(57)【要約】【課題】信頼性を向上させた発光装置を提供すること。【解決手段】発光装置は、基板１１と、基板１１の側から順にｎ側半導体層１２ｎとｐ側半導体層１２ｐとを有する半導体積層体１２を含む第１及び第２発光セル１０１，１０２と、第１絶縁層１６と、複数の配線電極１４１，１４２，１４３と、第２絶縁層１７と、を有する発光素子２と、発光素子２の上側と対向するようにして発光素子２が実装された実装基板３であって、配線端子３０１と、配線端子３０２と、配線端子３０３と、を含む実装基板３と、を備える。【選択図】図４
2018181942.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の上側に設けられた第１および第２発光セルであって、前記第１および第２発光セルのそれぞれは前記基板の側から順にｎ側半導体層とｐ側半導体層とを有する半導体積層体を含む第１および第２発光セルと、
前記第１および第２発光セルの上側を覆い、前記第１および第２発光セルそれぞれの上側に第１ｎ側開口部および第１ｐ側開口部を有する第１絶縁層と、
前記第１絶縁層の上側を覆う複数の配線電極であって、
前記第１発光セルのｐ側半導体層と、前記第１発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第１発光セルのｎ側半導体層と、前記第１発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続されるとともに、前記第２発光セルのｐ側半導体層と、前記第２発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第２発光セルのｎ側半導体層と、前記第２発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、を含む複数の配線電極と、
前記複数の配線電極の上側を覆い、前記第１および第２発光セルそれぞれの上側に第２ｎ側開口部および第２ｐ側開口部を有する第２絶縁層と、を有する発光素子と、
前記発光素子の上側と対向するようにして前記発光素子が実装された実装基板であって、
前記第１発光セルに対応する前記第２ｐ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第１発光セルのｐ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、
前記第１発光セルに対応する前記第２ｎ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第１発光セルのｎ側半導体層と電気的に接続されるとともに、前記第２発光セルに対応する前記第２ｐ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第２発光セルのｐ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、
前記第２発光セルに対応する前記第２ｎ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第２発光セルのｎ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、を含む実装基板と、を備える発光装置。
【請求項２】
基板と、
前記基板の上側に設けられた第１乃至第６発光セルであって、前記第１乃至第６発光セルのそれぞれは前記基板の側から順にｎ側半導体層とｐ側半導体層とを有する半導体積層体を含む第１乃至第６発光セルと、
前記第１乃至第６発光セルの上側を覆い、前記第１乃至第６発光セルそれぞれの上側に第１ｎ側開口部および第１ｐ側開口部を有する第１絶縁層と、
前記第１絶縁層の上側を覆う複数の配線電極であって、
前記第１発光セルのｐ側半導体層と、前記第１発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第３発光セルのｐ側半導体層と、前記第３発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第１発光セルのｎ側半導体層と、前記第１発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続され、前記第２発光セルのｐ側半導体層と、前記第２発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続されるとともに、前記第３発光セルのｎ側半導体層と、前記第３発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続され、前記第４発光セルのｐ側半導体層と、前記第４発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第２発光セルのｎ側半導体層と、前記第２発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続されるとともに、前記第５発光セルのｐ側半導体層と、前記第５発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第４発光セルのｎ側半導体層と、前記第４発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続されるとともに、前記第６発光セルのｐ側半導体層と、前記第６発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第５発光セルのｎ側半導体層と、前記第５発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第６発光セルのｎ側半導体層と、前記第６発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、を含む複数の配線電極と、
前記複数の配線電極の上側を覆い、前記第１、第３、第５、および第６発光セルそれぞれの上側に第２ｐ側開口部と、第２および第４発光セルそれぞれの上側に第２ｎ側開口部とを有する第２絶縁層と、を有する発光素子と、
前記発光素子の上側と対向するようにして前記発光素子が実装された実装基板であって、
前記第１発光セルに対応する前記第２ｐ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第１発光セルのｐ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、
前記第３発光セルに対応する前記第２ｐ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第３発光セルのｐ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、
前記第２発光セルに対応する前記第２ｎ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第２発光セルのｎ側半導体層と電気的に接続されるとともに、前記第５発光セルに対応する前記第２ｐ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第５発光セルのｐ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、
前記第４発光セルに対応する前記第２ｎ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第４発光セルのｎ側半導体層と電気的に接続されるとともに、前記第６発光セルに対応する前記第２ｐ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第６発光セルのｐ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、
前記第５発光セルのｎ側半導体層と、前記第５発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続された配線電極と電気的に接続された配線端子と、
前記第６発光セルのｎ側半導体層と、前記第６発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続された配線電極と電気的に接続された配線端子と、を含む実装基板と、を備える発光装置。
【請求項３】
前記接合部材は、上面視において、前記接合部材の全体が前記発光セル内に配置されている請求項１または請求項２に記載の発光装置。
【請求項４】
前記配線電極は、前記発光セルの側面および前記発光セル間を前記第１絶縁層を介して覆っている請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の発光装置。
【請求項５】
前記配線電極は、ＡｌまたはＡｌ合金からなる請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の発光装置。
【請求項６】
前記ｎ側半導体層の前記ｐ側半導体層が設けられる面とは反対側の面から、前記半導体積層体からの光が取り出される請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の発光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の発光セルが形成された発光素子と、実装基板とを備えた発光装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。実装基板には、外部電源に接続される一対の電源用配線端子が形成されている。一方、発光素子には、一対の接合部材が形成されており、これらが一対の電源用配線端子に接続される。また、発光素子は、その基板上に形成された複数の発光セルが配線電極により直列に接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１２７０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の発光装置では、実装基板の両端にそれぞれ形成された電源用配線端子が、上面視において、配線電極により直列に接続された複数の発光セルに亘って設けられている。このため、電源用配線端子と発光セルおよび発光セル上に設けられた配線電極との間の電位差が大きくなりやすい。その結果、発光セルに設けられた保護膜に亀裂が発生した場合、接合部材を構成する金属イオンが亀裂から発光セルおよび発光セル上に設けられた配線電極へ移動するマイグレーションが起こる虞がある。このようなマイグレーションが起こると、リーク電流が発生し、発光装置の信頼性が低下することになる。
また複数の発光セルが配線電極のみで直列に接続されているため、配線電極が断線した場合、導通経路が確保されず、すべての発光セルが不灯となる虞がある。
【０００５】
本発明は、前記の点に鑑みてなされたものであり、信頼性を向上させた発光装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一形態に係る発光装置は、
基板と、
前記基板の上側に設けられた第１および第２発光セルであって、前記第１および第２発光セルのそれぞれは前記基板の側から順にｎ側半導体層とｐ側半導体層とを有する半導体積層体を含む第１および第２発光セルと、
前記第１および第２発光セルの上側を覆い、前記第１および第２発光セルそれぞれの上側に第１ｎ側開口部および第１ｐ側開口部を有する第１絶縁層と、
前記第１絶縁層の上側を覆う複数の配線電極であって、
前記第１発光セルのｐ側半導体層と、前記第１発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第１発光セルのｎ側半導体層と、前記第１発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続されるとともに、前記第２発光セルのｐ側半導体層と、前記第２発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第２発光セルのｎ側半導体層と、前記第２発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、を含む複数の配線電極と、
前記複数の配線電極の上側を覆い、前記第１および第２発光セルそれぞれの上側に第２ｎ側開口部および第２ｐ側開口部を有する第２絶縁層と、を有する発光素子と、
前記発光素子の上側と対向するようにして前記発光素子が実装された実装基板であって、
前記第１発光セルに対応する前記第２ｐ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第１発光セルのｐ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、
前記第１発光セルに対応する前記第２ｎ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第１発光セルのｎ側半導体層と電気的に接続されるとともに、前記第２発光セルに対応する前記第２ｐ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第２発光セルのｐ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、
前記第２発光セルに対応する前記第２ｎ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第２発光セルのｎ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、を含む実装基板と、を備える。
【０００７】
また、本発明の他の一形態に係る発光装置は、
基板と、
前記基板の上側に設けられた第１乃至第６発光セルであって、前記第１乃至第６発光セルのそれぞれは前記基板の側から順にｎ側半導体層とｐ側半導体層とを有する半導体積層体を含む第１乃至第６発光セルと、
前記第１乃至第６発光セルの上側を覆い、前記第１乃至第６発光セルそれぞれの上側に第１ｎ側開口部および第１ｐ側開口部を有する第１絶縁層と、
前記第１絶縁層の上側を覆う複数の配線電極であって、
前記第１発光セルのｐ側半導体層と、前記第１発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第３発光セルのｐ側半導体層と、前記第３発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第１発光セルのｎ側半導体層と、前記第１発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続され、前記第２発光セルのｐ側半導体層と、前記第２発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続されるとともに、前記第３発光セルのｎ側半導体層と、前記第３発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続され、前記第４発光セルのｐ側半導体層と、前記第４発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第２発光セルのｎ側半導体層と、前記第２発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続されるとともに、前記第５発光セルのｐ側半導体層と、前記第５発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第４発光セルのｎ側半導体層と、前記第４発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続されるとともに、前記第６発光セルのｐ側半導体層と、前記第６発光セルの上側に設けられた前記第１ｐ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第５発光セルのｎ側半導体層と、前記第５発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、
前記第６発光セルのｎ側半導体層と、前記第６発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続された配線電極と、を含む複数の配線電極と、
前記複数の配線電極の上側を覆い、前記第１、第３、第５、および第６発光セルそれぞれの上側に第２ｐ側開口部と、第２および第４発光セルそれぞれの上側に第２ｎ側開口部とを有する第２絶縁層と、を有する発光素子と、
前記発光素子の上側と対向するようにして前記発光素子が実装された実装基板であって、
前記第１発光セルに対応する前記第２ｐ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第１発光セルのｐ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、
前記第３発光セルに対応する前記第２ｐ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第３発光セルのｐ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、
前記第２発光セルに対応する前記第２ｎ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第２発光セルのｎ側半導体層と電気的に接続されるとともに、前記第５発光セルに対応する前記第２ｐ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第５発光セルのｐ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、
前記第４発光セルに対応する前記第２ｎ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第４発光セルのｎ側半導体層と電気的に接続されるとともに、前記第６発光セルに対応する前記第２ｐ側開口部に設けられた接合部材を介することにより、前記第６発光セルのｐ側半導体層と電気的に接続された配線端子と、
前記第５発光セルのｎ側半導体層と、前記第５発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続された配線電極と電気的に接続された配線端子と、
前記第６発光セルのｎ側半導体層と、前記第６発光セルの上側に設けられた前記第１ｎ側開口部にて電気的に接続された配線電極と電気的に接続された配線端子と、を含む実装基板と、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の実施形態に係る発光装置は、信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態に係る発光装置を模式的に示す平面図である。
【図２】第１実施形態に係る実装基板を模式的に示す平面図である。
【図３】第１実施形態に係る発光素子を模式的に示す平面図であり、基板面を示している。
【図４】第１実施形態に係る発光装置の構成を示す断面図であり、図３のＩＶ−ＩＶ線における断面を示す。
【図５Ａ】電気的に接続された複数の発光セルの等価回路を示す回路図である。
【図５Ｂ】第１実施形態に係る発光素子の等価回路を示す回路図である。
【図６】第１実施形態に係る発光素子を模式的に示す平面図であり、電極面を示している。
【図７】第１実施形態に係る発光素子の構成を示す断面図であり、図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線における断面を示す。
【図８Ａ】第１実施形態に係る発光素子の積層構造を説明するための平面図であり、ｎ側半導体層およびｐ側半導体層の配置領域を示す。
【図８Ｂ】第１実施形態に係る発光素子の積層構造を説明するための平面図であり、光反射性電極の配置領域を示す。
【図８Ｃ】第１実施形態に係る発光素子の積層構造を説明するための平面図であり、第１絶縁層の配置領域を示す。
【図８Ｄ】第１実施形態に係る発光素子の積層構造を説明するための平面図であり、配線電極および光反射性金属層の配置領域を示す。
【図８Ｅ】第１実施形態に係る発光素子の積層構造を説明するための平面図であり、第２絶縁層の配置領域を示す。
【図８Ｆ】第１実施形態に係る発光素子の積層構造を説明するための平面図であり、接合部材の配置領域を示す。
【図８Ｇ】第１実施形態に係る発光素子の積層構造を説明するための平面図であり、図８Ｆの接合部材上に形成される接合部材の配置領域を示す。
【図９Ａ】第１実施形態の変形例に係る発光素子の等価回路を示す回路図である。
【図９Ｂ】第１実施形態の変形例に係る発光素子の等価回路を示す回路図である。
【図９Ｃ】第１実施形態の変形例に係る発光素子の等価回路を示す回路図であり、図９Ｂの回路図を簡略化して示している。
【図１０Ａ】第１実施形態の変形例に係る発光素子の等価回路を示す回路図である。
【図１０Ｂ】第１実施形態の変形例に係る発光素子の等価回路を示す回路図である。
【図１１Ａ】第２実施形態に係る発光素子の等価回路を示す回路図である。
【図１１Ｂ】第２実施形態の変形例に係る発光素子の等価回路を示す回路図である。
【図１２】第３実施形態に係る発光装置を模式的に示す平面図である。
【図１３】第３実施形態に係る発光素子を模式的に示す平面図であり、基板面を示している。
【図１４】第３実施形態に係る発光素子の等価回路を模式的に示す回路図である。
【図１５Ａ】第３実施形態に係る発光装置の検査方法における第１測定工程を模式的に示す回路図である。
【図１５Ｂ】第３実施形態に係る発光装置の検査方法における第２測定工程を模式的に示す回路図である。
【図１６Ａ】第３実施形態の変形例に係る発光装置の等価回路を示す回路図である。
【図１６Ｂ】第３実施形態の変形例に係る発光装置の等価回路を示す回路図である。
【図１６Ｃ】第３実施形態の変形例に係る発光装置の等価回路を示す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施形態に係る発光装置について説明する。
なお、以下の説明において参照する図面は、実施形態を概略的に示したものであるため、各部材のスケールや間隔、位置関係などが誇張されている場合がある。また、平面図とその断面図において、各部材のスケールや間隔が一致しない場合もある。また、以下の説明では、同一の名称および符号については原則として同一または同質の部材を示しており、詳細な説明を適宜省略することとする。
また、本明細書において、「上」、「下」などは構成要素間の相対的な位置を示すものであって、絶対的な位置を示すことを意図したものではない。
【００１１】
（第１実施形態）
図１〜図８Ｇを参照して、第１実施形態に係る発光装置の構成について説明する。なお、図４に示す断面図は、図３において、折れ線であるＩＶ−ＩＶ線に沿った断面を示している。図４の断面図における距離間隔は、図３の平面図における距離間隔（部材の長さ）を適宜に伸長または短縮して示しているため、両図面における距離間隔は一致していない。
図６の平面図は、図３の平面図を水平方向に裏返した平面図である。図７に示す断面図は、図６において、折れ線であるＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面を示している。図７の断面図は、図４の発光素子を１８０°回転させた向きで、図４と同様の断面図を示している。
図８Ａ〜図８Ｇは、発光素子の積層構造を説明するために、図７における基板１１の上面側から発光素子の構成部材を順次に積層した状態を示している。
【００１２】
図１乃至図４に示すように、発光装置１は、発光素子２と、実装基板３とを備えている。実装基板３は、図１および図２に示すように、複数の配線端子３０１〜３０６を含む。発光素子２は、図６および図７に示すように、基板１１と、複数の発光セル１０１〜１０４と、第１絶縁層１６と、複数の配線電極１４１〜１４５と、第２絶縁層１７と、を備えている。また、発光素子２は、図１、図３および図４に示すように、複数の接合部材２０１〜２０８を有する。接合部材２０１〜２０８は、実装基板３の配線端子３０１〜３０６と接続される。以下、発光素子２において、例えば基板１１側を発光素子２の下側と呼ぶ。実装基板３には、図４に示すように、発光素子２の上側と対向するようにして発光素子２が実装されている。
【００１３】
図７に示すように、各発光セル１０１〜１０４は、基板１１の上面側に形成され、基板１１の上面側から順にｎ側半導体層１２ｎとｐ側半導体層１２ｐとを有する半導体積層体１２を含む。
第１絶縁層１６は、図８Ｃに示すように、各発光セル１０１〜１０４の上側を覆い、各発光セル１０１〜１０４の上側に第１ｎ側開口部１６ｎおよび第１ｐ側開口部１６１〜１６４を有する。
複数の配線電極１４１〜１４５は、図８Ｄに示すように、基板１１上の発光セル１０１〜１０４を電気的に直列に接続する。
第２絶縁層１７は、図８Ｅに示すように、複数の配線電極１４１〜１４５の上側を覆い、各発光セル１０１〜１０４の上側に第２ｎ側開口部１７２，１７４，１７６，１７８および第２ｐ側開口部１７１，１７３，１７５，１７７を有する。
【００１４】
本実施形態では、電気的に接続された隣り合う２つの発光セル１０１，１０２のうち、発光セル１０１を第１発光セル、発光セル１０２を第２発光セルと呼ぶ。第１発光セル１０１および第２発光セル１０２には、図７および図８Ｃに示すように、３つの配線電極１４１〜１４３が接続されている。
配線電極１４１は、第１発光セル１０１のｐ側半導体層１２ｐと、第１発光セル１０１の上側に設けられた第１ｐ側開口部１６１にて電気的に接続されている。
配線電極１４２は、第１発光セル１０１のｎ側半導体層１２ｎと、第１発光セル１０１の上側に設けられた第１ｎ側開口部１６ｎにて電気的に接続されている。また、配線電極１４２は、第２発光セル１０２のｐ側半導体層１２ｐと、第２発光セル１０２の上側に設けられた第１ｐ側開口部１６２にて電気的に接続されている。
配線電極１４３は、第２発光セル１０２のｎ側半導体層１２ｎと、第２発光セル１０２の上側に設けられた第１ｎ側開口部１６ｎにて電気的に接続されている。
【００１５】
発光セル１０１〜１０４は、図５Ａに示した等価回路のように、配線電極１４１〜１４５により、電気的に接続されている。ここでは、配線電極１４１は、発光素子２の正電極として機能する接合部材２０１に接続され、配線電極１４５は、発光素子２の負電極として機能する接合部材２０８に接続されている。なお、等価回路図においてハッチングを施して示している電極は、発光素子２の正負の電極である。
【００１６】
第１発光セル１０１および第２発光セル１０２には、図４、図５Ｂ、図７および図８Ｅに示すように、３つの配線端子３０１〜３０３が接続される。
配線端子３０１は、第１発光セル１０１に対応する第２ｐ側開口部１７１に設けられた接合部材２０１を介することにより、第１発光セル１０１のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続される。
配線端子３０２は、第１発光セル１０１に対応する第２ｎ側開口部１７２に設けられた接合部材２０２を介することにより、第１発光セル１０１のｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続される。また、配線端子３０２は、第２発光セル１０２に対応する第２ｐ側開口部１７３に設けられた接合部材２０３を介することにより、第２発光セル１０２のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続される。
配線端子３０３は、第２発光セル１０２に対応する第２ｎ側開口部１７４に設けられた接合部材２０４を介することにより、第２発光セル１０２のｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続される。
【００１７】
上記のような構成を有する発光装置１において、配線電極１４２は、第１発光セル１０１のｐ側半導体層１２ｐと、第２発光セル１０２のｎ側半導体層１２ｎとに電気的に接続されている。また、第１発光セル１０１の上側に設けられる接合部材２０２と、第２発光セル１０２の上側に設けられる接合部材２０３とは、配線電極１４２と電気的に接続されるとともに、同一の配線端子３０２に接続されている。これにより、配線電極１４２と接合部材２０２，２０３との電位差を低減でき、配線電極１４２と接合部材２０２，２０３との間における金属のマイグレーションの発生を低減することができる。さらに、第１発光セル１０１および第２発光セル１０２は、配線電極１４２による導通経路と、配線端子３０２による導通経路とにより電気的に接続されている。そのため、上記２つの導通経路のうち、一方の導通経路に断線したとしても、他方の導通経路により電気的な導通を確保することができる。したがって、本実施形態における発光装置１の信頼性を向上させることができる。
【００１８】
以下、発光装置１の各部材について、順次に詳細に説明する。
［実装基板の構成］
実装基板３は、上面に発光素子２を実装するための部材である。図２に示すように、実装基板３は、略矩形の平面形状であり、基体３０と、基体３０上に形成された複数の配線端子３０１〜３０６を備えている。
【００１９】
配線端子３０１〜３０６は、互いに電気的に絶縁されており、図２に示すように、基体３０上面に３行２列で配列され、実装される発光素子２の接合部材２０１〜２０８が配置される位置に対応する位置に設けられている。
【００２０】
発光素子２に外部から電力を供給するために、外部の駆動回路などの外部電源からの配線を接続する一対の電源用の配線端子として、例えば、配線端子３０１，３０６を用いることができる。この場合、配線端子３０１が、発光素子２の正電極として機能する接合部材２０１と電気的に接続され、配線端子３０６が、発光素子２の負電極として機能する接合部材２０８と電気的に接続される。そして、外部電源は、一対の配線端子３０１，３０６と、一対の接合部材２０１，２０８を介して発光素子２に電力を供給する。これにより、発光セル１０１〜１０４が発光するように構成されている。
【００２１】
複数の配線端子３０１〜３０６は、発光素子２から下方に出射される光を反射する反射膜としても機能する。配線端子としては、導電性がよく、発光素子２が発光する波長の光の反射率が高い材料が好ましい。例えば、導電性を確保するためにＴｉ／Ｐｔ／Ａｕなどを用いて配線パターンを形成し、反射率を向上させるために、さらに表層にＡｇ、Ａｌ、Ｒｈなどを有する、単層膜または多層膜を設けるようにしてもよい。
【００２２】
基体３０は、例えば、窒化アルミニウムセラミックスなどのセラミックス、金属、樹脂などを用いることができる。
【００２３】
［発光素子の構成］
発光素子２は、図６および図７に示すように、上面視で略正方形に形成され、基板１１と、半導体積層体１２と、光反射性電極１３と、第１絶縁層１６と、配線電極１４１〜１４５と、を備えている。さらに、発光素子２は、後記する光反射性金属層１５と、第２絶縁層１７と、接合部材２０１〜２０８と、を備えている。
【００２４】
（基板）
基板１１は、半導体積層体１２を支持するものである。また、基板１１は、半導体積層体１２をエピタキシャル成長させるための成長基板であってもよい。基板１１としては、例えば、半導体積層体１２に窒化物半導体を用いる場合、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）基板を用いることができる。
本実施形態では、基板１１は、発光素子２の下面側に配置されている。そして、発光素子２は、基板１１の下面から主に光が取り出される。つまり、発光素子２において、光取り出し面は、半導体積層体１２を基準として、配線電極１４１〜１４５等が形成されている面とは反対側の面である。発光素子２は、発光素子２の上面側に、接合部材２０１〜２０８が設けられ、基板１１の下面側から光を取り出すフェイスダウン型の実装に適した構造を有している。
【００２５】
（半導体積層体）
半導体積層体１２は、図７に示すように、基板１１の上面側に設けられている。半導体積層体１２は、基板１１の上面側から順に、ｎ側半導体層１２ｎと、ｐ側半導体層１２ｐとが積層されている。図７に示すように、ｎ側半導体層１２ｎとｐ側半導体層１２ｐとの間に活性層１２ａを備えることが好ましい。
【００２６】
図８Ａに示すように、半導体積層体１２は、平面視において、縦溝と、この縦溝と垂直をなして横方向に延在する横溝と、が重なったような十字形状である溝部１２ｄによって４つの領域に分割されている。溝部１２ｄの底部には、基板１１の上面が半導体積層体１２から露出している。溝部１２ｄにより分割された４つの分割領域は、それぞれ発光セル１０１〜１０４に対応している。つまり、発光セル１０１〜１０４は、配線電極１４２〜１４４を介して接続されることを除き、半導体積層体１２としては互いに電気的に独立している。
【００２７】
なお、発光セルの形状は、ここでは正方形に形成されているが、正方形に限定されず、長方形や六角形などの多角形、円形、楕円形などであってもよい。また、発光セルの個数は４個に限定されず、２個以上であればよい。また、複数の発光セルは、すべてが直列に接続されるものに限定されず、一部の接続に並列接続が含まれていてもよい。
【００２８】
半導体積層体１２には、発光セル１０１〜１０４ごとに、ｐ側半導体層１２ｐおよび活性層１２ａが部分的に存在せず、ｐ側半導体層１２ｐの表面から凹んでｎ側半導体層１２ｎが露出した領域である第１露出部１２ｂが形成されている。発光セル１０１〜１０４のそれぞれには、上面視で略円形状をした６個の第１露出部１２ｂが設けられている。
また、半導体積層体１２は、各発光セル１０１〜１０４の外周の一部に沿って、ｐ側半導体層１２ｐおよび活性層１２ａが存在せず、ｎ側半導体層１２ｎが露出した領域である第２露出部１２ｃが設けられている。
ｎ側半導体層１２ｎ、活性層１２ａ、およびｐ側半導体層１２ｐは、例えば、ＩｎＸＡｌＹＧａ１−Ｘ−ＹＮ（０≦Ｘ、０≦Ｙ、Ｘ＋Ｙ≦１）などの窒化物半導体が用いられる。
【００２９】
（光反射性電極）
光反射性電極１３は、図７および図８Ｂに示すように、ｐ側半導体層１２ｐの上面側に設けられ、配線電極１４１〜１４５から供給された電流をｐ側半導体層１２ｐの広い領域に拡散させる電流拡散層として機能すると共に、光反射層としても機能する。光反射性電極１３は、図８Ｂに示すように、発光セル１０１〜１０４それぞれの上面において、ｐ側半導体層１２ｐの上面の略全領域に設けられている。
光反射性電極１３は、良好な導電性と光反射性を有する金属材料からなる金属層を有することが好ましい。このような金属材料としては、例えば、Ａｇ、Ａｌまたはこれらの金属の合金を用いることができる。
【００３０】
（第１絶縁層）
第１絶縁層１６は、図７に示すように、半導体積層体１２および光反射性電極１３の上面側に設けられている。第１絶縁層１６は、図７および図８Ｃに示すように、各発光セル１０１〜１０４における半導体積層体１２の側面ならびにその間と、光反射性電極１３の側面および上面と、第２露出部１２ｃとを連続して被覆している。ここで、各発光セル１０１〜１０４における半導体積層体１２の側面の間とは、具体的には第１露出部１２ｂおよび溝部１２ｄのことである。
第１絶縁層１６は、発光セル１０１〜１０４ごとに、第１露出部１２ｂが設けられた領域に円形状の複数の第１ｎ側開口部１６ｎを有している。第１絶縁層１６の上に設けられる配線電極１４２〜１４５は、第１ｎ側開口部１６ｎでｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続される。
第１絶縁層１６は、光反射性電極１３が配置された領域に櫛状の第１ｐ側開口部１６１〜１６４を有している。第１絶縁層１６の上に設けられる配線電極１４１〜１４４は、第１ｐ側開口部１６１〜１６４で光反射性電極１３を介してｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続される。
第１絶縁層１６は、半導体積層体１２および光反射性電極１３を保護すると共に、上層側に配置される配線電極１４１〜１４５および光反射性金属層１５と、半導体積層体１２と、を絶縁するためのものである。
【００３１】
第１絶縁層１６は、例えば、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ａｌ、Ｈｆからなる群より選択された少なくとも一種を含有する酸化物または窒化物を用いることができる。これらの中で、可視光に対する透光性が高く、屈折率の低いＳｉＯ２を用いることが好ましい。
【００３２】
（配線電極）
配線電極１４１〜１４５は、図７および図８Ｄに示すように、半導体積層体１２、光反射性電極１３および第１絶縁層１６の上面側に設けられている。
配線電極１４２〜１４５は、各発光セル１０１〜１０４の第１露出部１２ｂに設けられた第１絶縁層１６の第１ｎ側開口部１６ｎにおいて、ｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続されている。
配線電極１４１〜１４４は、光反射性電極１３の上面に設けられた第１ｐ側開口部１６１〜１６４において、光反射性電極１３を介してｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続されている。
なお、本実施形態では、配線電極１４１〜１４５が、各発光セル１０１〜１０４のパッド電極と、各発光セル１０１〜１０４同士を電気的に接続する配線とを兼ねている。ただし、各発光セル１０１〜１０４とは別にパッド電極を設け、配線電極１４１〜１４５をパッド電極に接続するようにしてもよい。
【００３３】
配線電極１４１〜１４５は、図７に示すように、第１露出部１２ｂ、第２露出部１２ｃおよび溝部１２ｄにおいて、第１絶縁層１６を介して、発光セル１０１〜１０４の側面およびその間を被覆している。
配線電極１４１は、第１発光セル１０１の上面および側面を連続して被覆するように設けられている。また、配線電極１４２は、第１発光セル１０１及び第２発光セル１０２の上面、側面およびその間の領域を連続して被覆するように設けられている。
配線電極１４３は、第２発光セル１０２のｎ側半導体層１２ｎと、発光セル１０３のｐ側半導体層１２ｐとを電気的に接続するものである。配線電極１４３は、発光セル１０２，１０３の上面、側面およびその間の領域を連続して被覆するように設けられている。
配線電極１４４は、発光セル１０３のｎ側半導体層１２ｎと、発光セル１０４のｐ側半導体層１２ｐとを電気的に接続するものである。配線電極１４４は、発光セル１０３，１０４の上面、側面およびその間の領域を連続して被覆するように設けられている。
配線電極１４５は、発光セル１０４のｎ側半導体層１２ｎと接合部材２０８とを電気的に接続するものである。配線電極１４５は、発光セル１０４の上面および側面を連続して被覆するように設けられている。
【００３４】
本実施形態のように、配線電極１４２〜１４４を複数の発光セル１０１〜１０４に連続させて設けると、隣り合う発光セル間に形成されている溝部１２ｄ上に配線電極１４２〜１４４が設けられる。溝部１２ｄが形成される部分は、半導体積層体１２が除去されており、半導体積層体１２の上面から溝部１２ｄの底面までの高低差が大きくなる。そのため、溝部１２ｄに配線電極１４２〜１４４を設けることが難しく、設けられた配線電極１４２〜１４４の品質が悪化しやすい傾向にある。また、第１絶縁層１６も同様に形成しにくいため、第１絶縁層１６上に設けられた配線電極１４２〜１４４に悪影響を与える虞がある。これらの要因により、溝部１２ｄに設けられた配線電極１４２〜１４４が断線してしまう可能性がある。しかしながら、本実施形態では、例えば、第１発光セル１０１と第２発光セル１０２とは、配線電極１４２により電気的に導通する経路と、配線端子３０２により電気的に導通する経路の２つの導通経路を備えている。そのため、どちらか一方の導通経路が断線したとしても、第１発光セル１０１と第２発光セル１０２との電気的な導通を確保できる。具体的には、断線する虞のある配線電極１４２による導通経路が断線したとしても、配線端子３０２による導通経路により電気的な導通を確保できる。したがって、発光装置１の信頼性を向上させることができる。なお、本実施形態では、配線電極１４１〜１４５の電気抵抗が、配線端子３０１〜３０６および接合部材２０１〜２０８の電気抵抗よりも低いため、電流は主に配線電極１４１〜１４５による導通経路を流れる。
【００３５】
配線電極１４１〜１４５を、各発光セル１０１〜１０４の側面の少なくとも一部を被覆するように設けることが好ましく、各発光セル１０１〜１０４における活性層１２ａの側面を連続して被覆するように設けることがさらに好ましい。これにより、各発光セル１０１〜１０４の側面からの光を反射し、発光セル１０１〜１０４の側面からの漏れ光を低減できるため、発光装置１の光取り出し効率を向上させることができる。
【００３６】
配線電極１４１〜１４５は、導電性および光反射性が良好な金属材料からなる金属層を有することが好ましい。このような金属材料としては、Ａｇ、Ａｌまたはこれらの金属の合金を用いることができる。ＡｌまたはＡｌ合金は、光反射性が高く、Ａｇに比べてマイグレーションが起こり難いため、配線電極１４１〜１４５として好適である。
【００３７】
（光反射性金属層）
光反射性金属層１５は、図８Ｄに示すように、配線電極１４１〜１４５が設けられていない領域における第１絶縁層１６の上面側に設けられている。光反射性金属層１５は、発光セル１０１〜１０４の側面、ならびにその間の領域である第２露出部１２ｃおよび溝部１２ｄを、第１絶縁層１６を介して連続して被覆する光反射性を備える金属層である。配線電極１４２〜１４４と光反射性金属層１５とによって、発光セル１０１〜１０４の側面およびその間の領域を被覆することで、発光セル１０１〜１０４の側面およびその間の領域からの漏れ光を低減することができる。
【００３８】
光反射性金属層１５は、前記した配線電極１４１〜１４５と同様の材料を用いることができる。光反射性金属層１５は、いずれの配線電極１４１〜１４５とも電気的に接続されていない。
【００３９】
（第２絶縁層）
第２絶縁層１７は、図７および図８Ｅに示すように、第１絶縁層１６、配線電極１４１〜１４５および光反射性金属層１５の上面側に設けられている。
第２絶縁層１７は、配線電極１４１の上面の一部に第２ｐ側開口部１７１を有している。
第２絶縁層１７は、配線電極１４２の上面の一部に第２ｎ側開口部１７２および第２ｐ側開口部１７３を有している。
第２絶縁層１７は、配線電極１４３の上面の一部に第２ｎ側開口部１７４および第２ｐ側開口部１７５を有している。
第２絶縁層１７は、配線電極１４４の上面の一部に第２ｎ側開口部１７６および第２ｐ側開口部１７７を有している。
第２絶縁層１７は、配線電極１４５の上面の一部に第２ｎ側開口部１７８を有している。なお、ここでは、いずれも櫛状の開口部としたが、開口部の配置数や形状は特に限定されるものではない。
【００４０】
第２絶縁層１７の第２ｐ側開口部１７１，１７３，１７５，１７７は、第１絶縁層１６の第１ｐ側開口部１６１，１６２，１６３，１６４と略同じ上面視形状であるＥ字状に形成されている。また、第２ｐ側開口部１７１，１７３，１７５，１７７の面積は、第１ｐ側開口部１６１，１６２，１６３，１６４の面積よりも小さい。
【００４１】
第２絶縁層１７は、配線電極１４１〜１４５および光反射性金属層１５を保護する保護膜である。第２絶縁層１７は、前記した第１絶縁層１６と同様の材料を用いることが好ましい。なお、第１絶縁層１６と第２絶縁層１７とは、異なる材料を用いてもよい。
【００４２】
（接合部材）
接合部材２０１〜２０８は、図７、図８Ｆおよび図８Ｇに示すように、配線電極１４１〜１４５および第２絶縁層１７の上面側に形成されている。接合部材２０１〜２０８は、配線電極１４１〜１４５と、配線端子３０１〜３０６とを電気的に接続するための部材である。本実施形態では、接合部材２０１〜２０８は、金属層１８１〜１８８と、金属層１８１〜１８８上に設けられる導通部材１９１〜１９８とを備えている。金属層１８１〜１８８は、図８Ｆに示すように、第２絶縁層１７の各開口部１７１〜１７８と略同じ上面視形状であるＥ字状に形成されている。金属層１８１〜１８８の面積は、第２絶縁層１７の各開口部１７１〜１７８の面積よりも大きい。
【００４３】
接合部材２０１は、第２絶縁層１７の第２ｐ側開口部１７１において、配線電極１４１の上面と接続されている。また、配線電極１４１は、第１絶縁層１６の第１ｐ側開口部１６１で光反射性電極１３を介して発光セル１０１のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続されている。よって、接合部材２０１は、発光セル１０１におけるｐ側の電極として機能する。
【００４４】
接合部材２０２は、第２絶縁層１７の第２ｎ側開口部１７２において、配線電極１４２の上面と接続されている。また、配線電極１４２は、第１絶縁層１６の第１ｎ側開口部１６ｎで発光セル１０１のｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続されている。よって、接合部材２０２は、発光セル１０１におけるｎ側の電極として機能する。
【００４５】
接合部材２０３は、第２絶縁層１７の第２ｐ側開口部１７３において、配線電極１４２の上面と接続されている。また、配線電極１４２は、第１絶縁層１６の第１ｐ側開口部１６２で光反射性電極１３を介して発光セル１０２のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続されている。よって、接合部材２０３は、発光セル１０２におけるｐ側の電極として機能する。
【００４６】
接合部材２０４は、第２絶縁層１７の第２ｎ側開口部１７４において、配線電極１４３の上面と接続されている。また、配線電極１４３は、第１絶縁層１６の第１ｎ側開口部１６ｎで発光セル１０２のｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続されている。よって、接合部材２０４は、発光セル１０２におけるｎ側の電極として機能する。
【００４７】
接合部材２０５は、第２絶縁層１７の第２ｐ側開口部１７５において、配線電極１４３の上面と接続されている。また、配線電極１４３は、第１絶縁層１６の第１ｐ側開口部１６３で光反射性電極１３を介して発光セル１０３のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続されている。よって、接合部材２０５は、発光セル１０３におけるｐ側の電極として機能する。
【００４８】
接合部材２０６は、第２絶縁層１７の第２ｎ側開口部１７６において、配線電極１４４の上面と接続されている。また、配線電極１４４は、第１絶縁層１６の第１ｎ側開口部１６ｎで発光セル１０３のｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続されている。よって、接合部材２０６は、発光セル１０３におけるｎ側の電極として機能する。
【００４９】
接合部材２０７は、第２絶縁層１７の第２ｐ側開口部１７７において、配線電極１４４の上面と接続されている。また、配線電極１４４は、第１絶縁層１６の第１ｐ側開口部１６４で光反射性電極１３を介して発光セル１０４のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続されている。よって、接合部材２０７は、発光セル１０４におけるｐ側の電極として機能する。
【００５０】
接合部材２０８は、第２絶縁層１７の第２ｎ側開口部１７８において、配線電極１４５の上面と接続されている。また、配線電極１４５は、第１絶縁層１６の第１ｎ側開口部１６ｎで発光セル１０４のｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続されている。よって、接合部材２０８は、発光セル１０４におけるｎ側の電極として機能する。
【００５１】
すべての接合部材２０１〜２０８は、上面視において、接合部材２０１〜２０８の全体が発光セル１０１〜１０４内に配置されている。図３、図６に示すように、例えば接合部材２０１は、上面視において、接合部材２０１の全体が発光セル１０１において配線電極１４１が配置されている領域内に配置されている。また接合部材２０２は、上面視において、接合部材２０２の全体が発光セル１０１において配線電極１４２が配置されている領域内に配置されている。また接合部材２０３は、上面視おいて、接合部材２０３の全体が発光セル１０２において配線電極１４２が配置されている領域内に配置されている。つまり、接合部材２０１〜２０８は、発光セル１０１〜１０４に設けられている配線電極１４１〜１４５のうち電位が異なる複数の配線電極を跨がないように設けられている。これにより、接合部材２０１〜２０８が電位の異なる配線電極１４１〜１４５に亘って形成される形態に比較して、接合部材２０１〜２０８と配線電極１４１〜１４５との電位差を低減できる。そのため、例えば、第２絶縁層１７に欠陥が発生した場合においても、接合部材２０１〜２０８と配線電極１４１〜１４５間における金属のマイグレーションの発生を低減できる。
【００５２】
接合部材２０１，２０８は、実装基板３における配線端子３０１，３０６を接続するための電極、接合部材２０２〜２０７は、実装基板３における配線端子３０２〜３０５を接続するための電極として機能する。
本実施形態において、接合部材２０１〜２０８は、配線端子３０１〜３０６にそれぞれ接続されており、接合部材２０１〜２０８により電気的に接続された発光セル１０１〜１０４のうちリークが発生している発光セルを特定できる。例えば、接合部材２０１と電気的に接続された配線端子３０１と、接合部材２０２と電気的に接続された配線端子３０２と、の間に電圧を印加し電流値を測定することにより、接合部材２０１と接合部材２０２との間に接続された発光セル１０１におけるリーク発生の有無を確認することができる。
【００５３】
金属層１８１〜１８８は、導通部材１９１〜１９８をメッキ法で形成する際のシード層である。シード層は、導通部材１９１〜１９８を電解メッキ法で形成する際の電流経路となる金属層であり、スパッタリング法や蒸着法などによって形成することができる。シード層には、導電性および光反射性が良好な金属材料からなる金属層を有することが好ましい。このような金属材料としては、Ａｌ、Ａｇ、Ａｌ合金およびＡｇ合金を挙げることができる。さらに、シード層は、当該Ａｌ、Ａｇ、Ａｌ合金またはＡｇ合金からなる金属層が、第２絶縁層１７と接触するように設けられることが好ましい。これによって、発光セル１０１〜１０４から第２絶縁層１７側に向かう光を効率よく反射することができる。
【００５４】
導通部材１９１〜１９８の材料としては、Ｃｕ、Ａｕ、Ｎｉなどの金属を用いることができる。また、導通部材１９１〜１９８を複数種類の金属を用いた積層構造としてもよい。導通部材１９１〜１９８は、腐食防止およびＡｕ−Ｓｎ共晶半田などのＡｕ合金系の接着部材を用いた実装基板との接合性を高めるために、少なくとも最上層をＡｕで形成することが好ましい。
【００５５】
以上説明したように、本実施形態の発光装置１は、図１乃至図７に示すように、実装基板３に形成された配線端子３０２が、接合部材２０２を介して第１発光セル１０１のｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続されるとともに、接合部材２０３を介して第２発光セル１０２のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続されている。
また、第１発光セル１０１及び第２発光セル１０２は、配線電極１４２により電気的に接続されている。具体的には、配線電極１４２は、第１発光セル１０１のｎ側半導体層１２ｎと、第２発光セル１０２のｐ側半導体層１２ｐとを電気的に接続している。
【００５６】
また、本実施形態の発光装置１は、実装基板３に形成された配線端子３０３が、接合部材２０４を介して第２発光セル１０２のｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続されている。また、実装基板３に形成された配線端子３０４は、接合部材２０５を介して発光セル１０３のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続されている。
さらに、発光セル１０２，１０３は、配線電極１４３により電気的に接続されている。具体的には、配線電極１４３は、第２発光セル１０２のｎ側半導体層１２ｎと、発光セル１０３のｐ側半導体層１２ｐとを電気的に接続している。
【００５７】
また、本実施形態の発光装置１は、実装基板３に形成された配線端子３０５が、接合部材２０６を介して発光セル１０３のｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続されるとともに、接合部材２０７を介して発光セル１０４のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続されている。
また、発光セル１０３，１０４は、配線電極１４４により電気的に接続されている。具体的には、配線電極１４４は、発光セル１０３のｎ側半導体層１２ｎと、発光セル１０４のｐ側半導体層１２ｐとを電気的に接続している。
【００５８】
発光装置１は、このような構成を有することで、外部電源が接続されたときに、例えば一対の配線端子３０１，３０６以外の配線端子における電位と、その配線端子に対応する配線電極の電位との電位差を低減できる。図４に示す構成を例として説明すると、例えば配線端子３０１と配線端子３０６の間に１２Ｖの外部電源を接続し、それぞれの発光セル１０１〜１０４に３Ｖの電圧を印加することで発光させる場合、配線端子３０１の電位は約１２Ｖとなり、配線端子３０１に電気的に接続されている接合部材２０１、配線電極１４１、及び第１発光セル１０１のｐ側半導体層１２ｐの電位も同様に約１２Ｖとなる。また第１発光セル１０１のｎ側半導体層１２ｎに電気的に接続されている配線電極１４２の電位は約９Ｖとなり、配線電極１４２に接続されている接合部材２０２，２０３、配線端子３０２、及び第２発光セル１０２のｐ側半導体層１２ｐの電位も同様に約９Ｖとなる。つまり、実装基板３に形成された配線端子３０２の電位と、配線端子３０２に電気的に接続された接合部材２０２，２０３、配線電極１４２の電位との電位差はほぼないことになる。同様に、配線端子３０３と接合部材２０４、配線端子３０４と接合部材２０５、配線端子３０５と接合部材２０６，２０７、配線端子３０６と接合部材２０８における電位差はほぼない状態になる。したがって、電位差による発光装置１を構成する部材、例えば接合部材のマイグレーションの発生を緩和することができ、発光装置１の信頼性を向上させることができる。
【００５９】
また、発光装置１は、配線電極１４１〜１４５や光反射性金属層１５よって、各発光セル１０１〜１０４の側面からの漏れ光を低減し、光取り出し効率を向上させることができる。したがって、発光装置１は、信頼性を維持しつつ光取り出し効率を向上させることができる。さらに、実装基板３上に設けられた配線端子３０１〜３０６の面積を比較的大きくすることができ、発光素子２と実装基板３との実装性、および放熱性をさらに向上させることができる。
【００６０】
次に、図９Ａを参照して、第１実施形態のいくつかの変形例について、図５Ｂの等価回路と対比させて説明する。図９Ａは、第１実施形態の変形例に係る発光素子２Ａの等価回路を示す回路図である。図９Ａにおいて、図５Ｂに示す構成と同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。
【００６１】
（第１実施形態の第１変形例）
第１実施形態の第１変形例は、接合部材２０１〜２０８の少なくとも１つについて、当該接合部材の全体を２つの隣り合う発光セルに亘って配置している。例えば、図９Ａに示す接合部材２１２は、図５Ｂに示す接合部材２０２と接合部材２０３を合わせて１つにしたものである。このような接合部材２１２は、例えば、図８Ｆに示す金属層１８２，１８３を一体的に形成し、さらに導通部材１９２，１９３も同様に一体的に形成することで１つの接合部材を形成する。第１変形例に係る発光装置は、第１実施形態の発光装置１と同等の効果を奏する。
【００６２】
さらに、図９Ａに示すように、第１実施形態における配線端子３０３と配線端子３０４とを１つの配線端子３１３にしている。例えば、図９Ａには、発光素子２Ａに対応した５個の配線端子３０１，３０２，３１３，３０５，３０６を備える実装基板を例示しており、配線端子３１３のように、図５Ｂに示す配線端子３０３と配線端子３０４を合わせて１つの端子になっている。このような実装基板を備える発光装置では、配線電極１４２〜１４４により電気的に接続された隣り合う発光セルは、すべてが、配線端子３０２，３１３，３０５によっても電気的に接続されている。つまり、第１発光セル１０１及び第２発光セル１０２、第２発光セル１０２及び発光セル１０３、発光セル１０３及び発光セル１０４のそれぞれに、配線電極による導通経路と、配線端子による導通経路の２つの導通経路が設けられている。これにより、配線電極または配線端子の一部、特に配線電極の一部が断線したとしても、それぞれの発光セル間における電気的な導通経路を確保できる。その結果、第２変形例に係る発光装置は、信頼性を高める効果を奏する。なお、図９Ａでは、配線端子３１３に対して、第１実施形態における接合部材２０４，２０５を一体的に形成した１つの接合部材２１４を形成しているが、図５Ｂに示すような個別に分かれた接合部材２０４，２０５を形成してもよい。
【００６３】
また、図９Ａに示す例は、第１変形例における接合部材２１２と第２変形例における配線端子３１３を組み合わせたものであるが、これらを組み合わせずに個別に適用してもよい。
【００６４】
（第１実施形態の第２変形例）
第１実施形態では、４つの発光セル１０１〜１０４が上面視で２行２列に配置され、配線電極１４１〜１４５又は配線端子３０１〜３０６により折り返すように接続されるものを例示したがこれに限らない。第１実施形態の第２変形例では、図９Ｂに示すように、４つの発光セル１０１〜１０４を一直線状に配列し、配線電極１４１〜１４５又は配線端子３０１，３０２，３１３，３０５，３０６により接続している。図９Ｂにおいて、図９Ａに示す構成と同じ構成には同じ符号を付して説明を省略する。図９Ｂに示す接合部材２１６は、図９Ａに示す接合部材２０６と接合部材２０７を合わせて１つの接合部材にしたものに相当する。
図９Ｂに示す等価回路は、第３変形例に対して、第１変形例と第２変形例を組み合わせているが、これらを組み合わせず個別に適用してもよい。
【００６５】
図９Ｂに示すように、第１変形例〜第３変形例を組み合わせると、発光素子２Ｂにおいて、配線端子３０１，３０２，３１３，３０５，３０６と、接合部材２０１，２１２，２１４，２１６，２０８とは、１対１に対応する。よって、図９Ｂに２点鎖線で示す配線端子を省略した場合、図９Ｃに示すような発光素子の簡易な等価回路を構成することができる。図９Ｃに示す発光素子２１の簡易的な等価回路は、図９Ｂの発光素子２Ｂの等価回路と略等価であり、図９Ｂに示す発光素子２Ｂの構成部材を以下のようにそれぞれ書き換えた符号が付している。
符号Ａは、発光素子２Ｂの正電極として機能する接合部材２０１に対応する。
符号Ｃは、発光素子２Ｂの負電極として機能する接合部材２０８に対応する。
符号Ｍは、符号Ａと符号Ｃとの間に配置される電極として機能する接合部材に対応する。符号Ａ，Ｃ，Ｍで示す接合部材を、以下では電極と呼ぶ場合もある。
符号Ｌは、発光セルであり、符号Ｅは、配線電極に対応する。
なお、各符号Ａ，Ｃ，Ｍ，Ｌ，Ｅには必要に応じて識別番号を付与する。
【００６６】
上記説明では、４つの発光セルを備えるものとしたが、これに限らない。例えば、図１０Ａに示す発光素子２２のように、２つの発光セルＬを備える形態であってもよいし、図１０Ｂに示す発光素子２３のように、５つの発光セルＬを備える形態であってもよい。このように、発光セルＬの個数は複数であればよい。
【００６７】
第１実施形態の変形例に係る発光素子２１〜２３、および発光素子２１〜２３のいずれかを含む発光装置は、電極Ａ−電極Ｍ間、電極Ｍ−電極Ｍ間、電極Ｍ−電極Ｃ間に、それぞれ１つの発光セルＬが配置されている。そのため、発光装置における複数の発光セルに異常がないかを検査する検査工程において、仮にいずれかの発光セルがリークしていた場合、上記したそれぞれの電極間に電圧を印加し電流値を計測することで、どの発光セルがリークしているかを検出することができる。
【００６８】
（第２実施形態）
第２実施形態に係る発光素子は、図１１Ａに示す等価回路のように、電極Ａ−電極Ｍ間、電極Ｍ−電極Ｃ間に複数の発光セルが配置されている。つまり、本実施形態に係る発光装置は、第１実施形態の変形例に係る発光素子２１〜２３に比較して、発光セルの個数に対する配線端子の個数が少なく、配線端子間に複数の発光セルが接続されている。具体的には、発光素子３１において、配線端子３０１と配線端子３１３との間に２つの発光セルが、配線端子３１３と配線端子３０６との間に２つの発光セルが、それぞれ接続されている。
【００６９】
例えば、図９Ｂに示す等価回路において、接合部材２１４が接続される中央の配線端子３１３から見て両側に配置される配線端子３０２，３０５と接合部材２１２，２１６を配置しないようにする。この構成は、図９Ｃに示す簡易的な等価回路において、発光素子２１の中央に配置された電極Ｍの両側に配置される２つの電極Ｍがない場合と等価である。
【００７０】
本実施形態では、配線端子３０１と配線端子３１３との間に接続されている２つの発光セルＬは、配線電極Ｅにより接続されているため、第２絶縁層１７に、図８Ｆに示す接合部材と半導体積層体１２とを導通させるための開口部１７６，１７７を形成しなくてもよい。
【００７１】
発光素子３１は、電極Ａ−電極Ｍ間、電極Ｍ−電極Ｃ間に２つの発光セルＬが配置されているが、電極Ａ−電極Ｍ間、電極Ｍ−電極Ｃ間に配置される発光セルＬの個数はこれに限らない。例えば、図１１Ｂに示す発光素子３２のように、電極Ａ−電極Ｍ間、電極Ｍ−電極Ｃ間にそれぞれ３つの発光セルＬを配置することもできる。
【００７２】
第２実施形態に係る発光装置は、第１実施形態に係る発光装置と同様の効果を奏し、加えて、下記の効果を奏する。上面視で同じ大きさを備える発光素子において、例えば第１実施形態のように２行２列に配列した４個の発光セルを折り返すように接続する場合に比較して、２行４列に配列した８個の発光セルを折り返すように接続する場合、それぞれの発光セルに対応する配線端子を設ける領域が確保しづらくなる。このような場合、それぞれの配線端子を小さくすることで、配線端子を設けることはできるが、発光素子と実装基板との実装性や放熱性が悪化する虞がある。しかしながら、本実施形態によれば、配線端子の個数が少なく配置され、それぞれの配線端子の大きさを比較的広くすることできるため、発光素子と実装基板との実装性や放熱性を向上させることができる。
【００７３】
（第３実施形態）
第３実施形態の発光装置について図１２から図１４を参照して説明する。図１２から図１４において、第１実施形態及び第２実施形態と同様の構成には同様の符号を付して説明を適宜省略する。また、各部材の断面方向における接続については、既に説明した図４および図７の断面図と、図８Ａ〜図８Ｇに示す発光素子の積層構造を参照し、ここでは、各部材の平面視における位置関係を説明する。
【００７４】
第３実施形態の発光装置１Ｃは、発光素子２Ｃと、実装基板３Ｃとを備えている。発光素子２Ｃは、図７に示す発光素子２と同様に、基板１１、半導体積層体１２、光反射性電極１３、第１絶縁層１６、第２絶縁層１７等を備えている。なお、図１３は、発光素子２Ｃの基板面を示しており、説明を分り易くするため一部の部材の図示を省略している。
【００７５】
発光素子２Ｃは、第１乃至第６発光セル１０１〜１０６を備えている。発光素子２Ｃは、図１３に示すように、複数の配線電極１４１ａ，１４１ｂ，１４２，１４３ａ，１４３ｂ，１４４ａ，１４４ｂを備えている。
【００７６】
第１絶縁層１６は、図７に示す断面図と同様に、第１乃至第６発光セル１０１〜１０６の上側を覆い、第１乃至第６発光セル１０１〜１０６それぞれの上側に、複数の第１ｎ側開口部１６ｎと、第１ｐ側開口部１６１ｐ，１６３ｐ，１６５ｐ，１６６ｐとを有する。
【００７７】
配線電極１４１ａは、第１発光セル１０１のｐ側半導体層１２ｐと、第１発光セル１０１の上側に設けられた第１ｐ側開口部１６１ｐにて電気的に接続されている。
配線電極１４１ｂは、第３発光セル１０３のｐ側半導体層１２ｐと、第３発光セル１０３の上側に設けられた第１ｐ側開口部１６３ｐにて電気的に接続されている。
【００７８】
配線電極１４２は、第１発光セル１０１のｎ側半導体層１２ｎと、第１発光セル１０１の上側に設けられた第１ｎ側開口部１６ｎにて電気的に接続されている。また、配線電極１４２は、第２発光セル１０２のｐ側半導体層１２ｐと、第２発光セル１０２の上側に設けられた第１ｐ側開口部１６２ｐにて電気的に接続されている。また、配線電極１４２は、第３発光セル１０３のｎ側半導体層１２ｎと、第３発光セル１０３の上側に設けられた第１ｎ側開口部１６ｎにて電気的に接続されている。さらに、配線電極１４２は、第４発光セル１０４のｐ側半導体層１２ｐと、第４発光セル１０４の上側に設けられた第１ｐ側開口部１６４ｐにて電気的に接続されている。つまり、配線電極１４２は、発光セル１０１〜１０４と電気的に接続されている。
【００７９】
配線電極１４３ａは、第２発光セル１０２のｎ側半導体層１２ｎと、第２発光セル１０２の上側に設けられた第１ｎ側開口部１６ｎにて電気的に接続されている。また、配線電極１４３ａは、第５発光セル１０５のｐ側半導体層１２ｐと、第５発光セル１０５の上側に設けられた第１ｐ側開口部１６５ｐにて電気的に接続されている。
配線電極１４３ｂは、第４発光セル１０４のｎ側半導体層１２ｎと、第４発光セル１０４の上側に設けられた第１ｎ側開口部１６ｎにて電気的に接続されている。また、配線電極１４３ｂは、第６発光セル１０６のｐ側半導体層１２ｐと、第６発光セル１０６の上側に設けられた第１ｐ側開口部１６６ｐにて電気的に接続されている。
【００８０】
配線電極１４４ａは、第５発光セル１０５のｎ側半導体層１２ｎと、第５発光セル１０５の上側に設けられた第１ｎ側開口部１６ｎにて電気的に接続されている。
配線電極１４４ｂは、第６発光セル１０６のｎ側半導体層１２ｎと、第６発光セル１０６の上側に設けられた第１ｎ側開口部１６ｎにて電気的に接続されている。
なお、光反射性金属層１５１，１５２は、図１３に示すように、配線電極１４１ａ，１４１ｂ，１４２，１４３ａ，１４３ｂ，１４４ａ，１４４ｂが設けられていない領域における第１絶縁層１６の上面側に設けられている。
【００８１】
第２絶縁層１７は、図７に示す断面図と同様に、第２ｐ側開口部と第２ｎ側開口部を有する。具体的には、第２絶縁層１７は、第１発光セル１０１の上側に第２ｐ側開口部１７１ｐ、第２発光セル１０２の上側に第２ｎ側開口部１７２ｎ、第３発光セル１０３の上側に第２ｐ側開口部１７３ｐ、第４発光セル１０４の上側に第２ｎ側開口部１７４ｎを有する。さらに、第２絶縁層１７は、第５発光セル１０５の上側に第２ｐ側開口部１７５ｐおよび第２ｎ側開口部１７５ｎを有し、第６発光セル１０６の上側に第２ｐ側開口部１７６ｐおよび第２ｎ側開口部１７６ｎを有する。
【００８２】
実装基板３Ｃは、図１２に示すように、基体３０上に複数の配線端子３２１〜３２６を含み、配線端子３２１〜３２６は、実装される発光素子２Ｃの接合部材が配置される位置に対応する位置に設けられている。
【００８３】
図１２、図１３、および図１４に示すように、第１発光セル１０１、第２発光セル１０２、および第５発光セル１０５には、３つの配線端子３２１，３２２，３２５が接続される。
配線端子３２１は、第１発光セル１０１に対応する第２ｐ側開口部１７１ｐに設けられた接合部材２０１ｐを介することにより、第１発光セル１０１のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続される。
配線端子３２２は、第２発光セル１０２に対応する第２ｎ側開口部１７２ｎに設けられた接合部材２０２ｎを介することにより、第２発光セル１０２のｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続される。また、配線端子３２２は、第５発光セル１０５に対応する第２ｐ側開口部１７５ｐに設けられた接合部材２０５ｐを介することにより、第５発光セル１０５のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続される。
配線端子３２５は、接合部材２０５ｎを介することにより、配線電極１４４ａと電気的に接続される。ここで、配線電極１４４ａは、第５発光セル１０５のｎ側半導体層１２ｎと、第５発光セル１０５の上側に設けられた第１ｎ側開口部１６ｎにて電気的に接続されている。
【００８４】
図１２、図１３、および図１４に示すように、第３発光セル１０３、第４発光セル１０４および第６発光セル１０６には、３つの配線端子３２３，３２４，３２６が接続される。
配線端子３２３は、第３発光セル１０３に対応する第２ｐ側開口部１７３ｐに設けられた接合部材２０３ｐを介することにより、第３発光セル１０３のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続される。
配線端子３２４は、第４発光セル１０４に対応する第２ｎ側開口部１７４ｎに設けられた接合部材２０４ｎを介することにより、第４発光セル１０４のｎ側半導体層１２ｎと電気的に接続される。また、配線端子３２４は、第６発光セル１０６に対応する第２ｐ側開口部１７６ｐに設けられた接合部材２０６ｐを介することにより、第６発光セル１０６のｐ側半導体層１２ｐと電気的に接続される。
配線端子３２６は、接合部材２０６ｎを介することにより、配線電極１４４ｂと電気的に接続される。ここで、配線電極１４４ｂは、第６発光セル１０６のｎ側半導体層１２ｎと、第６発光セル１０６の上側に設けられた第１ｎ側開口部１６ｎにて電気的に接続されている。
【００８５】
実装基板３Ｃにおいて、一対の電源用の配線端子として、例えば、配線端子３２１，３２３を正電極、配線端子３２５，３２６を負電極として用いることができる。この場合、配線端子３２１が、発光素子２Ｃの正電極として機能する接合部材２０１ｐと電気的に接続され、配線端子３２５が、発光素子２Ｃの負電極として機能する接合部材２０５ｎと電気的に接続される。また、配線端子３２３が、発光素子２Ｃの正電極として機能する接合部材２０３ｐと電気的に接続され、配線端子３２６が、発光素子２Ｃの負電極として機能する接合部材２０６ｎと電気的に接続される。そして、外部電源が、一対の配線端子３２１，３２５を介して発光素子２Ｃに電力を供給すると、発光セル１０１，１０２，１０５が発光するように構成されている。また、外部電源が、一対の配線端子３２３，３２６を介して発光素子２Ｃに電力を供給すると、発光セル１０３，１０４，１０６が発光するように構成されている。なお、一対の配線端子３２１，３２５と、一対の配線端子３２３，３２６とに、同時に電力を供給してもよい。
【００８６】
第３実施形態に係る発光装置は、第１実施形態に係る発光装置と同様の効果を奏する。ここで、第２実施形態のように、配線端子間に複数の発光セルが接続されている場合、上記した検査工程を実施し配線端子間に電圧を印加したとしても、配線端子間に接続された複数の発光セルのうちすべての発光セルがリークしていない限りリークを検出することができない。例えば、配線端子間に２つの発光セルが接続され、どちらか一方の発光セルが正常である場合、他方の発光セルにリークが発生していたとしても、そのリークを検出することができない。しかしながら、本実施形態では、配線端子間に複数の発光セルが接続されている場合であっても、リークの発生を検出でき、さらに複数の発光セルのうちどの発光セルにリークが発生しているかを特定できる。以下、第３実施形態に係る発光装置における発光セルの検査方法について、図１５Ａおよび図１５Ｂを参照して説明する。
【００８７】
本実施形態に係る発光装置は、発光セルのリークが発生していないか次の方法で検査することができる。発光装置の検査方法は、第１測定工程と、第２測定工程と、判定工程とを含む。第１測定工程は、配線端子間に電圧を印加し接続された複数の発光セルを介した電流値を測定する工程である。第２測定工程は、第１測定工程と同じ配線端子間に、第１測定工程とは逆方向の電圧を印加し、接続された複数の発光セルを介した電流値を測定する工程である。判定工程は、第１測定工程および第２測定工程において測定された電流値を参照し、配線端子間に接続された発光セルのうち、どの発光セルにリークが発生しているかを判定する工程である。
【００８８】
本実施形態に係る発光装置の検査方法について図１５Ａ，図１５Ｂを参照して具体的に説明する。
【００８９】
第１測定工程では、図１５Ａに示すように、配線端子３２１と配線端子３２３の間に、電圧を印加し電流値を測定するための電源と電流計を接続する。この状態で、電圧を印加することで、配線端子３２１，３２３および配線電極１４１ａ，１４２，１４１ｂを介して電流が流れ、配線端子３２１と配線端子３２３との間に接続された発光セル１０１，１０３を介した電流値を測定する。所定の電流値が測定できた場合は、発光セル１０１，１０３のいずれかがリークしている、また所定の電流値が測定できなかった場合は、電流が流れていない、つまり発光セル１０１についてはリークが発生していないことを確認できる。
【００９０】
第２測定工程では、図１５Ｂに示すように、第１測定工程とは逆方向の電圧を印加し、配線端子３２１と配線端子３２３との間に接続された発光セル１０１，１０３を介した電流値を測定する。このとき、所定の電流値が測定できた場合は、発光セル１０１，１０３のいずれかがリークしている、また所定の電流値が測定できなかった場合は、電流が流れていない、つまり発光セル１０３についてはリークが発生していないことを確認できる。
【００９１】
判定工程では、第１測定工程および第２測定工程における結果を参照し、どの発光セルにリークが発生しているかを判定する。例えば、第１測定工程において所定の電流値が測定され、第２測定工程において所定の電流値が測定されなかった場合、発光セル１０１にリークが発生し、発光セル１０３には異常がないと判定する。
【００９２】
また配線端子３２２と配線端子３２４との間に電圧を印加し、上記した検査工程を同様に行うことで、接続された発光セル１０２，１０４のうち、どちらの発光セルにリークが発生しているかを判定できる。
【００９３】
次に、図１６Ａ、図１６Ｂ、図１６Ｃを参照して、第３実施形態のいくつかの変形例について説明する。
【００９４】
（第３実施形態の変形例）
第３実施形態の変形例に係る発光装置は、図１６Ａの等価回路に示すように、８つの発光セルＬ１１，Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４，Ｌ２１、Ｌ２２，Ｌ２３，Ｌ２４が６つの配線端子３２１，３２２，３２３，３２４，３２５，３２６および複数の配線電極Ｅ１〜Ｅ８に接続されている。第３実施形態の変形例は、第３実施形態に比較して、第３実施形態における配線電極１４２のように、４つの発光セルを一体的に接続する配線電極を２つ備えている点で主に異なる。具体的には、４つの発光セルＬ１１，Ｌ１２，Ｌ２１，Ｌ２２に接続される配線電極Ｅ３と、４つの発光セルＬ１３，Ｌ１４，Ｌ２３，Ｌ２４に接続される配線電極Ｅ６と、を備えている。第３実施形態の第１変形例は、上記した検査工程をそれぞれの配線端子間に対して行うことで、発光セルＬ１１，Ｌ１４，Ｌ２１，Ｌ２４におけるリークの発生を特定することができる。
【００９５】
なお、上記説明では、８つの発光セル、６つの接合部材Ａ１，Ａ２，Ｃ１，Ｃ２，Ｍ１１，Ｍ２１および配線端子３２１〜３２６を備えるものとしたが、発光セル、接合部材、および配線端子の個数に、特に制限はない。例えば、図１６Ｂに示す等価回路のように、３行２列に配列された６つの発光セルをそれぞれ接続する２つの配線電極Ｅ２３，Ｅ２６を備え、それぞれの接合部材Ａ１〜Ａ３，Ｃ１〜Ｃ３，Ｍ１１，Ｍ２１，Ｍ３１に対応する配線端子を有する形態とすることができる。さらにまた、図１６Ｃに示す等価回路のように、４行２列に配列された８つの発光セルをそれぞれ接続する２つの配線電極Ｅ３３，Ｅ３６を含み、接合部材の一部を一体的に形成する形態とすることもできる。つまり、図１６Ｃの等価回路のように、発光セルそれぞれに対応する接合部材を設けず、例えば、１つの発光セルＬ１１に対して１つの接合部材Ａ１および配線端子３３１を設け、一方で３つの発光セルＬ２１，Ｌ３１，Ｌ４１に対して１つの接合部材Ａ２および配線端子３３２を設けるようにすることもできる。
【００９６】
以上、本開示の実施形態に係る発光装置について、発明を実施するための形態により具体的に説明したが、本発明の趣旨はこれらの記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて広く解釈されなければならない。また、これらの記載に基づいて種々変更、改変などしたものも本発明の趣旨に含まれることはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００９７】
本開示の実施形態に係る発光装置は、液晶ディスプレイのバックライト光源、各種照明器具、大型ディスプレイなど、種々の光源に利用することができる。
【符号の説明】
【００９８】
１，１Ｃ  発光装置
２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２１〜２３，３１，３２  発光素子
１０１〜１０６  発光セル
１１    基板
１２    半導体積層体
１２ｎ  ｎ側半導体層
１２ｐ  ｐ側半導体層
１２ａ  活性層
１４１〜１４５  配線電極
１４１ａ，１４１ｂ，１４３ａ，１４３ｂ，１４４ａ，１４４ｂ  配線電極
１６    第１絶縁層
１６ｎ  第１ｎ側開口部
１６１〜１６４，１６１ｐ〜１６４ｐ  第１ｐ側開口部
１７    第２絶縁層
１７１，１７３，１７５，１７７  第２ｐ側開口部
１７２，１７４，１７６，１７８  第２ｎ側開口部
１８１〜１８８  金属層
１９１〜１９８  導通部材
２０１〜２０８，２１２，２１４，２１６  接合部材
２０１ｐ，２０２ｎ，２０５ｎ，２０５ｐ  接合部材
２０３ｐ，２０４ｎ，２０６ｎ，２０６ｐ  接合部材
３，３Ｃ  実装基板
３０１〜３０６，３１３〜３１５，３２１〜３２６，３３１，３３２  配線端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図８Ｅ】
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【図８Ｆ】
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【図８Ｇ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１６Ｃ】
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