(57)【要約】【課題】本発明では、平板状の圧電基板に形成される励振電極の周囲に寸法が適切に調整された傾斜が形成されることにより不要振動が抑えられた圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。【解決手段】圧電振動片（１４０）は、平板状に形成され厚みすべり振動で振動する圧電基板（１４１）と、圧電基板の両主面にそれぞれ形成される励振電極（１４２）と、を含む。励振電極は、一定の厚さで形成される主厚部（１４２ａ）及び主厚部の周囲に形成され主厚部に接する部分から励振電極の最外周にかけて厚さが徐々に薄くなるように形成される傾斜部（１４２ｂ）を有し、傾斜部の幅である傾斜幅が、不要振動である屈曲振動の波長である屈曲波長の０．５倍以上３倍以下の長さに形成される。【選択図】図２
2018074267.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状に形成され厚みすべり振動で振動する圧電基板と、
前記圧電基板の両主面にそれぞれ形成される励振電極と、を含み、
前記励振電極は、一定の厚さで形成される主厚部及び前記主厚部の周囲に形成され前記主厚部に接する部分から前記励振電極の最外周にかけて厚さが徐々に薄くなるように形成される傾斜部を有し、
前記傾斜部の幅である傾斜幅が、不要振動である屈曲振動の波長である屈曲波長の０．５倍以上３倍以下の長さに形成される圧電振動片。
【請求項２】
前記傾斜幅が、前記屈曲波長の１倍から２．５倍の長さに形成される請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記主厚部の厚さが、７０ｎｍから２００ｎｍの間に形成される請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記励振電極の外形が円形又は楕円形に形成される請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の圧電振動片と、
前記圧電振動片を載置するパッケージと、を有する圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、励振電極の周囲に傾斜部が形成された圧電振動片及び圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電基板に励振電極が形成されている圧電振動片は、圧電基板の周囲の厚さが薄いコンベックス形状に形成されることで振動エネルギーを閉じ込め、不要振動を抑圧することができる。しかし、圧電基板をコンベックス形状に形成するためには加工の手間とコストがかかるという問題がある。
【０００３】
これに対して、特許文献１では、圧電基板が平板状のまま励振電極の周囲を励振電極の厚さが漸減する傾斜面形状を形成することで、圧電基板の加工の手間及びコストを削減する旨が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２１７６７５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載されるような傾斜面形状を形成しても傾斜面形状の寸法によって不要振動を抑える効果が大きく異なることが分かってきた。すなわち、励振電極の周囲に傾斜面形状を形成するのみでは十分に不要振動を抑えることができていないという問題があった。
【０００６】
そこで本発明では、平板状の圧電基板に形成される励振電極の周囲に寸法が適切に調整された傾斜が形成されることにより不要振動が抑えられた圧電振動片及び圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１観点の圧電振動片は、平板状に形成され厚みすべり振動で振動する圧電基板と、圧電基板の両主面にそれぞれ形成される励振電極と、を含む。励振電極は、一定の厚さで形成される主厚部及び主厚部の周囲に形成され主厚部に接する部分から励振電極の最外周にかけて厚さが徐々に薄くなるように形成される傾斜部を有し、傾斜部の幅である傾斜幅が、不要振動である屈曲振動の波長である屈曲波長の０．５倍以上３倍以下の長さに形成される。
【０００８】
第２観点の圧電振動片は、第１観点において、傾斜幅が屈曲波長の１倍から２．５倍の長さに形成される。
【０００９】
第３観点の圧電振動片は、第１観点及び第２観点において、主厚部の厚さが７０ｎｍから２００ｎｍの間で形成される。
【００１０】
第４観点の圧電振動片は、第１観点から第３観点において、励振電極の外形が円形又は楕円形に形成される。
【００１１】
第５観点の圧電デバイスは、第１観点から第４観点の圧電振動片と、圧電振動片を載置するパッケージと、を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の圧電振動片及び圧電デバイスによれば、不要振動の発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（ａ）は、圧電デバイス１００の斜視図である。  （ｂ）は、リッド１２０が取り外された圧電デバイス１００の斜視図である。
【図２】（ａ）は、圧電振動片１４０の平面図である。  （ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図３】（ａ）は、Ｍ−ＳＣカットの水晶材料の説明図である。  （ｂ）は、圧電振動片１４０及び圧電振動片２４０の傾斜幅と主振動の振動エネルギーの損失（１／Ｑ）との関係が示されたグラフである。
【図４】（ａ）は、圧電振動片３４０の平面図である。  （ｂ）は、圧電振動片１４０及び圧電振動片３４０の傾斜幅と主振動の振動エネルギーの損失（１／Ｑ）との関係が示されたグラフである。
【図５】圧電振動片４４０の傾斜幅と主振動の振動エネルギーの損失（１／Ｑ）との関係が示されたグラフである。
【図６】（ａ）は、圧電振動片１４０ａの部分断面図である。  （ｂ）は、圧電振動片１４０ｂの部分断面図である。  （ｃ）は、圧電振動片１４０ｃの部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１５】
（第１実施形態）
＜圧電デバイス１００の構成＞
図１（ａ）は、圧電デバイス１００の斜視図である。圧電デバイス１００は、主に、ベース１１０、リッド１２０、及び所定の振動数で振動する圧電振動片１４０（図１（ｂ）参照）により構成されている。圧電デバイス１００の外形は、例えば略直方体形状に形成される。圧電振動片１４０は、厚みすべり振動で振動するＡＴカットの水晶材料を基材として形成されている。ＡＴカットの水晶材料は、主面（ＸＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸から−Ｙ軸方向に３５度１５分傾斜されて形成される。以下の説明では、ＡＴカットの水晶材料の傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として示す。図１（ａ）に示される圧電デバイス１００は、長手方向がＸ軸方向、圧電デバイス１００の高さ方向がＹ’軸方向、Ｘ軸方向及びＹ’軸方向に垂直な方向がＺ’軸方向となるように形成されている。
【００１６】
ベース１１０の−Ｙ’軸側の面であり圧電デバイス１００が実装される面である実装面１１２ａには、実装端子１１１が形成されている。実装端子１１１は、圧電振動片１４０と接続される端子であるホット端子１１１ａと、接地用として使用可能な端子（以下、アース端子と仮称する）１１１ｂと、により構成されている。ベース１１０では、実装面１１２ａの＋Ｘ軸側の−Ｚ軸側の角及び−Ｘ軸側の＋Ｚ軸側の角にそれぞれホット端子１１１ａが形成され、実装面１１２ａの＋Ｘ軸側の＋Ｚ軸側の角及び−Ｘ軸側の−Ｚ軸側の角にそれぞれアース端子１１１ｂが形成されている。ベース１１０の＋Ｙ軸側の面には圧電振動片１４０が載置される空間であるキャビティ１１３が形成されており（図１（ｂ）参照）、キャビティ１１３は封止材１３０を介してリッド１２０により封止されている。
【００１７】
図１（ｂ）は、リッド１２０が取り外された圧電デバイス１００の斜視図である。ベース１１０の＋Ｙ’軸側の面に形成されるキャビティ１１３は、実装面１１２ａの反対側の面であり圧電振動片１４０が載置される載置面１１２ｂと、載置面１１２ｂの周囲に形成される側壁１１４と、により囲まれている。また、載置面１１２ｂには、ホット端子１１１ａと電気的に接続される一対の接続電極１１５が形成されている。
【００１８】
圧電振動片１４０は、平板状に形成され厚みすべり振動で振動する圧電基板１４１と、圧電基板１４１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の各主面にそれぞれ形成される励振電極１４２と、各励振電極１４２から圧電基板１４１の−Ｘ軸側の辺の両端に引き出される引出電極１４３と、を含んで構成されている。また、圧電基板１４１の＋Ｙ’軸側の面に形成される励振電極１４２及び−Ｙ’軸側の面に形成される励振電極１４２は同じ形状、同じ大きさに形成され、Ｙ’軸方向に全体が互いに重なるように形成されている。圧電振動片１４０は、引出電極１４２と接続電極１１５とが導電性接着剤（不図示）を介して電気的に接続されるように載置面１１２ｂに載置されている。
【００１９】
図２（ａ）は、圧電振動片１４０の平面図である。圧電基板１４１は、長辺がＸ軸方向に伸び、短辺がＺ’軸方向に伸びる長方形状の平面を有する平板状の基板である。圧電基板１４１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の主面に形成される励振電極１４２は、円形状に形成されている。また、各励振電極１４２は、一定の厚さに形成される主厚部１４２ａ及び主厚部１４２ａの周囲に一定の幅で形成され主厚部１４２ａに接する部分から励振電極１４２の最外周にかけて厚さが徐々に薄くなるように形成される傾斜部１４２ｂを有している。図２（ａ）では、圧電基板がＭ−ＳＣ（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ−ＳＣ）カットの水晶材料で形成された場合の圧電振動片を圧電振動片２４０として示されているが、圧電振動片２４０については後述する。
【００２０】
図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面図である。圧電振動片１４０では、圧電基板１４１の＋Ｙ’軸側の面及び−Ｙ’軸側の面に形成される主厚部１４２ａ及び傾斜部１４２ｂも全体が互いにＹ’軸方向に重なるように形成されている。傾斜部１４２ｂは、４つの段差が形成されることにより主厚部１４２ａ側から励振電極１４２の最外周にかけて厚さが徐々に薄くなるように形成されている。傾斜部１４２ｂは、主厚部１４２ａ側から励振電極１４２の最外周までの幅がＸＡに形成されており、各段差間の幅がＸＢに形成されている。すなわち、図２（ｂ）に示されるように幅ＸＡは幅ＸＢの３倍の長さに形成されている。励振電極１４２の主厚部１４２ａの厚さはＹＡに形成されている。また、傾斜部１４２ｂの各段差の高さはＹＢに形成されている。そのため、厚さＹＡは高さＹＢの４倍の厚さとなっている。
【００２１】
圧電振動片１４０では、使用される圧電基板１４１がベベル加工又はコンベックス加工などの加工がされていない平板状の基板であるにも拘わらず、励振電極が所定の厚さに形成される主厚部と主厚部の周囲に所定の幅で形成される傾斜部とにより形成されることにより、振動エネルギーの損失が生じることが防がれ、不要振動の発生が抑えられる。
【００２２】
＜圧電振動片１４０及び圧電振動片２４０の振動エネルギーの損失について＞
以下に、圧電振動片１４０の振動エネルギーの損失に関するシミュレーションの結果について圧電基板がＭ−ＳＣカットの水晶材料により形成される圧電振動片２４０と比較しながら説明する。
【００２３】
図３（ａ）は、Ｍ−ＳＣカットの水晶材料の説明図である。図３（ａ）では、水晶の結晶軸がＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸として表されている。Ｍ−ＳＣカットの水晶材料は２回回転カットの水晶材料の１種であり、水晶のＸＺ板を水晶のＺ軸を回転中心にしてφ度回転させ、この回転で生じたＸ’Ｚ板をＸ’軸を中心にしてθ度さらに回転して得られるＸ’Ｚ”板に相当するものである。Ｍ−ＳＣカットの場合は、φは約２４度、θは約３４度である。図３（ａ）では、上記２回回転で生じる水晶片の新たな軸を、Ｘ’軸、Ｙ”軸、Ｚ”軸という表現で示してある。なお、２回回転カットの水晶材料は、厚み方向に伝搬するすべり変位を持ついわゆるＣモードやＢモードを主振動とする、水晶材料である。これらＣモードやＢモードの振動は、ＡＴカット同様厚みすべり振動に分類される。
【００２４】
図２（ａ）では、圧電振動片２４０の平面図も示されている。圧電振動片２４０は、圧電振動片１４０において、圧電基板１４０がＭ−ＳＣカットの水晶材料により形成され圧電基板１４０と同じ外形、大きさを有する圧電基板２４０に置き換えられた圧電振動片であり、その他の部分の構成は圧電振動片１４０と同じである。圧電振動片２４０は、長辺がＸ’軸方向に伸び、短辺がＺ”軸方向に伸びるように形成されている。
【００２５】
図３（ｂ）は、圧電振動片１４０及び圧電振動片２４０の傾斜幅と主振動の振動エネルギーの損失（１／Ｑ）との関係が示されたグラフである。図３（ｂ）では、解析モデルとして、励振電極の全てが金（Ａｕ）で形成され、主厚部１４２ａの膜厚ＹＡが１４０ｎｍであり、主振動の周波数が２６ＭＨｚのモデルの場合のシミュレーションによる計算結果について示されている。圧電振動片では、主振動（例えばＣモード）と共に主振動とは異なり設計上意図されない振動である不要振動が生じる。ＡＴカット及びＳＣカット等の水晶材料により形成され厚みすべり振動で振動する圧電基板により形成される圧電振動片では、不要振動として特に屈曲振動によるものの影響が大きい。図３（ｂ）のグラフの横軸では、この屈曲振動の波長である屈曲波長λで規格化された傾斜幅が示されている。そのため、図３（ｂ）のグラフに示される傾斜幅は、同一の目盛でも圧電振動片１４０と圧電振動片２４０とで実際の傾斜幅の寸法が異なる。例えば、２６ＭＨｚの振動周波数による振動を主振動とした場合では、ＡＴカットの水晶材料で形成された圧電基板を有する圧電振動片１４０の屈曲波長λは約１００μｍとなり、Ｍ−ＳＣカットの水晶材料で形成された圧電基板を有する圧電振動片２４０の屈曲波長λは約１１０μｍとなる。このとき図３（ｂ）のグラフにおいて「１」で示される傾斜幅の実際の寸法は１×λであり、圧電振動片１４０では傾斜幅が１×λ＝約１００μｍとなり、圧電振動片２４０では傾斜幅が１×λ＝約１１０μｍとなる。
【００２６】
図３（ｂ）のグラフの縦軸では、主振動の振動エネルギーの損失を示すＱ値の逆数が示されている。また、図３（ｂ）では、ＡＴカットの水晶材料で形成された圧電基板１４１を有する圧電振動片１４０が黒丸で示され、Ｍ−ＳＣカットの水晶材料で形成された圧電基板２４１を有する圧電振動片２４０が黒三角で示されている。
【００２７】
図３（ｂ）では、圧電振動片１４０及び圧電振動片２４０とも屈曲波長λで規格化された傾斜幅が約「０．５」から「３」となる範囲で振動エネルギーの損失を示す１／Ｑが３．０×１０−６（図３（ｂ）では「３．０Ｅ−６」と表記）以下と低くなっている。すなわち、傾斜幅が屈曲波長λの０．５倍以上３倍以下の長さに形成される場合に振動エネルギーの損失が抑えられていることが分かる。特に圧電振動片１４０及び圧電振動片２４０は、屈曲波長λで規格化された傾斜幅が「１」から「２．５」の範囲において１／Ｑの大きさが低く、さらにその変動も少なくなっている。すなわち、傾斜幅が屈曲波長の１倍から２．５倍の長さである場合には、安定して振動エネルギーの損失が低くなることが分かる。
【００２８】
屈曲振動は、主に励振電極の端部で振動エネルギーが屈曲振動に変換されることにより、それが主振動に重畳し、屈曲振動は圧電振動片全体で振動するため、圧電振動片が保持される導電性接着剤に振動エネルギーが吸収される。このような屈曲振動によるエネルギーの損失は振動エネルギーの損失につながる。圧電振動片１４０及び圧電振動片２４０では、傾斜部の傾斜幅を屈曲波長λの０．５倍以上３倍以下の長さ、特に傾斜幅を屈曲波長λの１倍以上２．５倍以下の長さに形成することにより、屈曲振動の発生を抑えることができ、これによって振動エネルギーの損失を抑えることができていると考えられる。
【００２９】
図３（ｂ）では、圧電振動片１４０及び圧電振動片２４０の両方の圧電振動片において、屈曲波長λで規格化された傾斜幅が「０．５」から「３」となる範囲で１／Ｑが低くなると共に、圧電振動片１４０と圧電振動片２４０との間でも１／Ｑの値に大きな違いが見られなくなってきている。すなわち、屈曲波長λで規格化された傾斜幅を考慮する場合には、圧電基板に用いられる圧電材料の違いに関係なく１／Ｑの傾向及び大きさが安定していると考えられる。そのため、図３（ｂ）ではＡＴカットの水晶材料とＭ−ＳＣカットの水晶材料との例が示されたが、これらの水晶材料に限らず、他の厚みすべり振動で振動する水晶材料例えばＳＣカット、ＩＴカットが用いられた場合又は厚みすべり振動で振動する他の圧電材料例えばＬＴ（タンタル酸リチウム）、圧電セラミックスが圧電基板に用いられた場合にも圧電振動片１４０及び圧電振動片２４０と同様の傾斜幅の範囲で１／Ｑが低くなると考えられる。
【００３０】
（第２実施形態）
第１実施形態では励振電極が円形状に形成された場合について示されたが、傾斜部が所定の幅で形成される場合には励振電極の平面形状が円形状以外の形状に形成された場合でも振動エネルギーの損失を抑えることができる。以下に、励振電極が円形状以外の形状に形成される場合について説明する。
【００３１】
＜圧電振動片３４０の構成＞
図４（ａ）は、圧電振動片３４０の平面図である。圧電振動片３４０は、圧電基板１４１と、圧電基板１４１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の各主面にそれぞれ形成される励振電極３４２と、各励振電極３４２から圧電基板１４１の−Ｘ軸側の辺の両端に引き出される引出電極１４３と、を含んで構成されている。励振電極３４２は、長軸がＸ軸方向に伸び短軸がＺ’軸方向に伸びる楕円形状に形成されている。また、励振電極３４２は、一定の厚さに形成される主厚部３４２ａ及び主厚部３４２ａの周囲に一定の幅で形成され主厚部３４２ａに接する部分から励振電極３４２の最外周にかけて厚さが徐々に薄くなるように形成される傾斜部３４２ｂを有している。また、図４（ａ）のＢ−Ｂ断面は、図２（ｂ）の断面図と同一の形状に形成され、励振電極の厚み及び傾斜部の各寸法は図２（ｂ）に示される寸法と同一である。
【００３２】
＜圧電振動片１４０及び圧電振動片３４０の振動エネルギーの損失について＞
以下に、励振電極が円形状に形成される圧電振動片１４０と励振電極が楕円形状に形成される圧電振動片３４０とを比較しながら両者の振動エネルギーの損失に関するシミュレーションの結果について説明する。
【００３３】
図４（ｂ）は、圧電振動片１４０及び圧電振動片３４０の傾斜幅と主振動の振動エネルギーの損失（１／Ｑ）との関係が示されたグラフである。図４（ｂ）では、解析モデルとして、励振電極の全てが金（Ａｕ）で形成され、主厚部の膜厚が１４０ｎｍであり、主振動の周波数が２６ＭＨｚのモデルの場合のシミュレーションによる計算結果について示されている。図４（ｂ）のグラフの横軸には、不要振動としての屈曲振動の波長である屈曲波長λで規格化された傾斜幅が示されている。また、図４（ｂ）のグラフの縦軸には、主振動の振動エネルギーの損失を示すＱ値の逆数が示されている。図４（ｂ）では、圧電振動片１４０が黒丸で示され、圧電振動片３４０が黒四角で示されている。
【００３４】
図４（ｂ）では、圧電振動片１４０及び圧電振動片３４０とも屈曲波長λで規格化された傾斜幅が「０．５」から「３」となる範囲で振動エネルギーの損失を示す１／Ｑが３．０×１０−６（図４（ｂ）では「３．０Ｅ−６」と表記）以下と低い値が示されている。すなわち、傾斜幅が屈曲波長λの０．５倍以上３倍以下の長さに形成される場合に振動エネルギーの損失が抑えられていることが分かる。特に圧電振動片１４０及び圧電振動片３４０は、屈曲波長λで規格化された傾斜幅が「１」から「２．５」の範囲において１／Ｑの大きさが低く、さらにその変動も少なくなっている。すなわち、傾斜幅が屈曲波長λの１倍から２．５倍の長さである場合には、安定して振動エネルギーの損失が低くなることが分かる。
【００３５】
図４（ｂ）では、圧電振動片１４０及び圧電振動片２４０の両方の圧電振動片において、屈曲波長λで規格化された傾斜幅が「０．５」から「３」となる範囲で１／Ｑが低くなると共に、圧電振動片１４０と圧電振動片３４０との間でも１／Ｑの値に大きな違いが見られなくなってきている。そのため、屈曲波長λで規格化された傾斜幅が「０．５」から「３」となる範囲では、励振電極の形状の違いに関係なく１／Ｑの傾向及び大きさが安定していると考えられる。すなわち、図４（ｂ）では円形状及び楕円形状に形成された励振電極の例が示されたが、これらの形状に限らず、励振電極が他の形状例えば四角形状に形成された場合でも同様の傾斜幅で１／Ｑが低くなると考えられる。
【００３６】
（第３実施形態）
第１実施形態及び第２実施形態では、励振電極の主厚部の厚さが１４０ｎｍとして形成された場合が考慮されたが、他の厚さで形成されても良い。以下に、主厚部の厚さが異なる場合について説明する。
【００３７】
＜圧電振動片４４０の構成及び振動エネルギーの損失＞
図５は、圧電振動片４４０の傾斜幅と主振動の振動エネルギーの損失（１／Ｑ）との関係が示されたグラフである。圧電振動片４４０は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示される圧電振動片２４０（すなわちＭ−ＳＣカットの圧電振動片）において、主厚部の厚みＹＡが１００ｎｍに形成されている圧電振動片である。また、これに伴って、厚さＹＢの厚さも２５ｎｍとなっている。他の形状及び大きさは、圧電振動片２４０と同じである。
【００３８】
図５では、屈曲波長λで規格化された傾斜幅が３を越える辺りまでの実験結果を示してある。この図５から分かるように。第１の実施形態に対し電極の膜厚を変更した場合であっても、傾斜幅が屈曲波長λの０．５倍以上３倍以下の長さに形成される場合に振動エネルギーの損失が抑えられていることが分かる。さらに、傾斜幅が屈曲波長λの１倍以上２．５倍以下の長さに形成される場合に振動エネルギーの損失がより抑えられていることが分かる。従って、電極の膜厚を変更した場合であっても傾斜幅は、屈曲波長λの０．５倍以上３倍以下、好ましくは１倍以上２．５倍以下の範囲とするのが有効なことが分かる。この傾向は励振電極の膜厚が少なくとも７０ｎｍ〜２００ｎｍの範囲においても確認できた。
【００３９】
（第４実施形態）
第１実施形態から第３実施形態ではシミュレーション結果が示されたが、実際の励振電極の傾斜部は様々な方法により形成することができる。以下に、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示される圧電振動片１４０の実際の形成例である圧電振動片１４０ａ、圧電振動片１４０ｂ、及び圧電振動片１４０ｃについて説明する。
【００４０】
図６（ａ）は、圧電振動片１４０ａの部分断面図である。図６（ａ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面に相当する断面を含む部分断面図である。圧電振動片１４０ａの励振電極１４２は、第１層１４４ａ、第１層１４４ａを覆うように形成される第２層１４５ａ、第２層１４４ａを覆うように形成される第３層１４６ａ、及び第３層１４６ａを覆うように形成される第４層１４７ａを含んで形成される。これらの第１層１４４ａから第４層１４７ａは、例えばスパッタ又は蒸着等により形成することができる。図６（ａ）に示されるように、積層される層の面積が徐々に広くなるように形成することにより、傾斜部１４２ｂの傾斜を形成することができる。なお、図６（Ａ）では４つの層のみ示してあるが、圧電基板１４１と励振電極用金属との密着性を確保するために通常設けられる下地層例えばクロム膜等の図示は省略してある。
【００４１】
図６（ｂ）は、圧電振動片１４０ｂの部分断面図である。図６（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面に相当する断面を含む部分断面図である。圧電振動片１４０ｂの励振電極１４２は、第１層１４４ｂ、第１層１４４ｂの表面に第１層１４４ｂよりも狭い面積で形成される第２層１４５ｂ、第２層１４５ｂの表面に第２層１４５ｂよりも狭い面積で形成される第３層１４６ｂ、及び第３層１４６ｂの表面に第３層１４６ｂよりも狭い面積で形成される第４層１４７ｂを含んで形成される。これらの第１層１４４ｂから第４層１４７ｂは、例えばスパッタ又は蒸着等により形成することができる。図６（ａ）の場合とは逆に、図６（ｂ）に示されるように、積層する層の面積を徐々に狭くすることによっても傾斜部１４２ｂの傾斜を形成することができる。
【００４２】
図６（ｃ）は、圧電振動片１４０ｃの部分断面図である。図６（ｃ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ断面に相当する断面を含む部分断面図である。励振電極１４２の傾斜部１４２ｂの傾斜は、段差ではなく、図６（ｃ）に示されるような斜面により形成されても良い。このような傾斜部１４２ｂの斜面は、例えばフォトリソグラフィ技術でレジストの厚みを調整することにより、又は励振電極の成膜後にイオンビームトリミング等で励振電極の一部を削って斜面を形成すること等により形成することができる。
【００４３】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【００４４】
例えば、上記実施形態における傾斜部の段差は４段であるが、段差は４段に限らず、これよりも多くても少なくとも良い。また、上記の実施形態は様々に組み合わせて実施されても良い。
【符号の説明】
【００４５】
１００  …  圧電デバイス
１１０  …  ベース
１１１  …  実装端子
１１１ａ  …  ホット端子
１１１ｂ  …  アース端子
１１２ａ  …  実装面
１１２ｂ  …  載置面
１１３  …  キャビティ
１１４  …  側壁
１１５  …  接続電極
１２０  …  リッド
１３０  …  封止材
１４０、１４０ａ、１４０ｂ、１４０ｃ、２４０、３４０、４４０  …  圧電振動片
１４１、２４１  …  圧電基板
１４２、３４２  …  励振電極
１４２ａ、３４２ａ  …  主厚部
１４２ｂ、３４２ｂ  …  傾斜部
１４３  …  引出電極
１４４ａ、１４４ｂ  …  第１層
１４５ａ、１４５ｂ  …  第２層
１４６ａ、１４６ｂ  …  第３層
１４７ａ、１４７ｂ  …  第４層
ＸＡ  …  主厚部側から励振電極の最外周までの幅
ＸＢ  …  段差間の幅
ＹＡ  …  励振電極の主厚部の厚さ（主厚部の膜厚）
ＹＢ  …  傾斜部の各段差の高さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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