(57)【要約】【課題】状況に応じてパラメータ値変更の適用／不適用の操作を容易に実行できるインタフェースを提供する。【解決手段】管理プログラムＰ２は、コンピュータをパラメータ管理装置として機能させる。それによってコンピュータが実現する複数の機能処理部は、パラメータ編集部１１と、パラメータ変更履歴記録部１３と、パラメータの変更履歴情報を取得するパラメータ変更履歴取得部１４と、変更履歴情報をパラメータ変更履歴画面４０に表示させるパラメータ変更履歴表示部１５と、各パラメータの変更を反映するか否かを選択する選択入力部２０をパラメータ変更履歴画面４０上に提供するパラメータ選択入力受付部１６と、選択した値を確定するための確定入力部２３をパラメータ変更履歴画面４０上に提供するパラメータ変更確定入力受付部１７と、確定されたパラメータ群を登録するパラメータ登録部１８と、を含む。【選択図】図３
2018124755.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
産業用装置における制御の基礎となる複数のパラメータを含むパラメータ群を管理するパラメータ管理装置であって、
前記パラメータ群が登録される登録手段と、
前記パラメータの値を変更するパラメータ編集手段と、
前記パラメータの変更履歴情報を記憶する変更履歴記憶手段と、
前記変更履歴記憶手段に記憶されている前記パラメータの変更履歴情報を取得する取得手段と、
前記取得手段によって取得された複数の前記パラメータの変更履歴情報を表示する表示手段と、
前記表示手段によって変更履歴情報が表示されたパラメータの各々について、変更を反映するか否かを選択するために作業者によって操作される選択入力手段と、
前記選択入力手段を介して前記作業者が選択した値を確定させるために作業者によって操作される確定入力手段と、
前記確定入力手段によって確定操作された値を含むパラメータ群を前記登録手段に登録する更新登録手段と、
を含む、パラメータ管理装置。
【請求項２】
前記表示手段が、前記取得手段によって取得された複数の前記パラメータの変更履歴情報を一枚の画面に表示し、
前記選択入力手段が、前記表示手段によって変更履歴情報が表示されたパラメータの各々について、変更を反映するか否かを前記一枚の画面内で選択するために作業者によって操作される、請求項１に記載のパラメータ管理装置。
【請求項３】
前記選択入力手段が、各パラメータについて、最後に入力された最新値と、前記登録手段に登録されている値である既登録値とのいずれかを作業者が選択するための個別選択手段を含む、請求項１または２に記載のパラメータ管理装置。
【請求項４】
前記選択入力手段が、前記表示手段によって変更履歴が表示された全てのパラメータについて、最後に入力された最新値を作業者が一括選択するための最新値一括選択手段を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載のパラメータ管理装置。
【請求項５】
前記選択入力手段が、前記表示手段によって変更履歴が表示された全てのパラメータについて、前記登録手段に登録されている値である既登録値を作業者が一括選択するための既登録値一括選択手段を含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載のパラメータ管理装置。
【請求項６】
前記変更履歴情報が、値が変更されたパラメータのパラメータ識別情報を含み、前記表示手段によって表示された変更履歴情報を前記パラメータ識別情報でソートまたは抽出する検索手段をさらに含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のパラメータ管理装置。
【請求項７】
前記変更履歴情報が、値が変更されたパラメータが関与する前記産業用装置のリソースを識別するリソース識別情報を含み、前記表示手段によって表示された変更履歴情報を前記リソース識別情報でソートまたは抽出する検索手段をさらに含む、請求項１〜６のいずれか一項に記載のパラメータ管理装置。
【請求項８】
前記変更履歴情報が、各パラメータの値が変更された時刻を表す時刻情報を含み、前記表示手段によって表示された変更履歴情報を前記時刻情報でソートまたは抽出する検索手段をさらに含む、請求項１〜７のいずれか一項に記載のパラメータ管理装置。
【請求項９】
前記変更履歴情報に関連付けたコメントを作業者が入力するためのコメント入力手段と、
前記コメント入力手段によって入力されたコメントを記憶するコメント記憶手段と、をさらに含み、
前記表示手段は、コメント表示領域に前記コメントを表示する、請求項１〜８のいずれか一項に記載のパラメータ管理装置。
【請求項１０】
前記確定入力手段に対する確定操作によって確定されたパラメータの値が前記登録手段に登録されると、当該パラメータの変更履歴情報の表示を消去する履歴表示消去手段をさらに含む、請求項１〜９のいずれか一項に記載のパラメータ管理装置。
【請求項１１】
パラメータの変更履歴を記録する変更履歴記録モードを開始するために作業者によって操作される変更履歴記録開始指示手段と、
前記変更履歴記録モードにおいて、前記パラメータの変更履歴情報を前記変更履歴記憶手段に書き込む変更履歴書き込み手段とをさらに含む、請求項１〜１０のいずれか一項に記載のパラメータ管理装置。
【請求項１２】
前記変更履歴記録モード中か否かを表示するモードインジケータをさらに含む、請求項１１に記載のパラメータ管理装置。
【請求項１３】
前記変更履歴記録モードにおいて、いずれかのパラメータの変更履歴情報も前記変更履歴記憶手段に記憶されていない第１状態と、いずれかのパラメータの変更履歴情報が前記変更履歴記憶手段に記憶された第２状態とを区別して表示する状態インジケータをさらに含む、請求項１１または１２に記載のパラメータ管理装置。
【請求項１４】
前記変更履歴記録モードにおいていずれのパラメータの変更履歴も前記変更履歴記憶手段に記憶されていないときには第１の色、前記変更履歴記録モードにおいていずれかのパラメータの変更履歴が前記変更履歴記憶手段に記憶されているときには第２の色、前記履歴記録モードでないときには第３の色で表示される状態インジケータをさらに含む、請求項１１に記載のパラメータ管理装置。
【請求項１５】
前記状態インジケータが、前記表示手段によって前記パラメータの変更履歴情報が表示される画面中に配置される、請求項１３または１４に記載のパラメータ管理装置。
【請求項１６】
少なくとも一つのパラメータの値が未確定であるときには、前記変更履歴記録モードの終了を禁止するモード終了禁止手段をさらに含む、請求項１１〜１５のいずれか一項に記載のパラメータ管理装置。
【請求項１７】
前記更新登録手段によって前記登録手段に更新されたパラメータ群が登録されると、前記パラメータの変更履歴情報を前記変更履歴記憶手段に書き込む変更履歴書き込み手段と、
作業者による変更履歴検索条件の入力を受け付ける検索条件入力手段と、をさらに含み、
前記変更履歴取得手段が、前記検索条件入力手段によって入力された変更履歴検索条件に該当する変更履歴情報を前記変更履歴記憶手段から取得する、請求項１〜１０のいずれか一項に記載のパラメータ管理装置。
【請求項１８】
入力装置、表示装置および記憶装置を含むコンピュータを請求項１〜１７のいずれか一項に記載のパラメータ管理装置として作動させるように前記入力装置、前記表示装置および前記記憶装置を制御するようにステップ群が組み込まれたコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、産業用装置における制御の基礎となるパラメータ群を管理するパラメータ管理装置、およびパラメータ管理装置としてコンピュータを作動させるためのコンピュータプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業用装置の一例は、半導体デバイスを製造するための半導体製造装置である。半導体製造装置は、様々な処理条件を規定するための複数のパラメータの値を可変設定可能であるように構成されている。個々のパラメータの値は、半導体製造装置の使用者、メンテナンス作業員等によって設定される。半導体製造装置に備えられたコンピュータは、設定されたパラメータに従って装置の各部を制御し、それによって、必要な処理を実行する。
【０００３】
特許文献１は、産業用装置の装置パラメータの再利用を容易にするパラメータ管理装置を開示している。作業者は、入力装置を操作して装置パラメータ群を変更することができる。装置パラメータ群の変更が開始されると、現在の装置パラメータ群が記憶部の退避領域に退避させられる。装置パラメータ群の変更完了が検出されると、退避領域に退避させた装置パラメータ群が、パラメータ履歴に追加され、パラメータ履歴が更新される。パラメータ群の変更完了が検出されないときは、退避領域に退避された装置パラメータ群が現在の装置パラメータとして元の領域に書き戻される。
【０００４】
また、特許文献１のパラメータ管理装置は、現在の装置パラメータ群と過去の装置パラメータ群との比較機能を備えている。すなわち、現在の装置パラメータ群と、パラメータ履歴から取得した過去の装置パラメータ群とが比較され、比較結果がディスプレイに出力される。その際、パラメータ値が異なる部分が強調表示され、それにより、装置パラメータ群の異同の詳細を作業者が容易に認識できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−７７１７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
最適な処理条件を得るために装置を調整する段階では、複数のパラメータの値を変更して試行錯誤する作業が必要である。このような作業は、新しい装置を導入するとき、装置の構成を変更したとき、処理内容を変更するとき、装置のメンテナンスのときなどに実行される。作業者は、装置の使用者の場合もあり、また装置の製造メーカから派遣される保守作業員の場合もある。
【０００７】
試行的に変更されている複数のパラメータの値は、状況によって取扱い方が異なる。すなわち、一括適用するのが好ましい場合、一部のみを適用するのが好ましい場合、いずれの値も適用せず従前の値に戻すのが好ましい場合がある。
しかし、特許文献１の装置では、このような様々な状況に柔軟に対応して容易にパラメータの適用／不適用を選択できるインタフェースが提供されておらず、必ずしも使い勝手のよい構成となっていない。
【０００８】
そこで、この発明の一つの目的は、状況に応じてパラメータ値変更の適用／不適用の操作を容易に実行できるインタフェースを備えたパラメータ管理装置を提供することである。
また、この発明の他の目的は、状況に応じてパラメータ値変更の適用／不適用の操作を容易に実行できるインタフェースを備えたパラメータ管理装置としてコンピュータを作動させることができるコンピュータプログラムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、産業用装置における制御の基礎となる複数のパラメータを含むパラメータ群を管理するパラメータ管理装置を提供する。このパラメータ管理装置は、前記パラメータ群が登録される登録手段と、前記パラメータの値を変更するパラメータ編集手段と、前記パラメータの変更履歴情報を記憶する変更履歴記憶手段と、前記変更履歴記憶手段に記憶されている前記パラメータの変更履歴情報を取得する取得手段と、前記取得手段によって取得された複数の前記パラメータの変更履歴情報を表示する表示手段と、前記表示手段によって変更履歴情報が表示されたパラメータの各々について、変更を反映するか否かを選択するために作業者によって操作される選択入力手段と、前記選択入力手段を介して前記作業者が選択した値を確定させるために作業者によって操作される確定入力手段と、前記確定入力手段によって確定操作された値を含むパラメータ群を前記登録手段に登録する更新登録手段と、を含む。
【００１０】
この構成によれば、複数のパラメータの変更履歴情報が表示手段によって表示される。この表示された複数のパラメータの各々について、作業者は、変更を反映するか否かを選択することができ、その選択した値（変更前の値または変更後の値）を確定させることができる。この確定された値が登録手段に登録される。したがって、作業者は、状況に応じて、変更を反映すべきパラメータを選択して、確定させることができる。これにより、状況に応じてパラメータ値変更の適用／不適用を容易に実行できるインタフェースを提供できる。
【００１１】
この発明の一実施形態では、前記表示手段が、前記取得手段によって取得された複数の前記パラメータの変更履歴情報を一枚の画面（スクロールして表示される部分を含む）に表示し、前記選択入力手段が、前記表示手段によって変更履歴情報が表示されたパラメータの各々について、変更を反映するか否かを前記一枚の画面内で選択するために作業者によって操作される。この構成によれば、複数のパラメータの変更履歴情報が表示手段によって一枚の画面に表示される。この一枚の画面に表示された複数のパラメータの各々について、作業者は、変更を反映するか否かを、当該一枚の画面内で選択することができ、その選択した値（変更前の値または変更後の値）を確定させることができる。この確定された値が登録手段に登録される。したがって、作業者は、状況に応じて、変更を反映すべきパラメータを一枚の画面の上で選択して、確定させることができる。これにより、状況に応じてパラメータ値変更の適用／不適用を容易に実行できるインタフェースを提供できる。
【００１２】
この発明の一実施形態では、前記選択入力手段が、各パラメータについて、最後に入力された最新値と、前記登録手段に登録されている値である既登録値とのいずれかを作業者が選択するための個別選択手段を含む。この構成によれば、各パラメータについて最新値および既登録値のいずれかを個別に選択できるので、個々のパラメータについて変更の適用／不適用を個別に指定できる。前記個別選択手段は、前記一枚の画面上で提供されることが好ましい。
【００１３】
この発明の一実施形態では、前記選択入力手段が、前記表示手段によって変更履歴が表示された全てのパラメータについて、最後に入力された最新値を作業者が一括選択するための最新値一括選択手段を含む。この構成によれば、表示された複数のパラメータの変更履歴情報において、最新値を一括選択できる。これにより、最新値の選択操作が容易になる。たとえば、多数のパラメータについて最新値を選択する場合に、最新値を一括選択した後に、必要に応じて、いくつかのパラメータについては既登録値を個別に選択すれば、各パラメータについて適用すべき値を速やかに選択できる。前記最新値一括選択手段は、前記一枚の画面上で提供されることが好ましい。
【００１４】
この発明の一実施形態では、前記選択入力手段が、前記表示手段によって変更履歴が表示された全てのパラメータについて、前記登録手段に登録されている値である既登録値を作業者が一括選択するための既登録値一括選択手段を含む。この構成によれば、表示された複数のパラメータの変更履歴情報において、既登録値を一括選択できる。これにより、既登録値の選択操作が容易になる。たとえば、多数のパラメータについて既登録値を選択する場合に、既登録値を一括選択した後に、必要に応じて、いくつかのパラメータについては最新値を個別に選択すれば、各パラメータについて適用すべき値を速やかに選択できる。前記既登録値一括選択手段は、前記一枚の画面上で提供されることが好ましい。
【００１５】
この発明の一実施形態では、前記変更履歴情報が、値が変更されたパラメータのパラメータ識別情報を含み、前記表示手段によって表示された変更履歴情報を前記パラメータ識別情報でソートまたは抽出する検索手段をさらに含む。この構成によれば、表示された複数のパラメータについての変更履歴情報をパラメータ識別情報（たとえばパラメータ名）でソートまたは抽出できる。それにより、表示されたパラメータの数が多いときでも、目的のパラメータの変更履歴情報を速やかに探し出すことができる。
【００１６】
この発明の一実施形態では、前記変更履歴情報が、値が変更されたパラメータが関与する前記産業用装置のリソースを識別するリソース識別情報を含み、前記表示手段によって表示された変更履歴情報を前記リソース識別情報でソートまたは抽出する検索手段をさらに含む。この構成によれば、表示された複数のパラメータについての変更履歴情報をリソース識別情報（たとえばリソース名）でソートまたは抽出できる。それにより、表示されたパラメータの数が多いときでも、目的のパラメータの変更履歴情報を速やかに探し出すことができる。
【００１７】
この発明の一実施形態では、前記変更履歴情報が、各パラメータの値が変更された時刻を表す時刻情報を含み、前記表示手段によって表示された変更履歴情報を前記時刻情報でソートまたは抽出する検索手段をさらに含む。この構成によれば、表示された複数のパラメータについての変更履歴情報をパラメータの値が変更された時刻情報でソートまたは抽出できる。それにより、表示されたパラメータの数が多いときでも、目的のパラメータの変更履歴情報を速やかに探し出すことができる。
【００１８】
この発明の一実施形態では、前記パラメータ管理装置は、前記変更履歴情報に関連付けたコメントを作業者が入力するためのコメント入力手段と、前記コメント入力手段によって入力されたコメントを記憶するコメント記憶手段と、をさらに含む。そして、前記表示手段は、コメント表示領域に前記コメントを表示する。この構成によれば、表示手段によって作業者のコメントが表示される。たとえば、作業者は、パラメータを変更したときに、その変更の意図、変更した結果等の任意の情報をコメントとして記録しておくことができる。作業者は、変更を反映すべきか否かを当該コメントに基づいて判断できるから、すみやかに各パラメータの適切な値（既登録値または最新値）を選択できる。
【００１９】
前記コメント表示領域は、前記一枚の画面内に配置されることが好ましい。この場合、一枚の画面に変更履歴情報に併せてコメントが表示されることによって、作業者は、各パラメータの変更を反映すべきか否かを同じ画面内のコメント領域の表示に基づいて速やかに判断できる。
この発明の一実施形態では、前記パラメータ管理装置は、前記確定入力手段に対する確定操作によって確定されたパラメータの値が前記登録手段に登録されると、当該パラメータの変更履歴情報の表示を消去する履歴表示消去手段をさらに含む。この構成によれば、パラメータの値が確定されると、そのパラメータの変更履歴情報の表示が消去される。それにより、作業者は、未確定の変更履歴情報を容易に把握できるから、速やかにパラメータの選択および確定操作を行うことができる。
【００２０】
変更履歴情報の表示の消去は、当該変更履歴情報の表示を取り除くことのほか、確定済みパラメータの変更履歴情報を未確定パラメータの変更履歴情報とは異なる態様で表示することも含む。異なる態様とは、たとえば、変更履歴情報に重ねて取り消し線を表示したり、変更履歴情報の表示領域を所定の色（たとえばグレー）等でマスク表示したりする態様であってもよい。
【００２１】
この発明の一実施形態では、前記パラメータ管理装置は、パラメータの変更履歴を記録する変更履歴記録モードを開始するために作業者によって操作される変更履歴記録開始指示手段と、前記変更履歴記録モードにおいて、前記パラメータの変更履歴情報を前記変更履歴記憶手段に書き込む変更履歴書き込み手段とをさらに含む。この構成によれば、作業者が変更履歴記録モードの開始を指示すると、変更履歴記録モードが開始される。変更履歴記録モード中は、パラメータの値が変更されると、変更履歴情報が変更履歴記憶手段に書き込まれる。たとえば、パラメータの値を一時的に変更したいときには、変更履歴記録モードを用いれば、パラメータの一時的な変更履歴を記録できる。したがって、一時設定したパラメータの値を元の値に戻すときには、変更された複数のパラメータについての変更履歴情報を表示させることができる。そして、全部のパラメータについて変更前の値を選択して確定操作を行えば、全てのパラメータの値を従前値（既登録値）に戻すことができる。むろん、一部のパラメータについては、変更後の値を選択して確定することもできる。
【００２２】
この発明の一実施形態では、前記パラメータ管理装置は、前記変更履歴記録モード中か否かを表示するモードインジケータをさらに含む。この構成によれば、変更履歴記録モード中か否かがモードインジケータによって表示されるので、作業者は、パラメータの変更履歴情報が記録されていることを明確に認識できる。
この発明の一実施形態では、前記パラメータ管理装置は、前記変更履歴記録モードにおいて、いずれかのパラメータの変更履歴情報も前記変更履歴記憶手段に記憶されていない第１状態と、いずれかのパラメータの変更履歴情報が前記変更履歴記憶手段に記憶された第２状態とを区別して表示する状態インジケータをさらに含む。この構成によれば、状態インジケータによって、変更履歴記録モード中であることに加えて、いずれかのパラメータの変更履歴情報が変更履歴記憶手段に記憶されているか否かが表示される。これにより、作業者は、パラメータが変更されているか否かを明確に認識できる。
【００２３】
この発明の一実施形態では、前記パラメータ管理装置は、前記変更履歴記録モードにおいていずれのパラメータの変更履歴も前記変更履歴記憶手段に記憶されていないときには第１の色、前記変更履歴記録モードにおいていずれかのパラメータの変更履歴が前記変更履歴記憶手段に記憶されているときには第２の色、前記履歴記録モードでないときには第３の色で表示される状態インジケータをさらに含む。状態インジケータの表示色によって、変更履歴記録モード中であるか否か、いずれかのパラメータの変更履歴情報が変更履歴記憶手段に記憶されているか否かが表示される。これにより、作業者は、パラメータ管理装置のモード、およびパラメータ値変更の有無を明確に認識できる。
【００２４】
この発明の一実施形態では、前記状態インジケータが、前記表示手段によって前記パラメータの変更履歴情報が表示される画面中に配置される。この構成によれば、状態インジケータが、複数のパラメータの変更履歴情報が表示される画面内に表示される。それにより、作業者は、パラメータの設定状況および記憶状況を容易に把握できる。
この発明の一実施形態では、前記パラメータ管理装置は、少なくとも一つのパラメータの値が未確定であるときには、前記変更履歴記録モードの終了を禁止するモード終了禁止手段をさらに含む。この構成によれば、値が未確定のパラメータが存在するときには、変更履歴記録モードを終了することができない。これにより、パラメータの値を確定する操作が漏れることを抑制または防止できる。
【００２５】
この発明の一実施形態では、前記パラメータ管理装置は、前記更新登録手段によって前記登録手段に更新されたパラメータ群が登録されると、前記パラメータの変更履歴情報を前記変更履歴記憶手段に書き込む変更履歴書き込み手段と、作業者による変更履歴検索条件の入力を受け付ける検索条件入力手段と、をさらに含む。そして、前記変更履歴取得手段が、前記検索条件入力手段によって入力された変更履歴検索条件に該当する変更履歴情報を前記変更履歴記憶手段から取得する。更新されたパラメータ群が登録手段に登録されると、変更履歴情報が変更履歴記憶手段に書き込まれる。したがって、パラメータ群が更新されるたびに、変更履歴情報が蓄積されていく。パラメータの変更履歴情報を表示させるときには、作業者は、検索条件入力手段から変更履歴検索条件を指定して、変更履歴情報を検索させる。それにより、当該変更履歴検索条件に該当する変更履歴情報が変更履歴記憶手段から取得されて表示手段に表示される。この場合にも、複数のパラメータに関する変更履歴情報が表示される。
【００２６】
検索条件は、検索期間を含んでもよい。また、検索条件は、産業用装置に含まれる特定の制御対象リソースを含んでもよい。さらに、産業用装置がアラーム（異常報知）を発生する場合には、そのアラームに関連することを、検索条件として指定可能とされていてもよい。
この発明の一実施形態は、入力装置、表示装置および記憶装置を含むコンピュータを前述のような特徴を有するパラメータ管理装置として作動させるように前記入力装置、前記表示装置および前記記憶装置を制御するようにステップ群が組み込まれたコンピュータプログラムを提供する。これにより、状況に応じてパラメータ値変更の適用／不適用の操作を容易に実行できるインタフェースを備えたパラメータ管理装置としてコンピュータを作動させることができるコンピュータプログラムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、産業用装置の一例である基板処理装置の電気的構成を説明するためのブロック図である。
【図２】図２は、装置パラメータデータの具体例を説明するための図である。
【図３】図３は、管理プログラムの構成例を説明するための機能ブロック図である。
【図４】図４は、パラメータ編集画面の一例を示す。
【図５】図５は、パラメータ編集対象のユニットを選択するためのユニット選択画面の一例を示す。
【図６】図６は、パラメータ変更履歴画面の一例を示す。
【図７Ａ】図７Ａは、第１の実施形態におけるパラメータの変更に係る作業者の操作およびコンピュータの処理を説明するためのフローチャートである。
【図７Ｂ】図７Ｂは、第１の実施形態におけるパラメータの変更に係る作業者の操作およびコンピュータの処理を説明するためのフローチャートである。
【図８Ａ】図８Ａは、第２の実施形態におけるパラメータの変更に係る作業者の操作およびコンピュータの処理を説明するためのフローチャートである。
【図８Ｂ】図８Ｂは、第２の実施形態におけるパラメータの変更に係る作業者の操作およびコンピュータの処理を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
「産業用装置」とは、事業に用いられる装置をいい、典型例は、製品の製造に用いられる製造装置である。「製造装置」は、対象物を加工する装置のほか、検査装置、搬送装置、環境管理装置等も含む。「製造装置」には、たとえば、半導体装置製造用の洗浄装置、熱処理装置、不純物導入装置、薄膜形成装置、リソグラフィー装置、平坦化装置等が含まれる。これらの装置は、「製造装置」の例に過ぎず、本発明の適用範囲を制限するものではない。
【００２９】
「パラメータ」とは、産業用装置における処理条件を規定する装置パラメータである。パラメータには、たとえば、回転する基板（シリコンウェハ等）の被洗浄面に薬液を供給しつつ被洗浄面をブラッシングする洗浄装置（スクラバ）における、洗浄液の流量を規定するパラメータ、被洗浄面と薬液を供給するノズルの薬液吐出口との距離を規定するパラメータ、シリコンウェハの回転数を規定するパラメータ等がある。ただし、これらのパラメータも例に過ぎず、本発明の適用範囲を制限するものではない。
【００３０】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、産業用装置の一例である基板処理装置の電気的構成を説明するためのブロック図である。基板処理装置１は、一つ以上のユニット２と、ユニット２を制御するコンピュータ３とを含む。コンピュータ３は、この実施形態では、基板処理装置１に組み込まれた（内蔵された）組み込みコンピュータである。ユニット２は、基板を処理する処理ユニット、基板を搬送する搬送ユニット、基板処理のための処理流体を供給する流体供給ユニットなどであり得る。コンピュータ３は、ユニット２に備えられた制御可能なリソースを制御する。また、この実施形態では、コンピュータ３は、リソースを制御するためのパラメータを管理するパラメータ管理装置としての機能も有している。
【００３１】
たとえば、ユニット２は、処理液を基板に供給して処理する液処理ユニットであってもよい。基板を一枚ずつ処理する枚葉型の液処理ユニットは、たとえば、基板を水平に保持して回転させるスピンチャックと、スピンチャックに保持された基板に処理液を供給する処理液ノズルとを含む。この場合、スピンチャックを回転させる電動モータ、処理液ノズルへの処理液流路を開閉するバルブ、処理液流路を通る処理液の流量を制御する流量制御器などが制御可能なリソースの例である。そして、スピンチャックの回転数および回転時間、処理液の供給時間および流量などが、パラメータの例である。
【００３２】
コンピュータ３は、ＣＰＵ(Central Processing Unit)３１、入力装置３２、ディスプレイ３３（表示装置）および記憶部３４（記憶装置）を含む。さらに必要に応じて、コンピュータ３は、外部記憶装置４を接続可能なインタフェース３５を備えていてもよい。入力装置３２は、キーボード、タッチパネル、ポインティングデバイスなどのように、作業者による操作入力が可能なマンマシンインタフェースである。ディスプレイ３３は、液晶パネル等の二次元ディスプレイであり、作業者に対して情報を提供するマンマシンインタフェース、すなわち、情報出力装置である。情報出力装置として、ディスプレイ３３に加えて、プリンタ、音声出力装置などが備えられてもよい。記憶部３４は、半導体メモリ等の固体メモリ、ＨＤＤ(Hard Disk Drive)、ＳＳＤ(Solid-State Drive)等の記憶装置で構成される。
【００３３】
記憶部３４の記憶領域には、プログラムＰおよびデータＤが格納されている。プログラムＰは、基板処理を実行するためにコンピュータ３がユニット２を制御するための制御プログラムＰ１と、ユニット２による処理条件を既定するパラメータ群を管理するための管理プログラムＰ２とを含む。ＣＰＵ３１がこれらのプログラムＰ１，Ｐ２を実行することによって、コンピュータ３がそれぞれの機能を実現するための装置として振る舞う。データＤは、装置パラメータデータＥＤを含み、装置パラメータデータＥＤは、生産工程においてユニット２の動作条件や処理条件を既定するパラメータ群である生産用パラメータ群Ｄ１を含む。また、データＤは、一時的に適用されるパラメータ群である一時パラメータ群ＤＴを含む。データＤは、さらに、生産用パラメータ群Ｄ１に対する一時パラメータ群ＤＴの変動を表す一時変更履歴データＨＴを含む。データＤは、さらに、生産用パラメータ群Ｄ１を含む装置パラメータデータＥＤの変更履歴を体系的に格納したパラメータ管理データベースＤＢを含む。パラメータ管理データベースＤＢには、生産用パラメータ群Ｄ１を含む装置パラメータデータＥＤの過去の変更履歴を表すパラメータ履歴データＨが記録されている。
【００３４】
記憶部３４は、コンピュータ３の電源が遮断されても、その記憶内容、すなわち、プログラムＰおよびデータＤが保持されるように構成されている。
外部記憶装置４は、インタフェース３５を介してコンピュータ３に着脱可能な記憶媒体（リムーバブルストレージ）で構成されていてもよい。ＵＳＢストレージ、メモリカード、携帯型ＨＤＤ、携帯型ＳＳＤ等が典型例である。
【００３５】
図２は、装置パラメータデータの具体例を説明するための図である。基板処理装置１に対応した装置パラメータデータＥＤは、各ユニット２の制御の基礎となる生産用パラメータ群Ｄ１、装置タイプデータＤ２、装置識別情報（ＩＤ）Ｄ３、更新者データＤ４、コメントデータＤ５、更新日時データＤ６、装置構成情報Ｄ７を含む。装置タイプデータＤ２は、基板処理装置１の種類を表す。装置識別情報Ｄ３は、基板処理装置１を識別するための固有データである。更新者データＤ４は、生産用パラメータ群Ｄ１を最後に変更した作業者を表すデータである。コメントデータＤ５は、生産用パラメータ群Ｄ１の変更時に作業者が任意に入力するデータである。更新日時データＤ６は、生産用パラメータ群Ｄ１を最後に変更した日時を表すデータである。装置構成情報Ｄ７は、基板処理装置１を構成するユニット２を表すデータである。装置構成情報Ｄ７は、たとえば、基板処理装置１を構成する各ユニット２を特定するユニット名およびユニットタイプのデータを含む。ユニット名データは、各ユニットを他のユニットから識別するデータであり、ユニットタイプデータはユニットの種類を示すデータである。
【００３６】
生産用パラメータ群Ｄ１を構成する複数のパラメータは、装置構成情報Ｄ７に記述されたユニット２ごとに記述されている。各ユニット２に対して、当該ユニット２が実行する処理の条件等を規定する一つ以上のパラメータが含まれている。各ユニットは、ユニット名で特定される。各ユニット名に対して、一つ以上のパラメータが記述されている。各パラメータは、パラメータ名で特定される。パラメータ名は、パラメータ識別情報である。各パラメータに対して、パラメータ値が記述されている。
【００３７】
一時パラメータ群ＤＴの構成は、生産用パラメータ群Ｄ１の構成と同様である。
一時変更履歴データＨＴは、生産用パラメータ群Ｄ１から一時パラメータ群ＤＴへの変更履歴を表すデータである。生産用パラメータ群Ｄ１および一時パラメータ群ＤＴが等しければ、一時変更履歴データＨＴは空である。一時変更履歴データＨＴは、たとえば、変更された各パラメータについて、変更された日時（時刻情報）、対応するユニット名、パラメータ名、変更前の値、変更後の値を含む。複数回に渡って値が変更されたパラメータについては、変更前の値が複数個含まれていてもよい。この場合、変更後の値（最新値）が、生産用パラメータ群Ｄ１の対応するパラメータ値と同じであり得る。
【００３８】
図３は、管理プログラムＰ２の構成例を説明するための機能ブロック図であり、ＣＰＵ３１が管理プログラムＰ２を実行することによってコンピュータ３が提供する機能の概要を表す。すなわち、コンピュータ３は、管理プログラムＰ２の実行によって、実質的に複数の機能処理部を有することになる。ただし、このことは、必ずしも、管理プログラムＰ２が、複数の機能処理部に対応した単位部分を有していることを意味するわけではない。
【００３９】
複数の機能処理部は、パラメータ編集部１１、パラメータ編集画面表示部１２、パラメータ変更履歴記録部１３、パラメータ変更履歴取得部１４、パラメータ変更履歴表示部１５、パラメータ選択入力受付部１６、パラメータ変更確定入力受付部１７、およびパラメータ登録部１８を含む。また、この実施形態では、前記複数の機能処理部は、ログインレベル管理部２５、状態表示部２６、パラメータ検索部２７、およびモード遷移禁止部２８を含む。
【００４０】
パラメータ編集画面表示部１２は、ディスプレイ３３にパラメータ編集画面５０を表示させる（図４参照）。作業者は、パラメータ編集画面５０を表示させた状態で入力装置３２を操作することによって、パラメータを編集できる。パラメータ編集画面表示部１２は、ユニット毎のパラメータ編集画面５０をディスプレイ３３に表示させてもよい。この場合、ユニット単位でパラメータを編集できる。パラメータ編集部１１は、パラメータ編集手段の一例であり、パラメータ編集画面５０上で行われる作業者の編集入力に応じて、記憶部３４に展開された生産用パラメータ群Ｄ１および一時パラメータ群ＤＴの両方、または一時パラメータ群ＤＴのみのパラメータ値を変更する。
【００４１】
後述するように、パラメータの編集時に、変更履歴記録モードを設定できる。変更履歴記録モードが設定されていなければ、パラメータ編集部１１は、作業者の編集入力に応じて、生産用パラメータ群Ｄ１および一時パラメータ群ＤＴの両方のパラメータ値を変更する。変更履歴記録モードが設定されていれば、パラメータ編集部１１は、作業者の編集入力に応じて、一時パラメータ群ＤＴのパラメータ値を変更し、生産用パラメータ群Ｄ１のパラメータ値は変更しない。
【００４２】
パラメータ変更履歴記録部１３は、変更履歴書き込み手段の一例である。パラメータ変更履歴記録部１３は、生産用パラメータ群Ｄ１に対する一時パラメータ群ＤＴの変動（変更履歴）を、一時変更履歴データＨＴとして記憶部３４に記録する。したがって、パラメータ変更履歴記録部１３は、変更履歴記録モード中において、パラメータの変更履歴を一時変更履歴データＨＴとして記憶部３４に記録する。さらに、パラメータ変更履歴記録部１３は、生産用パラメータ群Ｄ１のいずれかのパラメータ値が変更されると、そのパラメータ名、変更前のパラメータ値、変更後のパラメータ値、変更時刻情報、変更した作業者名などを、パラメータ履歴データＨとして、パラメータ管理データベースＤＢに記録する。
【００４３】
パラメータ変更履歴取得部１４は、一時変更履歴データＨＴを取得したり、パラメータ履歴データＨを取得したりする取得手段の一例である。一時変更履歴データＨＴを記録せずに、必要時に、パラメータ変更履歴取得部１４が、生産用パラメータ群Ｄ１と一時パラメータ群ＤＴとを比較し、値が相違するパラメータを抽出して一時変更履歴データＨＴを生成してもよい。
【００４４】
パラメータ変更履歴表示部１５は、作業者による所定の入力操作に応答して、ディスプレイ３３にパラメータ変更履歴画面４０（図６参照）を表示する。すなわち、この実施形態では、ディスプレイ３３およびパラメータ変更履歴表示部１５が、表示手段の一例を構成している。パラメータ変更履歴画面４０は、一時的に変更されたパラメータの情報、すなわち、一時変更履歴データＨＴに相当する変更履歴情報を一覧表示する（図６参照）。この表示に際して、パラメータ変更履歴取得部１４は、一時変更履歴データＨＴを取得する。その取得された一時変更履歴データＨＴに基づいて、パラメータ変更履歴表示部１５は、パラメータ変更履歴画面４０を作成しディスプレイ３３に表示させる。
【００４５】
パラメータ選択入力受付部１６は、パラメータ変更履歴画面４０において、変更前のパラメータ値または変更後のパラメータ値を選択するための選択入力部２０を提供する。選択入力部２０は、選択入力手段の一例である。作業者は、選択入力部２０を操作することによって、変更前または変更後のパラメータ値を選択することができる。選択入力部２０は、この実施形態では、個別選択入力部２１と、一括選択入力部２２とを含む。個別選択入力部２１は、パラメータ変更履歴画面４０で提供される複数のパラメータについて、個々に変更前または変更後のパラメータ値の選択を可能とする。一括選択入力部２２は、パラメータ変更履歴画面４０で提供される複数のパラメータについて、変更前または変更後のパラメータ値の一括選択を可能とする。パラメータ選択入力受付部１６は、変更前のパラメータ値または変更後のパラメータ値のいずれかを既定選択状態としてパラメータ変更履歴画面４０に表示してもよい。
【００４６】
パラメータ変更確定入力受付部１７は、パラメータ選択入力受付部１６で受け付けたパラメータ値を確定させるための確定入力部２３をディスプレイ３３上に提供する。このような確定入力部２３は、パラメータ変更履歴画面４０上に提供されてもよい。確定入力部２３は、確定入力手段の一例である。
パラメータ登録部１８は、パラメータ変更確定入力受付部１７で受け付けた確定入力に応答して、確定されたパラメータ値を生産用パラメータ群Ｄ１中の該当する値に上書きする。これにより、生産用パラメータ群Ｄ１が変化するので、パラメータ変更履歴記録部１３が、パラメータ管理データベースＤＢに対してパラメータ履歴データＨを書き込む。このように、パラメータ登録部１８は、更新登録手段の一例である。
【００４７】
ログインレベル管理部２５は、作業者の操作権限を管理する。作業者は、予め付与されたログイン名およびパスワードを用いてログインすることにより、管理プログラムＰ２の機能を利用することができる。ログイン名ごとに予めログインレベルが付与されている。ログインレベルは、たとえば、管理者レベル、一般運用者レベル、保守技術者レベルなどである。たとえば、一定以上のログインレベル（たとえば管理者レベルおよび保守技術者レベル）のログイン名でログインした場合にのみ、パラメータ編集機能およびパラメータ変更履歴記録機能の利用が許容される。
【００４８】
状態表示部２６は、パラメータ変更履歴画面４０のステータス表示領域４３に対して、変更履歴記録モード中か否かのモード表示と、変更履歴記録に関する状態表示とを行う。すなわち、状態表示部２６は、モードインジケータの一例であり、かつ状態インジケータの一例である。ステータス表示領域４３の表示に関する詳細は後述する。
パラメータ検索部２７は、パラメータ変更履歴画面４０に表示されたパラメータ変更履歴をソートしたり、特定の条件を満たすパラメータ変更履歴を検索したりする機能を有する。また、パラメータ検索部２７は、パラメータ管理データベースＤＢのパラメータ履歴データＨを検索する機能を有していてもよい。具体的には、作業者が指定した検索条件（たとえば検索期間）に該当するパラメータ変更履歴データをパラメータ履歴データＨから検索してもよい。パラメータ検索部２７は、検索手段の一例である。
【００４９】
モード遷移禁止部２８は、所定条件が満たされるまで変更履歴記録モードの終了を禁止するモード終了禁止手段の一例である。具体的には、モード遷移禁止部２８は、一時パラメータ群ＤＴと生産用パラメータ群Ｄ１とが不一致のとき、すなわち少なくとも一つのパラメータの変更が未確定のときは、変更履歴記録モードの終了を禁止する。
コンピュータ３が制御プログラムＰ１を実行するとき、ＣＰＵ３１は、一時パラメータ群ＤＴを用いる。ただし、生産用パラメータ群Ｄ１と一時パラメータ群ＤＴとの間に相違があるときには、試行的な基板処理運転のみが許容され、製品を生産するための基板処理運転は禁止される。すなわち、製品を生産するための基板処理は、生産用パラメータ群Ｄ１と一時パラメータ群ＤＴとが一致しているときにのみ許容されるように、制御プログラムＰ１が設計されている。
【００５０】
図４は、パラメータ編集画面５０の一例を示す。パラメータ編集画面５０は、一つのユニットに対して設定可能なパラメータの一覧、すなわち、パラメータリスト５１を含む。パラメータリスト５１は、各パラメータについて、複数の項目、すなわち、番号、カテゴリ、パラメータ名、および設定値を含む。カテゴリは、対象となる処理内容を表す。パラメータ名は、設定対象のパラメータの名称を表す。設定値は、パラメータ値である。パラメータの編集とは、設定値を変更することをいう。
【００５１】
たとえば、チャンバ洗浄のカテゴリに含まれるパラメータは、チャンバ洗浄の時間間隔を表す「間隔（分）」、チャンバ洗浄をプロセスジョブ（ＰＪ）の数で指定する場合の「間隔（ＰＪ数）」、チャンバ洗浄の間隔をキャリヤ数で指定する場合の「間隔（キャリア数）」、チャンバ洗浄の間隔をウェハ枚数で指定する場合の「間隔（ウェハ数）」、チャンバ洗浄処理内容を規定する「レシピ番号」、チャンバ洗浄の間隔を時間、キャリヤ数またはウェハ数のいずれで指定するのかを設定するための「タイミング指定」、チャンバ洗浄開始トリガを指定する「トリガ指定」などがある。
【００５２】
チャンバ洗浄とは、処理ユニットのチャンバ内を洗浄する処理である。プロセスジョブとは、１枚または複数枚のウェハに対する処理を規定する処理単位である。一般に、一つのプロセスジョブでは、複数枚のウェハに対して共通の処理（レシピ）が指定される。キャリヤとは、複数枚のウェハを収容する基板収容器である。処理対象のウェハは、キャリヤに収容された状態で基板処理装置１にセットされる。基板処理装置１は、そのセットされたキャリヤから基板を取り出して処理する。レシピ番号とは、記憶部３４に予め格納されたレシピの識別情報である。レシピとは、処理内容を規定する情報である。
【００５３】
パラメータリスト５１の右側には、スクロールボタン５２が配置されている。スクロールボタン５２は、リスト先頭へのジャンプボタン５２Ｈ、リスト末尾へのジャンプボタン５２Ｅ、前ページスクロールボタン５２Ｐ、後ページスクロールボタン５２Ｓ、１行上移動ボタン５２Ｕ、１行下移動ボタン５２Ｄを含む。さらに、パラメータ編集画面５０には、編集後のパラメータ値を保存するための保存ボタン５３と、直前の画面に戻るための戻るボタン５４とが備えられている。
【００５４】
パラメータ編集画面５０で戻るボタン５４を操作すると、図５に示すユニット選択画面６０に遷移することができる。ユニット選択画面６０は、複数のユニットにそれぞれ対応した複数のユニット選択ボタン６１を含む。いずれかのユニット選択ボタン６１を操作すると、対応するユニットのパラメータを編集するためのパラメータ編集画面５０（図４参照）を表示させることができる。図４のパラメータ編集画面５０は、たとえば、液処理ユニット（ＭＰＣ）に対応したパラメータ編集画面である。
【００５５】
ユニット選択画面６０には、画面切換え操作部７０が配置されている。画面切換え操作部７０には、ユニット選択画面表示ボタン７１、変更履歴表示ボタン７２、インポートボタン７３、エクスポートボタン７４などが配置されている。
インポートボタン７３を操作すると、装置パラメータデータをインポートするためのインポート画面に遷移する。エクスポートボタン７４を操作すると、装置パラメータデータをエクスポートするためのエクスポート画面に遷移する。装置パラメータデータのインポート元またはエクスポート先は、外部記憶装置４であってもよい。外部記憶装置４がリムーバブルストレージである場合、他の装置で設定した装置パラメータデータを基板処理装置１に導入して再利用できる。また、基板処理装置１で設定した装置パラメータデータを外部記憶装置４へと書き出し、その外部記憶装置４を基板処理装置１と同種の他の基板処理装置に装着し、装置パラメータデータを当該他の基板処理装置に導入して再利用することができる。また、インポート画面において、或るユニットにおいて設定済みのパラメータを他のユニットのパラメータとして導入する機能が提供されてもよい。この場合のインポート元は、記憶部３４であってもよく、生産用パラメータ群Ｄ１またはパラメータ管理データベースＤＢであってもよい。たとえば、パラメータ管理データベースＤＢから或るユニットのパラメータ群を選択して導入できるようにされていてもよい。これにより、ユニット間でパラメータを複写して用いることができる。外部記憶装置４からのパラメータ群の導入についても、ユニット単位での導入が可能とされていることが好ましい。
【００５６】
変更履歴表示ボタン７２を操作すると、表示画面は、パラメータ変更履歴画面４０に遷移する。
図６は、パラメータ変更履歴画面４０の一例を示す。パラメータ変更履歴画面４０は、変更履歴記録開始ボタン４１と、変更履歴記録終了ボタン４２と、ステータス表示領域４３（明瞭化のために二重斜線を付して示す。）と、変更履歴表示部４４と、パラメータ選択操作部４５（図３の選択入力部２０に相当）と、パラメータ確定操作部４６と、画面切換え操作部７０と、履歴書出しボタン８０とを含む。画面切換え操作部７０の構成は、ユニット選択画面６０の場合と同様である。すなわち、画面切換え操作部７０は、ユニット選択画面６０およびパラメータ変更履歴画面４０に共通に表示される部分である。パラメータ変更履歴画面４０が表示されているときにユニット選択画面表示ボタン７１を操作すると、表示画面は、ユニット選択画面６０（図５参照）に遷移する。
【００５７】
変更履歴記録開始ボタン４１は、パラメータの変更履歴の記録の開始を指示するボタンである。変更履歴記録開始ボタン４１が操作されると、コンピュータ３は、変更履歴記録モードに入る。前述のとおり、変更履歴記録モードでは、パラメータ値が変更されると、一時パラメータ群ＤＴのパラメータ値が変更される一方で、生産用パラメータ群Ｄ１のパラメータ値は変更されない。そして、生産用パラメータ群Ｄ１と一時パラメータ群ＤＴとの相違は、一時変更履歴データＨＴとして記憶部３４に記録される。変更履歴モードが設定されていなければ、パラメータ値が変更されると、それに応じて、生産用パラメータ群Ｄ１および一時パラメータ群ＤＴの両方の該当するパラメータ値が変更される。変更履歴記録開始ボタン４１は、変更履歴記録開始指示手段の一例である。
【００５８】
変更履歴記録終了ボタン４２は、パラメータの変更履歴の記録の終了を指示するボタンである。変更履歴記録終了ボタン４２が操作されると、変更履歴記録モードが解除される。したがって、その後にパラメータ編集画面５０（図４参照）でパラメータ値が変更されても、変更履歴は記録されない。すなわち、パラメータ値が変更されると、その変更は、生産用パラメータ群Ｄ１および一時パラメータ群ＤＴの両方に反映される。生産用パラメータ群Ｄ１に変動があると、その変動後の生産用パラメータ群Ｄ１がパラメータ管理データベースＤＢに登録され、かつ、その変動の内容が、パラメータ履歴データＨとしてパラメータ管理データベースＤＢに書き込まれる。
【００５９】
ステータス表示領域４３は、変更履歴の記録状態を表示する領域である。たとえば、変更履歴記録モード中であって、一時変更履歴データＨＴにいずれの変更履歴も記録されていない状態、すなわち、生産用パラメータ群Ｄ１および一時パラメータ群ＤＴが等しい状態は、ステータス表示領域を第１の色（たとえば黄色）に着色して表現される。変更履歴記録モード中であって、いずれかパラメータの変更履歴が一時変更履歴データＨＴに記録された状態、すなわち、生産用パラメータ群Ｄ１と一時パラメータ群ＤＴとが相違している状態は、ステータス表示領域を第２の色（たとえば赤色）に着色して表現される。変更履歴記録モードでないときには、ステータス表示領域は、第３の色（たとえば白色）とされ、変更履歴の記録中でないことを表す。
【００６０】
変更履歴表示部４４は、値が変更されたパラメータのリストが表示されるリスト表示部４７と、リスト表示部４７をスクロールするための複数のスクロールボタン４８（スクロール操作部）と、パラメータ詳細表示欄６５と、コメント入力欄６６とを含む。
リスト表示部４７に表示されるリストの各行は、複数の項目、すなわち、番号、変更日時、ユニット名、パラメータ名、変更前のパラメータ値、変更後のパラメータ値を含む。リスト表示部４７に表示されるリストは、これらの項目でソートすることができる。具体的には、各項目の表示部がソートボタン４７Ａ〜４７Ｅとなっている。これらのソートボタン４７Ａ〜４７Ｅのいずれかを入力装置３２（たとえばポインティングデバイス）で操作することによって、各項目に従う昇順または降順にリストをソートすることができる。すなわち、ソートボタン４７Ａ〜４７Ｅの操作に応答して、パラメータ検索部２７（図３参照）が、一時変更履歴データＨＴをソートする。そのソートされた状態の一時変更履歴データＨＴがリスト表示部４７に表示される。
【００６１】
複数のスクロールボタン４８は、リスト先頭へのジャンプボタン４８Ｈ、リスト末尾へのジャンプボタン４８Ｅ、前ページスクロールボタン４８Ｐ、後ページスクロールボタン４８Ｓ、１行上移動ボタン４８Ｕ、１行下移動ボタン４８Ｄを含む。多数のパラメータの変更履歴があるときには、リスト表示部４７に全てのパラメータの変更履歴を表示することができない。このような場合には、スクロールボタン４８を操作することによって、目的のパラメータの変更履歴を表示させることができる。図６には、スクロールして表示可能な変更履歴のリスト部分を破線で示してある。リスト表示部４７にスクロールして表示可能な全部分は、一枚の画面をなすパラメータ変更履歴画面４０の構成部分である。
【００６２】
パラメータ選択操作部４５は、変更されたパラメータのリストの各行のパラメータ値について、変更前の値を選択する従前値個別選択ボタン４５Ｐと、変更後の値を選択する変更値個別選択ボタン４５Ｎとを含む。これらは、個別選択入力部２１（図３参照）に相当する。作業者は、スクロールボタン４８を操作して、値を選択すべき行にフォーカス（たとえば、カーソル）を移動させる。その状態で、従前値個別選択ボタン４５Ｐを操作すると変更前の値（従前値）が選択され、変更値個別選択ボタン４５Ｎを操作すると、変更後の値が選択される。各行の選択された値は、選択されていない値と異なる態様でディスプレイ３３に表示（たとえば着色表示）され、その選択状態が表現されることが好ましい。作業者が選択操作をしていない初期状態では、たとえば、変更後の値が既定値として選択されて、その選択状態が表示されてもよい。もちろん、従前値を既定値として選択して、その選択状態を表示するようにプログラムが設計されていてもよい。パラメータ選択操作部４５は、さらに、リスト中の全てのパラメータについて、変更前の従前値を一括選択する従前値一括選択ボタン４５１と、リスト中の全てのパラメータについて、変更後の値を一括選択する変更値一括選択ボタン４５２とを有していてもよい。これらは一括選択入力部２２（図３参照）に相当する。一括選択ボタン４５１，４５２の操作により、変更値を一括選択したり、従前値を一括選択したりすることができる。従前値一括選択ボタン４５１は、既登録値一括選択手段の一例である。変更値一括選択ボタン４５２は、最新値一括選択手段の一例である。
【００６３】
各パラメータの従前値は、生産用パラメータ群Ｄ１に含まれている該当パラメータの値（既登録値）である。一方、各パラメータの変更値は、パラメータ編集画面５０（図４参照）において最後に入力された値（最新値）である。一時パラメータ群ＤＴを構成するパラメータの各値は、パラメータ変更履歴画面４０の変更履歴表示部４４において、選択状態で表示されている値（従前値または変更値）である。したがって、従前値と変更値との間で選択状態を変更すれば、一時パラメータ群ＤＴの該当するパラメータの値が書き換えられる。
【００６４】
パラメータ確定操作部４６は、パラメータ選択操作部４５の操作等によって選択状態とされたパラメータ値を、製品の生産に適用するために確定させるための確定入力部２３（図３参照）に相当する。
パラメータ確定操作部４６は、リストの各行、または一部の選択された複数行のパラメータ選択状態を製品生産に適用するために確定させる個別確定ボタン４６０を含んでいてもよい。たとえば、スクロールボタン４８を操作して一つのパラメータの行にフォーカスを配置した状態で個別確定ボタン４６０を操作することによって、その一つのパラメータについて、選択状態の値（従前値または変更値）を確定させることができる。また、たとえば、ポインティングデバイス等を用いて複数のパラメータを確定対象として選択し、その状態で個別確定ボタン４６０を操作することによって、当該確定対象として選択された複数のパラメータについて、選択状態の値（従前値または変更値）を確定させることができる。このような確定操作に応答して、生産用パラメータ群Ｄ１の該当するパラメータの値が当該選択状態の値（従前値または変更値）に更新される。ただし、従前値が選択状態のときには、値は従前値のままである。
【００６５】
また、パラメータ確定操作部４６は、リスト中の全てのパラメータについて、各パラメータ値を選択状態の値（従前値または変更値）に一括して確定させるための一括確定ボタン４６１を含んでいてもよい。一括確定ボタン４６１を操作することによって、リスト表示部４７に表示された全てのパラメータについて、選択状態の値（従前値または変更値）を一括確定させることができる。このような一括確定操作に応答して、生産用パラメータ群Ｄ１の全てのパラメータの値が選択状態の値（従前値または変更値）に更新される。ただし、従前値が選択状態のパラメータについては、値は従前値のままである。
【００６６】
リスト表示部４７に表示された少なくとも一つのパラメータの値が未確定であると、モード遷移禁止部２８（図３参照）の働きにより、変更履歴記録終了ボタン４２の操作が受け付けられない。すなわち、リスト表示部４７に表示されたパラメータの全てについて確定操作を行った後でなければ、変更履歴記録モードを解除することができず、ステータス表示領域４３は、変更履歴記録モードであることを表示し続ける。
【００６７】
パラメータ詳細表示欄６５は、フォーカスが配置されたパラメータについての詳細情報を表示する。詳細情報は、たとえば、当該パラメータを変更した日時、変更した作業者、当該パラメータのカテゴリ名、作業者のログインレベル等であってもよい。
コメント入力欄６６は、フォーカスが配置されたパラメータについて、作業者が入力装置３２を用いて任意にコメントを入力する入力欄である。入力されたコメントを表すコメントデータは、当該パラメータの変更履歴データの一部をなす。入力装置３２およびコメント入力欄６６は、コメント入力手段の一例である。
【００６８】
履歴書出しボタン８０は、作業後のパラメータの状態をエビデンスとして出力するためのボタンである。エビデンスの一例は、画面イメージである。具体的には、リスト表示部４７に表示された一覧、および、変更前、変更後のどちらを選択かがわかる状態の画面イメージを保存することで、パラメータのチェック作業を実施したエビデンスとして残すことができる。この画面イメージは作業報告のエビデンスとして用いることができる。ディスプレイ３３に表れたままの画面イメージが取得されてもよいが、取得するたび画面をスクロールさせたり、画面を切り替えたりする必要があり、工数を要する。そこで、履歴書出しボタン８０を操作することで、リスト表示部４７の全体が、スクロール可能な部分も含めて一括取得可能とされていることが好ましく、それにより作業者の負担が軽減される。エビデンスは装置に保存されてもよいし、ネットワークを介して接続された別のコンピュータに保存されてもよい。エビデンスはテキスト、ＣＳＶデータなどでもよい。
【００６９】
図７Ａおよび図７Ｂは、パラメータの変更に係る作業者の操作およびコンピュータ３の処理を説明するためのフローチャートである。パラメータの一時的な変更についての履歴の記録を開始するときには、作業者は、パラメータ変更履歴画面４０（図６参照）を表示させて、変更履歴記録開始ボタン４１を操作する（ステップＳ１）。これにより、コンピュータ３（より具体的にはＣＰＵ３１。以下同じ。）は、ステータス表示領域４３の表示色を第１の色（たとえば黄色）として、変更履歴記録モード中であることを表示する（ステップＳ２）。パラメータ値の変更は、パラメータ編集画面５０（図４参照）で行われる。具体的には、作業者は、ユニット選択画面表示ボタン７１を操作して（ステップＳ３）、ディスプレイ３３にユニット選択画面６０（図５参照）を表示させ（ステップＳ４）、パラメータ値を変更しようとするユニットを選択する（ステップＳ５）。それにより、コンピュータ３は、その選択されたユニットのパラメータ値を編集するためのパラメータ編集画面５０（図４参照）をディスプレイ３３に表示する（ステップＳ６）。作業者は、このパラメータ編集画面５０内で、必要に応じて、パラメータ値を変更（編集）する（ステップＳ７）。作業者が保存ボタン５３（図４参照）を操作すると（ステップＳ８：ＹＥＳ）。それにより、コンピュータ３は、変更されたパラメータの値を、一時パラメータ群ＤＴに反映する（ステップＳ９）。このとき、生産用パラメータ群Ｄ１には、その変更は反映されない。さらに、コンピュータ３は、変更されたパラメータについての一時変更履歴データＨＴを生成して、記憶部３４に記録する（ステップＳ１０）。一時変更履歴データＨＴは、変更したパラメータ名、当該パラメータに係るユニット名、変更前の値（従前値）、変更後の値（更新値）、変更した時刻、変更した作業者名などを含む。パラメータの編集を終えると、作業者は、戻るボタン５４（図４参照）を操作する（ステップＳ１１：ＹＥＳ）。これに応答して、コンピュータ３は、ユニット選択画面６０（図５参照）をディスプレイ３３に表示させる（ステップＳ１２）。
【００７０】
こうして、変更されたパラメータは、一時設定パラメータとなり、生産工程では使用されないが、基板処理装置１の動作試験、すなわち、基板処理装置１の動作を試験するための試験運転モードでは使用される。
パラメータの変更履歴を確認するとき、作業者は、変更履歴表示ボタン７２（図５参照）を操作する（ステップＳ１３）。これに応答して、コンピュータ３は、ディスプレイ３３にパラメータ変更履歴画面４０（図６参照）を表示させる（ステップＳ１４）。コンピュータ３は、記憶部３４から一時変更履歴データＨＴを読み出して取得し（ステップＳ１５）、変更されたパラメータのリストを作成してリスト表示部４７に表示する（ステップＳ１６）。コンピュータ３は、さらに、一時変更履歴データＨＴが空かどうか、すなわち、生産用パラメータ群Ｄ１と一時パラメータ群ＤＴとの値に相違があるかどうかを判断する（ステップＳ１７）。コンピュータ３は、値が相違しているパラメータが少なくとも一つ存在するとき、すなわち、一時変更履歴データＨＴが空でないときには（ステップＳ１７：ＹＥＳ）、ステータス表示領域４３を第２の色（たとえば赤色）で表示し、変更履歴記録モード中であって、暫定的に変更されたパラメータが存在することを表示する（ステップＳ１８）。一方、一時変更履歴データＨＴが空であって、生産用パラメータ群Ｄ１と一時パラメータ群ＤＴとが一致しているときには（ステップＳ１７：ＮＯ）、コンピュータ３は、ステータス表示領域４３を第１の色（たとえば黄色）で表示し、変更履歴記録モード中であって、暫定的に変更されたパラメータが存在しないことを表示する（ステップＳ１９）。
【００７１】
このようにして、作業者は、変更履歴記録開始ボタン４１を操作した後に値を変更した全てのパラメータについて、その従前値との変更後の値（更新値）とをパラメータ変更履歴画面４０において確認することができる。
さらに、パラメータ変更履歴画面４０において、個々のパラメータにおける従前値と更新値との間で選択状態を変更すると（ステップＳ２０：ＹＥＳ）、コンピュータ３は、その選択状態となった値（従前値または変更値）を一時パラメータ群ＤＴの該当するパラメータ値として書き込む（ステップＳ２１）。それにより、試験運転モードで適用されるパラメータを従前値と更新値とのいずれかに設定することができる。さらに、コンピュータ３は、選択状態の変更に応じて、一時変更履歴データＨＴを変更する（ステップＳ２２）。
【００７２】
パラメータ値は、試験運転時にのみ適用すべき値と、試験運転時だけでなく製品の生産時にも適用すべき値とがある。たとえば、処理液の処理時間および処理流量、スピンチャックの回転数および回転時間などのパラメータは、処理内容に係わるので、試験時と製品生産時とで異なる値に設定される場合が多い。このようなパラメータは、基板処理装置１のメンテナンス等のために試験運転するときに一時的に変更され、試験運転終了後は、従前の値に戻しておく必要がある。その一方で、基板を搬送する搬送ロボットの動作に係わるパラメータは、試験運転時および製品生産時において、共通の値とすることが適切な場合もある。このようなパラメータは、試験運転のときに変更し、その値が適切であることが確認されれば、変更後の値を製品生産に適用すべき値として登録すべきである。
【００７３】
そこで、作業者は、パラメータ変更履歴画面４０において、変更履歴が記録されたパラメータの全てについて、従前値および更新値のいずれかを選択し、選択状態が適切であるかどうかを確認する。その確認の後に、作業者は、確定ボタン４６０または４６１を操作し、パラメータを個別に、または一括して確定させる（ステップＳ２３）。この確定操作に応答して、コンピュータ３は、各パラメータの選択状態の値（従前値または変更値）を生産用パラメータ群Ｄ１の該当するパラメータの値として記憶部３４に書き込む（ステップＳ２４）。コンピュータ３は、確定されたパラメータをリスト表示部４７から抹消するか、または確定状態であることを表す表示状態とする（ステップＳ２５。履歴表示消去手段の一例）。確定状態を表す表示状態は、たとえば、該当するパラメータの行をグレーマスクする表示であってもよい。また、コンピュータ３は、変更履歴情報を生成して、記憶部３４、より具体的にはパラメータ管理データベースＤＢに書き込む（ステップＳ２６）。変更履歴情報は、変更されたパラメータの従前値および変更値、変更された日時（確定操作が行われた日時）、変更した作業者名などを含む。変更履歴情報は、一時変更履歴データＨＴに基づいて生成されてもよい。
【００７４】
リスト表示部４７に表示された全てのパラメータについて確定操作が行われると（ステップＳ２７：ＹＥＳ）、コンピュータ３は、ステータス表示領域４３を第１の色（たとえば黄色）に変更する（ステップＳ２８）。これにより、変更履歴記録モード中であって、暫定的に変更されたパラメータが存在しないことが表示される。この状態では、変更履歴記録終了ボタン４２の操作が許容される（ステップＳ２９）。その後に作業者が変更履歴記録終了ボタン４２を操作すると（ステップＳ３０）、コンピュータ３は、変更履歴記録モードを解除し、ステータス表示領域４３の色を第３の色（たとえば白色）に変更する（ステップＳ３１）。これにより、変更履歴記録モード中でないことが表示される。
【００７５】
確定操作を行わなければ、編集されたパラメータ値は生産用パラメータ群Ｄ１には反映されないが、一時パラメータ群ＤＴの該当するパラメータの値は、選択状態の値（従前値または変更値）となる。したがって、その選択状態のパラメータ値を用いた試験運転が可能である。
パラメータ変更履歴画面４０のリスト表示部４７に表示された全てのパラメータの値について確定操作が行われると、コンピュータ３は、変更履歴記録終了ボタン４２を操作可能とする。つまり、変更履歴の記録が開始された後に値が変更された全てのパラメータについての確定操作がされるまでは、変更履歴記録終了ボタン４２は操作不可能な状態に制御される。未確定のパラメータが残っている状態で変更履歴記録終了ボタン４２が操作されたときには、コンピュータ３は、ディスプレイ３３にアラート表示を出力して注意喚起してもよい。
【００７６】
コンピュータ３は、変更履歴記録終了ボタン４２が操作されて変更履歴記録モードを脱するまでは、製品を生産するための生産モードでの基板処理装置１の運転を禁止してもよい。たとえば、基板処理装置１のメンテナンスのために一時的に複数のパラメータを変更した場合には、作業者は、パラメータ変更履歴画面４０で、従前値一括選択ボタン４５１を操作し、それに続いて一括確定ボタン４６１を操作してもよい。それにより、一時的に変更した全てのパラメータを一括して従前値に戻すことができる。これにより、一時的に変更したパラメータの戻し忘れを回避できる。そして、変更履歴の記録が終了していない状態での生産モード運転を禁止することで、製品用の基板に対して試験運転のための処理条件が適用されることを回避できる。それにより、製品用の基板に対する不適切な処理を回避できるから、基板が無駄になることを回避できる。
【００７７】
以上のように、この実施形態では、一枚の画面であるパラメータ変更履歴画面４０に、複数のパラメータの変更履歴が表示される。この一枚の画面に表示された複数のパラメータの各々について、作業者は、変更を反映するか否かを選択することができ、その選択した値（変更前の値または変更後の値）を確定させることができる。この確定された値が生産用パラメータ群Ｄ１に反映され、かつパラメータ管理データベースＤＢに登録される。したがって、作業者は、状況に応じて、変更を反映すべきパラメータを一枚の画面の上で選択して、確定させることができる。これにより、状況に応じてパラメータ値変更の適用／不適用を容易に実行できるインタフェースを基板処理装置１に備えることができる。
【００７８】
また、パラメータ変更履歴画面４０に備えられる個別選択ボタン４５Ｐ，４５Ｎを操作することにより、各パラメータについて変更値または従前値を個別に選択できるので、個々のパラメータについて変更の適用／不適用を個別に指定できる。
また、パラメータ変更履歴画面４０に備えられる従前値一括選択ボタン４５１を操作することにより、全パラメータについて従前値を一括選択できる。これにより、従前値の選択操作が容易になる。たとえば、多数のパラメータについて従前値を選択する場合に、従前値を一括選択した後に、必要に応じて、いくつかのパラメータについては変更値を個別に選択すれば、各パラメータについて適用すべき値を速やかに選択できる。
【００７９】
また、パラメータ変更履歴画面４０に備えられる変更値一括選択ボタン４５２を操作することにより、全パラメータについて変更値を一括選択できる。これにより、変更値の選択操作が容易になる。たとえば、多数のパラメータについて変更値を選択する場合に、変更値を一括選択した後に、必要に応じて、いくつかのパラメータについては従前値を個別に選択すれば、各パラメータについて適用すべき値を速やかに選択できる。
【００８０】
また、この実施形態では、パラメータ変更履歴画面４０に表示されたパラメータ変更履歴は、変更日時（時刻情報）、ユニット名（リソース識別情報）、パラメータ名（パラメータ識別情報）によってソートすることができる。それにより、表示されたパラメータの数が多いときでも、目的のパラメータの変更履歴情報を速やかに探し出すことができる。
また、この実施形態では、パラメータ変更履歴画面４０には、コメント入力欄６６（コメント表示領域）が設けられており、作業者は、変更履歴情報に関連付けたコメントを入力できる。たとえば、作業者は、パラメータを変更したときに、その変更の意図、変更した結果等の任意の情報をコメントとして記録しておくことができる。このコメントは、コメントデータとして、変更履歴データの一部を構成する。コメントが入力されていると、パラメータ変更履歴画面４０を表示したときに、その一枚の画面に、変更履歴情報に加えて、作業者のコメントが表示される。それにより、作業者は、後に変更を反映すべきか否かを判断するときに、当該コメントを参考にできるから、すみやかに各パラメータの適切な値（従前値または変更値）を選択できる。
【００８１】
また、この実施形態では、パラメータ変更履歴画面４０において、パラメータの値を確定する操作が行われると、そのパラメータの変更履歴情報の表示が消去される。それにより、作業者は、未確定の変更履歴情報を容易に把握できるから、速やかにパラメータの選択および確定操作を行うことができる。
また、この実施形態では、変更履歴記録開始ボタン４１を操作することによって、一時的に値が変更されたパラメータの変更履歴（一時変更履歴）を記録する変更履歴記録モードを開始できる。そして、変更履歴記録終了ボタン４２を操作することによって、変更履歴記録モードを終了できる。変更履歴記録モードにおいて記録された変更履歴が、一枚の画面であるパラメータ変更履歴画面４０に表示される。したがって、一時設定したパラメータの値を元の値に戻したいときには、パラメータ変更履歴画面４０を開けば、変更された複数のパラメータについての変更履歴情報を一枚の画面上に表示させることができる。そして、全部のパラメータについて変更前の値を選択して確定操作を行えば、全てのパラメータの値を従前値に戻すことができる。むろん、一部のパラメータについて変更後の値を選択して確定することもできる。
【００８２】
たとえば、基板処理装置１を工場に設置して稼働開始させるための立ち上げ作業や、稼働開始後の保守作業の際には、作業者は、生産工程に使用する条件とは異なる条件を一時的に設定する場合がある。
このような場合の推奨作業手順は、たとえば、次のように定められる。作業者は、変更履歴記録開始ボタン４１を操作して、変更履歴記録モードを開始する。その後に、必要に応じてパラメータの値を変更する。作業者は、値を変更したパラメータを含む一時パラメータ群ＤＴを用いて、基板処理装置１の試験運転を行うことができる。作業終了時には、作業者は、パラメータ変更履歴画面４０を開いて、全ての一時変更した全てのパラメータについて確定操作を行う。その後、作業者は、変更履歴記録終了ボタン４２を操作して、変更履歴記録モードを終了する。
【００８３】
とくに、作業開始時に変更履歴モードを開始し、作業終了時に変更履歴記録モードを終了することを履行するように作業手順を定めることが好ましい。この実施形態では、一時変更されたパラメータの全てについて確定操作を行わなければ変更履歴記録モードを終了できない。したがって、未確定のパラメータが存在するままで作業を終えることを回避できる。これにより、一時設定したパラメータを元の値に戻す操作が省かれることを回避できる。
【００８４】
また、この実施形態では、変更履歴記録モード中か否かのモード表示、およびいずれかのパラメータが変更されたかどうかの状態表示が、ステータス表示領域４３の着色表示によって表現される。それにより、作業者は、変更履歴記録モードおよびパラメータの変更状態を明確に意識することができる。しかも、ステータス表示領域４３は、パラメータ変更履歴画面４０に配置されているので、作業者は、パラメータの設定状況および変更履歴の記録状況を容易に把握できる。
【００８５】
作業者は、変更履歴記録開始ボタン４１を操作することによって作業開始を明確に意識でき、ステータス表示領域４３によるモードおよび状態表示によって作業中であることを明確に意識でき、変更履歴記録終了ボタン４２を操作することによって、作業終了を明確に意識できる。それにより、作業手順を履行しやすくなり、作業漏れを抑制または防止できる。
【００８６】
次に、この発明の第２の実施形態について説明する。
この第２の実施形態では、パラメータ変更履歴画面４０（図６参照）には、変更履歴記録開始ボタン４１および変更履歴記録終了ボタン４２は設けられない。その一方で、パラメータ編集画面５０でパラメータ値が変更されて保存ボタン５３が操作されるたびに、コンピュータ３は、変更履歴情報を作成して記憶部３４、より具体的にはパラメータ管理データベースＤＢに書き込む。変更履歴情報は、変更されたパラメータについての従前値および変更値、変更した作業者、変更日時の情報を含む。また、この実施形態では、コンピュータ３は、パラメータ値を一時設定値と生産工程用設定値とを区別しない。したがって、パラメータ編集画面５０（図４参照）でパラメータ値が変更されて保存ボタン５３が操作されると、コンピュータ３は、その変更されたパラメータ値を生産用パラメータ群Ｄ１の該当するパラメータの値として記憶部３４に格納する。この変更された生産用パラメータ群Ｄ１を含む装置パラメータデータは、パラメータ管理データベースＤＢに書き込まれる。
【００８７】
図８Ａおよび図８Ｂは、パラメータの変更に係る作業者の操作およびコンピュータの処理を説明するためのフローチャートである。作業者は、ディスプレイ３３の表示をパラメータ変更履歴画面に切り換える操作を行う（ステップＳ４１）。これに応答して、コンピュータ３（より具体的にはＣＰＵ３１。以下同じ。）は、ディスプレイ３３にパラメータ変更履歴画面（図６参照）を表示する（ステップＳ４２）。このパラメータ変更履歴画面において、作業者は、入力装置３２を操作することにより、変更履歴検索条件、たとえば変更履歴検索期間を指定して（ステップＳ４３）、変更履歴の検索を指示する（ステップＳ４４）。すなわち、この場合、入力装置３２は、検索条件入力手段の一例である。こうして変更履歴の検索を指示すると、コンピュータ３は、パラメータ管理データベースＤＢのパラメータ履歴データＨを検索して、パラメータ変更履歴を抽出し（ステップＳ４５）、その変更履歴をパラメータ変更履歴画面に表示する（ステップＳ４６）。より具体的には、変更履歴検索期間内におけるパラメータ変更履歴が抽出されて表示される。たとえば、変更履歴検索期間内に変更されたパラメータの最新値（現在値）とのその前の設定値（従前値）とが表示されてもよい。変更履歴検索期間内に２回以上に渡って変更されたパラメータについては、２個以上の従前値が、たとえば変更された時系列に従って表示されてもよい。
【００８８】
この後の作業者の操作およびコンピュータの処理は、図７Ｂの場合と類似している。図８Ｂを参照して具体的に説明すると、パラメータ変更履歴画面では、各パラメータの値（従前値または最新値）の選択状態を変更することによって（ステップＳ５０：ＹＥＳ）、当該パラメータの値を一時的に変更することができる。このような一時的に変更されたパラメータの値を含む一時パラメータ群ＤＴが生成され、記憶部３４に格納される（ステップＳ５１）。また、当該変更を表す一時変更履歴データＨＴが形成される（ステップＳ５２）。一時パラメータ群ＤＴは、第１の実施形態の場合と同様に、試験運転のために使用することができる。パラメータの値が一時的に変更されたときは、コンピュータ３は、ステータス表示領域４３の表示状態を切り換えて、パラメータが一時的に変更されていることを表示する（ステップＳ５３）。たとえば、ステータス表示領域４３（図６参照）をパラメータ一時変更表示色（たとえば赤色）で表示してもよい。
【００８９】
作業者は、パラメータ確定操作部４６を操作することにより（ステップＳ５４：ＹＥＳ）、選択状態の値を生産用パラメータ群Ｄ１に反映させることができる（ステップＳ５５）。コンピュータ３は、確定されたパラメータをリスト表示部４７（図６参照）から抹消するか、または確定状態であることを表す表示状態とする（ステップＳ５６）。確定状態を表す表示状態は、たとえば、該当するパラメータの行をグレーマスクする表示であってもよい。また、コンピュータ３は、パラメータの変更内容を表す変更履歴データを生成し、パラメータ管理データベースＤＢ内のパラメータ履歴データＨに加える（ステップＳ５７）。一時変更されたパラメータの全てについて確定操作が行われると（ステップＳ５８：ＹＥＳ）、コンピュータ３は、ステータス表示領域４３（図６参照）の表示状態を、通常表示状態とする（ステップＳ５９）。たとえば、ステータス表示領域４３が通常表示色（たとえば白色）で表示されてもよい。
【００９０】
このように、この実施形態によれば、パラメータ群が更新されるたびに、変更履歴情報がパラメータ管理データベースＤＢに蓄積されていく。パラメータの変更履歴情報を表示させるときには、作業者は、変更履歴検索条件を指定して、変更履歴情報を検索させる。それにより、当該変更履歴検索条件に該当する変更履歴情報がパラメータ管理データベースＤＢのパラメータ履歴データＨから抽出されてパラメータ変更履歴画面４０に表示される。このパラメータ変更履歴画面４０において、作業者は、必要に応じて、全部または一部のパラメータについて、過去の設定値を選択することができる。
【００９１】
この発明の２つの実施形態について説明したが、以下に例示的に列挙するとおり、この発明は、さらに他の形態で実施することができる。
１．前述の実施形態では、基板処理装置１に組み込まれたコンピュータ３がパラメータ管理装置としての機能を有しているが、このような組み込みコンピュータ３とは別のコンピュータによってパラメータ管理装置を構成してもよい。このようなパラメータ管理装置は、基板処理装置１に対して必要時に接続されればよい。また、パラメータ管理装置は、基板処理装置１に対してネットワークを介して接続されたコンピュータで構成することもできる。
【００９２】
２．パラメータ変更履歴画面４０（図６参照）において、パラメータ確定操作部４６を操作してパラメータ値の変更を確定するとき、認証ダイアログを表示（たとえばポップアップ表示）してもよい。認証ダイアログは、パラメータ値変更確定を承認する承認者の署名を記入する署名欄と、署名後にアクティブになる承認ボタンとを有していてもよい。そして、承認ボタンが操作されることにより、パラメータ値の変更が許容されるようになっていてもよい。
【００９３】
３．変更履歴記録開始ボタン４１が操作されて変更履歴記録モードが開始されたとき、またはその後にパラメータの値が変更されたときに、アラームが出力されてもよい。アラームは、たとえば、ディスプレイ３３に表示される画面内に表示されるアラームインジケータで表されてもよい。そして、変更履歴記録モードが終了することにより、アラームが消去されるようになっていてもよい。これにより、変更履歴記録モードを終了するように作業者に促すことができるから、必要な作業の後に変更履歴記録モードが維持されることを回避できる。
【００９４】
４．基板処理を実行したときにアラームが発生すると、コンピュータ３は、そのアラームの履歴データを記憶部３４に格納してもよい。この場合、コンピュータ３は、アラームと、そのアラーム発生の直前におけるパラメータ変更履歴（好ましくは当該アラームとの関連のあるもの）とを紐付けすることが好ましい。それにより、アラームとパラメータ値変更との関連を容易に調べることができる。コンピュータ３は、アラーム発生をトリガとして、その直前のパラメータ変更履歴をディスプレイ３３に表示してもよい。
【００９５】
５．基板処理の結果（品質）をモニタして評価データが生成される場合、コンピュータ３は、当該評価データに対して、その直前のパラメータ変更履歴を紐付けしてもよい。それにより、基板処理結果に変動があれば、パラメータ値の変更との関連を容易に調べることができる。コンピュータ３は、評価データの生成をトリガとして、その直前のパラメータ変更履歴をディスプレイ３３に表示してもよい。
【００９６】
６．前述の第２の実施形態において、検索期間を指定してパラメータ変更履歴を検索できるようにしているが、特定のアラームに関連する変更履歴を検索したり、特定のユニットに関連する変更履歴を検索したりできるようにしてもよい。検索条件はこれらに限られず、さらに他の検索条件を指定してパラメータ変更履歴を検索できるようにしてもよい。
７．パラメータ変更履歴画面４０において、変更前と変更後の値とが不一致のパラメータに限らず、値が変更されたことを記録することとして、結果的に変更前後の値が等しいパラメータについてもリスト表示部４７に変更履歴情報を表示してもよい。
【００９７】
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【００９８】
１  基板処理装置
２  ユニット
３  コンピュータ
１１  パラメータ編集部
１２  パラメータ編集画面表示部
１３  パラメータ変更履歴記録部
１４  パラメータ変更履歴取得部
１５  パラメータ変更履歴表示部
１６  パラメータ選択入力受付部
１７  パラメータ変更確定入力受付部
１８  パラメータ登録部
２０  選択入力部
２１  個別選択入力部
２２  一括選択入力部
２３  確定入力部
２５  ログインレベル管理部
２６  状態表示部
２７  パラメータ検索部
２８  モード遷移禁止部
３１  ＣＰＵ
３２  入力装置
３３  ディスプレイ
３４  記憶部
３５  インタフェース
４０  パラメータ変更履歴画面
４１  変更履歴記録開始ボタン
４２  変更履歴記録終了ボタン
４３  ステータス表示領域
４４  変更履歴表示部
４５  パラメータ選択操作部
４５Ｐ  従前値個別選択ボタン
４５Ｎ  変更値個別選択ボタン
４５１  従前値一括選択ボタン
４５２  変更値一括選択ボタン
４６  パラメータ確定操作部
４６０  個別確定ボタン
４６１  一括確定ボタン
４７  リスト表示部
４７Ａ〜４７Ｄ  ソートボタン
４８  スクロールボタン
４８Ｈ  リスト先頭へのジャンプボタン
４８Ｅ  リスト末尾へのジャンプボタン
４８Ｐ  前ページスクロールボタン
４８Ｓ  後ページスクロールボタン
４８Ｕ  １行上移動ボタン
４８Ｄ  １行下移動ボタン
５０  パラメータ編集画面
５１  パラメータリスト
５２  スクロールボタン
５２Ｈ  リスト先頭へのジャンプボタン
５２Ｅ  リスト末尾へのジャンプボタン
５２Ｐ  前ページスクロールボタン
５２Ｓ  後ページスクロールボタン
５２Ｕ  １行上移動ボタン
５２Ｄ  １行下移動ボタン
５３  保存ボタン
５４  戻るボタン
６０  ユニット選択画面
６１  ユニット選択ボタン
６５  パラメータ詳細表示欄
６６  コメント入力欄
７０  画面切換え操作部
７１  ユニット選択画面表示ボタン
７２  変更履歴表示ボタン
７３  インポートボタン
７４  エスクポートボタン
８０  履歴書出しボタン
Ｐ  プログラム
Ｐ１  制御プログラム
Ｐ２  管理プログラム
Ｄ  データ
ＥＤ  装置パラメータデータ
Ｄ１  生産用パラメータ群
ＤＴ  一時パラメータ群
ＨＴ  一時変更履歴データ
Ｄ２  装置タイプデータ
Ｄ３  装置識別ＩＤ
Ｄ４  更新者データ
Ｄ５  コメントデータ
Ｄ６  更新日時データ
Ｄ７  装置構成情報
ＤＢ  パラメータ管理データベース
Ｈ  パラメータ変更履歴データ
【図１】
2018124755.tif 000003
【図２】
2018124755.tif 000004
【図３】
2018124755.tif 000005
【図４】
2018124755.tif 000006
【図５】
2018124755.tif 000007
【図６】
2018124755.tif 000008
【図７Ａ】
2018124755.tif 000009
【図７Ｂ】
2018124755.tif 000010
【図８Ａ】
2018124755.tif 000011
【図８Ｂ】
2018124755.tif 000012