(57)【要約】【課題】高精細で高効率化を可能とする。【解決手段】第１上面を有する第１絶縁膜と、第１上面に接触している第１映像信号線と、第１上面に接触し第１映像信号線を覆い第２上面及び側面を有する第１隔壁膜と、第１上面及び側面に接触し第３上面を有するカラーフィルタと、第２上面及び第３上面に接触し第４上面を有する第２絶縁膜と、を備える第１基板と、第１基板と対向している第２基板と、を備え、カラーフィルタの直上における第４上面は、第２上面より上方に位置している表示装置。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１上面を有する第１絶縁膜と、前記第１上面に接触している第１映像信号線と、前記第１上面に接触し前記第１映像信号線を覆い第２上面及び側面を有する第１隔壁膜と、前記第１上面及び前記側面に接触し第３上面を有するカラーフィルタと、前記第２上面及び前記第３上面に接触し第４上面を有する第２絶縁膜と、を備える第１基板と、
前記第１基板と対向している第２基板と、を備え、
前記カラーフィルタの直上における前記第４上面は、前記第２上面より上方に位置している表示装置。
【請求項２】
前記第２絶縁膜は、前記カラーフィルタの直上に第１膜厚を有するとともに、前記第２上面と重なる位置に第２膜厚を有し、前記第１膜厚は前記第２膜厚より厚い、請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記カラーフィルタは第３膜厚を有し、前記第１隔壁膜は第４膜厚を有し、前記第４膜厚は前記第３膜厚より厚い、請求項２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記第１膜厚及び前記第３膜厚の総和は、前記第２膜厚及び前記第４膜厚の総和とほぼ等しい、請求項３に記載の表示装置。
【請求項５】
前記第１基板は、前記第４上面に接触している第１電極と、前記第１映像信号線の上方で且つ前記第１電極の上方に位置し、前記第１電極に接続している第１共通配線と、前記第１共通配線の上方に位置する第１光吸収膜と、を備える、請求項１に記載の表示装置。
【請求項６】
前記第１基板は、前記第１電極と前記第１共通配線との間に層間絶縁膜を備える、請求項５に記載の表示装置。
【請求項７】
前記第１隔壁膜と前記第２絶縁膜とは、同一の透明な有機系材料で形成されている、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項８】
前記第１隔壁膜は、上方に向かって細くなるテーパ状の断面形状を有する、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項９】
前記第1基板は、平面視した場合に、前記第１隔壁膜に交差する第２隔壁膜を備える、請求項１に記載の表示装置。
【請求項１０】
前記第１基板は、前記第１隔壁膜と前記第２隔壁膜とが交差する位置で、前記第２上面より上方に突出する第１突出部を備え、
前記第２基板は、前記第１突出部と対向する位置で下方に突出した第２突出部を備え、
前記第１突出部及び前記第２突出部は、平面視した場合に交差している、請求項９に記載の表示装置。
【請求項１１】
第１上面を有する第１絶縁膜と、前記第１上面に接触している第１台座と、前記第１上面に接触し、前記第１台座から離間している第２台座と、前記第１上面に接触し、前記第１台座と前記第２台座との間に位置し前記第２台座と電気的に接続された映像信号線と、前記第１上面に接触し、前記映像信号線と前記第１台座と前記第２台座とを覆い、前記第１台座まで貫通する第１コンタクトホールが形成され、前記第２台座まで貫通する第２コンタクトホールが形成され、第１側面及び第２側面を有する隔壁膜と、前記第１側面に接触する第１カラーフィルタと、前記第２側面に接触し前記第１カラーフィルタとは異なる色の第２カラーフィルタと、を備える第１基板と、
前記第１基板と対向している第２基板と、を備え、
前記隔壁膜は、前記第１カラーフィルタと前記第２カラーフィルタとの間に第２上面を有し、前記第１コンタクトホールと前記第２コンタクトホールとの間に前記第２上面より上方に突出した第１突出部を有する、表示装置。
【請求項１２】
前記第１基板は、前記第１カラーフィルタ、前記第２カラーフィルタ、及び、前記隔壁膜の上方に位置している第２絶縁膜と、前記第２絶縁膜の上方に位置している第１電極と、前記映像信号線の上方で、且つ前記第１電極の上方に位置し、前記第１電極に接続している共通配線と、前記共通配線の上方に位置する光吸収膜と、を備える、請求項１１に記載の表示装置。
【請求項１３】
前記第１基板は、前記第１電極と前記共通配線との間に層間絶縁膜を備え、前記層間絶縁膜には前記第１電極まで貫通する第３コンタクトホールが形成され、前記共通配線は前記第３コンタクトホールを通じて前記第１電極と電気的に接続されている、請求項１２に記載の表示装置。
【請求項１４】
前記第１基板は、前記映像信号線と交差する第１走査線及び第２走査線を備え、
前記第３コンタクトホールは、前記第１走査線と前記映像信号線との交差部に位置し、
前記第１突出部は、前記第２走査線と前記映像信号線との交差部に位置している、請求項１３に記載の表示装置。
【請求項１５】
前記第２基板は、前記第１突出部と対向する位置で下方に突出した第２突出部を備え、
前記第１突出部及び前記第２突出部は、平面視した場合に交差している、請求項１３又は１４に記載の表示装置。
【請求項１６】
前記隔壁膜は、平面視した場合に、前記第１コンタクトホール及び前記第２コンタクトホールの形状に沿って狭窄している、請求項１３乃至１５のいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項１７】
第１上面を有する第１絶縁膜と、前記第１上面に接触している映像信号線と、前記第１上面に接触し、前記映像信号線を覆う隔壁膜と、前記第１上面に接触するカラーフィルタと、前記隔壁膜及び前記カラーフィルタに接触する第２絶縁膜と、前記第２絶縁膜の上方に位置している第１電極と、前記映像信号線の上方で、且つ前記第１電極の上方に位置し、前記第１電極に接続している共通配線と、前記共通配線の上方に位置する光吸収膜と、を備える第１基板と、
前記第１基板と対向している第２基板と、を備える表示装置。
【請求項１８】
前記第１基板は、前記隔壁膜より上方に突出する第１突出部を備え、
前記第２基板は、前記第１突出部と対向する位置で下方に突出した第２突出部を備え、
前記第１突出部及び前記第２突出部は、平面視した場合に交差している、請求項１７に記載の表示装置。
【請求項１９】
前記第２絶縁膜、前記第１電極、前記共通配線、及び、前記光吸収膜は、前記第１突出部と前記第２突出部との間に位置している、請求項１８に記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
今後、ＶＲ（Ｖｉｒｔｕａｌ  Ｒｅａｌｉｔｙ）ビュアーの市場拡大が期待されている。ＶＲに適用する中小型ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）には、スマートフォン向けを大きく超える高精細化が要求される。これに伴い混色の解消やスペーサの小型化等が要求され得る。また、ディスプレイの色再現範囲の拡大等が要求され得る。さらに、スマートフォンとＶＲビュアーとの兼用ディスプレイに対応するためのインセルタッチパネルの搭載等も要求され得る。  
これらの要求を解決するために、高い開口率を有するＣＯＡ（Ｃｏｌｏｒ  Ｆｉｌｔｅｒ  Ｏｎ  Ａｒｒａｙ）方式のディスプレイが有望であるが、更なる開口率の向上が求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１９７６２８号公報
【特許文献２】特開平１１−２４０６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本実施形態の目的は、高精細で高効率化を可能とする表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一実施形態によれば、  
第１上面を有する第１絶縁膜と、前記第１上面に接触している第１映像信号線と、前記第１上面に接触し前記第１映像信号線を覆い第２上面及び側面を有する第１隔壁膜と、前記第１上面及び前記側面に接触し第３上面を有するカラーフィルタと、前記第２上面及び前記第３上面に接触し第４上面を有する第２絶縁膜と、を備える第１基板と、前記第１基板と対向している第２基板と、を備え、前記カラーフィルタの直上における前記第４上面は、前記第２上面より上方に位置している表示装置が提供される。
【０００６】
一実施形態によれば、  
第１上面を有する第１絶縁膜と、前記第１上面に接触している第１台座と、前記第１上面に接触し、前記第１台座から離間している第２台座と、前記第１上面に接触し、前記第１台座と前記第２台座との間に位置し前記第２台座と電気的に接続された映像信号線と、前記第１上面に接触し、前記映像信号線と前記第１台座と前記第２台座とを覆い、前記第１台座まで貫通する第１コンタクトホールが形成され、前記第２台座まで貫通する第２コンタクトホールが形成され、第１側面及び第２側面を有する隔壁膜と、前記第１側面に接触する第１カラーフィルタと、前記第２側面に接触し前記第１カラーフィルタとは異なる色の第２カラーフィルタと、を備える第１基板と、前記第１基板と対向している第２基板と、を備え、前記隔壁膜は、前記第１カラーフィルタと前記第２カラーフィルタとの間に第２上面を有し、前記第１コンタクトホールと前記第２コンタクトホールとの間に前記第２上面より上方に突出した第１突出部を有する、表示装置が提供される。
【０００７】
一実施形態によれば、  
第１上面を有する第１絶縁膜と、前記第上面に接触している映像信号線と、前記第１上面に接触し、前記映像信号線を覆う隔壁膜と、前記第１上面に接触するカラーフィルタと、前記隔壁膜及び前記カラーフィルタに接触する第２絶縁膜と、前記第２絶縁膜の上方に位置している第１電極と、前記映像信号線の上方で、且つ前記第１電極の上方に位置し、前記第１電極に接続している共通配線と、前記共通配線の上方に位置する光吸収膜と、を備える第１基板と、前記第１基板と対向している第２基板と、を備える表示装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、液晶表示装置の外観の一例を示す斜視図である。
【図２】図２は、第１基板の平面図である。
【図３】図３は、第１実施形態に係る第１基板の隔壁膜を示す平面図である。
【図４】図４は、第１実施形態に係る第２基板の平面図である。
【図５】図５（ａ）は、図２のＡ−Ａ’における表示パネルの断面の一例を示す図であり、図５（ｂ）は、隔膜壁ＬＯの断面形状の一例を示す図であり、図５（ｃ）は、隔膜壁ＬＯの断面形状の一例を示す図である。
【図６】図６は、図２のＢ−Ｂ’における表示パネルの断面図である。
【図７】図７は、図２のＣ−Ｃ’における表示パネルの断面図である。
【図８】図８は、図２のＤ−Ｄ’における表示パネルの断面図である。
【図９】図９（ａ）は、カラーフィルタの形成状態を示す断面模式図であり、図９（ｂ）は、カラーフィルタの形成状態を示す断面模式図であり、図９（ｃ）は、カラーフィルタの形成状態を示す断面模式図である。
【図１０】図１０（ａ）は、カラーフィルタの形成状態を示す断面模式図であり、図１０（ｂ）は、カラーフィルタの形成状態を示す断面模式図であり、図１０（ｃ）は、カラーフィルタの形成状態を示す断面模式図である。
【図１１】図１１は、第２実施形態に係る第１基板の隔壁膜を示す平面図である。
【図１２】図１２は、第２実施形態に係る第２基板の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。
【００１０】
本実施形態においては、電子機器の一例として表示装置を開示する。この表示装置は、例えば、ＶＲ（Ｖｉｒｔｕａｌ  Ｒｅａｌｉｔｙ）ビュアー、スマートフォン、タブレット端末、携帯電話端末、ノートブックタイプのパーソナルコンピュータ、ゲーム機器等の種々の装置に用いることができる。
【００１１】
図１は、液晶表示装置ＤＳＰの外観の一例を示す斜視図である。第１方向Ｘ、第２方向Ｙ、及び、第３方向Ｚは、互いに直交しているが、９０度以外の角度で交差していても良い。第１方向Ｘ及び第２方向Ｙは、液晶表示装置（以下、単に、表示装置と称する）ＤＳＰを構成する基板の主面と平行な方向に相当し、第３方向Ｚは、表示装置ＤＳＰの厚さ方向に相当する。ここでは、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙによって規定されるＸ−Ｙ平面における表示装置ＤＳＰの平面図を示している。以下の説明において、第３方向ＺからＸ−Ｙ平面を見ることを平面視という。
【００１２】
表示装置ＤＳＰは、表示パネルＰＮＬと、照明装置ＢＬとを備えている。  
表示パネルＰＮＬは、第１基板ＳＵＢ１と、第２基板ＳＵＢ２と、第１基板ＳＵＢ１及び第２基板ＳＵＢ２の間に保持された液晶層（後述する液晶層ＬＣ）と、を備えている。また、表示パネルＰＮＬは、表示領域ＤＡ及び非表示領域ＮＤＡを備えている。表示領域ＤＡは、画像を表示する領域である。表示領域ＤＡは、第１基板ＳＵＢ１と第２基板ＳＵＢ２とが対向する領域のほぼ中央に位置している。非表示領域ＮＤＡは、画像が表示されない領域であり、表示領域ＤＡの外側に位置している。  
第１基板ＳＵＢ１は、接続部ＣＮを備えている。接続部ＣＮは、フレキシブルプリント配線基板やＩＣチップなどの信号供給源を接続するための端子を備えている。接続部ＣＮは、非表示領域ＮＤＡに位置している。
【００１３】
照明装置ＢＬは、第１基板ＳＵＢ１の背面側（第２基板ＳＵＢ２との対向面の反対側）に配置されている。このような照明装置ＢＬとしては、種々の形態が適用可能である。一例として、照明装置ＢＬは、第１基板ＳＵＢ１と対向する導光板、この導光板の端部に沿って配置された複数の発光ダイオード（ＬＥＤ）などの光源、導光板の一方の主面側に配置された反射シート、導光板の他方の主面側に積層された各種光学シートなどを備えている。光源は、例えば、白色光を発する。
【００１４】
なお、図示した例の表示パネルＰＮＬは、照明装置ＢＬからの光を選択的に透過させることで画像を表示する透過型であるが、これに限らない。例えば、表示パネルＰＮＬは、外光あるいは外部光源からの光を選択的に反射させることで画像を表示させる反射型であっても良いし、透過型及び反射型の双方の表示機能を備えた半透過型であっても良い。
【００１５】
また、ここでは表示パネルＰＮＬの詳細な構成については説明を省略するが、表示パネルＰＮＬの法線に沿った縦電界を利用する表示モード、表示パネルＰＮＬの法線に対して斜め方向に傾斜した傾斜電界を利用する表示モード、表示パネルＰＮＬの主面に沿った横電界を利用する表示モードのいずれも適用可能である。  
以下、各実施形態において、第１基板ＳＵＢ１から第２基板ＳＵＢ２に向かう方向を上方（あるいは、単に上）とし、第２基板ＳＵＢ２から第１基板ＳＵＢ１に向かう方向を下方（あるいは、単に下）とする。
【００１６】
図２は、第１基板ＳＵＢ１の平面図である。図２では、第１基板ＳＵＢ１の主要部を示している。ここでは、横電界を利用する表示モードの一つであるＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ  Ｆｉｅｌｄ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モードを適用した構成例について説明する。  
第１基板ＳＵＢ１は、走査信号線ＳＣ、映像信号線ＳＧ、スイッチング素子ＳＷ、台座層ＲＥ、第１電極Ｅ１、第２電極Ｅ２、共通配線ＣＬ、光吸収膜ＡＲなどを備えている。なお、図２では、説明に必要な構成のみを図示しており、第１電極Ｅ１などの図示を省略している。
【００１７】
複数の走査信号線ＳＣは、所定の間隔をおいて第２方向Ｙに並んでいる。各走査信号線ＳＣは、第１方向Ｘに延出し、直線状に形成されている。走査信号線ＳＣは、例えば、モリブデンタングステン合金膜である。なお、走査信号線ＳＣは、一部が屈曲していても良い。複数の映像信号線ＳＧは、所定の間隔をおいて第１方向Ｘに並んでいる。各映像信号線ＳＧは、概ね第２方向Ｙに延出し、その一部が屈曲している。図示した例では、隣接する２本の走査信号線ＳＣの間においては、映像信号線ＳＧは、第１方向Ｘ及び第２方向Ｙとは異なる方向に延出している。映像信号線ＳＧは、例えば、チタン、アルミニウム、チタンの３層積層膜、又は、モリブデン、アルミニウム、モリブデンの順に積層した３層積層膜等である。なお、映像信号線ＳＧは、第２方向Ｙに沿った直線状に形成されていても良い。図中において、画素ＰＸは、隣接する２本の走査信号線ＳＣ、及び、隣接する２本の映像信号線ＳＧによって区画される領域に相当する。
【００１８】
スイッチング素子ＳＷは、走査信号線ＳＣ及び映像信号線ＳＧと電気的に接続されている。スイッチング素子ＳＷの詳細については後述する。台座層ＲＥは、スイッチング素子ＳＷと電気的に接続されている。台座層ＲＥは、例えば、チタン、アルミニウム、チタンの順に積層した３層積層膜、又は、モリブデン、アルミニウム、モリブデンの順に積層した３層積層膜等である。第１電極Ｅ１は、複数の画素ＰＸに亘って配置された共通電極である。第１電極Ｅ１は、概略ベタ平面状で共通電位を印加されている。第２電極Ｅ２は、図中に点線で示したように、各画素ＰＸに配置された画素電極である。第２電極Ｅ２は、台座層ＲＥと電気的に接続されている。図示した例では、第２電極Ｅ２は、画像信号に対応した電位を印加される２本の帯状電極ＥＡを有している。帯状電極ＥＡは、映像信号線ＳＧと略平行に延出している。図中のＣＨ１は、台座層ＲＥと第２電極Ｅ２とを電気的に接続するためのコンタクトホールである。また、図中のＣＨ２は、共通配線ＣＬと第１電極Ｅ１とを電気的に接続するためのコンタクトホールである。コンタクトホールＣＨ２は、平面視した場合、走査信号線ＳＣと映像信号線ＳＧとが交差する部分に位置している。なお、コンタクトホールＣＨ２は、第１基板ＳＵＢ１の非表示領域ＮＤＡに形成されていても良い。
【００１９】
共通配線ＣＬは、映像信号線ＳＧに沿って設けられている。図示した例では、共通配線ＣＬは、平面視で、映像信号線ＳＧと重なっている。光吸収膜ＡＲは、平面視で、共通配線ＣＬと重なっている。なお、第２電極Ｅ２は、平面視で、共通配線ＣＬ及び光吸収膜ＡＲから離間している。共通配線ＣＬは、例えば、モリブデンタングステン合金、アルミニウム、モリブデンタングステン合金の３層積層膜である。
【００２０】
図３は、第１実施形態に係る第１基板ＳＵＢ１の隔壁膜ＬＯを示す平面図である。ここでは、図２に示した第１基板ＳＵＢ１の主要部を点線で示している。  
第１基板ＳＵＢ１は、隔壁膜ＬＯ、カラーフィルタＣＦなどを備えている。隔壁膜ＬＯは、透明な樹脂製の物質、例えば、透明な有機系材料のポジ型フォトレジストで形成されている。なお、隔壁膜ＬＯは、黒色の樹脂製の物質等で形成されていても良い。隔壁膜ＬＯは、Ｘ−Ｙ平面で格子状に形成されている。図示した例では、隔壁膜ＬＯは、映像信号線ＳＧに沿って延長する複数の第１部Ｌ１と、走査信号線ＳＣに沿って延長する複数の第２部Ｌ２とを含む。隔壁膜ＬＯにおいて、第２部Ｌ２の第２方向Ｙに沿った幅は、第１部Ｌ１の第１方向Ｘに沿った幅よりも幅広である。例えば、隔壁膜ＬＯの第１部Ｌ１は、映像信号線ＳＧの第１方向Ｘに沿った幅よりも幅広であり、平面視において、映像信号線ＳＧの全体を覆う幅で形成されている。一方、隔壁膜ＬＯの第２部Ｌ２は、走査信号線ＳＣ及び台座層ＲＥの第２方向Ｙに沿った幅よりも幅広であり、平面視において、走査信号線ＳＣ及び台座層ＲＥの全体を覆う幅で形成されている。隔壁膜ＬＯは、第１部Ｌ１と第２部Ｌ２とが交差する交差部ＸＡを有している。隔壁膜ＬＯには、複数の第１空孔部ＨＬ１と、複数の第２空孔部ＨＬ２とが形成されている。図示した例では、第１空孔部ＨＬ２は、第１部Ｌ１と第２部Ｌ２とで囲われた領域に相当し、概略四角形に形成されている。第２空孔部ＨＬ２は、台座層ＲＥ上に位置し、円形に形成されている。図示した例では、第２部Ｌ２は、第１側面ＯＳ１及び第２側面ＯＳ２を有している。第１側面ＯＳ１及び第２側面ＯＳ２は、それぞれ第１方向Ｘに沿って延出している。ＬＧ１は、第１側面ＯＡ１側の第１空孔部ＨＬ１と第２空孔部ＨＬ２との距離を示し、ＬＧ２は、第２側面ＯＳ２側の第１空孔部ＨＬ１と第２空孔部ＨＬ２との距離を示している。距離ＬＧ１及び距離ＬＧ２において、最短距離ＬＧｍは、例えば、２μｍである。この最短距離は、第２空孔部ＨＬ２に塗布されたカラーフィルタＣＦが第１空孔部ＨＬ１に流入しないための距離である。第２空孔部ＨＬ２の内側には、コンタクトホールＣＨ１が形成されている。
【００２１】
また、隔壁膜ＬＯは、複数の交差部ＸＡの内の幾つかの交差部ＸＡＣに第１突出部ＣＰ１を備えている。図示した例では、第１突出部ＣＰ１は、第１方向Ｘにおいて、ある隣接する２つの第２空孔部ＨＬ２（コンタクトホールＣＨ１）の間の第２部Ｌ２上に位置し、映像信号線ＳＧに沿って第２方向Ｙに延長する概略長方形に形成されている。図示していないが、隔壁膜ＬＯは、他の第１突出部ＣＰ１も備えている。一例では、２つの第１突出部ＣＰ１の間には、２つの映像信号線ＳＧが位置し、且つ１つの走査信号線ＳＣが位置しているが、このような配置例に限らない。
【００２２】
カラーフィルタＣＦは、隔壁膜ＬＯに形成された第１空孔部ＨＬ１の内側に位置している。カラーフィルタＣＦは、例えば、顔料を含むネガ型フォトレジストで形成されている。カラーフィルタＣＦは、一例では、緑色のカラーフィルタＣＦ１、青色のカラーフィルタＣＦ２、及び赤色のカラーフィルタＣＦ３を含んでいる。カラーフィルタＣＦ１は、緑色に着色された樹脂製の物質、例えば、緑色の顔料を含むネガ型フォトレジストで形成されている。カラーフィルタＣＦ１は、緑色を表示する複数の画素ＰＸの内の幾つかの画素ＰＸ１に配置される。カラーフィルタＣＦ２は、青色に着色された樹脂製の物質、例えば、青色の顔料を含むネガ型フォトレジストで形成されている。カラーフィルタＣＦ２は、青色を表示する複数の画素ＰＸの内の幾つかの画素ＰＸ２に配置される。カラーフィルタＣＦ３は、赤色に着色された樹脂製の物質、例えば、赤色の顔料を含むネガ型フォトレジストで形成されている。カラーフィルタＣＦ３は、赤色を表示する複数の画素ＰＸの内の幾つかの画素ＰＸ３に配置される。カラーフィルタＣＦは、隔壁膜ＬＯの第１部Ｌ１を挟んで異なる色になるように配列されている。図示した例では、カラーフィルタＣＦは、第１方向Ｘにおいて、これらカラーフィルタＣＦ１、ＣＦ２、及びＣＦ３がそれぞれ隔壁膜ＬＯの第１部Ｌ１を間に介して周期的に繰り返し配置されている。一例として、第１突出部ＣＰ１に繋がった第１部Ｌ１の第１側面ＬＯＳ１側には、カラーフィルタＣＦ２が位置し、この第１部Ｌ１の第２側面ＬＯＳ２側には、カラーフィルタＣＦ３が位置している。
【００２３】
図４は、第１実施形態に係る第２基板ＳＵＢ２の平面図である。ここでは、第２基板ＳＵＢ２の背面側（第１基板ＳＵＢ１との対向面）と、図２に示した第１基板ＳＵＢ１の主要部とを点線で示している。  
第２基板ＳＵＢ２は、遮光層ＢＭ、第２突出部ＣＰ２などを備えている。遮光層ＢＭは、例えば、黒色顔料を含むネガ型フォトレジストで形成されている。平面視した場合、遮光層ＢＭは、走査信号線ＳＣ、台座層ＲＥ、第２空孔部ＨＬ２（コンタクトホールＣＨ１）などと重なっている。一方で、遮光層ＢＭは、隣接する２本の走査信号線ＳＣの間では、映像信号線ＳＧとは重なっていない。平面視した場合、遮光層ＢＭは、第１突出部ＣＰ１と重なる部分が周辺の部分よりも幅広に形成されている。図示した例では、遮光層ＢＭは、第１空孔部ＨＬ１の角部の一部から透過する光を遮光するために、第２方向Ｙに沿った幅Ｗ１で第１方向Ｘに延長している。遮光層ＢＭは、第１突出部ＣＰ１と重なる部分で幅Ｗ１よりも広い第２方向Ｙに沿った幅Ｗ２に拡張されている。
【００２４】
平面視した場合、第２突出部ＣＰ２は、第２基板ＳＵＢ２の背面側に位置し、第１方向Ｙに延長する概略長方形に形成されている。図示した例では、第２突出部ＣＰ２は、第１方向Ｘにおいて、走査信号線ＳＣに平行に、且つある隣接する２つの第２空孔部ＨＬ２（コンタクトホールＣＨ１）の内の一方からもう一方に亘って延長している。平面視した場合、交差部ＸＡＣ上に位置する第２突出部ＣＰ２は、第１突出部ＣＰ１と十字に交差している。また、図示した例では、複数の交差部ＸＡの内の幾つかの交差部ＸＡＤ上に位置する２つの第２突出部ＣＰ２を示している。交差部ＸＡＤ上には、第１突出部ＣＰ１が位置していない。つまり、平面視した場合、交差部ＸＡＤ上に位置する第２突出部ＣＰ２は、第１突出部ＣＰ１と重畳しない。詳細には後述するが、第２突出部ＣＰ２が位置する部分には、第２スペーサ部ＸＰ２が、形成されている。交差部ＸＡＤ上に形成された第２スペーサ部ＸＰ２は、低温時に液晶層ＬＣの体積が縮小し、液晶層ＬＣの厚さが低減した場合に、対向する第１基板ＳＵＢ１の構成に接触して液晶層ＬＣを保持する。
【００２５】
図５（ａ）は、図２のＡ−Ａ’における表示パネルＰＮＬの断面の一例を示す図であり、図５（ｂ）及び図５（ｃ）は、隔膜壁ＬＯの断面形状の一例を示す図である。
第１基板ＳＵＢ１は、支持基板１０、絶縁膜１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、映像信号線ＳＧ、隔壁膜ＬＯ、カラーフィルタＣＦ、第１電極Ｅ１、第２電極Ｅ２、共通配線ＣＬ、光吸収膜ＡＲ、配向膜ＡＬ１などを備えている。偏光板ＰＬ１は、支持基板１０の下方に設けられている。なお、絶縁膜１１乃至１７を層間絶縁膜と表現する場合もある。
【００２６】
支持基板１０は、透明であり、一例ではホウケイ酸ガラス等のガラス製であるが、プラスチック等の樹脂製であっても良い。またプラスチックに限らず可撓性を有するフレキシブル基板であっても良い。絶縁膜１１〜１７は、いずれも透明である。絶縁膜１１〜１５、１７は、無機絶縁膜であり、一例では、窒化ケイ素製あるいは酸化ケイ素製である。絶縁膜１６は、有機絶縁膜であり、一例では、アクリル樹脂などの樹脂製である。例えば、絶縁膜１６は、透明な有機系材料のポジ型フォトレジストである。なお、絶縁膜１６は、隔壁膜ＬＯと同じ物質で形成されていても良い。
【００２７】
絶縁膜１１は、支持基板１０の上に位置し、支持基板１０に接触している。絶縁膜１２は、絶縁膜１１の上に位置し、絶縁膜１１に接触している。絶縁膜１３は、絶縁膜１２の上に位置し、絶縁膜１２に接触している。絶縁膜１４は、絶縁膜１３の上に位置し、絶縁膜１３に接触している。絶縁膜１５は、絶縁膜１４の上に位置し、絶縁膜１４に接触している。なお、絶縁膜１１乃至絶縁膜１５をまとめて絶縁膜（第１絶縁膜）ＩＬ１と称する場合もある。  
映像信号線ＳＧは、絶縁膜１５の上に位置し、絶縁膜１５に接触している。
【００２８】
隔壁膜ＬＯは、絶縁膜１５及び映像信号線ＳＧの上に位置し、絶縁膜１５及び映像信号線ＳＧに接触し、映像信号ＳＧを覆っている。隔壁膜ＬＯは、上面ＬＯＡを有している。図示した例では、隔壁膜ＬＯは、上方に向かって第１方向Ｘに沿った幅が細くなるテーパ状（以下、順テーパと称する）の断面形状を有している。そのため、隔壁膜ＬＯの断面形状は、絶縁膜１５及び映像信号線ＳＧに接触する下面を下底とし、上面ＬＯＡを上底とする台形形状に形成されている。なお、図５（ｂ）に示すように、隔壁膜ＬＯは、上面ＬＯＡを有さずに側面ＬＯＳ１及びＬＯＳ２が上方で交差する三角形状の断面形状を有していていても良い。また、その他の隔壁膜ＬＯの断面形状として、図５（ｃ）に示すように、隔壁膜ＬＯは、上方で半円状に湾曲する断面形状を有していても良い。図５（ａ）乃至図５（ｃ）に図示した例では、隔壁膜ＬＯの下底の第1方向Ｘの幅は、映像信号線ＳＧの第1方向Ｘの幅よりも大きい。一方、隔壁膜ＬＯの上底（上部）の第1方向Ｘの幅は、映像信号線ＳＧの第1方向Ｘの幅よりも小さい。
【００２９】
カラーフィルタＣＦは、隔壁膜ＬＯと同じく絶縁膜１５の上に位置し、絶縁膜１５に接触している。カラーフィルタＣＦは、隔壁膜ＬＯで仕切られている。図示した例では、カラーフィルタＣＦ２の上面ＣＦＡは、第３方向Ｚにおいて、隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡよりも下方に位置している。絶縁膜１５は、上面１５Ａを有している。上面１５Ａから隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡまでの膜厚（以下で、隔壁膜ＬＯの膜厚と称する場合もある）Ｔ１は、上面１５ＡからカラーフィルタＣＦ２の上面ＣＦＡまでの膜厚（以下で、カラーフィルタＣＦ１の膜厚と称する場合もある）Ｔ２よりも厚い。図示した例では、上面１５ＡからカラーフィルタＣＦ１の上面ＣＦＢまでのカラーフィルタＣＦ１の膜厚と上面１５ＡからカラーフィルタＣＦ３の上面ＣＦＣまでのカラーフィルタＣＦ３の膜厚とは、カラーフィルタＣＦ１の膜厚とほぼ同等の厚さである。なお、上面１５ＡからカラーフィルタＣＦ１の上面ＣＦＢまでのカラーフィルタＣＦ１の膜厚と上面１５ＡからカラーフィルタＣＦ３の上面ＣＦＣまでのカラーフィルタＣＦ３の膜厚とは、それぞれ、カラーフィルタＣＦ１の膜厚とほぼ異なる厚さであっても良い。膜厚Ｔ２をカラーフィルタＣＦの膜厚と称する場合もある。また、膜厚Ｔ１は、上面１５Ａから隔壁膜ＬＯの頂点までの厚さを指す場合もある。なお、カラーフィルタＣＦの一部は、隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡに接触していても良いが、図示した例では、カラーフィルタＣＦ２は、その両側に位置する隔壁膜ＬＯのいずれの上面ＬＯＡにも接触していない。より詳しく説明すると、図の左端側に位置するカラーフィルタＣＦ１は、隣接する隔壁膜ＬＯの側面ＬＯＳ１に接触し、その上面ＬＯＡには接触していない。つまり、図示した２つの隔壁膜ＬＯのうち、左側の隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡには、隣接するカラーフィルタＣＦ１及びＣＦ２のいずれも存在していない。同様に、図示した右側の隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡには、隣接するカラーフィルタＣＦ２及びＣＦ３のいずれも存在していない。但し、カラーフィルタＣＦ１乃至ＣＦ３のうちの少なくとも１つがいずれかの隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡに接触していても良い。
【００３０】
絶縁膜１６は、カラーフィルタＣＦ２の上面ＣＦＡのみならず他のカラーフィルタＣＦ１の上面ＣＦＢ及びＣＦ３の上面ＣＦＣに接触し、且つ、隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡにも接触している。絶縁膜１６は、上面１６Ａを有している。上面１６Ａは、上面ＣＦＡ、ＣＦＢ、ＣＦＣ及び上面ＬＯＡよりも上方に位置している。上面ＣＦＡから上面１６Ａまでの絶縁膜１６の膜厚（以下、絶縁膜１６の第１膜厚と称する）Ｔ３は、上面ＬＯＡから上面１６Ａまでの絶縁膜１６の膜厚（以下、絶縁膜１６の第２膜厚と称する）Ｔ４よりも厚い。図示した例では、上面ＣＦＢから上面１６Ａまでの絶縁膜１６の膜厚と上面ＣＦＣから上面１６Ａまでの絶縁膜１６の膜厚とは、絶縁膜１６の第１膜厚Ｔ３とほぼ同等の厚さである。つまり、絶縁膜１６は、カラーフィルタＣＦ及び隔壁膜ＬＯによって生じている凸凹を平坦化している。換言すると、膜厚Ｔ２と第１膜厚Ｔ３との総和は、膜厚Ｔ１と第２膜厚Ｔ４との総和とほぼ同等である。
【００３１】
第１電極Ｅ１は、絶縁膜１６の上に位置し、絶縁膜１６に接触している。第１電極Ｅ１は、複数の画素に亘って延在している。図示した例では、第１電極Ｅ１は、映像信号線ＳＧの直上で途切れることなく、カラーフィルタＣＦ１乃至ＣＦ３の直上に延在している。第１電極Ｅ１は、一例では、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）、ＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）、ＩＧＯ（indium gallium oxide）等の透明な導電材料製である。  
絶縁膜１７は、第１電極Ｅ１の上に位置し、第１電極Ｅ１に接触している。
【００３２】
共通配線ＣＬは、映像信号線ＳＧの直上において、絶縁膜１７に接触している。図示した例では、共通配線ＣＬは、絶縁膜１７の上に位置している。共通配線ＣＬは、一例では、モリブデンタングステン合金、アルミニウム、モリブデンタングステン合金の３層積層膜等の金属製である。共通配線ＣＬの膜厚は、一例では、約２００ｎｍである。このような共通配線ＣＬは、前述したコンタクトホールＣＨ２を介して第１電極Ｅ１に接続されており、第１電極Ｅ１にコモン電位を供給している。第１電極Ｅ１の電位は、一定に保持されても良いが、フリッカの低減等のために走査周期と共に変動させても良い。第１電極Ｅ１の電位を変動させる場合、第１電極Ｅ１は、金属配線に比較して高抵抗であるため、単独では電位変動に遅延が発生する場合がある。共通配線ＣＬと第１電極Ｅ１とがコンタクトホールＣＨ２を介して接続することで、第１電極Ｅ１を低抵抗化することができ、電位変動の遅延を抑制することができる。共通配線ＣＬの第１方向Ｘに沿った幅は、映像信号線ＳＧの第１方向Ｘに沿った幅と同等以上である。また、共通配線ＣＬは、例えば、絶縁膜１７と第１電極Ｅ１との間に位置し、第１電極１に接触していても良い。
【００３３】
光吸収膜ＡＲは、映像信号線ＳＧの直上において、共通配線ＣＬの上に位置し、共通配線ＣＬに接触している。光吸収膜ＡＲは、一例では、黒色顔料を含むネガ型フォトレジストである。光吸収膜ＡＲの第１方向Ｘに沿った幅は、共通配線ＣＬの第１方向Ｘに沿った幅と同等以上である。なお、映像信号線ＳＧの側面での反射、あるいは、共通配線ＣＬの側面での反射を抑制するために、光吸収膜ＡＲの第１方向Ｘに沿った幅は、映像信号線ＳＧの第１方向Ｘに沿った幅及び共通配線ＣＬの第１方向Ｘに沿った幅よりも大きいことが望ましい。
【００３４】
第２電極Ｅ２は、絶縁膜１７の上に位置し、絶縁膜１７に接触している。第２電極Ｅ２は、各画素に配置されている。第２電極Ｅ２は、共通配線ＣＬ、光吸収膜ＡＲなどから離間している。第２電極Ｅ２は、一例では、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＩＧＯ等の透明な導電材料製である。  
配向膜ＡＬ１は、共通配線ＣＬ、光吸収膜ＡＲ、絶縁膜１７、及び、第２電極Ｅ２を覆っている。配向膜ＡＬ１は、光配向性のポリイミド膜である。また、配向膜ＡＬ１はラビング処理されたポリイミド膜であっても良い。
【００３５】
液晶層ＬＣは、第１基板ＳＵＢ１の上に位置している。液晶層ＬＣは、正の誘電率異方性を有するポジ型であっても良いし、負の誘電率異方性を有するネガ型であっても良い。  
第２基板ＳＵＢ２は、液晶層ＬＣの上に位置している。第２基板ＳＵＢ２は、支持基板２０、絶縁膜２１、配向膜ＡＬ２などを備えている。  
偏光板ＰＬ２は、支持基板２０の上方に設けられている。偏光板ＰＬ１と偏光板ＰＬ２との吸収軸は、平面視した場合に直交するように設定されている。なお、偏光板ＰＬ２の吸収軸は、液晶層ＬＣの配向方向に平行である。そのため、表示装置ＤＳＰは、偏光板ＰＬ１、偏光板ＰＬ２及び液晶層ＬＣの軸配置により、ノーマリーブラック型の電圧−輝度特性が得られる。ノーマリーブラック型の電圧―輝度特性では、表示装置ＤＳＰは、液晶層ＬＣに電圧を印加していない時に暗表示となり、液晶層ＬＣを印加した時に明表示となる。
【００３６】
支持基板２０は、透明であり、一例ではホウケイ酸ガラス等のガラス製であるが、プラスチック等の樹脂製であっても良い。絶縁膜２１は、支持基板２０の下に位置し、支持基板２０に接触している。絶縁膜２１は、透明な有機絶縁膜であり、一例ではアクリル樹脂などの樹脂製である。配向膜ＡＬ２は、絶縁膜２１の下に位置し、絶縁膜２１に接触し、絶縁膜２１を覆っている。配向膜ＡＬ２は、光配向性のポリイミド膜である。なお、第２基板ＳＵＢ２は、映像信号線ＳＧの上方に光を透過可能な透明領域を有している。つまり、第２基板ＳＵＢ２において、映像信号線ＳＧの上方には、遮光層が配置されていない。
【００３７】
表示装置ＤＳＰは、カラーフィルタＣＦがアクティブ素子と同一の基板上にあるＣＯＡ（Ｃｏｌｏｒ  Ｆｉｌｔｅｒ  ｏｎ  Ａｒｒａｙ）方式であり、ＣＯＡ方式には混色を低減する効果がある。ここで混色とは、純色表示したＦＦＳ方式の表示装置に特有な現象で、観察方位をカラーフィルタＣＦの繰り返し配列に平行な方向として、法線を含む範囲で極角を変えて観察した際に、その片側で色度が大きく変化して見える現象である。表示装置ＤＳＰにおいて、画素ＰＸとカラーフィルタＣＦとは、一対一に対応するように配置されている。混色は、光が互いに対応しない画素ＰＸとカラーフィルタＣＦとを通過することによって生じる。このような光の光路は、カラーフィルタＣＦと画素ＰＸとのずれ量や、カラーフィルタＣＦと画素ＰＸとの間の間隔が画素ＰＸの幅に対して無視できないような高精細画素で比率が増大して顕在化する。カラーフィルタＣＦをアレイ基板上に形成することによりカラーフィルタＣＦと画素ＰＸとのずれ量を低減し、且つカラーフィルタＣＦと画素ＰＸとの間の間隔も低減できる。そのため、ＣＯＡ方式の表示装置ＤＳＰは、混色を低減できる。
【００３８】
図６は、図２のＢ−Ｂ’における表示パネルＰＮＬの断面図である。なお、ここでは、主に図５に示した断面図とは異なる部分について説明する。  
第１基板ＳＵＢ１は、遮光層ＬＳ、スイッチング素子ＳＷ、台座層ＲＥなどを備えている。遮光層ＬＳは、支持基板１０と絶縁膜１１との間に位置し、支持基板１０の上面に接触している。遮光層ＬＳは、一例では、モリブデンタングステン合金製である。スイッチング素子ＳＷは、半導体層ＰＳを備えている。半導体層ＰＳは、絶縁膜１２と絶縁膜１３との間に位置し、絶縁膜１２の上面に接触している。半導体層ＰＳは、一例では、多結晶シリコン製である。走査信号線ＳＣの一部である２つのゲート電極ＷＧは、絶縁膜１３と絶縁膜１４との間に位置し、絶縁膜１３の上面に接触している。走査信号線ＳＣは、一例では、モリブデンタングステン合金製である。映像信号線ＳＧ及び台座層ＲＥは、それぞれ、絶縁膜１５と隔壁膜ＬＯとの間に位置し、絶縁膜１５の上面に接触している。映像信号線ＳＧ及び台座層ＲＥは、それぞれ、絶縁膜１３〜１５を貫通して半導体層ＰＳの上面に接触している。映像信号線ＳＧ及び台座層ＲＥは、一例では、モリブデン、アルミニウム、及び、モリブデンの順に積層した金属製、又は、チタン、アルミニウム、チタンの順に積層した金属製である。第２電極Ｅ２は、コンタクトホールＣＨ１に延在し、台座層ＲＥの上面に接触している。  
第２基板ＳＵＢ２は、遮光層ＢＭなどを備えている。遮光層ＢＭは、支持基板２０と絶縁膜２１との間において、ゲート電極ＷＧ及びコンタクトホールＣＨ１の上方に位置している。
【００３９】
図７は、図２のＣ−Ｃ’における表示パネルＰＮＬの断面図である。なお、ここでは、主に図５及び図６に示した断面図とは異なる部分について説明する。  
第１基板ＳＵＢ１は、第１スペーサ部ＸＰ１などを備えている。第１スペーサ部ＸＰ１は、映像信号線ＳＧ、隔壁膜ＬＯ、絶縁膜１６、第１電極Ｅ１、絶縁膜１７、共通配線ＣＬ、光吸収膜ＡＲ、及び配向膜ＡＬ１の順に第３方向Ｚに積層して形成されている。第１スペーサ部ＸＰ１は、第１方向Ｘにおいて、２つの隣接するコンタクトホールＣＨ１の間に位置している。第１スペーサ部ＸＰ１は、段差を有し、映像信号線ＳＧの直上で上方に突出している。第１スペーサ部ＸＰ１の膜厚は、主に、隔壁膜ＬＯの膜厚によって決定されている。つまり、第１スペーサ部ＸＰ１の段差は、隔壁膜ＬＯの段差によって形成されるものである。
【００４０】
第１スペーサ部ＸＰ１において、隔壁膜ＬＯは、映像信号線ＳＧの直上に、周囲の部分よりも上方に突出している第１突出部ＣＰ１を有する。第１突出部ＣＰ１は、周囲の隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡから上方に向かって細くなる順テーパ状の断面形状を有している。図示した例では、第１突出部ＣＰ１は、周囲の隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡよりも上方に位置する上面ＬＯＢを備えている。隔壁膜ＬＯの段差は、上面ＬＯＡ及びＬＯＢの位置の差によって形成される。絶縁膜１６、第１電極Ｅ１、絶縁膜１７、及び、配向膜ＡＬ１は、上面ＬＯＡ及びＬＯＢの双方に跨って配置されている。共通配線ＣＬ及び光吸収膜ＡＲは、第１スペーサ部ＸＰ１においては、上面ＬＯＢの直上にのみ配置され、上面ＬＯＡの直上には配置されていない。
【００４１】
第２基板ＳＵＢ２は、第２スペーサ部ＸＰ２などを備えている。第２スペーサ部ＸＰ２は、絶縁膜２１及び配向膜ＡＬ２を含む。第２スペーサ部ＸＰ２は、第１スペーサ部ＸＰ１に向かって下方に突出している。図示した例では、第２スペーサ部ＸＰ２は、第１方向Ｘにおいて、２つの隣接するコンタクトホールＣＨ１の内の一方の直上の位置から他方の直上の位置に亘って下方に突出している。第２スペーサ部ＸＰ２の膜厚は、主に、第２突出部ＣＰ２の膜厚によって決定される。  
第１スペーサ部ＸＰ１と第２スペーサ部ＸＰ２とは、接触している。第１スペーサ部ＸＰ１と第２スペーサ部ＸＰ２とは、第１基板ＳＵＢ１と第２基板ＳＵＢ２とのギャップを保持するためのスペーサを構成する。
【００４２】
隔壁膜ＬＯの断面形状の膜厚が十分に厚く、且つ隔壁膜ＬＯの上面が平坦化されている場合、第１スペーサ部ＸＰ１と第２スペーサ部ＸＰ２とは、十分な接触面積で接触することができる。したがって、平面視した場合に第１スペーサ部ＸＰ１及び第２スペーサ部ＸＰ２の面積が小さいとしても、第１スペーサ部ＸＰ１及び第２スペーサ部ＸＰ２は、ギャップを保持できる。
【００４３】
また、第１スペーサ部ＸＰ１の延出方向（例えば第２方向Ｙ）と第２スペーサ部ＸＰ２の延出方向（例えば第１方向Ｘ）とは交差している。このため、表示装置ＤＳＰに外圧が加わり第１基板ＳＵＢ１及び第２基板ＳＵＢ２の間に、Ｘ−Ｙ平面内のいずれかの方向にずれを生じさせる力が作用した場合であっても、第１スペーサ部ＸＰ１と第２スペーサ部ＸＰ２との離脱を抑制することができる。すなわち、第１方向Ｘに力が作用した場合であっても、第２スペーサ部ＸＰ２の第１方向Ｘに沿った長さ分だけ第２基板ＳＵＢ２のずれを許容することができ、同様に、第２方向Ｙに力が作用した場合であっても、第１スペーサ部ＸＰ１の第２方向Ｙに沿った長さ分だけ第１基板ＳＵＢ１のずれを許容することができる。
【００４４】
また、第１基板ＳＵＢ１と第２基板ＳＵＢ２との間のずれに起因して、たとえ第１スペーサ部ＸＰ１と第２スペーサ部ＸＰ２との接触部に擦過部が生じたとしても、表示に寄与する画素内の配向膜に損傷を与えないため、画素内での液晶分子の配向不良を抑制することができる。このため、スペーサの周囲において配向不良に起因した光漏れを抑制することができる。したがって、一方の基板に設けた柱状のスペーサを他方の基板に接触させてギャップを保持する構成と比較して、スペーサの周囲に配置すべき遮光層の設置面積を縮小することができ、各画素の開口率を向上できる。
【００４５】
図８は、図２のＤ−Ｄ’における表示パネルＰＮＬの断面図である。なお、ここでは、主に図５、図６及び図７に示した断面図とは異なる部分について説明する。  
絶縁膜１７には、第１電極Ｅ１まで貫通するコンタクトホールＣＨ２が形成されている。共通配線ＣＬは、コンタクトホールＣＨ２を介して第１電極Ｅ１に接触している。共通配線ＣＬと第１電極Ｅ１とは、図示していないが、複数のコンタクトホールＣＨ２を介して表示領域ＤＡ内の複数の部分で電気的に接続されている。
【００４６】
図９（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、カラーフィルタＣＦの形成状態を示す断面模式図である。図９（ａ）乃至図９（ｃ）には、簡単のため、絶縁膜ＩＬ１上に隔壁膜ＬＯ及びカラーレジストＣＲのみを示している。ここでは、カラーレジストＣＲは、顔料を含むネガ型フォトレジストである。また、フォトマスクＰＭは、一例として、バイナリマスクである。フォトマスクＰＭは、光ＥＸを透過する透過部ＴＲ、光ＥＸを透過しない非透過部ＮＴＲなどを備えている。
【００４７】
図９（ａ）は、隔壁膜ＬＯを備えた絶縁膜ＩＬ１上にカラーレジストＣＲを塗布した状態の一例を示す図である。カラーレジストＣＲが、絶縁膜ＩＬ１及び隔壁膜ＬＯ上に塗布される。塗布時には、カラーレジストＣＲは、溶剤を含んでいるため流動性がある。そのため、カラーレジストＣＲは、第１空孔部ＨＬ１には厚く塗布され、隔壁膜ＬＯ上には第１空孔部ＨＬ１と比較して薄く塗布される。
【００４８】
図９（ｂ）は、図９（ａ）のカラーレジストＣＲを露光している状態を示す図である。フォトマスクＰＭを使用して、２つの隣接する隔壁膜ＬＯの間に位置するカラーレジストＣＲを露光する。フォトマスクＰＭの透過部ＴＲは、２つの隣接する隔壁膜ＬＯの間の領域、すなわち、第１空孔部ＨＬ１に正確に位置合わせされている。このとき、フォトマスクＰＭの透過部ＴＲの両端部は、それぞれ、隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡの上方に位置する。フォトマスクＰＭの透過部ＴＲからカラーレジストＣＲに対して光ＥＸが照射されている。
【００４９】
図９（ｃ）は、図９（ｂ）のカラーレジストＣＲを露光して絶縁膜ＩＬ１上にカラーフィルタＣＦが形成された状態の一例を示す図である。図９（ｃ）に示すように、カラーフィルタＣＦの境界は、隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡに位置している。このとき、隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡに接触したカラーレジストＣＲは、膜厚が薄いため下部まで露光され得る。そのため、隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡに接触したカラーレジストＣＲは、十分に硬化する。したがって、隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡに接触したカラーレジストＣＲは、精度よく加工できる。また、隔壁膜ＬＯは、カラーフィルタＣＦと同じ有機物であるため、カラーフィルタＣＦと密着性が良い。そのため、カラーフィルタＣＦは、隔壁膜ＬＯから剥離し難い。
【００５０】
図１０（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、カラーフィルタＣＦの形成状態の一例を示す断面模式図である。  
図１０（ａ）は、図９（ａ）のカラーレジストＣＲをフォトマスクＰＭで露光している状態の一例を示す図である。フォトマスクＰＭの透過部ＴＲは、第１空孔部ＨＬ１に対してずれている。図示した例では、フォトマスクＰＭの透過部ＴＲの両端部は、それぞれ、隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡからずれている。例えば、フォトマスクＰＭの透過部ＴＲの両端部は、隔壁膜ＬＯの順テーパ状の断面形状の部分に位置している。そのため、両端部が上面ＬＯＡからずれたフォトマスクＰＭの透過部ＴＲからカラーレジストＣＲに対して光ＥＸが照射されている。
【００５１】
図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のカラーレジストＣＲの膜厚と露光量との関係の一例を示す図である。図１０（ｂ）の上図に示すように、一端部が領域Ｌ上に位置し、且つ他端部が領域Ｒ上に位置しているフォトマスクＰＭの透過部ＴＲからカラーレジストＣＲに対して光ＥＸが照射されている。図１０（ｂ）の下図に示した露光量の分布に示すように、フォトマスクＰＭがバイナリマスクであったとしても光の回り込みが生じるため、透過部ＴＲと非透過部ＮＴＲとの境界において、カラーレジストＣＲの膜厚に応じて露光量が連続的に変化する。図示した例では、領域Ｌでは、カラーレジストＣＲの膜厚が厚くなるに従って露光量が低下する。そのため、カラーレジストＣＲが隔壁膜ＬＯからはみ出る方向、例えば、Ｌ領域の方向に進むに従って露光量が小さくなる。一方、領域Ｒでは、カラーレジストＣＲの膜厚が薄くなる従って露光量が小さくなる。そのため、カラーレジストＣＲが、隔壁膜ＬＯからはみ出る方向、例えば、Ｒ領域の方向へ進むに従って露光量が小さくなる。このように、フォトマスクＰＭの透過部が第１空孔部ＨＬ１に対してずれた場合でも、順テーパ状の断面形状を有する隔壁膜ＬＯによって、第１空孔部ＨＬ１にカラーフィルタＣＦが収まるようにカラーレジストＣＲの膜厚が調整される。
【００５２】
図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）のカラーレジストＣＲを露光して絶縁膜ＩＬ１上にカラーフィルタＣＦが形成された状態の一例を示す図である。図１０（ｂ）に示すように、フォトマスクＰＭの透過部ＴＲが第１空孔部ＨＬ１に対してずれた場合でも、カラーフィルタＣＦは、第１空孔部ＨＬ１内にほぼ配置される。以上で説明したように、隔壁膜ＬＯを形成することで、カラーフィルタＣＦを正確な位置、且つサイズで形成することができる。
【００５３】
また、隔壁膜ＬＯを形成することで、第１空孔部ＨＬ１、第２空孔部ＨＬ２、第１突出部ＣＰ１などが一度に形成される。つまり、隔壁膜ＬＯを形成することで、第１空孔部ＨＬ１、第２空孔部ＨＬ２、第１突出部ＣＰ１などの位置が決定され、これらの位置が相互にずれることはない。換言すると、カラーフィルタＣＦ、コンタクトホールＣＨ１、第１スペーサ部ＸＰ１などの位置が相互にずれることがない。したがって、第１空孔部ＨＬに対するフォトマスクＰＭの透過部ＴＲのずれを見込んだ尤度設計が不要となる。そのため、カラーフィルタＣＦ、コンタクトホールＣＨ１、第１スペーサ部ＸＰ１などを高密度に配置することができる。例えば、表示領域ＤＡにおけるカラーフィルタＣＦ（第１空孔部ＨＬ１）の面積比を増加することで、開口率を向上することができる。
【００５４】
以下で、隔壁膜ＬＯの形成状態について説明する。ここでは、透明なポジ型フォトレジストを露光することにより隔壁膜ＬＯが形成されるものとする。  
隔壁膜ＬＯは、例えば、映像信号線ＳＧと台座層ＲＥとを絶縁膜ＩＬ１上に形成した後に、絶縁膜ＩＬ１上に透明な有機系材料のポジ型フォトレジストを塗布し、このフォトレジストをハーフトーンマスクで露光して形成される。
【００５５】
一般的に、ポジ型フォトレジストは、ネガ型フォトレジストよりも加工性に優れている。そのため、ポジ型フォトレジストは、細かい構造を形成できる。また、ポジ型フォトレジストは、光分解性を有する。そのため、ポジ型フォトレジストは、光を照射された部分から分解する。つまり、ポジ型フォトレジストの膜厚は、露光量に応じて小さくなる。ハーフトーンマスクは、透過部と、非透過部と、半透過部とを有する。隔壁膜ＬＯの第１空孔部ＨＬ１と第２空孔部ＨＬ２とは、ハーフトーンマスクの透過部を透過した光により形成される。また、隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡを有する部分は、ハーフトーンマスクの半透過部を透過した光により形成される。隔壁膜ＬＯの第１突出部ＣＰ１は、ハーフトーンマスクの非透過部で光を遮断することで形成される。
【００５６】
透明な物質で形成されている場合、ポジ型フォトレジストは、上方から照射された光が下部まで到達する。この場合、ポジ型フォトレジストは、光分解性により上方から分解する。そのため、隔壁膜ＬＯの断面形状は、上部から下部に亘って順テーパ状の断面形状を有する。幅が膜厚に対して十分に広いポジ型フォトレジストを上方から露光した場合、隔壁膜ＬＯの断面形状は、上部から下部に向かって広がる台形状の断面形状に形成される。また、幅が膜厚と同じ又はそれ以下であるポジ型フォトレジストを上方から露光した場合、隔壁膜ＬＯの断面形状は、上部から下部に向かって広がる三角形状の断面形状に形成される。隔壁膜ＬＯの断面形状は、本焼成前にその半分程度の温度で予備焼成すれば本焼成後も維持できる。
【００５７】
例えば、広色再現対応（色素含有量の多い）のカラーフィルタＣＦの膜厚は、約２．５μｍとする。この場合、２つの隣接する隔壁膜ＬＯの間にこのカラーフィルタＣＦを配置するためには、隔壁膜ＬＯの膜厚は、例えば、約２．０μｍ必要となる。このポジ型フォトレジストを台形形状に形成した場合、隔壁膜ＬＯの断面形状の上面及び下面の幅は、それぞれ、１．５μｍ及び２．５μｍとなる。この場合の隔壁膜ＬＯの断面形状の膜厚は、露光する前のポジ型フォトレジストの膜厚（＝２．０μｍ）とほぼ等しいものとする。隔壁膜ＬＯの断面形状の膜厚を２．０μｍ、且つ下面の幅を２．０μｍに形成した場合、隔壁膜ＬＯの断面形状の上面の幅は、０．７μｍとなる。隔壁膜ＬＯの断面形状の膜厚を２．０μｍ、且つ下面の幅を１．５μｍに形成した場合、隔壁膜ＬＯの断面形状は、三角形状の断面形状となる。隔壁膜ＬＯの断面形状を三角形状の断面形状に形成した場合、隔壁膜ＬＯの膜厚は、露光する前のポジ型フォトレジストの膜厚（＝２．０μｍ）よりも小さくなる。隔壁膜ＬＯの断面形状が台形形状である場合、隔壁膜ＬＯの断面形状の上面の幅が大きい方が、隔壁膜ＬＯの上面に対するフォトマスクＰＭの位置合わせの裕度が大きくなる。しかし、隔壁膜ＬＯの上方には遮光層ＢＭ、又は共通配線ＣＬを配置するため、隔壁膜ＬＯの断面形状の上面の幅が大きい場合には、表示領域ＤＡの開口率が小さくなる可能性がある。隔壁膜ＬＯの断面形状の上面の幅が小さい、例えば、隔壁膜ＬＯの断面形状が三角形状の断面形状である場合、表示領域ＤＡの開口率が大きくなる可能性がある。しかし、隔壁膜ＬＯの断面形状の上面の幅が小さい場合には、隔壁膜ＬＯの上面に対するフォトマスクＰＭの位置合わせの裕度が小さくなる。
【００５８】
色素含有量の多いカラーフィルタＣＦの断面形状は、露光時に下部へ到達する光量が少ないため、逆テーパ状の断面形状で形成される。色素含有量の多いカラーフィルタＣＦは、焼成時に逆テーパの断面形状が崩れるなど加工することが困難である。本実施形態の表示装置ＤＳＰは、色素含有量の多いカラーフィルタＣＦが隔壁膜ＬＯの第１空孔部ＨＬ１に収納できる。また、表示装置ＤＳＰは、色素含有量の多いカラーフィルタＣＦの一部が隔壁膜ＬＯの上面ＬＯＡに位置した場合でもカラーフィルタＣＦの膜厚が薄いため、下部まで露光することができる。したがって、本実施形態の表示装置ＤＳＰは、色素含有量の多いカラーフィルタＣＦであっても精度良く加工できる。
【００５９】
本実施形態によれば、表示装置は、第１空孔部ＨＬ１、第２空孔部ＨＬ２などが形成された格子形状の隔壁膜ＬＯを備えている。隔壁膜ＬＯは、例えば、加工性に優れたポジ型フォトレジストで形成されている。そのため、隔壁膜ＬＯは、第１空孔部ＨＬ１、第２空孔部ＨＬ２（コンタクトホールＣＨ１）、及び第１突出部ＣＰ１などの各構成を高精度且つ高密度に形成することを可能にする。したがって、表示装置ＤＳＰは、各構成の位置合わせの尤度を小さくできる。そのため、表示装置ＤＳＰは、表示領域ＤＡにおける開口率を向上できる。また、表示装置ＤＳＰは、隔壁膜ＬＯによりカラーフィルタＣＦを安定してパターニングできる。その結果、高精細で高効率を可能とする表示装置ＤＳＰが提供できる。
【００６０】
次に、他の実施形態に係る表示装置について説明する。以下に説明する他の実施形態において、前述した実施形態と同一の部分には、同一の参照符号を付しその詳細な説明を省略あるいは簡略化し、第１実施形態と異なる部分を中心に詳細に説明する。なお、他の実施形態においても、前述の実施形態と同様の効果を得ることができる。  
第２実施形態に係る表示装置ＤＳＰは、平面視した場合の隔壁膜ＬＯの第１空孔部ＨＬ１が第１実施形態における第１空孔部ＨＬ１と形状が異なる点で相違している。
【００６１】
図１１は、第２実施形態に係る第１基板ＳＵＢ１の隔壁膜ＬＯを示す平面図である。図１１は、図３に対応している。  
壁膜ＬＯの第２部Ｌ２は、第２空孔部ＨＬ２の形状に沿って狭窄している。図示した例では、隔壁膜ＬＯにおいて、第１側面ＯＳ１と第２側面ＯＳ２とがそれぞれ第２空孔部ＨＬ２の形状に沿って曲線状に形成されている。隔壁膜ＬＯにおいて、第１空孔部ＨＬ１の角部は、曲率を有する。図示した例では、第１空孔部ＨＬ１の角部は、第２部Ｌ２側に突き出している。そのため、隔壁膜ＬＯの第２部Ｌ２において、距離ＬＧ１は、図３に示した距離ＬＧ１よりも短い。同様に、隔壁膜ＬＯにおいて、距離はＬＧ２、図３に示した距離ＬＧ２よりも短い。例えば、第２部Ｌ２において、距離ＬＧ２は、最短距離ＬＧｍとほぼ同等に形成されていても良い。但し、交差部ＸＡＣは、図３に示した交差部ＸＡＣと同等の形状で形成されている。そのため、図３に示した隔壁膜ＬＯと同様に、交差部ＸＡＣでは、隔壁膜ＬＯの第１空孔部ＨＬ１の角部は、第１突出部ＣＰ１の形状に沿って内側に窪んでいる。
【００６２】
図１２は、第２実施形態に係る第２基板ＳＵＢ２の平面図である。図１２は、図４に対応している。  
図示した例では、遮光層ＢＭは、第２方向Ｙに沿った幅Ｗ３で第１方向Ｘに延長している。遮光層ＢＭの幅Ｗ３は、図３に示した遮光層ＢＭの第２方向Ｙに沿った幅Ｗ１よりも小さい。遮光層ＢＭは、第１空孔部ＨＬ１の角部と第２空孔部ＨＬ２との距離、例えば、距離ＬＧ１及びＬＧ２を短くした量に応じて、第２方向Ｙに沿った幅を小さくできる。遮光層ＢＭは、第１突出部ＣＰ１と重なる部分で幅Ｗ３よりも広い第２方向Ｙに沿った幅Ｗ２に拡張されている。  
このような第２実施形態においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。加えて、第２実施形態の表示装置ＤＳＰは、遮光層ＢＭの第２方向Ｙに沿った幅を小さくできるため、表示領域ＤＡにおける各画素ＰＸの開口率を向上することができる。
【００６３】
なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６４】
ＤＳＰ…液晶表示装置  ＰＮＬ…表示パネル  ＳＵＢ１…第１基板
ＳＵＢ２…第２基板  ＳＣ…走査信号線  ＳＧ…映像信号線
ＲＥ…台座層  ＣＬ…共通配線  ＡＲ…光吸収膜
ＬＯ…隔壁膜  ＣＦ…カラーフィルタ
１０…第１基板  ２０…第２基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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