(57)【要約】      （修正有）【課題】小ループの磁束が大ループの磁束に重畳することを低減して、インダクタンスへの影響を低減できる積層コイル部品を提供する。【解決手段】積層コイル部品１は、複数の磁性層１１および複数のコイル導体２３を積層方向に積層されて構成される。コイル導体２３の幅方向に沿った断面において、コイル導体２３は、積層方向の一方側の第１面２３ａと、積層方向の他方側の第２面２３ｂと、幅方向の両側の側面２３ｃとを有する。第２面は、磁性層１１に接触し、第１面および両側の側面は、磁性層１１との間に、空洞部４０を有する。空洞部４０は、第１面側で幅方向の両端側の少なくとも一端側に、積層方向に交差する方向で外側に向かって延在する第１延在部４１を有する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の磁性層および複数のコイル導体を積層方向に積層されて構成される積層コイル部品であって、
前記コイル導体の幅方向に沿った断面において、
前記コイル導体は、前記積層方向の一方側の第１面と、前記積層方向の他方側の第２面と、前記幅方向の両側の側面とを有し、前記第２面は、前記磁性層に接触し、前記第１面および前記両側の側面は、前記磁性層との間に、空洞部を有し、
前記空洞部は、前記第１面側で前記幅方向の両端側の少なくとも一端側に、前記積層方向に交差する方向で外側に向かって延在する第１延在部を有する、積層コイル部品。
【請求項２】
前記コイル導体の前記幅方向に沿った断面において、
前記第１延在部の基端は、前記コイル導体の最大幅よりも、内側に位置する、請求項１に記載の積層コイル部品。
【請求項３】
前記コイル導体の前記幅方向に沿った断面において、
前記第１延在部の先端は、前記コイル導体の最大幅よりも、内側に位置する、請求項２に記載の積層コイル部品。
【請求項４】
前記コイル導体の前記幅方向に沿った断面において、
前記第１延在部は、前記第１面側で前記幅方向の両端側のそれぞれにある、請求項１から３の何れか一つに記載の積層コイル部品。
【請求項５】
前記コイル導体の前記幅方向に沿った断面において、
前記空洞部は、前記第２面側で前記幅方向の両端側の少なくとも一端側に、前記積層方向に交差する方向で外側に向かって延在する第２延在部を有する、請求項１から４の何れか一つに記載の積層コイル部品。
【請求項６】
前記コイル導体の前記幅方向に沿った断面において、
前記第２延在部は、前記第２面側で前記幅方向の両端側のそれぞれにある、請求項５に記載の積層コイル部品。
【請求項７】
第１磁性層上にコイル導体を積層する工程と、
前記コイル導体の上面である第１面の少なくとも一部および前記コイル導体の幅方向の両側の側面に、第１焼失材を積層する工程と、
前記コイル導体の前記第１面側の第１領域を除いた前記両側の側面側の第２領域に重なるように、前記第１磁性層上に第２磁性層を積層する工程と、
前記第２磁性層から露出している前記コイル導体の前記第１面側の第１領域の幅よりも大きくなるように、前記コイル導体の前記第１面側の第１領域と前記第２磁性層の一部に、第２焼失材を積層する工程と、
前記第２焼失材に重なるように、前記第２磁性層上に第３磁性層を積層する工程と、
前記第１焼失材および前記第２焼失材を焼成により焼失する工程と
を備える、積層コイル部品の製造方法。
【請求項８】
前記第１焼失材を積層する工程では、前記第１焼失材を、前記コイル導体の前記第１面の全ておよび前記両側の側面に積層する、請求項７に記載の積層コイル部品の製造方法。
【請求項９】
前記コイル導体を積層する工程と、
前記第１焼失材を積層する工程と、
前記第２磁性層を積層する工程と
を順番に複数回繰り返して、前記第２焼失材を積層する、請求項７または８に記載の積層コイル部品の製造方法。
【請求項１０】
前記コイル導体を積層する工程を１回または複数回繰り返した後、
前記第１焼失材を積層する工程を行い、
前記第２磁性層を積層する工程を１回または複数回繰り返して、
前記第２焼失材を積層する、請求項７または８に記載の積層コイル部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層コイル部品およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、積層コイル部品としては、特開２００６−６６７６４号公報（特許文献１）に記載されたものがある。この積層コイル部品は、複数の磁性層および複数のコイル導体を積層方向に積層されて構成される。コイル導体の幅方向に沿った断面において、コイル導体の下面が、磁性層と接触し、コイル導体の上面および幅方向両側の側面は、磁性層との間に、空洞部を有する。
【０００３】
この空洞部の存在により、コイル導体と磁性層の熱膨張係数の差から生じる、コイル導体の温度変化による磁性層への応力を、抑制できる。この結果、内部応力によるインダクタンスおよびインピーダンス特性の劣化を解消している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−６６７６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、前記従来の積層コイル部品について、鋭意検討の結果、単体のコイル導体の周囲に、小ループの磁束が発生していることを見出した。そして、小ループの磁束が、複数のコイル導体によって発生し複数のコイル導体の中心を通過する大ループの磁束に重畳し、この結果、インダクタンスに影響を及ぼすことが分かった。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、小ループの磁束が大ループの磁束に重畳することを低減して、インダクタンスへの影響を低減できる積層コイル部品およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、積層コイル部品の一実施形態は、
複数の磁性層および複数のコイル導体を積層方向に積層されて構成される積層コイル部品であって、
前記コイル導体の幅方向に沿った断面において、
前記コイル導体は、前記積層方向の一方側の第１面と、前記積層方向の他方側の第２面と、前記幅方向の両側の側面とを有し、前記第２面は、前記磁性層に接触し、前記第１面および前記両側の側面は、前記磁性層との間に、空洞部を有し、
前記空洞部は、前記第１面側で前記幅方向の両端側の少なくとも一端側に、前記積層方向に交差する方向で外側に向かって延在する第１延在部を有する。
【０００８】
前記実施形態によれば、空洞部は、第１面側で幅方向の両端側の少なくとも一端側に、積層方向に交差する方向で外側に向かって延在する第１延在部を有するので、第１延在部が、単体のコイル導体の周囲に発生する磁束（小ループの磁束）を遮断できる。したがって、小ループの磁束が、複数のコイル導体によって発生し複数のコイル導体の中心を通過する磁束（大ループの磁束）に重畳することを低減して、インダクタンスへの影響を低減できる。
【０００９】
また、積層コイル部品の一実施形態では、
前記コイル導体の前記幅方向に沿った断面において、
前記第１延在部の基端は、前記コイル導体の最大幅よりも、内側に位置する。
【００１０】
前記実施形態によれば、第１延在部の基端は、コイル導体の最大幅よりも、内側に位置するので、第１延在部のコイル導体の幅方向外側への張り出しを低減できる。したがって、大ループの磁束が第１延在部により阻止されることを低減できる。
【００１１】
また、積層コイル部品の一実施形態では、
前記コイル導体の前記幅方向に沿った断面において、
前記第１延在部の先端は、前記コイル導体の最大幅よりも、内側に位置する。
【００１２】
前記実施形態によれば、第１延在部の先端は、コイル導体の最大幅よりも、内側に位置するので、第１延在部のコイル導体の幅方向外側への張り出しを抑制できる。したがって、第１延在部は、大ループの磁束の邪魔とならない。
【００１３】
また、積層コイル部品の一実施形態では、
前記コイル導体の前記幅方向に沿った断面において、
前記第１延在部は、前記第１面側で前記幅方向の両端側のそれぞれにある。
【００１４】
前記実施形態によれば、前記第１延在部は、前記第１面側で前記幅方向の両端側のそれぞれにあるので、小ループの磁束を一層遮断できて、小ループの磁束と大ループの磁束の重畳を一層低減できる。
【００１５】
また、積層コイル部品の一実施形態では、
前記コイル導体の前記幅方向に沿った断面において、
前記空洞部は、前記第２面側で前記幅方向の両端側の少なくとも一端側に、前記積層方向に交差する方向で外側に向かって延在する第２延在部を有する。
【００１６】
前記実施形態によれば、空洞部は、第２面側で幅方向の両端側の少なくとも一端側に、積層方向に交差する方向で外側に向かって延在する第２延在部を有するので、第２延在部が、小ループの磁束を遮断できる。したがって、小ループの磁束が大ループの磁束に重畳することを一層低減して、インダクタンスへの影響を一層低減できる。
【００１７】
また、積層コイル部品の一実施形態では、
前記コイル導体の前記幅方向に沿った断面において、
前記第２延在部は、前記第２面側で前記幅方向の両端側のそれぞれにある。
【００１８】
前記実施形態によれば、第２延在部は、第２面側で幅方向の両端側のそれぞれにあるので、小ループの磁束を一層遮断できて、小ループの磁束と大ループの磁束の重畳を一層低減できる。
【００１９】
また、積層コイル部品の製造方法の一実施形態では、
第１磁性層上にコイル導体を積層する工程と、
前記コイル導体の上面である第１面の少なくとも一部および前記コイル導体の幅方向の両側の側面に、第１焼失材を積層する工程と、
前記コイル導体の前記第１面側の第１領域を除いた前記両側の側面側の第２領域に重なるように、前記第１磁性層上に第２磁性層を積層する工程と、
前記第２磁性層から露出している前記コイル導体の前記第１面側の第１領域の幅よりも大きくなるように、前記コイル導体の前記第１面側の第１領域と前記第２磁性層の一部に、第２焼失材を積層する工程と、
前記第２焼失材に重なるように、前記第２磁性層上に第３磁性層を積層する工程と、
前記第１焼失材および前記第２焼失材を焼成により焼失する工程と
を備える。
【００２０】
前記実施形態によれば、コイル導体の第１面の少なくとも一部および両側面に第１焼失材を積層し、コイル導体の第１面側の第１領域を除いた両側面側の第２領域に重なるように第１磁性層上に第２磁性層を積層し、第２磁性層から露出しているコイル導体の第１面側の第１領域の幅よりも大きくなるように第２焼失材を積層し、第２焼失材に重なるように第２磁性層上に第３磁性層を積層し、第１焼失材および第２焼失材を焼成により焼失する。
【００２１】
これにより、第１焼失材および第２焼失材に対応する部分が、空洞部となる。つまり、空洞部は、コイル導体の第１面および両側面と、第２、第３磁性層との間に、形成される。そして、空洞部は、第１面側で幅方向の両端側の少なくとも一端側に、積層方向に交差する幅方向に延在する第１延在部を有する。
【００２２】
また、積層コイル部品の製造方法の一実施形態では、前記第１焼失材を積層する工程では、前記第１焼失材を、前記コイル導体の前記第１面の全ておよび前記両側の側面に積層する。
【００２３】
前記実施形態によれば、第１焼失材を、コイル導体の第１面の全てに積層するので、以降の第２磁性層を積層する工程で、第２磁性層が乾燥すると、第１焼失材が第２磁性層に引っ張られて、第１焼失材に亀裂が入るおそれがある。しかしながら、この後、第１焼失材に第２焼失材を積層するので、第１焼失材の亀裂に第２焼失材が入り込み、以降の第３磁性層を積層する工程で、第３磁性層の第１焼失材の亀裂への浸入を防止できる。したがって、コイル導体と第３磁性層の接触を避けることができて、応力の発生を抑制できる。
【００２４】
また、積層コイル部品の製造方法の一実施形態では、
前記コイル導体を積層する工程と、
前記第１焼失材を積層する工程と、
前記第２磁性層を積層する工程と
を順番に複数回繰り返して、前記第２焼失材を積層する。
【００２５】
前記実施形態によれば、コイル導体を積層する工程と、第１焼失材を積層する工程と、第２磁性層を積層する工程とを、複数回繰り返すので、厚膜のコイル導体を形成することができる。
【００２６】
また、積層コイル部品の製造方法の一実施形態では、
前記コイル導体を積層する工程を１回または複数回繰り返した後、
前記第１焼失材を積層する工程を行い、
前記第２磁性層を積層する工程を１回または複数回繰り返して、
前記第２焼失材を積層する。
【００２７】
前記実施形態によれば、コイル導体を積層する工程を１回または複数回繰り返した後、第１焼失材を積層する工程を行い、第２磁性層を積層する工程を１回または複数回繰り返すので、厚膜のコイル導体を形成することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の積層コイル部品およびその製造方法によれば、空洞部は、第１面側で幅方向の両端側の少なくとも一端側に、積層方向に交差する方向に延在する第１延在部を有するので、小ループの磁束が大ループの磁束に重畳することを低減して、インダクタンスへの影響を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】積層コイル部品の第１実施形態を示す断面図である。
【図２】積層コイル部品の分解斜視図である。
【図３】積層コイル部品のコイル導体の周囲の拡大断面図である。
【図４】図３に対応する画像図である。
【図５】コイル導体の磁束を説明する説明図である。
【図６Ａ】積層コイル部品の製造方法の第１実施形態を説明する説明図である。
【図６Ｂ】積層コイル部品の製造方法の第１実施形態を説明する説明図である。
【図６Ｃ】積層コイル部品の製造方法の第１実施形態を説明する説明図である。
【図６Ｄ】積層コイル部品の製造方法の第１実施形態を説明する説明図である。
【図６Ｅ】積層コイル部品の製造方法の第１実施形態を説明する説明図である。
【図７】積層コイル部品の製造方法の比較例を説明する説明図である。
【図８】積層コイル部品の製造方法の第２実施形態を説明する説明図である。
【図９】積層コイル部品の製造方法の第３実施形態を説明する説明図である。
【図１０】積層コイル部品の製造方法の第４実施形態を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００３１】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態の積層コイル部品を示す断面図である。図２は、積層コイル部品の分解斜視図である。図１と図２に示すように、積層コイル部品１は、素体１０と、素体１０の内部に設けられた螺旋状のコイル２０と、素体１０の表面に設けられコイル２０に電気的に接続された第１、第２外部電極３１，３２とを有する。
【００３２】
積層コイル部品１は、第１、第２外部電極３１，３２を介して、図示しない回路基板の配線に電気的に接続される。積層コイル部品１は、例えば、ノイズ除去フィルタとして用いられ、パソコン、ＤＶＤプレーヤー、デジカメ、ＴＶ、携帯電話、カーエレクトロニクスなどの電子機器に用いられる。
【００３３】
素体１０は、複数の磁性層１１を積層して構成される。磁性層１１は、例えば、フェライトなどの磁性体からなる。素体１０は、略直方体状に形成されている。素体１０の表面は、第１端面１５と、第１端面１５の反対側に位置する第２端面１６と、第１端面１５と第２端面１６の間に位置する周面１７とを有する。第１端面１５と第２端面１６は、磁性層１１の積層方向に直交する方向に対向している。
【００３４】
第１外部電極３１は、素体１０の第１端面１５の全面と、素体１０の周面１７の第１端面１５側の端部とを覆う。第２外部電極３２は、素体１０の第２端面１６の全面と、素体１０の周面１７の第２端面１６側の端部とを覆う。
【００３５】
コイル２０は、例えば、ＡｇまたはＣｕなどの導電性材料から構成される。コイル２０は、積層方向に沿って、螺旋状に巻き回されている。コイル２０の両端には、第１引出導体２１と第２引出導体２２が設けられる。
【００３６】
第１引出導体２１は、素体１０の第１端面１５から露出して第１外部電極３１に接触し、コイル２０は、第１引出導体２１を介して、第１外部電極３１に電気的に接続される。第２引出導体２２は、素体１０の第２端面１６から露出して第２外部電極３２に接触し、コイル２０は、第２引出導体２２を介して、第２外部電極３２に電気的に接続される。
【００３７】
コイル２０は、磁性層１１の上面に形成されるコイル導体２３と、磁性層１１の厚み方向に貫通して配置されるビア導体２４とを有する。コイル導体２３は、ライン部２８と、ライン部２８の端部に設けられたランド部２５とを含む。ビア導体２４は、積層方向に隣接するランド部２５を接続する。このように、複数のコイル導体２３のランド部２５が、ビア導体２４により接続されて、螺旋状のコイル２０が、形成される。つまり、コイル導体２３は互いに電気的に直列に接続されながら螺旋を構成し、積層方向から見た場合、複数のライン部２８は、その一部分が重なりながら、全体として矩形の環状を構成している。なお、磁性層１１およびコイル導体２３を、ペーストを用いて、印刷、乾燥する方法で製造する場合、コイル導体２３同士は直接接続することが可能であり、ビア導体２４は必ずしも必要としない。
【００３８】
図３は、積層コイル部品１のコイル導体２３の周囲の拡大断面図である。図３は、コイル導体２３の幅方向に沿った断面を示し、言い換えると、コイル導体２３（ライン部２８）の延在方向に直交する断面を示す。
【００３９】
図３に示すように、コイル導体２３の幅方向に沿った断面において、コイル導体２３は、積層方向の一方側の第１面２３ａと、積層方向の他方側の第２面２３ｂと、第１面２３ａと第２面２３ｂの間の幅方向の両側の側面２３ｃ，２３ｃとを有する。第１面２３ａは、上面であり、第２面２３ｂは、下面である。第１面２３ａは、第２面２３ｂよりも短く、コイル導体２３の幅方向に沿った断面形状は、台形である。
【００４０】
第２面２３ｂは、磁性層１１に接触する。第１面２３ａおよび両側面２３ｃ，２３ｃは、磁性層１１との間に、空洞部４０を有する。
【００４１】
空洞部４０は、メイン部４３と、メイン部４３に接続される第１延在部４１および第２延在部４２とを有する。メイン部４３は、第１面２３ａおよび両側面２３ｃ，２３ｃに沿った形状である。わかりやすくするため、メイン部４３と第１、第２延在部４１，４２との境界を点線で示す。
【００４２】
第１延在部４１は、第１面２３ａ側で幅方向の両端側のそれぞれに設けられる。第１延在部４１は、積層方向に直交する幅方向で外側に向かって延在する。なお、第１延在部４１は、積層方向に直交以外で交差する方向で、コイル導体２３の中心に対して外側に向かって延在してもよい。
【００４３】
第２延在部４２は、第２面２３ｂ側で幅方向の両端側のそれぞれに設けられる。第２延在部４２は、積層方向に直交する幅方向で外側に向かって延在する。なお、第２延在部４２は、積層方向に直交以外で交差する方向で、コイル導体２３の中心に対して外側に向かって延在してもよい。
【００４４】
第１延在部４１の基端４１ａは、コイル導体２３の最大幅Ｗよりも、内側に位置する。第１延在部４１の先端４１ｂは、コイル導体２３の最大幅Ｗよりも、内側に位置する。基端４１ａは、メイン部４３との接続側に位置し、先端４１ｂは、幅方向外側に位置する。最大幅Ｗは、コイル導体２３の第２面２３ｂの幅である。なお、本実施形態では、最大幅Ｗは、コイル導体２３の第２面２３ｂの幅であるとしているが、必ずしもこれに限定されない。すなわち、コイル導体２３の最大幅Ｗが、コイル導体２３の第２面２３ｂの位置になくてもよい。
【００４５】
図４は、図３に対応する画像図であり、走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope）による画像図である。図４に示すように、空洞部４０の第１、第２延在部４１，４２が、幅方向外側に延びている。
【００４６】
第１延在部４１の積層方向からみた形状について説明する。第１延在部４１は、コイル導体２３（ライン部２８）の延在方向に沿って、連続的に設けられてもよく、または、断続的に設けられてもよい。また、第１延在部４１の幅は、コイル導体２３の延在方向に沿って、均一であってもよく、または、不均一であってもよい。また、第１延在部４１の先端４１ｂの形状は、コイル導体２３の側面に沿った直線であってもよく、または、コイル導体２３の側面に対して傾斜してもよく、または、曲線であってもよい。なお、第２延在部４２についても、第１延在部４１と同様である。
【００４７】
図５に示すように、本実施形態の積層コイル部品１によれば、空洞部４０は、第１延在部４１を有するので、第１延在部４１が、単体のコイル導体２３の周囲に発生する磁束（小ループの磁束Ｒ２）を遮断できる。したがって、小ループの磁束Ｒ２が、複数のコイル導体２３によって発生し複数のコイル導体２３の中心を通過する磁束（大ループの磁束Ｒ１）に重畳することを低減して、インダクタンスへの影響を低減できる。
【００４８】
また、第１延在部４１は、積層方向に延在していないので、積層方向に隣り合うコイル導体２３，２３が、第１延在部４１を介して、短絡（ショート）することがない。より詳細には、第１延在部４１が積層方向に延在する場合、コイル導体２３の素材（例えば銀）がマイグレーションした場合に、素材が第１延在部４１を経由してコイル導体２３，２３の間で短絡が発生する可能性があるが、本実施形態の積層コイル部品１では短絡を抑えることが出来る。
【００４９】
また、空洞部４０は、第２延在部４２を有するので、第２延在部４２が、小ループの磁束Ｒ２を遮断できる。したがって、小ループの磁束Ｒ２が大ループの磁束Ｒ１に重畳することを一層低減して、インダクタンスへの影響を一層低減できる。
【００５０】
また、第１延在部４１は、第１面２３ａ側で幅方向の両端側のそれぞれにあり、第２延在部４２は、第２面２３ｂ側で幅方向の両端側のそれぞれにあるので、小ループの磁束Ｒ２を一層遮断できて、小ループの磁束Ｒ２と大ループの磁束Ｒ１の重畳を一層低減できる。
【００５１】
また、第１延在部４１の基端４１ａは、コイル導体２３の最大幅Ｗよりも、内側に位置し、第１延在部４１の先端４１ｂは、コイル導体２３の最大幅Ｗよりも、内側に位置する。これにより、第１延在部４１のコイル導体２３の幅方向外側への張り出しを抑制できる。したがって、第１延在部４１は、大ループの磁束Ｒ１の邪魔とならない。
【００５２】
なお、基端４１ａは、最大幅Ｗよりも、内側に位置し、先端４１ｂは、最大幅Ｗよりも、外側に位置してもよい。これにより、第１延在部４１のコイル導体２３の幅方向外側への張り出しを低減できる。したがって、大ループの磁束Ｒ１が第１延在部４１により阻止されることを低減できる。
【００５３】
また、第１面２３ａと側面２３ｃにおいて、磁性層１１と部分的に接触していてもよく、また、第２面２３ｂにおいて、磁性層１１と部分的に離隔して空洞部４０を有していてもよい。
【００５４】
次に、積層コイル部品１の製造方法について説明する。
【００５５】
図６Ａに示すように、第１磁性層１１１上の一部にコイル導体２３を積層する。そして、コイル導体２３の上面である第１面２３ａの全ておよびコイル導体２３の幅方向の両側の側面２３ｃ，２３ｃに、第１焼失材５１を積層する。第１焼失材５１は、コイル導体２３の下面である第２面２３ｂにおいて、幅方向外側に延在している。第１焼失材５１は、焼成により焼失する材料からなり、例えば、樹脂材料からなる。
【００５６】
図６Ｂに示すように、コイル導体２３の第１面２３ａ側の第１領域Ｚ１を除いた両側の側面２３ｃ，２３ｃ側の第２領域Ｚ２に重なるように、第１磁性層１１１上に第２磁性層１１２を積層する。
【００５７】
図６Ｃに示すように、第２磁性層１１２が乾燥すると、第１焼失材５１をコイル導体２３の第１面２３ａの全てに積層しているので、第１焼失材５１が矢印方向に第２磁性層１１２に引っ張られて、第１焼失材５１に亀裂５１ａが入るおそれがある。
【００５８】
図６Ｄに示すように、第２磁性層１１２から露出しているコイル導体２３の第１面２３ａ側の第１領域Ｚ１の幅よりも大きくなるように、コイル導体２３の第１面２３ａ側の第１領域Ｚ１と第２磁性層１１２の一部に、第２焼失材５２を積層する。つまり、第２焼失材５２は、第１領域Ｚ１よりも幅方向外側に延在している。このとき、第２焼失材５２は、第１焼失材５１の亀裂に入り込む。第２焼失材５２の材料は、第１焼失材５１の材料と同じである。なお、第１消失材５１と第２消失材５２は、必ずしも同じ材料でなくてもよい。
【００５９】
図６Ｅに示すように、第２焼失材５２に重なるように、第２磁性層１１２上に第３磁性層１１３を積層する。以上の工程を複数回繰り返して、その後、第１焼失材５１および第２焼失材５２を焼成により焼失する。これにより、図３に示す積層コイル部品１を製造する。
【００６０】
したがって、第１焼失材５１および第２焼失材５２に対応する部分が、空洞部４０となる。つまり、空洞部４０は、コイル導体２３の第１面２３ａおよび両側面２３ｃ，２３ｃと、第２、第３磁性層１１２，１１３との間に、形成される。そして、空洞部４０は、第１面２３ａ側で幅方向の両端側のそれぞれに、幅方向外側に延在する第１延在部４１を有する。第１焼失材５１は、コイル導体２３の第２面２３ｂにおいて、幅方向外側に延在しているので、この延在部分が、第２延在部４２に対応する。また、第２焼失材５２は、第２、第３磁性層１１２，１１３との間に形成されており、コイル導体２３の第１面２３ａにおいて、幅方向外側に延在しているので、この延在部分が、第１延在部４１に対応する。
【００６１】
また、第１焼失材５１に第２焼失材５２を積層するので、第１焼失材５１の亀裂５１ａに第２焼失材５２が入り込み、以降の第３磁性層１１３を積層する工程で、第３磁性層１１３の第１焼失材５１の亀裂５１ａへの浸入を防止できる。したがって、コイル導体２３と第３磁性層１１３の接触を避けることができて、コイル導体２３と第３磁性層１１３との界面における応力の発生を抑制できる。
【００６２】
これに対して、第２焼失材５２を設けないと、図７に示すように、以降の第３磁性層１１３を積層する工程で、第３磁性層１１３が第１焼失材５１の亀裂５１ａに浸入する。これにより、コイル導体２３と第３磁性層１１３が接触して、コイル導体２３の温度変化による第３磁性層１１３への応力が発生する。この結果、内部応力によるインダクタンスおよびインピーダンス特性が劣化する。
【００６３】
なお、第１〜第３磁性層１１１〜１１３、第１、第２焼失材５１，５２、および、コイル導体２３を、ペースト状として、印刷、乾燥により形成するようにしてもよく、または、シート状として、圧着により形成するようにしてもよい。空洞部４０を容易に形成するために、コイル導体用の導体ペーストの収縮率は、磁性層用の磁性体ペーストの収縮率より大きい方が好ましい。空洞部４０を容易に形成するために、コイル導体用の導体ペーストの収縮開始温度は、磁性層用の磁性体ペーストの収縮開始温度より低い方が好ましい。
【００６４】
また、コイル導体２３の側面２３ｃは傾斜していることが好ましい。これによれば、空洞部４０のメイン部４３のうち、コイル導体２３の側面２３ｃと接する部分の空洞（第２延在部４２を含む）が安定して形成できる。具体的に述べると、図６Ａに示すように、第１消失材５１をコイル導体２３上に積層する際に、第１消失材５１をコイル導体２３の側面２３ｃに安定的に形成でき、その結果、コイル導体２３の側面２３ｃと接する部分の空洞（第２延在部４２を含む）が確実に形成できる。
【００６５】
なお、第１、第２引出導体２１、２２は、コイル導体２３（ライン部２８）と同様に、その積層方向の一方面側、および両側面に磁性層１１との間に空洞４０を有し、積層方向の他方側は磁性層１１に接触していても良い。
ただし、第１、第２引出導体２１、２２は、それぞれ、素体１０の端面から露出しているため、この部分から水分、メッキ液、あるいは腐食性ガスが侵入するおそれがある。空洞部４０に水分が侵入すると、コイル導体２３あるいは第１、第２引出導体２１、２２の素材（例えば銀）がマイグレーションしやすくなる。また、メッキ液、あるいは腐食性ガスが侵入するとコイル導体２３あるいは第１、第２引出導体２１、２２がガス腐食する恐れがある。これらのことから、引出導体２１、２２に空洞部４０を設けない構造がより好ましい。
引出導体２１、２２に空洞部４０を設けない構造としては、コイル導体２３（ライン部２８）と第１、第２引出導体２１、２２を別の磁性層１１上に設けた構造が好ましい。この場合、第１の実施形態の積層コイル部品（図２のようにコイル導体２３（ライン部２８）と引出導体２２を同一の磁性層１１上に形成する場合）に比べて製造工程が簡素化できる。
【００６６】
（第２実施形態）
図８は、本発明の積層コイル部品の製造方法の第２実施形態を示す断面図である。第２実施形態は、第１実施形態とは、第１焼失材を設ける位置が相違する。この相違する構成を以下に説明する。なお、第２実施形態において、第１実施形態と同一の符号は、第１実施形態と同じ構成であるため、その説明を省略する。
【００６７】
図８は、第１実施形態の図６Ｅに対応する図である。図８に示す第２実施形態では、第１実施形態の工程順（図６Ａ〜図６Ｅ）と同じであるが、第１実施形態の図６Ａに示す第１焼失材５１を積層する工程おいて、コイル導体２３の上面である第１面２３ａの一部およびコイル導体２３の幅方向の両側の側面２３ｃ，２３ｃに、第１焼失材５１を積層している。
【００６８】
具体的に述べると、幅方向の一方側において、一方の第１焼失材５１は、一方の側面２３ｃと、第１面２３ａの一方の側面２３ｃ側の周縁部とに、設けられている。幅方向の他方側において、他方の第１焼失材５１は、他方の側面２３ｃと、第１面２３ａの他方の側面２３ｃ側の周縁部とに、設けられている。このように、第１焼失材５１は、幅方向に２つに分割されている。このため、図６Ｃに示す第２磁性層１１２が乾燥収縮しても、第１焼失材５１には、亀裂が発生しない。
【００６９】
第１焼失材５１は、第１面２３ａの周縁部に設けられ、第１面２３ａの全面に設けられていないが、第２焼失材５２が、第１面２３ａの周縁部以外の部分にも設けられている。このため、第１、第２焼失材５１，５２により空洞部４０を形成することができる。
【００７０】
（第３実施形態）
図９は、本発明の積層コイル部品の製造方法の第３実施形態を示す断面図である。第３実施形態は、第１実施形態とは、工程数が相違する。この相違する構成を以下に説明する。なお、第３実施形態において、第１実施形態と同一の符号は、第１実施形態と同じ構成であるため、その説明を省略する。
【００７１】
図９は、第１実施形態の図６Ｅに対応する図である。図９に示す第３実施形態では、（第１実施形態に示す）コイル導体２３を積層する工程と、（第１実施形態に示す）第１焼失材５１を積層する工程と、（第１実施形態に示す）第２磁性層１１２を積層する工程とを順番に複数回繰り返す。この実施形態では、３回繰り返している。そして、（第１実施形態に示す）第２焼失材５２を積層する。その後、第１実施形態と同様に、第３磁性層１１３を積層し、第１、第２焼失材５１，５２を焼成により焼失する。
【００７２】
なお、好ましくは、コイル導体２３を積層する工程と第１焼失材５１を積層する工程と第２磁性層１１２を積層する工程とを順番にＮ回（Ｎは２以上の整数）繰り返すとすると、第１焼失材５１を積層する工程において、１から（Ｎ−１）回目までに積層されるコイル導体２３の両側の側面に、第１焼失材５１を積層し、Ｎ回目に積層されるコイル導体２３の第１面の少なくとも一部および両側の側面に、第１焼失材５１を積層する。これにより、積層される複数のコイル導体２３を互いに電気的に接続することができる。
【００７３】
第３実施形態によれば、コイル導体２３を積層する工程と、第１焼失材５１を積層する工程と、第２磁性層１１２を積層する工程とを、複数回繰り返すので、厚膜のコイル導体２３を形成することができる。
【００７４】
（第４実施形態）
図１０は、本発明の積層コイル部品の製造方法の第４実施形態を示す断面図である。第４実施形態は、第１実施形態とは、工程数が相違する。この相違する構成を以下に説明する。なお、第４実施形態において、第１実施形態と同一の符号は、第１実施形態と同じ構成であるため、その説明を省略する。
【００７５】
図１０は、第１実施形態の図６Ｅに対応する図である。図１０に示す第４実施形態では、（第１実施形態に示す）コイル導体２３を積層する工程を１回または複数回繰り返す。この実施形態では、３回繰り返している。その後、（第１実施形態に示す）第１焼失材５１を積層する工程を行い、（第１実施形態に示す）第２磁性層１１２を積層する工程を１回または複数回繰り返す。この実施形態では、３回繰り返している。そして、（第１実施形態に示す）第２焼失材５２を積層する。その後、第１実施形態と同様に、第３磁性層１１３を積層し、第１、第２焼失材５１，５２を焼成により焼失する。
【００７６】
なお、コイル導体２３を積層する工程を繰り返す回数と第２磁性層１１２を積層する工程を繰り返す回数とは、同じであってもよく、または、異なっていても構わない。
【００７７】
第４実施形態によれば、コイル導体２３を積層する工程を１回または複数回繰り返した後、第１焼失材５１を積層する工程を行い、第２磁性層１１２を積層する工程を１回または複数回繰り返すので、厚膜のコイル導体２３を形成することができる。
【００７８】
また、第３実施形態と比較して、第１焼失材５１を積層する工程を１回とできるので、コストを抑制することが可能となる。
【００７９】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で設計変更可能である。例えば、第１から第４実施形態のそれぞれの特徴点を様々に組み合わせてもよい。
【００８０】
前記実施形態では、第１延在部は、第１面側で幅方向の両端側のそれぞれに、設けられているが、第１延在部は、第１面側で幅方向の両端側の少なくとも一端側に、あればよく、これにより、小ループの磁束を遮断できる。
【００８１】
前記実施形態では、第２延在部は、第２面側で幅方向の両端側のそれぞれに、設けられているが、第２延在部は、第２面側で幅方向の両端側の少なくとも一端側に、あればよく、これにより、小ループの磁束を遮断できる。
【００８２】
前記実施形態では、第１延在部および第２延在部の両方が設けられているが、第１延在部および第２延在部のうち、少なくとも第１延在部があればよく、これにより、小ループの磁束を遮断できる。
【００８３】
前記実施形態では、第１延在部の基端および先端は、コイル導体の最大幅よりも、内側に位置しているが、第１延在部の基端は、コイル導体の最大幅よりも、内側に位置し、第１延在部の先端は、コイル導体の最大幅よりも、外側に位置してもよい。これにより、第１延在部のコイル導体の幅方向外側への張り出しを低減できる。したがって、大ループの磁束が第１延在部により阻止されることを低減できる。
【００８４】
前記実施形態では、コイル導体の幅方向に沿った断面形状は、台形であるが、矩形や扁平半楕円形などであってもよい。コイル導体の断面形状が矩形であるとき、第１延在部の基端がコイル導体の最大幅よりも外側に位置してもよい。
【符号の説明】
【００８５】
１  積層コイル部品
１０  素体
１１  磁性層
１１１〜１１３  第１〜第３磁性層
２０  コイル
２３  コイル導体
２３ａ  第１面
２３ｂ  第２面
２３ｃ  側面
２４  ビア導体
２５  ランド部
２８  ライン部
３１  第１外部電極
３２  第２外部電極
４０  空洞部
４１  第１延在部
４１ａ  基端
４１ｂ  先端
４２  第２延在部
４３  メイン部
５１  第１焼失材
５２  第２焼失材
Ｒ１  大ループの磁束
Ｒ２  小ループの磁束
Ｚ１  第１領域
Ｚ２  第２領域
Ｗ  コイル導体の最大幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
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【図６Ｅ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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