(57)【要約】【課題】  押出ラミネート法で得られるアルミニウム蒸着フィルムとプラスチックフィルムの積層体において、高湿度環境下においても、ガスバリア性能を低下させることなく、安定した密着性および金属光沢を有するアルミニウム蒸着フィルム積層体を提供する。【解決手段】  アルミニウム蒸着フィルムのアルミニウム蒸着面とプラスチックフィルムが押出ラミネートにより接合された積層体であって、前記アルミニウム蒸着フィルムは基材プラスチックフィルム上に第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層が連続的に積層されたものであり、第１酸化アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層の厚さがともに８〜３０ｎｍであることを特徴とするアルミニウム蒸着フィルム積層体。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム蒸着フィルムのアルミニウム蒸着面とプラスチックフィルムが押出ラミネートにより接合された積層体であって、前記アルミニウム蒸着フィルムは基材プラスチックフィルム上に第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層が連続的に積層されたものであり、第１酸化アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層の膜厚がともに８〜３０ｎｍであることを特徴とするアルミニウム蒸着フィルム積層体。
【請求項２】
第１酸化アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層を構成するアルミニウム原子数に対する酸素原子数の比率（Ｏ／Ａｌ）の深さ方向での分布の最大値が１．０〜３．０であることを特徴とする請求項１に記載のアルミニウム蒸着フィルム積層体。
【請求項３】
４０℃、９０％ＲＨ条件下に１ヶ月保管後におけるアルミニウム蒸着フィルムの基材プラスチックフィルム側からの光沢度が６５０％以上である請求項１または２に記載のアルミニウム蒸着フィルム積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルミニウム蒸着フィルムとプラスチックフィルムが押出ラミネート加工により接合された積層体に関し、特に高湿度環境下においても、優れた密着性および金属光沢を保持できるアルミニウム蒸着フィルム積層体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラスチックフィルムの表面に金属や金属酸化物などの各種薄膜を形成した蒸着フィルムは、食品、医薬品、工業用品等の包装用途や、電化製品等の加飾用途、電子機器材料、建築材料等の各種用途に広く用いられている。特に金属蒸着フィルムは、ガスバリア性能、光線遮断性能、加飾性などに優れることから包装用途に広範に用いられており、製造コスト、生産性、ガスバリア性能が最もバランスの取れたアルミニウム蒸着フィルムが広範に用いられている。
【０００３】
ところで、アルミニウム蒸着フィルムを包装用途に使用するにあたり、表層材料やシーラントフィルムとの積層体とするが、フィルム積層体への加工方法として接着性溶融樹脂を用いた押出ラミネート法、２液硬化型ウレタン系接着剤を用いたドライラミネート法が広範に用いられており、製造コスト、生産性で有利な押出ラミネート法が好ましく用いられる。
【０００４】
押出ラミネート法においては、アルミニウム蒸着層と接着性溶融樹脂との密着性が課題である。また、アルミニウム蒸着層は、高湿度環境下において、大気中の水分と反応して水酸化物となるため、押出ラミネート法により積層された積層体において、金属光沢が失われるとともに、密着性、ガスバリア性能が低下する問題があった。
【０００５】
そのため、アルミニウム蒸着フィルムのアルミニウム蒸着層表面に、二液硬化型の耐水性コート層をさらに設けることで密着性を確保し、アルミニウムの水酸化物への変化を防止することもできるが、高コスト、生産性低下となる問題があった（例えば、特許文献１を参照）。
【０００６】
また、押出ラミネート法により、アルミニウム蒸着フィルムとプラスチックフィルムを貼り合わせる際、押し出される樹脂層の加熱溶融温度を高温にする方法やアルミニウム蒸着層と押し出される接着性樹脂層の間にアンカーコート層を設ける方法（例えば特許文献２を参照）、接着性樹脂に工夫を加えること（例えば特許文献３）が行われている。
【０００７】
しかしながら、押し出される樹脂層の加熱溶融温度を高温にすることにより、アルミニウム蒸着フィルムが熱収縮し、アルミニウム層にクラックが生じ、ガスバリア性能よび金属光沢が低下するとともに、アルミニウム蒸着フィルムの基材フィルムとアルミニウム蒸着層間で剥離し、アルミニウム蒸着フィルムの基材フィルムとアルミニウム蒸着層間の密着性が低下する問題があった。アンカーコート層を設けようとすると、コストアップに繋がり、アンカーコート剤に含まれるイソシアネート系硬化剤が、硬化反応せずに押し出される樹脂層の添加物と反応してしまい、十分な密着性が得られない問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−１６２７１１号公報
【特許文献２】特開２０１３−１２６７１９号公報
【特許文献３】特開２０１５−１２８８９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記課題を達成するため、本発明は以下の構成をとる。すなわち本発明は、アルミニウム蒸着フィルムのアルミニウム蒸着面とプラスチックフィルムが押出ラミネートにより接合された積層体であって、前記アルミニウム蒸着フィルムは基材プラスチックフィルム上に第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層が連続的に積層されたものであり、第１酸化アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層の膜厚がともに８〜３０ｎｍであり、金属光沢を有することを特徴とするアルミニウム蒸着フィルム積層体である。
【００１０】
また本発明は、第１酸化アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層を構成するアルミニウム原子数に対する酸素原子数の比率（Ｏ／Ａｌ）の深さ方向での分布の最大値が１．０〜３．０であることを特徴とする上記の金属蒸着フィルム積層体である。
【００１１】
さらに本発明は、４０℃、９０％ＲＨ条件下に１ヶ月保管後におけるアルミニウム蒸着フィルムの基材プラスチックフィルム側からの光沢度が６５０％以上である上記に記載のアルミニウム蒸着フィルム積層体である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明は以下の構成を有する。
【００１３】
アルミニウム蒸着フィルムのアルミニウム蒸着面とプラスチックフィルムが押出ラミネートにより接合された積層体であって、前記アルミニウム蒸着フィルムは基材プラスチックフィルム上に第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層が連続的に積層されたものであり、第１酸化アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層の膜厚がともに８〜３０ｎｍであることを特徴とするアルミニウム蒸着フィルム積層体である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、高湿度環境下においても、ガスバリア性能を低下させることなく、安定した密着性および金属光沢を有するアルミニウム蒸着フィルム積層体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明における積層体の実施形態例を示した構成図である。
【図２】本発明における金属蒸着フィルムの実施形態例を示した構成図である。
【図３】一般的な真空蒸着装置の断面概略図である。
【図４】Ｘ線光電子分光分析法による深さ方向の各元素組成分布図の一例であるである。
【図５】図４に対応した、アルミニウム原子数に対する酸素原子数の比率（Ｏ／Ａｌ）の深さ方向の分布図の一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明について、詳しく説明する。
【００１７】
本発明の積層体は、図１に示すように、アルミニウム蒸着フィルム１１の蒸着面と例えば直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）フィルム１３が押出ラミネート法により接着性樹脂を介して接合された積層体である。また、この積層体に用いられるアルミニウム蒸着フィルムは、図２に示すように、基材プラスチックフィルムの少なくとも一方の面に、第１酸化アルミニウム層２３、金属アルミニウム層２２および第２酸化アルミニウム層２１を連続的に順次形成させた構成を基本としている。
【００１８】
アルミニウム蒸着フィルムに用いられる基材プラスチックフィルムとしては、蒸着加工適性を有していれば特に限定されないが、代表的な例としてはポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレン２，６−ナフタレートなどのポリエステル、ポリビニルアルコール、エチレン・酢酸ビニル共重合体ケン化物、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、６ナイロン、１２ナイロンなどのポリアミド、芳香族ポリアミド、ポリイミドなどの単独重合体または共重合体からなるフィルム、シートが挙げられる。好ましくは、蒸着加工適性により優れ、寸法安定性、耐熱性を有することが好ましい。本発明のアルミニウム蒸着フィルムに用いられる基材プラスチックフィルムは、二軸方向に任意に延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルムがより好ましく用いられ、経済性の点から二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが最も好適に用いられる。また、これらの基材プラスチックフィルムの表面に、コロナ処理、火炎処理、プラズマ処理、アンカーコート等の表面改質処理を施しても構わない。さらに、これらのプラスチックフィルムの厚さは、目的に応じ、蒸着加工適性、経済性の観点から、６〜２５０μｍの範囲で選択される。
【００１９】
本発明において、アルミニウム蒸着フィルムは、基材プラスチックフィルムに第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層が連続的に積層されたものである。基材プラスチックフィルムに酸化アルミニウム層を積層するための方法は特に制限されるものではないが、金属アルミニウムを直接加熱して蒸発させ、酸素ガスとの反応により酸化アルミニウム層を形成する反応性蒸着法、酸素ガス雰囲気下でのイオンプレーティング法、酸化アルミニウムターゲットを用いたスパッタリング法、金属アルミニウムのターゲットを用い酸素ガスと反応させる反応性スパッタリング法、化学気相蒸着法などの公知の方法が使用できる。
【００２０】
本発明において、基材プラスチックフィルムに第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層を連続的に積層するためには、上記の方法のうち第１酸化アルミニウム層の形成方法、金属アルミニウム層の形成方法および第２酸化アルミニウム層の形成方法をそれぞれ選択して、真空中で連続的に実施することが重要である。なかでも、第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層をそれぞれ、反応性蒸着、真空蒸着および反応性蒸着により連続的に積層することが好ましい。
【００２１】
本発明においては、例えば図３で示すように、真空槽内で基材プラスチックフィルムに連続的に金属アルミニウム層および酸化アルミニウム層を蒸着する真空蒸着装置３１を用いる。すなわち、真空装置内において、基材プラスチックフィルムロールを繰り出し軸３６から連続的に繰り出し、蒸着領域において、繰り出し側と巻き取り側に設置されたガス導入部３４、３５から酸素を供給し、基材プラスチックフィルム３８上に第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層、第２酸化アルミニウム層を連続的に順次形成することにより得られたアルミニウム蒸着フィルムが最も有効である。
【００２２】
一般的に、基材プラスチックフィルム上に蒸着により形成された金属アルミニウム層の表面には、大気中の酸素等により１〜４ｎｍの厚さの自然酸化膜が形成されるが、本発明においては、反応性蒸着法などにより、ガスバリア性能を有する８〜３０ｎｍの厚さの酸化アルミニウム層を形成することが必要であり、かつこれらの蒸着層を連続的に形成することにより、各蒸着層間の界面における剥離の懸念がなくなるため、高湿度環境下においても安定した密着性および金属光沢を得ることが可能になる。
【００２３】
本発明におけるアルミニウム蒸着フィルムの第１酸化アルミニウム層及び第２酸化アルミニウム層の厚さと酸化の程度は、反応性蒸着においてはフィルム搬送速度、光学濃度、酸素供給量によって制御することができる。本発明における第１酸化アルミニウム層及び第２酸化アルミニウム層における酸化の程度を示す指標であるアルミニウム原子数に対する酸素原子数の比率（Ｏ／ＡＬ）は、Ｘ線光電子分光法やオージェ電子分光法によって測定したアルミニウムおよび酸素の組成比から算出するものであり、その深さ方向での分布の最大値が１．０〜３．０の範囲が好ましく、蒸着加工適性、経済性の観点からさらに好ましくは、１．１〜１．８である。
【００２４】
第１酸化アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層の厚さは、Ｘ線光電子分光法やオージェ電子分光法によって得られたアルミニウムおよび酸素のスパッタ深さにおける組成分布（いわゆるデプスプロファイル）と透過型電子顕微鏡における蒸着膜厚測定との相関から算出することができ、前述のごとく８〜３０ｎｍの範囲であることが重要であり、蒸着加工適性、経済性の観点からさらに好ましくは１０〜２５ｎｍの範囲である。
【００２５】
第１酸化アルミニウム層の厚さが８ｎｍ未満であると、基材プラスチックフィルム側からの金属アルミニウム層への水分の進入を阻止することができず、高湿環境下での金属光沢の消失が発生する。第２酸化アルミニウム層の厚さが８ｎｍ未満であると、押出ラミネートによる接着性樹脂との密着性が不十分となる。第１酸化アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層の厚さが３０ｎｍを超えると、金属アルミニウムと酸化アルミニウムが混合した状態の層が厚くなり、色調が褐色となって、金属光沢が不十分となる。
【００２６】
本発明におけるアルミニウム蒸着フィルムの光学濃度は、遮光性、経済性の観点から１．５〜３．５の範囲が好ましい。光学濃度とは、特定の測定波長におけるアルミニウム蒸着ポリエステルフィルムの透過率をＴ（％）としたときに、ｌｏｇ（１００（％）／Ｔ（％））で計算される値である。
【００２７】
本発明における積層体は、押出ラミネート法により得ることができる。アルミニウム蒸着フィルムとラミネートされるプラスチックフィルムに特に制限はなく、代表的な例としてはポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレン２，６−ナフタレートなどのポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィンからなるフィルム、シートが挙げられる。本発明におけるアルミニウム蒸着フィルムとラミネートされるプラスチックフィルムは、包装容器の最内層のシーラントフィルムとして、一般的に広く使用され、かつ添加物の少ない直鎖状低密度ポリエチレンフィルムがより好ましく用いられる。
【００２８】
押出ラミネート加工に使用される押出樹脂としては、アルミニウム蒸着フィルムとアルミニウム蒸着フィルムとラミネートされるプラスチックフィルムに密着し、両者を強固に接合できる物であれば、特に制限はなく、密着性、外観、経済性によっても異なるが、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン・メタクリル酸共重合体、エチレン・酢酸ビニル共重合体、マレイン酸変性のポリオレフィン樹脂などが一般的に用いられる。本発明においては、酸成分の分解が少なく、金属蒸着薄膜層へのダメージが低いポリエチレンがより好ましく用いられる。押出ラミネートする条件としては、一般的な押出ラミネート条件で良く、必要に応じて、オゾン処理、コロナ処理を施しても構わない。
【実施例】
【００２９】
以下、本発明について実施例を挙げて説明するが、本発明は必ずしもこれらに限定されるものではない。なお、実施例及び比較例中の物性は,次のようにして測定した。
【００３０】
（１）押出ラミネート
押出ラミネート機の第１給紙側にアルミニウム蒸着フィルム、第２給紙側に厚さ４０μｍの直鎖状低密度ポリエチレンフィルム（東セロ（株）製ＦＣ−Ｓ、以下ＬＬＤＰＥフィルムと称する）をセットし、Ｔダイから接着性樹脂（住友化学（株）製Ｌ４２０）を樹脂温度３００℃で厚さ７μｍとなるように押出し、ニップロールによりこれら両フィルムで挟み込んで接合し、積層体を作成した。
【００３１】
（２）ラミネート強度
押出ラミネートをした積層体から、幅１５ｍｍ、長さ１５０ｍｍに切断してカットサンプルを作製し、(株)オリエンテック製「テンシロン」（ＲＴＧ−１２１０）を使用して、アルミニウム蒸着フィルムとＬＬＤＰＥフィルムをＴ型剥離法により、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ．で剥離し、ラミネート強度を測定した。また、ラミネートフィルムを幅１５ｍｍ、長さ１５０ｍｍに切断してカットサンプルを作製し、４０℃、９０％ＲＨ条件下に１ヶ月保管後、上記同様の測定方法により、加湿保管後のラミネート強度を測定した。
【００３２】
○：１．０Ｎ／１５ｍｍ以上
△：０．５Ｎ／１５ｍｍ以上１．０Ｎ／１５ｍｍ未満
×：０．５Ｎ／１５ｍｍ未満。
【００３３】
（３）酸素バリア性能
押出ラミネートをした積層体から、幅１００ｍｍ、長さ１００ｍｍに切断してカットサンプルを作製し、４０℃、９０％ＲＨ条件下に１ヶ月保管後、酸素透過率測定装置（モダンコントロール社製  ＯＸ−ＴＲＡＮ  ２／２１）を用いて、２３℃  ９０％ＲＨの条件で測定した。
【００３４】
○：１．５ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ未満
△：１．５ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以上３．０ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ未満
×：３．０ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以上
（３）光沢度
押出ラミネートをした積層体から、１００ｍｍ角に切断してカットサンプルを作製し、デジタル変角光沢計（スガ試験機（株）製  ＵＧＶ−５Ｄ）を用いて、受光角６０°におけるアルミニウム蒸着フィルム側の光沢度を測定した。また、４０℃、９０％ＲＨ条件下に１ヶ月保管後の光沢度を測定した。
【００３５】
○：６５０％以上
△：５５０％以上６５０％未満
×：５５０％未満。
【００３６】
（４）蒸着膜厚
アルミニウム蒸着フィルムをマイクロサンプリング法でサンプリング後、収束イオンビーム加工装置（日立製作所製  ＦＢ−２０００）を用いて薄膜化を行った。その後、サンプル保護のため、炭素およびタングステン保護膜を形成した。このサンプルを電界放出形透過電子顕微鏡（日立製作所製  ＨＦ−２２００、以下ＴＥＭと称する。）で観察し、観察写真より倍率を勘案して全蒸着膜厚を計算した。
【００３７】
（５）金属アルミニウム膜および酸化アルミニウム膜の膜厚
全自動走査型Ｘ線光電子分光分析装置（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ社製  Ｑｕａｎｔｅｒａ  ＳＸＭ、以下ＸＰＳと称する。）を用いて、Ｘ線源ＡｌＫα、Ｘ線出力２５．１Ｗ、光電子取り出し角４５°で表面分析を行った。アルミニウム蒸着フィルムの蒸着面側から、Ａｒイオンを用いて、Ａｒイオンエネルギー１ｋｅＶでスパッタを行ない、一定スパッタ時間毎に炭素、酸素、アルミニウムの元素について狭域光電子スペクトル測定を行い、Ｃ１ｓ、Ｏ１ｓ、Ａｌ２ｐの狭域光電子ピーク面積強度比と相対感度係数から各元素の組成比を算出し、以下の方法に基づき図４のような深さ方向の組成分布を求めた。
【００３８】
まず、基材プラスチックフィルム側の炭素濃度に着目し、炭素濃度のピーク濃度の中間（１／２）濃度に対応したスパッタ時間を蒸着層と基材プラスチックフィルムの界面に到達したスパッタ時間と見なした。（４）項のＴＥＭ観察による全蒸着膜厚と、上記界面に対応するスパッタ時間を関係付け、スパッタ時間に対応したスパッタ深さを計算した。
【００３９】
次に、酸化アルミニウム層中の酸素濃度に着目し、酸素濃度のピーク濃度の中間（１／２）濃度に対応したスパッタ時間から算出したスパッタ深さを酸化アルミニウム層と金属アルミニウム層の界面と見なした。
【００４０】
（６）酸化アルミニウム層におけるアルミニウム原子数に対する酸素原子数の比率（Ｏ／Ａｌ）の最大値ＸＰＳによる狭域光電子スペクトル測定結果から得られた酸素およびアルミニウムのスパッタ深さ方向の組成分布から、図５に示すように、スパッタ深さ方向のアルミニウム原子数に対する酸素原子数の比率（Ｏ／Ａｌ）を算出し、前述で求めた第１酸化アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層における（Ｏ／Ａｌ）の最大値を求めた。
【００４１】
（実施例１）
図３に示す連続式真空蒸着機（（株）アルバック製）を用い、厚さ１２μｍ幅２０４０ｍｍの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ（株）製“ルミラー”（登録商標）Ｐ６０、以下ＰＥＴフィルムと称する。）上に高周波誘導加熱方式で加熱したるつぼから金属アルミニウムを蒸発させ、繰り出し側ガス導入部３４と巻き取り側ガス導入部３５より酸素ガスをそれぞれ５．０ｌ／ｍｉｎ導入し、反応性蒸着により第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層、第２酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。ＰＥＴフィルムを速度２００ｍ／ｍｉｎ．で巻出し、この際、蒸着機中でのインラインの光学濃度計を用いて、光学濃度が２．５となるように、金属アルミニウム蒸発量を調整した。引き続き、押出ラミネートにより、蒸着層側に厚さ４０μｍの直鎖状低密度ポリエチレンフィルムと積層した。
【００４２】
（実施例２）
実施例１と同様に、ガス導入部３４と３５より酸素ガスをそれぞれ５．０ｌ／ｍｉｎ導入し、反応性蒸着により第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。この際、ＰＥＴフィルムを速度１００ｍ／ｍｉｎで巻出し、蒸着機中でのインラインの光学濃度計を用いて、光学濃度が３．５となるようにアルミニウム蒸発量を調整した。
【００４３】
（実施例３）
実施例１において、ガス導入部３４と３５より導入した酸素ガスをそれぞれ８．０ｌ／ｍｉｎに変更し、反応性蒸着により第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。この際、ＰＥＴフィルムを速度１００ｍ／ｍｉｎで巻出し、光学濃度が３．５となるようにアルミニウム蒸発量を調整した。
【００４４】
（実施例４）
実施例１において、ガス導入部３４と３５より導入した酸素ガスをそれぞれ８．０ｌ／ｍｉｎに変更し、反応性蒸着により第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。他の条件は実施例１と同じとした。
【００４５】
（実施例５）
実施例１と同様に、ガス導入部３４と３５より酸素ガスをそれぞれ５．０ｌ／ｍｉｎ導入し、反応性蒸着により第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。この際、蒸着機中でのインラインの光学濃度計を用いて、光学濃度が３．５となるようにアルミニウム蒸発量を調整した。
【００４６】
（実施例６）
実施例１において、ガス導入部３４と３５より導入した酸素ガスをそれぞれ１０．０ｌ／ｍｉｎに変更し、反応性蒸着により第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。この際、ＰＥＴフィルムを速度１００ｍ／ｍｉｎで巻出し、蒸着機中でのインラインの光学濃度計を用いて、光学濃度が３．５となるようにアルミニウム蒸発量を調整した。
【００４７】
（比較例１）
実施例１において、酸素ガスを導入せずに、金属アルミニウム層を蒸着した。この際、蒸着機中でのインラインの光学濃度計を用いて、光学濃度が２．５となるようにアルミニウム蒸発量を調整した。アルミニウム蒸着フィルムの蒸着層表面には、大気中の酸素と反応した酸化アルミニウム層が形成され、その薄膜層の膜厚は３．１ｎｍであった。
【００４８】
（比較例２）
実施例１において、繰り出し側ガス導入部３４より酸素ガスを５．０ｌ／ｍｉｎ導入し、反応性蒸着により酸化アルミニウム層および金属アルミニウム層を連続的に蒸着した。金属蒸着フィルムのアルミニウム蒸着薄膜層表面には、大気中の酸素と反応した酸化アルミニウム薄膜層が形成され、その薄膜層の膜厚は２．８ｎｍであった。
【００４９】
（比較例３）
実施例１において、巻取り側ガス導入部３５より酸素ガスを５．０ｌ／ｍｉｎ導入し、反応性蒸着により金属アルミニウム層および酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。
【００５０】
（比較例４）
実施例１において、ガス導入部３４と３５より導入した酸素ガスをそれぞれ１５．０ｌ／ｍｉｎに変更し、反応性蒸着により第１酸化アルミニウム層、金属アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層を連続的に蒸着した。
【００５１】
（比較例５）
比較例１において作成したアルミニウム蒸着フィルムに、Ｔダイから接着性樹脂を樹脂温度３４０℃で厚さ７μｍとなるように押出ラミネートを行ない、積層体を作成した。
【００５２】
（比較例６）
比較例１において作成したアルミニウム蒸着フィルムに、蒸着膜表面にアンカーコート剤（大日精化工業（株）製“セイカダイン”２７１０Ａ／２７１０Ｃを１ｇ／ｍ２となるように塗布し、続けてＴダイから接着性樹脂を樹脂温度３００℃で厚さ７μｍとなるように押出ラミネートを行った。
【００５３】
上記のようにして作製した各アルミニウム蒸着フィルム積層体について、初期ラミネート強度、加湿保管後のラミネート強度、同酸素バリア性能、加湿保管前後の光沢度を評価した。評価結果を表１、表２に示す。
【００５４】
【表１】
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【００５５】
表１に示されるように実施例１から４のアルミニウム蒸着フィルム積層体は、第１酸化アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層の厚さが８〜３０ｎｍの範囲にあり、（Ｏ／Ａｌ）の最大値が１．０〜３．０の範囲にあることが確認され、加湿保管後も優れた酸素ガスバリア性能、金属光沢を保持し、安定したラミネート強度を有するアルミニウム蒸着フィルム積層体であった。
【００５６】
実施例５においては、（Ｏ／Ａｌ）の最大値が小さく、酸化度が低い酸化アルミニウム層になっていたため、加湿保管後にこの酸化度が低い酸化アルミニウム層内の金属アルミニウムが大気中の水分と反応して、水酸化物となり、ラミネート強度および光沢度が若干低下した。一方、実施例６の金属アルミニウム蒸着フィルム積層体は、第１酸化アルミニウム層または第２酸化アルミニウム層が厚く、金属光沢が低いアルミニウム蒸着フィルム積層体であったが、実用上問題のないレベルであった。
【００５７】
【表２】
2018171726.tif 000004
【００５８】
表２に示されるように、比較例１、２では、本発明における８〜３０ｎｍの厚さの第２酸化アルミニウム層を有しておらず、金属アルミニウム層表面に約３ｎｍの厚さの自然酸化膜が確認された。この自然酸化膜が薄いために、ラミネート強度が不十分なものとなった。
【００５９】
比較例３においては、本発明における８〜３０ｎｍの厚さの第１酸化アルミニウム層を有していないため、加湿保管後のラミネート強度が低下し、酸素バリア性能および光沢度も低下した。
【００６０】
比較例４では、第１酸化アルミニウム層および第２酸化アルミニウム層が厚く、加湿保管前から褐色の色調で、光沢度も低いものであった。
【００６１】
比較例５では、押出ラミネート加工時の押出樹脂が高温であるため、金属蒸着フィルムの熱収縮により、金属アルミニウム層にクラックが生じ、酸素バリア性能および光沢度が低下していた。
【００６２】
比較例６では、アンカーコートの効果が本発明のアルミニウム蒸着フィルムよりも劣ったものであることが確認できた。
【符号の説明】
【００６３】
１１：アルミニウム蒸着フィルム
１２：押出（接着性）樹脂層
１３：ＬＬＤＰＥフィルム
２１：第２酸化アルミニウム層
２２：金属アルミニウム層
２３：第１酸化アルミニウム層
２４：基材プラスチックフィルム
３１：真空蒸着装置
３２：冷却ドラム
３３：蒸発源
３４：繰り出し側ガス導入部
３５：巻取り側ガス導入部
３６：繰り出し軸
３７：巻き取り軸
３８：基材プラスチックフィルム
４１：酸素濃度の深さ方向分布
４２：アルミニウム濃度の深さ方向分布
４３：炭素濃度の深さ方向分布
４４：第２酸化アルミニウム層と金属アルミニウム層の界面
４５：第１酸化アルミニウム層と金属アルミニウム層の界面
４６：蒸着層と基材プラスチックフィルムの界面
４７：第２酸化アルミニウム層
４８：第２酸化アルミニウム層における（Ｏ／Ａｌ）の最大値
４９：第１酸化アルミニウム層
５０：第１酸化アルミニウム層における（Ｏ／Ａｌ）の最大値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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