(57)【要約】【課題】機能性粒子が含まれるインク材料の噴霧ミスト量を高精度かつ安定的に制御することができる噴霧装置を提供する。【解決手段】本発明の噴霧装置は、ガス供給流路１４と気液混合室１６と、気液混合室１６に連通してインクミストを噴射するノズル１８を有し、ガスとインクを気液混合室１６で混合してノズル１８からインクミストを噴射するすると共に、圧電素子９によってダイヤフラム１０を振動させてオリフィス部１２の流路面積を制御しているので、機能性粒子が含まれるインク材料のミスト液滴の量を高精度かつ安定的に制御することができる。【選択図】図２
2018187590.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスを供給するガス供給流路と、
インクを供給するインク供給流路と、
前記インク供給流路のインク流量を制御するインク吐出制御バルブと、
前記ガス供給流路と前記インク供給流路が連通してガスとインクが混合する気液混合室と、
前記気液混合室に連通してインクミストを噴射するノズルと、を有し、
前記インク吐出制御バルブが、
前記インク供給流路と前記ガス供給流路とを繋ぐオリフィス部の流路面積を変化させる圧電素子と、
前記オリフィス部と圧電素子の間に介在するダイヤフラムとを有する、
噴霧装置。
【請求項２】
前記圧電素子と前記ダイヤフラムの間に圧電素子の変位量を拡大する拡大機構とを具備することを特徴とする、
請求項１に記載の噴霧装置。
【請求項３】
前記インク供給流路に隣接して前記ダイヤフラムが位置する、
請求項１または２記載の噴霧装置。
【請求項４】
前記オリフィス部と前記インク供給流路とを繋ぐ第１接続流路があり、
前記オリフィス部と、前記ガス供給流路と前記気液混合室とを連結する接続箇所と、を接続する第２接続流路とがあり、
前記第１接続配管の断面積は、前記第２接続流路の断面積より小さい、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の噴霧装置。
【請求項５】
ガス供給流路と気液混合室とを結ぶ直線と、第２接続流路の直線とがなす角が９０度未満である、
請求項４記載の噴霧装置。
【請求項６】
前記圧電素子の前記ダイヤフラム側の面を凸形状とし、前記ダイヤフラムと対向する前記インク供給流路面を曲率の凹形状とした、
請求項１または２に記載の噴霧装置。
【請求項７】
前記ダイヤフラムの接液部表面と、前記ダイヤフラムと対向するインク供給流路面の少なくとも何れかに、インクに含まれる粒子サイズより大きな凹凸形状の凹凸部を有することを特徴とする、
請求項１から３のいずれか１項に記載の噴霧装置。
【請求項８】
前記ダイヤフラムの接液部表面と、前記ダイヤフラムと対向するインク供給流路面の少なくとも何れかが弾性材料であることを特徴とする、
請求項１から４のいずれか１項に記載の噴霧装置。
【請求項９】
前記インク吐出制御バルブに対して複数の前記気液混合室と前記ノズルを具備することを特徴とする、
請求項１から８のいずれか１項に記載の噴霧装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載の噴霧装置において、前記ガス供給流路のガス圧力を、前記インク供給流路のインク圧力よりも高くする、
噴霧方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二流体噴霧ノズルを備えた噴霧装置と噴霧方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、二流体噴霧ノズルのミスト液滴の生成を効率化し、より一層に微細化を促進する様々な方法が開発されてきている。代表的なものとして、二流体噴霧ノズルを二分岐して互いに衝突させる方法や、あらかじめ高圧ガスを二分岐して一度微細化したミスト液滴にさらに高圧ガスを衝突させる方法の他、ミスト噴射前の液体中に気泡を混入し気液混相流とし、これを高圧ガスと衝突させ液体の微細化の効率を上げる方法が知られている。
【０００３】
特許文献１の二流体噴霧ノズルについて、図６と図７（ａ）（ｂ）を参照しながら説明する。
【０００４】
図６は、従来の二流体噴霧ノズルの断面図である。
【０００５】
二流体噴霧ノズルは、ノズル本体５０に、部材Ａ５１と、部材Ｂ５２と、コア本体５３を組み付けて構成されている。
【０００６】
ノズル本体５０は、円筒状で内部に管状の空間が形成されており、一端に部材Ａ５１のねじ部５４と螺合するねじ部５５が形成されている。ノズル本体５０と部材Ａ５１および部材Ｂ５２が接合されて、部材Ｂ５２の外周とノズル本体５０の中空部内面により空気流路５６が形成されている。
【０００７】
部材Ａ５１は、管状の中空部の端部に液体流入口５７を形成し、後尾部５８の外周と内周に各々のねじ部５４，５９が形成されている。
【０００８】
部材Ｂ５２は、円筒状で、一端の外周にねじ部６０が形成され他端に部材Ａ５１のねじ部５９と螺合するねじ部６１が形成されている。
【０００９】
部材Ｂ５２のねじ部６１の外側に、切り込み部６２を介して平坦部６３が形成されている。ねじ部５９とねじ部６１の螺合により、部材Ａ５１と部材Ｂ５２が接合されて、液体流路６４と連通されている。
【００１０】
ノズル本体５０の先端部６５の内周面にテーパが形成されるとともに、ノズル本体５０の中央付近には外部に貫通した空気流入口６６が形成されている。
【００１１】
コア本体５３は、ノズル本体５０の先端部６５のテーパ面に接合するテーパ面を有し、部材Ｂ５２のねじ部６０を螺合するねじ部６７を内周に通孔６８を形成してノズル本体５０の前面に接合されている。
【００１２】
コア本体５３の正面図を図７（ａ）に示し、側面図を図７（ｂ）に示す。コア本体５３外面には、通孔６８に対し直角に連通するよう外部に貫通形成された複数の小孔６９が形成され、小孔６９の直上のテーパ面には各々傾斜溝７０が形成されている。
【００１３】
ここで、液体流入口５７に液体ポンプ（図示せず）から送られた液体を導入し、本体５０の空気流入口６６にはエアコンプレッサ（図示せず）から送られた高圧空気が導入される。高圧空気は空気流路５６に圧送され、ノズル本体５０の先端側でコア本体５３のテーパ面に形成された傾斜溝７０に沿って外部に高圧気体となって噴出する。
【００１４】
一方、液体ポンプから圧送された液体は、液体流路６４を通過して先端側のコア本体５３に送られる。この時、部材Ａ５１と部材Ｂ５２との接合部分において部材Ｂ５２の平坦部６３上方に間隙７１が形成されているため、空気流路５６に圧送された高圧気体の一部が間隙７１を通って液体流路６４に入り、液体流路６４を通過する液体に混入して気泡を生じさせる。
【００１５】
このように高圧気体が混入することにより液体流路６４内で気液の混合が生じ、気液混相流が先端側のコア本体５３の通孔６８を進み、小孔６９から外部に噴出する。ここで、噴出した気液混相流は直上の傾斜溝７０より噴出する高圧気体と衝突し液体が微細化されて霧化するが、あらかじめ混入した気泡の破裂により気泡が無い時と比較して微細化が促進され、より微細な液滴を得ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開昭５８−８９９６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
このような従来の二流体噴霧ノズルは、流体の元圧を電磁弁駆動により制御することで、ノズル噴射ＯＮ／ＯＦＦの切り替えを行っているため、ミスト液滴の噴射量の微調整や、ノズル噴射ＯＮ／ＯＦＦの高速な切り替えには対応できない。
【００１８】
そこで、非塗布エリアへのミスト液滴の付着を防止するためにマスクを設置する必要があり、塗布エリアへの任意パターン塗布には対応できないため、均一塗布のみに限定した用途で用いられている。
【００１９】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、高精度かつ安定的にミスト液滴を噴射できる噴霧装置と噴霧方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の噴霧装置は、ガスを供給するガス供給流路と、インクを供給するインク供給流路と、前記インク供給流路のインク流量を制御するインク吐出制御バルブと、前記ガス供給流路と前記インク供給流路が連通してガスとインクが混合する気液混合室と、前記気液混合室に連通してインクミストを噴射するノズルと、を有し、前記インク吐出制御バルブが、オリフィス部の流路面積を変化させる圧電素子と、前記インク供給流路と圧電素子の間に介在するダイヤフラムとを有する。
【００２１】
具体的には、前記圧電素子と前記ダイヤフラムの間に圧電素子の変位量を拡大する拡大機構を具備することを特徴とする。
【００２２】
また、前記ダイヤフラムの接液部表面と、前記ダイヤフラムと対向するインク供給流路面の少なくとも何れかに、インクに含まれる粒子サイズより大きな凹凸形状の凹凸部を具備することを特徴とする。
【００２３】
また、前記ダイヤフラムの接液部表面と、前記ダイヤフラムと対向するインク供給流路面の少なくとも何れかが弾性材料であることを特徴とする。
【００２４】
また、前記インク吐出制御バルブに対して複数の前記気液混合室と前記ノズルを具備することを特徴とする。
【００２５】
本発明の噴霧方法は、ガスを供給するガス供給流路と、インクを供給するインク供給流路と、前記インク供給流路のインク流量を制御するインク吐出制御バルブと、前記ガス供給流路と前記インク供給流路が連通してガスとインクが混合する気液混合室と、前記気液混合室に連通してインクミストを噴射するノズルと、を有し、前記インク吐出制御バルブが、オリフィス部の流路面積を変化させる圧電素子と、前記インク供給流路と圧電素子の間に介在するダイヤフラムとを有する噴霧装置において、前記ガス供給流路のガス圧力を、前記インク供給流路のインク圧力よりも高くすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
この構成によれば、ガスとインクを気液混合室で混合してノズルからインクミストを噴射するすると共に、圧電素子９によってダイヤフラム１０を振動させてオリフィス部１２の流路面積を制御するインク吐出制御バルブ２６を構成しているので、機能性粒子が含まれるインク材料のミスト液滴の量を高精度かつ安定的に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の噴霧装置の（ａ）平面図と（ｂ）被加工物の基板に塗布領域が形成された後の様子を示す平面図
【図２】本発明の実施の形態の二流体噴霧ノズルの断面図
【図３】本発明の（ａ）実施例１の吐出制御バルブの概略断面図と（ｂ）実施例２の吐出制御バルブの概略断面図
【図４】本発明の（ｃ）実施例３の吐出制御バルブの概略断面図と（ｄ）実施例４の吐出制御バルブの概略断面図
【図５】本発明の（ｅ）実施例５の吐出制御バルブの概略断面図と（ｆ）実施例６の吐出制御バルブの概略断面図、および（ｇ）実施例６の吐出制御バルブのインク供給流路面を上側から見ている平面図と（ｈ）実施例６の吐出制御バルブのインク供給流路面を上側から見ている別の実施例の平面図
【図６】従来の二流体噴霧ノズルの断面図
【図７】従来の二流体噴霧ノズルの（ａ）コア本体の正面図と（ｂ）側面図
【発明を実施するための形態】
【００２８】
図１（ａ）は、本発明の実施の形態の噴霧装置１の平面図を示す。
【００２９】
噴霧装置１は、架台２と、架台２の上に設置された基板搬送ステージ３と、ノズルが基板搬送ステージ３に対向する二流体噴霧ノズル４からなる。二流体噴霧ノズル４は、基板搬送ステージ３を跨ぐガントリー５に設置されている。図１（ａ）は、噴霧装置１が被加工物である基板６の塗布領域７にインクの塗布を開始する直前の様子を示している。図１（ｂ）は、基板６の塗布領域７にインクが塗布された直後の様子を示している。
【００３０】
先ず、この噴霧装置１の塗布動作を説明する。
【００３１】
基板搬送ステージ３は、図１（ａ）に示す状態から図１（ｂ）に示す状態へ移動する。この時、基板搬送ステージ３上に載置された基板６に向けて、二流体噴霧ノズル４のノズルからインクミスト液滴が噴射され、基板６の塗布領域７にインクミスト液滴が塗布される。基板搬送ステージ３の速度は、２０〜４００ｍｍ／ｓである。噴霧装置１は、基板搬送ステージ３の位置を検出し、インクミスト液滴の噴射タイミングと噴射量を制御することで、任意のパターンを形成する。
【００３２】
図２は、二流体噴霧ノズル４の断面図である。
【００３３】
二流体噴霧ノズル４は、ノズル本体８と、圧電素子９と、ダイヤフラム１０を有している。ノズル本体８には、ノズル本体８の外部からインクが供給されるインク供給流路１１と、オリフィス１２と、インク供給流路１１とオリフィス１２を接続する第１接続流路１３と、ノズル本体８の外部からガスが供給されるガス供給流路１４と、ガス供給流路１４の出口とオリフィス１２を接続する第２接続流路１５と、ガス供給流路１４と第２接続流路１５の接続点に入口が接続された気液混合室１６と、気液混合室１６の出口に接続されノズル本体８の底面１７で開口したノズル１８が形成されている。
【００３４】
インク供給流路１１，オリフィス１２，第１接続流路１３，ガス供給流路１４の入口は、何れもノズル本体８の側面１９で少なくとも一部が開口している。ダイヤフラム１０はノズル本体８の側面１９に取り付けられている。
【００３５】
インク供給流路１１，オリフィス１２，第１接続流路１３，ガス供給流路１４のそれぞれのノズル本体８の側面１９における開口部分は、ダイヤフラム１０によって閉塞されている。ガス供給流路１４と気液混合室１６の接続箇所２０の断面積は、ガス供給流路１４，気液混合室１６よりも小さく形成されており、このガス供給流路１４と気液混合室１６の接続箇所に第２接続流路１５が連通している。
【００３６】
圧電素子９の先端は、オリフィス１２に対応するダイヤフラム１０の外表面に当接している。このように構成したため、ガスを供給するガス供給流路１４は、ガス圧力Ｐ１で加圧されることによってガス流れ２２の方向にガスが供給されている。インクを供給するインク供給流路１１は、ガス圧力Ｐ１で加圧されることによってインク流れ２３の方向にインクが供給されている。
【００３７】
ノズル本体８に供給されたインクは、インク供給流路１１から第１接続流路１３とオリフィス１２と第２接続流路１５を経由してガス供給流路１４と気液混合室１６の接続箇所２０に供給される。また、ノズル本体８に供給されたガスは、ガス供給流路１４を介してガス供給流路１４と気液混合室１６の接続箇所２０に供給される。そのため、ガス供給流路１４と気液混合室１６の接続箇所２０から気液混合室１６に流入したインクとガスが気液混合室１６において混合されて、ノズル１８からインクミスト液滴を排出することができる。
【００３８】
さらに、圧電素子９の伸縮によって発生する変位方向２４の振動によってダイヤフラム１０を変位させることによって、インク供給流路１１のオリフィス１２のインク流路面積を変化させる機構を有している。これによって、インク供給流路１１のインク流量を任意に制御することが可能となる。
【００３９】
第１接続配管１３の断面積は、第２接続流路１５の断面積より、小さくしてある。ダイヤフラム１０を変位させることによって、インクは、第１接続配管１３より第２接続流路１５へ流れる。
【００４０】
なお、粘性が特に高いインク材料や、大きな粒子を含むインク材料を扱う際には、圧電素子９の変位ではインク材料の送液が充分できない場合がある。この場合には、ヒンジ機構やテコの原理を応用して圧電素子９の変位を拡大してダイヤフラム１０を変位させる拡大機構を適用することによって、より高粘度のインク材料や粒子サイズの大きな材料を送液することが可能となる。
【００４１】
気液混合室１６では、ガス流れ２２とインク流れ２３が混合されて、縮流を伴って微細なミスト液滴となり、気液混相流れ２５へと発達してノズル１８からインクミスト液滴が噴射される。
【００４２】
なお、図２では、オリフィス１２からガス供給流路１４へのインクの第２接続流路１５が下向きに傾いている。インク流れ２３に対して、ガス流れ２２の方向が直交する方向で合流しても構わないが、ガス流れ２２がインク流れ２３に対して逆流する方向に作用することのないように、インク流れ２３を気液混相流れ２５の下流側に傾けて、ガス流れ２２と合流することがより好ましい。
【００４３】
つまり、ガス供給流路１４と気液混合室１６とを結ぶ直線と、第２接続流路１５の直線とがなす角が９０度未満である。
【００４４】
機能性粒子が含まれるインク材料のミスト液滴の量を高精度かつ安定的に制御するためには、圧電素子９によるオリフィス１２の開度制御を精密に行い、吐出制御バルブとして機能させることが重要である。圧電素子９の変位量は電気的に電荷を高精度に制御できるため、変位方向の位置精度は充分高い。
【００４５】
圧電素子９によるオリフィス１２の開度制御を精密に行うことができるインク吐出制御バルブ２６の構成を、図３（ａ）（ｂ），図４（ｃ）（ｄ），図５（ｅ）〜（ｈ）に基づいて説明する。
【００４６】
図３（ａ）は実施例１を示す。
【００４７】
図３（ａ）のインク吐出制御バルブ２６は、圧電素子９の変位方向２４と垂直な先端面と、ダイヤフラム１０と対向するノズル本体８のインク供給流路面２７のいずれもが平行平面で、この２つの面が当接している。加工および組み立てが最も簡単である。
【００４８】
しかしながら、圧電素子９によるオリフィス１２の閉状態でインク流れ２３の下流側への液漏れを防止するためには、低粘度インク材料の場合は、ダイヤフラム１０の接液部表面２８とインク供給流路面２７の対向する面同士に対して非常に高い平行度が要求される。
【００４９】
そこで図３（ｂ）の実施例２のように、圧電素子９の先端面を曲率の小さな凸曲面２９とし、ダイヤフラム１０と対向するインク供給流路面２７を曲率の大きな凹曲面３０とすれば、加工および組立に対する要求精度を緩和することができ、幅広い粘度のインク材料に対応することができる。
【００５０】
さらに、機能性粒子のサイズが大きいインク材料においては、相互に対向するダイヤフラム１０の接液部表面２８とオリフィス１２のインク供給流路面２７の間に、機能性粒子が噛み込むことによってバルブの密閉性を充分確保することが困難になる場合がある。
【００５１】
そこで、図４（ｃ）の実施例３または図４（ｄ）の実施例４のように、相互に対向する接液部表面２８とインク供給流路面２７のいずれかに、樹脂やゴムなどのなどのようにノズル本体８の材質よりも弾性率の小さな弾性材料３１を設けることによって、この弾性材料３１が弾性変形することによって、機能性粒子が介在してもバルブの密閉性を向上させることができる。
【００５２】
なお、実施例３または実施例４では、相互に対向する接液部表面２８とインク供給流路面２７のいずれかに弾性材料３１を設けたが、接液部表面２８とインク供給流路面２７の両方に弾性材料３１を設けて構成することもできる。
【００５３】
しかしながら、液部表面２８とインク供給流路面２７のいずれか、あるいは両側に、弾性材料３１を設けても、機能性粒子の材料によっては弾性材料３１が磨耗劣化することで、バルブ駆動の寿命信頼性に課題が発生することがある。
【００５４】
そのような場合には、図５（ｅ）の実施例５または図５（ｆ）の実施例６のように、相互に対向する接液部表面２８とインク供給流路面２７のいずれか片側に凹凸部３２を形成することによって、機能性粒子が介在しても凹部に入り込むことによってバルブの密閉性を向上させることができる。凹凸の形状によっては、逆にバルブの密閉性の低下を誘発させることがある。
【００５５】
図５（ｆ）の実施例６において、バルブ密閉性の向上を実現できる凹凸部３２の具体例を図５（ｇ），図５（ｈ）に示す。
【００５６】
図５（ｇ）では、ノズルに連通する方向（＝外周から第２接続流路１５に向かう矢印３３方向）に凹部となる溝が形成されないように、格子状の凹凸部３２がインク供給流路面２７に形成されている。つまり、太い黒線がインク供給流路面２７の表面から部分的に高くなった凸部に形成された凹凸形状となっている。
【００５７】
図５（ｈ）では、ノズルに連通する方向（＝外周から第２接続流路１５に向かう矢印３３方向）に凹部となる溝が形成されないように、径の異なる円状の連続線の組み合わせの凹凸部３２がインク供給流路面２７に形成されている。つまり、太い黒線がインク供給流路面２７の表面から部分的に高くなった凸部に形成された凹凸形状となっている。
【００５８】
なお、図５（ｇ）または図５（ｈ）では図５（ｆ）の実施例６の凹凸部３２を説明したが、図５（ｅ）の実施例５のように接液部表面２８に形成された凹凸部３２の形状も、図５（ｇ）または図５（ｈ）と同様である。
【００５９】
また、図５（ｅ）の実施例５と図５（ｆ）の実施例６では、接液部表面２８とインク供給流路面２７のいずれか片側に凹凸部３２を形成する場合を説明したが、接液部表面２８とインク供給流路面２７の両側に同様の凹凸部３２を形成して構成することもできる。
【００６０】
また、図５（ｅ）の実施例５と図５（ｆ）の実施例６では、格子状の直線または円状の直線の凹凸部３２を、接液部表面２８とインク供給流路面２７の少なくとも一方に形成する場合を説明したが、接液部表面２８とインク供給流路面２７の少なくとも一方の表面に格子状または円状に複数の凹部をドット状に形成することによって、ノズルに連通する方向に凹部となる溝が形成されないように凹凸部３２を設けることもできる。
【００６１】
一方、噴霧制御方法については、それぞれのインク材料や塗布対象物に応じて各種条件を最適化することが必要であるが、特に圧力条件が最も重要である。ガス供給流路１４のガス圧力Ｐ１は、インク供給流路１１のインク圧力Ｐ２よりも高い。インク圧力が０ｋＰａ〜１０ｋＰａ程度の場合、ガス圧力は１０ｋＰａ〜１００ｋＰａ程度であることが望ましく、高圧すぎるとミスト液滴の飛び散りが問題となり、低圧すぎるとミスト液滴が粗大化したり、気流影響で塗布位置がズレたりすることが問題となる。
【００６２】
また、インク圧力は０ｋＰａ〜１０ｋＰａ程度であることが望ましく、高圧すぎると機能性粒子を含むインク材料では分散が不安定になって機能性粒子の凝集および沈降が問題となり、低圧すぎると塗布速度が低下して生産性が問題となる。
【００６３】
したがって、ガス供給流路のガス圧力は、インク供給流路のインク圧力よりも高く制御することによって、機能性粒子が含まれるインク材料のミスト液滴の量を高精度かつ安定的に制御することができ、必要な箇所に最適な量を任意パターンで塗布することができる。
【００６４】
なお、上記の実施の形態ではインク吐出制御バルブに対して単数の気液混合室１６と単数のノズル１８を具備する場合を説明したが、インク吐出制御バルブ２６に対して複数の前記気液混合室１６と複数のノズル１８を具備する場合も同様である。
【００６５】
このように本発明の噴霧装置では、機能性粒子が含まれるインク材料のミスト液滴の量を高精度かつ安定的に制御することができ、必要な箇所に最適な量を任意パターンで塗布できる。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明は、例えば凹凸面や曲面などの立体構造物へのデザイン塗装や、医薬品や食品容器の塗装、電子デバイスの製造などの用途において、任意パターン塗布する噴霧装置として好ましく用いられる。
【符号の説明】
【００６７】
１    噴霧装置
２    架台
３    基板搬送ステージ
４    二流体噴霧ノズル
５    ガントリー
６    被加工物の基板
７    塗布領域
８    ノズル本体
９    圧電素子
１０    ダイヤフラム
１１    インク供給流路
１２    オリフィス
１３    第１接続流路
１４    ガス供給流路
１５    第２接続流路
１６    気液混合室
１７    ノズル本体８の底面
１８    ノズル
１９    ノズル本体８の側面
２０    ガス供給流路１４と気液混合室１６の接続箇所
Ｐ１    ガス圧力
Ｐ２    インク圧力
２２    ガス流れ
２３    インク流れ
２４    圧電素子９の変位方向
２５    気液混相流れ
２６    インク吐出制御バルブ
２７    ノズル本体８のインク供給流路面
２８    ダイヤフラム１０の接液部表面
２９    圧電素子９の先端の凸曲面
３０    インク供給流路面２７の凹曲面
３１    弾性材料
３２    凹凸部
３３    外周から第２接続流路１５に向かう方向
【図１】
2018187590.tif 000003
【図２】
2018187590.tif 000004
【図３】
2018187590.tif 000005
【図４】
2018187590.tif 000006
【図５】
2018187590.tif 000007
【図６】
2018187590.tif 000008
【図７】
2018187590.tif 000009