(57)【要約】【課題】電気コネクターに接続するデバイスの接続端子に対して、電気コネクターの導電部材から過剰な力が加えられることがなく、耐熱性に優れ、安定した接続を可能とする電気コネクターおよびその製造方法を提供する。【解決手段】第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続する電気コネクター１０であって、厚み方向に多数の貫通孔２１を有する弾性体２０と、貫通孔２１に接合され、第一デバイスの接続端子と第二デバイスの接続端子とを電気的に接続する導電部材３０と、を有する複合体４０を備え、導電部材３０は、導電材料と、導電材料を分散する弾性材料と、を含む電気コネクター１０。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続する電気コネクターであって、
厚み方向に多数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続する導電部材と、を有する複合体を備え、
前記導電部材は、導電材料と、該導電材料を分散する弾性材料と、を含むことを特徴とする電気コネクター。
【請求項２】
前記導電材料は、カーボンナノチューブであることを特徴とする請求項１に記載の電気コネクター。
【請求項３】
前記カーボンナノチューブは、前記導電部材の延在する方向に配向していることを特徴とする請求項２に記載の電気コネクター。
【請求項４】
前記貫通孔は、前記弾性体の厚み方向に対して斜めに貫通することを特徴とする１〜３のいずれか１項に記載の電気コネクター。
【請求項５】
前記複合体は、前記弾性体の少なくとも一方の主面側において、前記弾性体の厚み方向に突出する突出部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の電気コネクター。
【請求項６】
前記弾性体の少なくとも一方の主面側において、前記複合体における、前記突出部よりも厚みが薄い領域に樹脂製のシート状部材が積層されていることを特徴とする請求項５に記載の電気コネクター。
【請求項７】
任意の間隔で並列に配置された多数の溝を有する弾性体を形成し、前記溝に、導電材料と、該導電材料を分散する弾性材料と、を含む導電材料含有組成物を充填し、該導電材料含有組成物を硬化して導電部材を形成し、導電部材含有シートを形成する工程と、
前記導電部材含有シートの複数枚を、前記導電部材の向きを揃えて積層し、導電部材含有シート積層体を形成する工程と、
前記導電部材含有シート積層体を、前記導電部材の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断して、電気コネクターを得る工程と、を有することを特徴とする電気コネクターの製造方法。
【請求項８】
シート状の弾性体上に、導電材料と、該導電材料を分散する弾性材料と、を含む導電材料含有組成物を塗布し、該導電材料含有組成物を硬化して導電層を形成し、導電層含有シートを形成する工程と、
前記導電層含有シートの複数枚を積層し、導電層含有シート積層体を形成する工程と、
前記導電層含有シート積層体を、前記導電層の厚み方向に切断し、前記導電材料含有組成物の硬化物からなる導電部材を含む、導電部材含有シートを形成する工程と、
前記導電部材含有シートの複数枚を、前記シート状の弾性体を介して、前記導電部材の向きを揃えて積層し、導電部材含有シート積層体を形成する工程と、
前記導電部材含有シート積層体を、前記導電部材の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断して、電気コネクターを得る工程と、を有することを特徴とする電気コネクターの製造方法。
【請求項９】
前記導電材料は、カーボンナノチューブであることを特徴とする請求項７または８に記載の電気コネクターの製造方法。
【請求項１０】
前記導電部材含有シート積層体を切断する工程で得た前記電気コネクターの少なくとも前記弾性体の一方の主面側から、前記弾性体および前記導電材料からなる複合体の一部を厚み方向に除去し、前記複合体に、前記弾性体の厚み方向に突出する突出部を形成する工程を有することを特徴とする請求項７〜９のいずれか１項に記載の電気コネクターの製造方法。
【請求項１１】
前記突出部を形成する工程の後に、前記弾性体の少なくとも一方の主面側において、前記複合体の前記一部を除去した領域に樹脂製のシート状部材を積層する工程を有することを特徴とする請求項１０に記載の電気コネクターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気コネクターおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面実装型の半導体パッケージと回路基板の検査を行う場合、または表面実装型の半導体パッケージと回路基板を接続する場合には、圧接型のコネクターが用いられている。
このようなコネクターとしては、例えば、複数の導電線（導電部材）の向きを揃えて互いに絶縁を保って配線された複数のシートが、導電線の向きを一定にして積層され、得られた積層物の複数枚が、導電線の向きを揃えて、一定の角度で階段状に配列積層一体化してブロック体とされ、得られたブロック体がスライス用基板面に接着され、その基板面に平行にかつ導電線を横切る平行な２面で切断されてなる圧接型コネクター（例えば、特許文献１参照）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第２７８７０３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されている圧接型コネクターは、デバイスの接続端子と接続する際に、その接続端子に対して、圧接型コネクターの導電部材から過剰な力が加えられるという課題があった。また、この圧接型コネクターは、耐熱性が十分ではなく、デバイスの接続端子に対して安定に接続することが難しいという課題があった。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、電気コネクターに接続するデバイスの接続端子に対して、電気コネクターの導電部材から過剰な力が加えられることがなく、耐熱性に優れ、安定した接続を可能とする電気コネクターおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続する電気コネクターであって、厚み方向に多数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続する導電部材と、を有する複合体を備え、前記導電部材は、導電材料と、該導電材料を分散する弾性材料と、を含む電気コネクター。
［２］前記導電材料は、カーボンナノチューブである［１］に記載の電気コネクター。
［３］前記カーボンナノチューブは、前記導電部材の延在する方向に配向している［２］に記載の電気コネクター。
［４］前記貫通孔は、前記弾性体の厚み方向に対して斜めに貫通する［１］〜［３］のいずれかに記載の電気コネクター。
［５］前記複合体は、前記弾性体の少なくとも一方の主面側において、前記弾性体の厚み方向に突出する突出部を有する［１］〜［４］のいずれかに記載の電気コネクター。
［６］前記弾性体の少なくとも一方の主面側において、前記複合体における、前記突出部よりも厚みが薄い領域に樹脂製のシート状部材が積層されている［５］に記載の電気コネクター。
［７］任意の間隔で並列に配置された多数の溝を有する弾性体を形成し、前記溝に、導電材料と、該導電材料を分散する弾性材料と、を含む導電材料含有組成物を充填し、該導電材料含有組成物を硬化して導電部材を形成し、導電部材含有シートを形成する工程と、前記導電部材含有シートの複数枚を、前記導電部材の向きを揃えて積層し、導電部材含有シート積層体を形成する工程と、前記導電部材含有シート積層体を、前記導電部材の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断して、電気コネクターを得る工程と、を有する電気コネクターの製造方法。
［８］シート状の弾性体上に、導電材料と、該導電材料を分散する弾性材料と、を含む導電材料含有組成物を塗布し、該導電材料含有組成物を硬化して導電層を形成し、導電層含有シートを形成する工程と、前記導電層含有シートの複数枚を積層し、導電層含有シート積層体を形成する工程と、前記導電層含有シート積層体を、前記導電層の厚み方向に切断し、前記導電材料含有組成物の硬化物からなる導電部材を含む、導電部材含有シートを形成する工程と、前記導電部材含有シートの複数枚を、前記導電部材の向きを揃えて積層し、前記シート状の弾性体を介して、導電部材含有シート積層体を形成する工程と、前記導電部材含有シート積層体を、前記導電部材の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断して、電気コネクターを得る工程と、を有することを特徴とする電気コネクターの製造方法。
［９］前記導電材料は、カーボンナノチューブである［７］または［８］に記載の電気コネクターの製造方法。
［１０］前記導電部材含有シート積層体を切断する工程で得た前記電気コネクターの少なくとも前記弾性体の一方の主面側から、前記弾性体および前記導電材料からなる複合体の一部を厚み方向に除去し、前記複合体に、前記弾性体の厚み方向に突出する突出部を形成する工程を有する［７］〜［９］のいずれかに記載の電気コネクターの製造方法。
［１１］前記突出部を形成する工程の後に、前記弾性体の少なくとも一方の主面側において、前記複合体の前記一部を除去した領域に樹脂製のシート状部材を積層する工程を有する［１０］に記載の電気コネクターの製造方法。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、電気コネクターに接続するデバイスの接続端子に対して、電気コネクターの導電部材から過剰な力が加えられることがなく、耐熱性に優れ、安定した接続を可能とする電気コネクターおよびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施形態の電気コネクターの概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）における領域αの拡大図、（ｃ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図２】第１の実施形態の電気コネクターの第１の製造方法の概略を示す斜視図である。
【図３】第１の実施形態の電気コネクターの第２の製造方法の概略を示す斜視図である。
【図４】第１の実施形態の電気コネクターの第２の製造方法の概略を示す斜視図である。
【図５】第２の実施形態の電気コネクターの概略構成を示す断面図である。
【図６】第２の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。
【図７】第３の実施形態の電気コネクターの概略構成を示す断面図である。
【図８】第３の実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の電気コネクターおよびその製造方法の実施の形態について説明する。
なお、本実施の形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
【００１０】
（第１の実施形態）
［電気コネクター］
図１は、本実施形態の電気コネクターの概略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）における領域αの拡大図、（ｃ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図１に示すように、本実施形態の電気コネクター１０は、弾性体２０と、導電部材３０と、を有する複合体４０を備える。
電気コネクター１０は、図示略の第一デバイスの接続端子と、図示略の第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続するためのものである。電気コネクター１０において、導電部材３０は、第一デバイスの接続端子と第二デバイスの接続端子の電気的接続を行う部材である。デバイスとしては、例えば、半導体パッケージや回路基板が挙げられる。
【００１１】
弾性体２０は、その厚み方向に貫通する多数の貫通孔２１を有する。この貫通孔２１に導電部材３０が接合されている。
【００１２】
弾性体２０（複合体４０）における導電部材３０を設ける位置、すなわち、弾性体２０における貫通孔２１の配置は、特に限定されず、電気コネクター１０（詳細には、貫通孔２１に接合された導電部材３０）によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置等に応じて適宜調整される。複合体４０が均一に変形する（撓む）ようにするためには、弾性体２０において、導電部材３０（貫通孔２１）が等間隔に設けられていることが好ましい。
【００１３】
弾性体２０（複合体４０）における導電部材３０の数、すなわち、弾性体２０における貫通孔２１の数は、特に限定されず、電気コネクター１０（詳細には、貫通孔２１に接合された導電部材３０）によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置や、必要とされる接続端子に対する導電部材３０の押圧力等に応じて適宜調整される。
【００１４】
貫通孔２１は、弾性体２０を、その厚み方向に対して垂直または斜めに貫通する。
貫通孔２１が、弾性体２０を、その厚み方向に対して斜めに貫通する場合、貫通孔２１の弾性体２０の厚み方向に対する角度は、１０°〜８５°であることが好ましい。貫通孔２１の弾性体２０の厚み方向に対する角度は、電気コネクター１０（詳細には、貫通孔２１に接合された導電部材３０）によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置等に応じて適宜調整される。
【００１５】
貫通孔２１の形状、すなわち、貫通孔２１の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、貫通孔２１に接合する導電部材３０の長手方向の断面の形状において適宜調整される。貫通孔２１の形状としては、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、五角形以上の多角形、蒲鉾形、三日月形等が挙げられる。
【００１６】
貫通孔２１の孔径は、特に限定されず、貫通孔２１に接合される導電部材３０の直径（外径）に応じて適宜調整される。貫通孔２１の孔径は、５μｍ〜１９５μｍであることが好ましく、１０μｍ〜１００μｍであることがより好ましい。
【００１７】
弾性体２０の厚みは、０．０３ｍｍ〜１．０ｍｍであることが好ましい。なお、複合体４０の厚みは、弾性体２０の厚みに等しい。
【００１８】
導電部材３０は、弾性体２０の貫通孔２１に接合されている。これにより、導電部材３０は、弾性体２０を、その厚み方向に対して垂直または斜めに貫通するように配置されている。
【００１９】
隣接する２つの導電部材３０間の間隔、すなわち、隣接する２つの導電部材３０の中心間距離（ピッチ）は、特に限定されず、電気コネクター１０によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置等に応じて適宜調整される。隣接する２つの導電部材３０の中心間距離（図１（ｂ）におけるＰ１、Ｐ２）は、１５μｍ〜２００μｍであることが好ましい。なお、隣接する２つの導電部材３０の中心間距離は、隣接する２つの貫通孔２１の中心間距離に相当する。
【００２０】
導電部材３０の形状、すなわち、導電部材３０の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、五角形以上の多角形、蒲鉾形、三日月形等が挙げられる。
【００２１】
導電部材３０の直径（外径）は、特に限定されないが、５μｍ〜１９５μｍであることが好ましい。
【００２２】
弾性体２０の材質としては、弾性体２０とした場合に弾性を有するものであれば特に限定されないが、例えば、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、シリコーンゴム、クロロプレンゴム、エチレン−クロロプレンゴム、エチレン−プロピレン−ジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ウレタンゴム等の合成ゴム等が挙げられる。これらの中でも、高弾性で耐熱性に優れる点から、シリコーンゴムが好ましい。
【００２３】
導電部材３０は、導電材料と、導電材料を分散する弾性材料と、を含む複合部材である。
【００２４】
導電部材３０に含まれる導電材料としては、移動可能な電荷を含み、電気を通しやすい材料、すなわち導電率の高い材料であれば特に限定されない。
本実施形態の電気コネクターでは、導電材料としては、長尺状で高アスペクト比の構造を有するカーンボンナノチューブ（以下、「ＣＮＴ」と略す。）、カーボンナノバット、カーボンナノホーンの他に、銅、銀、金等からなる金属ナノワイヤが好ましい。
【００２５】
カーンボンナノチューブ（Ｃａｒｂｏｎ  Ｎａｎｏｔｕｂｅ、ＣＮＴ）は、単層カーンボンナノチューブ（Ｓｉｎｇｌｅ  Ｗａｌｌ  Ｃａｒｂｏｎ  Ｎａｎｏｔｕｂｅ、ＳＷＣＮＴ）であってもよく、多層カーンボンナノチューブ（Ｍｕｌｔｉ−Ｗａｌｌｅｄ  Ｃａｒｂｏｎ  Ｎａｎｏｔｕｂｅ、ＭＷＮＴ）であってもよい。
【００２６】
ＣＮＴの直径（外径）は、特に限定されないが、１ｎｍ〜５００ｎｍであることが好ましい。ＣＮＴの長さは、特に限定されないが、５０μｍ〜１ｍｍであることが好ましい。
【００２７】
なお、単層カーンボンナノチューブは導電性が高いため、電気コネクター１０を高周波電流用途のデバイス同士の接続に用いる場合、ＣＮＴは、単層カーンボンナノチューブから構成されることが好ましい。
【００２８】
カーンボンナノチューブの特徴としては、主に、下記の（１）〜（６）が挙げられる。
（１）細く、軽く、強い。
（２）アルミニウムの約半分の軽さで、鋼鉄の１００倍の引っ張り強さを有し、硬度がダイヤモンドの約２倍である。
（３）破断し難く、復元性に優れ、柔軟性に富んでいる。
（４）銅の約１０００倍という高い電流密度耐性（高密度な電荷量に構造的に耐えられる性質）を有する。
（５）銅の約１０倍の熱を伝えることが可能であり、空気中で７５０℃程度、真空中で２３００℃程度の耐熱性を有する。
（６）耐薬品性に優れ、化学的に安定であり、ほとんどの薬品に反応せず非可溶であり、熱硫酸にも不溶である。
【００２９】
導電部材３０に含まれる弾性材料としては、導電部材３０とした場合に弾性を有するものであれば特に限定されないが、例えば、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、シリコーンゴム、クロロプレンゴム、エチレン−クロロプレンゴム、エチレン−プロピレン−ジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ウレタンゴム等の合成ゴム等が挙げられる。これらの中でも、高弾性で耐熱性に優れる点から、シリコーンゴムが好ましい。
【００３０】
このような構成の導電部材３０は、ＣＮＴと弾性材料に由来する柔軟性に富んでいる。
【００３１】
また、ＣＮＴは、導電部材３０内において、導電部材３０の延在する方向に配向していることが好ましい。導電部材３０の延在する方向とは、例えば、図１においては、弾性体２０の厚み方向である。ＣＮＴが導電部材３０の延在する方向に配向することにより、ＣＮＴによってその方向に導通路が形成される。そのため、導電部材３０は、その延在する方向において抵抗が低く（導電率が高く）なる。
【００３２】
本実施形態の電気コネクター１０によれば、厚み方向に多数の貫通孔２１を有する弾性体２０と、貫通孔２１に接合され、２つのデバイスの接続端子を電気的に接続する導電部材３０と、を有する複合体４０を備え、導電部材３０は、導電材料と、導電材料を分散する弾性材料と、を含む。そのため、より小さな力で、弾性体２０と、柔軟性に富む導電部材３０とを有する複合体４０が、弾性体２０の厚み方向に変形する（撓む）。これにより、電気コネクター１０に接続するデバイスの接続端子と導電部材３０との接続時に、デバイスの接続端子に対して導電部材３０から過剰な力が加えられることがなく、その接続端子が損傷することを防止できる。また、本実施形態の電気コネクター１０によれば、導電部材３０は耐熱性を有するため、高温の環境においても、導電部材３０を介して、２つのデバイスの接続端子を安定に電気的に接続することができる。
【００３３】
また、本実施形態の電気コネクター１０において、導電部材３０の表面にメッキ層が形成されていてもよい。メッキ層の材質は、特に限定されず、例えば、金、ニッケル、錫、銅等が挙げられる。
【００３４】
導電部材３０の表面にメッキ層を形成する方法としては、例えば、電解メッキ、無電解メッキ等が用いられる。
【００３５】
導電部材３０の表面にメッキ層が形成されていれば、導電部材３０の表面における抵抗を低くすることができる。また、電気コネクター１００を高周波電流用途のデバイス同士の接続に用いる場合、導電部材３０の表面に形成されたメッキ層に高周波電流が流れやすくなる。
【００３６】
［電気コネクターの製造方法］
「第１の製造方法」
本実施形態の電気コネクターの製造方法は、任意の間隔で並列に形成された多数の溝を有する弾性体を形成し、その溝に、導電材料と、導電材料を分散する弾性材料と、を含む導電材料含有組成物を充填し、その導電材料含有組成物を硬化して導電部材を形成し、導電部材含有シートを形成する工程（以下、「工程Ａ１」と言う。）と、導電部材含有シートの複数枚を、導電部材の向きを揃えて積層し、導電部材含有シート積層体を形成する工程（以下、「工程Ｂ１」と言う。）と、導電部材含有シート積層体を、導電部材の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断して、電気コネクターを得る工程（以下、「工程Ｃ１」と言う。）と、を有する。なお、工程Ａ１は、後述する工程Ａ１−１と工程Ａ１−２とからなる。
【００３７】
以下、図２（ａ）〜図２（ｄ）を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。
図２（ａ）〜図２（ｄ）は、本実施形態の電気コネクターの第１の製造方法の概略を示す斜視図である。なお、図２において、図１に示した本実施形態における電気コネクターと同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００３８】
図２（ａ）に示すように、基材５００上に、任意の間隔で並列に配置された多数の溝６１０を有する弾性体６００を形成する（工程Ａ１−１）。
工程Ａ１−１では、インプリント金型等を用いて、溝６１０を有する弾性体６００を形成する。
また、図２（ａ）に示すように、多数の溝６１０は、基材５００の長手方向と垂直な方向に延在するように配置されている。
【００３９】
基材５００としては、導電部材含有シート積層体を形成した後、導電部材含有シート積層体から容易に剥離できるものが用いられる。基材５００の材質としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等が挙げられる。
【００４０】
弾性体６００の材質としては、弾性体２０の材質と同様のものが挙げられる。
【００４１】
弾性体６００の厚みは、特に限定されないが、１５μｍ〜２００μｍであることが好ましい。また、溝６１０における弾性体６００の厚み方向の深さは、特に限定されず、溝６１０内に形成される導電部材３０の直径（外径）に応じて適宜調整される。溝６１０における弾性体６００の厚み方向の深さは、５μｍ〜１９０μｍであることが好ましい。また、溝６１０の幅は、溝６１０の深さ以上であることが好ましい。このようにすれば、溝６１０内に、後述する導電材料含有組成物７００を充填し易くなる。
【００４２】
溝６１０の形状、すなわち、溝６１０の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、溝６１０内に形成される導電部材３０の長手方向の断面の形状において適宜調整される。溝６１０の形状としては、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、五角形以上の多角形、蒲鉾形、三日月形等が挙げられる。
【００４３】
次いで、図２（ｂ）に示すように、弾性体６００の多数の溝６１０に、上記の導電材料と、上記の弾性材料と、を含む導電材料含有組成物７００を充填し、その導電材料含有組成物７００を加熱、加湿または光照射等により硬化（乾燥）して導電部材３０を形成し、導電部材含有シート８００を形成する（工程Ａ１−２）。
【００４４】
導電材料含有組成物７００は、導電材料と、弾性材料と、これらを溶解または分散する分散媒と、を含む液状物であり、ペースト状であることが好ましい。
【００４５】
分散媒としては、上記の導電材料と弾性材料を溶解または分散することができるものであれば特に限定されないが、例えば、水、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、イソプロパノール（ＩＰＡ）、エタノール、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、シクロヘキサノン、エチレングリコール、炭酸ジメチル（ＤＭＣ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、液状シリコーン等が挙げられる。
【００４６】
導電材料としてＣＮＴを用いた場合、弾性体６００の多数の溝６１０に、導電材料含有組成物７００を充填するには、ディスペンサー等の液体吐出装置を用いることが好ましい。液体吐出装置を用いれば、その装置のシリンジの先端から導電材料含有組成物７００が吐出する際に、ＣＮＴの向きが規制されるため、結果として、溝６１０に、ＣＮＴを配向させて充填することができる。
【００４７】
次いで、図２（ｃ）に示すように、導電部材含有シート８００の複数枚を、互いに導電部材３０の向きを揃えて積層し、導電部材含有シート積層体９００を形成する（工程Ｂ１）。
なお、工程Ｂ１において、導電部材３０の向きを揃えるだけでなく、導電部材３０の配置も揃えて、導電部材含有シート８００の複数枚を積層することが好ましい。
工程Ｂ１において、導電部材３０の配置を揃えるとは、導電部材含有シート積層体９００を、その主面９００ａから見た場合に、複数枚の導電部材含有シート８００のそれぞれに含まれる導電部材３０同士が重なり合うようにすることである。なお、図２（ｃ）では、全ての導電部材３０が重なり合っている場合を例示したが、一部の導電部材３０は重なっていなくてもよい。
【００４８】
工程Ｂ１において、導電部材含有シート８００を、その厚み方向に積層する場合、最も下の層をなす導電部材含有シート８００を除いて、導電部材含有シート８００から基材５００を剥離する。
【００４９】
導電部材含有シート８００を積層するには、接着剤を用いてもよく、導電部材含有シート８００同士を表面処理により活性化させて化学結合してもよい。
接着剤を用いる場合、弾性体６００と材質が同じものを用いることが好ましい。
【００５０】
次いで、図２（ｄ）に示すように、導電部材含有シート積層体９００を、所定の厚みとなるように、導電部材３０の延在する方向に対して垂直方向に切断し、図１に示す電気コネクター１０を得る（工程Ｃ１）。
【００５１】
工程Ｃ１において、導電部材含有シート積層体９００を切断する方法としては、例えば、レーザー加工、切削等の機械的加工等が用いられる。
【００５２】
以上の工程Ａ１〜工程Ｃ１の後、導電部材含有シート積層体９００から基材５００を剥離すると、図１に示す電気コネクター１０が得られる。
【００５３】
なお、本実施形態では、導電部材含有シート積層体９００を、導電部材３０の延在する方向に対して垂直方向に切断する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。本発明にあっては、工程Ｃ１において、導電部材含有シート積層体を、導電部材の延在する方向に対して斜め方向に切断してもよい。
【００５４】
本実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、電気コネクター１０に接続するデバイスの接続端子に対して導電部材３０から過剰な力が加えられることがなく、また、耐熱性に優れ、デバイスの接続端子に対して安定した接続を可能とする電気コネクター１０が得られる。
【００５５】
なお、本実施形態では、弾性体６００に形成された多数の溝６１０に、導電材料含有組成物７００を充填し、その導電材料含有組成物７００を硬化（乾燥）して導電部材３０を形成する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。本発明にあっては、平面状（溝を有さない）弾性体の表面に、ディスペンサーや印刷等で直線状に導電材料含有組成物を塗布して、その導電材料含有組成物を硬化（乾燥）して導電部材を形成してもよい。
【００５６】
「第２の製造方法」
本実施形態の電気コネクターの製造方法は、シート状の弾性体上に、導電材料と、導電材料を分散する弾性材料と、を含む導電材料含有組成物を塗布し、その導電材料含有組成物を硬化して導電層を形成し、導電層含有シートを形成する工程（以下、「工程Ａ２」と言う。）と、導電層含有シートの複数枚を積層し、導電層含有シート積層体を形成する工程（以下、「工程Ｂ２」と言う。）と、導電層含有シート積層体を、導電層の厚み方向に切断し、導電材料含有組成物の硬化物からなる導電部材を含む、導電部材含有シートを形成する工程（以下、「工程Ｃ２」と言う。）と、導電部材含有シートの複数枚を、シート状の弾性体を介して、導電部材の向きを揃えて積層し、導電部材含有シート積層体を形成する工程（以下、「工程Ｄ２」と言う。）と、導電部材含有シート積層体を、導電部材の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断して、電気コネクターを得る工程（以下、「工程Ｅ２」と言う。）と、を有する。なお、工程Ａ２は、後述する工程Ａ２−１と工程Ａ２−２とからなる。
【００５７】
以下、図３（ａ）〜図３（ｃ）および図４（ａ）〜図４（ｃ）を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。
図３（ａ）〜図３（ｃ）および図４（ａ）〜図４（ｃ）は、本実施形態の電気コネクターの第２の製造方法の概略を示す斜視図である。なお、図３および図４において、図１に示した本実施形態における電気コネクターと同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００５８】
図３（ａ）に示すように、基材１０００の一方の主面の全面上に、シート状の弾性体１１００を形成する（工程Ａ２−１）。
【００５９】
基材１０００としては、上記の基材５００と同様のものが用いられる。
【００６０】
弾性体１１００の材質としては、弾性体２０の材質と同様のものが挙げられる。
基材１０００上に弾性体１１００を形成する方法としては、例えば、上記の材料からなるシート状またはフィルム状の部材を基材１０００上に貼着するか、あるいは、上記の材料を有機溶媒に溶解してなる溶液を基材１０００上に塗布し、乾燥して塗膜を形成する方法が挙げられる。基材１０００上にシート状またはフィルム状の部材を貼着する場合には、接着剤を用いてもよく、その部材を基材１０００上に表面処理により活性化させて化学結合してもよい。
【００６１】
弾性体１１００の厚みは、特に限定されないが、５μｍ〜１９０μｍであることが好ましい。
【００６２】
次いで、図３（ｂ）に示すように、弾性体１１００の一方の主面１１００ａ上に、上記の導電材料と、上記の弾性材料と、を含む導電材料含有組成物１２００を塗布し、その導電材料含有組成物１２００を硬化（乾燥）して導電層１３００を形成し、導電層含有シート１４００を形成する（工程Ａ−２）。
この工程Ａ−２では、導電材料含有組成物１２００を塗布する方向に沿って、導電材料含有組成物１２００に含まれる導電材料（カーボンナノチューブ）を配向させることができる。
【００６３】
導電材料含有組成物１２００は、上記の導電材料含有組成物７００と同様のものが用いられる。
【００６４】
導電層１３００の厚みは、特に限定されないが、１０μｍ〜１９５μｍであることが好ましい。
【００６５】
次いで、図３（ｃ）に示すように、導電層含有シート１４００の複数枚を積層し、導電層含有シート積層体１５００を形成する（工程Ｂ２）。
【００６６】
工程Ｂ２において、導電層含有シート１４００を、その厚み方向に積層する場合、最も下の層をなす導電層含有シート１４００を除いて、導電層含有シート１４００から基材１０００を剥離する。
【００６７】
導電層含有シート１４００を積層するには、接着剤を用いてもよく、導電層含有シート１４００同士を溶着してもよい。
接着剤を用いる場合、弾性体１１００と材質が同じものを用いることが好ましい。
【００６８】
工程Ｂ２では、図３（ｃ）に示すように、導電層含有シート積層体１５００の最上部にある導電層含有シート１４００上に、上述と同様にして、シート状の弾性体１１００を形成する。
【００６９】
次いで、図４（ａ）に示すように、導電層含有シート積層体１５００を、導電層１３００の厚み方向に切断し、導電材料含有組成物１２００の硬化物からなる導電部材３０を含む、導電部材含有シート１６００を形成する（工程Ｃ２）。
【００７０】
次いで、図４（ｂ）に示すように、導電部材含有シート１６００の複数枚を、シート状の弾性体を介して互いに導電部材３０の向きを揃えて積層し、導電部材含有シート積層体１７００を形成する（工程Ｄ２）。
なお、工程Ｄ２において、導電部材３０の向きを揃えるだけでなく、導電部材３０の配置も揃えて、導電部材含有シート１６００の複数枚を積層することが好ましい
工程Ｄ２において、導電部材３０の配置を揃えるとは、導電部材含有シート積層体１７００を、その上面１７００ａから見た場合に、複数枚の導電部材含有シート１６００のそれぞれに含まれる導電部材３０同士が重なり合うようにすることである。なお、図４（ｂ）では、全ての導電部材３０が重なり合っている場合を例示したが、一部の導電部材３０は重なっていなくてもよい。
【００７１】
工程Ｄ２では、図４（ｂ）に示すように、導電部材含有シート積層体１７００の最上部にある導電部材含有シート１６００上に、上述と同様にして、シート状の弾性体１８００を形成する。
【００７２】
導電部材含有シート１６００を積層するには、接着剤を用いてもよく、導電部材含有シート１６００同士を溶着してもよい。各導電部材含有シート１６００の導電部材３０同士が離間するように、接着剤からなる接着層を介在させることによって、各導電部材含有シート１６００同士の離間距離を調整することが好ましい。
接着剤を用いる場合、弾性体１１００と材質が同じものを用いることが好ましい。
【００７３】
次いで、図４（ｃ）に示すように、導電部材含有シート積層体１７００を、所定の厚みとなるように、導電部材３０の延在する方向に対して垂直方向に切断して、電気コネクターを得る（工程Ｅ２）。
【００７４】
工程Ｅ２において、導電部材含有シート積層体１７００を切断する方法としては、例えば、レーザー加工、切削等の機械的加工等が用いられる。
【００７５】
以上の工程Ａ１〜工程Ｅ２の後、導電部材含有シート積層体１７００から基材１０００を剥離すると、図１に示す電気コネクター１０が得られる。
【００７６】
なお、本実施形態では、導電部材含有シート積層体１７００を、導電部材３０の延在する方向に対して垂直方向に切断する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。本発明にあっては、工程Ｅ２において、導電部材含有シート積層体を、導電部材の延在する方向に対して斜め方向に切断してもよい。
【００７７】
本実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、電気コネクター１０に接続するデバイスの接続端子に対して導電部材３０から過剰な力が加えられることがなく、また、耐熱性に優れ、デバイスの接続端子に対して安定した接続を可能とする電気コネクター１０が得られる。
【００７８】
（第２の実施形態）
［電気コネクター］
図５は、本実施形態の電気コネクターの概略構成を示す断面図である。なお、図５において、図１に示した第１の実施形態の電気コネクターと同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
図５に示すように、本実施形態の電気コネクター１００は、弾性体２０と、導電部材３０と、を有する複合体４０を備える。
【００７９】
本実施形態の電気コネクター１００では、複合体４０が、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、弾性体２０の厚み方向（図５では紙面の上方）に突出する突出部５１を有する。これにより、本実施形態の電気コネクター１００は、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、突出部５１と、突出部５１よりも厚みが薄い領域（以下、「薄層部」と言う。）５２とによって形成される凹凸面を有する。
【００８０】
突出部５１の配置や数は、特に限定されず、電気コネクター１００に接続されるデバイスの接続端子の形状等に応じて適宜調整される。より詳細には、デバイスにおける接続端子が設けられている面が凹凸をなし、接続端子が陥没している場合に、その接続端子に対応するように、突出部５１の配置や数が適宜調整される。
【００８１】
本実施形態の電気コネクター１００によれば、複合体４０が、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、弾性体２０の厚み方向に突出する突出部５１を有するため、電気コネクター１００に接続するデバイスの接続端子が陥没していても、導電部材３０とデバイスの接続端子との電気的な接続状態を安定に保つことができる。
【００８２】
なお、本実施形態では、複合体４０が、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、弾性体２０の厚み方向に突出する突出部５１を有する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。複合体４０は、弾性体２０の一方の主面２０ａ側および他方の主面２０ｂ側において、弾性体２０の厚み方向に突出する突出部５１を有していてもよい。
【００８３】
また、本実施形態においても、導電部材３０の表面にメッキ層が形成されていてもよい。
【００８４】
［電気コネクターの製造方法］
本実施形態の電気コネクターの製造方法は、上述の第１の実施形態の電気コネクターの製造方法の工程Ａ１〜工程Ｃ１または工程Ａ１〜工程Ｅ２と、導電部材含有シート積層体を切断する工程で得た電気コネクターの弾性体の一方の主面側から、弾性体および導電部材からなる複合体の一部を厚み方向に除去し、複合体に、弾性体の厚み方向に突出する突出部を形成する工程（以下、「工程Ｆ」と言う。）と、を有する。
【００８５】
以下、図６（ａ）、図６（ｂ）を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。
図６（ａ）、図６（ｂ）は、本実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。なお、図６において、図２〜図４に示した第１の実施形態の電気コネクターの製造方法と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００８６】
本実施形態の電気コネクターの製造方法では、上述の第１の実施形態の電気コネクターの製造方法の工程Ａ１〜工程Ｃ１（第１の製造方法）または工程Ａ１〜工程Ｅ２（第２の製造方法）により、図６（ａ）に示すように、所定の厚みに切断された導電部材含有シート積層体９００（導電部材含有シート積層体１７００、図１に示す電気コネクター１０を構成する複合体４０に相当）を得る。
【００８７】
次いで、図６（ｂ）に示すように、導電部材含有シート積層体９００の一方の主面９００ｂ側（弾性体２０の一方の主面２０ａ側）から、弾性体２０および導電部材３０からなる導電部材含有シート積層体９００（複合体４０）の一部を厚み方向に除去し、導電部材含有シート積層体９００（複合体４０）に、弾性体２０の厚み方向に突出する突出部５１を形成する（工程Ｆ）。
【００８８】
工程Ｆにおいて、導電部材含有シート積層体９００（複合体４０）を除去する方法としては、例えば、レーザーエッチング、切削等の機械的加工等が用いられる。
【００８９】
以上の工程Ａ１〜工程Ｃ１または工程Ａ１〜工程Ｅ２と、工程Ｆとにより、図５に示す電気コネクター１００が得られる。
【００９０】
本実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、電気コネクター１００に接続するデバイスの接続端子が陥没していても、導電部材３０とデバイスの接続端子との電気的な接続状態を安定に保つことが可能な電気コネクター１００を作製することができる。
【００９１】
なお、本実施形態では、工程Ｆにて、複合体４０に、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、弾性体２０の厚み方向に突出する突出部５１を形成する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。工程Ｆにて、複合体４０に、弾性体２０の一方の主面２０ａ側および他方の主面２０ｂ側において、弾性体２０の厚み方向に突出する突出部５１を形成してもよい。
【００９２】
（第３の実施形態）
［電気コネクター］
図７は、本実施形態の電気コネクターの概略構成を示す断面図である。なお、図７において、図１に示した第１の実施形態および図５に示した第２の実施形態の電気コネクターと同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
図７に示すように、本実施形態の電気コネクター２００は、弾性体２０と、導電部材３０と、を有する複合体４０を備える。
【００９３】
本実施形態の電気コネクター２００では、複合体４０が、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、弾性体２０の厚み方向（図７では紙面の上方）に突出する突出部５１と、突出部５１よりも厚みが薄い薄層部５２とを有し、薄層部５２に樹脂製のシート状部材６０が積層されている。
【００９４】
シート状部材６０の厚みは、特に限定されず、複合体４０に要求される弾性に応じて適宜調整される。シート状部材６０の厚みは、０．０１ｍｍ〜０．５ｍｍであることが好ましい。
【００９５】
シート状部材６０の材質としては、シート状部材６０とした場合に耐熱性および寸法安定性を有するものであれば特に限定されないが、例えば、ポリイミド（ＰＩ）、エポキシ樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリエチレン、ポリプロピレン、アクリル、ポリブタジエン、ポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）等が挙げられる。これらの中でも、耐熱性および寸法安定性に優れる点から、ポリイミド（ＰＩ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、液晶ポリマー（ＬＣＰ）が好ましい。
なお、シート状部材６０としては、これらの樹脂からなる不織布であってもよい。
【００９６】
本実施形態の電気コネクター２００によれば、複合体４０が、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、弾性体２０の厚み方向に突出する突出部５１と、突出部５１よりも厚みが薄い薄層部５２とを有し、薄層部５２に樹脂製のシート状部材６０が積層されているため、複合体４０とシート状部材６０からなる積層体が、複合体４０のみの場合よりも、耐熱性や寸法安定性に優れ、デバイス同士を安定に接続することができる。
【００９７】
なお、本実施形態では、複合体４０が、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、弾性体２０の厚み方向に突出する突出部５１と、薄層部５２とを有し、薄層部５２に樹脂製のシート状部材６０が積層されている場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。複合体４０は、弾性体２０の一方の主面２０ａ側および他方の主面２０ｂ側において、弾性体２０の厚み方向に突出する突出部５１と、薄層部５２とを有し、両側の薄層部５２に樹脂製のシート状部材６０が積層されていてもよい。また、突出部５１上にも樹脂製のシート状部材６０が積層されていてもよい。
【００９８】
また、本実施形態においても、導電部材３０の表面にメッキ層が形成されていてもよい。
【００９９】
［電気コネクターの製造方法］
本実施形態の電気コネクターの製造方法は、上述の第１の実施形態の電気コネクターの製造方法の工程Ａ１〜工程Ｃ１または工程Ａ１〜工程Ｅ２と、上述の突出部を形成する工程（工程Ｆ）と、突出部を形成する工程Ｆの後に、弾性体の一方の主面側において、複合体の一部を除去した領域に樹脂製のシート状部材を積層する工程（以下、「工程Ｇ」と言う。）と、を有する。
【０１００】
以下、図８（ａ）〜図８（ｃ）を参照して、本実施形態の電気コネクターの製造方法を説明する。
図８（ａ）〜図８（ｃ）は、本実施形態の電気コネクターの製造方法の概略を示す断面図である。なお、図８において、図３および図４に示した第１の実施形態の電気コネクターの製造方法および図６に示した第２の実施形態の電気コネクターの製造方法と同一の構成には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【０１０１】
本実施形態の電気コネクターの製造方法では、上述の第１の実施形態の電気コネクターの製造方法の工程Ａ１〜工程Ｃ１（第１の製造方法）または工程Ａ１〜工程Ｅ２（第２の製造方法）により、図８（ａ）に示すように、所定の厚みに切断された導電部材含有シート積層体９００（導電部材含有シート積層体１７００、図１に示す電気コネクター１０を構成する複合体４０に相当）を得る。
【０１０２】
次いで、図８（ｂ）に示すように、導電部材含有シート積層体９００の一方の主面９００ｂ側（弾性体２０の一方の主面２０ａ側）から、弾性体２０および導電部材３０からなる導電部材含有シート積層体９００（複合体４０）の一部を厚み方向に除去し、導電部材含有シート積層体９００（複合体４０）に、弾性体２０の厚み方向に突出する突出部５１を形成する（工程Ｆ）。
【０１０３】
次いで、図８（ｃ）に示すように、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、導電部材含有シート積層体９００（複合体４０）の一部を除去した領域、すなわち、突出部５１よりも厚みが薄い薄層部５２に樹脂製のシート状部材６０を積層する（工程Ｇ）。
【０１０４】
工程Ｇにおいて、シート状部材６０を積層する方法としては、例えば、接着剤を介してシート状部材６０を貼合する方法、エキシマの照射による表面処理によりシート状部材６０を貼合する方法等が用いられる。
また、工程Ｇにおいて、シート状部材６０を貼合する際の位置決め方法としては、例えば、導電部材含有シート積層体９００における導電部材３０が配置されていない部分に位置決めの印（マーキング）を示して、画像認識により位置決めする方法や、導電部材含有シート積層体９００に位置決め用の凸部や凹部を設けて嵌合する方法等が挙げられる。
【０１０５】
以上の工程Ａ１〜工程Ｃ１または工程Ａ１〜工程Ｅ２と、工程Ｆと、工程Ｇとにより、図７に示す電気コネクター２００が得られる。
【０１０６】
本実施形態の電気コネクターの製造方法によれば、複合体４０とシート状部材６０からなる積層体が、複合体４０のみの場合よりも、耐熱性や寸法安定性に優れ、導電部材３０と電気コネクター２００に接続するデバイスの接続端子との電気的な接続状態を安定に保つことが可能な電気コネクター２００を作製することができる。
【０１０７】
なお、本実施形態では、工程Ｆにて、複合体４０に、弾性体２０の一方の主面２０ａ側において、弾性体２０の厚み方向に突出する突出部５１を形成する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。工程Ｆにて、複合体４０に、弾性体２０の一方の主面２０ａ側および他方の主面２０ｂ側において、弾性体２０の厚み方向に突出する突出部５１を形成してもよい。
【０１０８】
また、工程Ｇにおいて、シート状部材６０を貼合する際の位置決め方法としては、例えば、導電部材含有シート積層体９００における導電部材３０が配置されていない部分やシート状部材７０の端部近傍に位置決めの印（マーキング）を示して、画像認識により位置決めする方法や、導電部材含有シート積層体９００に位置決め用の凸部や凹部を設けて嵌合する方法等が挙げられる。
【符号の説明】
【０１０９】
１０，１００，２００  電気コネクター
２０  弾性体
２１  貫通孔
３０  導電部材
４０  複合体
５１  突出部
５２  薄層部
６０  シート状部材
５００，１０００  基材
６００，１１００，１８００  弾性体
６１０  溝
７００，１２００  導電材料含有組成物
８００，１６００  導電部材含有シート
９００，１７００  導電部材含有シート積層体
１３００  導電層
１４００  導電層含有シート
１５００  導電層含有シート積層体
【図１】
2018181567.tif 000003
【図２】
2018181567.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018181567.tif 000009
【図８】
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