(57)【要約】【課題】  プローブの稜線がガイド孔の内面に接触するのを防止するとともに、ガイド孔を狭ピッチ化する。【解決手段】  互いに略直交する横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２にそれぞれ整列するように格子状に配置された多数のガイド孔１０を備え、ガイド孔１０の形状は、横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２にそれぞれ延びる辺２１で囲まれた矩形のプローブ挿通部２０と、プローブ挿通部２０の４つの頂点に相当する４つの仮想頂点２２をそれぞれ内包する４つの溝部３０とで構成され、横方向Ｄ１において互いに隣接する少なくとも２つのガイド孔１０にそれぞれ属する互いに対向する２つの溝部３０のうち、一方の溝部３０は、プローブ挿通部２０に対する横方向の深さｄ１が縦方向の深さｄ２よりも浅く、他方の溝部３０は、プローブ挿通部２０に対する縦方向の深さｄ２が横方向の深さｄ１よりも浅い。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに略直交する第１方向及び第２方向にそれぞれ整列するように格子状に配置された多数のガイド孔を備え、
前記ガイド孔の形状は、前記第１方向及び第２方向にそれぞれ延びる辺で囲まれた矩形のプローブ挿通部と、上記プローブ挿通部の４つの頂点に相当する４つの仮想頂点をそれぞれ内包する４つの溝部とで構成され、
前記第１方向において互いに隣接する少なくとも２つの前記ガイド孔にそれぞれ属する互いに対向する２つの前記溝部のうち、一方の前記溝部は、前記プローブ挿通部に対する第１方向の深さが第２方向の深さよりも浅く、他方の前記溝部は、前記プローブ挿通部に対する第２方向の深さが第１方向の深さよりも浅いことを特徴とするプローブカード用ガイド板。
【請求項２】
前記２つのガイド孔の一方に属する４つの前記溝部のうち、前記２つのガイド孔の他方と対向する２つの前記溝部の一方は、前記プローブ挿通部に対する第１方向の深さが第２方向の深さよりも浅く、前記２つの溝部の他方は、前記プローブ挿通部に対する第２方向の深さが前記第１方向の深さよりも浅く、
前記２つのガイド孔の他方に属し、前記２つの溝部の前記一方と対向する前記溝部は、前記プローブ挿通部に対する第２方向の深さが第１方向の深さよりも浅く、
前記２つのガイド孔の他方に属し、前記２つの溝部の前記他方と対向する前記溝部は、前記プローブ挿通部に対する第１方向の深さが第２方向の深さよりも浅いことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード用ガイド板。
【請求項３】
前記２つのガイド孔の一方に属する４つの前記溝部のうち、前記２つのガイド孔の他方と対向する２つの前記溝部は、いずれも前記プローブ挿通部に対する第１方向の深さが第２方向の深さよりも浅く、
前記２つのガイド孔の他方に属し、前記２つの溝部とそれぞれ対向する２つの前記溝部は、いずれも前記プローブ挿通部に対する第２方向の深さが第１方向の深さよりも浅いことを特徴とする請求項１に記載のプローブカード用ガイド板。
【請求項４】
第１方向及び第２方向にそれぞれ２つ整列し、互いに隣接する少なくとも４つの前記ガイド孔のうち、異なる前記ガイド孔にそれぞれ属し、かつ、第１方向又は第２方向において互いに対向する任意の２つの前記溝部の一方は、前記プローブ挿通部に対する第１方向の深さが第２配列方向の深さよりも浅く、前記任意の２つの溝部の他方は、前記プローブ挿通部に対する第２方向の深さが第１配列方向の深さよりも浅いことを特徴とする請求項２又は３に記載のプローブカード用ガイド板。
【請求項５】
前記溝部の外縁は、円弧又は楕円の外縁の一部であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のプローブカード用ガイド板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブカード用ガイド板に係り、更に詳しくは、多数のガイド孔が格子状に配置されたプローブカード用ガイド板の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プローブカードは、配線基板上に多数のコンタクトプローブを立設して構成され、半導体集積回路の検査工程において使用される。半導体集積回路の検査は、コンタクトプローブを半導体ウエハ上に形成された半導体集積回路の電極パッドに接触させ、半導体集積回路と外部装置とを導通させることにより行われる。
【０００３】
従来のプローブカードには、プローブを位置決めするためのガイド板を備えているものがある（例えば、特許文献１）。ガイド板には、プローブがそれぞれ挿通される多数のガイド孔が形成され、プローブを上下動可能に支持することにより、水平面内におけるプローブの位置決めを行っている。
【０００４】
ガイド孔の形状、すなわちガイド板の主面から裏面へ貫通するガイド孔を鉛直方向から見た場合の形状は、プローブの断面形状に対応するように形成される。最近の微細なプローブは、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）技術を利用して形成され、略矩形の断面形状を有することから、ガイド孔も略矩形になるように形成される。
【０００５】
しかし、ガイド孔の形状は、フォトリソグラフィ技術によって形成され、そのパターン加工精度の制約を受ける。このため、矩形の頂点は緩やかなＲ形状となり、その曲率はプローブの矩形断面の頂点よりも遥かに小さくなる。このため、プローブの外周面上の稜線がガイド孔の内面に接触し、プローブ又はガイド孔が破損し、あるいは、切削屑が生じるおそれがある。
【０００６】
そこで、プローブの稜線とガイド孔の内面との接触を防止する技術が提案されている（例えば、特許文献２）。特許文献２に記載のガイド板では、貫通孔本体の４つの壁面の突き当たり部分にそれぞれ溝を設けることにより、プローブの角部がガイド孔の内面と接触するのを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１２−９３１２７号公報
【特許文献２】特開２０１４−１８１９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した従来のガイド板は、ガイド孔の各頂点に溝が形成されている。このため、プローブを狭ピッチで配置しようとすれば、隣接するガイド孔の溝部が接近し過ぎ、ガイド孔を隔てる部材の幅が狭くなり、ガイド板の機械的強度が低下するという問題があった。また、ガイド板の機械的強度を確保しようとすれば、プローブを狭ピッチで配置することができないという問題があった。
【０００９】
また、溝の深さを浅くすれば、隣接するガイド孔の間隔を長くすることができると考えられる。しかしながら、溝もフォトリソグラフィ技術によるパターン加工精度の制約を受けるため、プローブの稜線がガイド孔の内面に接触するのを防止しつつ、溝を浅くするのには限界があるという問題があった。
【００１０】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、ガイド板の機械的強度を確保することができるプローブカード用ガイド板を適用することを目的とする。また、ガイド孔を狭ピッチ化することができるプローブカード用ガイド板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１の態様によるプローブカード用ガイド板は、互いに略直交する第１方向及び第２方向にそれぞれ整列するように格子状に配置された多数のガイド孔を備え、前記ガイド孔は、前記第１方向及び第２方向にそれぞれ延びる辺で囲まれた矩形のプローブ挿通部と、上記プローブ挿通部の４つの頂点に相当する４つの仮想頂点をそれぞれ内包する４つの溝部とを備え、前記第１方向において互いに隣接する少なくとも２つの前記ガイド孔にそれぞれ属する互いに対向する２つの前記溝部のうち、一方の前記溝部は、前記プローブ挿通部に対する第１方向の深さが第２方向の深さよりも浅く、他方の前記溝部は、前記プローブ挿通部に対する第２方向の深さが第１方向の深さよりも浅い。
【００１２】
ガイド孔が、矩形のプローブ挿通部と、プローブ挿通部の４つの仮想頂点をそれぞれ内包する４つの溝部とを備えることにより、プローブの外周面上の稜線が、ガイド孔の内周面に接触し、プローブ又はガイド孔が破損し、あるいは、切削屑が生じるのを抑制することができる。
【００１３】
また、第１方向において互いに隣接する２つのガイド孔にそれぞれ属する互いに対向する２つの溝部のうち、一方の溝部は、第１方向の深さが第２方向の深さよりも浅く、他方の溝部は、第２方向の深さが第１方向の深さよりも浅い。このため、これらの溝部は、プローブ挿通部の仮想頂点を確実に内包する一方、溝部間の距離として従来のガイド板よりも長い距離を確保することができる。
【００１４】
本発明の第２の態様によるプローブカード用ガイド板は、上記構成に加え、前記２つのガイド孔の一方に属する４つの前記溝部のうち、前記２つのガイド孔の他方と対向する２つの前記溝部の一方は、前記プローブ挿通部に対する第１方向の深さが第２方向の深さよりも浅く、前記２つの溝部の他方は、前記プローブ挿通部に対する第２方向の深さが前記第１方向の深さよりも浅い。また、前記２つのガイド孔の他方に属し、前記２つの溝部の前記一方と対向する前記溝部は、前記プローブ挿通部に対する第２方向の深さが第１方向の深さよりも浅く、前記２つのガイド孔の他方に属し、前記２つの溝部の前記他方と対向する前記溝部は、前記プローブ挿通部に対する第１方向の深さが第２方向の深さよりも浅い。
【００１５】
上記構成を採用することにより、４つの溝部がプローブ挿通部の仮想頂点をそれぞれ確実に内包する一方、第１方向において互いに隣接するガイド孔間の最短距離として、従来のガイド板よりも長い距離を確保することができる。
【００１６】
本発明の第３の態様によるプローブカード用ガイド板は、上記構成に加え、前記２つのガイド孔の一方に属する４つの前記溝部のうち、前記２つのガイド孔の他方と対向する２つの前記溝部は、いずれも前記プローブ挿通部に対する第１方向の深さが第２方向の深さよりも浅い。また、前記２つのガイド孔の他方に属し、前記２つの溝部とそれぞれ対向する２つの前記溝部は、いずれも前記プローブ挿通部に対する第２方向の深さが第１方向の深さよりも浅い。
【００１７】
上記構成を採用することにより、４つの溝部がプローブ挿通部の仮想頂点をそれぞれ確実に内包する一方、第１方向において互いに隣接するガイド孔間の最短距離として、従来のガイド板よりも長い距離を確保することができる。
【００１８】
本発明の第４の態様によるプローブカード用ガイド板は、上記構成に加え、第１方向及び第２方向にそれぞれ２つ整列し、互いに隣接する少なくとも４つの前記ガイド孔のうち、異なる前記ガイド孔にそれぞれ属し、かつ、第１方向又は第２方向において互いに対向する任意の２つの前記溝部の一方は、前記プローブ挿通部に対する第１方向の深さが第２配列方向の深さよりも浅く、前記任意の２つの溝部の他方は、前記プローブ挿通部に対する第２方向の深さが第１配列方向の深さよりも浅い。
【００１９】
上記構成を採用することにより、第１方向及び第２方向のいずれについても、互いに隣接するガイド孔間の最短距離として、従来のガイド板よりも長い距離を確保することができる。
【００２０】
本発明の第５の態様によるプローブカード用ガイド板は、上記構成に加え、前記溝部の外縁が、円弧又は楕円の外縁の一部である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によるプローブカード用ガイド板は、互いに対向する２つの溝部が、互いに異なる方向に偏らせて配置されることにより、従来技術に比べて、隣接するガイド孔間により長い距離を確保することができる。このため、ガイド板の機械的強度を確保することができる。また、ガイド孔を狭ピッチ化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態１によるガイド板１０５を含むプローブカード１００の一構成例を示した断面図である。
【図２】図１のガイド板１０５の一構成例を示した平面図である。
【図３】図２のガイド板１０５をＡ−Ａ切断線により切断した場合の切断面を示した断面図である。
【図４】図２のガイド孔１０を拡大して示した斜視図である。
【図５】図２のガイド孔１０の形状の詳細構成の一例を示した図である。
【図６】図２のガイド孔１０の配列の一例を示した図である。
【図７】比較例として従来のガイド板１０５'を示した図である。
【図８】本発明の実施の形態２によるガイド孔１０の形状の一例が示されている。
【図９】本発明の実施の形態２によるガイド孔１０の配列の一例を示した図である。
【図１０】本発明の実施の形態３によるガイド孔１０の形状の一例が示されている。
【図１１】本発明の実施の形態３によるガイド孔１０の配列の一例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。本明細書では、便宜上、ガイド板１０５が水平方向に配置され、また、水平面内における互いに交差する方向を横方向及び縦方向として説明するが、本発明によるガイド板１０５の使用時における姿勢を限定するものではない。また、ガイド孔の形状とは、鉛直方向から見た形状を意味する。
【００２４】
実施の形態１．
＜プローブカード１００＞
図１は、本発明の実施の形態１によるガイド板１０５を含むプローブカード１００の一構成例を示した断面図であり、プローブカード１００を鉛直面により切断した切断面が示されている。
【００２５】
プローブカード１００は、半導体ウエハなどの検査対象物（不図示）に対する電気的接続を行う検査装置であり、検査対象物上の多数の電極端子にそれぞれ接触させる多数のプローブ１０６が当該電極に対応するように配設されている。図示したプローブカード１００は、メイン基板１０１、補強板１０２、ＳＴ（スペーストランスフォーマ）基板１０３、スペーサ１０４及びガイド板１０５及び２以上のプローブ１０６により構成される。
【００２６】
メイン基板１０１は、プローブ装置（不図示）に着脱可能に取り付けられる配線基板であり、例えば、円盤形状のプリント基板を用いることができる。メイン基板１０１は、略水平に配置され、その上面には、補強板１０２が取り付けられている。補強板１０２は、メイン基板１０１の歪みを抑制するための補強部材であり、例えば、金属ブロックを用いることができる。また、補強板１０２よりも外側、つまり、メイン基板１０１の上面の外周縁部には、テスター装置（不図示）の信号端子が接続される２以上の外部電極Ｔｅが設けられている。
【００２７】
ＳＴ基板１０３は、電極の配列ピッチを変換する配線基板であり、メイン基板１０１の下面に取り付けられている。ＳＴ基板１０３の下面には、プローブ１０６が接続される２以上のプローブ電極Ｔｐが配設されている。プローブ電極Ｔｐは、プローブ１０６に対応するピッチで配設されるとともに、ＳＴ基板１０３及びメイン基板１０１の配線パターン及びスルーホールを介して、より広ピッチで配設された外部電極Ｔｅと導通している。
【００２８】
ガイド板１０５は、プローブ１０６を上下動可能に支持する支持部材であり、例えば、略平板形状のシリコン基板を用いることができる。ガイド板１０５は、スペーサ１０４を介してメイン基板１０１、補強板１０２又はＳＴ基板１０３に固定され、ＳＴ基板１０３から距離を隔てて略水平に配置される。
【００２９】
プローブ１０６は、細長い形状を有する導電性材料からなり、上端がプローブ電極Ｔｐに接続され、下端が検査対象物上の電極端子に接触する。また、プローブ１０６は、プローブ１０６が接触している検査対象物をさらにプローブカード１００に近づけるオーバードライブによって弾性変形し、下端が上下動する。このようなプローブ１０６として、例えば、上下方向に延びる形状を有し、オーバードライブにより座屈変形する垂直型プローブを用いることができる。
【００３０】
プローブ１０６は、例えば、ＭＥＭＳ技術を利用して作製される。ＭＥＭＳは、フォトリソグラフィ技術及び犠牲層エッチング技術を利用して、微細な立体的構造物を作製する技術である。フォトリソグラフィ技術は、半導体製造プロセスなどで利用される感光レジストを用いた微細パターンの加工技術である。また、犠牲層エッチング技術は、犠牲層と呼ばれる下層を形成し、その上に構造物を構成する１又は２以上の層をさらに形成した後、犠牲層のみをエッチングして立体的な構造物を形成する技術である。
【００３１】
製造コストを考慮すれば、プローブ１０６を構成する１又は２以上の層は、積層面がプローブ１０６の長手方向（上下方向）と平行になるように、プローブ１０６の厚さ方向（水平方向）に堆積して形成されることが望ましい。この場合、プローブ１０６の外周面には、長手方向に延びる４つの稜線が形成される。これらの稜線は、フォトリソグラフィ技術による加工面と積層面とが交差する線として形成される。このため、プローブ１０６の断面は略矩形になり、その４つの頂点は、フォトリソグラフィ技術で形成された矩形パターンの頂点に比べて遥かに大きな曲率を有する。
【００３２】
＜ガイド板１０５＞
図２は、図１のガイド板１０５の一構成例を示した平面図である。ガイド板１０５は、略矩形の平板からなり、その主面には、プローブ１０６に対応する多数のガイド孔１０が配設されている。ガイド孔１０は、横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２にそれぞれ整列することにより、格子状に配列される。横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２は互いに略直交し、ガイド孔１０は、横方向Ｄ１に一定の間隔をあけて配列されるとともに、縦方向Ｄ２にも一定の間隔をあけて配列される。なお、横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２におけるガイド孔１０の間隔は、一致していることが望ましい。
【００３３】
図３は、図２のガイド板１０５をＡ−Ａ切断線により切断した場合の切断面を示した断面図である。ガイド孔１０は、水平方向に配置されたガイド板１０５を上下方向に貫通する貫通孔であり、ガイド孔１０にプローブ１０６を挿通することにより、ガイド板１０５は、プローブ１０６を上下動可能に支持する。
【００３４】
ガイド板１０５は、以下の方法で作製される。まず、シリコン基板上に感光レジストを塗布した後、レジスト膜をパターニングすることにより、ガイド孔１０に対応する複数の開口がレジスト膜に形成される。次に、レジスト膜のパターニング後のシリコン基板に対し、エッチング処理を行うことによってガイド孔１０をシリコン基板に形成した後、レジスト膜を除去すれば、ガイド板１０５が完成する。
【００３５】
この様な方法によりガイド板１０５を作製した場合、ガイド孔１０の形状は、フォトリソグラフィ技術によるパターン加工精度の制約を受ける。例えば、ガイド孔１０の形状が矩形であれば、その頂点は緩やかなＲ形状となり、その曲率はプローブ１０６の断面の各頂点の曲率に比べて遥かに小さくなる。このため、ガイド孔１０の形状が矩形であれば、プローブ１０６の側面の稜線がガイド孔１０の内面に接触し、プローブ１０６又はガイド孔１０が破損し、あるいは、切削屑が生じるおそれがある。そこで、ガイド孔１０の内面には、プローブ１０６の稜線に対向する溝が形成されている。
【００３６】
＜ガイド孔１０の概略構成＞
図４は、図２のガイド孔１０を拡大して示した斜視図である。ガイド孔１０内には、プローブ１０６の側面と対向する４つの平面１１と、プローブ１０６の稜線と対向する４つの溝１２とが設けられている。
【００３７】
４つの平面１１は、プローブ１０６の上下動をガイドするとともに、プローブ１０６の水平方向の位置決めを行う。プローブ１０６がガイド板１０５に対して上下動する際、プローブ１０６の側面がガイド孔１０の平面１１上を摺動することにより、プローブ１０６は、平面１１によって上下動可能に支持される。また、プローブ１０６を４つの平面１１で囲むことにより、プローブ１０６の水平方向の移動が制限され、プローブ１０６の位置決めが行われる。
【００３８】
溝１２は、ガイド孔１０の内面に形成された凹部であり、上下方向に延びる細長い形状を有する。また、溝１２の内周面は、円筒面の一部からなる。溝１２を設けることにより、プローブ１０６の稜線がガイド孔１０の内面に当接せず、プローブ１０６又はガイド孔１０が破損したり、切削屑が生じたりするのを防止することができる。
【００３９】
＜ガイド孔１０の形状＞
図５は、図２のガイド孔１０の形状の詳細構成の一例を示した図である。ガイド孔１０の形状は、１つのプローブ挿通部２０及び４つの溝部３０によって構成される。
【００４０】
プローブ挿通部２０は、プローブ１０６が配置される領域であり、４つの辺２１によって囲まれた矩形からなる。プローブ挿通部２０を構成する４つの辺２１は、４つの平面１１にそれぞれ対応し、横方向Ｄ１又は縦方向Ｄ２にそれぞれ延びる。
【００４１】
溝部３０は、プローブ挿通部２０の外縁の一部を外側に突出させることによって形成される領域であり、外縁が円弧形状からなり、プローブ挿通部２０の頂点である仮想頂点２２を内包するように配置される。なお、第１〜第４溝部３０１〜３０４は、同一のガイド孔１０に属する４つの溝部３０を区別して示したものである。
【００４２】
溝部３０は、仮想頂点２２に対応して設けられるが、プローブ挿通部２０の対角線に対し、横方向Ｄ１又は縦方向Ｄ２のいずれか一方に偏らせて配置される。この様な偏心配置により、溝部３０の横方向の深さｄ１と、縦方向の深さｄ２とを異ならせている。溝部３０の横方向の深さｄ１とは、プローブ挿通部２０に対する横方向Ｄ１の深さ、つまり、縦方向Ｄ２に延びる辺２１からの最大深さを意味する。同様にして、溝部３０の縦方向の深さｄ２とは、プローブ挿通部２０に対する縦方向Ｄ２の深さ、つまり、横方向Ｄ１に延びる辺２１からの最大深さを意味する。
【００４３】
本実施の形態では、溝部３０の中心３１が、プローブ挿通部２０の外縁上であって、仮想頂点２２から時計回りの方向に溝部３０の半径ｒだけ離れて配置される。このため、ガイド孔１０は、９０°対称の回転対称形となる。また、溝部３０の外縁が仮想頂点２２を通り、溝部３０は、横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２のいずれか一方の深さのみを有する。
【００４４】
具体的には、第１溝部３０１は、左上の仮想頂点２２よりも横方向Ｄ１（右方）に偏心配置され、深さｄ１＝０、深さｄ２＝ｒを有する。第２溝部３０２は、右上の仮想頂点２２よりも縦方向Ｄ２（下方）に偏心配置され、深さｄ１＝ｒ、深さｄ２＝０を有する。第３溝部３０３は、右下の仮想頂点２２よりも横方向Ｄ１（左方）に偏心配置され、深さｄ１＝０、深さｄ２＝ｒを有する。第４溝部３０４は、左下の仮想頂点２２よりも縦方向Ｄ２（上方）に偏心配置され、深さｄ１＝ｒ、深さｄ２＝０を有する。
【００４５】
なお、溝部３０は、プローブ挿通部２０と同一のプロセスによって形成され、同様のパターン加工精度の制約を受ける。このため、プローブ１０６の稜線が溝部３０の外縁に接触するのを防止するには、溝部３０の半径ｒが仮想頂点２２の曲率半径以上であることが望ましい。
【００４６】
＜ガイド孔１０の配列＞
図６は、図２のガイド孔１０の配列の一例を示した図であり、第１〜第４ガイド孔１０Ａ〜１０Ｄが示されている。第１〜第４ガイド孔１０Ａ〜１０Ｄは、横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２にそれぞれ整列するように格子状に配置されている。これらのガイド孔１０Ａ〜１０Ｄは、いずれも図５に示されたガイド孔１０であり、同一の形状を有する。また、各ガイド孔１０Ａ〜１０Ｄは、プローブ挿通部２０の辺２１が横方向Ｄ１又は縦方向Ｄ２と平行になるようにそれぞれ配置される。
【００４７】
互いに隣接して配置される２つのガイド孔１０にそれぞれ属し、かつ、互いに対向する２つの溝部３０は、一方が横方向Ｄ１に偏心配置され、他方が縦方向Ｄ２に偏心配置される。つまり、隣接する２つのガイド孔１０間において、互いに対向する２つの溝部３０は、異なる方向に偏心配置される。このような構成を採用することにより、ガイド孔１０間の最短距離Ｌ１，Ｌ２として、従来よりも長い距離を確保することができる。
【００４８】
例えば、第１ガイド孔１０Ａ及び第２ガイド孔１０Ｂは、横方向Ｄ１に隣接して配置され、第１ガイド孔１０Ａの右上溝部３０ＲＵと、第２ガイド孔１０Ｂの左上溝部３０ＬＵとは互いに対向する。そして、第１ガイド孔１０Ａの右上溝部３０ＲＵが、縦方向Ｄ２に偏心配置されるのに対し、第２ガイド孔１０Ｂの左上溝部３０ＬＵは、横方向Ｄ１に偏心配置される。同様にして、第１ガイド孔１０Ａの右下溝部３０ＲＢと、第２ガイド孔１０Ｂの左下溝部３０ＬＢとは互いに対向し、第１ガイド孔１０Ａの右下溝部３０ＲＢが、横方向Ｄ１に偏心配置されるのに対し、第２ガイド孔１０Ｂの左下溝部３０ＬＢは、縦方向Ｄ２に偏心配置される。
【００４９】
従って、横方向Ｄ１において対向する２つの溝部３０の横方向の深さｄ１は、一方がｒとなり、他方がゼロとなる。その結果、横方向Ｄ１において隣接する２つのガイド孔１０Ａ，１０Ｂ間の最短距離Ｌ１は（Ｌ−ｒ）となり、従来の最短距離（Ｌ−２ｒ）よりも長くなる。
【００５０】
横方向Ｄ１だけでなく、縦方向Ｄ２についても同様である。例えば、第２ガイド孔１０Ｂ及び第３ガイド孔１０Ｃは、縦方向Ｄ２に隣接して配置され、第２ガイド孔１０Ｂの右下溝部３０ＲＢと、第３ガイド孔１０Ｃの右上溝部３０ＲＵとは互いに対向する。そして、第２ガイド孔１０Ｂの右下溝部３０ＲＢが、横方向Ｄ１に偏心配置されるのに対し、第３ガイド孔１０Ｃの右上溝部３０ＲＵは、縦方向Ｄ２に偏心配置される。同様にして、第２ガイド孔１０Ｂの左下溝部３０ＬＢと、第３ガイド孔１０Ｃの左上溝部３０ＬＵとは互いに対向する。そして、第２ガイド孔１０Ｂの左下溝部３０ＬＢが、縦方向Ｄ２に偏心配置されるのに対し、第３ガイド孔１０Ｃの左上溝部３０ＬＵは、横方向Ｄ１に偏心配置される。従って、縦方向Ｄ２において隣接する２つのガイド孔１０Ｂ，１０Ｃ間の最短距離Ｌ２は（Ｌ−ｒ）となり、従来の最短距離（Ｌ−２ｒ）よりも長くなる。
【００５１】
また、互いに隣接する２つのガイド孔１０の一方に属し、かつ、他方に対向する２つの溝部３０は、一方の溝部３０が横方向Ｄ１に偏心配置され、他方の溝部３０が縦方向Ｄ２に偏心配置される。つまり、プローブ挿通部２０の辺２１の両端に対応する２つの溝部３０は、互いに異なる方向に偏心配置される。このような構成を採用することにより、同一形状を有するガイド孔１０を同一方向に向けて格子状に並べれば、隣接する方向が横方向Ｄ１又は縦方向Ｄ２のいずれであるかに拘わらず、互いに隣接する任意のガイド孔１０間において上述した最短距離Ｌ１，Ｌ２を確保することができる。
【００５２】
例えば、横方向において、第１ガイド孔１０Ａの右上溝部３０ＲＵ及び右下溝部３０ＲＢは、いずれも第２ガイド孔１０Ｂに対向する。そして、右上溝部３０ＲＵが、縦方向Ｄ２に偏心配置されるのに対し、右下溝部３０ＲＢは、横方向Ｄ１に偏心配置される。同様にして、縦方向において、第２ガイド孔１０Ｂの右下溝部３０ＲＢ及び左下溝部３０ＬＢは、いずれも第３ガイド孔１０Ｃに対向する。そして、右下溝部３０ＲＢが、横方向Ｄ１に偏心配置されるのに対し、左下溝部３０ＬＢは、縦方向Ｄ２に偏心配置される。以上の構成により、互いに隣接する任意のガイド孔１０間において上述した最短距離Ｌ１，Ｌ２を確保することができる。
【００５３】
＜比較例＞
図７は、比較例として従来のガイド板１０５'を示した図であり、図６と同様にして４つのガイド孔１０の形状及び配列が示されている。ガイド孔１０は、矩形のプローブ挿通部２０及び４つの溝部３０で構成され、４つの溝部３０の中心３１は、プローブ挿通部２０の４つの仮想頂点２２に一致する。つまり、溝部３０は、横方向Ｄ１又は縦方向Ｄ２のいずれにも偏ることなく配置され、横方向の深さｄ１及び縦方向の深さｄ２は、いずれも溝部３０の半径ｒに一致する。
【００５４】
このため、横方向Ｄ１において隣接するガイド孔１０Ａ，１０Ｂ間の最短距離Ｌ１は（Ｌ−２ｒ）となる。同様にして、縦方向Ｄ２において隣接するガイド孔１０Ｂ，１０Ｃ間の最短距離Ｌ２も（Ｌ−２ｒ）となる。つまり、従来のガイド板１０５'は、本実施の形態によるガイド板１０５に比べて、最短距離Ｌ１，Ｌ２がいずれも短い。
【００５５】
従って、本実施の形態によるガイド板１０５は、隣接するガイド孔１０の辺２１間の距離（ガイド孔１０のピッチ）を従来のガイド板１０５'と同じにした場合には、互いに隣接するガイド孔１０の溝部３０間を隔てる部材の幅をより広くできるので、より高い機械的強度を確保することができる。また、本実施の形態によるガイド板１０５は、互いに隣接するガイド孔１０の溝部３０間を隔てる部材の幅を従来のガイド板１０５'と同じにした場合には、ガイド孔１０のピッチをより小さくすることができる。例えば、ガイド孔１０間の最短距離を１、溝部３０の半径ｒを０．５とすれば、プローブ挿通部２０間の間隔が、本実施の形態によるガイド板１０５では１．５となるのに対し、従来のガイド板１０５'では２．０になる。
【００５６】
本実施の形態によるガイド板１０５は、互いに略直交する横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２にそれぞれ整列するように格子状に配置された多数のガイド孔１０を備え、ガイド孔１０が、横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２にそれぞれ延びる辺２１で囲まれた矩形のプローブ挿通部２０と、プローブ挿通部２０の４つの頂点に相当する４つの仮想頂点２２をそれぞれ内包する４つの溝部３０とを備えている。このような構成を採用することにより、プローブの外周面上の稜線と対向する溝１２をガイド孔１０内に形成することができる。このため、プローブ１０６の稜線が、ガイド孔１０の内周面に接触し、プローブ１０６又はガイド孔１０が破損し、あるいは、切削屑が生じるのを抑制することができる。
【００５７】
また、本実施の形態によるガイド板１０５は、互いに隣接する２つのガイド孔１０にそれぞれ属する互いに対向する２つの溝部３０が、横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２の互いに異なる方向にそれぞれ偏って配置され、一方の溝部３０は、横方向の深さｄ１のみを有し、他方の溝部３０は、縦方向の深さｄ２のみを有する。このため、これらの溝部３０が偏ることなく配置された従来のガイド板１０５'に比べて、２つのガイド孔１０間の最短距離Ｌ１，Ｌ２を長くすることができ、ガイド板１０５の強度を向上させることができる。また、ガイド孔１０間の最短距離Ｌ１，Ｌ２が同一であれば、ガイド孔１０のピッチをより狭小化することができる。
【００５８】
実施の形態２．
実施の形態１では、溝部３０が、横方向Ｄ１又は縦方向Ｄ２のいずれか一方の深さｄ１，ｄ２のみを有する例について説明した。これに対し、本実施の形態では、溝部３０が、互いに異なる横方向の深さｄ１及び縦方向の深さｄ２を有する場合について説明する。
【００５９】
＜ガイド孔１０の形状＞
図８は、本発明の実施の形態２によるガイド板１０５の要部を示した図であり、ガイド孔１０の形状の一例が示されている。図８のガイド孔１０は、仮想頂点２２から溝部３０の中心３１までの距離が異なる点を除き、図５のガイド孔１０（実施の形態１）と同一である。このため、重複する説明は省略する。
【００６０】
溝部３０の中心３１は、プローブ挿通部２０の外縁上であって、仮想頂点２２よりも時計回りの方向に距離ｓだけ離れて配置される。このため、ガイド孔１０は、９０°対称の回転対称形からなる。距離ｓは、ゼロよりも大きく、溝部の半径ｒよりも小さい値である（０＜ｓ＜ｒ）。このため、溝部３０は、横方向の深さｄ１及び縦方向の深さｄ２を有し、その値が互いに異なる。
【００６１】
具体的には、第１溝部３０１は、左上の仮想頂点２２よりも横方向Ｄ１（右方）に偏心配置され、深さｄ１＝ｒ−ｓ、深さｄ２＝ｒを有する。第２溝部３０２は、右上の仮想頂点２２よりも縦方向Ｄ２（下方）に偏心配置され、深さｄ１＝ｒ、深さｄ２＝ｒ−ｓを有する。第３溝部３０３は、右下の仮想頂点２２よりも横方向Ｄ１（左方）に偏心配置され、深さｄ１＝ｒ−ｓ、深さｄ２＝ｒを有する。第４溝部３０４は、左下の仮想頂点２２よりも縦方向Ｄ２（上方）に偏心配置され、深さｄ１＝ｒ、深さｄ２＝ｒ−ｓを有する。
【００６２】
なお、図５のガイド孔１０（実施の形態１）は、距離ｓ＝ｒにした場合、つまり、深さｄ１，ｄ２のうち、浅い方がゼロになる場合に相当する。
【００６３】
＜ガイド孔１０の配列＞
図９は、本発明の実施の形態２によるガイド孔１０の配列の一例を示した図であり、第１〜第４ガイド孔１０Ａ〜１０Ｄが示されている。第１〜第４ガイド孔１０Ａ〜１０Ｄは、いずれも図８に示されたガイド孔１０である。図６（実施の形態１）と比較すれば、ガイド孔１０の形状が異なるが、ガイド孔１０の配列は同一であるため、重複する説明を省略する。
【００６４】
互いに隣接して配置される２つのガイド孔１０にそれぞれ属し、かつ、互いに対向する２つの溝部３０は、一方が横方向Ｄ１に偏心配置され、他方が縦方向Ｄ２に偏心配置される。このため、一方の溝部３０は、横方向の深さｄ１が、縦方向の深さｄ２よりも浅くなり、他方の溝部３０は、縦方向の深さｄ２が、横方向の深さｄ１よりも浅くなる。従って、このような構成を採用することにより、ガイド孔１０間の最短距離Ｌ１，Ｌ２として、従来よりも長い距離を確保することができる。
【００６５】
例えば、第１ガイド孔１０Ａ及び第２ガイド孔１０Ｂは、横方向Ｄ１に隣接して配置され、第１ガイド孔１０Ａの右上溝部３０ＲＵと、第２ガイド孔１０Ｂの左上溝部３０ＬＵとは互いに対向する。そして、第１ガイド孔１０Ａの右上溝部３０ＲＵは、縦方向Ｄ２に偏心配置され、その深さｄ２＝ｒ−ｓは、深さｄ１＝ｒよりも浅い。一方、第２ガイド孔１０Ｂの左上溝部３０ＬＵは、横方向Ｄ１に偏心配置され、その深さｄ１＝ｒ−ｓは、深さｄ２＝ｒよりも浅い。同様にして、第１ガイド孔１０Ａの右下溝部３０ＲＢと、第２ガイド孔１０Ｂの左下溝部３０ＬＢとは互いに対向する。そして、第１ガイド孔１０Ａの右下溝部３０ＲＢは、横方向Ｄ１に偏心配置され、その深さｄ１＝ｒ−ｓは、深さｄ２＝ｒよりも浅い。一方、第２ガイド孔１０Ｂの左下溝部３０ＬＢは、縦方向Ｄ２に偏心配置され、その深さｄ２＝ｒ−ｓは、深さｄ１＝ｒよりも浅い。
【００６６】
従って、横方向Ｄ１において隣接する第１ガイド孔１０Ａ及び第２ガイド孔１０Ｂ間において、互いに対向する２つの溝部３０の横方向の深さｄ１は、一方の溝部３０がｒになり、他方の溝部３０が（ｒ−ｓ）になる。従って、第１ガイド孔１０Ａ及び第２ガイド孔１０Ｂ間の最短距離Ｌ１は、概ね（Ｌ−２ｒ＋ｓ）となり、従来の最短距離（Ｌ−２ｒ）よりも長くなる。
【００６７】
横方向Ｄ１だけでなく、縦方向Ｄ２についても同様である。例えば、第２ガイド孔１０Ｂ及び第３ガイド孔１０Ｃは、縦方向Ｄ２に隣接して配置され、第２ガイド孔１０Ｂの右下溝部３０ＲＢと、第３ガイド孔１０Ｃの右上溝部３０ＲＵとは互いに対向している。第２ガイド孔１０Ｂの右下溝部３０ＲＢは、横方向Ｄ１に偏心配置され、その深さｄ１＝ｒ−ｓは、深さｄ２＝ｒよりも浅い。一方、第３ガイド孔１０Ｃの右上溝部３０ＲＵは、縦方向Ｄ２に偏心配置され、その深さｄ２＝ｒ−ｓは、深さｄ１＝ｒよりも浅い。同様にして、第２ガイド孔１０Ｂの左下溝部３０ＬＢと、第３ガイド孔１０Ｃの左上溝部３０ＬＵとは互いに対向している。第２ガイド孔１０Ｂの左下溝部３０ＬＢは、縦方向Ｄ２に偏心配置され、その深さｄ２＝ｒ−ｓは、深さｄ１＝ｒよりも浅い。一方、第３ガイド孔１０Ｃの左上溝部３０ＬＵは、横方向Ｄ１に偏心配置され、その深さｄ１＝ｒ−ｓは、深さｄ２＝ｒよりも浅い。
【００６８】
従って、縦方向Ｄ２において隣接する第２ガイド孔１０Ｂ及び第３ガイド孔１０Ｃ間において、互いに対向する２つの溝部３０の縦方向の深さｄ２は、一方の溝部３０がｒになり、他方の溝部３０が（ｒ−ｓ）になる。従って、第２ガイド孔１０Ｂ及び第３ガイド孔１０Ｃ間の最短距離Ｌ２は、概ね（Ｌ−２ｒ＋ｓ）となり、従来の最短距離（Ｌ−２ｒ）よりも長くなる。
【００６９】
また、互いに隣接する２つのガイド孔１０の一方に属し、かつ、他方に対向する２つの溝部３０は、一方の溝部３０が横方向Ｄ１に偏心配置され、他方の溝部３０が縦方向Ｄ２に偏心配置される。つまり、一方の溝部３０は、横方向の深さｄ１が、縦方向の深さｄ２よりも浅くなり、他方の溝部３０は、縦方向の深さｄ２が、横方向の深さｄ１よりも浅くなる。このような構成を採用することにより、同じ形状を有するガイド孔１０を格子状に並べれば、隣接する方向が横方向Ｄ１又は縦方向Ｄ２のいずれであるかに拘わらず、互いに隣接する任意のガイド孔１０間において上述した最短距離Ｌ１，Ｌ２を確保することができる。
【００７０】
例えば、第１ガイド孔１０Ａの右上溝部３０ＲＵ及び右下溝部３０ＲＢは、いずれも第２ガイド孔１０Ｂに対向する。そして、第１ガイド孔１０Ａの右上溝部３０ＲＵは、縦方向Ｄ２に偏心配置され、深さｄ２が深さｄ１よりも浅い。これに対し、右下溝部３０ＲＢは、横方向Ｄ１に偏心配置され、深さｄ１が深さｄ２よりも浅い。同様にして、第２ガイド孔１０Ｂの右下溝部３０ＲＢ及び左下溝部３０ＬＢは、いずれも第３ガイド孔１０Ｃに対向する。そして、右下溝部３０ＲＢは、横方向Ｄ１に偏心配置され、深さｄ１が深さｄ２よりも浅い。これに対し、左下溝部３０ＬＢは、縦方向Ｄ２に偏心配置され、深さｄ２が深さｄ１よりも浅い。
【００７１】
本実施の形態によるガイド板１０５は、横方向Ｄ１において互いに隣接する２つのガイド孔１０Ａ，１０Ｂにそれぞれ属する互いに対向する２つの溝部３０のうち、一方の溝部３０は、プローブ挿通部２０に対する横方向の深さｄ１が縦方向の深さｄ２よりも浅く（ｄ１＜ｄ２）、他方の溝部３０は、プローブ挿通部２０に対する縦方向の深さｄ２が横方向の深さｄ１よりも浅く（ｄ２＜ｄ１）なるように構成される。
【００７２】
このような構成を採用することにより、溝部３０を偏らせることなく配置した従来のガイド板１０５'に比べて、横方向Ｄ１に隣接する２つのガイド孔１０間の最短距離Ｌ１を長くすることができ、ガイド板１０５の機械的強度を向上させることができる。また、ガイド孔１０間の最短距離Ｌ１が同一であれば、ガイド孔１０の横方向Ｄ１のピッチをより狭小化することができる。
【００７３】
また、本実施の形態によるガイド板１０５は、縦方向Ｄ２において互いに隣接する２つのガイド孔１０Ｂ，１０Ｃにそれぞれ属する互いに対向する２つの溝部３０についても、一方の溝部３０は、プローブ挿通部２０に対する横方向の深さｄ１が縦方向の深さｄ２よりも浅く（ｄ１＜ｄ２）、他方の溝部３０は、プローブ挿通部２０に対する縦方向の深さｄ２が横方向の深さｄ１よりも浅く（ｄ２＜ｄ１）なるように構成される。
【００７４】
このような構成を採用することにより、溝部３０を偏らせることなく配置した従来のガイド板１０５'に比べて、縦方向Ｄ２に隣接する２つのガイド孔１０間の最短距離Ｌ２を長くすることができ、ガイド板１０５の機械的強度を向上させることができる。また、ガイド孔１０間の最短距離Ｌ２が同一であれば、ガイド孔１０の縦方向Ｄ２のピッチをより狭小化することができる。
【００７５】
また、本実施の形態によるガイド板１０５は、横方向Ｄ１において互いに隣接する２つのガイド孔１０のうち、一方のガイド孔１０に属し、かつ、他方のガイド孔１０に対向する２つの溝部３０を備え、これらの溝部３０は、横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２の互いに異なる方向に偏心配置される。このため、一方の溝部３０は、横方向の深さｄ１が縦方向の深さｄ２よりも浅く（ｄ１＜ｄ２）、他方の溝部３０は、縦方向の深さｄ２が横方向の深さｄ１よりも浅く（ｄ２＜ｄ１）なるように構成される。
【００７６】
さらに、本実施の形態によるガイド板１０５は、縦方向Ｄ２において互いに隣接する２つのガイド孔１０のうち、一方のガイド孔１０に属し、かつ、他方のガイド孔１０に対向する２つの溝部３０を備え、これらの溝部３０は、横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２の互いに異なる方向に偏心配置される。このため、一方の溝部３０は、横方向の深さｄ１が縦方向の深さｄ２よりも浅く（ｄ１＜ｄ２）、他方の溝部３０は、縦方向の深さｄ２が横方向の深さｄ１よりも浅く（ｄ２＜ｄ１）なるように構成される。
【００７７】
このような構成を採用することにより、多数のガイド孔１０を格子状に並べた場合、全ての隣接する２つのガイド孔１０間において良好な最短距離Ｌ１，Ｌ２を確保することができる。つまり、横方向Ｄ１に隣接する全てのガイド孔１０間において良好な最短距離Ｌ１を確保することができるとともに、縦方向Ｄ２に隣接する全てのガイド孔１０間において良好な最短距離Ｌ２を確保することができる。
【００７８】
実施の形態３．
実施の形態１及び２では、ガイド孔１０が回転対称の形状からなるガイド板１０５の例について説明した。これに対し、本実施の形態では、ガイド孔１０が線対称の形状からなるガイド板１０５について説明する。
【００７９】
＜ガイド孔１０の形状＞
図１０は、本発明の実施の形態３によるガイド板１０５の要部を示した図であり、ガイド孔１０の形状の一例が示されている。図５及び図８の場合と同様、ガイド孔１０は、１つのプローブ挿通部２０及び４つの溝部３０によって構成される。
【００８０】
溝部３０の中心３１は、プローブ挿通部２０の外縁上であって、仮想頂点２２から距離ｓだけ離れて配置されている。距離ｓは、ゼロよりも大きく、溝部の半径ｒよりも小さい値である（０＜ｓ＜ｒ）。このため、溝部３０は、横方向の深さｄ１及び縦方向の深さｄ２が異なる。
【００８１】
図５及び図８のガイド孔１０は、全ての溝部３０が時計回りの方向に偏心配置された回転対称の形状からなる。このため、互いに隣接する２つの溝部３０は、横方向Ｄ１又は縦方向Ｄ２の互いに異なる方向に偏心配置されている。これに対し、図１０のガイド孔１０は、隣接する２つの溝部３０１，３０２が、ともに横方向Ｄ１に偏らせて配置される一方、残る２つの溝部３０３，３０４が、ともに縦方向Ｄ２に偏らせて配置される。このため、ガイド孔１０は、中心軸４０に関し線対称となる形状からなる。
【００８２】
具体的には、第１溝部３０１は、左上の仮想頂点２２よりも横方向Ｄ１（右方）に偏心配置され、深さｄ１＝ｒ−ｓ、深さｄ２＝ｒを有する。第２溝部３０２は、右上の仮想頂点２２よりも横方向Ｄ１（左方）に偏心配置され、深さｄ１＝ｒ−ｓ、深さｄ２＝ｒを有する。第３溝部３０３は、右下の仮想頂点２２よりも縦方向Ｄ２（上方）に偏心配置され、深さｄ１＝ｒ、深さｄ２＝ｒ−ｓを有する。第４溝部３０４は、左下の仮想頂点２２よりも縦方向Ｄ２（上方）に偏心配置され、深さｄ１＝ｒ、深さｄ２＝ｒ−ｓを有する。
【００８３】
＜ガイド孔１０の配列＞
図１１は、本発明の実施の形態３によるガイド孔１０の配列の一例を示した図であり、第１〜第４ガイド孔１０Ａ〜１０Ｄが示されている。第１〜第４ガイド孔１０Ａ〜１０Ｄは、いずれも図１０に示されたガイド孔１０である。
【００８４】
縦方向Ｄ２に隣接するガイド孔１０は、同じ向きで配置されているのに対し、横方向Ｄ１に隣接するガイド孔１０は、上下反転又は１８０°回転させて互いに逆向きとなるように配置されている。その結果、互いに隣接して配置される２つのガイド孔１０にそれぞれ属し、かつ、互いに対向する２つの溝部３０は、一方が横方向Ｄ１に偏心配置され、他方が縦方向Ｄ２に偏心配置される。このため、一方の溝部３０は、横方向の深さｄ１が、縦方向の深さｄ２よりも浅くなり、他方の溝部３０は、縦方向の深さｄ２が、横方向の深さｄ１よりも浅くなる。従って、このような構成を採用することにより、ガイド孔１０間の最短距離Ｌ１，Ｌ２として、従来よりも長い距離を確保することができる。
【００８５】
例えば、第１ガイド孔１０Ａ及び第２ガイド孔１０Ｂは、横方向Ｄ１に隣接して配置され、第１ガイド孔１０Ａの右上溝部３０ＲＵと、第２ガイド孔１０Ｂの左上溝部３０ＬＵとは互いに対向する。そして、第１ガイド孔１０Ａの右上溝部３０ＲＵは、横方向Ｄ１に偏心配置され、その深さｄ１＝ｒ−ｓは、深さｄ２＝ｒよりも浅い。一方、第２ガイド孔１０Ｂの左上溝部３０ＬＵは、縦方向Ｄ２に偏心配置され、その深さｄ２＝ｒ−ｓは、深さｄ１＝ｒよりも浅い。同様にして、第１ガイド孔１０Ａの右下溝部３０ＲＢと、第２ガイド孔１０Ｂの左下溝部３０ＬＢとは互いに対向する。そして、第１ガイド孔１０Ａの右下溝部３０ＲＢは、縦方向Ｄ２に偏心配置され、その深さｄ２＝ｒ−ｓは、深さｄ１＝ｒよりも浅い。一方、第２ガイド孔１０Ｂの左下溝部３０ＬＢは、横方向Ｄ１に偏心配置され、その深さｄ１＝ｒ−ｓは、深さｄ２＝ｒよりも浅い。つまり、横方向Ｄ１において隣接する第１ガイド孔１０Ａ及び第２ガイド孔１０Ｂ間において、互いに対向する２つの溝部３０の横方向の深さｄ１は、一方の溝部３０がｒになり、他方の溝部３０が（ｒ−ｓ）になっている。従って、第１ガイド孔１０Ａ及び第２ガイド孔１０Ｂ間の最短距離Ｌ１は、概ね（Ｌ−２ｒ＋ｓ）となり、従来の最短距離（Ｌ−２ｒ）よりも長くなる。
【００８６】
横方向Ｄ１だけでなく、縦方向Ｄ２についても同様である。例えば、第２ガイド孔１０Ｂ及び第３ガイド孔１０Ｃは、縦方向Ｄ２に隣接して配置され、第２ガイド孔１０Ｂの右下溝部３０ＲＢと、第３ガイド孔１０Ｃの右上溝部３０ＲＵとは互いに対向している。第２ガイド孔１０Ｂの右下溝部３０ＲＢは、横方向Ｄ１に偏心配置され、その深さｄ１＝ｒ−ｓは、深さｄ２＝ｒよりも浅い。一方、第３ガイド孔１０Ｃの右上溝部３０ＲＵは、縦方向Ｄ２に偏心配置され、その深さｄ２＝ｒ−ｓは、深さｄ１＝ｒよりも浅い。同様にして、第２ガイド孔１０Ｂの左下溝部３０ＬＢと、第３ガイド孔１０Ｃの左上溝部３０ＬＵとは互いに対向している。第２ガイド孔１０Ｂの左下溝部３０ＬＢは、横方向Ｄ１に偏心配置され、その深さｄ１＝ｒ−ｓは、深さｄ２＝ｒよりも浅い。一方、第３ガイド孔１０Ｃの左上溝部３０ＬＵは、縦方向Ｄ２に偏心配置され、その深さｄ２＝ｒ−ｓは、深さｄ１＝ｒよりも浅い。
【００８７】
従って、縦方向Ｄ２において隣接する第２ガイド孔１０Ｂ及び第３ガイド孔１０Ｃ間において、互いに対向する２つの溝部３０の縦方向の深さｄ２は、一方の溝部３０がｒになり、他方の溝部３０が（ｒ−ｓ）になる。従って、第２ガイド孔１０Ｂ及び第３ガイド孔１０Ｃ間の最短距離Ｌ２は、概ね（Ｌ−２ｒ＋ｓ）となり、従来の最短距離（Ｌ−２ｒ）よりも長くなる。
【００８８】
また、本実施の形態によるガイド板１０５は、横方向Ｄ１において互いに隣接する２つのガイド孔１０のうち、一方のガイド孔１０に属し、かつ、他方のガイド孔１０に対向する２つの溝部３０を備え、これらの溝部３０は、横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２の互いに異なる方向に偏心配置される。このため、一方の溝部３０は、横方向の深さｄ１が縦方向の深さｄ２よりも浅く（ｄ１＜ｄ２）、他方の溝部３０は、縦方向の深さｄ２が横方向の深さｄ１よりも浅く（ｄ２＜ｄ１）なるように構成される。
【００８９】
さらに、本実施の形態によるガイド板１０５は、縦方向Ｄ２において互いに隣接する２つのガイド孔１０のうち、一方のガイド孔１０に属し、かつ、他方のガイド孔１０に対向する２つの溝部３０を備え、これらの溝部３０は、横方向Ｄ１又は縦方向Ｄ２の互いに一致する方向に偏心配置される。このため、２つの溝部３０は、ともに横方向の深さｄ１が縦方向の深さｄ２よりも浅く（ｄ１＜ｄ２）、あるいは、ともに縦方向の深さｄ２が横方向の深さｄ１よりも浅く（ｄ２＜ｄ１）なるように構成される。
【００９０】
このような構成を採用することにより、多数のガイド孔１０を格子状に並べる場合、横方向に隣接するガイド孔１０を交互に上下逆転させることにより、全ての隣接する２つのガイド孔１０間において良好な最短距離Ｌ１，Ｌ２を確保することができる。つまり、横方向Ｄ１に隣接する全てのガイド孔１０間において良好な最短距離Ｌ１を確保することができるとともに、縦方向Ｄ２に隣接する全てのガイド孔１０間において良好な最短距離Ｌ２を確保することができる。
【００９１】
なお、上記実施の形態では、溝部３０の中心がプローブ挿通部２０の外縁上に配置されている例について説明したが、本発明は、この様な構成のみに限定されない。例えば、溝部３０の中心はプローブ挿通部２０内に配置されていてもよい。
【００９２】
また、上記実施の形態では、溝部３０の外縁が円弧形状である場合について説明したが、本発明は、この様な構成のみに限定されない。例えば、溝部３０の外縁は、楕円の外縁の一部であってもよいし、三角形、四角形などの多角形の外縁の一部であってもよい。
【００９３】
また、ガイド板１０５上に形成された多数のガイド孔１０の全てが、上述した構成を有することが望ましいが、本発明は、この様なガイド板１０５のみに限定されない。例えば、互いに隣接する少なくとも２つのガイド孔１０が上述した構成を有していればよい。また、少なくとも横方向Ｄ１及び縦方向Ｄ２に２つずつ整列するように格子状に配列させた４つのガイド孔１０が上述した構成を有していればよい。
【符号の説明】
【００９４】
Ｄ１    横方向
Ｄ２    縦方向
Ｌ１    横方向の最短距離
Ｌ２    縦方向の最短距離
Ｔｅ    外部電極
Ｔｐ    プローブ電極
ｒ      半径
ｓ      距離
３０，３０１〜３０４    溝部
１０，１０Ａ〜１０Ｄ    ガイド孔
１１    平面
１２    溝
２０    プローブ挿通部
２１    辺
２２    仮想頂点
３０    溝部
３０ＬＢ  左下溝部
３０ＬＵ  左上溝部
３０ＲＢ  右下溝部
３０ＲＵ  右上溝部
３１    中心
４０    中心軸
１００  プローブカード
１０１  メイン基板
１０２  補強板
１０３  ＳＴ基板
１０４  スペーサ
１０５  ガイド板
１０６  プローブ
【図１】
2018077090.tif 000003
【図２】
2018077090.tif 000004
【図３】
2018077090.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018077090.tif 000009
【図８】
2018077090.tif 000010
【図９】
2018077090.tif 000011
【図１０】
2018077090.tif 000012
【図１１】
2018077090.tif 000013