(57)【要約】【課題】複雑な制御を行うことなく、簡易にかつ精度の高い貼合を実現する。セパレータ層と積層フィルムとの接着性が高い場合でも、セパレータ層を積層フィルムとの界面で確実に剥離し、積層フィルムを被貼合部材に確実に貼合することを可能にする。【解決手段】切断工程では、多層フィルム１のベースフィルム層５側を吸着パッド１１で吸着しながら、ベースフィルム層５側からセパレータ層２の厚み方向の途中まで切断刃１２を入れ、その後、切断刃１２を退避させた状態で、多層フィルム１を搬送する。剥離工程では、吸着パッド１１による吸着を維持しながら、セパレータ層２を剥離するとともに、積層フィルム３の不要部３ｂを取り除く。貼合工程では、吸着パッド１１による吸着を維持しながら、積層フィルム３の貼合部３ａを貼合位置まで搬送し、その後、吸着パッド１１による吸着を解除して、貼合部３ａを被貼合部材４０に貼り付ける。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セパレータ層上に積層フィルムを有し、前記積層フィルムが、前記セパレータ層側から、粘着層と、ベースフィルム層とを有する多層フィルムの前記ベースフィルム層側を吸着パッドで吸着しながら、前記ベースフィルム層側から前記セパレータ層の厚み方向の途中まで切断刃を入れて、前記多層フィルムを所定の形状に切断し、その後、前記多層フィルムと非接触となるように前記切断刃を退避させた状態で、前記多層フィルムを搬送する切断工程と、
前記吸着パッドによる吸着を維持しながら、前記多層フィルムの前記セパレータ層を剥離するとともに、前記積層フィルムに含まれる前記所定の形状の貼合部以外の不要部を前記セパレータ層と一体的に取り除く剥離工程と、
前記吸着パッドによる吸着を維持しながら、前記積層フィルムの前記貼合部を被貼合部材との貼合位置まで搬送し、その後、前記吸着パッドによる吸着を解除して、前記貼合部を前記被貼合部材に貼り付ける貼合工程とを含むことを特徴とする積層フィルムの貼合方法。
【請求項２】
前記剥離工程では、前記吸着パッドによって前記多層フィルムを剥離ブレードに押し付けながら搬送することを特徴とする請求項１に記載の積層フィルムの貼合方法。
【請求項３】
前記剥離工程では、前記多層フィルムを搬送補助テープ上に固定し、前記搬送補助テープを前記剥離ブレード上で移動させながら、前記吸着パッドにより、前記多層フィルムを、前記搬送補助テープを介して前記剥離ブレードに押し付けることを特徴とする請求項２に記載の積層フィルムの貼合方法。
【請求項４】
前記剥離工程では、前記剥離ブレードに沿って前記セパレータ層を鋭角状に折り曲げて移動させることを特徴とする請求項２または３に記載の積層フィルムの貼合方法。
【請求項５】
前記切断工程では、前記多層フィルムを回転ローラの外周面の一部に沿うように搬送するとともに、前記多層フィルムに対して前記切断刃が入るタイミングを搬送方向の位置に応じて変化させることにより、前記多層フィルムを切断することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の積層フィルムの貼合方法。
【請求項６】
前記切断工程では、前記多層フィルムを前記切断刃で切断した後に、前記多層フィルムから前記切断刃が相対的に退避するように、前記多層フィルムを吸着した前記吸着パッドを付勢部材の付勢力によって移動させることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の積層フィルムの貼合方法。
【請求項７】
前記吸着パッドおよび前記切断刃は、同一のテーブルに保持されており、
前記切断工程、前記剥離工程および前記貼合工程では、前記テーブルを連続的に移動させることにより、前記吸着パッドで吸着した前記多層フィルムまたは前記セパレータ層の剥離後の前記積層フィルムを搬送することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の積層フィルムの貼合方法。
【請求項８】
前記貼合工程では、前記貼合位置の上方まで前記テーブルを移動させた後、前記テーブルに設けられた昇降機構によって前記吸着パッドを前記貼合位置まで降下させ、その後、前記吸着パッドによる吸着を解除して、前記貼合部を静止状態の前記被貼合部材に貼り付けることを特徴とする請求項７に記載の積層フィルムの貼合方法。
【請求項９】
前記貼合工程では、移動する前記テーブルを移動規制部に当接させることにより、前記テーブルを前記貼合位置の上方で停止させることを特徴とする請求項８に記載の積層フィルムの貼合方法。
【請求項１０】
前記切断刃は、前記多層フィルムに対して前記切断刃を抜き差しする方向に垂直な面内で前記吸着パッドを囲むように、前記テーブルに保持されていることを特徴とする請求項７から９のいずれかに記載の積層フィルムの貼合方法。
【請求項１１】
前記粘着層は、感光層であることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の積層フィルムの貼合方法。
【請求項１２】
前記ベースフィルム層は、反射防止フィルムであることを特徴とする請求項１１に記載の積層フィルムの貼合方法。
【請求項１３】
前記反射防止フィルムは、表面に凹凸構造を有していることを特徴する請求項１２に記載の積層フィルムの貼合方法。
【請求項１４】
セパレータ層上に積層フィルムを有し、前記積層フィルムが、前記セパレータ層側から、粘着層と、ベースフィルム層とを有する多層フィルムの前記ベースフィルム層側を吸着する吸着パッドと、
前記吸着パッドで吸着される前記多層フィルムを切断するための切断刃と、
前記吸着パッドおよび前記切断刃を保持するテーブルと、
前記テーブルを移動させることによって、前記吸着パッドに吸着された前記多層フィルムを搬送する搬送機構と、
前記切断刃に対して前記多層フィルムを押し込むことにより、前記多層フィルムを前記切断刃によって前記ベースフィルム層側から前記セパレータ層の厚み方向の途中まで切断させて、前記積層フィルムを所定の形状の貼合部とそれ以外の不要部とに分離する押込部と、
前記多層フィルムの切断後に、前記切断刃が前記多層フィルムと非接触となるように、前記多層フィルムが吸着される前記吸着パッドを付勢して、前記多層フィルムから前記切断刃を退避させる付勢部材と、
前記多層フィルムの前記セパレータ層を剥離するとともに、前記積層フィルムの前記不要部を前記セパレータ層と一体的に取り除くための剥離ブレードと、
前記剥離ブレードによる前記セパレータ層の剥離後に、前記搬送機構によって被貼合部材との貼合位置の上方まで搬送される前記積層フィルムの前記貼合部を、前記貼合位置まで降下させる昇降機構とを備えていることを特徴とする積層フィルムの貼合装置。
【請求項１５】
前記吸着パッドは、前記搬送機構による前記多層フィルムの搬送中および前記セパレータ層の剥離中に、前記多層フィルムを前記剥離ブレードに押し付けることを特徴とする請求項１４に記載の積層フィルムの貼合装置。
【請求項１６】
前記多層フィルムは、搬送補助テープ上に固定されており、
前記吸着パッドは、前記多層フィルムを、前記搬送補助テープを介して前記剥離ブレードに押し付けることを特徴とする請求項１５に記載の積層フィルムの貼合装置。
【請求項１７】
前記押込部は、前記多層フィルムを外周面の一部に沿わせて搬送することによって、前記切断刃に前記多層フィルムを押し込む回転ローラであることを特徴とする請求項１４から１６のいずれかに記載の積層フィルムの貼合装置。
【請求項１８】
前記テーブルと当接することにより、前記テーブルの移動を前記貼合位置の上方で停止させる移動規制部をさらに備えていることを特徴とする請求項１４から１７のいずれかに記載の積層フィルムの貼合装置。
【請求項１９】
前記切断刃は、前記多層フィルムに対して前記切断刃を抜き差しする方向に垂直な面内で前記吸着パッドを囲むように、前記テーブルに保持されていることを特徴とする請求項１４から１８のいずれかに記載の積層フィルムの貼合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層フィルムを被貼合部材に貼合する積層フィルムの貼合方法および貼合装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
セパレータ層上に積層フィルムを有する多層フィルムから、セパレータ層を剥離し、積層フィルムを被貼合部材に貼合する方法として、例えば特許文献１に開示された方法がある。特許文献１の貼合方法では、まず、長尺のキャリアテープ（上記のセパレータ層に相当）に長尺の両面粘着テープ（上記の積層フィルムに相当）を貼り合わせた原反テープを、原反ロールから繰り出す。次に、予め基板形状に対応した形状の切断部材で、両面粘着テープをキャリアテープまでハーフカットする。続いて、両面粘着テープにおいて、基板形状の領域（両面粘着テープ片）の周囲の不要部をキャリアテープから剥離する。その後、両面粘着テープ片からキャリアテープを剥離するとともに、両面粘着テープ片を、剥離速度と同調して相対移動される基板に貼り付ける。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−８４６８８号公報（請求項１、段落〔００２５〕〜〔００５９〕、図１〜４、図９等参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のように、両面粘着テープをキャリアテープのみで支持して搬送する場合、キャリアテープはローラと接触して搬送されるため、キャリアテープに蛇行やスリップが生じやすい。このため、キャリアテープで支持、搬送される両面粘着テープに位置ズレ（正規の搬送位置からのズレ）が生じやすくなる。その結果、上記両面粘着テープ片の被貼合部材（ここでは基板）に対する貼合ズレが生じ、精度の高い貼合を行うことができなくなる。
【０００５】
なお、特許文献１では、監視カメラを設けて、被貼合部材に対する両面粘着テープ片の位置ズレを検出し、その検出結果に基づいて、被貼合部材を支持するテーブルの位置を調整するようにしている。しかし、監視カメラの設置や位置ズレを修正するための複雑な制御が必要となるため、簡易にかつ精度の高い貼合を実現することが望まれる。
【０００６】
また、特許文献１では、両面粘着テープ片からキャリアテープを剥離する際に、キャリアテープの剥離に抗して両面粘着テープ片を支持する部材が何らないため、キャリアテープと両面粘着テープ片との接着性（密着性）が高い場合には、キャリアテープを両面粘着テープ片との界面で剥離することが困難となり、結果的に、両面粘着テープ片を被貼合部材に貼合することが困難となる。
【０００７】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、積層フィルムを被貼合部材に貼合するにあたって、複雑な制御を行うことなく、簡易にかつ精度の高い貼合を実現することができるとともに、セパレータ層と積層フィルムとの接着性が高い場合でも、セパレータ層を積層フィルムとの界面で確実に剥離し、これによって積層フィルムを被貼合部材に確実に貼合することができる積層フィルムの貼合方法および貼合装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面に係る積層フィルムの貼合方法は、セパレータ層上に積層フィルムを有し、前記積層フィルムが、前記セパレータ層側から、粘着層と、ベースフィルム層とを有する多層フィルムの前記ベースフィルム層側を吸着パッドで吸着しながら、前記ベースフィルム層側から前記セパレータ層の厚み方向の途中まで切断刃を入れて、前記多層フィルムを所定の形状に切断し、その後、前記多層フィルムと非接触となるように前記切断刃を退避させた状態で、前記多層フィルムを搬送する切断工程と、前記吸着パッドによる吸着を維持しながら、前記多層フィルムの前記セパレータ層を剥離するとともに、前記積層フィルムに含まれる前記所定の形状の貼合部以外の不要部を前記セパレータ層と一体的に取り除く剥離工程と、前記吸着パッドによる吸着を維持しながら、前記積層フィルムの前記貼合部を被貼合部材との貼合位置まで搬送し、その後、前記吸着パッドによる吸着を解除して、前記貼合部を前記被貼合部材に貼り付ける貼合工程とを含む。
【０００９】
前記剥離工程では、前記吸着パッドによって前記多層フィルムを剥離ブレードに押し付けながら搬送することが望ましい。
【００１０】
前記剥離工程では、前記多層フィルムを搬送補助テープ上に固定し、前記搬送補助テープを前記剥離ブレード上で移動させながら、前記吸着パッドにより、前記多層フィルムを、前記搬送補助テープを介して前記剥離ブレードに押し付けてもよい。
【００１１】
前記剥離工程では、前記剥離ブレードに沿って前記セパレータ層を鋭角状に折り曲げて移動させることが望ましい。
【００１２】
前記切断工程では、前記多層フィルムを回転ローラの外周面の一部に沿うように搬送するとともに、前記多層フィルムに対して前記切断刃が入るタイミングを搬送方向の位置に応じて変化させることにより、前記多層フィルムを切断することが望ましい。
【００１３】
前記切断工程では、前記多層フィルムを前記切断刃で切断した後に、前記多層フィルムから前記切断刃が相対的に退避するように、前記多層フィルムを吸着した前記吸着パッドを付勢部材の付勢力によって移動させることが望ましい。
【００１４】
前記吸着パッドおよび前記切断刃は、同一のテーブルに保持されており、前記切断工程、前記剥離工程および前記貼合工程では、前記テーブルを連続的に移動させることにより、前記吸着パッドで吸着した前記多層フィルムまたは前記セパレータ層の剥離後の前記積層フィルムを搬送することが望ましい。
【００１５】
前記貼合工程では、前記貼合位置の上方まで前記テーブルを移動させた後、前記テーブルに設けられた昇降機構によって前記吸着パッドを前記貼合位置まで降下させ、その後、前記吸着パッドによる吸着を解除して、前記貼合部を静止状態の前記被貼合部材に貼り付けることが望ましい。
【００１６】
前記貼合工程では、移動する前記テーブルを移動規制部に当接させることにより、前記テーブルを前記貼合位置の上方で停止させることが望ましい。
【００１７】
前記切断刃は、前記多層フィルムに対して前記切断刃を抜き差しする方向に垂直な面内で前記吸着パッドを囲むように、前記テーブルに保持されていることが望ましい。
【００１８】
前記粘着層は、感光層であってもよい。
【００１９】
前記ベースフィルム層は、反射防止フィルムであってもよい。
【００２０】
前記反射防止フィルムは、表面に凹凸構造を有していることが望ましい。
【００２１】
本発明の他の側面に係る積層フィルムの貼合装置は、セパレータ層上に積層フィルムを有し、前記積層フィルムが、前記セパレータ層側から、粘着層と、ベースフィルム層とを有する多層フィルムの前記ベースフィルム層側を吸着する吸着パッドと、前記吸着パッドで吸着される前記多層フィルムを切断するための切断刃と、前記吸着パッドおよび前記切断刃を保持するテーブルと、前記テーブルを移動させることによって、前記吸着パッドに吸着された前記多層フィルムを搬送する搬送機構と、前記切断刃に対して前記多層フィルムを押し込むことにより、前記多層フィルムを前記切断刃によって前記ベースフィルム層側から前記セパレータ層の厚み方向の途中まで切断させて、前記積層フィルムを所定の形状の貼合部とそれ以外の不要部とに分離する押込部と、前記多層フィルムの切断後に、前記切断刃が前記多層フィルムと非接触となるように、前記多層フィルムが吸着される前記吸着パッドを付勢して、前記多層フィルムから前記切断刃を退避させる付勢部材と、前記多層フィルムの前記セパレータ層を剥離するとともに、前記積層フィルムの前記不要部を前記セパレータ層と一体的に取り除くための剥離ブレードと、前記剥離ブレードによる前記セパレータ層の剥離後に、前記搬送機構によって被貼合部材との貼合位置の上方まで搬送される前記積層フィルムの前記貼合部を、前記貼合位置まで降下させる昇降機構とを備えている。
【００２２】
前記吸着パッドは、前記搬送機構による前記多層フィルムの搬送中および前記セパレータ層の剥離中に、前記多層フィルムを前記剥離ブレードに押し付けることが望ましい。
【００２３】
前記多層フィルムは、搬送補助テープ上に固定されており、前記吸着パッドは、前記多層フィルムを、前記搬送補助テープを介して前記剥離ブレードに押し付けてもよい。
【００２４】
前記押込部は、前記多層フィルムを外周面の一部に沿わせて搬送することによって、前記切断刃に前記多層フィルムを押し込む回転ローラであることが望ましい。
【００２５】
上記の貼合装置は、前記テーブルと当接することにより、前記テーブルの移動を前記貼合位置の上方で停止させる移動規制部をさらに備えていることが望ましい。
【００２６】
上記の貼合装置において、前記切断刃は、前記多層フィルムに対して前記切断刃を抜き差しする方向に垂直な面内で前記吸着パッドを囲むように、前記テーブルに保持されていることが望ましい。
【発明の効果】
【００２７】
上記の貼合方法および貼合装置によれば、積層フィルムを被貼合部材に貼合するにあたって、複雑な制御を行うことなく、簡易にかつ精度の高い貼合を実現することができるとともに、セパレータ層と積層フィルムとの接着性が高い場合でも、セパレータ層を積層フィルムとの界面で確実に剥離し、積層フィルムを被貼合部材に確実に貼合することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態で用いられる多層フィルムの概略の構成を示す断面図である。
【図２】図１のＡ部を拡大して示す断面図である。
【図３】上記多層フィルムのベースフィルム層の他の構成を模式的に示す断面図である。
【図４】上記実施の形態で用いられる貼合装置の上方からの斜視図である。
【図５】上記貼合装置の下方からの斜視図である。
【図６】上記貼合装置の主要部を拡大して示す斜視図である。
【図７】図６の主要部の断面を示す斜視図である。
【図８】上記貼合装置の概略の構成を模式的に示す説明図である。
【図９】上記貼合装置のテーブルの下面図である。
【図１０】上記貼合装置の搬送機構の概略の構成を示す説明図である。
【図１１】上記貼合装置の吸着パッドが上端位置にあるときの昇降機構の断面を示す斜視図である。
【図１２】上記吸着パッドが下端位置にあるときの上記昇降機構の断面を示す斜視図である。
【図１３】上記実施の形態の貼合方法による各工程の流れを示すフローチャートである。
【図１４】上記吸着パッドに吸着されて搬送される上記多層フィルムが、回転ローラの外周面上に乗り上げる直前の状態を示す説明図である。
【図１５】上記多層フィルムが上記回転ローラの外周面上に乗り上げた状態を示す説明図である。
【図１６】上記多層フィルムを切断刃で切断した後の、上記吸着パッドによる多層フィルムの保持状態を示す説明図である。
【図１７】剥離ブレードによって、多層フィルムのセパレータ層および積層フィルムの不要部を剥離または除去する様子を模式的に示す説明図である。
【図１８】剥離工程後に、上記積層フィルムの貼合部が上記吸着パッドに吸着されて搬送される様子を示す説明図である。
【図１９】上記貼合部を、被貼合部材との貼合位置の上方まで搬送したときの状態を模式的に示す説明図である。
【図２０】上記貼合部および上記吸着パッドを、上記貼合位置の上方から上記貼合位置まで搬送したときの状態を模式的に示す説明図である。
【図２１】多層フィルムの切断および搬送についての参考例の手法を模式的に示す説明図である。
【図２２】上記切断刃と上記回転ローラとの間の隙間を模式的に示す説明図である。
【図２３】上記多層フィルムに切り込みが形成される様子を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明の実施の一形態について、図面に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本明細書において、数値範囲をａ〜ｂと表記した場合、その数値範囲に下限ａおよび上限ｂの値は含まれるものとする。また、本発明は、以下の内容に限定されるものではない。
【００３０】
〔多層フィルムの構成〕
図１は、本実施形態で用いられる多層フィルム１の概略の構成を示す断面図である。多層フィルム１は、セパレータ層２上に積層フィルム３を有している。セパレータ層２は、積層フィルム３を保護する保護フィルム（カバーフィルム）であり、積層フィルム３を被貼合部材４０（図８参照）に貼合する前に、積層フィルム３から剥離され、除去される。このようなセパレータ層２は、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムで構成されるが、上記以外の樹脂フィルムで構成されてもよい。
【００３１】
積層フィルム３は、複数層が積層されたフィルムであり、セパレータ層２側から、粘着層４と、ベースフィルム層５とを有している。粘着層４は、例えば粘着性を有する感光層（感光材料層、感光性フィルム）で構成されている。粘着層４の粘着力は、例えば１Ｎ／１０ｍｍ程度である。すなわち、１０ｍｍ幅のフィルムを長手方向に１８０度（折り返して）剥がすときに１Ｎ程度の力が必要となるような粘着力を、粘着層４は有している。
【００３２】
粘着層４が感光層で構成される場合、例えば、感光層を２光束で露光して干渉縞を形成することにより、入射光を波長に応じて透過または反射させる回折特性を感光層に付与することができる。つまり、上記回折特性を有するホログラム光学素子として感光層を機能させることができる。したがって、ホログラム光学素子を備えた製品を製造する場合において、感光層を有する積層フィルム３は好適である。なお、ホログラム光学素子としての機能を持たせることができる感光層を有する積層フィルム３のことを、ここでは、ホログラム片とも呼ぶ。なお、粘着層４は、感光層には限定されず、両面粘着テープの粘着層のような、感光性を持たない層またはフィルムであってもよい。
【００３３】
ベースフィルム層５は、反射防止機能を有する機能性フィルムである。図２は、図１のＡ部（ベースフィルム層５の表面）を拡大して示す断面図である。本実施形態では、ベースフィルム層５は、表面に微細な凹凸構造を有するモスアイ型の反射防止フィルム５ａで構成されている。このように、ベースフィルム層５が反射防止機能を有していることにより、積層フィルム３を被貼合部材４０に貼り付けた後、上記の感光層（粘着層４）を露光して製品を製造する形態において、露光に用いる光の表面反射をベースフィルム層５によって防止することができる。これにより、感光層を適切に露光して、所望の光学性能（例えば回折特性）を有する製品を製造することができる。
【００３４】
特に、反射防止フィルム５ａは、表面に凹凸構造を有しているため、露光時には、上記凹凸構造によって不要な反射を防止できる。一方、露光後は、例えば被貼合部材４０を別の光学部品と接着剤を介して接着するときに、接着剤が表面の凹凸構造に埋まって反射防止フィルム５ａの表面が平坦になる（凹凸構造が実質的になくなる）。この場合、反射防止フィルム５ａは、実質的に反射防止機能を果たさなくなる。つまり、表面に凹凸構造を有する反射防止フィルム５ａは、感光層の露光時においてのみ反射防止機能を発揮させたい使用形態において有効となる。
【００３５】
図３は、ベースフィルム層５の他の構成を模式的に示す断面図である。ベースフィルム層５は、透明基材６上に反射防止層７を有する反射防止フィルム５ｂで構成されていてもよい。このとき、透明基材６としては、例えばトリアセチルセルロースなどのセルロースエステル樹脂からなるフィルムを用いることができる。また、反射防止層７としては、低屈折率層単独で構成することもできるし、低屈折率層と高屈折率層とを交互に積層した多層膜で構成することもできる。
【００３６】
なお、積層フィルム３は、粘着層４とベースフィルム層５との２層構成には限定されず、３層以上で構成されてもよい。例えば、積層フィルム３は、上記の粘着層４およびベースフィルム層５に加えて、空気中の水分や気体（例えば酸素）の透過を防止するバリアフィルムなどの他の機能性フィルムを少なくとも１層有して構成されてもよい。
【００３７】
〔貼合装置について〕
次に、本実施形態の貼合装置について説明する。図４は、本実施形態の貼合装置１０の上方からの斜視図であり、図５は、貼合装置１０の下方からの斜視図であり、図６は、貼合装置１０の主要部を拡大して示す斜視図であり、図７は、図６の主要部の断面を示す斜視図であり、図８は、貼合装置１０の概略の構成を模式的に示す説明図である。貼合装置１０は、上述した構成の多層フィルム１を用いて、多層フィルム１に含まれる積層フィルム３（特に貼合部３ａ（図１８参照））を被貼合部材４０に貼合する。この貼合装置１０は、吸着パッド１１と、切断刃１２と、テーブル１３と、搬送機構１４と、回転ローラ１５と、付勢部材１６と、剥離ブレード１７と、昇降機構１８と、移動規制部１９とを有している。なお、図８では、便宜的に、テーブル１３に保持される部材のうち、吸着パッド１１および切断刃１２以外の部材についての図示を省略している（以降で登場する模式図についても同様の手法で図示する）。
【００３８】
なお、本明細書および図面では、多層フィルム１の厚み方向を上下方向とし、ベースフィルム層５側を「上」、セパレータ層２側を「下」とする。したがって、セパレータ層２側からベースフィルム層５側に向かう方向およびその方向の移動は、「上方」および「上昇」であり、逆に、ベースフィルム層５側からセパレータ層２側に向かう方向およびその方向の移動は、「下方」および「下降」である。
【００３９】
吸着パッド１１は、多層フィルム１のベースフィルム層５側を吸着し、保持する。吸着パッド１１は、例えばダイヤフラムポンプによって空気を吸引することによって多層フィルム１を吸着する。このときの吸着パッド１１の内部の真空度は、例えば−７６ｋＰａ程度に設定されている。これにより、多層フィルム１における粘着層４とセパレータ層２との間の密着力（粘着力）よりも、吸着パッド１１による多層フィルム１の吸着力を大きくすることができる。したがって、後述する剥離工程にて、多層フィルム１からセパレータ層２を剥離する際に、吸着パッド１１から多層フィルム１が脱落しにくくなり、吸着パッド１１にて多層フィルム１を吸着しながらセパレータ層２を剥離することが可能となる。
【００４０】
吸着パッド１１は、図６に示すように、略直方体形状の保持部材２１と、昇降機構１８とを介してテーブル１３（図４等参照）に保持されている。保持部材２１の内部には、上下方向に貫通した孔部２１ａ（図７参照）が形成されており、この孔部２１ａの内部に、突出部２２の一部が嵌挿されている。すなわち、突出部２２は、孔部２１ａの内部に嵌挿される軸部２２ａと、軸部２２ａの上端と連結され、孔部２１ａの内径よりも大きい外径を底面部に有する略円錐形状の先端部２２ｂとを有して構成されている。したがって、突出部２２の先端部２２ｂは、保持部材２１の上面から上方に突出するように設けられて、付勢部材１６と当接可能となっている。
【００４１】
切断刃１２（図８等参照）は、吸着パッド１１で吸着される多層フィルム１を切断するための刃であり、テーブル１３の下面に設けられている。この切断刃１２は、例えば、トムソン刃、ビグ刃、ピナクル刃などで構成されている。
【００４２】
テーブル１３は、吸着パッド１１および切断刃１２を保持する。より詳しくは、テーブル１３は、多層フィルム１に対して切断刃１２を抜き差しする方向（上下方向）に垂直な面内で、吸着パッド１１および切断刃１２の相対的な位置関係を維持しながらこれらを保持する。
【００４３】
ここで、図９は、テーブル１３の下面図であって、上記面内での吸着パッド１１と切断刃１２との位置関係を模式的に示している。テーブル１３の中央部には、吸着パッド１１の外形に沿った開口部１３ａが形成されており、吸着パッド１１は、開口部１３ａ内を上下方向に昇降するように、保持部材２１および昇降機構１８を介してテーブル１３に保持されている。上記の切断刃１２は、テーブル１３の下面において、開口部１３ａの外側に、開口部１３ａを囲むように設けられている。したがって、切断刃１２は、上記面内で吸着パッド１１を囲むようにテーブル１３に保持されていると言える。なお、開口部１３ａおよび切断刃１２の上記面内での形状は、切断後の多層フィルム１（積層フィルム３）が被貼合部材４０への貼合に適した形状となるように、多層フィルム１を切断できる形状であればよい。また、切断刃１２は、テーブル１３と別部材であり、例えば磁力によってテーブル１３に保持されているが、接着剤等で固定されていてもよい。前者のように磁力で切断刃１２をテーブル１３に保持することにより、テーブル１３に対する切断刃１２の脱着が容易となり、例えば、多層フィルム１（積層フィルム３）の切断形状に応じて、使用する切断刃１２を容易に取り換えることができるという利点がある。
【００４４】
搬送機構１４（図４等参照）は、テーブル１３を移動させることによって、吸着パッド１１に吸着された多層フィルム１を搬送する。図１０は、搬送機構１４の概略の構成を示す説明図である。搬送機構１４は、テーブル１３の幅手方向（テーブル１３の厚み方向（上下方向）に垂直な面内でテーブル１３の長手方向に垂直な方向）の両端付近に固定され、テーブル１３の長手方向に延びる２本のガイドレール２３・２３（図４、図５でも図示）と、駆動ローラ２４と、駆動部２５（例えばモータ）とを有している。２本のガイドレール２３・２３は、装置本体の支持部（図示せず）によって摺動可能に支持されている。この構成では、駆動部２５によって駆動ローラ２４を回転させることにより、駆動ローラ２４と接するテーブル１３を、ガイドレール２３・２３が延びる方向、すなわち、テーブル３の長手方向に移動（進退）させることができる。なお、搬送機構１４は、上記の構成に限定されるわけではなく、例えばギアやシャフトなどの機械部品を介して駆動部２５とテーブル１３とを連結して、テーブル１３を移動させる構成であってもよい。
【００４５】
回転ローラ１５（図８等参照）は、切断刃１２に対して多層フィルム１を押し込むことにより、多層フィルム１を切断刃１２によってベースフィルム層５側からセパレータ層２の厚み方向の途中まで切断させ、積層フィルム３を所定の形状の貼合部３ａ（図１８参照）とそれ以外の不要部３ｂ（図１８参照）とに分離する押込部である。例えば、吸着パッド１１によって多層フィルム１を吸着しながらテーブル１３を移動させて、回転ローラ１５の外周面１５ａと切断刃１２との間に多層フィルム１を位置させるとともに、多層フィルム１を外周面１５ａに沿わせて搬送して切断刃１２に近づけることにより、多層フィルム１を切断刃１２に押し込むことができる。
【００４６】
付勢部材１６（図６等参照）は、切断刃１２による多層フィルム１の切断後に、切断刃１２が多層フィルム１と非接触となるように、多層フィルム１を吸着する吸着パッド１１を付勢して、多層フィルム１から切断刃１２を退避させる。本実施形態では、図６および図７に示すように、付勢部材１６は、例えば平面視で略Ｕ字状の板ばねで構成されており、その両端は、後述する第２固定部材３０と一体的に固定される保持具１６ａと固定されている。これにより、付勢部材１６は、吸着パッド１１が上昇して突出部２２が付勢部材１６に当接したときに、突出部２２および保持部材２１を介して吸着パッド１１を下方に（切断刃１２に対して多層フィルム１が相対的に離れる方向に）付勢し、吸着パッド１１の上昇を押し留めることができる。なお、付勢部材１６は、上記の板ばねには限定されず、例えば弾性力によって吸着パッド１１を付勢する弾性体（例えばゴム）で構成されてもよい。
【００４７】
剥離ブレード１７（図８等参照）は、多層フィルム１のセパレータ層２を剥離するとともに、積層フィルム３の不要部３ｂをセパレータ層２と一体的に取り除くために用いられる。剥離ブレード１７の先端部１７ａは、鋭角状に形成されている。これにより、多層フィルム１のセパレータ層２を剥離ブレード１７に沿って鋭角状に折り曲げて移動させて、積層フィルム３からセパレータ層２を確実に剥離するとともに、セパレータ層２と一体的に積層フィルム３の不要部３ｂを確実に取り除くことができる。剥離されたセパレータ層２および不要部３ｂは、補助ローラ２６ａを介して巻取ローラ２６（図５参照）にて巻き取られて回収される。なお、多層フィルム１を搬送補助テープ２７上に固定し、これらを一体として剥離ブレード１７に沿って移動させる場合、剥離ブレード１７によって剥離されたセパレータ層２および不要部３ｂは、搬送補助テープ２７と一体的に搬送されて、補助ローラ２６ａを介して巻取ローラ２６にて巻き取られて回収される。
【００４８】
昇降機構１８（図６等参照）は、吸着パッド１１を昇降させる機構であり、特に、剥離ブレード１７によるセパレータ層２の剥離後に、搬送機構１４によって被貼合部材４０との貼合位置の上方まで搬送される積層フィルム３の貼合部３ａを、貼合位置まで降下させる。この昇降機構１８は、図６および図７に示すように、第１固定部材２８と、リニアガイド２９と、第２固定部材３０と、モータなどの駆動部（図示せず）とをそれぞれ一対有して構成されている。
【００４９】
第１固定部材２８は、吸着パッド１１を保持する保持部材２１と固定されており、リニアガイド２９と摺動するように、上記駆動部によって駆動される。リニアガイド２９は、第１固定部材２８の移動を案内するためのガイドレールであり、上下方向に延びる形状で第２固定部材３０と接合されている。第２固定部材３０は、テーブル１３に固定されている。したがって、駆動部によって第１固定部材２８をリニアガイド２９に沿って上下方向に移動させることにより、保持部材２１にて保持されている吸着パッド１１を、上下方向に移動（昇降）させることができる。
【００５０】
なお、後述する切断工程では、多層フィルム１が回転ローラ１５（図８参照）に乗り上げたときの吸着パッド１１の上昇を許容するように昇降機構１８が昇降制御されており、吸着パッド１１は、外部からの力に対して自由に昇降することが可能となる。したがって、吸着パッド１１は、多層フィルム１が回転ローラ１５の外周面１５ａ上に乗り上げることで上昇し、付勢部材１６の付勢力によって下降することができる。
【００５１】
図１１は、吸着パッド１１が上端位置（上昇ストロークエンド）にあるときの昇降機構１８の断面を示す斜視図であり、図１２は、吸着パッド１１が下端位置（下降ストロークエンド）にあるときの昇降機構１８の断面を示す斜視図である。多層フィルム１の切断時は、図１１に示すように、多層フィルム１が回転ローラ１５に乗り上げて上昇することで吸着パッド１１を押し上げ、これによって、吸着パッド１１は上端位置に到達する。一方、多層フィルム１を切断して積層フィルム３の貼合部３ａを被貼合部材４０との貼合位置の上方位置まで搬送した後、吸着パッド１１は、昇降機構１８によって降下し、図１２に示す下端位置に到達する。なお、多層フィルム１の搬送において、多層フィルム１の切断時および貼合部３ａの貼合時以外では、吸着パッド１１は、切断刃１２と非接触となるように、図１１の上端位置と図１２の下端位置との間で昇降機構１８およびテーブル１３によって保持されて搬送される。
【００５２】
移動規制部１９（図８参照）は、搬送機構１４によって移動するテーブル１３の移動を規制する部材である。より具体的には、移動規制部１９は、搬送機構１４によって移動するテーブル３が、被貼合部材４０との貼合位置の上方に到達したときに、テーブル１３と当接することによって、テーブル１３を貼合位置の上方で停止させる。
【００５３】
〔貼合方法について〕
図１３は、本実施形態の積層フィルム３の貼合方法による各工程の流れを示すフローチャートである。本実施形態では、上述した構成の多層フィルム１を用い、切断工程（Ｓ１）、剥離工程（Ｓ２）、および貼合工程（Ｓ３）を経て、多層フィルム１に含まれる積層フィルム３の貼合部３ａを被貼合部材４０に貼合する。以下、各工程の詳細について説明する。
【００５４】
なお、以下では、多層フィルム１を搬送補助テープ２７上に固定しておき、この搬送補助テープ２７とともに多層フィルム１を吸着パッド１１で吸着して搬送する場合を例として説明する。なお、搬送補助テープ２７上への多層フィルム１の固定は、例えば多層フィルム１の搬送方向の先端側を、市販のセロハンテープを用いて搬送補助テープ２７に固定することで行うことができる。
【００５５】
（切断工程）
切断工程では、多層フィルム１のベースフィルム層５側を吸着パッド１１で吸着しながら、ベースフィルム層５側からセパレータ層２の厚み方向の途中まで切断刃１２を入れて、多層フィルム１を所定の形状に切断し、その後、多層フィルム１と非接触となるように切断刃１２を退避させた状態で、多層フィルム１を搬送する。
【００５６】
図１４は、搬送機構１４によるテーブル１３の水平方向の移動によって、吸着パッド１１に吸着されて搬送される多層フィルム１が、回転ローラ１５の外周面１５ａ上に乗り上げる直前の状態を示している。多層フィルム１が回転ローラ１５の外周面１５ａ上に乗り上げるまでは、吸着パッド１１は、切断刃１２よりも下方位置で多層フィルム１を吸着し、保持している。
【００５７】
図１４の状態から、テーブル１３がさらに移動すると、多層フィルム１は、回転ローラ１５の外周面１５ａ上に乗り上げ、切断刃１２に近づくように移動する。つまり、テーブル１３は、水平方向には移動するが、上下方向には移動しないため（上下方向の位置は固定であるため）、多層フィルム１の外周面１５ａ上への乗り上げに伴い、吸着パッド１１および多層フィルム１がテーブル１３に対して相対的に上昇する。そして、多層フィルム１に対して切断刃１２が食い込む。
【００５８】
図１５は、テーブル１３の水平移動により、多層フィルム１が回転ローラ１５の外周面１５ａ上に乗り上げてテーブル１３に最も近づいた状態を示している。この状態では、多層フィルム１がテーブル１３に最も近づくため、切断刃１２が多層フィルム１に食い込む量（切り込みの深さ）が最大となる。なお、上記の食い込み量は、多層フィルム１の厚みと、切断刃１２と回転ローラ１５との間に形成される隙間（切断刃１２と回転ローラ１５の外周面１５ａとの間の最短距離）との２つで決まる。より具体的には、多層フィルム１の厚みから上記隙間を減じた値が、上記の食い込み量となる。
【００５９】
図１６は、多層フィルム１を切断刃１２で切断した後の、吸着パッド１１による多層フィルム１の保持状態を示している。多層フィルム１の切断時に吸着パッド１１および多層フィルム１がテーブル１３に対して相対的に上昇した状態では、付勢部材１６の下向きの付勢力が突出部２２および保持部材２１を介して吸着パッド１１に作用している。このため、回転ローラ１５の外周面１５ａに沿って搬送される多層フィルム１は、外周面１５ａ上の最上位置（切断刃１２と最も近い位置）から下流側に搬送されるにしたがって、吸着パッド１１に作用する上記下向きの付勢力によって、吸着パッド１１とともに下方に移動する。これにより、切断刃１２は、切断後の多層フィルム１から抜け出し、多層フィルム１から相対的に退避する。このとき、多層フィルム１には、切断刃１２による切り込みＣＬが形成されるが、切断刃１２は、多層フィルム１から退避することで、切り込みＣＬから完全に抜け出す。このため、切断刃１２と切断後の多層フィルム１とは、非接触の状態となる。
【００６０】
（剥離工程）
図１７は、剥離ブレード１７によって、セパレータ層２および不要部３ｂを剥離または除去する様子を模式的に示している。剥離工程では、吸着パッド１１による多層フィルム１の吸着を維持しながら、多層フィルム１のセパレータ層２を剥離するとともに、積層フィルム３に含まれる所定の形状の貼合部３ａ以外の不要部３ｂを、セパレータ層２と一体的に取り除く。
【００６１】
より詳細には、多層フィルム１を固定した搬送補助テープ２７を剥離ブレード１７上で移動させながら（このとき、テーブル１３の移動によって吸着パッド１１も多層フィルム１を吸着した状態で移動している）、吸着パッド１１により、多層フィルム１を、搬送補助テープ２７を介して剥離ブレード１７に押し付ける。なお、吸着パッド１１による多層フィルム１の押し付けは、多層フィルム１が搬送補助テープ２７を介して剥離ブレード１１上に乗り上げることにより、多層フィルム１が吸着パッド１１を押し上げ、吸着パッド１１に対して付勢部材１６による下向きの付勢力が働くことによって起こる。そして、剥離ブレード１７（特に鋭角状の先端部１７ａ）に沿って、搬送補助テープ２７とともにセパレータ層２および不要部３ｂを鋭角状に折り曲げて移動させる。このような鋭角状の折り曲げにより、図１８に示すように、セパレータ層２を確実に剥離するとともに、セパレータ層２と一体的に不要部３ｂを確実に取り除くことができ、積層フィルム３の貼合部３ａのみを吸着パッド１１側に確実に残すことができる。多層フィルム１から分離されたセパレータ層２および不要部３ｂと、搬送補助テープ２７は、巻取ローラ２６によって巻き取られ、回収される。
【００６２】
（貼合工程）
貼合工程では、吸着パッド１１による吸着を維持しながら、積層フィルム３の貼合部３ａを被貼合部材４０との貼合位置まで搬送し、その後、吸着パッド１１による吸着を解除して、貼合部３ａを被貼合部材４０に貼り付ける。より詳細には、以下の通りである。
【００６３】
図１９は、テーブル１３の水平移動により、貼合部３ａを、被貼合部材４０との貼合位置の上方まで搬送したときの状態を模式的に示しており、図２０は、貼合部３ａおよび吸着パッド１１を、貼合位置の上方から貼合位置まで搬送したときの状態を模式的に示している。貼合工程では、剥離工程の後に、貼合位置の上方までテーブル１３を移動させる。本実施形態では、図１９に示すように、搬送機構１４によって移動するテーブル１３を移動規制部１９に当接させることにより、テーブル１３を貼合位置の上方で停止させている。その後、図２０に示すように、テーブル１３に設けられた昇降機構１８（図１２等参照）によって吸着パッド１１を貼合位置まで降下させる。なお、吸着パッド１１の降下位置（貼合位置）と被貼合部材４０の位置とは、所定の位置関係となるように予め設定されている。貼合位置では、吸着パッド１１による吸着を解除して貼合部３ａの保持力をなくし、その１秒後に吸着パッド１１を上昇させて貼合位置から退避させる。そして、被貼合部材４０の貼合面４０ａの面形状に沿うように、平板状の貼合部３ａをローラ（図示せず）等で押圧して、静止状態の被貼合部材４０に貼り付ける。これにより、被貼合部材４０への貼合部３ａの貼合が完了する。
【００６４】
以上のように、多層フィルム１は、そのベースフィルム層５側、つまり、セパレータ層２とは反対側が吸着パッド１１で吸着されて搬送されるため、セパレータ層２側で位置ズレを起こす要因（例えば搬送補助テープ２７の蛇行やスリップ）が発生しても、それに関係なく、多層フィルム１を吸着パッド１１で保持して位置ズレすることなく搬送することができる。また、多層フィルム１のセパレータ層２を剥離した後も、吸着パッド１１による吸着が維持されるため、積層フィルム３の貼合部３ａを吸着パッド１１で保持して位置ズレすることなく、貼合位置まで搬送することができる。したがって、積層フィルム３の貼合部３ａを被貼合部材４０に貼合するにあたって、監視カメラ等を用いて貼合部３ａの位置ズレを検知してその位置ズレを修正するような複雑な制御を行うことなく、簡易にかつ精度の高い貼合を実現することができる。つまり、被貼合部材４０に対して容易にかつ正確に貼合部３ａを貼合することができる。
【００６５】
また、多層フィルム１において、ベースフィルム層５側が吸着パッド１１に吸着固定されるため、セパレータ層２を剥離する際に、吸着パッド１１が剥離に抗して積層フィルム３を保持することができる。これにより、セパレータ層２と積層フィルム３との接着性（密着性）が高い場合でも、セパレータ層２を積層フィルム３との界面で確実に剥離することができ、剥離した積層フィルム３（貼合部３ａ）を被貼合部材４０に確実に貼合することができる。
【００６６】
また、切断刃１２による多層フィルム１の切断後は、多層フィルム１と非接触となるように切断刃１２を退避させた状態で多層フィルム１を搬送するため、多層フィルム１において、切断刃１２によって一度切断、分離された部分の再付着を低減して、再付着による糸引き現象を低減することができる。以下、この点について、より詳細に説明する。
【００６７】
多層フィルム１の搬送中の位置ズレを防止する手法として、例えば、図２１に示す参考例の手法が考えられる。参考例の手法は、切断刃１２を多層フィルム１に食い込ませて切断した後、切断刃１２を少し浮かせた状態で（切断刃１２を多層フィルム１から完全に抜き取らずに）、多層フィルム１を搬送する手法である。この手法では、切断刃１２が多層フィルム１に食い込んでいることで、多層フィルム１の位置が切断刃１２によって固定されることになり、多層フィルム１が位置ズレしにくくなると考えられる。
【００６８】
しかし、参考例の手法では、多層フィルム１において、一旦切断して分離された部分の再付着を誘発させる。再付着が生じる原因は明らかではないが、切断刃１２が多層フィルム１と接触していることで、切断刃１２が多層フィルム１（例えばベースフィルム層５）を押圧し、この押圧によって、分離された部分が互いに近づくためではないかと推定している。また、上記の再付着は、図２１で示すように、切断刃１２による切り込みＣＬによって分離された粘着層４と粘着層４との間（同層）で生じるか、切り込みＣＬを介して粘着層４とセパレータ層２との間（異層）で生じるのではないかと推定している。なお、図２１において、再付着が生じると推定している箇所を、符号Ｄで示す。
【００６９】
上記のように一旦分離された部分の再付着が起こると、不要部３ｂおよびセパレータ層２を剥離する際に、再付着の部分で糸引き現象が起こる。糸引き現象とは、再付着の部分（図２１で符号Ｄで示した部分）の粘着材料が、セパレータ層２の剥離および不要部３ｂの除去の際に引き伸ばされて細い糸を引く現象である。糸引き現象が起こると、積層フィルム３（貼合部３ａ）を被貼合部材４０に貼り付けたときに、糸引き部分に周囲の空気が巻き込まれて気泡が生じる。例えば、粘着層４が感光層であり、被貼合部材４０がプリズムであり、感光層を露光してホログラム光学素子を形成した上記プリズムを、映像と外界とを同時に視認可能な映像表示装置の接眼光学系に適用した場合には、上記の気泡は、観察する映像の視認性低下（映像の欠けや輝度ムラの発生）や、観察する外界のシースルー性を阻害する要因となる。このため、上記の気泡の発生を抑えることが必要であり、そのためには、上記の糸引き現象の発生を抑えることが必要である。
【００７０】
本実施形態では、上記の参考例とは異なり、図１６で示したように、多層フィルム１の切断後は、多層フィルム１と非接触となるように切断刃１２を素早く退避させた状態で多層フィルム１を搬送するため、多層フィルム１の切断後に、切断刃１２が多層フィルム１を押圧することはない。これにより、上記の再付着を低減して、再付着による糸引き現象を低減することができる。したがって、デバイス作製時に糸引き現象に起因する気泡の発生を抑えて、特性の良好なデバイスを作製することが可能となる。
【００７１】
特に、本実施形態では、多層フィルム１の切断後、多層フィルム１から切断刃１２が相対的に退避するように、多層フィルム１を吸着した吸着パッド１１を付勢部材１６の付勢力によって移動させている。このように付勢部材１６を用いて吸着パッド１１を移動させることにより、切断後に多層フィルム１から切断刃１２を容易にかつ確実に、しかも素早く退避させることができ、上記の再付着および糸引き現象を低減する効果を確実に得ることができる。
【００７２】
また、本実施形態の積層フィルム３の貼合装置１０は、上述したように、吸着パッド１１と、切断刃１２と、テーブル１３と、搬送機構１４と、押込部としての回転ローラ１５と、付勢部材１６と、剥離ブレード１７と、昇降機構１８とを備えている。このような構成の貼合装置１０により、本実施形態の貼合方法を実現することができるため、上記貼合方法によって得られる効果と同様の効果を得ることができる。
【００７３】
また、剥離工程におけるセパレータ層２の剥離始めは、多層フィルム１の粘着層４がセパレータ層２との粘着力によってセパレータ層２側に引っ張られることで、多層フィルム１（積層フィルム３）のベースフィルム層５側が吸着パッド１１から浮きやすくなる（離れやすくなる）。多層フィルム１が吸着パッド１１から浮くと、吸着パッド１１の吸着性（真空度）が低下して、多層フィルム１の保持力が低下するため、吸着パッド１１に対して多層フィルム１が位置ズレしやすくなる。吸着パッド１１に対する多層フィルム１の位置ズレは、精度の高い貼合を阻害するため、望ましくはない。
【００７４】
そこで、本実施形態のように、剥離工程では、吸着パッド１１によって多層フィルム１を剥離ブレード１７に押し付けながら搬送することにより、吸着パッド１１に対する多層フィルム１の浮きを防止しながら、剥離ブレード１７によってセパレータ層２を剥離することができる。これにより、吸着パッド１１に対する多層フィルム１の位置ズレを抑えて、精度の高い貼合を実現することが可能となる。特に、本実施形態では、吸着パッド１１の外形が貼合部３ａとほぼ同様の形状をしているため、吸着パッド１１により、剥離の最後まで（セパレータ層２の剥離が終了するまで）、貼合部３ａをセパレータ層２および搬送補助テープ２７を介して剥離ブレード１７に押し付けることが可能となる。
【００７５】
また、剥離工程では、例えば、多層フィルム１を剥離ブレード１７と直接接触させて搬送してもよいが、この場合は、多層フィルム１のセパレータ層２と剥離ブレード１７との摩擦が生じて、多層フィルム１を剥離ブレード１７に沿って折り曲げて搬送することが困難になる場合もある。この点、本実施形態のように、搬送補助テープ２７を剥離ブレード１７上で移動させながら、多層フィルム１を、搬送補助テープ２７を介して剥離ブレード１７に押し付けることにより、吸着パッド１１に対する多層フィルム１の浮きを防止しながら、多層フィルム１の剥離ブレード１７に沿った搬送を容易にして、剥離ブレード１７に沿ってセパレータ層２を確実に剥離することができる。
【００７６】
以上のことから、本実施形態の貼合装置１０では、吸着パッド１１は、搬送機構１４による多層フィルム１の搬送中およびセパレータ層２の剥離中に、多層フィルム１を剥離ブレード１７に押し付けることが望ましく、特に、吸着パッド１１は、多層フィルム１を、搬送補助テープ２７を介して剥離ブレード１７に押し付けることが望ましいと言える。
【００７７】
また、貼合工程に関しては、セパレータ層２を剥離した後の積層フィルム３（貼合部３ａ）は、被貼合部材４０との貼合位置の上方までテーブル１３の水平移動によって搬送されるため、その搬送は高精度に行われる。そして、貼合位置の上方までテーブル１３が移動すると、昇降機構１８によって吸着パッド１１を降下させるため、吸着パッド１１で吸着した貼合部３ａを位置ズレすることなく貼合位置まで移動（搬送）させることができ、この間も高精度な搬送が行われる。したがって、貼合位置にて吸着パッド１１の吸着を解除して、貼合部３ａを被貼合部材４０に貼り付けることにより、高精度な貼合を行うことが可能となり、常に同じ位置で貼合を行うことが可能となる（高い貼合位置再現性が保証される）。しかも、被貼合部材４０は静止しているため、貼合部３ａと被貼合部材４０とを位置ズレすることなく貼合することが確実に可能となる。
【００７８】
また、テーブル１３を移動規制部１９に物理的に当接させることにより、移動するテーブル１３を所望の位置で（貼合位置の上方で）確実に停止させることができる。これにより、貼合位置の上方まで貼合部３ａを確実に高精度で搬送することができる。このことから、本実施形態の貼合装置１０は、テーブル１３と当接することにより、テーブル１３の移動を貼合位置の上方で停止させる移動規制部１９をさらに備えていることが望ましいと言える。
【００７９】
また、本実施形態では、吸着パッド１１および切断刃１２は、同一のテーブル１３に保持されており、切断工程、剥離工程および貼合工程では、テーブル１３を連続的に移動させることにより、吸着パッド１１で吸着した多層フィルム１またはセパレータ層２の剥離後の積層フィルム３（貼合部３ａ）を搬送している。吸着パッド１１および切断刃１２が同一のテーブル１３に保持されていることで、吸着パッド１１と切断刃１２との位置関係が一定に保たれる。したがって、切断工程、剥離工程および貼合工程にて、テーブル１３を連続的に移動させることにより、切断刃１２で切断した多層フィルム１またはセパレータ層２の剥離後の積層フィルム３をそのまま吸着パッド１１で吸着した状態で所望の位置まで（例えば貼合位置の上方まで）位置ズレなく搬送することが可能となり、高精度な搬送が可能となる。
【００８０】
また、図９で示したように、切断刃１２は、多層フィルム１に対して切断刃１２を抜き差しする方向に垂直な面内で、吸着パッド１１を囲むようにテーブル１３に保持されている。これにより、切断工程にて多層フィルム１に切断刃１２が入ったときに、多層フィルム１において切断刃１２で囲まれる領域、すなわち、被貼合部材４０への貼合対象となる積層フィルム３の貼合部３ａが吸着パッド１１で吸着される。よって、剥離工程にて、多層フィルム１のセパレータ層２および不要部３ｂを除去した後も、貼合部３ａを吸着した状態で貼合位置まで搬送して、被貼合部材４０に確実に貼合することができる。
【００８１】
〔切断刃と回転ローラとの間の隙間について〕
図２２は、切断刃１２と回転ローラ１５との間の隙間ｔを示している。なお、図２２では、便宜的に、吸着パッド１１の図示を省略している。搬送補助テープ２７を用いて多層フィルム１を切断する場合、上記の隙間ｔは、搬送補助テープ２７の厚みよりも大きく、かつ、多層フィルム１のセパレータ層２の厚みと搬送補助テープ２７の厚みとの和よりも小さくなるように設定される。つまり、上記設定の隙間ｔが得られるように、回転ローラ１５が設置される。これにより、切断工程において、搬送補助テープ２７とともに回転ローラ１５の外周面１５ａ上に乗り上げる多層フィルム１に対して、ベースフィルム層５側からセパレータ層２の厚み方向の途中まで切断刃１２による切り込みＣＬ（図１６等参照）を入れることができる。そして、この切り込みＣＬにより、セパレータ層２上の積層フィルム３を、所定の形状の貼合部３ａ（図１８参照）と、それ以外の不要部３ｂ（図１８参照）とに確実に分離することができる。
【００８２】
なお、搬送補助テープ２７を用いず、セパレータ層２側をローラ等で支持しながら多層フィルム１を搬送する場合は、切断工程において、切断刃１２と回転ローラ１５との間の隙間ｔは、多層フィルム１のセパレータ層２の厚みよりも小さくなるように設定されればよい。このように隙間ｔを設定することにより、回転ローラ１５の外周面１５ａ上に乗り上げる多層フィルム１に対して、ベースフィルム層５側からセパレータ層２の厚み方向の途中まで切断刃１２による切り込みＣＬを入れて、セパレータ層２上の積層フィルム３を、貼合部３ａと不要部３ｂとに確実に分離することができる。
【００８３】
〔切り込みの形成タイミングについて〕
図２３は、多層フィルム１に切断刃１２による切り込みＣＬが形成される様子を示している。本実施形態では、多層フィルム１を回転ローラ１５の外周面１５ａの一部に沿うように搬送することで、多層フィルム１を（一度にではなく）部分的に切断刃１２に近づく方向に押し上げている。このため、多層フィルム１に対して切断刃１２の入るタイミングが、多層フィルム１の搬送方向の位置に応じて変化し、これによって、切断刃１２による切り込みＣＬの形成タイミングも、多層フィルム１の搬送方向の位置に応じて変化する。例えば同図のように、多層フィルム１において、搬送方向において異なる３つの位置Ｘ１、Ｘ２およびＸ３を考えたとき、多層フィルム１が回転ローラ１５の外周面１５ａ上に乗り上げて搬送されると、多層フィルム１は、位置Ｘ１、Ｘ２およびＸ３の順に切断刃１２に近づくため、多層フィルム１において位置Ｘ１、Ｘ２およびＸ３の順に、切断刃１２による切り込みＣＬが形成される。
【００８４】
例えば、多層フィルム１の切断にあたって、回転ローラ１５の代わりに平板部材を用い、多層フィルム１を平板部材の平面で保持して切断刃１２に近づく方向に一度に押し上げることにより、多層フィルム１を切断刃１２で切断することもできる。つまり、この場合、上記の平板部材は、回転ローラ１５と同様に押込部として機能する。したがって、このような切断方法を採用しても、簡易にかつ精度の高い貼合を実現できるなど、上述した本実施形態の効果を得ることはできる。しかし、平板部材を用いた切断方法では、多層フィルム１に対して切断刃１２が接触する面積が大きいため、切断時に切断刃１２に対して高荷重で多層フィルム１に押し付けることが必要となる。したがって、切断刃１２に、高荷重に耐え得る耐久性を持たせることが必要となり、また、切断刃１２に対して多層フィルム１を相対的に高荷重で押し付ける機構も必要となる。
【００８５】
この点、回転ローラ１５を用い、回転ローラ１５の外周面１５ａに沿って多層フィルム１を搬送して切断刃１２に接触させることにより、多層フィルム１に対して切断刃１２が入り込むタイミングを、搬送方向の位置に応じて変化させることができる。これにより、切断刃１２全体を一度に多層フィルム１に入れて切断する上記の手法に比べて、切断時の切断刃１２と多層フィルム１との接触面積を小さくでき、また、切断時に切断刃１２に対して多層フィルム１を相対的に押し付ける荷重も小さくて済む。したがって、高荷重での押し付け機構は不要であり、切断刃１２に高荷重に耐え得る高耐久性を要求しなくても済み、貼合装置１０の製作においてコストダウンを図ることができる。
【００８６】
つまり、切断工程では、多層フィルム１を回転ローラ１５の外周面１５ａの一部に沿うように搬送するとともに、多層フィルム１に対して切断刃１２が入るタイミングを搬送方向の位置に応じて変化させることによって多層フィルム１を切断するため、高荷重での押し付け機構や高耐久性の切断刃１２を不要として、貼合装置１０のコストダウンを図ることができる。
【００８７】
以上のことから、本実施形態の貼合装置１０において、押込部は、多層フィルム１を外周面１５ａの一部に沿わせて搬送することによって、切断刃１２に多層フィルム１を押し込む回転ローラ１５であることが望ましいと言える。
【産業上の利用可能性】
【００８８】
本発明の貼合方法および貼合装置は、例えば映像と外界とを同時に視認可能な映像表示装置の接眼光学系の製造に利用可能である。
【符号の説明】
【００８９】
１      多層フィルム
２      セパレータ層
３      積層フィルム
３ａ    貼合部
３ｂ    不要部
４      粘着層
５      ベースフィルム層
５ａ    反射防止フィルム
５ｂ    反射防止フィルム
１０      貼合装置
１１      吸着パッド
１２      切断刃
１３      テーブル
１４      搬送機構
１５      回転ローラ
１５ａ    外周面
１６      付勢部材
１７      剥離ブレード
１８      昇降機構
１９      移動規制部
２７      搬送補助テープ
４０      被貼合部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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