(57)【要約】【課題】アルミニウム合金配線のうち、ボンディングパッドとして露出する部分が、水分によって腐食（ガルバニック腐食）されるのを抑えることが可能な、半導体装置を提供する。【解決手段】本発明の半導体装置１００は、基板１０１と、基板の一方の主面１０１ａ側に設けられ、アルミニウム合金配線１０２とそれを囲む絶縁膜１０７とを含む積層体１０３と、積層体１０３を覆うシリコン窒化膜１０４とを有し、前記シリコン窒化膜および前記絶縁膜には、前記アルミニウム合金配線１０２のボンディング部分と重なる位置において、互いに連通する開口部１０５が設けられており、アルミニウム合金配線の表面のうち、開口部１０５から露出している部分に、シリコンと窒素を含む逆スパッタリング残渣からなる堆積物が付着し、皮膜１０６が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
基板の一方の主面側に設けられ、アルミニウム合金配線とそれを囲む絶縁膜とを含む積層体と、
前記積層体を覆うシリコン窒化膜とを有し、
前記シリコン窒化膜および前記絶縁膜には、前記アルミニウム合金配線のパッド部分と重なる位置において、互いに連通する開口部が設けられており、
前記開口部から露出している前記パッド部分の表面に、シリコンと窒素を含む逆スパッタリング残渣からなる堆積物が付着し、皮膜が形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記皮膜に、シリコンが５０％以上７０％以下、窒素が５％以上２５％以下の割合で、それぞれ含まれていることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記皮膜が、さらに酸素を含んでいることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項４】
前記皮膜が、前記開口部の内壁にも形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記アルミニウム合金配線の表面のうち、前記開口部から露出する部分の周囲に窒化チタン膜が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記皮膜の厚さが、１００Å以上２００Å以下であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の半導体装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記開口部の形成後に、前記シリコン窒化膜に対して、不活性ガスを用いたプラズマ処理を行う工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記不活性ガスとして、アルゴンガスを用いることを特徴とする請求項７に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項９】
前記プラズマ処理の時間を、３０秒以上１２０秒以下とすることを特徴とする請求項７または８のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハ上に形成された集積回路（ＩＣ）は、ブレードダイシングにより、個片化（チップ化）して用いられる。通常のブレードダイシングは、ダイシング中のブレードを冷却するとともに、ダイシングによって発生する切削屑を除去するために、ブレードとその周辺に対して純水を吹き付けながら行われる。
【０００３】
このとき吹き付けられた純水が、アルミニウム合金（アルミニウムと銅等の合金）からなるボンディングパッドに付着すると、その水分とアルミニウム合金との間でガルバニック腐食が生じる。その結果、ボンディングパッドにはアルミニウムの空孔が生じ、ワイヤーボンディングを行った際のワイヤー側の金属（金、銀、銅）との接触面積が少なくなって、ワイヤーボンディング強度が劣化する。
【０００４】
アルミニウム合金を用いたボンディングパッドの表面には、大気に触れた時点でアルミナ膜が形成されているが、ダイシング時間が長くなる小チップの場合に、その厚みでガルバニック腐食を十分に防止することは難しい。アルミナ膜は、熱処理を行って厚くすることができるが、厚くしたアルミナ膜は、ワイヤーボンディング時に超音波で破壊しきれずにパッド上に残るため、ボンディングが付かないという問題が生じる。
【０００５】
また、湿度が高い環境下での長期信頼性試験（ＴＨＢ）においては、プラス電位が供給されたボンディングパッドに到達した水分が、パッドの周囲に形成されたＴｉＮからなる反射防止膜（ＴｉＮ膜）を腐食させるという問題がある。アルミナ膜はアルミニウム合金の表面にしか生成されないので、ＴｉＮ膜の表面をカバーすることはできないためである。信頼性の高いＩＣ製品の実現のために、ダイシングや長期信頼性試験を行う際に発生する水分に対し、アルミニウム合金、反射防止膜であるＴｉＮ膜の露出を防ぐ技術が望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１７４９５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、アルミニウム合金配線のうち、ボンディングパッドとして露出する部分が、水分によって腐食（ガルバニック腐食）されるのを抑えることが可能な半導体装置と、その製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は以下の手段を採用している。
【０００９】
（１）本発明の一態様に係る半導体装置は、基板と、基板の一方の主面側に設けられ、アルミニウム合金配線とそれを囲む絶縁膜とを含む積層体と、前記積層体を覆うシリコン窒化膜とを有し、前記シリコン窒化膜および前記絶縁膜には、前記アルミニウム合金配線のパッド部分と重なる位置において、互いに連通する開口部が設けられており、前記開口部から露出しているパッド部分の表面に、シリコンと窒素を含む逆スパッタリング残渣からなる堆積物が付着し、皮膜が形成されている。
（２）前記（１）に記載の半導体装置において、前記皮膜に、シリコンが５０％以上７０％以下、窒素が５％以上２５％以下の割合で、それぞれ含まれていることが好ましい。
（３）前記（１）または（２）のいずれかに記載の半導体装置において、前記皮膜が、さらに酸素を含んでいることが好ましい。
（４）前記（１）〜（３）のいずれか一つに記載の半導体装置において、前記皮膜が、前記開口部の内壁にも形成されていることが好ましい。
（５）前記（１）〜（４）のいずれか一つに記載の半導体装置において、前記アルミニウム合金配線の表面のうち、前記開口部から露出する部分の周囲に窒化チタン膜が形成されていても構わない。
（６）前記（１）〜（５）のいずれか一つに記載の半導体装置において、前記皮膜の厚さが、１００Å以上２００Å以下であることが好ましい。
（７）本発明の一態様に係る半導体装置の製造方法は、前記（１）〜（６）のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法であって、前記開口部の形成後に、前記シリコン窒化膜に対して、不活性ガスを用いたプラズマ処理を行う工程を有する。
（８）前記（７）に記載の半導体装置の製造方法において、前記不活性ガスとして、アルゴンガスを用いることが好ましい。
（９）前記（７）または（８）のいずれかに記載の前記プラズマ処理の時間を、３０秒以上１２０秒以下とすることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の半導体装置では、アルミニウム合金配線のうち、ボンディングパッドとして露出する部分に、シリコンと窒素を含む逆スパッタリング残渣からなる堆積物が付着し、皮膜が形成されている。この皮膜は水分耐性を有する保護膜として機能するため、例えばブレードダイシング時に吹き付けられるような、水分による腐食（ガルバニック腐食）を抑えることができる。したがって、本発明の半導体装置では、腐食によってアルミニウム合金配線に欠損が生じるのを防ぐことが可能であり、アルミニウム合金配線にボンディングを行った際のボンディング強度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第一実施形態に係る半導体装置の断面図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る半導体装置の製造方法における、主要工程を説明する図である。
【図３】本発明の第二実施形態に係る半導体装置の断面図である。
【図４】本発明の実施例１の半導体装置における、パッド表面部分の組成分析結果を示すグラフである。
【図５】本発明の比較例１に係る半導体装置の断面図である。
【図６】本発明の比較例１の半導体装置における、パッド表面部分の組成分析結果を示すグラフである。
【図７】本発明の実施例１の半導体装置において、プラズマ処理時間と、パッド上に形成される膜の厚さとの関係について示すグラフである。
【図８】本発明の実施例１、比較例１の半導体装置において、ダイシング時間と、パッド表面の変色度合との関係を示すグラフである。
【図９】（ａ）〜（ｃ）本発明の実施例１の半導体装置において、ダイシング時間とパッドの表面状態との関係を示す画像である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）本発明の比較例１の半導体装置において、ダイシング時間とパッドの表面状態との関係を示す画像である。
【図１１】本発明の実施例１、比較例１の半導体装置において、ダイシング時間と、シェア強度との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明について、図を適宜参照しながら詳細に説明する。以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴を分かりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率等は実際とは異なっていることがある。また、以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに限定されるものではなく、本発明の効果を奏する範囲で適宜変更して実施することが可能である。
【００１３】
＜第一実施形態＞
［半導体装置の構成］
図１は、本発明の第一実施形態に係る半導体装置１００の断面図である。半導体装置１００は、シリコン等の基板１０１と、基板の一方の主面側１０１ａに設けられ、アルミニウム合金（アルミニウムと銅等の合金）配線１０２とそれを囲む絶縁膜（層間膜、層間絶縁膜）１０７を含む積層体１０３と、積層体１０３を覆うシリコン窒化膜１０４と、を有している。
【００１４】
図１では、積層体１０３に含まれる配線（層）として、最上層に位置するアルミニウム合金配線１０２のみを明示しているが、この他にも、用途に応じて様々な形状を有し、様々な材料からなる配線が含まれていてもよい。また、積層体１０３には、配線以外にも、用途に応じた様々な機能を有する層が含まれていてもよい。
【００１５】
絶縁膜１０７は、積層体１０３を構成する各層同士の間、各層と基板１０１との間に形成されている。絶縁膜１０７の具体例としては、ＳｉＯ2、ＴＥＯＳ（オルトケイ酸テトラエチル（Ｓｉ（ＯＣ2Ｈ5）4）等の材料からなる酸化膜、酸窒化膜、ＳＯＧ等が挙げられる。
【００１６】
シリコン窒化膜１０４は、ＣＶＤ法によって形成される膜であり、シリコン、窒素、水素を、それぞれ約４０％、約５０％、約１０％の割合で含んでいる。シリコン窒化膜１０４の厚さは、７０００Å以上１５０００Å以下であることが好ましい。
【００１７】
アルミニウム合金配線１０２の上に位置する、シリコン窒化膜１０４および絶縁膜１０７には、アルミニウム合金配線のパッド部分１０２Ａ、すなわちワイヤーボンディングパッドとなる部分と重なる位置において、互いに連通する開口部（パッド開口部）１０５が設けられている。
【００１８】
アルミニウム合金配線１０２の表面のうち、開口部１０５から露出しているパッド部分の表面１０２ａに、主要成分としてシリコンと窒素を含む逆スパッタリング残渣からなる堆積物が付着（再付着）し、この堆積物からなる皮膜１０６が形成されている。皮膜１０６は、シリコン窒化膜１０４に対して不活性ガスによるプラズマ処理を行うことにより、形成することができる。不活性ガスのプラズマがシリコン窒化膜１０４に衝突することでシリコン窒化膜１０４が逆スパッタリングされ、エッチング除去物となる。皮膜１０６は、シリコン窒化膜１０４から生じたエッチング除去物である逆スパッタリング残渣が、アルミニウム合金配線１０２の表面に再付着することによって、堆積して形成されたものである。皮膜１０６は水分耐性に優れている。
【００１９】
皮膜１０６には、シリコンが５０％以上７０％以下、窒素が５％以上２５％以下の割合で、それぞれ含まれていることが好ましい。
【００２０】
皮膜１０６は、さらに酸素を１５％以上３５％以下の割合で含んでいてもよい。この酸素は、主に、アルミニウム合金配線の表面の露出部分１０２ａに大気が触れることによって、そこに形成されたアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）膜に由来するものである。
【００２１】
皮膜１０６は、アルミニウム合金配線の表面の露出部分１０２ａだけでなく、図１に示すように、開口部１０５の内壁にも形成されていれば、アルミニウム合金配線１０２と絶縁膜１０７との界面に水分が浸入するのを防ぐことができるため、より好ましい。
【００２２】
なお、当該界面からの水分の浸入を防ぐ観点において、皮膜１０６は、この界面上、すなわち開口部の内壁の下端部周辺を覆っていればよく、上端部まで形成されていなくてもよい。
【００２３】
アルミニウム合金配線のうち、パッド部分の表面１０２ａに形成された皮膜１０６の厚さは、１００Å以上２００Å以下であることが好ましい。皮膜１０６は、厚さを１００Å以上とすることにより、アルミニウム合金配線への水の浸入をほぼ完全に防ぐことができる。また、皮膜１０６は、厚さが２００Å以下であれば超音波で容易に破壊することができるため、アルミニウム合金配線１０２に対して、ワイヤー金属を良好にボンディングすることができ、高いボンディング歩留り、信頼性を確保することができる。
【００２４】
以上説明したように、本実施形態に係る半導体装置１００では、アルミニウム合金配線１０２のうち、ボンディングパッドとして露出する部分に、シリコンと窒素を含む逆スパッタリング残渣からなる堆積物が付着し、皮膜１０６が形成されている。この皮膜１０６は耐水性を有する保護膜として機能するため、例えばブレードダイシング時に吹き付けられるような、水による腐食（ガルバニック腐食）を抑えることができる。したがって、本実施形態に係る半導体装置１００では、腐食によってアルミニウム合金配線１０２に欠損が生じるのを防ぐことが可能であり、アルミニウム合金配線１０２にボンディングを行った際のボンディング強度を向上させることができる。
【００２５】
［半導体装置の製造方法］
半導体装置１００の製造方法について説明する。
【００２６】
まず、シリコン等の基板の一方の主面１０１ａに、所望の構造を有する積層体１０３を形成する。積層体１０３を構成する各層については、ＣＶＤ法、スパッタリング法等の公知の方法による成膜、およびフォトリソグラフィー法によるパターニングを、適宜繰り返して行うことによって形成することができる。続いて、プラズマＣＶＤ法により、積層体１０３上にシリコン窒化膜１０４を形成する。
【００２７】
次に、アルミニウム合金配線１０２の表面のうち、ワイヤーボンディングを行うパッド部分の表面が露出するように、この時点で形成されている絶縁膜１０７およびシリコン窒化膜１０４に、互いに連通する開口部（パッド開口部）１０５を形成する。
【００２８】
次に、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）法により、シリコン窒化膜１０４に対してプラズマ処理（プラズマエッチング）を行う。具体的には、反応室内に導入した不活性ガスＤをプラズマ化し、図２に示すように、シリコン窒化膜の表面１０４ａに衝突させ、表面１０４ａの一部をエッチングする。このエッチングによって生じた除去物が、露出しているアルミニウム合金配線のパッド部分（ボンディングパッド）の表面１０２ａ、および開口部の内壁（パッド側壁）１０５ａに再付着することによって、皮膜１０６が形成されることになる。
【００２９】
不活性ガスＤとしては、アルゴン（Ａｒ）、キセノン（Ｘｅ）等を用いることができる。
【００３０】
ここでのプラズマ処理の時間は、３０秒以上１２０秒以下とすることが好ましい。プラズマ処理の時間をこの範囲とすることにより、上述した好適な厚さを有する皮膜１０６を形成することができる。
【００３１】
プラズマ処理中の反応室内の圧力は、６００ｍＴｏｒｒ程度とすることが好ましい。
【００３２】
＜第二実施形態＞
［半導体装置の構成］
図３は、本発明の第二実施形態に係る半導体装置２００の断面図である。半導体装置２００では、アルミニウム合金配線２０２の表面のうち、開口部２０５から露出する部分（パッド部分）２０２ａの周囲に、窒化チタン（ＴｉＮ）膜２０８が形成されている。この窒化チタン膜２０８の厚さは、２５ｎｍ以上６０ｎｍ以下であることが好ましい。窒化チタン膜２０８が形成されている点を除いた構成については、第一実施形態に係る半導体装置１００の構成と同様であり、半導体装置１００と同等の効果を得ることができる。
【００３３】
半導体装置２００では、開口部２０５から露出するアルミニウム合金配線２０２の表面だけでなく、開口部の内壁２０５ａにも、堆積物が付着して皮膜２０６が形成されており、窒化チタン膜２０８の開口部２０５からの露出部分が、この皮膜２０６で覆われている。
【００３４】
窒化チタン膜２０８は、パターニング時の光の反射を抑制する反射防止膜として機能するものであり、従来構造の半導体装置でも用いられている。しかしながら、従来構造の半導体装置における窒化チタン膜は、ワイヤーボンディング用に設けられた開口部の内壁において露出しているため、長期信頼性試験（ＴＨＢ）等の湿度が高い環境下において、水分が付着して腐食してしまうという問題があった。これに対し、本実施形態の半導体装置２００では、窒化チタン膜２０８が露出しない構造を有しているため、当該腐食の問題を回避することができる。
【００３５】
［半導体装置の製造方法］
半導体装置２００の製造方法は、最上層に位置するアルミニウム合金配線２０２の上に、ＣＶＤ法等の公知の方法により、窒化チタン膜２０８を形成する工程を有する点において、第一実施形態に係る半導体装置１００の製造方法と異なる。なお、半導体装置２００の製造方法では、シリコン窒化膜２０４を形成した後のパッド開口を行う際に、開口部２０５の位置において、絶縁膜２０７およびシリコン窒化膜２０４とともに、窒化チタン膜２０８も除去することになる。窒化チタン膜２０８を形成・加工する工程以外の各工程については、第一実施形態に係る半導体装置１００の製造方法における各工程と同様である。
【実施例】
【００３６】
以下、実施例により本発明の効果をより明らかなものとする。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することができる。
【００３７】
［パッド表面部分の組成分析］
（実施例１）
本発明の実施例１として、第一実施形態に係る半導体装置１００のサンプルを用いて、パッド表面部分の厚さ方向における組成分析を行った。
【００３８】
最上層のアルミニウム合金配線１０２の上に、シリコン酸化膜（ＳｉＯ2）１０７Ａ、シリコン窒化膜（ＳｉＮ）１０４を、それぞれ２０００Å、７０００Åの厚さで順に形成し、パッド開口を行った。パッド開口後のシリコン窒化膜１０４に対するプラズマ処理時間を６０秒とし、プラズマ処理中の反応室内の圧力を６００ｍＴｏｒｒ程度とした。
【００３９】
図４は、組成分析の結果を示すグラフである。グラフの横軸は、プラズマ処理後の開口部１０５から露出する、パッド領域の最表面からの深さ［ｎｍ］を示している。グラフの縦軸は、深さ方向における各元素の含有率［％］の分布を示している。
【００４０】
パッド領域の最表面から、深さ方向に約１０ｎｍの範囲にわたって、Ｓｉ、Ｎ、Ｏ元素を高い割合で含有する表面異常層が見られている。この表面異常層が、アルミニウム合金配線１０２の上に形成された皮膜１０６に相当する。なお、表面異常層に含有されているＣ、Ｆは、実施環境に応じて発生する不可避不純物であり、本発明に影響を及ぼすことはない。
【００４１】
（比較例１）
本発明の比較例１として、図５に示すような従来構造の半導体装置３００のサンプルを用いて、パッド領域の最表面からの深さ方向における組成分析を行った。
【００４２】
実施例１と同様に、最上層のアルミニウム合金配線３０２の上に、ＳｉＯ2膜３０７Ａ、ＳｉＮ膜３０４を、それぞれ２０００Å、７０００Åの厚さで順に形成し、パッド開口を行った。ただし、パッド開口後のＳｉＮ膜３０４に対するプラズマ処理は行わなかった。
【００４３】
図６は、組成分析の結果を示すグラフである。グラフの横軸、縦軸については、図４と同様である。プラズマ処理後のパッド領域の最表面から、深さ方向に約６．３ｎｍの範囲にわたって、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）からなる酸化膜が形成されていることが分かる。この酸化膜は、アルミニウム合金配線の表面の露出部分３０２ａに大気が触れることによって、そこに形成された自然酸化膜である。
【００４４】
［プラズマ処理時間とパッド表面に形成される膜との関係］
実施例１のサンプルを用いて、パッド開口後のプラズマ処理時間とプラズマ処理後のパッド表面状態との関係を調べた。
【００４５】
図７は、プラズマ処理時間と、パッド上に形成される膜（皮膜）の厚さとの関係について示すグラフである。グラフの横軸は、プラズマ処理時間［ｓｅｃ（秒）］を示している。グラフの縦軸は、パッド上に形成される皮膜の厚さ［ｎｍ］を示している。グラフから、パッド上に形成される皮膜は、プラズマ処理を行うことによって形成される膜であり、その厚さは、プラズマ処理時間に比例して変化することが分かる。
【００４６】
［ダイシング時間とパッド表面状態との関係］
実施例１、比較例１のサンプルの所定の位置において、ブレードダイシングを行った上で、パッド表面の状態を観察した。図８は、ダイシング時間と、ダイシングに伴うパッド表面の変色度合との関係を示すグラフである。グラフの横軸はダイシング時間［ｍｉｎ（分）］を示している。グラフの縦軸はパッド表面の変色度合［％］を示している。
【００４７】
実施例１のサンプル（菱形プロットで表示）では、ダイシング時間によらず、パッド表面の変色度合は０［％］のままであることから、ガルバニック腐食の発生が抑えられていることが分かる。これに対し、比較例１のサンプル（四角プロットで表示）では、ダイシング時間を長くするにつれて、変色度合が大きくなっていることが分かる。
【００４８】
実施例１のサンプルに対し、ダイシング時間を５５分、８５分、１４０分とした場合について、パッドの表面状態を、それぞれ図９（ａ）〜（ｃ）に示す。パッドの表面状態は、図９（ａ）〜（ｃ）のいずれにおいても良好であり、ダイシング時間に依存した変化は見られない。これらの結果から、実施例１のサンプルでは、ブレードダイシングを行ってもガルバニック腐食によるアルミ欠損が生じず、ボンディング強度を維持できると考えられる。
【００４９】
比較例１のサンプルに対し、ダイシング時間を５５分、８５分、１４０分とした場合について、パッドの表面状態を、それぞれ図１０（ａ）〜（ｃ）に示す。図９（ａ）〜（ｃ）と比較すると、パッドの表面が、図１０（ａ）〜（ｃ）のいずれにおいても変色しており、ダイシング時間を長くするほど、変色の度合いが増大している。これらの結果から、比較例１のサンプルでは、ダイシングに伴ってパッド表面にガルバニック腐食が発生し、ダイシング時間が長くなるにつれて腐食がさらに進むため、アルミ欠損によるボンディング強度の低下は避けられないと考えられる。
【００５０】
［ダイシング時間とシェア強度との関係］
実施例１、比較例１のサンプルの所定の位置において、ブレードダイシングを行った上で、パッド部分に対してワイヤボンディングを行った。図１１は、ブレードダイシング時間とワイヤボンディング部分のシェア強度（ボンディング強度）との関係について示すグラフである。グラフの横軸はダイシング時間［ｍｉｎ（分）］を示し、グラフの縦軸はシェア強度［ｇｆ］を示している。
【００５１】
実施例１のサンプルは、ダイシング時間によらず、一定のシェア強度を維持している。これに対し、比較例１のサンプルは、ダイシング時間が長くなるにつれてシェア強度が低下している。これらの結果から、図８〜１０のグラフに基づく上記推定が正しいことが分かる。
【符号の説明】
【００５２】
１００、２００、３００・・・半導体装置
１０１、２０１、３０１・・・基板
１０１ａ、２０１ａ、３０１ａ・・・基板の一方の主面
１０２、２０２、３０２・・・アルミニウム合金配線
１０２Ａ、２０２Ａ、３０２Ａ・・・パッド部分
１０２ａ、２０２ａ、３０２ａ・・・パッド部分の表面
１０３、２０３、３０３・・・積層体
１０４、２０４、３０４・・・シリコン窒化膜
１０４ａ、２０４ａ・・・シリコン窒化膜の表面
１０５、２０５、３０５・・・開口部
１０５ａ、２０５ａ・・・開口部の内壁
１０６、２０６・・・皮膜
１０７、２０７、３０７・・・絶縁膜
１０７Ａ、２０７Ａ、３０７Ａ・・・シリコン酸化膜
２０８・・・窒化チタン膜
Ｄ・・・不活性ガス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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