(57)【要約】【課題】互いに貼り合わされる二つのパネルの管理を容易化すること。【解決手段】第一の作業領域において第一のパネルに接着剤を塗布し、第二の作業領域において接着剤が塗布された第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造システムであり、第一の作業領域に配置され、第一および第二のパネルを搬送する第一の搬送装置、第一の作業領域に配置され、第一の搬送装置により搬送される第一のパネルに接着剤を塗布する塗布装置、第二の作業領域に配置され、第一および第二のパネルを貼り合わせる貼合装置、第二の作業領域に配置され、貼合装置に第一および第二のパネルを搬送する第二の搬送装置を備える。第一および第二の搬送装置は、貼り合わせる第一のパネルと第二のパネルとをセットにして搬送する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の作業領域において第一のパネルに接着剤を塗布し、第二の作業領域において前記接着剤が塗布された前記第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造システムであって、
前記第一の作業領域に配置され、前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを搬送する第一の搬送装置と、
前記第一の作業領域に配置され、前記第一の搬送装置により搬送される前記第一のパネルに前記接着剤を塗布する塗布装置と、
前記第二の作業領域に配置され、前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを貼り合わせる貼合装置と、
前記第二の作業領域に配置され、前記貼合装置に前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを搬送する第二の搬送装置と、
を備え、
前記第一の搬送装置及び前記第二の搬送装置は、
貼り合わせる前記第一のパネルと前記第二のパネルとをセットにして搬送する、
ことを特徴とする製造システム。
【請求項２】
請求項１に記載の製造システムであって、
前記第一の搬送装置の搬送を制御する第一の制御装置を更に備え、
前記第一の搬送装置は、
複数の前記第一のパネルを第一の搬送方向に間欠的に搬送する第一の搬送機構と、
複数の前記第二のパネルを前記第一の搬送方向に間欠的に搬送する第二の搬送機構と、を備え、
前記第一の制御装置は、
前記第一の搬送機構の搬送動作に伴って前記第二の搬送機構の搬送動作を制御する、
ことを特徴とする製造システム。
【請求項３】
請求項１に記載の製造システムであって、
前記第二の搬送装置は、
所定の移動経路に沿って移動する移動ユニットと、
前記移動ユニットに搭載され、前記第一のパネル及び第二のパネルを保持する保持ユニットと、を備え、
前記貼合装置は、前記移動経路に沿って複数設けられる、
ことを特徴とする製造システム。
【請求項４】
請求項３に記載の製造システムであって、
前記第二の搬送装置の搬送を制御する第二の制御装置を更に備え、
前記第二の制御装置は、
それぞれの前記貼合装置の貼り合わせ状況に基づいて、搬送している前記第一のパネルおよび前記第二のパネルの貼り合わせを行う前記貼合装置を選択し、選択した前記貼合装置に前記第一のパネルおよび前記第二のパネルの組を前記第二の搬送装置により搬送させる、
ことを特徴とする製造システム。
【請求項５】
請求項３に記載の製造システムであって、
前記第一の搬送装置と前記第二の搬送装置との間に配置され、前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを一時的に保持する中継ユニットと、
前記第一の搬送装置から前記中継ユニットへ前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを移載する移載装置と、を備え、
前記第二の搬送装置における前記保持ユニットは、前記中継ユニットから前記第一のパネルおよび前記第二のパネルの組を取り出し、それらをいずれかの前記貼合装置に供給する、
ことを特徴とする製造システム。
【請求項６】
請求項５に記載の製造システムであって、
前記中継ユニットは、前記移載装置により移載された前記第一のパネルまたは前記第二のパネルの表裏を反転させる反転機構を備える、
ことを特徴とする製造システム。
【請求項７】
請求項３に記載の製造システムであって、
前記第一の搬送装置から前記第二の搬送装置へ前記第一のパネルおよび前記第二のパネルの組を移載する移載装置と、
前記第二の作業領域に配置され、前記移載装置から前記第一のパネルおよび前記第二のパネルの組を受け取り、それらの内のいずれか一方のパネルを表裏反転させる反転機構と、を更に備える、
ことを特徴とする製造システム。
【請求項８】
請求項５または請求項７に記載の製造システムであって、
前記移載装置は、
前記移動経路と交差する第二の移動経路を移動する第二の移動ユニットと、
前記第二の移動ユニットに搭載され、前記第一のパネル及び前記第二のパネルの組を保持する第二の保持ユニットと、を備える、
ことを特徴とする製造システム。
【請求項９】
請求項５または請求項６に記載の製造システムであって、
前記中継ユニットは、
前記第一のパネルの向きを変更する第一の回転機構と、
前記第二のパネルの向きを変更する第二の回転機構と、を備える、
ことを特徴とする製造システム。
【請求項１０】
請求項６に記載の製造システムであって、
前記貼合装置は、
前記第二の搬送装置から前記第一のパネルおよび前記第二のパネルが投入される投入部と、
投入された前記第一のパネルを支持する第一貼合支持部と、
前記第一のパネルと貼り合わせ面が対向した状態で、投入された前記第二のパネルを支持する第二貼合支持部と、
前記第一のパネルと前記第二のパネルとが接近または離間する方向に、前記第一貼合支持部または前記第二貼合支持部のいずれか一方を移動し、これらを貼り合わせる押圧移動機構と、
貼り合わせられた前記第一のパネルおよび前記第二のパネルが取り出される取出部と、を備える、
ことを特徴とする製造システム。
【請求項１１】
請求項１に記載の製造システムであって、
前記塗布装置と、該塗布装置に接着剤を供給する供給装置とを予め定められたそれぞれの支持位置で支持する共通の第一の支持体を更に備え、
前記塗布装置は、接着剤を吐出する塗布ヘッドを含み、
前記供給装置は、
前記接着剤を貯留する貯留部と、
前記貯留部から前記塗布ヘッドに供給される接着剤の供給路と、を含み、
前記第一の支持体は、前記供給路を複数の部位で支持する、
ことを特徴とする製造システム。
【請求項１２】
請求項１１に記載の製造システムであって、
前記貼合装置と、該貼合装置の内部の貼合作業空間を減圧する減圧装置とを予め定められたそれぞれの支持位置で支持する共通の第二の支持体を更に備え、
前記貼合装置は、前記貼合作業空間を形成するチャンバ部を含み、
前記減圧装置は、減圧発生部と、該減圧発生部と前記チャンバ部とを接続する減圧路とを含み、
前記第二の支持体は、前記減圧路を複数の部位で支持する、
ことを特徴とする製造システム。
【請求項１３】
第一の作業領域において第一のパネルに接着剤を塗布し、第二の作業領域において前記接着剤が塗布された前記第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造方法あって、
前記第一の作業領域において、前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを搬送する第一の搬送工程と、
前記第一の作業領域において、前記第一の搬送工程により搬送される前記第一のパネルに前記接着剤を塗布する塗布工程と、
前記第二の作業領域において、前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを搬送する第二の搬送工程と、
前記第二の作業領域において、前記第二の搬送工程により搬送された記第一のパネルおよび前記第二のパネルを貼り合わせる貼合工程と、を備え、
前記第一の搬送工程及び前記第二の搬送工程では、
貼り合わせる前記第一のパネルと前記第二のパネルとをセットにして搬送する、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の製造方法であって、
前記第一の搬送工程は、セットにして搬送する前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを搬送方向左右に並列で搬送させる水平並列搬送工程を含み、
前記第二の搬送工程は、セットにして搬送する前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを搬送方向上下に並列で搬送させる垂直並列搬送工程を含む、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の製造方法であって、
前記塗布工程の前に、前記第一のパネルの厚みを計測する第一の計測工程を更に備え、
前記塗布工程では、前記第一の計測工程の計測結果に基づいて予め設定された膜厚で前記第一のパネルに前記接着剤を膜状に塗布する、
ことを特徴とする製造方法。
【請求項１６】
請求項１３に記載の製造方法であって、
前記塗布工程の後に、前記第一のパネルに塗布された前記接着剤の膜厚を計測する第二の計測工程を更に備える、
ことを特徴とする製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パネル同士を貼り合わせて積層体を製造する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置は、表示面を保護するカバーパネルが表示パネルに貼り付けられて製造されている。このように二つのパネル同士を貼り合わせて積層体を製造するシステムとして、特許文献１や特許文献２のシステムが提案されている。特許文献１や特許文献２には、一方のパネルを搬送する装置と、他方のパネルを搬送する装置と、パネル同士を貼り合わせる装置と、を備える生産ラインが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−００８９８５号公報
【特許文献２】特許第５４９５８４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
積層体の製造過程で、貼り合わせ前の一方のパネルに異常が認められた場合、そのパネルは生産ラインから取り除かれる。仮に、予め準備されている二つのパネルの各総数が同じであった場合、パネルに不足または過剰が生じることになる。また、互いに貼り付けられる二つのパネルのロット番号の組み合わせも変動し得る。したがって、従来のシステムは、パネルの管理に関して改善の余地がある。
【０００５】
本発明の目的は、互いに貼り合わされる二つのパネルの管理を容易化することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、
第一の作業領域において第一のパネルに塗布液を塗布し、第二の作業領域において前記塗布液が塗布された前記第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造システムであって、
前記第一の作業領域に配置され、前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを搬送する第一の搬送装置と、
前記第一の作業領域に配置され、前記第一の搬送装置により搬送される前記第一のパネルに前記塗布液を塗布する塗布装置と、
前記第二の作業領域に配置され、前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを貼り合わせる貼合装置と、
前記第二の作業領域に配置され、前記貼合装置に前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを搬送する第二の搬送装置と、
を備え、
前記第一の搬送装置及び前記第二の搬送装置は、
貼り合わせる前記第一のパネルと前記第二のパネルとをセットにして搬送する、
ことを特徴とする製造システムが提供される。
【０００７】
また、本発明によれば、
第一の作業領域において第一のパネルに塗布液を塗布し、第二の作業領域において前記塗布液が塗布された前記第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造方法あって、
前記第一の作業領域において、前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを搬送する第一の搬送工程と、
前記第一の作業領域において、前記第一の搬送工程により搬送される前記第一のパネルに前記塗布液を塗布する塗布工程と、
前記第二の作業領域において、前記第一のパネルおよび前記第二のパネルを搬送する第二の搬送工程と、
前記第二の作業領域において、前記第二の搬送工程により搬送された記第一のパネルおよび前記第二のパネルを貼り合わせる貼合工程と、を備え、
前記第一の搬送工程及び前記第二の搬送工程では、
貼り合わせる前記第一のパネルと前記第二のパネルとをセットにして搬送する、
ことを特徴とする製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、互いに貼り合わされる二つのパネルの管理を容易化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係る製造システムの斜視図。
【図２】図１の製造システムの前半部分の概略を示す斜視図。
【図３】移載ロボットの斜視図。
【図４】搬送装置周辺の斜視図。
【図５】計測装置の斜視図。
【図６】塗布装置の斜視図。
【図７】計測装置の斜視図。
【図８】搬送装置の斜視図。
【図９】搬送動作の説明図。
【図１０】供給装置の説明図。
【図１１】供給装置の説明図。
【図１２】図１の製造システムの後半部分の概略を示す斜視図。
【図１３】中継ユニットの斜視図。
【図１４】パネルの搬送動作の説明図。
【図１５】貼合装置のレイアウトを示す図。
【図１６】貼合装置の斜視図。
【図１７】図１６の貼合装置の上側部分の斜視図。
【図１８】図１６の貼合装置の下側部分の斜視図。
【図１９】減圧装置の説明図。
【図２０】減圧装置の説明図。
【図２１】図１６の貼合装置の動作説明図。
【図２２】図１の製造システムの制御系のブロック図。
【図２３】パネルの搬送例を示す説明図。
【図２４】パネルの搬送例を示す説明図。
【図２５】パネルの搬送例を示す説明図。
【図２６】システムの他のレイアウト例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図中、矢印Ｘ、Ｙ、Ｚは互いに直交する方向を示し、矢印Ｚは上下方向（高さ方向）を示し、矢印Ｘおよび矢印Ｙは互いに直交する水平方向を示している。
【００１１】
＜システムの概要＞
図１は本発明の一実施形態に係る製造システム１の斜視図である。製造システム１は二つのパネルを貼り合わせて積層体を製造するシステムである。本実施形態のシステムは、液晶表示パネルとそのカバーガラスとを貼り合わせるシステムであるが、他の種類のパネル同士を貼り合わせるシステムにも本発明は適用可能である。
【００１２】
製造システム１の構成は、前半の作業領域Ｒ１と、後半の作業領域Ｒ２とに大別される。貼り合わされる二つのパネルは概ねＸ方向に搬送されて順次処理される。以下の説明において上流側、下流側とはＸ方向で見てパネルの搬送方向の上流側、下流側を意味する。作業領域Ｒ１では、主に、一方のパネルに塗布液を塗布する作業を行う。作業領域Ｒ２では塗布液が塗布された一方のパネルと、他方のパネルとの貼合作業を行う。以下、作業領域Ｒ１、Ｒ２に配置される構成について順に説明する。
【００１３】
＜作業領域Ｒ１＞
図１および図２を参照して作業領域Ｒ１に配置される構成について説明する。作業領域Ｒ１には、投入台１０Ａ、１０ＢがＹ方向に離間して並設されている。貼り合わせられる一方のパネルＰ１は投入台１０Ａに、他方のパネルＰ２は投入台１０Ｂに、それぞれ、前工程から搬送されて載置される。本実施形態の場合、パネルＰ１はカバーガラスであり、パネルＰ２は液晶表示パネルである。投入台１０Ａ、１０Ｂには例えば複数のピンが立設され、パネルは複数のピン上に載置される。
【００１４】
作業領域Ｒ１には支持体２が設けられている。支持体２は、作業領域Ｒ１に配置される各装置を支持するベースであり、本実施形態の場合、枠体として構成されている。支持体２には移載装置１１、搬送装置ＣＶ１、計測装置１４、塗布装置１５、照射装置１６、移載装置１９が配置されている。
【００１５】
移載装置１１は投入台１０Ａ、１０Ｂの下流側に配置され、更にその下流側には搬送装置ＣＶ１が配置されている。移載装置１１は、投入台１０Ａ、１０ＢからパネルＰ１、Ｐ２を搬送装置ＣＶ１へそれぞれ移載する。なお、詳細に述べればパネルＰ１は後述する計測装置１４を経由して搬送機構１２へ移載される。
【００１６】
図３は移載装置１１を構成する移載ロボットＲＢの斜視図である。移載ロボットＲＢは、移動ユニット４と、台座ユニット６と、台座ユニット６を介して移動ユニット４に搭載された保持ユニット５Ａおよび５Ｂとを含む。移動ユニット４はレールＲＬと係合され、され、後述するモータＭの駆動によって移動経路上を移動する。移載装置１１の場合、レールＲＬはＹ方向に設定されており、したがって移動経路はＹ方向である。本実施形態の場合、移動ユニット４は、モータＭを駆動源として回転されるボールねじ軸ＳＣと係合するボールナットに接続される。ボールねじ軸ＳＣはＹ方向に沿って延接され、前述したレールＲＬはこのボールねじ軸ＳＣと平行に設けられる。モータＭの回転によって移動ユニット４がレールＲＬ上を往復移動される。移動ユニット４の駆動機構はこのようなボールねじ機構に限られず、ラックピニオン機構等種々の駆動機構を採用することができる。何らかの構成を移動させる後述する各機構も同様である。
【００１７】
移動ユニット４には台座ユニット６のＺ軸方向の昇降とＺ軸周りの旋回とを行う駆動機構が内蔵されている。保持ユニット５Ａおよび５Ｂは台座ユニット６上に支持されている。保持ユニット５ＡはパネルＰ１を保持し、保持ユニット５ＢはパネルＰ２を保持する。本実施形態の場合、保持ユニット５Ａ、５Ｂは、それぞれ、多関節アームで構成されており、アーム部５１と、アーム部５１の端部に設けられたハンド部５２とを備える。保持ユニット５Ａ、５Ｂは水平方向にハンド部５２を進退移動させ、ハンド部５２上に載置されたパネルＰ１またはＰ２を移載する。ハンド部５２にはその上面、下面にそれぞれパネルを吸着する吸着部が設けられている。保持ユニット５Ａのハンド部５２は保持ユニット５Ｂのハンド部５２よりも低い位置に位置しており、保持ユニット５Ａおよび５ＢによってパネルＰ１およびＰ２の組がＺ方向に重なる（平面視で重畳する）平行姿勢で保持される。また、パネルＰ２は本実施形態の場合液晶表示パネルであり、ケーブル等の部品が付属している場合がある。保持ユニット５Ｂのハンド部５２は、このような付属部品を支持する付属支持部５２ａが設けられている。なお、付属支持部５２ａは、付属部品の付属位置に応じて支持可能な位置に配置される。
【００１８】
本実施形態の場合、後述する移載装置１９、搬送装置ＣＶ２、移載装置２４にも同様の移載ロボットＲＢが用いられる。無論、それぞれの装置で異なる機構であってもよい。
【００１９】
図１および図２に戻り、搬送装置ＣＶ１は、本実施形態の場合、二つの搬送機構１２、１３を備える。搬送機構１２はパネルＰ１を搬送し、搬送機構１３はパネルＰ２を搬送（移送）する。貼り合わされるパネルＰ１とパネルＰ２の組は、これらの搬送機構１２、１３によりＸ方向に並列搬送される。なお、搬送機構１２、１２によりパネルＰ１とパネルＰ２とを並列搬送することも可能である。また、ペア搬送されるパネルＰ１、Ｐ２の両方に、後述する塗布処理を行ってもよく、塗布される塗布膜は同種又は異種のいずれであっても良い。また、搬送機構１２によりパネルＰ１を連続的に搬送させ、搬送機構１３によりパネルＰ２を等ピッチで間欠的に移送させ、パネルＰ１とパネルＰ２の組をＸ方向に並列搬送させるようにしてもよい。間欠的に移送を行う搬送機構１３としては、例えば、ウォーキングビーム方式の移送装置が挙げられる。
【００２０】
図４は搬送装置ＣＶ１によるパネルＰ１、Ｐ２の搬送態様並びに周辺装置を示す図である。同図において、パネルＰ１、Ｐ２はその搬送態様を容易に理解する趣旨で、実際よりも大きく図示している。また、各種の装置の一部の構成を省略している箇所がある。
【００２１】
搬送機構１２はＸ方向に延設されている。搬送機構１３は搬送機構１２に対してＹ方向に離間して、平行に延設されている。これらの詳細は後述する。
【００２２】
搬送機構１２の搬送経路上には、パネルＰ１の厚み等を計測する計測装置１４、パネルＰ１に塗布液（本実施形態の場合パネルの貼り合わせに用いる接着剤）を塗布する塗布装置１５および接着剤を半硬化状態にさせる照射装置１６、接着剤の膜厚を計測する計測装置１８が配置されている。一方、搬送機構１３の搬送経路上には、パネルＰ２に対する処理装置は配置しない。本実施形態の場合、作業領域Ｒ１ではパネルＰ１に対する処理が中心であり、パネルＰ２はパネルＰ１とセットにして搬送されるだけとしている。無論、パネルＰ２に対する処理を行う装置を作業領域Ｒ１に配置する構成も採用可能である。本実施の形態においては、塗布液として接着剤を例に挙げて説明を行うが、接着剤に限定するものではない。塗布液は、塗布装置１５により塗布可能なものであれば、何であっても良い。また、照射装置１６の設置は、塗布液の種類に応じて適宜選択される。
【００２３】
計測装置１４は搬送機構１２の上流端に配置されている。図５は計測装置１４の斜視図である。計測装置１４は、一組の撮影ユニット１４０および多軸スライダ１４１と、支持台１４２と、多軸スライダ１４３と、を備える。多軸スライダ１４１、１４３は、例えば、Ｘ−Ｙテーブル、Ｘ−Ｙテーブルに昇降軸を組み合わせたもの、直交座標ロボットが挙げられる。
【００２４】
支持台１４２上に移載装置１１によりパネルＰ１が移載される。支持台１４２はパネルＰ１を吸着する吸着部を備え、パネルＰ１を水平姿勢で保持可能である。多軸スライダ１４３は支持台１４２を、Ｘ、ＹおよびＺ方向に移動可能であり、パネルＰ１の移載時における支持台１４２の昇降動作や、パネルＰ１の位置決め時の水平移動動作を行う。
【００２５】
一組の撮影ユニット１４０および多軸スライダ１４１はＹ方向に離間して並設されており、これらの間に支持台１４２および多軸スライダ１４３が配置されている。撮影ユニット１４０は支持台１４２上のパネルＰ１を撮影するカメラを含む。多軸スライダ１４１は撮影ユニット１４０をＸ方向およびＹ方向に移動可能であり、撮影ユニット１４０の撮影位置が移動される。撮影ユニット１４０の撮影画像により、パネルＰ１の厚さや支持台１４２上における位置（姿勢）が計測される。
【００２６】
この計測結果に基づいて、後述するコントローラによりパネルＰ１の位置補正値が算出され、この算出値に基づいてコントローラが多軸スライダ１４３を制御し、支持台１４２の位置が微調整される。これによって、塗布装置１５に対して正しい位置（姿勢）の決定にパネルＰ１が位置決めされる。このように予めパネルＰ１の位置決めを行っておくことで、後続の塗布装置１５における接着剤の塗布作業の精度を向上できる。また、サイズや厚みが異なるパネルの取り扱いも可能になる。
【００２７】
塗布装置１５は計測装置１４よりも下流側に配置されている。図６は塗布装置１５の斜視図である。塗布装置１５は塗布ヘッド１５０と、昇降機構１５１と、水平移動機構（Ｙ方向移動機構）１５２とを含む。塗布ヘッド１５０はＸ方向に延びるスロット状の吐出口を有し、接着剤をパネルＰ１上に上から吐出する。接着剤は本実施形態の場合、紫外線の照射により硬化される光硬化樹脂（ＯＣＲ）である。昇降機構１５１は塗布ヘッド１５０をＺ方向に移動する。水平移動機構１５２は昇降機構１５１をＹ方向に移動する。昇降機構１５１と水平移動機構１５２とにより、塗布ヘッド１５０をＺ−Ｙ平面上に移動することができる。
【００２８】
本実施形態の場合、塗布ヘッド１５０の吐出口（接着剤の塗布可能範囲）はパネルＰ１のＸ方向の幅以上の長さを有しており、塗布ヘッド１５０をパネルＰ１のＹ方向の一端から他端へ水平移動機構１５２を移動させることで、パネルＰ１の表面の所定の範囲に接着剤が膜状に塗布させる。塗布ヘッド１５０をパネルＰ１の搬送方向（Ｘ方向）ではなく、これに直交するＹ方向に移動する構成としたことで、塗布ヘッド１５０の交換などのメンテナンス作業時にＹ方向（搬送機構１２の幅方向）の作業領域Ｒ１の外周部に設けられた不図示の作業位置に塗布ヘッド１５０を移動させることで、メンテナンス作業を容易に行うことができる。
【００２９】
塗布装置１５に設けられた不図示の検出センサがパネルＰ１のパネル面を検出し、この検出結果に基づき、後述するコントローラにより昇降機構１５１によるパネルＰ１表面に対する塗布ヘッド１５０の高さや、水平移動機構１５２による塗布ヘッド１５０の移動速度が制御される。これによって、接着剤の膜の厚みが制御され、パネルＰ１のパネル面に予め定めた膜の厚みで接着剤の膜が塗布される。塗布ヘッド１５０の高さを調整する際、計測装置１４で計測したパネルＰ１の厚さの計測結果を利用することができ、膜厚制御のパラメータの一つとなる。
【００３０】
図２、図４を参照して、照射装置１６は塗布装置１５よりも下流側に配置されている。照射装置１６は紫外線をパネルＰ１に上から照射する照明ユニットを備える。接着剤の膜が表面に塗布されたパネルＰ１には、照射装置１６を通過する際に紫外線が照射され、これにより、接着剤が半硬化する。ここでの半硬化は接着剤の粘着性が維持され、かつ、接着剤の液だれが抑制される程度とすることができる。半硬化の度合いは、紫外線の強度と照射時間により調整可能である。
【００３１】
計測装置１８は照射装置１６よりも下流側に配置されている。図７は計測装置１８の斜視図である。計測装置１８はレーザ距離計等の計測ユニット１８０と計測ユニット１８０をパネルＰ１の上方に支持する支持ユニット１８１とを備える。支持ユニット１８１は、計測ユニット１８０が支持体２（又は支持ユニット１２１）に対して所定の高さに維持されるように計測ユニット１８０を支持する。計測装置１８は接着剤の膜厚を計測する。膜厚が規定範囲内にない場合は不良品として取り扱うことができる。膜厚の計測は、例えば、パネルＰ１表面上における接着剤の塗布領域と非塗布領域との高さをそれぞれ計測し、その差分を膜厚としてもよい。また、接着剤の塗布領域と支持ユニット１２１の表面の各高さを計測し、その差分と計測装置１４で計測したパネルＰ１の厚さとの差分を膜厚としてもよい。
【００３２】
図４、図８および図９を参照して搬送機構１２および１３の構成ならびに搬送機構１３の搬送動作について説明する。
【００３３】
主に図８を参照して搬送機構１２は、パネルＰ１を浮遊状態で支持する支持ユニット１２１と、パネルＰ１を吸着して移動する複数の吸着移動ユニット１２２とを備える。支持ユニット１２１はＸ方向に延設された上面を有し、この上面に形成された複数の孔からエアを噴出することでパネルＰ１を僅かに浮遊させ状態で支持する。本実施形態の場合、吸着移動ユニット１２２は、支持ユニット１２１のＹ方向の両側部に一つずつ配置されている（合計二つ）。支持ユニット１２１の下流側端の上面には、凹部１２１ａが形成されている。パネルＰ１の搬出時において、この凹部１２１ａに、後述する移載装置１９のハンド部５２が入り込む。
【００３４】
吸着移動ユニット１２２は、吸着ユニット１２２ａと、昇降機構１２２ｂと、移動機構１２２ｃとを含む。吸着ユニット１２２ａはその上面がパネルＰ１を吸着する吸着面とされ、例えば、その吸着面に開口する複数の孔が形成され、複数の孔を介してエアが吸引されることにより、パネルＰ１が吸着ユニット１２２ａの上面に吸着される。昇降機構１２２ｂは吸着ユニット１２２ａをＺ方向に移動させる。移動機構１２２ｃは昇降機構１２２ｂをＸ方向に移動させる。
【００３５】
本実施形態の場合、二つの吸着移動ユニット１２２はともにパネルＰ１を搬送するものであるが、そのうちの一つはパネルＰ１を計測装置１４（上流端）から照明装置１６の間で搬送し、残りの一つはパネルＰ１を照明装置１６から計測装置１８（下流端）の間で搬送する。
【００３６】
搬送動作について説明すると、まず、吸着ユニット１２２ａが支持ユニット１２１の上面よりも低い位置にある状態において、移動機構１２２ｃにより吸着ユニット１２２ａがパネルＰ１の下面へ向けて上昇される。昇降機構１２２ｂの動作により吸着ユニット１２２ａがパネルＰ１の下面に接する位置まで上昇されると、吸着ユニット１２２ａにてパネルＰ１の下面が吸着される。これにより吸着ユニット１２２ａにてパネルＰ１が保持される。続いて移動機構１２２ｃにより吸着ユニット１２２ａを下流側へ移動させることでパネルＰ１がＸ方向搬送される。このパネルＰ１の搬送中、支持ユニット１２１がパネルＰ１を浮遊状態で支持するので、非接触状態で、円滑にパネルＰ１を搬送することが可能である。目的とする位置にパネルＰ１が到達すると、移動機構１２２ｃが停止され、支持ユニット１２１によるエアの噴出が停止される。その後、昇降機構１２２ｂにより吸着ユニット１２２ａを下降させ、支持ユニット１２１の表面にパネルＰ１が載置され、吸着ユニット１２２ａによるパネルＰ１の吸着が解除される。
【００３７】
搬送機構１２は複数のパネルＰ１をＸ方向に搬送する。図８に示すように、Ｘ方向において、停止位置はＳＰ１〜ＳＰ４の４か所である。停止位置ＳＰ１は上流端の位置であり、パネルＰ１における計測装置１４の支持台１４２上の位置である。停止位置ＳＰ４は下流端の位置であり、搬送装置ＣＶ１からのパネルＰ１、Ｐ２の搬出位置であると共にパネルＰ１における計測装置１８による膜厚の計測位置である。
【００３８】
停止位置ＳＰ２およびＳＰ３は停止位置ＳＰ１と停止位置ＳＰ４との間の中間の位置である。停止位置ＳＰ２はパネルＰ１に塗布装置１５で接着剤を塗布する位置である。停止位置ＳＰ３はパネルＰ１に照射装置１６で紫外線を照射する位置である。本実施形態の場合、停止位置ＳＰ１〜ＳＰ４の各間隔は同じである。
【００３９】
次に、搬送機構１３について説明する。搬送機構１３は、複数の載置テーブル１３０および昇降機構１３１と、可動プレート１３２と、駆動機構１３３とを備える。載置テーブル１３０にはパネルＰ２が載置される。また、パネルＰ２は本実施形態の場合液晶表示パネルであり、ケーブル等の部品が付属している場合があり、搬送機構１３は、このような付属部品を支持する付属支持部１３０ａを備える。昇降機構１３１は載置テーブル１３０および付属支持部１３０ａを支持する昇降支持プレート１３１ａをＺ方向に移動する。可動プレート１３２はＸ方向に延設されるとともに、Ｘ方向に移動自在に後述する駆動機構１３３に支持されている。可動プレート１３２には昇降機構１３１が支持される。本実施形態の場合、載置テーブル１３０および昇降機構１３１の組は三組設けられており、これらがＸ方向に等間隔で可動プレート１３２に支持されている。駆動機構１３３は可動プレート１３２をＸ方向に移動する。
【００４０】
パネルＰ２も、図９に示すように、Ｚ−Ｘ面における正面視で、停止位置ＳＰ１〜ＳＰ４に停止される。パネルＰ２は順次搬送させるだけで本来停止の必要は無いが、パネルＰ１と対応するパネルＰ２を明らかにし、搬送状態の監視を容易にするために、パネルＰ１の停止に対応させてパネルＰ２も各停止位置ＳＰ１〜ＳＰ４に停止させる。このため、搬送機構１３は、各停止位置ＳＰ１〜ＳＰ４に、ピン状の複数の載置部材１３４、１３５を備える。ピン状の複数の載置部１３４、１３５は、それぞれのピンが所定の位置に取り付けられるピン載置プレート１３４ａ、１３５ａに構成される。ピン載置プレート１３４ａは、搬送機構１３の搬送方向に延びる載置プレート支持部材１３７に搬送方向に所定の間隔を空けて支持される。また、載置プレート支持部材１３７の一方端部および他方端部は、支持体２に設けられる一対の支柱部材１３７ａにより支持される。ピン載置プレート１３５ａは、支持体２からピン載置プレート１３５ａを離間して支持する支柱部材１３５ｂにより支持される。
【００４１】
また、パネルＰ２は本実施形態の場合液晶表示パネルであり、ケーブル等の部品が付属している場合があり、搬送機構１３は、このような付属部品を支持する付属支持部１３６を備える。付属支持部１３６は、板状の部材であり、支持体２から付属支持部１３６を離間して支持する支柱部材１３６ａにより支持される。Ｙ方向で見ると、載置テーブル１３０は、載置部材１３４と載置部材１３５との間に位置し、付属支持部１３０ａは、載置部材１３４と付属支持部１３６との間に位置している。そして、支持体２と載置プレート支持部材１３７との間に配置された昇降支持プレート１３１ａが搬送機構１３によって搬送方向および昇降方向へ移動可能に配置される。
【００４２】
図９は搬送機構１３の動作説明図である。状態ＳＴ１は移載装置１１によりパネルＰ２が停止位置ＳＰ１における載置部材１３４（および不図示の載置部材１３５）上に移載された状態を示す。各載置テーブル１３０はパネルＰ２よりも低い位置にあり、停止位置ＳＰ１〜ＳＰ３に位置している。各昇降機構１３１を伸長させて、各昇降支持プレート１３１ａを上昇させることでそれぞれの載置テーブル１３０が上昇される。これにより状態ＳＴ２に示すように停、載置部材１３４上に載置されていた止位置ＳＰ１のパネルＰ２が、載置テーブル１３０によりすくいあげられ、パネルＰ２が載置テーブル１３０上に移載される。状態ＳＴ３に示すように駆動機構１３３によって可動プレート１３２がＸ方向に移動されると、各載置テーブル１３０は停止位置ＳＰ２〜ＳＰ４に位置される。その後、各昇降機構１３１を縮長させて、各載置テーブル１３０を下降させることで、載置テーブル１３０から停止位置ＳＰ２の載置部材１３４（および不図示の載置部材１３５）にパネルＰ２が移載される。このとき（図４参照）、移載装置１１により次のパネルＰ２が停止位置ＳＰ１に搬入され、移載装置１１から載置部材１３４に移載される。
【００４３】
状態ＳＴ４に示すように、駆動機構１３３によって可動プレート１３２が元の位置へＸ方向に移動され、各載置テーブル１３０は停止位置ＳＰ１〜ＳＰ３に位置され、その後、各昇降機構１３１を再び伸長させ、各載置テーブル１３０が上昇される。これにより停止位置ＳＰ１のパネルＰ２と、停止位置ＳＰ２のパネルＰ２とが、対応する載置テーブル１３０上に移載される。状態ＳＴ５に示すように駆動機構１３３によって可動プレート１３２がＸ方向に移動されると、各載置テーブル１３０は停止位置ＳＰ２〜ＳＰ４に位置される。その後、各昇降機構１３１を縮長させて、各載置テーブル１３０を下降させることで、載置テーブル１３０から停止位置ＳＰ２、ＳＰ３の載置部材１３４に各パネルＰ２が移載される。このとき、移載装置１１により次のパネルＰ２が停止位置ＳＰ１に搬入され、移載装置１１から載置部材１３４に移載される。以上の動作を繰り返すことで、複数のパネルＰ２が等間隔で間欠的に搬送されることになる。また、搬送機構１３の動作開始タイミングは、貼り合わせのセットの一方となるパネルＰ１の搬送に応じて動作を開始し、搬送される。
【００４４】
図１および図２を参照して搬送装置ＣＶ１よりも下流側には移載装置１９が配置されている。移載装置１９は図３の移載ロボットＲＢにより構成され、レールＲＬはパネルＰ１、Ｐ２の搬送方向と交差する方向（本実施形態ではＹ方向）に延設されている。移載ロボットＲＢは、搬送機構１２により搬送されたパネルＰ１と、搬送機構１３により移送されたパネルＰ２とを、後述する作業領域Ｒ２の中継ユニット２０へ移載する。搬送機構１２からパネルＰ１を取り出す際には、一方の保持ユニット５Ａのハンド部５２が凹部１２１ａに差し込まれ、パネルＰ１を支持ユニット１２１からすくい上げて取り出す。搬送機構１３からパネルＰ２を取り出す際には、停止位置ＳＰ４の載置部材１３４、１３５上に載置されたパネルＰ２を他方の保持ユニット５Ｂのハンド部５２が下からすくい上げて取り出す。
【００４５】
次に、図１０および図１１を参照して塗布装置１５へ接着剤を供給する供給装置１７について説明する。供給装置１７は、貯留部１７０と供給路１７１と供給ポンプ１７ａとを含む。貯留部１７０は接着剤を貯留するタンクである。供給路１７１は貯留部１７０と塗布ヘッド１５０との間の接着剤の供給路（配管）である。供給ポンプ１７ａは、動作させることで接着剤を貯留部１７０から供給路１７１を介して塗布ヘッド１５０へ供給させる。貯留部１７０、供給路１７１、供給ポンプ１７ａは支持体２に支持される。供給路１７１は、支持体２の複数の脚部２ａ、複数の脚部２ａに支持されるテーブル部２ｂ、塗布装置１５を支持する支柱２ｃといった複数の部位で支持されている。塗布装置１５はテーブル部２ｂに支持されている。共通の支持体２に、塗布装置１５と供給装置１７とを予め定めた支持位置で支持することで、塗布装置１５と貯留部１７０との位置関係が決定され、その間を接続し接着剤を供給する供給路１７１の経路が決定されることで、供給路の長さも一定に設定される。
【００４６】
塗布装置１５による塗布対象となるパネルＰ１への塗布は、接着剤の粘度や塗布処理周辺の環境に応じて塗布速度、塗布高さ、塗布量を調整し、最適な塗布条件を設定して塗布を行う。この塗布条件の設定において、供給経の長さが一定に設定されることで最適な塗布条件の設定管理が容易になる。また、共通の支持体２の所定の位置に塗布装置１５と供給装置１７とを設置し、供給路１７１を共通の支持体２に設置することで、塗布装置１５、供給装置１７、供給路１７１の関係を維持したまま装置全体を移動させることも可能になり、工場のレイアウト変更に対しても影響を受けず、レイアウト変更後であっても塗布条件が維持されており、容易に塗布管理を行うことができる。また、貯留部１７０の交換、供給路１７１の配管の交換、塗布ヘッド１５０の交換、といったメンテナンスが発生した場合であっても、既に設置位置が定められているため、交換後の位置決め作業や塗布条件の設定作業が簡易になり、メンテナンス性を向上できる。
【００４７】
＜作業領域Ｒ２＞
図１および図１２を参照して作業領域Ｒ２に配置される構成について説明する。作業領域Ｒ２の下流端には、パネルＰ１とパネルＰ２とを貼り合わせて製造された積層体Ｐの取出台２４が設けられている。取出台２４には例えば複数のピンが立設され、積層体Ｐは複数のピン上に載置される。
【００４８】
作業領域Ｒ２には支持体３が設けられている。支持体３は、作業領域Ｒ２に配置される各装置を支持するベースであり、本実施形態の場合、枠体として構成されている。支持体３には、中継ユニット２０、搬送装置ＣＶ２、移載装置２１、複数の貼合装置２２、および、減圧装置２３が設けられている。本実施形態の場合、貼合装置２２は３台設けられている。
【００４９】
搬送装置ＣＶ２は、図３に示した移載ロボットＲＢと同様の構成であり、レールＲＬはＸ方向に延設されている。一方、移載装置２１は、図３に示した移載ロボットＲＢにおいて保持ユニット５Ａを除いたものである。すなわち、保持ユニット５Ｂのシングルアームロボットである。搬送装置ＣＶ２のレールＲＬと、移載装置２１のレールＲＬとは、Ｙ方向に離間し、平行に配置されている。３台の貼合装置２２はＸ方向に一列に、等間隔に配置されており、かつ、搬送装置ＣＶ２のレールＲＬと、移載装置２１のレールＲＬとの間の空間に配置されている。つまり、３台の貼合装置２２は搬送装置ＣＶ２および移載装置２１の各移動ユニット４の移動経路に沿って配置されている。搬送装置ＣＶ２は、中継ユニット２０から取り出したパネルＰ１とパネルＰ２の組を、いずれか一つの貼合装置２２の前まで搬送し、貼合装置２２内に投入するものである。移載装置２１は貼り合わせが終わった積層体Ｐを貼合装置２２から取り出し、取出台２４へと移載するものである。搬送装置ＣＶ２と移載装置２１とは、その一方が３台の貼合装置２２の列のＹ方向一方側に、他方が他方側にそれぞれ位置している。このため、搬送装置ＣＶ２による貼合位装置２２へのパネルＰ１およびＰ２の投入（搬入）と、移載装置２１による積層体Ｐの取り出し（搬出）とを、互いに干渉すること無く効率よく行うことができる。
【００５０】
中継ユニット２０は、パネルＰ１とパネルＰ２とを一時的に保持する。中継ユニット２０は、搬送装置ＣＶ１と搬送装置ＣＶ２との間に配置されており、搬送装置ＣＶ１により処理がなされたパネルＰ１およびＰ２の組は、移載装置１９により取り出され、中継ユニット２０に移載される。つまり、中継ユニット２０は、作業領域Ｒ１、Ｒ２の接続領域（境界）であって、作業領域Ｒ１の出口側に配置され、作業領域Ｒ２の入口に配置される。
【００５１】
図１３は中継ユニット２０の斜視図である。中継ユニット２０は、保持ユニット２０１および２１１と、回転機構２０２および２１２と、反転機構２０４と、これらを支持する支持部材２００とを含む。
【００５２】
保持ユニット２０１はパネルＰ１を保持するユニットである。保持ユニット２０１は断面Ｕ字型の樋状の部材であり、その両側の開放側の端部（図１３における両下端部）２０１１にパネルＰ１の吸着部を有している。吸着部は例えばエアの吸引によりパネルＰ１を吸着する。
【００５３】
保持ユニット２１１はパネルＰ２を保持するユニットである。保持ユニット２１１は保持ユニット２０１と同様の構造であって、断面Ｕ字型の外形を有しており、その両側の開放側の端部（図１３における両上端部）２１１１にパネルＰ２の吸着部を有している。吸着部は例えばエアの吸引によりパネルＰ２を吸着する。パネルＰ２は本実施形態の場合、液晶表示パネルであり、ケーブル等の部品が付属している場合がある。保持ユニット２１１には、このような付属部品を支持する支持部２１１ａが設けられている。
【００５４】
回転機構２０２は例えばモータを駆動源とした機構であり、保持ユニット２０１をＺ軸周りに回転させる。これによりパネルＰ１の水平方向の向きを自由に変えることができる。同様に、回転機構２１２は例えばモータを駆動源とした機構であり、保持ユニット２１１をＺ軸周りに回転させる。これによりパネルＰ２の水平方向の向きを自由に変えることができる。
【００５５】
反転機構２０４は支持部材２００に支持されており、例えばモータを駆動源とした機構であり、支持部材２０３をＹ軸周りに回転させる。回転機構２０２はＬ字型の支持部材２０３に支持されている。これにより、反転機構２０４を反転させることで、支持部材２０３、回転機構２０２および保持ユニット２０１が反転され、保持ユニット２０１に保持されたパネルＰ１の表裏を反転することができる。支持部材２０３にはバランスウエイト２０３ａが設けられており、これにより支持部材２０３の回転動作および姿勢が安定化する。
【００５６】
反転機構２０４は、保持ユニット２０１によるパネルＰ１の受け取り時には、保持ユニット２０１の開放側の両端部２０１１が上を向くように支持部材２０３を回転させ、搬送装置ＣＶ２へのパネルＰ１の受け渡し時には保持ユニット２０１の両端部２０１１が下を向くように支持部材２０３を回転させる。図１３は保持ユニット２０１の両端部２０１１が下を向いている状態である。この動作によりパネルＰ１は、接着剤の塗布面が上を向いた姿勢で移載装置１９から保持ユニット２０１に受け渡され、塗布面が下を向いた姿勢で搬送装置ＣＶ２により保持ユニット２０１から取り出される。
【００５７】
図１４は、搬送装置ＣＶ１から移載装置１９を介して中継ユニット２０へ移載され、中継ユニット２０から搬送装置ＣＶ２へ移載されるときのパネルＰ１およびＰ２の姿勢の変化を示している。
【００５８】
状態ＳＴ１１は、パネルＰ１が搬送機構１２の下流端に、パネルＰ２が搬送機構１３の下流端に、それぞれ位置している状態を示している（停止位置ＳＰ４）。パネルＰ１とパネルＰ２とはＹ方向に並んだ状態にある。
【００５９】
パネルＰ１とパネルＰ２とは移載装置１９により移載される。状態ＳＴ１２はパネルＰ１とパネルＰ２とが移載装置１９により保持されている状態を示しており、両者はＺ方向に並んだ状態にある。移載装置１９はパネルＰ１およびＰ２を中継ユニット２０に移載する。
【００６０】
状態ＳＴ１３はパネルＰ１およびＰ２が中継ユニット２０に移載された直後の状態を示す。パネルＰ１は接着剤の塗布面を上向きとして保持ユニット２０１に保持されている。パネルＰ２は保持ユニット２１１に保持されている。状態ＳＴ１４に示すように回転機構２０２および２１２の駆動および反転機構２０４の駆動により、パネルＰ１はＺ軸周りに９０度の水平回転とＸ軸周りの表裏反転とが行われ、パネルＰ２Ｚ軸周りには９０度の水平回転のみが行われる。これにより、パネルＰ１の接着剤の塗布面は下向きとなる。
【００６１】
続いて搬送装置ＣＶ２が中継ユニット２０からパネルＰ１およびＰ２を取り出す。状態ＳＴ１５はパネルＰ１とパネルＰ２とが搬送装置ＣＶ２により保持されている状態を示しており、両者はＺ方向に並んだ状態にある。パネルＰ１の下面は接着剤の塗布面となっているため、パネルＰ１を保持するハンド部５２はその下面においてパネルＰ１の上面（接着剤を塗っていない面）を保持する。搬送装置ＣＶ２は三台の貼合装置２２のうち、空きの貼合装置２２（受け取り準備状態の貼合装置２２）にパネルＰ１およびＰ２の組を搬送する。
【００６２】
図１５〜図１８を参照して貼合装置２２の構成について説明する。貼合装置２２は、チャンバ部を構成する、上側のチャンバ形成部材２２１と、下側のチャンバ形成部材２２２とを備える。上側のチャンバ形成部材２２１は底部が開放した箱型をなしており、下側のチャンバ形成部材２２２は天部が開放した箱型をなしている。チャンバ形成部材２２１の開口縁２２１１（図１７参照）と、チャンバ形成部材２２２の開口縁２２２１（図１６参照）の形状及びサイズは、同一とされる。よって、これらのチャンバ形成部材２２１、２２２が、向かい合わせで上下に密着されると、その内部空間はパネルＰ１およびＰ２の貼合作業を行うための気密な空間（以下、貼合作業空間という。）を形成する。上側のチャンバ形成部材２２１と下側のチャンバ形成部材２２２とが上下に分離した状態において、搬送装置ＣＶ２側における各開口縁２２１１、２２２１間の隙間は、パネルＰ１およびＰ２が投入される投入部を構成し、その移載装置２１側における各開口縁２２１１、２２２１間の隙間は、貼り合わされたパネルＰ１およびＰ２（つまり積層体Ｐ）が取り出される取出部を構成する。
【００６３】
主に図１７に示すように、上側のチャンバ形成部材２２１の内側にはパネルＰ１を支持する貼合支持部２２０ａが配置されている。貼合支持部２２０ａの下端面には吸着部が設けられており、この吸着部により、パネルＰ１の接着剤を塗っていない面が吸着保持される。押圧移動機構２２０は、支持体３の一部である枠体３ｃに支持されている。枠体３ｃはテーブル部３ａ上に立設された複数の支柱３ｂにより支持されている。押圧移動機構２２０は昇降軸２２０ｂ（図１６参照）と、昇降軸２２０ｂをＺ方向に移動する駆動機構および昇降軸２２０ｂをＺ軸周りに回転する駆動機構を備える。昇降軸２２０ｂは、テーブル部３ａの開口を通過して下方へ延び、上側のチャンバ形成部材２２１の天部を気密に貫通するように設けられている。貼合支持部２２０ａは昇降軸２２０ｂの下端部に固定されており、昇降軸２２０ｂの昇降動作、旋回動作により貼合支持部２２０ａが昇降、旋回される。
【００６４】
テーブル部３ａには電動シリンダ等の昇降機構２２１ａが支持されている。この昇降機構２２１ａにより上側のチャンバ形成部材２２１が昇降される。テーブル部３ａにはまた、一対の仮置きユニット２２５が支持されている。仮置きユニット２２５はパネルＰ１を一時的に支持するユニットである。各仮置きユニット２２５は、Ｘ方向に離間した二つのスライダ２２５ａと、スライダ２２５ａをＸ方向に移動する駆動機構とを備える。一対の仮置きユニット２２５間で、スライダ２２５ａ間にバー２２５ｂが架設されている。搬送装置ＣＶ２から受け渡されるパネルＰ１は両バー２２５ｂ上に一旦支持され、その後、貼合支持部２２０ａに持ち替えられる。
【００６５】
主に図１８に示すように、下側のチャンバ形成部材２２２の内側空間の底部にはパネルＰ２を支持する貼合支持部２２２ａが配置されている。貼合支持部２２２ａの上面には吸着部が設けられており、この吸着部にパネルＰ２の非貼り合わせ面が吸着保持される。
【００６６】
また、下側のチャンバ形成部材２２２の内部の底部には、複数の載置部材２３３ａが設けられている。複数の載置部材２３３ａはパネルＰ２を一時的に支持する部材である。載置部材２３３ａはピン状をなし、下側のチャンバ形成部材２２２の底部を貫通して設けられ、その下端部は昇降機構２２３に支持されている。昇降機構２２３は複数の載置部材２３３ａをＺ方向に移動させる。搬送装置ＣＶ２から移載されたパネルＰ２は複数の載置部材２３３ａ上に一旦支持され、その後、複数の載置部材２３３ａを昇降機構２２３で下降させて、載置部材２３３ａ上の載パネルＰ２が貼合支持部２２２ａに受け渡される。
【００６７】
下側のチャンバ形成部材２２２は支柱２２６ａを介してベースプレート２２６に支持されている。ベースプレート２２６は多軸スライダ２２７上に設けられており、Ｘ方向、Ｙ方向に移動される。これにより下側のチャンバ形成部材２２２内のパネルＰ２のＸ方向、Ｙ方向の位置調整が可能である。多軸スライダ２２７としては、例えばＸ−Ｙテーブルが挙げられる。
【００６８】
図１６に示すように貼合装置２２は計測装置２２４を備える。計測装置２２４は、Ｙ方向に向かい合わせて設けられる一組の撮影ユニットで構成される。また、計測装置２２４は、上下方向を撮影可能な不図示の撮影部が上下方向を向いて構成される。その他の構成については、上述した計測装置１４と同じ構成の計測装置である。本実施形態では、パネルＰ１については一方の計測装置２２４においてその位置などの計測を行い、パネルＰ２については貼合支持部２２２ａにパネルＰ２が支持された段階で他方の計測装置２２４によりその位置などの計測を行う。計測装置２２４は一組の撮影ユニットが一緒にＸ、Ｙ方向に移動されてパネルＰ２を上から撮影すると共にパネルＰ１を下から撮影し、それぞれのパネルの位置、姿勢を計測する。そして、パネルＰ１およびパネルＰ２の計測結果に応じて多軸スライダ２２７によるＸ、Ｙ方向のパネルＰ２の位置調整と、昇降軸２２０ｂによるパネルＰ１のＺ軸周りの位置調整とを行う。これらの位置調整によりパネルＰ１とパネルＰ２との相互の位置合わせを行って、パネルＰ１、Ｐ２は貼り合わせ位置に位置される。
【００６９】
パネルＰ１とパネルＰ２とを貼り合わせる際、貼合作業空間を減圧して真空に近づけることで、貼り合わせ面への気泡の混入が抑制され、気泡を除去できる。減圧装置２３は貼合作業空間を減圧する装置である。図１９および図２０を参照して、減圧装置２３は、減圧発生部２３１と減圧路２３２とを含む。減圧発生部２３１はバキュームポンプ等、負圧を発生させる機構を各貼合装置２２毎に備える。減圧路２３２は、減圧発生部２３１と下側のチャンバ形成部材２２２とを接続する配管である。減圧発生部２３１および減圧路２３２はいずれも支持体３に支持されており、特に減圧路２３２は複数の部位で支持されている。共通の支持体３に、各貼合装置２２と減圧装置２３とを予め定めた支持位置で支持することで、対応する貼合装置２２と減圧発生部２３１との位置関係が決定され、その間を接続するそれぞれの減圧路２３２の経路が決定されることで、それぞれの減圧路２３２の長さが規定され設定される。
【００７０】
複数の貼合装置２２によるパネルＰ１およびパネルＰ２の貼り合わせは、それぞれの貼合装置２２へ貼り合わせ対象となるパネルＰ１およびパネルＰ２が一つの搬送装置ＣＶ２によって移送されることで行われる。また、貼り合わせ処理後の積層体Ｐは、それぞれの貼合装置２２から一つの移載装置２１によって取出台２４へ移載される。複数の搬送先に対して一つの搬送装置ＣＶ２による搬送管理、または、複数の移載元から一つの移載装置２１による搬送管理は、それぞれの貼合装置２２の処理時間によって管理されることになり、減圧路２３２の長さが設定されることで貼り合わせ処理の時間管理が容易になり、作業領域Ｒ２における搬送管理を最適に管理しやすくなる。また、共通の支持体３の所定の位置貼合装置２２と減圧発生部２３１とを設置し、減圧路２３２を共通の支持体３に設置することで、貼合装置２２、減圧発生部２３１、減圧路２３２の関係を維持したまま装置全体を移動させることが可能になる。これによって、工場のレイアウト変更に伴う影響を受けることがなく、レイアウト変更後であってもそれぞれの貼合装置２２の減圧条件が維持されており、搬送の管理を容易に行うことができる。また、減圧発生部２３１の交換、減圧路２３２の配管の交換、下側のチャンバ形成部材２２２の交換、といったメンテナンスが発生した場合であっても、既に設置位置が定められているため、交換後の位置決め作業や貼り合わせの設定作業が簡易になり、メンテナンス性を向上できる。
【００７１】
図２１を参照して貼合装置２２によるパネルＰ１、Ｐ２の貼り合わせ動作について説明する。
【００７２】
状態ＳＴ２１は搬送装置ＣＶ２からパネルＰ１、Ｐ２の組が投入された段階を示す。チャンバ形成部材２２１、２２２は上下に離間しており、貼合支持部２２０ａは上側のチャンバ形成部材２２１の内部上方に位置しており、パネルＰ１はバー２２５ｂ、２２５ｂ上に載置されている。複数の載置部材２２３ａは上昇した位置にあり、パネルＰ２は複数の載置部材２２３ａ上に載置されている。
【００７３】
次に、状態ＳＴ２２に示すように貼合支持部２２０ａが下降され、バー２２５ｂ、２２５ｂ上に載置されたパネルＰ１が貼合支持部２２０ａにより吸着される。また、複数の載置部材２２３ａが下降され、パネルＰ２は貼合支持部２２２ａ上に載置されて保持される。
【００７４】
次に、状態ＳＴ２３に示すようにバー２２５ｂ、２２５ｂが互いに離れる方向（Ｘ方向）に移動され、上側のチャンバ形成部材２２１の下方の位置から側方へ退避される。また、状態ＳＴ２３の段階で、計測装置２２４によるパネルＰ２の計測と、多軸スライダ２２７によるパネルＰ２の水平移動および昇降軸２２０ｂによるパネルＰ１の回転とにより、パネルＰ１、Ｐ２の貼り合わせ位置の調整が行われる。
【００７５】
次に、状態ＳＴ２４に示すように昇降機構２２１ａにより上側のチャンバ形成部材２２１が下降され、チャンバ形成部材２２１の開口縁２２１１が、チャンバ形成部材２２２の開口縁２２２１に当接され、貼合作業空間が密閉下側のチャンバ形成部材２２２にされる。その後、減圧装置２３の作動により貼合作業空間が減圧される。
【００７６】
次に状態ＳＴ２５に示すように押圧移動機構２２０により貼合支持部２２０ａが下降され、パネルＰ１がパネルＰ２へ押し付けられる。これにより両者が貼り合わせられ、積層体Ｐが製造される。本実施形態では、パネルＰ１とパネルＰ２とが接近または離間する方向（Ｚ方向）に貼合支持部２２０ａを移動させる構成としたが、貼合支持部２２２ａを移動させる構成も採用可能である。
【００７７】
その後、減圧装置２３の停止およびパネルＰ１、Ｐ２の保持の解除がなされ、貼合作業空間が大気圧に戻される。状態ＳＴ２６に示すように昇降機構２２１ａにより上側のチャンバ形成部材２２１が上昇されて貼合作業空間が開放される。複数の載置部材２２３ａが上昇され、積層体Ｐは貼合支持部２２２ａから上方へ持ち上げられる。積層体Ｐは移載装置２１によって掬い上げられ、取出台２４へ移載される。
【００７８】
＜制御系＞
図２２は製造システム１の制御系のブロック図である。製造システム１を構成する各装置または機構には、それぞれ、コントローラが設けられて制御される。図２２の例では搬送機構１２、搬送機構１３および塗布装置１５の各コントローラ８Ａ〜８Ｃを例示しているが、他の機構または装置も同様である。各コントローラとホストコントローラ７はＬＡＮ等の通信回線を介して通信可能に接続される。各コントローラとホストコントローラ７は、例えば、ＣＰＵ等の処理部、処理部が実行するプログラムやデータを記憶する記憶部、センサやアクチュエータとの入出力インタフェース、および、通信インタフェース等を含む。
【００７９】
ホストコントローラ７は製造システム１全体を制御する。ホストコントローラ７の記憶部には、作業情報７ａ、状況情報７ｂが蓄積されている。作業情報７ａは、互いに貼り合わされるパネルＰ１、Ｐ２の組を特定する情報、作業状態の情報が含まれる。組を特定する情報には、組ごとのＩＤ、パネル毎のＩＤの情報が含まれる。このような情報により、製造中、あるいは、製造後におけるパネルＰ１、Ｐ２の組み合わせの管理、特定が容易になる。状況情報７ｂは貼合装置２２毎の貼り合わせ状況を示す。この情報により、パネルの組を投入可能な貼合装置２２を選択することができる。
【００８０】
図２３〜図２５は製造システム１の制御例を模式的に示している。ここでは、パネルＰ１、Ｐ２の搬送形態を主に説明する。
【００８１】
状態ＳＴ３１はパネルＰ１、Ｐ２の組が前工程から投入台１０Ａ、１０Ｂに投入された段階を示している。この後、状態ＳＴ３２に示すようにパネルＰ１、Ｐ２は移載装置１１により搬送装置ＣＶ１へ移載される。パネルＰ１は搬送機構１２（計測装置１４の位置）へ、パネルＰ２は搬送機構１３へ、それぞれ移載される（停止位置ＳＰ１）。
【００８２】
状態ＳＴ３３は最初に投入されたパネルＰ１、Ｐ２の搬送が開始された段階を示している。パネルＰ１は停止位置ＳＰ２へ搬送される。搬送機構１３のコントローラ８Ｂは、コントローラ８Ａによる搬送機構１２の搬送制御動作に伴って、搬送機構１３を駆動する。このため、パネルＰ２も停止位置ＳＰ２へ搬送される。また、状態ＳＴ３３では、次のパネルＰ１、Ｐ２の組が前工程から投入台１０Ａ、１０Ｂに投入されている。
【００８３】
状態ＳＴ３４では、最初に投入されたパネルＰ１に対して塗布装置１５によって接着剤が塗布されている。次に投入された二番目のパネルＰ１、Ｐ２は移載装置１１により搬送装置ＣＶ１へ移載される。
【００８４】
状態ＳＴ３５では、最初に投入されたパネルＰ１は停止位置ＳＰ３へ搬送されている。これに伴って最初に投入されたパネルＰ２も停止位置ＳＰ３へ搬送される。また、二番目に投入されたパネルＰ１、Ｐ２は停止位置ＳＰ２へ搬送される。状態ＳＴ３６では、最初に投入されたパネルＰ１に紫外線が照射され、三番目に投入されたパネルＰ１、Ｐ２は停止位置ＳＰ１へ移載される。
【００８５】
状態ＳＴ３７では、最初に投入されたパネルＰ１は停止位置ＳＰ４へ搬送されている。これに伴って最初に投入されたパネルＰ２も停止位置ＳＰ４へ搬送される。停止位置ＳＰ４において、パネルＰ１は計測装置１８により膜厚が計測される。また、二番目に投入されたパネルＰ１、Ｐ２は停止位置ＳＰ３へ搬送され、三番目に投入されたパネルＰ１、Ｐ２は停止位置ＳＰ２へ搬送される。四番目のパネルＰ１、Ｐ２が投入される。
【００８６】
状態ＳＴ３８では、最初に投入されたパネルＰ１、Ｐ２は移載装置１９によって中継ユニット２０へ移載されている。ここでパネルＰ１、Ｐ２の向きの変更とパネルＰ１の反転が行われる。四番目のパネルＰ１、Ｐ２が停止位置ＳＰ１へ移載される。
【００８７】
状態ＳＴ３９では、最初に投入されたパネルＰ１、Ｐ２は搬送装置ＣＶ２によって中継ユニット２０から搬送されている。作業領域Ｒ１においては、パネルＰ１、Ｐ２が搬送方向左右に並列で搬送される水平並列搬送であったが、作業領域Ｒ２においてはパネルＰ１、Ｐ２が搬送方向上下に並列で搬送される垂直並列搬送とされる。並列方向を切り替えることで、接着剤の塗布と、パネル間の貼り合わせとにそれぞれ適した搬送形態をとることができる。
【００８８】
また、状態ＳＴ３９において破線で囲むように、いずれの場合も、互いに貼り合わされるパネルＰ１、Ｐ２はセットにして搬送される。水平並列搬送においては、停止位置間で多少の搬送ズレはあるものの、組み合わされるパネルＰ１、Ｐ２は停止位置において左右方向（Ｙ方向）に揃って停止する。また、垂直並列搬送においてはズレなく組み合わされるパネルＰ１、Ｐ２が搬送される。貼り合わされるパネルの組み合わせが、制御上、管理し易いだけでなく、作業者の視覚的にも分り易いという利点がある。
【００８９】
状態ＳＴ４０では、最初に投入されたパネルＰ１、Ｐ２が搬送装置ＣＶ２により任意の貼合装置２２へ投入され、貼合作業が行われる。使用する貼合装置２２は状況情報７ｂを参照することで選択される。二番目に投入されたパネルＰ１、Ｐ２は移載装置１９によって中継ユニット２０へ移載されている。
【００９０】
状態ＳＴ４１では、二番目に投入されたパネルＰ１、Ｐ２が搬送装置ＣＶ２により別の貼合装置２２へ投入され、貼合作業が行われる。使用する貼合装置２２は状況情報７ｂを参照することで選択される。三番目、四番目に投入されたパネルＰ１、Ｐ２は次の停止位置へ順次搬送されており、五番目のパネルＰ１、Ｐ２が投入されている。
【００９１】
状態ＳＴ４２では、最初に投入されたパネルＰ１、Ｐ２の貼り合わせが完了し、その積層体Ｐが移載装置２１により貼合装置２２から搬出されている。移載装置２１は積層体Ｐを取出台２４へ移載する。取出台２４上の積層体Ｐは不図示の装置により次工程へ搬送される。以上の手順が繰り返されることで積層体Ｐが製造される。
【００９２】
ここで、パネルＰ１またはＰ２に異常があった場合の対応について説明する。状態ＳＴ５１は、計測装置１８によるパネルＰ１の接着剤の膜厚測定の結果がＮＧであった場合を想定している。この場合、作業者または不図示の装置が状態ＳＴ５２に示すようにＮＧ判定を受けたパネルＰ１をラインから除外する。このとき、組み合わせられるパネルＰ２もラインから除外する。これにより、各パネルＰ１と各パネルＰ２との組み合わせを変えることなく、積層体Ｐの製造を進行することができる。
【００９３】
＜システムのレイアウト例＞
本実施形態では、接着剤の塗布を主として行う作業領域Ｒ１と、パネル同士の貼り合わせを主として行う作業領域Ｒ２とに区分けしてシステムを構成しているため、レイアウト変更に柔軟性がある。例えば、作業領域Ｒ２の負荷が高い場合（作業領域Ｒ２における処理の所要時間が長い場合）、図２６のレイアウトＬＯ１を採用できる。
【００９４】
レイアウトＬＯ１は、一つの作業領域Ｒ１に対して、複数の作業領域Ｒ２を並設した構成である。移載装置１９の移動経路を複数の作業領域Ｒ２に跨る範囲に延長するだけで、対応できる。
【００９５】
作業領域Ｒ１の負荷が高い場合（作業領域Ｒ１における処理の所要時間が長い場合）、図２６のレイアウトＬＯ２を採用できる。複数の作業領域Ｒ１を並設した構成である。移載装置１９は複数の作業領域Ｒ１で共通とし、その移動経路を複数の作業領域Ｒ１に跨る範囲に延長している。
【００９６】
他のレイアウトとして、図２６のレイアウトＬＯ３も採用可能である。レイアウトＬ０３は中継ユニット２０を作業領域Ｒ１に配置したレイアウトである。
【符号の説明】
【００９７】
Ｐ１  パネル、Ｐ２  パネル、Ｐ  積層体、１  製造システム、ＣＶ１  搬送装置、ＣＶ２  搬送装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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