(57)【要約】【解決手段】  テラヘルツ光発生装置１は、テラヘルツ光ＴＨを発生可能な非線形光学結晶４と、ポンプ光Ｌ１を発振させるポンプ光発振器２と、非線形光学結晶４と平行に配置されて、シード光Ｌ２を発振させるシード光発振器３と、シード光発振器３から発振されたシード光Ｌ２を順次反射させて非線形光学結晶４へ入射させる第１全反射ミラー１７、第２全反射ミラー１８と、シード光Ｌ２を集光する凸レンズ６とを備えている。ポンプ光Ｌ１とシード光Ｌ２を重畳して非線形光学結晶４に人射させると、非線形光学結晶４からテラヘルツ光ＴＨが発生する。  第１全反射ミラー１７を発振直後のシード光Ｌ２の光路に沿って水平方向に移動させることにより、シード光Ｌ２の非線形光学結晶４への人射角を変更することができる。【効果】  従来と比較して小型でコストが安いテラヘルツ光発生装置１を提供できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パラメトリック効果によるテラヘルツ光を発生可能な非線形光学結晶と、ポンプ光を発振させるポンプ光発振器と、発振させるシード光の波長を変更可能なシード光発振器と、上記シード光発振器から発振されたシード光を非線形光学結晶へ導光する導光手段と、上記シード光の光路上に配置されて、シード光を集光する凸レンズとを備え、
上記ポンプ光と上記シード光を、位相整合条件を満たす入射角で上記非線形光学結晶に入射させることによりテラヘルツ光を発生させるように構成されたテラヘルツ光発生装置において、
上記導光手段は、上記シード光発振器から発振されたシード光を第１の反射角で反射させる第１ミラーを備えており、
上記第１ミラーの反射面を上記シード光発振器から発振されたシード光の光路に沿って移動させる移動機構が設けられ、
上記シード光発振器から発振されるシード光の波長に応じて、上記移動機構によって第１ミラーを移動させることにより、上記シード光の上記凸レンズへの入射位置を変更して位相整合条件が満たされるように上記非線形光学結晶に入射されるシード光の入射角が変更されることを特徴とするテラヘルツ光発生装置。
【請求項２】
上記シード光発振器から発振されるポンプ光と上記シード光発振器から上記第１ミラーまでの間のシード光が平行となるように、上記ポンプ光発振器とシード光発振器が配置されており、
上記第１ミラーによって反射された上記シード光を上記非線形光学結晶に向けて反射する固定の第２ミラーが設けられることを特徴とする請求項１に記載のテラヘルツ光発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はテラヘルツ光発生装置に関し、より詳しくは、集光レンズへのシード光の入射位置を変化させることにより、非線形光学結晶へのシード光の入射角を変化させるようにしたテラヘルツ光発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、テラヘルツ光発生装置は公知であり、具体的には、パラメトリック効果によるテラヘルツ光を発生可能な非線形光学結晶と、ポンプ光を発振させるポンプ光発振器と、シード光を発振させるシード光発振器と、上記シード光発振器から発振されたシード光を非線形光学結晶へ導光する導光手段と、上記シード光の光路上に配置されて、シード光を集光する凸レンズとを備え、上記ポンプ光と上記シード光を、位相整合条件を満たす入射角で非線形光学結晶に入射させることによりテラヘルツ光を発生させるように構成されたテラヘルツ光発生装置が知られている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３７４７３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記特許文献１の装置は、シード光を回折させる回折格子と一対の凸レンズを水平方向の一直線上に配置する構成となっていた。つまり、導光手段と凸レンズが横一列に配置された構成となっているため、大きな光路長が必要となり、装置が大型化するという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した事情に鑑み、本発明は、パラメトリック効果によるテラヘルツ光を発生可能な非線形光学結晶と、ポンプ光を発振させるポンプ光発振器と、発振させるシード光の波長を変更可能なシード光発振器と、上記シード光発振器から発振されたシード光を非線形光学結晶へ導光する導光手段と、上記シード光の光路上に配置されて、シード光を集光する凸レンズとを備え、上記ポンプ光と上記シード光を、位相整合条件を満たす入射角で上記非線形光学結晶に入射させることによりテラヘルツ光を発生させるように構成されたテラヘルツ光発生装置において、
上記導光手段は、上記シード光発振器から発振されたシード光を第１の反射角で反射させる第１ミラーを備えており、
上記第１ミラーの反射面を上記シード光発振器から発振されたシード光の光路に沿って移動させる移動機構が設けられ、
上記シード光発振器から発振されるシード光の波長に応じて、上記移動機構によって第１ミラーを移動させることにより、上記シード光の上記凸レンズへの入射位置を変更して位相整合条件が満たされるように上記非線形光学結晶に入射されるシード光の入射角が変更されることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００６】
このような構成によれば、従来と比較して小型でコストが安いテラヘルツ光発生装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の一実施例を平面図で示す構成図。
【図２】本発明の第２実施例を平面図で示す構成図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図示実施例について本発明を説明すると、図１において１はテラヘルツ光ＴＨを発生させるテラヘルツ光発生装置であり、このテラヘルツ光発生装置１は、発生させたテラヘルツ光ＴＨを用いて検査対象物Ｏの品質検査を行うことができるようになっている。
テラヘルツ光発生装置１は、ポンプ光Ｌ１を発振させるポンプ光発振器２と、シード光Ｌ２を発振させるシード光発振器３と、シード光Ｌ２とポンプ光Ｌ１が位相整合条件を満たして重畳して入射されるとテラヘルツ光ＴＨとアイドラー光Ｌ３を発生させる非線形光学結晶４と、シード光発振器３から発振されたシード光Ｌ２を順次反射させて非線形光学結晶４に導光する導光手段５と、シード光Ｌ２の光路上に配置されてシード光Ｌ２を集光する凸レンズ６とを備えている。
このテラヘルツ光発生装置１は、上記非線形光学結晶４にシード光Ｌ２とポンプ光Ｌ１とを位相整合条件を満たすように重畳させて入射することにより、アイドラー光Ｌ３とテラヘルツ光ＴＨとを発生させる光注入型テラヘルツパラメトリック発生器（Ｉｓ−ＴＰＧ）として構成されている。
【０００９】
非線形光学結晶４は四角柱状に形成されており、図示しない保持具によって軸心４Ｃが所定高さで水平となるように固定されている。非線形光学結晶４における側面にシリコンプリズム１１が一体に取り付けられている。
シリコンプリズム１１を介して非線形光学結晶４からテラヘルツ光ＴＨが外方へ放射される際の光路上に、一対の凸レンズ１２Ａ、１２Ｂが離隔されて配置されるとともに、外方側の凸レンズ１２Ｂと対向する外方位置に受光素子１３が配置されている。
検査作業時においては、一対の凸レンズ１２Ａ、１２Ｂの中間の位置に、検査対象物Ｏがセットされるようになっており、該検査対象物Ｏに検査光としてのテラヘルツ光ＴＨが照射されると、検査対象物ＴＨを透過した後のテラヘルツ光ＴＨが受光素子１３に受光されるようになっている。受光素子１３が受光したテラヘルツ光ＴＨを基にして、図示しない判定装置が検査対象物ＴＨの品質の良否を検査するようになっている。
非線形光学結晶４の軸心４Ｃの一端の延長線上にポンプ光発振器２が水平に固定して配置されており、非線形光学結晶４の軸心４Ｃの他端の延長線上にダンパー１５が固定して配置されている。非線形光学結晶４を透過して端面４Ｂから外方へ放射されたポンプ光L１及びアイドラー光Ｌ３は、ダンパー１５によって吸収されるようになっている。
【００１０】
ポンプ光発振器２はマイクロチップレーザからなり、制御装置１０によって作動を制御されるようになっている。ポンプ光発振器２は、非線形光学結晶４の端面４Ａから離隔させて、非線形光学結晶４と同じ高さに水平に支持されている。
ポンプ光発振器２が作動されると、ポンプ光Ｌ１としてのレーザ光が非線形光学結晶４に向けてパルス発振されて、該パルス発振されたポンプ光Ｌ１は非線形光学結晶４の端面４Ａの中心（端面４Ａに非線形光学結晶４の軸心４Ｃが交差する位置）に入射されるようになっている。ポンプ光Ｌ１としてのパルスレーザの波長は１０６４．４ｎｍであり、パルス発振する際の繰り返し周波数は１００Ｈｚ、パルス幅４００ｐｓｅｃとなっている。なお、ポンプ光Ｌ１の光路上にコリメータ１６が配置されており、このコリメータ１６によって平行光線に調整された後のポンプ光Ｌ１が端面４Ａに入射されるようになっている。
ポンプ光発振器２から発振されるポンプ光Ｌ１の光路の一側（放射方向の左側）に、凸レンズ６が固定して配置されている。シード光発振器３から発振されたシード光Ｌ２を集光レンズとしての凸レンズ６によって集光して非線形光学結晶４の端面４Ａの中心（端面４Ａに非線形光学結晶４の軸心４Ｃが交差する位置）に入射させるようになっている。
なお、ポンプ光Ｌ１とシード光Ｌ２は、必ずしも端面４Ａのうちの軸心４Ｃと交差する位置に照射される必要はなく、ポンプ光Ｌ１とシード光Ｌ２が端面４Ａで重畳して入射する構成となっていれば良い。
また、制御装置１０としては、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）又はプログラマブルロジックコンピュータ（ＰＬＣ）を用いることができる。
【００１１】
シード光発振器３は、上記非線形光学結晶４の長手方向（軸心４Ｃ）と平行な状態で、かつ、非線形光学結晶４と同じ高さで水平に固定されており、凸レンズ６の手前に配置された第１全反射ミラー１７に向けて水平方向にシード光Ｌ２を発振するようになっている。つまり、本実施例においては、上記ポンプ光発振器２から発振されるポンプ光Ｌ１の光路と、シード光発振器３から発振された直後のシード光Ｌ２の光路は、相互に平行で略同じ高さとなり、シード光発振器３から発振するシード光Ｌ２の発振方向は、ポンプ光発振器２から発振されるポンプ光Ｌ１の発振方向とは逆となる。
シード光発振器３は半導体レーザからなり、シード光発振器３の作動は制御装置１０によって制御されるようになっている。シード光発振器３が作動されると、シード光Ｌ２が連続的に発振されるようになっている。発振された直後のシード光Ｌ２の光路は、非線形光学結晶４の軸心４Ｃと平行であって、かつ水平になっている。本実施例では、シード光Ｌ２としてのレーザ光の波長は１０６８〜１０７５ｎｍの範囲で可変するように、シード光発振器３から発振される。この範囲でシード光Ｌ２の波長を可変することで、０．８〜３ＴＨｚのテラヘルツ光ＴＨを発振することが可能となる。
【００１２】
第１全反射ミラー１７は可動ステージ２１に保持されており、シード光発振器３から発振された直後のシード光Ｌ２の光路に対して４５°傾斜された状態で支持されている。これにより、シード光発振器３から発振されたシード光Ｌ２は第１全反射ミラー１７によって９０°の角度を成して反射されるようになっている。そして、第１全反射ミラー１７によって９０°反射された後のシード光Ｌ２の光路上に上記凸レンズ６が光路と直交するように配置されている。
第１全反射ミラー１７を保持した可動ステージ２１は、シード光発振器３から発振された直後のシード光Ｌ２の光路に沿って水平方向に移動可能に構成されており、この可動ステージ２１は移動機構２２によって移動されるようになっている。この移動機構２２の作動は制御装置１０によって制御されるようになっている。
凸レンズ６を挟んで第１全反射ミラー１７とは反対側となるシード光Ｌ２の光路上の位置で、かつ、ポンプ光Ｌ１の光路の他側（放射方向の右側）となる位置に第２全反射ミラー１８が配置されている。この第２全反射ミラー１８は、第１全反射ミラー１７によって反射された後のシード光Ｌ２の光路に対して所定角度傾斜した状態に維持されている。より具体的には、図１の左右方向を０°とした場合において、それに対する第２全反射ミラー１８の傾斜角度は１〜２°程度となっている。これにより、位相整合条件が満たされる入射角でシード光Ｌ２が非線形光学結晶４の端面４Ａに入射されるようになっている。
シード光発振器３と第１全反射ミラー１７との間となるシード光Ｌ２の光路上にコリメータ２３が配置されており、シード光発振器３から発振された直後のシード光Ｌ２はコリメータ２３によって平行光線となるように調整されるようになっている。
シード光発振器３からシード光Ｌ２が発振されると、該シード光Ｌ２はコリメータ２３で平行光線に調整された後に第１全反射ミラー１７によって９０°の角度を成して反射されて凸レンズ６へ導光される。その後、シード光Ｌ２は凸レンズ６で集光されてから第２全反射ミラー１８によって反射された後に非線形光学結晶４の端面４Ａに入射されるようになっている。本実施例の凸レンズ６は、その焦点位置が上記非線形光学結晶４の端面４Ａの位置となるような所定位置に支持されている。
制御装置１０が移動機構２２によって可動ステージ２１をシード光Ｌ２の光路に沿って所要量、水平方向に移動させることにより、凸レンズ６に対するシード光Ｌ２の入射位置を変更することができ、それによってシード光Ｌ２が非線形光学結晶４の端面４Ａに入射される際の入射角を変更できるようになっている。
なお、本実施例では第１全反射ミラー１７、第２全反射ミラー１８として光を全反射させる全反射ミラーを用いているが、ミラー１７、１８として部分透過ミラーを用いてもよく、その場合にはそれらを透過したシード光Ｌ２を発振器モニタに入射させてレーザ光の出力を計測する構成としても良い。
【００１３】
非線形光学結晶３の端面４Ａの中央（軸心４Ｃ）にポンプ光Ｌ１とシード光Ｌ２とが位相整合条件を満たして重畳して入射されると、非線形光学結晶４によりテラヘルツ光ＴＨが発生して、プリズム１１を介して外方に向けて放射されるようになっている。また、アイドラー光Ｌ３及びポンプ光Ｌ１が非線形光学結晶４の端面４Ｂから外方へ放射される。
上述した説明から理解できるように、本実施例の導光手段５は、第１全反射ミラー１７と第２全反射ミラー１８とから構成されている。また、本実施例においては、導光手段５と凸レンズ６及び移動機構２２とによって、シード光Ｌ２を非線形光学結晶４の端面４Ａに照射するシード光照射手段２４が構成されている。
また、本実施例においては、ポンプ光Ｌ１、シード光Ｌ２、アイドラー光Ｌ３及びテラヘルツ光ＴＨが略同一の水平面上に存在するように、シード光照射手段２４や前述したテラヘルツ光発生装置１の構成要素（ポンプ光発振器２、シード光発振器３等）が配置されている。
【００１４】
以上のように、本実施例においては、非線形光学結晶４の長手方向（軸心４Ｃ）と平行に、かつ同じ高さでシード光発振器３を配置し、導光手段５によってシード光Ｌ２を単一の凸レンズ６に導光するとともに、ポンプ光Ｌ１の入射方向に沿った方向にシード光Ｌ２を折り返してから非線形光学結晶４の端面４Ａに入射させる構成となっている。そして、移動機構２２によって可動ステージ２１を介して第１全反射ミラー１７をシード光Ｌ２の光路に沿って水平方向に移動させることにより、凸レンズ６に対するシード光Ｌ２に入射位置を変更できるようになっている。
【００１５】
以上の構成において、テラヘルツ光発生装置１で発生させたテラヘルツ光ＴＨを用いて以下のようにして検査対象物Ｏの検査が行われる。
先ず、検査対象物Ｏを一対の凸レンズ１２Ａ、１２Ｂの間の検査位置へセットする。
次に、検査対象物Ｏに照射するテラヘルツ光ＴＨの波長に応じて、制御装置１０は移動機構２２によって第１全反射ミラー１７を水平方向に所要量移動させる。これにより、検査対象物Ｏに照射するテラヘルツ光ＴＨの波長に対応する位置に第１全反射ミラー１７が位置するようになっている。
その後、制御装置１０によってポンプ光発振器２及びシード光発振器３が作動される。これにより、ポンプ光発振器２からポンプ光Ｌ１がパルス発振され、該ポンプ光Ｌ１はコリメータ１６によって平行光線に調整されてから非線形光学結晶４の端面４Ａに入射される。また、シード光発振器３から検査対象物Ｏに照射するテラヘルツ光ＴＨの波長に対応する波長のシード光Ｌ２が発振され、該シード光Ｌ２は第１全反射ミラー１７によって９０°反射されてから凸レンズ６へ導光されて、該凸レンズ６によって集光されてから第２全反射ミラー１８によって反射されてから非線形光学結晶４の端面４Ａに入射される。
ここで、第１全反射ミラー１７が上記シード光Ｌ２の波長に応じた所要位置に停止しているので位相整合条件は満たされており、かつ、ポンプ光Ｌ１とシード光Ｌ２が端面４Ａに同時に重畳して入射される。それにより、テラヘルツ光ＴＨが発生するとともにアイドラー光Ｌ３が発生し、テラヘルツ光ＴＨはシリコンプリズム１１を介して外方へ放射された後に、凸レンズ１２Ａを介して検査対象物Ｏへ照射される。
検査対象物Ｏに照射されて該検査対象物Ｏを透過したテラヘルツ光ＴＨは凸レンズ１２Ｂを介して受光素子１３によって受光される。該受光素子１３によって受光されたテラヘルツ光ＴＨを基にして図示しない判定装置は、検査対象物Ｏが良品であるか否かを判定するようになっている。なお、非線形光学結晶４の他方の端面４Ｂから放射されたアイドラー光Ｌ３及びポンプ光Ｌ１はダンパー１５によって吸収されるようになっている。
以上のようにして、テラヘルツ光発生装置１により検査対象物Ｏにテラヘルツ光ＴＨの検査を行うが、検査対象物Ｏの種類を変更する場合には、それに応じてテラヘルツ光ＴＨの波長を変更する必要がある。
この場合には、制御装置１０は移動機構２２によって可動ステージ２１を介して第１全反射ミラー１７をシード光Ｌ２の光路に沿って水平方向に所要量移動させる。それにより、変更後の所定波長のテラヘルツ光ＴＨを得るための位相整合条件を満たす位置に第１全反射ミラー１７が位置する。つまり、集光レンズとしての凸レンズ６に対するシード光Ｌ２の入射位置が変更され、第２全反射ミラー１８を介して端面４Ａに対するシード光Ｌ２の入射角が変更される。
さらに、シード光発振器３から発振されるシード光Ｌ２の波長を、変更後の所定波長のテラヘルツ光ＴＨで発生するための波長に変更する。
それにより、位相整合条件を満たして、変更後の検査対象物Ｏの種類に応じた波長のテラヘルツ光ＴＨが発生するようになっている。
【００１６】
上述した本実施例においては、集光レンズとしての凸レンズ６は１箇所だけ配置されるとともに、導光手段５によってシード光Ｌ２が折り返されてから非線形光学結晶４の端面４Ａに入射する構成となっている。そのため、本実施例によれば、従来と比較して小型でコストが安いテラヘルツ光発生装置１を提供できる。
また、導光手段５としては、シード光Ｌ２の光路に沿って水平方向に可動できる第１全反射ミラー１７と、所定位置に固定された第２全反射ミラー１８を備えており、単一の凸レンズ６によってシード光Ｌ２を集光する構成となっている。そのため、回折格子による近似値を用いて位相整合条件を満たすように構成された特許文献１の装置と比較して、本実施例によれば、いずれの波長であっても位相整合条件を満たすことができ、広帯域の可変波長テラヘルツ光源となりうるテラヘルツ光発生装置１をより小型の構造にて提供することができる。
なお、上記第１実施例においては、ポンプ光Ｌ１と発振直後のシード光Ｌ２が相互に平行となるようにポンプ光発振器２とシード光発振器３が配置されているが、シード光Ｌ２を第１全反射ミラー１７に入射させる角度は、適宜変更することが可能である。この場合には、第１全反射ミラー１７、第２全反射ミラー１８を支持する角度を調整して、位相整合条件（位相整合角）を満たすように調整する構成となる。
なお、上記第１全反射ミラー１７は、必ずしもシード光発振器３から発振された直後のシード光Ｌ２の光軸（光路）に完全に沿って移動させる必要はない。つまり、シード光Ｌ２に対する第１全反射ミラー１７の反射角が同じであれば、シード光Ｌ２の光軸（光路）に対して傾斜する経路を第１全反射ミラー１７が移動するようにしても良い。この場合には、傾斜する経路を第１全反射ミラー１７が移動する際に、シード光Ｌ２が入射する位置がずれることになる。
【００１７】
次に、図２は本発明の第２実施例を示した正面図であり、この第２実施例においては、上記第１実施例における第２全反射ミラー１８を省略し、ポンプ光Ｌ１とシード光Ｌ２を平行な状態で同一方向に向けて発振させてから非線形光学結晶４に照射するように構成したものである。
すなわち、非線形光学結晶４の軸心４Ｃの一端の延長線と直交する方向に、ポンプ光発振器２とシード光発振器３が相互に平行となるように配置されている。
非線形光学結晶４の軸心４Ｃの一端の延長線上に、フィルタ３１及び凸レンズ６が順次配置されている。フィルタ３１は、ポンプ光発振器２から発振されるポンプ光Ｌ１の光路に対して４５°傾斜させて支持されている。また、このフィルタ３１は、１０６４．４ｎｍまでのレーザ光は反射させる一方、１０６６〜１０８５ｎｍの波長のレーザ光は透過させるようになっている。つまり、ポンプ光発振器２から発振されるポンプ光Ｌ１（レーザ光）はフィルタ３１によって反射されるが、シード光発振器３から発振されたシード光Ｌ２（レーザ光）は略全量を透過させるようになっている。
そのため、ポンプ光発振器２から１０６４．４ｎｍのポンプ光Ｌ１（レーザ光）が発振されると、該ポンプ光Ｌ１はフィルタ３１によって９０°反射されてから端面４Ａに入射されるようになっている。
凸レンズ６を挟んでフィルタ３１の反対側となる外方位置に全反射ミラー１７が配置されている。この全反射ミラー１７は可動ステージ２１に保持されており、この可動ステージ２１は、移動機構２２によって上記シード光発振器３から発振された直後のシード光Ｌ２の光路に沿って水平方向に移動されるようになっている。全反射ミラー１７は、シード光発振器３から発振された直後のシード光Ｌ２の光路に対して約４５°傾斜した状態で可動ステージ２１に支持されている。
シード光発振器３は、１０６６〜１０８５ｎｍの波長のシード光Ｌ２（レーザ光）を発振するようになっている。
シード光発振器３からシード光Ｌ２が発振されると、先ず全反射ミラー１７によって９０°反射されてから凸レンズ６によって集光され、その後、上記フィルター３１を裏面側から透過した後に非線形光学結晶４の端面４Ａに入射されるようになっている。移動機構２２によって可動ステージ２１を介して全反射ミラー１７を移動させることにより、凸レンズ６に対するシード光Ｌ２の入射位置を変更することができ、それによって凸レンズ６から端面４Ａへのシード光Ｌ２の入射角を変更できるようになっている。なお、この第２実施例において上記第１実施例と対応する部材には同じ部材番号を付している。
このような構成の第２実施例においても、非線形光学結晶４の端面４Ａにポンプ光Ｌ１とシード光Ｌ２を重畳するように入射させてテラヘルツ光ＴＨを発生させることができる。また、移動機構２２によって可動ステージ２１を介して全反射ミラー１７を移動させることにより、凸レンズ６に対するシード光Ｌ２の入射位置を変更することができ、それによって、凸レンズ６から端面４Ａへのシード光Ｌ２の入射角度を変更することできる。
このような構成の第２実施例によっても上記第１実施例と同様の作用・効果を得ることができる。
【００１８】
なお、テラヘルツ光発生装置１を用いての検査対象物Ｏに対する検査方法としては、０．８ＴＨｚ〜３ＴＨｚまでのテラヘルツ光ＴＨを、同一の検査対象物Ｏに対して連続的に波長を変化させて照射するようにしても良い。このように波長を掃引しながら検査対象物Ｏに照射することにより、テラヘルツ光ＴＨの吸収しやすい波長が異なる物質（例えば、物質Ａについては１ＴＨｚ、物質Ｂについては２ＴＨｚに吸収特性がある場合）に対して検査を行うことが可能である。
また、上記各実施例においては、シード光Ｌ２の光路上に凸レンズ６を１つ配置した構成となっているが、凸レンズ６を光路上に複数配置しても良い。
【符号の説明】
【００１９】
１‥テラヘルツ光発生装置                  ２‥ポンプ光発振器
３‥シード光発振器                        ４‥非線形光学結晶
５‥導光手段                              ６‥凸レンズ
１７‥第１全反射ミラー                    １８‥第２全反射ミラー
２２‥移動機構                            Ｌ１‥ポンプ光
Ｌ２‥シード光                            ＴＨ‥テラヘルツ光
【図１】
2018077427.tif 000003
【図２】
2018077427.tif 000004