(57)【要約】【課題】分割効率を向上させる冷却効果と分割時に駆動される駆動機構の性能確保とを両立させることが可能な分割装置を提供する。【解決手段】板状物（１３）を下向きにして環状フレーム（１１）を保持するフレーム保持手段（３０）と、エキスパンドシート（１２）を上方から押圧して拡張させて分割起点（１５）に沿って板状物を分割する押圧手段（５０）と、板状物にイオン化エアーを供給するイオン化エアー供給口（２６）とをハウジング（２０）によって囲繞し、ハウジング内に冷気を供給する冷気供給手段（２８）を備える。ハウジング外に配設されたモータ（４１）と、モータによって回転駆動されるボールねじ（４２）と、ボールねじに螺合するナットを備えた可動部（４３）を備えた拡張手段（４０）が、ハウジングを貫通してフレーム保持手段又は押圧手段に連結して、フレーム保持手段と押圧手段を相対移動させてエキスパンドシートを拡張させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分割起点が形成された板状物と該板状物が貼着されるエキスパンドシートと該エキスパンドシートの外周が貼着される環状フレームとからなる板状物ユニットの該板状物を該分割起点に沿って分割する分割装置であって、
該エキスパンドシートに貼着された該板状物が鉛直下向きに向いた状態で環状フレームを上面に保持するフレーム保持手段と、
該フレーム保持手段と該板状物の外周縁との間で該エキスパンドシートを上方から押圧して拡張し、該分割起点に沿って該板状物を分割する押圧手段と、
該板状物にイオン化エアーを供給するイオン化エアー供給口を有したイオン化エアー供給手段と、
少なくとも該フレーム保持手段と該押圧手段と該イオン化エアー供給口とを囲繞して分割室を画成するハウジングと、
該ハウジング内に冷気を供給する冷気供給手段と、
該ハウジング外に配設されたモータと該モータによって回転駆動されるボールねじと該ボールねじに螺合するナットを備えた可動部が該ハウジングを貫通して該フレーム保持手段又は該押圧手段に連結し、該フレーム保持手段と該押圧手段とを相対移動させて該エキスパンドシートを拡張する拡張手段と、を備え、
該エキスパンドシートに貼着された該板状物が鉛直下向きに向いた状態で該フレーム保持手段に保持されること、を特徴とする分割装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ等の板状物を分割するための分割装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス等の製造において、ウェーハ等の板状物を所定の分割予定ラインに沿って分割させるための分割装置が用いられる。この種の分割装置として、分割起点が形成された板状物をエキスパンドシートに貼着した形態の板状物ユニットを構成し、エキスパンドシートを拡張することで板状物を分割起点から分割（エキスパンドブレーキング）するものが知られている。具体的な例として、透過性を有する波長（例えば１０６４ｎｍ）のレーザービームにより板状物の内部に分割予定ラインに沿った改質層を形成して分割予定ラインの強度を低下させ、この状態の板状物の裏面にエキスパンドシートを貼着する。分割装置はエキスパンドシートを拡張させる拡張手段を有しており、エキスパンドシートを拡張することによって分割予定ラインに外力を与え、改質層を分割起点として板状物を分割させる。
【０００３】
上述のような分割装置で板状物の分割を行うと、分割予定ラインに沿って破断された部分から分割屑が発生する。分割屑が板状物の表面へ付着すると、分割後の製品の性能や品質に悪影響を及ぼす。そこで、板状物を下向きに支持台に保持した状態で板状物の分割を行い、分割屑を自然落下させることで、分割後のチップ等への分割屑の付着を効果的に低減させるという技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、ＤＡＦ（Die  Attach  Film）と称されるフィルム状接着剤が裏面に貼着された板状物の分割において、エキスパンドシート及びフィルム状接着剤を十分に冷却することで、フィルム状接着剤の伸縮性を低下させて破断させやすくし、分割効率を向上させる技術が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−４１９６７号公報
【特許文献２】特開２０１６−４８３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
エキスパンドシートを拡張させて板状物やフィルム状接着剤の分割を行う分割装置では、エキスパンドシートの周縁部を保持した状態で、エキスパンドシートのうち板状物が貼着されている領域に対して押圧力を付与することによってエキスパンドシートを拡張させる。エキスパンドシートの拡張を行わせるために、モータ等を有する駆動機構を用いて押圧力を付与する。
【０００７】
しかし、エキスパンドシートや板状物やフィルム状接着剤を冷却させて分割を行う従来の分割装置は、冷却される空間を囲むハウジングの内部に、駆動機構を含む装置全体を配置するものであった。そのため、駆動機構を構成するモータ等が駆動する際の熱によってハウジング内の温度が上昇してしまい、十分な冷却がなされずに分割効率が低下するおそれがあった。また、分割の際にはハウジング内がマイナス１０℃以下まで冷却される場合が多く、こうした低温の環境下で用いることで駆動機構の動作不良や破損が生じやすくなり、安定した破断を行うことが難しいという問題もある。つまり、十分な分割効率を得られる冷却効果と、エキスパンドシートを拡張させる駆動機構の駆動性能とを両立させるようにハウジング内を温度管理することが難しかった。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、分割効率を高めるための冷却効果とエキスパンドシートを拡張させる駆動機構の性能確保とを両立させることが可能な分割装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、分割起点が形成された板状物と、板状物が貼着されるエキスパンドシートと、エキスパンドシートの外周が貼着される環状フレームとからなる板状物ユニットの板状物を分割起点に沿って分割する分割装置であって、エキスパンドシートに貼着された板状物が鉛直下向きに向いた状態で環状フレームを上面に保持するフレーム保持手段と、フレーム保持手段と板状物の外周縁との間でエキスパンドシートを上方から押圧して拡張して分割起点に沿って板状物を分割する押圧手段と、板状物にイオン化エアーを供給するイオン化エアー供給口を有したイオン化エアー供給手段と、少なくともフレーム保持手段と押圧手段とイオン化エアー供給口とを囲繞して分割室を画成するハウジングと、ハウジング内に冷気を供給する冷気供給手段と、ハウジング外に配設されたモータと該モータによって回転駆動されるボールねじと該ボールねじに螺合するナットを備えた可動部がハウジングを貫通してフレーム保持手段又は押圧手段に連結し、フレーム保持手段と押圧手段とを相対移動させてエキスパンドシートを拡張する拡張手段と、を備え、エキスパンドシートに貼着された板状物が鉛直下向きに向いた状態でフレーム保持手段に保持されること、を特徴とする。
【００１０】
本発明の分割装置によれば、フレーム保持手段と押圧手段とイオン化エアー供給口とを囲繞するハウジングの外部にモータを備えることにより、モータの駆動熱がハウジング内の分割室の冷却効果に影響を及ぼさず、その一方で、モータは分割室の冷却された環境による影響を受けずに動作できる。また、イオン化エアー供給口からイオン化エアーを供給することで、板状物の表面の帯電を防止して分割屑を付着しにくくすると共に、ハウジングの内圧を保って分割室への外気の流入を防いで冷却効果を維持させることができる。また、板状物を下向きにした状態で分割を行うことによって、板状物の表面への分割屑の付着防止効果をさらに高めることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、分割効率を高めるための冷却効果とエキスパンドシートを拡張させる駆動機構の性能確保とを両立させることが可能な分割装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施の形態に係る分割装置に板状物ユニットを載置した状態を示す断面図である。
【図２】本実施の形態に係る分割装置で板状物の分割を行っている状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本実施の形態に係る分割装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る分割装置に板状物ユニットを載置した状態を示しており、図２は、本実施の形態に係る分割装置によって板状物を分割している状態を示している。以下の説明では、鉛直上向きの方向を上方、鉛直下向きの方向を下方とする。なお、分割装置はこの構成に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内で適宜変更することが可能である。
【００１４】
図１に示す分割装置１は、板状物ユニット１０を構成する環状フレーム１１を保持し、環状フレーム１１が支持するエキスパンドシート１２を拡張させることによって板状物１３を分割させるものである。板状物ユニット１０においては、板状物１３が支持される側を表面、その反対側を裏面とする。
【００１５】
環状フレーム１１は金属で形成されており、環状フレーム１１の中央には、弾性変形可能なエキスパンドシート１２によって覆われる円形状の開口１４が形成されている。エキスパンドシート１２の外周部分が環状フレーム１１の裏面側に固定されており、環状フレーム１１と重ならない開口１４の内側領域で、エキスパンドシート１２が板状物１３の裏面に貼着されている。板状物１３の外周縁と環状フレーム１１の内周縁（開口１４の縁部）との間に径方向の隙間がある。
【００１６】
板状物１３の表面には格子状に交差する複数の分割予定ライン（図示略）が設けられており、分割予定ラインによって区画された各領域に各種デバイス（図示略）が形成されている。また、板状物１３の内部には、分割予定ラインに沿って分割起点となる改質層１５（図１参照）が形成されている。なお、改質層１５は、レーザーの照射によって板状物１３の内部の密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲と異なる状態となり、周囲よりも強度が低下する領域のことをいう。本実施の形態では、分割起点として改質層１５を例示するが、分割起点は、板状物１３の強度を低下させて分割時の起点になればよく、例えば、レーザー加工溝、切削溝、スクライブラインでもよい。
【００１７】
分割装置１は、ハウジング２０と、板状物ユニット１０の環状フレーム１１を下方から保持するフレーム保持手段３０と、フレーム保持手段３０を上下方向に移動させる駆動機構（拡張手段）４０と、フレーム保持手段３０の上方への移動によって板状物ユニット１０のエキスパンドシート１２を上方から押圧する押圧手段５０と、を備えている。
【００１８】
ハウジング２０は、内部に分割室２１を有する箱状体であり、水平方向に延びる上方壁２２及び下方壁２３と、上下方向に延びる側壁２４と、を備えている。断面図である図１及び図２では対向する一対の側壁２４のみを示しているが、側壁２４は分割室２１の側方を全体的に囲んでおり、上方壁２２と下方壁２３と側壁２４によって分割室２１を画成している。
【００１９】
ハウジング２０の下方壁２３には、上下に貫通する貫通部２５が形成されている。貫通部２５は、後述する駆動軸４５に対応して複数個設けられている。側壁２４にはイオン化エアー供給口２６が形成されており、ハウジング２０外に設けたイオン化エアー供給手段２７からイオン化エアー供給口２６を通じて分割室２１内にイオン化エアーを供給することができる。また、ハウジング２０外に設けた冷気供給手段２８によって冷気を供給して、分割室２１内を冷却することができる。さらに、分割室２１内への板状物ユニット１０の搬出入を可能にさせる板状物ユニット搬出入開口２９が側壁２４に形成されている。板状物ユニット搬出入開口２９は、分割室２１への板状物ユニット１０の搬入時と分割室２１からの板状物ユニット１０の搬出時以外は、蓋部材２９ａによって閉じられている。
【００２０】
フレーム保持手段３０は、板状物ユニット１０の環状フレーム１１を載置可能な上面３１と、環状フレーム１１の開口１４に対応する大きさの開口３２と、を備えている。図１に示すように、板状物ユニット１０をフレーム保持手段３０によって保持するときには、エキスパンドシート１２に貼着された板状物１３が鉛直下向きに向いた状態で、環状フレーム１１を上面３１に載せる。この状態で、板状物１３が環状フレーム１１の開口１４とフレーム保持手段３０の開口３２の内側に位置する。環状フレーム１１は、不図示のクランプ等によってフレーム保持手段３０に固定される。
【００２１】
駆動機構４０は、モータ４１と、モータ４１によって回転駆動されるボールねじ４２と、ボールねじ４２に螺合するナットを有する可動部４３と、を備えている。ボールねじ４２は上下方向に延びる軸線を中心として回転が可能である。可動部４３は、ボールねじ４２に螺合するナットから半径方向に延びるアーム４４と、アーム４４から上方に向けて突出する駆動軸４５とを有している。駆動軸４５がフレーム保持手段３０に連結して下方から支持する。可動部４３は、ボールねじ４２の軸線を中心とする回転が規制されている。そのため、モータ４１を駆動してボールねじ４２が回転すると、ボールねじ４２とナットの螺合関係によって可動部４３が上下方向に移動する。可動部４３に伴ってフレーム保持手段３０も上下方向に移動する。
【００２２】
駆動軸４５は複数個設けられており、それぞれの駆動軸４５がフレーム保持手段３０を支持する。駆動軸４５の数や配置は任意に設定可能であり、フレーム保持手段３０を安定して支持できる構成が選択される。例えば、平面視したフレーム保持手段３０の外形形状が略矩形である場合、フレーム保持手段３０の四隅を４つの駆動軸４５で支持することができる。
【００２３】
図１及び図２に示すように、フレーム保持手段３０はハウジング２０の分割室２１内に配置されている。その一方で、駆動機構４０は、モータ４１及びボールねじ４２の全体と可動部４３の大部分がハウジング２０の外側に位置している。より詳しくは、モータ４１とボールねじ４２と可動部４３のアーム４４が下方壁２３の下方に位置しており、各駆動軸４５が貫通部２５を通してハウジング２０内に挿入されてフレーム保持手段３０を支持している。各駆動軸４５の外面と各貫通部２５の内面との間には僅かな隙間（数ｍｍ程度）が設けられており、上下への駆動軸４５の移動をスムーズに行わせることができる。駆動軸４５は任意の断面形状に設定可能であり、駆動軸４５の断面形状に対応させて貫通部２５の開口形状が設定される。例えば、駆動軸４５が円形断面である場合には、貫通部２５を円形の開口形状にすることで、上述の隙間の精度管理を行いやすくなる。
【００２４】
押圧手段５０は、側壁２４に接続する支持部５１を介してハウジング２０内に保持される。押圧手段５０はハウジング２０に対して固定されており、上下への移動を行わない。押圧手段５０は板状物１３よりも大径で、且つ環状フレーム１１の開口１４やフレーム保持手段３０の開口３２よりも小径である。押圧手段５０の下面の外周縁には、全周に渡って複数のローラー５２が転動可能に設けられている。
【００２５】
なお、図１及び図２は、対向する一対の側壁２４の間を押圧手段５０と支持部５１が横断している位置の断面を示したものであるが、分割室２１の内部空間全体が押圧手段５０と支持部５１を挟んで上下に分断されているわけではなく、支持部５１には上下方向に貫通する部分が形成されている。そのため、上方壁２２側に接続している冷気供給手段２８から供給される冷気を分割室２１の内部全体に行き渡らせることができる。
【００２６】
以上のように構成した分割装置１によって板状物１３の分割を行う際には、図１に示すように、フレーム保持手段３０を押圧手段５０よりも下方の待機位置に位置させる。そして、板状物ユニット搬出入開口２９を通してハウジング２０内に板状物ユニット１０を搬入して、フレーム保持手段３０の上面３１に環状フレーム１１を保持させる。このとき、エキスパンドシート１２に貼着された板状物１３の表面を下向きにさせ、エキスパンドシート１２の裏面（板状物１３が貼着されている側と反対側の面）を上向きにさせる（図１参照）。板状物ユニット１０の搬入後に、板状物ユニット搬出入開口２９は蓋部材２９ａで閉じられて密閉される。
【００２７】
分割室２１内は冷気供給手段２８から常時冷気が供給されて冷却されており、フレーム保持手段３０に保持された板状物ユニット１０の板状物１３が分割室２１内で冷却される。冷却によって分割対象である板状物１３の伸縮性等の物性が変化し、後述する分割工程（エキスパンドシート１２の拡張段階）で分割させやすくなる。分割室２１内の冷却状態（温度）は、板状物１３の材質や種類に応じた最適な分割効率が得られるように予め設定されている。
【００２８】
また、イオン化エアー供給手段２７からイオン化エアー供給口２６を通じて分割室２１内にイオン化エアーを供給する。イオン化エアーは板状物１３に接触して帯電防止効果を発揮する。なお、分割室２１内の湿度を調整する手段を追加して、湿度調整によって帯電防止効果を高めることも可能である。
【００２９】
以上の準備が完了したら、モータ４１を駆動してボールねじ４２を回転させ、可動部４３を上方に移動させる。すると、駆動軸４５を介して支持されているフレーム保持手段３０が、可動部４３に伴って分割室２１内で待機位置（図１）から上方に移動する。フレーム保持手段３０が所定量上方に移動すると、エキスパンドシート１２の裏面（上方を向く面）が押圧手段５０に設けた複数のローラー５２に接触する。各ローラー５２がエキスパンドシート１２に接触する位置は、フレーム保持手段３０における開口３２の内縁部と板状物１３の外縁部との間の領域である。
【００３０】
さらにフレーム保持手段３０を上方へ移動させると、図２に示すように、環状フレーム１１がフレーム保持手段３０と共に上方へ移動するのに対して、エキスパンドシート１２のうち環状フレーム１１の内側に位置している領域は、押圧手段５０に押し付けられて上方への移動が制限される（押圧手段５０からの押圧力を受ける）。このフレーム保持手段３０と押圧手段５０の相対移動によって、エキスパンドシート１２における板状物１３の貼着領域が引っ張られて径方向に拡張される。すると、板状物１３に対して拡径方向への外力が働き、板状物１３内に形成した改質層１５（図１）を起点として、板状物１３の厚さ方向にクラックが生じる。クラックが板状物１３の表裏を貫くまで外力を付与することで、分割予定ラインに沿う個々のチップＣ（図２）に分割される。上述のように、冷却によって板状物１３の分割効率が向上しており、分割予定ラインに沿う確実な分割を行うことができる。
【００３１】
図２のように板状物１３の分割を行うと、分割予定ラインに沿って破断された部分から分割屑が発生する。板状物１３が鉛直下向きに設置されているため、分割屑は下方に自然落下し、分割後のチップＣ（図２）の表面やエキスパンドシート１２への分割屑の付着を防ぐことができる。また、イオン化エアー供給手段２７から供給されるイオン化エアーが板状物１３に接触して帯電防止効果を生ずることも、分割屑の付着防止に寄与する。落下した分割屑は、図示を省略する回収手段によって回収される。
【００３２】
板状物１３の分割が完了した後、モータ４１を駆動してボールねじ４２を回転させ、フレーム保持手段３０を図１の待機位置まで下降させる。そして、フレーム保持手段３０による環状フレーム１１の保持を解除して、板状物ユニット搬出入開口２９を通してハウジング２０内から板状物ユニット１０を搬出する。
【００３３】
以上の分割装置１では、板状物１３の分割加工に際してエキスパンドシート１２を拡張させる拡張手段を構成する駆動機構４０の要部（モータ４１、ボールねじ４２、駆動軸４５の上端付近を除く可動部４３の大部分）が、ハウジング２０の外側に配置されている。そのため、モータ４１の駆動によって発生する熱が分割室２１内の冷却に影響を及ぼすことがなく、確実な冷却効果を得ることができる。また、モータ４１やボールねじ４２が分割室２１内の低温環境下にさらされることがないため、駆動機構４０における動作不良や破損が生じにくい。特に、駆動機構４０はモータ４１とボールねじ４２を用いてフレーム保持手段３０に精密移動を行わせるものであり、低温環境での性能低下や強度劣化等が生じやすい精密な構造を有するため、ハウジング２０外に配置することにより性能維持に顕著な効果が得られる。なお、駆動機構４０のうち分割室２１内に挿入される駆動軸４５は、それ自体に精密な駆動部分を有さないシンプルなロッド状の部位であるため、低温環境下での性能の低下等の問題を生じない。
【００３４】
また、モータ４１等を内蔵しないことによってハウジング２０がコンパクトになり、分割室２１の容積が小さくなる。これにより、冷却時における冷気供給手段２８の負担が軽減され、電力消費を抑えることができる。また、短時間で分割室２１を冷却できるので、分割加工の準備段階に要する時間を短縮できる。
【００３５】
ハウジング２０の下方壁２３には駆動軸４５を挿通させるための貫通部２５が形成されており、貫通部２５と駆動軸４５との間に上述した隙間が存在している。分割装置１で分割加工を行う際に、イオン化エアー供給手段２７から分割室２１内にイオン化エアーを供給すると、分割室２１の内圧が上昇し、貫通部２５と駆動軸４５との間の隙間を通してハウジング２０の内部から外部へ向かう空気の流れが生じる。すなわち、分割室２１内が正圧状態になるため、ハウジング２０の外部から分割室２１内への外気の流入が生じない。これにより、暖かい外気の流入を原因とする分割室２１内の温度上昇を防ぐことができる。また、外部からハウジング２０内への埃等の異物の進入を防ぐ効果も得られる。
【００３６】
別言すれば、貫通部２５と駆動軸４５との間の隙間を、単なる駆動時の機械的干渉防止用のクリアランスとして存在させるだけではなく、外気へのリーク用の開口部（ハウジング２０の内圧調整用の流路）として流用させている。これにより、ハウジング２０に別途リーク用の開口部を形成する必要がなくなる。但し、この隙間が大きすぎると分割室２１内に外気が流入する負圧状態になってしまうため、上記の隙間から外気への単位時間あたりの空気の流出量が、分割室２１内への単位時間あたりのイオン化エアーの供給量を超えないように設定する。逆に、隙間が小さすぎて空気の流通が滞る場合は、ハウジング２０への駆動軸４５の挿入量が大きくなるにつれて分割室２１内の空気が圧縮されて移動抵抗が加わるおそれがあるため、内圧を適度に逃がす必要がある。そのため、貫通部２５と駆動軸４５との間の隙間は、分割室２１内を正圧に保ちつつ内圧を適度に調整可能なように最適化される。この設定は、貫通部２５と駆動軸４５の断面形状によって任意に変更することができる。例えば、貫通部２５の内面と駆動軸４５の外面の間隔が、機械的干渉が生じない範囲で最も小さく（空気の流通量が少なくなるように）設定されている場合でも、貫通部２５の内面や駆動軸４５の外面に溝状部を追加形成することで、空気流通量を増大させることができる。
【００３７】
本実施の形態では、環状フレーム１１を保持するフレーム保持手段３０を上下に移動させるタイプの分割装置１を例示したが、これとは逆に、押圧手段５０を上下に移動させるタイプの分割装置としても適用が可能である。具体的には、フレーム保持手段３０をハウジング２０内に固定的に支持し、押圧手段５０を支持部５１に代えて駆動軸４５で支持するように構成を変更すればよい。この変形例では、モータ４１を駆動して駆動軸４５を下方に移動させると、押圧手段５０が下方に移動してローラー５２がエキスパンドシート１２の裏面に当接する。そして、押圧手段５０をさらに下方に移動させると、図２と同様にエキスパンドシート１２が拡張されて板状物１３が分割される状態になる。すなわち本発明は、分割加工時にフレーム保持手段と押圧手段が相対移動する関係であれば、そのいずれを駆動させるものであってもよい。
【００３８】
また、本実施の形態では、駆動機構４０によってフレーム保持手段３０を上下方向にのみ移動させているが、駆動の形態はこれに限られるものではない。例えば、エキスパンドシート１２を拡張させるための上下の移動に加えて、水平方向への振動をフレーム保持手段３０に与えるような駆動機構に適用することも可能である。エキスパンドシート１２の拡張により板状物１３の分割を行った後に、フレーム保持手段３０が水平方向へ振動することで、分割屑を積極的に振り落とすことができる。水平方向への振動を行わせる駆動手段についても、モータ４１と同様にハウジング２０の外側に配置することによって、上述した効果を得ることができる。
【００３９】
本実施の形態の分割装置１による分割加工対象の板状物１３として、例えば、半導体デバイスウェーハ、光デバイスウェーハ、パッケージ基板、半導体基板、無機材料基板、酸化物ウェーハ等の各種ワークが用いられてもよい。半導体デバイスウェーハとしては、デバイス形成後のシリコンウェーハや化合物半導体ウェーハが用いられてもよい。光デバイスウェーハとしては、デバイス形成後のサファイアウェーハやシリコンカーバイドウェーハが用いられてもよい。また、パッケージ基板としてはＣＳＰ（Chip  Size  Package）基板、半導体基板としてはシリコンやガリウム砒素等、無機材料基板としてはサファイア、セラミックス、ガラス等が用いられてもよい。さらに、酸化物ウェーハとしては、デバイス形成後又はデバイス形成前のリチウムタンタレート、リチウムナイオベートが用いられてもよい。また、表面に各種デバイスが形成されたものに限らず、デバイスが形成されていない状態の各種ワークの分割に用いることができる。
【００４０】
また、板状物を分割して得られる個々のチップの裏面に貼着されているＤＡＦ（Die  Attach  Film）のようなフィルム状接着剤を、分割の対象とすることも可能である。つまり、本実施の形態における板状物１３は、フィルム状接着剤を含み得るものであって、ウェーハ等に限定されるものではない。フィルム状接着剤は、冷却により硬化（伸縮性が低下）して顕著な分割効率の向上効果を得ることができるため、本発明が特に有用となる。なお、フィルム状接着剤は、板状物を個々のチップに分割する際に板状物と共に分割してもよいし、個々のチップに分割した後でフィルム状接着剤のみを分割させてもよい。
【００４１】
本発明を適用した分割装置は、単独で用いることも可能であるし、複数の加工ユニットを自由に組み合わせて構成されるクラスターモジュールシステムの一部として用いることも可能である。
【００４２】
また、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
【００４３】
また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
以上説明したように、本発明は、冷却により分割効率を高めながらエキスパンドシートを拡張させて板状物を分割させる分割装置において、モータを有する駆動機構が発する熱によるハウジング内の温度上昇を防ぐと共に、ハウジング内の低温環境が駆動機構の性能や耐久性に影響を及ぼさないという効果を有し、生産性の向上や精度の高い分割加工が求められる分割装置に有用である。
【符号の説明】
【００４５】
１      分割装置
１０    板状物ユニット
１１    環状フレーム
１２    エキスパンドシート
１３    板状物
１４    開口
１５    改質層
２０    ハウジング
２１    分割室
２２    上方壁
２３    下方壁
２４    側壁
２５    貫通部
２６    イオン化エアー供給口
２７    イオン化エアー供給手段
２８    冷気供給手段
３０    フレーム保持手段
３１    上面
３２    開口
４０    駆動機構（拡張手段）
４１    モータ
４２    ボールねじ
４３    可動部
４４    アーム
４５    駆動軸
５０    押圧手段
５１    支持部
５２    ローラー
Ｃ      チップ
【図１】
2018181921.tif 000003
【図２】
2018181921.tif 000004