(57)【要約】  【課題】  誘電特性に優れるとともに、セラミック層および内部電極層を多層化してもデラミネーションが発生する可能性を低減することのできる積層型電子部品を提供する。  【解決手段】  セラミック層５と内部電極層７とが交互に複数積層された電子部品本体１を備えており、電子部品本体１に開口部７Ｂを有する内部電極層７が存在しているとともに、セラミック層５を介して積層方向に隣接している２層の内部電極層７間で、一方の内部電極層７の開口部７Ｂにセラミック層５を構成する材料が配されており、他方の内部電極層７が、前記一方の内部電極層７の開口部７Ｂに向けて突出する湾曲部７Ｃを有している。【選択図】  図２
2018121025.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック層と内部電極層とが交互に複数積層された電子部品本体を備えており、該電子部品本体に、開口部を有する前記内部電極層が存在しているとともに、前記セラミック層を介して積層方向に隣接している２層の前記内部電極層間で、一方の前記内部電極層の開口部に前記セラミック層を構成する材料が配されており、他方の内部電極層が、前記一方の内部電極層の開口部に向けて突出する湾曲部を有していることを特徴とする積層型電子部品。
【請求項２】
前記セラミック層を介して隣接する３層の前記内部電極層間で、中層に位置する前記一方の内部電極層の開口部に対して、隣接するそれぞれ他方の前記内部電極層が、前記一方の内部電極層の開口部に向けて突出する湾曲部を有していることを特徴とする請求項１に記載の積層型電子部品。
【請求項３】
前記開口部は前記電子部品本体を断面視したときの平均の長さが１０〜１５μｍ、前記開口部の長さの割合は、前記開口部を含む前記内部電極層の長さを１００％としたときに１〜５％であることを特徴とする請求項１または２に記載の積層型電子部品。
【請求項４】
前記湾曲部は、前記電子部品本体を積層方向に３等分したときに、積層方向の少なくとも中段領域の前記内部電極層に存在していることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれかに記載の積層型電子部品。
【請求項５】
前記湾曲部は、前記電子部品本体の内部電極層の全領域に存在していることを特徴とする請求項４に記載の積層型電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型電子部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、セラミック層と内部電極層とを交互に複数層積み重ねた後、一体的に焼成して作製された積層型の電子部品が知られている（例えば、特許文献１を参照）。このような積層型電子部品において、例えば、コンデンサは、近年の携帯電話に代表される小型の電子機器への対応から、さらなる小型化および高容量化が要求されてきている。また、圧電素子においても低い電圧で大きな変位量が得られるように圧電体層の薄層化が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１２９８４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、セラミック層および内部電極層の積層数が、例えば数百層にも及ぶ積層型電子部品においては、これらの双方が薄層化されているために、セラミック層の厚みに対する内部電極層の厚みの比率が大きくなっている。このような積層型電子部品は、セラミック層が内部電極層に起因する段差を吸収し難いことから、これらの層間にデラミネーションが発生しやすくなっている。
【０００５】
これは内部電極層とセラミック層とが例えば金属とセラミックスというように材質が全く異なるため接着し難いこと、内部電極層とセラミック層との間の熱膨張係数が異なることが原因として考えられる。
【０００６】
従って、本発明の目的は、誘電特性に優れるとともに、セラミック層および内部電極層を多層化してもデラミネーションが発生する可能性を低減することのできる積層型電子部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の積層型電子部品は、セラミック層と内部電極層とが交互に複数積層された電子部品本体を備えており、該電子部品本体に、開口部を有する前記内部電極層が存在しているとともに、前記セラミック層を介して積層方向に隣接している２層の前記内部電極層間で、一方の前記内部電極層の開口部に前記セラミック層を構成する材料が配されており、他方の内部電極層が、前記一方の内部電極層の開口部に向けて突出する湾曲部を有しているものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、誘電特性に優れるとともに、セラミック層および内部電極層を多数積層しても、デラミネーションが発生する可能性を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】（ａ）は本実施形態の積層型電子部品を模式的に示す外観斜視図である。（ｂ）は（ａ）に示した積層型電子部品をＩ−Ｉ線の面から内部を見たときの構造を模式的に示す斜視図である。（ｃ）は（ｂ）におけるＡ部のレーザー顕微鏡写真である。（ｄ）は、（ｂ）におけるＢ部の電子顕微鏡写真である。
【図２】図１（ｄ）の断面模式図である。
【図３】セラミックグリーンシートを作製するために用いる成形用フィルムを部分的に示す斜視図である。
【図４】本実施形態の積層型電子部品の製造工程の前半の工程を示す断面図である。
【図５】図４に続く製造工程を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１（ａ）は本実施形態の積層型電子部品を模式的に示す外観斜視図である。（ｂ）は（ａ）に示した積層型電子部品をＩ−Ｉ線の面から内部を見たときの構造を模式的に示す斜視図である。（ｃ）は（ｂ）におけるＡ部のレーザー顕微鏡写真である。（ｄ）は、（ｂ）におけるＢ部の電子顕微鏡写真である。図２は、図１（ｄ）の断面模式図である。
【００１１】
本実施形態の積層型電子部品は、図１（ａ）に示すように、電子部品本体１の対向する両端部に外部電極３を有している。電子部品本体１は、図１（ｂ）に示すように、セラミック層５と内部電極層７とが交互に複数層に亘って積層された構成を成している。図１（ｂ）に示した電子部品本体１はセラミック層５および内部電極層７の積層数が数層と少ない構成であるが、本実施形態はこれに限らず積層数が数百層にも及ぶものまで含まれることは言うまでもない。
【００１２】
電子部品本体１の形状は、外部電極３が設けられる２つの端面８ａと、その端面８ａに垂直な２つの側面８ｂと上面および下面とで構成される直方体状を成すものである。セラミック層５は平面視したときの形状が矩形状である。また、セラミック層５の主面内に配置された内部電極層７もセラミック層５と同様に矩形状を成している。また、内部電極層７は積層方向に交互に外部電極３側に延出されて外部電極３に接続されている。
【００１３】
この積層型電子部品を構成している電子部品本体１には、開口部７Ｂを有する内部電極層７が存在している。ここで、図２において破線で囲った部分が開口部７Ｂである。一方、一点鎖線で囲った部分が後述する湾曲部７Ｃである。この場合、開口部７Ｂとは、内部電極層７の欠損した部分の長さが１μｍ以上ある部位のことを言うが、本実施形態においては、この長さが３μｍ以上であるのが良い。
【００１４】
この内部電極層７は、セラミック層５を介して積層方向に隣接している少なくとも２つの内部電極層７間において、一方の内部電極層７（例えば、７ｃｎ）に設けられた開口部７Ｂにセラミック層５を構成している材料が配されている。また、他方の内部電極層７が、一方の内部電極層７の開口部７Ｂに向けて突出する湾曲部７Ｃを有している。図２によれば、例えば、上層側に位置する内部電極層７ｕｐに設けられた湾曲部７Ｃが中層に位置する内部電極層７ｃｎに設けられた開口部７Ｂに向けて突出している構成となっている。言い換えると、上層側に位置する内部電極層７ｕｐに由来する湾曲部７Ｃがセラミック層５の厚み分ほど中層に位置する内部電極層７ｃｎの開口部７Ｂ側に寄った状態となっている。
【００１５】
本実施形態の積層型電子部品は、上述のように、電子部品本体１を構成している内部電極層７に開口部７Ｂが形成されており、この開口部７Ｂに対してセラミック層５を介して対峙した内部電極層７の部分がセラミック層５を厚み方向に分断するように凹状に変形し、湾曲部７Ｃとなっている。また、この湾曲部７Ｃが開口部７Ｂ側に突出する構造となっている。
【００１６】
このような構成によれば、内部電極層７に由来する湾曲部７Ｃがセラミック層５に対してアンカーとして作用することから、セラミック層５に対して内部電極層７の接合性を高
めることができる。その結果、セラミック層５と内部電極層７との間にデラミネーションが発生する可能性を低くすることができる。
【００１７】
ここで、湾曲部７Ｃは、セラミック層５との間でアンカー効果を発揮できる形状であれば、底部が曲面形状でも良いが、図２に示すように、破線で囲った開口部７Ｂに平行な平面的な形状でも良い。湾曲部７Ｃの形状が矩形状の開口部７Ｂに対して平行な平面的な形状であると、開口部７Ｂの領域におけるセラミック層５の厚みのばらつきが小さくなる。これにより積層型電子部品の絶縁抵抗のばらつきを小さくすることができる。
【００１８】
なお、本実施形態は上記に限らず、湾曲部７Ｃがセラミック層５に対してアンカーとして作用するものであれば、３層の内部電極層７間において、湾曲部７Ｃが開口部７Ｂに突出する構造であっても良い。
【００１９】
つまり、図１（ｄ）および図２に示しているように、セラミック層５を介して隣接する３層の内部電極層７間においては、中層に位置する一方の内部電極層７の開口部７Ｂに対して、隣接するそれぞれ他方の内部電極層７が、一方の内部電極層７の開口部７Ｂに向けて突出する湾曲部７Ｃを有している構成でも良い。具体的には、中層に位置する内部電極層７ｃｎの開口部７Ｂに対して、上層側に位置する内部電極層７ｕｐに由来する湾曲部７Ｃおよび下層側に位置する内部電極層７ｕｎに由来する湾曲部７Ｃがともに中層に位置する内部電極層７ｃｎの開口部７Ｂに向けて突出している構造である。
【００２０】
中層の内部電極層７ｃｎに由来する開口部７Ｂに対して隣接するそれぞれ他方（上層側および下層側）の内部電極層７に由来する湾曲部７Ｃが近接してくる構造の場合には、上層側の内部電極層７ｕｐに形成された湾曲部７Ｃの高さｈと下層側の内部電極層７ｕｎに形成された湾曲部７Ｃの高さｈとは異なっていても良い。
【００２１】
また、この積層型電子部品では、開口部７Ｂは電子部品本体１を断面視したときの任意の断面での平均の長さが１０〜１５μｍであるのが良い。また、開口部７Ｂの長さの割合は、任意の断面の所定領域において、開口部７Ｃを含む内部電極層７の長さを１００％としたときに１〜５％であるのが良い。この場合、開口部７Ｂの長さは図２におけるＸ点間の長さとし、湾曲部７Ｃの長さは図２におけるＹ点間の長さとする。こうした評価は、電子部品本体１の断面の中で後述するように特定の領域を定めて行う。
【００２２】
開口部７Ｂの平均の長さおよび長さの割合が上記範囲であると、内部電極層７のセラミック層５に対する被覆率を所定の値以上に保つことができることから、内部電極層７の被覆率に起因する特性の中で、例えば静電容量について設計値からの低下を抑えることができる。一方で、湾曲部７Ｃが開口部７Ｂ側に突出した箇所の長さの割合も所定の範囲にできることからデラミネーションの発生の割合をより低くすることができる。
【００２３】
また、本実施形態の積層型電子部品では、湾曲部７Ｃが形成されている領域は、電子部品本体１を積層方向に３等分したときに、積層方向の中段領域が良い。例えば、セラミック層５のほぼ全面に内部電極層７が設けられた積層型電子部品は、セラミック層５と内部電極層７とがセラミックスと金属と言うように成分が大きく異なるものであることから、その界面は化学的結合の寄与が少ない。このため両層間はおおかた物理的な接着が支配的である。その結果、セラミック層５と内部電極層７との間の接着力が弱くなる場合がある。また、セラミック層５と内部電極層７との間では材質の違いに起因して熱膨張係数の相違も生じている。このため積層型電子部品が温度変化を受けた場合には層間に剥離が生じることがある。
【００２４】
例えば、積層型のコンデンサのように、セラミック層５の厚みｔ１に対する内部電極層
７の厚みｔ２の比ｔ２／ｔ１が０．５〜１であり、また、セラミック層５と内部電極層７との積層数が２００層以上にもなるような多層型の積層型電子部品では、セラミック層５と内部電極層７との間に生じる応力が積層型電子部品の積層方向の中段辺りに集中する。
【００２５】
このため多層型の積層型電子部品に対しては応力の発生しやすい電子部品本体１の積層方向の少なくとも中段領域に湾曲部７Ｃが多く存在する領域を設けるのがよい。ここで、多く存在するというのは、内部電極層７の１層当たり、湾曲部７Ｃの長さの割合が他の領域の長さの割合に比べて１．５倍以上高い状態を言う。
【００２６】
図１（ｄ）および図２に示した湾曲部７Ｃの構造からもわかるように、湾曲部７Ｃの形成された領域は、他の領域に比べて、開口部７Ｂに内部電極層７が存在しない分だけ、セラミック層５および内部電極層７のそれぞれが有する熱膨張係数およびヤング率の相違に基づく相互作用が小さくなる。
【００２７】
こうした理由からも、湾曲部７Ｃが多く存在する領域は、電子部品本体１を３等分したときに、少なくとも中段領域（図１（ｂ）ではＬ２の領域）に設けられているのが良い。この場合、湾曲部７Ｃは電子部品本体１の中段領域の全部の層に分散して存在しているのが良い。この場合も湾曲部７Ｃの長さの割合は上記と同様、単位長さあたり１〜５％であるのが良い。
【００２８】
また、積層型電子部品では、セラミック層５および内部電極層７の薄層化が進むと、デラミネーションは積層方向の位置に因らずあらゆる位置に発生しやすくなる。このような場合には、故障確率をより低くするという理由から、湾曲部７Ｃは電子部品本体１の積層方向の全領域（上段領域Ｌ１、中段領域Ｌ２および下段領域Ｌ３）、さらには全層に分散して存在しているのが良い。この場合も湾曲部７Ｃの長さの割合は上記と同様、単位長さあたり１〜５％が良い。
【００２９】
本実施形態の構成は、セラミック層５および内部電極層７の平均厚みがそれぞれ０．１〜１．０μｍ、積層数が３００層以上となる薄層、高積層型の積層型電子部品に好適なものとなる。
【００３０】
本実施形態の積層型電子部品を構成する内部電極層７を形成するための金属粉末としては、ニッケル（１２．８×１０−６／℃）、銅（１６．８×１０−６／℃）、パラジウム（１１．８×１０−６／℃）および銀（１８．９×１０−６／℃）から選ばれる１種もしくはこれらの合金を適用するのが良い。外部電極３も同様の金属を適用するのが良い。
【００３１】
セラミック層５の材料としては、コンデンサ、アクチュエータ、インダクタ、フィルタなどに適用されるセラミック材料が好ましく、例えば、チタン酸バリウム、チタンジルコン酸鉛、フェライト、マグネシア，カルシア，五酸化ニオブおよび二酸化チタン等から選ばれる少なくとも２種の金属酸化物により構成される複合酸化物などが好ましい。これらの材料の熱膨張係数としては９×１０−６〜１１×１０−６／℃であることが好ましい。
【００３２】
次に、本実施形態の積層型電子部品を製造する方法についてコンデンサを例にして説明する。
【００３３】
図３は、セラミックグリーンシートを作製するために用いる成形用フィルムを部分的に示す斜視図である。図４は、本実施形態の積層型電子部品の製造工程の前半の工程を示す断面図である。図５は、図４に続く製造工程を示す断面図である。
【００３４】
これより本実施形態の積層型電子部品の製造工程を詳しく説明する。図４（ａ）には、
セラミックグリーンシートを作製するために用いる成形用フィルム２１の一部の断面図を示している。成形用フィルム２１は、基材である有機フィルム２１ａの表面に離型剤２１ｂが塗布されている。この場合、図３および図４（ａ）に示すように、有機フィルム２１ａの表面には離型剤２１ｂが塗布されていない箇所が存在する。離型剤２１ｂが塗布されていない箇所（ここでは、便宜上、非塗布部２１ｃと表記する。）のサイズは直径が２〜１０μｍの大きさとなっている。
【００３５】
次に、図４（ｂ）に示すように、成形用フィルム２１の表面にドクターブレード法またはダイコータ法などのシート成形法を用いてセラミックスラリ２３を塗布する。このとき、セラミックスラリ２３は離型剤（シリコーン系の有機複合樹脂）２１ｂが塗布されていない箇所（非塗布部２１ｃ）を埋めるように塗布される。なお、非塗布部２１ｃは成形用フィルム２１を構成する基材の表面に分散して存在している。この後、所定の条件にて乾燥させて、図４（ｃ）に示すようなセラミックグリーンシート２５を得る。セラミックグリーンシート２５の有機フィルム２１ａ側は、離型剤２１ｂの無い非塗布部２１ｃに由来する突出部２５ａが形成された形状となっている。離型剤としてはシリコーン系樹脂を用いる。
【００３６】
次に、図４（ｄ）に示すように、セラミックグリーンシート２５の表面に金属粉末を含む電極用ペースト２７を用いて矩形状の内部電極パターン２９を形成し、パターンシート３１を形成する。
【００３７】
次に、図５（ｅ）に示すように、作製したパターンシート３１を成形用フィルム２１の表面から剥離する。このときパターンシート３１には、成形用フィルム２１の表面に残り、剥離されない箇所（ここでは、残存部３３と表記する。）が形成される。パターンシート３１の中で成形用フィルム２１の表面から剥離されない箇所（残存部３３）は、セラミックグリーンシート２５の一方の表面に形成された突出部２５ａに由来するものである。この場合、突出部２５ａの領域はセラミックグリーンシート２５を厚み方向に貫通するように抜けてしまう。こうしてセラミックグリーンシート２５に複数の貫通孔３５が形成される。
【００３８】
次に、図５（ｆ）（ｇ）に示すように、作製したパターンシート３１を必要な枚数用意して加熱加圧を行って母体積層体３７を形成する。このとき、主にパターンシート３１ａ側のセラミックグリーンシート２５の一部がパターンシート３１ｂに形成された貫通孔３５に向けて移動し、パターンシート３１ｂの貫通孔３５を埋めるようになる。また、パターンシート３１ａのセラミックグリーンシートに続き、パターンシート３１ａに形成されていた内部電極パターン２９がパターンシート３１ｂの貫通孔３５に入り込むようになる。また、パターンシート３１ｃ側の内部電極パターン２９もパターンシート３１ｂの貫通孔３５に入り込むようになる。こうして、図５（ｇ）に示すように、内部に、焼成後に内部電極層７の湾曲部７Ｃとなる構造（ここでは、変形部３９とする。）を有する母体積層体３７を得ることができる。
【００３９】
この後、母体積層体３７を所定のサイズに切断して、焼成後に電子部品本体１となる積層体を作製する。次いで、作製した積層体を設定した条件にて焼成を行って電子部品本体１を作製する。
【００４０】
次に、電子部品本体１にバレル処理を施して、内部電極層７が電子部品本体１の端面に露出するようにする。
【００４１】
次に、電子部品本体１の端部に外部電極３を形成する。こうして積層型電子部品が完成する。外部電極３は外部電極用ペーストを塗布し、焼き付けを行うことによって形成した
下地電極が母体となる。外部電極３としては、下地電極の表面に必要に応じてめっき膜を形成する。この場合、めっき膜としては、銅またはニッケルあるいはこれらが重ねられた下層めっき膜だけの場合の他、下層めっき膜の表面にさらに錫または半田のめっき膜を形成する構成が好適なものとなる。
【００４２】
こうして得られたコンデンサは、電子部品本体１を構成している内部電極層７の面内に内部電極層７の一部が折れ曲がって形成された凸部７Ｃが形成されている。また、この凸部７Ｃがセラミック層５に押し込まれた状態となっていることから、凸部７Ｃがセラミック層５に対してアンカーとして作用する。こうしてセラミック層５に対する内部電極層７の接合性が高まり、セラミック層５と内部電極層７との間にデラミネーションが発生する可能性を低くすることができる。
【００４３】
以上は、主にコンデンサを例にして説明したが、本発明はコンデンサに限らず、アクチュエータ、インダクタおよびフィルタなど、セラミック層５と内部電極層７とが多層に積層された他の積層型電子部品にも幅広く適用することができる。なお、アクチュエータ、インダクタおよびフィルタなどを製造する場合には、それぞれに好適なセラミック層５用の材料および内部電極層７の材料を適用する。
【実施例】
【００４４】
以下、具体的に積層型のコンデンサを作製して本発明の効果を確認した。まず、セラミック層用の材料として以下の誘電体粉末を調製した。誘電体粉末の原料粉末として、チタン酸バリウム粉末、ＭｇＯ粉末、Ｙ２Ｏ３粉末およびＭｎＣＯ３粉末を準備した。これらの各種粉末を、チタン酸バリウム粉末量を１００モルとしたときに、ＭｇＯ粉末を０．５モル、Ｙ２Ｏ３粉末を１モル、ＭｎＣＯ３粉末を０．５モル添加し、さらに、チタン酸バリウム粉末１００質量部に対して、ガラス粉末（ＳｉＯ２＝５５，ＢａＯ＝２０，ＣａＯ＝１５，Ｌｉ２Ｏ＝１０（モル％））を１質量部添加して誘電体粉末を調製した。次いで、この誘電体粉末を直径５ｍｍのジルコニアボールを用いて、溶媒としてトルエンとアルコールとからなる混合溶媒を添加し湿式混合した。
【００４５】
次に、湿式混合した粉末を、ポリビニルブチラール樹脂を溶解させたトルエンおよびアルコールの混合溶媒中に投入し、直径５ｍｍのジルコニアボールを用いて湿式混合してセラミックスラリを調製し、ドクターブレード法により成形用フィルム上に厚みが約１．７μｍのセラミックグリーンシートを作製した。このとき成形用フィルム（有機フィルム：ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ））として、表面の所々に離型剤が塗布されていない箇所（非塗布部）が分散されているものを作製して用いた。非塗布部のサイズはこの非塗布部の内周の輪郭を円換算したときの直径が平均値で１３μｍ、１８μｍおよび２５μｍであった。これらの非塗布部のサイズは表１に示した開口部の平均の長さ１１μｍ、１５μｍ、２１μｍに対応する。
【００４６】
次に、成形用フィルムの上面に形成されたセラミックグリーンシートの表面に内部電極パターンを形成してパターンシートを作製した。内部電極パターンは電極用ペーストを印刷用のスクリーンを用いて印刷する方法によって形成した。電極用ペーストとしては、Ｎｉ粉末４５質量％に対して、共材として、平均粒径が０．０５μｍのチタン酸バリウム粉末を２０質量％添加し、これにエチルセルロース５質量％およびオクチルアルコール９５質量％からなる有機ビヒクル３０質量％を加え、３本ロールで混練して調製したものを用いた。
【００４７】
次に、作製したパターンシートを成形用フィルムから剥離し、複数層重ねて仮積層体を作製し、次いで、この仮積層体の上下面にそれぞれ内部電極パターンを形成していないセラミックグリーンシートを重ね、加圧加熱処理を行って電子部品本体となる積層体を複数
個有する母体積層体を形成した。この後、この母体積層体を所定の寸法に切断して積層体を形成した。積層体における内部電極層の積層数は４００層とした。
【００４８】
次に、作製した積層体を大気中にて脱脂した後、水素−窒素の混合ガス雰囲気にて酸素分圧が１０−８Ｐａの条件にて焼成し、電子部品本体を作製した。最高温度は１２１０℃とした。最高温度での保持時間を２時間とした。作製した電子部品本体のサイズは１６０８型に相当するものであり、そのサイズは、おおよそ１．６ｍｍ×０．８ｍｍ×０．８ｍｍであった。また、セラミック層の平均厚みは１．３μｍ、積層部の中央に位置する内部電極層の１層の平均厚みは０．６μｍであった。
【００４９】
なお、作製した電子部品本体から得られる静電容量の設計値（セラミック層を挟んで内部電極層が上下で重なっている有効面積の領域に空隙が無い状態で発現する静電容量）は１０μＦと見積もった。
【００５０】
次に、作製した電子部品本体に窒素雰囲気中（酸素分圧：１０−６Ｐａ）、９００〜１０００℃で５時間の熱処理を行った。
【００５１】
次に、作製した電子部品本体にバレル研磨処理を行い、電子部品本体の端面に内部電極層を十分に露出させた。
【００５２】
次に、バレル研磨した電子部品本体の端部に銅ペーストを塗布し、約８００℃、酸素分圧を１Ｐａ、最高温度の保持時間を０．２時間とする条件で加熱して外部電極を形成した。
【００５３】
次に、この外部電極の表面に、順に、電解めっき法によりＮｉメッキ膜およびＳｎメッキ膜を形成して積層型のコンデンサを作製した。
【００５４】
次に、作製した積層型のコンデンサについて以下の評価を行った。
【００５５】
まず、作製した試料のうち、試料Ｎｏ．２〜９は、３層の内部電極層間で、中層に位置する内部電極層に存在する開口部に向けて、上側に位置する内部電極層の湾曲部および下側に位置する内部電極層の湾曲部が両側から入り込んだ構造であった。また、作製した試料Ｎｏ．２〜９は、内部電極層の開口部を挟む上層側の内部電極層および下層側の内部電極層がセラミック層の厚み分ほど開口部側に寄っている状態を成していた。試料Ｎｏ．１は内部電極層が開口部を有する構造であったが、開口部の平均の長さが１μｍと小さかったことから、湾曲部は認められなかった。
【００５６】
内部電極層に形成された開口部の有無およびその平均の長さ、および湾曲部の有無、湾曲部の構造および湾曲部の長さの割合は、研磨したコンデンサの断面を走査型電子顕微鏡によって観察し、撮影した画像の写真を用いて評価した。この場合、電子部品本体を積層方向に３等分した各領域から１０層選択して評価した。具体的には、電子部品本体を上段領域、中段領域および下段領域に分けた後、この各領域の中でさらに積層方向の中央に位置する１０層を選び、さらにその１０層の中で、電子部品本体を幅方向に３等分した領域において中央部分の範囲を定めて評価した。電子部品本体の幅方向の中央部分の範囲は１００μｍ×１００μｍの面積とした。湾曲部の長さの割合については、電子部品本体の幅方向の長さ（この場合、観察した範囲の幅１００μｍ×１０層分）に対して、観察により開口部と定めた部分を複数合計した合計の幅の割合を長さの割合として求めた。
【００５７】
デラミネーションは、ΔＴ＝２８０℃（例えば、温度差が室温（２５℃）に対して、はんだ槽の温度が３０５℃）およびΔＴ＝３００（同３２５℃）の条件ではんだ槽に１秒間
浸漬した熱衝撃試験後の外観を観察して評価した。試料数は各１００個とした。
【００５８】
静電容量は、温度２５℃、周波数１．０ｋＨｚ、測定電圧を１Ｖｒｍｓとして測定し、その平均値（ｘ）を求めた。試料数は各３０個とした。
【００５９】
【表１】
2018121025.tif 000003
【００６０】
表１の結果から明らかなように、電子部品本体の内部に内部電極層の開口部に起因して形成された湾曲部を有する試料（試料Ｎｏ．２〜９）は、湾曲部を有しない試料（試料Ｎｏ．１）に比べてデラミネーションの発生頻度が低かった。
【００６１】
内部電極層の開口部の平均の長さが１１〜１５μｍ、湾曲部の長さの割合が１〜５％であった試料（試料Ｎｏ．２〜５）は、開口部の平均の幅が２１μｍであった試料（試料Ｎｏ．６〜９）に比べて静電容量が高かった。
【００６２】
また、湾曲部の場所を電子部品本体の全領域（上段領域、中段領域、下段領域）に形成した試料（試料Ｎｏ．３、５、７、９）は、湾曲部の場所を電子部品本体の積層方向の中段領域のみに形成した試料（試料Ｎｏ．２、４、６、８）に比べてデラミネーションの発生頻度が低かった。
【符号の説明】
【００６３】
１・・・・・電子部品本体
３・・・・・外部電極
５・・・・・セラミック層
７・・・・・内部電極層
７Ｂ・・・・開口部
７Ｃ・・・・湾曲部
７ｕｐ・・・上層側の内部電極層
７ｕｎ・・・下層側の内部電極層
７ｃｎ・・・中層の内部電極層
２１・・・・成形用フィルム
２１ａ・・・有機フィルム
２１ｂ・・・離型剤
２１ｃ・・・非塗布部
２３・・・・セラミックスラリ
２５・・・・セラミックグリーンシート
２５ａ・・・突出部
２７・・・・電極用ペースト
２９・・・・内部電極パターン
３１・・・・パターンシート
３３・・・・残存部
３５・・・・貫通孔
３７・・・・母体積層体
３９・・・・変形部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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