(57)【要約】      （修正有）【課題】藻類の成長を抑制できるフロート式流量計を提供する。【解決手段】液体の流量を調節するためのフロート式流量計２であって、下方から液体を導入する液体導入部１４と、上方から液体を導出する液体導出部１６と、を備え、垂直方向に立設する透明な管４ｂと、管４ｂの中の液体の流れにより上下動する浮き子１８と、を有し、透明な管４ｂの外周に、藻の成長を促進させる波長の光を遮断する部材４２が配設されたことを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の流量を調節するためのフロート式流量計であって、
下方から液体を導入する液体導入部と、上方から液体を導出する液体導出部と、を備え垂直方向に立設する透明な管と、
該管の中の液体の流れにより上下動する浮き子と、を有し、
該管の外周に、藻の成長を促進させる波長の光を遮断する部材が配設された、
ことを特徴とするフロート式流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種装置に液体を供給する供給路に使用されるフロート式流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体でなるウェーハを加工してＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを含むデバイスチップを形成する工程には、該ウェーハの裏面を研削して該ウェーハを所定の厚さに薄化する研削工程や、ウェーハを所定の分割予定ラインで切削して分割する分割工程が含まれる。これらの工程では、研削装置や切削装置等の各種の加工装置が用いられる。
【０００３】
各種の加工装置で加工が実施される際、加工装置に取り付けられた加工工具や被加工物には純水等の液体が供給される。加工装置には該液体を供給するための供給路が設けられる。液体の各供給路には、所定の流量で液体を供給するために、例えば、フロート式流量計（特許文献１及び２参照）が設けられる。加工装置のオペレータは、該フロート式流量計を確認しながら各供給路で供給される液体の流量を調節する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−４９９８号公報
【特許文献２】特開２００８−４５８８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
加工装置が備える供給路により供給される液体は、例えば、純水である。しかし、不純物等を取り除いて作製された純水は、水道水（市水）と比較して高価である。そのため、純水を使用する必要のない工程には水道水が使用される。また、加工装置の各種の構成を冷却するための冷却水として水道水が使用される。このように、加工装置が備える該供給路には水道水が流される場合も多い。
【０００６】
供給路に水道水が流れると該供給路に設けられるフロート式流量計には、水道水に僅かに含まれる藻類が付着する。フロート式流量計の本体は、一般的に、液体の流れにより浮遊する浮き子（フロート）を外部から視認できるように透明である。そのため、フロート式流量計に光が当たると付着した該藻類が成長して、浮き子や該浮き子を収容する管が汚れてしまう。
【０００７】
すると、例えば、フロート式流量計の使用開始から約３か月で浮き子（フロート）が正常に動作しなくなり、また、流量計の目盛りが読み取りにくくなる等の問題を生じるようになる。そのため、フロート式流量計を定期的に分解して清掃する必要があるが、清掃の間は加工装置の稼働を停止させなければならないため、加工装置の稼働率が低下して生産性が低下するとの問題を生じる。
【０００８】
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、藻類の成長を抑制できるフロート式流量計を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、液体の流量を調節するためのフロート式流量計であって、下方から液体を導入する液体導入部と、上方から液体を導出する液体導出部と、を備え垂直方向に立設する透明な管と、該管の中の液体の流れにより上下動する浮き子と、を有し、該管の外周面に、藻の成長を促進させる波長の光を遮断する部材が配設された、ことを特徴とするフロート式流量計が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一態様に係るフロート式流量計によると、垂直方向に立設する管の外周面に、藻の成長を促進させる波長の光を遮断する部材が配設される。そのため、該管の内部に流れる水道水等の液体に含まれる藻が該フロート式流量計に付着しても、藻を成長させる波長の光が藻に到達しないため、藻の成長が抑制される。
【００１１】
藻の成長が抑制されてフロート式流量計が汚れにくくなるため、フロート式流量計の清掃の頻度を低減できる。すると、加工装置の稼働率を上げることができるため、加工装置の生産性も向上する。
【００１２】
したがって、本発明の一態様により、藻類の成長を抑制できるフロート式流量計が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】加工装置の液体の供給路に配設されるフロート式流量計と、配管ブロックと、を模式的に示す斜視図である。
【図２】加工装置の液体の供給路に配設されるフロート式流量計と、配管ブロックと、を模式的に示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明に係る実施形態について説明する。図１は、加工装置の液体の供給路に配設されるフロート式流量計２と、配管ブロック２６と、を模式的に示す斜視図である。図２は、加工装置の液体の供給路に配設されるフロート式流量計２と、配管ブロック２６と、を模式的に示す側面図である。いずれの図においても、一部の内部構造が破線で示される。
【００１５】
本実施形態に係るフロート式流量計（面積式流量計）２は、配管ブロック２６に取り付けられて使用される。フロート式流量計２は、流量計本体４と、流量計本体４の背面側に固定された固定プレート６と、から構成される。流量計本体４の正面には、液体の流量を読み取るための目盛り８が設けられている。
【００１６】
流量計本体４の背面には、固定プレート６を貫通して水平方向に後方に向けて突出する下部接続部１０及び上部接続部１２が設けられている。配管ブロック２６の正面には、流量計本体４の該下部接続部１０に対応する径の下部接続穴２８と、該上部接続部１２に対応する径の上部接続穴３０と、が形成されている。該下部接続穴２８及び上部接続穴３０は、該下部接続部１０及び該上部接続部１２の位置にそれぞれ合わせて形成されており、それぞれ、該下部接続部１０と、該上部接続部１２と、に接続される。
【００１７】
図２に示す通り、流量計本体４の内部には管４ｂが形成されている。管４ｂを水平に切断した断面の形状は略円形であり、管４ｂはこの断面の径が上側に向かって広がるテーパー形状である。管４ｂの下方には下部接続部１０に接続される液体導入部１４が形成され、管４ｂの上方には上部接続部１２に接続される液体導出部１６が形成されている。管４ｂの内側には、浮き子（フロート）１８が入れられている。流量計本体４の正面の下部には、管４ｂを流れる液体の流量を調節する調節つまみ２０が設けられている。
【００１８】
固定プレート６の流量計本体４とは重ならない上側と、下側と、には、ボルト２４を通すための穴２２が形成されている。配管ブロック２６の正面には、該穴２２に対応する位置にねじ穴３２が設けられている。
【００１９】
フロート式流量計２は、固定プレート６の穴２２がねじ穴３２の位置に合うように配管ブロック２６の正面の固定プレート６の取り付け位置３４に位置付けられ、穴２２を通してボルト２４がねじ穴３２に締め込まれることにより、配管ブロック２６に固定される。このようにフロート式流量計２が配管ブロック２６に固定されると、フロート式流量計２の下部接続部１０及び上部接続部１２がそれぞれ配管ブロック２６の下部接続穴２８及び上部接続穴３０に接続される。
【００２０】
配管ブロック２６の下部接続穴２８は、液体の供給源（不図示）から液体が供給される供給配管３６に接続されている。また、配管ブロック２６の上部接続穴３０は、送出配管３８に接続されている。なお、送出配管３８には配管ブロック２６の上面に突き出るバルブ４０が設けられている。該バルブ４０により、加工装置への液体の送出と、その停止と、を制御できる。
【００２１】
配管ブロック２６は３組の送出配管３８を有しており、それぞれに流れる流量を計測する３つのフロート式流量計が配管ブロック２６の正面に配設される。そして、配管ブロック２６には、３組の送出配管３８に対応するバルブ、下部接続穴、及び、上部接続穴等が設けられている。
【００２２】
本実施形態に係るフロート式流量計２の外周には、流量計本体４の内部の管４ｂを覆うように部材４２が設けられる。該部材４２は、水道水等の液体に含まれる藻の成長を促進する波長の光を遮る機能を有する。藻の成長を促進する光の主要な波長は５００ｎｍ以下であるから、部材４２には５００ｎｍ以下の波長領域に吸収帯を有する部材を用いる。一部のＵＶカットフィルムは５００ｎｍ以下の波長の光を遮るため、部材４２には、例えば、該ＵＶカットフィルムを用いてもよい。また、部材４２は該光を反射してもよい。
【００２３】
なお、該部材４２は、藻の成長を促進する光のすべての波長領域に渡って吸収帯を有していなくてもよい。また、流量計本体４の正面に設けられた目盛り８を該部材４２を通して視認できるように、該部材４２は一部の波長の可視光が透過可能でなければならない。
【００２４】
次に、本実施形態に係るフロート式流量計２の使用態様について説明する。該フロート式流量計２には、液体の供給源（不図示）から配管ブロック２６の下部接続穴２８を通して、例えば、水道水（市水）が供給される。フロート式流量計２の管４ｂに液体導入部１４から水道水が供給されると、その流量に応じた高さに管４ｂに入れられた浮き子（フロート）１８が浮上する。
【００２５】
管４ｂはテーパー形状であるため、浮き子１８と、管４ｂの内壁と、の間の水道水が通過可能な領域の断面積は浮き子１８の高さに応じて変化する。水道水の流量に対して該断面積が小さすぎる場合、浮き子１８には上向きの力がかかり、浮き子１８が浮上して該断面積が増える。該断面積が増えると該上向きの力が変化する。
【００２６】
したがって、浮き子１８は、浮き子１８にかかる重力等の力と、該上向きの該力と、が釣り合う高さに浮上するから、目盛り８を用いて浮き子１８の浮上高さから水道水の流量を測定できる。そして、調節つまみ２０を操作して、水道水の流量が所定の値となるように水道水の流量を調節する。
【００２７】
管４ｂの内部に流れる水道水には、微量ながら藻等が含まれている場合があり、水道水に含まれる該藻が浮き子１８や管４ｂの内壁に付着する場合がある。管４ｂは、内部に入れられた浮き子１８が視認可能となるように、一般的に光を透過する。そのため、藻を成長させる波長の光も透過する。部材４２が設けられていない場合、浮き子１８や管４ｂの内壁に付着する藻は成長する。
【００２８】
該藻が成長すると、管４ｂの内部が部分的に藻で占められて浮き子１８が正常な高さに浮上しない場合がある。また、藻が成長すると、管４ｂの内壁が汚れて内部の浮き子１８を外部から視認しにくくなる場合がある。成長した藻を除去するために、例えば、３か月程度の周期でフロート式流量計を分解して清掃しなければならない。しかし、清掃の間は加工装置の稼働を停止させなければならず、加工装置の稼働率が低下して生産性が低下するとの問題を生じる。
【００２９】
本実施形態に係るフロート式流量計２の外周には、流量計本体４の内部の管４ｂを覆うように部材４２が設けられるため、藻の成長を抑制でき、清掃の頻度を下げることができる。すると、加工装置の稼働率を上げて生産性を向上できる。
【００３０】
フロート式流量計２により所定の流量に調節された水道水等の液体は、管４ｂの上部の液体導出部１６から配管ブロック２６の上部接続穴２８を通り、送出配管３８を経て加工装置の所定の箇所に供給される。送出配管３８にはバルブ４０が設けられており、該バルブ４０を開閉することで、フロート式流量計２により調節された水道水等の液体の流量を保ちながら該液体の供給と、停止と、を切り替えることができる。
【００３１】
なお、本発明は、上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記の実施形態では、流量計本体４の内部の管４ｂを覆うように部材４２を設けるが、本発明はこれに限定されない。例えば、管４ｂを形成する流量計本体４を構成する部材に藻の成長を促進する波長の光を遮断する材料を用いてもよい。
【００３２】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００３３】
２  フロート式流量計（面積式流量計）
４  流量計本体
４ｂ  管
６  固定プレート
８  目盛り
１０  下部接続部
１２  上部接続部
１４  液体導入部
１６  液体導出部
１８  浮き子（フロート）
２０  調節つまみ
２２  穴
２４  ボルト
２６  配管ブロック
２８，２８ａ，２８ｂ  下部接続穴
３０，３０ａ，３０ｂ  上部接続穴
３２  ねじ穴
３４  固定ブロックの取り付け位置
３６  供給配管
３８  送出配管
４０，４０ａ，４０ｂ  バルブ
４２  部材
【図１】
2018132418.tif 000003
【図２】
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