(57)【要約】【課題】被測定物が延伸する場合や、被測定物の測定面が複雑な形状を有する場合であっても、精度良く熱流束を測定できる熱流束センサを提供する。【解決手段】熱流束センサ１０は、絶縁部材１２を備える。絶縁部材１２は、フィルム状であって、第１面１２ａとその反対側の第２面１２ｂとを有する。絶縁部材１２は、互いに対向する一対の壁面４１、４２を有する。一対の壁面４１、４２は、絶縁部材１２のうち第１熱電部材１８、第２熱電部材２０、第１導体パターン２２および第２導体パターン２４が配置されていない領域において、第１面１２ａから第２面１２ｂまで延びているとともに、第１面１２ａおよび第２面１２ｂにおいて、線状に延びている。絶縁部材１２が引っ張られた場合、一対の壁面４１、４２の間に、第１面１２ａから第２面１２ｂまで絶縁部材１２を貫通する空間部４０が形成されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム状の熱流束センサであって、
第１面（１２ａ）と前記第１面の反対側の第２面（１２ｂ）とを有し、可撓性を有するフィルム状の絶縁部材（１２）と、
前記絶縁部材の内部に配置され、第１熱電材料で構成された複数の第１熱電部材（１８）と、
前記絶縁部材の内部に配置され、前記第１熱電材料と異なる第２熱電材料で構成され、前記複数の第１熱電部材のそれぞれと交互に並ぶ複数の第２熱電部材（２０）と、
前記複数の第１熱電部材および前記複数の第２熱電部材に対して前記第１面側に配置され、前記複数の第１熱電部材および前記複数の第２熱電部材のうち隣り合って並ぶ第１熱電部材と第２熱電部材とを接続する複数の第１導体パターン（２２）と、
前記複数の第１熱電部材および前記複数の第２熱電部材に対して前記第２面側に配置され、前記複数の第１熱電部材および前記複数の第２熱電部材のうち隣り合って並ぶ第１熱電部材と第２熱電部材とを接続する複数の第２導体パターン（２４）とを備え、
前記絶縁部材は、互いに対向する一対の壁面（４１、４２）を有し、
前記一対の壁面は、前記絶縁部材のうち前記第１熱電部材、前記第２熱電部材、前記第１導体パターンおよび前記第２導体パターンが配置されていない領域において、前記第１面から前記第２面まで延びているとともに、前記第１面および前記第２面において、線状に延びており、
前記絶縁部材が前記第１面および前記第２面に沿う方向で引っ張られた場合、前記一対の壁面の間に、前記第１面から前記第２面まで前記絶縁部材を貫通する空間部（４０）が形成されている熱流束センサ。
【請求項２】
前記熱流束センサは、前記絶縁部材と同じ寸法条件で比較して前記絶縁部材よりも延伸性が高い延伸性部材（１４、１６）を備え、
前記延伸性部材は、前記絶縁部材の前記第１面と前記第２面の少なくとも一方に積層されている請求項１に記載の熱流束センサ。
【請求項３】
前記延伸性部材は、通気性を有する請求項２に記載の熱流束センサ。
【請求項４】
前記空間部は、前記絶縁部材の前記第１面において、１つの基準部（４３１）から３本以上の線状空間部（４３２）が放射状に延びる放射状空間部（４３）を有する請求項１ないし３のいずれか１つに記載の熱流束センサ。
【請求項５】
前記熱流束センサは、第１面（１０ａ）と前記第１面の反対側の第２面（１０ｂ）とを有し、
前記熱流束センサの前記第１面の外周部に、複数の外周側空間部（７０）が形成されており、
前記複数の外周側空間部のそれぞれは、前記熱流束センサの前記第１面から前記第２面まで前記熱流束センサを貫通するとともに、前記基準部側から前記熱流束センサの外周側に向かって延びており、
前記複数の外周側空間部のそれぞれにおける前記第１面での幅（Ｗ１）は、前記基準部側から前記外周側に向かうにつれて大きくなっている請求項４に記載の熱流束センサ。
【請求項６】
前記絶縁部材は、フィルム状の基材（２６）と、フィルム状の第１保護部材（２８）と、フィルム状の第２保護部材（３０）とを含み、
前記基材は、第１面（２６ａ）と前記第１面の反対側の第２面（２６ｂ）を有し、
前記第１保護部材は、前記基材の第１面に積層され、
前記第２保護部材は、前記基材の第２面に積層され、
前記第１保護部材の前記基材側とは反対側の表面（２８ｂ）が、前記絶縁部材の第１面を構成し、
前記第２保護部材の前記基材側とは反対側の表面（３０ｂ）が、前記絶縁部材の第２面を構成し、
前記複数の第１熱電部材は、前記基材の厚さ方向で前記基材を貫通する複数の第１貫通孔（２６１）に配置され、
前記複数の第２熱電部材は、前記基材の厚さ方向で前記基材を貫通し、前記複数の第１貫通孔とは異なる複数の第２貫通孔（２６２）に配置され、
前記複数の第１導体パターンは、前記基材と前記第１保護部材の間に配置され、
前記複数の第２導体パターンは、前記基材と前記第２保護部材の間に配置されている請求項１ないし５のいずれか１つに記載の熱流束センサ。
【請求項７】
前記絶縁部材は、フィルム状の基材（２６）で構成され、
前記基材は、第１面（２６ａ）と前記第１面の反対側の第２面（２６ｂ）を有し、
前記基材の第１面が、前記絶縁部材の第１面を構成し、
前記基材の第２面が、前記絶縁部材の第２面を構成し、
前記複数の第１熱電部材は、前記基材の厚さ方向で前記基材を貫通する複数の第１貫通孔（２６１）に配置され、
前記複数の第２熱電部材は、前記基材の厚さ方向で前記基材を貫通し、前記複数の第１貫通孔とは異なる複数の第２貫通孔（２６２）に配置され、
前記複数の第１導体パターンは、前記基材の第１面に配置され、
前記複数の第２導体パターンは、前記基材の第２面に配置されている請求項１ないし５のいずれか１つに記載の熱流束センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱流束センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１にフィルム状の熱電モジュールが開示されている。この熱電モジュールは、熱電モジュールの片面のみにスリットが設けられている。スリットは、空間部である。
これにより、この熱電モジュールは、熱電モジュールを曲げるのに必要な伸びを得ることができる。すなわち、熱電モジュールのうち片面側が伸びるので、片面側を曲げの外側として熱電モジュールを曲げることができる。このため、熱電モジュールを曲面に密着させて設置することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１５３１２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した従来の熱電モジュールを、熱流束を検出する熱流束センサとして用いることが考えられる。
【０００５】
しかし、上記した従来の熱電モジュールは、熱電モジュールの全体が延伸性を有するものではない。このため、被測定物が延伸する場合、熱流束センサが被測定物の延伸に追従できない。熱流束センサを被測定物に設置しても、熱流束センサが被測定物から離れてしまう。また、被測定物の測定面が凹凸などの複雑な形状を有する場合、熱流束センサの形状を測定面に応じた形状にすることができない。このため、熱流束センサと被測定物の間に隙間が生じてしまう。
【０００６】
このように、測定物が延伸する場合や、被測定物の測定面が複雑な形状を有する場合、熱流束の測定時に、熱流束センサを被測定物の測定面に密着させることができない。熱流束センサと被測定物との間に空気層が生じると、空気層が熱抵抗となる。このため、被測定物から放出される熱流または被測定物に流入する熱流の熱流束を精度良く測定することができない。
【０００７】
本発明は上記点に鑑みて、被測定物が延伸する場合や、被測定物の測定面が複雑な形状を有する場合であっても、精度良く熱流束を測定できる熱流束センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、
フィルム状の熱流束センサであって、
第１面（１２ａ）と第１面の反対側の第２面（１２ｂ）とを有し、可撓性を有するフィルム状の絶縁部材（１２）と、
絶縁部材の内部に配置され、第１熱電材料で構成された複数の第１熱電部材（１８）と、
絶縁部材の内部に配置され、第１熱電材料と異なる第２熱電材料で構成され、複数の第１熱電部材のそれぞれと交互に並ぶ複数の第２熱電部材（２０）と、
複数の第１熱電部材および複数の第２熱電部材に対して第１面側に配置され、複数の第１熱電部材および複数の第２熱電部材のうち隣り合って並ぶ第１熱電部材と第２熱電部材とを接続する複数の第１導体パターン（２２）と、
複数の第１熱電部材および複数の第２熱電部材に対して第２面側に配置され、複数の第１熱電部材および複数の第２熱電部材のうち隣り合って並ぶ第１熱電部材と第２熱電部材とを接続する複数の第２導体パターン（２４）とを備え、
絶縁部材は、互いに対向する一対の壁面（４１、４２）を有し、
一対の壁面は、絶縁部材のうち第１熱電部材、第２熱電部材、第１導体パターンおよび第２導体パターンが配置されていない領域において、第１面から第２面まで延びているとともに、第１面および第２面において、線状に延びており、
絶縁部材が第１面および第２面に沿う方向で引っ張られた場合、一対の壁面の間に、第１面から第２面まで絶縁部材を貫通する空間部（４０）が形成されている。
【０００９】
これによれば、一対の壁面が絶縁部材の第１面から第２面まで延びて形成されている。一対の壁面が第１面および第２面において線状に配置されている。これにより、絶縁部材の片面側だけでなく、絶縁部材の第１面側および第２面側を含む絶縁部材の全体が延伸性を有する。すなわち、絶縁部材の第１面および第２面に沿う方向に、絶縁部材の全体を延伸させることができる。
【００１０】
このため、この熱流束センサを延伸する被測定物に設置する場合、被測定物の延伸に追従して熱流束センサを延伸させることができる。よって、熱流束センサを被測定物の測定面に密着させた状態を維持することができる。
【００１１】
また、この熱流束センサを測定面が複雑な形状を有する被測定物に設置する場合、熱流束センサを延伸させて、熱流束センサの形状を測定面に応じた形状にすることができる。よって、熱流束センサを被測定物の測定面に密着させることができる。
【００１２】
したがって、この熱流束センサによれば、被測定物が延伸する場合や、被測定物の測定面が複雑な形状を有する場合であっても、精度良く熱流束を測定することができる。
【００１３】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態における熱流束センサの平面図である。
【図２】図１中のII−II線断面図である。
【図３】図１の熱流束センサのうちの絶縁部材の第１面を示す平面図である。
【図４】図１の熱流束センサのうちの絶縁部材の第２面を示す平面図である。
【図５】図１中のV−V線断面図である。
【図６】図１中のVI−VI線断面図である。
【図７】図１中のVII−VII線断面図である。
【図８】図１中のVIII−VIII線断面図である。
【図９】図１中のIX−IX線断面図である。
【図１０】図１中のX−X線断面図である。
【図１１】図１中のXI−XI線断面図である。
【図１２】図１中のXII−XII線断面図である。
【図１３】図１中のXIII−XIII線断面図である。
【図１４】図３に対応する熱流束センサの平面図であって、熱流束センサが引っ張られた状態を示す図である。
【図１５Ａ】第１実施形態における熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１５Ｂ】図１５Ａに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１５Ｃ】図１５Ｂに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１５Ｄ】図１５Ｃに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１５Ｅ】図１５Ｄに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１５Ｆ】図１５Ｅに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１５Ｇ】図１５Ｆに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１５Ｈ】図１５Ｇに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１６】第２実施形態における熱流束センサの断面図である。
【図１７Ａ】第２実施形態における熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１７Ｂ】図１７Ａに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１７Ｃ】図１７Ｂに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１７Ｄ】図１７Ｃに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１７Ｅ】図１７Ｄに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１７Ｆ】図１７Ｅに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１７Ｇ】図１７Ｆに続く熱流束センサの製造工程を示す断面図である。
【図１８】第３実施形態における熱流束センサの平面図である。
【図１９】図１８の熱流束センサのうちの絶縁部材の第１面を示す平面図である。
【図２０】図１８中のXX−XX線断面図である。
【図２１】図１８中のXXI−XXI線断面図である。
【図２２】図１８中のXXII−XXII線断面図である。
【図２３】図１８中のXXIII−XXIII線断面図である。
【図２４】図１８中のXXIV−XXIV線断面図である。
【図２５】図１８中のXXV−XXV線断面図である。
【図２６】図１８中のXXVI−XXVI線断面図である。
【図２７】第４実施形態における熱流束センサの平面図である。
【図２８】第５実施形態における熱流束センサの断面図である。
【図２９】他の実施形態における熱流束センサの平面図である。
【図３０】他の実施形態における熱流束センサの平面図である。
【図３１】他の実施形態における熱流束センサの平面図である。
【図３２】他の実施形態における熱流束センサの平面図である。
【図３３】他の実施形態における熱流束センサの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
【００１６】
（第１実施形態）
図１、２に示すように、本実施形態の熱流束センサ１０は、フィルム状である。フィルム状とは、薄い状態を意味する。熱流束センサ１０は、第１面１０ａとその反対側の第２面１０ｂとを有する。熱流束センサ１０の平面形状は、四角形である。
【００１７】
図２に示すように、熱流束センサ１０は、絶縁部材１２と、第１延伸性フィルム１４と、第２延伸性フィルム１６とを備える。
【００１８】
絶縁部材１２は、フィルム状であり、第１面１２ａとその反対側の第２面１２ｂとを有する。絶縁部材１２は、可撓性を有する絶縁材料で構成されている。絶縁材料としては、熱可塑性樹脂が用いられる。絶縁部材１２の詳細については後述する。
【００１９】
第１延伸性フィルム１４は、絶縁部材１２の第１面１２ａに積層されている。第１延伸性フィルム１４の絶縁部材１２側とは反対側の表面が、熱流束センサ１０の第１面１０ａを構成している。
【００２０】
第２延伸性フィルム１６は、絶縁部材１２の第２面１２ｂに積層されている。第２延伸性フィルム１６の絶縁部材１２側とは反対側の表面が、熱流束センサ１０の第２面１０ｂを構成している。
【００２１】
第１延伸性フィルム１４および第２延伸性フィルム１６は、絶縁部材１２と同じ寸法条件で比較して、絶縁部材１２よりも高い延伸性を有するフィルム状の延伸性部材である。同じ寸法条件とは、面積および厚さを同じとすることを意味する。第１延伸性フィルム１４および第２延伸性フィルム１６は、通気性を有する。第１延伸性フィルム１４および第２延伸性フィルム１６としては、フッ素樹脂多孔質膜などの樹脂製多孔質膜が用いられる。
【００２２】
熱流束センサ１０は、複数の第１熱電部材１８と、複数の第２熱電部材２０と、複数の第１導体パターン２２と、複数の第２導体パターン２４とを備えている。
【００２３】
複数の第１熱電部材１８は、絶縁部材１２の内部に配置されている。複数の第１熱電部材１８は、第１熱電材料で構成されている。複数の第２熱電部材２０は、絶縁部材１２の内部に配置されている。複数の第２熱電部材２０は、第１熱電材料と異なる第２熱電材料で構成されている。第１熱電材料および第２熱電材料としては、半導体材料や金属材料が用いられる。絶縁部材１２の第１面１２ａおよび第２面１２ｂに沿う方向において、複数の第２熱電部材２０のそれぞれは、複数の第１熱電部材１８のそれぞれと交互に並んでいる。
【００２４】
複数の第１導体パターン２２は、複数の第１熱電部材１８および複数の第２熱電部材２０のうち隣り合って並ぶ第１熱電部材１８と第２熱電部材２０とを接続する接続部材である。複数の第１導体パターン２２は、複数の第１熱電部材１８および複数の第２熱電部材２０に対して絶縁部材１２の第１面１２ａ側に配置されている。
【００２５】
複数の第２導体パターン２４は、複数の第１熱電部材１８および前記複数の第２熱電部材２０のうち隣り合って並ぶ第１熱電部材１８と第２熱電部材２０とを接続する接続部材である。複数の第２導体パターン２４は、複数の第１熱電部材１８および複数の第２熱電部材２０に対して絶縁部材１２の第２面１２ｂ側に配置されている。
【００２６】
複数の第１導体パターン２２および複数の第２導体パターン２４は、平面形状が所望のパターンとされた導体膜である。導体膜としては、金属薄膜が用いられる。
【００２７】
本実施形態では、絶縁部材１２は、基材２６と、第１保護部材２８と、第２保護部材３０とを含んでいる。
【００２８】
基材２６、第１保護部材２８および第２保護部材３０のそれぞれは、フィルム状である。基材２６、第１保護部材２８および第２保護部材３０のそれぞれは、可撓性を有する熱可塑性樹脂で構成されている。基材２６、第１保護部材２８および第２保護部材３０は、熱可塑性樹脂以外の可撓性を有する樹脂材料や、樹脂材料以外の可撓性を有する絶縁材料で構成されていてもよい。
【００２９】
基材２６は、第１面２６ａとその反対側の第２面２６ｂとを有する。基材２６は、その厚さ方向に貫通する複数の第１貫通孔２６１および複数の第２貫通孔２６２が形成されている。複数の第１貫通孔２６１および複数の第２貫通孔２６２は、第１面２６ａから第２面２６ｂまで基材２６を貫通している。第１貫通孔２６１に第１熱電部材１８が配置されている。第２貫通孔２６２に第２熱電部材２０が配置されている。
【００３０】
第１保護部材２８は、基材２６の第１面２６ａに積層されている。第１保護部材２８は、基材２６側の表面２８ａと、基材２６側とは反対側の表面２８ｂとを有する。反対側の表面２８ｂが絶縁部材１２の第１面１２ａを構成している。
【００３１】
第２保護部材３０は、基材２６の第２面２６ｂに積層されている。第２保護部材３０は、基材２６側の表面３０ａと、基材２６側とは反対側の表面３０ｂとを有する。反対側の表面３０ｂが、絶縁部材１２の第２面１２ｂを構成している。
【００３２】
複数の第１導体パターン２２は、基材２６の第１面２６ａと第１保護部材２８の間に配置されている。複数の第２導体パターン２４は、基材２６の第２面２６ｂと第２保護部材３０の間に配置されている。このように、複数の第１導体パターン２２および複数の第２導体パターン２４は、絶縁部材１２の内部に配置されている。
【００３３】
熱流束センサ１０は、第１面１０ａと第２面１０ｂの一方が図示しない被測定物の測定面に接触した状態で、被測定物の測定面に設置される。熱流束センサ１０の第１面１０ａと第２面１０ｂの一方から他方に向かう方向にて、熱流が熱流束センサ１０を通過する。このとき、熱流束センサ１０の第１面１０ａ側と第２面１０ｂ側に温度差が生じる。すなわち、互いに接続された第１熱電部材１８と第２熱電部材２０のそれぞれにおける一方側と他方側に温度差が生じる。これにより、ゼーベック効果によって第１熱電部材１８および第２熱電部材２０に熱起電力が発生する。熱流束センサ１０は、この熱起電力、具体的には、電圧をセンサ信号として出力する。このように、熱流束センサ１０は、熱流束センサ１０を通過する熱流の熱流束の大きさに応じたセンサ信号を出力する。
【００３４】
図２に示すように、複数の第１熱電部材１８と、複数の第２熱電部材２０と、複数の第１導体パターン２２と、複数の第２導体パターン２４とが接続されることで導体部３２が形成されている。導体部３２は、第１熱電部材１８、第１導体パターン２２、第２熱電部材２０、第２導体パターン２４の順に、これらが繰り返し直列に接続されたものである。
【００３５】
図３は、絶縁部材１２の第１面１２ａを示している。図４は、絶縁部材１２の第２面１２ｂを示している。図４は、絶縁部材１２を図３とは反対の方向から見た図である。このため、図４は、図３と左右方向が逆の関係である。図３、４では、導体部３２がつながっている様子を二点鎖線で示している。
【００３６】
図３、４に示すように、導体部３２は、絶縁部材１２の第１面１２ａおよび第２面１２ｂに沿う方向で、蛇行した形状である。この導体部３２の形状は、絶縁部材１２の厚さ方向で、導体部３２を所定の平面に投影したときに、投影された導体部３２の形状である。所定の平面とは、例えば、絶縁部材１２の第１面１２ａである。
【００３７】
ここで、図３、４の上下方向を縦方向とする。図３、４の左右方向を横方向とする。このとき、導体部３２は、導体部３２のうち横方向の一方側である第１導体部３２１と、導体部３２のうち横方向での他方側である第２導体部３２２とを有する。図３の左側および図４の右側が横方向の一方側に対応する。図３の右側および図４の左側が横方向の他方側に対応する。
【００３８】
第１導体部３２１は、横方向の一方側と他方側とに交互に振れながら、縦方向の一方側から他方側へ進むように蛇行した形状である。図３、４の下側が縦方向の一方側に対応する。図３、４の上側が縦方向の他方側に対応する。
【００３９】
第２導体部３２２は、横方向での振れ側が第１導体部３２１と反対となるように、横方向の一方側と他方側とに交互に振れながら、縦方向の一方側から他方側へ進む蛇行形状である。第１導体部３２１と第２導体部３２２とは、縦方向の他方側でつながっている。
【００４０】
図３、４に示すように、本実施形態の絶縁部材１２には、スリット４０が形成されている。スリット４０は、絶縁部材１２の第１面１２ａおよび第２面１２ｂにおいて線状に延びている空間部である。スリット４０は、互いに対向する一対の壁面４１、４２の間に形成される。
【００４１】
図５−図１３に示すように、スリット４０は、絶縁部材１２の第１面１２ａから第２面１２ｂまで絶縁部材１２を貫通している。換言すると、一対の壁面４１、４２は、絶縁部材１２の第１面１２ａから第２面１２ｂまで延びている。
【００４２】
図３−図１３に示すように、スリット４０は、絶縁部材１２のうち導体部３２が形成されていない領域に形成されている。すなわち、スリット４０は、絶縁部材１２のうち第１熱電部材１８、第２熱電部材２０、第１導体パターン２２および第２導体パターン２４が配置されていない領域に形成されている。
【００４３】
図３に示すように、より具体的には、スリット４０は、横方向に延びる複数の第１スリット４０１を有する。複数の第１スリット４０１のそれぞれは、導体部３２のうち縦方向で隣り合う部分の間に形成されている。このため、複数の第１スリット４０１のそれぞれは、互いに間をあけて縦方向に並んで配置されている。
【００４４】
スリット４０は、縦方向に延びる１つの第２スリット４０２を有する。第２スリット４０２は、第１導体部３２１と第２導体部３２との間に形成されている。換言すると、第２スリット４０２は、導体部３２のうち横方向で隣り合う部分の間に形成されている。
【００４５】
このように、絶縁部材１２は、第１スリット４０２と第２スリット４０２とを有している。このため、図１４に示すように、絶縁部材１２は、縦方向と横方向の両方向において、延伸性を有している。
【００４６】
ここで、図３、１４に示すように、絶縁部材１２は、第１スリット４０１および第２スリット４０２によって複数の領域１２１に分け隔てられている。複数の領域１２１のそれぞれは、絶縁部材１２と比較して、幅が小さくなっている。したがって、絶縁部材１２の第１面１２ａおよび第２面１２ｂに沿った方向で、絶縁部材１２に引っ張りの力が加わるとき、複数の領域１２１のそれぞれにかかる応力は、絶縁部材１２全体にかかる応力よりも大きい。このため、絶縁部材１２にスリット４０が無い場合であって、絶縁部材１２を引っ張る力が同じであるときと比較して、複数の領域１２１のそれぞれは、大きく変形する。すなわち、本実施形態の絶縁部材１２は、スリット４０が無い場合と比較して、延伸性が高くなっている。
【００４７】
また、線状に延びるスリット４０に対して交差する方向に絶縁部材１２が変形しやすい。より詳細に説明すると、複数の領域１２１のそれぞれは、複数の領域１２１が延びる方向に対して交差する方向に曲がりやすい。このため、絶縁部材１２は、第１スリット４０１によって縦方向に延伸することができる。絶縁部材１２は、第２スリット４０２によって横方向に延伸することができる。
【００４８】
本実施形態では、図３−１３に示すように、絶縁部材１２の第１面１２ａおよび第２面１２ｂに沿った方向で、絶縁部材１２が引っ張られていない場合、一対の壁面４１、４２は接触しており、スリット４０が塞がっている。すなわち、一対の壁面４１、４２の間にスリット４０は形成されていない。
【００４９】
図１４に示すように、絶縁部材１２の第１面１２ａおよび第２面１２ｂに沿った方向で、絶縁部材１２が引っ張られた場合、一対の壁面４１、４２の間に、スリット４０が形成されている。
【００５０】
なお、絶縁部材１２が引っ張られていない場合においても、一対の壁面４１、４２の間にスリット４０が形成されていてもよい。
【００５１】
次に、図１５Ａ−図１５Ｈを用いて、本実施形態の熱流束センサ１０の製造方法について説明する。なお、図１５Ａ−図１５Ｈは、図７に示す熱流束センサ１０の断面図に対応している。
【００５２】
図１５Ａに示すように、フィルム状の基材５１を用意する。基材５１は、第１面５１ａとその反対側の第２面５１ｂとを有する。
【００５３】
続いて、図１５Ｂに示すように、基材５１に複数の第１貫通孔２６１および複数の第２貫通孔２６２を形成する。複数の第１貫通孔２６１および複数の第２貫通孔２６２は、第１面５１ａから第２面５１ｂまで基材５１を貫通する。第１貫通孔２６１と第２貫通孔２６２とは交互に配置される。
【００５４】
続いて、図１５Ｃに示すように、複数の第１貫通孔２６１のそれぞれに粉末状の第１熱電部材５２を充填する。複数の第２貫通孔２６２のそれぞれに粉末状の第２熱電部材５３を充填する。
【００５５】
続いて、図１５Ｄに示すように、第１保護部材５４と第２保護部材５５とを用意する。第１保護部材５４の表面には複数の第１導体パターン５６が形成されている。第２保護部材５５の表面には複数の第２導体パターン５７が形成されている。
【００５６】
そして、第１保護部材５４のうち複数の第１導体パターン５６側を基材５１側として、第１保護部材５４を基材５１の第１面５１ａに積層する。第２保護部材５５のうち複数の第２導体パターン５７側を基材５１側として、第２保護部材５５を基材５１の第２面５１ｂに積層する。これにより、基材５１と、第１保護部材５４と、第２保護部材５５とが積層された積層体５８が形成される。
【００５７】
続いて、図１５Ｅに示すように、積層体５８を加熱しながら加圧する。これにより、基材５１と、第１保護部材５４と、第２保護部材５５とが一体化される。複数の第１熱電部材５２のそれぞれが焼結する。複数の第２熱電部材５３のそれぞれが焼結する。このようにして、複数の第１熱電部材１８と、複数の第２熱電部材２０と、複数の第１導体パターン２２と、複数の第２導体パターン２４とが内部に配置された絶縁部材１２が形成される。絶縁部材１２は、第１面１２ａと第２面１２ｂとを有する。
【００５８】
なお、基材５１、第１面５１ａ、第２面５１ｂ、第１熱電部材５２、第２熱電部材５３、第１保護部材５４、第２保護部材５５、第１導体パターン５６、第２導体パターン５７のそれぞれが、基材２６、第１面２６ａ、第２面２６ｂ、第１熱電部材１８、第２熱電部材２０、第１保護部材２８、第２保護部材３０、第１導体パターン２２、第２導体パターン２４に対応する。
【００５９】
続いて、図１５Ｆに示すように、絶縁部材１２にスリット４０を形成する。すなわち、一対の壁面４１、４２を形成する。
【００６０】
続いて、図１５Ｇに示すように、第１延伸性フィルム１４と、第２延伸性フィルム１６とを用意する。絶縁部材１２の第１面１２ａに第１延伸性フィルム１４を積層する。絶縁部材１２の第２面１２ｂに第２延伸性フィルム１６を積層する。これにより、絶縁部材１２と、第１延伸性フィルム１４と、第２延伸性フィルム１６とが積層された積層体５９が形成される。
【００６１】
続いて、図１５Ｈに示すように、積層体５９を加圧する。または、積層体５９を加熱しながら加圧する。これにより、絶縁部材１２と、第１延伸性フィルム１４と、第２延伸性フィルム１６とが一体化される。このようにして、本実施形態の熱流束センサ１０が製造される。
【００６２】
次に、本実施形態の熱流束センサ１０の効果について説明する。
【００６３】
本実施形態の熱流束センサ１０は、絶縁部材１２にスリット４０が形成されている。図５−図１３に示すように、スリット４０は、絶縁部材１２の第１面１２ａから第２面１２ｂまで貫通している。図３、４に示すように、スリット４０は、絶縁部材１２の第１面１２ａおよび第２面１２ｂに線状に配置されている。
【００６４】
これにより、絶縁部材１２の片面側だけでなく、絶縁部材１２の第１面１２ａ側および第２面１２ｂ側を含む絶縁部材１２の全体が延伸性を有する。すなわち、絶縁部材１２の第１面１２ａおよび第２面１２ｂに沿う方向に、絶縁部材１２の全体を延伸させることができる。
【００６５】
スリット４０は、横方向に延びている第１スリット４０１および縦方向に延びている第２スリット４０２を有する。これにより、縦方向および横方向の両方向において、絶縁部材１２は延伸性を有している。
【００６６】
第１延伸性フィルム１４および第２延伸性フィルム１６も延伸性を有している。したがって、本実施形態の熱流束センサ１０は、延伸性を有している。
【００６７】
このため、この熱流束センサ１０を延伸する被測定物に設置する場合、被測定物の延伸に追従して熱流束センサ１０を延伸させることができる。よって、熱流束センサ１０を被測定物の測定面に密着させた状態を維持することができる。
【００６８】
また、この熱流束センサ１０を測定面が複雑な形状を有する被測定物に設置する場合、熱流束センサ１０を延伸させて、熱流束センサ１０の形状を測定面に応じた形状にすることができる。よって、熱流束センサ１０を被測定物の測定面に密着させることができる。
【００６９】
したがって、この熱流束センサ１０によれば、被測定物が延伸する場合や、被測定物の測定面が複雑な形状を有する場合であっても、精度良く熱流束を測定することができる。
【００７０】
ところで、絶縁部材１２にスリット４０を形成した場合、絶縁部材１２にスリット４０が形成されていない場合と比較して、絶縁部材１２の強度が低下する。すなわち、熱流束センサ１０の強度が低下する。
【００７１】
そこで、本実施形態の熱流束センサ１０は、第１延伸性フィルム１４が絶縁部材１２の第１面１２ａに積層されている。第２延伸性フィルム１６が絶縁部材１２の第２面１２ｂに積層されている。これにより、熱流束センサ１０の延伸性を維持しつつ、熱流束センサ１０の強度低下を抑制することができる。
【００７２】
また、本実施形態の熱流束センサ１０では、熱流束センサ１０が被測定物に設置された状態のとき、スリット４０が形成されることで、絶縁部材１２は通気性を有する。さらに、第１延伸性フィルム１４および第２延伸性フィルム１６は通気性を有する。このため、熱流束センサ１０の全体は通気性を有する。これにより、被測定物と熱流束センサ１０との間に湿気がこもるのを防ぐことができる。よって、例えば、発汗する人体の表面に熱流束センサ１０を設置した場合、精度よく熱流束を測定することができる。
【００７３】
（第２実施形態）
図１６に示すように、本実施形態は、絶縁部材１２の構成が第１実施形態と異なる。その他の構成は第１実施形態と同じである。図１６は、図７に対応している。
【００７４】
絶縁部材１２は、フィルム状の基材２６で構成されている。基材２６の第１面２６ａが、絶縁部材１２の第１面１２ａを構成している。基材２６の第２面２６ｂが、絶縁部材１２の第２面１２ｂを構成している。
【００７５】
複数の第１熱電部材１８は、複数の第１貫通孔２６１に配置されている。複数の第２熱電部材２０は、複数の第２貫通孔２６２に配置されている。複数の第１導体パターン２２は、基材２６の第１面２６ａに配置されている。複数の第２導体パターン２４は、基材２６の第２面２６ｂに配置されている。
【００７６】
このように、複数の第１熱電部材１８および複数の第２熱電部材２０は、絶縁部材１２の内部に配置されている。複数の第１導体パターン２２および複数の第２導体パターン２４は、絶縁部材１２から露出している。
【００７７】
第１実施形態と同様に、絶縁部材１２には、互いに対向する一対の壁面４１、４２が形成されている。一対の壁面４１、４２の間にスリット４０が形成される。
【００７８】
次に、図１７Ａ−図１７Ｇを用いて、本実施形態の熱流束センサ１０の製造方法について説明する。なお、図１７Ａ、１７Ｂは、積層前の状態の第１基材部６１と第２基材部６２とを並べて示している。
【００７９】
図１７Ａに示すように、フィルム状の第１基材部６１と、フィルム状の第２基材部６２とを用意する。第１基材部６１は、第１面６１ａとその反対側の第２面６１ｂとを有する。第１基材部６１の第１面６１ａには複数の第１導体パターン６３が形成されている。第２基材部６２は、第１面６２ａとその反対側の第２面６２ｂとを有する。第２基材部６２の第１面６２ａには複数の第２導体パターン６４が形成されている。
【００８０】
続いて、図１７Ｂに示すように、第１基材部６１に複数の第１貫通孔６１１および複数の第２貫通孔６１２を形成する。複数の第１貫通孔６１１および複数の第２貫通孔６１２は、第１面６１ａから第２面６１ｂまで第１基材部６１を貫通する。第１貫通孔６１１と第２貫通孔６１２とは交互に配置される。第１導体パターン６３は、複数の第１貫通孔６１１および複数の第２貫通孔６１２の底を構成している。
【００８１】
同様に、第２基材部６２に複数の第１貫通孔６２１および複数の第２貫通孔６２２を形成する。複数の第１貫通孔６２１および複数の第２貫通孔６２２は、第１面６２ａから第２面６２ｂまで第２基材部６２を貫通する。第１貫通孔６２１と第２貫通孔６２２とは交互に配置される。第２導体パターン６４は、複数の第１貫通孔６２１および複数の第２貫通孔６２２の底を構成している。
【００８２】
続いて、図１７Ｃに示すように、第１基材部６１において、複数の第１貫通孔６１１のそれぞれに粉末状の第１熱電部材６５１を充填する。複数の第２貫通孔６１２のそれぞれに粉末状の第２熱電部材６６１充填する。
【００８３】
同様に、第２基材部６２において、複数の第１貫通孔６２１のそれぞれに粉末状の第１熱電部材６５２を充填する。複数の第２貫通孔６２２のそれぞれに粉末状の第２熱電部材６６２を充填する。
【００８４】
続いて、第１基材部６１と第２基材部６２が積層された積層体６７を形成する。このとき、第１基材部６１の第２面６１ｂと第２基材部６２の第２面６２ｂとが向かい合う。第１基材部６１の第１熱電部材６５１と第２基材部６２の第１熱電部材６５２とが向かい合う。第１基材部６１の第２熱電部材６６１と第２基材部６２の第１熱電部材６６２とが向かい合う。
【００８５】
続いて、積層体６７を加熱しながら加圧する。これにより、第１基材部６１と、第２基材部６２とが一体化される。複数の第１熱電部材６５１、６５２のそれぞれが焼結する。複数の第２熱電部材６６１、６６２のそれぞれが焼結する。
【００８６】
このようにして、図１７Ｄに示すように、複数の第１熱電部材１８と複数の第２熱電部材２０とが内部に配置された絶縁部材１２が形成される。絶縁部材１２は、第１面１２ａと第２面１２ｂとを有する。なお、第１基材部６１および第２基材部６２が基材２６に対応する。第１基材部６１の第１面６１ａが絶縁部材１２の第１面１２ａに対応する。第２基材部６２の第１面６２ａが絶縁部材１２の第２面１２ｂに対応する。第１基材部６１の第１貫通孔６１１および第２基材部６２の第１貫通孔６２１が基材２６の第１貫通孔２６１に対応する。第１基材部６１の第２貫通孔６１２および第２基材部６２の第２貫通孔６２２が基材２６の第２貫通孔２６２に対応する。第１導体パターン６３、第２導体パターン６４が、それぞれ、第１導体パターン２２、第２導体パターン２４に対応する。
【００８７】
続いて、図１７Ｅに示すように、絶縁部材１２にスリット４０を形成する。すなわち、一対の壁面４１、４２を形成する。
【００８８】
続いて、図１７Ｆに示すように、第１延伸性フィルム１４と、第２延伸性フィルム１６とを用意する。絶縁部材１２の第１面１２ａに第１延伸性フィルム１４を積層する。絶縁部材１２の第２面１２ｂに第２延伸性フィルム１６を積層する。これにより、絶縁部材１２と、第１延伸性フィルム１４と、第２延伸性フィルム１６とが積層された積層体６８が形成される。
【００８９】
続いて、図１７Ｇに示すように、積層体６８を加圧する。または、積層体６８を加熱しながら加圧する。これにより、絶縁部材１２と、第１延伸性フィルム１４と、第２延伸性フィルム１６とが一体化される。このようにして、本実施形態の熱流束センサ１０が製造される。
【００９０】
本実施形態の熱流束センサ１０においても、スリット４０が形成されている。このため、本実施形態の熱流束センサ１０は、第１実施形態の熱流束センサ１０と同様の効果を奏する。
【００９１】
（第３実施形態）
図１８、１９に示すように、本実施形態は、導体部３２およびスリット４０の平面レイアウトが第１実施形態と異なる。熱流束センサ１０の基本的な断面構造は、第１実施形態と同じである。すなわち、図２０に示すように、熱流束センサ１０は、絶縁部材１２と、第１延伸性フィルム１４と、第２延伸性フィルム１６とを備える。絶縁部材１２の内部に、複数の第１熱電部材１８と、複数の第２熱電部材２０と、複数の第１導体パターン２２と、複数の第２導体パターン２４とが配置されている。絶縁部材１２は、基材２６と、第１保護部材２８と、第２保護部材３０とを含んでいる。
【００９２】
図１８に示すように、熱流束センサ１０の平面形状は、円形状である。絶縁部材１２に形成されたスリット４０は、放射状スリット４３を有している。本実施形態では、スリット４０の全部が放射状スリット４３である。
【００９３】
図１９に示すように、放射状スリット４３は、絶縁部材１２の第１面１２ａにおいて、１つの基準部４３１から３本以上の線状空間部４３２が放射状に延びている放射状空間部である。線状空間部４３２は、互いに対向する一対の壁面４１、４２の間に形成される。本実施形態では、線状空間部４３２は８本である。基準部４３１は、絶縁部材１２の第１面１２ａの中央部に位置している。放射状スリット４３は、絶縁部材１２の第１面１２ａと第２面１２ｂにおいて同じ形状である。
【００９４】
導体部３２は、放射状スリット４３の周囲に配置されている。導体部３２は、放射状スリット４３に沿う形状である。
【００９５】
図２０に示すように、導体部３２は、第１熱電部材１８、第１導体パターン２２、第２熱電部材２０、第２導体パターン２４の順に、これらが繰り返し直列に接続されることで形成されている。
【００９６】
図１９に示すように、導体部３２は、線状空間部４３２に沿って直線状に延びている複数の直線状部分３２４を有する。図１９、２１に示すように、複数の直線状部分３２４のうち隣り合う２つの直線状部分３２４は、第２導体パターン２４によって、絶縁部材１２のうち第１面１２ａの外周側の領域で連なっている。図１９、２２に示すように、複数の直線状部分３２４のうち別の隣り合う２つの直線状部分３２４は、第２導体パターン２４によって、絶縁部材１２のうち第１面１２ａの中央側の領域で連なっている。
【００９７】
図２３−図２６に示すように、放射状スリット４３は、絶縁部材１２のうち導体部３２が形成されていない領域に形成されている。放射状スリット４３は、絶縁部材１２の第１面１２ａから第２面１２ｂまで絶縁部材１２を貫通している。すなわち、一対の壁面４１、４２は、絶縁部材１２の第１面１２ａから第２面１２ｂまで延びている。
【００９８】
本実施形態の熱流束センサ１０によれば、絶縁部材１２の中央部に放射状スリット４３が形成されている。これにより、基準部４３１を中心とする円の円周方向において、絶縁部材１２の中央部は延伸性を有している。また、第１延伸性フィルム１４および第２延伸性フィルム１６は延伸性を有している。
【００９９】
このため、熱流束センサ１０を球面に設置したときに、熱流束センサ１０の中央部を球面に沿わせて広げることができる。すなわち、熱流束センサ１０の中央部は、熱流束センサ１０を球面に設置するために必要な延伸性を有する。よって、被測定物の測定面が球面である場合に、熱流束センサ１０を測定面に密着させることができる。したがって、本実施形態の熱流束センサ１０によれば、被測定物の測定面が球面である場合であっても、精度良く熱流束を測定することができる。
【０１００】
なお、本実施形態では、基準部４３１は、絶縁部材１２の第１面１２ａの中央部に位置していたが、これに限定されない。基準部４３１は、絶縁部材１２の第１面１２ａのうち外周側よりも内側の領域に位置していればよい。
【０１０１】
（第４実施形態）
図２７に示すように、本実施形態は、熱流束センサ１０に複数の切り欠き７０が形成されている点が、第３実施形態と異なる。図２７は、図１８に対応する。
【０１０２】
熱流束センサ１０の平面形状は略円形状である。複数の切り欠き７０は、熱流束センサ１０の第１面１０ａの外周部に位置する複数の外周側空間部である。複数の切り欠き７０は、熱流束センサ１０の第１面１０ａから第２面１０ｂまで熱流束センサ１０を貫通している。換言すると、複数の切り欠き７０は、第１延伸性フィルム１４、絶縁部材１２および第２延伸性フィルム１６に形成されている。複数の切り欠き７０のそれぞれは、絶縁部材１２のうち導体部３２が形成されていない領域に形成されている。複数の切り欠き７０のそれぞれは、隣り合う線状空間部４３２と線状空間部４３２との間に形成されている。
【０１０３】
複数の切り欠き７０のそれぞれは、基準部４３１側から熱流束センサ１０の第１面１０ａの外周側に向かって延びている。複数の切り欠き７０のそれぞれにおける第１面１０ａでの幅Ｗ１は、基準部４３１側から外周側に向かうにつれて大きくなっている。換言すると、複数の切り欠き７０のそれぞれは、扇形形状である。複数の切り欠き７０のそれぞれは、熱流束センサ１０の外周側で開放されている。なお、複数の切り欠き７０の第２面１０ｂでの形状は、第１面１０ａでの形状と同じである。
【０１０４】
被測定物の測定面が球面である場合、このように複数の切り欠き７０が形成されていることが、より好ましい。
【０１０５】
平面状の部材を球面に密着させようとすると、平面状の部材の中央側は広がろうとするが、平面状の部材の外周側は狭まろうとする。さらに、平面状の部材の外周側では、中央側から外周側に向かうにつれて狭まる量が多くなる。
【０１０６】
これに対して、本実施形態では、熱流束センサ１０の外周部に複数の切り欠き７０を形成している。さらに、複数の切り欠き７０のそれぞれは、基準部４３１側から外周側に向かうにつれて熱流束センサ１０の第１面１０ａでの幅Ｗ１が大きくなっている。
【０１０７】
これにより、本実施形態の熱流束センサ１０を球面状の測定面に設置したときに、熱流束センサ１０の外周側を球面に沿って狭まらせることができる。よって、本実施形態の熱流束センサ１０によれば、球面状の測定面により密着させることができる。したがって、本実施形態の熱流束センサ１０によれば、被測定物の測定面が球面である場合であっても、精度良く熱流束を測定することができる。
【０１０８】
（第５実施形態）
図２８に示すように、本実施形態は、絶縁部材１２の構成が第３実施形態と異なる。図２８は、図２４に対応している。
【０１０９】
本実施形態では、第２実施形態と同様に、絶縁部材１２は、フィルム状の基材２６で構成されている。このため、複数の第１熱電部材１８および複数の第２熱電部材２０は、絶縁部材１２の内部に配置されている。複数の第１導体パターン２２および複数の第２導体パターン２４は、絶縁部材１２から露出している。
【０１１０】
熱流束センサ１０の他の構成は第３実施形態と同じである。このため、本実施形態の熱流束センサ１０は、第３実施形態の熱流束センサ１０と同様の効果を奏する。なお、第４実施形態の熱流束センサ１０の絶縁部材１２を、本実施形態と同様の構成とすることもできる。
【０１１１】
（他の実施形態）
（１）第１−第５実施形態では、延伸性部材である第１延伸性フィルム１４と第２延伸性フィルム１６が絶縁部材１２の第１面１２ａと第２面１２ｂの両方に積層されていたが、これに限定されない。延伸性部材は、絶縁部材１２の第１面と第２面の少なくとも一方に積層されていればよい。これによっても、延伸性部材による効果が得られる。
【０１１２】
（２）第１−第５実施形態では、延伸性部材として、通気性を有する樹脂製多孔質膜が用いられていたが、これに限定されない。延伸性部材は、通気性を有する他の部材であってもよい。隙間を有する部材であれば、通気性を有する。このとき、隙間の大きさは、視認できないほど微小であってもよく、視認できるほど大きくてもよい。延伸性部材として、例えば、網状部材を用いてもよい。
【０１１３】
（３）第１−第５実施形態では、第１延伸性フィルム１４および第２延伸性フィルム１６は、通気性を有していたが、通気性を有していなくてよい。
【０１１４】
（４）第１−第５実施形態では、熱流束センサ１０は、延伸性部材である第１延伸性フィルム１４および第２延伸性フィルム１６を有していたが、延伸性部材を有していなくてもよい。これによっても、絶縁部材１２の構成による効果が得られる。
【０１１５】
（５）第１、第２実施形態では、熱流束センサ１０の平面形状は、四角形であったが、円等の他の形状であってもよい。同様に、第３、４実施形態では、熱流束センサ１０の平面形状は、円形状であったが、図２９に示すように、四角形等の他の形状であってもよい。なお、図２９では、第１延伸性フィルム１４の図示を省略している。
【０１１６】
（６）第３実施形態では、スリット４０の全部が放射状スリット４３であったが、これに限定されない。スリット４０は、放射状スリット４３と、他のスリットとによって構成されていてもよい。他のスリットとして、例えば、図３０に示すように、放射状スリット４３を構成する線状空間部４３２に対して交差するスリット４４を形成することができる。なお、図３０では、第１延伸性フィルム１４の図示を省略している。
【０１１７】
また、第３実施形態では、放射状スリット４３を１つ形成していたが、図３１、３２に示すように、放射状スリット４３を複数形成してもよい。なお、図３１、３２では、線状空間部４３２は４本である。図３１、３２では、第１延伸性フィルム１４の図示を省略している。
【０１１８】
（７）第３実施形態では、球面状の測定面に熱流束センサ１０を設置するために、スリット４０として放射状スリット４３を形成したが、これに限定されない。スリット４０として他の形状のスリットを形成してもよい。例えば、図３３に示すように、渦巻状のスリット４５を形成してもよい。この場合、導体部３２も渦巻状に配置される。これによっても、被測定物の測定面が球面である場合に、熱流束センサ１０を測定面に密着させることができる。図３３に示す熱流束センサ１０の平面形状は、円形状であるが、四角形等の他の形状であってもよい。
【０１１９】
（８）上記した各実施形態では、絶縁部材１２は、熱可塑性樹脂で構成されていたが、可撓性を有する他の材料で構成されていてもよい。
【０１２０】
（９）本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能であり、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の材質、形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の材質、形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その材質、形状、位置関係等に限定されるものではない。
【０１２１】
（まとめ）
上記各実施形態の一部または全部で示された第１の観点によれば、熱流束センサは、絶縁部材と、複数の第１熱電部材と、複数の第２熱電部材と、複数の第１導体パターンと、複数の第２導体パターンとを備える。絶縁部材は、互いに対向する一対の壁面を有する。一対の壁面は、絶縁部材のうち第１熱電部材、第２熱電部材、第１導体パターンおよび第２導体パターンが配置されていない領域において、第１面から第２面まで延びているとともに、第１面および第２面において、線状に延びている。絶縁部材が第１面および第２面に沿う方向で引っ張られた場合、一対の壁面の間に、第１面から第２面まで絶縁部材を貫通する空間部が形成されている。
【０１２２】
また、第２の観点によれば、熱流束センサは、絶縁部材と同じ寸法条件で比較して絶縁部材よりも延伸性が高い延伸性部材を備える。延伸性部材は、絶縁部材の第１面と第２面の少なくとも一方に積層されている。
【０１２３】
絶縁部材に空間部を形成した場合、絶縁部材に空間部が形成されていない場合と比較して、熱流束センサの強度が低下する。これに対して、第２の観点によれば、延伸性フィルムが絶縁部材に積層されている。これにより、熱流束センサの延伸性を維持しつつ、熱流束センサの強度低下を抑制することができる。
【０１２４】
また、第３の観点によれば、延伸性部材は、通気性を有する。
【０１２５】
これによれば、一対の壁面の間に空間部が形成されることで、絶縁部材は通気性を有する。さらに、延伸性フィルムが通気性を有する。このため、熱流束センサの全体が通気性を有する。これにより、被測定物と熱流束センサとの間に湿気がこもるのを防ぐことができる。よって、例えば、発汗する人体の表面に熱流束センサを設置した場合、精度よく熱流束を測定することができる。
【０１２６】
また、第４の観点によれば、空間部は、絶縁部材の第１面において、１つの基準部から３本以上の線状空間部が放射状に延びる放射状空間部を有する。これによれば、被測定物の測定面が球面である場合に、熱流束センサを測定面に密着させることができる。よって、精度良く熱流束を測定することができる。
【０１２７】
また、第５の観点によれば、熱流束センサは、第１面と第１面の反対側の第２面とを有する。熱流束センサの第１面の外周部に、複数の外周側空間部が形成されている。複数の外周側空間部のそれぞれは、熱流束センサの第１面から第２面まで熱流束センサを貫通するとともに、基準部側から熱流束センサの外周側に向かって延びている。複数の外周側空間部のそれぞれにおける第１面での幅は、基準部側から外周側に向かうにつれて大きくなっている。
【０１２８】
被測定物の測定面が球面である場合、このように複数の外周側空間部が形成されていることが、より好ましい。
【０１２９】
また、第６の観点によれば、絶縁部材は、フィルム状の基材と、フィルム状の第１保護部材と、フィルム状の第２保護部材とを含む。基材は、第１面と第１面の反対側の第２面を有する。第１保護部材は、基材の第１面に積層されている。第２保護部材は、基材の第２面に積層されている。第１保護部材の基材側とは反対側の表面が、絶縁部材の第１面を構成する。第２保護部材の基材側とは反対側の表面が、絶縁部材の第２面を構成する。複数の第１熱電部材は、基材の厚さ方向で基材を貫通する複数の第１貫通孔に配置されている。複数の第２熱電部材は、基材の厚さ方向で基材を貫通し、複数の第１貫通孔とは異なる複数の第２貫通孔に配置されている。複数の第１導体パターンは、基材と第１保護部材の間に配置されている。複数の第２導体パターンは、基材と第２保護部材の間に配置されている。
【０１３０】
熱流束センサの具体的な構造として、このような構造を採用することが好ましい。
【０１３１】
また、第７の観点によれば、絶縁部材は、フィルム状の基材で構成されている。基材は、第１面と第１面の反対側の第２面を有する。基材の第１面が、絶縁部材の第１面を構成する。基材の第２面が、絶縁部材の第２面を構成する。複数の第１熱電部材は、基材の厚さ方向で基材を貫通する複数の第１貫通孔に配置されている。複数の第２熱電部材は、基材の厚さ方向で基材を貫通し、複数の第１貫通孔とは異なる複数の第２貫通孔に配置されている。複数の第１導体パターンは、基材の第１面に配置されている。複数の第２導体パターンは、基材の第２面に配置されている。
【０１３２】
熱流束センサの具体的な構造として、このような構造を採用することが好ましい。
【符号の説明】
【０１３３】
１０        熱流束センサ
１２        絶縁部材
１８        第１熱電部材
２０        第２熱電部材
２２        第１導体パターン
２４        第２導体パターン
４０        スリット
４１、４２  一対の壁面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１５Ｃ】
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【図１５Ｄ】
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【図１５Ｅ】
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【図１５Ｆ】
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【図１５Ｇ】
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【図１５Ｈ】
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【図１６】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１７Ｃ】
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【図１７Ｄ】
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【図１７Ｅ】
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【図１７Ｆ】
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【図１７Ｇ】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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