(57)【要約】【課題】装置の大型化を招くことなく、バッファ領域の長さ調整と原反の蛇行の補正とを行うことができるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１０は、原接着シートＡＳに剥離シートＲＬが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、原接着シートＡＳに切断位置ＡＰで切込ＣＵを設け、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳ１を形成し、外側に不要シートＵＳを形成するシート形成手段３０と、不要シートＵＳを剥離して剥離シートＲＬに支持された接着シートＡＳ１を貼付位置ＢＰに送るシート送り手段４０と、貼付位置ＢＰの接着シートＡＳ１を被着体ＷＦに貼付する貼付手段５０とを備え、シート送り手段４０は、原反ＲＳの蛇行を検知する検知手段４２と、切断位置ＡＰから貼付位置ＢＰまでの原反ＲＳの長さを調整するとともに、検知手段４２の検知結果に基づいて原反ＲＳの蛇行を補正する原反長調整手段４３とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の原接着シートに剥離シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される前記原接着シートに所定の切断位置で閉ループ状の切込を設け、当該切込の内側に所定形状の接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成するシート形成手段と、
前記不要シートを前記剥離シートから剥離して当該剥離シートに支持された前記接着シートを所定の貼付位置に送るシート送り手段と、
前記シート送り手段で前記貼付位置に送られた前記接着シートを被着体に押圧して貼付する貼付手段とを備え、
前記シート送り手段は、前記原反の蛇行を検知する検知手段と、前記切断位置から前記貼付位置までの原反の長さを所望の長さに調整するとともに、前記検知手段の検知結果に基づいて前記原反の蛇行を補正する原反長調整手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
帯状の原接着シートに剥離シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
繰り出された前記原接着シートに所定の切断位置で閉ループ状の切込を設け、当該切込の内側に所定形状の接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成するシート形成工程と、
前記不要シートを前記剥離シートから剥離して当該剥離シートに支持された前記接着シートを所定の貼付位置に送るシート送り工程と、
前記貼付位置に送られた前記接着シートを所定の貼付位置で被着体に押圧して貼付する貼付工程とを備え、
前記シート送り工程は、前記原反の蛇行を検知する検知工程と、原反長調整手段が前記切断位置から前記貼付位置までの原反の長さを所望の長さに調整するとともに、前記検知工程の検知結果に基づいて前記原反の蛇行を補正する原反長調整工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、剥離シートに仮着された帯状の原接着シートに所定の切断位置で閉ループ状の切込を設けることで、当該切込の内側に所定形状の接着シートを形成し、当該接着シートを所定の貼付位置で被着体に押圧して貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このシート貼付装置では、ダンサローラで切断位置から貼付位置までの原反（以下、切断位置から貼付位置までの間に位置する原反を、単に「バッファ領域」ともいう）を所望の長さに調整している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３１７８８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、原反が蛇行した場合、当該蛇行の補正をダンサローラで行うことができないため、蛇行を補正するための構成を別に設ける必要があり、装置が大型化してしまうという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、装置の大型化を招くことなく、バッファ領域の長さ調整と原反の蛇行の補正とを行うことができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
以上のような本発明によれば、装置の大型化を招くことなく、バッファ領域の長さ調整と原反の蛇行の補正とを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】シート貼付装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１において、シート貼付装置１０は、帯状の原接着シートＡＳに剥離シートＲＬが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出される原接着シートＡＳに所定の切断位置ＡＰで閉ループ状の切込ＣＵを設け、当該切込ＣＵの内側に所定形状の接着シートＡＳ１を形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成するシート形成手段３０と、不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離して当該剥離シートＲＬに支持された接着シートＡＳ１を所定の貼付位置ＢＰに送るシート送り手段４０と、シート送り手段４０で貼付位置ＢＰに送られた接着シートＡＳ１を被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦに押圧して貼付する貼付手段５０と、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面６１を有する支持手段６０とを備えている。
原接着シートＡＳは、基材シートＢＳと当該基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤ＡＤ層を備え、基材シートＢＳの他方の面に剥離シートＲＬが疑似接着によって仮着されている。
【００１１】
繰出手段２０は、駆動機器としての回動モータ２１Ａによって駆動し、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動し、シート送り手段４０で剥離された不要シートＵＳを回収する第１回収ローラ２３とを備えている。
【００１２】
シート形成手段３０は、原接着シートＡＳを貫通しかつ剥離シートＲＬを貫通しない切込ＣＵを形成する切断手段としてのカッター刃３１Ａを支持し、駆動機器としての回動モータ３２によって駆動するカッターローラ３１と、原反ＲＳの剥離シートＲＬ側に位置し、カッターローラ３１と同期して回転する圧胴３３とを備えている。
【００１３】
シート送り手段４０は、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離する剥離手段としての剥離ローラ４１と、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等により構成され、原反ＲＳの蛇行を検知する検知手段４２と、切断位置ＡＰから貼付位置ＢＰまでの原反ＲＳ（バッファ領域）を所望の長さに調整するとともに、検知手段４２の検知結果に基づいて原反ＲＳの蛇行を補正する原反長調整手段４３と、駆動機器としてのリニアモータ４４の第１スライダ４４Ａに支持されたフレーム４４Ｂと、当該フレーム４４Ｂに支持された駆動機器としての回動モータ４５Ａによって回動する駆動ローラ４５と、駆動ローラ４５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ４６と、剥離シートＲＬを案内するガイドローラ４７と、駆動機器としての回動モータ４８Ａによって駆動し、剥離シートＲＬを回収する第２回収ローラ４８とを備えている。
原反長調整手段４３は、前後に一対配置された駆動機器としての第１、第２リニアモータ４３Ａ、４３Ｂと、そのスライダ４３Ｃ、４３Ｄに支持され、自動調心機能を備えた一対の回転軸受４３Ｅ、４３Ｆ（図２（Ａ）参照）と、当該一対の回転軸受４３Ｅ、４３Ｆに両端が支持された回転軸４３Ｇと、当該回転軸４３Ｇに支持された調整ローラ４３Ｈとを備えている。
【００１４】
貼付手段５０は、リニアモータ４４の第２スライダ４４Ｃに支持された駆動機器としての直動モータ５１と、その出力軸５１Ａに支持された押圧部材としての押圧ローラ５２とを備えている。
【００１５】
以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳ１を貼付する手順について説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示す状態のシート貼付装置１０に対し、当該シート貼付装置１０の作業者（以下、単に「作業者」という）が同図中実線で示すように原反ＲＳをセットする。次いで、作業者が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、カッター刃３１Ａによって形成される接着シートＡＳ１のサイズや隣り合う接着シートＡＳ１同士の間隔を入力した後、自動運転の信号を入力する。すると、繰出手段２０およびシート送り手段４０は、例えば接着シートＡＳ１の大きさによらず当該接着シートＡＳ１が貼付位置ＢＰに位置するときにカッター刃３１Ａが原接着シートＡＳに食い込まないように、バッファ領域の長さを調整する。
【００１６】
この際、バッファ領域を長くする場合、繰出手段２０およびシート送り手段４０が回動モータ２１Ａ、２３Ａおよび第１、第２リニアモータ４３Ａ、４３Ｂを駆動し、図１中二点鎖線で示すようにバッファ領域を長くしつつスライダ４３Ｃ、４３Ｄを同じ距離だけ右方向に移動させ、調整ローラ４３Ｈとの当接によって原反ＲＳを屈曲させる。一方、バッファ領域を例えば図１中二点鎖線に示す状態から短くする場合、繰出手段２０およびシート送り手段４０が回動モータ２１Ａ、２３Ａおよび第１、第２リニアモータ４３Ａ、４３Ｂを、バッファ領域を長くする場合と逆方向に駆動し、バッファ領域を短くしつつスライダ４３Ｃ、４３Ｄを同じ距離だけ左方向に移動させ、調整ローラ４３Ｈとの当接による原反ＲＳの屈曲角度を小さくしたり、調整ローラ４３Ｈと原反ＲＳとの当接を解除したりする。
【００１７】
次いで、調整ローラ４３Ｈが図１中実線で示すように位置する状態において、繰出手段２０、シート形成手段３０およびシート送り手段４０が回動モータ２１Ａ、２３Ａ、回動モータ３２および回動モータ４５Ａ、４８Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、それに同期させてカッターローラ３１および圧胴３３を回転させる。これにより、カッター刃３１Ａが原接着シートＡＳに切込ＣＵを設けることで、接着シートＡＳ１と不要シートＵＳとを形成するとともに、第１回収ローラ２３および第２回収ローラ４８が不要シートＵＳおよび剥離シートＲＬを回収しつつ、接着シートＡＳ１を左方向に送る。その後、繰出方向ＤＡ１の先頭の接着シートＡＳ１が貼付位置ＢＰに位置したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２０、シート形成手段３０およびシート送り手段４０が回動モータ２１Ａ、２３Ａ、回動モータ３２および回動モータ４５Ａ、４８Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
【００１８】
ここで、接着シートＡＳ１が貼付位置ＢＰに到達するまでの間、シート送り手段４０が検知手段４２を駆動し、原反ＲＳが蛇行したこと、例えば原反ＲＳが図２（Ａ）に実線で示すＸ軸に対して平行な繰出方向ＤＡ１から二点鎖線で示す左前方向に進む進行方向ＤＢになったことを検知手段４２が検知すると、原反ＲＳの繰り出し中にシート送り手段４０が第１リニアモータ４３Ａを駆動し、スライダ４３Ｃを右方向に移動させ、同図（Ｂ）に示すように回転軸４３Ｇが平面視ＸＹ方向に傾いた状態で調整ローラ４３Ｈを剥離シートＲＬに当接させることで、同図に示すように進行方向ＤＢが繰出方向ＤＡ１に一致するように原反ＲＳの蛇行を補正する。一方、原反ＲＳが図２（Ａ）に二点鎖線で示す方向とは反対方向に蛇行したことを検知手段４２が検知すると、シート送り手段４０が第２リニアモータ４３Ｂを駆動し、スライダ４３Ｄを右方向に移動させ、同図（Ｂ）とは逆方向に調整ローラ４３Ｈの回転軸４３Ｇを平面視−ＸＹ方向に傾けることで、原反ＲＳの蛇行を補正する。この蛇行の補正によって、接着シートＡＳ１を貼付位置ＢＰに正確に位置させることができる。
【００１９】
次に、図１に示すように、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が支持手段６０の支持面６１上にウエハＷＦを載置すると、支持手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持する。その後、貼付手段５０が直動モータ５１を駆動し、押圧ローラ５２を下降させた後、シート送り手段４０がリニアモータ４４を駆動し、押圧ローラ５２を右方向に移動させることで、図１中二点鎖線で示すように接着シートＡＳ１をウエハＷＦに押圧して貼付する。次いで、貼付手段５０およびシート送り手段４０が直動モータ５１およびリニアモータ４４を駆動し、押圧ローラ５２を初期位置に復帰させる。その後、シート送り手段４０がリニアモータ４４および回動モータ４５Ａを駆動し、フレーム４４Ｂを右方向に移動させ、接着シートＡＳ１から剥離シートＲＬを剥離する。
【００２０】
次いで、シート送り手段４０が駆動ローラ４５をロックさせた状態で、繰出手段２０、シート形成手段３０およびシート送り手段４０が回動モータ２１Ａ、２３Ａ、回動モータ３２、リニアモータ４４および回動モータ４８Ａを駆動し、フレーム４４Ｂを初期位置に復帰させるとともに、カッター刃３１Ａが新しい接着シートＡＳ１と不要シートＵＳとを形成し、第１回収ローラ２３および第２回収ローラ４８で不要シートＵＳおよび剥離シートＲＬを回収しつつ、繰出方向ＤＡ１の先頭の接着シートＡＳ１を貼付位置ＢＰに位置させる。そして、支持手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、図示しない搬送手段が接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、装置の大型化を招くことなく、バッファ領域の長さ調整と原反ＲＳの蛇行の補正とを行うことができる。
【００２２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２３】
例えば、繰出手段２０は、原接着シートＡＳにおける接着剤ＡＤ層側の面に剥離シートＲＬが仮着された原反を繰り出してもよく、この場合、貼付手段５０に代えて、例えば剥離手段で剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳ１を剥離し、当該接着シートＡＳ１をウエハＷＦに押圧して貼付する貼付手段を設ければよい。
【００２４】
シート形成手段３０は、ウエハＷＦと同形状の接着シートＡＳ１を形成するのではなく、異なる形状のものを形成したり、ウエハＷＦよりも大きいものを形成したり、ウエハＷＦよりも小さいものを形成してもよい。
【００２５】
検知手段４２は、支持ローラ２１から剥離ローラ４１までに存在する原反ＲＳの蛇行を検知するものであってもよいし、所望の位置に複数設けてもよい。
【００２６】
原反長調整手段４３は、原反ＲＳの蛇行を補正する際に、スライダ４３Ｃ、４３Ｄの両方を同じ方向に異なる距離だけ、あるいは、両方を異なる方向に同じ距離または異なる距離だけ移動させることで、調整ローラ４３Ｈの回転軸４３Ｇを傾けてもよい。
原反長調整手段４３は、第１、第２リニアモータ４３Ａ、４３Ｂに併用して、回転軸４３Ｇの両端を上下に移動させる構成を設けて、調整ローラ４３Ｈを上下に移動させることでバッファ領域の長さを調整し、回転軸４３Ｇを傾けることで原反ＲＳの蛇行を補正してもよい。
原反長調整手段４３は、原反ＲＳの繰り出し中に検知手段４２が当該原反ＲＳの蛇行を検知した場合、当該繰り出し中に蛇行を補正せずに、当該繰り出しによって貼付位置ＢＰに位置した接着シートＡＳ１貼付後の再繰り出し時に補正してもよい。
【００２７】
押圧ローラ５２を昇降させる直動モータ５１に代えてまたは併用して、支持手段６０を昇降させる構成を設けて、ウエハＷＦを接着シートＡＳ１に対して接近させてもよい。
押圧ローラ５２の位置を固定しておきまたは、押圧ローラ５２を移動させつつ接着シートＡＳ１および支持手段６０を移動させて接着シートＡＳ１をウエハＷＦに貼付してもよい。
【００２８】
また、本発明における接着シートＡＳ１および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ１は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳ１が採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳ１は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳ１を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２９】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、帯状の原接着シートに剥離シートが仮着された原反を繰り出し可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３０】
１０    シート貼付装置
２０    繰出手段
３０    シート形成手段
４０    シート送り手段
４２    検知手段
４３    原反長調整手段
５０    貼付手段
ＡＰ    切断位置
ＡＳ    原接着シート
ＡＳ１  接着シート
ＢＰ    貼付位置
ＣＵ    切込
ＲＬ    剥離シート
ＲＳ    原反
ＵＳ    不要シート
ＷＦ    ウエハ（被着体）
【図１】
2018129383.tif 000003
【図２】
2018129383.tif 000004