(57)【要約】【課題】複数のレーザモジュールを有し、駆動するレーザモジュールの個数を切換える際の不具合を防止する機能を備えたレーザ装置を提供する。【解決手段】レーザ装置１０は、複数のレーザモジュール１２と、合波器１６からの合波レーザ光についての第１の光出力指令を生成する光出力指令部１８と、第１の光出力指令に基づいて、複数のレーザモジュール１２のうち駆動すべきレーザモジュールを選択し、レーザモジュールの各々について第２の光出力指令を生成するレーザモジュール選択・指令部２０とを有し、レーザモジュール選択・指令部２０は、個数を切換えた時点から所定の時間が経過するまでの間は、個数を切換える前からレーザ発振していたレーザモジュールに対して、個数を切換える前からレーザ発振していたレーザモジュールだけで第１の光出力指令に応じた出力の合波レーザ光が出力されるように第２の光出力指令を出力する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレーザモジュールと、
前記レーザモジュールの各々を駆動するためのレーザ電源部と、
前記複数のレーザモジュールが発振したレーザ光を合波して合波レーザ光として出力する合波器と、
前記合波レーザ光についての第１の光出力指令を生成する光出力指令部と、
前記第１の光出力指令に基づいて、前記複数のレーザモジュールから駆動すべきレーザモジュールを選択するとともに、前記複数のレーザモジュールの各々への第２の光出力指令を生成するレーザモジュール選択・指令部と、
前記第２の光出力指令に基づいて、前記レーザモジュール及び前記レーザ電源部を制御する制御部と、を備え、
レーザモジュール選択・指令部は、前記第１の光出力指令の変化に応じてレーザ発振する前記レーザモジュールの個数を切換えるときに、個数を切換えた時点から所定の時間が経過するまでの間は、個数を切換える前からレーザ発振していたレーザモジュールに対して、個数を切換える前からレーザ発振していたレーザモジュールだけで前記第１の光出力指令に応じた出力の合波レーザ光が出力されるように前記第２の光出力指令を出力する、レーザ装置。
【請求項２】
前記レーザモジュール選択・指令部は、前記第１の光出力指令の変化に応じてレーザ発振する前記レーザモジュールの個数を変化させるときに、該変化に伴う各レーザモジュールへの第２の光出力指令の変化量又は各レーザモジュールに供給される電力の変化量が所定の上限値以下となるように、レーザ発振するレーザモジュールの個数の切換えの基準となる前記第１の光出力指令の閾値と、切換え前後でのレーザモジュールの個数とを決定する、請求項１のレーザ装置。
【請求項３】
前記レーザモジュール選択・指令部は、前記第１の光出力指令の変化に応じてレーザ発振する前記レーザモジュールの個数を変化させるときに、前記レーザ装置の出力可能範囲内でのレーザ発振するレーザモジュールの個数の切換えの基準となる前記第１の光出力指令の閾値の、前記レーザ装置の出力可能範囲内での個数が最小となるように、前記閾値と、切換え前後でのレーザモジュールの個数とを決定する、請求項１又は２に記載のレーザ装置。
【請求項４】
前記レーザモジュール選択・指令部は、レーザ発振する前記レーザモジュールの個数の変化に伴う各レーザモジュールへの第２の光出力指令の変化量又は各レーザモジュールに供給される電力の変化量が最小又は所定の上限値以下となるように、レーザ発振するレーザモジュールの個数の切換えの基準となる前記第１の光出力指令の閾値と、切換え前後でのレーザモジュールの個数とを決定する、請求項３のレーザ装置。
【請求項５】
前記レーザモジュール選択・指令部は、前記第１の光出力指令の変化に応じてレーザ発振する前記レーザモジュールの個数を変化させるときに、前記第２の光出力指令を変化させるレーザモジュールの内、少なくとも１つのレーザモジュールに対する第２の光出力指令値を、時間的に勾配を付けて変化させる、請求項１〜４のいずれか１項に記載のレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のレーザモジュールを備えたレーザ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のレーザモジュール（レーザ光源）から出力されたレーザ光を合波し、得られた合波レーザ光を照射する装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
また、複数のレーザモジュールを有するレーザ加工機において、合波レーザ光の出力やスポット径に基づいて、駆動するレーザモジュールの個数を調整する技術も知られている（例えば特許文献２、３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−０１２８８８号公報
【特許文献２】特開２０１２−２２７３５３号公報
【特許文献３】国際公開第２０１４／１３３０１３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
個々のレーザモジュールには、レーザ光を安定して出力できる光出力の下限があるため、複数のレーザモジュールを備えたレーザ装置において広い光出力範囲を確保するためには、レーザ発振するレーザモジュールの個数を適宜切換えることが求められる。ここで、レーザ発振するレーザモジュールの個数を増やす場合、少なくとも１つのレーザモジュールに対しては電力供給が開始されることになるが、供給電力の立上りには一定の遅延時間があるため、個数の切換え直後は、合波レーザ光についての指令値に対し、実測値が大きく低下するという、いわゆるノッチという現象が発生する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様は、複数のレーザモジュールと、前記レーザモジュールの各々を駆動するためのレーザ電源部と、前記複数のレーザモジュールが発振したレーザ光を合波して合波レーザ光として出力する合波器と、前記合波レーザ光についての第１の光出力指令を生成する光出力指令部と、前記第１の光出力指令に基づいて、前記複数のレーザモジュールから駆動すべきレーザモジュールを選択するとともに、前記複数のレーザモジュールの各々への第２の光出力指令を生成するレーザモジュール選択・指令部と、前記第２の光出力指令に基づいて、前記レーザモジュール及び前記レーザ電源部を制御する制御部と、を備え、レーザモジュール選択・指令部は、前記第１の光出力指令の変化に応じてレーザ発振する前記レーザモジュールの個数を切換えるときに、個数を切換えた時点から所定の時間が経過するまでの間は、個数を切換える前からレーザ発振していたレーザモジュールに対して、個数を切換える前からレーザ発振していたレーザモジュールだけで前記第１の光出力指令に応じた出力の合波レーザ光が出力されるように前記第２の光出力指令を出力する、レーザ装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、複数のレーザモジュールを有するレーザ装置において、レーザ発振するレーザモジュールの個数を切換えるときのノッチの発生を防止でき、レーザ出力の安定性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】好適な実施形態に係るレーザ装置の主要部の機能ブロック図である。
【図２】従来技術における、光出力指令の時間変化の一例を示すグラフである。
【図３】図１のレーザ装置における、光出力指令の時間変化の一例を示すグラフである。
【図４】レーザ装置の出力と発振するレーザモジュールの個数との対応関係を示す図であり、レーザ装置の出力可能範囲内での個数切換えの閾値が４つである例を示す。
【図５】レーザ装置の出力と発振するレーザモジュールの個数との対応関係を示す図であり、レーザ装置の出力可能範囲内での個数切換えの閾値が４つである他の例を示す。
【図６】レーザ装置の出力と発振するレーザモジュールの個数との対応関係を示す図であり、レーザ装置の出力可能範囲内での個数切換えの閾値が２つである例を示す。
【図７】レーザ装置の出力と発振するレーザモジュールの個数との対応関係を示す図であり、レーザ装置の出力可能範囲内での個数切換えの閾値が２つである他の例を示す。
【図８】図１のレーザ装置における、光出力指令の時間変化の一例を示すグラフであり、第２の光出力指令を徐々に変化させた場合を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１は、本発明の好適な実施形態に係るレーザ装置の主要部の機能ブロック図である。レーザ装置１０は、例えばレーザ加工機であり、複数のレーザ発振モジュール（レーザモジュール）１２と、レーザモジュール１２に駆動電力を供給する（通常はレーザモジュール１２と同数の）レーザ電源部１４と、レーザモジュール１２から出力（発振）されたレーザ光を合波し、合波レーザ光として外部に出力する合波器１６と、合波レーザ光についての第１の光出力指令（値）を生成する光出力指令部１８と、第１の光出力指令に基づいて、複数のレーザモジュール１２のうち駆動（レーザ発振）すべきレーザモジュールを選択するとともに、選択したレーザモジュールの各々について第２の光出力指令（値）を生成するレーザモジュール選択・指令部２０と、第２の光出力指令に基づいてレーザ電源部１４及びレーザモジュール１２を制御する制御部２２とを有する。なおレーザモジュール１２の個数は、レーザ装置１０の使用目的等によって適宜決定され、例えば２〜３０の範囲の値であるが、これに限定されるものではない。
【００１０】
またレーザ装置１０は、合波器１６から出力された合波レーザ光の実際の強度を検出する、光センサ等の第１の光検出器２４と、各レーザモジュール１２から発振されたレーザ光の強度を検出する、光センサ等の第２の光検出器２６とを有する。これらの光センサの検出値は、制御部２２にフィードバック可能であり、これにより制御部２２は、検出された合波レーザ光の強度及び各モジュールのレーザ光の強度に基づいたフィードバック制御を行うことができる。
【００１１】
光出力指令部１８、レーザモジュール選択・指令部２０及び制御部２２は、例えばプロセッサの形態で提供可能であり、レーザ装置１０又はこれを制御する制御装置内に組み込まれてもよいし、レーザ装置１０（の筐体）とは外観上異なるパーソナルコンピュータ等として提供されてもよい。また光出力指令部１８、レーザモジュール選択・指令部２０及び制御部２２の少なくとも１つは、後述する演算処理を行うためのデータ等を格納する機能又はメモリ等の記憶部を具備してもよい。
【００１２】
以下、レーザ装置１０における、駆動すべきレーザモジュールの切換え処理について説明する。図２は、本開示との比較のため、従来技術に係るレーザ装置における、合波レーザ光に対する光出力指令（Ｐａ）と、各レーザモジュールに対する光出力指令（Ｐｂ）とを、同じ時間軸で示すグラフである。なおここでは、レーザ装置は２つのレーザモジュール（レーザモジュール１、２）を有し、レーザ発振（駆動）するモジュールの個数を２個→１個（モジュール１のみ駆動）→２個と切換える場合を説明する。また同図では、モジュール１への第２の光出力指令をＰｂ１とし、モジュール２への第２の光出力指令をＰｂ２と表す。これは後述する図３及び図８についても同様である。
【００１３】
光出力指令Ｐａが徐々に減少して所定の閾値Ｐｄに達したら（時刻ｔ１）、レーザモジュール２の駆動（電力供給）が停止され、再び光出力指令Ｐａが閾値Ｐｄに達する時刻（ｔ２）まで、レーザモジュール１のみが駆動される。ここで時刻ｔ２では、レーザモジュール２への電力供給が開始されるが、供給電力の立上りには一定の遅延時間（Δｔ）があるため、時刻ｔ２から該遅延時間が経過するまでの間（ｔ２〜ｔ３）は、レーザモジュール２の実際の光出力Ｐｂ２′は殆どゼロであり、故に合波レーザ光の実際の光出力も、時刻ｔ２〜ｔ３では光出力指令Ｐａよりも大きく低下し（Ｐａ′）、いわゆるノッチと呼ばれる現象が生じる。このノッチはレーザ出力を不安定にさせ、例えばレーザ装置をレーザ加工機として使用している場合は、加工面（切断面）に筋状の模様が形成されたり、切残しが発生したりする虞がある。
【００１４】
図３は、図２と対比すべく、本開示に係るレーザ装置１０における、合波レーザ光に対する光出力指令（Ｐａ）と、各レーザモジュールに対する光出力指令（Ｐｂ）とを、同じ時間軸で示すグラフである。レーザモジュール選択・指令部２０は、レーザ発振するレーザモジュールの個数を増やすべきとき（ｔ２）に、個数を切換えた時点（より具体的には、モジュール２への電力供給を開始する旨の指令が出力されたとき）から所定時間が経過するまで（ｔ３）の間は、個数を切換える前からレーザ発振していたレーザモジュール１だけで、合波レーザ光が第１の光出力指令に応じた出力となるように、レーザモジュール１に対して第２の光出力指令Ｐｂ１を出力する。
【００１５】
より詳細には、時刻ｔ２から上記遅延時間Δｔに概ね等しい所定時間が経過するまで（ｔ２〜ｔ３）は、個数の切換え後にレーザ発振を開始するレーザモジュール２のレーザ電源部１４に対しては、従来と同様の第２の光出力指令（値）Ｐｂ２（図示例では、時刻ｔ２において発振停止状態から出力Ｐｄ／２にて発振を開始する旨の指令）が送られるが、個数を切換える前からレーザ発振していたレーザモジュール１に対しては、レーザモジュール１だけの出力によって第１の光出力指令（値）に相当する出力の合波レーザ光が合波器１６から出力されるように、レーザモジュール１のレーザ電源部１４に対して第２の光出力指令（値）Ｐｂ１が送られる。つまり図３の場合は、時刻ｔ１からｔ３までは、レーザモジュール１に対する第２の光出力指令値Ｐｂ１は、第１の光出力指令値Ｐａに等しい。さらに、所定時間が経過した時刻ｔ３以降は、レーザモジュール１のレーザ電源部１４に対しても、従来と同様の第２の光出力指令（値）Ｐｂ１（レーザモジュール１及び２の双方によって第１の光出力指令（値）に相当する出力の合波レーザ光を出力する旨の指令）が送られる。
【００１６】
レーザ装置１０では上述の処理により、レーザモジュール２の実際の光出力Ｐｂ２′が第２の光出力指令Ｐｂ２の受信時から遅延時間に相当する時間だけ遅れても、レーザモジュール１がこれを補う出力のレーザを発振しているので、図３の上段グラフのように、光出力指令Ｐａと実際の光出力Ｐａ′はほぼ一致し、図２で示したようなノッチが生じない。従ってレーザ装置１０では、合波レーザ光の出力が安定し、例えばレーザ装置１０をレーザ加工機として使用した場合は、ノッチに伴う加工精度の悪化や加工不良の発生を、排除又は低減できる。
【００１７】
なお図２及び図３では、明瞭化のため、時刻ｔ２からｔ３の間（遅延時間）は誇張表示している。実際の遅延時間Δｔは、レーザモジュールの仕様等にもよるが、概ね５μｓ〜３００μｓの範囲であり、通常は既知の値である。従って上記所定時間を遅延時間と等しいか、いくらか大きい値（例えば遅延時間の１００〜１５０％）に設定しておくことにより、上記ノッチの発生を防止することができる。但し、遅延時間にはレーザモジュール間での個体差がある場合もあるので、上記所定時間はパラメータ等の形態でオペレータが適当な入力手段（レーザ装置に設けたタッチパネル、キーボード等）を用いて設定・変更できるようにしておくことが好ましい。
【００１８】
また、同じレーザモジュールであっても、電力供給停止後から電力再供給までの時間が比較的短い場合は、長い場合に比べて立上りが速い（遅延時間が短い）ことがある。そこで各モジュールについて電力供給停止後から電力再供給までの時間を測定するタイマを設け、該タイマの測定内容に基づいて上記所定時間を自動的に調整することもできる。或いは、タイマの替わりに、電力供給停止後から電力再供給までの時間と相関のある部品（例えばレーザ電源部１４のスイッチング部品）の温度を測定する温度センサを設け、該温度センサの測定内容に基づいて上記所定時間を自動的に調整することもできる。
【００１９】
上述のように本開示に係るレーザ装置１０では、発振するレーザモジュールの個数を切換えるとき（上記実施例では増やすとき）のノッチの発生を大幅に抑制できるが、実際には、レーザ発振するレーザモジュールの個数の切換え前後での各レーザモジュールへの光出力指令値の変化が比較的大きいと、レーザ電源部の特性等の要因によっては、レーザモジュールからの光出力においてノッチが発生する場合がある。従って、個数の切換え前後での各レーザモジュールへの光出力指令値の変化量は小さいことが好ましい。また、各レーザモジュールへの光出力指令値の変化量が小さくても、個数の切換え時には小さなノッチが発生することがあり、故に個数の切換え頻度も小さいことが好ましい。
【００２０】
そこで図４〜図７を参照して、発振するレーザモジュールの個数の切換える際に発生し得るノッチの大きさ又は発生頻度を抑制するための実施例について説明する。以下の例では、レーザ装置１０は１６個のレーザモジュール１２を有し、各モジュールの出力範囲は５０Ｗ〜５００Ｗであるとする。従ってこの場合のレーザ装置１０の定格出力（最大出力可能範囲）は８０００Ｗとなる。
【００２１】
先ずノッチの大きさを抑制するための処理として、レーザモジュール選択・指令部２０は、第１の光出力指令値の変化に応じてレーザ発振するレーザモジュール１２の個数を切換える場合に、切換えの基準となる第１の光出力指令値の閾値と、切換え前後でのレーザモジュールの個数（又は切換え前のレーザモジュールの個数及び増減数）とを、切換え前後での各モジュールに対する第２の光出力指令値の変化量ΔＰｉが所定の上限値以下となるように決定することができる。第２の光出力指令値の変化量を所定の上限値以下に制限することにより、大きなノッチの出現が防止できる。なおここでの所定の上限値は、例えば過去の実績に基づいて経験的に定めることができる。
【００２２】
第２の光出力指令値の変化量ΔＰｉが小さいほど、発生するノッチの大きさも小さくなる傾向があるので、ΔＰｉのみに着目すれば、発振するレーザモジュールの個数の切換えはできるだけ頻繁に行うことが望ましい。しかし、上述のように個数の切換え自体によってもノッチが発生することがあるので、レーザモジュール選択・指令部２０は、ΔＰｉを所定の上限値以下に維持しつつ、個数の切換え頻度が最小となるようにΔＰｉ、切換え前の発振するレーザモジュールの個数Ｎ、及び切り換え時の個数の変化量ΔＮ（又は切換え後の発振するレーザモジュールの個数）を決定することができる。
【００２３】
例えばΔＰｉの上限値を２５０Ｗに設定した場合、図４に示すように、第１の光出力指令値がレーザ装置１０の出力可能範囲内での最大光出力指令値（ここでは８０００Ｗ）から最小光出力指令値（ここでは５０Ｗ）まで（或いはこの逆）変化するときの切換え回数は４回（すなわち出力可能範囲内に閾値が４つ）とすることができる。具体的には、Ｐｄ、Ｎ、ΔＮ及びΔＰｉの関係は、以下の表１のようになる。このようにΔＰｉを所定の上限値以下に維持しつつ、発振するレーザモジュールの個数の切換え頻度を最小化することにより、ノッチの大きさ及び発生頻度の双方を好適に最小化することができる。
【００２４】
【表１】
2018181952.tif 000003
【００２５】
なお図４は、レーザ装置全体の出力可能範囲（５０Ｗ〜８０００Ｗ）を示すとともに、発振するレーザモジュールの個数に応じた出力可能範囲（例えば２個の場合は１００Ｗ〜１０００Ｗ）を示している。さらに、「３→１６」等の表記は、その出力範囲で使用可能なレーザモジュールの個数を示している。例えば、１０００Ｗ〜１５００Ｗでは「３→１６」と表記されていることから、この範囲で使用可能なモジュールの個数は３から１６までとなる。これらの表記については、後述する図５〜図７についても同様である。
【００２６】
また図４の実施例は、さらに最適化することもできる。例えば図５に示すように、切換え頻度を４回に維持した上でさらにΔＰｉの上限値を下げることもでき、図５の実施例に相当するＰｄ、Ｎ、ΔＮ及びΔＰｉの関係は、以下の表２のようになる。この場合、切換え頻度を４回（閾値を４つ）に維持しつつ、ΔＰｉを１２５Ｗまで低減できる。
【００２７】
【表２】
2018181952.tif 000004
【００２８】
図４及び図５の実施例では、先ずΔＰｉの上限値の定めた上で切換え頻度の最小化を行ったが、先に切換え頻度の最小化を行うこともできる。つまりレーザモジュール選択・指令部２０は、第１の光出力指令値をレーザ装置の最大光出力指令値（ここでは８０００Ｗ）から最小光出力指令値（ここでは５０Ｗ）まで（或いはこの逆）変える場合に、レーザ発振するレーザモジュールの個数を切換える頻度（すなわち出力可能範囲内の閾値の個数）が最も少なくなるように、Ｐｄ、Ｎ及びΔＮを決定することができる。例えば、Ｐｄ、Ｎ、ΔＮ及びΔＰｉの関係を以下の表３のようにすれば、切換え回数は２回（閾値は２つ）となる。
【００２９】
【表３】
2018181952.tif 000005
【００３０】
表３に示すように、閾値Ｐｄが５００Ｗでの切換え時のΔＰｉが４５０Ｗと比較的大きく、ここで比較的大きいノッチが発生する可能性がある。そこで表３の実施例において、ΔＰｉの上限値を設定することにより、切換え回数（閾値の個数）を維持しつつ、ΔＰｉを低減することができる。図６は、ΔＰｉの上限値を２００Ｗと設定した場合の一実施例を示しており、このときのＰｄ、Ｎ、ΔＮ及びΔＰｉの関係は以下の表４のようになる。
【００３１】
【表４】
2018181952.tif 000006
【００３２】
なお図６の実施例は、さらに最適化することもできる。例えば図７に示すように、切換え頻度を２回に維持した上でさらにΔＰｉが最小化される条件を求めることができ、図７の実施例に相当するＰｄ、Ｎ、ΔＮ及びΔＰｉの関係は、以下の表５のようになる。この場合、出力可能範囲内での閾値の個数を２つに維持しつつ、ΔＰｉを１５０Ｗまで低減できる。
【００３３】
【表５】
2018181952.tif 000007
【００３４】
なお上述の実施例では、切換え前後での各モジュールに対する第２の光出力指令値の変化量ΔＰｉを用いた処理を説明したが、ΔＰｉの替わりに、各モジュールに供給される電力の変化量ΔＥｉを用いてもよい。ΔＰｉとΔＥｉは概ね比例関係にあるので、ΔＥｉを用いた場合でも、上述の例と同等の作用効果が得られる。
【００３５】
また上述の実施例において、レーザモジュール選択・指令部２０が求めたＰｄ、Ｎ、ΔＮ及びΔＰｉの関係は、予め所定のプログラムやメモリ等に記憶させておくことができる。また作業者が、Ｐｄ、Ｎ、ΔＮ及びΔＰｉの少なくとも１つを、レーザ装置に設けたタッチパネルやキーボード等の適当な入力手段を介して手動で設定・変更できるようにしてもよく、その場合レーザモジュール選択・指令部２０は、設定・変更された内容に基づいてＰｄ、Ｎ、ΔＮ及びΔＰｉの関係を再計算することもできる。
【００３６】
図８は、ノッチの発生又は大きさを抑制する他の実施例を説明する図である。レーザモジュール選択・指令部２０は、レーザ発振するレーザモジュールの個数を切換えるときに、第２の光出力指令値を変化させるレーザモジュールの内、少なくとも１つのレーザモジュール（ここではモジュール１、２）に対する第２の光出力指令値を、時間的にステップ状（又は不連続）ではなく、勾配を付けて（所定の時間にわたり徐々に）変化させることができる。
【００３７】
具体的には、図３で説明した実施例では、レーザモジュール１に対しては時刻ｔ１において第２の光出力指令値Ｐｂ１が２倍に変化する（図８では点線３０で図示）が、実線３２で示すように所定の時間Δｔ１にわたって徐々に第２の光出力指令値を増加させることができる。点線３０のように第２の光出力指令値Ｐｂ１を変化させた場合、モジュール１の実際の光出力はオーバーシュートによって指令値より大きくなり、その結果ノッチが発生することがあるが、実線３２のように勾配を付けることにより、オーバーシュートを防止してノッチの発生を抑制することができる。また図３の実施例では、レーザモジュール１に対しては時刻ｔ３において第２の光出力指令値Ｐｂ１が１／２に変化する（図８では点線３４で図示）が、実線３６で示すように所定の時間Δｔ２にわたって徐々に第２の光出力指令値Ｐｂ１を減少させることができる。なおここでの所定の時間Δｔ１及びΔｔ２は、レーザモジュールの仕様等によって異なるが、概ね５μｓ〜５０μｓの範囲の値として設定可能である。
【００３８】
同様に、図３の実施例では、レーザモジュール２に対しては時刻ｔ１において電力供給が停止する（図８では点線４０で図示）が、実線４２で示すように所定の時間Δｔ３にわたって徐々に第２の光出力指令値Ｐｂ２を減少させることができる。また図３の実施例では、レーザモジュール２に対しては時刻ｔ２において電力供給が再開される（図８では点線４４で図示）が、実線４６で示すように所定の時間Δｔ４にわたって徐々に第２の光出力指令値Ｐｂ２を増加させることができる。従ってこの場合も、オーバーシュート等によるノッチの発生を抑制することができる。なおここでの所定の時間Δｔ３及びΔｔ４も、レーザモジュールの仕様等によって異なるが、概ね５μｓ〜５０μｓの範囲の値として設定可能である。さらに所定の時間Δｔ１〜Δｔ４は、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。
【符号の説明】
【００３９】
１０    レーザ装置
１２    レーザモジュール
１４    レーザ電源部
１６    合波器
１８    光出力指令部
２０    レーザモジュール選択・指令部
２２    制御部
２４    第１の光検出器
２６    第２の光検出器
【図１】
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【図２】
2018181952.tif 000009
【図３】
2018181952.tif 000010
【図４】
2018181952.tif 000011
【図５】
2018181952.tif 000012
【図６】
2018181952.tif 000013
【図７】
2018181952.tif 000014
【図８】
2018181952.tif 000015