(57)【要約】      （修正有）【課題】ドライサンプ式の内燃機関において、ガス出口ポートへのオイルの流入を防止する。【解決手段】ドライサンプ式の内燃機関１であって、車両の前後方向に延びた主室４３Ａ、及び前記主室の前後方向における一端から車両の左右方向に延びた副室４３Ｂを含むオイルタンク４０を有し、前記オイルタンクは、前記主室を画定する壁部の上部に設けられ、スカベンジポンプ６２、６５に接続される入口ポート５５と、前記副室を画定する壁部の上部に設けられ、吸気装置に接続されるガス出口ポート６８と、前記主室を画定する壁部の下部に設けられ、フィードポンプに接続されるオイル出口ポート５１とを有し、前記副室は、前記主室に対して深さが浅く形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドライサンプ式の内燃機関であって、
車両の前後方向に延びた主室、及び前記主室の前後方向における一端から車両の左右方向に延びた副室を含むオイルタンクを有し、
前記オイルタンクは、前記主室を画定する壁部の上部に設けられ、スカベンジポンプに接続される入口ポートと、前記副室を画定する壁部の上部に設けられ、吸気装置に接続されるガス出口ポートと、前記主室を画定する壁部の下部に設けられ、フィードポンプに接続されるオイル出口ポートとを有し、
前記副室は、前記主室に対して深さが浅く形成されていることを特徴とする内燃機関。
【請求項２】
前記入口ポートは、前記主室の前記副室と相反する側の端部を画定する上壁に設けられ、
前記ガス出口ポートは、前記副室の前記主室と相反する側の端部を画定する上壁に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の内燃機関。
【請求項３】
前記オイルタンクは、前記副室を画定する上壁の下面から下方に突出した複数のバッフルプレートを有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の内燃機関。
【請求項４】
前記バッフルプレートの少なくとも１つは、略水平方向に延びる部分を有することを特徴とする請求項３に記載の内燃機関。
【請求項５】
シリンダ軸線が略水平となるように配置された内燃機関本体を更に有し、
前記入口ポートが、前記スカベンジポンプを介して前記内燃機関本体のクランク室及び動弁室のそれぞれに接続されていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１つの項に記載の内燃機関。
【請求項６】
前記内燃機関本体は、シリンダブロック及びシリンダヘッドを含み、
前記シリンダブロックの側面には変速機が結合され、
前記オイルタンクは、前記シリンダブロック及び前記シリンダヘッドの少なくとも一方と、前記変速機とに結合されていることを特徴とする請求項５に記載の内燃機関。
【請求項７】
前記内燃機関本体は前記シリンダブロックから前記シリンダヘッドにかけて前後に延び、
前記変速機は、前記シリンダブロックに対して左右側方に突出し、
前記オイルタンクは、前記シリンダブロック又は前記シリンダヘッドの左右側方かつ前記変速機の前方又は後方に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の内燃機関。
【請求項８】
前記オイルタンクは、前記主室を画定する側壁部において前記変速機に結合され、前記副室を画定する側壁部において前記シリンダブロック又は前記シリンダヘッドに結合されていることを特徴とする請求項７に記載の内燃機関。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドライサンプ式の内燃機関に関する。
【背景技術】
【０００２】
クランクケース下部に捕集されたオイルをスカベンジポンプによって、クランクケースと分離されたオイルタンク（リザーバタンク）に送出する自動車用のドライサンプ式の内燃機関が公知である（例えば、特許文献１）。ドライサンプ式の内燃機関は、クランクケースの下部に浅底のオイルパンを備えたウェットサンプ方式の内燃機関に比べて、オイルタンクを深くすることができ、オイルの吸い込み口を油面下に維持し易いという利点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１１３８２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
オイルタンクには、内燃機関本体からオイルと共にブローバイガスが流入するため、オイルタンクにはブローバイガスを吸気装置に戻すためのガス出口ポートが設けられる。ガス出口ポートは、オイルの流入を避けるためにオイルタンクの上部に設けられる。しかし、車両の加減速時や旋回時には、慣性力によって油面が傾斜し、油面がガス出口ポートに接近することがある。そのため、ガス出口ポートへのオイルの流入を確実に防止する構造が必要となる。
【０００５】
本発明は、以上の背景を鑑み、ドライサンプ式の内燃機関において、ガス出口ポートへのオイルの流入を防止することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために本発明の一態様は、ドライサンプ式の内燃機関であって、車両の前後方向に延びた主室、及び前記主室の前後方向における一端から車両の左右方向に延びた副室を含むオイルタンクを有し、前記オイルタンクは、前記主室を画定する壁部の上部に設けられ、スカベンジポンプに接続される入口ポートと、前記副室を画定する壁部の上部に設けられ、吸気装置に接続されるガス出口ポートと、前記主室を画定する壁部の下部に設けられ、フィードポンプに接続されるオイル出口ポートとを有し、前記副室は、前記主室に対して深さが浅く形成されていることを特徴とする。
【０００７】
この態様によれば、ガス出口ポートが主室から左右に延びた副室の上部に設けられているため、車両の加減速によって主室のオイルが前後に移動するときにもオイルがガス出口ポートに到達し難くなる。
【０００８】
また、上記の態様において、前記入口ポートは、前記主室の前記副室と相反する側の端部を画定する上壁に設けられ、前記ガス出口ポートは、前記副室の前記主室と相反する側の端部を画定する上壁に設けられているとよい。
【０００９】
この態様によれば、ガス及びオイルの入口ポートとガス出口ポートとが離れて配置されているため、ブローバイガスが入口ポートからガス出口ポートに流れる間にブローバイガスからのオイルが分離される。
【００１０】
また、上記の態様において、前記オイルタンクは、前記副室を画定する上壁の下面から下方に突出した複数のバッフルプレートを有するとよい。
【００１１】
この態様によれば、バッフルプレートによって、入口ポートからガス出口ポートに流れるブローバイガスからオイルが除去される。また、主室に貯留されたオイルが副室に移動し難くなり、油面がガス出口ポートに接近し難くなる。
【００１２】
また、上記の態様において、前記バッフルプレートの少なくとも１つは、略水平方向に延びる部分を有するとよい。
【００１３】
この態様によれば、バッフルプレートの略水平方向に延びる部分によって、油面の傾斜や乱れが抑制され、油面がガス出口ポートに到達し難くなる。
【００１４】
また、上記の態様において、シリンダ軸線が略水平となるように配置された内燃機関本体を更に有し、前記入口ポートが、前記スカベンジポンプを介して前記内燃機関本体のクランク室及び動弁室のそれぞれに接続されているとよい。
【００１５】
この態様によれば、クランク室及び動弁室のそれぞれからオイルがオイルタンクに回収される。
【００１６】
また、上記の態様において、前記内燃機関本体は、シリンダブロック及びシリンダヘッドを含み、前記シリンダブロックの側面には変速機が結合され、前記オイルタンクは、前記シリンダブロック及び前記シリンダヘッドの少なくとも一方と、前記変速機とに結合されているとよい。
【００１７】
この態様によれば、オイルタンクは、シリンダブロック及びシリンダヘッドの少なくとも一方と、変速機とを連結する補強部材として機能する。
【００１８】
また、上記の態様において、前記内燃機関本体は前記シリンダブロックから前記シリンダヘッドにかけて前後に延び、前記変速機は、前記シリンダブロックに対して左右側方に突出し、前記オイルタンクは、前記シリンダブロック又は前記シリンダヘッドの左右側方かつ前記変速機の前方又は後方に配置されているとよい。また、前記オイルタンクは、前記主室を画定する側壁部において前記変速機に結合され、前記副室を画定する側壁部において前記シリンダブロック又は前記シリンダヘッドに結合されているとよい。
【００１９】
この態様によれば、内燃機関本体、変速機、及びオイルタンクをコンパクトに配置することができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上の構成によれば、ドライサンプ式の内燃機関において、ガス出口ポートへのオイルの流入を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施形態に係る内燃機関の斜視図
【図２】実施形態に係る内燃機関の平面図
【図３】実施形態に係る内燃機関本体及びオイルタンクの接続形態を示す説明図
【図４】実施形態に係るオイルタンクの斜視図
【図５】実施形態に係るオイルタンクの透視斜視図
【図６】実施形態に係るオイルタンクの断面図
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して、本発明を自動車の内燃機関に適用した実施形態について詳細に説明する。
【００２３】
図１及び図２に示すように、内燃機関１は、潤滑方式がドライサンプ式のエンジンである。内燃機関本体２は、シリンダブロック３と、シリンダブロック３に結合されたシリンダヘッド４と、シリンダヘッド４に結合されたヘッドカバー５と、シリンダブロック３に結合されたクランクケース６とを有する。内燃機関本体２は、シリンダ軸線が略水平に前後に延びるように配置され、前側からクランクケース６、シリンダブロック３、シリンダヘッド４、ヘッドカバー５の順に配置される。
【００２４】
図３に示すように、クランクケース６は、後方に向けて開口した箱形に形成され、シリンダブロック３の前端面に結合されることによって、シリンダブロック３との間にクランク室８を画定する。クランク室８は、シリンダブロック３の後部に形成されたシリンダ９と連通している。クランク室８には、クランクシャフト１１及びバランサシャフト１２が設けられている。クランクシャフト１１及びバランサシャフト１２は、それぞれ左右に延び、シリンダブロック３に結合された図示しない軸受に回転可能に支持されている。クランクシャフト１１は、コンロッド１４を介して、シリンダ９に受容されたピストン１５と連結している。バランサシャフト１２は、クランク室８においてクランクシャフト１１の前側に配置され、図示しないチェーン伝達機構によってクランクシャフト１１に連結されている。
【００２５】
シリンダヘッド４には、シリンダ９と対応する部分に燃焼室を画定する燃焼室凹部１６が形成されている。また、シリンダヘッド４には、燃焼室凹部１６から上方に延びてシリンダヘッド４の上面に開口する吸気ポート１７と、燃焼室凹部１６から下方に延びてシリンダヘッド４の下面に開口する排気ポート１８とが形成されている。燃焼室凹部１６と吸気ポート１７の境界には吸気バルブが設けられ、燃焼室と排気ポート１８の境界には排気バルブが設けられている。
【００２６】
ヘッドカバー５は、シリンダヘッド４の後端面に結合され、シリンダヘッド４との間に動弁室２４を画定する。動弁室２４には、吸気バルブ及び排気バルブを開閉駆動する動弁装置２５が配置されている。
【００２７】
図１及び図２に示すように、内燃機関本体２の上方には、吸気ポート１７に連通する吸気装置３０が設けられている。吸気装置３０は、空気を吸気ポートに供給する装置であり、例えば上流側からエアインレット、エアクリーナ、スーパーチャージャ、スロットルバルブ、吸気マニホールド等を有し、吸気マニホールドにおいて吸気ポート１７と連通しているとよい。
【００２８】
シリンダブロック３及びクランクケース６の左方には、変速機３７が設けられている。変速機３７の外殻をなす変速機ハウジング３７Ａは、シリンダブロック３の左側面に結合され、シリンダブロック３から左方に延びている。平面視において、内燃機関本体２及び変速機ハウジング３７Ａは協働してＬ字形の外形をなす。
【００２９】
図１及び図２に示すように、シリンダヘッド４の左方かつ変速機ハウジング３７Ａの後方には、オイルタンク４０が配置されている。図４〜図６に示すように、オイルタンク４０は、上方に向けて開口した箱状のタンク本体部４１と、タンク本体部４１の上部開口を閉じる板状のリッド４２とを備えている。タンク本体部４１及びリッド４２は、協働してオイル室４３を画定する。オイル室４３は、前後に延びる主室４３Ａと、主室４３Ａの後端から右方に延びる副室４３Ｂとを有し、平面視においてＬ字形をなす。主室４３Ａ及び副室４３Ｂを画定するタンク本体部４１及びリッド４２も同様に、平面視において前後に延びる部分と、左右に延びる部分とを有してＬ字形に形成されている。
【００３０】
タンク本体部４１は、主室４３Ａの底部を画定する主室底壁部４１Ａと、主室４３Ａの側部を画定する主室側壁部４１Ｂと、副室４３Ｂの底部を画定する副室底壁部４１Ｃと、副室４３Ｂの側部を画定する副室側壁部４１Ｄとを有する。リッド４２は、主室４３Ａの上壁を画定する主室上壁部４２Ａと、副室４３Ｂの上壁を画定する副室上壁部４２Ｂとを有する。
【００３１】
図１及び図２に示すように、タンク本体部４１は、主室側壁部４１Ｂの前端部において連結部材４５を介して変速機ハウジング３７Ａと結合され、副室側壁部４１Ｄの右端部においてシリンダヘッド４に結合されている。オイルタンク４０は、変速機ハウジング３７Ａとシリンダヘッド４とを結合する補強部材として機能する。
【００３２】
図４〜図６に示すように、主室４３Ａと副室４３Ｂとは互いに連通している。主室４３Ａの前後長さは副室４３Ｂの左右長さより長く、かつ主室４３Ａの左右長さ（幅）は副室４３Ｂの前後長さ（幅）より長く形成されている。主室４３Ａの平均深さは、副室４３Ｂの平均深さよりも深く形成されている。主室４３Ａ及び副室４３Ｂの上端は同じ高さにあるため、主室４３Ａの底は副室４３Ｂの底よりも低い位置に配置されている。主室４３Ａの容積は、副室４３Ｂの容積よりも大きく形成されている。主室４３Ａは、前後方向における中間部が他の部分よりも深く形成されている。主室４３Ａと副室４３Ｂの底部は、滑らかに接続しており、オイルは重力によって副室４３Ｂから主室４３Ａに流れることができる。
【００３３】
主室側壁部４１Ｂの前後方向における中間部の最下部には、厚み方向に貫通するオイル出口ポート５１が形成されている。図１〜図３に示すように、オイル出口ポート５１は、配管５２を介してシリンダブロック３に設けられたフィードポンプ５３に接続されている。フィードポンプ５３は、例えばクランクシャフト１１の駆動力を受けて駆動するトロコイドポンプであってよい。フィードポンプ５３は、シリンダブロック３及びシリンダヘッド４に形成された油路（不図示）を介してクランクシャフト１１の摺動部や動弁装置２５の摺動部にオイルを供給する。
【００３４】
図４〜図６に示すように、主室上壁部４２Ａの副室４３Ｂと相反する側の端部（前端部）には、厚み方向に貫通する入口ポート５５が形成されている。主室上壁部４２Ａの上面には、入口ポート５５と連通するように集合装置５６が結合されている。集合装置５６は、上端が閉塞され、下端において入口ポート５５に連通した略円筒形のケース５６Ａと、ケース５６Ａの外周部からケース５６Ａを貫通して接線方向に突出した第１接続管５６Ｂ及び第２接続管５６Ｃとを有する。第１接続管５６Ｂ及び第２接続管５６Ｃは、ケース５６Ａの中心軸線を対称軸として互いに１８０°回転対称位置に配置されている。図６に示すように、ケース５６Ａの内周面には、径方向内方に突出した２つのガイド壁５６Ｄが設けられている。２つのガイド壁５６Ｄは、ケース５６Ａの中心軸線を対称軸として互いに１８０°回転対称位置に配置され、それぞれ第１接続管５６Ｂ又は第２接続管５６Ｃの側方に設けられている。第１接続管５６Ｂ又は第２接続管５６Ｃからケース５６Ａ内に流入するガスは、ケース５６Ａの内周壁に沿って約９０°回転した後、ガイド壁５６Ｄに衝突して入口ポート５５側に流れる。
【００３５】
図３に示すように、第１接続管５６Ｂは、配管６１及び第１スカベンジポンプ６２を介してクランクケース６のクランク室８の最下部に対応した部分に接続されている。第２接続管５６Ｃは、配管６４及び第２スカベンジポンプ６５を介してシリンダヘッド４の動弁室２４の最下部に対応した部分に接続されている。第１スカベンジポンプ６２及び第２スカベンジポンプ６５は、公知のトロコイドポンプであってよい。
【００３６】
図４〜図６に示すように、副室上壁部４２Ｂの主室４３Ａと相反する側の端部（右端部）には、厚み方向に貫通するガス出口ポート６８が形成されている。ガス出口ポート６８は、ＰＣＶバルブ６９を介して吸気装置３０に接続されている。ＰＣＶバルブ６９は、オイルタンク４０側の圧力が吸気装置３０側の圧力より高い場合に開き、オイルタンク４０側の圧力が吸気装置３０側の圧力より低い場合に閉じる。
【００３７】
主室上壁部４２Ａの副室４３Ｂ側の端部（後端部）には、厚み方向に貫通する注入口７１が形成されている。注入口７１はオイルを補給するための開口であり、着脱可能なキャップ７２によって閉塞されている。
【００３８】
主室上壁部４２Ａ及び副室上壁部４２Ｂの下面には、第１〜第３バッフルプレート８１〜８３が結合されている。各バッフルプレート８１〜８３は、金属板を折り曲げることによって形成され、ボルト及びナット等によってリッド４２に締結されている。
【００３９】
第１バッフルプレート８１は、主室上壁部４２Ａの下面の前端部に締結される締結部８１Ａと、締結部８１Ａの後端から垂下し、面が前後を向く縦壁部８１Ｂと、縦壁部８１Ｂの下端から下方に延び、面が上下を向く横壁部８１Ｃとを有する。平面視において、入口ポート５５の全域は第１バッフルプレート８１の横壁部８１Ｃと重なる位置に配置されている。
【００４０】
第２バッフルプレート８２は、主室上壁部４２Ａの下面の後端部における注入口７１の前側に締結された第１の締結部８２Ａ及び注入口７１の右側に締結された第２の締結部８２Ｂと、第１の締結部８２Ａの後端から垂下し、面が前後を向く第１の縦壁部８２Ｃと、第２の締結部８２Ｂの左端から垂下し、面が左右を向く第２の縦壁部８２Ｄとを有する。第１の縦壁部８２Ｃの右端と第２の縦壁部８２Ｄの前端とは互いに接続しており、平面視においてＬ形をなす。第２バッフルプレート８２の第１の縦壁部８２Ｃとの前面と第１バッフルプレート８１の横壁部８１Ｃの後縁とは、微小な隙間を介して対向している。
【００４１】
第３バッフルプレート８３は、副室上壁部４２Ｂの左端部の下面に締結された第１の締結部８３Ａと、第１の締結部８３Ａに対して右方に距離をおいて配置され、副室上壁部４２Ｂの右端部の下面に締結された第２の締結部８３Ｂと、第１の締結部８３Ａの右端から垂下し、面が左右を向く第１の縦壁部８３Ｃと、第２の締結部８３Ｂの左端から垂下し、面が左右を向く第２の縦壁部８３Ｄと、第１の縦壁部８３Ｃの下端と第２の縦壁部８３Ｄの下端とを接続し、下方に凸となる弧状に湾曲した湾曲壁部８３Ｅと、第１の締結部８３Ａの左端から垂下し、面が左右を向く第３の縦壁部８３Ｆと、第２の締結部８３Ｂの右端から垂下し、面が左右を向く第３の縦壁部８３Ｇと、第３の縦壁部８３Ｇの下端から右方に延び、面が上下を向く横壁部８３Ｈとを有する。第１の縦壁部８３Ｃ、湾曲壁部８３Ｅ、及び第２の縦壁部８３Ｄは、互いに協働して、前後から見てＵ字形を呈する。湾曲壁部８３Ｅの最下部は略水平方向に延在している。平面視において、ガス出口ポート６８の全域は第３バッフルプレート８３の横壁部８３Ｈと重なる位置に配置されている。
【００４２】
第２バッフルプレート８２の第１及び第２の縦壁部８２Ｃ、８２Ｄの少なくとも一部と、第３バッフルプレート８３の第１及び第２の縦壁部８３Ｃ、８３Ｄの少なくとも一部と湾曲壁部８３Ｅとは、内燃機関１の駆動時においてオイルタンク４０内の油面下に位置する。一方、第１バッフルプレート８１の横壁部８１Ｃ、及び第３バッフルプレート８３の横壁部８３Ｈは、内燃機関１の駆動時においてオイルタンク４０内の油面より上方に位置する。
【００４３】
内燃機関１の駆動時には、フィードポンプ５３の作動によって、オイルタンク４０内のオイルはオイル出口からフィードポンプ５３及び油路を介してクランクシャフト１１や動弁室２４の摺動部に供給される。クランクシャフト１１に供給されたオイルは、重力によりクランクケース６の下方に捕集され、ブローバイガスと共に第１スカベンジポンプ６２の作動によって配管６１を介して第１接続管５６Ｂ側に送られる。同様に、動弁装置２５に供給されたオイルは、重力により動弁室２４の下方に捕集され、第２スカベンジポンプ６５の作動によって配管６４を介して第２接続管５６Ｃ側に送られる。第１接続管５６Ｂ及び第２接続管５６Ｃから集合装置５６のケース５６Ａ内に供給されたオイル及びブローバイガスを含む流体は、ケース５６Ａ内の内周壁に沿って約９０°回転し、その後ガイド壁５６Ｄに衝突して下方に進み、入口ポート５５を通過して主室４３Ａに流入する。このとき、入口ポート５５の下方に位置する第１バッフルプレート８１の横壁部８１Ｃによって、オイル及びブローバイガスが受け止められ、オイルは横壁部８１Ｃの左右側縁及び後縁からオイルタンク４０内の油面上に流れ落ちる。第１バッフルプレート８１の横壁部８１Ｃによって、入口ポート５５から流入するオイル及びブローバイガスが油面に直接に衝突することが防がれ、貯留されたオイルに気泡が発生することが抑制される。
【００４４】
入口ポート５５からオイルタンク４０内に流入したブローバイガスは、ガス出口ポート６８に流れる間に第２バッフルプレート８２及び第３バッフルプレート８３によってオイルミストの一部が除去される。
【００４５】
オイルタンク４０は、前後に延びた主室４３Ａの後端から右方に延びた副室４３Ｂを有し、副室４３Ｂの右端の上部にガス出口ポート６８が設けられている。副室４３Ｂは主室４３Ａに対して浅く形成され、保持するオイルの容量が小さい。そのため、車両の加減速又は旋回時に副室４３Ｂのオイルが移動し、油面が傾斜してもオイルがガス出口ポート６８に到達し難い。また、車両の加減速又は旋回時に主室４３Ａのオイルが移動し、副室４３Ｂに流入する場合にも副室４３Ｂの横断面積が主室４３Ａの横断面積に対して小さいため、オイルがガス出口ポート６８に到達するまでに時間を要する。また、オイルは第２及び第３バッフルプレート８２、８３によって移動が阻害されるため、ガス出口ポート６８に到達し難くなっている。
【００４６】
オイルタンク４０は、平面視において、略Ｌ字形に形成された内燃機関本体２及び変速機３７のそれぞれの端部側に配置されたシリンダヘッド４と変速機ハウジング３７Ａとを連結する補強部材として機能する。また、オイルタンク４０が略水平に配置された内燃機関本体２及び変速機３７の側方に配置されているため、内燃機関本体２、変速機３７、及びオイルタンク４０が平面視において略四角形にコンパクトに配置される。
【００４７】
以上で具体的実施形態の説明を終えるが、本発明は上記実施形態に限定されることなく幅広く変形実施することができる。例えば、上記の実施形態では、オイルタンク４０が連結部材４５を介して変速機ハウジング３７Ａに結合される構成としたが、オイルタンク４０は変速機ハウジング３７Ａに直接に結合されてもよい。また、オイルタンク４０は、シリンダヘッド４に代えてシリンダブロック３に結合されてもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１      ：内燃機関
２      ：内燃機関本体
３      ：シリンダブロック
４      ：シリンダヘッド
８      ：クランク室
２４    ：動弁室
２５    ：動弁装置
３０    ：吸気装置
３７    ：変速機
３７Ａ  ：変速機ハウジング
４０    ：オイルタンク
４１    ：タンク本体部
４２    ：リッド
４２Ａ  ：主室上壁部
４２Ｂ  ：副室上壁部
４３Ａ  ：主室
４３Ｂ  ：副室
４５    ：連結部材
５１    ：オイル出口ポート
５３    ：フィードポンプ
５５    ：入口ポート
５６    ：集合装置
６２    ：第１スカベンジポンプ
６５    ：第２スカベンジポンプ
６８    ：ガス出口ポート
７１    ：注入口
８１    ：第１バッフルプレート
８２    ：第２バッフルプレート
８３    ：第３バッフルプレート
【図１】
2018080671.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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