(57)【要約】【課題】オフ動作の制御において、半導体装置を破壊させることなく且つ損失を低減した状態でオフさせることができるようにしたゲート駆動装置を提供する。【解決手段】ＩＧＢＴ１、２は並列に接続され、ゲート駆動装置３からゲート電圧が与えられる。ゲート駆動装置３は、ゲート遮断回路４、５、ゲートオフ回路６、７、通常ゲートオフ回路８、駆動制御部９および検出回路１０を備える。ゲートオフ回路６、７は、それぞれＩＧＢＴ１、２をオフさせるための高速ゲートオフ経路、ゲートオフ固定経路を形成する。ＩＧＢＴ１、２が共にオン状態で、ＩＧＢＴ２をオフさせる際には、ゲート遮断回路５をオフさせた後、ゲートオフ回路７を動作させる。ＩＧＢＴ２は高速ゲートオフ経路でオフされた後ゲートオフ固定経路でオフ保持される。ＩＧＢＴ１、２を同時にオフさせる場合には、通常ゲートオフ回路８でゆっくりオフさせる。【選択図】図１
2018198505.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列接続されたゲート駆動型の複数の半導体素子（１、２）をオンオフ駆動制御するものであって、前記複数の半導体素子に流れる電流に基づいて、オン動作に伴うスイッチング損失およびオン損失が少なくなる条件で前記複数の半導体素子のうちのオン状態を保持するものを設定するゲート駆動装置において、
前記複数の半導体素子を全てオフさせる通常ゲートオフ回路（８）と、
前記複数の半導体素子のうちオン状態のものが存在する状態で一部のものをオフさせる高速ゲートオフ回路（６ａ、６ｃ、７ａ、７ｃ）とを備え、
前記通常ゲートオフ回路は、前記複数の半導体素子のオフ時に発生するサージ電流が破壊耐量以下となるようにゲート電圧を低速で変化することでオフさせるように構成され、
前記高速ゲートオフ回路は、前記複数の半導体素子のうちの一部のものを、前記通常ゲートオフ経路よりもゲート電圧を高速で変化することでオフさせるように構成されたゲート駆動装置。
【請求項２】
前記高速ゲートオフ回路（６ａ、６ｃ、７ａ、７ｃ）は、前記複数の半導体素子のうちのオフさせる対象となる一部のものに設けられ、
前記高速ゲートオフ回路を用いて前記複数の半導体素子の一部のオフさせる場合に、オフさせる対象の前記半導体素子を変更設定する制御装置（９）、
を備えた請求項１に記載のゲート駆動装置。
【請求項３】
前記高速ゲートオフ回路によりオフ対象の前記半導体素子のゲート電圧がしきい値電圧よりも低下したか否かを検出する検出部（１０）と、
前記検出部がオフ対象の前記半導体素子のゲート電圧がしきい値電圧よりも低下したことを検出されると、オフ対象の前記半導体素子のゲート電圧をオフレベルに固定するゲートオフ固定回路（６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂ）と、
を備えた請求項１または２に記載のゲート駆動装置。
【請求項４】
前記高速ゲートオフ回路（６ａ、６ｃ、７ａ、７ｃ）は、
前記半導体素子のゲート電圧をオフレベルに変化させるときの電流を流すオフＭＯＳＦＥＴ（６ａ、７ａ）と、
前記オフＭＯＳＦＥＴの電流定格の範囲内で電流を流すために、前記オフＭＯＳＦＥＴのゲートに接続されたゲート抵抗（６ｅ、７ｅ）と、
を備えた請求項１から３のいずれか一項に記載のゲート駆動装置。
【請求項５】
前記高速ゲートオフ回路（６ａ、６ｃ、７ａ、７ｃ）は、
前記半導体素子のゲート電圧をオフレベルに変化させるときの電流を流すオフＭＯＳＦＥＴ（６ａ、７ａ）と、
前記オフＭＯＳＦＥＴの電流定格の範囲内で電流を流すために、前記オフＭＯＳＦＥＴのゲートに接続されたゲート抵抗（６ｅ、７ｅ）とを備え、
前記ゲートオフ固定回路（６ａ、６ｂ、７ａ、７ｂ）は、
前記高速ゲートオフ回路の前記オフＭＯＳＦＥＴ（６ａ、７ａ）を共用した構成とし、
前記オフＭＯＳＦＥＴ（６ａ、７ａ）のゲートを前記ゲート抵抗（６ｅ、７ｅ）よりも抵抗値が小さい低抵抗ゲート抵抗もしくは抵抗を介さずに駆動する経路として、
設けられる請求項１から３のいずれか一項に記載のゲート駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ゲート制御型の半導体素子をオフ制御するゲート駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ゲート駆動型の半導体素子として、例えばＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）等のゲートを駆動するゲート駆動装置では、複数個の半導体パワー素子を並列に接続した構成として負荷に給電する構成を採用することがある。これは、大電流を流す場合に、並列に接続することで半導体パワー素子のオン抵抗を下げてオン抵抗損失を低減することができるからである。
【０００３】
しかしながら、半導体パワー素子を複数個並列に接続して駆動することは、スイッチング損失が個数に比例して増大することとなり、特にコレクタ電圧が高い状態でスイッチングする際に大きい損失となる。このため、大電流を流すために並列接続する半導体パワー素子を増設することが却って損失を増大することとなる不具合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−２３０３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目的は、ゲート駆動型の半導体装置を複数個並列で使用する構成では、オフ動作の制御において、半導体装置を破壊させることなく且つ損失を低減した状態でオフさせることができるようにしたゲート駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載のゲート駆動装置は、並列接続されたゲート駆動型の複数の半導体素子をオンオフ駆動制御するものであって、前記複数の半導体素子に流れる電流に基づいて、オン動作に伴うスイッチング損失およびオン損失が少なくなる条件で前記複数の半導体素子のうちのオン状態を保持するものを設定するゲート駆動装置において、前記複数の半導体素子を全てオフさせる通常ゲートオフ回路と、前記複数の半導体素子のうちオン状態のものが存在する状態で一部のものをオフさせる高速ゲートオフ回路とを備え、前記通常ゲートオフ回路は、前記複数の半導体素子のオフ時に発生するサージ電流が破壊耐量以下となるようにゲート電圧を低速で変化することでオフさせるように構成され、前記高速ゲートオフ回路は、前記複数の半導体素子のうちの一部のものを、前記通常ゲートオフ回路よりもゲート電圧を高速で変化することでオフさせるように構成されている。
【０００７】
上記構成を採用することにより、オン動作においては、複数の半導体素子に流れる電流に基づいて、オン動作に伴うスイッチング損失およびオン損失が少なくなる条件で複数の半導体素子のうちのオン状態を保持するものを設定し、他のものをオフ動作させる。そして、オフ動作においては、複数の半導体素子を同時にオフさせる場合には、通常ゲートオフ回路により通常ゲートオフ経路を形成してオフさせる。また、複数の半導体素子のうちオン状態のものが存在する状態で一部のものをオフさせる場合には、高速ゲートオフ回路により高速ゲートオフ経路を形成して対象となるものをオフさせる。
【０００８】
これにより、複数の半導体素子を全てオフさせる場合に通常ゲートオフ回路を用いてオフ動作させると、ゲート電圧を低速で変化することで、オフ時に発生するサージ電流が破壊耐量以下となるようにすることができる。また、複数の半導体素子のうちオン状態のものが存在する状態で一部のものをオフさせる場合に高速ゲートオフ回路を用いてオフさせると、オン状態のものが存在していることで、オフ時に発生するサージ電流が小さいので高速でオフさせることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】一実施形態を示す電気的構成図
【図２】オン時処理の流れを示す図
【図３】オフ時処理の流れを示す図
【図４】各部の信号、電流、電圧の変化を示すタイムチャート（その１）
【図５】各部の信号、電流、電圧の変化を示すタイムチャート（その２）
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態について、図１〜図５を参照して説明する。
この実施形態では、図１に示すように、ゲート制御型の複数の半導体素子として、２個のＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor ：絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ）１およびＩＧＢＴ２を使用している。ＩＧＢＴ１は、コレクタＣ１、エミッタＥ１、ゲートＧ１に加えて、電流をモニタするためのセンスエミッタＳＥ１を有する。同じくＩＧＢＴ２は、コレクタＣ２、エミッタＥ２、ゲートＧ２に加えて、素子電流をモニタするためのセンスエミッタＳＥ２を有する。ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２は図示しない負荷への給電経路に設けられ、各コレクタＣ１、Ｃ２を共通に接続されると共に、エミッタＥ１、Ｅ２を共通に接続された並列駆動方式の構成である。
【００１１】
２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２は、外部から与えられるゲート切換信号ＳＧに基づいて、ゲート駆動装置３によりオンオフの駆動制御が行われる。ゲート駆動装置３は、第１ゲート遮断回路４、第２ゲート遮断回路５、第１ゲートオフ回路６、第２ゲートオフ回路７、通常ゲートオフ回路８、駆動制御部９および検出回路１０を備えている。
【００１２】
第１ゲート遮断回路４は、Ｐチャンネル型のＭＯＳＦＥＴ４ａを備え、ＭＯＳＦＥＴ４ａのソースが直流電源ＶＤに接続され、ドレインが抵抗４ｂを介して端子Ａに接続される。ＭＯＳＦＥＴ４ａのゲートはドライバ４ｃを介して駆動制御部９から駆動信号が与えられる。端子ＡはＩＧＢＴ１のゲートに接続され、ゲート駆動電圧ＶＧ１を出力する。
【００１３】
第２ゲート遮断回路５は、Ｐチャンネル型のＭＯＳＦＥＴ５ａを備え、ＭＯＳＦＥＴ５ａのソースが直流電源ＶＤに接続され、ドレインが抵抗５ｂを介して端子Ｂに接続される。ＭＯＳＦＥＴ５ａのゲートはドライバ５ｃを介して駆動制御部９から駆動信号が与えられる。端子ＢはＩＧＢＴ２のゲートに接続され、ゲート駆動電圧ＶＧ２を出力する。
【００１４】
第１ゲートオフ回路６は、オフＭＯＳＦＥＴとしてＮチャンネル型のＭＯＳＦＥＴ６ａを備え、ＭＯＳＦＥＴ６ａのドレインが端子Ａに接続され、ソースはグランドに接続される。ＭＯＳＦＥＴ６ａのゲートはドライバ６ｂを介して駆動制御部９から駆動信号が与えられる。第１ゲートオフ回路６は、ＩＧＢＴ１に対するゲートオフ固定回路および高速ゲートオフ回路を兼ね備えた構成で、ＭＯＳＦＥＴ６ａは共用する構成である。
【００１５】
ＭＯＳＦＥＴ６ａおよびドライバ６ｂにより第１ゲートオフ固定経路が形成される。また、ＭＯＳＦＥＴ６ａのゲートは第１高速オフ部６ｃを介して駆動制御部９から駆動信号が与えられる。第１高速オフ部６ｃは、ドライバ６ｄからゲート抵抗６ｅを介してＭＯＳＦＥＴ６ａのゲートに駆動信号を与える。ＭＯＳＦＥＴ６ａおよび第１高速オフ部６ｃにより第１高速ゲートオフ経路が形成される。
【００１６】
第２ゲートオフ回路７は、オフＭＯＳＦＥＴとしてＮチャンネル型のＭＯＳＦＥＴ７ａを備え、ＭＯＳＦＥＴ７ａのドレインが端子Ｂに接続され、ソースはグランドに接続される。第２ゲートオフ回路７は、ＩＧＢＴ２に対するゲートオフ固定回路および高速ゲートオフ回路を兼ね備えたもので、ＭＯＳＦＥＴ７ａは共用する構成である。
【００１７】
ＭＯＳＦＥＴ７ａのゲートはドライバ７ｂを介して駆動制御部９から駆動信号が与えられる。ＭＯＳＦＥＴ７ａおよびドライバ７ｂにより第２ゲートオフ固定回路が構成される。また、ＭＯＳＦＥＴ７ａのゲートは第２高速オフ部７ｃを介して駆動制御部９から駆動信号が与えられる。第２高速オフ部７ｃは、ドライバ７ｄからゲート抵抗７ｅを介してＭＯＳＦＥＴ７ａのゲートに駆動信号を与える。ＭＯＳＦＥＴ７ａおよび第２高速オフ部７ｃにより第２高速ゲートオフ回路が構成される。
【００１８】
通常ゲートオフ経路を形成する通常ゲートオフ回路８は、Ｎチャンネル型のＭＯＳＦＥＴ８ａを備え、ＭＯＳＦＥＴ８ａのドレインは抵抗８ｂを介して端子Ｃに接続され、ソースはグランドに接続される。ＭＯＳＦＥＴ８ａのゲートはドライバ８ｃを介して駆動制御部９から駆動信号が与えられる。端子Ｃには、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２の各ゲートが逆流阻止部１１を介して接続されている。逆流阻止部１１は、２個の逆流阻止用のダイオード１１ａ、１１ｂを備えており、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２のゲート間の電流の逆流を阻止している。
【００１９】
駆動制御部９は、外部から与えられるゲート切換信号ＳＧおよび検出回路１０からの検出信号に基づいてＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２の駆動制御をする。駆動制御部９は、内部に設けられる制御回路により後述するようにして第１ゲート遮断回路４、第２ゲート遮断回路５、第１ゲートオフ回路６、第２ゲートオフ回路７および通常ゲートオフ回路８に制御信号を与えてＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２の駆動制御をする。
【００２０】
検出回路１０は、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２のゲート電圧ＶＧ１、ＶＧ２が入力される。また、検出回路１０は、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２の各センスエミッタの電圧Ｖｓｅ１、Ｖｓｅ２が入力される。検出回路１０は、これらの信号をデジタル信号に変換して駆動制御部９に出力する。センス電圧Ｖｓｅ１、Ｖｓｅ２は、ＩＧＢＴ１、ＩＧＢＴ２の素子電流Ｉｃ１、Ｉｃ２に対応する電圧信号となる。
【００２１】
次に、上記構成の作用について、図２〜図４も参照して説明する。
この実施形態では、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２を駆動制御する際に、駆動制御部９により、外部から与えられるゲート切換信号ＳＧがハイレベルすなわちオン動作指示になったときに、２つのＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２を同時にオンさせる。
【００２２】
この後、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２に流れる素子電流Ｉｃ１およびＩｃ２が、いずれも下限値Ｉｔｈｄと上限値Ｉｔｈｕとの間にある場合には、駆動制御部９は、そのまま２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２を駆動させた状態する。
【００２３】
また、オン状態のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２に流れる素子電流Ｉｃ１、Ｉｃ２のレベルが下限値Ｉｔｈｄよりも小さい場合には、駆動制御部９は、一方をオフさせることでスイッチング損失やオン抵抗損失などの損失が最も少なくなるように制御する。このとき、例えばＩＧＢＴ２をオフさせると、ＩＧＢＴ２に流れていた素子電流Ｉｃ２の分がＩＧＢＴ１の素子電流Ｉｃ１に加算されて増大するが、この素子電流Ｉｃ１は上限値Ｉｔｈｕ以下の範囲に入るように設定されている。
【００２４】
このように、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２を駆動制御する場合に、動作中の一つのＩＧＢＴ１あるいはＩＧＢＴ２の素子電流Ｉｃ１（Ｉｃ２）が上限値Ｉｔｈｕと下限値Ｉｔｈｄの間にある場合にはそのままオン状態に保持される。そして、２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２が共にオン動作している状態で、ＩＧＢＴ１あるいはＩＧＢＴ２の素子電流Ｉｃ１（Ｉｃ２）が下限値Ｉｔｈｄよりも小さい場合には、いずれか一方をオフさせる。また、２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２のうち一方をオン動作させている状態で、その素子電流Ｉｃ１（Ｉｃ２）が上限値Ｉｔｈｕを超える場合にはオフ状態のものもオン動作させる。
【００２５】
上述の場合、一方をオフさせる動作では、常にＩＧＢＴ２をオフさせるようにすると、ＩＧＢＴ１の寿命低下を招く。そこで、駆動制御部９は、一方をオフさせる場合には、寿命が平均化するように、例えばＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２を交互にオフさせるように制御する。
【００２６】
次に、上記の動作について、図２の流れ図を参照して説明する。まず、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２をオン駆動させる場合について説明する。駆動制御部９は、ステップＡ１で外部からオン動作指示を示すハイレベルのゲート切換信号ＳＧが入力されると、ステップＡ２に進み、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２をオン駆動させる。この場合、駆動制御部９は、第１ゲート遮断回路３および第２ゲート遮断回路４に対して、Ｐチャンネル型のＭＯＳＦＥＴ３ａおよび４ａをオンさせるように、ローレベルの駆動信号を出力する。
【００２７】
これにより、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２は、それぞれゲートにゲート電圧ＶＧ１およびＶＧ２が与えられ、オン動作するようになり、それぞれに素子電流Ｉｃ１、Ｉｃ２が流れるようになる。このとき、各ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２のセンスエミッタＳＥにもセンス電流が流れるので、素子電流Ｉｃ１およびＩｃ２に対応するセンス電圧Ｖｓｅ１およびＶｓｅ２が発生する。
【００２８】
駆動制御部９は、ステップＡ３に進み、検出回路１０から入力されるＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２のコレクタ電流Ｉｃ１およびＩｃ２のうち、保持状態の対象とするＩＧＢＴ１の素子電流Ｉｃ１レベルが下限値Ｉｔｈｄを下回っているか否かを判断する。駆動制御部９は、ここで、ＩＧＢＴ１の素子電流Ｉｃ１が下限値Ｉｔｈｄ以上である場合には、ＮＯとなって、そのままＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２のオン状態を保持する。
【００２９】
一方、ＩＧＢＴ１の素子電流Ｉｃ１が下限値Ｉｔｈｄを下回っている場合には、駆動制御部９は、ステップＡ３でＹＥＳとなって、ステップＡ４に進み、第２ゲートオフ回路７により第２高速ゲートオフ経路を形成してＩＧＢＴ２をオフ動作させる。この場合、駆動制御部９は、まず、第２ゲート遮断回路５をオフさせてＩＧＢＴ２のゲート電圧ＶＧ２を遮断する。続いて、駆動制御部９は、第２ゲートオフ回路７の第２高速オフ部７ｃを駆動してＭＯＳＦＥＴ７ａをオンさせる。
【００３０】
このとき、ＭＯＳＦＥＴ７ａは、ドライバ７ｄから抵抗７ｅを介してゲートに駆動信号が与えられる。これにより、ＭＯＳＦＥＴ７ａは、ゲート電圧の急激な変化による破壊を回避しながら、高速でオン動作させることができ、ＩＧＢＴ２を迅速にオフさせることができる。
【００３１】
この後、駆動制御部９は、ステップＡ５で、オフ動作させたＩＧＢＴ２のゲート電圧Ｖｇ２をモニタし、しきい値電圧Ｖｔｈよりも低下したかどうかを判定する。駆動制御部９は、ステップＡ５でＹＥＳになると、ステップＡ６に移行し、第２ゲートオフ回路７を駆動してゲートオフ固定経路を形成し、ＩＧＢＴ２をオフ固定状態に制御する。
【００３２】
ここでは、駆動制御部９は、第２ゲートオフ回路７のドライバ７ｂにオン駆動信号を出力してＭＯＳＦＥＴ７ａのゲート電圧を確実にハイ状態となるように保持させ、オフ状態を固定させる。
【００３３】
以上のようにして、駆動制御部９は、２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２を同時にオン駆動させた後、素子電流Ｉｃ１のレベルつまり負荷電流のレベルに応じて、２個のオン状態を保持するか、ＩＧＢＴ２をオフさせてＩＧＢＴ１だけをオン状態に保持するかを制御している。
【００３４】
なお、上記の制御のうち、駆動制御部９により、２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２を共にオン保持する状態が継続していても、オン駆動中に負荷電流が減少するなどした場合には、上記したステップＡ３からＡ６の動作を実行することができる。また、２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２のうち、ステップＡ３で、ＩＧＢＴ１のオン状態を保持するものとしたが、次に動作させるときには、ステップＡ３では、ＩＧＢＴ２のオン状態を保持するものとして設定する。これはＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２の寿命を平均化するためである。
【００３５】
次に、図３を参照して、外部からのゲート切換信号ＳＧがオフ状態に変化した場合の動作について説明する。
オフ時の処理においては、図３に示すように、駆動制御部９は、外部からオフ動作のゲート切換信号ＳＧが与えられると、ステップＢ１でＹＥＳとなってステップＢ２に進む。駆動制御部９は、通常ゲートオフ回路８のドライバ８ｃにオフ駆動の信号を出力してＭＯＳＦＥＴ８ａをオンさせる。これにより、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２は、ゲートがダイオード１１ａ、１１ｂ、抵抗８ｂおよびＭＯＳＦＥＴ８ａを介してグランドに引かれ、オフ状態に移行する。
【００３６】
ゲート電圧Ｖｇ１およびＶｇ２が低下してしきい値Ｖｔｈを下回ると、駆動制御部９は、ステップＢ３でＹＥＳとなってステップＢ４に移行し、第１ゲートオフ回路６および第２ゲートオフ回路７を駆動してオフ固定経路を形成し、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２をオフ固定動作させる。この場合、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２がいずれもオン状態にあるか、一方のみオン状態にあるかを問わず、上記の制御動作は実施される。
【００３７】
図４は、上記したオフ時処理をする場合に、一方のみオン状態にある場合に時刻ｔ２でオフ動作のゲート切換信号ＳＧが入力された場合の動作のタイムチャートである。この場合には、これに先立って時刻ｔ０で、駆動制御部９により例えばＩＧＢＴ２をオフさせている。
【００３８】
ＩＧＢＴ２のオフ動作では、駆動制御部９により、第２ゲート遮断回路５をオフ動作させてＭＯＳＦＥＴ５ａをオフさせてゲート電圧ＶＧ２を遮断する。続いて、駆動制御部９により、第２ゲートオフ回路７の第２高速オフ部７ｃを駆動させ、ゲート抵抗７ｅを介してＭＯＳＦＥＴ７ａをオン動作させる。これにより、図４（ｄ）に示すように、第２ゲートオフ回路７により第２高速ゲートオフ経路が形成される。
【００３９】
この状態では、ＩＧＢＴ１はオン動作中であるから、ＩＧＢＴ２のオフ動作では、サージ電流の発生を少なくすることができるので、高速でオフ動作させることができる。そして、図４（ｂ）に示すように、時刻ｔ１でＩＧＢＴ２のゲート電圧Ｖｇ２がしきい値電圧Ｖｔｈまで低下すると、駆動制御部９は、ドライバ７ｂに駆動信号を出力してＭＯＳＦＥＴ７ａをオン状態に保持し、図４（ｆ）に示すように第２ゲートオフ回路７により第２ゲートオフ固定経路を形成してＩＧＢＴ２をオフ固定する。
【００４０】
上記のように動作しているので、図４（ｉ）に示すように、ＩＧＢＴ２はオフ状態に保持され、図４（ｈ）に示すように、ＩＧＢＴ１がオン状態に保持されている。この後、図４（ａ）に示すように、時刻ｔ２でオフ動作指示のローレベルのゲート切換信号ＳＧが与えられると、駆動制御部９は、通常ゲートオフ回路８を駆動させてＩＧＢＴ１をオフさせる。このとき、通常ゲートオフ回路８のＭＯＳＦＥＴ８ａは、図４（ｇ）に示すように、抵抗８ｂおよび逆阻止ダイオード１１ａを介してＩＧＢＴ１のゲートに通常ゲートオフ経路を形成する。
【００４１】
これにより、ＩＧＢＴ１は、図４（ｂ）に示すように、ゲート電圧Ｖｇ１がゆっくり低下し、図４（ｈ）に示すように、素子電流Ｉｃ１もゲート電圧Ｖｇ１の低下に従ってゆっくり減少する。この後、図４（ｂ）に示すように、時刻ｔ３でＩＧＢＴ１のゲート電圧Ｖｇ１がしきい値電圧Ｖｔｈを下回ると、図４（ｅ）に示すように、第１ゲートオフ回路６によりＭＯＳＦＥＴ６ａがオン動作されて第１ゲートオフ固定経路が形成され、ＩＧＢＴ１がオフ状態に固定される。また、図４（ｃ）に示すように、時刻ｔ３で同時に第１高速オフ部６ｃも駆動される。
【００４２】
なお、上記の動作の場合に、２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２をオン動作させている状態で、ＩＧＢＴ１をオフ動作させる場合には、駆動制御部９により、第１ゲート遮断回路４をオフ動作させ、続いて、第１ゲートオフ回路６の第１高速オフ部６ｃを駆動させて、第１高速ゲートオフ経路を形成し、サージ電流の発生を少なくして高速でＩＧＢＴ１をオフ動作させることができる。そして、ＩＧＢＴ１のゲート電圧Ｖｇ１がしきい値電圧Ｖｔｈに達すると、駆動制御部９は、ドライバ６ｂに駆動信号を出力して第１ゲートオフ回路６により第１ゲートオフ固定経路を形成してＩＧＢＴ１をオフ固定する。
【００４３】
また、この後、オフ動作指示のローレベルのゲート切換信号ＳＧが与えられてＩＧＢＴ２をオフさせる動作は、駆動制御部９により、前述同様にして通常ゲートオフ回路８を動作させることでＩＧＢＴ２は、ゲート電圧Ｖｇ２がゆっくり低下されて、素子電流Ｉｃ２もゆっくり減少してオフされる。この後、ＩＧＢＴ２のゲート電圧Ｖｇ２がしきい値電圧Ｖｔｈを下回ると、第２ゲートオフ回路７により第２ゲートオフ固定経路が形成され、ＩＧＢＴ２がオフ状態に固定される。
【００４４】
また、図５は、前述のオフ時処理をする場合に、２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２が共にオンしている状態からオフ動作のゲート切換信号ＳＧが与えられた場合の動作のタイムチャートである。
【００４５】
この場合には、図５（ａ）に示すように、時刻ｔ０でオフ動作のゲート切換信号ＳＧが入力されると、駆動制御部９は、通常ゲートオフ回路８を駆動して図５（ｇ）に示すように通常ゲートオフ経路を形成する。これにより、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２は、共にオフ状態に移行する。このとき、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２は、図５（ａ）に示すようにゲート電圧Ｖｇ１、Ｖｇ２がゆっくり低下し、また、図５（ｈ）、（ｉ）に示すように素子電流Ｉｃ１、Ｉｃ２もゆっくり減少する。この後、図５（ｂ）に示すように、時刻ｔ１でＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２のゲート電圧Ｖｇ１およびＶｇ２がしきい値電圧Ｖｔｈを下回ると、図５（ｅ）、（ｆ）に示すように、第１ゲートオフ回路６および第２ゲートオフ回路７によりゲートオフ固定経路が形成され、ＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２がオフ状態に固定される。なお、図５（ｃ）、（ｄ）に示すように、時刻ｔ１で同時に第１および第２高速オフ部６ｃおよび７ｃも駆動される。
【００４６】
このような本実施形態によれば、２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２を並列接続して駆動制御する構成で、第１および第２ゲートオフ回路６および７を設けると共に通常ゲートオフ回路８を設け、駆動制御部９によりオフ動作制御をする構成とした。
【００４７】
これにより、２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２が共にオン状態で一方をオフさせる動作では、第１および第２ゲートオフ回路６および７のいずれかを用いて、高速ゲートオフ経路を形成して迅速にオフさせた後、オフ固定経路を形成してオフ状態を保持することで迅速にオフ動作させることができる。
【００４８】
また、ゲート切換信号ＳＧがオフ動作指示の場合には、２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２のうちオン動作中のものを通常ゲートオフ回路８により通常ゲートオフ経路を形成してオフ動作させるようにした。これにより、サージ電流の発生による素子破壊を防止しながら確実にオフ動作させることができる。
【００４９】
また、第１ゲートオフ回路６（第２ゲートオフ回路７）の構成を、オフＭＯＳＦＥＴとしてのＮチャンネル型のＭＯＳＦＥＴ６ａ（７ａ）を、高速オフ部６ｃ（７ｃ）とドライバ６ｂ（７ｂ）とで共通に駆動する構成としたので、個別にオフＭＯＳＦＥＴを設ける構成に対して素子数を少なくした構成で達成することができ、省スペース化を図ることができる。
【００５０】
（他の実施形態）
なお、本発明は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能であり、例えば、以下のように変形または拡張することができる。
【００５１】
上記実施形態では、半導体素子として２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２を設ける例を示したが、３個以上のＩＧＢＴを設ける構成にも適用することができる。
また、ＩＧＢＴを３個以上設けている場合に、オン動作時に全てを同時にオン動作させた後、素子電流の値が下限値以下であるときに、オン状態を保持する素子に対して、残りのものを全てオフ対象とするのではなく、一部のものをオフ対象として設定することができる。すなわち、図２に示すステップＡ４では、「高速オフ回路で一部のＩＧＢＴをオフ」とすることができる。
【００５２】
上記実施形態では、オン動作のゲート切換信号により２個のＩＧＢＴ１およびＩＧＢＴ２を同時にオン動作させる例を示したが、１個ずつ順にオン動作させる方式を採用しても良い。この場合には、例えばＩＧＢＴ１をオン動作させたときの電流が上限値を超えるときにＩＧＢＴ２をオン動作させるように制御する。
【００５３】
また、素子電流の値が下限値以下であるときに、一方のＩＧＢＴ１をオン状態に保持し、他方のＩＧＢＴ２をオフさせる例を示したが、オフ対象となるＩＧＢＴを変更設定することができる。この場合、オフ対象となる毎に交互に変更設定しても良いし、例えば使用時間を計時しておいて一定以上の差が発生したときに使用時間が平均的になるように変更設定することもできる。
【００５４】
上記実施形態では、第１ゲートオフ回路６、第２ゲートオフ回路７では、ＭＯＳＦＥＴ６ａ、７ａに直接ドライバ６ｂ、７ｂから信号を与える構成によりゲートオフ固定経路を形成したが、ゲート抵抗６ｅ、７ｅよりも低抵抗のゲート抵抗あるいは低インピーダンスのインピーダンス素子を介在させる構成とすることもできる。
【００５５】
ゲート駆動形の半導体素子として、ＩＧＢＴを用いる例を示したが、これに限らず、ＭＯＳＦＥＴなどの半導体素子にも適用することができる。
本開示は、実施例に準拠して記述されたが、本開示は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。
【符号の説明】
【００５６】
図面中、１、２はＩＧＢＴ（半導体素子）、３はゲート駆動装置、４は第１ゲート遮断回路、５は第２ゲート遮断回路、６は第１ゲートオフ回路（高速ゲートオフ回路、ゲートオフ固定回路）、６ａはＮチャンネル型のＭＯＳＦＥＴ（オフＭＯＳＦＥＴ）、６ｃは第１高速オフ部、６ｅはゲート抵抗、７は第２ゲートオフ回路（高速ゲートオフ回路、ゲートオフ固定回路）、７ａはＮチャンネル型のＭＯＳＦＥＴ（オフＭＯＳＦＥＴ）、７ｃは第２高速オフ部、７ｅはゲート抵抗、８は通常ゲートオフ回路、９は駆動制御部（制御装置）、１０は検出回路、１１は逆流防止回路である。
【図１】
2018198505.tif 000003
【図２】
2018198505.tif 000004
【図３】
2018198505.tif 000005
【図４】
2018198505.tif 000006
【図５】
2018198505.tif 000007