(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドの製造に支障をきたす基板の搬送トラブルを防止することのできるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】インクをノズルから吐出させるための複数の積層基板１０の板面のうち少なくとも一部が互いに接着されて積層形成されているヘッドチップを有するインクジェットヘッドの製造方法であって、接着対象の積層基板を爪部材１１１により押圧固定する固定ステップ、押圧固定された積層基板の板面に対して版を用いて接着剤を塗布する塗布ステップ、を含む。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクをノズルから吐出させるための複数の基板の板面のうち少なくとも一部が互いに接着されて積層形成されているヘッドチップを有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
接着対象の前記基板を固定部材により押圧固定する固定ステップ、
押圧固定された前記基板の板面に対して版を用いて接着剤を塗布する塗布ステップ、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記固定ステップでは、接着対象の前記基板は支持部材の載置面に載置され、前記支持部材の当該載置面とは反対側の面から当該支持部材の前記載置面側へと貫通する孔部を介して空気を吸引する吸引動作を行って、前記基板を前記載置面に吸着させることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記複数の基板には、前記ノズルから吐出させるインクに圧力変化を付与する圧力室が設けられた圧力室基板が含まれ、当該圧力室基板を前記接着対象として接着剤を塗布することを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記複数の基板には前記ノズルが設けられたノズル基板が含まれ、当該ノズル基板を前記接着対象として接着剤を塗布することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記複数の基板には、前記ノズルから吐出させるインクに圧力変化を付与するための変位動作を行うアクチュエーターが格納される格納空間が設けられたスペーサー基板が含まれ、当該スペーサー基板を前記接着対象として接着剤を塗布することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記複数の基板には、前記ノズルから吐出させるインクに圧力変化を付与するための変位動作を行うアクチュエーターを駆動する電気回路が設けられた配線基板が含まれ、当該配線基板を前記接着対象として接着剤を塗布することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記複数の基板のうち２枚以上が接着されたものを前記接着対象として接着剤を塗布することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記固定ステップでは、前記２枚以上が接着された基板に対して他の基板が接着される場合には、当該２枚以上の基板を各々互いに接着する際に押圧固定した固定部材の位置とは異なる固定部材の位置で押圧固定することを特徴とする請求項７記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記接着剤が塗布される一又は複数の基板は、厚さが５００μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記固定ステップでは、前記接着対象の前記基板は支持部材の載置面に載置され、前記固定部材は、前記基板を前記載置面に対して押圧することで、当該固定部材と前記支持部材とで狭持して固定することを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記基板は多角形状であり、
前記固定ステップでは、前記基板において接着剤が塗布される接着面の外縁における各頂点をそれぞれ含む範囲を複数の前記固定部材が押圧固定することを特徴とする請求項１０記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記基板は多角形状であり、
前記固定ステップでは、前記基板において接着剤が塗布される接着面の外縁における頂点を含まない所定範囲を前記固定部材が押圧固定することを特徴とする請求項１０記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記固定ステップでは、接着対象の前記基板は支持部材の載置面に載置され、前記支持部材の当該載置面とは反対側の面から当該支持部材の前記載置面側へと貫通する孔部を介して空気を吸引する吸引動作を行って、前記基板を前記載置面に吸着させ
前記吸引動作は、前記基板の前記載置面への載置範囲内で不均一の強度で行われることを特徴とする請求項１１又は１２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記孔部は、前記載置範囲内で不均一に配置されていることを特徴とする請求項１３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記孔部は、前記載置範囲内で開口面積が非一様に設けられていることを特徴とする請求項１３又は１４記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記孔部は、前記基板を貫通して設けられている貫通部の開口が前記載置面上で位置する範囲と重ならないように設けられていることを特徴とする請求項１３〜１５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１７】
前記塗布ステップでは、フレキソ印刷の手法により前記基板に対して前記接着剤が塗布されることを特徴とする請求項１〜１６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、インクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルからインクを吐出させて所望の位置に着弾させることで画像、薄膜や微小構造などを形成するインクジェット記録装置がある。インクジェット記録装置は、多数のノズルに対応したインク流路及びインクを吐出させるための駆動部が設けられたインクジェットヘッドを有し、画像データなどに従って各ノズルに対応して設けられている駆動部を適切に動作させることで、所望のノズルから適切なタイミングかつ液量でインク液滴を吐出させることができる。
【０００３】
インクジェット記録装置で用いられるインクジェットヘッドでは、複数の部材を組み合わせて製造される際に、これら複数の部材、特に、複数の平板状部材を接着剤により接着する工程が広く用いられている。インクジェット記録装置には、かねてから高精度化の要求があり、これに伴って、インクジェットヘッドの製造にも一層の高精度化が要求されている。
【０００４】
従来、平板状部材（基板）に接着剤といった塗布液を塗布する技術がある。特許文献１に記載の技術では、接着される被塗布部材の表面に塗布剤を転写する転写部材に対し、２回以上塗布剤を塗布することで、転写部材上に残る前回の転写の影響による塗布剤の起伏を低減する。これにより、被塗布部材には、容易に塗布むらの少ない均一な塗膜が転写、形成され、したがって、被塗布部材と接着対象の部材とを接着剤の塗膜を介して加圧接着するときに相対位置ずれが抑えられる点について開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−８７９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、接着剤には、接着前であっても若干の粘性があり、平面上などに載置された基板に対して転写部材などから接着剤を塗布する際に当該転写部材上の接着剤に基板が粘着して、基板が正しく搬送されなくなる場合があり、インクジェットヘッドの製造に支障が生じるという課題がある。
【０００７】
この発明の目的は、インクジェットヘッドの製造に支障をきたす基板の搬送トラブルを防止することのできるインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、
インクをノズルから吐出させるための複数の基板の板面のうち少なくとも一部が互いに接着されて積層形成されているヘッドチップを有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
接着対象の前記基板を固定部材により押圧固定する固定ステップ、
押圧固定された前記基板の板面に対して版を用いて接着剤を塗布する塗布ステップ、
を含むことを特徴としている。
【０００９】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記固定ステップでは、接着対象の前記基板は支持部材の載置面に載置され、前記支持部材の当該載置面とは反対側の面から当該支持部材の前記載置面側へと貫通する孔部を介して空気を吸引する吸引動作を行って、前記基板を前記載置面に吸着させることを特徴としている。
【００１０】
また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記複数の基板には、前記ノズルから吐出させるインクに圧力変化を付与する圧力室が設けられた圧力室基板が含まれ、当該圧力室基板を前記接着対象として接着剤を塗布することを特徴としている。
【００１１】
また、請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記複数の基板には前記ノズルが設けられたノズル基板が含まれ、当該ノズル基板を前記接着対象として接着剤を塗布することを特徴としている。
【００１２】
また、請求項５記載の発明は、請求項１〜４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記複数の基板には、前記ノズルから吐出させるインクに圧力変化を付与するための変位動作を行うアクチュエーターが格納される格納空間が設けられたスペーサー基板が含まれ、当該スペーサー基板を前記接着対象として接着剤を塗布することを特徴としている。
【００１３】
また、請求項６記載の発明は、請求項１〜５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記複数の基板には、前記ノズルから吐出させるインクに圧力変化を付与するための変位動作を行うアクチュエーターを駆動する電気回路が設けられた配線基板が含まれ、当該配線基板を前記接着対象として接着剤を塗布することを特徴としている。
【００１４】
また、請求項７記載の発明は、請求項１〜６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記複数の基板のうち２枚以上が接着されたものを前記接着対象として接着剤を塗布することを特徴としている。
【００１５】
また、請求項８記載の発明は、請求項７記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記固定ステップでは、前記２枚以上が接着された基板に対して他の基板が接着される場合には、当該２枚以上の基板を各々互いに接着する際に押圧固定した固定部材の位置とは異なる固定部材の位置で押圧固定することを特徴としている。
【００１６】
また、請求項９記載の発明は、請求項１〜８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記接着剤が塗布される一又は複数の基板は、厚さが５００μｍ以下であることを特徴としている。
【００１７】
また、請求項１０記載の発明は、請求項１〜９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記固定ステップでは、前記接着対象の前記基板は支持部材の載置面に載置され、前記固定部材は、前記基板を前記載置面に対して押圧することで、当該固定部材と前記支持部材とで狭持して固定することを特徴としている。
【００１８】
また、請求項１１記載の発明は、請求項１０記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記基板は多角形状であり、
前記固定ステップでは、前記基板において接着剤が塗布される接着面の外縁における各頂点をそれぞれ含む範囲を複数の前記固定部材が押圧固定することを特徴としている。
【００１９】
また、請求項１２記載の発明は、請求項１０記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記基板は多角形状であり、
前記固定ステップでは、前記基板において接着剤が塗布される接着面の外縁における頂点を含まない所定範囲を前記固定部材が押圧固定することを特徴としている。
【００２０】
また、請求項１３記載の発明は、請求項１１又は１２記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記固定ステップでは、接着対象の前記基板は支持部材の載置面に載置され、前記支持部材の当該載置面とは反対側の面から当該支持部材の前記載置面側へと貫通する孔部を介して空気を吸引する吸引動作を行って、前記基板を前記載置面に吸着させ
前記吸引動作は、前記基板の前記載置面への載置範囲内で不均一の強度で行われることを特徴としている。
【００２１】
また、請求項１４記載の発明は、請求項１３記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記孔部は、前記載置範囲内で不均一に配置されていることを特徴としている。
【００２２】
また、請求項１５記載の発明は、請求項１３又は１４記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記孔部は、前記載置範囲内で開口面積が非一様に設けられていることを特徴としている。
【００２３】
また、請求項１６記載の発明は、請求項１３〜１５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記孔部は、前記基板を貫通して設けられている貫通部の開口が前記載置面上で位置する範囲と重ならないように設けられていることを特徴としている。
【００２４】
また、請求項１７記載の発明は、請求項１〜１６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記塗布ステップでは、フレキソ印刷の手法により前記基板に対して前記接着剤が塗布されることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に従うと、インクジェットヘッドの製造に支障をきたす基板の搬送トラブルを防止することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態のインクジェットヘッドの製造方法で製造されるインクジェットヘッドを正面側から見た断面図である。
【図２】ヘッドチップのより詳細な断面図である。
【図３】インクジェットヘッドの製造に用いられるフレキソ印刷機を正面から見た模式図である。
【図４】ステージの積層基板の載置面を斜め上方から見た斜視図である。
【図５】爪部材の配置の変形例を示す図である。
【図６】ステージの積層基板の載置面の変形例を示す図である。
【図７】積層基板の浮き上がり状況の実験結果を示す図表である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態のインクジェットヘッドの製造方法により製造されるインクジェットヘッド１を正面側から見たノズルを含む面における断面図である。
【００２８】
インクジェットヘッド１は、ヘッドチップ２と、共通インク室７０と、保持基板８０と、配線部材４と、駆動部５などを備える。
【００２９】
ヘッドチップ２は、ノズルＮからインクを吐出させるための構成であり、複数、ここでは、４枚の板状の基板が積層形成されている。これら複数の基板のうち一面が露出される両端の一方（下方側とする）は、ノズル基板１０である。ノズル基板１０には複数のノズルＮが設けられて、当該ノズルＮの開口部からノズル基板１０の露出面（ノズル面）に対して略垂直にインクが吐出可能とされる。ノズル基板１０のノズル面とは反対側には、上方に向かって順番に圧力室基板２０（チャンバープレート）、スペーサー基板４０及び配線基板５０が接着されて積層されている。以下では、これらノズル基板１０、圧力室基板２０、スペーサー基板４０及び配線基板５０の各基板を各々又はまとめて積層基板１０、２０、４０、５０などとも記す。
【００３０】
これらの積層基板１０、２０、４０、５０には、ノズルＮに連通するインク流路が設けられており、配線基板５０の露出される側（上方側）の面で開口されている。この配線基板５０の露出面上には、全ての開口を覆うように共通インク室７０が設けられている。共通インク室７０のインク室形成部材７０ａ内に貯留されるインクは、配線基板５０の開口から各ノズルＮへ供給される。
【００３１】
インク流路の途中には、圧力室２１が設けられている。圧力室２１は、圧力室基板２０を上下方向に貫通して設けられており、圧力室２１内のインクには、スペーサー基板４０に圧力室２１と隣り合って設けられている格納部４２内の圧電素子６０の変位（変形）によって当該圧力室２１が変形して適切な圧力変化が付与されることで、圧力室２１に連通するノズルＮからインク流路内のインクが液滴として吐出される。
【００３２】
保持基板８０は、ヘッドチップ２の上面に接合されており、共通インク室７０のインク室形成部材７０ａを保持している。
【００３３】
配線部材４は、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）などであり、配線基板５０の配線５７（図２参照）に接続されている。この配線５７を介して格納部４２内の配線５２及び接続部９０に伝えられる駆動信号により圧電素子６０が変位動作する。配線部材４は、保持基板８０を貫通して引き出されて駆動部５に接続される。
【００３４】
駆動部５は、インクジェット記録装置の制御部からの制御信号や、電力供給部からの電力供給などを受けて、各ノズルＮからのインク吐出動作や非吐出動作に応じて、圧電素子６０の適切な駆動信号を配線部材４に出力する。駆動部５は、ＩＣ（Integrated Circuit）などで構成されている。
【００３５】
図２は、図１のヘッドチップ２における一つのノズルＮに対応する部分のより詳細な断面図である。
【００３６】
上述のように、ヘッドチップ２は、複数のノズルＮが設けられたノズル基板１０、各ノズルＮに連通する複数の圧力室２１が設けられた圧力室基板２０、スペーサー基板４０及び配線基板５０が積層されて形成されている。これらのうち、ノズル基板１０及び圧力室基板２０は、例えば、それぞれシリコン（Ｓｉ）基板を用いて形成され、スペーサー基板４０は、例えば、鉄合金（４２アロイなど）やガラスによって形成される。配線基板５０については後述する。
【００３７】
圧力室基板２０には、両面（すなわち、ノズル基板１０側の面とスペーサー基板４０側の面）間を貫通して設けられている圧力室２１のうち、スペーサー基板４０の側を覆うように振動板３０が設けられている。振動板３０には、インク流路の一部をなす開口部３１が設けられている。振動板３０は、例えば、シリコン製の薄板である。振動板３０は、圧力室基板２０と当接する部分、すなわち、圧力室２１及び開口部３１以外の部分で当該圧力室基板２０に接着（接合）されている。また、振動板３０の圧力室２１と反対側には、第２電極６２を介して圧電素子６０が設けられている。
【００３８】
スペーサー基板４０は、両面（すなわち、振動板３０の側の面と配線基板５０の側の面）を貫通して設けられた空間であるインク導通路４１及び格納部４２（格納空間）を有している。インク導通路４１は、共通インク室７０とノズルＮとをつなぐインク流路の一部をなし、振動板３０の開口部３１と位置を合わせて設けられる。
【００３９】
格納部４２内には、振動板３０上に設けられた圧電素子６０が格納される。圧電素子６０は、２枚の電極（第１電極６１及び第２電極６２）によって挟まれたアクチュエーターであり、第２電極６２が振動板３０に当接して設けられている。格納部４２は、圧電素子６０の各々に対応して個別に設けられていても良いし、複数の圧電素子６０をまとめて格納可能に設けられていても良い。第１電極６１と第２電極６２との間に印加される電圧差に応じて圧電素子６０が変位動作（変形）すると、これに応じて振動板３０が変形し、更に、圧力室２１内のインクに圧力変化が付与されてノズルＮからインクを吐出させる。圧電素子６０としては、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などが用いられる。
【００４０】
第１電極６１は、接続部９０を介して配線基板５０の下面側に設けられた配線５２と電気的に接続されている。接続部９０は、配線基板５０に形成されたバンプ９１と、バンプ９１に塗布された導電性材料９２とを有する。バンプ９１は、配線５２上（下方側）に設けられ、格納部４２の内部へ突出する。バンプ９１は、例えば、金を材料としたワイヤーボンディングにより形成される。導電性材料９２は、例えば、導電性を有する金属粉末（銀粉など）が混入されて導電性を有する導電性接着剤である。この導電性材料９２が格納部４２内で第１電極６１とバンプ９１とを電気的に接続して、配線５２を介して送られた駆動信号を第１電極６１に伝える。
第２電極６２は、図示略の配線を介して配線部材４の共通電位（コモン電位）に係る配線に接続される。
【００４１】
配線基板５０は、圧電素子６０を駆動して変位動作させるための電気回路（配線）が設けられており、インターポーザー５３と、絶縁層５４、５５、５８、５９と、配線５２、５７などを有する。インターポーザー５３は、例えば、シリコン製の基板であり、両面が絶縁層５４及び絶縁層５５によりそれぞれ被覆されている。絶縁層５４のインターポーザー５３とは反対側には配線５７が設けられ、絶縁層５５のインターポーザー５３とは反対側には配線５２が設けられている。これらの配線５７、５２は、更にそれぞれ絶縁層５８、５９により被覆されている。
【００４２】
インターポーザー５３及び絶縁層５４、５５には、両面間を貫通して配線５２、５７の間を接続する貫通電極５６が設けられている。また、配線基板５０には、両面間（スペーサー基板４０の側の面と共通インク室７０の側の面）を貫通するインク導通路５１が設けられている。インク導通路５１は、インク流路の一部をなし、スペーサー基板４０のインク導通路４１と位置を合わせて設けられている。
【００４３】
次に、本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法に係る構成について説明する。
ここでは、各積層基板１０、２０、４０、５０が各々別個に形成された後、接合対象の２枚の表面のうち少なくともいずれかに対し、フレキソ印刷の手法を用いて接着剤を塗布して互いに接合（接着）させていく。
【００４４】
図３は、本実施形態のインクジェットヘッド１の製造に用いられるフレキソ印刷機１００を正面から見た模式図である。また、図４は、ステージ１１０上面（載置面）を斜め上方から見た斜視図である。
【００４５】
フレキソ印刷機１００は、ステージ１１０（支持部材）と、回転ドラム１２０と、塗布版１３０と、吸引部１４０などを備える。
ここでは、回転ドラム１２０の外周面上に塗布版１３０が設けられ、図示略のアニックスロールなどから供給された接着剤が当該塗布版１３０上に塗布される。塗布版１３０は、後述の爪部材１１１の位置に対応して凹部が設けられ、爪部材１１１の位置に接着剤が塗布されず、また、塗布版１３０が爪部材１１１と接触しないように形成されている。
【００４６】
ステージ１１０は、接着対象の積層基板が載置される。図４（ａ）に示すように、ステージ１１０には、複数の吸気孔１１２（孔部）が配列されて設けられている。吸気孔１１２は、積層基板の載置面と当該載置面とは反対側の面とを貫通して設けられており、この載置面とは反対側に設けられた吸引部１４０の動作により吸気孔１１２を介して載置面側の空気を吸引する吸引動作を行うことで、積層基板を載置面に吸着固定する。この吸引孔は、任意の配置で設けられていても良いが、吸着対象とされる積層基板におけるインク流路などの孔部の位置が固定され、又は限定されている場合には、図４（ｂ）に示すように、積層基板（以降では、ノズル基板１０が例示されているがこれに限られない）における貫通部、すなわち、ノズルＮ、開口部３１、インク導通路４１、５１、圧力室２１や格納部４２の開口が載置面上で位置する範囲を外して（重ならないように）設けられることで、吸引部１４０による吸引動作の効率が向上する。
載置される接着対象の積層基板には、上述の積層基板１０、２０、４０、５０の各々だけではなく、これらが２又は３枚（２枚以上）接着されたものも含まれる。
【００４７】
また、ステージ１１０には、複数の爪部材１１１（固定部材）が設けられており、これら爪部材１１１により積層基板をステージ１１０との間で狭持することでステージ１１０に固定する。ここでは、爪部材１１１は、平面視長方形状（多角形状）の積層基板の接着面側（載置される面と反対の面側）の外縁における四隅（頂点をそれぞれ含む範囲）をステージ１１０に対して押し付けることでステージ１１０との間で挟持するのに用いられる。積層基板には、上述のように、孔部がノズルＮの数に応じて複数設けられているので、当該複数の孔部が含まれる範囲、すなわち、積層基板の大部分では上述の吸引動作を行っても空気が抜けてしまい、必ずしも十分な吸着力が得られない。そこで、ここでは、爪部材１１１を用いてより確実にステージ１１０に固定する。接着剤の粘性により引っ張られて浮き上がる力と、積層基板の重力や吸着力によって浮き上がりを妨げる力とのバランスは、特に積層基板が薄くて軽い場合に後者が不足し、特に、積層基板の厚さが５００μｍ以下の場合に好ましく行われる。すなわち、爪部材１１１による押圧固定動作は、積層基板の種類によって実施有無が選択されても良い。爪部材１１１の動作は、図示略の制御部などにより制御され得る。また、爪部材１１１は、根元の部分の側面に積層基板が突き当てられることで位置合わせ及び固定にも用いられる。
【００４８】
この爪部材１１１により、積層基板に対して当該爪部材１１１が当接する部分には接着剤が塗布されない、すなわち、この部分では、接着対象の積層基板間で接着がなされない。したがって、積層基板における爪部材１１１との当接箇所は、インク流路内のインクの機密性が破れない範囲に限定される。また、爪部材１１１との当接箇所は、接着剤が用いられないことで剥がれが生じ難い箇所であることが好ましい。
【００４９】
次に、本実施形態のインクジェットヘッドの製造方法に係るヘッドチップ２の製造動作について説明する。
まず、接着対象の積層基板をステージ１１０上の規定位置に合わせて載置する。そして、吸引部１４０を動作させ、また、爪部材１１１により積層基板を押圧固定する（固定ステップ）。
次いで、ステージ１１０を移動させながら回転ドラム１２０を回転動作させることで、接着対象の積層基板と塗布版１３０とを当接させ、塗布版１３０から積層基板の表面（板面）に接着剤を転写して塗布する（塗布ステップ）。
【００５０】
爪部材１１１による積層基板の固定を取り外した後、この接着対象の積層基板における接着剤の塗布面に対して被接着対象の積層基板の位置を合わせて当接、所定の力で押圧することで、接着対象の積層基板を被接着対象の積層基板と接合させる。上述のように、爪部材１１１により固定された部分は積層基板間で接着（接合）されない。
【００５１】
その後、接着剤の材質に応じて必要に応じて硬化処理、例えば、加熱を行って接着された積層基板を固定する。
なお、接合は、ステージ１１０上で行われる必要はなく、接着剤が塗布された積層基板が他の支持台上などに移動されてから、接着対象の積層基板と位置合わせを行って行うこととしても良い。
【００５２】
［変形例］
図５は、爪部材１１１の配置の変形例を示す図である。
図５（ａ）では、積層基板の四隅をそれぞれ挟んだ６箇所で爪部材１１１によりステージ１１０との間で狭持することで、当該積層基板を固定している。このように、積層基板の四隅から爪部材１１１による狭持位置を外すことで、当該四隅を他の積層基板と接着することができる。四隅を外した爪部材１１１による狭持位置としては、他に例えば、短辺側と長辺側の中央にそれぞれ１つずつ設けられて、合計４箇所とされても良い。あるいは、爪部材１１１は、対角にある二隅をそれぞれ挟む４箇所に設けられても良い。
【００５３】
また、爪部材１１１を多く設けておき、常に全部を用いるのではなく、一枚の積層基板に他の積層基板を接着する場合と、当該接着された二枚の積層基板に対して更に三枚目の積層基板を接着する場合とで異なる爪部材１１１を用いて（すなわち異なる位置で）ステージ１１０との間で狭持することができる。例えば、最初の一枚目の接着時には、図５（ａ）の爪部材１１１の配置でステージ１１０との間で狭持し、二枚目の接着時には、図４に示した４箇所の爪部材１１１の配置でステージ１１０との間で狭持することとしても良い。このように、固定位置、すなわち、接着剤による接着がなされない位置をヘッドチップ２の上方からの平面視で異なる位置とすることで、特定の部位での接着強度や耐久性の低下を抑制することができる。
【００５４】
図５（ｂ）は、積層基板の短辺側中央のみに２つの爪部材１１１が設けられている例である。同様に２つの長辺側にそれぞれ２箇所ずつ４つの爪部材１１１が設けられたり、２つの長辺のそれぞれ中央に１つずつ合計２つの爪部材１１１が設けられたりしても良い。これらの場合、爪部材１１１の数が少なくなるほどステージ１１０との間での狭持による固定強度が下がるので、吸引動作による吸着と互いに補完させても良い。
【００５５】
図６は、ステージ１１０の載置面の変形例を示す図である。
ステージ１１０を介した吸引部１４０による吸引の強度は、位置によって異なっていて（不均一で）良い。
図６（ａ）に示すように、ステージ１１０に設けられる吸気孔１１２の数を増加させる（不均一に配置する）ことで、吸引による吸着の効果をより強めることができる。ここでは、積層基板１０の各辺中央４箇所に設定されている爪部材１１１による押圧固定箇所とは異なる位置、例えば、四隅の近傍において吸気孔１１２の数を増加させることで、接着剤が塗布された際に積層基板が当該接着剤の粘性で塗布版１３０に引っ張られて固定位置から外れるのをより効果的に防ぐ。
【００５６】
図６（ｂ）に示す変形例では、ステージ１１０に設けられる吸気孔１１２のサイズを変化させている。ここでは、吸引部１４０による各吸引孔からの空気の吸引速度を維持するように制御しつつ、図６（ａ）に示した爪部材１１１による４箇所での押圧固定箇所とは異なる位置、例えば、四隅の近傍において吸気孔１１２の径（開口面積）を大きくして（非一様として）当該四隅での吸引力を増大させることで、接着剤が塗布された際に積層基板が当該接着剤の粘性で塗布版１３０に引っ張られて固定位置から外れるのをより効果的に防ぐ。
【００５７】
以上のように、本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法は、インクをノズルＮから吐出させるための複数の積層基板１０、２０、４０、５０の板面が互いに接着されて積層形成されているヘッドチップ２を有するインクジェットヘッド１の製造方法であって、接着対象の積層基板を爪部材１１１により押圧固定する固定ステップ、押圧固定された積層基板の板面に対して塗布版１３０を用いて接着剤を塗布する塗布ステップ、を含む。
このように、爪部材１１１を用いて押圧固定することで、接着剤の粘性により薄く軽量な積層基板が回転ドラム１２０上の塗布版１３０に粘着し、搬送経路から外れてインクジェットヘッド１の製造に支障を来たすのを防ぐことができる。特に、インクジェットヘッドに用いられる積層基板のように両面間の貫通部分が多い場合には、吸着では積層基板の固定が不十分になりやすいので、このように爪部材１１１などを用いて確実に押圧固定することで、多少接着剤が塗布できない領域が生じるとしても搬送トラブルなくインクジェットヘッド１の製造を続け、また製造されたインクジェットヘッド１を使用することができる。
【００５８】
また、固定ステップでは、接着対象の積層基板はステージ１１０の載置面に載置され、ステージ１１０の当該載置面とは反対側の面から当該ステージ１１０の載置面側へと貫通する孔部を介して吸引部１４０により空気を吸引する吸引動作を行って、積層基板を載置面に吸着させる。
インクジェットヘッドに用いられる積層基板のように両面間の貫通部分が多い場合には、吸着のみでは積層基板の固定が不十分になりやすいが、吸着動作と爪部材１１１による固定とを併用することにより、爪部材１１１による固定箇所を減らしつつ、積層基板の外縁全体を固定しやすくなる。これにより、より安定に固定が可能となって、インクジェットヘッド１の製造が確実に進行する。また、爪部材１１１の位置に応じて接着剤による接着ができなくなる範囲を最小限に限定することができるので、作製されたインクジェットヘッド１の耐久性への影響を最小限とすることができる。
【００５９】
また、複数の積層基板には、ノズルＮから吐出させるインクに圧力変化を付与する圧力室２１が設けられた圧力室基板２０が含まれ、当該圧力室基板２０を接着対象として接着剤を塗布する。
圧力室基板２０のように圧力室２１がなす孔部のサイズが大きく、かつ薄くて軽い部材については、特に接着剤の粘性による影響を受けやすいので、爪部材１１１による固定がより効果的である。
【００６０】
また、複数の積層基板にはノズルＮが設けられたノズル基板１０が含まれ、ノズル基板１０を接着対象として接着剤を塗布する。これにより、インクの吐出を正しく行うために重要なノズル基板１０の正確な接着が可能になる。
【００６１】
また、複数の積層基板には、ノズルＮから吐出させるインクに圧力変化を付与するための変位動作を行う圧電素子６０が格納される格納部４２が設けられたスペーサー基板４０が含まれ、当該スペーサー基板４０を接着対象として接着剤を塗布する。
スペーサー基板４０に設けられる格納部４２のサイズも圧力室基板２０同様に大きく、吸着動作の効果が小さくなりやすいので、接着剤の粘性による影響を抑えるには、爪部材１１１による固定がより効果的である。
【００６２】
また、複数の基板には、ノズルＮから吐出させるインクに圧力変化を付与するための変位動作を行う圧電素子６０を駆動する電気配線が設けられた配線基板５０が含まれ、当該配線基板５０を接着対象として接着剤を塗布する。
これにより、配線５２などを介して適切に圧電素子６０に対して駆動電圧を印加することができる。
【００６３】
また、複数の積層基板のうち２枚以上が接着されたものを接着対象として接着剤を塗布する。すなわち、積層基板を２枚、３枚と張り合わせたものに更に残りの積層基板を接着していく場合にも本発明を適用することができる。これにより、同様の処理で容易かつ適切にヘッドチップ２を作製することができる。
【００６４】
また、固定ステップでは、２枚以上が接着された積層基板に対して他の積層基板が接着される場合には、当該２枚以上の積層基板を各々互いに接着する際に押圧固定した爪部材１１１の位置とは異なる爪部材１１１の位置で押圧固定する。このように、複数枚の積層基板を積層して接着する際に、接着剤により接着されない位置を積層基板間ごとに異ならせることで、特定の部位の接着強度や耐久性を低下させない。
【００６５】
また、接着剤が塗布される一又は複数の積層基板は、厚さが５００μｍ以下である。このように、特に薄い積層基板に対して爪部材１１１が用いられることで、より効果的に積層基板を固定してインクジェットヘッド１の製造を支障なく進めることができる。
【００６６】
また、固定ステップでは、接着対象の積層基板はステージ１１０の載置面に載置され、爪部材１１１は、積層基板を載置面に対して押圧することで、当該爪部材１１１とステージ１１０とで狭持して固定する。このように、ステージ１１０上に積層基板を配置して爪部材１１１により上方から押さえつけることで、容易かつ安定に積層基板を固定して接着剤を塗布することができる。
【００６７】
また、積層基板は長方形状であり、固定ステップでは、積層基板において接着剤が塗布される接着面の外縁における各頂点（四隅）をそれぞれ含む範囲を複数（４つ）の爪部材１１１が押圧固定する。このように、四隅を押さえることでより効果的に接着剤による積層基板の浮き上がりを防止してインクジェットヘッド１の製造工程を進めることができる。
【００６８】
また、固定ステップでは、積層基板において接着剤が塗布される接着面の外縁における頂点（四隅）を含まない所定範囲を爪部材１１１が押圧固定する。上述のように、四隅を押さえることで浮き上がりが効果的に抑止される一方、四隅に接着剤が塗布されないことで、耐久性の低下に繋がりやすいので、耐久性が要求されるヘッドチップ２を製造する場合には、四隅を外して押圧固定することで、浮き上がりの抑止と耐久性の維持とをより適切に両立させることができる。
【００６９】
また、吸引部１４０による吸引動作は、積層基板の載置面への載置範囲内で不均一の強度で行われる。特に、爪部材１１１による固定位置と相補的に強度を定めることで、効果的に積層基板の固定を行うことができる。また、積層基板の貫通部分と重なるところで吸引しても無駄なので、こういう部分では吸引を弱めたり全く行わなかったりして動作効率を向上させることができる。
【００７０】
また、ステージ１１０における吸気孔１１２は、積層基板の載置範囲内で不均一に配置されている。
このように、孔部の配置の不均一さにより吸引力の強度を変化させることで、ステージ１１０への孔部の形成を容易に行いながら効果的に吸引を行わせることができる。
【００７１】
また、ステージ１１０における吸気孔１１２は、積層基板の載置範囲内で開口面積が非一様に設けられている。このように、孔部の大きさの不均一さにより吸引力の強度を変化させることで、ステージ１１０への孔部の形成数を増やす必要がなく、手間を低減することができる。
【００７２】
また、ステージ１１０における吸気孔１１２は、積層基板を貫通して設けられているノズルＮ、開口部３１、インク導通路４１、５１、圧力室２１や格納部４２などの貫通部の開口が載置面上で位置する範囲と重ならないように設けられている。このような貫通部分と重なると、上面側から貫通部分を介して空気を吸引することになり、積層基板の吸着に効果が出ないので、このような位置での吸引がなされないように孔部が配置されることで、吸着効率を向上させることができる。
【００７３】
また、塗布ステップでは、フレキソ印刷の手法により積層基板に対して接着剤が塗布される。フレキソ印刷と同様に接着剤を塗布することで、特殊な構成を用いずに容易かつ精度良く均一な接着剤の塗布膜を形成することができる。
【００７４】
なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。
例えば、上記実施の形態では、積層基板としてノズル基板１０、圧力室基板２０、スペーサー基板４０及び配線基板５０を例に挙げて説明したが、インク流路の構造や他の制御要素（温度など）に応じて一部の基板が設けられなかったり、あるいは他の基板が含まれたりしていても良い。
【００７５】
また、上記実施の形態では、配線基板５０側からインクが供給されてノズル基板１０側から吐出されることで、全ての基板をインク流路が貫通する構成としたが、一部の基板の側面からインクが供給されるなどで、必ずしも全ての基板に貫通部が設けられていなくても良い。また、貫通部が設けられていない基板についても、軽量なものについては、本発明を適用して爪部材１１１で固定しても良い。
【００７６】
あるいは、基板のうち、貫通部がないなどで吸引部１４０の動作により十分な吸着力が得られるものについては、爪部材１１１を用いないものが混在していても良い。
【００７７】
また、上記実施の形態では、吸引部１４０を用いた吸引動作と併用することとしたが、吸引動作を行わずに爪部材１１１だけで基板を固定しても良い。
【００７８】
また、上記実施の形態では、ステージ１１０上に積層基板を載置して爪部材１１１で上方から押圧固定することとしたが、ステージ１１０を用いずに２枚の爪部材１１１で上下から挟み込んで保持しても良い。あるいは、押圧固定が可能であれば、爪部材１１１を狭持する方向は上限に限らず、両側面から内向きに押圧することで固定しても良い。ただし、各積層基板が薄いので、積層基板にゆがみや破損が生じない上限範囲内の押圧力でなされる必要がある。また、積層基板の側面突き当てによる位置あわせのみ爪部材１１１とは別個に設けられた部材により行われ、爪部材１１１は、ステージ１１０との間で狭持する動作にのみ用いられても良い。
【００７９】
また、上記実施の形態では、平面視長方形状の基板について説明したが、形状はこれに限られない。取り付け部材などの突起が含まれていたり、角が丸められていたりしても良い。
【００８０】
また、上記実施の形態では、吸気孔１１２を積層基板の外縁に沿った位置にのみ設けることとしたが、中央付近にも設けられていても良い。また、この場合、中央付近の吸気孔１１２を介した吸引動作の実行有無や強度が切替可能であっても良い。例えば、吸引部１４０が複数の吸引ポンプや吸引室を有していても良い。
【００８１】
また、上記実施の形態では、接着剤をフレキソ印刷の手法により積層基板に対して塗布することとしたが、これに限られるものではない。例えば、グラビア印刷の手法で接着剤を塗布しても良い。
その他、上記実施の形態で示した構成、配置、動作内容や手順などの具体的な細部は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【００８２】
［実施例］
フレキソ印刷機を用いて室温環境（約２３℃）下でシリコン製の圧力室基板に対して０．１ｍ／ｓｅｃの速度でエポキシ樹脂系接着剤（粘度は上記室温環境下で１００Ｐａ・ｓ）の塗布を行い、圧力室基板の浮き上がりの状況を確認した。圧力室基板のサイズは、５０ｍｍ×１９ｍｍであり、このうち中央４５ｍｍ×１５ｍｍの範囲内にノズルが形成されている。
図７は、積層基板の浮き上がり状況の実験結果を示す図表である。
【００８３】
（Ｎｏ．１）
圧力室基板の厚みは５１０μｍとし、四隅を爪部材で押圧してステージとの間で狭持させた。ステージ面への吸引動作は−１００ｋＰａで行った。その結果、接着剤の塗布後に圧力室基板には浮き上がりが生じず、接着剤が正常に塗布された（○）。
【００８４】
（Ｎｏ．２）
Ｎｏ．１の実施例に対して、ステージ面への吸引動作を行わずに接着剤の塗布を行った。その結果、接着剤の塗布後に圧力室基板の浮き上がりが生じなかった（○）。
【００８５】
（Ｎｏ．３）
Ｎｏ．２の実施例に対して、圧力室基板の厚みを４９０μｍのものに変更した。その結果、接着剤の塗布後に圧力室基板の浮き上がりが生じなかった（○）。
【００８６】
［比較例］
（Ｎｏ．４）
厚さ４９０μｍの圧力室基板に対し、爪部材を用いずかつ吸着も行わずに接着剤の塗布を行った。その結果、圧力室基板は、接着剤に引かれて塗布版に粘着した（××）。
【００８７】
（Ｎｏ．５）
Ｎｏ．４に対し、圧力室基板の厚さを５１０μｍのものに変更した。その結果、圧力室基板は、塗布版には粘着しなかったものの浮き上がりが生じて接着剤の塗布に不良が生じた（×）。
【００８８】
（Ｎｏ．６）
Ｎｏ．５に対し、更に、吸引部を動作させて−１００ｋＰａで吸引動作を行った。その結果、圧力室基板は、塗布版には粘着しなかったものの浮き上がりが生じて接着剤の塗布に不良が生じた（×）。
【００８９】
その他、圧力室基板の代わりにノズル基板（５０ｍｍ×１６ｍｍ）、スペーサー基板（５０ｍｍ×１９ｍｍ）、配線基板（５０ｍｍ×２３ｍｍ）及び、４枚の基板のうち２、３枚を積層したものを用いても同一の結果が得られた。
また、四隅の代わりに図５（ａ）に示した６箇所の押圧固定でも同一の結果が得られた。
また、積層基板の頂点位置において、別途の真空ポンプを用いて−１５０ｋＰａで吸引した場合でも同一の結果が得られた。
【符号の説明】
【００９０】
１     インクジェットヘッド
２     ヘッドチップ
４     配線部材
５     駆動部
１０   ノズル基板
２０   圧力室基板
２１   圧力室
３０   振動板
３１   開口部
４０   スペーサー基板
４１   インク導通路
４２   格納部
５０   配線基板
５１   インク導通路
５２、５７    配線
５３   インターポーザー
５４、５５、５８、５９      絶縁層
５６   貫通電極
６０   圧電素子
６１   第１電極
６２   第２電極
７０   共通インク室
７０ａ インク室形成部材
８０   保持基板
９０   接続部
９１   バンプ
９２   導電性材料
１００ フレキソ印刷機
１１０ ステージ
１１１ 爪部材
１１２ 吸気孔
１２０ 回転ドラム
１３０ 塗布版
１４０ 吸引部
Ｎ     ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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