(57)【要約】【課題】エアベントタンクの洗浄を自動化することができるエアベントタンクを提供する。【解決手段】塗布器内に形成されたマニホールドから排出されたエアを含む塗布液を貯留するエアベントタンクであって、エアと共に排出される塗布液を貯留し、底壁部とこれに対向する天壁部とを有するタンク本体と、前記タンク本体内の液面の上限を検知する液面検知センサと、前記マニホールドから排出されたエアを含む塗布液を前記タンク本体に導くエアベントノズルと、を備えており、前記タンク本体には、前記エアベントノズルが挿通され、このエアベントノズルの供給口が存在する前記底壁部側と、前記天壁部側とに仕切る仕切り蓋がさらに設けられており、この仕切り蓋は、その側面部が前記液面検知センサに対向する位置に設けられている構成とする。【選択図】図５
2018187580.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布器内に形成されたマニホールドから排出されたエアを含む塗布液を貯留するエアベントタンクであって、
エアと共に排出される塗布液を貯留し、底壁部とこれに対向する天壁部とを有するタンク本体と、
前記タンク本体内の液面の上限を検知する液面検知センサと、
前記マニホールドから排出されたエアを含む塗布液を前記タンク本体に導くエアベントノズルと、
を備えており、
前記タンク本体には、前記エアベントノズルが挿通され、このエアベントノズルの供給口が存在する前記底壁部側と、前記天壁部側とに仕切る仕切り蓋がさらに設けられており、この仕切り蓋は、その側面部が前記液面検知センサに対向する位置に設けられていることを特徴とするエアベントタンク。
【請求項２】
前記液面検知センサとは別に、前記気泡を含む塗布液を検出する塗布液センサが設けられており、この塗布液センサは、前記液面検知センサよりも低い位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のエアベントタンク。
【請求項３】
前記仕切り蓋は、前記天壁部に付着した塗布液を受ける液受け部が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のエアベントタンク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布器に残存するエアを含む塗布液を排出するエアベントタンクに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス等からなる基板上にレジスト液が塗布されたもの（塗布基板という）が使用されている。この塗布基板は、レジスト液（以下、塗布液と称す）を均一に塗布する塗布装置によって形成されている。すなわち、塗布装置は、基板を載置するステージと、塗布液を吐出する塗布器を有する塗布ユニットとを有しており、塗布器のスリットノズルから塗布液を吐出させながら、基板と塗布ユニットとを相対的に移動させる塗布動作を行うことにより、所定厚さの塗布膜が基板上に形成されるようになっている。
【０００３】
一般に、このような塗布動作の前には、例えば下記特許文献１に示されるようなエアベント処理が行われる。すなわち、図７に示すように、塗布器１００には、ポンプ２００等により供給される塗布液を一時的に貯留するマニホールド１０２が設けられており、このマニホールド１０２に気泡や空気溜まりなどのエアが混在した状態で塗布動作を行うと、塗布液を吐出する圧力に変動が生じやすくなり、塗布ムラの要因になる。そのため、エアベント処理を行ってマニホールド１０２に存在するエアを排出させることにより、スリットノズル１０６から塗布液を安定して吐出させ、塗布ムラの発生を抑えるようにしている。
【０００４】
具体的には、塗布器１００には、塗布液が供給される塗布液供給孔１０１とは別に、マニホールド１０２のエアを排出させるエアベント孔１０３が設けられており、エアベント孔１０３とエアベントタンク１０４とが連結されている。そして、エアベント処理では、塗布液が塗布液供給孔１０１から供給されることにより、エアベント孔１０３を通じてマニホールド１０２に存在するエアが塗布液と共に排出される。
【０００５】
ここで、図８に示すように、エアベントタンク１０４は、エアを含む塗布液（塗布液等という）を貯めるタンク本体１０４ａを有している。このタンク本体１０４ａの天壁部１０７にはエアベントノズル１０９が挿通されており、このエアベントノズル１０９を通じてマニホールド１０２から排出される塗布液等をタンク本体１０４ａ内に導くようになっている。また、天壁部１０７には、吸引力を発生させる吸引口１１０が設けられており、タンク本体１０４ａ内を排圧できるようになっている。したがって、タンク本体１０４ａ内を吸引しつつ塗布液供給孔１０１から塗布液を供給することによりマニホールド１０２内の塗布液がエアベントノズル１０９を通じてスムーズにタンク本体１０４ａに排出される。そして、タンク本体１０４ａには、液面検知センサ１１１が設けられており、タンク本体１０４ａ内に所定の量の塗布液等が貯留されたことを検出できるようになっている。また、近年では、エアベントタンク１０４の底壁部１１２に排出ポート１１３を設け、エアベントタンク１０４に貯留された塗布液を循環させて上流側のポンプ２００に戻すことにより、エアベントタンク１０４に貯留された塗布液を再利用できるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１３１７８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
塗布液を再利用するには、近年のディスプレイの高精度化に伴って塗布液の純度が要求される。特にカラーフィルタ等では塗布液の種類（ＲＧＢ）を交換する頻度が高く、塗布液を交換するごとに塗布器１００、エアベントタンク１０４を洗浄する必要がある。従来では、塗布液を交換する度に洗浄液を供給することにより塗布器１００のマニホールド１０２、エアベントタンク１０４を洗浄液で満たすことにより洗浄していた。
【０００８】
ところが、エアベントタンク１０４に洗浄液が供給されると、液面検知センサ１１１が反応する位置まで洗浄液が満たされるため、洗浄液が満たされた位置までは洗浄されるが、液面検知センサ１１１よりも上方の領域は洗浄することができない。特に、エアベント処理の際、エアベントタンク１０４にエアを含む塗布液（塗布液等）が排出されると、エアベントタンク１０４内で液跳ねの発生や、ミスト状の塗布液等が飛散し、塗布液等がエアベントタンク１０４の天壁部１０７に付着する。この天壁部１０７に付着した塗布液等は、ある程度、液滴が大きくなった後に落下するが、塗布液の種類を交換した後に落下すると、異種の塗布液が混ざって塗布液の純度を下げる要因になるため、天壁部１０７部分は、人手によって清掃する必要があり非常に煩わしいという問題があった。
【０００９】
本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、エアベントタンクの洗浄を自動化することができるエアベントタンクを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明のエアベントタンクは、塗布器内に形成されたマニホールドから排出されたエアを含む塗布液を貯留するエアベントタンクであって、エアと共に排出される塗布液を貯留し、底壁部とこれに対向する天壁部とを有するタンク本体と、前記タンク本体内の液面の上限を検知する液面検知センサと、前記マニホールドから排出されたエアを含む塗布液を前記タンク本体に導くエアベントノズルと、を備えており、前記タンク本体には、前記エアベントノズルが挿通され、このエアベントノズルの供給口が存在する前記底壁部側と、前記天壁部側とに仕切る仕切り蓋がさらに設けられており、この仕切り蓋は、その側面部が前記液面検知センサに対向する位置に設けられていることを特徴としている。
【００１１】
上記エアベントタンクによれば、タンク本体内に底壁部側と天壁部側とに仕切る仕切り蓋を設けているため、天壁部にエアを含む塗布液（塗布液等）が付着するのを抑えることができる。すなわち、エアベントノズルを通じて塗布液等が排出されると、タンク本体内の底壁部側で液跳ねの発生やミスト状の塗布液等が飛散するが、タンク本体内に仕切り蓋が存在することにより、これらの塗布液等が天壁部側に移動するのが抑えられ、塗布液等は仕切り蓋の特に底壁部側の面に付着する。また、仕切り蓋は、その側面が液面検知センサに対向する位置に設けられているため、エアベントタンクに洗浄液が供給された場合には、少なくとも仕切り蓋の底壁部側の面が浸るまで洗浄液が供給され、仕切り蓋に付着した塗布液等が洗浄液で洗浄される。すなわち、エアベントタンク内が洗浄液を供給することにより洗浄される。したがって、従来のように、エアベントタンクの天壁部を人手によって清掃する必要がなく、塗布液の種類を変更する場合など、塗布動作前のエアベントタンクの洗浄を自動化することができる。
【００１２】
また、前記液面検知センサとは別に、前記気泡を含む塗布液を検出する塗布液センサが設けられており、この塗布液センサは、前記液面検知センサよりも低い位置に設けられている構成にしてもよい。
【００１３】
この構成によれば、塗布液センサよりも液面検知センサが高い位置に設けられているため、液面検知センサにより洗浄液を検知するように設定することにより、タンク本体に供給された塗布液等よりも洗浄液の液面を高い位置に設定できるため、塗布液等が付着するタンク本体の壁面すべてに洗浄液を供給して洗浄することができる。
【００１４】
また、前記仕切り蓋は、前記天壁部に付着した塗布液を受ける液受け部が形成されている構成にしてもよい。
【００１５】
この構成によれば、塗布液等が仮に仕切り蓋を通過して天壁部側に侵入して天壁部に付着した後、天壁部から液滴が落下した場合でも、仕切り蓋の液受け部で受けることができるため、液滴が底壁部側に貯留された塗布液に混ざることを防止することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のエアベントタンクによれば、エアベントタンクの洗浄を自動化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係るエアベントタンクを備える塗布装置を示す斜視図である。
【図２】塗布ユニットの脚部付近を示す概略図である。
【図３】塗布器とエアベントタンクとの配管経路を概略的に示す図である。
【図４】塗布器のマニホールドを示す図である。
【図５】エアベントタンクを示す図である。
【図６】仕切り蓋を示す図である。
【図７】従来の塗布装置における塗布器とエアベントタンクの構成を示す図である。
【図８】従来のエアベントタンクを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。
【００１９】
図１は、本発明のエアベントタンクが設けられた塗布装置を概略的に示す斜視図であり、図２は、塗布装置の塗布ユニットの脚部付近を示す図であり、図３は、塗布器とエアベントタンクとの配管経路を概略的に示す図、図４は、塗布器のマニホールドを示す図である。
【００２０】
図１〜図４に示すように、塗布装置は、基板１０上に薬液やレジスト液等の液状物（以下、塗布液と称す）の塗布膜を形成するものであり、基台２と、基板１０を載置するためのステージ２１と、このステージ２１に対し特定方向に移動可能に構成される塗布ユニット３０とを備えている。
【００２１】
なお、以下の説明では、塗布ユニット３０が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。
【００２２】
前記基台２には、その中央部分にステージ２１が配置されている。このステージ２１は、搬入された基板１０を載置するものである。このステージ２１には、基板保持手段が設けられており、この基板保持手段により基板１０が保持されるようになっている。具体的には、ステージ２１の表面に形成された複数の吸引孔が形成されており、この吸引孔に吸引力を発生させることにより基板１０をステージ２１の表面に吸着させて保持できるようになっている。
【００２３】
また、ステージ２１には、基板１０を昇降動作させる基板昇降機構が設けられている。具体的には、ステージ２１の表面には複数のピン孔が形成されており、このピン孔にはＺ軸方向に昇降動作可能なリフトピン（不図示）が埋設されている。すなわち、ステージ２１の表面からリフトピンを突出させた状態で基板１０が搬入されるとリフトピンの先端部分が基板１０に当接して基板１０を保持することができる。そして、その状態からリフトピンを下降させてピン孔に収容させることにより、基板１０をステージ２１の表面に載置することができるようになっている。
【００２４】
また、塗布ユニット３０は、基板１０上に塗布液を吐出して塗布膜を形成するものである。この塗布ユニット３０は、図１，図２に示すように、基台２と連結される脚部３１とＹ軸方向に延びる塗布器３４とを有しており、基台２上をＹ軸方向に跨いだ状態でＸ軸方向に移動可能に取り付けられている。具体的には、基台２のＹ軸方向両端部分にはそれぞれＸ軸方向に延びるレール２２が設置されており、脚部３１がこのレール２２にスライド自在に取り付けられている。そして、脚部３１にはリニアモータ３３が取り付けられており、このリニアモータ３３を駆動制御することにより、塗布ユニット３０がＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。
【００２５】
また、塗布ユニット３０の脚部３１には、図２に示すように、塗布液を塗布する塗布器３４が取り付けられている。具体的には、この脚部３１にはＺ軸方向に延びるレール３７と、このレール３７に沿ってスライドするスライダ３５が設けられており、これらのスライダ３５と塗布器３４とが連結されている。そして、スライダ３５にはサーボモータにより駆動されるボールねじ機構が取り付けられており、このサーボモータを駆動制御することにより、スライダ３５がＺ軸方向に移動するとともに、任意の位置で停止できるようになっている。すなわち、塗布器３４が、ステージ２１に保持された基板１０に対して接離可能に支持されている。
【００２６】
また、塗布器３４は、塗布液を吐出して基板１０上に塗布膜を形成するものである。この塗布器３４は、一方向に延びる形状を有する柱状部材であり、塗布ユニット３０の走行方向とほぼ直交するように設けられている。この塗布器３４には、長手方向に延びるスリットノズル３４ａが形成されており、塗布器３４に供給された塗布液がスリットノズル３４ａから長手方向に亘って一様に吐出されるようになっている。したがって、このスリットノズル３４ａから塗布液を吐出させた状態で塗布ユニット３０をＸ軸方向に走行させることにより、スリットノズル３４ａの長手方向に亘って基板１０上に一定厚さの塗布膜が形成されるようになっている。なお、塗布液を塗布するために、スリットノズル３４ａから塗布液を吐出させた状態で塗布ユニット３０を移動させる動作を本実施形態では、塗布動作と呼ぶことにする。
【００２７】
また、図３，図４に示すように、塗布器３４は、塗布液を貯留するマニホールド４１と、このマニホールド４１に塗布液を供給する塗布液供給孔４２と、マニホールド４１に存在する気泡や空気溜まりなどのエアを排出させるエアベント孔４３とを有している。ここで、エアベント孔４３は、紙面に向かって左側にあるエアベント孔４３を特にエアベント孔４３Ｌと称し、右側にあるエアベント孔４３を特にエアベント孔４３Ｒと称し、それぞれ区別なく指す場合は、単にエアベント孔４３と称す。
【００２８】
マニホールド４１は、供給された塗布液を一時的に貯留する部分であり、本実施形態では、塗布器３４の内部に長手方向に沿って形成されている。本実施形態では、塗布器３４の長手方向に沿って延びる形状を有しており、長手方向中央の中央部４１ａで最も高く、長手方向両端部分の側端部４１ｂで低くなるように形成されており、下側部分はスリットノズル３４ａに連通されている。中央部４１ａの頂上部分は、エア抜き穴４４と連通しており、そのエア抜き穴４４の下側部分には塗布液供給孔４２が連通されている。この塗布液供給孔４２は、塗布液を供給する塗布液供給用ポンプ５１と供給配管５５で連結されており、塗布液供給用ポンプ５１を作動させて塗布液を供給すると、塗布液供給孔４２から塗布液がマニホールド４１に供給される。そして、マニホールド４１内のエア及び、供給された塗布液中のエアは、塗布液が供給されるのと同時に、浮力によって中央部４１ａに集まり、エア抜き穴４４を通じて排出されるようになっている。
【００２９】
また、エア抜き穴４４は、エア抜き配管５２に接続されており、このエア抜き配管５２はエアベントタンク６０に接続されている。すなわち、マニホールド４１のエア及びエアが混入した塗布液（塗布液等ともいう）は、塗布液の供給に伴って、エア抜き穴４４を通じてエア抜き配管５２を通り、このエアベントタンク６０に排出される。この配管には、エア抜きバルブ５２ａが設けられている。塗布動作は、このエア抜きバルブ５２ａを閉めた状態で行われることにより、塗布動作中には供給された塗布液がエア抜き穴４４を通じて漏れることがないようになっている。
【００３０】
エアベント孔４３は、エアベント処理においてマニホールド４１内のエアを排出するためのものであり、塗布器３４の長手方向両端部に１つずつ計２つ設けられている。ここで、エアベント処理とは、基板１０上にエアがスリットノズル３４ａから吐出されることのないようにマニホールド４１のエアを除去する処理であり、通常、塗布動作が行われる前に行われる。すなわち、最初の塗布動作の前、塗布液の種類を変更した場合に行われる。具体的には、マニホールド４１を洗浄した後、又は、塗布器３４を新しい塗布器３４に交換した後、塗布液供給孔４２から塗布液を供給することによって行われる。すなわち、塗布液供給孔４２から塗布液を供給することにより、マニホールド４１のエア及びエアを含む塗布液（塗布液等）をスリットノズル３４ａ、エア抜き穴４４、エアベント孔４３から押し出すことにより、マニホールド４１からエアを排出する。
【００３１】
このエアベント孔４３は、マニホールド４１に連通して形成されており、エアベント配管５３に接続されている。これにより、エアベント処理の際に、マニホールド４１の塗布液等がエアベント孔４３からエアベント配管５３を通じてエアベントタンク６０に排出される。これらのエアベント配管５３は、エアベントタンク６０に接続されており、いずれのエアベント孔４３から排出された塗布液等であっても、エアベントタンク６０に排出される。
【００３２】
なお、このエアベント配管５３には、エアベントバルブ５３ａが設けられている。塗布動作中は、このエアベントバルブ５３ａを閉めた状態で行われることにより、塗布動作中には供給された塗布液がエアベント孔４３を通じて漏れることがないようになっている。
【００３３】
エアベントタンク６０は、エアベント処理において、マニホールド４１に存在するエアを含む塗布液（塗布液等）を貯めるためのものである。このエアベントタンク６０は、本実施形態では、塗布装置に１つだけ設けられており、塗布ユニット３０の脚部３１に設けられている（図２参照）。このエアベントタンク６０には、塗布器３４と接続されるエア抜き配管５２、及び、エアベント配管５３が接続されており、マニホールド４１から排出されるエア及びエアを含む塗布液（塗布液等）がエアベントタンク６０に溜められるようになっている。
【００３４】
エアベントタンク６０は、図５に示すように、円筒形状に形成された塗布液等を貯留するタンク本体６１を有している。すなわち、タンク本体６１は、下方に位置する円盤形状の底壁部６１ａと、この底壁部６１ａから垂直方向に延びる筒形状の側壁部６１ｂと、底壁部６１ａと対向し上方に位置する円盤形状の天壁部６１ｃとを有しており、底壁部６１ａ、側壁部６１ｂ、天壁部６１ｃで形成される円筒形状内部に塗布液を貯留できるように形成されている。また、天壁部６１ｃは、着脱自在に形成されており、側壁部６１ｂに取り付けられた状態では、天壁部６１ｃと側壁部６１ｂとがシールされ、タンク本体６１内が密封状態に形成されるようになっている。
【００３５】
エアベントタンク６０は、エアベントノズル６２を有しており、このエアベントノズル６２によりエアベント処理の際、マニホールド４１から排出された塗布液等がタンク本体６１に導かれる。本実施形態では、３本のエアベントノズル６２を有しており、エアベントノズル６２の開口端６２ａがタンク本体６１の底壁部６１ａ付近に位置するまで延びて設けられている。具体的には、３本のエアベントノズル６２は、天壁部６１ｃに所定間隔に形成された挿通孔に支持されており、これらの挿通孔から底壁部６１ａに直線的に向かって延びる姿勢で固定されている。本実施形態では、１つのエアベントノズル６２が天壁部６１ｃの中心位置に設けられており、残りのエアベントノズル６２が中心位置から所定間隔で設けられている。そして、それぞれのエアベントノズル６２は、エアベント孔４３Ｒ、エアベント孔４３Ｌ、エア抜き穴４４に連結されており、それぞれから排出される塗布液等がタンク本体６１に導かれるようになっている。また、エアベントタンク６０は、エアベントノズル６２とは別に、洗浄液を導く洗浄液ノズル６３を有しており、エアベントノズル６２同様に、天壁部６１ｃに挿通されタンク本体６１の底壁部６１ａ側に洗浄液を供給できるようになっている。
【００３６】
また、エアベントタンク６０には、圧力調整器７０が接続されている。この圧力調整器７０は、エアベントタンク６０の圧力を調整するものであり、エアベントタンク６０内の減圧又は加圧を行うことができる。本実施形態では、圧力調整器７０として真空エジェクタが用いられている。この真空エジェクタを作動させることにより、エアベントタンク６０内を減圧又は加圧することができるようになっている。すなわち、エアベント処理の際に、圧力調整器７０によりエアベントタンク６０を大気圧よりも減圧させることにより、マニホールド４１内のエアを含む塗布液がスリットノズル３４ａから吐出されるのを回避してエアベントタンク６０のタンク本体６１内に排出される。
【００３７】
また、エアベントタンクは、タンク本体６１内に仕切り蓋８０が設けられている。仕切り蓋８０は、タンク本体６１を底壁部６１ａ側と天壁部６１ｃ側とに仕切るものであり、タンク本体６１に送液された塗布液等が天壁部６１ｃに付着するのを抑えるためのものである。本実施形態では、仕切り蓋８０は、円盤形状を有しており、円形の円形平板部８０ａとこの縁に沿って形成される曲面状の側面部８０ｂとを有している。この仕切り蓋８０は、タンク本体６１の中心位置に取り付けられたエアベントノズル６２に支持されており、円形平板部８０ａがタンク本体６１の中心位置から側壁部６１ｂに延びる姿勢で固定されている。すなわち、仕切り蓋８０は、中心位置及び、他のエアベントノズル６２が挿通する位置に挿通孔が形成されており、それぞれの挿通孔にエアベントノズル６２が挿通されている。そして、仕切り蓋８０は、中心位置に挿通するエアベントノズル６２に設けられた部材６３ａが円形平板部８０ａに当接し、表裏方向から挟まれるようにして固定されている。これにより、仕切り蓋８０は、タンク本体６１の天壁部６１ｃに近い位置で円形平板部８０ａが天壁部６１ｃ及び側壁部６１ｂに対向する姿勢で設けられている。そして、仕切り蓋８０がタンク本体６１に支持された状態では、仕切り蓋８０は、タンク本体６１から仕切り蓋８０が取り外し可能な程度に、仕切り蓋８０の側面部８０ｂがタンク本体６１の側壁部６１ｂに極力近接した状態で支持されるようになっている。これにより、仕切り蓋８０で仕切られたタンク本体６１の底壁部６１ａ側には、エアベントノズル６２の開口端６２ａが存在し、仕切り蓋８０と側壁部６１ｂとの間に僅かな隙間を有するものの、仕切り蓋８０、側壁部６１ｂ、底壁部６１ａによって塗布液等を貯留するほぼ密閉された空間が形成される。
【００３８】
また、タンク本体６１には、液面検知する液面検知センサ６４が設けられている。本実施形態では、仕切り蓋８０が取り付けられる位置に設けられており、仕切り蓋８０の側面部８０ｂと対向する位置に設けられている。これにより、タンク本体６１に排出された塗布液等、洗浄液の上限が監視される。本実施形態では、静電容量式センサが用いられており、タンク本体６１に排出された塗布液等、洗浄液の液面が液面検知センサ６４と同じ高さ位置まで供給されると、その液面に反応し、塗布液等、洗浄液の供給が停止されるようになっている。
【００３９】
また、仕切り蓋８０の天壁部６１ｃ側における円形平板部８０ａには、図６に示すように、液受け部８１が形成されている。本実施形態では、液受け部８１は、仕切り蓋８０の天壁部６１ｃ側に凹形状に形成されており、最外径の縁部よりも低くなるように形成されている。これにより、天壁部６１ｃに付着した塗布液等が落下した場合にこの液受け部８１で受け取ることができ、タンク本体６１の底壁部６１ａ側に貯留された塗布液等に混ざるのを防止できるようになっている。すなわち、底壁部６１ａ側に塗布液等が貯留されると、ミスト状の塗布液等が仕切り蓋８０とタンク本体６１の側壁部６１ｂとの隙間を通って天壁部６１ｃ側に移動する場合がある。このミスト状の塗布液等は天壁部６１ｃに付着し、時間の経過とともに液滴となり落下するが、底壁部６１ａ側には落下せず、仕切り蓋８０の液受け部８１で受け取られ液受け部８１で貯留される。これにより、落下した塗布液等と、底壁部６１ａで貯留される塗布液等と混ざることにより、塗布液等の純度が低下して再利用できなくなる問題を回避することができる。
【００４０】
また、タンク本体６１の底壁部６１ａには、排出ポート６５が設けられており、この排出ポート６５と塗布液供給用ポンプ５１とが配管で連結されている。これにより、所定の量の塗布液等が貯留されると、排出ポート６５を通じて塗布液等が塗布液供給用ポンプ５１に送液され、エアベント処理で排出された塗布液等を循環させて再利用することができる。
【００４１】
次に、エアベント処理におけるエアベントタンクの動作について説明する。
【００４２】
まず、最初の塗布動作前に塗布器に塗布液を充填するためにエアベント処理が行われる。具体的には、エアベントバルブ５３ａ、エア抜きバルブ５２ａを開いた状態で塗布液供給ポンプ５１を作動させて塗布液供給孔４２からマニホールド４１に塗布液を供給する。マニホールド４１内のエアは、エアベント孔４３、エア抜き穴４４を通じてエアベントタンク６０に排出され、マニホールド４１が満量に近づくにつれて、エアを含む塗布液がエアベントタンク６０に排出される。この際、圧力調整器７０によりエアベントタンク６０が減圧されており、マニホールド４１の塗布液等は、スリットノズル３４ａよりも、優先的にエアベント孔４３、エア抜き穴４４からエアベントタンク６０にスムーズに排出される。
【００４３】
排出された塗布液は、エアベントノズル６２を通じてタンク本体６１の底壁部６１ａ側に貯留される。エアベントノズル６２の開口端６２ａから吐出される塗布液等は、底壁部６１ａ、貯留された塗布液等に衝突したり、貯留された塗布液内で開口端６２ａから排出されたエアによる泡立ち等により液跳ねが生じるが、タンク本体６１内に仕切り蓋８０が設置されていることにより、塗布液等が天壁部６１ｃに付着するのが防止される。
【００４４】
また、エアベントタンク６０に貯留される塗布液等の液面が液面検知センサ６４に達すると、エアベントタンク６０が満量になったと判断し、エアベント処理が停止される。この場合でも、液面検知センサ６４が仕切り蓋８０の側面部８０ｂに設けられているため、塗布液等が天壁部６１ｃに到達し天壁部６１ｃに塗布液等が付着するのを防止することができる。そして、エアベントタンク６０に貯留された塗布液等は、排出ポート６５から配管５１ａを通じて図示しない脱気処理を行った後、塗布液供給用ポンプ５１に戻される。
【００４５】
次に、異なる種類の塗布液を使用する場合、先の塗布液が残ったマニホールド４１、エアベントタンクの洗浄が行われる。具体的には、先の塗布液に代えて洗浄液が供給される。すなわち、塗布液供給ポンプ５１から塗布液供給孔４２を通じてマニホールド４１に洗浄液が供給され、エアベント孔４３、エア抜き穴４４を通じてエアベントタンク６０に洗浄液が排出される。また、最終的に洗浄液ノズル６３からエアベントタンク６０に洗浄液が供給されることにより、タンク本体６１の洗浄が行われる。洗浄液ノズル６３から供給される洗浄液は、液面検知センサ６４が反応するまで供給される。すなわち、液面検知センサ６４は仕切り蓋８０の側面部８０ｂに対向する位置に設けられているため、少なくとも仕切り蓋８０の底壁部６１ａ側の円形平板部８０ａが浸る程度に洗浄液が供給され、液跳ね等により円形平板部８０ａに塗布液等が付着しても洗浄液を触れさせて洗浄させることができる。したがって、タンク本体６１に貯留された塗布液等が付着する部分すべてに洗浄液を接触させることができ、タンク本体６１内を確実に洗浄することができる。
【００４６】
次に、上述した最初の塗布動作前に塗布液を充填する場合と同様に、異なる種類の塗布液が供給される。
【００４７】
このように、上記実施形態におけるエアベントタンクによれば、タンク本体６１内に底壁部６１ａ側と天壁部６１ｃ側とに仕切る仕切り蓋８０を設けているため、天壁部６１ｃにエアを含む塗布液（塗布液等）が付着するのを抑えることができる。すなわち、エアベントノズル６２を通じて塗布液等が排出されると、タンク本体６１内の底壁部６１ａ側で液跳ねの発生やミスト状の塗布液等が飛散するが、タンク本体６１内に仕切り蓋８０が存在することにより、これらの塗布液等が天壁部６１ｃ側に移動するのが抑えられ、塗布液等は仕切り蓋８０の特に底壁部６１ａ側の面に付着する。また、仕切り蓋８０は、その側面が液面検知センサ６４に対向する位置に設けられているため、エアベントタンクに洗浄液が供給された場合には、少なくとも仕切り蓋８０の底壁部６１ａ側の面が浸るまで洗浄液が供給され、仕切り蓋８０に付着した塗布液等が洗浄液で洗浄される。したがって、従来のように、エアベントタンクの天壁部６１ｃを人手によって清掃する必要がなく、塗布液の種類を変更する場合など、塗布動作前のエアベントタンクの洗浄を自動化することができる。
【００４８】
上記実施形態では、エアベントタンクに排出される塗布液等、洗浄液の両方を１つの液面検知センサ６４で検知する例について説明したが、塗布液等を検知する塗布液センサを別に設けるものであってもよい。すなわち、液面検知センサ６４と同じ静電容量式センサを別途設ける。この場合、塗布液センサは、液面検知センサ６４よりも低い位置に設けることが好ましい。これにより、洗浄液を液面検知センサ６４で検知させることにより、洗浄液がタンク本体６１に貯留された塗布液等が付着する部分すべてに接触することができるため、タンク本体６１内を確実に洗浄することができる。
【００４９】
上記実施形態では、仕切り蓋８０に液受け部８１を設ける例について説明したが、塗布液等が天壁部６１ｃに付着しても落下する可能性がない場合、天壁部６１ｃ側に塗布液等のミストが侵入しない場合等、底壁部６１ａ側の塗布液等に混入するおそれがない場合には、液受け部８１を設けず、仕切り板を一定厚さの平板形状に形成したものであってもよい。
【符号の説明】
【００５０】
１０  基板
２１  ステージ
３４  塗布器
３４ａ  スリットノズル
４１  マニホールド
６０  エアベントタンク
６０ａ  底壁部
６０ｃ  天壁部
６１  タンク本体
６２  エアベントノズル
６４  液面検知センサ
８０  仕切り蓋
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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