(57)【要約】【課題】フィルムの搬送経路を小さくして、装置全体を小型化すること。【解決手段】上テーブル（１０）から下テーブル（２０）に四角形のフィルム（Ｆ）を搬送する加工装置（１）が、テーブル傾け手段（１７）で上テーブルを傾けて、伸縮手段（４５）で第１、第２のアーム（３７、３８）を伸ばして第１、第２のプレート（３２、３３）の吸引パッド（３４、３５）で上テーブルに載置されるフィルムを吸引保持し、伸縮手段で第１、第２のアームを縮めて第１、第２のプレートを退避させてフィルムをＳ字に曲げると共にテーブル傾け手段で上テーブルを水平に戻し、アーム傾け手段（４７）で第１、第２のアームを傾けて伸縮手段で第１、第２のアームを伸ばして第１、第２のプレートの吸引パッドで下テーブルにフィルムを搬送する構成にした。【選択図】図３
2018018858.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムを載置する上テーブルと、該上テーブルの下方に配設しフィルムを載置する下テーブルと、該上テーブルと該下テーブルとの横に配設し該上テーブルから該下テーブルにフィルムを搬送するフィルム搬送装置と、を備える加工装置であって、
該上テーブルは、該フィルム搬送装置が配設される側の一方の辺に向かい合う辺側で該辺に平行にＸ方向に延在するテーブル支軸を備え、該テーブル支軸を軸に該一方の辺側を低く傾けることを可能とするテーブル傾け手段を備え、
該フィルム搬送装置は、フィルムの少なくとも４箇所をそれぞれ吸引保持する少なくとも４つの吸引パッドを備える保持手段と、該保持手段を支持して伸縮するアーム機構と、を備え、
該保持手段は、該少なくとも４つの吸引パッドのうち少なくとも２つの該吸引パッドを連結して該Ｘ方向に延在する第１のプレートと、該第１のプレートに並行して延在し残る少なくとも２つの該吸引パッドを連結する第２のプレートと、を備え、
該アーム機構は、該第１のプレートの延在方向のＸ方向に直交するＹ方向に伸縮し先端に該第１のプレートを連結し後端をＸ方向とＹ方向とに直交するＺ方向に延在する支持軸に連結する第１のアームと、該第１のアームの下に配設され先端に該第２のプレートを連結し後端を該支持軸に連結し該第１のアームより短い第２のアームと、該支持軸から該第１のアームと該第２のアームとを伸縮させる伸縮手段と、該第１のプレートと該第２のプレートとを該下テーブルに近づける方向に該支持軸を傾けるアーム傾け手段とを備え、
該第１のプレートと該第２のプレートとはＹ方向において該支持軸側を低く傾斜させていて、
該テーブル傾け手段で該上テーブルを傾け、
該伸縮手段により該第１のアームと該第２のアームとを伸ばして該第１のプレートの該吸引パッドと該第２のプレートの該吸引パッドとを傾けられた該上テーブル上面と同一面上に配置させ該上テーブルに載置されるフィルムを吸引保持し、
該第１のアームと該第２のアームとを縮めて該第１のプレートと該第２のプレートとを上下に配置させ該吸引パッドが吸引保持するフィルムをＳ字に折り曲げて該上テーブルを水平に戻し、
該アーム傾け手段で該第１のアームと該第２のアームとを該下テーブルに近づける方向に傾けて該第１のアームと該第２のアームとを伸ばして該第１のプレートの該吸引パッドと該第２のプレートの該吸引パッドとを該下テーブルと平行な同一面上に配置させ該下テーブルにフィルムを搬送する加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムを搬送するフィルム搬送装置を備えた加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハメイキング工程では、シリコン等の円柱状のインゴットがワイヤソーによってスライスされて基板状のウェーハが形成される。ウェーハにはスライス時のうねり等が生じるが、四角形のフィルム上に滴下された液状樹脂にウェーハの片面が押し付けられることで、ウェーハの片面に平坦なフィルムが貼り付けられる（例えば、特許文献１参照）。フィルム付きのウェーハは、ウェーハの外周に沿ってフィルムから円形状に切り抜かれて研削装置に搬送される。一方で、ウェーハから切り離されたフィルムはフィルム搬送装置によって廃棄場所まで搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−０３８９１９公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような加工装置では、一般に加工側のテーブルと廃棄側のテーブルが横並びに配設されており、ウェーハから切り離されたフィルムの四隅をフィルム搬送装置の４つの吸引パッドで吸引保持して加工側のテーブルから廃棄側のテーブルに搬送している。近年では、フットプリント（占有スペース）が小さくなるように加工側のテーブルと廃棄側のテーブルが上下２段に配設される構成も提案されている。このような上下のテーブル間でフィルムを搬送する場合には、テーブルのフットプリントを小さくしたにも関わらず、フィルムの搬送経路が大きくなって加工装置全体が大型化するという問題があった。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、フィルムの搬送経路を小さくして、装置全体を小型化することができる加工装置を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様の加工装置は、フィルムを載置する上テーブルと、該上テーブルの下方に配設しフィルムを載置する下テーブルと、該上テーブルと該下テーブルとの横に配設し該上テーブルから該下テーブルにフィルムを搬送するフィルム搬送装置と、を備える加工装置であって、該上テーブルは、該フィルム搬送装置が配設される側の一方の辺に向かい合う辺側で該辺に平行にＸ方向に延在するテーブル支軸を備え、該テーブル支軸を軸に該一方の辺側を低く傾けることを可能とするテーブル傾け手段を備え、該フィルム搬送装置は、フィルムの少なくとも４箇所をそれぞれ吸引保持する少なくとも４つの吸引パッドを備える保持手段と、該保持手段を支持して伸縮するアーム機構と、を備え、該保持手段は、該少なくとも４つの吸引パッドのうち少なくとも２つの該吸引パッドを連結して該Ｘ方向に延在する第１のプレートと、該第１のプレートに並行して延在し残る少なくとも２つの該吸引パッドを連結する第２のプレートと、を備え、該アーム機構は、該第１のプレートの延在方向のＸ方向に直交するＹ方向に伸縮し先端に該第１のプレートを連結し後端をＸ方向とＹ方向とに直交するＺ方向に延在する支持軸に連結する第１のアームと、該第１のアームの下に配設され先端に該第２のプレートを連結し後端を該支持軸に連結し該第１のアームより短い第２のアームと、該支持軸から該第１のアームと該第２のアームとを伸縮させる伸縮手段と、該第１のプレートと該第２のプレートとを該下テーブルに近づける方向に該支持軸を傾けるアーム傾け手段とを備え、該第１のプレートと該第２のプレートとはＹ方向において該支持軸側を低く傾斜させていて、該テーブル傾け手段で該上テーブルを傾け、該伸縮手段により該第１のアームと該第２のアームとを伸ばして該第１のプレートの該吸引パッドと該第２のプレートの該吸引パッドとを傾けられた該上テーブル上面と同一面上に配置させ該上テーブルに載置されるフィルムを吸引保持し、該第１のアームと該第２のアームとを縮めて該第１のプレートと該第２のプレートとを上下に配置させ該吸引パッドが吸引保持するフィルムをＳ字に折り曲げて該上テーブルを水平に戻し、該アーム傾け手段で該第１のアームと該第２のアームとを該下テーブルに近づける方向に傾けて該第１のアームと該第２のアームとを伸ばして該第１のプレートの該吸引パッドと該第２のプレートの該吸引パッドとを該下テーブルと平行な同一面上に配置させ該下テーブルにフィルムを搬送する。
【０００７】
この構成によれば、第１、第２のアームが上下に離間して配設され、第１、第２のアームに連結された第１、第２のプレートが上下に離間した状態でＹ方向に移動される。また、第１、第２のプレートが傾けられており、第１、第２のプレートの傾きに一致するように上テーブルが傾けられる。第１、第２のアームが伸ばされることで、第１、第２のプレートの吸引パッドが上テーブル上面と同一面に配置され、上テーブルから第１、第２のプレートの吸着パッドにフィルムが受け渡される。また、第１、第２のアームが縮むことでフィルムがＳ字状に曲げられ、この状態で第１、第２のプレートの傾きが下テーブルと平行になるように第１、第２のアームが傾けられる。そして、第１、第２のアームが伸ばされることで、第１、第２のプレートの吸着パッドから第２のテーブルにフィルムが受け渡される。このように、上テーブルの傾動及び第１、第２のアームの伸縮を組み合わせることで、フィルムがＳ字状に曲げられた状態で上テーブルから下テーブルに向かって下方に搬送される。よって、フィルムの搬送経路が上テーブル及び下テーブルの設置領域内に収まるため、フィルム搬送によるフットプリントの増加を最小限に抑えて加工装置全体を小型化することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、フィルムをＳ字状に曲げて上テーブル及び下テーブルの設置領域内でフィルムを搬送するため、フィルム搬送によるフットプリントの増加を最小限に抑えて加工装置全体を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態の加工装置の上面図である。
【図２】本実施の形態の加工装置の側面図である。
【図３】本実施の形態のフィルムの搬送動作の説明図である。
【図４】比較例のフィルム搬送動作の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
一般に樹脂貼り装置においては、インゴットをスライスしたアズスライスウェーハに液状樹脂で四角形のフィルムが貼着され、アズスライスウェーハの外周からフィルムが切り離されて廃棄される。この場合、フィルムの加工位置の側方に廃棄ボックスが設置され、４つの吸引パッドでフィルムの四隅を吸引保持した状態で加工位置から廃棄ボックスに向けて搬送される。この構成では、廃棄ボックスの設置領域、フィルムの搬送経路を確保しなければならないため、フィルムの加工位置の真下にフィルムの廃棄場所を設ける構成も検討されている。
【００１１】
しかしながら、フィルムの加工装置の真下に廃棄場所を設けたとしても、フィルムの加工位置からフィルムの廃棄場所まで回り込むようにしてフィルムを搬送しなければならない。例えば、図４に示すように、上テーブル５１でウェーハから切り離されたフィルムＦは、搬送手段５５によって上テーブル５１を回り込むようにして下テーブル５２上の廃棄ボックス５３まで搬送される。この場合、フィルムＦの搬送経路Ｒが上下のテーブル５１、５２の設置領域から外れるため、搬送経路Ｒが外れた分だけ搬送機構を大きくしなければならない。そこで、本実施の形態では、上テーブルから下テーブルにフィルムＦを下方に搬送することで、フィルムＦの搬送経路をテーブルの設置領域内に収めるようにしている。
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の加工装置について説明する。図１は、本実施の形態の加工装置の上面図である。図２は、本実施の形態の加工装置の側面図である。なお、本実施の形態では樹脂貼り装置に組み込まれた加工装置について説明するが、加工装置は上下方向にフィルムを搬送する装置に適用可能である。なお、図１Ａは第１、第２のアームが縮んだ状態、図１Ｂは第１、第２のアームが伸びた状態をそれぞれ示している。また、図１では、説明の便宜上、フィルムを二点鎖線で示している。
【００１３】
図１及び図２に示すように、加工装置１は、ウェーハ（不図示）に貼り付けられたフィルムＦを、上テーブル１０でウェーハの外周に沿って切断し、ウェーハから切り離されたフィルムＦを下テーブル２０上に廃棄するように構成されている。フィルムＦは上面視四角形に形成されており、ウェーハの外縁に沿って切断されることで中央が円形に切り抜かれている。なお、ここでは、説明の便宜上、ウェーハからフィルムＦを切り離すカッターについては記載を省略している。また、フィルムＦは、特に材質等は限定されないが、例えばポリエチレンテレフタレート製のフィルムが使用される。
【００１４】
加工装置１では、上面視四角形の上テーブル１０と下テーブル２０が上下に対向するように配設され、上テーブル１０と下テーブル２０の横には上テーブル１０から下テーブル２０にフィルムＦを搬送するフィルム搬送装置３０が配設されている。上テーブル１０にはフィルムＦが載置される載置面１１が形成されており、載置面１１にはカッターの通り路となる大小２つの円形溝１２がフィルムサイズに合わせて同心円状に形成されている。また、載置面１１には、円形溝１２の内側と外側に沿ったバキュームライン１３の他、円形溝１２の半径方向に延びるバキュームライン１４が形成されている。
【００１５】
複数のバキュームライン１３、１４で載置面１１にフィルムＦが吸引保持された状態で、円形溝１２に沿ってカッターが旋回することでウェーハからフィルムＦが切り離される。上テーブル１０には、フィルム搬送装置３０が配設される一方の辺に向かう合う他方の辺側で、他方の辺に平行なＸ方向に延在するテーブル支軸１５が設けられている。上テーブル１０は、下テーブル２０の他方の辺側に立設する側壁１６の上部にテーブル支軸１５を介して傾動可能に連結されている。上テーブル１０と側壁１６の間には、テーブル支軸１５を軸に上テーブル１０の一方の辺側を低く傾けるテーブル傾け手段１７が設けられている。
【００１６】
テーブル傾け手段１７は、エアシリンダで構成されており、シリンダチューブが側壁１６に連結されると共にシリンダロッドが上テーブル１０に連結されている。テーブル傾け手段１７は、フィルムＦの切断時にはシリンダロッドを伸ばすことで上テーブル１０を水平に維持し、フィルムＦの搬送時にはシリンダロッドを縮めることで上テーブル１０を傾けている。上テーブル１０の傾きθ１は、フィルム搬送装置３０の後述する第１、第２のプレート３２、３３の傾きθ２に一致しており（図２Ｂ参照）、上テーブル１０の載置面１１が第１、第２のプレート３２、３３の各吸引パッド３４、３５のパッド面に平行になるように傾けられている。
【００１７】
下テーブル２０にはフィルムＦが載置される載置面２１が形成されており、載置面２１にはフィルムＦを支持する４本のポール２２が立設されている。下テーブル２０の載置面２１の中心Ｏ２は上テーブル１０の載置面１１の中心Ｏ１の真下に設定されており、４本のポール２２は下テーブル２０の載置面１１の中心Ｏ２を囲むように立設されている。下テーブル２０に搬送されたフィルムＦの円形開口に４本のポール２２が入り込むことで、下テーブル２０の載置面２１にフィルムＦが下から順に積み重ねられる。このため、下テーブル２０でフィルムＦが嵩張ることがなく、一定量溜まって時点でフィルムＦの束をまとめて廃棄することができる。
【００１８】
フィルム搬送装置３０は、多節リンク式のアーム機構３６を伸縮させて、アーム機構３６の先端に支持された保持手段３１でフィルムＦの四隅をそれぞれ吸引保持している。保持手段３１は、Ｘ方向に延在する長方形の第１のプレート３２と、第１のプレート３２に平行な長方形の第２のプレート３３とを有している。第１、第２のプレート３２、３３の四隅には、それぞれフィルムＦを吸引保持する吸引パッド３４、３５が連結されている。すなわち、保持手段３１は、第１のプレート３２の４つの吸引パッド３４及び第２のプレート３３の４つの吸引パッド３５の合計８つの吸引パッド３４、３５によってフィルムＦを吸引保持している。
【００１９】
アーム機構３６は、第１のプレート３２を先端に連結した第１のアーム３７と、第２のプレート３３を先端に連結した第２のアーム３８とを有している。第１のアーム３７の下に第２のアーム３８が配設されており、第１のアーム３７よりも第２のアーム３８が短く形成されている。第１のアーム３７はＸ方向に直交するＹ方向に伸縮して、上テーブル１０の他方の辺側の奥方位置Ｐ１と上テーブル１０から退避する退避位置Ｐ３との間で第１のプレート３２を移動させる。第２のアーム３８はＹ方向に伸縮して、上テーブル１０の一方の辺側の前方位置Ｐ２と上テーブル１０から退避する退避位置Ｐ３との間で第２のプレート３３を移動させる。
【００２０】
第１、第２のアーム３７、３８の後端は、Ｘ方向及びＹ方向に直交するＺ方向に延在する支持軸４１に連結されている。支持軸４１は、下テーブル２０の一方の辺側に立設したアーム支持柱４２と、アーム支持柱４２の上部にアーム支軸４３を介して傾動フック４４を連結して構成されている。傾動フック４４は、第１、第２のアーム３７、３８の支持部分とアーム支軸４３の連結部分が側面視略Ｌ字状になるように形成されている。傾動フック４４と第１、第２のアーム３７、３８の間には、傾動フック４４に対して第１、第２のアーム３７、３８を伸縮させる伸縮手段４５が設けられている。
【００２１】
伸縮手段４５は、エアシリンダで構成されており、シリンダチューブが傾動フック４４に連結されると共にシリンダロッドが第１、第２のアーム３７、３８の後端同士を繋ぐ連結ピン４６に連結されている。伸縮手段４５は、上テーブル１０が傾斜姿勢の時にはシリンダロッドを伸ばすことで、第１、第２のアーム３７、３８を同時に伸長させ、第１、第２のプレート３２、３３をそれぞれ上テーブル１０の奥方位置Ｐ１、前方位置Ｐ２に移動させる。また、伸縮手段４５は、上テーブル１０が水平姿勢の時にはシリンダロッドを縮めることで、第１、第２のアーム３７、３８を同時に収縮させ、第１、第２のプレート３２、３３を退避位置Ｐ３に移動させる。
【００２２】
傾動フック４４とアーム支持柱４２の間には、第１、第２のプレート３２、３３を下テーブル２０に近づける方向に傾動フック４４を傾けるアーム傾け手段４７が設けられている。アーム傾け手段４７は、エアシリンダで構成されており、シリンダチューブがアーム支持柱４２に連結されると共にシリンダロッドが傾動フック４４の曲げ部分に連結されている。アーム傾け手段４７は、上テーブル１０からのフィルムＦの受け取り時にはシリンダロッドを縮めることで傾動フック４４を直立させ、下テーブル２０に対するフィルムＦの受け渡し時にはシリンダロッドを伸ばすことで傾動フック４４を傾けている。
【００２３】
上記したように、第１、第２のプレート３２、３３は、Ｙ方向において傾動フック４４側が低くなるように傾けられている。第１、第２のプレート３２、３３は、傾動フック４４の直立姿勢では上テーブル１０が傾いたときの載置面１１に平行になり、傾動フック４４の傾斜姿勢では下テーブル２０の水平な載置面２１に平行になるような傾きに調整されている（図３Ｃ参照）。よって、第１、第２のプレート３２、３３の各吸引パッド３４、３５のパッド面を、上テーブル１０の載置面１１と同一面上に位置付ける他、下テーブル２０の載置面２１と平行な同一面上に位置付けることが可能になっている。
【００２４】
図２Ｂに示すように、このように構成された加工装置１では、傾けられた上テーブル１０の載置面１１の中心Ｏ１が、第１、第２のアーム３７、３８を伸ばしたときの第１、第２のプレート３２、３３の中間Ｍ１に一致している。また、アーム支軸４３から上テーブル１０の載置面１１の中心Ｏ１までの距離Ｌ１と、アーム支軸４３から下テーブル２０のポール２２同士の先端を結ぶ中間Ｍ２までの距離Ｌ２とが一致している。このため、フィルム搬送装置３０は、上テーブル１０から受け取ったフィルムＦの中心を、ポール２２同士の先端を結ぶ中間Ｍ２、すなわち下テーブル２０の中心Ｏ２に位置合わせすることが可能になっている。
【００２５】
また、第１、第２のアーム３７、３８が伸びたときには、第１、第２のプレート３２、３３によってフィルムＦが広げられた状態で保持される。第１、第２のアーム３７、３８が縮んだときには、第１、第２のプレート３２、３３によってフィルムＦがＳ字状に曲げられた状態で保持される（図２Ａ参照）。第１、第２のプレート３２、３３がＳ字状のフィルムを保持した状態で上テーブル１０の下側に入り込み、再び第１、第２のプレート３２、３３でフィルムＦが広げられることで下テーブル２０にフィルムＦが搬送される。よって、上テーブル１０及び下テーブル２０の設置領域内でフィルムＦを搬送することが可能になっている。
【００２６】
続いて、図３を参照して、加工装置によるフィルムの詳細な搬送動作について説明する。図３は、本実施の形態のフィルムの搬送動作の説明図である。なお、図３Ａはフィルム保持ステップ、図３Ｂはフィルム曲げステップ、図３Ｃはアーム傾けステップ、図３Ｄはフィルム載置ステップのそれぞれ一例を示している。
【００２７】
図３Ａに示すように、上テーブル１０に載置されたフィルムＦがウェーハから切り離されると、フィルム保持ステップが実施される。フィルム保持ステップでは、テーブル傾け手段１７によって上テーブル１０が引き下げられることで、上テーブル１０がテーブル支軸１５を支点にして水平状態から傾けられる。上テーブル１０が傾けられると、伸縮手段４５によって第１、第２のアーム３７、３８が押し出されることで、第１、第２のアーム３７、３８が伸ばされて、第１、第２のプレート３２、３３が上テーブル１０の奥方位置Ｐ１、前方位置Ｐ２にそれぞれ位置付けられる。
【００２８】
このとき、上テーブル１０の傾きθ１が第１、第２のプレート３２、３３の傾きθ２に一致しているため、第１、第２のプレート３２、３３の吸引パッド３４、３５のパッド面が上テーブル１０の載置面１１と同一面上に配置される。吸着パッド３４、３５のパッド面がフィルムＦの表面に隙間なく接触されるため、エアーリークによって吸着パッド３４、３５の保持力が低下することがない。これにより、第１、第２のプレート３２、３３の吸引パッド３４、３５によって、上テーブル１０に載置されたフィルムＦの四隅が吸引保持され、上テーブル１０から第１、第２のプレート３２、３３にフィルムＦが受け渡される。
【００２９】
図３Ｂに示すように、フィルム保持ステップの後にはフィルム曲げステップが実施される。フィルム曲げステップでは、伸縮手段４５によって第１、第２のアーム３７、３８が引き寄せられることで、第１、第２のアーム３７、３８が縮められて、第１、第２のプレート３２、３３が退避位置Ｐ３に位置付けられる。退避位置Ｐ３では第１、第２のプレート３２、３３が上下に配置されているため、吸引パッド３４、３５に吸引保持されたフィルムＦがＳ字状に折り曲げられる。このように、第１、第２のプレート３２、３３の移動によってフィルムＦが広がった状態からＳ字状に弛んだ状態に変形される。
【００３０】
第１、第２のアーム３７、３８が縮められると、テーブル傾け手段１７によって上テーブル１０が押し上げられることで、上テーブル１０がテーブル支軸１５を支点にして傾いた状態から水平状態に戻される。このとき、第１、第２のプレート３２、３３が上テーブル１０から外れた退避位置Ｐ３に退避しているため、上テーブル１０が第１、第２のプレート３２、３３に衝突することがない。上テーブル１０が水平状態に戻されることで、第１、第２のプレート３２、３３を退避位置Ｐ３から動かすことなく、上テーブル１０よりも下側にＳ字状のフィルムＦが位置付けられる。
【００３１】
図３Ｃに示すように、フィルム曲げステップの後にはアーム傾けステップが実施される。アーム傾けステップでは、アーム傾け手段４７によって傾動フック４４が押し上げられることで、第１、第２のアーム３７、３８が下テーブル２０に近づけられる方向に傾けられる。このとき、傾動フック４４がアーム支軸４３を支点にして、第１、第２のプレート３２、３３が水平になるまで第１、第２のアーム３７、３８が傾けられる。第１、第２のプレート３２、３３が退避位置Ｐ３に位置付けられた状態で傾けられるため、第１、第２のプレート３２、３３が上テーブル１０に衝突することがない。
【００３２】
図３Ｄに示すように、アーム傾けステップの後にはフィルム載置ステップが実施される。フィルム載置ステップでは、伸縮手段４５によって第１、第２のアーム３７、３８が押し出されることで、第１、第２のアーム３７、３８が伸ばされて、第１、第２のプレート３２、３３が４本のポール２２の先端付近に位置付けられる。第１、第２のプレート３２、３３の中間がポール２２同士の先端を結ぶ中間に位置付けられるため、フィルムＦの中心が下テーブル２０の中心に位置合わせされる。これにより、フィルムＦがＳ字状に弛んだ状態から広げられ、フィルムＦの円形開口に４本のポール２２の先端が入り込む。
【００３３】
また、第１、第２のプレート３２、３３の吸引パッド３４、３５のパッド面が下テーブル２０の載置面１１と平行な同一面上に配置され、下テーブル２０の上方でフィルムＦが水平に吸引保持されている。この状態で、第１、第２のプレート３２、３３の吸引パッド３４、３５の吸引を解除することで、フィルムＦが４本のポール２２の側面にガイドされながら落下し、下テーブル２０の載置面２１に載置される。このように、フィルムＦをＳ字状に曲げた状態で搬送することで、上テーブル１０及び下テーブル２０の設置領域の内側にフィルムＦの搬送経路を収めることが可能になっている。
【００３４】
以上のように、本実施の形態の加工装置１は、上テーブル１０の傾動及び第１、第２のアーム３７、３８の伸縮を組み合わせることで、フィルムＦがＳ字状に曲げられた状態で上テーブル１０から下テーブル２０に向かって下方に搬送される。よって、フィルムＦの搬送経路が上テーブル１０及び下テーブル２０の設置領域内に収まるため、フィルム搬送によるフットプリントの増加を最小限に抑えて加工装置１全体を小型化することができる。
【００３５】
なお、上記の本実施の形態では、第１、第２のプレート３２、３３にそれぞれ４つの吸引パッド３４、３５が設けられる構成にしたが、この構成に限定されない。第１、第２のプレートは、それぞれ少なくとも２つの吸引パッドを備えていればよく、例えば第１、第２のプレートは、それぞれ２つの吸引パッドを備えてもよいし、３つ以上の吸引パッドを備えてもよい。
【００３６】
また、上記の本実施の形態では、下テーブル２０に４本のポール２２が立設される構成について説明したが、この構成に限定されない。下テーブルには、フィルムが載置される載置面が形成されていればよい。
【００３７】
また、上記の本実施の形態では、上テーブル１０の真下に下テーブル２０が配設される構成について説明したが、この構成に限定されない。上テーブルの下方に下テーブルがあればよい。
【００３８】
また、上記の本実施の形態では、中央が円形状に抜き取られた四角形のフィルムＦの搬送について説明したが、この構成に限定されない。フィルムは、吸着パッドで少なくとも４箇所が吸引保持される形状で、第１、第２のアームの伸縮によって変形可能に形成されていればよく、例えば、円形状のフィルムでもよい。
【００３９】
また、上記の本実施の形態では、テーブル傾け手段１７がエアシリンダで構成されたが、この構成に限定されない。テーブル傾け手段は、上テーブルを傾けることが可能な構成であればよく、例えば、電動アクチュエータで構成されてもよい。
【００４０】
また、上記の本実施の形態では、伸縮手段４５がエアシリンダで構成されたが、この構成に限定されない。伸縮手段は、第１、第２のアームを伸縮可能な構成であればよく、例えば、電動アクチュエータで構成されてもよい。また、単一の伸縮手段で第１、第２のアームを伸縮する構成に限らず、２つの伸縮手段で第１、第２のアームを個別に伸縮する構成にしてもよい。
【００４１】
また、上記の本実施の形態では、アーム傾け手段４７がエアシリンダで構成されたが、この構成に限定されない。アーム傾け手段４７は、傾動フック４４を傾けることが可能な構成であればよく、例えば、電動アクチュエータで構成されてもよい。
【００４２】
また、上記の本実施の形態では、上テーブル１０及び下テーブル２０が上面視四角形状に形成されたが、この構成に限定されない。上テーブル１０及び下テーブル２０は、それぞれフィルムの載置面を有していれば、テーブル形状は特に限定されない。
また、上テーブル１０で吸引パッド３４、３５がフィルムを吸引保持する時に、吸引保持を確実にするため吸引パッド３４、３５をフィルムに押し付けるとよい。押し付け方法は、テーブル傾け手段１７が上方向に力を加えてもよいし、フィルム搬送装置３０を昇降させる昇降手段３９を備えて昇降手段３９でフィルム搬送装置３０を下降させてもよい。
【００４３】
また、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
【００４４】
また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。
【００４５】
また、本実施の形態では、本発明を樹脂貼り装置のフィルムの搬送に適用した構成について説明したが、フィルム搬送によるフットプリントの増加を最小限に抑えて装置全体を小型化することができる他の装置に適用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
以上説明したように、本発明は、フィルムの搬送経路を小さくして、装置全体を小型化することができるという効果を有し、特に、樹脂貼り装置でウェーハから切り離されたフィルムを搬送する加工装置に有用である。
【符号の説明】
【００４７】
１  加工装置
１０  上テーブル
１５  テーブル支軸
１７  テーブル傾け手段
２０  下テーブル
３０  フィルム搬送装置
３１  保持手段
３２  第１のプレート
３３  第２のプレート
３４、３５  吸引パッド
３６  アーム機構
３７  第１のアーム
３８  第２のアーム
４１  支持軸
４５  伸縮手段
４７  アーム傾け手段
Ｆ  フィルム
【図１】
2018018858.tif 000003
【図２】
2018018858.tif 000004
【図３】
2018018858.tif 000005
【図４】
2018018858.tif 000006