(57)【要約】      （修正有）【課題】高精細な蒸着パターンの形成が可能な多面付け蒸着マスクの製造方法、および多面付け蒸着マスクを提供。【解決手段】フレーム６０内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体６１と、フレーム本体６１内の開口空間を複数に区画する補助フレーム６２と、を含むフレーム６０を準備する工程と、金属マスク開口部を有する金属マスクと、当該金属マスクの一方の面上に位置する樹脂層と、を含む単位蒸着マスク準備体４０を準備する工程と、フレームの区画毎に、単位蒸着マスク準備体４０を固定する工程と、単位蒸着マスク準備体４０の樹脂層を加工して、蒸着作製するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスク１００を形成する工程と、を含む、蒸着マスクの製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、
フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、
金属マスク開口部を有する金属マスクと、当該金属マスクの一方の面上に位置する樹脂層と、を含む単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、
前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、
前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、
を含む多面付け蒸着マスクの製造方法。
【請求項２】
フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、
フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、
金属マスク開口部を有する金属マスクと、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクとが、前記金属マスク開口部と前記樹脂マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる単位蒸着マスクを準備する工程と、
前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、
を含む多面付け蒸着マスクの製造方法。
【請求項３】
前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂である請求項１または２に記載の多面付け蒸着マスクの製造方法。
【請求項４】
フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクであって、
前記フレームは、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含み、
前記単位蒸着マスクは、金属マスク開口部を有する金属マスクと、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクとが、前記金属マスク開口部と前記樹脂マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる、
多面付け蒸着マスク。
【請求項５】
前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂である請求項４に記載の多面付け蒸着マスク。
【請求項６】
フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、
フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、
樹脂層と、当該樹脂層の一方の面上の一部に位置する金属層と、を含む単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、
前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、
前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、
を含む多面付け蒸着マスクの製造方法。
【請求項７】
フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、
フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、
蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、前記樹脂マスクの一方の面上の一部に位置する金属層とが積層されてなる単位蒸着マスクを準備する工程と、
前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、
を含む多面付け蒸着マスクの製造方法。
【請求項８】
前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂である請求項６または７に記載の多面付け蒸着マスクの製造方法。
【請求項９】
フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクであって、
前記フレームは、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含み、
前記単位蒸着マスクは、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、前記樹脂マスクの一方の面上の一部に位置する金属層とが積層されてなる、
多面付け蒸着マスク。
【請求項１０】
前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂である請求項９に記載の多面付け蒸着マスク。
【請求項１１】
フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、
フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、
樹脂層から構成される単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、
前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、
前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、
を含む多面付け蒸着マスクの製造方法。
【請求項１２】
フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、
フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、
蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクから構成される単位蒸着マスクを準備する工程と、
前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、
を含む多面付け蒸着マスクの製造方法。
【請求項１３】
前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂である請求項１１または１２に記載の多面付け蒸着マスクの製造方法。
【請求項１４】
フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクであって、
前記フレームは、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含み、
前記単位蒸着マスクは、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクである、
多面付け蒸着マスク。
【請求項１５】
前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂である請求項１４に記載の多面付け蒸着マスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、多面付け蒸着マスクの製造方法、および多面付け蒸着マスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
蒸着マスクを用いた蒸着パターンの形成は、通常、蒸着作成するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させ、蒸着源から放出された蒸着材を、開口部を通して、蒸着対象物に付着させることにより行われる。
【０００３】
上記蒸着パターンの形成に用いられる蒸着マスクとしては、例えば、蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、金属マスク開口部（スリットと称される場合もある）を有する金属マスクとを積層してなる蒸着マスク（例えば、特許文献１）等が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５２８８０７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示の実施形態は、高精細な蒸着パターンの形成が可能な多面付け蒸着マスクの製造方法、および多面付け蒸着マスクを提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一実施形態の多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、金属マスク開口部を有する金属マスクと、当該金属マスクの一方の面上に位置する樹脂層と、を含む単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、を含む。
【０００７】
また、本開示の他の一実施形態の多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、金属マスク開口部を有する金属マスクと、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクとが、前記金属マスク開口部と前記樹脂マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる単位蒸着マスクを準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、を含む。
【０００８】
上記の多面付け蒸着マスクの製造方法にあっては、前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂であってもよい。
【０００９】
また、本開示の他の一実施形態の多面付け蒸着マスクは、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクであって、前記フレームは、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含み、前記単位蒸着マスクは、金属マスク開口部を有する金属マスクと、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクとが、前記金属マスク開口部と前記樹脂マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる。
【００１０】
上記の多面付け蒸着マスクにあっては、前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂であってもよい。
【００１１】
また、本開示の他の一実施形態の多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、樹脂層と、当該樹脂層の一方の面上の一部に位置する金属層と、を含む単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、を含む。
【００１２】
また、本開示の他の一実施形態の多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、前記樹脂マスクの一方の面上の一部に位置する金属層とが積層されてなる単位蒸着マスクを準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、を含む。
【００１３】
上記の多面付け蒸着マスクの製造方法においては、前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂であってもよい。
【００１４】
また、本開示の他の一実施形態の多面付け蒸着マスクは、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクであって、前記フレームは、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含み、前記単位蒸着マスクは、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、前記樹脂マスクの一方の面上の一部に位置する金属層とが積層されてなる。
【００１５】
上記の多面付け蒸着マスクにおいては、前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂であってもよい。
【００１６】
また、本開示の他の一実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、樹脂層から構成される単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、を含む。
【００１７】
また、本開示の他の一実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクから構成される単位蒸着マスクを準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、を含む。
【００１８】
上記の多面付け蒸着マスクの製造方法においては、前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂であってもよい。
【００１９】
また、本開示の他の一実施形態にかかる多面付け蒸着マスクは、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクであって、前記フレームは、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含み、前記単位蒸着マスクは、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクである。
【００２０】
また、上記の多面付け蒸着マスクにおいては、前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂であってもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本開示の多面付け蒸着マスクの製造方法によれば、高精細な蒸着パターンを形成可能な蒸着マスクを製造することができる。また、本開示の多面付け蒸着マスクによれば、高精細な蒸着パターンを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本開示の第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法を説明するための工程図である。
【図２】本開示の第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法を説明するための工程図である。
【図３】第１および第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において用いられる、別のフレームの正面図である。
【図４】（ａ）は、第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体を金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ部分での断面図である。
【図５】（ａ）は、第３の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体を金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ部分での断面図であり、（ｃ）および（ｄ）は、第３の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される、別の単位蒸着マスク準備体を金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。
【図６】（ａ）は、第５の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体を平面視したときの一例を示す正面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ部分での断面図である。
【図７】（ａ）は、第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ部分での断面図である。
【図８】（ａ）は、第４の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ部分での断面図である。
【図９】（ａ）は、第６の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスクを平面視したときの一例を示す正面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ部分での断面図である。
【図１０】本開示の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスクの製造方法を説明するための図であり、フレーム付き蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を、図面等を参照しながら説明する。なお、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、以下に例示する実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。また、説明の便宜上、上方又は下方等という語句を用いて説明するが、上下方向が逆転してもよい。左右方向についても同様である。
【００２４】
＜第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法＞
本開示の第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、金属マスク開口部を有する金属マスクと、当該金属マスクの一方の面上に位置する樹脂層と、を含む単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、を含んでいる。以下に、各工程について説明する。
【００２５】
図１は、本開示の第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法を説明するための工程図である。
【００２６】
（１）フレームを準備する工程
図１（ａ）は、フレームを準備する工程において準備されたフレームの正面図である。
【００２７】
図１（ａ）に示すように、本開示の第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法においては、まず初めに、フレーム本体６１と、前記フレーム本体６１内の開口空間を複数に区画する補助フレーム６２と、を含むフレーム６０を準備する工程が行われる。フレーム本体６１および補助フレーム６２を含むフレーム６０の詳細については後述する。
【００２８】
（２）単位蒸着マスク準備体を準備する工程
本開示の第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法においては、金属マスク開口部を有する金属マスクと、当該金属マスクの一方の面に位置する樹脂層と、を含む単位蒸着マスク準備体４０を準備する工程が行われる。ここで、金属マスクと樹脂層とを含む単位蒸着マスク準備体４０の詳細については図４を用いて後述する。
【００２９】
（３）単位蒸着マスク準備体を固定する工程
図１（ｂ）は、フレームの一の区画に単位蒸着マスク準備体が固定された状態の正面図であり、図１（ｃ）はフレームのすべての区画に単位蒸着マスク準備体が固定された状態の正面図である。
【００３０】
図１（ｂ）および（ｃ）に示すように、本開示の第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法においては、先に準備されたフレーム６０の区画毎に、先に準備された単位蒸着マスク準備体４０を固定する工程が行われる。
【００３１】
（４）単位蒸着マスクを形成する工程
図１（ｄ）は、単位蒸着マスク準備体を加工して単位蒸着マスクを形成した状態の正面図である。
【００３２】
図１（ｄ）に示すように、本開示の第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法においては、フレーム６０の各区画に固定された単位蒸着マスク準備体４０のそれぞれにおける樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスク１００を形成する工程が行われる。
【００３３】
ここで単位蒸着マスク１００とは、当該単位蒸着マスク１００を用いて最終的に製造する一の製品を一単位とした場合における、当該一の製品に必要な蒸着パターンを形成するための蒸着マスクをいう。つまり、例えば最終的に製造する製品がスマートフォンの表示部分の場合、一つのスマートフォンの表示部分の蒸着パターンを形成するために必要な樹脂マスク開口部を有した蒸着マスクをいう。
【００３４】
図１（ａ）から（ｄ）に示す本開示の第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法によれば、一単位毎、つまり最終的に製造する製品毎に、単位蒸着マスク準備体４０を準備し、これを加工して単位蒸着マスク１００を形成しているので、当該蒸着マスクに不具合が生じた場合であっても、不具合のある単位蒸着マスク１００のみを除去したり、交換したりすることができるため、全体の歩留まりを向上することができる。
【００３５】
＜第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法＞
本開示の第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、金属マスク開口部を有する金属マスクと、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクとが、前記金属マスク開口部と前記樹脂マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる単位蒸着マスクを準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、を含んでいる。以下に、各工程について説明する。
【００３６】
図２は、本開示の第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法を説明するための工程図である。
【００３７】
（１）フレームを準備する工程
図２（ａ）は、フレームを準備する工程において準備されたフレームの正面図である。当該工程は、上記本開示の第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法と同じであるため、ここでの説明は省略する。
【００３８】
（２）単位蒸着マスクを準備する工程
本開示の第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法においては、金属マスク開口部を有する金属マスクと、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクとが、前記金属マスク開口部と前記樹脂マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる単位蒸着マスク１００を準備する工程が行われる。ここで金属マスクと樹脂マスクとを含む単位蒸着マスク１００の詳細については図５を用いて後述する。
【００３９】
（３）単位蒸着マスクを固定する工程
図１（ｂ）は、フレームの一の区画に単位蒸着マスクが固定された状態の正面図であり、図１（ｃ）はフレームのすべての区画に単位蒸着マスクが固定された状態の正面図である。
【００４０】
図１（ｂ）および（ｃ）に示すように、本開示の第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法においては、先に準備されたフレーム６０の区画毎に、先に準備された単位蒸着マスク１００を固定する工程が行われる。
【００４１】
図２（ａ）から（ｃ）に示す本開示の第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法によっても、上記第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法と同様、一単位毎、つまり最終的に製造する製品毎に、単位蒸着マスク１００を準備し、これをフレーム６０の区画毎に固定しているので、当該単位蒸着マスクに不具合が生じた場合であっても、不具合のある単位蒸着マスク１００のみを除去したり、交換したりすることができるため、全体の歩留まりを向上することができる。
【００４２】
＜第３の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法＞
本開示の第３の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、樹脂層と、当該樹脂層の一方の面上の一部に位置する金属層と、を含む単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、を含んでいる。
【００４３】
ここで、本開示の第３の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法における各工程は、単位蒸着マスク準備体を準備する工程において準備される単位蒸着マスク準備体が、樹脂層と、当該樹脂層の一方の面上の一部に位置する金属層と、を含む単位蒸着マスク準備体であることを除き、各工程で行われることは上記本開示の第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法のそれと同じである。したがって、各工程の説明については省略し、また、準備される単位蒸着マスク準備体５０の詳細については、図５を用いて後述する。
【００４４】
＜第４の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法＞
本開示の第４の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、前記樹脂マスクの一方の面上の一部に位置する金属層とが積層されてなる単位蒸着マスクを準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、を含んでいる。
【００４５】
ここで、本開示の第４の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法における各工程は、単位蒸着マスクを準備する工程において準備される単位蒸着マスクが、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、前記樹脂マスクの一方の面上の一部に位置する金属層とが積層されてなる単位蒸着マスクであることを除き、各工程で行われることは上記本開示の第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法のそれと同じである。したがって、各工程の説明については省略し、また、準備される単位蒸着マスク１１０の詳細については、図８を用いて後述する。
【００４６】
＜第５の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法＞
本開示の第５の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、樹脂層から構成される単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、を含んでいる。
【００４７】
ここで、本開示の第５の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法における各工程は、単位蒸着マスク準備体を準備する工程において準備される単位蒸着マスク準備体が、樹脂層から構成される単位蒸着マスク準備体であることを除き、各工程で行われることは上記本開示の第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法のそれと同じである。したがって、各工程の説明については省略し、また、準備される単位蒸着マスク準備体７０の詳細については、図６を用いて後述する。
【００４８】
＜第６の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法＞
本開示の第６の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクから構成される単位蒸着マスクを準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、を含んでいる。
【００４９】
ここで、本開示の第６の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法における各工程は、単位蒸着マスクを準備する工程において準備される単位蒸着マスクが、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクから構成される単位蒸着マスクであることを除き、各工程で行われることは上記本開示の第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法のそれと同じである。したがって、各工程の説明については省略し、また、準備される単位蒸着マスク１２０の詳細については、図９を用いて後述する。
【００５０】
＜フレーム＞
次に、上記第１および第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において用いられるフレーム６０について説明する。
【００５１】
フレーム６０を構成するフレーム本体６１は、図１および図２においては矩形形状を呈しているが、これに限定されることはなく、いかなる形状であってもよい。また、フレーム本体６１の材質としても特に限定されることはなく、例えば、各種金属や合金、ガラス、セラミックなどから適宜選択して用いることができる。また、フレーム本体６１の厚さについても特に限定されることはなく、適宜設計可能であるが、剛性等の観点から１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下の範囲であることが好ましい。また、フレーム本体６１を正面視した際のフレーム本体６１の幅についても特に限定されることはなく、単位蒸着マスク準備体４０または単位蒸着マスク１００を固定できる程度の幅を有していればよく、例えば１０ｍｍ以上７０ｍｍ以下としてもよい。
【００５２】
フレーム６０を構成する補助フレーム６２は、上記フレーム本体６１によって形成される開口空間を複数に区画するように設けられている。当該補助フレーム６２は、図１および図２においては格子状に設けられているが、これに限定されることはなく、例えば、開口空間を縦長の短冊状に区画すべく縦方向にのみ設けられていても、開口空間を横長の短冊状に区画すべく横方向にのみ設けられていてもよい。
【００５３】
また、補助フレーム６２の材質についても特に限定されることはなく、上記フレーム本体６１と同じ材質、つまり、各種金属や合金、ガラス、セラミックなどから適宜選択して用いることができる。フレーム本体６１と補助フレーム６２とを同じ材質とすることにより、図１および図２に示すように、フレーム本体６１と補助フレーム６２を一体に成形することができる。
【００５４】
フレーム本体６１と補助フレーム６２とを一体に成形する方法としては、特に限定されることはないが、例えば、各種金属板などを準備し、切削などの物理的な加工またはエッチングなどの化学的な加工により、複数に区画された開口空間を形成することで、フレーム本体６１および補助フレーム６２を有するフレーム６０としてもよい。
【００５５】
図３は、上記第１および第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において用いられる、別のフレームの正面図である。
【００５６】
図３に示すフレーム６０も図１や図２に示すフレームと同様、外枠となるフレーム本体６１と、当該フレーム本体６１によって形成される開口空間を複数に区画する補助フレーム６２と、を含んでいる。そして、フレーム本体６１は、図１や図２に示すフレーム６０のそれと同じであるため、ここでの説明は省略する。
【００５７】
図３に示すフレーム６０にあっては、補助フレーム６２が自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂によって構成されている。このように、補助フレーム６２は、必ずしもフレーム本体６１と同じ材質である必要はなく、フレーム本体６１により形成される開口空間に格子状にテープ状の樹脂を張り巡らせることにより、補助フレームとしてもよい。なお、この場合にあっても、図１の場合と同様、格子状に限定されることはない。
【００５８】
このように、補助フレーム６２の材質を自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂とすることにより、「単位蒸着マスク準備体を固定する工程」もしくは「単位蒸着マスクを固定する工程」を行うにあたり、位置精度を向上せしめることができる。
【００５９】
ここで、補助フレーム６２の自己吸着性または自己粘着性とは、補助フレーム６２自体の機構によって単位蒸着マスク準備体４０もしくは単位蒸着マスク１００と吸着または粘着可能な性質を意味する。具体的には、補助フレーム６２と単位蒸着マスク準備体４０もしくは単位蒸着マスク１００との間に、接着剤や粘着剤などを介さず、また磁石など外力を用いることなく、単位蒸着マスク準備体もしくは単位蒸着マスク１００を補助フレーム６２に密着せしめることができる性質を意味する。
【００６０】
このような自己吸着性もしくは自己粘着性を有する樹脂としては、例えば、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリエチレン樹脂等を挙げることができる。また、このような樹脂に代えて、補助フレーム６２の表面にセル吸盤構造を形成することで自己吸着性もしくは自己粘着性を発現せしめることもできる。セル吸盤構造とは、表面に形成された連続する微細な凹凸構造を意味し、この連続する微細な凹凸構造が吸盤としての作用を奏することで補助フレーム６２に自己吸着性もしくは自己粘着性が付与される。このような材料としては、例えば、特開２００８−３６８９５号公報に記載されているセル吸盤構造を有するシート状物等を挙げることができる。
【００６１】
なお、上記第１および第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において、フレーム６０に単位蒸着マスク準備体４０を固定する工程、およびフレーム６０に単位蒸着マスク１００を固定する工程のそれぞれが行われるが、その固定方法については特に限定されることはない。例えば、フレーム本体６１および補助フレーム６２と、単位蒸着マスク準備体４０または単位蒸着マスク１００の金属マスク１０とを溶接により固定してもよい。また、これらを各種接着剤などによって固定してもよい。さらには、補助フレーム６２が自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂から構成されている場合には、接着剤などを用なくてもよい。
【００６２】
＜単位蒸着マスク準備体＞
図４（ａ）は、上記第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体を金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図であり、図４（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ部分での断面図である。なお、図４（ｂ）における単位蒸着マスク準備体の中央付近の一部は省略されている。
【００６３】
図４に示すように、上記第１の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体４０は、金属マスク開口部１５を有する金属マスク１０と、当該金属マスク１０の一方の面、図４では下面に位置する樹脂層２１と、を含む。
【００６４】
（金属マスク）
金属マスク１０は、金属から構成され、縦方向或いは横方向に延びる金属マスク開口部１５が配置されている。金属マスク開口部の配置例について特に限定はなく、縦方向、及び横方向に延びる金属マスク開口部が、縦方向、及び横方向に複数列配置されていてもよく、縦方向に延びる金属マスク開口部が、横方向に複数列配置されていてもよく、横方向に延びる金属マスク開口部が縦方向に複数列配置されていてもよい。また、縦方向、或いは横方向に１列のみ配置されていてもよい。なお、本願明細書で言う「縦方向」、「横方向」とは、図面の上下方向、左右方向を意味し、単位蒸着マスク準備体や単位蒸着マスクの長手方向、幅方向の何れの方向であってもよい。例えば、単位蒸着マスク準備体や単位蒸着マスクの長手方向を「縦方向」としてもよく、幅方向を「縦方向」としてもよい。また、本願明細書では、単位蒸着マスク準備体を平面視したときの形状が矩形状である場合を例に挙げて説明しているが、これ以外の形状、例えば、円形状や、ひし形状等の多角形状としてもよい。この場合、対角線の長手方向や、径方向、或いは、任意の方向を「長手方向」とし、この「長手方向」に直交する方向を、「幅方向（短手方向と言う場合もある）」とすればよい。
【００６５】
金属マスク１０の材料について特に限定はなく、蒸着マスクの分野で従来公知のものを適宜選択して用いることができ、例えば、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金、アルミニウム合金などの金属材料を挙げることができる。中でも、鉄ニッケル合金であるインバー材は熱による変形が少ないので好適に用いることができる。
【００６６】
金属マスク１０の厚みについても特に限定はないが、シャドウの発生をより効果的に防止するためには、１００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以下であることがより好ましく、３５μｍ以下であることが特に好ましい。なお、５μｍより薄くした場合、破断や変形のリスクが高まるとともにハンドリングが困難となる傾向にある。
【００６７】
また、図４（ａ）に示す形態では、金属マスク開口部１５を平面視したときの開口形状は、矩形状を呈しているが、開口形状について特に限定はなく、金属マスク開口部１５の開口形状は、台形状、円形状等いかなる形状であってもよい。
【００６８】
金属マスク１０に形成される金属マスク開口部１５の断面形状についても特に限定されることはないが、図４（ｂ）に示すように蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。より具体的には、金属マスク開口部における下底先端と、同じく金属マスク開口部１５における上底先端とを結んだ直線と、金属マスク１０の底面とのなす角度、換言すれば、金属マスク開口部１５を構成する内壁面の厚み方向断面において、金属マスク開口部１５の内壁面と金属マスク１０の樹脂層２１と接する側の面（図示する形態では、金属マスクの下面）とのなす角度は、５°以上８５°以下の範囲内であることが好ましく、１５°〜８０°の範囲内であることがより好ましく、２５°以上６５°以下の範囲内であることがさらに好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。
【００６９】
（樹脂層）
上記金属マスク１０の一方の面、図４（ａ）および（ｂ）においては下面には、樹脂層２１が設けられている。当該樹脂層２１は、最終的には蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部が形成されることで樹脂マスクとなるものである。したがって、その詳細については、以下の（樹脂マスク）の部分で説明する。
【００７０】
図５（ａ）は、上記第３の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体を金属層側から平面視したときの一例を示す正面図であり、図５（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ部分での断面図である。
【００７１】
図５に示すように、上記第３の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体５０は、樹脂層２１と、当該樹脂層２１の一方の面上、図５（ｂ）においては上側の面上の一部に位置する金属層１１と、を含む。
【００７２】
（樹脂層）
第３の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体５０を構成する樹脂層２１は、最終的には蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部が形成されることで樹脂マスクとなるものである。したがって、その詳細については、以下の（樹脂マスク）の部分で説明する。
【００７３】
（金属層）
上記樹脂層２１の一方の面上、図５（ｂ）においては上側の面上の一部には、金属層１１が位置する。
【００７４】
当該金属層１１の材料について特に限定はなく、上記で説明した金属マスク１０と同様の材料から適宜選択して用いることができる。具体的には、例えば、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金、アルミニウム合金などの金属材料を挙げることができる。中でも、鉄ニッケル合金であるインバー材は熱による変形が少ないので好適に用いることができる。
【００７５】
金属層１１の厚みについても特に限定はないが、例えば、上記金属マスクの厚さと同じでもよい。
【００７６】
また、図５（ａ）に示す形態では、金属層１１は、樹脂層２１の左辺と上辺に沿って形成されているが、これに限定されることはなく、樹脂層２１の前面ではなく、その一部に形成されていればよい。
【００７７】
図５（ｃ）および図５（ｄ）は、上記第３の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される、別の単位蒸着マスク準備体を金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。
【００７８】
例えば、図５（ｃ）に示すように、樹脂層２１の左辺にのみ金属層１１が形成されていてもよく、図５（ｄ）に示すように、樹脂層２１の左角にのみ金属層１１が形成されていてもよい。
【００７９】
また、本開示の第３の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法においては、複数の単位蒸着マスク準備体５０をフレームに固定するにあたり、それぞれの単位蒸着マスク準備体５０における金属層１１の位置が異なる単位蒸着マスク準備体５０を用いてもよく、この場合にあっては、例えば、それぞれの単位蒸着マスク準備体５０をフレームに固定した際に、それぞれの単位蒸着マスク準備体５０における金属層１１が連続して、一つの大きな金属マスクが形作られるように、それぞれの単位蒸着マスク準備体５０における金属層１１の位置を設計することも可能である。
【００８０】
また、単位蒸着マスク準備体５０をフレームに固定するにあたり、フレーム本体や補助フレームと接触する部分にのみ金属層１１を形成しておいてもよい。この態様によれば、フレームや補助フレームが金属材料からなる場合においては、固定手段として溶接を用いることが可能となる。
【００８１】
図６（ａ）は、上記第５の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体を平面視したときの一例を示す正面図であり、図６（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ部分での断面図である。
【００８２】
図６に示すように、上記第５の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体７０は、樹脂層２１から構成されている。
【００８３】
（樹脂層）
第６の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体７０を構成する樹脂層２１は、最終的には蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部が形成されることで樹脂マスクとなるものである。したがって、その詳細については、以下の（樹脂マスク）の部分で説明する。
【００８４】
＜単位蒸着マスク＞
図７（ａ）は、上記第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図であり、図７（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ部分での断面図である。なお、図７（ｂ）における単位蒸着マスクの中央付近の一部は省略されている。
【００８５】
図７に示すように、上記第２の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク１００は、金属マスク開口部１５を有する金属マスク１０と、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０とが、前記金属マスク開口部１５と前記樹脂マスク開口部２５とが重なるようにして積層されてなる。
【００８６】
（金属マスク）
金属マスク１０については、上記単位蒸着マスク準備体４０における金属マスク１０と同じであるため、ここでの説明は省略する。
【００８７】
（樹脂マスク）
図７に示す単位蒸着マスク１００を構成する樹脂マスク２０の主材料となる樹脂材料、つまり、単位蒸着マスク準備体４０、５０、７０における樹脂層２１について限定はなく、レーザー加工等によって高精細な樹脂マスク開口部２５の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン−メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、熱膨張係数が１６ｐｐｍ／℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が１．０％以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。この樹脂材料を用いた樹脂マスクとすることで、樹脂マスク開口部２５の寸法精度を向上させることができ、かつ熱や経時での寸法変化率や吸湿率を小さくすることができる。
【００８８】
樹脂マスク２０の厚み（単位蒸着マスク準備体４０、５０、７０における樹脂層２１の厚み）について特に限定はないが、シャドウの発生の抑制効果をさらに向上せしめる場合には、樹脂マスク２０の厚みは、２５μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ未満であることがより好ましい。下限値の好ましい範囲について特に限定はないが、樹脂マスク２０の厚みが３μｍ未満である場合には、ピンホール等の欠陥が生じやすく、また変形等のリスクが高まる。特に、樹脂マスク２０の厚みを、３μｍ以上１０μｍ未満、より好ましくは４μｍ以上８μｍ以下とすることで、４００ｐｐｉを超える高精細パターンを形成する際のシャドウの影響をより効果的に防止することができる。また、樹脂マスク２０と金属マスク１０とは、直接的に接合されていてもよく、粘着剤層を介して接合されていてもよいが、粘着剤層を介して樹脂マスク２０と金属マスク１０とが接合される場合には、樹脂マスク２０と粘着剤層との合計の厚みが上記好ましい厚みの範囲内であることが好ましい。なお、シャドウとは、蒸着源から放出された蒸着材の一部が、金属マスク開口部や、樹脂マスクの開口部の内壁面に衝突して蒸着対象物へ到達しないことにより、目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる未蒸着部分が生ずる現象のことを言う。
【００８９】
樹脂マスク開口部２５の断面形状についても特に限定はなく、樹脂マスク開口部２５を形成する樹脂マスクの向かいあう端面同士が略平行であってもよいが、図７（ｂ）に示すように、樹脂マスク開口部２５はその断面形状が、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。換言すれば、金属マスク１０側に向かって広がりをもつテーパー面を有していることが好ましい。テーパー角については、樹脂マスク２０の厚み等を考慮して適宜設定することができるが、樹脂マスク開口部における下底先端と、同じく樹脂マスク開口部における上底先端を結んだ直線と、樹脂マスク底面とのなす角度、換言すれば、樹脂マスク開口部２５を構成する内壁面の厚み方向断面において、樹脂マスク開口部２５の内壁面と樹脂マスク２０の金属マスク１０と接しない側の面（図示する形態では、樹脂マスクの下面）とのなす角度は、５°以上８５°以下の範囲内であることが好ましく、１５°以上７５°以下の範囲内であることがより好ましく、２５°以上６５°以下の範囲内であることがさらに好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。また、図示する形態では、樹脂マスク開口部２５を形成する端面は直線形状を呈しているが、これに限定されることはなく、外に凸の湾曲形状となっている、つまり樹脂マスク開口部２５の全体の形状がお椀形状となっていてもよい。また、その逆、つまり内に凸の湾曲形状となっていてもよい。
【００９０】
図８（ａ）は、上記第４の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図であり、図８（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ部分での断面図である。
【００９１】
（金属層）
上記第４の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク１１０を構成する金属層１１については、上記単位蒸着マスク準備体５０における金属層１１と同じであるため、ここでの説明は省略する。
【００９２】
（樹脂マスク）
上記第４の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク１１０を構成する樹脂マスク２０については、上記蒸着マスク１００における樹脂マスク２０と同じであるため、ここでの説明は省略する。
【００９３】
図９（ａ）は、上記第６の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスクを平面視したときの一例を示す正面図であり、図９（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ部分での断面図である。
【００９４】
（樹脂マスク）
上記第６の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク１２０は、樹脂マスク２０のみから構成されており、当該樹脂マスク２０については、上記蒸着マスク１００における樹脂マスク２０と同じであるため、ここでの説明は省略する。
【００９５】
＜単位蒸着マスク準備体および単位蒸着マスクの製造方法＞
以下、単位蒸着マスク準備体４０および単位蒸着マスク１００の製造方法について一例を挙げて説明する。
【００９６】
まず、金属板の一方の面上に樹脂層（または樹脂膜）が形成された樹脂層２１付き金属板を準備し、この樹脂層２１付き金属板に金属マスク開口部１５を形成することにより、単位蒸着マスク準備体４０が製造される。
【００９７】
次いで、この単位蒸着マスク準備体４０に対し、金属マスク１０側から金属マスク開口部１５を通してレーザーを照射して、樹脂層２１に蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部２５を形成することで樹脂マスク２０が形成され、単位蒸着マスク１００が製造される。
【００９８】
より具体的には、例えば、樹脂層付き金属板の製造方法としては、金属板上に、従来公知のコーティング法等によって、最終的に樹脂マスクとなる樹脂層を形成することができる。
【００９９】
また、単位蒸着マスク準備体の製造方法としては、樹脂層付き金属板の樹脂層と接しない側の表面にマスキング部材、例えば、レジスト材を塗工し、所定の箇所を露光し、現像することで、最終的に金属マスク開口部１５が形成される位置を残したレジストパターンを形成する。マスキング部材として用いるレジスト材としては処理性が良く、所望の解像性があるものが好ましい。次いで、このレジストパターンを耐エッチングマスクとして用いてエッチング法により、樹脂層付き金属板の樹脂層と接しない側からエッチング加工する。エッチングが終了後、レジストパターンを洗浄除去する。これにより、金属マスク開口部１５が設けられた金属マスク１０の一方の面に樹脂層が積層された単位蒸着マスク準備体４０を製造することができる。なお、樹脂層が、金属板のエッチング材に対し耐エッチング性を有する場合には、樹脂層の表面をマスキングする必要はないが、樹脂層が、金属板のエッチング材に対する耐性を有しない場合には、樹脂層の表面にマスキング部材を塗工しておく必要がある。また、上記では、マスキング部材としてレジスト材を中心に説明を行ったが、レジスト材を塗工する代わりにドライフィルムレジストをラミネートし、同様のパターニングを行ってもよい。
【０１００】
樹脂マスク開口部２５の形成方法としては、上記で準備された単位蒸着マスク準備体に対し、レーザー加工法、精密プレス加工、フォトリソ加２工等を用いて、樹脂層を貫通させ、樹脂層に蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部２５を形成することで、蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部２５が設けられた樹脂マスク２０の一方の面上に、金属マスク開口部１５が設けられた金属マスク１０が積層された単位蒸着マスク１００を得る。なお、高精細な樹脂マスク開口部２５を容易に形成することができる点からは、樹脂マスク開口部２５の形成には、レーザー加工法を用いることが好ましい。
【０１０１】
一方で、樹脂層２１と、当該樹脂層２１の一方の面上の一部に位置する金属層１１とからなる単位蒸着マスク準備体５０の製造方法としては、例えば樹脂層２１を準備し、その一方の面の所望の位置に、金属層１１を各種接着剤などを用いて貼り合わせることで製造することができる。また一方で、樹脂層２１を準備し、その一方の面上の所望の位置に、例えば各種メッキ法や各種蒸着法などにより金属を析出させることで金属層１１としてもよい。
【０１０２】
また、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、前記樹脂マスクの一方の面上の一部に位置する金属層とが積層されてなる単位蒸着マスク１１０の製造方法としては、上記単位蒸着マスク準備体５０を準備し、これに上記で説明した方法により樹脂マスク開口部２５を形成することで、単位蒸着マスク１１０を製造することができる。
【０１０３】
さらに、樹脂層２１のみから構成される単位蒸着マスク準備体７０の製造方法についても特に限定されることはなく、従来公知の方法で適宜樹脂層を製造すればよい。
【０１０４】
また、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクから構成される単位蒸着マスク１２０の製造方法は、上記樹脂層２１に上記で説明した方法により樹脂マスク開口部２５を形成すればよい。
【０１０５】
＜その他の態様＞
以下に、本開示の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスクの製造方法の別の態様を説明する。
【０１０６】
図１０は、本開示の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスクの製造方法を説明するための図であり、フレーム付き蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。
【０１０７】
図１から図９に示す本開示の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスクの製造方法にあっては、準備される単位蒸着マスクまたは単位蒸着マスク準備体が同一の形状、つまり一種類であったが、これに限定されることはなく、異なる形状、つまり多種類の単位蒸着マスクまたは単位蒸着マスク準備体を準備し、それぞれをフレームに固定してもよい。
【０１０８】
図１０に示すフレーム付き蒸着マスクは、フレーム６０に、１８枚の単位蒸着マスク１００が固定されている。そして、フレーム６０の四隅に位置する単位蒸着マスク（合計４枚）にあっては、二辺に金属層１１が設けられた単位蒸着マスクであり、当該四隅に位置する単位蒸着マスクに挟まれておりフレーム６０の縁部に位置する単位蒸着マスク（合計１０枚）は、一辺にのみ金属層１１が設けられた単位蒸着マスクであり、さらに、フレーム６０の中央部に位置する単位蒸着マスク（合計４枚）は、金属層１１が設けられていない、樹脂マスク２０のみからなる単位蒸着マスクである。
【符号の説明】
【０１０９】
１０・・・金属マスク
１１・・・金属層
１５・・・金属マスク開口部
２０・・・樹脂マスク
２１・・・樹脂層
２５・・・樹脂マスク開口部
４０、５０、７０・・・単位蒸着マスク準備体
６０・・・フレーム
６１・・・フレーム本体
６２・・・補助フレーム
１００、１１０、１２０・・・単位蒸着マスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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