(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の被処理物が熱処理炉に対して搬入及び搬出されているとき、適切な流量のプロセスガスを熱処理炉内に供給することができる熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理装置１００は、内部にプロセスガスを導入するガス導入口１４２を有する熱処理炉１０と、複数の被処理物１が搭載されたボート２１を第１の位置２０１及び第２の位置２０２の間で移動させる搬送機構２０と、ガス供給部とを備える。ガス導入口１４２は、被処理物１の搬入方向において熱処理炉１０の上流側の端部に形成されている。搬送機構２０は、位置決め部材２６を有し、ボート２１が第１の位置２０１に位置したとき、複数の被処理物１のうち搬入方向において最も上流側に配置された被処理物１は、ガス導入口１４２よりも搬入方向において下流側に位置する。熱処理炉１０内に供給されるプロセスガスの流量は、熱処理中よりもボート２１の移動しているときの方が少量である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボートに搭載された複数の被処理物を搬入及び搬出するための炉口と、内部にプロセスガスを導入するガス導入口と、を有する熱処理炉と、
前記熱処理炉内の第１の位置と前記熱処理炉外の第２の位置との間で前記ボートを移動させて前記複数の被処理物を搬送する搬送機構と、
前記ガス導入口を介して前記プロセスガスを前記熱処理炉内に供給するガス供給部と、
を備えた熱処理装置であって、
前記ガス導入口は、前記複数の被処理物の前記熱処理炉への搬入方向において、前記熱処理炉の上流側の端部に形成されており、
前記搬送機構は、前記ボートを前記第１の位置及び前記第２の位置に位置決めさせる位置決め部材を有しており、
前記ボートが前記第１の位置に位置したとき、前記ボートに搭載されている前記複数の被処理物のうち前記搬入方向において最も上流側に配置された被処理物は、前記ガス導入口よりも前記搬入方向において下流側に位置し、
前記熱処理炉内に供給される前記プロセスガスの流量は、前記複数の被処理物の熱処理中よりも、前記ボートが移動しているときの方が少量である、熱処理装置。
【請求項２】
前記プロセスガスの流量の入力を受け付ける第１受付部と、
前記第１受付部が受け付けた前記プロセスガスの流量を制御する制御部と、
を備える、請求項１に記載の熱処理装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記ボートが移動しているときは、前記プロセスガスの流量を所定の流量となる様に制御する、請求項２に記載の熱処理装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記複数の被処理物が前記ガス導入口を通過している間、前記プロセスガスの流量を前記所定の流量となる様に制御する、請求項３に記載の熱処理装置。
【請求項５】
さらに、
前記複数の被処理物の条件に応じた所定の流量のプロセスガスが夫々記憶されている記憶部と、
前記条件の入力を受け付ける第２受付部と、
を備える、請求項１〜４の何れかに記載の熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数の被処理物を熱処理する熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ等の被処理物を熱処理する熱処理装置として、縦型の熱処理炉の下方から被処理物を搬送する昇降部を備える熱処理装置があった（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１の熱処理装置は、加熱ヒータの熱処理炉を有している。熱処理炉の底部は、開放した炉口となっており、炉口は開閉扉によって開閉される。熱処理炉は、下端部にガス導入口を備えており、このガス導入口を経由して内部にプロセスガスが供給される。被処理物が搭載されるボートは昇降部によって昇降されて、被処理物は熱処理炉に対して搬入及び搬出される。
【０００４】
熱処理中は熱処理炉内を所定の濃度のプロセスガス雰囲気に維持する必要があるため、被処理物が熱処理炉に対して搬入及び搬出されている過程においても、プロセスガスは熱処理炉内に供給され続ける。被処理物の搬入及び搬出の過程と、熱処理作業中とにおけるプロセスガスの流量は、作業者によって作業開始前に予め設定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−９３０６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の熱処理装置によれば、作業者が被処理物に応じて最適なプロセスガスの流量を設定できる。しかし、作業者がプロセスガスの流量を誤って設定した場合、プロセスガスの気流によって被処理物がボート上を移動する虞がある。被処理物がボート上の適切な位置から移動した状態で熱処理炉内に搬入されると、被処理物は均一に熱処理されない。また、被処理物の熱処理炉に対する搬入及び搬出過程で、ボート上の適切な位置から移動した被処理物が、熱処理炉内の側壁等と接触して破損する虞もある。この様な場合、熱処理作業を中断して、破損した被処理物を除去しなければならず、熱処理作業を円滑に行うことができない。この様な問題は、被処理物が薄板ウエハの場合に生じ易い。
【０００７】
この発明の目的は、複数の被処理物が熱処理炉に対して搬入及び搬出されているとき、適切な流量のプロセスガスを熱処理炉内に供給することができる熱処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る熱処理装置は、熱処理炉と、搬送機構と、ガス供給部と、を備える。熱処理炉は、ボートに搭載された複数の被処理物を搬入及び搬出するための炉口と、内部にプロセスガスを導入するガス導入口と、を有する。搬送機構は、熱処理炉内の第１の位置と熱処理炉外の第２の位置との間でボートを移動させて複数の被処理物を搬送する。ガス供給部は、ガス導入口を介してプロセスガスを熱処理炉内に供給する。ガス導入口は、複数の被処理物の熱処理炉への搬入方向において、熱処理炉の上流側の端部に形成されている。搬送機構は、ボートを第１の位置及び第２の位置に位置決めさせる位置決め部材を有している。ボートが第１の位置に位置したとき、ボートに搭載されている複数の被処理物のうち搬入方向において最も上流側に配置された被処理物は、ガス導入口よりも搬入方向において下流側に位置する。また、熱処理炉内に供給されるプロセスガスの流量は、複数の被処理物の熱処理中よりも、ボートが移動しているときの方が少量である。
【０００９】
この構成によれば、熱処理炉内に供給されるプロセスガスの流量は、熱処理中よりもボートの移動中（つまり、複数の被処理物が熱処理炉に対して搬入及び搬出されているとき）の方が少量である。このため、複数の被処理物は、熱処理炉に対して搬入及び搬出されているとき、プロセスガスの気流によってボート上を移動することがない。よって、複数の被処理物が破損する虞は生じない。
【００１０】
上記の熱処理装置は、第１受付部及び制御部を備える。第１受付部は、プロセスガスの流量の入力を受け付ける。制御部は、第１受付部が受け付けたプロセスガスの流量を制御する。
【００１１】
この構成によれば、作業者が被処理物に応じてプロセスガスの流量を設定し、第１受付部に入力することができる。
【００１２】
上記の熱処理装置において、制御部は、ボートが移動しているときは、プロセスガスの流量を所定の流量となる様に制御することが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、ボートが移動しているとき、熱処理炉内に供給されるプロセスガスの流量は、第１受付部が受け付けたプロセスガスの流量に関わらず所定の流量となる。これにより、作業者が、複数の被処理物がボート上を移動してしまう流量を設定した場合でも、制御部によって所定の流量のプロセスガスが熱処理炉内に供給される。よって、複数の被処理物がボート上を移動して破損する虞は生じない。
【００１４】
上記の熱処理装置において、制御部は、複数の被処理物がガス導入口を通過している間、プロセスガスの流量を所定の流量となる様に制御することが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、ボートが移動している間において、複数の被処理物がガス導入口を通過している間のみ、プロセスガスは熱処理炉内に供給される。よって、ボートが移動している間中、プロセスガスを熱処理炉内に供給する必要がないため、コスト削減に寄与する。
【００１６】
上記の熱処理装置において、さらに、複数の被処理物の条件に応じた所定の流量のプロセスガスが夫々記憶されている記憶部と、複数の被処理物の条件の入力を受け付ける第２受付部とを備えることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、複数の被処理物が熱処理炉に対して搬入及び搬出されるとき、制御部は、第２受付部が受け付けた複数の被処理物の条件（例えば、被処理物の厚みや、熱処理する枚数等。）と、記憶部に記憶されている複数の被処理物の所定の流量とに基づいて、熱処理炉内へ供給するプロセスガスの流量を制御する。これにより、複数種の被処理物に対応した熱処理装置を構成することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る熱処理装置によれば、複数の被処理物が熱処理炉に対して搬入及び搬出されているとき、適切な流量のプロセスガスを熱処理炉内に供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る熱処理装置の概略構成図であり、複数の被処理物を熱処理炉内に搬入する前の状態を示した図である。
【図２】本発明に係る熱処理装置の概略構成図であり、複数の被処理物が完全に熱処理炉内に搬入されたときを示した図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るブロック図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係るフローチャートである。
【図５】本発明の第２実施形態に係るブロック図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るフローチャートである。
【図７】本発明に係る熱処理装置の概略構成図であり、位置決め部材に対する搬送台の位置関係を説明した図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係るフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１及び図２に示される様に、熱処理装置１００は、熱処理炉１０及び搬送機構２０を備える。本実施形態では、熱処理炉は縦型炉として説明する。そのため、図１、図２、及び図７では縦型炉が図示されている。
【００２１】
熱処理炉１０は、熱処理されるべき複数の被処理物１を収納可能なプロセスチューブ１１を備える。被処理物１としては、半導体ウエハが挙げられるが、これに限定されない。プロセスチューブ１１は、底部が開放した有底円筒状を呈する石英又はＳｉＣ（炭化珪素）からなる。プロセスチューブ１１の解放面にはフランジ１１１が設けられている。
【００２２】
プロセスチューブ１１の周囲には、プロセスチューブ１１を覆うように断熱層を有する断熱容器１２が配設される。断熱容器１２は、プロセスチューブ１１をその周囲から加熱するヒータ１３を支持するように構成される。本実施形態では、プロセスチューブ１１内はヒータ１３によって１１００℃程度に加熱される。
【００２３】
プロセスチューブ１１の下端部には、石英、ＳｉＣ（炭化珪素）、及びＳＵＳ（ステンレス鋼）の何れかからなるマニフォールド１４が接合される。マニフォールド１４は、両方向に開放した円筒状を呈しており、プロセスチューブ１１との対向面にフランジ１４１が設けられている。プロセスチューブ１１にマニフォールド１４を接合する際に、上記フランジ１１１とフランジ１４１とが図示しないシール部材を介して接合される。
【００２４】
マニフォールド１４の下端部には、ガス導入口１４２がプロセスチューブ１１内に連通する様に形成されている。ガス供給部３４（図３を参照。）から供給されたプロセスガス又は不活性ガスはガス導入口１４２を介してプロセスチューブ１１内に供給される。ガス導入口１４２の材質としては、石英が好適である。また、ガス排出口１４３は、プロセスチューブ１１に設けられており、図示しないガス排出装置に接続されている。なお、図１、図２、及び図７では、ガス導入口１４２としてＬ字型のものを図示しているが、直管のもであっても構わない。
【００２５】
マニフォールド１４には、炉口１４４が設けられており、この炉口１４４を介して複数の被処理物１が搬入及び搬出される。プロセスチューブ１１内へ複数の被処理物１の搬入が完了すると、炉口１４４は閉じられる。
【００２６】
搬送機構２０は、複数の被処理物１をプロセスチューブ１１に対して搬入及び搬出する。図１及び図２に示される様に、搬送機構２０は、ボート２１、ボート載置台２２、炉蓋２３、アーム２４、搬送台２５、及びボールネジ２６から構成される。
【００２７】
ボート２１は、複数の被処理物１を多段状に搭載する。ボート２１の下には、ボート載置台２２及び炉蓋２３が一体的に取り付けられており、炉蓋２３は、アーム２４に接合されている。アーム２４は、搬送台２５に支持されている。
【００２８】
ボールネジ２６は、ボート２１をプロセスチューブ１１内の所定の位置に配置するための部材である。複数の被処理物１が満遍なく熱処理されるためには、プロセスチューブ１１内の適切な位置にボート２１を配置することが重要である。そこで、本実施形態では、ボート２１の位置決め部材として、ボールネジ２６を用いる。また、ボールネジ２６と併せて使用する部材として、図示しないサーボモータを用いる。
【００２９】
図１及び図２に示される様に、ボールネジ２６に搬送台２５が係合されている。駆動部３５（図３を参照。）からボールネジ２６に駆動力が伝達されると、ボールネジ２６は回転し、この回転に伴い、搬送台２５はボールネジ２６に沿って移動する。つまり、ボート２１が移動することにより、複数の被処理物１がプロセスチューブ１１に対して搬入及び搬出される。
【００３０】
本実施形態において、複数の被処理物１がプロセスチューブ１１内に搬入されるとき、搬入方向において最も下流側にある被処理物１を被処理物Ｘとする。また、プロセスチューブ１１内に複数の被処理物１の搬入が完了したとき、プロセスチューブ１１内において被処理物Ｘが位置する位置を第１の位置２０１とする。さらに、複数の被処理物１をプロセスチューブ１１内へ搬入する前、つまり、搬入の待機状態において、プロセスチューブ１１外において被処理物Ｘが位置する位置を第２の位置２０２とする。そして、本実施形態では、「被処理物Ｘが第１の位置２０１に位置する」は、「ボート２１が第１の位置２０１に位置する」と同義とし、「被処理物Ｘが第２の位置２０２に位置する」は、「ボート２１が第２の位置２０２に位置する」と同義とする。
【００３１】
複数の被処理物１をプロセスチューブ１１内へ搬入するときは、ボールネジ２６に駆動部３５から駆動力が伝達されて、ボールネジ２６を正回転させる。図１及び図２に示される様に、ボールネジ２６の正回転により、搬送台２５はボールネジ２６に沿って移動する。これにより、ボート２１は第２の位置２０２から第１の位置２０１へ移動し、複数の被処理物１がプロセスチューブ１１内へ搬入される。
【００３２】
複数の被処理物１をプロセスチューブ１１外へ搬出するときは、ボールネジ２６に駆動部３５から駆動力が伝達されて、ボールネジ２６を逆回転させる。図１及び図２に示される様に、ボールネジ２６の逆回転により、搬送台２５はボールネジ２６に沿って移動する。これにより、ボート２１は第１の位置２０１から第２の位置２０２へ移動し、複数の被処理物１がプロセスチューブ１１外へ搬出される。
【００３３】
本実施形態では、位置決め部材として、ボールネジ２６及びサーボモータを採用しているが、これに限定されず、サーボモータに替えて、ステッピングモータを採用することもできる。
【００３４】
また、熱処理装置１００は、図３に示される様に、コントローラ３０、ガス供給部３４、駆動部３５、第１入力部４０、及び第２入力部４１を備える。コントローラ３０は、制御部３１、第１記憶部３２、及び第２記憶部３３を備える。
【００３５】
制御部３１は、第１入力部４０、第２入力部４１、ガス供給部３４、及び駆動部３５の夫々との間で、熱処理開始やプロセスガスの流量に関する信号の入出力を行う。そして、制御部３１は、上記した駆動部３５の駆動の制御や、プロセスガスの流量を制御し、ガス導入口１４２を介してプロセスガスを供給する様にガス供給部３４を制御する。また、第１入力部４０に入力されたプロセスガスの流量を制御する。制御部３１には、ＣＰＵを用いても構わない。
【００３６】
第１入力部４０及び第２入力部４１は、夫々、本発明の第１受付部及び第２受付部である。第１入力部４０には、作業者によってプロセスガスの流量Ｍ１及び流量Ｍ２が入力される。流量Ｍ１は、複数の被処理物１が熱処理されるときのプロセスガスの流量である。流量Ｍ２は、複数の被処理物１が熱処理された後、プロセスチューブ１１内をガスパージするためのプロセスガス（パージガス）の流量である。また、第１入力部４０には、複数の被処理物１の熱処理開始も入力される。作業者が流量Ｍ１及びＭ２の入力を完了した後、複数の被処理物１の熱処理開始を設定すると、第１入力部４０から制御部３１に複数の被処理物１の搬入開始の信号が入力される。
【００３７】
第２入力部４１は、複数の被処理物１の条件に関する情報が入力される。条件とは、例えば、複数の被処理物１の種類や枚数、厚み等である。なお、第１入力部４０及び第２入力部４１には、作業者が入力した内容を確認できる様に表示部を設けてもよい。
【００３８】
また、コントローラ３０は、複数の被処理物１に関する情報が予め記憶されている第１記憶部３２と、第１入力部４０及び第２入力部４１に入力された複数の被処理物１に関する情報が記憶される第２記憶部３３とを有する。
【００３９】
第１記憶部３２には、第１テーブル３２１、第２テーブル３２２、及び第３テーブル３２３が設けられている。第１テーブル３２１は、複数の被処理物１に関する情報（例えば、複数の被処理物１の種類や枚数、厚み等である。）が記憶されている。第２テーブル３２２は、複数の被処理物１がプロセスチューブ１１に対して搬入及び搬出されているとき、プロセスチューブ１１内に供給すべきプロセスガスの流量Ｎ１が複数の被処理物１の条件に応じて記憶されている。第３テーブル３２３は、複数の被処理物１の条件に応じて、複数の被処理物１をプロセスチューブ１１内へ搬入する時間（Ｔ１）、複数の被処理物１の熱処理に要する時間（Ｔ２）、プロセスチューブ１１内をガスパージするために要する時間（Ｔ３）、及びプロセスチューブ１１内から複数の被処理物１を搬出する時間（Ｔ４）の夫々が記憶されている。
【００４０】
上記の第１テーブル３２１、第２テーブル３２２、及び第３テーブル３２３に夫々記憶されている複数の被処理物１に関する条件、流量Ｎ１、及び時間Ｔ１〜Ｔ４は、被処理物１の条件に応じて書き換え可能である。
【００４１】
第２記憶部３３には、第４テーブル３３１、第５テーブル３３２、及び第６テーブル３３３が設けられている。第４テーブル３３１には、第２入力部４１に入力された複数の被処理物１に関する条件が記憶される。第５テーブル３３２及び第６テーブル３３３には、第１入力部４０に入力された流量Ｍ１及び流量Ｍ２が夫々記憶される。
【００４２】
ここで、流量Ｎ１のプロセスガスは、複数の被処理物１がプロセスチューブ１１内に搬入及び搬出されるときにプロセスチューブ１１内に供給される。このため、流量Ｎ１は、複数の被処理物１がボート上を移動することがない程度の流量としなければならない。従って、流量Ｎ１は、流量Ｍ１より少量となる様に設定される。
【００４３】
制御部３１は、第１入力部４０から複数の被処理物１への熱処理開始の信号が入力されると、第２記憶部３３の第４テーブル３３１に記憶された被処理物１に関する条件（つまり、第２入力部４１に入力された条件。）に合致する被処理物１を第１記憶部３２の第１テーブル３２１から読み出す。そして、第１記憶部３２の第２テーブル３２２及び第３テーブル３２３から、夫々、プロセスガスの流量Ｎ１及び時間Ｔ１〜Ｔ４を読み出す。また、制御部３１は、第２記憶部３３の第５テーブル３３２及び第６テーブル３３３が夫々記憶したプロセスガスの流量Ｍ１及びパージガスの流量Ｍ２を読み出す。制御部３１は、これらの情報に基づいてプロセスガスの流量を制御する。
【００４４】
ガス供給部３４は、制御部３１からプロセスガスの流量が入力されると、ガス導入口１４２を介してプロセスチューブ１１内にプロセスガスを供給する。駆動部３５は、制御部３１から熱処理開始の信号が入力されると、ボールネジ２６に正逆方向の回転を供給する。これにより、搬送台２５はボールネジ２６に沿って移動し、ボート２１は、プロセスチューブ１１に対して搬入及び搬出される。
【００４５】
［第１実施形態］
次に、本発明の第１実施形態に係る熱処理装置１００が複数の被処理物１に対して実行する熱処理について、図４のフローチャートに基づいて説明する。本実施形態では、複数の被処理物１がボート２１に搭載されて被処理物Ｘが第２の位置２０２に位置しており（即ち、プロセスチューブ１１内への搬入の待機状態である。）、第１入力部４０及び第２入力部４１に作業者によってプロセスガスの流量等を入力がされた状態から開始する。なお、本実施形態において、ボート２１の移動は、即ち、複数の被処理物１がプロセスチューブ１１に対して搬入及び搬出されることと同義である。
【００４６】
第１入力部４０から熱処理開始の信号が制御部３１に入力されると、制御部３１は、駆動部３５を正回転させる。ボールネジ２６は、駆動部３５により供給された正回転によって回転する。これにより、搬送台２５（つまり、ボート２１）はボールネジ２６に沿って移動を開始し、ボート２１は第２の位置２０２から炉口１４４を経てプロセスチューブ１１内へ搬入される。このとき、制御部３１は、流量Ｎ１のプロセスガスをガス供給部３４に出力する。ガス供給部３４は、ガス導入口１４２からこのプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給する（ステップＳ１）。
【００４７】
ステップＳ１において、複数の被処理物１のプロセスチューブ１１内への搬入が開始されてからＴ１時間経過すると（ステップＳ２；ＹＥＳ）、ボート２１は、第１の位置２０１に位置した状態（つまり、被処理物Ｘが第１の位置２０１に位置した状態である。）となり、複数の被処理物１が完全にプロセスチューブ１１内に搬入された状態となる（図２を参照。）。このとき、制御部３１は、回転を停止する様に駆動部３５を制御し、また、プロセスガスの供給を停止する様にガス供給部３４を制御する。そして、制御部３１は、流量Ｍ１のプロセスガスをガス供給部３４に出力する。ガス供給部３４は、ガス導入口１４２からこのプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給する。この様にして、複数の被処理物１を熱処理する（ステップＳ３）。
【００４８】
Ｔ１時間経過していない場合（ステップＳ２：ＮＯ）、制御部３１は、引き続き、駆動部３５を正回転させる。
【００４９】
ステップＳ３において、複数の被処理物１に熱処理を開始してからＴ２時間経過すると（ステップＳ４；ＹＥＳ）、制御部３１は、流量Ｍ２のパージガスをガス供給部３４に出力する。ガス供給部３４は、ガス導入口１４２からこのパージガスをプロセスチューブ１１内に供給する。この様にして、プロセスチューブ１１内をガスパージする（ステップＳ５）。
【００５０】
Ｔ２時間経過していない場合（ステップＳ４；ＮＯ）、引き続き、複数の被処理物１は熱処理される。
【００５１】
ステップＳ５において、制御部３１がプロセスチューブ１１内のガスパージを開始してからＴ３時間経過すると（ステップＳ６；ＹＥＳ）、制御部３１は、駆動部３５を逆回転させる。ボールネジ２６は、駆動部３５により供給された逆回転によって回転する。これにより、搬送台２５は、ボールネジ２６に沿って移動を開始し、ボート２１は、第１の位置２０１から炉口１４４を経てプロセスチューブ１１外へ搬出される。このとき、制御部３１は、流量Ｎ１のプロセスガスをガス供給部３４に出力する。ガス供給部３４は、ガス導入口１４２からこのプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給する（ステップＳ７）。
【００５２】
Ｔ３時間経過していない場合（ステップＳ６；ＮＯ）、プロセスチューブ１１内は、引き続き、ガスパージされる。
【００５３】
ステップＳ７において、複数の被処理物１のプロセスチューブ１１外への搬出が開始されてからＴ４時間経過すると（ステップＳ８；ＹＥＳ）、ボート２１は、第２の位置２０２に位置した状態（つまり、被処理物Ｘが第２の位置２０２に位置した状態である。）となり、複数の被処理物１が完全にプロセスチューブ１１外に搬出された状態となる（図１参照。）。制御部３１は、回転を停止する様に駆動部３５を制御し、また、プロセスガスの供給を停止する様にガス供給部３４を制御する。これにより、複数の被処理物１の熱処理が終了する。
【００５４】
Ｔ４時間経過していない場合（ステップＳ８：ＮＯ）、制御部３１は、引き続き、駆動部３５を逆回転させる。
【００５５】
再度、複数の被処理物１の熱処理を実行する場合は、上記のステップＳ１〜ステップＳ８の工程を繰り返し実行する。
【００５６】
上記の構成によれば、複数の被処理物１がプロセスチューブ１１に対して搬入及び搬出されているとき、所定の流量である流量Ｎ１のプロセスガスがプロセスチューブ１１内に供給される。このため、複数の被処理物１は、プロセスガスの気流によってボート２１上を移動して破損する虞は生じない。
【００５７】
［第２実施形態］
第２実施形態に係る熱処理装置２００は、プロセスチューブ１１に対して搬入及び搬出されているとき（つまり、ボート２１の移動中。）であって、複数の被処理物１がガス導入口１４２を通過している間のみ、所定の流量である流量Ｎ１のプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給する様に構成する。
【００５８】
複数の被処理物１をプロセスチューブ１１内に搬入するときの搬入方向において、最も上流側に配置されている被処理物１を被処理物Ｙとする。ボート２１のプロセスチューブ１１内への搬入開始時から、被処理物Ｘがガス導入口１４２の位置に到達するまでの時間をｔ１とする。ｔ１時間経過後、被処理物Ｙがガス導入口１４２の位置に到達するまでの時間をα１とする。複数の被処理物１が熱処理された後、プロセスチューブ１１内はガスパージされる。このガスパージが終了した時点から被処理物Ｙがガス導入口１４２の位置に到達するまでの時間をｔ２とする。ｔ２時間経過後、被処理物Ｘがガス導入口１４２の位置に到達するまでの時間をα２とする。図５に示される様に、第１記憶部３２には、複数の被処理物１の条件に応じて、上記の時間ｔ１、α１、ｔ２、及びα２の夫々を第７テーブル３２４に記憶させている。なお、第７テーブル３２４に夫々記憶させている時間ｔ１、α１、ｔ２、及びα２は、被処理物１の条件に応じて書き換え可能である。
【００５９】
次に、本発明の第２実施形態に係る熱処理装置２００が複数の被処理物１に対して実行する熱処理について、図６のフローチャートに基づいて説明する。なお、熱処理を開始するときの熱処理装置２００の状態は第１実施形態と同様である。
【００６０】
ステップＳ１１は、第１実施形態のステップＳ１に対応するステップである。ステップＳ１１において、複数の被処理物１のプロセスチューブ１１内への搬入が開始されてからｔ１時間経過すると（ステップＳ１２；ＹＥＳ）、制御部３１は、流量Ｎ１のプロセスガスをガス供給部３４に出力する。ガス供給部３４は、ガス導入口１４２からこのプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給する。
【００６１】
ｔ１時間経過していない場合（ステップＳ１２：ＮＯ）、制御部３１は、引き続き、駆動部３５を正回転させる。
【００６２】
ステップＳ１２において、ｔ１時間経過し（ステップＳ１２；ＹＥＳ）、さらに、α１時間経過すると（Ｓ１３；ＹＥＳ）、制御部３１は、流量Ｎ１のプロセスガスの供給を停止する様にガス供給部３４を制御する。
【００６３】
α１時間経過していない場合（ステップＳ１３：ＮＯ）、制御部３１は、引き続き、ガス供給部３４に流量Ｎ１のプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給させる。
【００６４】
複数の被処理物１のプロセスチューブ１１内への搬入が開始されてからＴ１時間経過すると（ステップＳ１４；ＹＥＳ）、ボート２１は、第１の位置２０１に位置した状態（つまり、被処理物Ｘが第１の位置２０１に位置した状態である。）となり、複数の被処理物１が完全にプロセスチューブ１１内に搬入された状態となる（図２を参照。）。ステップＳ１５〜ステップＳ１８は、第１実施形態のステップＳ４〜ステップＳ７に対応するステップである。
【００６５】
ステップＳ１８において、Ｔ３時間ガスパージされると（ステップＳ１８；ＹＥＳ）、複数の被処理物１のプロセスチューブ１１外への搬出が開始される（ステップＳ１９）。複数の被処理物１の搬出が開始されてからｔ２時間経過すると（ステップＳ２０；ＹＥＳ）、制御部３１は、流量Ｎ１のプロセスガスをガス供給部３４に出力する。ガス供給部３４は、ガス導入口１４２からこのプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給する。
【００６６】
ｔ２時間経過していない場合（ステップＳ２０：ＮＯ）、制御部３１は、引き続き、駆動部３５を逆回転させる。
【００６７】
ステップＳ２０において、ｔ２時間経過し（ステップＳ２０；ＹＥＳ）、さらに、α２時間経過すると（Ｓ２１；ＹＥＳ）、制御部３１は、流量Ｎ１のプロセスガスの供給を停止する様にガス供給部３４を制御する。
【００６８】
α２時間経過していない場合（ステップＳ２１：ＮＯ）、制御部３１は、引き続き、ガス供給部３４に流量Ｎ１のプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給させる。
【００６９】
複数の被処理物１のプロセスチューブ１１外への搬出が開始されてからＴ４時間経過すると（ステップＳ２２；ＹＥＳ）、ボート２１は、第２の位置２０２に位置した状態（つまり、被処理物Ｘが第２の位置２０２に位置する。）となり、複数の被処理物１が完全にプロセスチューブ１１外に搬出された状態となる（図１を参照。）。制御部３１は、回転を停止する様に駆動部３５を制御する。これにより、複数の被処理物１の熱処理が終了する。
【００７０】
Ｔ４時間経過していない場合（ステップＳ２２；ＮＯ）、制御部３１は、引き続き、駆動部３５を逆回転させる。
【００７１】
再度、複数の被処理物１の熱処理を実行する場合は、上記のステップＳ１１〜ステップＳ２２の工程を繰り返し実行する。
【００７２】
第２実施形態の構成によれば、ボート２１の移動中であって、複数の被処理物１がガス導入口１４２を通過している間のみ、所定の流量である流量Ｎ１のプロセスガスがプロセスチューブ１１内に供給される。よって、継続してプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給し続ける場合に比べてコストが削減できる。
【００７３】
［第３実施形態］
本実施形態は、ボート２１の位置決め部材として、サーボモータ（不図示。）を使用するため、距離による制御が可能である。そこで、第３実施形態の熱処理装置３００は、ボート２１の移動距離によってプロセスガスの流量を制御する構成とする。
【００７４】
図７に示される様に、複数の被処理物１がプロセスチューブ１１内に搬入可能な状態であるとき、ボールネジ２６における搬送台２５の位置を第３の位置２５１とする。複数の被処理物１がプロセスチューブ１１内に搬入されていく過程において、被処理物Ｘ及び被処理物Ｙの夫々がガス導入口１４２の位置に到達したしたときのボールネジ２６における搬送台２５の位置を夫々、第４の位置２５２及び第５の位置２５３とする。また、被処理物Ｘが第１の位置２０１に到達したときのボールネジ２６における搬送台２５の位置を第６の位置２５４とする。そして、第３の位置２５１と第４の位置２５２との距離をＬ１、第４の位置２５２と第５の位置２５３との距離をＬ２、第５の位置２５３と第６の位置２５４との距離をＬ３とする。
【００７５】
第３実施形態に係る熱処理装置３００では、上記の距離Ｌ１〜Ｌ３が第１記憶部３２の第７テーブル３２４に記憶される。なお、第７テーブル３２４に夫々記憶されている距離Ｌ１〜Ｌ３も被処理物１の条件に応じて書き換え可能である。
【００７６】
次に、本発明の第３実施形態に係る熱処理装置３００が複数の被処理物１に対して実行する熱処理について、図８のフローチャートに基づいて説明する。なお、熱処理を開始するときの熱処理装置３００の状態は実施形態１と同様である。
【００７７】
ステップＳ３１は、第１実施形態のステップＳ１に対応したステップである。ステップＳ３１において、複数の被処理物１の搬入方向において搬送台２５がボールネジ２６に沿って距離Ｌ１移動すると（ステップＳ３２；ＹＥＳ）、制御部３１は、流量Ｎ１のプロセスガスを読み出して、ガス供給部３４に出力する。ガス供給部３４は、ガス導入口１４２からこのプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給する。
【００７８】
搬送台２５が距離Ｌ１移動していない場合（ステップＳ３２：ＮＯ）、制御部３１は、引き続き、駆動部３５を正回転させる。
【００７９】
ステップＳ３２において、搬送台２５が距離Ｌ１移動し（ステップＳ３２；ＹＥＳ）、さらに、距離Ｌ２移動すると（Ｓ３３；ＹＥＳ）、制御部３１は、流量Ｎ１のプロセスガスの供給を停止する様にガス供給部３４を制御する。
【００８０】
搬送台２５が距離Ｌ２移動していない場合（Ｓ３３；ＮＯ）制御部３１は、引き続き、ガス供給部３４に流量Ｎ１のプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給させる。
【００８１】
搬送台２５が距離Ｌ２移動し（Ｓ３３；ＹＥＳ）さらに、距離Ｌ３移動すると（Ｓ３４；ＹＥＳ）、ボート２１は、第１の位置２０１に位置した状態（つまり、被処理物Ｘが第１の位置２０１に位置した状態である。）となり、複数の被処理物１が完全にプロセスチューブ１１内に搬入された状態となる（図２を参照。）。ステップＳ３５〜ステップＳ３８は、ステップＳ４〜ステップＳ７に対応したステップである。
【００８２】
ステップＳ３８において、Ｔ３時間ガスパージされると（ステップＳ３８；ＹＥＳ）、複数の被処理物１のプロセスチューブ１１外への搬出が開始される（ステップＳ３９）。複数の被処理物１の搬出が開始されて、搬送台２５がＬ３移動すると（ステップＳ４０；ＹＥＳ）、制御部３１は、流量Ｎ１のプロセスガスをガス供給部３４に出力する。ガス供給部３４は、ガス導入口１４２からこのプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給する。
【００８３】
搬送台２５がＬ３移動していない場合（ステップＳ４０：ＮＯ）、制御部３１は、引き続き、駆動部３５を逆回転させる。
【００８４】
ステップＳ４０において、搬送台２５がＬ３移動し（ステップＳ２０；ＹＥＳ）、さらに、Ｌ２移動すると（Ｓ２１；ＹＥＳ）、制御部３１は、流量Ｎ１のプロセスガスの供給を停止する様にガス供給部３４を制御する。
【００８５】
搬送台２５がＬ２移動していない場合（ステップＳ４１：ＮＯ）、制御部３１は、引き続き、ガス供給部３４に流量Ｎ１のプロセスガスをプロセスチューブ１１内に供給させる。
【００８６】
搬送台２５が距離Ｌ２移動し（Ｓ４１；ＹＥＳ）、さらに、距離Ｌ１移動すると（ステップＳ４２；ＹＥＳ）、ボート２１は、第２の位置２０２に位置した状態（つまり、被処理物Ｘが第２の位置２０２に位置する。）となり、複数の被処理物１が完全にプロセスチューブ１１外に搬出された状態となる（図１を参照。）。制御部３１は、回転を停止する様に駆動部３５を制御する。これにより、複数の被処理物１の熱処理が終了する。
【００８７】
搬送台２５がＬ１移動していない場合（ステップＳ４２；ＮＯ）、制御部３１は、引き続き、駆動部３５を逆回転させる。
【００８８】
再度、複数の被処理物１の熱処理を実行する場合は、上記のステップＳ３１〜ステップＳ４２の工程を繰り返し実行する。
【００８９】
なお、上記の第１〜第３実施形態では、縦型の熱処理炉としていたが、横型の熱処理炉であっても構わない。横型の熱処理炉の場合、複数の被処理物１が熱処理炉内に搬入されている最中、複数の被処理物１のボート上での位置ずれが生じ難くなる。このため、熱処理炉内に導入されるプロセスガスの気流によって、複数の被処理物１がボート上を移動することを確実に防止できる。
【００９０】
上記の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００９１】
１…被処理物
１０…熱処理炉
２０…搬送機構
２１…ボート
２６…ボールネジ（位置決め部材）
３０…コントローラ
３１…制御部
３２…第１記憶部
３３…第２記憶部
３４…ガス供給部
４０…第１入力部（第１受付部）
４１…第２入力部（第２受付部）
１００、２００、３００…熱処理装置
１４２…ガス導入口
１４４…炉口
２０１…第１の位置
２０２…第２の位置
Ｎ１…プロセスガスの所定の流量
Ｍ１…受付部が受け付けたプロセスガスの流量
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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