(57)【要約】【課題】流路に電気伝導度計の電極を設けた場合に、当該電極が流路の流動を妨げないようにする。【解決手段】流体が流れる内部流路２ｒが形成された筒状をなす２つの電極２１、２２と、２つの電極２１、２２の内部流路２ｒを互いに連通させるとともに、２つの電極２１、２２を保持する電極ホルダ３１とを備え、電極ホルダ３１は、２つの電極２１、２２の互いに対向する軸方向端部２ｘ、２ｙそれぞれの外側周面に係止して２つの電極２１、２２を保持している。【選択図】図１
2018072242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の電気伝導度を測定する電気伝導度計であって、
流体が流れる内部流路が形成された筒状をなす少なくとも２つの電極と、
前記少なくとも２つの電極の内部流路を互いに連通させるとともに、前記少なくとも２つの電極を保持する電極ホルダとを備え、
前記電極ホルダは、前記少なくとも２つの電極の互いに対向する軸方向端部それぞれの外側周面に係止して前記少なくとも２つの電極を保持している電気伝導度計。
【請求項２】
前記電極ホルダは、前記互いに対向する軸方向端部の間に位置するスペーサ部と、前記互いに対向する軸方向端部それぞれの外側周面を囲む２つの筒状部とを備える、請求項１記載の電気伝導度計。
【請求項３】
前記スペーサ部は、前記軸方向端部の周方向全体に亘って形成されており、
前記スペーサ部の内側周面と前記電極の内側周面とが略同一面上に位置している、請求項２記載の電気伝導度計。
【請求項４】
前記少なくとも２つの電極は、カーボン製のものである、請求項１乃至３の何れか一項に記載の電気伝導度計。
【請求項５】
前記少なくとも２つの電極及び前記電極ホルダを収容するとともに、前記流体を導入する導入路及び前記流体を導出する導出路を有する収容ブロックをさらに備える、請求項１乃至４の何れか一項に記載の電気伝導度計。
【請求項６】
前記電極ホルダが前記収容ブロックに位置決めされるとともに、前記内部流路が前記導入路及び前記導出路に連通する、請求項５記載の電気伝導度計。
【請求項７】
流路を流れる流体に接触するように設けられた電極を有する電気伝導度計であって、
前記流路が内部に形成された流路ブロックを備え、
前記流路ブロックは、前記流路に連通するとともに前記電極が設けられる貫通孔を有しており、
前記貫通孔の内面は、前記電極の流路側端面が係止する係止部と、当該係止部よりも前記流路側において前記流路側に向かうに連れて拡開している拡開部とを有している電気伝導度計。
【請求項８】
流路を流れる流路に接触するように設けられた電極を有する電気伝導度計であって、
前記流路が内部に形成された流路ブロックを備え、
前記流路ブロックは、前記流路に連通するとともに前記電極が取り付けられる貫通孔を有しており、
前記貫通孔の内面は、前記電極の流路側端面が係止する係止部を有しており、
前記電極は、前記係止部よりも前記流路側に突出する突出部を有している電気伝導度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも２つの電極間における液体試料の電気伝導度を測定する電気伝導度計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造プロセスに用いられる薬液の濃度をコントロールするために、薬液の電気伝導度を測定する電気伝導度計が用いられている。
【０００３】
この電気伝導度計は、特許文献１に示すように、棒状をなす一対の電極と、当該一対の電極を支持する電極支持部材とを有し、その一対の電極を、薬液等の流体が流れる流路に突出させることで、一対の電極が流体に接触するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１３２７７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、半導体製造プロセスのＣＭＰ等に用いられるスラリーの濃度を測定する場合には、流路に突出した一対の電極がスラリーの流動を妨げてしまい、当該一対の電極又はその周囲の液溜まり部分にスラリーが残留し、固着する可能性がある。電極に固着したスラリーは測定誤差の原因になるだけでなく、流路の洗浄を頻繁に行う必要が生じてしまう。
【０００６】
そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためになされたものであり、流路に電気伝導度計の電極を設けた場合に、当該電極が流体の流動を妨げないようにすることをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち本発明に係る電気伝導度計は、流体の電気伝導度を測定する電気伝導度計であって、流体が流れる内部流路が形成された筒状をなす少なくとも２つの電極と、前記少なくとも２つの電極の内部流路を互いに連通させるとともに、前記少なくとも２つの電極を保持する電極ホルダとを備え、前記電極ホルダは、前記少なくとも２つの電極の互いに対向する軸方向端部それぞれの外側周面に係止して前記少なくとも２つの電極を保持していることを特徴とする。
【０００８】
このようなものであれば、筒状をなす２つの電極により流体が流れる流路を形成しており、従来のように流路に電極を突出させる構造ではないので、電極が流体の流動を妨げにくくなる。これにより、流体がスラリーであっても、電極又はその周囲の液溜まり部分にスラリーが残留し、固着する可能性を低減できる。また、２つの電極を共通の電極ホルダで保持することにより、組み立て性も向上させることができるとともに、部品の共通化が図れる。
【０００９】
前記電極ホルダは、前記互いに対向する軸方向端部の間に位置するスペーサ部と、前記互いに対向する軸方向端部それぞれの外側周面を囲む２つの筒状部とを備えることが望ましい。
この構成であれば、２つの電極が電極ホルダのスペーサ部によって流路方向の距離が規定されるとともに、２つの筒状部によって中心軸の位置決めがされているので、測定精度を向上させることができる。また、筒状部が軸方向端部の外側周面を囲むので、電極ホルダによる電極の係止を確実にすることができる。
【００１０】
流体に含まれる固体粒子が２つの電極の間に残留しないようにするためには、前記スペーサ部は、前記軸方向端部の周方向全体に亘って形成されており、前記スペーサ部の内側周面と前記電極の内側周面とが略同一面上に位置していることが望ましい。ここで、略同一面上に位置するとは、固体粒子が残留しない又は残留しても測定誤差が無視できる程度に、スペーサ部の内側周面と電極の内側周面とが同一面上に位置していることを意味する。
【００１１】
流体に対して耐腐食性を持たせるためには、前記少なくとも２つの電極は、カーボン製のものであることが望ましい。
【００１２】
電気伝導度計の具体的な実施の態様としては、電気伝導度計が前記２つの電極及び前記電極ホルダを収容するとともに、前記流体を導入する導入路及び前記流体を導出する導出路を有する収容ブロックをさらに備えることが考えられる。この構成において、収容ブロックに対する２つの電極の位置決めを容易にするためには、前記電極ホルダが前記収容ブロックに位置決めされるとともに、前記内部流路が前記導入路及び前記導出路に連通することが望ましい。
【００１３】
また、本発明に係る電気伝導度計は、流路を流れる流体に接触するように設けられた電極を有する電気伝導度計であって、前記流路が内部に形成された流路ブロックを備え、前記流路ブロックは、前記流路に連通するとともに前記電極が設けられる貫通孔を有しており、前記貫通孔の内面は、前記電極の流路側端面が係止する係止部と、当該係止部よりも前記流路側において前記流路側に向かうに連れて拡開している拡開部とを有していることを特徴とする。
【００１４】
このようなものであれば、電極が設けられる貫通孔の内面が、電極が係止する係止部よりも流路側において流路側に行くに連れて拡開している拡開部を有しているので、電極の流路側端面の前方に形成される空間であって流体が滞留する空間を削減することができ、流体の流動を妨げにくくすることができる。これにより、流体がスラリーであっても、電極又はその周囲の液溜まり部分にスラリーが残留し、固着する可能性を低減できる。
【００１５】
さらに、本発明に係る電気伝導度計は、流路を流れる流体に接触するように設けられた電極を有する電気伝導度計であって、前記流路が内部に形成された流路ブロックを備え、前記流路ブロックは、前記流路に連通するとともに前記電極が取り付けられる貫通孔を有しており、前記貫通孔の内面は、前記電極の流路側端面が係止する係止部を有しており、前記電極は、前記係止部よりも前記流路側に突出する突出部を有していることを特徴とする。
【００１６】
このようなものであれば、電極が設けられる貫通孔の内面が、電極が係止する係止部を有し、電極が、前記係止部よりも前記流路側に突出する突出部を有しているので、電極の流路側端面の前方に形成される空間であって流体が滞留し得る空間を削減することができ、流体の流動を妨げにくくすることができる。これにより、流体がスラリーであっても、電極又はその周囲の液溜まり部分にスラリーが残留し、固着する可能性を低減できる。
【発明の効果】
【００１７】
このように構成した本発明によれば、電極が流体の流動を妨げないようにすることができる。これにより、流体に含まれる固体粒子を電極又は電極の周囲に残留しにくくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１実施形態の電気伝導度計の構成を模式的に示す断面図である。
【図２】同実施形態の２つの電極と電極ホルダとの関係を示す断面図である。
【図３】第２実施形態の電気伝導度計の構成を模式的に示す断面図である。
【図４】同実施形態のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】貫通孔近傍の構成を示す部分拡大断面図である。
【図６】第３実施形態の電気伝導度計の構成を模式的に示す断面図である。
【図７】同実施形態のＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】貫通孔近傍の構成を示す部分拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
＜第１実施形態＞
本発明に係る電気伝導度計の第１実施形態について図面を参照して説明する。
【００２０】
第１実施形態に係る電気伝導度計１００は、例えば半導体製造プロセスにおけるＣＭＰ等に用いられるシリカ系やセリア系のスラリーといった流体（以下、液体試料）の濃度を測定する際に用いられるものであり、少なくとも２つの電極間における液体試料の電気伝導度を測定して液体試料の電気伝導率（Ｓ／ｍ（ジーメンス毎メートル））を算出するものである。なお、本電気伝導度計１００は、ＣＭＰ以外の半導体製造プロセスに用いられる薬液の濃度測定に使用することもできる。
【００２１】
具体的にこの電気伝導度計１００は、図１に示すように、液体試料が流れる内部流路２ｒが形成された円筒状をなす３つの電極２１〜２３と、これら３つの電極２１〜２３の内部流路２ｒを互いに連通させるとともに３つの電極２１〜２３を保持する２つの電極ホルダ３１、３２と、当該３つの電極２１〜２３及び２つの電極ホルダ３１、３２を収容する収容ブロック４とを備えている。
【００２２】
３つの電極２１〜２３はそれぞれ、液体試料に対して耐腐食性を有する材料から形成されており、本実施形態では例えばグラッシーカーボンやプラスチックフォームドカーボン等のカーボン製である。また、３つの電極２１〜２３は、互いに同一形状をなすものである。各電極２１〜２３の外側周面の中央部には、リード線Ｌが接続される例えばニッケルメッキからなる電極パッド部２ｐが形成されている（図２参照）。リード線Ｌは外部に設けられた交流電源（不図示）に接続されている。なお、３つの電極２１〜２３のうち、両側に位置する電極２１、２３には同一極性の電圧が印加され、中央に位置する電極２２には、電極２１、２３とは逆極性の電圧が印加される。
【００２３】
２つの電極ホルダ３１、３２はそれぞれ、絶縁性を有する材料から形成されており、本実施形態ではフッ素樹脂製である。また、２つの電極ホルダ３１、３２は、互いに同一形状をなすものである。
【００２４】
各電極ホルダ３１、３２は、３つの電極２１〜２３の中心軸が略同軸上となるように一直線状に保持するものである。なお、一方の電極ホルダ３１は、互いに隣接する電極２１、２２の中心軸が略同軸上となるように保持するものであり、他方の電極ホルダ３２は、互いに隣接する電極２２、２３の中心軸が略同軸上となるように保持するものである。
【００２５】
具体的に各電極ホルダ３１、３２は、図２に示すように、互いに隣接する２つの電極２１、２２（２２、２３）の互いに対向する軸方向端部２ｘ、２ｙの間に位置するスペーサ部３ａと、互いに対向する軸方向端部２ｘ、２ｙそれぞれの外周を囲む２つの筒状部３ｂ、３ｃとを備えている。本実施形態の電極ホルダ３１、３２は、回転体形状をなす一体成型品である。
【００２６】
スペーサ部３ａは、円環状をなすものであり、互いに隣接する電極２１、２２（２２、２３）の間に設けられてそれらの距離を規定するものであり、互いに対向する軸方向端部２ｘ、２ｙの軸方向端面の全周に対向するように周方向全体に亘って形成されている。また、スペーサ部３ａの内側周面３ａ１（流路側面）は、電極ホルダ３１、３２が電極２１〜２３を保持した状態において、電極２１〜２３の内側周面２０１（流路側面）と略同一面上となるように構成されている。このスペーサ部３ａの軸方向端面と各電極２１〜２３の軸方向端面との間には、円環状をなすパッキン等のシール部材Ｓ１が設けられている。このスペーサ部３ａとシール部材Ｓ１を介して、互いに隣接する２つの電極２１〜２３の流路方向における間隔が位置決めされる。なお、シール部材Ｓ１の内側周面（流路側面）も電極２１〜２３の内側周面２０１（流路側面）と略同一面上となるように構成することが好ましい。
【００２７】
筒状部３ｂ、３ｃは、スペーサ部３ａの軸方向両端部から軸方向外側に延出して形成された円筒状をなすものである。この筒状部３ｂ、３ｃは、電極２１〜２３の軸方向端部２ｘ、２ｙの外面の全周を覆うように構成されている。また、２つの筒状部３ｂ、３ｃは、略同一形状をなすものであり、それらの中心軸が略同軸上に位置するように構成されている。この筒状部３ｂ、３ｃの内面と各電極２１〜２３の軸方向端部の外面との間には、Ｏリング等のシール部材Ｓ２が設けられている。このＯリングＳ２を介して、電極ホルダ３１、３２の筒状部３ｂ、３ｃの中心軸と各電極２１〜２３の中心軸とが略同軸上となるように位置決めされる。
【００２８】
収容ブロック４は、電極ホルダ３１、３２と同様に絶縁性を有する材料から形成されており、本実施形態ではフッ素樹脂製である。
【００２９】
この収容ブロック４は、図１に示すように、液体試料を導入する断面円形の導入路４ａ及び断面円形の液体試料を導出する導出路４ｂを有するとともに、３つの電極２１〜２３に接続されたリード線Ｌを外部に延出させるためのリード用空間４ｃが形成されている。なお、本実施形態の収容ブロック４は、概略直方体形状をなすものであるが、これに限られない。
【００３０】
具体的に収容ブロック４は、導入路４ａが形成された第１ブロック要素４１と、導出路４ｂが形成された第２ブロック要素４２とを有している。第１ブロック要素４１には、円管状の外部導入配管Ｈ１が接続されており、当該外部導入配管Ｈ１は導入路４ａと連通している。第２ブロック要素４２には、円管状の外部導出配管Ｈ２が接続されており、当該外部導出配管Ｈ２は導出路４ｂと連通している。
【００３１】
第１ブロック要素４１及び第２ブロック要素４２はともに、電極ホルダ３１、３２及び電極２１〜２３を収容する収容部Ｘ１、Ｘ２を有している。第１ブロック要素４１の収容部Ｘ１は、第２ブロック要素４２との対向面に開口しており、第２ブロック要素４２との反対側において導入路４ａと連通している。第２ブロック要素４２の収容部Ｘ２は、第１ブロック要素４１との対向面に開口しており、第１ブロック要素４１との反対側において導出路４ｂと連通している。この第１ブロック要素４１及び第２ブロック要素４２は、それらの対向面の間にＯリング等のシール部材Ｓ３が設けられている。なお、第１ブロック要素４１の対向面及び第２ブロック要素４２の対向面にはそれぞれリード用空間４ｃを構成する凹部が形成されている。
【００３２】
これらの収容部Ｘ１、Ｘ２に電極ホルダ３１、３２により保持された３つの電極２１〜２３が収容される。このとき、両側に位置する２つの電極２１〜２３の外側端部２ｘ、２ｙは、Ｏリング等のシール部材Ｓ４を介して収容部Ｘ１、Ｘ２に液密に位置決めされる。また、その外側端部２ｘ、２ｙの外側端面と収容部Ｘ１、Ｘ２の内面との間には円環形状をなすパッキン等のシール部材Ｓ５が設けられている。この構成により、電極２１〜２３の内部流路２ｒが導入路４ａ及び導出路４ｂに連通する。
【００３３】
次にこのように構成した電気伝導度計１００の組み立ての一例について説明する。
【００３４】
まず、各電極２１〜２３の電極パッド部２ｐにリード線Ｌを溶接などにより接続する。リード線Ｌが接続された電極２１〜２３を電極ホルダ３１、３２の筒状部３ｂ、３ｃにＯリングＳ２を介して挿し込む。なお、電極ホルダ３１、３２のスペーサ部３ａ及び電極２１〜２３の軸方向端面との間にはパッキンＳ１を配置する。このようにして、３つの電極２１〜２３を２つの電極ホルダ３１、３２で保持して１つの電極構造体を組み立てる。
【００３５】
この電極構造体を一方のブロック要素（例えば第１ブロック要素４１）の収容部Ｘ１に取り付ける。このとき、収容部Ｘ１の内面と電極構造体の一方の電極２１との間にＯリングＳ４及びパッキンＳ５を介在させる。
【００３６】
その後、他方のブロック要素（例えば第２ブロック要素４２）を一方のブロック要素４１に固定ねじにより固定する。２つのブロック要素４１、４２を固定ねじで締結することによって、２つのブロック要素４１、４２により電極構造体が流路方向に押さえられる。ここで、第１ブロック要素４１及び第２ブロック要素４２の対向面の間には、ＯリングＳ３が設けられる。なお、一方のブロック要素４１の収容部Ｘ１に取り付けられた電極構造体の他方側が他方のブロック要素４２の収容部Ｘ２に収容される。このとき、収容部Ｘ２の内面と電極構造体の他方の電極との間にＯリングＳ４及びパッキンＳ５を介在させる。
【００３７】
＜第１実施形態の効果＞
このように構成した本実施形態の電気伝導度計１００によれば、円筒状をなす３つの電極２１〜２３により液体試料が流れる流路を形成しており、従来のように流路に電極を突出させる構造ではないので、電極２１〜２３が液体試料の流動を妨げにくくなる。これにより、液体試料がスラリーであっても、電極２１〜２３又はその周辺に残留するスラリーの固体粒子を低減することができる。
また、３つの電極２１〜２３が電極ホルダ３１、３２のスペーサ部３ａによって流路方向の距離が規定されるとともに、２つの筒状部３ｂ、３ｃによって中心軸の位置決めがされているので、測定精度を向上させることができる。
さらに、２つの電極２１、２２（２２、２３）を共通の電極ホルダ３１、３２で保持することにより、組み立て性も向上させることができるとともに、部品点数を削減することもできる。
【００３８】
＜第２実施形態＞
次に、本発明に係る電気伝導度計の第２実施形態について図面を参照して説明する。
【００３９】
第２実施形態に係る電気伝導度計１００は、前記第１実施形態と同様に、例えば半導体製造プロセスにおけるＣＭＰ等に用いられるシリカ系やセリア系のスラリーといった流体（以下、液体試料）の濃度を測定する際に用いられるものであり、少なくとも２つの電極間における液体試料の電気伝導度を測定して液体試料の電気伝導率を算出するものである。
【００４０】
具体的にこの電気伝導度計１００は、図３〜図５に示すように、一対の電極２４、２５と、当該一対の電極２４、２５が設けられるとともに、内部に流路Ｒが形成された流路ブロック５とを備えている。
【００４１】
一対の電極２４、２５はそれぞれ、液体試料に対して耐腐食性を有する材料から形成されており、本実施形態では例えばグラッシーカーボンやプラスチックフォームドカーボン等のカーボン製である。また、一対の電極２４、２５は、互いに同一形状をなすものであり、本実施形態では、例えば平面視円形状の平板状をなすものである。各電極２４、２５の一方の平坦面２ｍは流路側を向く面となり、他方の平坦面２ｎは流路とは反対側を向く面となる。そして、他方の平坦面２ｎの中央部には、リード線Ｌが接続される例えばニッケルメッキからなる電極パッド部２ｐが形成されている。なお、リード線Ｌは外部に設けられた交流電源（不図示）に接続されている。
【００４２】
流路ブロック５は、概略直方体形状をなすものであり、一方の面５ａから他方の面５ｂに亘って形成された直線状の流路Ｒが形成されている。この流路Ｒは、一対の電極２４、２５により挟まれた空間である測定用空間Ｒ１と、当該測定用空間Ｒ１に液体試料を導入する導入路Ｒ２と、測定用空間Ｒ１から液体試料を導出する導出路Ｒ３とからなる。
【００４３】
そして、流路ブロック５の流路方向に沿った互いに対向する側面５ｃ、５ｄには、流路における測定用空間Ｒ１に連通するとともに電極２４、２５が設けられる貫通孔５ｈが形成されている。一方の側面５ｃに形成された貫通孔５ｈには、一方の電極２４が設けられ、他方の側面５ｄに形成された貫通孔５ｈには、他方の電極２５が設けられる。
【００４４】
これら貫通孔５ｈは、特に図５に示すように、流路方向に直交して形成されており、その内面は、電極２４、２５の流路側端面２ｍが係止する係止部５ｈ１と、当該係止部５ｈ１よりも流路側において流路側に行くに連れて拡開している拡開部５ｈ２とを有している。
【００４５】
本実施形態の貫通孔５ｈの内面は、電極２４、２５の外側周面に対向する大径部５ｈ３を有しており、当該大径部５ｈ３の流路側下端において径方向内側に突出して係止部５ｈ１が形成されている。当該係止部５ｈ１は、電極２４、２５の流路側端面２ｍの外縁部に接触する平面状をなすものである。このように貫通孔５ｈの内面に形成された大径部５ｈ３と係止部５ｈ１とからなる段部に電極２４、２５が係止して固定されることになる。
【００４６】
また、拡開部５ｈ２は、係止部５ｈ１から連続して形成されたテーパ状をなすものであり、本実施形態ではその断面が流路側に膨出した湾曲形状である。なお、拡開部５ｈ２の断面形状は、流路側に膨出した湾曲形状に限られず、直線形状をなすものであっても良い。
【００４７】
このように貫通孔５ｈに設けられた電極２４、２５は、スペーサ６１を介して押さえ部材６２により流路側に押圧されることにより固定される。なお、電極２４、２５の他方の平坦面２ｎとスペーサ６１のテーパ面６１ｘと貫通孔５ｈの大径部５ｈ３との間にはＯリング等のシール部材Ｓ６が設けられている。
【００４８】
具体的には押さえ部材６２が固定ねじなどの締結機構７により流路ブロック５の側面５ｃ、５ｄに押圧固定されることにより、電極２４、２５が係止部５ｈ１に押圧されて固定される。なお、流路ブロック５と押さえ部材６２との間にはＯリング等のシール部材Ｓ７が設けられている。
【００４９】
＜第２実施形態の効果＞
このようなものであれば、電極２４、２５が設けられる貫通孔５ｈの内面が、電極２４、２５が係止する係止部５ｈ１よりも流路側において流路側に行くに連れて拡開している拡開部５ｈ２を有しているので、電極２４、２５の流路側端面２ｍの前方に形成される空間であって液体試料が滞留する空間を削減することができ、液体試料の流動を妨げにくくすることができる。これにより、液体試料がスラリーであっても、電極２４、２５又はその周辺に残留するスラリーの固体粒子を低減することができる。
【００５０】
＜第３実施形態＞
次に、本発明に係る電気伝導度計の第３実施形態について図面を参照して説明する。
【００５１】
第３実施形態に係る電気伝導度計１００は、図６〜図８に示すように、第２実施形態とは流路ブロック５の貫通孔５ｈ及び電極２４、２５の構成が異なる。なお、前記第２実施形態と同一又は対応する部材には、同一の符号を付している。
【００５２】
具体的に流路ブロック５の貫通孔５ｈの内面は、特に図８に示すように、電極２４、２５の外側周面に対向する大径部５ｈ３と、電極２４、２５の流路側端面２ｍが係止する係止部５ｈ１を有している。この係止部５ｈ１は、大径部５ｈ３の流路側下端において径方向内側に突出して形成されている。当該係止部５ｈ１は、電極２４、２５の流路側端面２ｍの外縁部に対向する平面状をなすものである。また、貫通孔５ｈの内面において、係止部５ｈ１よりも流路側は、大径部５ｈ３よりも小径の小径部５ｈ４となる。本実施形態の小径部５ｈ４は、等断面形状である。このように貫通孔５ｈの内面に形成された大径部５ｈ３と係止部５ｈ１とからなる段部に電極２４、２５が係止して固定されることになる。なお、本実施形態では、押さえ部材６２がスペーサ６１を有している。
【００５３】
そして、電極２４、２５は、貫通孔５ｈの係止部５ｈ１よりも流路側に突出する突出部２ｔを有している。この突出部２ｔは、貫通孔５ｈの小径部５ｈ４と略同一径を有する者あり、本実施形態では、小径部５ｈ４に嵌る外径を有する。また、突出部２ｔは、電極２４、２５が係止部５ｈ１に係止した状態で、突出部２ｔの先端面２ｔ１は、流路Ｒの内面の一部と略同一面上に位置するように構成されている。ここで、略同一面上に位置するとは、固体粒子が残留しない又は残留しても測定誤差が無視できる程度に、突出部２ｔの先端面２ｔ１と流路Ｒの内面の一部とが同一面上に位置していることを意味する。
【００５４】
＜第３実施形態の効果＞
このようなものであれば、電極２４、２５が設けられる貫通孔５ｈの内面が、電極２４、２５が係止する係止部５ｈ１を有し、電極２４、２５が、前記係止部５ｈ１よりも前記流路側に突出する突出部２ｔを有しているので、電極２４、２５の流路側端面２ｍの前方に形成される空間であって液体試料が滞留し得る空間を削減することができ、液体試料の流動を妨げにくくすることができる。これにより、液体試料がスラリーであっても、電極２４、２５又はその周辺に残留するスラリーの固体粒子を低減することができる。
【００５５】
＜その他の実施形態＞
なお、本発明は前記各実施形態に限られるものではない。
【００５６】
前記第１実施形態では、３つの電極を用いたものであったが、２つの電極を用いたものであっても良い。この場合、電気伝導度計は、１つの電極ホルダにより２つの電極を保持する構成となる。
【００５７】
また、前記第１実施形態の電極は、円筒状をなすものであったが、その他の筒形状をなすものであっても良い。
【００５８】
前記第２、３実施形態の電極は、平面視円形状に限られず、平面視矩形状等のその他の形状をなすものであっても良い。
【００５９】
前記第２、３実施形態の一対の電極は、流路を挟むように配置されたものであったが、流路に沿って並んで配置されたものであっても良い。
【００６０】
前記第２実施形態の拡開部は、テーパ状をなすものであったが、その他、導入路及び導出路と電極の流路側端面との間が滑らかに繋がる形状であればよい。
【００６１】
前記各実施形態のスラリーは、シリカ系又はセリア系のものであったが、それ以外のスラリーであっても良い。
【００６２】
前記実施形態の電気伝導度計は、流体の電気伝導度から流体の電気伝導率（Ｓ／ｍ）を算出するものであったが、その他、導電率（Ｓ／ｃｍ（ジーメンス毎センチメートル））を算出するものであっても良いし、比抵抗（Ω・ｍ）又は抵抗（Ω）を算出するものであっても良い。
【００６３】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００６４】
１００・・電気伝導度計
２１、２２、２３・・・電極
２ｒ・・・内部流路
２０１・・・電極の流路側面
３１、３２・・・電極ホルダ
３ａ・・・スペーサ部
３ｂ、３ｃ・・・筒状部
３ａ１・・・スペーサ部の流路側面
４・・・収容ブロック
４ａ・・・導入路
４ｂ・・・導出路
２４、２５・・・電極
２ｍ・・・電極の流路側端面
２ｔ・・・突出部
５・・・流路ブロック
５ｈ・・・貫通孔
５ｈ１・・・係止部
５ｈ２・・・拡開部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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