００ｂ  検査装置
４１  コラム
４２  固定台
４３  柱
４４  ベローズ
４５、４５ｂ  駆動部
４６  支持部
４７  柱
４８  ベローズ
４９  駆動部
５０  制御システム
５０１  位置センサ
５０２  制御部
５２、５４  柱
５３、５５  ベローズ
６００  検査装置
６１、６１ｂ  ケーシング（コラム）
６２  固定台（ステージ）
６３、６４  ベローズ
６５  中空軸
６７、６７ｂ  連結軸
６８  運動機構部
７０  駆動部
７１  第１のアクチュエータ
７１１  支持部材
７２  動力伝達部材
７３  シャフト
７４  連結部
７５  第１のラック
７６  第１のギヤ
７７  第２のラック
７８、７８ｂ  第２のギヤ
７９、７９ｂ  第３のラック
８１  第２のアクチュエータ
８２  支持部材
８３  支持部材
８４  動力伝達部材
９０  フランジ
９１  円環部材
ＧＬ１〜ＧＬ４  ガイドレール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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