(57)【要約】【課題】浸漬装置の挟持手段の部品点数を削減する。また、浸漬装置の挟持手段へワークをセットする際のセット方向の自由度を高くする。【解決手段】浸漬装置１０は、ワーク４０を挟持する挟持手段２０と、塗布材１６を保持する塗布材保持手段１４と、挟持手段と塗布材保持手段とを相対的に移動させる移動手段１２と、を有し、ワークを挟持した挟持手段又は塗布材を保持した塗布材保持手段を移動手段で移動させ、ワークを塗布材に浸漬させるための浸漬装置であって、挟持手段は、第１方向ｄ１に沿った一側の面をなす第１面２２ａを有する基材２２と、第１方向の一側からワークを基材の第１面に向かって押さえつける押さえ部材３０と、を有し、押さえ部材は、押さえ部材を回転させるための回転軸３４を有し、回転軸は基材の第１面と平行に延びており、押さえ部材の重心３６は、回転軸よりも第１方向の一側に位置している。【選択図】図１
2018023921.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを挟持する挟持手段と、塗布材を保持する塗布材保持手段と、前記挟持手段と前記塗布材保持手段とを相対的に移動させる移動手段と、を有し、前記ワークを挟持した前記挟持手段又は前記塗布材を保持した前記塗布材保持手段を前記移動手段で移動させ、前記ワークを前記塗布材に浸漬させるための浸漬装置であって、
前記挟持手段は、第１方向に沿った一側の面をなす第１面を有する基材と、前記第１方向の一側から前記ワークを前記基材の前記第１面に向かって押さえつける押さえ部材と、を有し、
前記押さえ部材は、前記押さえ部材を回転させるための回転軸を有し、前記回転軸は前記基材の前記第１面と平行に延びており、
前記押さえ部材の重心は、前記回転軸よりも前記第１方向の前記一側に位置している、浸漬装置。
【請求項２】
前記基材の前記第１面は、前記ワークを保持するための凹部を有している、請求項１に記載の浸漬装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを塗布剤に浸漬するための浸漬装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトリソグラフィー技術を用いた、半導体集積回路（ＬＳＩ）、プリント配線板（ＰＷＢ）、液晶表示パネル（ＬＣＤ）等の製造に、フォトマスク（レチクル）が用いられている。このフォトマスクに塵埃等の異物（パーティクルとも呼ぶ）が付着すると、この異物により、フォトマスクを透過する光に不要な影が生じる。この影は、作製される半導体回路等に重大な欠陥を生じ得る。
【０００３】
そこで、フォトマスクを製造する際には、製造されたフォトマスクに異物が存在するか否かの検査が行われる。そして、フォトマスクに異物が存在した場合には、当該異物の除去が行われる。従来、フォトマスクの異物を除去する際には、純水等を用いた洗浄が一般的に行われていた。しかしながら、フォトマスクのパターンの微細化にともなって、より小さな異物も除去しなければならなくなり、純水等を用いた洗浄では異物を除去しきれない場合がある。異物が除去されるまで洗浄を繰り返すことも考えられるが、これには時間及びコストがかかり、限界がある。
【０００４】
この微細な異物を除去可能な技術として、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）等の走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）技術を応用して異物を除去することが提案されている。特許文献１では、原子間力顕微鏡のカンチレバーに設けられた探針を容器内の粘着剤にディップ（浸漬）して探針の表面に粘着層を形成し、この粘着層が形成された探針にフォトマスク等の基板上に存在する異物を付着させて当該異物を除去している。
【０００５】
被表面処理材料を吊り下げて、当該被表面処理材料に対して表面処理を行う際に用いられる挟持手段として、特許文献２に開示されているような挟持手段が知られている。特許文献２の挟持手段は、挟持体と、回動挟持爪と、回動挟持爪を常時閉方向へ回動付勢するねじりばね等のばね部材とを有し、挟持体と回動挟持爪との間に位置した被表面処理材料を、ばね部材の回動付勢力により挟持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１５−２２７７９９号公報
【特許文献２】特開平８−２８３９９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本件発明者らは、原子間力顕微鏡のカンチレバー等のワークを容器内に保持された粘着材等の塗布材に浸漬（ディップ）する際に、何らかの挟持手段を用いてカンチレバーを挟持し、この挟持手段を例えば上下方向に移動させて、ワークを塗布材に浸漬させるようにすることを検討している。
【０００８】
しかしながら、この挟持手段として、例えば特許文献２の挟持手段を用いようとすると、以下のような不具合が生じることが知見された。特許文献２の挟持手段では、ねじりばね等のばね部材が組み込まれているため、挟持手段全体の部品点数が多くなる。さらに、ばね部材を組み込む工程が必要となり、挟持手段を製造するための工程数が多くなる。したがって、挟持手段の製造コストが高くなる。また、特許文献２の挟持手段では、ワーク（被表面処理材料）を挟持体及び回動挟持爪の間にセットする際に、挟持体及び回動挟持爪の開口側（特許文献２の図２では左側）からのみ挿入可能であり、ワークを挟持手段にセットする方向が狭い範囲に制限される。
【０００９】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであって、浸漬装置の挟持手段の部品点数を削減することを目的とする。また、本発明は、浸漬装置の挟持手段へワークをセットする際のセット方向の自由度を高くすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の浸漬装置は、
ワークを挟持する挟持手段と、塗布材を保持する塗布材保持手段と、前記挟持手段と前記塗布材保持手段とを相対的に移動させる移動手段と、を有し、前記ワークを挟持した前記挟持手段又は前記塗布材を保持した前記塗布材保持手段を前記移動手段で移動させ、前記ワークを前記塗布材に浸漬させるための浸漬装置であって、
前記挟持手段は、第１方向に沿った一側の面をなす第１面を有する基材と、前記第１方向の一側から前記ワークを前記基材の前記第１面に向かって押さえつける押さえ部材と、を有し、
前記押さえ部材は、前記押さえ部材を回転させるための回転軸を有し、前記回転軸は前記基材の前記第１面と平行に延びており、
前記押さえ部材の重心は、前記回転軸よりも前記第１方向の前記一側に位置している。
【００１１】
本発明の浸漬装置において、前記基材の前記第１面は、前記ワークを保持するための凹部を有していてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、浸漬装置の挟持手段の部品点数を削減することができる。また、本発明によれば、浸漬装置の挟持手段へワークをセットする際のセット方向の自由度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明による一実施の形態を説明するための図であって、浸漬装置を概略的に示す図である。
【図２】図２は、浸漬装置の挟持手段を示す斜視図である。
【図３】図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に対応する断面において挟持手段を示す図である。
【図４】図４は、挟持手段によるワークの挟持方法を説明する断面図である。
【図５】図５は、挟持手段によるワークの挟持方法を説明する断面図である。
【図６】図６は、挟持手段によるワークの挟持方法を説明する断面図である。
【図７】図７は、挟持手段の一変形例を示す断面図である。
【図８】図８は、挟持手段の他の変形例を示す断面図である。
【図９】図９は、挟持手段のさらに他の変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００１５】
本明細書において用いる、形状や幾何学的条件ならびにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。
【００１６】
図１〜図９は、本発明による一実施の形態を説明するための図である。このうち図１は、挟持手段２０を有する浸漬装置１０を概略的に示す図であり、図２は、ワーク４０を挟持した状態の浸漬装置１０の挟持手段２０を示す斜視図であり、図３は、図２の挟持手段２０の断面図である。
【００１７】
浸漬装置１０は、ワーク４０を粘着材等の流動性を有する塗布材に浸漬（ディップ）させるための装置である。本実施の形態の浸漬装置１０は、ワーク４０を挟持する挟持手段２０と、塗布材１６を保持する塗布材保持手段１４と、挟持手段２０と塗布材保持手段１４とを相対的に移動させる移動手段１２と、を有する。浸漬装置１０は、ワーク４０を挟持した挟持手段２０又は塗布材１６を保持した塗布材保持手段１４を移動手段１２で移動させ、ワーク４０を塗布材１６に浸漬させる。
【００１８】
本実施の形態では、ワーク４０の一例として、原子間力顕微鏡のカンチレバーを含むワークが用いられる。図１〜図３に示されているように、本実施の形態のワーク４０は、被保持部４２及び被保持部４２の先端から延びるカンチレバー４４を有する。カンチレバー４４の先端部には探針４６が設けられている。被保持部４２は、浸漬装置１０の挟持手段２０に挟持されることを意図された部分である。
【００１９】
ワーク４０は、浸漬装置１０を用いて粘着材等の塗布材１６が塗布される。本実施の形態では、浸漬装置１０により、ワーク４０のカンチレバー４４の一部、とりわけカンチレバー４４の探針４６を含む先端側の一部、を塗布材保持手段１４に保持された塗布材１６に浸漬させることにより、ワーク４０に塗布材１６が塗布される。
【００２０】
粘着材等の塗布材１６が塗布されたワーク４０は、一例として、フォトマスクや半導体チップ等の基板に付着した異物を除去するために用いられ得る。例えば、カメラを有する光学検査装置等を用いて基板上に存在する異物の概略位置を取得しておく。次に、ワーク４０のカンチレバー４４の先端部に設けられた探針４６を用いて、基板上の異物が存在する箇所を含む領域を走査する。これにより、走査範囲における基板の詳細な表面画像を得ることができる。この基板の表面画像から基板上の異物の正確な位置情報を得ることができる。次に、基板上の異物の正確な位置情報に基づいて、ワーク４０のカンチレバー４４の探針４６を異物に接触させる。これにより、探針４６に塗布された粘着材に異物を付着させて除去することができる。なお、粘着材のワーク４０への付着は、異物の正確な位置情報の取得の前に行ってもよいし、異物の正確な位置情報の取得の後に行ってもよい。また、異物の正確な位置情報の取得と当該異物の除去とは、互いに異なるワークを用いて行ってもよい。
【００２１】
移動手段１２は、挟持手段２０と塗布材保持手段１４とを相対的に移動させ、ワーク４０を塗布材保持手段１４内の塗布材１６に浸漬させる。図１に示された例では、移動手段１２は、ワーク４０を挟持した挟持手段２０を上下方向（鉛直方向）に沿って移動可能に構成されている。図示された例では、移動手段１２は、その上昇位置（図１では破線で示す）において、ワーク４０を挟持した挟持手段２０が取り付けられる。次に、移動手段１２を下降させることにより、挟持手段２０に挟持されたワーク４０を、下降位置（図１では実線で示す）へ移動させる。これにより、ワーク４０は、塗布材保持手段１４内に保持された塗布材１６に浸漬させられ、ワーク４０に塗布材１６が付着する。その後、移動手段１２を上昇させることにより、挟持手段２０に挟持されたワーク４０を、上昇位置へ移動させる。上昇位置において、塗布材１６が付着したワーク４０が、挟持手段２０とともに移動手段１２から取り外される。この移動手段１２としては、一例として、１軸アクチュエータを用いることができる。
【００２２】
なお、移動手段１２は、上下方向（鉛直方向）に沿って移動可能なものに限られない。例えば、移動手段１２は、上下方向及び水平方向の両方に沿って移動可能に構成されてもよい。上下方向及び水平方向の両方に沿って移動可能に構成された移動手段１２によれば、例えば、移動手段１２にワーク４０を挟持した挟持手段２０が取り付けられた後、移動手段１２を水平方向に移動してワーク４０を塗布材保持手段１４の上方に位置させ、その後、移動手段１２を下降させてワーク４０を塗布材保持手段１４内に保持された塗布材１６に浸漬させるようにすることができる。すなわち、ワーク４０の移動経路の自由度を高くすることができる。
【００２３】
また、移動手段１２は、挟持手段２０を移動させるものに限られない。移動手段１２は、挟持手段２０と塗布材保持手段１４とを相対的に移動させることができるように構成されていればよい。例えば、移動手段１２は、塗布材保持手段１４を移動させるものであってもよい。このような移動手段１２は、例えば、塗布材保持手段１４を、上下方向（鉛直方向）に沿って、又は、上下方向及び水平方向の両方に沿って、移動可能に構成されることができる。また、移動手段１２は、挟持手段２０及び塗布材保持手段１４の両方を移動させるように構成されてもよい。
【００２４】
塗布材保持手段１４は、塗布材１６を保持するための手段である。塗布材保持手段１４は、例えば塗布材１６をその内部に保持する容器である。塗布材１６は、その用途や使用形態に応じて種々のものを用いることができる。例えば、ワーク４０が、上記で説明した基板上の異物の除去に用いられる場合、異物を付着させることが可能であり、基板を汚染したり塵埃等を生じたりしないものであれば、特に制限されることなく使用することができる。
【００２５】
次に、主に図２及び図３を参照して、挟持手段２０について詳細に説明していく。図２は、浸漬装置１０の挟持手段２０を示す斜視図であり、図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に対応する断面において挟持手段２０を示す図である。
【００２６】
本実施の形態の挟持手段２０は、ワーク４０を挟持してワーク４０が落下しないように保持する挟持具として用いられる。図２及び図３に示すように、挟持手段２０は、基材２２と、押さえ部材３０と、を有している。また、図示された例では、挟持手段２０は、押さえ部材３０を回動可能に支持するシャフト２６と、シャフト２６を保持するシャフト保持部２８と、を有している。
【００２７】
図２及び図３に示された例では、基材２２は、第１方向ｄ１に沿った一側の面をなす第１面２２ａと、第１方向ｄ１に沿った他側の面をなす第２面２２ｂと、を有している。とりわけ、基材２２の第１面２２ａと第２面２２ｂとは、第１方向ｄ１に沿って対向し、互いに平行をなしている。
【００２８】
基材２２の第１面２２ａ側には、ワーク４０を受け入れて保持するための複数の凹部２４が形成されている。凹部２４は、ワーク４０を基材２２上で位置決めする機能を有する。そのため、凹部２４はワーク４０に対応した形状を有している。とりわけ凹部２４は、ワーク４０の被保持部４２の一部が嵌まり込む形状を有している。言い換えると、凹部２４は、ワーク４０の被保持部４２の外面の一部と相補形状をなす形状を有している。例えば、図２及び図３に示されているように、ワーク４０の被保持部４２が長手方向を有する略直方体形状を有している場合、各凹部２４は、略直方体形状の被保持部４２の一部が嵌まり込むように、底面２４ａ及び側面２４ｂを有してなる、長手方向を有する溝状の形状を有する。この凹部２４の底面２４ａは、基材２２の第１面２２ａの一部をなしている。図示された例では、凹部２４の高さ（深さ）は、ワーク４０の被保持部４２の高さ（厚さ）よりも小さくなっている。したがって、ワーク４０の被保持部４２を凹部２４に嵌め込むと、被保持部４２は基材２２から第１方向ｄ１の一側に突出するようになる。なお、図示された例では、複数の凹部２４は、その長手方向と交差する方向、とりわけ直交する方向、に配列されている。
【００２９】
図２及び図３に示された挟持具２０は、押さえ部材３０の後述の貫通孔３２に挿入され、押さえ部材３０を回動可能に支持するシャフト２６を有している。シャフト２６は、基材２２の第１面２２ａ上に設けられた複数のシャフト保持部２８に保持されている。各シャフト保持部２８は略直方体形状をなしており、基材２２の第１面２２ａと平行な方向に互いに離間して配列されている。とりわけ、複数のシャフト保持部２８は、複数の凹部２４の配列方向と平行な方向に配列されている。図示された例では、シャフト２６は、円形の断面を有して、基材２２の第１面２２ａから離間して第１面２２ａと平行な方向に延びている。とりわけ、シャフト２６は、複数のシャフト保持部２８の配列方向と平行な方向に延びている。シャフト２６は、複数のシャフト保持部２８を貫通して延びる１本のシャフトとして構成されてもよいし、シャフト２６は、隣り合う２つのシャフト保持部２８間を接続する複数のシャフトで構成されてもよい。また、シャフト２６は、各シャフト保持部２８に対してシャフト２６の軸方向及び周方向の両方について固定されていてもよいし、各シャフト保持部２８に対してシャフト２６の軸方向にのみ固定され、シャフト２６の周方向には移動可能すなわち回転可能に構成されていてもよい。
【００３０】
押さえ部材３０は、第１方向ｄ１の一側から、ワーク４０を基材２２の第１面２２ａに向かって押さえつける機能を有する。とりわけ図２及び図３に示された例では、押さえ部材３０は、基材２２の第１面２２ａと対面する当接面３０ａを有し、この当接面３０ａにより、第１方向ｄ１の一側からワーク４０を基材２２の第１面２２ａ（凹部２４の底面２４ａ）に向かって押さえつける。図２に示された例では、１つのワーク４０に対して１つの押さえ部材３０が設けられている。したがって、図示された例では、各凹部２４に対して押さえ部材３０が１つずつ設けられている。複数の押さえ部材３０は、基材２２の第１面２２ａと平行な方向に互いに離間して配列されている。とりわけ図示された例では、各押さえ部材３０は、複数の凹部２４の配列方向及び複数のシャフト保持部２８の配列方向と平行な方向に沿って、各シャフト保持部２８と交互に配列されている。言い換えると、各押さえ部材３０は、複数の凹部２４の配列方向及び複数のシャフト保持部２８の配列方向と平行な方向に沿って、隣り合う２つのシャフト保持部２８の間に１つの押さえ部材３０が配置されるようにして、配列されている。なお、図２では、配列された３つの押さえ部材３０のうち最も右側に位置する押さえ部材３０、及び、配列された３つのワーク４０のうち最も右側に位置するワーク４０の図示を省略し、当該押さえ部材３０及びワーク４０が配置されるべき領域を二点鎖線で示している。
【００３１】
図３に示された例では、押さえ部材３０は、略直角三角形状の断面を有しており、当該直角三角形の直角に対応する角部に、シャフト２６が挿通される貫通孔３２が形成されている。なお、図示された例では、貫通孔３２が形成された角部、すなわち直角三角形の直角に対応する角部は、その断面が円弧状になるよう面取りされている。図示された例では、シャフト２６は押さえ部材３０の貫通孔３２に対して遊嵌するように挿通されており、これにより、押さえ部材３０はシャフト２６周りに回転する。押さえ部材３０を回転させるための回転軸３４は、基材２２の第１面２２ａと平行に延びており、とりわけ図示された例では、回転軸３４は、シャフト２６の中心軸及び貫通孔３２の中心軸と一致する。
【００３２】
図３に示された例において、押さえ部材３０の当接面３０ａと基材２２の第１面２２ａとの間には、間隙Ｇが設けられている。これにより、基材２２から突出したワーク４０の被保持部４２の第１方向ｄ１側をなす面と、押さえ部材３０の当接面３０ａとが、小さな角度をなして当接するようにすることができる。したがって、ワーク４０の被保持部４２を、押さえ部材３０の当接面３０ａで適切に基材２２の第１面２２ａ（凹部２４の底面２４ａ）に押さえつけることができる。間隙Ｇの大きさは、ワーク４０の被保持部４２の高さ（厚さ）及び基材２２の凹部２４の高さ（深さ）の差と、同一の大きさを有していることが好ましい。このような間隙Ｇを有していると、基材２２から突出したワーク４０の被保持部４２の第１方向ｄ１側をなす面と、押さえ部材３０の当接面３０ａとが平行をなして当接することができる。
【００３３】
本実施の形態では、挟持手段２０でワーク４０を挟持した状態において、押さえ部材３０の重心３６は、押さえ部材３０の回転軸３４よりも第１方向ｄ１の一側に位置している。とりわけ図３に示されているように、押さえ部材３０の回転軸３４が基材２２の第１方向の一側に位置している場合、押さえ部材３０の重心３６は、回転軸３４に対して基材２２と反対側に位置する。
【００３４】
押さえ部材３０の重心３６が、押さえ部材３０の回転軸３４よりも第１方向ｄ１の一側に位置していると、挟持手段２０でワーク４０を挟持した状態において、押さえ部材３０に働く重力の作用により、押さえ部材３０には、回転軸３４を中心として当接面３０ａが基材２２の第１面２２ａへ向かって（図３では反時計回りに）回転する力が生じる。この力により、押さえ部材３０は、ワーク４０の被保持部４２を、当接面３０ａで適切に基材２２の第１面２２ａ（凹部２４の底面２４ａ）に押さえつけることができる。すなわち、図３に示された例では、押さえ部材３０の重心３６が力点として機能し、回転軸３４が支点として機能し、当接面３０ａにおけるワーク４０の被保持部４２に当接する箇所が作用点として機能する。てこの原理を考慮すると、押さえ部材３０でワーク４０をより適切に挟持するためには、支点として機能する回転軸３４と力点として機能する重心３６との距離は、より大きい方が好ましく、支点として機能する回転軸３４と作用点として機能する当接面３０ａにおけるワーク４０の被保持部４２に当接する箇所との距離は、より小さい方が好ましい。
【００３５】
本実施の形態の挟持手段２０では、押さえ部材３０が上記のように構成されていることにより、例えば上述の特許文献２（特開平８−２８３９９４号公報）に示されている従来の挟持手段のような、ばね部材を設ける必要がない。これにより、本実施の形態の挟持手段２０では、挟持手段２０全体の部品点数を減少させることができる。また、ばね部材を組み込む工程が不要となり、挟持手段２０を製造するための工程数を減少させることができる。これにより、挟持手段の製造コストを効果的に低減することが可能となる。
【００３６】
また、図３に示された例では、挟持手段２０でワーク４０を挟持した状態において、押さえ部材３０の重心３６は、第１方向ｄ１及び回転軸３４の延びる方向に直交する第２方向ｄ２に沿って、回転軸３４よりもワーク４０側（凹部２４側）に位置している。
【００３７】
なお、基材２２、シャフト２６、シャフト保持部２８及び押さえ部材３０の材料としては、特に限られることなく種々の材料を用いることができるが、一例として、ステンレス（ＳＵＳ）等の金属材料等を用いることができる。とりわけ、押さえ部材３０の材料として金属材料等の密度の大きい（比重の大きい）材料を用いると、同じ寸法の押さえ部材３０であっても重心３６に作用する重力が大きくなり、ワーク４０を基材２２に押さえつける効果が大きくなるので、より好ましい。
【００３８】
次に、図４〜図６を参照して、上述の挟持手段２０によるワーク４０の挟持方法について説明する。図４〜図６は、挟持手段２０によるワーク４０の挟持方法を説明する断面図である。
【００３９】
まず、図４に示すように、挟持手段２０を、基材２２の第１面２２ａが水平方向と平行をなすようにして位置させる。このとき、押さえ部材３０を、その当接面３０ａが基材２２の第１面２２ａから離れる向き（図４では時計回り）に、回転軸３４周りに回転させておく。
【００４０】
次に、図５に示すように、ワーク４０を基材２２の第１面２２ａ上に載置する。とりわけ図示された例では、ワーク４０を基材２２の凹部２４の底面２４ａ上に載置する。言い換えると、ワーク４０を基材２２の凹部２４内に嵌め込む。これにより、ワーク４０は、基材２２の第１面２２ａ上の所定の位置に正確に位置決めされる。
【００４１】
上述の特許文献２（特開平８−２８３９９４号公報）に示されているような従来の挟持手段では、ワークを挟持手段にセットする際のワークの挿入方向は狭い範囲に制限されていた。例えば特許文献２の図２に示された挟持手段では、ワークを挟持手段にセットする際のワークの挿入方向は左側からのみに制限されていた。これに対して、本実施の形態の挟持手段２０では、図４及び図５に示されているように、押さえ部材３０を、その当接面３０ａが基材２２の第１面２２ａから離れる向きに、回転軸３４周りに回転させておくことにより、押さえ部材３０の当接面３０ａと基材２２の第１面２２ａとが、比較的大きな角度（図４及び図５では約９０°）を有するようにすることができる。これにより、ワーク４０を基材２２の第１面２２ａ上に載置する際に、押さえ部材３０がワーク４０の基材２２上への移動を妨げることを、効果的に抑制することができる。すなわち、図４及び図５に示された例では、ワーク４０を、左側からだけでなく上方からも基材２２上へ載置することができる。したがって、挟持手段２０へワーク４０をセットする際のセット方向の自由度を効果的に高くすることができる。
【００４２】
次に、図６に示すように、押さえ部材３０を、その当接面３０ａが基材２２の第１面２２ａに近づく向き（図６では反時計回り）に、回転軸３４周りに回転させ、当接面３０ａをワーク４０の被保持部４２に当接させる。このとき、図示された例では、押さえ部材３０の重心３６は、第２方向ｄ２に沿って回転軸３４よりもワーク４０側（凹部２４側）に位置している。押さえ部材３０の重心３６がこのような位置にあると、押さえ部材３０に働く重力の作用により、押さえ部材３０には、回転軸３４を中心として当接面３０ａが基材２２の第１面２２ａへ向かって（図６では反時計回りに）回転する力が生じる。この力により、押さえ部材３０は、ワーク４０の被保持部４２を、当接面３０ａで適切に基材２２の第１面２２ａ（凹部２４の底面２４ａ）に押さえつけることができる。
【００４３】
本実施の形態の浸漬装置１０は、ワーク４０を挟持する挟持手段２０と、塗布材１６を保持する塗布材保持手段１４と、挟持手段２０と塗布材保持手段１４とを相対的に移動させる移動手段１２と、を有し、ワーク４０を挟持した挟持手段２０又は塗布材１６を保持した塗布材保持手段１４を移動手段１２で移動させ、ワーク４０を塗布材１６に浸漬させるための浸漬装置１０であって、挟持手段２０は、第１方向ｄ１に沿った一側の面をなす第１面２２ａを有する基材２２と、第１方向ｄ１の一側からワーク４０を基材２２の第１面２２ａに向かって押さえつける押さえ部材３０と、を有し、押さえ部材３０は、押さえ部材３０を回転させるための回転軸３４を有し、回転軸３４は基材２２の第１面２２ａと平行に延びており、押さえ部材３０の重心３６は、回転軸３４よりも第１方向ｄ１の一側に位置している。
【００４４】
したがって、挟持手段２０でワーク４０を挟持した状態において、押さえ部材３０に働く重力の作用により、押さえ部材３０には、回転軸３４を中心として基材２２の第１面２２ａへ向かって（図１及び図３では反時計回りに）回転する力が生じる。この力により、押さえ部材３０は、ワーク４０を適切に基材２２の第１面２２ａに押さえつけることができる。したがって、本実施の形態の挟持手段２０では、従来の挟持手段のような、ばね部材を設ける必要がない。これにより、挟持手段２０全体の部品点数を減少させることができる。また、ばね部材を組み込む工程が不要となり、挟持手段２０を製造するための工程数を減少させることができる。これにより、挟持手段の製造コストを効果的に低減することが可能となる。
【００４５】
また、本実施の形態の浸漬装置１０において、基材２２の第１面２２ａは、ワーク４０を保持するための凹部２４を有している。
【００４６】
したがって、ワーク４０を凹部２４内に嵌め込むことにより、ワーク４０を基材２２上に正確に位置決めすることができる。
【００４７】
なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、図面を適宜参照しながら、変形例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。
【００４８】
浸漬装置１０の挟持手段２０の変形例について図７〜図９を参照して説明する。図７〜図９は、いずれも挟持手段２０の変形例を示す図であり、図３に対応する断面を示す図である。
【００４９】
図７に示された例では、押さえ部材３０は略三角形状の断面を有している。図８に示された例では、押さえ部材３０は略矩形状の断面を有している。図９に示された例では、押さえ部材３０は、回転軸３４から第２方向ｄ２のワーク４０側（凹部２４側）に延び、当接面３０ａを有する当接レバー部３８と、回転軸３４から第１方向ｄ１の一側かつ第２方向ｄ２のワーク４０と反対側（凹部２４と反対側）に延びる錘レバー部３９と、を有している。
【００５０】
図７〜図９に示された例では、いずれも、挟持手段２０でワーク４０を挟持した状態において、押さえ部材３０の重心３６は、押さえ部材３０の回転軸３４よりも第１方向ｄ１の一側に位置している。したがって、押さえ部材３０に働く重力の作用により、押さえ部材３０には、回転軸３４を中心として基材２２の第１面２２ａへ向かって（図７〜図９では反時計回りに）回転する力が生じる。この力により、押さえ部材３０は、ワーク４０を適切に基材２２の第１面２２ａに押さえつけることができる。したがって、図７〜図９に示された各変形例に係る挟持手段２０においても、従来の挟持手段のような、ばね部材を設ける必要がない。これにより、挟持手段２０全体の部品点数を減少させることができる。また、ばね部材を組み込む工程が不要となり、挟持手段２０を製造するための工程数を減少させることができる。これにより、挟持手段の製造コストを効果的に低減することが可能となる。
【００５１】
他の変形例として、上述の実施の形態では、基材２２に凹部２４を複数設け、１つの基材２２で複数のワーク４０を保持する例を示したが、これに限られず、基材２２に１つの凹部２４を設け、１つの基材２２で１つのワーク４０を保持するようにしてもよい。
【００５２】
さらに他の変形例として、上述の実施の形態では、基材２２に凹部２４を設け、ワーク４０をこの凹部２４に嵌め込むようにする例を示したが、これに限られず、基材２２に凹部２４を設けることなく、押さえ部材３０の当接面３０ａと基材２２の第１面２２ａとでワーク４０を挟持してもよい。この場合、押さえ部材３０の当接面３０ａと基材２２の第１面２２ａとの間の間隙Ｇは、ワーク４０の被保持部４２の高さ（厚さ）と同一の大きさを有していることが好ましい。
【００５３】
さらに他の変形例として、上述の実施の形態の挟持手段２０では、１つのワーク４０に対して１つの押さえ部材３０が設けられている、すなわち挟持されるべきワーク４０の数と同数の押さえ部材３０を有している例を示したが、これに限られず、複数のワーク４０に対して押さえ部材３０を１つ設け、１つの押さえ部材３０で複数のワーク４０を基材２２に対して押さえつけるようにしてもよい。例えば、１つの押さえ部材３０で、対応する基材２２上に全てのワーク４０を押さえつけるようにしてもよい。
【００５４】
なお、以上において上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１０  浸漬装置
１２  移動手段
１４  塗布材保持手段
１６  塗布材
２０  挟持手段
２２  基材
２２ａ  第１面
２２ｂ  第２面
２４  凹部
２４ａ  底面
２４ｂ  側面
２６  シャフト
２８  シャフト保持部
３０  押さえ部材
３２  貫通孔
３４  回転軸
３６  重心
３８  当接レバー部
３９  錘レバー部
４０  ワーク
４２  被保持部
４４  カンチレバー
４６  探針
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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