(57)【要約】【課題】  該長尺帯のロールとの当接面やロールの外周面に存在する異物を速やかに検知することが可能な異物検知方法を提供する。【解決手段】  少なくとも一方の表面に可視光の透過できない膜が成膜されている長尺帯と、これを好適には１０ｍ／分以下の搬送速度で搬送する搬送機構のロールの外周面との間に存在する異物の検知方法であって、該長尺帯が好適には金属からなる該ロールの外周面に好適には９０°以上１８０°以下の抱き角で巻き付いている時に該長尺帯の表面に可視光を照射し、その反射光を目視又は撮像手段により監視することで異物により生じた該長尺帯の表面の凸状の突起を検知する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の表面に可視光の透過できない膜が成膜されている長尺帯と、これを搬送する搬送機構のロールの外周面との間に存在する異物の検知方法であって、該長尺帯の表面に可視光を照射し、その反射光を目視又は撮像手段により監視することで異物により生じた該長尺帯の表面の凸状の突起を検知することを特徴とする長尺帯の異物検知方法。
【請求項２】
前記ロールの外周面が金属からなり、前記可視光を照射する位置がこの金属からなる外周面に巻き付く場所であることを特徴とする、請求項１に記載の長尺帯の異物検知方法。
【請求項３】
前記巻き付く場所では、前記長尺帯が前記ロールの外周面に９０°以上１８０°以下の抱き角で巻き付いていることを特徴とする、請求項２に記載の長尺帯の異物検知方法。
【請求項４】
前記長尺帯の搬送速度が１０ｍ／分以下であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の長尺帯の異物検知方法。
【請求項５】
前記可視光の透過できない膜が黒化膜であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の長尺帯の異物検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧雰囲気下においてロールツーロール方式で搬送される長尺帯のロールと接する面に存在する異物の確認方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話などの電子機器には、樹脂フィルム上に配線回路が形成されたフレキシブル配線基板が用いられている。このフレキシブル配線基板は、樹脂フィルムの片面若しくは両面に金属膜を成膜することで得た金属化樹脂フィルムの当該金属膜に対して、フォトリソグラフィーやエッチングなどの薄膜技術を適用したパターニング処理を施すことによって作製することができる。近年、電子機器はますます小型化、高機能化しており、これに伴いフレキシブル配線基板には、より微細化、高密度化した配線回路を形成することが求められている。このように、配線回路が微細化、高密度化するとわずかな夾雑物でも電気的な特性に悪影響を及ぼし得るので、夾雑物を含まない高品質な金属化樹脂フィルムが求められている。
【０００３】
上記の金属化樹脂フィルムの製造方法としては、金属箔を接着剤により樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法（３層基板の製造方法）、金属箔に樹脂溶液をコーティングした後、乾燥させて製造する方法（キャスティング法）、樹脂フィルムに真空成膜法単独で、又は真空成膜法と湿式めっき法との併用で金属膜を成膜して製造する方法（メタライジング法）などが知られている。
【０００４】
これらのうち、メタライジング法においては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法などが、真空成膜法として用いられている。例えば、特許文献１には、ポリイミド絶縁層上に酸などに耐食性を有するクロムをスパッタリングしてクロム層を成膜した後、銅をスパッタリングして銅からなる導体層を形成する方法が記載されている。また、特許文献２には、基板上にスパッタリングによりＩＴＯ膜を成膜するＩＴＯ膜スパッタリング装置において、成膜対象物である樹脂フィルム以外に成膜されるのを防ぐため、真空チャンバー内に防着板やシールド板としてプレートやカバー類を取り付け、それらの表面のＩＴＯ膜の付着力を向上させることで、当該プレートやカバー類に付着したＩＴＯ膜の剥離までの時間を従来のものに比べて大幅に延ばす技術が開示されている。
【０００５】
また、特許文献３には、長尺状の樹脂フィルムに真空成膜法で連続的に成膜する装置が開示されている。この装置は、スパッタリングウェブコータと称される巻出巻取式（ロールツーロール方式）の真空スパッタリング装置であり、冷却機構を備えたクーリングロール（キャンロールとも称される）をチャンバー内に有している。このクーリングロールの外周面にロールツーロール方式で搬送される長尺樹脂フィルム基板を巻き付けて冷却しながらメタライジング法のスパッタリング成膜を行うことで、金属化樹脂フィルムを連続的に作製することが可能になる。
【０００６】
ところで、上記のようなロールツーロール方式の真空スパッタリング装置を用いて長尺樹脂フィルムにスパッタリング成膜して金属化樹脂フィルムを製造する場合、成膜対象物の長尺樹脂フィルムの表裏面のうち、真空スパッタリング装置の搬送機構を構成するロールの外周面に接する面（以下、当接面とも称する）に異物が付着することが問題になることがある。
【０００７】
すなわち、減圧雰囲気下のチャンバー内においてロールツーロール方式で搬送される間に長尺樹脂フィルムの当接面に異物が付着すると、長尺樹脂フィルムの異物の付着部分がロールの外周面に巻き付いた時に、該長尺樹脂フィルムにはロールの外周面との間に挟み込まれた異物によって凸状の突起が現れる。このロールが巻取ロールでなければ、異物の付着部分がロールの外周面から離れると凸状の突起が消えて問題にならない場合がある。しかし、このロールが巻取ロールである場合は、異物によって生じた凸状の突起は、その上に重ねて巻き上げられる長尺樹脂フィルムにも同様に現れるうえ、凸状の突起が生じたまま長期間保持されるため、異物を取り除いても凸状の突起の跡が残り、これが原因となって金属化樹脂フィルムの品質に悪影響を及ぼすおそれがある。
【０００８】
しかも、巻取ロールでは長尺樹脂フィルムの表面に生じた突起が小さいと、その上に重ねて巻き上げられたフィルムによって覆い隠されてしまうので、この場合は長尺樹脂フィルムを全て巻き取った後の金属化樹脂フィルムロールの形態での点検では、凸状の突起の存在を見逃す恐れがある。
【０００９】
従って、ロールツーロール方式で連続的に金属化樹脂フィルムを製造する場合は、長尺樹脂フィルムの表面に異物により凸状の突起が現れた時に速やかに検知できることが好ましい。これにより早期に問題を解消することが可能になり、損失を最小限に抑えることが可能になる。特許文献４には、ＰＩフィルム（ポリイミドフィルム）に付着した異物を除去する方法は開示されているが、異物の存在を早期に検知する方法については開示されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平２−９８９９４号公報
【特許文献２】特開平８−３３３６７８号公報
【特許文献３】特開昭６２−２４７０７３号公報
【特許文献４】特開２００９−２２０３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記した従来の搬送装置が抱える問題点に鑑みてなされたものであり、長尺樹脂フィルムなどの長尺帯をロールツーロール方式で搬送しながらスパッタリング成膜などの成膜処理を行う搬送装置において、該長尺帯のロールとの当接面やロールの外周面に存在する異物を速やかに検知することが可能な異物検知方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者は、上記目的を達成するため、長尺帯の搬送条件のほか、ロールの材質や該ロールの外周面に長尺帯が巻き付く角度範囲（抱き角とも称する）、長尺帯の表面に照射する光の照射条件などをも考慮しつつ鋭意検討を重ねた結果、可視光の照射の下、所定の条件で長尺帯を搬送することで異物により生じた凸状の突起を速やかに検出しうることを見出し本発明を完成するに至った。
【００１３】
即ち、本発明の長尺帯の異物検知方法は、少なくとも一方の表面に可視光の透過できない膜が成膜されている長尺帯と、これを搬送する搬送機構のロールの外周面との間に存在する異物の検知方法であって、該長尺帯の表面に可視光を照射し、その反射光を目視又は撮像手段により監視することで異物により生じた該長尺帯の表面の凸状の突起を検知することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、搬送機構で搬送される長尺帯と、該搬送機構を構成するロールの外周面との間に存在する異物を速やかに検知することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の異物検知方法が好適に適用されるロールツーロール方式の真空成膜装置の一具体例を示す正面図である。
【図２】本発明の異物検知方法の対象となる長尺帯の一具体例の断面図である。
【図３】図１の真空成膜装置のロールの外周面に巻き付いている長尺帯に凸状の突起が現れている様子を示す（ａ）正面図及び（ｂ）側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る長尺帯の異物検知方法の一実施形態について説明する。この本発明の一実施形態の長尺帯の異物検知方法は、少なくとも一方の表面に可視光の透過できない膜が成膜されている長尺帯と、これを搬送する搬送機構のロールの外周面との間に存在する異物の検知方法であって、該長尺帯の表面に可視光を照射し、その反射光を目視又は撮像手段により監視することで異物により生じた該長尺帯の表面の凸状の突起を検知するものである。まず、上記の搬送機構の一具体例として、図１に示す真空成膜装置１について説明する。
【００１７】
＜真空成膜装置＞
この図１に示す真空成膜装置１はスパッタリングウェブコータとも称され、真空チャンバー２内において巻出ロール３から巻取ロール１５までロールツーロールで搬送される被成膜基材としての長尺樹脂フィルムＦを、キャンロール７に巻き付けて冷却しながらスパッタリング成膜処理を施す装置であり、これにより金属化樹脂フィルムを連続的に作製することが出来る。
【００１８】
具体的に説明すると、真空チャンバー２には、図示しないドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオコイルなどの種々の真空装置が具備されており、これら真空装置によって真空チャンバー２内を到達圧力１０−４Ｐａ程度まで減圧した後、アルゴンガスや目的に応じて添加される酸素ガスなどのスパッタリングガスを導入することで０.１〜１０Ｐａ程度に圧力調整できるようになっている。真空チャンバー２の形状や材質については、上記減圧状態に耐え得るものであれば特に限定はなく、種々のものを使用することが出来る。
【００１９】
この真空チャンバー２内に、長尺樹脂フィルムＦの搬送機構を構成する各種のロール群が設けられている。すなわち、巻出ロール３からキャンロール７までの搬送経路には、巻出ロール３から巻き出された長尺樹脂フィルムＦを案内するフリーロール４、長尺樹脂フィルムＦの張力の測定を行う張力センサロール５、及び張力センサロール５から送り出される長尺樹脂フィルムＦをキャンロール７に導入するモータ駆動のフィードロール６がこの順に配置されている。
【００２０】
キャンロール７から巻取ロール１５までの搬送経路にも、上記と同様に、キャンロール７の周速度に対する調整を行うモータ駆動のフィードロール１２、長尺樹脂フィルムＦの張力測定を行う張力センサロール１３、及び長尺樹脂フィルムＦを案内するフリーロール１４がこの順に配置されている。
【００２１】
上記巻出ロール３及び巻取ロール１５では、パウダークラッチなどによってトルク制御が行われており、長尺樹脂フィルムＦの張力バランスが保たれている。モータで回転駆動されるキャンロール７は、熱負荷の掛かるスパッタリング成膜により熱せられる長尺樹脂フィルムＦを冷却するため、内部に冷媒が循環している。このキャンロール７の周速度に対して、フィードロール６、１２の回転数が調整されており、キャンロール７の外周面に長尺樹脂フィルムＦを密着させて搬送することが出来る。
【００２２】
キャンロール７の外周面に対向する位置には、長尺樹脂フィルムＦの搬送経路に沿って４個のマグネトロンスパッタリングカソード８、９、１０、１１がこの順に設けられている。これらマグネトロンスパッタリングカソード８〜１１の各々には、キャンロール７の外周面に対向する面にターゲット２１〜２４が取り付けられており、これらターゲットから叩き出されたスパッタ粒子が、長尺樹脂フィルムＦの表面上に堆積して金属膜の生成が行われる。ターゲットから叩き出されたスパッタリング粒子が長尺樹脂フィルムＦの表面以外の部位に堆積するのを防止するため、これらマグネトロンスパッタリングカソード８〜１１とキャンロール７の外周面との間には、遮蔽板（防着部材）１６、１７、１８、１９、２０が設けられている。
【００２３】
次に、本実施形態の異物検知方法が対象とする長尺帯としての金属化樹脂フィルムの具体例について説明する。金属化樹脂フィルムは、例えば、長尺状の絶縁フィルムの少なくとも一方の面上に、シード層及び金属層の順に積層された第１の構造のほか、密着層、金属層、及び黒化層の順に積層された第２の構造などを有している。例えば、図２に示す金属化樹脂フィルムでは、絶縁フィルム５１の片面に、密着層５２、金属層５３、及び黒化層５４がこれらの記載順に積層された導電層５５からなる４層構造となっている。尚、以下の説明においては、成膜前の絶縁フィルムのみならず上記の金属化樹脂フィルムの積層膜が全て成膜される前の中間段階のものを長尺樹脂フィルムと称する場合がある。また、上記の積層膜が全て成膜されているか否かにかかわらず、可視光の透過できない膜が成膜されているフィルムを長尺帯と称する。
【００２４】
＜絶縁フィルム＞
金属化樹脂フィルムの基材となる絶縁フィルムには、長尺のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムやポリイミドフィルムを使用することが出来る。特に、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルム、液晶ポリマー系フィルムなどが好ましい。これらの絶縁フィルムは、フレキシブル配線基板に求められる柔軟性や実用上必要な強度を有し、且つ該フレキシブル配線基板の基材として好適な電気絶縁性を有しているからである。
【００２５】
＜シード層＞
前述した第１の構造の金属化樹脂フィルムを製造する場合は、上記の絶縁フィルムの上に薄膜のシード層を成膜した後、該シード層の上に厚膜の金属層を成膜することが一般的に行われる。このシード層は、ニッケル、クロム、又はそれらの合金などからなり、合金としては例えばインコネル、ニッケル−クロム合金、コンスタンタン、モネルなどを挙げることができる。クロムやニッケル−クロム合金は、耐食金属としても知られている。これら合金の組成は、金属化樹脂フィルムの電気絶縁性や耐マイグレーション性などの所望の特性に応じて適宜定められる。この定められた組成を有する金属を前述したスパッタリングカソードのターゲットに用いることで、この組成を有するシード層が絶縁フィルム上に成膜される。
【００２６】
＜密着層＞
前述した第２の構造の金属化樹脂フィルムを製造する場合は、上記の絶縁フィルムの上に密着層が成膜された後、金属層が成膜される。このように金属層の成膜前に密着層を成膜する理由は、絶縁フィルムと金属層との密着性を高めるためである。すなわち、タッチパネル用のフレキシブル配線基板の様に、黒化処理を行う場合では、金属層を絶縁フィルム上へ直接形成すると、絶縁フィルムと金属層との密着性が十分ではないため、フレキシブル配線基板の使用時に、絶縁フィルムから金属層が剥離することがあるからである。
【００２７】
この密着層は、絶縁フィルム側から入射した光が金属層で反射するのを抑制することができるので、黒化層としても機能させることができる。密着層は、例えば、ニッケル、亜鉛、モリブデン、タンタル、チタン、バナジウム、クロム、鉄、コバルト、タングステン、銅、スズ、及びマンガンからなる群から選択した１種以上の金属、又はこれらの２種以上の金属を含む金属合金からなることが好ましい。この密着層は、更に炭素、酸素、水素、及び窒素からなる群から選択した１種以上の元素を含んでもよい。
【００２８】
＜金属層＞
金属層は上記のシード層や密着層の上に成膜される。この金属層の材質としては銅、ニッケル、クロム、鉄、アルミニウム、銀などの金属若しくはこれらのいずれかの金属元素を主成分とする合金、又はその酸化物、窒化物等の金属化合物などを挙げることができる。これらのうち、金属化合物を成膜する場合は、前述したスパッタリングガスとしてアルゴンなどの不活性ガスに酸素、窒素等を適宜含有させることで、成膜の際の膜質を調整することが出来る。
【００２９】
この金属層として例えば銅層を上記のシード層又は密着層の表面に成膜する場合は、シード層又は密着層のスパッタ成膜を行った真空チャンバー内において引き続きスパッタ成膜することが好ましい。例えば前述した図１の真空成膜装置の場合では、マグネトロンスパッタリングカソード８のターゲット２１にニッケル系合金のターゲットを使用し、マグネトロンスパッタリングカソード９〜１１のターゲット２２〜２４に銅のターゲットを使用することで、ニッケル系合金からなるシード層又は密着層と、その上の銅層とを連続的に成膜することができる。なお、この銅層を膜厚化したい場合は、図１の真空成膜装置などによる乾式めっきの後工程に、湿式めっき法である電解めっき処理や無電解めっき処理を行えばよい。
【００３０】
＜黒化層＞
プラズマディスプレイのタッチパネルなどに用いられるフレキシブル配線基板は、ディスプレイの表面に設置されるため、反射率が低く視認され難いことが要求される。そのため、反射率が低くて視認され難い導電層として黒化層が金属層の上に成膜される。この黒化層は、ニッケル、銅、亜鉛、鉄、スズから選択される１種以上を含有する層とすることができ、ニッケルと銅を含む層であることが特に好ましい。
【００３１】
＜異物検知方法＞
次に、少なくとも一方の表面に可視光の透過できない膜が成膜されている長尺帯と、これを搬送する搬送機構のロールの外周面との間に存在する異物の検知方法について説明する。この異物検知方法は、例えば前述した図１に示すような真空成膜装置１において、上記の長尺樹脂フィルムに対してスパッタリング成膜を行う際に問題となりうる異物（夾雑物）を検知するものであり、減圧雰囲気下においてロールツーロール方式で搬送される長尺帯がロールの外周面に巻き付く場所に可視光を照射し、その反射光を目視又は撮像手段により監視する。これにより異物が該長尺帯と該ロールの外周面とによって挟み込まれた時に該長尺帯の表面に現れる凸状の突起を検知することができる。
【００３２】
このように、ロールの外周面に巻き付いている状態の長尺帯の表面に光を照射した場合、その反射光は長尺帯の表面に凸状の突起が現れると散乱するので強弱や明暗による陰影の変化が生じる。よって、この反射光を監視することで、長尺帯とロールの外周面との間に異物が混入したことを容易に検知することができる。なお、異物がロールの外周面との間で挟み込まれた後の長尺帯の表面に、異物によって生じた凸状の突起の跡が残って消えない場合は、ロールの外周面に巻き付いていない状態の長尺帯に照射して、その反射光を監視してもよい。
【００３３】
上記の検知方法では、長尺帯の少なくとも一方の表面に可視光の透過しない膜が形成されていることを前提条件としている。その理由は、成膜前の長尺樹脂フィルムには、前述したようにポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムやポリイミドフィルム（ＰＩ）などの透明な絶縁フィルムを用いることがあり、この場合は検知のために照射する光のうちの可視光はフィルムに殆ど吸収されず、また、フィルムの表面や内部で反射光による散乱も起こらないので、透過光として殆ど透過してしまうからである。すなわち、透明な絶縁フィルムのままでは反射光の散乱によるコントラストの変化が乏しく、もし絶縁フィルムの表面に異物が存在したとしても、それを検知することは非常に難しい。
【００３４】
これに対して、長尺帯において少なくとも一方の面に可視光の透過しない例えば金属層や黒化層などの膜が形成されていれば、この長尺帯がロールの外周面との間に挟み込んだ異物を覆うようにして変形するので、該長尺帯の表面に凸状の突起が現れる。その結果、この部分に照射した可視光の反射光は凸状の突起により散乱し、目視やカメラなどの撮像手段においてこの凸状の突起を視認することができる。
【００３５】
この異物検知方法は、上記のように目視及びカメラのいずれで監視してもよいが、長尺帯とロールの外周面との間に異物が混入したことを速やかに検知し、その情報を品質管理に反映させたり製造工程にフィードバックしたりするには目視による監視が好ましい。目視で監視する場合は、長尺樹脂フィルムの搬送速度を１０ｍ／分以下にするのが好ましく、５ｍ／分以下にするのがより好ましい。その理由は、人間の目の時間分解能は、およそ５０〜１００ｍｓ程度と言われており、例えば、この時間よりも短い光の点滅は、目視による監視では連続点灯している様に見えてしまう。日常生活で使われている蛍光灯（周波数が６０Ｈｚの場合）の光は、１２０回／秒（約８.３ｍｓ）で点滅しており、即ち、人間の目の時間分解能よりも短い時間で点滅している。つまり、長尺樹脂フィルムの搬送速度が速すぎると人間の目の能力ではその速さに対応し切れず、目視による監視が困難になる。
【００３６】
仮に、長尺樹脂フィルムの搬送速度を１００ｍ／分（約１.７ｍｍ／ｍｓ）としたとき、目視による監視では、フィルム長さ８.５ｃｍ〜１７ｃｍ当たりの平均化された映像にしか捉えられない。これに対し、本発明の実施形態の異物検知方法で対象とする凸状の突起のサイズ、すなわち異物のサイズは、小さいもので１００μｍであり、平均的には３００μｍ以上５００μｍ以下である。このように、確認したい異物（凸状の突起）のサイズは僅か数百μｍなので、搬送速度１００ｍ／分では得られる反射光の強弱や明暗などの情報は薄れてしまう。
【００３７】
上記のように、目視観察では長尺樹脂フィルムを高速で搬送すると異物確認は非常に難しいので、搬送速度１０ｍ／分以下が好ましい。なお、カメラなどの撮像手段では長尺樹脂フィルムの搬送速度が１０ｍ／分を超える場合にも対応できるので、搬送速度１０ｍ／分を超える場合は目視に代えて撮像手段で監視するのが好ましい。あるいは、搬送速度１０ｍ／分以下であっても、目視及びカメラの両方を用いて監視してもよい。撮像手段にカメラを用いる場合は、異物（凸状の突起）のサイズである数百μｍオーダーの検出が可能な解像度を持つものを使用するのが好ましい。撮影したデータは、画像処理ソフトを用いてノイズ除去やコントラスト補正などを行ってもよい。
【００３８】
上記の目視又は撮像手段で監視する位置は、凸状の突起が生じうる長尺帯の表面に可視光を照射してその反射光を監視できる位置であれば特に制約はないが、巻取ロールで巻き取られる前のロールに巻き付いている状態の長尺帯を監視するのが好ましい。巻取ロールで巻き取られる前とする理由は、巻取ロールでは長尺帯が巻き取られるに従って巻取径が次第に大きくなり、安定的に監視するのが困難になるからである。特に、カメラで監視する場合は、小さな異物で生じた凸状の突起の検知のためにはレンズ倍率を大きくしなければならないが、レンズ倍率を大きくすると焦点深度が浅くなるほか、金属化樹脂フィルムが重ねて巻き上げられると、表面からの観察距離が変化して焦点が狂ってしまうので、調整が煩雑になるおそれがある。なお、前述したように、異物による凸状の突起は重ねて巻き上げられた長尺帯にも現れるが、長尺帯の表面に現れた凸状の突起が小さいと、その上に重ねて巻き上げられた長尺帯によって覆い隠されるので、巻取ロールに全て巻き取った後に検査するのは好ましくない。
【００３９】
図１の真空成膜装置１では、巻出側の張力センサロール５及び巻取側の張力センサロール１３の外周面（直径が１０ｃｍ以上１５ｃｍ以下のものが好ましい）に巻き付いている長尺樹脂フィルムＦの表面に光源３０から可視光を照射し、その反射光を目視にて監視している場合が示されている。なお、巻出側の張力センサロール５の外周面に巻き付いた長尺樹脂フィルムＦを監視するのは、真空成膜装置１において長尺帯を逆方向に搬送する場合が考えられるからである。光源３０は真空チャンバー２の内側に設けてもよいが、メンテナンス等を考慮して真空チャンバー２の外側に設けるのが好ましい。また、目視に代えて又は目視と併用して撮像手段を用いる場合においても、撮像手段を真空チャンバー２の外側に設けるのが好ましい。
【００４０】
このように真空チャンバー２の外側から目視又はカメラなどの撮像手段によって監視できるように、張力センサロール５、１３近傍の真空チャンバー２の壁部には覗き窓２ａ、２ｂが設置されている。このように張力センサロール５、１３の近傍に覗き窓２ａ、２ｂを設置する理由は、目視位置又はカメラの設置位置から長尺樹脂フィルムＦの表面までの距離は６０ｃｍ以内が好ましいからである。また、図３に示すように、目視位置又はカメラの設置位置と長尺樹脂フィルムＦの被監視箇所Ｓとを結ぶ直線Ｌ１と、該長尺樹脂フィルムＦの被監視箇所Ｓの法線Ｎとのなす角は６０°以下が好ましいからである。カメラなどの撮像手段を用いる場合は、当該長尺樹脂フィルムＦの被監視箇所において焦点が合う様に倍率を調整することになる。
【００４１】
上記した長尺樹脂フィルムＦの表面の被監視箇所に照射する光は、好適には波長範囲３８０ｎｍ以上７８０ｍｍ以下の可視領域を含むものであればよく、そのような光を照射できる光源３０としては、白熱電球、ハロゲン球、蛍光灯、高輝度放電灯（ＨＩＤ）、電球型ＬＥＤなどを挙げることができる。この光源３０は、図３に示すように、長尺樹脂フィルムＦに現れた凸状の突起Ｅが通過する被監視箇所Ｓと光源３０の設置位置とを結ぶ直線Ｌ２が、該長尺樹脂フィルムＦの被監視箇所Ｓの法線Ｎに関して、前述した目視位置又はカメラの設置位置と長尺樹脂フィルムＦの被監視箇所Ｓとを結ぶ直線Ｌ１の線対称となる位置に設置するのが好ましい。
【００４２】
上記したように、長尺樹脂フィルムＦとロールの外周面との間に挟み込まれた異物によって長尺樹脂フィルムＦの表面に凸状の突起が現れるには、長尺樹脂フィルムＦがロールの外周面に密着していることが好ましく、また、ロールの外周面が金属製やセラミック製などの硬質ロールからなるのが好ましく、金属ロールを用いるのがより好ましい。ロールの外周面がゴムなどの弾性体から形成されている場合は、長尺樹脂フィルムＦとの間に挟み込まれた異物は、ロールの外周面が凹状にへこむことにより埋もれてしまうので良好に検知するのが困難になる。更に、図３に示すように、長尺樹脂フィルムＦがロールの外周面に巻き付いている時のその抱き角Ａは、９０°以上１８０°以下が好ましい。
【００４３】
以上、本発明の長尺帯の異物検知方法の一実施形態について説明したが、本発明は上記の一具体例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に逸脱しない限り他の具体例や変更例を含むものである。すなわち本発明の技術的範囲は特許請求の範囲及びその均等の範囲に及ぶものである。
【実施例】
【００４４】
［実施例１］
長尺の絶縁フィルム（幅５０ｃｍ、長さ３００ｍ）を、図１に示す真空成膜装置を用いてロールツーロールで搬送しながら成膜した。その際、該絶縁フィルムにおいて、金属製の張力センサロール５、１３の外周面に接する側の面の一か所に予め約３００μｍの大きさの異物を付着しておいた。長尺絶縁フィルムの搬送速度は１０ｍ／分、張力センサロール５、１３における抱き角は９０°とし、密着層及び金属層のスパッタリング成膜を３０分間行った。
【００４５】
このスパッタリング成膜の間は、巻取側の覗き窓２ｂの外側から張力センサロール１３の外周面に巻き付いている成膜後の絶縁フィルムの表面を目視にて監視した。具体的には、密着層及び金属層が成膜された長尺絶縁フィルムの表面から３０ｃｍ離れた位置で、かつ被監視箇所Ｓの法線Ｎに対して約３０°傾斜した方向から、異物により生ずる凸状の突起の有無を監視した。その際、ＬＥＤライトを用いて、図３のＬ１とＬ２の関係になるように被監視箇所Ｓの法線Ｎに関して監視方向とは線対称となる方向から可視光を照射しながら目視観察を行った。
【００４６】
［実施例２］
張力センサロール５、１３における抱き角を９０°に代えて１８０°とした以外は実施例１と同様にして異物による凸状の突起の有無を目視にて監視した。
【００４７】
［比較例］
実施例１と同様の条件で成膜を行ったが、密着層及び金属層を成膜する前の絶縁フィルムにおける異物による凸状の突起の有無を監視すべく、巻出側の覗き窓２ａから実施例１と同様の条件で目視にて監視した。作業者Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅの５人によって行われた上記の実施例１、２及び比較例の監視の結果を下記表１に示す。
【００４８】
【表１】
2018162504.tif 000003
【００４９】
上記表１に示すように、実施例１及び２では全員が異物（凸状の突起）を検知することが出来たが、比較例では誰も異物（凸状の突起）を検知することが出来なかった。
【符号の説明】
【００５０】
１    真空成膜装置
２    真空チャンバー
２ａ  覗き窓（巻出側）
２ｂ  覗き窓（巻出側）
３    巻出ロール
４    フリーロール（巻出側）
５    張力センサロール（巻出側）
６    フィードロール（巻出側）
７    キャンロール
８、９、１０、１１    マグネトロンスパッタリングカソード
１２    フィードロール（巻取側）
１３    張力センサロール（巻取側）
１４    フリーロール（巻取側）
１５    巻取ロール
１６、１７、１８、１９、２０    遮蔽板
２１、２２、２３、２４    ターゲット
３０    光源
Ａ      抱き角
Ｅ      凸状の突起
Ｆ      長尺樹脂フィルム
Ｎ      法線
Ｓ      被監視箇所
【図１】
2018162504.tif 000004
【図２】
2018162504.tif 000005
【図３】
2018162504.tif 000006