(57)【要約】【課題】補助テーブルのサンプル設置面の位置精度を確保しつつ薄型化が可能な載物台を提供する。【解決手段】載物台１０は、第２テーブル３と、第２テーブル３の上面３４に支持されて上面３４に沿って移動可能なスイベルテーブル４と、第２テーブル３の下面に一対が平行に設置され、互いに離隔する方向の力が第２テーブル３に加わるように予圧されるガイド部材６０とを有する。第２テーブル３は、上面３４に一対のガイド部材６０に沿って配置され、スイベルテーブル４に当接する一対の当接部３６と、上面３４の一対の当接部３６よりも外側の領域に配置され、それぞれ当接部３６より低く形成されたオフセット部３７と、を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持部材と、
前記保持部材の上面に支持され、かつ当該上面に沿って移動可能な移動部材と、
前記保持部材の下面に一対が平行に設置されて、互いに離隔する方向の力が前記保持部材に加わるように予圧されるガイド部材と、
を有し、
前記保持部材は、
前記上面に一対の前記ガイド部材に沿って配置され、前記移動部材に当接する一対の当接部と、
前記上面における一対の前記当接部よりも前記予圧の方向の外側の領域に配置され、それぞれ前記当接部より低く形成されたオフセット部と、
を有することを特徴とする載物台。
【請求項２】
請求項１に記載の載物台において、
一対の前記当接部は、一対の前記ガイド部材の直上位置に配置されていることを特徴とする載物台。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の載物台において、
前記保持部材には、前記予圧の方向の中間部よりも外側に、当該中間部より低い一対の凹部が形成されており、当該凹部により前記オフセット部が形成され、
前記保持部材における前記凹部と前記中間部との段差部分に前記当接部が形成されていることを特徴とする載物台。
【請求項４】
保持部材と、
前記保持部材の上面に支持され、かつ当該上面に沿って移動可能な移動部材と、
前記保持部材の下面に一対が平行に設置され、互いに近接する方向の力が前記保持部材に加わるように予圧されるガイド部材と、
を有し、
前記保持部材は、
前記上面に一対の前記ガイド部材に沿って配置され、前記移動部材に当接する一対の当接部と、
前記上面における一対の前記当接部よりも内側の領域に配置され、前記当接部より低く形成されたオフセット部と、
を有することを特徴とする載物台。
【請求項５】
請求項４に記載の載物台において、
一対の前記当接部は、一対の前記ガイド部材の直上位置に配置されていることを特徴とする載物台。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の載物台において、
前記保持部材には、前記予圧の方向の中間部よりも外側に、当該中間部より高い一対の凸部が形成されており、前記中間部により前記オフセット部が形成され、
前記保持部材における前記凸部と前記中間部との段差部分に前記当接部が形成されていることを特徴とする載物台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡などに使用される載物台に関し、とくに観察対象あるいは測定対象であるサンプルやワークを載置して水平な平面内を移動可能な載物台に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、顕微鏡などに使用される載物台として、観察対象あるいは測定対象であるサンプルを載置し、かつ水平な平面内を移動可能なＸＹステージが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
一般に、ＸＹステージは、ベースと、ベース上に配置された第１テーブルと、第１テーブル上に配置された第２テーブルと、を有する。ベースと第１テーブルとの間には、ベースに対して第１テーブルを第１方向（例えばＹ軸方向）に移動可能に案内するＹ軸ガイドが設置され、第１テーブルと第２テーブルとの間には、第１テーブルに対して第２テーブルを第１方向に直交する第２方向（例えばＸ軸方向）に移動可能に案内する一対のＸ軸ガイドが設置されている。
【０００４】
Ｘ軸ガイドおよびＹ軸ガイドとしては、例えばクロスローラガイドなどのガイド機構が用いられる。例えば、Ｘ軸ガイドとして、ベースおよび第１テーブルのＸ軸方向の両側辺縁に沿って、一対のクロスローラガイドが設置される。また、Ｙ軸ガイドとして、第１テーブルおよび第２テーブルのＹ軸方向の両側辺縁に沿って、一対のクロスローラガイドが設置される。
【０００５】
Ｘ軸ガイドおよびＹ軸ガイドに一対のクロスローラガイドを用いる場合、案内対象のテーブルをガタつきなく案内するために、各クロスローラガイドには、それぞれ案内方向と直交する方向の予圧が与えられる。例えば、第１テーブルと第２テーブルとの間のＸ軸ガイドでは、第１テーブルと第２テーブルとが一対のクロスローラガイドを挟んで圧接することにより、各クロスローラガイドに予圧を与えている。
【０００６】
載物台においては、前述のようなＸＹステージに対して、Ｘ軸およびＹ軸と交差するＺ軸回りに回動可能なスイベルテーブルなど、ＸＹステージの移動軸とは異なる移動軸を有する補助テーブルを組み合わせることが知られている（例えば特許文献２参照）。
ＸＹステージと補助テーブルとを組み合わせる場合、補助テーブルは通常、ＸＹステージの最も上側に配置される第２テーブルの上面に支持される。このような構成の載物台によれば、サンプルを平面内の多様な方向に移動して観察や測定を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−２４７２４５号公報
【特許文献２】特開２０１１−１４５４６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、載物台は、顕微鏡などへの取り付け高さを抑えたり、サンプルの視野領域を確保したりするために、薄型化することが望まれている。
しかしながら、前述のような複数テーブルの層構造をもつＸＹステージを薄型化した場合、各層のテーブルの個々の剛性は低くなる。特に、ＸＹステージのうち最も上側の第２テーブルは、光路のための抜き孔が他のテーブルの抜き孔よりも大きく形成されるため、薄型化によりさらに剛性が低くなる。
【０００９】
前述したように、第１テーブルと第２テーブルとの間のＸ軸ガイドでは、第１テーブルと第２テーブルとが一対のクロスローラガイドを挟んで圧接することにより、各クロスローラガイドに予圧を与えている。ここで、第２テーブルには、一対のクロスローラガイドを互いに離隔または近接させる方向の力が予圧の反力として加わり、曲げ応力が生じる。
このため、第２テーブルの剛性が低くなると、第２テーブルはその上面が凹状または凸状になるように変形する。第２テーブルの上面には補助テーブルが設置されているため、曲げ変形が顕著になると、第２テーブルの一部が補助テーブルを所期の位置から押し上げる等、不必要に変位させてしまうおそれがある。
【００１０】
また、前述のような第２テーブルの曲げ変形は、第１テーブルに対するＸ軸方向の第２テーブルの相対位置に応じて変動し、補助テーブルの平面度にまで変動を生じさせる原因となっている。
すなわち、前述した第２テーブルの曲げ変形は、Ｘ軸ガイドを介して第１テーブルから受ける力によるものである。このため、第２テーブルがＸ軸方向に移動し、その一部が第１テーブルからせり出した場合、このせり出した部分には第１テーブルからの力が加わらなくなり、曲げ変形が生じなくなる。
したがって、第２テーブルは、第１テーブルと重なる部分では曲げ変形が生じ、第１テーブルからせり出した部分では曲げ変形が解消される。つまり、第２テーブルに生じる曲げ変形は、第１テーブルに対するＸ軸方向の第２テーブルの相対的な位置に応じて変動することになる。
【００１１】
このような第２テーブルのＸ軸方向位置に応じた曲げ変形の変動があることで、第２テーブルがＸ軸方向に移動したとき、第２テーブルの片側（第１テーブルと重なった状態で残る側）のみが前述のように凹状または凸条に変形し、補助テーブルを押し上げる等、不必要に変位させてしまう。このとき、補助テーブルは、片側（第２テーブルの変形した部分に支持される側）だけが押し上げられるため、補助テーブルはＸＹ平面に対して傾斜し、測定結果に影響を及ぼすおそれがある。
【００１２】
さらに、第２テーブルがＸ軸方向に移動するとき、第２テーブルの曲げ変形の範囲が変化することによって、補助テーブルが押し上げられる範囲も変化する。これにより、補助テーブルのサンプル設置面の高さが変動し、測定結果に影響を及ぼすおそれがある。
【００１３】
したがって、ＸＹステージを単に薄型化した場合、補助テーブルのサンプル設置面の水平度および高さ位置に誤差が生じる可能性があるほか、この誤差が第２テーブルの移動に伴って変動し、安定しないという問題が生じる。これにより、サンプルの位置精度が低下し、顕微鏡による測定の信頼性が低下してしまう。
【００１４】
本発明の目的は、補助テーブルのサンプル設置面の位置精度を確保しつつ薄型化が可能な載物台を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の載物台は、保持部材と、前記保持部材の上面に支持され、かつ当該上面に沿って移動可能な移動部材と、前記保持部材の下面に一対が平行に設置されて、互いに離隔する方向の力が前記保持部材に加わるように予圧されるガイド部材と、を有し、前記保持部材は、前記上面に一対の前記ガイド部材に沿って配置され、前記移動部材に当接する一対の当接部と、前記上面における一対の前記当接部よりも前記予圧の方向の外側の領域に配置され、それぞれ前記当接部より低く形成されたオフセット部と、を有することを特徴とする。
【００１６】
本発明では、保持部材は、一対のガイド部材を介して載物台のベースなどに移動自在に支持される。そして、保持部材に設置された一対のガイド部材が予圧されていることにより、一対のガイド部材は保持部材をガタつきなく案内することができる。
ここで、一対のガイド部材には、予圧として互いに離隔する方向の力が加わることにより、保持部材には、一対のガイド部材の予圧に起因する曲げ応力（保持部材の下面側が引張りで上面側が圧縮になる曲げ応力）が生じる。このため、薄型化等により保持部材の剛性が低くなっていると、保持部材は、その上面が凹状になるように変形し、移動部材に干渉する可能性がある。
しかし、本発明においては、保持部材に一対の当接部および一対のオフセット部が形成され、これらにより保持部材の曲げ変形に起因する移動部材への干渉あるいは影響を防止することができる。
【００１７】
保持部材に曲げ変形が生じていない状態では、保持部材の上面において当接部と同じ高さの領域（当接部を含む、オフセット部は含まない）は、全面にわたって移動部材の下面に接触し、これを支持することができる。
保持部材に曲げ変形が生じた状態では、保持部材の下面側に一対のガイド部材が互いに離隔する方向の予圧が加わっているため、保持部材の上面の中間部が沈下し、保持部材の両端部（予圧の方向の両端部）が隆起する。この状態では、保持部材は一対の当接部だけで移動部材の下面に接触し、これを支持することができる。
すなわち、保持部材の両端部にはオフセット部が形成され、このオフセット部は保持部材の上面の他の領域よりも低く形成されている。このため、保持部材の両端部が隆起しても、移動部材の下面に接触することが避けられる。
【００１８】
さらに、移動部材を支持する一対の当接部は、一対のガイド部材に沿って配置されているため、保持部材に中間部が沈下して両端部が隆起する曲げ変形が生じた状態でも、元の状態からの高さの変動が無いか、または僅少となる。
このため、保持部材に変形が生じているか否かに拘わらず、当接部で支持される移動部材の上下方向の変位を抑制でき、移動部材に対する影響を防止することができる。
【００１９】
このように、本発明によれば、保持部材に曲げ変形が生じ、この曲げ変形が保持部材の案内方向位置に応じて変動したとしても、移動部材の水平度および高さ位置を安定に保つことができる。また、本発明の保持部材および移動部材を、前述したような第２テーブルおよび補助テーブルとして用いることにより、補助テーブルのサンプル設置面の位置精度を確保することができる。
したがって、本発明によれば、補助テーブルのサンプル設置面の位置精度を確保しつつ、薄型化が可能な載物台を提供することができる。
【００２０】
本発明の載物台において、一対の前記当接部は、一対の前記ガイド部材の直上位置に配置されていることが好ましい。
この構成では、保持部材の曲げ変形が生じた状態において、一対の当接部は、その配置上、元の状態からの高さの変動が最も少なくなる。このため、一対の当接部で支持される移動部材の上下方向の変位をより抑制することができる。
【００２１】
本発明の載物台において、前記保持部材には、前記予圧の方向の中間部よりも外側に、当該中間部より低い一対の凹部が形成されており、前記凹部により前記オフセット部が形成され、前記保持部材における前記凹部と前記中間部との段差部分に前記当接部が形成されていてもよい。
【００２２】
本発明の載物台は、保持部材と、前記保持部材の上面に支持され、かつ当該上面に沿って移動可能な移動部材と、前記保持部材の下面に一対が平行に設置され、互いに近接する方向の力が前記保持部材に加わるように予圧されるガイド部材と、を有し、前記保持部材は、前記上面に一対の前記ガイド部材に沿って配置され、前記移動部材に当接する一対の当接部と、前記上面における一対の前記当接部よりも内側の領域に配置され、前記当接部より低く形成されたオフセット部と、を有することを特徴とする。
【００２３】
本発明では、前述した本発明（一対のガイド部材による予圧が互いに離隔する方向であるもの）と同様、保持部材は、一対のガイド部材を介して載物台のベースなどに移動自在に支持される。そして、保持部材に設置された一対のガイド部材が予圧されていることにより、一対のガイド部材は保持部材をガタつきなく案内することができる。
ここで、一対のガイド部材には、予圧として互いに近接する方向の力が加わることにより、保持部材には、一対のガイド部材の予圧に起因する曲げ応力（保持部材の下面側が圧縮で上面側が引張りになる曲げ応力）が生じる。このため、薄型化等により保持部材の剛性が低くなっていると、保持部材は、その上面が凸状になるように変形し、移動部材に干渉する可能性がある。
しかし、本発明においては、保持部材に一対の当接部およびオフセット部が形成され、これらにより保持部材の曲げ変形に起因する移動部材への干渉あるいは影響を防止することができる。
【００２４】
保持部材に曲げ変形が生じていない状態では、保持部材の上面において当接部と同じ高さの領域（当接部を含む、オフセット部は含まない）は、全面にわたって移動部材の下面に接触し、これを支持することができる。
保持部材に曲げ変形が生じた状態では、保持部材の下面側に、一対のガイド部材が近接する方向の予圧が加わっているため、保持部材の上面の中間部が隆起し、保持部材の両端部（予圧の方向の両端部）が沈下する。この状態では、保持部材は一対の当接部だけで移動部材の下面に接触し、これを支持することができる。
すなわち、保持部材の中間部にはオフセット部が形成され、このオフセット部は保持部材の上面の他の領域よりも低く形成されている。このため、保持部材の中間部が隆起しても、移動部材の下面に接触することが避けられる。
【００２５】
さらに、移動部材を支持する一対の当接部は、一対のガイド部材に沿って配置されているため、保持部材に中間部が隆起して両端部が沈下する曲げ変形が生じた状態でも、元の状態からの高さの変動が無いか、または僅少となる。
このため、保持部材に変形が生じているか否かに拘わらず、当接部で支持される移動部材の上下方向の変位を抑制でき、移動部材に対する影響を防止することができる。
【００２６】
このように、本発明によれば、保持部材に曲げ変形が生じ、この曲げ変形が保持部材の案内方向位置に応じて変動したとしても、移動部材の水平度および高さ位置を安定に保つことができる。また、本発明の保持部材および移動部材を、前述したような第２テーブルおよび補助テーブルとして用いることにより、補助テーブルのサンプル設置面の位置精度を確保することができる。
したがって、本発明によれば、補助テーブルのサンプル設置面の位置精度を確保しつつ、薄型化が可能な載物台を提供することができる。
【００２７】
本発明の載物台（一対のガイド部材による予圧が互いに離隔する方向であるもの）において、一対の前記当接部は、一対の前記ガイド部材の直上位置に配置されていることが好ましい。
この構成では、保持部材の曲げ変形が生じた状態において、一対の当接部は、その配置上、元の状態からの高さの変動が最も少なくなる。このため、一対の当接部で支持される移動部材の上下方向の変位をより抑制することができる。
【００２８】
本発明の載物台（一対のガイド部材による予圧が互いに離隔する方向であるもの）において、前記保持部材には、前記予圧の方向の中間部よりも外側に、当該中間部より高い一対の凸部が形成されており、前記中間部により前記オフセット部が形成され、前記保持部材における前記凸部と前記中間部との段差部分に前記当接部が形成されていてもよい。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、補助テーブルのサンプル設置面の位置精度を確保しつつ薄型化が可能な載物台を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１実施形態の載物台を有する顕微鏡を示す斜視図。
【図２】前記第１実施形態の載物台を示す分解斜視図。
【図３】前記第１実施形態の第１テーブルおよび第２テーブルを示す斜視図。
【図４】前記図３のＳ１線断面図。
【図５】前記図４のガイド部材付近を拡大して示す部分断面図。
【図６】既存構成の第１テーブルおよび第２テーブルを示す斜視図。
【図７】前記図６のＳ２線断面図。
【図８】前記図７のガイド部材付近を拡大して示す部分断面図。
【図９】本発明の第２実施形態の載物台の一部を示す断面図。
【図１０】本発明の第３実施形態の当接部およびオフセット部を示す部分側面図。
【図１１】本発明の第４実施形態の当接部およびオフセット部を示す部分側面図。
【図１２】本発明の第５実施形態の当接部およびオフセット部を示す部分側面図。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。
〔第１実施形態〕
図１において、第１実施形態の載物台１０は、顕微鏡本体１００に取り付けられ、顕微鏡１１０の一部として使用される。顕微鏡本体１００は、載物台１０が設置される台座１１１、載物台１０に載置されたサンプルに対して下側から光を照射する図示しない照明装置、サンプルからの光を対物レンズおよび結像レンズを介して受光し、サンプルの像を結像する光学系１１３、および、光学系１１３を上下に動かすための動力伝達機構１１４などを備える。
【００３２】
図２において、載物台１０は、ベース１と、第１テーブル２と、保持部材である第２テーブル３と、移動部材であるスイベルテーブル４とを、この順に備える。また、載物台１０は、ベース１と第１テーブル２との間に配置されたＹ軸ガイド５と、第１テーブル２と第２テーブル３との間に配置されたＸ軸ガイド６とを備える。
【００３３】
ベース１は、その中間部分に光路のための貫通孔１１を有する、金属製の板状部材である。ベース１は、顕微鏡本体１００の台座１１１に固定される。ベース１の上面１２には、Ｘ軸方向の両側辺縁に一対のガイド取付部１３が上向きに突起して形成されている。一対のガイド取付部１３は、Ｙ軸方向に沿って互いに平行に連続して延びている。
【００３４】
第１テーブル２は、その中間部分に光路のための貫通孔２１を有する金属製の板状部材であり、ベース１の上面１２側に配置されている。貫通孔２１は、貫通孔１１よりも大きく形成されている。
【００３５】
第１テーブル２の下面２２には、Ｘ軸方向の両側辺縁に一対のガイド取付部２３が下向きに突起して形成されている。一対のガイド取付部２３は、Ｙ軸方向に沿って互いに平行に連続して延びている。ここで、第１テーブル２の一対のガイド取付部２３は、ベース１の一対のガイド取付部１３をＸ軸方向の外側から挟むように配置されている。
【００３６】
また、第１テーブル２の上面２４には、Ｙ軸方向の両側辺縁に一対のガイド取付部２５が上向きに突起して形成されている。一対のガイド取付部２５は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に連続して延びている。
【００３７】
第２テーブル３は、本発明の保持部材である。第２テーブル３は、その中間部分に光路のための貫通孔３１を有する金属製の板状部材であり、第１テーブル２の上面２４側に配置されている。貫通孔３１は、貫通孔２１よりも大きく形成されている。このため、第２テーブル３は、第１テーブル２よりも剛性が低い。
【００３８】
第２テーブル３の下面３２には、Ｙ軸方向の両側辺縁に一対のガイド取付部３３が下向きに突起して形成されている。一対のガイド取付部３３は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に連続して延びている。ここで、第２テーブル３の一対のガイド取付部３３は、第１テーブル２の一対のガイド取付部２５をＹ軸方向の外側から挟むように配置されている。
【００３９】
スイベルテーブル４は、本発明の移動部材であり、第１テーブル２および第２テーブル３によるＸＹステージと組み合わされる補助テーブルとして用いられる。具体的には、スイベルテーブル４は、第２テーブル３の上面３４に支持されており、第２テーブル３の任意の位置に設けられた軸Ｒを中心にして、上面３４に沿って回動可能である。また、スイベルテーブル４は、金属製の枠部材４１と、枠部材４１の内側に固定された載物ガラス４２とを備える。載物ガラス４２の上面は、サンプルが載置されるサンプル設置面４４である。
【００４０】
Ｙ軸ガイド５は、一対のガイド部材５０で構成されている。一対のガイド部材５０は、ベース１と第１テーブル２との間においてＹ軸方向に沿って互いに平行に配置されており、第１テーブル２の荷重を負担するとともに、ベース１に対して第１テーブル２をＹ軸方向に移動可能に案内する。
ガイド部材５０は、例えばクロスローラガイドであり、２本一組のレール５１，５２と、これらのレール５１，５２の間に介在する複数の転動体としてのローラ５３とを有する。この２本のレール５１，５２のうち、一方のレール５１がベース１のガイド取付部１３に固定され、他方のレール５２が第１テーブル２のガイド取付部２３に固定されている。
【００４１】
Ｙ軸ガイド５が第１テーブル２をガタつきなく案内するために、一対のガイド部材５０の各々には、案内方向と直交するＸ軸方向の予圧が与えられる。具体的には、ベース１のガイド取付部１３と第１テーブル２のガイド取付部２３とが、ガイド部材５０を挟んで圧接することにより、ガイド部材５０は予圧されている。
【００４２】
Ｘ軸ガイド６は、一対のガイド部材６０で構成されている。一対のガイド部材６０は、第１テーブル２と第２テーブル３との間においてＸ軸方向に沿って互いに平行に配置されており、第２テーブル３の荷重を負担するとともに、第１テーブル２に対して第２テーブル３をＸ軸方向に移動可能に案内する。
ガイド部材６０は、例えばクロスローラガイドであり、２本一組のレール６１，６２と、これらのレール６１、６２の間に介在する複数のローラ６３とを有する。この２本のレール６１，６２のうち、一方のレール６１が第１テーブル２のガイド取付部２５に固定され、他方のレール６２が第２テーブル３のガイド取付部３３に固定されている。
【００４３】
Ｘ軸ガイド６が第２テーブル３をガタつきなく案内するために、一対のガイド部材６０の各々には、案内方向と直交するＹ軸方向の予圧が与えられる。具体的には、第１テーブル２のガイド取付部２５と第２テーブル３のガイド取付部３３とが、ガイド部材６０を挟んで圧接することにより、ガイド部材６０は予圧されている。
【００４４】
第２テーブル３の詳細な構成について、図３および図４を参照して説明する。なお、図３中、第２テーブル３に形成される貫通孔３１についての図示を省略している。
【００４５】
第２テーブル３には、上面３４におけるＹ軸方向の両端部３４０に、一対の凹部３５０が形成されている。一対の凹部３５０は、Ｘ軸方向に沿って延びており、互いに平行に配置されている。
【００４６】
第２テーブル３の上面３４において、一対の凹部３５０の内側の部分を中間部３４１とする。凹部３５０は、中間部３４１よりも低く形成されている。中間部３４１において凹部３５０に隣接する辺縁３４２（中間部３４１と凹部３５０との段差部分）は、後述する第２テーブル３の曲げ変形の前後においてスイベルテーブル４に当接する一対の当接部３６を形成する。一対の当接部３６は、それぞれ、ガイド部材６０の直上、より具体的にはローラ６３の直上に配置されている。
また、第２テーブル３において、一対の凹部３５０は、一対の当接部３６よりも低く形成された一対のオフセット部３７を形成する。
【００４７】
〔第１実施形態の曲げ変形〕
本実施形態における第２テーブル３の曲げ変形について、図３〜図５を参照して説明する。
なお、図５において、第２テーブル３が曲げ変形する前の状態を２点鎖線で示し、曲げ変形した後の状態を実線で示しており、ハッチングは省略している。
【００４８】
前述したように、一対のガイド部材６０は、第１テーブル２と第２テーブル３との間で予圧されている。ここで、第１テーブル２は、一対のガイド部材６０を互いに隔離する方向に予圧している。よって、第２テーブルにおいて一対のガイド部材６０が設置された下側には、一対のガイド部材６０が互いに離隔する方向の力Ｐ１が加わっている。これにより、第２テーブル３には、下面３２側が引張りで上面３４側が圧縮になる曲げ応力が生じる。
【００４９】
また、前述したように、第２テーブル３は、第１テーブル２の貫通孔２１よりも大きな貫通孔３１が形成されているため、第１テーブル２よりも剛性が低い。さらに薄型化によって第２テーブル３の剛性が低下すると、第２テーブル３は、一対のガイド部材６０の予圧により生じる曲げ応力によって、その上面３４が凹状になるように変形する。
【００５０】
例えば、図５において２点鎖線で示すように、第２テーブル３に曲げ変形が生じていない状態では、第２テーブル３の上面３４（当接部３６を含む、オフセット部３７は含まない）は平坦である。この状態では、第２テーブル３の上面３４は、全面にわたってスイベルテーブル４の下面４３に接触し、これを支持する。
【００５１】
また、図４および図５において実線で示すように、第２テーブル３に曲げ変形が生じた状態では、第２テーブル３の中間部３４１が沈下し、第２テーブル３のＹ軸方向の両端部３４０が隆起する。この状態では、第２テーブル３は一対の当接部３６だけがスイベルテーブル４の下面４３に接触し、これを支持する。
【００５２】
このような第２テーブル３の曲げ変形は、第１テーブル２に対するＸ軸方向の第２テーブル３の相対位置に応じて変動する。
すなわち、第２テーブル３の曲げ変形は、Ｘ軸ガイド６を介して第１テーブル２から受ける力によるものである。このため、図３に示すように、第２テーブル３がＸ軸方向に移動し、その一部が第１テーブル２からせり出した場合、第２テーブル３からせり出した部分Ａ２には、第１テーブル２からの力が加わらなくなり、曲げ変形が生じなくなる。
【００５３】
よって、第２テーブル３は、第１テーブル２と重なる部分Ａ１では曲げ変形が生じ、第１テーブル２からせり出した部分Ａ２では曲げ変形が解消される。つまり、第２テーブル３に生じる曲げ変形は、第１テーブル２に対するＸ軸方向の第２テーブル３の相対的な位置に応じて変動する。
【００５４】
しかし、本実施形態では、第２テーブル３に本発明に基づく当接部３６およびオフセット部３７が形成されているため、第２テーブル３の曲げ変形による影響を回避することができる。そして、曲げ変形による影響を回避できることで、スイベルテーブル４のサンプル設置面４４の位置精度を確保しつつ、薄型化が可能な載物台１０を提供することができる。
【００５５】
図６〜図８には、本実施形態と基本構成が共通だが、第２テーブル３に本発明に基づく当接部３６およびオフセット部３７が形成されていない載物台１０Ｐが示されている。
図６〜図８において、載物台１０Ｐは、第２テーブル１０３が凹部３５０（当接部３６およびオフセット部３７）を有しない他は、本実施形態と同様の構成を有しており、本実施形態と同一構成要素は同一符号を付している。また、図８において、第２テーブル１０３が曲げ変形する前の状態を２点鎖線で示し、曲げ変形した後の状態を実戦で示しており、ハッチングを省略している。
【００５６】
図７および図８に示すように、載物台１０Ｐでは、第２テーブル１０３に上面１３４が凹状になる曲げ変形が生じると、第２テーブル１０３のＹ軸方向の両端部１３７が隆起し、スイベルテーブル４を所期の位置から押し上げる。これにより、スイベルテーブル４のサンプル設置面４４が不必要に変位してしまう。
【００５７】
また、載物台１０Ｐでは、図６に示すように、第２テーブル１０３がＸ軸方向に移動したとき、第２テーブル１０３の一方側（第１テーブル２と重なる部分Ａ１）がスイベルテーブル４を押し上げ、他方側（第１テーブル２からせり出している部分Ａ２）はスイベルテーブル４を押し上げない。よって、スイベルテーブル４は、その片側のみが押し上げられるため、ＸＹ平面に対して傾斜してしまう。
さらに、第２テーブル１０３がＸ軸方向に移動するとき、第２テーブル１０３の曲げ変形する範囲が変化することによって、スイベルテーブル４が押し上げられる範囲も変化する。これにより、スイベルテーブル４のサンプル設置面４４の高さが変動してしまう。
【００５８】
これに対し、本実施形態では、第２テーブル３に本発明に基づくオフセット部３７および当接部３６が形成されているため、このような変位、傾斜および高さの変動を未然に回避することができる。
再び図４および図５を参照すると、第２テーブル３のＹ軸方向の両端部３４０にはオフセット部３７が形成され、このオフセット部３７は、第２テーブル３の当接部３６よりも低く形成されている。
このため、前述のように、第２テーブル３に曲げ変形が生じ、第２テーブル３のＹ軸方向の両端部３４０が隆起しても、この両端部３４０がスイベルテーブル４の下面４３に接触することは避けられる。
【００５９】
また、第２テーブル３の曲げ変形は、ガイド部材６０の配置方向に直交する方向（予圧方向）の高さが変化するように、一対のガイド部材６０よりも内側の領域である中間部３４１が沈下し、一対のガイド部材６０よりも外側の領域であるＹ軸方向の両端部３４０が隆起する。ここで、一対の当接部３６は、一対のガイド部材６０に沿って配置されているため、第２テーブル３に前述のような曲げ変形が生じた状態でも、元の状態からの高さの変動が無いか、または僅少となる。
このため、第２テーブル３に曲げ変形が生じているか否かに拘わらず、当接部３６で支持されるスイベルテーブル４の上下方向の変位を抑制でき、スイベルテーブル４に対する影響を防止することができる。
【００６０】
さらに、前述したように、第２テーブル３の曲げ変形に起因するスイベルテーブル４への干渉あるいは影響を防止しているため、第２テーブル３の曲げ変形が第１テーブル２に対するＸ軸方向の位置に応じて変動したとしても、スイベルテーブル４のサンプル設置面４４の水平度および高さ位置は安定に保たれる。
【００６１】
〔第１実施形態の効果〕
前述した本実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
前述したように、オフセット部３７および当接部３６がない構成では、第２テーブル１０３の曲げ変形に起因するスイベルテーブル４への干渉あるいは影響が生じることにより、測定結果に影響を及すおそれがある。
これに対し、本実施形態の載物台１０では、前述したように第２テーブル１０３に曲げ変形が生じたとしてもスイベルテーブル４への干渉あるいは影響が防止される。したがって、本実施形態の載物台１０によれば、スイベルテーブル４のサンプル設置面４４の位置精度を確保しつつ、薄型化することができる。
【００６２】
また、本実施形態では、一対の当接部３６が、一対のガイド部材６０の直上に配置されている。よって、第２テーブル３の曲げ変形が生じた状態において、一対の当接部３６は、その配置上、元の状態からの高さの変動が最も少なくなる。このため、一対の当接部３６で支持されるスイベルテーブル４の上下方向の変位をより抑制することができる。
【００６３】
また、本実施形態では、第２テーブル３に形成された凹部３５０によってオフセット部３７が形成され、凹部３５０と中間部３４１との段差部分に当接部３６が形成されている。このため、オフセット部３７および当接部３６の形成が容易である。
【００６４】
〔第２実施形態〕
本発明の第２実施形態の載物台１０Ａについて、図９を参照して説明する。なお、図９は、第１実施形態の図４に対応する図であり、第２テーブル３に曲げ変形が生じた状態を示している。
第２実施形態では、当接部３６Ａとオフセット部３７Ａとの配置関係および第２テーブル３に加わる力Ｐ２の方向が第１実施形態と異なっており、他の構成は第１実施形態と同様である。第２実施形態では、第１実施形態と同一構成要素は同一符号を付して説明を省略する。
【００６５】
第２実施形態の第２テーブル３には、上面３４におけるＹ軸方向の両端部３４０に、一対の凸部３５１が形成されている。一対の凸部３５１は、Ｘ軸方向に沿って延びており、互いに平行に配置されている。
【００６６】
第２テーブル３の上面３４において、一対の凸部３５１よりも内側の領域を中間部３４３とする。凸部３５１は、中間部３４３より高く形成されている。なお、第２テーブル３において、中間部３４３は、その外側よりも低い凹部を形成していると言い換えてもよい。
【００６７】
一対の凸部３５１のＹ軸方向内側の辺縁３４４（凸部３５１と中間部３４３との段差部分）は、後述する第２テーブル３の曲げ変形の前後においてスイベルテーブル４に当接する一対の当接部３６Ａを形成する。一対の当接部３６Ａは、それぞれ、ガイド部材６０のガイド部材６０の直上、より具体的にはローラ６３の直上に配置されている。
また、第２テーブル３の上面３４において、一対の凸部３５１よりも内側の領域である中間部３４３は、一対の当接部３６Ａよりも低く形成されたオフセット部３７Ａを形成する。
【００６８】
また、第２実施形態では、第１テーブル２の一対のガイド取付部２５１が第２テーブル３の一対のガイド取付部３３１をＹ軸方向の外側から挟むように配置されている。
このため、第１テーブル２は、一対のガイド部材６０を互いに近接する方向に予圧している。よって、第２テーブル３において一対のガイド部材６０が設置された下側には、一対のガイド部材６０が互いに近接する方向の力Ｐ２が加わっている。これにより、第２テーブル３には、下面３２側が圧縮で上面３４側が引張りになる曲げ応力が生じる。
よって、第２テーブル３は、薄型化等により剛性が低下すると、一対のガイド部材６０の予圧により生じる曲げ応力によって、その上面３４が凸状になるように変形する。
【００６９】
例えば、第２テーブル３に曲げ変形が生じていない状態では、第２テーブル３の一対の凸部３５１の上面（一対の当接部３６Ａを含む）は平坦である。この状態では、凸部３５１の上面は、全面にわたってスイベルテーブル４の下面４３に接触し、これを支持する。
【００７０】
また、第２テーブル３に曲げ変形が生じた状態では、第２テーブル３の中間部３４３が隆起し、第２テーブル３のＹ軸方向の両端部３４０が沈下する。この状態では、第２テーブル３は、一対の当接部３６Ａだけでスイベルテーブル４の下面４３に接触し、これを支持する。
【００７１】
そこで、第２実施形態では、第２テーブル３に本発明に基づく当接部３６Ａおよびオフセット部３７Ａが形成されている。
具体的には、第２テーブル３の中間部３４３にはオフセット部３７Ａが形成され、このオフセット部３７Ａは、当接部３６Ａよりも低く形成されている。このため、第２テーブル３の曲げ変形により第２テーブル３の中間部３４３が隆起しても、この中間部３４３がスイベルテーブル４の下面４３に接触することは避けられる。
【００７２】
また、第２テーブル３の曲げ変形は、ガイド部材６０の案内方向に直交する方向（予圧方向）の高さが変化するように、一対のガイド部材６０よりも内側の領域である中間部３４３が隆起し、一対のガイド部材６０よりも外側の領域であるＹ軸方向の両端部３４０が沈下する。ここで、一対の当接部３６Ａは、一対のガイド部材６０に沿って配置されているため、第２テーブル３に前述のような曲げ変形が生じた状態でも、元の状態からの高さの変動が無いか、または僅少となる。
このため、第２テーブル３に曲げ変形が生じているか否かに拘わらず、当接部３６Ａで支持されるスイベルテーブル４の上下方向の変位を抑制でき、スイベルテーブル４に対する影響を防止することができる。
【００７３】
さらに、第２テーブル３の曲げ変形に起因するスイベルテーブル４への干渉あるいは影響を防止しているため、第２テーブル３の曲げ変形が第１テーブル２に対するＸ軸方向の位置に応じて変動したとしても、スイベルテーブル４のサンプル設置面４４の水平度および高さ位置は安定に保たれる。
【００７４】
したがって、第２実施形態の載物台１０Ａによれば、第１実施形態と同様、スイベルテーブル４のサンプル設置面４４の位置精度を確保しつつ、薄型化することができる。
【００７５】
〔他の実施形態〕
本発明は、以上の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
前記第１および第２の実施形態では、それぞれ第２テーブル３の上面３４に凹部３５０を形成し、段差形状を利用して当接部３６，３６Ａおよびオフセット部３７，３７Ａを形成していた。
しかし、本発明の当接部およびオフセット部は、第２テーブル３の上面３４に形成される他の形状を利用してもよい。
【００７６】
本発明の第３実施形態として、図１０に示すように、第２テーブル３の上面３４は、第１実施形態の凹部３５０に替えて形成された切り欠き３５２を有していてもよい。この構成では、上面３４のうち切り欠き３５２に隣接する辺縁３４５が、第２テーブル３の曲げ変形の前後においてスイベルテーブル４に当接する当接部３６Ｂを構成する。また、切り欠き３５２は、当接部３６Ｂよりも低く形成されたオフセット部３７Ｂを構成する。なお、切り欠き３５２が呈する傾斜面は、平面形状を有してもよいし、曲面形状を有してもよい。
このような構成によれば、図１０において２点鎖線で示すように、第２テーブル３の上面３４が凹状になるように変形しても、第２テーブル３がスイベルテーブル４を押し上げることを抑制できる。
【００７７】
本発明の第４実施形態として、図１１に示すように、第２テーブル３の上面３４は、第１実施形態の凹部３５０に替えて形成された凸部３５３を有していてもよい。凸部３５３は、Ｙ軸方向に湾曲する曲面を有しており、Ｘ軸方向に沿って連続的または断続的に延びていている。
本発明の第５実施形態として、図１２に示すように、第２テーブル３の上面３４は、第１実施形態の凹部３５０に替えて形成された凸部３５４を有していてもよい。凸部３５４は、テーパー形状を有しており、Ｘ軸方向に沿って連続的または断続的に延びている。
【００７８】
第４実施形態および第５実施形態において、凸部３５３，３５４の一部は、第２テーブル３の曲げ変形の前後においてスイベルテーブル４に当接する当接部３６Ｃ，３６Ｄを形成する。また、第２テーブル３の上面３４のうち凸部３５３，３５４よりもＹ軸方向の外側の領域は、当接部３６Ｃ，３６Ｄよりも低く形成されたオフセット部３７Ｃ，３７Ｄを形成する。
このような構成によれば、図１１，図１２において２点鎖線で示すように、第２テーブル３の上面３４が凹状になるように変形した場合、第２テーブル３がスイベルテーブル４を押し上げることを抑制できる。
【００７９】
第４実施形態および第５実施形態において、第２テーブル３の上面３４に形成された凸部３５３，３５４は、第１実施形態の凹部３５０ではなく、第２実施形態の凸部３５１に替えて形成されてもよい。この場合、凸部３５３，３５４の一部が、当接部３６Ｅ，３６Ｆを形成する。また、第２テーブル３の上面３４のうち一対の凸部３５３，３５４よりもＹ軸方向の内側の領域が、当接部３６Ｅ，３６Ｆよりも低く形成されたオフセット部３７Ｅ，３７Ｆを構成する（図１１または図１２の点線を参照）。
【００８０】
本発明の移動部材は、各実施形態のようなスイベルテーブル４に限定されず、様々な補助テーブルを利用できる。例えば、本発明の移動部材は、ＸＹ平面においてＸ軸およびＹ軸とは異なる移動軸に沿って移動する補助テーブルであってもよい。
本発明のガイド部材としては、クロスローラガイドに限らず、他の様々な形式のリニアガイドなどを用いることができる。
【００８１】
本発明の載物台は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の両方の移動を行う構成に限定されず、いずれか一方向の移動を行う構成であればよい。例えば、第１実施形態の載物台１０のうち、Ｘ軸ガイド６および第２テーブル３を省略し、第１テーブル２がスイベルテーブル４を支持するように構成されてもよい。この場合、本発明の一対のガイド部材は、Ｙ軸ガイド５を構成する一対のガイド部材５０であり、本発明の保持部材は、第１テーブル２である。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明は、顕微鏡などのサンプルが載置されて水平な平面内を移動可能な載物台として利用できる。
【符号の説明】
【００８３】
１…ベース、２…第１テーブル、３…保持部材である第２テーブル、４…移動部材であるスイベルテーブル、５…Ｙ軸ガイド、６…Ｘ軸ガイド、１０，１０Ａ…載物台、３４…上面、４４…サンプル設置面、５０，６０…ガイド部材、３６，３６Ａ〜３６Ｆ…当接部、３７，３７Ａ〜３７Ｆ…オフセット部，３５０…凹部、３５１…凸部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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