(57)【要約】【課題】既設配管ラックに加えて新設配管ラックを設置する。【解決手段】施設は、挿通される長手方向に伸びる複数の配管を支持する配管ラックであって、既に地上に建設されている既設配管ラック１０と、既設配管ラック１０を跨いで既設配管ラックの上方に配置される新設配管ラック５０と、を含む。既設配管ラック１０の幅方向の両側の外側に複数の支持柱５２を敷設し、敷設された複数の支持柱５２によって支持された新設配管ラック５０を配置し、新設配管ラック５０内に、新設の配管４０を挿通して、新設配管ラック５０に支持させる。【選択図】図１
2018044599.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
施設における流体移送用の配管設備の設置方法であって、
施設は、
挿通される長手方向に伸びる複数の配管を支持する配管ラックであって、既に地上に建設されている既設配管ラックと、
既設配管ラックを跨いで既設配管ラックの上方に配置される新設配管ラックと、
を含み、
既設配管ラックの幅方向の両側の外側に複数の支持柱を敷設し、
付設された複数の支持柱によって支持された新設配管ラックを配置し、
新設配管ラック内に、新設の配管を挿通して、新設配管ラックに支持させる、
配管設備の設置方法。
【請求項２】
請求項１に記載の配管設備の設置方法であって、
新設配管ラックのための支持柱の基礎部分は、既設配管ラックのための支持柱の基礎部分と、配管の長手方向において、異なる位置に配置される、
配管設備の設置方法。
【請求項３】
請求項２に記載の配管設備の設置方法であって、
新設配管ラックのための支持柱の基礎部分は、既設配管ラックのための支持柱の基礎部分とは、配管の幅方向においては、一部重複する、
配管設備の設置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、施設における流体移送用の配管設備の設置方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造工場などの施設においては、必要に応じてその設備の改造や、改築が行われる。この際には、既設の設備の一部を取り壊して改造するが、その際にある程度の設備を新設する場合も多い。
【０００３】
例えば、半導体装置の製造工場では、製品のライフサイクルに合わせて、製造ラインが改造される。このような施設では、半導体装置の製造工程で必要な超純水などの設備や、製造工程で排出される排水の処理施設や、製造工程で排出される排ガスの処理など、各種の流体の処理が必要であり、そのために多くの配管が必要とされる。多数の配管は、配管ラックによって支持する場合が多く、設備の設計においては、配管ラックの配置が重要な項目の１つとなる。
【０００４】
なお、特許文献１には、配管ラックを用いて水処理プラントを建設することが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３２７３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、半導体工場の改造においては、半導体装置の高機能化などに伴い、配管を増設する場合が多い。工場において敷地の余裕がないと、配管ラックの設置スペース確保ができない場合も生じる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、施設における流体移送用の配管設備の設置方法であって、施設は、挿通される長手方向に伸びる複数の配管を支持する配管ラックであって、既に地上に建設されている既設配管ラックと、既設配管ラックを跨いで既設配管ラックの上方に配置される新設配管ラックと、を含み、既設配管ラックの幅方向の両側の外側に複数の支持柱を敷設し、付設された複数の支持柱によって支持された新設配管ラックを配置し、新設配管ラック内に、新設の配管を挿通して、新設配管ラックに支持させる。
【０００８】
また、新設配管ラックのための支持柱の基礎部分は、既設配管ラックのための支持柱の基礎部分と、配管の長手方向において、異なる位置に配置されてもよい。
【０００９】
また、新設配管ラックのための支持柱の基礎部分は、既設配管ラックのための支持柱の基礎部分とは、配管の幅方向においては、一部重複してもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、既設配管ラックが設置されている狭いスペースを利用して、新設配管ラックを設置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】既設および新設配管ラックの長手方向と直角な断面を示す模式図である。
【図２】既設および新設配管ラックの配管を省略した平面模式図である。
【図３】配管ユニットの設置例を示す図である。
【図４】設置方法を示すフローチャートである。
【図５】追加の配管ユニットの設置例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について、図面に基づいて説明する。なお、本発明は、ここに記載される実施形態に限定されるものではない。
【００１３】
図１は、既設および新設配管ラックの配管の長手方向と直角な断面を示す模式図、図２は配管を省略した平面模式図である。
【００１４】
既設配管ラック１０は、配管３０の長手方向に５０〜１００ｍ程度伸び、幅は数ｍ、高さは１０ｍ程度の細長の構造物である。新設配管ラック５０は、同じく配管４０の長手方向に伸びるとともに、既設配管ラック１０を覆うように形成され、高さは１５ｍ程度である。なお、既設配管ラック１０は、基本的に鋼管を組み合わせて構成される。
【００１５】
図１に示すように、既設配管ラック１０は、配管３０の両側に支持柱１２を有している。この支持柱１２は、配管３０の長手方向において所定間隔（例えば７〜８ｍおき）で配置されている（図２参照）。
【００１６】
既設配管ラック１０の上部には、幅方向に幅方向梁１４が複数段に渡って設けられる。図示の例では、４本の幅方向梁１４が高さ方向で所定間隔をおいて（例えば、２ｍおき）設けられている。幅方向梁１４は、その両端が支持柱１２に例えば溶接で固定される。従って、幅方向梁１４も配管３０の長手方向において所定間隔をおいて配置される（図２参照）。
【００１７】
また、図２に示すように、支持柱１２の頂部には配管３０に沿って伸びる長手方向梁１６が設けられる。長手方向梁１６も支持柱１２に溶接で固定されるとよい。長手方向梁１６は、支持柱１２間に設ける必要はなく、複数本の支持柱１２の頂部に固定してもよく、最上段の幅方向梁１４は長手方向梁１６に固定してもよい。
【００１８】
そして、幅方向梁１４に支持される形で、複数の配管３０が幅方向梁１４上に配設される。配管３０は、締結バンドなどで、幅方向梁１４に固定するとよい。
【００１９】
支持柱１２の下端は、基礎台２０に固定される。この基礎台２０は、コンクリートなどで形成され、立方体形状である。そして、この基礎台２０には、杭２２の上端が固定されている。杭２２は、地中に所定長さ伸びており、基礎台２０を支える。なお、基礎台２０は、地中に配置してもよい。このような基礎の構造は、公知のものから適宜選択することができる。
【００２０】
新設配管ラック５０も、基本的な構成は既設配管ラック１０と同様であり、高さ方向に伸びる支持柱５２を長手方向の所定間隔おきに有する。ここで、この支持柱５２は、既設配管ラック１０の支持柱１２に対し、幅方向外側に位置し、また長手方向の位置がずれて配置される（図２参照）。そして、基礎台２０と基礎台６０の幅方向の位置は一部重複している。すなわち、基礎台６０の内側位置は、基礎台２０の外側位置より、既設配管ラック１０および新設配管ラック５０の幅方向の中心に近い。
【００２１】
このような配置とすることで、新設配管ラック５０の幅を小さくして、狭い敷地に設置することが可能となる。
【００２２】
また、基礎台６０の下方には、杭６２が設置されているが、この杭６２は、複数の分割杭６４を接続して形成されている。そして、１本の分割杭６４の長さｈは、既設配管ラック１０の最下段の幅方向梁５４ｂの下端の地表からの高さＨに比べて十分短く設定されている。
【００２３】
「配管ユニット」
また、図３に示すように、新設配管ラック５０の最上段の幅方向梁５４ａの上には、複数の配管ユニット７０が長手方向に接続されて配置される。なお、図３においては、既設配管ラック１０や、配管３０，４０などは図示を省略している。
【００２４】
配管ユニット７０は、複数の配管を工場等で予め結合部材によって結合して一体化（ユニット化）したものである。ここでは、配管ユニット７０同士を直接接続せず、接続配管７２を介し接続する。配管ユニット７０と接続配管７２は、両者のフランジ７４をボルト締めや、溶接などによって固定することによって接続する。このように、接続配管７２を用いることで、配管ラックの寸法誤差などを吸収して、施工不具合の発生を防止することができる。また、接続配管７２の一部または全部をフレキシブル配管とすることで配管ユニット７０同士の接続の際の誤差を吸収している。
【００２５】
このように、配管ユニット７０を利用することで、現場での作業量を軽減することができ、これによって工期を短縮することができる。
【００２６】
「設置方法」
次に、新設配管ラック５０の設置について、図４に基づいて説明する。まず、杭打ちを行う。このために、分割杭６４、杭打ち機などの器材を既設配管ラック１０の下方空間に搬入する(Ｓ１１)。そして、杭打ち機を利用して分割杭６４を打ち込み、ある程度打ち込んだ場合には、次の分割杭６４を溶接などにより接続し、続けて打ち込む、杭打ちを行う（Ｓ１２）。これによって必要長さの杭６２を打ち込むことができる。ここで、上述したように、分割杭６４の長さｈを既設配管ラック１０の下方空間の高さＨに比べ小さくしている。従って、分割杭６４を立てた状態でも、移動することができ、杭打ち機にセットする場合には、既設配管ラック１０の下方空間からそのままセットすることができる。そこで、狭い空間における杭打ち作業が可能であり、十分な長さの杭６２を設置することができる。
【００２７】
杭打ちが完了した場合には、次に基礎台６０を形成する（Ｓ１３）。基礎台６０は、鉄筋コンクリートなどで構成するが、鋼板で構成してもよい。そして、基礎台６０上に支持柱５２を固定する。基礎台６０は既設配管ラック１０の幅方向両側に立ち上がるように配置する（Ｓ１４）。基礎台６０は、杭６２の上端に固定され、水平方向に広がり、杭６２に対する曲げ応力を緩和するとともに、支持柱５２の下端を確実に固定する。
【００２８】
このようにして、支持柱５２を設置し、これに幅方向梁５４、長手方向梁５６を適宜接続して、新設配管ラック５０を設置する(Ｓ１５）。そして、できあがった新設配管ラック５０に配管４０を挿通して敷設する（Ｓ１６）。配管４０はバンドなどにより、幅方向梁５４に固定する。
【００２９】
配管ユニット７０は、新設配管ラック５０上に配置、固定したあと、接続配管７２で接続し、連通する。
【００３０】
図５には、既設配管ラック１０の下方空間に、追加配管ラック８０を配置した例を示してある。このように、空いている空間があれば、そこに追加配管ラック８０を設置することが可能である。もちろん、既設配管ラック１０の上に新設配管ラック５０を配置した場所において、このような追加配管ラック８０を追加しても、また新設配管ラック５０を設置していない場所に、追加配管ラック８０を配置してもよい。この追加配管ラック８０においては、基礎台、杭などを省略して、狭い空間での作業を容易にしている。また、追加配管ラック８０を既設配管ラック１０とは完全に独立した構成としたため、既設配管ラック１０の構造に影響することなく施工することができる。
【符号の説明】
【００３１】
１０  既設配管ラック、１２，５２  支持柱、１４，５４  幅方向梁、１６，５６  長手方向梁、２０，６０  基礎台、２２，６２  杭、３０，４０  配管、５０  新設配管ラック、６４  分割杭、７０  配管ユニット、７２  接続配管、７４  フランジ、８０  追加配管ラック。
【図１】
2018044599.tif 000003
【図２】
2018044599.tif 000004
【図３】
2018044599.tif 000005
【図４】
2018044599.tif 000006
【図５】
2018044599.tif 000007