(57)【要約】【課題】簡単な構造によりハブ型ブレードを容易に回転駆動軸に取付けることが可能とされるハブ型ブレード取付け構造及び基板切断装置を提供すること。【解決手段】回転駆動軸４０にハブ型ブレード１を取付けるハブ型ブレード取付け構造１００であって、回転駆動軸４０のブレード取付け軸４１の基端側Ｒに形成された取付け座４３に配置され軸線Ｏを中心とする円周を含んで形成されたブレード押圧部５１を有するブレード押圧板５０と、ブレード取付けナット４５とを備え、前記ブレード押圧板５０は、前記ブレード押圧部５１によって前記ブレード取付け軸４１に装着されたハブ型ブレード１のブレード本体３０のハブ１０の外周縁部と対応する位置を基端側Ｒから先端側Ｆに向かって押圧するように構成されていることを特徴とする。【選択図】図１
2018187729.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線回りに回転され先端側にハブ型ブレードが装着されるブレード取付け軸が形成された回転駆動軸と、
前記回転駆動軸において前記ハブ型ブレードが装着されるブレード取付け軸の基端側に配置されるブレード押圧板と、
前記回転駆動軸に装着されたハブ型ブレードを前記ブレード取付け軸の先端側で固定するブレード取付け部材と、
を備え、
前記ブレード押圧板は、
前記軸線を中心とし径方向においてハブ型ブレードのハブの外周縁部と対応する円周を含む領域を押圧するブレード押圧部を備え、
前記ブレード押圧部によって前記ハブ型ブレードのブレード本体を押圧するように構成されていることを特徴とするハブ型ブレード取付け構造。
【請求項２】
請求項１に記載のハブ型ブレード取付け構造であって、
前記回転駆動軸は前記ブレード取付け軸の基端側に取付け座が形成されるとともに、前記ブレード押圧板は前記回転駆動軸から着脱可能とされ、
前記ブレード押圧板は、
前記ブレード取付け軸を挿入する取付け孔が形成されるとともに基端側が前記取付け座に支持可能とされることを特徴とするハブ型ブレード取付け構造。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のハブ型ブレード取付け構造であって、
前記ブレード押圧板は、
ブレード押圧部の内周側に、前記ブレード本体との間に間隙を形成する逃がし部が形成されていることを特徴とするハブ型ブレード取付け構造。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載のハブ型ブレード取付け構造であって、
前記ブレード押圧板は、少なくとも前記ブレード押圧部から前記回転駆動軸との間の導電性を確保するための導電性付与部が形成されていることを特徴とするハブ型ブレード取付け構造。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載のハブ型ブレードが、前記ハブと前記ブレード本体とを接続する接続部として、両面接着テープを備えていることを特徴とするハブ型ブレード取付け構造。
【請求項６】
請求項１から４のいずれか１項に記載のハブ型ブレードが、前記ハブと前記ブレード本体とを接続する接続部として接着樹脂部を備えていることを特徴とするハブ型ブレード取付け構造。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載のハブ型ブレード取付け構造を備えることを特徴とする基板切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体材料等の基板を切断してチップ状に個片化するのに用いられるハブ型ブレードを回転軸に取付けるハブ型ブレード取付け構造及び基板切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、半導体材料等の基板を切断してチップ状に個片化する際に、ブレード本体をハブのブレード取付け面に配置させたハブ型ブレードが広く用いられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
ハブ型ブレードは、例えば、アルミニウム合金からなるハブと、ハブの一方側の面にニッケルめっきによって形成した電鋳ブレード本体とを備えていて、ハブに電鋳ブレード本体が一体的に接続されていることが一般的である。
【０００４】
このように形成される電鋳ブレード本体は、アルミハブを構成する台金にめっきによって形成された際に外周側の厚さが厚いので、円筒研削盤などを用いてアルミ台金を外径加工して電鋳ブレード本体の厚さを均一にする。次いで、外径加工したアルミ台金にマスキングを施してアルカリエッチングすることにより、アルミ台金の外周部分を溶解して外周に所定寸法のブレード本体を露出させる。
【０００５】
その後、電解ドレスによってブレード本体の表面からニッケルを溶解してダイヤモンド超砥粒を露出させ、ダイサードレスによってブレード本体外周のダイヤモンド超砥粒を約２μｍ露出させて、ダイサープリカット、検査を経てからハブ型ブレードが完成する。
【０００６】
このようなハブ型ブレードは、図４に示すように、回転駆動軸５４０にハブ型ブレード５０１を装着する際に、基端側Ｒにワッシャ５０２を挿入して支持し、取付けナット５０３によって取付けるハブ型ブレード取付け構造５００を用いることが一般的である。また、ブレード本体５０１Ａが導電性を有している場合には、ブレード本体５０１Ａにタッチセンサとしての機能を持たせている場合がある。
【０００７】
しかしながら、このように装着されたハブ型ブレード５０１は、ハブ型ブレードで基板を切断する際にブレード本体５０１Ａに芯ぶれが生じる場合があり、芯ぶれが生じると基板を正確に切断することが困難となる。
そこで、芯ぶれを抑制するための技術が開示されている（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平５−３４５２８１号公報
【特許文献２】特開２０００−３０１４８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献２に記載されたハブ型ブレードは構成要素が多くて重くなるうえ、外観が大きくなり製造コストが増大するという問題がある。
そこで、簡単な構造によりハブ型ブレードを容易に回転駆動軸に取付けることが可能とされ、ブレード本体の芯ぶれを抑制しながら高精度かつ安定して基板を切断する技術が望まれている。
【００１０】
この発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、簡単な構造によりハブ型ブレードを容易に回転駆動軸に取付けることが可能とされ、ブレード本体の芯ぶれを抑制しながら高精度かつ安定して基板を切断することが可能なハブ型ブレード取付け構造及び基板切断装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に記載の発明は、ハブ型ブレード取付け構造であって、軸線回りに回転され先端側にハブ型ブレードが装着されるブレード取付け軸が形成された回転駆動軸と、前記回転駆動軸において前記ハブ型ブレードが装着されるブレード取付け軸の基端側に配置されるブレード押圧板と、前記回転駆動軸に装着されたハブ型ブレードを前記ブレード取付け軸の先端側で固定するブレード取付け部材と、を備え、前記ブレード押圧板は、前記軸線を中心とし径方向においてハブ型ブレードのハブの外周縁部と対応する円周を含む領域を押圧するブレード押圧部を備え、前記ブレード押圧部によって前記ハブ型ブレードのブレード本体を押圧するように構成されていることを特徴とする。
【００１２】
この発明に係るハブ型ブレード取付け構造によれば、回転駆動軸のブレード取付け軸の基端側にブレード押圧部を有するブレード押圧板が配置され、ブレード取付け部材によって回転駆動軸にハブ型ブレードが装着される。そして、ブレード押圧板のブレード押圧部によって、ハブ型ブレードを構成するブレード本体の径方向においてハブの外周縁部と対応する円周を押圧する。
その結果、簡単な構造によってハブ型ブレードを容易に回転駆動軸に取付けることが可能とされ、ブレード本体の芯ぶれを抑制しながら高精度かつ安定して基板を切断することができる。
【００１３】
この明細書において、ハブの取り付け面にブレード本体が配置されたハブ型ブレードとは、ハブ（ハブを構成する台金を含む）の取付け面にめっきによりブレード本体を形成したハブ型ブレード、ブレード本体とは別々に作成されたハブのブレード取付け面に接続部によってブレード本体を接続したハブ型ブレードを含むものとする。
【００１４】
また、ハブのブレード取付け面にブレード本体を接続する接続部としては、例えば、両面接着テープ（両面粘着テープを含む）、接着剤が硬化して形成された接着樹脂部（接着層）、超音波接合をはじめとする種々の拡散接合による接続部、スポット溶接によるナゲット、ろう付け等溶接による接続部、ハブとブレード本体とを締結する締結部材により構成される接続部、ハブにブレード本体を装着可能な種々の接続部が含まれる。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のハブ型ブレード取付け構造であって、前記回転駆動軸は前記ブレード取付け軸の基端側に取付け座が形成されるとともに、前記ブレード押圧板は前記回転駆動軸から着脱可能とされ、前記ブレード押圧板は、前記ブレード取付け軸を挿入する取付け孔が形成されるとともに基端側が前記取付け座に支持可能とされることを特徴とする。
【００１６】
この発明に係るハブ型ブレード取付け構造によれば、回転駆動軸はブレード取付け軸の基端側に取付け座が形成されるとともに、ブレード押圧板は、ブレード取付け軸を取付け孔に挿入して取付け座に着座させて回転駆動軸に装着され、ブレード押圧板は回転駆動軸から着脱可能とされている。
その結果、ハブ型ブレードを構成するハブの外径が変更された場合に、ブレード押圧部の径方向位置を容易かつ効率的にハブ型ブレードに合わせることができる。
また、ブレード押圧板を容易に交換することが可能であるので、メンテナンスを効率的に行うことができる。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のハブ型ブレード取付け構造であって、前記ブレード押圧板は、ブレード押圧部の内周側に、前記ブレード本体との間に間隙を形成する逃がし部が形成されていることを特徴とする。
【００１８】
この発明に係るハブ型ブレード取付け構造によれば、ブレード押圧板は、ブレード押圧部の内周側に、ブレード本体との間に間隙を形成する逃がし部が形成されているので、ハブ型ブレードを押圧する際に、ブレード押圧部によるブレード本体に対する面圧を高くすることができる。
その結果、ハブ型ブレードを回転駆動軸に高精度かつより安定して取付けることができる。
【００１９】
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載のハブ型ブレード取付け構造であって、前記ブレード押圧板は、少なくとも前記ブレード押圧部から前記回転駆動軸との間の導電性を確保するための導電性付与部が形成されていることを特徴とする。
【００２０】
この発明に係るハブ型ブレード取付け構造によれば、ブレード押圧板は、少なくともブレード押圧部から回転駆動軸との間の導電性を確保するための導電性付与部が形成されているので、ハブ型ブレードにおいてハブとブレード本体とを接続する接続部（例えば、両面粘着テープ、接着樹脂部等）が導電性を有していない場合であっても、ブレード本体が導電性を有している場合には、ブレード押圧板によってブレード本体がタッチセンサとして機能することが可能となり、効率的な切断をすることができる。
【００２１】
請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載のハブ型ブレードが、前記ハブと前記ブレード本体とを接続する接続部として、両面接着テープを備えていることを特徴とする。
【００２２】
この発明に係るハブ型ブレード取付け構造によれば、ハブ型ブレードが、ハブとブレード本体とを接続する接続部として両面接着テープを備えていて、それぞれ個別に形成され外径寸法等が検査に合格したハブとブレード本体とを両面接着テープにより接続してハブ型ブレードを構成することができるので、ハブの外径を高精度に設定寸法に形成することが可能であり、ブレード本体のハブ周縁部と対応する径方向位置をブレード押圧部により正確に押圧することができる。
また、ハブとブレード本体が両面接着テープを介して接続されることにより、ブレード本体がハブの外周縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体が加工対象物と当たった際に、ブレード本体が割れるのが抑制される。
その結果、一つのブレード押圧板を用いることにより、ブレード本体のハブの周縁部と対応する径方向位置を正確に押圧することができる。
【００２３】
ここで、両面接着テープとしては、両側の面が粘着性を有する両面粘着テープ、一方の面が粘着性を有し他方の面が硬化して接着する接着剤が配置されたもの、基材の両面に硬化して接着する接着剤が配置されたものが含まれる。また、両面接着テープを構成する接着剤（粘着剤）は、導電性物質等の混合物が分散される等、複数の物質により構成されていてもよい。
【００２４】
請求項６に記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載のハブ型ブレードが、前記ハブと前記ブレード本体とを接続する接続部として接着樹脂部を備えていることを特徴とする。
【００２５】
この発明に係るハブ型ブレード取付け構造によれば、ハブ型ブレードが、ハブとブレード本体とを接続する接続部として接着剤が硬化して形成された接着樹脂部（接着剤）を備えていて、それぞれ個別に形成され外径寸法等が検査に合格したハブとブレード本体とを接着樹脂部により接続してハブ型ブレードを構成することができるので、ハブの外径を高精度に設定寸法に形成することが可能であり、ブレード本体のハブ周縁部と対応する径方向位置をブレード押圧部により正確に押圧することができる。
また、ハブとブレード本体が接着樹脂部を介して接続されることにより、ブレード本体がハブの外周縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体が加工対象物と当たった際に、ブレード本体が割れるのが抑制される。
その結果、一つのブレード押圧板を用いることにより、ブレード本体のハブの周縁部と対応する径方向位置を正確に押圧することができる。
【００２６】
ここで、接着樹脂部とは、ハブとブレード本体の間に塗布又は配置された接着剤が、経時変化、乾燥、化学反応等によって硬化することによりハブとブレード本体とを接続（接着）する接続部をなすものをいう。
また、接着剤としては、流動性を有する接着樹脂、シート状に形成されたシート状接着樹脂、常温では流動性がなく温度等物理的条件によって流動性を有し硬化することで接着剤として機能するもの、紫外線により硬化する紫外線硬化性樹脂、嫌気性接着剤等が含まれる。また、接着樹脂部（接着剤）は、導電性物質等の混合物が分散される等、複数の物質により構成されていてもよい。
【００２７】
請求項７に記載の発明は、基板切断装置であって、請求項１から６のいずれか１項に記載のハブ型ブレード取付け構造を備えることを特徴とする。
【００２８】
この発明に係るハブ型ブレード取付け構造及び基板切断装置によれば、ハブ型ブレードを回転駆動軸に高精度かつ安定して取付けることができる。
【発明の効果】
【００２９】
この発明に係るハブ型ブレード取付け構造及び基板切断装置によれば、簡単な構造によりハブ型ブレードを容易に回転駆動軸に取付けることが可能とされ、ブレード本体の芯ぶれを抑制しながら高精度かつ安定して基板を切断することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造の概略の一例を説明する概念図であり、（Ａ）はハブ型ブレードを回転軸から分離した状態の概略構成を示す概略図であり、（Ｂ）はハブ型ブレードを回転軸に取付けた状態の概略構成を示す概略図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造の一例を説明する図であり、（Ａ）はブレード押圧板の概略構成を示す図であり、（Ｂ）はハブ型ブレードの概略構成を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造を説明する概念図であり、（Ａ）はブレード押圧板の概略構成を示す図であり、（Ｂ）はハブ型ブレードを回転軸から分離した状態の概略構成を示す概略図であり、（Ｃ）はハブ型ブレードを回転軸に取付けた状態の概略構成を示す概略図である。
【図４】従来のハブ型ブレード取付け構造の概略の一例を説明する概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
＜第１実施形態＞
以下、図１、図２を参照し、本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造について説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造の概略の一例を説明する概念図であり、図１（Ａ）はハブ型ブレードを回転軸から分離した状態の概略構成を示す概略図であり、図１（Ｂ）はハブ型ブレードを回転軸に取付けた状態の概略構成を示す概略図である。また、図２は、第１実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造の一例を説明する図であり、図２（Ａ）はブレード押圧板の概略構成を示す図であり、図２（Ｂ）はハブ型ブレードの概略構成を示す図である。
図において、符号１００はハブ型ブレード取付け構造を、符号１はハブ型ブレードを、符号１０はアルミハブを、符号２０は両面粘着テープを、符号３０はブレード本体を、符号４０は回転駆動軸を、符号５０はブレード押圧板を示している。
【００３２】
ハブ型ブレード取付け構造１００は、図１に示すように、例えば、回転駆動軸４０と、ブレード押圧板５０と、ブレード取付けナット（ブレード取付け部材）４５とを備え、回転駆動軸４０には、基端側からブレード押圧板５０、ハブ型ブレード１、ブレード取付けナット４５がこの順に取付けられている。
また、ハブ型ブレード取付け構造１００は、例えば、ウェーハを個片化して、ＩＣチップ等を製造する基板切断装置（不図示）に適用されている。
【００３３】
回転駆動軸４０は、例えば、基板切断装置（不図示）において、モータ等の駆動手段に接続されていて、軸線Ｏ周りに回転されるようになっている。
回転駆動軸４０は、この実施形態において、回転駆動軸本体４１と、回転駆動軸本体４１と同軸とされ軸線Ｏ方向における回転駆動軸本体４１の先端側に形成されブレード取付け軸４２と、ブレード取付け軸４２の基端側に形成され回転駆動軸本体４１からブレード取付け軸４２に縮径される段差からなる取付け座４３と、ブレード取付け軸４２の先端部に形成されブレード取付けナット４５が螺着されるねじ部４４とを備えている。
【００３４】
取付け座４３は、軸線Ｏと直交する面により構成されている。なお、取付け座４３については任意に設定可能であり、例えば、軸線Ｏ方向の先端側が縮径されるテーパやブレード押圧板５０を軸線Ｏと直交して着座可能な種々の形態を適用することが可能である。
【００３５】
ハブ型ブレード１は、図１、図２に示すように、例えば、アルミハブ１０と、両面粘着テープ（両面接着テープ）２０と、ブレード本体３０とを備えている。そして、アルミハブ１０と、ブレード本体３０とが両面粘着テープ２０によって貼着、接続されている。
【００３６】
アルミハブ１０は、例えば、最大外径５５．４ｍｍに形成され軸線Ｏ方向の一方側（軸線Ｏ方向における基端側Ｒ）にブレード取付け面１０Ｆが形成され、ブレード取付け面１０Ｆから軸線Ｏの他方側に向かうにしたがって一旦縮径されその他方側（軸線Ｏ方向における先端側Ｆ）が拡径されるとともに、内周に軸線Ｏと同軸とされブレード取付け孔４２が挿入可能とされる取付孔１０Ｈが形成されている。
【００３７】
また、ハブ１０は、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金により形成されている。アルミニウム合金の材質については、使用条件に基づいて任意に設定することが可能であるが、例えば、Ａ２０１７、Ａ５０８３、Ａ７０７５（ＪＩＳ規格）等が好適である。
【００３８】
また、ブレード取付け面１０Ｆは、両面粘着テープ２０の効果的な貼着を確保するために、例えば、研磨加工等によって、表面粗さＲｍａｘ０〜２０μｍ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９８２）のスムースな仕上面とされていることが好適である。
【００３９】
両面粘着テープ２０は、例えば、粘着性を有するシート状の樹脂をドーナツ状に形成したものであり、テープ本体２１のブレード本体３０側に位置される面２１Ａ及びハブ１０側に位置される面２１Ｂに粘着性を有する接着剤転写テープとされている。
【００４０】
また、両面粘着テープ２０の外径、厚さ、弾性係数、保持力（粘着力）等は、例えば、ブレード本体３０の平面度（軸線Ｏに対する直角度）を保持することが可能とされ、かつハブ型ブレード１が対象物を切断する際の切断トルクによって生じるねじり変形がブレード本体３０に破損を生じさせないように設定されていることが好適である。
また、両面粘着テープ２０の厚さについては、例えば、厚さ１００μｍ以下が好適であり、厚さ３０μｍ以上５０μｍ以下がより好適である。
【００４１】
なお、アルミハブ１０とブレード本体３０との間にタッチセンサとして機能する程度の導電性を有していることが好適であるが、両面粘着テープ２０が導電性を有するかどうかは任意に設定可能である。導電性を有するものとしては、一例として、導電性接着剤転写テープ９７０７（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）、９７０９Ｓ（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）、Ｔ４４２０Ｗ（商品名：デクセリアルズ株式会社製）を適用することができる。
【００４２】
なお、両面粘着テープ２０に代えて、例えば、テープ基材の一方側と他方側の面に粘着性接着剤が塗布された両面粘着テープを用いてもよい。かかる場合、例えば、厚さ２５μｍのアルミ箔により構成され、粘着性を有する粘着性接着剤は、導電性粒子を混入したアクリル樹脂により構成され厚さ８５μｍとされていて導電性（例えば、アルミハブ１０とブレード本体３０の間の電気抵抗約４．５Ω）を有していることが好適である。
【００４３】
テープ基材を有する両面粘着テープとしては、例えば、ＡＬ−２５ＤＣ（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）、Ｔ７６２０（商品名：デクセリアルズ株式会社製）や７８４８ＹＣＷＢ（商品名：積水化学工業株式会社製）等が適用可能であり、Ｘ−７００１（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）のように褶曲させた導電性布を基材とするものや、９７２０Ｓ（商品名：３Ｍジャパン株式会社製）のように不織布を基材とするものを適用してもよい。
【００４４】
ブレード本体３０は、例えば、外径５５．０５ｍｍ、刃厚０．０１５〜０．０４μｍ（例えば、２０μｍ）の円板状とされ、内周側には軸線Ｏと同軸に直径４２.００ｍｍの円形穴３０Ｈが形成されている。
この実施形態において、ブレード本体３０は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）からなる台金に、ダイヤモンド砥粒を分散したニッケル（Ｎｉ）めっき液を電解めっきすることにより形成されている。
【００４５】
また、ブレード本体３０は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）又はニッケル合金を主成分とする合金からなる金属母材３１と、金属母材３１に分散されたダイヤモンド超砥粒（砥粒）３２とを備えている。
金属母材を構成するニッケルを主成分とする合金としては、例えば、ニッケル−リン（Ｎｉ−Ｐ）、ニッケル−コバルト（Ｎｉ−Ｃｏ）、ニッケル−ボロン（Ｎｉ−Ｂ）を適用することが好適である。
【００４６】
また、ダイヤモンド超砥粒３２は、例えば、３〜１０μｍ（平均粒径５μｍ）、集中度は５０〜１２５のダイヤモンドによって構成されている。
また、ダイヤモンド超砥粒３２は、例えば、金属母材３１の表面から約２μｍ程度露出している。
【００４７】
また、ブレード本体３０のアルミハブ１０側に位置されて、両面粘着テープ２０を介してハブ１０と接続される接続面３０Ｔは、例えば、金属母材３１の表面からダイヤモンド超砥粒３２が突出することなく平坦面に形成されていることが好適である。
【００４８】
また、ブレード本体３０においてアルミハブ１０と反対側に位置される露出面３０Ｆ及びブレード本体３０の外周に位置される突出部は、ニッケルめっきからなる金属母材３１からダイヤモンド超砥粒３２が露出している。
【００４９】
また、ブレード本体３０の突出部には、例えば、軸線Ｏ方向の一方側と他方側に面取り状の目立部３０Ｃが形成されている。なお、図２に示す目立部３０Ｃは一例であり、目立部３０Ｃの形態は切断対象物により適宜設定される。
【００５０】
この実施形態において、ブレード本体３０は、アルミハブ１０に両面粘着テープ２０を貼着し、貼着した両面粘着テープ２０に内径加工したブレード本体３０の原板を貼着した後にアルミハブ１０と同軸に外径加工して形成される。なお、ブレード本体３０の原板の内径加工、外径加工は、例えば、加工部位に噴流液水柱（噴流水柱）を形成し、レーザビームをこの噴流水柱内で反射させながら加工部位に誘導して、加工部位に照射することが好適であり、噴流水柱（噴流液柱）を可能な限り凹凸の少ない層流として、例えば、２００〜７００ｎｍのレーザビームを噴流水柱内で全反射させるとより好適である。また、目立部３０Ｃは、外径加工後にダイサードレスすることにより形成される。
【００５１】
ブレード押圧板５０は、図２（Ａ）に示すように、例えば、外形が円形とされた超硬合金により形成され、外径がハブ型ブレード１のハブ１０の外径とほぼ同寸法に形成されて一方側の面５０Ａは取付け座４３に着座可能とされ、他方側の面５０Ｂは外周縁部にブレード押圧部５１が形成されている。
なお、超硬合金に代えて、チタン合金、ＳＵＳ（ステンレス鋼）などを適用してもよく、強度が大きい材料から任意に設定することができる。
【００５２】
ブレード押圧部５１は、軸線Ｏを中心とする円周を含んで形成されていて、ブレード取付け軸４２に装着されたハブ型ブレード１のブレード本体３０のアルミハブ１０の外周縁と対応する位置を基端側Ｒから先端側Ｆに向かって押圧するように構成されている。
【００５３】
ここで、アルミハブ１０の外周縁部とは、アルミハブ１０の外周から内周側に位置される領域であり、切断する際の負荷に基づく曲げモーメントによってブレード本体３０に生じる芯ぶれを予め設定した設定値（例えば、１０μｍ以下）に抑制することが可能な径方向位置をいい、アルミハブ１０の外径から内周側に０ｍｍ〜３ｍｍに設定することが好適であり、外径から内周側に０ｍｍ〜１ｍｍに設定することがより好適である。
【００５４】
また、ブレード押圧板５０の内周には、軸線Ｏと同軸に円形孔５０Ｈが形成され、ブレード取付け軸４２を挿入することで、ブレード押圧板５０を回転駆動軸４０に取付け可能とされている。
【００５５】
また、ブレード押圧板５０は、ハブ型ブレード１を回転駆動軸４０に取付ける際の軸線Ｏ方向の軸力に基づく曲げモーメントによって生じる取付け座４３とブレード押圧部５１の径方向長さに対する軸線Ｏ方向の曲げ変形が、設定寸法（例えば、１０μｍ以下）となる充分な強度と剛性を有している。
【００５６】
ブレード取付けナット４５は、回転駆動軸４０のねじ部４４に螺着されて、ブレード押圧板５０とハブ型ブレード１を回転駆動軸４０に取付けることが可能とされている。
なお、ブレード取付けナット４５に代えて、アクチュエータ等を備えたブレード取付け部材を用いてもよい。
【００５７】
第１実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造１００によれば、簡単な構造によりハブ型ブレード１を容易に回転駆動軸４０に取付けることが可能とされ、ブレード本体３０の芯ぶれを抑制しながら高精度かつ安定して基板を切断することができる。
【００５８】
また、第１実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造１００によれば、ハブがアルミニウム又はアルミニウム合金により形成されているので軽量で高速回転（例えば、３００００ｒｐｍ以上）に容易に対応することができる。
【００５９】
また、第１実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造１００によれば、回転駆動軸４０はブレード取付け軸４２の基端側Ｒに取付け座４３が形成され、ブレード押圧板５０を取付け座４３に着脱可能に配置して回転駆動軸４０に装着するので、ブレード押圧板５０を回転駆動軸４０から容易に着脱することができる。
その結果、ハブ型ブレード１のハブ１０の外径を変更した場合に、ブレード押圧板５０を交換して容易かつ効率的にハブ型ブレード１のハブ外径に合わせることができる。
また、ブレード押圧板５０を容易に交換することができるので、メンテナンスを効率的に行うことができる。
【００６０】
第１実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造１００によれば、ブレード押圧板５０が超硬合金により形成され導電性を有しているので、両面粘着テープ２０が導電性を有していなくても、ブレード本体３０にタッチセンサとしての機能を持たせることができる。
【００６１】
また、第１実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造１００によれば、ハブ型ブレード１が、それぞれ個別に形成され外径寸法等が検査に合格したハブ１０とブレード本体３０とを両面粘着テープ２０により接続して構成されているので、ハブ１０の外径を高精度に設定寸法に形成することが可能であり、ブレード押圧部５１によりブレード本体３０のハブ周縁部と対応する径方向位置を正確に押圧することができる。
【００６２】
また、第１実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造１００によれば、ブレード本体３０が両面粘着テープ２０を介してハブ１０と接続されているので、両面粘着テープ２０の弾性によって、ブレード本体３０がハブ１０の外縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体３０が加工対象物と当たった際に、ブレード本体３０が割れるのを抑制することができる。
【００６３】
＜第２実施形態＞
以下、図３を参照し、本発明の第２実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造について説明する。
図３は、本発明の第２実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造の概略の一例を説明する概念図であり、図３（Ａ）はブレード押圧板の概略構成を示す図であり、図３（Ｂ）はハブ型ブレードを回転軸から分離した状態の概略構成を示す概略図であり、図３（Ｃ）はハブ型ブレードを回転軸に取付けた状態の概略構成を示す概略図である。
図３において、符号２００はハブ型ブレード取付け構造を、符号１Ａはハブ型ブレードを、符号１０Ａはアルミハブを、符号２０Ａは接着樹脂部を、符号３０Ａはブレード本体を、符号６０はブレード押圧板を示している。
【００６４】
ハブ型ブレード取付け構造２００は、図３に示すように、例えば、回転駆動軸４０と、ブレード押圧板６０と、ブレード取付けナット（ブレード取付け部材）４５とを備え、回転駆動軸４０には、基端側からブレード押圧板６０、ハブ型ブレード１Ａ、ブレード取付けナット４５がこの順に取付けられている。そのほかは、第１実施形態と同様であるので、同じ符号を付して説明を省略する。
【００６５】
ハブ型ブレード１Ａは、図３（Ｂ）に示すように、例えば、アルミハブ１０Ａと、接着樹脂部２０Ａと、ブレード本体３０Ａとを備えている。そして、アルミハブ１０Ａと、ブレード本体３０Ａとが接着樹脂部２０Ａによって接続されている。
【００６６】
アルミハブ１０Ａは、例えば、最大外径５５．４ｍｍに形成され軸線Ｏ方向の一方側（軸線Ｏ方向における基端側Ｒ）にブレード取付け面１０Ｂが形成され、ブレード取付け面１０Ｂは接着樹脂部２０Ａが効果的な定着を確保するために、例えば、例えば、サンドブラストやショットブラスト等によって表面粗さＲｍａｘ５〜５０μｍ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１  １９８２）に仕上げられていることが好適である。その他は、第１実施形態のアルミハブ１０と同様であるので同じ符号を付して説明を省略する。
【００６７】
接着樹脂部２０Ａは、例えば、エポキシ樹脂やシアノアクリレート樹脂を主成分とする接着剤が、アルミハブ１０Ａの外径及びブレード本体の内径（ブレード素材の内径）と対応してドーナツ状に塗布されたものが硬化することによって形成されている。
なお、エポキシ樹脂やシアノアクリレート樹脂に代えて、アクリル樹脂系接着剤等によって接着樹脂部２０Ａを形成してもよく、接着樹脂部２０Ａの構成は任意に設定することが可能である。
また、接着樹脂部２０Ａの外径、厚さ（例えば、４０μｍ〜１００μｍ）、弾性係数、保持力（接着力）等は、例えば、ブレード本体３０Ａの平面度（軸線Ｏに対する直角度）を保持することが可能とされ、かつハブ型ブレード１が対象物を切断する際の切断トルクによって生じるねじり変形がブレード本体３０Ａに破損を生じさせないように設定されていることが好適である。
【００６８】
また、接着樹脂部２０Ａは、アルミハブ１０Ａとブレード本体３０Ａとの間にタッチセンサとして機能する程度の導電性を有していることが好適であるが、接着樹脂部２０Ａが導電性を有するかどうかは任意に設定することが可能である。
【００６９】
導電性接着剤としては、例えば、エポキシ樹脂に銀（Ａｇ）系フィラーが混合されたスリーボンド３３８０（商品名：株式会社スリーボンド製）を溶剤（例えば、酢酸エチル）で希釈して適用することが可能である。
【００７０】
なお、例えば、シアノアクリレート系の瞬間接着剤（例えば、ＡＬＴＥＣＯ  ＣＮ２（商品名：株式会社アルテコ製）、ＡＬＴＥＣＯ  ＣＮ４（商品名：株式会社アルテコ製）、セメダイン  ３０００ＤＸＦ（商品名：セメダイン株式会社製）、セメダイン３０００  ＤＸＬＬ（商品名：セメダイン株式会社製）、セメダイン３０００ＤＸＬ（商品名：セメダイン株式会社製）、アロンアルファＥＸＴＲＡ衝撃（商品名：東亞合成株式会社製）、アロンアルファＥＸＴＲＡ４０００（商品名東亞合成株式会社製）をはじめとする導電性を有さない接着剤を適用して接着樹脂部２０Ａを形成してもよい。
【００７１】
また、導電性を有さない接着剤を適用する場合に、例えば、ミクロパールＡＵ−２０１（商品名：積水化学工業株式会社製）をはじめとする金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）等の金属を粒子にコーティングして形成された導電性粒子（例えば、粒径１０μｍ）をエポキシ系接着剤やアクリル系接着剤に混合して塗布、硬化させることで、アルミハブ１０Ａとブレード本体３０Ａが導電性粒子を介して通電可能としてもよい。
【００７２】
ブレード本体３０Ａは、例えば、円板状に形成され、外周の軸線Ｏ方向の一方側と他方側には面取り状のコーナ３０Ｃが形成され、ブレード本体３０Ａの内周側には、例えば、軸線Ｏと同軸の円形穴３０Ｈが形成されている。
【００７３】
また、アルミハブ１０Ａの反対側に位置される露出面３０Ｆ及び接着剤が塗布される接続面３０Ｄは全面にわたって、ニッケルめっきからなる金属母材３１からダイヤモンド超砥粒３２が露出されている。その他は、第１実施形態のアルミハブ１０と同様であるので同じ符号を付して説明を省略する。
【００７４】
この実施形態において、ブレード本体３０Ａは、アルミハブ１０Ａに塗布した接着剤に内径加工したブレード本体３０Ａの原板を接着した後にアルミハブ１０Ａと同軸に外径加工して形成される。なお、ブレード本体３０Ａの原板の内径加工、外径加工は、第１実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００７５】
ブレード押圧板６０は、図３（Ａ）に示すように、例えば、外形が円形とされたセラミックス（例えば、ジルコニア、アルミナ‐チタンカーバイド系、炭化ケイ素系など）により形成され、外径がハブ型ブレード１Ａのハブ１０Ａの外径とほぼ同寸法に形成されて一方側の面６０Ａは取付け座４３に着座可能とされ、他方側の面６０Ｂは外周縁部にブレード押圧部６１が形成されている。
また、ブレード押圧板６０は、ブレード本体３０Ａと回転駆動軸４０の間に導電性を持たせるために、例えば、他方側の面６０Ｂに全面にわたってニッケル（Ｎｉ）めっきによる導電層（導電性付与部）（不図示）が形成されている。なお、ニッケル（Ｎｉ）めっきは、径方向に沿って周方向の一部に形成されていてもよい。
【００７６】
ブレード押圧部６１は、軸線Ｏを中心とする円周を含んで形成されていて、ブレード取付け軸４２に装着されたハブ型ブレード１Ａのブレード本体３０Ａのアルミハブ１０Ａの外周縁部と対応する径方向位置を基端側Ｒから先端側Ｆに向かって押圧するように構成されている。
また、ブレード押圧部６１の内周側には、ブレード押圧板６０とブレード本体３０Ａの間に、軸線Ｏ方向の間隙を確保するための逃がし部６２が形成されている。
ここで、アルミハブ１０Ａの外周縁部とは、アルミハブ１０Ａの外径から内周側に０ｍｍ〜３ｍｍに設定することが好適であり、外径から内周側に０ｍｍ〜１ｍｍに設定することがより好適である。
【００７７】
また、ブレード押圧板６０の内周には、軸線Ｏと同軸に円形孔６０Ｈが形成され、ブレード取付け軸４２を挿入することで、ブレード押圧板６０を回転駆動軸４０に取付け可能とされている。
【００７８】
また、ブレード押圧板６０は、ハブ型ブレード１を回転駆動軸４０に取付ける際の軸線Ｏ方向の軸力に基づく曲げモーメントによって生じる取付け座４３とブレード押圧部６１の径方向長さに対する軸線Ｏ方向の曲げ変形が、設定寸法（例えば、１０μｍ以下）となる充分な強度と剛性を有している。
【００７９】
第２実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造２００によれば、簡単な構造によりハブ型ブレード１Ａを容易に回転駆動軸４０に取付けることが可能とされ、ブレード本体３０Ａの芯ぶれを抑制しながら高精度かつ安定して基板を切断することができる。
【００８０】
また、第２実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造２００によれば、ブレード押圧板６０にブレード取付け軸４２を挿入して取付け座４３に着座させて回転駆動軸４０に装着するので、ブレード押圧板６０を回転駆動軸４０から容易に着脱することができ、ハブ型ブレード１のハブ１０Ａの外径を変更してもブレード押圧板６０を交換して容易かつ効率的にハブ型ブレード１Ａのハブ外径に合わせることができる。
【００８１】
第２実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造２００によれば、ブレード押圧板６０が導電性を有しているので、接着樹脂部２０Ａが導電性を有していない場合でも、ブレード本体３０にタッチセンサとしての機能を持たせることができる。
【００８２】
また、第２実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造２００によれば、ハブ型ブレード１Ａが、それぞれ個別に形成され外径寸法等が検査に合格したハブ１０Ａとブレード本体３０Ａとを接着樹脂部２０Ａにより接続して構成されているので、ハブ１０Ａの外径を高精度に設定寸法に形成することが可能であり、ブレード押圧部６１によりブレード本体３０Ａのハブ周縁部と対応する径方向位置を正確に押圧することができる。
【００８３】
また、第２実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造２００によれば、ブレード本体３０が接着樹脂部２０Ａを介してハブ１０Ａと接続されているので、接着樹脂部２０Ａの弾性によって、ブレード本体３０Ａがハブ１０Ａの外縁で急に屈曲されるのが緩和され、ブレード本体３０Ａが加工対象物と当たった際に、ブレード本体３０Ａが割れるのを抑制することができる。
【００８４】
第２実施形態に係るハブ型ブレード取付け構造２００によれば、ブレード押圧部６１の内周側に逃がし部６２が形成されているので、ハブ型ブレード１Ａを押圧する際に、ブレード押圧部６１によるブレード本体３０Ａに対する面圧を高くすることができる。
その結果、ハブ型ブレード１Ａを回転駆動軸４０に高精度かつより安定して取付けることができる。
【００８５】
なお、上記実施形態において記載した技術的事項については、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。
上記実施形態においては、ブレード押圧板５０、６０が回転駆動軸４０とは別体で形成されている場合について説明したが、例えば、ブレード押圧板を回転駆動軸４０のブレード取付け軸４２の基端側Ｒに回転駆動軸４０と一体に形成してもよい。また、その場合に、ハブ型ブレード１、１Ａを押圧する側の面を平坦とするか内周側に逃がし部を形成するかは任意に設定することができる。
【００８６】
上記実施形態においては、ブレード押圧板５０をハブ型ブレード１に適用し、ブレード押圧板６０をハブ型ブレード１Ａに適用する場合について説明したが、ブレード押圧板とハブ型ブレードの対応については任意に設定することができる。
【００８７】
上記実施形態においては、ブレード押圧板５０、ブレード押圧板６０が導電性を有する場合について説明したが、ブレード押圧板が導電性を有するかどうかは任意に設定することができる。
【００８８】
上記実施形態においては、ブレード押圧板５０が超硬合金からなり両面が平坦なドーナツ状の円板に形成され、ブレード押圧板６０がセラミックスにより形成されブレード押圧部６１の内周側に逃がし部６２が形成されている場合について説明したが、ブレード押圧板の材質については、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等、種々の金属を適用することが可能であるし、材質及び形態については任意に設定することができる。また、導電性を有するセラミックスを適用してもよい。
【００８９】
また、上記実施形態においては、ハブ型ブレード１が、ハブ１０とブレード本体３０が両面粘着テープ（接続部）２０により接続され、ハブ型ブレード１Ａが、ハブ１０Ａとブレード本体３０Ａが接着樹脂部２０Ａにより接続されている場合について説明したが、両面粘着テープ２０、接着樹脂部（接着剤）２０Ａに代えて、超音波接合をはじめとする種々の拡散接合による接続部、スポット溶接によるナゲット、ろう付け等溶接による接続部、ハブとブレード本体とを締結する締結部材により構成される接続部等により接続された構成とされてもよいし、めっきや蒸着等によりブレード本体を直接的にハブ形成したハブ型ブレードを適用してもよい。
【００９０】
また、上記実施形態においては、ハブ型ブレード１を構成するハブ１０、１０Ａが、アルミニウム合金又はアルミニウムにより形成されている場合について説明したが、アルミニウム合金又はアルミニウムに代えて、純チタン（Ｔｉ）（ＪＩＳ１種等）やチタン合金、マグネシウム合金をはじめとする種々の金属材料、ポリカーボネードをはじめとするエンジニアリングプラスチック、繊維強化プラスチック、アクリル樹脂等の汎用プラスチックをはじめとする実用可能な種々の樹脂材料によって形成してもよい。
【００９１】
また、上記実施形態においては、ブレード本体３０がニッケルめっきからなる金属母材３１にダイヤモンド超砥粒３２が分散されている場合について説明したが、例えば、Ｎｉ−Ｐめっき、Ｎｉ−ＣｏめっきやＮｉ−Ｂめっき、銅（Ｃｕ）や銅合金（例えば、Ｃｕ−Ｓｎ）をはじめとする適用可能な種々の金属母材に砥粒が分散されたメタルブレード、フェノール樹脂等からなるレジンブレード、砥粒を混合したセラミックス粉末を含むガラス粉末（無機材料）を焼成して形成したビトブレード、超硬合金により形成されたブレード等、種々のブレード本体を用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
本発明に係るハブ型ブレード取付け構造及びハ基板切断装置によれば、簡単な構造によりハブ型ブレードを容易に回転駆動軸に取付けることが可能とされ、ブレード本体の芯ぶれを抑制しながら高精度かつ安定して基板を切断することができるので産業上利用可能である。
【符号の説明】
【００９３】
Ｏ    回転軸（軸線）
１、１Ａ  ハブ型ブレード
１０、１０Ａ  アルミハブ（ハブ）
１０Ｆ  ブレード取付け面
１０Ｈ  ハブ型ブレード取付け孔
２０  両面粘着テープ
２０Ａ  接着樹脂部
３０、３０Ａ  ブレード本体
３０Ｔ、３０Ｄ  接続面
３０Ｈ  円形孔
３１  金属母材（ニッケルめっき）
３２  ダイヤモンド超砥粒（砥粒）
４０  回転駆動軸
４１  取付け軸
４３  取付け座
４４  ねじ部
４５  取付けナット（取付け部材）
５０、６０  ブレード押圧板
５１、６１  ブレード押圧部
６２  逃がし部
１００、２００  ハブ型ブレード取付け構造
５００  ハブ型ブレード取付け構造
【図１】
2018187729.tif 000003
【図２】
2018187729.tif 000004
【図３】
2018187729.tif 000005
【図４】
2018187729.tif 000006