(57)【要約】【課題】研磨力の長期化と磁石に吸着される機能の実現と研磨用メディアのコストを市場に許容されるような低いコストにまで低減することとの全てが達成される研磨用メディアおよび研磨用メディアの製造方法を提供する。【解決手段】研磨用メディア１は、セルベン１３とフェライト粒子１２とを含む研磨用メディアであって、セルベン１３の含有量が、４０重量％以上７０重量％以下であり、フェライト粒子１２の含有量が、１０重量％以上３５重量％以下である。セルベン１３の粒度分布は、１５０μｍ以上５００μｍ以下の範囲の粒径を有するセルベン１３が研磨用メディア１に含まれるセルベン１３全体の４０％以上を占める分布を示している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セルベンとフェライト粒子とが混在した焼結体である研磨用メディアであって、
前記セルベンの含有量は、４０重量％以上７０重量％以下であり、
前記フェライト粒子の含有量は、１０重量％以上３５重量％以下である、
研磨用メディア。
【請求項２】
前記セルベンの粒度分布は、１５０μｍ以上５００μｍ以下の範囲の粒径を有するセルベンが前記研磨用メディアに含まれるセルベン全体の４０％以上を占める分布を示している、
請求項１に記載の研磨用メディア。
【請求項３】
前記フェライト粒子は、磁石が近くに存在すると磁石に吸着される磁性体の機能を果たし、磁石が近くに存在しない場合には磁化されない材料である、
請求項１または２に記載の研磨用メディア。
【請求項４】
セルベンと、フェライト粒子と、蛙目粘土と、を混合して混合物を得た後、前記混合物と水とを混練機に投入して混練することにより、混練物を得る混練工程と、
前記混練物を成形して成形体を作製する成形工程と、
前記成形体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記混合物中の前記セルベンの含有量は、４０重量％以上７０重量％以下であり、
前記混合物中の前記フェライト粒子の含有量は、１０重量％以上３５重量％以下である、
研磨用メディアの製造方法。
【請求項５】
前記混合物中に含まれる前記セルベンの粒度分布は、１５０μｍ以上５００μｍ以下の範囲の粒径を有するセルベンが前記混合物に含まれるセルベン全体の４０％以上を占める分布を示している、
請求項４に記載の研磨用メディアの製造方法。
【請求項６】
前記混合物中の前記蛙目粘土の含有量は、１２重量％以上３５重量％以下である、
請求項４または５に記載の研磨用メディアの製造方法。
【請求項７】
前記水の量は、前記混合物に対して７重量％以上２５重量％以下である、
請求項４乃至６のいずれか１項に記載の研磨用メディアの製造方法。
【請求項８】
前記焼成工程における焼成温度は、１１４５℃以上１１９５℃以下である、
請求項４乃至７のいずれか１項に記載の研磨用メディアの製造方法。
【請求項９】
前記フェライト粒子は、大気中で１２００℃に加熱した場合に消磁しないフェライト粒子である、
請求項４乃至８のいずれか１項に記載の研磨用メディアの製造方法。
【請求項１０】
前記焼成工程において、研磨用メディアの吸水率が５％以上１５％以下となるように前記成形体を焼成する、
請求項４乃至９のいずれか１項に記載の研磨用メディアの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨用メディアおよび研磨用メディアの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
バレル研磨法とは、研磨粉（砥粒）を保持した研磨用メディアと、被研磨物（例えばプレス加工で打ち抜かれた金属部品）と、を樽状の研磨槽に投入してから研磨槽を回転または振動させることにより被研磨物を研磨する研磨方法である。このバレル研磨法では、研磨完了後、研磨用メディアと被研磨物とを分離する必要がある。そして、被研磨物に生じている大きなバリを除去するには、研磨用メディアの大きさを被研磨物と同等以上にしなければならない場合がある。この場合、篩を使って研磨用メディアと被研磨物とを分離するのは難しいため、研磨用メディアに磁性体を含ませて磁石を使用して研磨用メディアと被研磨物とを分離する方法が提供されている。このような分離方法に利用される研磨用メディアとして、磁性体のボールコアの表面に、ダイヤモンド、ＣＢＮ等の超硬度の塗粒を含む砥材層を設けてなる研磨用メディアが提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、バレル研磨法では、ワークと研磨用メディアとが擦れ合い、双方が摩耗することによって研磨が進行する。従って、特許文献１に記載された研磨用メディアでは、研磨用メディアの摩耗が進行した場合、砥材層が摩耗した時点で研磨力が失われてしまう。このように、特許文献１に記載された研磨用メディアは、その使用期間が砥材層の厚さによって制限されてしまう。
【０００４】
また、研磨用メディアとして、溶融アルミナ等の人造石と磁性材とが混合した状態で含まれる研磨用メディアが提案されている（例えば特許文献２参照）。この研磨用メディアは、全体が砥粒である人造石と磁性体とで構成されているため、研磨用メディアの摩耗が進行しても研磨力が失われることがない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３０７２８９号公報
【特許文献２】実開昭５８−２２２４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２には、人造石と磁性材とが混合した状態で含まれる研磨用メディアを実現するための製造方法については何ら記載されていない。また、特許文献２に記載されたような研磨用メディアの実現において、研磨用メディアに含まれる各種材料の配合量や製造方法を工夫して、研磨力の長期化と磁石に吸着される機能の実現と研磨用メディアのコストを市場に許容されるような低いコストにまで低減することとの全てを達成することが要請されている。
【０００７】
本発明は、上記事由に鑑みてなされたものであり、使用する材料およびそれらの配合を工夫することにより、研磨力の長期化と磁石に吸着される機能の実現と研磨用メディアのコストを市場に許容されるような低いコストにまで低減することとの全てが達成される研磨用メディアおよび研磨用メディアの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係る研磨用メディアは、
セルベンとフェライト粒子とが混在した焼結体である研磨用メディアであって、
前記セルベンの含有量は、４０重量％以上７０重量％以下であり、
前記フェライト粒子の含有量は、１０重量％以上３５重量％以下である。
【０００９】
他の観点から見た本発明に係る研磨用メディアの製造方法は、
セルベンと、フェライト粒子と、蛙目粘土と、を混合して混合物を得た後、前記混合物と水とを混練機に投入して混練することにより、混練物を得る混練工程と、
前記混練物を成形して成形体を作製する成形工程と、
前記成形体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記混合物中の前記セルベンの含有量は、４０重量％以上７０重量％以下であり、
前記混合物中の前記フェライト粒子の含有量は、１０重量％以上３５重量％以下である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る研磨用メディアは、セルベンとフェライト粒子とが混在した焼結体である。これにより、研磨用メディアの表面が摩耗したとしても摩耗前と同じ特性の表面が次々と現れることとなるので、研磨性能を維持することができる。従って、ワークの研磨状態を均一にすることができる。また、本発明は、セルベンの含有量が、研磨用メディア全体の４０重量％以上７０重量％以下であり、フェライト粒子の含有量が、研磨用メディア全体の１０重量％以上３５重量％以下である。これにより、研磨用メディアの研磨力を維持しつつ、研磨用メディアの回収時に必要な大きさの磁力を維持することができる。本発明では、市場に受け入れられる低コストを実現するために、砥粒として非常に安価な衛生陶器や碍子等の廃材を粉砕したものを用い、磁石に吸着される機能を有する安価なフェライト粒子を選択した。また、本来研磨用メディアにおける砥粒の結合に用いられるビトルファイド接着材の代わりに蛙目粘土と水という非常に安価な材料を用いた。そして、これらの材料の配合比率や成型圧力、焼成温度等に関して工夫することにより、課題とされていた研磨用メディアの研磨力の長期化と磁石に吸着される機能の実現と研磨用メディアのコストを市場に許容されるような低いコストにまで低減することとの全てが達成される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態に係る研磨用メディアを模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態に係る研磨用メディアについて図面を参照して詳細に説明する。本実施の形態に係る研磨用メディアは、バレル研磨等の研磨処理に用いられるものであり、被研磨物であるワークとともにバレル研磨槽中に入れられ、ワークとの衝突、摩擦を繰り返すことによってワーク表面を研磨する。
【００１３】
研磨用メディア１は、図１に示すように、それぞれが三角柱状の固片であり、その粒体は、セルベン１３とフェライト粒子１２と蛙目粘土１１が均一に分散された焼結体からなる。このような焼結体で構成されていることにより、研磨用メディア１は、フェライト粒子に起因して磁石に吸着する機能を有するものとなる。また、このようなコアを無くした構造とすることにより、小さい研磨用メディア１も作製可能となる。そして、小さい研磨用メディア１を使用することにより、小さなワークや表面に凹部を含むような形状のワークについても、短時間で効率よく研磨処理を施すことができる。
【００１４】
また、焼結体で構成された研磨用メディア１は、配合されているセルベン１３、フェライト粒子および蛙目粘土１１が均一に分散されているため、亀裂や剥離、欠損等の不具合が発生し難く、摩耗が進んでも研磨特性の変化が生じ難い。したがって、研磨用メディア１は、長期にわたって安定した研磨力を発揮する。
【００１５】
フェライト粒子１２は、マンガン亜鉛フェライト、ニッケル亜鉛フェライト、銅亜鉛フェライト等が挙げられる。なお、フェライト粒子１２は、磁石が近くに存在すると磁石に吸着される磁性体の機能を果たし、磁石が近くに存在しない場合には磁化されない材料から形成されていることが好ましい。また、フェライト粒子は、大気中で１２００℃に加熱した場合に消磁しないフェライト粒子であることが好ましい。このようなフェライト粒子としては、例えばマンガン亜鉛フェライトから形成されたフェライト粒子が挙げられる。
【００１６】
ところで、研磨用メディア１中のフェライト粒子１２の含有量が１０％重量未満になると、研磨用メディア１の回収時に必要な大きさの磁力が得られなくなる。一方、フェライト粒子１２の含有量が３５重量％を超えると、その分、研磨用メディア１に含まれるセルベン１３の量が減少し、研磨用メディア１の研磨能力が低下してしまう。そこで、研磨用メディア１中のフェライト粒子１２の含有量は、研磨用メディア１全体の１０重量％以上３５重量％以下の範囲となるように設定されている。
【００１７】
また、フェライト粒子１２の大きさは、特に限定されないが、平均粒径が０．５μｍ以上３０μｍ以下であるのが好ましい。ここで、フェライト粒子１２の平均粒径は、例えば光学顕微鏡、電子顕微鏡等で観察して得られる１つのフェライト粒子１２を包絡する球の直径を、当該フェライト粒子１２の粒径とする。同様の測定を例えば１００個のフェライト粒子１２について行い、測定された粒径の平均値を平均粒径とする。
【００１８】
セルベン１３は、例えば衛生陶器を含む陶磁器、碍子またはセラミックス部品を粉砕することにより生成される粒子である。このセルベン１３は、通常、階段、床、舗装道路の滑り止め、或いはサンドブラスト法のメディアとして使用されることが多い。セルベン１３は、例えば、ムライト（Ａｌ６Ｏ１３Ｓｉ２）、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、シリカ（ＳｉＯ２）、酸化鉄（Ｆｅ２Ｏ３）、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を含む。このようにセルベン１３は、アルカリ土類金属の元素を含んでいるため、アルミナ単体に比べて低い温度で焼結しやすい。セルベン１３の大きさ（粒径）は、特に限定されない。但し、粒径が１５０μｍ未満であるセルベン１３は、砥粒としての機能が低い。一方、粒径が５００μｍよりも大きいセルベン１３が含まれると研磨用メディア１が脆くなる虞がある。従って、セルベン１３の粒径は、１５０μｍ以上５００μｍ以下が好ましい。そして、研磨用メディア１に含まれるセルベン１３のうち、粒径が１５０μｍ以上のセルベン１３の割合が４０％未満になると、研磨用メディア１の研磨能力が低下してしまう。従って、研磨用メディア１中のセルベン１３の粒度分布は、１５０μｍ以上５００μｍ以下の範囲の粒径を有するセルベン１３が研磨用メディア１に含まれるセルベン全体の４０％以上を占める分布を示していることが好ましい。なお、セルベン１３の平均粒径は、例えばフェライト粒子１２と同様の方法で測定される。
【００１９】
衛生陶器や碍子の表面には元々釉薬が塗布されている。従って、そのような衛生陶器や碍子の廃材を粉砕して得られるセルベン１３（特に粒径が１５０μｍ未満のセルベン１３）には釉薬が多く含まれている。発明者らは、このセルベン１３に含まれる釉薬を、セルベン１３、フェライト粒子１２および蛙目粘土１１を含む成形体を焼成する際に必要な焼結助剤として活用することに成功した。これにより、成形体を焼成する際に新たに高価な釉薬を追加する必要が無くなるので、その分、成形体に要するコストを低減できる。
【００２０】
ところで、研磨用メディア１中のセルベン１３の含有量が４０％重量未満になると、研磨用メディア１の研磨能力が低下してしまう。一方、セルベン１３の含有量が７０重量％を超えると、その分、研磨用メディア１に含まれる蛙目粘土１１およびフェライト粒子１２の量が減少し、研磨用メディア１の回収時に必要な大きさの磁力が得られなくなったり、研磨用メディア１が脆くなったりする。そこで、研磨用メディア１中のセルベン１３の含有量は、研磨用メディア１全体の４０重量％以上７０重量％以下の範囲となるように設定されている。
【００２１】
次に、本実施の形態に係る研磨用メディア１の製造方法について説明する。研磨用メディア１は、セルベンとフェライト粒子と蛙目粘土との混合物を成形し、得られた成形体を焼成させることにより作製される。この研磨用メディア１の製造方法は、混合物を混練する混練工程と、成形体を作製する成形工程と、成形体の焼成を行う焼成工程と、を含む。以下、各工程について順次詳細に説明する。
【００２２】
まず、混練工程において、セルベンと、フェライト粒子と、蛙目粘土と、を混合した後、これらと水とを混練機に投入して混練することにより、混練物（組成物）を得る。得られた混練物中では、セルベンとフェライト粒子と蛙目粘土とが分散して混在している。ここで、セルベンとフェライト粒子としては、前述したセルベン１３、フェライト粒子１２の粒径と同程度以上のものが用いられる。混合物中の蛙目粘土の含有量が１２％未満の場合、混合物から得られる混練物の粘度が低下してしまい、成形体を良好に作製できなくなる。一方、混合物中の蛙目粘土の含有量が３５重量％を超えると、その分、セルベンまたはフェライト粒子の量が低減するため、作製された研磨用メディア１の研磨能力や磁力が低下してしまう。従って、混合物中の蛙目粘土の含有量は、１２重量％以上３５重量％以下が好ましい。
【００２３】
また、この混練工程において混練機に投入する水の量は、混合物に対して７重量％乃至２５重量％の範囲となるように設定するのが好ましい。水の量が７重量％未満の場合、混練物が粉状に近い状態となり、水の量が２５重量％を超える場合、混練物が液体に近い状態となる。そして、これらの場合、成形工程において押出成形法により成形体を作製することができない。
【００２４】
次に、成形工程において、混練物を成形して、目的の焼結体と同形状の成形体を作製する。成形体の作製方法は、特に限定されず、例えば押出成形法を採用することができる。また、成形体の形状寸法は、焼成工程における成形体の収縮分を考慮して決定される。
【００２５】
その後、焼成工程において、成形体を焼成炉で焼成することにより焼結体である研磨用メディア１が作製される。この焼成工程における焼成温度が１１４５℃未満の場合、成形体の焼成が不十分となり作製された研磨用メディア１が脆くなってしまう。一方、焼成温度が１１９５℃を超えると、成形体のガラス化が過度に進み、作製された研磨用メディア１の研磨性能が低下してしまう。従って、焼成工程における焼成温度は、１１４５℃以上１１９０℃以下が好ましい。焼成工程における焼成温度が低くなると、研磨用メディア１の吸水率が高まり、焼成温度が高くなると、研磨用メディア１の吸水率が低下する。そして、焼成工程における焼成温度を１１４５℃以上１１９５℃以下にすれば、研磨用メディア１の吸水率を５％以上１５％以下とすることができる。また、焼成工程における焼成時間は、０．２時間以上７時間以下とすればよい。ここで、焼成時間とは、前述の焼成温度で保持する時間に相当する。また、焼成時における雰囲気は、特に限定されないが、水素のような還元性ガス雰囲気、窒素、アルゴンのような不活性ガス雰囲気、またはこれらの雰囲気を減圧した減圧雰囲気であってもよい。
【００２６】
以上説明したように、本実施の形態に係る研磨用メディア１は、セルベンとフェライト粒子とが混在した焼結体である。これにより、研磨用メディア１の表面が摩耗したとしても摩耗前と同じ特性の表面が次々と現れることとなるので、研磨性能を維持することができる。従って、ワークの研磨状態を均一にすることができる。また、本実施の形態に係る研磨用メディア１は、セルベン１３の含有量が、研磨用メディア１全体の４０重量％以上７０重量％以下であり、フェライト粒子１２の含有量が、研磨用メディア１全体の１０重量％以上３５重量％以下である。そして、本実施の形態に係る混練工程において、セルベン１３と、フェライト粒子１２と、蛙目粘土１１と、を混合して得られる混合物中のセルベン１３の含有量が、４０重量％以上７０重量％以下である。また、この混合物中のフェライト粒子１２の含有量が、１０重量％以上３５重量％以下である。これにより、研磨用メディア１の研磨力を維持しつつ、研磨用メディア１の回収時に必要な大きさの磁力を維持することができる。本実施の形態に係る研磨用メディア１の製造方法では、市場に受け入れられる低コストを実現するために、砥粒として非常に安価な衛生陶器や碍子等の廃材を粉砕したものを用い、磁石に吸着される機能を有する安価なフェライト粒子１２を選択した。また、本来研磨用メディアにおける砥粒の結合に用いられるビトルファイド接着材の代わりに蛙目粘土１１と水という非常に安価な材料を用いた。そして、これらの材料の配合比率や成型圧力、焼成温度等に関して工夫することにより、課題とされていた研磨用メディア１の研磨力の長期化と磁石に吸着される機能の実現と研磨用メディアのコストを市場に許容されるような低いコストにまで低減することとの全てが達成される。
【００２７】
また、本実施の形態に係る研磨用メディア１は、例えば衛生陶器を含む陶磁器、碍子またはセラミックス部品を粉砕することにより生成される粒子であるセルベン１３を使用して作製される。つまり、再生品であるセルベン１３を使用しているので、環境負荷の低減に寄与しうる。そして、本実施の形態に係る研磨用メディア１の製造方法では、釉薬を使用しないので、その分、材料コストを低減できるという利点もある。
【００２８】
更に、本実施の形態に係る研磨用メディア１中のセルベン１３の粒度分布は、１５０μｍ以上５００μｍ以下の範囲の粒径を有するセルベン１３が研磨用メディア１に含まれるセルベン全体の４０％以上を占める分布を示している。これにより、研磨用メディア１について、研磨力の長期化と磁石に吸着される機能の実現と研磨用メディアのコストを市場に許容されるような低いコストにまで低減することとの全てが達成される。
【００２９】
ところで、研磨用メディアとして、表面に複数の磁石片が埋め込まれた研磨用メディアが提案されている。このような研磨用メディアを使用して、例えばステンレス製のワークをバレル研磨した場合、ワークを研削した際に発生する磁化したステンレス粉末が研磨用メディアの表面に吸着してしまう場合がある。この場合、研磨用メディアの研磨力が低下してしまう。これに対して、本実施の形態に係るフェライト粒子１２は、磁石が近くに存在すると磁石に吸着される磁性体の機能を果たし、磁石が近くに存在しない場合には磁化されない材料から形成されている。これにより、本実施の形態に係る研磨用メディア１を使用してステンレス製のワークを研磨する際、磁化したステンレス粉末が研磨用メディア１の表面に吸着して研磨用メディア１の研磨力が損なわれることがないという利点がある。
【００３０】
更に、本実施の形態に係る混練工程において、混合物中の蛙目粘土の含有量が、１２重量％以上３５重量％以下である。これにより、研磨用メディア１の研磨能力および磁力を適当に維持しつつ、成形工程において成形体を良好に作製できる。
【００３１】
また、本実施の形態に係る混練工程における水の量は、混合物に対して７重量％以上２５重量％以下の範囲となるように設定されている。これにより、成形工程において成形体を良好に作製できる。
【００３２】
更に、本実施の形態に係る焼成工程における焼成温度は、１１４５℃以上１１９０℃以下である。これにより、作製された研磨用メディア１の研磨能力が適切なものとなる。
【００３３】
（変形例）
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は実施の形態の構成に限定されるものではない。例えば、研磨用メディアの製造方法における混練工程において、セルベンとフェライト粒子と蛙目粘土とともに、焼結助剤として一号釉薬を混合して混合物を生成するようにしてもよい。
【００３４】
実施の形態では、成形工程において、押出成形法により成形体を生成する例について説明したが、成形方法は押出成形法に限定されるものではない。例えば圧縮成形法（圧粉成形法）または粉末射出成形法により成形体を形成してもよい。
【００３５】
以上、本発明の実施の形態および変形例（なお書きに記載したものを含む。以下、同様。）について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。本発明は、実施の形態及び変形例が適宜組み合わされたもの、それに適宜変更が加えられたものを含む。
【実施例】
【００３６】
本発明に係る研磨用メディアおよび研磨用メディアの製造方法について、実施例および比較例に基づいて説明する。各実施例に係る研磨用メディアの製造方法は、混練工程および成形工程が同様であり、焼成工程における焼成温度が異なる。
【００３７】
まず、混練工程において、セルベンと、フェライト粒子と、蛙目粘土と、を混合して、セルベンを４０重量％以上７０重量％以下、フェライト粒子を１０重量％以上３５重量％以下、蛙目粘土を１２重量％以上３５重量％以下、含む混合物を生成する。そして、この混合物と水とを混練機で混練することにより混練物を得た。
【００３８】
次に、成形工程において、得られた混練物を押出成形機により成形して成形体を得た。
【００３９】
その後、焼成工程において、得られた成形体を焼成することにより焼結体（研磨用メディア）を得た。各実施例における焼成温度を下記表１に示すように設定した。
【００４０】
【表１】
2018203893.tif 000003
【００４１】
次に、各実施例に係る研磨用メディアの研磨性能を、比較例に係る研磨用メディアの研磨性能と比較した結果について説明する。比較例に係る研磨用メディアとして、ＴＫＸ社製バレンストン（登録商標）を採用した。各実施例に係る研磨用メディアの形状、寸法および重量と比較例に係るそれらとは同じにした。そして、各実施例に係る研磨用メディアについて、市販実績のある比較例に係る研磨用メディアの研磨性能との比較を行った。
【００４２】
この研磨性能の評価方法では、まず、各実施例および比較例に係る研磨用メディアをそれぞれ１００個ずつ準備した。そして、各実施例、比較例について、１００個の研磨用メディアの中から任意に選択した５０個の研磨用メディアについて重量を計測した。重量の測定は、計数はかり（例えば島津製作所製電子天秤：ＵＸシリーズ）を用いて行った。次に、実施例、比較例の研磨用メディアを１００個、水とともに回転バレル研磨用の研磨槽に投入し、１時間研磨槽を継続して回転させた。ここで、水の量は、研磨用メディア１００個分の体積の約５０％とした。その後、再び各実施例、比較例について、１００個の研磨用メディアの中から任意に選択した５０個の研磨用メディアについて重量を計測した。そして、研磨槽投入前の研磨用メディアの重量と、研磨槽投入後の研磨用メディアの重量と、の差分重量の平均値である平均摩耗量を算出した。各実施例および比較例に係る研磨用メディアの投入前の平均重量と投入後の平均重量と平均摩耗量を表２に示す。
【００４３】
【表２】
2018203893.tif 000004
【００４４】
実施例２、３に係る研磨用メディアの平均摩耗量は、比較例に係る研磨用メディアの平均摩耗量と同じであった。このことから、実施例２、３に係る研磨用メディアの研磨性能は、比較例に係る研磨用メディアの研磨性能と同等であると推測される。一方、実施例１に係る研磨用メディアの平均摩耗量は、比較例に係る研磨用メディアの平均摩耗量に比べて多かった。このことから、実施例１に係る研磨用メディアは、比較例に係る研磨用メディアに比べて摩耗し易いことが判った。但し、実施例１に係る研磨用メディアの平均摩耗量は、比較例に係る研磨用メディアの平均摩耗量に比べて１３％程度多いだけである。従って、実施例１に係る研磨用メディアの使用可能期間が比較例に係る研磨用メディアの使用可能期間に比べて大幅に減少することはない。
【００４５】
また、実施例４乃至６に係る研磨用メディアの平均摩耗量は、比較例に係る研磨用メディアの平均摩耗量に比べて６６％程度少ない。これは、焼成工程における焼成温度が実施例２、３に比べて高いため、実施例２、３に係る研磨用メディアに比べて研磨用メディア表面のガラス化が進み、その分、摩耗しにくくなっているためと考えられる。この場合、研磨用メディアのワーク表面での滑りが生じてしまい、研磨用メディアの研磨能力が低下する可能性が高まる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、バレル研磨に使用される研磨用メディアとして広く適用可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１：研磨用メディア、１１：蛙目粘土、１２：フェライト粒子、１３：セルベン
【図１】
2018203893.tif 000005