(57)【要約】【課題】円形状テープが保護シートから剥離されたか否かを検知できるテープ貼着装置を提供する。【解決手段】ウェーハとウェーハが収容される開口部を有するリング状のフレームとにテープを貼着し、ウェーハとフレームとを一体化するテープ貼着装置であって、テープの粘着材層側に保護シートが貼着されてなるテープ体を繰り出す繰り出しユニットと、繰り出しユニットから繰り出されたテープ体のテープに、円形状の切り込みを形成し、ウェーハ及びフレームの一方の面に貼着される円形状テープをテープから切り出す切り込み形成ユニットと、保護シートから円形状テープを剥離する剥離ユニットと、円形状テープをウェーハ及びフレームの一方の面に押圧しながら貼着し、ウェーハとフレームとを一体化する加圧ローラーと、を含み、剥離ユニットには、保護シートから円形状テープが剥離されたか否かを検知する検知ユニットが設けられている。【選択図】図１
2018133446.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハと該ウェーハが収容される開口部を有するリング状のフレームとにテープを貼着し、該ウェーハと該フレームとを一体化するテープ貼着装置であって、
帯状の基材シートと該基材シートの一方の面に設けられた粘着材層とを含むテープの該粘着材層側に該粘着材層を保護する保護シートが貼着されてなるテープ体を繰り出す繰り出し手段と、
該繰り出し手段から繰り出された該テープ体の該テープに、該フレームの外周の直径よりも小さく該開口部を規定する内周の直径よりも大きい円形状の切り込みを形成し、該ウェーハ及び該フレームの一方の面に貼着される円形状テープを該テープから切り出す切り込み形成手段と、
該保護シートから該円形状テープを剥離する剥離手段と、
該円形状テープを該ウェーハ及び該フレームの一方の面に押圧しながら貼着し、該ウェーハと該フレームとを一体化する押圧手段と、を備え、
該剥離手段には、該保護シートから該円形状テープが剥離されたか否かを検知する検知手段が設けられていることを特徴とするテープ貼着装置。
【請求項２】
前記剥離手段は、前記保護シートから前記円形状テープを剥離するために該円形状テープが貼着された該保護シートを折り返す折り返し部を備え、
前記検知手段は、該保護シートの進行方向において該折り返し部の下流側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のテープ貼着装置。
【請求項３】
前記検知手段は、発光手段と、受光手段と、を備え、
該発光手段から前記保護シートに照射され前記円形状テープで反射した光が該受光手段で検知された場合に、該円形状テープが該保護シートから剥離されていないと判定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のテープ貼着装置。
【請求項４】
前記検知手段は、発光手段と、該発光手段に対向する位置に配置される受光手段と、を備え、
該発光手段から前記保護シートに照射され前記円形状テープを透過した光が該受光手段で検知されない場合に、該円形状テープが該保護シートから剥離されていないと判定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のテープ貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ及びウェーハを囲む環状のフレームに対してテープを貼り付けるためのテープ貼着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハを複数のチップへと分割する際には、例えば、ウェーハの表面又は裏面にウェーハよりも径の大きいテープ（粘着テープ）を貼り付けるとともに、このウェーハを囲むように配置された環状のフレームにテープの外周部分を固定する。これにより、ウェーハを分割する際にフレームを介してより確実にウェーハを保持できるようになり、また、分割後のウェーハの取り扱い易さも高まる。
【０００３】
近年では、ウェーハやフレームに対してテープを貼り付けるためのテープ貼着装置が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。このテープ貼着装置は、切断用の刃が外周面に設けられたローラーを帯状のテープに押し当ててフレームに対応する円形状のテープ（円形状テープ）を切り出した後に、円形状テープを加圧用のローラー等で加圧しながらウェーハ及びフレームに貼り付ける。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した帯状のテープは、通常、帯状の基材シートと、基材シートの一方の面に設けられた粘着材層とで構成され、粘着材層側に帯状の保護シートが貼り付けられた状態でロール状に巻かれている。そのため、帯状のテープから円形状テープを切り出した後には、例えば、板状の部材を支点に保護シート等を折り返し、円形状テープを保護シートから剥離する必要がある。
【０００６】
しかしながら、例えば、刃の切り込みが不十分で円形状テープを適切に切り出せていない状況では、保護シート等を板状の部材で折り返しても円形状テープを保護シートから剥離できない。そして、このような場合には、円形状テープを介さず加圧用のローラー等によってウェーハが直に加圧されるので、ウェーハが破損してしまうことも多かった。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、円形状テープが保護シートから剥離されたか否かを検知できるテープ貼着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様によれば、ウェーハと該ウェーハが収容される開口部を有するリング状のフレームとにテープを貼着し、該ウェーハと該フレームとを一体化するテープ貼着装置であって、帯状の基材シートと該基材シートの一方の面に設けられた粘着材層とを含むテープの該粘着材層側に該粘着材層を保護する保護シートが貼着されてなるテープ体を繰り出す繰り出し手段と、該繰り出し手段から繰り出された該テープ体の該テープに、該フレームの外周の直径よりも小さく該開口部を規定する内周の直径よりも大きい円形状の切り込みを形成し、該ウェーハ及び該フレームの一方の面に貼着される円形状テープを該テープから切り出す切り込み形成手段と、該保護シートから該円形状テープを剥離する剥離手段と、該円形状テープを該ウェーハ及び該フレームの一方の面に押圧しながら貼着し、該ウェーハと該フレームとを一体化する押圧手段と、を備え、該剥離手段には、該保護シートから該円形状テープが剥離されたか否かを検知する検知手段が設けられているテープ貼着装置が提供される。
【０００９】
上述した本発明の一態様において、前記剥離手段は、前記保護シートから前記円形状テープを剥離するために該円形状テープが貼着された該保護シートを折り返す折り返し部を備え、前記検知手段は、該保護シートの進行方向において該折り返し部の下流側に配置されていることが好ましい。
【００１０】
また、上述した本発明の一態様において、前記検知手段は、発光手段と、受光手段と、を備え、該発光手段から前記保護シートに照射され前記円形状テープで反射した光が該受光手段で検知された場合に、該円形状テープが該保護シートから剥離されていないと判定しても良い。
【００１１】
また、上述した本発明の一態様において、前記検知手段は、発光手段と、該発光手段に対向する位置に配置される受光手段と、を備え、該発光手段から前記保護シートに照射され前記円形状テープを透過した光が該受光手段で検知されない場合に、該円形状テープが該保護シートから剥離されていないと判定しても良い。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一態様に係るテープ貼着装置は、保護シートから円形状テープを剥離する剥離手段に検知手段が設けられているので、円形状テープが保護シートから剥離されたか否かを検知できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】テープ貼着装置の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。
【図２】剥離ユニットの周辺を拡大して示す一部断面側面図である。
【図３】変形例に係る検知ユニットの構成例を模式的に示す一部断面側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、テープ貼着装置２の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。図１に示すように、テープ貼着装置２は、円筒状に巻かれた状態のテープ体１を支持する円柱状の繰り出しローラー（繰り出し手段）４を備えている。
【００１５】
繰り出しローラー４は、例えば、モーター等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって第１方向（Ｙ軸方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。繰り出しローラー４の第１方向の長さは、テープ体１の幅よりも大きくなっている。
【００１６】
そのため、円筒状に巻かれた状態のテープ体１は、繰り出しローラー４によってその幅方向の全体で支持される。テープ体１は、テープ３に対して保護シート５を貼り付けることで構成され、例えば、保護シート５側を内側にして円筒状の芯（不図示）に巻かれている。繰り出しローラー４をこの芯の内側の空間に挿入することで、テープ体１は繰り出しローラー４に支持される。
【００１７】
テープ３は、例えば、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタラート、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン等でなる帯状の基材シート７（図２等参照）を含む。基材シート７の一方の面には、シリコーンゴム、アクリル系材料、エポキシ系材料等でなる粘着材層９（図２等参照）が形成されている。
【００１８】
保護シート５は、基材シート７に対応する帯状に形成されており、テープ３の粘着材層９側に貼り付けられる。この保護シート５は、離型フィルム等とも呼ばれ、テープ３の粘着材層９を保護している。保護シート５から剥離されたテープ３の一部が、ウェーハ１１及びフレーム１３へと貼り付けられる。
【００１９】
ウェーハ１１は、例えば、シリコン（Ｓｉ）や炭化珪素（ＳｉＣ）、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）等の材料を用いて円盤状に形成されている。ただし、ウェーハ１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなるウェーハ１１を用いても良い。
【００２０】
フレーム１３は、例えば、アルミニウム、ステンレス等の材料を用いて環状（リング状）に形成されており、ウェーハ１１を囲むように配置される。すなわち、このフレーム１３の中央には、ウェーハ１１を収容できる大きさ、形状の開口部１３ａが設けられている。なお、フレーム１３の外径（外周の直径）は、上述したテープ３の幅よりも大きくなっている。
【００２１】
繰り出しローラー４の側方には、繰り出しローラー４から繰り出されるテープ体１を下方へと送るための搬送ローラー６が配置されている。搬送ローラー６の下方には、フレーム１３の外径よりも小さく、開口部１３ａを規定する内径（内周の直径）よりも大きい概ね円形状の切り込みをテープ３に形成するための切り込み形成ユニット（切り込み形成手段）８が設けられている。
【００２２】
切り込み形成ユニット８は、テープ体１のテープ３側に配置される切断刃ローラー１０と、テープ体１を挟んで切断刃ローラー１０に隣接する支持ローラー１２とを含む。例えば、支持ローラー１２に向けて切断刃ローラー１０を押し付けながら、テープ体１を下方へと送ることで、ウェーハ１１及びフレーム１３の一方の面に貼り付けるための円形状テープ３ａをテープ３から切り出すことができる。
【００２３】
切断刃ローラー１０の近傍には、支持ローラー１２側へと向かう向きの力を切断刃ローラー１０に付与する加圧ユニット（付勢手段）１４が配置されている。なお、この加圧ユニット１４は、切断刃ローラー１０側へと向かう向きの力を支持ローラー１２に付与するものでも良い。
【００２４】
切り込み形成ユニット８の下方には、テープ体１を斜め下方へと送るための搬送ローラー１６が配置されている。搬送ローラー１６の斜め下方には、テープ体１（より具体的には、保護シート５）から円形状テープ３ａを剥離するための剥離ユニット（剥離手段）１８が配置されている。図２は、剥離ユニット１８の周辺を拡大して示す一部断面側面図である。なお、図２では、一部の構成要素をブロックで示している。
【００２５】
図２に示すように、剥離ユニット１８は、上面１８ａ及び下面１８ｂを有する板状に形成されており、搬送ローラー１６から遠い一端部（折り返し部）１８ｃ（図２等参照）が斜め下方を向くように水平面（ＸＹ平面）に対して傾斜している。この剥離ユニット１８は、一端部１８ｃへと向かって徐々に薄くなっている。また、剥離ユニット１８の一端部１８ｃは、第１方向に対して概ね平行に延びている。剥離ユニット１８の第１方向の長さ（幅）は、テープ３の幅よりも大きい。
【００２６】
この剥離ユニット１８の一端部１８ｃでテープ体１（保護シート５）を折り返して下流側へと送ることで、円形状テープ３ｃをテープ体１（保護シート５）から剥離できる。剥離ユニット１８の一端部１８ａに隣接する位置には、剥離された円形状テープ３ａに下向きの力を加えるための加圧ローラー（押圧手段）２０が配置されている。また、図１に示すように、剥離ユニット１８及び加圧ローラー２０よりも低い位置には、ウェーハ１１及びフレーム１３を支持するための支持テーブル２２が配置されている。
【００２７】
支持テーブル２２の上面中央は、ウェーハ１１を支持するための第１支持面２２ａになっている。なお、図１では、ウェーハ１１が保護部材１５を介して第１保持面２６ａに支持されている。また、第１支持面２２ａの周囲には、ウェーハ１１を囲む環状のフレーム１３を支持するための第２支持面２２ｂが形成されている。
【００２８】
第１支持面２２ａの高さ及び第２支持面２２ｂの高さは、第１支持面２２ａに支持されるウェーハ１１の上面（一方の面）と、第２支持面２２ｂに支持されるフレーム１３の上面（一方の面）とが概ね同じ高さになるように決定される。支持テーブル２２の下方には、ボールねじ式の移動機構２４が設けられている。支持テーブル２２は、この移動機構２４によって第１方向に垂直な第２方向（Ｘ軸方向）に移動する。
【００２９】
剥離ユニット１８の側方には、剥離ユニット１８で折り返されたテープ体１（保護シート５）を下流側へと送る一対の搬送ローラー２６、２８が配置されている。搬送ローラー２６、２８の更に側方には、搬送ローラー２６、２８で搬送されたテープ体１（保護シート５）を巻き取る巻き取りローラー３０が配置されている。
【００３０】
巻き取りローラー３０は、例えば、モーター等の回転駆動源（不図示）に連結されており、この回転駆動源から発生する力によって第１方向に概ね平行な回転軸の周りに回転する。巻き取りローラー３０の第１方向の長さは、テープ体１（保護シート５）の幅よりも大きくなっている。
【００３１】
例えば、切り込み形成ユニット８によって切り出された円形状テープ３ａは、剥離ユニット１８でテープ体１（保護シート５）から剥離された後に、加圧ローラー２０で下向きに加圧（押圧）されて、支持テーブル２２上のフレーム１３の一部に貼り付けられる。その後、繰り出しローラー４及び巻き取りローラー３０を回転させながら、支持テーブル２２を第２方向に移動させる。
【００３２】
すなわち、ウェーハ１１及びフレーム１３と、加圧ローラー２０と、を第２方向に相対的に移動させる。その結果、加圧ローラー２０によって加圧される被加圧領域がウェーハ１１及びフレーム１３に対して第２方向に移動し、円形状テープ３ａは、加圧ローラー２０から作用する下向きの力によってウェーハ１１及びフレーム１３の上面全体に貼り付けられる。つまり、円形状テープ３ａを介してウェーハ１１とフレーム１３とが一体化される。
【００３３】
ところで、上述のような切り込み形成ユニット８で円形状テープ３ａを適切に切り出せなかった場合等には、テープ体１（保護シート５）を剥離ユニット１８で折り返しても、円形状テープ３ａをテープ体１（保護シート５）から剥離できない。この場合には、円形状テープ３ａを介さず加圧ローラー２０によってウェーハ１１が直に加圧されるので、ウェーハ１１が破損する恐れがある。
【００３４】
そこで、本実施形態に係るテープ貼着装置２には、図２に示すように、テープ体１（保護シート５）から円形状テープ３ａが剥離されたか否かを検知するための検知ユニット（検知手段）３２が設けられている。この検知ユニット（検知手段）３２は、例えば、発光素子（発光手段）３４と、受光素子（受光手段）３６とを含む。
【００３５】
上述した剥離ユニット１８の下面１８ｂ側には、下方に開口する凹部１８ｄが形成されており、発光素子３４及び受光素子３６は、この凹部１８ｄに収容されている。凹部１８ｄは、テープ体１（保護シート５）の進行方向において一端部１８ｃの下流側に設けられている。すなわち、発光素子３４及び受光素子３６は、テープ体１（保護シート５）の進行方向において一端部１８ｃの下流側に配置されている。
【００３６】
発光素子３４は、例えば、保護シート５を透過し且つテープ３で反射される波長の光を下方のテープ体１（保護シート５）に向けて放射する。受光素子３６は、発光素子３４から放射される光の波長に対して感度を有しており、テープ体１（保護シート５）で反射された発光素子３４からの光等を受けると、その光の強度に応じた電気信号を発生する。
【００３７】
すなわち、受光素子３６によって、テープ体１（保護シート５）で反射等される発光素子３４からの光の強度を検出できる。この受光素子３６に入射する光の強度は、テープ体１（保護シート５）から円形状テープ３ａが剥離されているか否かに応じて異なる。そのため、受光素子３６で検出される光の強度を基に、テープ体１（保護シート５）から円形状テープ３ａが剥離されたか否かを判定（検知）できる。
【００３８】
例えば、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていない場合には、発光素子３４から放射される光の少なくとも一部が円形状テープ３ａで反射される。これに対して、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されている場合には、発光素子３４から放射される光が円形状テープ３ａで反射されることはない。
【００３９】
よって、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていない場合には、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されている場合に比べて、受光素子３６で検出される光の強度が大きくなる。このような関係を利用することで、テープ体１（保護シート５）から円形状テープ３ａが剥離されたか否かを判定できる。
【００４０】
発光素子３４及び受光素子３６には、上述の判定を行う制御ユニット（制御手段）３８が接続されている。制御ユニット３８は、例えば、受光素子３６で検出される光の強度を任意の閾値と比較して、光の強度が閾値を上回った場合（又は、閾値以上の場合）に円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていないと判定する。つまり、制御ユニット３８は、発光素子３４からテープ体１（保護シート５）に照射され円形状テープ３ａで反射した光が受光素子３６で検知される場合に、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていないと判定する。
【００４１】
また、制御ユニット３８は、光の強度が閾値以下の場合（又は、閾値を下回った場合）に円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていると判定する。つまり、制御ユニット３８は、発光素子３４からテープ体１（保護シート５）に照射され円形状テープ３ａで反射した光が受光素子３６で検知されない場合に、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていると判定する。
【００４２】
円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていないと判定した場合に、制御ユニット３８は、その旨をオペレータ（作業者）等に対して通知する。通知の方法に特段の制限はないが、例えば、警告音の発生、音声アナウンス、警告灯の点灯（点滅）、画像（映像）の表示、等の方法を用いることができる。なお、制御ユニット３８は、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていないと判定した場合に、テープ貼着装置２を停止させても良い。
【００４３】
以上のように、本実施形態に係るテープ貼着装置２は、テープ体１（保護シート５）から円形状テープ３ａを剥離する剥離ユニット（剥離手段）１８に検知ユニット（検知手段）３２が設けられているので、円形状テープ３ａがテープ体１（保護シート５）から剥離されたか否かを検知できる。よって、円形状テープ３ａがテープ体１（保護シート５）から剥離されていない場合にテープ貼着装置２を停止させて、ウェーハ１１の破損を防止できる。
【００４４】
なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態のテープ貼着装置２には、反射光を利用する反射型の検知ユニット３２を設けているが、透過光を利用する透過型の検知ユニット（検出手段）を用いることもできる。
【００４５】
図３は、変形例に係る検知ユニット（検出手段）４２の構成例を模式的に示す一部断面側面図である。なお、図３では、上記実施形態のテープ貼着装置２と共通の構成要素に同じ符号を付している。図３に示すように、変形例に係る検知ユニット４２は、発光素子（発光手段）４４と、受光素子（受光手段）４６とを含む。発光素子４４は、剥離ユニット１８の下面１８ｂ側に形成された凹部１８ｄに収容されている。
【００４６】
一方で、受光素子４６は、テープ体１（保護シート５）を介して発光素子４４に対向する位置に配置される。すなわち、変形例の検知ユニット（検出手段）４２でも、発光素子４４及び受光素子４６は、テープ体１（保護シート５）の進行方向において一端部１８ｃの下流側に配置されている。
【００４７】
発光素子４４は、例えば、保護シート５を透過し、且つテープ３で反射又は吸収される波長の光を下方のテープ体１（保護シート５）に向けて放射する。受光素子４６は、発光素子４４から放射される光の波長に対して感度を有しており、テープ体１（保護シート５）を透過した発光素子４４からの光等を受けると、その光の強度に応じた電気信号を発生する。
【００４８】
すなわち、受光素子４６によって、テープ体１（保護シート５）を透過等する発光素子４４からの光の強度を検出できる。この受光素子４６に入射する光の強度は、テープ体１（保護シート５）から円形状テープ３ａが剥離されているか否かに応じて異なる。そのため、受光素子４６で検出される光の強度を基に、テープ体１（保護シート５）から円形状テープ３ａが剥離されたか否かを判定（検知）できる。
【００４９】
例えば、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていない場合には、発光素子４４から放射される光の少なくとも一部が円形状テープ３ａで反射又は吸収される。これに対して、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されている場合には、発光素子４４から放射される光が円形状テープ３ａで反射又は吸収されることはない。
【００５０】
よって、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていない場合には、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されている場合に比べて、受光素子４６で検出される光の強度が小さくなる。このような関係を利用することで、テープ体１（保護シート５）から円形状テープ３ａが剥離されたか否かを判定できる。
【００５１】
発光素子４４及び受光素子４６には、上述の判定を行う制御ユニット（制御手段）４８が接続されている。制御ユニット４８は、例えば、受光素子４６で検出される光の強度を任意の閾値と比較して、光の強度が閾値を下回った場合（又は、閾値以下の場合）に円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていないと判定する。つまり、制御ユニット４８は、発光素子４４からテープ体１（保護シート５）に照射され円形状テープ３ａを透過した光が受光素子４６で検知されない場合に、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていないと判定する。
【００５２】
また、制御ユニット４８は、光の強度が閾値以上の場合（又は、閾値を上回った場合）に円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていると判定する。つまり、制御ユニット４８は、発光素子４４からテープ体１（保護シート５）に照射され円形状テープ３ａを透過した光が受光素子３６で検知される場合に、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていると判定する。
【００５３】
円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていないと判定した場合に、制御ユニット４８は、その旨をオペレータ（作業者）等に対して通知する。なお、制御ユニット４８は、円形状テープ３ａが保護シート５から剥離されていないと判定した場合に、テープ貼着装置２を停止させても良い。
【００５４】
また、上記実施形態及び変形例に係るテープ貼着装置では、円形状テープ３ａを切り出した後の不要なテープ３をそのまま残しているが、テープ体１（保護シート５）から円形状テープ３ａを剥離する前に、不要なテープ３をテープ体１（保護シート５）から剥離することもできる。
【００５５】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００５６】
２  テープ貼着装置
４  繰り出しローラー（繰り出し手段）
６  搬送ローラー
８  切り込み形成ユニット（切り込み形成手段）
１０  切断刃ローラー
１２  支持ローラー
１４  加圧ユニット（付勢手段）
１６  搬送ローラー
１８  剥離ユニット（剥離手段）
１８ａ  上面
１８ｂ  下面
１８ｃ  一端部（折り返し部）
１８ｄ  凹部
２０  加圧ローラー（押圧手段）
２２  支持テーブル
２２ａ  第１支持面
２２ｂ  第２支持面
２４  移動機構
２６  搬送ローラー
２８  搬送ローラー
３０  巻き取りローラー
３２  検知ユニット（検知手段）
３４  発光素子（発光手段）
３６  受光素子（受光手段）
３８  制御ユニット（制御手段）
４２  検知ユニット（検知手段）
４４  発光素子（発光手段）
４６  受光素子（受光手段）
４８  制御ユニット（制御手段）
１  テープ体
３  テープ
３ａ  円形状テープ
５  保護シート
７  基材シート
９  粘着材層
１１  ウェーハ
１３  フレーム
１３ａ  開口部
１５  保護部材
【図１】
2018133446.tif 000003
【図２】
2018133446.tif 000004
【図３】
2018133446.tif 000005