(57)【要約】【課題】簡易な製造方法の改良で製造できて、高精度に絶対角を検出することができる磁気エンコーダ、並びにその磁気エンコーダの製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】磁気エンコーダ１は、Ｎ極とＳ極が交互に並ぶ磁気トラック４が複数列隣合って設けられ、これら複数列の磁気トラック４として、角度算出に使用される主トラック５と、前記主トラック４との位相差の算出に使用される副トラック６とがある。主トラック５は副トラック６よりも磁極数が多い。主トラック５を副トラック６よりも後に着磁する。これにより、主トラック５の方が副トラック６よりも磁極ピッチの精度が高く着磁される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｎ極とＳ極が交互に並ぶ磁気トラックが複数列隣合って設けられ、これら複数列の磁気トラックとして、角度算出に使用される主トラックと、前記主トラックとの位相差の算出に使用される副トラックとがあり、前記主トラックの磁極数が副トラックの磁極が数よりも多い磁気エンコーダであって、
前記主トラックの方が前記副トラックよりも磁極のピッチの精度が高いことを特徴とする磁気エンコーダ。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気エンコーダにおいて、前記複数列の磁気トラックが、円環状に並ぶ磁気エンコーダ。
【請求項３】
Ｎ極とＳ極が交互に並ぶ磁気トラックが複数列隣合って設けられ、これら複数列の磁気トラックとして、角度算出に使用される主トラックと、前記主トラックとの位相差の算出に使用される副トラックとがあり、前記主トラックの磁極数が副トラックの磁極が数よりも多い磁気エンコーダを製造する方法であって、
未着磁の磁気エンコーダを製造した後、この未着磁の磁気エンコーダに、個々の磁気トラック毎に順次着磁を行い、この着磁の順として、前記主トラックを前記副トラックよりも後に着磁することを特徴とする磁気エンコーダの製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の磁気エンコーダの製造方法であって、前記各磁気トラックを着磁するときに、現在着磁しない側の磁気トラックとなる部分を磁気シールドで遮蔽しながら、Ｎ極とＳ極とを１極ずつ交互に着磁する磁気エンコーダ製造方法。
【請求項５】
Ｎ極とＳ極が交互に並ぶ磁気トラックが複数列隣合って設けられ、これら複数列の磁気トラックとして、角度算出に使用される主トラックと、前記主トラックとの位相差の算出に使用される副トラックとがあり、前記主トラックの磁極数が副トラックの磁極が数よりも多い磁気エンコーダを製造する装置であって、
未着磁の前記磁気エンコーダの前記磁気トラックに端部が対向しこの磁気トラックを着磁する着磁ヨークと、
この着磁ヨークに巻回される励磁コイルと、
この励磁コイルに着磁電流を供給して前記対向端部間に磁束を通す着磁電源と、
前記未着磁の前記磁気エンコーダに対して前記着磁ヨークを相対的に位置決めする位置決め装置と、
前記着磁電源および前記位置決め装置を制御する制御手段とを備え、
この制御手段は、前記未着磁の磁気エンコーダに、個々の磁気トラック毎に順次着磁を行い、この着磁の順として、前記主トラックを前記副トラックよりも後に着磁するように前記着磁電源および前記位置決め装置を制御することを特徴とする、
磁気エンコーダの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、回転速度あるいは回転位置の検出に使用する磁気エンコーダ、並びにその製造方法および製造装置に関し、特に絶対角検出で使用する複列の磁気エンコーダトラックを有する磁気エンコーダ、その製造方法、製造装置に適用される技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示されている磁気エンコーダ装置は、ベース部を焼結金属で形成し、ベース部をインサートして成形部を熱可塑性樹脂および磁性粉を主成分とする樹脂材料で射出成形し、成形部に円周方向に配列した複数の磁極を有する磁気エンコーダトラックを形成する。磁気エンコーダトラックを複列に配置し、異なるトラックで検出した磁気信号の位相差に基づき、回転軸の絶対角度を検出するのに利用される。
特許文献２では、複列の磁気エンコーダトラックを着磁する際に、磁気シールドを使って、着磁対象以外のトラック列への磁束の流れを遮蔽するものが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−０７５４６６号公報
【特許文献２】特許第５９７３２７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、磁気エンコーダトラックを複列に配置し、それぞれに１極対の差を設けて着磁した磁気エンコーダを形成する。たとえば、一方の磁気エンコーダトラックを３２極対、他方の磁気エンコーダトラックを３１極対で着磁した磁気エンコーダでは、１回転で１極対の差が発生することを利用して回転軸の絶対角を検出する。
【０００５】
しかしながら、１回転で１極対の差を利用して絶対角を検出する磁気エンコーダは、より高い着磁精度を要求される。例えば、３２極対と３１極対で着磁した２列の磁気エンコーダトラックを用いて絶対角度を検出する場合、３２極対側の１極対当たりの角度は１１．２５度（３６０／３２）となる。どの位相位置にあるかを判別するには０．３５度（１１．２５／３２）以下の着磁精度、例えば安全を見て±０．１度以下の着磁精度が要求される。着磁極数が６４極対と６３極対のように極数が増えると、要求精度は更に厳しくなり、たとえば、±０．０４度以下が要求される。
【０００６】
特許文献２では、複列の磁気エンコーダを着磁する際に、隣の磁気エンコーダトラックに影響を与えないように、着磁しない側の磁気エンコーダトラックを磁気シールド部材で遮蔽できる着磁ヨークを用いた着磁装置が開示されているが、どのような順番で着磁がされるか、またいずれの磁気トラックの精度を高くするかまでは開示されていない。
【０００７】
そこで、この発明は、簡易な製造方法の改良で製造できて、高精度に絶対角を検出することができる磁気エンコーダ、並びにその磁気エンコーダの製造方法および製造装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の磁気エンコーダは、Ｎ極とＳ極が交互に並ぶ磁気トラックが複数列隣合って設けられ、これら複数列の磁気トラックとして、角度算出に使用される主トラックと、前記主トラックとの位相差の算出に使用される副トラックとがあり、前記主トラックの磁極数が副トラックの磁極が数よりも多い磁気エンコーダであって、
前記主トラックの方が前記副トラックよりも磁極のピッチの精度が高いことを特徴とする。
【０００９】
磁気エンコーダは、一般的に未着磁の磁気エンコーダを製造しておいて、後に着磁が成される。この場合に、各磁気トラックは順次着磁が行われるが、先に着磁した磁気トラックは後で着磁する磁気トラックの着磁を行う際に、その磁束漏れによる精度低下の影響が想定される。そのため、隣合って並ぶ全ての磁気エンコーダを高精度に着磁することが難しい。
そこで、この発明の磁気エンコーダは、磁極ピッチの精度が低くなる方の磁気トラックを副トラックとしている。副トラックは主トラックとの位相差の算出に使用される磁気トラックであるため、着磁ピッチの精度の影響が比較的に少なく、磁極数が多く角度算出に使用される主トラックのピッチの精度を副トラックよりも高くすることで、限られた製造上の精度の範囲内で、高精度で絶対角を検出することができる磁気エンコーダとなる。
また、この発明の磁気エンコーダは、上記のように各磁気トラックへの着磁順の工夫を行うだけの簡易な製造方法の改良で製造できる。
なお、この発明の磁気エンコーダは、磁気トラック毎の着磁が前後する磁気エンコーダに限らず、磁気トラック間で精度に差が生じる磁気エンコーダ一般に適用できる。
【００１０】
この発明の磁気エンコーダは、前記複数列の磁気トラックが、円環状に並ぶものであっても良い。前記各列の磁気トラックは、磁極が前記円環の外周側または内周側を向くものであっても、また軸方向を向くものであっても良い。このような磁気エンコーダに、この発明は効果的に適用される。
なお、この発明の磁気エンコーダは、磁気トラックが直線状に延びるものであっても良い。
【００１１】
この発明の磁気エンコーダの製造方法は、Ｎ極とＳ極が交互に並ぶ磁気トラックが複数列隣合って設けられ、これら複数列の磁気トラックとして、角度算出に使用される主トラックと、前記主トラックとの位相差の算出に使用される副トラックとがあり、前記主トラックの方が前記副トラックよりも磁極数が多い磁気エンコーダを製造する方法であって、未着磁の磁気エンコーダを製造した後、この未着磁の磁気エンコーダに、個々の磁気トラック毎に順次着磁を行い、この着磁の順として、前記主トラックを前記副トラックよりも後に着磁することを特徴とする。
【００１２】
この製造方法によると、未着磁の磁気エンコーダを着磁極対数の異なる複列（たとえば２列）に着磁した磁気エンコーダを製造するときに、初めに着磁極対数の少ない位相位置を検出する側の磁気トラック（副トラック）を着磁し、最後に着磁極対数の多い角度を算出する側の磁気トラック（主トラック）を着磁する。
角度精度に影響する着磁極対数の多い磁気トラック（主トラック) を最初に着磁した場合、前述のように、その後で他方の磁気トラック（副トラック）を着磁した際に、その磁束漏れによる主トラックへの精度低下の影響が想定されるが、角度精度に影響する着磁極対数の多い主トラックを最後に着磁することで、主トラックの精度劣化を抑制し、高精度で絶対角を検出することができる。
【００１３】
この発明の磁気エンコーダの製造方法であって、前記各磁気トラックを着磁するときに、現在着磁しない側の磁気トラックとなる部分を磁気シールドで遮蔽しながら、Ｎ極とＳ極とを１極ずつ交互に着磁するようにしても良い。
このように１極ずつ交互に着磁し、かつ現在着磁しない側の磁気トラックとなる部分を磁気シールドで遮蔽しながら着磁することで、磁束漏れによる影響をできるだけ小さくし、比較的に高精度な着磁が行える。この場合にも、先に着磁した磁気トラックへの精度低下の影響が避けられないが、この発明は主トラックを後で着磁するため、主トラックの精度劣化を抑制し、高精度で絶対角を検出することができる。
【００１４】
この発明の磁気エンコーダの製造装置は、Ｎ極とＳ極が交互に並ぶ磁気トラックが複数列隣合って設けられ、これら複数列の磁気トラックとして、角度算出に使用される主トラックと、前記主トラックとの位相差の算出に使用される副トラックとがあり、前記主トラックの方が前記副トラックよりも磁極数が多い磁気エンコーダを製造する装置であって、未着磁の前記磁気エンコーダの前記磁気トラックに端部が対向しこの磁気トラックを着磁する着磁ヨークと、
この着磁ヨークに巻回される励磁コイルと、
この励磁コイルに着磁電流を供給して前記対向端部間に磁束を通す着磁電源と、
前記未着磁の前記磁気エンコーダに対して前記着磁ヨークを相対的に位置決めする位置決め装置と、
前記着磁電源および前記位置決め装置を制御する制御手段とを備え、
この制御手段は、前記未着磁の磁気エンコーダに、個々の磁気トラック毎に順次着磁を行い、この着磁の順として、前記主トラックを前記副トラックよりも後に着磁するように前記着磁電源および前記位置決め装置を制御することを特徴とする、
【００１５】
この構成の磁気エンコーダの製造装置によると、この発明の製造方法を実施することができ、主トラックの精度劣化を抑制し、高精度で絶対角を検出することができる。
【００１６】
この発明の磁気エンコーダの製造装置において、前記着磁ヨークに設けられて着磁対象以外の列の磁気エンコーダトラックへの磁束の流れを遮蔽する磁気シールドを備えていても良い。
磁気シールドを備えることで、より高精度な着磁が行える。磁気シールドを有していても、前述のように、先に着磁した磁気トラックへの精度低下の影響が避けられないが、この発明は主トラックを後で着磁するため、主トラックの精度劣化を抑制し、高精度で絶対角を検出することができる。
【発明の効果】
【００１７】
この発明の磁気エンコーダは、Ｎ極とＳ極が交互に並ぶ磁気トラックが複数列隣合って設けられ、これら複数列の磁気トラックとして、角度算出に使用される主トラックと、前記主トラックとの位相差の算出に使用される副トラックとがあり、前記主トラックの磁極数が副トラックの磁極数よりも多い磁気エンコーダであって、前記主トラックの方が前記副トラックよりも磁極のピッチの精度が高いため、簡易な製造方法の改良で製造できて、高精度に絶対角を検出することができる。
【００１８】
この発明の磁気エンコーダの製造方法は、Ｎ極とＳ極が交互に並ぶ磁気トラックが複数列隣合って設けられ、これら複数列の磁気トラックとして、角度算出に使用される主トラックと、前記主トラックとの位相差の算出に使用される副トラックとがあり、前記主トラックの磁極数が副トラックの磁極が数よりも多い磁気エンコーダを製造する方法であって、未着磁の磁気エンコーダを製造した後、この未着磁の磁気エンコーダに、個々の磁気トラック毎に順次着磁を行い、この着磁の順として、前記主トラックを前記副トラックよりも後に着磁するため、高精度に絶対角を検出することができる磁気エンコーダを、簡易な製造方法の改良で製造することができる。
【００１９】
この発明の磁気エンコーダの製造装置は、Ｎ極とＳ極が交互に並ぶ磁気トラックが複数列隣合って設けられ、これら複数列の磁気トラックとして、角度算出に使用される主トラックと、前記主トラックとの位相差の算出に使用される副トラックとがあり、前記主トラックの磁極数が副トラックの磁極数よりも多い磁気エンコーダを製造する装置であって、未着磁の前記磁気エンコーダの前記磁気トラックに端部が対向しこの磁気トラックを着磁する着磁ヨークと、この着磁ヨークに巻回される励磁コイルと、この励磁コイルに着磁電流を供給して前記対向端部間に磁束を通す着磁電源と、前記未着磁の前記磁気エンコーダに対して前記着磁ヨークを相対的に位置決めする位置決め装置と、前記着磁電源および前記位置決め装置を手段する制御手段とを備え、この制御装置は、前記未着磁の磁気エンコーダに、個々の磁気トラック毎に順次着磁を行い、この着磁の順として、前記主トラックを前記副トラックよりも後に着磁するように前記着磁電源および前記位置決め装置を制御するため、高精度に絶対角を検出することができる磁気エンコーダを、簡易な製造方法の改良で製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】この発明の一実施形態に係る磁気エンコーダの断面図である。
【図２】（ａ）同磁気エンコーダの磁極の並びを示す展開図、（ｂ），（ｃ）および（ｄ）は同磁気エンコーダから得られる２つの信号、および両信号の位相差の波形図である。
【図３】同磁気エンコーダを製造する製造装置の一例の断面図である。
【図４】図３のIV-IV 線断面図である。
【図５】同製造装置による磁気エンコーダの各着磁過程を示す断面図である
【図６】同磁気エンコーダの各列の磁極の並びを示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
この発明の一実施形態を図面と共に説明する。図１に磁気エンコーダの断面図を示す。図２（ａ）に磁気トラックの着磁パターンを円周方向に展開した図を示す。図２（ｂ）、（ｃ）は、これら磁気パターンの着磁極対に対する検出信号を表し、図２（ｄ）はそれらの位相差を示す。
【００２２】
磁気エンコーダ１は、金属環からなる芯金２の外周面に磁性粉を混練したゴム材料を、芯金２とともに金型に入れて加硫接着したもの、あるいはプラスチック材料と磁性粉をまぜたものと芯金２を一体成形して円環状の磁性部材３を形成した後、未着磁の磁性部材３の表面に着磁極対数の異なる複列の磁気トラック４が形成される。この複列の磁気トラック４は、たとえば、一方の列が主トラック５として３２極対、他方の磁気トラックが副トラック６として３１極対で着磁される。この磁気エンコーダ１は、後述のように、主トラック５を副トラック６よりも後で着磁することで、主トラック５の方が副トラック６よりも磁極のピッチの精度が高く形成されている。磁気エンコーダ１は、回転軸や軸受の回転輪等の回転部材（図示せず）に取付けて絶対角検出に用いられる。
【００２３】
この磁気エンコーダでは、１回転で１極対の差が発生することを利用して回転軸の絶対角の検出に用いられる。
たとえば、磁気エンコーダ１に、絶対角検出用の磁気センサとして、主トラック５および副トラック６に対向する磁気センサ３１，３２を対向配置し、磁気エンコーダ１をその円環中心Ｏ回りに回転させた場合、主トラック５側の磁気センサ３１からは図２（ｂ）に示す検出信号が出力され、副トラック６側の磁気センサ３２  からは図２（ｃ）に示す検出信号が出力される。それぞれの検出信号は、Ｎ極Ｓ極の１極対で０から３６０度の位相信号であり、それら検出信号の差を取ると、図２（ｃ）に示すように、磁気エンコーダ１の回転に伴い、直線的に変化する位相差信号が得られる。この場合、磁気エンコーダ１が１回転で位相差信号は０から３６０度で変化する。
【００２４】
絶対角の検出では、主トラック５を元にして角度を算出し、主トラック５と副トラック６との位相差から、主トラックの位置を把握して絶対角を検出することができる。この場合に、主トラック５が副トラック６よりも高精度に着磁されているため、副トラック６の方が主トラック５よりも高精度に着磁されている場合に比べて、高精度に絶対角の検出が行える。なお、前記磁気エンコーダ１と、前記磁気センサ３１，３２と、この磁気センサ３１，３２の検出信号から前記絶対角の算出を行う電子回路等の手段とで、絶対角の検出装置が構成される。
【００２５】
着磁方法として、たとえばＮ極、Ｓ極を１極ずつ交互に着磁するインデックス着磁装置を用いて、磁気エンコーダ１を回転させながら、各磁気トラック４（５、６）を順に着磁する方法と、両方の磁気トラック４（５、６）の着磁を同時に行う一発着磁とがあり、いずれを用いてもよい。しかし、一発着磁は着磁ヨーク構造が複雑になり、着磁時に双方の磁気トラック４（５、６）の磁気干渉があって、精度良く着磁するのが難しい。そのため、複列の磁気トラック４を有する場合にはインデックス着磁の方がより好ましい。
【００２６】
たとえば、３２極対と３１極対で着磁した２列の磁気トラック４（５，６）を用いて絶対角度を検出する場合、３２極対側（主トラック５）の１極対当たりの角度は１１．２５度（３６０／３２）となる。どの位相位置にあるかを判別するにはその３２分の一に相当する０．３５度（１１．２５／３２）以下の着磁精度、例えば安全を見て±０．１度以下の着磁精度が要求される。着磁極数が６４極対と６３極対のように極数が増えると、要求精度は更に厳しくなり、たとえば、±０．０４度以下が要求される。
【００２７】
角度算出に使用する着磁極対数の多い主トラック５を最初に着磁した場合、その後で副トラック６を着磁した際に、その磁束漏れによる主トラック５の精度、たとえばピッチ誤差（ピッチ精度）や累積ピッチ誤差（累積ピッチ精度）への影響が想定され、この場合、角度精度が低下する。
ここで、ピッチ誤差および累積ピッチ誤差とは、何れも着磁されたトラックの精度を示す指標である。一例として、３２極対で着磁された磁気トラックを考えると、１極対当たりの角度は、理論的には、１１．２５度となる。ここで、実際には、ある１極対の角度が、１１．３度となっていた場合には、当該極対のピッチ誤差は、＋０．０５度となる。また、累積ピッチ誤差とは、ピッチ誤差を、全ての極対に対して積算し、その最大値（振幅）を用いて表される。
【００２８】
そのため、角度精度に影響する着磁極対数の多い主トラック５を最後に着磁することが好ましく、これにより主トラック５の精度劣化を抑制し、高精度で絶対角を検出することができる。
この場合、主トラック５を着磁した際に、初めに着磁した副トラック６の精度に影響することも想定されるが、副トラック６は主トラック５との位相関係を把握するために用いるものであり、精度はそれほど考慮しなくてもよい。
【００２９】
図３に着磁装置を示す。図４に、図３のIV−IV断面矢視図を示す。
この磁気エンコーダの着磁装置７は、着磁対象となる未着磁の磁気エンコーダ１を保持するチャック８を回転させるスピンドル９と、これを回転させるモータ１０と、着磁ヨーク１１と、着磁ヨーク１１を３軸方向に位置決めする位置決め手段１２と、着磁電源１３と、制御手段１４とを備える。モータ１０は、回転角度を検出する検出装置である高精度のエンコーダ２４を有する。また、チャック８に保持された磁気エンコーダ１の着磁が終了した段階で着磁精度を測定するための磁気センサ１５が設けられ、３軸方向に位置決め可能な位置決め手段１６に固定されている。
前記モータ１０と、着磁ヨーク１１の前記位置決め手段１２とで、前記未着磁の前記磁気エンコーダ１に対して前記着磁ヨーク１１の先端部１９を相対的に位置決めする位置決め装置２９が構成される。
【００３０】
前記制御手段１４は、コンピュータ等からなり、前記未着磁の磁気エンコーダ１に、個々の磁気トラック４毎に順次着磁を行い、この着磁の順として、前記主トラック５を前記副トラック６よりも後に着磁するように、かつＮＳの磁極が交互に並ぶように、前記位置決め装置２９の位置決め手段１２とモータ１０と着磁電源１３とを数値制御等により制御する。
【００３１】
着磁ヨーク１１は、磁気ギャップを介して磁気的に対向する一対の対向端部１９，２０を有しこれら対向端部１９，２０に対して定められた位置，姿勢に配置される未着磁の前記磁気エンコーダ１の前記磁気トラック４を着磁する。着磁ヨーク１１は、具体的には、Ｕ字状の着磁ヨーク本体１７と励磁コイル１８と、前記着磁ヨーク本体１７の一端および他端にそれぞれに設けられた第１の先端部１９および第２の先端部２０からなる。励磁コイル１８は着磁ヨーク本体１７の外周に巻かれている。着磁ヨーク１１は、着磁のための磁束ａ（図４参照）を磁気エンコーダ１に貫通させるものであり、着磁ヨーク１１の第１の先端部１９は先端が尖った構造とされ、着磁時には磁気エンコーダ１の表面と対向させる。第２の先端部２０はチャック８に隙間を持って対向し、第１の先端部１９から磁気エンコーダ１、チャック８を経由して第２の先端部２０に渡る磁気ループが形成される。なお、第２の先端部２０は省略してあっても良い。
【００３２】
磁気シールド部材２１には断面テーパ状の角形状の孔２２が形成され、孔２２の上下それぞれに隙間を開けて第１の先端部１９が配置される。磁気エンコーダ１と対向する磁気シールド部材２１と第１の先端部１９は、未着磁の磁気トラック４と一定の隙間、たとえば０．１ｍｍ程度を保持して位置決めされる。
【００３３】
磁気シールド部材２１は、着磁ヨーク本体１７の第２の先端部２０寄りの位置で固定される支持台２３の端部に固定される。第１の先端部１９から発生する磁束の内、着磁しない他方の磁気トラック４に影響を与える磁束を磁気シールド部材２１に誘導し、磁気エンコーダ１に対向する第１の先端部１９とは反対側の第２の先端部２０側に逃がす構成とされる。磁気シールド部材２１と支持台２３には、磁性体、たとえば低炭素の鉄鋼材を用いる。
複列の磁気エンコーダ１の着磁において、磁気シールド部材２１を、着磁対象以外の磁気トラック列への磁束の流れを遮蔽するように磁気トラック４と対峙させて着磁することが可能になる。
【００３４】
複列の磁気エンコーダ１の着磁において、磁気シールド部材２１を着磁対象以外の磁気トラック４の磁束の流れを遮蔽するように磁気トラック４と対峙させて着磁することが可能になる。
【００３５】
図５は、未着磁の磁気エンコーダ１の磁性部材３に２列の磁気トラック４（５，６）着磁する場合の着磁ヨーク１１の第１の先端部１９の配置位置を示す。また、図６には、２列に着磁した磁気エンコーダ１の着磁パターンの例を示す。
【００３６】
図５（ａ）は、磁気エンコーダ１の磁性部材３の下半分を副トラック６となる磁気トラックとして着磁する場合の着磁ヨーク１１の第１の先端部１９と磁気シールド部材２１の配置を示す。このとき、他方の磁気トラック４（主トラック５）が形成される磁性部材３の表面は、磁気シールド部材２１で覆って、第１の先端部１９から流れる磁束が他方の磁気トラック４（主トラック５）に流れるのを防止する。
【００３７】
図５（ｂ）は、磁気エンコーダ１の磁性部材３の上半分を主トラック５となる磁気トラック４として着磁する場合の着磁ヨーク１１の第１の先端部１９と磁気シールド部材２１の配置を示す。このとき、初めに着磁した副トラック６となる磁気トラック４が形成された磁性部材３の表面は、磁気シールド部材２１で覆って、第１の先端部１９から流れる磁束が磁気トラック４（副トラック６）に流れるのを防止する。
【００３８】
図５（ａ）に示す工程で副トラック６（磁気トラック４）を形成し、最後に図５（ｂ）に示す工程で主トラック５（磁気トラック４）を形成する順番で着磁を行うと、主トラック５の精度劣化を抑制し、高精度で絶対角を検出することができる。
【００３９】
この実施形態によると、上記のように、複列の磁気トラック４を着磁する場合に、角度を算出する磁気トラック４である主トラック５を最後に着磁することで、主トラック５の着磁ピッチ等の精度劣化を抑制した磁気エンコーダ１が得られ、高精度で絶対角を検出することができる。
【００４０】
なお、上記実施形態は、ラジアル型の磁気エンコーダ１に適用した場合につき説明したが、この発明は、アキシアル型の磁気エンコーダや直線型の磁気エンコーダにも適用することができる。
【００４１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００４２】
１…磁気エンコーダ
２…芯金
３…磁性部材
４…磁気トラック
５…主トラック
６…副トラック
７…磁気エンコーダの着磁装置
８…チャック
１０…モータ
１１…着磁ヨーク
１２…位置決め手段
１３…着磁電源
１４…制御手段
１９…先端部
２１…シールド部材
２９…位置決め装置
【図１】
2018124189.tif 000003
【図２】
2018124189.tif 000004
【図３】
2018124189.tif 000005
【図４】
2018124189.tif 000006
【図５】
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【図６】
2018124189.tif 000008