(57)【要約】【課題】簡易な構成で、反射面の角度を調整でき、かつ、反射面を当該反射面と交差する方向に移動させることができる固定鏡、並びに、当該固定鏡を備えた干渉計及びフーリエ変換分光光度計を提供すること。【解決手段】固定鏡８は、ミラー８７を軸方向に変位させる複数のアクチュエータ８３を備えている。複数のアクチュエータ８３によりミラー８７をそれぞれ異なる変位量で変位させれば、反射面８７Ａの角度を調整でき、複数のアクチュエータ８３によりミラー８７をそれぞれ同一の変位量で変位させれば、反射面８７Ａの角度を一定に保ったまま反射面８７Ａを移動させることができる。そのため、簡易な構成で、反射面８７Ａの角度を調整でき、かつ、反射面８７Ａを軸方向に沿って移動させることができる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
干渉計に用いられ、光源からの光を反射させることにより、その反射光を移動鏡で反射した前記光源からの光と干渉させて干渉光を発生させるための固定鏡であって、
前記光源からの光を反射面で反射させるミラーと、
前記ミラーを前記反射面に対して交差する方向に変位させる複数のアクチュエータとを備え、
前記複数のアクチュエータにより前記ミラーをそれぞれ異なる変位量で変位させれば、前記反射面の角度を調整でき、前記複数のアクチュエータにより前記ミラーをそれぞれ同一の変位量で変位させれば、前記反射面の角度を一定に保ったまま前記反射面を移動させることができることを特徴とする固定鏡。
【請求項２】
前記複数のアクチュエータは、前記反射面の中心位置に対して周方向に等間隔で配置されていることを特徴とする請求項１に記載の固定鏡。
【請求項３】
前記複数のアクチュエータは、ピエゾ素子により構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の固定鏡。
【請求項４】
前記ミラー及び前記複数のアクチュエータを連結するフレクチャー部をさらに備え、
前記フレクチャー部は、固定された固定部と、前記複数のアクチュエータの動作に伴って変位する変位部と、前記固定部及び前記変位部を連結し、前記固定部に対して前記変位部を弾性的に変位させる梁部とを有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の固定鏡。
【請求項５】
前記フレクチャー部と前記ミラーとの間に介在し、前記反射面に対して交差する方向に弾性変形可能な弾性ヒンジをさらに備えることを特徴とする請求項４に記載の固定鏡。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の固定鏡と、
前記固定鏡における前記ミラーの変位量よりも大きい変位量で移動可能な移動鏡と、
前記固定鏡及び前記移動鏡に光を照射する光源とを備え、
前記固定鏡からの反射光と前記移動鏡からの反射光とを干渉させることにより干渉光を発生させることを特徴とする干渉計。
【請求項７】
前記固定鏡及び前記移動鏡が取り付けられる本体と、
前記本体に取り付けられた前記固定鏡の角度を調整することにより、前記反射面の角度を変化させる粗調整機構とをさらに備えることを特徴とする請求項６に記載の干渉計。
【請求項８】
請求項６又は請求項７に記載の干渉計と、
前記干渉計からの干渉光を試料に照射することにより発生する試料からの反射光又は透過光を検出する検出器とを備えることを特徴とするフーリエ変換分光光度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源からの光を反射させることにより、その反射光を移動鏡で反射した光源からの光と干渉させて干渉光を発生させるための固定鏡、当該固定鏡を備えた干渉計、及び、当該干渉計を備えたフーリエ変換分光光度計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フーリエ変換分光光度計などに備えられる干渉計は、固定鏡、移動鏡及び光源などを備えている。干渉計では、光源からの光が固定鏡及び移動鏡のそれぞれに照射される。そして、固定鏡で反射した光と、移動鏡で反射した光とが干渉させられて干渉光が発生させられる。
【０００３】
このような干渉計では、固定鏡における反射面の角度や、移動鏡における反射面の角度にずれが生じると、干渉光が変化してしまい、その性能が低下してしまう。そこで、このような角度のずれが生じた場合に、そのずれの補正を行うことが可能な装置が提案されている（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００４】
特許文献１に記載の装置は、反射面の角度（傾斜）の微調整が可能な固定鏡（ミラー）を備えている。具体的には、この装置では、ベースと、ベースと間隔を隔てて配置されるミラーと、ベースとミラーとの間に介在される複数の電磁石ユニットとを備えている。ミラーの中心部分には、弾性変形可能な離隔部材の一端が接続されている。離隔部材の他端は、ベースに接続されている。この装置では、複数の電磁石ユニットにおいて、適宜電磁力が発生させられ、ベースとミラーとの間で吸引力又は反発力が発生させられる。これにより、離隔部材が撓んでミラーの角度が微調整される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０２−２９８９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した従来の装置では、ミラーの動作が限定されるため、その装置を用いた干渉計やフーリエ変換分光光度計の機能性が限定されるという不具合があった。具体的には、上記した従来の装置では、ミラーの中心部分とベースとの間の距離は一定に保たれつつ、ミラーの角度が微調整される。そのため、ミラーを反射面と交差する方向に移動（変位）させることができず、干渉計やフーリエ変換分光光度計の機能が制限されるという不具合があった。
【０００７】
例えば、フーリエ変換分光光度計を用いて、固定鏡を反射面と交差する方向（光軸方向）に微小な距離だけ移動させながら干渉光を試料に照射する、いわゆるステップスキャンが行われることがある。このステップスキャンでは、固定鏡と移動鏡との間の距離を微小に変化させる動作と、一定時間の間、これらの間の距離を一定に保つ動作が繰り返される。
【０００８】
従来の装置では、上記したように、ミラーの中心部分とベースとの間の距離は一定に保たれるため、ステップスキャンに対応する動作を行うことができないという不具合がある。
【０００９】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、簡易な構成で、反射面の傾きを調整でき、かつ、反射面を当該反射面と交差する方向に移動させることができる固定鏡、並びに、当該固定鏡を備えた干渉計及びフーリエ変換分光光度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）本発明に係る固定鏡は、干渉計に用いられ、光源からの光を反射させることにより、その反射光を移動鏡で反射した前記光源からの光と干渉させて干渉光を発生させるためのものである。前記固定鏡は、ミラーと、複数のアクチュエータとを備える。前記ミラーは、前記光源からの光を反射面で反射させる。前記複数のアクチュエータは、前記ミラーを前記反射面に対して交差する方向に変位させる。前記固定鏡では、前記複数のアクチュエータにより前記ミラーをそれぞれ異なる変位量で変位させれば、前記反射面の角度を調整でき、前記複数のアクチュエータにより前記ミラーをそれぞれ同一の変位量で変位させれば、前記反射面の角度を一定に保ったまま前記反射面を移動させることができる。
【００１１】
このような構成によれば、複数のアクチュエータの変位量を変化させるのみで、反射面を傾斜させ（反射面の角度を調整でき）、また、反射面の角度を一定に保ったまま、その反射面を移動させることができる。
そのため、簡易な構成で、反射面の傾きを調整でき、かつ、反射面を当該反射面と交差する方向に移動させることができる。
【００１２】
（２）また、前記複数のアクチュエータは、前記反射面の中心位置に対して周方向に等間隔で配置されていてもよい。
【００１３】
このような構成によれば、反射面の傾きの調整、及び、反射面の移動の動作を高い精度で行うことができる。
【００１４】
（３）また、前記複数のアクチュエータは、ピエゾ素子により構成されていてもよい。
【００１５】
このような構成によれば、複数のアクチュエータを簡易に構成できる。特に、ピエゾ素子は、高速応答性が高いため、干渉計に用いるのに最適である。
【００１６】
（４）また、前記固定鏡は、フレクチャー部をさらに備えてもよい。前記フレクチャー部は、前記ミラー及び前記複数のアクチュエータを連結する。前記フレクチャー部は、固定された固定部と、前記複数のアクチュエータの動作に伴って変位する変位部と、前記固定部及び前記変位部を連結し、前記固定部に対して前記変位部を弾性的に変位させる梁部とを有する。
【００１７】
このような構成によれば、ミラーと複数のアクチュエータとの間にフレクチャー部を介在させることができる。そして、そのフレクチャー部の変位部が変位することにより、反射面の傾きの調整、及び、反射面の移動の動作を行うことができる。
そのため、固定鏡において、一定以上の剛性を持たせながら、反射面の傾きの調整、及び、反射面の移動の動作を行うことができる。
【００１８】
（５）また、前記固定鏡は、弾性ヒンジをさらに備えてもよい。前記弾性ヒンジは、前記フレクチャー部と前記ミラーとの間に介在し、前記反射面に対して交差する方向に弾性変形可能である。
【００１９】
このような構成によれば、フレクチャー部の変位部が変位して反射面の傾きが変化した場合や、フレクチャー部の変位部が変位して反射面が移動した場合に、弾性ヒンジが適度に弾性変形する。
そのため、フレクチャー部とミラーとの位置関係（角度や距離）が変化する場合でも、弾性ヒンジによって、応力の発生を抑制できる。
【００２０】
（６）本発明に係る干渉計は、前記固定鏡と、移動鏡と、光源とを備える。前記移動鏡は、前記固定鏡における前記ミラーの変位量よりも大きい変位量で移動可能である。前記光源は、前記固定鏡及び前記移動鏡に光を照射する。前記干渉計では、前記固定鏡からの反射光と前記移動鏡からの反射光とを干渉させることにより干渉光を発生させる。
【００２１】
このような構成によれば、固定鏡において、反射面の傾きを調整し、反射面を当該反射面と交差する方向に移動させる動作を行うとともに、その固定鏡からの反射光と移動鏡からの反射光とを干渉させて干渉光を発生させることができる。
【００２２】
（７）また、前記干渉計は、本体と、粗調整機構とをさらに備えてもよい。前記本体には、前記固定鏡及び前記移動鏡が取り付けられる。前記粗調整機構は、前記本体に取り付けられた前記固定鏡の角度を調整することにより、前記反射面の角度を変化させる。
【００２３】
このような構成によれば、固定鏡の反射面の角度が大きくずれている場合などに、粗調整機構によって固定鏡の角度を調整することにより、そのずれを補正できる。
【００２４】
（８）また、本発明に係るフーリエ変換分光光度計は、前記干渉計と、検出器とを備える。前記検出器は、前記干渉計からの干渉光を試料に照射することにより発生する試料からの反射光又は透過光を検出する。
【００２５】
このような構成によれば、固定鏡を反射面と交差する方向に移動させながら干渉光を試料に照射する、いわゆるステップスキャンを行うことができる。
【００２６】
具体的には、干渉計において、固定鏡の反射面の傾きを調整し、固定鏡の反射面を当該反射面と交差する方向に移動させる動作を行うとともに、その固定鏡からの反射光と移動鏡からの反射光とを干渉させて干渉光を発生させることができる。そして、その干渉光を試料に照射することにより発生した反射光又は透過光を検出器で検出できる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、複数のアクチュエータの変位量を変化させるのみで、反射面の角度を調整でき、また、反射面の角度を一定に保ったまま、その反射面を移動させることができる。そのため、簡易な構成で、反射面の角度を調整でき、かつ、反射面を当該反射面と交差する方向に移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１実施形態に係るフーリエ変換分光光度計を示した概略図である。
【図２】図１の固定鏡を示した平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係るフーリエ変換分光光度計の固定鏡を示した平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
１．フーリエ変換分光光度計の全体構成
図１は、本発明の第１実施形態に係るフーリエ変換分光光度計１を示した概略図である。
フーリエ変換分光光度計１は、干渉計２と、反射鏡１０と、試料室１１と、検出器１２とを備えている。
【００３０】
干渉計２は、干渉光を発生させるためのものであって、光源３と、本体４と、ハーフミラー５と、移動鏡６と、駆動部７と、固定鏡８と、粗調整機構９とを備えている。
光源３は、測定光としての赤外光を出射する。
本体４は、中空状に形成されている。本体４には、入射口４Ａと、出射口４Ｂとが形成されている。本体４の入射口４Ａは、光源３に対向している。
【００３１】
ハーフミラー５は、本体４内において、入射口４Ａ及び出射口４Ｂのそれぞれと間隔を隔てて配置されている。ハーフミラー５は、入射する光の一部を反射しつつ、入射する光の残りを透過することが可能な鏡である。
【００３２】
移動鏡６は、本体４内において、ハーフミラー５と間隔を隔てて配置されている。移動鏡６は、ミラー６１と、ミラー６１を支持する支持部６２とを備えている。支持部６２は、ハーフミラー５とミラー６１との対向方向に沿って移動可能に構成されている。
駆動部７は、例えば、モータなどからなり、移動鏡６の支持部６２に駆動力を付与するように構成されている。
固定鏡８は、本体４内において、ハーフミラー５と間隔を隔てて配置されている。固定鏡８は、本体４内において、一定位置に配置されている。
【００３３】
粗調整機構９は、本体４に設けられている。粗調整機構９は、固定鏡８のアクチュエータ８３（後述する）では補正できない固定鏡８の位置や、固定鏡８の反射面８７Ａ（後述する）の大きな角度のずれを補正するように構成されている。粗調整機構９の最小調整角度は、アクチュエータ８３で調整できる角度より小さいことが求められる。このため、図１では、粗調整機構９は、高精細なピッチを有する複数の光学用の調整ねじで構成された例を示しているが、アクチュエータ８３の移動距離を長くすること、あるいは、微小な角度の制御が実現できるモータを付加した構成にすることでねじのピッチが粗いものを採用することもできる。また、モータに減速機を付加して高角度分解能駆動を実現することも考えられる。この複数の調整ねじの先端は、固定鏡８（後述するベース８１）に接続されている。
反射鏡１０は、本体４の出射口４Ｂと間隔を隔てて配置されている。
試料室１１は、反射鏡１０と間隔を隔てて配置されている。試料室１１は、中空状のボックス形状に形成されており、内部に図示しない試料を収容している。
【００３４】
検出器１２は、試料室１１と間隔を隔てて配置されている。検出器１２は、例えば、ＭＣＴ（ＨｇＣｄＴｅ）検出器などからなる。検出器１２は、入射する光を検出し、検出した光に応じて検出信号を得るように構成されている。具体的には、検出器１２は、光（赤外光）に応じたインターフェログラムを得るように構成されている。
【００３５】
フーリエ変換分光光度計１を用いて試料の分析を行う際において、固定鏡８に大きな位置ずれがある場合（固定鏡８の反射面８７Ａに大きな角度のずれがある場合）には、分析に先立ってその位置ずれ（角度）が補正される。具体的には、ユーザによって、粗調整機構９の調整ねじが適宜締めつけられることにより、その調整ねじによって固定鏡８が押圧されて、固定鏡８の位置ずれが補正される。
【００３６】
このようにして、固定鏡８の位置ずれが補正された後、光源３から赤外光が出射される。そして、赤外光は、入射口４Ａから本体４内に導かれて、ハーフミラー５に入射する。
【００３７】
ハーフミラー５に入射した赤外光は、一部がハーフミラー５を透過して固定鏡８に入射し、残りがハーフミラー５で反射されて移動鏡６に入射する。このとき、移動鏡６は、駆動部７から駆動力が付与されることにより、支持部６２とともにミラー６１が移動する。
【００３８】
固定鏡８で反射された赤外光は、ハーフミラー５で反射されて反射鏡１０に向かう。また、移動鏡６（ミラー６１）で反射された赤外光は、ハーフミラー５を透過して反射鏡１０に向かう。これにより、固定鏡８で反射された赤外光、及び、移動鏡６で反射された赤外光は、合成されて赤外干渉光となり、出射口４Ｂを通過して本体４の外部に出射されて反射鏡１０に向かう。そして合成された赤外光は、反射鏡１０で反射されて、試料室１１に入射する。
試料室１１に入射した赤外光は、試料室１１内の試料に照射される。そして、試料からの反射光又は透過光が試料室１１から出射して、検出器１２に入射する。
【００３９】
検出器１２は、入射した赤外光に応じたインターフェログラムを、検出信号として出力する。制御部（図示せず）は、検出器１２から出力されたインターフェログラムをフーリエ変換することにより、スペクトルの強度分布データを得る。そして、そのデータに基づいて、試料が分析される。
【００４０】
２．固定鏡の詳細構成
図２は、固定鏡８を示した平面図である。図３は、図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
上記したフーリエ変換分光光度計１を用いた試料の分析において、固定鏡８における反射面の角度にずれ（微小なずれ）が生じると、赤外干渉光が変化してしまい、分析精度が低下してしまう。このような場合には、固定鏡８の反射面の傾きを微調整することが必要である。また、上記したフーリエ変換分光光度計１を用いた試料の分析において、固定鏡８の反射面を、当該反射面と交差する方向（光軸方向）に微小な距離だけ移動させながら干渉光を試料に照射する、いわゆるステップスキャンを行いたい場合がある。そこで、これらの場合に対応できるように、固定鏡８は、以下のように構成されている。
【００４１】
固定鏡８は、ベース８１と、複数（３つ）のフレクチャー部８２と、複数（３つ）のアクチュエータ８３と、複数（３つ）の鋼球８４と、複数（３つ）の弾性ヒンジ８５と、ミラーホルダー８６と、ミラー８７とを備えている。
ベース８１は、固定鏡８の土台となる部材であって、逆ハット状に形成されている。ベース８１は、中央部８１１と、フランジ部８１２とを備えている。
【００４２】
中央部８１１は、円柱状に形成されている。中央部８１１には、複数の凹部８１１Ａが形成されている。各凹部８１１Ａは、中央部８１１の軸方向一端面（上端面）から内方（下方）に向かって窪んでいる。複数の凹部８１１Ａは、中央部８１１の周方向において、等角度間隔で配置されている。この例では、中央部８１１には、３つの凹部８１１Ａが、周方向に約１２０°間隔で配置されるように形成されている。
【００４３】
フランジ部８１２は、中央部８１１の軸方向一端部（上端部）から径方向外方に向かって突出している。フランジ部８１２は、その基端部（内側部分）の厚みが小さく、基端部よりも外側部分の厚みが大きくなるような階段状に形成されている。
【００４４】
各フレクチャー部８２は、ベース８１のフランジ部８１２の軸方向一端面（上端面）に固定されている。各フレクチャー部８２は、長尺な角柱状に形成されており、径方向に延びている。この例では、３つのフレクチャー部８２が、周方向に約１２０°間隔で配置されている。各フレクチャー部８２の径方向内側部分（変位部８２２）は、軸方向に見たときに、ベース８１の各凹部８１１Ａと重なっている。各フレクチャー部８２は、固定部８２１と、変位部８２２と、梁部８２３とを備えている。
固定部８２１は、フレクチャー部８２における径方向外側部分であって、角柱状に形成されている。固定部８２１は、ベース８１のフランジ部８１２の軸方向一端面（上端面）に固定されている。これにより、各フレクチャー部８２は、固定部８２１において片持ち支持されている。
変位部８２２は、フレクチャー部８２における径方向内側部分であって、角柱状に形成されている。変位部８２２は、ベース８１のフランジ部８１２の軸方向一端面（上端面）と間隔を隔てて配置されている。
【００４５】
梁部８２３は、固定部８２１と変位部８２２との間に架設されている。具体的には、梁部８２３は、固定部８２１の軸方向一端部（上端部）と変位部８２２の軸方向一端部（上端部）との間に架設される部分（上方部分）と、固定部８２１の軸方向他端部（下端部）と変位部８２２の軸方向他端部（下端部）との間に架設される部分（下方部分）とを備えており、これらにより、固定部８２１と変位部８２２とを連結している。梁部８２３は、弾性変形可能に構成されている。
【００４６】
各アクチュエータ８３は、ベース８１の各凹部８１１Ａ内に配置されている。すなわち、この例では、３つのアクチュエータ８３が、周方向に約１２０°間隔で配置されている。各アクチュエータ８３は、ピエゾ素子により構成されており、軸方向に沿って延びている。各アクチュエータ８３の軸方向一端部（上端部）は、ベース８１の各凹部８１１Ａからわずかに飛び出ている。各アクチュエータ８３は、通電されることにより軸方向に沿って伸縮可能であって、通電量（電圧）に応じてその伸縮量（変位量）が変化する。
【００４７】
各鋼球８４は、各アクチュエータ８３と各フレクチャー部８２との間に介在されている。図示しないが、各フレクチャー部８２の変位部８２２の軸方向他端面（下端面）には、凹部が形成されており、各鋼球８４の一部は、この凹部に嵌っている。これにより、各鋼球８４は、各アクチュエータ８３との間で点接触した状態で保持されている。
【００４８】
各弾性ヒンジ８５は、各フレクチャー部８２の変位部８２２の軸方向一端面（上端面）に設けられている。各弾性ヒンジ８５は、その中央部がくびれた鼓状に形成されており、軸方向に延びる柱部８５１と、柱部８５１の軸方向一端部（上端部）に連続する第１板部８５２と、柱部８５１の軸方向他端部（下端部）に連続する第２板部８５３とを備えている。各弾性ヒンジ８５において、柱部８５１は、弾性変形可能に構成されている。また、第２板部８５３は、各フレクチャー部８２の変位部８２２の軸方向一端面（上端面）に固定されている。
【００４９】
ミラーホルダー８６は、円板状に形成されており、各弾性ヒンジ８５に固定されている。具体的には、各弾性ヒンジ８５の第１板部８５２は、ミラーホルダー８６の軸方向他端面（下端面）に固定されている。
【００５０】
ミラー８７は、円板状の鏡であって、ミラーホルダー８６の軸方向一端面（上端面）に固定されている。ミラー８７の軸方向一端面（上端面）が反射面８７Ａである。
【００５１】
このような構成により、固定鏡８では、鋼球８４、弾性ヒンジ８５及びミラーホルダー８６を介して、フレクチャー部８２によって、ミラー８７とアクチュエータ８３とが連結されている。また、フレクチャー部８２とミラー８７との間には、弾性ヒンジ８５（弾性ヒンジ８５及びミラーホルダー８６）が介在している。
【００５２】
３．固定鏡の動作
固定鏡８のミラー８７（反射面８７Ａ）の傾き（角度）を微調整する場合には、複数のアクチュエータ８３のそれぞれに対して異なる電圧がかけられる。そして、複数のアクチュエータ８３のそれぞれが異なる変位量で軸方向に変位（伸縮）する。具体的には、傾き（角度）の変化を大きくしたい反射面８７Ａの部分の軸方向他方側（下方側）に位置するアクチュエータ８３の変位量が大きく、傾き（角度）の変化を小さくしたい反射面８７Ａの部分の軸方向他方側（下方側）に位置するアクチュエータ８３の変位量が小さくなるように、複数のアクチュエータ８３のそれぞれに対して異なる電圧がかけられる。
【００５３】
これにより、鋼球８４を介して、フレクチャー部８２の変位部８２２にアクチュエータ８３からの押圧力が付与される。そして、フレクチャー部８２の梁部８２３が弾性変形して、フレクチャー部８２の変位部８２２が軸方向に変位する。このとき、フレクチャー部８２の固定部８２１は、ベース８１のフランジ部８１２に固定されているため、変形せずに一定位置に配置される。すなわち、フレクチャー部８２において、変位部８２２は、固定部８２１に対して弾性的に変位する。上記したように、複数のアクチュエータ８３のそれぞれが異なる変位量で変位するため、複数のフレクチャー部８２のそれぞれは、異なる形状に変形する。具体的には、変位量の大きいアクチュエータ８３に対向するフレクチャー部８２の変位部８２２が大きく変位し、変位量の小さいアクチュエータ８３に対向するフレクチャー部８２の変位部８２２が小さく変位する。
【００５４】
そして、各弾性ヒンジ８５を介して、ミラーホルダー８６とともにミラー８７が傾く（角度が変化する）。具体的には、変位量の大きいフレクチャー部８２の変位部８２２に対応するミラー８７（ミラーホルダー８６及びミラー８７）の部分が大きく傾き、変位量の小さいフレクチャー部８２の変位部８２２に対応するミラー８７（ミラーホルダー８６及びミラー８７）の部分が小さく傾くようにして、ミラー８７の傾き（角度）が微調整される。このとき、各弾性ヒンジ８５は、第１板部８５２がミラーホルダー８６に固定され、第２板部８５３がフレクチャー部８２（変位部８２２）に固定された状態を維持しながら、柱部８５１が弾性変形する。これより、各弾性ヒンジ８５は、ミラー８７の反射面８７Ａと交差する方向に弾性変形する。
【００５５】
このように、固定鏡８では、複数のアクチュエータ８３によりミラー８７をそれぞれ異なる変位量で変位させることにより、反射面８７Ａの角度を調整できる。
【００５６】
例えば、ミラー８７は、複数のアクチュエータ８３のそれぞれに対して異なる電圧をかけることにより、図３の実線で示す位置からＢの位置まで変位させられ、その傾き（角度）の微調整が行われる。
【００５７】
また、ミラー８７の反射面８７Ａを、軸方向に微小な距離だけ移動させながら干渉光を試料に照射する、いわゆるステップスキャンを行うような場合には、複数のアクチュエータ８３のそれぞれに対して同一の量だけ増加又は減少した電圧がかけられる。その結果、複数のアクチュエータ８３のそれぞれが同一の変位量で軸方向に変位（伸縮）する。
【００５８】
これにより、各フレクチャー部８２の変位部８２２は、同一の変位量で変位する。そして、各弾性ヒンジ８５を介して、ミラーホルダー８６とともにミラー８７が軸方向に沿って移動する。このとき、ミラー８７は、反射面８７Ａの角度を一定に保ったまま軸方向に沿って移動する。
【００５９】
このように、固定鏡８では、複数のアクチュエータ８３によりミラー８７をそれぞれ同一の変位量で変位させることにより、反射面８７Ａの角度を一定に保ったまま、反射面８７Ａを軸方向に沿って移動させることができる。なお、固定鏡８のミラー８７の軸方向の変位量は、移動鏡６（図１参照）の変位量よりも小さい。具体的には、移動鏡６の変位量が数ｍｍ〜数１０ｍｍであるのに対し、固定鏡８のミラー８７の変位量は数μｍ〜数１０μｍである。
【００６０】
例えば、ミラー８７は、複数のアクチュエータ８３のそれぞれが同一の変位量で軸方向に変位（伸縮）することにより、反射面８７Ａの角度を一定に保ったまま、Ｂの位置からＣの位置まで変位する。
【００６１】
４．作用効果
（１）本実施形態では、図３に示すように、固定鏡８において、複数のアクチュエータ８３は、ミラー８７を軸方向に変位させる。固定鏡８において、複数のアクチュエータ８３によりミラー８７をそれぞれ異なる変位量で変位させれば、反射面８７Ａの角度を調整でき、複数のアクチュエータ８３によりミラー８７をそれぞれ同一の変位量で変位させれば、反射面８７Ａの角度を一定に保ったまま反射面８７Ａを移動させることができる。
【００６２】
そのため、固定鏡８において、複数のアクチュエータ８３の変位量を変化させるのみで、反射面８７Ａの角度を調整でき、また、反射面８７Ａの角度を一定に保ったまま、反射面８７Ａを軸方向に沿って移動させることができる。
その結果、簡易な構成で、反射面８７Ａの角度を調整でき、かつ、反射面８７Ａを軸方向に沿って移動させることができる。
【００６３】
また、干渉計２は、この固定鏡８と、移動鏡６とを備えている。
そのため、固定鏡８において、反射面８７Ａの角度を調整し、反射面８７Ａを軸方向に沿って移動させる動作を行うとともに、反射面８７Ａからの反射光と移動鏡６からの反射光とを干渉させて干渉光を発生させることができる。
【００６４】
また、その干渉光を試料に照射することにより発生した反射光又は透過光を検出器１２で検出できる。
すなわち、フーリエ変換分光光度計１において、固定鏡８を軸方向に沿って移動させながら干渉光を試料に照射する、いわゆるステップスキャンを行うことができる。
【００６５】
（２）また、本実施形態では、複数のアクチュエータ８３は、ピエゾ素子により構成されている。
【００６６】
そのため、複数のアクチュエータ８３を簡易に構成できる。特に、ピエゾ素子は、高速応答性が高いため、干渉計２に用いるのに最適である。
【００６７】
（３）また、本実施形態では、図３に示すように、固定鏡８は、ミラー８７及びアクチュエータ８３を連結するフレクチャー部８２を備えている。フレクチャー部８２は、ベース８１のフランジ部８１２に固定された固定部８２１と、複数のアクチュエータ８３の動作に伴って変位する変位部８２２と、固定部８２１及び変位部８２２を連結し、固定部８２１に対して変位部８２２を弾性的に変位させる梁部８２３とを有している。
【００６８】
そのため、ミラー８７と複数のアクチュエータ８３との間にフレクチャー部８２を介在させながら、フレクチャー部８２の変位部８２２を変位させることにより、ミラー８７の反射面８７Ａの傾きの調整、及び、反射面８７Ａの移動の動作を行うことができる。
その結果、固定鏡８において、一定以上の剛性を持たせながら、反射面８７Ａの傾きの調整、及び、反射面８７Ａの移動の動作を行うことができる。
【００６９】
（４）また、本実施形態では、図３に示すように、固定鏡８は、複数のフレクチャー部８２とミラー８７との間に介在する複数の弾性ヒンジ８５を備えている。
【００７０】
そのため、フレクチャー部８２の変位部８２２が変位して反射面８７Ａの傾きが変化した場合や、フレクチャー部８２の変位部８２２が変位して反射面８７Ａが移動した場合に、弾性ヒンジ８５が適度に弾性変形する。
その結果、フレクチャー部８２とミラー８７との位置関係（角度や距離）が変化する場合でも、弾性ヒンジ８５によって、応力の発生を抑制できる。
（５）また、本実施形態では、図１に示すように、固定鏡８は、本体４に取り付けられた粗調整機構９を備えている。
【００７１】
そのため、固定鏡８の反射面８７Ａの角度が大きくずれている場合などに、粗調整機構９によって固定鏡８の角度を調整することにより、反射面８７Ａのずれを補正できる。
【００７２】
５．第２実施形態
以下では、図４を用いて本発明の第２実施形態について説明する。なお、上記した第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を付することにより説明を省略する。
【００７３】
上記した第１実施形態では、固定鏡８は、３つのアクチュエータ８３を備えている。そして、これらの３つのアクチュエータ８３は、周方向において、１２０°間隔で配置されている。すなわち、軸方向に見たときに、複数のアクチュエータ８３は、ミラー８７の反射面８７Ａの中心に対して周方向に等間隔となるように配置されている。
第２実施形態でも同様に、固定鏡８においては、複数のアクチュエータ８３は、ミラー８７の反射面８７Ａの中心Ｄに対して周方向に等間隔で配置されているが、その数が異なっている。このように、アクチュエータ８３の数は、３つ以上であれば任意である。
【００７４】
具体的には、第２実施形態では、ベース８１の中央部８１１（図１参照）に、４つの凹部８１１Ａ（図示せず）が形成されている。これらの４つの凹部８１１Ａは、周方向に沿って９０°間隔で配置されている。そして、各凹部８１１Ａ内には、アクチュエータ８３が配置されている。すなわち、固定鏡８において、アクチュエータ８３は、周方向に沿って９０°間隔で配置されている。これにより、固定鏡８において、４つのアクチュエータ８３が、ミラー８７の反射面８７Ａの中心Ｄに対して対称配置されている。
【００７５】
また、固定鏡８では、これらの４つのアクチュエータ８３に対応するように、４つのフレクチャー部８２が備えられている。各フレクチャー部８２とミラーホルダー８６との間には、第１実施形態と同様に、弾性ヒンジ８５が介在されている。
【００７６】
このような構成により、固定鏡８において反射面８７Ａを高い精度で動作させることができる。
例えば、図４のアクチュエータ８３Ａ，８３Ｂを動作させ、残りの２つのアクチュエータ８３（８３Ｃ，８３Ｄ）の動作を停止させておくことにより、ミラー８７を、アクチュエータ８３Ａ，８３Ｂを結ぶ方向に延びるＸ軸方向に傾けることができる。また、アクチュエータ８３Ｃ，８３Ｄを動作させ、残りの２つのアクチュエータ８３（８３Ａ，８３Ｂ）の動作を停止させておくことにより、ミラー８７を、アクチュエータ８３Ｃ，８３Ｄを結ぶ方向に延びるＹ軸方向に傾けることができる。
【００７７】
また、アクチュエータ８３Ａ〜８３Ｄを同一の変位量で変位させることにより、反射面８７Ａの角度を一定に保ったまま、反射面８７Ａを軸方向に沿って移動させることができる。
このように、第２実施形態では、固定鏡８において、複数のアクチュエータ８３は、反射面８７Ａの中心Ｄに対して対称配置されている。
そのため、反射面８７Ａの傾きの調整、及び、反射面８７Ａの移動の動作をより高い精度で行うことができる。
【００７８】
６．変形例
上記した実施形態では、粗調整機構９による固定鏡８の反射面８７Ａの角度の調整は、ユーザが調整ねじを締め付けることで行われるとして説明した。しかし、調整ねじに駆動力を付与するモータが設けられていて、このモータからの駆動力が付与されることにより調整ねじが自動で回転してもよい。すなわち、固定鏡８の反射面８７Ａの角度の調整は、粗調整機構９により自動で行われてもよい。
【符号の説明】
【００７９】
１        フーリエ変換分光光度計
２        干渉計
３        光源
４        本体
６        移動鏡
８        固定鏡
９        粗調整機構
１２      検出器
８２      フレクチャー部
８３      アクチュエータ
８５      弾性ヒンジ
８７      ミラー
８７Ａ    反射面
８２１    固定部
８２２    変位部
８２３    梁部
【図１】
2018097227.tif 000003
【図２】
2018097227.tif 000004
【図３】
2018097227.tif 000005
【図４】
2018097227.tif 000006