(57)【要約】【課題】プローブで撮像した撮像画像の座標と、照射部を基準とした座標との対応関係を精度良く特定する。【解決手段】校正用システムＳは、三次元測定機１と、校正治具２と、コンピュータ３とを備える。コンピュータ３は、三次元測定機１の照射部１１１を制御して透過板にレーザ光を照射させる照射制御部３２２と、透過板にレーザ光が照射された状態で撮像部１１２が透過板を撮像して生成した第１撮像画像と、透過板にレーザ光が照射された状態で第２撮像部が生成した第２撮像画像とを取得する取得部３２３と、第１撮像画像に写るレーザ光の位置及び指標の位置と、第２撮像画像に写るレーザ光の位置及び指標の位置とに基づいて、第１撮像画像に対応する座標と第２撮像画像に対応する座標との関係を特定する特定部３２４とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
三次元測定機と、校正治具と、コンピュータとを備えた校正用システムであって、
前記三次元測定機は、
第１撮像画像を生成する第１撮像部とレーザ光を照射する照射部とを備えるプローブを有し、
前記校正治具は、
第２撮像画像を生成する第２撮像部と、
前記第２撮像部に重ねて設けられ、前記第２撮像部における位置を特定するための指標を有し、入射光の一部を反射するとともに他の一部を通過させる透過板とを有し、
前記コンピュータは、
前記照射部を制御して前記透過板にレーザ光を照射させる照射制御部と、
前記透過板に前記レーザ光が照射された状態で前記第１撮像部が前記透過板を撮像して生成した前記第１撮像画像と、前記透過板に前記レーザ光が照射された状態で前記第２撮像部が生成した前記第２撮像画像とを取得する取得部と、
前記第１撮像画像に写る前記レーザ光の位置及び前記指標の位置と、前記第２撮像画像に写る前記レーザ光の位置及び前記指標の位置とに基づいて、前記第１撮像画像に対応する座標と前記第２撮像画像に対応する座標との関係を特定する特定部とを有する、
校正用システム。
【請求項２】
前記透過板は、所定の間隔で設けられた複数の前記指標を有する、
請求項１に記載の校正用システム。
【請求項３】
前記第２撮像部及び前記透過板は長方形状であり、
前記透過板は、短手方向に延びるスリット状の複数の前記指標を有し、
前記照射部は、線状のレーザ光を照射し、
前記照射制御部は、前記照射部を制御して前記透過板の長手方向に前記線状のレーザ光を照射させ、
前記特定部は、前記第１撮像画像に写る前記線状のレーザ光に対応する複数の位置の座標と、前記第２撮像画像に対応する複数の座標との関係を特定する、
請求項１又は２に記載の校正用システム。
【請求項４】
前記コンピュータは、
前記校正治具の法線方向に前記プローブを移動させる移動制御部をさらに有し、
前記移動制御部は、前記プローブを前記校正治具の法線方向の複数の位置のそれぞれに移動させ、
前記照射制御部は、前記複数の位置のそれぞれにおいて前記照射部にレーザ光を照射させ、
前記取得部は、前記複数の位置のそれぞれにおいて前記第１撮像画像及び前記第２撮像画像を取得し、
前記特定部は、前記複数の位置のそれぞれにおいて前記第１撮像画像に対応する座標と前記第２撮像画像に対応する座標との関係を特定する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の校正用システム。
【請求項５】
前記指標における入射光の反射率及び透過率は、前記透過板の他の領域における入射光の反射率及び透過率と異なる、
請求項１から４のいずれか１項に記載の校正用システム。
【請求項６】
前記第２撮像部の画素数は、前記第１撮像部の画素数に比べて多い、
請求項１から５のいずれか１項に記載の校正用システム。
【請求項７】
第１撮像画像を生成する第１撮像部とレーザ光を照射する照射部とを備えるプローブを有する三次元測定機の校正に用いられる校正治具であって、
第２撮像画像を生成する第２撮像部と、
前記第２撮像部に重ねて設けられ、前記第２撮像部における位置を特定するための指標を有し、入射光の一部を反射するとともに他の一部を通過させる透過板と、
を有する校正治具。
【請求項８】
コンピュータが実行する、校正治具を用いた三次元測定機の校正方法であって、
前記三次元測定機は、第１撮像画像を生成する第１撮像部とレーザ光を照射する照射部とを備えるプローブを有し、
前記校正治具は、第２撮像画像を生成する第２撮像部と、前記第２撮像部に重ねて設けられ、前記第２撮像部における位置を特定するための指標を有し、入射光の一部を反射するとともに他の一部を通過させる透過板とを有し、
前記照射部を制御して前記透過板にレーザ光を照射させるステップと、
前記透過板に前記レーザ光が照射された状態で前記第１撮像部が前記透過板を撮像して生成した前記第１撮像画像と、前記透過板に前記レーザ光が照射された状態で前記第２撮像部が生成した前記第２撮像画像とを取得するステップと、
前記第１撮像画像に写る前記レーザ光の位置及び前記指標の位置と、前記第２撮像画像に写る前記レーザ光の位置及び前記指標の位置とに基づいて、前記第１撮像画像に対応する座標と前記第２撮像画像に対応する座標との関係を特定するステップと、
を有する校正方法。
【請求項９】
校正治具を用いた三次元測定機の校正用プログラムであって、
前記三次元測定機は、第１撮像画像を生成する第１撮像部とレーザ光を照射する照射部とを備えるプローブを有し、
前記校正治具は、第２撮像画像を生成する第２撮像部と、前記第２撮像部に重ねて設けられ、前記第２撮像部における位置を特定するための指標を有し、入射光の一部を反射するとともに他の一部を通過させる透過板とを有し、
コンピュータを、
前記照射部を制御して前記透過板にレーザ光を照射させる照射制御部、
前記透過板に前記レーザ光が照射された状態で前記第１撮像部が前記透過板を撮像して生成した前記第１撮像画像と、前記透過板に前記レーザ光が照射された状態で前記第２撮像部が生成した前記第２撮像画像とを取得する取得部、及び
前記第１撮像画像に写る前記レーザ光の位置及び前記指標の位置と、前記第２撮像画像に写る前記レーザ光の位置及び前記指標の位置とに基づいて、前記第１撮像画像に対応する座標と前記第２撮像画像に対応する座標との関係を特定する特定部、
として機能させる校正用プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、三次元測定機の校正を行うための校正用システム、校正治具、校正方法、及び校正用プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、非接触でワークの形状を測定するために光を照射する照射部と撮像部とを有する非接触プローブを備え、光切断法を用いて三次元形状測定を行う三次元測定機が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１２２０６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光切断法を用いた三次元形状測定では、照射部と撮像部との位置が異なるため、撮像画像に対応する座標系を、照射位置を基準とした座標系に変換する必要がある。このため、光切断法を用いた三次元形状測定では、座標系を正確に変換するために、撮像部が撮像した撮像画像における座標位置と、照射位置を基準とした座標位置とを対応付ける校正作業を行う必要がある。
【０００５】
従来の校正作業では、非接触プローブを複数の位置に移動させて、複数の位置のそれぞれで線状のレーザ光を照射して校正球を撮像し、複数の撮像画像のそれぞれに写る校正球の輝線に対応する座標と、照射位置を基準としたときの校正球におけるレーザ光の照射位置を示す座標との対応関係を特定する。そして、複数の撮像画像のそれぞれにおいて特定された対応関係に基づいて、複数の撮像画像のそれぞれの座標変換を行った場合に変換後の輝線が一つの球を構成するような変換行列のパラメータを特定する。
【０００６】
しかしながら、校正球を用いる従来の校正作業では、校正球を撮像することから、照射するレーザ光の進行方向に対する傾斜が大きい箇所において系統誤差が発生し、撮像画像から測定された校正球の位置が校正に無視できない量だけずれ、プローブで撮像した撮像画像の座標と、照射部を基準とした座標との対応関係を精度良く特定できなくなるという問題が発生する。
【０００７】
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、プローブで撮像した撮像画像の座標と、照射部を基準とした座標との対応関係を精度良く特定することができる校正用システム、校正治具、校正方法、及び校正用プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様に係る校正用システムは、三次元測定機と、校正治具と、コンピュータとを備えた校正用システムであって、前記三次元測定機は、第１撮像画像を生成する第１撮像部とレーザ光を照射する照射部とを備えるプローブを有し、前記校正治具は、第２撮像画像を生成する第２撮像部と、前記第２撮像部に重ねて設けられ、前記第２撮像部における位置を特定するための指標を有し、入射光の一部を反射するとともに他の一部を通過させる透過板とを有し、前記コンピュータは、前記照射部を制御して前記透過板にレーザ光を照射させる照射制御部と、前記透過板に前記レーザ光が照射された状態で前記第１撮像部が前記透過板を撮像して生成した前記第１撮像画像を取得する第１取得部と、前記透過板に前記レーザ光が照射された状態で前記第２撮像部が生成した前記第２撮像画像を取得する第２取得部と、前記第１撮像画像に写る前記レーザ光の位置及び前記指標の位置と、前記第２撮像画像に写る前記レーザ光の位置及び前記指標の位置とに基づいて、前記第１撮像画像に対応する座標と前記第２撮像画像に対応する座標との関係を特定する特定部とを有する。
【０００９】
前記透過板は、所定の間隔で設けられた複数の前記指標を有していてもよい。
前記第２撮像部及び前記透過板は長方形状であり、前記透過板は、短手方向に延びるスリット状の複数の前記指標を有し、前記照射部は、線状のレーザ光を照射し、前記照射制御部は、前記照射部を制御して前記透過板の長手方向に前記線状のレーザ光を照射させ、前記特定部は、前記第１撮像画像に写る前記線状のレーザ光に対応する複数の位置の座標と、前記第２撮像画像に対応する複数の座標との関係を特定してもよい。
【００１０】
前記コンピュータは、前記校正治具の法線方向に前記プローブを移動させる移動制御部をさらに有し、前記移動制御部は、前記プローブを前記校正治具の法線方向の複数の位置のそれぞれに移動させ、前記照射制御部は、前記複数の位置のそれぞれにおいて前記照射部にレーザ光を照射させ、前記取得部は、前記複数の位置のそれぞれにおいて前記第１撮像画像及び前記第２撮像画像を取得し、前記特定部は、前記複数の位置のそれぞれにおいて前記第１撮像画像に対応する座標と前記第２撮像画像に対応する座標との関係を特定してもよい。
【００１１】
前記指標における入射光の反射率及び透過率は、前記透過板の他の領域における入射光の反射率及び透過率と異なっていてもよい。
前記第２撮像部の画素数は、前記第１撮像部の画素数に比べて多くてもよい。
【００１２】
本発明の第２の態様に係る校正治具は、第１撮像画像を生成する第１撮像部とレーザ光を照射する照射部とを備えるプローブを有する三次元測定機の校正に用いられる校正治具であって、第２撮像画像を生成する第２撮像部と、前記第２撮像部に重ねて設けられ、前記第２撮像部における位置を特定するための指標を有し、入射光の一部を反射するとともに他の一部を通過させる透過板とを有する。
【００１３】
本発明の第３の態様に係る校正方法は、コンピュータが実行する、校正治具を用いた三次元測定機の校正方法であって、前記三次元測定機は、第１撮像画像を生成する第１撮像部とレーザ光を照射する照射部とを備えるプローブを有し、前記校正治具は、第２撮像画像を生成する第２撮像部と、前記第２撮像部に重ねて設けられ、前記第２撮像部における位置を特定するための指標を有し、入射光の一部を反射するとともに他の一部を通過させる透過板とを有し、前記照射部を制御して前記透過板にレーザ光を照射させるステップと、前記透過板に前記レーザ光が照射された状態で前記第１撮像部が前記透過板を撮像して生成した前記第１撮像画像と、前記透過板に前記レーザ光が照射された状態で前記第２撮像部が生成した前記第２撮像画像とを取得するステップと、前記第１撮像画像に写る前記レーザ光の位置及び前記指標の位置と、前記第２撮像画像に写る前記レーザ光の位置及び前記指標の位置とに基づいて、前記第１撮像画像に対応する座標と前記第２撮像画像に対応する座標との関係を特定するステップと、を有する。
【００１４】
本発明の第４の態様に係る校正用プログラムは、校正治具を用いた三次元測定機の校正用プログラムであって、前記三次元測定機は、第１撮像画像を生成する第１撮像部とレーザ光を照射する照射部とを備えるプローブを有し、前記校正治具は、第２撮像画像を生成する第２撮像部と、前記第２撮像部に重ねて設けられ、前記第２撮像部における位置を特定するための指標を有し、入射光の一部を反射するとともに他の一部を通過させる透過板とを有し、コンピュータを、前記照射部を制御して前記透過板にレーザ光を照射させる照射制御部、前記透過板に前記レーザ光が照射された状態で前記第１撮像部が前記透過板を撮像して生成した前記第１撮像画像と、前記透過板に前記レーザ光が照射された状態で前記第２撮像部が生成した前記第２撮像画像とを取得する取得部、及び前記第１撮像画像に写る前記レーザ光の位置及び前記指標の位置と、前記第２撮像画像に写る前記レーザ光の位置及び前記指標の位置とに基づいて、前記第１撮像画像に対応する座標と前記第２撮像画像に対応する座標との関係を特定する特定部、として機能させる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、プローブで撮像した撮像画像の座標と、照射部を基準とした座標との対応関係を精度良く特定することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態に係る校正用システムの構成を示す図である。
【図２】本実施形態に係る校正治具の構成を示す図である。
【図３】本実施形態に係るコンピュータの構成を示す図である。
【図４】本実施形態に係る三次元測定機の校正に係る処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】本実施形態に係る第１撮像画像及び第２撮像画像の一例を示す図である。
【図６】本実施形態に係るｕ座標（ｕｉ）におけるシート光の輝線の強度の変化を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
［校正用システムＳの構成］
図１は、本実施形態に係る校正用システムＳの構成を示す図である。校正用システムＳは、三次元測定機１と、校正治具２と、コンピュータ３とを備え、三次元測定機１の校正に用いられるシステムである。
【００１８】
三次元測定機１は、３軸方向に移動可能なプローブ１１を備える。プローブ１１は、線状のレーザ光（以下、シート光という。）を照射する照射部１１１と、第１撮像画像を生成する撮像部１１２とを備える。
【００１９】
校正治具２は、第２撮像画像を生成する第２撮像部としてのイメージセンサと、透過板とを有する。透過板は、イメージセンサが生成した第２画像に写るシート光ＬＳの位置を特定するための指標を有し、シート光ＬＳの一部を反射させるとともに、他の一部を通過させる。
【００２０】
コンピュータ３は、三次元測定機１及び校正治具２と通信可能に接続されている。校正用システムＳにおいて三次元測定機１の校正を行う場合には、校正治具２を三次元測定機１の測定盤に載置し、照射部１１１に、シート光ＬＳを校正治具２の透過板に照射させる。コンピュータ３は、校正治具２の透過板にシート光ＬＳが照射された状態で撮像部１１２が生成した第１撮像画像及びイメージセンサが生成した第２撮像画像を取得し、第１撮像画像に写るシート光ＬＳの位置及び指標の位置と、第２撮像画像に写るシート光ＬＳの位置及び指標の位置とに基づいて、第１撮像画像に対応する座標と第２撮像画像に対応する座標との関係を特定する。
【００２１】
イメージセンサが撮像する第２撮像画像に対応する座標を、照射部１１１を基準とした座標に対応させることにより、校正用システムＳは、プローブ１１の撮像部１１２で撮像した撮像画像の座標の位置と、照射部１１１を基準とした座標の位置との対応関係を特定することができる。また、第２撮像画像は、校正球を撮像した撮像画像のように系統誤差を含まないことから、プローブ１１の撮像部１１２で撮像した第１撮像画像の座標の位置と、照射部１１１を基準とした座標の位置との対応関係を精度良く特定することができる。
以下、校正用システムＳの詳細な構成を説明する。
【００２２】
［校正治具２の構成］
図２は、本実施形態に係る校正治具２の構成を示す図である。図２（ａ）は、校正治具２の平面図であり、図２（ｂ）は、校正治具２の側面図である。図２（ａ）、（ｂ）に示すように、校正治具２は、イメージセンサ２１と、透過板２２とを有する。
【００２３】
イメージセンサ２１及び透過板２２は、いずれも長方形状である。また、イメージセンサ２１の受光面は平面であるものとする。イメージセンサ２１は、複数の画素を有しており、入射光を検出して第２撮像画像を生成する。ここで、イメージセンサ２１の画素数は、撮像部１１２の画素数に比べて多いものとする。イメージセンサ２１は、生成した第２撮像画像をコンピュータ３に出力する。
【００２４】
透過板２２は、例えば、ハーフミラーやすりガラスによって構成される。透過板２２は、イメージセンサ２１に重ねて設けられており、入射光の一部を反射するとともに他の一部を通過させる。また、透過板２２は、入射光を散乱させて反射するとともに、入射光を散乱させて通過させる。透過板２２は、イメージセンサ２１における位置を特定するための指標２２１を有している。図２（ａ）に示すように、指標２２１は、短手方向に延びるスリット状であり、所定の間隔ｄで複数設けられている。
【００２５】
指標２２１における入射光の反射率及び透過率は、透過板２２の他の領域における入射光の反射率及び透過率と異なる。これにより、撮像部１１２によって生成された第１撮像画像及びイメージセンサ２１によって生成された第２撮像画像では、指標２２１が、シート光が照射される他の領域と異なる態様で表示されるので、撮像画像から指標２２１の位置を特定することができる。
【００２６】
［コンピュータ３の構成］
図３は、本実施形態に係るコンピュータ３の構成を示す図である。図３に示すように、コンピュータ３は、記憶部３１と、制御部３２とを備える。
【００２７】
記憶部３１は、例えばＲＯＭ及びＲＡＭ等である。記憶部３１は、コンピュータ３を機能させるための各種プログラムを記憶する。記憶部３１は、制御部３２を、後述する移動制御部３２１、照射制御部３２２、取得部３２３、及び特定部３２４として機能させる校正用プログラムを記憶する。また、記憶部３１は、制御部３２の制御に応じて、第１撮像画像に対応する座標と第２撮像画像に対応する座標との関係を示す情報を記憶する。
【００２８】
制御部３２は、例えばＣＰＵである。制御部３２は、記憶部３１に記憶されている各種プログラムを実行することにより、コンピュータ３に係る機能を制御する。制御部３２は、移動制御部３２１と、照射制御部３２２と、取得部３２３と、特定部３２４とを備える。以下に、制御部３２の各機能の詳細について、三次元測定機１の校正に係る処理の流れを示すフローチャートを参照しながら説明する。
【００２９】
［校正に係る処理の流れ］
図４は、本実施形態に係る三次元測定機１の校正に係る処理の流れを示すフローチャートである。
まず、三次元測定機１の校正を行う作業者は、校正治具２を三次元測定機１の測定盤に載置する（Ｓ１０）。ここで、校正治具２は、イメージセンサ２１の法線方向が、プローブのＺ軸方向と一致するとともに、照射部１１１から照射されるシート光が透過板２２の長手方向に照射されるように載置されるものとする。また、撮像部１１２の撮像位置が透過板２２の真上から短手方向にずれた位置になるものとする。
【００３０】
続いて、移動制御部３２１は、予め設定されている測定開始位置にプローブ１１を移動させる（Ｓ２０）。なお、移動制御部３２１は、校正治具２の載置位置に基づいて測定開始位置を決定し、当該測定開始位置にプローブ１１を移動させるようにしてもよい。
【００３１】
続いて、照射制御部３２２は、プローブ１１の照射部１１１を制御して、校正治具２の透過板２２にシート光を照射させる（Ｓ３０）。具体的には、照射制御部３２２は、照射部１１１を制御して、透過板２２の長手方向にシート光を照射させる。照射制御部３２２は、シート光が透過板２２の長手方向の両端に照射されるように、シート光を照射させる。
【００３２】
続いて、取得部３２３は、校正治具２の透過板２２にシート光が照射された状態で、プローブ１１の撮像部１１２が透過板２２を撮像して生成した第１撮像画像と、イメージセンサ２１が生成した第２撮像画像とを取得する（Ｓ４０）。例えば、取得部３２３は、照射部１１１がシート光を透過板２２に照射したタイミングで、撮像部１１２に透過板２２を含む領域を撮像させることによって第１撮像画像を生成させ、撮像部１１２から第１撮像画像を取得する。また、取得部３２３は、照射部１１１がシート光を透過板２２に照射したタイミングでイメージセンサ２１に第２撮像画像を生成させ、イメージセンサ２１から第２撮像画像を取得する。
【００３３】
続いて、特定部３２４は、第１撮像画像に写るシート光の位置及び指標２２１の位置と、第２撮像画像に写るシート光の位置及び指標２２１の位置とに基づいて、第１撮像画像に対応する座標と第２撮像画像に対応する座標との関係を特定する（Ｓ５０）。
【００３４】
図５は、本実施形態に係る第１撮像画像及び第２撮像画像の一例を示す図である。図５に示すように、第１撮像画像にはシート光の輝線ＢＬ１が表示されているとともに、第２撮像画像にはシート光の輝線ＢＬ２が表示されている。ここで、第１撮像画像における横方向をｕ軸、縦方向をｖ軸、第２撮像画像における横方向をＸ軸、縦方向をＹ軸とする。
【００３５】
特定部３２４は、第１撮像画像において取りうるｕ座標のそれぞれにおける輝線ＢＬ１の中心位置を示すｖ座標を特定する。例えば、特定部３２４は、ｉ＝０とし、輝線ＢＬ１に基づいて、第１撮像画像における座標（ｕｉ，ｖｉ）を特定する。図６は、ｕ座標（ｕｉ）に対応する輝線の強度を示す図である。特定部３２４は、ｕ座標（ｕｉ）に対応するｖ座標を、輝線の強度が最も強い座標値ｖｉに特定する。これにより、第１撮像画像において一つの座標（ｕｉ，ｖｉ）が特定される。
【００３６】
続いて、特定部３２４は、第１撮像画像に写る複数の指標２２１の位置と、第２撮像画像に写る複数の指標２２１の位置とに基づいて、第２撮像画像から、ｕ座標（ｕｉ）に対応するＸ座標（Ｘｉ）を特定する。また、特定部３２４は、Ｘ座標（Ｘｉ）に対応するＹ座標を、輝線の強度が最も強い座標値Ｙｉに特定する。また、特定部３２４は、プローブ１１の位置に基づいて第２撮像画像に対応するＺ座標を特定する。これにより、第１撮像画像における座標（ｕｉ，ｖｉ）に対応する第２撮像画像上の座標（Ｘｉ，Ｙｉ）及びＺ座標が特定される。
【００３７】
ここで、透過板２２には所定の間隔で複数の指標２２１が設けられていることから、特定部３２４は、第１撮像画像における座標（ｕｉ，ｖｉ）に近い指標２２１に基づいて第２撮像画像上の座標（Ｘｉ，Ｙｉ）を精度良く特定することができる。また、イメージセンサ２１の画素数は、撮像部１１２の画素数に比べて多いことから、第２撮像画像の解像度は第１撮像画像の解像度に比べて高くなる。これにより、第１撮像画像における座標（ｕｉ，ｖｉ）に対応する第２撮像画像上の座標（Ｘｉ，Ｙｉ）を高精度で特定することができる。
【００３８】
特定部３２４は、ｉを１ずつ増加させながら上述の処理を行うことにより、第１撮像画像に写るシート光に対応する複数の位置の座標と、第２撮像画像に対応する複数の座標との関係を特定する。
【００３９】
続いて、移動制御部３２１は、プローブ１１が規定位置まで移動したか否かを判定する。ここで、規定位置は、例えば、プローブ１１がＺ方向に移動したことにより、第１撮像画像に写るシート光の軌跡が、第１撮像画像に写らなくなる位置である。移動制御部３２１は、規定位置まで移動したと判定すると、本フローチャートに係る処理を終了し、規定位置まで移動していないと判定すると、Ｓ７０に処理を移す。
【００４０】
Ｓ７０において、移動制御部３２１は、プローブ１１をＺ方向（イメージセンサ２１の法線方向）に所定量移動させる。プローブ１１をＺ方向に移動させることにより、第１撮像画像に写るシート光の位置は、ｖ軸方向（第１撮像画像における上下方向）に変化する。その後、制御部３２は、Ｓ７０の処理が終了すると、Ｓ３０に処理を移す。
【００４１】
その後、Ｓ３０〜Ｓ７０の処理を繰り返すことにより、校正用システムＳにおいて、移動制御部３２１は、プローブ１１を校正治具２の法線方向の複数の位置のそれぞれに移動させ、照射制御部３２２は、当該複数の位置のそれぞれにおいて照射部１１１にシート光を照射させ、取得部３２３は、当該複数の位置のそれぞれにおいて第１撮像画像及び前記第２撮像画像を取得し、特定部３２４は、当該複数の位置のそれぞれにおいて第１撮像画像に対応する座標と第２撮像画像に対応する座標との関係を特定する。
【００４２】
プローブ１１をＺ方向に移動すると、第１撮像画像に写るシート光の位置がｖ軸方向に変化することから、特定部３２４は、プローブ１１がＺ方向に移動するごとに、第２撮像画像上の座標との対応関係が特定されていない第１撮像画像上の新たな座標において、第２撮像画像上の座標との対応関係を特定することができる。
【００４３】
また、特定部３２４は、プローブ１１をＺ方向に移動させるだけで、第２撮像画像上の座標との対応関係が特定されていない第１撮像画像上の新たな座標において、第２撮像画像上の座標との対応関係を特定することができる。したがって、校正球を用いて第１撮像画像上の座標と第２撮像画像上の座標との対応関係を特定する場合に比べて、第１撮像画像上の座標と第２撮像画像上の座標との対応関係を高速に特定することができる。
【００４４】
［変形例］
なお、上述の実施形態では、照射部１１１は、シート光を透過板２２に照射したが、これに限らない。例えば、照射部１１１は、透過板２２の一点にレーザ光を照射するポイント光を搖動させる走査を行うようにしてもよい。そして、特定部３２４は、ポイント光が照射された状態の第１撮像画像及び第２撮像画像に基づいて、第１撮像画像に対応する座標と第２撮像画像に対応する座標との関係を特定してもよい。
【００４５】
［本実施形態における効果］
以上説明したように、本実施形態に係る校正用システムＳでは、コンピュータ３は、
照射部１１１を制御して透過板２２にレーザ光を照射させる照射制御部３２２と、透過板２２にレーザ光が照射された状態で撮像部１１２が透過板２２を撮像して生成した第１撮像画像と、透過板２２にレーザ光が照射された状態でイメージセンサ２１が生成した第２撮像画像とを取得する取得部３２３と、第１撮像画像に写るレーザ光の位置及び指標の位置と、第２撮像画像に写るレーザ光の位置及び指標の位置とに基づいて、第１撮像画像に対応する座標と第２撮像画像に対応する座標との関係を特定する特定部３２４とを有する。
【００４６】
第２撮像画像は、イメージセンサが生成した画像であり、系統誤差を含まないことから、校正用システムＳは、プローブ１１の撮像部１１２で撮像した撮像画像の座標の位置と、照射部１１１を基準とした座標の位置との対応関係を精度良く特定することができる。
【００４７】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００４８】
１  三次元測定機
１１  プローブ
１１１  照射部
１１２  撮像部
２  校正治具
２１  イメージセンサ
２２  透過板
３  コンピュータ
３１  記憶部
３２  制御部
３２１  移動制御部
３２２  照射制御部
３２３  取得部
３２４  特定部
Ｓ  校正用システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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