(57)【要約】      （修正有）【課題】シート状部材を平坦な状態で搬送でき、シート状部材へのシワの発生を抑制でき、シート状部材に存在するシワを伸ばすことができる搬送装置を提供する。さらに、このような搬送装置を用いてシート状部材を搬送することを含む、積層体の製造方法を提供する。【解決手段】シート状部材２０を搬送するための搬送装置１であって、シート状部材を載置して搬送方向に搬送するためのベルト状部材１０であって、厚さ方向に貫通した複数の孔１１を有するベルト状部材と、ベルト状部材に対して、シート状部材が載置される側と反対側に配置される吸引部３０であって、周囲雰囲気を吸引することにより、ベルト状部材の前記孔を通じた吸引力でシート状部材をベルト状部材に対して保持する吸引部とを有し、シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する搬送領域１２を有する搬送装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状部材を搬送するための搬送装置であって、
シート状部材を載置して搬送方向に搬送するためのベルト状部材であって、厚さ方向に貫通した複数の孔を有するベルト状部材と、
ベルト状部材に対して、シート状部材が載置される側と反対側に配置される吸引部であって、周囲雰囲気を吸引することにより、ベルト状部材の前記孔を通じた吸引力でシート状部材をベルト状部材に対して保持する吸引部とを有し、および
シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する搬送領域を有する、搬送装置。
【請求項２】
搬送方向において、シート状部材の下流側の領域に作用する吸引力が、シート状部材の上流側の領域に作用する吸引力より大きい、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して平行な方向において段階的に分布する、請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項４】
吸引部が、前記段階に応じて複数の吸引部を含んで成る、請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して平行な方向において連続的に分布する、請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項６】
シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して垂直な方向にある少なくとも２つの領域において相違する、請求項１から５のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項７】
ベルト状部材に対して、シート状部材が載置される側の上方に配置されるロールであって、シート状部材が搬送されるときに該ロールが回転しながらベルト状部材上のシート状部材と接触するように配置されるロールを更に有する、請求項１から６のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項８】
第１のシート状部材と第２のシート状部材とを有する積層体の製造方法であって、
請求項１から７のいずれか１項に記載の搬送装置を用いて第１のシート状部材を搬送すること、および
該第１のシート状部材と第２のシート状部材とを貼合すること
を含む、積層体の製造方法。
【請求項９】
シート状部材と長尺状部材とを有する積層体の製造方法であって、
請求項１から７のいずれか１項に記載の搬送装置を用いてシート状部材を搬送すること、および
該シート状部材と長尺状部材とを貼合すること
を含む、積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状部材を搬送するための搬送装置および積層体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シート状部材は、例えば、吸着部材、プリント配線基板及び光学部材等、様々な分野で使用されている。このようなシート状部材は、それを含む積層体の製造工程等において、ベルト状部材を用いて搬送されることが多い。
しかし、ベルト状部材を用いてシート状部材を搬送すると、シート状部材がばたつくことがある。シート状部材がばたつくと、シート状部材にカールが生じたり、シワが生じたりすることがある。
近年においては、薄型のシート状部材が多用されており、薄型のシート状部材は、特に、シワ、カールが生じやすい。シート状部材にシワ、カールなどが生じると、作業効率が悪くなり、製品の歩留まりに悪影響が生じるおそれがある。
【０００３】
例えば、特許文献１（特開２００８−５３５７２号公報）には、多層プリント配線基板の製造に用いるプリプレグシートにシワが発生することを抑制する試みとして、プリプレグシート固定装置が開示されている。
具体的には、プリプレグシートを真空吸着する吸着ステージと、前記プリプレグシートの周辺部を掴んで、前記吸着ステージの上に前記プリプレグシートを移動させる移動部と、からなるプリプレグシート固定装置を用い、前記吸着ステージが、時間差をつけながら独立して真空吸着する複数個の真空吸着部を有しているプリプレグシート固定装置が開示されている（特許文献１の請求項１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−５３５７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に開示された、プリプレグシートの周辺部を掴み、吸着ステージ上に吸着させる技術の場合、シート状部材を平坦な状態に載置し、搬送することができない場合がある。また、特許文献１に開示された固定装置の場合、搬送中に生じたシワを取り除くことができないという問題がある。
【０００６】
また、近年においては、シート状部材の厚さが薄くなっており、例えば、光学積層体に用いるシート状部材においては、厚さが５０〜３００μｍのものがあり、平坦な状態で搬送でき、シワの発生を低減又は抑制でき、発止したシワを伸ばすことができる搬送装置が要求されている。
【０００７】
従って、本発明は、シート状部材を平坦な状態で搬送でき、また、シート状部材へのシワの発生を抑制でき、シート状部材に存在するシワを伸ばすことができる搬送装置を提供することを目的とする。さらに、本発明は、このような搬送装置を用いてシート状部材を搬送することを含む、積層体の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、以下を含む。
［１］シート状部材を搬送するための搬送装置であって、
シート状部材を載置して搬送方向に搬送するためのベルト状部材であって、厚さ方向に貫通した複数の孔を有するベルト状部材と、
ベルト状部材に対して、シート状部材が載置される側と反対側に配置される吸引部であって、周囲雰囲気を吸引することにより、ベルト状部材の前記孔を通じた吸引力でシート状部材をベルト状部材に対して保持する吸引部とを有し、および
シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する搬送領域を有する、搬送装置。
［２］搬送方向において、シート状部材の下流側の領域に作用する吸引力が、シート状部材の上流側の領域に作用する吸引力より大きい、［１］に記載の搬送装置。
［３］シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して平行な方向において段階的に分布する、［１］または［２］に記載の搬送装置。
［４］吸引部が前記段階に応じて複数の吸引部を含んで成る、［３］に記載の搬送装置。
［５］シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して平行な方向において連続的に分布する、［１］または［２］に記載の搬送装置。
［６］シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して垂直な方向にある少なくとも２つの領域において相違する、［１］から［５］のいずれか１に記載の搬送装置。
［７］ベルト状部材に対して、シート状部材が載置される側の上方に配置されるロールであって、シート状部材が搬送されるときに該ロールが回転しながらベルト状部材上のシート状部材と接触するように配置されるロールを更に有する、［１］から［６］のいずれか１に記載の搬送装置。
［８］第１のシート状部材と第２のシート状部材とを有する積層体の製造方法であって、上記［１］から［７］のいずれか１に記載の搬送装置を用いて第１のシート状部材を搬送すること、および
該第１のシート状部材と第２のシート状部材とを貼合すること
を含む、積層体の製造方法。
［９］シート状部材と長尺状部材とを有する積層体の製造方法であって、［１］から［７］のいずれか１に記載の搬送装置を用いてシート状部材を搬送すること、および
該シート状部材と長尺状部材とを貼合すること
を含む、積層体の製造方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、シート状部材を平坦な状態で搬送でき、また、シート状部材へのシワの発生を抑制でき、シート状部材に存在するシワを伸ばすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の搬送装置の概略を示す上面図である。
【図２】上記態様における搬送装置の概略を示す側面図である。
【図３】本発明の搬送装置の一態様における概略を示す上面図である。
【図４】上記本発明の一態様における搬送装置の概略を示す側面図である。
【図５】本発明の搬送装置の一態様における概略を示す上面図である。
【図６】上記本発明の一態様における搬送装置の概略を示す側面図である。
【図７】本発明の搬送装置の一態様における概略を示す上面図である。
【図８】上記本発明の一態様における搬送装置の概略を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明によると、シート状部材を搬送するための搬送装置であって、
シート状部材を載置して搬送方向に搬送するためのベルト状部材であって、厚さ方向に貫通した複数の孔を有するベルト状部材と、
ベルト状部材に対して、シート状部材が載置される側と反対側に配置される吸引部であって、周囲雰囲気を吸引することにより、ベルト状部材の前記孔を通じた吸引力でシート状部材をベルト状部材に対して保持する吸引部とを有し、および、
シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する搬送領域を有する、搬送装置が提供される。
【００１２】
以下、本発明による、シート状部材を搬送するための搬送装置について、図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１は、本発明の搬送装置の概略を示す上面図である。また、図２は、上記態様における搬送装置の概略を示す側面図である。図１および図２において、１は搬送装置、１０はベルト状部材、１１はベルト状部材１０の厚さ方向に貫通した孔、２０はシート状部材、２１はシート状部材２０における一領域、２２はシート状部材２０における別の領域、３０は吸引部、４１ａは一領域における吸引力、４１ｂは別の領域における吸引力、５０はテールローラー、６０は搬送方向である。
搬送装置１は、シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する搬送領域１２を有する。
ここで、搬送領域１２は、ベルト状部材１０における孔１１を通じた吸引力でシート状部材２０を吸引しながら搬送する領域であって、ベルト状部材１０が吸引部３０と対面する領域に一致する。
例えば、図１および図２で示される態様において、搬送領域１２は、ベルト状部材１０の孔１１を介して、吸引部３０からシート状部材２０への吸引力（４１ａ, ４１ｂ）が作用する領域である。このような搬送領域１２において、シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する。なおベルト状部材１０は、シート状部材に吸引力が作用しない領域を有してもよい。すなわち、本発明の搬送装置においては、シート状部材を搬送する際に、シート状部材に対して吸引力が作用する領域と、実質的に吸引力が作用しない領域が混在してもよい。
【００１４】
ベルト状部材１０は、シート状部材２０を載置して搬送方向に搬送するための部材であり、ベルト状部材１０が上流側から下流側に向かって走行すると共に、所定の距離だけベルト状部材１０に載置したシート状部材２０を搬送できる。なお、上流側は、搬送装置にシート状部材を載置する側であり、下流側は、例えば、貼合工程等の別工程が続き得る側である。
ここで、ベルト状部材１０は、厚さ方向に貫通した孔１１を複数個有する。厚さ方向に貫通した孔１１を有することにより、ベルト状部材１０に対して、シート状部材２０が載置される側と反対側に配置される吸引部３０を介して周囲雰囲気を吸引することにより、ベルト状部材１０の孔１１を通じた吸引力（例えば、図２における吸引力４１aおよび４１ｂ）でシート状部材２０をベルト状部材１０に対して保持できる。
吸引力を介して、シート状部材２０をベルト状部材１０に対して保持できるので、シート状部材の搬送中に起こり得るばたつきを低減または抑制できる。また、搬送中におけるシートのズレを抑制できる。これにより、例えば、薄型（厚さ１００μｍ程度）のシート状部材２０であっても、安定して搬送でき、生産工程の短縮を導ける。
【００１５】
ベルト状部材１０の材質は、搬送するシート状部材２０に含まれる成分に応じて適宜選択できる。例えば、合成ゴム製、シリコンゴム製であってもよく、金属製であってもよい。また、ベルト状部材１０の幅などについても、搬送するシート状部材に応じて適宜選択できる。ある態様において、ベルト状部材１０は、メッシュ状の合成ゴムベルト、樹脂製ベルトであってもよい。これにより、例えば、薄型のシート状部材２０の搬送時に、シート状部材に傷が生じることを抑制できる。
【００１６】
厚さ方向に貫通した孔１１の形状、すなわち、ベルト状部材１０の搬送面に存在する孔の形状は特に限定されず、例えば、円状、楕円状、多角形等であっても良く、ベルト状部材１０の搬送方向に対して垂直方向に延びた形状（例えば、スリット状）であってもよく、ベルト状部材１０の搬送方向に対して、所定の角度を設けて配置した形状であってもよい。また、孔のサイズは特に限定されず、例えば四角形の場合、一辺が０．３５ｍｍ〜５．０ｍｍの範囲内であり、円の場合、直径が０．４ｍｍ〜３．０ｍｍの範囲内であり得る。
ある態様において、ベルト状部材１０の厚さ方向に貫通した孔１１は、少なくともシート状部材２０の搬送方向に対して垂直な方向（シート状部材２０の幅方向）に沿って、均等に配置される。これにより、シート状部材２０は、均等な力で吸引される。
厚さ方向に貫通した孔１１の数は限定されず、シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違するよう、適宜配置できる。例えば、シート状部材の全面を均等に吸引できるように孔１１を配置できる。
【００１７】
本発明の搬送装置によると、ベルト状部材に対して、シート状部材が載置される側と反対側に配置される吸引部３０は、周囲雰囲気を吸引することにより、ベルト状部材の前記孔１１を通じた吸引力（例えば、図２における吸引力４１ａおよび４１ｂ）でシート状部材２０をベルト状部材１０に対して保持できる。
本発明の搬送装置によると、シート状部材２０が搬送されるときに、シート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する。
例えば、図１および２において、シート状部材２０における一領域２１と、シート状部材２０における別の領域２２とにおける吸引力は、相違する。
本明細書において、シート状部材２０における一領域とは、シート状部材における任意の領域であり、別の領域とは同一のシート状部材または他のシート状部材における上記一領域とは異なる任意の領域である。
なお、一の吸引部において吸引力の違いを生じさせることは、当該技術分野において既知の手段により行える。
【００１８】
このように、シート状部材に作用する吸引力（例えば、図２における吸引力４１ａおよび４１ｂ）が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違することにより、シート状部材２０が一気に吸引されることを抑制でき、シート状部材に対するシワの発生を抑制できる。
また、シート状部材を平坦な状態で搬送でき、シート状部材のカールを抑制できる。さらに、薄型（厚さ５０〜３００μｍ）程度のシート状部材であっても、搬送中にシートを伸ばすことができ、カールの発生を抑制できる。
例えば、薄いシート状部材２０の場合、搬送時のシワを防止でき、シートの位置合わせ調整前にシートを平坦な状態に保持できる。よって、本発明の搬送装置を用いることにより、シート状部材の位置合わせを高精度に行うことができる。例えば、予め貼合軸を調整したシート状部材を、本発明の搬送装置で搬送することにより、シート状部材の位置合わせを更に高精度に行うことができる。
【００１９】
シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する限り、作用する吸引力の大きさは限定されず、例えば、吸引力は、０．０１〜５５ｋＰａの範囲内であってもよい。シート状部材の少なくとも２つの領域において吸引力が相違できるよう、このような範囲で吸引力を適宜設定できる。
例えば、図１および図２における下流側に位置するシート状部材の領域２２における吸引力と、上流側に位置するシート状部材の領域２１における吸引力は異なっており、下流側の吸引力を０．０２〜５５ｋＰａの範囲内、上流側の吸引力を０．０１〜５０ｋＰａの範囲内に設定できる。
このように、シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違することにより、シート状部材のばたつきを抑え、シート状部材を平坦な状態で搬送でき、また、搬送時におけるシート状部材へのシワの発生を抑制でき、更にシート状部材に存在し得るシワを伸ばすことができる。
また、例えば、他のシート状部材との貼合時において、貼合軸の位置合わせ精度を高めることができ、タクトタイムの短縮を導ける。
【００２０】
ある態様において、シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違するとは、シート状部材に作用する吸引力の差の絶対値が、０．０１〜５０ｋＰａ、例えば、０．１〜２０ｋＰａの範囲内である。
【００２１】
例えば、搬送方向において、シート状部材の下流側の領域に作用する吸引力が、シート状部材の上流側の領域に作用する吸引力よりも大きい態様の場合、下流側の領域に作用する吸引力から上流側の領域に作用する吸引力を差引いた値は、０．０１〜５０ｋＰａ、例えば、０．１〜２０ｋＰａの範囲内である。
このような範囲で吸引力の差を設けることにより、吸引力が急激に変化することを抑制でき、シート状部材を平坦な状態で搬送でき、また、搬送時におけるシート状部材へのシワの発生を抑制でき、シート状部材に存在し得るシワを伸ばすことができる。
【００２２】
また、例えば、シート状部材２０における別の領域２２から下流側において、シート状部材に作用する吸引力は、領域２２における吸引力と同一であってもよく、段階的に分布してもよく、または連続的に分布してもよい。
本明細書において段階的に分布するとは、上流側から下流側に向かって、吸引力が階層的に変化することを意味する。例えば、所定の間隔または任意の間隔で吸引力が変化し、次の領域における吸引力が前の領域における吸引力とは異なることを指す。一方、連続的に分布するとは、上流側から下流側に向かって、吸引力の変化勾配が一定であることを意味する。
【００２３】
本発明により搬送できるシート状部材は、例えば、吸着部材、プリント配線基板及び光学部材等が挙げられ、薄く、カール、シワ等が生じやすい部材に対して好適に利用できる。ある態様においては、シート状部材は、光学部材であり、例えば、厚さ５０〜５００μｍのものを使用できる。シート状部材のサイズは、例えば、幅３０ｃｍ〜１５０ｃｍ、長さ、３０ｃｍ〜１５０ｃｍである。
光学部材は、例えば、位相差フィルム、偏光フィルム、反射防止フィルム、視野角向上フィルム、輝度向上フィルムなどから選択される少なくとも１の光学フィルムを有することができる。光学部材は、これらの光学フィルムの単層構造であってもよく、上記のような光学フィルムを含む、複数のフィルムを積層した複層構造であってもよい。
本発明により、異なる領域における吸引力が相違することにより、例えば、厚さ１２０μｍ以下のシート状部材、および多層構造を有する部材のように、カール、シワ等が生じやすい構成の（積層）部材に対して、安定した搬送が可能である。例えば、偏光フィルムを有する多層構造のシート状部材などであっても、このような顕著な効果を得ることができる。
【００２４】
また、本発明の搬送装置であれば、シート状部材の変形例として、例えば、後述の図７および図８に示されるような長尺状部材２５を搬送できる。本発明においては、全ての態様において、長尺状部材を用いることができる。本発明の搬送装置であれば、長尺状部材のシワを効果的に伸ばすことができ、また、長尺状部材を平坦な状態で搬送できる。
【００２５】
ある態様において、複数の吸引部を設けることにより、シート状部材２０が搬送されるときに、シート状部材に作用する吸引力を、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違させることができる。例えば、図３および図４は、複数の吸引部を含んで成る搬送装置の態様を示す概略図である。
図３および図４において、１０はベルト状部材、１１はベルト状部材の厚さ方向に貫通した孔、２０はシート状部材、２１はシート状部材２０における一領域、２２はシート状部材２０における別の領域、２３は吸引力の境界部、３１は第１の吸引部、３２は第２の吸引部、４１は第１の吸引部における吸引力、４２は第２の吸引部における吸引力、５０はテールローラー、６０は搬送方向である。
搬送装置１は、シート状部材２０が搬送されるときにシート状部材２０に作用する吸引力が該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する搬送領域（１２ａ,１２ｂ）を有する。
ここで、搬送領域１２ａは、ベルト状部材１０における孔１１を通じた吸引力でシート状部材２０を吸引しながら搬送する領域であって、ベルト状部材１０が第１の吸引部３１と対面する領域に一致する。
搬送領域１２ｂは、ベルト状部材１０における孔１１を通じた吸引力でシート状部材２０を吸引しながら搬送する領域であって、ベルト状部材１０が第２の吸引部３２と対面する領域に一致する。
例えば、図３および図４で示される態様において、搬送領域(１２ａ,１２ｂ)は、ベルト状部材１０の孔１１を介して、吸引部（３１,３２）からシート状部材２０への吸引力（４１,４２）が作用する領域である。このような搬送領域１２において、シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する。
また、ベルト状部材１０は、シート状部材に吸引力が作用しない領域を有してもよい。すなわち、本発明の搬送装置においては、シート状部材を搬送する際に、シート状部材に対して吸引力が作用する領域と、実質的に吸引力が作用しない領域が混在してもよい。
なお、図３および図４において示される態様において、第１の吸引部３１と第２の吸引部３２とが異なる吸引力を有する形態であってもよい。別の態様においては、第１の吸引部３１に対応する搬送領域１２ａ内で、シート状部材に作用する吸引力が少なくとも２つの領域において相違していてもよい。また、第２の吸引部３２に対応する搬送領域１２ｂ内で、シート状部材に作用する吸引力が少なくとも２つの領域において相違していてもよい。
【００２６】
複数の吸引部を有する態様において、例えば、図３および図４に示すように、第１の吸引部３１における吸引力４１と、第２の吸引部３２における吸引力４２を相違させることができる。ある態様においては、下流側の吸引部の吸引力が、上流側の吸引部の吸引力よりも大きい態様を挙げられる。
図３および図４によると、例えば、第２の吸引部３２における吸引力４２が第１の吸引部３１における吸引力４１よりも大きい。
例えば、下流側の吸引力を０．０２〜５５ｋＰａの範囲内、上流側の吸引力を０．０１〜５０ｋＰａの範囲内に設定できる。
【００２７】
また、搬送方向において、シート状部材の下流側の領域に作用する吸引力が、シート状部材の上流側の領域に作用する吸引力よりも大きい態様の場合、下流側の領域に作用する吸引力から、上流側の領域に作用する吸引力を差引いた値は、０．０１〜５０ｋＰａ、例えば、０．１〜２０ｋＰａの範囲内である。
このような範囲で吸引力の差を設けることにより、吸引力が急激に変化することを抑制でき、シート状部材を平坦な状態で搬送でき、また、搬送時におけるシート状部材へのシワの発生を抑制でき、シート状部材に存在し得るシワを伸ばすことができる。
【００２８】
複数の吸引部を有する態様において、同じ吸引部の上流側から下流側に向かって吸引力を変化させてもよい。
【００２９】
また、複数の吸引部を設ける場合、一の吸引部と、他の吸引部との間に、吸引力の境界部２３を設けてもよい。境界部を設けることにより、より効率的にシート状部材を伸ばすことができ、シワの除去、シート状部材の平坦化を行うことができる。吸引力の境界部２３は、隣接する吸引部を、間隔を開けて配置することで設けることができる。
【００３０】
ある態様において、シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して平行な方向において段階的に分布する。図５は、本発明の搬送装置の一態様における概略を示す上面図であり、図６は、上記本発明の一態様における搬送装置の概略を示す側面図である。図５及び図６において、１０はベルト状部材、１１はベルト状部材の厚さ方向に貫通した孔、２０はシート状部材、２１はシート状部材２０における一領域、２２はシート状部材２０における別の領域、２３は吸引力の境界部、３１は第１の吸引部、３２は第２の吸引部、３３は第３の吸引部、４１は第１の吸引部における吸引力、４２は第２の吸引部における吸引力、４３は第３の吸引部における吸引力、５０はテールローラー、５１は貼合ロール、５２はロール、５３は送出しロール、６０は搬送方向、７０は第２のシート状部材、８０は積層体である。
搬送装置１は、シート状部材２０が搬送されるときにシート状部材２０に作用する吸引力が該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する搬送領域（１２ａ,１２ｂ,１２ｃ）を有する。搬送領域（１２ａ,１２ｂ,１２ｃ）のうち、少なくとも２つの搬送領域における吸引力が相違する態様であってもよく、例えば搬送領域（１２ａ,１２ｂ,１２ｃ）のうち、少なくとも１つの搬送領域内で吸引力が相違する態様であってもよい。
ここで、搬送領域１２ａは、ベルト状部材１０における孔１１を通じた吸引力でシート状部材２０を吸引しながら搬送する領域であって、ベルト状部材１０が第１の吸引部３１と対面する領域に一致する。
搬送領域１２ｂは、ベルト状部材１０における孔１１を通じた吸引力でシート状部材２０を吸引しながら搬送する領域であって、ベルト状部材１０が第２の吸引部３２と対面する領域に一致する。
搬送領域１２ｃは、ベルト状部材１０における孔１１を通じた吸引力でシート状部材２０を吸引しながら搬送する領域であって、ベルト状部材１０が第３の吸引部３３と対面する領域に一致する。
このような搬送領域１２において、シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する。
また、ベルト状部材１０は、シート状部材に吸引力が作用しない領域を有してもよい。すなわち、本発明の搬送装置においては、シート状部材を搬送する際に、シート状部材に対して吸引力が作用する領域と、実質的に吸引力が作用しない領域が混在してもよい。
なお、図５および図６において示される態様において、後述するように、第１の吸引部３１と、第２の吸引部３２と、第３の吸引部３３とが異なる吸引力を有する態様であってもよい。別の態様においては、第１の吸引部３１に対応する搬送領域１２ａ内で、シート状部材に作用する吸引力が少なくとも２つの領域において相違していてもよい。また、第２の吸引部３２に対応する搬送領域１２ｂ内で、シート状部材に作用する吸引力が少なくとも２つの領域において相違していてもよい。さらに、第３の吸引部３３に対応する搬送領域１２ｃ内で、シート状部材に作用する吸引力が少なくとも２つの領域において相違していてもよい。
【００３１】
シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して平行な方向において段階的に分布する態様において、例えば、図５及び図６に示すように、本発明の搬送装置は、第１の吸引部３１、第２の吸引部３２、第３の吸引部３３を有することができる。
このような態様において、シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する。例えば、第１の吸引部３１における吸引力４１と、第２の吸引部３２における吸引力４２と、第３の吸引部３３における吸引力４３とが、それぞれ異なる吸引力を示してもよい。また、第１の吸引部３１における吸引力４１と第２の吸引部３２における吸引力４２が同一の吸引力を示し、第３の吸引部３３における吸引力４３が、他の２つの吸引部における吸引力と異なる吸引力を示してもよい。
【００３２】
ある態様において、下流側の第３の吸引部３３における吸引力から、第２の吸引部３２における吸引力、および上流側の第１の吸引部３１に吸引力の順で、吸引力は大きくなる。このような関係で吸引力を有することにより、シート状部材から段階的にシワを伸ばして、より安定した搬送ができる。
【００３３】
例えば、シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して平行な方向において段階的に分布する態様において、最下流に配置される吸引部の吸引力は０．０２〜５５ｋＰａの範囲内であり、最上流側に配置される吸引部の吸引力は０．０１〜５０ｋＰａの範囲内である。また、ある態様において、上記関係に加えて、最下流側に配置される吸引部の吸引力は、最上流側に配置される吸引部の吸引力よりも大きい。
シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して平行な方向において段階的に分布する態様において、少なくとも、シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違している限り、用いるシート状部材の性質、厚さなどに応じて、最下流側に配置される吸引部と、最上流側に配置される吸引部との間に配置される吸引部における吸引力は、適宜調整できる。
【００３４】
ある態様において、本発明の搬送装置は、ベルト状部材に対して、シート状部材が載置される側の上方に配置されるロールであって、シート状部材が搬送されるときに該ロールが回転しながらベルト状部材上のシート状部材と接触するように配置されるロールを更に有する。例えば、図５および図６におけるロール５２は、ベルト状部材上のシート状部材と接触するように配置されるロールに該当する。
このロールを有することにより、シート状部材のシワをより効果的に除去できる。ベルト状部材上のシート状部材と接触するように配置されるロール５２は、任意の場所に配置できる。例えば、吸引力の境界部２３の下流側に設けてもよい。このような位置に配置すると、より効果的にシート状部材のシワを除去でき、シワ伸ばし効果に優れる。また、複数のロール５２を配置でき、各ロールを任意の位置に配置できる。
【００３５】
ある態様において、シート状部材の搬送経路にロールを配置する場合、ロール通過前後で吸引力を調整してもよい。例えば、シート状部材がロールを通過する前における吸引力を強くし、シート状部材がロールを通過する際の吸引力を弱くし、ロールを通過後の吸引力を強くするように調整してもよい。このように、ロールの前後における吸引力を強くし、シート状部材とロールが接触している間の吸引力を弱くすることにより、ロール通過時にシワを効果的に伸ばすことができ、ロールの通過後にしっかりと吸引させることで、シート状部材の平坦化をより効率よく行うことができる。
【００３６】
また、セパレートフィルム剥離等の処理工程がある場合、その処理工程の通過前後で吸引力を調整してもよい。この態様においても、処理工程の前後における吸引力を強くし、処理工程の間における吸引力を弱くすることにより、処理工程の間にシワを効果的に伸ばすことができ、処理工程の後にしっかりと吸引させることで、シート状部材の平坦化をより効率よく行うことができる。
【００３７】
ある態様においては、シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して平行な方向において連続的に分布する。図７は、本発明の搬送装置の一態様における概略を示す上面図であり、図８は、上記本発明の一態様における搬送装置の概略を示す側面図である。図７及び図８において、１０はベルト状部材、１１はベルト状部材の厚さ方向に貫通した孔、２５は長尺状部材、２１は長尺状部材２５における一領域、２２は長尺状部材２５における別の領域、２４は長尺状部材２５における更に別の領域、３０は吸引部、４４は吸引部３０における上流側の吸引力、４５は吸引部３０における中流部の吸引力、４６は吸引部３０における下流側の吸引力、５０はテールローラー、５１は貼合ロール、６０は搬送方向である。
搬送装置１は、シート状部材の一態様である長尺状部材２５が搬送されるときに長尺状部材２５に作用する吸引力が該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違する搬送領域１２を有する。
ここで、搬送領域１２は、ベルト状部材１０における孔１１を通じた吸引力で長尺状部材２５を吸引しながら搬送する領域であって、ベルト状部材１０が吸引部３０と対面する領域に一致する。
このような搬送領域１２において、シート状部材（長尺状部材）が搬送されるときにシート状部材（長尺状部材）に作用する吸引力が、該シート状部材（長尺状部材）の少なくとも２つの領域において相違する。
また、ベルト状部材１０は、シート状部材（長尺状部材）に吸引力が作用しない領域を有してもよい。すなわち、本発明の搬送装置においては、シート状部材を搬送する際に、シート状部材（長尺状部材）に対して吸引力が作用する領域と、実質的に吸引力が作用しない領域が混在してもよい。
【００３８】
シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して平行な方向において連続的に分布する態様において、例えば、吸引部３０における上流側の吸引力４４から、吸引部３０における中流部の吸引力４５および吸引部３０における下流側の吸引力４６に向かって、吸引力は連続的に分布する。例えば、吸引部３０における上流側の吸引力４４が弱く、下流側の吸引力４６が強くなるように、連続的に吸引力は分布する。
シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して平行な方向において連続的に分布することにより、シート状部材のシワを伸ばして、より安定した搬送ができることに加えて、特に、長尺状部材を搬送する場合により効率よく搬送できる。また、連続的に吸引することによって、反りの生じやすいシート状部材、反りが生じた(カールが大きい)シート状部材に対して、より効率的に搬送でき、反り（カール）、折れを防止または平坦な状態に回復できる。
また、長尺状部材を搬送する場合において、長尺状部材をより平坦に搬送できる。
【００３９】
この態様においては、上流側における吸引力は０．０１〜５０ｋＰａの範囲内であり、下流域における吸引力は０．０２〜５５ｋＰａの範囲内であることができる。また、ある態様において、上記関係に加えて、下流域における吸引力は上流側における吸引力よりも大きい。
【００４０】
シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して平行な方向において連続的に分布する態様において、少なくとも、シート状部材が搬送されるときにシート状部材に作用する吸引力が、該シート状部材の少なくとも２つの領域において相違している限り、用いるシート状部材の性質、厚さなどに応じて、下流域における吸引力と、上流側における吸引力は、適宜調整できる。
【００４１】
ある態様においては、シート状部材に作用する吸引力が、搬送方向に対して垂直な方向にある少なくとも２つの領域において相違する搬送装置が提供される。搬送方向に対して垂直な方向にある少なくとも２つの領域において吸引力が相違することにより、シート状部材のカールを防止でき、シワを効果的に伸ばすことができ、また、シート状部材を平坦な状態で搬送できる。例えば、シート状部材における長手方向周辺部の吸引力と、シート状部材における長手方向に沿った中心領域の吸引力に差を設けてもよい。
【００４２】
＜積層体の製造方法＞
本発明の別の態様によると、第１のシート状部材と第２のシート状部材とを有する積層体の製造方法であって、上記本発明に係る搬送装置を用いて、第１のシート状部材を搬送すること、および該第１のシート状部材と第２のシート状部材とを貼合することを含む、積層体の製造方法が提供される。
別の態様においては、シート状部材と長尺状部材とを有する積層体の製造方法であって、上記本発明に係る搬送装置を用いて、シート状部材を搬送すること、および該シート状部材と長尺状部材とを貼合することを含む、積層体の製造方法が提供される。
【００４３】
以下、上述の図５及び図６を参照しながら説明する。図５及び図６において、２０はシート状部材、５１は貼合ロール、５３は送出しロール、６０は搬送方向、７０は第２のシート状部材、８０は積層体である。本発明の搬送装置を用いて搬送することにより、シワが伸ばされたシート状部材（第１のシート状部材）２０と、第２のシート状部材７０とを、貼合ロール５１を用いて貼合し、積層体８０を製造できる。
第１のシート状部材を、本発明の搬送装置を用いて搬送することにより、第１のシート状部材のシワを伸ばし、平坦にできる。さらに、第１のシート状部材のカールに影響されることなく、位置合わせを行え、第１のシート状部材と、第２のシート状部材との貼合を高精度に行える。
ある態様においては、第２のシート状部材が長尺状部材であってもよく、第１のシート状部材が長尺状部材であってもよく、および第１及び第２のシート状部材が共に長尺状部材であってもよい。
第２のシート状部材は、特に限定されず、例えば、セパレートフィルム、保護フィルム、光学部材であることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、シート状部材を平坦な状態で搬送でき、また、シート状部材へのシワの発生を抑制でき、シート状部材に存在するシワを伸ばすことができる搬送装置を提供する。さらに、本発明は、このような搬送装置を用いてシート状部材を搬送することを含む、積層体の製造方法を提供する。
【符号の説明】
【００４５】
１    搬送装置
１０  ベルト状部材
１１  ベルト状部材の厚さ方向に貫通した孔
１２  搬送領域
２０  シート状部材
２１  シート状部材（長尺状部材）における一領域
２２  シート状部材（長尺状部材）における別の領域
２３  吸引力の境界部
２４  長尺状部材における更に別の領域
２５  長尺状部材
３０  吸引部
３１  第１の吸引部
３２  第２の吸引部
３３  第３の吸引部
４１  第１の吸引部における吸引力
４２  第２の吸引部における吸引力
４３  第３の吸引部における吸引力
４４  上流側の吸引力
４５  中流部の吸引力
４６  下流側の吸引力
５０  テールローラー
５１  貼合ロール
５２  ロール
５３  送出しロール
６０  搬送方向
７０  第２のシート状部材
８０  積層体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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