(57)【要約】【課題】欠陥検査の効率をより向上させることができる検査方法を提供する。【解決手段】検査方法は、欠陥候補を含む検査対象物の画像である検査対象画像を取得する検査対象画像取得工程と、前記検査対象画像と、少なくとも前記検査対象物が欠陥品、疑似欠陥品又は再検査品のいずれかを入力する欄を表示する工程と、前記検査対象物が、欠陥品、疑似欠陥品又は再検査品のいずれかに選別された結果を記憶する選別工程と、前記選別工程で再検査品に選別された前記検査対象物の欠陥候補をレビュー機で表示する工程と、欠陥品又は疑似欠陥品のいずれかを判定した結果を記憶する再検査工程と、を備える。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
欠陥候補を含む検査対象物の画像である検査対象画像を取得する検査対象画像取得工程と、
前記検査対象画像と、少なくとも前記検査対象物が欠陥品、疑似欠陥品又は再検査品のいずれかを入力する欄を表示する工程と、
前記検査対象物が、欠陥品、疑似欠陥品又は再検査品のいずれかに選別された結果を記憶する選別工程と、
前記選別工程で再検査品に選別された前記検査対象物の欠陥候補をレビュー機で表示する工程と、
欠陥品又は疑似欠陥品のいずれかを判定した結果を記憶する再検査工程と、
を備える検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の検査方法であって、
前記検査対象画像は、基板上に複数の前記検査対象物が多面付けされた画像から切り出された画像であり、
前記再検査工程では、
前記検査対象物に含まれる前記欠陥候補の位置を、前記基板上に複数の前記検査対象物が多面付けされた画像の前記欠陥候補の位置情報により特定すること、
を特徴とする検査方法。
【請求項３】
欠陥候補を含む検査対象物の画像である検査対象画像を画面上に表示する表示部と、
前記表示部に表示された前記検査対象物について、少なくとも欠陥品、疑似欠陥品又は再検査品のいずれかの選別結果を取得する選別結果取得部と、
を備える事前画像選別装置。
【請求項４】
請求項３に記載の事前画像選別装置と、
前記事前画像選別装置で再検査品に選別された前記検査対象物が欠陥品又は疑似欠陥品のいずれかを判定可能な再検査装置と、
を備える検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に形成された配線パターン等の検査方法、事前画像選別装置及び検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
配線パターンの検査において、検査対象物の画像と基準画像とを比較し、その差分画像の面積、濃度等に基づいて検査対象物の欠陥の有無を検出する検査装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−９５１０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
エッチング処理により形成された配線パターンの場合、エッチングプロセスの進み具合により製品の仕上がりにバラツキが存在し、例えば、配線幅に違いが生じることがある。このような配線幅の違いは、許容範囲内であっても差分として算出される。この差分の面積、濃度等に基づいて欠陥の有無を判定した場合、良品であっても、欠陥品として検出される可能性がある（以下、欠陥品と誤認された良品を「疑似欠陥品」ともいう）。そのため、検査後に、再検査が必要となる。
【０００５】
再検査には、レビュー装置が用いられる。レビュー装置は、検査対象物をステージ上の所望の位置に移動させ、カメラで撮影した欠陥候補の箇所を拡大表示する機能等を備えている。オペレータは、レビュー装置の画面上に拡大表示された欠陥候補を観察して、検査対象物が欠陥品か疑似欠陥品かを一つ一つ再検査する。そのため、検査装置で疑似欠陥品と判定された検査対象物が多い場合は、レビュー装置で再検査に要する時間が長くなり、欠陥検査の効率が低下する。
【０００６】
本発明の課題は、欠陥検査の効率をより向上させることができる検査方法、事前画像選別装置及び検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、以下のような解決手段により、課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
第１の発明は、欠陥候補を含む検査対象物の画像である検査対象画像を取得する検査対象画像取得工程と、少なくとも前記検査対象画像と、前記検査対象物が欠陥品、疑似欠陥品又は再検査品のいずれかを入力する欄を表示する工程と、前記検査対象物が、欠陥品、疑似欠陥品又は再検査品のいずれかに選別された結果を記憶する選別工程と、前記選別工程で再検査品に選別された前記検査対象物の欠陥候補をレビュー機で表示する工程と、欠陥品又は疑似欠陥品のいずれかを判定した結果を記憶する再検査工程と、を備える検査方法である。
第２の発明は、第１の発明の検査方法であって、前記検査対象画像は、基板上に複数の前記検査対象物が多面付けされた画像から切り出された画像であり、前記再検査工程では、前記検査対象物に含まれる前記欠陥候補の位置を、前記基板上に複数の前記検査対象物が多面付けされた画像の前記欠陥候補の位置情報により特定すること、を特徴とする検査方法である。
第３の発明は、欠陥候補を含む検査対象物の画像である検査対象画像を画面上に表示する表示部（３１）と、前記表示部に表示された前記検査対象物について、少なくとも欠陥品、疑似欠陥品又は再検査品のいずれかの選別結果を取得する選別結果取得部（３２）と、を備える事前画像選別装置（３０）である。
第４の発明は、第３の発明の事前画像選別装置（３０）と、前記事前画像選別装置で再検査品に選別された前記検査対象物が欠陥品又は疑似欠陥品のいずれかを判定可能な再検査装置（４０，５０）と、を備える検査システム（１）である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、欠陥検査の効率をより向上させることができる検査方法、事前画像選別装置及び検査システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態の検査システム１を説明する図である。
【図２】検査対象製品４を説明する図である。
【図３】検査装置１０の構成を説明する図である。
【図４】検査装置１０で作成される検査ファイルを説明する図である。
【図５】検査画像から切り出される検査対象画像の具体例を説明する図である。
【図６】事前画像選別装置３０の構成を説明する図である。
【図７】レビュー装置４０の構成を説明する図である。
【図８】検査システム１における欠陥検査の処理手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態ついて説明する。なお、本明細書に添付した図面は、いずれも模式図であり、理解しやすさ等を考慮して、各部の形状、縮尺、縦横の寸法比等を、実物から変更又は誇張している。
図１は、本実施形態の検査システム１を説明する図である。図２は、検査対象製品４を説明する図である。
【００１１】
図１に示すように、本実施形態の検査システム１は、検査装置１０，２０、事前画像選別装置３０、レビュー装置（再検査装置）４０，５０、データサーバ６０を備える。これらの各装置は、１又は複数のネットワークを介して相互に接続されている。
本実施形態の検査システム１は、検査対象物２（後述）に形成された配線パターン、電極部等の欠陥を検出するシステムである。本実施形態では、配線パターンの欠陥を検出する例について説明する。配線パターンの欠陥としては、例えば、欠け、断線、短絡（ショート）、配線幅等が挙げられる。以下、検査対象物２において、配線パターンが形成された面を「検査面」ともいう。
【００１２】
検査システム１の検査対象は、図２に示すように、大判の基板３に複数の検査対象物２が多面付けされ検査対象製品４である。検査対象物２は、例えば、基板３にエッチングにより配線パターン、電極部（不図示）等が形成されたプリント基板である。検査装置１０による検査は、検査対象製品４ごとに実施され、検査対象製品４ごとに検査ファイル（後述）が出力される。
【００１３】
検査対象物２に含まれる欠陥候補（後述）の位置は、図２に示すように、例えば、検査対象物２の左側下端の角部を基点とする座標ｘ，座標ｙの座標情報（位置情報）により特定できる。
後述する再検査工程において、検査装置１０（２０）とレビュー装置４０（５０）との間で基点となる座標軸の位置合わせを行うことにより、検査装置１０（２０）で検出された欠陥候補の位置を、レビュー装置４０（５０）で正確に特定できる。
【００１４】
本実施形態では、各検査対象物２の左側下端の角部を基点とする座標情報により欠陥候補の位置を特定する例について説明する。
なお、検査対象物２に含まれる欠陥候補の位置は、図２に示すように、例えば、基板３の左側下端の角部を基点とする座標情報（座標ｘ，座標ｙ）によっても特定できる。
また、複数の検査対象物２には、それぞれに製品番号が割り当てられている。製品番号は、検査対象物２が基板３に面付けされた位置を示す情報である。
【００１５】
検査装置１０は、検査対象物２に形成された配線パターンを検査する装置である。検査装置１０は、検査対象物の画像である検査画像と基準画像とを比較し、その差分画像の面積、濃度の数値に基づいて、欠陥候補を含む検査対象物であるか否かを判定する。
本実施形態の基準画像は、欠陥のない基準対象物から取得された画像である。なお、基準画像は、ＣＡＤで作成された画像、隣接する配線パターン（欠陥なし）の画像等でもよい。
また、検査対象物の欠陥の有無を検出する手法は、上述した差分画像による手法に限定されない。検査対象物の欠陥の有無を検出することができれば、他の手法を用いてもよい。
【００１６】
検査装置１０で検出される欠陥には、明らかな欠陥（真欠陥）だけでなく、欠陥として誤認された疑似欠陥、欠陥か否かの判定が難しいものが含まれる。本実施形態では、これらを含めて「欠陥候補」という。
検査装置１０は、一つの検査対象製品４（図２参照）について、欠陥候補を含む検査対象物の画像（後述する検査対象画像）と検査情報とを関連付けて、検査ファイルを作成する。検査情報及び検査ファイルについては、後述する。
【００１７】
検査装置２０は、例えば、検査対象物２の電極部を検査する装置である。検査装置２０の基本的な構成は、検査装置１０と実質的に同じであるため、説明を省略する。以下、検査装置１０，２０を総称して「検査装置１０」ともいう。検査装置１０の構成については、後述する。
なお、本実施形態の検査システム１は、２台の検査装置を備えているが、検査装置は１台でもよいし、複数台あってもよい。更に、検査装置は、検査する部位ごとに分かれていてもよい。
【００１８】
事前画像選別装置３０は、データサーバ６０に記憶されている検査ファイル（後述）及び欠陥候補を含む検査対象画像を読み込み、欠陥候補を含む検査対象画像を画面上に表示させる。また、事前画像選別装置３０は、オペレータが検査対象物を欠陥品、疑似欠陥品又は再検査品のいずれかに選別した結果を取得する。事前画像選別装置３０で取得された選別結果（ＯＫ、ＮＧ等）は、検査ファイルの判定の項目に記録され、欠陥候補を含む検査対象画像と共にデータサーバ６０に記憶される。
【００１９】
レビュー装置４０，５０は、事前画像選別装置３０で再検査品に選別された検査対象物について、オペレータが欠陥品又は疑似欠陥品のいずれであるかを判定可能な装置である。以下、レビュー装置４０，５０を総称して「レビュー装置４０」ともいう。レビュー装置４０の構成については、後述する。
【００２０】
レビュー装置４０は、データサーバ６０に記憶されている検査ファイルを読み込み、検査ファイルに記録されている製品番号、座標情報（座標ｘ，座標ｙ）に基づいて、撮像部の位置に欠陥候補の箇所が来るようにステージ上の検査対象物２を移動させる。そして、オペレータは、撮像部の倍率を上げて欠陥候補の箇所を拡大表示させる等の操作を行い、検査対象物が欠陥品又は疑似欠陥品のいずれであるかを判定する。
なお、本実施形態の検査システム１は、２台のレビュー装置を備えているが、レビュー装置は１台でもよいし、複数台あってもよい。
【００２１】
データサーバ６０は、検査対象物に関するデータを管理する記憶装置である。
データサーバ６０は、検査対象製品４に多面付けされたすべての検査対象物の画像（検査画像）、欠陥候補を含む検査対象物である検査対象画像、検査対象製品４ごとの検査ファイル等を記憶する。
【００２２】
次に、検査装置１０の構成について説明する。
図３は、検査装置１０の構成を説明する図である。
図３に示すように、検査装置１０は、撮像部１１、光源部１２、ステージ１３、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）１４、表示部１５を備える。
【００２３】
撮像部１１は、検査対象物２を撮像し、その画像を検査画像（画像データ）として出力する装置である。撮像部１１は、ＣＣＤ素子が一列に配置されたラインセンサにより構成される。
撮像部１１は、光軸が検査対象物２の基板面と直交するように支持機構（不図示）に支持されている。撮像部１１で撮像された検査画像は、ＰＣ１４に送信される。
【００２４】
光源部１２は、検査対象物２の検査面に検査光を照射する装置である。光源部１２は、例えば、ＬＥＤ素子により構成される。光源部１２は、検査対象物２の検査面に対して斜め方向から検査光を照射するように、支持機構（不図示）に支持されている。
【００２５】
ステージ１３は、検査対象物２を保持した状態で、検査対象物２を検査面と平行な平面上で送り方向Ａに沿って搬送する装置である。
ステージ１３に保持された検査対象物２を、例えば、Ａ１側からＡ２側に向けて搬送することにより、撮像部１１において、検査対象物２に形成された配線パターンの全体を撮像できる。
なお、本実施形態の検査装置１０では、撮像部１１が固定され、検査対象物２が移動するように構成されているが、検査対象物２が固定され、撮像部１１が移動するように構成してもよい。即ち、撮像部１１と検査対象物２は、相対的に移動するように構成されていればよい。
【００２６】
ＰＣ１４は、検査装置１０の動作を統括的に制御するユニットであり、ＣＰＵ（中央処理装置）、メモリ等を含むマイクロプロセッサにより構成される。ＰＣ１４は、記憶部（不図示）からオペレーティングシステム、欠陥検査用のアプリケーションプログラム等を読み出して実行することにより、各ハードウェアと協働して、欠陥候補を含む検査対象物であるか否かを判定する機能等を実現する。
【００２７】
表示部１５は、検査画像、検査対象画像等を表示可能なディスプレイ装置である。
図示していないが、検査装置１０は、各種の文字情報、数値データのほか、操作指示、動作指示等を入力可能な入力部を備える。入力部は、例えば、キーボード、マウス等により構成される。
【００２８】
次に、検査装置１０で作成される検査ファイルについて説明する。
図４は、検査装置１０で作成される検査ファイルを説明する図である。
図４に示すように、検査ファイルは、製品番号、座標ｘ、座標ｙ、判定、種別、面積、濃淡、画像名により構成される。図４に示す検査ファイルにおいて、画像名を除く項目が検査情報となる。
【００２９】
検査装置１０において、面積、濃淡の項目は、欠陥候補を含む検査対象物であるか否かを判定する際の基準項目となる。検査装置１０は、検査画像と基準画像とを比較し、その差分画像の面積、濃淡（濃度）の数値が所定の閾値以上である場合、欠陥候補を含む検査対象物であると判定して、図３に示す検査ファイルに加える。なお、欠陥候補を含む検査対象物であるか否かを判定する際の基準項目は、面積、濃淡に限らず、更に複数あってもよいし、他の項目であってもよい。
【００３０】
製品番号は、上述したように、検査対象物２が基板３に面付けされた位置を示す情報である。
検査ファイルは、欠陥候補が検出された検査対象物２の製品番号に基づいて作成される。また、検査ファイルの記録欄（レコード）は、欠陥候補ごとに作成される。そのため、例えば、一つの検査対象物について、２箇所に欠陥候補が検出された場合、その欠陥候補ごとに記録欄が作成される。図４では、製品番号５に２つの欠陥候補が検出された例を示している。図４に示す検査ファイルには、欠陥候補が検出されなかった検査対象物２は記載されていないが、欠陥候補が検出されなかった検査対象物２についても記録欄を作成し、その製品番号、画像名を記録してもよい。
【００３１】
座標ｘ，座標ｙの項目には、検査対象物２に含まれる欠陥候補の座標が記録される。
座標ｘ，座標ｙで特定される位置は、検査対象物２に含まれる欠陥候補の中心と考えられる箇所（又はその近傍）である。
判定の項目には、例えば、疑似欠陥等の良品であれば「ＯＫ」、欠陥品であれば「ＮＧ」が記録される。判定の項目は、検査ファイルが検査装置１０で作成された段階では空欄となっている。判定の項目は、事前画像選別装置３０を操作するオペレータにより記録される。なお、判定が疑似欠陥（ＯＫ）又は欠陥品（ＮＧ）のいずれでもない場合、即ち、検査対象画像だけでは欠陥の程度を判断できない場合、レビュー装置４０（５０）により判定すべき欠陥に分類される。その場合、オペレータは、判定の項目を空欄のまま（又は所定の記号を記録）とする。
【００３２】
種別の項目には、例えば、「断線」、「短絡」等の欠陥の種別が記録される。種別の項目は、検査ファイルが検査装置１０から出力された段階では空欄となっている。種別の項目は、判定結果に基づいて、事前画像選別装置３０を操作するオペレータにより記録される。
【００３３】
面積の項目には、欠陥候補となる箇所の面積が記録される。面積とは、検査画像と基準画像との差分画像の面積（欠陥面積）である。この面積が大きいほど、基準画像との差が大きく、欠陥が存在する可能性が高いと考えらえる。
面積の項目には、検査装置１０により算出された欠陥面積の数値が記録される。なお、欠陥を判定する際の目安となる面積の閾値は、検査箇所、製品仕様等に応じて適宜に設定される。
【００３４】
濃淡の項目には、欠陥候補となる箇所の色の濃さ（欠陥濃度）が記録される。濃淡の項目には、検査装置１０により測定された欠陥濃度の数値が記録される。
色の濃さは、例えば、検査対象画像を構成する１画素が８ビットで表現される場合、２５６階調（０〜２５５）で記録される。欠陥候補となる箇所が広い場合、その領域の全画素の平均値を濃淡としてもよい。
【００３５】
画像名は、欠陥候補が検出された検査対象物２の画像（検査対象画像）に付された画像番号である。この検査対象画像は、欠陥候補が検出された検査対象物２の検査画像から切り出された部分画像である。画像番号は、検査対象物の製品番号と対応付けられている。そのため、検査対象物の製品番号を特定することにより、対応する画像番号の検査対象画像を取得することができる。
【００３６】
検査装置１０は、一つの検査対象製品４に多面付けされた複数の検査対象物２をそれぞれ検査した後、図４に示すような検査ファイルを作成する。検査装置１０は、検査ファイルを作成した後、欠陥候補が検出された検査対象物２の検査画像から、欠陥候補を含む検査対象画像を切り出し、その画像の画像名（ファイル名）を検査ファイルに記録する。この検査ファイル及び欠陥候補を含む検査対象画像は、データサーバ６０に記憶される。データサーバ６０に記憶された検査ファイルは、検査装置１０、事前画像選別装置３０、レビュー装置４０で共用される。
【００３７】
ここで、検査装置１０において、検査画像から切り出される欠陥候補を含む検査対象画像の具体例を、図５を参照しながら説明する。
図５は、検査画像から切り出される検査対象画像の具体例を説明する図である。
図５（Ａ）は、比較のために図示した基準画像である。基準画像の配線パターンには、いずれの領域にも欠け、断線、短絡、配線幅の極端な減少等が発生していない。
図５（Ｂ）〜図５（Ｆ）は、図５（Ａ）と同じ画像範囲に検出された欠陥候補を示している。
図５（Ｂ）に示す検査対象物には、ｂ領域に断線が発生している。
図５（Ｃ）に示す検査対象物には、ｃ領域に、隣接する配線パターンとの間の短絡が生じている。
図５（Ｄ）に示す検査対象物には、ｄ領域に色ムラが生じている。
図５（Ｅ）に示す検査対象物には、ｅ領域に部分的な欠けが生じている。
図５（Ｆ）に示す検査対象物には、ｆ領域に配線幅の減少が生じている。
【００３８】
図５（Ｂ）に示す断線、図５（Ｃ）に示す短絡は、検査対象画像のみでも明らかな不良と判断できる。
これらの検査対象物は、検査ファイル（図３参照）の判定の項目に「ＮＧ」が記録される。そのため、これらの検査対象物については、レビュー装置４０による検査は行われない。
【００３９】
図５（Ｄ）に示す色ムラ、図５（Ｅ）に示す欠けは、検査基準にもよるが、画像のみでは欠陥の程度を判断しにくいため、再検査と判断される。これらの検査対象物は、検査ファイルの判定の項目が空欄のままとなる。そのため、これらの検査対象物については、レビュー装置４０による検査が行われる。
【００４０】
図５（Ｆ）に示す幅の減少した配線は、図５（Ａ）に示す基準画像と比較すると、差分画像の面積が大きくなるため、欠陥候補として検出されやすい。しかし、検査基準上は良品であることが多く、通常は疑似欠陥と判断される。
この検査対象物は、検査ファイルの判定の項目に「ＯＫ」が記録される。そのため、この検査対象物については、レビュー装置４０による検査は行われない。
【００４１】
次に、事前画像選別装置３０の構成について説明する。
図６は、事前画像選別装置３０の構成を説明する図である。
図６に示すように、事前画像選別装置３０は、表示部３１、入力部（選別結果取得部）３２、通信部３３、記憶部３４、制御部３５を備える。これら各部は、データバス３６に接続されている。
【００４２】
表示部３１は、検査対象物の画像等を表示可能なディスプレイ装置である。
入力部３２は、制御部３５に対して、各種の文字情報、数値データのほか、操作指示、動作指示等を入力可能な装置である。入力部３２は、例えば、キーボード、マウス等により構成される。
通信部３３は、検査システム１（図１参照）を構成する各装置との間でデータの送受信を行う通信インターフェースである。
【００４３】
記憶部３４は、制御部３５等で実行されるプログラム、データ等が記憶される記憶装置である。記憶部３４は、例えば、半導体メモリにより構成される。
制御部３５は、事前画像選別装置３０の動作を統括的に制御する回路であり、ＣＰＵ（中央処理装置）、メモリ等を含むマイクロプロセッサにより構成される。制御部３５は、記憶部３４からオペレーティングシステム、アプリケーションプログラムを読み出して実行することにより、各ハードウェアと協働して、後述する各種の機能を実現する。
【００４４】
事前画像選別装置３０は、データサーバ６０に記憶されている検査ファイル（図４参照）及び欠陥候補を含む検査対象画像を読み込み、欠陥候補を含む検査対象画像を表示部３１に表示する。事前画像選別装置３０では、欠陥候補が存在する箇所として、検査ファイルに記録された座標ｘ，座標ｙを中心とする所定の範囲を画面上に表示する。
【００４５】
オペレータは、表示部３１の表示を検査ファイルに切り替えて、入力部３２を操作することにより、欠陥候補を含む検査対象物について、欠陥品（ＮＧ）、疑似欠陥品（ＯＫ）又は再検査品（空欄）のいずれかの選別結果を検査ファイルに記録できる。即ち、事前画像選別装置３０は、欠陥候補を含む検査対象物について、欠陥品、疑似欠陥品又は再検査品のいずれかの選別結果を、入力部３２を介して取得する。
【００４６】
後述するレビュー装置４０では、一つの検査対象物について、一箇所ずつステージ４３を移動させながら欠陥候補を表示するため、オペレータは、一つの欠陥候補の判定に少なくとも数秒を要する。
一方、事前画像選別装置３０において、オペレータは、画像を移動させることなしに、欠陥候補の箇所を包括的に観察できるため、一つの欠陥候補を１秒程度で判定することが可能となる。
【００４７】
次に、レビュー装置４０（５０）の構成について説明する。
図７は、レビュー装置４０の構成を説明する図である。
図７に示すように、レビュー装置４０は、撮像部４１、光源部４２、ステージ４３、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）４４、表示部４５を備える。
【００４８】
撮像部４１は、検査対象物２を撮像し、欠陥候補を高倍率の画像として出力する装置である。撮像部４１は、例えば、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により構成される。
撮像部４１は、光軸が検査対象物２の基板面と直交するように支持機構（不図示）に支持されている。撮像部４１で撮像された画像は、ＰＣ４４に送信される。
【００４９】
光源部４２は、検査対象物２の検査面に検査光を照射する装置である。光源部４２は、リング状に配置された複数のＬＥＤ素子により構成される。光源部４２は、検査対象物２の検査面に向けてほぼ均等に検査光を照射するように、支持機構（不図示）に支持されている。
【００５０】
ステージ４３は、検査対象物２を保持した状態で、検査対象物２を検査面と平行な平面上でＸ方向及びＹ方向（不図示）に移動する装置である。
検査対象物２を保持したステージ４３をＸ−Ｙ方向に移動することにより、検査対象物２に含まれる欠陥候補の箇所を、撮像部４１の撮像位置まで移動させることができる。
なお、本実施形態のレビュー装置４０では、撮像部４１が固定され、検査対象物２が移動するように構成されているが、検査対象物２が固定され、撮像部４１が移動するように構成してもよい。即ち、撮像部４１と検査対象物２は、相対的に移動するように構成されていればよい。
【００５１】
ＰＣ４４は、レビュー装置４０の動作を統括的に制御するユニットであり、ＣＰＵ（中央処理装置）、メモリ等を含むマイクロプロセッサにより構成される。ＰＣ４４は、記憶部（不図示）からオペレーティングシステム、欠陥検査用のアプリケーションプログラム等を読み出して実行することにより、各ハードウェアと協働して、検査対象物２に含まれる欠陥候補を撮像部４１の撮像位置まで移動させる機能等を実現する。
表示部４５は、撮像部４１で撮像した画像等を表示可能なディスプレイ装置である。
なお、図示していないが、レビュー装置４０は、各種の文字情報、数値データのほか、操作指示、動作指示等を入力可能な入力部を備える。入力部は、例えば、キーボード、マウス等により構成される。
【００５２】
次に、本実施形態の検査システム１による欠陥検査の処理手順を、図８を参照しながら説明する。
図８は、検査システム１における欠陥検査の処理手順を示すフローチャートである。
ここでは、検査装置１０、事前画像選別装置３０及びレビュー装置４０を用いて欠陥検査を行う例について説明する。
【００５３】
ステップＳ１において、検査装置１０（ＰＣ１４）は、撮像部１１、光源部１２、ステージ１３等を制御して、検査対象製品４に多面付けされた検査対象物２（図２参照）の画像を撮像させて、検査画像として取得する。取得された検査画像は、データサーバ６０に記憶される。
【００５４】
ステップＳ２において、検査装置１０（ＰＣ１４）は、検査画像と基準画像とを比較し、差分画像を取得する。そして、検査装置１０は、その差分画像に基づいて、欠陥候補を含む検査対象物であるか否かを判定する。検査装置１０は、ステップＳ２の判定を、検査対象製品４に多面付けされたすべての検査対象物２について実施して、欠陥候補を含む検査対象物を抽出する。検査装置１０は、抽出した欠陥候補を含む検査対象物に基づいて、検査ファイル（図４参照）を作成する。そして、検査装置１０は、欠陥候補が検出された検査対象物の検査画像から、例えば図５（Ｄ）〜（Ｆ）に示すような欠陥候補を含む検査対象画像を切り出し、その画像の画像名を検査ファイルに記録する（検査対象画像取得工程）。検査ファイルは、データサーバ６０に記憶される。
【００５５】
ステップＳ３において、事前画像選別装置３０（制御部３５）は、データサーバ６０に記憶されている検査ファイル及び検査対象画像を読み込み、検査ファイルに記録された検査対象画像を表示部３１に表示させる。
オペレータは、表示部３１に表示された検査対象画像を観察して、欠陥候補を含む検査対象物を、欠陥品、疑似欠陥品又は再検査品のいずれかに選別する。
【００５６】
検査対象物を選別したオペレータは、表示部３１の表示を検査ファイルに切り替えて、入力部３２を操作することにより、欠陥候補を含む検査対象物についての選別結果を検査ファイルに記録する。
オペレータは、欠陥の選別及び検査ファイルへの記録を、検査ファイルに記録されたすべての製品番号について実施する。
ステップＳ４において、事前画像選別装置３０は、欠陥の選別及び検査ファイルへの記録が、すべての製品番号について実施されると、更新された検査ファイルを、データサーバ６０に記憶させる（選別工程）。
【００５７】
ステップＳ５において、レビュー装置４０（ＰＣ）は、データサーバ６０に記憶されている検査ファイルを読み込み、検査ファイルの判定の項目が空欄（再検査）になっている製品番号を抽出する。
レビュー装置４０は、ステージ４３上にセットされた検査対象製品４について、抽出した製品番号の検査対象物を特定する。そして、レビュー装置４０は、検査ファイルに記録された座標情報に基づいて、撮像部４１、光源部４２、ステージ４３等を制御して、欠陥候補の箇所を拡大して表示部に表示させる。
【００５８】
オペレータは、表示部４５に表示された検査対象画像を観察し、予め設定された検査基準等に基づいて、欠陥候補を含む検査対象物が欠陥品又は疑似欠陥品のいずれであるかを判定する。
検査対象物を判定したオペレータは、表示部４５の表示を検査ファイルに切り替え、入力部（不図示）を操作することにより、欠陥候補を含む検査対象物についての判定結果を検査ファイルに記録する。これにより、検査ファイルの判定の項目には、ＯＫ又はＮＧのいずれかが記録される。
オペレータは、欠陥の判定及び検査ファイルへの記録を、検査ファイルから抽出したすべての製品番号について実施する。
【００５９】
ステップＳ６において、レビュー装置４０は、欠陥の判定及び検査ファイルへの記録が、すべての製品番号について実施されると、更新された検査ファイルを、データサーバ６０に記憶させる（再検査工程）。
以上のステップの処理を実行することにより、検査ファイルのすべての項目が記録され、検査対象となった検査対象製品４についての欠陥検査が終了する。
【００６０】
上述した本実施形態の検査システム１においては、事前画像選別装置３０で欠陥品及び疑似欠陥品を含む検査対象物がオペレータにより選別され、再検査が必要な検査対象物のみがレビュー装置４０で検査される。これによれば、検査装置１０に比べて検査に時間のかかるレビュー装置４０での作業数が大幅に削減されるため、欠陥検査の効率をより向上させることができる。
【００６１】
なお、事前画像選別装置３０において、オペレータが欠陥品及び疑似欠陥品を含む検査対象物を、再検査が必要な検査対象物と誤判定することもある。しかし、このような誤判定の割合が全体の数％であったとしても、本実施形態の検査システム１は、欠陥候補を含む検査対象物をすべてレビュー装置４０で検査する場合に比べて、レビュー装置４０で再検査に要する時間をより低減できるため、欠陥検査の効率を向上させることができる。
【００６２】
また、本実施形態において、レビュー装置４０は、検査対象物に含まれる欠陥候補の位置を検査対象製品４に設定された座標情報（座標ｘ，座標ｙ）により特定し、特定した位置に存在する欠陥候補を画面上に表示する。これによれば、検査対象物に含まれる欠陥候補を、画面上により確実且つ正確に表示できるため、再検査工程において、オペレータは、検査対象物に含まれる欠陥候補の判定をより速やかに行うことができる。
【００６３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、実施形態に記載したものに限定されない。なお、上述の実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。
【００６４】
（変形形態）
実施形態では、検査装置１０において、撮像部１１で撮像された検査対象物２の画像を検査画像として取得する例について説明したが、これに限定されない。検査装置１０は、例えば、記憶媒体に記憶された検査画像を取得してもよいし、ネットワークを介して送信された検査画像を取得してもよい。
【００６５】
実施形態では、検査対象画像取得工程、選別工程、再検査工程を一連の工程として実施する例について説明したが、これに限定されない。事前画像選別装置３０による選別工程は、検査対象製品４の実物を必要としないため、検査対象画像取得工程から再検査工程までの間において、任意のタイミングで実施することができる。
【００６６】
実施形態では、検査システム１に１台の事前画像選別装置３０を備える例について説明したが、これに限定されない。事前画像選別装置３０は、複数台あってもよい。事前画像選別装置３０を複数台備える場合、複数のオペレータにより選別工程を並行して実施できる。また、事前画像選別装置３０は、ネットワークに接続されているため、検査装置１０、レビュー装置４０等から離れた場所において、任意のタイミングで選別工程を実施することもできる。
【００６７】
実施形態では、検査対象物２として、基板上にエッチングにより配線パターンが形成されたプリント基板を例として説明したが、これに限定されない。検査対象物２は、例えば、フォトマスク基板等であってもよい。
【符号の説明】
【００６８】
１    検査システム
２    検査対象物
１０，２０    検査装置
３０    事前画像選別装置
３１    表示部
３２    入力部
４０，５０    レビュー装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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