(57)【要約】【課題】放電波形のサグを補償して平坦度の高い出力パルスを得ることができ、しかも、高信頼性・低ノイズ化を実現することが可能なパルス電源装置を提供する。【解決手段】互いに直列接続された複数の半導体マルクス回路１−１、１−２を備えたパルス電源装置１０であって、半導体マルクス回路１−１、１−２は、主スイッチＱｍおよび主コンデンサＣｍに直列接続されたバウンサ回路と、主スイッチＱｍに並列接続された第１分圧抵抗器Ｒｍと、バウンサ回路に並列接続された第２分圧抵抗器Ｒｂとを備え、バウンサ回路は、主スイッチＱｍおよび主コンデンサＣｍに直列接続されたバウンサコンデンサＣｂと、バウンサコンデンサＣｂに並列接続された、バウンサリアクトルＬｂおよびバウンサスイッチＱｂからなる第１直列回路と、を備えることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直列接続された複数の半導体マルクス回路を備え、前記半導体マルクス回路の主スイッチがオン状態のときに、前記主スイッチに直列接続された前記半導体マルクス回路の主コンデンサが放電してパルス出力を行うパルス電源装置であって、
前記複数の半導体マルクス回路のうちの少なくとも１つの半導体マルクス回路は、
前記主スイッチおよび前記主コンデンサに直列接続されたバウンサ回路を備え、
前記バウンサ回路は、
前記主スイッチおよび前記主コンデンサに直列接続されたバウンサコンデンサと、
前記バウンサコンデンサに並列接続された、バウンサリアクトルおよびバウンサスイッチからなる第１直列回路と、を備える
ことを特徴とするパルス電源装置。
【請求項２】
前記複数の半導体マルクス回路のすべての半導体マルクス回路が、前記バウンサ回路を備える
ことを特徴とする請求項１に記載のパルス電源装置。
【請求項３】
前記バウンサスイッチは、サイリスタと、前記サイリスタに逆並列接続されたダイオードと、を備える
ことを特徴とする請求項１または２に記載のパルス電源装置。
【請求項４】
前記半導体マルクス回路は、
高電位側入力端子、低電位側入力端子、高電位側出力端子および低電位側出力端子と、
前記高電位側入力端子−前記高電位側出力端子間に介装された充電スイッチと、
前記低電位側入力端子−前記低電位側出力端子間に介装された、前記主スイッチ、前記バウンサ回路および前記主コンデンサからなる第２直列回路と、
前記第２直列回路に並列接続された整流器と、を備え、
前記充電スイッチと前記主コンデンサと前記整流器とが直列接続されている
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のパルス電源装置。
【請求項５】
直列接続された複数の半導体マルクス回路のうちの少なくとも１つの半導体マルクス回路が、直列接続された主スイッチ、バウンサ回路および主コンデンサを備えたパルス電源装置において、前記主コンデンサを放電させてパルス出力を行わせるパルス発生方法であって、
前記主スイッチおよび前記バウンサ回路のバウンサスイッチをオフ状態にして、前記主コンデンサおよび前記バウンサ回路のバウンサコンデンサを充電する充電ステップと、
前記充電ステップ後、前記主スイッチをオフ状態にしたまま前記バウンサスイッチをオン状態にして、前記バウンサコンデンサの共振による電圧振動を開始させるバウンサ動作開始ステップと、
前記バウンサ動作開始ステップ後、前記バウンサコンデンサの電圧が第１極性から第２極性に反転する前後の期間に、前記主スイッチをオン状態にして前記パルス出力を行わせるパルス出力ステップと、
前記パルス出力ステップ後、前記主スイッチをオフ状態にして前記バウンサコンデンサを回生充電し、前記バウンサコンデンサの電圧を前記第２極性から前記第１極性に戻す回生充電ステップと、を含む
ことを特徴とするパルス発生方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パルス電源装置およびパルス発生方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
パルス電源装置としては、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。特許文献１に記載のパルス電源装置は、複数の半導体マルクス回路と、複数の半導体マルクス回路の各スイッチを同時にオン／オフさせる制御回路とを備える。このパルス電源装置では、制御回路が半導体マルクス回路の各スイッチを同時にオンさせることで、半導体マルクス回路の各コンデンサを直列接続した状態にして放電させることができ、各コンデンサの放電電圧の和に相当する出力パルスを発生させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２３７１４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のパルス電源装置では、各コンデンサの放電が進むにつれて各コンデンサの両端電圧が低下し、放電波形（出力パルス波形）にサグが発生して、平坦度の高い出力パルスを得ることができないという問題がある。
【０００５】
放電波形のサグを補償して平坦度の高い出力パルスを得るためには、ＰＷＭスイッチング等を用いる方法があるが、その方法では、スイッチング素子の数が多くなるので、動作が複雑になり信頼性が低下する。また、別の方法として、直列に挿入するコンデンサユニットの数を途中から増やす方法もあるが、この方法では、スイッチングの際にノイズが増大し、出力パルスの電圧変動が大きくなる。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その課題とするところは、放電波形のサグを補償して平坦度の高い出力パルスを得ることができ、しかも、高信頼性・低ノイズ化を実現することが可能なパルス電源装置およびパルス発生方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係るパルス電源装置は、
互いに直列接続された複数の半導体マルクス回路を備え、前記半導体マルクス回路の主スイッチがオン状態のときに、前記主スイッチに直列接続された前記半導体マルクス回路の主コンデンサが放電してパルス出力を行うパルス電源装置であって、
前記複数の半導体マルクス回路のうちの少なくとも１つの半導体マルクス回路は、
前記主スイッチおよび前記主コンデンサに直列接続されたバウンサ回路を備え、
前記バウンサ回路は、
前記主スイッチおよび前記主コンデンサに直列接続されたバウンサコンデンサと、
前記バウンサコンデンサに並列接続された、バウンサリアクトルおよびバウンサスイッチからなる第１直列回路と、を備える
ことを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、バウンサ回路を備えることにより、放電波形のサグを補償して平坦度の高い出力パルスを得ることができる。また、この構成では、基本的にスイッチの追加は複数の半導体マルクス回路に対して少なくとも１つだけ（バウンサスイッチだけ）であり、バウンサコンデンサの電圧振動の周期（バウンサコンデンサの放電周期）当たり１回のスイッチングで済むので、高信頼性・低ノイズ化を実現することができる。
【０００９】
上記パルス電源装置では、
前記複数の半導体マルクス回路のすべての半導体マルクス回路が、前記バウンサ回路を備える
ことが好ましい。
【００１０】
上記パルス電源装置では、
前記バウンサスイッチは、サイリスタと、前記サイリスタに逆並列接続されたダイオードと、を備える
ように構成することができる。
【００１１】
上記パルス電源装置では、
前記半導体マルクス回路は、
高電位側入力端子、低電位側入力端子、高電位側出力端子および低電位側出力端子と、
前記高電位側入力端子−前記高電位側出力端子間に介装された充電スイッチと、
前記低電位側入力端子−前記低電位側出力端子間に介装された、前記主スイッチ、前記バウンサ回路および前記主コンデンサからなる第２直列回路と、
前記第２直列回路に並列接続された整流器と、を備え、
前記充電スイッチと前記主コンデンサと前記整流器とが直列接続されている
ように構成することができる。
【００１２】
また、上記課題を解決するために、本発明に係るパルス発生方法は、
直列接続された複数の半導体マルクス回路のうちの少なくとも１つの半導体マルクス回路が、直列接続された主スイッチ、バウンサ回路および主コンデンサを備えたパルス電源装置において、前記主コンデンサを放電させてパルス出力を行わせるパルス発生方法であって、
前記主スイッチおよび前記バウンサ回路のバウンサスイッチをオフ状態にして、前記主コンデンサおよび前記バウンサ回路のバウンサコンデンサを充電する充電ステップと、
前記充電ステップ後、前記主スイッチをオフ状態にしたまま前記バウンサスイッチをオン状態にして、前記バウンサコンデンサの共振による電圧振動を開始させるバウンサ動作開始ステップと、
前記バウンサ動作開始ステップ後、前記バウンサコンデンサの電圧が第１極性から第２極性に反転する前後の期間に、前記主スイッチをオン状態にして前記パルス出力を行わせるパルス出力ステップと、
前記パルス出力ステップ後、前記主スイッチをオフ状態にして前記バウンサコンデンサを回生充電し、前記バウンサコンデンサの電圧を前記第２極性から前記第１極性に戻す回生充電ステップと、を含む
ことを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、バウンサコンデンサの共振による電圧振動を行わせることにより、放電波形のサグを補償して平坦度の高い出力パルスを得ることができる。また、この構成では、基本的にスイッチの追加は複数の半導体マルクス回路に対して少なくとも１つだけ（バウンサスイッチだけ）であり、バウンサコンデンサの電圧振動の周期（バウンサコンデンサの放電周期）当たり１回のスイッチングで済むので、高信頼性・低ノイズ化を実現することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、放電波形のサグを補償して平坦度の高い出力パルスを得ることができ、しかも、高信頼性・低ノイズ化を実現することが可能なパルス電源装置およびパルス発生方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の半導体マルクス回路の回路図である。
【図２】本発明に係るパルス電源装置の回路図である。
【図３】本発明に係るパルス発生方法を説明するための図である。
【図４】（Ａ）は、本発明に係るパルス電源装置の各部の電圧波形を示す図である。（Ｂ）は、本発明に係るパルス電源装置の各部の電圧波形を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るパルス電源装置およびパルス発生方法の実施形態について説明する。
【００１７】
［パルス電源装置］
図１に、本発明の一実施形態に係る半導体マルクス回路１を示し、図２に、本発明の一実施形態に係るパルス電源装置１０を示す。
【００１８】
半導体マルクス回路１は、高電位側入力端子Ｔ１、低電位側入力端子Ｔ２、高電位側出力端子Ｔ１’および低電位側出力端子Ｔ２’を備えた４端子回路であり、充電スイッチＱｃと、主スイッチＱｍと、バウンサ回路と、主コンデンサＣｍと、整流器Ｄｃと、第１分圧抵抗器Ｒｍと、第２分圧抵抗器Ｒｂとを備える。
【００１９】
充電スイッチＱｃは、例えばＦＥＴからなり、高電位側入力端子Ｔ１−高電位側出力端子Ｔ１’間に介装されている。充電スイッチＱｃの電流路の一端は、高電位側入力端子Ｔ１に接続されている。充電スイッチＱｃの電流路の他端は、高電位側出力端子Ｔ１’に接続されるとともに、主コンデンサＣｍを介して低電位側出力端子Ｔ２’にも接続されている。充電スイッチＱｃの制御端子（例えば、ＦＥＴのゲート）には、充電スイッチＱｃのオン／オフ動作を制御するための駆動回路（図示略）が接続されている。
【００２０】
主スイッチＱｍ、バウンサ回路および主コンデンサＣｍは、互いに直列接続され、低電位側入力端子Ｔ２−低電位側出力端子Ｔ２’間に介装されている。主スイッチＱｍは、例えば絶縁ゲートバイポーラトランジスタからなり、電流路の一端が低電位側入力端子Ｔ２に接続され、電流路の他端がバウンサ回路に接続されている。主スイッチＱｍの制御端子（例えば、絶縁ゲートバイポーラトランジスタのゲート）には、主スイッチＱｍのオン／オフ動作を制御するための駆動回路（図示略）が接続されている。主スイッチＱｍには、第１分圧抵抗器Ｒｍが並列接続されている。
【００２１】
バウンサ回路は、バウンサコンデンサＣｂと、バウンサコンデンサＣｂに並列接続された、バウンサリアクトルＬｂおよびバウンサスイッチＱｂからなる直列回路（本発明の「第１直列回路」に相当）とを備える。バウンサコンデンサＣｂの一端は、主スイッチＱｍの電流路の他端に接続され、バウンサコンデンサＣｂの他端は、高電位側出力端子Ｔ１’に接続されるとともに、主コンデンサＣｍを介して低電位側出力端子Ｔ２’にも接続されている。バウンサコンデンサＣｂには、第２分圧抵抗器Ｒｂが並列接続されている。
【００２２】
バウンサスイッチＱｂは、サイリスタＴｈｙと、サイリスタＴｈｙに逆並列接続されたダイオードＤとを備える。サイリスタＴｈｙのカソードおよびダイオードＤのアノードは、バウンサコンデンサＣｂの一端側に接続され、サイリスタＴｈｙのアノードおよびダイオードＤのカソードは、バウンサリアクトルＬｂを介してバウンサコンデンサＣｂの他端側に接続されている。サイリスタＴｈｙのゲートには、サイリスタＴｈｙのオン動作を制御するための駆動回路（図示略）が接続されている。
【００２３】
整流器Ｄｃは、主スイッチＱｍ、バウンサ回路および主コンデンサＣｍからなる直列回路（本発明の「第２直列回路」に相当）に並列接続されている。整流器Ｄｃは、例えばダイオードからなり、アノードが低電位側出力端子Ｔ２’に接続され、カソードが低電位側入力端子Ｔ２に接続されている。整流器Ｄｃは、充電スイッチＱｃおよび主コンデンサＣｍに直列接続され、主コンデンサＣｍの充電経路を形成する。
【００２４】
半導体マルクス回路１は、主スイッチＱｍの駆動回路、充電スイッチＱｃの駆動回路、およびサイリスタＴｈｙの駆動回路に電源電圧を供給する少なくとも１つの電源回路を備えていてもよい。１つの電源回路で主スイッチＱｍの駆動回路、充電スイッチＱｃの駆動回路、およびサイリスタＴｈｙの駆動回路に電源電圧を供給する場合、例えば、一端が高電位側入力端子Ｔ１に接続され、かつ他端が低電位側入力端子Ｔ２に接続されたＤＣ／ＤＣコンバータを用いることができる。ＤＣ／ＤＣコンバータは、高電位側入力端子Ｔ１および低電位側入力端子Ｔ２から入力された直流電圧からの電力変換により、上記電源電圧を生成することができる。
【００２５】
図２に示すように、本実施形態に係るパルス電源装置１０は、直列接続された２つの半導体マルクス回路１−１、１−２と、制御回路２０とを備える。半導体マルクス回路１−１、１−２は、図１に示す半導体マルクス回路１と同じものである。
【００２６】
半導体マルクス回路１−１の高電位側入力端子Ｔ１および低電位側入力端子Ｔ２は、可変直流電源Ｅに接続されている。半導体マルクス回路１−１の高電位側出力端子Ｔ１’および低電位側出力端子Ｔ２’は、半導体マルクス回路１−２の高電位側入力端子Ｔ１および低電位側入力端子Ｔ２に接続され、半導体マルクス回路１−２の高電位側出力端子Ｔ１’および低電位側出力端子Ｔ２’は、負荷（図示略）に接続されている。
【００２７】
制御回路２０は、半導体マルクス回路１−１、１−２における主スイッチＱｍの駆動回路、充電スイッチＱｃの駆動回路、およびサイリスタＴｈｙの駆動回路に、制御信号（電流信号または電圧信号）を出力する。主スイッチＱｍの駆動回路は、例えば、制御信号が入力されている間は主スイッチＱｍをオン状態にする。充電スイッチＱｃの駆動回路は、例えば、制御信号が入力されている間は充電スイッチＱｃをオン状態にする。サイリスタＴｈｙの駆動回路は、制御信号が入力されるとサイリスタＴｈｙをオン状態にする。
【００２８】
［パルス発生方法］
本実施形態に係るパルス発生方法は、パルス電源装置１０で出力パルスを発生させる方法であり、充電ステップ、バウンサ動作開始ステップ、パルス出力ステップおよび回生充電ステップを含む。
【００２９】
図３（Ａ）〜（Ｄ）に、各ステップにおけるパルス電源装置１０内の電流経路を示す。図４（Ａ）に、バウンサコンデンサＣｂの電圧Ｖｃｂと、主コンデンサＣｍの電圧Ｖｃｍと、出力電圧Ｖｏｕｔの波形を示す。また、図４（Ｂ）に、バウンサスイッチＱｂに流れる電流Ｉｃｂと、出力電流（主コンデンサＣｍの放電電流）Ｉｃｍの波形を示す。なお、図４（Ａ）、（Ｂ）の各波形は半導体マルクス回路１−１における波形であるが、半導体マルクス回路１−２においても同様の波形となる。
【００３０】
充電ステップでは、制御回路２０の制御下で、充電スイッチＱｃをオン状態にする一方、主スイッチＱｍとバウンサスイッチＱｂのサイリスタＴｈｙをオフ状態にして、主コンデンサＣｍおよびバウンサコンデンサＣｂを充電する。
【００３１】
図３（Ａ）に示すように、主コンデンサＣｍは、充電スイッチＱｃおよび整流器Ｄｃを介して、可変直流電源Ｅの直流電圧で充電される。バウンサコンデンサＣｂは、充電スイッチＱｃおよび第１分圧抵抗器Ｒｍを介して、第１分圧抵抗器Ｒｍと第２分圧抵抗器Ｒｂの分圧比に応じた電圧で充電される。本実施形態では、第１分圧抵抗器Ｒｍと第２分圧抵抗器Ｒｂの分圧比を、６：１〜１０：１の範囲内で設定している。また、図４（Ａ）に示すように、出力端子に対してバウンサコンデンサＣｂは正極性に充電される一方、主コンデンサＣｍは負極性に充電される。
【００３２】
バウンサ動作開始ステップでは、制御回路２０の制御下で、主スイッチＱｍをオフ状態にしたまま、充電スイッチＱｃをオフ状態にするとともにバウンサスイッチＱｂのサイリスタＴｈｙをオン状態にして、バウンサ動作すなわちバウンサコンデンサＣｂの共振による電圧振動を開始させる。図３（Ｂ）に示すように、バウンサコンデンサＣｂは、バウンサリアクトルＬｂおよびサイリスタＴｈｙを介して放電する。これにより、バウンサコンデンサＣｂの電圧振動が開始する。
【００３３】
図４（Ａ）に示すように、時間ｔ１においてバウンサ動作開始ステップが開始されると、バウンサコンデンサＣｂの電圧Ｖｃｂは、バウンサ動作開始ステップおよびこれ以降のステップにわたって、バウンサコンデンサＣｂの静電容量とバウンサリアクトルＬｂのインダクタンスとの積で決まる周期の余弦波形で振動する。本実施形態では、この周期が出力パルスＶｏｕｔのパルス幅の３〜６倍になる。また、図４（Ｂ）に示すように、時間ｔ１においてバウンサ動作開始ステップが開始されると、バウンサスイッチＱｂのサイリスタＴｈｙに正弦波電流Ｉｃｂが流れ始める。
【００３４】
パルス出力ステップでは、制御回路２０の制御下で、充電スイッチＱｃをオフ状態にしたまま、主スイッチＱｍをオン状態にして主コンデンサＣｍを放電させることにより、負極性のパルス出力を行わせる。図３（Ｃ）に示すように、主コンデンサＣｍの放電電流は、バウンサコンデンサＣｂおよび主スイッチＱｍを介してＧＮＤに流れるとともに、バウンサコンデンサＣｂからサイリスタＴｈｙに流れる正弦波電流Ｉｃｂにほぼ全部が重畳する。
【００３５】
パルス出力ステップは、バウンサコンデンサＣｂの電圧Ｖｃｂが正極性（第１極性）から負極性（第２極性）に反転する前後の直線的に変化する期間、例えば図４（Ａ）に示す時間ｔ２〜ｔ３に行われる。図４（Ｂ）に示すように、時間ｔ２においてパルス出力ステップが開始されると、上記のとおり主コンデンサＣｍの放電電流Ｉｃｍのほぼ全部が正弦波電流Ｉｃｂに重畳するので、その分、正弦波電流Ｉｃｂが減少する。また、パルス出力ステップでは、主コンデンサＣｍの電圧低下（サグ）がバウンサコンデンサＣｂの電圧振動により打ち消されるので、図４（Ａ）に示すように平坦度の高い出力パルスＶｏｕｔを得ることができる。
【００３６】
回生充電ステップでは、制御回路２０の制御下で、充電スイッチＱｃをオフ状態にしたまま主スイッチＱｍをオフ状態にすることにより、バウンサスイッチＱｂのオン状態のダイオードＤを通じて、バウンサコンデンサＣｂの回生充電を行う。図３（Ｄ）に示すようにダイオードＤがオン状態になると、バウンサコンデンサＣｂは、バウンサリアクトルＬｂとの共振動作により、ダイオードＤおよびバウンサリアクトルＬｂを介して回生充電される。
【００３７】
図４（Ｂ）に示すように、時間ｔ３において回生充電ステップが開始されると、バウンサリアクトルＬｂに流れる正弦波電流Ｉｃｂに重畳していた放電電流Ｉｃｍがゼロになるので、その分、正弦波電流Ｉｃｂが増加する。その後、正弦波電流Ｉｃｂが減少し、正弦波電流Ｉｃｂがゼロになるタイミング（図４の時間ｔ３’）で、サイリスタＴｈｙがオフ状態になり、ダイオードＤがオン状態になる。ダイオードＤがオン状態になると、バウンサコンデンサＣｂは回生充電され、図４（Ａ）に示すように、バウンサコンデンサＣｂの極性が負極性から正極性に戻る。回生充電ステップは、ダイオードＤを流れる正弦波電流Ｉｃｂがゼロになるタイミング（図４の時間ｔ４）で終了する。
【００３８】
結局、本実施形態に係るパルス電源装置１０およびパルス発生方法によれば、バウンサ回路（バウンサコンデンサＣｂ、バウンサリアクトルＬｂおよびバウンサスイッチＱｂ）により、主コンデンサＣｍの放電波形のサグを補償して平坦度の高い出力パルスＶｏｕｔを得ることができる。また、本実施形態に係るパルス電源装置１０およびパルス発生方法では、基本的にスイッチの追加は半導体マルクス回路ごとに１つだけ（バウンサスイッチＱｂだけ）であり、バウンサコンデンサＣｂの電圧振動の周期当たり１回のスイッチングで済むので、高信頼性・低ノイズ化を実現することができる。
【００３９】
さらに、本実施形態に係るパルス電源装置１０は、μｓオーダーの短パルスクライストロン電源や方形波パルス電磁石電源、レーダー用電源等に用いることができる。
【００４０】
以上、本発明に係るパルス電源装置およびパルス発生方法の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
【００４１】
例えば、本発明のパルス電源装置を構成する半導体マルクス回路１の数は、適宜変更することができる。すなわち、本発明のパルス電源装置は、互いに直列接続された複数の半導体マルクス回路１を備え、当該複数の半導体マルクス回路１のそれぞれ主スイッチＱｍがオン状態のときに、当該複数の半導体マルクス回路１のそれぞれの主コンデンサＣｍが放電してパルス出力を行うように構成することができる。
【００４２】
本発明のパルス電源装置を構成する複数の半導体マルクス回路は、少なくとも１つがバウンサ回路（バウンサコンデンサＣｂ、バウンサリアクトルＬｂおよびバウンサスイッチＱｂ）を備えていればよい。しかしながら、メンテナンスの観点からは、すべての半導体マルクス回路が上記バウンサ回路を備えていることが好ましい。
【００４３】
本発明のバウンサスイッチＱｂは、バウンサコンデンサＣｂに共振による電圧振動を生じさせることができるのであれば、適宜構成を変更することができる。
【００４４】
本発明のパルス電源装置を構成する半導体マルクス回路１は、主スイッチＱｍに並列接続された第１分圧抵抗器Ｒｍと、バウンサ回路（バウンサコンデンサＣｂ）に並列接続された第２分圧抵抗器Ｒｂとを備えているが、パルス的に充電を行う場合、コンデンサの静電容量の逆比で分圧するので、適切な静電容量に設定することにより、これら第１および第２分圧抵抗器Ｒｍ、Ｒｂを不要とすることも可能である。また、電圧分圧手段を設ける場合でも、上記に限らず、主スイッチＱｍとバウンサ回路に印加される電圧を分圧するものであればその形態は問わない。
【符号の説明】
【００４５】
１、１−１、１−２    半導体マルクス回路
１０    パルス電源装置
２０    制御回路
【図１】
2018074625.tif 000003
【図２】
2018074625.tif 000004
【図３】
2018074625.tif 000005
【図４】
2018074625.tif 000006