(57)【要約】【課題】耐久性に優れ、塵埃等が発生する悪環境下であっても安定した動作を行うことができるアクチュエータを提供すること。【解決手段】電動機の駆動による出力軸１９ａの回転運動を変換機構２０によって第１ロッド１２及び第２ロッド１３の往復直線運動に変換することにより、第１ロッド１２及び第２ロッド１３が本体ハウジング１４に対して出没方向に移動する。そして、第１貫通孔１６ａを介した第１ロッド１２の突出量と第２貫通孔１６ｂを介した第２ロッド１３の没入量とが同じである。【選択図】図１
2018011448.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングと、
前記ハウジングに対して出没可能なロッドと、
前記ハウジングに内蔵される電動機と、
前記ハウジングに内蔵され、前記電動機の出力軸の回転運動を前記ロッドの往復直線運動に変換させる変換機構と、を備え、
前記ハウジングは、前記ロッドが貫通する二つの貫通孔を有し、
前記二つの貫通孔の一方で前記ロッドが突出することに伴い、前記二つの貫通孔の他方で前記ロッドが没入し、前記二つの貫通孔の一方を介した前記ロッドの突出量と前記二つの貫通孔の他方を介した前記ロッドの没入量とが同じであることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記ロッドの外周面に付着した異物を掻き取るスクレーパを備えたことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記ロッドを２本備え、
前記変換機構は、前記出力軸と一体的に回転する出力回転体と、前記出力回転体に支持される一対の軸受用支柱と、各軸受用支柱に固定される軸受と、２本のロッドの一方に連結される第１カム板と、前記２本のロッドの他方に連結される第２カム板と、を備え、
前記第１カム板及び前記第２カム板それぞれは、各軸受に摺接するカム溝を有し、各軸受を介して前記出力回転体に接続されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記２本のロッドは円柱状であり、
前記出力回転体は、前記第１カム板の一部及び前記第２カム板の一部を前記第１カム板及び前記第２カム板の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置され、前記第１カム板を介した前記２本のロッドの一方の回転、及び前記第２カム板を介した前記２本のロッドの他方の回転を規制する一対の規制部を有していることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記ロッドを２本備え、
前記変換機構は、前記出力軸と一体的に回転する出力回転体と、前記出力回転体に支持される出力リンク支柱と、前記ハウジングに支持される支持軸と、前記支持軸に対して回転する従動回転体と、前記従動回転体に支持される従動リンク支柱と、前記出力リンク支柱に一端部が揺動可能に支持されるとともに前記従動リンク支柱に他端部が揺動可能に支持されるリンク部と、
前記出力回転体に支持される出力側軸受用支柱と、前記出力側軸受用支柱に固定される出力側軸受と、前記従動回転体に支持される従動側軸受用支柱と、前記従動側軸受用支柱に固定される従動側軸受と、２本のロッドの一方に連結される出力側カム板と、前記２本のロッドの他方に連結される従動側カム板と、を備え、
前記出力側カム板は、前記出力側軸受に摺接する出力側カム溝を有し、前記出力側軸受を介して前記出力回転体に接続され、
前記従動側カム板は、前記従動側軸受に摺接する従動側カム溝を有し、前記従動側軸受を介して前記従動回転体に接続されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記２本のロッドは円柱状であり、
前記出力回転体は、前記出力側カム板の一部を前記出力側カム板の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置され、前記出力側カム板を介した前記２本のロッドの一方の回転を規制する一対の出力側規制部を有し、
前記従動回転体は、前記従動側カム板の一部を前記従動側カム板の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置され、前記従動側カム板を介した前記２本のロッドの他方の回転を規制する一対の従動側規制部を有していることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記出力リンク支柱は、前記出力回転体の回転に伴い前記出力軸の周囲を移動し、
前記従動リンク支柱は、前記従動回転体の回転に伴い前記支持軸の周囲を前記出力リンク支柱の回転位相と同じ位相位置で移動し、
前記リンク部は、前記出力リンク支柱に回動可能に支持される第１支持部と、前記従動リンク支柱に回動可能に支持される第２支持部と、前記第１支持部と前記第２支持部とを直線的に繋ぐ連繋部と、を有し、
前記第１支持部は、前記出力リンク支柱の軸線方向において、前記出力側軸受を挟み込む前記一対の出力側規制部に挟み込まれており、
前記第２支持部は、前記従動リンク支柱の軸線方向において、前記従動側軸受を挟み込む前記一対の従動側規制部に挟み込まれており、
前記連繋部は、前記軸線方向から見たときに、前記出力リンク支柱の中心軸線と前記従動リンク支柱の中心軸線とを繋ぐ仮想直線から前記出力軸及び前記支持軸に対して離れるようにオフセットしていることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
【請求項８】
搬送路上を流れるワークの流れ方向に対して直交する方向に前記２本のロッドが出没し、
前記２本のロッドにおける前記ハウジングに対する突出量が一致したときに、前記２本のロッドの先端が、前記搬送路上を流れるワークに対して前記ワークにおける前記搬送路上の流れ方向で重なっていることを特徴とする請求項３〜請求項７のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記ハウジングは、不活性ガスを前記ハウジング内に供給するために用いられるガス供給用ポートを有することを特徴とする請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記ハウジングは、前記ハウジング内の圧力を検出するために用いられる圧力検出用ポートを有することを特徴とする請求項９に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハウジングに対してロッドが出没可能なアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、アクチュエータは、例えば、生産ラインの一部において、ハウジングからロッドを突出させることにより、搬送路上を流れるワークの流れを一旦停止させ、ハウジングに対してロッドを没入させることにより、一旦停止させたワークの搬送路上での流れを復帰させるストッパ装置として用いられている。このようなストッパ装置の一種として、例えば特許文献１のエスケープメント装置が知られている。
【０００３】
特許文献１のエスケープメント装置は、筒状のシリンダボディ（ハウジング）を備え、シリンダボディ内には、シリンダボディの軸方向に沿って延びる二つのシリンダ室が互いに並列に配置されるように設けられている。各シリンダ室内には、ピストンが往復動可能に収容されている。各ピストンには、シリンダボディに対して出没可能なピストンロッドが連結されている。そして、各シリンダ室に対する流体の給排が行われて、例えば、一方のピストンロッドがシリンダボディに対して突出方向のストロークエンドに到達すると、他方のピストンロッドが没入方向のストロークエンドに到達するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１１６０１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１のエスケープメント装置のように、各シリンダ室に対する流体の給排によって、二つのピストンロッドの動作を制御する構成においては、各シリンダ室に供給される流体がシリンダボディから外部へ洩れないようにするためのシール構造を必要とする。しかしながら、シール構造は、ピストンロッドの動作が繰り返し行われることにより劣化していくため、耐久性に問題が生じる虞がある。また、塵埃等が発生する悪環境下であっても、安定した動作を行うことができる装置が求められている。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、耐久性に優れ、塵埃等が発生する悪環境下であっても安定した動作を行うことができるアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するアクチュエータは、ハウジングと、前記ハウジングに対して出没可能なロッドと、前記ハウジングに内蔵される電動機と、前記ハウジングに内蔵され、前記電動機の出力軸の回転運動を前記ロッドの往復直線運動に変換させる変換機構と、を備え、前記ハウジングは、前記ロッドが貫通する二つの貫通孔を有し、前記二つの貫通孔の一方で前記ロッドが突出することに伴い、前記二つの貫通孔の他方で前記ロッドが没入し、前記二つの貫通孔の一方を介した前記ロッドの突出量と前記二つの貫通孔の他方を介した前記ロッドの没入量とが同じである。
【０００８】
上記アクチュエータにおいて、前記ロッドの外周面に付着した異物を掻き取るスクレーパを備えているとよい。
上記アクチュエータにおいて、前記ロッドを２本備え、前記変換機構は、前記出力軸と一体的に回転する出力回転体と、前記出力回転体に支持される一対の軸受用支柱と、各軸受用支柱に固定される軸受と、２本のロッドの一方に連結される第１カム板と、前記２本のロッドの他方に連結される第２カム板と、を備え、前記第１カム板及び前記第２カム板それぞれは、各軸受に摺接するカム溝を有し、各軸受を介して前記出力回転体に接続されているとよい。
【０００９】
上記アクチュエータにおいて、前記２本のロッドは円柱状であり、前記出力回転体は、前記第１カム板の一部及び前記第２カム板の一部を前記第１カム板及び前記第２カム板の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置され、前記第１カム板を介した前記２本のロッドの一方の回転、及び前記第２カム板を介した前記２本のロッドの他方の回転を規制する一対の規制部を有しているとよい。
【００１０】
上記アクチュエータにおいて、前記ロッドを２本備え、前記変換機構は、前記出力軸と一体的に回転する出力回転体と、前記出力回転体に支持される出力リンク支柱と、前記ハウジングに支持される支持軸と、前記支持軸に対して回転する従動回転体と、前記従動回転体に支持される従動リンク支柱と、前記出力リンク支柱に一端部が揺動可能に支持されるとともに前記従動リンク支柱に他端部が揺動可能に支持されるリンク部と、前記出力回転体に支持される出力側軸受用支柱と、前記出力側軸受用支柱に固定される出力側軸受と、前記従動回転体に支持される従動側軸受用支柱と、前記従動側軸受用支柱に固定される従動側軸受と、２本のロッドの一方に連結される出力側カム板と、前記２本のロッドの他方に連結される従動側カム板と、を備え、前記出力側カム板は、前記出力側軸受に摺接する出力側カム溝を有し、前記出力側軸受を介して前記出力回転体に接続され、前記従動側カム板は、前記従動側軸受に摺接する従動側カム溝を有し、前記従動側軸受を介して前記従動回転体に接続されているとよい。
【００１１】
上記アクチュエータにおいて、前記２本のロッドは円柱状であり、前記出力回転体は、前記出力側カム板の一部を前記出力側カム板の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置され、前記出力側カム板を介した前記２本のロッドの一方の回転を規制する一対の出力側規制部を有し、前記従動回転体は、前記従動側カム板の一部を前記従動側カム板の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置され、前記従動側カム板を介した前記２本のロッドの他方の回転を規制する一対の従動側規制部を有しているとよい。
【００１２】
上記アクチュエータにおいて、前記出力リンク支柱は、前記出力回転体の回転に伴い前記出力軸の周囲を移動し、前記従動リンク支柱は、前記従動回転体の回転に伴い前記支持軸の周囲を前記出力リンク支柱の回転位相と同じ位相位置で移動し、前記リンク部は、前記出力リンク支柱に回動可能に支持される第１支持部と、前記従動リンク支柱に回動可能に支持される第２支持部と、前記第１支持部と前記第２支持部とを直線的に繋ぐ連繋部と、を有し、前記第１支持部は、前記出力リンク支柱の軸線方向において、前記出力側軸受を挟み込む前記一対の出力側規制部に挟み込まれており、前記第２支持部は、前記従動リンク支柱の軸線方向において、前記従動側軸受を挟み込む前記一対の従動側規制部に挟み込まれており、前記連繋部は、前記軸線方向から見たときに、前記出力リンク支柱の中心軸線と前記従動リンク支柱の中心軸線とを繋ぐ仮想直線から前記出力軸及び前記支持軸に対して離れるようにオフセットしているとよい。
【００１３】
上記アクチュエータにおいて、搬送路上を流れるワークの流れ方向に対して直交する方向に前記２本のロッドが出没し、前記２本のロッドにおける前記ハウジングに対する突出量が一致したときに、前記２本のロッドの先端が、前記搬送路上を流れるワークに対して前記ワークにおける前記搬送路上の流れ方向で重なっているとよい。
【００１４】
上記アクチュエータにおいて、前記ハウジングは、不活性ガスを前記ハウジング内に供給するために用いられるガス供給用ポートを有するとよい。
上記アクチュエータにおいて、前記ハウジングは、前記ハウジング内の圧力を検出するために用いられる圧力検出用ポートを有するとよい。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、耐久性に優れ、塵埃等が発生する悪環境下であっても安定した動作を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１の実施形態におけるエスケープメント装置を示す断面図。
【図２】図１における２−２線断面図。
【図３】図１における３−３線断面図。
【図４】図１における４−４線断面図。
【図５】（ａ）は図１における５−５線断面図、（ｂ）は圧力検出用ポートに関する部分断面図。
【図６】電動機の動作を説明するためのタイミングチャート。
【図７】第１ロッドが没入位置に位置するとともに第２ロッドが突出位置に位置している状態を示す断面図。
【図８】第１ロッドが突出位置に位置するとともに第２ロッドが没入位置に位置している状態を示す断面図。
【図９】（ａ）〜（ｃ）はエスケープメント装置の動作を説明する模式図。
【図１０】第２の実施形態におけるエスケープメント装置の断面図。
【図１１】図１０における１１−１１線断面図。
【図１２】図１０における１２−１２線断面図。
【図１３】第１ロッドが没入位置に位置するとともに第２ロッドが突出位置に位置している状態を示す断面図。
【図１４】第１ロッドが突出位置に位置するとともに第２ロッドが没入位置に位置している状態を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
（第１の実施形態）
以下、アクチュエータをストッパ装置の一種であるエスケープメント装置に具体化した第１の実施形態を図１〜図９にしたがって説明する。
【００１８】
図１及び図２に示すように、エスケープメント装置１０のハウジング１１は、円柱状の２本のロッド１２，１３が出没可能な本体ハウジング１４と、本体ハウジング１４に連結されるモータハウジング１５とを有している。
【００１９】
本体ハウジング１４は、本体部１４ａと、本体部１４ａを覆うカバー１４ｂとを有する。本体部１４ａは、２本のロッド１２，１３の一方である第１ロッド１２が貫通する貫通孔としての第１貫通孔１６ａと、２本のロッド１２，１３の他方である第２ロッド１３が貫通する貫通孔としての第２貫通孔１６ｂとが形成された直方体形状のブロック体１４１を有する。よって、ハウジング１１は、二つの貫通孔１６ａ，１６ｂを有する。第１貫通孔１６ａ及び第２貫通孔１６ｂは互いに平行に延びている。したがって、第１ロッド１２及び第２ロッド１３は互いに平行に延びている。
【００２０】
図１に示すように、第１貫通孔１６ａにおける軸方向の両端部と第１ロッド１２との間には、円環状の滑り軸受１７ａがそれぞれ設けられている。第２貫通孔１６ｂにおける軸方向の両端部と第２ロッド１３との間には、円環状の滑り軸受１７ｂがそれぞれ設けられている。
【００２１】
第１貫通孔１６ａと第１ロッド１２との間には、第１ロッド１２の外周面に付着した異物である塵埃等を第１貫通孔１６ａの内側で掻き取るスクレーパ１８ａが設けられている。スクレーパ１８ａは、第１貫通孔１６ａにおいて、両滑り軸受１７ａよりも第１ロッド１２の突出方向側に配置されるとともに第１貫通孔１６ａに嵌め込まれている。スクレーパ１８ａは、第１貫通孔１６ａと第１ロッド１２との間をシールするシール機能も有している。
【００２２】
第２貫通孔１６ｂと第２ロッド１３との間には、第２ロッド１３の外周面に付着した異物である塵埃等を第２貫通孔１６ｂの内側で掻き取るスクレーパ１８ｂが設けられている。スクレーパ１８ｂは、第２貫通孔１６ｂにおいて、両滑り軸受１７ｂよりも第２ロッド１３の突出方向側に配置されるとともに第２貫通孔１６ｂに嵌め込まれている。スクレーパ１８ｂは、第２貫通孔１６ｂと第２ロッド１３との間をシールするシール機能も有している。
【００２３】
図１及び図２に示すように、本体部１４ａは、ブロック体１４１の底面に取り付けられるとともに第１ロッド１２及び第２ロッド１３の軸方向に沿って延びる平板状の底壁１４２を有する。ブロック体１４１と底壁１４２とは、ボルト１４３によって連結されている。底壁１４２には、円孔状の位置決め孔１４ｈが形成されている。そして、ブロック体１４１、底壁１４２及びカバー１４ｂによって、本体ハウジング１４内に空間１４ｋが区画されている。底壁１４２には、長孔状のケーブル挿通孔１４ｐが形成されている。
【００２４】
図２に示すように、モータハウジング１５は、モータハウジング１５の開口部１５ａが底壁１４２側に位置するように本体ハウジング１４に連結されている。モータハウジング１５には、電動機１９（ステッピングモータ）が内蔵されている。電動機１９は、位置決め孔１４ｈに嵌め込まれる位置決め凸部１９ｂを有する。そして、位置決め凸部１９ｂが位置決め孔１４ｈに嵌め込まれることにより底壁１４２に位置決めされた状態でモータハウジング１５に内蔵されている。よって、位置決め孔１４ｈは位置決め凸部１９ｂによって塞がれている。モータハウジング１５内と空間１４ｋとは、ケーブル挿通孔１４ｐを介して連通している。
【００２５】
カバー１４ｂは、本体部１４ａとの間のシール性が確保された状態で本体部１４ａに取り付けられている。具体的には、カバー１４ｂと本体部１４ａとの間にコーキング材Ｓ１が塗布されることにより、カバー１４ｂと本体部１４ａとの間がシールされている。なお、図示は省略するが、カバー１４ｂと本体部１４ａとの合わせ面に液状ガスケットが塗布されることにより、カバー１４ｂと本体部１４ａとの間がシールされている。また、モータハウジング１５は、本体ハウジング１４との間のシール性が確保された状態で本体ハウジング１４に取り付けられている。具体的には、モータハウジング１５と本体ハウジング１４との間にコーキング材Ｓ１が塗布されることにより、モータハウジング１５と本体ハウジング１４との間がシールされている。よって、モータハウジング１５の内部及び空間１４ｋは、ハウジング１１の外部との間のシール性が確保されている。
【００２６】
電動機１９の出力軸１９ａは、位置決め孔１４ｈを介して空間１４ｋに突出している。空間１４ｋには、出力軸１９ａの回転運動を第１ロッド１２及び第２ロッド１３の往復直線運動に変換させる変換機構２０が内蔵されている。
【００２７】
変換機構２０は、出力軸１９ａと一体的に回転する出力回転体２１と、出力回転体２１に支持される円柱状の一対の軸受用支柱２２，２３と、各軸受用支柱２２，２３に固定されるフォロワーとしての軸受２４，２５と、第１ロッド１２に連結される平板状の第１カム板２６と、第２ロッド１３に連結される平板状の第２カム板２７とを備えている。軸受２４，２５は、内輪、外輪及び玉を有する玉軸受である。
【００２８】
出力回転体２１は、第１カム板２６の一部及び第２カム板２７の一部を第１カム板２６及び第２カム板２７の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置される略円板状の一対の規制部２１ａ，２１ｂと、一対の規制部２１ａ，２１ｂ同士を繋ぐ円筒状の連結部２１ｃとを有している。一対の規制部２１ａ，２１ｂは、第１カム板２６を介した第１ロッド１２の回転、及び第２カム板２７を介した第２ロッド１３の回転を規制する。連結部２１ｃは、出力軸１９ａが挿通される挿通孔２１ｈを有する。
【００２９】
一対の規制部２１ａ，２１ｂには、軸受用支柱２２の両端部が挿入される円孔状の挿入孔２１ｄがそれぞれ形成されている。軸受用支柱２２は、各軸受用支柱２２の両端部が各挿入孔２１ｄにそれぞれ挿入されることにより、一対の規制部２１ａ，２１ｂに両持ち支持されている。また、一対の規制部２１ａ，２１ｂには、軸受用支柱２３の両端部が挿入される円孔状の挿入孔２１ｅがそれぞれ形成されている。軸受用支柱２３は、各軸受用支柱２３の両端部が各挿入孔２１ｅにそれぞれ挿入されることにより、一対の規制部２１ａ，２１ｂに両持ち支持されている。各軸受２４，２５は、一対の規制部２１ａ，２１ｂの間に配置されている。このように、出力回転体２１は、各軸受２４，２５を支持するとともに第１カム板２６及び第２カム板２７の回転を規制している。これにより、第１ロッド１２及び第２ロッド１３は、回転が規制された状態で往復直線運動を行う。
【００３０】
両挿入孔２１ｄ，２１ｅは、平面視において、挿通孔２１ｈを挟んで両側に位置しており、一対の規制部２１ａ，２１ｂに対して、出力回転体２１の回転方向で１８０度離れた位置に配置されている。よって、両軸受用支柱２２，２３は、出力軸１９ａを挟んで両側に位置しており、出力回転体２１に対して、出力回転体２１の回転方向で１８０度離れた位置に配置されている。
【００３１】
図３に示すように、第１カム板２６は、第１ロッド１２における没入方向の端部に連結されている。第１ロッド１２における没入方向の端部の外周面には、平面部１２ａが形成されている。そして、第１ロッド１２における没入方向の端部には、第１ロッド１２の径方向に沿って延び、平面部１２ａと第１ロッド１２の外周面とを繋ぐ段差部１２ｂが形成されている。
【００３２】
第１カム板２６は、板厚方向に位置する一対の平面の一方が第１ロッド１２の平面部１２ａに接触するとともに、板厚方向に対して直交する方向に位置する側面が第１ロッド１２の段差部１２ｂに接触した状態で、ボルト２８によって第１ロッド１２に連結されている。また、第１ロッド１２における没入方向に位置する軸方向端面１２ｅには、ワッシャ２９ａを介してボルト２９が螺合されている。そして、第１カム板２６は、ワッシャ２９ａと段差部１２ｂとによって挟み込まれており、第１ロッド１２に対する第１ロッド１２の軸方向での移動が規制されている。
【００３３】
なお、第２カム板２７における第２ロッド１３に対する連結構造は、図３を用いて説明した第１カム板２６における第１ロッド１２に対する連結構造と同じであるため、その詳細な説明を省略する。
【００３４】
図１に示すように、第１カム板２６及び第２カム板２７それぞれは、各軸受２４，２５に摺接するカム溝２６ａ，２７ａを有する。各カム溝２６ａ，２７ａは、平面視Ｕ字状である。第１カム板２６及び第２カム板２７それぞれは、各軸受２４，２５を介して出力回転体２１に接続されている。
【００３５】
第１カム板２６におけるカム溝２６ａとは反対側の端面には、第１遮光体３１が取り付けられている。第１遮光体３１は、第１カム板２６に取り付けられる板状の第１取付部３１ａと、第１取付部３１ａに連続するとともに第１取付部３１ａから折り曲げ形成される板状の第１遮光部３１ｂとを有する。第１遮光部３１ｂは、第１カム板２６よりも第１ロッド１２の没入方向側に位置する。
【００３６】
第１取付部３１ａは、第１ロッド１２の軸方向に延びる第１長孔３１ｈを有する。第１長孔３１ｈには二つの第１取付ボルト３１ｃが挿通されるとともに、二つの第１取付ボルト３１ｃが第１カム板２６におけるカム溝２６ａとは反対側の端面に螺合されることにより、第１取付部３１ａが第１カム板２６に取り付けられている。なお、二つの第１取付ボルト３１ｃにおける第１長孔３１ｈに対する挿通位置を調整することにより、第１遮光体３１の取付位置を調整することが可能になっている。
【００３７】
第２カム板２７におけるカム溝２７ａとは反対側の端面には、第２遮光体３２が取り付けられている。第２遮光体３２は、第２カム板２７に取り付けられる板状の第２取付部３２ａと、第２取付部３２ａに連続するとともに第２取付部３２ａから折り曲げ形成される板状の第２遮光部３２ｂとを有する。第２遮光部３２ｂは、第２カム板２７よりも第２ロッド１３の没入方向側に位置する。
【００３８】
第２取付部３２ａは、第２ロッド１３の軸方向に延びる第２長孔３２ｈを有する。第２長孔３２ｈには二つの第２取付ボルト３２ｃが挿通されるとともに、二つの第２取付ボルト３２ｃが第２カム板２７におけるカム溝２７ａとは反対側の端面に螺合されることにより、第２取付部３２ａが第２カム板２７に取り付けられている。なお、二つの第２取付ボルト３２ｃにおける第２長孔３２ｈに対する挿通位置を調整することにより、第２遮光体３２の取付位置を調整することが可能になっている。
【００３９】
また、エスケープメント装置１０は、投受光型の第１光センサ３３及び第２光センサ３４を有する。第１光センサ３３は、第１ロッド１２の軸方向に対向配置されるとともに、第２光センサ３４は、第２ロッド１３の軸方向に対向配置されている。
【００４０】
図４に示すように、第１光センサ３３は、光を出射する第１投光部３３ａと、第１投光部３３ａに対向配置されるとともに第１投光部３３ａから出射された光を受光する第１受光部３３ｂとを有する。そして、第１遮光体３１の第１遮光部３１ｂは、第１投光部３３ａと第１受光部３３ｂとの間を通過可能になっている。第１遮光部３１ｂが、第１投光部３３ａと第１受光部３３ｂとの間を通過すると、第１遮光部３１ｂは第１投光部３３ａから出射された光を遮光する。
【００４１】
第２光センサ３４は、光を出射する第２投光部３４ａと、第２投光部３４ａに対向配置されるとともに第２投光部３４ａから出射された光を受光する第２受光部３４ｂとを有する。そして、第２遮光体３２の第２遮光部３２ｂは、第２投光部３４ａと第２受光部３４ｂとの間を通過可能になっている。第２遮光部３２ｂが、第２投光部３４ａと第２受光部３４ｂとの間を通過すると、第２遮光部３２ｂは第２投光部３４ａから出射された光を遮光する。
【００４２】
図５（ａ）に示すように、モータハウジング１５は、モータハウジング１５に対して気密に固定されているモータ用防水コネクタ１５ｂと、センサ用コネクタ１５ｃとを備えている。モータハウジング１５内には、モータ用防水コネクタ１５ｂと電動機１９とを接続するモータ用ケーブルＣ１と、センサ用コネクタ１５ｃと第１光センサ３３とを接続する第１センサ用ケーブルＣ２と、センサ用コネクタ１５ｃと第２光センサ３４とを接続する第２センサ用ケーブルＣ３とが設けられている。
【００４３】
モータ用ケーブルＣ１の一端はモータ用防水コネクタ１５ｂに接続されるとともに、モータ用ケーブルＣ１の他端は電動機１９のケーブル接続部１９ｃに接続されている。第１センサ用ケーブルＣ２の一端はセンサ用コネクタ１５ｃに接続されるとともに、第１センサ用ケーブルＣ２の他端は、モータハウジング１５内からケーブル挿通孔１４ｐを介して空間１４ｋに挿通されて、第１光センサ３３に接続されている。第２センサ用ケーブルＣ３の一端はセンサ用コネクタ１５ｃに接続されるとともに、第２センサ用ケーブルＣ３の他端は、モータハウジング１５内からケーブル挿通孔１４ｐを介して空間１４ｋに挿通されて、第２光センサ３４に接続されている。
【００４４】
本体ハウジング１４において、第１ロッド１２及び第２ロッド１３が本体ハウジング１４に対して出没される側の端面には、取付板１４ｅが設けられている。取付板１４ｅは、ブロック体１４１の端面に対してボルト１４１ｅによって固定されている。取付板１４ｅは、後述する生産ラインの一部であるベルトコンベアに対してエスケープメント装置１０を最適な位置に取り付けるために用いられる。具体的には、ベルトコンベアの側面には、固定用の溝があり、取付板１４ｅに形成される複数の孔１４２ｅを、ベルトコンベアの溝に挿入されたナットにねじ固定することによりエスケープメント装置１０がベルトコンベアに対して取り付けられる。
【００４５】
図２、図３、図４及び図５（ａ）に示すように、本体ハウジング１４は、不活性ガスを本体ハウジング１４内に供給するために用いられるガス供給用ポート１４ｃを有する。本実施形態のガス供給用ポート１４ｃは、底壁１４２を貫通する孔１４１ｃと、ブロック体１４１の底面に凹設されるとともに孔１４１ｃに連通する溝１４２ｃとから構成されている。溝１４２ｃは、空間１４ｋに連通している。孔１４１ｃには、継手１４３ｃが取り付けられている。継手１４３ｃには、不活性ガスの供給源Ｐ１が接続されている。そして、空間１４ｋには、供給源Ｐ１からガス供給用ポート１４ｃを介して不活性ガスが供給されている。
【００４６】
また、本体ハウジング１４は、本体ハウジング１４内の圧力を検出するために用いられる圧力検出用ポート１４ｄを有する。本実施形態の圧力検出用ポート１４ｄは、底壁１４２を貫通する孔１４１ｄと、ブロック体１４１の底面に凹設されるとともに孔１４１ｄに連通する溝１４２ｄとから構成されている。溝１４２ｄは、空間１４ｋに連通している。また、図５（ｂ）に示すように、孔１４１ｄには、継手１４３ｄが取り付けられている。継手１４３ｄには、圧力検出用ポート１４ｄを介してモータハウジング１５の内部及び空間１４ｋの圧力を検出する検出部Ｐ２が接続されている。本実施形態では、圧力検出用ポート１４ｄを介したモータハウジング１５の内部及び空間１４ｋの圧力の検出が検出部Ｐ２によって行われることにより、モータハウジング１５の内部及び空間１４ｋの圧力が陽圧に維持されている。
【００４７】
次に、第１の実施形態の作用について説明する。
モータ用防水コネクタ１５ｂ及びセンサ用コネクタ１５ｃは、図示しない専用コントローラに接続されている。専用コントローラ内のＣＰＵには、図６の動作をするための制御プログラムが内蔵されている。電動機１９が外力により停止した場合など、異常を検出した場合は、専用コントローラから上位制御装置へ異常信号を発信する。上位制御装置からの動作開始信号ＳＧ１，ＳＧ２を専用コントローラが受けることにより以下のように電動機１９を制御する。
【００４８】
図６の実線Ｌ１０は、電動機１９の出力軸１９ａの回転角度の変化を示している。
図７に示すように、第１投光部３３ａから出射された光が第１遮光部３１ｂに遮光されており、第２投光部３４ａから出射された光が第２受光部３４ｂに受光されている状態で、電動機１９の駆動制御に用いられる動作開始信号ＳＧ１がＬＯＷになったとする。すると、電動機１９が駆動して、出力軸１９ａが、電動機１９の出力軸１９ａ側から見て時計回りに一定の速度で回転する。そして、出力回転体２１が出力軸１９ａと一体的に時計回りへ回転し、各軸受用支柱２２，２３が出力回転体２１の回転に伴い出力軸１９ａの周囲を移動する。すると、軸受２４とカム溝２６ａとが摺接しながら第１ロッド１２が第１カム板２６を介して本体ハウジング１４に対して突出方向に移動し、軸受２５とカム溝２７ａとが摺接しながら第２ロッド１３が第２カム板２７を介して本体ハウジング１４に対して没入方向に移動する。
【００４９】
第１ロッド１２が没入位置から本体ハウジング１４に対して突出方向に移動し始めると、第１遮光体３１も第１ロッド１２と一体的に突出方向に移動するため、第１投光部３３ａから出射された光が第１遮光部３１ｂに遮光されなくなり、第１光センサ３３の第１投光部３３ａから出射された光が第１受光部３３ｂに受光されるようになる。
【００５０】
図８に示すように、第２ロッド１３が突出位置から本体ハウジング１４に対して没入方向に移動していくと、第２遮光体３２の第２遮光部３２ｂが、第２投光部３４ａと第２受光部３４ｂとの間を通過し、第２光センサ３４の第２投光部３４ａから出射された光が第２遮光部３２ｂに遮光される。これにより、第１光センサ３３の第１投光部３３ａから出射された光が第１受光部３３ｂに受光されており、第２光センサ３４の第２投光部３４ａから出射された光が第２遮光部３２ｂに遮光された状態となる。
【００５１】
図６に示すように、第１投光部３３ａからの光が第１受光部３３ｂに受光され、第２投光部３４ａからの光が第２遮光部３２ｂに遮光された状態となると、出力軸１９ａの減速が開始され、予め設定されたパルス数で停止する。これにより、第１ロッド１２が本体ハウジング１４に対して突出位置に位置するとともに、第２ロッド１３が本体ハウジング１４に対して没入位置に位置する。
【００５２】
図８に示すように、第１投光部３３ａから出射された光が第１受光部３３ｂに受光されており、第２投光部３４ａから出射された光が第２遮光部３２ｂに遮光されている状態で、電動機１９の駆動制御に用いられる動作開始信号ＳＧ２がＬＯＷになると、電動機１９が駆動して、出力軸１９ａが反時計回りに一定の速度で回転する。そして、出力回転体２１が出力軸１９ａと一体的に反時計回りへ回転し、各軸受用支柱２２，２３が出力回転体２１の回転に伴い出力軸１９ａの周囲を出力軸１９ａの時計回りへの回転時とは逆方向へ移動する。すると、軸受２４とカム溝２６ａとが摺接しながら第１ロッド１２が第１カム板２６を介して本体ハウジング１４に対して没入方向に移動し、軸受２５とカム溝２７ａとが摺接しながら第２ロッド１３が第２カム板２７を介して本体ハウジング１４に対して突出方向に移動する。
【００５３】
第２ロッド１３が没入位置から本体ハウジング１４に対して突出方向に移動し始めると、第２遮光体３２も第２ロッド１３と一体的に突出方向に移動するため、第２投光部３４ａから出射された光が第２遮光部３２ｂに遮光されなくなり、第２光センサ３４の第２投光部３４ａから出射された光が第２受光部３４ｂに受光されるようになる。
【００５４】
図７に示すように、第１ロッド１２が突出位置から本体ハウジング１４に対して没入方向に移動していくと、第１遮光体３１の第１遮光部３１ｂが、第１投光部３３ａと第１受光部３３ｂとの間を通過し、第１光センサ３３の第１投光部３３ａから出射された光が第１遮光部３１ｂに遮光される。これにより、第１光センサ３３の第１投光部３３ａから出射された光が第１遮光部３１ｂに遮光されており、第２光センサ３４の第２投光部３４ａから出射された光が第２受光部３４ｂに受光された状態となる。
【００５５】
図６に示すように、第１投光部３３ａからの光が第１遮光部３１ｂに遮光され、第２投光部３４ａからの光が第２受光部３４ｂに受光された状態となると、出力軸１９ａの減速が開始され、予め設定されたパルス数で停止する。これにより、第１ロッド１２が本体ハウジング１４に対して没入位置に位置するとともに、第２ロッド１３が本体ハウジング１４に対して突出位置に位置する。
【００５６】
このように、本実施形態のエスケープメント装置１０は、第１貫通孔１６ａで第１ロッド１２が突出することに伴い、第２貫通孔１６ｂで第２ロッド１３が没入する。そして、第１貫通孔１６ａを介した第１ロッド１２の突出量と第２貫通孔１６ｂを介した第２ロッド１３の没入量とが同じである。
【００５７】
図９（ａ）に示すように、このようなエスケープメント装置１０は、例えば、生産ラインの一部において、搬送路Ｒ１（例えばベルトコンベア）上を流れる複数のワークＷ１（例えばパレット）の流れを一旦停止させて、ワークＷ１の流れ方向の最も下流側に位置するワークＷ１だけを搬送路Ｒ１上で送出する際に用いられる。例えば、エスケープメント装置１０は、第１ロッド１２が、第２ロッド１３よりもワークＷ１の流れ方向（図９において矢印Ｘ１で示す方向）の下流側に位置するように、搬送路Ｒ１に対して配置される。そして、第１ロッド１２及び第２ロッド１３は、搬送路Ｒ１上を流れるワークＷ１の流れ方向に対して直交する方向に出没する。
【００５８】
ワークＷ１は四角ブロック状であり、四つの角部のうち、ワークＷ１の外周面に沿った周方向で隣り合う二つの角部には、切欠きＷ２がそれぞれ形成されている。ワークＷ１における両切欠きＷ２によって挟まれた幅Ｈ１は、第１ロッド１２の先端と第２ロッド１３の先端との間の幅Ｈ２よりも小さい。ワークＷ１は、切欠きＷ２がエスケープメント装置１０に対向配置されるように搬送路Ｒ１上を流れる。
【００５９】
そして、第１ロッド１２が突出位置に到達すると、第１ロッド１２の先端が搬送路Ｒ１上に突出して、ワークＷ１の流れ方向の最も下流側に位置するワークＷ１が第１ロッド１２に当接する。これにより、搬送路Ｒ１上を流れる複数のワークＷ１の流れが一旦停止される。
【００６０】
図９（ｂ）に示すように、第１ロッド１２が本体ハウジング１４に対して没入方向に移動するとともに第２ロッド１３が本体ハウジング１４に対して突出方向に移動する。そして、第１ロッド１２及び第２ロッド１３における本体ハウジング１４に対する突出量が一致したときに、第１ロッド１２及び第２ロッド１３の先端が、搬送路Ｒ１上を流れるワークＷ１に対してワークＷ１における搬送路Ｒ１上の流れ方向で重なっている。このとき、第１ロッド１２及び第２ロッド１３の先端は、ワークＷ１の各切欠きＷ２内に位置している。
【００６１】
図９（ｃ）に示すように、第１ロッド１２が没入位置に到達するとともに第２ロッド１３が突出位置に到達すると、第１ロッド１２の先端が、搬送路Ｒ１上を流れるワークＷ１に対してワークＷ１における搬送路Ｒ１上の流れ方向で重ならなくなる。これにより、ワークＷ１の流れ方向の最も下流側に位置するワークＷ１だけが搬送路Ｒ１上で送出される。
【００６２】
第１の実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）電動機１９の駆動による出力軸１９ａの回転運動を変換機構２０によって第１ロッド１２及び第２ロッド１３の往復直線運動に変換することにより、第１ロッド１２及び第２ロッド１３が本体ハウジング１４に対して出没方向に移動する。よって、例えば、従来技術のエスケープメント装置のように、各シリンダ室に対する流体の給排によって、二つのロッドの動作を制御する構成のように、各シリンダ室に供給される流体がハウジングから外部へ洩れないようにするためのシール構造を必要とせず、耐久性に優れる。また、第１貫通孔１６ａを介した第１ロッド１２の突出量と第２貫通孔１６ｂを介した第２ロッド１３の没入量とが同じである。このため、第１ロッド１２及び第２ロッド１３における本体ハウジング１４に対する出没動作が行われても、モータハウジング１５の内部及び空間１４ｋの容積変化が無く、モータハウジング１５の内部及び空間１４ｋの圧力の変化が無い。よって、モータハウジング１５の内部及び空間１４ｋとハウジング１１の外部との間での流体の出入りが生じないため、塵埃等が発生する悪環境下でエスケープメント装置１０が使用されても、ハウジング１１の外部の塵埃等がハウジング１１内に引き込まれることが抑制される。したがって、塵埃等が電動機１９の駆動に悪影響を及ぼすことが回避され、塵埃等が発生する悪環境下であっても安定した動作を行うことができる。
【００６３】
（２）第１貫通孔１６ａと第１ロッド１２との間、及び第２貫通孔１６ｂと第２ロッド１３との間には、第１ロッド１２の外周面又は第２ロッド１３の外周面に付着した塵埃等を掻き取るスクレーパ１８ａ，１８ｂが設けられている。これによれば、第１ロッド１２の外周面又は第２ロッド１３の外周面に付着した塵埃等が、ハウジング１１内に侵入してしまうことを抑制することができる。
【００６４】
（３）変換機構２０は、出力回転体２１と、出力回転体２１に支持される一対の軸受用支柱２２，２３と、各軸受用支柱２２，２３に固定される軸受２４，２５と、第１ロッド１２に連結される第１カム板２６と、第２ロッド１３に連結される第２カム板２７とを備えている。第１カム板２６及び第２カム板２７それぞれは、各軸受２４，２５に摺接するカム溝２６ａ，２７ａを有し、各軸受２４，２５を介して出力回転体２１に接続されている。このような構成は、電動機１９の駆動による出力軸１９ａの回転運動を第１ロッド１２及び第２ロッド１３の往復直線運動に変換する構成として好適である。
【００６５】
（４）出力回転体２１は、第１カム板２６の一部及び第２カム板２７の一部を第１カム板２６及び第２カム板２７の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置される一対の規制部２１ａ，２１ｂを有している。これによれば、第１ロッド１２及び第２ロッド１３が円柱状であっても、一対の規制部２１ａ，２１ｂによって、第１カム板２６を介した第１ロッド１２の回転、及び第２カム板２７を介した第２ロッド１３の回転を規制することができる。
【００６６】
例えば、第１ロッド１２及び第２ロッド１３を角型柱状にすることにより、第１ロッド１２及び第２ロッド１３の回転を容易に規制することができるが、シール性を向上させるためには角型のシール部材が必要となる。角型のシール部材は、第１ロッド１２及び第２ロッド１３に作用する圧力が一定になり難く、シール性が悪化するとともに耐久性も劣ることになる。よって、第１ロッド１２及び第２ロッド１３を円柱状に構成することができるため、コストを下げるとともに、シール性、摺動性及び耐荷重性を向上させることができる。また、一対の規制部２１ａ，２１ｂによって第１カム板２６及び第２カム板２７を挟み込んでいるため、第１カム板２６及び第２カム板２７を小型化しても高い剛性を得ることができる。
【００６７】
（５）第１ロッド１２及び第２ロッド１３における本体ハウジング１４に対する突出量が一致したときに、第１ロッド１２及び第２ロッド１３の先端が、搬送路Ｒ１上を流れるワークＷ１に対してワークＷ１における搬送路Ｒ１上の流れ方向で重なっている。これによれば、例えば、生産ラインの一部において、搬送路Ｒ１上を流れる複数のワークＷ１の流れを一旦停止させて、ワークＷ１の流れ方向の最も下流側に位置するワークＷ１だけを搬送路Ｒ１上で送出する際に用いられるエスケープメント装置１０として用いることができる。また、例えば、第１ロッド１２が停止中に第２ロッド１３が動作するという構造に比べて、停止時間が削減できるため、タクトタイムの高速化が実現できる。
【００６８】
（６）本体ハウジング１４は、不活性ガスを本体ハウジング１４内に供給するために用いられるガス供給用ポート１４ｃを有する。これによれば、モータハウジング１５の内部及び空間１４ｋの圧力を陽圧にすることができるため、拡散を伴う気体状の異物の侵入でも有効に阻止することができる。また、毛細管現象による液体の侵入阻止にも利用することができる。さらには、ガス供給用ポート１４ｃから不活性ガスを本体ハウジング１４に供給しなくても、ガス供給用ポート１４ｃを、モータハウジング１５の内部及び空間１４ｋにおける気密の確認用のポートとして使用することもできる。また、内部空間の容積変化が生じない構成との併用により、内圧が安定するとともに、調圧器の調圧動作での流量消費が低減される。
【００６９】
（７）本体ハウジング１４は、本体ハウジング１４内の圧力を検出するために用いられる圧力検出用ポート１４ｄを有する。これによれば、万一、不活性ガスの供給が停止した場合や、シール箇所の破損などにより、モータハウジング１５の内部及び空間１４ｋの圧力が陽圧に維持できなくなった場合においても、制御装置側で圧力検出用ポート１４ｄに接続した検出部Ｐ２で内部の圧力をモニタリングすることにより異常を検出し、生産ラインを自動的に停止することができる。この機能により粉塵や結露などの影響から機器の耐久性の確保のみならず、引火性ガスなどの雰囲気の侵入による火災などの重大な事故を未然に防止することができる。
【００７０】
（８）各スクレーパ１８ａ，１８ｂは、第１貫通孔１６ａと第１ロッド１２との間、又は第２貫通孔１６ｂと第２ロッド１３との間をシールするシール機能も有している。これによれば、ハウジング１１の外部の塵埃等がハウジング１１内に引き込まれることをさらに抑制し易くすることができる。
【００７１】
（９）本実施形態によれば、第１ロッド１２及び第２ロッド１３における本体ハウジング１４に対する出没動作が行われても、モータハウジング１５の内部及び空間１４ｋの容積変化が無く、モータハウジング１５の内部及び空間１４ｋの圧力の変化が無い。よって、モータハウジング１５の内部及び空間１４ｋとハウジング１１の外部との間での流体の出入りが生じ難く、塵埃等が発生する悪環境下でエスケープメント装置１０が使用されても、ハウジング１１の外部の塵埃等がハウジング１１内に引き込まれることが抑制される。このため、スクレーパ１８ａ，１８ｂにおける第１ロッド１２及び第２ロッド１３に対するシール面圧を下げても、ハウジング１１の外部の塵埃等がハウジング１１内に引き込まれ難い。よって、スクレーパ１８ａ，１８ｂにおける第１ロッド１２及び第２ロッド１３に対するシール面圧が高い場合に比べて、第１ロッド１２及び第２ロッド１３の動作をスムーズにすることができる。
【００７２】
（第２の実施形態）
以下、アクチュエータをストッパ装置の一種であるエスケープメント装置に具体化した第２の実施形態を図１０〜図１４にしたがって説明する。なお、以下に説明する実施形態では、既に説明した第１の実施形態と同一構成について同一符号を付すなどして、その重複する説明を省略又は簡略する。第２の実施形態では、第１の実施形態に比べて、第１ロッド１２の先端と第２ロッド１３の先端との間の幅が大きい。
【００７３】
図１０に示すように、変換機構４０は、出力軸１９ａと一体的に回転する出力回転体４１と、出力回転体４１に支持される出力リンク支柱４２と、本体ハウジング１４に支持される支持軸４３と、支持軸４３に対して回転する従動回転体４４と、従動回転体４４に支持される従動リンク支柱４５とを備えている。
【００７４】
図１１に示すように、支持軸４３の一端部は、ブロック体１４１に取り付けられる支持板４３ａに支持されるとともに、他端部は底壁１４２に支持されている。
図１０に示すように、変換機構４０は、出力リンク支柱４２に一端部が揺動可能に支持されるとともに従動リンク支柱４５に他端部が揺動可能に支持されるリンク部４６を備えている。さらに、変換機構４０は、出力回転体４１に支持される出力側軸受用支柱４７と、出力側軸受用支柱４７に固定されるフォロワーとしての出力側軸受４８と、従動回転体４４に支持される従動側軸受用支柱４９と、従動側軸受用支柱４９に固定されるフォロワーとしての従動側軸受５０とを備えている。出力側軸受４８及び従動側軸受５０は、内輪、外輪及び玉を有する玉軸受である。
【００７５】
また、変換機構４０は、第２ロッド１３に連結される出力側カム板５１と、第１ロッド１２に連結される従動側カム板５２とを備えている。出力側カム板５１は、出力側軸受４８に摺接する出力側カム溝５１ａを有する。そして、出力側カム板５１は、出力側軸受４８を介して出力回転体４１に接続されている。また、従動側カム板５２は、従動側軸受５０に摺接する従動側カム溝５２ａを有する。そして、従動側カム板５２は、従動側軸受５０を介して従動回転体４４に接続されている。
【００７６】
図１１に示すように、出力回転体４１は、出力側カム板５１の一部を出力側カム板５１の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置される略円板状の一対の出力側規制部４１ａを有する。一対の出力側規制部４１ａは、出力側カム板５１を介した第２ロッド１３の回転を規制する。一対の出力側規制部４１ａには、出力側軸受用支柱４７の両端部が挿入される円孔状の挿入孔４１ｂがそれぞれ形成されている。出力側軸受用支柱４７は、出力側軸受用支柱４７の両端部が各挿入孔４１ｂに挿入されることにより、一対の出力側規制部４１ａに両持ち支持されている。出力側軸受４８は、一対の出力側規制部４１ａの間に配置されている。
【００７７】
従動回転体４４は、従動側カム板５２の一部を従動側カム板５２の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置される略円板状の一対の従動側規制部４４ａを有する。一対の従動側規制部４４ａは、従動側カム板５２を介した第１ロッド１２の回転を規制する。一対の従動側規制部４４ａには、従動側軸受用支柱４９の両端部が挿入される円孔状の挿入孔４４ｂがそれぞれ形成されている。従動側軸受用支柱４９は、従動側軸受用支柱４９の両端部が各挿入孔４４ｂに挿入されることにより、一対の従動側規制部４４ａに両持ち支持されている。従動側軸受５０は、一対の従動側規制部４４ａの間に配置されている。
【００７８】
図１０に示すように、出力リンク支柱４２は、出力回転体４１の回転に伴い出力軸１９ａの周囲を移動する。従動リンク支柱４５は、従動回転体４４の回転に伴い支持軸４３の周囲を出力リンク支柱４２の回転位相と同じ位相位置で移動する。リンク部４６は、出力リンク支柱４２に回動可能に支持される第１支持部４６ａと、従動リンク支柱４５に回動可能に支持される第２支持部４６ｂと、第１支持部４６ａと第２支持部４６ｂとを直線的に繋ぐ長板状の連繋部４６ｃとを有する。
【００７９】
図１２に示すように、第１支持部４６ａは、出力リンク支柱４２の軸線方向において、出力側軸受４８を挟み込む一対の出力側規制部４１ａに挟み込まれている。よって、第１支持部４６ａは、出力リンク支柱４２の軸線方向において一対の出力側規制部４１ａに挟み込まれて出力側軸受４８と同一平面上に配置されている。一対の出力側規制部４１ａには、出力リンク支柱４２の両端部が挿入される円孔状の挿入孔４１ｃがそれぞれ形成されている。出力リンク支柱４２は、出力リンク支柱４２の両端部が各挿入孔４１ｃに挿入されることにより、一対の出力側規制部４１ａに両持ち支持されている。出力リンク支柱４２に固定されるベアリング４２ａは、一対の出力側規制部４１ａの間に配置されている。第１支持部４６ａは、ベアリング４２ａを介して出力リンク支柱４２に回動可能に支持されている。
【００８０】
第２支持部４６ｂは、従動リンク支柱４５の軸線方向において、従動側軸受５０を挟み込む一対の従動側規制部４４ａに挟み込まれている。よって、第２支持部４６ｂは、従動リンク支柱４５の軸線方向において一対の従動側規制部４４ａに挟み込まれて従動側軸受５０と同一平面上に配置されている。一対の従動側規制部４４ａには、従動リンク支柱４５の両端部が挿入される円孔状の挿入孔４４ｃがそれぞれ形成されている。従動リンク支柱４５は、従動リンク支柱４５の両端部が各挿入孔４４ｃに挿入されることにより、一対の従動側規制部４４ａに両持ち支持されている。従動リンク支柱４５に固定されるベアリング４５ａは、一対の従動側規制部４４ａの間に配置されている。第２支持部４６ｂは、ベアリング４５ａを介して従動リンク支柱４５に回動可能に支持されている。
【００８１】
図１０に示すように、連繋部４６ｃは、出力リンク支柱４２及び従動リンク支柱４５の軸線方向から見たときに、出力リンク支柱４２の中心軸線Ｌ１と従動リンク支柱４５の中心軸線Ｌ２とを繋ぐ仮想直線Ｌ３から出力軸１９ａ及び支持軸４３に対して離れるようにオフセットしている。
【００８２】
次に、第２の実施形態の作用について説明する。
図１３に示す状態から、電動機１９が駆動して、出力軸１９ａが時計回りに回転すると、出力回転体４１が出力軸１９ａと一体的に時計回りへ回転し、出力リンク支柱４２が、出力回転体４１の回転に伴い出力軸１９ａの周囲を移動し、リンク部４６が出力回転体４１の回転に伴い従動回転体４４に向けて移動する。これにより、従動リンク支柱４５が、支持軸４３の周囲を出力リンク支柱４２の回転位相と同じ位相位置で移動し、従動回転体４４が出力回転体４１と同期して回転する。
【００８３】
図１４に示すように、出力側軸受用支柱４７が出力回転体４１の回転に伴い出力軸１９ａの周囲を移動するとともに、従動側軸受用支柱４９が従動回転体４４の回転に伴い支持軸４３の周囲を移動する。すると、従動側軸受５０と従動側カム溝５２ａとが摺接しながら第１ロッド１２が従動側カム板５２を介して本体ハウジング１４に対して突出方向に移動し、出力側軸受４８と出力側カム溝５１ａとが摺接しながら第２ロッド１３が出力側カム板５１を介して本体ハウジング１４に対して没入方向に移動する。
【００８４】
図１４に示す状態から、電動機１９が駆動して、出力軸１９ａが反時計回りに回転すると、出力回転体４１が出力軸１９ａと一体的に反時計回りへ回転する。そして、出力リンク支柱４２が、出力回転体４１の回転に伴い出力軸１９ａの周囲を出力軸１９ａの時計回りへの回転時とは逆方向へ移動し、リンク部４６が出力回転体４１の回転に伴い出力回転体４１に向けて移動する。これにより、従動リンク支柱４５が、支持軸４３の周囲を出力リンク支柱４２の回転位相と同じ位相位置で出力軸１９ａの時計回りへの回転時とは逆方向へ移動し、従動回転体４４が出力回転体４１と同期して出力軸１９ａの時計回りへの回転時とは逆方向へ回転する。
【００８５】
図１３に示すように、出力側軸受用支柱４７が出力回転体４１の回転に伴い出力軸１９ａの周囲を出力軸１９ａの時計回りへの回転時とは逆方向へ移動するとともに、従動側軸受用支柱４９が従動回転体４４の回転に伴い支持軸４３の周囲を出力軸１９ａの時計回りへの回転時とは逆方向へ移動する。すると、従動側軸受５０と従動側カム溝５２ａとが摺接しながら第１ロッド１２が従動側カム板５２を介して本体ハウジング１４に対して没入方向に移動し、出力側軸受４８と出力側カム溝５１ａとが摺接しながら第２ロッド１３が出力側カム板５１を介して本体ハウジング１４に対して突出方向に移動する。
【００８６】
したがって、第２の実施形態によれば、第１の実施形態の効果（１）、（２）、（５）〜（９）と同様の効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
（１０）第１ロッド１２と第２ロッド１３との間隔はワークＷ１のサイズに合わせる必要があるため、第１の実施形態の場合、ワークＷ１のサイズが大きくなると、第１カム板２６及び第２カム板２７の長さはワークＷ１のサイズに合わせて長くする必要がある。第１カム板２６及び第２カム板２７の長さが長くなると、軸受２４，２５を介してカム溝２６ａ，２７ａから第１ロッド１２又は第２ロッド１３に加わる推力は、軸受２４，２５とカム溝２６ａ，２７ａとの接触位置に生じる力点と第１ロッド１２又は第２ロッド１３のストローク中心の位置がずれる。このため、滑り軸受１７ａ，１７ｂに加わる力が増大し、滑り軸受１７ａ，１７ｂとの摩擦力が増大して第１ロッド１２又は第２ロッド１３の推力が減少する。また、第１ロッド１２及び第２ロッド１３と第１カム板２６及び第２カム板２７との結合部には、強い繰り返しのモーメントが働くため、第１カム板２６及び第２カム板２７の長さが長くなると、第１ロッド１２及び第２ロッド１３と第１カム板２６及び第２カム板２７との結合部の変形、摩耗、ねじの緩みなどにより耐久性に問題が生じる。
【００８７】
第１ロッド１２及び第２ロッド１３と第１カム板２６及び第２カム板２７との結合部に最も強いモーメントが加わる状況は、第１ロッド１２又は第２ロッド１３が突出したときに何らかの異常により、ワークＷ１に第１ロッド１２又は第２ロッド１３の先端部が衝突した場合である。そのような状況でも第１ロッド１２及び第２ロッド１３と第１カム板２６及び第２カム板２７との接合強度を確保するため、第１カム板２６及び第２カム板２７の長さは極力短くする必要がある。ちなみに、第１ロッド１２又は第２ロッド１３の中心からカム溝２６ａ，２７ａの軸受２４，２５との接点との距離は、第１ロッド１２及び第２ロッド１３の径に対し３倍以下にすることが望ましい。
【００８８】
第２の実施形態によれば、ワークＷ１のサイズが大きくなっても、第１の実施形態の第１カム板２６及び第２カム板２７に相当する出力側カム板５１及び従動側カム板５２の長さを長くすることなく、リンク部４６の長さをワークＷ１のサイズに合わせて変更することで対応することができ、電動機１９の配置方向の変更を容易にし、その他の構成部品も共用することができる。
【００８９】
（１１）第１ロッド１２及び第２ロッド１３が円柱状であっても、一対の出力側規制部４１ａ及び一対の従動側規制部４４ａによって、出力側カム板５１を介した第２ロッド１３の回転、及び従動側カム板５２を介した第１ロッド１２の回転を規制することができる。例えば、第１ロッド１２及び第２ロッド１３を角型柱状にすることにより、第１ロッド１２及び第２ロッド１３の回転を容易に規制することができるが、シール性を向上させるためには角型のシール部材が必要となる。角型のシール部材は、第１ロッド１２及び第２ロッド１３に作用する圧力が一定になり難く、シール性が悪化するとともに耐久性も劣ることになる。よって、第１ロッド１２及び第２ロッド１３を円柱状に構成することができるため、コストを下げるとともに、シール性、摺動性及び耐荷重性を向上させることができる。また、一対の出力側規制部４１ａ及び一対の従動側規制部４４ａによって出力側カム板５１及び従動側カム板５２を挟み込んでいるため、出力側カム板５１及び従動側カム板５２を小型化しても高い剛性を得ることができる。
【００９０】
（１２）連繋部４６ｃは、出力リンク支柱４２及び従動リンク支柱４５の軸線方向から見たときに、出力リンク支柱４２の中心軸線Ｌ１と従動リンク支柱４５の中心軸線Ｌ２とを繋ぐ仮想直線Ｌ３から出力軸１９ａ及び支持軸４３に対して離れるようにオフセットしている。これによれば、第１支持部４６ａが出力側軸受４８を挟み込む一対の出力側規制部４１ａに挟み込まれており、第２支持部４６ｂが従動側軸受５０を挟み込む一対の従動側規制部４４ａに挟み込まれていても、連繋部４６ｃが移動したときに、連繋部４６ｃが出力リンク支柱４２及び従動リンク支柱４５に干渉してしまうことを回避することができる。よって、リンク部４６を、出力リンク支柱４２及び従動リンク支柱４５の軸方向において出力回転体４１及び従動回転体４４よりも上部に配置する必要が無く、出力リンク支柱４２及び従動リンク支柱４５の軸方向での体格を小型化することができる。このように（４）と合わせて小型化することで、異物侵入部を最小化することができる。
【００９１】
なお、上記各実施形態は以下のように変更してもよい。
・  上記各実施形態において、本体ハウジング１４は、圧力検出用ポート１４ｄを有していなくてもよい。
【００９２】
・  上記各実施形態において、本体ハウジング１４は、ガス供給用ポート１４ｃ及び圧力検出用ポート１４ｄを有していなくてもよい。
・  第２の実施形態において、リンク部４６が、出力リンク支柱４２及び従動リンク支柱４５の軸方向において出力回転体４１及び従動回転体４４の上部に配置されていてもよい。
【００９３】
・  第２の実施形態において、連繋部４６ｃが、出力リンク支柱４２及び従動リンク支柱４５の軸線方向から見たときに、出力リンク支柱４２の中心軸線Ｌ１と従動リンク支柱４５の中心軸線Ｌ２とを繋ぐ仮想直線Ｌ３から出力軸１９ａ及び支持軸４３に対して離れるようにオフセットしていなくてもよい。
【００９４】
・  上記各実施形態において、ロッド１２，１３が、例えば、角型柱状であってもよい。
・  上記各実施形態において、滑り軸受１７ａと第１ロッド１２との間にスクレーパ１８ａが設けられていてもよいし、滑り軸受１７ｂと第２ロッド１３との間にスクレーパ１８ｂが設けられていてもよい。
【００９５】
・  上記各実施形態において、スクレーパ１８ａ，１８ｂ、及び気密性の程度を決める本体部１４ａとカバー１４ｂとの隙間のシールは、環境の悪影響を防止できるシールであればよい。例えば、塵埃の侵入を防止する場合は、各シール部は塵埃の大きさ以下の隙間であればよい。塵埃が大きい場合は、スクレーパ１８ａ，１８ｂは不要であるとともに、本体部１４ａとカバー１４ｂとのシール及びコーキング材Ｓ１は不要であり、隙間は塵埃の大きさ以下の隙間に設定できればよい。そして、ガス供給用ポート１４ｃ及び圧力検出用ポート１４ｄを省略することもできる。塵埃の大きさによっては、動作によるモータハウジング１５の内部及び空間１４ｋの圧力の変化が無いため、隙間開口部を下部に配置することでも機能が満足される。隙間を構成する本体ハウジング１４、及び本体部１４ａとカバー１４ｂとの接合部のねじ固定は、両者が外れない程度であれば機能が満足される。
【００９６】
・  上記各実施形態において、アクチュエータはロッドを１本備え、ハウジングは、ロッドの一端部が貫通する貫通孔と、他端部が貫通する貫通孔との二つを有し、二つの貫通孔の一方を介したロッドの一端部の突出量と二つの貫通孔の他方を介したロッドの没入量とが同じである構成であってもよい。
【００９７】
・  上記各実施形態において、カバー１４ｂと本体部１４ａとの間や、モータハウジング１５と本体ハウジング１４との間に隙間があってもよい。この場合、これらの隙間は、塵埃等がハウジング１１内に侵入できない程度の隙間である。
【００９８】
・  上記各実施形態において、フォロワーとしての軸受２４，２５、出力側軸受４８及び従動側軸受５０は、ニードル軸受、滑り軸受などの玉軸受以外の軸受であってもよい。
・  上記各実施形態において、電動機１９の種類は特に限定されるものではなく、例えば、サーボモータであってもよい。
【００９９】
・  上記各実施形態において、アクチュエータを、エスケープメント装置１０以外のストッパ装置に具体化してもよい。
・  上記各実施形態において、アクチュエータを、ストッパ装置以外の用途として使用してもよい。
【符号の説明】
【０１００】
Ｒ１…搬送路、Ｗ１…ワーク、１０…エスケープメント装置（アクチュエータ）、１１…ハウジング、１２，１３…ロッド、１４ｃ…ガス供給用ポート、１４ｄ…圧力検出用ポート、１６ａ，１６ｂ…貫通孔、１８ａ，１８ｂ…スクレーパ、１９…電動機、１９ａ…出力軸、２０，４０…変換機構、２１，４１…出力回転体、２１ａ，２１ｂ…一対の規制部、２２，２３…軸受用支柱、２４，２５…軸受、２６…第１カム板、２６ａ，２７ａ…カム溝、２７…第２カム板、４１ａ…一対の出力側規制部、４２…出力リンク支柱、４３…支持軸、４４…従動回転体、４４ａ…一対の従動側規制部、４５…従動リンク支柱、４６…リンク部、４６ａ…第１支持部、４６ｂ…第２支持部、４６ｃ…連繋部、４７…出力側軸受用支柱、４８…出力側軸受、４９…従動側軸受用支柱、５０…従動側軸受、５１…出力側カム板、５１ａ…出力側カム溝、５２…従動側カム板、５２ａ…従動側カム溝。
【図１】
2018011448.tif 000003
【図２】
2018011448.tif 000004
【図３】
2018011448.tif 000005
【図４】
2018011448.tif 000006
【図５】
2018011448.tif 000007
【図６】
2018011448.tif 000008
【図７】
2018011448.tif 000009
【図８】
2018011448.tif 000010
【図９】
2018011448.tif 000011
【図１０】
2018011448.tif 000012
【図１１】
2018011448.tif 000013
【図１２】
2018011448.tif 000014
【図１３】
2018011448.tif 000015
【図１４】
2018011448.tif 000016