(57)【要約】【課題】優れた耐衝撃性を有する物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】本発明の物理量センサーは、基部と、前記基部に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有している。また、前記素子部は、前記基部に固定されている固定電極部と、前記基部に対して変位可能な可動電極部と、を有している。また、前記固定電極部は、前記基部に接続されている固定部と、前記固定部に接続されている支持部と、前記支持部に接続されている固定電極指と、を有し、前記支持部の前記固定部との接続部は、前記固定部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしている。【選択図】図３
2018132493.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、
前記素子部は、
前記基部に固定されている固定電極部と、
前記基部に対して変位可能な可動電極部と、を有し、
前記固定電極部は、
前記基部に接続されている固定部と、
前記固定部に接続されている支持部と、
前記支持部に接続されている固定電極指と、を有し、
前記支持部の前記固定部との接続部は、前記固定部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
前記接続部の幅方向の両外縁のうちの少なくとも一方は、凹状に湾曲している請求項１に記載の物理量センサー。
【請求項３】
前記支持部は、
第１方向に延在し、前記固定電極指が接続されている第１延在部と、
前記第１方向と異なる第２方向に延在し、前記第１延在部と前記固定部とを接続する第２延在部と、を有し、
前記第２延在部の前記第１延在部との接続部は、前記第１延在部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしている請求項１または２に記載の物理量センサー。
【請求項４】
前記固定電極指の前記支持部との接続部は、前記支持部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項５】
前記固定電極指の前記支持部との接続部の前記幅方向の両外縁のうちの少なくとも一方は、凹状に湾曲している請求項４に記載の物理量センサー。
【請求項６】
前記固定電極指の前記支持部との接続部の幅の変化量は、前記支持部の前記固定部との接続部の幅の変化量よりも小さい請求項４または５に記載の物理量センサー。
【請求項７】
前記固定電極指の前記支持部との接続部は、前記支持部側に向けて幅が一定である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項８】
基部と、
前記基部に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、
前記素子部は、
前記基部に固定されている固定電極部と、
前記基部に対して変位可能な可動電極部と、を有し、
前記可動電極部は、
前記基部に接続されている固定部と、
前記固定部に接続されている支持部と、
前記支持部に対して変位可能な可動部と、
前記支持部と前記可動部とを接続する弾性部と、
前記可動部に設けられている可動電極指と、を有し、
前記支持部の前記固定部との接続部は、前記固定部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項９】
前記接続部の幅方向の両外縁のうちの少なくとも一方は、凹状に湾曲している請求項８に記載の物理量センサー。
【請求項１０】
前記可動電極指の前記可動部との接続部は、前記可動部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしている請求項８または９に記載の物理量センサー。
【請求項１１】
前記可動電極指の前記可動部との接続部の前記幅方向の両外縁のうちの少なくとも一方は、凹状に湾曲している請求項１０に記載の物理量センサー。
【請求項１２】
前記可動電極指の前記可動部との接続部の幅の変化量は、前記支持部の前記固定部との接続部の幅の変化量よりも小さい請求項１０または１１に記載の物理量センサー。
【請求項１３】
前記可動電極指の前記可動部との接続部は、前記可動部側に向けて幅が一定である請求項８または９に記載の物理量センサー。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする物理量センサーデバイス。
【請求項１５】
請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする電子機器。
【請求項１６】
請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の物理量センサーを有することを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、加速度（物理量）を検出することのできる加速度センサーとして、特許文献１に記載の構成が知られている。
【０００３】
特許文献１の加速度センサーは、基板と、基板に固定された固定電極部と、基板に対して変位可能な可動電極部と、を有している。また、固定電極部は、基板に固定された固定部（支持導通部）と、固定部に接続された支持部（電極支持部）と、支持部に接続された固定電極指（対向電極）と、を有している。また、可動電極部は、基板に固定された固定部（支持導通部）と、固定部に接続された支持部（支持腕部）と、支持部に対して変位可能な可動部（錘部）と、支持部と可動部とを接続する弾性部と、を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２３８９２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような特許文献１の加速度センサーでは、固定電極部において、固定部と支持部との接続部に、ほぼ直角な角部が形成されている。そのため、加速度センサーに落下等による衝撃が加わると、固定部と支持部との接続部に応力が集中し、当該部分が破損するおそれが高まる。同様に、可動電極部において、固定部と支持腕との接続部に、ほぼ直角な角部が形成されている。そのため、加速度センサーに落下等による衝撃が加わると、固定部と支持腕部との接続部に応力が集中し、当該部分が破損するおそれが高まる。このように、特許文献１の加速度センサーでは、耐衝撃性が低いという問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、優れた耐衝撃性を有する物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の発明として実現することが可能である。
【０００８】
本発明の物理量センサーは、基部と、
前記基部に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、
前記素子部は、
前記基部に固定されている固定電極部と、
前記基部に対して変位可能な可動電極部と、を有し、
前記固定電極部は、
前記基部に接続されている固定部と、
前記固定部に接続されている支持部と、
前記支持部に接続されている固定電極指と、を有し、
前記支持部の前記固定部との接続部は、前記固定部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしていることを特徴とする。
これにより、接続部への応力集中が緩和され、優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
【０００９】
本発明の物理量センサーでは、前記接続部の幅方向の両外縁のうちの少なくとも一方は、凹状に湾曲していることが好ましい。
これにより、接続部への応力集中がより効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
【００１０】
本発明の物理量センサーでは、前記支持部は、
第１方向に延在し、前記固定電極指が接続されている第１延在部と、
前記第１方向と異なる第２方向に延在し、前記第１延在部と前記固定部とを接続する第２延在部と、を有し、
前記第２延在部の前記第１延在部との接続部は、前記第１延在部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしていることが好ましい。
これにより、第２延在部の第１延在部との接続部への応力集中が緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
【００１１】
本発明の物理量センサーでは、前記固定電極指の前記支持部との接続部は、前記支持部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしていることが好ましい。
これにより、固定電極指の支持部との接続部への応力集中が効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
【００１２】
本発明の物理量センサーでは、前記固定電極指の前記支持部との接続部の前記幅方向の両外縁のうちの少なくとも一方は、凹状に湾曲していることが好ましい。
これにより、固定電極指の支持部との接続部への応力集中がより効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
【００１３】
本発明の物理量センサーでは、前記固定電極指の前記支持部との接続部の幅の変化量は、前記支持部の前記固定部との接続部の幅の変化量よりも小さいことが好ましい。
これにより、可動電極指と固定電極指とのギャップを小さくしつつ、可動電極指と固定電極指との対向面積を大きくすることができる。そのため、可動電極指と固定電極指との間の静電容量を大きくすることができ、物理量をより精度よく検出することができる。
【００１４】
本発明の物理量センサーでは、前記固定電極指の前記支持部との接続部は、前記支持部側に向けて幅が一定であることが好ましい。
これにより、可動電極指と固定電極指とのギャップを小さくしつつ、可動電極指と固定電極指との対向面積を大きくすることができる。そのため、可動電極指と固定電極指との間の静電容量を大きくすることができ、物理量をより精度よく検出することができる。
【００１５】
本発明の物理量センサーは、基部と、
前記基部に設けられ、物理量を検出する素子部と、を有し、
前記素子部は、
前記基部に固定されている固定電極部と、
前記基部に対して変位可能な可動電極部と、を有し、
前記可動電極部は、
前記基部に接続されている固定部と、
前記固定部に接続されている支持部と、
前記支持部に対して変位可能な可動部と、
前記支持部と前記可動部とを接続する弾性部と、
前記可動部に設けられている可動電極指と、を有し、
前記支持部の前記固定部との接続部は、前記固定部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしていることを特徴とする。
これにより、接続部への応力集中が緩和され、優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
【００１６】
本発明の物理量センサーでは、前記接続部の幅方向の両外縁のうちの少なくとも一方は、凹状に湾曲していることが好ましい。
これにより、接続部への応力集中がより効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
【００１７】
本発明の物理量センサーでは、前記可動電極指の前記可動部との接続部は、前記可動部側に向けて幅が漸増するテーパー状をなしていることが好ましい。
これにより、可動電極指の可動部との接続部への応力集中が効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
【００１８】
本発明の物理量センサーでは、前記可動電極指の前記可動部との接続部の前記幅方向の両外縁のうちの少なくとも一方は、凹状に湾曲していることが好ましい。
これにより、可動電極指の可動部との接続部への応力集中がより効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサーが得られる。
【００１９】
本発明の物理量センサーでは、前記可動電極指の前記可動部との接続部の幅の変化量は、前記支持部の前記固定部との接続部の幅の変化量よりも小さいことが好ましい。
これにより、可動電極指と固定電極指とのギャップを小さくしつつ、可動電極指と固定電極指との対向面積を大きくすることができる。そのため、可動電極指と固定電極指との間の静電容量を大きくすることができ、物理量をより精度よく検出することができる。
【００２０】
本発明の物理量センサーでは、前記可動電極指の前記可動部との接続部は、前記可動部側に向けて幅が一定であることが好ましい。
これにより、可動電極指と固定電極指とのギャップを小さくしつつ、可動電極指と固定電極指との対向面積を大きくすることができる。そのため、可動電極指と固定電極指との間の静電容量を大きくすることができ、物理量をより精度よく検出することができる。
【００２１】
本発明の物理量センサーデバイスは、本発明の物理量センサーを有することを特徴とする。
これにより、前述した物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する物理量センサーデバイスが得られる。
【００２２】
本発明の電子機器は、本発明の物理量センサーを有することを特徴とする。
これにより、前述した物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する電子機器が得られる。
【００２３】
本発明の移動体は、本発明の物理量センサーを有することを特徴とする。
これにより、前述した物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を有する移動体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】素子部の部分拡大平面図である。
【図４】素子部の変形例を示す部分拡大平面図である。
【図５】素子部が有する可動電極指と固定電極指を示す部分拡大平面図である。
【図６】素子部が有する可動電極指と固定電極指を示す部分拡大平面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る物理量センサーを示す部分拡大平面図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る物理量センサーを示す部分拡大平面図である。
【図１０】図９に示す物理量センサーの変形例を示す部分拡大平面図である。
【図１１】本発明の第５実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
【図１２】本発明の第６実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
【図１３】本発明の第７実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
【図１４】本発明の第８実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。
【図１５】本発明の第９実施形態に係る物理量センサーデバイスを示す断面図である。
【図１６】本発明の第１０実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【図１７】本発明の第１１実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【図１８】本発明の第１２実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【図１９】本発明の第１３実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２６】
＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
【００２７】
図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。図３は、素子部の部分拡大平面図である。図４は、素子部の変形例を示す部分拡大平面図である。図５および図６は、それぞれ、素子部が有する可動電極指と固定電極指を示す部分拡大平面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１中の紙面手前側および図２中の上側を「上」とも言い、図１中の紙面奥側および図２中の下側を「下」とも言う。また、各図に示すように、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とし、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」とも言う。また、各軸の矢印方向先端側を「プラス側」とも言い、反対側を「マイナス側」とも言う。
【００２８】
図１に示す物理量センサー１は、Ｘ軸方向の加速度Ａｘを検出することのできる加速度センサーである。このような物理量センサー１は、基板２（基部）と、基板２上に配置された素子部３と、素子部３を覆うように基板２に接合された蓋部８と、を有している。以下、これら各部について、順に詳細に説明する。
【００２９】
（基板）
図１に示すように、基板２は、矩形の平面視形状を有する板状をなしている。また、基板２は、上面側に開放する凹部２１を有している。また、Ｚ軸方向からの平面視で、凹部２１は、素子部３を内側に内包するように、素子部３よりも大きく形成されている。このような凹部２１は、素子部３と基板２との接触を防止（抑制）するための逃げ部として機能する。
【００３０】
また、図２に示すように、基板２は、凹部２１の底面に設けられた３つの突起状のマウント部２２、２３、２４を有している。そして、これらマウント部２２、２３、２４に素子部３が接合されている。これにより、素子部３を、凹部２１の底面と離間させた状態で基板２に固定することができる。
【００３１】
また、図１に示すように、基板２は、上面側に開放する溝部２５、２６、２７を有している。また、溝部２５、２６、２７の一端部は、それぞれ、蓋部８の外側に位置し、他端部は、それぞれ、凹部２１に接続されている。
【００３２】
このような基板２としては、例えば、アルカリ金属イオン（可動イオン）を含むガラス材料（例えば、パイレックスガラス（登録商標）のような硼珪酸ガラス）で構成されたガラス基板を用いることができる。これにより、例えば、蓋部８の構成材料によっては、基板２と蓋部８とを陽極接合により接合することができ、これらを強固に接合することができる。また、光透過性を有する基板２が得られるため、物理量センサー１の外側から、基板２を介して素子部３の状態（例えば、素子部３が凹部２１の底面に貼り付いてしまう現象である「スティッキング」の有無）を視認することができる。
【００３３】
ただし、基板２としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板やセラミックス基板を用いてもよい。なお、基板２としてシリコン基板を用いる場合は、短絡を防止する観点から、高抵抗のシリコン基板を用いるか、表面に熱酸化等によってシリコン酸化膜（絶縁性酸化物）を形成したシリコン基板を用いることが好ましい。
【００３４】
また、図１に示すように、溝部２５、２６、２７には配線７１、７２、７３が設けられている。また、配線７１、７２、７３の一端部は、それぞれ、蓋部８の外側に露出しており、外部装置との電気的な接続を行う電極パッドＰとして機能する。また、図２に示すように、配線７１の他端部は、凹部２１の底面を通ってマウント部２２まで引き回されており、マウント部２２上で素子部３と電気的に接続されている。また、配線７２の他端部は、凹部２１の底面を通ってマウント部２３まで引き回されており、マウント部２３上で素子部３と電気的に接続されている。また、配線７３の他端部は、凹部２１の底面を通ってマウント部２４まで引き回されており、マウント部２４上で素子部３と電気的に接続されている。
【００３５】
配線７１、７２、７３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、Ｔｉ（チタン）、タングステン（Ｗ）等の金属材料、これら金属材料を含む合金、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、ＺｎＯ（Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＧＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ、Ｇａｌｌｉｕｍ、Ｚｉｎｃ、Ｏｘｉｄｅから構成されるアモルファス半導体）等の酸化物系の透明導電性材料が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（例えば２層以上の積層体として）用いることができる。
【００３６】
（蓋部）
図１に示すように、蓋部８は、矩形の平面視形状を有する板状をなしている。また、図２に示すように、蓋部８は、下面側（基板２側）に開放する凹部８１を有している。このような蓋部８は、凹部８１内に素子部３を収納するようにして、基板２の上面に接合されている。そして、蓋部８および基板２によって、その内側に、素子部３を収納する収納空間Ｓが形成されている。
【００３７】
また、図２に示すように、蓋部８は、収納空間Ｓの内外を連通する連通孔８２を有している。この連通孔８２を介して、収納空間Ｓを所望の雰囲気に置換することができる。また、連通孔８２内には封止部材８３が配置され、封止部材８３によって連通孔８２が気密封止されている。
【００３８】
封止部材８３としては、連通孔８２を封止できれば、特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）／錫（Ｓｎ）系合金、金（Ａｕ）／ゲルマニウム（Ｇｅ）系合金、金（Ａｕ）／アルミニウム（Ａｌ）系合金等の各種合金、低融点ガラス等のガラス材料等を用いることができる。
【００３９】
収納空間Ｓは、気密空間である。また、収納空間Ｓは、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されて、使用温度（−４０℃〜８０℃程度）で、ほぼ大気圧となっていることが好ましい。収納空間Ｓを大気圧とすることで、粘性抵抗が増してダンピング効果が発揮され、素子部３（後述する可動部５３）の振動を速やかに収束させることができる。そのため、物理量センサー１の加速度Ａｘの検出精度が向上する。
【００４０】
このような蓋部８としては、例えば、シリコン基板を用いることができる。ただし、蓋部８としては、特に限定されず、例えば、ガラス基板やセラミックス基板を用いてもよい。また、基板２と蓋部８との接合方法としては、特に限定されず、基板２や蓋部８の材料によって適宜選択すればよいが、例えば、陽極接合、プラズマ照射によって活性化させた接合面同士を接合させる活性化接合、ガラスフリット等の接合材による接合、基板２の上面および蓋部８の下面に成膜した金属膜同士を接合する拡散接合等が挙げられる。
【００４１】
本実施形態では、図２に示すように、接合材の一例であるガラスフリット８９（低融点ガラス）を介して基板２と蓋部８とが接合されている。基板２と蓋部８とを重ね合わせた状態では、溝部２５、２６、２７を介して収納空間Ｓの内外が連通してしまうが、ガラスフリット８９を用いることで、基板２と蓋部８とを接合すると共に、溝部２５、２６、２７を封止することができる。そのため、より容易に、収納空間Ｓを気密封止することができる。なお、基板２と蓋部８とを陽極接合等（溝部２５、２６、２７を封止できない接合方法）で接合した場合には、例えば、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）を用いたＣＶＤ法等で形成されたＳｉＯ２膜によって溝部２５、２６、２７を塞ぐことができる。
【００４２】
（素子部）
図１に示すように、素子部３は、基板２に固定されている固定電極部４と、基板２に対して変位可能な可動電極部５と、を有している。また、固定電極部４は、第１固定電極部４１と、第２固定電極部４２と、を有している。
【００４３】
このような素子部３は、例えば、リン（Ｐ）、ボロン（Ｂ）等の不純物がドープされたシリコン基板をパターニングすることで形成することができる。また、素子部３は、陽極接合によって基板２（マウント部２２、２３、２４）に接合されている。ただし、素子部３の材料や、素子部３の基板２への接合方法は、特に限定されない。
【００４４】
可動電極部５は、マウント部２４に接合された接合部５１ａを有する固定部５１と、固定部５１に接続された支持部５２と、支持部５２に対してＸ軸方向に変位可能な可動部５３と、支持部５２と可動部５３とを接続するバネ部５４、５５（弾性部）と、可動部５３に設けられている可動電極指５６と、を有している。なお、これら固定部５１、支持部５２、可動部５３、バネ部５４、５５および可動電極指５６は、一体的に形成されている。
【００４５】
図１に示すように、固定部５１は、素子部３のほぼ中央部に位置している。そして、固定部５１は、マウント部２４と接合された接合部５１ａを有している。また、図２に示すように、固定部５１は、配線７３と電気的に接続されている。なお、以下では、Ｚ軸方向から見た平面視で、固定部５１をＹ軸方向に二等分する仮想軸を中心軸Ｌとする。
【００４６】
また、図１に示すように、支持部５２は、固定部５１を間に挟んでＸ軸方向に並んで一対設けられている。一方の支持部５２は、固定部５１からＸ軸方向プラス側に向けて延出しており、他方の支持部５２は、固定部５１からＸ軸方向マイナス側に向けて延出している。これら２つの支持部５２は、それぞれ、基板２から浮遊した状態で、固定部５１に支持されている。なお、各支持部５２は、Ｘ軸方向に延在する長手形状となっているが、各支持部５２の形状は、特に限定されない。
【００４７】
また、図１に示すように、可動部５３は、Ｚ軸方向から見た平面視で、枠状をなしており、固定部５１、支持部５２、バネ部５４、５５および固定電極部４を囲んでいる。このように、可動部５３を枠状とすることで、可動部５３の質量をより大きくすることができる。そのため、可動部５３が、受けた加速度に対して敏感に反応して可動するようになり、物理量センサー１の感度を向上させることができる。なお、可動部５３は、中心軸Ｌに対して対称的に形成されている。
【００４８】
可動部５３の形状について、具体的に説明すると、可動部５３は、内側に第１固定電極部４１が配置された開口部５３８と、内側に第２固定電極部４２が配置された開口部５３９と、を有している。また、可動部５３は、固定部５１、支持部５２、バネ部５４、５５および第１、第２固定電極部４１、４２を囲む枠部５３１と、開口部５３８のＸ軸方向プラス側に位置し、枠部５３１からＹ軸方向マイナス側へ延出する第１Ｙ軸延在部５３２ａと、第１Ｙ軸延在部５３２ａの先端部からＸ軸方向マイナス側へ延出する第１Ｘ軸延在部５３３ａと、開口部５３８のＸ軸方向マイナス側に位置し、枠部５３１からＹ軸方向マイナス側へ延出する第１Ｙ軸延在部５３２ｂと、第１Ｙ軸延在部５３２ｂの先端部からＸ軸方向プラス側へ延出する第１Ｘ軸延在部５３３ｂと、開口部５３９のＸ軸方向プラス側に位置し、枠部５３１からＹ軸方向プラス側へ延出する第２Ｙ軸延在部５３４ａと、第２Ｙ軸延在部５３４ａの先端部からＸ軸方向マイナス側へ延出する第２Ｘ軸延在部５３５ａと、開口部５３９のＸ軸方向マイナス側に位置し、枠部５３１からＹ軸方向プラス側へ延出する第２Ｙ軸延在部５３４ｂと、第２Ｙ軸延在部５３４ｂの先端部からＸ軸方向プラス側へ延出する第２Ｘ軸延在部５３５ｂと、を有している。
【００４９】
また、第１、第２Ｙ軸延在部５３２ａ、５３４ａは、それぞれ、バネ部５４の近くに設けられ、バネ部５４に沿って配置されており、第１、第２Ｙ軸延在部５３２ｂ、５３４ｂは、それぞれ、バネ部５５の近くに設けられ、バネ部５５に沿って配置されている。また、第１、第２Ｘ軸延在部５３３ａ、５３５ａは、それぞれ、一方（Ｘ軸方向プラス側）の支持部５２の近くに設けられ、その支持部５２に沿って配置されており、第１、第２Ｘ軸延在部５３３ｂ、５３５ｂは、それぞれ、他方（Ｘ軸方向マイナス側）の支持部５２の近くに設けられ、その支持部５２に沿って配置されている。
【００５０】
また、可動部５３は、開口部５３８の余ったスペースを埋めるように、枠部５３１から開口部５３８内へ突出する突出部５３６と、開口部５３９の余ったスペースを埋めるように、枠部５３１から開口部５３９内へ突出する突出部５３７と、を有している。このように、突出部５３６、５３７を設けることで、可動部５３の大型化を招くことなく、可動部５３の質量をより大きくすることができる。そのため、より感度が向上し、感度の高い物理量センサー１となる。
【００５１】
また、バネ部５４、５５は、弾性変形可能であり、バネ部５４、５５が弾性変形することで、可動部５３が支持部５２に対してＸ軸方向に変位する。図１に示すように、バネ部５４は、一方の支持部５２のＸ軸方向プラス側の端部と枠部５３１のＸ軸方向プラス側の端部とを接続し、バネ部５５は、他方の支持部５２のＸ軸方向マイナス側の端部と枠部５３１のＸ軸方向マイナス側の端部とを接続している。バネ部５４、５５をこのように配置すると、可動部５３をＸ軸方向の両側で支持することができ、可動部５３の姿勢および挙動が安定する。そのため、可動部５３の不要な振動（Ｘ軸方向以外への変位）を低減することができ、物理量センサー１は、より高い精度で、加速度Ａｘを検出することができる。
【００５２】
次に、固定電極部４について説明する。図１に示すように、固定電極部４は、開口部５３８内に位置する第１固定電極部４１と、開口部５３９内に位置する第２固定電極部４２と、を有している。これら第１、第２固定電極部４１、４２は、Ｙ軸方向に並んで配置されており、間に中心軸Ｌが位置するように配置されている。
【００５３】
図１に示すように、第１固定電極部４１は、基板２に接合された接合部４１１ａを有する固定部４１１と、固定部４１１に接続されている支持部４１２と、支持部４１２に接続された複数の固定電極指４１３と、を有している。なお、これら固定部４１１、支持部４１２および固定電極指４１３は、一体形成されている。
【００５４】
固定部４１１は、マウント部２２と接合された接合部４１１ａを有している。また、固定部４１１は、固定部５１とＹ軸方向に並んで位置しており、固定部５１の近くに設けられている。また、図２に示すように、固定部４１１は、配線７１と電気的に接続されている。
【００５５】
支持部４１２は、途中で２股に分岐したＴ字状をなしている。具体的には、支持部４１２は、Ｘ軸方向（第１方向）に延在する第１延在部４１２ａと、Ｙ軸方向（第１方向と異なる第２方向）に延在し、第１延在部４１２ａと固定部４１１とを接続する第２延在部４１２ｂと、を有している。
【００５６】
第１延在部４１２ａは、固定部４１１に対してＹ軸方向プラス側に位置し、Ｘ軸方向に延在する棒状をなしている。そして、第１延在部４１２ａに固定電極指４１３が接続されている。一方、第２延在部４１２ｂは、第１延在部４１２ａと固定部４１１との間に位置し、Ｙ軸方向に延在する棒状をなしている。そして、第２延在部４１２ｂの一端（Ｙ軸方向プラス側の端）が第１延在部４１２ａの延在方向中央部に接続されており、他端（Ｙ軸方向マイナス側の端）が固定部４１１に接続されている。
【００５７】
固定電極指４１３は、第１延在部４１２ａからＹ軸方向両側に延出している。すなわち、固定電極指４１３は、第１延在部４１２ａのＹ軸方向プラス側に位置する固定電極指４１３’と、Ｙ軸方向マイナス側に位置する固定電極指４１３”と、を有している。また、固定電極指４１３’、４１３”は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って互いに離間して複数設けられている。
【００５８】
第２固定電極部４２は、上述した第１固定電極部４１と同様に、基板２に接合された接合部４２１ａを有する固定部４２１と、固定部４２１に接続されている支持部４２２と、支持部４２２に接続された複数の固定電極指４２３と、を有している。なお、これら固定部４２１、支持部４２２および固定電極指４２３は、一体形成されている。
【００５９】
固定部４２１は、マウント部２３と接合された接合部４２１ａを有している。また、固定部４２１は、固定部５１のＹ軸方向マイナス側に並んで位置しており、固定部５１の近くに設けられている。また、図２に示すように、固定部４２１は、配線７２と電気的に接続されている。
【００６０】
支持部４２２は、途中で２股に分岐したＴ字状をなしている。具体的には、支持部４２２は、Ｘ軸方向に延在する第１延在部４２２ａと、Ｙ軸方向に延在し、第１延在部４２２ａと固定部４２１とを接続する第２延在部４２２ｂと、を有している。
【００６１】
第１延在部４２２ａは、固定部４２１に対してＹ軸方向マイナス側に位置し、Ｘ軸方向に延在する棒状をなしている。そして、第１延在部４２２ａに固定電極指４２３が接続されている。一方、第２延在部４２２ｂは、第１延在部４２２ａと固定部４２１との間に位置し、Ｙ軸方向に延在する棒状をなしている。そして、第２延在部４２２ｂの一端（Ｙ軸方向マイナス側の端）が第１延在部４２２ａの延在方向中央部に接続されており、他端（Ｙ軸方向プラス側の端）が固定部４２１に接続されている。
【００６２】
固定電極指４２３は、第１延在部４２２ａからＹ軸方向両側に延出している。すなわち、固定電極指４２３は、第１延在部４１２ａのＹ軸方向プラス側に位置する固定電極指４２３’と、Ｙ軸方向マイナス側に位置する固定電極指４２３”と、を有している。また、固定電極指４２３’、４２３”は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って互いに離間して複数設けられている。
【００６３】
以上、第１固定電極部４１および第２固定電極部４２について説明した。このような第１、第２固定電極部４１、４２の形状および配置は、中心軸Ｌに対して線対称である（ただし、固定電極指４１３、４２３がＸ軸方向にずれていることを除く）。
【００６４】
図１に示すように、可動電極指５６は、開口部５３８内に位置する可動電極指５６１と、開口部５３９内に位置する可動電極指５６２と、を有している。
【００６５】
また、可動電極指５６１は、支持部４１２のＹ軸方向両側に位置し、Ｙ軸方向に延在している。すなわち、可動電極指５６１は、支持部４１２のＹ軸方向プラス側に位置する可動電極指５６１’と、Ｙ軸方向マイナス側に位置する可動電極指５６１”と、を有している。また、可動電極指５６１’、５６１”は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って互いに離間して複数設けられている。また、可動電極指５６１’は、枠部５３１からＹ軸方向マイナス側に向けて延出し、可動電極指５６１”は、第１Ｘ軸延在部５３３ａ、５３３ｂからＹ軸方向プラス側に向けて延出している。
【００６６】
また、各可動電極指５６１は、対応する固定電極指４１３に対してＸ軸方向プラス側に位置し、この固定電極指４１３とギャップ（空隙）を介して対向している。
【００６７】
また、可動電極指５６２は、支持部４２２のＹ軸方向両側に位置し、Ｙ軸方向に延在している。すなわち、可動電極指５６２は、支持部４２２のＹ軸方向プラス側に位置する可動電極指５６２’と、Ｙ軸方向マイナス側に位置する可動電極指５６２”と、を有している。また、可動電極指５６２’、５６２”は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って互いに離間して複数設けられている。また、可動電極指５６２’は、第２Ｘ軸延在部５３５ａ、５３５ｂからＹ軸方向マイナス側に向けて延出し、可動電極指５６２”は、枠部５３１からＹ軸方向プラス側に向けて延出している。
【００６８】
また、各第２可動電極指５６２は、対応する固定電極指４２３に対してＸ軸方向マイナス側に位置し、この固定電極指４２３とギャップ（空隙）を介して対向している。
【００６９】
このような物理量センサー１に加速度Ａｘが加わると、その加速度Ａｘの大きさに基づいて、可動部５３がバネ部５４、５５を弾性変形させながらＸ軸方向に変位する。このような変位に伴って、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップおよび可動電極指５６２と固定電極指４２３とのギャップがそれぞれ変化し、この変位に伴って、可動電極指５６１と固定電極指４１３との間の静電容量および可動電極指５６２と固定電極指４２３との間の静電容量の大きさがそれぞれ変化する。そのため、これら静電容量の変化に基づいて加速度Ａｘを検出することができる。
【００７０】
ここで、上述したように、各可動電極指５６１は、対応する固定電極指４１３に対してＸ軸方向プラス側に位置し、逆に、各可動電極指５６２は、対応する固定電極指４２３に対してＸ軸方向マイナス側に位置している。すなわち、各可動電極指５６１は、対をなす固定電極指４１３に対してＸ軸方向の一方側に位置し、各可動電極指５６２は、対をなす固定電極指４２３に対してＸ軸方向の他方側に位置している。そのため、加速度Ａｘが加わると、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップが縮まり、可動電極指５６２と固定電極指４２３とのギャップが広がるか、または、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップが広がり、可動電極指５６２と固定電極指４２３とのギャップが縮まる。そのため、固定電極指４１３および可動電極指５６１の間から得られる第１検出信号と、固定電極指４２３および可動電極指５６２の間から得られる第２検出信号と、を差動演算することで、ノイズをキャンセルすることができ、より精度よく、加速度Ａｘを検出することができる。
【００７１】
以上、物理量センサー１の構成について簡単に説明した。このような物理量センサー１は、前述したように、支持部４１２からＹ軸方向両側に延出した複数の固定電極指４１３と、支持部４１２のＹ軸方向両側に位置し、固定電極指４１３とＸ軸方向に対向する複数の可動電極指５６１と、を有している。そのため、固定電極指４１３と可動電極指５６１との間に、十分に大きい静電容量を形成しつつ、各電極指４１３、５６１の長さを短くすることができる。同様に、物理量センサー１は、支持部４２２からＹ軸方向両側に延出した複数の固定電極指４２３と、支持部４２２のＹ軸方向両側に位置し、固定電極指４２３とＸ軸方向に対向する複数の可動電極指５６２と、を有している。そのため、固定電極指４２３と可動電極指５６２との間に、十分に大きい静電容量を形成しつつ、各電極指４１３、４２３、５６１、５６２の長さを短くすることができる。これにより、優れた検出精度を発揮することができると共に、電極指４１３、４２３、５６１、５６２の破損が抑制され、優れた耐衝撃性を発揮することのできる物理量センサー１となる。さらには、電極指４１３、４２３、５６１、５６２の破損が抑制されている分、電極指４１３、４２３、５６１、５６２の厚さを薄くすることができ、物理量センサー１の小型化や高感度化を図ることができる。
【００７２】
また、前述したように、固定部４１１、４２１は、それぞれ、固定部５１とＹ軸方向に並び、固定部５１の近くに配置されている。そのため、熱や残留応力等に起因して基板２に反りや撓みが生じた際の可動部５３と固定電極部４とのＺ軸方向のずれの差、具体的には、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのＺ軸方向のずれの差、可動電極指５６２と固定電極指４２３とのＺ軸方向のずれの差をより効果的に抑制することができる。
【００７３】
次に、素子部３についてさらに詳細に説明する。なお、以下では、製造上の問題、具体的には、例えば、シリコン基板をエッチングして素子部３を形成する際のマスクずれ、エッチング残り（残渣部）等については、考慮せずに説明する。
【００７４】
まず、固定電極部４について詳細に説明するが、第１固定電極部４１と第２固定電極部４２とは、互いに同様の構成であるため、以下では、第１固定電極部４１について代表して説明し、第２固定電極部４２については、その説明を省略する。
【００７５】
前述したように、第１固定電極部４１において、第２延在部４１２ｂは、固定部４１１からＹ軸方向プラス側に延出している。また、図３に示すように、第２延在部４１２ｂの幅Ｗ１（Ｚ軸方向から見た平面視で、第２延在部４１２ｂの延在方向に直交する方向の長さ。すなわち、Ｘ軸方向の長さ）は、固定部４１１の幅Ｗ２（幅Ｗ１の方向と同じ方向の長さ。すなわち、Ｘ軸方向の長さ）よりも小さい。すなわち、Ｗ１＜Ｗ２の関係を満たす。また、第２延在部４１２ｂは、固定部４１１の幅方向の中央部に接続されている。
【００７６】
そして、第２延在部４１２ｂの固定部４１１との接続部４１２Ａ（すなわち、第２延在部４１２ｂのＹ軸方向マイナス側の端部）は、固定部４１１側（Ｙ軸方向マイナス側）に向けて幅Ｗ１が漸増するテーパー状をなしている。そのため、次のような効果を発揮することができる。例えば、物理量センサー１に落下等による衝撃が加わると、基板２と接合されている固定部４１１から第１固定電極部４１へ応力が伝わる。そのため、従来のように、固定部４１１の第２延在部４１２ｂとの接続部が角になっていると、当該部分に応力が集中してしまい、第１固定電極部４１が破損し易くなる。これに対して、本実施形態では、接続部４１２Ａがテーパー状をなしており、角になっていないため、接続部４１２Ａへの応力集中が緩和される。そのため、優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１となる。ここで、本明細書において、「テーパー」とは、例えば、線形テーパー、指数関数テーパー、放物線テーパー等を含み、幅の増加率（テーパー角度）が長手方向（幅と直交する方向）に沿って増大する場合、一定の場合、減少する場合のいずれの場合も含む概念である。図示の接続部４１２Ａは、幅Ｗ１の増加率が固定部４１１に向かって増大するものである。
【００７７】
特に、本実施形態では、支持部４１２がＴ字状となっており、その先端側（Ｙ軸方向プラス側）の質量が大きい。そのため、接続部４１２Ａに応力が加わり易くなっている。そのため、接続部４１２Ａへの応力集中が緩和されることで、第１固定電極部４１の破損をより効果的に抑制することができる。
【００７８】
さらに、接続部４１２Ａの幅方向の両側に位置する外縁４１２Ａ’、４１２Ａ”が、それぞれ、凹状に湾曲している。これにより、固定部４１１と第２延在部４１２ｂとがより滑らかに接続され、接続部４１２Ａへの応力集中をより効果的に緩和することができる。特に、本実施形態では、外縁４１２Ａ’、４１２Ａ”がそれぞれ逆円弧状に湾曲している。これにより、固定部４１１と第２延在部４１２ｂとがさらに滑らかに接続され、接続部４１２Ａへの応力集中をさらに効果的に緩和することができる。そのため、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１となる。なお、本実施形態では、外縁４１２Ａ’、４１２Ａ”が共に凹状に湾曲しているが、これに限定されず、例えば、外縁４１２Ａ’、４１２Ａ”の一方だけが凹状に湾曲していてもよい。すなわち、接続部４１２Ａは、片テーパー状となっていてもよい。
【００７９】
また、例えば、図４に示すように、外縁４１２Ａ’、４１２Ａ”は、それぞれ、直線状に延びていてもよい（湾曲していなくてもよい）。すなわち、図４における接続部４１２Ａは、幅Ｗ１の増加率が一定（リニア）のテーパー状をなしている。このことは、後に説明する各接続部４１２Ｂ、４１３Ａ、５２Ａ、５６１Ａについても同様である。
【００８０】
また、第２延在部４１２ｂの第１延在部４１２ａとの接続部４１２Ｂ（すなわち、第２延在部４１２ｂのＹ軸方向プラス側の端部）は、第１延在部４１２ａ側（Ｙ軸方向プラス側）に向けて幅Ｗ１が漸増するテーパー状をなしている。そのため、接続部４１２Ａをテーパー状としたのと同様に、例えば、物理量センサー１に落下等による衝撃が加わった際の接続部４１２Ｂへの応力集中を緩和することができる。そのため、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１となる。
【００８１】
さらに、接続部４１２Ｂの幅方向の両側に位置する外縁４１２Ｂ’、４１２Ｂ”が、それぞれ、凹状に湾曲している。これにより、第１延在部４１２ａと第２延在部４１２ｂとがより滑らかに接続され、接続部４１２Ｂへの応力集中をより効果的に緩和することができる。特に、本実施形態では、外縁４１２Ｂ’、４１２Ｂ”がそれぞれ逆円弧状に湾曲している。これにより、第１延在部４１２ａと第２延在部４１２ｂとがさらに滑らかに接続され、接続部４１２Ｂへの応力集中をさらに効果的に緩和することができる。そのため、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１となる。なお、本実施形態では、外縁４１２Ｂ’、４１２Ｂ”が共に凹状に湾曲しているが、これに限定されず、例えば、外縁４１２Ｂ’、４１２Ｂ”の一方だけが凹状に湾曲していてもよい。すなわち、接続部４１２Ｂは、片テーパー状となっていてもよい。
【００８２】
このような接続部４１２Ｂは、接続部４１２Ａとほぼ同じ形状および大きさとなっている。
【００８３】
また、固定電極指４１３の支持部４１２との接続部４１３Ａ（すなわち、固定電極指４１３のＹ軸方向マイナス側の端部）は、支持部４１２側に向けて幅Ｗ４（Ｚ軸方向から見た平面視で、固定電極指４１３の延在方向に直交する方向の長さ。すなわち、Ｘ軸方向の長さ）が漸増するテーパー状をなしている。そのため、接続部４１２Ａ、４１２Ｂをテーパー状としたのと同様に、例えば、物理量センサー１に落下等による衝撃が加わった際の接続部４１３Ａへの応力集中を緩和することができる。そのため、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１となる。
【００８４】
さらに、接続部４１３Ａの幅方向の両側に位置する外縁４１３Ａ’、４１３Ａ”が、それぞれ、凹状に湾曲している。これにより、固定電極指４１３と支持部４１２とがより滑らかに接続され、接続部４１３Ａへの応力集中をより効果的に緩和することができる。特に、本実施形態では、外縁４１２Ａ’、４１２Ａ”がそれぞれ逆円弧状に湾曲している。これにより、固定電極指４１３と支持部４１２とがさらに滑らかに接続され、接続部４１３Ａへの応力集中をさらに効果的に緩和することができる。そのため、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１となる。なお、本実施形態では、外縁４１３Ａ’、４１３Ａ”が共に凹状に湾曲しているが、これに限定されず、例えば、外縁４１３Ａ’、４１３Ａ”の一方だけが凹状に湾曲していてもよい。すなわち、接続部４１３Ａは、片テーパー状となっていてもよい。
【００８５】
また、接続部４１３Ａの幅Ｗ４の変化量ΔＷ４（接続部４１３Ａの最小幅Ｗ４’と最大幅Ｗ４”の差）は、接続部４１２Ａの幅Ｗ１の変化量ΔＷ１（接続部４１２Ａの最小幅Ｗ１’と最大幅Ｗ１”の差）よりも小さい。すなわち、ΔＷ４＜ΔＷ１の関係を満足している。また、接続部４１３Ａの長さは、接続部４１２Ａの長さよりも短い。特に、本実施形態では、接続部４１３Ａの両外縁４１３Ａ’、４１３Ａ”および接続部４１２Ａの両外縁４１２Ａ’、４１２Ａ”がそれぞれ逆円弧状であるため、各外縁４１３Ａ’、４１３Ａ”の曲率半径が、各外縁４１２Ａ’、４１２Ａ”の曲率半径よりも小さい、とも言える。これにより、次のような効果を発揮することができる。
【００８６】
前述したように、物理量センサー１は、可動電極指５６１と固定電極指４１３との間の静電容量の変化に基づいて加速度Ａｘを検出するように構成されている。このような検出方法において、より精度よく加速度Ａｘを検出するためには、可動電極指５６１と固定電極指４１３との間の静電容量を大きくすることが有効である。そして、静電容量を大きくするには、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップを小さくすること、可動電極指５６１と固定電極指４１３との対向面積を大きくすることが、有効である。
【００８７】
この点に鑑みて、接続部４１３Ａの幅Ｗ４の変化量ΔＷ４が大き過ぎると、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップを小さくしつつ、可動電極指５６１と固定電極指４１３との対向面積を大きくすることが困難となる。すなわち、図５に示すように、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップを小さくした場合、可動電極指５６１が接続部４１３Ａにぶつかってしまうのを避けるために、可動電極指５６１を短くしなければならず、可動電極指５６１と固定電極指４１３との対向面積を大きくすることが困難となる。反対に、図６に示すように、可動電極指５６１を長くして可動電極指５６１と固定電極指４１３との対向面積を大きくした場合、可動電極指５６１が接続部４１３Ａにぶつかってしまうのを避けるために、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップを大きくしなければならない。そのため、本実施形態では、ΔＷ４＜ΔＷ１の関係を満足するように設計されており、これにより、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップを小さくしつつ、可動電極指５６１と固定電極指４１３との対向面積を大きくすることを容易としている。
【００８８】
次に、可動電極部５について詳細に説明する。前述したように、可動電極部５において、支持部５２は、固定部５１からＸ軸方向両側に延出している。また、図３に示すように、支持部５２の幅Ｗ５（Ｚ軸方向から見た平面視で、支持部５２の延在方向に直交する方向の長さ。すなわち、Ｙ軸方向の長さ）は、固定部５１の幅Ｗ６（幅Ｗ５の方向と同じ方向の長さ。すなわち、Ｙ軸方向の長さ）よりも小さい。すなわち、Ｗ５＜Ｗ６の関係を満たす。また、支持部５２は、固定部５１の幅方向の中央部に接続されている。
【００８９】
そして、支持部５２の固定部５１との接続部５２Ａ（すなわち、支持部５２の固定部５１側の端部）は、固定部５１側に向けて幅Ｗ５が漸増するテーパー状をなしている。そのため、接続部４１２Ａをテーパー状としたのと同様に、例えば、物理量センサー１に落下等による衝撃が加わった際の接続部５２Ａへの応力集中を緩和することができる。そのため、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１となる。
【００９０】
特に、本実施形態では、支持部５２がその先端部（固定部５１と反対側の端部）で可動部５３を支持している。そのため、支持部５２の先端側の質量が大きく、接続部５２Ａに応力が加わり易い形状となっている。そのため、接続部５２Ａへの応力集中が緩和されることで、可動電極部５の破損をより効果的に抑制することができる。
【００９１】
さらに、接続部５２Ａの幅方向の両側に位置する外縁５２Ａ’、５２Ａ”が、それぞれ、凹状に湾曲している。これにより、固定部５１と支持部５２とがより滑らかに接続され、接続部５２Ａへの応力集中をより効果的に緩和することができる。特に、本実施形態では、外縁５２Ａ’、５２Ａ”がそれぞれ逆円弧状に湾曲している。これにより、固定部５１と支持部５２とがさらに滑らかに接続され、接続部５２Ａへの応力集中をさらに効果的に緩和することができる。そのため、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１となる。なお、本実施形態では、外縁５２Ａ’、５２Ａ”が共に凹状に湾曲しているが、これに限定されず、例えば、外縁５２Ａ’、５２Ａ”の一方だけが凹状に湾曲していてもよい。すなわち、接続部５２Ａは、片テーパー状となっていてもよい。
【００９２】
また、可動電極指５６１の可動部５３との接続部５６１Ａ（すなわち、可動電極指５６１の固定端側の端部）は、可動部５３側に向けて幅Ｗ７（Ｚ軸方向から見た平面視で、可動電極指５６１の延在方向に直交する方向の長さ。すなわち、Ｘ軸方向の長さ）が漸増するテーパー状をなしている。そのため、接続部４１３Ａをテーパー状としたのと同様に、例えば、物理量センサー１に落下等による衝撃が加わった際の接続部５６１Ａへの応力集中を緩和することができる。そのため、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１となる。
【００９３】
さらに、接続部５６１Ａの幅方向の両側に位置する外縁５６１Ａ’、５６１Ａ”が、それぞれ、凹状に湾曲している。これにより、可動電極指５６１と可動部５３とがより滑らかに接続され、接続部５６１Ａへの応力集中をより効果的に緩和することができる。特に、本実施形態では、外縁５６１Ａ’、５６１Ａ”がそれぞれ逆円弧状に湾曲している。これにより、可動電極指５６１と可動部５３とがさらに滑らかに接続され、接続部５６１Ａへの応力集中をさらに効果的に緩和することができる。そのため、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１となる。なお、本実施形態では、外縁５６１Ａ’、５６１Ａ”が共に凹状に湾曲しているが、これに限定されず、例えば、外縁５６１Ａ’、５６１Ａ”の一方だけが凹状に湾曲していてもよい。すなわち、接続部５６１Ａは、片テーパー状となっていてもよい。
【００９４】
また、接続部５６１Ａの幅Ｗ７の変化量ΔＷ７（接続部５６１Ａの最小幅Ｗ７’と最大幅Ｗ７”の差）は、接続部５２Ａの幅Ｗ５の変化量ΔＷ５（接続部５２Ａの最小幅Ｗ５’と最大幅Ｗ５”の差）よりも小さい。すなわち、ΔＷ７＜ΔＷ５の関係を満足している。また、接続部５６１Ａの長さは、接続部５２Ａの長さよりも短い。特に、本実施形態では、接続部５６１Ａの両外縁５６１Ａ’、５６１Ａ”および接続部５２Ａの両外縁５２Ａ’、５２Ａ”がそれぞれ逆円弧状であるため、各外縁５６１Ａ’、５６１Ａ”の曲率半径が、各外縁５２Ａ’、５２Ａ”の曲率半径よりも小さい、とも言える。これにより、前述したΔＷ４＜ΔＷ１の関係を満足するのと同じ効果を発揮することができる（図５および図６参照）。すなわち、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップを小さくしつつ、可動電極指５６１と固定電極指４１３との対向面積を大きくすることができ、より精度よく加速度Ａｘを検出することができる。
【００９５】
なお、可動電極指５６２の可動部５３との接続部５６２Ａの構成については、前述した接続部５６１Ａの構成と同様であるため、その説明を省略する。
【００９６】
以上、物理量センサー１について説明した。このような物理量センサー１は、前述したように、基部としての基板２と、基板２に設けられ、物理量としての加速度Ａｘを検出する素子部３と、を有している。また、素子部３は、基板２に固定されている固定電極部４と、基板２に対して変位可能な可動電極部５と、を有している。また、固定電極部４は、基板２に接続されている固定部４１１と、固定部４１１に接続されている支持部４１２と、支持部４１２に接続されている固定電極指４１３と、を有している。そして、支持部４１２の固定部４１１との接続部４１２Ａは、固定部４１１側に向けて幅Ｗ１が漸増するテーパー状をなしている。これにより、前述した理由から、接続部４１２Ａへの応力集中が緩和され、優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１が得られる。
【００９７】
また、前述したように、接続部４１２Ａの幅方向の両外縁４１２Ａ’、４１２Ａ”のうちの少なくとも一方（本実施形態は両方）は、凹状に湾曲している。これにより、接続部４１２Ａへの応力集中がより効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１が得られる。
【００９８】
また、前述したように、支持部４１２は、Ｘ軸方向（第１方向）に延在し、固定電極指４１３が接続されている第１延在部４１２ａと、Ｘ軸方向と異なるＹ軸方向（第２方向）に延在し、第１延在部４１２ａと固定部４１１とを接続する第２延在部４１２ｂと、を有している。また、第２延在部４１２ｂの第１延在部４１２ａとの接続部４１２Ｂは、第１延在部４１２ａ側に向けて幅Ｗ１が漸増するテーパー状をなしている。これにより、接続部４１２Ｂへの応力集中が緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１が得られる。
【００９９】
また、前述したように、固定電極指４１３の支持部４１２との接続部４１３Ａは、支持部４１２側に向けて幅Ｗ４が漸増するテーパー状をなしている。これにより、接続部４１３Ａへの応力集中が効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１が得られる。
【０１００】
また、前述したように、固定電極指４１３の支持部４１２との接続部４１２Ａの幅方向の両外縁４１３Ａ’、４１３Ａ”のうちの少なくとも一方（本実施形態では両方）は、凹状に湾曲している。これにより、接続部４１３Ａへの応力集中がより効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１が得られる。
【０１０１】
また、前述したように、固定電極指４１３の支持部４１２との接続部４１３Ａの幅Ｗ４の変化量ΔＷ４は、支持部４１２の固定部４１１との接続部４１２Ａの幅Ｗ１の変化量ΔＷ１よりも小さい。これにより、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップを小さくしつつ、可動電極指５６１と固定電極指４１３との対向面積を大きくすることができる。そのため、可動電極指５６１と固定電極指４１３との間の静電容量を大きくすることができ、加速度Ａｘをより精度よく検出することができる。
【０１０２】
また、物理量センサー１は、基部としての基板２と、基板２に設けられ、物理量としての加速度Ａｘを検出する素子部３と、を有している。また、素子部３は、基板２に固定されている固定電極部４と、基板２に対して変位可能な可動電極部５と、を有している。また、可動電極部５は、基板２に接続されている固定部５１と、固定部５１に接続されている支持部５２と、支持部５２に対して変位可能な可動部５３と、支持部５２と可動部５３とを接続する弾性部としてのバネ部５４、５５と、可動部５３に設けられている可動電極指５６１と、を有している。そして、支持部５２の固定部５１との接続部５２Ａは、固定部５１側に向けて幅Ｗ５が漸増するテーパー状をなしている。これにより、前述した理由から、接続部５２Ａへの応力集中が緩和され、優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１が得られる。
【０１０３】
また、前述したように、接続部５２Ａの幅方向の両外縁５２Ａ’、５２Ａ”のうちの少なくとも一方（本実施形態では両方）は、凹状に湾曲している。これにより、接続部５２Ａへの応力集中がより効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１が得られる。
【０１０４】
また、前述したように、可動電極指５６１の可動部５３との接続部５６１Ａは、可動部５３側に向けて幅Ｗ７が漸増するテーパー状をなしている。これにより、接続部５６１Ａへの応力集中が効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１が得られる。
【０１０５】
また、前述したように、可動電極指５６１の可動部５３との接続部５６１Ａの幅方向の両外縁５６１Ａ’、５６１Ａ”のうちの少なくとも一方（本実施形態では両方）は、凹状に湾曲している。これにより、接続部５６１Ａへの応力集中がより効果的に緩和され、より優れた耐衝撃性を有する物理量センサー１が得られる。
【０１０６】
また、前述したように、可動電極指５６１の可動部５３との接続部５６１Ａの幅Ｗ７の変化量ΔＷ７は、支持部５２の固定部５１との接続部５２Ａの幅Ｗ５の変化量ΔＷ５よりも小さい。これにより、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップを小さくしつつ、可動電極指５６１と固定電極指４１３との対向面積を大きくすることができる。そのため、可動電極指５６１と固定電極指４１３との間の静電容量を大きくすることができ、加速度Ａｘをより精度よく検出することができる。
【０１０７】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
【０１０８】
図７は、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図７では、基板および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
【０１０９】
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の物理量センサー１と同様である。
【０１１０】
なお、以下の説明では、第２実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図７では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１１１】
図７に示すように、本実施形態の物理量センサー１では、第１固定電極部４１において、第１延在部４１２ａが第２延在部４１２ｂの先端部からＸ軸方向プラス側（Ｘ軸方向片側）に延出している。そして、第２延在部４１２ｂの第１延在部４１２ａとの接続部４１２Ｂは、Ｘ軸方向プラス側にのみ幅Ｗ１が漸増する片テーパー状となっている。また、第２延在部４１２ｂは、Ｘ軸方向マイナス側に偏って固定部４１１に接続されている。そして、第２延在部４１２ｂの固定部４１１との接続部４１２Ａは、Ｘ軸方向プラス側にのみ幅Ｗ１が漸増する片テーパー状となっている。以上、第１固定電極部４１について説明したが、第２固定電極部４２についても同様の構成となっている。
【０１１２】
また、可動電極部５では、前述した第１実施形態の構成から、固定部５１のＸ軸方向マイナス側に位置する支持部５２が省略されており、固定部５１と可動部５３とがバネ部５５を介して接続されている。
【０１１３】
このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。さらには、前述した第１実施形態と比較して、物理量センサー１の小型化を図ることができる。
【０１１４】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
【０１１５】
図８は、本発明の第３実施形態に係る物理量センサーを示す部分拡大平面図である。なお、説明の便宜上、図８では、基板および蓋部の図示を省略し、さらに、素子部の一部のみを図示している。
【０１１６】
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の物理量センサー１と同様である。
【０１１７】
なお、以下の説明では、第２実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図８では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１１８】
図８に示すように、本実施形態の物理量センサー１では、固定電極指４１３の接続部４１３Ａは、支持部４１２側に向けて幅Ｗ４が一定である。同様に、可動電極指５６１の接続部５６１Ａは、可動部５３側に向けて幅Ｗ７が一定である。これにより、対応する可動電極指５６１との干渉が抑制される（図５および図６参照）。そのため、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップを小さくしつつ、可動電極指５６１と固定電極指４１３との対向面積を大きくすることができる。そのため、可動電極指５６１と固定電極指４１３との間の静電容量を大きくすることができ、加速度Ａｘをより精度よく検出することができる。
【０１１９】
以上、固定電極指４１３および可動電極指５６１について説明したが、固定電極指４２３および可動電極指５６２についても同様の構成となっている。
【０１２０】
このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１２１】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
【０１２２】
図９は、本発明の第４実施形態に係る物理量センサーを示す部分拡大平面図である。図１０は、図９に示す物理量センサーの変形例を示す部分拡大平面図である。なお、説明の便宜上、図９では、基板および蓋部の図示を省略し、さらに、素子部の一部のみを図示している。
【０１２３】
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の物理量センサー１と同様である。
【０１２４】
なお、以下の説明では、第４実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図９では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１２５】
図９に示すように、本実施形態の物理量センサー１では、固定電極指４１３の接続部４１３Ａは、Ｘ軸方向マイナス側（対応する可動電極指５６１と反対側）にのみ幅Ｗ４が漸増する片テーパー状となっている。これに対して、可動電極指５６１の接続部５６１Ａは、Ｘ軸方向プラス側（対応する固定電極指４１３と反対側）にのみ幅Ｗ７が漸増する片テーパー状となっている。
【０１２６】
このような構成とすることで、各接続部４１３Ａ、５６１Ａへの応力集中を緩和することができる。さらに、可動電極指５６１と固定電極指４１３とのギャップを小さくしつつ、可動電極指５６１と固定電極指４１３との対向面積を大きくすることができる。そのため、可動電極指５６１と固定電極指４１３との間の静電容量を大きくすることができ、加速度Ａｘをより精度よく検出することができる。
【０１２７】
以上、固定電極指４１３および可動電極指５６１について説明したが、固定電極指４２３および可動電極指５６２についても同様の構成となっている。
【０１２８】
このような第４実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。なお、本実施形態では、接続部４１３Ａが片テーパー状となっているが、例えば、図１０に示すような構成であってもよい。すなわち、接続部４１３Ａは、両テーパー状であるが、Ｘ軸方向プラス側（対応する可動電極指５６１側）が、Ｘ軸方向マイナス側（対応する可動電極指５６１と反対側）よりも幅の変化量が小さい構成であってもよい。他の接続部５６１Ａについても同様である。
【０１２９】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
【０１３０】
図１１は、本発明の第５実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１１では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
【０１３１】
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第２実施形態の物理量センサー１と同様である。
【０１３２】
なお、以下の説明では、第５実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１１では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１３３】
図１１に示すように、本実施形態の物理量センサー１では、第１固定電極部４１は、固定部４１１からＸ軸方向両側に向けて延出する一対の支持部４１２を有している。そして、各支持部４１２に、複数の固定電極指４１３が設けられている。同様に、第２固定電極部４２は、固定部４２１からＸ軸方向両側に向けて延出する一対の支持部４２２を有している。そして、各支持部４２２に、複数の固定電極指４２３が設けられている。
【０１３４】
このような第５実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１３５】
＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
【０１３６】
図１２は、本発明の第６実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１２では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
【０１３７】
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第５実施形態の物理量センサー１と同様である。
【０１３８】
なお、以下の説明では、第６実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１２では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１３９】
図１２に示すように、本実施形態の物理量センサー１では、第１固定電極部４１および第２固定電極部４２が、Ｘ軸方向に並んで設けられている。また、第１固定電極部４１は、固定部４１１と、固定部４１１からＸ軸方向プラス側に延出する支持部４１２と、支持部４１２からＹ軸方向両側に延出する固定電極指４１３と、を有している。また、第２固定電極部４２は、固定部４２１と、固定部４２１からＸ軸方向マイナス側に延出する支持部４２２と、支持部４２２からＹ軸方向両側に延出する固定電極指４２３と、を有している。そして、支持部４１２の固定部４１１との接続部４１２Ａおよび支持部４２２の固定部４２１との接続部４２２Ａがそれぞれテーパー状となっている。
【０１４０】
また、可動電極部５は、一対の固定部５１と、各固定部５１に接続された一対の支持部５２と、各支持部５２に対して変位可能な可動部５３と、一方の支持部５２と可動部５３とを接続する一対のバネ部５４と、他方の支持部５２と可動部５３とを接続する一対のバネ部５５と、可動部５３に設けられた可動電極指５６と、を有している。
【０１４１】
一対の固定部５１は、Ｙ軸方向に並んで配置され、これらの間に固定部４１１、４２１が位置している。これにより、４つの固定部４１１、４２１、５１、５１を近くに配置することができる。
【０１４２】
また、Ｙ軸方向プラス側に位置する固定部４１１に接続された支持部５２は、固定部４１１からＹ軸方向プラス側に延出する第１延在部５２１と、第１延在部５２１の先端部（Ｙ軸方向プラス側の端部）からＸ軸方向両側に延出する第２延在部５２２と、を有している。そして、第２延在部５２２の両端部において、一対のバネ部５４を介して、可動部５３と接続されている。このような支持部５２では、第１延在部５２１の固定部５１との接続部５２Ａおよび第１延在部５２１の第２延在部５２２との接続部５２Ｂ、すなわち、第１延在部５２１の両端部がテーパー状となっている。これにより、上述した第１実施形態での説明と同様に、接続部５２Ａ、５２Ｂへの応力集中が緩和される。なお、接続部５２Ａ、５２Ｂの構成としては、特に限定されないが、例えば、前述した接続部４１２Ａ、４１２Ｂと同様の構成とすることができる。
【０１４３】
また、Ｙ軸方向マイナス側に位置する固定部４１１に接続された支持部５２は、固定部４１１からＹ軸方向マイナス側に延出する第１延在部５２１と、第１延在部５２１の先端部（Ｙ軸方向プラス側の端部）からＸ軸方向両側に延出する第２延在部５２２と、を有している。そして、第２延在部５２２の両端部において、一対のバネ部５５を介して、可動部５３と接続されている。このような支持部５２では、第１延在部５２１の固定部５１との接続部５２Ａおよび第１延在部５２１の第２延在部５２２との接続部５２Ｂ、すなわち、第１延在部５２１の両端部がテーパー状となっている。これにより、上述した第１実施形態での説明と同様に、接続部５２Ａ、５２Ｂへの応力集中が緩和される。なお、接続部５２Ａ、５２Ｂの構成としては、特に限定されないが、例えば、前述した接続部４１２Ａ、４１２Ｂと同様の構成とすることができる。
【０１４４】
このような第６実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１４５】
＜第７実施形態＞
次に、本発明の第７実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
【０１４６】
図１３は、本発明の第７実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１３では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
【０１４７】
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第５実施形態の物理量センサー１と同様である。
【０１４８】
なお、以下の説明では、第７実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１３では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１４９】
図１３に示すように、本実施形態の物理量センサー１では、第１固定電極部４１は、固定部４１１と、固定部４１１からＸ軸方向両側に延出する一対の支持部４１２と、各支持部４１２からＹ軸方向プラス側（中心軸Ｌと反対側）に延出する固定電極指４１３と、を有している。また、各支持部４１２は、固定部４１１に対してＹ軸方向マイナス側（中心軸Ｌ側）に偏って配置されている。そして、各支持部４１２の固定部４１１との接続部４１２Ａは、Ｙ軸方向プラス側にのみ幅Ｗ１が漸増する片テーパー状となっている。これにより、接続部４１２Ａへの応力集中を緩和することができる。
【０１５０】
また、第２固定電極部４２は、固定部４２１と、固定部４２１からＸ軸方向両側に延出する一対の支持部４２２と、各支持部４２２からＹ軸方向マイナス側（中心軸Ｌと反対側）に延出する固定電極指４２３と、を有している。また、各支持部４２２は、固定部４２１に対してＹ軸方向プラス側（中心軸Ｌ側）に偏って配置されている。そして、各支持部４２２の固定部４２１との接続部４２２Ａは、Ｙ軸方向マイナス側にのみ幅Ｗ１が漸増する片テーパー状となっている。これにより、接続部４２２Ａへの応力集中を緩和することができる。
【０１５１】
また、可動電極部５は、前述した第１実施形態の構成から支持部５２が省略されており、固定部５１と、固定部５１に対して変位可能な可動部５３と、固定部５１と可動部５３とを接続する一対のバネ部５４、５５と、可動部５３に設けられた可動電極指５６と、を有している。
【０１５２】
固定部５１は、可動部５３の外側に位置しており、Ｘ軸方向に離間して一対設けられている。そして、これら一対の固定部５１の間に可動部５３が位置している。また、可動部５３のＸ軸方向プラス側において、一方の固定部５１と可動部５３とがバネ部５４を介して接続されており、Ｘ軸方向マイナス側において、他方の固定部５１と可動部５３とがバネ部５５を介して接続されている。
【０１５３】
このような第７実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。なお、本実施形態では、固定部５１が一対設けられているが、これら一対の固定部５１は、例えば、可動部５３を囲む枠状とすることで一体化してもよい。
【０１５４】
＜第８実施形態＞
次に、本発明の第８実施形態に係る物理量センサーについて説明する。
【０１５５】
図１４は、本発明の第８実施形態に係る物理量センサーを示す平面図である。なお、説明の便宜上、図１４では、基部および蓋部の図示を省略し、素子部のみを図示している。
【０１５６】
本実施形態に係る物理量センサー１は、主に、素子部３の構成が異なること以外は、前述した第５実施形態の物理量センサー１と同様である。
【０１５７】
なお、以下の説明では、第８実施形態の物理量センサー１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図１４では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【０１５８】
図１４に示すように、本実施形態の物理量センサー１では、第１固定電極部４１は、固定部４１１と、固定部４１１からＸ軸方向両側に延出する一対の支持部４１２と、各支持部４１２からＹ軸方向プラス側（中心軸Ｌと反対側）に延出する固定電極指４１３と、を有している。また、各支持部４１２は、固定部４１１に対してＹ軸方向プラス側（中心軸Ｌと反対側）に偏って配置されている。そして、各支持部４１２の固定部４１１との接続部４１２Ａは、Ｙ軸方向マイナス側にのみ幅Ｗ１が漸増する片テーパー状となっている。これにより、接続部４１２Ａへの応力集中を緩和することができる。
【０１５９】
また、第２固定電極部４２は、固定部４２１と、固定部４２１からＸ軸方向両側に延出する一対の支持部４２２と、各支持部４２２からＹ軸方向マイナス側（中心軸Ｌと反対側）に延出する固定電極指４２３と、を有している。また、各支持部４２２は、固定部４２１に対してＹ軸方向マイナス側（中心軸Ｌと反対側）に偏って配置されている。そして、各支持部４２２の固定部４２１との接続部４２２Ａは、Ｙ軸方向プラス側にのみ幅Ｗ１が漸増する片テーパー状となっている。これにより、接続部４２２Ａへの応力集中を緩和することができる。
【０１６０】
また、可動電極部５では、固定部５１が一対設けられている。一対の固定部５１は、素子部３の中央部に位置し、Ｘ軸方向に並んで配置されている。また、一対の固定部５１は、間に固定部４１１、４２１を挟むように位置している。そのため、４つの固定部４１１、４２１、５１、５１を近くに配置することができる。
【０１６１】
また、Ｘ軸方向プラス側に位置する固定部５１からは、Ｘ軸方向プラス側に支持部５２が延出しており、Ｘ軸方向マイナス側に位置する固定部５１からは、Ｘ軸方向マイナス側に支持部５２が延出している。
【０１６２】
また、Ｘ軸方向プラス側に位置する支持部５２の先端部と可動部５３とがバネ部５４を介して接続されており、Ｘ軸方向マイナス側に位置する支持部５２の先端部と可動部５３とがバネ部５５を介して接続されている。
【０１６３】
このような第８実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１６４】
＜第９実施形態＞
次に、本発明の第９実施形態に係る物理量センサーデバイスについて説明する。
【０１６５】
図１５は、本発明の第９実施形態に係る物理量センサーデバイスを示す断面図である。
図１５に示すように、物理量センサーデバイス１０００は、ベース基板１０１０と、ベース基板１０１０上に設けられた物理量センサー１と、物理量センサー１上に設けられた回路素子１０２０（ＩＣ）と、物理量センサー１と回路素子１０２０とを電気的に接続するボンディングワイヤーＢＷ１と、ベース基板１０１０と回路素子１０２０とを電気的に接続するボンディングワイヤーＢＷ２と、物理量センサー１および回路素子１０２０をモールドするモールド部１０３０と、を有している。ここで、物理量センサー１としては、例えば、前述した第１〜第８実施形態のいずれかを用いることができる。
【０１６６】
ベース基板１０１０は、物理量センサー１を支持する基板であり、例えば、インターポーザー基板である。このようなベース基板１０１０の上面には複数の接続端子１０１１が配置されており、下面には複数の実装端子１０１２が配置されている。また、ベース基板１０１０内には、図示しない内部配線が配置されており、この内部配線を介して、各接続端子１０１１が、対応する実装端子１０１２と電気的に接続されている。このようなベース基板１０１０としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板、セラミック基板、樹脂基板、ガラス基板、ガラスエポキシ基板等を用いることができる。
【０１６７】
また、物理量センサー１は、基板２を下側（ベース基板１０１０側）に向けてベース基板１０１０上に配置されている。そして、物理量センサー１は、接合部材を介してベース基板１０１０に接合されている。
【０１６８】
また、回路素子１０２０は、物理量センサー１上に配置されている。そして、回路素子１０２０は、接合部材を介して物理量センサー１の蓋部８に接合されている。また、回路素子１０２０は、ボンディングワイヤーＢＷ１を介して物理量センサー１の各電極パッドＰと電気的に接続され、ボンディングワイヤーＢＷ２を介してベース基板１０１０の接続端子１０１１と電気的に接続されている。このような回路素子１０２０には、物理量センサー１を駆動する駆動回路や、物理量センサー１からの出力信号に基づいて加速度を検出する検出回路や、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等が、必要に応じて含まれている。
【０１６９】
また、モールド部１０３０は、物理量センサー１および回路素子１０２０をモールドしている。これにより、物理量センサー１や回路素子１０２０を水分、埃、衝撃等から保護することができる。モールド部１０３０としては、特に限定されないが、例えば、熱硬化型のエポキシ樹脂を用いることができ、例えば、トランスファーモールド法によってモールドすることができる。
【０１７０】
以上のような物理量センサーデバイス１０００は、物理量センサー１を有している。そのため、物理量センサー１の効果を享受でき、信頼性の高い物理量センサーデバイス１０００が得られる。
【０１７１】
なお、物理量センサーデバイス１０００の構成としては、上記の構成に限定されず、例えば、物理量センサー１がセラミックパッケージに収納された構成となっていてもよい。
【０１７２】
＜第１０実施形態＞
次に、本発明の第１０実施形態に係る電子機器について説明する。
【０１７３】
図１６は、本発明の第１０実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
図１６に示すモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したものである。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されている。ここで、物理量センサー１としては、例えば、前述した第１〜第８実施形態のいずれかを用いることができる。
【０１７４】
このようなパーソナルコンピューター１１００（電子機器）は、物理量センサー１を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１７５】
＜第１１実施形態＞
次に、本発明の第１１実施形態に係る電子機器について説明する。
【０１７６】
図１７は、本発明の第１１実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
図１７に示す携帯電話機１２００（ＰＨＳも含む）は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したものである。この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ（図示せず）、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されている。ここで、物理量センサー１としては、例えば、前述した第１〜第８実施形態のいずれかを用いることができる。
【０１７７】
このような携帯電話機１２００（電子機器）は、物理量センサー１を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１７８】
＜第１２実施形態＞
次に、本発明の第１２実施形態に係る電子機器について説明する。
【０１７９】
図１８は、本発明の第１２実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
図１８に示すデジタルスチールカメラ１３００は、本発明の物理量センサーを備える電子機器を適用したものである。この図において、ケース（ボディー）１３０２の背面には表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。そして、撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押すと、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されている。ここで、物理量センサー１としては、例えば、前述した第１〜第８実施形態のいずれかを用いることができる。
【０１８０】
このようなデジタルスチールカメラ１３００（電子機器）は、物理量センサー１を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１８１】
なお、本発明の電子機器は、前述した実施形態のパーソナルコンピューターおよび携帯電話機、本実施形態のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計（スマートウォッチを含む）、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）等のウェアラブル端末、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、移動体端末基地局用機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ネットワークサーバー等に適用することができる。
【０１８２】
＜第１３実施形態＞
次に、本発明の第１３実施形態に係る移動体について説明する。
【０１８３】
図１９は、本発明の第１３実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
図１９に示す自動車１５００は、本発明の物理量センサーを備える移動体を適用した自動車である。この図において、自動車１５００には、加速度センサーとして機能する物理量センサー１が内蔵されており、物理量センサー１によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。物理量センサー１の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。ここで、物理量センサー１としては、例えば、前述した第１〜第８実施形態のいずれかを用いることができる。
【０１８４】
このような自動車１５００（移動体）は、物理量センサー１を有している。そのため、前述した物理量センサー１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１８５】
なお、物理量センサー１は、他にも、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【０１８６】
また、移動体としては、自動車１５００に限定されず、例えば、飛行機、ロケット、人工衛星、船舶、ＡＧＶ（無人搬送車）、二足歩行ロボット、ドローン等の無人飛行機等にも適用することができる。
【０１８７】
以上、本発明の物理量センサー、物理量センサーデバイス、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した実施形態を適宜組み合わせてもよい。また、前述した実施形態では、Ｘ軸方向（第１方向）とＹ軸方向（第２方向）とが直交しているが、これに限定されず、交差していればよい。
【０１８８】
また、前述した実施形態では、素子部が１つの構成について説明したが、素子部が複数設けられていてもよい。この際に、複数の素子部を検出軸が互いに異なるように配置することで、複数の軸方向の加速度を検出することができる。
【０１８９】
また、前述した実施形態では、物理量センサーとして加速度を検出する加速度センサーについて説明したが、物理量センサーが検出する物理量としては、加速度に限定されず、例えば、角速度、圧力等であってもよい。
【符号の説明】
【０１９０】
１…物理量センサー、２…基板、２１…凹部、２２、２３、２４…マウント部、２５、２６、２７…溝部、３…素子部、４…固定電極部、４１…第１固定電極部、４１１…固定部、４１１ａ…接合部、４１２…支持部、４１２Ａ…接続部、４１２Ａ’、４１２Ａ”…外縁、４１２Ｂ…接続部、４１２Ｂ’、４１２Ｂ”…外縁、４１２ａ…第１延在部、４１２ｂ…第２延在部、４１３、４１３’、４１３”…固定電極指、４１３Ａ…接続部、４１３Ａ’、４１３Ａ”…外縁、４２…第２固定電極部、４２１…固定部、４２１ａ…接合部、４２２…支持部、４２２Ａ…接続部、４２２ａ…第１延在部、４２２ｂ…第２延在部、４２３、４２３’、４２３”…固定電極指、５…可動電極部、５１…固定部、５１ａ…接合部、５２…支持部、５２Ａ…接続部、５２Ａ’、５２Ａ”…外縁、５２Ｂ…接続部、５２１…第１延在部、５２２…第２延在部、５３…可動部、５３１…枠部、５３２ａ、５３２ｂ…第１Ｙ軸延在部、５３３ａ、５３３ｂ…第１Ｘ軸延在部、５３４ａ、５３４ｂ…第２Ｙ軸延在部、５３５ａ、５３５ｂ…第２Ｘ軸延在部、５３６、５３７…突出部、５３８、５３９…開口部、５４、５５…バネ部、５６、５６１、５６１’、５６１”…可動電極指、５６１Ａ…接続部、５６１Ａ’、５６１Ａ”…外縁、５６２、５６２’、５６２”…可動電極指、５６２Ａ…接続部、７１、７２、７３…配線、８…蓋部、８１…凹部、８２…連通孔、８３…封止部材、８９…ガラスフリット、１０００…物理量センサーデバイス、１０１０…ベース基板、１０１１…接続端子、１０１２…実装端子、１０２０…回路素子、１０３０…モールド部、１１００…パーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１１０８…表示部、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１２０８…表示部、１３００…デジタルスチールカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１５００…自動車、１５０１…車体、１５０２…車体姿勢制御装置、１５０３…車輪、Ａｘ…加速度、ＢＷ１、ＢＷ２…ボンディングワイヤー、Ｌ…中心軸、Ｐ…電極パッド、Ｓ…収納空間、Ｗ１、Ｗ２、Ｗ４、Ｗ６、Ｗ７…幅、Ｗ１’、Ｗ４’、Ｗ５’、Ｗ７’…最小幅、Ｗ１”、Ｗ４”、Ｗ５”、Ｗ７”…最大幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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