(57)【要約】【課題】流体の圧力を検出する圧力検出部と内部に流路が形成された流路本体とに静電気が蓄積する不具合を抑制することが可能な圧力検出装置を提供する。【解決手段】流体の圧力を検出する圧力検出面を有する圧力センサ１１と、圧力検出面に流体を導く流路２１ａが内部に形成された流路ユニット２０と、を備え、流路ユニット２０が、流路２１ａが内部に形成された流路本体２１と圧力センサ１１に接触した状態で配置されるアースリング２２とを有し、アースリング２２が、フッ素樹脂材料と該フッ素樹脂材料に分散した導電性材料とを含む導電性フッ素樹脂材料により形成されるとともに接地電位に維持されている圧力検出装置１００を提供する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の圧力を検出する圧力検出面を有する圧力検出部と、
前記圧力検出面に流体を導く流路が内部に形成された流路部と、を備え、
前記流路部が、前記流路が内部に形成された流路本体と前記圧力検出部に接触した状態で配置される接触部とを有し、
前記接触部が、フッ素樹脂材料と該フッ素樹脂材料に分散した導電性材料とを含む導電性フッ素樹脂材料により形成されるとともに接地電位に維持されている圧力検出装置。
【請求項２】
弾性材料により形成される環状のシール部材を備え、
前記流路が、軸線に沿って延びる流路であり、
前記接触部が、前記圧力検出面に対向する領域に前記軸線回りに環状に形成される凹溝部を有し、
前記シール部材が、前記圧力検出部と接触した状態で前記凹溝部に収容された請求項１に記載の圧力検出装置。
【請求項３】
前記流路が、軸線に沿って延びる流路であり、
前記接触部が、前記軸線回りに環状に形成されており、
前記流路本体が、前記接触部を収容する収容部を有し、
前記接触部を前記収容部に対して押し付けて該接触部の前記軸線方向の位置を固定する第１固定部を備え、
前記第１固定部が、金属材料により形成されるとともに接地電位に維持されている請求項１に記載の圧力検出装置。
【請求項４】
前記圧力検出部を前記接触部に対して押し付けて該圧力検出部の前記軸線方向の位置を固定する第２固定部を備える請求項３に記載の圧力検出装置。
【請求項５】
前記流路本体が、前記軸線回りに筒状に形成された内周面を有する凹部を有し、
前記第１固定部が、前記軸線回りに筒状に形成されており、
前記第２固定部が、前記軸線回りに筒状に形成されており、
前記凹部の内周面に形成された雌ねじと前記第１固定部の外周面に形成された雄ねじとが係合し、
前記第１固定部の内周面に形成された雌ねじと前記第２固定部の外周面に形成された雄ねじとが係合する請求項４に記載の圧力検出装置。
【請求項６】
前記圧力検出部が、前記圧力検出面に接触した状態で配置されるとともに前記圧力検出面と流体との接触を遮断する薄膜状の保護部を有し、
前記保護部が、前記導電性フッ素樹脂材料により形成された請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の圧力検出装置。
【請求項７】
前記圧力検出面が、
前記保護部と接触する第１面を有する薄膜状のダイヤフラムと、
前記保護部に接触しない前記ダイヤフラムの第２面に貼り付けられた抵抗体と、を備え、
前記ダイヤフラムが、非導電性材料により形成されている請求項６に記載の圧力検出装置。
【請求項８】
前記導電性材料が、カーボンナノチューブであり、
前記導電性フッ素樹脂材料が、前記カーボンナノチューブを０．０２０重量％以上かつ０．０３０重量％以下の割合で含有する請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の圧力検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路を流通する流体の圧力を検出する圧力検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、薬液等の液体が導かれる流路が形成されたハウジングと、流路に導かれた液体と接する感圧部に伝達される液体の圧力を検出するセンサ素子とを備える圧力センサが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に開示される圧力センサは、ハウジングと感圧部が耐薬品性に優れたフッ素樹脂を主成分とする素材から構成されているため、液体との摩擦によりハウジングと感圧部に静電気が蓄積されやすい。そのため、特許文献１に開示される圧力センサは、センサ素子の感圧部と接する面にアルミ箔を貼り付けることにより、感圧部に蓄積した静電気をシールド線に逃がす構造としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４８４６１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、発明者等は、特許文献１に開示される圧力センサのように感圧部をアルミ箔と接触させる構造を採用したとしても、ハウジングに蓄積された静電気がアルミ箔およびセンサ素子に向かって放電する現象が発生し得るという知見を得た。ハウジングに蓄積された静電気がアルミ箔およびセンサ素子に向かって放電すると、センサ素子が破損する不具合や感圧部の一部が破損して液体がセンサ素子と接触する不具合が発生する。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、流体の圧力を検出する圧力検出部と内部に流路が形成された流路本体とに静電気が蓄積する不具合を抑制することが可能な圧力検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明の一態様にかかる圧力検出装置は、流体の圧力を検出する圧力検出面を有する圧力検出部と、前記圧力検出面に流体を導く流路が内部に形成された流路部と、を備え、前記流路部が、前記流路が内部に形成された流路本体と前記圧力検出部に接触した状態で配置される接触部とを有し、前記接触部が、フッ素樹脂材料と該フッ素樹脂材料に分散した導電性材料とを含む導電性フッ素樹脂材料により形成されるとともに接地電位に維持されている。
【０００７】
本発明の一態様にかかる圧力検出装置によれば、接触部が導電性フッ素樹脂材料により形成されるとともに接地電位に維持されているため、流体との摩擦により接触部に発生した静電気が除去される。また、接地電位に維持される接触部が圧力検出部に接触した状態で配置されるため、流体との摩擦により圧力検出部に発生した静電気も除去される。
このように、本発明の一態様にかかる圧力検出装置によれば、流体の圧力を検出する圧力検出部と内部に流路が形成された流路部とに静電気が蓄積する不具合を抑制することができる。
【０００８】
本発明の一態様にかかる圧力検出装置においては、弾性材料により形成される環状のシール部材を備え、前記流路が、軸線に沿って延びる流路であり、前記接触部が、前記圧力検出面に対向する領域に前記軸線回りに環状に形成される凹溝部を有し、前記シール部材が、前記圧力検出部と接触した状態で前記凹溝部に収容されたものであってよい。
このようにすることで、接触部の凹溝部より内周側の部分と圧力検出部が接触する部分が無端状の第１シール領域となり、凹溝部に収容されたシール部材と圧力検出部が接触する部分が無端状の第２シール領域となり、これら２つのシール領域により流体の漏れを確実に抑制することができる。
【０００９】
本発明の一態様にかかる圧力検出装置においては、前記流路が、軸線に沿って延びる流路であり、前記接触部が、前記軸線回りに環状に形成されており、前記流路本体が、前記接触部を収容する収容部を有し、前記接触部を前記収容部に対して押し付けて該接触部の前記軸線方向の位置を固定する第１固定部を備え、前記第１固定部が、金属材料により形成されるとともに接地電位に維持される構成としてもよい。
このようにすることで、接触部の軸線方向の位置を第１固定部により確実に固定することができるとともに第１固定部を介して接触部を接地電位に維持することができる。
【００１０】
上記構成の圧力検出装置においては、前記圧力検出部を前記接触部に対して押し付けて該圧力検出部の前記軸線方向の位置を固定する第２固定部を備える形態であってもよい。
このようにすることで、圧力検出部の軸線方向の位置を第２固定部により確実に固定することができる。
【００１１】
上記構成の圧力検出装置においては、前記流路本体が、前記軸線回りに筒状に形成された内周面を有する凹部を有し、前記第１固定部が、前記軸線回りに筒状に形成されており、前記第２固定部が、前記軸線回りに筒状に形成されており、前記凹部の内周面に形成された雌ねじと前記第１固定部の外周面に形成された雄ねじとが係合し、前記第１固定部の内周面に形成された雌ねじと前記第２固定部の外周面に形成された雄ねじとが係合してもよい。
このようにすることで、流路本体の凹部の内周面に第１固定部の外周面を係合させ、その後に第１固定部の内周面に第２固定部の外周面を係合させるという簡易な作業により、接触部および圧力検出部の軸線方向の位置を固定することができる。
【００１２】
本発明の一態様にかかる圧力検出装置においては、前記圧力検出部が、前記圧力検出面に接触した状態で配置されるとともに前記圧力検出面と流体との接触を遮断する薄膜状の保護部を有し、前記保護部が、前記導電性フッ素樹脂材料により形成される構成としてもよい。
本構成にすることで、流体との摩擦により保護部に発生した静電気は、保護部を経由して接地電位に維持される接触部に導かれて除去される。
【００１３】
上記構成の圧力検出装置においては、前記圧力検出面が、前記保護部と接触する第１面を有する薄膜状のダイヤフラムと、前記保護部に接触しない前記ダイヤフラムの第２面に貼り付けられた抵抗体とを備え、前記ダイヤフラムが、非導電性材料により形成されているものであってよい。
このようにすることで、圧力検出部は、抵抗体を外部から適切に絶縁して高精度に圧力を検出することができる。また、保護部に接触するダイヤフラムを非導電性材料で形成すると保護部からダイヤフラムに静電気が伝達されなくなるが、保護部が接触部に接触しているため静電気を接触部に導くことができる。
【００１４】
本発明の一態様にかかる圧力検出装置においては、前記導電性材料が、カーボンナノチューブであり、前記導電性フッ素樹脂材料が、前記カーボンナノチューブを０．０２０重量％以上かつ０．０３０重量％以下の割合で含有するものであってよい。
このように微小な割合であっても、０．０２０重量％以上のカーボンナノチューブをフッ素樹脂材料に分散させることで、接触部に一定の導電性を付与して静電気の帯電を抑制することができる。これは、所定の長さを有するチューブ状のカーボンナノチューブを導電性材料として用いることで、カーボンブラックや鉄粉等の他の粒状の導電性材料に比べて少量で導電性を付与することができるためである。
また、導電性フッ素樹脂材料に含まれるカーボンナノチューブの割合が０．０３０重量％以下の微小な割合であるため、カーボンブラックや鉄粉等の他の粒状の導電性材料とは異なり、接触部と流体との接触による流体の汚染を抑制することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、流体の圧力を検出する圧力検出部と内部に流路が形成された流路本体とに静電気が蓄積する不具合を抑制することが可能な圧力検出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】一実施形態の圧力検出装置を示す縦断面図である。
【図２】図１に示す圧力検出ユニットの部分拡大図である。
【図３】図１に示す圧力検出ユニットの分解図である。
【図４】図２に示すアースリングおよび圧力センサを下方からみた図である。
【図５】カーボンナノチューブの添加量と導電性フッ素樹脂材料の体積抵抗率との関係を示すグラフである。
【図６】通水時間とパーティクル数の関係を示すグラフである。
【図７】他の実施形態の圧力検出装置を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態の圧力検出装置１００を図面に基づいて説明する。
図１および図２（図１に示す圧力検出ユニット１０の部分拡大図）に示すように、本実施形態の圧力検出装置１００は、流体の圧力を検出するための圧力検出ユニット１０と、流路２１ａが内部に形成される流路本体２１を有する流路ユニット２０とを備える。流路２１ａは、流体が流通する配管（図示略）から分岐された流路（図示略）に接続される。
【００１８】
本実施形態における流体とは、半導体製造装置による半導体製造工程で用いられる薬液、溶剤、純水等の液体が含まれる。半導体製造工程においては、清浄度の高い流体が用いられ、例えば、体積抵抗率が１５ＭΩ・ｃｍ以上の超純水等が用いられる。体積抵抗率が高い液体が流通する場合、流路に静電気が蓄積されやすい傾向がある。
【００１９】
また、本実施形態における流体には、空気や窒素ガス等の気体も含まれる。半導体製造工程においては、流路の洗浄や液体の排出のために空気や窒素ガスが用いられるからである。なお、液体の排出の際には、排出中の液体と液体を排出するための気体とが混合した状態となる。液体と気体との混合物をフッ素樹脂材料により形成された流路本体２１で流通させる場合、混合物と流路本体２１との摩擦により流路本体２１に静電気が特に発生し易い。
【００２０】
次に、本実施形態の圧力検出装置１００が備える流路ユニット２０について説明する。
流路ユニット２０は、流路本体（本体部）２１と、アースリング（接触部）２２と、ナット２３とを備える。
図３の分解図に示すように、流路本体２１には、凹部２１ｂが形成されており、凹部２１ｂの内周面には雌ねじ２１ｄが形成されている。また、図２に示すように、凹部２１ｂの底面（収容部）２１ｃは、アースリング２２を収容する収容部となっている。
【００２１】
流路本体２１は、軸線Ｘに沿って直線状に延びる流路２１ａが内部に形成されており、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＣＴＦＥ（ポリクロロトリフルオロエチレン）、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）等のフッ素樹脂材料により形成されている。流路本体２１は、電気絶縁材料であるフッ素樹脂材料により形成されているため、流体との摩擦により静電気が発生した場合、静電気を内部に蓄積する特性を有する。
【００２２】
アースリング２２は、図１および図２に示すように、後述する圧力センサ１１に接触した状態で配置され、後述する導電性フッ素樹脂材料により形成された部材である。アースリング２２は、圧力センサ１１のダイヤフラム１１ａおよび歪みゲージ１１ｂからなる圧力検出面に対向する領域に配置されている。アースリング２２は、軸線Ｘ回りに環状に形成される部材であり、圧力検出面と対向する領域に軸線回りに環状に形成される凹溝部２２ａを有する。凹溝部２２ａには、ゴム等の弾性材料により形成される環状のＯリング（シール部材）１７が配置される。Ｏリング１７は、圧力センサ１１と接触した状態で凹溝部２２ａに収容される。
【００２３】
後述するように、アースリング２２は、導電性フッ素樹脂材料により形成されており、かつ接地電位に維持されている。そのため、アースリング２２に静電気が発生したとしても、静電気はアースリング２２に蓄積することなく除去される。また、流路本体２１のアースリング２２に近接する領域に発生した静電気も、アースリング２２によって除去される。
【００２４】
ナット２３は、流路本体２１と流体が流通する配管（図示略）から分岐された流路（図示略）とを接続する部材である。ナット２３の内周面に形成された雌ねじ２３ａを分岐された流路の外周面に形成された雄ねじ（図示略）に締結することにより、流路本体２１の流路２１ａと分岐された流路とが接続される。
【００２５】
次に、本実施形態の圧力検出装置１００が備える圧力検出ユニット１０について説明する。
圧力検出ユニット１０は、ダイヤフラム１１ａに伝達される流体の圧力を検出する装置である。
【００２６】
図１および図２に示すように、圧力検出ユニット１０は、流体の圧力を検出する圧力センサ（圧力検出部）１１と、アウターホルダ（第１固定部）１２と、センサーホルダ（第２固定部）１３と、センサ基板１４と、基板保持部材１５と、ハウジング１６と、Ｏリング１７とを備える。
以下、圧力検出ユニット１０が備える各部について説明する。
【００２７】
図２に示すように、圧力センサ１１は、薄膜状に形成されるダイヤフラム１１ａと、ダイヤフラム１１ａに貼り付けられる抵抗体である歪みゲージ１１ｂと、ダイヤフラム１１ａと流体との接触を遮断する薄膜状の保護膜（保護部）１１ｃと、ダイヤフラム１１ａを保持するベース部１１ｄとを備える。
圧力センサ１１は、ダイヤフラム１１ａに伝達される圧力に応じて変化する歪みゲージ１１ｂの抵抗値に応じた圧力信号を出力する歪みゲージ式の圧力センサである。ダイヤフラム１１ａと歪みゲージ１１ｂとが、流体の圧力を検出する圧力検出面を形成する。
【００２８】
ダイヤフラム１１ａは、保護膜１１ｃと接触する下面（第１面）と保護膜１１ｃと接触しない上面（第２面）とを有し、上面に歪みゲージ１１ｂが貼り付けられている。
ダイヤフラム１１ａは、耐腐食性および耐薬品性のある非導電性材料（例えば、サファイア、セラミックスなど）により形成されている。
【００２９】
歪みゲージ１１ｂは、図４に示すように４つの抵抗体１１ｂ１と、４つの抵抗体１１ｂ１を電気的に接続する配線１１ｂ２を有する。
図４は、図２に示すアースリング２２および圧力センサ１１を下方からみた図である。図４においては、アースリング２２および圧力センサ１１を除く他の部材の図示を省略している。また、アースリング２２の一部の図示を省略している。
【００３０】
図４に示すように、歪みゲージ１１ｂの配線１１ｂ２は、アースリング２２と圧力センサ１１とが接触する領域（Ｏリング１７の内側の領域）に対向する位置に配置されている。アースリング２２と配線１１ｂ２の間には保護膜１１ｃとダイヤフラム１１ａが挟まれているが、アースリング２２と配線１１ｂ２は、わずかな間隔を空けて近接した状態となっている。そのため、アースリング２２に静電気が蓄積すると、アースリング２２と配線１１ｂ２との間で放電現象が発生する可能性がある。本実施形態では、アースリング２２を接地電位に維持することで、アースリング２２から静電気を除去し、放電現象が発生しないようにしている。
【００３１】
保護膜１１ｃは、ダイヤフラム１１ａと流体との接触を遮断するものであり、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素樹脂材料により形成されている。保護膜１１ｃは、電気絶縁材料であるフッ素樹脂材料により形成されているため、流体との摩擦により静電気が発生した場合、静電気を内部に蓄積する特性を有する。
【００３２】
アウターホルダ１２は、軸線Ｘ回りに円筒状に形成される金属製（例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス製）の部材であり、外周面に雄ねじ１２ａが形成され、内周面に雌ねじ１２ｂが形成されている。
アウターホルダ１２は、流路本体２１に形成された凹部２１ｂ（図３参照）の底面２１ｃにアースリング２２を収容した状態で、外周面に形成された雄ねじ１３ａを凹部２１ｂの内周面に形成された雌ねじ２１ｄに締結することにより、アースリング２２の軸線Ｘ方向の位置を固定する。
アウターホルダ１２は、アースリング２２を凹部２１ｂの底面２１ｃに対して押し付けてアースリング２２の軸線Ｘ方向の位置を固定する。これにより、アースリング２２は、アウターホルダ１２と底面２１ｃの双方に接触した状態となる。
【００３３】
センサーホルダ１３は、軸線Ｘ回りに円筒状に形成される金属製（例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス製）の部材であり、外周面に雄ねじ１３ａが形成されている。
図３に示すように、センサーホルダ１３は、下端部の軸線Ｘ回りの内径ＩＤ１が圧力センサ１１のベース部１１ｄの外径ＯＤ１よりも大きく、下端部より上方部分の軸線Ｘ回りの内径ＩＤ２が圧力センサ１１のベース部１１ｄの外径ＯＤ１よりも小さい段形状となっている。センサーホルダ１３は、センサーホルダ１３の外周面に形成された雄ねじ１３ａをアウターホルダ１２の内周面に形成された雌ねじ１２ｂに締結することにより、圧力センサ１１の軸線Ｘ方向の位置を固定する。
【００３４】
センサーホルダ１３は、圧力センサ１１をアースリング２２に対して押し付けて圧力センサ１１の軸線Ｘ方向の位置を固定する。これにより、アースリング２２の凹溝部２２ａより内周側の部分と圧力センサ１１の保護膜１１ｃとが接触する部分が無端状の第１シール領域となる。この第１シール領域により、流路２１ａから圧力検出ユニット１０側に流体が流入することが阻止される。
【００３５】
センサ基板１４は、圧力センサ１１が出力する圧力信号を増幅する増幅回路（図示略）と、増幅回路により増幅された圧力信号をケーブル２００（図１，図２参照）の圧力信号線（図示略）に伝達するインターフェース回路と、ケーブル２００を介して外部から供給される電源電圧を圧力センサ１１へ伝達する電源回路（図示略）とを備える。
【００３６】
基板保持部材１５は、センサーホルダ１３に対してセンサ基板１４を保持する金属製（例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス製）の部材である。図２に示すように、基板保持部材１５は、スペーサ１８を挟んだ状態で締結ねじ１９によりセンサーホルダ１３の上面に形成された締結穴１３ｂに締結されている。
スペーサ１８および締結ねじ１９は、金属製（例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス製）である。また、スペーサ１８と締結ねじ１９との間に挟まれる金属製の圧着端子２０１は、ケーブル２００のアース線に接続されている。そのため、圧着端子２０１と電気的に導通するスペーサ１８，締結ねじ１９、センサーホルダ１３，アウターホルダ１２は、それぞれ接地電位に維持される。
【００３７】
また、前述したように、アースリング２２は、アウターホルダ１２に接触した状態となるため、アースリング２２が接地電位に維持される。すなわち、アースリング２２に発生する静電気は、除去されてアース線に伝達される。
ハウジング１６は、軸線Ｘ回りに円筒状に形成される部材であり、その下端側の内周面が流路本体２１の上端側の外周面に取り付けられている。ハウジング１６は、その内周側にセンサ基板１４収容している。
【００３８】
Ｏリング１７は、アースリング２２の凹溝部２２ａに配置される円環状の弾性部材である。Ｏリング１７は、保護膜１１ｃとの間に軸線Ｘ回りに無端状に形成される第２シール領域を形成する。第１シール領域より外側に配置される第２シール領域により、流路２１ａから圧力検出ユニット１０側に流体が流入することが確実に阻止される。
【００３９】
次に、アースリング２２を形成する導電性フッ素樹脂材料について説明する。
本実施形態のアースリング２２は、フッ素樹脂材料とフッ素樹脂材料に分散したカーボンナノチューブ（導電性材料）とを含む導電性フッ素樹脂材料により形成されている。
ここで、フッ素樹脂材料とは、例えば、前述したＰＴＦＥ、ＰＣＴＦＥ、ＰＦＡである。
フッ素樹脂材料としては、粉末状のもの（例えば、旭硝子製のＰＴＦＥ  Ｇ１６３）を用いることができる。
【００４０】
また、カーボンナノチューブとしては、例えば、以下の特性を備えるものを用いるのが望ましい。
・５０μｍ以上かつ１５０μｍ以下の繊維長を有する。
・５ｎｍ以上かつ２０ｎｍ以下の繊維径を有する。
・１０ｍｇ／ｃｍ３以上かつ７０ｍｇ／ｃｍ３以下の嵩密度を有する。
・Ｇ／Ｄ比が０．７以上かつ２．０以下である。
・純度が９９．５％以上である。
・多層（例えば、４〜１２層）に形成されている。
ここで、カーボンナノチューブの繊維長を５０μｍ以上としているのは、カーボンナノチューブをフッ素樹脂材料に分散させた場合に、少量で十分な導電性を付与するためである。
【００４１】
また、Ｇ／Ｄ比とは、カーボンナノチューブのラマンスペクトルに現れるＧ−ｂａｎｄのピークとＤ−ｂａｎｄのピークの比を示す値である。Ｇ−ｂａｎｄはグラファイト構造に由来するものであり、Ｄ−ｂａｎｄは欠陥に由来するものである。Ｇ／Ｄ比は、カーボンナノチューブの欠陥濃度に対する結晶の純度の比率を示している。
【００４２】
発明者等は、フッ素樹脂材料に分散させるカーボンナノチューブの添加量〔重量％〕と、フッ素樹脂材料とそれに分散したカーボンナノチューブとを含む導電性フッ素樹脂材料の体積抵抗率〔Ω・ｃｍ〕との関係について調べたところ、図５に示す結果を得た。
図５に示す結果は、ＪＩＳ  Ｋ  ７１９４に規定される「導電性プラスチックの４探針法による抵抗率試験方法」に基づいて試験片の体積抵抗率を測定した結果である。
【００４３】
試験片として、混練機により溶融混練した後に圧縮成形機により圧縮成形したものを、ＪＩＳ  Ｋ  ７１９４に準拠したサイズに加工したものを複数作成した。
試験片を作成するのに用いたフッ素樹脂材料は、旭硝子製のＰＴＦＥ  Ｇ１６３である。
【００４４】
また、体積抵抗率の測定には、ＪＩＳ  Ｋ  ７１９４に準拠した４探針法を用いる抵抗率計を用いた。４探針法は、試験片に４本の針状の探針（電極）を接触させ，外側の２本の探針間に流した電流と内側の２本の探針間に生じる電位差とから試験片の抵抗を求める方法である。
体積抵抗率は、複数の試験片それぞれから複数箇所で得た測定値を平均化することにより算出した。
【００４５】
図５に示す結果によれば、カーボンナノチューブの添加量を０．０２０重量％以上かつ０．０３０重量％以下の範囲とすることにより、導電性フッ素樹脂材料の体積抵抗率が１．０×１０３Ω・ｃｍより大きくかつ１．０×１０４Ω・ｃｍ未満の範囲となった。この体積抵抗率の値は、カーボンナノチューブが分散されていないフッ素樹脂材料の体積抵抗率の値（１０１８Ω・ｃｍ）に比べて十分に低い。
【００４６】
また、発明者等は、カーボンナノチューブの添加量を０．０２５重量％とした導電性フッ素樹脂材料で形成した流路を流通する流体に含有される微粒子（パーティクル）を測定した。図６は、純水を流通させた通水時間とパーティクルカウンター（図示略）により測定されるパーティクル数の関係を示す測定結果である。
【００４７】
ここで、パーティクル数とは、純水１ｍｌあたりに含まれる０．０４μｍ以上のサイズのパーティクルの数をいう。
また、図６に示す測定においては、流路を流通する純水の流量を０．５リットル／分とした。また、純水の流通を遮断する遮断状態と、純水の流通を流通させる流通状態とを５秒間隔で切り替えた。また、純水の温度は２５℃とした。
【００４８】
図６では図示を省略しているが、測定開始時（通水時間がゼロ）におけるパーティクル数は約３４０個であった。その後、通水時間の経過とともにパーティクル数が徐々に減少し、通水時間が４時間を経過した後は、１０個以下に維持されている。
このように、本実施形態のアースリング２２は、導電性フッ素樹脂材料に含まれるカーボンナノチューブの割合が０．０３０重量％以下の微小な割合であるため、カーボンブラックや鉄粉等の他の粒状の導電性物質とは異なり、流体との接触による流体の汚染を抑制することができる。
【００４９】
以上説明した本実施形態の圧力検出装置１００が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態の圧力検出装置１００によれば、アースリング２２が導電性フッ素樹脂材料により形成されるとともに接地電位に維持されているため、流体との摩擦によりアースリング２２に発生した静電気あるいは流路本体２１からアースリング２２に伝達される静電気が除去される。また、接地電位に維持されるアースリング２２が圧力センサ１１に接触した状態で配置されるため、流体との摩擦により圧力センサ１１に発生した静電気も除去される。
このように、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、流体の圧力を検出する圧力センサ１１と内部に流路が形成された流路ユニット２０とに静電気が蓄積する不具合を抑制することができる。
【００５０】
また、本実施形態の圧力検出装置１００は、弾性材料により形成される環状のＯリング１７を備え、アースリング２２が、圧力検出面に対向する領域に軸線Ｘ回りに環状に形成される凹溝部２２ａを有する。そして、Ｏリング１７は、圧力センサ１１と接触した状態で凹溝部２２ａに収容される。
このようにすることで、アースリング２２の凹溝部２２ａより内周側の部分と圧力センサ１１が接触する部分が無端状の第１シール領域となり、凹溝部２２ａに収容されたＯリング１７と圧力センサ１１が接触する部分が無端状の第２シール領域となり、これら２つのシール領域により流体の漏れを確実に抑制することができる。
【００５１】
また、本実施形態の圧力検出装置１００においては、アースリング２２が軸線Ｘ回りに環状に形成されており、流路本体２１がアースリング２２を収容する底面２１ｃを有する。また、圧力検出装置１００は、アースリング２２を底面２１ｃに対して押し付けてアースリング２２の軸線Ｘ方向の位置を固定するアウターホルダ１２を備え、アウターホルダ１２が、金属材料により形成されるとともに接地電位に維持される。
このようにすることで、アースリング２２の軸線Ｘ方向の位置をアウターホルダ１２により確実に固定することができるとともにアウターホルダ１２を介してアースリング２２を接地電位に維持することができる。
【００５２】
また、本実施形態の圧力検出装置１００は、圧力センサ１１をアースリング２２に対して押し付けて圧力センサ１１の軸線Ｘ方向の位置を固定するセンサーホルダ１３を備える。
このようにすることで、圧力センサ１１の軸線Ｘ方向の位置をセンサーホルダ１３により確実に固定することができる。
【００５３】
また、本実施形態の圧力検出装置１００においては、流路本体２１が軸線Ｘ回りに筒状に形成された内周面を有する凹部２１ｂを有し、アウターホルダ１２が軸線Ｘ回りに筒状に形成されており、センサーホルダ１３が軸線Ｘ回りに筒状に形成されている。また、本実施形態の圧力検出装置１００においては、凹部２１ｂの内周面に形成された雌ねじ２１ｄとアウターホルダ１２の外周面に形成された雄ねじ１２ａとが係合し、アウターホルダ１２の内周面に形成された雌ねじ１２ｂとセンサーホルダ１３の外周面に形成された雄ねじ１３ａとが係合する。
このようにすることで、流路本体２１の凹部２１ｂの内周面にアウターホルダ１２の外周面を係合させ、その後にアウターホルダ１２の内周面にセンサーホルダ１３の外周面を係合させるという簡易な作業により、アースリング２２および圧力センサ１１の軸線Ｘ方向の位置を固定することができる。
【００５４】
また、本実施形態の圧力検出装置１００においては、圧力検出面が、保護膜１１ｃと接触する第１面を有する薄膜状のダイヤフラム１１ａと、保護膜１１ｃに接触しないダイヤフラム１１ａの第２面に貼り付けられた歪みゲージ１１ｂとを備え、ダイヤフラム１１ａが、非導電性材料により形成されている。
このようにすることで、圧力センサ１１は、歪みゲージ１１ｂを外部から適切に絶縁して高精度に圧力を検出することができる。また、保護膜１１ｃに接触するダイヤフラム１１ａを非導電性材料で形成すると保護膜１１ｃからダイヤフラムに静電気が伝達されなくなるが、保護膜１１ｃがアースリング２２に接触しているため静電気をアースリング２２に導くことができる。
【００５５】
本実施形態の圧力検出装置１００においては、導電性材料が、カーボンナノチューブであり、導電性フッ素樹脂材料が、カーボンナノチューブを０．０２０重量％以上かつ０．０３０重量％以下の割合で含有する。
このように微小な割合であっても、０．０２０重量％以上のカーボンナノチューブをフッ素樹脂材料に分散させることで、アースリング２２に一定の導電性を付与して静電気の帯電を抑制することができる。これは、所定の長さを有するチューブ状のカーボンナノチューブを導電性材料として用いることで、カーボンブラックや鉄粉等の他の粒状の導電性材料に比べて少量で導電性を付与することができるためである。
また、導電性フッ素樹脂材料に含まれるカーボンナノチューブの割合が０．０３０重量％以下の微小な割合であるため、カーボンブラックや鉄粉等の他の粒状の導電性材料とは異なり、アースリング２２と流体との接触による流体の汚染を抑制することができる。
【００５６】
〔他の実施形態〕
以上の説明において、圧力検出装置１００は、流体が流通する配管から分岐された流路に接続される流路２１ａを有するストレート型の圧力検出装置であったが、他の態様であってもよい。
例えば、図７に示すように、軸線Ｙに沿って延びる直線状の流路２１ａＡに開口する導入流路２１ａＢを有する流路ユニット２０Ａと、導入流路２１ａＢに流入する流体と接触する位置に圧力検出ユニット１０Ａを配置したインライン型の圧力検出装置１００Ａとしてもよい。
【００５７】
また、以上の説明において、圧力センサ１１のダイヤフラム１１ａに接触した状態で配置される保護膜１１ｃは、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素樹脂材料により形成されているものとしたが、他の態様であってもよい。
例えば、保護膜１１ｃをアースリング２２と同じ導電性フッ素樹脂材料で形成してもよい。保護膜１１ｃを導電性フッ素樹脂材料で形成した場合、保護膜１１ｃと流体との摩擦により静電気が発生したとしても、静電気が保護膜１１ｃからアースリング２２に伝達されて除去される。
【００５８】
また、以上の説明においては、アースリング２２に凹溝部２２ａが形成されており、凹溝部２２ａにＯリング１７を配置してＯリング１７と圧力センサ１１の保護膜１１ｃとが接触する第２シール領域を形成するものとしたが、他の態様であってもよい。
例えば、Ｏリング１７を備えない圧力検出装置とし、アースリング２２に凹溝部２２ａを形成せずに平面形状としてもよい。この場合、アースリング２２と圧力センサ１１の保護膜１１ｃとが接触する第１シール領域のみが、流路２１ａから圧力検出ユニット１０側への流体の流入を阻止するシール領域となる。
【符号の説明】
【００５９】
１０    圧力検出ユニット
１１    圧力センサ（圧力検出部）
１１ａ  ダイヤフラム（圧力検出面）
１１ｂ  歪みゲージ（抵抗体；圧力検出面）
１１ｂ１  抵抗体
１１ｂ２  配線
１１ｃ  保護膜（保護部）
１１ｄ  ベース部
１２    アウターホルダ（第１固定部）
１２ａ  雄ねじ
１２ｂ  雌ねじ
１３    センサーホルダ（第２固定部）
１３ａ  雄ねじ
１３ｂ  締結穴
１４    センサ基板
１５    基板保持部材
１６    ハウジング
１７    Ｏリング
１８    スペーサ
１９    締結ねじ
２０    流路ユニット（流路部）
２１    流路本体（本体部）
２１ａ  流路
２１ｂ  凹部
２１ｃ  底面（収容部）
２１ｄ  雌ねじ
２２    アースリング（接触部）
２２ａ  凹溝部
２３    ナット
１００  圧力検出装置
２００  ケーブル
２０１  圧着端子
Ｘ      軸線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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