(57)【要約】【課題】            フォトマスクをセットする作業者の手間を軽減しつつ、不意の停電により真空破壊が起きてもフォトマスクの落下を防止すること。【解決手段】        フォトマスクを保持するマスクホルダと、マスクホルダ位置切替部とを備え、    マスクホルダは、本体部と、吸引保持部と、ガイド部と、ガイド位置操作部とを備え、    マスクホルダがマスク密着位置にあれば、ガイド位置操作部を操作してガイド部をマスク規制位置へ移動させ、    マスクホルダがホルダ退避位置にあれば、ガイド位置操作部を操作してガイド部をガイド退避位置に移動させることを特徴とする、露光装置。【選択図】          図１
2018072589.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンが形成されたフォトマスクをワークに密着させてパターンを露光する露光装置において、
前記フォトマスクを着脱可能に保持するマスクホルダと、
前記マスクホルダを、前記フォトマスクと前記ワークとが互いに対向しつつ離間させた位置であるホルダ退避位置ないし前記フォトマスクと前記ワークとが互いに密着しあう位置であるマスク密着位置に移動させるマスクホルダ位置切替部とを備え、
前記マスクホルダは、
本体部と、
前記本体部に設けられた溝部又は孔部を負圧に吸引することで前記フォトマスクを保持する吸引保持部と、
前記本体部に対する前記フォトマスクのワーク対向面及び外周縁の位置を規制するガイド部と、
前記ガイド部を、前記フォトマスクのワーク対向面及び外周縁の位置を規制するマスク規制位置ないし、当該フォトマスクの外周縁から離間させたガイド退避位置に移動させる、ガイド位置操作部とを備え、
前記マスクホルダを前記ホルダ退避位置から前記マスク密着位置に移動させる際に、前記ガイド位置操作部を操作して前記ガイド部を前記ガイド退避位置へ移動させ、
前記マスクホルダを前記マスク密着位置からに前記ホルダ退避位置移動させる際に、前記ガイド位置操作部を操作して前記ガイド部を前記マスク規制位置に移動させる
ことを特徴とする、露光装置。
【請求項２】
前記ガイド位置操作部が、操作部と、前記棒状部材の操作方向を変更する操作方向変更部と、前記操作部を初期位置側に付勢する初期位置付勢部と、前記ガイド部の位置を切り替えるガイド開閉部を備え、
前記操作部を往復移動させることで、前記ガイド部を前記ガイド退避位置ないし前記マスク規制位置へ切り替える操作が行われ、
前記操作部が前記初期位置側にあるとき、当該操作部の端部は前記マスクホルダから突出しつつ、前記ガイド部は前記マスク規制位置にあり、
前記操作部の端部を前記マスクホルダ側に押し込むことにより、前記ガイド部が前記ガイド退避位置に移動することを特徴とする、請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記ガイド位置操作部が、アクチュエータにより駆動される
ことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の両面露光装置。
【請求項４】
前記マスクホルダが、前記ワークに対して重力上方ないし側方で前記フォトマスクを保持することを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項５】
前記マスクホルダが、前記ワークの表裏両面側にそれぞれ対向配置されており、
一方のマスクホルダには、他方のマスクホルダに備えられた前記ガイド部と干渉し合わないように凹み部が設けられており、
前記他方のマスクホルダには、前記一方のマスクホルダに備えられた前記ガイド部と干渉し合わないように凹み部が設けられている
ことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の両面露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターンが形成されたフォトマスクをワークに密着させてパターンを露光する（いわゆる、密着方式の）露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
（当該分野の説明）
プリント配線回路パターンを形成するために、金属箔（例えば、銅やアルミ）の上にフォトレジストを塗布し、当該フォトレジストに所定パターンの焼付け、現像処理、エッチング処理を行う技術が知られている。
【０００３】
そして、フォトレジストに所定パターンの焼付けるために、所定パターンが形成されたフォトマスクをワークに密着させ、フォトマスクのパターンを転写露光する露光装置が知られている（例えば、特許文献１，２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開閉１１−１０９６４５号公報
【特許文献２】特開２００２−２７０４８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１，２に開示されている様に縦向きのフォトマスクを負圧吸引により保持したり、水平方向に搬送されるワークの上方から近接させるフォトマスクを負圧吸引により保持していると、突発的な停電や装置トラブルなどにより不意に真空破壊が起こった場合、フォトマスクの負圧吸引力が維持できず、フォトマスクが落下してしまい破損につながるおそれがある。
【０００６】
一方、フォトマスクの落下防止のために、フォトマスクの周囲を粘着テープなどで固定しても、作業者の手間が掛かったり、テープ貼付不良によるテープ剥がれやマスク落下が発生したりする。
【０００７】
そこで本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、フォトマスクをセットする作業者の手間を軽減しつつ、不意に真空破壊が発生しても確実にフォトマスクの落下を防止できる機構を備えた露光装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以上の課題を解決するために、本発明に係る一態様は、
パターンが形成されたフォトマスクをワークに密着させてパターンを露光する露光装置において、
フォトマスクを着脱可能に保持するマスクホルダと、
マスクホルダを、フォトマスクとワークとが互いに対向しつつ離間させた位置であるホルダ退避位置ないしフォトマスクとワークとが互いに密着しあう位置であるマスク密着位置に移動させるマスクホルダ位置切替部とを備え、
マスクホルダは、
本体部と、
本体部に設けられた溝部又は孔部を負圧に吸引することでフォトマスクを保持する吸引保持部と、
本体部に対するフォトマスクのワーク対向面及び外周縁の位置を規制するガイド部と、
ガイド部を、フォトマスクのワーク対向面及び外周縁の位置を規制するマスク規制位置ないし、当該フォトマスクの外周縁から離間させたガイド退避位置に移動させる、ガイド位置操作部とを備え、
マスクホルダがマスク密着位置にあれば、ガイド位置操作部を操作してガイド部をマスク規制位置へ移動させ、
マスクホルダがホルダ退避位置にあれば、ガイド位置操作部を操作してガイド部をガイド退避位置に移動させる
ことを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
上記の露光装置によれば、フォトマスクをセットする作業者の手間を軽減しつつ、不意に真空破壊が発生しても確実にフォトマスクの落下を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。
【図２】本発明を具現化する形態の一例の要部を示す概略図である。
【図３】本発明を具現化する形態の変形例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。
【００１２】
なお、以下の説明では、直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、ＸＹ平面を水平面、Ｚ方向を鉛直方向とする。また、Ｚ方向は矢印の方向を上、その逆方向を下と表現する。
【００１３】
図１は、本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。図１には、本発明に係る露光装置１を側面から見た概略構成が示されている。
【００１４】
露光装置１は、パターンが形成されたフォトマスクＭをワークＷに密着させてパターンを露光するものであり、マスクホルダ２、マスクホルダ位置切替部３、露光ユニットＥ、ワーク搬送部Ｔ等を備えている。なお、ここでは露光装置１の一類型として、縦型両面露光機を例示しつつ、詳細な説明を行う。また、ワークＷは、巻出ロールＲ１と巻取ロールＲ２に巻き付けられる際に外側となる面をオモテ面Ｓ１、その反対側（つまり、内側となる面）をウラ面Ｓ２と呼ぶ。
【００１５】
具体的には、露光装置１は、オモテ面Ｓ１及びウラ面Ｓ２にフォトレジスト膜が形成されたワークＷを巻出ロールＲ１から巻き出しながら、一定の寸法ずつ所定のタクトタイムで送り出し（いわゆる、定寸送りを行い）、停止状態にあるワークＷにフォトマスクＭを密着させて露光を行い、露光が済んだワークＷを巻取ロールＲ２に巻き取る動作を行うものである。
【００１６】
より具体的には、露光装置１は、ワークＷを縦方向（つまり、重力上方および下方）に配置させ、ワークＷの両側（つまり、オモテ面Ｓ１側およびウラ面Ｓ２側）からフォトマスクＭ（具体的には、オモテ面用フォトマスクＭＡおよびウラ面用フォトマスクＭＢ）を保持したマスクホルダ２（２Ａ，２Ｂ）をワークＷに近接させ、それぞれワークＷに密着させた後に露光を行う構成をしている。そのため、露光位置におけるワークＷの幅方向をＸ方向、厚み方向をＹ方向、搬送方向をＺ方向として説明する。
【００１７】
マスクホルダ２は、フォトマスクＭを着脱可能に保持するものである。具体的には、マスクホルダ２は、マスクホルダ２Ａと、マスクホルダ２Ｂとを備えている。
【００１８】
マスクホルダ２Ａは、オモテ面用フォトマスクＭＡを保持するものであり、ワークＷのオモテ面Ｓ１側に配置されている。マスクホルダ２Ｂは、ウラ面用フォトマスクＭＢを保持するものであり、ワークＷのウラ面Ｓ２側に配置されている。より具体的な構成は、後述する。
【００１９】
マスクホルダ位置切替部３は、マスクホルダ２を、ホルダ退避位置Ｐ１ないしマスク密着位置Ｐ２に移動させるものである。
【００２０】
具体的には、マスクホルダ位置切替部３は、マスクホルダ２Ａをホルダ退避位置Ｐ１Ａないしマスク密着位置Ｐ２Ａに移動させるものであり、マスクホルダ２Ｂをホルダ退避位置Ｐ１Ｂないしマスク密着位置Ｐ２Ｂに移動させるものである。
【００２１】
ホルダ退避位置Ｐ１（Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ）は、フォトマスクＭ（ＭＡ，ＭＢ）とワークＷとが互いに対向しつつ離間させた位置である。
一方、マスク密着位置Ｐ２（Ｐ２Ａ，Ｐ２Ｂ）は、フォトマスクＭ（ＭＡ，ＭＢ）とワークＷとが互いに密着しあう位置である。
【００２２】
より具体的には、マスクホルダ位置切替部３は、マスクホルダ２Ａおよびマスクホルダ２ＢをそれぞれワークＷの厚み方向（つまり、Ｙ方向）に移動ないし静止させるアクチュエータやエアシリンダ機構などを備えている。
【００２３】
なお、図示は省略するが、マスクホルダ２Ａおよびマスクホルダ２Ｂには、ワーク幅方向（つまり、Ｘ方向）にスライドさせたり、所定の位置で固定するためのスライド機構及びロック機構が備えられており、フォトマスクＭ（ＭＡ，ＭＢ）の交換位置ないしホルダ退避位置Ｐ１（Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ）への移動及び当該場所での固定が容易に行えるような構成をしている。
【００２４】
露光ユニットＥは、ワークにパターン転写するために、フォトマスクＭ及びワークＷに向けて光エネルギーを照射するものである。具体的には、露光ユニットＥは、オモテ面用フォトマスクＭＡおよびワークＥのオモテ面Ｓ１に向けて光エネルギーを照射する露光ユニットＥ１と、ウラ面用フォトマスクＭＢおよびワークＥのウラ面Ｓ２に向けて光エネルギーを照射する露光ユニットＥ２とを備えている。
【００２５】
ワーク搬送部Ｔは、巻出ロールＲ１から未露光のワークＷを矢印Ｖで示す方向に巻き出しながら、一定の寸法ずつ所定のタクトタイムで送り出し（いわゆる、定寸送りを行い）、所定時間だけ静止状態にさせ、一連の定寸送り動作を繰り返し、巻取ロールＲ２に露光済みのワークＷを巻き取る動作を行うものである。ワーク搬送部Ｔのワーク搬送経路の途中には、ワークＷの搬送方向を上下左右に変更する搬送ローラＳＲ１〜ＳＲ９が適宜備えられている。また、ワークＷの搬送速度に対する、巻き出し速度や巻き取り速度の変動を吸収させるための揺動ローラＳＷ１，ＳＷ２が備えられている。
【００２６】
図２は、本発明を具現化する形態の一例の要部を示す概略図である。図２には、本発明に係るマスクホルダ２の概略図が示されている。
【００２７】
マスクホルダ２は、本体部４と、吸引保持部５と、ガイド部６と、ガイド位置操作部７と、凹み部Ｄを備えている。
【００２８】
具体的には、オモテ面用フォトマスクＭＡには、本体部４Ａと、吸引保持部５Ａと、ガイド部６Ａと、ガイド位置操作部７Ａ（一部のみ図示）が備えられている。同様に、ウラ面用フォトマスクＭＢには、本体部４Ｂと、吸引保持部５Ｂ（図示せず）と、ガイド部６Ｂ（図示せず）と、ガイド位置操作部７Ｂが備えられている。
【００２９】
本体部４は、フォトマスクＭを所定の姿勢で保持したり、保持したフォトマスクＭを所定の場所（ホルダ退避位置Ｐ１やマスク密着位置Ｐ２）に移動させるためのものである。
【００３０】
具体的には、本体部４Ａは、オモテ面用フォトマスクＭＡを所定の姿勢で保持したり、保持した当該フォトマスクＭＡを所定の場所（ホルダ退避位置Ｐ１Ａやマスク密着位置Ｐ２Ａ）に移動させるためのものである。同様に、本体部４Ｂは、裏面用フォトマスクＭＢを所定の姿勢で保持したり、保持した当該フォトマスクＭＢを所定の場所（ホルダ退避位置Ｐ１Ｂやマスク密着位置Ｐ２Ｂ）に移動させるためのものである。
【００３１】
より具体的には、本体部４（４Ａ，４Ｂ）は、パターン露光のための開口部Ｈが設けられた板状部材（単にフレームとも言う）で構成されている。
【００３２】
吸引保持部５は、本体部４に設けられた溝部又は孔部を負圧に吸引することでフォトマスクＭを保持するものである。
【００３３】
具体的には、吸引保持部５Ａは、本体部４Ａに設けられた溝部又は孔部を負圧に吸引することでオモテ面用フォトマスクＭＡを保持するものである。同様に、吸引保持部５Ｂは、本体部４Ｂに設けられた溝部又は孔部を負圧に吸引することでウラ面用フォトマスクＭＢを保持するものである。
【００３４】
より具体的には、吸引保持部５（５Ａ，５Ｂ）は、連通ポート、切換バルブなどを介して真空発生装置（真空ポンプやエジェクタなど）と接続されており、切換バルブの操作により大気解放状態と負圧吸引状態とを切り替えができるよう構成されている。
【００３５】
マスクホルダ２（２Ａ，２Ｂ）は、この様な構成をしているため、フォトマスクＭ（ＭＡ，ＭＢ）を脱着可能に保持することができる。
【００３６】
ガイド部６は、本体部４に対するフォトマスクＭのワーク対向面及び外周縁の位置を規制するものである。
【００３７】
具体的には、ガイド部６Ａは、本体部４Ａに対するオモテ面用フォトマスクＭＡのワーク対向面及び外周縁の位置を規制するものである。同様に、ガイド部６Ｂは、本体部４Ｂに対するウラ面用フォトマスクＭＢのワーク対向面及び外周縁の位置を規制するものである。
【００３８】
より具体的には、ガイド部６（６Ａ，６Ｂ）は、フォトマスクＭ（ＭＡ，ＭＢ）の長辺側に２ヶ所ずつ、短辺側に１ヶ所ずつ、外周を囲む様に複数配置されており、断面形状が略Ｔ字形状（いわゆる階段状）の段付円筒状部材で構成されている。そして、ガイド部６（６Ａ，６Ｂ）を、フォトマスクＭ（ＭＡ，ＭＢ）のワーク対向面及び外周縁と当接する位置ないし所定の隙間で近接させた位置に配置させ、ガイド部６Ａ，６Ｂの鍔部（または、帽子で例えればひさし部）がフォトマスクＭ（ＭＡ，ＭＢ）の外縁部とオーバーラップする様に配置する。これを、マスク規制位置Ｇ１（Ｇ１Ａ，Ｇ１Ｂ）と言う。ガイド部６（６Ａ，６Ｂ）がこの位置にあれば、フォトマスクＭ（ＭＡ，ＭＢ）が厚み方向（つまり、Ｙ方向）に離間しようとしてもガイド部６Ａ，６Ｂの鍔部と接触することで離間が妨げられる。同様に、フォトマスクＭ（ＭＡ，ＭＢ）が幅方向や搬送方向（つまり、Ｘ方向やＺ方向）にずれようとしてもガイド部６Ａ，６Ｂの本体部と接触することで位置ずれが妨げられる。そのため、マスクホルダ２（２Ａ，２Ｂ）の負圧吸引力が破壊されても、ワーク対向面及び外周縁の位置が規制されるため、フォトマスクＭ（ＭＡ，ＭＢ）の離間や位置ずれを防ぐことができる。
【００３９】
ガイド位置操作部７は、ガイド部６を、マスク規制位置Ｇ１ないし、ガイド退避位置Ｇ２に移動させるものである。
【００４０】
具体的には、ガイド位置操作部７Ａは、ガイド部６Ａを、マスク規制位置Ｇ１Ａないし、ガイド退避位置Ｇ２Ａに移動させるものである。同様に、ガイド位置操作部７Ｂは、ガイド部６Ｂを、マスク規制位置Ｇ１Ｂないし、ガイド退避位置Ｇ２Ｂに移動させるものである。なお、ガイド退避位置Ｇ２（Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｂ）とは、ガイド部６（６Ａ，６Ｂ）の鍔部がフォトマスクＭ（ＭＡ，ＭＢ）の外周縁とオーバーラップしない所まで離間させた位置を言う。
【００４１】
さらに、ガイド位置操作部７は、マスクホルダ２が露光装置１の内部にセットされて、ワークＷの搬送および露光動作が行われる際、下記（１）（２）の操作を行うものである。
（１）マスクホルダ２（２Ａ，２Ｂ）をホルダ退避位置Ｐ１（Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ）からマスク密着位置Ｐ２（Ｐ２Ａ，Ｐ２Ｂ）に移動させる際、ガイド位置操作部７（７Ａ，７Ｂ）を操作してガイド部６（６Ａ，６Ｂ）をからガイド退避位置Ｇ２（Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｂ）に移動させる。
（２）マスクホルダ２（２Ａ，２Ｂ）をマスク密着位置Ｐ２（Ｐ２Ａ，Ｐ２Ｂ）からホルダ退避位置Ｐ１（Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ）に移動させる際、ガイド位置操作部７（７Ａ，７Ｂ）を操作してガイド部６（６Ａ，６Ｂ）をマスク規制位置Ｇ１（Ｇ１Ａ，Ｇ１Ｂ）へ移動させる。
【００４２】
より具体的には、ガイド位置操作部７Ａは、操作部７１Ａと、操作方向変更部７２Ａと、支点サポート部材７３Ａと、操作力伝達部材７４Ａと、初期位置付勢部７５Ａと、ガイド開閉部７６Ａとを備えている。同様に、ガイド位置操作部７Ｂは、操作部７１Ｂと、操作方向変更部７２Ｂと、支点サポート部材７３Ｂと、操作力伝達部材７４Ｂと、初期位置付勢部７５Ｂと、ガイド開閉部７６Ｂとを備えている。
【００４３】
操作部７１Ａ，７１Ｂは、それ自体を往復移動させることでガイド部６Ａ，６Ｂ（６）をガイド退避位置Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｂ（Ｇ２）ないしマスク規制位置Ｇ１Ａ，Ｇ１Ｂ（Ｇ１）へ切り替える操作を行うものである。
【００４４】
具体的には、操作部７１Ａ，７１Ｂは、矢印Ｖの方向またはその逆方向に往復移動させることで、ガイド部６Ａ，６Ｂの開閉動作をさせるための力を各部へ伝えるものである。
【００４５】
より具体的には、操作部７１Ａ，７１Ｂは、棒状部材（ロッド、ステーとも言う）で構成されており、操作部７１Ａ，７１Ｂの一端は、マスクホルダ２Ａ，２Ｂの本体部４Ａ，４Ｂから突出して配置されており、他端が操作方向変更部７２Ａ，７２Ｂと連結されている。
【００４６】
操作方向変更部７２Ａ，７２Ｂは、矢印Ｖの方向に押された操作部７１Ａ，７１Ｂから受ける力の方を変更して、操作力伝達部７４Ａ，７４Ｂやガイド開閉部７６Ａ，７６Ｂに伝達するものである。
【００４７】
具体的には、操作方向変更部７２Ａ，７２Ｂは、本体部４Ａ，４Ｂの開口部を囲む様に４ヶ所備えられており、矢印Ｖの方向に押された操作部７１Ａ，７１Ｂから受ける力の方向を矢印Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４の方向に９０度ずつ変更するものである。
【００４８】
より具体的には、操作方向変更部７２Ａ，７２Ｂは、略Ｌ字形の金具で構成されており、当該金具の一端、屈曲部、他端にはそれぞれ貫通穴が設けられている。そして、当該一端の貫通穴には操作部７１Ａ，７１Ｂが連結されており、当該屈曲部の貫通穴には支点サポート部７３Ａ，７３Ｂが連結されており、当該他端の貫通穴には操作力伝達部７４Ａ，７４Ｂが連結されている。これらの貫通穴と各部との連結は、互いに離間しないものの、回転できるように連結している（つまり、つながれている）ことを意味する。
【００４９】
支点サポート部７３Ａ，７３Ｂは、操作方向変更部７２Ａ，７２Ｂの屈曲部の貫通穴（つまり、支点）が、Ｘ，Ｙ，Ｚの各方向に移動しないように、本体部４Ａ，４Ｂと所定の距離や位置関係を維持して支える（つまり、サポート）するものである。
【００５０】
具体的には、支点サポート部７３Ａ，７３Ｂは、スペーサやスタッドと呼ばれる金具とで構成されており、操作方向変更部７２Ａ，７２Ｂの屈曲部の貫通穴を貫くように、ネジやリベットで係合されている。
【００５１】
操作力伝達部７４Ａ，７４Ｂは、操作部７１Ａ，７１Ｂの押す方向とは異なる方向（例えば、９０度、１８０度、２７０度に変更された方向。つまり、矢印Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４に示す方向。）に、操作部７１Ａ，７１Ｂの操作力を伝達するものである。
【００５２】
具体的には、操作力伝達部７４Ａ，７４Ｂは、本体部４Ａ，４Ｂの開口部を囲む様に３ヶ所備えられた棒状部材（ロッド、ステーとも言う）で構成されている。
【００５３】
より具体的には、操作方向変更部７２Ａ，７２Ｂの他端（操作部７１Ａ，７１Ｂと連結されている一端とは反対の端部）と、操作力伝達部７４Ａ，７４Ｂの一端が連結されており、操作力伝達部７４Ａ，７４Ｂの他端が別の操作方向変更部７２Ａ，７２Ｂの一端と連結されている。同様に、操作方向変更部７２Ａ，７２Ｂと操作力伝達部７４Ａ，７４Ｂが交互に配置されて連結される構成をしている。
【００５４】
初期位置付勢部７５Ａ，７５Ｂは、操作部７１Ａ，７１Ｂが矢印Ｖの方向に押されても、元の初期位置側に戻す力を付勢するものである。
【００５５】
具体的には、初期位置付勢部７５Ａ，７５Ｂは、コイルバネや板バネ、ゴムなどの弾性部材で構成されている。より具体的には、初期位置付勢部７５Ａ，７５Ｂは、ガイド開閉部７６Ａ，７６Ｂの一端に取り付けられており、矢印Ｖに対して反力を作用させる（つまり、矢印Ｖとは逆の力がはたらく）構成をしている。
【００５６】
ガイド開閉部７６Ａは、ガイド部６Ａをマスク規制位置Ｇ１Ａないし、ガイド退避位置Ｇ２Ａに移動させるものである。同様に、ガイド開閉部７６Ｂは、ガイド部６Ｂをマスク規制位置Ｇ１Ｂないし、ガイド退避位置Ｇ２Ｂに移動させるものである。
【００５７】
具体的には、ガイド開閉部７６Ａ，７６Ｂは、操作部７１Ａ，７１Ｂや操作力伝達部７４Ａ，７４Ｂから受ける力（矢印Ｖ，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４に示す方向の力）を９０度ずつ変更させるものであり、操作部７１Ａ，７１Ｂが矢印Ｖの方向に押し込まれていなければガイド部６Ａ，６Ｂをマスク規制位置Ｇ１Ａ，Ｇ１Ｂへ移動させ、操作部７１Ａ，７１Ｂが矢印Ｖの方向に押し込まれればガイド部６Ａ，６Ｂをガイド退避位置Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｂへ移動させるものである。
【００５８】
より具体的には、ガイド開閉部７６Ａ，７６Ｂは、上述した操作方向変更部７２Ａ，７２Ｂと同様、略Ｌ字形の金具で構成されており、当該金具の一端、屈曲部、他端にはそれぞれ貫通穴が設けられている。そして、当該一端の貫通穴には操作部７１Ａ，７１Ｂまたは操作力伝達部７４Ａ，７４Ｂが連結されており、当該屈曲部の貫通穴には支点サポート部７３Ａ，７３Ｂが連結されており、当該他端の貫通穴にはガイド部６Ａ，６Ｂが連結されている。なお、ガイド開閉部７６Ａ，７６Ｂとガイド部６Ａ，６Ｂとは、マスクホルダ２Ａ，２Ｂの本体部４Ａ，４Ｂを挟んで表裏反対側に配置されているが、本体部４Ａ，４Ｂに設けられた貫通長穴の内側を経由してそれぞれ連結されている。
【００５９】
さらに、ガイド位置操作部７Ａ，７Ｂには、ブッシュ７７Ａ，７７Ｂが備えられている。ブッシュ７７Ａ，７７Ｂは、操作部７１Ａ，７１Ｂと本体部４Ａ，４Ｂとの距離や位置関係を一定に維持しつつ、操作部７１Ａ，７１Ｂの往復移動をスムーズにさせるものであり、本体部４Ａ，４Ｂに取り付けられている。
【００６０】
マスクホルダ２（２Ａ，２Ｂ）は、この様な構成をしているため、ガイド位置操作部７（７Ａ，７Ｂ）の操作部７１Ａ，７１Ｂが矢印Ｖの方向に押し込まれていなければ、ガイド部６（６Ａ，６Ｂ）がマスク規制位置Ｇ１（Ｇ１Ａ，Ｇ１Ｂ）にあり、操作部７１Ａ，７１Ｂが矢印Ｖの方向に押し込まれれば、ガイド部６（６Ａ，６Ｂ）がガイド退避位置Ｇ２（Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｂ）に移動し、当該押し込みが解除されると、再びマスク規制位置Ｇ１（Ｇ１Ａ，Ｇ１Ｂ）に移動する。
【００６１】
凹み部Ｄは、対向し合うマスクホルダ２Ａ，２Ａの本体部４Ａ，４Ｂ同士が、それぞれマスク密着位置Ｐ２Ａ，Ｐ２Ｂに移動する際、マスクホルダ２Ａの本体部４Ａとマスクホルダ２Ｂのガイド部６Ｂとが干渉し合わないように、マスクホルダ２Ｂの本体部４Ｂとマスクホルダ２Ａのガイド部６Ａとが干渉し合わないようにするために設けられたものである。具体的には、凹み部Ｄは、本体部４Ａ，４Ｂの肉厚を薄くしたり、切り欠いたりして構成することができる。
【００６２】
なお、露光装置１には、ガイド位置操作部７Ａ，７Ｂの操作部７１Ａ，７１Ｂの一端と当接するくさび形の当接部ＣＢ（破線で示す）が備えられている。くさび形の当接部は、マスクホルダ２Ａ，２Ｂの位置に応じて、ガイド位置操作部７Ａ，７Ｂの操作部７１Ａ，７１Ｂの一端を押し込んだり、押し込みを解除するためのものである。
【００６３】
具体的には、くさび形の当接部は、マスクホルダ２Ａ，２Ｂがホルダ退避位置（Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ）にあれば、この当接部と操作部７１Ａ，７１Ｂの一端とが離間する位置であって、マスクホルダ２Ａ，２Ｂがマスク密着位置（Ｐ２Ａ，Ｐ２Ｂ）に近づくにつれて、この当接部に操作部７１Ａ，７１Ｂの一端が接触し、さらに操作部７１Ａ，７１Ｂの一端が矢印Ｖの方向に押し込みができる位置に配置されている。
【００６４】
なお、露光装置１を稼働させるにあたって、原則的としてフォトマスクＭＡ，ＭＢをマスクホルダ２Ａ，２Ｂにセットした後は、吸引保持部を負圧吸引させフォトマスクＭＡ，ＭＢを保持させておく。そして、吸引保持部を負圧吸引させた状態で、マスクホルダ２Ａ，２Ｂをホルダ退避位置ないし前記マスク密着位置に移動させて、ワークＷの搬送やパターン露光を行う。
この様な構成をしているため、本発明にかかる露光装置１は、フォトマスクをセットする作業者の手間を軽減しつつ、不意に真空破壊が発生しても確実にフォトマスクの落下を防止できる。
【００６５】
［別の形態］  
なお上述では、露光装置１の一類型として縦型両面露光機を例示しマスクホルダ２Ａ，２Ｂを備え、マスクホルダ２Ａ，２Ｂが、ワークＷの表裏両面側（つまり、オモテ面Ｓ１側とウラ面Ｓ２側）にそれぞれ対向配置されており、
一方のマスクホルダには、他方のマスクホルダに備えられた前記ガイド部と干渉し合わないように凹み部Ｄが設けられており、
前記他方のマスクホルダには、前記一方のマスクホルダに備えられた前記ガイド部と干渉し合わないように凹み部Ｄが設けられている構成を示した。
【００６６】
この様な構成であれば、オモテ面用のフォトマスクＭＡと、ウラ面用のフォトマスクＭＢとを、互いに異形にする必要が無く、同じ外形にすることができ、保管や管理がしやすくなる。
【００６７】
しかし、片面露光であれば、この様な構成に限定されず、マスクホルダ２のガイド部６が、ワークＷが搬送される領域から外れるところ（例えば、ワークＷの幅方向のワーク端部よりも外側）に、ガイド退避位置Ｇ２が配置されている構成であれば良い。
【００６８】
なおこの場合、ワークＷの重力上方ないし斜め上方または斜め下方に配置されるマスクホルダ２とワークＷを挟んで対向する位置に配置されるバックアップ部材において、凹み部Ｄや段差を設けておき、ガイド部６と干渉し合わない構成としておくか、当該干渉しうる部分にはバックアップ部材を配置しない構成としておく。
【００６９】
［別の形態］  
なお上述では、露光装置１の一類型として縦型両面露光機を例示し、マスクホルダ２Ａ，２ＢがワークＷに対して側方でフォトマスクＭＡ，ＭＢを保持する構成を例示した。この様な構成であれば、フォトマスクをセットする作業者の手間を軽減しつつ、不意に真空破壊が発生しても確実にフォトマスクの落下を防止できる。
【００７０】
しかし本発明は、この様な構成の縦型両面露光機に限定されず、ワークＷを水平方向に配置したり斜めに傾けて配置してパターン露光する形態にも適用することができる。また、両面露光機に限定されず、ワークＷの片面にパターン露光する形態でも適用することができる。これらの場合、マスクホルダ２は、ワークＷの配置に応じて適宜配置すれば良く、ワークＷに対して重力上方に配置してフォトマスクＭを下方で保持する構成としたり、ワークＷに対して斜め上方や斜め下方に配置されてフォトマスクＭを保持する構成とすることができる。
【００７１】
［別の形態］  
なお上述では、ガイド位置操作部７Ａ，７Ｂがそれぞれ、操作部７１Ａ，７１Ｂと、操作方向変更部７２Ａ，７２Ｂと、支点サポート部材７３Ａ，７３Ｂと、操作力伝達部材７４Ａ，７４Ｂと、初期位置付勢部７５Ａ，７５Ｂと、ガイド開閉部７６Ａ，７６Ｂとを備え、操作部７１Ａ，７１Ｂの一端がマスクホルダ２Ａ，２Ｂの本体部４Ａ，４Ｂから突出している構成を示した。
【００７２】
この様な構成であれば、操作部７１Ａ，７１Ｂの一端を押し込んだり、押し込みを解除することで、操作部７１Ａ，７１Ｂが移動し、それに連動して操作力伝達部材７４Ａ，７４Ｂが移動し、ガイド部６Ａ，６Ｂの開閉動作が行われる。つまり、メカニカルな連係動作が行われる。
【００７３】
しかし、本発明に係るガイド位置操作部７は、この様なメカニカルな連係動作に限定されず、アクチュエータやシリンダ機構により駆動される構成であっても良い。
【００７４】
具体的には、操作部７１Ａ，７１Ｂを構成する棒状部材に直動式のアクチュエータやシリンダ機構を接続させた構成とする。直動式のアクチュエータやシリンダ機構は、オペレータによるスイッチ操作により駆動（つまり、矢印Ｖの方向または逆方向へ移動）する構成（つまり、マニュアル動作）や、マスクホルダを○○にセットしたときにＯＮ状態となるスイッチを備えておき、マスクホルダのセットと同時にアクチュエータが作動する（つまり、電気的に連係動作が行われる）構成とする。
【００７５】
［変形例］  
なお上述では、操作方向変更部７２Ａ，７２Ｂが本体部４Ａ，４Ｂの開口部を囲む様に４ヶ所備えられ、操作部７１Ａ，７１Ｂと操作力伝達部７４Ａ，７４Ｂとが閉ループ状に連結されている構成を例示した。この様な構成であれば、操作部７１Ａ，７１Ｂの往復移動によりはたらく力（つまり、ガイド部を開閉させるための力）が、各操作力伝達部７４Ａ，７４Ｂに確実に伝達されるため、好ましい。
【００７６】
しかし、本発明に係るガイド位置操作部７は、上述の様な閉ループに連結された構成に限られず、開ループ状に連結された構成であっても、本発明を具現化することができる。
【００７７】
なお上述では、ガイド位置操作部７Ａ，７Ｂを構成する各部が、本体部４Ａ，４Ｂのワーク対向面と反対側の面に配置された構成を例示した。
【００７８】
この様な構成であれば、フォトマスクをセットする作業者の手間を軽減しつつ、不意に真空破壊が発生しても確実にフォトマスクの落下を防止できるだけでなく、ワークＷ側に可動部を露出させずに済むため、パーティクルなどの発生やワークへの付着を防止することができるため好ましい。
【００７９】
しかし、本発明に係るガイド位置操作部７を構成する各部の一部ないし全てが、本体部４Ａ，４Ｂのワーク対向面側に配置されていても、本発明を具現化することができる。
【００８０】
なお上述では、ガイド位置操作部７Ａ，７Ｂには、ブッシュ７７Ａ，７７Ｂが備えられている構成を例示した。しかし、ブッシュ７７Ａ，７７Ｂは必須の構成ではなく、これらを省いた構成や、他の代替品により構成されていても良い。
【００８１】
なお上述では、ガイド部６Ａ，６Ｂが、フォトマスクＭＡ，ＭＢの外周を囲む様に６ヶ所配置されている構成を例示したが、適宜増減させても良い。
また、ガイド部６に代えて又はガイド部６の間を補完するように、ガイドピンを備えた構成としても良い。なお、ガイドピンの頭頂部がフォトマスクＭＡ，ＭＢよりも突出する場合、ガイドピンはワークＷが通過する位置を避けて配置し、対向するマスクホルダのガイドピン同士が干渉し合わないように配置したり、他方のマスクホルダに凹み部Ｄを設けておく。
【００８２】
なお上述では、ガイド部６Ａ，６Ｂが、断面形状が略Ｔ字形状（いわゆる階段状）の段付円筒状部材で構成されている構成を例示したが、この様な構成に限らず、以下の様な部材で構成されていても良い。
（１）逆テーパ状の断面形状を有する逆円錐台状の部材
（２）逆円錐台と円筒を組み合わせた様な、略Ｙ字状の断面形状を有する部材
（３）フォトマスクＭ（ＭＡ，ＭＢ）と当接または近接する側のみ段差やテーパ状の断面形状を有する部材
【００８３】
さらに、ガイド部６Ａ，６Ｂと、フォトマスクＭＡ，ＭＢのワーク対向面及び外周縁は、互いに接触していても良いし、所定の隙間を隔てて離間していても良く、フォトマスクＭＡ，ＭＢが落下したりずれ落ちたりしない位置関係であれば良い。
【００８４】
なお上述では、ガイド部６Ａ，６ＢをフォトマスクＭＡ，ＭＢの外縁部に対してＸ方向やＺ方向に近接させたり離間させたりすることで、ガイド退避位置Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｂに移動させたりマスク規制位置Ｇ１Ａ，Ｇ１Ｂに移動させたりする構成を例示した。
しかし、ガイド部６Ａ，６Ｂは、この様な構成に限定されず、別の構成により具現化しても良い。
【００８５】
図３は、本発明を具現化する形態の変形例を示す概略図である。図３には、本発明を構成するフォトマスク２Ａ，２Ｂの変形例としてフォトマスク２０Ａ，２０Ｂの要部の構成が示されている。
【００８６】
フォトマスク２０Ａ，２０Ｂは、上述のガイド部６に代えて、略Ｌ字形の断面形状で構成されたガイド部６５Ａ，６５Ｂを備えている。ガイド部６５Ａ，６５Ｂは、ワークＷの厚み方向に所定の長さを有する柱状部材６６Ａ，６６Ｂで構成されており、ワークＷ側の端部には、ワークＷの内側に突出した突出部６７Ａ，６７Ｂが備えられている。そして、柱状部材６６Ａ，６６Ｂのワーク側の端部とは反対側の本体部および端部およびには、貫通穴ないし不貫通の穴（単に、本体部の穴６８Ａ，６８Ｂ、端部の穴６９Ａ，６９Ｂと呼ぶ）が設けられている。そして、柱状部材６６Ａ，６６Ｂのは、マスクホルダ２Ａ，２Ｂの本体部４５Ａ，４５Ｂに設けられた凹み部Ｄ’ないし貫通穴に埋まるように配置され、柱状部材６６Ａ，６６Ｂの本体部の穴６８Ａ，６８Ｂはマスクホルダ２Ａ，２Ｂの本体部４５Ａ，４５Ｂと支持ピンを介して連結されている。一方、柱状部材６６Ａ，６６Ｂの端部の穴６９Ａ，６９Ｂにはガイド部６５Ａ，６５Ｂを回動させる機構（不図示）が連結されており、柱状部材６６Ａ，６６Ｂの本体部の穴６８Ａ，６８Ｂを支点として、突出部６７Ａ，６７ＢがフォトマスクＭＡ，ＭＢのワーク対向面および外縁部と近接する位置（つまり、マスク規制位置）に回動したり、離間する位置（ガイド退避位置）に回動するよう構成されている。なお、ガイド位置操作部７の具体的構成については、詳細な説明を省略するが、上述した様なメカニカルな連係動作を行う構成や、電気的に連係動作を行う構成により具現化することができる。
【符号の説明】
【００８７】
１    露光装置
２    マスクホルダ（２Ａ，２Ｂ）
３    マスクホルダ位置切替部（３Ａ，３Ｂ）
４    本体部（４Ａ，４Ｂ）
５    吸引保持部（５Ａ，５Ｂ）
６    ガイド部（６Ａ，６Ｂ）
６５Ａ，６５Ｂ  ガイド部
６６Ａ，６６Ｂ  柱状部材
６７Ａ，６７Ｂ  突出部
６８Ａ，６８Ｂ  本体部の穴
６９Ａ，６９Ｂ  端部の穴
７    ガイド位置操作部（７Ａ，７Ｂ）
７１Ａ，７１Ｂ  操作部
７２Ａ，７２Ｂ  操作方向変更部
７３Ａ，７３Ｂ  支点サポート部
７４Ａ，７４Ｂ  操作力伝達部
７５Ａ，７５Ｂ  初期位置付勢部
７６Ａ，７６Ｂ  ガイド開閉部
７７Ａ，７７Ｂ  ブッシュ
Ｗ    ワーク
Ｓ１  オモテ面
Ｓ２  ウラ面
Ｍ    フォトマスク（ＭＡ，ＭＢ）
Ｄ    凹み部
Ｐ１  ホルダ退避位置（Ｐ１Ａ，Ｐ１Ｂ）
Ｐ２  マスク密着位置（Ｐ２Ａ，Ｐ２Ｂ）
Ｇ１  マスク規制位置（Ｇ１Ａ，Ｇ１Ｂ）
Ｇ２  ガイド退避位置（Ｇ２Ａ，Ｇ２Ｂ）
Ｖ    矢印（操作方向）
Ｖ２〜Ｖ４  矢印
ＣＢ  くさび状の当接部
Ｅ    露光ユニット（Ｅ１，Ｅ２）
Ｔ    ワーク搬送部
Ｒ１  巻出ロール
Ｒ２  巻取ロール
ＳＲ１〜ＳＲ９  搬送ローラ
ＳＷ１，ＳＷ２  揺動ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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