(57)【要約】【課題】粘着剤や緩衝材を使用せずに、機械的な機構のみによる半導体チップの固定手段を、単純な構成で実現可能なチップトレイおよびそれを使用した半導体チップの収納体を提供することを課題とする。【解決手段】容器に収納して使用するチップトレイ１であって、中央部に開口部１３を備えた矩形状の枠体１１の内側の四隅に、枠体より一段低い領域に半導体チップを支持する突起を備えた下側のチップトレイと、そのチップトレイと同じ構造のもう１つの上側のチップトレイとを向い合わせにして上から重ね、重なり合う位置から相対的に９０度回転させた位置で、回転不能に嵌る構造を枠体の表面に備えており、上側のチップトレイを押圧することにより、下側と上側のチップトレイの突起によって半導体チップが固定されることを特徴とするチップトレイ。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップを固定して、容器に収納するチップトレイであって、
矩形状の板材に矩形の開口部を有する枠体と、
枠体の開口部の四隅に、枠体の一方の面と面一に備えられた枠体より薄い支持部と、
各支持部の上に備えられ、支持部との合計厚さが枠体より薄いチップ支持突起と、
枠体の内側の各支持部の間に備えられた、半導体チップを載置可能な開口部にする横方向および縦方向開口サイズ規定部と、
横方向開口サイズ規定部と縦方向開口サイズ規定部の少なくともいずれかに形成された切り欠きとを備え、
枠体の外側の１つの辺と、容器の側壁部の内側の輪郭線の円弧と、に囲まれた領域が枠体より厚い第１の回転防止構造となっており、
前記の辺と対向する辺と、円弧と、に囲まれた領域には、枠体をハンドリングする際に把持する第１の回転防止構造と同じ厚さの把持部が備えられており、
その領域内において把持部の円弧方向の両側に隣接して、枠体が無い領域と第１の回転防止構造と同じ厚さの、第２および第３の回転防止構造が備えられており、
支持部は、半導体チップの四隅が枠体の内側に接触しない大きさを有していることを特徴とするチップトレイ。
【請求項２】
請求項１に記載のチップトレイを使用した半導体チップ収納体であって、
半導体チップを載置し固定する一対の前記チップトレイと、
その一対のチップトレイを収納する、底部と側壁部とを備えている容器と、
その容器とネジ嵌合可能な蓋と、を備えており、
一対のチップトレイは、
下側チップトレイと、下側チップトレイを上下反転して、前記輪郭線に沿って９０度回転させた上側チップトレイと、を向い合わせにして備えられてなり、
容器は、容器にネジ嵌合可能な蓋により上側チップトレイを押圧することで、下側チップトレイと共に半導体チップを固定可能となっていることを特徴とする半導体チップの収納体。
【請求項３】
前記板材が、樹脂または金属またはそれらの組合せからなることを特徴とする請求項２に記載の半導体チップの収納体。
【請求項４】
請求項２または３に記載の半導体チップの収納体の製造方法であって、
前記下側チップトレイを前記容器に配置する工程と、
前記下側チップトレイのチップ支持突起上に半導体チップを配置する工程と、
前記下側チップトレイの上に、下側チップトレイの前記第１の回転防止構造と前記上側チップトレイの第１の回転防止構造が前記輪郭線に沿って９０度回転した位置に、上側チップトレイを配置する工程と、
前記容器の蓋を容器にネジ嵌合する工程と、を備えていることを特徴とする半導体チップの収納体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路や固体撮像素子などの半導体チップを収納して、搬送や保管を行うチップトレイに関する。更に詳しくは、チップトレイに振動や衝撃が加わっても、半導体チップが収納された位置で固定されているため、半導体チップに付着していた異物が遊離して半導体チップの表面に付着したり、半導体チップがチップトレイの内壁面に衝突することにより、破片を生じることのないチップトレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路や固体撮像素子などは、まず半導体製造プロセスの前工程を経て、半導体素子が多面付けされた状態のシリコンウェハが作製される。このシリコンウェハを個々の半導体集積回路素子や固体撮像素子などのチップに個片化することにより、半導体チップが製造される。その後、後工程と呼ばれるダイボンディング、ワイヤボンディング、などの工程を経て、半導体素子が製造される。この様に半導体チップが製造された後、後工程で処理される間に、半導体チップは、保管や搬送が行われる。
【０００３】
半導体チップを収納し、安全に搬送や保管を行うことができるものとして、チップトレイが使用されている。
チップトレイとしては、多数の半導体チップを効率的に収納するため、限られたスペースに半導体チップより少し大きい矩形状の区画領域（凹部やポケットとも称する。）をマトリクス状に配置した容器が使用される。その容器の個々の区画領域の内部に半導体チップを収納し、搬送し保管する。
【０００４】
このようなチップトレイにおいては、搬送中に振動や衝撃が加わることにより、半導体チップが収納されている区画領域の内壁部に衝突することで形成された半導体チップの破片や、半導体チップの個片化のためのダイシング工程で発生したシリコンなどの半導体チップの破片が、塵埃となって半導体チップの表面にある回路面や電極パッドなどに付着して、半導体チップ表面を傷付けたり、ワイヤボンディングなどの後工程において不具合を生じたりする虞がある。
【０００５】
そのような不具合を防止する技術として、例えば特許文献１には、チップトレイの底にクッション材を敷設することにより、搬送時などに半導体チップに加わる衝撃を抑制し、輸送時やチップ取り出し時に半導体チップ表面を傷付けることがないチップトレイが開示されている。この技術においては半導体チップの回路形成面がクッション材の表面または上に重ねられるチップトレイの底面に接触するため、それらからの異物の付着や汚染を防止することは困難であると考えられる。
【０００６】
また、特許文献２には、チップ搭載部に凹部を有し、その凹部の底面に貫通孔が形成されている第１部材と第１部材の下側に備えられた底面となる第２部材に粘着材を有するチップトレイが開示されている。このチップトレイにおいては、半導体チップの側面や裏面から剥離した塵埃は、第１部材の底面に設けられた貫通孔から下に落ち、第２部材の粘着剤層に捕捉される。そのために、半導体チップの回路形成面への付着を防ぐことができる。しかしながら、この技術では、半導体チップから発生した全ての塵埃を捕捉することはできないため、塵埃が半導体チップの回路形成面などに付着するのを完全に防止することはできないと考えられる。また、粘着剤層の表面に捕捉された塵埃が剥離して、塵埃の発生源になる虞もある。
【０００７】
また、特許文献３には、チップトレイの半導体チップを収納する矩形状の各凹部の底面
に粘着材が備えられたチップトレイが開示されている。このチップトレイの底面の粘着材に半導体チップの裏側（回路が形成されていない側）を押し付けて貼り付け、固定することによって、塵埃の発生を防止する。この技術においては、粘着材に紫外線照射を行い、粘着力を弱めたことにより、一度粘着剤層に貼り付けた半導体チップを取り出す際に、粘着力が強力であったために、半導体チップを機械的に把持した部分で欠けが発生し、塵埃の発生や半導体チップを傷付ける問題に対処したものである。しかしながら、粘着材の粘着力を弱めたことにより、粘着剤層により捕捉された塵埃などが剥れ易くなるため、塵埃の発生源になる虞がある。
【０００８】
また、特許文献４には、チップトレイのチップを収納する矩形状の各凹部のＸ方向とＹ方向の内壁部にチップをそれらの方向に押える押さえバネを備えたチップトレイが開示されている。この押さえバネによって、チップが搬送中などの振動や衝撃によって、凹部の内壁部に衝突する事を避けることができ、シリコンチップの破片が形成されなくなる。しかしながら、全ての凹部の内壁部のＸ方向およびＹ方向に押さえバネを設置することは、高コストになることは避けられない。
【０００９】
また、特許文献５には、チップトレイの半導体チップを収納する矩形状の枠を無くし、底面に粘着剤層を交換可能に敷設したチップトレイが開示されている。この技術は、チップサイズに応じた矩形状の枠を取り払うことにより、どのようなチップサイズにも対応可能となり、底部の粘着剤層にチップが固定されるため、半導体チップが搬送中の振動や衝撃によってチップトレイの内壁に衝突し、半導体チップが欠けて塵埃を発生させたり、半導体チップが損傷を受ける事を防ぐことができる。しかしながら、粘着剤層に半導体チップの裏面を貼り付けるため、半導体チップの裏面が汚染を避けることはできず、また粘着剤層に貼り付けた半導体チップを剥がす際に、半導体チップに損傷を与える虞がある。
【００１０】
また、特許文献６には、半導体チップを収納する複数の凹部（収納ポケット）がマトリクス状に配置したチップトレイと、そのチップトレイの凹部を塞ぐチップトレイ上蓋と、の組合せからなる半導体チップトレイが開示されている。この技術は半導体チップを支持するための変形可能な梁構造のチップ支持部を個々の凹部毎に備えている。そのため、これらの凹部に収納された半導体チップを固定することができるため、半導体チップが凹部の内壁に衝突することは無く、塵埃の発生や半導体チップの損傷を防ぐ事が可能となる。また粘着材を使用していないため、半導体チップが粘着材に接触することによる汚染の虞も無い。しかしながら、半導体チップを支持するための変形可能な梁構造を低コストで作製することは困難である。
【００１１】
また、特許文献７には、半導体チップに付着した異物などが搬送時の振動で飛散するのを防ぐことができるチップトレイとして、半導体チップを収納する凹部の底面に粘着剤層が備えられており、その粘着剤層から突出した複数の突起部を備えているチップトレイが開示されている。半導体チップは、これらの突起部のみに支持されるため、粘着剤層とは接触することはない。この技術は、チップトレイに収納された半導体チップに付着していたシリコンなどの破片が、搬送時の振動や衝撃により半導体チップから離れた際に、底面に備えられた粘着剤層に捕捉されるため、半導体チップに再付着することを防ぐことができる。しかしながら、半導体チップが固定されていないため、搬送中に半導体チップが凹部の内壁に衝突し、半導体チップの破片などが形成される虞がある。
【００１２】
上記にチップトレイの幾つかの先行技術を例示した。チップトレイの搬送などの取扱い時に振動や衝撃が加わった場合に、半導体チップから半導体チップの破片やダイシング工程において付着した異物が、半導体チップから振動や衝撃によって遊離した後、再付着することを防止する手段として、粘着剤層により固定する方法、機械的な手段で固定する方法、などが提案されている。
・  粘着剤層を使用する方法
粘着剤層に接着した半導体チップを剥離する際に半導体チップに損傷を与える虞がある。その問題を回避するため、粘着剤層の粘着力を低下させた場合は、粘着剤層の塵埃を捕捉する効果が低下し、一度捕捉した塵埃を振動や衝撃により遊離してしまう虞がある。
・  機械的手段を使用する方法
チップトレイの区画領域の内壁部に半導体チップを、バネを使った機構やその他の機械的に押えるための複雑な機構を低コストで提供することは困難であると考えられる。
また、チップトレイの区画領域の底部の内側とその底部の外側に、クッション材などの緩衝材を備え、チップトレイを重ねた場合に、その緩衝材により半導体チップを上下から押さえ込む構成では、半導体チップの回路形成面や電極表面に直接、緩衝材が密着するため、それらに異物の付着や緩衝材からの物質的な汚染の虞がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開平５−３３８６８２号公報
【特許文献２】特開２００１−２９８０８０号公報
【特許文献３】特開２００２−６４１３５号公報
【特許文献４】特開特開２００６−１２８５８５号公報
【特許文献５】特開２００８−９１６９６号公報
【特許文献６】特開特開２００９−２７８０１９号公報
【特許文献７】特開２０１２−２４０６９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
上記の事情に鑑み、本発明は粘着剤や緩衝材を使用せずに、機械的な機構のみによる半導体チップの固定手段を、単純な構成で実現可能なチップトレイおよびそれを使用した半導体チップの収納体を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の課題を解決する手段として、本発明の請求項１に記載の発明は、半導体チップを固定して、容器に収納するチップトレイであって、
矩形状の板材に矩形の開口部を有する枠体と、
枠体の開口部の四隅に、枠体の一方の面と面一に備えられた枠体より薄い支持部と、
各支持部の上に備えられ、支持部との合計厚さが枠体より薄いチップ支持突起と、
枠体の内側の各支持部の間に備えられた、半導体チップを載置可能な開口部にする横方向および縦方向開口サイズ規定部と、
横方向開口サイズ規定部と縦方向開口サイズ規定部の少なくともいずれかに形成された切り欠きとを備え、
枠体の外側の１つの辺と、容器の側壁部の内側の輪郭線の円弧と、に囲まれた領域が枠体より厚い第１の回転防止構造となっており、
前記の辺と対向する辺と、円弧と、に囲まれた領域には、枠体をハンドリングする際に把持する第１の回転防止構造と同じ厚さの把持部が備えられており、
その領域内において把持部の円弧方向の両側に隣接して、枠体が無い領域と第１回転防止構造と同じ厚さの、第２および第３の回転防止構造が備えられており、
支持部は、半導体チップの四隅が枠体の内側に接触しない大きさを有していることを特徴とするチップトレイである。
【００１６】
また請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のチップトレイを使用した半導体チップ収納体であって、
半導体チップを載置し固定する一対の前記チップトレイと、
その一対のチップトレイを収納する、底部と側壁部とを備えている容器と、
その容器とネジ嵌合可能な蓋と、を備えており、
一対のチップトレイは、
下側チップトレイと、下側チップトレイを上下反転して、前記輪郭線に沿って９０度回転させた上側チップトレイと、を向い合わせにして備えられてなり、
容器は、容器にネジ嵌合可能な蓋により上側チップトレイを押圧することで、下側チップトレイと共に半導体チップを固定可能となっていることを特徴とする半導体チップの収納体である。
【００１７】
また請求項３に記載の発明は、前記板材が、樹脂または金属またはそれらの組合せからなることを特徴とする請求項２に記載の半導体チップの収納体である。
【００１８】
また請求項４に記載の発明は、請求項２または３に記載の半導体チップの収納体の製造方法であって、
前記下側チップトレイを前記容器に配置する工程と、
前記下側チップトレイのチップ支持突起上に半導体チップを配置する工程と、
前記下側チップトレイの上に、下側チップトレイの前記第１の回転防止構造と前記上側チップトレイの第１の回転防止構造が前記輪郭線に沿って９０度回転した位置に、上側チップトレイを配置する工程と、
前記容器の蓋を容器にネジ嵌合する工程と、を備えていることを特徴とする半導体チップの収納体の製造方法である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のチップトレイによれば、一対のチップトレイの間に半導体チップを挟み込み、チップトレイの開口部の四隅にあるチップ支持突起により、半導体チップの四隅の端部を、上下から狭持することにより、半導体チップを機械的に固定することができる。そのため、粘着剤や緩衝材を使用せずに、機械的な機構のみによる半導体チップの固定手段を、単純な構成で実現可能なチップトレイを提供することができる。
【００２０】
また、本発明の半導体チップの収納体およびその製造方法によれば、本発明の一対の回転防止機構を備えたチップトレイを使用して半導体チップを狭持し、固定して収納するため、容器の蓋を容器にネジ嵌合してチップトレイを押圧して半導体チップを固定する際に、蓋が回転してもチップトレイが回転することがない半導体チップの収納体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のチップトレイの構成を例示するための上面図であって、一対のチップトレイのうち、下側のチップトレイを示している。
【図２】本発明のチップトレイの構成を例示するための、切断線Ａ−Ａ´における下側のチップトレイの断面図である。
【図３】本発明の半導体チップの収納体の構成を例示する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
＜チップトレイ＞
本発明のチップトレイについて、図１と図２を用いて説明する。
図１は、本発明のチップトレイ１の構成を例示するための上面図であって、一対のチップトレイ１のうち、下側のチップトレイを示している。
図２は、本発明のチップトレイ１の構成を例示するための、切断線Ａ−Ａ´における下側のチップトレイの断面図を示している。
【００２３】
本発明のチップトレイ１は、半導体チップを固定して、容器に収納するチップトレイである。
【００２４】
本発明のチップトレイ１は、矩形状の板材に矩形の開口部１３を有する枠体１１と、枠体１１の開口部１３の四隅に、枠体１１の一方の面と面一に備えられた枠体１１より薄い支持部４と、各支持部４の上に備えられ、支持部４との合計厚さが枠体１１より薄いチップ支持突起５と、枠体１１の内側の各支持部４の間に備えられた、半導体チップを載置可能な開口部にする横方向および縦方向開口サイズ規定部２−１、２−２と、横方向開口サイズ規定部２−１と縦方向開口サイズ規定部２−２の少なくともいずれかに形成された切り欠き３と、を備えている。
【００２５】
枠体１１の外側の１つの辺と、容器８の側壁部１２の内側の輪郭線の円弧と、に囲まれた領域が枠体１１より厚い第１の回転防止構造６−１となっている。
【００２６】
前記の辺と対向する辺と、円弧と、に囲まれた領域には、枠体１１をハンドリングする際に把持する第１の回転防止構造６−１と同じ厚さの把持部７が備えられている。
【００２７】
その領域内において把持部７の円弧方向の両側に隣接して、枠体１１が無い領域と第１の回転防止構造６−１と同じ厚さの、第２および第３の回転防止構造６−２、６−３が備えられており、
支持部４は、収納されるチップの４角付近のトレイの壁面を後退させ、チップのエッジ角がトレイの水平面垂直面に接触しない構造となっており、最も塵埃の発生リスクの高い矩形チップの４角を浮かせた状態にできる。６−１、６−２、６−３、７は、容器８の内側側壁に沿ったリム状の構造となっている。
【００２８】
（枠体）
枠体１１は、樹脂または金属またはそれらを組み合わせた構成により作製することができる。枠体１１は、チップトレイ１の主たる構成要素であり、矩形または長方形の外形をしており、内側に開口部１３を備えている。
【００２９】
（開口部）
開口部１３は、枠体１１の外形（矩形または長方形）と相似形をしていても良いし、矩形または長方形以外の形状であっても良いが、半導体チップの形状が矩形または長方形であることが殆どであるため、外形と同じ矩形または長方形であることが好ましい。開口部１３は、半導体チップを載置する主なスペースを提供する領域である。
【００３０】
（支持部）
支持部４は、枠体１１の開口部１３の四隅に備えられた枠体１１の一方の面と面一に備えられた部位で、枠体１１より厚さが薄い（図１参照）領域である。この領域は、半導体チップを所定の位置に載置した時に、半導体チップの四隅が、枠体１１の内側に接触しない様に、支持部４と同じ厚さの領域を広くしている部分である。半導体チップが枠体１１の内側に接触することにより、半導体チップに欠けが生じるのを防止するためである。
チップの上下平面が、それぞれインナートレイ（枠体１１の支持部４などで）と３箇所以上で、十分な摩擦をもつ面積で面接触し、チップの側面（矩形の四辺）でも面接触する構造である。
【００３１】
上面から見た支持部４の形態は、矩形や長方形に限定する必要は無く、円形、楕円形、多角形、不規則形状、等を好ましく使用することができる。
支持部４の材料は、枠体１１と同じであっても良いし、異なっていても良い。同じ材料であれば、枠体１１と支持部４を一体として形成することが可能となる。
【００３２】
（チップ支持突起）
支持部４の上に、チップ支持突起５が形成されている。チップ支持突起５は、図１に例示したように、支持部４と合わせた厚さが、枠体１１の厚さより薄くなる様に、その厚さを設定されている。この様にすることで、下側チップトレイ（下側に配置するチップトレイ）に半導体チップを載置し、その上から上側チップトレイ（上側に配置するチップトレイ）を配置した際に、上側チップトレイを押圧した時に、その力が半導体チップにかかるようにするためである。
【００３３】
チップ支持突起５は、半導体チップの四隅をできるだけ小さい接触面積で接触するように、支持部４より小さいことが好ましい。チップ支持突起５の形状は特に限定する必要は無く、直方体、円柱、角錐台、円錐台等の形態を使用すれば良い。また、半導体チップと接する部位が平面ではなく、曲面であっても構わない。
チップ支持突起５の材料は、枠体１１または支持部４と同じでも良いし、異なっていても良い。枠体１１と支持部４とチップ支持突起５が同じ材料である場合は、一括した成形加工が可能となる。異なる場合は、例えばチップ支持突起５の材料として、半導体チップに損傷を与え難い軟質材料、例えば各種のゴムや軟質プラスチックを選定可能となる。
【００３４】
（横方向および縦方向の開口サイズ規定部）
横方向開口サイズ規定部２−１および縦方向の開口サイズ規定部２−２は、開口部１３の横方向と縦方向の開口寸法を決める。その開口寸法は、半導体チップのサイズに対応させて設定すれば良い。例えば、チップトレイに半導体チップを載置する際に、チップ搬送ロボットなどのハンドリング装置を使用する場合は、その装置の制御可能な位置精度を考慮して、横方向開口サイズ規定部２−１および縦方向の開口サイズ規定部２−２の寸法を、半導体チップより大き目の寸法に設定すれば良い。
【００３５】
（切り欠き）
切り欠き３は、横方向開口サイズ規定部２−１および縦方向の開口サイズ規定部２−２に形成し、チップ搬送ロボットなどのハンドリング装置の半導体チップを把持する部位やピンセットなどを挿入可能とするものである。そのため、それらの寸法に対応した大きさや形状を備えた切り欠き３とするか、それらを考慮して全てに対応可能な大きさ、形状とすれば良い。
【００３６】
（把持部）
把持部７は、チップトレイ１を把持し、ハンドリングし易くするものである。そのため、把持部７は枠体１１の外側に備えられているのが好ましい。大きさや形状は特に限定する必要は無く、チップ搬送ロボットなどのハンドリング装置が取り扱い易い形状、大きさを備えていれば良い。人がピンセットなどを使用してハンドリングする場合には、人が取り扱うのに適した大きさ、形状とすれば良い。
【００３７】
（回転防止構造）
本発明のチップトレイ１には、第１、第２および第３の回転防止構造６−１、６−２、６−３が備えられている。図１に例示したように、枠体１１の外側の１つの辺と、それに接する容器の側壁部の内側の輪郭線が形成する領域を第１の回転防止構造６−１とする。その辺に対向する位置にある枠体１１の外側の辺と前記の輪郭線が形成する領域には、チップトレイ１をハンドリングする際に把持する把持部７と、枠体１１の外側で、その輪郭線に沿う方向の両側に隣接して、枠体１１が無い部分があり、更にそれらに隣接して、第２および第３の回転防止構造６−２、６−３が備えられている。
【００３８】
これらの回転防止構造の厚さは、図２に例示した様に、枠体１１より厚い。また、本発
明のチップトレイ１には、第１の回転防止構造６−１と、それと対向する位置に備えられている第２および第３の回転防止構造６−２、６−３が形成されている平面において、それらと直交する方向に枠体１１が無い領域が形成されている。
【００３９】
これらの回転防止構造は、２つのチップトレイ１を向い合わせにして、互いに９０度だけ回転させた位置で重ね合わせることにより、一方のチップトレイの枠体１１が無い領域に、もう一方のチップトレイの第１の回転防止構造６−１と第２および第３の回転防止構造６−２、６−３が嵌り込む。
【００４０】
そのため、一方の第１の回転防止構造６−１が、もう一方の第１の回転防止構造６−１と第２の回転防止構造６−２または第３の回転防止構造６−３が障害物となって、回転できなくなる。
【００４１】
（インナーフレームの製造方法）
インナーフレーム１の製造方法は、特に限定する必要は無いが、使用する材料によって製造方法が異なる。好適に使用できる材料としては、樹脂および金属を挙げることができる。
【００４２】
樹脂を使用する場合、金型を使用した樹脂成形加工によりインナーフレームを製造することができる。樹脂成形加工としては、例えば、シート状の樹脂を熱プレスする方法や溶融した樹脂の射出成形などの方法を使用することで、例えば１回の熱プレスや射出成形により製造することができる。
【００４３】
金属を使用する場合、例えば、まず最も厚い回転防止構造と同じ厚さの板材を出発材料とし、フォトリソグラフィを用いて、まず第１、第２および第３の回転防止構造６−１、２、３を形成するためのフォトマスクを使用してエッチングマスクを板材上に形成し、回転防止構造の厚さだけエッチング除去する。
【００４４】
次に、同様の手法で回転防止構造と枠体１１となる部分にエッチングマスクを形成し、支持部４とチップ支持突起５の厚さを合わせた厚さを残す様に、支持部４と同じパターン領域をエッチング除去する。
【００４５】
次に、支持部４だけが露出するエッチングマスクを形成し、チップ支持突起５と同じ厚さだけエッチング除去する。
【００４６】
最後に、切り欠き３と開口部１３だけを露出させるエッチングマスクを形成し、エッチング除去することにより、図１および図２に例示したようなチップトレイを作製することができる。
【００４７】
＜半導体チップの収納体＞
本発明の半導体チップの収納体について、図３を用いて説明する。
図３は、本発明の半導体チップの収納体の構成を例示する断面図である。
【００４８】
本発明の半導体チップの収納体２０は、半導体チップ１０を載置し固定する一対のチップトレイ１と、その一対のチップトレイ１を収納する底部１４と側壁部１２とを備えている容器８である。
収納するチップが正方形の場合、上下のインナートレイ、インナートレイの４角のいずれを適用する上でも互換性があり、設計上、使用上の利便性を持つ。
【００４９】
本発明の半導体チップの収納体２０は、その容器８とネジ嵌合可能な蓋９と、を備えて
いる。
【００５０】
一対のチップトレイ１は、下側チップトレイ１−１と、下側チップトレイ１−１を上下反転して、容器８の側壁部１２の輪郭線に沿って９０度回転させた上側チップトレイ１−２と、を向い合わせにして備えられている。
【００５１】
容器８は、容器８にネジ嵌合可能な蓋９により上側チップトレイ１−２を押圧することで、下側チップトレイ１−１と共に半導体チップ１０を固定可能となっている。
【００５２】
＜半導体チップの収納体の製造方法＞
次に、本発明の半導体チップの収納体の製造方法について説明する。
本発明の半導体チップの収納体の製造方法は、図３における下側チップトレイ１−１を容器８に配置する工程と、下側チップトレイ１−１のチップ支持突起５（図１および図２参照）上に半導体チップ１０を配置する工程と、下側チップトレイ１−１の上に、下側チップトレイ１−１の第１の回転防止構造６−１と上側チップトレイ１−２の第１の回転防止構造が容器８の側壁部１２の輪郭線に沿って９０度回転した位置に、上側チップトレイ１−１を配置する工程と、容器８の蓋９を容器８にネジ嵌合する工程と、をこの順に備えている。
【００５３】
また、本発明の半導体チップの収納体の製造方法は、下側チップトレイ１−１のチップ支持突起５（図１および図２参照）上に半導体チップ１０を配置する工程と、下側チップトレイ１−１の上に、下側チップトレイ１−１の第１の回転防止構造６−１と上側チップトレイ１−２の第１の回転防止構造が容器８の側壁部１２の輪郭線に沿って９０度回転した位置に、上側チップトレイ１−１を配置する工程と、半導体チップ１０を配置し、その上に上側チップトレイ１−２を配置したものを容器８に配置する工程と、容器８の蓋９を容器８にネジ嵌合する工程と、をこの順に備えていることでも良い。
【符号の説明】
【００５４】
１・・・チップトレイ
１−１・・・下側チップトレイ
１−２・・・上側チップトレイ
２・・・開口サイズ規定部
２−１・・・横方向開口サイズ規定部
２−２・・・縦方向開口サイズ規定部
３・・・切り欠き
４・・・支持部
５・・・チップ支持突起
６−１・・・第１の回転防止構造
６−２・・・第２の回転防止構造
６−３・・・第３の回転防止構造
７・・・把持部
８・・・収納ケース
８・・・容器
９・・・蓋
１０・・・チップ
１１・・・枠体
１２・・・容器の側壁部
１３・・・開口部
１４・・・底部
２０・・・チップ収納体
【図１】
2018129429.tif 000003
【図２】
2018129429.tif 000004
【図３】
2018129429.tif 000005