(57)【要約】【課題】ハウジングに固定される場合に使用時に位置ずれしにくく、モールド成形にも問題なく供することができる素子ユニットを提供する。【解決手段】素子ユニット（１）は、センサ素子（２１）と、センサ素子（２１）を封止したモールド部（２５）と、モールド部（２５）から両側に延出し、被固定部に対する固定部（２７Ａ）と当該固定部（２７Ａ）よりもモールド部（２５）側に設けられた応力緩和部（２７Ｂ）とをそれぞれ有する一対の固定用アーム部（２７）と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ素子と、
前記センサ素子を封止したモールド部と、
前記モールド部から両側に延出し、被固定部に対する固定部と当該固定部よりも前記モールド部側に設けられた応力緩和部とをそれぞれ有する一対の固定用アーム部と、
を備える素子ユニット。
【請求項２】
一対の前記固定用アーム部のそれぞれの前記固定部と前記センサ素子とが、同一直線状に配置されている請求項１に記載の素子ユニット。
【請求項３】
前記固定用アーム部は、金属製のリードフレームで構成され、前記固定部にて樹脂製のハウジングに設けられた前記被固定部に固定されている請求項１又は２に記載の素子ユニット。
【請求項４】
前記応力緩和部は、前記固定用アーム部の延出方向に対して交差する方向に突出するように湾曲形成された湾曲部を含み、前記固定部に応力が作用したときに前記湾曲部の撓み変形によって前記固定部に対する前記モールド部の相対移動を吸収する請求項１から３のいずれか一項に記載の素子ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の検出装置に用いられる素子ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
様々な物理量を検出するため、各種の検出装置が用いられている。一例として、自動車のアクセルペダルやブレーキペダル等の被操作部材の操作量を検出するため、被操作部材に対するドライバの操作に連動して回動する回動部材の回転角を検出する回転角検出装置が用いられている。このような回転角検出装置において、ハウジング内に内装されるセンサ素子は、モールド部によって封止された状態でハウジングに固定される場合がある。例えば特開２０１５−１５９２２４号公報（特許文献１）には、センサ素子〔ＩＣチップ５〕と当該センサ素子を封止したモールド部〔パッケージ６〕とを備える素子ユニットが開示されている。
【０００３】
特許文献１の素子ユニットは、樹脂製のハウジング〔パッケージ収容体７〕によってさらに封止され（特許文献１の図１を参照）、或いは、素子収容空間〔収容空間８〕を覆う蓋部材〔キャップ９〕を介してハウジングに固定されている（特許文献１の図４を参照）。前者の場合、モールド部には位置決めのための部位がないため、ハウジングのモールド成形時の位置決めのための外力が素子ユニットに作用してしまう。後者の場合にはそのようなことは起こらないが、使用時において例えば周囲の温度変化に応じてハウジングが膨張・収縮した場合に、ハウジング内で素子ユニット（ここでは特にセンサ素子）が位置ずれする可能性がある。素子ユニットが位置ずれしてしまうと被検出体の検出精度が低下するため好ましくない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１５９２２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ハウジングに固定される場合に使用時に位置ずれしにくく、モールド成形にも問題なく供することができる素子ユニットの実現が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る素子ユニットは、
センサ素子と、
前記センサ素子を封止したモールド部と、
前記モールド部から両側に延出し、被固定部に対する固定部と当該固定部よりも前記モールド部側に設けられた応力緩和部とをそれぞれ有する一対の固定用アーム部と、
を備える。
【０００７】
この構成によれば、センサ素子を封止したモールド部から両側に延出する固定用アーム部の固定部により、例えばハウジングに設けられる被固定部に対して素子ユニットを固定することができる。このとき、固定用アーム部には、固定部よりもモールド部側に応力緩和部が設けられているので、使用時において例えば周囲の温度変化に応じてハウジングが膨張・収縮した場合でも、それによって固定部に作用する応力を応力緩和部が緩和する。よって、本構成の素子ユニットを検出装置に組み込んで用いることで、当該検出装置の使用時に、センサ素子の位置ずれを抑制することができる。固定用アーム部の固定部は、樹脂製のハウジングによってさらに封止される場合には位置決めのための部位として機能し得るので、モールド成形にも問題なく供することができる。
【０００８】
以下、本発明の好適な態様について説明する。但し、以下に記載する好適な態様例によって、本発明の範囲が限定される訳ではない。
【０００９】
一態様として、
一対の前記固定用アーム部のそれぞれの前記固定部と前記センサ素子とが、同一直線状に配置されていることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、一対の固定用アーム部のそれぞれの固定部を結ぶ直線上又はその近傍にセンサ素子が配置されることになる。よって、ハウジングの熱膨張・熱収縮によらずに、ハウジング内でのセンサ素子の位置精度を高く維持することができる。
【００１１】
一態様として、
前記固定用アーム部は、金属製のリードフレームで構成され、前記固定部にて樹脂製のハウジングに設けられた前記被固定部に固定されていることが好ましい。
【００１２】
通常、センサ素子には導電性のリード端子が接続されており、当該リード端子は、例えば金属製のリードフレームで構成される場合がある。固定用アーム部をリードフレームで構成することで、センサ素子に接続されるリード端子の形成と同時に固定用アーム部を形成することができ、製造性を損なうことなく固定用アーム部を設けることができる。センサ素子の位置決めも容易であるので、結果的に、ハウジング内でのセンサ素子の位置精度を高めることができる。金属製の固定用アーム部と樹脂製のハウジングとでは線膨張係数が異なるため、通常であればハウジングの熱膨張・熱収縮による影響がセンサ素子に及びやすいが、応力緩和部の存在により、センサ素子の位置ずれを有効に抑制することができる。
【００１３】
一態様として、
前記応力緩和部は、前記固定用アーム部の延出方向に対して交差する方向に突出するように湾曲形成された湾曲部を含み、前記固定部に応力が作用したときに前記湾曲部の撓み変形によって前記固定部に対する前記モールド部の相対移動を吸収することが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、固定用アーム部の一部を、当該固定用アーム部の延出方向に対して交差する方向に突出するように湾曲形成するだけで、簡易な構造でセンサ素子の位置精度を高く維持することができる。
【００１５】
本発明のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態に係る回転角検出装置の断面図
【図２】回転角検出装置の分解斜視図
【図３】素子ユニットの一部透視平面図
【図４】素子ユニット及びハウジングを裏側から見た分解斜視図
【図５】別形態の素子ユニットの模式図
【図６】別形態の素子ユニットの模式図
【図７】別形態の素子ユニットの模式図
【図８】別形態の素子ユニットの模式図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
素子ユニットの実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態では、一例として、自動車のアクセルペダルやブレーキペダル等の被操作部材９５の操作量を検出するために用いられる回転角検出装置１００に用いられる素子ユニット１について説明する。回転角検出装置１００は、被操作部材９５に対するドライバの操作に連動して回動する回動部材５０を備えており、この回動部材５０の回転角を検出するように構成されている。素子ユニット１は、回転角検出装置１００に備えられるハウジング３０の内部に固定されている。
【００１８】
図１及び図２に示すように、回転角検出装置１００は、素子ユニット１と、ハウジング３０と、永久磁石４０と、回動部材５０と、支持部材６０と、戻しばね７０と、駆動部材８０とを主要部品として備えている。
【００１９】
図３に示すように、素子ユニット１は、センサ素子２１と、センサ素子２１を封止したモールド部２５と、モールド部２５から両側に延出する一対の固定用アーム部２７とを備えている。センサ素子２１は、所定の物理量を検出可能な素子であり、本実施形態では磁気の大きさを検出可能な磁気検出素子２２を用いている。磁気検出素子２２は、例えばホール素子や磁気抵抗素子を用いて構成することができる。本実施形態では、磁気検出素子２２はホール素子で構成されている。また、本実施形態のセンサ素子２１（磁気検出素子２２）は、ホール素子と増幅回路とを一体化したホールＩＣを用いて構成されている。センサ素子２１（磁気検出素子２２）は、一対のホールＩＣで構成することができる。
【００２０】
センサ素子２１には、複数本のリード端子２３が接続されている。本実施形態では、一対のホールＩＣのそれぞれに対して電源供給用、グランド用、及び信号出力用の３本のリード端子２３が接続されている。こうして、素子ユニット１には計６本のリード端子２３が設けられている。複数本のリード端子２３は、等間隔で並列配置されている。リード端子２３は、金属製（例えば銅や銅合金製）のリードフレームで形成することができる。センサ素子２１と複数のリード端子２３とは、樹脂製のモールド部２５によって一体化されている。こうして、センサ素子２１は、モールド部２５によって封止されている。複数本のリード端子２３は、直方体状に形成されるモールド部２５から互いに同一方向に延出している。
【００２１】
本実施形態の素子ユニット１は、モールド部２５から両側に延出する一対の固定用アーム部２７を備えている。一対の固定用アーム部２７は、リード端子２３の延出方向に対してそれぞれ直交しつつ互いに反対方向に向かって延出するように設けられている。素子ユニット１は、この固定用アーム部２７によってハウジング３０に固定されるようになっている。固定用アーム部２７のより詳細な構成に関しては、後述する。
【００２２】
図１及び図２に示すように、ハウジング３０は、素子ユニット１を内装している。ハウジング３０は、本体部３１と端子部３３とを有する。ハウジング３０は、樹脂材料を用いて一体的に形成されている。本体部３１は、全体として円筒状に形成されている。本体部３１の内部には収容室Ｒが形成されており、この収容室Ｒに、センサ素子２１を含む素子ユニット１が少なくとも収容されている。本実施形態では、収容室Ｒには、素子ユニット１を固定するための被固定部３６が、本体部３１と一体形成されている（図４を参照）。被固定部３６は、本体部３１の天井面から収容室Ｒの内部空間側に向かって突出形成されている。被固定部３６は、例えば所定高さを有する円柱状の突起である。
【００２３】
図２に示すように、端子部３３には、複数本（リード端子２３の本数と同数；本例では６本）の接続端子３４が、先端部が露出する状態で配置されている。各接続端子３４の他端は、それぞれリード端子２３に接続されている（図４を参照）。そして、端子部３３とそれに嵌合されるコネクタ９０とを介して、素子ユニット１と外部機器（図示せず）とが電気的に接続される。
【００２４】
図１及び図２に示すように、永久磁石４０は、収容室Ｒにおいて、素子ユニット１（センサ素子２１）に対向配置されている。永久磁石４０は、素子ユニット１に対して所定の隙間を隔てた状態で対向配置されている。永久磁石４０の材料は特に限定されず、例えばネオジム磁石、アルニコ磁石、及びフェライト磁石等を広く用いることができる。また、永久磁石４０の製法も特に限定されず、ボンド磁石（プラスチック磁石）や焼結磁石等を広く用いることができる。永久磁石４０は、全体として扁平な直方体状に形成されている。
【００２５】
なお、以下の説明において、便宜上、全体として直方体状の永久磁石４０の短辺に沿う方向をＸ方向と言い、長辺に沿う方向をＹ方向と言い、厚み方向をＺ方向と言う。Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向は互いに直交している。
【００２６】
永久磁石４０は、回動部材５０によって保持されている。回動部材５０は、永久磁石４０を保持する保持部５１と、保持部５１から突出形成された軸部５３とを有する。回動部材５０は、樹脂材料を用いて一体的に形成されている。保持部５１は円板状に形成されている。本実施形態では、永久磁石４０は、１つの表面が露出するように埋設された状態で保持部５１に保持されている。
【００２７】
回動部材５０の軸部５３は、円板状の保持部５１の中心位置に設けられている。軸部５３は、センサ素子２１の延在面に直交する方向であるＺ方向に沿って配置されている。回動部材５０は、永久磁石４０を保持するとともに軸部５３の延在方向であるＺ方向を軸として回動可能となっている。軸部５３の先端には、例えば二面幅の係合部５４が形成されている。保持部５１の裏面には、円弧状の係止突起５６が形成されている。
【００２８】
回動部材５０は、支持部材６０を介して、ハウジング３０に対して回動可能に支持されている。支持部材６０は、中心部に軸受部６１を有する支持本体部６２と、支持本体部６２から両側に延出する一対のフランジ部６８とを含む。支持部材６０は、樹脂材料を用いて一体的に形成されている。軸受部６１は、回動部材５０の軸部５３が挿通可能な円筒状に形成されており、回動部材５０を径方向に支持している。支持本体部６２は、その上面に突出形成された円筒状の筒状部６３を有する。この筒状部６３は、ハウジング３０の本体部３１に対して嵌合されている。この嵌合によって、センサ素子２１に対して永久磁石４０が位置決めされている。なお、この状態で、ハウジング３０と支持部材６０とが例えばレーザ溶接等によって固定されている。
【００２９】
支持本体部６２は、軸受部６１の周囲に環状凹部６５を有する。この環状凹部６５には、戻しばね７０が収容されている。環状凹部６５の底面には、円弧状の係止突起６６が形成されている。フランジ部６８には取付孔６９が形成されており、この取付孔６９に挿通されるボルト等の締結部材によって、回転角検出装置１００が被取付部（例えば車体）に取り付けられる。
【００３０】
支持部材６０と回動部材５０との間に、戻しばね７０が介在されている。戻しばね７０は、例えば金属製のコイルばねである。戻しばね７０は、一端が回動部材５０の係止突起５６に係止されているとともに、他端が支持部材６０の係止突起６６に係止されている。戻しばね７０は、回動部材５０に外力が作用していない状態で、当該回動部材５０の回動方向の位置（位相）を所定の基準位置（基準位相；回転角ゼロ）に戻す役割を果たす。
【００３１】
回動部材５０の軸部５３は、支持部材６０を貫通する状態で配置されている。この軸部５３の先端（係合部５４）に、駆動部材８０が連結されている。駆動部材８０は、軸部５３に連結される連結部８１と、軸部５３とは異なる位置で当該軸部５３に平行に延出するレバー部８４とを有する。連結部８１とレバー部８４とは一体的に形成されている。連結部８１には、例えば二面幅の係合孔８２が形成されており、この係合孔８２には、軸部５３の先端の係合部５４が係合している。こうして、回動部材５０と駆動部材８０とが、相対回転不能に連結されている。レバー部８４には、アクセルペダルやブレーキペダル等の被操作部材９５が係合している。
【００３２】
ドライバの踏み込み操作によって被操作部材９５が変位すると、その被操作部材９５に係合された駆動部材８０も変位する。そして、被操作部材９５及び駆動部材８０の変位に連動して、軸部５３を回転中心として回動部材５０が回動する。このとき、ハウジング３０内に固定されたセンサ素子２１（磁気検出素子２２）に対して、回動部材５０に保持された永久磁石４０が、センサ素子２１の延在面に直交する回転軸を中心として相対回転する。永久磁石４０の回転によって生じる平行磁場の角度変化が回転角としてセンサ素子２１（磁気検出素子２２）で検出され、その出力信号が、接続端子３４に接続されるコネクタ９０を介して、外部機器（例えば車両ＥＣＵ）に供給される。外部機器は、得られた回転角の情報に基づいて、ドライバによる被操作部材９５に対する操作量を検出する。
【００３３】
以下、本実施形態の素子ユニット１に備えられる固定用アーム部２７の、より詳細な構成に関して説明する。
【００３４】
図３に示すように、モールド部２５からＸ方向の両側に延出する一対の固定用アーム部２７は、被固定部３６に対して固定される固定部２７Ａをそれぞれ有している。固定用アーム部２７は、固定部２７Ａにて樹脂製のハウジング３０に設けられた被固定部３６に固定されている。固定部２７Ａは、各固定用アーム部２７におけるモールド部２５とは反対側の先端部に設けられている。固定部２７Ａは、矩形状の平板で構成されている。固定部２７Ａの中央部には、被固定部３６の外形に応じた形状の挿通孔２７ｈがそれぞれ形成されている。図４に示すように、各固定部２７Ａの挿通孔２７ｈに被固定部３６を挿通させることで、ハウジング３０に対する素子ユニット１（センサ素子２１）の位置決めを容易に行うことができる。また、その後、その状態で樹脂製の被固定部３６の先端部を加熱しながら押圧する（いわゆる熱カシメを行う）ことで、素子ユニット１（センサ素子２１）を精度良く位置決めした状態でハウジング３０に固定することができる。
【００３５】
図３に示すように、本実施形態では、センサ素子２１を構成する一対のホールＩＣは、Ｘ方向に並んで配置されている。一対の固定用アーム部２７は、センサ素子２１と同じＹ方向の位置において、それぞれＸ方向に沿って配置されている。こうして、一対の固定用アーム部２７のそれぞれの固定部２７Ａとセンサ素子２１とが、同一直線状に配置されている。すなわち、一対の固定部２７Ａのそれぞれの挿通孔２７ｈの中心と、センサ素子２１の中心（本例のように一対のホールＩＣを備える場合にはそれらの中間点）とが一直線状に並ぶように、センサ素子２１に対して一対の固定用アーム部２７が配設されている。本実施形態では、一対の固定部２７Ａ及びセンサ素子２１の並び方向は、固定用アーム部２７の延出方向（図３のＸ方向）に一致している。
【００３６】
なお、「同一直線状に配置」とは、完全に同一直線上に並んで配置される態様だけでなく、仮に多少の歪みがあったとしても全体としては実質的に同一直線上に並んでいるとみなせる状態に配置される態様を含む概念である。例えばセンサ素子２１と一対の固定部２７Ａのそれぞれとを結ぶ２つの仮想線分を想定した場合、当該２つの仮想線分のなす角が例えば１７０°〜１９０°の範囲内であれば、「同一直線状に配置」されていると考えることができる。
【００３７】
固定用アーム部２７は、リード端子２３と同様に、金属製のリードフレームで構成することができる。このような構成であれば、リード端子２３の形成と同時に固定用アーム部２７を形成することができ、製造性を損なうことなく固定用アーム部２７を設けることができる。また、センサ素子２１の位置決めも容易であるので、結果的に、ハウジング３０内でのセンサ素子２１の位置精度を高めることができる。なお、固定用アーム部２７は、センサ素子２１とは電気的に接続されていない。例えばリード端子２３と固定用アーム部２７とを共通のリードフレームで形成して所定位置にセンサ素子２１を配設し、モールド部２５にてセンサ素子２１を封止した後に不要部分を除去する。こうすることで、固定用アーム部２７をセンサ素子２１から電気的に絶縁されるように切り離すことができる。
【００３８】
ところで、本実施形態のように回転角検出装置１００が車両で用いられる場合、車両の走行中に回転角検出装置１００の周囲が高温となる場合がある。このような場合、周囲の温度変化に応じて回転角検出装置１００を構成する各部が膨張・収縮する。特にハウジング３０に内装された素子ユニット１（センサ素子２１）の部分に注目すると、素子ユニット１は、金属製の一対の固定用アーム部２７によって樹脂製のハウジング３０の被固定部３６に固定されている。このとき、固定用アーム部２７とハウジング３０とでは構成材料が異なり、線膨張係数が異なるため、両者の熱膨張・熱収縮の程度が不均等となってハウジング３０内で素子ユニット１（センサ素子２１）が位置ずれする可能性がある。かかる位置ずれは、検出精度の低下につながるため好ましくない。
【００３９】
そこで、本実施形態の一対の固定用アーム部２７は、先端部に設けられた固定部２７Ａに加え、当該固定部２７Ａよりもモールド部２５側に設けられた応力緩和部２７Ｂをそれぞれ有している。応力緩和部２７Ｂは、例えば周囲の温度変化に応じてハウジング３０が膨張・収縮した場合に、被固定部３６を介して固定部２７Ａに作用する応力を緩和する。これにより、応力緩和部２７Ｂは、モールド部２５（センサ素子２１）側に伝達される応力を低減し、好ましくはほぼゼロとする。よって、ハウジング３０の熱膨張・熱収縮による影響がモールド部２５（センサ素子２１）に及ぶのを抑制することができる。その結果、モールド部２５（センサ素子２１）の位置ずれを有効に抑制することができ、検出精度の低下を有効に抑制することができる。
【００４０】
応力緩和部２７Ｂは、固定用アーム部２７の延出方向（図３のＸ方向）に対して交差する方向（本例では直交する方向）に突出するように湾曲形成された湾曲部２７ｃを含む。本実施形態では、応力緩和部２７Ｂ（湾曲部２７ｃ）は、固定用アーム部２７を構成するリードフレームの延在面（図３のＸＹ平面）内で、固定用アーム部２７の延出方向に対して直交する方向（図３のＹ方向）に突出するように湾曲形成されている。さらに本実施形態では、１つの固定用アーム部２７あたり、Ｙ方向の一方側と他方側とに向かって互いに反対向きにそれぞれ突出する一対の湾曲部２７ｃが設けられている。各固定用アーム部２７における一対の湾曲部２７ｃは、センサ素子２１の延在面に直交する方向であるＺ方向から見て、一対の固定用アーム部２７のそれぞれの固定部２７Ａを結ぶ直線に対して線対称状に設けられている。
【００４１】
このような湾曲部２７ｃは、ハウジング３０の熱膨張・熱収縮によって被固定部３６を介して固定部２７Ａに応力が作用したときに、ＸＹ平面内で撓み変形することによって、固定部２７Ａに対するモールド部２５（センサ素子２１）の相対移動を吸収する。よって、ハウジング３０の熱膨張・熱収縮によらずに、センサ素子２１の位置ずれを有効に抑制することができ、ハウジング３０内でのセンサ素子２１の位置精度を高く維持することができる。しかも、リード端子２３と共通のリードフレームを用いて固定用アーム部２７を形成しつつ、当該固定用アーム部２７の一部を湾曲形成するだけで、簡易な構造でセンサ素子２１の位置精度を高く維持することができる。その結果、回転角検出装置１００による回転角の検出精度を高く維持することができる。
【００４２】
なお、素子ユニット１がハウジング３０によってさらに封止される場合には、固定用アーム部２７を、モールド時の金型内での素子ユニット１（センサ素子２１）の位置決めのために用いることもできる。よって、本実施形態の素子ユニット１であれば、上述したように被固定部３６を介してハウジング３０に固定される態様のみならず、ハウジング３０内に封止される態様でも、問題なく回転角検出装置１００に組み込むことが可能である。
【００４３】
〔その他の実施形態〕
（１）上記の実施形態では、それぞれの固定用アーム部２７が、Ｙ方向の一方側と他方側とに向かって互いに反対向きにそれぞれ突出する一対の湾曲部２７ｃを含む構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば図５に示すように、それぞれの固定用アーム部２７が、Ｙ方向の一方側と他方側とに向かって順次湾曲する連続した１つの湾曲部２７ｃを含んで構成されても良い。或いは、例えば図６に示すように、それぞれの固定用アーム部２７が、Ｙ方向の一方側に向かって湾曲する１つの湾曲部２７ｃを含んで構成されても良い。この場合において、一方の固定用アーム部２７の湾曲部２７ｃの突出方向と他方の固定用アーム部２７の湾曲部２７ｃの突出方向とは、図６のように互いに逆向きであっても良いし、図示は省略するが同一の向きであっても良い。
【００４４】
（２）上記の実施形態では、モールド部２５の両側に固定用アーム部２７が１つずつ設けられている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば図７に示すように、モールド部２５の両側に固定用アーム部２７が複数（但し、互いに同数）個ずつ設けられても良い。すなわち、素子ユニット１が、モールド部２５から両側に延出する一対の固定用アーム部２７を複数組備えて構成されても良い。
【００４５】
（３）上記の実施形態では、応力緩和部２７Ｂ（湾曲部２７ｃ）が固定用アーム部２７を構成するリードフレームの延在面（図３のＸＹ平面）内で湾曲形成されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば図８に示すように、応力緩和部２７Ｂ（湾曲部２７ｃ）が固定用アーム部２７を構成するリードフレームの厚み方向（図８のＺ方向）に湾曲形成されても良い。
【００４６】
（４）上記の実施形態では、同一直線状に配置される一対の固定部２７Ａ及びセンサ素子２１の並び方向が、固定用アーム部２７の延出方向に一致している構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えばモールド部２５の両側の一対の固定用アーム部２７がＹ方向においてセンサ素子２１を中心とする対称位置に互いに平行に配置される等して、それらの並び方向と固定用アーム部２７の延出方向とが交差しても良い。
【００４７】
（５）上記の実施形態では、一対の固定用アーム部２７のそれぞれの固定部２７Ａとセンサ素子２１とが同一直線状に配置されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば一対の固定部２７Ａとセンサ素子２１とが、センサ素子２１の配置位置を中心とする折れ線状に配置されても良い。
【００４８】
（６）上記の実施形態では、固定用アーム部２７がリード端子２３と共通のリードフレームで構成される例について説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば固定用アーム部２７が、リード端子２３を構成するリードフレームとは別の、専用の薄板部材（金属製に限らず、ハウジング３０とは異なる材料であれば良い）で構成されても良い。
【００４９】
（７）上記の実施形態では、センサ素子２１が磁気検出素子２２であり、回動部材５０に保持された永久磁石４０によって生じる平行磁場の角度変化を回転角として検出する回転角検出装置１００に内装される素子ユニット１を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、あらゆる種類の検出装置に用いられる素子ユニット１に、本技術を適用することが可能である。センサ素子２１として具体的にいかなる素子を用いるかは、検出対象の物理量に応じて適切に選択されれば良い。
【００５０】
（８）上述した各実施形態（上記の実施形態及びその他の実施形態を含む；以下同様）で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で例示であって、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で適宜改変することが可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１        素子ユニット
２１      センサ素子
２５      モールド部
２７      固定用アーム部
２７Ａ    固定部
２７Ｂ    応力緩和部
２７ｃ    湾曲部
３０      ハウジング
３６      被固定部
【図１】
2018046200.tif 000003
【図２】
2018046200.tif 000004
【図３】
2018046200.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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