(57)【要約】【課題】プランジャのみを容易に交換可能にするとともに、資源の節約及び交換コストの低減にも寄与するプローブピンを提供する。【解決手段】プローブピン１は、中空空間３を有するバレル２と、バレル２閉塞端部２ａ及び開口端部２ｂと、バレル２内に配設されている弾性体４と、バレル２内に収容されているプランジャ５と、プランジャ５のバレル２内に収容された部分である摺動部５ａ、摺動部５ａからバレル２外に延びて摺動部よりも小径のピン部５ｂと、開口端部２ｂ側の外周側面を周方向に沿って形成された溝形状の外周溝部６と、外周溝部６の底部からバレル２内に貫通して形成されている貫通孔７と、外周溝部６に嵌め込まれ且つ一部が離間することによる一対の離間端部８ａを有する略円環形状のリング８と、リング８から内側方向に突出して前記貫通孔７を通って中空空間３内まで延びている突出部９とを備えている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内側に中空空間を有する略中空円筒形状のバレルと、
該バレルの一方の端部が閉塞されて形成されている閉塞端部と、
前記バレルの他方の端部が開口されて形成されている開口端部と、
前記バレル内に配設されて前記バレルの軸方向外側に付勢する弾性体と、
前記バレル内にて前記弾性体よりも前記開口端部側に配設されて一部が前記バレル内に収容されているプランジャと、
該プランジャを形成し、前記バレル内に収容された部分である中実円柱形状の摺動部、及び該摺動部から前記バレルの軸方向に沿って前記バレル外に延びて前記摺動部よりも小径のピン部と、
前記開口端部側の前記バレルの外周側面を周方向に沿って形成された溝形状の外周溝部と、
該外周溝部の底部から前記バレル内に貫通して形成されている貫通孔と、
前記外周溝部に嵌め込まれ且つ一部が離間することによる一対の離間端部を有する略円環形状のリングと、
該リングから内側方向に突出して前記貫通孔を通って前記中空空間内まで延びている突出部とを備えたことを特徴とするプローブピン。
【請求項２】
前記離間端部には、前記外周溝部の外側方向に延びる突出片が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブピン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程等で電気特性の検査に用いられるプローブピンに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種電子機器における電子部品の種々のパラメータや、導体パターン間の線間抵抗値等を正確に検査するため、これらの検査機器となるプローブピンが知られている。このプローブピンは検査対象となる被検体に一時当接させて通電することで使用される（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に代表されるように、プローブピンは一方の端部が閉塞された略筒形状のバレル（スリーブ）と、このバレル内を軸方向に移動するプランジャ（コンタクトピン）とで形成されている。プランジャは、バレル内に配設されたスプリングによってバレルの外側方向に付勢されている。この付勢により、プランジャがバレルの他方の端部から飛び出ることを防止するため、バレルの他方の端部は内側に丸め加工（カシメ加工）されている。これにより、プランジャは折り曲げ端部に当接するのでバレルから飛び出ることはない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−９６３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、プランジャのみを交換したい場合がある。このときバレルの端部に形成された折り曲げ加工を再びまっすぐに伸ばす作業が必要となる。この加工は極めて困難であり、現実的ではない。したがってプランジャのみが破損等した場合でバレルがまだ使用できる状態であっても、プローブピン全体を交換する必要がある。このことは資源の無駄を招き、交換コストの増大を招く。
【０００６】
本発明は、上記従来技術を考慮したものであり、プランジャのみを容易に交換可能にするとともに、資源の節約及び交換コストの低減にも寄与するプローブピンを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明では、内側に中空空間を有する略中空円筒形状のバレルと、該バレルの一方の端部が閉塞されて形成されている閉塞端部と、前記バレルの他方の端部が開口されて形成されている開口端部と、前記バレル内に配設されて前記バレルの軸方向外側に付勢する弾性体と、前記バレル内にて前記弾性体よりも前記開口端部側に配設されて一部が前記バレル内に収容されているプランジャと、該プランジャを形成し、前記バレル内に収容された部分である中実円柱形状の摺動部、及び該摺動部から前記バレルの軸方向に沿って前記バレル外に延びて前記摺動部よりも小径のピン部と、前記開口端部側の前記バレルの外周側面を周方向に沿って形成された溝形状の外周溝部と、該外周溝部の底部から前記バレル内に貫通して形成されている貫通孔と、前記外周溝部に嵌め込まれ且つ一部が離間することによる一対の離間端部を有する略円環形状のリングと、該リングから内側方向に突出して前記貫通孔を通って前記中空空間内まで延びている突出部とを備えたことを特徴とするプローブピンを提供する。
【０００８】
好ましくは、前記離間端部には、前記外周溝部の外側方向に延びる突出片が形成されている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、バレルの外周溝部に形成された貫通孔からリングの突出部が延びているので、摺動部がこの突出部に当接することになる。このため、弾性体にてプランジャがバレルの開口端部から外側方向に付勢されても、プランジャがバレル外に飛び出てしまうことを防止できる。さらに、離間端部からリングを開くことにより、容易にバレルからリングを取り外すことができる。このため、リングを外した際は摺動部を押さえる部材がなくなるので、容易にプランジャのみを交換することができる。したがってプランジャのみを交換したい場合にバレルも含めた全体を交換する必要がなくなり、資源の節約及び交換コストの低減にも寄与することができる。
【００１０】
また、リングに突出片を設けることで、この突出片をつまんで容易にリングを開くことができるので、プランジャ交換での作業効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係るプローブピンの概略断面図である。
【図２】本発明に係るプローブピンの開口端部近傍の概略断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】リングの概略図である。
【図５】図３で示す開口端部にリングを嵌め込んだ状態を示す概略断面図である。
【図６】別のリングの概略図である。
【図７】図３で示す開口端部に図６のリングを嵌め込んだ状態を示す概略断面図である。
【図８】本発明に係る別のプローブピンの開口端部近傍の概略断面図である。
【図９】図８のＢ−Ｂ断面図である。
【図１０】さらに別のリングの概略図である。
【図１１】図９で示す開口端部に図１０のリングを嵌め込んだ状態を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示すように、本発明に係るプローブピン１は、略中空円筒形状のバレル２を備えている。このバレル２の内側である内部は中空空間３として形成されている。バレル２の一方の端部は閉塞されていて、閉塞端部２ａとして形成されている。そしてバレル２の他方の端部は開口されていて、開口端部２ｂとして形成されている。バレル２内の中空空間３には、弾性体である圧縮コイルばね４が配設されている。この圧縮コイルばね４はバレル２の軸方向外側に付勢するようにバレル２の軸心に沿って配されている。そして、この圧縮コイルばね４よりも開口端部２ｂ側には、プランジャ５が配設されている。図１を参照すれば明らかなように、プランジャ５は全部ではなく一部がバレル２内に収容されている。
【００１３】
プランジャ５はバレル２内に収容された部分である中実円柱形状の摺動部５ａを有している。摺動部５ａはバレル２の内径とほぼ同様の外形を有している。したがって摺動部５ａはバレル２内を当接しながら移動、すなわち摺動可能である。この摺動部５ａからは、バレル２の軸方向に沿ってバレル２外にピン部５ｂが延びている。このピン部５ｂの先端には、ヘッド部５ｃが一体化されて形成されている。なお、ピン部５ｂは摺動部５ａよりも小径の略棒形状である。また、ヘッド部５ｃを設けることは必須ではない。
【００１４】
このようなバレル２、圧縮コイルばね４、プランジャ５にて形成されているプローブピン１は、被検体（不図示）に対してプランジャ５が押し当てられると、プランジャ５が圧縮コイルばね４に抗してバレル２内を摺動する。バレル２の閉塞端部２ａには圧着端子がナットで締め付けられていて、電流が流れるようになっている。実際に検査として使用する際は、バレル２を直接あるいはソケット（レセプタクル）と称される接続部材を介して樹脂（絶縁材）に嵌め込まれる。
【００１５】
ここで、図２及び図３を参照すれば明らかなように、開口端部側２ｂのバレル２の外周側面には、その周方向に沿って連続した溝形状の外周溝部６が形成されている。この外周溝部６の底部６ａは一部さらに切欠かれていて、バレル２内まで貫通する貫通孔７が形成されている。図では、貫通孔７が対向した位置に合計２カ所設けられている。外周溝部６には、リング８が嵌め込まれている。図４に示すように、このリング８は略円環形状であり、一部が離間して一対の離間端部８ａを有している。リング８は可撓性がある材料にて形成され、例えば金属（ＳＵＳ）や樹脂である。したがってリング８は容易に開くことが可能であり、外周溝部６に嵌め込む際はリング８を開いて行われる。リング８の一部は内側方向に突出した突出部８ｂを備えている。内側方向とは、リング８の基本的構造として描かれている円環形状の内径よりも内側に突出する方向である。したがって図４のようにリング８の内径に対する円弧であれば、内側方向に突出しているといえる。このように突出部８ｂを円弧を利用して幅広になるように形成すれば、リング８としての強度も高まり好ましい。図５に示すように、この突出部８ｂは、貫通孔７を通って中空空間３内まで延びている。なお、図５では摺動部５ａ及びピン部５ｂを記載している。
【００１６】
このように、バレル２の外周溝部６に形成された貫通孔７からリング８の突出部８ｂが中空空間３内まで延びているので、摺動部５ａはこの突出部８ｂに当接することになる。このため、圧縮コイルばね（弾性体）４にてプランジャ５がバレル２の開口端部２ｂから外側方向に付勢されても、プランジャ５がバレル２外に飛び出てしまうことを防止できる。したがってプランジャ５の飛び出し防止のため、開口端部２ｂの折り曲げ加工が不要となる。さらに、離間端部８ａからリング８を開くことにより、容易にバレル２からリング８を取り外すことができる。このため、リング８を外した際は摺動部５ａを押さえる部材がなくなるので、プランジャ５を開口端部２ｂから取り出すことができる。すなわち、容易にプランジャ５のみを交換することができる。したがってプランジャ５のみを交換したい場合にバレル２も含めた全体を交換する必要がなくなり、資源の節約及び交換コストの低減にも寄与することができる。
【００１７】
図６及び図７に示すように、リング８の離間端部８ａに、突出片９をそれぞれ設けてもよい。この突出片９は離間端部８ａから外周溝部６の外側方向に延びて形成されている。このような突出片９をリング８に設けることで、この突出片９をつまんで容易にリング８を開くことができるので、プランジャ５の交換での作業効率が向上する。なお、図７では摺動部５ａ及びピン部５ｂを記載している。
【００１８】
上述したような効果を得るためには、本発明は上記のような構造に限られない。例えば、図８及び図９に示すように、貫通孔７を対向した位置に合計４カ所設けてもよい。そしてこの貫通孔７に対応するように、リング８に突出片９を４カ所設けてもよい（図１０参照）。このような構造にしても、突出片９が中空空間３まで延びているので、プランジャ５の抜けを防止できる（図１１参照）。なお、図１１では摺動部５ａ及びピン部５ｂを記載している。
【符号の説明】
【００１９】
１：プローブピン、２：バレル、２ａ：閉塞端部、２ｂ：開口端部、３：中空空間、４：圧縮コイルばね（弾性体）、５：プランジャ、５ａ：摺動部、５ｂ：ピン部、５ｃ：ヘッド部、６：外周溝部、６ａ：底部、７：貫通孔、８：リング、８ａ：離間端部、８ｂ：突出部、９：突出片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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