(57)【要約】【課題】静電チャックがウエーハを吸着しているか否かを容易に確認する。【解決手段】静電チャック３は、誘電体で形成され保持面を有し内部に金属板３４が配設されたウエーハ保持部３１と、金属板３４を直流電源３６に接続する第１配線３７とを備え、搬送手段７は、導電体で形成される保持面でウエーハを保持するパッド７０と、パッド７０をアースに接続する第２配線７２とを備え、第１配線３７又は第２配線７２に配設される抵抗８１と抵抗８１の両端の電圧を測定する電圧計８４を有する電圧測定手段８を備え、パッド７０が保持するウエーハを静電チャック３に接触させ静電チャック３とパッド７０とを接続させる工程と、直流電源３６から静電チャック３に電力を供給し、静電チャック３に電力を供給した方向の電圧の電圧計８４における測定値が所定の電圧値に達したとき静電チャック３がウエーハを吸着していると判断する工程と、を備える吸着確認方法である。【選択図】図１
2018014383.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハを保持する搬送手段がウエーハを静電チャックに搬入した際に該静電チャックがウエーハを吸着保持しているか否かを確認する吸着確認方法であって、
該静電チャックは、誘電体で形成されウエーハを保持する保持面を有し内部に金属板が配設されたウエーハ保持部と、該金属板を直流電源に接続する第１の配線と、を備え、
該搬送手段は、導電体で形成される保持面でウエーハを保持する搬送パッドと、該搬送パッドをアースに接続する第２の配線と、を備え、
該第１の配線又は該第２の配線に配設される抵抗と該抵抗の両端の電圧を測定する電圧計とを有する電圧測定手段を備え、
該搬送パッドが保持するウエーハを該静電チャックに接触させウエーハを介して該静電チャックと該搬送パッドとを接続させる接続工程と、
該接続工程を実施した後、該直流電源から該静電チャックに電力を供給し、該直流電源が該静電チャックに電力を供給した際の該供給の方向の電圧の該電圧計における測定値が所定の電圧値に達したときに該静電チャックの保持面がウエーハを吸着していると判断する吸着判断工程と、を備える吸着確認方法。
【請求項２】
静電チャックが吸着保持するウエーハを搬送手段が保持し静電チャックからウエーハを搬出する際に静電チャックからウエーハが離脱しているか否かを確認する離脱確認方法であって、
該静電チャックは、誘電体で形成されウエーハを保持する保持面を有し内部に金属板が配設されたウエーハ保持部と、該金属板を直流電源に接続する第１の配線と、を備え、
該搬送手段は、導電体で形成される保持面でウエーハを保持する搬送パッドと、該搬送パッドをアースに接続する第２の配線と、を備え、
該第１の配線又は該第２の配線に配設される抵抗と該抵抗の両端の電圧を測定する電圧計とを有する電圧測定手段を備え、
該静電チャックが保持するウエーハに該搬送パッドを接触させウエーハを介して該静電チャックと該搬送パッドとを接続させる接続工程と、
該接続工程を実施した後、該直流電源から該静電チャックに電力を供給せずに、該直流電源が該静電チャックに電力を供給する方向の逆方向の電圧の該電圧計における測定値が所定の電圧値に達したときに該静電チャックの保持面からウエーハが離脱したと判断する離脱判断工程と、を備える離脱確認方法。
【請求項３】
減圧環境でウエーハを処理する減圧処理装置であって、
ウエーハを保持する保持面を有する静電チャックと、該静電チャックが配設された室内を減圧する減圧手段を備える減圧室と、該減圧室にウエーハを搬入及び搬出する搬送手段と、を備え、
該静電チャックは、誘電体で形成され内部に該保持面と平行に金属板が配設されたウエーハ保持部と、該金属板を直流電源に接続する第１の配線と、を備え、
該搬送手段は、導電体で形成される保持面でウエーハを保持する搬送パッドと、該搬送パッドをアースに接続する第２の配線と、を備え、
該第１の配線又は該第２の配線に配設される抵抗と該抵抗の両端の電圧を測定する電圧計とを有する電圧測定手段と、
ウエーハを介して該静電チャックと該搬送パッドとを接続させ該直流電源から該静電チャックに電力を供給して、該直流電源が該静電チャックに電力を供給した際の該供給の方向と同じ方向の電圧の該電圧計における測定値が所定の電圧値に達したときに該静電チャックの保持面がウエーハを吸着していると判断する第１の判断部と、該直流電源から電力を供給せずに、該直流電源が該静電チャックに電力を供給する方向の逆方向の電圧の該電圧計における測定値が所定の電圧値に達したときに該静電チャックの保持面からウエーハが離脱していると判断する第２の判断部とを有する判断手段とを備えた減圧処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電チャックがウエーハを吸着保持しているか否かを確認する吸着確認方法、静電チャックからウエーハが離脱していることを確認する離脱確認方法、及び減圧環境でウエーハを処理する減圧処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハ等は、研削装置によって研削されて所定の厚みに形成された後に、切削装置等により分割されて個々のデバイス等となり、各種電子機器等に利用されている。ウエーハの研削を行うに際しては、複数のデバイスが形成されたウエーハの表面に対して保護テープを貼着し、保護テープが貼着されたウエーハの保護テープ側を保持テーブルで保持してから、ウエーハの裏面に回転する研削砥石を当接させ研削を行う。ここで、ウエーハの裏面を研削するとウエーハの裏面に研削痕が残存する場合があり、研削痕が残ったままのウエーハを分割してデバイスを作製すると、作製されたデバイスの抗折強度が低下するという問題がある。
【０００３】
このような問題を解消するために、プラズマエッチング装置（例えば、特許文献１参照）を用いて、減圧環境でウエーハの裏面にプラズマエッチング処理を施すことによって、ウエーハの裏面に形成された研削痕を除去し、デバイスの抗折強度を向上させる方法がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３５８０９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載されているようなプラズマエッチング装置は、チャンバと呼ばれる減圧室を備えており、プラズマエッチング加工を行う際には、減圧室の開閉扉を開き外部から減圧室内にウエーハを搬入し、開閉扉を閉じ、次いで、減圧室内を減圧した状態にしてからエッチングガスを減圧室内に供給する。そして、プラズマ化させたエッチングガスによりウエーハの裏面をプラズマエッチングしていくことで、ウエーハの裏面（被研削面）から研削痕を除去している。
【０００６】
ここで、ウエーハを保持するチャックテーブルがウエーハを真空吸引保持するタイプのチャックテーブルであると、減圧されたチャンバ内でウエーハをチャックテーブル上に確実に吸引保持することが困難である。したがって、減圧されたチャンバ内でウエーハを吸着保持するために、例えば、チャンバ内には静電チャックが配設される。静電チャックは、チャック保持面とウエーハとの間に電圧を印加し、両者の間に発生した静電気力によってウエーハを保持面上に吸着することができる。
【０００７】
ウエーハを真空吸引保持するタイプのチャックテーブルは、例えば、大気圧中で加工を行うことが可能な切削装置等の加工装置に配設されており、チャックテーブルが密閉されたチャンバで覆われていないことから、ウエーハをチャックテーブルの保持面上に吸着する吸引圧力を直接確認することで、チャックテーブルがウエーハを保持しているか否かを確認することができる。これに対して、プラズマエッチング装置において密閉され減圧されたチャンバ内で静電チャックによりウエーハを吸着保持する場合、静電チャックがウエーハを静電吸着したか否かを確認することは、容易なことではない。そして、静電チャックがウエーハを充分に吸着していない状態でプラズマエッチングを開始すると、アーキング（異常放電）や、静電チャックの保持面とウエーハに貼着されている保護テープとの隙間で放電が発生することで生じるテープ焼け等が発生し、プラズマエッチング装置が故障したりウエーハが大きく損傷したりするという問題がある。
【０００８】
また、プラズマエッチング加工後、搬送パッドによりウエーハをチャンバ内から搬出する場合においては、搬送パッドをウエーハに接触させウエーハを吸引保持した後、静電チャックによる静電吸着を解除するが、静電チャックによるウエーハの静電吸着が充分に解除されていない状態で搬送パッドを上昇等させると、ウエーハが搬送パッドと静電チャックとにより逆方向に引っ張られることで破損するという問題がある。
【０００９】
したがって、プラズマエッチング装置等の減圧処理装置を用いてウエーハを減圧環境で処理する場合においては、減圧処理装置に備える静電チャックにウエーハを搬入したときに静電チャックがウエーハを充分に吸着しているか否かを装置が容易に確認できるようにするという課題がある。また、静電チャックからウエーハを搬出するときに、静電チャックからウエーハが充分に離脱しているか否かを装置が容易に確認できるようにするという課題がある。すなわち、静電チャックを備えた減圧処理装置においては、静電チャックにおけるウエーハの吸着状況を容易に確認できるようにするという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための本発明は、ウエーハを保持する搬送手段がウエーハを静電チャックに搬入した際に該静電チャックがウエーハを吸着保持しているか否かを確認する吸着確認方法であって、該静電チャックは、誘電体で形成されウエーハを保持する保持面を有し内部に金属板が配設されたウエーハ保持部と、該金属板を直流電源に接続する第１の配線と、を備え、該搬送手段は、導電体で形成される保持面でウエーハを保持する搬送パッドと、該搬送パッドをアースに接続する第２の配線と、を備え、該第１の配線又は該第２の配線に配設される抵抗と該抵抗の両端の電圧を測定する電圧計とを有する電圧測定手段を備え、該搬送パッドが保持するウエーハを該静電チャックに接触させウエーハを介して該静電チャックと該搬送パッドとを接続させる接続工程と、該接続工程を実施した後、該直流電源から該静電チャックに電力を供給し、該直流電源が該静電チャックに電力を供給した際の該供給の方向の電圧の該電圧計における測定値が所定の電圧値に達したときに該静電チャックの保持面がウエーハを吸着していると判断する吸着判断工程と、を備える吸着確認方法である。
【００１１】
また、上記課題を解決するための本発明は、静電チャックが吸着保持するウエーハを搬送手段が保持し静電チャックからウエーハを搬出する際に静電チャックからウエーハが離脱しているか否かを確認する離脱確認方法であって、該静電チャックは、誘電体で形成されウエーハを保持する保持面を有し内部に金属板が配設されたウエーハ保持部と、該金属板を直流電源に接続する第１の配線と、を備え、該搬送手段は、導電体で形成される保持面でウエーハを保持する搬送パッドと、該搬送パッドをアースに接続する第２の配線と、を備え、該第１の配線又は該第２の配線に配設される抵抗と該抵抗の両端の電圧を測定する電圧計とを有する電圧測定手段を備え、該静電チャックが保持するウエーハに該搬送パッドを接触させウエーハを介して該静電チャックと該搬送パッドとを接続させる接続工程と、該接続工程を実施した後、該直流電源から該静電チャックに電力を供給せずに、該直流電源が該静電チャックに電力を供給する方向の逆方向の電圧の該電圧計における測定値が所定の電圧値に達したときに該静電チャックの保持面からウエーハが離脱したと判断する離脱判断工程と、を備える離脱確認方法である。
【００１２】
上記課題を解決するための本発明は、減圧環境でウエーハを処理する減圧処理装置であって、ウエーハを保持する保持面を有する静電チャックと、該静電チャックが配設された室内を減圧する減圧手段を備える減圧室と、該減圧室にウエーハを搬入及び搬出する搬送手段と、を備え、該静電チャックは、誘電体で形成され内部に該保持面と平行に金属板が配設されたウエーハ保持部と、該金属板を直流電源に接続する第１の配線と、を備え、該搬送手段は、導電体で形成される保持面でウエーハを保持する搬送パッドと、該搬送パッドをアースに接続する第２の配線と、を備え、該第１の配線又は該第２の配線に配設される抵抗と該抵抗の両端の電圧を測定する電圧計とを有する電圧測定手段と、ウエーハを介して該静電チャックと該搬送パッドとを接続させ該直流電源から該静電チャックに電力を供給して、該直流電源が該静電チャックに電力を供給した際の該供給の方向と同じ方向の電圧の該電圧計における測定値が所定の電圧値に達したときに該静電チャックの保持面がウエーハを吸着していると判断する第１の判断部と、該直流電源から該静電チャックに電力を供給せずに、該直流電源が該静電チャックに電力を供給する方向の逆方向の電圧の該電圧計における測定値が所定の電圧値に達したときに該静電チャックの保持面からウエーハが離脱していると判断する第２の判断部とを有する判断手段とを備えた減圧処理装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る吸着確認方法は、静電チャックは、誘電体で形成されウエーハを保持する保持面を有し内部に金属板が配設されたウエーハ保持部と、金属板を直流電源に接続する第１の配線と、を備え、搬送手段は、導電体で形成される保持面でウエーハを保持する搬送パッドと、搬送パッドをアースに接続する第２の配線と、を備え、第１の配線又は第２の配線に配設される抵抗と抵抗の両端の電圧を測定する電圧計とを有する電圧測定手段を備え、搬送パッドが保持するウエーハを静電チャックに接触させウエーハを介して静電チャックと搬送パッドとを接続させる接続工程と、接続工程を実施した後、直流電源から静電チャックに電力を供給し、直流電源が静電チャックに電力を供給した際の該供給の方向の電圧の電圧計における測定値が所定の電圧値に達したときに静電チャックの保持面がウエーハを吸着していると判断する吸着判断工程と、を実施することで、減圧処理装置に備える静電チャックにウエーハを搬入する場合のような、静電チャックがウエーハを充分に吸着しているか否かを装置が判断するのが困難な場合においても、静電チャックがウエーハを充分に吸着しているか否かを装置が容易に確認できるようになる。
【００１４】
また、本発明に係る離脱確認方法は、静電チャックは、誘電体で形成されウエーハを保持する保持面を有し内部に金属板が配設されたウエーハ保持部と、金属板を直流電源に接続する第１の配線と、を備え、搬送手段は、導電体で形成される保持面でウエーハを保持する搬送パッドと、搬送パッドをアースに接続する第２の配線と、を備え、第１の配線又は第２の配線に配設される抵抗と抵抗の両端の電圧を測定する電圧計とを有する電圧測定手段を備え、静電チャックが保持するウエーハに搬送パッドを接触させウエーハを介して静電チャックと搬送パッドとを接続させる接続工程と、接続工程を実施した後、直流電源から静電チャックに電力を供給せずに、直流電源が静電チャックに電力を供給する方向の逆方向の電圧の電圧計における測定値が所定の電圧値に達したときに静電チャックの保持面からウエーハが離脱したと判断する離脱判断工程とを、実施することで、減圧処理装置に備える静電チャックからウエーハを搬出する場合のような、静電チャックからウエーハが確実に離脱しているか否かを装置が判断するのが困難な場合においても、静電チャックからウエーハを充分に離脱しているか否かを装置が容易に確認できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る減圧処理装置の一例を示す縦断面図である。
【図２】第１の配線に電圧測定手段を配設した場合の説明図である。
【図３】ウエーハを介して静電チャックと搬送パッドとを接続させた状態で直流電源が静電チャックに電力を供給している状態を示す説明図である。
【図４】吸着判断工程において直流電源が静電チャックに電力を供給しウエーハに電荷が供給された場合において、電圧計が測定する抵抗にかかる電圧の推移を示すグラフである。
【図５】ウエーハを介して静電チャックと搬送パッドとを接続させ直流電源が静電チャックに電力を供給していない場合において、電圧計が抵抗にかかる電圧を測定する状態を示す説明図である。
【図６】離脱判断工程において電圧計が測定する抵抗にかかる電圧の推移を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
減圧環境でウエーハＷを処理する図１に示す減圧処理装置１は、例えば、プラズマエッチング装置であり、少なくとも、ウエーハＷを保持する保持面３１ａを有する静電チャック３と、静電チャック３が配設された室内を減圧する減圧手段６４を備える減圧室６と、減圧室６にウエーハＷを搬入及び搬出する搬送手段７とを備えている。なお、減圧処理装置１は、プラズマエッチング装置に限定されるものではない。
【００１７】
静電チャック３は、例えば、減圧室６の下部に軸受け３０ａを介して回転可能に挿通されている基軸部３０と、アルミナ等のセラミック又は酸化チタン等の誘電体で形成されるウエーハ保持部３１とを備えており、その縦断面が略Ｔ字状になる。例えば円板状に形成されたウエーハ保持部３１は、基軸部３０の上端側に基軸部３０と一体的に形成されており、ウエーハ保持部３１の上面が誘電体からなりウエーハＷを保持する保持面３１ａとなる。なお、ウエーハ保持部３１は、セラミック等から構成された誘電体膜が別の部材上に配置されて構成されているものでもよい。
【００１８】
基軸部３０及びウエーハ保持部３１の内部には、冷却水が通水する破線で示す冷却水通水路３９ａが形成されており、冷却水通水路３９ａには、冷却水供給手段３９が連通している。冷却水供給手段３９は冷却水通水路３９ａへ冷却水を流入させ、この冷却水が、静電チャック３を内部から冷却する。例えば、処理対象のウエーハＷに図示しない保護テープ等が貼着されている場合には、プラズマエッチング処理中に、冷却水供給手段３９によって、静電チャック３の保持面３１ａの温度を保護テープからガスが発生しない温度以下に保つことができる。
【００１９】
静電チャック３の内部には、電圧が印加されることにより電荷を発生する電極として金属板３４が埋設されている。金属板３４は、円形板状に形成されており、保持面３１ａと平行に配設されており、直流電源３６のプラス端子側に第１の配線３７を介して接続されている。直流電源３６から金属板３４に高圧の直流電圧が印加されることで、保持面３１ａに分極による電荷（静電気）が発生し、そのクーロン力によりウエーハＷは保持面３１ａに静電吸着される。
【００２０】
基軸部３０には、図１に示すように連通路３８ａが形成されており、連通路３８ａの下端側には、真空発生装置及びコンプレッサー等からなる空圧機器３８が連通している。空圧機器３８は、保持面３１ａ上に吸引力を発生させるエア吸引源としての機能及び保持面３１ａ上にエアを供給するエア供給源としての機能の両方を備えている。連通路３８ａは、ウエーハ保持部３１まで延び、ウエーハ保持部３１の内部で複数の分岐路３８ｂに分岐している。連通路３８ａから分岐した各分岐路３８ｂは、金属板３４を厚み方向（Ｚ軸方向）に向かって貫通しており、その上端は、静電チャック３の保持面３１ａで開口している。
【００２１】
減圧室６の上部には、反応ガスを噴出するガス噴出ヘッド２が、軸受け２０を介して昇降自在に配設されている。ガス噴出ヘッド２の内部には、ガス拡散空間２１が設けられており、ガス拡散空間２１の上部にはガス導入路２１ａが連通し、ガス拡散空間２１の下部にはガス吐出路２１ｂが連通している。ガス吐出路２１ｂの下端は、ガス噴出ヘッド２の下面において静電チャック３側に向かって開口している。ガス噴出ヘッド２には、ガス噴出ヘッド２を上下動させるエアシリンダ２３が接続されている。エアシリンダ２３は、例えば、内部に図示しないピストンを備え基端側（−Ｚ方向側）に底があり減圧室６の上面に固定されたシリンダチューブ２３ａと、シリンダチューブ２３ａに挿入され一端がピストンに取り付けられたピストンロッド２３ｂと、ピストンロッド２３ｂのもう一端に固定されガス噴出ヘッド２を支持する連結部材２３ｃとを備える。シリンダチューブ２３ａにエアが供給（または、排出）されシリンダチューブ２３ａの内部の圧力が変化することで、ピストンロッド２３ｂがＺ軸方向に上下動することに伴って、ガス噴出ヘッド２が上下動する。
【００２２】
ガス噴出ヘッド２の内部に形成されたガス導入路２１ａには、反応ガス供給源２５が連通している。反応ガス供給源２５は、例えば、反応ガスであるＳＦ６、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ２Ｆ４等のフッ素系ガスを蓄えている。なお、ガス導入路２１ａには、反応ガス供給源２５の他に、プラズマエッチング反応を支援するガスが蓄えられた図示しない支援ガス供給源が連通していてもよい。この場合、支援ガス供給源には、支援ガスとして、Ａｒ、Ｈｅ等の希ガスが蓄えられている。
【００２３】
ガス噴出ヘッド２には、整合器２７を介して高周波電源２８が接続されている。高周波電源２８から整合器２７を介してガス噴出ヘッド２に高周波電力を供給することにより、ガス吐出路２１ｂから吐出されたガスをプラズマ化することができる。
【００２４】
減圧室６の側部には、ウエーハＷの搬入出を行うための搬入出口６２と、この搬入出口６２を開閉するシャッター６２ａとが設けられている。例えば、シャッター６２ａは、エアシリンダ等のシャッター可動手段６２ｂによって上下動可能になっている。
【００２５】
減圧室６の下部には排気口６４ａが形成されており、この排気口６４ａには減圧手段６４が接続されている。この減圧手段６４を作動させることにより、減圧室６の内部を所定の真空度まで減圧することができる。
【００２６】
図１に示す搬送手段７を構成する搬送パッド７０は、例えば、その外形が円形状であり、カーボンポーラス又はメタルポーラス等の導電体のポーラス部材からなりウエーハＷを吸着する吸着部７００と、吸着部７００を支持する枠体７０１とを備える。吸着部７００には、連通路７１ａの一端が連通しており、連通路７１ａのもう一端は、真空発生装置及びコンプレッサー等からなる吸引源７１に接続されている。そして、吸引源７１が吸引を行うことで生み出された吸引力が、吸着部７００の露出面であり枠体７０１の下面と面一に形成された導電性を備える保持面７００ａに連通路７１ａを介して伝達されることで、搬送パッド７０は保持面７００ａでウエーハＷを吸引保持することができる。
【００２７】
例えば、搬送パッド７０の枠体７０１の上面には、連結部材７９０が固定されており、搬送パッド７０は、連結部材７９０を介してアーム部７９の一端の下面側に固定されている。アーム部７９は、水平面上において平行移動可能又は旋回移動可能であるとともにＺ軸方向に上下動可能である。
【００２８】
搬送手段７は、搬送パッド７０をアースに接続する第２の配線７２を備えている。第２の配線７２は、一端７２ｂがアースに接地されており、もう一端７２ａが搬送パッド７０の吸着部７００に接続されている。
【００２９】
図１に示すように、第２の配線７２には、抵抗８０と抵抗８１とが直列に接続されており、かつ、抵抗８１の両端の電圧を測定する電圧計８４が抵抗８１と並列に接続されている。この抵抗８０及び抵抗８１、並びに電圧計８４によって、電圧測定手段８が構成されている。なお、電圧測定手段８の構成は本実施形態に限定されるものではなく、例えば、抵抗８０及び抵抗８１以外の抵抗を備えていてもよい。また、抵抗８０及び抵抗８１、並びに電圧計８４は、第２の配線７２ではなく、図２に示すように、第１の配線３７に接続されていてもよい。
【００３０】
図１に示すように、減圧処理装置１は、ＣＰＵ及びメモリ等の記憶素子等から構成される制御部９を備えており、制御部９による制御の下で、エッチングガスの吐出量や時間、高周波電力等の条件がコントロールされる。制御部９は、静電チャック３の保持面３１ａがウエーハＷを吸着しているか否かを判断する第１の判断部９１と、静電チャック３の保持面３１ａからウエーハＷが離脱しているか否かを判断する第２の判断部９２とを備えている。制御部９には、電圧計８４が測定した抵抗８１にかかる電圧についての情報が送られてくる。
【００３１】
以下に、図１に示す減圧処理装置１を用いて減圧環境でウエーハＷを処理（本実施形態においては、プラズマエッチング処理）する場合における、減圧処理装置１の動作について説明する。ウエーハＷは、例えば、外形が円形状の半導体ウエーハであり、ウエーハの裏面Ｗｂが、プラズマエッチング処理が施される面となる。ウエーハＷの表面Ｗａには、例えば、多数のデバイスが形成されている。ウエーハＷの表面Ｗａは、例えば図示しない保護テープが貼着されて保護されていてもよい。
【００３２】
アーム部７９により、搬送パッド７０が水平面上を移動し、搬送パッド７０の中心と上側を向いた状態のウエーハＷの裏面Ｗｂの中心とが略合致するように、搬送パッド７０がウエーハＷの上方に位置付けられる。さらに、アーム部７９が−Ｚ方向へと降下し、搬送パッド７０の保持面７００ａとウエーハＷの裏面Ｗｂとが接触する。そして、吸引源７１が吸引を行うことで、図１に示すように搬送パッド７０が保持面７００ａでウエーハＷを吸引保持する。
【００３３】
次いで、搬送手段７がウエーハＷを減圧室６内の静電チャック３に搬入する。ここで、静電チャック３がウエーハＷを吸着保持しているか否かを確認する吸着確認方法を実施することで、静電チャック３がウエーハＷを充分に吸着していない状態でウエーハＷの減圧処理が行われていくといった事態が生じることを防止する。
【００３４】
（１）吸着確認方法における接続工程
減圧室６のシャッター６２ａを開け、ウエーハＷを吸引保持している搬送パッド７０を、搬入出口６２を通し静電チャック３上へと移動させる。そして、搬送パッド７０を降下させ、ウエーハＷの表面Ｗａ側と静電チャック３の保持面３１ａとを接触させ、ウエーハＷを静電チャック３上に載置する。このようにして、図３に示すように、ウエーハＷを介して静電チャック３と搬送パッド７０とを接続させる。
【００３５】
（２）吸着確認方法における吸着判断工程
接続工程を実施した後、図３に示すように直流電源３６のスイッチ３６０をオンにして、直流電源３６から第１の配線３７を介して静電チャック３に電力を供給し、金属板３４に所定の直流電圧（例えば、５０００Ｖの直流電圧）を印加することにより、金属板３４上のウエーハ保持部３１の誘電体層とウエーハＷとの間に誘電分極現象を発生させる。誘電分極現象によって、ウエーハ保持部３１の保持面３１ａ近傍には正（＋）電荷が集中する。また、ウエーハＷを介して静電チャック３と搬送パッド７０とが接続された状態になっているため、第２の配線７２及び導電体で形成される吸着部７００を介してウエーハＷに負（−）電荷が供給されることで、ウエーハＷはマイナスに帯電する。そのため、ウエーハＷと保持面３１ａとの間に働く静電気力によって、ウエーハＷは保持面３１ａ上に吸着保持される。
【００３６】
ここで、ウエーハＷに負（−）電荷が供給される際の電圧測定手段８の抵抗８１にかかる電圧（過度電圧）を、電圧計８４が抵抗８１の両端で測定する。すなわち、直流電源３６から第１の配線３７を介して静電チャック３に電力を供給することで抵抗８１に直流電圧を加えると、短時間にオームの法則に従う直流電流が流れる。その結果、電圧計８４で測定される抵抗８１にかかる電圧は、例えば、図４に示すグラフＦ１のように定常電圧０Ｖから過度電圧（例えば、１７０Ｖ）近くまで約０．３秒間で急激に上昇した後、徐々に下がっていき、約３．７秒後に定常電圧まで戻る。ここで、０秒時から約４．０秒経過時までのグラフＦ１の積分値（図４において破線で示す面積Ｓ１）は、ウエーハＷの帯電量を示している。そして、図４に示すように、直流電源３６から第１の配線３７を介して静電チャック３に電力を供給した時（０秒時）から約４秒経過まで（すなわち、ウエーハＷの帯電量が変化する過度状態）を過ぎると、ウエーハＷは充分にマイナスに帯電した定常状態になり、電圧計８４で測定される抵抗８１にかかる電圧も０Ｖで安定する。そして、ウエーハＷと保持面３１ａとの間に働く静電気力によって、ウエーハＷは保持面３１ａ上に充分に吸着保持された状態になる。
【００３７】
例えば、図１に示す制御部９の第１の判断部９１には、静電チャック３の保持面３１ａがウエーハＷを充分に吸着している場合における、電圧計８４で測定される抵抗８１にかかる電圧の電圧値（例えば、１７０Ｖ）が記憶されている。第１の判断部９１に記憶されている電圧値の値は、ウエーハＷの大きさ、厚み毎に応じて決定されているものであって、ウエーハＷが静電チャック３により充分に吸着されるために必要なウエーハＷの帯電量を間接的に示すものである。直流電源３６のスイッチ３６０をオンにすると、電圧計８４が計測する抵抗８１にかかる電圧の電圧値についての情報が、随時第１の判断部９１に送信される。そして、電圧計８４で測定される抵抗８１にかかる電圧の電圧値が１７０Ｖとなった時から例えば約３．７秒後に、第１の判断部９１は、ウエーハＷが充分にマイナスに帯電し、静電チャック３がウエーハＷを保持面３１ａで充分に吸着保持したと判断する。一方、電圧計８４で測定される抵抗８１にかかる電圧の電圧値が１７０Ｖに達しなかった場合は、第１の判断部９１は、ウエーハＷの吸引保持が充分でないと判断する。例えば、第１の判断部９１は、本判断の結果を作業者に対して発信する。
【００３８】
このように、本発明に係る吸着確認方法は、（１）接続工程と、（２）吸着判断工程とを実施することで、減圧処理装置１に備える静電チャック３にウエーハＷを搬入する場合のような、静電チャック３がウエーハＷを充分に吸着しているか否かを装置が判断するのが困難な場合においても、静電チャック３がウエーハＷを充分に吸着しているか否かを装置が容易に確認できるようになる。
【００３９】
装置は、静電チャック３がウエーハＷを充分に吸着していることが確認できた後、吸引源７１による吸引を停止し、ウエーハＷを搬送パッド７０の保持面７００ａから離間させる。そして、搬送パッド７０は、図１に示す減圧室６内から即時退避する。減圧室６の搬入出口６２をシャッター６２ａで閉め、減圧手段６４によって減圧室６内を減圧排気し真空状態とする。なお、例えば、空圧機器３８が吸引を行い、ウエーハＷの表面Ｗａと静電チャック３の保持面３１ａとの間に残留している空気を吸引して除去する。そして、図１に示すガス噴出ヘッド２を下降させ、その状態で、反応ガス供給源２５に蓄えられたエッチングガス（例えば、ＳＦ６）をガス噴出ヘッド２内のガス導入路２１ａへ供給する。ガス導入路２１ａに供給されたエッチングガスは、各ガス吐出路２１ｂに分流され、各ガス吐出路２１ｂの開口から、静電チャック３に吸着保持されているウエーハＷの裏面Ｗｂ全面に向かって均一に噴出する。
【００４０】
減圧室６内にエッチングガスを導入するとともに、高周波電源２８からガス噴出ヘッド２に高周波電力を印加することにより、ガス噴出ヘッド２と静電チャック３との間に高周波電界を生じさせ、エッチングガスをプラズマ化させる。プラズマ化したエッチングガスは、ウエーハＷの裏面Ｗｂをエッチングしていく。なお、静電チャック３がウエーハＷを充分に吸着した状態でプラズマエッチングが行われるため、アーキングが発生することがない。
【００４１】
ウエーハＷの裏面Ｗｂのプラズマエッチングを適宜行った後、ガス噴出ヘッド２に対する高周波電力の印加を止めて、減圧室６内のエッチングガスを排気口６４ａから減圧手段６４により排気し、減圧室６の内部にエッチングガスが存在しない状態とする。次いで、搬入出口６２のシャッター６２ａを開いて、搬送手段７によりウエーハＷを減圧室６内の静電チャック３から搬出するが、ここで、静電チャック３からウエーハＷが離脱しているか否かを確認する離脱確認方法を実施する。この理由は、静電チャック３によるウエーハＷの静電吸着が充分に解除されていない状態で搬送パッド７０によるウエーハＷの吸引保持を行いウエーハＷを破損させるという事態が生じることを防ぐためである。
【００４２】
（３）吸着確認方法における接続工程
図１に示す搬送パッド７０を搬入出口６２を通し、静電チャック３に吸着保持されているウエーハＷ上へと移動させ、搬送パッド７０とウエーハＷとの位置を合わせる。そして、搬送パッド７０を降下させ、ウエーハＷの裏面Ｗｂと搬送パッド７０の保持面７００ａとを接触させ、ウエーハＷを介して静電チャック３と搬送パッド７０とを接続させる。
【００４３】
（４）吸着確認方法における離脱判断工程
接続工程を実施した後、図５に示すように直流電源３６のスイッチ３６０をオフにして、直流電源３６からの静電チャック３への電力の供給を停止する。これにより直流電源３６による金属板３４への直流電圧の印加が停止されるが、金属板３４に対する通電を止めても、ウエーハ保持部３１の保持面３１ａ近傍の電荷が直ちにはなくならず、また、ウエーハＷの帯電状態が直ちには解除されない。そのため、保持面３１ａとウエーハＷとの間には静電気力が残留吸着力として残るため、すぐには静電チャック３からウエーハＷが充分に離脱している状態にはならない。
【００４４】
ウエーハＷの帯電が解除される状態において、電圧測定手段８の抵抗８１にかかる電圧（過度電圧）を、電圧計８４が抵抗８１の両端で測定する。電圧計８４で測定される抵抗８１にかかる電圧は、例えば、図６に示すグラフＦ２のように定常電圧０Ｖから例えば過度電圧である−１７０Ｖ近くまで約０．３秒間で急激に下降した後、徐々に上がっていき、約３．７秒後に定常電圧まで戻る。ここで、０秒時から約４秒経過時までのグラフＦ２の積分値（図６において破線で示す面積Ｓ２）は、ウエーハＷが失った荷電量を示している。そして、図６に示すように、直流電源３６のスイッチ３６０をオフにした時（０秒時）から約４秒経過まで（すなわち、ウエーハＷの帯電量が減少する過度状態）を過ぎると、ウエーハＷは帯電していない定常状態になり、電圧計８４で測定される抵抗８１にかかる電圧も０Ｖで安定する。そして、ウエーハＷと保持面３１ａとの間に働く静電気力もなくなり、ウエーハＷはウエーハ保持部３１の保持面３１ａ上から充分に離脱した状態になる。
【００４５】
例えば、図１に示す制御部９の第２の判断部９２には、静電チャック３の保持面３１ａからウエーハＷが確実に離脱していると判断できる場合における、電圧計８４で測定される抵抗８１にかかる電圧の電圧値（例えば、−１７０Ｖ）が記憶されている。第２の判断部９２に記憶されている電圧値の値は、ウエーハＷの大きさ又は厚み毎に応じて決定されているものであって、ウエーハＷが静電チャック３から確実に離脱できるために必要なウエーハＷから除去された電荷量を間接的に示すものである。直流電源３６のスイッチ３６０がオフになると、電圧計８４が計測する抵抗８１にかかる電圧の電圧値についての情報が、随時第２の判断部９２に送信される。そして、電圧計８４で測定される抵抗８１にかかる電圧の電圧値が−１７０Ｖとなった時から例えば約３．７秒後に、第２の判断部９２は、ウエーハＷから充分にマイナス電荷が除去され、静電チャック３の保持面３１ａからウエーハＷが充分に離脱していると判断する。一方、電圧計８４で測定される抵抗８１にかかる電圧の電圧値が−１７０Ｖに達しなかった場合は、第２の判断部９２は、ウエーハＷが確実に離脱していないと判断する。例えば、第２の判断部９２は、本判断の結果を作業者に対して発信する。
【００４６】
このように、本発明に係る離脱確認方法は、（３）接続工程と、（４）離脱判断工程とを実施することで、減圧処理装置１に備える静電チャック３からウエーハＷを搬出する場合のような、静電チャック３からウエーハＷが充分に離脱しているか否かを装置が判断するのが困難な場合においても、静電チャック３からウエーハＷが確実に離脱しているか否かを装置が容易に確認できるようになる。
【００４７】
装置が静電チャック３からウエーハＷが確実に離脱していることを確認できた後、例えば、空圧機器３８が静電チャック３の保持面３１ａに対してエアの供給を行い、エアの噴射圧力によって、ウエーハＷを保持面３１ａから押し上げる。これは、静電チャック３の保持面３１ａとウエーハＷとの間の真空吸着力を排除するためである。そして、図５に示す吸引源７１が吸引を行うことで、搬送パッド７０が保持面７００ａでウエーハＷを吸引保持し、静電チャック３からウエーハＷを搬出する。ここで、静電チャック３によるウエーハＷの静電吸着が充分に解除されているため、搬送パッド７０を上昇させても、ウエーハＷが破損することはない。
【００４８】
なお、本発明に係る減圧処理装置１は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている各構成の大きさや形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。例えば、ウエーハに保護テープを貼着し保護テープ側を静電チャックに接触させ保持面で保持させる時には、保護テープを誘電体とするため、静電チャックに埋設する金属板が保持面に露出していてもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１：減圧処理装置
２：ガス噴出ヘッド  ２０：軸受け
２１：ガス拡散空間  ２１ａ：ガス導入路  ２１ｂ：ガス吐出路
２３：エアシリンダ  ２３ａ：シリンダチューブ  ２３ｂ：ピストンロッド
２３ｃ：連結部材
２５：反応ガス供給源  ２７：整合器  ２８：高周波電源
３：静電チャック  ３０：基軸部  ３０ａ：軸受け  
３１：ウエーハ保持部  ３１ａ：保持面  ３４：金属板  ３６：直流電源
３７：第１の配線  
３８：空圧機器  ３８ａ：連通路  ３８ｂ：分岐路
３９：冷却水供給手段  ３９ａ：冷却水通水路
６：減圧室  ６２：搬入出口  ６２ａ：シャッター  ６２ｂ：シャッター可動手段
６４：減圧手段  ６４ａ：排気口
７：搬送手段  ７０：搬送パッド  ７００：吸着部  ７００ａ：保持面
７０１：枠体
７１：吸引源  ７１ａ：連通路  ７２：第２の配線
７９：アーム部  ７９０：連結部材
８：電圧測定手段  ８０、８１：抵抗  ８４：電圧計
９：制御部  ９１：第１の判断手段  ９２：第２の判断手段
Ｗ：ウエーハ  Ｗａ：ウエーハの表面  Ｗｂ：ウエーハの裏面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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