(57)【要約】【課題】太陽電池セルに応力が加わった場合でも、その応力が集中する位置を制御することにより、出力の低下を抑制することができる太陽電池セルを提供する。【解決手段】太陽電池セル１０は、結晶性を有するシリコン基板１０ｄと、シリコン基板１０ｄの第１主面に設けられ、シリコン基板１０ｄ上の受光領域で発生した受光電荷を集電する複数本のフィンガー電極７０と、フィンガー電極７０と直交して設けられ、シリコン基板１０ｄ上の受光領域で発生した受光電荷を集電するｎ本（ｎは２以上の整数）の配線８０と、第１主面及び第１主面と背向する第２主面の少なくとも一方に形成されている１以上の凹部９０とを備える。１以上の凹部９０のそれぞれは、太陽電池セル１０に対する平面視において、最外部にある２本の配線８０のうちの一方の配線８０ａを延伸した直線Ｓ１及び他方の配線８０ｂを延伸した直線Ｓ２で挟まれた領域９１に形成されている。【選択図】図４Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
結晶性を有するシリコン基板と、
前記シリコン基板の第１主面に設けられ、前記シリコン基板上の受光領域で発生した受光電荷を集電する複数本のフィンガー電極と、
前記フィンガー電極と直交して設けられ、前記シリコン基板上の受光領域で発生した受光電荷を集電するｎ本（ｎは２以上の整数）の配線と、
前記第１主面及び前記第１主面と背向する第２主面の少なくとも一方に形成されている１以上の凹部とを備え、
前記１以上の凹部のそれぞれは、太陽電池セルに対する平面視において、最外部にある２本の前記配線のうちの一方の配線を延伸した直線及び他方の配線を延伸した直線で挟まれた領域に形成されている
太陽電池セル。
【請求項２】
前記１以上の凹部のそれぞれは、前記シリコン基板に形成された溝状のワイヤ痕より深い
請求項１に記載の太陽電池セル。
【請求項３】
前記シリコン基板の前記第１主面には、テクスチャ構造が形成されており、
前記１以上の凹部のそれぞれは、前記テクスチャ構造より深い
請求項１又は２に記載の太陽電池セル。
【請求項４】
前記１以上の凹部は、前記領域に含まれる前記太陽電池セルの端辺に形成されている
請求項１〜３のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
【請求項５】
前記１以上の凹部は、前記端辺の略中央の位置に形成されている
請求項４に記載の太陽電池セル。
【請求項６】
隣り合う２本の前記配線の直線距離をＤとすると、
前記１以上の凹部は、前記領域内における、前記配線の端部を結んだ仮想線からＤ／２以上内方の位置に形成されている
請求項１〜３のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
【請求項７】
前記領域に形成されている前記１以上の凹部の数は、２×（ｎ−１）個以下である
請求項１〜６のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
【請求項８】
前記１以上の凹部のそれぞれは、前記領域のみに形成されている
請求項１〜７のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
【請求項９】
前記１以上の凹部は、前記第１主面から前記第２主面まで貫通している
請求項１〜８のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
【請求項１０】
さらに、前記１以上の凹部に接続された溝部を有し、
前記溝部は、平面視において、前記太陽電池セルの劈開方向に沿って略直線状又は略円弧状に形成されている
請求項１〜９のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
【請求項１１】
前記配線は、バスバー電極である
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
【請求項１２】
前記シリコン基板は、単結晶シリコン基板である
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
【請求項１３】
複数の太陽電池セルと、隣り合う前記太陽電池セルを電気的に接続する配線部材とを備える太陽電池モジュールであって、
前記複数の太陽電池セルのうちの少なくとも１つは請求項１〜１２のいずれか１項に記載の太陽電池セルである
太陽電池モジュール。
【請求項１４】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の太陽電池セルの製造方法であって、
レーザ加工により前記凹部を形成する工程を含む
太陽電池セルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池セル、太陽電池セルを備える太陽電池モジュール及び太陽電池セルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光エネルギーを電気エネルギーに変換する光電変換装置として、太陽電池セル及び太陽電池セルを用いた太陽電池モジュールの開発が進められている。太陽電池セル及び太陽電池セルを用いた太陽電池モジュールは、無尽蔵の太陽光を直接電気に変換できることから、また、化石燃料による発電と比べて環境負荷が小さくクリーンであることから、新しいエネルギー源として期待されている。
【０００３】
例えば、特許文献１では、光電変換効率を向上させる太陽電池セル及び太陽電池モジュールが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１８８１１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の太陽電池セルでは、太陽電池セルに応力が加わった場合、その応力が集中する位置（応力集中位置）が考慮されていない。つまり、特許文献１の太陽電池セルでは、応力集中位置を制御することできない。そのため、応力集中位置によっては太陽電池セル内において電気的に分割される領域が発生し、それにより太陽電池セルの出力が低下してしまう。また、太陽電池セルを複数備える太陽電池モジュールにおいては、太陽電池セルの出力が低下することにより、太陽電池モジュールの出力が低下してしまう。
【０００６】
そこで、本発明は、太陽電池セルに応力が加わった場合でも、その応力集中位置を制御することにより、出力の低下を抑制することができる太陽電池セル等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る太陽電池セルの一態様は、結晶性を有するシリコン基板と、前記シリコン基板の第１主面に設けられ、前記シリコン基板上の受光領域で発生した受光電荷を集電する複数本のフィンガー電極と、前記フィンガー電極と直交して設けられ、前記シリコン基板上の受光領域で発生した受光電荷を集電するｎ本（ｎは２以上の整数）の配線と、前記第１主面及び前記第１主面と背向する第２主面の少なくとも一方に形成されている１以上の凹部とを備え、前記１以上の凹部のそれぞれは、太陽電池セルに対する平面視において、最外部にある２本の前記配線のうちの一方の配線を延伸した直線及び他方の配線を延伸した直線で挟まれた領域に形成されている。
【０００８】
また、本発明に係る太陽電池モジュールの一態様は、複数の太陽電池セルと、隣り合う前記太陽電池セルを電気的に接続する配線部材とを備える太陽電池モジュールであって、前記複数の太陽電池セルのうちの少なくとも１つは上記に記載の太陽電池セルである。
【０００９】
また、本発明に係る太陽電池セルの製造方法の一態様は、上記に記載の太陽電池セルの製造方法であって、レーザ加工により前記凹部を形成する工程を含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る太陽電池セル等によれば、太陽電池セルに応力が加わった場合でも、出力の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態１に係る太陽電池モジュールの概略平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線における実施の形態１に係る太陽電池モジュールの断面図である。
【図３】実施の形態１に係る太陽電池セルの一例を示す断面図である。
【図４Ａ】実施の形態１に係る太陽電池セルに形成されている凹部の一例を示す平面図である。
【図４Ｂ】図４ＡのＩＶＢ−ＩＶＢ線における実施の形態１に係る太陽電池セルの断面図である。
【図５】レーザ加工により凹部を形成する例を示す図である。
【図６】実施の形態２に係る太陽電池セルに形成されている凹部の一例を示す平面図である。
【図７】実施の形態３に係る太陽電池セルに形成されている凹部及び溝部の一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下では、本発明の実施の形態に係る太陽電池セル及び当該太陽電池セルを備える太陽電池モジュールについて、図面を用いて詳細に説明する。以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置、接続形態及び工程等は、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００１３】
各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化される場合がある。
【００１４】
本明細書において、「略＊＊」との記載は実質的に＊＊と認められるものを含む意図であり、例えば「略平行」を例に挙げて説明すると、完全に平行はもとより、実質的に平行と認められるものを含む意図である。
【００１５】
また、各図において、Ｚ軸方向は、太陽電池モジュールの主面、及び、太陽電池セルの主面に垂直な方向である。Ｘ軸方向及びＹ軸方向は互いに直交し、かつ、いずれもＺ軸方向に直交する方向である。例えば、以下の実施の形態において、「平面視」とは、Ｚ軸方向から見ていることを意味する。
【００１６】
（実施の形態１）
以下、図１〜図６を用いて、実施の形態１を説明する。
【００１７】
［１．太陽電池モジュールの概略構成］
まず、本実施の形態に係る太陽電池モジュールの概略構成の一例について、図１及び図２を用いて説明する。
【００１８】
図１は、本実施の形態に係る太陽電池モジュール１の概略平面図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線における本実施の形態に係る太陽電池モジュール１の断面図である。
【００１９】
図１及び図２に示すように、太陽電池モジュール１は、複数の太陽電池セル１０と、タブ配線２０と、表面保護部材３０と、裏面保護部材４０と、充填部材５０と、フレーム６０とを備える。太陽電池モジュール１は、表面保護部材３０と裏面保護部材４０との間に、複数の太陽電池セル１０が充填部材５０で封止された構造となっている。
【００２０】
図１に示すように、太陽電池モジュール１の平面視形状は、例えば、略長方形状である。
【００２１】
以下、太陽電池モジュール１の各構成部材について、図１及び図２を参照しながら、図３、図４Ａ及び図４Ｂを用いて、さらに詳細に説明する。
【００２２】
［１−１．太陽電池セル］
太陽電池セル１０は、太陽光等の光を電力に変換する光電変換素子（光起電力素子）である。図１に示すように、太陽電池セル１０は、同一平面において行列状（マトリクス状）に複数枚配列されている。
【００２３】
直線状に配列された複数の太陽電池セル１０は、隣り合う２つの太陽電池セル１０同士がタブ配線２０によって連結されてストリング（セルストリング）を構成している。１つのストリング１０Ｓ内の複数の太陽電池セル１０は、タブ配線２０によって電気的に接続され、直列接続されている。
【００２４】
なお、各ストリング１０Ｓは、タブ配線２０を介して他の配線（不図示）に接続されている。これにより、複数のストリング１０Ｓが直列接続又は並列接続されてセルアレイが構成される。
【００２５】
図１に示すように、複数の太陽電池セル１０は、行方向及び列方向に隣り合う太陽電池セル１０との間に隙間をあけて配置されている。この隙間には、例えば、光反射部材（不図示）が配置されてもよい。これにより、太陽電池セル１０間の隙間領域に入射した光は、光反射部材の表面で反射する。この反射光は、表面保護部材３０と太陽電池モジュール１の外部空間との界面で再び反射され、太陽電池セル１０上へ再配光される。よって、太陽電池モジュール１全体の光電変換効率を向上させることが可能となる。
【００２６】
本実施の形態において、太陽電池セル１０の平面視形状は、略矩形状である。例えば、太陽電池セル１０は、１２５ｍｍ角の正方形の角が欠けた形状である。また、例えば、シリコン基板１０ｄの厚みは１５０μｍ以下である。
【００２７】
図３は、本実施の形態に係る太陽電池セル１０の一例を示す断面図である。また、図４Ａは、本実施の形態に係る太陽電池セル１０に形成されている凹部９０の一例を示す平面図である。なお、図３は、図４ＡのＩＩＩ―ＩＩＩ線における断面図である。
【００２８】
図３に示すように、太陽電池セル１０は、半導体ｐｎ接合を基本構造としており、一例として、ｎ型の半導体基板であるｎ型単結晶シリコン基板１０ｄと、ｎ型単結晶シリコン基板１０ｄの一方の主面側に順次形成された、ｐ型非晶質シリコン層１０ｂ及びｐ側電極１０ａと、ｎ型単結晶シリコン基板１０ｄの他方の主面側に順次形成された、ｎ型非晶質シリコン層１０ｅ及びｎ側電極１０ｆとによって構成されている。ｐ側電極１０ａ及びｎ側電極１０ｆは、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）等の透明電極である。
【００２９】
また、ｎ型単結晶シリコン基板１０ｄとｐ型非晶質シリコン層１０ｂとの間、及び、ｎ型単結晶シリコン基板１０ｄとｎ型非晶質シリコン層１０ｅとの間にはパッシベーション層であるｉ型非晶質シリコン層１０ｃが設けられている。これにより、発生したキャリアが再結合することを抑制できる。よって、太陽電池モジュール１の光電変換効率を向上させることができる。なお、パッシベーション層は、ｉ型非晶質シリコン層１０ｃに限定されず、酸化シリコン層又は窒化シリコン層等でもよいし、設けられなくてもよい。
【００３０】
また、太陽電池セル１０を構成する結晶性シリコン基板は単結晶シリコン基板（ｎ型単結晶シリコン基板、又は、ｐ型単結晶シリコン基板）に限定されず、多結晶シリコン基板でもよい。以降の説明において、結晶性シリコン基板が、ｎ型単結晶シリコン基板（以降、シリコン基板１０ｄと呼ぶ）である場合について説明する。
【００３１】
なお、上記ではヘテロ接合型の太陽電池セルについて説明したが、太陽電池セル１０はヘテロ接合型に限定されない。例えば、太陽電池セル１０は単結晶シリコン型又は多結晶シリコン型等の結晶シリコン型の太陽電池セルでもよい。
【００３２】
本実施の形態において、太陽電池セル１０は、ｐ側電極１０ａが太陽電池モジュール１の主受光面側となるように配置されているが、これに限定されない。例えば、ｎ側電極１０ｆが太陽電池モジュール１の主受光面側となるように配置されてもよい。また、太陽電池モジュール１が片面受光方式である場合には、裏面側に位置する電極は透明である必要はなく、例えば反射性を有する金属電極であってもよい。
【００３３】
各太陽電池セル１０において、表面は表面保護部材３０側の面であり、裏面は裏面保護部材４０側の面である。図２に示すように、太陽電池セル１０には、表面集電極１１と裏面集電極１２とが形成されている。表面集電極１１は、太陽電池セル１０の表面側電極（例えばｐ側電極１０ａ）に電気的に接続される。裏面集電極１２は、太陽電池セル１０の裏面側電極（例えばｎ側電極１０ｆ）に電気的に接続される。
【００３４】
表面集電極１１及び裏面集電極１２の各々は、例えば、タブ配線２０の延設方向と直交するように直線状に形成された複数本のフィンガー電極７０と、これらのフィンガー電極７０に接続されるとともにフィンガー電極７０に直交する方向（タブ配線２０の延設方向）に沿って直線状に形成された複数本のバスバー電極８０とによって構成されている。バスバー電極８０の本数は、例えば、タブ配線２０と同数であり、本実施の形態では、３本である。なお、バスバー電極８０の本数は３本に限定されず、２本以上であればよい。また、表面集電極１１及び裏面集電極１２は、互いに同じ形状となっているが、これに限定されない。また、バスバー電極８０は、配線の一例である。
【００３５】
このように構成される太陽電池セル１０は、表面及び裏面の両方が受光面となる。太陽電池セル１０に光が入射すると太陽電池セル１０の光電変換部でキャリアが発生する。発生したキャリアは、表面集電極１１及び裏面集電極１２で収集されてタブ配線２０に流れ込む。このように、表面集電極１１及び裏面集電極１２を設けることで、太陽電池セル１０で発生したキャリアを外部回路に効率的に取り出すことができる。
【００３６】
なお、シリコン基板１０ｄの表面には、複数の角錐が２次元状に配置されたテクスチャ構造と呼ばれる微細な凹凸が形成されていてもよい。両面が受光面である太陽電池セル１０では、シリコン基板１０ｄの表面及び裏面にテクスチャ構造が形成されていてもよい。これにより、太陽電池セル１０の表面又は裏面で反射した反射光が当該太陽電池セル１０を備える太陽電池モジュール１の外部に出射されることを低減できる。つまり、太陽電池セル１０内部への入射光が増加するので、太陽電池セル１０の発電効率が向上する。例えば、テクスチャ構造は、シリコン基板１０ｄの表面を異方性エッチングすることにより形成される。テクスチャ構造の深さ（頂部と谷部とで規定される深さ）は、例えば、１μｍ以上１０μｍ以下である。
【００３７】
［１−２．タブ配線（インターコネクタ）］
図１及び図２に示すように、タブ配線２０（インターコネクタ）は、ストリング１０Ｓにおいて、隣り合う２つの太陽電池セル１０同士を電気的に接続する。図１に示すように、本実施の形態では、隣り合う２つの太陽電池セル１０は、互いに略平行に配置された３本のタブ配線２０によって接続されている。図２に示すように、各タブ配線２０については、タブ配線２０の一端部が、隣り合う２つの太陽電池セル１０のうちの一方の太陽電池セル１０の表面に配置され、タブ配線２０の他端部が、隣り合う２つの太陽電池セル１０のうちの他方の太陽電池セル１０の裏面に配置されている。各タブ配線２０は、隣り合う２つの太陽電池セル１０において、一方の太陽電池セル１０の表面集電極１１と、他方の太陽電池セル１０の裏面集電極１２とを電気的に接続している。例えば、タブ配線２０と、太陽電池セル１０の表面集電極１１及び裏面集電極１２のバスバー電極８０とは、ハンダ材等の導電性を有する接着剤や、樹脂接着材で接合されている。タブ配線２０と太陽電池セル１０の表面集電極１１及び裏面集電極１２のバスバー電極８０とを樹脂接着材で接合する場合、樹脂接着材は導電性粒子を含んでもよい。なお、タブ配線２０は、配線部材の一例である。
【００３８】
本実施の形態では、バスバー電極８０は３本形成されている。図４Ａに示すように、３本のバスバー電極８０のそれぞれにおいて、タブ配線２０が接合される。なお、図４Ａでは、タブ配線２０を破線で示しており、タブ配線２０がバスバー電極８０に重なって接合されていることを示している。
【００３９】
タブ配線２０は、長尺状の導電性配線であって、例えば、リボン状の金属箔である。タブ配線２０は、例えば、銅箔や銀箔等の金属箔の表面全体を半田や銀等で被覆したものを所定の長さに短冊状に切断することによって作製することができる。
【００４０】
［１−３．表面保護部材、裏面保護部材］
表面保護部材３０は、太陽電池セル１０の表面側に配設されており、太陽電池モジュール１の内部（太陽電池セル１０等）を、風雨や外部衝撃等の外部環境から保護する。この観点から表面保護部材３０は、例えば、透光性及び遮水性を有するガラス、フィルム状又は板状の硬質の透光性及び遮水性を有する硬質の樹脂部材などを用いることができる。
【００４１】
裏面保護部材４０は、太陽電池セル１０の裏面側に配設されており、太陽電池モジュール１の内部を外部環境から保護する。裏面保護部材４０は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）又はポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の樹脂材料からなるフィルム状や板状の樹脂シートを用いることができる。なお、太陽電池モジュール１が片面受光方式である場合には、裏面保護部材４０は、不透光の板体又はフィルムとしてもよい。
【００４２】
［１−４．充填部材］
表面保護部材３０及び裏面保護部材４０の間には充填部材５０が充填されている。表面保護部材３０及び裏面保護部材４０と太陽電池セル１０とは、この充填部材５０によって接着されて固定されている。本実施の形態において、充填部材５０は、表面保護部材３０と裏面保護部材４０との間を埋めるように充填されている。
【００４３】
図２に示すように、充填部材５０は、表面充填部材５１と裏面充填部材５２とによって構成されている。表面充填部材５１及び裏面充填部材５２の各々は、マトリクス状に配置された複数の太陽電池セル１０を覆っている。
【００４４】
複数の太陽電池セル１０は、例えばシート状の表面充填部材５１と裏面充填部材５２とで挟み込まれた状態でラミネート処理（ラミネート加工）を行うことで充填部材５０によって全体が覆われる。
【００４５】
ラミネート処理前の表面充填部材５１は、例えば、エチレンビニールアセテート（ＥＶＡ）又はポリオレフィン等の透光性を有する樹脂材料によって構成された樹脂シートであり、複数の太陽電池セル１０と表面保護部材３０との間に配置される。
【００４６】
ラミネート処理前の裏面充填部材５２は、例えばＥＶＡ又はポリオレフィン等の樹脂材料によって構成された樹脂シートであり、複数の太陽電池セル１０と裏面保護部材４０との間に配置される。なお、太陽電池モジュール１が片面受光方式である場合には、裏面充填部材５２は、透光性材料に限るものではなく、黒色材料又は白色材料等の着色材料によって構成されてもよい。
【００４７】
［１−５．フレーム］
フレーム６０は、太陽電池モジュール１の周縁端部を覆う外枠である。フレーム６０は、例えば、アルミ製のアルミフレーム（アルミ枠）である。
【００４８】
［２．太陽電池セルの構造］
次に、図４Ａ及び図４Ｂを用いて、本実施の形態に係る太陽電池セル１０について説明する。図４Ｂは、図４ＡのＩＶＢ−ＩＶＢ線における本実施の形態に係る太陽電池セル１０の断面図である。なお、図４Ｂでは、シリコン基板１０ｄ及びシリコン基板１０ｄに形成された凹部９０のみを図示している。
【００４９】
図４Ａに示すように、本実施の形態に係る太陽電池セル１０は、シリコン基板１０ｄが凹部９０を有する点に特徴を有する。凹部９０は、シリコン基板１０ｄの表面に形成されたへこみである。一般的に、応力が加わった際、溝や孔等の一様な形状が変化する部分には、他の部分に比べ加わる応力が増加する。つまり、シリコン基板１０ｄに凹部９０が形成されていることで、太陽電池セル１０に応力が加わった場合に、その応力は凹部９０に集中しやすくなる。これにより、応力が集中する位置（応力集中位置）を凹部９０に制御することができる。よって、太陽電池セル１０に過剰な応力が加わった場合、凹部９０にその応力が集中するので、凹部９０が起点となり太陽電池セル１０は割れやすくなる。
【００５０】
ここで、太陽電池セル１０が割れる方向について説明する。例えば、（１００）面を主面（表面及び裏面）とするシリコン基板１０ｄ（単結晶シリコン基板）は、互いに直交する２つの劈開面（例えば、（０１１）面と（０−１１）面）を有する。このような劈開面を有するシリコン基板１０ｄは、劈開面に平行な方向に沿って割れやすい性質を有する。なお、太陽電池セル１０の平面視において、劈開面を伝わる方向（劈開面に平行な方向）を劈開方向９２ａ、９２ｂと呼ぶ（第１劈開方向９２ａ、第２劈開方向９２ｂとも呼ぶ）。つまり、太陽電池セル１０の平面視において、シリコン基板１０ｄは、劈開方向９２ａ、９２ｂに平行な方向に沿って割れやすい。
【００５１】
なお、シリコン基板１０ｄの表面とは、シリコン基板１０ｄの主面のうちの太陽電池モジュール１における主受光面側の面であり、第１主面の一例である。また、シリコン基板１０ｄの裏面とは、シリコン基板１０ｄの表面と背向するシリコン基板１０ｄの面であり、第２主面の一例である。
【００５２】
太陽電池セル１０が割れる場合、太陽電池セル１０はシリコン基板１０ｄの劈開方向９２ａ、９２ｂに沿って割れやすい。本実施の形態では、劈開方向９２ａ、９２ｂは、太陽電池セル１０の端辺とおよそ４５°をなす方向である。また、第１劈開方向９２ａと第２劈開方向９２ｂとは、直交関係にある。なお、劈開方向９２ａ、９２ｂは、太陽電池セル１０の端辺とおよそ４５°をなす方向に限定されない。例えば、太陽電池セル１０の端辺と直交及び平行をなす（例えば、第１劈開方向９２ａが端辺と直交をなし、第２劈開方向９２ｂが端辺と平行をなす）方向であってもよいし、その他の方向であってもよい。
【００５３】
上述したように、本実施の形態では、太陽電池セル１０が割れる場合、凹部９０の位置が割れの起点となり、太陽電池セル１０の劈開方向９２ａ、９２ｂに沿って割れる。太陽電池セル１０に対する平面視（太陽電池セル１０を平面視した場合）において、凹部９０は、複数本のバスバー電極８０のうちの第１バスバー電極８０ａを延伸した直線Ｓ１及び第２バスバー電極８０ｂを延伸した直線Ｓ２で挟まれた領域９１に形成されている。つまり、最外部にある２本のバスバー電極である第１バスバー電極８０ａ及び第２バスバー電極８０ｂを延伸した直線で挟まれた領域９１に凹部９０は形成されている。本実施の形態では、隣り合うバスバー電極８０（第１バスバー電極８０ａと第３バスバー電極８０ｃと）の直線距離を距離Ｄ［ｍｍ］とすると、凹部９０は、領域９１内における、第１バスバー電極８０ａの端部と第３バスバー電極８０ｃの端部とを結んだ仮想線９３からＤ／２［ｍｍ］以上内方の位置に形成されている。より詳しくは、凹部９０は、領域９１内における、第１バスバー電極８０ａの端部と第３バスバー電極８０ｃの端部とを結んだ２本の仮想線９３のそれぞれからバスバー電極８０の長尺方向に沿ってＤ／２［ｍｍ］以上内方の位置に形成されている。
【００５４】
これにより、凹部９０を起点とし劈開方向９２ａ、９２ｂに沿って割れた場合に、平面視において、当該割れはバスバー電極８０と交差する。つまり、割れた領域それぞれにバスバー電極８０が含まれる。言い換えると、バスバー電極８０の端部を結んだ仮想線９３からＤ／２以上内方に凹部９０が形成されていることで、当該凹部９０を起点とし劈開方向９２ａ、９２ｂに沿って割れた場合、割れた領域それぞれにおいてバスバー電極８０を含まない領域が形成されることを抑制することができる。なお、凹部９０は、例えば、領域９１に含まれる端辺に形成されていてもよい。これにより、端辺に形成された凹部９０を起点とし劈開方向９２ａ、９２ｂに沿って割れた場合に、バスバー電極８０を含まない領域が発生しにくくなる。
【００５５】
なお、第１バスバー電極８０ａは一方の配線の一例であり、第２バスバー電極８０ｂは他方の配線の一例である。また、隣り合うバスバー電極８０は、第１バスバー電極８０ａ及び第３バスバー電極８０ｃに限定されない。例えば、第２バスバー電極８０ｂと第３バスバー電極８０ｃとの直線距離を距離Ｄとしてもよい。また、距離Ｄは隣り合うバスバー電極８０の直線距離に限定されず、例えば、最外部にある２本のバスバー電極８０（第１バスバー電極８０ａと第２バスバー電極８０ｂと）の直線距離を距離Ｄとしてもよい。
【００５６】
また、シリコン基板１０ｄに凹部９０が形成されていないと、応力集中位置が制御できないので、太陽電池セルには任意の位置を起点として複数本の割れが形成されることがある。これにより、割れの起点の位置によっては、バスバー電極８０と電気的に接続されていない（電気的に分割される）領域が発生する恐れがある。例えば、電気的に接続されていない領域とは、４本の割れで形成された領域であって、その領域内にバスバー電極８０を含まない領域などである。これにより、当該領域内で発生した受光電荷を集電できないので、太陽電池セルの出力が低下する。
【００５７】
なお、バスバー電極８０と電気的に接続されていないとは、例えば、フィンガー電極７０又は透明電極を介してバスバー電極８０と電気的に接続されていないことである。つまり、太陽電池セル１０が割れてバスバー電極８０を含まない領域が発生しても、バスバー電極８０を含む領域とバスバー電極８０を含まない領域とが、フィンガー電極７０又は透明電極を介して電気的に接続されていれば、当該太陽電池セル１０は、バスバー電極８０を含まない領域で発生した受光電荷を集電可能である。
【００５８】
また、太陽電池セル１０が割れることで、バスバー電極８０が割れることも起こり得る。バスバー電極８０は、太陽電池セル１０上で集電された電荷に対応する電圧を外部回路に出力可能な電極である。よって、太陽電池セル１０の割れによりバスバー電極８０が割れても、当該太陽電池セル１０は外部回路に電圧を出力可能である。つまり、バスバー電極８０が割れても、当該太陽電池セル１０は出力の低下を抑制することができる。具体的には、上述したように、バスバー電極８０のそれぞれは、タブ配線２０と接合されている。つまり、バスバー電極８０とタブ配線２０とは、電気的に接続されている。これにより、太陽電池セル１０の割れによりバスバー電極８０（例えば、第１バスバー電極８０ａ）が割れても、割れたバスバー電極８０同士（例えば、割れた第１バスバー電極８０ａ同士）は、タブ配線２０により電気的に接続されている。これにより、太陽電池セル１０は、バスバー電極８０が割れても、集電が可能である。よって、割れた領域にバスバー電極８０が含まれていれば、太陽電池セル１０は集電が可能である。言い換えると、太陽電池セル１０が割れた場合、割れた領域全てにおいてバスバー電極８０が含まれるように凹部９０を形成することで、太陽電池セル１０が割れても出力の低下を抑制することができる。
【００５９】
本実施の形態では、凹部９０は、領域９１内に１個形成されている。具体的には、凹部９０は、第１バスバー電極８０ａを延伸した直線Ｓ１及び第３バスバー電極８０ｃを延伸した直線で挟まれた領域内に１個形成されている。なお、領域９１内に形成されている凹部９０の個数は、バスバー電極８０の本数がｎ本（ｎは２以上の整数）である場合、例えば、２×（ｎ−１）個以下である。
【００６０】
本実施の形態では、バスバー電極８０は３本であるので、形成されている凹部９０の個数は、４個以下である。４個以下の凹部９０のそれぞれは、領域９１内に形成されている。例えば、太陽電池セル１０に対する平面視において、隣り合うバスバー電極を延伸した直線で挟まれた領域（例えば、第１バスバー電極８０ａを延伸した直線Ｓ１及び第３バスバー電極８０ｃを延伸した直線で挟まれた領域、及び、第２バスバー電極８０ｂを延伸した直線Ｓ２及び第３バスバー電極８０ｃを延伸した直線で挟まれた領域）内それぞれに２個ずつ凹部９０が形成されていてもよい。例えば、隣り合うバスバー電極８０を延伸した直線で挟まれた領域に含まれる端辺それぞれに１個ずつ凹部９０が形成されていてもよい。また、例えば、隣り合うバスバー電極８０を延伸した直線で挟まれた領域のうち、端辺からＤ／２以上内方の位置に２個ずつ凹部９０が形成されていてもよい。つまり、隣り合うバスバー電極を延伸した直線で挟まれた領域（例えば、第１バスバー電極８０ａを延伸した直線Ｓ１及び第３バスバー電極８０ｃを延伸した直線で挟まれた領域、及び、第２バスバー電極８０ｂを延伸した直線Ｓ２及び第３バスバー電極８０ｃを延伸した直線で挟まれた領域）を４分割した場合、それぞれの領域に凹部９０が形成されていてもよい。
【００６１】
なお、太陽電池セル１０に形成されている凹部９０は、領域９１のみに形成されていることが好ましい。これにより、領域９１以外の領域のへこみが起点となり、太陽電池セル１０が割れることを抑制することができる。領域９１以外の位置が起点となり太陽電池セル１０が割れると、起点の位置によってはバスバー電極８０と電気的に接続されていない領域が発生する可能性が高くなる。つまり、凹部９０が領域９１のみに形成されていることで、太陽電池セル１０は領域９１内の凹部９０を起点として割れるので、太陽電池セル１０の出力の低下を抑制することができる。
【００６２】
本実施の形態では、凹部９０の平面視における形状は、略円形状である。なお、凹部９０の平面視における形状は、略円形状に限定されない。例えば、凹部９０の平面視における形状は、略三角形状など頂角を有する形状でもよい。これにより、太陽電池セル１０に応力が加わった場合、より凹部９０に応力を集中させることができる。なお、太陽電池セル１０の平面視において、凹部９０の大きさ（例えば、直径）は、特に限定されない。また、頂角の角度は特に限定されない。鈍角であってもよいし、鋭角であってもよいし、直角であってもよい。
【００６３】
続いて、図４Ｂを用いて、凹部９０の断面形状について説明する。図４Ｂに示すように、凹部９０の断面形状は、例えば、略逆三角形状である。なお、凹部９０の断面形状は、例えば、略矩形状又は略円弧状でもよいし、その他の形状でもよい。例えば、凹部９０の断面形状は、鋭角を有する形状であってもよい。また、凹部９０は、例えば、シリコン基板１０ｄに形成されている溝状のワイヤ痕（ソーマーク）よりも深く形成されている。なお、ワイヤ痕とは、ワイヤソー等の装置を用いてシリコンインゴットをワイヤによりスライスしシリコン基板１０ｄを作製する際、当該ワイヤによりシリコン基板１０ｄの表面及び裏面に形成されている溝である。つまり、本実施の形態に係る凹部９０は、ワイヤ痕とは異なる溝である。シリコン基板１０ｄの深さとは、図４Ｂにおいて、シリコン基板１０ｄの表面（Ｚ軸プラス側の面）と凹部９０の谷部とで規定される深さである。ワイヤ痕の深さとは、図４Ｂにおいて、シリコン基板１０ｄの表面とワイヤ痕の谷部とで規定される深さである。また、凹部９０は、例えば、シリコン基板１０ｄに形成されているテクスチャ構造よりも深く形成されている。
【００６４】
なお、本実施の形態では、凹部９０は、太陽電池セル１０の表面に形成されている例について説明したが、これに限定されない。例えば、凹部９０は、太陽電池セル１０の裏面に形成されていてもよいし、表面及び裏面の両面に形成されていてもよい。つまり、凹部９０は、表面及び裏面の少なくとも一方の面に形成されていればよい。なお、太陽電池セル１０の表面とは、太陽電池セル１０の主面のうちの太陽電池モジュール１における主受光面側の面である。また、太陽電池セル１０の裏面とは、太陽電池セル１０の表面と背向する太陽電池セル１０の面である。
【００６５】
また、本実施の形態に係る複数の太陽電池セル１０と、太陽電池セル１０同士を電気的に接続するタブ配線２０とを備える太陽電池モジュール１において、太陽電池セル１０が割れても、当該太陽電池セル１０の出力が低下することを抑制できる。つまり、太陽電池モジュール１として出力が低下することを抑制できる。なお、太陽電池モジュール１は、当該太陽電池モジュール１が備える複数の太陽電池セルのうち、少なくとも１つは上述した太陽電池セル１０であればよい。これにより、太陽電池モジュール１に応力が加わった場合に、太陽電池モジュール１の出力の低下を抑制し得る。
【００６６】
［３．溝部の製造方法］
続いて、図５を用いてシリコン基板１０ｄの表面に凹部９０を形成する製造方法について説明する。図５は、レーザ加工により凹部９０を形成する例を示す図である。なお、図５の（ａ）及び図５の（ｂ）では、レーザ発振器、集光レンズ等の光学系、及び、加工物を固定するテーブル等を備えるレーザ加工装置は省略し、レーザ加工装置から照射されるレーザビームＬ、及び、加工物であるシリコン基板１０ｄを図示している。
【００６７】
図５の（ａ）は、シリコン基板１０ｄの表面にレーザビームＬを照射している例を示す図である。レーザビームＬは、例えば、シリコン基板１０ｄの凹部９０を形成する位置に照射される。これにより、レーザビームＬが照射されたシリコン基板１０ｄの位置が融解又は蒸発することで、シリコン基板１０ｄの表面に凹部９０が形成される。なお、レーザビームＬが照射される位置は、バスバー電極８０が形成される位置などを考慮し、決定される。また、凹部９０が複数形成される場合は、それぞれの凹部９０の位置にレーザビームＬが照射される。
【００６８】
図５の（ｂ）は、図５の（ａ）に示すようにレーザビームＬを照射したことによって凹部９０が形成されたシリコン基板１０ｄを示す図である。図５の（ａ）でレーザビームＬが照射された位置に、凹部９０が形成されている。図５の（ｂ）では、凹部９０の平面視における（Ｚ軸方向から見る）形状が、略円形状である例を示している。
【００６９】
レーザ加工は、シリコン基板１０ｄに与える影響が少なく、かつ低コストで凹部９０を形成できる。なお、レーザ加工に用いるレーザの種類は特に限定されない。例えば、炭酸ガスレーザ等の気体レーザ、又はＹＡＧ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット）レーザ等の固体レーザが用いられる。加工する材料、厚み、加工精度等により、レーザの種類及びレーザの出力等は適宜決定されればよい。
【００７０】
図５の（ｃ）は、凹部９０を有する太陽電池セル１０の斜視図である。具体的には、図５の（ｂ）に示すシリコン基板１０ｄに電極などを形成した太陽電池セル１０の斜視図である。図５の（ｃ）に示すように、太陽電池セル１０は、最外部にあるバスバー電極８０である第１バスバー電極８０ａを延伸した直線Ｓ１及び第２バスバー電極８０ｂを延伸した直線Ｓ２とで挟まれた領域９１に凹部９０の有する。
【００７１】
また、凹部９０を形成する工程は、シリコン基板１０ｄから太陽電池セル１０を形成する工程の中で行われればよい。例えば、凹部９０の形成は、シリコン基板１０ｄにテクスチャ構造を形成する前に行われてもよいし、テクスチャ構造を形成した後に行われてもよい。
【００７２】
なお、上記ではレーザ加工により凹部９０を形成する例について説明したが、凹部９０を形成する方法は、これに限定されない。例えば、研削加工により凹部９０を形成してもよいし、その他の方法でもよい。また、上記ではレーザ加工により略円形状の凹部９０を形成する例について説明したが、凹部９０の平面視形状が略円形状以外の場合であってもレーザ加工により凹部９０を形成可能である。
【００７３】
（実施の形態２）
次に、図６を用いて、実施の形態２に係る太陽電池セル１００について説明する。本実施の形態に係る太陽電池セル１００は、実施の形態１に係る太陽電池セル１０と凹部の形状が異なる。なお、本実施の形態において、実施の形態１で説明された事項については省略され、実施の形態１との相違点を中心に説明される。
【００７４】
図６は、本実施の形態に係る太陽電池セル１００に形成されている凹部１９０の一例を示す平面図である。図６に示すように、凹部１９０が太陽電池セル１０の表面から裏面（シリコン基板１０ｄの第１主面から第２主面）まで貫通して形成されている点が、実施の形態１の凹部９０と異なる。
【００７５】
凹部１９０は、太陽電池セル１００の表面から裏面まで貫通して形成されている切欠きである。凹部１９０の平面視における形状は、例えば、略三角形状である。なお、略三角形状とは、平面視において、直線部１９１及び直線部１９２の一端が接することで頂部１９３を形成し、かつ直線部１９１及び直線部１９２の他端を結ぶ仮想線（図中の一点鎖線）、直線部１９１及び直線部１９２とで形成されている形状である。図６では、平面視において、頂部１９３は、太陽電池セル１００の内方に向かう方向に位置している。
【００７６】
また、例えば、原子レベルで見た場合、頂部１９３がフラット又は曲率を有する（例えばＵ字状）場合も、略三角形状に含まれる。また、太陽電池セル１０に対する平面視において、太陽電池セル１０の端辺に対する直線部１９１及び直線部１９２の角度が異なって形成されている場合も、略三角形状に含まれる。さらに、端辺と直線部１９１及び直線部１９２の他端とが曲率を有し接続している場合も、略三角形状に含まれる。なお、凹部１９０の平面視における形状は、略三角形状に限定されない。例えば、凹部１９０の平面視における形状は、矩形、多角形又は円形であってもよいし、その他の形状であってもよい。また、直線部１９１と直線部１９２とがなす角度（頂角）は、特に限定されない。鈍角であってもよいし、鋭角であってもよいし、直角であってもよい。また、頂角は曲率を有していてもよい。
【００７７】
また、本実施の形態では、凹部１９０は領域９１に含まれる端辺に１個形成されている。より詳しくは、凹部１９０は、隣り合うバスバー電極８０（本実施の形態では、第１バスバー電極８０ａ及び第３バスバー電極８０ｃ）を延伸した直線で挟まれた領域に含まれる端辺であり、かつ端辺の略中央の位置に１個形成されている。なお、形成されている凹部１９０の個数は、１個に限定されない。凹部１９０は、複数個形成されていてもよい。また、凹部１９０が形成されている位置は、領域９１に含まれる端辺に限定されない。凹部１９０は、領域９１内に形成されればよい。より詳しくは、凹部１９０は、領域９１内であり、かつ平面視においてフィンガー電極７０又はバスバー電極８０と重ならない位置に形成されればよい。例えば、実施の形態１に示した凹部９０の位置に、本実施の形態の凹部１９０を形成してもよい。
【００７８】
凹部１９０が太陽電池セル１００の表面から裏面まで貫通している形成されていることで、太陽電池セル１００に応力が加わった場合、凹部１９０に応力が集中しやすくなる。そして、応力が集中して加わった凹部１９０を起点に割れが発生しやすくなる。また、本実施の形態では、凹部１９０が平面視において頂部１９３を有していることで、当該頂部１９３に応力が集中しやすくなる。そして、頂部１９３に応力が集中することで、当該頂部１９３を起点に割れが発生しやすくなる。また、割れる方向は、実施の形態１と同様、劈開方向９２ａ、９２ｂに沿った方向である。
【００７９】
また、凹部１９０を形成する製造方法については、実施の形態１と同様であり、説明を省略する。
【００８０】
（実施の形態３）
続いて、図７を用いて、実施の形態３に係る太陽電池セル２００について説明する。本実施の形態に係る太陽電池セル２００は、凹部１９０に溝部２９０が接続されている点が、実施の形態２に係る太陽電池セル１００と異なる。
【００８１】
図７は、本実施の形態に係る太陽電池セル２００に形成されている凹部１９０及び溝部２９０の一例を示す平面図である。なお、凹部１９０は、実施の形態２の凹部と同一であり、説明を省略する。
【００８２】
本実施の形態では、溝部２９０は、凹部１９０の頂部１９３から２本形成されている。より詳しくは、２本の溝部２９０はそれぞれ、長尺方向の端部の一端が凹部１９０の頂部１９３と接続されている。つまり、溝部２９０のうちの一端は、領域９１内に形成されている。そして、本実施の形態では、溝部２９０の長尺方向の端部の他端のそれぞれは、太陽電池セル２００の異なる端辺に接続されている。
【００８３】
溝部２９０は、例えば、ワイヤ痕より深く形成されている。つまり、溝部２９０は、ワイヤ痕とは異なる溝である。溝部２９０は、ワイヤ痕と交差するように形成されていてもよい。また、溝部２９０は、実施の形態１の凹部９０のように貫通していないへこみから形成されていてもよい。その場合、例えば、溝部２９０は、貫通していない凹部（例えば、実施の形態１の凹部９０）と略等しい深さに形成されていてもよい。
【００８４】
凹部１９０は、実施の形態２と同様、隣り合うバスバー電極８０を延伸した直線で挟まれた領域に含まれる端辺の略中央の位置に形成されていることが好ましい。これにより、凹部１９０から形成されている溝部２９０は、少なくとも１本のバスバー電極８０と交差するように形成されやすくなる。つまり、太陽電池セル２００が溝部２９０に沿って割れた場合、太陽電池セル２００内においてバスバー電極８０を含まない領域、言い換えるとバスバー電極８０と電気的に接続されていない領域が発生することを抑制することができる。よって、本実施の形態に係る太陽電池セル２００が割れても、太陽電池セル２００の出力が低下することを抑制できる。
【００８５】
なお、溝部２９０は、凹部１９０の頂部１９３から形成されていることに限定されない。また、形成されている溝部２９０の数は、２本に限定されない。１つの凹部１９０から形成されている溝部２９０は、例えば、４本以下である。例えば、実施の形態１のように、平面視において凹部が太陽電池セル２００の中央付近に形成されている場合、凹部から第１劈開方向９２ａ又は第２劈開方向９２ｂに沿って、４本の溝部２９０が形成されている。
【００８６】
例えば、２本の溝部２９０のそれぞれは、平面視において、第１劈開方向９２ａ又は第２劈開方向９２ｂに沿って形成されている。つまり、溝部２９０は、凹部１９０に接続されており、平面視において、太陽電池セル２００の端辺と略４５°の関係に形成されている。本実施の形態では、溝部２９０は略直線状に形成されているが、これに限定されない。例えば、溝部２９０は、略円弧状に形成されていてもよい。
【００８７】
また、溝部２９０の他端のそれぞれは、太陽電池セル２００の端辺にわたって形成されている（端辺と接続されている）ことに限定されない。溝部２９０は、劈開方向９２ａ、９２ｂに沿って形成されていればよく、端辺にわたって形成されていなくてもよい。例えば、溝部２９０は、領域９１内のみに形成されていてもよい。これにより、溝部２９０を形成する加工時間を短縮することができる。
【００８８】
溝部２９０が形成されていることで、太陽電池セル２００に応力が加わった場合、凹部１９０だけでなく溝部２９０にも応力が集中する。つまり、凹部１９０を起点として割れが発生し、溝部２９０が形成されている方向に割れやすくなる。これにより、太陽電池セル２００が割れる方向をより精度よく制御できる。なお、溝部２９０は割れる方向を制御する観点から、略直線状に形成されていることが好ましい。
【００８９】
また、例えば、溝部２９０を形成する位置に、溝部２９０の形状に沿ってレーザビームＬが照射されることで、溝部２９０は形成される。
【００９０】
（効果等）
実施の形態の一態様に係る太陽電池セル１０は、結晶性を有するシリコン基板１０ｄと、シリコン基板１０ｄの第１主面に設けられ、シリコン基板１０ｄ上の受光領域で発生した受光電荷を集電する複数本のフィンガー電極７０と、フィンガー電極７０と直交して設けられ、シリコン基板１０ｄ上の受光領域で発生した受光電荷を集電するｎ本（ｎは２以上の整数）のバスバー電極（配線）８０と、第１主面及び第１主面と背向する第２主面の少なくとも一方に形成されている１以上の凹部９０とを備える。１以上の凹部９０のそれぞれは、太陽電池セル１０に対する平面視において、最外部にある２本のバスバー電極（配線）８０のうちの第１バスバー電極（一方の配線）８０ａを延伸した直線Ｓ１及び第２バスバー電極（他方の配線）８０ｂを延伸した直線Ｓ２で挟まれた領域９１に形成されている。
【００９１】
これにより、太陽電池セル１０に応力が加わった場合、シリコン基板１０ｄの表面に形成されている凹部９０にその応力が集中しやすくなる。つまり、凹部９０が形成されていることで、応力集中位置を制御することができる。そのため、太陽電池セル１０に応力が加わり割れた場合、凹部９０（応力集中位置）を起点に太陽電池セル１０は割れやすくなる。
【００９２】
また、太陽電池セル１０の割れすい方向は、シリコン基板１０ｄの劈開方向９２ａ、９２ｂに沿った方向である。凹部９０が領域９１に形成されていることで、太陽電池セル１０が凹部９０を起点とし劈開方向９２ａ、９２ｂに沿って割れた場合、割れた領域それぞれにバスバー電極８０が含まれる可能性が高くなる。割れた領域それぞれにバスバー電極８０が含まれることで、割れた領域それぞれで発生した電荷を集電可能である。つまり、太陽電池セル１０が割れても集電可能である。よって、太陽電池セル１０に応力が加わった場合でも、出力の低下を抑制することができる。
【００９３】
また、１以上の凹部９０のそれぞれは、シリコン基板１０ｄに形成された溝状のワイヤ痕より深い。また、シリコン基板１０ｄの第１主面には、テクスチャ構造が形成されており、凹部９０のそれぞれは、テクスチャ構造より深い。
【００９４】
これにより、太陽電池セル１０に応力が加わった場合、ワイヤ痕又はテクスチャ構造を起点とし太陽電池セル１０が割れることを抑制することができる。つまり、凹部９０を起点とし太陽電池セル１０が割れやすくなる。よって、応力集中位置、つまり太陽電池セル１０が割れる起点の位置を制御しやすくなる。
【００９５】
また、１以上の凹部９０は、領域９１に含まれる太陽電池セル１０の端辺に形成されている。
【００９６】
これにより、太陽電池セル１０が凹部９０を起点とし、劈開方向９２ａ、９２ｂに沿って割れた場合、バスバー電極８０が含まれていない領域が発生することを抑制することができる。
【００９７】
また、１以上の凹部９０は、端辺の略中央の位置に形成されている。
【００９８】
これにより、さらに、太陽電池セル１０が凹部９０を起点とし、劈開方向９２ａ、９２ｂに沿って割れた場合、バスバー電極８０（配線）が含まれていない領域が発生することを抑制することができる。
【００９９】
また、隣り合う２本のバスバー電極８０（配線）の直線距離をＤとすると、１以上の凹部９０は、領域９１内における、バスバー電極８０の端部を結んだ仮想線９３からＤ／２以上内方の位置に形成されている。
【０１００】
これにより、太陽電池セル１０が凹部９０を起点とし、劈開方向９２ａ、９２ｂに沿って割れた場合、当該割れはバスバー電極８０と交差する。つまり、割れた領域それぞれにバスバー電極８０が含まれる。よって、バスバー電極８０が含まれていない領域が発生することを抑制することができる。
【０１０１】
また、領域９１に形成されている１以上の凹部９０の数は、２×（ｎ−１）個以下である。
【０１０２】
これにより、複数の凹部９０が起点となり割れが発生した場合、それぞれの割れにより囲まれた領域であってバスバー電極８０を含まない領域が発生することを抑制することができる。
【０１０３】
また、１以上の凹部９０のそれぞれは、領域９１のみに形成されている。
【０１０４】
これにより、領域９１以外のへこみが起点となり、太陽電池セル１０が割れることを抑制することができる。領域９１以外の位置が起点となり太陽電池セル１０が割れると、起点の位置によってはバスバー電極８０を含まない領域が発生する可能性が高くなる。つまり、太陽電池セル１０の出力が低下する。一方、凹部９０が領域９１のみに形成されていることで、太陽電池セル１０は当該太陽電池セル１０が割れた場合に、バスバー電極８０を含まない領域が発生することを抑制できる。よって、太陽電池セル１０の出力の低下を抑制することができる。
【０１０５】
また、１以上の凹部１９０は、第１主面から第２主面まで貫通している。
【０１０６】
これにより、太陽電池セル１００に応力が加わった場合、貫通している凹部１９０に応力がより集中しやすくなる。
【０１０７】
また、さらに、１以上の凹部１９０に接続された溝部２９０を有し、溝部２９０は、平面視において、太陽電池セル２００の劈開方向９２ａ、９２ｂに沿って略直線状又は略円弧状に形成されている。
【０１０８】
これにより、凹部１９０を起点として割れが発生し、溝部２９０が形成されている方向に割れやすくなる。つまり、太陽電池セル２００が割れる方向を劈開方向９２ａ、９２ｂに沿った方向に、より精度よく制御できる。
【０１０９】
また、配線は、バスバー電極８０である。
【０１１０】
これにより、バスバー電極８０を延伸した直線で挟まれた領域９１に凹部を形成することで、太陽電池セルが割れても出力が低下することを抑制することができる。
【０１１１】
また、シリコン基板１０ｄは、単結晶シリコン基板である。
【０１１２】
これにより、シリコン基板１０ｄが単結晶シリコン基板である場合に、太陽電池セルが割れても出力の低下を抑制することができる。
【０１１３】
また、実施の形態の一態様に係る太陽電池モジュール１は、複数の太陽電池セルと、隣り合う太陽電池セルを電気的に接続する配線部材とを備える太陽電池モジュールである。そして、複数の太陽電池セルのうちの少なくとも１つは、上述した太陽電池セル１０、１００、２００である。
【０１１４】
これにより、太陽電池モジュール１が備える太陽電池セル１０、１００、２００に応力が加わり当該太陽電池セル１０、１００、２００が割れても、当該太陽電池セル１０、１００、２００の出力の低下が抑制される。よって、太陽電池モジュール１として出力が低下することを抑制できる。
【０１１５】
実施の形態の一態様に係る太陽電池セルの製造方法は、上述した太陽電池セル１０、１００、２００の製造方法であって、レーザ加工により凹部９０、１９０を形成する工程を含む。
【０１１６】
レーザ加工を用いることで、シリコン基板１０ｄに与える影響が少なく、かつ低コストで上述した凹部９０、１９０を形成できる。また、溝部２９０についても同様にレーザ加工により形成されていてもよい。
【０１１７】
（その他の変形例等）
以上、本発明に係る太陽電池セル及び太陽電池モジュールについて、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されない。
【０１１８】
例えば、太陽電池セルの表面には、複数本のフィンガー電極及びｎ本（上記実施の形態では３本）のバスバー電極が形成されている例について説明したが、これに限定されない。例えば、バスバー電極８０の代わりに、ワイヤ配線（第１ワイヤ配線とも呼ぶ）が形成されていてもよい。ワイヤ配線は、太陽電池セルに形成されたフィンガー電極７０に導電性接着剤を介して接続されるとともに、フィンガー電極７０と交差する方向に沿って略直線状に配置される。例えば、ワイヤ配線は、フィンガー電極７０と略直交する方向に沿って配置される。ワイヤ配線は、例えば、長尺状の導電性配線である。
【０１１９】
ワイヤ配線は、フィンガー電極７０で集電されたキャリアをさらに集電する。ワイヤ配線は、少なくとも２本形成されている。上述した凹部は、例えば、最外部にあるワイヤ配線を延伸した直線で挟まれた領域に形成されている。なお、ワイヤ配線（第１ワイヤ配線）は、配線の一例である。
【０１２０】
さらに、隣り合う太陽電池セルが有する第１ワイヤ配線同士が、例えば、第１ワイヤ配線と異なる第２ワイヤ配線を介して電気的に接続されてもよい。例えば、第２ワイヤ配線は、隣り合う２つの太陽電池セルのうちの一方の太陽電池セルの表面に配置されている第１ワイヤ配線の端部と、隣り合う２つの太陽電池セルのうちの他方の太陽電池セルの裏面に配置されている第１ワイヤ配線の端部とを電気的に接続する。第２ワイヤ配線は、配線部材の一例である。なお、第１ワイヤ配線と第２ワイヤ配線とは、一体形成されていてもよい。
【０１２１】
これにより、ワイヤ配線を有する太陽電池セルに応力が加わって割れた場合でも、集電効果を発現し得る。よって、ワイヤ配線を有する太陽電池セルが割れても、出力の低下を抑制することができる。
【０１２２】
また、上述した凹部、又は、凹部及び溝部を裏面接合型の太陽電池セルに形成してもよい。裏面接合型の太陽電池セルでは、太陽電池セルの裏面にキャリアを集電する集電極が形成されている。具体的には、キャリア（電子）を集電する第１集電極とキャリア（正孔）を集電する第２集電極とが形成されている。例えば、第１集電極及び第２集電極は、くし歯形状に形成されている。つまり、第１集電極及び第２集電極はそれぞれ、複数本の略平行に形成された第１電極と、第１電極に共通接続されるとともに第１電極に直交する方向に沿って形成され、第１電極で集電したキャリアをさらに集電する第２電極とを有する。この場合、第１電極はフィンガー電極の一例であり、第２電極はバスバー電極（配線）の一例である。
【０１２３】
なお、形成されている第１集電極及び第２集電極の数は特に限定されない。１組形成されていてもよいし、複数組形成されていてもよい。また、第１集電極及び第２集電極それぞれに第２電極（配線）が形成されることから、裏面接合型の太陽電池セルにおいて第２電極は２本以上形成される。なお、例えば、最外部にある第２電極を延伸した直線で挟まれた領域に凹部は形成される。
【０１２４】
これにより、裏面接合型の太陽電池セルに応力が加わって割れた場合でも、第２電極にタブ配線が接続される場合には、集電効果を発現し得る。よって、裏面接合型の太陽電池セルが割れても、出力の低下を抑制することができる。
【０１２５】
また、上記実施の形態では、結晶性シリコン基板は単結晶シリコン基板である例について説明したが、これに限定されない。例えば、結晶性シリコン基板は、多結晶シリコン基板であってもよい。多結晶シリコンは、複数の単結晶シリコンから構成されている。そのため、結晶性シリコン基板が多結晶シリコン基板である場合、互いに隣接する単結晶シリコン間には結晶粒界（界面）が形成される。多結晶シリコン基板における劈開方向とは、例えば、平面視において、結晶粒界を伝わる方向（結晶粒界に平行な方向）に相当する。また、溝部は、例えば、劈開方向に沿って、つまり結晶粒界に沿って形成されている。
【０１２６】
これにより、多結晶シリコン基板においても凹部が起点となり、割れが発生する。多結晶シリコン基板が劈開方向に沿って割れた場合に、バスバー電極８０を含まない領域が発生しないように凹部を形成することで、太陽電池セルが割れても出力の低下を抑制することができる。なお、多結晶シリコン基板に形成されている凹部の位置は、単結晶シリコン基板と同様（上記実施の形態と同様）、バスバー電極８０を延伸した直線で挟まれた領域内である。例えば、最外部のバスバー電極８０を延伸した直線で挟まれた領域内である。
【０１２７】
また、上記実施の形態では、太陽電池セルの表面及び裏面にフィンガー電極及びバスバー電極が形成されている例について説明したが、これに限定されない。例えば、太陽電池モジュールが片面受光方式である場合、太陽電池セルの裏面には太陽電池セルの裏面側全体を覆うベタ電極が形成されていてもよい。その場合、ベタ電極上にタブ配線が接合される。タブ配線は、例えば、少なくとも２本設けられる。なお、裏面にベタ電極を有する太陽電池セルに形成されている凹部の位置は、例えば、最外部のタブ配線を延伸した直線で挟まれた領域内である。
【０１２８】
これにより、上記実施の形態と同様の効果を奏する。
【０１２９】
その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の主旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
【符号の説明】
【０１３０】
１    太陽電池モジュール
１０、１００、２００    太陽電池セル
１０ｄ    ｎ型単結晶シリコン基板（シリコン基板）
２０    タブ配線（配線部材）
７０    フィンガー電極
８０    バスバー電極（配線）
８０ａ    第１バスバー電極（一方の配線）
８０ｂ    第２バスバー電極（他方の配線）
９０、１９０    凹部
９１    領域
９２ａ    第１劈開方向（劈開方向）
９２ｂ    第２劈開方向（劈開方向）
９３    仮想線
２９０    溝部
Ｓ１、Ｓ２    直線
Ｄ    距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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