(57)【要約】【課題】装置価格や運転コストの増大を抑えつつ、効率よく粒子を粉砕し、高品質の粒子を生産すること。【解決手段】被粉砕粒子を粉砕する粉砕装置の粒子特性測定部２１が、被粉砕粒子が粉砕された結果得られた粉砕粒子の特性を測定し、装置モニタリング部２２が、粉砕装置による被粉砕粒子の粉砕動作の動作状態をモニタリングし、制御判断部２３が、粉砕粒子の特性と粉砕動作の動作状態に応じて粉砕装置の制御にかかる判断を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被粉砕粒子を粉砕する粉砕装置であって、
前記被粉砕粒子が粉砕された結果得られた粉砕粒子の特性を測定する特性測定部と、
前記粉砕装置による前記被粉砕粒子の粉砕動作の動作状態をモニタリングするモニタリング部と、
前記粉砕粒子の特性と前記粉砕動作の動作状態に応じて前記粉砕装置の制御にかかる判断を行う制御判断部と、
を備えることを特徴とする粉砕装置。
【請求項２】
前記特性測定部は、前記粉砕粒子の粒子径分布の測定、前記粉砕粒子のＸ線回折による結晶子サイズの測定、または、前記粉砕粒子を撮影した画像の画像処理による粒子形状の測定のいずれかを少なくとも実行する請求項１に記載の粉砕装置。
【請求項３】
前記粉砕粒子をサンプリングするサンプリング口と、回転して前記被粉砕粒子を粉砕する回転体とを有し、前記被粉砕粒子を格納する粉砕容器をさらに備え、
前記サンプリング口は、前記粉砕容器の上部に配置されている請求項１または２に記載の粉砕装置。
【請求項４】
前記サンプリング口は、前記回転体の回転軸に沿って、前記粉砕容器の上部に複数配置されている請求項３に記載の粉砕装置。
【請求項５】
前記粉砕容器は、前記被粉砕粒子が粉砕される空間内に気体を流入させる気体流入口をさらに有する請求項３または４に記載の粉砕装置。
【請求項６】
前記気体流入口は、前記粉砕容器の上部に配置されている請求項５に記載の粉砕装置。
【請求項７】
前記制御判断部は、前記特性測定部で測定された前記粉砕粒子の特性に基づいて、前記粉砕動作の終了時間を決定する請求項１〜６のいずれか１項に記載の粉砕装置。
【請求項８】
前記モニタリング部は、前記回転体を回転させるモータの負荷トルクをモニタリングし、
前記制御判断部は、前記モニタリング部でモニタリングされた前記モータの負荷トルクに基づいて、前記回転体の回転数を決定する請求項１〜７のいずれか１項に記載の粉砕装置。
【請求項９】
前記モニタリング部は、前記回転体を回転させるモータの負荷トルク及び前記回転体の回転数をモニタリングし、
前記制御判断部は、前記モニタリング部でモニタリングされた前記モータの負荷トルク及び前記回転体の回転数に基づいて、前記粉砕装置のメンテナンスのタイミングを決定する請求項１〜８のいずれか１項に記載の粉砕装置。
【請求項１０】
前記モニタリング部は、前記粉砕容器内の圧力をモニタリングし、
前記制御判断部は、前記モニタリング部でモニタリングされた前記粉砕容器内の圧力が所定の圧力に達した後のタイミングを、前記粉砕粒子をサンプリングするタイミングとして決定する請求項１〜９のいずれか１項に記載の粉砕装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被粉砕粒子を微粉砕する粉砕装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、被粉砕粒子を粉砕する粉砕装置として、様々なメカニズムを利用した装置が知られている。例えば、圧縮力により被粉砕粒子を押しつぶす装置、圧縮力及び摩擦力により被粉砕粒子をすりつぶす装置、被粉砕粒子を壁にぶつけるか、あるいは被粉砕粒子同士をぶつけることによって発生する衝撃力及び摩擦力に基づいて被粉砕粒子の粉砕を行う装置などが挙げられる。
【０００３】
こと被粉砕粒子を微粉砕する装置としては、ピンやブレード、ハンマーが高速回転して粉砕する高速回転式衝撃粉砕機や、ボールなどの粉砕媒体の落下、振動、衝撃で粉砕するボール媒体ミルなどが挙げられる。
【０００４】
被粉砕粒子を効率よく粉砕する方法としては、被粉砕粒子の供給量と粉砕装置の回転数などを制御して省力化、合理化した装置がある（特許文献１、及び、特許文献２）。
【０００５】
また、このような装置の装置構成としては、被粉砕粒子を装置内に入れて粉砕終了時に処理された被粉砕粒子を取り出すバッチ式、被粉砕粒子を連続的に投入して一回の処理で取り出すパス式、処理する被粉砕粒子を循環させて粉砕処理を繰り返し行う循環式がある。パス式は、１回の処理で被粉砕粒子を取り出すため微粉砕には適さず、微粉砕には、バッチ式か循環式が適している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−１００８７号公報
【特許文献２】特許第３９７７５７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、循環式の装置は被粉砕粒子の微粉砕に適しているものの、循環経路を構成する配管内に粒子が付着して材料のロスが生じるという課題がある。また、酸化防止などを目的として装置内を気密状態に保つ必要があるが、循環式の装置は気密状態を保ちにくく、装置全体の構成が複雑となり装置価格が高くなるという課題がある。
【０００８】
一方、バッチ式の装置は余分な配管がなく材料のロスが最小限に抑えられることや、気密状態を保ちやすいこと、低コストで装置の大型化が可能であり量産装置への展開がしやすいというメリットがある。しかしながら、粉砕工程の途中段階で被粉砕粒子の粉砕がどの程度進んでいるのかがわからず、十分な粉砕を行うために粉砕時間を長めに設定する必要があり、稼働時間増大による生産量の減少、装置運転コストの増大を招くという課題がある。
【０００９】
本発明は、上記従来の課題に鑑みてなされたものであり、装置価格や運転コストの増大を抑えつつ、効率よく粒子を粉砕し、高品質の粒子を生産することが可能な粉砕装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の粉砕装置は、被粉砕粒子を粉砕する粉砕装置であって、被粉砕粒子が粉砕された結果得られた粉砕粒子の特性を測定する特性測定部と、粉砕装置による被粉砕粒子の粉砕動作の動作状態をモニタリングするモニタリング部と、粉砕粒子の特性と粉砕動作の動作状態に応じて粉砕装置の制御にかかる判断を行う制御判断部と、を備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、装置価格や運転コストの増大を抑えつつ、効率よく粒子を粉砕し、高品質の粒子を生産することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態における粉砕装置の各部の機能を示すブロック図
【図２】本発明の実施の形態における粉砕装置の構成を概略的に示す図
【図３】粉砕媒体直径と負荷トルクの関係図
【図４】粉砕媒体同士の接触力総和と負荷トルクの関係図
【図５】回転体の回転数と負荷トルクの関係図
【図６】本発明の実施例における粉砕装置の各部の機能を示すブロック図
【図７】本発明の実施例における粉砕装置の構成を概略的に示す図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１は、本発明の実施の形態における粉砕装置の各部の機能を示すブロック図である。図２は、本発明の実施の形態における粉砕装置の構成を概略的に示す図である。
【００１５】
この粉砕装置は、被粉砕粒子３を格納する粉砕容器１と、粉砕容器１内部の粉砕空間の中に配設された回転体２と、回転体２を回転駆動させる回転駆動部１２と、回転駆動部１２、冷却部１３などの装置部分を制御する装置制御部１１と、被粉砕粒子３の粒子特性を測定する粒子特性測定部２１と、装置の様々な状態をモニタリングする装置モニタリング部２２と、装置の制御にかかる種々の判断を行う制御判断部２３と、粉砕容器１を冷却する冷却部１３と、を有する。
【００１６】
粉砕容器１内の被粉砕粒子３は、回転体２や粉砕容器１の内壁との衝突や摩擦、被粉砕粒子３同士の衝突や摩擦によって粉砕される。粉砕容器１内にボールなどの粉砕媒体４が入る場合には、被粉砕粒子３と粉砕媒体４との衝突や摩擦によっても粉砕される。
【００１７】
制御判断部２３は、粒子特性測定部２１と装置モニタリング部２２から送られた信号に基づいて回転駆動部１２を如何に制御するかの判断を行う。装置制御部１１は、制御判断部２３の判断に基づいて回転駆動部１２の制御を行う。また、装置制御部１１は、回転駆動部１２の制御のみならず、粉砕容器１を冷却する冷却部１３などその他の装置部分の制御も行う。
【００１８】
粒子特性測定部２１は、サンプリング口５から取り出された粉砕容器１内の被粉砕粒子３の粒子特性を測定する。例えば、粒子特性測定部２１は、被粉砕粒子３が粉砕された結果得られた粉砕粒子の粒子径分布の測定、粉砕粒子のＸ線回折による結晶子サイズの測定、または、粉砕粒子を撮影した画像の画像処理による粒子形状および／または粒子径分布の測定のいずれかを少なくとも実行する。
【００１９】
粒子径分布の測定は粉砕の進捗状況を検出するために行われる。一方、Ｘ線回折による結晶子サイズの測定は、粉砕が進むにつれて被粉砕粒子３の結晶構造が変化することに伴い結晶子サイズも変化する特性を利用し、結晶子サイズを測定することにより被粉砕粒子３の粉砕状況を検出するものである。
【００２０】
また、上述のように画像処理による粒子形状の測定が粒子径分布の測定の代わりに行われることとしてもよい。これは、粉砕が進むにつれて被粉砕粒子３の形状が変化するため、粒子径状を粉砕状況の判断基準として利用できるためである。すなわち、粉砕が進んだ際の被粉砕粒子３の形状は被粉砕粒子３の種類によって異なり、形状を測定すればその被粉砕粒子３の粉砕状況が把握できるためである。そして、複数種類の被粉砕粒子３を同時に粉砕する場合には、画像処理による粒子形状の測定を行うことで、各々の被粉砕粒子３の粉砕状況を把握することができる。
【００２１】
また、複数種類の被粉砕粒子３を同時に粉砕する場合には、各被粉砕粒子３の粒子径分布およびその分散の度合いが、単一種類の被粉砕粒子３を個別に粉砕した場合とは異なる。ここで、画像処理による粒子径分布の測定を行えば、被粉砕粒子３の種類を特定し、被粉砕粒子３の種類毎の粉砕状況を把握することが可能である。
【００２２】
装置モニタリング部２２は、粉砕装置による被粉砕粒子３の粉砕動作の動作状態をモニタリングする。例えば、装置モニタリング部２２は、回転体２の回転数、および、回転体２を回転させるモータの負荷トルクのモニタリングのモニタリングを実行し、制御判断部２３にモニタリングの結果得られた情報を送る。
【００２３】
また、装置モニタリング部２２は、冷却部１３などの装置部分の状態をモニタリングし、制御判断部２３にモニタリングの結果得られた情報を送る。
【００２４】
さらに、装置モニタリング部２２は、被粉砕粒子３の粉砕空間の圧力（粉砕容器１内の圧力）のモニタリング、粉砕装置の振動（例えば、粉砕容器１や回転体２の振動）のモニタリング、および、粉砕装置の温度（例えば、粉砕容器１内の温度）のモニタリングを実行し、制御判断部２３にモニタリングの結果得られた情報を送る。
【００２５】
制御判断部２３は、粒子特性測定部２１と装置モニタリング部２２から送られた情報に基づいて、現在の被粉砕粒子３の粉砕状態と粉砕装置全体の状態を認識する。
【００２６】
そして、前述したようにその認識に基づいて粉砕装置を如何に制御するかを判断し、その判断結果を装置制御部１１に伝達する。制御判断部２３が粉砕装置を如何に制御するかを判断するための判断基準や判断方法は、粉砕装置の装置構成や被粉砕粒子３の種類などによって様々であるが、例えば、粒子径分布が目標値に達成したか否かを運転継続の要否の判断基準することができる。
【００２７】
また、制御判断部２３は、回転駆動部１２が所定の回転数で回転している場合において、回転駆動部１２の負荷トルクが所定の値よりも下がっていることを認識した場合、回転駆動部１２の回転数を上げる判断を行う。これにより、回転体２と被粉砕粒子３との衝突、摩擦、および、被粉砕粒子３同士の衝突、摩擦を促進して、高効率に被粉砕粒子３の粉砕を行うことが可能となる。
【００２８】
また、制御判断部２３は、回転駆動部１２の回転数制御の判断のみならず、粉砕装置の運転状態を認識し、その認識に基づいて粉砕装置の制御の判断を行う。
【００２９】
さらに、制御判断部２３は、粉砕装置の運転状態を認識することで、粉砕装置のメンテナンスタイミングを判断することも可能である。
【００３０】
例えば、粉砕装置を繰り返し利用することで回転体２や粉砕媒体４は徐々に磨耗していく。回転体２や粉砕媒体４の摩耗が進行すると、回転駆動部１２を当初の所定の回転数で回転させるとともに、当初の所定重量の粉砕媒体４を用いて粉砕装置を稼働させても、回転駆動部１２の負荷トルクは当初と比較して小さくなる。
【００３１】
回転駆動部１２の負荷トルクが低下した場合、摩耗した回転体２、あるいは粉砕媒体４を交換するなど、適切にメンテナンスを行う必要がある。仮に、メンテナンスを行わなければ、回転駆動部１２を当初の回転数で回転させて規定の運転時間の粉砕を行っても、工程終了後に被粉砕粒子３が目標の特性に達しない可能性がある。それゆえ、材料のロスが発生したり、粉砕工程を再度実施する必要が生じたりするなどして、粉砕効率の低下を招く。
【００３２】
そこで、回転駆動部１２の負荷トルクの減少と、例えば粉砕媒体４の磨耗との関係から粉砕媒体４の交換タイミングを判断することで、材料のロスや粉砕工程のやり直しを防ぐことができ、生産性を高めることができる。
【００３３】
ここで、一事例として粉砕媒体４の磨耗と回転体２の負荷トルクの関係をシミュレーションから求めた結果を図３に示す。
【００３４】
離散要素法を用いて、粉砕媒体４となるボールの挙動をシミュレーションした。粉砕空間の内径が１４０ｍｍ、回転体２の長さが１１６ｍｍ、厚みが５ｍｍで、粉砕媒体４のボールの直径が５ｍｍから、４．８ｍｍ、４．６ｍｍ、４．４ｍｍ、４．２ｍｍ、４．０ｍｍと小さくなっていった場合の回転体２にかかる負荷トルクを算出した。
【００３５】
図３からわかるように、ボールが磨耗して小さくなるにつれて、負荷トルクが小さくなる。ここで、負荷トルクと粉砕効率との関係は不明であるが、ボール同士の接触力は粉砕効率に影響を与えていると考えられるため、シミュレーションでボール同士の接触力の総和（すべての粒子同士の接触力を足し合わせた値）を算出し、負荷トルクとの関係を導いた。図４は、粉砕媒体同士の接触力総和と負荷トルクとの関係を示す図である。
【００３６】
図４から、ボール同士の接触力総和と負荷トルクには相関があることがわかる。すなわち、負荷トルクが小さくなると接触力が小さくなり粉砕効率が低下することが推測され、所定の粉砕時間では目標の粒子特性に至らない可能性がある。
【００３７】
例えば、直径５ｍｍだったボールが４．８ｍｍに磨耗した場合、本検討結果から、負荷トルクが約１４％減り、粉砕媒体４のボール同士の接触力総和が約１７％減ることがわかる。
【００３８】
ここで、ボールが磨耗して直径が４．８ｍｍなった場合において、回転体２の回転数を１０％、２０％、３０％増加させるシミュレーションを行った。図５は、このシミュレーションにおける回転体２の回転数と負荷トルクとの関係を示す。
【００３９】
図５に示した結果から、ボール径が４．８ｍｍに磨耗した状態で、ボール同士の接触力総和をボール径が５ｍｍである場合と同じにするには、負荷トルクが直径５ｍｍのボールと同じになるように回転数を約８％増加させることが必要であると推測される。
【００４０】
ここで、回転駆動部１２の回転数を増加させても負荷トルクは当初の所定の値であるから、消費電力に変化はない。さらに、この場合、ボール同士の接触力の総和が減少した状態で粉砕装置を稼働させた場合に比べて、粉砕処理時間の短縮が図れる。ボール同士の接触力総和と粉砕効率が線形の相関がある場合には、このような回転数制御を行うことで生産性が１４％向上する。
【００４１】
このようなシミュレーションによる理論的な検討結果を活用することによって、負荷トルクの情報に基づいて回転数を増加させて粉砕効率を向上させることができる。すなわち、処理時間を短縮して生産性を向上させることができる。
【００４２】
回転体２に作用する負荷トルクが如何なる値になった場合に回転駆動部１２の回転数をどの程度増加させるかの制御判断基準は、シミュレーションに限らず、実験によって求めることも可能である。
【００４３】
しかしながら、シミュレーションを用いて、実際には測定ができない粉砕媒体４（ボール）同士の接触力の総和などの粉砕効率に影響を与える因子と、測定可能な負荷トルクなどの因子の相関を取ることで、より適切な制御判断基準を求めることができる。
【００４４】
一方、粉砕媒体４の磨耗が進行して直径が小さくなりすぎると、回転体２の回転数を増加させるだけでは低下した粉砕効率を補完できなくなる。その理由は、粉砕媒体４が小さくなり、１個あたりの重量が減少することで粉砕媒体４同士が衝突する際の接触力が小さくなり、粉砕に必要な十分な力が被粉砕粒子３に伝わらなくなるためである。
【００４５】
したがって、効率的に粉砕を行うためには、粉体特性を測定して粉砕の進捗状況を把握しながら適切な運転状態、運転時間を設定するとともに、装置の状態と粉砕の進捗から、粉砕媒体４や回転体２の磨耗を推定し、メンテナンスタイミングを判断する必要がある。
【００４６】
＜実施例＞
次に、本発明の実施例について説明する。図６は、本発明の実施例における粉砕装置の各部の機能を示すブロック図である。図７は、本発明の実施例における粉砕装置の構成を概略的に示す図である。
【００４７】
粉砕容器１の内部には回転駆動部１２と連結された回転体２が配置されている。粉砕容器１内には、被粉砕粒子３と粉砕媒体４が投入される。
【００４８】
粉砕容器１の外部には回転体２の回転軸に沿って、被粉砕粒子３をサンプリングするサンプリング口５と、サンプリングの際に開閉するサンプリング口用弁７が配置される。
【００４９】
サンプリング口５を粉砕容器１の下部に配置すると、サンプリングの際に被粉砕粒子３が多量にサンプリング口５から吐出する恐れがあるため、図７に示すように、サンプリング口５は粉砕容器１の上部に配置するとよい。また、サンプリング口５は、回転体２の回転軸に沿って、粉砕容器１の上部に複数配置されることが望ましい。
【００５０】
粉砕容器１の外部には、粉砕容器１内に気体を流入させるための気体流入口６と、気体流入の際に開閉する気体流入口用弁８と、ボンベなどの気体供給源９が配置されている。
【００５１】
気体流入口６を粉砕容器１の下部に配置すると、下部に堆積した被粉砕粒子３が気体流入口６から逆流する恐れがあるため、気体流入口６は上部に配置するとよい。また、粉砕容器１には、粉砕容器１内部の圧力を測定するための圧力センサ１０が配置される。
【００５２】
装置モニタリング部２２は、回転駆動部１２の回転数および負荷トルクをモニタリングする。また、粒径分布測定器２１１（図１、２に示す粒子特性測定部２１に対応）は、計測した粒径分布から平均粒径や指定の粒径以上の割合などを算出する。
【００５３】
制御判断部２３は、装置制御部１１に対して回転駆動部１２の回転数や運転終了を指示するとともに、サンプリング口用弁７と気体流入口用弁８の開閉を判断する。装置制御部１１は、制御判断部２３の判断に基づいて回転駆動部１２、サンプリング口用弁７及び気体流入口用弁８の制御を行う。
【００５４】
被粉砕粒子３のサンプリングは間欠的に行われる。具体的には、所定の時間間隔で気体流入口用弁８が開かれ、粉砕容器１内の圧力が上昇する。圧力センサ１０で粉砕容器１内の圧力を検出し、所定の圧力に達した時点で制御判断部２３の判断に基づいて装置制御部１１が気体流入口用弁８を閉じる。
【００５５】
その後、サンプリング口用弁７が開かれ、粉砕容器１内の圧力と粉砕容器１外の圧力との差によって被粉砕粒子３は粒径分布測定器２１１へと供給される。測定可能な量がサンプリングできればサンプリング口用弁７は閉じられる。
【００５６】
粒径分布測定器２１１は、サンプリングされた被粉砕粒子３の粒径分布を測定し、測定した粒径分布から平均粒径、指定された粒径以上の被粉砕粒子３の存在割合などを算出し、現時点での粉砕の進捗状況を検出する。
【００５７】
制御判断部２３は、粒径分布測定器２１１の測定結果が、被粉砕粒子３が十分粉砕されていると認められる粉砕条件を満たすかどうかを判断し、未達であれば回転体２の回転を維持し粉砕を継続すると判断する。粉砕条件を満足していると判断すれば、回転体２の回転を停止させ粉砕を終了すると判断する。
【００５８】
このような構成にすることにより、粉砕条件を満たした時点で運転を停止することができ、粉砕された粒子の品質を確保するとともに生産性を向上させることができる。
【００５９】
次に、回転駆動部１２の回転数及び負荷トルクに基づいて回転駆動部１２の回転数を増加させる場合の制御について述べる。
【００６０】
前述の通り粉砕媒体４のボールが磨耗して回転駆動部１２の負荷トルクが低下すると、当初の所定の回転数で回転駆動部１２を回転させても粉砕が進まなくなる。したがって、装置モニタリング部２２は、回転駆動部１２の回転数と負荷トルクをモニタリングし、制御判断部２３は、当初の負荷トルクの値と装置モニタリング部２２でモニタリングした負荷トルクの値とを比較して回転数を増加させるか否かの判断を行う。装置制御部１１は制御判断部２３の判断に基づいて回転駆動部１２の回転数を制御する。
【００６１】
このような構成にすることにより、粉砕媒体４の磨耗によって低下した粉砕効率を回転体２の回転数の制御をすることで回復させ、生産性を向上することができる。
【００６２】
さらに、回転駆動部１２の回転数及び負荷トルク並びに被粉砕粒子３の粒子特性に基づいて、粉砕装置のメンテナンスのタイミングを判断する場合の制御について述べる。
【００６３】
前述の通り、粉砕媒体４としてのボールの磨耗が進んで直径が小さくなりすぎると、粉砕効率の低下を回転駆動部１２の回転数の上昇だけでは補完することができなくなる。
【００６４】
そこで、制御判断部２３は、粉砕媒体４の磨耗がないときの回転駆動部１２の回転数、負荷トルク及び粒径分布測定器２１１で測定した被粉砕粒子３の粒子特性と、現時点でモニタリングされた回転駆動部１２の回転数、負荷トルク及び被粉砕粒子３の粒子特性との差異から、粉砕媒体４の磨耗状態を判断する。そして、装置制御部１１は、表示部１４に粉砕媒体４の交換が必要である旨を表示させる制御を行う。
【００６５】
このような構成にすることによって、粉砕媒体４の磨耗による生産性の低下を防ぐとともに、必要以上の頻度で粉砕媒体４を交換する必要がなくなり、生産コストを低減することができる。また、被粉砕粒子３の粉砕時間の短縮に寄与でき、量産化における生産効率の向上に寄与できる。
【００６６】
なお、粉砕する被粉砕粒子は単一物質のみならず、複合材料であってもよく、その特徴に合わせた制御の判断基準を設けることで効率的に被粉砕粒子を粉砕することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明は、被粉砕粒子を粉砕する装置に広く応用可能である。
【符号の説明】
【００６８】
１  粉砕容器
２  回転体
３  被粉砕粒子
４  粉砕媒体
５  サンプリング口
６  気体流入口
７  サンプリング口用弁
８  気体流入口用弁
９  気体供給源
１０  圧力センサ
１１  装置制御部
１２  回転駆動部
１３  冷却部
１４  表示部
２１  粒子特性測定部
２２  装置モニタリング部
２３  制御判断部
２１１  粒径分布測定器
【図１】
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【図２】
2018187559.tif 000004
【図３】
2018187559.tif 000005
【図４】
2018187559.tif 000006
【図５】
2018187559.tif 000007
【図６】
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【図７】
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