(57)【要約】【課題】大面積の光照射が可能なものでありながら、ランプの交換作業性、メンテナンス性に優れた光照射器および当該光照射器を用いた光照射装置を提供すること。【解決手段】本発明の光照射器は、各々二重管状のエキシマランプが金属ビームによって保持された多数の棒状のランプユニットが水平面に沿った同一平面内においてランプユニットの長さ方向と直交する方向に並列に配列されてランプユニット設置用フレームに設けられてなり、ランプユニットにおける金属ビームの両端に、ランプユニットを鉛直方向に移動させることにより当該ランプユニットをランプユニット設置用フレームに着脱可能に装着するための装着部を有する。光照射装置は、光照射窓が下面に設けれた匣体内の下部に、上記光照射器が配置される光照射器配置空間が形成されており、当該光照射器配置空間の上方開口部を閉塞する隔壁が開閉自在に設けられた構成とされる。【選択図】図１
2018129413.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々二重管状のエキシマランプおよび当該エキシマランプを保持する金属ビームを備えた多数の棒状のランプユニットが水平面に沿った同一平面内においてランプユニットの長さ方向と直交する方向に並列に配列されてランプユニット設置用フレームに設けられてなり、
前記ランプユニットにおける金属ビームの両端に、当該ランプユニットを鉛直方向に移動させることにより当該ランプユニットを前記ランプユニット設置用フレームに着脱可能に装着するための装着部を有することを特徴とする光照射器。
【請求項２】
前記ランプユニットにおける金属ビームは、鉛直方向における一面側にランプ装着部を有し、他面側に当該ランプユニットを移動させるためのハンドルを有することを特徴とする請求項１に記載の光照射器。
【請求項３】
光照射窓が下面に設けられた匣体内の下部に、請求項１または請求項２に記載の光照射器が配置される光照射器配置空間が形成されており、当該光照射器配置空間を区画する当該光照射器配置空間の上方開口部を閉塞する隔壁が開閉自在に設けられていることを特徴とする光照射装置。
【請求項４】
前記匣体内に、前記光照射器におけるランプユニットを吊下移動させるための移送機構を備えることを特徴とする請求項３に記載の光照射装置。
【請求項５】
前記隔壁が閉じられた状態において不活性ガス雰囲気とされる前記光照射器配置空間内の不活性ガスを循環させる不活性ガス循環機構を備えており、
当該不活性ガス循環機構は、前記光照射器配置空間と連通する不活性ガス循環路を有し、当該不活性ガス循環路に、送風手段および放熱用の熱交換器が設けられていることを特徴とする請求項３または請求項４に記載の光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光照射器および当該光照射器を用いた光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、例えば半導体素子や液晶基板の製造工程において、例えばデスミア処理などを行う方法として、紫外線を用いた方法が知られている。特に、エキシマランプから放射される真空紫外線により生成されるオゾン等の活性酸素を利用した方法は、効率よく短時間で所定の処理を行うことができることから、好適に利用されている。
近年では、例えばプロセスの処理時間短縮などの観点から、光照射装置に対して高照度化の要請があり、光源として用いられるエキシマランプにおいて、高い照度の光を放出することが求められている。また、液晶基板などのワークの大型化に伴って、光照射装置に対して照射エリアの大面積化の要請がある。
【０００３】
エキシマランプを高照度化するためには、例えば大きな電力をエキシマランプに投入する必要がある。しかしながら、エキシマランプに投入する電力が大きくなると、エキシマランプの温度が上昇し、内部の放電用ガスの温度も上昇する。この場合、高温となった放電用ガスがエキシマの生成を阻害するため、ある電力値を境界に照度はむしろ低下する。
このような理由から、エキシマランプの温度上昇を抑制するため、エキシマランプを冷却する構造を有する光照射装置が知られている。例えば特許文献１には、複数のエキシマランプが、冷却媒体流通路が形成されたアルミニウム製の冷却ブロックによって保持された構造とされることが記載されている。
また、照射エリアの大面積化の要請に対しては、光照射装置において、例えば、多数のエキシマランプを水平に並べる構成が採用される。
【０００４】
図１３は、従来の光照射装置の一例における構成の概略を示す断面図である。
この光照射装置９０は、下面に光照射窓９３が設けられたケーシング９１内に光照射器９５が配置されて構成されている。ケーシング９１は、互いに気密に対接されて内部に光照射器配置空間を形成する上方側ケーシング部材９１ａおよび下方側ケーシング部材９１ｂよりなる。上方側ケーシング部材９１ａおよび下方側ケーシング部材９１ｂは、ヒンジ部９２を介して互いに固定されている。また、上方側ケーシング部材９１ａの上部には、複数のエキシマランプの各々に対応する複数の点灯電源ユニットが配設された電装部９４が設けられている。
光照射器９５は、例えば複数の棒状のエキシマランプ９６が冷却媒体流通路９８が形成された冷却ブロック９７によって保持されて構成されている。エキシマランプ９６はその中心軸が水平面に沿った同一平面上に位置された状態で並列に配列されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２６５７７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
而して、エキシマランプは、点灯時間が経過するにつれて紫外線放射照度が低下するため、定期的な交換が必要である。上記構成の光照射装置において、エキシマランプ９６を交換する際には、図１４に示すように、上方側ケーシング部材９１ａを下方側ケーシング部材９１ｂより離間する方向に回動させて光照射器９５を露出させた状態とする。この状態において、エキシマランプ９６のランプホルダー９６ａに対する着脱などの作業を行わなければならない。しかも、上方側ケーシング部材９１ａの上部には、エキシマランプ９６の点灯電源ユニット等を備えた電装部９４も設けられているため、可動される側の部材の重量自体が相当に大きくなり、ランプ交換作業性、メンテナンス性は、必ずしもよいものではなかった。
このような問題は、照射エリアの大面積化が図られた光照射装置において顕著に生ずるようになる。
【０００７】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、大面積の光照射が可能なものでありながら、ランプの交換作業性、メンテナンス性に優れた光照射器および当該光照射器を用いた光照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の光照射器は、各々二重管状のエキシマランプおよび当該エキシマランプを保持する金属ビームを備えた多数の棒状のランプユニットが水平面に沿った同一平面内においてランプユニットの長さ方向と直交する方向に並列に配列されてランプユニット設置用フレームに設けられてなり、
前記ランプユニットにおける金属ビームの両端に、当該ランプユニットを鉛直方向に移動させることにより当該ランプユニットを前記ランプユニット設置用フレームに着脱可能に装着するための装着部を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明の光照射器においては、前記ランプユニットにおける金属ビームは、鉛直方向における一面側にランプ装着部を有し、他面側に当該ランプユニットを移動させるためのハンドルを有する構成とされていることが好ましい。
【００１０】
本発明の光照射装置は、光照射窓が下面に設けられた匣体内の下部に、上記の光照射器が配置される光照射器配置空間が形成されており、当該光照射器配置空間を区画する当該光照射器配置空間の上方開口部を閉塞する隔壁が開閉自在に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
本発明の光照射装置においては、前記匣体内に、前記光照射器におけるランプユニットを吊下移動させるための移送機構を備えた構成とされていることが好ましい。
さらにまた、本発明の光照射装置においては、前記隔壁が閉じられた状態において不活性ガス雰囲気とされる前記光照射器配置空間内の不活性ガスを循環させる不活性ガス循環機構を備えており、
当該不活性ガス循環機構は、前記光照射器配置空間と連通する不活性ガス循環路を有し、当該不活性ガス循環路に、送風手段および放熱用の熱交換器が設けられた構成とされていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の光照射器によれば、ランプユニットを鉛直方向に移動させることにより当該ランプユニットがランプユニット設置用フレームに着脱可能に装着されるので、ランプユニットの着脱を容易に行うことができる。また、例えばエキシマランプの交換の際には、光照射器からランプユニット全体を取り外して、作業性の良い場所において、ランプユニット毎にエキシマランプの着脱を行うことができる。このため、大面積の光照射が可能となるよう多数のランプユニットを備えた構成のものでありながら、ランプ交換の容易性、迅速性が損なわれることがない。
【００１３】
そして、上記の光照射器を備えた本発明の光照射装置によれば、当該光照射器が配置される光照射器配置空間を区画する隔壁が開閉自在に設けられた構成とされていることにより、大面積の光照射が可能となるよう構成されたものでありながら、エキシマランプの交換作業を含む保守作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の光照射器の一例における構成を概略的に示す平面図である。
【図２】図１に示す光照射器の、ランプユニットの長さ方向に垂直な断面を概略的に示す断面図である。
【図３】ランプユニットの、長さ方向に垂直な断面を概略的に示す断面図である。
【図４】ランプユニットを構成するエキシマランプの一例における構成を概略的に示す断面図である。
【図５】ランプユニットの長さ方向一端側の端部構造を概略的に示す斜視図である。
【図６】ランプユニットの長さ方向他端側の端部構造を概略的に示す斜視図である。
【図７】ランプユニットの一端部の支持構造を示す斜視図である。
【図８】ランプユニットの他端部の支持構造を示す斜視図である。
【図９】本発明の光照射装置の一例における外観を概略的に示す斜視図である。
【図１０】図９に示す光照射装置の内部構造を概略的に示す図であって、（ａ）正面方向から見た断面図、（ｂ）一側面方向から見た断面図である。
【図１１】図１０（ａ）の一部を概略的に示す拡大断面図である。
【図１２】図１０（ｂ）の一部を概略的に示す拡大断面図である。
【図１３】従来の光照射装置の一例における構成を概略的に示す図である。
【図１４】従来の光照射装置におけるエキシマランプの交換方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明の光照射器の一例における構成を概略的に示す平面図である。図２は、図１に示す光照射器の、ランプユニットの長さ方向に垂直な断面を概略的に示す断面図である。図３は、ランプユニットの長さ方向に垂直な断面を概略的に示す断面図である。
この光照射器１０は、例えば矩形枠状のランプユニット設置用フレーム１１と、このランプユニット設置用フレーム１１に設けられた、面状発光部を構成する多数の棒状のランプユニット２０とを備えている。ランプユニット２０は、水平面に沿った同一平面内においてランプユニット２０の長さ方向と直交する方向（以下、「幅方向」という。）に並列に配列されている。ここに、隣接するランプユニット２０の幅方向の離間距離は、例えば０．１〜２ｍｍである。
【００１６】
ランプユニット設置用フレーム１１には、長さ方向において互いに対向する一対の側壁の内面に、ランプユニット２０が着脱可能に装着されるランプユニット被装着部が形成されている。
ランプユニット２０の一端側が装着されるランプユニット被装着部（以下、「ランプユニット一端側被装着部」ともいう。）１２は、ランプユニット設置用フレーム１１と電気的に絶縁された状態で設けられた、水平面に沿って延びる板状の支持部材により構成されている。ランプユニット一端側被装着部１２においては、支持部材の上面が後述するランプユニット２０の一端側保持部材５０の載置面とされており、支持部材の上面に上方に延びる位置決めピン１３を有している（図７（ａ）参照。）。
また、ランプユニット２０の他端側が装着されるランプユニット被装着部（以下、「ランプユニット他端側被装着部」ともいう。）１５は、ランプユニット設置用フレーム１１と電気的に絶縁された状態で設けられた、水平面に沿って延びる板状の支持部材により構成されている。ランプユニット他端側被装着部１５においては、支持部材の上面に後述するランプユニット２０の他端側保持部材５５を受容する凹所１６が形成されており、凹所１６の底面がランプユニット２０の他端側保持部材５５の載置面とされている（図８（ａ）参照。）。ランプユニット他端側被装着部１５における他端側保持部材５５の載置面は、ランプユニット一端側被装着部１２における一端側保持部材５０の載置面と同一平面上に位置されている。
この例においては、ランプユニット一端側被装着部１２およびランプユニット他端側被装着部１５は互いに異なる構成とされているが、互いに同一の構成とされていてもよい。
【００１７】
ランプユニット一端側被装着部１２およびランプユニット他端側被装着部１５は、絶縁シート１８を介してランプユニット設置用フレーム１１に設けられている。このような構成とされることにより、隣接するランプユニット２０は互いに電気的に絶縁された状態とされるため、各ランプユニット２０の点灯制御を正確に行うことができる。
【００１８】
ランプユニット２０は、二重管状のエキシマランプ２１と、エキシマランプ２１を保持する金属ビーム３０とを備えており、金属ビーム３０の両端に、ランプユニット２０を鉛直方向に移動させることにより当該ランプユニット２０をランプユニット設置用フレーム１１に着脱可能に装着するための装着部５１，５６を有する。
この例におけるランプユニット２０は、２本のエキシマランプ２１，２１が、ランプ中心軸が水平面に沿った同一平面内に位置されて互いに幅方向に並んだ状態で、金属ビーム３０によって保持されて構成されている。
【００１９】
エキシマランプ２１は、図４にも示すように、互いに同軸上に配置された外側管２６および内側管２７を有する二重管構造の放電容器２５を備えている。内側管２７は、両端部が外側管２６の両端より軸方向外方に突出する状態で、外側管２６の内部に配置されている。外側管２６の両端部は、内側管２７の外周面に気密に封着されており、これにより、外側管２６の内周面と内側管２７の外周面との間に円筒状の放電空間Ｓ１が形成されている。放電空間Ｓ１内には、エキシマ放電によってエキシマ分子を形成する、例えばキセノンガスなどの放電用ガスが封入されている。放電用ガスとしてキセノンガスが用いられる場合において、キセノンガスの封入圧は、例えば０．０５〜０．１ＭＰａである。
外側管２６および内側管２７を構成する材料としては、例えば石英ガラス等の誘電体材料を用いることができる。
【００２０】
内側管２７の内部には、内側電極２２が内側管２７の内周面に密接して配置されている。この例における内側電極２２は、例えば、導電性素線が螺旋状に巻回されてなるコイル状のものにより構成されているが、例えば円筒状など任意の形状のものであってよい。
【００２１】
また、エキシマランプ２１には、記録情報を非接触で入力することのできるＩＣタグ（不図示）が設けられている。ＩＣタグには、例えば、エキシマランプ２１の点灯時間の積算値である通算点灯時間、点灯履歴情報などの情報に加え、初期電圧規定値、初期周波数規定値、定常電圧規定値、定常周波数規定値等の、エキシマランプ２１に固有の電気的特性値が記録されている。このような構成とされていることにより、エキシマランプ２１のバラツキ、使用経過状態を考慮して、ランプユニット２０毎に適した点灯制御を正確に行うことができる。
【００２２】
金属ビーム３０は、全体が略直方体のブロック状のものであって、ランプユニット２０が位置する水平面と直角な垂直面となる両側面を有する。
金属ビーム３０の一面（図３における下面）には、ランプ装着部が形成されている。ランプ装着部は、エキシマランプ２１の外側管の外径に適合する径を有する断面半円形のランプ収容凹所（溝）３１により構成されている。この例においては、２つのランプ収容凹所３１が、互いに幅方向に並んだ位置において、互いに平行に長さ方向に延びるよう形成されており、これにより、ランプ装着部が形成されている。
金属ビーム３０は、後述するようにエキシマランプ２１を冷却する冷却機構として機能するものでもあるため、機械的強度が高く、熱伝導性の高い金属により構成される。金属ビーム３０を構成する材料としては、例えばアルミニウム、銅、ステンレス鋼などを用いることができる。
【００２３】
この例におけるランプユニット２０においては、エキシマランプ２１は、外側管２６の外表面が金属ビーム３０のランプ収容凹所３１の内面に押圧された状態に保持されている。さらに、両端部が金属ビーム３０に設けられたランプホルダー３５によって支持されている（図５および図６参照。）。
また、外側電極としての電極板２３が、エキシマランプ２１の外側管２６の外表面と、金属ビーム３０におけるランプ収容凹所３１の内面との間に介挿された状態で、着脱可能（交換可能）に取付けられている。電極板２３が介挿されていることにより、金属ビーム３０の内面が保護されるので、金属ビーム３０の再利用が可能となりランプユニット２０に長い使用寿命が得られる。
電極板２３を構成する材料としては、例えばステンレス鋼を用いることができる。また電極板２３の厚みは、例えば０．１〜０．５ｍｍであることが好ましい。
【００２４】
上記のランプユニット２０は、各エキシマランプ２１を冷却する冷却機構を備えている。
この例における冷却機構は、各エキシマランプ２１の内側管２７の内部空間により冷却媒体流路Ｒ１が形成され、この冷却媒体流路Ｒ１と連通する冷却媒体流通路Ｒ２が金属ビーム３０に設けられて構成されている。このような冷却機構を備えていることにより、エキシマランプ２１に大きな電力が投入された場合であっても、エキシマランプ２１を効率よく冷却することができ、エキシマランプ２１に高い照度が得られる。
【００２５】
冷却機構の構成について具体的に説明すると、図５に示すように、２本のエキシマランプ２１の内側管２７の各一端には、継手４１が取付けられており、各継手４１には例えば絶縁体により構成された冷却媒体流通管４２が接続されている。各エキシマランプ２１に係る冷却媒体流通管４２は、それぞれ、１つの共通口と２つの分岐口を有する一端側流路分岐／合流部材（以下、「一端側マニホールド」という。）４０における２つの分岐口に接続されている。また、図６に示すように、２本のエキシマランプ２１の内側管２７の各他端には、継手４６が取付けられており、各継手４６には例えば絶縁体により構成された冷却媒体流通管４７が接続されている。各エキシマランプ２１に係る冷却媒体流通管４７は、それぞれ、１つの共通口と２つの分岐口を有する他端側流路分岐／合流部材（以下、「他端側マニホールド」という。）４５における２つの分岐口に接続されている。
【００２６】
一方、金属ビーム３０における冷却媒体流通路Ｒ２は、金属ビーム３０の上面に形成された溝に設けられた、例えば金属よりなる冷却媒体流通管３２により構成されている。この冷却媒体流通管３２は、図１に示すように、全体が例えばＵ字状であって、各々金属ビーム３０の長さ方向に互いに平行に延びる２つの直線状流路部分と、金属ビーム３０の一端側部分において各直線状流路部分を連結する弧状に湾曲した流路部分とを有する。この冷却媒体流通管３２の一端は、他端側マニホールド４５における共通口に接続されており、これにより、冷却媒体流路Ｒ１と冷却媒体流通路Ｒ２とが互いに連通する状態とされている。
【００２７】
そして、一端側マニホールド４０における共通口に接続された冷却媒体流通管４３および金属ビーム３０に設けられた冷却媒体流通管３２の他端の一方が冷却媒体供給部（不図示）に接続されると共に他方が冷却媒体排出部（不図示）に接続される。このような冷却機構においては、一端側マニホールド４０における共通口に接続された冷却媒体流通管４３が冷却媒体供給部に接続された構成とされていることが好ましい。このような構成とされていることにより、エキシマランプ２１を一層効率よく冷却することができる。
冷却媒体Ｗとしては、例えば水、純水、フロン系冷媒、ハイドロカーボン冷媒等の絶縁性冷媒などを用いることができる。
【００２８】
このランプユニット２０においては、図１１を参照して説明すると、冷却媒体供給部から冷却媒体流通管４３を介して一端側マニホールド４０に供給された冷却媒体Ｗは、冷却媒体流通管４２，４２を介して各エキシマランプ２１における冷却媒体流路Ｒ１に供給される。冷却媒体Ｗが冷却媒体流路Ｒ１を流通されることによりエキシマランプ２１が冷却される。各エキシマランプ２１における冷却媒体流路Ｒ１から排出された冷却媒体Ｗは、冷却媒体流通管４７、４７を介して他端側マニホールド４５に導入される。その後、金属ビーム３０における冷却媒体流通路Ｒ２に供給される。そして、冷却媒体Ｗが冷却媒体流通路Ｒ２を構成する冷却媒体流通管３２を流通されることにより金属ビーム３０が冷却され、金属ビーム３０を介して各エキシマランプ２１が冷却される。また、冷却媒体Ｗが冷却媒体流通路Ｒ２を構成する冷却媒体流通管３２を流通されることにより、後述する光検出器３６も冷却される。
【００２９】
次いで、ランプユニット２０における各エキシマランプ２１に対する給電構造について説明する。このランプユニット２０においては、図５に示すように、２本のエキシマランプ２１の内側電極２２に接続された各リード２８が内側管２７の一端に取付けられた継手４１から例えば液密に外部に導出されている。各リード２８は、給電線２９ａを介して、２本のエキシマランプ２１に共通のランプ点灯電源ユニット（図示せず）における高圧側端子に接続されている。一方、エキシマランプ２１と金属ビーム３０との間に介挿された各電極板２３には、引き出し電極２４が電気的に接続されている。この引き出し電極２４は、ランプ点灯電源ユニット（図示せず）における低圧側端子に給電線２９ｂを介して電気的に接続された一端側保持部材５０に電気的に接続されている。
【００３０】
また、上記のランプユニット２０は、エキシマランプ２１からの紫外光の光量をモニターするための光検出器３６を備えている。この例においては、光検出器３６は、金属ビームの上面における長さ方向他端側部分に設けられている。
光検出器３６には、エキシマランプ２１に固有の情報をＩＣタグから読み取るアンテナ（不図示）が設けられている。
各ランプユニット２０が光検出器３６を備えていることにより、ランプユニット２０毎に適した点灯制御を行うことができるので、エキシマランプ２１からの紫外線を所期の照度で安定して照射することができる。
【００３１】
上述したように、上記のランプユニット２０は、金属ビーム３０の両端に、ランプユニット２０を鉛直方向に移動させることにより当該ランプユニット２０をランプユニット設置用フレーム１０に着脱可能に装着するための装着部を有する。この例においては、金属ビーム３０の上面における長さ方向両端部に、各々金属ビーム３０の両端より外方に突出する一対の保持部材５０，５５が金属ビーム３０と電気的に接続された状態で固定されており、各保持部材５０，５５の外端部に装着部５１，５６が形成されている。保持部材５０，５５は、金属ビーム３０と一体に形成されていてもよい。また、ランプユニット２０が装着された状態において、保持部材５０，５５とランプユニット設置用フレーム１１におけるランプユニット被装着部１２，１５とがネジ止めされて固定される構成とされていてもよい。
【００３２】
ランプユニット２０の一端部に設けられた保持部材（以下、「一端側保持部材」という。）５０は、金属ビーム３０より幅寸法が小さい板状のものである。この一端側保持部材５０における装着部（以下、「一端側装着部」という。）５１には、図７（ａ）、（ｂ）にも示すように、ランプユニット設置用フレーム１１のランプユニット一端側被装着部１２における位置決めピン１３が挿入される係合用貫通孔５２が形成されている。また、一端側保持部材５０には、図５に示すように、冷却媒体流通管４２および給電線２９ａ，２９ｂを一端側保持部材５０の上方側に導出するための開口部５３および切り欠き部５４が形成されている。
【００３３】
ランプユニット２０の他端部に設けられた保持部材（以下、「他端側保持部材」という。）５５は、金属ビーム３０より幅寸法が小さい板状のものである。この他端側保持部材５５における装着部（以下、「他端側装着部」という。）５６には、図８（ａ）、（ｂ）にも示すように、ランプユニット設置用フレーム１１のランプユニット他端側被装着部１５における凹所１６内に受容されて係合される係合部５７が形成されている。係合部５７の幅寸法は、ランプユニット設置用フレーム１１のランプユニット他端側被装着部１５における凹所１６の幅寸法と略同一の大きさとされている。これにより、ランプユニット２０が装着された状態においてランプユニット２０の幅方向の移動が規制される。
また、他端側保持部材５５には、図６に示すように、冷却媒体流通管４７等を他端側保持部材５５の上方側に導出するための切り欠き部５８が形成されている。
【００３４】
このように、一端側保持部材５０および他端側保持部材５５に、開口部５３や切り欠き部５４、５８が形成されていることにより、冷却媒体流通管４２、４７および給電線２９ａ，２９ｂを金属ビーム３０の幅領域内に納めることができる。その結果、ランプユニット２０においては、エキシマランプ２１、冷却機構およびその他の構成部材が、金属ビーム３０の幅領域内に位置された状態とされるため、ランプユニット２０の最大幅は、金属ビーム３０の両側面によって規定されることとなる。このため、ランプユニット２０を適正な位置に配置することができると共にランプユニット２０の着脱を容易に行うことができる。
【００３５】
また、上記のランプユニット２０は、金属ビーム３０の上面側に、ランプユニット２０を移動させるためのハンドル（把手）３８が設けられた構成とされていることが好ましい。この例においては、図１に示すように、例えば２つのハンドル３８が長さ方向に互いに離間した位置に設けられている。このような構成とされていることにより、ランプユニット２０の移動（運搬）および着脱を容易に行うことができる。
【００３６】
上記の光照射器１０においては、例えば、多数のランプユニット２０が一のランプユニットの一端側と隣接するランプユニットの他端側とが互い違いに並ぶよう配置された構成とされている。このような構成とされていることにより、隣接するランプユニット間で放電が生ずることを確実に回避することができる。
【００３７】
而して、上記構成の光照射器１０によれば、ランプユニット２０を鉛直方向に移動させることにより当該ランプユニット２０がランプユニット設置用フレーム１１に着脱可能に装着されるので、ランプユニット２０の着脱を容易に行うことができる。また、例えばエキシマランプ２１の交換の際には、光照射器１０からランプユニット２０全体を取り外して、作業性の良い場所において、ランプユニット２０毎にエキシマランプ２１の着脱を行うことができる。このため、大面積の光照射が可能となるよう多数のランプユニット２０を備えた構成のものでありながら、ランプ交換の容易性、迅速性が損なわれることがない。また、ランプユニット２０をランプユニット設置用フレーム１１に着脱する際に、エキシマランプ２０自体には力がかかることがないので、エキシマランプ２０の破損を防ぐことができる。
【００３８】
さらに、ランプユニット２０においては、エキシマランプ２１、冷却機構およびその他の構成部材が、金属ビーム３０の幅領域内に収められた状態とされている。すなわち、ランプユニット２０の最大幅は、金属ビーム３０の両側面によって規定されることとなるため、上記の光照射器１０によれば、隣接するランプユニットの間隔が長さ方向において一定の大きさとなる適正な位置に、多数のランプユニット２０を密に配列することができる。従って、大面積の光照射に対応可能な光照射器１０を容易に得ることができる。また、ランプユニット２０の移動を金属ビーム３０の両側面に沿って行うことができるため、ランプユニット２０の着脱を一層容易に行うことができる。
【００３９】
以下、上記本発明の光照射器を用いた光照射装置について説明する。
【００４０】
図９は、本発明の光照射装置の一例における外観を概略的に示す斜視図である。図１０は、図９に示す光照射装置の内部構造を概略的に示す図であって、（ａ）正面方向から見た断面図、（ｂ）一側面方向から見た断面図である。図１１は、図１０（ａ）の一部を概略的に示す拡大断面図である。図１２は、図１０（ｂ）の一部を概略的に示す拡大断面図である。
この光照射装置６０は、例えば観音開きに開閉される一対の正面扉６２，６２を有する匣体６１を備えている。匣体６１の下面には光透過窓６３が設けられている。
【００４１】
匣体６１内の下部には、上記の光照射器１０が配置される光照射器配置空間Ｓａが形成されている。
光照射器配置空間Ｓａは、例えば略矩形状の枠体６５と、この枠体６５の上方開口を気密に閉塞する隔壁６６とにより画成されている。隔壁６６は、枠体６５に対してヒンジ部６７を介して開閉自在に設けられている。隔壁６６は、例えばステンレス鋼により構成されている。光照射器１０は、ランプユニット設置用フレーム１１が水平面に沿って配置された状態で、枠体６５に固定されている。
この光照射装置６０においては、隔壁６６が閉じられた状態において、光照射器配置空間Ｓａ内が不活性ガス雰囲気とされ、不活性ガスは、枠体６５に形成された不活性ガス導入口（図示せず。）を介して光照射器配置空間Ｓａ内に供給される。
【００４２】
この光照射装置においては、正面扉６２，６２が開状態とされることによって開放される光照射器配置空間Ｓａの上方空間が、例えば人が上半身を内部に入れることが可能な作業用空間Ｓｂとされている。また、匣体６１内の作業用空間Ｓｂの上方には、光照射器１０を構成する多数のランプユニット２０の各々に対応した多数の点灯電源ユニット６８が配設されている。
【００４３】
この光照射装置６０は、隔壁６６が閉じられた状態において光照射器配置空間Ｓａ内の不活性ガス（図１０（ａ）および図１０（ｂ）において白抜きの矢印で示す。）を光照射器配置空間Ｓａから排出して再び光照射器配置空間Ｓａ内に導入する不活性ガス循環機構７０を有する。不活性ガスを循環させて光照射器配置空間Ｓａ内を流通させることにより、オゾンの発生を抑制または防止することができると共にエキシマランプ２１を光照射面側から冷却することができる。
【００４４】
不活性ガス循環機構７０は、光照射器配置空間Ｓａとその両端において連通する通風ダクト７１ａ，７１ｂにより構成された不活性ガス循環路を有する。この不活性ガス循環路には、送風手段７２および放熱用の熱交換器７３が設けられている。なお、オゾンを除去するガス精製手段が不活性ガス循環路に設けられていてもよい。
この不活性ガス循環機構７０においては、光照射器配置空間Ｓａにおいて温度が上昇した不活性ガスが通風ダクト７１ｂを介して熱交換器７３に送られる。熱交換器７３の作用によって温度が低下された不活性ガスは、再び、送風手段７２によって、通風ダクト７１ａを介して光照射器配置空間Ｓａ内に供給される。
【００４５】
上述したように、光照射器１０におけるランプユニット２０は、鉛直方向に移動されることによりランプユニット設置用フレーム１１に着脱可能に装着される。このため、光照射装置６０は、匣体６１内に、ランプユニット２０を吊下移動させるための移送機構７５を備えた構成とされていることが好ましい。移送機構７５を備えていることにより、ランプユニット２０の重量が軽減されるため、ランプユニットの着脱を極めて容易に行うことができる。
【００４６】
移送機構７５は、例えば、作業用空間Ｓｂの天井部に設けられた光照射器１０の幅方向に延びるガイドレール７６と、このガイドレール７６に沿って往復動可能に設けられた架台７７と、この架台７７に懸架された、ランプユニット２０を吊持する例えばスプリングバランサー７８とにより構成されている。なお、スプリングバランサー７８に代えて、エアバランサーなどのバランサーが用いられてもよい。
【００４７】
この移送機構７５においては、図１２において破線で示すように、スプリングバランサー７８における吊り下げワイヤロープ７８ａの先端に設けられたフック７８ｂに、ランプユニット吊下用ワイヤ８０が装着される。そして、このランプユニット吊下用ワイヤ８０の両端に設けられた把持金具（図示せず）がランプユニット２０の各ハンドル３８，３８に装着される。スプリングバランサー７８は、例えば、重量が５ｋｇ程度のランプユニット２０を３０〜５０ｃｍ上方に引き上げる程度の吊り下げ力となるよう設定されている。
【００４８】
以下、上記の光照射装置６０におけるランプユニット２０の着脱方法について説明する。
先ず、光照射器配置空間Ｓａを画成する隔壁６６を開状態とすると共にスプリングバランサー７８を対象となるランプユニット２０の直上位置に移動させた状態とする。そして、吊り下げワイヤロープ７８ａを降下させて、フック７８ｂに装着されたランプユニット吊下用ワイヤ８０における把持金具をランプユニット２０におけるハンドル３８に装着する。ここに、ランプユニット２０に接続された、冷却媒体Ｗに係る配管、給電線は取り外された状態である。
次いで、作業者がランプユニット２０のハンドル３８を持って当該ランプユニット２０を引き上げることにより、ランプユニット２０の一端側装着部５１および他端側装着部５５における係合が解除されてランプユニット２０がランプユニット設置用フレーム１１から取り外される。このとき、作業者がランプユニット２０から手を離した場合であっても、ランプユニット２０はスプリングバランサー７８の作用によって空中に保持された状態とされる。
その後、スプリングバランサー７８をスライド移動させてランプユニット２０を作業性の良い場所に移動させた状態において、ランプユニット２０からランプユニット吊下用ワイヤ８０が取り外されることにより、ランプユニット２０の取り外し作業が完了される。
また、ランプユニット２０の装着作業は、上記と逆の手順により行われる。
【００４９】
上記の光照射装置６０の一構成例を示すと、匣体６１のサイズは、図１０（ａ）における左右方向の寸法が１４００ｍｍ、図１０（ｂ）における左右方向の寸法が１４００ｍｍ、高さ方向の寸法が２０００ｍｍである。光照射器１０において、搭載されるランプユニット２０の数は１２基（エキシマランプ２１の数が２４本）である。ランプユニット２０の長さ方向の最大寸法が９５０ｍｍ、幅方向の最大寸法（金属ビーム３０の幅寸法）が
５９ｍｍ、重量が５ｋｇ程度である。エキシマランプ２１は、全長が８００ｍｍ（有効発光長が６００ｍｍ）、定格電力が６００Ｗであるものである。
【００５０】
而して、上記の光照射装置６０においては、上記の光照射器１０が配置される光照射器配置空間Ｓａを区画する隔壁６６が開閉自在に設けられた構成とされている。このため、光照射器１０全体を動かすことなく、ランプユニット２０毎にエキシマランプ２１の着脱を行うことができる。従って、上記の光照射装置６０によれば、大面積の光照射が可能となるよう構成されたものでありながら、エキシマランプ２１の交換作業を含む保守作業を容易に行うことができる。
具体的には例えば、このような光照射装置６０によれば、例えば、光照射エリアの大きさが５１０ｍｍ×６１０ｍｍであり、大型のワークに対する処理を行うことのできる大面積の光照射が可能なものとして構成することができる。
【００５１】
また、光照射器配置空間Ｓａ内の不活性ガスが循環される構成とされていることにより、光照射器配置空間Ｓａを所期の雰囲気に維持することができると共にエキシマランプ２１の冷却効果を確実に得ることができる。また、不活性ガスを効率よく利用することができる。
【００５２】
以上において、上記の光照射装置６０は、例えば、半導体や液晶等の製造工程におけるレジストの光アッシング処理、ナノインプリント装置におけるテンプレートのパターン面に付着したレジストの除去あるいは液晶用のガラス基板やシリコンウエハなどのドライ洗浄処理、プリント基板製造工程におけるスミアの除去処理（デスミア処理）などに好適に用いられる。
【００５３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、光照射器において、ランプユニットにおける装着部は、ランプユニットを鉛直方向に移動させることによりランプユニットを着脱可能に装着される構成とされていれば、上記構成のものに限定されるものではない。
また、ランプユニットにおいてエキシマランプを冷却するための冷却媒体は、エキシマランプの冷却媒体流路および金属ビームにおける冷却媒体流通路の各々に独立して供給される構成とされていてもよい。
さらにまた、ランプユニットを構成するエキシマランプの数は１本であってもよく、また、光照射器に搭載されるエキシマランプ（ランプユニット）の数も目的に応じて適宜に変更することができる。
さらにまた、エキシマランプは、内側管の内部空間に冷却媒体が流通される構成とされていれば、上記構成のものに限定されない。
【符号の説明】
【００５４】
１０    光照射器
１１    ランプユニット設置用フレーム
１２    ランプユニット一端側被装着部
１３    位置決めピン
１５    ランプユニット他端側被装着部
１６    凹所
１８    絶縁シート
２０    ランプユニット
２１    エキシマランプ
２２    内側電極
２３    電極板
２４    引き出し電極
２５    放電容器
２６    外側管
２７    内側管
２８    リード
２９ａ  給電線
２９ｂ  給電線
３０    金属ビーム
３１    ランプ収容凹所（溝）
３２    冷却媒体流通管
３５    ランプホルダー
３６    光検出器
３８    ハンドル（把手）
４０    一端側流路分岐／合流部材（一端側マニホールド）
４１    継手
４２    冷却媒体流通管
４３    冷却媒体流通管
４５    他端側流路分岐／合流部材（他端側マニホールド）
４６    継手
４７    冷却媒体流通管
５０    保持部材（一端側保持部材）
５１    装着部（一端側装着部）
５２    係合用貫通孔
５３    開口部
５４    切り欠き部
５５    保持部材（他端側保持部材）
５６    装着部（他端側装着部）
５７    係合部
５８    切り欠き部
６０    光照射装置
６１    匣体
６２    正面扉
６３    光透過窓
６５    枠体
６６    隔壁
６７    ヒンジ部
６８    点灯電源ユニット
７０    不活性ガス循環機構
７１ａ  通風ダクト
７１ｂ  通風ダクト
７２    送風手段
７３    熱交換器
７５    移送機構
７６    ガイドレール
７７    架台
７８    スプリングバランサー
７８ａ  吊り下げワイヤロープ
７８ｂ  フック
８０    ランプユニット吊下用ワイヤ
９０    光照射装置
９１    ケーシング
９１ａ  上方側ケーシング部材
９１ｂ  下方側ケーシング部材
９２    ヒンジ部
９３    光照射窓
９４    電装部
９５    光照射器
９６    エキシマランプ
９６ａ  ランプホルダー
９７    冷却ブロック
９８    冷却媒体流通路
Ｒ１    冷却媒体流路
Ｒ２    冷却媒体流通路
Ｓ１    放電空間
Ｓａ    光照射器配置空間
Ｓｂ    作業用空間
Ｗ      冷却媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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