(57)【要約】【課題】本開示は、分解が容易であり、炉内のガスが外部にリークすることを防止するとともに保護管が破損しても炉内に外気が侵入することを防止できる温度計を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る温度計１は、熱電対１０と、絶縁管２０と、保護管３０と、を備える温度計において、保護管３０の開口側の端部が、継手部４０で保持されており、継手部は、保護管が挿し込まれる第１開口部４１１と、素線が導出される第２開口部４１２とを有する継手本体４１０と、第１開口部の外周面に螺合される第１ナット４２０と、第２開口部の外周面に螺合される第２ナット４３０と、保護管の外周面と第１開口部の内周面との間を気密シールするフェルール４４０と、継手本体の第２開口部を閉塞するベース４５１を有し、ベースに設けられた貫通孔に、筒体４５２を挿通して封着材によって筒体を固定保持するハーメチックシール部４５０と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の素線同士を接合した測温接点を有する熱電対と、
前記一対の素線に装着される絶縁管と、
一端が閉塞するとともに他端が開口した有底筒状であり、少なくとも前記熱電対の前記測温接点、及び前記絶縁管の全体又は一部を収容する保護管と、を備える温度計において、
前記保護管の前記開口側の端部が、継手部で保持されており、
該継手部は、
管形状を有し、該管の一端側に設けられ、前記保護管が挿し込まれる第１開口部と、前記管の他端側に設けられ、前記素線又は該素線に電気的に接続された端子若しくは導線が導出される第２開口部とを有する継手本体と、
前記第１開口部の外周面に螺合される第１ナットと、
前記第２開口部の外周面に螺合される第２ナットと、
前記第１開口部に対する前記第１ナットの締め付けによって前記保護管の外周面と前記第１開口部の内周面との間を気密シールするフェルールと、
前記第２開口部に対する前記第２ナットの締め付けによって前記継手本体の前記第２開口部を閉塞するベースを有し、該ベースに設けられた貫通孔に、前記素線若しくは前記導線を通す筒体又は前記端子を挿通して封着材によって前記筒体又は前記端子を固定保持するハーメチックシール部と、
を備えることを特徴とする温度計。
【請求項２】
前記筒体の前記測温接点側とは反対側の端部が金属ロウ付けで気密シールされていることを特徴とする請求項１に記載の温度計。
【請求項３】
有機系接着剤フリーであることを特徴とする請求項１又は２に記載の温度計。
【請求項４】
前記一対の素線の各素線に装着される前記絶縁管の本数が、１本又は２本以上であり、
前記絶縁管のうち最も前記ハーメチックシール部の近くに配置される絶縁管は、一つの管に一つの貫通孔が設けられた単穴管であり、
該単穴管の一端は、前記ハーメチックシール部に当接されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の温度計。
【請求項５】
前記絶縁管は、一つの管に二つの貫通孔が設けられた二穴管と、一つの管に一つの貫通孔が設けられた単穴管とを有し、
前記一対の素線の各素線は、前記測温接点側から順に、前記二穴管の前記二つの貫通孔、二本の前記単穴管の前記貫通孔にそれぞれ挿通され、
前記単穴管は、一端が前記ハーメチックシール部に当接されるとともに、他端が前記二穴管に当接されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の温度計。
【請求項６】
前記保護管の前記フェルールが嵌合される部分のビッカース硬さをＨａ、前記フェルールのビッカース硬さをＨｂとしたとき、（数１）Ｈａ＞Ｈｂを満たすことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の温度計。
【請求項７】
前記継手本体は金属製であり、
前記フェルールは樹脂製であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の温度計。
【請求項８】
真空炉用であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載の温度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、温度計に関する。
【背景技術】
【０００２】
高温炉の内部温度を測定可能な温度計として、保護管と、保護管内に収納される絶縁管と、絶縁管に収納される熱電対とを備える温度計が知られている（例えば、特許文献１〜３を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−０３９６６１号公報
【特許文献２】特開平１０−００９９６８号公報
【特許文献３】実開平０２−１１５１３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
温度計では、炉内の気密性を保持することが求められる。ここで、炉内の気密性が保持されているとは、炉内のガスが外部にリークしないこと、及び保護管が破損したとき、炉内に外気が侵入しないことを含む。また、温度計は、保護管、絶縁管又は素線など各部品を容易に交換できることが求められる。特に、素線にはレアメタルが使用される場合があるため、保護管が破損したとき、保護管だけを交換して、素線はそのまま再使用することが望まれる。
【０００５】
特許文献１には、保護管の基端面開口を栓体で塞ぐとともに絶縁管の基端面開口をシール材で気密に閉塞することで、高温ガスが炉内から炉外へ漏出することを防止できることが開示されている。しかし、特許文献１では、シール材として液状シリコンの凝固物を用いており、耐熱性が不足して、炉内の気密性が保持できない場合がある。
【０００６】
特許文献２には、保護管を第１固定管と第２固定管とフェルールとから構成される固定部で固定した熱電対が開示されている。しかし、特許文献２では、フェルールはジュラルミン合金製であり、保護管は石英製であるから、気密シールされる程度まで強く締め付けるとフェルールが保護管に食い込んで、保護管が変形又は破損するおそれがある。したがって、特許文献２の熱電対において、フェルールによって気密シールすることができるか不明である。また、特許文献２の熱電対は、拡散炉用であり、炉内の気密性を保持することについて検討されていない。
【０００７】
特許文献３には、ハーメチックシールを用いることで、熱電対の交換を容易に行うとともに、プローブ保持本体内部の真空を保持できる熱電対が開示されている。しかし、特許文献３の熱電対では、プローブ保持本体が、炉殻に対して気密シールされるように密着固定されなければ、炉内の気密性が保持できないと考えられる。したがって、特許文献３の第１図に示されるように炉殻にプローブ保持本体を固定するネジ穴を設けるなど、炉に対する熱電対の取付け構造が制限される。
【０００８】
本開示は、分解が容易であり、炉内のガスが外部にリークすることを防止するとともに保護管が破損しても炉内に外気が侵入することを防止できる温度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る温度計は、一対の素線同士を接合した測温接点を有する熱電対と、前記一対の素線に装着される絶縁管と、一端が閉塞するとともに他端が開口した有底筒状であり、少なくとも前記熱電対の前記測温接点、及び前記絶縁管の全体又は一部を収容する保護管と、を備える温度計において、前記保護管の前記開口側の端部が、継手部で保持されており、該継手部は、管形状を有し、該管の一端側に設けられ、前記保護管が挿し込まれる第１開口部と、前記管の他端側に設けられ、前記素線又は該素線に電気的に接続された端子若しくは導線が導出される第２開口部とを有する継手本体と、前記第１開口部の外周面に螺合される第１ナットと、前記第２開口部の外周面に螺合される第２ナットと、前記第１開口部に対する前記第１ナットの締め付けによって前記保護管の外周面と前記第１開口部の内周面との間を気密シールするフェルールと、前記第２開口部に対する前記第２ナットの締め付けによって前記継手本体の前記第２開口部を閉塞するベースを有し、該ベースに設けられた貫通孔に、前記素線若しくは前記導線を通す筒体又は前記端子を挿通して封着材によって前記筒体又は前記端子を固定保持するハーメチックシール部と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る温度計では、前記筒体の前記測温接点側とは反対側の端部が金属ロウ付けで気密シールされている形態を包含する。
【００１１】
本発明に係る温度計は、有機系接着剤フリーであることが好ましい。有機系接着剤は熱による劣化が激しいため、炉内の気密性を保持できない場合があるところ、有機系接着剤を用いずに気密シールすることで、炉内の気密性を保持することができる。
【００１２】
本発明に係る温度計では、前記一対の素線の各素線に装着される前記絶縁管の本数が、１本又は２本以上であり、前記絶縁管のうち最も前記ハーメチックシール部の近くに配置される絶縁管は、一つの管に一つの貫通孔が設けられた単穴管であり、該単穴管の一端は、前記ハーメチックシール部に当接されることが好ましい。素線同士の短絡を防止しながら、絶縁管の軸方向でのがたつきを防止することができる。
【００１３】
本発明に係る温度計では、前記絶縁管は、一つの管に二つの貫通孔が設けられた二穴管と、一つの管に一つの貫通孔が設けられた単穴管とを有し、前記一対の素線の各素線は、前記測温接点側から順に、前記二穴管の前記二つの貫通孔、二本の前記単穴管の前記貫通孔にそれぞれ挿通され、前記単穴管は、一端が前記ハーメチックシール部に当接されるとともに、他端が前記二穴管に当接されることが好ましい。素線同士の短絡を防止しながら、絶縁管の軸方向でのがたつき防止に加え、径方向でのがたつきも防止することができる。
【００１４】
本発明に係る温度計では、前記保護管の前記フェルールが嵌合される部分のビッカース硬さをＨａ、前記フェルールのビッカース硬さをＨｂとしたとき、（数１）Ｈａ＞Ｈｂを満たすことが好ましい。第１ナットの締め付けによる保護管の割れを防止することができる。
【００１５】
本発明に係る温度計では、前記継手本体は金属製であり、前記フェルールは樹脂製であることが好ましい。このような材質の組合せによって、保護管の外周面と第１開口部の内周面との間をより確実に気密シールすることができる。また、保護管の交換を繰り返したとき、同一のフェルールを繰り返し使用しても炉内の気密性を保持することができる。
【００１６】
本発明に係る温度計は、真空炉用である形態を包含する。
【発明の効果】
【００１７】
本開示によれば、分解が容易であり、炉内のガスが外部にリークすることを防止するとともに保護管が破損しても炉内に外気が侵入することを防止できる温度計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態に係る温度計一例を示す断面図である。
【図２】継手部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
次に本発明について実施形態を示して詳細に説明するが本発明はこれらの記載に限定して解釈されない。本発明の効果を奏する限り、実施形態は種々の変形をしてもよい。
【００２０】
本実施形態に係る温度計１は、図１に示すように、一対の素線１１同士を接合した測温接点１２を有する熱電対１０と、一対の素線１１に装着される絶縁管２０と、一端が閉塞するとともに他端が開口した有底筒状であり、少なくとも熱電対１０の測温接点１２、及び絶縁管２０の全体又は一部を収容する保護管３０と、を備える温度計において、保護管３０の開口側の端部が、継手部４０で保持されており、継手部４０は、管形状を有し、管の一端側に設けられ、保護管３０が挿し込まれる第１開口部４１１と、管の他端側に設けられ、素線１１又は素線１１に電気的に接続された端子（不図示）若しくは導線（不図示）が導出される第２開口部４１２とを有する継手本体４１０と、第１開口部４１１の外周面に螺合される第１ナット４２０と、第２開口部４１２の外周面に螺合される第２ナット４３０と、第１開口部４１１に対する第１ナット４２０の締め付けによって保護管３０の外周面と第１開口部４１１の内周面との間を気密シールするフェルール４４０と、第２開口部４１２に対する第２ナット４３０の締め付けによって継手本体４１０の第２開口部４１２を閉塞するベース４５１を有し、ベース４５１に設けられた貫通孔に、素線１１若しくは導線（不図示）を通す筒体４５２又は端子（不図示）を挿通して封着材によって筒体４５２又は端子（不図示）を固定保持するハーメチックシール部４５０と、を備える。
【００２１】
本実施形態に係る温度計１は、熱電対温度計である。温度計１は、保護管３０の少なくとも測温接点１２が配置された部分を炉内に露出させて炉壁に設置される。
【００２２】
本実施形態に係る温度計１は、真空炉用である形態を包含する。真空炉は、真空状態で被処理物に加熱、焼結又は熱処理などを施す炉であり、例えば、真空焼結炉、真空熱処理炉又は真空溶解炉である。真空状態とは、炉内が大気圧よりも低圧状態にあることをいう。
【００２３】
本実施形態に係る温度計１は、有機系接着剤フリーであることが好ましい。有機系接着剤は熱による劣化が激しいため、炉内の気密性を保持できない場合がある。本実施形態では、継手部４０によって有機系接着剤を用いずに気密シールすることで、炉内の気密性を保持することができる。有機系接着剤は、例えば、シリコーン系又はエポキシ系などである。
【００２４】
熱電対１０は、ゼーベック効果を利用して温度を測定する温度センサである。一対の素線１１は、金属線又は合金線である。一対の素線１１の組合せは、特に限定されないが、例えば、成分の異なるＰｔ−ＲｈとＰｔ−Ｒｈとの組合せ（例えば、Ｂ熱電対）、Ｐｔ−ＲｈとＰｔとの組合せ（例えば、Ｒ熱電対、Ｓ熱電対）、Ｉｒ−ＲｈとＩｒとの組合せ、成分の異なるＩｒ−ＲｈとＩｒ−Ｒｈとの組合せ、成分の異なるＷ−ＲｅとＷ−Ｒｅとの組合せ（例えば、Ｃ熱電対）、ＷとＷ−Ｒｅとの組合せ、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｓｉを主とした合金とＮｉ−Ｓｉを主とした合金との組合せ（例えば、Ｎ熱電対）、Ｎｉ−Ｃｒを主とした合金とＮｉ−Ａｌを主とした合金との組合せ（例えば、Ｋ熱電対）、Ｎｉ−Ｃｒを主とした合金とＣｕ−Ｎｉを主とした合金との組合せ（例えば、Ｅ熱電対）、ＦｅとＣｕ−Ｎｉを主とした合金との組合せ（例えば、Ｊ熱電対）、ＣｕとＣｕ−Ｎｉを主とした合金との組合せ（例えば、Ｔ熱電対）である。これらの組合せはあくまでも例示であって、本発明では、一対の素線１１の組合せは特に限定されない。なお、素線の組み合わせの例示において括弧書きで示したアルファベットは、ＪＩＳ  Ｃ  １６０２：２０１５「熱電対」の表１に記載された熱電対の種類の記号である。測温接点１２は、一対の素線１１の一端部同士を接触させた部分である。各素線１１の測温接点１２側とは反対側の端部には、端子（不図示）又は導線（不図示）が電気的に接続されていてもよい。
【００２５】
絶縁管２０は、両端部に開口を有する筒状部材であり、素線１１同士の短絡を防止する。絶縁管２０は、例えば、一つの管に二つの貫通孔を有する二穴管２１、又は、一つの管に一つの貫通孔を有する二本一組の単穴管２２である。絶縁管２０が二穴管２１であるとき、一本の二穴管２１の各貫通孔に素線１１を１本ずつ通す。絶縁管２０が単穴管２２であるとき、二本の単穴管２２の各貫通孔に素線１１を１本ずつ通す。本実施形態に係る温度計１では、絶縁管２０として二穴管２１及び単穴管２２を組合わせて用いるか（図１に図示）、又は絶縁管２０として二穴管２１又は単穴管２２のいずれか一方を用いてもよい（不図示）。絶縁管２０は、素線１１の長さ方向にわたって連続した１本の絶縁管２０が配置されるか、又は分割された２本以上の絶縁管２０が配置されてもよい。絶縁管２０の材質は、特に限定されないが、例えば、アルミナ、炭化ケイ素又は窒化ホウ素などのセラミックスであることが好ましい。
【００２６】
本実施形態に係る温度計１では、一対の素線１１の各素線１１に装着される絶縁管２０の本数が、１本又は２本以上であり、絶縁管２０のうち最もハーメチックシール部４５０の近くに配置される絶縁管２０は、一つの管に一つの貫通孔が設けられた単穴管２２であり、単穴管２２の一端は、ハーメチックシール部４５０に当接されることが好ましい。素線１１同士の短絡を防止しながら、絶縁管２０の軸方向でのがたつきを防止することができる。各素線１１に装着される絶縁管２０の本数が１本である形態は、例えば、各素線１１のそれぞれに１本の単穴管２２が装着される形態である。各素線１１に装着される絶縁管２０の本数が２本以上である形態は、例えば、各素線１１の長さ方向において測温接点１２側では二穴管２１が装着され、二穴管２１とハーメチックシール部４５０との間では１本又は２本以上の単穴管２２が装着される形態、又は各素線１１のそれぞれに２本以上の単穴管２２が装着される形態である。
【００２７】
本実施形態に係る温度計１では、絶縁管２０は、一つの管に二つの貫通孔が設けられた二穴管２１と、一つの管に一つの貫通孔が設けられた単穴管２２とを有し、一対の素線１１の各素線１１は、測温接点１２側から順に、二穴管２１の二つの貫通孔、二本の単穴管２２の貫通孔にそれぞれ挿通され、単穴管２２は、一端がハーメチックシール部４５０に当接されるとともに、他端が二穴管２１に当接されることが好ましい。絶縁管２０として二穴管２１を用いることで、絶縁管２０の径方向でのがたつきを防止することができる。また、二穴管２１とハーメチックシール部４５０との間に単穴管２２を配置することで、二穴管２１の貫通孔とハーメチックシール部４５０との間で素線１１同士の短絡を防止することができるとともに絶縁管２０の軸方向でのがたつきを防止することができる。単穴管２２の一端は、ハーメチックシール部４５０の筒体４５２の一端に当接することが好ましい。
【００２８】
測温接点１２とハーメチックシール部４５０の絶縁管２０が当接する部分（図１ではハーメチックシール部４５０の筒体４５２の一端）との距離をＬ１、絶縁管２０の長さをＬ２としたとき、Ｌ１とＬ２とは、絶縁管２０が測温接点１２とハーメチックシール部４５０とによって素線１１の長さ方向において動きが制限される関係にあることが好ましい。絶縁管２０の軸方向でのがたつきをより防止することができる。例えば、Ｌ１とＬ２の差が１０ｍｍ以下であることが好ましく、Ｌ１とＬ２の差が５ｍｍ以下であることがより好ましく、Ｌ１とＬ２の差が２ｍｍ以下であることが更に好ましい。
【００２９】
保護管３０は、一端が開口し他端が閉塞した有底筒状部材である。保護管３０の開口は、少なくとも熱電対１０の測温接点１２、及び絶縁管２０の全体又は一部を収容後、開放されていることが好ましい。保護管３０の材質は、アルミナ、炭化ケイ素又は窒化ホウ素などのセラミックスであることが好ましい。
【００３０】
継手部４０は、保護管３０を固定し、炉内のガスがリークすることを防止するとともに保護管３０が破損したとき炉内に外気が侵入することを防止する部分である。図２を参照して継手部４０を説明する。
【００３１】
継手本体４１０は、両端部の外周面に雄ねじが切られた管状部材である。継手本体４１０の一端には、第１開口部４１１が設けられる。第１開口部４１１には保護管３０の開口側の端部が挿し込まれる。継手本体４１０は、第１開口部４１１の内周面に、管の内側から外側に向かうにしたがって内径を大きくした内周テーパー面４１３を有することが好ましい。継手本体４１０の他端には、第２開口部４１２が設けられる。第２開口部４１２は、ハーメチックシール部４５０を介して、素線１１、端子（不図示）又は導線（不図示）を導出する。継手本体４１０は、第２開口部４１２の内周面に、第２開口部４１２の端部の内径を該端部の内側に隣接する部分の内径よりも大きくした段差部４１４を有することが好ましい。継手本体４１０の材質は、ステンレス鋼などの金属であることが好ましい。
【００３２】
第１ナット４２０は、環状部材である。第１ナット４２０の内周面には雌ねじが切られており、第１開口部４１１の外周面に設けられた雄ねじに螺合される。第１ナット４２０の材質は、ステンレス鋼などの金属であることが好ましい。
【００３３】
第２ナット４３０は、環状部材である。第２ナット４３０の内周面には雌ねじが切られており、第２開口部４１２の外周面に設けられた雄ねじに螺合される。第２ナット４３０の材質は、ステンレス鋼などの金属であることが好ましい。
【００３４】
フェルール４４０は、環状部材であり、保護管３０が挿通される。フェルール４４０は、フロントフェルール４４１とバックフェルール４４２とからなるダブルフェルールであることが好ましい。フロントフェルール４４１は、先端に向かうにしたがって外径が小さくなる外周テーパー面４４１ａを有する。フロントフェルール４４１は、外周テーパー面４４１ａが継手本体４１０の内周テーパー面４１３と保護管３０との間に入り込む位置に配置される。バックフェルール４４２は、フロントフェルール４４１よりも測温接点１２側で、かつ、フロントフェルール４４１に隣接する位置に配置される。第１ナット４２０を締めると、第１ナット４２０がバックフェルール４４２を介してフロントフェルール４４１を押すことによって、フロントフェルール４４１の先端部が保護管３０の外周面に密着して、又は食い込んで気密シールされる。これによって、継手本体４１０が第１開口部４１１側においてリークを防止することができる。図１及び図２では、一例としてフェルール４４０がフロントフェルール４４１とバックフェルール４４２とからなるダブルフェルールである形態を示したが、本発明はこれに限定されず、フェルール４４０が一つのフェルールからなるシングルフェルールであってもよい。フェルール４４０の材質は、ポリテトラフルオロエチレン（ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ、ＰＴＦＥ）などの合成樹脂であることが好ましい。
【００３５】
本実施形態に係る温度計１では、保護管３０のフェルール４４０が嵌合される部分のビッカース硬さをＨａ、フェルール４４０のビッカース硬さをＨｂとしたとき、（数１）Ｈａ＞Ｈｂを満たすことが好ましい。第１ナット４２０の締め付けによる保護管３０の割れを防止することができる。
【００３６】
保護管３０のビッカース硬さＨａは、ＪＩＳ  Ｚ  ２２４４：２００９「ビッカース硬さ試験−試験方法」に準じて測定した値である。
【００３７】
フェルール４４０のビッカース硬さＨｂは、ＪＩＳ  Ｚ  ２２４６：２０００「ショア硬さ試験−試験方法」に準じて測定したショア硬さの値を、硬さ換算表（ＳＡＥ  Ｊ４１７）を用いてビッカース硬さに換算した値であるか、又はＪＩＳ  Ｚ  ２２４４：２００９に準じて測定したビッカース硬さの値であってもよい。フェルールが樹脂製であるとき、Ｈｂは、ショア硬さの値を硬さ換算表によってビッカース硬さに換算した値であることが好ましい。
【００３８】
本実施形態に係る温度計１では、継手本体４１０は金属製であり、フェルール４４０は樹脂製であることが好ましい。このような材質の組合せによって、フェルール４４０が変形して保護管３０を傷つけることなく保護管３０の外周面に密着するので、保護管３０の外周面と第１開口部４１１の内周面との間をより確実に気密シールすることができる。また、保護管３０の交換を繰り返したとき、同一のフェルール４４０を繰り返し使用しても炉内の気密性を保持することができる。
【００３９】
ハーメチックシール部４５０は、貫通孔を有するベース４５１と、貫通孔を挿通する筒体４５２と、筒体４５２を貫通孔に固定する封着材（不図示）と、を有することが好ましい。ベース４５１は、コバールなどの金属製の栓体であり、継手本体４１０の第２開口部４１２を閉塞可能な形状を有する。筒体４５２は、コバールなどの金属製であり、素線１１又は素線１１に電気的に接続する導線（不図示）を挿通させる貫通孔を有する。封着材は、例えば、ガラスなどの絶縁性の物質であり、ベース４５１の貫通孔と筒体４５２との間を埋めるように配置される。
【００４０】
本実施形態に係る温度計１では、筒体４５２の測温接点１２側とは反対側の端部４５２ａが金属ロウ付けで気密シールされている形態を包含する。金属ロウによって、筒体４５２と筒体４５２を挿通する素線１１又は導線（不図示）との間が気密シールされる。ハーメチックシール部４５０が筒体４５２を有するとき、筒体４５２の端部４５２ａが金属ロウ付けされることによって、継手本体４１０が第２開口部４１２側においてリークを防止することができる。金属ロウは、例えば、ハンダなどの低温ロウであることが好ましい。筒体４５２の測温接点１２側の端部４５２ｂも同様に金属ロウ付けで気密シールされていてもよい。
【００４１】
素線１１がＷ−Ｒｅ合金線であるとき、素線１１の表面を銀ロウなどの高温ロウでコーティングし、このコーティングした素線と筒体４５２とをハンダなどの低温ロウで気密シールすることが好ましい。Ｗ−Ｒｅ合金線の表面には酸化膜が形成されていて低温ロウでの気密シールが難しいところ、より確実に気密シールすることができる。
【００４２】
ハーメチックシール部４５０は、ベース４５１が第２開口部４１２を閉塞するように配置され、第２ナット４３０の締め付けによって固定される。ベース４５１は、継手本体４１０の段差部４１４に直接的又は間接的に当接することが好ましい。間接的に当接するとは、例えば、ベース４５１と段差部４１４との間にＯリングなどのシール材４５３を介在させることをいう。
【００４３】
ハーメチックシール部４５０は、筒体４５２に代えて、素線１１に電気的に接続する端子（不図示）を有していてもよい。端子は密実の棒状である。このため、ハーメチックシール部４５０が端子を有するとき、端子が封着材によってベース４５１の貫通孔に固定されることによって、継手本体４１０が第２開口部４１２側においてリークを防止することができる。
【００４４】
筒体４５２の継手本体４１０の外側に突出した部分、及び筒体４５２から導出された素線１１若しくは導線（不図示）の表面は、シリコーン又はＰＴＦＥなどの絶縁材４５４で被覆されていてもよい。
【００４５】
本実施形態に係る温度計１では、継手本体４１０、第１ナット４２０、第２ナット４３０及びフェルール４４０は、それぞれ真空用継手の構成部品である形態を包含する。真空用継手の構成部品は、通常、真空容器と真空配管との接続又は真空配管と真空配管との接続に使用されるのであって、本実施形態のように、保護管３０の固定に使用されるものではない。また、ハーメチックシール部４５０は、通常、ハーメチックコネクタとして使用されている部品であってもよい。ハーメチックコネクタは、通常、気密状態を保持する容器の隔壁に取り付けられるのであって、本実施形態のように、継手本体４１０の開口部４１２に取り付けられるものではない。さらに、ハーメチックコネクタが、フェルール４４０による気密シールと協働して、炉内のガスが外部にリークすることを防止するとともに保護管３０が破損したとき炉内に外気が侵入することを防止することに使用されることはこれまで知られていない。このように、本実施形態は、各部品の作用効果とは異なる作用効果、すなわち、継手部４０に用いられる各部品として周知の部品を通常の用途とは異なる用途で使用することで、分解が容易であり、炉内のガスが外部にリークすることを防止するとともに保護管が破損しても炉内に外気が侵入することを防止できる温度計を提供することができるという作用効果を奏する。
【００４６】
本実施形態に係る温度計１では、継手部４０によるガスのリーク量が、１×１０−９Ｐａ・ｍ３／ｓ以下であることが好ましく、１×１０−１０Ｐａ・ｍ３／ｓ以下であることがより好ましい。ガスのリーク量は、リークテストによって測定される。リークテストは、例えば、ヘリウムリークディテクター（型式：ｍｏｄｅｌ３０１、ＵＬＶＡＣ社製）を使用する。
【００４７】
本実施形態に係る温度計１の組み立て手順の一例について説明するが、本発明はこの手順に限定されない。保護管３０の開口側の端部を、継手本体４１０の第１開口部４１１に挿し込み、保護管３０の開口側から順に、フェルール４４０（フロントフェルール４４１、バックフェルール４４２）及び、第１ナット４２０を取り付け、第１ナット４２０を第１開口部４１１の外周面に螺合して、フェルール４４０によって保護管３０の外周面と第１開口部４１１の内周面との間を気密シールする。一方、熱電対１０の素線１１を絶縁管２０に通し、絶縁管２０に挿通した測温接点１２とは反対側の素線１１をハーメチックシール部４５０の筒体４５２に挿通する。筒体４５２の測温接点１２側とは反対側の端部４５２ａを金属ロウで気密シールする。第２開口部４１２から継手本体４１０に素線１１が通された絶縁管２０とハーメチックシール４５０とを挿入し、保護管３０内に素線１１及び絶縁管２０の一部を配置する。第２ナット４３０を第２開口部４１２の外周面に螺合して、ハーメチックシール部４５０で第２開口部４１２を閉塞する。このように、本実施形態では、第１ナット４２０及び第２ナット４３０の締緩作業だけで、熱電対１０と保護管３０とを容易に組み立て・分解することができる。このため、保護管３０が破損したとき、保護管３０だけを交換し、熱電対１０はそのまま使用することができる。
【符号の説明】
【００４８】
１  温度計
１０  熱電対
１１  素線
１２  測温接点
２０  絶縁管
２１  二穴管
２２  単穴管
３０  保護管
４０  継手部
４１０  継手本体
４１１  第１開口部
４１２  第２開口部
４１３  内周テーパー面
４１４  段差部
４２０  第１ナット
４３０  第２ナット
４４０  フェルール
４４１  フロントフェルール
４４１ａ  外周テーパー面
４４２  バックフェルール
４５０  ハーメチックシール部
４５１  ベース
４５２  筒体
４５２ａ，４５２ｂ  筒体の端部
４５３  シール材
４５４  絶縁材
【図１】
2018080948.tif 000003
【図２】
2018080948.tif 000004