(57)【要約】      （修正有）【課題】液面以外の不要反射光の影響を排除した液面反射式傾斜センサを提供する。【解決手段】傾斜センサ１０は、液面を形成する液体と、照明部１１と、照明部１１に照らされるバーコードパターン１３と、バーコードパターン１３を液面に投影する光学系２２と、バーコードパターン１３を検出する受光素子２０と、光学系の光路上から液面を排除した時の検出像を記憶する記憶部２１ｂと、光学系の光路上に液面が存在する時の検出像から、液面を排除した時の検出像を差し引き、傾斜角を算出する演算部２１ａと、を備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液面を形成する液体と、
照明部と、
前記照明部に照らされるバーコードパターンと、
前記バーコードパターンを前記液面に投影する光学系と、
反射された前記バーコードパターンを検出する受光素子と、
前記光学系の光路上から前記液面を排除した時の前記受光素子の検出像を記憶する記憶部と、
前記光学系の光路上に前記液面が存在する時の前記受光素子の検出像から、前記液面を排除した時の検出像を差し引き、傾斜角を算出する演算部と、
を備えることを特徴とする傾斜センサ。
【請求項２】
前記傾斜センサは、前記照明部の光量を調整する照明制御部を備え、
前記記憶部は、前記液面を排除した時の検出像の前記照明制御部の照明制御値を記憶し、
前記演算部は、前記液面を排除した時の検出像の照明制御値と、前記液面が存在する時の検出像の照明制御値を合わせることを特徴とする請求項１に記載の傾斜センサ。
【請求項３】
前記演算部は、前記液面が存在する時の検出像および照明制御値を前記記憶部に記憶させ、前記液面が存在する時の前記照明制御値で、前記液面を排除した時の検出像を取得することを特徴とする請求項２に記載の傾斜センサ。
【請求項４】
前記記憶部は、前記液面を排除した時の検出像および照明制御値を複数記憶し、
前記演算部は、前記液面が存在する時の検出像の照明制御値と一致する照明制御値の前記液面を排除した時の検出像を前記記憶部から読み出すことを特徴とする請求項２に記載の傾斜センサ。
【請求項５】
前記記憶部は、異なる二つの光量で、前記液面を排除した時の検出像および照明制御値を記憶し、
前記演算部は、前記照明制御部の照明制御値と前記受光部の検出像の最大光量との比例関係を利用して、前記液面が存在する時の検出像の照明制御値と一致する照明制御値の前記液面を排除した時の検出像を予測することを特徴とする請求項２に記載の傾斜センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液面反射式傾斜センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、測量機は内部に傾斜センサを備えており、該傾斜センサの検出結果に基づいて整準される。この傾斜センサには、液面反射式がよく利用されている。
【０００３】
図１は、液面反射式傾斜センサの光学系の構成図である。液面反射式傾斜センサは、照明部１１と、コリメートレンズ１２と、バーコードパターン１３と、偏光板１４と、ビームスプリッタ１５と、フォーカスレンズ１６と、λ／４板１７と、液体１８と、容器１９と、受光素子２０と、演算処理装置２１を有する。液面反射式傾斜センサでは、容器１９に液体１８を封入し、照明部１１からバーコードパターン１３を照射して、液体１８の表面（重力に倣う自由液面、以下、液面１８´とする）で反射させ、この反射光を受光素子２０で受光し、その検出像の変位量を検出する。
【０００４】
液面反射式傾斜センサでは、液面１８´の反射率は低く、液体１８に入射した光束の大部分は液面１８´を透過するため、容器１９の天井で反射された像による誤差が無視できない場合があった。このため、特許文献１の傾斜センサでは、容器１９の天井を、傾斜面１９ａ（図１に破線で示す）とすることで、天井での反射光を偏向し、不要反射光像が受光素子２０で受光されないように工夫がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４７１２２１２号明細書（図９）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１のように容器１９の天井を傾斜させると、傾斜センサが傾いた際に、傾斜面１９ａの端部にできる角部１９ｂ（図１に破線で示す）に水泡が付き、この水泡で反射された像が誤差となることがあると分かった。また、特許文献１のような工夫を行っても、λ／４板１７など、光路上に配置された光学部品の表面反射が起こりうるため、液面１８´以外の不要反射光の影響を取りきれないという問題があった。
【０００７】
本発明の目的は、液面以外の不要反射光の影響を排除する液面反射式傾斜センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明のある態様の傾斜センサは、液面を形成する液体と、照明部と、前記照明部に照らされるバーコードパターンと、前記バーコードパターンを前記液面に投影する光学系と、反射された前記バーコードパターンを検出する受光素子と、前記光学系の光路上から前記液面を排除した時の前記受光素子の検出像を記憶する記憶部と、前記光学系の光路上に前記液面が存在する時の前記受光素子の検出像から、前記液面を排除した時の検出像を差し引き、傾斜角を算出する演算部と、を備える。
【０００９】
上記態様において、前記傾斜センサは、前記照明部の光量を調整する照明制御部を備え、前記記憶部は、前記液面を排除した時の検出像の前記照明制御部の照明制御値を記憶し、前記演算部は、前記液面を排除した時の検出像の照明制御値と、前記液面が存在する時の検出像の照明制御値を合わせるのも好ましい。
【００１０】
上記態様において、前記演算部は、前記液面が存在する時の検出像および照明制御値を前記記憶部に記憶させ、前記液面が存在する時の前記照明制御値で、前記液面を排除した時の検出像を取得するのも好ましい。
【００１１】
上記態様において、前記記憶部は、前記液面を排除した時の検出像および照明制御値を複数記憶し、前記演算部は、前記液面が存在する時の検出像の照明制御値と一致する照明制御値の前記液面を排除した時の検出像を前記記憶部から読み出すのも好ましい。
【００１２】
上記態様において、前記記憶部は、異なる二つの光量で、前記液面を排除した時の検出像および照明制御値を記憶し、前記演算部は、前記照明制御部の照明制御値と前記受光部の検出像の最大光量との比例関係を利用して、前記液面が存在する時の検出像の照明制御値と一致する照明制御値の前記液面を排除した時の検出像を予測するのも好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の傾斜センサによれば、液面以外の不要反射光の影響を排除することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】液面反射式傾斜センサの光学構成図である。
【図２】本形態に係る傾斜センサの構成ブロック図である。
【図３】光路上に液面が存在する時の検出像の一例である。
【図４】光路上から液面を排除した時の検出像の一例である。
【図５】本形態に係る傾斜センサの不要反射光取得時の構成ブロック図である。
【図６】実施の形態１に係る処理フローチャートである。
【図７】実施の形態２に係る不要反射光像取得のための処理フローチャートである。
【図８】実施の形態２に係る傾斜角算出のための処理フローチャートである。
【図９】実施の形態３に係る不要反射光像取得のための処理フローチャートである。
【図１０】実施の形態３に係る傾斜角算出のための処理フローチャートである。
【図１１】検出像の光量分布の一例を示す図である。
【図１２】照明制御値を予測する一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の好適な実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１６】
実施の形態に係る液面反射式傾斜センサ１０（以下、単に傾斜センサ１０と称する）の光学要素の構成は、図１と同様である。傾斜センサ１０は、照明部１１と、コリメートレンズ１２と、バーコードパターン１３と、偏光板１４と、ビームスプリッタ１５と、フォーカスレンズ１６と、λ／４板１７と、液体１８と、容器１９と、受光素子２０と、演算処理装置２１を有する。なお、λ／４板１７，偏光板１４は、望まない方向に反射した光束を除外するために設けられているが、任意の構成要素である。また、図の光学要素の配置は一例である。図の光学要素を他の光学要素で構成することや、他の光学要素の追加は許容される。また、光束が液体１８の上方から入射する構成であってもよいし、光束が液面１８´に対し傾斜した方向から入射する構成であってもよい。
【００１７】
照明部１１は、例えばＬＥＤなどの光源である。コリメートレンズ１２は、照明部１１からの光束を平行にして出射する。バーコードパターン１３は、後述する図３に映されているように、黒マスク部に、直交するＸ軸方向とＹ軸方向に配列された多数のスリット１３ｂからなるアブソリュートパターンを有する。偏光板１４は、バーコードパターン１３を通過した光束をビームスプリッタ１５に対してｓ偏光する。ビームスプリッタ１５は、半透過面１５ａを有し、偏光板１４を通過した光束を液体１８に向けて反射する。フォーカスレンズ１６は、ビームスプリッタ１５による反射光を集光する。λ／４板１７は、フォーカスレンズ１６を通過した光束に位相差を与える。λ／４板１７を通過した光束は、筒状の容器１９内に封入された液体１８に入射して、液体１８の液面１８´で反射される。液体１８には、例えばシリコンオイル、フッ素系液体等が使用される。
【００１８】
液面１８´で反射された光束は、再びλ／４板１７、フォーカスレンズ１６、およびビームスプリッタ１５を透過し、受光素子２０で受光される。受光素子２０には、例えばイメージセンサや二次元エリアセンサが用いられる。受光素子２０では、バーコードパターン１３の一部が映り、特定パターンＰｉｊ（ｉはＸ方向の列でｉは１からＪまでの整数、ｊはＹ方向の行でｊは１からＫまでの整数）が検出される。
【００１９】
受光素子２０で検出された検出像は、演算処理装置２１により画像解析される。演算処理装置２１は、例えばＣＰＵ（演算部２１ａ），ＲＡＭ，ＲＯＭ（記憶部２１ｂ）等を集積回路に実装したマイクロコントローラである。演算処理装置２１は、受光素子２０の検出像から、特定パターンＰｉｊを検出し、特定パターンＰｉｊを、Ｘ方向とＹ方向とでそれぞれ加算し、光量分布Ｘｉと光量分布Ｙｊを得る。光量分布Ｘｉ，Ｙｊのパターン像（幅）の並びから、検出された特定パターンＰｉｊの位置（部分）が特定され、光量分布Ｘｉ，Ｙｊをフーリエ変換すると、パターンピッチ内の位相が算出される。そして、上記特定パターンＰｉｊの位置と上記パターンピッチ内の位相から、特定パターンＰｉｊの変位量が求まり、該変位量に基づき傾斜角が演算される。
【００２０】
図２は、本形態に係る傾斜センサ１０の構成ブロック図である。傾斜センサ１０は、上記の照明部１１と、バーコードパターン１３と、バーコードパターン１３を液面１８´に投影する光学系である送光光学系２２（コリメートレンズ１２， 偏光板１４， ビームスプリッタ１５， フォーカスレンズ１６， およびλ／４板１７）と、液面１８´と、受光光学系２３（λ／４板１７、フォーカスレンズ１６、およびビームスプリッタ１５）と、受光素子２０と、演算部２１ａと、記憶部２１ｂと、さらに、照明制御部２４を有する。
【００２１】
液面１８´は、測量機（傾斜センサ１０）の傾きに対して重力２５に倣う水平液面を維持する。照明制御部２４は、例えばデジタルポテンショメータであり、演算部２１ａからの制御信号に基づき、固定抵抗と可変抵抗の合成抵抗値による照明部１１への負荷の増減を行い、照明部１１の発光量を複数段階で制御する。演算部２１ａは、受光素子２０からの出力をＡ／Ｄ変換して、信号の出力レベルが、規定値よりも小さい場合は、デジタルポテンショメータの抵抗値を下げて発光量を増加させ、規定値よりも大きい場合は、抵抗値を上げて発光量を減少させて、適正光量となるように、照明制御部２４の照明制御値を制御する。照明制御部２４は、この他に、ＰＷＭ制御や、低ドロップアウト電圧レギュレータ（ＬＤＯ）や、異なる抵抗値を持つ複数の固定抵抗をスイッチングする構成としてもよい。
【００２２】
ここで、図３は、光路Ｌ１上に液面１８´が存在する時の検出像の一例である。傾斜センサ１０では、通常、送光光学系２２および受光光学系２３の光路Ｌ１（図１参照）上に液面１８´が存在する。バーコードパターン１３を通過した光束が液面１８´で反射されると、受光素子２０では、バーコードパターン１３は、例えば図３のように、受光素子２０のエリア内に収まるように投影される（光路上に液面が存在する時の検出像３１）。
【００２３】
一方、図４は、光路Ｌ１上から液面１８´を排除した時の検出像の一例である。傾斜センサ１０の光路Ｌ１上に液面１８´が無い場合は、例えば図４に示すように、バーコードパターン１３の一部のパターンが映りこむことがある（光路上から液面を排除した時の検出像３２）。
【００２４】
図４に示す検出像３２は、容器１９の天井、または、λ／４板１７などの光学要素で反射されたと考えられる、不要反射光である。このような不要反射光による検出像３２は、液面１８´により反射された検出像３１に重畳して映りこむため、演算処理装置２１による画像解析の誤差の要因となる。
【００２５】
そこで、本形態の傾斜センサ１０では、不要反射光による検出像３２を記憶し、その影響を排除する。
【００２６】
図５は、本形態に係る傾斜センサ１０の不要反射光取得時の構成ブロック図である。傾斜センサ１０に液体１８を封入する前、または液体１８を封入した状態で傾斜センサ１０を略垂直の状態に傾けた時は、送光光学系２２および受光光学系２３の光路Ｌ１上から液面１８´が排除され、図５に示す構成が作られる。傾斜センサ１０は、次のいずれかの処理によって、不要反射光による検出像３２を取得し、検出像３２の影響を排除する。
【００２７】
（実施の形態１）
図６は、実施の形態１に係る処理フローチャートである。実施の形態１では、ステップＳ１０１に移行すると、通常通り傾斜角の測定が開始される。
【００２８】
次に、ステップＳ１０２に移行して、照明部１１の光量が受光素子２０にとって適正な光量になるように、照明制御部２４の照明制御値が制御され、照明部１１の光量が調整される。
【００２９】
次に、ステップＳ１０３に移行して、適正光量の、検出像３１（液面が存在する時の検出像）が取得され、ステップＳ１０２の照明制御値とともに記憶される。
【００３０】
次に、ステップＳ１０４に移行して、液面１８´が光路Ｌ１から外れるまで、傾斜センサ１０を傾けて、液面１８´を排除する。
【００３１】
次に、ステップＳ１０５に移行して、照明制御部２４の照明制御値を、ステップＳ１０３で記憶した照明制御値に合わせる。
【００３２】
次に、ステップＳ１０６に移行して、検出像３２（液面を排除した時の検出像）を取得し、記憶する。
【００３３】
次に、ステップＳ１０７に移行して、検出像３１から検出像３２を差し引く。
【００３４】
次に、ステップＳ１０８に移行して、光量分布の基準位置との位相差から、傾斜角を算出し、終了する。
【００３５】
実施の形態１では、まず液面が存在する時の検出像３１を取得し、検出像３１を得た照明制御値で、液面を排除した時の検出像３２を取得する。実施の形態１によれば、液面１８´を排除した時の照明制御値の調整（ステップＳ１０５）が簡潔である。
【００３６】
（実施の形態２）
図７は実施の形態２に係る不要反射光像取得のための処理フローチャート、図８は実施の形態２に係る傾斜角算出のための処理フローチャートである。
【００３７】
図７に示すように、実施の形態２では、ステップＳ２０１に移行すると、液面１８´が光路Ｌ１から外れるまで傾斜センサ１０を傾けて、光路Ｌ１から液面１８´を排除する。
【００３８】
次に、ステップＳ２０２に移行して、適正光量になるように、照明制御部２４の照明制御値が調整され、照明部１１の光量が調整される。
【００３９】
次に、ステップＳ２０３に移行して、カウント値ｉ＝１が設定される。
【００４０】
次に、ステップＳ２０４に移行して、照明制御部２４の照明制御値を、適正光量のＮ分のiになるように制御する（Ｎは任意に設定される検出像３２の取得回数）。
【００４１】
次に、ステップＳ２０５に移行して、検出像３２（液面を排除した時の検出像）を取得する。
【００４２】
次に、ステップＳ２０６に移行して、ステップＳ２０４の照明制御値とステップＳ２０５の検出像３２が記憶される。
【００４３】
次に、ステップＳ２０７に移行して、ステップＳ１０３のカウント値を一つ上げる（ｉ＝ｉ＋１）。
【００４４】
次に、ステップＳ２０８に移行して、照明制御部２４の制御が、全段階（１／Ｎ，２／Ｎ，３／Ｎ，  ４／Ｎ，・・・，Ｎ-１／Ｎ， Ｎ／Ｎ）で行われたか判定する（ｉ≦Ｎ）。全段階行われていなければ（Ｎｏ）、ステップＳ２０４に戻る。全段階行われていれば（Ｙｅｓ）、終了する。
【００４５】
傾斜角の測定時には、図８に示す処理が行われる。まず、ステップＳ２０９に移行して、傾斜センサ１０の傾きは水平にされ、光路Ｌ１上に液面１８´が存在するようにする。
【００４６】
次に、ステップＳ２１０に移行して、適正光量になるように、照明制御部２４の照明制御値が制御され、照明部１１の光量が調整される。
【００４７】
次に、ステップＳ２１１に移行して、適正光量の、液面が存在する時の検出像３１が取得され、照明制御値とともに記憶される。
【００４８】
次に、ステップＳ２１２に移行して、ステップＳ２０４の（液面を排除した時の）照明制御値と、ステップＳ２１１の（液面が存在する時の）照明制御値を比較する。
【００４９】
次に、ステップＳ２１３に移行して、記憶部２１ｂに記憶されている、図７のステップＳ２０４〜Ｓ２０８で得た、複数の検出像３２の中から、ステップＳ２１１の照明制御値と一致する照明制御値で取得した検出像３２を読み出す。
【００５０】
次に、ステップＳ２１４に移行して、検出像３１から、読み出した検出像３２を差し引く。
【００５１】
次に、ステップＳ２１５に移行して、光量分布の基準位置との位相差から、傾斜角を算出し、終了する。
【００５２】
実施の形態２では、製造段階、または傾斜角測定の前に、照明制御部２４が調整可能な光量に関して、液面を排除した時の検出像３２を複数記憶しておく。そして、傾斜角の測定時には、測定した検出像（液面が存在する時の検出像３１）の照明制御値と一致する照明制御値の、液面を排除した時の検出像３２を、記憶部２１ｂから読み出す。実施の形態２によれば、予め複数の検出像３２を記憶しておくことで、傾斜角測定時に、照明制御値の調整（ステップＳ２１３）が簡単である。
【００５３】
（実施の形態３）
図９は実施の形態３に係る不要反射光像取得のための処理フローチャート、図１０は実施の形態３に係る傾斜角算出のための処理フローチャートである。実施の形態３でも、まず、不要反射光像取得のための処理が行われる。
【００５４】
図９に示すように、まず、ステップＳ３０１に移行して、実施の形態２のステップＳ２０１と同様に、光路Ｌ１から液面１８´を排除する。
【００５５】
次にステップＳ３０２に移行して、任意の照明制御値Ａで、液面を排除した時の検出像３２Ａを取得し、照明制御値Ａとともに記憶する。
【００５６】
次にステップＳ３０３に移行して、任意の照明制御値Ｂ（Ａ＜Ｂ）で、液面を排除した時の検出像３２Ｂを取得し、照明制御値Ｂとともに記憶して、終了する。
【００５７】
傾斜角の測定時には、図１０に示す処理が行われる。まず、ステップＳ３０４に移行して、実施の形態２のステップＳ２０９と同様に、光路Ｌ１上に液面１８´を戻す。
【００５８】
次にステップＳ３０５に移行して、適正光量になるように、照明制御部２４の照明制御値が制御され、照明部１１の光量が調整される。
【００５９】
次にステップＳ３０６に移行して、適正光量の、液面が存在する時の検出像３１が取得され、照明制御値とともに記憶される。
【００６０】
次にステップＳ３０７に移行して、ステップＳ３０６の、液面が存在する時の照明制御値と一致する照明制御値で得られる、液面を排除した時の検出像３２を予測する。
【００６１】
ステップＳ３０７の予測について詳述する。図１１は検出像３２Ａ，３２Ｂの光量分布を示す図、図１２は照明制御値を予測する例を示す図である。図１１では、横軸が受光素子２０上のＸ方向の位置、縦軸が受光素子２０で検出された検出像３２の光量を示している。照明制御値Ａ，Ｂ（Ａ＜Ｂ）でのそれぞれの検出像３２Ａ，３２Ｂは、例えば図１１で示された分布（実線）となる。照明制御値Ｂの光量分布Ｂｄｉは、横軸方向には照明制御値Ａの光量分布Ａｄｉと略同形状であり、縦軸方向には、光量分布Ａｄｉよりも光量が上がった分布となる。このように、照明制御値と光量は比例関係にある。このため、横軸に照明制御値をとり、縦軸に検出像３２の最大光量をとると、照明制御値Ｃ（Ａ＜Ｃ＜Ｂ）の最大光量ＣＭＡＸを予測することができる。例えば、図１２に示すように、照明制御値Ａと照明制御値Ｂを足し合わせる比α（０＜α＜１）を設定すると、
照明制御値Ｃ＝α（照明制御値Ａ）＋（１-α）(照明制御値Ｂ）・・・（１）
と表わせる。式（１）から、
α＝（照明制御値Ｃ−照明制御値Ｂ）／（照明制御値Ａ−照明制御値Ｂ）・・・（２）
を得れば、照明制御値Ｃの最大光量ＣＭＡＸは、
最大光量ＣＭＡＸ＝α（最大光量ＡＭＡＸ）＋（１-α）(最大光量ＢＭＡＸ）・・・（３）
で得られる。これを利用して、照明制御値Ｃの光量分布Ｃｄｉも同様に、
光量分布Ｃｄｉ＝α（光量分布Ａｄｉ）＋（１-α）(光量分布Ｂｄｉ)・・・（４）
で予測できる。
【００６２】
次に、ステップＳ３０９に移行して、検出像３１から、予測した検出像３２を差し引く。
【００６３】
次に、ステップＳ３１０に移行して、光量分布の基準位置との位相差から、傾斜角を算出し、終了する。
【００６４】
実施の形態３では、製造段階、または傾斜角測定の前に、照明制御部２４が調整可能な光量の中から、少なくとも二点（Ａ，Ｂ）の光量で、液面を排除した時の検出像３２を記憶しておく。そして、傾斜角の測定時には、照明制御部２４の照明制御値と受光素子２０の検出像３２の最大光量とに比例関係があることを利用して、液面が存在する時の検出像３１の照明制御値と一致する、液面を排除した時の検出像３２を予測する。実施の形態３によれば、液面を排除した時の検出像３２は、傾斜角測定時に予測により得るから、製造段階での手間や記憶部２１ｂの容量を減らすことができ、合理的である。
【００６５】
なお、実施の形態３において、照明制御値Ａを不要反射光の最大光量が適正光量となる光量、照明制御値Ｂを不要反射光の最大光量が適正光量の２分の1となる光量（または不要反射光の最大光量が適正光量となるときの照明制御値が２分の1）に設定すると、比例式の精度が良く好適である。
【００６６】
以上のように、本形態の傾斜センサ１０によれば、液面１８´以外の不要反射光（検出像３２）の影響を、排除することができる。
【００６７】
なお、上記の実施の形態１〜３では、液面１８´が存在する時と液面１８´を排除した時の照明制御値が一致するように調整されているが、二つの照明制御値が異なる状態であっても、液面が存在する時の検出像３１から、液面を排除した時の検出像３２を差し引くことで、不要反射光の影響による誤差が低減する効果は得られる。好ましくは、上記の実施の形態１〜３に記載したように、照明制御値を調整した上で画像処理することで、よりいっそう、不要反射光の影響による誤差を低減することができる。
【００６８】
以上、本発明の好ましい実施の形態および変形例を述べたが、各形態および各変形例を当業者の知識に基づいて組み合わせることも可能であり、そのような形態は本発明の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６９】
１０  傾斜センサ
１１  照明部
１８  液体
１８´液面
１９  容器
２０  受光素子
２１  演算処理装置
２１ａ  演算部
２１ｂ  記憶部
２２  送光光学系
２３  受光光学系
２４  照明制御部
３１  光路上に液面が存在する時の検出像
３２  光路上から液面を排除した時の検出像
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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