(57)【要約】【課題】光の入射角が変化しても、特定の範囲の波長における透過率スペクトルの変化が十分に小さい赤外線カットフィルタを提供する。【解決手段】赤外線カットフィルタ（１ａ）は、近赤外線反射膜（２０）と、吸収膜（３０）とを備える。近赤外線反射膜（２０）及び吸収膜（３０）は（Ａ）〜（Ｅ）の特性を付与する。（Ａ）７００ｎｍ≦λHR（０°，７０％）＜λHR（０°，２０％）≦７７０ｎｍ、（Ｂ）６５０ｎｍ≦λHR（４０°，７０％）＜λHR（４０°，２０％）≦７２０ｎｍ、（Ｃ）λHA（４０°，２０％）＜λHR（４０°，２０％）、（Ｄ）第二積層体に入射する光の分光透過率は、λHR（０°，２０％）において１５％以下である。（Ｅ）第一積層体及び第二積層体に入射する光の分光透過率の４５０〜６００ｎｍの波長範囲における平均値は７５％以上である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
近赤外線反射膜と、
前記近赤外線反射膜と平行に延びている吸収膜と、を備え、
前記近赤外線反射膜及び前記吸収膜は、当該近赤外線反射膜及び波長４００〜１１００ｎｍにおいて９０％以上の平均分光透過率を有する透明誘電体基板のみによって形成された第一積層体と、当該吸収膜及び前記透明誘電体基板のみによって形成された第二積層体とに、下記（Ａ）〜（Ｅ）の特性を付与する、
赤外線カットフィルタ。
（Ａ）前記第一積層体に垂直に入射する光の分光透過率は、波長６００〜８００ｎｍの範囲における当該分光透過率が７０％であるときの波長λHR（０°，７０％）が７００ｎｍ以上であり、かつ、波長６００〜８００ｎｍの範囲における当該分光透過率が２０％であるときの波長λHR（０°，２０％）が７７０ｎｍ以下であるとともに前記波長λHR（０°，７０％）よりも大きいように、前記波長λHR（０°，７０％）〜前記波長λHR（０°，２０％）の範囲で単調に減少し、
（Ｂ）前記第一積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、波長６００〜８００ｎｍの範囲における当該分光透過率が７０％であるときの波長λHR（４０°，７０％）が６５０ｎｍ以上であり、かつ、波長６００〜８００ｎｍの範囲における当該分光透過率が２０％であるときの波長λHR（４０°，２０％）が７２０ｎｍ以下であるとともに前記波長λHR（４０°，７０％）よりも大きいように、前記波長λHR（４０°，７０％）〜前記波長λHR（４０°，２０％）の範囲で単調に減少し、
（Ｃ）前記第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、波長６００〜８００ｎｍの範囲において、前記波長λHR（４０°，２０％）より小さい波長λHA（４０°，２０％）で、２０％であり、
（Ｄ）前記第二積層体に垂直に入射する光の分光透過率は前記波長λHR（０°，２０％）において１５％以下であり、
（Ｅ）前記第一積層体に垂直に入射する光の分光透過率及び前記第一積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率の４５０〜６００ｎｍの波長範囲における平均値は、７５％以上であり、かつ、前記第二積層体に垂直に入射する光の分光透過率及び前記第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率の４５０〜６００ｎｍの波長範囲における平均値は、７５％以上である。
【請求項２】
当該赤外線カットフィルタに垂直に入射する光の分光透過率が波長６００〜７００ｎｍの範囲で５０％である波長λH（０°，５０％）と当該赤外線カットフィルタに４０°の
入射角で入射する光の分光透過率が波長６００〜７００ｎｍの範囲で５０％である波長λH（４０°，５０％）との差の絶対値が１０ｎｍ以下である、請求項１に記載の赤外線カ
ットフィルタ。
【請求項３】
前記近赤外線反射膜及び前記吸収膜は、当該近赤外線反射膜及び前記透明誘電体基板のみによって形成された第一積層体と、当該吸収膜及び前記透明誘電体基板のみによって形成された第二積層体とに、下記（Ｆ）〜（Ｉ）の特性をさらに付与する、請求項１又は２に記載の赤外線カットフィルタ。
（Ｆ）第一積層体に垂直に入射する光の分光透過率は、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において、当該分光透過率が２０％であるときの波長λLR（０°，２０％）が３９０ｎｍ以上であるとともに、当該分光透過率が７０％であるときの波長λLR（０°，７０％）よりも小さいように、波長λLR（０°，２０％）〜波長λLR（０°，７０％）の範囲で単調に増加する。
（Ｇ）第一積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において、当該分光透過率が２０％であるときの波長λLR（４０°，２０％）
が３７０ｎｍ以上であるとともに、当該分光透過率が７０％であるときの波長λLR（４０°，７０％）よりも小さいように、波長λLR（４０°，２０％）〜波長λLR（４０°，７０％）の範囲で単調に増加する。
（Ｈ）第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において、当該分光透過率が２０％であるときの波長λLA（４０°，２０％）が３７０ｎｍ以上であるとともに、当該分光透過率が５０％であるときの波長λLA（４０°，５０％）よりも小さいように、波長λLA（４０°，２０％）〜波長λLA（４０°，５０％）の範囲で単調に増加する。
（Ｉ）波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において、第一積層体に垂直に入射する光の分光透過率が５０％であるときの波長λLR（０°，５０％）における、第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率が６０％以下である。
【請求項４】
当該赤外線カットフィルタに垂直に入射する光の分光透過率が波長３５０〜４５０ｎｍの範囲で５０％である波長と、当該赤外線カットフィルタに４０°の入射角で入射する光の分光透過率が波長３５０〜４５０ｎｍの範囲で５０％である波長との差の絶対値｜ΔλL（５０％）｜が１０ｎｍ以下である、請求項３に記載の赤外線カットフィルタ。
【請求項５】
前記近赤外線反射膜は、前記第一積層体に、下記（Ｊ）の特性を付与する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の赤外線カットフィルタ。
（Ｊ）前記第一積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率が、波長４００〜４５０ｎｍの範囲でベースラインとの差が１０ポイント以上である極小値を有し、かつ、前記極小値に対応する半値幅が１０ｎｍ以上であり、前記半値幅をΔλCと定義したときに
（４００−ΔλC/２）〜（４５０−ΔλC/２）ｎｍの範囲に極大値が存在するスペクトルを有する。
【請求項６】
所定の撮像素子とともに用いた場合に、入射角が０°で当該赤外線カットフィルタに入射光を入射させたときの前記撮像素子の分光感度の比であるＢ／Ｇ比を１としたときに、入射角が４０°で当該赤外線カットフィルタに入射光を入射させたときのＢ／Ｇ比が０．９７以上、かつ、１．０３以下である、請求項３〜５のいずれかに記載の赤外線カットフィルタ。
【請求項７】
当該赤外線カットフィルタに垂直に入射する光の分光透過率及び当該赤外線カットフィルタに４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、４４０ｎｍ付近、５５０ｎｍ付近、及び６１０ｎｍ付近に現れるＴＬ８４光源の輝線スペクトルと重なる、ベースラインと極値との差が４ポイント以上であり、かつ、半値幅が１５ｎｍ以上であるスペクトルを有しない、請求項１〜６のいずれか１項に記載の赤外線カットフィルタ。
【請求項８】
波長４００〜１１００ｎｍにおいて９０％以上の平均分光透過率を有する透明誘電体基板をさらに備え、
前記近赤外線反射膜及び前記吸収膜は、前記透明誘電体基板の主面に平行に延びている、
請求項１〜７のいずれか１項に記載の赤外線カットフィルタ。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の赤外線カットフィルタを備えた、撮像光学系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、赤外線カットフィルタ及び撮像光学系に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラなどの撮像装置において、撮像素子として、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）などのＳｉ（シリコン）を用いた２次元画像センサが使用されている。Ｓｉを用いた撮像素子は、赤外線域の波長の光に対する受光感度を有し、人間の視感度とは異なる波長特性を有する。このため、撮像装置において、得られる画像が人間の認識した画像に近づくように、撮像素子の前方に赤外線域の波長の入射光を遮蔽するフィルタ（赤外線カットフィルタ）が通常配置されている。
【０００３】
例えば、赤外線を反射する能力を有する膜が透明基板に積層された赤外線カットフィルタが知られている。このような赤外線カットフィルタは、赤外線を反射する能力を有する膜の材料及び厚みを調整することによって、赤外線を反射するのみならず紫外線も反射する分光特性など様々な分光特性を有する。しかし、このような赤外線カットフィルタは、赤外線カットフィルタに大きな入射角で光が入射するときに透過率スペクトルを短波長側にシフトさせる。このため、このような赤外線カットフィルタを使用して得られた画像の中心部及び周辺部には互いに異なる色味が生じることがある。そこで、透過率スペクトルの入射角依存性を小さくするために様々な提案がなされている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、所定の吸収剤を含有した透明樹脂基板と、近赤外線反射膜とを有する近赤外線カットフィルタが記載されている。その吸収剤は、波長６００〜８００ｎｍに吸収極大があり、かつ、波長４３０〜８００ｎｍの波長領域において、透過率が７０％となる吸収極大以下で最も長い波長（Ａａ）と、波長５８０ｎｍ以上の波長領域において、透過率が３０％となる最も短い波長（Ａｂ）との差の絶対値が７５ｎｍ未満であるという特性を有している。また、その近赤外線反射膜は、アルミ蒸着膜、貴金属薄膜、酸化インジウムを主成分とし酸化錫を少量含有させた金属酸化物微粒子を分散させた樹脂膜、及び高屈折率材料層と低屈折率材料層とを交互に積層した誘電体多層膜などの膜である。
【０００５】
特許文献１に記載の近赤外線カットフィルタは、ＹａとＹｂとの差の絶対値が１５ｎｍ未満であるという特性を有する。Ｙａは、波長５６０〜８００ｎｍの範囲において、近赤外線カットフィルタの垂直方向から測定した場合の光の透過率が５０％となる波長の値である。Ｙｂは、波長５６０〜８００ｎｍの範囲において、近赤外線カットフィルタの垂直方向に対して３０°の角度から測定した場合の光の透過率が５０％となる波長の値である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−１０００８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように、特許文献１に記載の近赤外線カットフィルタでは、ＹａとＹｂとの差の絶対値が１５ｎｍ未満であるものの、特許文献１に記載の近赤外線カットフィルタに３０°を超える入射角で光が入射する場合の光の透過率に関する特性は具体的に検討されていない。近年の撮像レンズの高画角化により、３０°を超える入射角で赤外線カットフィルタに光が入射する場合でも、より高いレベルの画質が要求されるようになってきている。このため、より大きな入射角（例えば、４０°）で被写体からの光が赤外線カットフィルタに入射する場合にも、特定の波長範囲（例えば、６００〜７００ｎｍ）において透過率の変化を抑制できる技術が望まれている。
【０００８】
このような事情に鑑み、本発明は、近赤外線反射膜を備えつつ、０°〜４０°の角度で光の入射角が変化しても、特定の範囲の波長（例えば、６００〜７００ｎｍ）における透過率スペクトルの変化が十分に小さい赤外線カットフィルタを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、
近赤外線反射膜と、
前記近赤外線反射膜と平行に延びている吸収膜と、を備え、
前記近赤外線反射膜及び前記吸収膜は、当該近赤外線反射膜及び波長４００〜１１００ｎｍにおいて９０％以上の平均分光透過率を有する透明誘電体基板のみによって形成された第一積層体と、当該吸収膜及び前記透明誘電体基板のみによって形成された第二積層体とに、下記（Ａ）〜（Ｅ）の特性を付与する、
赤外線カットフィルタを提供する。
（Ａ）前記第一積層体に垂直に入射する光の分光透過率は、波長６００〜８００ｎｍの範囲における当該分光透過率が７０％であるときの波長λHR（０°，７０％）が７００ｎｍ以上であり、かつ、波長６００〜８００ｎｍの範囲における当該分光透過率が２０％であるときの波長λHR（０°，２０％）が７７０ｎｍ以下であるとともに前記波長λHR（０°，７０％）よりも大きいように、前記波長λHR（０°，７０％）〜前記波長λHR（０°，２０％）の範囲で単調に減少し、
（Ｂ）前記第一積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、波長６００〜８００ｎｍの範囲における当該分光透過率が７０％であるときの波長λHR（４０°，７０％）が６５０ｎｍ以上であり、かつ、波長６００〜８００ｎｍの範囲における当該分光透過率が２０％であるときの波長λHR（４０°，２０％）が７２０ｎｍ以下であるとともに前記波長λHR（４０°，７０％）よりも大きいように、前記波長λHR（４０°，７０％）〜前記波長λHR（４０°，２０％）の範囲で単調に減少し、
（Ｃ）前記第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、波長６００〜８００ｎｍの範囲において、前記波長λHR（４０°，２０％）より小さい波長λHA（４０°，２０％）で、２０％であり、λHR（４０°，２０％）
（Ｄ）前記第二積層体に垂直に入射する光の分光透過率は前記波長λHR（０°，２０％）において１５％以下であり、
（Ｅ）前記第一積層体に垂直に入射する光の分光透過率及び前記第一積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率の４５０〜６００ｎｍの波長範囲における平均値は、７５％以上であり、かつ、前記第二積層体に垂直に入射する光の分光透過率及び前記第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率の４５０〜６００ｎｍの波長範囲における平均値は、７５％以上である。
【００１０】
また、本発明は、上記の赤外線カットフィルタを備えた、撮像光学系を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
上記の赤外線カットフィルタは、近赤外線反射膜を備えつつ、０°〜４０°の角度で光の入射角が変化しても、特定の範囲の波長（例えば、６００〜７００ｎｍ）における透過率スペクトルの変化が十分に小さい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係る赤外線カットフィルタの断面図
【図２】本発明の別の実施形態に係る赤外線カットフィルタの断面図
【図３】本発明のさらに別の実施形態に係る赤外線カットフィルタの断面図
【図４】本発明のさらに別の実施形態に係る赤外線カットフィルタの断面図
【図５】本発明のさらに別の実施形態に係る赤外線カットフィルタの断面図
【図６】本発明のさらに別の実施形態に係る赤外線カットフィルタの断面図
【図７】本発明のさらに別の実施形態に係る赤外線カットフィルタの断面図
【図８】本発明のさらに別の実施形態に係る赤外線カットフィルタの断面図
【図９】本発明の実施形態に係る撮像光学系を示す図
【図１０】実施例１に係る第一積層体及び第二積層体の分光透過率を示すグラフ
【図１１】実施例１に係る赤外線カットフィルタの分光透過率を示すグラフ
【図１２】実施例２に係る第一積層体及び第二積層体の分光透過率を示すグラフ
【図１３】実施例２に係る赤外線カットフィルタの分光透過率を示すグラフ
【図１４】実施例３に係る第一積層体及び第二積層体の分光透過率を示すグラフ
【図１５】実施例３に係る赤外線カットフィルタの分光透過率を示すグラフ
【図１６】実施例４に係る第一積層体及び第二積層体の分光透過率を示すグラフ
【図１７】実施例４に係る赤外線カットフィルタの分光透過率を示すグラフ
【図１８】実施例５に係る第一積層体及び第二積層体の分光透過率を示すグラフ
【図１９】実施例５に係る赤外線カットフィルタの分光透過率を示すグラフ
【図２０】実施例６に係る第一積層体及び第二積層体の分光透過率を示すグラフ
【図２１】実施例６に係る赤外線カットフィルタの分光透過率を示すグラフ
【図２２】実施例７に係る第一積層体及び第二積層体の分光透過率を示すグラフ
【図２３】実施例７に係る赤外線カットフィルタの分光透過率を示すグラフ
【図２４】実施例８に係る第一積層体及び第二積層体の分光透過率を示すグラフ
【図２５】実施例８に係る赤外線カットフィルタの分光透過率を示すグラフ
【図２６】実施例９に係る第一積層体及び第二積層体の分光透過率を示すグラフ
【図２７】実施例９に係る赤外線カットフィルタの分光透過率を示すグラフ
【図２８】実施例１０に係る第一反射膜及び第二反射膜の分光透過率を示すグラフ
【図２９】実施例１０に係る第一積層体及び第二積層体の分光透過率を示すグラフ
【図３０】実施例１０に係る赤外線カットフィルタの分光透過率を示すグラフ
【図３１】実施例に係る赤外線カットフィルタの評価に用いた撮像素子の分光感度をＲＧＢカラーフィルタの色毎に示すグラフ
【図３２】実施例７の赤外線カットフィルタの分光透過率と図３１に示す撮像素子の分光感度との合成した結果を示すグラフ
【図３３】実施例７に係る赤外線カットフィルタを図３１に示す分光感度を有する撮像素子と組み合わせたときのＲ／Ｇ比及びＢ／Ｇ比と入射角との関係を示すグラフ
【図３４】実施例１に係る第一積層体及び第二積層体の、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図３５】実施例２に係る第一積層体及び第二積層体の、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図３６】実施例３に係る第一積層体及び第二積層体の、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図３７】実施例４に係る第一積層体及び第二積層体の、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図３８】実施例５に係る第一積層体及び第二積層体の、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図３９】実施例６に係る第一積層体及び第二積層体の、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図４０】実施例７に係る第一積層体及び第二積層体の、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図４１】実施例８に係る第一積層体及び第二積層体の、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図４２】実施例９に係る第一積層体及び第二積層体の、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図４３】実施例１０に係る第一積層体及び第二積層体の、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図４４】実施例１に係る赤外線カットフィルタの、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図４５】実施例２に係る赤外線カットフィルタの、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図４６】実施例３に係る赤外線カットフィルタの、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図４７】実施例４に係る赤外線カットフィルタの、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図４８】実施例５に係る赤外線カットフィルタの、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図４９】実施例６に係る赤外線カットフィルタの、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図５０】実施例７に係る赤外線カットフィルタの、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図５１】実施例８に係る赤外線カットフィルタの、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図５２】実施例９に係る赤外線カットフィルタの、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図５３】実施例１０に係る赤外線カットフィルタの、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲における分光透過率を示すグラフ
【図５４】ＴＬ８４蛍光灯の光強度スペクトル及び実施例１の赤外線カットフィルタの分光透過率を示すグラフ
【図５５】ＴＬ８４蛍光灯の光強度スペクトル及び実施例８の赤外線カットフィルタの分光透過率を示すグラフ
【図５６】紫外線吸収性物質のみを含む吸収膜と透明誘電体基板とからなる積層体の分光透過率を示すグラフ
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明は、本発明の一例に関するものであり、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１４】
図１に示す通り、赤外線カットフィルタ１ａは、近赤外線反射膜２０と、吸収膜３０とを備えている。吸収膜３０は、近赤外線反射膜２０と平行に延びている。近赤外線反射膜２０及び吸収膜３０は、近赤外線反射膜２０及び波長４００〜１１００ｎｍにおいて９０％以上の平均分光透過率を有する透明誘電体基板のみによって形成された第一積層体と、吸収膜３０及び波長４００〜１１００ｎｍにおいて９０％以上の平均分光透過率を有する透明誘電体基板のみによって形成された第二積層体とに、下記（Ａ）〜（Ｅ）の特性を付与する。
（Ａ）第一積層体に垂直に入射する光の分光透過率は、波長６００〜８００ｎｍの範囲における当該分光透過率が７０％であるときの波長λHR（０°，７０％）が７００ｎｍ以上であり、かつ、波長６００〜８００ｎｍの範囲における当該分光透過率が２０％であるときの波長λHR（０°，２０％）が７７０ｎｍ以下であるとともに波長λHR（０°，７０％）よりも大きいように、波長λHR（０°，７０％）〜波長λHR（０°，２０％）の範囲
で単調に減少する。
（Ｂ）第一積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、波長６００〜８００ｎｍの範囲における当該分光透過率が７０％であるときの波長λHR（４０°，７０％）が６５０ｎｍ以上であり、かつ、波長６００〜８００ｎｍの範囲における当該分光透過率が２０％であるときの波長λHR（４０°，２０％）が７２０ｎｍ以下であるとともに波長λHR（４０°，７０％）よりも大きいように、波長λHR（４０°，７０％）〜波長λHR（４０°，２０％）の範囲で単調に減少する。
（Ｃ）第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、波長６００〜８００ｎｍの範囲において、波長λHR（４０°，２０％）より小さい波長λHA（４０°，２０％）で、２０％である。
（Ｄ）第二積層体に垂直に入射する光の分光透過率は波長λHR（０°，２０％）において１５％以下であり、
（Ｅ）第一積層体に垂直に入射する光の分光透過率及び第一積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率の４５０〜６００ｎｍの波長範囲における平均値は、７５％以上であり、かつ、第二積層体に垂直に入射する光の分光透過率及び第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率の４５０〜６００ｎｍの波長範囲における平均値は、７５％以上である。
【００１５】
第一積層体は、上記（Ａ）及び（Ｂ）の特性を有するので、第一積層体に０°〜４０°の入射角で入射する光に対する分光透過率は、波長６５０ｎｍ〜７７０ｎｍの範囲において急峻に低下する。第一積層体に垂直に入射する光の分光透過率及び第一積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、例えば、波長７７０〜１１００ｎｍの範囲において、平均値で１％以下である。これにより、赤外線カットフィルタ１ａは、近赤外線を効果的に反射できる。波長λHR（０°，７０％）から波長λHR（４０°，７０％）を差し引いた差ΔλHR（７０％）（＝λHR（０°，７０％）−λHR（４０°，７０％））は、例えば、４０〜６０ｎｍである。また、波長λHR（０°，２０％）から波長λHR（４０°，２０％）を差し引いた差ΔλHR（２０％）（＝λHR（０°，２０％）−λHR（４０°，２０％））は、例えば、４０〜５５ｎｍである。このように、第一積層体に入射する光の入射角が０°から４０°に変化すると、第一積層体に入射する光の透過率スペクトルが短波長側にシフトする。
【００１６】
第二積層体が上記（Ｃ）及び（Ｄ）の特性を有することにより、赤外線カットフィルタ１ａに０°〜４０°の角度で光の入射角が変化しても、特定の範囲の波長６００〜７００ｎｍにおける透過率スペクトルの変化が小さくなる。例えば、さらに、第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率は波長λHR（４０°，２０％）において１５％以下である。例えば、赤外線カットフィルタ１ａに垂直に入射する光の分光透過率が波長６００〜７００ｎｍの範囲で５０％である波長と赤外線カットフィルタに４０°の入射角で入射する光の分光透過率が波長６００〜７００ｎｍの範囲で５０％である波長との差の絶対値｜ΔλH（５０％）｜が１０ｎｍ以下である。なお、第二積層体に入射する光の分光透過率は、第二積層体に入射する光の入射角が０°〜４０°の範囲ではほとんど変化しない。換言すると、第二積層体に垂直に入射する光の分光透過率と第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率とは実質的に同一である。
【００１７】
第一積層体及び第二積層体が上記（Ｅ）の特性を有することにより、赤外線カットフィルタ１ａは、波長４５０〜６００ｎｍの範囲で高い分光透過率を有する。第一積層体に垂直に入射する光の分光透過率及び第一積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率の４５０〜６００ｎｍの波長範囲における平均値は、望ましくは８５％以上であり、より望ましくは９０％以上である。第二積層体に垂直に入射する光の分光透過率及び第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率の４５０〜６００ｎｍの波長範囲における平均値は、望ましくは８５％以上であり、より望ましくは９０％以上である。
【００１８】
図１に示す通り、赤外線カットフィルタ１ａは、例えば、透明誘電体基板１０をさらに備えている。この場合、近赤外線反射膜２０及び吸収膜３０は、透明誘電体基板１０の主面に平行に延びている。透明誘電体基板１０は、場合によっては省略可能である。
【００１９】
図１に示す通り、赤外線カットフィルタ１ａにおいて、近赤外線反射膜２０は透明誘電体基板１０の一方の主面に接触している。透明誘電体基板１０の材料は、例えば、高温高湿等の環境に対する耐性及び優れた耐薬品性を有することが望ましい。特に、近赤外線反射膜２０が形成される工程において透明誘電体基板１０が高温環境に置かれる場合には、透明誘電体基板１０はそのような高温環境に十分な耐性を有する必要がある。透明誘電体基板１０の材料は、例えば、ホウケイ酸ガラスなどのガラス、ポリオレフィン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、アラミド系樹脂、イミド系樹脂、アミド系樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）、アセチルセルロース、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアセタール（ＰＶＡ）、又はポリビニルブチラールである。透明誘電体基板１０の厚みは、例えば５０〜４００μｍである。
【００２０】
近赤外線反射膜２０は、可視光域の光に対して高い透過率を示し、かつ、赤外線域の光に対して低い透過率を示す透過率スペクトルを有する。換言すると、近赤外線反射膜２０の透過率スペクトルは可視光域に透過帯域を有するとともに赤外線域に赤外線反射帯域を有し、透過帯域と赤外線反射帯域との間に遷移帯域が存在する。
【００２１】
近赤外線反射膜２０は、例えば、波長４００ｎｍ以下の光に対する低い透過率を有していてもよい。例えば、第一積層体に垂直に入射する光の波長３５０〜３８０ｎｍの範囲における分光透過率の平均値は２０％以下である。この場合、近赤外線反射膜２０の透過率スペクトルの可視光域、赤外線域、及び紫外線域には、それぞれ、透過帯域、赤外線反射帯域、及び紫外線反射帯域が存在する。加えて、透過帯域と赤外線反射帯域との間には波長の増加に対し透過率が急速に低下する遷移帯域が存在し、紫外線反射帯域と透過帯域との間には波長の増加に対し透過率が急速に増加する遷移帯域が存在する。この場合、例えば、吸収膜３０に含まれる成分に紫外線が照射されることを抑制できる。
【００２２】
近赤外線反射膜２０は、例えば、透明誘電体基板１０の一方の主面上に無機材料又は有機材料の層を積層することにより形成されている。近赤外線反射膜２０は、１種類の材料が透明誘電体基板１０の一方の主面に積層されて形成されていてもよいし、２種類以上の材料が透明誘電体基板１０の一方の主面から代わる代わる積層されて形成されていてもよい。近赤外線反射膜２０は、例えば、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｔａ2Ｏ5、及びＭｇＦ等の材料から選ばれる１種の材料が透明誘電体基板１０の一方の主面に積層されて形成されていてもよい。また、近赤外線反射膜２０は、例えば、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｔａ2Ｏ5、及びＭｇＦ等の材料から選択された屈折率の異なる２種以上の材料が透明誘電体基板１０の一方の主面から代わる代わる積層されて形成されていてもよい。この場合、近赤外線反射膜２０の設計の自由度が高く、近赤外線反射膜２０の特性を細かく調整しやすい。このため、近赤外線反射膜２０が所望の光学特性を容易に発揮できる。また、近赤外線反射膜２０は、例えば二組以上の反射膜に分割されて形成されていてもよい。この場合、二組以上の反射膜は各々異なる波長域の光を反射していてもよいし、一部の波長域の光は複数の反射膜で反射していてもよい。例えば、第一反射膜が近赤外波長域内の例えば波長７５０〜１１００ｎｍの範囲内の比較的短波長側の光を主として反射し、第二反射膜が上記波長範囲内の比較的長波長側の光を主として反射するように設計、作製したうえで、第一反射膜と第二反射膜の反射特性とを合成することによって、波長７５０〜１１００ｎｍの範囲内の波長域の光を反射でき、場合によっては４００ｎｍ以下の波長域の光も反射できるように近赤外線反射膜２０を設計及び作製できる。または、第一反射膜及び第二反射膜のいずれかの反射膜のみの特性だけでは、例えば反射膜で遮蔽すべき波長７５０〜１１００ｎｍの範囲内において透過率がベースラインより大きくなるような範囲が現れて、漏れ光が生じることがある。これを低減又は防止するために反射特性の異なる反射膜を組み合わせてもよい。近赤外線反射膜２０の厚みは、例えば４〜１０μｍである。
【００２３】
近赤外線反射膜２０は、例えば、（ｉ）蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、及びイオンアシスト蒸着（ＩＡＤ）法等の物理的な方法、（ii）化学気相蒸着（ＣＶＤ）法等の化学的な方法、又は（iii）ゾルゲル法等の湿式法によって形成される。
【００２４】
近赤外線反射膜２０及び吸収膜３０は、第一積層体と、第二積層体とに、下記（Ｆ）〜（Ｉ）の特性をさらに付与する。
（Ｆ）第一積層体に垂直に入射する光の分光透過率は、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において、当該分光透過率が２０％であるときの波長λLR（０°，２０％）が３９０ｎｍ以上であるとともに、当該分光透過率が７０％であるときの波長λLR（０°，７０％）よりも小さいように、波長λLR（０°，２０％）〜波長λLR（０°，７０％）の範囲で単調に増加する。
（Ｇ）第一積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において、当該分光透過率が２０％であるときの波長λLR（４０°，２０％）が３７０ｎｍ以上であるとともに、当該分光透過率が７０％であるときの波長λLR（４０°，７０％）よりも小さいように、波長λLR（４０°，２０％）〜波長λLR（４０°，７０％）の範囲で単調に増加する。
（Ｈ）第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において、当該分光透過率が２０％であるときの波長λLA（４０°，２０％）が３７０ｎｍ以上であるとともに、当該分光透過率が５０％であるときの波長λLA（４０°，５０％）よりも小さいように、波長λLA（４０°，２０％）〜波長λLA（４０°，５０％）の範囲で単調に増加する。
（Ｉ）波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において、第一積層体に垂直に入射する光の分光透過率が５０％であるときの波長λLR（０°，５０％）における、第二積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率が６０％以下である。
【００２５】
第二積層体が上記（Ｈ）及び（Ｉ）の特性を有することにより、赤外線カットフィルタ１ａに０°〜４０°の角度で光の入射角が変化しても、特定の範囲の波長３５０〜４５０ｎｍ、特に波長４００ｎｍ付近における透過率スペクトルの変化が小さい。
【００２６】
第一積層体及び第二積層体が（Ｆ）〜（Ｉ）の特性を有する場合、例えば、赤外線カットフィルタ１ａに垂直に入射する光の分光透過率が波長３５０〜４５０ｎｍの範囲で５０％である波長と、赤外線カットフィルタ１ａに４０°の入射角で入射する光の分光透過率が波長３５０〜４５０ｎｍの範囲で５０％である波長との差の絶対値｜ΔλL（５０％）｜が１０ｎｍ以下である。
【００２７】
近赤外線反射膜２０は、第一積層体に、下記（Ｊ）の特性を付与してもよい。
（Ｊ）第一積層体に４０°の入射角で入射する光の分光透過率が、波長４００〜４５０ｎｍの範囲でベースラインとの差が１０ポイント以上である極小値を有し、かつ、当該極小値に対応する半値幅が１０ｎｍ以上であり、当該半値幅をΔλCと定義したときに（４００−ΔλC/２）〜（４５０−ΔλC/２）ｎｍの範囲に極大値が存在するスペクトルを有する。
【００２８】
赤外線カットフィルタ１ａに入射する光の入射角が０°から４０°に増大すると、紫外線反射帯域と透過帯域との間の遷移帯域が短波長側にシフトする。これにより、赤外線カットフィルタ１ａに入射する光の入射角の増加に伴い赤外線カットフィルタ１ａを透過する短波長の光の光量が増加しやすい。第一積層体が上記（Ｊ）の特性を有していると、このような短波長の光の光量の増加を相殺できる。これにより、例えば、赤外線カットフィルタ１ａを備えた撮像装置から得られる画像の色再現性又はその画像の面内における色味の均一性を高めることができる。
【００２９】
赤外線カットフィルタ１ａを所定の撮像素子とともに用いた場合に、入射角が０°で赤外線カットフィルタ１ａに入射光を入射させたときの撮像素子の分光感度の比であるＢ／Ｇ比を１とする。このとき、例えば、入射角が４０°で赤外線カットフィルタ１ａに入射光を入射させたときのＢ／Ｇ比が０．９７以上、かつ、１．０３以下である。
【００３０】
第一積層体に入射する光の透過率スペクトルには、透過帯域、反射帯域、及び遷移帯域のそれぞれにおいて、リップルと呼ばれるベースラインから突出したスペクトルが出現することがある。赤外線カットフィルタ１ａがデジタルカメラなどの撮像装置に用いられている場合、赤外線カットフィルタ１ａには、蛍光灯からの光のように輝線スペクトルを有する光が入射することがある。この場合、第一積層体に入射する光の透過率スペクトルに出現するリップルは赤外線カットフィルタ１ａに入射する光の透過率スペクトルに影響を及ぼす。このため、このリップルが輝線スペクトルと重なり合わないことが望ましい。リップルと輝線スペクトルが重なり合うと、蛍光灯等の光源からの光が赤外線カットフィルタ１ａに入射する場合に赤外線カットフィルタ１ａを透過する光量が、その光源以外の光源からの光が赤外線カットフィルタ１ａに入射する場合に比べて特定範囲の波長で大きく異なる可能性がある。
【００３１】
例えば、赤外線カットフィルタ１ａに垂直に入射する光の分光透過率及び赤外線カットフィルタ１ａに４０°の入射角で入射する光の分光透過率は、４４０ｎｍ付近、５５０ｎｍ付近、及び６１０ｎｍ付近に現れるＴＬ８４光源の輝線スペクトルと重なる、ベースラインと極値との差が４ポイント以上であり、かつ、半値幅が１５ｎｍであるスペクトルを有しない。この場合、赤外線カットフィルタ１ａは、ＴＬ８４光源の輝線スペクトルと重なるリップルを有しないので、光源が変わることによって赤外線カットフィルタ１ａを透過する光量が特定の波長で大きく変動することを抑制できる。
【００３２】
図１に示す通り、例えば、吸収膜３０は、透明誘電体基板１０の他方の主面に接触している。換言すると、吸収膜３０は、透明誘電体基板１０に対して近赤外線反射膜２０と反対側に形成されている。吸収膜３０は、例えば、特定範囲の波長（例えば、λHR（４０°，７０％）以上の波長範囲）において吸収ピークを有する物質（吸収物質）が分散しているバインダ樹脂を含む溶液を塗布し、この塗膜を乾燥及び硬化させることによって形成される。吸収物質は、例えば、λHR（４０°，７０％）〜λHR（０°，２０％）の範囲において吸収ピークを有する。吸収膜３０を形成するためのバインダ樹脂は、例えば、波長４００〜１１００ｎｍの光に対して８５％以上の分光透過率を有する。また、吸収膜３０を形成するためのバインダ樹脂は、例えば、高温高湿等の環境に対して耐性を有する。吸収膜３０を形成するためのバインダ樹脂は、例えば、アクリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、フッ素樹脂、ＰＣ樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、シリコーン系樹脂、又はエポキシ系樹脂である。これらの樹脂は、一種のモノマー、一種のオリゴマー、又は一種のポリマーによって形成されていてもよいし、二種以上のモノマー、二種以上のオリゴマー、又は二種以上のポリマーが組み合わされることによって形成されていてもよい。吸収膜３０の厚みは、例えば１〜２００μｍである。
【００３３】
吸収膜３０が透明誘電体基板１０と接触している場合、吸収膜３０と透明誘電体基板１０との界面における反射を抑制する観点から、吸収膜３０を形成するためのバインダ樹脂の屈折率ｎａと透明誘電体基板１０の材料の屈折率ｎｓとの差は小さいことが望ましい。例えば、｜ｎａ−ｎｓ｜は０．１以下である。
【００３４】
吸収物質が分散しているバインダ樹脂を含む溶液は、例えば、スピンコーティング、ディッピング、グラビアコーティング、スプレーコーティング、ダイコーティング、バーコーティング、及びインクジェット等の方法によって塗布される。この溶液は、例えば、メチルエチルケトン、トルエン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン、及びテトラヒドロフランなどの溶媒中で吸収物質とバインダ樹脂とを混合させて調製されている。なお、この溶液の調製において、２種類以上の溶媒を混合して使用してもよい。
【００３５】
吸収物質は、例えば、（ｉ）リン酸エステル、ホスフィン酸、及びホスホン酸などのリン含有化合物若しくは硫酸及びスルホン酸などの硫黄含有化合物が銅（Ｃｕ）及びコバルト（Ｃｏ）等の金属のイオンに配位した金属錯体、（ii）インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）及びアンチモンスズ酸化物（ＡＴＯ）などの金属酸化物、又は（iii）アゾ系の有機色素、フタロシアニン系の有機色素、ナフタロシアニン系の有機色素、ジインモニウム系の有機色素、シアニン等のメチン系の有機色素、アンスラキノン系の有機色素、及びスクアリリウム系の有機色素などの有機色素である。これらの物質が単独で使用されてもよく、これらの物質のうち２種類以上の物質が混合されて使用されてもよい。
【００３６】
吸収膜３０は、紫外線吸収性物質を含んでいてもよい。この場合、例えば、吸収物質が分散しているバインダ樹脂を含む溶液に、紫外線吸収性物質が添加される。また、吸収物質が分散しているバインダ樹脂を含む溶液と紫外線吸収性物質を含む溶液とを混合してもよい。紫外線吸収性物質は、例えば、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾトリアール系化合物、又はベンゾエート系化合物である。これらの化合物が単独で使用されてもよいし、これらの化合物のうち２種類以上の組み合わせが使用されてもよい。また、紫外線吸収性物質が含まれる膜と吸収物質が含まれる膜とは別々に形成されていてもよい。紫外線吸収性物質と吸収物質とが同一の層に混在する場合、物質間の相互作用が生じ、吸収能力や耐候性を低下させたり、または色素の劣化を招いたりすることがある。そこで紫外線吸収性物質が含まれる膜と吸収物質が含まれる膜とを別々に形成することにより、このような不具合を回避できる。
【００３７】
紫外線吸収性物質を可視光域で十分に透明なＰＶＢ等の樹脂に含有させた塗布液を波長４００〜１１００ｎｍにおいて９０％以上の平均分光透過率を有する透明誘電体基板に塗布して乾燥又は硬化させることにより紫外線吸収膜と透明誘電体基板との積層体を作製する。この積層体の透過率スペクトルを測定することにより紫外線吸収性物質を含む積層体の特性を評価できる。紫外線吸収性物質を含む積層体は、望ましくは、以下の（Ｋ）および（Ｌ）の特性を有する。
（Ｋ）波長４５０〜１１００ｎｍの範囲において、平均の分光透過率が８５％以上である。
（Ｌ）波長３９０ｎｍにおける分光透過率が波長４２０ｎｍにおける分光透過率より小さい。
【００３８】
吸収物質が分散しているバインダ樹脂を含む溶液には、吸収物質、バインダ樹脂、及び溶媒の組み合わせによっては、分散剤がさらに添加される。これにより、吸収物質が溶液中で凝集することを防止できる。分散剤としては、（ｉ）ドデシルベンゼンスルホン酸塩などのアニオン系の界面活性剤、（ii）ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸エステル及びポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸塩などのポリオキシエチレンアルキルエーテル並びにポリアクリル酸塩などのノニオン系の界面活性剤、(iii)シリコーン系界面活性剤、又は(iv)フッ素系界面活性剤を使用できる。これらの分散剤は単独で使用されてもよく、これらの分散剤のうち２種類以上の組み合わせが使用されてもよい。これらの界面活性剤は、吸収物質が分散しているバインダ樹脂を含む溶液の粘度を低下させる作用、その溶液の塗布面に対する濡れ性を高める作用、及び塗膜のレベリングを容易にする作用を生じさせることもできる。これにより、吸収物質が分散しているバインダ樹脂を含む溶液の塗膜に欠点が生じることを防止できる。吸収物質が分散しているバインダ樹脂を含む溶液における分散剤の添加量は、例えば、その溶液の固形分の０．００１〜５重量％である。
【００３９】
吸収物質が分散しているバインダ樹脂を含む溶液には、吸収物質、バインダ樹脂、及び溶媒の組み合わせによっては、酸化防止剤がさらに添加される。これにより、吸収物質又はバインダ樹脂の劣化を抑制できる。酸化防止剤としては、フェノール系の酸化防止剤、ビンダードフェノール系の酸化防止剤、アミン系の酸化防止剤、ビンダードアミン系の酸化防止剤、硫黄系化合物類、ニトロ基含有化合物類、及び亜リン酸を例示できる。これらの酸化防止剤は単独で使用されてもよいし、これらの酸化防止剤のうち２種類以上の組み合わせが使用されてもよい。バインダ樹脂を含む溶液における酸化防止剤の添加量は、例えば、その溶液の固形分の０．００１〜５重量％である。
【００４０】
吸収膜３０は、複数の膜が積層されることによって形成されていてもよい。この場合、一つの膜に含まれる吸収物質及び別の膜に含まれる吸収物質は、同一であってもよいし、異なっていてもよい。
【００４１】
パッシベーションのために、吸収膜３０上には無機材料又は樹脂でできた保護膜がさらに形成されてもよい。これにより、高温又は高湿等の環境で吸収膜３０のバインダ樹脂及び吸収物質の劣化を防止できる。
【００４２】
本発明の別の実施形態に係る赤外線カットフィルタ１ｂ〜１ｈについて説明する。赤外線カットフィルタ１ｂ〜１ｅ、１ｈは、特に説明する場合を除き、赤外線カットフィルタ１ａと同様に構成されている。赤外線カットフィルタ１ａの構成要素と同一又は対応する赤外線カットフィルタ１ｂ〜１ｅ、１ｈの構成要素には同一の符号を付し詳細な説明を省略する。赤外線カットフィルタ１ａに関する説明は技術的に矛盾しない限り赤外線カットフィルタ１ｂ〜１ｅ、１ｈにもあてはまる。赤外線カットフィルタ１ｆおよび１ｇは、透明誘電体基板１０を有さないこと以外は、赤外線カットフィルタ１ａと同様に構成されており、赤外線カットフィルタ１ａの構成要素と同一又は対応する赤外線カットフィルタ１ｆおよび１ｇの構成要素には同一の符号を付し詳細な説明を省略する。
【００４３】
図２に示す通り、赤外線カットフィルタ１ｂの吸収膜３０は、透明誘電体基板１０に接触している近赤外線反射膜２０の主面と反対側の主面に接触している。
【００４４】
図３に示す通り、赤外線カットフィルタ１ｃは、一対の近赤外線反射膜２０を備え、一対の近赤外線反射膜２０は、第一反射膜２０１と第二反射膜２０２とを含む。第一反射膜２０１と第二反射膜２０２とは、透明誘電体基板１０の両主面に接触して形成されている。透明誘電体基板１０の一方の主面のみに接触するように単一の近赤外線反射膜２０を形成する場合、近赤外線反射膜２０で発生する応力により透明誘電体基板１０に反りが生じる可能性がある。しかし、一対の反射膜、例えば、例えば第一反射膜２０１と第二反射膜２０２とが近赤外線反射膜２０が透明誘電体基板１０の両主面に接触して形成されていると、第一反射膜２０１と第二反射膜２０２とで発生する応力の合成により透明誘電体基板１０に反りが生じることを防止できる。特に、単一の近赤外線反射膜２０において多数（例えば、１６層以上）の層が積層されていると、近赤外線反射膜２０で発生する応力が大きくなるので、一対の近赤外線反射膜２０が透明誘電体基板１０の両主面に接触して形成されていることが望ましい。
【００４５】
図４に示す通り、赤外線カットフィルタ１ｄの近赤外線反射膜２０は、透明誘電体基板１０に接触している吸収膜３０の主面と反対側の主面に接触している。
【００４６】
図５に示す通り、赤外線カットフィルタ１ｅの吸収膜３０は、第一吸収膜３０１及び第二吸収膜３０２を含む。第二吸収膜３０２は透明誘電体基板１０に接触している。第一吸収膜３０１は、透明誘電体基板１０に接触している第二吸収膜３０２の主面と反対側の主面に接触している。第一吸収膜３０１は第一の吸収物質を含み、第二吸収膜３０２は第二の吸収物質を含む。第二の吸収物質は、典型的には第一の吸収物質とは異なる吸収物質である。これにより、吸収膜３０に所望の特性を付与しやすい。第一の吸収物質は、例えば、有機色素である。第二の吸収物質は、例えば、リン酸エステル、ホスフィン酸、及びホスホン酸などのリン含有化合物とＣｕ及びＣｏ等の金属元素との錯体であってもよい。第二吸収膜３０２の厚みは、例えば、第一吸収膜３０１の厚みより大きい。第一吸収膜３０１の厚みは、例えば１μｍ〜３μｍであり、第二吸収膜３０２の厚みは、例えば３０μｍ〜１５０μｍである。
【００４７】
図６に示す通り、赤外線カットフィルタ１ｆは透明誘電体基板１０を備えていない。また、赤外線カットフィルタ１ｆの吸収膜３０は、第一吸収膜３０１及び第二吸収膜３０２を含む。第一吸収膜３０１は第一の吸収物質を含み、第二吸収膜３０２は第二の吸収物質を含む。第二の吸収物質は、典型的には第一の吸収物質とは異なる吸収物質である。これにより、吸収膜３０に所望の特性を付与しやすい。第一の吸収物質は、例えば、有機色素である。第二の吸収物質は、例えば、リン酸エステル、ホスフィン酸、及びホスホン酸などのリン含有化合物とＣｕ及びＣｏ等の金属元素との錯体であってもよい。赤外線カットフィルタ１ｆの厚み方向において、第一吸収膜３０１と第二吸収膜３０２との間にはＳｉＯ2膜４０が形成されている。ＳｉＯ2膜４０の両面は、第一吸収膜３０１及び第二吸収膜３０２に接触している。ＳｉＯ2膜４０は、例えば、蒸着法等の方法により形成されている。赤外線カットフィルタ１ｆの近赤外線反射膜２０は、第二吸収膜３０２に接触している。第一吸収膜３０１の厚みは、例えば１μｍ〜３μｍであり、第二吸収膜３０２の厚みは、例えば５０μｍ〜１５０μｍであり、ＳｉＯ2膜４０の厚みは、例えば０．５μｍ〜３μｍである。
【００４８】
図７に示す通り、赤外線カットフィルタ１ｇは、赤外線カットフィルタ１ｆと同様に第一吸収膜３０１及び第二吸収膜３０２を含む吸収膜３０と、ＳｉＯ2膜４０とを備えている。赤外線カットフィルタ１ｇの近赤外線反射膜２０は、第一反射膜２０１及び第二反射膜２０２を含む。第一反射膜２０１及び第二反射膜２０２は、互いに異なる反射特性を有する。近赤外線反射膜２０は、第一反射膜２０１と第二反射膜２０２との組合せにより、所望の近赤外線反射機能を発揮する。第一反射膜２０１は、例えば第二吸収膜３０２に接触しており、第二反射膜２０２は、例えば第一吸収膜３０１に接触している。第一反射膜２０１の厚みは、例えば２μｍ〜４μｍであり、第二反射膜２０２の厚みは、例えば２μｍ〜４μｍである。
【００４９】
図８に示す通り、赤外線カットフィルタ１ｈの吸収膜３０には紫外線吸収性物質含有膜３０５が重なっていてもよい。紫外線吸収性物質含有膜３０５は、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾトリアール系化合物、又はベンゾエート系化合物等の紫外線吸収性物質を含有している。例えば、吸収膜３０の透明誘電体基板１０と接触している主面と反対側の主面と接触するように配置されている。紫外線吸収性物質含有膜３０５の厚みは、例えば、１μｍ〜１０μｍである。この場合、赤外線カットフィルタ１ｈが所望の紫外線吸収機能を発揮しやすい。
【００５０】
次に、本発明の実施形態に係る撮像光学系１００について説明する。図９に示す通り、撮像光学系１００は、例えば、赤外線カットフィルタ１ａを備えている。撮像光学系１００は、例えば、撮像レンズ３をさらに備えている。撮像光学系１００は、デジタルカメラなどの撮像装置において、撮像素子２の前方に配置されている。撮像素子２は、例えば、ＣＣＤ又はＣＭＯＳなどの固体撮像素子である。図９に示す通り、被写体からの光は、撮像レンズ３によって集光され、赤外線カットフィルタ１ａによって赤外線域の光がカットされた後、撮像素子２に入射する。このため、色再現性の高い良好な画像を得ることができる。加えて、撮像光学系１００を備えた撮像装置の画角が大きく、赤外線カットフィルタ１ａに対して例えば４０°の入射角で入射した光が撮像素子２に導かれる場合でも、得られる画像の画質が高い。特に、得られる画像の中心部及び周辺部において色味が均一に保たれる。なお、撮像光学系１００は、赤外線カットフィルタ１ａに代えて、赤外線カットフィルタ１ｂ〜１ｈのいずれか１つを備えていてもよい。
【実施例】
【００５１】
実施例により、本発明をより詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施例には限定されない。
【００５２】
＜実施例１＞
（第一積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面にＳｉＯ2膜とＴｉＯ2膜とが交互に積層された近赤外線反射膜Ｒ１を蒸着法により形成した。このようにして、実施例１に係る第一積層体を作製した。実施例１に係る第一積層体の近赤外線反射膜Ｒ１の厚みは、５μｍであった。また、実施例１に係る第一積層体の近赤外線反射膜Ｒ１は、１７層のＳｉＯ2膜と１７層のＴｉＯ2膜を含んでいた。実施例１に係る第一積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を、分光光度計（日本分光社製、型式：Ｖ−６７０）を用いて測定した。この測定において、実施例１に係る第一積層体には、０°、３０°、及び４０°の入射角で光を入射させた。得られた透過率スペクトルを図１０に示す。
【００５３】
実施例１に係る第一積層体に４０°の入射角で入射する光の透過率スペクトルにおいて波長４９０ｎｍ付近にリップルが生じているものの、光の入射角がいずれの場合にも、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における分光透過率の平均値は８０％を超えていた。一方で、入射角が４０°のときの実施例１に係る第一積層体の透過率スペクトルにおいて、波長約４１０ｎｍに分光透過率が約６９％である極小値を有していた。この透過率スペクトルにおいて、分光透過率が９５％のラインをベースラインと仮定した場合、この極小値を含み下に凸となった部分は、ベースラインから２０ポイント以上低下した分光透過率を有し、約１６ｎｍの半値全幅を有していた。
【００５４】
第一積層体への入射角がＸ°のときに得られた透過率スペクトルにおいて波長６００〜８００ｎｍの範囲において透過率がＹ％である波長を、特定波長としてλHR（Ｘ°，Ｙ％）と定義した。実施例１に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長を表１に示す。また、ΔλHR（７０％）＝λHR（０°，７０％）−λHR（４０°，７０％）、ΔλHR（５０％）＝λHR（０°，５０％）−λHR（４０°，５０％）、及びΔλHR（２０％）＝λHR（０°，２０％）−λHR（４０°，２０％）と定義した。実施例１に係る第一積層体における、ΔλHR（７０％）、ΔλHR（５０％）及びΔλHR（２０％）を表１に示す。
【００５５】
第一積層体への入射角がＷ°のときに得られた透過率スペクトルにおいて波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において透過率がＺ％である波長を同様に特定波長としてλLR（Ｗ°，Ｚ％）と定義した。実施例１に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長を表１に示す。また、ΔλLR（７０％）＝λLR（０°，７０％）−λLR（４０°，７０％）、ΔλLR（５０％）＝λLR（０°，５０％）−λLR（４０°，５０％）、及びΔλLR（２０％）＝λLR（０°，２０％）−λLR（４０°，２０％）と定義した。実施例１に係る第一積層体における、ΔλLR（７０％）、ΔλLR（５０％）、及びΔλLR（２０％）を表１に示す。
【００５６】
（第二積層体）
波長７００〜７５０ｎｍに吸収ピークを持ち、可視域の吸収が少なく、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）に可溶な有機色素（シアニン系、スクアリリウム系、フタロシアニン系、及びジインモニウム系の有機色素から選択される１種類以上の有機色素）を組合せ、溶媒としてＭＥＫを用い、固形分比で９９重量％のポリビニルブチラール（ＰＶＢ）を添加し、その後２時間撹拌して、コーティング液ａ１を得た。塗膜化して分光特性を測定した際に図１０の第二積層体の分光スペクトル特性が得られるように各有機色素の含有量と配合比を決めた。
【００５７】
このコーティング液ａ１を、０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、スピンコーティングにより塗布して塗膜を形成した。この塗膜を１４０℃の環境に０．５時間曝して、塗膜を乾燥及び硬化させ吸収膜Ａ１を形成した。このようにして、実施例１に係る第二積層体を作製した。吸収膜Ａ１の厚みは３μｍであった。実施例１に係る第二積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を、分光光度計（日本分光社製、型式：Ｖ−６７０）を用いて測定した。この測定において、実施例１に係る第二積層体には、０°、３０°、及び４０°の入射角で光を入射させたが、いずれの入射角でも実質的に同一の透過率スペクトルが得られた。入射角が０°のときに得られた透過率スペクトルを図１０に示す。図１０に示す通り、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における実施例１に係る第二積層体の分光透過率の平均値は７５％を超えていた。実施例１に係る第二積層体は、波長約７００ｎｍ及び波長約７６０ｎｍにおいて吸収ピークを有していた。加えて、実施例１に係る第二積層体は、波長約４１０ｎｍにおいて吸収ピークを有していた。
【００５８】
第二積層体への入射角がＸ°のときに得られた透過率スペクトルにおいて、波長６００〜８００ｎｍの範囲において透過率がＹ％である波長を特定波長としてλHA（Ｘ°，Ｙ％）と定義した。実施例１に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長を表１に示す。実施例１に係る第二積層体の透過率スペクトルの、波長７１１ｎｍ（＝λHR（０°，７０％））、波長７１４ｎｍ（＝λHR（０°，５０％））、波長７２１ｎｍ（＝λHR（０°，２０％））、波長６５５ｎｍ（＝λHR（４０°，７０％））、波長６６６ｎｍ（＝λHR（４０°，５０％））、波長６７７ｎｍ（＝λHR（４０°，２０％））、波長４１３ｎｍ（＝λLR（０°，７０％））、波長４１１ｎｍ（＝λLR（０°，５０％））、波長４０３ｎｍ（＝λLR（０°，２０％））、波長４１０ｎｍ（＝λLR（４０°，７０％））、波長３９３ｎｍ（＝λLR（４０°，５０％））、及び波長３８４ｎｍ（＝λLR（４０°，２０％））における透過率を表１に示す。
【００５９】
（赤外線カットフィルタ）
実施例１に係る第一積層体の透明ガラス基板の近赤外線反射膜Ｒ１が形成されていない主面に、第二積層体の作製と同様にして吸収膜Ａ１を形成した。このようにして、実施例１に係る赤外線カットフィルタを作製した。実施例１に係る赤外線カットフィルタの波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を、分光光度計（日本分光社製、型式：Ｖ−６７０）を用いて測定した。この測定において、実施例１に係る赤外線カットフィルタには、０°、３０°、及び４０°の入射角で光を入射させた。得られた透過率スペクトルを図１１に示す。
【００６０】
赤外線カットフィルタへの入射角がＸ°のときに得られた透過率スペクトルにおいて波長６００〜８００ｎｍの範囲において透過率がＹ％である波長を特定波長としてλH（Ｘ°，Ｙ％）と定義した。表４に示す通り、波長λH（０°，７０％）＝６１４ｎｍ、波長λH（４０°，７０％）＝６１２ｎｍであり、それらの差の絶対値を｜ΔλH（７０％）｜と定義すると、｜ΔλH（７０％）｜＝２ｎｍであった。波長λH（０°，５０％）＝６３８ｎｍ、波長λH（４０°，５０％）＝６３５ｎｍであり、それらの差の絶対値を｜ΔλH（５０％）｜と定義すると、｜ΔλH（５０％）｜＝３ｎｍであった。波長λH（０°，２０％）＝６７２ｎｍ、波長λH（４０°，２０％）＝６５８ｎｍであり、それらの差の絶対値を｜ΔλH（２０％）｜とすると、｜ΔλH（２０％）｜＝１４ｎｍであった。
【００６１】
＜実施例２＞
（第一積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、ＳｉＯ2膜とＴｉＯ2膜とが交互に積層された実施例１に記載の近赤外線反射膜Ｒ１とは異なる近赤外線反射膜Ｒ２を蒸着法により形成した。このようにして、実施例２に係る第一積層体を作製した。実施例２に係る第一積層体の近赤外線反射膜Ｒ２の厚みは、５μｍであった。また、実施例２に係る第一積層体の近赤外線反射膜Ｒ２は、１７層のＳｉＯ2膜と１７層のＴｉＯ2膜を含んでいた。実施例２に係る第一積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図１２に示す。
【００６２】
実施例２に係る第一積層体に関する透過率スペクトルにおいて、光の入射角がいずれの場合にも、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における分光透過率の平均値は８０％を超えていた。実施例２に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλHR（７０％）、ΔλHR（５０％）及びΔλHR（２０％）を表１に示す。また、実施例２に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλLR（７０％）、ΔλLR（５０％）、及びΔλLR（２０％）を表１に示す。
【００６３】
（第二積層体）
波長７００〜７５０ｎｍに吸収ピークを持ち、可視域の吸収が少なく、ＭＥＫに可溶な有機色素からなり、実施例１で使用した有機色素の組合せとは異なる、吸収性物質を組合せ、溶媒としてＭＥＫを用い、固形分比で９９重量％のＰＶＢを添加し、その後２時間撹拌して、コーティング液ａ２を得た。塗膜化して分光特性を測定した際に図１２の第二積層体の分光スペクトル特性が得られるように有機色素の含有量と配合比を決めた。
【００６４】
コーティング液ａ２を０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、スピンコーティングにより塗布して塗膜を形成した。この塗膜を１４０℃の環境に０．５時間曝して、塗膜を乾燥及び硬化させ吸収膜Ａ２を形成した。このようにして、実施例２に係る第二積層体を作製した。吸収膜Ａ２の厚みは３μｍであった。実施例２に係る第二積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を、実施例１と同様にして測定した。この測定において、実施例２に係る第二積層体には、０°、３０°、及び４０°の入射角で光を入射させたが、いずれの入射角でも実質的に同一の透過率スペクトルが得られた。入射角が０°のときに得られた透過率スペクトルを図１２に示す。図１２に示す通り、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における実施例２に係る第二積層体の分光透過率の平均値は７５％を超えていた。実施例２に係る第二積層体は、波長約７１０ｎｍにおいて吸収ピークを有していた。加えて、実施例２に係る第二積層体は、波長約４２０ｎｍにおいて吸収ピークを有していた。
【００６５】
第二積層体への入射角がＷ°のときに得られた透過率スペクトルにおいて波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において透過率がＺ％である波長を同様に特定波長としてλLA（Ｗ°，Ｚ％）と定義した。実施例２に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長及びλLA（０°，７０％）を表１に示す。実施例２に係る第二積層体の透過率スペクトルの、波長７１５ｎｍ（＝λHR（０°，７０％））、波長７２０ｎｍ（＝λHR（０°，５０％））、波長７３１ｎｍ（＝λHR（０°，２０％））、波長６５８ｎｍ（＝λHR（４０°，７０％））、波長６７０ｎｍ（＝λHR（４０°，５０％））、波長６８４ｎｍ（＝λHR（４０°，２０％））、波長４０６ｎｍ（＝λLR（０°，７０％））、波長４０５ｎｍ（＝λLR（０°，５０％））、波長４０２ｎｍ（＝λLR（０°，２０％））、波長３８９ｎｍ（＝λLR（４０°，７０％））、波長３８７ｎｍ（＝λLR（４０°，５０％））、及び波長３８５ｎｍ（＝λLR（４０°，２０％））における透過率を表１に示す。
【００６６】
（赤外線カットフィルタ）
実施例２に係る第一積層体の透明ガラス基板の近赤外線反射膜Ｒ２が形成されていない主面に、第二積層体と同様にして吸収膜Ａ２を形成した。実施例２に係る赤外線カットフィルタの波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図１３に示す。
【００６７】
表４に示す通り、実施例２に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λH（０°，７０％）＝６２１ｎｍ、波長λH（４０°，７０％）＝６１８ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（７０％）｜＝３ｎｍであった。波長λH（０°，５０％）＝６４４ｎｍ、波長λH（４０°，５０％）＝６４０ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（５０％）｜＝４ｎｍであった。波長λH（０°，２０％）＝６７６ｎｍ、波長λH（４０°，２０％）＝６６３ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（２０％）｜＝１３ｎｍであった。
【００６８】
＜実施例３＞
（第一積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板の一方の主面に、ＳｉＯ2膜とＴｉＯ2膜とが交互に積層された実施例１及び２に記載の近赤外線反射膜Ｒ１及びＲ２とは異なる近赤外線反射膜Ｒ３を蒸着法により形成した。このようにして、実施例３に係る第一積層体を作製した。実施例３に係る第一積層体の近赤外線反射膜Ｒ３の厚みは、６μｍであった。また、実施例３に係る第一積層体の近赤外線反射膜Ｒ３は、２０層のＳｉＯ2膜と２０層のＴｉＯ2膜を含んでいた。実施例３に係る第一積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図１４に示す。
【００６９】
実施例３に係る第一積層体において、光の入射角がいずれの場合にも、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における分光透過率の平均値は８０％を超えていた。実施例３に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλHR（７０％）、ΔλHR（５０％）及びΔλHR（２０％）を表１に示す。また、実施例３に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλLR（７０％）、ΔλLR（５０％）、及びΔλLR（２０％）を表１に示す。
【００７０】
（第二積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、フェニルホスホン酸銅微粒子を含むコーティング液ｂ１を塗布し、塗膜を乾燥及び硬化させて吸収膜Ｂ１（第二吸収膜）を形成した。
【００７１】
コーティング液ｂ１は以下のようにして調製した。酢酸銅一水和物１．１ｇとテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）６０ｇとを混合して３時間撹拌し酢酸銅溶液を得た。次に、得られた酢酸銅溶液に、プライサーフＡ２０８Ｆ（第一工業製薬社製）を２．３ｇ加えて３０分間撹拌し、ｂ１１液を得た。また、フェニルホスホン酸（東京化成工業株式会社製）０．６ｇにＴＨＦ１０ｇを加えて３０分撹拌し、ｂ１２液を得た。次に、ｂ１１液を撹拌しながらｂ１１液にｂ１２液を加え、室温で１分間撹拌した。次に、この溶液にトルエン４５ｇを加えた後、室温で１分間撹拌し、ｂ１３液を得た。このｂ１３液をフラスコに入れてオイルバス（東京理化器械社製、型式：ＯＳＢ−２１００）で加温しながら、ロータリーエバポレータ（東京理化器械社製、型式：Ｎ−１１１０ＳＦ）によって、２５分間脱溶媒処理を行った。オイルバスの設定温度は、１２０℃に調整した。その後、フラスコの中から脱溶媒処理後の溶液を取り出した。取り出した溶液に、シリコーン樹脂（信越化学工業社製、製品名：ＫＲ−３００）を４．４ｇ添加し、室温で３０分間撹拌し、コーティング液ｂ１を得た。
【００７２】
得られたコーティング液ｂ１を、透明ガラス基板の一方の主面に、ダイコーティングによって塗布し、次に、コーティング液ｂ１の未乾燥の塗膜を有する透明ガラス基板をオーブンに入れて、８５℃で３時間、次に１２５℃で３時間、次に１５０℃で１時間、次に１７０℃で３時間の条件で塗膜に対して加熱処理を行い、塗膜を硬化させ吸収膜Ｂ１（第二吸収膜）を形成した。第二吸収膜である吸収膜Ｂ１の厚みは５０μｍであった。次に、第二吸収膜である吸収膜Ｂ１の上に、実施例２で使用したコーティング液ａ２をスピンコーティングにより塗布して塗膜を形成した。この塗膜を１４０℃の環境に０．５時間曝して、塗膜を乾燥及び硬化させ吸収膜Ａ２（第一吸収膜）を形成した。吸収膜Ａ２の厚みは３μｍであった。このようにして、実施例３に係る第二積層体を作製した。すなわち、実施例３に係る第二積層体の吸収膜は、厚みが５０μｍの吸収膜Ｂ１（第二吸収膜）及び厚みが３μｍの吸収膜Ａ２（第一吸収膜）を含んでいた。
【００７３】
実施例３に係る第二積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を、実施例１と同様にして測定した。この測定において、実施例３に係る第二積層体には、０°、３０°、及び４０°の入射角で光を入射させたが、いずれの入射角でも実質的に同一の透過率スペクトルが得られた。入射角が０°のときに得られた透過率スペクトルを図１４に示す。図１４に示す通り、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における実施例３に係る第二積層体の分光透過率の平均値は７５％を超えていた。実施例３に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長約７００〜約７７０ｎｍの範囲に及ぶ幅広な吸収ピークを有していた。また実施例３に係る第二積層体は、波長約４１０ｎｍにおいて吸収ピークを有していた。
【００７４】
実施例３に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長及び実施例３に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長を表１に示す。実施例３に係る第二積層体の透過率スペクトルの、波長７２７ｎｍ（＝λHR（０°，７０％））、波長７３８ｎｍ（＝λHR（０°，５０％））、波長７６６ｎｍ（＝λHR（０°，２０％））、波長６７２ｎｍ（＝λHR（４０°，７０％））、波長６８５ｎｍ（＝λHR（４０°，５０％））、波長７１７ｎｍ（＝λHR（４０°，２０％））、波長４０６ｎｍ（＝λLR（０°，７０％））、波長４０５ｎｍ（＝λLR（０°，５０％））、波長４０２ｎｍ（＝λLR（０°，２０％））、波長３８９ｎｍ（＝λLR（４０°，７０％））、波長３８７ｎｍ（＝λLR（４０°，５０％））、及び波長３８５ｎｍ（＝λLR（４０°，２０％））における透過率を表１に示す。
【００７５】
（赤外線カットフィルタ）
実施例３に係る第一積層体の透明ガラス基板の近赤外線反射膜が形成されていない主面に、第二積層体と同様にして吸収膜Ａ２（第一吸収膜）及び吸収膜Ｂ１（第二吸収膜）からなる吸収膜を形成した。実施例３に係る赤外線カットフィルタの波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図１５に示す。
【００７６】
表４に示す通り、実施例３に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λH（０°，７０％）＝６１２ｎｍ、波長λH（４０°，７０％）＝６０７ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（７０％）｜＝５ｎｍであった。波長λH（０°，５０％）＝６３５ｎｍ、波長λH（４０°，５０％）＝６３２ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（５０％）｜＝３ｎｍであった。波長λH（０°，２０％）＝６６９ｎｍ、波長λH（４０°，２０％）＝６６１ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（２０％）｜＝８ｎｍであった。
【００７７】
＜実施例４＞
（第一積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面にＳｉＯ2膜とＴｉＯ2膜とが交互に積層された実施例２に係る近赤外線反射膜と同一の近赤外線反射膜Ｒ２を蒸着法により形成した。このようにして、実施例４に係る第一積層体を作製した。実施例４に係る第一積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図１６に示す。実施例４に係る第一積層体に関する透過率スペクトルは実施例２に係る第一積層体に関する透過率スペクトルと同一であった。
【００７８】
（第二積層体）
波長７００〜７５０ｎｍに吸収ピークを持ち、可視域の吸収が少なく、ＭＥＫ（メチルエチルケトン）に可溶な有機色素であり、実施例２の吸収膜に含まれる有機色素の組合せと同一の有機色素の組合せからなる吸収性物質と、可視域の吸収が少なく、ＭＥＫ（メチルエチルケトン）に可溶なベンゾフェノン系紫外線吸収性物質からなる紫外線吸収性物質と、を組合せ、溶媒としてＭＥＫを用い、固形分比で９９重量％のＰＶＢを添加し、調合後２時間撹拌してコーティング液ａ３を得た。コーティング液ａ３の調製のために用いたベンゾフェノン系紫外線吸収性物質は、それのみをポリビニルブチラールに内包させて作製した紫外線吸収膜の分光透過率が、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において、１０％以下から７０％以上に増加する特性を備えていた。その紫外線吸収膜の透過率スペクトルを図５６に示す。
【００７９】
コーティング液ａ３における有機色素及びベンゾフェノン系紫外線吸収性物質の含有量及び配合比は、塗膜化して分光特性を測定した際に図１６の第二積層体の分光スペクトル特性が得られるように決めた。このコーティング液ａ３を、０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、スピンコーティングにより塗布して塗膜を形成した。この塗膜を１４０℃の環境に０．５時間曝して、塗膜を乾燥及び硬化させ吸収膜Ａ３を形成した。このようにして、実施例４に係る第二積層体を作製した。吸収膜Ａ３の厚みは３μｍであった
【００８０】
実施例４に係る第二積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を、実施例１と同様にして測定した。この測定において、実施例４に係る第二積層体には、０°、３０°、及び４０°の入射角で光を入射させたが、いずれの入射角でも実質的に同一の透過率スペクトルが得られた。入射角が０°のときに得られた透過率スペクトルを図１６に示す。図１６に示す通り、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における実施例４に係る第二積層体の分光透過率の平均値は７５％を超えていた。実施例４に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長約７１０ｎｍに吸収ピークを有していた。実施例４に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において分光透過率が７０％から１０％以下に低下する特性を有していた。
【００８１】
実施例４に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長及び実施例４に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長を表１に示す。実施例４に係る第二積層体の透過率スペクトルの、波長７１５ｎｍ（＝λHR（０°，７０％））、波長７２０ｎｍ（＝λHR（０°，５０％））、波長７３１ｎｍ（＝λHR（０°，２０％））、波長６５８ｎｍ（＝λHR（４０°，７０％））、波長６７０ｎｍ（＝λHR（４０°，５０％））、波長６８４ｎｍ（＝λHR（４０°，２０％））、波長４０６ｎｍ（＝λLR（０°，７０％））、波長４０５ｎｍ（＝λLR（０°，５０％））、波長４０２ｎｍ（＝λLR（０°，２０％））、波長３８９ｎｍ（＝λLR（４０°，７０％））、波長３８７ｎｍ（＝λLR（４０°，５０％））、及び波長３８５ｎｍ（＝λLR（４０°，２０％））における透過率を表１に示す。
【００８２】
（赤外線カットフィルタ）
実施例４に係る第一積層体の透明ガラス基板の近赤外線反射膜Ｒ２が形成されていない主面に、第二積層体と同様にして吸収膜Ａ３を形成し、実施例４に係る赤外線カットフィルタを得た。実施例４に係る赤外線カットフィルタの波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図１７に示す。
【００８３】
表４に示す通り、実施例４に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λH（０°，７０％）＝６２１ｎｍ、波長λH（４０°，７０％）＝６２０ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（７０％）｜＝１ｎｍであった。波長λH（０°，５０％）＝６４３ｎｍ、波長λH（４０°，５０％）＝６４２ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（５０％）｜＝１ｎｍであった。波長λH（０°，２０％）＝６７６ｎｍ、波長λH（４０°，２０％）＝６６３ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（２０％）｜＝１３ｎｍであった。赤外線カットフィルタへの入射角がＷ°のときに得られた透過率スペクトルにおいて波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において透過率がＺ％である波長をλL（Ｗ°，Ｚ％）と定義した。表４に示す通り、波長λL（０°，７０％）＝４２６ｎｍ、波長λL（４０°，７０％）＝４３３ｎｍであり、それらの差の絶対値を｜ΔλL（７０％）｜とすると、｜ΔλL（７０％）｜＝７ｎｍであった。波長λL（０°，５０％）＝４０９ｎｍ、波長λL（４０°，５０％）＝４０８ｎｍであり、それらの差の絶対値を｜ΔλL（５０％）｜とすると、｜ΔλL（５０％）｜＝１ｎｍであった。波長λL（０°，２０％）＝４０４ｎｍ、波長λL（４０°，２０％）＝３９８ｎｍであり、それらの差の絶対値を｜ΔλL（２０％）｜とすると、｜ΔλL（２０％）｜＝６ｎｍであった。
【００８４】
＜実施例５＞
（第一積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、ＳｉＯ2膜とＴｉＯ2膜とが交互に積層された実施例１〜４に記載の近赤外線反射膜Ｒ１〜Ｒ３とは異なる近赤外線反射膜Ｒ４を蒸着法により形成した。このようにして、実施例５に係る第一積層体を作製した。実施例５に係る第一積層体の近赤外線反射膜の厚みは、６μｍであった。また、実施例５に係る第一積層体の近赤外線反射膜Ｒ４は、２０層のＳｉＯ2膜と２０層のＴｉＯ2膜を含んでいた。実施例５に係る第一積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図１８に示す。
【００８５】
実施例５に係る第一積層体に関する透過率スペクトルにおいて、光の入射角がいずれの場合にも、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における分光透過率の平均値は８０％を超えていた。実施例５に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλHR（７０％）、ΔλHR（５０％）及びΔλHR（２０％）を表２に示す。また、実施例５に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλLR（７０％）、ΔλLR（５０％）、及びΔλLR（２０％）を表２に示す。
【００８６】
（第二積層体）
実施例３で使用したコーティング液ｂ１を、０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、ダイコーティングによって塗布して塗膜を形成した。この塗膜を８５℃で３時間、次に１２５℃で３時間、次に１５０℃で１時間、次に１７０℃で３時間の条件で塗膜に対して加熱処理を行い、実施例３と同様に吸収膜Ｂ１を形成した。吸収膜Ｂ１の厚みは５０μｍであった。このようにして、実施例５に係る第二積層体の第二吸収膜である吸収膜Ｂ１を作製した。次に、吸収膜Ｂ１の上に、実施例４で使用したコーティング液ａ３をスピンコーティングにより塗布して塗膜を形成した。この塗膜を１４０℃の環境に０．５時間曝して、塗膜を乾燥及び硬化させ、実施例４と同様に吸収膜Ａ３を形成した。このようにして、実施例５に係る第二積層体の第一吸収膜である吸収膜Ａ３を作製した。吸収膜Ａ３の厚みは３μｍであった。このようにして、実施例５に係る第二積層体を作製した。すなわち、実施例５に係る第二積層体の吸収膜は、厚みが５０μｍの吸収膜Ｂ１（第二吸収膜）及び厚みが３μｍの吸収膜Ａ３（第一吸収膜）を含んでいた。
【００８７】
実施例５に係る第二積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を、実施例１と同様にして測定した。この測定において、実施例５に係る第二積層体には、０°、３０°、及び４０°の入射角で光を入射させたが、いずれの入射角でも実質的に同一の透過率スペクトルが得られた。入射角が０°のときに得られた透過率スペクトルを図１８に示す。図１８に示す通り、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における実施例５に係る第二積層体の分光透過率の平均値は７５％を超えていた。実施例５に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長約７００ｎｍ〜約７７０ｎｍの範囲に及ぶ幅広な吸収ピークを有していた。実施例５に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において分光透過率が１０％以下から７０％以上に増加する特性を有していた。
【００８８】
実施例５に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長及び実施例５に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長を表２に示す。実施例５に係る第二積層体の透過率スペクトルの、波長７２７ｎｍ（＝λHR（０°，７０％））、波長７３８ｎｍ（＝λHR（０°，５０％））、波長７６６ｎｍ（＝λHR（０°，２０％））、波長６７２ｎｍ（＝λHR（４０°，７０％））、波長６８５ｎｍ（＝λHR（４０°，５０％））、波長７１７ｎｍ（＝λHR（４０°，２０％））、波長４０６ｎｍ（＝λLR（０°，７０％））、波長４０５ｎｍ（＝λLR（０°，５０％））、波長４０２ｎｍ（＝λLR（０°，２０％））、波長３８９ｎｍ（＝λLR（４０°，７０％））、波長３８７ｎｍ（＝λLR（４０°，５０％））、及び波長３８５ｎｍ（＝λLR（４０°，２０％））における透過率を表２に示す。
【００８９】
（赤外線カットフィルタ）
実施例５に係る第一積層体の透明ガラス基板の近赤外線反射膜Ｒ４が形成されていない主面に、第二積層体と同様にして吸収膜Ａ３（第一吸収膜）および吸収膜Ｂ１（第二吸収膜）からなる吸収膜を形成した。実施例５に係る赤外線カットフィルタの波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図１９に示す。
【００９０】
表５に示す通り、実施例５に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λH（０°，７０％）＝６１１ｎｍ、波長λH（４０°，７０％）＝６０６ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（７０％）｜＝５ｎｍであった。波長λH（０°，５０％）＝６３４ｎｍ、波長λH（４０°，５０％）＝６３２ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（５０％）｜＝２ｎｍであった。波長λH（０°，２０％）＝６６９ｎｍ、波長λH（４０°，２０％）＝６６１ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（２０％）｜＝８ｎｍであった。また、表５に示す通り、実施例５に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λL（０°，７０％）＝４２７ｎｍ、波長λL（４０°，７０％）＝４３６ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（７０％）｜＝９ｎｍであった。波長λL（０°，５０％）＝４０９ｎｍ、波長λL（４０°，５０％）＝４０９ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（５０％）｜＝０ｎｍであった。波長λL（０°，２０％）＝４０４ｎｍ、波長λL（４０°，２０％）＝３９８ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（２０％）｜＝６ｎｍであった。
【００９１】
＜実施例６＞
（第一積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、ＳｉＯ2膜とＴｉＯ2膜とが交互に積層された実施例１〜５に記載の近赤外線反射膜Ｒ１〜Ｒ４とは異なる近赤外線反射膜Ｒ５を蒸着法により形成した。このようにして、実施例６に係る第一積層体を作製した。実施例６に係る第一積層体の近赤外線反射膜Ｒ５の厚みは５．５μｍであった。また、実施例６に係る第一積層体の近赤外線反射膜は、１８層のＳｉＯ2膜と１８層のＴｉＯ2膜を含んでいた。実施例６に係る第一積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図２０に示す。
【００９２】
実施例６に係る第一積層体の透過率スペクトルにおいて、光の入射角がいずれの場合にも、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における分光透過率の平均値は８０％を超えていた。入射角が３０°のときの実施例６に係る第一積層体の透過率スペクトルにおいて、波長約４２２ｎｍに分光透過率が約７１％である極小値を有していた。この透過率スペクトルにおいて、分光透過率が９３％のラインをベースラインと仮定した場合、この極小値を含み下に凸となった部分は、ベースラインから１５ポイント以上低下した分光透過率を有し、約１４ｎｍの半値全幅を有していた。さらに入射角が４０°のときの実施例６に係る第一積層体の透過率スペクトルにおいて、波長約４１５ｎｍに分光透過率が約５５％である極小値を有していた。同様に、この透過率スペクトルにおいて、分光透過率が９３％のラインをベースラインと仮定した場合、この極小値を含み下に凸となった部分は、ベースラインから３０ポイント以上低下した分光透過率を有し、約１６ｎｍの半値全幅を有していた。
【００９３】
実施例６に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλHR（７０％）、ΔλHR（５０％）及びΔλHR（２０％）を表２に示す。また、実施例６に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλLR（７０％）、ΔλLR（５０％）、及びΔλLR（２０％）を表２に示す。
【００９４】
（第二積層体）
実施例３で使用したコーティング液ｂ１を、０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、ダイコーティングによって塗布して塗膜を形成した。この塗膜を８５℃で３時間、次に１２５℃で３時間、次に１５０℃で１時間、次に１７０℃で３時間の条件で塗膜に対して加熱処理を行い、実施例３と同様に吸収膜Ｂ１を形成した。吸収膜Ｂ１の厚みは５０μｍであった。このようにして、実施例６に係る第二積層体の第二吸収膜である吸収膜Ｂ１を作製した。次に、吸収膜Ｂ１の上に、実施例２で使用したコーティング液ａ２をスピンコーティングにより塗布して塗膜を形成した。この塗膜を１４０℃の環境に０．５時間曝して、塗膜を乾燥及び硬化させ、実施例４と同様に吸収膜Ａ２を形成した。このようにして、実施例６に係る第二積層体の第一吸収膜である吸収膜Ａ２を作製した。吸収膜Ａ２の厚みは３μｍであった。このようにして、実施例６に係る第二積層体を作製した。すなわち、実施例６に係る第二積層体の吸収膜は、厚みが５０μｍの吸収膜Ｂ１（第二吸収膜）及び厚みが３μｍの吸収膜Ａ３（第一吸収膜）を含み、実施例３に係る第二積層体の吸収膜と同一であった。
【００９５】
実施例６に係る第二積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を、実施例１と同様にして測定した。この測定において、実施例６に係る第二積層体には、０°、３０°、及び４０°の入射角で光を入射させたが、いずれの入射角でも実質的に同一の透過率スペクトルが得られ、実施例３に係る第二積層体と同一の透過率スペクトルが得られた。入射角が０°のときに得られた透過率スペクトルを図２０に示す。図２０に示す通り、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における実施例６に係る第二積層体の分光透過率の平均値は７５％を超えていた。実施例６に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長約７００〜約７７０ｎｍの範囲に及ぶ幅広な吸収ピークを有していた。実施例６に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長約４１０ｎｍにおいて吸収ピークを有していた。実施例６に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長及び実施例６に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長を表２に示す。実施例６に係る第二積層体の透過率スペクトルの、波長７１４ｎｍ（＝λHR（０°，７０％））、波長７２０ｎｍ（＝λHR（０°，５０％））、波長７３０ｎｍ（＝λHR（０°，２０％））、波長６５９ｎｍ（＝λHR（４０°，７０％））、波長６６８ｎｍ（＝λHR（４０°，５０％））、波長６８５ｎｍ（＝λHR（４０°，２０％））、波長４１１ｎｍ（＝λLR（０°，７０％））、波長４１０ｎｍ（＝λLR（０°，５０％））、波長４０６ｎｍ（＝λLR（０°，２０％））、波長３９４ｎｍ（＝λLR（４０°，７０％））、波長３９２ｍ（＝λLR（４０°，５０％））、及び波長３８８ｎｍ（＝λLR（４０°，２０％））における透過率を表２に示す。
【００９６】
（赤外線カットフィルタ）
実施例６に係る第一積層体の透明ガラス基板の近赤外線反射膜Ｒ５が形成されていない主面に、第二積層体と同様にして吸収膜Ａ２（第一吸収膜）および吸収膜Ｂ１（第二吸収膜）とからなる吸収膜を形成した。このようにして、実施例６に係る赤外線カットフィルタを作製した。実施例６に係る赤外線カットフィルタの波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様にして測定した。得られた透過率スペクトルを図２１に示す。
【００９７】
表５に示す通り、実施例６に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λH（０°，７０％）＝６２１ｎｍ、波長λH（４０°，７０％）＝６１７ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（７０％）｜＝４ｎｍであった。波長λH（０°，５０％）＝６４３ｎｍ、波長λH（４０°，５０％）＝６３７ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（５０％）｜＝６ｎｍであった。波長λH（０°，２０％）＝６７５ｎｍ、波長λH（４０°，２０％）＝６６３ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（２０％）｜＝１２ｎｍであった。実施例６に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λL（０°，７０％）＝４１３ｎｍ、波長λL（４０°，７０％）＝３９７ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（７０％）｜＝１６ｎｍであった。波長λL（０°，５０％）＝４１１ｎｍ、波長λL（４０°，５０％）＝３９４ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（５０％）｜＝１７ｎｍであった。波長λL（０°，２０％）＝４０７ｎｍ、波長λL（４０°，２０％）＝３８９ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（２０％）｜＝１８ｎｍであった。
【００９８】
＜実施例７＞
（第一積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、ＳｉＯ2膜とＴｉＯ2膜とが交互に積層された実施例１〜６に記載の近赤外線反射膜Ｒ１〜Ｒ５とは異なる近赤外線反射膜Ｒ６を蒸着法により形成した。このようにして、実施例７に係る第一積層体を作製した。実施例７に係る第一積層体の近赤外線反射膜Ｒ６の厚みは５．５μｍであった。また、実施例７に係る第一積層体の近赤外線反射膜Ｒ６は、１８層のＳｉＯ2膜と１８層のＴｉＯ2膜を含んでいた。実施例７に係る第一積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図２２に示す。
【００９９】
実施例７に係る第一積層体の透過率スペクトルにおいて、光の入射角がいずれの場合にも、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における分光透過率の平均値は８０％を超えていた。入射角が３０°のときの実施例７に係る第一積層体の透過率スペクトルにおいて、波長約４２５ｎｍに分光透過率が約７５％である極小値を有していた。この透過率スペクトルにおいて、分光透過率が９３％のラインをベースラインと仮定した場合、この極小値を含み下に凸となった部分は、ベースラインから１５ポイント以上低下した分光透過率を有し、約１２ｎｍの半値全幅を有していた。さらに入射角が４０°のときの実施例７に係る第一積層体の透過率スペクトルにおいて、波長約４１５ｎｍに分光透過率が約５８％である極小値を有していた。この透過率スペクトルにおいて、同様に、分光透過率が９３％のラインをベースラインと仮定した場合、この極小値を含み下に凸となった部分は、ベースラインから３０ポイント以上低下した分光透過率を有し、約１４ｎｍの半値全幅を有していた。
【０１００】
実施例７に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλHR（７０％）、ΔλHR（５０％）及びΔλHR（２０％）を表２に示す。また、実施例７に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλLR（７０％）、ΔλLR（５０％）、及びΔλLR（２０％）を表２に示す。
【０１０１】
（第二積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、実施例４で使用したコーティング液ａ３をスピンコーティングにより塗布して塗膜を形成した。この塗膜を１４０℃の環境に０．５時間曝して、塗膜を乾燥及び硬化させ吸収膜Ａ３を形成した。このようにして、実施例７に係る第二積層体の吸収膜Ａ３を作製した。吸収膜Ａ３の厚みは３μｍであった。
【０１０２】
実施例７に係る第二積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を、実施例１と同様にして測定した。この測定において、実施例７に係る第二積層体には、０°、３０°、及び４０°の入射角で光を入射させたが、いずれの入射角でも実質的に同一の透過率スペクトルが得られ、実施例４に係る第二積層体に関する透過率スペクトルと同一であった。入射角が０°のときに得られた透過率スペクトルを図２２に示す。図２２に示す通り、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における実施例７に係る第二積層体の分光透過率の平均値は７５％を超えていた。実施例７に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長約７１０ｎｍに吸収ピークを有していた。実施例７に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において分光透過率が１０％以下から７０％以上に増加する特性を有していた。
【０１０３】
実施例７に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長及び実施例７に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長を表２に示す。実施例７に係る第二積層体の透過率スペクトルの、波長７１５ｎｍ（＝λHR（０°，７０％））、波長７２０ｎｍ（＝λHR（０°，５０％））、波長７３１ｎｍ（＝λHR（０°，２０％））、波長６５９ｎｍ（＝λHR（４０°，７０％））、波長６６７ｎｍ（＝λHR（４０°，５０％））、波長６８４ｎｍ（＝λHR（４０°，２０％））、波長４１１ｎｍ（＝λLR（０°，７０％））、波長４０９ｎｍ（＝λLR（０°，５０％））、波長４０６ｎｍ（＝λLR（０°，２０％））、波長３９４ｎｍ（＝λLR（４０°，７０％））、波長３９１ｍ（＝λLR（４０°，５０％））、及び波長３８８ｎｍ（＝λLR（４０°，２０％））における透過率を表２に示す。
【０１０４】
（赤外線カットフィルタ）
実施例７に係る第一積層体の透明ガラス基板の近赤外線反射膜Ｒ６が形成されていない主面に、第二積層体と同様にして吸収膜Ａ３を形成した。このようにして、実施例７に係る赤外線カットフィルタを作製した。実施例７に係る赤外線カットフィルタの波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様にして測定した。得られた透過率スペクトルを図２３に示す。
【０１０５】
表５に示す通り、実施例７に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λH（０°，７０％）＝６２０ｎｍ、波長λH（４０°，７０％）＝６１８ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（７０％）｜＝２ｎｍであった。波長λH（０°，５０％）＝６４２ｎｍ、波長λH（４０°，５０％）＝６３６ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（５０％）｜＝６ｎｍであった。波長λH（０°，２０％）＝６７５ｎｍ、波長λH（４０°，２０％）＝６６３ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（２０％）｜＝１２ｎｍであった。実施例７に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λL（０°，７０％）＝４２８ｎｍ、波長λL（４０°，７０％）＝４２９ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（７０％）｜＝１ｎｍであった。波長λL（０°，５０％）＝４１２ｎｍ、波長λL（４０°，５０％）＝４２０ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（５０％）｜＝８ｎｍであった。波長λL（０°，２０％）＝４０８ｎｍ、波長λL（４０°，２０％）＝３９８ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（２０％）｜＝１０ｎｍであった。
【０１０６】
＜実施例８＞
（第一積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、ＳｉＯ2膜とＴｉＯ2膜とが交互に積層された実施例１〜７に記載の近赤外線反射膜Ｒ１〜Ｒ６とは異なる近赤外線反射膜Ｒ７を蒸着法により形成した。このようにして、実施例８に係る第一積層体を作製した。実施例８に係る第一積層体の近赤外線反射膜Ｒ７の厚みは６μｍであった。また、実施例８に係る第一積層体の近赤外線反射膜Ｒ７は、１９層のＳｉＯ2膜と１９層のＴｉＯ2膜を含んでいた。実施例８に係る第一積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図２４に示す。
【０１０７】
実施例８に係る第一積層体の透過率スペクトルにおいて、光の入射角がいずれの場合にも、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における分光透過率の平均値は８０％を超えていた。入射角が３０°のときの実施例８に係る第一積層体の透過率スペクトルにおいて、波長約４２０ｎｍの範囲に分光透過率が約７６％である極小値を有していた。この透過率スペクトルにおいて、分光透過率が９３％のラインをベースラインと仮定した場合、この極小値を含み下に凸となった部分は、ベースラインから１０ポイント以上低下した分光透過率を有し、約１４ｎｍの半値全幅を有していた。さらに入射角が４０°のときの実施例８に係る第一積層体の透過率スペクトルにおいて、波長約４２９ｎｍに分光透過率が約５５％である極小値を有していた。この透過率スペクトルにおいて、同様に、分光透過率が９３％のラインをベースラインと仮定した場合、この極小値を含み下に凸となった部分は、ベースラインから３０ポイント以上低下した分光透過率を有し、約１６ｎｍの半値全幅を有していた。
【０１０８】
実施例８に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλHR（７０％）、ΔλHR（５０％）及びΔλHR（２０％）を表２に示す。また、実施例８に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλLR（７０％）、ΔλLR（５０％）、及びΔλLR（２０％）を表２に示す。
【０１０９】
（第二積層体）
実施例３で使用したコーティング液ｂ１を、０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、ダイコーティングによって塗布して塗膜を形成した。この塗膜を８５℃で３時間、次に１２５℃で３時間、次に１５０℃で１時間、次に１７０℃で３時間の条件で塗膜に対して加熱処理を行い、実施例３と同様に吸収膜Ｂ１を形成した。吸収膜Ｂ１の厚みは５０μｍであった。このようにして、実施例８に係る第二積層体の第二吸収膜である吸収膜Ｂ１を作製した。次に、吸収膜Ｂ１の上に、実施例４で使用したコーティング液ａ３をスピンコーティングにより塗布して塗膜を形成した。この塗膜を１４０℃の環境に０．５時間曝して、塗膜を乾燥及び硬化させ、実施例４と同様に吸収膜Ａ３を形成した。このようにして、実施例８に係る第二積層体の第一吸収膜である吸収膜Ａ３を作製した。吸収膜Ａ３の厚みは３μｍであった。このようにして、実施例８に係る第二積層体を作製した。すなわち、実施例８に係る第二積層体の吸収膜は、厚みが５０μｍの吸収膜Ｂ１（第二吸収膜）及び厚みが３μｍの吸収膜Ａ３（第一吸収膜）を含み、実施例５に係る第二積層体の吸収膜と同一な構成であった。
【０１１０】
実施例８に係る第二積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を、実施例１と同様にして測定した。この測定において、実施例８に係る第二積層体には、０°、３０°、及び４０°の入射角で光を入射させたが、いずれの入射角でも実質的に同一の透過率スペクトルが得られ、実施例５に係る第二積層体と同一の透過率スペクトルが得られた。入射角が０°のときに得られた透過率スペクトルを図２４に示す。図２４に示す通り、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における実施例８に係る第二積層体の分光透過率の平均値は７５％を超えていた。実施例８に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長約７００〜約７７０ｎｍの範囲に及ぶ幅広な吸収ピークを有していた。実施例８に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において分光透過率が１０％以下から７０％以上に増加する特性を有していた。
【０１１１】
実施例８に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長及び実施例８に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長を表２に示す。実施例８に係る第二積層体の透過率スペクトルの、波長７４３ｎｍ（＝λHR（０°，７０％））、波長７４９ｎｍ（＝λHR（０°，５０％））、波長７６１ｎｍ（＝λHR（０°，２０％））、波長６８３ｎｍ（＝λHR（４０°，７０％））、波長６９７ｎｍ（＝λHR（４０°，５０％））、波長７１２ｎｍ（＝λHR（４０°，２０％））、波長４１４ｎｍ（＝λLR（０°，７０％））、波長４１０ｎｍ（＝λLR（０°，５０％））、波長４０８ｎｍ（＝λLR（０°，２０％））、波長３９６ｎｍ（＝λLR（４０°，７０％））、波長３９４ｍ（＝λLR（４０°，５０％））、及び波長３９０ｎｍ（＝λLR（４０°，２０％））における透過率を表２に示す。
【０１１２】
（赤外線カットフィルタ）
実施例８に係る第一積層体の透明ガラス基板の近赤外線反射膜Ｒ７が形成されていない主面に、第二積層体と同様にして吸収膜Ａ３（第一吸収膜）及び吸収膜Ｂ１（第二吸収膜）とからなる吸収膜を形成した。このようにして、実施例８に係る赤外線カットフィルタを作製した。実施例８に係る赤外線カットフィルタの波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様にして測定した。得られた透過率スペクトルを図２５に示す。
【０１１３】
表５に示す通り、実施例８に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λH（０°，７０％）＝６１０ｎｍ、波長λH（４０°，７０％）＝６０７ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（７０％）｜＝３ｎｍであった。波長λH（０°，５０％）＝６３４ｎｍ、波長λH（４０°，５０％）＝６３０ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（５０％）｜＝４ｎｍであった。波長λH（０°，２０％）＝６６８ｎｍ、波長λH（４０°，２０％）＝６６２ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（２０％）｜＝６ｎｍであった。実施例８に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λL（０°，７０％）＝４３５ｎｍ、波長λL（４０°，７０％）＝４４０ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（７０％）｜＝５ｎｍであった。波長λL（０°，５０％）＝４１４ｎｍ、波長λL（４０°，５０％）＝４１２ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（５０％）｜＝２ｎｍであった。波長λL（０°，２０％）＝４０９ｎｍ、波長λL（４０°，２０％）＝３９９ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（２０％）｜＝１０ｎｍ
であった。
【０１１４】
＜実施例９＞
（第一積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、実施例８と同様にして、ＳｉＯ2膜とＴｉＯ2膜とが交互に積層された近赤外線反射膜Ｒ７を蒸着法により形成した。このようにして、実施例９に係る第一積層体を作製した。実施例９に係る第一積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図２６に示す。実施例９に係る第一積層体に関する透過率スペクトルは実施例８に係る第一積層体に関する透過率スペクトルと同一であった。
【０１１５】
（第二積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、バインダとしてのシリコーン樹脂（信越化学工業社製、製品名：ＫＲ−３００）の含有量を４．４ｇから２倍の８．８ｇに変更した以外はコーティング液ｂ１と同様にして作製したコーティング液ｂ２を塗布し、吸収膜Ｂ２（第二吸収膜）を形成した。第二吸収膜である吸収膜Ｂ２の厚みは１００μｍであった。次に、第二吸収膜である吸収膜Ｂ２の上に、蒸着法によりＳｉＯ2膜を形成した。ＳｉＯ2膜の厚みは３μｍであった。さらにＳｉＯ2膜の上に、実施例４で使用したコーティング液ａ３をスピンコーティングにより塗布して塗膜を形成した。この塗膜を１４０℃の環境に０．５時間曝して、塗膜を乾燥及び硬化させ吸収膜Ａ３（第一吸収膜）を形成した。このようにして実施例９に係る第二積層体を作製した。すなわち、実施例９に係る第二積層体の吸収膜は、厚みが１００μｍの吸収膜Ｂ２（第二吸収膜）、厚みが３μｍのＳｉＯ2膜、及び厚みが３μｍの吸収膜Ａ３（第一吸収膜）を含んでいた。実施例９に係る第二積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を、実施例１と同様にして測定した。この測定において、実施例９に係る第二積層体には、０°、３０°、及び４０°の入射角で光を入射させたが、いずれの入射角でも実質的に同一の透過率スペクトルが得られ、実施例８に係る第二積層体と実質的に同一の透過率スペクトルが得られた。入射角が０°のときに得られた透過率スペクトルを図２６に示す。
【０１１６】
（赤外線カットフィルタ）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、第二積層体と同様に吸収膜Ｂ２（第二吸収膜）を形成した。吸収膜Ｂ２（第二吸収膜）の厚みは１００μｍであった。吸収膜Ｂ２（第二吸収膜）の上に、第一積層体の近赤外線反射膜と同一の近赤外線反射膜Ｒ７を形成した。次に、吸収膜Ｂ２（第二吸収膜）を透明ガラス基板より剥離した、このようにして吸収膜Ｂ２（第二吸収膜）上に近赤外線反射膜Ｒ７が形成されたフィルムを得た。このフィルムは近赤外線反射膜Ｒ７側が凸面となるように反った状態となった。さらに、近赤外線反射膜Ｒ７が形成されていない吸収膜Ｂ２（第二吸収膜）のもう一方の面に、蒸着法によりＳｉＯ2膜を形成した。ＳｉＯ2膜の厚みは３μｍであった。これによりフィルムの反りが緩和された。続いて、ＳｉＯ2膜の上に、第二積層体の吸収膜Ａ３（第一吸収膜）と同一の吸収膜Ａ３を形成した。吸収膜Ａ３の厚みは同様に３μｍであった。このようにして、実施例９に係る赤外線カットフィルタを作製した。実施例９に係る赤外線カットフィルタの波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図２７に示す。実施例９に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルは、実施例８に係る赤外線カットフィルタとほぼ同一であることが確認された。透明ガラス基板と第二積層体の屈折率差が少ないため、赤外線カットフィルタにおける透明ガラス基板の有無は赤外線カットフィルタの分光透過率に対して実質的に影響しないと考えられる。
【０１１７】
＜実施例１０＞
（第一積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、ＳｉＯ2膜とＴｉＯ2膜とが交互に積層された近赤外線反射膜Ｒ８１（第一反射膜）を蒸着法により形成した。第一反射膜である近赤外線反射膜Ｒ８１は、後述の反射膜Ｒ８２との組合せにより、所望の近赤外線反射膜の機能を備えるものである。第一反射膜Ｒ８１の厚みは、４μｍであり、１６層のＳｉＯ2膜と１６層のＴｉＯ2膜を含んでいた。透明ガラス基板と近赤外線反射膜Ｒ８１（第一反射膜）との積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を入射角０°で実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図２８に示す。
【０１１８】
透明ガラス基板の、第一反射膜Ｒ８１が形成されていないもう一方の主面に、ＳｉＯ2膜とＴｉＯ2膜とが交互に積層された反射膜Ｒ８２（第二反射膜）を蒸着法により形成した。反射膜Ｒ８２の厚みは、４μｍであった。また、反射膜Ｒ８２は、１６層のＳｉＯ2膜と１６層のＴｉＯ2膜を含んでいた。反射膜Ｒ８２の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定するために、第二反射膜である反射膜Ｒ８２を作製するときと同一のバッチに、両面に何も形成されていない０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）を投入して、透明ガラス基板の一方の面に反射膜Ｒ８２が形成された積層体を得て、分光透過率を入射角０°で測定した。得られた透過率スペクトルを図２８に示す。
【０１１９】
このようにして、実施例１０に係る第一積層体を作製した。すなわち、実施例１０に係る第一積層体は、ガラス基板の両方の主面上に第一反射膜である近赤外線反射膜Ｒ８１及び第二反射膜である近赤外線反射膜Ｒ８２がそれぞれ形成されている積層体であった。この第一積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図２９に示す。図２９に示す通り、第一積層体の透過域（例えば、０°の入射角の場合は波長約４２０〜６９０ｎｍの範囲）における分光透過率は、他の実施例の第一積層体とは異なり１００％に近かった。これは、第一反射膜である近赤外線反射膜Ｒ８１及び第二反射膜である反射膜Ｒ８２が透過域における反射防止機能を備えるように設計されていたためであり、この結果、実施例１０に係る第一積層体の空気との界面における反射損失が抑制されたことに留意する。
【０１２０】
実施例１０に係る第一積層体に４０°の入射角で入射する光の透過率スペクトルにおいて、波長約５００ｎｍ付近にリップルが生じているものの、光の入射角がいずれの場合にも、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における分光透過率の平均値は８０％を超えていた。入射角が３０°のときの実施例１０に係る第一積層体の透過率スペクトルにおいて、波長約４２５ｎｍに分光透過率が約８０％である極小値を有していた。この透過率スペクトルにおいて、分光透過率が９９％のラインをベースラインと仮定した場合、この極小値を含み下に凸となった部分は、ベースラインから約２０ポイント低下した分光透過率を有し、約１５ｎｍの半値全幅を有していた。さらに入射角が４０°のときの実施例１０に係る第一積層体の透過率スペクトルにおいて、波長約４１５ｎｍに分光透過率が約５５％である極小値を有していた。この透過率スペクトルにおいて、同様に、分光透過率が９９％のラインをベースラインと仮定した場合、この極小値を含み下に凸となった部分は、ベースラインから４０ポイント以上低下した分光透過率を有し、約１９ｎｍの半値全幅を有していた。
【０１２１】
実施例１０に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλHR（７０％）、ΔλHR（５０％）及びΔλHR（２０％）を表３に示す。また、実施例１０に係る第一積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長並びにΔλLR（７０％）、ΔλLR（５０％）、及びΔλLR（２０％）を表３に示す。
【０１２２】
（第二積層体）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、第二吸収膜である吸収膜Ｂ２、ＳｉＯ2膜、及び第一吸収膜である吸収膜Ａ３からなる実施例９の第二積層体と同一構成の吸収膜を形成した。このようにして実施例１０に係る第二積層体を作製した。すなわち、実施例１０に係る第二積層体の吸収膜は、厚みが１００μｍの第二吸収膜である吸収膜Ｂ２、厚みが３μｍのＳｉＯ2膜、及び厚みが３μｍの第一吸収膜である吸収膜Ａ３を含んでいた。
【０１２３】
実施例１０に係る第二積層体の波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を、実施例１と同様にして測定した。この測定において、実施例１０に係る第二積層体には、０°、３０°、及び４０°の入射角で光を入射させたが、いずれの入射角でも実質的に同一の透過率スペクトルが得られ、実施例１０に係る第二積層体と同一の透過率スペクトルが得られた。入射角が０°のときに得られた透過率スペクトルを図２９に示す。図２９に示す通り、４５０〜６００ｎｍの波長範囲における実施例１０に係る第二積層体の分光透過率の平均値は７５％を超えていた。実施例１０に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長約７００〜約７７０ｎｍの範囲に及ぶ幅広な吸収ピークを有していた。実施例１０に係る第二積層体の透過率スペクトルは、波長３５０〜４５０ｎｍの範囲において分光透過率が１０％以下から７０％以上に増加する特性を有していた。
【０１２４】
実施例１０に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長６００〜８００ｎｍの範囲の各特定波長及び実施例１０に係る第二積層体の透過率スペクトルにおける波長３５０〜４５０ｎｍの範囲の各特定波長を表３に示す。実施例１０に係る第二積層体の透過率スペクトルの、波長７１５ｎｍ（＝λHR（０°，７０％））、波長７１９ｎｍ（＝λHR（０°，５０％））、波長７２７ｎｍ（＝λHR（０°，２０％））、波長６５９ｎｍ（＝λHR（４０°，７０％））、波長６７６ｎｍ（＝λHR（４０°，５０％））、波長６８４ｎｍ（＝λHR（４０°，２０％））、波長４１１ｎｍ（＝λLR（０°，７０％））、波長４１０ｎｍ（＝λLR（０°，５０％））、波長４０９ｎｍ（＝λLR（０°，２０％））、波長３８９ｎｍ（＝λLR（４０°，７０％））、波長３８６ｍ（＝λLR（４０°，５０％））、及び波長３８３ｎｍ（＝λLR（４０°，２０％））における透過率を表３に示す。
【０１２５】
（赤外線カットフィルタ）
０．２１ｍｍの厚みを有するホウケイ酸ガラスでできた透明ガラス基板（SCHOTT社製、製品名：Ｄ２６３）の一方の主面に、第二積層体の第二吸収膜と同一の吸収膜Ｂ２を形成した。第二吸収膜である吸収膜Ｂ２の厚みは１００μｍであった。第二吸収膜である吸収膜Ｂ２の上に、第一積層体の第一反射膜と同一の近赤外線反射膜Ｒ８１を形成した。次に、第二吸収膜である吸収膜Ｂ２を透明ガラス基板より剥離した。このようにして第二吸収膜である吸収膜Ｂ２上に第一反射膜である近赤外線反射膜Ｒ８１が形成されたフィルムを得た。このフィルムは近赤外線反射膜Ｒ８１側が凸面となるように反った状態となった。さらに、近赤外線反射膜Ｒ８１が形成されていない第一吸収膜のもう一方の面に、蒸着法によりＳｉＯ2膜を形成した。ＳｉＯ2膜の厚みは３μｍであった。これによりフィルムの反りが緩和された。続いて、ＳｉＯ2膜の上に、第二積層体の第一吸収膜と同一の吸収膜Ａ３を形成した。第一吸収膜である吸収膜Ａ３の厚みは同様に３μｍであった。さらに、第一吸収膜である吸収膜Ａ３の上に、第一積層体の第二反射膜と同一の反射膜Ｒ８２を形成した。このようにして、実施例１０に係る赤外線カットフィルタを作製した。実施例１０に係る赤外線カットフィルタの波長３５０〜１１００ｎｍにおける分光透過率を実施例１と同様に測定した。得られた透過率スペクトルを図３０に示す。
【０１２６】
表６に示す通り、実施例１０に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λH（０°，７０％）＝６１５ｎｍ、波長λH（４０°，７０％）＝６１１ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（７０％）｜＝４ｎｍであった。波長λH（０°，５０％）＝６３７ｎｍ、波長λH（４０°，５０％）＝６３３ｎｍであり、それらの差の絶対値
｜ΔλH（５０％）｜＝４ｎｍであった。波長λH（０°，２０％）＝６６９ｎｍ、波長λH（４０°，２０％）＝６５９ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλH（２０％）｜＝１０ｎｍであった。実施例１０に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルにおいて、波長λL（０°，７０％）＝４２３ｎｍ、波長λL（４０°，７０％）＝４３０ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（７０％）｜＝７ｎｍであった。波長λL（０°，５０％）＝４１１ｎｍ、波長λL（４０°，５０％）＝４２１ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（５０％）｜＝１０ｎｍであった。波長λL（０°，２０％）＝４１０ｎｍ、波長λL（４０°，２０％）＝３９９ｎｍであり、それらの差の絶対値｜ΔλL（２０％）｜＝１１ｎｍであった。
【０１２７】
＜評価１＞
実施例７に係る赤外線カットフィルタを所定の感度特性を有する撮像素子と組み合わせたときの分光感度について評価した。この評価には、図３１に示す分光感度を有する撮像素子を用いた。撮像素子自体には色の識別能力はないので、ＲＧＢカラーフィルタにより色分解された光が撮像素子に導かれた結果、図３１に示す分光感度が得られた。実施例７に係る赤外線カットフィルタに０°及び４０°の入射角で光を入射させたときの分光透過率と、図３１に示す分光感度とを合成した結果を図３２に示す。図３２において、最も短波長側にピークを有するスペクトルはＢフィルタ（青色フィルタ）を透過した光に関する。また、最も長波長側にピークを有するスペクトルはＲフィルタ（赤色フィルタ）を通過した光に関する。さらに、それらのピークの中間にピークを有するスペクトルはＧフィルタ（緑色フィルタ）を通過した光に関する。図３２に示す通り、入射角が４０°のときの合成された分光感度は、入射角が０°のときの合成された分光感度と異なっていた。
【０１２８】
撮像装置で得られる画像における色味の違いを評価する指標として、Ｂ／Ｇ比がある。実施例７に係る赤外線カットフィルタに入射する光の入射角を０°から４０°まで段階的に変化させて各入射角について３５０〜１１００ｎｍの波長範囲における透過率スペクトルを得た。そのうえで、実施例７に係る赤外線カットフィルタを図３１に示す分光感度を有する撮像素子と組み合わせたときのＢ／Ｇ比が、実施例７に係る赤外線カットフィルタに入射する光の入射角を０°から４０°まで段階的に変化させたときにどのように変化するかを評価した。ここで、Ｂ／Ｇ比は、赤外線カットフィルタ及びＧフィルタを透過した光の撮像素子における分光感度に対する、赤外線カットフィルタ及びＢフィルタを透過した光の撮像素子における分光感度の比である。実施例７に係る赤外線カットフィルタに入射する光の入射角が０°であるときのＢ／Ｇ比の値を１.０としたときの相対値として、各入射角におけるＢ／Ｇ比を求めたところ、図３３に示す結果が得られた。特に入射角が４０°のときのＢ／Ｇ比は１．０２であった。また同様に実施例、１〜１０に係る赤外線カットフィルタについて得られた結果を表４〜表６の最下段に示す。これらからわかるように、全ての実施例について、Ｂ／Ｇ比が１．０３以下となった。一般的にはＢ／Ｇ比は
０．９７以上、かつ１．０３以下の範囲にあることで、色再現性のよい品質の高い画質が得られるとされており、全ての実施例に係る赤外線カットフィルタは、実施例に係る赤外線カットフィルタに入射する光の入射角を０°から４０°まで増加させても、Ｂ／Ｇ比の相対値はそれほど変化せず、実施例に係る赤外線カットフィルタは、入射角が大きく変化しても色再現性の高い画像を得るのに有利であることが示唆された。
【０１２９】
実施例１、６、７、８、９、及び１０に係る第一積層体の入射角が４０°の透過率スペクトルは、波長４００〜４５０ｎｍの範囲に、入射角が４０°の際に生じるリップルを有していた。また、実施例４、５、７、８、９、及び１０に係る第二積層体は紫外線吸収性物質を有していた。そこで、これらの実施例を含めた全ての実施例に係る第二積層体及び赤外線カットフィルタの波長３５０〜４５０ｎｍにおける透過率スペクトルに注目した。実施例１〜１０の波長３５０〜４５０ｎｍの第一積層体の透過率スペクトルを図３４〜図４３に、実施例１〜１０の波長３５０〜４５０ｎｍの赤外線カットフィルタの透過率スペクトルを図４４〜図５３に示す。図３４〜図４３に示す通り、実施例１〜１０に係る第一積層体に４０°の入射角で光が入射するときの透過率スペクトルの透過帯域と紫外線反射帯域との間の遷移帯域は、実施例１〜１０に係る第一積層体に垂直に光が入射するときに比べて短波長側にシフトしていた。このため、実施例１に係る第一積層体において、入射角が０°であるときに透過率スペクトルのその遷移帯域で透過率が５０％である波長λLR（０°，５０％）は約４１１ｎｍであったのに対し、入射角が４０°であるときに透過率スペクトルのその遷移帯域で透過率が５０％である波長λLR（４０°，５０％）は３９３ｎｍであった。実施例２においては、λLR（０°，５０％）は４０５ｎｍであるのに対し、λLR（４０°，５０％）は３８７ｎｍであった。実施例３においては、λLR（０°，５０％）は４０５ｎｍであるのに対し、λLR（４０°，５０％）は約３８７ｎｍであった。実施例４においては、λLR（０°，５０％）は４０５ｎｍであるのに対し、λLR（４０°，５０％）は３８７ｎｍであった。実施例５においては、λLR（０°，５０％）は４０５ｎｍであるのに対し、λLR（４０°，５０％）は３８７ｎｍであった。実施例６においては、λLR（０°，５０％）は４１０ｎｍであるのに対し、λLR（４０°，５０％）は３９２ｎｍであった。実施例７においては、λLR（０°，５０％）は４１０ｎｍであるのに対し、λLR（４０°，５０％）は３９２ｎｍであった。実施例８においては、λLR（０°，５０％）は４１０ｎｍであるのに対し、λLR（４０°，５０％）は３９４ｎｍであった。実施例９においては、λLR（０°，５０％）は４１０ｎｍであるのに対し、λLR（４０°，５０％）は３９４ｎｍであった。実施例１０においては、λLR（０°，５０％）は４１０ｎｍであるのに対し、λLR（４０°，５０％）は３８６ｎｍであった。これにより、全ての実施例に係る赤外線カットフィルタを透過する短波長側の光の光量が入射角の増加に伴い増加しやすいことが示唆された。なお、Ｂフィルタを透過可能な光の実効的な波長範囲（透過率が２０％以上である波長の範囲）は、例えば約３８０〜５５０ｎｍである。このため、入射角の増加に伴う短波長側の光の光量の増加は撮像素子における受光量にも影響を及ぼし、得られる画像における色再現性及び色味の均一性を低下させる可能性がある。
【０１３０】
図３４、図３９〜図４３に示す通り、実施例１、６、７、８、９、及び１０に係る第一積層体に４０°の入射角で光が入射するときの透過率スペクトルは、波長４００〜４５０ｎｍの範囲で、ベースラインとの差が１５ポイント以上である極小値を有し、かつ、半値全幅が１０ｎｍ以上であり、半値全幅をΔλCとすると（４００−ΔλC/２）〜（４５０−ΔλC/２）ｎｍに極大値が存在するスペクトル（リップル）を有していた。これに伴い、図４４、図４９〜図５３に示す通り、実施例１、６、７、８、９、及び１０に係る赤外線カットフィルタに４０°の入射角で光が入射するときの透過率スペクトルにそのリップルが反映されていた。このため、実施例１、６、７、８、９、及び１０に係る赤外線カットフィルタでは、入射角の増加に伴って遷移帯域が短波長側に増加することによる短波長側の光の光量の増加を相殺でき、表４〜表６に示す通り、撮像素子として重要な指標であるＢ／Ｇ比を所定の範囲内に抑制できることが示唆された。また、図３７、図３８、図４０〜図４３に示す通り、実施例４、５、７、８、９、及び１０に係る第二積層体に光が入射するときの透過率スペクトルにおいて、波長λLR（０°，５０％）における分光透過率が５５％以下であり、かつ、第二積層体の分光透過率が波長３５０〜４５０ｎｍの範囲で７０％から２０％以下に低下していた。これに伴い、図４７、図４８、図５０〜図５３に示す通り、実施例４、５、７、８、９、及び１０に係る赤外線カットフィルタに０°及び４０°の入射角で光が入射する時の透過率スペクトルにおいて、入射角が０°であるときの分光透過率が５０％である波長λL（０°，５０％）と入射角が４０°であるときの分光透過率が５０％である波長λL（４０°，５０％）との差の絶対値｜ΔλL（５０％）｜は、１０ｎｍ以内であった。このため、実施例４、５、７、８、９、及び１０に係る赤外線カットフィルタでは、入射角の増加に伴って遷移帯域が短波長側にシフトすることによる短波長側の光の光量の増加を相殺でき、表４〜表６に示す通り、撮像素子として重要な指標であるＢ／Ｇ比を所定の範囲内に抑制できることが示唆された。
【０１３１】
＜評価２＞
全ての実施例を代表して実施例１及び実施例８に係る赤外線カットフィルタの透過率スペクトルとＴＬ８４光源の輝線スペクトルとの関係について評価した。図５４及び図５５に示す通り、ＴＬ８４光源の光強度スペクトルは、波長４４０ｎｍ付近、波長５５０ｎｍ付近、及び波長６１０ｎｍ付近に輝線スペクトルを有していた。これらの輝線スペクトルに重なる比較的大きいリップル（例えば、ベースラインと極値との差が４ポイント以上であり、かつ、半値幅が１５ｎｍ以上であるスペクトル）が赤外線カットフィルタの透過率スペクトルに現れていると、その赤外線カットフィルタを備えた撮像装置から良好な色再現性を有する画像が得られない可能性がある。しかし、図５４、図５５、さらには、図１０〜図３０等に示す通り、実施例１〜１０に係る赤外線カットフィルタのいずれの入射角における透過率スペクトルにも、ＴＬ８４光源の波長４４０ｎｍ付近、波長５５０ｎｍ付近、及び波長６１０ｎｍ付近に現れる輝線スペクトルと重なる比較的大きいリップルは現れなかった。このため、実施例１〜１０に係る赤外線カットフィルタを撮像装置に用いると、ＴＬ８４光源の下でも良好な色再現性を有する画像が得られやすいことが示唆された。
【０１３２】
【表１】
2018132609.tif 000003
【０１３３】
【表２】
2018132609.tif 000004
【０１３４】
【表３】
2018132609.tif 000005
【０１３５】
【表４】
2018132609.tif 000006
【０１３６】
【表５】
2018132609.tif 000007
【０１３７】
【表６】
2018132609.tif 000008
【符号の説明】
【０１３８】
１ａ〜１ｈ      赤外線カットフィルタ
１０                  透明誘電体基板
２０                  近赤外線反射膜
３０                  吸収膜
１００                撮像光学系
【図１】
2018132609.tif 000009
【図２】
2018132609.tif 000010
【図３】
2018132609.tif 000011
【図４】
2018132609.tif 000012
【図５】
2018132609.tif 000013
【図６】
2018132609.tif 000014
【図７】
2018132609.tif 000015
【図８】
2018132609.tif 000016
【図９】
2018132609.tif 000017
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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