(57)【要約】【課題】吹出用モジュールが複数の噴射孔を備えている気体噴射装置において、噴射孔が設けられている位置に応じて気体を吹き出させるタイミングを変更可能な気体噴射装置を提供する。【解決手段】気体噴射装置１００は吹出用モジュール２０とタイミング制御部５０とを備える。吹出用モジュール２０は、第１室Ｒｍ１、第２室Ｒｍ２、及び第３室Ｒｍ３の、３つの部屋を備える。第１室Ｒｍ１は、吹出用モジュール２０の中心に位置する部屋であり、第２室Ｒｍ２は第１室Ｒｍ１を取り囲み、第３室Ｒｍ３は第２室Ｒｍ２を取り囲むように形成されている。各部屋の底面部には貫通孔２１１が設けられている。タイミング制御部５０は、ブローバルブ４０Ａ〜Ｃの開閉状態を制御することで、第１室Ｒｍ１→第２室Ｒｍ２→第３室Ｒｍ３の順に圧縮気体を供給する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体を吹き出す側の面を提供する板状部材（２１）上に、複数の部屋（Ｒｍ１、Ｒｍ２、Ｒｍ３）が形成されている吹出用モジュール（２０）と、
圧縮された気体を複数の前記部屋のそれぞれに供給する複数のホース（３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ）と、
複数の前記部屋のそれぞれに対して圧縮気体を供給するタイミングを制御するタイミング制御部（５０）と、を備え、
前記板状部材において複数の前記部屋のそれぞれに対応する領域には少なくとも１つずつ貫通孔が設けられていることを特徴とする気体噴射装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記タイミング制御部は、所定の圧縮気体源から複数の前記ホースにそれぞれに圧縮気体を送り込むタイミングを制御することで、前記部屋に圧縮気体を供給するタイミングを制御することを特徴とする気体噴射装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記部屋と前記ホースとの接続部又は前記ホースの途中にはバルブが設けられてあって、
前記タイミング制御部は、前記バルブの開閉を制御することで、前記部屋に圧縮気体を供給するタイミングを制御することを特徴とする気体噴射装置。
【請求項４】
請求項１から３の何れか１項において、
前記吹出用モジュールは、
前記板状部材の中心部に１つの前記部屋を備えるとともに、
前記板状部材の中心部に設けられた前記部屋である中心室を取り囲むように、平面視における形状が環状となっている前記部屋を複数備え、
前記タイミング制御部は、より内側に配置されている前記部屋から順番に圧縮気体を供給することを特徴とする気体噴射装置。
【請求項５】
請求項１から３の何れか１項において、
複数の前記部屋は、１方向に並んで形成されており、
前記タイミング制御部は、前記部屋が並んでいる方向である列方向において、片方の端部に位置する前記部屋から他方の端部に位置する前記部屋に向かって順番に圧縮気体を供給することを特徴とする気体噴射装置。
【請求項６】
請求項５において、
複数の前記部屋のそれぞれは、前記列方向に直交する方向を長手方向とする直方体に形成されており、
前記部屋のそれぞれには、前記列方向に直交する方向である行方向に、複数の前記貫通孔が一列に並んで設けられていることを特徴とする気体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板等の表面に対して気体を吹き付けることで表面に付着している異物を除去する気体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板等の表面に対して、空気や窒素ガスなどの気体を吹きつけることによって表面に付着している異物や液体を除去する装置（以降、気体噴射装置）がある。また、特許文献１には、気体吹出用のノズルに複数の噴射孔を設けることによって、放射状に気体を吹き出させる気体噴射装置も開示されている。このような特許文献１に開示されている気体噴射装置によれば、複数のノズルを使わずに、１つのノズルで相対的に広い範囲に気体を吹きつけることができる。
【０００３】
便宜上以降では、気体吹出用のノズルに相当する部材のことを吹出用モジュールと記載する。また、対象物（例えば基板）の表面に対して吹出用モジュールが気体を吹きつけることができる範囲をブロー範囲と記載する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２１６６２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
吹出用モジュールとして複数の噴射孔を設けた吹出用モジュールを用いた場合には、吹出用モジュールが備える複数の噴射孔から同時に気体が吹き出る。つまり、吹出用モジュールとして複数の噴射孔を設けた吹出用モジュールを用いる場合には、ブロー範囲を細分化した場所毎に気体を吹き付けるタイミングを変えるといった制御をすることが難しくなる。
【０００６】
ブロー範囲の中での場所に応じて気体を吹き付けるタイミングを制御できないと、各噴射孔から出た気体同士が干渉して流量が小さくなる場所が発生し、その部分に異物が滞留してしまう恐れが生じる。また、各噴射孔から出た空気同士が干渉することによって、予期せぬ場所で渦流を発生させ、その結果、異物が空気中に舞ってしまう恐れもある。
【０００７】
本発明は、この事情に基づいて成されたものであり、その目的とするところは、吹出用モジュールが複数の噴射孔を備えている気体噴射装置において、噴射孔が設けられている位置に応じて気体を吹き出させるタイミングを変更可能な気体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
その目的を達成するための本発明は、気体を吹き出す側の面を提供する板状部材（２１）上に、複数の部屋（Ｒｍ１、Ｒｍ２、Ｒｍ３）が形成されている吹出用モジュール（２０）と、圧縮された気体を複数の部屋のそれぞれに供給する複数のホース（３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ）と、複数の部屋のそれぞれに対して圧縮気体を供給するタイミングを制御するタイミング制御部（５０）と、を備え、板状部材において複数の部屋のそれぞれに対応する領域には少なくとも１つずつ貫通孔が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
以上の構成では、各部屋には貫通孔が設けられているため、ホースを介して圧縮気体源から室内に圧縮気体を供給すると、当該貫通孔から気体を噴射される。つまり、各部屋に設けられた貫通孔は噴射孔として機能する。また、そのように噴射孔として機能する貫通孔が設けられている部屋は複数存在する。そのため、吹出用モジュール全体としては複数の噴射孔を備えた構成となっている。そして、上述した気体噴射装置は、各部屋に圧縮気体を供給するタイミングを制御するタイミング制御部を備える。
【００１０】
噴射孔から気体が噴き出るタイミングは、噴射孔が設けられている部屋に圧縮気体が供給されたタイミングに対応する。そのため、タイミング制御部が部屋毎に圧縮気体を供給するタイミングをずらすことによって、噴射孔が設けられている位置に応じて気体を吹き出させるタイミングをずらすことができる。
【００１１】
つまり、以上の構成によれば、吹出用モジュールが複数の噴射孔を備えている気体噴射装置において、噴射孔が設けられている位置に応じて気体を吹き出させるタイミングを変更することができる。
【００１２】
なお、特許請求の範囲に記載した括弧内の符号は、一つの態様として後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】気体噴射装置１００の概略的な構成を示すブロック図である。
【図２】吹出用モジュール２０の構成を説明するための図である。
【図３】第１室Ｒｍ１、第２室Ｒｍ２、第３室Ｒｍ３の形状を説明するための図である。
【図４】タイミング制御部５０の作動を説明するための図である。
【図５】気体噴射装置１００の作動を説明するための図である。
【図６】気体噴射装置１００の作動を説明するための図である。
【図７】気体噴射装置１００の作動を説明するための図である。
【図８】変形例２として開示の吹出用モジュール２０の構成を示す図である。
【図９】変形例２として開示の吹出用モジュール２０の構成を示す図である。
【図１０】変形例２におけるタイミング制御部５０の作動を説明するための図である。
【図１１】噴射孔２１１の設け方の変形例を示した図である。
【図１２】噴射孔２１１の設け方の変形例を示した図である。
【図１３】吹出用モジュール２０における部屋の配置例を示した図である。
【図１４】吹出用モジュール２０における部屋の配置例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の１つの実施形態について図を用いて説明する。本実施形態における気体噴射装置１００は、図１に示すように、ステージ２００上に配置された基板３００に向けて上方から空気を吹き付けることによって、基板３００の表面に付着している埃等の異物を除去する装置である。異物除去対象となる基板３００とは、例えば、プリント基板や、半導体ウェーハ、フラットパネルディスプレイ基板などである。
【００１５】
気体噴射装置１００は、図１に示すように、圧縮空気源１０、吹出用モジュール２０、複数のホース３０Ａ〜Ｃ、複数のバルブ４０Ａ〜Ｃ、及びタイミング制御部５０を備えている。なお、図１を含む各図は、気体噴射装置１００等を模式的に示した図であり、各部材の大きさ、形状は、理解を容易にするために適宜誇張して示している。
【００１６】
圧縮空気源１０は、圧縮された空気を供給する部材である。圧縮空気源１０は、公知の給気装置によって構成されればよい。例えば圧縮空気源１０は、コンプレッサーや、圧縮された空気が封入されたタンクなどとすればよい。圧縮空気源１０が出力する圧縮空気は、ホース３０Ａ〜３０Ｃを介して吹出用モジュール２０に供給される。圧縮空気源１０が請求項に記載の圧縮気体源に相当し、圧縮空気が請求項に記載の圧縮気体に相当する。
【００１７】
吹出用モジュール２０は、基板３００に向けて空気を吹き出すためのモジュールであって、より細かい構成要素として、底面部２１と、空気封入部２２とを備える。
【００１８】
底面部２１は、板状の部材であって、例えば金属板を用いて実現されれば良い。底面部２１が請求項に記載の板状部材に相当する。本実施形態では一例として底面部２１の平面視における形状（以降、平面形状）を正方形状とするが、これに限らない。他の態様として、底面部２１の平面形状は長方形状であってもよいし、楕円を含む円形状であってもよい。なお、請求項に記載の気体を吹き出す側の面とは換言すれば、異物除去対象としての基板３００に向けられる面である。
【００１９】
また、本実施形態では一例として底面部２１は、異物除去対象とする基板３００の全領域と互いに対向するように、基板３００と略同一な形状に形成されているものとする。さらに、本実施形態における底面部２１は平板状とするが、所定の曲率で湾曲していてもよい。
【００２０】
底面部２１には、図１に示すように、当該底面部２１を厚み方向（換言すれば上下方向）に貫通する貫通孔２１１が複数設けられている。この貫通孔２１１が、空気を噴射するための孔として機能する。そのため、以降では底面部２１に設けられている貫通孔２１１のことを噴射孔２１１と称する。図１中の白塗り矢印は、空気を吹き出す方向を模式的に表している。本実施形態では一例として、底面部２１には噴射孔２１１が５×５のマトリクス状に配置されているものとする。
【００２１】
空気封入部２２は、底面部２１との間に空間を形成するための部材であって、下端部は底面部２１と密着されている。つまり、空気封入部２２は底面部２１と接合されることで内部に閉ざされた空間を形成する。空気封入部２２は、平面視における中央部がその周辺領域に対して突出した、いわゆる凸型形状に形成されており、その内部は中空となっている。
【００２２】
以降では便宜上、空気封入部２２が備える天井部分のうち相対的に低い方を第１レベル部２２１、相対的に高い方を第２レベル部２２２と称し、第１レベル部２２１と第２レベル部２２２とを接続する壁面部分を段差部２２３と称する（図２参照）。また、第１レベル部２２１を形成するために底面部２１から立設されている壁面部分を側面部２２４と記載する。なお、空気封入部２２の天井部分とは底面部２１と対向する部分に相当する。図２は、吹出用モジュール２０の上下方向に平行な面での断面図を表している。
【００２３】
また、空気封入部２２は、図２に示すように、底面部２１との間に第１室Ｒｍ１、第２室Ｒｍ２、第３室Ｒｍ３の３つの部屋を形成するように、２つの仕切り壁２２５、２２６を備える。便宜上、仕切り壁２２５を第１仕切り壁２２５、仕切り壁２２６を第２仕切り壁２２６と記載する。
【００２４】
第１仕切り壁２２５は、内部に直方体状の空間を形成する壁であって、図３に示すように、マトリクス状に配された噴射孔２１１のうち、中央に位置する１つの噴射孔２１１（以降、中央孔２１１Ａ）を取り囲むように形成されている。なお、図３は、吹出用モジュール２０を上方から見た図において、底面部２１に対する各仕切り壁２２５、２２６の位置や形状を説明する上で不要な部分は透過させた図である。
【００２５】
前述の第１室Ｒｍ１は、第１仕切り壁２２５、第２レベル部２２２、及び底面部２１によって囲まれた部屋である。第１室Ｒｍ１が請求項に記載の中心室に相当する。底面部２１において第１仕切り壁２２５で囲まれている領域が第１室Ｒｍ１に対応する領域に相当する。第１仕切り壁２２５は中央孔２２１Ａを取り囲むように形成されているため、第１室Ｒｍ１は、中央孔２１１Ａと接続された構成となる。
【００２６】
図２等に示すように、第２レベル部２２２において第１室Ｒｍ１の天井に相当する部分には、ホース３０Ａと接続するための接続機構２３Ａが設けられている。第１室Ｒｍ１には、接続機構２３Ａを介してホース３０Ａから圧縮された空気が供給される。
【００２７】
第２仕切り壁２２６は、中央孔２１１Ａの周りに配置された８個の噴射孔２１１を取り囲むように形成されている。つまり、第２仕切り壁２２６は、第１仕切り壁２２５よりも噴射孔一つ分だけ外側に配置されている。なお、段差部２２３は、図２に示すように、第２仕切り壁２２６と連続するように形成されている。
【００２８】
前述の第２室Ｒｍ２は、第１仕切り壁２２５、第２仕切り壁２２６、段差部２２３、第２レベル部２２２、及び底面部２１によって囲まれる部屋である。底面部２１において第１仕切り壁２２５の外側であって、かつ、第２仕切り壁２２６の内側となる領域が第２室Ｒｍ２に対応する領域に相当する。第２室Ｒｍ２は、中央孔２１１Ａの周りに配置された８個の噴射孔２１１と接続している。
【００２９】
図２等に示すように段差部２２３には、ホース３０Ｂと接続するための接続機構２３Ｂが設けられている。第２室Ｒｍ２には、接続機構２３Ｂを介してホース３０Ｂから圧縮された空気が供給される。なお、本実施形態では一例として、段差部２２３の角部付近に接続機構２３Ｂを設けている。
【００３０】
第３室Ｒｍ３は、第２仕切り壁２２６、側面部２２４、第１レベル部２２１、及び底面部２１で囲まれた部屋である。底面部２１において第２仕切り壁２２６の外側であって、かつ、側面部２２４の内側となる領域が第３室Ｒｍ３に対応する領域に相当する。側面部２２４には、ホース３０Ｃと接続するための接続機構２３Ｂが設けられている。第３室Ｒｍ３には、接続機構２３Ｃを介してホース３０Ｃから圧縮された空気が供給される。
【００３１】
ホース３０Ａは、圧縮空気源１０から出力された空気を第１室Ｒｍ１に供給するためのホースである。ホース３０Ａの一端は第１室Ｒｍ１の接続機構２３Ａと接続されており、他端はバルブ４０Ａを介して圧縮空気源１０が備える空気吹出し口（図示略）と接続されている。
【００３２】
バルブ４０Ａは、圧縮された空気をホース３０Ａに供給する量を調整するバルブである。バルブ４０Ａの開閉状態は、タイミング制御部５０によって調整される。バルブ４０Ａが開状態となっている場合、圧縮された空気がホース３０Ａを介して第１室Ｒｍ１に供給される。第１室Ｒｍ１に圧縮された空気が供給されると、第１室Ｒｍ１に設けられている噴射孔２１１から空気が噴射される。
【００３３】
つまり、バルブ４０Ａは、第１室Ｒｍ１に対応してあって、第１室Ｒｍ１に接続している噴射孔２１１から空気を吹き出させるためのバルブとして機能する。以降では、バルブ４０Ａを第１室用バルブ４０Ａとも記載する。
【００３４】
ホース３０Ｂは、圧縮空気源１０から出力された空気を第２室Ｒｍ２に供給するためのホースである。ホース３０Ｂの一端は第２室Ｒｍ２の接続機構２３Ｂと接続されており、他端はバルブ４０Ｂを介して圧縮空気源１０の空気吹出し口と接続されている。
【００３５】
バルブ４０Ｂは、圧縮された空気をホース３０Ｂに供給する量を調整するバルブである。バルブ４０Ｂの開閉状態は、タイミング制御部５０によって調整される。バルブ４０Ｂは、第２室Ｒｍ２に対応してあって、第２室Ｒｍ２に接続している噴射孔２１１から空気を吹き出させるためのバルブとして機能する。以降では、バルブ４０Ｂを第２室用バルブ４０Ｂとも記載する。
【００３６】
ホース３０Ｃは、圧縮空気源１０から出力された空気を第３室Ｒｍ３に供給するためのホースである。ホース３０Ｃの一端は第３室Ｒｍ３の接続機構２３Ｃと接続されており、他端はバルブ４０Ｃを介して圧縮空気源１０の空気吹出し口と接続されている。
【００３７】
バルブ４０Ｃは、圧縮された空気をホース３０Ｃに供給する量を調整するバルブである。バルブ４０Ｃの開閉状態は、タイミング制御部５０によって調整される。バルブ４０Ｃは、第３室Ｒｍ３に対応してあって、第３室Ｒｍ３に接続している噴射孔２１１から空気を吹き出させるためのバルブとして機能する。以降では、バルブ４０Ｃを第３室用バルブ４０Ｃとも記載する。
【００３８】
バルブ４０Ａ〜Ｃは例えば電磁弁とすればよい。もちろん、バルブ４０Ａ〜Ｃはその他の方式のバルブであってもよい。以降において、複数のホース３０Ａ〜Ｃを区別しない場合には単にホース３０と記載する。また、複数のバルブ４０Ａ〜Ｃを区別しない場合には単にバルブ４０とも記載する。
【００３９】
タイミング制御部５０は、各バルブ４０の開閉状態を制御する。本実施形態におけるタイミング制御部５０は一例として、或るバルブ４０を開いている場合には、他のバルブ４０を閉状態とするように作動する。或るバルブ４０を開状態にするということはそのバルブ４０に対応する部屋に接続されている噴射孔２１１から空気を吹き出させることに相当する。つまり、タイミング制御部５０は、各部屋の噴射孔２１１から空気を吹き出させるタイミングを制御する。
【００４０】
このタイミング制御部５０は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭなどを備えたマイクロコンピュータを用いて実現されればよい。ＲＯＭには通常のコンピュータをタイミング制御部５０として機能させるためのプログラムが格納されている。なお、他の態様としてタイミング制御部５０は、ＩＣやアナログ回路素子を用いて実現されていても良い。
【００４１】
図４は、タイミング制御部５０の作動を説明するための図であって、各バルブ４０Ａ〜Ｃを開状態とするタイミング（換言すれば、各部屋に圧縮空気を供給するタイミング）を表している。図４に示すように、タイミング制御部５０は、第１室Ｒｍ１、第２室Ｒｍ２、第３室Ｒｍ３の順番で各部屋に空気を供給するように各バルブ４０の開閉状態を制御する。
【００４２】
具体的には、最初に第１室Ｒｍ１に接続するバルブ４０Ａ（つまり第１室用バルブ４０Ａ）を開状態にし、その他のバルブ４０Ｂ、４０Ｃを閉状態とする。第１室用バルブ４０Ａを開いた状態は、所定のブロー時間Ｔａだけ継続されれば良い。ブロー時間Ｔａは、適宜設計されればよい。
【００４３】
第１室用バルブ４０Ａを開状態とすることで中央孔２１１Ａから空気が吹き出されて、図５に示すように、基板３００の表面において第１室Ｒｍ１の直下に存在した異物は、その外側へと追い出される。なお、図５における白塗り矢印は、空気の流れを表している。
【００４４】
圧縮空気源１０が供給する空気の圧力は、基板３００の中央部に存在した異物が、中央孔２１１Ａから吹き出された空気によって第２室Ｒｍ２の下方よりも外側へと追いだされるほど十分に大きい値とすることが好ましい。
【００４５】
第１室用バルブ４０Ａを開いてから所定のブロー時間Ｔａ経過した場合には、タイミング制御部５０は第１室用バルブ４０Ａを閉じる。そして、その時点から所定の休止時間Ｔｂ経過したタイミングで、第２室Ｒｍ２に接続するバルブ４０Ｂ（つまり第２室用バルブ４０Ｂ）を開状態にし、その他のバルブ４０Ａ、４０Ｃを閉状態とする。
【００４６】
休止時間Ｔｂは、適宜設計されればよく、ブロー時間Ｔａに対して十分に小さい値とすることができる。また、休止時間Ｔｂは０であってもよい。さらに、本実施形態では或る部屋に接続する噴射孔２１１から空気を噴射させている間は、他の部屋には空気を供給しないように各バルブ４０の開閉状態を制御するものとするが、これに限らない。複数の部屋に圧縮空気を供給している状態が存在してもよい。複数の部屋から空気を吹き出し始めるタイミングがずれていればよい。
【００４７】
第２室用バルブ４０Ｂを開状態とすることで第２室Ｒｍ２に接続されている噴射孔２１１から空気が吹き出されて、図６に示すように、基板３００の表面において第２室Ｒｍ２の下方に存在した異物は、より外側へと追い出される。なお、第２室Ｒｍ２が備える噴射孔２１１から吹き出された空気が、基板３００の中心部（以降、基板中心部）に流れて互いに干渉する可能性も０ではない。なお、本明細書における空気の干渉とは、互いに逆方向に流れようとする空気がぶつかることで、気流が弱まる事象を指す。
【００４８】
しかしながら、本実施形態のように第２室Ｒｍ２に圧縮空気を供給するよりも先に第１室Ｒｍ１に圧縮空気を供給することで、第２室Ｒｍ２が備える噴射孔２１１から空気が吹き出される時点において、基板中心部の異物は既に除去されている。そのため、第２室Ｒｍ２に接続する噴射孔２１１から吹き出した空気が、基板中心部付近において干渉したとしても、異物を除去する上では問題となりにくい。つまり、第２室Ｒｍ２が備える噴射孔２１１から吹き出されて基板中心部に向かう気流については許容することができる。
【００４９】
第２室用バルブ４０Ｂを開いてから所定のブロー時間Ｔａ経過した場合には、タイミング制御部５０は第２室用バルブ４０Ｂを閉じる。そして、その時点から所定の休止時間Ｔｂ経過したタイミングで、第３室Ｒｍ３に接続するバルブ４０Ｃ（つまり第３室用バルブ４０Ｃ）を開状態にし、その他のバルブ４０Ａ、４０Ｂを閉状態とする。
【００５０】
第３室用バルブ４０Ｃを開状態とすることで、第３室Ｒｍ３に接続されている噴射孔２１１から空気が吹き出されて、図７に示すように、基板３００の表面において第３室Ｒｍ３の下方に存在した異物は、基板３００の外へと追い出される。
【００５１】
以上のように、第１室Ｒｍ１→第２室Ｒｍ２→第３室Ｒｍ３の順番に圧縮空気を供給することで、底面部２１に設けた全ての噴射孔２１１から一斉に空気を吹き出させる場合に比べて、噴射された空気の干渉を抑制することができる。そのため、基板３００上の異物を基板中心部から外側に向けて、効率良く追いやることができる。
【００５２】
また、上述した実施形態では、第２室Ｒｍ２や第３室Ｒｍ３のように、複数の噴射孔２１１と接続されている部屋には、部屋の側面方向から空気が流入するように、段差部２２３や側面部２２４に接続機構２３Ｂ、２３Ｃを設けた構成を採用した。このような構成によれば、室内の気圧が均等となってから噴射孔２１１から空気が吹き出されやすくなる。その結果、１つの部屋に接続する複数の噴射孔２１１から吹き出される空気の勢いにばらつきが生じる恐れを低減することができる。
【００５３】
さらに、本実施形態ではより好ましい構成として、段差部２２３や側面部２２４の角部付近に接続機構２３Ｂ、２３Ｃを設けた。このような構成によれば、より一層、室内の気圧が均等となってから噴射孔２１１から空気が吹き出されやすくなる。
【００５４】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、以降で述べる種々の変形例も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００５５】
なお、前述の実施形態で述べた部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。また、構成の一部のみに言及している場合、他の部分については先に説明した実施形態の構成を適用することができる。
【００５６】
［変形例１］
上述した実施形態では、吹出用モジュール２０を、中央孔２１１Ａに接続する部屋を中心として、その外側に、平面形状が環状な部屋を２つ備える構成としたが、これに限らない。中心室としての第１室Ｒｍ１の周りに、平面形状が環状な部屋を３つ以上備えていても良い。何れの態様にしても、タイミング制御部５０は、基板３００の中心から外側へ徐々に異物を追い出していくように、吹出用モジュール２０内の中心に位置する部屋から順番に圧縮空気を供給していく。
【００５７】
［変形例２］
以上では、吹出用モジュール２０の構成として、中央孔２１１Ａに接続する部屋（つまり中心室）の周りに、平面形状が環状な部屋を複数配置する構成を開示したが、吹出用モジュール２０が備える部屋の構成は、上述した構成に限らない。
【００５８】
例えば吹出用モジュール２０は、図８及び図９に示すように、マトリクス状に配置された噴射孔２１１を１列毎に区切る４つの仕切り壁を配置することで、第１室Ｒｍ１から第５室Ｒｍ５までの５つの部屋を備える構成としてもよい。
【００５９】
なお、各部屋が並ぶ方向が請求項に記載の列方向に相当する。また、底面部２１に平行であって、かつ、列方向に直交する方向が行方向に相当する。この変形例２としての吹出用モジュール２０が備える各部屋は、行方向を長手方向とする直方体状に形成される。
【００６０】
このような構成におけるタイミング制御部５０は、図１０に示すようにバルブ４０を制御することで、第１室Ｒｍ１→第２室Ｒｍ２→第３室Ｒｍ３→第４室Ｒｍ４→第５室Ｒｍ５の順番に圧縮空気を供給する。つまり、列方向の片方の端部に位置する部屋から他方の端部に位置する部屋に向かって順番に圧縮空気を供給する。
【００６１】
このような制御態様によれば、基板３００上の異物を一端から他端に向かって一方向に押し出していくことができる。その結果、基板３００上の異物は或る１方向に集まるため、基板３００から追いやられた異物の回収を容易に実施することができる。
【００６２】
［変形例３］
以上では、底面部２１の厚み方向に沿って噴射孔２１１を形成した態様を開示したが、これに限らない。噴射孔２１１は厚み方向に対して所定の角度を有するように形成されていても良い。
【００６３】
例えば空気封入部２２が上述した実施形態と同様に構成されている場合には、第２室Ｒｍ２に接続する噴射孔２１１は、図１１に示すように厚み方向に対して所定の角度θａだけ傾斜を付与してもよい。また、第３室Ｒｍ３に接続する噴射孔２１１は、中心部から外側に向けて空気を吹き出すように、厚み方向に対して所定の角度θａだけ傾斜を付与してもよい。傾斜角度θａ、θｂは、噴射孔２１１から吹き出される空気の向きが、中心部から外側に向かう方向となる範囲において適宜設計されれば良い。θｂはθａと同等か、それ以上とすることが好ましい。
【００６４】
また、空気封入部２２が変形例２と同様に構成されている場合には、図１２に示すように、各部屋の噴射孔２１１に傾斜を付与してもよい。噴射孔２１１の厚み方向に対してなす角度は、噴射孔２１１から吹き出される空気の向きが、異物を押し出す方向となる範囲において適宜設計されれば良い。
【００６５】
［変形例４］
以上では、圧縮空気源１０とホース３０とをバルブ４０を介して接続し、当該バルブ４０の開閉状態を制御することによって、各部屋に圧縮空気を供給するタイミングを調整する態様を開示したが、各部屋に圧縮空気を供給するタイミングの調整方法はこれに限らない。
【００６６】
例えば各部屋とホース３０との接続部（つまり接続機構２３Ａ〜Ｃ）にバルブを設け、当該接続機構２３Ａ〜Ｃに設けられているバルブの開閉を制御することで、各部屋に圧縮空気を供給するタイミングをずらしてもよい。また、バルブは、ホース３０の途中に設けられていても良い。
【００６７】
また、複数のホース３０を、それぞれ異なる圧縮空気源１０に接続し、各圧縮空気源１０の吹き出し状態を制御することで、各部屋に圧縮空気を供給するタイミングを調整してもよい。なお、各部屋に圧縮空気を供給するタイミングをずらすことは、前述の通り、噴射孔２１１から空気を吹き出すタイミングを、噴射孔２１１が設けられている位置に応じてずらすことに相当する。
【００６８】
また、各噴射孔２１１にシャッターを設け、当該シャッターの開閉を制御することで、噴射孔２１１が設けられている領域に応じて噴射孔２１１から空気を吹き出させるタイミングを変更してもよい。つまり、タイミング制御部５０の制御対象は、様々なものを採用することができる。
【００６９】
［その他の変形例］
前述の第１実施形態では、各部屋の外郭形状を正方形状とする態様を開示したがこれに限らない。図１３に示すように、各部屋の平面形状は長方形状であってもよい。また、円形状であってもよい。その他の多角形状であってもよい。また、図１４に示すように、Ｌ字型であってもよい。
【００７０】
また、以上では底面部２１に２５個の噴射孔２１１をマトリクス状に設けた態様を開示したが、噴射孔２１１の数や、配置態様は、上述した例に限定されるものではない。
【００７１】
さらに、気体噴射装置１００が空気を吹き付ける物体（以降、除去対象物）は、基板３００に限らない。例えば、レチクル・マスク（ガラス乾板）などであってもよい。
【００７２】
また、以上では、吹出用モジュール２０に圧縮空気を供給する態様を開示したが、これに限らない。吹出用モジュール２０に供給される気体は、窒素ガスなどの不活性ガスであってもよい。つまり、吹出用モジュール２０が吹き出す気体は、空気以外の気体であってもよい。
【符号の説明】
【００７３】
１００  気体噴射装置、２００  ステージ、３００  基板、１０  圧縮空気源（圧縮気体源）、２０  吹出用モジュール、２１  底面部（板状部材）、２２  空気封入部、２３Ａ〜Ｃ  接続機構、３０Ａ〜Ｃ  ホース、４０Ａ〜Ｃ  バルブ、５０  タイミング制御部、２１１  噴射孔（貫通孔）、２２１  第１レベル部、２２２  第２レベル部、２２３  段差部、２２４  側面部、２２５  第１仕切り壁、２２６  第２仕切り壁、Ｒｍ１〜５  部屋
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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