(57)【要約】      （修正有）【課題】地合ムラを有するシート状の被検査物における異常箇所の検出を、一つの撮像装置で精度良く行うことが可能な検査装置を提供する。【解決手段】被検査物の第１の面に対して第１の波長領域の光を照射する第１の光源３１と、被検査物の第１の面、又は第２の面に対して第２の波長領域の光を照射する第２の光源３２と、被検査物の第２の面側に配置され第１の光源の光を反射して第２の光源の光を透過する第１光源反射手段６と、各光源の波長領域の光に感度を有するセンサを備えた撮像手段４と、を有し、撮像手段は第１の光源から照射され被検査物の第１の面により反射した反射光及び被検査物を透過した後に第１光源反射手段によって反射され再び被検査物を透過した光と、第２光源から照射され被検査物の第１の面により反射した反射光又は第１光源反射手段及び前記被検査物を透過した透過光と、を受光することで前記被検査物を撮像できるように配置されている。【選択図】図１
2018124127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の被検査物を検査するシート検査装置であって、
前記被検査物の第１の面に対して第１の波長領域の光を照射する第１の光源と、
前記被検査物の第１の面、又は該第１の面とは反対の第２の面に対して、第２の波長領域の光を照射する第２の光源と、
前記被検査物の第２の面側に配置され、前記第１の光源の光を反射し、前記第２の光源の光を透過する、第１光源反射手段と、
前記第１の波長領域の光、及び前記第２の波長領域の光に感度を有するセンサを備えた撮像手段を有しており、
前記撮像手段は、
前記第１の光源から照射され、前記被検査物の第１の面により反射した反射光、及び、前記被検査物を透過した後に前記第１光源反射手段によって反射され、再び前記被検査物を透過した光と、
前記第２光源から照射され、前記被検査物の第１の面により反射した反射光、又は、前記第１光源反射手段及び前記被検査物を透過した透過光と、
を受光することによって前記被検査物を撮像できるように配置されている、
ことを特徴とする、シート検査装置。
【請求項２】
前記第２の光源は、前記被検査物の第１の面に対して光を照射するように配置されており、前記第１の光源と一体の構成である
ことを特徴とする、請求項１に記載のシート検査装置。
【請求項３】
前記第１光源反射手段は、前記被検査物と前記第２の光源との間に配置され、
前記第２の光源は、前記第１光源反射手段を介して、前記被検査物の第２の面に対して光を照射するように配置されている
ことを特徴とする、請求項１に記載のシート検査装置。
【請求項４】
前記第１の波長領域の光は可視光であり、前記第２の波長領域の光は赤外光である
ことを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載のシート検査装置。
【請求項５】
前記撮像手段は、
可視光に感度を有するセンサと、赤外光に感度を有するセンサと、を独立して備える
ことを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載のシート検査装置。
【請求項６】
前記被検査物は、該被検査物を形成する繊維の密度が不均一であるシート状の物体であって、
該シート状の物体を検査可能にした
ことを特徴とする、請求項１から５のいずれか１項に記載のシート検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状の被検査物の異常箇所を検出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シート状物品を検査するためのラインにおいて、光を検査対象に照射し、その透過光又は反射光をカメラで撮像することにより得られる画像を用いて、シート上の異常箇所（異物、汚れ、破れなど）を検出する検査装置が利用されている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
しかし、上記の検査によると、例えば不織布、和紙などのように、シートを構成する繊維の密度が均一でない、即ち部分的な繊維の粗密（以下、地合ムラともいう）を有することが通常であるシート状物体については、そのような地合ムラが異常箇所として誤検出されてしまうという問題があった。以下で、図面を参照しながら具体例を説明する。
【０００４】
図６Ａは、従来の透過光によるシート検査装置を表す概略図であり、図６Ｂは該検査によって得られる画像を表す模式図である。シート検査装置は、透過光源９３１からの透過光をカメラ９４で撮影することによって被検査物９２の外観検査を行う。図中の被検査物９２におけるＡは穴又は破れを、Ｙは汚れ又は異物を、Ｕは繊維の密度が低くシートの地合いが薄い部分を、Ｋは繊維の密度が高くシートの地合いが濃い部分を表している。図６Ｂに示すように、透過光による検査では、被検査物９２のＫに対応する部分が検査画像において暗く表示され、異物の混入、光を吸収するような汚れなどとして誤検出されるおそれがある。
【０００５】
なお、本明細書及び本願の特許請求の範囲における「透過」とは、特に対象を明示した場合を除いて、被検査物全体に対する概念で用いられ、被検査物に存在する穴又は破れ部分を「通過」した光をも含む意味である。
【０００６】
図７Ａは、従来の反射光によるシート検査装置を表す概略図であり、図７Ｂは該検査によって得られる画像を表す模式図である。シート検査装置は、反射光源９３２からの照射光が被検査物９２の表面で反射した光をカメラ９４で撮影することによって被検査物９２の外観検査を行う。図７Ｂに示すように、反射光による検査では、被検査物９２のＵに対応する部分が検査画像において暗く表示され、穴、破れといった欠陥として、誤検出されるおそれがある。
【０００７】
このため、従来の検査装置を用いて地合ムラを有するシート状物体の検査を行う場合、欠陥を逃さないように検査基準を設定すると、検査において見過ぎ（過検出）が発生することになってしまう。
【０００８】
これに対し、反射用の光源に加えて、検査対象の反対面側に、透過用の光源、又は検査対象を透過してきた光を反射する反射板を設け、各光源の光量及び／又はカメラのゲインを調節することで、反射光による画像の地合ムラ部分を補正して検査するという手法が公知である（例えば特許文献２、特許文献３参照）。しかしながら、このような方法では、実際の穴、破れといった欠陥までも見逃されてしまう可能性が高い（図８Ａ、図８Ｂ参照）。そのため、正確な検査を行うためには、穴及び破れを検出するための別の光源及び撮像装置が必要になるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１１−２４２３３０号公報（特許第５８８１２７８号公報）
【特許文献２】特開平９−１２７０１３号公報
【特許文献３】特開２００５−３５１６７８号公報（特許第４７３１１３０号公報）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上記の実情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、地合ムラを有するシート状の被検査物に含まれる異常箇所の検出を、一つの撮像装置で精度良く行うことができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するため、本発明に係るシート検査装置は、シート状の被検査物を検査するシート検査装置であって、前記被検査物の第１の面に対して第１の波長領域の光を照射する第１の光源と、前記被検査物の第１の面、又は該第１の面とは反対の第２の面に対して、第２の波長領域の光を照射する第２の光源と、前記被検査物の第２の面側に配置され、前記第１の光源の光を反射し、前記第２の光源の光を透過する、第１光源反射手段と、前記第１の波長領域の光、及び前記第２の波長領域の光に感度を有するセンサを備えた撮像手段を有しており、前記撮像手段は、前記第１の光源から照射され、前記被検査物の第１の面により反射した反射光、及び、前記被検査物を透過した後に前記第１光源反射手段によって反射され、再び前記被検査物を透過した光と、前記第２光源から照射され、前記被検査物の第１の面により反射した反射光、又は、前記第１光源反射手段及び前記被検査物を透過した透過光と、を受光することによって前記被検査物を撮像できるように配置されている、ことを特徴とした。
【００１２】
このような構成により、地合ムラを有するシート状物品の反射光による検査において、地合ムラ部分を異常箇所として誤検出することを、前記第１光源反射手段で反射した光の再透過によって防止しつつ、該第１光源反射手段を透過する第２の領域の光を穴又は破れ検出に用いることで、上記のような被検査物の検査を一つの撮像手段で精度良く行うことが可能になる。これによって、シート検査装置をコンパクトに設計することができる。
【００１３】
また、前記第２の光源は、前記被検査物の第１の面に対して光を照射するように配置されており、前記第１の光源と一体の構成であってもよい。このような構成であると、二つの光源をまとめて配置することができ、装置をよりコンパクトに設計することが可能になる。
【００１４】
また、前記第１光源反射手段は、前記被検査物と前記第２の光源との間に配置され、前記第２の光源は、前記第１光源反射手段を介して、前記被検査物の第２の面に対して光を照射するように配置されていてもよい。このような構成であると、第２の光源を透過光源として用いる事が可能になり、被検査物の穴又は破れを明欠陥として、汚れ又は異物を暗欠陥として検出することが可能になるため、異常の種類判別を容易に行うことが可能になる。
【００１５】
また、前記第１波長領域の光は可視光であり、前記第２の波長領域の光は赤外光であってもよい。可視光を反射して赤外光を透過する素材は容易かつ安価に入手可能であるため、前記第１光源反射手段を低コストで備える事ができ、装置製造のためのコストを抑えることが可能になる。
【００１６】
また、前記撮像手段は、可視光に感度を有するセンサと、赤外光に感度を有するセンサと、を独立して備えていてもよい。赤外光に感度を有するセンサを備える撮像手段を用い
る事によって、赤外光のみを受光して撮像された画像を得る事ができ、可視光による画像で地合ムラについての異常の誤検出を防止しつつ、穴や破れを正確に検出することが可能になる。
【００１７】
また、前記シート検査装置は、前記被検査物を形成する繊維の密度が不均一であるシート状の物体を検査可能にしてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、地合ムラを有するシート状の被検査物に含まれる異常箇所の検出を、一つの撮像装置で精度良く行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施例１に係るシート検査装置の概要を示すブロック図である。
【図２】実施例１に係るシート検査装置によるシート検査の処理の流れを示すフローチャートである。
【図３】図２のフローチャートにおけるサブルーチンの処理の流れを示すフローチャートである。
【図４】実施例２に係るシート検査装置の処理部が行う、異常の検出、判別処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】実施例３に係るシート検査装置の概要を示すブロック図である。
【図６】図６Ａは、従来の透過光によるシート検査装置を表す概略図であり、図６Ｂは該検査によって得られる画像を表す模式図である。
【図７】図７Ａは、従来の反射光によるシート検査装置を表す概略図であり、図７Ｂは該検査によって得られる画像を表す模式図である。
【図８】図８Ａは、透過光によって、反射光画像における地合ムラ部分を補正する場合のシート検査装置を表す概略図であり、図８Ｂは該検査によって得られる画像を表す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００２１】
＜実施例１＞
（装置の構成）
まず、図１に基づいて本実施例に係るシート検査装置１の構成について説明する。図１は、本実施例に係るシート検査装置１の概要を示すブロック図である。シート検査装置１は、主要な構成要素として、照明系の可視光源３１及び赤外光源３２、測定系としてのカメラ４、制御装置５、可視光反射板６、搬送機構を備えている。図１に示すように、被検査物２は、図示しない搬送装置によって、水平方向に搬送され、その搬送中に測定系によって被検査物２の外観画像が連続的に取得され、これに基づいて検査が実施される。
【００２２】
被検査物２は、例えば不織布であり、搬送機構により図１の矢印方向に搬送されている。なお、被検査物２は、不織布に限らず、和紙、トイレットペーパー、エンボス加工が施されたキッチンペーパー、などであってもよい。また、単一素材に限られず、フィルムと不織布を貼り合わせた包装紙などのように、複数の層を有するようなシート体であってもよい。さらに、乾燥海苔などの食品であってもよい。
【００２３】
照明系の可視光源３１は、被検査物２の上面（第１の面）に対して白色の可視光を照射
するように配置され、赤外光源３２は被検査物２の下面（第２の面）に対して赤外光を照射するように配置されている。
【００２４】
測定系のカメラ４は、信号出力部、青色受光センサ、緑色受光センサ、赤色受光センサ、赤外光受光センサ、分光プリズム、レンズを備えており、被検査物の上面を撮像するように配置される。分光プリズムはカメラ４に入光した光を、青色光、緑色光、赤色光、赤外光に分光し、対応する各センサに受光させる。センサには、例えばＣＣＤ又はＣＭＯＳセンサを用いる事ができる。
【００２５】
制御装置５は、シート検査装置１の制御を行う装置であり、各種入出力部、処理部５１、調節部５２、記憶部５３、を備えている。処理部５１はカメラ４から入力された画像信号に基づいて、被検査物２に含まれる異常箇所の検出と異常の種類判別を行う機能を有している。また、調節部５２は、照明系の光量及びカメラのゲインを調節する機能を有している。また、記憶部５３は、処理部５１の処理において用いる判定閾値などの各種データ、プログラムなどを保持する機能を有している。
【００２６】
可視光反射板６は、被検査物２の下面側に配置される、紫外線及び可視光領域の波長の光を反射して赤外光を透過する性質を有する反射板であり、いわゆるコールドミラーを用いてもよいが、例えば白色アクリル板などを用いる事もできる。
【００２７】
（検査方法）
図２はシート検査装置１によるシート検査の処理の流れを示すフローチャートである。図２に示すように、検査を実施する場合には、はじめに、被検査物２に存在する地合ムラを異常として検出しないようにするため、該地合ムラに応じて照明系の光量及び／又は測定系のゲインを調節する（ステップＳ１０１）。例えば、被検査物２と同じ性状のシート物に意図的に穴、破れ、汚れ、異物を設けたサンプルシートを用いて、シートの地合ムラ部分と正常な部分が同じ程度の輝度値の画像として撮像されるように、上記の各異常を検出可能な範囲内で、可視光源３１の光量、カメラ４のゲインを調節する。なお当該調節は、オペレータが行ってもよいし、調節部５２が検査対象毎に予め設定された値を用いて自動で行うようにしてもよい。
【００２８】
上記の調整が済むと、実際の被検査物２に対して、可視光源３１及び赤外光源３２から光を照射し（ステップＳ１０２）、カメラ４によって被検査物２の上面を撮像する（ステップＳ１０３）。
【００２９】
具体的には、可視光源３１から照射され被検査物２の上面で反射した反射光及び、被検査物２を透過した後に可視光反射板６によって反射し、再度被検査物２を透過した光（以下、再透過光という）は、レンズ、分光プリズムを介して、青、緑、赤色の各受光センサによって受光される。また、赤外光源３２から照射され、可視光反射板、及び被検査物２を透過した光（以下、透過赤外光という）は、レンズ、分光プリズムを介して、赤外光受光センサによって受光される。
【００３０】
そして、カメラ４によって撮像された被検査物２の画像信号が処理部５１に入力され、該信号に基づいて処理部５１による異常箇所の検出処理が行われて（ステップＳ１０４）、本ルーチンが終了する。
【００３１】
前記ステップＳ１０４において、処理部５１は、例えば以下のようにして異常箇所の検出を行う。図３は上記の異常箇所の検出処理を行うステップＳ１０４の処理の流れを表すフローチャートである。図３に示すように、処理部５１は、まず、赤外光受光センサによって撮像された画像に、所定の閾値よりも高い輝度値を示す部分が、所定の面積を超えて
存在するか否かの判定を行うことにより、穴又は破れの異常を検出する処理を行う（ステップＳ１１１）。なお、輝度値及び面積についての所定の閾値は、被検査物２の種類、厚み、地合の色、ユーザが設定した検査基準（検出対象とする異常の種類、大きさなど）によって定まり、予め記憶部５３に登録される。
【００３２】
次に、処理部５１は、可視光源３１の反射光及び再透過光を受光した各センサによって撮像された画像に基づいて、異物又は汚れの異常を検出する処理を行う（ステップＳ１１２）。処理部５１は続けて、ステップＳ１１１及びステップＳ１１２で、異常が検出されたか否かの判定を行う（ステップＳ１１３）。
【００３３】
ステップＳ１１３で、異常が検出されたと判定された場合には、検査を中断し（ステップＳ１１４）、異常が検出された旨と、異常の種類を出力する（ステップＳ１１５）。その後、オペレータによる復帰作業が行われると（ステップＳ１１６）、ステップＳ１１１に戻って、ステップＳ１１３で異常が検出されていないと判定されるまで、同じ処理を繰り返す。
【００３４】
一方、ステップＳ１１３で異常が検出されていないと判定された場合には、被検査物２には異常なしとして、本ルーチンを終了する（ステップＳ１１７）。
【００３５】
なお、上記ステップＳ１１２において、異物又は汚れの異常を検出する処理は、例えば、次のようにして行われる。処理部５１は、青色受光センサによって撮像された画像（以下、青色画像という）、緑色受光センサによって撮像された画像（以下、緑色画像という）、赤色受光センサによって撮像された画像（以下、赤色画像という）、のそれぞれにおいて、所定の閾値よりも低い輝度値を示す部分（以下、暗欠陥領域という）が、所定の面積を超えて存在するか否かを判定する。
【００３６】
例えば、青色画像のみに暗欠陥領域が存在する場合は「黄色系異常」、緑色画像のみに暗欠陥領域が存在する場合は「紫系異常」、赤色画像のみに暗欠陥領域が存在する場合には「水色系異常」として、当該箇所に異常ありとする。また、青色画像と緑色画像の同じ部分に暗欠陥領域が存在する場合には、当該箇所を「赤色系異常」として異常を検出する。同様に、青色画像と赤色画像の同じ部分に暗欠陥領域が存在する場合には、「緑色系異常」、緑色画像と赤色画像の同じ部分に暗欠陥領域が存在する場合には「青色系異常」、全ての画像の同じ部分に暗欠陥領域が存在する場合には「黒色系異常」として、当該箇所に異常ありとする。
【００３７】
また、青色画像、緑色画像、赤色画像の同じ部分に、それぞれの画像の所定の閾値よりも高い輝度値を示す部分（以下、明欠陥領域という）が、所定の面積を超えて存在する場合には、当該領域を「白色系異常」として検出するようにしてもよい。
【００３８】
なお、穴又は破れ、汚れ又は異物ではなくても、被検査物２の地合ムラ部分の面積、厚みが許容値を超える場合には、これを異常として検出するようにしてもよい。たとえ地合ムラであっても、それが目立つような大きさである場合や、瘤のように隆起しているような場合には、製品の外観に与える影響から、不良品となる場合もあるためである。
【００３９】
以上のようなシート検査装置１によって、地合ムラを有するシート状の被検査物に含まれる異常箇所の検出、及び当該異常の種類の判別を、一つの撮像装置による測定系で行うことが可能になる。これによって、検査装置をコンパクトに設計することが可能になり、設置箇所の自由度を高めることができる。
【００４０】
＜変形例＞
なお、上記のステップＳ１１２における汚れ又は異物の検出処理では、青色画像、緑色画像、赤色画像のそれぞれにおいて、所定の閾値との照合を行うようにしていたが、必ずしもこのようにする必要はない。即ち、各色画像を合成してＲＧＢカラー画像を作成し、該ＲＧＢカラー画像に基づいて、異常の検出処理を行ってもよい。
【００４１】
＜実施例２＞
（装置の構成）
本実施例に係るシート検査装置１は、実施例１のシート検査装置と比べて、測定系のカメラ４の機能が異なる以外は同様の構成である。そのため、同一の部分を表す箇所には同じ符号を用いて、詳細な説明は省略する。本実施例においては、測定系として、赤外カットフィルタ備えないＲＧＢカラーカメラを用いる。
【００４２】
通常、一般的なカラーカメラの赤色受光センサは近赤外領域の波長の光に対しても感度を有している（即ち、カメラは赤外領域の波長の光も赤色として撮像する）ため、赤外カットフィルタによって赤外領域の波長の光を遮断している。本実施例のカメラ４１では、このような赤外カットフィルタを用いずに、赤色受光センサによって、赤外領域の波長の光も受光するようにしている。このため、赤外光源３２からの透過赤外光は、赤色受光センサによって受光され、撮影される。
【００４３】
（検査方法）
本実施例におけるシート検査１の処理の全体の流れは実施例１の場合と同様であるが、処理部５１による異常箇所の検出処理の方法が実施例１の場合と異なるため、この部分について以下で説明する。
【００４４】
図４は、本実施例に係るシート検査装置の処理部５１が行う異常検出、判別処理の流れを表すフローチャートである。図４に示すように、処理部５１は、まず、各センサがそれぞれ撮像した画像信号を合成して合成画像を作成する（ステップＳ２１１）。なお、該合成画像は、赤色受光センサが、被検査物を透過した透過赤外光も撮像しているため、実物よりも赤色が強く表現された画像である。
【００４５】
次に処理部５１は、前記合成画像から透過赤外光分の赤色輝度値を相殺するように補正を行って検査用画像を作成する（ステップＳ２１２）。即ち、合成画像における赤色の輝度値を、被検査物２の地合を透過した赤外光の分低くするか、逆に、青色及び緑色の輝度値をその分高くするに補正を行う。このような補正の結果、検査用画像においては、被検査物２の穴又は破れは、赤系色で明るく表示され、汚れ又は異物は実物よりもやや水色がかった色で暗く表示されることになる。
【００４６】
そして、処理部５１は、検査用画像に基づいて、次の要領で異常の検出を行う。即ち、検査画像において、所定の上限閾値よりも高い輝度値を示す部分が、所定の面積を超えていれば、当該部分を穴又は破れとして認定する。また、所定の下限閾値よりも低い輝度値を示す部分が、所定の面積を超えていれば、当該部分を汚れ又は異物であるとして認定する（ステップＳ２１３）。
【００４７】
ここで、輝度値及び面積についての所定の閾値は、被検査物２の種類、厚み、地合の色、ユーザが設定した検査基準（検出対象とする異常の種類、大きさなど）によって定まり、予め記憶部５３に登録される。
【００４８】
なお、上記補正後の検査用画像では、地合が厚い部分については輝度値が低くなって水色がかった色に表示されるため、閾値の設定次第では、地合ムラが異常として検出されてしまうおそれがある。このため、水色系色の汚れ又は異物の検出が想定されないような検
査ラインで装置を用いるのであれば、水色系色の暗欠陥領域には、異常検出のための閾値を設定しないようにしてもよい。
【００４９】
処理部５１は続けて、ステップＳ２１３で異常が検出されたか否かの判定を行い（ステップＳ２１４）、異常が検出されたと判定された場合には、検査を中断し（ステップＳ２１５）、異常が検出された旨と、異常の種類を出力する（ステップＳ２１６）。その後、オペレータによる復帰作業が行われると（ステップＳ２１７）、ステップＳ２１１に戻って、ステップＳ２１４で異常が検出されていないと判定されるまで、同じ処理を繰り返す。
【００５０】
一方、ステップＳ２１４で異常が検出されていないと判定された場合には、被検査物２には異常なしとして、本ルーチンを終了する（ステップＳ２１８）。
【００５１】
本実施例のシート検査装置によると、通常のＲＧＢカラーカメラ一つで測定系を構成することが可能になるため、装置の製造コストを抑えることができる。
【００５２】
＜実施例３＞
（装置の構成）
図５は、本発明の第３の実施例に係るシート検査装置の概要を示すブロック図である。シート検査装置１１は、実施例２のシート検査装置と比べて、赤外光源３２が、被検査物２の上面側に配置される構成となっている。即ち、実施例１のシート検査装置１と比べて、カメラ４の機能、及び光源の配置関係が異なる以外は同じ構成であるため、同一の部分を表す箇所には上記各実施例と同じ符号を用いて、詳細な説明は省略する。
【００５３】
図５に示すように、本実施例に係る照明系である照明装置３は、可視光源３１及び赤外光源３２を備え被検査物２の上面側に配置される。このため、可視光及び赤外光のいずれもが被検査物２の上面に向けて照射され、可視光及び赤外光の反射光と可視光の再透過光がカメラ４に入光し、プリズムで分光された後に各センサで受光される。なお、赤外光源３２から照射され、被検査物２を透過した赤外光は、可視光反射板６を透過するため、カメラ４のセンサで受光されない。
【００５４】
（検査方法）
本実施例におけるシート検査の処理の全体の流れは実施例１及び実施例２の場合と同様である。また、処理部５１による異常箇所の検出処理の流れは実施例２の場合と同様である。即ち、赤外光が赤色受光センサで受光された状態で、各センサの画像信号を合成し、該合成画像からシートの地合で反射した赤外光分を相殺する補正を行い、検査用画像を作成する。その上で、該検査用画像に基づいて異常の検出を行う。
【００５５】
ここで、本実施例では、検査用画像を用いた異常の検出の方法が、上記実施例２の場合とは異なるため、以下で説明する。即ち、前述の合成画像の補正の結果、本実施例の構成によるシート検査装置１１が取得する検査用画像では、被検査物２の穴又は破れは、水色がかった色で暗く表示され、汚れ又は異物についても、実物よりもやや水色がかった色で暗く表示されることになる。このため、処理部５１は、検査画像において所定の下限閾値よりも低い輝度値を示す部分が所定の面積を超えていれば、当該部分を異常箇所であるとして認定する。
【００５６】
なお、上記補正後の検査用画像では、被検査物２の地合が薄い部分については、輝度値が低くなって水色がかった色に表示されるため、閾値の設定次第では、地合ムラが異常として検出されてしまうおそれがある。このため、水色系色の汚れ又は異物の検出が想定されないような検査ラインで装置を用いるのであれば、水色系色の暗欠陥領域には、異常検
出のための閾値を設定しないようにしてもよい。
【００５７】
本実施例のシート検査装置では、二つの光源を一体にまとめて構成しているため、装置全体をさらにコンパクトにすることができ、装置の設置箇所の自由度をより高めることが可能になる。
【００５８】
＜その他＞
なお、上記の各実施例は、本発明を例示的に説明するものに過ぎず、本発明は上記の具体的な形態には限定されない。本発明は、その技術的思想の範囲内で種々の変形が可能である。例えば、上記各実施例においては、被検査物２に異常が検出された場合には検査を中断し、オペレータによって復帰作業を行うようにしたが、異常を検出した場合でも検査を中断しないようにしてもよい。その場合には、装置に不良品仕分け機構と不良品搬出レーンを別途設け、異常と判断された被検査物２は、該不良品仕分け機構により自動で仕分けるようにしてもよい。
【００５９】
また、上記各実施例の撮像手段はプリズムによって光を分光し、分光済みの光をそれぞれ対応するセンサで受光する多板方式のものであったが、分光プリズムではなく、カラーフィルタによって分光を行う単板方式のカメラを用いる構成としてもよい。
【００６０】
また、上記各実施例では、可視光源３１が照射する光は白色光であったが、被検査物の性状、検査ラインの状況などに応じて、異常の検出に支障がない色であれば、他の色の可視光であってもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１、１１・・・シート検査装置
２・・・被検査物
３・・・光源装置
３１・・・可視光源
３２・・・赤外光源
４・・・カメラ
５・・・制御装置
５１・・・処理部
５２・・・調節部
５３・・・記憶部
６・・・可視光反射板
【図１】
2018124127.tif 000003
【図２】
2018124127.tif 000004
【図３】
2018124127.tif 000005
【図４】
2018124127.tif 000006
【図５】
2018124127.tif 000007
【図６】
2018124127.tif 000008
【図７】
2018124127.tif 000009
【図８】
2018124127.tif 000010