(57)【要約】【課題】レーザ光線の光路内の硫酸アンモニウムの生成を抑えて、板状ワークを良好に加工すること。【解決手段】レーザ加工装置（１）は、レーザ光線（Ｌ）を発振するレーザ発振器（２１）と、レーザ光線を集光する集光器（４１）と、レーザ発振器と集光器との間に配設される光学部品（５１、５２、５３、５４）のうち少なくとも集光器と光学部品とを収容するボックス（６１、６２）と、ボックス内の既存の気体のアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度を低下させる気体を該ボックス内に供給する供給手段（７）とを備え、供給手段は、ボックスに配設する供給口（７１、７２）と、供給口と気体供給源（８１）とを連通する供給管（７３、７４、７７）と、ボックス内から排気する排気口（７５、７６）とを備え、ボックス内のアンモニア成分、硫黄成分および水分のうち少なくとも１つの濃度を低下させる構成とした。【選択図】図１
2018065156.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークにレーザ光線を集光照射させ加工するレーザ加工装置であって、
レーザ光線を発振するレーザ発振器と、該レーザ発振器が発振したレーザ光線を集光する集光器と、該レーザ発振器と該集光器との間に配設される光学部品のうち少なくとも該集光器と該光学部品とを収容するボックスと、該ボックス内の既存の気体のアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度を低下させる気体を該ボックス内に供給する供給手段とを備え、
該供給手段は、該ボックスに配設する供給口と、該供給口と気体供給源とを連通する供給管と、該ボックス内から排気する排気口とを備え、
該ボックス内のアンモニア成分、硫黄成分および水分のうち少なくとも１つの濃度を低下させて、レーザ光線による硫酸アンモニウムの生成を抑えレーザ光線の出力低下を抑えることを特徴とするレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークをレーザ加工するレーザ加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来レーザ加工装置として、サファイア基板上に光デバイス層としてＧａＮ層が形成された板状ワークをレーザリフトオフ加工するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。レーザリフトオフ加工では、サファイア基板とＧａＮ層との界面がレーザ加工されることによりサファイア基板が剥離され、光デバイス層が移設基板に移し替えられる。レーザリフト加工で使用されるレーザ加工装置では、レーザ発振器から発振されるレーザ光線が、複数のミラーやレンズを経て最終的にガルバノスキャナとｆθレンズとで加工点に集光される。レーザ光線は、ガルバノスキャナによりＸ方向に走査され、ｆθレンズによりサファイア基板とＧａＮ基板との界面に集光される。そして、板状ワークを保持する保持テーブルが移動することで、界面が面状に加工される。また、一対のガルバノスキャナを同時に走査することで、界面が渦巻状に加工される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５７６６５３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、レーザ加工装置の空気中には、微量ながらアンモニアをはじめとするアンモニア成分や二酸化硫黄をはじめとする硫黄成分が存在している。これらの成分を構成するイオンはレーザ光線によって反応が促進されるため、レーザ発振器からｆθレンズまでのレーザ光線の光路内で硫酸アンモニウムが生成される場合がある。生成された硫酸アンモニウムは光学部品に付着し、レンズの透過率やミラーの反射率を低下させ、板状ワークに加工不良を発生させる問題がある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、レーザ光線の光路内における硫酸アンモニウムの生成を抑えて、板状ワークを良好に加工できるレーザ加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様のレーザ加工装置は、板状ワークにレーザ光線を集光照射させ加工するレーザ加工装置であって、レーザ光線を発振するレーザ発振器と、レーザ発振器が発振したレーザ光線を集光する集光器と、レーザ発振器と集光器との間に配設される光学部品のうち少なくとも集光器と光学部品とを収容するボックスと、ボックス内の既存の気体のアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度を低下させる気体をボックス内に供給する供給手段とを備え、供給手段は、ボックスに配設する供給口と、供給口と気体供給源とを連通する供給管と、ボックス内から排気する排気口とを備え、ボックス内のアンモニア成分、硫黄成分および水分のうち少なくとも１つの濃度を低下させて、レーザ光線による硫酸アンモニウムの生成を抑えレーザ光線の出力低下を抑える。
【０００７】
この構成によれば、供給手段によりボックス内に、既存の気体のアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度を低下させる気体が供給される。すなわち、ボックス内の空気中において硫酸アンモニウムの生成因子の濃度が低下される。これにより、レーザ光線が発振されてもこれらの物質が互いに反応することが抑えられ、レーザ発振器から集光器までの光路内で硫酸アンモニウムが生成することが抑えられる。このため、レーザ発振器、集光器及び光学部品等に硫酸アンモニウムが付着することが抑えられ、板状ワークが良好にレーザ加工される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、レーザ光線の光路内における硫酸アンモニウムの生成を抑えて、板状ワークを良好に加工できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態に係るレーザ加工装置の概略構成図である。
【図２】本実施の形態に係るレーザ加工装置の加工動作の一例を示す図である。
【図３】ドライエアを供給の有無によるレーザの出力変化を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係るレーザ加工装置について説明する。図１は、本実施の形態に係るレーザ加工装置の概略構成図である。図１に示すように、レーザ加工装置１は、レーザ加工手段２でレーザ光線Ｌを板状ワークＷに集光照射させながら、レーザ加工手段２と板状ワークＷを保持する保持テーブル３とを相対移動させて板状ワークＷを加工するように構成されている。
【００１１】
図１に示すように、レーザ加工手段２は、後述する光学部品が収容される固定ボックス６１と、固定ボックス６１の下方に配置される可動ボックス６２とを備えており、固定ボックス６１と可動ボックス６２とは伸縮可能な蛇腹状の連結部材６３で連結されている。固定ボックス６１と連結部材６３との間はカバーガラス６４で仕切られており、可動ボックス６２と連結部材６３とは連通している。可動ボックス６２の一部は加工ヘッド部６２ａを形成しており、加工ヘッド部６２ａの下方には、保持テーブル３が設置されている。可動ボックス６２の側壁にはナット部６２ｂが設けられており、ナット部６２ｂは昇降手段９１のボールネジ９１ｂが螺合されている。昇降手段９１のボールネジ９１ｂの一端部に連結された駆動モータ９１ａによりボールネジ９１ｂが回転駆動されると、可動ボックス６２はＺ軸方向に移動される。固定ボックス６１及び可動ボックス６２にはそれぞれ、供給口７１、７２と、排気口７５、７６が設けられている。
【００１２】
固定ボックス６１内にはレーザ光線Ｌを発振するレーザ発振器２１が備えられており、カバーガラス６４付近には第１のミラー５３がレーザ発振器２１に対して水平方向で対向して配設されている。また、可動ボックス内６２には第２のミラー５４が第１のミラー５３の下方に配置されるように設けられている。加工ヘッド部６２ａ内には一対のガルバノスキャナ５１、５２が備えられ、ガルバノスキャナ５１、５２の下方には集光器としてのｆθレンズ４１が配設されている。レーザ発振器２１から発振されたレーザ光線Ｌは、固定ボックス６１内を直進して第１のミラー５３で反射され、カバーガラス６４を透過して、可動ボックス６２内に収容されている第２のミラー５４に向かう。レーザ光線Ｌは第２のミラー５４で反射されて可動ボックス６２内を直進し、加工ヘッド部６２ａ内の一対のガルバノスキャナ５１、５２に到達する。
【００１３】
ガルバノスキャナ５１には、ミラー５１ａが回転可能に設けられており、ガルバノスキャナ５２には、ミラー５２ａが回転可能に設けられている。一対のガルバノスキャナ５１、５２により、レーザ光線Ｌが保持テーブル３上の板状ワークＷに対して水平方向に走査される。一対のガルバノスキャナ５１、５２で２軸方向に走査されたレーザ光線Ｌはｆθレンズ４１に導かれ、保持テーブル３に保持された板状ウエーハＷに集光される。このように、レーザ発振器２１及び第１のミラー５３、第２のミラー５４、一対のガルバノスキャナ５１、５２、ｆθレンズ４１等の光学部品によってレーザ光線Ｌの光路が作られる。
【００１４】
板状ワークＷにおけるレーザ光線Ｌの焦光位置は、昇降手段９１により可動ボックス６２がＺ軸方向に移動されることで調整することができる。レーザ光線Ｌが板状ウエーハＷの所定位置に集光された状態で、保持テーブル３が移動手段（不図示）により水平方向に移動されることで、板状ワークＷは面状にレーザ加工される。また、保持テーブル３を固定し、一対のガルバノスキャナ５１、５２を同時に走査することにより、板状ワークＷは渦巻状にレーザ加工される。
【００１５】
ところで、各ボックスのエア中には微量のアンモニア（ＮＨ３）をはじめとするアンモニア成分や二酸化硫黄（ＳＯ２）はじめとする硫黄成分が含まれており、レーザ光線によりこれらの反応が促進されると、硫酸アンモニウム（（ＮＨ４）２ＳＯ４）が生成される。ここで、硫酸アンモニウムの生成反応について簡単に説明する。
【００１６】
ボックスのエア中に、微量の二酸化硫黄（ＳＯ２）やアンモニア（ＮＨ３）が存在している場合、式（１）に示すように、二酸化硫黄はレーザ光線の紫外光（ｈｖ）により励起され、活性化した状態となる。
ＳＯ２  ＋  ｈｖ  →  ＳＯ２（活性状態）    （１）
式（２）に示すように、活性化した二酸化硫黄はエア中の酸素（Ｏ２）と反応して三酸化硫黄（ＳＯ３）となり、式（３）に示すように、三酸化硫黄がエア中の水分（Ｈ２Ｏ）と反応することにより硫酸（Ｈ２ＳＯ４）が生成される。
２ＳＯ２（活性状態）  ＋  Ｏ２  →  ２ＳＯ３    （２）
ＳＯ３  ＋  Ｈ２Ｏ  →  Ｈ２ＳＯ４    （３）
【００１７】
一方で、式（４）に示すように、アンモニア（ＮＨ３）がエア中の水分（Ｈ２Ｏ）と反応することにより、水酸化アンモニウム（ＮＨ４ＯＨ）が生成される。
ＮＨ３  ＋  Ｈ２Ｏ  →  ＮＨ４ＯＨ    （４）
【００１８】
式（３）で生成された硫酸と、式（４）で生成された水酸化アンモニウムが反応することにより、式（５）に示すように硫酸アンモニウム（（ＮＨ４）２ＳＯ４）が生成される。
Ｈ２ＳＯ４  ＋  ２ＮＨ４ＯＨ  →  （ＮＨ４）２ＳＯ４  ＋  ２Ｈ２Ｏ    （５）
このように硫酸の硫酸イオン（ＳＯ４２−）と、水酸化アンモニウムのアンモニウムイオン（ＮＨ４＋）とが反応すると、硫酸アンモニウム（（ＮＨ４）２ＳＯ４）が生成される。
【００１９】
レーザ光線の紫外光によって二酸化硫黄が活性化されることにより（式（１）参照）、式（２）及び式（３）の反応が促進されて硫酸イオンが生成され、式（５）の反応が促進される。このため、レーザ発振器からｆθレンズまでのレーザ光線の光路内では、硫酸アンモニウムが生成されると、生成された硫酸アンモニウムがボックス内に収容されているミラーやレンズ等の光学部品に付着するおそれがある。これにより、レーザ光線のミラーの反射率やレンズの透過率が低下し、板状ワークに照射されるレーザ光線の出力が低下されることで、板状ワークの加工不良が発生する問題がある。
【００２０】
また、アンモニア（ＮＨ３）は人体、エアコンやコンクリートなどから発生される物質であるため、クリーンルームであっても完全に除外されない場合がある。ボックス内の硫黄成分を低濃度に保つことはできても、エア中にアンモニアが高濃度で存在すれば、硫酸アンモニウムの生成を完全に防ぐことはできない。本実施の形態においては、レーザ光線の光路をボックスで囲い、供給手段を用いてボックス内のエア（空気）中において硫酸アンモニウムの生成因子の濃度を低下させることにより、レーザ光線の光路内で硫酸アンモニウムが生成することを抑える。
【００２１】
以下、本実施の形態に係る供給手段７の構成について詳細に説明する。上述の通り、固定ボックス６１には、下面に供給口７１が配設され、上面に排気口７５が配設されている。供給口７１は供給管７３、７７を介して気体供給源８１に連通されており、供給管７３と供給管７７との間にはフィルタ８２が配設されている。供給口７１、供給管７３、７７及び排気口７５とで供給手段７が構成されている。気体供給源８１から供給されたエアは、フィルタ８２を通って供給口７１に供給される。フィルタ８２を通ることでアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が固定ボックス６１内に元から存在していたエアよりも大幅に低下される。固定ボックス６１内の既存の気体のアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が低下されたエアは供給口７１から固定ボックス６１内に供給されると共に、固定ボックス６１内を通って排気口７５から排気される。ここで、既存の気体とは、供給手段７によりアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が低下されたエアが供給される前の、固定ボックス６１内の気体をいうものとする。固定ボックス６１内に元から存在していたエアは、アンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が大幅に低下されたエアにより排気口７５から追い出される。これにより、固定ボックス６１内のエアは、アンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が低下される。このため、レーザ光線Ｌによるアンモニア成分と硫黄成分の反応促進が抑えられ、硫酸アンモニウムの生成が抑えられる（式（５）参照）。
【００２２】
また、可動ボックス６２には、下面に供給口７２が配設され、上面に排気口７６が配設されている。供給口７２は供給管７４、７７を介して気体供給源８１に連通されており、供給管７４と供給管７７との間にはフィルタ８２が配設されている。供給口７２、供給管７４、７７及び排気口７６とで供給手段７が構成されている。気体供給源８１から供給されたエアはフィルタ８２を通ることにより、アンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が可動ボックス６２及び連結部材６３内に元から存在していたエアよりも大幅に低下される。可動ボックス６２及び可動ボックス６２に連通する連結部材６３内の既存の気体のアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が大幅に低下されたエアは供給口７２から可動ボックス６２及び連結部材６３内に供給されると共に、排気口７６から排気される。ここで、既存の気体とは、供給手段７によりアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が低下されたエアが供給される前の、可動ボックス６２及び連結部材６３内の気体をいうものとする。可動ボックス６２及び連結部材６３内に元から存在していたエアは、アンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が大幅に低下されたエアにより排気口７６から追い出される。これにより、可動ボックス６２内及び連結部材６３内のエアは、アンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が大幅に低下され、硫酸アンモニウムの生成が抑えられる。
【００２３】
固定ボックス６１、可動ボックス６２及び連結部材６３内のアンモニア成分の濃度は、レーザ光線の出力低下を抑える観点から供給手段７により１０ｐｐｂｖ以下に維持されることが好ましく、レーザ光線の出力低下の影響を完全に抑える観点から５ｐｐｂｖ以下に維持されることがより好ましい。硫黄成分の濃度は、レーザ光線の出力低下を抑える観点から２ｐｐｂｖ以下に維持されることが好ましく、レーザ光線の出力低下の影響を完全に抑える観点から１ｐｐｂｖ以下に維持されることがより好ましい。
【００２４】
フィルタ８２としては、例えば、物理吸着及び化学吸着により通過気体中の酸性、塩基性ガスを捕集するケミカルフィルタを用いることができる。また、排気口７５、７６からのエアの排気量は絞り弁９５、９６で調整することができる。
【００２５】
次に、レーザ加工装置１の加工動作について詳細に説明する。図２は、本実施の形態に係るレーザ加工装置の加工動作の一例を示す図である。図２において破線の矢印はエアの流れを示している。板状ワークＷが保持テーブル３に載置されると、気体供給源８１からエアが供給され、エアは供給管７７を通ってフィルタ８２を通過する。このとき、フィルタ８２により、エアに微量に含まれるアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が大幅に低下される。
【００２６】
アンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が大幅に低下されたエアは供給管７３を通って供給口７１から固定ボックス６１内に供給され、固定ボックス６１内に広がり排気口７５から排気される。また、供給管７４を通って供給口７２から可動ボックス６２及び可動ボックス６２に連通する連結部材６３内に供給され、可動ボックス６２及び連結部材６３内に広がり排気口７６から排気される。これにより、レーザ発振器２１並びに第１のミラー５３、第２のミラー５４、一対のガルバノスキャナ５１、５２及びｆθレンズ４１の光学部品が収容される固定ボックス６１、可動ボックス６２及び連結部材６３内のエアがアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が大幅に低下される。
【００２７】
固定ボックス６１、可動ボックス６２及び連結部材６３内においてアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が大幅に低下された状態で、レーザ発振器２１からレーザ光線Ｌが発振される。レーザ光線Ｌは固定ボックス６１、可動ボックス６２及び連結部材６３内に収容されるレーザ発振器２１並びに第１のミラー５３、第２のミラー５４、一対のガルバノスキャナ５１、５２及びｆθレンズ４１で作られる光路を通って保持テーブル３の板状ワークＷに集光照射される。保持テーブル３が水平方向に移動されることで、板状ワークＷは面状にレーザ加工される。また、保持テーブル３を固定し、一対のガルバノスキャナ５１、５２を同時に走査することにより、板状ワークＷは渦巻状にレーザ加工される。渦巻状にレーザ加工する際、外周部から中心に向かうように加工するのが良い。
【００２８】
レーザ加工条件として、例えば、下記の条件が挙げられる。
例１）
光源：ＹＡＧレーザ
波長：２５７．５ｎｍまたは２６６ｎｍ
繰り返し周波数：２００ｋＨｚ
出力：１．０Ｗ
パルス幅：２０ｐｓ
スポット径：５０μｍ
ピッチ間隔：２０μｍ
例２）
光源：エキシマーレーザ
波長：１９３ｎｍまたは２４８ｎｍ
繰り返し周波数：５０ｋＨｚ
出力：０．０５Ｗ
パルス幅：１０ｎｓ
スポット径：４００μｍ
ピッチ間隔：２００μｍ
レーザ加工時、板状のワークＷを加熱することで、加工性を向上することができる。加熱温度は、５０〜２００℃が好ましい。レーザ加工後の板状ワークＷは、超音波振動を付与することで、剥離しても良い。また板状ワークＷの側面から、鋭利な刃物を入れたり、またドライエアなどを吹き付けることで、剥離しても良い。
【００２９】
レーザ加工装置１では、レーザ光線Ｌの光路を固定ボックス６１、可動ボックス６２及び可動ボックス６２に連通する連結部材６３により囲っている。そして、レーザ発振器２１からレーザ光線Ｌが発振されている間、供給手段７により、固定ボックス６１、可動ボックス６２及び連結部材６３内の既存のエアよりもアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度を大幅に低下させるようにエアを供給して、硫酸アンモニウムの生成因子の濃度が大幅に低下された状態に維持する。これにより、硫酸アンモニウムの生成因子である硫黄成分である二酸化硫黄（式（１）から式（３）参照）の濃度を大幅に低下させることができる。さらに、人体、エアコンやコンクリートなどからから発生されるアンモニア成分の濃度も大幅に低下させることができる。よって、レーザ光線Ｌが発振されても硫酸アンモニウムの生成反応が進まないため、レーザ発振器２１からｆθレンズ４１までのレーザ光線Ｌの光路内で硫酸アンモニウムが生成することが抑えられる。よって、レーザ発振器２１並びに第１のミラー５３、第２のミラー５４、一対のガルバノスキャナ５１、５２、及びｆθレンズ４１等の光学部品に硫酸アンモニウムが付着することが抑えられるため、板状ワークＷに照射されるレーザ光線Ｌの出力低下が抑えられる。
【００３０】
なお、固定ボックス６１、可動ボックス６２及び連結部材６３内へ供給されるエアの流量は、硫酸アンモニウムの生成因子が含まれない状態が維持できるように各ボックス６１、６２の容量に合わせて絞り弁９５、９６でそれぞれ調整することができる。
【００３１】
以上のように、供給手段７によりボックス６１、６２内に、既存の気体のアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度を低下させる気体が供給される。すなわち、ボックス６１、６２内の空気中において硫酸アンモニウムの生成因子の濃度が低下される。これにより、レーザ光線Ｌが発振されてもこれらの物質が互いに反応することが抑えられ、レーザ発振器２１から集光器４１までの光路内で硫酸アンモニウムが生成することが抑えられる。このため、レーザ発振器２１、集光器４１及び光学部品５１、５２、５３、５４等に硫酸アンモニウムが付着することが抑えられ、板状ワークＷが良好にレーザ加工される。
【００３２】
上記実施の形態においては、フィルタ８２によりアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度が低下される構成としたが、これに限定されない。アンモニア成分又は硫黄成分専用のフィルタを用いて、アンモニア成分又は硫黄成分の濃度が低下されることでも、硫酸アンモニウムの生成を抑えることができる。
【００３３】
また、上記実施の形態においては、供給手段７は、各ボックス６１、６２及び連結部材６３内にアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度を低下させた気体を供給する構成としたが、これに限定されない。供給手段７でアンモニア成分及び硫黄成分が除去されたエアを供給することにより、固定ボックス６１、可動ボックス６２及び可動ボックス６２に連通する連結部材６３内のエアが置換される構成としてもよい。供給手段７は、例えば、二酸化硫黄（ＳＯ２）、三酸化硫黄（ＳＯ３）及び硫酸（Ｈ２ＳＯ４）等の硫黄成分、アンモニア（ＮＨ３）及び水酸化アンモニウム（ＮＨ４ＯＨ）等のアンモニア成分、並びに水分（Ｈ２Ｏ）のうち少なくとも１つの濃度を低下させる構成であればよい。
【００３４】
また、供給手段７により水分が除去されたドライエアを供給することで、式（３）及び式（４）の反応を抑えることができ、式（５）の反応を進まなくすることができる。また、レーザ光線Ｌにより活性化された二酸化硫黄を、即座に固定ボックス６１、可動ボックス６２及び連結部材６３内から排気口７５、７６を介して排気することができる。これらにより、硫酸アンモニウムの生成を抑える効果を得ることができる。
【００３５】
図３に、ドライエアを供給の有無によるレーザ光線の出力変化を示す。図３において横軸は日数、縦軸はレーザ光線の出力を示している。図の丸形状のプロットは、固定ボックス６１、可動ボックス６２及び連結部材６３内にドライエアを供給した場合の出力変化であり、三角形状のプロットはドライエアを供給していない場合の出力変化である。図３から明らかなように、ドライエアを供給した場合は、日が経過しても出力がほとんど変化しなかった。一方、ドライエアを供給しない場合は、１週間で約６％出力が低下した。
【００３６】
また、固定ボックス６１、可動ボックス６２及び連結部材６３内のエアを窒素ガス（Ｎ２）又はアルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）等の不活性ガスを供給することでも、硫酸アンモニウムの生成因子が含まれない状態に維持することができる。このため、硫酸アンモニウムの生成を抑えることができる。この場合、フィルタ８２はレーザ加工装置１に備えられなくてもよい。
【００３７】
供給手段７は、各ボックス６１、６２内にアンモニア成分、硫黄成分及び水分のうち少なくとも１つの濃度を低下させた気体を供給し、アンモニア成分を１０ｐｐｂｖ以下にすることで、硫酸アンモニウムの生成を抑える効果を得ることができる。
【００３８】
また、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記各実施の形態を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
【００３９】
また、本発明の実施の形態は上記の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。
【００４０】
本実施の形態では、本発明を板状ワークをレーザ加工するレーザ加工装置に適用した構成について説明したが、光学部品が備えられる加工装置に適用することも可能である。また、本実施の形態では、本発明をレーザリフトオフの加工事例に適用した構成について説明したが、レーザリフトオフ以外にも、Ｌoｗ―ｋグルービングやフルカットなどの波長が３５５ｎｍの加工装置にも有用である。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
以上説明したように、本発明は、レーザ光線の光路内における硫酸アンモニウムの生成を抑えて、板状ワークを良好に加工できるという効果を有し、特に、板状ワークをレーザ加工するレーザ加工装置に有用である。
【符号の説明】
【００４２】
１  レーザ加工装置
７  供給手段
２１  レーザ発振器
４１  ｆθレンズ（集光器）
５１、５２  （一対の）ガルバノスキャナ（光学部品）
５３  第１のミラー（光学部品）
５４  第２のミラー（光学部品）
６１  固定ボックス
６２  可動ボックス
７１、７２  供給口
７３、７４、７７  供給管
７５、７６  排気口
８１  気体供給源
Ｌ  レーザ光線
Ｗ  板状ワーク
【図１】
2018065156.tif 000003
【図２】
2018065156.tif 000004
【図３】
2018065156.tif 000005