(57)【要約】【課題】液体ディスペンサにおける微小径の筒状のノズルの汚れを確実に除去可能なノズル汚れ除去ユニットを提供すること。【解決手段】液体ディスペンサにおける微小径の筒状のノズル３の汚れを除去するノズル汚れ除去ユニット３０は、ノズル４を、そのノズル先端開口３ａの側から挿入可能なノズル挿入穴３５を備えている。ノズル挿入穴３５の穴内周面３５ａは弾性素材によって規定されている。液体ディスペンサに備わっている３軸ステージ機構を用いて、ノズル４をノズル挿入穴３５に挿入し、穴内周面３５ａに接触させた状態を形成し、この状態で、ノズル３を穴内周面３５ａに沿って摺動させる。ノズル４の外周面に付着した汚れが弾性素材によって確実に拭き取られる。【選択図】図４
2018171581.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出あるいは滴下する筒状のノズルを備えた液体ディスペンサにおける前記ノズルの汚れを除去するノズル汚れ除去装置であって、
前記ノズルを、そのノズル先端開口の側から挿入可能なノズル挿入穴と、
前記ノズル挿入穴の穴内周面を規定している弾性素材と、
前記ノズルを前記穴内周面に接触させた状態で、前記ノズルを前記穴内周面に対して相対移動させるノズル相対移動機構と
を有している液体ディスペンサのノズル汚れ除去装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記ノズル挿入穴は、前記ノズルの外径よりも大きな内径の穴であり、
前記ノズル相対移動機構は、前記ノズル挿入穴に挿入された前記ノズルを前記穴内周面に沿って相対的に摺動させる機構である液体ディスペンサのノズル汚れ除去装置。
【請求項３】
請求項２において、更に、
前記弾性素材からなる所定形状の弾性体と、
前記弾性体を保持する弾性体保持具と
を有し、
前記弾性体には前記ノズル挿入穴が形成され、
前記弾性体の一方の端面に前記ノズル挿入穴が開口している液体ディスペンサのノズル汚れ除去装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記弾性体保持具は、
前記弾性体が着脱可能な状態で保持される弾性体保持部と、
前記弾性体保持部に保持された前記弾性体に洗浄液を供給する洗浄液供給部と
を備えており、
前記弾性体は前記洗浄液を吸収保持可能である液体ディスペンサのノズル汚れ除去装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記弾性体保持具は、開閉可能あるいは着脱可能な容器蓋を備えた洗浄液容器を備え、
前記容器蓋には、前記弾性体を着脱可能な大きな蓋貫通穴が形成され、
前記蓋貫通穴は前記弾性体保持部として機能し、前記洗浄液を貯留した前記洗浄液容器は前記洗浄液供給部として機能する液体ディスペンサのノズル汚れ除去装置。
【請求項６】
請求項５において、更に、
前記洗浄液容器を装着可能な容器装着具と、
前記容器装着具に開閉可能に取り付けた開閉蓋と
を備えており、
前記開閉蓋は、閉じ状態において、第１位置および第２位置に移動可能であり、
前記第１位置において、前記容器装着具に装着された前記洗浄液容器の前記容器蓋における前記蓋貫通穴を封鎖可能であり、前記第２位置において、前記蓋貫通穴の封鎖を解除可能である液体ディスペンサのノズル汚れ除去装置。
【請求項７】
請求項３において、
前記液体ディスペンサは、前記ノズルを３軸方向に移動させる３軸ステージ機構を備えており、
前記３軸ステージ機構は前記ノズル相対移動機構として機能する液体ディスペンサのノズル汚れ除去装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のうちのいずれか一つの項に記載のノズル汚れ除去装置を有している液体ディスペンサ。
【請求項９】
請求項１に記載のノズル汚れ除去装置に用いるノズル汚れ除去ユニットであって、
液体ディスペンサにおける液体を吐出あるいは滴下する筒状のノズルを、そのノズル先端開口の側から挿入可能なノズル挿入穴と、
前記ノズル挿入穴の穴内周面を規定している弾性素材と
を有しているノズル汚れ除去ユニット。
【請求項１０】
請求項９において、
前記ノズル挿入穴は、前記ノズルの外径よりも大きな内径の穴であるノズル汚れ除去ユニット。
【請求項１１】
請求項１０において、更に、
前記弾性素材からなる所定形状の弾性体と、
前記弾性体を保持する弾性体保持具と
を有し、
前記弾性体には前記ノズル挿入穴が形成され、
前記弾性体の一方の端面に前記ノズル挿入穴が開口しているノズル汚れ除去ユニット。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記弾性体保持具は、
前記弾性体が着脱可能な状態で保持される弾性体保持部と、
前記弾性体保持部に保持された前記弾性体に洗浄液を供給する洗浄液供給部と
を備えており、
前記弾性体は前記洗浄液を吸収保持可能であるノズル汚れ除去ユニット。
【請求項１３】
請求項１２において、
前記弾性体保持具は、開閉可能あるいは着脱可能な容器蓋を備えた洗浄液容器を備え、
前記容器蓋には、前記弾性体を着脱可能な大きな蓋貫通穴が形成され、
前記蓋貫通穴は前記弾性体保持部として機能し、前記洗浄液を貯留した前記洗浄液容器は前記洗浄液供給部として機能するノズル汚れ除去ユニット。
【請求項１４】
請求項１３において、更に、
前記洗浄液容器を装着可能な容器装着具と、
前記容器装着具に開閉可能に取り付けた開閉蓋と
を備えており、
前記開閉蓋は、閉じ状態において、第１位置および第２位置に移動可能であり、
前記第１位置において、前記容器装着具に装着された前記洗浄液容器の前記容器蓋における前記蓋貫通穴を封鎖可能であり、前記第２位置において、前記蓋貫通穴の封鎖を解除可能であるノズル汚れ除去ユニット。
【請求項１５】
請求項９ないし１４のうちのいずれか一つの項に記載のノズル汚れ除去ユニットを取り付け可能なユニット取付部を有している液体ディスペンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は筒状のノズルを備えた液体ディスペンサに関する。更に詳しくは、微小径の筒状のノズルに付着した汚れを除去するためのノズル汚れ除去装置およびノズル汚れ除去ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
本願出願人は、特許文献１、２等において、微小径の筒状のノズルを用いて、ナノリットルオーダー、更にはピコリットルオーダーの微量液体を半導体基板などの対象物の表面に吐出、滴下することが可能な微量液体ディスペンサを提案している。微量液体ディスペンサを用いれば、静電吐出方式、ピエゾ駆動方式などの液体吐出ヘッドを用いることが困難な高粘度液体、例えば、ＵＶ硬化樹脂等の高粘度樹脂液材、Ａｇペースト等の高粘度金属ぺーストを、ナノリットルオーダー、ピコリットルオーダーで吐出、滴下できる。
【０００３】
液体ディスペンサにおいては、そのノズルに、吐出した液体が付着して固化することがある。また、半導体基板等の処理において使用する処理液などが付着して固化することがある。ノズルの付着物は乾燥して微細粉末の状態で剥離して、液体の塗布あるいは吐出対象の表面の汚れの発生源になるおそれがある。また、付着物が障害となってノズル先端開口から正確な微細量の液滴を吐出、滴下できないおそれがある。このため、例えば定期的にノズル外周面等に付着した汚れを除去するためのノズル洗浄が行われる。
【０００４】
ノズル汚れの除去は、ノズルを洗浄液に浸漬し、あるいは、ノズルに洗浄液を吹き付けて、汚れを洗い流すことによって行われている。特許文献３、４には、液体塗布用のリップ（ノズル）の先端に、洗浄ヘッドから洗浄薬液を含む流体を噴出して、リップ先端の乾燥固着異物を除去する洗浄装置を備えた塗布装置が提案されている。
【０００５】
また、洗浄液を用いた所謂ウエット式のノズル洗浄方法は、ノズル洗浄後に洗浄液がノズルに付着したまま残り、これが原因となって液体の吐出不良などの不具合が生じることがある。特許文献３においては、洗浄薬液を含む流体を噴出する流体ノズルに加えて、液切りノズルを配置し、ノズル先端部に不活性ガスを噴出して、洗浄液がノズルに残らないようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許５８５６３３２号公報
【特許文献２】特開２０１６−１７９４６４号公報
【特許文献３】特開２００５−３２４１２３号公報
【特許文献４】特開２００６−２８１１０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
洗浄液を用いた吹き付け洗浄、浸漬洗浄では、確実にノズルの汚れを除去できないことがある。また、ノズルの残留洗浄液を除去するために液切りノズルなどを別途、配置する必要がある。
【０００８】
また、ナノリットルオーダー、ピコリットルオーダーで液滴を吐出、滴下する微小径の筒状のノズルを備えた液体ディスペンサの場合には、微小径、微小幅で液体が対象物の表面に塗布される。よって、微小な異物が対象物の表面に付着しても、液体の塗布性状に影響を与え、歩留まりが低下する。また、ノズルの先端側に異物が付着すると、ノズルの吐出性能、滴下性能に大きな影響が表れる。したがって、ノズルの汚れを確実に除去する必要があるが、従来の吹き付け洗浄、浸漬洗浄では、十分な汚れ除去効果が得られない。
【０００９】
本発明の目的は、液体ディスペンサにおける微小径の筒状のノズルの汚れを確実に除去可能なノズル汚れ除去ユニットおよびノズル汚れ除去装置を提供することにある。
【００１０】
また、本発明の目的は、微小径の筒状のノズルの汚れを確実に除去可能なノズル汚れ除去ユニットを備えた液体ディスペンサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明は、液体を吐出あるいは滴下する筒状のノズルを備えた液体ディスペンサにおける前記ノズルの汚れを除去するノズル汚れ除去装置であって、
ノズルを、そのノズル先端開口の側から挿入可能なノズル挿入穴と、
ノズル挿入穴の穴内周面を規定している弾性素材と、
ノズルを穴内周面に接触させた状態で、ノズルを穴内周面に対して相対移動させるノズル相対移動機構と
を有していることを特徴としている。
【００１２】
本発明では、ノズル挿入穴にノズルを挿入し、弾性素材によって規定されるノズル挿入穴の穴内周面に対してノズルを相対的に摺動させる。これにより、ノズル外周面に付着した汚れが弾性素材によって拭き取られる。洗浄液による吹き付け洗浄、浸漬洗浄の場合に比べて、より確実に、ノズルの汚れを除去できる。また、弾性素材によって穴内周面が規定されたノズル挿入穴にノズルを挿入すると、ノズルの全周が弾性素材に取り囲まれた状態になる。よって、微小径のノズルであっても、そのノズル外周面を弾性素材に確実に接触させることができ、ノズル外周面に付着している汚れを確実に除去できる。更に、ノズルを弾性素材に押し付けると、弾性素材が弾性変形してノズルが弾性素材に食い込む。これにより、ノズル先端面に弾性素材が接触して、ノズル先端面の汚れの除去も可能である。
【００１３】
本発明において、ノズル挿入穴として、ノズル外径よりも大きな内径の穴を用いることができる。この場合には、ノズル相対移動機構により、ノズル挿入穴に挿入されたノズルを穴内周面に沿って相対的に摺動させて、ノズル外周面の汚れを除去できる。
【００１４】
例えば、ノズルを自転させることなく、ノズル挿入穴の中心回りに、穴内周面に沿って摺動させる。ノズル外周面の全周を穴内周面によって拭き取ることができ、また、ノズル外周面の各部分を穴内周面の異なる部分で拭き取ることができる。よって、ノズルを穴内周面に沿って１周分あるいはそれ以上に亘って摺動させることで、ノズル外周面の汚れを確実に除去できる。
【００１５】
本発明のノズル汚れ除去装置を、弾性素材から形成した所定形状の弾性体と、弾性体を保持する弾性体保持具とを備えた構成にできる。この場合には、弾性体にノズル挿入穴を形成し、弾性体の一方の端面にノズル挿入穴を開口させる。
【００１６】
この場合において、弾性体保持具を、弾性体が着脱可能な状態で保持される弾性体保持部と、弾性体保持部に保持された弾性体に有機溶剤、水、その他の洗浄液を供給する洗浄液供給部とから構成し、弾性体によって有機溶剤などの洗浄液を吸収保持できるようにする。
【００１７】
このようにすれば、弾性体のノズル挿入穴の穴内周面の部分は、洗浄液によって濡れた状態になる。この状態の穴内周面に沿ってノズルを摺動させると、洗浄液による洗浄効果も加わってノズルに付着している汚れをより確実に除去できる。また、洗浄液は、弾性素材に吸収保持された状態でノズルに接触するので、ノズルに洗浄液を吹き付ける場合、ノズルを洗浄液に浸漬する場合とは異なり、洗浄液がノズルに付着したまま残ってしまうことを回避できる。
【００１８】
本発明において、弾性体保持具は次のように構成することができる。すなわち、弾性体保持具は、開閉可能あるいは着脱可能な容器蓋を備えた洗浄液容器を備え、容器蓋には、弾性体を着脱可能な大きな蓋貫通穴が形成される。この場合、蓋貫通穴が弾性体保持部として機能し、洗浄液容器が洗浄液を弾性体に供給するための洗浄液供給部として機能する。
【００１９】
また、洗浄液容器を装着可能な容器装着具を備えていることが望ましい。この場合には、容器装着具に開閉可能に取り付けた開閉蓋を配置し、開閉蓋を、閉じ状態において、第１位置および第２位置に移動可能にしておく。第１位置において、容器装着具に装着された溶剤容器の容器蓋における蓋貫通穴を封鎖可能とし、第２位置において、蓋貫通穴の封鎖を解除可能とする。
【００２０】
ノズルの汚れ除去動作を行わない状態では、開閉蓋を第１位置に移動して蓋貫通穴を封鎖できる。これにより、洗浄液、例えば有機溶剤の蒸発を防止でき、また、蓋貫通穴を介して異物が溶剤容器内に侵入することを防止できる。
【００２１】
ここで、液体ディスペンサは、一般に、ノズルを３軸方向に移動させるための３軸ステージを備えている。この３軸ステージ機構を、ノズル汚れ除去装置のノズル相対移動機構として用いればよい。
【００２２】
この場合には、本発明のノズル汚れ除去装置におけるノズル相対移動機構を除く部分を、ノズル汚れ除去ユニットとして提供することができる。本発明のノズル汚れ除去ユニットを、例えば、液体ディスペンサにおける液体吐出、滴下対象のワークを載せるワーク台にセットする。この状態で、ノズル汚れ除去ユニットのノズル挿入穴に対してノズルを挿入してノズル汚れを除去することができる。ノズル汚れ除去動作の終了後は、ノズル汚れ除去ユニットをワーク台から取外せばよい。または、液体ディスペンサに、ノズル汚れ除去ユニットを着脱可能に取り付ける専用のユニット取付部を設けておくこともできる。
【００２３】
次に、本発明の液体ディスペンサは、上記構成のノズル汚れ除去ユニットを備えていることを特徴としている。本発明の液体ディスペンサでは、ノズルの汚れを確実に除去できるので、汚れに起因する液体吐出特性の劣化、液体滴下特性の劣化を防止でき、液体の吐出、液体の滴下を精度良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明を適用した微量液体ディスペンサの全体構成図である。
【図２】（ａ）〜（ｅ）は、それぞれ、ノズル汚れ除去ユニットの弾性体保持具を示す平面図、端面図、Ａ−Ａ線断面図、斜視図および分解斜視図である。
【図３】（ａ）〜（ｄ）は、ノズル汚れ除去ユニットの容器装着具を示す斜視図、その開閉蓋をスライドさせた状態を示す斜視図、開閉蓋を開けた状態を示す斜視図、および、溶剤容器を取外した状態を示す斜視図である。
【図４】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、ノズル汚れ除去動作の例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した微量液体ディスペンサの実施の形態を説明する。なお、本発明は、以下の実施の形態の構造に限定されるものではなく、各種の変更が可能である。
【００２６】
図１は、本実施の形態に係る微量液体ディスペンサの全体構成図である。微量液体ディスペンサ１は、ワーク台２と、このワーク台２に載せたワーク３の表面等の所定の部位に微量液体を滴下する微小径の円筒状のノズル４とを備えている。ワーク台２は例えば３軸ステージ機構５によって水平な平面上および垂直方向に移動可能である。ワーク台２を固定し、ノズル４の側を３軸方向に移動させることも可能である。
【００２７】
ノズル４は微小径のノズルであり、その先端開口４ａの内径が５００μｍ以下、例えば１００μｍであり、ノズル外径も、１ｍｍ以下、例えば、２００μｍ程度の細長い円筒状のノズルである。これらの数値は例示であり、より微小径のノズルを用いる場合もある。逆に、これよりも太いノズルを用いる場合もある。
【００２８】
ノズル４には、ノズル支持部４ｃを介して、当該ノズル４の内径よりも大きな内径の液体通路６が接続されている。液体通路６の上流側通路部分６Ａはシリンジ７に繋がっており、シリンジ７には液体が貯留されている。シリンジ７にポンプ８から圧縮空気を供給して、そこに貯留されている液体が液体通路６に供給される。シリンジ７とポンプ８から液体供給部が構成される。シリンジ７には例えば粘性液体９が貯留されている。
【００２９】
液体通路６の途中には中間通路部分１０が配置されている。中間通路部分１０は容量可変通路部分となっている。中間通路部分１０は、円筒通路１１を備え、この円筒通路１１の両端は剛体の端板１１ａ、１１ｂによって形成されているが、その円筒状胴部１１ｃは半径方向に弾性変形可能な弾性膜から形成されている。
【００３０】
円筒通路１１の円筒状胴部１１ｃを同心状に取り囲む状態に、円環状断面の密閉外周空間である圧力室１２が形成されている。圧力室１２は加圧機構１３に繋がっており、加圧機構１３によって圧力室１２の内圧を上げることが可能である。圧力室１２が加圧されると、円筒通路１１の円筒状胴部１１ｃが半径方向に内側に収縮して、円筒通路１１の内容積が減少する。加圧機構１３による加圧を解除すると、円筒状胴部１１ｃが元の円筒形状に弾性復帰し、内容積を元に戻すことが可能である。このように、圧力室１２と加圧機構１３とによって、円筒通路１１の内容積を増減するための通路変形機構が構成される。
【００３１】
ノズル４、液体通路６の下流側通路部分６Ｂおよび中間通路部分１０は、一体となって移動可能な微動ユニット２０となっている。微動ユニット２０は図１において一点鎖線で囲まれている部分である。微動ユニット２０は、ユニット微動機構を構成する直動機構２１（図１において想像線で示す。）によってノズル４の中心軸線４Ａに沿った方向に直線往復移動可能である。微動ユニット２０が移動すると、そのノズル４の先端開口４ａとワーク台２に載せた塗布対象のワーク表面３ａとの間のギャップが増減する。
【００３２】
また、ノズル４の上方には観察光学系ユニット２２が配置されている。観察光学系ユニット２２は、ノズル４の先端開口４ａおよびワーク表面３ａの部分をＣＣＤカメラによって観察可能である。また、観察光学系ユニット２２にはレーザー変位計等の計測機構が組み付けられており、ノズル４の先端開口４ａと、これに対峙するワーク表面３ａの部分との間のギャップを測定可能である。
【００３３】
上記の液体供給用のポンプ８、加圧機構１３、３軸ステージ機構５、直動機構２１、観察光学系ユニット２２等の各部分は、制御部１４によって駆動が制御される。制御部１４による制御動作は、操作・表示部１５の操作部からの操作入力に基づき行われ、各部の動作状態、観察光学系ユニット２２による観察画像等が操作・表示部１５の表示部に表示可能である。
【００３４】
先に述べたように、ノズル４は微小径のノズルであり、中間通路部分１０の上流側の液体通路抵抗に比べて、下流側の液体通路抵抗が極めて大きい。本例では、粘性液体９を、液体通路６およびノズル４の先端開口４ａまで充填した液体充填状態で、中間通路部分１０をその内容積が減少するように収縮させた場合に、当該中間通路部分１０からその下流側通路部分に押し出される液体量が、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーの微小量となるように、当該液体量と中間通路部分１０の上流側通路部分に押し戻される液体量との比率が、１：１００〜１：５００の範囲内の値に設定されている。換言すると、このような比率となるように、中間通路部分１０の上流側の液体通路抵抗に比べて、下流側の液体通路抵抗が極めて大きくなるように設定されている。これにより、微小液滴の吐出、滴下を精度良く確実に行うことができる。なお、微小液滴の吐出、滴下のための機構としては、先に述べた特許文献１に記載されている機構、その他の機構を用いることができる。
【００３５】
ここで、本例の液体ディスペンサ１において、３軸ステージ機構５によって移動可能なワーク台２には、ノズル汚れ除去ユニット３０が付設されている。ノズル汚れ除去ユニット３０は、ワーク台２と一体となって３軸方向に移動するベース３１（ユニット取付部）に、着脱可能な状態で搭載されている。ノズル汚れユニット３０と３軸ステージ機構５（ノズル相対移動機構）とによって、ノズル汚れ除去装置が構成される。
【００３６】
ノズル汚れ除去ユニット３０は、弾性素材からなる１本あるいは複数本の所定形状の弾性体３２を保持した弾性体保持具３３と、弾性体保持具３３が着脱可能に装着された容器装着具３４とを備えている。弾性体３２は例えばポリウレタンフォームからなる円形断面の柱状体である。柱状の弾性体３２の弾性素材としては各種の素材を用いることが可能である。各弾性体３２にはノズル４をそのノズル先端開口の側から挿入可能なノズル挿入穴３５が形成されている。ノズル挿入穴３５は、弾性体３２に同軸状態に形成された円形断面の中心貫通穴である。ノズル挿入穴３５の穴径はノズル４の外径よりも大きい。
【００３７】
後述するが、ノズル４の汚れ除去動作においては、３軸ステージ機構５を用いて、ノズル４の真下に、ノズル汚れ除去ユニット３０のノズル挿入穴３５を位置決めし、ノズル４をノズル挿入穴３５に挿入し、挿入したノズル４をノズル挿入穴３５の穴内周面に沿って摺動させて、ノズル４に付着した汚れを除去する。
【００３８】
（ノズル汚れ除去ユニット）
図２（ａ）〜（ｅ）は、それぞれ、ノズル汚れ除去ユニット３０の弾性体保持具３３を示す平面図、端面図、Ａ−Ａ線で切断した部分の断面図、斜視図および分解斜視図である。これらの図を参照して説明すると、弾性体保持具３３は、細長い直方体形状の洗浄液容器である溶剤容器４１（洗浄液供給部）と細長い長方形輪郭の容器蓋４２とを備えている。溶剤容器４１の上面は、上方に開口する容器開口部４３となっている。溶剤容器４１の上に被せた容器蓋４２によって容器開口部４３が封鎖されている。溶剤容器４１には、所定量の有機溶剤４４を貯留可能である。有機溶剤の代わりに、水、その他の洗浄液を用いることができる。例えば、容器蓋４２は、その一方の対角線方向の角部分において、不図示の固定ねじによって溶剤容器４１に固定されている。
【００３９】
容器蓋４２には、円柱状の弾性体３２を上方から差し込み・引き抜き可能な大きさの円形断面の蓋貫通穴４７（弾性体保持部）が形成されている。本例では、容器蓋４２の長さ方向に一定の間隔で５個の蓋貫通穴４７が形成されている。蓋貫通穴の４７の個数、配列状態は、本例の場合とは異なっていてもよい。ノズル４の本数等に応じて適宜設定される。各蓋貫通穴４７の穴径は、弾性体３２の外径とほぼ同一である。また、溶剤容器４１の底面には、各蓋貫通穴４７に対応する位置に、弾性体３２の下端面３２ｂが乗る着座面４８が突出形成されている。
【００４０】
本例では、円柱状の弾性体３２を用いているが、弾性体３２は、多角柱形状、直方体形状等、各種の形状の弾性体であってもよい。弾性体３２の形状に合わせて、蓋貫通穴４７の形状も設定される。また、弾性体３２に形成したノズル挿入穴３５は、弾性体３２の上端面から下端面まで、同一内径の円形断面の穴である。場合によって、ノズル挿入穴３５の穴径を、その軸線方向において変えることも可能であり、その穴断面形状を楕円形、多角形などの非円形にすることも可能である。さらに、柱状の弾性体３２を用いる代わりに、容器蓋４２あるいは溶剤容器４１に、直接に、弾性素材を取り付け、弾性素材によってノズル挿入穴３５の穴内周面を規定してもよい。着脱可能な弾性体３２を用いる場合には、その交換が容易であり、便利である。
【００４１】
弾性体３２を蓋貫通穴４７に差し込み、その下端面３２ｂが着座面４８に乗った状態まで押し込むと、弾性体３２の上端面３２ａが丁度、容器蓋４２の上面に一致した状態になる。溶剤容器４１に貯留される有機溶剤４４の液面は、着座面４８よりも高い位置となるように設定される。差し込まれた弾性体３２の下端部分は有機溶剤４４に浸漬し、毛細管力によって有機溶剤を吸い上げ、内部に保持する。弾性体３２に形成したノズル挿入穴３５の穴内周面３５ａは有機溶剤４４で湿った状態になる。
【００４２】
図３（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ、ノズル汚れ除去ユニット３０の容器装着具３４を示す斜視図、その開閉蓋をスライドさせた状態を示す斜視図、開閉蓋を開けた状態を示す斜視図、および、溶剤容器４１を取り外した状態を示す斜視図である。
【００４３】
図３（ｄ）から分かるように、容器装着具３４は、溶剤容器４１よりも大きな長方形輪郭の底板５１と、底板５１の長さ方向の両端上面部分に取り付けた端ブロック５２、５３とを備えている。端ブロック５２、５３の間に、溶剤容器４１を上方から装着可能な容器装着部５４が形成されている。容器装着部５４に装着された溶剤容器４１を、上側から開閉蓋５５によって覆うことが可能である。開閉蓋５５は長方形輪郭をしており、その後ろ側の長辺縁がスライド筒５６に取り付けられている。
【００４４】
スライド筒５６の中心には軸５７が貫通して延びており、軸５７は端ブロック５２、５３の間に架け渡されている。スライド筒５６は、軸５７を中心として回動可能であり、開閉蓋５５は、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、溶剤容器４１を上側から覆い隠す閉じ位置から、図３（ｃ）、（ｄ）に示すように、溶剤容器４１を容器装着部５４から上方に取り出し可能な開き位置まで回動可能である。
【００４５】
また、スライド筒５６は開閉蓋５５と共に、軸５７に沿った方向にスライド可能である。開閉蓋５５およびスライド筒５６の長さは、端ブロック５２、５３の間隔よりも短く、これらの寸法差分だけ、開閉蓋５５は図３（ｂ）に示す第１位置５５Ａから図３（ａ）に示す第２位置５５Ｂまでスライド可能である。開閉蓋５５には、各ノズル挿入穴３５と同一大きさの円形貫通穴５８が同一ピッチで同一個数、形成されている。図３（ｂ）に示す第１位置においては、開閉蓋５５は、容器装着具３４に装着された溶剤容器４１のノズル挿入穴３５を封鎖可能である。これに対して、図３（ａ）に示す第２位置では、開閉蓋５５の各円形貫通穴５８が溶剤容器４１の各蓋貫通穴４７に一致し、蓋貫通穴４７の封鎖が解除される。この結果、各弾性体３２の上端面３２ａが露出し、上方から、ノズル４を各弾性体３２のノズル挿入穴３５に挿入可能になる。
【００４６】
容器装着具３４の端ブロック５２、５３には、ベースへの取付け用のねじ穴５２ａ、５３ａが形成されている。不図示の固定ねじを、これらのねじ穴５２ａ、５３ａから底板５１を通してベース３１（図１参照）にねじ込み固定することで、容器装着具３４がベース３１に固定される。また、本例では、一方の端ブロック５３に圧縮空気供給部５９を付設し、開閉蓋５５のスライドを不図示のエアーシリンダによって行うことが可能である。端ブロック５３には、溶剤供給部６０を付設し、外部の溶剤供給源から有機溶剤の補給を行うことが可能である。
【００４７】
（ノズル汚れ除去動作の例）
図４（ａ）、（ｂ）はノズル汚れ除去動作の一例を示す概念図である。ノズル汚れ除去ユニット３０を用いたノズル４の汚れ除去動作は次のように行われる。まず、ノズル４によって液体吐出動作、液体滴下動作を行っている間は、ノズル汚れ除去ユニット３０は、開閉蓋５５が第１位置５５Ａにスライドしており、ノズル挿入穴３５が封鎖された状態にある（図３（ｂ）参照）。
【００４８】
制御部１４の制御の下で、液体吐出動作、液体滴下動作が終了した後、あるいは、一定期間毎に、ノズル汚れ除去動作が起動される。ノズル汚れ除去動作が起動されると、３軸ステージ機構５によって、ノズル４のそれぞれを、ノズル汚れ除去ユニット３０の各ノズル挿入穴３５の真上に位置決めする。
【００４９】
この位置決め動作の前の時点、その後の時点、または、位置決め動作に並行して、ノズル汚れ除去ユニット３０の開閉蓋５５を、図３（ｂ）の第１位置５５Ａからに矢印で示す方向にスライドさせて、図３（ａ）に示す第２位置５５Ｂにする。これにより、ノズル挿入穴３５が上方に露出する。３軸ステージ機構５によってノズル汚れ除去ユニット３０をワーク台２と共に上昇させ、各ノズル４を各ノズル挿入穴３５に挿入する。例えば、図４（ａ）に示すように、ノズル４は、ノズル挿入穴３５に同軸状態で挿入される。
【００５０】
次に、図４（ｂ）に示すように、３軸ステージ機構５によって、ノズル４を、ノズル挿入穴３５の穴内周面３５ａに所定の力で押し付けた状態を形成する。この状態で、３軸ステージ機構５によってノズル汚れ除去ユニット３０を平面上において移動させ、ノズル４を自転させることなく、穴内周面３５ａに沿ってノズル挿入穴３５の中心回りに１回あるいは複数回、公転させる相対運動を行わせる。
【００５１】
この結果、ノズル４の外周面を全周に亘って、穴内周面３５ａによって拭き取ることができ、また、ノズル４の外周面の各部分を穴内周面３５ａの異なる部分で拭き取ることができる。更に、弾性素材によって規定される穴内周面３５ａに食い込ませた状態でノズル４を当該穴内周面３５ａに沿って摺動させると、ノズル４の先端開口４ａの開口縁に付着している汚れが除去される。よって、ノズル４を穴内周面３５ａに沿って１周分あるいはそれ以上に亘って摺動させることで、ノズル４の外周面（および先端面）の汚れを確実に除去できる。
【００５２】
また、弾性体３２のノズル挿入穴３５の穴内周面３５ａの部分は、有機溶剤４４によって濡れた状態となっている。この状態の穴内周面３５ａに沿ってノズル４を相対的に摺動させることで、有機溶剤による洗浄効果も加わってノズル４に付着している汚れをより確実に除去できる。有機溶剤４４は、弾性素材に吸収保持された状態でノズル４に接触するので、有機溶剤がノズル４に付着したまま残ってしまうことを回避できる。
【００５３】
次に、ノズル汚れ除去動作が終了した後において、液体の吐出動作あるいは滴下動作を開始する場合には、３軸ステージ機構５によって、ノズル汚れ除去ユニット３０を降下させる。これにより、ノズル４がノズル挿入穴３５から上方に引き抜かれる。ノズル４が引き抜かれた後は、開閉蓋５５をスライドさせて第１位置５５Ａに戻し、図３（ｂ）に示すように、ノズル挿入穴３５を封鎖して、有機溶剤の蒸発等を防止する。
【００５４】
ノズル汚れ除去動作が終了した後に、次の液体吐出あるいは滴下動作を開始するまでの間の待機状態においては、例えば、ノズルキャッピング状態を形成すればよい。図４（ａ）を参照して説明すると、ノズル４がノズル挿入穴３５に同軸状態に挿入された状態で、ノズル４を支持しているノズル支持部４ｃを弾性体３２の上端面３２ａに押し付ける。これにより、ノズル４の先端開口４ａはノズル挿入穴３５内に密閉される。ノズル４の先端開口４ａの乾燥が防止され、ノズル４内の液体の固化、メニスカスの破壊などを防止できる。
【００５５】
なお、本例では、ノズル汚れ除去ユニット３０は、容器装着具３４に、弾性体保持具３３が着脱可能に装着され、弾性体保持具３３に、ノズル挿入穴３５が形成された弾性体３２が着脱可能に挿入されている。各部品の保守点検、交換を簡単に行うことができる。ノズル汚れ除去ユニット３０の各構成部品を一体に組み付けた構造とすることも可能である。また、交換頻度の高い弾性体３２のみを着脱可能な構造としてもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１    微量液体ディスペンサ
２    ワーク台
３    ワーク
３ａ  ワーク表面
４    ノズル
４Ａ  中心軸線
４ａ  先端開口
４ｃ  ノズル支持部
５    ３軸ステージ機構
１４    制御部
３０    ノズル汚れ除去ユニット
３１    ベース
３２    弾性体
３２ａ  上端面
３２ｂ  下端面
３３    弾性体保持具
３４    容器装着具
３５    ノズル挿入穴
３５ａ  穴内周面
４１    溶剤容器（洗浄液容器）
４２    容器蓋
４３    容器開口部
４４    有機溶剤（洗浄液）
４５、４６    固定ネジ
４７    蓋貫通穴
４８    着座面
５１    底板
５２、５３  端ブロック
５２ａ、５３ａ  ねじ穴
５４    容器装着部
５５    開閉蓋
５５Ａ  第１位置
５５Ｂ  第２位置
５６    スライド筒
５７    軸
５８    円形貫通穴
５９    圧縮空気供給部
６０    溶剤供給部
【図１】
2018171581.tif 000003
【図２】
2018171581.tif 000004
【図３】
2018171581.tif 000005
【図４】
2018171581.tif 000006