(57)【要約】【課題】コストを大幅に増加させることなく液体供給領域の外部への液体の落下を防止できる開閉扉を有する装置を提供する。【解決手段】開閉扉を有する装置であって、開閉扉は、第１ヒンジ部材を介して開口部の後端に連結され、開口部の上方側を覆う第１カバー板と、第１カバー板の前方側に第２ヒンジ部材を介して連結され、開口部の前方側を覆う第２カバー板と、からなる扉本体と、扉本体に設けられ、開閉扉を開閉する際にオペレータによって把持される把持部と、を含み、開閉扉を開く際に第２カバー板の下端側が流体供給領域の外部に出ないように第２カバー板の下端側を側壁に沿ってスライドさせるガイド溝が側壁に設けられると共に、ガイド溝に係合するガイド機構が第２カバー板に設けられ、ガイド溝は、第２カバー板の下端より下方で開口部の前方側の一部が露出する中間位置にガイド機構を係止させる段部を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に液体が供給される液体供給領域と、該液体供給領域の外部に向かって飛散する液体を遮断する開閉扉と、を備える開閉扉を有する装置であって、
該流体供給領域は、後方に配置される後壁と、側方に配置される一対の側壁と、で区画されると共に、前方から上方にかけて形成される開口部によって外部へと通じており、
該開閉扉は、
第１ヒンジ部材を介して該開口部の後端に連結され、該開口部の上方側を覆う第１カバー板と、該第１カバー板の前方側に第２ヒンジ部材を介して連結され、該開口部の前方側を覆う第２カバー板と、からなる扉本体と、
該扉本体に設けられ、該開閉扉を開閉する際に把持される把持部と、を含み、
該開閉扉を開く際に該第２カバー板の下端側が該流体供給領域の外部に出ないように該第２カバー板の下端側を該側壁に沿ってスライドさせるガイド溝が該側壁に設けられると共に、該ガイド溝に係合するガイド機構が該第２カバー板に設けられ、
該ガイド溝は、該第２カバー板の下端より下方で該開口部の該前方側の一部が露出する中間位置に該ガイド機構を係止させる段部を有することを特徴とする開閉扉を有する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メンテナンス作業等の際に開閉される開閉扉を有する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状の被加工物を加工等する際に用いられる装置の多くには、液体を供給、使用するために区画された液体供給領域が設けられている。例えば、被加工物を切削する切削装置の液体供給領域には、被加工物や切削ブレード等に対して切削液を供給するためのノズルが設置されている。また、廃液を処理する廃液処理装置の液体供給領域には、廃液を濾過するためのフィルタが収容されている。
【０００３】
上述のような液体供給領域を備える装置の筐体には、液体供給領域へと通ずる開口部が形成されている。装置を稼働させる際には、この開口部を開閉扉で覆うことによって、液体供給領域の内部から外部への液体の飛散を防いでいる。一方で、ノズル調整、フィルタ交換等のメンテナンス作業を実施する際には、この開閉扉を開いて筐体内の液体供給領域にアクセスする。
【０００４】
ところが、このような装置では、開閉扉を開いて液体供給領域へとアクセスする際に、開閉扉に付着した液体が液体供給領域の外部へと落下してしまうことがあった。この問題に対し、開閉扉の内側に飛沫防止板を設けて開閉扉への液体の付着を防ぐことで、液体供給領域の外部への液体の落下を抑制した装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１１６８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、飛沫防止板のような大型の部品を新たに設けると、装置に係るコストが大幅に増加してしまうという問題があった。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、コストを大幅に増加させることなく液体供給領域の外部への液体の落下を防止できる開閉扉を有する装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、内部に液体が供給される液体供給領域と、該液体供給領域の外部に向かって飛散する液体を遮断する開閉扉と、を備える開閉扉を有する装置であって、該流体供給領域は、後方に配置される後壁と、側方に配置される一対の側壁と、で区画されると共に、前方から上方にかけて形成される開口部によって外部へと通じており、該開閉扉は、第１ヒンジ部材を介して該開口部の後端に連結され、該開口部の上方側を覆う第１カバー板と、該第１カバー板の前方側に第２ヒンジ部材を介して連結され、該開口部の前方側を覆う第２カバー板と、からなる扉本体と、該扉本体に設けられ、該開閉扉を開閉する際に把持される把持部と、を含み、該開閉扉を開く際に該第２カバー板の下端側が該流体供給領域の外部に出ないように該第２カバー板の下端側を該側壁に沿ってスライドさせるガイド溝が該側壁に設けられると共に、該ガイド溝に係合するガイド機構が該第２カバー板に設けられ、該ガイド溝は、該第２カバー板の下端より下方で該開口部の該前方側の一部が露出する中間位置に該ガイド機構を係止させる段部を有する開閉扉を有する装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一態様に係る開閉扉を有する装置は、流体供給領域に通ずる開口部の上方側を覆う第１カバー板と、第１カバー板の前方側に連結され開口部の前方側を覆う第２カバー板と、を含む開閉扉を備え、開閉扉を開く際に第２カバー板の下端側が流体供給領域の外部に出ないように、液体供給領域を区画する側壁に沿って第２カバー板の下端側をスライドさせるためのガイド溝が側壁に設けられると共に、ガイド溝に係合するガイド機構が第２カバー板に設けられている。
【０００９】
よって、開閉扉を開く際に、第２カバー板の下端側が流体供給領域の外部に出てしまうことはない。このように、本発明の一態様に係る開閉扉を有する装置では、第１カバー板と第２カバー板とを含むように開閉扉を構成した上で、簡単なガイド溝及びガイド機構を設けるだけで良いので、装置に係るコストを大幅に増加させることなく液体供給領域の外部への液体の落下を防止できる。
【００１０】
また、本発明の一態様に係る開閉扉を有する装置のガイド溝は、第２カバー板の下端より下方で開口部の前方側の一部が露出する中間位置にガイド機構を係止させる段部を有するので、開閉扉を閉じる際に誤って開閉扉を落下させてしまった場合でも、この段部によって、開口部が完全に閉じない状態で開閉扉の落下は止まる。よって、開閉扉によってオペレータ（作業者）の手等が挟まれるのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】廃液処理装置の外観を模式的に示す斜視図である。
【図２】筐体に収容される構成要素の例を模式的に示す図である。
【図３】開口部の近傍の構造を拡大した平面図である。
【図４】開口部の近傍の構造を拡大した断面図である。
【図５】ガイド機構を拡大した平面図である。
【図６】図６（Ａ）は、開閉扉を開く際の各部の状態を示す断面図であり、図６（Ｂ）は、開閉扉が開かれた状態を示す断面図である。
【図７】開閉扉が開かれた状態を示す斜視図である。
【図８】図８（Ａ）は、開閉扉を開く際のガイド機構の移動経路を模式的に示す側面図であり、図８（Ｂ）は、開閉扉を閉じる際のガイド機構の移動経路を模式的に示す側面図である。
【図９】変形例に係るガイド溝の構成例を模式的に示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、半導体ウェーハ等の加工時に発生する廃液を処理するための廃液処理装置の外観を模式的に示す斜視図である。なお、本実施形態では、開閉扉を有する装置として、廃液処理装置を例に挙げて説明するが、本発明に係る装置は、切削装置、研削装置、研磨装置、洗浄装置等でも良い。
【００１３】
図１に示すように、廃液処理装置（開閉扉を有する装置）２は、複数の構成要素が収容、搭載される筐体４を備えている。筐体４は、代表的には、廃液処理装置２を大まかに形作る骨格（不図示）と、骨格を覆う複数のカバー６とで構成される。筐体４の内部には、構成要素を収容するための収容空間が形成されている。
【００１４】
図２は、筐体４に収容される構成要素の例を模式的に示す図である。筐体４の収容空間には、図２に示すように、配管８を通じて切削装置等の加工装置（不図示）に接続される廃液タンク１０が収容されている。この廃液タンク１０は、配管８を通じて加工装置から受け取った廃液を貯留する。
【００１５】
廃液タンク１０の上部には、廃液タンク１０に貯留されている廃液を後段に送り出すための廃液ポンプ１２が設けられている。廃液ポンプ１２によって廃液タンク１０から送り出された廃液は、配管１４、電磁弁１６等を通じて濾過ユニット１８へと供給される。濾過ユニット１８は、廃液タンク１０から供給される廃液を濾過するためのフィルタ２０を備えている。
【００１６】
フィルタ２０の下方には、濾過後の液体（濾液）を受ける濾液受けパン２２が設置されている。この濾液受けパン２２には、配管２４等を介して濾液タンク２６が接続されており、廃液をフィルタ２０で濾過して得られた濾液は、濾液受けパン２２等を通じて濾液タンク２６に貯留される。
【００１７】
なお、濾過ユニット１８へと廃液を供給する配管１４には、廃液の圧力を検出するための圧力センサ２８が設けられている。圧力センサ２８は、制御ユニット（不図示）に接続されており、圧力センサ２８で検出した圧力の情報を含む信号が制御ユニットへと送られる。
【００１８】
制御ユニットは、例えば、圧力センサ２８で検出した廃液の圧力が閾値よりも大きくなると、フィルタ２０の機能が低下していると判断してオペレータ（作業者）にその旨を通知する。このような通知は、警告灯（不図示）の発光（点滅）、通知音の発生、モニタ６４（図１）への表示等の方法で行うことができる。
【００１９】
濾液タンク２６には、貯留されている濾液を後段に送り出すための濾液ポンプ３０が接続されている。濾液ポンプ３０によって濾液タンク２６から送り出された濾液は、配管３２等を通じて純水生成ユニット３４へと供給される。純水生成ユニット３４は、濾液タンク２６から供給される濾液に紫外線（紫外光）を照射するための紫外線光源３６を備えている。
【００２０】
紫外線光源３６から照射される紫外線で殺菌された濾液は、配管３８等を通じて第１イオン交換器４０及び第２イオン交換器４２に供給される。第１イオン交換器４０は、電磁弁４４を介して配管３８に接続されており、第２イオン交換器４２は、電磁弁４６を介して配管３８に接続されている。これら２つの電磁弁４４，４６を制御することで、第１イオン交換器４０及び第２イオン交換器４２の一方に濾液を供給できる。
【００２１】
第１イオン交換器４０又は第２イオン交換器４２に供給された濾液は、第１イオン交換器４０又は第２イオン交換器４２に含まれるイオン交換樹脂でイオン交換され、純水となる。一方で、このような方法により生成される純水には、イオン交換樹脂から発生する微細な樹脂片等の屑が混入していることもある。そこで、第１イオン交換器４０及び第２イオン交換器４２の後段に配管４８を介して接続された精密フィルタ５０でこの屑を除去する。
【００２２】
なお、精密フィルタ５０へと純水を供給する配管４８には、純水の圧力を検出するための圧力センサ５２が設けられている。圧力センサ５２は、制御ユニットに接続されており、圧力センサ５２で検出した圧力の情報を含む信号が制御ユニットへと送られる。制御ユニットは、例えば、圧力センサ５２で検出した純水の圧力が閾値よりも大きくなると、精密フィルタ５０の機能が低下していると判断してオペレータにその旨を通知する。
【００２３】
また、精密フィルタ５０へと純水を供給する配管４８には、純水の比抵抗を検出するための比抵抗計５４が設けられている。比抵抗計５４は、制御ユニットに接続されており、比抵抗計５４で検出した比抵抗の情報を含む信号が制御ユニットへと送られる。制御ユニットは、例えば、比抵抗計５４で検出した純水の比抵抗が閾値よりも低くなると、第１イオン交換器４０又は第２イオン交換器４２の機能が低下していると判断してオペレータにその旨を通知する。
【００２４】
純水生成ユニット３４で生成された純水は、配管５６等を通じて温度調整ユニット５８へと送られる。温度調整ユニット５８で所定の温度に調整された純水は、配管６０等を通じて加工装置に供給される。
【００２５】
図１に示すように、筐体４の上部前面には、制御ユニットへの指示等を入力するための操作パッド６２が設けられている。また、操作パッド６２に隣接する位置には、各種の情報を表示するためのモニタ６４が設置されている。なお、操作パッド６２及びモニタ６４の代わりに、タッチパネル型のモニタ等を設けても良い。
【００２６】
モニタ６４の側方には、収容空間の一部に通ずる開口部４ａが形成されている。開口部４ａ内には、例えば、上述した濾過ユニット１８のフィルタ２０及び濾液受けパン２２が収容される。すなわち、この収容空間の一部は、廃液（液体）をフィルタ２０に供給するための液体供給領域となる。
【００２７】
図３は、開口部４ａの近傍の構造を拡大した平面図であり、図４は、開口部４ａの近傍の構造を拡大した断面図である。なお、図４では、図３の一点鎖線で示す領域を矢印の方向に見た断面を示している。
【００２８】
図３及び図４に示すように、フィルタ２０及び濾液受けパン２２が収容される液体供給領域４ｂは、前方に配置された前壁６６、後方に配置された後壁６８、側方に配置された一対の側壁７０，７２及び上方に配置された天井壁７４によって区画されている。また、液体供給領域４ｂに通ずる開口部４ａは、前壁６６の上端縁、側壁７０，７２の上端縁と前端縁、及び天井壁７４の前端縁によって規定され、液体供給領域４ｂの前方から上方にかけて形成されている。
【００２９】
天井壁７４の前端部（開口部４ａの後端）には、複数（本実施形態では３個）の第１ヒンジ部材７６を介して、平板状の第１カバー板７８が連結されている。第１ヒンジ部材７６は、天井壁７４及び第１カバー板７８の上面側（外面側）に固定されており、第１カバー板７８は、第１ヒンジ部材７６を回転の中心として天井壁７４の上方側に回転する。この第１カバー板７８を閉じることで、開口部４ａの上方側の一部を覆うことができる。
【００３０】
第１カバー板７８の前端部（閉じた状態での前端部）には、複数（本実施形態では３個）の第２ヒンジ部材８０を介して、側面視でＬ字状の第２カバー板８２が連結されている。第２ヒンジ部材８０は、第１カバー板７８及び第２カバー板８２の下面側（内面側）に固定されており、第２カバー板８２は、第２ヒンジ部材８０を回転の中心として第１カバー板７８の下方側に回転する。この第２カバー板８２を閉じることで、開口部４ａの上方側の残りの一部及び開口部４ａの前方側を覆うことができる。
【００３１】
このように、第１カバー板７８と第２カバー板８２とを含む扉本体８４によって、開口部４ａは覆われる。扉本体８４の前面（第２カバー板８２の前面）には、扉本体８４を開閉する際にオペレータによって把持される取手（把持部）８６が設けられている。取手８６と扉本体８４とによって、液体供給領域４ｂの外部へと向かって飛散する液体を遮断するため開閉扉８８が構成される。
【００３２】
第２カバー板８２の側方下端側には、第２カバー板８２の下端側を側壁７０，７２に沿ってスライドさせるための２組のガイド機構９０が設けられている。各ガイド機構９０は、側壁７０，７２の内側に形成されたガイド溝７０ａ，７２ａに係合されている。ガイド溝７０ａ，７２ａは、開口部４ａの縁に沿う態様で形成されており、上方側の位置では概ね前後方向に延び、前方側の位置では概ね鉛直方向（上下方向）に延びている。
【００３３】
より具体的には、ガイド溝７０ａは、上方側の位置で概ね水平方向に延びる第１部分７０ｂと、第１部分７０ｂの前端に接続され、下方に向かって円弧を描くように延びる第２部分７０ｃと、第２部分７０ｃの下端に接続され、後ろ斜め下方に延びる第３部分７０ｄと、を含む。また、ガイド溝７０ａは、第３部分７０ｄの下端に接続される三角形状の第４部分７０ｅを含んでいる。第４部分７０ｅの下端後方側は、概ね直角な段部７０ｆとなっている。
【００３４】
更に、ガイド溝７０ａは、第４部分７０ｅの下端前方側（すなわち、段部７０ｆの前方）に接続され、概ね鉛直方向に延びる第５部分７０ｇを含んでいる。また、三角形状の第４部分７０ｅの中央付近には、開閉扉８８を開く際の前方側の経路と閉じる際の後方側の経路とを分けるための三角形状の仕切り部７０ｈが配置されている。なお、図４では、側壁７０側のガイド溝７０ａのみを示しているが、側壁７２側のガイド溝７２ａの構造も概ね同様（ガイド溝７０ａに対して概ね対称）である。
【００３５】
図５は、ガイド機構９０を拡大した平面図である。なお、図５では、側壁７２側のガイド機構９０を示しているが、側壁７０側のガイド機構９０の構造も同様（側壁７２側のガイド機構９０に対して概ね対称）である。図５に示すように、側壁７２側のガイド機構９０は、金属、樹脂等の材料でなる支持構造９２を備えている。この支持構造９２は、第２カバー板８２の前面に螺子９４等で固定される固定部９２ａを含む。
【００３６】
固定部９２ａの側壁７２側（側壁７０側のガイド機構９０では側壁７０側、以下同様）には、側壁７２（又は側壁７０）に対して概ね平行な支持部９２ｂが設けられている。この支持部９２ｂの側壁７２（又は側壁７０）側には、側壁７２（又は側壁７０）に対して概ね垂直な方向に伸びる支持軸９６が固定されている。
【００３７】
支持部９２ｂに形成された貫通孔に側壁７２（又は側壁７０）側から支持軸９６を挿入した上で、この支持軸９６に側壁７０（又は側壁７２）側からナット９８を締め込むことで、支持軸９６は支持部９２ｂに固定される。支持軸９６には、ガイド溝７２ａ（又はガイド溝７０ａ）に係合するガイドローラー１００が取り付けられている。
【００３８】
ガイドローラー１００は、支持軸９６によって支持されるベアリング１０２と、ベアリング１０２の外周部に設けられた金属製の円筒部材１０４とで構成されており、支持軸９６の周りに回転する。そのため、ガイドローラー１００をガイド溝７２ａ（又はガイド溝７０ａ）に係合した状態で、第２カバー板８２の下端部を側壁７２（又は側壁７０）のガイド溝７２ａ（又はガイド溝７０ａ）に沿ってスライドさせることができる。
【００３９】
ここで、ガイド溝７０ａ，７２ａは、開閉扉８８を開く際に、第２カバー板８２の下端側が流体供給領域４ｂの外部前方へとはみ出ないような位置、形状に形成されている。よって、開閉扉８８を開いても、第２カバー板８２に付着した液体が流体供給領域４ｂの外部前方に落下することはない。
【００４０】
図６（Ａ）は、開閉扉８８を開く際の各部の状態を示す断面図である。開閉扉８８を開く際には、まず、オペレータが取手８６を把持して上方に引き上げる。その結果、図６（Ａ）に示すように、第２カバー板８２の下端部は、ガイド溝７０ａ，７２ａの前部（例えば、第５部分７０ｇ、第４部分７０ｅ、第３部分７０ｄ）に沿って上方に移動する。そのため、第２カバー板８２の下端側が流体供給領域４ｂの外部前方にはみ出ることはない。
【００４１】
図６（Ｂ）は、開閉扉８８が開かれた状態を示す断面図であり、図７は、開閉扉８８が開かれた状態を示す斜視図である。取手８６を上方に引き上げた後には、図６（Ｂ）及び図７に示すように、取手８６を後方に押し込む。その結果、第２カバー板８２の下端部は、ガイド溝７０ａ，７２ａの上部（例えば、第２部分７０ｃ、第１部分７０ｂ）に沿って後方に移動する。この場合にも、第２カバー板８２の下端側が流体供給領域４ｂの外部前方にはみ出てしまうことはない。
【００４２】
なお、第１カバー板７８は、第１ヒンジ部材７６が谷折りされるように回転し、第２カバー板８２は、第２ヒンジ部材８０が山折りされるように回転する。つまり、第１カバー板７８及び第２カバー板８２は、流体供給領域４ｂの上方に突出する態様で折り畳まれることになる。その結果、第１カバー板７８及び第２カバー板８２に付着した液体は、開口部４ａを通じて、下方に位置する流体供給領域４ｂへと落下する。
【００４３】
また、上述のように、第２カバー板８２の下端側は、流体供給領域４ｂの外部前方にはみ出ないように側壁７０，７２に沿ってスライドするので、第２カバー板８２に付着した液体が流体供給領域４ｂの外部前方に落下することもない。
【００４４】
図８（Ａ）は、開閉扉８８を開く際の側壁７０側のガイド機構９０の移動経路を模式的に示す側面図であり、図８（Ｂ）は、開閉扉８８を閉じる際の側壁７０側のガイド機構９０の移動経路を模式的に示す側面図である。
【００４５】
図８（Ａ）に示すように、開閉扉８８を開く際には、側壁７０側のガイド機構９０は、ガイド溝７０を、第５部分７０ｇ、第４部分７０ｅ、第３部分７０ｄ、第２部分７０ｃ、及び第１部分７０ｂの順に移動し、第１部分７０ｂの後端に突き当てられる。この時、ガイド機構９０は、第５部分７０ｇを通過する際の慣性によって、仕切り部７０ｈで仕切られる第４部分７０ｅの前方側の経路を通過することになる。
【００４６】
一方で、図８（Ｂ）に示すように、開閉扉８８を閉じる際には、側壁７０側のガイド機構９０は、第１部分７０ｂ、第２部分７０ｃ、第３部分７０ｄ、第４部分７０ｅの順に移動し、段部７０ｆに突き当てられる。すなわち、ガイド機構９０は、後ろ斜め下方に延びる第３部分７０ｄを通過する際の慣性によって、仕切り部７０ｈで仕切られる第４部分７０ｅの後方側の経路を通過することになる。
【００４７】
そのため、開閉扉８８を閉じる際に誤って開閉扉８８を落下させてしまった場合でも、この段部７０ｆによって、開口部４ａが完全に閉じない状態で開閉扉８８の落下は止まる。よって、開閉扉８８によってオペレータの手等が挟まれるのを防止できる。このように、段部７０ｆは、第２カバー板８２の下端より下方で開口部４ａの前方側の一部が露出する位置（中間位置）にガイド機構９０を係止させる機能を有している。
【００４８】
側壁７０側のガイド機構９０が段部７０ｆに突き当てられた後には、取手８６を前方に引き出してガイド機構９０を第５部分７０ｇに沿って下方に移動させる。ガイド機構９０を第５部分７０ｇの下端に突き当てることで、開閉扉８８が完全に閉じられる。なお、側壁７２側のガイド機構９０の移動経路も同様（対称）である。
【００４９】
以上のように、本実施形態に係る廃液処理装置（開閉扉を有する装置）２は、流体供給領域４ｂに通ずる開口部４ａの上方側を覆う第１カバー板７８と、第１カバー板７８の前方側に連結され開口部４ａの前方側を覆う第２カバー板８２と、を含む開閉扉８８を備え、開閉扉８８を開く際に第２カバー板８２の下端側が流体供給領域４ｂの外部に出ないように、液体供給領域４ｂを区画する側壁７０，７２に沿って第２カバー板８２の下端側をスライドさせるためのガイド溝７０ａ，７２ａが側壁７０，７２に設けられると共に、ガイド溝７０ａ，７２ａに係合するガイド機構９０が第２カバー板８２に設けられている。
【００５０】
よって、開閉扉８８を開く際に、第２カバー板８２の下端側が流体供給領域４ｂの外部に出てしまうことはない。このように、本実施形態に係る廃液処理装置２では、第１カバー板７８と第２カバー板８２とを含むように開閉扉８８を構成した上で、簡単なガイド溝７０ａ，７２ａ及びガイド機構９０を設けるだけで良いので、廃液処理装置２に係るコストを大幅に増加させることなく液体供給領域４ｂの外部への液体の落下を防止できる。
【００５１】
また、本実施形態に係る廃液処理装置２のガイド溝７０ａ，７２ａは、第２カバー板８２の下端より下方で開口部４ａの前方側の一部が露出する中間位置にガイド機構９０を係止させる段部７０ｆを有するので、開閉扉８８を閉じる際に誤って開閉扉８８を落下させてしまった場合でも、この段部７０ｆによって、開口部４ａが完全に閉じない状態で開閉扉８８の落下は止まる。よって、開閉扉８８によってオペレータ（作業者）の手等が挟まれるのを防止できる。
【００５２】
なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、フィルタ２０及び濾液受けパン２２が収容される液体供給領域４ｂについて説明したが、液体供給領域の態様に制限はない。
【００５３】
また、上記実施形態では、ガイド溝７０ａに仕切り部７０ｈを設けているが、この仕切り部７０ｈを省略することもできる。図９は、変形例に係るガイド溝７０ａの構成例を模式的に示す側面図である。上述のように、開閉扉８８を開閉する際には慣性が働く。よって、この慣性を利用することで、仕切り部７０ｈを設けなくても、開閉扉８８を開く際のガイド機構の移動経路と、開閉扉８８を閉じる際のガイド機構の移動経路とを分けることができる。
【００５４】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００５５】
２  廃液処理装置（開閉扉を有する装置）
４  筐体
４ａ  開口部
４ｂ  液体供給領域
６  カバー
８  配管
１０  廃液タンク
１２  廃液ポンプ
１４  配管
１６  電磁弁
１８  濾過ユニット
２０  フィルタ
２２  濾液受けパン
２４  配管
２６  濾液タンク
２８  圧力センサ
３０  濾液ポンプ
３２  配管
３４  純水生成ユニット
３６  紫外線光源
３８  配管
４０  第１イオン交換器
４２  第２イオン交換器
４４，４６  電磁弁
４８  配管
５０  精密フィルタ
５２  圧力センサ
５４  比抵抗計
５６  配管
５８  温度調整ユニット
６０  配管
６２  操作パッド
６４  モニタ
６６  前壁
６８  後壁
７０，７２  側壁
７０ａ，７２ａ  ガイド溝
７０ｂ  第１部分
７０ｃ  第２部分
７０ｄ  第３部分
７０ｅ  第４部分
７０ｆ  段部
７０ｇ  第５部分
７０ｈ  仕切り部
７４  天井壁
７６  第１ヒンジ部材
７８  第１カバー板
８０  第２ヒンジ部材
８２  第２カバー板
８４  扉本体
８６  取手（把持部）
８８  開閉扉
９０  ガイド機構
９２  支持構造
９２ａ  固定部
９２ｂ  支持部
９４  螺子
９６  支持軸
９８  ナット
１００  ガイドローラー
１０２  ベアリング
１０４  円筒部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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