(57)【要約】【課題】不要振動が低減されるとともに温度特性に優れた角速度センサーを迅速かつ適切に製造することができる角速度センサーの製造方法を提供すること。【解決手段】基部と、前記基部から延出し、駆動用電極が形成されており、延出する方向に垂直な断面の形状が多角形からなる部分を有する駆動部と、前記基部から延出し、検出用電極が形成されている検出部と、を備える振動片を用意する用意工程と、前記駆動用電極に通電して前記駆動部を駆動振動させ、前記検出用電極により出力された振動漏れ量を検出する検出工程と、前記振動漏れ量に基づいて前記駆動部の前記延出する方向に垂直な断面の形状が多角形からなる部分の稜線部の少なくとも一部を集束イオンビームにより加工する加工工程と、を含むことを特徴とする角速度センサーの製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、前記基部から延出し、駆動用電極が形成されており、延出する方向に垂直な断面の形状が多角形からなる部分を有する駆動部と、前記基部から延出し、検出用電極が形成されている検出部と、を備える振動片を用意する用意工程と、
前記駆動用電極に通電して前記駆動部を駆動振動させ、前記検出用電極により出力された振動漏れ量を検出する検出工程と、
前記振動漏れ量に基づいて前記駆動部の前記延出する方向に垂直な断面の形状が多角形からなる部分の稜線部の少なくとも一部を集束イオンビームにより加工する加工工程と、を含むことを特徴とする角速度センサーの製造方法。
【請求項２】
前記加工工程において、前記駆動部の前記基部側の前記稜線部の少なくとも一部を加工する請求項１に記載の角速度センサーの製造方法。
【請求項３】
前記加工工程は、前記駆動部の前記基部側の前記稜線部の少なくとも一部を前記集束イオンビームにより加工する第１加工工程と、
前記第１加工工程の後、前記駆動部の前記先端側の前記稜線部の少なくとも一部を前記集束イオンビームにより加工する第２加工工程と、を有し、
前記加工工程では、前記第１加工工程と前記第２加工工程との間で前記振動漏れ量を検出する請求項１または２に記載の角速度センサーの製造方法。
【請求項４】
前記加工工程において、前記稜線部の少なくとも一部に対して前記駆動部の前記基部側から前記先端側に向かって加工量を変化させる請求項１ないし３のいずれか１項に記載の角速度センサーの製造方法。
【請求項５】
前記加工工程において、前記駆動部の前記基部側から前記先端側に向かって前記加工量を漸減させる請求項４に記載の角速度センサーの製造方法。
【請求項６】
前記駆動部は、前記駆動振動の方向に沿った２つの主面を有し、
前記加工工程において、前記稜線部の少なくとも一部として前記駆動部の一方の前記主面の外縁部と、前記駆動部の他方の前記主面の外縁部とをそれぞれ加工する請求項１ないし５のいずれか１項に記載の角速度センサーの製造方法。
【請求項７】
前記加工工程において、前記集束イオンビームの照射方向は、前記主面に対して傾斜している請求項６に記載の角速度センサーの製造方法。
【請求項８】
前記駆動部は、前記駆動振動の方向に沿った２つの主面を有し、
前記加工工程において、前記集束イオンビームを照射して前記稜線部の少なくとも一部を除去する加工により前記主面に対して傾斜した傾斜面を形成し、
前記傾斜面の傾斜角度は、４５°以上である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の角速度センサーの製造方法。
【請求項９】
前記駆動部は、前記２つの主面と交差する２つの側面を有し、
前記加工工程において、前記稜線部の少なくとも一部として前記駆動部の一方の前記側面側と、前記駆動部の他方の前記側面側とをそれぞれ加工する請求項６ないし８のいずれか１項に記載の角速度センサーの製造方法。
【請求項１０】
前記振動片は、前記基部から延出し、調整用電極が形成されている調整腕を有し、
前記調整用電極を加工するチューニング工程を有する請求項１ないし９のいずれか１項に記載の角速度センサーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、角速度センサーの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電振動子やＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）振動子などの振動素子を用いて、角速度を検出する角速度センサーが知られている。
【０００３】
このような角速度センサーとして、例えば特許文献１に、基部と、基部から延設した振動脚とを有する基材と、振動脚上に設けられた電極とを備える水晶振動子が開示されている。この水晶振動子は、例えばＸＹ平面内に駆動振動し、Ｚ’軸方向の屈曲振動を検出振動として用いている。そのため、角速度が印加されていない状態では、Ｚ’軸方向の振動は発生しない。しかし、水晶振動子の外形形状の加工精度等によって、駆動脚が理想的にはＸＹ平面内において駆動振動するべきところ、ＸＹ平面に対して斜めに振動してしまう。その結果、角速度が印加されていない状態であってもＺ’軸方向の振動が不要振動として観測される。
【０００４】
そこで、特許文献１には、振動脚上に設けられた電極を加工することで、不要振動を低減するよう調整する調整方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２８３４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載の方法では、不要振動を補正するために必要な電極膜厚は、基材の数％程度と非常に厚い。具体的には例えば１００μｍの膜厚の基材に対して２μｍの膜厚の電極が必要である。そのような膜厚が比較的厚い電極を振動脚に形成し、除去することは、その形成および除去の工程が長時間となり、製造コストが増大する。さらに、そのような膜厚が比較的厚い電極を振動脚に設けると、電極と基材との熱膨張係数の差による熱応力による温度特性変化、所謂温特が問題となる。
【０００７】
本発明の目的は、不要振動が低減されるとともに温度特性に優れた角速度センサーを迅速かつ適切に製造することができる角速度センサーの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的は、前述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下により実現することが可能である。
【０００９】
本適用例の角速度センサーの製造方法は、基部と、前記基部から延出し、駆動用電極が形成されており、延出する方向に垂直な断面の形状が多角形からなる部分を有する駆動部と、前記基部から延出し、検出用電極が形成されている検出部と、を備える振動片を用意する用意工程と、前記駆動用電極に通電して前記駆動部を駆動振動させ、前記検出用電極により出力された振動漏れ量を検出する検出工程と、前記振動漏れ量に基づいて前記駆動部の前記延出する方向に垂直な断面の形状が多角形からなる部分の稜線部の少なくとも一部を集束イオンビームにより加工する加工工程と、を含む。
【００１０】
このような角速度センサーの製造方法によれば、駆動部の漏れ振動に大きな影響を有する稜線部を集束イオンビームで加工するため、少しの加工量で漏れ振動を抑制でき加工時間を短くできる。また、電極以外の駆動部を加工するため、従来のように電極を加工するために電極の膜厚を過剰に厚くする必要がない。よって、本適用例の角速度センサーの製造方法によれば、不要振動（振動漏れ）が低減されるとともに温度特性に優れた角速度センサーを迅速かつ適切に製造することができる。
【００１１】
本適用例の角速度センサーの製造方法では、前記加工工程において、前記駆動部の前記基部側の前記稜線部の少なくとも一部を加工することが好ましい。
【００１２】
これにより、駆動部の先端側より基部側を加工した方が、少ない加工量で振動漏れを補正できる効果が大きいため、基部側の領域を加工することで、加工をより迅速に行うことができる。
【００１３】
本適用例の角速度センサーの製造方法では、前記加工工程は、前記駆動部の前記基部側の前記稜線部の少なくとも一部を前記集束イオンビームにより加工する第１加工工程と、前記第１加工工程の後、前記駆動部の前記先端側の前記稜線部の少なくとも一部を前記集束イオンビームにより加工する第２加工工程と、を有し、前記加工工程では、前記第１加工工程と前記第２加工工程との間で前記振動漏れ量を検出することが好ましい。
【００１４】
これにより、第１加工工程で振動漏れ量の粗調整を行い、第２加工工程で振動漏れ量の微調整を行うことができる。さらに、第１加工工程と第２加工工程との間に振動漏れ量を測定することで、第２加工工程における微調整をより高精度に行うことができる。
【００１５】
本適用例の角速度センサーの製造方法では、前記加工工程において、前記稜線部の少なくとも一部に対して前記駆動部の前記基部側から前記先端側に向かって加工量を変化させることが好ましい。
【００１６】
このように変化させることで、振動漏れ量の粗調整や微調整を容易に行うことができる。そのため、迅速に加工を行うことができるとともに、不要振動をより効果的に低減することができる。
【００１７】
本適用例の角速度センサーの製造方法では、前記加工工程において、前記駆動部の前記基部側から前記先端側に向かって前記加工量を漸減させることが好ましい。
【００１８】
これにより、振動漏れ量の粗調整や微調整を容易に行うことができる。そのため、迅速に加工を行うことができるとともに、不要振動をより効果的に低減することができる。
【００１９】
本適用例の角速度センサーの製造方法では、前記駆動部は、前記駆動振動の方向に沿った２つの主面を有し、前記加工工程において、前記稜線部の少なくとも一部として前記駆動部の一方の前記主面の外縁部と、前記駆動部の他方の前記主面の外縁部とをそれぞれ加工することが好ましい。
これにより、不要振動をより効果的に低減することができる。
【００２０】
本適用例の角速度センサーの製造方法では、前記加工工程において、前記集束イオンビームの照射方向は、前記主面に対して傾斜していることが好ましい。
【００２１】
これにより、駆動部の一方の主面側と、駆動部の他方の主面側とを同工程で効率よく加工することができる。
【００２２】
本適用例の角速度センサーの製造方法では、前記駆動部は、前記駆動振動の方向に沿った２つの主面を有し、前記加工工程において、前記集束イオンビームを照射して前記稜線部の少なくとも一部を除去する加工により前記主面に対して傾斜した傾斜面を形成し、前記傾斜面の傾斜角度は、４５°以上であることが好ましい。
【００２３】
これにより、傾斜角度が大きい方が少ない加工量で振動漏れ量を低減できる効果が大きく、上記角度以上であるとその効果はさらに顕著であるため、傾斜角度が上記角度以上であることで、加工をより迅速に行うことができる。
【００２４】
本適用例の角速度センサーの製造方法では、前記駆動部は、前記２つの主面と交差する２つの側面を有し、前記加工工程において、前記稜線部の少なくとも一部として前記駆動部の一方の前記側面側と、前記駆動部の他方の前記側面側とをそれぞれ加工することが好ましい。
これにより、不要振動をより効果的に低減することができる。
【００２５】
本適用例の角速度センサーの製造方法では、前記振動片は、前記基部から延出し、調整用電極が形成されている調整腕を有し、前記調整用電極を加工するチューニング工程を有することが好ましい。
これにより、不要振動をさらに効果的に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】第１実施形態に係る角速度センサーを示す断面図である。
【図２】図１に示す角速度センサーのパッケージ内部の平面図である。
【図３】振動素子の振動体の平面図である。
【図４】図３中のＡ１−Ａ１線断面図である。
【図５】図３中のＡ２−Ａ２線断面図である。
【図６】本適用例の角速度センサーの製造方法の一例のフロー図である。
【図７】複数の振動体を備えるウェハーの平面図である。
【図８】図７に示す振動体が有する駆動腕の断面図である。
【図９】電極部を備える駆動腕の断面図である。
【図１０】電極部を備える検出腕および調整腕の断面図である。
【図１１】駆動腕に対してＦＩＢを照射する状態を示す図である。
【図１２】ＦＩＢ加工におけるステージの傾斜状態を示す模式図である。
【図１３】ＦＩＢ加工が施された駆動腕の断面図である。
【図１４】傾斜角度の検証結果を示すグラフである。
【図１５】ＦＩＢ加工が施された駆動腕の斜視図である。
【図１６】基部からの加工距離と振動漏れの変化量との関係を示すグラフである。
【図１７】ＦＩＢ加工が施された駆動腕の斜視図である。
【図１８】チューニング工程を説明するための図である。
【図１９】駆動腕の第１変形例を示す斜視図である。
【図２０】駆動腕の第２変形例を示す斜視図である。
【図２１】駆動腕の第３変形例を示す斜視図である。
【図２２】駆動腕の第４変形例を示す断面図である。
【図２３】第２実施形態に係る角速度センサーが備える振動体を示す平面図である。
【図２４】第３実施形態に係る角速度センサーが備える振動体を示す平面図である。
【図２５】第４実施形態に係る角速度センサーが備える振動素子を示す平面図である。
【図２６】第５実施形態に係る角速度センサーを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、角速度センサーの製造方法の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大又は縮小して表示している箇所や、誇張して記載している箇所もある。
【００２８】
＜第１実施形態＞
１．角速度センサー
まず、本適用例の角速度センサーの製造方法の説明に先立ち、本適用例の角速度センサーの製造方法によって製造される角速度センサーについて簡単に説明する。
【００２９】
図１は、第１実施形態に係る角速度センサーを示す断面図である。図２は、図１に示す角速度センサーのパッケージ内部の平面図である。なお、図１中の上側を「上」、図１中の下側を「下」と言う。また、図１および図２では、それぞれ、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しており、各軸を示す矢印の先端側を「＋」、基端側を「−」とする。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、＋Ｚ軸方向側を「上」、−Ｚ軸方向側を「下」ともいう。また、本実施形態では、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、水晶の結晶軸である電気軸、機械軸および光軸にそれぞれ対応している。
【００３０】
図１および図２に示す角速度センサー１０（物理量センサー）は、Ｙ軸まわりの角速度を検出する。この角速度センサー１０は、パッケージ８と、パッケージ８内に収容された振動素子１と、パッケージ８内に配置されているＩＣチップ９（回路素子）と、を有する。
【００３１】
〈パッケージ〉
パッケージ８は、振動素子１を収納する凹部８１１を有する箱状のベース８１と、ベース８１の凹部８１１の開口を塞ぐようにベース８１に例えばシームリング等の接合部材（図示せず）を介して接合された板状のリッド８２と、を有する。パッケージ８内の空間Ｓ１は、減圧（真空）状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。
【００３２】
ベース８１の凹部８１１は、開口側に位置する上段面８１１ａと、底部側に位置する下段面８１１ｃと、これらの面の間に位置する中段面８１１ｂと、を有する。このベース８１の構成材料としては、特に限定されず、例えば、酸化アルミニウム等の各種セラミックスや、各種ガラス材料を用いることができる。また、リッド８２の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、ベース８１の構成材料と線膨張係数が近似する部材であるのが好ましい。例えば、ベース８１の構成材料がセラミックスである場合には、リッド８２の構成材料としてはコバール等の合金であるのが好ましい。
【００３３】
図２に示すように、上段面８１１ａには、振動素子１に電気的に接続される複数の端子８１２が設けられている。中段面８１１ｂには、ＩＣチップ９に電気的に接続される複数の端子８１３が設けられている。これら複数の端子８１２、８１３は、図示はしないが、パッケージ８の裏面に設けられた複数の外部接続端子とともに、ベース８１に形成された内部配線やスルーホールにより、回路配線を形成するように接続されている。なお、端子８１２、８１３は、導電性を有していれば特に限定されないが、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）等のメタライズ層（下地層）に、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）等の各被膜を積層した金属被膜で構成されている。
【００３４】
〈ＩＣチップ〉
図１に示すように、ＩＣチップ９は、ベース８１の下段面８１１ｃに例えば接着剤によって固定されている。図２に示すように、ＩＣチップ９は、複数の端子９１を有し、この各端子９１が導電性ワイヤー１３によって、前述した中段面８１１ｂに設けられた各端子８１３と電気的に接続されている。このＩＣチップ９は、振動素子１を駆動振動させるための駆動回路と、角速度が加わったときに振動素子１に生じる検出振動を検出する検出回路と、を有する。
【００３５】
〈振動素子〉
図３は、振動素子の振動体の平面図である。図４は、図３中のＡ１−Ａ１線断面図である。図５は、図３中のＡ２−Ａ２線断面図である。
【００３６】
振動素子１は、Ｙ軸まわりの角速度ωを検出するセンサー素子である。この振動素子１は、振動体２と、振動体２の表面に形成された電極部３と、を有している（図３、図４および図５参照）。
【００３７】
（振動体）
図３に示す振動体２（振動片）は、水晶基板の結晶軸であるＹ軸（機械軸）およびＸ軸（電気軸）で規定されるＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ軸（光軸）方向に厚みを有する板状をなしている。すなわち、振動体２は、Ｚカット水晶板で構成されている。なお、Ｚ軸は、振動体２の厚さ方向と必ずしも一致している必要はなく、常温近傍における周波数の温度による変化を小さくする観点から、厚さ方向に対して若干傾けてもよい。具体的には、Ｚカット水晶板とは、Ｚ軸に直交した面をＸ軸およびＹ軸の少なくとも一方を中心に０度〜１０度の範囲で回転させた面が、主面となるようなカット角の水晶板を含む。なお、振動体２の材料としては、水晶に限定されず、例えば、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの水晶以外の圧電材料を用いることもできる。また、振動体２は、シリコン等の圧電性を有しないものであってもよく、この場合、振動体２上に圧電素子を適宜設ければよい。
【００３８】
振動体２は、基部２１と、１対の駆動腕２２１、２２２（駆動部）と、１対の検出腕２３１、２３２（検出部）と、１対の調整腕２４１、２４２（調整部）と、支持部２５と、４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４とを有し、これらが一体的に形成されている。
【００３９】
駆動腕２２１、２２２は、Ｘ軸方向に沿って並んで配置され、それぞれ、基部２１から−Ｙ軸方向に延出している。駆動腕２２１には、その上面および下面に開放してＹ軸方向に延在している１対の有底の溝２２１３が形成されている（図３および図５参照）。同様に、駆動腕２２２には、その上面および下面に開放してＹ軸方向に延在している１対の有底の溝２２２３が形成されている。溝２２１３、２２２３は、例えばウェットエッチングにより形成される。これにより、図５に示すように、溝２２１３、２２２３の形状は、それぞれ、水晶の結晶面が現れることでＸ軸方向で非対称となっている。
【００４０】
また、図５に示すように、駆動腕２２１は、断面視（Ｙ軸方向から見て）で対向する２つの角部が除去加工されることで形成された面２２１１、２２１２を有する。具体的には、駆動腕２２１は、駆動腕２２１の上面（主面）と−Ｘ軸側側面とを繋ぐ面２２１１と、駆動腕２２１の下面（主面）と＋Ｘ軸側側面とを繋ぐ面２２１２と、を有する。面２２１１、２２１２は、それぞれ、駆動腕２２１の上面および下面に対して角度θで傾斜している傾斜部である。
【００４１】
また、駆動腕２２２は、断面視（Ｙ軸方向から見て）で対向する２つの角部が除去加工されることで形成された面２２２１、２２２２を有する。具体的には、駆動腕２２２は、駆動腕２２２の上面（主面）と−Ｘ軸側側面とを繋ぐ面２２２１（傾斜部）と、駆動腕２２２の下面（主面）と＋Ｘ軸側側面とを繋ぐ面２２２２（傾斜部）と、を有する。面２２２１、２２２２は、それぞれ、駆動腕２２２の上面および下面に対して角度θで傾斜している傾斜部である。
【００４２】
なお、図示では、面２２１１、２２１２、２２２１、２２２２は、平坦であるが、例えば、外側に突出する凸面であったり、凹面であってもよい。
【００４３】
また、本実施形態では、駆動腕２２１の上面と＋Ｘ軸側側面とが交差する角部２２１６と、駆動腕２２１の下面と−Ｘ軸側側面とが交差する角部２２１７とには、それぞれ除去加工が施されていない。同様に、駆動腕２２２の上面と＋Ｘ軸側側面とが交差する角部２２２６と、駆動腕２２２の下面と−Ｘ軸側側面とが交差する角部２２２７とは、それぞれ加工が施されていない。
【００４４】
また、図３に示すように、検出腕２３１、２３２は、Ｘ軸方向に沿って並んで配置され、それぞれ、基部２１から＋Ｙ軸方向に延出している。検出腕２３１には、その上面および下面に開放してＹ軸方向に延在している１対の有底の溝２３１３が形成されている（図３および図４参照）。同様に、検出腕２３２には、その上面および下面に開放してＹ軸方向に延在している１対の有底の溝２３２３が形成されている。溝２３１３、２３２３の形状は、前述した溝２２１３、２２２３の形状と同様に、それぞれＸ軸方向で非対称となっている。
【００４５】
調整腕２４１、２４２は、前述した１対の検出腕２３１、２３２を挟むようにしてＸ軸方向に沿って並んで配置され、それぞれ、基部２１から＋Ｙ軸方向に延出している。
【００４６】
支持部２５は、基部２１に対して−Ｙ軸方向側に配置されていてＸ軸方向に沿って延びている長尺状をなす部分２５１と、部分２５１の両端部から＋Ｙ軸方向に沿って延びている２つの部分２５２、２５３と、を有している。また、連結部２６１、２６２、２６３、２６４は、基部２１と支持部２５とを連結しており、それぞれ、途中に屈曲または湾曲した複数の部分を有する。
【００４７】
なお、図示では、前述した駆動腕２２１、２２２、検出腕２３１、２３２および調整腕２４１、２４２の先端部の幅（Ｘ軸方向での長さ）が基部２１側の幅よりも広くなっているが、これに限定されない。例えば、駆動腕２２１、２２２、検出腕２３１、２３２および調整腕２４１、２４２の各幅は、一定であってもよい。
【００４８】
（電極部）
電極部３（電極パターン）は、振動体２の表面に設けられている。この電極部３は、駆動信号電極３１１および駆動接地電極３１２と、第１検出信号電極３２１、第２検出信号電極３２２および検出接地電極３２３と、を有する（図４および図５参照）。また、図３に示すように、電極部３は、振動体２の下面に設けられた駆動信号端子３１３、駆動接地端子３１４、第１検出信号端子３２５、第２検出信号端子３２６および検出接地端子３２７を有する。駆動信号端子３１３、駆動接地端子３１４、第１検出信号端子３２５、第２検出信号端子３２６および検出接地端子３２７は、前述したベース８１の上段面８１１ａに設けられた複数の端子８１２に導電性接着剤１２を介して接続されている（図２参照。）
【００４９】
駆動信号電極３１１は、駆動腕２２１、２２２の駆動振動を励起させるための駆動信号が入力される電極である。図５に示すように、駆動信号電極３１１は、駆動腕２２１の溝２２１３の内壁面と、駆動腕２２２の両側面とに形成されている。一方、駆動接地電極３１２は、駆動信号電極３１１に対してグランドとなる電位を有する。駆動接地電極３１２は、駆動腕２２１の両側面と、駆動腕２２２の溝２２２３の内壁面とに形成されている。
【００５０】
第１検出信号電極３２１は、検出腕２３１、２３２の検出振動が励起されたときに、その検出振動によって発生する電荷を検出信号として出力するための電極である。図４に示すように、第１検出信号電極３２１は、検出腕２３１の−Ｚ軸側に位置する溝２３１３の内壁面の＋Ｘ軸方向側と、検出腕２３１の＋Ｚ軸側に位置する溝２３１３の内壁面の−Ｘ軸方向側と、検出腕２３１の−Ｘ軸方向側側面下部と、検出腕２３１の＋Ｘ軸方向側側面上部とにそれぞれ形成されている。また、第１検出信号電極３２１は、検出腕２３２の−Ｚ軸側に位置する溝２３２３の内壁面の−Ｘ軸方向側と、検出腕２３２の＋Ｚ軸側に位置する溝２３２３の内壁面の＋Ｘ軸方向側と、検出腕２３２の−Ｘ軸方向側側面上部と、検出腕２３２の＋Ｘ軸方向側側面下部とにそれぞれ形成されている。
【００５１】
同様に、第２検出信号電極３２２は、検出腕２３１、２３２の検出振動が励起されたときに、その検出振動によって発生する電荷を検出信号として出力するための電極である。この第２検出信号電極３２２は、検出腕２３１の−Ｚ軸側に位置する溝２３１３の内壁面の−Ｘ軸方向側と、検出腕２３１の＋Ｚ軸側に位置する溝２３１３の内壁面の＋Ｘ軸方向側と、検出腕２３１の−Ｘ軸方向側側面上部と、検出腕２３１の＋Ｘ軸方向側側面下部とにそれぞれ形成されている。また、第２検出信号電極３２２は、検出腕２３２の−Ｚ軸側に位置する溝２３２３の内壁面の＋Ｘ軸方向側と、検出腕２３２の＋Ｚ軸側に位置する溝２３２３の内壁面の−Ｘ軸方向側と、検出腕２３２の−Ｘ軸方向側側面下部と、検出腕２３２の＋Ｘ軸方向側側面上部とにそれぞれ形成されている。
【００５２】
また、検出接地電極３２３は、第１検出信号電極３２１と第２検出信号電極３２２とに対してグランドとなる電位を有する。図４に示すように、検出接地電極３２３は、調整腕２４１の−Ｘ軸方向側側面と、調整腕２４１の上面の＋Ｘ軸側と、調整腕２４１の下面の＋Ｘ軸側と、調整腕２４２の＋Ｘ軸方向側側面と、調整腕２４２の上面の−Ｘ軸側と、調整腕２４２の下面の−Ｘ軸側とにそれぞれ形成されている。また、調整腕２４２の上面の＋Ｘ軸側と、調整腕２４２の下面の＋Ｘ軸側とには、第１検出信号電極３２１が形成されている。また、調整腕２４１の上面の−Ｘ軸側と、調整腕２４１の下面の−Ｘ軸側とには、第２検出信号電極３２２が形成されている。ここで、調整腕２４１、２４２に設けられている第１検出信号電極３２１、第２検出信号電極３２２および検出接地電極３２３は、「調整用電極」として機能している。
【００５３】
また、図３に示すように、駆動信号端子３１３は、部分２５１に配置されており、連結部２６４に形成された駆動信号配線（図示せず）を介して、駆動信号電極３１１と電気的に接続されている。同様に、駆動接地端子３１４は、部分２５１に配置されており、連結部２６３に形成された駆動接地配線（図示せず）を介して、駆動接地電極３１２と電気的に接続されている。第１検出信号端子３２５は、部分２５３に形成されており、連結部２６２の上面に形成された第１検出信号配線（図示せず）を介して、第１検出信号電極３２１と電気的に接続されている。同様に、第２検出信号端子３２６は、部分２５２に形成されており、連結部２６１の上面に形成された第２検出信号配線（図示せず）を介して、第２検出信号電極３２２と電気的に接続されている。検出接地端子３２７は、部分２５２および部分２５３のそれぞれに形成されており、連結部２６１、２６２の下面に形成された検出接地配線（図示せず）を介して検出接地電極３２３と電気的に接続されている。
【００５４】
以上のような電極部３の構成としては、導電性を有していれば特に限定されないが、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）などのメタライズ層（下地層）に、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）などの各被膜を積層した金属被膜で構成することができる。
【００５５】
以上説明したような構成された振動素子１では、振動素子１に角速度が加わらない状態において、駆動信号端子３１３に駆動信号を入力することで駆動信号電極３１１と駆動接地電極３１２との間に電界が生じると、駆動腕２２１、２２２は、図３中矢印Ｄで示すようにＸ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動（駆動振動）を行う。また、この駆動振動に伴って、調整腕２４１、２４２も、Ｘ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動（調整振動）を行う。
【００５６】
この駆動振動を行っている状態で、Ｙ軸方向に沿った中心軸ａ１周りの角速度ωが振動素子１に加わると、駆動腕２２１、２２２にコリオリ力が作用し、このコリオリ力により、駆動腕２２１、２２２がＺ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動する。これに伴い、検出腕２３１、２３２は、図３中矢印Ｅで示すようにＺ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動（検出振動）する。この検出振動により、検出腕２３１、２３２に発生した電荷を、第１検出信号端子３２５および第２検出信号端子３２６から検出信号として取り出し、この検出信号に基づいて角速度が求められる。
【００５７】
なお、このとき、調整腕２４１、２４２も、駆動腕２２１、２２２と同様に、Ｚ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動するが、この屈曲振動による電荷は出力されない。すなわち、コリオリ力の作用の有無にかかわらず、調整腕２４１、２４２から出力される電荷は、基本的に、前述した調整振動によるもののみであって一定である。
【００５８】
以上説明したように、角速度センサー１０は、基部２１と、基部２１から延出し、駆動信号電極３１１および駆動接地電極３１２が設けられた駆動腕２２１、２２２と、基部２１から延出し、第１検出信号電極３２１および第２検出信号電極３２２が設けられた検出腕２３１、２３２と、を備える振動素子１を有する。そして、駆動腕２２１は、その主面（駆動振動の方向に沿った面）に対して傾斜した面２２１１、２２１２を有する。同様に、駆動腕２２２は、その主面に対して傾斜した面２２２１、２２２２を有する。このような振動素子１を備える角速度センサー１０によれば、加工誤差により生じる不要振動（振動漏れ）を効果的に低減することができる。
【００５９】
さらに、振動素子１は、調整用電極を備える調整腕２４１、２４２を有する。そのため、振動体２の製造バラツキ等に起因する不要振動（振動漏れ）をさらに調整することができる。
【００６０】
２．角速度センサーの製造方法
次に、本適用例の角速度センサーの製造方法について、前述した角速度センサー１０を製造する場合を例に説明する。
【００６１】
図６は、本適用例の角速度センサーの製造方法の一例のフロー図である。
図６に示すように、振動素子１の製造方法は、［１］用意工程（ステップＳ１１）と、［２］第１検出工程（ステップＳ１２）と、［３］第１加工工程（ステップＳ１３）と、［４］第２検出工程（ステップＳ１４）と、［５］第２加工工程（ステップＳ１５）と、［６］実装工程（ステップＳ１６）と、［７］チューニング工程（ステップＳ１７）と、を有する。以下、各工程を順次説明する。また、［３］工程、［４］工程、［５］工程を合わせて「加工工程（ステップＳ１０）」とする。
【００６２】
［１］用意工程（ステップＳ１１）
図７は、複数の振動体を備えるウェハーの平面図である。図８は、図７に示す振動体が有する駆動腕の断面図である。図９は、電極部を備える駆動腕の断面図である。図１０は、電極部を備える検出腕および調整腕の断面図である。
【００６３】
まず、図７に示すように、複数の振動体２ａを備えるウェハー２０（基板）を用意する。複数の振動体２ａは、例えば、平面視で水晶のＸ軸に沿った方向の１対の辺とＹ軸に沿った方向の１対の辺とを有する矩形をなすＺカット水晶板（ウェハー）をエッチングすることにより得られる。したがって、本工程は、複数の振動体２ａを形成する振動片形成工程とも言える。
【００６４】
ウェハー２０は、複数の振動体２ａと、これらの振動体２ａを囲む枠体部２３０と、各振動体２ａと枠体部２３０とを連結する複数の連結部２４０と、を有している。各振動体２ａは、基部２１と、１対の駆動腕２２１ａ、２２２ａおよび１対の検出腕２３１、２３２と、１対の調整腕２４１、２４２と、支持部２５と、４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４とを有している。なお、図７に示す１対の駆動腕２２１ａ、２２２ａは、後の工程を経て、前述した図５に示す１対の駆動腕２２１、２２２となる。
【００６５】
本実施形態では、図８に示すように、本工程で形成された各振動体２ａが有する駆動腕２２１ａは、断面視で、４つの角部（稜線部、外縁部）２２１４、２２１５、２２１６、２２１７を有する。角部２２１４は、駆動腕２２１ａの上面と−Ｘ軸側側面とを繋ぐ部分であり、角部２２１５は、駆動腕２２１ａの下面と＋Ｘ軸側側面とを繋ぐ部分である。また、角部２２１６は、駆動腕２２１ａの上面と＋Ｘ軸側側面とを繋ぐ部分であり、角部２２１７は、駆動腕２２１ａの下面と−Ｘ軸側側面とを繋ぐ部分である。
【００６６】
同様に、駆動腕２２２ａは、本実施形態では、断面視で、４つの角部（稜線部、外縁部）２２２４、２２２５、２２２６、２２２７を有する。角部２２２４は、駆動腕２２２ａの上面と−Ｘ軸側側面とを繋ぐ部分であり、角部２２２５は、駆動腕２２２ａの下面と＋Ｘ軸側側面とを繋ぐ部分である。また、角部２２２６は、駆動腕２２２ａの上面と＋Ｘ軸側側面とを繋ぐ部分であり、角部２２２７は、駆動腕２２２ａの下面と−Ｘ軸側側面とを繋ぐ部分である。
【００６７】
また、本工程では、各振動体２ａを用意した後、前述した電極部３と同様の構成の電極部３ａを振動体２ａの表面に形成する。すなわち、図９に示すように、駆動腕２２１ａ、２２２ａの表面に駆動信号電極３１１ａ（駆動用電極）および駆動接地電極３１２ａ（駆動用電極）を形成する。また、図１０に示すように、第１検出信号電極３２１ａ（検出用電極）、第２検出信号電極３２２ａ（検出用電極）および検出接地電極３２３ａ（検出用電極）を形成する。
【００６８】
この電極部３ａは、後述する［２］工程や［４］工程で振動漏れ量を検出するために用いる。また、電極部３ａには、図示はしないが、例えば、駆動腕２２１ａ、２２２ａを駆動振動させるための駆動回路と、検出腕２３１、２３２の振動により生じる信号（検出電流）を検出する検出回路と備える計測機器に接続する。
【００６９】
なお、電極部３ａは、例えば、蒸着やスパッタリング等によって、Ｃｒ（クロム）などを含む被膜を形成した後、その上にＡｕ（金）などを含む被膜を形成し、これら金属被膜に対してフォトリソグラフィー、エッチングを行うことにより得られる。また、駆動信号電極３１１ａ（駆動用電極）および駆動接地電極３１２ａは、後述する［３］工程や［４］工程での除去加工を考慮した配置とする（図９参照）。
【００７０】
［２］第１検出工程（ステップＳ１２）
次に、各振動体２ａに対して角速度ωが加わらない状態における検出腕２３１、２３２の振動により生じる信号（検出電流）を検出する。すなわち、振動漏れ量を検出する。そして、結果に応じて、振動体２ａごとに［３］工程での加工量（粗調整量）を決定する。
【００７１】
ここで、振動漏れ量とは、駆動腕２２１ａ、２２２ａを駆動振動させた状態で、角速度が加わっていないときに、検出腕２３１、２３２上の検出用電極（第１検出信号電極３２１ａおよび第２検出信号電極３２２ａ）から出力される信号（電流値）のことを意味する。これは、［１］工程で形成された振動体２ａの加工誤差によって駆動腕２２１ａ、２２２ａが駆動振動に対して斜めに振動し、その振動に伴って検出腕２３１、２３２も斜め振動することに起因している。
【００７２】
なお、本工程の後に、必要に応じて、次の［３］工程を行う前に、振動体２ａ上の電極部３ａを除去してもよい。
【００７３】
［３］第１加工工程（ステップＳ１３）
次に、［２］工程で決定した粗調整量（加工量）に基づいて、各振動体２ａの駆動腕２２１ａ、２２２ａの一部を除去加工する。すなわち、第１加工工程（ステップＳ１３）は、振動漏れ量の粗調整を行う粗調整工程である。
【００７４】
本工程では、駆動腕２２１ａの２つの角部２２１４、２２１５と、駆動腕２２２ａの２つの角部２２２４、２２２５とを除去加工する（図８参照）。なお、［２］工程で決定した粗調整量によっては、角部２２１４、２２１５、２２２４、２２２５のうちの少なくとも１つを除去加工してもよい。
【００７５】
（ＦＩＢ加工および照射角度）
図１１は、駆動腕に対してＦＩＢを照射する状態を示す図である。図１２は、ＦＩＢ加工におけるステージの傾斜状態を示す模式図である。図１３は、ＦＩＢ加工が施された駆動腕の断面図である。
【００７６】
除去加工は、集束イオンビームＬＬ（ＦＩＢ：Focused Ion Beam）を用いたＦＩＢ加工により行う。ＦＩＢ加工を用いることで、微細な加工を所望通りに行うことが容易である。また、加工の際に生じ得るドロスを低減または削除することができる。また、マスクを用いる必要がなく、よって、微細な加工に特に有効である。
【００７７】
図１１に示すように、駆動腕２２１ａの角部２２１４、２２１５に対して集束イオンビームＬＬを照射する。また、図示はしないが、同様に、駆動腕２２２ａの２２２４、２２２５に対して集束イオンビームＬＬを照射する。この際、例えば、図１２に示すように、ＦＩＢ加工において複数の振動体２ａを備えるウェハー２０を支持しているステージＳ１００を集束イオンビームＬＬの照射方向（図１２の上下方向に沿った軸方向）に対して傾斜させる。
【００７８】
このように、加工工程（ステップＳ１０）、特に本実施形態では第１加工工程（ステップＳ１３）において、集束イオンビームＬＬの照射方向は、主面（上面および下面）に対して傾斜している。これにより、駆動腕２２１ａの一方の主面（上面）側に位置する角部２２１４とともに、駆動腕２２１ａの他方の主面（下面）側に位置する角部２２１５とを同工程で効率よく加工できる（図１１および図１２参照）。駆動腕２２２ａについても同様である。このように２箇所を同工程で除去加工できるので、同工程で迅速に除去加工を行うことができ、よって、生産性を高めることができる。
【００７９】
このようにＦＩＢ加工を施すことで、図１３に示すように、駆動腕２２１ａには、面２２１１ａ、２２１２ａが形成され、駆動腕２２２ａには、面２２２１ａ、２２２２ａが形成される。具体的には、駆動腕２２１ａの角部２２１４に対してＦＩＢ加工を施すことで、駆動腕２２１ａの上面（主面）に対して角度θで傾斜した面２２１１ａが形成される（図９および図１３参照）。また、駆動腕２２１ａの角部２２１５に対してＦＩＢ加工を施すことで、駆動腕２２１ａの下面（主面）に対して角度θで傾斜した面２２１２ａが形成される。また、駆動腕２２２ａの角部２２２４に対してＦＩＢ加工を施すことで、駆動腕２２２ａの上面（主面）に対して角度θで傾斜した面２２２１ａが形成される。また、駆動腕２２２ａの角部２２２５に対してＦＩＢ加工を施すことで、駆動腕２２２ａの下面（主面）に対して角度θで傾斜した面２２２２ａが形成される。
【００８０】
図１４は、傾斜角度の検証結果を示すグラフである。
図１４に示すように、角度θが１０°以上であると、角度が１０°未満である場合に比べ、少ない加工量でも振動漏れ量を大きく低減することができる。角度θが４５°以上であると、その傾向は特に大きい。そのため、上記の角度θ以上であることで少ない加工量で振動漏れの補正をより迅速に行うことができる。
【００８１】
なお、角度θの具体的な数値は、面２２１１ａ、２２１２ａ、２２２１ａ、２２２２ａで異なっていてもよいし、同じであってもよい。
【００８２】
（加工する領域）
また、本工程では、駆動腕２２１ａ、２２２ａの基部側の領域を加工する。
【００８３】
図１５は、ＦＩＢ加工が施された駆動腕の斜視図である。
本工程では、図１５に示すように、駆動腕２２１ａ、２２２ａの基部２１側から先端に向かってＦＩＢ加工を施す。また、本実施形態では、駆動腕２２１ａ、２２２ａの基部２１側、特に基部２１から駆動腕２２１ａ、２２２ａの長手方向における中心までの領域（基部側の領域）を除去加工する。
【００８４】
図１６は、加工距離と振動漏れの変化量との関係を示すグラフである。
図１６中の線分Ｌ１は、駆動腕２２１ａ、２２２ａの基部２１側（根本）から先端側に向かって除去加工した場合の結果であり、線分Ｌ２は、駆動腕２２１ａ、２２２ａの先端側から基部２１側に向かって除去加工した結果である。
【００８５】
図１６に示すように、基部２１側（根本）から除去加工した方が、少ない加工量で振動漏れの変化量が大きい。これに対し、先端側から除去加工すると、基部２１側を加工するよりも加工量に対する振動漏れの変化量が小さい。
【００８６】
したがって、加工工程（ステップＳ１０）、特に本実施形態では第１加工工程（ステップＳ１３）において、駆動腕２２１ａ、２２２ａの基部２１側の稜線部（本実施形態では、角部２２１４、２２１５、２２２４、２２２５）の少なくとも一部を加工することが好ましい。図１６からも分かるように、駆動腕２２１ａ、２２２ａの先端側より基部２１側を除去加工した方が、少ない加工量で振動漏れ量を大きく低減することができる。そのため、基部２１側の領域を加工することで、加工をより迅速に行うことができ、よって、生産性を高めることができる。また、歩留りを高めることができコストを低減できる。
【００８７】
また、ＦＩＢ加工における加速電圧としては、３０［ＫｅＶ］程度以下であることが好ましい。これにより、高精細に加工を行うことが可能であり、高精度な角速度センサー１０を実現できる。また、別の観点から、加速電圧としては、３６０［ＫｅＶ］程度以下であることが好ましい。これにより、加工レートを早めることが可能となり、製造のタクトタイムを上げることができる。よって、高精度な角速度センサー１０を安価に製造することが可能となる。このように、ＦＩＢ加工時の加速電圧や電流を適宜設定することにより、高精細な加工やタクトタイムの向上を図ることができる。
【００８８】
また、ＦＩＢ加工で用いるイオンの種類は、扱い易さ等の観点から、Ｇａ（ガリウム）であることが好ましい。ただし、Ｘｅ（キセノン）、Ｎｅ（ネオン）、Ａｒ（アルゴン）、Ｈｅ（ヘリウム）等のＧａ以外のイオンを用いることもできる。これにより、ＦＩＢ加工に伴うデポ物（堆積物）が帯電せず、デポ物が電極部３ａに付着した際の静電破壊等の不具合を低減または防止することができる。また、ＦＩＢ加工では、アシストガスとしてＸｅＦ（二フッ化キセノン）やＣＦ４（四フッ化メタン）、Ｉ（ヨウ素）等のガスを用いることもできる。これにより、加工レートを早めることができる。
【００８９】
以上のようにして、［２］工程で決定した粗調整量（加工量）に基づいて粗調整を行うことができる。
【００９０】
［４］第２検出工程（ステップＳ１４）
次に、［２］工程と同様に、振動漏れ量を検出する。そして、結果に応じて、振動体２ａごとに［５］工程での加工量（微調整量）を決定する。
【００９１】
なお、本工程の前に、電極部３ａを除去している場合には再度電極部３ａを設けて振動漏れ量を検出した後、次の［５］工程の前に電極部３ａを再度除去してもよい。
【００９２】
［５］第２加工工程（ステップＳ１５）
図１７は、ＦＩＢ加工が施された駆動腕の斜視図である。
【００９３】
次に、［４］工程で決定した微調整量（加工量）に基づいて、駆動腕２２１ａ、２２２ａの一部を除去加工する（図１７参照）。すなわち、第２加工工程（ステップＳ１５）は、振動漏れ量の微調整を行う微調整工程である。
【００９４】
本工程では、前述した［２］工程と同様に駆動腕２２１ａの２つの角部２２１４、２２１５と駆動腕２２２ａの２つの角部２２２４、２２２５とにＦＩＢ加工を施す（図９、図１５および図１７参照）。この際、駆動腕２２１ａの角部２２１４、２２１５の先端側の領域と、駆動腕２２２ａの角部２２２４、２２２５の先端側の領域とにＦＩＢ加工を施す。これにより、図１７に示すように、駆動腕２２１ａには、面２２１１ａに連続した面２２１１ｂが形成されて、面２２１１ａおよび面２２１１ｂで構成された面２２１１が形成される。同様に、駆動腕２２２ａには、面２２２１ａに連続した面２２２１ｂが形成されて、面２２２１ａおよび面２２２１ｂで構成された面２２２１が形成される。また、図示はしないが、駆動腕２２１ａに面２２１２が形成され、駆動腕２２２ａには面２２２２が形成される。
【００９５】
なお、本工程でも、［３］工程と同様にステージＳ１００を傾斜させて加工を行う（図１２参照）。また、［４］工程で決定した微調整量によっては、角部２２１４、２２１５、２２２４、２２２５のうちの少なくとも１つを除去加工してもよい。
【００９６】
ここで、前述したように、駆動腕２２１ａ、２２２ａの先端側に向かうにつれて加工量に対する振動漏れの変化量（補正量）が減る（図１６参照）。そのため、本工程で、先端側を除去加工することで、微量な振動漏れを調整することができる。よって、振動漏れをゼロ付近に調整することが可能となり、高精度・高安定な角速度センサー１０を提供することができる。
【００９７】
以上のようにして、［４］工程で決定した微調整量（加工量）に基づいて微調整を行うことができる。これにより、面２２１１、２２１２を備える駆動腕２２１と、面２２２１、２２２２を備える駆動腕２２２を備える複数の振動体２が形成される。
【００９８】
なお、本工程では、電極部３ａを振動体２の表面に設けられた電極部３として用いることができる。また、本工程において電極部３ａが除去されている場合には、前述した微調整を行って形成された振動体２の表面に電極部３を形成してもよい。したがって、本工程を経て、振動体２および電極部３を備える複数の振動素子１が得られる。
【００９９】
［６］実装工程（ステップＳ１６）
次に、複数の連結部２４０を切断して、複数の振動素子１（振動体２）を枠体部２３０から切り離し、振動素子１を前述したパッケージ８のベース８１に実装する（図２および図７参照）。なお、本工程では、リッド８２は、ベース８１に接合していない。
【０１００】
［７］チューニング工程（ステップＳ１７）
図１８は、チューニング工程を説明するための図である。
【０１０１】
次に、調整腕２４１に設けられた調整用電極としての第２検出信号電極３２２および検出接地電極３２３と、調整腕２４２に設けられた調整用電極としての第１検出信号電極３２１および検出接地電極３２３とを加工して、振動漏れの更なる調整を行う（図４および図１８参照）。
【０１０２】
具体的には、駆動腕２２１、２２２を駆動振動させ、検出信号を検出する。駆動腕２２１、２２２を駆動振動させた際に、角速度ωが加わっていなければ、コリオリ力は生成されず、検出信号は検出されないか、または所定値以下である。これに対し、駆動腕２２１、２２２を駆動振動させて、検出信号が検出された場合、その検出した検出信号（電流値）を振動漏れ量として、その振動漏れ量に応じて調整腕２４１、２４２に設けられた調整用電極（第１検出信号電極３２１、第２検出信号電極３２２および検出接地電極３２３）を加工する。なお、検出信号が検出されていない場合には、調整用電極の加工は省略してよい。
【０１０３】
この調整用電極の加工では、レーザーや集束イオンビーム等のイオンビームを用いることが好ましい。特に、集束イオンビームを用いたＦＩＢ加工であることが好ましい。これにより、加工の際に生じ得るドロスを低減または削除することができる。そのため第１検出信号電極３２１、第２検出信号電極３２２および検出接地電極３２３間でのドロスによる電極パスを低減または防止することができる。そのため、ノイズを低減でき、より高精度な角速度センサー１０を実現できる。
【０１０４】
以上のようにして、チューニングを行った後、リッド８２をベース８１に接合し、パッケージ８内に振動素子１を封止する（図１参照）。
以上のようにして角速度センサー１０を形成することができる。
【０１０５】
以上説明したように、角速度センサー１０の製造方法は、基部２１と、基部２１から延出し、駆動信号電極３１１ａ（駆動用電極）および駆動接地電極３１２ａ（駆動用電極）が形成されており、延出する方向に垂直な断面の形状が多角形からなる部分を有する駆動腕２２１ａ、２２２ａ（駆動部）と、基部２１から延出し、第１検出信号電極３２１ａ（検出用電極）および第２検出信号電極３２２ａ（検出用電極）が形成されている検出腕２３１、２３２（検出部）と、を備える振動体２ａ（振動片）を用意する用意工程（ステップＳ１１）を有する。また、角速度センサー１０の製造方法は、駆動信号電極３１１ａおよび駆動接地電極３１２ａに通電して駆動腕２２１ａ、２２２ａを駆動振動させ、第１検出信号電極３２１ａおよび第２検出信号電極３２２ａにより出力された振動漏れ量を検出する「検出工程」である第１検出工程（ステップＳ１２）を有する。また、角速度センサー１０の製造方法は、振動漏れ量に基づいて駆動腕２２１ａ、２２２ａの延出する方向に垂直な断面の形状が多角形からなる部分の稜線部（本実施形態では、角部２２１４、２２１５、２２２４、２２２５）の少なくとも一部を集束イオンビームＬＬにより加工する加工工程（ステップＳ１０）を含む。
【０１０６】
このような角速度センサー１０の製造方法によれば、駆動腕２２１ａ、２２２ａの漏れ振動に大きな影響を有する稜線部である角部２２１４、２２１５、２２２４、２２２５を集束イオンビームＬＬで加工するため、少しの加工量で漏れ振動を抑制でき加工時間を短くできる。また、駆動信号電極３１１ａおよび駆動接地電極３１２ａを加工せずに駆動腕２２１ａ、２２２ａを加工するため、従来のように、駆動信号電極３１１ａおよび駆動接地電極３１２ａを過剰に厚くする必要がない。よって、角速度センサー１０の製造方法によれば、不要振動（振動漏れ）が低減されるとともに温度特性に優れた角速度センサー１０を迅速かつ適切に製造することができる。
【０１０７】
また、前述したように、駆動腕２２１ａ、２２２ａ（駆動部）は、駆動振動の方向に沿った２つの主面（上面および下面）を有し、加工工程（ステップＳ１０）、特に本実施形態では第１加工工程（ステップＳ１３）において、集束イオンビームＬＬを照射して稜線部（本実施形態では、角部２２１４、２２１５、２２２４、２２２５）の少なくとも一部を除去する加工により主面（上面および下面）に対して傾斜した面２２１１ａ、２２１２ａ、２２２１ａ、２２２２ａ（傾斜面）を形成する。そして、面２２１１ａ、２２１２ａ、２２２１ａ、２２２２ａの角度θ（傾斜角度）は、１０°以上であることが好ましく、４５°以上であることがより好ましい。角度θが大きい方が、少ない加工量で振動漏れを補正できる効果が大きい。そのため、上記角度θ以上であることで少ない加工量で振動漏れの補正をより迅速に行うことができる。また、上記角度θ以上であることで、前述したステージＳ１００を過剰に傾斜させる必要がないため、ステージＳ１００の回転に要する時間を短くでき、効率が良い。また、上記角度θ以上であることで、隣接する駆動腕２２１ａ、２２２ａへ集束イオンビームＬＬが当たるおそれも低減することができる。
【０１０８】
また、前述したように駆動腕２２１ａ、２２２ａ（駆動部）は、駆動振動の方向に沿った２つの主面（上面および下面）を有し、加工工程（ステップＳ１０）において、稜線部の少なくとも一部として駆動腕２２１ａ、２２２ａの一方の主面（上面）の外縁部と、駆動腕２２１ａ、２２２ａの他方の主面（下面）の外縁部とをそれぞれ加工する。本実施形態では、駆動腕２２１ａの上面側に位置する角部２２１４（外縁部）と駆動腕２２１ａの下面側に位置する角部２２１５（外縁部）とを加工する。同様に、駆動腕２２２ａの上面側に位置する角部２２２４（外縁部）と駆動腕２２２ａの下面側に位置する角部２２２５（外縁部）とを加工する。これにより、不要振動をより効果的に低減することができる。
【０１０９】
さらに前述したように、駆動腕２２１ａ、２２２ａ（駆動部）は、２つの主面（上面および下面）と交差する２つの側面を有し、加工工程（ステップＳ１０）において、稜線部の少なくとも一部として駆動腕２２１ａ、２２２ａの一方の側面側と、駆動腕２２１ａ、２２２ａの他方の側面側とをそれぞれ加工する。本実施形態では、駆動腕２２１ａの−Ｘ軸側側面に位置する角部２２１４（稜線部）と駆動腕２２１ａの＋Ｘ軸側側面に位置する角部２２１５（稜線部）とを加工する。同様に、駆動腕２２２ａの−Ｘ軸側側面に位置する角部２２２４（稜線部）と駆動腕２２２ａの＋Ｘ軸側側面に位置する角部２２２５（稜線部）とを加工する。これにより、振動漏れをより効果的に低減することができる。
【０１１０】
このように、本実施形態では、駆動腕２２１ａが有する面２２１１、２２１２は、断面視で（Ｙ軸方向から見て）、対角にある２つの角部２２１４、２２１５が除去加工されることで形成されている。同様に、駆動腕２２２ａが有する面２２２１、２２２２は、断面視で、対角にある２つの角部２２２４、２２２５が除去加工されることで形成されている。このように、１つの角部を加工するよりも２つの角部を加工することで、振動漏れの調整範囲が倍となり、さらに大きな振動漏れも調整できる。これにより、より歩留りを上げてコストを下げることができる。また、振動素子１の感度をより高めることができる。このようなことから、安価で高精度な角速度センサー１０を実現できる。
【０１１１】
また、前述したように、加工工程（ステップＳ１０）は、駆動腕２２１ａ、２２２ａ（駆動部）の基部２１側の稜線部（本実施形態では、角部２２１４、２２１５、２２２４、２２２５）の少なくとも一部を集束イオンビームＬＬにより加工する第１加工工程（ステップＳ１３）と、第１加工工程（ステップＳ１３）の後、駆動腕２２１ａ、２２２ａの先端側の稜線部（本実施形態では、角部２２１４、２２１５、２２２４、２２２５）の少なくとも一部を集束イオンビームＬＬにより加工する第２加工工程（ステップＳ１５）とを有し、加工工程（ステップＳ１０）では、第１加工工程（ステップＳ１３）と第２加工工程（ステップＳ１５）との間で振動漏れ量を検出する。すなわち、角速度センサー１０の製造方法は、第２検出工程（ステップＳ１４）を有する。これにより、第１加工工程（ステップＳ１３）で振動漏れ量の粗調整を行い、第２加工工程（ステップＳ１５）で振動漏れ量の微調整を行うことができる。さらに、第１加工工程（ステップＳ１３）と第２加工工程（ステップＳ１５）との間に振動漏れ量を測定することで、第２加工工程（ステップＳ１５）における微調整をより高精度に行うことができる。
【０１１２】
さらに、前述したように、振動体２は、基部２１に接続され、調整用電極（第１検出信号電極３２１、第２検出信号電極３２２および検出接地電極３２３）が形成されている調整腕２４１、２４２を有し、角速度センサー１０の製造方法は、調整用電極を加工するチューニング工程（ステップＳ１７）を有する。これにより、振動漏れをさらに効果的に低減することができる。特に、実装工程（ステップＳ１６）の後に、チューニング工程（ステップＳ１７）を行うことで振動漏れをさらに効果的に低減することができる。
【０１１３】
なお、本実施形態では、［４］第２検出工程（ステップＳ１４）および［５］微調整工程（ステップＳ１５）を有しているが、例えば振動漏れの程度によっては、これら［４］工程および［５］工程を省略してもよい。また、［３］工程および［４］工程を省略してもよい。また、本実施形態では、［７］チューニング工程（ステップＳ１７）を有していたが、例えば振動漏れの程度によっては、これら［７］工程は、省略してもよい。
【０１１４】
また、本実施形態では、［３］工程および［５］工程において、ステージＳ１００を傾斜させたが、ステージＳ１００は傾斜させなくてもよい。また、［１］工程の後に［６］工程を行い、その後に、［２］工程〜［５］工程を行うこともできる。また、［１］工程〜［３］工程の後に［６］工程を行い、その後に、［４］工程および［５］工程を行うこともできる。
【０１１５】
＜第１変形例＞
図１９は、駆動腕の第１変形例を示す斜視図である。
【０１１６】
図１９に示す駆動腕２２１、２２２は、面２２１１、面２２２１の長さ（駆動腕２２１、２２２の延出方向に沿った長さ）が互いに異なっている。前述した［２］工程および［４］工程の結果を基にして、面２２１１、面２２２１の長さ、すなわち、加工量を決定するため、駆動腕２２１、２２２で加工量が異なっていてもよい。また、図示はしないが、面２２１２、２２２２の長さについても同様である。
【０１１７】
また、図示はしないが、面２２１１、２２１２、２２２１、２２２２の深さ（Ｚ軸方向に沿った長さ）は、互いに異なっていても良いし、同じであってもよい。また、振動体２（振動体２ａ）ごとに加工量が異なっていてもよい。
【０１１８】
＜第２変形例＞
図２０は、駆動腕の第２変形例を示す斜視図である。
【０１１９】
図２０に示す駆動腕２２１では、面２２１１ａと面２２１１ｂとが繋がっていない。同様に、図２０に示す駆動腕２２２では、面２２２１ａと面２２２１ｂとが繋がっていない。なお、図示はしないが、面２２１２、２２２２についても同様である。
【０１２０】
例えば、［３］工程では、駆動腕２２１ａ、２２２ａの基部２１側からＦＩＢ加工を施し、［５］工程では、駆動腕２２１ａ、２２２ａの先端側からＦＩＢ加工を施す。これにより、［３］工程では、少ない加工量で振動漏れの大まかな補正を迅速に行い、［５］工程では、振動漏れをより高精度に補正することができる。
【０１２１】
＜第３変形例＞
図２１は、駆動腕の第３変形例を示す斜視図である。
【０１２２】
図２１に示す駆動腕２２１の面２２１１は、基部２１側から先端側に向かって、Ｘ軸方向における幅（駆動腕２２１の延出方向に交差する方向の長さ）が、変化している。特に、本実施形態では、面２２１１の幅が、基部２１側から先端側に向かって漸減している。同様に、駆動腕２２２の面２２２１は、基部２１側から先端側に向かって、Ｘ軸方向における幅（駆動腕２２１の延出方向に交差する方向の長さ）が、変化している。特に、本実施形態では、面２２２１の幅が、基部２１側から先端側に向かって漸減している。なお、図示はしないが、面２２１２、２２２２についても同様である。
【０１２３】
例えば、加工工程（ステップＳ１０）において、稜線部（本実施形態では、角部２２１４、２２１５、２２２４、２２２５）の少なくとも一部に対して駆動腕２２１ａ、２２２ａ（駆動部）の基部２１側から先端側に向かって加工量を変化させる。これにより、面２２１１、２２１２、２２２１、２２２２のＸ軸方向における幅を基部２１側から先端側に向かって変化させることができる。
【０１２４】
特に、加工工程（ステップＳ１０）において、駆動腕２２１ａ、２２２ａ（駆動部）の基部２１側から先端側に向かって加工量を漸減させる。これにより、図２１に示すような面２２１１、２２２１を形成することができる。例えば、図２１に示すような面２２１１、２２２１は、［３］工程および［５］工程において、集束イオンビームＬＬの照射時間や出力強度を調整することにより形成できる。
【０１２５】
このようにＸ軸方向における幅を変化させることで、振動漏れ量の粗調整や微調整を容易に行うことができる。そのため、迅速に加工を行うことができるとともに、振動漏れをより効果的に低減することができる。特に、基部２１側の幅を先端側の幅よりも大きくすることで、粗調整を迅速に行い、かつ、微調整をより高精度に行うことができる。
【０１２６】
なお、図２１では、面２２１１、２２２１の幅は、基部２１から先端側に向かって連続的に変化していたが、不連続に変化していてもよい。また、面２２１１、２２２１の幅は、基部２１から先端側に向かって増加していてもよい。
【０１２７】
＜第４変形例＞
図２２は、駆動腕の第４変形例を示す断面図である。
【０１２８】
図２２に示す駆動腕２２１Ａ、２２２Ａは、断面視で、４つの角部が加工されている。具体的には、駆動腕２２１Ａは、面２２１１、２２１２に加え、駆動腕２２１Ａの上面と＋Ｘ軸側側面とを繋ぐ面２２１８と、駆動腕２２１Ａの下面と−Ｘ軸側側面とを繋ぐ面２２１９と、を有する。同様に、駆動腕２２２Ａは、面２２２１、２２２２に加え、駆動腕２２２Ａの上面と＋Ｘ軸側側面とを繋ぐ面２２２８と、駆動腕２２２Ａの下面と−Ｘ軸側側面とを繋ぐ面２２２９と、を有する。なお、図示では、面２２１８、２２１９、２２２８、２２２９は、平坦であるが、例えば、外側に突出する凸面であったり、凹面であってもよい。
【０１２９】
このような面２２１８、２２１９、２２２８、２２２９を有することで、振動漏れをさらに効果的に低減することができる。例えば、面２２１１、２２１２、２２２１、２２２２を形成する際に加工量が過剰となり、再び振動漏れの増大が生じた場合、面２２１８、２２１９、２２２８、２２２９を形成することで、その増大した振動漏れを低減して、振動漏れをゼロ付近に再調整することができる。
【０１３０】
なお、面２２１８、２２１９、２２２８、２２２９の傾斜角度は、面２２１１、２２１２、２２２１、２２２２の角度θと同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【０１３１】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。
図２３は、第２実施形態に係る角速度センサーが備える振動体を示す平面図である。
【０１３２】
本実施形態は、振動素子の構成が異なる以外は、上述した実施形態と同様である。なお、以下の説明では、第２実施形態に関し、上述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。
【０１３３】
図２３に示す振動素子６が有する振動体６０（振動片）は、Ｚカット水晶板をフォトリソグラフィー技法およびエッチング技法（特に、ウエットエッチング技法）を用いてパターニングして形成されている。この振動体６０は、基部６１と、基部６１から延出する１対の振動腕６２１、６２２と、を有している。
【０１３４】
基部６１は、振動腕６２１、６２２が延出している第１基部６１１と、第１基部６１１に対して振動腕６２１、６２２とは反対側に設けられた第２基部６１３と、第１基部６１１と第２基部６１３とを連結する連結部６１２と、を含んでいる。連結部６１２は、第１基部６１１と第２基部６１３との間に位置していて、第１基部６１１および第２基部６１３よりも幅（Ｘ軸方向の長さ）が小さい。これにより、基部６１のＹ軸方向に沿った長さを小さくしつつ、振動漏れを小さくすることができる。
【０１３５】
振動腕６２１、６２２は、Ｘ軸方向に並び、かつ、互いに平行となるように、それぞれ、第１基部６１１から−Ｙ軸方向に延出している。なお、振動腕６２１、６２２は、それぞれ、「駆動腕」および「検出腕」として機能する。
【０１３６】
また、振動腕６２１は、上面に対して傾斜し、上面側に位置する面６２１１（傾斜面）を有し、振動腕６２２は、上面に対して傾斜し、上面側に位置する面６２２１（傾斜面）を有している。なお、図示はしないが、振動腕６２１、６２２は、それぞれ、その下面に対して傾斜し、下面側に位置する傾斜面を有している。これら傾斜面（面６２１１、６２２１を含む）は、ＦＩＢ加工が施されることで形成されている。
【０１３７】
なお、振動腕６２１、６２２には、それぞれ、その上面および下面に開放してＹ軸方向に延在している１対の有底の溝が形成されていてもよい。また、図示では、振動腕６２１、６２２の先端部の幅（Ｘ軸方向での長さ）が基端部よりも広くなっているが、これに限定されない。
【０１３８】
また、振動素子６は、図示はしないが、振動腕６２１、６２２の表面に設けられた駆動用電極および検出用電極を有する。
【０１３９】
以上説明したような第２実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果が得られる。
【０１４０】
＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態について説明する。
【０１４１】
図２４は、第３実施形態に係る角速度センサーが備える振動体を示す平面図である。
本実施形態は、振動素子の構成が異なる以外は、上述した実施形態と同様である。なお、以下の説明では、第３実施形態に関し、上述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。
【０１４２】
図２４に示す振動素子５が有する振動体５０（振動片）は、Ｚカット水晶板をフォトリソグラフィー技法およびエッチング技法（特に、ウエットエッチング技法）を用いてパターニングして形成されている。図２４に示すように、このような振動体５０は、基部５１と、基部５１から−Ｙ軸方向に延びている３本の振動腕５２、５３、５４と、を有している。
【０１４３】
基部５１は、振動腕５２、５３、５４が延出している第１基部５１１と、第１基部５１１に対して振動腕５２、５３、５４とは反対側に設けられた第２基部５１３と、第１基部５１１と第２基部５１３とを連結する連結部５１２と、を含んでいる。
【０１４４】
振動腕５２、５３、５４は、Ｘ軸方向に並び、かつ、互いに平行となるように、それぞれ、第１基部５１１から−Ｙ軸方向に延出している。なお、振動腕５２、５３、５４は、それぞれ、「駆動腕」および「検出腕」として機能する。
【０１４５】
また、振動腕５２は、上面に対して傾斜し、上面側に位置する面５２１１（傾斜面）を有し、振動腕５３は、上面に対して傾斜し、上面側に位置する面５３１１（傾斜面）を有し、振動腕５４は、上面に対して傾斜し、上面側に位置する面５４１１（傾斜面）を有している。なお、図示はしないが、振動腕５２、５３、５４は、それぞれ、その下面に対して傾斜し、下面側に位置する傾斜面を有している。これら傾斜面（面５２１１、５３１１、５４１１を含む）は、ＦＩＢ加工が施されることで形成されている。
【０１４６】
なお、振動腕５２、５３、５４には、それぞれ、その上面および下面に開放してＹ軸方向に延在している１対の有底の溝が形成されていてもよい。また、振動腕５２、５３、５４の先端部の幅（Ｘ軸方向での長さ）が基端部よりも広くなっていてもよい。
【０１４７】
また、振動素子５は、図示はしないが、振動腕５２、５３、５４の表面に設けられた駆動用電極および検出用電極を有する。
【０１４８】
以上説明したような第３実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果が得られる。
【０１４９】
＜第４実施形態＞
次に、第４実施形態について説明する。
【０１５０】
図２５は、第４実施形態に係る角速度センサーが備える振動素子を示す平面図である。
本実施形態は、振動素子の構成が異なる以外は、上述した実施形態と同様である。なお、以下の説明では、第４実施形態に関し、上述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。
【０１５１】
図２５に示す振動素子４は、Ｚ軸まわりの角速度を検出するための角速度センサー素子である。このような振動素子４は、図２５に示すように、構造体４１を有している。このような振動素子４は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされたシリコン基板から形成されている。
【０１５２】
構造体４１は、２つの振動体４１’、４１”と、複数の駆動用固定電極４７と、複数の検出用固定電極４８とを有しており、振動体４１’、４１”は、Ｘ軸方向に沿って互いに連結されている。また、振動体４１’、４１”は、それぞれの境界線Ｂ（Ｙ軸方向に沿った直線）に対して対称に設けられている。以下、振動体４１’、４１”の構成について具体的に説明するが、振動体４１’、４１”の構成は、互いに同じであるため、以下では、振動体４１’の構成について代表して説明し、振動体４１”の構成の説明については、その説明を省略する。
【０１５３】
振動体４１’は、図２５に示すように、固定部４２４（基部）と、駆動体４２（駆動部）と、検出部４３と、を有している。
【０１５４】
駆動体４２は、駆動用支持部４２１と、駆動用バネ部４２２と、駆動用可動電極４２３と、を有している。このように、駆動体４２には、駆動用可動電極４２３（駆動用電極）が形成されている。駆動用支持部４２１は、枠状をなし、駆動用バネ部４２２を介して、固定部４２４に連結（接続）されている。したがって、駆動体４２は、固定部４２４に対して接続されている（から延出している）。駆動用バネ部４２２は、Ｘ軸方向に弾性変形可能に構成され、これにより、駆動用支持部４２１が固定部４２４に対してＸ軸方向に変位可能（振動可能）となる。また、駆動用可動電極４２３（駆動用電極）は、駆動用支持部４２１に接続されて駆動用支持部４２１の外側に位置している。そして、駆動用可動電極４２３を介して対向するように、駆動用固定電極４７が位置している。そのため、駆動用固定電極４７および駆動用可動電極４２３間に電圧を印加すると、駆動用固定電極４７と駆動用可動電極４２３との間に静電力が発生し、この静電力によって、駆動用バネ部４２２を弾性変形させつつ駆動用支持部４２１をＸ軸方向に沿って振動させることができる。
【０１５５】
検出部４３は、駆動用支持部４２１の内側に配置され、検出用支持部４３１と、検出用バネ部４３２と、検出用可動電極４３３と、を有している。このように、検出部４３には、検出用可動電極４３３（検出用電極）が形成されている。検出用支持部４３１は、枠状をなし、検出用バネ部４３２を介して、駆動用支持部４２１に連結（接続）されている。したがって、検出部４３は、固定部４２４に対して駆動体４２の一部を介して間接的に接続されている（固定部４２４から延出している）。検出用バネ部４３２は、Ｙ軸方向に弾性変形可能に構成され、これにより、検出用支持部４３１が駆動用支持部４２１に対してＹ軸方向に変位可能となる。また、検出用可動電極４３３は、検出用支持部４３１の内側でＸ軸方向に延びて設けられており、その両端部が検出用支持部４３１に接続されている。そして、検出用可動電極４３３（検出用電極）を介して対向するように、検出用固定電極４８が位置している。そのため、検出用バネ部４３２を弾性変形させつつ検出用支持部４３１がＹ軸方向に振動すると、検出用固定電極４８および検出用可動電極４３３間のギャップが変化し、この変化に伴って検出用固定電極４８および検出用可動電極４３３間の静電容量が変化する。
【０１５６】
このような振動素子４では、駆動用バネ部４２２の少なくとも一部に駆動振動の方向に交差した面４２２１（傾斜面）が形成されている。この面４２２１は、ＦＩＢ加工が施されることで形成されている。
【０１５７】
以上、振動素子４の構成について説明した。このような構成の振動素子４は、次のようにしてＺ軸まわりの角速度を検出することができる。まず、前述したように、駆動用固定電極４７および駆動用可動電極４２３の間に電圧を印加して、駆動用支持部４２１をＸ軸方向に沿って振動させる。この際、振動体４１’、４１”の駆動用支持部４２１同士を互いに逆位相（Ｘ軸逆相モード）で振動させる。このように、振動体４１’、４１”の駆動用支持部４２１を振動させている状態で振動素子４にＺ軸回りの角速度が加わると、コリオリの力が働き、振動体４１’、４１”の検出用支持部４３１が駆動用支持部４２１に対してＹ軸方向に変位する。なお、この際、振動体４１’、４１”の検出用支持部４３１同士は、互いに逆位相（Ｙ軸逆相モード）で変位する。このように、検出用支持部４３１が駆動用支持部４２１に対してＹ軸方向に変位することで、検出用可動電極４３３と検出用固定電極４８との間のギャップが変化し、このギャップ変化に応じて、検出用可動電極４３３と検出用固定電極４８との間の静電容量が変化する。そのため、振動素子４は、検出用可動電極４３３および検出用固定電極４８の間に電圧を印加して、これらの間の静電容量の変化量を検出し、この静電容量の変化量に基づいて、Ｚ軸回りの角速度を求めることができる。
【０１５８】
以上説明したような第４実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果が得られる。
【０１５９】
＜第５実施形態＞
次に、第５実施形態について説明する。
【０１６０】
図２６は、第５実施形態に係る角速度センサーを示す斜視図である。
本実施形態は、振動素子の構成が異なる以外は、上述した実施形態と同様である。なお、以下の説明では、第５実施形態に関し、上述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。
【０１６１】
図２６に示す角速度センサー７０は、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸のそれぞれの軸まわりの角速度ωｘ、ωｙ、ωｚを検出可能なジャイロセンサーである。この角速度センサー７０は、Ｘ軸周りの角速度ωｘを検出する振動素子７Ｘと、Ｙ軸周りの角速度ωｙを検出する振動素子７Ｙと、Ｚ軸周りの角速度ωｚを検出する振動素子７Ｚと、ＩＣチップ９０と、パッケージ８と、を有している。
【０１６２】
〈ＩＣチップ〉
ＩＣチップ９０は、複数の端子９１を有しており、各端子９１が導電性ワイヤー１０１によってベース８１の底面に形成された各接続端子８４１と電気的に接続されている。このＩＣチップ９０は、振動素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚ（センサー素子）を駆動振動させるための駆動回路と、角速度が加わったときに振動素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚに生じる検出振動を検出する検出回路と、を有する。
【０１６３】
〈振動素子〉
振動素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚは、ＩＣチップ９０上に応力緩和層９５上に導電性接着剤等を介して固定されている。なお、応力緩和層９５は、ベース８１およびＩＣチップ９０の変形等による応力が振動素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚに対して伝達することを緩和する機能を有する。
【０１６４】
振動素子７Ｘ、７Ｙは、それぞれ、例えば、いわゆる面内検出型の角速度検出素子であり、第１実施形態における振動素子１と同様の構成である。また、これら振動素子７Ｘ、７Ｙは、互いに同様の構成であるが、Ｘ軸およびＹ軸のそれぞれの軸まわりの角速度を検出するように互いに配置が異なっている。一方、振動素子７Ｚは、いわゆる面外検出型の角速度検出素子である。振動素子７Ｚは、例えば、水晶等の圧電基板をエッチングにより所定形状に加工して得られる素子片上に、Ｃｒ（クロム）、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）等で構成された電極を適宜形成して構成されている。
【０１６５】
また、図示では、平面視で、振動素子７Ｘ、７Ｙが有する駆動腕２２１、２２２がＩＣチップ９０と重なり、検出腕２３１、２３２がＩＣチップ９０からはみ出しているが、検出腕２３１、２３２がＩＣチップ９０と重なり、駆動腕２２１、２２２がＩＣチップ９０からはみ出していてもよい。この場合、振動素子７Ｘ、７Ｙを実装した後に［２］〜［５］工程を行っても、集束イオンビームが振動素子７Ｘ、７Ｙ以外（例えばＩＣチップ９０）に誤って照射されることを低減でき、ＩＣチップ９０がダメージを受けることがない。
【０１６６】
なお、振動素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚの構成は、図示のものに限定されない。また振動素子７Ｘ、７Ｙ、７Ｚのうちの１つまたは２つを省略してもよい。
【０１６７】
以上説明したような第５実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果が得られる。そのため、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸のそれぞれの軸まわりの角速度ωｘ、ωｙ、ωｚを検出可能な高精度な角速度センサー７０を実現できる。
【０１６８】
以上、本発明の角速度センサーの製造方法を添付図面を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【０１６９】
本実施形態では、振動素子が有する振動体の構成材料としては、水晶のような圧電体材料に限定されず、非圧電体材料を用いてもよい。この非圧電体材料としては、例えば、シリコン、石英等が挙げられる。
【符号の説明】
【０１７０】
１…振動素子、２…振動体、２ａ…振動体、３…電極部、３ａ…電極部、４…振動素子、５…振動素子、７Ｘ…振動素子、７Ｙ…振動素子、７Ｚ…振動素子、８…パッケージ、９…ＩＣチップ、１０…角速度センサー、１２…導電性接着剤、１３…導電性ワイヤー、２０…ウェハー、２１…基部、２５…支持部、４１…構造体、４１'…振動体、４１”…振動体、４２…駆動体、４３…検出部、４７…駆動用固定電極、４８…検出用固定電極、５０…振動体、５１…基部、５２…振動腕、５３…振動腕、５４…振動腕、６０…振動体、６１…基部、７０…角速度センサー、８１…ベース、８２…リッド、９０…ＩＣチップ、９１…端子、９５…応力緩和層、１０１…導電性ワイヤー、２２１…駆動腕、２２１Ａ…駆動腕、２２１ａ…駆動腕、２２２…駆動腕、２２２Ａ…駆動腕、２２２ａ…駆動腕、２３０…枠体部、２３１…検出腕、２３２…検出腕、２４０…連結部、２４１…調整腕、２４２…調整腕、２５１…部分、２５２…部分、２５３…部分、２６１…連結部、２６２…連結部、２６３…連結部、２６４…連結部、３１１…駆動信号電極、３１２…駆動接地電極、３１３…駆動信号端子、３１４…駆動接地端子、３２１…第１検出信号電極、３２２…第２検出信号電極、３２３…検出接地電極、３２５…第１検出信号端子、３２６…第２検出信号端子、３２７…検出接地端子、３１１ａ…駆動信号電極、３１２ａ…駆動接地電極、３２１ａ…第１検出信号電極、３２２ａ…第２検出信号電極、３２３ａ…検出接地電極、４２１…駆動用支持部、４２２…駆動用バネ部、４２３…駆動用可動電極、４２４…固定部、４３１…検出用支持部、４３２…検出用バネ部、４３３…検出用可動電極、５１１…第１基部、５１２…連結部、５１３…第２基部、６１１…第１基部、６１２…連結部、６１３…第２基部、６２１…振動腕、６２２…振動腕、８１１…凹部、８１１ａ…上段面、８１１ｂ…中段面、８１１ｃ…下段面、８１２…端子、８１３…端子、８４１…接続端子、２２１１…面、２２１１ａ…面、２２１１ｂ…面、２２１２…面、２２１２ａ…面、２２１３…溝、２２１４…角部、２２１５…角部、２２１６…角部、２２１７…角部、２２１８…面、２２１９…面、２２２１…面、２２２１ａ…面、２２２１ｂ…面、２２２２…面、２２２２ａ…面、２２２３…溝、２２２４…角部、２２２５…角部、２２２６…角部、２２２７…角部、２２２８…面、２２２９…面、２３１３…溝、２３２３…溝、４２２１…面、５２１１…面、５３１１…面、５４１１…面、６２１１…面、６２２１…面、Ｂ…境界線、Ｄ…矢印、Ｅ…矢印、Ｌ１…線分、Ｌ２…線分、ＬＬ…集束イオンビーム、Ｓ１…空間、Ｓ１０…ステップ、Ｓ１００…ステージ、Ｓ１１…ステップ、Ｓ１２…ステップ、Ｓ１３…ステップ、Ｓ１５…ステップ、Ｓ１６…ステップ、Ｓ１７…ステップ、θ…角度、ω…角速度、ωｘ…角速度、ωｙ…角速度、ωｚ…角速度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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