(57)【要約】【課題】チップの切断面に残存するパーティクルを除去できる加工対象物切断方法を提供する。【解決手段】加工対象物１の裏面４にエキスパンドテープ６を貼り付ける。切断予定ライン５に沿って加工対象物１にレーザ光Ｌを照射して改質領域７を形成し、エキスパンドテープ６を拡張することにより、加工対象物１の少なくとも一部を複数のチップ１ａに分割すると共に、複数のチップ１ａ間に存在し且つ加工対象物１の側面２に至る隙間Ｇを形成する。加工対象物１の側面２から隙間Ｇに樹脂Ｒを充填する。樹脂Ｒを硬化させて収縮させる。そして、エキスパンドテープ６上からチップ１ａを取り出す。【選択図】図１０
2018198274.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工対象物の表面又は裏面に拡張可能シートを貼り付ける第１工程と、
前記第１工程の後、切断予定ラインに沿って前記加工対象物にレーザ光を照射して改質領域を形成し、前記拡張可能シートを拡張することにより、前記加工対象物の少なくとも一部を複数のチップに分割すると共に、複数のチップ間に存在し且つ前記加工対象物の表面及び裏面と交差する側面に至る隙間を形成する第２工程と、
前記第２工程の後、前記加工対象物における前記側面を含む外縁部から前記隙間に樹脂を充填する第３工程と、
前記第３工程の後、前記樹脂を硬化させて収縮させる第４工程と、
前記第４工程の後、前記拡張可能シート上から前記チップを取り出す第５工程と、を含む、加工対象物切断方法。
【請求項２】
加工対象物の表面又は裏面に拡張可能シートを貼り付ける第１工程と、
前記第１工程の後、切断予定ラインに沿って前記加工対象物にレーザ光を照射して改質領域を形成し、前記拡張可能シートを拡張することにより、前記加工対象物の少なくとも一部を複数のチップに分割すると共に、複数のチップ間に存在し且つ前記加工対象物の表面及び裏面と交差する側面に至る隙間を形成する第２工程と、
前記第２工程において、前記拡張可能シートを拡張する前に樹脂を前記拡張可能シート上に塗布した後、前記拡張可能シートの拡張で前記隙間を形成しながら、塗布した前記樹脂を前記加工対象物における前記側面を含む外縁部から当該隙間に充填する第３工程と、
前記第３工程の後、前記樹脂を硬化させて収縮させる第４工程と、
前記第４工程の後、前記拡張可能シート上から前記チップを取り出す第５工程と、を含む、加工対象物切断方法。
【請求項３】
前記第３工程では、前記加工対象物の前記側面から所定長離れた周囲の少なくとも一部に前記樹脂を塗布することで、前記側面から前記隙間に樹脂を充填する、請求項１又は２に記載の加工対象物切断方法。
【請求項４】
前記第３工程では、前記加工対象物の前記外縁部の少なくとも一部に前記樹脂を塗布することで、前記外縁部から前記隙間に樹脂を充填する、請求項１〜３の何れか一項に記載の加工対象物切断方法。
【請求項５】
前記第３工程では、液体塗布機構により前記樹脂を塗布しながら、当該液体塗布機構を前記加工対象物の外縁に沿って移動させる、請求項１〜４の何れか一項に記載の加工対象物切断方法。
【請求項６】
前記第５工程では、前記チップを取り出すと共に、硬化した前記樹脂を前記拡張可能シート上に残す、請求項１〜５の何れか一項に記載の加工対象物切断方法。
【請求項７】
前記第５工程では、前記チップを取り出す前に、硬化した前記樹脂の少なくとも一部を除去する、請求項１〜５の何れか一項に記載の加工対象物切断方法。
【請求項８】
前記樹脂は、紫外線硬化樹脂であり、
前記第３工程では、前記樹脂に紫外線を照射して前記樹脂を硬化させると共に、前記拡張可能シートに紫外線を照射して前記拡張可能シートの粘着力を低下させる、請求項１〜７の何れか一項に記載の加工対象物切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工対象物切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の加工対象物切断方法に関する技術として、特許文献１には、切断の起点となる改質領域が形成された加工対象物にシートを介して応力を印加する際に、加工対象物の形成物質（加工対象物を形成している物質、或いは加工対象物を形成していた物質）を除電する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１４２２０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような加工対象物切断方法では、チップの切断面にパーティクルが残存していると、例えばその後の搬送工程等においてチップの切断面からパーティクルが剥離し、チップの機能素子等に付着するおそれがある。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、チップの切断面に残存するパーティクルを除去できる加工対象物切断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る加工対象物切断方法は、加工対象物の表面又は裏面に拡張可能シートを貼り付ける第１工程と、第１工程の後、切断予定ラインに沿って加工対象物にレーザ光を照射して改質領域を形成し、拡張可能シートを拡張することにより、加工対象物の少なくとも一部を複数のチップに分割すると共に、複数のチップ間に存在し且つ加工対象物の表面及び裏面と交差する側面に至る隙間を形成する第２工程と、第２工程の後、加工対象物における側面を含む外縁部から隙間に樹脂を充填する第３工程と、第３工程の後、樹脂を硬化させて収縮させる第４工程と、第４工程の後、拡張可能シート上からチップを取り出す第５工程と、を含む。
【０００７】
この加工対象物切断方法では、加工対象物が複数のチップへ分割され、複数のチップ間に樹脂が充填された後、充填された樹脂が硬化されて収縮される。これにより、取り出すチップの切断面に残存するパーティクルを樹脂に付着させて、当該パーティクルを除去することが可能となる。
【０００８】
本発明に係る加工対象物切断方法は、加工対象物の表面又は裏面に拡張可能シートを貼り付ける第１工程と、第１工程の後、切断予定ラインに沿って加工対象物にレーザ光を照射して改質領域を形成し、拡張可能シートを拡張することにより、加工対象物の少なくとも一部を複数のチップに分割すると共に、複数のチップ間に存在し且つ加工対象物の表面及び裏面と交差する側面に至る隙間を形成する第２工程と、第２工程において、拡張可能シートを拡張する前に樹脂を拡張可能シート上に塗布した後、拡張可能シートの拡張で隙間を形成しながら、塗布した樹脂を加工対象物における側面を含む外縁部から当該隙間に充填する第３工程と、第３工程の後、樹脂を硬化させて収縮させる第４工程と、第４工程の後、拡張可能シート上からチップを取り出す第５工程と、を含む。
【０００９】
この加工対象物切断方法においても、取り出すチップの切断面に残存するパーティクルを樹脂に付着させて、当該パーティクルを除去することが可能となる。
【００１０】
本発明に係る加工対象物切断方法において、第３工程では、加工対象物の側面から所定長離れた周囲の少なくとも一部に樹脂を塗布することで、側面から隙間に樹脂を充填してもよい。また、本発明に係る加工対象物切断方法において、第３工程では、加工対象物の外縁部の少なくとも一部に樹脂を塗布することで、外縁部から隙間に樹脂を充填してもよい。これらの場合、隙間への樹脂の充填を効果的に実現できる。
【００１１】
本発明に係る加工対象物切断方法において、第３工程では、液体塗布機構により樹脂を塗布しながら、当該液体塗布機構を加工対象物の外縁に沿って移動させてもよい。この場合、隙間への樹脂の充填を具体的に実現できる。
【００１２】
本発明に係る加工対象物切断方法において、第５工程では、チップを取り出すと共に、硬化した樹脂を拡張可能シート上に残してもよい。この場合、チップを取り出す際、チップの切断面に残存するパーティクルを、樹脂とともに拡張可能シート上に残すことができる。
【００１３】
本発明に係る加工対象物切断方法において、第５工程では、チップを取り出す前に、硬化した樹脂の少なくとも一部を除去してもよい。この場合、チップを取り出す前に、チップの切断面に残存するパーティクルを、樹脂とともに除去することができる。
【００１４】
本発明に係る加工対象物切断方法において、樹脂は、紫外線硬化樹脂であり、第３工程では、樹脂に紫外線を照射して樹脂を硬化させると共に、拡張可能シートに紫外線を照射して拡張可能シートの粘着力を低下させてもよい。このように、紫外線の照射により拡張可能シートの粘着力を低下させることで、その後に拡張可能シート上からチップを取り出しやすくすることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、チップの切断面に残存するパーティクルを除去できる加工対象物切断方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】改質領域の形成に用いられるレーザ加工装置の概略構成図である。
【図２】改質領域の形成の対象となる加工対象物の平面図である。
【図３】図２の加工対象物のIII−III線に沿っての断面図である。
【図４】レーザ加工後の加工対象物の平面図である。
【図５】図４の加工対象物のV−V線に沿っての断面図である。
【図６】図４の加工対象物のVI−VI線に沿っての断面図である。
【図７】（ａ）は、一実施形態に係る加工対象物切断方法を説明するための概略斜視図である。（ｂ）は、図７（ａ）の続きを示す概略斜視図である。
【図８】図７（ｂ）の続きを示す概略斜視図である。
【図９】エキスパンド工程後における加工対象物の他の例を示す平面図である。
【図１０】（ａ）は、図８の続きを示す概略斜視図である。（ｂ）は、図１０（ａ）の一部断面拡大図である。
【図１１】（ａ）は、図１０（ａ）の続きを示す概略斜視図である。（ｂ）は、図１１（ａ）の続きを示す概略斜視図である。
【図１２】変形例に係る加工対象物切断方法の樹脂剥離工程を示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１８】
実施形態に係る加工対象物切断方法及び加工対象物切断方法を実施するレーザ加工装置では、加工対象物にレーザ光を集光することにより、切断予定ラインに沿って加工対象物に改質領域を形成する。そこで、まず、改質領域の形成について、図１〜図６を参照して説明する。
【００１９】
図１に示されるように、レーザ加工装置１００は、レーザ光Ｌをパルス発振するレーザ光出射部であるレーザ光源１０１と、レーザ光Ｌの光軸（光路）の向きを９０°変えるように配置されたダイクロイックミラー１０３と、レーザ光Ｌを集光するための集光用レンズ１０５と、を備えている。また、レーザ加工装置１００は、集光用レンズ１０５で集光されたレーザ光Ｌが照射される加工対象物１を支持するための支持台１０７と、支持台１０７を移動させるためのステージ１１１と、レーザ光Ｌの出力（パルスエネルギ，光強度）やパルス幅、パルス波形等を調節するためにレーザ光源１０１を制御するレーザ光源制御部１０２と、ステージ１１１の移動を制御するステージ制御部１１５と、を備えている。
【００２０】
レーザ加工装置１００においては、レーザ光源１０１から出射されたレーザ光Ｌは、ダイクロイックミラー１０３によってその光軸の向きを９０°変えられ、支持台１０７上に載置された加工対象物１の内部に集光用レンズ１０５によって集光される。これと共に、ステージ１１１が移動させられ、加工対象物１がレーザ光Ｌに対して切断予定ライン５に沿って相対移動させられる。これにより、切断予定ライン５に沿った改質領域が加工対象物１に形成される。なお、ここでは、レーザ光Ｌを相対的に移動させるためにステージ１１１を移動させたが、集光用レンズ１０５を移動させてもよいし、或いはこれらの両方を移動させてもよい。
【００２１】
加工対象物１としては、半導体材料で形成された半導体基板や圧電材料で形成された圧電基板等を含む板状の部材（例えば、基板、ウェハ等）が用いられる。図２に示されるように、加工対象物１には、加工対象物１を切断するための切断予定ライン５が設定されている。切断予定ライン５は、直線状に延びた仮想線である。加工対象物１の内部に改質領域を形成する場合、図３に示されるように、加工対象物１の内部に集光点（集光位置）Ｐを合わせた状態で、レーザ光Ｌを切断予定ライン５に沿って（すなわち、図２の矢印Ａ方向に）相対的に移動させる。これにより、図４、図５及び図６に示されるように、改質領域７が切断予定ライン５に沿って加工対象物１に形成され、切断予定ライン５に沿って形成された改質領域７が切断起点領域８となる。
【００２２】
集光点Ｐとは、レーザ光Ｌが集光する箇所のことである。切断予定ライン５は、直線状に限らず曲線状であってもよいし、これらが組み合わされた３次元状であってもよいし、座標指定されたものであってもよい。切断予定ライン５は、仮想線に限らず加工対象物１の表面３に実際に引かれた線であってもよい。改質領域７は、連続的に形成される場合もあるし、断続的に形成される場合もある。改質領域７は列状でも点状でもよく、要は、改質領域７は少なくとも加工対象物１の内部に形成されていればよい。また、改質領域７を起点に亀裂が形成される場合があり、亀裂及び改質領域７は、加工対象物１の外表面（表面３、裏面、若しくは外周面）に露出していてもよい。改質領域７を形成する際のレーザ光入射面は、加工対象物１の表面３に限定されるものではなく、加工対象物１の裏面であってもよい。
【００２３】
ちなみに、加工対象物１の内部に改質領域７を形成する場合には、レーザ光Ｌは、加工対象物１を透過すると共に、加工対象物１の内部に位置する集光点Ｐ近傍にて特に吸収される。これにより、加工対象物１に改質領域７が形成される（すなわち、内部吸収型レーザ加工）。この場合、加工対象物１の表面３ではレーザ光Ｌが殆ど吸収されないので、加工対象物１の表面３が溶融することはない。一方、加工対象物１の表面３又は裏面に改質領域７を形成する場合には、レーザ光Ｌは、表面３又は裏面に位置する集光点Ｐ近傍にて特に吸収され、表面３又は裏面から溶融され除去されて、穴や溝等の除去部が形成される（表面吸収型レーザ加工）。
【００２４】
改質領域７は、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲とは異なる状態になった領域をいう。改質領域７としては、例えば、溶融処理領域（一旦溶融後再固化した領域、溶融状態中の領域及び溶融から再固化する状態中の領域のうち少なくとも何れか一つを意味する）、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域等があり、これらが混在した領域もある。更に、改質領域７としては、加工対象物１の材料において改質領域７の密度が非改質領域の密度と比較して変化した領域や、格子欠陥が形成された領域がある。加工対象物１の材料が単結晶シリコンである場合、改質領域７は、高転位密度領域ともいえる。
【００２５】
溶融処理領域、屈折率変化領域、改質領域７の密度が非改質領域の密度と比較して変化した領域、及び、格子欠陥が形成された領域は、更に、それら領域の内部や改質領域７と非改質領域との界面に亀裂（割れ、マイクロクラック）を内包している場合がある。内包される亀裂は、改質領域７の全面に渡る場合や一部分のみや複数部分に形成される場合がある。加工対象物１は、結晶構造を有する結晶材料からなる基板を含む。例えば加工対象物１は、窒化ガリウム（ＧａＮ）、シリコン（Ｓｉ）、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ＬｉＴａＯ３、及び、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）の少なくとも何れかで形成された基板を含む。換言すると、加工対象物１は、例えば、窒化ガリウム基板、シリコン基板、ＳｉＣ基板、ＬｉＴａＯ３基板、又はサファイア基板を含む。結晶材料は、異方性結晶及び等方性結晶の何れであってもよい。また、加工対象物１は、非結晶構造（非晶質構造）を有する非結晶材料からなる基板を含んでいてもよく、例えばガラス基板を含んでいてもよい。
【００２６】
実施形態では、切断予定ライン５に沿って改質スポット（加工痕）を複数形成することにより、改質領域７を形成することができる。この場合、複数の改質スポットが集まることによって改質領域７となる。改質スポットとは、パルスレーザ光の１パルスのショット（つまり１パルスのレーザ照射：レーザショット）で形成される改質部分である。改質スポットとしては、クラックスポット、溶融処理スポット若しくは屈折率変化スポット、又はこれらの少なくとも１つが混在するもの等が挙げられる。改質スポットについては、要求される切断精度、要求される切断面の平坦性、加工対象物１の厚さ、種類、結晶方位等を考慮して、その大きさや発生する亀裂の長さを適宜制御することができる。また、実施形態では、切断予定ライン５に沿って、改質スポットを改質領域７として形成することができる。
【００２７】
次に、加工対象物切断方法について説明する。
【００２８】
加工対象物切断方法は、加工対象物１をレーザ加工して複数のチップを製造するためのチップの製造方法として用いられる。加工対象物切断方法は、図１に示されるレーザ加工装置１００を用いて実施可能である。加工対象物１は、例えば厚さが４００μｍで直径が８インチの円板状を呈している。加工対象物１は、例えば、サファイア基板、ＳｉＣ基板、ガラス基板（強化ガラス基板）、シリコン基板、半導体基板又は透明絶縁基板等である。ここでの加工対象物１は、単結晶シリコン基板である。
【００２９】
加工対象物１においてレーザ光入射面側である表面３側には、機能素子層が形成されている。機能素子層は、マトリックス状に配列された複数の機能素子（例えば、フォトダイオード等の受光素子、レーザダイオード等の発光素子、又は回路として形成された回路素子等）を含んでいる。加工対象物１の表面３上には、隣り合う機能素子間を通るように延びる切断予定ライン５が複数設定されている。複数の切断予定ライン５は、格子状に延在している。
【００３０】
加工対象物切断方法では、図７（ａ）に示されるように、まず、加工対象物１の裏面４にエキスパンドテープ（拡張可能シート）６を貼着する（テープ貼付工程：第１工程）。エキスパンドテープ６は、例えば円環状のフレームＦに保持されている。テープ貼付工程では、フレームＦに保持された状態のエキスパンドテープ６に対して、裏面４が接触するように加工対象物１を貼り付ける。エキスパンドテープ６は、加工対象物１の厚さ方向から見て、加工対象物１よりも広く、加工対象物１を含んでいる。エキスパンドテープ６は、加工対象物１が配置された中央領域と、加工対象物１が配置されていない外縁領域と、を含む。
【００３１】
図７（ｂ）に示されるように、切断予定ライン５（図１参照）に沿って、加工対象物１にレーザ光Ｌの集光点Ｐを合わせた状態で該集光点Ｐを相対的に移動させ、加工対象物１の少なくとも内部に改質領域７を形成する（改質領域形成工程：第２工程）。改質領域形成工程では、その加工条件は特に限定されず、後段のエキスパンド工程で複数のチップ１ａへ分割可能な加工条件であればよい。例えば加工対象物１の表面３及び裏面４の少なくとも何れかに亀裂を露出させてもよいし、亀裂を露出させなくてもよい。
【００３２】
図８に示されるように、エキスパンドテープ６を拡張することにより、例えば改質領域７から延びる亀裂９を伸展させ、加工対象物１を複数のチップ１ａに分割する。これと共に、チップ１ａ同士の間隔を拡張し、複数のチップ１ａ間に存在し且つ加工対象物１の表面３及び裏面４と直交（交差）する側面２に至る隙間Ｇを形成する（エキスパンド工程：第２工程）。隙間Ｇは、後段の樹脂充填工程で樹脂を浸透させ得る距離を有する。隙間Ｇは、特に限定されず、例えば５０μｍである。なお、改質領域形成工程で複数のチップ１ａへの分割を完了してもよく、この場合、エキスパンド工程では、チップ１ａ同士の間隔を確保する目的で実施される。エキスパンドテープ６の拡張後の加工対象物１の保持は、グリップリング又はヒートシュリンク等を用いることができる。
【００３３】
ちなみに、図９に示されるように、加工対象物１は、外縁部に設けられた非有効領域１６ｘと、非有効領域１６ｘの内側に設けられた有効領域１６ｙと、を有する場合がある。有効領域１６ｙは、機能素子層が設けられる領域であり、非有効領域１６ｘは、機能素子層が設けられない領域である。この場合、改質領域形成工程では、レーザ光Ｌの集光点が非有効領域１６ｘに位置するとき、レーザ光Ｌの照射をＯＦＦとして改質領域７を形成しない一方、レーザ光Ｌの集光点が有効領域１６ｙ内に位置するとき、レーザ光Ｌの照射をＯＮとして改質領域７を形成する。この場合、エキスパンド工程の実施後には、加工対象物１の有効領域１６ｙが複数のチップ１ａに分割されると共に、図示されるように、複数のチップ１ａ間に形成された隙間Ｇの少なくとも一部が、加工対象物１の側面２に至る。
【００３４】
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示されるように、加工対象物１の側面２から所定長離れた周囲に樹脂Ｒを塗布することで、加工対象物１の側面２から隙間Ｇに樹脂Ｒを充填する（樹脂充填工程：第３工程）。樹脂充填工程では、液体塗布機構１１により樹脂Ｒを塗布しながら、当該液体塗布機構１１を加工対象物１の外縁に沿って移動させる。具体的には、樹脂充填工程では、加工対象物１の側面２から所定長離れた位置に液体塗布機構１１により樹脂Ｒを塗布しながら、当該液体塗布機構１１を加工対象物１の周囲に沿って複数周（例えば２周）移動させる。
【００３５】
樹脂充填工程では、隙間Ｇに樹脂Ｒが直接充填されるのではなく、エキスパンドテープ６上における加工対象物１の周囲に滴下された樹脂Ｒが、毛細管現象、材質側面の選択的ぬれ性及び表面張力の少なくとも何れかを利用して隙間Ｇを進む（浸透する）。樹脂充填工程では、加工対象物１の表面３上に樹脂Ｒがはみ出ることはなく、且つ、隙間Ｇを樹脂Ｒが戻ることはない。
【００３６】
樹脂Ｒは、液体の樹脂である。樹脂Ｒは、紫外線硬化樹脂である。樹脂Ｒとしては、後段のピックアップ工程でチップ１ａ（図１１（ｂ）参照）から剥離しやすいように、硬化時の収縮率が所定率よりも高い樹脂が選定されている。なお、樹脂Ｒは、ジェル（ゲル）状、半固体状、ゼリー状、ムース状ないしペースト状（練状）の樹脂であってもよい。例えば所定長は、０．５ｍｍであり、エキスパンドテープ６からの液体塗布機構１１の高さは０．３ｍｍである。樹脂は、加工対象物１の厚さ方向において、例えば４００μｍの板厚のうち少なくとも３５０μｍまでは到達している。ここでの液体塗布機構１１は、ディスペンサである。
【００３７】
なお、樹脂充填工程では、加工対象物１の周囲に沿って、液体塗布機構１１を１周のみ移動させてもよい。樹脂充填工程では、加工対象物１の周囲に沿って、液体塗布機構１１を１周以下のみ移動させてもよい。つまり、樹脂充填工程では、加工対象物１の側面２から所定長離れた周囲の一部に樹脂Ｒを塗布してもよい。また、液体塗布機構１１の当該移動に代えて若しくは加えて、加工対象物１が載せられているステージ１１１（図１参照）を回転させてもよい。
【００３８】
図１１（ａ）に示されるように、樹脂Ｒに紫外線を照射し、樹脂Ｒを硬化させて収縮させる（紫外線照射工程：第４工程）。紫外線照射工程では、紫外線の照射を複数回に分けて実施してもよいし、１回で実施してもよい。紫外線照射工程では、エキスパンドテープ６に対しても紫外線を照射して、加工対象物１に対するエキスパンドテープ６の粘着力を低下させる。
【００３９】
図１１（ｂ）に示されるように、チップ１ａをエキスパンドテープ６上からピックアップして取り出す（ピックアップ工程：第５工程）。ピックアップ工程では、硬化した樹脂Ｒは、チップ１ａの側面から剥離され、チップ１ａではなくエキスパンドテープ６に付着され、エキスパンドテープ６上に残される。なお、チップ１ａと樹脂Ｒとの剥離については、当該ピックアップの力により実現するのに代えて若しくは加えて、上記紫外線照射工程における樹脂Ｒの硬化時の収縮で実現してもよいし、樹脂Ｒの硬化後にエキスパンドテープ６を再度拡張することにより実現してもよい。
【００４０】
以上、加工対象物切断方法では、加工対象物１が複数のチップ１ａへ分割され、複数のチップ１ａ間の隙間Ｇに樹脂Ｒが充填された後、充填された樹脂Ｒが硬化されて収縮される。これにより、取り出すチップ１ａの切断面に残存するパーティクルを樹脂Ｒに付着させて、当該パーティクルを除去することが可能となる。また、加工対象物１の表面３に離散するパーティクルを抑制することが可能となる。
【００４１】
加工対象物切断方法において、樹脂充填工程では、加工対象物１の側面２から所定長離れた周囲に樹脂Ｒを塗布することで、側面２から隙間Ｇに樹脂Ｒを充填している。この場合、隙間Ｇへの樹脂Ｒの充填を効果的に実現することができる。
【００４２】
加工対象物切断方法において、樹脂充填工程では、液体塗布機構１１により樹脂Ｒを塗布しながら、当該液体塗布機構１１を加工対象物１の外縁に沿って移動させる。この場合、隙間Ｇへの樹脂Ｒの充填を具体的に実現することができる。
【００４３】
加工対象物切断方法では、チップ１ａを取り出すと共に、硬化した樹脂Ｒをエキスパンドテープ６上に残している。これにより、チップ１ａを取り出す際、チップ１ａの切断面に残存するパーティクルを、樹脂Ｒとともにエキスパンドテープ６上に残すことができる。
【００４４】
加工対象物切断方法では、樹脂Ｒに紫外線を照射して樹脂を硬化させると共に、エキスパンドテープ６に紫外線を照射してエキスパンドテープ６の粘着力を低下させている。このように、紫外線の照射によって樹脂Ｒを硬化させるだけでなくエキスパンドテープ６の粘着力をも低下させることで、その後のピックアップ工程にてエキスパンドテープ６上からチップ１ａをピックアップしやすくできる。
【００４５】
ここで、樹脂Ｒの選定に関する評価実験を行った。樹脂Ｒの候補として、ワックス、水系樹脂及び紫外線硬化樹脂を用いた。ワックスとしては、天然系、樹脂配合品及びパラフィンを用いた。水系樹脂としては、ウレタン系、ゴム系及びアクリル系を用いた。紫外線硬化樹脂としては、アクリル系及びエポキシ系を用いた。評価実験では、以下の特性を評価した。
浸透性：隙間Ｇに浸透すること（粘度100mPa・s以下であること）
硬化性：高反応、且つ、深部硬化性があること
剥離性：硬化収縮が大きいこと、及び、加工対象物１への接着性が低く、且つ、
エキスパンドテープ６への接着性が高いこと。
【００４６】
評価実験の結果、ワックスでは、浸透性が×（不適）で、硬化性及び剥離性が〇（適合）であることがわかった。水系樹脂では、硬化性が×（不適）で、浸透性及び剥離性が〇（適合）であることがわかった。紫外線硬化樹脂では、全ての特性（浸透性、硬化性及び剥離性）が〇（適合）であることがわかった。特に、粘度100mPa・s以下のアクリル系の紫外線硬化樹脂が最も特性が優れていることがわかった。
【００４７】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で変形し、又は他のものに適用してもよい。
【００４８】
上記実施形態の第３工程（樹脂充填工程）では、加工対象物１の側面２から所定長離れた周囲に樹脂Ｒを塗布することに代えて若しくは加えて、加工対象物１の側面２を含む外縁部の少なくとも一部に樹脂Ｒを塗布することで、この外縁部から隙間Ｇに樹脂Ｒを充填してもよい。外縁部は、例えば非有効領域１６ｘ（図９参照）であってもよいし、外周のベベル領域であってもよい。この場合においても、隙間Ｇへの樹脂Ｒの充填を効果的に実現できる。
【００４９】
上記実施形態では、上記第３工程（樹脂充填工程）を第２工程中に実施する場合もある。すなわち、第２工程において、エキスパンドテープ６を拡張する前に樹脂Ｒをエキスパンドテープ６上に塗布した後、エキスパンドテープ６の拡張で隙間Ｇを形成しながら（成長させながら）、塗布した樹脂Ｒを加工対象物１の側面２から当該隙間Ｇに充填してもよい。
エキスパンドテープ６を拡張する前に樹脂Ｒを塗布する位置は、加工対象物１の側面２から所定長離れた周囲であってもよいし、加工対象物１の外縁部であってもよい。この場合においても、チップ１ａの切断面に残存するパーティクルを樹脂Ｒに付着させて、当該パーティクルを除去することが可能となる。
【００５０】
上記実施形態では、第３工程の最中、若しくは、第３工程終了後で第４工程の前に、ステージ１１１又は周囲雰囲気中の温度を加温してもよい。これにより、樹脂Ｒの粘度を下げ、樹脂Ｒの隙間Ｇへの充填速度を加速し、タクトタイムを上げることが可能となる。例えば、厚さが４００μｍで直径が８インチの加工対象物１を１．３ｍｍ×１．４ｍｍのチップ１ａへ分断する際、常温の場合（加温しない場合）には、樹脂Ｒの充填が完了するまでに２５分間が要された。一方、７分の常温の後に５分間の４０度で加温する場合には、樹脂Ｒの充填が完了した。なお、加温する温度は、エキスパンドテープ６の特性が悪化しない上限温度としての閾値以下（例えば６０度以下）であることが好ましい。これにより、エキスパンドテープ６の特性の悪化を抑制できる。
【００５１】
上記実施形態では、液体塗布機構１１はディスペンサに限定されず、種々の塗布手段を用いてもよい。液体塗布機構１１は、例えば、インクジェット方式により樹脂Ｒを塗布する機構、又は、スクリーン印刷により樹脂Ｒを塗布する機構等であってもよい。スクリーン印刷により樹脂Ｒを塗布する機構を液体塗布機構１１に利用する場合、加工対象物１の外縁に沿った円周状に樹脂Ｒを短時間で塗布することが可能である。
【００５２】
上記実施形態では、紫外線硬化を利用した紫外線硬化樹脂を樹脂Ｒに用いたが、樹脂Ｒは特に限定されない。例えば樹脂Ｒは、熱硬化等の外部エネルギを用いる硬化反応を利用した樹脂であってもよいし、常温反応硬化を利用した樹脂であってもよい。
【００５３】
上記実施形態では、図１２に示されるように、ピックアップ工程において、チップ１ａを取り出す前に、硬化した樹脂Ｒの少なくとも一部を除去してもよい。この場合、チップ１ａを取り出す前に、チップ１ａの切断面に残存するパーティクルを、樹脂Ｒとともに除去することが可能となる。
【００５４】
上記実施形態では、加工対象物１をチップ１ａへ分断するためにエキスパンドテープ６を拡張可能シートとして用いたが、エキスパンドテープ６に限定されず、種々の拡張可能なシート材を用いてもよい。エキスパンド工程では、例えばナイフエッジ、ブレーカー装置又はローラー装置等をさらに用いてもよい。上記において「硬化」には、完全に固化しない態様も含まれる。硬化は、液体の樹脂Ｒの少なくとも一部を固体にすることであればよく、樹脂Ｒは硬化により収縮する。硬化後の樹脂Ｒには、ガス状（気体）の樹脂Ｒ、及び、液体のままの樹脂Ｒの少なくとも何れかが含まれていてもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１…加工対象物、１ａ…チップ、２…側面、３…表面、４…裏面、５…切断予定ライン、６…エキスパンドテープ（拡張可能シート）、７…改質領域、１１…液体塗布機構、Ｇ…隙間、Ｌ…レーザ光、Ｒ…樹脂。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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