(57)【要約】【課題】光ファイバを用いずに、物体の有無を検出する。【解決手段】送信信号を変換した光を発光する複数の発光素子１０１と、光を受光する単一の受光素子１０２と、発光素子１０１毎に設けられ、送信信号を伝送し、発光素子１０１に出力する信号伝送ケーブル１０３と、受光素子１０２により受光された光を示す受信信号を伝送する信号伝送ケーブル１０４と、送信信号の出力を行う信号伝送ケーブル１０３を選択する選択部１０８３と、送信信号を生成する信号生成部１０８４と、選択された信号伝送ケーブル１０３に生成された送信信号を出力する切替え部１０６と、信号伝送ケーブル１０４により伝送された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する物体検出部１０８６とを備えた。【選択図】図１
2018124138.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力された送信信号を変換した光を発光する複数の発光素子と、
光を受光する単一の受光素子と、
前記発光素子毎に設けられ、入力された送信信号を伝送し、一端に接続された前記発光素子に出力する第１信号伝送ケーブルと、
一端に接続された前記受光素子により受光された光を示す受信信号を伝送する第２信号伝送ケーブルと、
送信信号の出力を行う前記第１信号伝送ケーブルを選択する選択部と、
送信信号を生成する信号生成部と、
前記選択部により選択された前記第１信号伝送ケーブルに前記信号生成部により生成された送信信号を出力する切替え部と、
前記第２信号伝送ケーブルにより伝送された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する物体検出部と
を備えた物体検出センサ。
【請求項２】
前記選択部は、予め設定された時間間隔で、送信信号の出力を行う前記第１信号伝送ケーブルを切替えながら選択する
ことを特徴とする請求項１記載の物体検出センサ。
【請求項３】
前記信号生成部は、前記選択部により選択された前記第１信号伝送ケーブルに基づいて、当該第１信号伝送ケーブルに固有なビット列から成る送信信号を生成する
ことを特徴とする請求項１記載の物体検出センサ。
【請求項４】
前記選択部により選択された前記第１信号伝送ケーブルに基づいて、前記信号生成部により生成された送信信号を増幅するアンプ部を備えた
ことを特徴とする請求項１記載の物体検出センサ。
【請求項５】
前記第２信号伝送ケーブルにより伝送された受信信号又は前記物体検出部により検出された物体の有無を示す表示を行う表示部を備えた
ことを特徴とする請求項１記載の物体検出センサ。
【請求項６】
入力された送信信号を変換した光を発光する単一の発光素子と、
光を受光する複数の受光素子と、
入力された送信信号を伝送し、一端に接続された前記発光素子に出力する第１信号伝送ケーブルと、
前記受光素子毎に設けられ、一端に接続された前記受光素子により受光された光を示す受信信号を伝送する第２信号伝送ケーブルと、
受信信号の入力を行う前記第２信号伝送ケーブルを選択する選択部と、
送信信号を生成して前記第１信号伝送ケーブルに出力する信号生成部と、
前記選択部により選択された前記第２信号伝送ケーブルにより伝送された受信信号を入力する切替え部と、
前記切替え部により入力された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する物体検出部と
を備えた物体検出センサ。
【請求項７】
前記選択部は、予め設定された時間間隔で、受信信号の入力を行う前記第２信号伝送ケーブルを切替えながら選択する
ことを特徴とする請求項６記載の物体検出センサ。
【請求項８】
前記切替え部により入力された受信信号又は前記物体検出部により検出された物体の有無を示す表示を行う表示部を備えた
ことを特徴とする請求項６記載の物体検出センサ。
【請求項９】
前記選択部、前記信号生成部、前記切替え部及び前記物体検出部は本体部に搭載され、
前記第１信号伝送ケーブル及び前記第２信号伝送ケーブルは、他端が前記本体部に対して着脱可能である
ことを特徴とする請求項１又は請求項６記載の物体検出センサ。
【請求項１０】
前記発光素子は前記第１信号伝送ケーブルの一端に対して着脱可能である
ことを特徴とする請求項１又は請求項６記載の物体検出センサ。
【請求項１１】
前記受光素子は前記第２信号伝送ケーブルの一端に対して着脱可能である
ことを特徴とする請求項１又は請求項６記載の物体検出センサ。
【請求項１２】
前記物体検出部により検出された物体の有無を示す信号を外部装置に送信し、外部装置により送信された信号を受信する通信部を備えた
ことを特徴とする請求項１又は請求項６記載の物体検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、物体の有無を検出する物体検出センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば半導体装置等の製造ライン上を流れる物体（部品又は製品等）を検出するため、複数の光電センサを連結して用いている。また、光電センサの設置箇所が狭い場合、光ファイバを用いた光ファイバ型光電センサが用いられる（例えば特許文献１参照）。この光ファイバ型光電センサでは、発光素子により発光された光を光ファイバで導いて検出領域に照射し、検出領域を通過した光を光ファイバで受光素子まで導き、物体の有無を検出する。この光ファイバ型光電センサを用いることで、通常の光電センサでは設置できない狭い箇所であっても光ファイバを設置可能であり、物体検出が可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１０６５２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、通常、光ファイバは直線のまま使用されるのではなく、設置箇所に応じて折り曲げられて使用される。そのため、光ファイバの断線や光量の変動が生じ、正確に物体検出ができないという課題があった。
【０００５】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、光ファイバを用いずに、物体の有無を検出できる物体検出センサを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係る物体検出センサは、入力された送信信号を変換した光を発光する複数の発光素子と、光を受光する単一の受光素子と、発光素子毎に設けられ、入力された送信信号を伝送し、一端に接続された発光素子に出力する第１信号伝送ケーブルと、一端に接続された受光素子により受光された光を示す受信信号を伝送する第２信号伝送ケーブルと、送信信号の出力を行う第１信号伝送ケーブルを選択する選択部と、送信信号を生成する信号生成部と、選択部により選択された第１信号伝送ケーブルに信号生成部により生成された送信信号を出力する切替え部と、第２信号伝送ケーブルにより伝送された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する物体検出部とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
この発明によれば、上記のように構成したので、光ファイバを用いずに、物体の有無を検出できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】この発明の実施の形態１に係る物体検出センサの構成例を示す図である。
【図２】この発明の実施の形態１における制御部の構成例を示す図である。
【図３】図３Ａ、図３Ｂは、この発明の実施の形態１における発光素子と信号伝送ケーブルとの接続方法の一例を示す斜視図であり、図３Ａは光学レンズ及び被膜部を取除いた状態を示す図であり、図３Ｂは外観を示す図である。
【図４】この発明の実施の形態１における信号伝送ケーブルと切替え部との接続方法の一例を説明する図である。
【図５】この発明の実施の形態１における信号生成部により生成されて出力される送信信号の一例を示す図である。
【図６】この発明の実施の形態１における受光素子による受光結果の一例を示す図である。
【図７】この発明の実施の形態１における表示部による表示例を示す図である。
【図８】この発明の実施の形態２に係る物体検出センサの構成例を示す図である。
【図９】この発明の実施の形態２における制御部の構成例を示す図である。
【図１０】この発明の実施の形態３に係る物体検出センサシステムの構成例を示す図である。
【図１１】この発明の実施の形態３における制御部の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１に係る物体検出センサ１の構成例を示す図である。
物体検出センサ１は、例えば半導体装置等の製造ライン上を流れる物体（部品又は製品等）の有無を検出する。以下では、物体検出センサ１が透過形である場合を示す。この物体検出センサ１は、図１に示すように、複数の発光素子１０１、単一の受光素子１０２、複数の信号伝送ケーブル（第１信号伝送ケーブル）１０３、単一の信号伝送ケーブル（第２信号伝送ケーブル）１０４及び本体部１０５を備えている。また、本体部１０５には、切替え部１０６、アンプ部１０７、制御部１０８、通信部１０９及び表示部１１０が搭載されている。図１では、Ｎ系統の発光素子１０１（１０１−１〜１０１−Ｎ）及び信号伝送ケーブル１０３（１０３−１〜１０３−Ｎ）を備えた場合を示している。
【００１０】
発光素子１０１は、当該発光素子１０１が接続された信号伝送ケーブル１０３により伝送された送信信号に応じ、当該送信信号を変換した光を発光するチップＬＥＤ又はフォトＩＣ等のセンサ素子である。また必要に応じて、チップ抵抗又は保護ダイオード等も接続される。なお、各発光素子１０１は、物体の有無を検出する検出領域を挟んで、単一の受光素子１０２の方向を向いて配置される。
【００１１】
受光素子１０２は、光を受光するフォトダイオード等のセンサ素子である。また必要に応じて、チップ抵抗又は保護ダイオード等も接続される。この受光素子１０２により受光された光を示す受信信号は、当該受光素子１０２が接続された信号伝送ケーブル１０４に出力される。受信信号は電流又は電圧の値の変化から成る。
【００１２】
信号伝送ケーブル１０３は、発光素子１０１毎に設けられ、一端に発光素子１０１が接続され、他端が切替え部１０６（本体部１０５）に接続される。信号伝送ケーブル１０３は、信号ライン１０３１、グランドライン１０３２、及び、信号ライン１０３１及びグランドライン１０３２を被膜する絶縁体１０３３を有している（図３参照）。また必要に応じて、電源ライン（不図示）も追加される。この信号伝送ケーブル１０３は、切替え部１０６により出力された送信信号を伝送して発光素子１０１に出力する。送信信号は電流又は電圧の値の変化から成る。
【００１３】
信号伝送ケーブル１０４は、一端に受光素子１０２が接続され、他端がアンプ部１０７（本体部１０５）に接続される。信号伝送ケーブル１０４は、信号ライン１０４１（不図示）、グランドライン１０４２（不図示）、及び、信号ライン１０４１及びグランドライン１０４２を被膜する絶縁体１０４３（不図示）を有している。この信号伝送ケーブル１０４は、受光素子１０２により受光された光を示す受信信号を伝送してアンプ部１０７に出力する。
【００１４】
切替え部１０６は、制御部１０８の後述する選択部１０８３により選択された信号伝送ケーブル１０３に対し、制御部１０８の後述する信号生成部１０８４により生成されてアンプ部１０７により増幅された送信信号を出力する。
【００１５】
アンプ部１０７は、選択部１０８３により選択された信号伝送ケーブル１０３に基づいて、信号生成部１０８４により生成された送信信号を増幅する。このとき、アンプ部１０７は、電圧である送信信号を電流に変換する場合もある。なお、アンプ部１０７における信号伝送ケーブル１０３毎の増幅量は、ＰＣ等により、発光素子１０１及び受光素子１０２の位置関係に基づいて適切な値に設定される。このアンプ部１０７により増幅された送信信号は、切替え部１０６に出力される。また、アンプ部１０７は、信号伝送ケーブル１０４により伝送された受信信号をフィルタリング等でノイズを除去した後に増幅する。このとき、アンプ部１０７は、電流である受信信号を電圧に変換する場合もある。このアンプ部１０７により増幅された受信信号は、制御部１０８に出力される。アンプ部１０７は、主にアナログ回路で構成される。
【００１６】
制御部１０８は、切替え部１０６、アンプ部１０７、通信部１０９及び表示部１１０を制御する。この制御部１０８は、システムＬＳＩ等の処理回路や、メモリ等に記憶されたプログラムを実行するＣＰＵ等により実現される。制御部１０８は、図２に示すように、記憶部１０８１、モード設定部１０８２、選択部１０８３、信号生成部１０８４、信号復調部１０８５及び物体検出部１０８６を備えている。
【００１７】
記憶部１０８１は、信号生成部１０８４で用いるビット列を構成するための情報を格納する。例えば、記憶部１０８１は、上記情報として、各信号伝送ケーブル１０３のＩＤを示す情報を格納する。また、記憶部１０８１は、上記情報に代えて、信号伝送ケーブル１０３毎に異なるビット列そのものを示す情報を格納してもよい。なお、記憶部１０８１は必須の構成ではなく、制御部１０８から取り除いてもよい。
【００１８】
モード設定部１０８２は、物体検出センサ１を使用する使用者による入力に応じ、物体検出センサ１の運用モードを調整モード又は通常モードに設定する。
調整モードは、発光素子１０１及び受光素子１０２の位置決めを行うためのモードである。この調整モードでは、制御部１０８は、ある特定の発光素子１０１の位置決めが完了するまでは、当該発光素子１０１に接続された信号伝送ケーブル１０３のみに送信信号を出力し続けるように切替え部１０６を制御する。
通常モードは、検出領域における物体の有無を検出するためのモードである。この通常モードでは、制御部１０８は、予め設定されたタイミング及び順序で、対象とする信号伝送ケーブル１０３を１つずつ選択して当該信号伝送ケーブル１０３に送信信号を出力するように切替え部１０６を制御する。
【００１９】
選択部１０８３は、送信信号の出力を行う信号伝送ケーブル１０３を選択する。
物体検出センサ１が調整モードの場合には、選択部１０８３は、ある特定の信号伝送ケーブル１０３を選択する。また、上記信号伝送ケーブル１０３に接続された発光素子１０１の位置決めが完了した場合には、選択部１０８３は、次の信号伝送ケーブル１０３に切替える。
また、物体検出センサ１が通常モードの場合には、選択部１０８３は、予め設定された時間間隔及び順序で、１つずつ信号伝送ケーブル１０３を切替えながら選択する。Ｎ個の信号伝送ケーブル１０３の切替えは、例えば１つの信号伝送ケーブル１０３に対して１ｍｓの選択時間を設け、信号伝送ケーブル１０３を介して発光素子１０１を発光させる時間を０．３ｍｓ程度とすること等が考えられる。信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４のケーブル長さが数ｍである場合、ケーブル長さ１ｍに対して数ｎｓの伝搬遅延時間が発生する程度であるため、発光時間に対して選択時間に余裕を持たせることができる。
なお上記では、選択部１０８３は、予め設定された時間間隔及び順序で、信号伝送ケーブル１０３を切替えるものとした。しかしながら、これに限らず、選択部１０８３は、選択した１つの信号伝送ケーブル１０３を用いて物体の検知ができた時点で次の信号伝送ケーブル１０３を選択するようにしてもよい。
この選択部１０８３により選択された信号伝送ケーブル１０３を示す信号は、信号生成部１０８４、切替え部１０６及びアンプ部１０７に出力される。
【００２０】
信号生成部１０８４は、送信信号を生成する。この信号生成部１０８４により生成された送信信号は、アンプ部１０７に出力される。
また、受光素子１０２が外乱光の存在する場所に設置される場合や、受光素子１０２により受光された光の発光元である発光素子１０１を特定する必要がある場合には、送信信号を信号伝送ケーブル１０３毎に固有な信号としてもよい。すなわち、信号生成部１０８４は、選択部１０８３により選択された信号伝送ケーブル１０３に基づいて、送信信号として、当該信号伝送ケーブル１０３に固有なビット列から成る数ビットのオンオフ信号を生成する。この際、例えば、制御部１０８に記憶部１０８１が設けられている場合には、信号生成部１０８４は、当該記憶部１０８１に格納された情報から得られたビット列で変調を掛けることで、上記オンオフ信号を生成可能である。また、上記ビット列は、ＣＲＣ（Ｃｙｃｌｉｃ  Ｒｅｄｕｎｄａｎｃｙ  Ｃｈｅｃｋ）等の誤り検出符号を付加して構成してもよい。
【００２１】
信号復調部１０８５は、アンプ部１０７により増幅された受信信号を復調する。この際、信号復調部１０８５は、アンプ部１０７により増幅された受信信号のビット列を、信号生成部１０８４で送信信号を生成する際に用いたビット列と比較する。そして、信号復調部１０８５は、両方のビット列が完全に一致又はある一定以上の割合で一致している場合に、当該送信信号の出力先である発光素子１０１を発光元と判断する。この信号復調部１０８５により復調された（発光素子１０１が発光元と判断された）受信信号は、物体検出部１０８６に出力される。また、信号生成部１０８４と信号復調部１０８５は、互いに同期をとっており、信号生成部１０８４が送信信号を出力した後、所定時間内に信号復調部１０８５で当該送信信号に対応する受信信号が検出されない場合には、その旨を物体検出部１０８６に通知する。なお、送信信号を信号伝送ケーブル１０３毎に固有な信号としない場合には、信号復調部１０８５は不要であり、制御部１０８から取り除いてもよい。この場合、物体検出部１０８６が選択部１０８３の選択した信号伝送ケーブル１０３を特定できればよい。
【００２２】
物体検出部１０８６は、物体検出センサ１が通常モードの場合において、信号復調部１０８５により復調された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する。すなわち、物体検出部１０８６は、信号復調部１０８５により復調された受信信号に基づいて、受光レベルが閾値以下であると判断した場合に、検出領域に透明体等の物体が有ると判断する。また、信号復調部１０８５により該当する受信信号が検出されないと通知された場合には、検出領域に物体が有ると判断する。この物体検出部１０８６により検出された物体の有無を示す信号は、通信部１０９又は表示部１１０のうちの少なくとも一方に出力される。
なお、制御部１０８は、物体検出センサ１が調整モードの場合には、信号復調部１０８５により出力された受信信号をそのまま表示部１１０に出力する。
【００２３】
通信部１０９は、外部装置との間で通信を行う。なお、通信部１０９と外部装置との間の接続は、有線（ＲＳ−４８５又はイーサネット等）でも無線でもよい。この通信部１０９は、制御部１０８により出力された信号を外部装置に送信し、また、外部装置により送信された信号を受信する。
【００２４】
表示部１１０は、制御部１０８により出力された信号に応じた表示を行う。ここで、表示部１１０は、制御部１０８により受信信号が出力された場合には、当該受信信号が示す光の受光レベルを表示する。また、表示部１１０は、制御部１０８の物体検出部１０８６により物体の有無を示す信号が出力された場合には、当該物体の有無を表示する。
【００２５】
次に、発光素子１０１と信号伝送ケーブル１０３との接続方法の一例について、図３を参照しながら説明する。
発光素子１０１と信号伝送ケーブル１０３は、図３に示すように、配線が成された回路基板１１１を介して導通されている。すなわち、発光素子１０１は回路基板１１１上にはんだ付け又は接合により接続され、信号伝送ケーブル１０３は信号ライン１０３１及びグランドライン１０３２の一端が回路基板１１１上にはんだ付け又は接合により接続されている。また、発光素子１０１の上部には、光学レンズ１１２が装着される。なお、光学レンズ１１２としては、挟角の光を放つレンズが望ましい。また、発光素子１０１、信号伝送ケーブル１０３の一端及び回路基板１１１は、被膜部１１３により覆われる。
【００２６】
なお、発光素子１０１と信号伝送ケーブル１０３との接続は上記に限らない。例えば、市販のコネクタのオス側に発光素子１０１が接続され、メス側に信号伝送ケーブル１０３が接続されてもよい。このような構成により、発光素子１０１を信号伝送ケーブル１０３に対して容易に着脱可能となり、発光素子１０１が劣化した場合に信号伝送ケーブル１０３の配線はそのままに発光素子１０１だけを交換可能となる。
【００２７】
また上記では、発光素子１０１と信号伝送ケーブル１０３との接続方法について示したが、受光素子１０２と信号伝送ケーブル１０４との接続方法についても同様であり、その説明を省略する。なお、受光素子１０２の上部に装着される光学レンズとしては、広角に集光可能なレンズが望ましい。
【００２８】
次に、信号伝送ケーブル１０３と切替え部１０６との接続方法の一例について、図４を参照しながら説明する。
切替え部１０６では、基板上に、切替え部１０６を実現するマルチプレクサＩＣ１０６１と、複数のコネクタのオス側１０６２とが接続されている。マルチプレクサＩＣ１０６１は制御部１０８によって制御される。一方、信号伝送ケーブル１０３の信号ライン１０３１及びグランドライン１０３２の他端には、上記コネクタのメス側１０３４が接続されている。そして、メス側１０３４がオス側１０６２に接続されることで、マルチプレクサＩＣ１０６１と信号伝送ケーブル１０３とが導通される。このような構成により、信号伝送ケーブル１０３を切替え部１０６（本体部１０５）に対して容易に着脱可能となる。
【００２９】
なお上記では、信号伝送ケーブル１０３と切替え部１０６との接続方法について示したが、信号伝送ケーブル１０４とアンプ部１０７（本体部１０５）との接続方法についても同様であり、その説明を省略する。
【００３０】
次に、信号生成部１０８４により生成されて出力される送信信号の一例について、図５を参照しながら説明する。図５では、信号生成部１０８４が、予め設定された時間間隔で３系統の発光素子１０１（１０１−１〜１０１−３）に順に送信信号を生成して出力する場合を示している。
【００３１】
この場合、まず、選択部１０８３は、送信信号の出力を行うケーブルとして、信号伝送ケーブル１０３−１を選択する。そして、信号生成部１０８４は、信号伝送ケーブル１０３−１に接続された発光素子１０１−１に対する送信信号ｆ１を生成する。図５では、信号生成部１０８４は、送信信号ｆ１として、数ビットのオンオフ信号を生成している。そして、信号生成部１０８４は、生成した送信信号ｆ１を、時間Ｔ１の間にアンプ部１０７及び切替え部１０６を介して信号伝送ケーブル１０３−１に出力する。その後、発光素子１０１−１は送信信号ｆ１を変換した光を発光し、受光素子１０２は光の受光を行い、制御部１０８は信号伝送ケーブル１０４及びアンプ部１０７を介して受信信号の検出を行う。
【００３２】
時間Ｔ１が経過した後、選択部１０８３は、送信信号の出力を行うケーブルとして、信号伝送ケーブル１０３−２を選択する。そして、信号生成部１０８４は、信号伝送ケーブル１０３−２に接続された発光素子１０１−２に対する送信信号ｆ２を生成する。図５では、送信信号ｆ２のビット列が、送信信号ｆ１のビット列とは異なっている。そして、信号生成部１０８４は、生成した送信信号ｆ２を、時間Ｔ２の間にアンプ部１０７及び切替え部１０６を介して信号伝送ケーブル１０３−２に出力する。その後、発光素子１０１−２は送信信号ｆ２を変換した光を発光し、受光素子１０２は光の受光を行い、制御部１０８は信号伝送ケーブル１０４及びアンプ部１０７を介して受信信号の検出を行う。
時間Ｔ２が経過した後、信号伝送ケーブル１０３−３に対しても同様の処理を行う。
【００３３】
このように、信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４を用いて発光素子１０１及び受光素子１０２との間で信号の入出力を行うことで、通常の光電センサでは設置できない狭い箇所であっても信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４を設置可能であり、物体検出が可能となる。また、信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４は、任意に折り曲げられても、信号の伝送が可能である。そのため、信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４が設置箇所に応じて折り曲げられて使用される場合でも、光ファイバ型光電センサに対し、正確に物体検出が可能となる。
【００３４】
また、発光素子１０１が劣化した場合に、発光素子１０１又は信号伝送ケーブル１０３より先のみを交換するだけでよく、本体部１０５の交換は不要であるため、メンテナンス時における部品交換コストを低減できる。受光素子１０２が劣化した場合にも同様である。
【００３５】
また、信号生成部１０８４が信号伝送ケーブル１０３毎に異なるビット列から成る送信信号を生成することで、制御部１０８は、切替え部１０６での切替え状況に加え、受光素子１０２により受光された光を示す受信信号のビット列から、当該受光された光がどの発光素子１０１により発光された光であるかを特定可能となる。
なお、信号生成部１０８４では、信号伝送ケーブル１０３毎に時分割に送信信号を出力している。そのため、受光素子１０２により光が受光されたタイミングから、当該受光された光がどの発光素子１０１により発光された光であるかを特定することもできる。
【００３６】
また、受光素子１０２での受光箇所から、どの発光素子１０１により発光された光であるかを特定してもよい。
図６では、発光素子１０１としてレーザ光源を用い、受光素子１０２としてラインセンサを用いた場合での、受光素子１０２による受光結果の一例を示している。
ここで、発光素子１０１により発光されるレーザ光は、平行光であり、ラインセンサの全セルのうちの数分の１の幅で発光される。よって、各発光素子１０１により発光されたレーザ光がラインセンサのうちのどのセルで受光されるかを予め特定することで、受光されたセルの位置からどの発光素子１０１からの光であるかを特定可能となる。
【００３７】
また、信号生成部１０８４が送信信号ｆ１〜ｆ３を出力する時間Ｔ１〜Ｔ３は、制御部１０８で設定可能である。例えば、送信信号ｆ１〜ｆ３自体の送信時間を０．２〜０．３ｍｓ程度とし、信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４の伝搬遅延時間がケーブル長さ１ｍに対して数ｎｓであることを考慮すると、時間Ｔ１〜Ｔ３は１ｍｓ程度等とすることが考えられる。これにより、信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４のケーブル長さによる遅延等を考慮した時間Ｔ１〜Ｔ３を設定可能となる。
【００３８】
また、発光素子１０１を複数設けたのに対して受光素子１０２を単一とすることで、発光素子１０１及び受光素子１０２をそれぞれ複数設けた場合と比較し、部品コストを低減できる。
【００３９】
次に、表示部１１０による表示例について図７を参照しながら説明する。
図７に示す表示部１１０では、切替え部１０６における切替え数と同数の表示窓１１０１（１１０１−１〜１１０１−Ｎ）が設けられ、受光素子１０２における所定間隔毎のセルでの受光レベルをゲージで表示している。
【００４０】
この表示部１１０は、主に発光素子１０１及び受光素子１０２の位置決めを行う際に使用される。位置決めを行う場合には、制御部１０８は、ある特定の発光素子１０１の位置決めが完了するまでは、当該発光素子１０１に接続された信号伝送ケーブル１０３のみに送信信号を出力し続けるように切替え部１０６を制御する。そして、表示部１１０は、受光素子１０２での受光レベルを表示する。これにより、図７に示すように、特定の発光素子１０１による発光に対する受光素子１０２での受光結果を観測できる。よって、ある特定の発光素子１０１が発光した場合に、受光素子１０２で、当該発光素子１０１に対応する箇所のセルでの受光レベルが低い場合には、ＳＮ比が悪いと判断できる。そのため、この場合には、発光素子１０１の位置又は傾きを調整することで、ＳＮ比の改善を図ることができる。これにより、各発光素子１０１及び受光素子１０２を最適な設置とすることができる。
【００４１】
また、物体検出センサ１が通常モードである場合には、表示部１１０は、例えば、物体検出部１０８６により出力された物体の有無を示す信号に基づき、物体が無い場合には表示窓１１０１のレベルゲージを０％とし、物体が有る場合には表示窓１１０１のレベルゲージを１００％とする。
【００４２】
以上のように、この実施の形態１によれば、入力された送信信号を変換した光を発光する複数の発光素子１０１と、光を受光する単一の受光素子１０２と、発光素子１０１毎に設けられ、入力された送信信号を伝送し、一端に接続された発光素子１０１に出力する信号伝送ケーブル１０３と、一端に接続された受光素子１０２により受光された光を示す受信信号を伝送する信号伝送ケーブル１０４と、送信信号の出力を行う信号伝送ケーブル１０３を選択する選択部１０８３と、送信信号を生成する信号生成部１０８４と、選択部１０８３により選択された信号伝送ケーブル１０３に信号生成部１０８４により生成された送信信号を出力する切替え部１０６と、信号伝送ケーブル１０４により伝送された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する物体検出部１０８６とを備えたので、光ファイバを用いずに、物体の有無を検出できる。
【００４３】
また、従来では、複数の光電センサを連結して用いている。この場合、各光電センサの通信が煩雑となり高速化ができず、また、電源ライン及び信号ラインの配線の引き回しが煩雑になるという課題があった。
それに対し、実施の形態１に係る物体検出センサ１では、単一の本体部１０５に複数のセンサ素子（発光素子１０１及び受光素子１０２）を信号伝送ケーブル１０３及び信号伝送ケーブル１０４を介して接続する構成としている。その結果、各センサ素子でのセンシングに対する処理の高速化を図ることができ、また、配線の引き回しも容易となる。
【００４４】
なお上記では、物体検出センサ１が透過形である場合を示した。しかしながら、これに限らず、物体検出センサ１は反射型でもよい。
【００４５】
実施の形態２．
実施の形態１では、単一の受光素子１０２の周囲に複数の発光素子１０１を配置した場合を示した。これに対し、実施の形態２では、単一の発光素子１０１ｂの周囲に複数の受光素子１０２ｂを配置した場合を示す。
図８はこの発明の実施の形態２に係る物体検出センサ１ｂの構成例を示す図である。
物体検出センサ１ｂは、例えば半導体装置等の製造ライン上を流れる物体（部品又は製品等）の有無を検出する。以下では、物体検出センサ１ｂが透過形である場合を示す。この物体検出センサ１ｂは、図８に示すように、単一の発光素子１０１ｂ、複数の受光素子１０２ｂ、単一の信号伝送ケーブル（第１信号伝送ケーブル）１０３ｂ、複数の信号伝送ケーブル（第２信号伝送ケーブル）１０４ｂ及び本体部１０５ｂを備えている。また、本体部１０５ｂには、切替え部１０６ｂ、アンプ部１０７ｂ、制御部１０８ｂ、通信部１０９ｂ及び表示部１１０ｂが搭載されている。図８では、Ｎ系統の受光素子１０２ｂ（１０２ｂ−１〜１０２ｂ−Ｎ）及び信号伝送ケーブル１０４ｂ（１０４ｂ−１〜１０４ｂ−Ｎ）を備えた場合を示している。
【００４６】
発光素子１０１ｂは、当該発光素子１０１ｂが接続された信号伝送ケーブル１０３ｂにより伝送された送信信号に応じ、当該送信信号を変換した光を発光するチップＬＥＤ又はフォトＩＣ等のセンサ素子である。また必要に応じて、チップ抵抗又は保護ダイオード等も接続される。なお、発光素子１０１ｂの上部に装着される光学レンズ１１２ｂとしては、広角な光を放つレンズが用いられる。また、発光素子１０１ｂは、常時発光することが望ましい。
【００４７】
受光素子１０２ｂは、光を受光するフォトダイオード等のセンサ素子である。また必要に応じて、チップ抵抗又は保護ダイオード等も接続される。なお、各受光素子１０２ｂは、物体の有無を検出する検出領域を挟んで、単一の発光素子１０１ｂの方向を向いて配置される。この受光素子１０２ｂにより受光された光を示す受信信号は、当該受光素子１０２ｂが接続された信号伝送ケーブル１０４ｂに出力される。受信信号は電流又は電圧の値の変化から成る。
【００４８】
信号伝送ケーブル１０３ｂは、一端に発光素子１０１ｂが接続され、他端がアンプ部１０７ｂ（本体部１０５ｂ）に接続される。信号伝送ケーブル１０３ｂは、信号ライン１０３１ｂ（不図示）、グランドライン１０３２ｂ（不図示）、及び、信号ライン１０３１ｂ及びグランドライン１０３２ｂを被膜する絶縁体１０３３ｂ（不図示）を有している。また必要に応じて、電源ライン（不図示）も追加される。この信号伝送ケーブル１０３ｂは、アンプ部１０７ｂにより増幅された送信信号を伝送して発光素子１０１ｂに出力する。送信信号は電流又は電圧の値の変化から成る。
【００４９】
信号伝送ケーブル１０４ｂは、受光素子１０２ｂ毎に設けられ、一端に受光素子１０２ｂが接続され、他端が切替え部１０６ｂ（本体部１０５ｂ）に接続される。信号伝送ケーブル１０４ｂは、信号ライン１０４１ｂ（不図示）、グランドライン１０４２ｂ（不図示）、及び、信号ライン１０４１ｂ及びグランドライン１０４２ｂを被膜する絶縁体１０４３ｂ（不図示）を有している。この信号伝送ケーブル１０４ｂは、受光素子１０２ｂにより受光された光を示す受信信号を伝送して切替え部１０６ｂに出力する。
【００５０】
切替え部１０６ｂは、制御部１０８ｂの後述する選択部１０８３ｂにより選択された信号伝送ケーブル１０４ｂにより伝送された受信信号を入力する。この切替え部１０６ｂにより入力された受信信号は、アンプ部１０７ｂに出力される。
【００５１】
アンプ部１０７ｂは、信号生成部１０８４ｂにより生成された送信信号を増幅する。このとき、アンプ部１０７ｂは、電圧である送信信号を電流に変換する場合もある。このアンプ部１０７ｂにより増幅された送信信号は、信号伝送ケーブル１０３ｂに出力される。また、アンプ部１０７ｂは、切替え部１０６ｂにより入力された受信信号をフィルタリング等でノイズを除去した後に増幅する。このとき、アンプ部１０７ｂは、電流である受信信号を電圧に変換する場合もある。このアンプ部１０７ｂにより増幅された受信信号は、制御部１０８ｂに出力される。アンプ部１０７ｂは、主にアナログ回路で構成される。
【００５２】
制御部１０８ｂは、切替え部１０６ｂ、アンプ部１０７ｂ、通信部１０９ｂ及び表示部１１０ｂを制御する。この制御部１０８ｂは、システムＬＳＩ等の処理回路や、メモリ等に記憶されたプログラムを実行するＣＰＵ等により実現される。制御部１０８ｂは、図９に示すように、記憶部１０８１ｂ、モード設定部１０８２ｂ、選択部１０８３ｂ、信号生成部１０８４ｂ、信号復調部１０８５ｂ及び物体検出部１０８６ｂを備えている。
【００５３】
記憶部１０８１ｂは、信号生成部１０８４ｂで用いるビット列を構成するための情報を格納する。例えば、記憶部１０８１ｂは、上記情報として、信号伝送ケーブル１０３ｂのＩＤを示す情報を格納する。また、記憶部１０８１ｂは、上記情報に代えて、ビット列そのものを示す情報を格納してもよい。なお、記憶部１０８１ｂは必須の構成ではなく、制御部１０８ｂから取り除いてもよい。
【００５４】
モード設定部１０８２ｂは、物体検出センサ１ｂを使用する使用者による入力に応じ、物体検出センサ１ｂの運用モードを調整モード又は通常モードに設定する。
調整モードは、発光素子１０１ｂ及び受光素子１０２ｂの位置決めを行うためのモードである。この調整モードでは、制御部１０８ｂは、発光素子１０１ｂ及び受光素子１０２ｂの位置決めが完了するまでは、全ての受光素子１０２ｂによる受光結果が観測可能となるように切替え部１０６ｂを制御する。
通常モードは、検出領域における物体の有無を検出するためのモードである。この通常モードでは、制御部１０８ｂは、予め設定されたタイミング及び順序で、対象とする受光素子１０２ｂを１つずつ選択して当該受光素子１０２ｂによる受光結果が観測可能となるように切替え部１０６ｂを制御する。
【００５５】
選択部１０８３ｂは、受信信号の入力を行う信号伝送ケーブル１０４ｂを選択する。
物体検出センサ１ｂが通常モードの場合には、選択部１０８３ｂは、予め設定された時間間隔及び順序で、信号伝送ケーブル１０４ｂを切替えながら選択する。Ｎ個の信号伝送ケーブル１０４ｂの切替えは、例えば１つの信号伝送ケーブル１０４ｂに対して１ｍｓの選択時間を設け、信号伝送ケーブル１０３ｂを介して発光素子１０１ｂを発光させる時間を０．３ｍｓ程度とすること等が考えられる。信号伝送ケーブル１０３ｂ及び信号伝送ケーブル１０４ｂのケーブル長さが数ｍである場合、ケーブル長さ１ｍに対して数ｎｓの伝搬遅延時間が発生する程度であるため、発光時間に対して選択時間に余裕を持たせることができる。
なお上記では、選択部１０８３ｂは、予め設定された時間間隔及び順序で、信号伝送ケーブル１０４ｂを切替えるものとした。しかしながら、これに限らず、選択部１０８３ｂは、選択した１つの信号伝送ケーブル１０４ｂを用いて物体の検知ができた時点で次の信号伝送ケーブル１０４ｂを選択するようにしてもよい。また発光素子１０１ｂを常時点灯する場合又は送信信号を固有のビット列で符号化せずに単発ビットとする場合は、選択時間を数十ｍｓと短くすることが可能である。
この選択部１０８３ｂにより選択された信号伝送ケーブル１０４ｂを示す信号は、切替え部１０６ｂに出力される。なお、複数の信号伝送ケーブル１０４ｂを選択する場合、その数だけのアンプ部１０７ｂ及び信号復調部１０８５ｂを設ける。
【００５６】
信号生成部１０８４ｂは、送信信号を生成する。この信号生成部１０８４ｂにより生成された送信信号は、アンプ部１０７ｂに出力される。
また、受光素子１０２ｂが外乱光の存在する場所に設置される場合には、送信信号を信号伝送ケーブル１０３ｂに固有な信号としてもよい。すなわち、信号生成部１０８４ｂは、送信信号として、信号伝送ケーブル１０３ｂに固有なビット列から成る数ビットのオンオフ信号を生成する。この際、例えば、制御部１０８ｂに記憶部１０８１ｂが設けられている場合には、信号生成部１０８４ｂは、当該記憶部１０８１ｂに格納された情報から得られたビット列で変調を掛けることで、上記オンオフ信号を生成可能である。また、上記ビット列は、ＣＲＣ等の誤り検出符号を付加して構成してもよい。
【００５７】
信号復調部１０８５ｂは、アンプ部１０７ｂにより増幅された受信信号を復調する。この際、信号復調部１０８５ｂは、アンプ部１０７ｂにより増幅された受信信号のビット列を、信号生成部１０８４ｂで送信信号を生成する際に用いたビット列と比較する。そして、信号復調部１０８５ｂは、両方のビット列が完全に一致又はある一定以上の割合で一致している場合に、当該送信信号の出力先である発光素子１０１ｂを発光元と判断する。この信号復調部１０８５ｂにより復調された（発光素子１０１ｂが発光元と判断された）受信信号は、物体検出部１０８６ｂに出力される。また、信号生成部１０８４ｂと信号復調部１０８５ｂは、互いに同期をとっており、信号生成部１０８４ｂが送信信号を出力した後、所定時間内に信号復調部１０８５ｂで当該送信信号に対応する受信信号が検出されない場合には、その旨を物体検出部１０８６ｂに通知する。なお、送信信号を信号伝送ケーブル１０３ｂに固有な信号としない場合には、信号復調部１０８５ｂは不要であり、制御部１０８ｂから取り除いてもよい。
【００５８】
物体検出部１０８６ｂは、物体検出センサ１ｂが通常モードの場合において、信号復調部１０８５ｂにより復調された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する。すなわち、物体検出部１０８６ｂは、信号復調部１０８５ｂにより復調された受信信号に基づいて、受光レベルが閾値以下である受光素子１０２ｂが存在すると判断した場合に、検出領域に透明体等の物体が有ると判断する。また、信号復調部１０８５ｂにより該当する受信信号が検出されないと通知された場合には、検出領域に物体が有ると判断する。この物体検出部１０８６ｂにより検出された物体の有無を示す信号は、通信部１０９ｂ又は表示部１１０ｂのうちの少なくとも一方に出力される。
なお、制御部１０８ｂは、物体検出センサ１ｂが調整モードの場合には、信号復調部１０８５ｂにより復調された受信信号をそのまま表示部１１０ｂに出力する。
【００５９】
通信部１０９ｂは、外部装置との間で通信を行う。なお、通信部１０９ｂと外部装置との間の接続は、有線（ＲＳ−４８５又はイーサネット等）でも無線でもよい。この通信部１０９ｂは、制御部１０８ｂにより出力された信号を外部装置に送信し、また、外部装置により送信された信号を受信する。
【００６０】
表示部１１０ｂは、制御部１０８ｂにより出力された信号に応じた表示を行う。ここで、表示部１１０ｂは、制御部１０８ｂにより受信信号が出力された場合には、当該受信信号が示す光の受光レベルを表示する。また、表示部１１０ｂは、制御部１０８ｂの物体検出部１０８６ｂにより物体の有無を示す信号が出力された場合には、当該物体の有無を表示する。
【００６１】
なお、発光素子１０１ｂと信号伝送ケーブル１０３ｂとの接続方法、及び、受光素子１０２ｂと信号伝送ケーブル１０４ｂとの接続方法は、実施の形態１と同様であり、その説明を省略する。
また、信号伝送ケーブル１０３ｂとアンプ部１０７ｂとの接続方法、及び、信号伝送ケーブル１０４ｂと切替え部１０６ｂとの接続方法は、実施の形態１における信号伝送ケーブル１０３と切替え部１０６との接続方法と同様であり、その説明を省略する。
【００６２】
実施の形態２に係る物体検出センサ１ｂでは、切替え部１０６ｂが受信信号を入力する信号伝送ケーブル１０４ｂを１つずつ切替えて、受光していない受光素子１０２ｂを特定する。そして、物体検出部１０８６ｂは、受光できていない受光素子１０２ｂと発光素子１０１ｂとの間に物体が存在するものと判断する。
なお、発光素子１０１ｂと受光素子１０２ｂとの間の距離、及び、受光素子１０２ｂ間の距離は、検出を行う物体の大きさ及び複数の受光素子１０２ｂでの干渉を考慮して（物体により同時に遮蔽されないように）設定する。
【００６３】
また、信号伝送ケーブル１０３ｂ及び信号伝送ケーブル１０４ｂを用いて発光素子１０１ｂ及び受光素子１０２ｂとの間で信号の入出力を行うことで、通常の光電センサでは設置できない狭い箇所であっても信号伝送ケーブル１０３ｂ及び信号伝送ケーブル１０４ｂを設置可能であり、物体検出が可能となる。また、信号伝送ケーブル１０３ｂ及び信号伝送ケーブル１０４ｂは、任意に折り曲げられても、信号の伝送が可能である。そのため、信号伝送ケーブル１０３ｂ及び信号伝送ケーブル１０４ｂが設置箇所に応じて折り曲げられて使用される場合でも、光ファイバ型光電センサに対し、正確に物体検出が可能となる。
【００６４】
また、発光素子１０１ｂが劣化した場合に、発光素子１０１ｂ又は信号伝送ケーブル１０３ｂより先のみを交換するだけでよく、本体部１０５ｂの交換は不要であるため、メンテナンス時における部品交換コストを低減できる。受光素子１０２ｂが劣化した場合にも同様である。
【００６５】
また、信号生成部１０８４ｂが信号伝送ケーブル１０３ｂに固有なビット列から成る送信信号を生成することで、制御部１０８ｂは、受光素子１０２ｂにより受光された光を示す受信信号のビット列から、当該受光された光が発光素子１０１ｂにより発光された光であるかを特定可能となり、外乱光との区別をつけることが可能となる。
【００６６】
また、受光素子１０２ｂを複数設けたのに対して発光素子１０１ｂを単一とすることで、発光素子１０１ｂ及び受光素子１０２ｂをそれぞれ複数設けた場合と比較し、部品コストを低減できる。
【００６７】
次に、表示部１１０ｂによる表示例について説明する。
表示部１１０ｂでは、切替え部１０６ｂにおける切替え数と同数の表示窓１１０１ｂ（１１０１ｂ−１〜１１０１ｂ−Ｎ）（不図示）が設けられ、例えば、各受光素子１０２ｂでの受光レベルがゲージで表示される。
【００６８】
この表示部１１０ｂは、主に発光素子１０１ｂ及び受光素子１０２ｂの位置決めを行う際に使用される。位置決めを行う場合には、制御部１０８ｂは、全ての受光素子１０２ｂによる受光結果が観測可能となるように切替え部１０６ｂを制御する。そして、表示部１１０ｂは、各受光素子１０２ｂでの受光レベルを表示する。これにより、発光素子１０１ｂによる発光に対する各受光素子１０２ｂでの受光結果を観測できる。よって、発光素子１０１ｂが発光した場合に、受光素子１０２ｂでの受光レベルが低い場合には、ＳＮ比が悪いと判断できる。そのため、この場合には、受光素子１０２ｂの位置又は傾きを調整することで、ＳＮ比の改善を図ることができる。これにより、発光素子１０１ｂ及び各受光素子１０２ｂを最適な設置とすることができる。
【００６９】
また、物体検出センサ１ｂが通常モードである場合には、表示部１１０ｂは、例えば、物体検出部１０８６ｂにより出力された物体の有無を示す信号に基づき、物体が無い場合には表示窓１１０１ｂのレベルゲージを０％とし、物体が有る場合には表示窓１１０１ｂのレベルゲージを１００％とする。
【００７０】
以上のように、この実施の形態２によれば、入力された送信信号に応じた光を発光する単一の発光素子１０１ｂと、光を受光する複数の受光素子１０２ｂと、入力された送信信号を伝送し、一端に接続された発光素子１０１ｂに出力する信号伝送ケーブル１０３ｂと、受光素子１０２ｂ毎に設けられ、一端に接続された受光素子１０２ｂにより受光された光を示す受信信号を伝送する信号伝送ケーブル１０４ｂと、受信信号の入力を行う信号伝送ケーブル１０４ｂを選択する選択部１０８３ｂと、送信信号を生成して信号伝送ケーブル１０３ｂに出力する信号生成部１０８４ｂと、選択部１０８３ｂにより選択された信号伝送ケーブル１０４ｂにより伝送された受信信号を入力する切替え部１０６ｂと、切替え部１０６ｂにより入力された受信信号に基づいて、物体の有無を検出する物体検出部１０８６ｂとを備えても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【００７１】
なお上記では、物体検出センサ１ｂが透過形である場合を示した。しかしながら、これに限らず、物体検出センサ１ｂは反射型でもよい。
【００７２】
実施の形態３．
実施の形態１では単体の物体検出センサ１を用いた場合を示した。それに対し、実施の形態３では、複数の物体検出センサ１を有する物体検出センサシステムについて説明する。
図１０はこの発明の実施の形態３に係る物体検出センサシステムの構成例を示す図である。
物体検出センサシステムは、図１０に示すように、複数の物体検出センサ１及び統合サーバ２を備えている。
【００７３】
物体検出センサ１は、実施の形態１と同様のセンサである。なお、通信部１０９は、物体検出センサシステムに設けられた他の物体検出センサ１又は統合サーバ２との間で通信を行う。
また、実施の形態３における制御部１０８では、図１１に示すように、図２に示す実施の形態１における制御部１０８に対し、信号生成制御部１０８７を追加している。この信号生成制御部１０８７は、通信部１０９により受信された信号に基づいて、信号生成部１０８４の動作タイミングを制御する。すなわち、信号生成制御部１０８７は、通信部１０９により受信された信号に基づいて、物体が検出された他の物体検出センサ１の設置箇所から、自身の物体検出センサ１が設置された箇所に上記物体が流れるタイミングを判断し、そのタイミングに応じて信号生成部１０８４を動作させる。
【００７４】
統合サーバ２は、各物体検出センサ１の通信部１０９により送信された信号を収集し、各物体検出センサ１を管理する。例えば、統合サーバ２は、各物体検出センサ１から収集した信号を各物体検出センサ１に通知する。この際、統合サーバ２は、ある特定の物体検出センサ１に対し上記信号を送信し、当該信号を受け取った物体検出センサ１は自身に関係する情報のみを受け取り、隣接する物体検出センサ１に上記信号を送信する。以降、各物体検出センサ１で上記信号の受け渡しを行うことで、統合サーバ２から各物体検出センサ１に対して上記信号を通知する。
【００７５】
これにより、物体検出センサ１同士又は物体検出センサ１と統合サーバ２との間で相互に通信可能となる。その結果、例えば、製造工程毎に設置された物体検出センサ１が、工程の流れを理解し、自己が物体検出すべきタイミングを判断可能となり、省電力化が可能となる。
【００７６】
なお上記では、実施の形態１に係る物体検出センサ１を複数有する物体検出センサシステムを示した。しかしながら、これに限らず、実施の形態２に係る物体検出センサ１ｂを複数有する物体検出センサシステムとしてもよい。
【００７７】
また、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【００７８】
１，１ｂ  物体検出センサ
２  統合サーバ
１０１，１０１ｂ  発光素子
１０２，１０２ｂ  受光素子
１０３，１０３ｂ  信号伝送ケーブル（第１信号伝送ケーブル）
１０４，１０４ｂ  信号伝送ケーブル（第２信号伝送ケーブル）
１０５，１０５ｂ  本体部
１０６，１０６ｂ  切替え部
１０７，１０７ｂ  アンプ部
１０８，１０８ｂ  制御部
１０９，１０９ｂ  通信部
１１０，１１０ｂ  表示部
１１１  回路基板
１１２，１１２ｂ  光学レンズ
１１３  被膜部
１０３１，１０３１ｂ  信号ライン
１０３２，１０３２ｂ  グランドライン
１０３３，１０３３ｂ  絶縁体
１０３４  コネクタのメス側
１０４１，１０４１ｂ  信号ライン
１０４２，１０４２ｂ  グランドライン
１０４３，１０４３ｂ  絶縁体
１０６１  マルチプレクサＩＣ
１０６２  コネクタのオス側
１０８１，１０８１ｂ  記憶部
１０８２，１０８２ｂ  モード設定部
１０８３，１０８３ｂ  選択部
１０８４，１０８４ｂ  信号生成部
１０８５，１０８５ｂ  信号復調部
１０８６，１０８６ｂ  物体検出部
１０８７  信号生成制御部
１１０１，１１０１ｂ  表示窓
【図１】
2018124138.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2018124138.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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