(57)【要約】      （修正有）【課題】作業者がより安全に高電圧発生装置を組み立てることができる高電圧発生装置の組立装置、高電圧発生装置の組立方法、及び、その組立装置を用いて組み立てることが可能な高電圧発生装置を提供する。【解決手段】第１タンク３又は第２タンク４の一方に収容された昇圧回路と第１タンク及び第２タンクの他方に収容されたフィルタ回路とを電気的に接続し、少なくともその一部が第１タンクと第２タンクとを連通する連通管７内に配置されるように第１タンクと第２タンクとの間に配置されるケーブル２０を取り付けるに当たって、第２タンク内に固定されるレール本体３７とレール本体の内部に、連通管及び第１タンク側に延出可能に収容された延長レール４８と、レール本体及び延長レールに摺動可能に取り付けられており、ケーブルを支持可能なフック部４３とを備える。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
昇圧回路又はフィルタ回路のうち一方の回路を収容する筒状の第１タンクと、
昇圧回路又はフィルタ回路のうち他方の回路を収容する筒状の第２タンクと、
前記第１タンク及び前記第２タンクの内部を連通する連通管と、
を備える高電圧発生装置に、前記昇圧回路と前記フィルタ回路とを電気的に接続し、少なくともその一部が前記連通管内に配置されるように前記第１タンクと前記第２タンクとの間に配置されるケーブルを取り付ける高電圧発生装置の組立装置であって、
前記第２タンク内に固定されるレール本体と
前記レール本体の内部に、前記連通管及び前記第１タンク側に延出可能に収容された延長レールと、
前記レール本体及び前記延長レールに摺動可能に取り付けられており、前記ケーブルを支持可能なフック部とを備える
高電圧発生装置の組立装置。
【請求項２】
前記レール本体の両端部には、前記レール本体に固定されたブラケットが設けられており、
前記レール本体は、前記ブラケットを前記第２タンクの上部開口側の外縁部に固定することで前記第２タンクに固定される
請求項１に記載の高電圧発生装置の組立装置。
【請求項３】
さらに、前記延長レールの端部を前記第１タンクに固定する延長レール側ブラケットを有する
請求項２に記載の高電圧発生装置の組立装置。
【請求項４】
昇圧回路又はフィルタ回路のうち一方の回路を収容する筒状の第１タンクと、
昇圧回路又はフィルタ回路のうち他方の回路を収容する筒状の第２タンクと、
前記第１タンク及び前記第２タンクの内部を連通する連通管と
を備える高電圧発生装置に、前記昇圧回路と前記フィルタ回路とを電気的に接続し、少なくともその一部が前記連通管内に配置されるように前記第１タンクと前記第２タンクとの間に配置されるケーブルを取り付ける高電圧発生装置の組立方法であって、
前記ケーブルを支持するフック部を摺動可能に支持すると共に、内部に延長レールを収容したレール本体を、前記第２タンクの上部開口から前記第２タンクの内部に挿入し、
前記レール本体が前記第２タンク内部の所定の位置に配置されるように前記レール本体を前記第２タンクに固定し、
前記レール本体に収容された延長レールを前記連通管を介して前記第１タンク側に延出させ、
前記フック部に前記ケーブルを支持させた状態で前記ケーブルを前記レール本体及び前記延長レールに沿って摺動移動させ、所定の位置に配置し、
前記ケーブルを所定の位置に配置した後、前記ケーブルの一方の端部を前記第１タンク内部に固定し、前記ケーブルの他方の端部を前記第２タンク内部に固定する
高電圧発生装置の組立方法。
【請求項５】
前記レール本体の前記第１タンクへの固定は、前記レール本体の両端部に固定されたブラケットを前記第１タンクの上部開口側の外縁部に固定することで行う
請求項４に記載の高電圧発生装置の組立方法。
【請求項６】
昇圧回路又はフィルタ回路のうち一方の回路を収容する筒状の第１タンクと、
昇圧回路又はフィルタ回路のうち他方の回路を収容する筒状の第２タンクと、
前記第１タンク及び前記第２タンクの内部を連通する連通管と、
前記昇圧回路と前記フィルタ回路とを電気的に接続し、少なくともその一部が前記連通管内に配置されるように前記第１タンクと前記第２タンクとの間に配置されるケーブルとを備え、
前記第２タンク内に固定されるレール本体と、前記レール本体の内部に、前記連通管及び前記第１タンク側に延出可能に収容された延長レールと、前記レール本体及び前記延長レールに摺動可能に取り付けられており、前記ケーブルを支持可能なフック部とを備え、前記フック部に前記ケーブルを支持させた状態で前記ケーブルを前記レール本体及び前記延長レールに沿って摺動移動可能な高電圧発生装置の組立装置が、取り外し可能に設けられている
高電圧発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡等に用いられる高電圧を発生させるための高電圧発生装置の組立装置に関する。また、高電圧発生装置の組立方法、及び、高電圧発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡に用いられる高電圧発生装置は、電子顕微鏡本体に構成される電子銃から放出される電子を加速するための加速電圧を供給する。高電圧発生装置では、コッククロフトウォルトン回路で構成される昇圧回路で高電圧を発生させ、その電圧に含まれるノイズ成分をフィルタ回路で除去することで、電子銃に供給する加速電圧を得ている。
【０００３】
そして、従来、昇圧回路とフィルタ回路とがそれぞれ別のタンクに収められた２タンク方式の高電圧発生装置の提案がなされている（特許文献１）。２タンク方式の高電圧発生装置では、一方のタンクに収められた昇圧回路と、他方のタンクに収められたフィルタ回路とがケーブルによって接続されており、昇圧回路で発生した高電圧はケーブルを介してフィルタ回路に供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１１６６７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、高電圧発生装置で発生させる加速電圧が１０００ｋＶ以上ともなると、昇圧回路及びフィルタ回路が大型化するため、それらを収容するタンクも高さが数メートルに達する。また、昇圧回路とフィルタ回路とを接続するケーブルは、昇圧回路で昇圧した電圧をフィルタ回路に伝える役割を有しており、タンク全体の中でも高電圧となる。このため、ケーブルは、周囲の電界強度を抑えることで基準電位（０Ｖ）に設定されているタンクとの間での放電を防ぐため、金属部材と樹脂部材との２重構造で構成されたケーブルケースで覆われており、その重量は数十ｋｇに達する。
【０００６】
そして、２タンク方式の高電圧発生装置では、組立時に、数十ｋｇに及ぶケーブルを別々のタンクに収容された昇圧回路とフィルタ回路との間に取り付ける必要がある。従来、このようなケーブルの取り付け作業においては、ケーブルを人力で支えながら取り付けており、多くの人手を要している。また、ケーブルの取り付け作業は狭いタンク内で行われる為、作業者に危険が生じるおそれがある。
【０００７】
そこで、本発明は、作業者がより安全に高電圧発生装置を組み立てることができる高電圧発生装置の組立装置、高電圧発生装置の組立方法、及び、その組立装置を用いて組み立てられた高電圧発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明の高電圧発生装置の組立装置は、昇圧回路又はフィルタ回路のうち一方の回路を収容する筒状の第１タンクと、昇圧回路又はフィルタ回路のうち他方の回路を収容する筒状の第２タンクと、第１タンク及び第２タンクの内部を連通する連通管とを備える高電圧発生装置に、昇圧回路とフィルタ回路とを電気的に接続し、少なくともその一部が連通管内に配置されるように第１タンクと第２タンクとの間に配置されるケーブルを取り付ける為に用いられるものである。本発明の高電圧発生装置の組立装置は、第２タンク内に固定されるレール本体と、レール本体の内部に、連通管及び第１タンク方向に延出可能に収容された延長レールと、レール本体及び延長レールに摺動可能に取り付けられており、ケーブルを支持可能なフック部とを備える。そして、フック部にケーブルを支持した状態で、第２タンク、連通管及び第１タンク内部において、フック部はレール本体及び延長レールに沿って摺動移動する。
【０００９】
また、本発明の高電圧発生装置の組立方法は、昇圧回路又はフィルタ回路のうち一方の回路を収容する筒状の第１タンクと、昇圧回路又はフィルタ回路のうち他方の回路を収容する筒状の第２タンクと、第１タンク及び第２タンクの内部を連通する連通管とを備える高電圧発生装置に、昇圧回路とフィルタ回路とを電気的に接続し、少なくともその一部が連通管内に配置されるように第１タンクと第２タンクとの間に配置されるケーブルを取り付ける方法である。本発明の高電圧発生装置の組立方法では、まず、ケーブルを支持するフック部を摺動可能に支持すると共に、内部に延長レールを収容したレール本体を、第２タンクの上部開口から第２タンクの内部に挿入する。次に、レール本体が第２タンク内部の所定の位置に配置されるようにレール本体を第２タンクに固定する。次に、レール本体に収容された延長レールを、連通管を介して第２タンク側に延出させる。次に、フック部に支持させた状態でケーブルをレール本体及び延長レールに沿って摺動移動させ、所定の位置に配置する。次に、ケーブルを所定の位置に配置した後、ケーブルの一方の端部を第１タンク内部に固定し、ケーブルの他方の端部を第２タンク内部に固定する。
【００１０】
また、本発明の高電圧発生装置は、高電圧を発生させるための昇圧回路と、昇圧回路で発生した高電圧からノイズ成分を除去するためのフィルタ回路と、昇圧回路又はフィルタ回路のうち一方の回路を収容する筒状の第１タンクと、昇圧回路又はフィルタ回路のうち他方の回路を収容する筒状の第２タンクと、第１タンク及び第２タンクの内部を連通する連通管とを備える。また、本発明の高電圧発生装置は、昇圧回路とフィルタ回路とを電気的に接続し、少なくともその一部が連通管内に配置されるように第１タンクと第２タンクとの間に配置されたケーブルと、第２タンクの上部開口の外縁部に設けられたブラケット取り付け部とを備える。そして、ケーブルは、ケーブルを支持するフック部を摺動可能に支持すると共に、内部に延長レールを収容したレール本体を、第２タンクの上部開口から第２タンクの内部に挿入し、レール本体が第２タンク内部の所定の位置に配置されるようにレール本体を、ブラケット取り付け部に取り付けられたブラケットで第２タンクに固定し、レール本体に収容された延長レールを、連通管を介して第２タンク側に延出させ、フック部に支持させた状態でケーブルをレール本体及び延長レールに沿って摺動移動させ、所定の位置に配置し、ケーブルを所定の位置に配置した後、ケーブルの一方の端部を第１タンク内部に固定し、ケーブルの他方の端部を第２タンク内部に固定することによって取り付けられている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、より少ない作業人数で安全に高電圧発生装置を組み立てることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置において、ケーブルの設置が完了した状態を示す構成図である。
【図２】図２Ａは、ケーブルの外観図であり、図２Ｂは、ケーブルの要部を拡大して示した断面構成図である。
【図３】従来の高電圧発生装置の組立方法を説明するための図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置の組立装置をタンクケースに取り付けた状態をタンクケースの側面側から見た図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置の組立装置をタンクケースに取り付けた状態をタンクケースの上面側から見た図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置の組立装置をタンクケースに取り付け、さらに延長レールを引き延ばした状態をタンクケースの側面側から見た図である。
【図７】図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃは、それぞれ本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置の組立装置の要部を拡大して示した図である。
【図８】フック部を第１ブラケット側から拡大して見たときの構成図である。
【図９】ケーブルをレール本体及び延長レールに沿って所定の位置まで摺動移動させた状態を示す図である。
【図１０】ケーブルの第１ベース部への固定するために用いられるスタンド部の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置、高電圧発生装置の組立装置、及び、高電圧発生装置に組立方法の一例を、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下の例に限定されるものではない。以下で説明する各図において、共通の部材には同一の符号を付している。また、説明は、以下の順で行う。
１．本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置の構成
２．従来の高電圧発生装置の組立方法
３．本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置の組立装置
４．本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置の組立方法
【００１４】
１．本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置の構成
図１は、本発明の一実施形態（以下、本実施形態）に係る高電圧発生装置１において、ケーブル２０の設置が完了した状態を示す構成図であり、一部断面で示している。本実施形態に係る高電圧発生装置１は、例えば加速電圧が１０００ｋＶ以上の超高電圧を発生させる大型の装置である。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態に係る高電圧発生装置１は、タンクケース２と、昇圧回路１０と、フィルタ回路１１と、昇圧回路１０とフィルタ回路１１とを電気的に接続するケーブル２０とで構成されている。タンクケース２は、第１タンク３と、第１タンク蓋５と、第２タンク４と、第２タンク蓋６と、連通管７とを有する。
【００１６】
［第１タンク］
第１タンク３は、一方の端部（以下、下端部）に底部３ａを有し、他方の端部（以下、上端部）に開口部３ｂを有する円筒形状の部材で構成されている。また、第１タンク３の上端部側の側面には、第１タンク３の軸方向に直交する方向に延び、第１タンク３の筒内部と連通する第１円筒部８が設けられている。この第１円筒部８は、後述する第２円筒部９と連結されることで、第１タンク３の筒内部と第２タンク４の筒内部とを連通する連通管７を構成する。
【００１７】
［昇圧回路］
昇圧回路１０は、多段に接続されたコッククロフトウォルトン回路で構成されており、高さが数メートルのカラム状に構成されている。昇圧回路１０の下端部側は第１タンク３の下端部側の底部３ａに固定されて第１タンク３の内部に収容されている。昇圧回路１０の下端部側とは反対側の上端部側には、平板状の第１ベース部１２が固定されている。第１ベース部１２は、昇圧回路１０に電気的に接続されており、第１ベース部１２の上面側には、後述するケーブル２０と電気的に接続される端子や、その他に必要な端子などが設けられている。
【００１８】
［第１タンク蓋］
第１タンク蓋５は、第１タンク３の上端部の開口部３ｂ側を覆う部材であり、第１タンク３において必要な部材の設置が終了した後、第１タンク３の開口部３ｂに設置される。第１タンク３の上端部の外縁部（後述するフランジ部１４）と第１タンク蓋５の外縁部とは、図示を省略するボルトによって固定される。
【００１９】
［第２タンク］
第２タンク４は、一方の端部（以下、下端部）に底部４ａを有し、他方の端部（以下、上端部）に開口部４ｂを有する円筒形状の部材で構成されている。また、第２タンク４の上端部側の側面には、第２タンク４の軸方向に直交する方向に延びる第２円筒部９が設けられている。この第２円筒部９は、第１円筒部８と連結されることで、第１タンク３の筒内部と第２タンク４の筒内部とを連通する連通管７を構成する。
【００２０】
なお、第２タンク４の底部４ａは一部開口が設けられており、その開口部と連通するように第２タンク４の下端部に電子顕微鏡を構成する鏡筒部１００が設けられている。第１タンク３及び第２タンク４で生成された加速電圧によって電子銃（図示を省略する）から放出された電子線が加速され、加速された電子線は、鏡筒部１００に供給される。
【００２１】
［フィルタ回路］
フィルタ回路１１は、昇圧回路１０と同様高さが数メートルのカラム状に構成されており、その下端部側が第２タンク４の下端部側の底部４ａに固定されて第２タンク４内部に収容されている。フィルタ回路１１の下端部側とは反対側の上端部側には、平板状の第２ベース部１３が固定されている。第２ベース部１３は、フィルタ回路１１に電気的に接続されており、第２ベース部１３の上面側には、後述するケーブル２０と電気的に接続される端子や、その他に必要な端子などが設けられている。
【００２２】
［第２タンク蓋］
第２タンク蓋６は、第２タンク４の上端部の開口部４ｂ側を覆う部材であり、第２タンク４において必要な部材の設置が終了した後、第２タンク４の開口部４ｂ側に設置される。第２タンク４の上端部の外縁部（後述するフランジ部１５）と第２タンク蓋６の外縁部とは、図示を省略するボルトによって固定される。
【００２３】
［連通管］
連通管７は、第１円筒部８と第２円筒部９とで構成されている。第１円筒部８と第２円筒部９とはその内径及び外径が同じ径となるようにそれぞれ構成されており、第１円筒部８の外縁部と第２円筒部９の外縁部がボルト締結されることによって、第１円筒部８及び第２円筒部９の筒内部は連通する。このようにしてボルト締結された第１円筒部８と第２円筒部９とにより、第１タンク３及び第２タンク４の筒内部を連通する連通管７が構成される。そして、第１タンク３、第１タンク蓋５、第２タンク４、第２タンク蓋６、及び、連通管７で構成されるタンクケース２は、基準電位０Ｖとなるようにグランド接続されている。
【００２４】
［ケーブル］
ケーブル２０は、その外形が円柱状に構成されており、第１タンク３、連通管７、第２タンク４に渡って配置されている。ケーブル２０の第１タンク３側に位置する端部は、第１ベース部１２に立設されたスタンド部２１に固定支持されている。一方、ケーブル２０の第２タンク４側に位置する端部は、第２ベース部１３に立設されたスタンド部２２に固定支持されている。この固定方法については後述する。
【００２５】
ここで、図２Ａ及び図２Ｂを用いて、ケーブル２０の構成について詳述する。図２Ａは、ケーブル２０の外観図であり、図２Ｂは、ケーブル２０の要部を拡大して示した断面構成図である。図２Ｂに示すように、ケーブル２０は、ケーブル本体２７と、ケーブルケース１６とで構成されている。ケーブル本体２７は、第１タンク３に収容された昇圧回路１０と第２タンク４に収容されたフィルタ回路１１とを電気的に接続する配線である。ケーブルケース１６は、ケーブル本体２７の周囲を覆う金属パイプ２６と、金属パイプ２６の外径よりもその内径が大きく、金属パイプ２６の表面を覆うように配置された円筒形状の樹脂パイプ２５とで構成されている。
【００２６】
昇圧回路１０とフィルタ回路１１とを接続するケーブル本体２７は、昇圧回路１０で昇圧した電圧を第２タンク４のフィルタ回路１１に伝える役割を有し、タンクケース２全体の中でも最も高電圧となる。そのため、ケーブルケース１６を金属パイプ２６及び樹脂パイプ２５で構成し、ケーブルケース１６の曲率をケーブル本体２７よりも大きくし、周囲の電界強度を抑えることで、基準電圧０Ｖに設定されているタンクケース２との間の放電を防いでいる。
【００２７】
ケーブル２０の両端部には、それぞれ、第１ベース部１２と第２ベース部１３とを電気的に接続するための端子２３，２４が設けられている。第１ベース部１２側では、第１ベース部１２の端子とケーブル２０の第１ベース部１２側の端部に設けられた端子２３とを電気的に接続することで、昇圧回路１０がケーブル２０に電気的に接続される。一方、第２ベース部１３側では、第２ベース部１３の端子とケーブル２０の第２ベース部１３側の端部に設けられた端子２４とを電気的に接続することで、フィルタ回路１１がケーブル２０に電気的に接続される。
【００２８】
以上の構成の高電圧発生装置１では、ケーブル２０を取り付ける際に、作業者が第１タンク３及び第２タンク４の内部に入って作業を行う必要がある。本実施形態では、ケーブル２０を第１タンク３及び第２タンク４間に取り付けるときに用いる組立装置及び組立方法に特徴を有する。ここで、本実施形態に係る高電圧発生装置１の組立装置及び組立方法についての説明に先立ち、従来の高電圧発生装置の組立方法について説明する。
【００２９】
２．従来の高電圧発生装置の組立方法
図３は、従来の高電圧発生装置の組立方法を説明するための図である。従来、ケーブル２０は、人力で支えながら取り付けられており、図３に示すように、作業者は最低３名要する。まず、ケーブル２０は、数十ｋｇの重量があるため、クレーンで吊り下げた状態で第２タンク４内に挿入される。そして、クレーンで運ばれたケーブルは、第２タンク４内に待機している作業者Ａが受け取る。
【００３０】
次に、作業者Ａは、ケーブル２０の片方の端部を連通管７内に突き出すようにして、連通管７内にいる作業者Ｃに渡す。作業者Ｃは、ケーブル２０を支持して、作業者Ａと、第１タンク３内に待機している作業者Ｂとの間でケーブル２０の受け渡し作業を中継、補助する。ケーブル２０は、その片方の端部が作業者Ｃに渡った時点でクレーンから降ろす。その後、ケーブル２０は、作業者Ａ，Ｃに支持されながら作業者Ｂに受け渡される。
【００３１】
そして、作業者Ａは、ケーブル２０の第２タンク４側の端部を第２ベース部１３に固定する作業を行う。一方、作業者Ｂは、ケーブル２０の第１タンク３側の端部を第１ベース部１２に固定する作業を行う。これにより、ケーブル２０は第１タンク３及び第２タンク４間に配置され、固定される。
【００３２】
以上のように、従来の高電圧発生装置１の組立方法では、ケーブル２０の取り付け作業に、３人の作業者Ａ，Ｂ，Ｃが必要になる。また、人力で数十ｋｇのケーブル２０を支える必要があるため、作業者Ａ，Ｂ，Ｃが数メートルの高さのタンク内で落下するなどのおそれもあり、危険が伴う。これに対し、以下に説明する本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置１の組立装置及び組立方法によれば、より安全にケーブル２０をタンクケース２内に取り付けることができる。以下に、本実施形態に係る高電圧発生装置１の組立装置、及び、高電圧発生装置の組立方法について説明する。
【００３３】
３．本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置の組立装置
図４は、本実施形態に係る高電圧発生装置１の組立装置３０をタンクケース２に取り付けた状態をタンクケース２の側面側から見た図であり、要部を拡大して示した図である。また、図５は、本実施形態に係る高電圧発生装置１の組立装置３０をタンクケース２に取り付けた状態をタンクケース２の上面側から見た図である。また、図６は、本実施形態に係る高電圧発生装置１の組立装置３０をタンクケース２に取り付け、さらに延長レールを引き延ばした状態をタンクケース２の側面側から見た図であり、要部を拡大して示した図である。また、図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃは、それぞれ本実施形態に係る高電圧発生装置１の組立装置３０の要部を拡大して示した図である。図４〜図７において、図１に対応する部分には同一符号を付し、重複説明を省略する。
【００３４】
本実施形態に係る高電圧発生装置１の組立装置３０は、図４及び図６に示すように、組立装置本体３１と、延長レール側ブラケット３２とを有する。組立装置本体３１は、第１ブラケット３３と、第２ブラケット３４と、レール本体３７と、延長レール４８と、フック部３８とを有する。図７Ａは、延長レール側ブラケット３２を連通管７側から見た図であり、図７Ｂは、第２ブラケット３４を連通管７側から見た図であり、図７Ｃは、第１ブラケット３３を連通管７側から見た図である。図７Ａ〜図７Ｃでは、分かりやすくするため、タンクケース２を透過して示している。
【００３５】
［第１ブラケット］
第１ブラケット３３は、図７Ｃに示すように、第２タンク４の上端部の後述するフランジ部１５に固定される固定部３３ａと、レール本体３７が固定されるレール固定部３３ｂとで構成される断面Ｌ字状の板状部材で構成されている。
【００３６】
ここで、第１ブラケット３３の構成、及び、第１ブラケット３３の第２タンク４への固定方法の説明に先立ち、第２タンク４の上端部の構成について説明する。第２タンク４の上端部には、第２タンク４の上端部の半径外方向に突出したフランジ部１５が設けられている。図５に示すように、フランジ部１５は、第２タンク４の上端部の全周面に渡って設けられており、所定の間隔で溝部１５ａが設けられている。
【００３７】
フランジ部１５の溝部１５ａは、第２タンク蓋６をボルトで固定する際に用いられるものであり、本実施形態では、第１ブラケット３３及び第２ブラケット３４の固定の際にも用いられる。すなわち第２タンク４のフランジ部１５は、第１ブラケット３３及び後述する第２ブラケット３４のブラケット取り付け部となる。なお、図５に示すように、第１タンク３の上端部においても、第２タンク４と同様に溝部１４ａを有するフランジ部１４が設けられており、このフランジ部１４が延長レール側ブラケット３２のブラケット取り付け部となる。
【００３８】
第１ブラケット３３の固定部３３ａは、第２タンク４のフランジ部１５に当接して固定される部材であり、平板状に形成されている。そして、この固定部３３ａには、フランジ部１５の隣り合う２つの溝部１５ａに対応する２つのボルト穴が設けられている。また、レール固定部３３ｂは、固定部３３ａを第２タンク４のフランジ部１５に固定した際に、第２タンク４内部に配置され、レール本体３７を適当な位置で支持できる長さに構成されている。なお、本実施形態では、固定部３３ａはフランジ部１５の隣り合う２つの溝部１５ａに対応して２つのボルトで固定されているが、フランジ部１５に固定できる構成であればこれに限られるものではない。
【００３９】
第１ブラケット３３を第２タンク４に取り付ける場合には、第１ブラケット３３のレール固定部３３ｂが第２タンク４の筒内に配置されるように固定部３３ａを第２タンク４のフランジ部１５に当接させる。そして、固定部３３ａのボルト穴とそれに対応するフランジ部１５の溝部１５ａをボルト３５とナット（図示を省略する）で挟み込み、ボルト締結する。これにより、第１ブラケット３３を第２タンク４に固定することができる。第１ブラケット３３の第２タンク４のフランジ部１５に対する固定位置は、レール本体３７に支持されるケーブル２０が、第２タンク４の筒内の適切な位置に配置されるように予め位置決めされている。本実施形態では、第１ブラケット３３は、フランジ部１５において、連通管７が設けられる側とは反対側の位置に固定される。
【００４０】
［第２ブラケット］
第２ブラケット３４は、図７Ｂに示すように、第２タンク４のフランジ部１５に固定される固定部３４ａと、レール本体３７が固定されるレール固定部３４ｂとで構成される断面Ｌ字状の板状部材で構成されている。第２ブラケット３４の固定部３４ａは、第１ブラケット３３の固定部３３ａと同様、第２タンク４のフランジ部１５に当接して固定される部材であり、平板状に形成されている。そして、この固定部３４ａには、フランジ部１５の隣り合う２つの溝部１５ａに対応する２つのボルト穴が設けられている。
【００４１】
レール固定部３４ｂは、固定部３４ａを第２タンク４のフランジ部１５に固定した際に、第２タンク４内部に配置され、レール本体３７を適当な位置で支持できる長さに構成されている。また、第２ブラケット３４のレール固定部３４ｂは、後述する延長レール４８を連通管７側に延設可能なように開口部を有する。これにより、レール固定部３４ｂが、延長レール４８が連通管７側に延設されるのを妨げることがない。さらに、レール固定部３４ｂの開口部５５よりも下側には、下側レール４２及び下側延長レール４７を支持する支持部５３が設けられている。すなわち、レール固定部３４ｂは、延長レール４８が連通管７側に延設されるのを妨げない形状となっている。
【００４２】
第２ブラケット３４を第２タンク４に取り付ける場合には、第１ブラケット３３と同様に、まず、そのレール固定部３４ｂが第２タンク４の筒内部に配置されるように固定部３４ａを第２タンク４のフランジ部１５に当接させる。そして、固定部３４ａのボルト穴とそれに対応するフランジ部１５の溝部１５ａをボルト３６とナット（図示を省略する）で挟み込み、ボルト締結する。これにより、第２ブラケット３４を第２タンク４に固定することができる。
【００４３】
第２ブラケット３４の第２タンク４のフランジ部１５に対する固定位置は、第１ブラケット３３同様、レール本体３７に支持されるケーブル２０が第２タンク４内の適切な位置に配置されるように予め位置決めされている。本実施形態では、第１ブラケット３３は、フランジ部１５において、連通管７が設けられる側に固定される。すなわち、第１ブラケット３３及び第２ブラケット３４は、第１ブラケット３３及び第２ブラケット３４間に設けられるレール本体３７が、連通管７の軸に沿って配置されるように取り付けられる。
【００４４】
［レール本体］
レール本体３７は、図４に示すように、第２タンク４の軸方向における上下方向に平行に設けられた上側レール４１と下側レール４２とで構成されている。下側レール４２は、円筒部材で構成されており、第１ブラケット３３側の端部４２ａ（図８参照）は第１ブラケット３３にボルトによって固定されている。一方、下側レール４２の第２ブラケット３４側の端部は固定されていない。また、下側レール４２の内部には、後述するが、下側レール４２の内径よりも小さい外径の下側延長レール４７（図７Ｂ参照）が、連通管７側に引き出し可能に収容されている。
【００４５】
上側レール４１は、角筒部材で構成されており、その両端部は、第１ブラケット３３及び第２ブラケット３４にそれぞれ固定されている。この上側レール４１の第１ブラケット３３及び第２ブラケット３４への固定は、それぞれ上側レール固定ブラケット３９，４０を用いて固定されている。第１ブラケット３３に設けられる上側レール固定ブラケット３９は、図７Ｃに示すように、第１ブラケット３３の上側レール４１が配置される側の面に当接する面と、この面に対して垂直方向に延びる面であって、上側レール４１の上面側に当接する面とを有する。そして、上側レール固定ブラケット３９は、第１ブラケット３３の上側レール４１が配置される側の面に固定されると共に、上側レール４１の第１ブラケット３３側の端部の上面側に固定される。これにより、上側レール４１が第１ブラケット３３に固定されている。
【００４６】
第２ブラケット３４に設けられる上側レール固定ブラケット４０についての詳細な図示は省略するが、上側レール固定ブラケット４０についても、上側レール固定ブラケット３９と同様の形状を有している。すなわち、第２ブラケット３４の上側レール４１が配置される側の面に当接する面と、この面に対して垂直方向に延びる面であって、上側レール４１の上面側に当接する面とを有する。そして、第２ブラケット３４に設けられる上側レール固定ブラケット４０は、第２ブラケット３４の上側レール４１が配置される側の面に固定されると共に、上側レール４１の第２ブラケット３４側の端部の上面側に固定される。これにより、上側レール４１が第２ブラケット３４に固定されている。
【００４７】
上側レール４１は、第２タンク４の軸方向において、下側レール４２の直上に設けられ、図５に示すように、第２タンク４の上面側から見たときに、下側レール４２に重なる位置に固定されている。また、上側レール４１の内部には、後述するが、上側レール４１の内形よりも小さい外形の上側延長レール４６（図７Ｂ参照）が、連通管７側に引き出し可能に収容されている。
【００４８】
また、上側レール４１の上面側の外周面には、組み立ての時に、クレーンで組立装置本体３１を吊り下げる際にロープを引っかけるのに用いられるフック４３が２つ設けられている。フック４３の位置は、クレーンで組立装置本体３１を吊り下げる際に、バランスの取れる位置に設定されている。
【００４９】
［延長レール］
延長レール４８は、図６及び図７Ｂに示すように、上側レール４１に収容された上側延長レール４６と、下側レール４２に収容された下側延長レール４７とで構成されている。上側延長レール４６は、上側レール４１と同様、角筒状の部材で構成されており、その外形は、上側レール４１に収容可能な大きさに形成されている。そして、上側延長レール４６は、上側レール４１内に、引き出し可能に収容されている。また、図７Ａに示すように、上側延長レール４６の端部には、後述する延長レール側ブラケット３２の第１嵌合部４５に固定するためのボルト孔（図示を省略する）が設けられている。
【００５０】
下側延長レール４７は、下側レール４２と同様、円筒状の部材で構成されており、その外径は、下側レール４２の内径よりもやや小さく形成されている。そして、下側延長レール４７は、下側レール４２内に、引き出し可能に収容されている。また、下側延長レール４７の端部には、後述する延長レール側ブラケット３２の第２嵌合部４４に固定するためのボルト孔（図示を省略する）が設けられている。
【００５１】
［フック部］
図８は、フック部３８を第１ブラケット３３側から拡大して見たときの構成図である。図８では、図を分かりやすくするため、レール本体３７を透過して示している。フック部３８は、ケーブル２０を２か所で支持するため、レール本体３７上に２個設けられている。このフック部３８は、図８に示すように、ケーブル２０を支持するフック部本体５０と、フック部本体５０をレール本体３７及び延長レール４８上で摺動移動させるためのガイドローラ５１と、ガイドローラ５１を回転可能に支持するガイドローラ保持部５２と、フック部本体５０とガイドローラ保持部５２とを連結して固定する連結部５４とを有する。
【００５２】
フック部本体５０は、ケーブル２０を支持するように鉤状に湾曲した板状部材で構成されている。連結部５４は、フック部本体５０のレール本体３７側に設けられており、フック部本体５０と一体に設けられている。また、連結部５４は、レール本体３７の延在方向に平行な面を有しており、この面にガイドローラ保持部５２が固定される。
【００５３】
ガイドローラ保持部５２は、後述するガイドローラ５１の回転軸５１ａを回転可能に支持する角筒状の部材で構成されており、フック部本体５０のレール本体３７側に固定された連結部５４のレール本体３７の延在方向に平行な面にボルトで固定されている。
【００５４】
ガイドローラ５１は、外周部に下側レール４２及び下側延長レール４７に係合可能な台形状の溝部を有し、その回転軸５１ａが、角筒状のガイドローラ保持部５２の内壁面に回転可能に支持されることで、ガイドローラ保持部５２に回転可能に取り付けられている。また、ガイドローラ５１は、その回転軸５１ａの軸方向が、レール本体３７の延在方向に直交するようにガイドローラ保持部５２に保持される。さらに、ガイドローラ５１は、ガイドローラ保持部５２の上側レール４１側の開口から、その摺動面が上側レール４１に当接可能なようにガイドローラ保持部５２に保持されることで、上側レール４１及び下側延長レール４７上を摺動可能なようにガイドローラ保持部５２に保持されている。
【００５５】
ガイドローラ５１は、ガイドローラ保持部５２に保持された状態で、下側レール４２及び下側延長レール４７上を摺動移動する。また、本実施形態では、上側レール４１及び上側延長レール４６がガイドローラ５１を挟んで下側レール４２及び下側延長レール４７の上面側に設けられている。したがって、フック部本体５０が下側レール４２又は下側延長レール４７を軸として回転しようとした場合、上側レール４１及び上側延長レール４６がガイドローラ保持部５２に当たる。したがって、フック部本体５０が下側レール４２又は下側延長レール４７を軸として回転してしまうことがない。
【００５６】
［延長レール側ブラケット］
延長レール側ブラケット３２は、第１タンク３側に配置され、延長レール４８の端部を固定する部材である。この延長レール側ブラケット３２は、第１タンク３のフランジ部１４に固定される固定部３２ａと、その固定部３２ａに固定され、第１タンク３の筒内の所定の位置に配置されて延長レール４８の端部を固定する延長レール固定部３２ｂとを有する。固定部３２ａは、細長い角筒状部材で構成されており、その両端部がブラケット取り付け部となるフランジ部１４の所定の位置に架かる長さに構成されている。固定部３２ａの両端部には、それぞれ、フランジ部１４の溝部１４ａに重なる位置にボルト孔（図示を省略する）が形成されており、固定部３２ａはボルト５６でフランジ部１４に固定される。
【００５７】
また、延長レール固定部３２ｂは、細長い板状部材で構成されており、一方の端部が固定部３２ａに固定されている。延長レール固定部３２ｂの延長レール４８が固定される側の面には、図７Ａに示すように、延長レール４８の上側延長レール４６と嵌合する第１嵌合部４５と、下側延長レール４７と嵌合する第２嵌合部４４とが設けられている。
【００５８】
以上のような、高電圧発生装置１の組立装置３０では、ケーブル２０を第１タンク３と第２タンク４との間に取り付けるにあたって、組立装置本体３１を予め組み立てておき、さらに、フック部３８にケーブル２０を支持させた状態にしておく。
【００５９】
４．本発明の一実施形態に係る高電圧発生装置の組立方法
次に、本実施形態に係る高電圧発生装置１の組立方法について説明する。ケーブル２０のタンクケース２内での取り付け作業は、第２タンク４内に入り込んだ作業者（図３に示す作業者Ａ）と第１タンク３内に入り込んだ作業者（図３に示す作業者Ｂ）との２名により行う。
【００６０】
まず、第１タンク３と第２タンク４との間に配置するケーブル２０をフック部３８のフック部本体５０に支持させた状態で、上側レール４１に設けられたフック４３にクレーンのロープを固定する。一方、第１タンク３内に待機している作業者は、延長レール側ブラケット３２の固定部３２ａを第１タンク３のフランジ部１４にボルト締結することで延長レール側ブラケット３２を第１タンク３に固定しておく。
【００６１】
次に、組立装置本体３１をクレーンで吊り下げながら第２タンク４内に挿入し、第２タンク４内に待機している作業者がこれを受け取る。第２タンク４内の作業者は、組立装置本体３１を受け取ったら、フランジ部１５における所定の取り付け位置に第１ブラケット３３及び第２ブラケット３４をそれぞれボルト３５，３６で固定する。ここで、フランジ部１５における所定の取り付け位置は、組立装置本体３１に保持されたケーブル２０がレール本体３７及び延長レール４８上を摺動移動して適切な位置に配置されるように、予め位置決めされている。したがって、作業者は、そのフランジ部１５の予め位置決めされた所定の位置に、第１ブラケット３３及び第２ブラケット３４をそれぞれ固定する。これにより、図４に示す状態となる。
【００６２】
第１ブラケット３３及び第２ブラケット３４を第２タンク４のフランジ部１５のそれぞれの取り付け位置に固定したら、クレーンに接続されたロープを、上側レール４１に設けられたフック４３から外す。次に、第２タンク４内の作業者は、レール本体３７に収容された延長レール４８を、連通管７を通して第１タンク３内の作業者に届くまで引き延ばす。第１タンク３内の作業者は、受け渡された延長レール４８を延長レール側ブラケット３２に届くまでさらに引き延ばす。そして、作業者は、上側延長レール４６を第１嵌合部４５に嵌合させてボルトで固定し、下側延長レール４７を第２嵌合部４４に嵌合させてボルトで固定する。これにより、図６に示す状態となる。
【００６３】
次に、第２タンク４内の作業者は、フック部３８に支持されたケーブル２０をレール本体３７及び延長レール４８に沿って摺動移動させる。図９は、ケーブル２０をレール本体３７及び延長レール４８に沿って所定の位置まで摺動移動させた状態を示す図である。第２タンク４内の作業者は、ケーブル２０を図９に示す位置まで摺動移動させ、ケーブル２０の第１タンク３側の端部を第１タンク３内の作業者に引き渡す。そして、ケーブル２０が所定の位置に配置されるように調整した後、第１タンク３の作業者は、ケーブル２０の端部を第１ベース部１２に固定されたスタンド部２１に固定する。一方、第２タンク４内の作業者もケーブル２０が所定の位置まで摺動移動したら、第２タンク４内の第２ベース部１３にスタンド部２２を取り付け、そのスタンド部２２にケーブル２０の端部を固定する。
【００６４】
ここで、ケーブル２０の第１ベース部１２及び第２ベース部１３への固定方法について説明する。以下では、代表して、第１ベース部１２へのケーブル２０の固定方法を示す。図１０は、ケーブル２０の第１ベース部１２への固定するために用いられるスタンド部２１の概略構成図である。スタンド部２１は、ケーブル２０の端部を支持可能な下クランプ２８を備え、その下クランプ２８が第１ベース部１２から所定の高さに配置されるように、第１ベース部１２に固定されている。なお、スタンド部２１は、第１ベース部１２にボルトで固定されているが、必要に応じて、スタンド部２１の水平方向の位置や高さは微調整可能である。
【００６５】
第１タンク３の作業者は、ケーブル２０の端子２３側の端部をスタンド部２１の下クランプ２８に乗るように誘導し、ケーブル２０の端子２３側の端部を下クランプ２８に支持させる。続いて、作業者は、上クランプ２９でケーブル２０の端子２３側の端部を上側から挟み込み、下クランプ２８に上クランプ２９を固定する。このように、下クランプ２８と上クランプ２９とでケーブル２０の端子２３側の端部を挟み込んで固定することにより、ケーブル２０の端子２３側の端部を第１ベース部１２に固定することができる。
【００６６】
これと同様にして、第２タンク４内の作業者は、ケーブル２０の端子２４側の端部をスタンド部２２に固定する。ケーブル２０の端子２４側の端部を固定するスタンド部２２においても、図示を省略するが、ケーブル２０の端子２４側の端部を挟み込むように下クランプと上クランプとが設けられており、これにより、ケーブル２０の端子２３側の端部が第１ベース部１２に固定される。
【００６７】
第１タンク３側では、ケーブル２０を摺動移動させる前の段階で、予め第１ベース部１２上にスタンド部２１を固定しておいても、スタンド部２１がケーブル２０の摺動移動を妨げることはない。したがって、本実施形態のように、ケーブル２０を摺動移動させる前に、予め、スタンド部２１を第１ベース部１２に固定しておいてもよい。このように、第１タンク３側では、ケーブル２０を摺動移動させる前の段階で、スタンド部２１を第１ベース部１２に固定しておくことで、第１タンク３側の作業者は、摺動移動してきたケーブル２０の先端を予め設置されたスタンド部２１の下クランプ２８に乗るように誘導することができるため、ケーブル２０の位置決めが容易になる。
【００６８】
なお、本実施形態では、ケーブル２０の端子２３側の端部を固定されたスタンド部２１の下クランプ２８上に乗る位置まで移動することでケーブル２０の位置決めをした。しかしながら、第１タンク３の作業者が、ケーブル２０の位置に合わせてスタンド部２１の水平方向の位置や高さを調整することも可能である。
【００６９】
そして、ケーブル２０の両端が、それぞれのスタンド部２１、２２に固定されることで、ケーブル２０は、タンクケース２内の所定の位置に固定される。ケーブル２０の固定が終了したら、第１タンク３内の作業者が、第１タンク３側にあるフック部３８を解体してケーブル２０から外すと共に、延長レール４８からも外す。さらに、第１タンク３内の作業者は、上側延長レール４６を第１嵌合部４５から外し、下側延長レール４７を第２嵌合部４４から外して、上側延長レール４６及び下側延長レール４７を、第２タンク４側に押し戻して、レール本体３７内に収容させていく。
【００７０】
一方、第２タンク４内の作業者は、第２タンク４側になるフック部３８を解体してケーブル２０から外し、第１タンク３側から押し戻された上側延長レール４６及び下側延長レール４７をさらにレール本体３７内に押し戻し、レール本体３７を第２タンク４に挿入するときと同じ状態に戻す。その後、第２タンク４内の作業者は、第１ブラケット３３及び第２ブラケット３４の固定を解除し、フック部３８が取り外された組立装置本体３１を第２タンク４から取り外す。一方、第１タンク３の作業者は、延長レール側ブラケット３２の第１タンク３への固定を解除し、延長レール側ブラケット３２の第１タンク３から取り外す。これにより、ケーブル２０の取り付けが完了する。
【００７１】
ケーブル２０の取り付けが完了したら、第１タンク３及び第２タンク４のそれぞれにおいて、第１ベース部１２及び第２ベース部１３上への部品及び配線の取り付けや、配線のケーブル２０への取り付けを行う。その後、第１ベース部１２及び第２ベース部１３のそれぞれの上面をコロナシールド（図示を省略する）で覆った後、第１タンク蓋５及び第２タンク蓋６をそれぞれ取り付けることで、高電圧発生装置１におけるタンクケース２の組立が完了する。
【００７２】
本実施形態によれば、高電圧発生装置１の組立装置３０を用いてケーブル２０を取り付けることにより、数十ｋｇに及ぶケーブル２０を、狭いタンクケース２内で作業者が人力で支持する必要が無くなる。これにより、作業者の負荷を低減させることができ、作業者は安全に作業することができる。また、レール本体３７及び延長レール４８によってケーブル２０を摺動移動させてタンクケース２内の所定の位置までケーブル２０を移動させることができるため、従来、連通管７に待機する必要があった作業者（図３の作業者Ｃ）が、本実施形態では必要無くなる。これにより、タンクケース２内での作業人数を３人から２人に削減することができる。さらには、ケーブル２０の受け渡しが組立装置３０によって安定するため、ケーブル２０をタンクケース２内に落下させるリスクや、タンクケース２内面にぶつけて傷つけるといったリスクが無くなる。
【００７３】
また、本実施形態では、第１タンク蓋５を取り付けるのに用いられる、第１タンク３のフランジ部１４の溝部１４ａを、延長レール側ブラケット３２の固定に用いることができる。さらに、第２タンク蓋６を取り付けるのに用いられる第２タンク４のフランジ部１５の溝部１５ａを、第１ブラケット３３及び第２ブラケット３４の固定に用いることができる。このため、第１タンク３及び第２タンク４のそれぞれにおいて、本実施形態の組立装置３０を取り付けるための新たな加工が必要ない。
【００７４】
本実施形態では、第１タンク３に延長レール側ブラケット３２を固定し、延長レール４８の端部を固定する例とした。しかしながら、本発明はこれに限られるものではなく、第１ブラケット３３及び第２ブラケット３４で延長レール４８及び延長レール４８を摺動移動するケーブル２０の重みを耐えうる状態であれば、延長レール側ブラケット３２を用いない構成としてもよい。すなわち、延長レール４８が片持ち支持となるような構成としてもよい。この場合には、延長レール側ブラケット３２が必要ないため、部品数の削減を図ることができる。
【００７５】
さらに、本実施形態では、第２タンク４側からケーブル２０を挿入する例としたが、第１タンク３側からケーブル２０を挿入する構成としてもよい。この場合には、第１タンク３側に組立装置本体３１を取り付け、第２タンク４側に延長レール４８を延設することで、本実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本実施形態では、電子顕微鏡に用いられる高電圧発生装置を例に説明したが、本発明の高電圧発生装置は、電子顕微鏡の他、荷電粒子線装置等にも用いることができる。また、本発明の高電圧発生装置は、その組立装置が取り付けられた状態及び取り外された状態の両方を含むものとする。
【００７６】
以上、本発明について、実施形態に基づいて説明したが、本発明は上述の実施形態に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。また、上述した実施形態例は、本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限られるものではない。
【符号の説明】
【００７７】
１…高電圧発生装置、２…タンクケース、３…第１タンク、４…第２タンク、５…第１タンク蓋、６…第２タンク蓋、７…連通管、８…第１円筒部、９…第２円筒部、１０…昇圧回路、１１…フィルタ回路、１２…第１ベース部、１３…第２ベース部、１４，１５…フランジ部、１６…ケーブルケース、２０…ケーブル、２１，２２…スタンド部、２３，２４…端子、２５…樹脂パイプ、２６…金属パイプ、２７…ケーブル本体、２８…下クランプ、２９…上クランプ、３０…組立装置、３１…組立装置本体、３２…延長レール側ブラケット、３３…第１ブラケット、３４…第２ブラケット、３７…レール本体、３８…フック部、３９，４０…上側レール固定ブラケット、４１…上側レール、４２…下側レール、４３…フック、４６…上側延長レール、４７…下側延長レール、４８…延長レール、５０…フック部本体、５１…ガイドローラ、５２…ガイドローラ保持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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