(57)【要約】【課題】  洗浄溶剤の液面を純水で被覆することにより洗浄溶剤からの洗浄蒸気の発生を低減可能とするとともに、被洗浄物に付着した水分を、高いコストをかけることなく除去可能とする。【解決手段】  洗浄槽2,31内に、純水8,38よりも比重の大きい非水系溶剤7,37と純水8,38とを収納して洗浄槽2,3内の非水系溶剤7,37の液面を純水8,38の層にて被覆することにより、この非水系溶剤7,37中に被洗浄物を浸漬させて浸漬洗浄を行う時には、洗浄槽2,31内の非水系溶剤7,37の無駄な蒸発を防止可能とするとともに、この浸漬洗浄の完了に伴って被洗浄物21,52を非水系溶剤7,37内から液面よりも上方に移動させて、上記純水8,38の層を通過させる際に被洗浄物21,52に付着した水分を、該被洗浄物21,52に上記非水系溶剤7,37を噴射機構12,42にて噴射することにより除去する。【選択図】図１
2018187593.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄槽内に、純水よりも比重の大きい非水系溶剤と純水とを収納して洗浄槽内の非水系溶剤の液面を純水の層にて被覆することにより、この非水系溶剤中に被洗浄物を浸漬させて浸漬洗浄を行う時には、洗浄槽内の非水系溶剤の無駄な蒸発を防止可能とするとともに、この浸漬洗浄の完了に伴って被洗浄物を非水系溶剤内から液面よりも上方に移動させて、上記純水の層を通過させる際に被洗浄物に付着した水分を、該被洗浄物に上記非水系溶剤を噴射機構にて噴射することにより除去することを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。
【請求項２】
内部に純水よりも比重の大きい非水系溶剤と純水とを収納して、非水系溶剤の液面を純水の層にて被覆して非水系溶剤の無駄な蒸発を防止するとともに、この非水系溶剤中にて被洗浄物の浸漬洗浄を行う洗浄槽と、この浸漬洗浄の完了に伴って被洗浄物を非水系溶剤内から液面よりも上方に移動させて上記純水の層を通過させる際に付着した水分を、該被洗浄物の表面に非水系溶剤を噴射することにより除去する噴射機構とを備えたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項３】
噴射機構は、洗浄槽内に連通した連通管と、この連通管の端部に設けるとともに洗浄槽内に臨ませて配置した噴射ノズルとを備えたことを特徴とする請求項２の洗浄装置。
【請求項４】
加熱手段を設けた内部に非水系溶剤を収納し、加熱手段によって発生した非水系溶剤の洗浄蒸気により蒸気洗浄を可能とした蒸気洗浄槽を洗浄槽に連接したことを特徴とする請求項２、または３の洗浄装置。
【請求項５】
洗浄槽には、加熱手段を設けた内部に非水系溶剤を収納し、加熱手段によって発生した非水系溶剤の洗浄蒸気を洗浄槽に供給可能とした蒸気発生槽を連接したことを特徴とする請求項２、または３の洗浄装置。
【請求項６】
蒸気洗浄槽は、内部に非水系溶剤とともに純水を収納し、この純水の層にて非水系溶剤の液面を被覆したことを特徴とする請求項４の洗浄装置。
【請求項７】
蒸気発生槽は、内部に非水系溶剤とともに純水を収納し、この純水の層にて非水系溶剤の液面を被覆したことを特徴とする請求項５の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機械部品、電子部品、医療機器等の被洗浄物を洗浄する洗浄装置に係るものであって、被洗浄物の浸漬洗浄及び蒸気洗浄において洗浄溶剤の大気への拡散を防止して環境負荷を減少するとともに、洗浄溶剤の消耗を減少して洗浄コストを低減可能とする洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−４７８７９号公報
【特許文献２】特開平６−３２８０５２号公報                                    従来より、洗浄溶剤として使用されてきたフロン１１３等が、オゾン層の破壊防止と温暖化防止のために１９９５年に世界的に生産全廃となった。それ以後、フロン代替溶剤が各種開発されているが、このようなものの中には、沸点が低いため蒸発によるロスが大きい溶剤や、キロ当たりの単価が高価な溶剤が多く、コストが高くつくことが問題となっていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで従来より、特許文献１に示す如く洗浄溶剤の表面を水で被覆することによって洗浄溶剤の蒸発を抑え、洗浄溶剤の使用コストを低減しようとする方法が知られている。しかし、液面を水で被覆した洗浄溶剤中に被洗浄物を浸漬して浸漬洗浄を行った場合には、被洗浄物に水分が付着するものとなることから、シミ等の問題が生じるものとなる。また、このような洗浄の際の水分の付着を防止するためには、特許文献２に示す如く洗浄溶剤から水分を取り除くための水分分離装置のような特別な手段を必要とするものであった。
【０００５】
そこで、本願発明は上述の如き課題を解決しようとするものであって、洗浄溶剤の液面を純水で被覆することにより洗浄溶剤からの洗浄蒸気の発生を低減可能とするとともに、被洗浄物に付着した水分を、高いコストをかけることなく除去可能とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明は上述の如き課題を解決するため、洗浄槽内に、純水よりも比重の大きい非水系溶剤と純水とを収納して洗浄槽内の非水系溶剤の液面を純水の層にて被覆することにより、この非水系溶剤中に被洗浄物を浸漬させて浸漬洗浄を行う時には、洗浄槽内の非水系溶剤の無駄な蒸発を防止可能とするものである。このように、純水よりも比重の大きい非水系溶剤と純水とを貯留槽や洗浄槽に収納した場合には、非水系溶剤と純水とが完全に分離して非水系溶剤の層が下側に位置し、純水の層がこの非水系溶剤の層の上側に位置するものとなる。そのため、貯留槽及び洗浄槽内の非水系溶剤の液面を純水の層によって完全に被覆されるため、この純水の層によって非洗浄時における非水系溶剤の無駄な蒸発を防ぐことができる。
【０００７】
また、浸漬洗浄の完了に伴って被洗浄物を非水系溶剤内から液面よりも上方に移動させて上記純水の層を通過させる際に被洗浄物に付着した水分を、該被洗浄物に上記非水系溶剤を噴射機構にて噴射することにより除去するものである。即ち、浸漬洗浄の完了に伴って被洗浄物を純水の層を通過させて純水の液面よりも上方に移動させた際に、被洗浄物に純水が付着した状態となる。
【０００８】
そのため、このように表面に純水が付着した被洗浄物に非水系溶剤を噴射することにより、被洗浄物に付着した純水が非水系溶剤とともに流下するため被洗浄物から除去することが可能となる。また、洗浄槽内に収納した水は純水であるから極めて不純物が少なく、被洗浄物に付着してもシミが発生しにくいものとなる。従って、被洗浄物の表面に水分によるシミの付着などの問題が生じにくいものとなる。また、既存の洗浄槽に非水系溶剤を噴射させる機構を付加するか、あるいは新たに洗浄装置を設ける場合でも洗浄槽と噴射機構という簡易な構成によって本発明の洗浄を行うことができるため、コストを低く抑えることが可能であり経済的である。
【０００９】
また、噴射機構は、洗浄槽内に連通した連通管と、この連通管の端部に設けるとともに洗浄槽内に臨ませて配置した噴射ノズルとを備えたものであっても良い。
【００１０】
また、加熱手段を設けた内部に非水系溶剤を収納し、加熱手段によって発生した非水系溶剤の洗浄蒸気により蒸気洗浄を可能とした蒸気洗浄槽を洗浄槽に連接したものであっても良い。
【００１１】
また洗浄槽には、加熱手段を設けた内部に非水系溶剤を収納し、加熱手段によって発生した非水系溶剤の洗浄蒸気を洗浄槽に供給可能とした蒸気発生槽を連接したものであっても良い。
【００１２】
また  蒸気洗浄槽及び蒸気発生槽は、内部に非水系溶剤とともに純水を収納し、この純水の層にて非水系溶剤の液面を被覆したものであっても良い。これにより、蒸気洗浄槽及び蒸気発生槽内において非水系溶剤と純水とが完全に分離して非水系溶剤の層が下側に位置し、純水の層がこの非水系溶剤の層の上側に位置するものとなる。そのため、純水の層によって非水系溶剤の液面が被覆されて、蒸気洗浄槽及び蒸気発生槽に収納した非水系溶剤の無駄な蒸発を防ぐことが可能となり、コストを低減することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は上述の如く構成したものであるから、純水よりも比重の大きい非水系溶剤と純水とを洗浄槽に収納した場合には、非水系溶剤と純水とが完全に分
離して非水系溶剤の層が下側に位置し、純水の層がこの非水系溶剤の層の上側に位置するものとなる。そのため、純水の層によって非水系溶剤の液面が被覆されることから、洗浄槽に収納した非水系溶剤の無駄な蒸発を防ぐことが可能となり、コストを低減することができる。
【００１４】
また上記の如く、純水と非水系溶剤とがそれぞれ上層と下層との二層に完全に分離することから、浸漬洗浄の完了に伴って被洗浄物を純水の層を通過させて純水の液面よりも上方に移動させた際に、被洗浄物に純水が付着した状態となる。そのため、このように表面に純水が付着した被洗浄物に非水系溶剤を噴射することにより、この純水を非水系溶剤とともに流下させて除去することが可能となる。また洗浄槽内に収納する水として、極めて不純物が少ない純水を使用しているため、この純水が被洗浄物に付着してもシミが発生しにくいものとなる。従って、洗浄後に被洗浄物の表面に水分によるシミが付着する等の問題が生じにくいものとなる。
【００１５】
また本発明は、既存の洗浄槽に非水系溶剤を噴射させる機構を付加するか、あるいは新たに洗浄装置を設ける場合でも洗浄槽と噴射機構という簡易な構成によって行うことができるため、コストを低く抑えることが可能であり経済的である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本願の第１、２発明を示す実施例１の概念図。
【図２】本願の第１、２発明を示す実施例２の蒸気洗浄時の概念図。
【図３】実施例２の浸漬洗浄時の概念図。
【実施例１】
【００１７】
本発明の実施例１を図１に於いて説明すると、（１）は作業槽であって、この作業槽(1)の底部側に、洗浄槽(2)と蒸気洗浄槽(3)とを連接して設けるとともに、開口部(4)側内周には冷却コイル(5)を備え、この冷却コイル(5)により作業槽(1)内の洗浄蒸気(6)の凝縮等を可能としている。また洗浄槽(2)には非水系溶剤(7)と純水(8)とを収納している。このように洗浄槽(2)内に非水系溶剤(7)と純水(8)とを収納することにより、非水系溶剤(7)と純水(8)とが分離して、図１に示す如く非水系溶剤(7)の液面上に純水(8)の層が被覆された状態となる。ここで、本発明で使用する非水系溶剤(7)は純水(8)よりも比重の大きいものであって、例えばフロン代替溶剤としてすでに公知であるＨＦＥ(ハイドロフルオロエーテル)やＨＦＣ(ハイドロフルオロカーボン)等が挙げられる。
【００１８】
また上記作業槽(1)には、連通管(10)と噴射ノズル(11)とを備えた噴射機構(12)を設けている。即ち図１に示す如く、この噴射機構(12)の連通管(10)の一端(13)を洗浄槽(2)の底部側に連通するよう接続するとともに、他端(14)を洗浄槽(2)の上方に接続配置するとともに、この他端(14)に噴射ノズル(11)を設けている。尚、この連通管(10)にはポンプ(15)とフィルター(16)とを介在させている。
【００１９】
また、蒸気洗浄槽(3)には非水系溶剤(7)を収納するとともに、この蒸気洗浄槽(3)の底部側には、この蒸気洗浄槽(3)に収納した非水系溶剤(7)を加熱するための加熱手段(17)であるヒーターと、非水系溶剤(7)の加熱温度を制御するための温度センサー(18)とを設けている。尚、本実施例では蒸気洗浄槽(3)内には非水系溶剤(7)のみを収納しているが、他の異なる実施例ではこれに限らず、非水系溶剤(7)とともに純水を収納し、上記洗浄槽(2)と同様に非水系溶剤(7)の液面上に純水の層を被覆配置して、蒸気洗浄槽(3)内の非水系溶剤(7)の無駄な蒸発を防いでコストを低減することも可能である。
【００２０】
また、作業槽(1)の蒸気洗浄槽(3)側にはプールタンク(20)を接続しており、蒸気洗浄槽(3)内で発生した洗浄蒸気(6)を冷却コイル(5)にて凝縮した後に、回収した凝縮液をこのプールタンク(20)に回収可能としている。さらに、プールタンク(20)と洗浄槽(2)との間に還流路(24)を設け、プールタンク(20)に回収した凝縮液を、この還流路(24)を通じて再び洗浄槽(2)内に還流可能としている。
【００２１】
また、上記洗浄槽(2)には、下端開口部(23)を洗浄槽(2)の底部側に配置するとともに先端開口部(25)を蒸気洗浄槽(3)内に配置した流通管(22)を設けている。このような流通管(22)を設けることにより、洗浄槽(2)内の非水系溶剤(7)のみを、この流通管(22)を通じて蒸気洗浄槽(3)内に移送することができる。
【００２２】
上記の如く構成したものにおいて被洗浄物(21)の洗浄方法について以下に説明する。尚、この蒸気洗浄の開始前には、上記の如く洗浄槽(2)に非水系溶剤(7)と純水(8)とを収納するとともに、蒸気洗浄槽(3)内に非水系溶剤(7)を予め収納しておく。このように洗浄槽(2)内に非水系溶剤(7)と純水(8)とを収納することにより、洗浄槽(2)内において図１に示す如く下層を非水系溶剤(7)、上層を純水(8)とする二層に分離するものとなる。そのため、洗浄槽(2)内の非水系溶剤(7)の液面が純水(8)の層によって完全に被覆されるものとなることから、この純水(8)の層によって非水系溶剤(7)の無駄な蒸発を防ぐことが可能となり、コストを低減することができる。
【００２３】
そして、適宜の移動機構(図示せず。)により、図１の一点鎖線に示す如く被洗浄物(21)を蒸気洗浄槽(3)に収納した非水系溶剤(7)の液面に臨ませて配置する。そして、洗浄槽(2)内に設けた加熱手段(17)により非水系溶剤(7)を加熱し、図１に示す如く作業槽(1)内に洗浄蒸気(6)を発生させて被洗浄物(21)の蒸気洗浄を行う。
【００２４】
そして上記の如く蒸気洗浄を行った後、適宜の移動機構(図示せず。)によって図１の二点鎖線に示す如く被洗浄物(21)を洗浄槽(2)の非水系溶剤(7)中に浸漬して浸漬洗浄を行う。そしてこの浸漬洗浄が終了すると、上記移動機構によって被洗浄物(21)を非水系溶剤(7)中から図１の実線に示す如く噴射機構(12)の噴射ノズル(11)の下方まで引き上げる。ここで、洗浄槽(2)内の非水系溶剤(7)の表面に純水(8)の層が被覆した状態であるため、引き上げの際に被洗浄物(21)の表面に純水(8)が付着するものとなる。
【００２５】
そこで、浸漬洗浄後に被洗浄物(21)を引き上げた後、図１に示す如く噴射機構(12)の噴射ノズル(11)から非水系溶剤(7)を被洗浄物(21)に噴射する。即ち、連通管(10)に設けたポンプ(15)を作動することにより、洗浄槽(2)内に収納した非水系溶剤(7)が連通管(10)内に流入して連通管(10)の他端(14)まで移動し、この連通管(10)の他端(14)に設けた噴射ノズル(11)から非水系溶剤(7)が被洗浄物(21)に噴射される。これにより、被洗浄物(21)に付着していた純水(8)が噴射された非水系溶剤(7)によって洗浄槽(2)内に流し落とされ除去されるものとなる。尚、流し落とされた純水(8)は、噴射された非水系溶剤(7)とともに洗浄槽(2)の底部側に貯留され、次の浸漬洗浄に再利用可能となる。
【００２６】
上記の如く、非水系溶剤(7)を噴射させて被洗浄物(21)に付着した純水(8)を取り除くことにより、被洗浄物(21)に付着した純水(8)を流し落とすことが可能となる。また洗浄槽(2)内には、被洗浄物(21)に付着してもシミが発生しにくい極めて不純物が少ない純水(8)を収納している。従って、洗浄後に被洗浄物(21)の表面に水分によるシミが付着する等の問題が生じにくいものとなる。また、上記の如く構成した洗浄装置は、既存の洗浄槽(2)に非水系溶剤(7)を噴射させる機構を付加するか、あるいは新たに装置を設ける場合でも洗浄槽(2)と噴射機構(12)という簡易な構成によって本発明の洗浄方法を行うことができるため、コストを低く抑えることが可能であり経済的である。
【実施例２】
【００２７】
上記実施例１では作業槽(1)の底部側に洗浄槽(2)と蒸気洗浄槽(3)とを並列に設けているが、本実施例２は図２に示す如く、洗浄槽(31)に蒸気発生槽(32)を接続して成るものである。本実施例２について図２、３にて説明すると、洗浄槽(31)の開口部(33)側内周には冷却コイル(34)を備え、この冷却コイル(34)により洗浄槽(31)内の洗浄蒸気(35)の凝縮等を可能としている。
【００２８】
またこの洗浄槽(31)の底部側の液貯留部(36)には非水系溶剤(37)と純水(38)とを収納している。このように洗浄槽(31)の液貯留部(36)内に非水系溶剤(37)と純水(38)とを収納することにより、非水系溶剤(37)と純水(38)とが分離して、図２に示す如く非水系溶剤(37)の液面上に純水(38)の層が被覆された状態となる。ここで、本発明で使用する非水系溶剤(37)は純水(38)よりも比重の大きいものであって、例えばフロン代替溶剤としてすでに公知であるＨＦＥ(ハイドロフルオロエーテル)やＨＦＣ(ハイドロフルオロカーボン)等が挙げられる。
【００２９】
またこの洗浄槽(31)には、連通管(40)と噴射ノズル(41)とを備えた噴射機構(42)を設けている。即ち図２に示す如く、この噴射機構(42)の連通管(40)の一端(43)を洗浄槽(31)の液貯留部(36)に連通するよう接続するとともに、他端(44)を洗浄槽(31)内の液貯留部(36)よりも上方に配置し、この他端(44)に噴射ノズル(41)を設けている。尚、この連通管(40)にはポンプ(45)とフィルター(46)とを介在させている。
【００３０】
また、上記の如く構成した洗浄槽(31)に隣接して非水系溶剤(37)の蒸気を発生させるための蒸気発生槽(32)を配置し、この蒸気発生槽(32)と洗浄槽(31)とを液貯留部(36)の上方に設けた流通路(47)を介して連通可能に連接している。そして、この蒸気発生槽(32)に非水系溶剤(37)を収納するとともに、この蒸気発生槽(32)の底部側には、収納した非水系溶剤(37)を加熱するための加熱手段(48)であるヒーターと、非水系溶剤(37)の加熱温度を制御するための温度センサー(50)とを設けている。
【００３１】
またこの蒸気発生槽(32)には非水系溶剤(37)とともに純水(57)を収納し、図２に示す如く、上記洗浄槽(31)と同様に非水系溶剤(37)の液面上に純水(57)の層を被覆配置して、蒸気発生槽(32)内の非水系溶剤(37)の無駄な蒸発を防いでコストを低減している。
【００３２】
また、洗浄槽(31)にはプールタンク(51)を接続しており、洗浄槽(31)内で発生した洗浄蒸気(35)を冷却コイル(34)にて凝縮した後、凝縮液をプールタンク(51)にて回収可能としている。またプールタンク(51)と液貯留部(36)との間に還流路(55)を設け、プールタンク(51)にて回収した凝縮液を、この還流路(55)を通じて再び液貯留部(36)内に還流可能としている。
【００３３】
また、上記洗浄槽(31)には、下端開口部(54)を洗浄槽(31)の底部側に配置するとともに先端開口部(56)を蒸気発生槽(32)内に配置した流通管(53)を設けている。このような流通管(53)を設けることにより、洗浄槽(31)内の非水系溶剤(37)のみを、この流通管(31)を通じて蒸気発生槽(32)内に移送することができる。
【００３４】
上記の如く構成したものにおいて被洗浄物(52)の洗浄方法について以下に説明する。尚、この蒸気洗浄の開始前には、上記の如く洗浄槽(31)の液貯留部(36)内に非水系溶剤(37)と純水(38)とを収納するとともに、蒸気発生槽(32)内に非水系溶剤(37)を予め収納しておく。このように液貯留部(36)内に非水系溶剤(37)と純水(38)とを収納することにより、洗浄槽(31)内において図２に示す如く下層を非水系溶剤(37)、上層を純水(38)とする二層に分離するものとなる。そのため、液貯留部(36)内の非水系溶剤(37)の液面が純水(38)の層によって完全に被覆されるものとなることから、この純水(38)の層によって非水系溶剤(37)の無駄な蒸発を防ぐことが可能となり、コストを低減することができる。
【００３５】
そして、適宜の移動機構(図示せず。)により、図２の実線にて示す如く被洗浄物(52)を洗浄槽(31)内の純水(38)の液面に臨ませて配置する。そして、蒸気発生槽(32)内に設けた加熱手段(48)によりこの蒸気発生槽(32)内の非水系溶剤(37)を加熱し、図２に示す如く蒸気発生槽(32)内に洗浄蒸気(35)を発生させる。これにより、蒸気発生槽(32)内に発生した洗浄蒸気(35)が流通路(47)を通じて洗浄槽(31)内に流入するものとなるため、この洗浄槽(31)内に流入した洗浄蒸気(35)により被洗浄物(52)の蒸気洗浄が行われる。
【００３６】
そして上記の如く蒸気洗浄を行った後、適宜の移動機構(図示せず。)によって被洗浄物(52)を洗浄槽(31)の非水系溶剤(37)中に移送し、図３の一点鎖線に示す如く被洗浄物(52)を非水系溶剤(37)中に浸漬して浸漬洗浄を行う。そしてこの浸漬洗浄が終了すると、上記移動機構によって図３の実線に示す如く、被洗浄物(52)を非水系溶剤(37)中から噴射機構(42)の噴射ノズル(41)の下方位置に移送する。ここで、この移送作業の際に、非水系溶剤(37)の表面に純水(38)の層が被覆しているため被洗浄物(52)に純水(38)が付着するものとなる。
【００３７】
そこで、上記の如く噴射ノズル(41)の下方位置に移送した被洗浄物(52)に、図３の矢印に示す如く噴射機構(42)の噴射ノズル(41)から非水系溶剤(37)を噴射して純水(38)の除去作業を行う。即ち、連通管(40)に設けたポンプ(45)を作動することにより、洗浄槽(31)内の非水系溶剤(37)が連通管(40)内を通じて連通管(10)の他端(44)まで移動し、この他端(44)の噴射ノズル(41)から被洗浄物(52)に向けて噴射される。これにより、被洗浄物(52)に付着していた純水(38)が、噴射ノズル(41)から噴射された非水系溶剤(37)とともに流下して洗浄槽(31)内に流し落とされて、被洗浄物(52)の表面から除去されるものとなる。尚、流し落とされた純水(38)は、噴射された非水系溶剤(37)とともに液貯留部(36)に貯留されるものとなるため、次の浸漬洗浄に再利用可能となる。
【００３８】
そして、上記の如く噴射ノズル(41)からの被洗浄物(52)への非水系溶剤(37)の噴射によって被洗浄物(52)の表面に付着した純水(38)を除去した後、上記移動機構にて図２の二点鎖線に示す如く被洗浄物(52)を噴射ノズル(41)位置よりもさらに上方に引き上げて自熱乾燥を行う。これにより、被洗浄物(52)の洗浄が完了する。
【００３９】
上記の如く、非水系溶剤(37)を噴射させて被洗浄物(52)に付着した純水(38)を取り除くことにより、被洗浄物(52)に付着した純水(38)を流下させて除去することが可能となる。また洗浄槽(31)の液貯留部(36)内には、被洗浄物(52)に付着してもシミが発生しにくい極めて不純物が少ない純水(38)を収納している。従って、洗浄後に被洗浄物(52)の表面に水分によるシミが付着する等の問題が生じにくいものとなる。また、上記の如く構成した洗浄装置は、既存の洗浄槽(31)に非水系溶剤(37)を噴射させる機構を付加するか、あるいは新たに装置を設ける場合でも洗浄槽(31)と噴射機構(42)という簡易な構成によって本発明の洗浄方法を行うことができるため、コストを低く抑えることが可能であり経済的である。
【符号の説明】
【００４０】
２、３１  洗浄槽
３        蒸気洗浄槽
６、３５  洗浄蒸気
７、３７  非水系溶剤
８、３８、５７  純水
１０、４０  連通管
１１，４１  噴射ノズル
１２、４２  噴射機構
１７、４８  加熱手段
２１、５２  被洗浄物
３２        蒸気発生槽
【図１】
2018187593.tif 000003
【図２】
2018187593.tif 000004
【図３】
2018187593.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成29年7月6日(2017.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は上述の如く構成したものであるから、純水よりも比重の大きい非水系溶剤と純水とを洗浄槽に収納した場合には、非水系溶剤と純水とが完全に分離して非水系溶剤の層が下側に位置し、純水の層がこの非水系溶剤の層の上側に位置するものとなる。そのため、純水の層によって非水系溶剤の液面が被覆されることから、洗浄槽に収納した非水系溶剤の無駄な蒸発を防ぐことが可能となり、コストを低減することができる。