(57)【要約】【課題】偶発的な不吐出が発生しても誤判定を抑制可能な液体吐出ヘッドの検査方法を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドの検査方法は、液体吐出ヘッドから吐出されて記録媒体に着弾した液滴の着弾状態を検査する方法であって、液体吐出ヘッドの吐出口から複数の液滴を吐出させて記録媒体上に複数のドットを形成し、複数のドットからなるパターンを形成する工程と、パターンの画像データを取得し、取得した画像データから、抽出条件が異なる複数のパターン画像を抽出する工程と、複数のパターン画像を比較し、比較した結果に基づいて、複数のパターン画像のうち液滴の着弾位置の測定に用いる検査用パターン画像を選択する工程と、を含んでいる。【選択図】図５
2018144306.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体吐出ヘッドから吐出されて記録媒体に着弾した液滴の着弾状態を検査する、液体吐出ヘッドの検査方法であって、
前記液体吐出ヘッドの吐出口から複数の液滴を吐出させて記録媒体上に複数のドットを形成し、該複数のドットからなるパターンを形成する工程と、
前記パターンの画像データを取得し、該取得した画像データから、抽出条件が異なる複数のパターン画像を抽出する工程と、
前記複数のパターン画像を比較し、該比較した結果に基づいて、前記複数のパターン画像のうち前記液滴の着弾位置の測定に用いる検査用パターン画像を選択する工程と、
を含む、液体吐出ヘッドの検査方法。
【請求項２】
前記複数のパターン画像を抽出する工程が、前記取得した画像データが示す画像の濃度に基づいて、輪郭が異なる前記複数のパターン画像を抽出することを含む、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの検査方法。
【請求項３】
前記複数のパターン画像を抽出する工程は、前記画像の濃度が第１の濃度以上の領域を第１のパターン画像として抽出し、前記画像の濃度が前記第１の濃度よりも低い第２の濃度以上の領域を第２のパターン画像として抽出することを含む、請求項２に記載の液体吐出ヘッドの検査方法。
【請求項４】
前記複数のパターン画像を抽出する工程は、前記画像の濃度が第１の濃度以上の領域を第１のパターン画像として抽出し、前記第１のパターン画像の前記ドットに対応する領域をそれぞれ予め指定された倍率で拡大した画像を第２のパターン画像として抽出することを含む、請求項２に記載の液体吐出ヘッドの検査方法。
【請求項５】
前記検査用パターン画像を選択する工程が、前記第１のパターン画像と前記第２のパターン画像を比較し、前記第１のパターン画像の独立した画像領域の数が前記第２のパターン画像の独立した画像領域の数よりも多い場合、前記第２のパターン画像を前記検査用パターン画像として選択することを含む、請求項３または４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記検査用パターン画像を選択する工程が、前記第１のパターン画像と前記第２のパターン画像を比較し、前記第１のパターン画像の独立した画像領域の数が前記第２のパターン画像の独立した画像領域の数よりも多く、かつ、前記第１のパターン画像の複数の前記画像領域のうち最も初期に形成された前記ドットを含む前記画像領域の寸法が所定の寸法とほぼ同じ場合、該画像領域を除いた前記第１のパターン画像を前記検査用パターン画像として選択することを含む、請求項３に記載の液体吐出ヘッドの検査方法。
【請求項７】
前記パターンを形成する工程が、前記複数の液滴が前記記録媒体上で互いに重なり合って着弾するように該複数の液滴を吐出させることを含む、請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの検査方法。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの検査方法を実行するための検査装置。
【請求項９】
液体を吐出するための吐出口を備えた液体吐出ヘッドを有し、請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの検査方法を実行する液体吐出装置であって、
前記吐出口から複数の液滴を吐出させて記録媒体上に形成した複数のドットからなるパターンの画像データを取得し、該取得した画像データから、抽出条件が異なる複数のパターン画像を抽出する手段と、
抽出された前記複数のパターン画像を比較し、該比較した結果に基づいて、前記複数のパターン画像のうち前記液滴の着弾位置の測定に用いる検査用パターン画像を選択する手段と、
を有する液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドの検査方法、検査装置、および液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一例として、吐出口からインクなどの液体を吐出して記録媒体に画像を記録する液体吐出ヘッドの製造工程では、製造された液体吐出ヘッドの品質を評価するために、吐出される液体が記録媒体上の正確な位置に着弾されるかどうかの検査が行われる。この検査方法として、特許文献１には、複数の吐出口から吐出された液滴によって互いに重ならないように複数の検査パターンを形成し、各パターンの重心位置から液滴の着弾位置を測定し、その均一性から液体吐出ヘッドの品質を評価する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−３３６２７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般的に、液体吐出ヘッドからの液体の吐出時には、主滴に付随して主滴より微小の液滴であるサテライト滴が発生し、主滴と共に記録媒体に着弾する。上述した検査方法では、各パターンは単一ドットで形成されている。そのため、吐出される液滴の体積が小さい場合、主滴が着弾したときのドットとサテライト滴が着弾したときのドットとの面積差が小さくなり、パターンをカメラで読み込む際に認識することが困難な場合がある。そこで、単一のドットではなく、同一の吐出口から吐出された複数の液滴によって１つのパターンを形成することも考えられる。しかしながら、その場合にも、偶発的な不吐出によりパターンが分裂してしまうことがあり、分裂したパターンを用いてそのまま検査を行うと、パターンの誤認識が発生し、正常な判定を行えなくなる懸念がある。
そこで、本発明の目的は、偶発的な不吐出が発生しても誤判定を抑制可能な液体吐出ヘッドの検査方法、検査装置、および液体吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した目的を達成するために、本発明の液体吐出ヘッドの検査方法は、液体吐出ヘッドから吐出されて記録媒体に着弾した液滴の着弾状態を検査する方法であって、液体吐出ヘッドの吐出口から複数の液滴を吐出させて記録媒体上に複数のドットを形成し、複数のドットからなるパターンを形成する工程と、パターンの画像データを取得し、取得した画像データから、抽出条件が異なる複数のパターン画像を抽出する工程と、複数のパターン画像を比較し、比較した結果に基づいて、複数のパターン画像のうち液滴の着弾位置の測定に用いる検査用パターン画像を選択する工程と、を含んでいる。
このような液体吐出ヘッドの検査方法によれば、偶発的な不吐出が発生してパターンが分裂した場合にも、抽出条件を変えて複数のパターン画像を生成することで、その中から分裂のない最良のパターン画像を得ることができる。このような最良のパターン画像を用いることで、液滴の着弾状態を適切に検査することができ、誤判定の発生を抑制することができる。
【発明の効果】
【０００６】
以上、本発明によれば、偶発的な不吐出が発生しても誤判定を抑制可能な液体吐出ヘッドの検査方法、検査装置、および液体吐出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの検査装置の概略構成図である。
【図２】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの記録素子基板の概略平面図である。
【図３】記録媒体に形成される検査パターン群を模式的に示す図である。
【図４】複数のドットからなる検査パターンを模式的に示す図である。
【図５】第１の実施形態の検査方法を示すフローチャートである。
【図６】記録媒体に着弾した液滴によるドットを模式的に示す図である。
【図７】第１の実施形態の画像処理で得られたパターン画像を示す図である。
【図８】図３に示す検査パターンにラベリングを行った結果を示す図である。
【図９】第３の実施形態の検査方法を説明するためのパターン画像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【０００９】
（第１の実施形態）
図１は、本発明に第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの検査装置の構成を示す概略図である。この検査装置は、液体吐出ヘッドの製造時に、製造された液体吐出ヘッドの品質を評価するための検査工程において用いられる。
検査装置１００は、制御用コンピュータ１０１と、モニタ１０２と、検査対象である液体吐出ヘッド１１０と、画像処理用照明１１４と、ＣＣＤカメラ１１５と、ペーパーステージ１１７とを有している。制御用コンピュータ１０１は、ＶＧＡボード１０３と、ヘッドドライバ１０４と、画像処理ボード１０５と、モータコントロールボード１０６と、演算処理ボード１０７とを有している。ＶＧＡボード１０３は、モニタ１０２への出力表示を制御するものである。ヘッドドライバ１０４、画像処理ボード１０５、およびモータコントロールボード１０６は、液体吐出ヘッド１１０を駆動するための記録信号を生成して出力するものである。演算処理ボード１０７は、画像処理ボード１０５から取り込まれる画像データの演算処理を行うものである。
【００１０】
液体吐出ヘッド１１０は、キャリッジ１０９に搭載され、キャリッジ１０９は、記録信号変換基板１０８を介してヘッドドライバ１０４に接続されている。ヘッドドライバ１０４から出力される記録信号は、記録信号変換基板１０８で液体吐出ヘッド１１０に合わせた信号に変換され、キャリッジ１０９のコンタクトプローブユニット（図示せず）を介して液体吐出ヘッド１１０に送られる。これにより、液体吐出ヘッド１１０から液滴１１１が吐出され、ペーパーステージ１１７に載置された記録媒体１１８に着弾して、画像が記録される。
画像処理用照明１１４は、照明電源１１３に接続され、記録媒体１１８に形成された検査パターンに光を照射するものである。本実施形態では、画像処理用照明１１４として、ＲＧＢそれぞれの波長を出力でき、耐久性や光量安定性も確保できるＬＥＤ照明が採用されている。照明電源１１３は、外部コントロール端子を有し、画像処理コントロール基板１１２による制御により、画像処理用照明１１４から出力されるＲＧＢそれぞれの光量をコントロールすることができる。
【００１１】
ＣＣＤカメラ１１５は、記録媒体１１８に形成された検査パターンを撮影して読み込むためのものである。ＣＣＤカメラ１１５によって取得した画像データは、画像処理コントロール基板１１２を介し画像処理ボード１０５に送られる。本実施形態では、ＣＣＤカメラ１１５として、ラインセンサ型ＣＣＤカメラが使用されている。ラインセンサ型ＣＣＤを使用するメリットは、比較的安価ながら高い解像度を持ち、さらに記録画像の必要な部分のみを取り込むことができる点である。これにより、高解像度でありながら容量が少ない画像データを得ることができ、処理速度の向上を図ることができる。なお、ＣＣＤカメラ１１５は、画像処理ボード１０５が十分な処理能力を有し、高速に処理を行えるのであれば、エリアセンサ型ＣＣＤカメラであってもよい。
ペーパーステージ１１７は、ステージ位置情報を取得するためのエンコーダ（図示せず）を備えている。これにより、ペーパーステージ１０７の位置は、記録媒体１１８に形成された検査パターンが正確にＣＣＤカメラ１１５の画角内に入るように、ステージコントローラ１１６を介してモータコントロールボード１０６により制御される。ペーパーステージ１０７に載置された記録媒体１１８は、負圧発生手段等によって吸引されてペーパーステージ１１７に密着している。本実施形態では、記録媒体１１８は、着弾した液滴１１１を均一に吸収することができるように、表面がコーティングされている。
【００１２】
図２は、図１に示す検査対象である液体吐出ヘッドの記録素子基板の概略平面図である。図２に示すように、記録素子基板２０１は、インクなどの液体を吐出するための複数の吐出口２０２と、複数の吐出口２０２にそれぞれ連通する複数の圧力室（図示せず）とを有している。圧力室の内部には、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられ、この熱エネルギーにより、圧力室内の液体を発泡させて吐出口２０２から吐出することができる。本実施形態では、複数の吐出口２０２は、それぞれが２列の吐出口列からなる３つの吐出口群２０３，２０４，２０５を構成している。３つの吐出口群２０３，２０４，２０５はそれぞれ、例えば、シアン、マゼンダ、およびイエローのインクを吐出することができる。
【００１３】
ここで、図３および図４を参照して、本実施形態において記録媒体に形成される検査パターンについて説明する。図３は、複数の吐出口から吐出された液滴によって形成された複数の検査パターンからなるパターン群を模式的に示す図である。パターン３０１は、１つの吐出口２０２から液滴が複数回吐出されることで形成されている。また、パターン３０１同士は、隣接する吐出口２０２から吐出された液滴によるパターンと重なり合わず、吐出口２０２ごとのパターンが分離できるだけのスペースを空けて配置されている。
図４（ａ）は、同一の吐出口２０２から５回吐出された液滴が正常に着弾した状態で査パターン３０１ａを示している。本実施形態では、同一の吐出口２０２から吐出された複数の液滴が記録媒体上で互いに重なり合って着弾して１つのパターンを形成するように、吐出周期や記録媒体の移動速度が調整されている。なお、ドット４０１は、吐出された液滴が変動せずに着弾した状態でのドットを示している。一方で、吐出状態の様々な変化により、図４（ｂ）に示すように、同一の吐出口２０２から吐出された液滴でありながら着弾位置が変化したドット４０２を含むパターン３０１ｂが形成されることがある。１回の偶発的な着弾位置の変化自体は不良ではないと判断できるが、１ドットで１つのパターンを形成した場合、このような偶発的な着弾位置の変化が全て測定結果に反映され、不良と判断されてしまう可能性がある。本実施形態では、このような状態を回避するために５つのドットからなるパターンを形成しているが、その場合にも、吐出状態の様々な変化により偶発的な不吐出が発生し、図４（ｃ）に示すようにドット４０３が抜けてしまうことがある。上述したように、このような１回の偶発的な不吐出は不良ではないと判断できるが、抜けたドット４０３によりパターン３０１ｃが分裂してしまうと、正確な重心位置を測定することができず、液滴の着弾位置の測定結果の誤判定を引き起こすことになる。
【００１４】
そこで、本実施形態では、上述した同一の吐出口からの液滴の連続吐出中に不吐出が発生してパターンが分裂した場合にも正確に液滴の着弾位置およびドット径の測定を行うために、以下に示す検査方法が実施される。以下、図５に示すフローチャートを参照して、その検査方法について説明する。
【００１５】
検査が開始されると、まず、上述した検査パターンがＣＣＤカメラ１１５により撮像され（ステップＳ５０１）、その画像データが取得される。なお、撮像の際には、画像処理用照明１１４より検査パターンに光が照射されるが、照明の光源および光量の設定は、撮像後の画像処理において明度不足かつハレーションを起こさずに、コントラストの高い画像が得られる設定にすることが望ましい。
【００１６】
次に、上述した画像データに対して画像処理を行い、画像データが示す画像から、所定の抽出条件、具体的には、画像データが示す画像（ドット）の濃度に基づいてパターン画像を抽出する（ステップＳ５０２）。
図６は、記録媒体に着弾した液滴によって形成されたドットを模式的に示す図である。図６に示すように、ドット６００は、濃度の濃い領域（ドット濃度が第１の濃度以上の領域）６０１と、その周囲で記録媒体表面に液滴がにじんだことによる濃度の薄い領域（ドット濃度が第１の濃度よりも低い第２の濃度以上の領域）６０２とを含んでいる。ステップＳ５０２での画像処理では、濃度の濃い領域６０１と濃度の薄い領域６０２の両方を画像として抽出する。図７（ａ）は、図４（ｃ）に示すパターン３０１にステップＳ５０２での画像処理を行った結果得られたパターン画像を示す図である。この画像処理では、記録媒体表面に着弾した液滴（ドット）のより大きな範囲が画像として捉えられる。そのため、図４（ｃ）に示す分裂したパターン３０１ｃに対しても、図７（ａ）に示すように、分裂のない単一の画像領域からなるパターン画像を抽出することができる。
なお、ステップＳ５０２の画像処理を実行する前提として、図４（ａ）に示すように同一の吐出口から複数の液滴を吐出させて１つの検査パターンを形成する場合には、その吐出周期を調整する必要がある。すなわち、１回の偶発的な不吐出が発生した場合にも濃度の薄い領域６０２を画像として捉えることで単一の画像領域からなるパターン画像を抽出するために、同一の吐出口の吐出周期を調整して検査パターンのドット同士の距離を調整する必要がある。ここで、液滴のにじみ具合は記録媒体表面の状態によっても変化するため、この点も考慮して吐出間隔を調整する必要がある。
【００１７】
ステップＳ５０２での画像処理では、分裂のない単一の画像領域からなるパターン画像を形成することで、その重心位置を正確に測定することができる。しかしながら、濃度の薄い領域６０２まで画像として捉えるため、着弾した液滴の正確なドット径を測定できない可能性がある。それだけでなく、にじみと同様の淡い濃度変化を示す記録媒体表面上の傷やゴミをドットとして捉えてしまい、検査パターンの一部であるとの誤認識を引き起こす可能性もある。
そこで、次に、ステップＳ５０２とは別の画像処理を行い、上述のパターン画像とは別のパターン画像を抽出する（ステップＳ５０３）。具体的には、図６に示すドット６００の濃度の濃い領域６０１のみを画像として抽出し、ステップＳ５０２で得られたパターン画像とは輪郭が異なるパターン画像を生成する。図７（ｂ）は、図４（ｃ）に示すパターン３０１ｃにステップＳ５０３での画像処理を行った結果得られたパターン画像を示す図である。この画像処理では、図４（ｃ）に示す分裂したパターン３０１ｃに対しては、図７（ａ）に示すように、複数の画像領域からなる分裂したパターン画像が得られるが、液滴のドット径７０１を正確に捉えることが可能になる。その結果、記録媒体表面上の傷やゴミによるノイズのないパターン画像を形成することができる。
【００１８】
次に、ステップＳ５０２で形成されたパターン画像（第２のパターン画像）とステップＳ５０３で形成されたパターン画像（第１のパターン画像）とのマッチングを行い、ノイズの除去と各吐出口に対する最適なパターン画像の選択を行う（ステップＳ５０４）。
具体的には、まず、２つのパターン画像を重ね合わせて比較し、その差分からノイズの有無を判断する。ステップＳ５０２で形成されたパターン画像は、上述したように、ドット６００の濃度の薄い領域６０２を画像として捉えたため、記録媒体表面上の傷やゴミによるノイズを含んでいる可能性がある。それに対し、ステップＳ５０３で形成されたパターン画像は、記録媒体表面上の傷やゴミによるノイズは含んでいない。そのため、画像マッチングを行うことで、そのようなノイズの存在を確認することができ、ステップＳ５０２で形成されたパターン画像からノイズのみを除去することができる。
次に、各検査パターンについて、同様の画像マッチングを行い、パターン画像の独立した画像領域の数に差があるか否かを判断し、それにより、偶発的な不吐出により検査パターンが分裂しているかどうかを判断する。画像領域の数に差がある場合、偶発的な不吐出があると判断し、以降のステップにおいてドット径および検査パターンの重心位置の測定がそれぞれ最良のパターン画像から行われるように、各吐出口に対するパターン画像が選択される。すなわち、第１のパターン画像の画像領域の数が第２のパターン画像のそれよりも多い場合、第１のパターン画像が分裂していると判断し、ドット径の測定には第１のパターン画像が選択され、検査パターンの重心位置の測定には第２のパターン画像が選択される。これにより、偶発的な不吐出が発生した場合にも、ドット径と検査パターンの重心位置を正確に算出することできる。なお、画像領域の数に差がない場合、偶発的な不吐出がないと判断する。その場合、ドット径の測定には第１のパターン画像が選択されるが、検査パターンの重心位置の測定には第１および第２のパターン画像のどちらが選択されてもよい。このようなパターン画像の選択（検査用パターン画像の選択）が、全ての吐出口による検査パターンに対して実施される。
【００１９】
次に、ステップＳ５０４で得られた分裂のない最良のパターン画像を用いて、液滴の着弾位置の測定を行う。具体的には、まず、各パターン画像に対して、それに対応する吐出口のラベリングを行う（ステップＳ５０５）。図８は、ステップＳ５０４で得られた最良のパターン画像に対してそのようなラベリングを行った結果を示す図である。そして、ラベリングされた各パターン画像の重心位置から理想格子演算を行い（ステップＳ５０６）、理想の着弾位置（位置ズレがない状態）の格子座標８０１を最小自乗法により算出する。そして、算出された格子座標８０１と実際のパターン画像の重心位置とのズレ量を演算し、その演算結果に基づいて位置ズレ不良の有無を判断し、液滴の着弾状態が良好であるか否かを判断する（ステップＳ５０７）。位置ズレ不良がある場合、液滴の着弾状態は不良であると判断し、製品は不良品として装置外に排出され（ステップＳ５０８）、位置ズレ不良がない場合、良品であると判断し、製品は良品として次工程へと送られる（ステップＳ５０９）。こうして、全ての検査が終了する。
【００２０】
このように、本実施形態によれば、以上述べてきたように、偶発的な不吐出が発生して検査パターンが分裂した場合にも、抽出条件を変えて複数のパターン画像を生成することで、その中から分裂のない最良のパターン画像を得ることができる。このような最良のパターン画像を用いることで、液滴の着弾状態を適切に検査することができ、誤判定の発生を抑制することができる。
【００２１】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの検査装置は、実施する検査方法の一部が第１の実施形態と異なっている。具体的には、ステップＳ５０２における第２のパターン画像の抽出方法が第１の実施形態と異なっている。なお、装置の構成や検査方法のその他の工程については第１の実施形態と同様であり、得られる効果についても第１の実施形態と同様である。
本実施形態のステップＳ５０２では、まず、ステップＳ５０３と同様にドット６００の濃度の濃い領域６０１（図６参照）のみを画像として抽出する。そして、得られたパターン画像からドット径７０１（図７（ｂ）参照）を測定し、そのドット径を予め指定された倍率で拡大して得られる画像を第２のパターン画像として抽出する。これにより、偶発的な不吐出が発生して検査パターンが分裂した場合でも、分裂のない単一の画像領域からなる第２のパターン画像を抽出することができる。なお、ドット径を拡大するための倍率は、同一の吐出口から複数の液滴を吐出させて１つの検査パターンを形成する場合、１回の偶発的な不吐出が発生してもパターン画像が分裂しないような倍率に設定される必要がある。本実施形態は、記録媒体表面の違いにより液滴がにじむ部分の検出が困難な場合や、記録媒体表面の違いによる液滴のにじみのバラつきが少なく、にじみによるドット径の広がりが一定の場合に有効である。
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの検査装置は、実施する検査方法の一部が第１および第２の実施形態と異なっている。具体的には、ステップＳ５０４におけるパターン画像の選択方法が第１および第２の実施形態と異なっている。なお、装置の構成や検査方法のその他の工程については第１および第２の実施形態と同様であり、得られる効果についても第１および第２の実施形態と同様である。
図９（ａ）は、同一の吐出口２０２から吐出された５つの液滴のうち、最も初期に吐出された液滴のドット９０１の着弾位置が変化した場合の検査パターンを示している。なお、本実施形態では、図の左から右に順番にドットが形成されるため、最も初期に吐出された液滴によるドットは、最も左側に位置するドットとなる。本実施形態の検査方法は、このように初期の吐出状態が比較的不安定である液体吐出ヘッドの特性に適切に対応したものである。なお、図９（ｂ）は、図９（ａ）に示すパターンに対応する第２のパターン画像（ステップＳ５０２で得られたパターン画像）を示す図である。また、図９（ｃ）は、図９（ａ）に示すパターンに対応する第１のパターン画像（ステップＳ５０３で得られたパターン画像）を示す図である。
【００２２】
本実施形態のステップＳ５０４では、第１のパターン画像の画像領域の数が第２のパターン画像の画像領域の数よりも多い場合、ドット径によるフィルタリングを行う。具体的には、まず、図９（ｃ）に示すように、第２のパターン画像（図９（ｂ）参照）を検査エリア９０２として設定する。そして、その検査エリア９０２内において、第１のパターン画像の画像領域のうち最も初期に形成されたドットを含む画像領域９０３の寸法、すなわち長さ９０４と幅９０５を測定する。例えば、図示したように、画像領域９０３が単一のドットによるものであるとすると、画像領域９０３の長さ９０４と幅９０５はほぼ同じになる。そのような場合には、吐出初期において液滴の着弾位置に偶発的なズレが発生し、それにより、画像領域９０３が他の画像領域９０６から分裂していると判断する。そして、以降のステップにおけるドット径と検査パターンの重心位置の測定には、第１のパターン画像のうち画像領域９０３を除いた残りの画像領域９０６が選択される。一方、画像領域９０３の長さ９０４が幅９０５よりも大きい場合、吐出初期において偶発的に位置ズレは発生していないと判断し、以降のステップにおけるドット径と検査パターンの重心位置の算出には、第１の実施形態と同様のパターン画像が選択される。
【００２３】
なお、本発明の液体吐出ヘッドの検査方法は、上述した検査装置だけに適用されるものではなく、例えば、検査対象である液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置にも適用可能である。また、そのような液体吐出装置が上述した検査装置を備え、本発明の液体吐出ヘッドの検査方法を実行するようになっていてもよい。また、例えば産業用途で使用される大型の液体吐出装置に本発明の検査装置、検査方法を備える場合にも適用可能である。
【符号の説明】
【００２４】
１００  検査装置
１０１  制御用コンピュータ
１１０  液体吐出ヘッド
１１８  記録媒体
【図１】
2018144306.tif 000003
【図２】
2018144306.tif 000004
【図３】
2018144306.tif 000005
【図４】
2018144306.tif 000006
【図５】
2018144306.tif 000007
【図６】
2018144306.tif 000008
【図７】
2018144306.tif 000009
【図８】
2018144306.tif 000010
【図９】
2018144306.tif 000011