(57)【要約】【課題】連続した状態で走行する少なくとも２台の走行車間の距離が短くなった場合であっても、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の追従走行を実現することができる走行車システム及び走行車を提供する。【解決手段】走行車システムは、前方を走行する走行車２１と、後方を走行する走行車２２と、を備える。前方の走行車２１は、現在位置で減速を開始した場合に停止することが可能な停止可能位置Ｐ１に関する情報を周期的に送信する送信部を有する。後方の走行車２２は、停止可能位置Ｐ１に関する情報を周期的に受信する受信部と、当該情報に基づいて目的位置Ｐ２を周期的に更新する制御部と、を有する。制御部は、停止可能位置Ｐ１に停止した場合における前方の走行車２１の後端２１ａが目的位置Ｐ２に停止した場合における後方の走行車２２の前端２２ａの前方に位置するように、目的位置Ｐ２を決定する。【選択図】図５
2018097406.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道に沿って走行する第１走行車と、
前記第１走行車との間に別の走行車が存在しない状態で前記第１走行車の後方を前記軌道に沿って走行する第２走行車と、を備え、
前記第１走行車は、現在位置で減速を開始した場合に停止することが可能な第１停止可能位置に関する第１情報を周期的に送信する第１送信部を有し、
前記第２走行車は、
前記第１情報を周期的に受信する第１受信部と、
前記第１情報に基づいて、前記第２走行車の走行における目的地である第１目的位置を周期的に更新する第１制御部と、を有し、
前記第１制御部は、前記第１停止可能位置に停止した場合における前記第１走行車の後端が前記第１目的位置に停止した場合における前記第２走行車の前端の前方に位置するように、前記第１目的位置を決定する、走行車システム。
【請求項２】
前記第１情報は、前記第１停止可能位置を示す情報、又は、前記第１走行車の現在位置及び現在速度を示す情報である、請求項１に記載の走行車システム。
【請求項３】
管轄エリア内に存在する複数の走行車のそれぞれと通信する制御装置を更に備え、
前記制御装置は、
前記第１情報を周期的に受信する受信部と、
前記第１情報を前記複数の走行車に周期的にブロードキャスト配信する送信部と、を有し、
前記第２走行車は、前記第１走行車を識別する識別部を更に有する、請求項１又は２に記載の走行車システム。
【請求項４】
前記第１走行車は、前記第１走行車であることを示す識別情報を表示する表示部を更に有し、
前記第２走行車は、前記表示部を検知する検知部を更に有し、
前記識別部は、前記検知部によって検知された前記表示部に含まれる前記識別情報に基づいて、前記第１走行車を識別する、請求項３に記載の走行車システム。
【請求項５】
前記第２走行車との間に別の走行車が存在しない状態で前記第２走行車の後方を前記軌道に沿って走行する第３走行車を更に備え、
前記第２走行車は、現在位置で減速を開始した場合に停止することが可能な第２停止可能位置に関する第２情報を周期的に送信する第２送信部を有し、
前記第３走行車は、
前記第２情報を周期的に受信する第２受信部と、
前記第２情報に基づいて、前記第３走行車の走行における目的地である第２目的位置を周期的に更新する第２制御部と、を有し、
前記第２制御部は、前記第２停止可能位置に停止した場合における前記第２走行車の後端が前記第２目的位置に停止した場合における前記第３走行車の前端の前方に位置するように、前記第２目的位置を決定する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の走行車システム。
【請求項６】
軌道に沿って走行する走行車であって、
自車が現在位置で減速を開始した場合に停止することが可能な第１停止可能位置に関する第１情報を周期的に送信する送信部と、
他の走行車が現在位置で減速を開始した場合に停止することが可能な第２停止可能位置に関する第２情報を周期的に受信する受信部と、
前記他の走行車との間に別の走行車が存在しない状態で前記他の走行車の後方を前記軌道に沿って走行している場合に、前記第２情報に基づいて、自車の走行における目的地である目的位置を周期的に更新する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第２停止可能位置に停止した場合における前記他の走行車の後端が前記目的位置に停止した場合における自車の前端の前方に位置するように、前記目的位置を決定する、走行車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行車システム及び走行車に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載の走行制御システムでは、複数の走行車のそれぞれが、現在位置を示す位置情報を地上コントローラに送信し、地上コントローラが、一定の車間距離で且つ一定の速度で同期して走行するように複数の走行車を制御している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２０５１０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このように、走行車システムでは、単位時間に単位区間を走行する走行車の台数を増加させる観点から、例えば、２台の走行車が、それらの間に別の走行車が存在しない状態（以下、「連続した状態」という場合がある）で軌道に沿って走行している場合に、２台の走行車間の距離が短くなったときであっても、後方の走行車が停止せずに前方の走行車に追従して走行すること（以下、「追従走行」という場合がある）が求められる。
【０００５】
そこで、本発明は、連続した状態で走行する少なくとも２台の走行車間の距離が短くなった場合であっても、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の追従走行を実現することができる走行車システム及び走行車を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の走行車システムは、軌道に沿って走行する第１走行車と、第１走行車との間に別の走行車が存在しない状態で第１走行車の後方を軌道に沿って走行する第２走行車と、を備え、第１走行車は、現在位置で減速を開始した場合に停止することが可能な第１停止可能位置に関する第１情報を周期的に送信する第１送信部を有し、第２走行車は、第１情報を周期的に受信する第１受信部と、第１情報に基づいて、第２走行車の走行における目的地である第１目的位置を周期的に更新する第１制御部と、を有し、第１制御部は、第１停止可能位置に停止した場合における第１走行車の後端が第１目的位置に停止した場合における第２走行車の前端の前方に位置するように、第１目的位置を決定する。
【０００７】
この走行車システムでは、連続した状態で走行する第１走行車及び第２走行車のうち、後方の第２走行車において、第２走行車の走行における目的地である第１目的位置が周期的に更新される。このとき、第１目的位置は、第１停止可能位置に停止した場合における第１走行車の後端が第１目的位置に停止した場合における第２走行車の前端の前方に位置するように決定される。これにより、第１走行車と第２走行車との間の距離が短くなったときであっても、後方の第２走行車は、停止せずに前方の第１走行車に追従して走行することができる。仮に前方の第１走行車が急停止した場合であっても、後方の第２走行車は、前方の第１走行車と干渉せずに停止することができる。よって、この走行車システムによれば、連続した状態で走行する少なくとも２台の走行車間の距離が短くなった場合であっても、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の追従走行を実現することができる。
【０００８】
本発明の走行車システムでは、第１情報は、第１停止可能位置を示す情報、又は、第１走行車の現在位置及び現在速度を示す情報であってもよい。いずれの場合にも、第１情報に基づいて、第２走行車の走行における目的地である第１目的位置を周期的に更新することができる。
【０００９】
本発明の走行車システムは、管轄エリア内に存在する複数の走行車のそれぞれと通信する制御装置を更に備え、制御装置は、第１情報を周期的に受信する受信部と、第１情報を複数の走行車に周期的にブロードキャスト配信する送信部と、を有し、第２走行車は、第１走行車を識別する識別部を更に有してもよい。この場合、管轄エリア内に存在する複数の走行車のそれぞれに、第１停止可能位置に関する第１情報が一斉に配信されるため、第１走行車が第１情報を送信した後速やかに、当該第１情報を複数の走行車のそれぞれが受信することができる。後方の第２走行車は、前方の第１走行車を識別する識別部を有するため、第１走行車から送信された第１情報に基づいて、第２走行車の走行における目的地である第１目的位置を適切に更新することができる。このように、ブロードキャスト配信による第１情報の即時性、及び前方の第１走行車に対応する第１情報の識別性の両方を確保することができる。
【００１０】
本発明の走行車システムでは、第１走行車は、第１走行車であることを示す識別情報を表示する表示部を更に有し、第２走行車は、表示部を検知する検知部を更に有し、識別部は、検知部によって検知された表示部に含まれる識別情報に基づいて、第１走行車を識別してもよい。この場合、後方の第２走行車は、前方の第１走行車を容易に且つ確実に識別することができる。
【００１１】
本発明の走行車システムは、第２走行車との間に別の走行車が存在しない状態で第２走行車の後方を軌道に沿って走行する第３走行車を更に備え、第２走行車は、現在位置で減速を開始した場合に停止することが可能な第２停止可能位置に関する第２情報を周期的に送信する第２送信部を有し、第３走行車は、第２情報を周期的に受信する第２受信部と、第２情報に基づいて、第３走行車の走行における目的地である第２目的位置を周期的に更新する第２制御部と、を有し、第２制御部は、第２停止可能位置に停止した場合における第２走行車の後端が第２目的位置に停止した場合における第３走行車の前端の前方に位置するように、第２目的位置を決定してもよい。これにより、連続した状態で走行する少なくとも３台の走行車について、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の追従走行を実現することができる。
【００１２】
本発明の走行車は、軌道に沿って走行する走行車であって、自車が現在位置で減速を開始した場合に停止することが可能な第１停止可能位置に関する第１情報を周期的に送信する送信部と、他の走行車が現在位置で減速を開始した場合に停止することが可能な第２停止可能位置に関する第２情報を周期的に受信する受信部と、他の走行車との間に別の走行車が存在しない状態で他の走行車の後方を軌道に沿って走行している場合に、第２情報に基づいて、自車の走行における目的地である目的位置を周期的に更新する制御部と、を備え、制御部は、第２停止可能位置に停止した場合における他の走行車の後端が目的位置に停止した場合における自車の前端の前方に位置するように、目的位置を決定する。
【００１３】
この走行車によれば、上述したように、連続した状態で走行する少なくとも２台の走行車間の距離が短くなった場合であっても、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の追従走行を実現することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、連続した状態で走行する少なくとも２台の走行車間の距離が短くなった場合であっても、走行車同士の干渉を防止しつつ走行車の追従走行を実現することができる走行車システム及び走行車を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】一実施形態の走行車システムの構成図である。
【図２】図１の走行車システムの走行車の構成図である。
【図３】図１の走行車システムの走行車コントローラの構成図である。
【図４】図１の走行車システムにおいて実施される追従走行を説明するための図である。
【図５】図１の走行車システムにおいて実施される追従走行を説明するための図である。
【図６】図１の走行車システムにおいて実施される追従走行を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［走行車システムの構成］
【００１７】
図１に示されるように、走行車システム１は、軌道１０と、複数の走行車２０と、コントローラ５０と、を備えている。軌道１０は、複数の処理装置１００を備える半導体製造工場の天井付近に敷設されている。走行車２０は、ＯＨＴ（Overhead  Hoist  Transfer）であり、軌道１０に吊り下げられた状態で軌道１０に沿って一方向に走行する。ただし、走行車２０は、軌道１０の一部において往復移動する場合もある。走行車２０は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）９０を各処理装置１００のロードポート１０１に対して搬送する。コントローラ５０は、各走行車２０と通信し、各走行車２０の動作を制御する。
【００１８】
以下、走行車２０が軌道１０に沿って一方向に走行する場合の進行方向を基準として、「下流」及び「上流」、「前」及び「後」、並びに、「合流」及び「分岐」という用語を用いる。
【００１９】
軌道１０は、複数の区間を有している。軌道１０は、一つの区間が複数の区間に分岐する分岐点、及び、複数の区間が一つの区間に合流する合流点を有している。図１に示される例では、軌道１０は、区間１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅによって構成された部分を含んでいる。区間１０ａ及び区間１０ｂは、合流点１１ａにおいて区間１０ｃに合流している。区間１０ｃ及び区間１０ｄは、合流点１１ｂにおいて区間１０ｅに合流している。
【００２０】
走行車２０は、ＦＯＵＰ９０をロードポート１０１に対して移載する移載機構を有している。移載機構は、例えば、ＦＯＵＰ９０を把持する把持部、及び、把持部を昇降させる昇降機構によって構成されている。これにより、ロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載可能な位置に停止した走行車２０は、移載機構を動作させることで、ロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載することができる。なお、ロードポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の移載とは、走行車２０が保持（積載）しているＦＯＵＰ９０をロードポート１０１に供給（荷おろし）する場合と、ロードポート１０１に載置されているＦＯＵＰ９０を走行車２０が取得（荷つかみ）する場合と、を含む。
【００２１】
コントローラ５０は、搬送コントローラ５０Ａと、走行車コントローラ５０Ｂと、を有している。搬送コントローラ５０Ａは、走行車コントローラ５０Ｂに対する上位コントローラである。搬送コントローラ５０Ａは、製造コントローラ（不図示）及び走行車コントローラ５０Ｂのそれぞれと通信する。製造コントローラは、各処理装置１００と通信し、各処理装置１００のロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を搬送する搬送要求を搬送コントローラ５０Ａに送信する。搬送要求が存在することを搬送コントローラ５０Ａが把握すると、走行車コントローラ５０Ｂは、軌道１０において予め設定された管轄エリア内に存在するいずれかの走行車２０に対して、当該搬送要求に対応する搬送指令を割り付ける。
【００２２】
搬送コントローラ５０Ａ、走行車コントローラ５０Ｂ及び製造コントローラのそれぞれは、例えば、プロセッサ、メモリ、ストレージ、及び通信デバイス等を含むコンピュータ装置として構成される。各コントローラにおいて、プロセッサが、メモリ等に読み込まれた所定のソフトウェア（プログラム）を実行し、メモリ及びストレージにおけるデータの読み出し及び書き込み、並びに通信デバイスによるコントローラ間での通信を制御することによって、各コントローラの機能が実現される。
【００２３】
図２に示されるように、走行車２０は、送信部２３と、受信部２４と、制御部２５と、を備えている。送信部２３は、走行車コントローラ５０Ｂに各種の情報を送信する。受信部２４は、走行車コントローラ５０Ｂから各種の情報を受信する。制御部２５は、自車の走行を制御する。
【００２４】
本実施形態では、送信部２３は、自車の停止可能位置を示す情報（第１停止可能位置に関する第１情報）を周期的に送信する。具体的には、ポーリング通信によって受信部２４が走行車コントローラ５０Ｂから状態要求を受信する度に、送信部２３は、自車の停止可能位置を示す情報を含む状態報告を送信する。自車の停止可能位置は、自車が現在位置で減速を開始した場合に停止することが可能な位置である。例えば、自車の停止可能位置は、自車が現在位置から急停止する場合の停止位置であり、換言すれば、自車が現在位置から減速を開始して停止し得る最も近い停止位置である。自車の停止可能位置を示す情報は、自車の制御部２５によって、自車の現在位置、現在速度（現在の実際の速度）及び制動能力（制動時の減速度）に基づいて算出される。なお、ポーリング通信は、例えば、軌道１０に沿って設けられた信号線（フィーダ線）を介して行われる。
【００２５】
受信部２４は、他の走行車２０の停止可能位置を示す情報（第２停止可能位置に関する第２情報）を周期的に受信する。具体的には、ポーリング通信によって走行車コントローラ５０Ｂが他の走行車２０の状態報告を受信し、走行車コントローラ５０Ｂが、他の走行車２０の停止可能位置を示す情報を送信する度に、受信部２４は、他の走行車２０の停止可能位置を示す情報を受信する。他の走行車２０の停止可能位置は、当該他の走行車２０が現在位置で減速を開始した場合に停止することが可能な位置である。例えば、他の走行車２０の停止可能位置は、他の走行車２０が現在位置から急停止する場合の停止位置であり、換言すれば、他の走行車２０が現在位置から減速を開始して停止し得る最も近い停止位置である。他の走行車２０の停止可能位置を示す情報は、当該他の走行車２０の制御部２５によって、他の走行車２０の現在位置、現在速度及び制動能力に基づいて算出される。
【００２６】
制御部２５は、自車と他の走行車２０との間に別の走行車２０が存在しない状態で自車が他の走行車２０の後方を軌道１０に沿って走行している場合に、目的位置を周期的に更新する。具体的には、前方を走行する他の走行車２０の停止可能位置を示す情報を受信部２４が受信する度に、制御部２５は、当該情報に基づいて目的位置を更新する。目的位置は、自車の走行における目的地である。制御部２５は、自車が目的位置まで走行し当該目的位置に停止することができるように、自車の走行を制御する。目的位置の決定の仕方については後述する。
【００２７】
走行車２０は、表示部２６と、検知部２７と、識別部２８と、を更に備えている。表示部２６は、自車の識別情報を表示する。表示部２６は、例えば、走行車２０の後端に設けられたバーコードである。検知部２７は、前方を走行する他の走行車２０の表示部２６を検知する。検知部２７は、例えば、前方を撮像するカメラである。識別部２８は、検知部２７によって検知された表示部２６（前方を走行する他の走行車２０の表示部２６）に含まれる識別情報に基づいて、前方を走行する他の走行車２０を識別する。
【００２８】
上述した送信部２３、受信部２４、制御部２５及び識別部２８は、走行車２０のコントローラに設けられている。当該コントローラは、例えば、プロセッサ、メモリ、ストレージ、及び通信デバイス等を含むコンピュータ装置として構成される。当該コントローラにおいて、プロセッサが、メモリ等に読み込まれた所定のソフトウェア（プログラム）を実行し、メモリ及びストレージにおけるデータの読み出し及び書き込み、並びに通信デバイスによるコントローラ間での通信を制御することによって、当該コントローラの機能が実現される。
【００２９】
図３に示されるように、走行車コントローラ（制御装置）５０Ｂは、受信部５１と、送信部５２と、を備えている。受信部５１は、搬送コントローラ５０Ａ、及び、管轄エリア内に存在する走行車２０（１台の場合も複数の場合もある。以下、同じ。）から各種の情報を受信する。送信部５２は、搬送コントローラ５０Ａ、及び、管轄エリア内に存在する走行車２０に各種の情報を送信する。
【００３０】
本実施形態では、受信部５１は、管轄エリア内に存在する走行車２０の停止可能位置を示す情報を周期的に受信する。具体的には、ポーリング通信によって、管轄エリア内に存在する走行車２０が、自車の停止可能位置を示す情報を含む状態報告を送信する度に、受信部５１は、当該情報を含む状態報告を受信する。
【００３１】
送信部５２は、管轄エリア内に存在する走行車２０の停止可能位置を示す情報を、管轄エリア内に存在する他の走行車２０に周期的に送信する。具体的には、ポーリング通信によって、受信部５１が、管轄エリア内に存在する走行車２０から状態報告を受信する度に、送信部５２は、当該状態報告に含まれる停止可能位置を示す情報を、管轄エリア内に存在する他の走行車２０に送信する。管轄エリア内に複数の走行車２０が存在する場合には、送信部５２は、停止可能位置を示す情報をブロードキャスト配信する（すなわち、管轄エリア内に存在する複数の走行車２０に一斉配信する）。
［走行車システムにおいて実施される追従走行］
【００３２】
走行車システム１では、以下に説明する追従走行が実施される。一例として、図４の（ａ）に示されるように、２台の走行車２０が、連続した状態（すなわち、それらの間に別の走行車２０が存在しない状態）で軌道１０に沿って走行している場合について説明する。説明の便宜上、前方を走行する走行車２０を走行車（第１走行車）２１とし、後方を走行する走行車２０を走行車（第２走行車）２２とする。
【００３３】
図４の（ａ）及び（ｂ）に示されるように、後方の走行車２２が、前方の走行車２１との距離（車間距離）を周期的に計測する。当該距離の計測は、各走行車２０が備える車間距離センサによって実施される。このとき、前方の走行車２１の送信部（第１送信部）２３は、前方の走行車２１の停止可能位置を示す情報（第１停止可能位置に関する第１情報）を周期的に送信している。一方、後方の走行車２２の受信部（第１受信部）２４は、走行車コントローラ５０Ｂによるブロードキャスト配信を受信することで、前方の走行車２１の停止可能位置を示す情報を周期的に受信している。
【００３４】
そして、図４の（ｂ）に示されるように、連続した状態で走行する２台の走行車２１，２２間の距離が所定値ｄ以下になると、後方の走行車２２が、自車の走行における目的地である目的位置（第１目的位置）の周期的な更新を開始し、前方の走行車２１に対する追従走行が開始される。具体的には、後方の走行車２２の検知部２７が、前方の走行車２１の表示部２６を検知し、後方の走行車２２の識別部２８が、前方の走行車２１の表示部２６に含まれる識別情報に基づいて、前方の走行車２１を識別する。これにより、後方の走行車２２の制御部（第１制御部）２５は、連続した状態で前方を走行する走行車２０が走行車２１であると認識し、前方の走行車２１の停止可能位置を示す情報に基づいて目的位置の周期的な更新を開始する。
【００３５】
図５の（ａ）及び（ｂ）に示されるように、後方の走行車２２の制御部２５は、停止可能位置Ｐ１に停止した場合における前方の走行車２１の後端２１ａが、目的位置Ｐ２に停止した場合における後方の走行車２２の前端２２ａの前方に位置するように、目的位置Ｐ２を決定する。後方の走行車２２の制御部２５は、前方の走行車２１の停止可能位置Ｐ１が周期的に更新されるのに応じて、後方の走行車２２の目的位置Ｐ２を周期的に更新する。これにより、後方の走行車２２は、前方の走行車２１が走行し続ける限り、前方の走行車２１に対して追従走行する（すなわち、後方の走行車２２が停止せずに前方の走行車２１に追従して走行する）。なお、走行方向における走行車２０の寸法に基づいて、停止可能位置Ｐ１と目的位置Ｐ２との距離が予め定められていてもよい。
【００３６】
そして、図６の（ａ）及び（ｂ）に示されるように、連続した状態で走行する２台の走行車２１，２２間の距離が所定値ｄを超えると、後方の走行車２２が目的位置の周期的な更新を終了し、前方の走行車２１に対する追従走行が終了される。
［作用及び効果］
【００３７】
以上説明したように、走行車システム１では、連続した状態で走行する２台の走行車２０，２０のうち、後方の走行車２０において、後方の走行車２０の走行における目的地である目的位置が周期的に更新される。このとき、目的位置は、停止可能位置に停止した場合における前方の走行車２０の後端が目的位置に停止した場合における後方の走行車２０の前端の前方に位置するように決定される。これにより、連続した状態で走行する２台の走行車２０，２０間の距離が短くなったときであっても、後方の走行車２０は、前方の走行車２０が走行し続ける限り、停止せずに前方の走行車２０に追従して走行することができる。仮に前方の走行車２０が急停止した場合であっても、後方の走行車２０は、前方の走行車２０と干渉せずに停止することができる。よって、走行車システム１及び走行車２０によれば、連続した状態で走行する２台の走行車２０，２０間の距離が短くなった場合であっても、走行車２０同士の干渉を防止しつつ後方の走行車２０の追従走行を実現することができる。
【００３８】
走行車システム１では、走行車コントローラ５０Ｂの受信部５１が、管轄エリア内に存在する走行車２０から、停止可能位置を示す情報を周期的に受信し、走行車コントローラ５０Ｂの送信部５２が、管轄エリア内に存在する走行車２０に、停止可能位置を示す情報を周期的にブロードキャスト配信する。これにより、管轄エリア内に存在する複数の走行車２０のそれぞれに、停止可能位置を示す情報が一斉に配信される。そのため、前方の走行車２０が、停止可能位置を示す情報を送信した後速やかに、当該情報を複数の走行車２０のそれぞれが受信することができる。そして、走行車２０の識別部２８が、前方の走行車２０を識別する。これにより、前方の走行車２０の停止可能位置を示す情報に基づいて、後方の走行車２０の走行における目的地である目的位置を適切に更新することができる。このように、ブロードキャスト配信による情報の即時性、及び前方の走行車２０に対応する情報の識別性の両方を確保することができる。
【００３９】
走行車システム１では、前方の走行車２０の表示部２６が、当該前方の走行車２０（すなわち、自車）であることを示す識別情報を表示する。そして、後方の走行車２０の検知部２７が、前方の走行車２０の表示部２６を検知し、走行車２０の識別部２８が、検知部２７によって検知された表示部２６に含まれる識別情報に基づいて、前方の走行車２０を識別する。これにより、後方の走行車２０は、前方の走行車２０を容易に且つ確実に識別することができる。なお、上述した追従走行は、後方の走行車２０の車間距離センサによらず、後方の走行車２０の検知部２７が前方の走行車２０の表示部２６を検知したことをトリガとして開始されてもよい。
【００４０】
なお、３台以上の走行車２０が、連続した状態で軌道１０に沿って走行している場合であっても、連続した状態で走行する２台の走行車２０，２０において、上述した追従走行が実施される。すなわち、図４〜図６に示される例において、後方の走行車２２の後方を連続した状態で他の走行車（第３走行車）２０が走行している場合、後方の走行車２２の送信部（第２送信部）２３が、後方の走行車２２の停止可能位置を示す情報（第２停止可能位置に関する第２情報）を周期的に送信する。そして、更に後方の他の走行車２０の受信部（第２受信部）２４が、後方の走行車２２の停止可能位置を示す情報を周期的に受信し、当該他の走行車２０の制御部（第２制御部）２５が、当該情報に基づいて、当該他の走行車２０の目的位置（第２目的位置）を周期的に更新する。これにより、連続した状態で走行する３台以上の走行車２０についても、走行車２０同士の干渉を防止しつつ走行車２０の追従走行を実現することができる。
［変形例］
【００４１】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されない。
【００４２】
上記実施形態では、走行車２０の停止可能位置に関する情報として、走行車２０の停止可能位置を示す情報が用いられたが、本発明は、これに限定されない。例えば、走行車２０の停止可能位置に関する情報として、走行車２０の現在位置及び現在速度を示す情報が用いられてもよい。すなわち、送信部２３は、自車の現在位置及び現在速度を示す情報を周期的に送信してもよい。その場合、走行車コントローラ５０Ｂ、又は後方の走行車２０の制御部２５が、前方の走行車２０の現在位置、現在速度及び制動能力に基づいて、前方の走行車２０の停止可能位置を算出することができる。
【００４３】
また、上記実施形態では、後方の走行車２０の受信部２４が、走行車コントローラ５０Ｂの受信部５１及び送信部５２を介して、前方の走行車２０の送信部２３から、走行車２０の停止可能位置に関する情報を取得したが、本発明は、これに限定されない。例えば、後方の走行車２０の受信部２４が、走行車コントローラ５０Ｂの受信部５１及び送信部５２を介さずに、前方の走行車２０の送信部２３から、走行車２０間の直接通信によって、走行車２０の停止可能位置に関する情報を取得してもよい。
【００４４】
また、上記実施形態では、走行車２０の識別部２８が、検知部２７によって検知された表示部２６に含まれる識別情報に基づいて、前方の走行車２０を識別したが、本発明は、これに限定されない。例えば、走行車２０が表示部２６及び検知部２７を備えていなくても、走行車２０の識別部２８が、走行車コントローラ５０Ｂから前方の走行車２０の識別情報を取得することで、前方の走行車２０を識別してもよい。
【００４５】
上記実施形態では、搬送コントローラ５０Ａが有する機能の一部又は全部を走行車コントローラ５０Ｂが有していてもよく、走行車コントローラ５０Ｂが有する機能の一部又は全部を搬送コントローラ５０Ａが有していてもよい。或いは、１つのコントローラが、搬送コントローラ５０Ａ及び走行車コントローラ５０Ｂの有する機能を有していてもよい。
【００４６】
走行車システム１において搬送される物品は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ９０に限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、走行車システム１は、半導体製造工場以外の施設にも適用可能である。また、走行車２０は、ＯＨＴに限定されず、軌道１０に沿って走行することができる装置であればよい。
【符号の説明】
【００４７】
１…走行車システム、１０…軌道、２０…走行車（第３走行車）、２１…走行車（第１走行車）、２１ａ…後端、２２…走行車（第２走行車）、２２ａ…前端、２３…送信部（第１送信部、第２送信部）、２４…受信部（第１受信部、第２受信部）、２５…制御部（第１制御部、第２制御部）、２６…表示部、２７…検知部、２８…識別部、５０Ｂ…走行車コントローラ（制御装置）、５１…受信部、５２…送信部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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