(57)【要約】      （修正有）【課題】透明な樹脂層を備えたスクリーン版の検査において、簡易で扱いやすい装置構成によって、形成された印刷パターンを精度よく検査する検査方法を提供する。【解決手段】光の照射に対して、第１の色成分の光を正反射する光干渉部の上に、スクリーン版Ｐを載置し、スクリーン版Ｐに対する鉛直方向から、スクリーン版Ｐに向かって第１の色成分を少なくとも有する光を照射し、少なくとも開口部１４における光干渉部から、第１の色成分から成る正反射光を撮像し、撮像した画像を検査画像とし、目視又はあらかじめ記憶した基準画像及び／又は基準値との比較により、印刷パターン１５の検査を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッシュの上に、透明又は半透明な樹脂層が積層されて成る印刷スクリーン版において、前記樹脂層に形成された開口部から成る印刷パターンを検査する方法であって、光の照射に対して、第１の色成分の光を正反射する光干渉部の上に、前記スクリーン版を載置し、前記スクリーン版に対する鉛直方向から、前記スクリーン版に向かって前記第１の色成分を少なくとも有する光を照射し、少なくとも前記開口部における前記光干渉部から、前記第１の色成分から成る正反射光を撮像し、撮像した画像を検査画像とし、目視又はあらかじめ記憶した基準画像及び／又は基準値との比較により、前記印刷パターンの検査を行うことを特徴とするスクリーン印刷版の検査方法。
【請求項２】
さらに、前記第１の色成分とは異なる第２の色成分の光を前記スクリーン版に照射して、前記メッシュから前記第２の色成分から成る正反射光を撮像し、前記第１の色成分から成る正反射光を撮像した画像から、前記第１の色成分の画像を２値化して前記印刷パターン及び前記メッシュに対応する領域を抽出し、前記第２の色成分から成る正反射光を撮像した画像を２値化して前記メッシュに対応する領域を抽出してネガポジ反転し、前記２値化した第１の色成分の画像と前記２値化した第２の色成分の画像を乗算することで、前記印刷パターンに対応する領域を抽出して検査画像とすることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷版の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷用スクリーン版（以下「スクリーン版」という。）に形成された開口部から成る印刷パターンを精度よく検査するための検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１に、本発明の検査対象であるスクリーン版の検査部位の一例を示す。スクリーン版（Ｐ）は、一般に、以下に説明する工程によって製版される。図１（ａ）に示すステンレス線（１０ａ）を網目状に配したメッシュ（１０）と、図１（ｂ）に示す感光膜（１１）を貼り合わせ、図１（ｃ）に示すスクリーン版（Ｐ）とし、このスクリーン版（Ｐ）に、紫外線によるフイルム露光又はレーザ露光によって、所定の部位のみを硬化したのち、現像することにより、図１（ｄ）に示すように、非開口部（１３）、すなわち、感光膜（１１）によって形成されたスクリーン印刷時にインキが転写されない部位と、開口部（１４）、すなわち、スクリーン印刷時に、インキが転写される部位とが、形成される。このようにして、印刷パターン（１５）が形成される。なお、別のスクリーン版（Ｐ）の例としては、メッシュ（１０）に、熱硬化性樹脂を塗布して乾燥させた層に、レーザ彫刻によって、樹脂を部分的に除去して印刷パターン（１５）が形成される構成もあり、前述した感光膜（１１）と併せて、以降は、メッシュ（１０）に積層されて印刷パターン（１５）が形成される層のことを「樹脂層（１２）」として説明する。
【０００３】
このようなスクリーン版（Ｐ）の開口部（１４）を検査する方法として、デジタル画像処理を用いた検査が有効であり、仮に、スクリーン版の樹脂層として、色のついた樹脂層（１２）を使用する場合、反射光による検査においては、開口部（１４）と非開口部（１３）は別の色として撮像されるので、色の差によって開口部（１４）と非開口部（１３）を区別して検査することができる。また、透過光による検査においては、光源の光がスクリーン版の開口部（１４）のみを透過し、非開口部（１３）は樹脂層（１２）の色によって遮蔽されるので、透過光の明るさが異なることによって開口部（１４）と非開口部（１３）を区別して検査することができる。
【０００４】
ところが、スクリーン版（Ｐ）の樹脂層（１２）は、必ずしも色がついているとは限らず、透明又は透明に近い材料が使われることがあり、この場合、非開口部（１３）において、開口部（１４）との区別がつきづらく、その結果、精度よく検査するために必要なコントラストを十分に得られなかった。
【０００５】
そこで、複数の光源から検査部位に対して、斜めに光を照射して、透過光を撮像する構成により、非開口部と開口部を区分けして抽出することが可能な検査装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１の検査方法によれば、斜めに照射された光のうち、開口部では、そのまま透過するため、撮像部に暗く撮像され、非開口部では、光が散乱して、撮像部に明るく撮像される。
【０００６】
また、１対の光源とカメラを用いて透過光により検査する際に、光源側とカメラ側に互いに相対回転可能な偏光フィルタを配置することで、開口部に付着した色濃度の薄い半透明な異物を検出するスクリーン版の検査装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。特許文献２の検査装置は、色濃度の薄い半透明な異物を検出することを目的とした技術であるが、スクリーン版の開口部と非開口部に対応して偏光フィルタの回転角度を変化させることで、スクリーン版の検査にも適用できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１３−１２００５号公報
【特許文献２】特開２０１０−８９２９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１の従来技術は、一つのカメラに対して複数の拡散広角照明及び垂直に照射する照明を用いて透過光量を制御する方法であり、単純な透過光検査に比べ、照明系が複雑で大型化するというデメリットがあった。
【０００９】
また、特許文献２の従来技術は、偏光フィルタどうしを任意の回転角に調整することで透過光量をコントロールするため、検出したい異物に応じて偏光フィルタの回転角を調整する必要があり、仮に、透明な樹脂層を備えたスクリーン版を検査する場合、偏光フィルタの回転角度を調整しなければならず、調整の手間がかかるというデメリットがある。
【００１０】
本発明は、前述した課題の解決を目的とするものであり、透明な樹脂層を備えたスクリーン版の検査において、簡易で扱いやすい装置構成によって、形成された印刷パターンを精度よく検査する検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のスクリーン版の検査方法は、メッシュの上に、透明又は半透明な樹脂層が積層されて成る印刷スクリーン版において、樹脂層に形成された開口部から成る印刷パターンを検査する方法であって、光の照射に対して、第１の色成分の光を正反射する光干渉部の上に、スクリーン版を載置し、スクリーン版に対する鉛直方向から、スクリーン版に向かって第１の色成分を少なくとも有する光を照射し、少なくとも開口部における光干渉部から、第１の色成分から成る正反射光を撮像し、撮像した画像を検査画像とし、目視又はあらかじめ記憶した基準画像及び／又は基準値との比較により、印刷パターンの検査を行うことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明のスクリーン版の検査方法は、さらに、第１の色成分とは異なる第２の色成分の光をスクリーン版に照射して、メッシュから第２の色成分から成る正反射光を撮像し、前記第１の色成分から成る正反射光を撮像した画像を２値化して印刷パターン及びメッシュに対応する領域を抽出し、第２の色成分から成る正反射光を撮像した画像を２値化してメッシュに対応する領域を抽出してネガポジ反転し、２値化した第１の色成分の画像と２値化した第２の色成分の画像を乗算することで、印刷パターンに対応する領域を抽出して検査画像とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のスクリーン版の検査方法は、簡易で扱い易い構成の検査装置によって、透明な樹脂層に形成された開口部から成る印刷パターンを検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の検査対象であるスクリーン版の検査部位の一例を示す図である。
【図２】本発明の検査方法に用いる検査装置の構成を示す図である。
【図３】検査装置における照明部の一例を示す図である。
【図４】検査装置における照明部の別の一例を示す図である。
【図５】検査処理部の構成を示す図である。
【図６】本発明の検査方法を示すフロー図である。
【図７】配置工程によって、配置するスクリーン版の位置を示す図である。
【図８】印刷パターン抽出工程の詳細を示すフロー図である。
【図９】色成分による領域分け工程において、検査画像を色分解した状態を示す図である。
【図１０】抽出工程において、Ｒ画像を２値化した画像を示す図である。
【図１１】抽出工程において、Ｂ画像を２値化した画像を示す図である。
【図１２】開口部の抽出工程において、開口部を抽出する処理を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明を実施するための形態について、図面を参照して説明する。しかしながら、本発明は、以下に述べる実施するための形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲記載における技術的思想の範囲内であれば、その他の様々な実施の形態が含まれる。
【００１６】
図２に、本発明の検査方法を行う検査装置（Ｍ）の構成を示す。検査装置（Ｍ）は、照明部（１）、撮像部（２）、光干渉部（３）、検査処理部（４）を少なくとも備える。なお、検査の対象となるスクリーン版（Ｐ）は、図１に示す構成のとおりであり、ここでは、説明を省略する。
【００１７】
（撮像部）
撮像部（２）は、スクリーン版（Ｐ）が備える開口部（１４）と非開口部（１３）の画像を撮像する手段であり、カラーカメラ及びレンズにより構成されている（図示せず）。撮像部（２）を構成するカラーカメラは、エリアカメラでもよいし、ラインカメラでもよく、検査する領域に応じて用いればよい。レンズは、テレセントリックレンズが好ましい。これは、テレセントリックレンズは、被写体からの正反射光を通しやすいという光学特性を持ち、正反射光はより明るく、拡散反射光はより暗くなるので、後述する検査処理工程において、開口部（１４）と非開口部（１３）の高いコントラストを得ることができるからである。カラーカメラによって撮像された画像は、検査処理部（４）に転送される。
【００１８】
（照明部）
照明部（１）は、撮像部（２）が、スクリーン版（Ｐ）が備える開口部（１４）と非開口部（１３）から反射される光を得るために、スクリーン版（Ｐ）に光を照射する手段であり、照明部（１）が照射する光は、光干渉部（３）が正反射する色の成分を少なくとも含んだ光源を用いる必要がある。具体例としては、光干渉部（３）が正反射する色の成分が青色の場合、照明部（１）が照射する光は、青色となるが、更に、他の色成分を含んでいてもよく、青色成分に加えて、赤色の成分や、黄色の成分を含む光でもよい。また、照明部（１）は、可視波長域の全ての色成分を含む白色の光を照射するものでもよい。
【００１９】
照明部（１）は、照明部（１）からの照射光（Ｌ１）の光軸が、撮像部（２）への入射光（Ｌ２）と同一の光軸上となるように配置され、以下、照明部（１）の配置の具体例について説明する。
【００２０】
図３は、照明部（１）の例としてリング照明（２１）を用いた場合の、照明部（１）と撮像部（２）の位置関係を詳細に表した図である。リング照明（２１）を、撮像部（２）の周囲に配置し、リング照明（２１）による照射光（Ｌ１）の光軸が撮像部（２）への入射光（Ｌ２）と同一の方向となるよう、光を照射する。
【００２１】
図４は、照明部（１）の別の例として、同軸落射照明（３０）を用いた場合の、照明部（１）と撮像部（２）の位置関係を詳細に表した図である。同軸落射照明（３０）は、照射光と同軸の正反射光を得る手段であり、同軸落射照明光源（３１）、ハーフミラー（３２）から構成される。図４において、同軸落射照明光源（３１）からの照射光（Ｌ１）は、ハーフミラー（３２）によって反射され、後述する光干渉部（３）に照射される。図４において一点鎖線で示す光干渉部（３）から反射される光は、ハーフミラー（３２）を透過するので、入射光（Ｌ２）として撮像部（２）に入射する。これによって、照射光（Ｌ１）と入射光（Ｌ２）の光軸を同一の方向とすることができる。
【００２２】
（光干渉部）
光干渉部（３）は、図２に示すように、照明部（１）の光軸の先に、その表面が垂直となるよう配置する。光干渉部（３）は、その表面に対し光を照射すると、特定の色のみが正反射光として得られる。このような光学特性を有する材料として例えば、ダイクロイックフィルタがあり、ダイクロイックフィルタによって正反射される色は、ダイクロイックフィルタを構成する多層薄膜の構造により異なるが、各色を反射するフィルタが市販されており、光干渉部（３）として適宜選択して用いることができる。以降の説明では、光干渉部（３）として、正反射光が青緑となるダイクロイックフィルタを用いた例で説明する。
【００２３】
（検査処理部）
検査処理部（４）は、撮像部（２）から転送された画像（以下「検査画像」という。）を基に、あらかじめ登録した良否判定の基準となる画像やデータとを比較して検査する手段であり、詳細は図５に示すように、演算手段（４１）、記憶手段（４２）から構成される。
【００２４】
演算手段（４１）は、撮像部（２）から転送された検査画像を基に、各種の画像処理を行って（詳細については後述する。）、開口部（１４）から成る印刷パターン（１５）を抽出するとともに、記憶手段（４２）にあらかじめ記憶した基準画像や基準データ（詳細については後述する。）と比較して、印刷パターン（１５）の良否を判定するための演算を行う手段である。
【００２５】
記憶手段（４２）は、スクリーン版の検査の際に、比較のために用いる基準画像、基準データを記憶する手段である。演算手段（４１）及び記憶手段（４２）には、専用の画像処理装置や、ＰＣを用いる。
【００２６】
（検査方法）
次に、図２の検査装置（Ｍ）を用いたスクリーン版の検査方法について、図６に示すフローチャートに準じて説明する。本発明のスクリーン版の検査方法において、図６に示す印刷パターン抽出工程（Ｓ４）は、必須の工程ではないが、ここでは、印刷パターン抽出工程（Ｓ４）によって抽出された画像を基に、検査を行う形態について説明する。なお、本発明のスクリーン版の検査方法において検査するスクリーン版（Ｐ）の構成は、前述のように、樹脂層（１２）が透明であり、更に、メッシュ（１０）として金属光沢のあるステンレスメッシュを備える例について説明する。また、印刷パターン（１５）が「Ｐ」の文字パターンとして形成された例で説明する。
【００２７】
（配置工程）
ステップ１は、配置工程（Ｓ１）であって、図７に示すように、スクリーン版（Ｐ）を光干渉部（３）と照明部（１）の間に配置する工程であり、光干渉部（３）の上に、スクリーン版（Ｐ）を載せる。
【００２８】
（照射工程）
ステップ２は、照射工程（Ｓ２）であって、照明部（１）からスクリーン版（Ｐ）に対して光を照射する工程である。光源からの照射光（Ｌ１）の色は、光干渉部（３）によって正反射される色成分を少なくとも含む必要があり、ここでは、照射光（Ｌ１）として、可視光領域において全ての波長成分を含む白色光を用いた例として説明する。
【００２９】
（撮像工程）
ステップ３は、撮像工程（Ｓ３）であって、撮像部（２）によって、スクリーン版（Ｐ）及び光干渉部（３）から正反射された光を撮像し、検査画像を取得する。検査画像は、前述したように、検査処理部（４）に転送する。
【００３０】
本実施の形態の例において、撮像工程（Ｓ３）で撮像されて、検査処理部（４）に転送される検査画像は、以下のような特徴を持っている。
【００３１】
検査画像は、カラー画像であり、カラー画像は公知のように赤、緑、青の三つの濃度画像を加法混色したものである。したがって、検査画像中の任意の箇所は、赤、緑、青のいずれかの色成分を持っている。なお、カラーカメラによって撮像されるカラー画像は、複数の画素の２次元配置によって構成され、一つ一つの画素ごとに、赤、緑、青の色情報を備えている。以降の説明では、カラー画像に対して、スクリーン版（Ｐ）を構成する各部位（メッシュ、開口部、非開口部）のことを指す場合には、広義の意味でそれぞれの「領域」として説明するが、各領域は、実際には、複数の画素で構成されている。
【００３２】
スクリーン版の開口部（１４）には、ダイクロイックフィルタへの照射光（Ｌ１）及びダイクロイックフィルタから反射される光を遮るものがないため、撮像された検査画像において、スクリーン版の開口部（１４）に相当する領域は、白色の照射光（Ｌ１）に対する、ダイクロイックフィルタの正反射光の色味である、青緑色となる。
【００３３】
スクリーン版の非開口部（１３）に相当する領域は、樹脂層（１２）が透明であるため、光が透過するが、樹脂層（１２）内部での散乱により、ダイクロイックフィルタ表面からの正反射光が生じることなく、黒色として撮像されるか、あるいは、樹脂層（１２）内部で散乱した光の一部がダイクロイックフィルタによって正反射されても、暗い青緑色として撮像される。
【００３４】
スクリーン版のメッシュ（１０）においては、メッシュ（１０）が金属反射するステンレスにより構成されているため、入射光はメッシュ（１０）の表面で反射し、ダイクロイックフィルタには当たらず、よって、撮像された検査画像において、メッシュ（１０）に相当する領域は、青、緑、赤の色成分を含む白色となる。
【００３５】
（印刷パターン抽出工程）
ステップ４は、印刷パターン抽出工程（Ｓ４）であって、検査処理部（４）に転送された検査画像を基にして、印刷パターン（１５）の抽出を行う。以下、印刷パターン抽出工程（Ｓ４）の詳細について、図８に示すフロー図を用いて説明する。
【００３６】
（色成分による領域分け工程）
ステップ４−１は、色成分による領域分け工程（Ｓ４−１）であり、図９に示すように、検査画像（１００）を赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三つの濃度画像にＲＧＢ分解する。以降、ＲＧＢ分解したそれぞれの色成分の画像を、Ｒ画像（１０１）、Ｇ画像（１０２）、Ｂ画像（１０３）とする。
【００３７】
前述した理由により、Ｒ画像（１０１）は、スクリーン版（Ｐ）のメッシュ（１０）部分に相当する領域においてのみ高い輝度を持つ。Ｇ画像（１０２）及びＢ画像（１０３）は、スクリーン版の開口部（１４）に相当する領域及びメッシュ（１０）部分に相当する領域双方に高い輝度を持つ。
【００３８】
（２値化処理工程）
次のステップ４−２は、ＲＧＢ分解した色成分の画像において、スクリーン版（Ｐ）を構成するメッシュ（１０）、開口部（１４）及び非開口部（１３）の各部位の領域を確定するための２値化処理工程（４−２）であり、ここでは、２値化処理工程（４−２）の一例として、Ｒ画像（１０１）、Ｂ画像（１０３）を２値画像へ変換する。２値化の方法は、公知の判別分析法、Ｐタイル法、モード法のいずれを使用してもよく、判別分析法によれば、スクリーン版（Ｐ）の各部位を精度よく区分けできることから、好ましい。以降、判別分析法によって２値化したＲ画像を、２値Ｒ画像（１０４）とし、判別分析法によって２値化したＢ画像を、２値Ｂ画像（１０５）として説明し、それぞれの画像を、図１０及び図１１に示す。
【００３９】
Ｒ画像を２値化すると、メッシュを示す領域のみが白となり、それ以外の領域は黒となる。したがって、図１０に示すように、２値Ｒ画像（１０４）における白の領域（１１０）は、メッシュであるといえる。
【００４０】
Ｂ画像を２値化すると、開口部（１４）及びメッシュ（１０）を示す領域が白となり、それ以外の領域は黒となる。したがって、図１１に示すように、２値Ｂ画像（１０５）における白の領域（１１１）は、開口部とメッシュであるといえる。
【００４１】
（開口部の抽出処理工程）
ステップ４−３は、開口部の抽出処理工程（Ｓ４−３）である。開口部（１４）を抽出するためには、２値Ｂ画像（１０５）における白の領域（１１１）のうち、２値Ｒ画像（１０４）における白の領域（１１０）を黒に変換すれば、メッシュ（１０）を示す領域が全て黒となるので、白となっている領域によって開口部（１４）を表す出力画像（以下「開口部画像」とする。）を得ることができる。以下、開口部の抽出処理工程（４−３）の詳細について、図１２（ａ）に示すフロー図を用いて説明し、開口部の抽出処理工程（４−３）において、処理される画像の流れについて、図１２（ｂ）を用いて説明する。
【００４２】
図１２（ａ）において、ステップ４−３−１は、２値画像の反転工程（４−３−１）であり、図１２（ｂ）に示すように、メッシュ（１０）の画像に相当する２値Ｒ画像（１０４）をネガポジ反転して反転画像（１０６）とする。  次に、ステップ４−３−２は、２値Ｂ画像（１０５）における白の領域（１１１）のうち、メッシュ（１０）に相当する領域を除くための乗算工程（４−３−２）であり、２値Ｂ画像（１０５）と反転画像（１０６）を用いてＡＮＤ演算（乗算）を行う。この演算の結果、得られたのが開口部画像（１０７）である（図１２（ｂ））。開口部画像（１０７）における白の領域（１１３）は、印刷パターン（１５）を構成する開口部（１４）を示す領域であり、開口部画像（１０７）における黒の領域（１１４）はその他の領域である。
【００４３】
本実施の形態では、Ｒ画像（１０１）とＢ画像（１０３）を用いて、開口部（１４）を抽出する処理について説明したが、Ｒ画像（１０１）とＧ画像（１０２）を用いて、同様の処理を行うことで、開口部（１４）を抽出することができる。また、本実施の形態では、光干渉部（３）からの正反射光が青緑色とした例について説明したが、光干渉部（３）からの正反射光の色は、用いるダイクロイックフィルタの種類によることから、光干渉部（３）として用いるダイクロイックフィルタが正反射する色に応じて、検査画像（１００）をＲＧＢ分解した後、必要な色成分の画像を用いて、開口部（１４）を抽出するために、図１２に示す処理と同様に行えばよい。
【００４４】
また、本実施の形態では、開口部（１４）を抽出するためにステップ４−１からステップ４−３の工程を行う例について説明したが、ＲＧＢ分解した各画像のいずれかにおいて、開口部（１４）とメッシュ（１０）にコントラストがある場合には、そのまま２値化して開口部（１４）を抽出してもよい。この場合、開口部の抽出処理工程（４−３）を省略することができる。
【００４５】
（印刷パターンの検査工程）
ステップ５は、印刷パターンの検査工程（Ｓ５）であり、記憶手段（４２）にあらかじめ記憶された基準画像、各基準データと、ステップ４で得られた開口部画像（１０７）を用いて、スクリーン版（Ｐ）の検査を行う。スクリーン版（Ｐ）の検査に用いる各基準データの具体例としては、開口部（１４）全体の面積の値、基準画像とのマッチ率（整合率）及び基準画像との差分面積の値があり、以下、各基準データを用いた印刷パターンの検査工程（Ｓ５）の処理について説明する。
【００４６】
（開口部の面積の値による検査）
開口部（１４）の面積の値を用いて検査を行う場合には、正規の開口部の面積を基準データとして、あらかじめ記憶手段（４２）に記憶しておき、得られた開口部画像（１０７）における白の領域（１１３）を構成する画素の総数から開口部（１４）全体の面積を求めて、基準データと比較して、良否を判定する。具体的な基準データとして、上限と下限の基準面積を記憶手段（４２）に記憶しておき、検査画像（１００）から求めた開口部の面積が、上限の基準データを超える場合又は下限の基準データを下回る場合に、印刷パターン（１５）を不良と判定する。判定結果については、モニタ（図示せず）に表示してもよいし、プリンタ（図示せず）によって出力してもよい。
【００４７】
（基準画像とのマッチ率による検査）
基準画像とのマッチ率によって検査を行う場合には、正規の印刷パターン（１５）に対応した基準画像と、良否判定の基準となるマッチ率の値を、あらかじめ記憶手段（４２）に記憶しておき、基準画像と開口部画像（１０７）のパターンマッチングによって演算されたマッチ率と比較を行う。そして、パターンマッチングによるマッチ率が、基準データであるマッチ率を下回る場合に、印刷パターン（１５）を不良と判定する。なお、パターンマッチングの処理については、当業者において公知の技術であり、本出願人においても、特開２０１５−７５４４４号公報の検査方法で用いている。
【００４８】
（基準画像との差分面積による検査）
基準画像との差分面積によって検査を行う場合には、正規の印刷パターン（１５）に対応した基準画像と、良否判定の基準となる差分面積の値を、あらかじめ記憶手段（４２）に記憶しておき、基準画像と開口部画像（１０７）の差分処理により、基準画像に対して、開口部画像（１０７）の異なる部位の面積を求める。そして、差分処理による面積が、基準データである差分面積の値を上回る場合に、印刷パターン（１５）を不良と判定する。なお、差分処理については、当業者において公知の技術であり、本出願人においても、特開２００８−１２２１３９号公報の検査装置で用いている。
【００４９】
本実施の形態では、印刷パターン抽出工程（Ｓ４）によって抽出した開口部画像（１０７）を、印刷パターンの検査工程（Ｓ５）によって比較判定する例について説明したが、印刷パターンの検査工程（Ｓ５）は、抽出された開口部画像（１０７）をモニタに表示して検査者が目視で判断してもよい。また、印刷パターン抽出工程（Ｓ４）を用いることなく、撮像工程（Ｓ３）によって撮像された検査画像（１００）をモニタに表示して検査者が目視で判断してもよい。
【００５０】
以上に本発明の検査方法について説明したが、本発明の検査方法に用いる検査装置（Ｍ）は、特許文献１のように、複数の光源を設ける必要がないことから、検査装置（Ｍ）を、小型化かつ簡素化することができる。また、光干渉部（３）を用いて撮像した画像を処理して、開口部（１４）の抽出ができることから、特許文献２のように、検査の対象に応じて偏光フィルタの回転角度を調整することなく、取扱いが容易である。
【００５１】
本発明のスクリーン版の検査方法は、スクリーン版（Ｐ）の製造工程で、印刷パターン（１５）の検査のために実施することの他、印刷機に検査装置（Ｍ）を設置して、印刷中や、印刷終了時に版面の状況を確認するために実施してもよい。スクリーン印刷機には、現在、フラット型とロータリー型の方式があるが、いずれの場合でも、適用することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１      照明部
２      撮像部
３      光干渉部
４      検査処理部
１０    メッシュ
１０ａ  ステンレス線
１１    感光膜
１２    樹脂層
１３    非開口部
１４    開口部
１５    印刷パターン
２１    リング照明
３０    同軸落射照明
３１    同軸落射照明光源
３２    ハーフミラー
４１    演算手段
４２    記憶手段
１００  検査画像
１０１  Ｒ画像
１０２  Ｇ画像
１０３  Ｂ画像
１０４  ２値Ｒ画像
１０５  ２値Ｂ画像
１０６  反転画像
１０７  開口部画像
１１０  ２値Ｒ画像における白の領域
１１１  ２値Ｂ画像における白の領域
１１３  開口部画像における白の領域
１１４  開口部画像における黒の領域
Ｍ      検査装置
Ｐ      スクリーン版
Ｌ１      照射光
Ｌ２      入射光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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