(57)【要約】【課題】位置決めが容易であり、且つ、生体に密着する電極シートを提供すること。【解決手段】電極シート１は、生体に密着することにより、前記生体の生体信号を取得可能な電極シート１であって、シート状のフレキシブル基板１０と、前記フレキシブル基板１０の表面に沿って形成される配線２０と、前記配線２０に電気的に接続される測定用端子４０と、前記フレキシブル基板１０に重ね合わされる支持シート３０と、を備え、前記支持シート３０は、生体から伝達される熱により軟化する材料により形成される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
生体に密着することにより、前記生体の生体信号を取得可能な電極シートであって、
シート状のフレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板の表面に沿って形成される配線と、
前記配線に電気的に接続される測定用端子と、
前記フレキシブル基板に重ね合わされる支持シートと、
を備え、
前記支持シートは、生体から伝達される熱により軟化する材料により形成される電極シート。
【請求項２】
前記支持シートは、前記配線を前記フレキシブル基板との間に挟み込む請求項１に記載の電極シート。
【請求項３】
前記支持シートは、前記測定用端子が挿通される第１貫通孔をもち、前記配線の全体を前記フレキシブル基板との間に挟み込む請求項２に記載の電極シート。
【請求項４】
前記配線、支持シート、及び、前記フレキシブル基板を封止する封止層を更に備える請求項３に記載の電極シート。
【請求項５】
前記封止層を被覆し、前記封止層よりも低侵襲性の材料により形成される被覆層を更に備える請求項４に記載の電極シート。
【請求項６】
前記封止層は、第１貫通孔に連通する第２貫通孔をもち、
前記被覆層は、前記第２貫通孔に連通する第３貫通孔をもち、
前記測定用端子は、前記第１貫通孔、前記第２貫通孔、及び前記第３貫通孔を挿通する請求項５に記載の電極シート。
【請求項７】
前記測定用端子は、前記被覆層の表面よりも突出して形成される請求項５又は６に記載の電極シート。
【請求項８】
前記測定用端子の先端側表面上に、ゲル状材料により形成された接着剤層を更に備える請求項５〜７のいずれかに記載の電極シート。
【請求項９】
前記フレキシブル基板及び前記被覆層は、前記配線を視認可能な透過度をもつ材料によって形成される請求項５〜８のいずれかに記載の電極シート。
【請求項１０】
生体に密着することにより、前記生体の生体信号を取得可能な電極シートの製造方法であって、
シート状のフレキシブル基板の表面に沿って複数の配線を形成する配線形成工程と、
前記フレキシブル基板に、生体から伝達される熱により軟化する材料により形成された支持シートを重ね合わせることにより、前記フレキシブル基板及び前記支持シートにより複数の前記配線を挟み込む配線挟み込み工程と、
前記支持シートの露出する表面から厚さ方向に向けて、前記配線に沿う任意の位置に、配線ごとに１つの第１貫通孔を形成する第１貫通孔形成工程と、
前記第１貫通孔内に、前記配線と電気的に接続する測定用端子を形成する測定用端子形成工程と、
を備える電極シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生体に密着することにより、生体の生体信号を取得可能な電極シート及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、生体の生体信号（脳波信号や心拍信号等）を取得して解析することにより、診断や治療に用いることが行われている。この生体信号の取得は、生体に電極を取り付けることにより行われ、取得された生体信号が解析装置に送信される。
【０００３】
生体に取り付けられる電極としては、平面状のシリコン樹脂シート上に配置されるものが知られている。しかしながら、複雑な形状で、且つ、曲率の大きい脳等の組織に対して、シート全体が完全に接触を維持することは難しい。そのため、電極と生体との間の接触を長期間安定的に得ることが難しく、生体内に長期留置して記録を行うことの妨げとなっていた。そこで、生体に電極を密着させることが可能な電極シートが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−３０６７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
提案された電極シートでは、シートとして、網状のフレキシブル基板を用いている。シートを網状にすることにより複数の空隙が設けられるので、脳のように複雑且つ曲率の大きい生体に対して、電極をフィットさせることに成功している。
【０００６】
ところで、電極シートを生体に密着させる際には、生体信号を取得する位置を決め、その位置に電極シートを密着させる必要がある。提案された電極シートは、フレキシブル基板の柔軟性を要因として、生体に対して電極の位置決めをすることが難しかった。そこで、位置決めが容易であり、且つ、生体に密着する電極シートであれば、さらに有用である。
【０００７】
本発明は、位置決めが容易であり、且つ、生体に密着する電極シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、生体に密着することにより、前記生体の生体信号を取得可能な電極シートであって、シート状のフレキシブル基板と、前記フレキシブル基板の表面に沿って形成される配線と、前記配線に電気的に接続される測定用端子と、前記フレキシブル基板に重ね合わされる支持シートと、を備え、前記支持シートは、生体から伝達される熱により軟化する材料により形成される電極シートに関する。
【０００９】
また、前記支持シートは、前記配線を前記フレキシブル基板との間に挟み込んでもよい。
【００１０】
前記支持シートは、前記測定用端子が挿通される第１貫通孔をもち、前記配線の全体を前記フレキシブル基板との間に挟み込んでもよい。
【００１１】
また、本発明の電極シートは、前記配線、支持シート、及び、前記フレキシブル基板を封止する封止層を更に備えてもよい。
【００１２】
また、本発明の電極シートは、前記封止層を被覆し、前記封止層よりも低侵襲性の材料により形成される被覆層を更に備えてもよい。
【００１３】
また、前記封止層は、第１貫通孔に連通する第２貫通孔をもち、前記被覆層は、前記第２貫通孔に連通する第３貫通孔をもち、前記測定用端子は、前記第１貫通孔、前記第２貫通孔、及び前記第３貫通孔を挿通してもよい。
【００１４】
また、前記測定用端子は、前記被覆層の表面よりも突出して形成されてもよい。
【００１５】
また、本発明の電極シートは、前記測定用端子の先端側表面上に、ゲル状材料により形成された接着剤層を更に備えてもよい。
【００１６】
また、前記フレキシブル基板及び前記被覆層は、前記配線を視認可能な透過度をもつ材料によって形成されてもよい。
【００１７】
また、本発明は、生体に密着することにより、前記生体の生体信号を取得可能な電極シートの製造方法であって、シート状のフレキシブル基板の表面に沿って複数の配線を形成する配線形成工程と、前記フレキシブル基板に、生体から伝達される熱により軟化する材料により形成された支持シートを重ね合わせることにより、前記フレキシブル基板及び前記支持シートを用いて複数の前記配線を挟み込む配線挟み込み工程と、前記支持シートの露出する表面から厚さ方向に向けて、前記配線に沿う任意の位置に、配線ごとに１つの第１貫通孔を形成する第１貫通孔形成工程と、前記第１貫通孔内に、前記配線と電気的に接続する測定用端子を形成する測定用端子形成工程と、を備える電極シートの製造方法に関する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、位置決めが容易であり、且つ、生体に密着する電極シートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る電極シートを示す平面図である。
【図２】図１の領域Ａを示す斜視図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】一実施形態に係る電極シートのフレキシブル基板の斜視図を示す。
【図５】一実施形態に係るフレキシブル基板に配線を形成した電極シートの斜視図を示す。
【図６】一実施形態に係るフレキシブル基板に支持シートを重ね合わせた電極シートの斜視図を示す。
【図７】一実施形態に係るフレキシブル基板に封止層を形成した電極シートの斜視図を示す。
【図８】一実施形態に係るフレキシブル基板及び封止層に被覆層を形成した電極シートの斜視図を示す。
【図９】一実施形態に係る被覆層及び封止層に第２貫通孔を形成した電極シートの斜視図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る電極シート及びその製造方法の一実施形態について、図１〜図９を参照して説明する。
本実施形態に係る電極シート１は、生体に埋め込まれる検査（解析）用シートとして用いられる。例えば、図１に示すように、電極シート１は、複数の配線２０，２０，・・・がシート面の一方向に揃えて並べて構成され、配線２０の一端側が解析装置２に接続されることにより用いられる。配線２０の他端側は、例えば、生体の脳に密着して配置されることにより、生体の脳波（生体信号）を取得することができる。解析装置２は、生体の状態診断や、治療等に役立つ情報を得るために、取得した脳波を解析及び分析することができる。
【００２１】
解析装置２に代えて、解析装置２と無線通信可能なワイヤレスモジュールを配線２０の一端側に接続することができる。このように、ワイヤレスモジュールを用いることにより、電極シート１及びワイヤレスモジュールを生体内に留置して、脳波を継続的に取得することも可能である。また、脳波の取得に限らず、脈拍や、心電図等の取得にも用いることが可能である。
【００２２】
このような電極シート１は、図２及び図３に示すように、フレキシブル基板１０と、配線２０と、支持シート３０と、測定用端子４０と、封止層５０と、被覆層６０と、接着剤層７０と、を備える。
フレキシブル基板１０は、例えば、パリレンを用いてシート状に形成される。本実施形態において、フレキシブル基板１０は、３μｍの厚さで形成される。
【００２３】
配線２０は、例えば、銀ナノワイヤを用いて線状に形成され、フレキシブル基板１０の表面に沿って形成される。本実施形態では、配線２０は、板状に形成される。配線２０は、複数設けられ、図１に示すように、延伸方向を揃えた状態で並べて配置される。本実施形態において、このような配線２０は、３００μｍ間隔で配置される。
【００２４】
測定用端子４０は、例えば、銀により形成され、図３に示すように、配線２０の表面から膨出して形成されるとともに、配線２０と一体的になっている。これにより、測定用端子４０は、配線２０と電気的に接続される。そして、図３に示すように、測定用端子４０は、膨出方向先端が、半球形状に形成される。このような測定用端子４０は、複数の配線２０ごとに１つ設けられ、生体の測定位置に応じて、配線２０上の任意の位置における表面から膨出して形成される。
【００２５】
支持シート３０は、例えば、アクリル酸オクタデシルとアクリル酸ブチルとの共重合体のようなアクリル系共重合体を用いて形成され、特に、生体から伝達される熱により軟化する材料により形成される。なお、本実施形態において、軟化とは、生体表面の凹凸に沿って変位することにより、密着可能な程度に柔軟なることをいう。このような支持シート３０は、フレキシブル基板１０に重ね合わせて配置される。これにより、支持シート３０は、配線２０をフレキシブル基板１０との間に挟み込む。また、支持シート３０は、測定用端子４０が挿通される第１貫通孔３１をもち、配線２０の全体をフレキシブル基板１０との間に挟み込む。
【００２６】
以上のようなフレキシブル基板１０、配線２０、測定用端子４０、及び、支持シート３０について、支持シート３０は、生体に密着する前には剛性を有する。これにより、電極シート１の取り扱いを容易にすることができ、電極シート１の生体の測定位置への位置決めを容易にすることができる。そして、支持シート３０は、生体から伝達される熱により軟化する。生体の測定位置に電極シート１を密着させることにより、生体の形状（例えば、脳の表面形状）に応じてフレキシブル基板１０及び支持シート３０を変形させることができる。配線２０は、フレキシブル基板１０及び支持シート３０の変形に応じて湾曲することができるので、測定用端子４０を生体の測定位置に密着させた状態にすることができる。これにより、全ての配線２０のそれぞれに電気的に接続された測定用端子４０において、生体信号を取得することができる。
【００２７】
封止層５０は、例えば、パリレンを用いて形成され、配線２０、支持シート３０、及び、フレキシブル基板１０を封止する。封止層５０は、例えば、１μｍの厚さにより形成される。また、封止層５０は、第１貫通孔３１に連通する第２貫通孔５１をもち、測定用端子４０が第２貫通孔５１に挿通される。
【００２８】
被覆層６０は、封止層５０を被覆し、封止層５０よりも低侵襲性の材料により形成される。このような被覆層６０は、例えば、ポリ（３−メトキシプロピルアクリレート）を用いて形成される。また、被覆層６０は、第２貫通孔５１に連通する第３貫通孔６１をもち、測定用端子４０が第３貫通孔６１に挿通されて被覆層６０の表面よりも突出する。
【００２９】
接着剤層７０は、測定用端子４０の先端側表面上（被覆層６０から露出する表面上）に、ゲル状材料により形成される。接着剤層７０は、例えば、ポリビニルアルコールを用いて形成される。
【００３０】
以上のような封止層５０、被覆層６０、及び、接着剤層７０によれば、支持シート３０、配線２０、及び、フレキシブル基板１０を封止層５０により封止することができるので、支持シート３０が配線２０の位置に対してずれることを防止できるとともに、支持シート３０及び配線２０が外部から加えられる衝撃等により傷つくことを防止できる。また、電極シート１が生体に密着する際に、被覆層６０が生体に密着するので、フレキシブル基板１０及び封止層５０が生体に与える影響に比して、その影響を軽減することができる。そして、接着剤層７０は、測定用端子４０及び生体の間の密着性を高めることができる。また、測定用端子４０及び生体の間の密着性が高まることにより、安定した生体信号を取得することができる。
【００３１】
そして、以上のような測定用端子４０、支持シート３０、封止層５０、及び、被覆層６０によれば、測定用端子４０は、第１貫通孔３１、第２貫通孔５１、及び、第３貫通孔６１を挿通することにより、支持シート３０、封止層５０、及び、被覆層６０を挿通して、被覆層６０から膨出側先端を突出（露出）させることができる。これにより、測定用端子４０は、封止層５０及び被覆層６０が形成されていたとしても生体信号を取得することができる。特に、測定用端子４０は、被覆層６０の表面よりも突出し、且つ、膨出側先端部が半球形状に形成されているので、被覆層６０の生体への密着に伴って生体の測定位置に押し付けられて密着しやすく、生体信号を良好に取得することができる。
【００３２】
次に、電極シート１の製造方法について説明する。
電極シート１の製造方法は、配線形成工程と、配線挟み込み工程と、第１貫通孔形成工程と、封止層形成工程と、被覆層形成工程と、第２貫通孔形成工程と、第３貫通孔形成工程と、測定用端子形成工程と、接着剤層形成工程と、を備える。
配線形成工程は、図４に示すように用意されたシート状のフレキシブル基板１０の表面に沿って複数の配線２０，２０，・・・を形成する。複数の配線２０，２０，・・・は、銀ナノワイヤを金によりメッキ処理し、パリレンをスプレーコートした上で、レーザエッチングによってフレキシブル基板１０の表面を削ってスプレーコートした銀ナノワイヤを配置することにより形成される。
【００３３】
配線挟み込み工程は、フレキシブル基板１０に支持シート３０を重ね合わせることにより、フレキシブル基板１０及び支持シート３０を用いて複数の配線２０を挟み込む。本実施形態において、配線挟み込み工程は、フレキシブル基板１０及び支持シート３０を用いて、複数の配線２０のそれぞれの表面全体を挟み込む。
【００３４】
第１貫通孔形成工程は、支持シート３０の露出する表面から厚さ方向に向けて、配線２０に沿う任意の位置に、配線２０ごとに１つの第１貫通孔３１を形成する。本実施形態において、第１貫通孔形成工程は、配線２０の延伸方向にあるフレキシブル基板１０の端縁からの距離を異ならせてそれぞれの第１貫通孔３１を形成する。
【００３５】
封止層形成工程は、図７に示すように、配線２０、支持シート３０、及び、フレキシブル基板１０を封止して封止層５０を形成する。これにより、封止層５０は、支持シート３０に形成された第１貫通孔３１の開口を含めて、配線２０、支持シート３０、及び、フレキシブル基板１０を封止する。
【００３６】
次に、被覆層形成工程は、図８に示すように、フレキシブル基板１０及び封止層５０の表面全体を被覆する。そして、図９に示すように、第２貫通孔形成工程は、封止層５０を厚さ方向に貫通する第２貫通孔５１を形成する。また、第３貫通孔形成工程は、被覆層６０を厚さ方向に貫通する第３貫通孔６１を形成する。第２貫通孔形成工程及び第３貫通孔形成工程は、第１貫通孔３１の開口位置に合わせて、第２貫通孔５１及び第３貫通孔６１を形成する。これにより、第１貫通孔３１、第２貫通孔５１、及び、第３貫通孔６１は、互いに連通して形成される。
【００３７】
測定用端子形成工程は、配線２０に電気的に接続された測定用端子４０を形成する。具体的には、測定用端子４０は、第１貫通孔３１内、第２貫通孔５１内、及び、第３貫通孔６１内に、印刷等により銀を充填することにより形成される。これにより、測定用端子４０は、図３に示すように、配線２０に一体的に形成されるとともに、配線２０の表面から膨出して、被覆層６０の表面から半球形状の先端部により突出する形状に形成される。また、測定用端子４０は、図６のように、配線２０の延伸方向に沿って、配線２０ごとに１つ任意の位置に形成することができるので、種々の生体の器官に応じた汎用性の高い電極シート１を提供することができる。
接着剤層形成工程は、測定用端子４０の先端側表面にゲル状材料を塗布することにより接着剤層７０を形成する。
【００３８】
以上のような電極シート１は、以下のように用いられる。
まず、密着する前の電極シート１は、支持シート３０の剛性が高いことにより、全体として剛性が高い状態にある。このような電極シート１は、生体信号を測定する生体の測定位置に位置合わせされる。そして、電極シート１が生体の測定位置に密着することにより、支持シート３０には、生体の熱が伝達される。支持シート３０は、生体から伝達された熱により軟化する。これにより、電極シート１は、生体の凹凸（例えば脳の表面形状）に沿って密着することができるようになる。
【００３９】
電極シート１が生体に密着することにより、測定用端子４０の先端も生体に密着することができる。測定用端子４０の先端部表面上に形成されている接着剤層７０は、生体への接着効果により、測定用端子４０が生体から離脱することを防止する。このようにして、電極シート１は、生体から生体信号を取得することができる。
【００４０】
なお、本実施形態の電極シート１によれば、支持シート３０の剛性を用いて、頭蓋と脳との間に電極シート１を配置させることもできる。電極シート１は、頭蓋と脳との間に差し込まれて、生体の測定位置に位置される。そして、電極シート１は、生体から伝達される熱により軟化し、生体の表面に密着する。電極シート１は、頭蓋と脳との間の圧により測定位置に固定されるので、電極シート１がずれることなく、生体の脳波を良好に取得することができる。
【００４１】
以上説明した一実施形態の電極シート１及びその製造方法によれば、以下のような効果を奏する。
【００４２】
（１）生体信号を取得可能な電極シート１を、シート状のフレキシブル基板１０と、前記フレキシブル基板１０の表面に沿って形成される配線２０と、フレキシブル基板１０に重ね合わされる支持シート３０とにより構成した。そして、支持シート３０を、接触した生体から伝達される熱により軟化する材料により形成した。これにより、生体に接触する前の支持シート３０が軟化していないので、生体の測定位置に対する測定用端子４０の位置合わせを容易にすることができる。そして、電極シート１が生体に接触することにより、支持シート３０は、生体からの熱により軟化する。これにより、電極シート１は、測定位置の生体の表面形状に合わせて変形し、生体に密着することができる。その結果、生体の表面に配線２０を沿わせることができ、測定用端子４０を生体に密着させることができるので、より正確な電気信号を生体から得ることができる。
【００４３】
（２）支持シート３０によって、配線２０をフレキシブル基板１０との間に挟み込むように構成した。これにより、支持シート３０及びフレキシブル基板１０により、外部からの衝撃等から配線２０を保護することができる。
【００４４】
（３）支持シート３０に、測定用端子４０によって挿通される貫通孔を形成した。そして、支持シート３０が、配線２０の全体を前記フレキシブル基板１０との間に挟み込むようにした。これにより、測定用端子４０が配線２０に対していずれの表面の位置から膨出していたとしても、支持シート３０は、軟化していない状態で配線２０の全体をフレキシブル基板１０との間に挟み込むことができる。したがって、配線２０が生体に接触することにより発生する、誤った場所における生体信号の取得を防止することができる。また、配線２０の全体が軟化前の支持シート３０により支持されることになるので、位置合わせ前の配線２０の屈曲を防止することができ、位置合わせをより容易にすることができる。
【００４５】
（４）電極シート１を、さらに、配線２０、支持シート３０、及び、フレキシブル基板１０を封止する封止層５０により構成した。これにより、支持シート３０が配線２０の位置に対してずれることを防止できるとともに、支持シート３０及び配線２０が外部から加えられる衝撃等により傷つくことを防止できる。
【００４６】
（５）封止層５０を被覆し、封止層５０より低侵襲性の材料により形成される被覆層６０を更に構成した。これにより、電極シート１が生体に密着する際に、被覆層６０が生体に密着するので、封止層５０が生体に与える影響に比して、その影響を低減することができる。
【００４７】
（６）封止層５０に、第１貫通孔３１に連通する第２貫通孔５１を形成し、被覆層６０に、第２貫通孔５１に連通する第３貫通孔６１を形成した。そして、測定用端子４０を第１貫通孔３１、第２貫通孔５１、及び、第３貫通孔６１を挿通するように形成した。これにより、測定用端子４０は、支持シート３０、封止層５０、及び、被覆層６０を貫通する。したがって、測定用端子４０の先端が被覆層６０の表面から露出するので、生体の測定位置から、生体信号を良好に取得することができる。
【００４８】
（７）測定用端子４０を、被覆層６０の表面よりも突出して形成した。これにより、被覆層６０が生体に密着した際に、測定用端子４０は、生体に押し付けられる。これにより、生体の測定位置から、生体信号を良好に取得することができる。
【００４９】
（８）測定用端子４０の先端側表面上に、ゲル状材料により形成された接着剤層７０を設けた。これにより、測定用端子４０及び生体の間の密着性を高めることができるとともに、測定用端子４０が生体の測定位置からずれたとしても、生体信号を取得することができる。また、測定用端子４０及び生体の間の密着性が高まることにより、安定した生体信号を取得することができる。
【００５０】
（９）電極シート１の製造方法を、フレキシブル基板１０の表面に沿って複数の配線２０を形成する配線形成工程と、フレキシブル基板１０と支持シート３０の間に配線２０を挟み込む配線挟み込み工程と、配線２０ごとに、１つの第１貫通孔３１を支持シート３０に形成する第１貫通孔形成工程と、第１貫通孔３１内に測定用端子４０を形成する測定用端子形成工程により構成した。これにより、電極シート１の用途に応じて、配線２０に形成される第１貫通孔３１及び測定用端子４０の形成位置を変化させることができる。したがって、種々の器官に応じた汎用性の高い電極シート１を提供することができる。
【００５１】
以上、本発明の電極シート及びその製造方法の好ましい一実施形態につき説明したが、本発明は、上述の実施形態に制限されるものではなく、適宜変更が可能である。
例えば、フレキシブル基板１０及び被覆層６０は、配線２０を視認可能な透過度をもつ材料によって形成されるのが好ましい。これにより、電極シート１を生体に位置合わせする際に、配線２０の位置を確認しながら位置合わせをすることができる。
【００５２】
また、上記実施形態において、測定用端子４０を銀の印刷を用いて形成することとしたが、これに限定されない。例えば、測定用端子４０は、第１貫通孔３１、第２貫通孔５１、及び、第３貫通孔６１に、銀ナノワイヤをポリビニルアルコールに分散した材料を充填することにより形成されてもよい。
【００５３】
また、上記実施形態において、電極シート１について、脳波を取得するシートとして説明したが、これに限定されない。例えば、電極シート１は、心臓に密着することにより心電図や筋肉の動きを電気信号として取得するシートとして用いられてもよく、その他、内臓等に密着することにより、動きを電気信号として取得するシートとして用いられてもよい。
【００５４】
また、上記実施形態において、測定用端子４０は、支持シート３０、封止層５０、及び、被覆層６０を貫通する第１貫通孔３１、第２貫通孔５１、及び、第３貫通孔６１を挿通して形成された。これに対し、測定用端子４０は、配線２０の表面のうち、支持シート３０に重ねられる面とは逆の面から、封止層５０及び被覆層６０を貫通して形成されていてもよい。
【００５５】
また、上記実施形態において、接着剤層７０を設けたが、生体との密着性が十分に確保できるのであれば、接着剤層７０を設けない構成としてもよい。なお、接着剤層７０を設けることにより、脳波の低周波側で安定したインピーダンスを得ることができる。
【００５６】
また、上記実施形態において、支持シート３０は、配線２０の表面全体に重ね合わされるとしたが、これに限定されない。例えば、支持シート３０は、配線２０の一部に重ね合わされてもよい。要は、支持シート３０は、複数の配線２０に横断的に重ね合わされることにより、生体の測定位置に電極シート１を密着させるまで、フレキシブル基板１０及び配線２０が湾曲しないように維持できればよい。
【００５７】
また、被覆層６０は、下記１）〜８）に示す材料を用いて形成されてよい。
１）ポリエチレンオキシド単位やポリプロピレンオキシド単位等のポリアルキレンオキシド単位のようなエーテル構造を含む単位と、ビニル基等のエチレン性不飽和二重結合とを含むモノマーの単独重合体か、当該モノマーを含むモノマー混合物を用いて得られる共重合体である、アルキル主鎖と、エーテル構造を含む側鎖とを有するポリマー。
２）生体環境下で電気的な中性を保つベタインの一種であって、アルキル主鎖と、リン脂質極性基とを含む側鎖とを有するポリマー。
３）側鎖の末端にエーテル構造を含み、且つ（メタ）アクリルアミドに由来する繰り返し単位を含むポリマー。
４）生体物質において観察される「中間水」と呼ばれる状態の水分子を含有可能な構造を含むポリマー。
５）ポリエチレンオキシド単位−ポリプロピレンオキシド単位−ポリエチレンオキシド単位からなる、ＰＥＯ−ＰＰＯ−ＰＥＯトリブロックコポリエーテル。
６）２−メタクリロイルオキシエチルホスホリルコリン（ＭＰＣ）ポリマー、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、ポリ（２−メトキシエチルアクリレート）（ＰＭＥＡ）、ポリアルコキシアルキル（メタ）アクリルアミド、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、及びポリ（２−ヒドロキシエチルメタクリレート）（ＰＨＥＭＡ）からなる群より選択される１種以上のポリマー。
７）ポリ（２−メタクリロイルオキシエチルホスホリルコリン）単位、ポリエチレンオキシド単位、ポリ（２−メトキシエチルアクリレート）単位、ポリアルコキシアルキル（メタ）アクリルアミド単位、ポリビニルピロリドン単位、及びポリ（２−ヒドロキシエチルメタクリレート）単位から選択される１種以上の単位を、主鎖又は側鎖に含むポリマー。
８）２−（メタ）アクリルアミド−２−メチル−プロパンスルホン酸、硫酸ビニル、硫酸アリル、スチレンスルホン酸、スルホエチル（メタ）アクリレート、及びスルホプロピル（メタ）アクリレートよりなる群から選択される１種以上のスルホン酸基を有するモノマーの単独重合体か、当該スルホン酸基を有するモノマーを含むモノマー混合物を用いて得られる共重合体であるポリマー。
【００５８】
また、支持シート３０として、アクリル酸系を有するポリマーを用いることができる。
【００５９】
また、第１貫通孔３１は、第２貫通孔５１及び第３貫通孔６１よりも大きな径で構成してもよい。これにより、支持シート３０の材料が第１貫通孔３１から外部に染み出すことを防止することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１  電極シート
１０  フレキシブル基板
２０  配線
３０  支持シート
３１  第１貫通孔
４０  測定用端子
５０  封止層
５１  第２貫通孔
６０  被覆層
６１  第３貫通孔
７０  接着剤層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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