(57)【要約】【課題】膜厚計を用いた膜厚の測定における作業効率を向上するとともに測定精度を確保する。【解決手段】棒状の磁心と磁心に巻回されたコイルとを有し、磁心の先端を測定対象物に接近させた際の磁束の変化に基づき膜厚を測定する膜厚計のプローブに装着して用いる測定治具を提供する。測定治具は、プローブが固定され側面に平坦な第１開口面を有する筒状のスライド部材と、プローブが固定されたスライド部材を磁心の軸方向にスライドさせるように支持し、側面に平坦な第２開口面を有する筒状のガイド部材とを含む。スライド部材にガイド部材が装着された状態で第１開口面と第２開口面とは面一となる。ガイド部材は、磁心の測定対象物に接近させる側に、磁心の軸に対して直角な平坦面を有する。【選択図】図１４Ｄ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
棒状の磁心と前記磁心に巻回されたコイルとを有し、前記磁心の端部を測定対象物に接近させた際に前記コイルを貫く磁束の変化に基づき膜厚を測定する膜厚計のプローブに装着して用いる測定治具であって、
前記プローブが固定され、側面に平坦な第１開口面を有する筒状のスライド部材と、
前記プローブが固定された前記スライド部材に、前記スライド部材を前記磁心の軸方向にスライド可能な状態で装着され、側面に平坦な第２開口面を有する筒状のガイド部材と、
を含み、
前記スライド部材に前記ガイド部材が装着された状態で前記第１開口面と前記第２開口面とは面一となり、
前記ガイド部材は、前記磁心の測定対象物に接近させる側に、前記磁心の軸に対して直角な平坦面を有する、
膜厚計の測定治具。
【請求項２】
請求項１に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記ガイド部材の前記平坦面は、前記磁心の軸方向に沿って前記スライド部材を前記測定対象物の方向にスライドさせた際に前記プローブの端部を貫通させる貫通孔を有し、
前記ガイド部材は、前記貫通孔の、前記面一となる前記第１開口面及び前記第２開口面が存在する側に架橋部を有する、
膜厚計の測定治具。
【請求項３】
請求項１に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記スライド部材の外形は略直方体状であり、前記第１開口面は、前記スライド部材の側面の一つを構成し、
前記ガイド部材の外形は略直方体状であり、前記第２開口面は、前記ガイド部材の側面の一つを構成する、
膜厚計の測定治具。
【請求項４】
請求項３に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記スライド部材は、前記測定対象物が存在する側の端面に前記プローブの端部を突出させる開口部を有し、
前記開口部は、前記スライド部材を前記測定対象物の方向にスライドさせた際、前記プローブの外周に突出して形成されている凸部に当接して前記プローブを前記測定対象物の方向に移動させるように作用する、
膜厚計の測定治具。
【請求項５】
請求項３に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記スライド部材は、前記第１開口面となる側面に隣接する２つの他の側面の内周に、夫々、当該スライド部材が前記ガイド部材に対してスライドする方向に沿って延出する凸条を有し、
前記２つの他の側面の夫々の前記凸条に嵌合される嵌合溝と、前記嵌合溝を前記凸条に嵌合することにより前記スライド部材に装着された状態で前記プローブと当接する当接部と、を有するロック部材を備え、
前記凸条は、前記面一となる前記第１開口面及び前記第２開口面から前記ロック部材を装着可能な長さに設定されている、
膜厚計の測定治具。
【請求項６】
請求項３に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記スライド部材は、前記第１開口面を構成する側面に隣接する２つの側面の外周に、当該スライド部材が前記ガイド部材に対してスライドする方向に沿って延出する第１嵌合部を有し、
前記ガイド部材は、前記第２開口面を構成する側面に隣接する２つの側面の内周に、前記第１嵌合部と嵌合される、前記スライド部材が当該ガイド部材に対してスライドする方向に沿って延出する第２嵌合部を有する、
膜厚計の測定治具。
【請求項７】
請求項３に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記スライド部材は、前記測定対象物が存在する側の端面に対向する端面の近傍に形成された第１把持部を有する、
膜厚計の測定治具。
【請求項８】
請求項３に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記ガイド部材は、前記第２開口面を構成する側面に隣接する２つの側面の外周に突出して形成された第２把持部を有する、
膜厚計の測定治具。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記プローブは、前記先端部が前記測定対象物に接触又は押圧されることにより膜厚を測定するタイミングを示す信号を生成する機構を有する、
膜厚計の測定治具。
【請求項１０】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記膜厚計は、電磁誘導式膜厚計又は渦電流式膜厚計である、
膜厚計の測定治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、膜厚計の測定治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、検査対象物の角部の塗装膜厚を計測する塗装膜厚計測治具について記載されている。塗装膜厚計測治具は、検査対象物の検査対象部位である角部を挟む二面とそれぞれ当接する二つの当接部を有する第１の部材と、検査対象物の検査対象部位である角部の中心を軸として回動可能であり、電磁膜厚計のプローブが挿嵌される二つの当接部の交差部に連通する孔を有する第２の部材と、を備える。
【０００３】
特許文献２には、膜厚計測装置により、撚り線を構成している強磁性体からなる複数の素線のそれぞれを被覆している非磁性膜の厚さを電磁膜厚計を利用して計測する際に用いられる治具について記載されている。上記治具は、撚り線を挟持する挟持部と、電磁膜厚計のプローブが挿入される挿入口を有し、この挿入口から挿入されたプローブの検出部を素線の表面に正対させた状態を保持したまま表面に向けて案内し、検出部を表面あるいは非磁性膜に垂直に当接させる案内部とを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１９７６０号公報
【特許文献２】特開２００８−５１７３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
膜厚計（電磁式（電磁誘導式）膜厚計、渦電流式膜厚計）による膜厚の測定に際しては、十分な測定精度を得るため、図１７に示すように測定時にプローブ５２を測定対象物２の表面に垂直に（プローブ５２の中心軸が測定対象物２の表面に対して垂直になるように）押し当てる必要があるとともに、プローブ５２の先端を測定対象物２の測定対象部位に正確に当てる必要がある。また例えば、毎回の測定に際しプローブ５２の先端を同一の測定対象部位に正確に当てる必要がある。
【０００６】
ここで例えば、電力会社においては電力設備の点検に際し膜厚計を用いて電力設備の表面に施されているめっき膜厚の測定を行っているが、鉄塔の塔上や狭隘な場所等においては難しい姿勢を強いられたり手ぶれが生じる等してプローブを測定対象物の表面に垂直に押し当てることが必ずしも容易ではない。また現場には様々な形態の測定対象物が存在するが、測定対象物の形態によってはプローブの先端を測定対象部位に正確に当てることが難しいことがある。
【０００７】
本発明はこうした課題を解決すべくなされたものであり、膜厚計を用いた膜厚の測定における作業効率を向上するとともに測定精度を確保することが可能な、膜厚計の測定治具を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明のうちの一つは、棒状の磁心と前記磁心に巻回されたコイルとを有し、前記磁心の端部を測定対象物に接近させた際に前記コイルを貫く磁束の変化に基づき膜厚を測定する膜厚計のプローブに装着して用いる測定治具であって、前記プローブが固定され、側面に平坦な第１開口面を有する筒状のスライド部材と、前記プローブが固定された前記スライド部材に、前記スライド部材を前記磁心の軸方向にスライド可能な状態で装着され、側面に平坦な第２開口面を有する筒状のガイド部材と、を含み、前記スライド部材に前記ガイド部材が装着された状態で前記第１開口面と前記第２開口面とは面一となり、前記ガイド部材は、前記磁心の測定対象物に接近させる側に、前記磁心の軸に対して直角な平坦面を有する。
【０００９】
本発明によれば、ガイド部材の平坦面を、測定対象物の表面に面的に接触させつつスライド部材をガイド部材に沿ってスライドさせることで、プローブの磁心の軸を測定対象物の表面に対して直角に維持した状態で磁心の端部を測定対象物に接近させることができる。そのため、ユーザは簡単な操作で精度よく膜厚を測定することができる。また本発明の測定治具は、スライド部材にガイド部材が装着された状態で、スライド部材の第１開口面とガイド部材の第２開口面とが面一となるので、例えば、測定治具を上記面一となる開口面（第１開口面及び第２開口面）を下方に向けて平面上に載置した場合、当該測定治具の上記開口面側に厚みを有する部材が存在しない分、プローブの先端を上記平面の近くに位置させることができる。そのため、測定対象物の測定対象部位が測定対象物の周囲に存在する平面から近い（低い）位置に存在する場合でも、プローブの磁心の軸を測定対象物の表面に対して直角に維持しつつ、磁心の端部を測定対象物に接近させることができる。このように本発明の測定治具は、様々な状態で存在する測定対象物に対して柔軟に適用することができる。また本発明の測定治具は、プローブをスライド部材を介してガイド部材に支持する構成になっているため、プローブの形態に合わせてスライド部材を用意することで様々な形態のプローブに広く適用することができる。
【００１０】
本発明の他の一つは、上記測定治具であって、前記ガイド部材の前記平坦面は、前記磁心の軸方向に沿って前記スライド部材を前記測定対象物の方向にスライドさせた際に前記プローブの端部を貫通させる貫通孔を有し、前記ガイド部材は、前記貫通孔の、前記面一となる前記第１開口面及び前記第２開口面が存在する側に架橋部を有する。
【００１１】
膜厚の測定に際して測定治具を上記面一となる開口面（第１開口面及び第２開口面）を下方に向けて平面上に載置した際、上記平面が、例えば、鉄塔等の導電材料である場合、プローブが上記平面に接触してしまうと膜厚の測定精度に影響が生じるが、本発明のガイド部材は、このようにプローブを貫通させる貫通孔を有するとともに、貫通孔の面一となる開口面（第１開口面及び第２開口面）が存在する側に架橋部を有するので、プローブが上記平面に接触するのを確実に防ぐことができる。また架橋部を薄肉とすることでプローブの先端を上記平面の近くに位置させることができる。
【００１２】
本発明の他の一つは、上記測定治具であって、前記スライド部材の外形は略直方体状であり、前記第１開口面は、前記スライド部材の側面の一つを構成し、前記ガイド部材の外形は略直方体状であり、前記第２開口面は、前記ガイド部材の側面の一つを構成する。
【００１３】
本発明の他の一つは、上記測定治具であって、前記スライド部材は、前記測定対象物が存在する側の端面に前記プローブの端部を突出させる開口部を有し、前記開口部は、前記スライド部材を前記測定対象物の方向にスライドさせた際、前記プローブの外周に突出して形成されている凸部に当接して前記プローブを前記測定対象物の方向に移動させるように作用する。
【００１４】
このようにスライド部材はプローブの端部を突出させる開口部（切り欠き）を有し、上記開口部はスライド部材を測定対象物の方向にスライドさせた際、プローブの外周に突出して形成されている凸部に当接してプローブを測定対象物の方向に移動させるように作用するので、ユーザは膜厚の測定に際しプローブを容易かつ確実に測定対象物に接近させることができる。
【００１５】
本発明の他の一つは、上記測定治具であって、前記スライド部材は、前記第１開口面となる側面に隣接する２つの他の側面の内周に、夫々、当該スライド部材が前記ガイド部材に対してスライドする方向に沿って延出する凸条を有し、前記２つの他の側面の夫々の前記凸条に嵌合される嵌合溝と、前記嵌合溝を前記凸条に嵌合することにより前記スライド部材に装着された状態で前記プローブと当接する当接部と、を有するロック部材を備え、前記凸条は、前記面一となる前記第１開口面及び前記第２開口面から前記ロック部材を装着可能な長さに設定されている。
【００１６】
このようにスライド部材は、上記面一となる開口面（第１開口面及び第２開口面）からロック部材を取り付け可能な構造を有するので、プローブを容易かつ確実にスライド部材に固定することができる。
【００１７】
本発明の他の一つは、上記測定治具であって、前記スライド部材は、前記第１開口面を構成する側面に隣接する２つの側面の外周に、当該スライド部材が前記ガイド部材に対してスライドする方向に沿って延出する第１嵌合部を有し、前記ガイド部材は、前記第２開口面を構成する側面に隣接する２つの側面の内周に、前記第１嵌合部と嵌合される、前記スライド部材が当該ガイド部材に対してスライドする方向に沿って延出する第２嵌合部を有する。
【００１８】
本発明によれば、上記面一となる開口面（第１開口面及び第２開口面）を有する構造を実現しつつ、ユーザは第１嵌合部と第２嵌合部とを嵌合させることでスライド部材に当該スライド部材がスライド可能な状態でガイド部材に取り付けることができる。
【００１９】
本発明の他の一つは、上記測定治具であって、前記スライド部材は、前記測定対象物が存在する側の端面に対向する端面の近傍に形成された第１把持部を有する。
【００２０】
本発明によれば、膜厚の測定に際し、ユーザは第１把持部を利用して容易にスライド部材をガイド部材に対してスライドさせることができる。
【００２１】
本発明の他の一つは、上記測定治具であって、前記ガイド部材は、前記第２開口面を構成する側面に隣接する２つの側面の外周に突出して形成された第２把持部を有する。
【００２２】
本発明によれば、膜厚の測定に際し、ユーザは第２把持部を利用してガイド部材をしっかりと抑えることができる。
【００２３】
本発明の他の一つは、上記測定治具であって、前記プローブは、前記先端部が前記測定対象物に接触又は押圧されることにより膜厚を測定するタイミングを示す信号を生成する機構を有する。
【００２４】
本発明の他の一つは、上記測定治具であって、前記膜厚計は、電磁誘導式膜厚計又は渦電流式膜厚計である。
【００２５】
その他、本願が開示する課題、及びその解決方法は、発明を実施するための形態の欄、及び図面により明らかにされる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、膜厚計を用いた膜厚の測定における作業効率を向上するとともに測定精度を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】膜厚計の測定原理を説明する図である。
【図２】膜厚計の外観を示す図である。
【図３】膜厚計の本体装置の構成を示す図（ブロック図）である。
【図４】本体装置が備える機能及び本体装置が記憶するデータを示す図である。
【図５】校正データ（本例では校正曲線）の一例である。
【図６Ａ】プローブの側面図である。
【図６Ｂ】プローブの断面図である。
【図７】プローブの先端を測定対象物に押し当てている様子を示す図である。
【図８】プローブの他の構成を示す図（側面図）である。
【図９】図８に示したプローブの先端を測定対象物の表面に押し当てている様子を示す図である。
【図１０Ａ】スライド部材の構成を示す図である。
【図１０Ｂ】スライド部材の構成を示す図である。
【図１１Ａ】ガイド部材の構成を示す図である。
【図１１Ｂ】ガイド部材の構成を示す図である。
【図１２】ロック部材
【図１３Ａ】スライド部材にプローブを取り付ける際の手順を説明する図である。
【図１３Ｂ】スライド部材にプローブを取り付ける際の手順を説明する図である。
【図１３Ｃ】スライド部材にプローブを取り付ける際の手順を説明する図である。
【図１４Ａ】測定治具を用いた膜厚の測定方法を説明する図である。
【図１４Ｂ】測定治具を用いた膜厚の測定方法を説明する図である。
【図１４Ｃ】測定治具を用いた膜厚の測定方法を説明する図である。
【図１４Ｄ】測定治具を用いた膜厚の測定方法を説明する図である。
【図１５】測定治具を用いた膜厚の測定方法の他の例を説明する図である。
【図１６Ａ】ガイド部材の斜視図である。
【図１６Ｂ】ガイド部材の平面図である。
【図１７】測定対象物の表面にプローブの先端を押し当てている様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、発明を実施するための形態について詳細に説明する。尚、以下の説明において、同一の又は類似する構成について同一の符号を付して重複した説明を省略することがある。
【００２９】
まず本発明の測定治具が適用される膜厚計の原理並びに構成について説明する。以下では電磁誘導式の膜厚計を例として説明するが、本発明の測定治具は、測定対象物（素地、被膜）との間の電磁的な相互作用を利用して膜厚を測定するタイプの膜厚計、例えば、渦電流式膜厚計（渦電流振幅感応式膜厚計）、渦電流位相式膜厚計（渦電流位相変位感応式膜厚計）等に広く適用することができる。
【００３０】
［測定原理］
まず図１とともに電磁誘導式膜厚計の測定原理について説明する。膜厚計は、例えば、素地２１の表面に被膜２２が施された測定対象物２の膜厚の測定に用いられる。ここで素地２１は、例えば、鉄、鋼、フェライト系ステンレス等の磁性体であり、被膜２２は、例えば、メッキ（亜鉛メッキ等）、ペイント、樹脂膜等の非磁性被膜である。
【００３１】
同図に示すように、膜厚計のプローブ５２は、鉄等の強磁性体からなる棒状の磁心５２０に一次コイル３１及び二次コイル３２を同軸に巻回した構造を呈する。一次コイル３１に交流電流を流しつつプローブ５２（磁心５２０）の端部（磁心５２０の二次コイル３２側の端部）を測定対象物２の表面に接近させると、プローブ５２（磁心５２０）の端部と測定対象物２との間の距離に応じて二次コイル３２を貫く磁束４の数が変化し、二次コイル３２に誘起される電圧Ｖが変化する。この電圧変化ΔＶを、例えば、電流変化ΔＩとして取得し、取得した電流変化ΔＩを予め作成しておいた校正データ（測定値と膜厚値との換算データ）と対照することで、被膜２２の厚さ、即ち膜厚を求めることができる。
【００３２】
［膜厚計］
図２に電磁誘導式膜厚計（以下、膜厚計５と称する。）の外観を示している。膜厚計５は携帯型であり、ユーザが現場に持ち込んで使用することができる。同図に示すように、膜厚計５は、本体装置５１、プローブ５２、及びケーブル５３（コード）を備える。プローブ５２は、ケーブル５３（コード）を介して本体装置５１と電気的に接続される。
【００３３】
本体装置５１は、膜厚の測定に際してユーザが操作入力や測定結果の確認等を行うためのユーザインタフェースを備える。ケーブル５３は、例えば、本体装置５１からプローブ５２の一次コイル３１に交流電流を供給するための配線、二次コイル３２を流れる電流（又は二次コイル３２に誘起される電圧）の計測値を含んだ信号（以下、計測信号と称する。）を本体装置５１に伝えるための配線、上記計測値を取得するタイミングを示す信号（以下、トリガ信号と称する。）を伝えるための配線等を含む。
【００３４】
図３に本体装置５１の構成を示している。同図に示すように、本体装置５１は、プロセッサ５１１、記憶装置５１２、電源回路５１３、入力装置５１４、出力装置５１５、及びＡ／Ｄコンバータ５１６を備える。
【００３５】
プロセッサ５１１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit）を用いて構成されている。記憶装置５１２は、ＲＡＭ(Random Access Memory)、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＮＶＲＡＭ（Non-Volatile RAM）等を用いて構成されている。
【００３６】
電源回路５１３は、バッテリ（一次電池、二次電池）、ＤＣ／ＤＣコンバータ、ＤＣ／ＡＣインバータ等を含み、本体装置５１やプローブ５２を動作させるのに必要な電力（一次コイル３１に供給する交流電力を含む。）を生成する。
【００３７】
入力装置５１４は、ユーザから情報の入力を受け付けるユーザインタフェースであり、キーパッド、タッチパネル等である。出力装置５１５は、ユーザに情報を提供するユーザインタフェースであり、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、印字装置、音声出力装置等である。
【００３８】
Ａ／Ｄコンバータ５１６は、プローブ５２からアナログ値として入力される信号をデジタル値に変換する。
【００３９】
図４に本体装置５１が備える機能及び本体装置５１が記憶するデータを示している。同図に示すように、本体装置５１は、校正処理部５２１、測定処理部５２２、膜厚算出部５２３、及び結果出力部５２４の各機能を備える。これらの機能は、本体装置５１のプロセッサ５１１が、記憶装置５１２に格納されているプログラムを読み出して実行することにより、もしくは、本体装置５１が備えるハードウェアにより実現される。同図に示すように、本体装置５１は、校正データ５３１や測定値５３２を記憶する。
【００４０】
上記機能のうち、校正処理部５２１は、例えば、同質の素地２１に異なる厚さ（≧０）で被膜２２を施したいくつかの標準板について膜厚を測定することにより得られる、二次コイル３２の電流変化ΔＩ（又は電圧変化ΔＶ）と膜厚との関係に基づき、校正データ５３１（校正曲線）を生成する。
【００４１】
測定処理部５２２は、プローブ５２から入力される計測信号に基づき二次コイル３２の電流変化ΔＩ（又は電圧変化ΔＶ）を求め、求めた値を測定値５３２として記憶する。
【００４２】
図５に校正データ５３１（校正曲線）の一例を示す。同図において、縦軸は測定値５３２（電流変化ΔＩ）であり、横軸は膜厚である。尚、校正データ５３１は、測定対象物２の材質（素地２１や被膜２２の材質）に応じて異なるので、校正データ５３１は測定対象物２の異なる材質ごとに用意される。
【００４３】
図４に戻り、膜厚算出部５２３は、測定値５３２を校正データ５３１と対照することにより測定対象物２の膜厚を求める。尚、膜厚算出部５２３は、例えば、複数回の測定を実施することにより取得される複数の測定値５３２の平均値を求め、求めた平均値に対応する膜厚を校正データ５３１から取得する。結果出力部５２４は、膜厚算出部５２３によって求められた膜厚を出力装置５１５に出力する。
【００４４】
校正処理部５２１、測定処理部５２２、膜厚算出部５２３、及び結果出力部５２４は、以上の機能に加えて、入力装置５１４を介して本体装置５１に対する設定や指示をユーザから随時受け付ける機能、出力装置５１５を介してユーザに情報を随時提供する機能を有する。
【００４５】
図６Ａはプローブ５２の側面図であり、図６Ｂはプローブ５２の断面図（図６ＡのＸ−Ｘ’線における断面図）である。これらの図に示すように、プローブ５２の外観は略円筒状である。プローブ５２は、その表面の少なくとも一部にローレット加工が施されており、プローブ５２の先端から長手方向に沿って所定長さの部分を構成するプローブ本体６１と、プローブ本体６１のケーブル５３側に設けられるキャップ６２（図６Ｂを参照）及びキャップ６２及びケーブル５３の端部を保護する、樹脂等の素材からなるキャップカバー６３と、を有する。プローブ本体６１の外周には、プローブ本体６１と同心円環状（フランジ状）の凸部６１７が形成されている。
【００４６】
図６Ｂに示すように、プローブ本体６１は、略円筒状の外筒体６１１と、外筒体６１１の内部に外筒体６１１と同軸（プローブ５２の中心軸Ｃと同軸）に収容される略円筒状の内筒体６１２とを有する。プローブ本体６１（内筒体６１２）の先端付近には、内筒体６１２と同軸に配置された筒状のコイルボビン６１３が収容されている。コイルボビン６１３の、プローブ本体６１の先端寄りの位置には、二次コイル３２が巻回される第２ボビン６１３２が設けられている。またコイルボビン６１３の、第２ボビン６１３２よりもケーブル５３寄りの位置には、一次コイル３１が巻回される第１ボビン６１３１が設けられている。同図では一次コイル３１及び二次コイル３２は省略してある。
【００４７】
コイルボビン６１３の中心部分には、コイルボビン６１３の中心軸（プローブ５２の中心軸Ｃと同軸）に沿って、所定径を有する通し孔６１３５が形成されている。この通し孔６１３５には、鉄等の強磁性体からなる棒状（円柱状等）の磁心５２０が、その中心軸がプローブ５２の中心軸Ｃと同軸に挿入されている。
【００４８】
内筒体６１２のコイルボビン６１３よりもケーブル５３寄りの位置には、ケーブル５３の配線６３１の端部が接続されるコネクタ６１５が設けられている。一次コイル３１及び二次コイル３２とケーブル５３の配線６３１とは、コネクタ６１５を介して電気的に接続されている。
【００４９】
内筒体６１２と外筒体６１１との間にはスプリング機構６４が設けられている。内筒体６１２は、このスプリング機構６４によってプローブ５２の先端方向に付勢されている。これにより、内筒体６１２の端面及び磁心５２０の先端は、外筒体６１１の端面６１１１から中心軸Ｃに沿って若干（例えば数ｍｍ程度）突出した状態に保持される。
【００５０】
内筒体６１２のキャップ６２側には、スイッチ６５（電気接点）が設けられている。スイッチ６５は、スプリング機構６４の付勢力に逆らって内筒体６１２が外筒体６１１に押し込まれることによりその接点状態（オン又はオフ）が反転するように構成されている。スイッチ６５は前述したトリガ信号を生成する。スイッチ６５は、ケーブル５３の配線６３１を介して本体装置５１と電気的に接続されている。尚、スイッチ６５と同等の機能を、例えば、圧電素子等の他の種類の素子を用いて実現することもできる。
【００５１】
図７にプローブ５２の先端（プローブ５２から突出する磁心５２０の先端）を測定対象物２の表面に押し当てている様子を示す。同図に示す如く、プローブ５２の先端（内筒体６１２の端面）をスプリング機構６４の付勢力に抗して測定対象物２の表面に押し当てるとスイッチ６５の接点状態が反転し、トリガ信号が生成されて本体装置５１に入力される。本体装置５１はトリガ信号が入力されたタイミングでプローブ５２から二次コイル３２の電流値を取り込む。
【００５２】
［プローブの他の構成］
図８にプローブ５２の他の構成を示している。同図に示すように、プローブ５２は、その外筒体６１１に複数の同心円環状の凸部６１７を有している。これら複数の凸部６１７のうち、最下部の凸部６１７ａは他の凸部６１７ｂに比べてその外径がやや大きくなっている。  
【００５３】
同図において、符号Ａで示すラインは外筒体６１１の端面（即ち外筒体６１１と内筒体６１２の境界）になっており、当該ラインよりも上（＋ｚ側）の部分では内筒体６１２の表面が露出している。また同図において、外筒体６１１の下端面から長さｄで突出する部分は外筒体６１１の内側において内筒体６１２に連続している。
【００５４】
図９は、図８に示したプローブ５２の先端を測定対象物２の表面に押し当てている様子を示す図である。同図に示すように、プローブ５２の先端（磁心５２０の先端）を測定対象物２の表面に押し当てることにより、プローブ５２の先端（内筒体６１２の先端）が外筒体６１１の内部に引っ込み、同図においてＡ−Ａ’で示す間隙（長さはｄ）が形成される。プローブ５２の内部の構造は前述したプローブ５２と同様である。尚、以下では図８及び図９に示す構成からなるプローブ５２を一例として説明する。
【００５５】
［測定治具の構成］
以下、図１０Ａ乃至図１６Ｂに示す各図とともに、膜厚計５のプローブ５２に装着して用いる測定治具１について説明する。測定治具１は、複数の部材（スライド部材１１、ガイド部材１２、及びスライド部材１１に装着されるロック部材１３）を含む。プローブ５２は、ロック部材１３を用いてスライド部材１１に固定される。スライド部材１１にはガイド部材１２が装着される。ガイド部材１２は、プローブ５２が固定されたスライド部材１１が、プローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）の方向にスライド（摺動）可能となるように支持する。測定治具１を構成する各部材は、例えば、硬質の樹脂や金属等を素材として構成される。
【００５６】
図１０Ａにスライド部材１１の構成（斜視図）を、また図１０Ｂに図１０Ａに示したスライド部材１１をｘｙ平面に対して反転させて（ｚ軸の方向を反転させて）描いた斜視図を示している。これらの図に示すように、スライド部材１１の全体は略直方体状を呈する。
【００５７】
上記直方体の４つの側面１１１ａ〜１１１ｄのうち、その法線が＋ｚ方向を向く側面１１１ｄは平坦な開口面（以下、第１開口面と称する。）になっている。第１開口面（側面１１１ｄ）は、スライド部材１１にガイド部材１２を装着した際、ガイド部材１２の後述する第２開口面（側面１２１ｄ）と面一になるように形成されている。
【００５８】
図１０Ａに示すように、上記直方体の２つの端面１１２ａ，１１２ｂには、夫々、略長方形状の開口部（以下、夫々、切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂと称する。）が形成されている。切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂは、いずれもプローブ５２の外径が丁度収容される程度の形態（形状、大きさ）に設定されている。尚、同図では、切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂをいずれも矩形状としているが、切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂの態様はこれに限られず、例えば、半円（奥側）と矩形（手前側）とを組み合わせた形状等としてもよい。
【００５９】
切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂの形状や大きさは、ユーザがプローブ５２の長手方向の所定位置をこれらに嵌め込むことにより、プローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）がスライド部材１１の長手方向と平行になるように、即ち、中心軸Ｃが端面１１２ｂの平坦な外表面（−ｚ側の表面）と垂直（直角）になるように設定されている。そのため、ユーザは、プローブ５２を２つの切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂに嵌め込むことで、自然にプローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）が端面１１２ｂの外表面（−ｚ側の表面）と垂直（直角）になるようにすることができる。またユーザがプローブ５２を切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂにしっかりと嵌め込むことにより、プローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）は自動的に第１開口面（側面１１１ｄ）と平行になる。
【００６０】
図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、上記直方体の２つの側面１１１ａ，１１１ｂには、夫々開口面（側面１１１ｄ）と平行に延出する凸条１１６ａ，１１６ｂが形成されている。凸条１１６ａ，１１６ｂは、夫々、ガイド部材１２の側面１２１ａ，１２１ｂに形成されている後述の嵌合溝１２６ａ，１２６ｂにスライド可能な状態で嵌合される。
【００６１】
上記直方体の２つの側面１１１ａ，１１１ｂの内周には、夫々、開口面（側面１１１ｄ）と平行に延出する凸条１１７ａ，１１７ｂが形成されている。凸条１１７ａ，１１７ｂは、夫々、ロック部材１３の後述する嵌合溝１３３ａ，１３３ｂにスライド式に嵌合される。
【００６２】
図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、側面１１１ａ，１１１ｂの夫々の端面１１２ａの近傍には、ユーザの持ち手となる把持部１１５（第１把持部）が設けられている。膜厚の測定に際し、ユーザは把持部１１５を利用して容易にスライド部材１１をガイド部材１２に対してスライドさせることができる。
【００６３】
図１１Ａにガイド部材１２の構成（斜視図）を示している。また図１１Ｂに図１１Ａに示したガイド部材１２をｘｙ平面に対して反転させて（ｚ軸の方向を反転させて）描いた斜視図を示している。これらの図に示すように、ガイド部材１１の全体は略直方体状を呈する。ガイド部材１２の内部には、スライド部材１１が挿入される空間が形成されている。
【００６４】
これらの図に示すように、上記直方体の４つの側面１２１ａ〜１２１ｄのうちの一つ（側面１２１ｄ）は平坦な開口面（以下、第２開口面と称する。）になっている。上記直方体の４つの側面１２１ａ〜１２１ｄによって構成される筒体の内部空間はスライド部材１１の外形が丁度収まる形態（形状、大きさ）（スライド部材１１の外表面が内部空間の内表面に密着してスライド可能な形態）になっている。ガイド部材１１の側面１２１ａ，１２１ｂの夫々の内表面には、夫々開口面（側面１１１ｄ）と平行に延出する嵌合溝１２６ａ，１２６ｂが形成されている。
【００６５】
同図に示すように、上記直方体の２つの端面１２２ａ，１２２ｂのうちの一方（端面１２２ａ）はほぼ全面が開口している。スライド部材１１は、ガイド部材１２の当該開口（端面１２２ａ）に端面１１２ｂの側から挿入される。前述したように、スライド部材１１には、その凸条１１６ａ，１１６ｂを夫々、ガイド部材１２の嵌合溝１２６ａ，１２６ｂにスライド式に嵌合させることによりガイド部材１２が装着される。ガイド部材１２が装着された状態において、スライド部材１１は、その３つの側面１１１ａ〜１１１ｃの外表面をガイド部材１２の内表面に接触させつつ、ガイド部材１２に対してスライド可能な状態となる。
【００６６】
上記直方体の他方の端面１２２ｂには、プローブ５２の外径が通過可能な形態（形状、大きさ）を有する貫通孔１２２１が形成されている。端面１２２ｂの外表面（−ｙ側の表面）は平坦面になっており、この平坦面は上記直方体の長手方向に対して垂直（直角）になっている。貫通孔１２２１と開口面（側面１２１ｄ）との境界部分は架橋されている（以下、この部分を架橋部１２４と称する。）。この架橋部１２４は、膜厚の測定に際し開口面（側面１２１ｄ）を下方に向けて平坦面に載置したときにプローブ５２が重力によって脱落してしまうのを防ぐ役割を果たすとともに、架橋部１２４は、膜厚の測定に際しプローブ５２と上記平坦面との間を確実に電気的に切り離し（絶縁）、膜厚の測定精度を向上する役割を果たす。
【００６７】
ガイド部材１１の側面１２１ａ，１２１ｂの外表面の所定位置（本例ではガイド部材１１のｙ軸方向に沿って中程）には、夫々、ｚ軸に平行に延びる凸条１２３ａ，１２３ｂが形成されている。凸条１２３ａ，１２３ｃは、測定治具１を使用する際にユーザの持ち手として機能する。
【００６８】
図１２は、プローブ５２をスライド部材１１に取り付ける際に用いる部材（以下、ロック部材１３と称する。）の斜視図である。同図に示すように、ロック部材１３の全体は略直方体状を呈する。ロック部材１３の４つの側面１３１ａ〜１３１ｄのうち、法線が−ｚ方向を向く側面１３１ｃは開口面になっている。また法線が＋ｚ方向を向く側面１３１ｄは、ロック部材１３をプローブ５２が装着されたスライド部材１１に取り付けた際、プローブ５２に当接してプローブ５２を固定する押さえ板として機能する。ロック部材の２つの端面１３２ａ，１３２ｂ（夫々法線は＋ｙ，−ｙ方向を向く）はいずれも開口している。ロック部材１３の法線が夫々−ｘ方向及び＋ｘ方向を向く２つの側面１３１ａ，１３１ｂには、夫々、ｙ軸方向に延出する嵌合溝１３３ａ，１３３ｂが形成されている。
【００６９】
ロック部材１３のｘ軸方向の長さは、スライド部材１１の内部空間の幅方向（ｘ軸方向）の長さに丁度一致する程度に設定されている。またロック部材１３のｚ軸方向の長さ（高さ）は、スライド部材１１の内部空間のｚ軸方向の長さに丁度一致する程度に設定されている。またロック部材１３のｙ軸方向の長さは、スライド部材１１の開口面（側面１１１ｄ）からロック部材１３をスライド部材１１の内部空間に設けられている凸条１１７ａ，１１７ｂに容易に嵌合させることができるように、スライド部材１１の凸条１１７ａ，１１７ｂが設けられていない部分の長さ（凸条１１７ａ，１１７ｂの端面１１２ａ側の端部から端面１１２ａの内表面までのｙ軸方向に沿った長さ）よりも短く設定されている。
【００７０】
［プローブの取り付け］
続いて、図１３Ａ乃至図１３Ｃを参照しつつ、スライド部材１１にプローブ５２を取り付ける際の手順について説明する。まず図１３Ａに示すように、ユーザは、プローブ５２を、スライド部材１１の２つの端面１１２ａ，１１２ｂの夫々に設けられている切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂに嵌め込んでスライド部材１１に装着する。ここでプローブ５２は、切り欠き１１２１ｂの周辺においてプローブ５２の表面から環状に突出する凸部６１７がスライド部材１１の端面１１２ｂの外表面と接触するようにスライド部材１１に取り付けられる。このため、ユーザが、プローブ５２を測定対象物２の方向に近づけようとしてスライド部材１１を測定対象物２の方向にスライドさせた際、端面１１２ｂの外表面からプローブ５２に対して測定対象物２の方向に向かう力が作用し、ユーザはプローブ５２を容易かつ確実に測定対象物２に接近させることができる。
【００７１】
尚、前述したように、ガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面（−ｚ側の表面）は平坦面になっており、当該平坦面は、ガイド部材１２の上記直方体の長手方向に対して垂直（直角）な関係になっている。そのため、プローブ５２をスライド部材１１に固定した状態ではプローブ５２の中心軸Ｃとガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面とが垂直（直角）な関係となる。
【００７２】
続いて、図１３Ｂ及び図１３Ｃに示すように、ユーザは、スライド部材１１の開口面（側面１１１ｄ）の側から、ロック部材１３を、その開口面（側面１３１ｃ）をスライド部材１１に取り付けられているプローブ５２の方向に向けつつ、プローブ５２に被せるようにしてスライド部材１１に装着する。より詳細には、ロック部材１３をまずプローブ５２に被せた後、ロック部材１３の嵌合溝１３３ａ，１３３ｂが、夫々、スライド部材１１の凸条１１７ａ，１１７ｂに嵌合するようにロック部材１３をプローブ５２の長手方向（凸条１１７ａ，１１７ｂ）に沿ってスライドさせ、ロック部材１３をスライド部材１１に装着する。ここでロック部材１３の内部空間の形状や大きさは、ロック部材１３をスライド部材１１に装着した状態でプローブ５２がロック部材１３とスライド部材１１との間に丁度収まるように設定されている。そのため、ロック部材１３をスライド部材１１に装着することでロック部材１３の側面１３１ｄの内表面がプローブ５２に当接してプローブ５２が押圧され、プローブ５２を確実にスライド部材１１に装着することができる。尚、ロック部材１３は、例えば、膜厚の測定に際しスライド部材１１の開口面（側面１１１ｄ）を下方に向けた際にプローブ５２がガタついたりプローブ５２がスライド部材１１から脱落したりするのを防ぐ役割も果たす。
【００７３】
［膜厚の測定方法］
続いて、以上の構成からなる測定治具１を用いて膜厚計５により測定対象物２の膜厚を測定する手順について説明する。尚、以下では、測定対象物２がナットの側面である場合を例として説明する。
【００７４】
図１４Ａ乃至図１４Ｃに示すように、ユーザは、まずプローブ５２が装着されたスライド部材１１をガイド部材１２の開口面１２２ａからガイド部材１２に挿入する。より詳細には、スライド部材１１の凸条１１６ａ，１１６ｂを、夫々、ガイド部材１２の嵌合溝１２６ａ，１２６ｂにスライド式に嵌合させることによりスライド部材１１にガイド部材１２を装着する。前述したように、スライド部材１１の第１開口面（側面１１１ｄ）は、スライド部材１１にガイド部材１２を装着した状態においてガイド部材１２の第２開口面（側面１２１ｄ）と面一になる。
【００７５】
ガイド部材１２の貫通孔１２２１の径はプローブ５２の径よりも大きく、図１４Ｃに示すように、ユーザは、スライド部材１１をガイド部材１２の端面１２２ｂの方向にスライドさせることで、プローブ５２の先端を端面１２２ｂの外表面（平坦面）から突出させることができる。
【００７６】
続いて、図１４Ｄに示すように、ユーザは、スライド部材１１及びガイド部材１２の面一となる開口面（側面１１１ｄ，側面１２１ｄ）を下向きにして、測定対象物２（ナット）の周囲の平面部分に測定治具１（プローブ５２が装着されたスライド部材１１、ガイド部材１２、及びロック部材１３）を載置する。ここで上記面一の開口面（側面１１１ｄ，側面１２１ｄ）は、ガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面（平坦面）に対して垂直（直角）であるので、測定対象物２の周囲の平面が測定対象物２の測定対象部位（ナットの側面）に対して垂直（直角）になっている場合、ユーザは、測定治具１を平面部分に載置するだけで、測定対象部位（ナットの側面）とプローブ５２の中心軸Ｃとを垂直(直角）の関係に保ちつつプローブ５２の先端を測定対象部位に当接させることができる。
【００７７】
またスライド部材１１の側面１１１ｄは開口面であり、またガイド部材１２の側面１２１ｄも開口面であるので、これらを下向きにして測定対象物２の周囲の平面部分に測定治具１を載置した場合、プローブ５２の中心軸Ｃの高さ位置（上記平面部分からの距離）を低くすることができる。そのため、測定対象物２が低背な場合でも、測定対象物２の測定部位にプローブ５２の先端を当接させることができ、例えば、小型のナットについてもナットの側面の測定対象部位に、中心軸Ｃをナットの側面に対して垂直（直角）に保ちつつプローブ５２の先端を測定対象部位に当接させることができる。
【００７８】
またプローブ５２と測定対象物２の周囲の平面部分との間に架橋部１２４が介在するため、プローブ５２と上記平坦面との間を確実に電気的に切り離す（絶縁する）ことができ、膜厚の測定精度の低下を防ぐことができる。
【００７９】
続いて、ユーザは、ガイド部材１２を手で押さえつつ、スライド部材１１を測定対象物２の方向にスライドさせ、プローブ５２の先端を測定対象物２の方向に押し込む。これによりプローブ５２の内筒体６１２は、スプリング機構６４の付勢力に抗して外筒体６１１に押し込まれ、その結果、スイッチ６５の接点状態が反転してトリガ信号が本体装置５１に入力される。
【００８０】
尚、同じ測定対象物２の表面について連続して繰り返し測定を行うような場合（例えば、複数の測定値の平均値を求める場合）、ユーザは、一方の手でガイド部材１２を測定対象物２の表面に押し当てたまま他方の手でスライド部材１１を上方にスライドさせてプローブ５２の先端を測定対象物２の表面から１０ｍｍ程度引き離し、再び前述した手順を行うことにより測定を繰り返す。
【００８１】
以上に説明したように、本実施形態の測定治具１によれば、ガイド部材１２の平坦面（端面１２２ｂの外表面）を、測定対象物２の表面に面的に接触させつつスライド部材１１をガイド部材１２に沿ってスライドさせることで、プローブ５２の磁心の軸を測定対象物２の表面に対して直角に維持した状態で、磁心の端部を測定対象物２に接近させることができる。そのため、ユーザは簡単な操作で精度よく膜厚を測定することができる。また本測定治具１は、スライド部材１１にガイド部材１２が装着された状態で、スライド部材１１の第１開口面（側面１１１ｄ）とガイド部材１２の第２開口面（側面１２１ｄ）とが面一となるので、例えば、測定治具１を上記面一となる開口面（第１開口面及び第２開口面）を下方に向けて平面上に載置した場合、当該測定治具１の上記開口面側に厚みを有する部材が存在しない分、プローブ５２の先端を上記平面の近くに位置させることができる。そのため、測定対象物２の測定対象部位が測定対象物２の周囲に存在する平面から近い（低い）位置に存在する場合でも、プローブ５２の磁心の軸を測定対象物２の表面に対して直角に維持しつつ、磁心の端部を測定対象物２に接近させることができる。また本実施形態の測定治具１は、プローブ５２をスライド部材１１を介してガイド部材１２に支持する構成になっているため、プローブ５２の形態に合わせてスライド部材１１を用意することで様々な形態のプローブ５２に広く適用することができる。
【００８２】
ところで、以上では、上記面一となる開口面（側面１１１ｄ，側面１２１ｄ）を下向きにし、測定対象物２の周囲の平面部分に測定治具１を載置して膜厚を測定しているが、例えば、図１５に示すように、測定治具１を、ガイド部材１２の平坦面（端面１２２ｂの外表面）を測定対象物２の表面に向けるようにして用いることも可能である。その場合、プローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）とガイド部材１２の平坦面とは垂直（直角）の関係になっているので、ユーザは、測定対象物２の表面とガイド部材１２の平坦面とを面的に接触させるようにすることで、測定対象物２の表面とプローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）とを容易に垂直(直角）の関係にすることができる。
【００８３】
また膜厚計５を用いた膜厚の測定に際しては、プローブ５２の先端を所定の測定対象部位に正確に当てる必要がある。とくに測定対象物２の特定の測定対象部位（以下、測定ポイントＰと称する。）について繰り返し測定を行う場合には、プローブ５２の先端を同じ測定ポイントＰに繰り返し正確に当てる必要がある。そこでこのように測定治具１をガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面（平坦面）を測定対象物２の表面に向けるようにして用いる場合は、例えば、図１６Ａ及び図１６Ｂに示すように、ガイド部材１２の端面１２２ｂの内表面に目印線１２７ａ〜１２７ｄを設けてもよい。同図に示す例では、各目印線１２７ａ〜１２７ｄの延長線の交点がプローブ５２の先端が当接する位置に一致するように、目印線１２７ａ〜１２７ｄを設けている。前述したように、ガイド部材１２の側面１２１ｄは開口面になっているため、膜厚の測定に際してユーザは容易に目印線１２７ａ〜１２７ｄを視認することができ、プローブ５２の先端が所定の測定対象部位に当たるようにガイド部材１２の位置を容易に調節することができる。尚、目印線１２７ａ〜１２７ｄは、例えば、印字、刻印により設けられるが、他の態様で設けてもよい。
【００８４】
以上、発明を実施するための形態について説明したが、以上の説明は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明はその趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。
【００８５】
例えば、以上に説明した位置合わせ治具７は、六角ボルトの頭部側面や、六角ナットの側面と同様の側面形状を有する様々な測定対象物２の膜厚の測定に広く適用することができる。
【００８６】
また例えば、外部から測定治具１の内部の様子が視認し易くなるように、スライド部材１１、ガイド部材１２、及びロック部材１３のうちの少なくともいずれかを、例えば、透明の素材を用いて構成してもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１  測定治具、２  測定対象物、１１  スライド部材、１１１ａ〜１１１ｄ  側面、１１２ａ，１１２ｂ  端面、１１２１ａ，１１２１ｂ  切り欠き、１１５  把持部（第１把持部）、１１６ａ，１１６ｂ  凸条、１１７ａ，１１７ｂ  凸条、１２  ガイド部材、１２１ａ〜１２１ｄ  側面、１２２ａ，１２２ｂ  端面、１２２１  貫通孔、１２３ａ，１２３ｂ  凸条、１２４  架橋部、１３  ロック部材、１３１ａ〜１３１ｄ  側面、１３２ａ，１３２ｂ  端面、１３３ａ，１３３ｂ  嵌合溝、１２７ａ〜１２７ｄ  目印線、５  膜厚計、５２０  磁心、５２  プローブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１３Ｃ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１４Ｃ】
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【図１４Ｄ】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７】
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