(57)【要約】      （修正有）【課題】引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を得るために好適に使用し得る重合体および当該重合体を含む重合体組成物を提供する。【解決手段】３，４−位に有機基を有してもよく、また３，４−位が環の一部を形成していてもよい、２，５−ジメチレンシクロペンタン構造単位とオキシアルキレンのα、ωー位に結合したエチレン基を有する構造単位および／またはオキシアルキレンのω位にアルキル基、α位にエチレン基を有する構造単位を有する重合体。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（Ｉ）で表される構造単位（Ａ）と、
下記一般式（ＩＩ）で表される構造単位（Ｂ）および／または下記一般式（ＩＩＩ）で表される構造単位（Ｃ）と、を有する、重合体。
【化１】
2018172558.tif 000050
〔式（Ｉ）中、ＸおよびＹは、それぞれ独立して、水素原子または有機基を表し、互いに結合して環を形成していてもよい。〕
【化２】
2018172558.tif 000051
〔式（ＩＩ）中、Ｒａは、炭素数２以上４以下のアルキレン基を表し、ｎは、２以上１００以下の整数である。なお、複数のＲａは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
【化３】
2018172558.tif 000052
〔式（ＩＩＩ）中、Ｒｂは、炭素数２以上４以下のアルキレン基を表し、Ｒ１は、水素原子またはアルキル基を表し、ｍは、２以上１００以下の整数である。なお、複数のＲｂは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
【請求項２】
前記Ｒａは、−ＣＨ２−ＣＨ２−、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表す、請求項１に記載の重合体。
【請求項３】
前記Ｒｂは、−ＣＨ２−ＣＨ２−、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表す、請求項１または２に記載の重合体。
【請求項４】
前記Ｒ１は、水素原子、メチル基、またはｎ−ブチル基を表す、請求項１から３の何れかに記載の重合体。
【請求項５】
重量平均分子量が５０００以上５００００以下である、請求項１から４の何れかに記載の重合体。
【請求項６】
前記重合体中の全構造単位における前記構造単位（Ｂ）および前記構造単位（Ｃ）の合計の割合が５質量％以上５０質量％以下である、請求項１から５の何れかに記載の重合体。
【請求項７】
前記構造単位（Ａ）が極性基を有する、請求項１から６の何れかに記載の重合体。
【請求項８】
前記構造単位（Ａ）が、プロトン性極性基を有する構造単位Ａ１および／またはプロトン性極性基以外の極性基を有する構造単位Ａ２を含む、請求項１から７の何れかに記載の重合体。
【請求項９】
前記構造単位（Ａ）が、下記一般式（ＩＶ）で表される構造単位（Ｄ）および／または下記一般式（Ｖ）で表される構造単位（Ｅ）を含む、請求項１から８の何れかに記載の重合体。
【化４】
2018172558.tif 000053
【化５】
2018172558.tif 000054
【請求項１０】
請求項１から９の何れかに記載の重合体と、架橋剤と、溶剤とを含む、重合体組成物。
【請求項１１】
感光剤をさらに含む、請求項１０に記載の重合体組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、重合体および重合体組成物に関し、特には、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を得るために好適に使用し得る重合体および当該重合体を含む重合体組成物に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、環状オレフィンモノマーをメタセシス重合して得られる架橋環状オレフィン樹脂膜の開発がなされているが（例えば、特許文献１および２参照）、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜は見出されておらず、このような樹脂膜の開発が強く求められていた。
従来、環状オレフィンモノマーをメタセシス重合して得られる開環重合体およびその水素化物が、様々な用途に使用されている（例えば、特許文献１〜３参照）。具体的には、例えば特許文献１〜２には、プリント配線基板の配線層を絶縁する電気絶縁材料として、環状オレフィンモノマーを２以上の重合性不飽和結合を有する架橋剤の存在下でメタセシス重合して得られる架橋環状オレフィン樹脂（開環重合体）を使用することが開示されている。また、例えば特許文献３には、表示素子、集積回路素子、固体撮像素子、カラーフィルター、ブラックマトリックス等の電子部品の製造等に使用し得る樹脂膜として、環状オレフィンモノマーをメタセシス重合して得られる開環重合体の水素化物と、光酸発生剤などの感光剤とを含む重合体組成物を用いて形成した、アルカリ現像特性に優れる樹脂膜が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１０１４４７号公報
【特許文献２】特開２０１４−１００８４９号公報
【特許文献３】国際公開第２０１５／１４１７１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１〜３に記載の開環重合体およびその水素化物などの従来の重合体には、重合体を用いて形成される樹脂膜の引張弾性率、現像性および引張伸びの全てを高い次元で並立させるという点において改善の余地があった。
【０００５】
そこで、本発明は、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を得るために好適に使用し得る重合体および当該重合体を含む重合体組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討を行った。そして、本発明者は、下記一般式（Ｉ）で表される構造単位（Ａ）と、下記一般式（ＩＩ）で表される構造単位（Ｂ）および／または下記一般式（ＩＩＩ）で表される構造単位（Ｃ）とを有する重合体が、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を得るために好適に使用し得ることを見出し、本発明を完成させた。
【化１】
2018172558.tif 000002
【化２】
2018172558.tif 000003
【化３】
2018172558.tif 000004
【０００７】
即ち、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の重合体は、下記一般式（Ｉ）で表される構造単位（Ａ）と、下記一般式（ＩＩ）で表される構造単位（Ｂ）および／または下記一般式（ＩＩＩ）で表される構造単位（Ｃ）と、を有することを特徴とする。
【化４】
2018172558.tif 000005
〔式（Ｉ）中、ＸおよびＹは、それぞれ独立して、水素原子または有機基を表し、互いに結合して環を形成していてもよい。〕
【化５】
2018172558.tif 000006
〔式（ＩＩ）中、Ｒａは、炭素数２以上４以下のアルキレン基を表し、ｎは、２以上１００以下の整数である。なお、複数のＲａは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
【化６】
2018172558.tif 000007
〔式（ＩＩＩ）中、Ｒｂは、炭素数２以上４以下のアルキレン基を表し、Ｒ１は、水素原子またはアルキル基を表し、ｍは、２以上１００以下の整数である。なお、複数のＲｂは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
上記一般式（Ｉ）で表される構造単位（Ａ）と、上記一般式（ＩＩ）で表される構造単位（Ｂ）および／または上記一般式（ＩＩＩ）で表される構造単位（Ｃ）と、を有する重合体は、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を得るために好適に使用し得る。
【０００８】
ここで、本発明の重合体は、前記Ｒａが、−ＣＨ２−ＣＨ２−、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表すことが好ましい。前記Ｒａが、−ＣＨ２−ＣＨ２−、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表す重合体は、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を確実に得るために好適に使用し得る。
【０００９】
また、本発明の重合体は、前記Ｒｂが、−ＣＨ２−ＣＨ２−、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表すことが好ましい。前記Ｒｂが、−ＣＨ２−ＣＨ２−、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表す重合体は、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を確実に得るために好適に使用し得る。
【００１０】
さらに、本発明の重合体は、前記Ｒ１が、水素原子、メチル基、またはｎ−ブチル基を表すことが好ましい。前記Ｒ１が、水素原子、メチル基、またはｎ−ブチル基を表す重合体は、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を確実に得るために好適に使用し得る。
【００１１】
ここで、本発明の重合体は、重量平均分子量が５０００以上５００００以下であることが好ましい。重量平均分子量が５０００以上５００００以下であれば、得られる樹脂膜の引張弾性率、引張伸び、および現像性のバランスを高く維持することができる。
【００１２】
また、本発明の重合体は、前記重合体中の全構造単位における前記構造単位（Ｂ）および前記構造単位（Ｃ）の合計の割合が５質量％以上５０質量％以下であることが好ましい。前記重合体中の全構造単位における前記構造単位（Ｂ）および前記構造単位（Ｃ）の合計の割合が５質量％以上５０質量％以下であれば、得られる樹脂膜の引張弾性率、引張伸び、および現像性のバランスを高く維持することができる。
【００１３】
ここで、本発明の重合体は、前記構造単位（Ａ）が極性基を有することが好ましい。前記構造単位（Ａ）が極性基を有すれば、得られる樹脂膜の現像性を向上させることができる。
【００１４】
また、本発明の重合体は、前記構造単位（Ａ）が、プロトン性極性基を有する構造単位Ａ１および／またはプロトン性極性基以外の極性基を有する構造単位Ａ２を含むことが好ましい。前記構造単位（Ａ）が、プロトン性極性基を有する構造単位Ａ１および／またはプロトン性極性基以外の極性基を有する構造単位Ａ２を含めば、得られる樹脂膜の現像性を向上させることができる。
【００１５】
さらに、本発明の重合体は、前記構造単位（Ａ）が、下記一般式（ＩＶ）で表される構造単位（Ｄ）および／または下記一般式（Ｖ）で表される構造単位（Ｅ）を含むことが好ましい。
【化７】
2018172558.tif 000008
【化８】
2018172558.tif 000009
前記構造単位（Ａ）が、上記一般式（ＩＶ）で表される構造単位（Ｄ）および／または上記一般式（Ｖ）で表される構造単位（Ｅ）を含む重合体は、引張弾性率がより低く、現像性および引張伸びにより優れた樹脂膜を得るために好適に使用し得る。
【００１６】
また、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の重合体組成物は、上述した重合体の何れかと、架橋剤と、溶剤とを含むことを特徴とする。上述した重合体の何れかと、架橋剤と、溶剤とを含有すれば、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を形成し得る。
【００１７】
ここで、本発明の重合体組成物は、感光剤をさらに含むことが好ましい。感光剤をさらに含めば、レジスト膜などとして有用な感光性を有する樹脂膜を形成し得る。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の重合体は、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を得るために好適に使用し得る。
また、本発明の重合体組成物によれば、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を形成することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
ここで、本発明の重合体は、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を得るために好適に使用することができる。そして、本発明の重合体組成物は、本発明の重合体を含み、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を形成するものである。
【００２０】
（重合体）
本発明の重合体は、下記の一般式（Ｉ）：
【化９】
2018172558.tif 000010
〔式（Ｉ）中、ＸおよびＹは、それぞれ独立して、水素原子または有機基を表し、互いに結合して環を形成していてもよい。〕
で表される構造単位（Ａ）と、
下記の一般式（ＩＩ）：
【化１０】
2018172558.tif 000011
〔式（ＩＩ）中、Ｒａは、炭素数２以上４以下のアルキレン基を表し、ｎは、２以上１００以下の整数である。なお、複数のＲａは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。
で表される構造単位（Ｂ）、および／または、
下記一般式（ＩＩＩ）：
【化１１】
2018172558.tif 000012
〔式（ＩＩＩ）中、Ｒｂは、炭素数２以上４以下のアルキレン基を表し、Ｒ１は、水素原子またはアルキル基を表し、ｍは、２以上１００以下の整数である。なお、複数のＲｂは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
で表される構造単位（Ｃ）と、を有する。
そして、本発明の重合体は、上記一般式（Ｉ）で表される構造単位（Ａ）と、上記一般式（ＩＩ）で表される構造単位（Ｂ）および／または上記一般式（ＩＩＩ）で表される構造単位（Ｃ）と、を有するので、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を形成することができる。
【００２１】
前記重合体の重量平均分子量は、５０００以上であることが好ましく、８０００以上であることがより好ましく、１５０００以上であることが特に好ましく、５００００以下であることが好ましく、３５０００以下であることがより好ましい。重量平均分子量が５０００以上５００００以下であれば、得られる樹脂膜の引張弾性率、引張伸び、および現像性のバランスを高く維持することができる。
【００２２】
＜構造単位（Ａ）＞
前記構造単位（Ａ）は、上記一般式（Ｉ）で表される構造単位であり、下記の一般式（Ｉ−１）で表される単量体（ａ）に由来する構造単位（環状オレフィンモノマー由来の構造単位）である。具体的には、構造単位（Ａ）は、単量体（ａ）を含む単量体組成物を開環メタセシス重合させた後、生成した開環メタセシス重合体の炭素−炭素二重結合を水素化した際に形成される構造単位である。また、重合体に含まれる構造単位（Ａ）は、１種であってもよく、２種以上であってもよい。
【化１２】
2018172558.tif 000013
〔式（Ｉ−１）中、ＸおよびＹは、それぞれ独立して、水素原子または有機基を表し、互いに結合して環を形成していてもよい。〕
【００２３】
ここで、式（Ｉ）および式（Ｉ−１）中のＸおよびＹにおける有機基としては、炭素数１〜２０の有機基であることが好ましく、炭素数１〜１０の有機基であることがより好ましい。
また、式（Ｉ）および式（Ｉ−１）中のＸおよびＹが互いに結合して形成され得る環としては、例えば、置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素環、置換基を有していてもよい脂肪族複素環、および、置換基を有してもよい二環構造（例えば、ＸおよびＹが互いに結合して二環構造を形成して、上記式（Ｉ−１）で表される単量体（ａ）が下記式（Ｉ−１−１）で表される化合物となる）が挙げられる。そして、脂肪族炭化水素環としては、特に限定されることなく、例えば、シクロブタン環、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、ノルボルナン環などが挙げられ、また、例えば、上記式（Ｉ−１）で表される単量体（ａ）が下記式（Ｉ−１−２）で表される化合物となる場合のように、脂肪族炭化水素環の一部に二重結合を有していてもよい。また、脂肪族複素環としては、特に限定されることなく、例えば、ピロリジン環、テトラヒドロフラン環、テトラヒドロチオフェン環などが挙げられる。更に、これらの環が有し得る置換基としては、特に限定されることなく、例えば、アルキル基、カルボキシル基、水酸基、ハロゲン原子、＝Ｏ、フェニル基、ベンジル基、トリル基などが挙げられる。
【化１２−１】
2018172558.tif 000014
【化１２−２】
2018172558.tif 000015
【００２４】
前記構造単位（Ａ）および単量体（ａ）は、得られる樹脂膜の現像性を向上させる観点から、極性基（プロトン性極性基および／またはプロトン性極性基以外の極性基）を有することが好ましく、重合体は、プロトン性極性基を有する構造単位Ａ１および／またはプロトン性極性基以外の極性基を有する構造単位Ａ２を含むことが好ましく、プロトン性極性基を有する構造単位Ａ１およびプロトン性極性基以外の極性基を有する構造単位Ａ２を含むことがより好ましい。即ち、式（Ｉ）および式（Ｉ−１）中の、Ｘおよび／またはＹで表される有機基、或いは、ＸおよびＹが互いに結合して形成する環は、極性基を有していることが好ましい。
【００２５】
＜＜極性基＞＞
極性基としては、極性をする官能基である限り、特に制限はなく、プロトン性極性基であっても、プロトン性極性基以外の極性基のいずれであってもよい。
【００２６】
−プロトン性極性基−
ここで、プロトン性極性基とは、周期律表第１５族又は第１６族に属する原子に水素原子が直接結合している原子団を含む基をいう。周期律表第１５族又は第１６族に属する原子のなかでも、周期律表第１５族又は第１６族の第１又は第２周期に属する原子が好ましく、より好ましくは酸素原子、窒素原子又は硫黄原子であり、特に好ましくは酸素原子である。
【００２７】
このようなプロトン性極性基の具体例としては、水酸基、カルボキシ基（ヒドロキシカルボニル基）、スルホン酸基、リン酸基等の酸素原子を有する極性基；第一級アミノ基、第二級アミノ基、第一級アミド基、第二級アミド基（イミド基）等の窒素原子を有する極性基；チオール基等の硫黄原子を有する極性基；などが挙げられる。これらの中でも、酸素原子を有するものが好ましく、より好ましくはカルボキシ基である。
【００２８】
−構造単位Ａ１−
構造単位Ａ１としては、例えば、以下に具体例を示すプロトン性極性基を有する環状オレフィンモノマーに由来する構造単位、などが挙げられる。
プロトン性極性基を有する環状オレフィンモノマーの具体例としては、例えば、（ｉ）２−ヒドロキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−メチル−２−ヒドロキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−カルボキシメチル−２−ヒドロキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−２−メトキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−２−エトキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−２−プロポキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−２−ブトキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−２−ペンチルオキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−２−ヘキシルオキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−２−シクロヘキシルオキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−２−フェノキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−２−ナフチルオキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−２−ビフェニルオキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−２−ベンジルオキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−２−ヒドロキシエトキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２，３−ジヒドロキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−メトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−エトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−プロポキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−ペンチルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−ヘキシルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−フェノキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−ナフチルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−ビフェニルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−ベンジルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−ヒドロキシエトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシカルボニル−３−ヒドロキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、３−メチル−２−ヒドロキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、３−ヒドロキシメチル−２−ヒドロキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、テトラシクロ［６．２．１．１３，６．０２，７］ドデカ−９−エン−４−カルボン酸、Ｎ−（ヒドロキシカルボニルメチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（ヒドロキシカルボニルエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（ヒドロキシカルボニルペンチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（ジヒドロキシカルボニルエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（ジヒドロキシカルボニルプロピル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（ヒドロキシカルボニルフェネチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−（４−ヒドロキシフェニル）−１−（ヒドロキシカルボニル）エチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（ヒドロキシカルボニルフェニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド等のカルボキシ基含有環状オレフィン；（ｉｉ）２−（４−ヒドロキシフェニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−メチル−２−（４−ヒドロキシフェニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ヒドロキシエチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−メチル−２−ヒドロキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２，３−ジヒドロキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−（ヒドロキシエトキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−メチル−２−（ヒドロキシエトキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−（１−ヒドロキシ−１−トリフルオロメチル−２，２，２−トリフルオロエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−（２−ヒドロキシ−２−トリフルオロメチル−３，３，３−トリフルオロプロピル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、Ｎ−（ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（ヒドロキシフェニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド等の水酸基含有環状オレフィン；などが挙げられる。
【００２９】
なお、構造単位Ａ１におけるプロトン性極性基の数に特に限定はなく、また、相異なる種類のプロトン性極性基が含まれていてもよい。
【００３０】
−プロトン性極性基以外の極性基−
プロトン性極性基以外の極性基としては、例えば、Ｎ−置換イミド基、エステル基、シアノ基、酸無水物基、ハロゲン原子、などが挙げられる。
【００３１】
−構造単位Ａ２−
構造単位Ａ２としては、例えば、以下に具体例を示すプロトン性極性基以外の極性基を有する環状オレフィンモノマーに由来する構造単位、などが挙げられる。
プロトン性極性基以外の極性基を有する環状オレフィンモノマーの具体例としては、例えば、（ｉ）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−フェニル−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−プロピルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−ブチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−シクロヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−アダマンチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルブチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−メチルブチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルペンチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−メチルペンチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−エチルブチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−エチルブチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルヘキシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−メチルヘキシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（３−メチルヘキシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−ブチルペンチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−ブチルペンチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルヘプチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−メチルヘプチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（３−メチルヘプチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（４−メチルヘプチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−エチルヘキシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−エチルヘキシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（３−エチルヘキシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−プロピルペンチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−プロピルペンチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルオクチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−メチルオクチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（３−メチルオクチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（４−メチルオクチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−エチルヘプチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−エチルヘプチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（３−エチルヘプチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（４−エチルヘプチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−プロピルヘキシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−プロピルヘキシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（３−プロピルヘキシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルノニル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−メチルノニル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（３−メチルノニル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（４−メチルノニル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（５−メチルノニル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−エチルオクチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（２−エチルオクチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（３−エチルオクチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（４−エチルオクチル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルデシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルドデシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルウンデシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルドデシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルトリデシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルテトラデシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、Ｎ−（１−メチルペンタデシル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド、４−フェニル−４−アザトリシクロ［５．２．１．０２，６］デカ−８−エン−３，５−ジオン等のＮ−置換イミド基を有する環状オレフィン；（ｉｉ）２−アセトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−アセトキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−メトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−エトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−プロポキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−メチル−２−メトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−メチル−２−エトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−メチル−２−プロポキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−メチル−２−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−メチル−２−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−（２，２，２−トリフルオロエトキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−メチル−２−（２，２，２−トリフルオロエトキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、等のエステル基を有する環状オレフィン；（ｉｉｉ）２−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−メチル−２−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２，３−ジシアノビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン等のシアノ基を有する環状オレフィン；（ｉｖ）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボン酸無水物、２−カルボキシメチル−２−ヒドロキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン無水物等の酸無水物基を有する環状オレフィン；（ｖ）２−クロロビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−クロロメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、２−（クロロフェニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン、等のハロゲン原子を有する環状オレフィン；などが挙げられる。
【００３２】
なお、構造単位Ａ２におけるプロトン性極性基以外の極性基の数に、特に限定はなく、また、相異なる種類のプロトン性極性基以外の極性基が含まれていてもよい。
【００３３】
前記構造単位（Ａ）の具体例としては、例えば、下記一般式（ＩＶ）で表される構造単位（Ｄ）、下記一般式（Ｖ）で表される構造単位（Ｅ）、などが好適に挙げられる。前記構造単位（Ａ）が、構造単位（Ｄ）および／または構造単位（Ｅ）を含む重合体は、引張弾性率がより低く、現像性および引張伸びにより優れた樹脂膜を得るために好適に使用し得る。
【化１３】
2018172558.tif 000016
【化１４】
2018172558.tif 000017
【００３４】
前記構造単位（Ａ１）の具体例としては、ＸおよびＹが結合して置換基を有する脂肪族炭化水素環を形成している構造単位が好適に挙げられ、下記構造式（Ｘ）で表される環状オレフィンモノマーに由来する構造単位（Ｄ）が特に好適に挙げられる。また、前記構造単位（Ａ２）の具体例としては、ＸおよびＹが結合して置換基を有する脂肪族複素環を形成している構造単位が好適に挙げられ、下記構造式（Ｙ）で表される環状オレフィンモノマーに由来する構造単位（Ｅ）が特に好適に挙げられる。
【化１５】
2018172558.tif 000018
【化１６】
2018172558.tif 000019
【００３５】
前記重合体中の全構造単位における前記構造単位（Ａ）の割合は、５０質量％以上であることが好ましく、５５質量％以上であることがより好ましく、６０質量％以上であることが特に好ましく、９５質量％以下であることが好ましく、９２質量％以下であることがより好ましく、９０質量％以下であることが特に好ましい。
【００３６】
＜構造単位（Ｂ）＞
前記構造単位（Ｂ）は、上記一般式（ＩＩ）で表される構造単位であり、下記の一般式（ＩＩ−１）で表される単量体（ｂ）に由来する構造単位（アリル化ポリアルキレングリコール（ポリアルキレングリコールジアリルエーテル）由来の構造単位）である。具体的には、構造単位（Ｂ）は、単量体（ｂ）を含む単量体組成物をメタセシス重合させた後、生成したメタセシス重合体の炭素−炭素二重結合を水素化した際に形成される構造単位である。また、重合体に含まれる構造単位（Ｂ）は、１種であってもよく、２種以上であってもよい。
【化１７】
2018172558.tif 000020
〔式（ＩＩ−１）中、Ｒａは、炭素数２以上４以下のアルキレン基を表し、ｎは、２以上１００以下の整数である。なお、複数のＲａは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
【００３７】
前記Ｒａとしては、エチレン基、ｎ−プロピレン基、１−メチルエチレン基、２−メチルエチレン基、ｎ−ブチレン基、１−メチルプロピレン基、２−メチルプロピレン基、３−メチルプロピレン基、１，１−ジメチルエチレン基、１，２−ジメチルエチレン基、２，２−ジメチルエチレン基、１−エチルエチレン基、２−エチルエチレン基などが挙げられる。これらの中でも、Ｒａは、−ＣＨ２−ＣＨ２−（エチレン基）、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−（２−メチルエチレン基）、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−（１−メチルエチレン基）を表すことが好ましい。前記Ｒａが、−ＣＨ２−ＣＨ２−、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表す重合体は、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を確実に得るために好適に使用し得る。
【００３８】
前記構造単位（Ｂ）の具体例としては、例えば、下記一般式（ＩＩ−２）で表される構造単位（Ｆ）、下記一般式（ＩＩ−３）で表される構造単位（Ｇ）、などが好適に挙げられる。前記構造単位（Ｂ）が、構造単位（Ｆ）および／または構造単位（Ｇ）を含む重合体は、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を確実に得るために好適に使用し得る。
【化１８】
2018172558.tif 000021
〔式（ＩＩ−２）中、Ｒは、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表し、ｎは、２以上１００以下の整数である。なお、複数のＲは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
【化１９】
2018172558.tif 000022
〔式（ＩＩ−３）中、ｎは、２以上１００以下の整数である。〕
【００３９】
前記一般式（ＩＩ−１）で表される単量体（ｂ）は、下記一般式（ａ）または（ｂ）で表されることが好ましい。
【化２０】
2018172558.tif 000023
〔式（ａ）中、Ｒは、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表し、ｎは、２以上１００以下の整数である。なお、複数のＲは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
【化２１】
2018172558.tif 000024
〔式（ｂ）中、ｎは、２以上１００以下の整数である。〕
なお、一般式（ａ）で表される化合物の化学名は、ポリプロピレングリコール−ジアリルエーテルであり、一般式（ｂ）で表される化合物の化学名は、ポリエチレングリコール−ジアリルエーテルである。
【００４０】
＜構造単位（Ｃ）＞
前記構造単位（Ｃ）は、上記一般式（ＩＩＩ）で表される構造単位であり、下記の一般式（ＩＩＩ−１）で表される単量体（ｃ）に由来する構造単位（アリル化ポリアルキレングリコール（ポリアルキレングリコールモノアリルエーテル）由来の構造単位）である。具体的には、構造単位（Ｃ）は、単量体（ｃ）を含む単量体組成物をメタセシス重合させた後、生成したメタセシス重合体の炭素−炭素二重結合を水素化した際に形成される構造単位である。また、重合体に含まれる構造単位（Ｃ）は、１種であってもよく、２種以上であってもよい。
【化２２】
2018172558.tif 000025
〔式（ＩＩＩ−１）中、Ｒｂは、炭素数２以上４以下のアルキレン基を表し、Ｒ１は、水素原子またはアルキル基を表し、ｍは、２以上１００以下の整数である。なお、複数のＲｂは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
【００４１】
前記Ｒｂとしては、エチレン基、ｎ−プロピレン基、１−メチルエチレン基、２−メチルエチレン基、ｎ−ブチレン基、１−メチルプロピレン基、２−メチルプロピレン基、３−メチルプロピレン基、１，１−ジメチルエチレン基、１，２−ジメチルエチレン基、２，２−ジメチルエチレン基、１−エチルエチレン基、２−エチルエチレン基などが挙げられる。これらの中でも、Ｒｂは、−ＣＨ２−ＣＨ２−（エチレン基）、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−（２−メチルエチレン基）、または−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−（１−メチルエチレン基）を表すことが好ましい。前記Ｒｂが、−ＣＨ２−ＣＨ２−、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表す重合体は、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を確実に得るために好適に使用し得る。
【００４２】
前記Ｒ１のアルキル基としては、特に限定されることなく、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、１−メチルエチル基、２−メチルエチル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−へキシル基などの炭素数１〜６のアルキル基が挙げられる。これらの中でも、前記Ｒ１は、水素原子、メチル基、またはｎ−ブチル基を表すことが好ましい。前記Ｒ１が、水素原子、メチル基、またはｎ−ブチル基を表す重合体は、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を確実に得るために好適に使用し得る。
【００４３】
前記構造単位（Ｃ）の具体例としては、例えば、下記一般式（ＩＩＩ−２）で表される構造単位（Ｈ）、下記一般式（ＩＩＩ−３）で表される構造単位（Ｉ）、下記一般式（ＩＩＩ−４）で表される構造単位（Ｊ）、下記一般式（ＩＩＩ−５）で表される構造単位（Ｋ）、下記一般式（ＩＩＩ−６）で表される構造単位（Ｌ）などが好適に挙げられる。前記構造単位（Ｃ）が、構造単位（Ｈ）〜（Ｌ）の少なくともいずれかを含む重合体は、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を確実に得るために好適に使用し得る。
【化２３】
2018172558.tif 000026
〔式（ＩＩＩ−２）中、ｍは、２以上１００以下の整数である。〕
【化２４】
2018172558.tif 000027
〔式（ＩＩＩ−３）中、ｍは、２以上１００以下の整数である。〕
【化２５】
2018172558.tif 000028
〔式（ＩＩＩ−４）中、Ｒは、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表し、ｍ１およびｍ２は、それぞれ１以上の整数であって、合計が２以上１００以下となる整数である。なお、Ｒが複数の場合、複数のＲは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
【化２６】
2018172558.tif 000029
〔式（ＩＩＩ−５）中、Ｒは、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表し、ｍは、２以上１００以下の整数である。なお、複数のＲは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
【化２７】
2018172558.tif 000030
〔式（ＩＩＩ−６）中、Ｒは、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表し、ｍ１およびｍ２は、それぞれ１以上の整数であって、合計が２以上１００以下となる整数である。なお、Ｒが複数の場合、複数のＲは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
【００４４】
前記一般式（ＩＩＩ−１）で表される単量体（ｃ）は、下記一般式（ｃ）〜（ｇ）のいずれかで表されることが好ましい。
【化２８】
2018172558.tif 000031
〔式（ｃ）中、ｍは、２以上１００以下の整数である。〕
【化２９】
2018172558.tif 000032
〔式（ｄ）中、ｍは、２以上１００以下の整数である。〕
【化３０】
2018172558.tif 000033
〔式（ｅ）中、Ｒは、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表し、ｍ１およびｍ２は、それぞれ１以上の整数であって、合計が２以上１００以下となる整数である。なお、Ｒが複数の場合、複数のＲは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
【化３１】
2018172558.tif 000034
〔式（ｆ）中、Ｒは、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表し、ｍは、２以上１００以下の整数である。なお、複数のＲは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
【化３２】
2018172558.tif 000035
〔式（ｇ）中、Ｒは、−ＣＨ２−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−、または、−Ｃ（ＣＨ３）Ｈ−ＣＨ２−を表し、ｍ１およびｍ２は、それぞれ１以上の整数であって、合計が２以上１００以下となる整数である。なお、Ｒが複数の場合、複数のＲは互いに同一であってもよく、それぞれが異なっていてもよい。〕
なおここで、一般式（ｃ）で表される化合物の化学名は、ポリエチレングリコール−アリルエーテルであり、一般式（ｄ）で表される化合物の化学名は、メトキシ−ポリエチレングリコール−アリルエーテルであり、一般式（ｅ）で表される化合物の化学名は、ポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコール−アリルエーテルであり、一般式（ｆ）で表される化合物の化学名は、ポリプロピレングリコール−アリルエーテルであり、一般式（ｇ）で表される化合物の化学名は、ブトキシ−ポリエチレングリコール−ポリプロピレングリコール−アリルエーテルである。
【００４５】
前記重合体中の全構造単位における前記構造単位（Ｂ）および前記構造単位（Ｃ）の合計の割合は、５質量％以上であることが好ましく、８質量％以上であることがより好ましく、１０質量％以上であることが特に好ましく、５０質量％以下であることが好ましく、４５質量％以下であることがより好ましく、４０質量％以下であることが特に好ましい。重合体中の全構造単位における構造単位（Ｂ）および構造単位（Ｃ）の合計の割合が５質量％以上５０質量％以下であれば、得られる樹脂膜の引張弾性率、引張伸び、および現像性のバランスを高く維持することができる。
【００４６】
＜重合体の生成機構＞
上述した構造単位を有する重合体は、上述した単量体をメタセシス重合し、メタセシス重合により得られた重合体を水素化することで得ることができる。メタセシス重合触媒としては、国際公開第２０１５／１４１７１７号公報、国際公開第２０１０／１１０３２３号公報などに記載のものを用いることができる。反応条件は、国際公開第２０１５／１４１７１７号公報、国際公開第２０１０／１１０３２３号公報などに記載の条件で行うことができる。
具体的には、メタセシス反応では、下記構造式（１）に示される構造が形成される環状オレフィンモノマー同士の反応に加え、下記構造式（２）に示される構造が形成される環状オレフィンモノマーとポリアルキレングリコールジアリルエーテルとの反応、下記構造式（３）に示される構造が形成されるポリアルキレングリコールジアリルエーテル同士の反応、下記構造式（４）に示される構造が形成される環状オレフィンモノマーとポリアルキレングリコールモノアリルエーテルとの反応、および、下記構造式（５）に示される構造が形成されるポリアルキレングリコールジアリルエーテルとポリアルキレングリコールモノアリルエーテルとの反応の少なくとも１つとが組み合わさって起こり、分子内に炭素−炭素二重結合を複数有する開環重合体が得られる。そして、水素化反応で二重結合が水素化されて、上述した構造単位を有する本発明の重合体が得られる。なお、下記構造式（１）で示される構造が水素化されると、構造単位（Ａ）が２つ並んだ構造となり、下記構造式（２）で示される構造が水素化されると、構造単位（Ａ）と構造単位（Ｂ）が並んだ構造となり、下記構造式（３）で示される構造が水素化されると、構造単位（Ｂ）が２つ並んだ構造となり、下記構造式（４）で示される構造が水素化されると、構造単位（Ａ）と構造単位（Ｃ）が並んだ構造となり、下記構造式（５）で示される構造が水素化されると、構造単位（Ｂ）と構造単位（Ｃ）が並んだ構造となる。下記構造式（１）〜（５）において、波線が記載された部分（二重結合）は他の構造との結合手または重合体末端となる。
【化３３】
2018172558.tif 000036
【化３４】
2018172558.tif 000037
【化３５】
2018172558.tif 000038
【化３６】
2018172558.tif 000039
【化３７】
2018172558.tif 000040
【００４７】
このように、本願明細書における重合は、付加重合とは異なるメタセシス重合であるため、二重結合が組み変わりながら重合が進行する。
【００４８】
（重合体組成物）
本発明の重合体組成物は、本発明の重合体と、架橋剤と、溶剤とを含み、さらに、必要に応じて、感光剤、その他の成分をさらに含む。
【００４９】
＜重合体＞
重合体としては、上述した本発明の重合体を用いる。本発明の重合体を用いているため、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜が得られる。
【００５０】
＜架橋剤＞
架橋剤としては、特に制限はなく、例えば、エポキシ系架橋剤、メトキシメチル基含有架橋剤、などが挙げられる。
【００５１】
＜＜エポキシ系架橋剤＞＞
エポキシ系架橋剤の具体例としては、例えば、４，５−エポキシシクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸ビス（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）修飾ε−カプロラクトン（脂肪族環状３官能性のエポキシ樹脂）、ブタンテトラカルボン酸テトラ（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）修飾ε−カプロラクトン（脂肪族環状４官能性のエポキシ樹脂）、３’，４’−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ε−カプロラクトン変性３’，４’−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、１，２：８，９−ジエポキシリモネン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン等の脂環構造を有するエポキシ化合物；ビスフェノールＡ型エポキシ化合物、ビスフェノールＦ型エポキシ化合物、水添ビスフェノールＡ型エポキシ化合物、長鎖ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ＥＯ変性ビスフェノールＡ型エポキシ化合物、フェノールノボラック型多官能エポキシ化合物、１，６−ビス（２，３−エポキシプロパン−１−イルオキシ）ナフタレンなどのナフタレン骨格を有する多官能エポキシ化合物、トリシクロデカンジメタノールジグリシジルエーテル、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、鎖状アルキル多官能エポキシ化合物、多官能エポキシポリブタジエン、グリセリンのグリシジルポリエーテル化合物、ジグリセリンポリグリシジルエーテル化合物、γ−グリシドキシプロピルトリメチルシラン等の脂環構造を有さないエポキシ化合物；などが挙げられる。
これらは、１種単独で用いることもでき、２種以上を組み合わせて用いることもできる。
これらの中でも、樹脂膜の引張伸び性および現像性の観点から、４，５−エポキシシクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸ビス（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）修飾ε−カプロラクトン、ブタンテトラカルボン酸テトラ（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）修飾ε−カプロラクトン、３’，４’−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ε−カプロラクトン変性３’，４’−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレートが好ましい。
【００５２】
＜＜メトキシメチル基含有架橋剤＞＞
メトキシメチル基含有架橋剤の具体例としては、例えば、２，６−ジメトキシメチル−４−ｔ−ブチルフェノール、２，６−ジメトキシメチル−ｐ−クレゾール等のジメトキシメチル置換フェノール化合物；３，３’，５，５’−テトラメトキシメチル−４，４’−ジヒドロキシビフェニル、１，１−ビス［３，５−ジ（メトキシメチル）−４−ヒドロキシフェニル］−１−フェニルエタン等のテトラメトキシメチル置換ビフェニル化合物；４，４’，４’’‐（エチリデン）トリスフェノールのヘキサメトキシメチル置換化合物等のヘキサメトキシメチル置換トリフェニル化合物；Ｎ，Ｎ’‐ジメトキシメチルメラミン、Ｎ，Ｎ’，Ｎ’’−トリメトキシメチルメラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’’−テトラメトキシメチルメラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’−ペンタメトキシメチルメラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’−ヘキサメトキシメチルメラミン等のアミノ基が２以上のメトキシメチル基で置換されてなるメラミン化合物；などが挙げられる。
これらは、１種単独で用いることもでき、２種以上を組み合わせて用いることもできる。
これらの中でも、反応性の観点から、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’−ヘキサメトキシメチルメラミンが好ましい。
【００５３】
本発明の重合体組成物中における架橋剤の含有量は、重合体１００質量部に対して、１質量部以上が好ましく、５質量部以上がより好ましく、１０質量部以上が特に好ましく、８０質量部以下が好ましく、７５質量部以下がより好ましく、７０質量部以下が特に好ましい。本発明の重合体組成物中における架橋剤の含有量が、重合体１００質量部に対して、５質量部以上であると、樹脂膜の引張伸びを向上させることができ、８０質量部以下であると、現像性を向上させることができる。
【００５４】
＜溶剤＞
溶剤としては、特に制限はなく、重合体組成物の溶剤として公知のもの、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、２−ヘキサノン、３−ヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、２−オクタノン、３−オクタノン、４−オクタノン等の直鎖のケトン類；ｎ−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコール、シクロヘキサノール等のアルコール類；エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジオキサン等のエーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のアルコールエーテル類；ギ酸プロピル、ギ酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、酪酸メチル、酪酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル等のエステル類；セロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート等のセロソルブエステル類；プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル等のプロピレングリコール類；ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等のジエチレングリコール類；γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、γ−カプロラクトン、γ−カプリロラクトン等の飽和γ−ラクトン類；トリクロロエチレン等のハロゲン化炭化水素類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルアセトアミド等の極性溶媒；などが挙げられる。
これらは、１種単独で用いることもでき、２種以上を組み合わせて用いることもできる。
【００５５】
本発明の重合体組成物中における溶剤の含有量は、重合体１００質量部に対して、１０質量部以上が好ましく、５０質量部以上がより好ましく、１００質量部以上が特に好ましく、１００００質量部以下が好ましく、５０００質量部以下がより好ましく、１０００質量部以下が特に好ましい。
【００５６】
重合体組成物を構成する各成分を溶剤に溶解又は分散する方法は、常法に従えばよい。具体的には、攪拌子とマグネティックスターラーを使用した攪拌、高速ホモジナイザー、ディスパー、遊星攪拌機、二軸攪拌機、ボールミル、三本ロール等を使用して行なうことができる。また、各成分を溶剤に溶解又は分散した後に、例えば、孔径が０．５μｍ程度のフィルター等を用いて濾過してもよい。
【００５７】
＜感光剤＞
感光剤は、紫外線や電子線等の放射線の照射により、化学反応を引き起こすことのできる化合物である。感光剤は、重合体組成物から形成されてなる樹脂膜のアルカリ溶解性を制御できるものが好ましく、特に、光酸発生剤を使用することが好ましい。
【００５８】
このような感光剤としては、特に制限はなく、例えば、アセトフェノン化合物、トリアリールスルホニウム塩、キノンジアジド化合物等のアジド化合物、などが挙げられ、アジド化合物であることが好ましく、キノンジアジド化合物であることがより好ましい。
【００５９】
キノンジアジド化合物としては、特に制限はなく、例えば、キノンジアジドスルホン酸ハライドとフェノール性水酸基を有する化合物とのエステル化合物を用いることができる。キノンジアジドスルホン酸ハライドの具体例としては、１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸クロライド、１，２−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸クロライド、１，２−ベンゾキノンジアジド−５−スルホン酸クロライド、などが挙げられる。フェノール性水酸基を有する化合物の代表例としては、例えば、１，１，３−トリス（２，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）−３−フェニルプロパン、４，４’−［１−［４−［１−［４−ヒドロキシフェニル］−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノール、などが挙げられる。これら以外のフェノール性水酸基を有する化合物としては、２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）プロパン、トリス（４−ヒドロキシフェニル）メタン、１，１，１−トリス（４−ヒドロキシ−３−メチルフェニル）エタン、１，１，２，２−テトラキス（４−ヒドロキシフェニル）エタン、ノボラック樹脂のオリゴマー、フェノール性水酸基を１つ以上有する化合物とジシクロペンタジエンとを共重合して得られるオリゴマー、などが挙げられる。
【００６０】
また、光酸発生剤としては、キノンジアジド化合物の他、オニウム塩、ハロゲン化有機化合物、α，α’−ビス（スルホニル）ジアゾメタン系化合物、α−カルボニル−α’−スルホニルジアゾメタン系化合物、スルホン化合物、有機酸エステル化合物、有機酸アミド化合物、有機酸イミド化合物、など公知のものを用いることができる。
これらは、１種単独で用いることもでき、２種以上を組み合わせて用いることもできる。
【００６１】
本発明の重合体組成物中における感光剤の含有量は、重合体１００質量部に対して、１０質量部以上が好ましく、１５質量部以上がより好ましく、２５質量部以上が特に好ましく、１００質量部以下が好ましく、７０質量部以下がより好ましく、５０質量部以下が特に好ましい。本発明の重合体組成物中における感光剤の含有量が、重合体１００質量部に対して、１０質量部以上であると、活性放射線の照射により露光領域中の重合体の現像液に対する溶解性が十分に高まり、現像残渣の発生を抑制することができ、１００質量部以下であると、意に反して未露光領域中の重合体の現像液に対する溶解性が高まることもなく、解像度に優れるパターン形状を形成することができる。
【００６２】
＜その他の成分＞
また、本発明の重合体組成物は、本発明の効果が阻害されない範囲であれば、所望により、酸性基又は熱潜在性酸性基を有する化合物、界面活性剤、増感剤、光安定剤、消泡剤、顔料、染料、フィラー等のその他の配合剤；等を含有していてもよい。これらのうち、例えば、酸性基又は熱潜在性酸性基を有する化合物は、特開２０１４−２９７６６号公報に記載されたものなどを用いることができ、また、界面活性剤、増感剤、光安定剤は、特開２０１１−７５６０９号公報に記載されたものなどを用いることができる。
【００６３】
＜調製方法＞
本発明の重合体組成物の調製方法は、特に限定されず、重合体組成物を構成する各成分を公知の方法により混合すればよい。
混合の方法は特に限定されないが、重合体組成物を構成する各成分を溶剤に溶解又は分散して得られる溶液又は分散液を混合するのが好ましい。これにより、重合体組成物は、溶液又は分散液の形態で得られる。
【実施例】
【００６４】
以下、本発明について実施例に基づき具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、以下の説明において、量を表す「％」および「部」は、特に断らない限り、質量基準である。
そして、実施例および比較例において、樹脂Ａ〜Ｃを以下の方法で調製し、引張伸び、引張り弾性率、並びに、現像性は、下記の方法で測定および評価した。
【００６５】
（実施例１）
＜樹脂Ａ（環状オレフィンモノマーとポリエチレングリコールジアリルエーテルモノマーとの共重合体Ａの水素添加物）の調製＞
〔共重合体Ａの調製〕
まず、（ｉ）下記構造式（Ｘ）で表されるテトラシクロ［６．２．１．１３，６．０２，７］ドデカ−９−エン−４−カルボン酸と、（ｉｉ）下記構造式（Ｙ）で表される４−フェニル−４−アザトリシクロ［５．２．１．０２，６］デカ−８−エン−３，５−ジオンと、（ｉｉｉ）下記一般式（ｂ）で表されるポリエチレングリコールジアリルエーテル（式（ｂ）中におけるｎが１６の「商品名：ユニオックスＡＡ−８００（日油株式会社製）」）と、を準備した。
【化３８】
2018172558.tif 000041
【化３９】
2018172558.tif 000042
【化４０】
2018172558.tif 000043
次に、テトラシクロ［６．２．１．１３，６．０２，７］ドデカ−９−エン−４−カルボン酸５１．３部、４−フェニル−４−アザトリシクロ［５．２．１．０２，６］デカ−８−エン−３，５−ジオン４０．１部、ユニオックスＡＡ−８００：８．６部、（１，３−ジメシチルイミダゾリン−２−イリデン）（トリシクロヘキシルホスフィン）ベンジリデンルテニウムジクロリド（Ｏｒｇ．Ｌｅｔｔ．，第１巻，９５３頁，１９９９年に記載された方法で合成した）０．０７部、およびテトラヒドロフラン４００部を、窒素置換したガラス製耐圧反応器に仕込み、５０℃にて２時間撹拌して共重合することにより、共重合体Ａ溶液を得た。
【００６６】
〔共重合体Ａの水素化（水添）〕
得られた共重合体Ａ溶液をオートクレーブに入れて、１５０℃、水素圧５．５ＭＰａで、１時間撹拌して水素化反応を行い、得られた溶液を多量のノルマルヘキサン中にあけた。析出した固体をろ過で集め、１２０℃で１６時間真空乾燥することにより、下記一般式（ＩＶ）で表される構造単位、下記一般式（Ｖ）で表される構造単位、および、下記一般式（ｈ）で表される構造単位を有する樹脂Ａを得た。
樹脂Ａは、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）によるポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）が１８７００であり、１Ｈ−ＮＭＲで測定した水素添加率は９９％であった。樹脂Ａ中の全構造単位における「一般式（ｂ）で表されるポリエチレングリコールジアリルエーテルモノマー由来の下記一般式（ｈ）で表される構造単位」の割合が８．３質量％であった。
【化４１】
2018172558.tif 000044
【化４２】
2018172558.tif 000045
【化４３】
2018172558.tif 000046
【００６７】
（実施例２）
＜樹脂Ｂ（環状オレフィンモノマーとポリエチレングリコールモノアリルエーテルモノマーとの共重合体Ｂの水素添加物）の調製＞
〔共重合体Ｂの調製〕
まず、（ｉ）上記構造式（Ｘ）で表されるテトラシクロ［６．２．１．１３，６．０２，７］ドデカ−９−エン−４−カルボン酸と、（ｉｉ）上記構造式（Ｙ）で表される４−フェニル−４−アザトリシクロ［５．２．１．０２，６］デカ−８−エン−３，５−ジオンと、（ｉｉｉ）下記一般式（ｃ）で表されるポリエチレングリコールモノアリルエーテルモノマー（式（ｃ）中におけるｍが３３の「商品名：ユニオックスＰＫＡ−５００５（日油株式会社製）」）と、を準備した。
【化４４】
2018172558.tif 000047
次に、テトラシクロ［６．２．１．１３，６．０２，７］ドデカ−９−エン−４−カルボン酸の量を４４．１部に変え、４−フェニル−４−アザトリシクロ［５．２．１．０２，６］デカ−８−エン−３，５−ジオンの量を３４．４部に変え、ユニオックスＡＡ−８００：８．６部をユニオックスＰＫＡ−５００５：２１．５部に代えたこと以外は、実施例１と同様にして共重合することにより、共重合体Ｂ溶液を得た。
【００６８】
〔共重合体Ｂの水素化（水添）〕
得られた共重合体Ｂ溶液を、実施例１と同様にして、水素化（水添）することにより、上記一般式（ＩＶ）で表される構造単位、上記一般式（Ｖ）で表される構造単位、および、下記一般式（ｉ）で表される構造単位を有する樹脂Ｂを得た。
得られた樹脂Ｂは、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）によるポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）が３０５００であり、１Ｈ−ＮＭＲで測定した水素添加率は９９％であった。樹脂Ｂ中の全構造単位における「下記一般式（ｃ）で表されるポリエチレングリコールモノアリルエーテルモノマー由来の下記一般式（ｉ）で表されるポリエチレングリコールモノアリルエーテルモノマー構造単位」の割合が２１．３質量％であった。
【化４５】
2018172558.tif 000048
【００６９】
（比較例１）
＜樹脂Ｃの調製＞
〔共重合体Ｃの調製〕
まず、（ｉ）上記構造式（Ｘ）で表されるテトラシクロ［６．２．１．１３，６．０２，７］ドデカ−９−エン−４−カルボン酸と、（ｉｉ）上記構造式（Ｙ）で表される４−フェニル−４−アザトリシクロ［５．２．１．０２，６］デカ−８−エン−３，５−ジオンと、（ｉｉｉ）１−ヘキセン（製造会社名：東京化成工業株式会社、商品名：１−ヘキセン）と、を準備した。
次に、テトラシクロ［６．２．１．１３，６．０２，７］ドデカ−９−エン−４−カルボン酸の量を５６．１部に変え、４−フェニル−４−アザトリシクロ［５．２．１．０２，６］デカ−８−エン−３，５−ジオンの量を４３．８部に変え、ユニオックスＡＡ−８００：８．６部を１−ヘキセン：０．８部に代えたこと以外は、実施例１と同様にして共重合することにより、共重合体Ｃ溶液を得た。
【００７０】
〔共重合体Ｃの水素化（水添）〕
得られた共重合体Ｃ溶液を、実施例１と同様にして、水素化（水添）することにより、上記一般式（ＩＶ）で表される構造単位および上記一般式（Ｖ）で表される構造単位を有する樹脂Ｃを得た。
得られた樹脂Ｃは、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）によるポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）が３０７００であり、１Ｈ−ＮＭＲで測定した水素添加率は９９％であった。
【００７１】
＜引張伸び、引張り弾性率＞
スパッタリング装置を用いて、アルミニウム薄膜が１００ｎｍの膜厚で形成されたシリコンウエハ上に、各実施例及び各比較例において調製した重合体組成物をスピンコートしたのち、ホットプレートを用いて１２０℃で２分間加熱し、次いで、窒素雰囲気下、１８０℃で６０分間の条件で硬化させることで、膜厚１０μｍの樹脂膜を形成し、積層体を得た。そして、得られた積層体を、所定の大きさに切断した後、アルミニウム薄膜を１ｍｏｌ／Ｌの塩酸水溶液にて溶解させて剥離させ、剥離したフィルムを乾燥させることで樹脂膜を得た。そして、得られた樹脂膜について、試験片（５ｍｍ×５０ｍｍ）を切り出して、この試験片について以下の手順で引張試験を行うことで、引張伸びおよび引張弾性率を測定した。すなわち、オートグラフ（株式会社島津製作所製、ＡＧＳ−５ｋＮＧ）を用いて、チャック間距離２０ｍｍ、引張速度２ｍｍ／分、測定温度２３℃の条件にて引張試験を行うことで、試験片の引張伸び（％）および引張弾性率（ＧＰａ）を測定した。なお、いずれの特性ともに、上記各樹脂膜からそれぞれ５つの試験片を切り出し、各試験片について測定した値の平均値である。
引張弾性率（ＧＰａ）については、以下の評価基準で評価した。ここで、引張弾性率が低いほど、レジストとして使った場合、焼成後の反りの発生が抑制できるため、好ましい。
〔引張弾性率の評価基準〕
Ａ：引張弾性率が２ＧＰａ未満
Ｂ：引張弾性率が２ＧＰａ以上、２．２ＧＰａ未満
Ｃ：引張弾性率が２．２ＧＰａ以上
【００７２】
＜現像性＞
シリコンウエハ上に、各実施例及び各比較例において調製した重合体組成物をスピンコートした後、ホットプレートを用いて１２０℃で２分間プリベークして、厚さ３μｍの樹脂膜を形成した。次いで、ｇ線（４３６ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、及びｉ線（３６５ｎｍ）の波長の光を発する高圧水銀ランプを用い、４００ｍＪ／ｃｍ２にて露光を行った。そして、露光後の試料を２３℃の２．３８％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液（アルカリ現像液）に３分間浸漬した後、超純水で３０秒間リンスを行い、現像後の試料の表面状態を目視にて観察し、以下の基準にて現像性の評価を行った。樹脂膜の不溶解、あるいは膨潤が発生しないものが、ポジ型の樹脂膜としての現像性に優れるものと判断することができる。
Ａ：樹脂膜が完全に溶解していた。
Ｃ：樹脂膜が全く溶解していない、あるいは、膨潤していた。
【００７３】
（実施例３）
実施例１で得られた樹脂Ａ１００部、感光剤として、４，４’−［１−［４−［１−［４−ヒドロキシフェニル］−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノール（１モル）と１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸クロライド（２モル）との縮合物（製造会社名：東洋合成工業、商品名：ＴＳ２００）３０部、架橋剤として、ブタンテトラカルボン酸テトラ（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）修飾ε−カプロラクトン（製造会社名：株式会社ダイセル、商品名：エポリードＧＴ４０１）３０部、及び、溶剤として、シクロペンタノン３００部を２３℃で混合し溶解させた後、孔径０．４５μｍのポリテトラフルオロエチレン製フィルターでろ過して重合体組成物を調製した。調製した重合体組成物を用いて、引張伸び、引張り弾性率、並びに、現像性について測定乃至評価した。結果を表１に示す。
【００７４】
（実施例４）
実施例３において、樹脂Ａを用いる代わりに、樹脂Ｂを用いたこと以外は、実施例３と同様にして、重合体組成物を調製し、引張伸び、引張り弾性率、並びに、現像性について測定乃至評価した。結果を表１に示す。
【００７５】
（比較例２）
実施例３において、樹脂Ａを用いる代わりに、樹脂Ｃを用いたこと以外は、実施例３と同様にして、重合体組成物を調製し、引張伸び、引張り弾性率、並びに、現像性について測定乃至評価した。結果を表１に示す。
【００７６】
（比較例３）
比較例２において、重合体として樹脂Ｃのみを用いる代わりに、樹脂Ｃおよびポリエチレングリコール（ＰＥＧ）（「商品名：ポリエチレングリコール１，５４０（和光純薬工業株式会社製、平均分子量１５００）」）を表１に示す割合で用いたこと以外は、比較例２と同様にして、重合体組成物を調製し、引張伸び、引張り弾性率、並びに、現像性について測定乃至評価した。結果を表１に示す。
【００７７】
【表１】
2018172558.tif 000049
【００７８】
なお、表１において、「ＰＥＧ」は、ポリエチレングリコール（製造会社名：和光純薬工業株式会社、商品名：ポリエチレングリコール１，５４０）を示し、感光剤としての「光酸発生剤」は、４，４’−［１−［４−［１−［４−ヒドロキシフェニル］−１−メチルエチル］フェニル］エチリデン］ビスフェノール（１モル）と１，２−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸クロライド（２モル）との縮合物（製造会社名：東洋合成工業株式会社、商品名：ＴＳ２００）を示し、架橋剤としての「エポキシ」は、ブタンテトラカルボン酸テトラ（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）修飾ε−カプロラクトン（製造会社名：株式会社ダイセル、商品名：エポリードＧＴ４０１）を示し、「溶剤」は、シクロペンタノン（製造会社名：東京化成工業株式会社、商品名：シクロペンタノン）を示す。
【００７９】
表１より、環状オレフィンモノマー由来の構造単位（Ａ）と、ポリエチレングリコールジアリルエーテルモノマー由来の構造単位（Ｂ）および／またはポリエチレングリコールモノアリルエーテルモノマー由来の構造単位（Ｃ）とを有する樹脂ＡおよびＢを用いて作製した樹脂膜（実施例３及び４）は、ポリエチレングリコールジアリルエーテルモノマー由来の構造単位（Ｂ）およびポリエチレングリコールモノアリルエーテルモノマー由来の構造単位（Ｃ）を有さない樹脂Ｃを用いて作製した樹脂膜（比較例２及び３）よりも、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れていることが分かった。
さらに、表１より、重量平均分子量が３０５００の樹脂Ｂを用いて作製した樹脂膜（実施例４）は、重量平均分子量が１８７００の樹脂Ａを用いて作製した樹脂膜（実施例３）よりも引張伸びに優れていることが分かった。
さらに、表１より、樹脂Ｃおよびポリエチレングリコール（ＰＥＧ）を用いた作製した樹脂膜（比較例３）は、樹脂Ｃのみを用いた作製した樹脂膜（比較例２）よりも引張弾性率が低くなっているが、十分ではないことが分かった。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明の重合体および重合体組成物によれば、引張弾性率が低く、現像性および引張伸びに優れた樹脂膜を提供することができる。