(57)【要約】【課題】振動型アクチュエータの制御において、駆動速度を一定に制御するために駆動周波数を変更する必要が生じた場合に駆動速度に急峻な変化が生じないようにする。【解決手段】圧電素子２０２を有する振動体２２０と被駆動体２０７とが接触し、圧電素子２０２に交流信号を印加して振動体２２０に振動を励起することにより振動体２２０と被駆動体２０７とを相対移動させる振動型アクチュエータ２００の制御方法であって、交流信号のパルス幅を予め定められた設定範囲に収めて制御を行う場合に、パルス幅を設定範囲に収めるために交流信号の周波数を変更する必要が生じたときには、交流信号の周波数を変更すると共にパルス幅を設定範囲に収めるようにパルス幅を変更する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気−機械エネルギ変換素子を有する振動体と、前記振動体と接触する被駆動体とを有する振動型アクチュエータの前記電気−機械エネルギ変換素子に交流の駆動信号を印加することにより前記振動体と前記被駆動体とを相対移動させる、振動型アクチュエータの制御方法であって、
前記駆動信号のパルス幅を予め定められた設定範囲に収めて前記振動体と前記被駆動体を相対移動させる制御を行う際に、前記パルス幅を前記設定範囲に収めるために前記駆動信号の周波数を変更する必要が生じたときには、前記周波数を変更すると共に前記パルス幅を前記設定範囲に収めるように前記パルス幅を変更することを特徴とする振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項２】
前記パルス幅が前記設定範囲の上限値を超えた場合には、前記周波数を予め設定された変更量だけ下げると共に前記パルス幅を変更し、
前記パルス幅が前記設定範囲の下限値を超えた場合には、前記周波数を予め設定された変更量だけ上げると共に前記パルス幅を変更することを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項３】
前記パルス幅をＰＩＤ制御により制御し、
前記駆動信号の周波数を変更する際には、前記ＰＩＤ制御での積分ゲインに補正値を加算することにより前記パルス幅を変更することを特徴とする請求項２に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項４】
前記補正値は、予め測定された前記駆動信号の周波数、パルス幅及び前記振動体と前記被駆動体との相対移動速度の関係に基づき、前記駆動信号の周波数を変更したときの前記相対移動速度の変化量が前記パルス幅を変更したときの前記相対移動速度の変化量により相殺される値に設定されることを特徴とする請求項３に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項５】
前記パルス幅をＰＩＤ制御により制御し、
前記駆動信号の周波数を変更する際には、前記ＰＩＤ制御での制御量にオフセット値を加算することにより前記パルス幅を変更することを特徴とする請求項２に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項６】
前記オフセット値は、予め測定された前記駆動信号の周波数、パルス幅及び前記振動体と前記被駆動体との相対移動速度の関係に基づき、前記駆動信号の周波数を変更したときの前記相対移動速度の変化量が前記パルス幅を変更したときの前記相対移動速度の変化量により相殺される値に設定されることを特徴とする請求項５に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項７】
電気−機械エネルギ変換素子を有する振動体と、前記振動体と接触する被駆動体とを有する振動型アクチュエータの前記電気−機械エネルギ変換素子に交流の駆動信号を印加することにより前記振動体と前記被駆動体とを相対移動させる、振動型アクチュエータの制御方法であって、
前記駆動信号の位相差を予め定められた設定範囲に収めて前記振動体と前記被駆動体を相対移動させる制御を行う際に、前記位相差を前記設定範囲に収めるために前記駆動信号の周波数を変更する必要が生じたときには、前記周波数を変更すると共に前記位相差を前記設定範囲に収めるように前記位相差を変更することを特徴とする振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項８】
前記位相差が前記設定範囲の上限値を超えた場合には、前記周波数を予め設定された変更量だけ下げると共に前記位相差を変更し、
前記位相差が前記設定範囲の下限値を超えた場合には、前記周波数を予め設定された変更量だけ上げると共に前記位相差を変更することを特徴とする請求項７に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項９】
前記位相差をＰＩＤ制御により制御し、前記駆動信号の周波数を変更する際には前記ＰＩＤ制御での積分ゲインに補正値を加算することにより前記位相差を変更することを特徴とする請求項８に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項１０】
前記補正値は、予め測定された前記駆動信号の周波数、位相差及び前記振動体と前記被駆動体との相対移動速度の関係に基づき、前記駆動信号の周波数を変更したときの前記相対移動速度の変化量が前記位相差を変更したときの前記相対移動速度の変化量により相殺される値に設定されることを特徴とする請求項９に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項１１】
前記位相差をＰＩＤ制御により制御し、前記駆動信号の周波数を変更する際には前記ＰＩＤ制御での制御量にオフセット値を加算することにより前記位相差を変更することを特徴とする請求項８に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項１２】
前記オフセット値は、予め測定された前記駆動信号の周波数、位相差及び前記振動体と前記被駆動体との相対移動速度の関係に基づき、前記駆動信号の周波数を変更したときの前記相対移動速度の変化量が前記位相差を変更したときの前記相対移動速度の変化量により相殺される値に設定されることを特徴とする請求項１１に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項１３】
振動型アクチュエータと、前記振動型アクチュエータを制御する制御回路と、を有する振動型駆動装置であって、
前記振動型アクチュエータは、電気−機械エネルギ変換素子を有する振動体と、前記振動体と接触する被駆動体と、有し、
前記制御回路は、前記電気−機械エネルギ変換素子に交流の駆動信号を印加する駆動手段と、前記駆動信号のパルス幅を予め定められた設定範囲に収める制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記駆動信号の周波数を変更する場合に、前記周波数を変更すると共に前記パルス幅を変更することを特徴とする振動型駆動装置。
【請求項１４】
振動型アクチュエータと、前記振動型アクチュエータを制御する制御回路と、を有する振動型駆動装置であって、
前記振動型アクチュエータは、電気−機械エネルギ変換素子を有する振動体と、前記振動体と接触する被駆動体と、有し、
前記制御回路は、前記電気−機械エネルギ変換素子に交流の駆動信号を印加する駆動手段と、前記駆動信号の位相差を予め定められた設定範囲に収める制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記駆動信号の周波数を変更する場合に、前記周波数を変更すると共に前記位相差を変更することを特徴とする振動型駆動装置。
【請求項１５】
請求項１３又は１４に記載の振動型駆動装置と、
前記振動型駆動装置によって駆動される部材と、を有することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動体と被駆動体とを加圧接触させ、振動体に励起した振動により振動体と被駆動体とを相対移動させる振動型アクチュエータの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気−機械エネルギ変換素子と弾性体とが接合されてなる振動体に、電気−機械エネルギ変換素子に交流信号を印加することによって同形の屈曲モードの振動を発生させ、振動体に加圧接触する被駆動体を摩擦駆動する振動型アクチュエータが知られている。その一例について図１２を参照して説明する。
【０００３】
図１２（ａ）は、振動型アクチュエータ２００の概略構造を示す分解斜視図である。図１２（ｂ）は、振動型アクチュエータ２００の外観斜視図である。振動型アクチュエータ２００は、第１の弾性体２０１、圧電素子２０２、フレキシブル基板２０３、下ナット２０４、第２の弾性体２０５及びシャフト２０６を備える。また、振動型アクチュエータ２００は、被駆動体２０７、接触バネ２０８、ギア２０９、コイルバネ２１０、固定部材２１１及び上ナット２１２を備える。
【０００４】
第１の弾性体２０１は、金属等の振動減衰損失の小さい材料で構成された円板状の部材である。第１の弾性体２０１と電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子２０２は、振動体２２０を構成する。フレキシブル基板２０３は、不図示の駆動電源と圧電素子２０２を電気的に接続する。駆動電源からフレキシブル基板２０３を介して圧電素子２０２に駆動電圧を印加することにより、所定の振動モードで振動体２２０を励振することができる。下ナット２０４は、シャフト２０６の下端に形成されたネジ部と嵌合する。
【０００５】
シャフト２０６は、第１の弾性体２０１、圧電素子２０２、フレキシブル基板２０３及び第２の弾性体２０５の中心部に設けられた貫通孔に挿入される。シャフト２０６のスラスト方向の概ね中央部には段差が設けられ、この段差が第２の弾性体２０５の内壁に設けられた段差に突き当たる。また、シャフト２０６の下ナット２０４側の先端部にはネジ山が形成されており、このネジ山を締結部材である下ナット２０４と螺合させる。これにより、第２の弾性体２０５、第１の弾性体２０１、圧電素子２０２及びフレキシブル基板２０３は、シャフト２０６と下ナット２０４によりシャフト２０６のスラスト方向に締め付けられて固定される。
【０００６】
被駆動体２０７の下部には、バネ性を有する接触バネ２０８が形成されている。第１の弾性体２０１の表面（圧電素子２０２が接合されている面の反対側の面）は、接触バネ２０８と加圧接触して、第１の弾性体２０１による摩擦駆動力を受ける。ギア２０９は、被駆動体２０７の回転出力を外部に取り出すための部品であり、被駆動体２０７の回転軸方向の移動を許容し、被駆動体２０７と一体的に回転するように被駆動体２０７と嵌合している。加圧手段であるコイルバネ２１０は、被駆動体２０７のバネ受け部とギア２０９との間に配置され、被駆動体２０７を第１の弾性体２０１の方向に押し下げるように付勢している。ギア２０９は、シャフト２０６と結合した固定部材２１１に軸支されている。また、シャフト２０６のスラスト方向の位置は、固定部材２１１によって規制されている。シャフト２０６における上ナット２１２側の先端部にもネジ山が形成されており、このネジ山を上ナット２１２に螺合させることで、固定部材２１１に対してシャフト２０６が固定される。固定部材２１１には、振動型アクチュエータ２００を所望の場所に取り付けるためのネジ穴が設けられている。
【０００７】
圧電素子２０２には、例えば、周方向を略４等分するように略扇形の駆動電極が設けられており、各駆動電極には、振動体２２０の共振周波数に近く、且つ、周方向に例えば９０度ずつ位相がずれた交流電圧が印加される。これにより、第１の弾性体２０１上の駆動方向の各位置に、回転方向と直交する軸方向の運動と回転方向の運動とからなる楕円運動を発生させることができる。したがって、第１の弾性体２０１の表面に接触バネ２０８を加圧接触させることで、接触バネ２０８、被駆動体２０７、コイルバネ２１０及びギア２０９をシャフト２０６を回転中心軸として一体的に回転させることができる。
【０００８】
ギア２０９の回転出力を用いてオートフォーカスレンズやズームレンズを駆動するデジタルカメラ等の撮像装置が製品化されている。ここで、撮像装置でのズーム駆動等には、ズームレンズが目標速度で安定して光軸方向に移動する速度制御（定速度制御）が求められている。そこで、振動型アクチュエータを用いて定速度制御を実現する技術として、駆動周波数を変更する方法やパルス幅を変更する方法等が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平０９−２９４３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記特許文献１に記載された技術では、駆動周波数の制御のみでは速度の分解能が不足するため、駆動周波数を所定値に設定した後にパルス幅制御により速度の分解能を上げることで、安定した速度制御を実現している。しかし、パルス幅制御の際に、外乱の影響等によって、パルス幅制御での設定範囲から外れたパルス幅に設定しなければならない事態が生じることがある。この現象について、図１３及び図１４を参照して説明する。
【００１１】
図１３は、振動型アクチュエータ２００の駆動周波数と速度及びパルス幅の関係を示す図である。図１３（ａ）は、起動時からパルス幅制御に至る動作を示しており、図１３（ｂ）は、起動後の負荷等の外乱が加わったときの動作を示している。
【００１２】
図１３（ａ）に示すように、起動周波数ｆ１で振動型アクチュエータ２００の駆動を開始し、被駆動体２０７（ギア２０９）が所定の速度（回転速度）になるまで駆動周波数を下げていく。このとき、パルス幅は初期設定値で固定されている。そして、目標速度付近となった周波数ｆ２で駆動周波数を固定し、パルス幅を制御して目標速度で一定となるように制御する。その際のパルス幅の設定範囲は、例えば２０〜５０％であり、図１３（ａ）の場合、パルス幅を３５％よりも少し狭くすることによって目標速度で安定した駆動が可能となっている。
【００１３】
これに対して、図１３（ｂ）には、周波数ｆ２ではパルス幅を５０％に設定しても、目標速度に到達することができない状態が示されている。パルス幅の設定範囲（２０〜５０％）を超えてパルス幅を設定してしまうと、制御が不安定となり、目標速度にならないという問題や速度変動が大きくなるという問題が生じる。そこで、駆動周波数を周波数ｆ２から低周波数側の周波数ｆ３に変更した上で、パルス幅を設定範囲内の値に設定するという対策を採ることで、被駆動体２０７の速度を目標速度に到達させることができる。
【００１４】
図１４は、振動型アクチュエータ２００の駆動制御における駆動周波数、パルス幅及び速度の関係を示す図である。起動周波数ｆ１から駆動周波数を下げていき、目標速度に近いａ点に到達した時点で、駆動周波数を周波数ｆ２に固定し、分解能の高いパルス幅制御に移行する。パルス幅制御では、前述したように、制御精度を確保するために、パルス幅の値は一定範囲内に制限される。しかし、外乱の影響等により、パルス幅が設定範囲から外れる事態が起こりえる。このような状況に対応するｂ点では、周波数を変化させる（ここでは、周波数をΔｆだけ下げる）。これにより、パルス幅を設定範囲内に収めることが可能になると共に、パルス幅を変更の自由度が大きくなる設定範囲の中央値近傍へ近付けることができる。その後、ｃ点で減速を開始するためにパルス幅制御から周波数制御に移行し、駆動周波数を高くしていく。そして、振動型アクチュエータ２００による駆動対象物が目標位置に到達すると、圧電素子２０２への交流電圧の印加が停止される。
【００１５】
ここで、一般的に、駆動周波数はデジタルクロックを分周して作成しているため、分解能に制限があり、駆動周波数を変化させる際には１ステップ分の周波数が変更される。そのため、ｂ点において駆動周波数が変更されたときに、駆動周波数を切り替えた分だけ、被駆動体２０７に急峻な速度変化が生じる。このような急峻な速度変化が、振動型アクチュエータ２００によりズーム駆動を行う撮像装置のように駆動速度を一定にすることが望ましい用途で生じると、撮影者は違和感を覚えてしまう。また、動画撮影中のズーム駆動の際に急峻な速度変化が生じると、違和感のある映像となってしまう。
【００１６】
本発明は、駆動速度を一定に制御するために駆動周波数を変更する必要が生じた場合に、駆動速度に急峻な変化が生じないようにすることができる振動型アクチュエータの制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明に係る振動型アクチュエータの制御方法は、電気−機械エネルギ変換素子を有する振動体と、前記振動体と接触する被駆動体とを有する振動型アクチュエータの前記電気−機械エネルギ変換素子に交流の駆動信号を印加することにより前記振動体と前記被駆動体とを相対移動させる、振動型アクチュエータの制御方法であって、前記駆動信号のパルス幅を予め定められた設定範囲に収めて前記振動体と前記被駆動体を相対移動させる制御を行う際に、前記パルス幅を前記設定範囲に収めるために前記駆動信号の周波数を変更する必要が生じたときには、前記周波数を変更すると共に前記パルス幅を前記設定範囲に収めるように前記パルス幅を変更することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、振動型アクチュエータの制御において、駆動速度を一定に制御するために駆動周波数を変更する必要が生じた場合に、駆動速度に急峻な変化が生じないようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係る振動型駆動装置を構成する、振動型アクチュエータの制御回路の概略構成を示すブロック図である。
【図２】制御回路のＭＰＵが有するＰＩＤコントローラのブロック図である。
【図３】第１実施形態に係る制御方法を説明するフローチャートである。
【図４】図３のフローチャートに従って振動型アクチュエータを駆動したときの駆動周波数、パルス幅及び速度の関係の例を示す図である。
【図５】制御回路のＭＰＵに設けられる別のＰＩＤコントローラのブロック図である。
【図６】振動型アクチュエータの第２実施形態に係る制御方法を説明するフローチャートである。
【図７】図６のフローチャートに従って振動型アクチュエータを駆動したときの駆動周波数、パルス幅、速度及びオフセット値の関係の例を示す図である。
【図８】ＡＢ位相差と被駆動体の速度との関係の一例を示す図である。
【図９】振動型アクチュエータの第３実施形態に係る制御方法を説明するフローチャートである。
【図１０】図９のフローチャートに従って振動型アクチュエータを駆動したときの駆動周波数、ＡＢ位相差及び速度の関係の例を示す図である。
【図１１】デジタルカメラの概略構成を示す斜視図である。
【図１２】周知の振動型アクチュエータの概略構造を示す図である。
【図１３】図１２の振動型アクチュエータの駆動特性を説明する図である。
【図１４】図１２の振動型アクチュエータの駆動特性を説明する別の図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して詳細に説明する。ここでは、図１２を参照して説明した振動型アクチュエータ２００の駆動制御を行うための制御回路と制御方法について説明することとする。図１は、本発明の実施形態に係る振動型駆動装置を構成する、振動型アクチュエータ２００の駆動制御を行うための制御回路の概略構成を示すブロック図である。なお、本実施形態において、振動型駆動装置とは、振動型アクチュエータ２００と、振動型アクチュエータ２００の駆動制御を行う制御回路（駆動回路を含む）を含むものと定義する。振動型アクチュエータ２００の構成については、図１２を参照して説明済みであるため、ここでの説明を省略する。
【００２１】
制御回路は、ＭＰＵ３２、第１のスイッチング回路３３ａ、第２のスイッチング回路３３ｂ、発振器３４、位置検出センサ３５、電源３６、第１の差動増幅器３７、第２の差動増幅器３８及び位相差検出回路３９を備える。
【００２２】
ＭＰＵ３２は、マイクロコンピュータであり、プログラムを格納するＲＯＭ、プログラムの展開領域及びパラメータや演算結果を記憶するＲＡＭ、プログラムを実行するＣＰＵ等を有する。ＭＰＵ３２は、プログラムを実行することにより制御回路を構成する各種の電子部品及び電気部品の動作を制御することで、振動型アクチュエータ２００の全体的な駆動を制御する。後述する図３、図６及び図９に示す各フローチャートの各処理は、ＭＰＵ３２の機能によって実現される。発振器３４は、ＭＰＵ３２の指令値に基づいて、振動体２２０に振動を励起させるための２相の交流信号Ａ０，Ｂ０を、位相差を０〜３６０度の範囲で変えて発生させることができる。
【００２３】
第１のスイッチング回路３３ａは、交流信号Ａ０を電源電圧でスイッチングする回路であり、圧電素子２０２に印加する１組の交流電圧である駆動信号Ａ，Ａ´を出力する。ここで、第１のスイッチング回路３３ａは、インダクタンス４１との組み合わせにより、スイッチング電圧を昇圧効果により増幅する回路となっている。第２のスイッチング回路３３ｂは、交流信号Ｂ０を電源電圧でスイッチングする回路であり、圧電素子２０２に印加する１組の交流電圧である駆動信号Ｂ，Ｂ´を出力する。ここで、第２のスイッチング回路３３ｂは、インダクタンス４２との組み合わせにより、スイッチング電圧を昇圧効果により増幅する回路となっている。電源３６は、第１のスイッチング回路３３ａ及び第２のスイッチング回路３３ｂに電圧を供給する電池やＡＣアダプタ等である。
【００２４】
図１２を参照して既に説明した通り、電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子２０２には、例えば、周方向を略４等分するように略扇形の駆動電極が設けられている。これらの駆動電極を周方向に順番に駆動電極Ａ１，Ｂ１，Ａ２，Ｂ２とすると、駆動電極Ａ１，Ｂ１，Ａ２，Ｂ２にそれぞれ、駆動信号Ａ，Ｂ，Ａ´，Ｂ´が印加される。ここで、駆動信号Ａ，Ａ´の位相差は１８０°であり、駆動信号Ｂ，Ｂ´の位相差は１８０°であり、例えば、駆動信号Ａ，Ｂの位相差は、３０度〜９０度の範囲で設定される。これにより、振動体２２０に前述した振動が励起され、振動体２２０と加圧接触する被駆動体２０７が回転駆動される。
【００２５】
第１の差動増幅器３７は、駆動信号Ａ，Ａ´の差動電圧Ａ−Ａ´を取り出す。第２の差動増幅器３８は、圧電素子２０２の一部に設けられた振動検出電極Ｓ（不図示）から取り出される信号（電圧）Ｓと駆動信号Ａ´との差動電圧Ｓ−Ａ´を取り出す。位相差検出回路３９は、第１の差動増幅器３７と第２の差動増幅器３８で得られたそれぞれの差動電圧の位相差を検出する。ＭＰＵ３２は、位相差検出回路３９で検出された位相差に基づいて振動型アクチュエータ２００の共振状態を検出する。所定の位相差以下になると共振状態から外れてしまうため、ＭＰＵ３２は、その時点での駆動周波数よりも周波数を下げないように制御する。
【００２６】
位置検出センサ３５は、例えば、フォトインタラプタとスリット板からなり、第１の弾性体２０１（振動体２２０）に対する被駆動体２０７の相対位置（回転位置）に関する情報を取得する。ＭＰＵ３２は、位置検出センサ３５から取得した検出信号に基づき、振動体２２０に対する被駆動体２０７の回転角度（位置）と回転速度を算出し、被駆動体２０７の回転速度を制御するための指令値を発振器３４へ供給する。発振器３４は、ＭＰＵ３２からの指令値に基づき、駆動信号Ａと駆動信号Ｂの周波数と位相差（以下「ＡＢ位相差」という）を変更することができる。
【００２７】
図２は、ＭＰＵ３２が有するＰＩＤコントローラの概略構成を示す図である。ＰＩＤコントローラは、原則として“Ｋｐ＋Ｋi／ｓ＋ｓ・Ｋｄ（Ｋｐ：比例ゲイン、Ｋｉ：積分ゲイン、Ｋｄ：微分ゲイン、ｓ：時間）”で表される伝達関数に基づくＰＩＤ制御を行うが、駆動状況に応じて積分ゲインＫｉに対して補正値Ｘを加算する。補正値Ｘによる補正タイミングについては後述する。
【００２８】
図３は、振動型アクチュエータ２００の第１実施形態に係る制御方法を説明するフローチャートである。以下の説明において、「速度」とは、振動体２２０と被駆動体２０７との相対移動速度であって、より具体的には振動体２２０に対する被駆動体２０７の回転速度を指すが、ギア２０９に連結された駆動対象物の移動速度や回転速度であっても構わない。図３のフローチャートに示す各処理は、ＭＰＵ３２が、自身が格納する所定のプログラムを実行して、制御回路を構成する各部の動作を制御することにより実現される。
【００２９】
ステップＳ１０１においてＭＰＵ３２は、駆動周波数を起動周波数ｆ１に、パルス幅を３５％に設定し、圧電素子２０２への駆動信号Ａ，Ｂ，Ａ´，Ｂ´の印加を開始することにより、振動型アクチュエータ２００を起動する。なお、振動型アクチュエータ２００の制御回路に電源が入れられた時点で、位置検出センサ３５による被駆動体２０７の位置検出が開始されており、被駆動体２０７の速度が検出されている。ステップＳ１０２においてＭＰＵ３２は、駆動周波数を１ステップ単位で低周波側へ下げていき、位置検出センサ３５からの出力信号に基づいて被駆動体２０７の速度を検出する。ステップＳ１０３においてＭＰＵ３２は、被駆動体２０７の速度が目標速度に到達したか否かを判定する。ＭＰＵ３２は、目標速度に到達していないと判定した場合（Ｓ１０３でＮＯ）、処理をステップＳ１０２へ戻し、目標速度に到達したと判定した場合（Ｓ１０３でＹＥＳ）、処理をステップＳ１０４へ進める。
【００３０】
ステップＳ１０４においてＭＰＵ３２は、駆動周波数を固定して、周波数制御からパルス幅制御へと制御方法を切り替える。ここで、パルス幅制御におけるパルス幅の設定範囲は１５％〜５０％に定められているものとする。パルス幅制御を開始した後、ステップＳ１０５においてＭＰＵ３２は、目標速度とするためのパルス幅が設定範囲の上限値の５０％より大きくなったか否かを判定する。ＭＰＵ３２は、パルス幅が５０％より大きいと判定した場合（Ｓ１０５でＹＥＳ）、処理をステップＳ１０６へ進め、パルス幅が５０％以下であると判定した場合（Ｓ１０５でＮＯ）、処理をステップＳ１０７へ進める。
【００３１】
ステップＳ１０６においてＭＰＵ３２は、駆動周波数を予め定められた変更量である１ステップ分下げることで、実速度を目標速度に近付ける。なお、１ステップ分は、発振器３４の分解能によって定められる駆動周波数の最小変更単位である。ここで、駆動周波数を１ステップ分変更しただけでは、図１４を参照して前述したように、駆動周波数の変更時に急峻な速度変化が生じる。この問題を解決するため、ステップＳ１０６では、駆動周波数を１ステップ分下げる際に、ＰＩＤコントローラにおいて、積分ゲインＫｉに補正値Ｘを加算するためのスイッチがオンとなって、積分ゲインＫｉに補正値Ｘが加算される。ここで、補正値Ｘは、パルス幅を小さくなるように補正する値であるため、負の値を取る。また、補正値Ｘは積分処理の前に加えられるため、駆動周波数が切り替わったときにのみ、補正値Ｘを加算するためのスイッチはオンとなる。補正値Ｘは、駆動周波数、パルス幅及び速度の関係を予め測定しておき、駆動周波数を１ステップ分変更する前後での速度の変化量が予め定められた値以下となるパルス幅の変化量を調べておいて、その変化量を発生させることができる値とすることが望ましい。換言すれば、補正値Ｘは、駆動信号の周波数を１ステップ分変更したときの速度の変化量がパルス幅を変更したときの速度の変化量により相殺される値に設定されることが望ましい。ＭＰＵ３２は、ステップＳ１０６の後、処理をステップＳ１０４へ戻す。
【００３２】
ステップＳ１０７においてＭＰＵ３２は、目標速度とするためのパルス幅が設定範囲の下限値の１５％未満になったか否かを判定する。ＭＰＵ３２は、パルス幅が１５％未満であると判定した場合（Ｓ１０７でＹＥＳ）、処理をステップＳ１０８へ進め、パルス幅が１５％以上であると判定した場合（Ｓ１０７でＮＯ）、処理をステップＳ１０９へ進める。ステップＳ１０８においてＭＰＵ３２は、ステップＳ１０６とは逆に、駆動周波数を１ステップ分上げて実速度を目標速度に近付けると共に、駆動周波数の変更時にＰＩＤコントローラにおいて積分ゲインＫｉに補正値Ｘを加算する。この場合の補正値Ｘは、パルス幅を大きくなるように補正する値であるため、正の値を取る。これにより、図１４を参照して先に説明した、駆動周波数が切り替わる際に急峻な速度変化が生じるという問題を解決することができる。ＭＰＵ３２は、ステップＳ１０８の後、処理をステップＳ１０４へ戻す。
【００３３】
ステップＳ１０９においてＭＰＵ３２は、被駆動体２０７が減速開始位置に到達したか否かを判定する。ＭＰＵ３２は、被駆動体２０７が減速開始位置に到達していないと判定した場合（Ｓ１０９でＮＯ）、処理をステップＳ１０４へ戻し、被駆動体２０７が減速開始位置に到達したと判定した場合（Ｓ１０９でＹＥＳ）、処理をステップＳ１１０へ進める。なお、減速開始位置は、例えば、停止位置から位置検出センサ３５のカウンタ値が所定値だけ手前となる位置である。ステップＳ１１０においてＭＰＵ３２は、減速制御を行う。減速制御は、周波数制御により行ってもよいし、パルス幅制御により行ってもよい。なお、減速後の所定の速度を維持して停止位置まで駆動する場合には、その速度は停止動作に入ってもオーバーランしない速度に設定される。また、振動型アクチュエータ２００の減速駆動が必要でない場合には、ステップＳ１０９，Ｓ１１０の処理は省略される。
【００３４】
ステップＳ１１１においてＭＰＵ３２は、被駆動体２０７が停止位置に到達したか否かを判定する。ＭＰＵ３２は、被駆動体２０７が停止位置に到達していないと判定した場合（Ｓ１１１でＮＯ）、処理をステップＳ１１０へ戻すが、ステップＳ１０９，Ｓ１１０の処理が不要なフローの場合には、処理をステップＳ１０４へ戻す。ＭＰＵ３２は、被駆動体２０７が停止位置に到達した判定した場合（Ｓ１１１でＹＥＳ）、処理をステップＳ１１２へ進める。ステップＳ１１２においてＭＰＵ３２は、圧電素子２０２への駆動信号の印加を停止し、これにより振動型アクチュエータ２００は停止状態となることで、本処理は終了となる。
【００３５】
図４は、図３のフローチャートに従って振動型アクチュエータ２００を駆動したときの駆動周波数、パルス幅及び速度の関係を示す図である。起動からａ点までの間は、ステップＳ１０１からステップＳ１０３までに対応する。ａ点からｃ点の間は、ステップＳ１０４からステップＳ１０９までに対応する。ｂ点では、ステップＳ１０５の判定がＹＥＳとなったために処理がステップＳ１０６へ進められて、駆動周波数が変更されている。このとき、被駆動体２０７に急峻な速度変化は生じておらず、図１４を参照して説明した問題点が解決されていることを確認することができる。なお、ステップＳ１０７の判定がＹＥＳとなってステップＳ１０８へ進む処理は図４には現れていない。ｃ点から停止点までの間は、ステップＳ１０９の判定がＹＥＳとなってからステップＳ１１２までに対応している。ここでは、周波数制御による減速制御を行っている例が示されている。
【００３６】
上述の通り、本実施形態では、速度を一定に保持するためにパルス幅制御を行う際に、パルス幅を設定範囲内に収めるために駆動周波数を変更するときに、積分ゲインＫｉに補正値Ｘを付加する。これにより、駆動周波数を変更した際に急峻な速度変化が生じるのを防止することができる。なお、図３及び図４の説明では、振動型アクチュエータ２００の起動時のパルス幅を設定範囲の中心値に近い３５％とした。しかし、これに限られず、例えば、パルス幅を５０％として起動し、駆動周波数を固定するときの速度を目標速度より高めに設定しておくことで、目標速度を維持する際のパルス幅が設定範囲の中心にくるような制御としてもよい。
【００３７】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。振動型アクチュエータ２００の制御回路の構成については、第１実施形態と本実施形態とで変わりはなく、第１実施形態と本実施形態とでは、ＭＰＵ３２に設けられるＰＩＤコントローラの構成と制御態様のみが異なる。
【００３８】
図５は、ＭＰＵ３２に設けられる別のＰＩＤコントローラの概略構成を示す図である。第１実施形態では、パルス幅制御の際に駆動周波数を変更した場合には、被駆動体２０７に急峻な速度変化が生じないようにするために、図２に示したように積分ゲインＫｉに補正値Ｘを加算する構成とした。これに対して、図５のＰＩＤコントローラは、原則として“Ｋｐ＋Ｋi／ｓ＋ｓ・Ｋｄ”で表される伝達関数に基づくＰＩＤ制御を行うが、駆動状況に応じて、ＰＩＤ制御後の操作量にオフセット値Ｏ（オー）を与える。また、駆動周波数を変更する度にオフセット値Ｏを変更する。オフセット値Ｏを与えるタイミングとオフセット値Ｏの変更方法については後述する。
【００３９】
図６は、振動型アクチュエータ２００の第２実施形態に係る制御方法を説明するフローチャートである。図６のフローチャートに示す各処理は、ＭＰＵ３２が、自身が格納する所定のプログラムを実行して、制御回路を構成する各部の動作を制御することにより実現される。なお、図６のフローチャートの処理のうち、図３のフローチャートの処理と同じ処理については、同じステップ番号を付して、説明を省略する。
【００４０】
ステップＳ２０１においてＭＰＵ３２は、駆動周波数を起動周波数ｆ１に、パルス幅を３５％に、オフセット値Ｏを０（ゼロ）に設定し、圧電素子２０２への駆動信号Ａ，Ｂ，Ａ´，Ｂ´の印加を開始することにより、振動型アクチュエータ２００を起動する。続くステップＳ１０２，Ｓ１０３，Ｓ１０４を経て、ステップＳ１０５の処理の判定がＹＥＳとなった場合、ＭＰＵ３２は処理をステップＳ２０２へ進める。ステップＳ２０２においてＭＰＵ３２は、駆動周波数を１ステップ分下げて実速度を目標速度に近付けると共に、駆動周波数の変更時にＰＩＤ制御後の操作量に対してオフセット値Ｏを付加する。このときのオフセット値Ｏは、駆動周波数を１ステップ分変更したときに発生する操作量の変化分Ｘ２とする。そして、ステップＳ２０２ではオフセット値Ｏはパルス幅を小さくするように補正する値であるため、パルス幅には変化分Ｘ２を減算した値が設定される。こうして変更されたオフセット値Ｏは、駆動周波数が再度変更されるまで維持される。また、ステップＳ２０２の処理が繰り返されると、オフセット値Ｏは操作量の変化分Ｘ２が累積した値となる。ＭＰＵ３２は、ステップＳ２０２の後、処理をステップＳ１０４へ戻す。
【００４１】
ステップＳ１０５の判定がＮＯとなって処理がステップＳ１０７へ進められ、ステップＳ１０７の処理の判定がＹＥＳとなった場合、ＭＰＵ３２はステップＳ２０３へ処理を進める。ステップＳ２０３においてＭＰＵ３２は、駆動周波数を１ステップ分上げて実速度を目標速度に近付けると共に、駆動周波数の変更時にＰＩＤ制御後の操作量に対してオフセット値Ｏを付加する。ここでは、オフセット値Ｏはパルス幅を大きくするように補正する値であるため、パルス幅には変化分Ｘ２を加算した値が設定される。ＭＰＵ３２は、ステップＳ２０３の後、処理をステップＳ１０４へ戻す。ステップＳ１０９以降の処理については、図２のフローチャートのステップＳ１０９以降の処理と同じであるため説明を省略する。
【００４２】
図７は、図６のフローチャートに従って振動型アクチュエータ２００を駆動したときの駆動周波数、パルス幅、オフセット値及び速度の関係を示す図である。起動からａ点までの間は、ステップＳ２０１，Ｓ１０２，Ｓ１０３の処理に対応する。ａ点からｃ点の間は、ステップＳ１０４からステップＳ１０９（Ｓ２０２，Ｓ２０３を含む）までに対応する。ｂ点では、ステップＳ１０５の判定がＹＥＳとなったために処理がステップＳ２０２へ進められて、駆動周波数が変更され、オフセット値Ｏも変更されている。このとき、被駆動体２０７に急峻な速度変化は生じておらず、図１４を参照して説明した問題点が解決されていることを確認することができる。ｂ点以降ｃ点までの間に駆動周波数は変更されておらず、そのため、ｂ点からｃ点までの間では、ｂ点での変更後のオフセット値Ｏが維持されている。なお、ステップＳ１０７の判定がＹＥＳとなってステップＳ２０３へ進む処理は図７には現れていない。ｃ点から停止点までの間は、ステップＳ１０９の判定がＹＥＳとなってからステップＳ１１２までに対応しており、ここでは、周波数制御による減速制御を行っている例が示されている。
【００４３】
上述の通り、本実施形態では、速度を一定に保持するためにパルス幅制御を行う際に、パルス幅を設定範囲内に収めるために駆動周波数を変更するときに、ＰＩＤ制御後の操作量にオフセット値Ｏを加算する。変更されたオフセット値Ｏは、駆動周波数が再度変更されるまで維持され、駆動周波数が変更された際に更新される。これにより、駆動周波数を変更した際に急峻な速度変化が生じるのを防止することができる。
【００４４】
次に、本発明の第３実施形態について説明する。振動型アクチュエータ２００の制御回路の構成については、第１実施形態と本実施形態とで、ＭＰＵ３２に設けられるＰＩＤコントローラの構成を含めて変わりはなく、第１実施形態と本実施形態とでは、ＭＰＵ３２での制御態様のみが異なる。第１実施形態及び第２実施形態では、駆動周波数の変更時に圧電素子２０２に印加する駆動信号のパルス幅を補正する構成としたが、本実施形態では、圧電素子２０２に印加する駆動信号Ａ，Ｂの位相差（ＡＢ位相差）を補正する。
【００４５】
図８は、ＡＢ位相差と被駆動体２０７の速度との関係の一例を示す図である。被駆動体２０７の回転方向の一方を正とし、その逆回転方向を負として、被駆動体２０７を正方向に駆動するためには、ＡＢ位相差を正の値にする必要があり、ＡＢ位相差を変えることで速度が略線形に変化する範囲は３０度〜９０度となっている。よって、この範囲でＡＢ位相差を制御することで、速度制御を容易に行うことができる。同様に、被駆動体２０７を負方向に駆動する際に、速度が略線形に変化するＡＢ位相差の範囲は−３０度〜−９０度となっている。なお、パルス幅制御では、パルス幅を変化させることで振動体２２０に励起される楕円運動の大きさが変化して速度が変化するが、ＡＢ位相差制御では、振動体２２０に励起される楕円運動の軌跡（形状）が変わることで速度が変化する。
【００４６】
図９は、振動型アクチュエータ２００の第３実施形態に係る制御方法を説明するフローチャートである。図９のフローチャートに示す各処理は、ＭＰＵ３２が、自身が格納する所定のプログラムを実行して、制御回路を構成する各部の動作を制御することにより実現される。なお、図９のフローチャートの処理のうち、図３のフローチャートの処理と同じ処理については、同じステップ番号を付して、説明を省略する。
【００４７】
ステップＳ３０１においてＭＰＵ３２は、駆動周波数を起動周波数ｆ１に、ＡＢ位相差を７５度に設定し、圧電素子２０２への駆動信号Ａ，Ｂ，Ａ´，Ｂ´の印加を開始することにより、振動型アクチュエータ２００を起動する。続くステップＳ１０２を経てステップＳ１０３の判定がＹＥＳになると、ＭＰＵ３２は、ステップＳ３０２において、駆動周波数を固定して、周波数制御からＰＩＤ制御ループによるＡＢ位相差制御へと制御方法を切り替える。ステップＳ３０３においてＭＰＵ３２は、ＡＢ位相差が９０度を超えたか否かを判定する。ＭＰＵ３２は、ＡＢ位相差が９０度以下であると判定した場合（Ｓ３０３でＮＯ）、処理をステップＳ３０５へ進め、ＡＢ位相差が９０度を超えたと判定した場合（Ｓ３０３でＹＥＳ）、処理をステップＳ３０４へ進める。
【００４８】
ステップＳ３０４においてＭＰＵ３２は、駆動周波数を１ステップ分下げて実速度を目標速度に近付ける。また、ＭＰＵ３２は、駆動周波数の変更時に、ＰＩＤコントローラにおいて積分ゲインＫｉに補正値Ｘ´を加算するためのスイッチをオンにして、積分ゲインＫｉに補正値Ｘ´を加算する。ここで、補正値Ｘ´は、ＡＢ位相差を小さくなるように補正する値であるため、負の値を取る。また、補正値Ｘ´は積分処理の前に加えられるため、駆動周波数が切り替わったときにのみ、補正値Ｘ´を加算するためのスイッチはオンとなる。これにより、図１４を参照して前述した、駆動周波数が切り替わる際に急峻な速度変化が生じるという問題を解決することができる。補正値Ｘ´は、駆動周波数、ＡＢ位相差及び速度の関係を予め測定しておき、駆動周波数を１ステップ分変更する前後での速度の変化量が予め定められた値以下となるＡＢ位相差の変化量を調べておいて、その変化量を発生させることができる値とすることが望ましい。ＭＰＵ３２は、ステップＳ３０４の後、処理をステップＳ３０２へ戻す。
【００４９】
ステップＳ３０５においてＭＰＵ３２は、ＡＢ位相差が３０度未満になったか否かを判定する。ＭＰＵ３２は、ＡＢ位相差が３０度以上であると判定した場合（Ｓ３０５でＮＯ）、処理をステップＳ１０９へ進め、ＡＢ位相差が３０度未満であると判定した場合（Ｓ３０５でＹＥＳ）、処理をステップＳ３０６へ進める。ステップＳ３０６においてＭＰＵ３２は、駆動周波数を１ステップ分上げて実速度を目標速度に近付けると共に、駆動周波数の変更時にＰＩＤコントローラにおいて積分ゲインＫｉに補正値Ｘ´を加算する。ここで、補正値Ｘ´は、ＡＢ位相差を大きくするように補正する値であるため、正の値を取る。これにより、図１４を参照して前述した、駆動周波数が切り替わる際に急峻な速度変化が生じるという問題を解決することができる。ＭＰＵ３２は、ステップＳ３０６の後、処理をステップＳ３０２へ戻す。なお、ステップＳ１０９以降の処理については、図２のフローチャートのステップＳ１０９以降の処理と同じであるため説明を省略する。
【００５０】
図１０は、図９のフローチャートに従って振動型アクチュエータ２００を駆動したときの駆動周波数、ＡＢ位相差及び速度の関係を示す図である。起動からａ点までの間は、ステップＳ３０１，Ｓ１０２，Ｓ１０３に対応する。ａ点からｃ点の間は、ステップＳ３０２〜Ｓ３０６，Ｓ１０９に対応する。ｂ点では、ステップＳ３０３の判定がＹＥＳとなったために処理がステップＳ３０４へ進められて駆動周波数が変更され、ＡＢ位相差が補正されている。このとき、被駆動体２０７に急峻な速度変化は生じておらず、図１４を参照して説明した問題点が解決されていることを確認することができる。ｂ点以降ｃ点までの間に駆動周波数は変更されておらず、そのため、ステップＳ３０５の判定がＹＥＳとなってステップＳ３０６へ進む処理は図１０には現れていない。ｃ点から停止点までの間は、ステップＳ１０９の判定がＹＥＳとなってからステップＳ１１２までに対応しており、ここでは、周波数制御による減速制御を行っている例が示されている。
【００５１】
以上の説明の通り、本実施形態では、速度を一定に保持するためにＡＢ位相差制御を行う際にＡＢ位相差を設定範囲内に収めるために駆動周波数を変更するときに、ＰＩＤ制御での積分ゲインＫｉに補正値Ｘ´を加算する。これにより、駆動周波数を変更しても、急峻な速度変化が生じるのを防止することができる。なお、本実施形態では、ＡＢ位相差の設定範囲の中心に近い７５度で振動型アクチュエータ２００を起動した。しかし、これに限られず、例えば、ＡＢ位相差を９０度に設定して起動し、駆動周波数を固定するときの速度を目標速度より高めに設定しておくことで、ＡＢ位相制御により目標速度を維持する際のＡＢ位相差が設定範囲の中心にくるような制御としてもよい。また、本実施形態では、ＡＢ位相差の設定範囲を３０度〜９０度の範囲とした。しかし、振動体と被駆動体とを相対移動させる振動型アクチュエータでは、その構造に応じて、ＡＢ位相差を、０度超、１１０度以下の範囲に設定可能なものもある。したがって、ＡＢ位相差の設定範囲は、用いる振動型アクチュエータに応じた設定とすることができる。
【００５２】
次に、本発明の第４実施形態について説明する。上述した振動型アクチュエータ２００を備える電子機器や機械装置の一例としての撮像装置について説明する。図１１は、撮像装置の一例であるデジタルカメラ４００の概略構成を示す斜視図であり、一部を透過した状態で示している。デジタルカメラ４００の本体の前面には、レンズ鏡筒４１０が取り付けられており、レンズ鏡筒４１０の内部には、フォーカスレンズ４０７を含む複数のレンズ（不図示）と、手ぶれ補正光学系４０３が配置されている。手ぶれ補正光学系４０３は、２軸のコアレスモータ４０４，４０５の回転が伝達されることによって、上下方向（Ｙ方向）と左右方向（Ｘ方向）に振動可能となっている。
【００５３】
デジタルカメラ４００の本体には、デジタルカメラ４００の全体的な動作を制御するマイコン４０９と、撮像素子４０８が配置されている。レンズ鏡筒４１０を通過した光は、光学像として撮像素子４０８に結像する。撮像素子４０８は、ＣＭＯＳセンサ或いはＣＣＤセンサ等の光電変換デバイスであり、結像した光学像をアナログ電気信号に変換する。撮像素子４０８から出力されるアナログ電気信号は、不図示のＡ／Ｄ変換器によってデジタル信号に変換される。そして、デジタル信号は、不図示の画像処理回路による所定の画像処理を経て、画像データ（映像データ）として不図示の半導体メモリ等の記憶媒体に記憶される。
【００５４】
デジタルカメラ４００の本体には、内部装置として、上下方向（ピッチング）の手ぶれ量（振動）を検出するジャイロセンサ４０１と、左右方向（ヨーイング）の手ぶれ量（振動）を検出するジャイロセンサ４０２が配置されている。ジャイロセンサ４０１，４０２によって検出された振動の逆方向にコアレスモータ４０４，４０５が駆動され、手ぶれ補正光学系４０３のＺ方向に延びる光軸を振動させる。その結果、手ぶれによる光軸の振動が打ち消され、手ぶれが補正された良好な写真を撮影することができる。
【００５５】
マイコン４０９は、振動型アクチュエータ２００を第１乃至第３実施形態で説明した制御方法で駆動するための制御回路（図１参照）を構成するＭＰＵ３２としての機能を有する。振動型アクチュエータ２００は、マイコン４０９によって駆動制御され、振動型アクチュエータ２００の出力は、不図示のギア列を介してレンズ鏡筒４１０に配置されたズームレンズ（不図示）を光軸方向（Ｚ方向）に駆動する。ここで、例えば、動画撮影時にズーム動作を行ったときに、ズームレンズに急峻な速度変化が生じると、撮影動画は視聴者に違和感を与えるものとなってしまう。これに対して、第１乃至第３実施形態で説明した制御方法で振動型アクチュエータ２００を駆動してズームレンズを駆動することにより、速度変動を抑制したズームレンズの駆動が可能となり、撮影動画の品質を高めることができる。なお、振動型アクチュエータ２００は、フォーカスレンズ４０７の駆動にも用いることができる。この場合、スムーズな合焦動作を行うことができることで、所望の被写体にピントが合うまでの画像の変化が違和感のないものとすることができ、使用感を向上させることができる。
【００５６】
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。例えば、第３実施形態では、積分ゲインＫｉを補正してＡＢ位相差を制御することにより定速度制御を行う制御方法について説明したが、第２実施形態と同様に、ＰＩＤ制御量にオフセット値を加算することによってＡＢ位相差を制御してもよい。
【００５７】
また、本発明に係る振動型アクチュエータの制御方法は、上述した撮像装置に限らず、電子機器や機械装置において位置決めを必要とする各種の部材の駆動制御に用いることができる。例えば、本発明に係る振動型アクチュエータの制御方法は、画像形成装置の感光ドラム等の回転駆動や多関節ロボットにおけるアームの回転駆動に用いられる振動型アクチュエータの駆動制御等にも適用可能である。
【００５８】
本発明は、上述した実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。
【符号の説明】
【００５９】
３２    ＭＰＵ
３３ａ    第１のスイッチング回路
３３ｂ    第２のスイッチング回路
３５    位置検出センサ
３７    第１の差動増幅器
３８    第２の差動増幅器
３９    位相差検出回路
２００    振動型アクチュエータ
２０２    圧電素子
２２０    振動体
４００    デジタルカメラ
【図１】
2018133873.tif 000003
【図２】
2018133873.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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