(57)【要約】【課題】環境音などの外乱が作用した場合においても支持体の振動を低減し、支持体の平行度を保ち、支持体の重量の増大を抑えながら、支持体が試料室を支持する剛性を有する荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】カラム１、試料室２およびステージ３からなる搭載物と、搭載物を支持する支持体４と、支持体４を支持する除振マウント９と、を備え、支持体４は、搭載物を支持し、前記除振マウントに支持される第１部材５と、第１部材５とは厚さが異なり、第１部材５と重ねて配置される第２部材６と、第１部材５と第２部材６を固定する固定部材７と、固定部材７よりも剛性が小さく、第１部材５と第２部材６の変異差によって変形する減衰部材８と、を有することを特徴とする。【選択図】図１
2018014198.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラム、試料室およびステージからなる搭載物と、前記搭載物を支持する支持体と、前記支持体を支持する除振マウントと、を備え、
前記支持体は、
前記搭載物を支持し、前記除振マウントに支持される第１部材と、
前記第１部材とは厚さが異なり、前記第１部材と重ねて配置される第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材を固定する固定部材と、
前記固定部材よりも剛性が小さく、前記第１部材と前記第２部材の変異差によって変形する減衰部材と、を有する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
前記固定部材は、前記第１部材の固有モードの節位置に対応する部位に配置され、
前記減衰部材は、前記第１部材の固有モードの腹位置に対応する部位に配置される
ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線装置。
【請求項３】
前記固定部材は、前記第１部材の板の曲げモードの節位置に対応する部位に配置され、
前記減衰部材は、前記第１部材の板の曲げモードの腹位置に対応する部位に配置される
ことを特徴とする請求項２に記載の荷電粒子線装置。
【請求項４】
前記第１部材は長方形板形状であり、
前記固定部材は、前記第１部材の四隅が振動する板の曲げモードの節位置に対応する部位に配置され、
前記減衰部材は、前記第１部材の四隅が振動する板の曲げモードの腹位置に対応する部位に配置される
ことを特徴とする請求項３に記載の荷電粒子線装置。
【請求項５】
前記第１部材は正方形板形状であり、
前記固定部材は、前記第１部材の板の端から前記第１部材の一辺の長さの１／７以上１／６以下の範囲に配置され、
前記減衰部材は、前記第１部材の板の端から前記第１部材の一辺の長さの１／５以上１／４以下の範囲に配置される
ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線装置。
【請求項６】
前記第１部材は、板厚が２０ｍｍ以上５０ｍｍ以下の板構造であり、
前記第２部材は、板厚が前記第１部材の板厚の１／３以上２／３以下の板構造である
ことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の荷電粒子線装置。
【請求項７】
前記第１部材は、複数に分割されている
ことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の荷電粒子線装置。
【請求項８】
前記減衰部材は、前記第１部材および前記第２部材の外周側面に配置される
ことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の荷電粒子線装置。
【請求項９】
前記減衰部材は、前記第１部材または前記第２部材に設けられた段付溝に配置される
ことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の荷電粒子線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子線装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
荷電粒子線装置は、ベースプレートと呼ばれる長方形の板で試料室を含むカラム、ステージを支持している。ここで、特許文献１には、ベースプレートの振動を低減する方法が開示されている。また、特許文献２には、他の産業用機器における振動を低減する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許３７４１５５８号公報
【特許文献２】特開２０１３−１２６０７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献によれば、環境音などの外乱に起因する振動を低減させることができない。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、環境音などの外乱が作用した場合においても支持体の振動を低減する荷電粒子線装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような課題を解決するために、本発明に係る荷電粒子線装置は、カラム、試料室およびステージからなる搭載物と、前記搭載物を支持する支持体と、前記支持体を支持する除振マウントと、を備え、前記支持体は、前記搭載物を支持し、前記除振マウントに支持される第１部材と、前記第１部材とは厚さが異なり、前記第１部材と重ねて配置される第２部材と、前記第１部材と前記第２部材を固定する固定部材と、前記固定部材よりも剛性が小さく、前記第１部材と前記第２部材の変異差によって変形する減衰部材と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、環境音などの外乱が作用した場合においても支持体の振動を低減する荷電粒子線装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施形態に係る荷電粒子線装置の斜視図。
【図２】第１実施形態に係る荷電粒子線装置の上面図。
【図３】第１実施形態に係る荷電粒子線装置が備える支持体の断面模式図。
【図４】支持部材の固有モードを示す模式図。
【図５】補強部材を設置した支持部材の固有モードを示す模式図。
【図６】支持体における支持部材、補強部材、固定部材、減衰部材の配置を示す模式図。
【図７】第２実施形態に係る荷電粒子線装置の斜視図。
【図８】支持部材の他の固有モードを示す模式図。
【図９】第３実施形態に係る荷電粒子線装置の斜視図。
【図１０】第３実施形態の変形例に係る荷電粒子線装置の斜視図。
【図１１】第４実施形態に係る荷電粒子線装置の斜視図。
【図１２】第４実施形態に係る荷電粒子線装置が備える支持体の変形前の状態を示す断面模式図。
【図１３】第４実施形態に係る荷電粒子線装置が備える支持体の変形時における状態を示す断面模式図。
【図１４】第５実施形態に係る荷電粒子線装置の斜視図。
【図１５】第５実施形態に係る荷電粒子線装置が備える支持体の断面模式図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態（以下「実施形態」という）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し重複した説明を省略する。
【００１０】
まず、本発明の課題について説明する。荷電粒子線装置の試料室を支持し除振マウントによって支持される支持部材（ベースプレート）に、環境音などの外乱が作用すると、支持部材が振動する。この振動が試料室を介してステージやカラムに伝達し、像揺れを生じさせる。
【００１１】
上記特許文献１では、ベースプレートと呼ばれる略長方形状平板の四隅の振動を低減させるため、ベースプレートの四隅にダンピング材を設置し、これらの上に防振用重量物を載せた動吸振器を設置している。しかし、動吸振器はターゲットとなる固有モードしか振動を低減できないため、複数の固有モードが励起する場合、全ての固有モードの振動を低減することができない。また、動吸振器の振動低減効果を発揮させるには、動吸振器の質量と剛性、減衰を最適な値に調整する必要があるが、ダンピング材は剛性や減衰の正確な予測が困難であり、ひいては、これらのパラメータを最適に調整することが困難である。
【００１２】
上記特許文献２では、取付部と支持部の間に剛性の小さいダンピング材を設置して、取付部から支持部への振動を低減させるように除振支持している。しかし、環境音などの外乱が支持部に直接作用する場合、支持部自身が曲げ変形やねじり変形の振動を生じる。ダンピング材がこれらの固有モードの腹位置に設置されていない場合、これらの振動を低減できない。また、高い平行度が要求される荷電粒子線装置において、剛性が小さいダンピング材で支持部と取付部を挟んだ支持構造にすると、ダンピング材の剛性中心と、試料室より上の搭載物の質量中心が同一の鉛直線上に無い場合、搭載物が傾斜して平行度を保つことができなくなる。更に、質量の大きい荷電粒子線装置では、これを支持するため支持部と取付部の板厚を大きくする必要がある。剛性が小さいダンピング材で支持部と取付部を挟んだ支持構造では、各部の剛性が互いに影響しないため、各部が装置を支えるのに必要な剛性、つまり板厚をもつ必要がある。このため、支持構造の重量が増大する。
【００１３】
そこで、以下の実施形態では、環境音などの外乱が作用した場合においても支持体の振動を低減し、支持体の平行度を保ち、支持体の重量の増大を抑えながら、支持体が試料室を支持する剛性を有する荷電粒子線装置について説明する。
【００１４】
≪第１実施形態≫
＜荷電粒子線装置Ｓ＞
第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓについて、図１を用いて説明する。図１は、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓの斜視図である。
【００１５】
第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓは、ＳＥＭ（Scanning Electron Microscope；走査型電子顕微鏡）であり、電子ビームを出力するカラム１と、試料（図示せず）を真空封止する試料室２と、様々な角度から試料を観察することができるように試料を所望の位置に移動させるステージ３と、これらを試料室２から支持する支持体４と、支持体４を支持する除振マウント９と、除振マウント９の下方から支持する架台１０と、を備えている。
【００１６】
また、支持体４は、試料室２を支持する支持部材（第１部材、荷重板）５と、支持部材５を補強する補強部材（第２部材、制振板）６と、支持部材５と補強部材６を固定する固定部材７と、支持部材５と補強部材６を結合する減衰部材８と、備えている。即ち、支持部材５と補強部材６は、剛性を有する固定部材７により固定されるとともに、支持部材５の振動エネルギを減衰させる減衰部材８により結合されている。なお、支持体４の詳細については、図２等を用いて後述する。
【００１７】
カラム１は、試料室２の上部または側面に設置されている（図１では、試料室２の上部にカラム１を設置した例を示す）。また、ステージ３は、試料室２の側面に設置されている。支持体４の支持部材５は、試料室２を底面または側面から支持できるように設置されている（図１では、支持部材５の上面で試料室２を底面から支持した例を示す）。そして、除振マウント９は、支持部材５の下面から支持体４を支持している。
【００１８】
なお、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓの構成要素はこれに限定されるものではなく、他の構成要素を備えていてもよい。また、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓの支持部材５は、長方形の板構造としているが、これに限定されるものではなく、例えば、多角形の板構造であってもよい。また、支持部材５は、板構造に限定されるものではなく、例えば、梁構造（後述する第３実施形態参照）であってもよく、試料室２を支持できる構造であれば他の構造でもよい。
【００１９】
＜支持体４＞
次に、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓが備える支持体４について、図２および図３を用いて更に説明する。図２は、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓの上面図である。図３は、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓが備える支持体４の断面模式図である。なお、図３に示す断面模式図は、支持部材５および補強部材６を通る様に支持体４を切断にした断面模式図である。
【００２０】
支持部材５は、試料室２（試料室２の上面または側面に設置されたカラム１およびステージ３を含んだ搭載物）を支持するベースプレートであり、図１の例では長方形の板構造を有している。なお、支持部材５は、上面側の略中央で搭載物である試料室２を支持する。また、支持部材５は、支持部材５の下面側で、除振マウント９を介して架台１０に支持されている。
【００２１】
補強部材６は、支持部材５の上面側で、支持部材５と補強部材６とが重なるように設置されている。また、補強部材６の板厚は、支持部材５の板厚と異なっている。例えば、補強部材６の板厚は、概ね、支持部材５の板厚の１／３以上２／３以下の厚さがあればよい。
【００２２】
なお、支持部材５の板厚は、試料室２を支持できる剛性であれば、限定されるものではないが、概ね、２０ｍｍ以上５０ｍｍ以下である。また、支持部材５や補強部材６の材料は、鋼材だけでなく、例えばＦＣ（Ferrum Casting；ねずみ鋳鉄）やＦＣＤ（Ferrum Casting Ductile；ダクタイル鋳鉄）などの金属材料や、セラミックや、セラミックと金属材料の複合材料などの減衰性能の高い材料でもよい。これにより、部材自身の減衰性能も高くなるので、支持体４の振動低減効果がより高まる。
【００２３】
また、支持部材５および補強部材６には、支持部材５および補強部材６を貫通する貫通穴である固定用穴１１および結合用穴１２が設けられている（図３参照）。なお、補強部材６の穴の位置は、補強部材６を支持部材５に設置した時に、補強部材６の穴の中心軸が支持部材５の穴の中心軸と同軸線上となる位置に設けられている。
【００２４】
固定部材７は、減衰部材８よりも高い剛性を有しており、支持部材５が振動した際にも支持部材５と補強部材６が分離しないように固定する部材である。固定部材７は、例えば、金属のボルト７ａとナット７ｂで構成され、支持部材５および補強部材６を貫通する固定用穴１１（図３参照）に配置され、支持部材５と補強部材６とを固定している。また、図１および図２において、減衰部材８と区別するために、固定部材７がボルト頭部の外形が六角柱状の六角ボルトであるものとして図示しているが、これに限定されるものではない。
【００２５】
なお、固定部材７は、ボルト７ａとナット７ｂを用いるものとして説明したが、これに限定されるものではない。固定部材７は、溶接や、リベット、ピンによる結合により、支持部材５と補強部材６とを固定してもよい。また、固定用穴１１は、支持部材５および補強部材６を貫通する貫通穴であるものとして説明したが、これに限定されるものではない。支持部材５と補強部材６のどちらかをねじ穴にして、固定部材７であるボルト７ａをねじ込んで固定する構成であってもよい。
【００２６】
減衰部材８は、固定部材７よりも低い剛性（例えば、固定部材７の剛性に対して１／１０以下の剛性）を有しており、摩擦や部材の材料自身の粘弾性により支持部材５の振動エネルギを減衰させる部材である。即ち、支持部材５が振動して減衰部材８の位置で支持部材５と補強部材６との間に相対変異が生じると、減衰部材８が変形する。減衰部材８が変形する際、支持部材５の振動エネルギが消散され、支持部材５の振動が低減する。減衰部材８は、例えば、樹脂やゴムなどのボルト８ａとナット８ｂで構成され、支持部材５および補強部材６を貫通する結合用穴１２（図３参照）に配置され、支持部材５と補強部材６を結合している。また、図１および図２において、固定部材７と区別するために、減衰部材８がボルト頭部の外形が円柱状の穴付ボルト（但し、頭部穴は省略）であるものとして図示しているが、これに限定されるものではない。
【００２７】
なお、減衰部材８は、ボルト８ａとナット８ｂを用いるものとして説明したが、これに限定されるものではない。また、結合用穴１２は、支持部材５および補強部材６を貫通する貫通穴であるものとして説明したが、これに限定されるものではない。支持部材５と補強部材６のどちらかをねじ穴にして、減衰部材８であるボルト８ａをねじ込んで結合する構成であってもよい。
【００２８】
さらに、減衰部材８は、支持部材５や補強部材６の材料に比べて、減衰が高くさらにヤング率が１／１０以下の材料であれば、ゴムや樹脂などでなくてもよい。また、減衰部材８の構造は、材料自身の減衰が高いゴムや樹脂などでできたボルト・ナット構造でなくてよく、摩擦などで減衰でき、さらにその構造の剛性が支持部材５や補強部材６の剛性に比べ１／１０以下となる構造であれば、どんな構造でもよい。例えば、支持部材５と補強部材６の結合用穴１２にピンを差し込む構造でもよい。また、減衰部材８の構造を減衰が高く、さらに剛性を支持部材５や補強部材６の剛性に比べ１／１０以下にできるのであれば、減衰部材８の材料は、支持部材５や補強部材６の材料のヤング率の１／１０以下でなくてもよく、例えば、マグネシウム合金などの減衰性能の高い金属材料でもよい。
【００２９】
ここで、長方形の板構造の支持部材５の固有モードについて図４を用いて説明する。図４は、支持部材５の固有モードを示す模式図であり、（ａ）は板の四隅の隣り合う角部が逆相に振動するモードの例であり、（ｂ）は板の四隅の角部が同相に振動するモードの例である。なお、図４（後述する図５、図８も同様）において、振動前の支持部材５の外形を細い実線で示し、また、各固有モードにおける支持部材５の形状は、実際の振幅よりも大きく強調して図示している。また、振幅の大小をドットの網掛けの濃淡で示し、振幅の大きい領域ほどドットが疎に、振幅が小さい領域ほどドットが密となるように、網掛けを付している。
【００３０】
これらの固有モードの節位置は、主に試料室２の近傍（図４では、試料室２を設置する領域を破線２０で示す）である。なお、支持部材５が長方形の板構造以外の形状であっても、支持部材５が試料室２に固定されているので、固有モードの節位置は、ほぼ試料室２の近傍となる。
【００３１】
また、これらの固有モードの腹位置は、図４の矢印２１で示した位置となる。これらの位置は、主に支持部材５の四隅となる。
【００３２】
このため、固定部材７が支持部材５と補強部材６とを固定する位置（固定用穴１１が設けられる位置）は、図１，２に示すように、例えば、支持部材５の固有モードの節位置付近とすることができる。また、減衰部材８が支持部材５と補強部材６とを結合する位置（結合用穴１２が設けられる位置）は、図１，２に示すように、例えば、支持部材５の固有モードの腹位置付近とすることができる。
【００３３】
次に、支持部材５に補強部材６を設置した支持体４の固有モードについて、図５を用いて説明する。図５は、補強部材６を設置した支持部材５の固有モードを示す模式図である。なお、図５では、板の四隅の隣り合う角部が逆相に振動するモード（図４（ａ）に示すモード参照）の例を示す。
【００３４】
環境音などの外乱が支持部材５に作用して、支持部材５の固有モードが励起された場合には、図５に示すように、支持部材５の固有モードの腹位置において、支持部材５と補強部材６の間に相対変位が生じる。そして、これらの相対変位が生じる箇所で減衰部材８が変形し、支持部材５の振動エネルギが消散され、支持部材５の振動が低減する。
【００３５】
ここで、支持部材５の板の曲げモードは、支持部材５の四隅において腹位置となるモードが多いことから、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓが備える支持体４の構成にすれば複数の固有モードの振動を低減することが可能になる。
【００３６】
また、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓが備える支持体４は、支持部材５と補強部材６を重ね合わせて、固定部材７で固定するとともに減衰部材８で結合した構造であり、特許文献１に開示された動吸振器のように剛性や減衰の調整をすることなく、支持部材５の振動を低減することが可能になる。
【００３７】
また、補強部材６は、支持部材５の板厚に対して剛性が小さすぎると、剛性差が大きすぎて支持部材５の変形に補強部材６の変形が追従してしまい、両者の間に相対変位が生じにくくなる。そのため、支持部材５と補強部材６が同一材料であれば、補強部材６の板厚は支持部材５の板厚に対して、１／３〜２／３程度にしている。さらに、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓが備える支持体４は、支持部材５のみで試料室２より上の搭載物を支持していることから、補強部材６には試料室２より上の搭載物を支持する剛性をもつ必要がない。
【００３８】
また、支持部材５は剛性が高いため、重量のある試料室２より上の搭載物を設置してもほとんど変形することがなく、平行度を保つことができる。
【００３９】
以上のような構成により、環境音などの外乱が支持部材５の様々な個所に作用しても複数の固有モードの振動を容易に低減することができ、さらに支持部材５の平行度及び剛性を維持することが可能になる。
【００４０】
ここで、図６に示す条件で、パラメータサーベイを行った。図６は、支持体４における支持部材５、補強部材６、固定部材７、減衰部材８の配置を示す模式図である。なお、固定部材７、減衰部材８の配置については、図の右上の補強部材６に対応するもののみを図示し、その他の補強部材６に対応するものは同様であり、図示を省略する。
【００４１】
ここで、正方形板状の支持部材５の一辺の長さをＬ５（＝１０００ｍｍ）とし、正方形板状の補強部材６の一辺の長さをＬ６（＝３５０ｍｍ）とし、固定部材７の支持部材５の端からの位置をＬ７とし、減衰部材８の支持部材５の端からの位置をＬ８とした。また、支持部材５の中心および支持部材５の中心に最も近い固定部材７の位置を評価点Ｐとして、評価点Ｐにおける支持部材５の振動を評価した。
【００４２】
固定部材７および減衰部材８をどのように配置しても、支持部材５が振動した際、減衰部材８の位置で支持部材５と補強部材６の間に相対変位が生じ、減衰部材８が変形して支持部材５の振動エネルギが消散されることにより、支持部材５の振動を低減することができた。
【００４３】
特に、固定部材７の板の端からの位置Ｌ７を支持部材５の長さＬ５の１／７以上１／６以下の範囲内とし、減衰部材８の板の端からの位置Ｌ８を支持部材５の長さＬ５の１／４以上１／５以下の範囲内とすることにより、支持部材５の振動をより低減することができた。
【００４４】
≪第２実施形態≫
次に、第２実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＡについて、図７を用いて説明する。図７は、第２実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＡの斜視図である。
【００４５】
第２実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＡは、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓと比較して、支持体４Ａの構成が異なっている。具体的には、支持部材５に補強部材６を設置する位置が異なっている。即ち、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓは、支持部材５の四隅に補強部材６を設置していたのに対し、図７に示す第２実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＡは、支持部材５の四隅に補強部材６ａを設置し、さらに支持部材５の各辺中央付近に補強部材６ｂを追加している。その他の構成は同様であり、重複する説明を省略する。
【００４６】
支持部材５の各辺中央に設置した補強部材６ｂでは、試料室２の近傍に固定部材７を設置し、支持部材５の各辺中央付近に減衰部材８を設置する。
【００４７】
図８は、支持部材５の他の固有モードを示す模式図であり、試料室２の近傍（図８では、試料室２を設置する領域を破線２０で示す）が節となり、矢印２２で示す支持部材５の各辺の中央が腹となる固有モードの例である。
【００４８】
第２実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＡによれば、支持部材５の各辺中央付近に補強部材６ｂを追加したことにより、図８に示す固有モードの振動を減衰することができる。また、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓと同様に支持部材５の四隅に補強部材６ａを配置しているので、図４（ａ）（ｂ）に示す固有モードの振動を減衰することができる。即ち、第２実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＡによれば、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓよりも多くの固有モードの振動を減衰することができる。
【００４９】
≪第３実施形態≫
次に、第３実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＢについて、図９を用いて説明する。図９は、第３実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＢの斜視図である。
【００５０】
第３実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＢは、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓと比較して、支持体４Ｂの支持部材５Ｂの形状が異なっている。また、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓでは支持部材５が試料室２を底面から支持しているのに対し、第３実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＢでは支持部材５Ｂが分割され、試料室２を側面から支持している点で異なっている。その他の構成は同様であり、重複する説明を省略する。
【００５１】
また、第３実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＢの支持部材５Ｂは、試料室２の支持に影響しない、除振マウント９で支持された２点の間に切り欠き５１を設けてもよい。これにより、支持部材５Ｂの中央が腹位置となる固有モードの振動が抑制できる。
【００５２】
なお、第３実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＢの支持体４Ｂでは、２つの支持部材５Ｂで試料室２を支持しているが、４点で支持する場合には４つの支持部材で試料室２を支持し、支持部材の大きさは除振マウント９と試料室２を直線で結合する範囲だけにしてもよい。
【００５３】
また、第３実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＢの支持体４Ｂでは、支持部材５Ｂが板構造であるものとして説明したが、これに限定されるものではない。図１０は、第３実施形態の変形例に係る荷電粒子線装置ＳＣの斜視図である。図１０に示すように、支持体４Ｃの支持部材５Ｃを梁構造としてもよい。
【００５４】
なお、補強部材６Ｃ、固定部材７および減衰部材８の位置は、第１実施形態と同様に適宜設ければよい。
【００５５】
以上、第３実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＢ，ＳＣによれば、支持部材５Ｂ，５Ｃを必要な個所に設置することで、支持部材５Ｂ，５Ｃの小型・軽量化が可能になる。
【００５６】
≪第４実施形態≫
次に、第４実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＤについて、図１１を用いて説明する。図１１は、第４実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＤの斜視図である。
【００５７】
第４実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＤは、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓと比較して、支持体４Ｄの減衰部材８Ｄの構造が異なっている。その他の構成は同様であり、重複する説明を省略する。
【００５８】
第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓは、支持部材５の板の曲げモードの腹位置周辺にあたる支持部材５の四隅の内側に減衰部材８を設置していたのに対し、第４実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＤは、支持部材５Ｄ及び補強部材６Ｄの腹位置周辺の側面に減衰部材８Ｄを設置する。
【００５９】
図１２は、第４実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＤが備える支持体４Ｄの変形前の状態を示す断面模式図である。図１３は、第４実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＤが備える支持体４Ｄの変形時における状態を示す断面模式図である。
【００６０】
図１２に示すように、減衰部材８Ｄは、ゴムなどのダンピング材の減衰部８１とゴムよりも剛性が高い樹脂や金属材料の支持部８２で構成する。減衰部材８の減衰部８１は、支持部材５Ｄと補強部材６Ｄの側面にそれぞれ設置し、２つの減衰部８１を支持部８２で結合する。なお、減衰部８１を支持部材５と補強部材６にそれぞれ１個ずつ設置するものとして図示しているが、個数はこれに限られるものではない。また、減衰部８１の大きさは、支持部材５及び補強部材６の大きさに合わせて大型化してもよい。
【００６１】
図１３に示すように、支持部材５Ｄと補強部材６Ｄが変形すると、ダンピング材の減衰部８１がせん断変形を生じ、振動エネルギが消散される。
【００６２】
第４実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＤによれば、減衰部材８Ｄの減衰部分（減衰部８１）を大型化できるため、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓの減衰部材８（ボルト８ａ、ナット８ｂ）と比較して、曲げモードの振動抑制効果を高くすることができる。
【００６３】
≪第５実施形態≫
次に、第５実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＥについて、図１４を用いて説明する。図１４は、第５実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＥの斜視図である。
【００６４】
第５実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＥは、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓと比較して、支持体４Ｅの減衰部材８Ｅの構造が異なっている。その他の構成は同様であり、重複する説明を省略する。
【００６５】
図１５は、第５実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＥが備える支持体４Ｅの断面模式図である。
【００６６】
支持部材５Ｅには、段付溝１３が設けられており、その内部に減衰部材８Ｅが設置され、減衰部材８Ｅを支持部材５Ｅと補強部材６Ｅで上下から圧縮して挟みこむ構造となっている。なお、段付溝１３の構造は、減衰部材８Ｅが内部に収まる大きさであれば任意の形状でよい。また、支持部材５Ｅの側に段付溝１３を設けるものとしているが、補強部材６Ｅの側に段付溝１３を設けてもよい。
【００６７】
減衰部材８が補強部材６により圧縮されて変形しても、段付溝１３が減衰部材８の変形の逃げ場になる。また、支持部材５と補強部材６の間に相対変位が生じても、減衰部材８は段付溝１３に逃げ込んだ部分が元に戻るため、支持部材５と補強部材６は減衰部材８により結合されたままになる。
【００６８】
以上のような構成により、第５実施形態に係る荷電粒子線装置ＳＥによれば、減衰部材８Ｅの形状を固有モードの変形形状に合わせて配置することができ、またその大きさも任意にすることができることから、第１実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓの減衰部材８と比較して、曲げモードの振動抑制効果を高くすることができる。
【００６９】
≪変形例≫
なお、本実施形態（第１〜第５実施形態）に係る荷電粒子線装置Ｓ〜ＳＥは、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の変更が可能である。
【００７０】
本実施形態に係る荷電粒子線装置Ｓ〜ＳＥは、ＳＥＭであるものとして説明したが、これに限定されるものではない。例えば、ＦＩＢ（Focused Ion Beam System；集束イオンビーム装置）や、ＴＥＭ（Transmission Electron Microscope; 透過型電子顕微鏡）であってもよい。
【符号の説明】
【００７１】
１          カラム
２          試料室
３          ステージ
４          支持体
５          支持部材（第１部材）
６          補強部材（第２部材）
７          固定部材
８          減衰部材
９          除振マウント
１０        架台
１１        固定用穴
１２        結合用穴
１３        段付溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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