(57)【要約】【課題】他の樹脂が含フッ素弾性共重合体に混入しにくく、かつ金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を得ることができる含フッ素弾性共重合体の製造方法の提供。【解決手段】容器内にて含フッ素弾性共重合体を含むラテックスと酸を含む酸水溶液とを混合することによって、含フッ素弾性共重合体を凝集させて回収する含フッ素弾性共重合体の製造方法であり、容器として少なくとも酸と接する部分が下記溶出試験による金属溶出量が１０質量ｐｐｍ以下となる金属からなるものを用い、酸として金属元素を有しない酸を用いる。溶出試験：１００ｍｍ×１０ｍｍ×１ｍｍの金属片をガラス製容器中の５０℃の前記酸水溶液の５０ｍＬに６日間浸漬した後、酸水溶液における金属元素の含有量を測定した値から、５０℃の酸水溶液の５０ｍＬをガラス製容器中に６日間入れた後、酸水溶液における金属元素の含有量を測定した値を引いた値を計算し、金属溶出量とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器内にて、含フッ素弾性共重合体を含むラテックスと、酸を含む酸水溶液とを混合することによって、含フッ素弾性共重合体を凝集させて回収する含フッ素弾性共重合体の製造方法であり、
前記容器として、少なくとも前記酸と接する部分が、下記溶出試験による金属溶出量が１０質量ｐｐｍ以下となる金属からなるものを用い、
前記酸として、金属元素を有しない酸を用いる、含フッ素弾性共重合体の製造方法。
溶出試験：１００ｍｍ×１０ｍｍ×１ｍｍの金属片を、ガラス製容器中の５０℃の前記酸水溶液の５０ｍＬに６日間浸漬した後、前記酸水溶液における金属元素の含有量を測定した値から、５０℃の前記酸水溶液の５０ｍＬをガラス製容器中に６日間入れた後、前記酸水溶液における金属元素の含有量を測定した値を、引いた値を計算し、これを金属溶出量とする。
【請求項２】
前記酸が、硝酸である、請求項１に記載の含フッ素弾性共重合体の製造方法。
【請求項３】
前記容器における少なくとも前記酸と接する部分の前記金属が、ＪＩＳで定められたＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６またはＳＵＳ３１６Ｌである、請求項２に記載の含フッ素弾性共重合体の製造方法。
【請求項４】
凝集し、回収した前記含フッ素弾性共重合体において、金属元素の含有量が２０質量ｐｐｍ以下である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の含フッ素弾性共重合体の製造方法。
【請求項５】
前記含フッ素弾性共重合体が、テトラフルオロエチレンに基づく単位（ａ）と、下式（１）で表される化合物に基づく単位（ｂ）とを有する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の含フッ素弾性共重合体の製造方法。
ＣＦ２＝ＣＦＯＲｆ１  （１）
ただし、Ｒｆ１は、炭素数１〜１０のペルフルオロアルキル基である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、含フッ素弾性共重合体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
含フッ素弾性共重合体を架橋した架橋ゴム物品は、耐薬品性、耐溶剤性、耐熱性等に優れることから、過酷な環境で用いられる半導体製造装置用シール材として好適である。半導体製造装置用シール材には、半導体製品に影響を与える金属成分をできるだけ放出しないことが求められる。よって、半導体製造装置用シール材には、金属元素の含有量が少ないものを用いる必要がある。
【０００３】
金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を製造する方法としては、下記の方法が提案されている。
・金属化合物を用いない乳化重合法によって含フッ素弾性共重合体を含むラテックスを得て、樹脂製容器または樹脂ライニング容器内にてラテックス中の含フッ素弾性共重合体を、金属元素を含まない酸を用いて凝集させる方法（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第９９／５０３１９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載された方法においては、酸による凝集処理に用いる容器として、樹脂製容器または樹脂ライニング容器を用いているため、凝集処理の際の撹拌によって容器の内壁から樹脂が脱落し、含フッ素弾性共重合体に混入することがある。
【０００６】
本発明は、他の樹脂が含フッ素弾性共重合体に混入しにくく、かつ金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を得ることができる含フッ素弾性共重合体の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、下記の態様を有する。
＜１＞容器内にて、含フッ素弾性共重合体を含むラテックスと、酸を含む酸水溶液とを混合することによって、含フッ素弾性共重合体を凝集させて回収する含フッ素弾性共重合体の製造方法であり；前記容器として、少なくとも前記酸と接する部分が、下記溶出試験による金属溶出量が１０質量ｐｐｍ以下となる金属からなるものを用い；前記酸として、金属元素を有しない酸を用いる、含フッ素弾性共重合体の製造方法。
溶出試験：１００ｍｍ×１０ｍｍ×１ｍｍの金属片を、ガラス製容器中の５０℃の前記酸水溶液の５０ｍＬに６日間浸漬した後、前記酸水溶液における金属元素の含有量を測定した値から、５０℃の前記酸水溶液の５０ｍＬをガラス製容器中に６日間入れた後、前記酸水溶液における金属元素の含有量を測定した値を、引いた値を計算し、これを金属溶出量とする。
＜２＞前記酸が、硝酸である、前記＜１＞の含フッ素弾性共重合体の製造方法。
＜３＞前記容器における少なくとも前記酸と接する部分の前記金属が、ＪＩＳで定められたＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６またはＳＵＳ３１６Ｌである、前記＜２＞の含フッ素弾性共重合体の製造方法。
＜４＞凝集し、回収した前記含フッ素弾性共重合体において、金属元素の含有量が２０質量ｐｐｍ以下である、前記＜１＞〜＜３＞のいずれかの含フッ素弾性共重合体の製造方法。
＜５＞前記含フッ素弾性共重合体が、テトラフルオロエチレンに基づく単位（ａ）と、下式（１）で表される化合物に基づく単位（ｂ）とを有する、前記＜１＞〜＜４＞のいずれかの含フッ素弾性共重合体の製造方法。
ＣＦ２＝ＣＦＯＲｆ１  （１）
ただし、Ｒｆ１は、炭素数１〜１０のペルフルオロアルキル基である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の含フッ素弾性共重合体の製造方法によれば、他の樹脂が含フッ素弾性共重合体に混入しにくく、かつ金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を得ることができる。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、式（１）で表される化合物を化合物（１）と記す。他の式で表される化合物も同様に記す。
本明細書における以下の用語の意味は、以下の通りである。
「単位」とは、単量体が重合することによって形成された該単量体に由来する単位をいう。単位は、単量体の重合反応によって直接形成された単位であってもよく、重合体を処理することによって該単位の一部が別の構造に変換された単位であってもよい。
「ペルフルオロアルキル基」とは、アルキル基の水素原子のすべてがフッ素原子に置換された基をいう。
「ペルフルオロアルキレン基」とは、アルキレン基の水素原子のすべてがフッ素原子に置換された基を意味する。
「ポリフルオロアルキレン基」とは、アルキレン基の水素原子の一部またはすべてがフッ素原子に置換された基を意味する。
「エーテル性酸素原子」とは、炭素原子−炭素原子間においてエーテル結合（−Ｏ−）を形成する酸素原子をいう。
「金属元素を有しない酸」とは、酸としての性質を有する化合物を構成する元素として金属元素が存在しない化合物をいう。
酸水溶液および液状媒体における金属元素の含有量は、誘導結合プラズマ質量分析装置を用いて、絶対検量線法によって測定した２９種類の金属元素（Ｆｅ、Ｎａ、Ｋ、Ｌｉ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｒｂ、Ｓｒ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｃｓ、Ｂａ、Ｐｂ、Ｂｉ）の含有量の合計値である。
含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量は、含フッ素弾性共重合体を白金ルツボに入れて高温電気加熱炉で灰化した後、硫酸白煙処理を行い、希硝酸に溶解した液について、誘導結合プラズマ質量分析装置を用いて、絶対検量線法によって測定した２９種類の金属元素（Ｆｅ、Ｎａ、Ｋ、Ｌｉ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｒｂ、Ｓｒ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｃｓ、Ｂａ、Ｐｂ、Ｂｉ）の含有量の合計値である。
数値範囲を示す「〜」は、その前後に記載された数値を下限値および上限値として含むことを意味する。
【００１０】
＜含フッ素弾性共重合体＞
本発明の製造方法によって得られる含フッ素弾性共重合体としては、フッ化ビニリデン／ヘキサフルオロプロピレン系共重合体（ＦＫＭ）、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン系共重合体、フッ化ビニリデン／クロロトリフルオロエチレン系共重合体、テトラフルオロエチレン／プロピレン系共重合体（ＦＥＰＭ）、テトラフルオロエチレン／プロピレン／フッ化ビニリデン系共重合体、ヘキサフルオロプロピレン／エチレン系共重合体、テトラフルオロエチレン／ペルフルオロ（アルキルビニルエーテル）系共重合体（ＦＦＫＭ）、フッ化ビニリデン／テトラフルオロエチレン／ペルフルオロ（アルキルビニルエーテル）系共重合体等が挙げられる。
【００１１】
含フッ素弾性共重合体としては、耐熱性、耐薬品性、耐油性、耐候性等の点から、ＦＥＰＭまたはＦＦＫＭが好ましく、耐薬品性、耐溶剤性、耐熱性等に優れ、半導体製造装置用シール材として好適である点から、ＦＦＫＭ、すなわち下記含フッ素弾性共重合体（Ｘ）が特に好ましい。
【００１２】
含フッ素弾性共重合体（Ｘ）は、テトラフルオロエチレン（以下、ＴＦＥとも記す。）に基づく単位（ａ）と、後述する化合物（１）に基づく単位（ｂ）とを有する。
含フッ素弾性共重合体（Ｘ）は、架橋ゴム物品としたときの低温特性に優れる点から、後述する化合物（２）に基づく単位（ｃ）をさらに有いていてもよい。
含フッ素弾性共重合体（Ｘ）は、架橋ゴム物品としたときのゴム物性がさらに優れる点から、重合性不飽和結合を２個以上有する含フッ素単量体に基づく単位（ｄ）をさらに有いていてもよい。
含フッ素弾性共重合体（Ｘ）は、本発明の効果を損なわない範囲において、必要に応じて他の単量体に基づく単位（ｅ）をさらに有していてもよい。
【００１３】
（単位（ａ））
単位（ａ）は、ＴＦＥに基づく単位である。
【００１４】
（単位（ｂ））
単位（ｂ）は、化合物（１）に基づく単位である。
ＣＦ２＝ＣＦＯＲｆ１  （１）
ただし、Ｒｆ１は、炭素数１〜１０のペルフルオロアルキル基である。
【００１５】
Ｒｆ１において、ペルフルオロアルキル基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。Ｒｆ１の炭素数は、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）の生産性が向上する点から、１〜５が好ましく、１〜３がより好ましい。
【００１６】
化合物（１）の具体例としては、下記のものが挙げられる。
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ３（ＰＭＶＥ）、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＣＦ３（ＰＥＶＥ）、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３（ＰＰＶＥ）、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３等。
化合物（１）としては、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）の生産性が向上する点から、ＰＭＶＥ、ＰＥＶＥ、ＰＰＶＥが好ましい。
【００１７】
（単位（ｃ））
単位（ｃ）は、化合物（２）に基づく単位である。
ＣＦ２＝ＣＦ（ＯＣＦ２ＣＦ２）ｎ−（ＯＣＦ２）ｍ−ＯＲｆ２  （２）
ただし、Ｒｆ２は、炭素数１〜４のペルフルオロアルキル基であり、ｎは、０〜３の整数であり、ｍは、０〜４の整数であり、ｎ＋ｍは、１〜７の整数である。
【００１８】
Ｒｆ２において、ペルフルオロアルキル基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。Ｒｆ２の炭素数は、１〜３が好ましい。
ｎが０のとき、ｍは３または４が好ましい。
ｎが１のとき、ｍは２〜４の整数が好ましい。
ｎが２または３のとき、ｍは０が好ましい。
ｎは、１〜３の整数が好ましい。
Ｒｆ２の炭素数、ｎおよびｍが前記範囲内であれば、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）を架橋ゴム物品としたときの低温特性がさらに優れ、また、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）の生産性が向上する。
【００１９】
化合物（２）の具体例としては、下記のものが挙げられる。
ＣＦ２＝ＣＦ−ＯＣＦ２ＣＦ２−ＯＣＦ２−ＯＣＦ２−ＯＣＦ２−ＯＣＦ２−ＯＣＦ３（Ｃ９ＰＥＶＥ）、
ＣＦ２＝ＣＦ−ＯＣＦ２ＣＦ２−ＯＣＦ２−ＯＣＦ２−ＯＣＦ３（Ｃ７ＰＥＶＥ）、
ＣＦ２＝ＣＦ−ＯＣＦ２ＣＦ２−ＯＣＦ２ＣＦ２−ＯＣＦ２ＣＦ３（ＥＥＡＶＥ）、
ＣＦ２＝ＣＦ−ＯＣＦ２−ＯＣＦ３、
ＣＦ２＝ＣＦ−ＯＣＦ２−ＯＣＦ２ＣＦ３、
ＣＦ２＝ＣＦ−ＯＣＦ２−ＯＣＦ２−ＯＣＦ３、
ＣＦ２＝ＣＦ−Ｏ（ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ）２ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ３等。
化合物（２）としては、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）を架橋ゴム物品としたときの低温特性がさらに優れ、また、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）の生産性が向上する点から、Ｃ９ＰＥＶＥ、Ｃ７ＰＥＶＥ、ＥＥＡＶＥが好ましい。
【００２０】
（単位（ｄ））
単位（ｄ）は、重合性不飽和結合を２個以上有する含フッ素単量体に基づく単位である。
重合性不飽和結合としては、炭素原子−炭素原子間の二重結合（Ｃ＝Ｃ）、三重結合（Ｃ≡Ｃ）等が挙げられ、二重結合が好ましい。重合性不飽和結合の数は、２〜６個が好ましく、２または３個がより好ましく、２個が特に好ましい。
重合性不飽和結合を２個以上有する含フッ素単量体は、ぺルフルオロ化合物であることが好ましい。
【００２１】
重合性不飽和結合を２個以上有する含フッ素単量体としては、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）を架橋ゴム物品としたときのゴム物性を維持しつつ低温特性がさらに優れる点から、化合物（３）が好ましい。
ＣＦ２＝ＣＦＯＲｆ３ＯＣＦ＝ＣＦ２  （３）
ただし、Ｒｆ３は、炭素数１〜２５のペルフルオロアルキレン基、または炭素数２〜２５のペルフルオロアルキレン基の炭素原子−炭素原子間に１個以上のエーテル性酸素原子を有する基である。
【００２２】
Ｒｆ３において、ペルフルオロアルキレン基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。Ｒｆ３の炭素数は、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）を架橋ゴム物品としたときのゴム物性を維持しつつ低温特性がさらに優れる点から、３または４が好ましい。
【００２３】
化合物（３）の具体例としては、下記のものが挙げられる。
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）２ＯＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）３ＯＣＦ＝ＣＦ２（Ｃ３ＤＶＥ）、
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）４ＯＣＦ＝ＣＦ２（Ｃ４ＤＶＥ）、
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）６ＯＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）８ＯＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）２Ｏ（ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ）２ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２Ｏ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）２ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２Ｏ）３Ｏ（ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ）２ＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ（ＣＦ２）２ＯＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２ＯＣＦ＝ＣＦ２、
ＣＦ２＝ＣＦＯＣＦ２ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２Ｏ）２ＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ＝ＣＦ２等。
化合物（３）としては、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）を架橋ゴム物品としたときのゴム物性を維持しつつ低温特性がさらに優れる点から、Ｃ３ＤＶＥ、Ｃ４ＤＶＥが特に好ましい。
【００２４】
（単位（ｅ））
単位（ｅ）は、他の単量体に基づく単位である。
他の単量体としては、フッ素原子およびフッ素原子以外のハロゲン原子を有する単量体（ブロモトリフルオロエチレン、ヨードトリフルオロエチレン等）、フッ素原子およびニトリル基を有する単量体（ＣＦ２＝ＣＦＯ（ＣＦ２）５ＣＮ、ペルフルオロ（８−シアノ−５−メチル−３，６−ジオキサ−１−オクテン）等）が挙げられる。
【００２５】
（各単位の割合）
単位（ａ）の割合は、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）を構成するすべての単位（１００モル％）のうち、３５〜７５モル％が好ましく、４０〜７５モル％がより好ましく、５０〜７５モル％がさらに好ましい。
単位（ｂ）の割合は、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）を構成するすべての単位（１００モル％）のうち、３〜５７モル％が好ましく、５〜５０モル％がより好ましく、１０〜４０モル％がさらに好ましい。
単位（ｃ）の割合は、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）を構成するすべての単位（１００モル％）のうち、３〜５７モル％が好ましく、５〜４０モル％がより好ましく、８〜３０モル％がさらに好ましい。
単位（ｄ）の割合は、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）を構成するすべての単位（１００モル％）のうち、０．０１〜１モル％が好ましく、０．０５〜０．５モル％がより好ましく、０．０５〜０．３モル％がさらに好ましい。
単位（ｅ）の割合は、含フッ素弾性共重合体（Ｘ）を構成するすべての単位（１００モル％）のうち、０〜５モル％が好ましく、０〜３モル％がより好ましく、０〜２モル％がさらに好ましい。
【００２６】
（ヨウ素原子）
含フッ素弾性共重合体は、含フッ素弾性共重合体の架橋性に優れ、また、架橋ゴム物品のゴム物性がさらに優れる点から、ヨウ素原子をさらに有することが好ましい。ヨウ素原子は、含フッ素弾性共重合体の高分子鎖の末端に結合していることが好ましい。高分子鎖の末端とは、主鎖の末端および分岐鎖の末端の両方を含む概念とする。
【００２７】
ヨウ素原子の含有量は、含フッ素弾性共重合体（１００質量％）のうち、０．０１〜１．５質量％が好ましく、０．０１〜１．０質量％がより好ましい。ヨウ素原子の含有量が前記範囲内であれば、含フッ素弾性共重合体の架橋性がさらに優れ、また、架橋ゴム物品のゴム物性がさらに優れる。
【００２８】
＜含フッ素弾性共重合体の製造方法＞
本発明の含フッ素弾性共重合体の製造方法は、容器内にて、含フッ素弾性共重合体を含むラテックスと、酸を含む酸水溶液とを混合することによって、含フッ素弾性共重合体を凝集させて回収する方法である。
【００２９】
（ラテックスの製造）
含フッ素弾性共重合体を含むラテックスは、乳化重合法によって得られる。
乳化重合法においては、たとえば、ラジカル重合開始剤および乳化剤を含む水性媒体中で、ＴＦＥと化合物（１）とを含む単量体成分を重合させる。
【００３０】
ラジカル重合開始剤としては、公知のものを用いればよい。
乳化重合に用いるラジカル重合開始剤としては、水溶性開始剤が好ましい。水溶性開始剤としては、過硫酸類（過硫酸アンモニウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム等）、過酸化水素、水溶性有機過酸化物（ジコハク酸ペルオキシド、ジグルタル酸ペルオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルヒドロキシペルオキシド等）、有機系開始剤（アゾビスイソブチルアミジン二塩酸塩等）、過硫酸類または過酸化水素と、亜硫酸水素ナトリウム、チオ硫酸ナトリウム等の還元剤との組合せからなるレドックス系開始剤、レドックス系開始剤に少量の鉄、第一鉄塩、硫酸銀等をさらに共存させた系の無機系開始剤等が挙げられる。
ラジカル重合開始剤の量は、単量体成分の１００質量部に対して、０．０００１〜５質量部が好ましく、０．００１〜２質量部がより好ましい。
【００３１】
ラジカル重合開始剤を用いる場合、連鎖移動剤の存在下に単量体成分を重合させることが好ましい。
連鎖移動剤としては、アルコール類（メタノール、エタノール等）、クロロフルオロハイドロカーボン（１，３−ジクロロ−１，１，２，２，３−ペンタフルオロプロパン、１，１−ジクロロ−１−フルオロエタン等）、ハイドロカーボン（ペンタン、ヘキサン、シクロヘキサン等）、化合物（４）、化合物（５）、メルカプタン類（ｔｅｒｔ−ドデシルメルカプタン、ｎ−オクタデシルメルカプタン等）等が挙げられる。
Ｒｆ４Ｉ２  （４）
Ｒｆ４ＩＢｒ  （５）
ただし、Ｒｆ４は、炭素数１〜１６のポリフルオロアルキレン基である。
【００３２】
Ｒｆ４において、ポリフルオロアルキレン基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。Ｒｆ４としては、ペルフルオロアルキレン基が好ましい。
連鎖移動剤としては、含フッ素弾性共重合体の架橋性に優れ、架橋ゴム物品のゴム物性がさらに優れる点から、化合物（４）が好ましい。
化合物（４）としては、１，４−ジヨードペルフルオロブタン、１，６−ジヨードペルフルオロヘキサン、１，８−ジヨードペルフルオロオクタン等が挙げられ、重合反応性に優れる点から、１，４−ジヨードペルフルオロブタンが好ましい。
連鎖移動剤の量は、連鎖移動剤の連鎖移動定数に基づき適宜設定される。化合物（４）を用いる場合は、単量体成分の１００質量部に対して、０．０１〜５質量％が好ましく、０．０５〜２質量％がより好ましい。
【００３３】
水性媒体としては、水、水と水溶性有機溶媒との混合物等が挙げられる。
水溶性有機溶媒としては、ｔｅｒｔ−ブタノール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコール等が挙げられ、単量体の重合速度が低下しない点から、ｔｅｒｔ−ブタノール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルが好ましい。
水性媒体が水溶性有機溶媒を含むと、単量体の分散性および含フッ素弾性共重合体の分散性に優れ、また、含フッ素弾性共重合体の生産性に優れる。
水溶性有機溶媒の含有量は、水の１００質量部に対して、１〜４０質量部が好ましく、３〜３０質量部がより好ましい。
【００３４】
乳化剤としては、アニオン性乳化剤、ノニオン性乳化剤、カチオン性乳化剤等が挙げられ、ラテックスの機械的および化学的安定性がさらに優れる点から、アニオン性乳化剤が好ましい。
アニオン性乳化剤としては、炭化水素系乳化剤（ラウリル硫酸ナトリウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム等）、含フッ素系乳化剤（ペルフルオロオクタン酸アンモニウム、ペルフルオロオクタン酸ナトリウム、ペルフルオロヘキサン酸アンモニウム、化合物（６）等）等が挙げられる。
Ｆ（ＣＦ２）ｐＯ（ＣＦ（Ｘ）ＣＦ２Ｏ）ｑＣＦ（Ｙ）ＣＯＯＡ  （６）
ただし、ＸおよびＹは、それぞれフッ素原子または炭素数１〜３の直鎖状または分岐状のペルフルオロアルキル基であり、Ａは、水素原子、アルカリ金属またはＮＨ４であり、ｐは、２〜１０の整数であり、ｑは、０〜３の整数である。
【００３５】
化合物（６）としては、下記のものが挙げられる。
Ｃ２Ｆ５ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＯＯＮＨ４、
Ｆ（ＣＦ２）３Ｏ（ＣＦ（ＣＦ３）ＣＦ２Ｏ）２ＣＦ（ＣＦ３）ＣＯＯＮＨ４、
Ｆ（ＣＦ２）３ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＯＯＮＨ４、
Ｆ（ＣＦ２）３Ｏ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）２ＣＦ２ＣＯＯＮＨ４、
Ｆ（ＣＦ２）４ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＯＯＮＨ４、
Ｆ（ＣＦ２）４Ｏ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）２ＣＦ２ＣＯＯＮＨ４、
Ｆ（ＣＦ２）３ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＯＯＮａ、
Ｆ（ＣＦ２）３Ｏ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）２ＣＦ２ＣＯＯＮａ、
Ｆ（ＣＦ２）４ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＯＯＮａ、
Ｆ（ＣＦ２）４Ｏ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）２ＣＦ２ＣＯＯＮａ、
Ｆ（ＣＦ２）２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＯＯＮＨ４、
Ｆ（ＣＦ２）２Ｏ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）２ＣＦ２ＣＯＯＮＨ４、
Ｆ（ＣＦ２）２ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＯＯＮａ、
Ｆ（ＣＦ２）２Ｏ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）２ＣＦ２ＣＯＯＮａ等。
【００３６】
アニオン性乳化剤としては、ペルフルオロオクタン酸アンモニウム、Ｃ２Ｆ５ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＯＯＮＨ４、Ｆ（ＣＦ２）４ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＯＯＮＨ４、Ｆ（ＣＦ２）３ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＯＯＮＨ４が好ましい。
乳化剤の量は、水性媒体の１００質量部に対して、０．０１〜１５質量部が好ましく、０．１〜１０質量部がより好ましい。
【００３７】
ラジカル重合の重合条件は、単量体組成、ラジカル重合開始剤の分解温度によって適宜選択される。
重合圧力は、０．１〜２０ＭＰａ［ｇａｕｇｅ］が好ましく、０．３〜１０ＭＰａ［ｇａｕｇｅ］がより好ましく、０．３〜５ＭＰａ［ｇａｕｇｅ］がさらに好ましい。
重合温度は、０〜１００℃が好ましく、１０〜９０℃がより好ましく、２０〜８０℃がさらに好ましい。
重合時間は、１〜７２時間が好ましく、１〜２４時間がより好ましく、１〜１２時間がさらに好ましい。
【００３８】
乳化重合に用いられる化合物（単量体成分、重合開始剤、乳化剤、連鎖移動剤、ｐＨ調整剤等。ただし、水性媒体を除く。）としては、金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を得やすい点から、金属元素を有する化合物を用いないことが好ましい。
【００３９】
乳化重合に用いられる水性媒体は、金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を得やすい点から、金属元素の含有量が２質量ｐｐｍ以下が好ましく、１質量ｐｐｍ以下がより好ましく、０．５質量ｐｐｍ以下がさらに好ましい。金属元素の含有量の下限値は０質量ｐｐｂである。水性媒体としては、超純水が特に好ましい。
【００４０】
（凝集）
含フッ素弾性共重合体は、酸による凝集によってラテックスから分離される。
酸による凝集処理は、容器内にて、含フッ素弾性共重合体を含むラテックスと酸を含む酸水溶液とを混合することによって行われる。
【００４１】
容器としては、少なくとも酸と接する部分が金属からなるものを用いる。容器における酸と接する部分に金属を用いる、すなわち樹脂を用いないことによって、他の樹脂が含フッ素弾性共重合体に混入しにくい。
容器に用いる金属としては、酸によって腐食しにくい点から、ステンレス鋼、ハステロイ（登録商標）、クロムモリブデン鋼、マンガンモリブデン鋼、銅、銅合金、アルミニウム合金、工業用純チタン、ニッケル合金が好ましく、ステンレス鋼が特に好ましい。
【００４２】
ステンレス鋼としては、ＪＩＳ  Ｇ  ４３０４：２０１２「熱間圧延ステンレス鋼板及び鋼帯」（対応国際規格ＩＳＯ  １６１４３−１：２００４、ＩＳＯ  ９４４４−１：２００９、ＩＳＯ  ９４４４−２：２００９、ＩＳＯ  １８２８６：２００８）、ＪＩＳ  Ｇ  ４３０５：２０１２「冷間圧延ステンレス鋼板及び鋼帯」（対応国際規格ＩＳＯ  １６１４３−１：２００４、ＩＳＯ  ９４４５−１：２００９、ＩＳＯ  ９４４５−２：２００９）等の様々な日本工業規格に記載のステンレス鋼（ＳＵＳ）が挙げられる。日本工業規格に定められたステンレス鋼の種類としては、オーステナイト系、オーステナイト・フェライト系、フェライト系、マルテンサイト系、析出硬化系が挙げられる。
【００４３】
ＪＩＳに定められたステンレス鋼としては、具体的には下記のものが挙げられる。
オーステナイト系：ＳＵＳ２０１、ＳＵＳ２０２、ＳＵＳ３０１、ＳＵＳ３０１Ｌ、ＳＵＳ３０１Ｊ１、ＳＵＳ３０２、ＳＵＳ３０２Ｂ、ＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０３Ｓｅ、ＳＵＳ３０３Ｃｕ、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３０４Ｃｕ、ＳＵＳ３０４Ｈ、ＳＵＳ３０４Ｌ、ＳＵＳ３０４Ｎ、ＳＵＳ３０４Ｎ１、ＳＵＳ３０４Ｎ２、ＳＵＳ３０４ＬＮ、ＳＵＳ３０４Ｊ１、ＳＵＳ３０４Ｊ２、ＳＵＳ３０４Ｊ３、ＳＵＳ３０５、ＳＵＳ３０５Ｊ１、ＳＵＳ３０８、ＳＵＳ３０８Ｌ、ＳＵＳ３０９、ＳＵＳ３０９Ｌ、ＳＵＳ３０９Ｍｏ、ＳＵＳ３０９Ｓ、ＳＵＳ３１０、ＳＵＳ３１０Ｓ、ＳＵＳ３１２、ＳＵＳ３１２Ｌ、ＳＵＳ３１５Ｊ１、ＳＵＳ３１５Ｊ２、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｈ、ＳＵＳ３１６Ｌ、ＳＵＳ３１６ＬＮ、ＳＵＳ３１６Ｎ、ＳＵＳ３１６Ｔｉ、ＳＵＳ３１６Ｊ１、ＳＵＳ３１６Ｊ１Ｌ、ＳＵＳ３１６Ｆ、ＳＵＳ３１７、ＳＵＳ３１７Ｌ、ＳＵＳ３１７ＬＮ、ＳＵＳ３１７Ｊ１、ＳＵＳ３１７Ｊ２、ＳＵＳ３１７Ｊ３Ｌ、ＳＵＳ８３６Ｌ、ＳＵＳ８９０Ｌ、ＳＵＳ３２１、ＳＵＳ３２１Ｈ、ＳＵＳ３４７、ＳＵＳ３４７Ｈ、ＳＵＳ３４７Ｌ、ＳＵＳ３８４、ＳＵＳＸＭ７、ＳＵＳＸＭ１５Ｊ１。
【００４４】
オーステナイト・フェライト系：ＳＵＳ３２９Ｊ１、ＳＵＳ３２９Ｊ３Ｌ、ＳＵＳ３２９Ｊ４Ｌ。
フェライト系：ＳＵＳ４０５、ＳＵＳ４０９、ＳＵＳ４０９Ｌ、ＳＵＳ４１０Ｌ、ＳＵＳ４１０Ｔｉ、ＳＵＳ４２９、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ４３０Ｆ、ＳＵＳ４３０ＬＸ、ＳＵＳ４３０Ｊ１Ｌ、ＳＵＳ４３４、ＳＵＳ４３６Ｌ、ＳＵＳ４３６Ｊ１Ｌ、ＳＵＳ４４４、ＳＵＳ４４５Ｊ１、ＳＵＳ４４５Ｊ２、ＳＵＳ４４７Ｊ１、ＳＵＳＸＭ８、ＳＵＳＸＭ２７。
マルテンサイト系：ＳＵＳ４０３、ＳＵＳ４１０、ＳＵＳ４１０Ｊ１、ＳＵＳ４１０Ｆ２、ＳＵＳ４１０Ｓ、ＳＵＳ４１６、ＳＵＳ４２０Ｊ１、ＳＵＳ４２０Ｊ２、ＳＵＳ４２０Ｆ、ＳＵＳ４２０Ｆ２、ＳＵＳ４３１、ＳＵＳ４４０Ａ、ＳＵＳ４４０Ｂ、ＳＵＳ４４０Ｃ、ＳＵＳ４４０Ｆ。
析出硬化系：ＳＵＳ６３０、ＳＵＳ６３１、ＳＵＳ６３１Ｊ１。
【００４５】
本発明においては、容器として、少なくとも酸と接する部分が、下記溶出試験による金属溶出量が１０質量ｐｐｍ以下となる金属からなるものを用いる。
溶出試験：１００ｍｍ×１０ｍｍ×１ｍｍの金属片を、ガラス製容器中の５０℃の前記酸水溶液の５０ｍＬに６日間浸漬した後、前記酸水溶液における金属元素の含有量を測定した値から、５０℃の前記酸水溶液の５０ｍＬをガラス製容器中に６日間入れた後、前記酸水溶液における金属元素の含有量を測定した値を、引いた値を計算し、これを金属溶出量とする。
【００４６】
溶出試験による金属溶出量は、１０質量ｐｐｍ以下であり、６質量ｐｐｍ以下が好ましく、５質量ｐｐｍ以下がより好ましい。溶出試験による金属溶出量が前記範囲の上限値以下であれば、この条件を満たす金属を容器における酸と接する部分に用いることによって、容器からの金属元素の溶出が抑えられ、金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を得ることができる。
【００４７】
酸が硝酸である場合、溶出試験による金属溶出量が１０質量ｐｐｍ以下となる金属としては、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌが挙げられ、金属溶出量がより少ない点から、ＳＵＳ３０４が特に好ましい。
【００４８】
凝集処理に用いる酸としては、金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を得る点から、金属元素を有しない酸を用いる。
金属元素を有しない酸としては、硝酸、硫酸、シュウ酸、塩酸、臭化水素酸、ヨウ化水素酸、ホウ酸、ギ酸、酢酸、クエン酸、グルコン酸、乳酸等が挙げられる。金属元素を有しない酸としては、金属に対する腐食性が低い点から、塩化物イオンを有しない酸が好ましく、硝酸または硫酸がより好ましく、最終的に得られる含フッ素弾性共重合体に残留する、酸に由来する陰イオンの量が少なく、架橋ゴム物品のゴム物性を低下させにくい点から、硝酸が特に好ましい。
【００４９】
酸水溶液中の酸の濃度は、０．１〜５０質量％が好ましく、１〜３０質量％がより好ましく、１〜１０質量％がさらに好ましい。酸の濃度が前記範囲の下限値以上であれば、含フッ素弾性共重合体が凝集しやすい。酸の濃度が前記範囲の上限値以下であれば、含フッ素弾性共重合体の製造に用いる金属製機器（凝集槽、洗浄槽、乾燥機等）の腐食が抑えられ、また、最終的に得られる含フッ素弾性共重合体に残留する、酸に由来する陰イオンの量が少なく、架橋ゴム物品のゴム物性を低下させにくい。
【００５０】
酸水溶液の調製に用いる水は、金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を得やすい点から、金属元素の含有量が２質量ｐｐｍ以下であることが好ましい。金属元素の含有量は、１質量ｐｐｍ以下がより好ましく、０．５質量ｐｐｍ以下がさらに好ましい。金属元素の含有量の下限値は０質量ｐｐｂである。水としては、超純水が特に好ましい。
【００５１】
酸水溶液の量は、含フッ素弾性共重合体の１００質量部に対して１０質量部以上が好ましく、５０〜１０００質量がより好ましく、１００〜５００質量がさらに好ましい。酸水溶液の量が前記範囲の下限値以上であれば、含フッ素弾性共重合体が凝集しやすい。酸水溶液の量が前記範囲の上限値以下であれば、凝集処理によって発生する排水の量が抑えられる。
【００５２】
凝集し、回収した含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量は、２０質量ｐｐｍ以下が好ましく、１０質量ｐｐｍ以下がより好ましく、５質量ｐｐｍ以下がさらに好ましい。金属元素の含有量が前記範囲の上限値以下であれば、含フッ素弾性共重合体からなる架橋ゴム物品を半導体製造装置用シール材としたときに、半導体製品に影響を与える金属成分の放出を充分に抑制できる。金属元素の含有量の下限値は０質量ｐｐｂである。
【００５３】
（洗浄）
凝集した含フッ素弾性共重合体は、ろ過等によって回収された後、液状媒体で洗浄されることが好ましい。
洗浄に用いる液状媒体としては、金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を得る点から、金属元素の含有量が２質量ｐｐｍ以下であるものが好ましい。金属元素の含有量は、１質量ｐｐｍ以下がより好ましく、０．５質量ｐｐｍ以下がさらに好ましい。金属元素の含有量の下限値は０質量ｐｐｂである。
洗浄に用いる液状媒体としては、含フッ素弾性共重合体から金属元素および塩化物イオンを除去しやすい点から、水が好ましく、超純水が特に好ましい。
【００５４】
洗浄された含フッ素弾性共重合体は、ろ過等によって回収される。洗浄の回数は、１回であってもよく、２回以上であってもよい。
洗浄に用いる液状媒体の合計量は、含フッ素弾性共重合体の１００質量部に対して１０質量部以上が好ましく、５０〜１０００質量がより好ましく、１００〜５００質量がさらに好ましい。液状媒体の合計量が前記範囲の下限値以上であれば、含フッ素弾性共重合体に残留する、酸に由来する陰イオンの量が少なくなり、後段の乾燥機等の腐食が抑えられ、また、架橋ゴム物品のゴム物性を低下させにくい。液状媒体の合計量が前記範囲の上限値以下であれば、洗浄によって発生する排水の量が抑えられる。
【００５５】
（乾燥）
洗浄された含フッ素弾性共重合体は、熱による含フッ素弾性共重合体の劣化を抑え、架橋ゴム物品のゴム物性の低下を抑える点から、１００℃未満の温度で減圧乾燥（真空乾燥）することが好ましい。
乾燥温度は、８０℃以下が好ましく、７０℃以下がより好ましく、６０℃以下がさらに好ましい。乾燥温度は、乾燥機内の雰囲気の温度である。
乾燥時の圧力は、５０ｋＰａ以下が好ましく、３０ｋＰａ以下がより好ましく、１０ｋＰａ以下がさらに好ましい。乾燥時の圧力を前記範囲の上限値以下とすることによって、乾燥温度を低くしても含フッ素弾性共重合体を充分に乾燥できる。
【００５６】
乾燥した後の含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量は、２０質量ｐｐｍ以下が好ましく、１０質量ｐｐｍ以下がより好ましく、５質量ｐｐｍ以下がさらに好ましい。金属元素の含有量が前記範囲の上限値以下であれば、含フッ素弾性共重合体からなる架橋ゴム物品を半導体製造装置用シール材としたときに、半導体製品に影響を与える金属成分の放出を充分に抑制できる。金属元素の含有量の下限値は０質量ｐｐｂである。
【００５７】
（作用機序）
以上説明した本発明の含フッ素弾性共重合体の製造方法にあっては、容器における酸と接する部分に金属を用いる、すなわち樹脂を用いないため、他の樹脂が含フッ素弾性共重合体に混入しにくい。また、容器における酸と接する部分に、上述した溶出試験による金属溶出量が１０質量ｐｐｍ以下となる金属を用い、かつ酸として、金属元素を有しない酸を用いるため、金属元素の含有量が少ない含フッ素弾性共重合体を得ることができる。そのため、本発明の製造方法で得られた含フッ素弾性共重合体からなる架橋ゴム物品は、半導体製造装置用シール材として好適である。
【００５８】
＜含フッ素弾性共重合体組成物＞
含フッ素弾性共重合体組成物は、本発明の含フッ素弾性共重合体と、架橋剤とを含む。含フッ素弾性共重合体組成物は、本発明の効果を損なわない範囲内において、必要に応じて架橋助剤、他の添加剤等を含んでいてもよい。
【００５９】
（架橋剤）
架橋剤としては、有機過酸化物、ポリオール、アミン、トリアジン等が挙げられ、架橋ゴム物品の生産性、耐熱性、耐薬品性に優れる点から、有機過酸化物が好ましい。
【００６０】
有機過酸化物としては、ジアルキルペルオキシド類（ジｔｅｒｔ−ブチルペルオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルクミルペルオキシド、ジクミルペルオキシド、α，α−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシ）−ｐ−ジイソプロピルベンゼン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシ）ヘキサン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシ）ヘキサン−３等）、１，１−ジ（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、２，５−ジメチルヘキサン−２，５−ジヒドロペルオキシド、ベンゾイルペルオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシベンゼン、１，３−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシイソプロピル）ベンゼン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ベンゾイルペルオキシ）ヘキサン、ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシマレイン酸、ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシイソプロピルカーボネート等が挙げられる。有機過酸化物としては、ジアルキルペルオキシド類が好ましい。
【００６１】
架橋剤の配合量は、含フッ素弾性共重合体の１００質量部に対して、０．３〜１０質量部が好ましく、０．３〜５質量部がより好ましく、０．５〜３質量部がさらに好ましい。架橋剤の配合量が前記範囲内であれば、架橋ゴム物品の強度と伸びのバランスに優れる。
【００６２】
（架橋助剤）
含フッ素弾性共重合体組成物が架橋助剤をさらに含む場合、架橋効率がより高くなる。
架橋助剤としては、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート、トリメタリルイソシアヌレート、１，３，５−トリアクリロイルヘキサヒドロ−１，３，５−トリアジン、トリアリルトリメリテート、ｍ−フェニレンジアミンビスマレイミド、ｐ−キノンジオキシム、ｐ，ｐ’−ジベンゾイルキノンジオキシム、ジプロパルギルテレフタレート、ジアリルフタレート、Ｎ，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’’−テトラアリルテレフタールアミド、ビニル基含有シロキサンオリゴマー（ポリメチルビニルシロキサン、ポリメチルフェニルビニルシロキサン等）等が挙げられる。架橋助剤としては、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレート、トリメタリルイソシアヌレートが好ましく、トリアリルイソシアヌレートが特に好ましい。
【００６３】
架橋助剤の配合量は、含フッ素弾性共重合体の１００質量部に対して０．１〜１０質量部が好ましく、０．５〜５質量部がより好ましい。架橋助剤の配合量が前記範囲内であれば、架橋ゴム物品の強度と伸びのバランスに優れる。
【００６４】
（他の添加剤）
他の添加剤としては、金属酸化物、顔料、充填剤、補強材、加工助剤等が挙げられる。
【００６５】
含フッ素弾性共重合体組成物が金属酸化物をさらに含む場合、架橋反応が速やかにかつ確実に進行する。
金属酸化物としては、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化亜鉛、酸化鉛等の２価金属の酸化物が挙げられる。
金属酸化物の配合量は、含フッ素弾性共重合体の１００質量部に対して０．１〜１０質量部が好ましく、０．５〜５質量部がより好ましい。金属酸化物の配合量が前記範囲内であれば、架橋ゴム物品の強度と伸びのバランスに優れる。
【００６６】
充填剤または補強材としては、カーボンブラック、酸化チタン、二酸化珪素、クレー、タルク、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル、ポリクロロトリフルオロエチレン、ＴＦＥ／エチレン共重合体、ＴＦＥ／プロピレン共重合体、ＴＦＥ／フッ化ビニリデン共重合体等が挙げられる。
【００６７】
加工助剤としては、公知のものが挙げられる。滑剤としての機能を発現する加工助剤としては、脂肪酸金属塩（ステアリン酸ナトリウム、ステアリン酸カルシウム等）、合成ワックス（ポリエチレンワックス等）、脂肪酸エステル（グリセリンモノオレエート等）等が挙げられる。
【００６８】
（含フッ素弾性共重合体組成物の製造方法）
含フッ素弾性共重合体組成物は、２本ロール、ニーダー、バンバリーミキサー等の公知の混練装置を用いる混練方法によって、含フッ素弾性共重合体、架橋剤、必要に応じて架橋助剤、他の添加剤を混練することによって得られる。
【００６９】
＜架橋ゴム物品＞
架橋ゴム物品は、本発明の含フッ素弾性共重合体または含フッ素弾性共重合体組成物を架橋したものである。
架橋ゴム物品としては、架橋ゴムシート、Ｏリング、シートガスケット、オイルシール、ダイヤフラム、Ｖ−リング、半導体製造装置用部品、耐薬品性シール材、塗料、電線被覆材等が挙げられる。
【００７０】
架橋ゴム物品は、金属元素の含有量が少ないことから、半導体製造装置用部品として好適に用いることができる。
架橋ゴム物品からなる半導体製造装置用部品としては、シール材（Ｏリング、角リング、ガスケット、パッキン、オイルシール、ベアリングシール、リップシール等）、チューブ、ホース、各種ゴムロール、ダイアフラム、ライニング等が挙げられる。
半導体製造装置としては、エッチング装置（ドライエッチング装置、プラズマエッチング装置、反応性イオンエッチング装置、反応性イオンビームエッチング装置、スパッタエッチング装置、イオンビームエッチング装置、ウェットエッチング装置、アッシング装置等）、洗浄装置（乾式エッチング洗浄装置、ＵＶ／Ｏ３洗浄装置、イオンビーム洗浄装置、レーザービーム洗浄装置、プラズマ洗浄装置、ガスエッチング洗浄装置、抽出洗浄装置、ソックスレー抽出洗浄装置、高温高圧抽出洗浄装置、マイクロウェーブ抽出洗浄装置、超臨界抽出洗浄装置等）、露光装置（ステッパー、コータ・デベロッパー等）、研磨装置（ＣＭＰ装置等）、成膜装置（ＣＶＤ装置、スパッタリング装置等）、拡散・イオン注入装置（酸化拡散装置、イオン注入装置等）等が挙げられる。
【００７１】
（架橋ゴム物品の製造方法）
架橋ゴム物品は、公知の方法により、本発明の含フッ素弾性共重合体または含フッ素弾性共重合体組成物を適宜成形し、架橋することによって得られる。
【００７２】
架橋方法としては、加熱による方法、電離性放射線照射による方法等が挙げられる。
成形方法としては、射出成形法、押出成形法、共押出成形法、ブロー成形法、圧縮成形法、インフレーション成形法、トランスファー成形法、カレンダー成形法等が挙げられる。
【００７３】
含フッ素弾性共重合体組成物が架橋剤として有機過酸化物を含有する場合、加熱による架橋が好ましい。
加熱架橋による架橋ゴム物品の具体的な製造方法としては、例えば、熱プレス成形法が挙げられる。熱プレス成形法では、加熱した金型を用い、目的の形状を有する金型のキャビティに含フッ素弾性共重合体組成物を充填して、加熱することによって成形と同時に架橋（熱プレス架橋）を行うことで架橋ゴム物品が得られる。加熱温度は、１３０〜２２０℃が好ましく、１４０〜２００℃がより好ましく、１５０〜１８０℃がさらに好ましい。
【００７４】
熱プレス成形法を用いる場合、熱プレス架橋（一次架橋とも記す。）で得られた架橋ゴム物品を、必要により、電気、熱風、蒸気等を熱源とするオーブン等でさらに加熱して、架橋を進行させること（二次架橋とも記す。）も好ましい。二次架橋時の温度は、１５０〜２８０℃が好ましく、１８０〜２６０℃がより好ましく、２００〜２５０℃がさらに好ましい。二次架橋時間は、１〜４８時間が好ましく、４〜２４時間がより好ましい。充分に二次架橋することによって、架橋ゴム物品のゴム物性が向上する。また、架橋ゴム物品に含まれる過酸化物の残渣が分解、揮散して、低減される。熱プレス成形法は、シール材等の成形に適用することが好ましい。
【００７５】
電離性放射線照射による方法における電離性放射線としては、電子線、γ線等が挙げられる。電離性放射線照射により架橋する場合には、あらかじめ含フッ素弾性共重合体または含フッ素弾性共重合体組成物を、目的の形状に成形した後、電離性放射線を照射して架橋させる方法が好ましい。成形方法としては、含フッ素弾性共重合体もしくは含フッ素弾性共重合体組成物を適当な溶媒中に溶解分散した懸濁溶液を塗布し、乾燥し塗膜とする方法、または含フッ素弾性共重合体もしくは含フッ素弾性共重合体組成物を押出成形し、ホースや電線の形状に成形する方法等が挙げられる。電離性放射線の照射量は、適宜設定され、１〜３００ｋＧｙが好ましく、１０〜２００ｋＧｙがより好ましい。
【実施例】
【００７６】
以下に実施例を用いて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
例１〜５は実験例であり、例６〜７は実施例である。
【００７７】
＜測定、評価＞
（含フッ素弾性共重合体における各単位の割合）
含フッ素弾性共重合体における各単位の割合は、１９Ｆ−ＮＭＲ分析、フッ素含有量分析、赤外吸収スペクトル分析から求めた。
【００７８】
（含フッ素弾性共重合体のヨウ素原子の含有量）
含フッ素弾性共重合体中のヨウ素原子の含有量は、自動試料燃焼装置（イオンクロマトグラフ用前処理装置）（ダイアインスツルメンツ社製、ＡＱＦ−１００）とイオンクロマトグラフとを組み合わせた装置で定量した。
【００７９】
（超純水および酸水溶液における金属元素の含有量）
超純水および酸水溶液における金属元素の含有量は、誘導結合プラズマ質量分析装置（Ａｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製、ＩＣＰ−ＭＳ  ７５００ｃｓ）を用いて、絶対検量線法によって測定した２９種類の金属元素（Ｆｅ、Ｎａ、Ｋ、Ｌｉ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｒｂ、Ｓｒ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｃｓ、Ｂａ、Ｐｂ、Ｂｉ）の含有量を合計して求めた。
【００８０】
（含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量）
含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量は、含フッ素弾性共重合体を白金ルツボに入れて高温電気加熱炉で灰化した後、硫酸白煙処理を行い、希硝酸に溶解した液について、誘導結合プラズマ質量分析装置（Ａｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製、ＩＣＰ−ＭＳ  ７５００ｃｓ）を用いて、絶対検量線法によって測定した２９種類の金属元素（Ｆｅ、Ｎａ、Ｋ、Ｌｉ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｒｂ、Ｓｒ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｃｓ、Ｂａ、Ｐｂ、Ｂｉ）の含有量を合計して求めた。
【００８１】
＜溶出試験＞
（例１）
超純水としては、金属元素の含有量が０．１質量ｐｐｍのものを用意した。
硝酸（関東化学株式会社社製、特級グレード）を超純水に溶解して硝酸の３質量％水溶液を調製した。
ＳＵＳ３０４からなる１００ｍｍ×１０ｍｍ×１ｍｍ（重さ７．４６ｇ）の金属片を、ガラス製容器中の５０℃の硝酸水溶液の５０ｍＬに６日間浸漬した後、硝酸水溶液における金属元素の含有量を測定した値から、５０℃の硝酸水溶液の５０ｍＬをガラス製容器中に６日間入れた後、硝酸水溶液における金属元素の含有量を測定した値を、引いた値を計算し、これを金属溶出量とした。結果を表１に示す。
【００８２】
（例２〜５）
金属片の材料を表１に示すものに変更した以外は、例１と同様にして金属溶出量を求めた。結果を表１に示す。表中、ＨＣ−２２はハステロイ（登録商標）Ｃ−２２である。
【００８３】
【表１】
2018203924.tif 000002
【００８４】
＜含フッ素弾性共重合体の製造＞
（例６）
超純水としては、金属元素の含有量が０．１質量ｐｐｍのものを用意した。
アンカー翼を備えた内容積２１００ｍＬのＳＵＳ３０４製耐圧反応器を脱気した後、超純水の８０４ｇ、Ｃ２Ｆ５ＯＣＦ２ＣＦ２ＯＣＦ２ＣＯＯＮＨ４の３０質量％溶液の８０．１ｇ、リン酸水素二ナトリウム・１２水和物の５質量％水溶液の１．８ｇ、１，４−ジヨードペルフルオロブタンの０．８７ｇを仕込み、気相を窒素置換した。アンカー翼を用いて６００ｒｐｍの速度で撹拌しながら、内温が８０℃になってからＴＦＥの１３ｇ、ＰＭＶＥの６５ｇを容器内に圧入した。反応器内圧は０．９０ＭＰａ［ｇａｕｇｅ］であった。過硫酸アンモニウムの１質量％水溶液の２０ｍＬを添加し、重合を開始した。重合開始前に圧入する単量体（以下、初期単量体と記す。）の添加比をモル比で表すと、ＴＦＥ：ＰＭＶＥ＝２５：７５であった。
【００８５】
重合の進行に伴い、反応器内圧が０．８９ＭＰａ［ｇａｕｇｅ］に低下した時点でＴＦＥを圧入し、反応器内圧を０．９０ＭＰａ［ｇａｕｇｅ］に昇圧させた。これを繰り返し、ＴＦＥの８ｇを圧入するたびにＰＭＶＥの７ｇも圧入した。
ＴＦＥの総添加質量が８０ｇとなった時点で、重合開始後に圧入する単量体（以下、「後添加単量体」と記す。）の添加を停止し、反応器内温を１０℃に冷却させ、重合反応を停止させ、含フッ素弾性共重合体を含むラテックスを得た。重合時間は１８０分間であった。また、後添加単量体の総添加質量は、ＴＦＥが８０ｇ、ＰＭＶＥが６３ｇであり、これをモル比に換算すると、ＴＦＥ：ＰＭＶＥ＝６５：３５であった。
【００８６】
硝酸（関東化学株式会社社製、特級グレード）を超純水に溶解して硝酸の３質量％水溶液を調製した。ラテックスを、ＳＵＳ３０４製容器中の硝酸水溶液に添加して、含フッ素弾性共重合体を凝集させた。ラテックス中の含フッ素弾性共重合体１００質量部に対して硝酸水溶液の量は１５０質量部であった。
凝集した含フッ素弾性共重合体をろ過によって回収し、ＴＦＥ／ペルフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体（ＰＦＡ）製容器中の超純水に投入し、２００ｒｐｍで３０分間撹拌して洗浄した。含フッ素弾性共重合体１００質量部に対して超純水の量は１００質量部であった。洗浄した含フッ素弾性共重合体をろ過によって回収し、６０℃、１０ｋＰａで減圧乾燥させ、白色の含フッ素弾性共重合体を得た。含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量を表２に示す。
【００８７】
（例７）
凝集処理に用いる容器をＳＵＳ３１６製容器に変更した以外は、例６と同様にして凝集処理を行い、含フッ素弾性共重合体を回収した。含フッ素弾性共重合体における金属元素の含有量を表２に示す。
【００８８】
【表２】
2018203924.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００８９】
本発明の含フッ素弾性共重合体は、通常のゴム製品に用いることができる。耐蝕性ゴム塗料、耐ウレア系グリース用シール材等、ゴム塗料、接着ゴム、ホース、チューブ、カレンダーシート（ロール）、スポンジ、ゴムロール、石油掘削用部材、放熱シート、溶液架橋体、ゴムスポンジ、ベアリングシール（耐ウレアグリース等）、ライニング（耐薬品）、自動車用絶縁シート、電子機器向け絶縁シート、時計向けゴムバンド、内視鏡用パッキン（耐アミン）、蛇腹ホース（カレンダーシートからの加工）、給湯器パッキン／弁、防舷材（海洋土木、船舶）、繊維・不織布（防護服等）、基盤シール材、ゴム手袋、一軸偏心ねじポンプのステータ、尿素ＳＣＲシステム用部品、防振剤、制振剤、シーリング剤、他材料への添加剤、玩具の用途にも適用できる。また、特に、金属元素および塩化物イオンの含有量が少ないことから、半導体製造装置用シール材に好適に用いることができる。