(57)【要約】【課題】  切断刃の消耗やグリーンシートのカットカスの発生という問題を解決するために、切断機構を用いることなく、２つ以上のキャリアフィルム付きグリーンシートを同時に作製することを可能とする塗工装置を提供する。【課題の解決手段】  キャリアフィルムを巻き着付けた複数の繰出ロールを、複数の繰出部の各々に別個に取り付けることで、切断機構を用いることなく、２つ以上のキャリアフィルム付きグリーンシートを同時に作製する塗工装置とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のキャリアフィルムへの塗工装置であって、
キャリアフィルムが巻き付けられた繰出ロールを別個に備えた、複数の繰出部と、前記繰出ロールの各々から繰り出される複数のキャリアフィルムの一方の面にスラリーを吐出する塗工ヘッドを備えることを特徴とする塗工装置。
【請求項２】
前記スラリーが、セラミックスラリーである請求項１に記載の塗工装置。
【請求項３】
前記塗工ヘッドが、前記複数のキャリアフィルムのそれぞれに対応する複数のスラリー吐出口を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の塗工装置。
【請求項４】
前記スラリーを、１つのスラリー供給タンクから前記複数の吐出口に供給することを特徴とする請求項３に記載の塗工装置。
【請求項５】
前記複数の吐出口から吐出するスラリーの流量をそれぞれ独立して制御する手段を有することを特徴とする請求項４に記載の塗工装置。
【請求項６】
前記スラリーを、複数のスラリー供給タンクから前記複数の吐出口のそれぞれに供給することを特徴とする請求項３に記載の塗工装置。
【請求項７】
前記塗工ヘッドが、前記複数のキャリアフィルムに共通する１つのスラリー吐出口を有し、該吐出口から吐出するスラリーが複数のキャリアフィルム間の隙間から漏れないようにする手段を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の塗工装置。
【請求項８】
前記塗布手段の後段に、複数のキャリアフィルム毎に独立した乾燥炉が設けられていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の塗工装置。
【請求項９】
前記塗布手段の後段に、複数のキャリアフィルムに共通した乾燥炉が設けられており、該乾燥炉の内部に複数のキャリアフィルム毎に仕切を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の塗工装置。
【請求項１０】
前記乾燥炉が、１つのキャリアフィルムの乾燥部から他のキャリアフィルムの乾燥部への通気手段を有することを特徴とする請求項８又は９に記載の塗工装置。
【請求項１１】
前記塗工ヘッドの前段及び／又は前記乾燥炉の後段に、前記複数のキャリアフィルムの緊張力を各々独立して調整するサクションロール又はニップロールを備えていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の塗工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗工装置に関し、特にグリーンシートを製造するために有用なスラリーの塗工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層コンデンサや積層インダクタ等の積層型セラミック電子部品を製造する際には、セラミックグリーンシートと内部電極材料とを交互に積層した後、これを焼成した積層体が用いられる。
積層型セラミック電子部品に用いられるセラミックグリーンシートは、非常に薄いため、製造する際の取り扱いが困難であり、製造を容易にすること等を目的として、その一面がキャリアフィルムによって支えられた状態、即ち、キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートとして提供されている。
【０００３】
このキャリアシート付きセラミックグリーンシートは、一般に、キャリアフィルム上にセラミックスラリーを連続的に塗工し、塗工されたセラミックスラリーを連続的に乾燥してセラミックグリーンシートを作製することによって製造されている。乾燥後のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートは、巻取ロールに巻き取られ、該巻取ロールは積層型セラミック電子部品の製造ラインに搬入される。
【０００４】
こうしたセラミックグリーンシートの塗工方法や塗工装置においては、積層型セラミック電子部品の製品サイズ縮小に伴う薄膜化や生産収率向上のための技術が開発されてきている。
その一例として、スラリーが塗工、乾燥された後のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを、その長手方向に沿って切断し、別々の巻取りロールに巻き取ることにより、一度に２つ以上の製品を得ることで生産効率を向上させることが提案されている。
【０００５】
図１１は、該方法に用いる装置の一例を示す概要図であり、図中、１は繰出部の駆動軸、２はキャリアフィルム、３はキャリアフィルム２が巻き付けられた繰出ロール、４は塗工ヘッド、５は塗工ヘッド４に備えられた吐出口、６は吐出口５から吐出した塗工スラリー、７は乾燥炉、８はグリーンシート、９は巻取部の駆動軸、１０は巻取ロール、２１は切断刃である。
【０００６】
しかしながら、該方法・装置では、キャリアフィルムと乾燥したスラリーとを同時に切断するため、切断に用いる切断刃が摩耗するという問題、及びグリーンシートのカットカスが発生するという問題が発生する。
切断刃の摩耗という問題を解決するために、特許文献１では、切断に先立って、切断部分に塗布されたスラリーを予め掻き取ることが提案されている。また、特許文献２では、複数のスラリー吐出口が設けられた塗工ヘッドを用いて、キャリアフィルムの長手方向に沿ってストライプ状に塗布し、スラリーが塗布されていない間隙を切断することが提案されている。
しかしながら、これらの方法では、セラミックグリーンシートの有効幅領域が減少し、該有効幅領域が小さいと積層型セラミック電子部品を製造する際の部品取り数が低下すると共に廃棄シート量が増加してしまうという問題が生じる。
【０００７】
そこで、特許文献３では、セラミックグリーンシートの幅方向一部を加熱して熱軟化部位を長さ方向に連続的に形成し、該熱軟化部位を切断刃によって、グリーンシートの長さ方向に連続的に切断することにより、２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−２７３７１４号公報
【特許文献２】特開２０１０−１８８５８５号公報
【特許文献３】特開２０１５−０４７７０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来、特許文献１〜３等に記載のように２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製する場合、１つの繰出ロール及び塗工ヘッドを用いて幅広のキャリアフィルム上にセラミックスラリーを塗工し、乾燥後に所望幅に切断している（図１１参照）。
しかしながら、これらの装置では、いずれも乾燥後に切断するための切断機構が必要であり、また、切断刃の消耗やグリーンシートのカットカスの発生という問題が残存している。さらに、これらの装置では、１つの繰出ロール及び塗工ヘッドを用いているために、同時に膜厚や組成等が異なる異種のグリーンシートを製造することはできないという問題もある。
【００１０】
本発明は、こうした切断刃の消耗やグリーンシートのカットカスの発生という問題を解決することを目的とするものであって、切断機構を用いることなく、２つ以上のキャリアフィルム付きグリーンシートを同時に作製することを可能とする塗工装置を提供することを目的とするものである。また、本発明は、膜厚や組成等が異なる異種のグリーンシートを同時に得ることが可能な塗工装置を提供することをもう１つの目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成する方法として、繰出部の１本の駆動軸に、複数の繰出ロールを装着し、これらの繰出ロールから複数のキャリアフィルムを繰り出せるようにすることが考えられる。しかしながら、この場合、繰出ロールから繰り出されるキャリアフィルムのテンションコントロールや蛇行補正が困難であるという課題が発生する。
本発明らは上記目的を達成すべくさらに検討を重ねた結果、予めキャリアフィルムを巻き付けた複数の繰出ロールを、複数の繰出部の各々に別個に取り付けることで、切断機構を用いることなく、２つ以上のキャリアフィルム付きグリーンシートを同時に作製しうることが判明した。
【００１２】
本発明はこれらの知見に基づいて完成に至ったものであり、本発明によれば、以下の特徴を有する塗工装置が提供される。
［１］複数のキャリアフィルムへの塗工装置であって、
キャリアフィルムが巻き付けられた繰出ロールを別個に備えた、複数の繰出部と、前記繰出ロールの各々から繰り出される複数のキャリアフィルムの一方の面にスラリーを吐出する塗工ヘッドを備えることを特徴とする塗工装置。
［２］前記スラリーが、セラミックスラリーである［１］に記載の塗工装置。
［３］前記塗工ヘッドが、前記複数のキャリアフィルムのそれぞれに対応する複数のスラリー吐出口を有することを特徴とする［１］又は［２］に記載の塗工装置。
［４］前記スラリーを、１つのスラリー供給タンクから前記複数の吐出口に供給することを特徴とする［３］に記載の塗工装置。
［５］前記複数の吐出口から吐出するスラリーの流量をそれぞれ独立して制御する手段を有することを特徴とする［４］に記載の塗工装置。
［６］前記スラリーを、複数のスラリー供給タンクから前記複数の吐出口のそれぞれに供給することを特徴とする［３］に記載の塗工装置。
［７］前記塗工ヘッドが、前記複数のキャリアフィルムに共通する１つのスラリー吐出口を有し、該吐出口から吐出するスラリーが複数のキャリアフィルム間の隙間から漏れないようにする手段を備えていることを特徴とする［１］又は［２］に記載の塗工装置。
［８］前記塗布手段の後段に、複数のキャリアフィルム毎に独立した乾燥炉が設けられていることを特徴とする［１］〜［７］のいずれかに記載の塗工装置。
［９］前記塗布手段の後段に、複数のキャリアフィルムに共通した乾燥炉が設けられており、該乾燥炉の内部に複数のキャリアフィルム毎に仕切を有する［１］〜［７］のいずれかに記載の塗工装置。
［１０］前記乾燥炉が、１つのキャリアフィルムの乾燥部から他のキャリアフィルムの乾燥部への通気手段を有することを特徴とする［８］又は［９］に記載の塗工装置。
［１１］前記塗工ヘッドの前段及び／又は前記乾燥炉の後段に、前記複数のキャリアフィルムの緊張力を各々独立して調整するサクションロール又はニップロールを備えていることを特徴とする［１］〜［１０］のいずれかに記載の塗工装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の装置によれば、切断機構を用いることなく複数のキャリアフィルムへの塗工が可能となるので、複数のグリーンシートを同時に得ることができる。また、切断刃などの消耗品の発生やグリーンシートのカットカスの発生を抑制できる。また、塗工ヘッド、乾燥炉等の一部を共通化することにより、設備費用を抑えることができる。
また、本発明の装置によれば、キャリアフィルムが巻き付けられた複数の繰出ロールが、複数の繰出部に別個に取り付けられているため、スラリーの吐出量及び／又はキャリアフィルムの搬送速度を別々に制御することで、塗工する膜厚をコントロールできるので、膜厚の異なるグリーンートを同時に得ることが可能となる。
また、各繰出部から繰り出されるキャリアフィルム毎に、供給するスラリーの組成及び／又は成分配合を異ならせることで、異種のグリーンシートを同時に得ることが可能となる。逆に、同一の組成／成分であっても、スラリーのロット毎に特性に差異が出るような場合、一つのロットのスラリーから厚さを変えたグリーンシートを得ることが可能となる。
さらに、塗工装置を停止して行う点検作業や部品交換などの作業も、複数の繰出部の１部の駆動での塗工中に、その他の繰出部の駆動を停止して行うことができるので、連続塗工が可能となり、塗工一時停止時のスラリーの沈降などが発生せず、シート品質のばらつきがなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の装置の第１の実施態様であって、１つのスラリー供給タンクと２つの吐出口を有する装置の１例を示す概要図。
【図２】本発明の装置の第２の実施態様であって、１つのスラリー供給タンクと２つの吐出口を有する装置の他の１例を示す概要図。
【図３】本発明の装置の第３の実施態様であって、１つのスラリー供給タンクと２つの吐出口を有する装置のさらに別の１例を示す概要図。
【図４】本発明の装置の第４の実施態様であって、２つのスラリー供給タンクと２つの吐出口を有する装置の１例を示す概要図。
【図５】本発明の装置の第５の実施態様であって、１つのスラリー供給タンクと１つの吐出口を有する装置の１例を示す概要図。
【図６】本発明の装置の第６の実施態様であって、１つのスラリー供給タンクと１つの吐出口を有する装置の他の１例を示す概要図。
【図７】本発明の装置の第７の実施態様であって、サクションロールを備えた装置の１例を示す概要図。
【図８】本発明の装置の第８の実施態様であって、仕切板で仕切られた乾燥炉を備えた装置の１例を示す概要図。
【図９】本発明の装置の第９の実施態様であって、各軸毎に独立した乾燥炉を備えた装置の１例を示す概要図。
【図１０】本発明の装置の第１の実施態様であって、通気孔を有する仕切板で仕切られた乾燥炉を備えた装置の１例を示す概要図。
【図１１】２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製するのに用いられる従来の塗工装置の概要を示す概要図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の塗工装置は、複数のキャリアフィルムへの塗工装置であって、キャリアフィルムが巻き付けられた複数の繰出ロールを別個に備えた複数の繰出部と、前記繰出ロールの各々から繰り出される複数のキャリアフィルムの一方の面にスラリーを吐出する塗工ヘッドを備えることを特徴とするものである。
【００１６】
本発明の装置によれば、切断機構を用いることなく複数のキャリアフィルムへの塗工が可能となり、消耗品の発生やグリーンシートのカットカスの発生を抑制できるばかりでなく、複数の繰出ロールが、複数の繰出部の各々に別個に取り付けられているため、スラリーの吐出量と、キャリアフィルムの搬送速度を別々に制御することで、塗工する膜厚をコントロールできるので、膜厚の異なるグリーンートを同時に得ることが可能となる。特に、電子部品などでは、カバー部と内部導体部のグリーンシート厚みは異なるので、これらを同一材料、同一ロットで同時に塗工できることは、電子部品の製造において、非常に有用である。
さらに、各繰出部を別々に制御することで、塗工開始タイミングを分けることもできる。
【００１７】
本発明の装置を用いたキャリアフィルム付きグリーンシートの製造に際しては、キャリアフィルムを用意して繰出ロールに巻き付けておくと共にスラリーを用意してスラリー供給タンクに貯蔵しておく。
【００１８】
キャリアフィルムは、可撓性と耐熱性に優れたプラスチックフィルム、例えばポリエチレンフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等から成るものが使用できる。また、キャリアフィルムの厚さは、例えば６μｍ、９μｍ、１２μｍ、１８μｍ、２５μｍ、３８μｍ、５０μｍ、７５μｍ、１００μｍ、１２５μｍ、１８８μｍ、２５０μｍ、３５０μｍ、５００μｍのものがよく使われるが、これに限るものではない。
【００１９】
スラリーは、キャリアフィルムの一面に塗工された後、乾燥されてグリーンシートとされるものであれば、特に限定されないが、例えば、積層セラミック電子部品を製造する場合には、セラミックスラリーが用いられる。
該セラミックスラリーとしては、積層セラミックコンデンサ用のセラミックグリーンシートとして適した成分、例えば誘電体セラミック粉末（例えばチタン酸バリウム粉末、チタン酸ストロンチウム粉末等）等と溶剤（例えばエタノール、イソプロピルアルコール、メタノール、トルエン等）とバインダ（例えばポリビニルブチラール）と添加剤（可塑剤や分散剤等）を含んでいる。又、セラミックスラリーとして、積層インダクタ用のグリーンシートとして適した成分、例えばフェライト粉末（ニッケル亜鉛銅系フェライト粉末、亜鉛銅系フェライト粉末等）、軟磁性合粉末（鉄-珪素-クロム系合金、鉄-珪素-アルミニウム系合金等）、ガラス質セラミック粉末（酸化ケイ素、酸化アルミ混合粉等）等とバインダ（例えばポリビニルブチラール）と添加剤（可塑剤や分散剤等）等を含んでいてもよい。
【００２０】
以下、図面を用いて、本発明の装置について説明する。
【００２１】
図１〜６は、本発明の代表的な実施態様を示す概要図であり、１は繰出部の駆動軸、２はキャリアフィルム、３はキャリアフィルム２が巻き付けられた繰出ロール、４は塗工ヘッド、５は塗工ヘッド４に備えられた吐出口、６は吐出口５から吐出した塗工スラリー、７は乾燥炉、８はグリーンシート、９は巻取部の駆動軸、１０は巻取軸、１１はスラリー供給タンクである。
これらの図に示すように、繰出部は、２つの駆動軸１を有し、駆動軸１のそれぞれに、キャリアフィルム２が巻き付けられた繰出ロール３（以下、「基材ロール」ということもある。）が、エアーシャフト等の軸を介して、１つずつ取り付けらており、それぞれの繰出ロール３から繰り出されたキャリアフィルム２の一面に、塗工ヘッド４に備えられた吐出口５から吐出されるスラリーが塗布される。
なお、図では、駆動軸１と繰出ロール３は、２つであるが、それに限定されず、３つ以上あっても良い。
また、図では、繰出ロール３を、軸を介して駆動軸１に取り付けているが、繰出部における繰出ロールの取付け方法は特に限定されるものではない。
【００２２】
スラリー供給タンク１１は、予め調合されたスラリーを貯蔵する役目を果たし、塗工ヘッド５は、スラリー供給タンク１１からポンプ（図示せず）により圧送される塗工スラリーをキャリアフィルム２上に塗工する役目を果たす。つまり、キャリアフィルム２の移動に同期してポンプを作動させることによって、吐出口５から吐出された塗工スラリーをキャリアフィルム２上に連続的に塗工できるようになっている。
【００２３】
塗工ヘッド４のスラリー吐出口５は、１つまたは複数でも良い。
また、スラリーの吐出口５が複数の場合、吐出口を除く塗工ヘッド４は共通であってもよく、また吐出口５毎に塗工ヘッド４が独立していても良い。
【００２４】
キャリアフィルム２上に塗工された塗工スラリー６は、乾燥炉７により乾燥されグリーンシート８となる。
グリーンシート８は、巻取部に設けられた複数の駆動軸９のそれぞれに取り付けられた巻取ロール１０に各々巻き取られる。
【００２５】
図１〜図４に、吐出口５が２つの場合の実施形態を示す。
【００２６】
図１に示す本発明の装置の第１の実施形態では、塗布ヘッド４は、スラリー吐出口５を２つ備えており、１つのスラリー供給タンク１１から、スラリー分岐手段１２を介して、それぞれの吐出口５にスラリーが供給される。
該実施形態の装置によれば、複数の繰出ロールがそれぞれ別個の駆動軸に取り付けられているため、キャリアフィルムの搬送速度を各軸別々に制御することで、塗工する膜厚をコントロールすることができ、膜厚の異なるセラミックグリーンートを同時に得ることが可能となる。
また、吐出口前に設けられた前記スラリー分岐手段１２による分岐の切り替えを行うことにより、吐出口毎に塗工の停止を可能とし、点検や部品交換等の作業中での連続塗工が可能となるために、塗工一時停止時のスラリーの沈降などが発生せず、シート品質のばらつきがなくなる。
【００２７】
複数の吐出口を有する場合、各々の吐出口から吐出するスラリーの流量をそれぞれ独立して制御する手段を有することが好ましい。
流量を制御する手段は特に限定されないが、例えば、図２に示す本発明の装置の第２の実施形態はその一例を示すものである。
該装置は、前記の図１に示す装置において、前記スラリー分岐手段１２の後段に流量調整弁１３等の流量を制御する手段を備えたものである。
該実施形態の装置によれば、２つの吐出口５からのスラリーの吐出量を各吐出口別々に制御すること、或いはさらにキャリアフィルムの搬送速度を各軸別々に制御することにより、塗工する膜厚をさらにコントロールすることができ、膜厚の異なるグリーンートを同時に容易に得ることが可能となる。
【００２８】
図３に示す本発明の装置の第３の実施形態は、前記の図１に示す装置において、吐出口５毎に塗工停止が可能であるように、吐出口毎にシャッターのような吐出口開閉機構１４を備えたものであり、前述の、スラリー分岐手段１２による分岐の切り替えを可能とした装置と同様の作用効果を奏するものである。
【００２９】
図４に示す本発明の装置の第４の実施形態は、２つのスラリー供給タンク１１を備え、これらのタンクから、２つのスラリー吐出口５のそれぞれにスラリーを供給するようにしたものである。
該実施形態の装置によれば、２つの吐出口５からのスラリーの吐出量をそれぞれ個別に制御することができるばかりでなく、２つのスラリー供給タンク１１内のスラリーの組成及び／又は成分配合を異ならせることで、異種のグリーンシートを同時に得ることが可能となる。
【００３０】
図５、６に、吐出口が１つの場合の実施形態を示す。
２本の基材ローを有する本発明の塗工装置においては、基材ロールル間の間隙によって、２つのキャリアフィルム間に隙間が生じる。そのため、吐出口が１つの場合、該吐出口から吐出するスラリーが、該キャリアフィルム間の隙間から漏れないようにする手段を備えていることが好ましい。
例えば、図５に示す本発明の装置の第５の実施形態のように、別部材からなる目止め材１５を使って吐出口５の一部を目止めすることにより、スラリーがキャリアフィルム間の隙間から漏れないようにすることができる。
また、図６に示す本発明の装置の第５の実施形態のように、吐出したスラリーのうち不要部分を受け皿１６にうけることにより、不要部分のスラリーがキャリアフィルム間の隙間から漏れないようにするとともに、回収配管１７を介してスラリータンク１１等へ還流させて回収しても良い。
【００３１】
本発明の装置においては、各軸用に独立したサクションロール又はニップロールを用いて、基材であるキャリアフィルムのテンションの制御を行うことが望ましい。
図７に、本発明の装置の第７の実施形態を示す。
該実施形態では、サクションロール１８を、塗工ヘッド５の前段（繰出側）と、乾燥炉７の後段（巻取側）の双方に設置し、その速度差によってテンションを制御するものである。
なお、サクションロール１８は、塗工ヘッド５の前段又は乾燥炉７の後段の、いずれか一方のみに設けても良い。
また、１つ以上のサクションロールをニップロールに置き換えることもできる。
また、ダンサーロール（可動ロール）により、テンションの制御を行なうこともできる。
さらに、基材であるキャリアフィルムの蛇行補正は、軸ごとに設置した蛇行補正装置（例えばＥＰＣ（Edge Position Controller）（登録商標）を巻き出し、乾燥後、巻き取りなど必要と思われる部分に任意で設置して行うことができる。
【００３２】
本発明の装置において、図１〜１０に示す実施形態のように、乾燥炉を設けても良い。
乾燥炉は、キャリアフィルム上に塗工された塗工スラリーを連続的に乾燥する役目を果たす。乾燥炉内には、所望の乾燥温度（炉内温度）を確保するための電熱ヒータ（図示せず）と送風機（図示せす）等が設けられている。
【００３３】
本発明における乾燥炉は、共用できるが独立させても良い。
共用する場合、例えば、図８に示す本発明の装置の第８の実施形態のように、乾燥炉内に仕切１９を設けることにより、各基材ロール（各軸）毎に雰囲気や温度設定が変更できるようにしても良い。
或いは、図９に示す本発明の装置の第９の実施形態のように、乾燥炉をそれぞれ独立して設け、各基材ロール（各軸）毎に雰囲気や温度設定が変更できるようにしても良い。
【００３４】
一般に塗工されるスラリーの膜厚が薄いときには、表面のひび割れなどを防止するためにゆっくり乾燥させることが必要であるが、前述のようにして、各基材ロール（各軸）で乾燥条件を分けることで、塗工されるスラリーの膜厚によって最適な乾燥を実現できる。
【００３５】
乾燥炉を独立する場合或いは乾燥炉を共有する場合のいずれにおいても、１つのキャリアフィルムの乾燥部から他のキャリアフィルムの乾燥部への通気手段を設けることにより、それぞれの温度・雰囲気を変えることができる。
図１０に示す本発明の第１０の実施形態は、その一例を示すものであり、図８に図示した装置において、通気手段として、通気孔２０を有する仕切を用いるものである。
該装置によれば、厚い塗工スラリーと薄い塗工スラリーを同時に塗工した後、仕切１９に通気手段を設けた乾燥炉で乾燥することにより、厚い塗工スラリーが塗工された側の溶剤の多く含まれた乾燥雰囲気を、他方の薄い塗工スラリーが塗工された側に導入することで、薄い塗工スラリーが早く乾燥しすぎて表面にひびわれが発生することを防ぐことができる。
【符号の説明】
【００３６】
１：繰出部の駆動軸
２：キャリアフィルム
３：繰出ロール
４：塗工ヘッド
５：吐出口
６：塗工スラリー
７：乾燥炉
８：グリーンシート
９：巻取部の駆動軸
１０：巻取ロール
１１；スラリー供給タンク
１２：スラリー分岐手段
１３：流量調整弁
１４：吐出口開閉機構
１５：目止め材
１６：スラリー受け皿
１７：回収配管
１８：サクションロール
１９：仕切
２０：通気孔
２１：切断刃
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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