(57)【要約】      （修正有）【課題】チャンバ内を減圧することでチャンバに変形が生じても、撮像部の位置ずれや姿勢の変化を緩和ないし防ぐことができる撮像装置を提供する。【解決手段】減圧された雰囲気内にある撮像対象を撮像する撮像装置１であって、チャンバ２と、撮像部３と、連通部４と、チャンバ２とは離隔して配置されて、撮像部３を所定の姿勢で固定する剛性構造の基準フレーム５とを備え、連通部４は、撮像部３を気密に接続する弾性気密保持部４０を備えた撮像装置１である。【選択図】図１
2018045958.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧された雰囲気内にある撮像対象を撮像する撮像装置であって、
チャンバと、
前記チャンバ内を撮像する撮像部と、
前記チャンバと前記撮像部とを接続する連通部と、
前記チャンバとは離隔して配置されて、前記撮像部を所定の姿勢で固定する剛性構造の基準フレームとを備え、
前記連通部は、前記撮像部を気密に接続する弾性気密保持部を備えた
ことを特徴とする、撮像装置。
【請求項２】
減圧された雰囲気内にある撮像対象を撮像する撮像装置であって、
チャンバと、
前記チャンバに設けられた連通部と、
前記連通部から前記チャンバ内を撮像する撮像部と、
前記連通部と前記撮像部とを気密に接続する弾性気密保持部と、
前記チャンバと前記撮像部との相対位置を調節する位置調節手段と、
前記チャンバとは離隔して配置された剛性構造の基準フレームと、
前記撮像部と前記基準フレームとの相対な位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出部と、
前記位置ずれ量検出部で検出した前記撮像部と前記基準フレームとの相対な位置ずれ量が予め設定した範囲に収まるように前記位置調節手段を制御する制御部を備えた
ことを特徴とする、撮像装置。
【請求項３】
減圧された雰囲気内にあるワークに電子線を照射する電子線照射装置であって、
チャンバと、
前記チャンバ内に配置された前記ワークに向けて電子線を照射する電子線照射部と、
前記チャンバと前記電子線照射部とを接続する連通部と、
前記チャンバとは離隔して配置されて、前記電子線照射部を所定の姿勢で固定する剛性構造の基準フレームとを備え、
前記連通部は、前記電子線照射部を気密に接続する弾性気密保持部を備えた
ことを特徴とする、電子線照射部。
【請求項４】
減圧された雰囲気内にあるワークに電子線を照射する電子線照射装置であって、
チャンバと、
前記チャンバに設けられた連通部と、
前記連通部から前記チャンバ内に配置された前記ワークに向けて電子線を照射する電子線照射部と、
前記連通部と前記電子線照射部とを気密に接続する弾性気密保持部と、
前記チャンバと前記電子線照射部との相対位置を調節する位置調節手段と、
前記チャンバとは離隔して配置された剛性構造の基準フレームと、
前記電子線照射部と前記基準フレームとの相対な位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出部と、
前記位置ずれ量検出部で検出した前記電子線照射部と前記基準フレームとの相対な位置ずれ量が予め設定した範囲に収まるように前記位置調節手段を制御する制御部を備えた
ことを特徴とする、電子線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧された雰囲気内にある撮像対象を撮像する撮像装置や、減圧された雰囲気内にあるワークに電子線を照射する電子線照射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
観察対象に電子線を照射し、サブミクロンないし数ナノメートル程度の形状や凹凸を観察するために電子顕微鏡（いわゆるＳＥＭ，ＴＥＭなど）が用いられている。
【０００３】
電子顕微鏡は、観察部位から放出される電子の直進性を良くするために、内部雰囲気を減圧（いわゆる、真空）状態にして大気中に含まれるガス分子を外部へ排除する構成をしている。そのため、電子顕微鏡はチャンバと呼ばれる気密性の高い容器を備え、チャンバ内を減圧雰囲気にして観察が行われる。そして、撮像対象を減圧雰囲気に置いた状態で外部から位置変更等するために、真空導入機を介して接続されたマニュピレータが備えられている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
また、チャンバを上下２重構造にして、機器搭載部である中間板部分の応力を抑制し、板の変形を防ぐことが提案されている（例えば、特許文献２）。
【０００５】
また、チャンバを２層構造にし、中間層の圧力を制御することによってチャンバの最内壁の変形を防ぐことが提案されている（例えば、特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１６２１０２号公報
【特許文献２】特開２００８−１２９３５８号公報
【特許文献３】特開２００２−１１８０５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１のような減圧された雰囲気内にある撮像対象を撮像する形態において、撮像対象が大きい場合や撮像位置を変えたい場合、チャンバを大きくする必要があるが、チャンバの大型化により、チャンバ隔壁の変形が生じ安くなり、撮像位置のずれや、撮像姿勢の変化につながる。
また、チャンバが小さくても、減圧時のチャンバ隔壁の変形を無くそうとすると、チャンバを過度に堅牢化する必要があり、装置の大型化や重量増大、ひいてはコスト増大につながる。
そして、特許文献２，３のような技術でも、チャンバ変形を無くすことはできず、チャンバの隔壁面に撮像部を取り付けると、撮像位置のずれや撮像姿勢の変化が生じる。
【０００８】
そこで本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、装置の大型化や重量増大を防ぎつつ、チャンバ内を減圧することでチャンバに変形が生じても、撮像部または電子線照射部の位置ずれや姿勢の変化を緩和ないし防ぐことができる撮像装置または電子線照射装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以上の課題を解決するために、本発明に係る一態様は、
減圧された雰囲気内にある撮像対象を撮像する撮像装置であって、
チャンバと、
チャンバ内を撮像する撮像部と、
チャンバと撮像部とを接続する連通部と、
チャンバとは離隔して配置されて、撮像部を所定の姿勢で固定する剛性構造の基準フレームとを備え、
連通部は、撮像部を気密に接続する弾性気密保持部を備えた
ことを特徴としている。
【００１０】
また、本発明に係る別の一態様は、
減圧された雰囲気内にある撮像対象を撮像する撮像装置であって、
チャンバと、
チャンバに設けられた連通部と、
連通部からチャンバ内を撮像する撮像部と、
連通部と撮像部とを気密に接続する弾性気密保持部と、
チャンバと撮像部との相対位置を調節する位置調節手段と、
チャンバとは離隔して配置された剛性構造の基準フレームと、
撮像部と基準フレームとの相対な位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出部と、
位置ずれ量検出部で検出した撮像部と基準フレームとの相対な位置ずれ量が予め設定した範囲に収まるように位置調節手段を制御する制御部を備えた
ことを特徴としている。
【００１１】
また、本発明に係る別の一態様は、
減圧された雰囲気内にあるワークに電子線を照射する電子線照射装置であって、
チャンバと、
チャンバ内に配置されたワークに向けて電子線を照射する電子線照射部と、
チャンバと電子線照射部とを接続する連通部と、
チャンバとは離隔して配置されて、電子線照射部を所定の姿勢で固定する剛性構造の基準フレームとを備え、
連通部は、電子線照射部を気密に接続する弾性気密保持部を備えた
ことを特徴としている。
【００１２】
また、本発明に係る別の一態様は、
減圧された雰囲気内にあるワークに電子線を照射する電子線照射装置であって、
チャンバと、
チャンバに設けられた連通部と、
連通部からチャンバ内に配置されたワークに向けて電子線を照射する電子線照射部と、
連通部と電子線照射部とを気密に接続する弾性気密保持部と、
チャンバと電子線照射部との相対位置を調節する位置調節手段と、
チャンバとは離隔して配置された剛性構造の基準フレームと、
電子線照射部と基準フレームとの相対な位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出部と、
位置ずれ量検出部で検出した電子線照射部と基準フレームとの相対な位置ずれ量が予め設定した範囲に収まるように位置調節手段を制御する制御部を備えた
ことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
上記の態様によれば、チャンバ内を減圧することでチャンバに変形が生じても、撮像部または電子線照射部の位置ずれや姿勢の変化を緩和ないし防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。
【図２】本発明を具現化する別の形態の一例の全体構成を示す概略図である。
【図３】本発明を具現化する別の形態の一例の要部を示す概略図である。
【図４】本発明を具現化するさらに別の形態の一例の全体構成を示す概略図である。
【図５】本発明を具現化するさらに別の形態の一例の全体構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。なお、以下の説明では、直交座標系の３軸をＸ、Ｙ、Ｚとし、ＸＹ平面を水平面、Ｚ方向を鉛直方向とする。特に、Ｚ方向は矢印の方向を上、その逆方向を下と表現する。また、Ｘ方向を回転軸とする回転方向をθｘ方向、Ｙ方向を回転軸とする回転方向をθｙ方向、Ｚ方向を回転軸とする回転方向をθｚ方向と呼ぶ。
【００１６】
図１は、本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。図１には、本発明に係る撮像装置１の概略図が示されている。
【００１７】
撮像装置１は、減圧された雰囲気内にある撮像対象Ｗを撮像するものであり、チャンバ２、撮像部３、連通部４、基準フレーム５、弾性気密保持部４０等を備えている。
【００１８】
チャンバ２は、外部雰囲気と隔離して内部雰囲気を気密に保つものである。具体的には、チャンバ２は、内部に空間を有する箱体で構成されており、堅牢なベースプレート１０の上に設置されている。さらに、チャンバ２の天板（つまり、上部隔壁）には開口部Ｈが設けられている。
【００１９】
また、チャンバ２には、連通ポート２０が取り付けられており、連通ポート２０には、切換バルブ（図示せず）を介して真空ポンプＰが接続されている。切換バルブは、手動またはリモート制御によって、チャンバ２と真空ポンプＰを連通させた状態にしたり、チャンバ２を外部雰囲気と連通させた（いわゆる、大気解放）状態にしたり（つまり、切り換え）するものである。
【００２０】
また、チャンバ２の内部には撮像対象Ｗを載置する載置台２１や、載置台２１の水平方向に移動させる位置決め移動機構２２（例えば、ＸＹステージ機構）が設置されている。そして、チャンバ２の側板（つまり、側面隔壁）には、撮像対象Ｗを入れ替えるための開口部ＡＨとアクセス扉ＡＤが備えられている。
【００２１】
撮像部３は、チャンバ２内を撮像するものであり、載置台２１に載置された撮像対象Ｗに焦点が合うように撮像位置Ｖが設定されている。具体的には、撮像部３として、集束レンズ部３１と電子線検出器３２を備えた走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）が例示できる。走査型電子顕微鏡は、撮像対象Ｗに向けて電子線を走査照射（不図示）し、撮像対象Ｗの撮像対象部位から放出（散乱とも言う）した電子線を集束レンズ部３１で集光させ、電子線検出器３２で検出することで、撮像対象Ｗの表面形状や凹凸などを画像（いわゆる、ＳＥＭ画像）として取得するものである。
【００２２】
連通部４は、チャンバ２と撮像部３とを接続するものである。具体的には、連通部４は、撮像対象Ｗから放出した電子線がチャンバ２の開口部Ｈを通って撮像部３で撮像されるよう配置されている。また、連通部４は、チャンバ２の隔壁と同様にチャンバ２および撮像部の内部雰囲気と外部雰囲気とを遮断するものであり、チャンバ２内を負圧にすれば、撮像部の内も同じ圧力（負圧）となる。
【００２３】
さらに、連通部４は、弾性気密保持部４０を備えている。弾性気密保持部４０は、所定の開口（つまり、電子線が通過する領域）を維持しつつ、内部雰囲気と外部雰囲気とを遮断し、接続対象であるチャンバ２と撮像部３とを気密に接続するものである。さらに、弾性気密保持部４０は、接続対象である撮像部３に対してチャンバ２が上下方向ないし水平方向に位置変化したり互いの姿勢に変化（傾きとも言う）を及ぼすような外力が生じても、それらの変化に追従して弾性変形することで、撮像部３の位置ずれや姿勢の変化に繋がる外力を抑制（遮断とも言う）する性質（つまり、外力抑制特性）を備えている。
【００２４】
この様な、外力抑制特性を備えた弾性気密保持部４０は、Ｘ，Ｙ，Ｚ，θｘ，θｙ，θｚ各方向に変形可能な構造を備えており、図１に例示した構成の場合、チャンバ２内が減圧されてチャンバ２の天板が下方にたわみ、撮像部３との間隔が拡がっても、そのたわみや間隔の拡がりに追従するように弾性気密保持部４０が変形して下方に延び、外力を抑制できる。
【００２５】
より具体的には、弾性気密保持部４０は、リング状のステンレス薄鋼板を幾重にも重ね合わせ、それらの内周と外周を交互に溶接しながら繋ぎ合わせた筒状の蛇腹（いわゆる、溶接ベローズ）や、壁面が略Ｕ字（又は、略Ｚ字）状に内側と外側に幾重にも連なるように成形された筒状の蛇腹（いわゆる、成形ベローズ）などの真空ベローズや、柔軟性を備えた筒状の管（いわゆる、フレキシブルホースやフレキシブルチューブ）で構成することができる。これらは、内部が真空になっても所定の開口は維持したまま、伸び縮みや曲げることが可能で、上述の外力抑制特性を良好に発揮できる。
【００２６】
弾性気密保持部４０を備えた連通部４は、この様な構成をしているため、チャンバ２と撮像部３との相対位置が変化しても、チャンバ２と撮像部３の気密状態を維持しつつ、開口部Ｈが設けられたチャンバ２の天板と撮像部３とを接続することができる。
【００２７】
基準フレーム５は、チャンバ２とは離隔して配置された剛性構造のフレームであり、撮像部３を所定の姿勢で固定するものである。具体的には、基準フレーム５は、チャンバ２の隔壁と接しないように離隔されて、撮像装置１のベースプレート１０に取り付けられている。より具体的には、基準フレーム５は、チャンバ２を跨ぐ様に、無垢の石材を門型状（ガントリー形状とも言う）に積み重ねて連結した構造をしている。なお、基準フレーム５は、チャンバ２内が減圧されて弾性気密保持部４０が変形しようとする力がはたらいても、それ自身は大きく変形しない又はほとんど変形しない程度の剛性（いわゆる、堅牢性）を備えている。
【００２８】
本発明にかかる撮像装置１は、この様な構成をしているため、チャンバ２内の圧力が大気圧から減圧状態（又はその逆）に変化し、チャンバ２の隔壁にたわみや反りなどの変形が生じたとしても、弾性気密保持部４０が変形することで、基準フレーム５に取り付けられた撮像部３の撮像位置Ｖや撮像姿勢の変化を緩和ないし変化が生じないとみなせる程度に収めることができる。つまり、弾性気密保持部４０は、変形することでチャンバ２の変形を許容しつつ、チャンバ２と撮像部３を気密に接続することができる。
【００２９】
なお、チャンバ２は、所望の真空度に到達可能な気密状態が保持される程度の剛性があれば良く、さほど堅牢な構造にする必要がない。
【００３０】
つまり、チャンバ２内を減圧することでチャンバ２に変形が生じても、連通部４の弾性機密保持部４０が変形するため、基準フレーム５に取り付けられた撮像部３の位置ずれが緩和され、ないしは位置ずれが生じないと見なせる。
【００３１】
［別の形態］
図２は、本発明を具現化する別の形態の一例の全体構成を示す概略図である。図２には、本発明に係る撮像装置１Ｂの概略図が示されている。
【００３２】
撮像装置１Ｂは、チャンバ２、撮像部３、連通部４、基準フレーム５Ｂ、弾性気密保持部４０、位置調節手段７、位置ずれ量検出部８、制御部ＣＮ等を備えている。なお、撮像装置１Ｂに備えられているチャンバ２、撮像部３、連通部４、弾性気密保持部４０は、上述の撮像装置１に備えられたものと同様の構成ため、詳細な説明は省略し、相違する事項について詳細を下述する。
【００３３】
チャンバ２の天板には、取付金具２９が取り付けられている。また、撮像部３には、照準フレーム３５が取り付けられている。取付金具２９は、位置調節手段７をチャンバ２に取り付けるためのものである。照準フレーム３５は、撮像部３の位置や姿勢を変更（つまり、移動や回転）させたり、撮像部３の位置や姿勢を検出するためのものである。具体的には、取付金具２９や照準フレーム３５は、ステンレスや鉄、アルミなどの丈夫な金属で構成されている。
【００３４】
基準フレーム５Ｂは、チャンバ２とは離隔して配置された剛性構造の剛性構造のフレームであり、撮像部３を所定の位置および姿勢で静止させるための基準となるものである。具体的には、基準フレーム５Ｂは、チャンバ２の隔壁と接しないように離隔されて、撮像装置１Ｂの堅牢なベースプレート１０Ｂに取り付けられている。より具体的には、基準フレーム５Ｂは、チャンバ２の上方にオーバーハングする様に、無垢の石材５０ａ，５０ｂ，５０ｃを片持ち梁状に積み重ねて連結した構造をしている。そのため、基準フレーム５Ｂは、チャンバ２内が減圧されてチャンバ２の隔壁が変形したとしても、基準フレーム５Ｂの位置及び姿勢は変化しない。
【００３５】
位置調節手段７は、チャンバ２と撮像部３との相対位置を調節するものである。具体的には、位置調節手段７は、撮像部３をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動させたり、θｘ，θｙ，θｚ方向に回転させたり、所定の位置および角度（姿勢とも言う）で静止させたりするものである。より具体的には、一方向に伸縮したり所定の長さで静止するアクチュエータ機構を複数備え、これらアクチュエータ機構が撮像部３を囲む様に複数（例えば、上下方向に３軸、水平方向に３軸）配置されている。そして、これらアクチュエータ機構の一端側が取付金具２９に取り付けられており、反対側の他端が照準フレーム３５に取り付けられている。
【００３６】
なお、位置調節手段７を構成するアクチュエータ機構として、ボールネジと回転モータを備えた電動アクチュエータや、電空レギュレータと接続されたエアシリンダなどを例示することができる。そして、これらアクチュエータ機構は、制御部ＣＮからの制御信号に基づいて各々独立して制御され、各々が所定の長さを維持するよう制御される。
【００３７】
位置ずれ量検出部８は、撮像部３と基準フレーム５Ｂとの相対な位置ずれ量を検出するものである。具体的には、位置ずれ量検出部８は、撮像部３に取り付けられた照準フレーム３５と、基準フレーム５Ｂとの上下方向および水平方向の距離を測定することで、相対な位置ずれ量を検出する構成をしている。より具体的には、位置ずれ量検出部８は、撮像部３を囲む様に複数（例えば、上下方向の検出用に３つ、水平方向の検出用に３つ）配置された非接触の変位計が例示でき、測定した距離に対応するデジタル信号又はアナログ信号として制御部ＣＮへ出力する。
【００３８】
制御部ＣＮは、位置ずれ量検出部８で検出した撮像部３と基準フレーム５Ｂとの相対な位置ずれ量が予め設定した範囲に収まるように位置調節手段７を制御するものである。具体的には、制御部ＣＮは、位置ずれ量検出部８から出力される測定距離に対応するデジタル信号又はアナログ信号を取得し、これら測定距離が予め設定された範囲に収まるように、位置調節手段７を構成する各アクチュエータ機構を個々に制御する構成をしている。より具体的には、制御部ＣＮは、コンピュータやプログラマブルロジックコントローラと呼ばれるハードウェアと、その実行プログラム（つまり、ソフトウェア）で構成することができる。
【００３９】
図３は、本発明を具現化する別の形態の一例の要部を示す概略図である。図３には、本発明に係る撮像装置１Ｂを構成する撮像部３、位置調節手段７、位置ずれ量検出部８等の具体的な配置が例示されている。
【００４０】
例えば、位置調節手段７として、上下方向の調節用に３つのアクチュエータ機構７０ａ，７０ｂ，７０ｃが備えられ、水平方向の調節用に３つのアクチュエータ機構７０ｄ，７０ｅ，７０ｆが備えられており、それぞれが制御部ＣＮに接続されている。
【００４１】
なお、３つのアクチュエータ機構７０ａ，７０ｂ，７０ｃは、平面視すれば撮像部３を囲む様に配置され、それぞれが独立して伸縮または同時に伸縮することにより、撮像部３の上下方向の位置（いわゆる、高さ）や姿勢（つまり、θｘ方向，θｙ方向の傾き）を調整することができる。
【００４２】
また、３つのアクチュエータ機構７０ｄ，７０ｅ，７０ｆは、平面視すれば撮像部３を囲む様に配置され、それぞれが独立して伸縮または同時に伸縮することにより、撮像部３の水平方向の位置や姿勢（つまり、θｚ方向の傾き）を調整することができる。
【００４３】
一方、位置ずれ量検出部８として、上下方向の位置ずれ検出用に３つの変位計８０ａ，８０ｂ，８０ｃが備えられ、水平方向の位置ずれ検出用に３つの変位計８０ｄ，８０ｅ，８０ｆが備えられており、それぞれが制御部ＣＮに接続されている。なお、変位計８０ａ，８０ｂ，８０ｃは、基準フレーム５Ｂを構成する石材５０ｂ（図３では不図示）の下面に、照準フレーム３５に向けて取り付けられている。また、変位計８０ｄは、石材５０ａに取り付けられており、変位計８０ｅ，８０ｆは、石材５０ｃに取り付けられている。
【００４４】
そのため、撮像装置１Ｂは、基準フレーム５Ｂの位置および姿勢を基準にしつつ、撮像部３に取り付けられた照準フレームの位置や姿勢を制御することができる。
【００４５】
本発明にかかる撮像装置１Ｂは、この様な構成をしているため、チャンバ２内の圧力が大気圧から減圧状態（又はその逆）に変化し、チャンバ２の隔壁にたわみや反りなどの変形が生じたとしても、撮像部３の撮像位置Ｖや撮像姿勢が予め設定された範囲内に収まるように、位置調節手段７により調節される。このときの、撮像部３の撮像位置Ｖや撮像姿勢の基準となる基準フレーム５Ｂは、チャンバ２と離間して配置されているため、チャンバ２の変形の影響を受けない。さらに、基準フレーム５Ｂは、撮像部３や連通部４とも離間して配置されているため、弾性気密保持部４０の変形により生じる反発力（つまり、当初の状態に復元しようとする力）が伝達しない。
【００４６】
そのため撮像装置１Ｂは、上述の撮像装置１よりもチャンバ２を高真空化したり、大型化したり、隔壁を肉薄化したりして、チャンバ２の変形が大きくなっても、撮像部３の撮像位置Ｖや撮像姿勢の変化を大幅に緩和したり、変化が生じないとみなせる程度に収めることができる。また、基準フレーム５Ｂは、チャンバ２の変形により生じる弾性気密保持部４０の反発力の影響を受けて変形することがないため、撮像装置１の基準フレーム５ほど堅牢な構造にする必要がなくなり、必要最小限の剛性を維持できる程度の構造体で構成することができる。
【００４７】
つまり、チャンバ２内を減圧することでチャンバ２に変形が生じても、連通部４の弾性機密保持部４０を介在して取り付けられた撮像部３の位置ずれ量を検出し、所定の範囲に収まるように位置調節することができる。そのため、チャンバ２を大型化したり、肉薄化したり、高真空化したりしても、撮像部２の位置ずれが大幅に緩和され、ないしは位置ずれが生じないと見なせる。
【００４８】
［変形例］
なお上述では、撮像装置１Ｂを構成する位置調節手段７として、撮像部３を囲む様に複数（例えば、上下方向に３軸、水平方向に３軸）配置された構成を例示した。しかし、撮像部３の撮像位置Ｖのずれ調節が上下方向のみで足り、水平方向のずれ調節を位置決め移動機構２２で行う場合であれば、位置調節手段７を構成するアクチュエータ機構は、上下方向に伸縮／静止するものを、撮像部３を隔てた両側に２箇所、或いは撮像部の側方に１箇所、備えた構成としても良い。
なお上述では、基準フレーム５，５Ｂとして無垢の石材で構成されたものを例示したが、鋼鉄、鉄、ジュラルミン、チタンなどでも良いし、Ｈ型、Ｉ型、Ｔ型等の構造体やハニカム構造体などでも良い。
【００４９】
なお上述では、基準フレーム５として、門型状の構造体を例示したが、基準フレーム５Ｂの様な片持ち梁の構造体であっても良い。また、基準フレーム５Ｂとして、片持ち梁の構造体を例示したが、基準フレーム５の様な門型状の構造体であっても良い。
【００５０】
なお上述では、チャンバ２の天板に開口部Ｈが設けられている構成を例示したが、側板に開口部Ｈが設けられ、そこに連通部４を介して撮像部３が取り付けられていても良い。
【００５１】
また上述では、チャンバ２の側板に開口部ＡＨとアクセス扉ＡＤが設けられている構成を例示したが、天板に設けられていても良い。
【００５２】
なお上述では、チャンバ２内に載置台２１を水平方向に移動させる位置決め移動機構２２として、ＸＹステージ機構を備えた構成を示したが、直線導入機を備えた構成であっても良い。この場合、オペレータが直線導入機を操作することで、載置台２１を移動させ、回転させ、所定の位置や角度で静止させることができる。
【００５３】
なお上述では、本発明の具体例として走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を例示したが、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査型透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）、Ｘ線や軟Ｘ線、真空紫外線を用いた顕微鏡、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等にも本発明を適用可能である。
【００５４】
［別の形態］
さらに、本発明は、電子線照射装置にも適用することができる。電子線照射装置は、例えば半導体キャリアの移動度を改善するために用いられ、ワークに電子線を照射することで、ワークの表面や内部を改質させ物性改善を図るものである。
【００５５】
図４は、本発明を具現化するさらに別の形態の一例の全体構成を示す概略図であり、本発明に係る撮像装置１Ｃの概略図が示されている。
図５は、本発明を具現化するさらに別の形態の一例の全体構成を示す概略図であり、本発明に係る撮像装置１Ｄの概略図が示されている。
【００５６】
具体的には、本発明に係る電子線照射装置１Ｃ，１Ｄは、上述した撮像装置１，１Ｂの撮像部３に代えて、電子線照射部３Ｅを備えた構成をしている。
電子線照射部３Ｅは、ワークＫと呼ばれる加工対象物をチャンバ２に配置（例えば、載置台２１に載置）し、当該ワークに設定した加工点Ｐに向けて電子線を照射するものである。
【００５７】
なお、他の構成（チャンバ２、連通部４、基準フレーム５、弾性気密保持部４０など）については、上述した撮像装置１，１Ｂのそれらと同様のため説明を省略する。
【００５８】
本発明に係る電子線照射装置１Ｃ，１Ｄは、この様な構成をしているため、チャンバ２内を減圧し、チャンバ２が変形したとしても、連通部４の弾性機密保持部４０がチャンバの変形を許容し、電子線を照射する加工点Ｐの位置の変化が緩和される、或いは変化が生じないと見なせる程度に収めることができる。つまり、本発明に係る電子線照射装置は、上述した撮像装置１，１Ｂと同様の作用・効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００５９】
１    撮像装置
２    チャンバ
３    撮像部
４    連通部
５    基準フレーム
７    位置調節手段
８    位置ずれ量検出部
１０  ベースプレート
２０  連通ポート
２１  載置台
２２  位置決め移動機構
２５  取付金具
２９  取付金具
３５  照準フレーム
４０  弾性気密保持部
７０ａ〜ｆ  アクチュエータ機構
８０ａ〜ｆ  変位計
８１ａ〜ｃ  基準版
Ｗ    撮像対象
Ｖ    撮像位置
Ｈ    開口部
Ｐ    真空ポンプ
１Ｂ  撮像装置
５Ｂ  基準フレーム
１０Ｂ  ベースプレート
ＣＮ  制御部
１Ｃ  電子線照射装置
１Ｄ  電子線照射装置
３Ｅ  電子線照射部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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