(57)【要約】【課題】  隣接するプローブの間隔を狭めることができるプローブカードを提供する。【解決手段】  ２以上のプローブ１０と、プローブ１０が接続される配線基板と、プローブ１０がそれぞれ挿通される２以上のガイド孔１０７を有するガイド板１０５とを備える。プローブ１０は、ガイド板１０５からの抜け落ちを防止するために、プローブ１０の外周面から突出する形状の係止部１２を有し、係止部１２は、隣接するプローブ１０の外周面と対向する。【選択図】  図５
2018044912.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２以上のプローブと、
前記プローブが接続される配線基板と、
前記プローブがそれぞれ挿通される２以上のガイド孔を有するガイド板とを備え、
前記プローブは、前記ガイド板からの抜け落ちを防止するために、前記プローブの外周面から突出する形状の係止部を有し、
前記係止部は、隣接する前記プローブの外周面と対向することを特徴とするプローブカード。
【請求項２】
隣接する２つの前記プローブは、これらのプローブ間において相対的にシフトさせて配置される前記係止部をそれぞれ有することを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
【請求項３】
隣接する２つの前記プローブ間に配置された２つの前記係止部は、これらのプローブを結ぶ方向と交差する方向に相対的にシフトされ、
前記２つの係止部のうち、一方の前記係止部の前記プローブを結ぶ方向における先端は、他方の前記係止部の先端を超える位置に配置されることを特徴とする請求項２に記載のプローブカード。
【請求項４】
４以上の前記プローブは、互いに略直交する第１方向及び第２方向にそれぞれ整列するように配置され、
前記４以上のプローブのうち、第１方向において隣接する２つの前記プローブが、これらのプローブ間において第２方向へ相対的にシフトさせて配置された前記係止部をそれぞれ有し、第２方向において隣接する２つの前記プローブが、これらのプローブ間において第１方向へ相対的にシフトさせて配置された前記係止部をそれぞれ有することを特徴とする請求項２又は３に記載のプローブカード。
【請求項５】
４以上の前記プローブは、互いに略直交する第１方向及び第２方向にそれぞれ整列するように配置され、
前記４以上のプローブのうち、第１方向において隣接する２つの前記プローブは、これらのプローブ間に、第２方向へ相対的にシフトさせて配置された前記係止部をそれぞれ有し、当該係止部が、前記外周面の第２方向における最遠部よりも第２方向にはみ出さないことを特徴とする請求項２又は３に記載のプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブカードに係り、更に詳しくは、ガイド板からの抜け落ちを防止するための係止部が設けられたプローブを備えるプローブカードの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プローブカードは、配線基板上に多数のプローブを立設して構成され、半導体集積回路の検査工程において使用される。半導体集積回路の検査は、プローブを半導体ウエハ上に形成された半導体集積回路の電極パッドに接触させ、半導体集積回路と外部装置とを導通させることにより行われる。
【０００３】
プローブカードには、プローブを位置決めするためのガイド板を備えているものがある（例えば、特許文献１）。ガイド板には、プローブがそれぞれ挿通される多数のガイド孔が設けられている。ガイド板は、プローブをガイド孔に挿通させることにより、プローブの位置決めを行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１２２９０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したプローブには、ガイド板からの抜け落ちを防止するための係止部が設けられている。従来のプローブカードでは、係止部がガイド孔に挿通されるプローブ本体よりもサイズが大きく、プローブを狭ピッチで配置しようとすれば、隣接するプローブの係止部同士が接触することにより短絡してしまうという問題があった。このため、隣接するプローブ間の電気的絶縁性を確保しようとすれば、プローブを狭ピッチで配置することができなかった。
【０００６】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、プローブを狭ピッチで配置することができるプローブカードを提供することを目的とする。特に、隣接するプローブの間隔を狭めることができるプローブカードを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様によるプローブカードは、２以上のプローブと、前記プローブが接続される配線基板と、前記プローブがそれぞれ挿通される２以上のガイド孔を有するガイド板とを備える。前記プローブは、前記ガイド板からの抜け落ちを防止するために、前記プローブの外周面から突出する形状の係止部を有し、前記係止部は、隣接する前記プローブの外周面と対向する。
【０００８】
このプローブカードでは、互いに隣接する２つのプローブに関し、一方のプローブの係止部が他方のプローブの外周面と対向するように形成される。このため、隣接する２つのプローブの係止部が互いに対向するように形成される場合に比べ、隣接するプローブの間隔を狭めることができる。
【０００９】
本発明の第２の態様によるプローブカードは、上記構成に加え、隣接する２つの前記プローブが、これらのプローブ間において相対的にシフトさせて配置される前記係止部をそれぞれ有するように構成される。
【００１０】
このプローブカードでは、２つの係止部を相対的にシフトさせて配置することにより、いずれも相手方のプローブの外周面と対向する状態で、隣接する２つのプローブ間に２つの係止部を配置することができる。このため、隣接する２つのプローブ間に両プローブの係止部をそれぞれ配置しつつ、これらのプローブの間隔を狭めることができる。
【００１１】
本発明の第３の態様によるプローブカードは、上記構成に加え、隣接する２つの前記プローブ間に配置された２つの前記係止部が、これらのプローブを結ぶ方向と交差する方向に相対的にシフトされ、前記２つの係止部のうち、一方の前記係止部の前記プローブを結ぶ方向における先端が、他方の前記係止部の先端を超える位置に配置されるように構成される。
【００１２】
この様な構成によれば、プローブの係止部の先端が相手方のプローブの係止部の先端を超える位置まで接近させることができるため、隣接するプローブの間隔をより狭くすることができる。
【００１３】
本発明の第４の態様によるプローブカードは、上記構成に加え、４以上の前記プローブが、互いに略直交する第１方向及び第２方向にそれぞれ整列するように配置され、前記４以上のプローブのうち、第１方向において隣接する２つの前記プローブが、これらのプローブ間において第２方向へ相対的にシフトさせて配置された前記係止部をそれぞれ有し、第２方向において隣接する２つの前記プローブが、これらのプローブ間において第１方向へ相対的にシフトさせて配置された前記係止部をそれぞれ有するように構成される。
【００１４】
この様な構成によれば、第１方向及び第２方向にそれぞれ整列するように配置された４以上のプローブに関し、第１方向及び第２方向のそれぞれについて、隣接するプローブの間隔を狭めることができる。
【００１５】
本発明の第５の態様によるプローブカードは、上記構成に加え、４以上の前記プローブが、互いに略直交する第１方向及び第２方向にそれぞれ整列するように配置され、前記４以上のプローブのうち、第１方向において隣接する２つの前記プローブが、これらのプローブ間において第２方向へ相対的にシフトさせて配置された前記係止部をそれぞれ有し、当該係止部が、前記外周面の第２方向における最遠部よりも第２方向にはみ出さないように構成される。
【００１６】
この様な構成によれば、第１方向及び第２方向にそれぞれ整列するように配置された４以上のプローブに関し、係止部が外周面の最遠部よりも第２方向にはみ出さないため、第２方向に隣接するプローブの間隔をより狭くすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、隣接する２つのプローブの係止部が互いに対向するように形成される場合に比べ、隣接するプローブの間隔を狭めることができる。従って、プローブを狭ピッチで配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態１によるプローブカード１００の一構成例を示した断面図である。
【図２】図１のガイド板１０５の一構成例を示した平面図である。
【図３】図１のプローブ１０の一構成例を示した図である。
【図４】図３のプローブ１０をＡ−Ａ切断線により切断した場合の断面図である。
【図５】図１のプローブ１０の配列の一例を示した平面図である。
【図６】図１のプローブカード１００と対比すべき従来のプローブカード２００の要部を比較例として示した平面図である。
【図７】プローブカード１００の要部の他の構成例を示した平面図である。
【図８】本発明の実施の形態２によるプローブカード１１０の要部の構成例を示した平面図である。
【図９】プローブカード１１１の要部の構成例を示した平面図である。
【図１０】プローブカード１１２及び１１３の要部の構成例を示した平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
実施の形態１．
＜プローブカード１００＞
図１は、本発明の実施の形態１によるプローブカード１００の一構成例を示した断面図であり、プローブカード１００を鉛直面により切断した場合の切断面が示されている。プローブカード１００は、半導体ウエハなどの検査対象物（不図示）に対する電気的接続を行う検査装置であり、検査対象物上の多数の電極端子にそれぞれ接触させる多数のプローブ１０が当該電極端子に対応するように配設されている。
【００２０】
図示したプローブカード１００は、メイン基板１０１、補強板１０２、ＳＴ（スペーストランスフォーマ）基板１０３、スペーサ１０４、ガイド板１０５，１０６及び２以上のプローブ１０により構成される。
【００２１】
メイン基板１０１は、プローブ装置（不図示）に着脱可能に取り付けられる配線基板であり、例えば、円板状のプリント基板を用いることができる。メイン基板１０１は、略水平に配置され、その上面には、補強板１０２が取り付けられている。補強板１０２は、メイン基板１０１の歪みを抑制するための補強部材であり、例えば、金属ブロックを用いることができる。また、補強板１０２よりも外側、すなわち、メイン基板１０１の上面の外周縁部には、テスター装置（不図示）の信号端子が接続される２以上の外部電極Ｔｅが設けられている。
【００２２】
ＳＴ基板１０３は、電極の配列ピッチを変換する配線基板であり、メイン基板１０１の下面に取り付けられている。ＳＴ基板１０３の下面には、プローブ１０が接続される２以上のプローブ電極Ｔｐが配設されている。プローブ電極Ｔｐは、プローブ１０に対応するピッチで配設されるとともに、メイン基板１０１及びＳＴ基板１０３の配線パターン及びスルーホールを介して、より広ピッチで配設された外部電極Ｔｅと導通している。
【００２３】
ガイド板１０５及び１０６は、いずれもプローブ１０を上下動可能に支持する支持部材であり、例えば、平板状のシリコン基板を用いることができる。ガイド板１０５及び１０６は、スペーサ１０４を介してメイン基板１０１、補強板１０２又はＳＴ基板１０３に固定され、ＳＴ基板１０３から距離を隔てて略水平に配置される。
【００２４】
ガイド板１０５及び１０６は、プローブ１０がそれぞれ配置される２以上のガイド孔１０７を有し、プローブ１０をガイド孔１０７に挿通させることによって当該プローブ１０の位置決めを行う。ガイド孔１０７は、ガイド板１０５及び１０６を上下方向に貫通する貫通孔である。このガイド板１０５は、ＳＴ基板１０３の下面に対向するように配置され、プローブ１０をＳＴ基板１０３に対して位置決めする。ガイド板１０６は、ガイド板１０５の下面に対向するように配置され、プローブ１０を検査対象物に対して位置決めする。
【００２５】
プローブ１０は、細長い形状を有する垂直型プローブであり、導電性材料からなる。プローブ１０の上端は、ＳＴ基板１０３上のプローブ電極Ｔｐに接続され、下端が検査対象物上の電極端子に接触する。また、プローブ１０は、プローブ１０が接触している検査対象物をさらにプローブカード１００に近づけるオーバードライブによって弾性変形し、下端が上下動する。このため、プローブ１０には、例えば、オーバードライブ時に弾性変形する湾曲部が形成される。
【００２６】
プローブ１０は、例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を利用して作製され、断面が略矩形状である。ＭＥＭＳは、フォトリソグラフィ技術及び犠牲層エッチング技術を利用して、微細な立体的構造物を作製する技術である。フォトリソグラフィ技術は、半導体製造プロセスなどで利用される感光レジストを用いた微細パターンの加工技術である。また、犠牲層エッチング技術は、犠牲層と呼ばれる下層を形成し、その上に構造物を構成する層をさらに形成した後、犠牲層のみをエッチングして立体的な構造物を形成する技術である。
【００２７】
製造コストを考慮すれば、プローブ１０を構成する１又は２以上の層は、積層面がプローブ１０の長手方向と平行になるように、プローブ１０の厚さ方向に堆積して形成されることが望ましい。この場合、プローブ１０の外周面には、長手方向に延びる４つの稜線が形成される。これらの稜線は、フォトリソグラフィ技術による加工面と積層面とが交差する線として形成される。このため、プローブ１０の断面は略矩形になる。
【００２８】
＜ガイド板１０５＞
図２は、図１のガイド板１０５の一構成例を示した平面図であり、ガイド板１０５の上面が示されている。図示したガイド板１０５は、略矩形の平板からなり、上面から下面へ貫通する貫通孔として、プローブ１０に対応する多数のガイド孔１０７が形成されている。ガイド孔１０７の断面は、左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２にそれぞれ延びる辺からなる略矩形である。
【００２９】
ガイド孔１０７は、左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２にそれぞれ整列するように格子状に配置される。左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２は、ガイド板１０５の上面と平行な平面内において互いに略直交し、ガイド孔１０７は、左右方向Ｄ１に一定の間隔をあけて配列されるとともに、前後方向Ｄ２にも一定の間隔をあけて配列される。
【００３０】
＜プローブ１０＞
図３は、図１のプローブ１０の一構成例を示した図であり、プローブ１０の側面が示されている。図４は、図３のプローブ１０をＡ−Ａ切断線により切断した場合の切断面を示した断面図である。図示したプローブ１０は、断面が略矩形のプローブ本体１１と、ガイド板１０５からの抜け落ちを防止するための係止部１２とを有する。
【００３１】
プローブ本体１１は、上下方向に延びる角柱状体からなり、下端が針先であり、上端が針元である。このプローブ本体１１には、左右方向Ｄ１に湾曲させた湾曲部１１ａが形成されている。プローブ本体１１は、互いに隣接する側面Ｓ１及びＳ２を有する。側面Ｓ１は、前後方向Ｄ２と平行な外周面である。一方、側面Ｓ２は、左右方向Ｄ１と平行な外周面である。
【００３２】
プローブ本体１１の断面は、前後方向Ｄ２を長手方向とする長方形状であり、側面Ｓ１に対応する長辺と側面Ｓ２に対応する短辺とで囲まれる。プローブ本体１１の幅Ｌ１は、前後方向Ｄ２の長さであり、左右方向Ｄ１の厚さＬ２よりも長い。
【００３３】
係止部１２は、プローブ本体１１の外周面から突出する形状であり、プローブ本体１１における湾曲部１１ａと上端との間に設けられている。このプローブ１０では、左右の側面Ｓ１から左右方向Ｄ１にそれぞれ突出する２つの突出部１２１が係止部１２として設けられている。
【００３４】
各突出部１２１は、前後方向Ｄ２を長手方向とする直方体状であり、上下方向の位置を互いに一致させてプローブ本体１１上に配置される。また、各突出部１２１は、前後方向Ｄ２の位置を異ならせて配置される。図４に示したプローブ１０では、右側の突出部１２１が右側面の後端に配置され、左側の突出部１２１が左側面の前端に配置されている。つまり、各突出部１２１は、上下方向の軸を中心とする１８０°の回転移動に対して対称に配置されている。
【００３５】
突出長ｄ１は、突出部１２１の側面Ｓ１から突出する厚さであり、プローブ本体１１の厚さＬ２よりも薄い。突出部１２１の幅ｄ２は、プローブ本体１１の幅Ｌ１よりも狭い。係止部１２は、側面Ｓ２よりも前後方向Ｄ２にはみ出していない。
【００３６】
＜プローブ１０の配列＞
図５は、図１のプローブ１０の配列の一例を示した平面図であり、ガイド板１０５のガイド孔１０７にそれぞれ挿通された４つのプローブ１０Ａ〜１０Ｄが示されている。図中のプローブ１０Ａ〜１０Ｄは、いずれも図３及び図４に示したプローブ１０であり、係止部１２の形状が互いに一致している。
【００３７】
プローブ１０Ａ〜１０Ｄは、左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２にそれぞれ整列するように配置された４つのプローブ１０である。すなわち、プローブ１０Ａ及び１０Ｂからなるプローブ対とプローブ１０Ｃ及び１０Ｄからなるプローブ対とは、それぞれ左右方向Ｄ１において互いに隣接する２つのプローブ１０からなる。また、プローブ１０Ａ及び１０Ｄからなるプローブ対とプローブ１０Ｂ及び１０Ｃからなるプローブ対とは、それぞれ前後方向Ｄ２において互いに隣接する２つのプローブ１０からなる。
【００３８】
プローブ１０Ａ〜１０Ｄの係止部１２は、隣接するプローブ１０の外周面と対向している。左右方向Ｄ１において互いに隣接する２つのプローブ１０Ａ及び１０Ｂは、これらのプローブ間に配置される突出部１２１をそれぞれ有している。プローブ１０Ａ及び１０Ｂ間の２つの突出部１２１は、いずれも隣接するプローブ１０と対向する側面Ｓ１から突出する係止部１２であり、前後方向Ｄ２に相対的にシフトさせて配置される。
【００３９】
２つの突出部１２１を相対的にシフトさせて配置することにより、いずれも相手方のプローブ本体１１の外周面と対向する状態で、隣接する２つのプローブ１０間に２つの突出部１２１を配置することができる。このため、隣接する２つのプローブ１０の係止部１２が互いに対向するように形成される場合に比べ、隣接するプローブ１０の間隔を狭めることができる。
【００４０】
具体的には、プローブ１０Ａの右側の突出部１２１とプローブ１０Ｂの左側の突出部１２１とが、前後方向Ｄ２に所定の間隔ｄ４をあけて配置され、左右方向Ｄ１に関し、突出部１２１の先端が、互いに相手方の突出部１２１の先端を超える位置に配置される。つまり、隣接する２つのプローブ１０Ａ及び１０Ｂ間に配置された２つの係止部１２は、これらのプローブを結ぶ方向と交差する方向に相対的にシフトされる。また、２つの係止部１２のうち、一方の係止部１２のプローブ１０を結ぶ方向における先端は、他方の係止部１２の先端を超える位置に配置される。
【００４１】
プローブ１０Ａの右側の突出部１２１は、プローブ１０Ｂのプローブ本体１１の側面Ｓ１と対向し、左右方向Ｄ１に関し、先端が当該側面Ｓ１から所定の距離ｄ３だけ離間している。プローブ１０Ｂの左側の突出部１２１は、プローブ１０Ａのプローブ本体１１の側面Ｓ１と対向し、左右方向Ｄ１に関し、先端が当該側面Ｓ１から所定の距離ｄ３だけ離間している。距離ｄ３は、プローブ１０Ａ及び１０Ｂ間で突出部１２１を相対的にシフトさせたことにより、突出長ｄ１よりも短くなっている。
【００４２】
プローブ１０Ａ及び１０Ｂ間の２つの突出部１２１は、前後方向Ｄ２に互いに離間し、いずれも相手方プローブのプローブ本体１１とも離間しているため、これらのプローブ間の電気的絶縁性を確保することができる。
【００４３】
プローブ１０Ａ及び１０Ｂの係止部１２は、相手方のプローブと対向しない側面Ｓ２よりも前後方向Ｄ２にはみ出していない。このため、前後方向Ｄ２に隣接するプローブ１０の間隔をより狭くすることができる。
【００４４】
左右方向Ｄ１において互いに隣接する２つのプローブ１０Ｃ及び１０Ｄの係止部１２についても、プローブ１０Ａ及び１０Ｂの係止部１２と同様の構成である。すなわち、プローブ１０Ｃ及び１０Ｄは、これらのプローブ間に配置される突出部１２１をそれぞれ有している。プローブ１０Ｃ及び１０Ｄ間の２つの突出部１２１は、いずれも隣接するプローブ１０と対向する側面Ｓ１から突出する係止部１２であり、前後方向Ｄ２に相対的にシフトさせて配置される。
【００４５】
また、プローブ１０Ｃの左側の突出部１２１とプローブ１０Ｄの右側の突出部１２１とが、前後方向Ｄ２に所定の間隔ｄ４をあけて配置され、左右方向Ｄ１に関し、突出部１２１の先端が、互いに相手方の突出部１２１の先端を超える位置に配置される。
【００４６】
プローブ１０Ｃの左側の突出部１２１は、プローブ１０Ｄのプローブ本体１１の側面Ｓ１と対向し、左右方向Ｄ１に関し、先端が当該側面Ｓ１から所定の距離ｄ３だけ離間している。プローブ１０Ｄの右側の突出部１２１は、プローブ１０Ｃのプローブ本体１１の側面Ｓ１と対向し、左右方向Ｄ１に関し、先端が当該側面Ｓ１から所定の距離ｄ３だけ離間している。
【００４７】
この様に係止部１２を左右方向Ｄ１において互いに隣接する２つのプローブ１０間で突出部１２１同士が干渉しない形状とすることにより、左右方向Ｄ１におけるプローブ本体１１同士の間隔Ｐ１を従来のプローブカードよりも狭めることができる。間隔Ｐ１は、Ｐ１＝ｄ３＋ｄ１である。
【００４８】
また、係止部１２をプローブ本体１１の側面Ｓ２よりも前後方向Ｄ２にはみ出さない形状とすることにより、前後方向Ｄ２におけるプローブ本体１１同士の間隔Ｐ２をプローブ１０が係止部１２を備えない場合と同程度にまで狭めることができる。
【００４９】
＜比較例＞
図６は、図１のプローブカード１００と対比すべき従来のプローブカード２００の要部を比較例として示した平面図であり、図５と同様にして４つのプローブ１０の形状及び配列が示されている。このプローブ１０の係止部１２は、プローブ本体１１を取り囲む環状領域からなる。
【００５０】
このため、左右方向Ｄ１におけるプローブ本体１１の間隔Ｐ１は、係止部１２間の距離ｄ３及び係止部１２の突出長ｄ１を用いて、Ｐ１＝ｄ３＋ｄ１×２となり、本実施の形態によるプローブカード１００と比べ、突出長ｄ１だけ広い。
【００５１】
また、前後方向Ｄ２におけるプローブ本体１１の間隔Ｐ２は、係止部１２間の距離ｄ５及び突出長ｄ１を用いて、Ｐ２＝ｄ５＋ｄ１×２となる。距離ｄ５がプローブカード１００におけるプローブ本体１１の間隔Ｐ２と同程度であるとすれば、プローブカード２００におけるプローブ本体１１の間隔Ｐ２は、プローブカード１００と比べ、突出長ｄ１の２倍程度広い。
【００５２】
つまり、本実施の形態によるプローブカード１００では、従来のプローブカード２００と比較して、プローブ１０の左右方向Ｄ１におけるピッチを突出長ｄ１程度短縮することができるとともに、プローブ１０の前後方向Ｄ２におけるピッチを突出長ｄ１の２倍程度短縮することができる。
【００５３】
なお、本実施の形態では、プローブ１０の係止部１２が２つの突出部１２１からなる場合の例について説明したが、本発明は、係止部１２の形状をこれに限定するものではない。例えば、係止部１２が３以上の突出部からなるような構成であってもよい。
【００５４】
図７は、プローブカード１００の要部の他の構成例を示した平面図であり、図５と同様にして４つのプローブ１０Ａ〜１０Ｄの形状及び配列が示されている。図中のプローブ１０Ａ〜１０Ｄは、係止部１２の形状が互いに一致している。これらのプローブ１０Ａ〜１０Ｄは、いずれも左右の側面Ｓ１から左右方向Ｄ１にそれぞれ突出する３つの突出部１２１を有する。
【００５５】
３つの突出部１２１のうち、２つの突出部１２１は、プローブ本体１１の左側面上に形成され、左側面の前端と後端とにそれぞれ配置される。残りの１つの突出部１２１は、プローブ本体１１の右側面上に形成され、右側面の中央に配置される。
【００５６】
プローブ１０Ａ及び１０Ｂ間の３つの突出部１２１は、いずれも隣接するプローブ１０と対向する側面Ｓ１から突出する係止部１２であり、前後方向Ｄ２に相対的にシフトさせて配置される。すなわち、プローブ１０Ａの右側の１つの突出部１２１と、プローブ１０Ｂの左側の２つの突出部１２１とは、前後方向Ｄ２に所定の間隔をあけて配置され、左右方向Ｄ１に関し、突出部１２１の先端が、互いに相手方の突出部１２１の先端を超える位置に配置される。
【００５７】
また、プローブ１０Ａ及び１０Ｂの係止部１２は、相手方のプローブと対向しない側面Ｓ２よりも前後方向Ｄ２にはみ出していない。さらに、プローブ１０Ａのプローブ本体１１とプローブ１０Ｂの突出部１２１とが左右方向Ｄ１に所定の距離をあけて配置され、プローブ１０Ａの突出部１２１とプローブ１０Ｂのプローブ本体１１とが左右方向Ｄ１に所定の距離をあけて配置されている。
【００５８】
プローブ１０Ｃ及び１０Ｄの係止部１２についても、プローブ１０Ａ及び１０Ｂの係止部１２と同様の構成である。この様な構成であっても、左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２にそれぞれ整列するように配置された４以上のプローブ１０に関し、左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２のそれぞれについて、隣接するプローブ１０の間隔を狭めることができる。
【００５９】
実施の形態２．
実施の形態１では、プローブ１０の係止部１２が側面Ｓ１から左右方向Ｄ１に突出する突出部１２１からなる場合の例について説明した。これに対し、本実施の形態では、係止部１２が、側面Ｓ１から左右方向Ｄ１に突出する２つの突出部１２１と、側面Ｓ２から前後方向Ｄ２に突出する２つの突出部１２２とからなる場合について説明する。
【００６０】
図８は、本発明の実施の形態２によるプローブカード１１０の要部の構成例を示した平面図であり、図５と同様にして４つのプローブ１０Ａ〜１０Ｄの形状及び配列が示されている。図中のプローブ１０Ａ〜１０Ｄは、係止部１２の形状が互いに一致している。プローブ本体１１の断面は、正方形状である。
【００６１】
プローブ１０Ａ〜１０Ｄは、いずれも左右の側面Ｓ１から左右方向Ｄ１にそれぞれ突出する２つの突出部１２１と、前後の側面Ｓ２から前後方向Ｄ２にそれぞれ突出する２つの突出部１２２とを有する。
【００６２】
２つの突出部１２１は、前後方向Ｄ２の位置を異ならせてプローブ本体１１上に配置される。図８に示したプローブ１０では、右側の突出部１２１が右側面の前端に配置され、左側の突出部１２１が左側面の後端に配置されている。
【００６３】
また、２つの突出部１２２は、左右方向Ｄ１の位置を異ならせてプローブ本体１１上に配置される。すなわち、前側の突出部１２２が前側面の左端に配置され、後側の突出部１２１が後側面の右端に配置されている。つまり、突出部１２１及び１２２は、上下方向の軸を中心とする９０°の回転移動に対して対称に配置されている。
【００６４】
左右方向Ｄ１において互いに隣接する２つのプローブ１０Ａ及び１０Ｂについて、これらのプローブ間の２つの突出部１２１は、いずれも隣接するプローブ１０と対向する側面Ｓ１から突出する係止部１２であり、前後方向Ｄ２に相対的にシフトさせて配置される。左右方向Ｄ１において互いに隣接する２つのプローブ１０Ｃ及び１０Ｄについても、これらのプローブ間の２つの突出部１２１は、いずれも隣接するプローブ１０と対向する側面Ｓ１から突出する係止部１２であり、前後方向Ｄ２に相対的にシフトさせて配置される。
【００６５】
前後方向Ｄ２において互いに隣接する２つのプローブ１０Ａ及び１０Ｄについて、これらのプローブ間の２つの突出部１２２は、いずれも隣接するプローブ１０と対向する側面Ｓ２から突出する係止部１２であり、左右方向Ｄ１に相対的にシフトさせて配置される。前後方向Ｄ２において互いに隣接する２つのプローブ１０Ｂ及び１０Ｃについても、これらのプローブ間の２つの突出部１２２は、いずれも隣接するプローブ１０と対向する側面Ｓ２から突出する係止部１２であり、左右方向Ｄ１に相対的にシフトさせて配置される。
【００６６】
図８に示す様な構成を採用することにより、左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２にそれぞれ整列するように配置された４以上のプローブ１０に関し、左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２のそれぞれについて、隣接するプローブ１０の間隔を狭めることができる。
【００６７】
なお、実施の形態１及び２では、左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２のいずれの方向にもプローブ１０の配列ピッチが短縮される場合の例について説明したが、本発明は、左右方向Ｄ１又は前後方向Ｄ２の一方にのみプローブ１０の配列ピッチを短縮するような構成であっても良い。
【００６８】
図９は、プローブカード１１１の要部の構成例を示した平面図であり、２つのプローブ１０Ａ及び１０Ｂの形状及び配列が示されている。図中のプローブ１０Ａ及び１０Ｂは、係止部１２の形状が互いに一致している。
【００６９】
プローブ１０Ａ及び１０Ｂは、いずれも左右の側面Ｓ１よりも左右方向Ｄ１にそれぞれ突出する２つの突出部１２１と、前後の側面Ｓ２から前後方向Ｄ２にそれぞれ突出する２つの突出部１２２とを有する。
【００７０】
２つの突出部１２１は、前後方向Ｄ２の位置を異ならせて配置される。図９に示したプローブ１０では、右側の突出部１２１が右側面の前端に配置され、左側の突出部１２１が左側面の後端に配置されている。
【００７１】
また、２つの突出部１２２は、いずれも側面Ｓ２の左端から右端まで延び、一方の突出部１２１と連結されている。すなわち、前側の突出部１２２は、右側の突出部１２１と連結され、後側の突出部１２２は、左側の突出部１２１と連結されている。
【００７２】
左右方向Ｄ１において互いに隣接する２つのプローブ１０Ａ及び１０Ｂについて、これらのプローブ間の２つの突出部１２１は、いずれも隣接するプローブ１０と対向する側面Ｓ１から突出する係止部１２であり、前後方向Ｄ２に相対的にシフトさせて配置される。
【００７３】
図９に示す様な構成を採用することにより、左右方向Ｄ１に配置された２以上のプローブ１０に関し、左右方向Ｄ１について、隣接するプローブ１０の間隔を狭めることができる。
【００７４】
なお、実施の形態１では、右側の突出部１２１と左側の突出部１２１とが前後方向Ｄ２の位置を異ならせて配置される場合の例について説明したが、右側の突出部１２１と左側の突出部１２１とを前後方向Ｄ２の同じ位置に配置するような構成であってもよい。
【００７５】
図１０は、プローブカード１１２及び１１３の要部の構成例を示した平面図であり、２つのプローブ１０Ａ及び１０Ｂの形状及び配列が示されている。図中の（ａ）には、プローブカード１１２の構成として、右側の突出部１２１と左側の突出部１２１とを前後方向Ｄ２の同じ位置に配置したプローブ１０Ａ及び１０Ｂが示されている。
【００７６】
プローブ１０Ａ及び１０Ｂは、いずれも右側の突出部１２１と左側の突出部１２１とを有し、これらの突出部１２１の前後方向Ｄ２の位置が一致している。また、プローブ１０Ａの各突出部１２１が側面Ｓ１の前端に配置される一方、プローブ１０Ｂの各突出部１２１は、側面Ｓ１の後端に配置される。
【００７７】
左右方向Ｄ１において互いに隣接する２つのプローブ１０Ａ及び１０Ｂ間の２つの突出部１２１は、いずれも隣接するプローブ１０と対向する側面Ｓ１から突出する係止部１２であり、前後方向Ｄ２に相対的にシフトさせて配置される。この様な構成であっても、左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２にそれぞれ整列するように配置された４以上のプローブ１０に関し、左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２のそれぞれについて、隣接するプローブ１０の間隔を狭めることができる。
【００７８】
図中の（ｂ）には、プローブカード１１３の構成として、４つの突出部１２１を有するプローブ１０Ａと２つの突出部１２１を有するプローブ１０Ｂとが示されている。プローブ１０Ａは、右側の２つの突出部１２１と左側の２つの突出部１２１とを有する。
【００７９】
右側の２つの突出部１２１は、右側面の前端と後端とにそれぞれ配置されている。また、左側の２つの突出部１２１は、左側面の前端と後端とにそれぞれ配置されている。従って、左右の突出部１２１の前後方向Ｄ２の位置は一致している。
【００８０】
一方、プローブ１０Ｂは、右側の突出部１２１と左側の突出部１２１とを有し、これらの突出部１２１の前後方向Ｄ２の位置が一致している。各突出部１２１は、側面Ｓ１の中央に配置されている。
【００８１】
左右方向Ｄ１において互いに隣接する２つのプローブ１０Ａ及び１０Ｂ間の３つの突出部１２１は、いずれも隣接するプローブ１０と対向する側面Ｓ１から突出する係止部１２であり、前後方向Ｄ２に相対的にシフトさせて配置される。この様な構成であっても、左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２にそれぞれ整列するように配置された４以上のプローブ１０に関し、左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２のそれぞれについて、隣接するプローブ１０の間隔を狭めることができる。
【００８２】
なお、ガイド板１０５に配置される多数のプローブ１０の全てが、上述した構成を有することが望ましいが、本発明は、この様なプローブカード１００，１１０〜１１３のみに限定されない。例えば、互いに隣接する少なくとも２つのプローブ１０が上述した構成を有していればよい。また、少なくとも左右方向Ｄ１及び前後方向Ｄ２に２つずつ整列するように配列させた４つのプローブ１０が上述した構成を有していればよい。
【００８３】
また、実施の形態１及び２では、プローブ１０がガイド板１０５に係止される場合の例について説明したが、本発明は、プローブ１０をガイド板１０６に係止させるような構成であっても良い。
【００８４】
また、実施の形態１及び２では、プローブ本体１１の断面が略矩形である場合の例について説明したが、本発明は、プローブ本体１１の断面形状をこれに限定するものではない。例えば、プローブ本体１１が円、楕円、三角形、多角形又はＬ字型の断面形状を有し、ガイド板１０５のガイド孔１０７が対応する断面形状からなるような構成であっても良い。
【００８５】
プローブ本体１１の断面が矩形以外の場合、隣接する２つのプローブ１０を結ぶ方向は、両プローブ１０の断面の重心を結ぶ方向であり、プローブ１０間は、プローブ１０を結ぶ方向に関し、両プローブ１０の重心の間を指すものとする。また、左右方向Ｄ１において隣接する２つのプローブ１０が、これらのプローブ間に、前後方向Ｄ２へ相対的にシフトさせて配置された係止部１２をそれぞれ有する場合、当該係止部１２は、プローブ本体１１の外周面の前後方向Ｄ２における最遠部よりも前後方向Ｄ２にはみ出さないことが望ましい。プローブ本体１１の外周面の前後方向Ｄ２における最遠部とは、プローブ本体１１の中心から前後方向Ｄ２に最も離れた位置のことである。
【符号の説明】
【００８６】
１００，１１０〜１１３  プローブカード
１０１  メイン基板
１０２  補強板
１０３  ＳＴ基板
１０４  スペーサ
１０５，１０６  ガイド板
１０７  ガイド孔
１０，１０Ａ〜１０Ｄ  プローブ
１１  プローブ本体
１１ａ  湾曲部
１２  係止部
１２１，１２２  突出部
Ｄ１  左右方向
Ｄ２  前後方向
Ｐ１，Ｐ２  プローブ本体の間隔
Ｓ１，Ｓ２  側面
Ｔｅ  外部電極
Ｔｐ  プローブ電極
【図１】
2018044912.tif 000003
【図２】
2018044912.tif 000004
【図３】
2018044912.tif 000005
【図４】
2018044912.tif 000006
【図５】
2018044912.tif 000007
【図６】
2018044912.tif 000008
【図７】
2018044912.tif 000009
【図８】
2018044912.tif 000010
【図９】
2018044912.tif 000011
【図１０】
2018044912.tif 000012