(57)【要約】【課題】チャンバ構造体内の二室を一般的な弁構造と同様の構造にて開閉することが可能な成膜装置を提供する。【解決手段】チャンバ構造体２の内部を、容器３を受け入れる第１室２１と触媒体１１を真空圧環境に保持する第２室２２とに気密に仕切る閉鎖位置と、第１室２１と第２室２２とを相互に通じさせる開放位置との間を移動可能な隔壁２５と、容器３と触媒体１１との位置関係を、成膜に適した成膜状態と、容器３が第１室２１に触媒体１１が第２室２２にそれぞれ配置された待機状態との間で変化させる位置変更装置２５、４０とを成膜装置１に設け、隔壁２５が閉鎖位置のときに、第１方向と交差する第２方向に沿って延ばされた閉鎖面２５ａ、及びその周囲に沿って延ばされた周面の少なくともいずれか一方を、第１室２１と第２室２２との間のシール面２６と全周に亘って密着させる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜対象物を搬入及び搬出するために開閉される出入口部を有するチャンバ構造体と、
前記チャンバ構造体の内部に収容された触媒体と、
前記チャンバ構造体の内部に配置され、前記チャンバ構造体の内部を前記出入口部に通じかつ前記出入口部から搬入される前記成膜対象物を受け入れる第１室と前記触媒体を真空圧環境に保持する第２室とに気密に仕切る閉鎖位置と、前記第１室と前記第２室とを相互に通じさせる開放位置との間を所定の第１方向に沿って移動可能な隔壁と、
前記成膜対象物と前記触媒体との位置関係が、成膜に適した成膜状態と、前記成膜対象物が前記第１室に、前記触媒体が前記第２室にそれぞれ配置された待機状態との間で変化するように、前記触媒体及び前記成膜対象物の少なくともいずれか一方を移動させる位置変更手段と、を具備し、
前記隔壁は、前記閉鎖位置にあるときに、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延ばされた閉鎖面、及び当該閉鎖面の周囲に沿って延ばされた周面の少なくともいずれか一方が、前記チャンバ構造体の内部にて前記第１室と前記第２室との接続部を取り囲むように設けられたシール面と全周に亘って密着することにより、前記第１室と前記第２室とを気密に仕切るように設けられている成膜装置。
【請求項２】
前記第１室又は前記第２室のいずれか一方の室には、前記接続部を介して他方の室と前記第１方向に連なる第１領域と、前記第１領域に対して前記第２方向に連なりかつ前記他方の室に対しては前記第２方向に偏る第２領域とが設けられ、
前記隔壁は、前記閉鎖位置にあるときに前記シール面と密着して前記第１領域と前記他方の室との間を気密に仕切り、前記開放位置にあるときは前記シール面から離れて前記第１領域と前記他方の室との間を相互に通じさせる請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記位置変更手段は、
前記隔壁が前記閉鎖位置にある場合には前記成膜対象物が前記第１室に、前記触媒体が前記第２室にそれぞれ位置し、前記隔壁が前記開放位置に移動する場合には前記一方の室に前記成膜対象物及び前記触媒体が位置するように、前記他方の室に配置されている前記触媒体又は前記成膜対象物を当該他方の室から前記接続部を介して前記一方の室の前記第１領域へと移動させる第１移動手段と、
前記一方の室に配置された前記成膜対象物と前記触媒体とが成膜に適した位置関係に配置されるように、前記触媒体及び前記成膜対象物の少なくともいずれか一方を前記第２方向に沿って移動させる第２移動手段と、
を備えている請求項２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記第１室が前記一方の室、前記第２室が前記他方の室としてそれぞれ設けられ、
前記成膜対象物は前記出入口部を介して前記第１室の前記第２領域に対して搬入及び搬出され、
前記第１移動手段は、前記隔壁が前記閉鎖位置にある場合は前記触媒体が前記第２室に位置し、前記隔壁が前記開放位置に移動する場合には、前記触媒体を前記第２室から前記第１室の前記第１領域に移動させる請求項３に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記隔壁には前記触媒体を保持する触媒体保持部が設けられ、前記隔壁の前記閉鎖位置と前記開放位置との間の移動に伴って前記触媒体を前記第２室と前記第１室の前記第１領域との間で移動させることにより、前記隔壁が前記第１移動手段として機能する請求項４に記載の成膜装置。
【請求項６】
前記出入口部を介して前記成膜対象物を前記第１室の前記第２領域に対して搬入及び搬出する搬送手段を具備し、
前記搬送手段は、前記成膜対象物を前記第２領域から前記第１領域までさらに搬送可能に設けられることにより前記第２移動手段として機能する請求項４又は５に記載の成膜装置。
【請求項７】
前記隔壁には、当該隔壁を前記第１方向に沿って案内する中空の案内軸が取り付けられ、
前記案内軸は前記チャンバ構造体を貫いて当該チャンバ構造体の外部まで延ばされ、
前記第２室の内部に対する配管及び配線の少なくともいずれか一方が前記案内軸の内部を介して前記第２室に導かれている請求項４〜６のいずれか一項に記載の成膜装置。
【請求項８】
前記第１室及び前記第２室が前記第１方向と略直交する方向に並べて配置され、
前記隔壁の前記閉鎖面は、前記第１室及び前記第２室のいずれか一方の室から他方の室に向かうに従って前記隔壁の前記閉鎖位置側に漸次突出するように前記第１方向に対して斜めに傾けて設けられている請求項１に記載の成膜装置。
【請求項９】
前記成膜対象物が容器であり、
前記第１室には、前記容器が、当該容器の口部を前記第２方向に沿って前記触媒体側に向けた状態で搬入及び搬出され、
前記触媒体は前記口部から前記容器の内部に挿入できるように構成されている請求項１〜８のいずれか一項に記載の成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、触媒体を真空圧環境に保持するための室をチャンバ構造体の内部に備えた成膜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
容器等の成膜対象物に成膜する装置として、成膜用の原料ガスを加熱された触媒体に接触させて成膜種を生成し、その成膜種を成膜対象物の表面上に堆積させる触媒ＣＶＤ法を利用する成膜装置が知られている。この種の成膜装置としては、真空チャンバと称されるチャンバ構造体の内部がゲート弁を挟んで二室に区分され、一方の室には成膜対象物を搬入及び搬出するための出入口部が設けられた成膜装置が提案されている（特許文献１参照）。その成膜装置において、成膜対象物の搬入及び搬出時にはゲート弁が閉じられて出入口部が開かれることにより一方の室が大気圧に開放され、他方の室は触媒体を収容した状態で真空圧環境に維持される。成膜時には、出入口部が閉じられて一方の室が真空引きされ、その後にゲート弁が開かれて触媒体又は成膜対象物のいずれか一方が他方に向けて移動する。それにより、成膜対象物と触媒体とが成膜に適した位置関係に置かれて成膜が開始される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１３／０９９９６０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の成膜装置では、チャンバ構造体の内部の二室間に配置されたゲート弁の弁体を二室が連なる方向に対して略直交する方向に移動させて両室間を開閉している。そのため、弁体の移動方向に向けられた端面をシール面（弁座面）と密着させるいわゆる軸方向シール構造、あるいは弁体の外周面又は内周面を環状のシール面と密着させるいわゆる半径方向シール構造のような一般的な弁装置のシール構造を採用できず、特殊な構造のゲート弁を用いる必要があってコストが嵩むといった問題が生じるおそれがある。
【０００５】
そこで、本発明は、チャンバ構造体内の二室の間を一般的な弁構造と同様の構造にて開閉することが可能な成膜装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る成膜装置（１；１Ａ；６１）は、成膜対象物（３）を搬入及び搬出するために開閉される出入口部（２３；６４）を有するチャンバ構造体（２；６２）と、前記チャンバ構造体の内部に収容された触媒体（１１）と、前記チャンバ構造体の内部に配置され、前記チャンバ構造体の内部を前記出入口部に通じかつ前記出入口部から搬入される前記成膜対象物を受け入れる第１室（２１；２１Ａ；６５）と前記触媒体を真空圧環境に保持する第２室（２２；２２Ａ；６６）とに気密に仕切る閉鎖位置と、前記第１室と前記第２室とを相互に通じさせる開放位置との間を所定の第１方向（一例として図４〜図６、図７Ａ〜図７Ｃ、図８の左右方向）に沿って移動可能な隔壁（２５；６３）と、前記成膜対象物と前記触媒体との位置関係が、成膜に適した成膜状態と、前記成膜対象物が前記第１室に、前記触媒体が前記第２室にそれぞれ配置された待機状態との間で変化するように、前記触媒体及び前記成膜対象物の少なくともいずれか一方を移動させる位置変更手段（２５、４０；２５、５０；４０）と、を具備し、前記隔壁は、前記閉鎖位置にあるときに、前記第１方向と交差する第２方向（一例として図４〜図６、図７Ａ〜図７Ｃの上下方向、又は図８の矢印Ｓ方向）に沿って延ばされた閉鎖面（２５ａ；６３ａ）、及び当該閉鎖面の周囲に沿って延ばされた周面の少なくともいずれか一方が、前記チャンバ構造体の内部にて前記第１室と前記第２室との接続部（２４；６８ｃ）を取り囲むように設けられたシール面（２６；６８ａ）と全周に亘って密着することにより、前記第１室と前記第２室とを気密に仕切るように設けられたものである。
【０００７】
上記態様の成膜装置においては、成膜対象物の搬入及び搬出時には隔壁を閉鎖位置に移動させることにより第２室を第１室に対して気密に仕切り、第２室内の触媒体を真空圧環境下に保持することができる。一方、成膜時には、第１室の出入口部を閉じた状態で第１室を真空圧環境に調整し、続いて隔壁を第１方向に沿って開放位置に移動させて第１室と第２室とを通じさせ、その後に触媒体及び成膜対象物の少なくともいずれか一方を移動させて両者の位置関係を成膜状態に設定することができる。これにより、触媒体及び成膜対象物の両者を真空圧環境に保持して成膜を実施することができる。成膜終了後は、触媒体及び成膜対象物の少なくともいずれか一方を上記と逆方向に移動させることにより、成膜対象物と触媒体との位置関係を待機状態に設定するとともに隔壁を閉鎖位置に移動させて第１室と第２室とを気密に仕切ることにより、触媒体を真空圧環境の第２室に閉じ込めることができる。その後、出入口部を開いて第１室を大気圧に開放し、成膜対象物を搬出することができる。
【０００８】
上記の成膜装置では、隔壁の閉鎖面が隔壁の移動方向である第１方向と交差する第２方向に沿って延ばされ、その閉鎖面及び当該閉鎖面の周囲に沿って延びる周面の少なくともいずれか一方がシール面と密着することにより第１室と第２室との間が気密に仕切られる。したがって、両室の間を一般的な弁構造と同様の構造にて開閉することができる。それにより、シール構造部分の簡素化、あるいはシール性能の信頼性向上といった作用効果が得られる。
【０００９】
上記態様に係る成膜装置の一形態において、前記第１室又は前記第２室のいずれか一方の室（２１；２２Ａ）には、前記接続部を介して他方の室（２２；２１Ａ）と前記第１方向に連なる第１領域（Ａ１）と、前記第１領域に対して前記第２方向に連なりかつ前記他方の室に対しては前記第２方向に偏る第２領域（Ａ２）とが設けられ、前記隔壁は、前記閉鎖位置にあるときに前記シール面と密着して前記第１領域と前記他方の室との間を気密に仕切り、前記開放位置にあるときは前記シール面から離れて前記第１領域と前記他方の室との間を相互に通じさせるように設けられてもよい。これによれば、隔壁を閉鎖位置から開放位置に移動させると、他方の室と第１領域とが通じて他方の室に配置された触媒体又は成膜対象物を第１領域へと移送して第２領域に配置された成膜対象物又は触媒体との位置関係を一方の室内にて成膜状態に整えて成膜を実施することができる。
【００１０】
上記形態に係る成膜装置において、前記位置変更手段は、前記隔壁が前記閉鎖位置にある場合には前記成膜対象物が前記第１室に、前記触媒体が前記第２室にそれぞれ位置し、前記隔壁が前記開放位置に移動する場合には前記一方の室に前記成膜対象物及び前記触媒体が位置するように、前記他方の室に配置されている前記触媒体又は前記成膜対象物を当該他方の室から前記接続部を介して前記一方の室の前記第１領域へと移動させる第１移動手段（２５）と、前記一方の室に配置された前記成膜対象物と前記触媒体とが成膜に適した位置関係に配置されるように、前記触媒体及び前記成膜対象物の少なくともいずれか一方を前記第２方向に沿って移動させる第２移動手段（４０；５０）と、を備えてもよい。これによれば、隔壁の閉鎖位置から開放位置への移動に伴って第１移動手段により触媒体又は成膜対象物を他方の室から第１領域へと移送し、続いて第２移動手段により成膜対象物又は触媒体の少なくともいずれか一方を移動させて成膜対象物と触媒体とを接近ささせて両者を成膜状態の位置関係に配置することができる。
【００１１】
上記形態に係る成膜装置においては、前記第１室（２１）が前記一方の室、前記第２室（２２）が前記他方の室としてそれぞれ設けられ、前記成膜対象物は前記出入口部を介して前記第１室の前記第２領域（Ａ２）に対して搬入及び搬出され、前記第１移動手段は、前記隔壁が前記閉鎖位置にある場合は前記触媒体が前記第２室に位置し、前記隔壁が前記開放位置に移動する場合には、前記触媒体を前記第２室から前記第１室の前記第１領域（Ａ１）に移動させるものとされてもよい。この形態によれば、隔壁を閉鎖位置に移動させて触媒体を第２室の真空圧環境内に保持しつつ、第１室の出入口部を介して第１室の第２領域に対して成膜対象物を搬入及び搬出することができる。成膜時には第１室の出入口部を閉じて第１室を真空圧環境に整え、その後に隔壁を開放位置へと移動させるとともに、触媒体を第１方向に沿って第１領域に移動させて成膜対象物と触媒体とを同一の第１室に配置することができる。さらに、成膜対象物及び触媒体の少なくともいずれか一方を第２方向に移動させて両者を成膜に適した位置関係に配置し、成膜を行うことができる。
【００１２】
上記形態に係る成膜装置において、前記隔壁には前記触媒体を保持する触媒体保持部（３２）が設けられ、前記隔壁の前記閉鎖位置と前記開放位置との間の移動に伴って前記触媒体を前記第２室（２２）と前記第１室（２１）の前記第１領域（Ａ１）との間で移動させることにより、前記隔壁を前記第１移動手段として機能させてもよい。この態様によれば、触媒体を隔壁と一体的に移動させることができるので、第１移動手段の構成の簡素化を図り、かつ隔壁の閉鎖位置と開放位置との間の移動と触媒体の移動とを確実に連動させることができる。
【００１３】
上記形態に係る成膜装置において、前記出入口部を介して前記成膜対象物を前記第１室（２１）の前記第２領域（Ａ２）に対して搬入及び搬出する搬送手段（４０）を具備し、前記搬送手段を前記成膜対象物を前記第１領域（Ａ１）までさらに搬送可能に設けることにより、当該搬送手段を前記第２移動手段として機能させてもよい。この態様によれば、成膜対象物をチャンバ構造体の第１領域に搬入及び搬出するための搬送手段を利用して成膜対象物を第１領域まで移動させ、それにより成膜対象物と触媒体とを成膜に適した位置関係に置くことができる。これにより、成膜対象物を搬入及び搬出するための搬送手段を第２移動手段として機能させることができる。したがって、第２移動手段の構成の簡素化を図ることができる。
【００１４】
上記形態に係る成膜装置において、前記隔壁には、当該隔壁を前記第１方向に沿って案内する中空の案内軸（２８）が取り付けられ、前記案内軸は前記チャンバ構造体を貫いて当該チャンバ構造体の外部まで延ばされ、前記第２室（２２）の内部に対する配管及び配線の少なくともいずれか一方が前記案内軸の内部を介して前記第２室に導かれてもよい。これによれば、チャンバ構造体の外部から隔壁まで延びる案内軸の内部空間を配管あるいは配線を通す経路として活用することができる。したがって、配管等の経路を別途確保する場合と比較して、配管あるいは配線をレイアウトする手間が軽減される。案内軸は隔壁と一体で移動するので、その内部において配管や配線をフレキシブルに変形させる必要がなく、隔壁の移動に応じた配管や配線の変形はチャンバ構造体の外部にて行うようにすればよい。そのため、配管や配線のレイアウトに関する自由度が高まる。特に、触媒体が隔壁と一体的に移動する形態と組み合わせた場合には、隔壁と触媒体間で配管や配線を変形させる必要もなくなる利点がある。
【００１５】
上記態様に係る成膜装置（６１）においては、前記第１室及び前記第２室が前記第１方向と略直交する方向に並べて配置され、前記隔壁の前記閉鎖面（６３ａ）は、前記第１室及び前記第２室のいずれか一方の室（一例として図８の触媒室６６）から他方の室（一例として図８の待機室６５）に向かうに従って前記隔壁の前記閉鎖位置側に漸次突出するように前記第１方向に対して斜めに傾けて設けられてもよい。この場合も、隔壁を閉鎖位置と開放位置との間で移動させることにより、第１室と第２室とを相互に気密に仕切った状態と、両室を相互に通じさせた状態とを適宜に切り替えることができる。
【００１６】
上記態様に係る成膜装置の一形態において、前記成膜対象物が容器であり、前記第１室（２１；２１Ａ；６５）には、前記容器が、当該容器の口部を前記第２方向に沿って前記触媒体側（一例として、図４における下方、図７Ａにおける上方、図８における下方）に向けた状態で搬入及び搬出され、前記触媒体は前記口部から前記容器の内部に挿入できるように構成されてもよい。この形態によれば、触媒体又は容器を第１方向に沿って一方の室の第１領域に移動させた場合、容器の口部と触媒体とが第２方向に向かい合うようになる。したがって、容器及び触媒体の少なくともいずれか一方を第２方向に沿って移動させることにより、容器の内部に触媒体を挿入して容器と触媒体とを容器の内面への成膜に適した位置関係に置くことができる。
【００１７】
なお、以上の説明では本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の形態に係る成膜装置の要部における斜視図。
【図２】図１の成膜装置の左右方向に沿った垂直断面図。
【図３】触媒体ユニットの一例を示す図。
【図４】図１の成膜装置の奥行き方向に沿った垂直断面図。
【図５】図４の状態から隔壁を開放位置に移動させた状態を示す垂直断面図。
【図６】図５の状態から容器を触媒体側へ移動させた状態を示す垂直断面図。
【図７Ａ】第１の形態の変形例に係る成膜装置の要部を図４に対応した状態で示す図。
【図７Ｂ】変形例に係る成膜装置の要部を図５に対応した状態で示す図。
【図７Ｃ】変形例に係る成膜装置の要部を図６に対応した状態で示す図。
【図８】本発明の第２の形態に係る成膜装置の要部を図４と対応させて示した垂直断面図。
【図９】図８の状態から隔壁を開放位置に移動させた状態を示す垂直断面図。
【図１０】図９の状態から容器を触媒体側へ移動させた状態を示す垂直断面図。
【図１１】第２の形態に係る成膜装置において、容器をチャンバ構造体外から搬入し、又はチャンバ構造体外に搬出するときの状態を示す垂直断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（第１の形態）
以下、図面を参照して本発明の第１の形態に係る成膜装置を説明する。図１及び図２に示すように、成膜装置１は、触媒ＣＶＤ法を用いた成膜処理を行うための圧力容器、あるいは真空容器としてのチャンバ構造体２を備えている。チャンバ構造体２は、成膜対象物の一例としてのボトル状の複数（図示例では８本）の容器３と、その容器３と同数の触媒体ユニット４とを内部に収容可能である。容器３は、その口部を下方に向けるように反転された状態で、所定方向に一定間隔で並ぶようにしてチャンバ構造体２内に収容される。触媒体ユニット４も同様に容器３の並び方向と同一方向に一定間隔で並ぶようにしてチャンバ構造体２内に収容される。つまり、触媒体ユニット４は容器３と１対１で対応するように設けられている。以下では、容器３及び触媒体ユニット４のそれぞれの並び方向（図２の左右方向）をチャンバ構造体２の左右方向と呼び、図２の上下方向をチャンバ構造体２の上下方向、図２の紙面と直交する方向をチャンバ構造体２の奥行き方向と呼ぶことがある。容器３は一例としてＰＥＴボトル等の樹脂製ボトルである。
【００２０】
図３は触媒体ユニット４の全体構成を示している。触媒体ユニット４は、円盤状のベースプレート１２を有している。ベースプレート１２は、触媒体ユニット４をその支持構造に取り付けるための基礎となる部品である。ベースプレート１２の中心には、原料ガス供給管１０がベースプレート１２の中心線に沿って上方に真っ直ぐ延びるようにして装着される。原料ガス供給管１０は、不図示の原料ガス供給装置と接続されることにより、成膜室２１に原料ガスを供給する流路の一部として機能する。原料ガス供給管１０の適宜の位置、例えば原料ガス供給管１０の上端には原料ガスを流出させる開口部（不図示）が設けられる。開口部は、原料ガス供給管１０の上端に加え、又は代えて、原料ガス供給管１０の外周の適宜の位置に設けられてもよい。
【００２１】
触媒体ユニット４には、ベースプレート１２の上面側に絶縁体１３を介して取り付けられる一対の導電性の中継台１４Ａ、１４Ｂと、それらの中継台１４Ａ、１４Ｂから上方に延ばされた一対の棒状の電極１５Ａ、１５Ｂとがさらに設けられている。なお、以下では、中継台１４Ａ、１４Ｂを中継台１４と表記することがある。電極１５Ａ、１５Ｂも同様に電極１５と表記することがある。中継台１４は、原料ガス供給管１０を挟んで対称的に設けられている。各中継台１４は、導電性の接続ピン１６と電気的に接続される。触媒体ユニット４を支持構造体に装着したとき、それらの接続ピン１６が不図示の電源装置の陽極及び陰極のそれぞれと接続されることにより、電極１５Ａ、１５Ｂが電源装置の陽極及び陰極のそれぞれと電気的に接続される。
【００２２】
原料ガス供給管１０の周囲には２本の触媒体１１が互いに平行に設けられている。各触媒体１１は、線材を容器３の内部に挿入可能なＵ字状に曲げ加工して形成されている。触媒体１１は、成膜時に触媒活性反応を生じさせる材料にて形成されている。触媒体１１の材料は、例えば、タンタル、タングステン、モリブデン、ニオブの群の中から選ばれる一又は二以上の金属元素を含んでもよい。金属元素を含む材料は、純金属、合金、添加剤を含有させた金属若しくは合金又は金属間化合物であってもよい。合金又は金属間化合物を形成する金属は、上述した金属の中から二つ以上を組合せるか、又は上述した金属とその他の金属との組合せであってもよい。その他の金属は、例えば、クロムである。合金又は金属間化合物は、例えば、タンタル、タングステン、モリブデン、ニオブの群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の金属元素を合計で８０原子％以上含有してもよい。添加剤は、例えば、ジルコニア、イットリア、カルシア又はシリカなどの酸化物である。添加剤の添加量は、例えば、１質量％以下であってもよい。バリア成膜では、触媒体１１として、例えば、タンタル又は炭化タンタルを用いることができる。
【００２３】
触媒体１１は、その返し部分が上方となるように上下方向に反転された状態で触媒体ユニット４に装着されている。触媒体１１は、原料ガス供給管１０の外周の適宜の位置に設けられた絶縁体製のリング状のガイド１７に通されつつ下方に延び、その両端部（図では下端部）１１ａ、１１ｂは電極１５ごとの連結具１８を介して電極１５Ａ、１５Ｂに着脱自在に連結される。その装着状態で、触媒体１１の上端部、つまり返し部分は原料ガス供給管１０の上端よりも幾らか上方に突出する。ガイド１７は、触媒体１１の中間部分をその半径方向に関してほぼ定位置に保持するために設けられている。一方の電極１５Ａに取り付けられる連結具１８には、２本の触媒体１１の一方の端部１１ａが装着され、他方の電極１５Ｂに取り付けられる連結具１８には、２本の触媒体１１の他方の端部１１ｂが装着される。なお、以上で説明した触媒体ユニット４の構成は、容器３の内面への成膜に適した触媒体ユニットの一例である。触媒体ユニット４は、成膜対象物の成膜位置に応じて適宜の変形、変更が施されてよい。
【００２４】
次に、図４〜図６を参照して、チャンバ構造体２の詳細を説明する。なお、図４〜図６はチャンバ構造体２の奥行き方向に沿った垂直断面図であり、一組の容器３及び触媒体ユニット４を示している。他の組の容器３及び触媒体ユニット４に関しても図４〜図６と同様である。
【００２５】
図４に示すように、チャンバ構造体２は、その内部に成膜室２１と触媒室２２とを備えている。成膜室２１は、チャンバ構造体２に対する容器３の搬入及び搬出のために開閉される出入口部２３を上端に有している。成膜室２１は出入口部２３に通じかつ出入口部２３から搬入される容器３を受け入れる第１室の一例に相当し、触媒室２２は触媒体１１を真空圧環境に保持する第２室の一例に相当する。出入口部２３は不図示の扉機構により気密に閉じることが可能である。成膜室２１には、第１領域の一例としての成膜領域Ａ１と、その成膜領域Ａ１に対して上方に連なる第２領域の一例としての待機領域Ａ２とが設けられている。それにより、成膜室２１は一方の室の一例に相当し、触媒室２２は他方の室の一例に相当する。出入口部２３は待機領域Ａ２の上端部に位置し、容器３はその出入口部２３を介して待機領域Ａ２に対して搬入及び搬出される。チャンバ構造体２の奥行き方向（図４の左右方向）に関して、待機領域Ａ２は容器３の搬入及び搬出に必要な程度の大きさであればよい。
【００２６】
一方、成膜領域Ａ１は、待機領域Ａ２を真下に延長しつつさらにチャンバ構造体２の奥行き方向の背面側（図１における背面側である。）に拡大した大きさに形成されている。一例として、チャンバ構造体２の奥行き方向に関して、成膜領域Ａ１は待機領域Ａ２の２倍程度の広さに形成されている。成膜領域Ａ１もまた容器３を配置可能な大きさを有している。したがって、成膜室２１内において容器３は成膜領域Ａ１と待機領域Ａ２との間で上下方向に移動することができる（図５及び図６参照）。なお、領域Ａ１、Ａ２はチャンバ構造体２の上下方向に関して仕切られることなく一体的に連なっている。また、チャンバ構造体２の左右方向に関して、成膜室２１の内部は気密的な仕切部分を有しない一体に連なった単一の空間として設けられている。
【００２７】
触媒室２２は、触媒体ユニット４を真空圧環境に保持するために設けられている。触媒室２２は、成膜室２１の成膜領域Ａ１に対してチャンバ構造体２の奥行き方向前面側（図１における前面側である。）に偏って配置されている。言い換えれば、触媒室２２と成膜室２１の成膜領域Ａ１とはチャンバ構造体２の奥行き方向に連なり、成膜室２１の待機領域Ａ２は成膜領域Ａ１に対してチャンバ構造体２の上下方向に連なりかつ触媒室２２に体しては上下方向一方の側（上方）に偏って配置されている。この場合、奥行き方向は第１方向の一例に相当し、上下方向は奥行き方向と交差する第２方向の一例に相当する。成膜室２１の成膜領域Ａ１と触媒室２２との間には開口部２４が設けられ、その開口部２４を介して触媒室２２は成膜室２１の成膜領域Ａ１に連なっている。開口部２４は成膜室２１と触媒室２２との接続部の一例に相当する。チャンバ構造体２の左右方向に関して触媒室２２は気密的に仕切られることなく一体的に連なっている。それにより、全ての触媒体ユニット４は同一の触媒室２２に収容される。開口部２４は全ての触媒体ユニット４が一体的に通過可能な大きさに形成されている。成膜室２１の成膜領域Ａ１は触媒体ユニット４の配置が可能な大きさを有している。したがって、触媒室２２に配置された全ての触媒体ユニット４を、開口部２４を介して成膜室２１の成膜領域Ａ１へと移動させることが可能である（図５参照）。
【００２８】
成膜室２１の成膜領域Ａ１には隔壁２５が配置されている。隔壁２５は、開口部２４を開閉し、かつ触媒体ユニット４を触媒室２２と成膜室２１との間でチャンバ構造体２の奥行方向に沿って移動させる手段として設けられている。したがって、チャンバ構造体２の奥行き方向は隔壁２５の移動方向と一致する。隔壁２５は複数の板材を組み合わせた箱形構造として構成され、その内部は隔壁２５の外部に対して気密に仕切られている。隔壁２５の触媒室２２側に臨む前壁面２５ａは、隔壁２５の移動方向に対して直交する平面状に形成されることにより、隔壁２５の閉鎖面の一例として機能する。前壁面２５ａの外周縁部は、開口部２４の周囲を一周するように設けられたシール面２６とその全周に亘って密着可能である。シール面２６はチャンバ構造体２の奥行き方向であって成膜室２１の成膜領域Ａ１側を向く面として形成されている。さらに、隔壁２５の前壁面２５ａの外周縁部には、隔壁２５とシール面２６との間のシール効果を高めるためのシール部材２７が全周に亘って取り付けられている。なお、前壁面２５ａ及びシール面２６のそれぞれは隔壁２５の移動方向に対して直交していることを必ずしも要しない。隔壁２５の移動に伴って開口部２４の周囲で全周に亘って密着できるように設けられている限り、前壁面２５ａ及びシール面２６は隔壁２５の移動方向に対して斜めに傾くように設けられてもよい。
【００２９】
隔壁２５の後壁面２５ｂ側には複数本（一例として２本）の案内軸２８が取り付けられている。案内軸２８はチャンバ構造体２の左右方向に適宜の間隔を空けて配置されている。案内軸２８はチャンバ構造体２の奥行き方向に延ばされており、それらの先端部はチャンバ構造体２の外壁の一部である後壁２Ｒを貫いてチャンバ構造体２の外部に突出する。チャンバ構造体２の後壁２Ｒには案内軸２８が嵌まり合う円筒状の軸受３１が設けられている。軸受３１により、案内軸２８はチャンバ構造体２の奥行き方向に摺動可能な状態でチャンバ構造体２に支持されている。したがって、隔壁２５は案内軸２８と一体でチャンバ構造体２の奥行き方向に移動可能である。隔壁２５は、前壁面２５ａにて開口部２４を閉じる閉鎖位置（図４の位置）と、待機領域Ａ２の直下を超えて成膜領域Ａ１の後側（図４〜図６の右方）に後退した開放位置（図５及び図６の位置）との間をチャンバ構造体２の奥行き方向に沿って往復移動可能である。閉鎖位置では開口部２４が閉じられて触媒室２２が成膜室２１に対して気密に仕切られる。開放位置では、触媒室２２が開口部２４を介して成膜室２１の成膜領域Ａ１及び待機領域Ａ２と連なり、かつ開口部２４を介して触媒体ユニット４を触媒室２２から成膜室２１に移送するに十分な空間が成膜領域Ａ１に生じる。チャンバ構造体２の下部は、待機領域Ａ２が設けられるチャンバ構造体２の上部よりも奥行き方向後側（図４の右方）に拡張されている。それにより、チャンバ構造体２の内部には、隔壁２５が開放位置にあるとき、成膜領域Ａ１から隔壁２５がチャンバ構造体２の後側に後退することを許容する隔壁退避領域Ａ３が設けられている。隔壁退避領域Ａ３は、容器３を触媒体ユニット４に向けて移動させる際に隔壁２５と容器３とが干渉しないように隔壁２５を収容できる大きさであればよい。なお、案内軸２８と軸受３１との摺動部分は適宜のシール部材により気密にシールされる。
【００３０】
隔壁２５の前壁面２５ａには、各触媒体ユニット４を隔壁２５上にて保持するための触媒体保持部の一例としてのブラケット３２が取り付けられている。ブラケット３２には、触媒体ユニット４の例えばベースプレート１２が連結される。それにより、触媒体ユニット４は、隔壁２５が閉鎖位置にある場合は触媒室２２に位置し、隔壁２５が開放位置にある場合は成膜室２１の成膜領域Ａ１に位置するように、隔壁２５と連動してチャンバ構造体２の奥行き方向に移動することが可能である。案内軸２８はチャンバ構造体２の外部において不図示の駆動機構により軸線方向に往復駆動される。したがって、その駆動機構と隔壁２５とは位置変更手段における第１移動手段の一例として機能する。なお、隔壁２５を移動させるための駆動機構は、電動モータ等の駆動源が発生する回転運動を往復直線運動に変換して案内軸２８を駆動し、あるいは油圧又は空圧等の流体圧にて駆動されるアクチュエータが発生する往復直線運動を利用して案内軸２８を駆動するといった構成を適宜に採用してよい。
【００３１】
案内軸２８は中空であって、その内部空間の一端側はチャンバ構造体２の外部に通じ、他端側は隔壁２５の内部空間に通じている。触媒室２２には、触媒体ユニット４の原料ガス供給管１０に対するガス配管、あるいは触媒体１１（図３参照）に対する電気配線といった配管、配線類をチャンバ構造体２の外部から引き込む必要がある。それらの配管や配線類は案内軸２８の内部を介して隔壁２５の内部空間に引き込まれる。さらに、隔壁２５の前壁面２５ａには、ガス配管用の継手３３、あるいは電気配線用の中継具３４が適宜に取り付けられており（図２参照）、それらの継手３３及び中継具３４を介して隔壁２５の内部から触媒体ユニット４にガス配管や電気配線が導かれる。このように案内軸２８の内部を介して配管や配線類を触媒室２２まで導くことにより、チャンバ構造体２の内部にて隔壁２５や触媒体ユニット４が移動する構造であっても、チャンバ構造体２の外部から触媒室２２側まで比較的容易に配管、配線類を通すことができる。隔壁２５の移動に対して配管や配線類をフレキシブルに変形させる必要があるが、それらの変形は案内軸２８を超えてチャンバ構造体２の外部に延ばされる部分にて行われるようにすればよい。そのため、配管や配線類のレイアウトに関する自由度も高まる。なお、上述した配管や配線類は触媒体ユニット４に対する例に限定されず、触媒室２２内に配置されるべき各種の機器等に対するものであってもよい。また、継手３３及び中継具３４と前壁面２５ａとの連結部分は気密にシールされる。
【００３２】
成膜室２１の待機領域Ａ２側には、容器３を待機領域Ａ２に対して搬入及び搬出し、かつ容器３を待機領域Ａ２と成膜領域Ａ１との間で上下方向に往復移動させる容器搬送機構４０が設けられている。容器搬送機構４０は、全ての容器３を上下に反転した状態で一括して保持するプレート状の容器保持具４１と、その容器保持具４１の上面側に連結された一対のロッド４２とを備えている。容器保持具４１は各容器３をその口部が下方、つまり上下方向に関して触媒体ユニット４側に向けられた状態で保持する。ロッド４２は上下方向に延び、その上端側はチャンバ構造体２の不図示の扉機構を気密に貫いてチャンバ構造体２の外部上方まで延ばされている。
【００３３】
ロッド４２の上端部には、ロッド４２を上下方向に往復移動させる不図示の駆動機構が設けられている。駆動機構は、容器保持具４１に装着された容器３がチャンバ構造体２の上方に引き出された搬出位置と、容器３が成膜室２１の待機領域Ａ２に配置される搬入位置（図４及び図５の位置）と、容器３が成膜室２１の成膜領域Ａ１に配置される成膜位置（図６の位置）との間で容器保持具４１及びロッド４２を選択的に移動させる。それにより、容器搬送機構４０は搬送手段及び位置変更手段における第２移動手段の一例として機能する。なお、容器３が成膜領域Ａ１に移動したとき、触媒体ユニット４の原料ガス供給管１０及び触媒体１１は容器３の内部に挿入される。このときの触媒体１１と容器３との位置関係は、容器３の内面への成膜に適した位置関係の一例に相当する。ロッド４２の駆動機構は、案内軸２８を往復移動させる駆動機構と同様に、回転運動を発生する駆動源、あるいは直線運動を発生する駆動源を適宜に用いて構成することができる。
【００３４】
チャンバ構造体２の底壁２Ｂ及び前壁２Ｆには吸引口５、６が設けられている。吸引口５は成膜室２１の成膜領域Ａ１に通じ、吸引口６は触媒室２２に通じている。また、吸引口５、６は個別に真空ポンプ等の真空吸引手段と接続されている。それにより、成膜室２１及び触媒室２２のそれぞれに対して互いに独立して真空吸引を施すことが可能である。隔壁２５を閉鎖位置に移動させて開口部２４を閉鎖し、吸引口６から真空吸引することにより、触媒室２２を成膜室２１の圧力に関わりなく真空圧環境に設定し、触媒体ユニット４を真空圧環境下に保持することができる。一方、成膜室２１の出入口部２３を閉じた状態で吸引口５から真空吸引することにより、成膜室２１の全体を真空圧環境に設定することができる。その状態で隔壁２５を閉鎖位置と開放位置との間で移動させても、成膜室２１及び触媒室２２はいずれも真空圧環境に保持される。
【００３５】
図１にも示したように、チャンバ構造体２の前壁２Ｆには、全ての容器３又は触媒体ユニット４を観察できるように左右方向に延ばされた観察窓７、８が設けられている。観察窓７、８は耐圧性及び耐熱性を備えた透明材料にて形成され、それぞれの外周は全周に亘ってシールされている。観察窓７、８はチャンバ構造体２の内部にて行われる各種の処理を外部から観察するために設けられている。
【００３６】
次に、成膜装置１の動作を説明する。成膜に備えて容器３をチャンバ構造体２に搬入する段階では、隔壁２５が図４の閉鎖位置に移動して触媒室２２が成膜室２１に対して閉じられるとともに触媒体ユニット４が触媒室２２に閉じ込められる。触媒室２２に対しては吸引口６からの真空引きが適宜実施され、それにより触媒体ユニット４が真空圧環境下に保持される。このような状態で、出入口部２３の扉機構が開かれ、容器搬送機構４０により成膜室２１の待機領域Ａ２へと容器３が搬入される。このときの状態が図４に示されている。
【００３７】
容器３の搬入後、出入口部２３が扉機構にて閉じられ、吸引口５から真空引きが行われて成膜室２１の内部が成膜に適した真空圧環境に設定される。その後、隔壁２５が閉鎖位置から開放位置へと移動し、それに伴って触媒体ユニット４が待機領域Ａ２の容器３と上下方向に対向するようにする。このときの状態が図５に示されている。続いて、出入口部２３が扉機構にて閉じられた状態を維持しつつ、容器搬送機構４０により成膜室２１の待機領域Ａ２から成膜領域Ａ１へと容器３が搬送される。それにより、触媒体ユニット４の原料ガス供給管１０及び触媒体１１は容器３の内部へと挿入される。このときの状態が図６に示されている。以上により成膜の準備が完了する。この後、原料ガス供給管１０から成膜の原料ガスが供給されるとともに、触媒体１１が通電されて触媒体１１が所定の成膜温度域まで加熱される。それにより、容器３への成膜が進行する。
【００３８】
成膜が完了すると、原料ガスの供給及び触媒体１１への通電が停止される。その後、出入口部２３が閉じられた状態で容器３が成膜領域Ａ１から待機領域Ａ２へと搬送される（図６から図５への変化に相当する。）。続いて、隔壁２５が開放位置から閉鎖位置へと移動し、それにより触媒室２２の開口部２４が閉じられて触媒室２２と成膜室２１との間が遮断され、触媒体ユニット４が触媒室２２に閉じ込められる（図５から図４への変化に相当する。）。この間、成膜室２１及び触媒室２２はいずれも真空圧環境に維持されている。その後、出入口部２３の扉機構が開かれて成膜室２１が大気圧へと開放される。触媒室２２は真空圧環境のままであり、成膜室２１を開放しても触媒体１１が大気圧に晒されるおそれはない。成膜室２１の大気圧への開放後、容器搬送機構４０により容器３が待機領域Ａ２からチャンバ構造体２の外部へと搬出される。この後、次の成膜対象の容器３が待機領域Ａ２へと搬入され、以降、同様の手順で成膜が繰り返される。
【００３９】
以上の成膜装置１によれば、チャンバ構造体２の内部に成膜室２１及び触媒室２２の二室を設け、成膜対象物の一例としての容器３の搬入及び搬出に伴って成膜室２１を大気圧に開放された状態と真空圧に減圧された状態との間で切り替えても、触媒室２２を真空圧環境に保持してその内部に収容された触媒体１１の酸化等に起因する劣化の進行を抑えることができる。成膜室２１の成膜領域Ａ１と触媒室２２とはチャンバ構造体２の奥行き方向に連なっており、その方向をシール方向とすれば、シール方向と隔壁２５の移動方向とが一致する。したがって、隔壁２５の移動方向に向けられた前壁面２５ａの外周縁部をこれに対向するシール面２６と密着させる構造により開口部２４をシールすることができる。隔壁２５によるシール構造は一般的な弁構造のそれと同様である。したがって、成膜室２１と触媒室２２との間のシール構造の簡素化、あるいはシール性能の信頼性向上といった作用効果が得られる。
【００４０】
上述した第１の形態に対しては適宜の変形が可能である。例えば、隔壁２５の移動方向に向けられたシール面２６に対して隔壁２５の前壁面２５ａの外周縁部を密着させるシール構造に代えて、又は加えて、開口部２４の周囲に隔壁２５の外周面よりも一回り大きな枠状の突出部を形成してその内周面をシール面とし、隔壁２５が閉鎖位置にあるときにその突出部のシール面を隔壁２５の外周面と全周に亘って密着させてもよい。あるいは、開口部２４の周囲に枠状の突出部を形成してその外周面をシール面とし、隔壁２５が閉鎖位置にあるときにその突出部の外周側に嵌り合う凹部を前壁面２５ａに形成し、その凹部の内周面を開口部２４側の突出部のシール面と全周に亘って密着させてもよい。つまり、隔壁２５を用いたシール構造は、隔壁２５の移動方向に向けてシール面を配置する軸方向シール構造に限られず、隔壁２５の半径方向にシール面を配置する半径方向シール構造であってもよい。上記の形態では、成膜時に容器３の内部に触媒体１１等を挿入するものとしたが、成膜時における触媒体１１と容器３との位置関係は、容器３に対する成膜対象箇所、容器３の形状等に応じて適宜に変更されてよい。
【００４１】
上記の形態では、隔壁２５に触媒体ユニット４を取り付けて、触媒体ユニット４を隔壁２５と一体的に移動させているので、隔壁２５を第１移動手段として機能させ、それにより、隔壁２５の駆動と触媒体ユニット４の移動とに必要な構成を簡素化できる利点がある。ただし、第１移動手段はそのような例に限定されない。例えば、隔壁２５を移動させる機構とは別に触媒体ユニット４をチャンバ構造体２の奥行き方向、言い換えれば隔壁２５の移動方向と同一方向に移動させる機構を別に設け、当該機構を第１移動手段として機能させてもよい。
【００４２】
上記の形態では、容器３をチャンバ構造体２に対して搬入及び搬出するための容器搬送機構４０を用いて容器３を待機領域Ａ２と成膜領域Ａ１との間で往復移動させ、それにより容器搬送機構４０を第２移動手段として機能させているので、容器３と触媒体１１とを成膜に適した位置関係に配置するために必要な構成を簡素化できる利点がある。ただし、第２移動手段はそのような例に限定されない。例えば、触媒体ユニット４を上下方向に移動させる機構を隔壁２５と触媒体ユニット４との間に第２移動手段として設け、触媒室２２から成膜室２１に移送された触媒体ユニット４を容器３に向かって移動させることにより触媒体１１を容器３の内部に挿入するようにしてもよい。あるいは、容器３及び触媒体ユニット４の両者を移動させるように第２移動手段が構成されてもよい。
【００４３】
上記の形態では、第１室の一例としての成膜室２１内に成膜領域Ａ１及び待機領域Ａ２を設け、第２室の一例としての触媒室２２から成膜領域Ａ１に触媒体ユニット４を移動させることにより、容器３及び触媒体ユニット４を同一の成膜室２１に位置させるものとしたが、第２室側に第１領域及び第２領域を設け、第１室に搬入された成膜対象物を第１室から第２室の第１領域へと移動させることにより、成膜対象物と触媒体とを同一の第２室に位置させることも可能である。そのような変形例を図７Ａ〜図７Ｃに示す。なお、図７Ａ〜図７Ｃの変形例は、図４〜図６の形態を変更したものであって、図７Ａは図４に対応する状態を、図７Ｂは図５に対応する状態を、図７Ｃは図６に対応する状態をそれぞれ示している。
【００４４】
図７Ａ〜図７Ｃに示した成膜装置１Ａにおいては、図４〜図６の触媒室２２に代えて第１室の一例としての待機室２１Ａが設けられ、図４〜図６の成膜室２１に代えて第２室の一例としての触媒室２２Ａが設けられている。また、触媒室２２には、待機室２１Ａに開口部２４を介してチャンバ構造体２Ａの奥行き方向（図７Ａ〜図７Ｃの左右方向）に連なるようにして第１領域の一例としての成膜領域Ａ１が設けられ、その成膜領域Ａ１の上方に連なるようにして第２領域の一例としての待機領域Ａ２が設けられている。したがって、触媒室２２Ａは一方の室の一例に相当し、待機室２１Ａは他方の室の一例に相当する。待機室２１Ａの適宜の位置には出入口部が設けられ、容器３はその出入口部を介して待機室２１Ａに対して搬入及び搬出される。容器３は、その口部が上方、すなわち待機室Ａ２に位置する触媒体ユニット４の側に向けられた状態で搬入及び搬出される。一方、触媒室２２Ａの待機領域Ａ２には、容器３に代えて触媒体ユニット４がその先端部を下方に向けるようにして配置される。つまり、図７Ａ〜図７Ｃの変形例における待機領域Ａ２は触媒体ユニット４を待機させる領域として位置付けられている。
【００４５】
隔壁２５は、チャンバ構造体２Ａの奥行き方向に延ばされた案内軸２８を介してチャンバ構造体２Ａに支持されている。それにより、隔壁２５は、開口部２４を閉じる閉鎖位置（図７Ａの位置）と、開口部２４を開いて成膜領域Ａ１及び待機領域Ａ２が開口部２４を介して待機室２１Ａと通じるように閉鎖位置からチャンバ構造体２Ａの奥行き方向に沿って後退した開放位置（図７Ｂ及び図７Ｃの位置）との間を移動可能である。待機室２１Ａに搬入された容器３は隔壁２５上に保持される。それにより、容器３は隔壁２５と一体的に移動し、隔壁２５が閉鎖位置にある場合は容器３が待機室２１Ａに、隔壁２５が開放位置にある場合は容器３が成膜領域ａ１に位置する。この場合にも、奥行き方向が第１方向の一例に相当し、隔壁２５が第１移動手段の一例として機能する。成膜装置１Ａには、触媒体ユニット４を成膜領域Ａ１と待機室Ａ２との間で上下方向に沿って移動させる触媒体搬送機構５０が設けられている。チャンバ構造体２Ａの上下方向は第２方向の一例に相当し、触媒体搬送機構５０は第２移動手段の一例として機能する。
【００４６】
以上の変形例においては、図７Ａに示すように隔壁２５を閉鎖位置に移動させて開口部２４を閉じることにより、触媒室２２Ａを真空圧環境に保持しつつ、待機室２１Ａを開閉して容器３の搬入及び搬出を行うことができる。また、待機室２１Ａの出入口部を閉じて待機室２１Ａに対して真空吸引を施し、その後に図７Ｂに示したように隔壁２５を開放位置に移動させることにより、待機室２１Ａ及び触媒室２２Ａのそれぞれを真空圧環境に設定し、触媒室２２Ａ内で容器３と触媒体ユニット４とを上下方向に対向させることができる。さらに、図７Ｃに示すように、触媒体搬送機構５０により触媒体ユニット４を容器３に向けて下方に移動させることにより、触媒体ユニット４を容器３の内部に挿入し、容器３の内面への成膜を開始することができる。成膜後は上記と逆の手順で触媒体ユニット４を待機領域Ａ２移動させ、隔壁２５を閉鎖位置に移動させて触媒室２２Ａを待機室２１Ａに対して気密に仕切り、その後に待機室２１Ａを大気圧に開放して容器３を搬出することができる。
【００４７】
図７Ａ〜図７Ｃの変形例においても、待機室２１Ａと触媒室２２Ａとの間のシール方向と、両室２１Ａ、２２Ａとの間を開閉する隔壁２５の移動方向とが一致する。したがって、図４〜図６に示した形態と同様に、待機室２１Ａと触媒室２２Ａとの間のシール構造の簡素化、あるいはシール性能の信頼性向上といった作用効果が得られる。
【００４８】
なお、図７Ａ〜図７Ｃの変形例においても、第１移動手段は隔壁２５を利用する例に限らず、隔壁２５を移動させる機構とは別の機構により容器３を移動させてもよい。第２移動手段も、触媒体ユニット４を上下方向に移動させる例に限らず、触媒体ユニット４に代えて、又は加えて容器３を上下方向に移動させる機構が第２移動手段として設けられてもよい。
【００４９】
以上の形態及び変形例において、第１領域は、隔壁を閉鎖位置と開放位置との間で移動させ、かつその隔壁が開放位置に移動した場合には触媒体又は成膜対象物のいずれか一方を他方と同一の室（一方の室）に移動させるための領域であればよい。成膜時には、成膜対象物及び触媒体が第１領域又は第２領域のいずれにあってもよく、あるいはそれらの領域の中間的な位置に成膜対象物が置かれてもよい。つまり、第１領域にて成膜が行われることは必須ではない。
【００５０】
上記の形態及び変形例では、チャンバ構造体の奥行き方向を第１方向に設定し、チャンバ構造体の上下方向を第２方向に設定したが、それらは一例であって、他の方向が第１方向又は第２方向として設定されてもよい。また、第１方向と第２方向とは互いに直交する方向に設定されることを必ずしも必要としない。第１領域においては触媒体又は成膜対象物のいずれか一方と隔壁とが第１方向に沿って移動する。その移動の障害を排除するためには、触媒体又は成膜対象物のいずれか他方が第１領域に対して第１方向と交差する方向にずれた位置に保持されるように第２方向を設定してその方向に偏った位置に第２領域があればよい。また、成膜対象物と触媒体とを成膜に適した位置関係に配置するために両者間に与えるべき相対運動に合わせて第２方向を設定すればよく、それらの観点からは第１方向に対して斜めに傾くように第２方向が設定されるといった変形も許容されるものである。
【００５１】
（第２の形態）
図８〜図１１は本発明の第２の形態に係る成膜装置６１を示している。図８は図４に対応する断面図、図９は図５に対応する断面図、図１０は図６に対応する断面図である。また、図１１は成膜対象物としての容器をチャンバ構造体内に搬入し、又はチャンバ構造体外に搬出するときの状態を示す断面図である。なお、図示の成膜装置６１においては、第１の形態の成膜装置１と同様に、成膜対象物としての複数の容器３及び同数の触媒体ユニット４が紙面と直交する方向（成膜装置６１の左右方向）にそれぞれ一列に並べてチャンバ構造体６２の内部に収容される。
【００５２】
第２の形態の係る成膜装置６１の要点は、チャンバ構造体６２の内部に配置された隔壁６３を、チャンバ構造体６２上端の出入口部６４に通じかつ出入口部６４から搬入される容器３を受け入れる第１室の一例としての待機室６５と、触媒体ユニット４を真空圧環境に保持する第２室の一例としての触媒室６６とに気密に仕切る閉鎖位置（図８及び図１１に実線で示す位置）と、待機室６５と触媒室６６とを相互に通じさせてチャンバ構造体６２の内部を一つの連続した空間に変化させる開放位置（図９及び図１０に実線で示す位置）との間で移動可能に設けるとともに、待機室６５に対して容器３を搬入及び搬出するための容器搬送機構４０により容器３をその口部が下を向いた反転状態で搬送することにより、触媒体ユニット４を移動させることなく容器３と触媒体１１（図３参照）との位置関係を、触媒体１１が容器３の内部に挿入された成膜状態に設定できるように、触媒体ユニット４を容器３と同軸上に位置するようにしてチャンバ構造体６２の内部に固定的に装着したことにある。待機室６５と触媒室６６とは隔壁６３の移動方向に対して略直交する方向（上下方向）に並べて配置される。
【００５３】
隔壁６３は第１の形態の隔壁２５と同様に、閉鎖位置と開放位置との間を第１方向の一例としてのチャンバ構造体６２の奥行き方向に沿って往復移動可能な状態でチャンバ構造体６２に装着されている。チャンバ構造体６２の外部には、隔壁６３を直線的に往復移動させるための直線運動型の駆動装置６７が設けられている。駆動装置６７は一例として空気圧シリンダであるが、直線運動を発生する各種の駆動装置が利用されてよい。
【００５４】
チャンバ構造体６２の内部でかつ待機室６５の下方には仕切壁６８が設けられている。仕切壁６８は、閉鎖位置の隔壁６３と協働して触媒室６６をチャンバ構造体６２の内部に生じさせるために設けられている。仕切壁６８は隔壁６３の移動方向から見て例えば方形枠状である。触媒体ユニット４は、待機室６５に上下反転状態で搬入される容器３と同軸上に並ぶように位置決めされて仕切壁６８の内部に固定的に取り付けられている。
【００５５】
図９及び図１０から明らかなように、仕切壁６８の隔壁６３と対向する側の端面には、仕切壁６８の開口部６８ｃを取り囲むようにしてシール面６８ａが設けられている。シール面６８ａは、待機室６５から下方に離れるほど隔壁６３の開放位置側に突出するように隔壁６３の移動方向に対して斜めに傾けられている。シール面６８ａの内側には、触媒体ユニット４を収容するに十分なスペースが触媒室６６内に確保されるように、隔壁６３と反対側に窪む凹部６８ｂが設けられている。一方、隔壁６３の仕切壁６８と対向する側の前壁面（閉鎖面の一例である。）６３ａは、仕切壁６８のシール面６８ａに対して相補的に傾けられている。すなわち、前壁面６３ａは、上下方向に関して待機室６５側に近付くほど隔壁６３の閉鎖位置側に突出するように隔壁６３の移動方向に対して斜めに傾けられている。したがって、前壁面６３ａ及びシール面６８ａは隔壁６３の移動方向に対して斜めに交差する平面に沿うように形成されており、前壁面６３ａ及びシール面６８ａの法線方向（図９及び図１０に矢印Ｓで示す方向）もまた第１方向の一例である隔壁６３の移動方向に対して斜めに傾いている。この場合、矢印Ｓで示す法線方向に対して直交する方向が第２の方向の一例に相当する。前壁面６３ａは隔壁６３の移動方向から見て仕切壁６８のシール面６８ａと同形同大の枠状である。前壁面６３ａの内側には、触媒体ユニット４を収容するに十分なスペースが触媒室６６内に仕切壁６８の凹部６８ｂと協働して確保されるように、開放位置側に窪む凹部６３ｂが設けられている。
【００５６】
図８及び図１１に示すように、隔壁６３が閉鎖位置に移動したとき、前壁面６３ａの外周縁部と仕切壁６８のシール面６８ａとは全周に亘って密着する。それにより、仕切壁６８の開口部６８ｃが閉じられて待機室６５と触媒室６６とが気密に仕切られる。一方、図９及び図１０に示すように、隔壁６３が開放位置へと移動した場合には、前壁面６３ａがシール面６８ａから離れて触媒室６６がシール面６８ａに沿った位置で分割されるように開かれ、待機室６５と触媒室６６とがシール面６８ａの内側の開口部６８ｃを介して相互に通じる。つまり、開口部６８ｃは待機室６５と触媒室６６との間の接続部として機能する。なお、チャンバ構造体６２の下部は、待機室６５が設けられる上部よりも奥行き方向後側（図８の右方）に拡張されている。それにより、チャンバ構造体２の内部には、隔壁６３が開放位置にあるとき、待機室６５の下方から隔壁６３がチャンバ構造体６２の後側に後退することを許容する隔壁退避領域Ａ３が設けられている。隔壁退避領域Ａ３は、容器３を触媒体ユニット４に向けて移動させる際に隔壁６３と容器３とが干渉しないように隔壁６３を収容できる大きさであればよい。隔壁６３が開放位置に移動した状態において、チャンバ構造体６２の内部は、第１の形態のチャンバ構造体２と同様に、下部の成膜領域Ａ１と、その成膜領域Ａ１に対して上下方向に連なる待機領域Ａ２と、成膜領域Ａ１に対して奥行き方向後側に偏った隔壁退避領域Ａ３とが一体に連なった単一空間となる（図９及び図１０参照）。
【００５７】
以上の成膜装置６１によれば、隔壁６３を閉鎖位置に移動させることにより、触媒体ユニット４を触媒室６６内にて真空環境に保持しつつ、出入口部６４を介して容器３を待機室６５に搬入し、又は待機室６５から搬出することができる。つまり、隔壁６３を閉鎖位置に置くことにより容器３と触媒体１１との位置関係を待機状態に設定することができる。隔壁６３を開放位置に移動させ、容器搬送機構４０にて容器３を下方に移送するだけで容器３と触媒体１１との位置関係を、容器３内に触媒体１１が挿入された成膜状態に設定することができる。したがって、容器搬送機構４０は位置変更手段として機能する。第１の形態のように、触媒体ユニット４を第１方向の一例としてのチャンバ構造体６２の奥行き方向に移動させる必要はない。そのため、触媒体ユニット４に対する配線あるいは配管は、チャンバ構造体６２の接続口部６９を利用して行えば足りる。例えば、触媒体ユニット４の一部を接続口部６９からチャンバ構造体６２の外部に露出させ、その露出部分に対して配線や配管を接続すればよい。したがって、接続口部６９のシールが容易であり、かつ配線や配管に変位が加わらないので、それらの取り回しも容易である。なお、成膜装置６１において、待機室６５及び触媒室６６は互いに独立して真空引き可能とされる点は第１の形態と同様である。
【００５８】
なお、図８〜図１１には、容器搬送機構４０が詳しく示されているため、これについても説明する。図８〜図１１に示す容器搬送機構４０は、容器３を図１１に示す搬出位置、図８及び図９に示す搬出位置、及び図１０に示す成膜位置の間で移動させる搬送手段及び位置変更手段として機能するのみならず、出入口部６４を開閉する扉機構としても機能するように設けられている。容器搬送機構４０には、上下方向に反転された容器３の口部を保持する容器保持具４１及びその容器保持具４１と連結された上下方向のロッド４２が設けられるとともに、それらの容器保持具４１及びロッド４２を移動させる駆動機構４３が設けられている。駆動機構４３は、上下方向に延ばされたスライダベース４４と、スライダベース４４に対して上下方向に移動可能に取り付けられたスライダ４５と、スライダベース４４の下端側に取り付けられたガイド４６とを備えている。
【００５９】
スライダ４５はロッド４２の上端部と連結され、それによりスライダ４５とロッド４２とは上下方向に一体的に移動する。ロッド４２はガイド４６を上下方向に貫いて下方に突出し、その下端部は容器３の底部を保持するホルダ４７と連結されている。ガイド４６とロッド４２との間は気密にシールされている。さらに、ガイド４６の下面側にはチャンバ構造体６２の出入口部６４を閉鎖可能な形状及び大きさの蓋部材４８が取り付けられている。図示を省略したが、容器搬送機構４０には、蓋部材４８、並びにこれに連結されたガイド４６及びスライダベース４４を上下方向に移動させる第１駆動装置と、スライダベース４４に対してスライダ４５を上下方向に移動させる第２駆動装置とが設けられている。それらの駆動装置には、直線運動を発生する各種の駆動装置を用いてよい。例えば、空気圧シリンダ、直線運動型の電動モータ等を駆動装置として用いることができる。
【００６０】
以上の容器搬送機構４０によれば、図１１に示すように出入口部６４から蓋部材４８並びにこれに連結されたガイド４６及びスライダベース４４を上方に移動させることにより、チャンバ構造体６２の内部を開放し、かつ容器３を搬出位置に保持することができる。次に、図１１の状態から蓋部材４８並びにこれに連結されたガイド４６及びスライダベース４４を下方に移動させることにより、図８及び図９に示すように容器３を待機室６５に搬入し、かつ蓋部材４８をチャンバ構造体６２の上端部に押し付けて出入口部６４を閉じることができる。さらに、図９の状態からスライダ４５並びにこれに連結されたロッド４２、ホルダ４７及び容器保持具４１をスライダベース４４に対して下方に移動させることにより、出入口部６４を閉じたままの状態で容器３をその内部に触媒体１１（図３参照）が挿入された成膜位置へと移動させることができる。なお、ここで説明した容器搬送機構４０は、第１の形態における容器搬送機構４０としても用いることが可能である。
【００６１】
第２の形態においても、待機室６５と触媒室６６とを相互に入れ替えた変形が可能である。例えば、図８の待機室６５の位置に触媒体ユニット４をその触媒体１１が下方を向くように固定的に配置し、触媒室６６の位置に容器３をその口部が上を向くようにして配置する変形が可能である。その場合、容器搬送機構４０はチャンバ構造体６２の下面側に配置し、かつ出入口部６４もチャンバ構造体６２の下面側に設ければよい。図８では隔壁６３の前壁面６３ａの外周縁部をシール面６８ａと密着させる軸方向シール構造としたが、そのような軸方向シール構造に代えて、又は加えて、第１の形態と同様に、前壁部６５ａを仕切壁６８の内周側、又は外周側に嵌め合わせて隔壁６３の外周面又は内周面を仕切壁６８の内周面又は外周面上のシール面と密着させるいわゆる半径方向シール構造が採用されてもよい。
【００６２】
上述した各形態及び変形例では、ボトル状の容器を成膜対象物としたが、本発明の成膜対象物はこれに限定されず、各種の形状の容器が成膜対象物として選択されよく、さらに容器以外の物品が成膜対象物として選択されてもよい。成膜状態における成膜対象物と触媒体との位置関係も、成膜対象物の形状、成膜位置といった成膜条件に応じて適宜に変更されてよい。
【符号の説明】
【００６３】
１、１Ａ  成膜装置
２、２Ａ  チャンバ構造体
３  容器（成膜対象物）
４  触媒体ユニット
１１  触媒体
２１  成膜室（第１室）
２１Ａ  待機室（第１室）
２２、２２Ａ  触媒室（第２室）
２３  出入口部
２４  開口部
２５  隔壁（第１移動手段）
２５ａ  前壁面（閉鎖面）
２６  シール面
２７  シール部材
２８  案内軸
３２  ブラケット（触媒体保持部）
４０  容器搬送機構（搬送手段、第２移動手段）
５０  触媒体搬送機構（第２移動手段）
６１  成膜装置
６２  チャンバ構造体
６３  隔壁
６３ａ  前壁面（閉鎖面）
６５  待機室（第１室）
６６  触媒室（第２室）
６８  仕切壁
６８ａ  シール面
６８ｃ  開口部（接続部）
Ａ１  成膜領域（第１領域）
Ａ２  待機領域（第２領域）
Ａ３  隔壁退避領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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