(57)【要約】【課題】設定された着弾位置を精度よく補正し、ロールトゥロール方式の帯状基材に精度よく液滴を着弾させて塗布膜を形成することができるインクジェット塗布装置を提供する。【解決手段】一方向に延びる帯状基材に塗布材料である液滴を吐出して帯状基材上に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置であって、帯状基材には、帯状基材が延びる方向に沿って一定間隔で膜形成領域を含む製品領域が形成されており、前記膜形成領域に液滴を吐出する液滴ノズルユニットと、液滴ノズルユニットの上流側に第１撮像ユニット、下流側に第２撮像ユニットが配置され、第１、第２撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報から位置基準領域のずれ量を算出し、液滴ノズルユニットは、位置基準領域のずれ量に基づく着弾位置の補正が行われ、膜形成領域に液滴を吐出するように構成する。【選択図】図６
2018065111.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延びる帯状基材に塗布材料である液滴を吐出して帯状基材上に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置であって、
前記帯状基材には、帯状基材が延びる方向に沿って一定間隔で膜形成領域を含む製品領域が形成されており、前記膜形成領域に液滴を吐出する液滴ノズルユニットと、
前記液滴ノズルユニットの上流側に配置され、前記製品領域を含む位置基準領域を撮像する第１撮像ユニットと、
を備え、
前記第１撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報から前記位置基準領域のずれ量を算出し、前記液滴ノズルユニットは、前記位置基準領域のずれ量に基づく着弾位置の補正が行われ、前記膜形成領域に液滴を吐出することを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項２】
前記液滴ノズルユニットの下流側に前記製品領域を含む位置基準領域を撮像する第２撮像ユニットが配置され、前記第１撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報と前記第２撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報から前記位置基準領域のずれ量を算出し、前記液滴ノズルユニットは、前記位置基準領域のずれ量に基づく着弾位置の補正が行われ、前記膜形成領域に液滴を吐出することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項３】
前記第１撮像ユニット及び第２撮像ユニットは、搬送方向と直交する方向に延びるラインスキャンカメラであることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項４】
前記第２撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報は、前記膜形成領域に形成された塗布膜の良否判断に用いられることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、いわゆるロールトゥロールによって搬送される帯状基材に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置に関するものであり、特に、帯状基材の搬送に伴うずれを補正して塗布膜を形成することができるインクジェット塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、インクジェット塗布装置により、枚葉基材上の膜形成領域に塗布材料の液滴を吐出してカラーフィルタや絶縁膜（膜パターン）が形成されている。近年では、枚葉基材だけでなく、生産効率を向上させるため、長尺上の帯状基材をいわゆるロールトゥロール（Ｒｏｌｌ  ｔｏ  Ｒｏｌｌ）で搬送しつつ、液滴を吐出するインクジェット塗布装置が開発されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このインクジェット塗布装置は、図７に示すように、操出ロール１００と巻取ロール１０１とに帯状基材１０３が掛け渡されており、水平に走行する帯状基材１０３上には液滴を吐出する液滴ノズルユニット１０４が配置されている。そして、帯状基材１０３を走行させつつ帯状基材１０３の膜形成領域１０５（図７（ｂ）参照）に液滴を吐出することにより連続的に帯状基材１０３上に塗布膜が形成され、効率よく製品を製造することができる。このロールトゥロールによる搬送では、帯状基材１０３に蛇行等が生じることにより設定された着弾位置がずれてしまうことがある。そのため、帯状基材１０３には、アライメントマーク１０６が付されており、液滴ノズルユニット１０４の上流側に配置されるカメラ１０７でアライメントマーク１０６を撮像し、その撮像情報から基準位置とのずれ量を演算し、着弾位置を補正して着弾させることにより、帯状基材１０３の膜形成領域１０５に精度よく液滴を吐出して塗布膜を形成することができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１３６９０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年では、インクジェット塗布装置が様々な分野に適用されており、着弾位置の精度が極めて重要になってきた。特に、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）や、半導体の保護膜、回路電極等に用いられる場合には、その傾向が顕著である。上述したような帯状基材１０３に付されたアライメントマーク１０６でずれ量を演算すると、アライメントマーク１０６と膜形成領域１０５との位置関係がすでに誤差を含んでいる虞がある。
【０００６】
そこで、本発明は、設定された着弾位置を精度よく補正し、ロールトゥロール方式の帯状基材に精度よく液滴を着弾させて塗布膜を形成することができるインクジェット塗布装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、一方向に延びる帯状基材に塗布材料である液滴を吐出して帯状基材上に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置であって、前記帯状基材には、帯状基材が延びる方向に沿って一定間隔で膜形成領域を含む製品領域が形成されており、前記膜形成領域に液滴を吐出する液滴ノズルユニットと、前記液滴ノズルユニットの上流側に配置され、前記製品領域を含む位置基準領域を撮像する第１撮像ユニットと、を備え、前記第１撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報から前記位置基準領域のずれ量を算出し、前記液滴ノズルユニットは、前記位置基準領域のずれ量に基づく着弾位置の補正が行われ、前記膜形成領域に液滴を吐出することを特徴としている。
【０００８】
上記本発明のインクジェット塗布装置によれば、帯状基板上の製品領域が位置基準領域に設定されており、この位置基準領域からずれ量が算出されるため、従来のように、製品領域とは別のアライメントマークからずれ量を算出する場合に比べて、すれ量の精度を高めることができる。
【０００９】
また、前記液滴ノズルユニットの下流側に前記製品領域を含む位置基準領域を撮像する第２撮像ユニットが配置され、前記第１撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報と前記第２撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報から前記位置基準領域のずれ量を算出し、前記液滴ノズルユニットは、前記位置基準領域のずれ量に基づく着弾位置の補正が行われ、前記膜形成領域に液滴を吐出する構成にしてもよい。
【００１０】
この構成によれば、上流側に配置される第１撮像ユニットだけでなく、下流側に配置される第２撮像ユニットが配置され、これらの位置基準領域情報からずれ量が算出されるため、第１撮像ユニットのみの場合に比べて、より精度よくずれ量を算出することができる。すなわち、第１撮像ユニットのみの場合、仮に、第１撮像ユニットで撮像した位置基準領域は、ずれが全くない状態で通過し、その後、帯状基材が蛇行するような場合には、ずれ量はなしと判断される。この点、下流側に第２撮像ユニットが存在すれば、第２撮像ユニットで撮像された位置基準領域は、ずれが生じているため、このずれ量を着弾位置の補正に反映させることができる。
【００１１】
また、前記第１撮像ユニット及び第２撮像ユニットは、搬送方向と直交する方向に延びるラインスキャンカメラである構成にしてもよい。
【００１２】
この構成によれば、帯状基材の搬送方向と直交する方向（幅方向）にも位置基準領域を設定することにより、帯状基材の幅方向のずれについても精度よく補正することができる。すなわち、帯状基材の幅方向に伸び縮みが起因するずれが生じていても補正することができる。
【００１３】
また、前記第２撮像ユニットにより撮像された位置基準領域情報は、前記膜形成領域に形成された塗布膜の良否判断に用いられる構成にしてもよい。
【００１４】
この構成によれば、検査機構を別途も受けることなく、塗布動作後、塗布膜の検査を行うことができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、設定された着弾位置を精度よく補正し、ロールトゥロール方式の帯状基材に精度よく液滴を着弾させて塗布膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。
【図２】上記インクジェット塗布装置の上面図である。
【図３】帯状基材の表面を示す図である。
【図４】ヘッドユニットのノズル配置を示す図である。
【図５】インクジェット塗布装置の制御系を示すブロック図である。
【図６】帯状基材の蛇行により膜形成領域を含む製品領域の位置が変化する状態を示す図である。
【図７】従来のインクジェット塗布装置を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明のインクジェット塗布装置に係る実施の形態を図面を用いて説明する。
【００１８】
図１は、インクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は、インクジェット塗布装置の上面図である。
【００１９】
インクジェット塗布装置は、図１、図２に示すように、搬送される帯状基材Ｗ上に塗布材料である液滴を吐出する液滴ノズルユニット２と、帯状基材Ｗ上の特定領域(位置基準領域Ｒ)を撮像する第１撮像ユニットＣ１及び第２撮像ユニットＣ２とを有しており、第１撮像ユニットＣ１及び第２撮像ユニットＣ２で撮像された位置基準領域情報から着弾位置を補正し、帯状基材Ｗ上に精度よく液滴を吐出し、塗布膜を形成するものである。
【００２０】
ここで、帯状基材Ｗは、フィルム等の一方向に延びる薄い帯状の長尺部材であり、操出ロール１１と巻取ロール１２に掛け渡されており、巻取ロール１２及び操出ロール１１が回転することにより所定速度で搬送される。帯状基材Ｗ上には、製品部分である製品領域３０が長手方向に沿って形成されており、図３の例では、幅方向に３列形成され、長手方向に一定間隔で形成されている。この製品領域３０には、塗布膜が形成される膜形成領域３１が形成されており、この膜形成領域３１に塗布材料が塗布されることにより所定の塗布膜が形成される。すなわち、帯状基材Ｗが搬送されて製品領域３０が液滴ノズルユニット２を通過すると、液滴ノズルユニット２から液滴が吐出され、すべての製品領域３０の膜形成領域３１に塗布膜が形成される。
【００２１】
なお、以下の説明では、帯状基材Ｗが搬送される方向をＸ軸方向、帯状基材Ｗの幅方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。
【００２２】
液滴ノズルユニット２は、基板Ｗ上に塗布材料を着弾させて塗布するものであり、塗布材料を吐出するヘッドユニット２１を有している。このヘッドユニット２１は、直方体形状を有しており、長手方向がＹ軸方向になるように帯状基材Ｗに跨がるように配置されている。具体的には、ヘッドユニット２１は、図示しないフレームに設けられており、複数のノズル２２ａが配置されたノズル面２３を帯状基材Ｗに対向する姿勢で取り付けられている。本実施形態では、ヘッドユニット２１のノズル面２３は、帯状基材Ｗの製品領域３０が配置される幅方向寸法よりも大きい寸法に形成されている。また、ヘッドユニット２１は、Ｙ軸方向に移動できるように取り付けられており、フレームに設けられたＹ軸方向に延びるレール沿って、リニアモータ８１（図５参照）を駆動制御することによりヘッドユニット２１がＹ軸方向の任意の位置で停止できるようになっている。すなわち、着弾位置情報に基づいてノズル２２ａが液滴すべき着弾位置に位置するようにＹ軸方向に移動して調節できるようになっている。
【００２３】
ヘッドユニット２１は、図４に示すように、複数のヘッドモジュール２２を備えている。本実施形態では、複数のヘッドモジュール２２がＹ軸方向に沿って配列されており、塗布方向に対して直交する方向（Ｙ軸方向）に配置されている。ヘッドモジュール２２は、複数のノズル２２ａを有しており、ノズル２２ａが一方向に所定の配列ピッチで整列した状態で設けられている。ヘッドモジュール２２は、ピエゾ素子を駆動源としたインク吐出装置であり、ヘッドモジュール２２に駆動電圧が印加されると、各ノズル２２ａに駆動電圧が印加され、各ノズル２２ａから所定の液量の液滴が吐出されるようになっている。
【００２４】
また、ヘッドモジュール２２は、それぞれが互いに重複する部分を有するようにずらして配置されている。図４の例では、隣接するヘッドモジュール２２がＸ軸方向に交互にずらして配置されている。すなわち、これらのヘッドモジュール２２は、ノズル２２ａの配置間隔とヘッドモジュール２２の両端部分とでは寸法が異なっているため、この両端部分の寸法分を相殺できるようにＸ軸方向にずらしつつＹ軸方向に配列される。すなわち、ヘッドユニット２１は、Ｘ軸方向に見てノズル２２ａがＹ軸方向に等間隔で配置されており、ヘッドユニット２１全体としてＸ軸方向に見て、すべてのノズル２２ａがＹ軸方向に沿って配列ピッチｔで配列され、Ｘ軸方向から見てＹ軸方向に亘って等間隔で配置されている。
【００２５】
したがって、着弾位置情報に基づいて帯状基材Ｗが搬送されることによりヘッドユニット２１が相対的にＸ軸方向にしつつ、ヘッドユニット２１をＹ軸方向に駆動制御することにより、所定の着弾位置に液滴が吐出され、帯状基材Ｗの膜形成領域３１に塗布膜が形成されるようになっている。
【００２６】
また、液滴ノズルユニット２の上流側には、第１撮像ユニットＣ１が設けられている。この第１撮像ユニットＣ１は、帯状基材Ｗの位置基準領域Ｒを撮像するものであり、撮像された位置基準領域情報から液滴ノズルユニット２の着弾位置を補正するためのものである。この第１撮像ユニットＣ１は、一方向に延びるラインスキャンカメラが用いられており、長手方向が帯状基材Ｗを幅方向に横切るように配置されている。そして、第１撮像ユニットＣ１は、帯状基材ＷがＸ軸方向に搬送された状態で連続的に帯状基材Ｗの表面を撮像するように構成されており、撮像された画像データは、後述の制御装置に入力されるようになっている。すなわち、本実施形態では、各製品領域３０の角部が着弾位置の基準点Ｐとして設定されており、この基準点Ｐを有する製品領域３０を含む領域が位置基準領域Ｒである。本実施形態では、ラインスキャンカメラにより、帯状基材Ｗの幅方向全体が位置基準領域Ｒとして撮像される。
【００２７】
また、液滴ノズルユニット２の下流側には、第２撮像ユニットＣ２が設けられている。この第２撮像ユニットＣ２は、帯状基材Ｗの位置基準領域Ｒを撮像するものであり、撮像された位置基準領域情報から液滴ノズルユニット２の着弾位置を補正するためのものである。第２撮像ユニットＣ２は、第１撮像ユニットＣ１と同様に、一方向に延びるラインスキャンカメラが用いられており、長手方向が帯状基材Ｗを幅方向に横切るように配置されている。そして、第２撮像ユニットＣ２は、帯状基材ＷがＸ軸方向に搬送された状態で連続的に帯状基材Ｗの表面を撮像するように構成されており、撮像された画像データは、後述の制御装置に入力されるようになっている。すなわち、帯状基材Ｗの幅方向全体が位置基準領域Ｒとして撮像され、その画像データから、後述の制御装置により、各製品領域３０の基準点Ｐが取得されるようになっている。
【００２８】
また、第２撮像ユニットＣ２は、本実施形態では、膜形成領域３１に形成された塗布膜の検査カメラとして機能するように構成されている。すなわち、第２撮像ユニットＣ２により撮像される位置基準領域情報は、帯状基材Ｗの幅方向における製品領域３０がすべて撮像されており、製品領域３０（正確には膜形成領域３１）に形成された塗布膜が撮像されている。この位置基準領域情報が後述の制御装置に入力され、それぞれの塗布膜の良否が判断されるようになっている。
【００２９】
なお、本実施形態では、第１撮像ユニットＣ１と第２撮像ユニットＣ２とで、位置基準領域Ｒを同じ領域としているが、互いに異なる領域として設定してもよい。例えば、第１撮像ユニットＣ１の位置基準領域Ｒは、基準点Ｐを有する製品領域３０の一部を含む領域であり、第２撮像ユニットＣ２の位置基準領域Ｒは、基準点Ｐを有する製品領域３０全体を含む領域として設定してもよい。すなわち、第２撮像ユニットＣ２に検査カメラ機能を求める場合は、少なくとも第２撮像ユニットＣ２の位置基準領域Ｒとして、製品領域３０の膜形成領域３１全体が含まれるようにすればよい。
【００３０】
次に、上記インクジェット塗布装置の制御系の構成について図５に示すブロック図を用いて説明する。
【００３１】
図５は、このインクジェット塗布装置に設けられた制御装置９０の制御系を示すブロック図である。図５に示すように、インクジェット塗布装置は、上述した各種ユニットの駆動を制御する制御装置９０が設けられている。この制御装置９０は、制御本体部９１、駆動制御部９２、撮像ユニット制御部９４、位置検出部９３、入出力装置制御部９５とを有している。そして、制御本体部９１は、主制御部９１ａ、画像処理部９１ｂ、位置演算部９１ｃ、補正量演算部、記憶部９１ｅとを有している。なお、本実施形態では、これらの構成が制御装置９０に統合されている例について説明するが、これらの構成がメインコントローラ、サブコントローラに適宜分かれて構成されているものであってもよい。
【００３２】
主制御部９１ａは、予め記憶されたプログラムに従って一連の塗布動作を実行すべく、駆動制御部９２を介して各ユニットのサーボモータ８２、リニアモータ８１等の駆動装置を駆動制御するとともに塗布動作に必要な各種演算を行うものである。具体的には、ヘッドユニット２１に供給される駆動電圧を制御して、各ノズル２２ａから吐出される液滴量を制御することができる。
【００３３】
画像処理部９１ｂは、撮像ユニット制御部９４から入力された画像データから検出対象である点、形状を検出するものである。本実施形態では、膜形成領域３１の位置の基準となる基準点Ｐを検出する。具体的には、撮像ユニット制御部９４から入力された位置基準領域情報である画像データから、画像処理を行って各製品領域３０の角部（基準点Ｐ）を検出する。すなわち、記憶部９１ｅに製品領域３０の基準点形状データが記憶されており、この基準点形状に該当するする製品領域３０の角部が検出される。本実施形態では、帯状基材Ｗの幅方向全体の画像データから幅方向に配列される製品領域３０の角部が３カ所検出される。
【００３４】
また、画像処理部９１ｂは、膜形成領域３１に形成された塗布膜の形状についても検出する。具体的には、記憶部９１ｅに記憶された基準となる基準塗布膜データが記憶されており、第２撮像ユニットＣ２で撮像された位置基準領域情報（画像データ）から画像処理を行って基準塗布膜データに該当する領域を塗布膜として検出する。そして、主制御部９１ａにより、基準塗布膜データと、検出された塗布膜とが比較され、製品としての良否が判断される。
【００３５】
また、位置演算部９１ｃは、着弾位置、基準点Ｐ等の位置データを演算するものであり、例えば、画像処理部９１ｂで検出された位置基準領域Ｒ上の基準点Ｐの位置を演算する。すなわち、エンコーダ８３（図５参照）から位置検出部９３から入力されるＸ軸方向の位置情報と、画像処理部９１ｂで検出された位置基準領域Ｒにおける基準位置のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置情報から、対象となる製品領域３０の基準点Ｐの位置を座標として演算する。また、後述する補正演算部９１ｄでこの基準点Ｐの位置情報を基に着弾位置を補正し、補正量を加味した新たな着弾位置を演算する。
【００３６】
また、補正演算部９１ｄは、搬送中の帯状基材Ｗが蛇行、張力の影響等により、予め設定された着弾位置、基準点Ｐがずれた場合に、その補正量を演算するものである。本実施形態では、第１撮像ユニットＣ１で撮像された位置基準領域情報と、第２撮像ユニットＣ２で撮像された位置基準領域情報とに基づいて、ずれ量が演算される。具体的には、図６に示すように、対象とする製品領域３０について、第１撮像ユニットＣ１から得られた位置基準領域情報の基準点Ｐ（第１基準点Ｐ１という）と、第２撮像ユニットＣ２から得られた位置基準領域情報の基準点Ｐ（第２基準点Ｐ２という）とから、ずれ量を算出し、第１撮像ユニットＣ１及び第２撮像ユニットＣ２と、液滴ノズルユニット２との位置関係から、液滴ノズルユニット２が配置される位置でのずれ量を算出する。すなわち、対象とする製品領域３０がヘッドユニット２１の直下（塗布される位置）に到達した時点の補正量を算出する。例えば、第１撮像ユニットＣ１から第２撮像ユニットＣ２まで一次関数的に変化したと仮定してヘッドユニット２１直下のずれ量を算出してもよいし、他の近似式を用いる方法により算出してもよい。この補正量を基にして、位置演算部９１ｃにより設定着弾位置が補正される。そして、補正後の着弾位置情報に基づいて、液滴が吐出されることにより、対象とする製品領域３０の膜形成領域３１に精度よく塗布膜が形成される。
【００３７】
記憶部９１ｅは、様々な各種データが格納されているとともに、演算結果等を一時的に格納するためのものである。具体的には、ずれ量がない場合の着弾位置情報である設定着弾位置、膜形成領域３１に形成される塗布膜の基準塗布膜データ、基準点形状データ等が記憶されている。
【００３８】
また、駆動制御部９２は、制御本体部９１からの制御信号に基づいて、リニアモータ８１、サーボモータ８２等を駆動制御するものである。具体的には、操出ロール１１、巻取ロール１２を駆動制御することにより帯状基材Ｗの走行を制御し、液滴ノズルユニット２の移動及び、各ノズル２２ａの吐出動作を制御する。
【００３９】
撮像ユニット制御部９４は、カメラ等の撮像ユニットを制御するものであり、撮像ユニットを制御し、撮像ユニットからの画像データを取り込んで適切な変換を行って制御本体部９１に出力するものである。本実施形態では、第１撮像ユニットＣ１及び第２撮像ユニットＣ２の画像データを制御本体部９１に出力する。
【００４０】
位置検出部９３は、エンコーダ８３からの信号に基づいて帯状基材Ｗ上の製品領域３０（位置基準領域Ｒ）の位置情報を検知するものである。この得られた位置情報により、位置基準領域Ｒの基準点Ｐが演算され、すれ量が演算される。
【００４１】
入出力装置制御部９５は、キーボード８４、タッチパネル８５等（図５参照）の各入出力装置を制御するものである。具体的には、対象となる製品の設定着弾位置データ、基準塗布膜データ等が入力される。
【００４２】
次にこの塗布装置における動作について説明する。
【００４３】
まず、操出ロール１１及び巻取ロール１２が駆動制御されることにより、帯状基材Ｗが所定速度で搬送される。帯状基材Ｗが搬送された状態で、第１撮像ユニットＣ１及び第２撮像ユニットＣ２は、連続的に帯状基材Ｗの位置基準領域Ｒを撮像する。すなわち、帯状基材Ｗ上のすべての製品領域３０が位置基準領域情報（画像データ）として制御本体部９１に取り込まれる。
【００４４】
第１撮像ユニットＣ１からの位置基準領域情報が取り込まれると、それぞれの製品領域３０の基準点Ｐが抽出される。そして、これらの基準点Ｐは製品領域３０毎にエンコーダ８３のＸ軸方向の位置情報と共に記憶される。すなわち、製品領域３０の帯状基材Ｗ上の現在の位置情報と、搬送方向における位置情報とが特定される。
【００４５】
また、第２撮像ユニットＣ２からの位置基準領域情報からも同様に、それぞれの製品領域３０の基準点Ｐが抽出される。
【００４６】
ここで、図６は、帯状基材Ｗが蛇行して斜めに走行している状態を示す図であり、図中の２点鎖線は、帯状基材Ｗがずれを生じることなく走行した状態を示している。この図６において、特定の製品領域３０に注目すると、特定の製品領域３０が第１撮像ユニットＣ１で撮像された際に、第２撮像ユニットＣ２では、特定の製品領域３０と同じ列の下流側に位置する他の製品領域３０が撮像される。そして、第１撮像ユニットＣ１から得られた位置基準領域情報の基準点Ｐ１（特定の製品領域３０の基準点Ｐ）と、第２撮像ユニットＣ２から得られた位置基準領域情報の基準点Ｐ２（同列の他の製品領域３０の基準点Ｐ）とから、ずれ量を算出し、液滴ノズルユニット２が配置された位置でのすれ量が算出される。このずれ量に基づいて、特定の製品領域３０に対する設定着弾位置が補正される。その後、特定の製品領域３０がヘッドユニット２１で塗布される際に、補正された着弾位置情報に基づいて、特定の製品領域３０の膜形成領域３１に液滴が吐出され塗布膜が形成される。
【００４７】
そして、第２撮像ユニットＣ２から得られた位置基準領域情報から、特定の製品領域３０に形成された塗布膜と、基準塗布膜データとを比較することにより、形成された塗布膜の良否について判定される。
【００４８】
このように、すべての製品領域３０において、上流側に配置される第１撮像ユニットＣ１と、下流側に配置される第２撮像ユニットＣ２からの位置基準領域情報からずれ量が算出されるため、第１撮像ユニットＣ１のみでずれ量を算出する場合に比べて、帯状基材Ｗが蛇行したり、張力変化による変形などが生じた場合でも、精度よくずれ量を算出することができる。仮に、第１撮像ユニットＣ１で撮像した位置基準領域Ｒは、ずれが全くない状態で通過し、その後、帯状基材Ｗが蛇行するような場合であっても、下流側に第２撮像ユニットＣ２が存在すれば、第２撮像ユニットＣ２で撮像された位置基準領域Ｒは、ずれが生じているため、このずれ量を着弾位置の補正に反映させることができる。
【００４９】
また、上記実施形態では、第１撮像ユニットＣ１から得られた位置基準領域情報の基準点Ｐ（特定の製品領域３０の基準点Ｐ）と、第２撮像ユニットＣ２から得られた位置基準領域情報の基準点Ｐ（同列の他の製品領域３０の基準点Ｐ）とから、ずれ量を算出し、このずれ量を基にヘッドユニット２１におけるずれ量が算出されたが、それぞれの製品領域３０のずれ量の変化も加味してずれ量を算出してもよい。例えば、第１撮像ユニットＣ１における基準点Ｐの位置変化よりも、第２撮像ユニットＣ２における基準点Ｐの位置変化が大きい場合には、第１撮像ユニットＣ１における基準点Ｐと第２撮像ユニットＣ２における基準点Ｐから算出されるずれ量に、さらに第２撮像ユニットＣ２における基準点Ｐ側に近づくように微少な補正値を加味させることで、製品領域３０の位置ずれをさらに精度よく補正することができる。
【００５０】
また、上記実施形態では、第１撮像ユニットＣ１及び第２撮像ユニットＣ２にラインスキャンカメラを用いる例について説明したが、ＣＣＤカメラなど、他のカメラを使用してもよい。
【００５１】
また、上記実施形態では、第１撮像ユニットＣ１及び第２撮像ユニットＣ２によりずれ量を算出する例について説明したが、第１撮像ユニットＣ１のみからずれ量を算出するものであってもよい。すなわち、特定の製品領域３０において、第１撮像ユニットＣ１の位置基準領域情報からずれ量を算出し、このずれ量に基づいて設定着弾位置が補正され、特定の製品領域３０にヘッドユニット２１から液滴が吐出されるように構成してもよい。このように構成することにより、製品領域３０から直接ずれ量が算出されるため、別途アライメントマークを付した場合より、精度よくずれ量を算出することができる。
【符号の説明】
【００５２】
２  液滴ノズルユニット
２１  ヘッドユニット
３０  製品領域
３１  膜形成領域
Ｃ１  第１撮像ユニット
Ｃ２  第２撮像ユニット
Ｐ  基準点
Ｗ  帯状基材
【図１】
2018065111.tif 000003
【図２】
2018065111.tif 000004
【図３】
2018065111.tif 000005
【図４】
2018065111.tif 000006
【図５】
2018065111.tif 000007
【図６】
2018065111.tif 000008
【図７】
2018065111.tif 000009