(57)【要約】【課題】ウェーハの裏面側を研削する際に、表面側に存在する凹凸の影響を十分に抑制でき、研削後の処理も簡単なウェーハの加工方法を提供する。【解決手段】ウェーハの加工方法であって、凹凸のあるデバイスが形成されたデバイス領域を表面に有するウェーハの表面に保護フィルムを対面させた状態で、ウェーハの中心部から径方向外側に向かって順に保護フィルムをウェーハの表面側に押し当て、保護フィルムを凹凸に倣って表面側に密着させる保護フィルム密着ステップと、硬化型の液状樹脂からなる保護部材で保護フィルムを被覆し、ウェーハの表面側が保護部材で覆われた保護部材付きウェーハを形成する保護部材付きウェーハ形成ステップと、保護部材付きウェーハの保護部材側を保持した状態で、ウェーハの裏面を研削し、ウェーハを薄くする研削ステップと、薄くなったウェーハから保護部材及び保護フィルムを剥離する剥離ステップと、を含む。【選択図】図１
2018190937.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹凸のあるデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲む外周余剰領域とを表面に有するウェーハの該表面に保護フィルムを対面させた状態で、該ウェーハの中心部から径方向外側に向かって順に該保護フィルムを該ウェーハの該表面側に押し当て、該保護フィルムを該凹凸に倣って該表面側に密着させる保護フィルム密着ステップと、
外的刺激によって硬化する硬化型の液状樹脂からなる保護部材で該保護フィルムを被覆し、該ウェーハの該表面側が該保護部材で覆われた保護部材付きウェーハを形成する保護部材付きウェーハ形成ステップと、
チャックテーブルの保持面で該保護部材付きウェーハの該保護部材側を保持した状態で、該ウェーハの裏面を研削し、該ウェーハを薄くする研削ステップと、
薄くなった該ウェーハから該保護部材及び該保護フィルムを剥離する剥離ステップと、を備えることを特徴とするウェーハの加工方法。
【請求項２】
該保護フィルム密着ステップでは、該保護フィルムの該ウェーハに対面する面とは反対側の面に気体を噴射することで該ウェーハの該表面側に該保護フィルムを押し当てることを特徴とする請求項１に記載のウェーハの加工方法。
【請求項３】
該保護フィルム密着ステップでは、加熱された該気体を噴射することを特徴とする請求項２に記載のウェーハの加工方法。
【請求項４】
該保護フィルム密着ステップでは、加熱されて軟化した状態の該保護フィルムを該ウェーハに密着させることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のウェーハの加工方法。
【請求項５】
該保護部材付きウェーハ形成ステップでは、平坦なシートに塗布された該液状樹脂に該保護フィルムを介して該ウェーハを押し当てた後、該液状樹脂を外的刺激で硬化させて該ウェーハに該液状樹脂からなる該保護部材を固定することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のウェーハの加工方法。
【請求項６】
該保護フィルム密着ステップでは、減圧下で該保護フィルムを該ウェーハの該表面側に押し当てた後、大気圧によって該保護フィルムを該凹凸に倣って密着させることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のウェーハの加工方法。
【請求項７】
該保護フィルム密着ステップの前に、該ウェーハの該表面に液体を供給する液体供給ステップを更に備え、
該保護フィルム密着ステップでは、該液体越しに該保護フィルムを該ウェーハの該表面側に押し当てることを特徴とする請求項１乃至５記載のウェーハの加工方法。
【請求項８】
該剥離ステップでは、該保護フィルムと該ウェーハの該表面との間に存在する該液体を気化させることを特徴とする請求項７に記載のウェーハの加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面に凹凸のあるウェーハを研削する際に用いられるウェーハの加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種の電子機器等に組み込まれるデバイスチップを小型化、軽量化するために、デバイスチップへと分割される前のウェーハを薄く加工する機会が増えている。例えば、ウェーハのデバイスが設けられた表面側をチャックテーブルで保持し、回転させた砥石工具をウェーハの裏面側に押し当てることで、このウェーハを研削して薄くできる。
【０００３】
上述のような方法でウェーハを研削する際には、通常、ウェーハの表面側に保護部材を貼る（例えば、特許文献１参照）。これにより、研削の際に加わる力等によって表面側のデバイスが破損するのを防止できる。保護部材としては、例えば、樹脂等の材料でなる粘着テープや、硬度が高めの基板等が用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−５０６４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、このウェーハの表面側には、デバイスの電極として機能するバンプ等により凹凸が形成されていることも多い。ウェーハの表面側に凹凸が存在すると、この凹凸の高低差を粘着テープで十分に緩和できず、凹凸に対応する形状が研削後のウェーハの裏面側に表れてしまう。
【０００６】
一方で、保護部材として硬度が高めの基板を使用すれば、このような問題は殆ど発生しない。しかしながら、この基板は、熱可塑性ワックス等の接着剤でウェーハに接着されるので、研削後のウェーハから基板を剥離する際には、溶液への浸漬や高温の加熱といった剥離のためだけの大掛かりな作業が必要であった。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ウェーハの裏面側を研削する際に、表面側に存在する凹凸の影響を十分に抑制でき、研削後の処理も簡単なウェーハの加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様によれば、凹凸のあるデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲む外周余剰領域とを表面に有するウェーハの該表面に保護フィルムを対面させた状態で、該ウェーハの中心部から径方向外側に向かって順に該保護フィルムを該ウェーハの該表面側に押し当て、該保護フィルムを該凹凸に倣って該表面側に密着させる保護フィルム密着ステップと、外的刺激によって硬化する硬化型の液状樹脂からなる保護部材で該保護フィルムを被覆し、該ウェーハの該表面側が該保護部材で覆われた保護部材付きウェーハを形成する保護部材付きウェーハ形成ステップと、チャックテーブルの保持面で該保護部材付きウェーハの該保護部材側を保持した状態で、該ウェーハの裏面を研削し、該ウェーハを薄くする研削ステップと、薄くなった該ウェーハから該保護部材及び該保護フィルムを剥離する剥離ステップと、を備えるウェーハの加工方法が提供される。
【０００９】
本発明の一態様において、該保護フィルム密着ステップでは、該保護フィルムの該ウェーハに対面する面とは反対側の面に気体を噴射することで該ウェーハの該表面側に該保護フィルムを押し当てても良い。
【００１０】
また、本発明の一態様において、該保護フィルム密着ステップでは、加熱された該気体を噴射しても良い。
【００１１】
また、本発明の一態様において、該保護フィルム密着ステップでは、加熱されて軟化した状態の該保護フィルムを該ウェーハに密着させても良い。
【００１２】
また、本発明の一態様において、該保護部材付きウェーハ形成ステップでは、平坦なシートに塗布された該液状樹脂に該保護フィルムを介して該ウェーハを押し当てた後、該液状樹脂を外的刺激で硬化させて該ウェーハに該液状樹脂からなる該保護部材を固定しても良い。
【００１３】
また、本発明の一態様において、該保護フィルム密着ステップでは、減圧下で該保護フィルムを該ウェーハの該表面側に押し当てた後、大気圧によって該保護フィルムを該凹凸に倣って密着させても良い。
【００１４】
また、本発明の一態様において、該保護フィルム密着ステップの前に、該ウェーハの該表面に液体を供給する液体供給ステップを更に備え、該保護フィルム密着ステップでは、該液体越しに該保護フィルムを該ウェーハの該表面側に押し当てても良い。
【００１５】
また、本発明の一態様において、該剥離ステップでは、該保護フィルムと該ウェーハの該表面との間に存在する該液体を気化させても良い。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の一態様に係るウェーハの加工方法では、凹凸のあるデバイスが形成されたウェーハの表面側に、この凹凸に倣って保護フィルムを密着させた後に、外的刺激によって硬化する硬化型の液状樹脂からなる保護部材で保護フィルムを被覆し、ウェーハの表面側が保護部材で覆われた保護部材付きウェーハを形成するので、保護部材を適切な厚みに形成することで、表面側の凹凸を十分に緩和できる。
【００１７】
また、本発明の一態様に係るウェーハの加工方法では、保護フィルムがデバイス領域に密着しているだけで接着されていないので、溶液への浸漬や高温の加熱といった剥離のためだけの大掛かりな作業を行わなくても、ウェーハから保護部材及び保護フィルムを剥離できる。このように、本発明の一態様によれば、ウェーハの裏面側を研削する際に、表面側に存在する凹凸の影響を十分に抑制でき、研削後の処理も簡単なウェーハの加工方法が提供される。
【００１８】
更に、本発明の一態様に係るウェーハの加工方法では、ウェーハの中心部から径方向外側に向かって順に保護フィルムをウェーハの表面側に押し当てるので、ウェーハと保護フィルムとの間にエアーが残留するのを防いで、保護フィルムを確実に密着させることができる。よって、接着剤（糊）による接着力がない保護フィルムを用いても、研削等の際にウェーハから保護フィルム及び保護部材が剥離してしまうことはない。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１（Ａ）は、保護フィルムをウェーハの表面側に対面させる様子を模式的に示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、保護フィルムをウェーハの表面側に密着させた状態を模式的に示す斜視図である。
【図２】図２（Ａ）は、保護フィルムをウェーハの表面側に対面させた状態を模式的に示す断面図であり、図２（Ｂ）は、保護フィルムをウェーハの表面側に密着させる様子を模式的に示す断面図である。
【図３】図３（Ａ）は、保護フィルムをウェーハの表面側に密着させた状態を模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、保護フィルムが密着した状態のウェーハの一部を模式的に示す断面図である。
【図４】図４（Ａ）は、シートに塗布された液状樹脂に保護フィルムを介してウェーハを押し当てる様子を模式的に示す断面図であり、図４（Ｂ）は、液状樹脂を硬化させてウェーハに液状樹脂からなる保護部材を固定する様子を模式的に示す断面図であり、図４（Ｃ）は、完成した保護部材付きウェーハを模式的に示す断面図である。
【図５】図５（Ａ）は、ウェーハの裏面が研削される様子を模式的に示す断面図であり、図５（Ｂ）は、研削された後のウェーハを模式的に示す断面図である。
【図６】ウェーハから保護フィルムや保護部材等が剥離される様子を模式的に示す断面図である。
【図７】図７（Ａ）は、第１変形例に係るウェーハの加工方法の保護フィルム密着ステップで保護フィルムをウェーハの表面側に対面させた状態を模式的に示す断面図であり、図７（Ｂ）は、第１変形例に係るウェーハの加工方法の保護フィルム密着ステップで保護フィルムをウェーハの表面側に密着させる様子を模式的に示す断面図である。
【図８】図８（Ａ）は、第２変形例に係るウェーハの加工方法の保護フィルム密着ステップで保護フィルムをウェーハの表面側に対面させた状態を模式的に示す断面図であり、図８（Ｂ）は、第２変形例に係るウェーハの加工方法の保護フィルム密着ステップで保護フィルムをウェーハの表面側に密着させる様子を模式的に示す断面図である。
【図９】図９（Ａ）は、第２変形例に係るウェーハの加工方法の保護フィルム密着ステップで保護フィルムをウェーハの表面側に密着させた状態を模式的に示す断面図であり、図９（Ｂ）は、第２変形例に係るウェーハの加工方法の剥離ステップでウェーハから保護フィルムや保護部材等が剥離される様子を模式的に示す断面図である。
【図１０】第３変形例に係るウェーハの加工方法の剥離ステップでウェーハから保護フィルムや保護部材等が剥離される様子を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。本実施形態に係るウェーハの加工方法は、保護フィルム密着ステップ（図１（Ａ）、図１（Ｂ）、図２（Ａ）、図２（Ｂ）、図３（Ａ）、図３（Ｂ）参照）、保護部材付きウェーハ形成ステップ（図４（Ａ）、図４（Ｂ）、図４（Ｃ）参照）、研削ステップ（図５（Ａ）、図５（Ｂ）参照）、及び剥離ステップ（図６参照）を含む。
【００２１】
保護フィルム密着ステップでは、ウェーハの表面側に設けられている凹凸に合わせて（倣って）、接着剤（糊）による接着力がない保護フィルムをウェーハの表面側に密着させる。保護部材付きウェーハ形成ステップでは、液状樹脂からなる保護部材で保護フィルムを被覆し、ウェーハの表面側が保護部材で覆われた保護部材付きウェーハを形成する。
【００２２】
研削ステップでは、チャックテーブルの保持面で保護部材付きウェーハの保護部材側を保持した状態で、ウェーハの裏面を研削する。剥離ステップでは、薄くなったウェーハから保護部材及び保護フィルムを剥離する。以下、本実施形態に係るウェーハの加工方法について詳述する。
【００２３】
本実施形態に係るウェーハの加工方法では、まず、ウェーハの表面側に設けられている凹凸に合わせて、接着剤による接着力がない保護フィルムをウェーハの表面側に密着させる保護フィルム密着ステップを行う。具体的には、接着剤が設けられていない保護フィルムをウェーハの表面側に対面させた状態で、ウェーハの中心部から径方向外側に向かって順に保護フィルムをウェーハの表面側に押し当て、保護フィルムをウェーハの表面側に密着させる。
【００２４】
図１（Ａ）は、保護フィルムをウェーハの表面側に対面させる様子を模式的に示す斜視図であり、図１（Ｂ）は、保護フィルムをウェーハの表面側に密着させた状態を模式的に示す斜視図である。図２（Ａ）は、保護フィルムをウェーハの表面側に対面させた状態を模式的に示す断面図であり、図２（Ｂ）は、保護フィルムをウェーハの表面側に密着させる様子を模式的に示す断面図である。
【００２５】
また、図３（Ａ）は、保護フィルムをウェーハの表面側に密着させた状態を模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、保護フィルムが密着した状態のウェーハの一部を模式的に示す断面図である。なお、図２（Ａ）、図２（Ｂ）及び図３（Ａ）では、一部の構成要素を機能ブロックで示している。
【００２６】
図１（Ａ）等に示すように、本実施形態で使用されるウェーハ１１は、例えば、シリコン（Ｓｉ）等の材料を用いて、表面１１ａ及び裏面１１ｂを有する円盤状に形成されている。このウェーハ１１の外周縁１１ｃの表面１１ａ側及び裏面１１ｂ側は、面取りされている。
【００２７】
また、このウェーハ１１の表面１１ａ側は、中央のデバイス領域１１ｄと、デバイス領域１１ｄを囲む外周余剰領域１１ｅとに分けられている。デバイス領域１１ｄは、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）１３で更に複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイス１５が形成されている。各デバイス１５の表面には、電極として機能する複数のバンプ（凹凸）１７が設けられている。このバンプ１７は、例えば、半田等の材料で形成されている。
【００２８】
なお、本実施形態では、シリコン等の材料でなる円盤状のウェーハ１１を用いるが、ウェーハ１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなるウェーハ１１を用いることもできる。同様に、デバイス１５やバンプ１７の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。バンプ１７の代わりに、他の機能を持つ構造（凹凸）が形成されていても良い。すなわち、ウェーハ１１の表面１１ａ側には、バンプ１７が形成されていなくても良い。
【００２９】
本実施形態の保護フィルム密着ステップでは、このウェーハ１１の表面１１ａ側に保護フィルム２１を密着させる。保護フィルム２１は、例えば、樹脂等の材料でなる柔軟なフィルムであり、ウェーハ１１と同等の径（直径）を持つ円盤状に形成されている。また、この保護フィルム２１には、接着剤が設けられていない。保護フィルム２１の厚みに特段の制限はないが、例えば、３０μｍ〜１５０μｍ程度の厚みの保護フィルム２１を用いると良い。
【００３０】
保護フィルム密着ステップは、例えば、図２（Ａ）に示すような保護フィルム密着装置２を用いて行われる。保護フィルム密着装置２は、ウェーハ１１を支持するための支持テーブル４を備えている。支持テーブル４の上面は、概ね平坦に形成されており、ウェーハ１１を支持するための支持面４ａとして機能する。支持面４ａには、ウェーハ１１の位置を規定するための凸状のガイド部４ｂが設けられている。
【００３１】
支持テーブル４の上方には、保護フィルム２１を吸引、保持してウェーハ１１に密着させるための保護フィルム保持ユニット６が配置されている。保護フィルム保持ユニット６の下面は、概ね平坦に形成されており、保護フィルム２１を吸引、保持するための保持面６ａとして機能する。保護フィルム保持ユニット６は、移動機構（不図示）によって支持されており、保護フィルム２１を吸引、保持しながら鉛直方向に移動できる。
【００３２】
保護フィルム２１の外周部を保持する保持面６ａの一部の領域には、第１流路６ｂの一端側が開口している。第１流路６ｂの他端側は、複数に分岐されている。第１流路６ｂの第１分岐には、バルブ８等を介して吸引源１０が接続されており、第１流路６ｂの第２分岐には、バルブ１２等を介して圧縮エアー供給源１４が接続されている。
【００３３】
一方で、保護フィルム２１の中央部を保持する保持面６ａの別の一部の領域には、第２流路６ｃの一端側が開口している。第２流路６ｃの他端側も、複数に分岐されている。第２流路６ｃの第１分岐は、バルブ１６等を介して第１流路６ｂの第３分岐に接続されている。第２流路６ｃの第２分岐には、バルブ１８等を介して圧縮エアー供給源１４が接続されている。また、保護フィルム保持ユニット６の内部には、保持面６ａを加熱するためのヒーター２０が設けられている。
【００３４】
保護フィルム密着ステップでは、図２（Ａ）に示すように、まず、ウェーハ１１の裏面１１ｂが支持テーブル４の支持面４ａに接触するように、ウェーハ１１を支持テーブル４に載せる。これにより、ウェーハ１１は、表面１１ａ側が上方に露出した状態で支持テーブル４に支持される。また、このウェーハ１１の位置に合わせて、保護フィルム２１を保護フィルム保持ユニット６の保持面６ａに接触させる。具体的には、ウェーハ１１の外周縁１１ｃの直上に保護フィルム２１の外周縁の位置を合わせる。
【００３５】
そして、バルブ８，１６を開いて、吸引源１０の負圧を保護フィルム２１に作用させる。これにより、保護フィルム２１は、保護フィルム保持ユニット６によって吸引、保持され、ウェーハ１１の表面１１ａ側に保護フィルム２１が対面した状態になる。なお、バルブ８，１６を開く前には、バルブ１２，１８を閉じて、第１流路６ｂ及び第２流路６ｃに圧縮されたエアー（気体）が供給されないようにしておく。また、保護フィルム保持ユニット６の鉛直方向の位置は、例えば、ウェーハ１１の表面１１ａと保護フィルム２１との間隔が０．１ｍｍ〜１０ｍｍ程度になるように調整される。
【００３６】
ウェーハ１１の表面１１ａ側に保護フィルム２１を対面させた後には、保持面６ａをヒーター２０で加熱し、保護フィルム２１を熱によって軟化させる。そして、図２（Ｂ）に示すように、バルブ１６を閉じ、第２流路６ｃに対する吸引源１０の負圧を遮断した上で、バルブ１８を開き、圧縮エアー供給源１４から圧縮されたエアーを第２流路６ｃへと供給する。
【００３７】
これにより、保護フィルム２１の保持面６ａに接触している上面（ウェーハ１１に対面する面とは反対側の面）の中央部にエアーが噴射され、図２（Ｂ）に示すように、保護フィルム２１の中央部は、下向きに膨らんでウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てられる。更にエアーの噴射を続けると、保護フィルム２１は、ウェーハ１１の中心部から径方向外側に向かって順にウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てられる。
【００３８】
保護フィルム２１の外周部を除く領域がウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てられた後には、図３（Ａ）に示すように、バルブ８を閉じ、第１流路６ｂに対する吸引源１０の負圧を遮断した上で、バルブ１２を開き、圧縮エアー供給源１４から圧縮されたエアーを第１流路６ｂへと供給する。これにより、保護フィルム２１の外周部の上面側にエアーが噴射され、保護フィルム２１の外周部もウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てられる。
【００３９】
その結果、図１（Ｂ）、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、ウェーハ１１の表面１１ａ側に設けられているバンプ１７等の形状に合わせて（倣って）、保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に密着させることができる。本実施形態では、ヒーター２０で保護フィルム２１を加熱し軟化させているので、バンプ１７等の形状に合わせて保護フィルム２１を適切に密着させることができる。
【００４０】
保護フィルム密着ステップの後には、液状樹脂からなる保護部材で保護フィルム２１を被覆し、ウェーハ１１の表面１１ａ側が保護部材で覆われた保護部材付きウェーハを形成する保護部材付きウェーハ形成ステップを行う。
【００４１】
図４（Ａ）は、シートに塗布された液状樹脂に保護フィルム２１を介してウェーハ１１を押し当てる様子を模式的に示す断面図であり、図４（Ｂ）は、液状樹脂を硬化させてウェーハ１１に液状樹脂からなる保護部材を固定する様子を模式的に示す断面図であり、図４（Ｃ）は、完成した保護部材付きウェーハを模式的に示す断面図である。なお、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）では、一部の構成要素を機能ブロックで示している。
【００４２】
本実施形態に係る保護部材付きウェーハ形成ステップは、例えば、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すような保護部材固定装置２２を用いて行われる。保護部材固定装置２２は、樹脂等でなる概ね平坦なシート（キャリアシート）２３を保持するための保持テーブル２４を備えている。保持テーブル２４の上面側には、ウェーハ１１より径の大きい円形の凹部２４ａが形成されている。
【００４３】
凹部２４ａの内側には、紫外線光源２６が配置されている。この凹部２４ａの上端は、紫外線光源２６から放射される紫外線の少なくとも一部を透過させるプレート２８で覆われており、シート２３の中央側の一部は、プレート２８によって支持される。保持テーブル２４の上面の凹部２４ａを囲む領域には、シート２３の外周側の一部を吸引するための吸気路２４ｂの一端側が開口している。
【００４４】
吸気路２４ｂの他端側は、バルブ３０等を介して吸引源３２に接続されている。吸気路２４ｂを介してシート２３の外周側の一部に吸引源３２の負圧を作用させることで、シート２３は、保持テーブル２４に保持される。この保持テーブル２４の上方には、ウェーハ１１を吸引、保持するためのウェーハ保持ユニット３４が配置されている。
【００４５】
ウェーハ保持ユニット３４は、移動機構（不図示）によって支持されており、その下面３４ａ側でウェーハ１１を吸引、保持しながら、鉛直方向に移動する。なお、このウェーハ保持ユニット３４としては、例えば、負圧を利用してウェーハ１１を吸引、保持する真空吸引型のウェーハ保持ユニットや、静電気の力を利用してウェーハ１１を吸引、保持する静電吸着型のウェーハ保持ユニット等が用いられる。
【００４６】
保護部材付きウェーハ形成ステップでは、図４（Ａ）に示すように、液状樹脂２５が上面に塗布されたシート２３の下面側を保持テーブル２４によって保持する。また、ウェーハ保持ユニット３４の下面３４ａ側でウェーハ１１の裏面１１ｂ側を保持する。これにより、ウェーハ１１の表面１１ａ側に密着している保護フィルム２１がシート２３上の液状樹脂２５に対面する。
【００４７】
この液状樹脂２５としては、例えば、紫外線光源２６から放射される紫外線によって硬化する硬化型の液状樹脂が用いられる。具体的には、例えば、デンカ株式会社製のＴＥＭＰＬＯＣ（登録商標）等を用いることができる。なお、本実施形態では、液状樹脂２５が上面に塗布された状態のシート２３を保持テーブル２４によって保持しているが、シート２３を保持テーブル２４によって保持してから、シート２３の上面に液状樹脂２５を塗布しても良い。また、液状樹脂２５は、完全に平坦ではなく、中央部が僅かに盛り上がった形状に塗布されることが望ましい。
【００４８】
次に、ウェーハ保持ユニット３４を下降させ、図４（Ｂ）に示すように、保護フィルム２１を介してウェーハ１１の表面１１ａ側を液状樹脂２５に押し当てる。これにより、液状樹脂２５は、ウェーハ１１の径方向に広がるとともに、保護フィルム２１を被覆する。なお、本実施形態では、ウェーハ１１の表面１１ａ側の全体が液状樹脂２５によって覆われるように、液状樹脂２５の塗布量やウェーハ保持ユニット３４の下降量等を調整する。
【００４９】
その後、紫外線光源２６から紫外線を放射させて、液状樹脂２５を硬化させる。これにより、図４（Ｃ）に示すように、液状樹脂２５からなり保護フィルム２１を被覆する保護部材２７をウェーハ１１の表面１１ａ側に固定し、ウェーハ１１の表面１１ａ側が保護部材２７によって覆われた保護部材付きウェーハを形成できる。
【００５０】
保護部材付きウェーハ形成ステップの後には、ウェーハ１１の裏面１１ｂを研削する研削ステップを行う。図５（Ａ）は、ウェーハ１１の裏面１１ｂが研削される様子を模式的に示す断面図であり、図５（Ｂ）は、研削された後のウェーハ１１を模式的に示す断面図である。
【００５１】
研削ステップは、例えば、図５（Ａ）に示す研削装置４２を用いて行われる。研削装置４２は、ウェーハ１１を吸引、保持するための保持テーブル（チャックテーブル）４４を備えている。保持テーブル４４は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、鉛直方向に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、保持テーブル４４の下方には、移動機構（不図示）が設けられており、保持テーブル４４は、この移動機構によって水平方向に移動する。
【００５２】
保持テーブル４４の上面の一部は、保護部材２７を介してウェーハ１１に固定されたシート２３を吸引、保持する保持面４４ａになっている。保持面４４ａは、保持テーブル４４の内部に形成された吸気路（不図示）等を介して吸引源（不図示）に接続されている。吸引源の負圧を保持面４４ａに作用させることで、ウェーハ１１は、シート２３及び保護部材２７を介して保持テーブル４４に保持される。
【００５３】
保持テーブル４４の上方には、研削ユニット４６が配置されている。研削ユニット４６は、昇降機構（不図示）によって支持されたスピンドルハウジング（不図示）を備えている。スピンドルハウジングには、スピンドル４８が収容されており、スピンドル４８の下端部には、円盤状のマウント５０が固定されている。
【００５４】
マウント５０の下面には、マウント５０と概ね同径の研削ホイール５２が装着されている。研削ホイール５２は、ステンレス、アルミニウム等の金属材料で形成されたホイール基台５４を備えている。ホイール基台５４の下面には、複数の研削砥石５６が環状に配列されている。
【００５５】
スピンドル４８の上端側（基端側）には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されており、研削ホイール５２は、この回転駆動源から発生する力によって、鉛直方向に概ね平行な回転軸の周りに回転する。研削ユニット４６の内部又は近傍には、純水等の研削液をウェーハ１１等に対して供給するためのノズル（不図示）が設けられている。
【００５６】
研削ステップでは、まず、ウェーハ１１を、研削装置４２の保持テーブル４４に吸引、保持させる。具体的には、保護部材２７を介してウェーハ１１に固定されているシート２３を保持テーブル４４の保持面４４ａに接触させて、吸引源の負圧を作用させる。これにより、ウェーハ１１は、裏面１１ｂ側が上方に露出した状態で保持テーブル４４に保持される。
【００５７】
次に、保持テーブル４４を研削ユニット４６の下方に移動させる。そして、図５（Ａ）に示すように、保持テーブル４４と研削ホイール５２とをそれぞれ回転させて、研削液をウェーハ１１の裏面１１ｂ等に供給しながらスピンドルハウジング（スピンドル４８、研削ホイール５２）を下降させる。
【００５８】
スピンドルハウジングの下降速度（下降量）は、研削砥石５６の下面が適切な力でウェーハ１１の裏面１１ｂ側に押し当てられるように調整される。これにより、裏面１１ｂ側を研削してウェーハ１１を薄くできる。図５（Ｂ）に示すように、ウェーハ１１が所定の厚み（仕上げ厚み）まで薄くなると、研削ステップは終了する。
【００５９】
なお、本実施形態では、１組の研削ユニット４６を用いてウェーハ１１の裏面１１ｂ側を研削しているが、２組以上の研削ユニットを用いてウェーハ１１を研削しても良い。この場合には、例えば、径が大きい砥粒で構成された研削砥石を用いて粗い研削を行い、径が小さい砥粒で構成された研削砥石を用いて仕上げの研削を行うことで、研削に要する時間を大幅に長くすることなく裏面１１ｂの平坦性を高められる。
【００６０】
研削ステップの後には、薄くなったウェーハ１１から保護フィルム２１や保護部材２７等を剥離する剥離ステップを行う。図６は、ウェーハ１１から保護フィルム２１や保護部材２７等が剥離される様子を模式的に示す断面図である。
【００６１】
この剥離ステップでは、まず、ウェーハ保持ユニット６２の保持面６２ａでウェーハ１１の裏面１１ｂ側を吸引、保持する。ウェーハ保持ユニット６２としては、例えば、負圧を利用してウェーハ１１を吸引、保持する真空吸引型のウェーハ保持ユニットや、静電気の力を利用してウェーハ１１を吸引、保持する静電吸着型のウェーハ保持ユニット等を用いることができる。
【００６２】
ウェーハ保持ユニット６２でウェーハ１１を吸引、保持した後には、剥離ユニット６４でシート２３の端部を把持する。そして、シート２３の端部側をウェーハ１１から引き剥がすように、ウェーハ保持ユニット６２と剥離ユニット６４とを相対的に移動させる。これにより、図６に示すように、ウェーハ１１から、保護フィルム２１、シート２３及び保護部材２７をまとめて剥離できる。
【００６３】
以上のように、本実施形態に係るウェーハの加工方法では、バンプ（凹凸）１７のあるデバイス１５が形成されたウェーハ１１の表面１１ａ側に、このバンプ１７の形状に合わせて（倣って）保護フィルム２１を密着させた後に、紫外線（外的刺激）によって硬化する硬化型の液状樹脂２５からなる保護部材２７で保護フィルム２１を被覆し、ウェーハ１１の表面１１ａ側が保護部材２７で覆われた保護部材付きウェーハを形成するので、保護部材２７を適切な厚みに形成することで、表面１１ａ側のバンプ１７による凹凸を十分に緩和できる。
【００６４】
また、本実施形態に係るウェーハの加工方法では、保護フィルム２１がデバイス領域１１ｄに密着しているだけで接着されていないので、溶液への浸漬や高温の加熱といった剥離のためだけの大掛かりな作業を行わなくても、ウェーハ１１から保護部材２７及び保護フィルム２１を剥離できる。このように、本実施形態によれば、ウェーハ１１の裏面１１ｂ側を研削する際に、表面１１ａ側に存在するバンプ１７による凹凸の影響を十分に抑制でき、研削後の処理も簡単なウェーハの加工方法が提供される。
【００６５】
更に、本実施形態に係るウェーハの加工方法では、ウェーハ１１の中心部から径方向外側に向かって順に保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てるので、ウェーハ１１と保護フィルム２１との間にエアーが残留するのを防いで、保護フィルム２１を確実に密着させることができる。よって、接着剤（糊）による接着力がない保護フィルム２１を用いても、研削等の際にウェーハ１１から保護フィルム２１及び保護部材２７が剥離してしまうことはない。
【００６６】
なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、液状樹脂２５として、紫外線によって硬化する硬化型の樹脂を用いているが、紫外線以外の外的な刺激（例えば、熱等）によって硬化する硬化型の液状樹脂を用いることもできる。
【００６７】
また、上記実施形態では、ウェーハ１１と同等の径（直径）を持つ円盤状の保護フィルム２１を用いているが、保護フィルム２１の径は、ウェーハ１１の径より小さくても良い。例えば、保護フィルム２１は、デバイス領域１１ｄに対応した径を持つ円盤状に形成されていても良い。この場合には、ウェーハ１１の外周余剰領域１１ｅに液状樹脂２５からなる保護部材２７が密着するので、接着剤（糊）による接着力がない保護フィルム２１を用いても、保護フィルム２１及び保護部材２７をウェーハ１１に強く固定できる。
【００６８】
また、上記実施形態では、シート２３に塗布された液状樹脂２５に保護フィルム２１を介してウェーハ１１を押し当てる方法で保護部材２７をウェーハ１１に固定しているが、シート２３を使用せずにウェーハや保護フィルムに対して液状樹脂を滴下する方法で保護部材をウェーハに固定しても良い。この場合には、サーフェースプレーナー等を用いて保護部材の表面を平坦化することが望ましい。このように、ウェーハを研削する際に保持される保護部材の表面を平坦化することで、被研削面であるウェーハの裏面を研削して平坦にできる。
【００６９】
また、上記実施形態では、保護フィルム２１を熱によって軟化させた状態でウェーハ１１に密着させているが、必ずしも保護フィルム２１を軟化させた状態でウェーハ１１に密着させる必要はない。また、ヒーター２０による加熱とは別の方法で保護フィルム２１を軟化させても良い。例えば、加熱されたエアー（気体）を保護フィルム２１に噴射する方法で保護フィルム２１を軟化させることができる。
【００７０】
また、上記実施形態では、保護フィルム２１の上面（ウェーハ１１に対面する面とは反対側の面）にエアー（気体）を噴射する方法でウェーハ１１に保護フィルム２１を押し当てているが、別の方法で保護フィルム２１を押し当てることもできる。第１変形例に係るウェーハの加工方法について説明する。
【００７１】
図７（Ａ）は、第１変形例に係るウェーハの加工方法の保護フィルム密着ステップで保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に対面させた状態を模式的に示す断面図であり、図７（Ｂ）は、保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に密着させる様子を模式的に示す断面図である。
【００７２】
第１変形例に係る保護フィルム密着ステップは、例えば、図７（Ａ）に示すような減圧チャンバ７２を用いて行われる。減圧チャンバ７２は、例えば、ウェーハ１１を通過させることのできる大きさの開口を有する箱体７２ａと、箱体７２ａの開口を閉じるための扉体７２ｂとを備えている。箱体７２ａには、排気管７４やバルブ７６等を介して吸引源（不図示）が接続されている。また、箱体７２ａには、エアー（大気）を吸引するための吸気管７８やバルブ８０が接続されている。
【００７３】
箱体７２ａの内部には、ウェーハ１１を支持するための支持テーブル８２が配置されている。この支持テーブル８２の上面は、概ね平坦に形成されており、ウェーハ１１を支持するための支持面８２ａとして機能する。支持面８２ａには、ウェーハ１１の位置を規定するための凸状のガイド部８２ｂが設けられている。また、支持テーブル８２の内部には、加熱用のヒーター８４が設けられている。
【００７４】
扉体７２ｂには、上下に貫通する開口部７２ｃが形成されている。この開口部７２ｃには、気密性の高い軸受８６等を介して押圧ユニット８８が挿入、支持されている。押圧ユニット８８は、ウェーハ１１よりも径が大きく概ね平坦な下面を有している。この下面には、ウェーハ１１よりも径が大きいスポンジ等の緩衝材９０が設けられている。緩衝材９０は、径方向に沿って外周部から中央部へと向かうにつれて厚くなるように形成されている。
【００７５】
第１変形例に係る保護フィルム密着ステップでは、まず、箱体７２ａの開口を通じてウェーハ１１を減圧チャンバ７２に搬入し、ウェーハ１１の裏面１１ｂが支持テーブル８２の支持面８２ａに接触するように、ウェーハ１１を支持テーブル８２に載せる。これにより、ウェーハ１１は、表面１１ａ側が上方に露出した状態で支持テーブル８２に支持される。
【００７６】
ウェーハ１１を支持テーブル８２に載せた後には、ウェーハ１１の表面１１ａ側に保護フィルム２１を載せる。すなわち、ウェーハ１１の表面１１ａ側に保護フィルム２１を対面させる。なお、ウェーハ１１の表面１１ａ側に保護フィルム２１を対面させた後に、このウェーハ１１を支持テーブル８２に載せても良い。
【００７７】
そして、図７（Ａ）に示すように、扉体７２ｂを閉めてバルブ８０を閉じ、更に、バルブ７６を開くことで、減圧チャンバ６の内側の空間を減圧する。減圧チャンバ６の内側の空間を減圧した後には、押圧ユニット８８を徐々に下降させる。これにより、図７（Ａ）に示すように、保護フィルム２１の上面に緩衝材９０の中央部が接触する。押圧ユニット８８を更に下降させると、保護フィルム２１は、ウェーハ１１の中心部から径方向外側に向かって順にウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てられる。
【００７８】
押圧ユニット８８の下降は、図７（Ｂ）に示すように、保護フィルム２１の全体がウェーハ１１に押し当てられるまで続けられる。押圧ユニット８８で保護フィルム２１の全体をウェーハ１１に押し当てた後には、バルブ１０を閉じ、更に、バルブ１４を開くことで、減圧チャンバ６の内側の空間にエアー（大気）を導入する。これにより、大気圧を作用させ、ウェーハ１１の表面１１ａ側に設けられているバンプ１７等の形状に合わせて（倣って）保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に密着させることができる。
【００７９】
なお、保護フィルム２１をウェーハ１１に押し当てる際には、ヒーター８４で保護フィルム２１を加熱し、軟化させると良い。この場合には、ウェーハ１１に対して保護フィルム２１をより密着させ易くなる。
【００８０】
第１変形例に係るウェーハの加工方法でも、ウェーハ１１の中心部から径方向外側に向かって順に保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てるので、ウェーハ１１と保護フィルム２１との間にエアーが残留するのを防いで、保護フィルム２１を確実に密着させることができる。よって、接着剤（糊）による接着力がない保護フィルム２１を用いても、研削等の際にウェーハ１１から保護フィルム２１及び保護部材２７が剥離してしまうことはない。
【００８１】
次に、第２変形例に係るウェーハの加工方法について説明する。第２変形例に係るウェーハの加工方法では、保護フィルム密着ステップの前に、ウェーハ１１の表面１１ａ側に液体を供給する液体供給ステップを行う（図８（Ａ）等参照）。ウェーハ１１に供給される液体２９（図８（Ａ）等参照）の種類に特段の制限はないが、常温（２０℃）で気化し難く、且つ、沸点が高すぎないもの（例えば、沸点が１００℃以下のもの）を用いることが望ましい。このような液体２９としては、例えば、水が挙げられる。なお、ここでは、ウェーハ１１の表面１１ａ側の中心部に液体２９を供給している。
【００８２】
液体供給ステップの後には、保護フィルム密着ステップを行う。図８（Ａ）は、第２変形例に係るウェーハの加工方法の保護フィルム密着ステップで保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に対面させた状態を模式的に示す断面図であり、図８（Ｂ）は、保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に密着させる様子を模式的に示す断面図である。
【００８３】
また、図９（Ａ）は、保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に密着させた状態を模式的に示す断面図であり、図９（Ｂ）は、第２変形例に係るウェーハの加工方法の剥離ステップでウェーハ１１から保護フィルム２１や保護部材２７等が剥離される様子を模式的に示す断面図である。なお、図８（Ａ）、図８（Ｂ）及び図９（Ａ）では、一部の構成要素を機能ブロックで示している。
【００８４】
第２変形例に係る保護フィルム密着ステップは、例えば、図８（Ａ）に示すような保護フィルム密着装置２を用いて行われる。保護フィルム密着装置２の構成は、上記実施形態で使用される保護フィルム密着装置２と同じである。
【００８５】
第２変形例に係る保護フィルム密着ステップでは、図８（Ａ）に示すように、まず、ウェーハ１１の裏面１１ｂが支持テーブル４の支持面４ａに接触するように、ウェーハ１１を支持テーブル４に載せる。これにより、ウェーハ１１は、表面１１ａ側が上方に露出した状態で支持テーブル４に支持される。また、このウェーハ１１の位置に合わせて、保護フィルム２１を保護フィルム保持ユニット６の保持面６ａに接触させる。具体的には、ウェーハ１１の外周縁１１ｃの直上に保護フィルム２１の外周縁の位置を合わせる。
【００８６】
そして、バルブ８，１６を開いて、吸引源１０の負圧を保護フィルム２１に作用させる。これにより、保護フィルム２１は、保護フィルム保持ユニット６によって吸引、保持され、ウェーハ１１の表面１１ａ側に保護フィルム２１が対面した状態になる。なお、バルブ８，１６を開く前には、バルブ１２，１８を閉じて、第１流路６ｂ及び第２流路６ｃに圧縮されたエアー（気体）が供給されないようにしておく。
【００８７】
ウェーハ１１の表面１１ａ側に保護フィルム２１を対面させた後には、保持面６ａをヒーター２０で加熱し、保護フィルム２１を熱によって軟化させる。そして、図８（Ｂ）に示すように、バルブ１６を閉じ、第２流路６ｃに対する吸引源１０の負圧を遮断した上で、バルブ１８を開き、圧縮エアー供給源１４から圧縮されたエアーを第２流路６ｃへと供給する。
【００８８】
これにより、保護フィルム２１の保持面６ａに接触している上面（ウェーハ１１に対面する面とは反対側の面）の中央部にエアーが噴射され、図８（Ｂ）に示すように、保護フィルム２１の中央部は、下向きに膨らんでウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てられる。なお、この第２変形例に係るウェーハの加工方法では、液体供給ステップでウェーハ１１の表面１１ａ側に液体２９を供給しているので、保護フィルム２１は、僅かな液体２９を間に挟んで（液体２９越しに）ウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てられる。
【００８９】
更にエアーの噴射を続けると、保護フィルム２１は、ウェーハ１１の中心部から径方向外側に向かって順にウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てられる。保護フィルム２１の外周部を除く領域がウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てられた後には、図９（Ａ）に示すように、バルブ８を閉じ、第１流路６ｂに対する吸引源１０の負圧を遮断した上で、バルブ１２を開き、圧縮エアー供給源１４から圧縮されたエアーを第１流路６ｂへと供給する。これにより、保護フィルム２１の外周部の上面側にエアーが噴射され、保護フィルム２１の外周部もウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てられる。
【００９０】
その結果、ウェーハ１１の表面１１ａ側に設けられているバンプ１７等の形状に合わせて（倣って）、保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に密着させることができる。ここでも、ヒーター２０で保護フィルム２１を加熱し軟化させているので、バンプ１７等の形状に合わせて保護フィルム２１を適切に密着させることができる。
【００９１】
また、この第２変形例では、保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てる際に液体２９が移動してエアーを押し出すので、ウェーハ１１と保護フィルム２１との間にエアーが残留するのを防いで、保護フィルム２１を確実に密着させることができる。そして、保護フィルム２１とウェーハ１１との間には、僅かな液体２９が残留することになる。すなわち、僅かな液体２９を間に挟んで保護フィルム２１とウェーハ１１の表面１１ａ側とが密着する。
【００９２】
保護フィルム密着ステップの後には、上記実施形態と同様の手順で保護部材付きウェーハ形成ステップ及び研削ステップを行い、更に、剥離ステップを行う。剥離ステップでは、図９（Ｂ）に示すように、まず、ウェーハ保持ユニット６２の保持面６２ａでウェーハ１１の裏面１１ｂ側を吸引、保持する。
【００９３】
ウェーハ保持ユニット６２としては、例えば、負圧を利用してウェーハ１１を吸引、保持する真空吸引型のウェーハ保持ユニットや、静電気の力を利用してウェーハ１１を吸引、保持する静電吸着型のウェーハ保持ユニット等を用いることができる。また、この第２変形例に係る剥離ステップでは、内部にヒーター６６が設けられたウェーハ保持ユニット６２を用いることが望ましい。
【００９４】
ウェーハ保持ユニット６２でウェーハ１１を吸引、保持した後には、剥離ユニット６４でシート２３の端部を把持する。そして、シート２３の端部側をウェーハ１１から引き剥がすように、ウェーハ保持ユニット６２と剥離ユニット６４とを相対的に移動させる。この時、保護フィルム２１とウェーハ１１との間に残留する液体２９をヒーター６６で加熱して気化させると良い。これにより、図９（Ｂ）に示すように、ウェーハ１１から、保護フィルム２１、シート２３及び保護部材２７をまとめて剥離できる。
【００９５】
この第２変形例に係るウェーハの加工方法でも、ウェーハ１１の中心部から径方向外側に向かって順に保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てるので、ウェーハ１１と保護フィルム２１との間にエアーが残留するのを防いで、保護フィルム２１を確実に密着させることができる。よって、接着剤（糊）による接着力がない保護フィルム２１を用いても、研削等の際にウェーハ１１から保護フィルム２１及び保護部材２７が剥離してしまうことはない。
【００９６】
また、第２変形例に係るウェーハの加工方法では、ウェーハ１１の中心部から径方向外側に向かって順に保護フィルム２１をウェーハ１１の表面１１ａ側に押し当てる際に、保護フィルム２１とウェーハ１１との間に僅かな液体２９を残留させるので、ウェーハ１１から保護フィルム２１を剥離する際に液体２９を加熱して気化させることで、保護フィルム２１を剥離し易くなる。
【００９７】
次に、第３変形例に係るウェーハの加工方法について説明する。第３変形例に係るウェーハの加工方法では、上記実施形態や第２変形例と同様の手順で、液体供給ステップ、保護フィルム密着ステップ、保護部材付きウェーハ形成ステップ、及び研削ステップを行い、更に、剥離ステップを行う。図１０は、第３変形例に係るウェーハの加工方法の剥離ステップでウェーハ１１から保護フィルム２１や保護部材２７等が剥離される様子を模式的に示す断面図である。
【００９８】
第３変形例に係る剥離ステップは、例えば、図１０に示すような減圧チャンバ１０２を用いて行われる。減圧チャンバ１０２は、例えば、ウェーハ１１を通過させることのできる大きさの開口を有する箱体１０２ａと、箱体１０２ａの開口を閉じるための扉体１０２ｂとを備えている。箱体１０２ａには、排気管１０４やバルブ１０６等を介して吸引源（不図示）が接続されている。また、箱体１０２ａには、エアー（大気）を吸引するための吸気管１０８やバルブ１１０が接続されている。
【００９９】
扉体１０２ｂには、上下に貫通する開口部１０２ｃが形成されている。この開口部１０２ｃには、気密性の高い軸受１１２等を介してウェーハ保持ユニット１１４が挿入、支持されている。ウェーハ保持ユニット１１４は、ウェーハ１１よりも径が大きく概ね平坦な下面１１４ａを有している。
【０１００】
ウェーハ保持ユニット１１４としては、例えば、静電気の力を利用してウェーハ１１を吸引、保持する静電吸着型のウェーハ保持ユニットを用いることができる。また、このウェーハ保持ユニット１１４の内部には、ヒーター１１６が設けられている。ウェーハ保持ユニット１１４の近傍には、剥離ユニット１１８が配置されている。
【０１０１】
第３変形例に係る剥離ステップでは、まず、ウェーハ保持ユニット１１４の保持面１１４ａでウェーハ１１の裏面１１ｂ側を吸引、保持する。そして、図１０に示すように、扉体１０２ｂを閉めてバルブ１１０を閉じ、更に、バルブ１０６を開くことで、減圧チャンバ１０２の内側の空間を減圧する。
【０１０２】
減圧チャンバ１０２の内側の空間を減圧した後には、剥離ユニット１１８でシート２３の端部を把持する。そして、シート２３の端部側をウェーハ１１から引き剥がすように、ウェーハ保持ユニット１１４と剥離ユニット１１８とを相対的に移動させる。この時、保護フィルム２１とウェーハ１１との間に残留する液体２９をヒーター１１６で加熱して気化させても良い。これにより、図１０に示すように、ウェーハ１１から、保護フィルム２１、シート２３及び保護部材２７をまとめて剥離できる。
【０１０３】
この第３変形例に係るウェーハの加工方法では、保護フィルム２１を減圧下でウェーハ１１から剥離するので、保護フィルム２１とウェーハ１１との間に残留する液体２９が気化して保護フィルム２１を剥離し易くなる。
【０１０４】
その他、上記実施形態及び変形例に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【０１０５】
１１  ウェーハ
１１ａ  表面
１１ｂ  裏面
１１ｃ  外周縁
１１ｄ  デバイス領域
１１ｅ  外周余剰領域
１３  分割予定ライン（ストリート）
１５  デバイス
１７  バンプ（凹凸）
２１  保護フィルム
２３  シート（キャリアシート）
２５  液状樹脂
２７  保護部材
２９  液体
２  保護フィルム密着装置
４  支持テーブル
４ａ  支持面
４ｂ  ガイド部
６  保護フィルム保持ユニット
６ａ  保持面
６ｂ  第１流路
６ｃ  第２流路
８  バルブ
１０  吸引源
１２  バルブ
１４  圧縮エアー供給源
１６  バルブ
１８  バルブ
２０  ヒーター
２２  保護部材固定装置
２４  保持テーブル
２４ａ  凹部
２４ｂ  吸引路
２６  紫外線光源
２８  プレート
３０  バルブ
３２  吸引源
３４  ウェーハ保持ユニット
３４ａ  下面
４２  研削装置
４４  保持テーブル（チャックテーブル）
４４ａ  保持面
４６  研削ユニット
４８  スピンドル
５０  マウント
５２  研削ホイール
５４  ホイール基台
５６  研削砥石
６２  ウェーハ保持ユニット
６２ａ  保持面
６４  剥離ユニット
６６  ヒーター
７２  減圧チャンバ
７２ａ  箱体
７２ｂ  扉体
７２ｃ  開口部
７４  排気管
７６  バルブ
７８  吸気管
８０  バルブ
８２  支持テーブル
８２ａ  支持面
８２ｂ  ガイド部
８４  ヒーター
８６  軸受
８８  押圧ユニット
９０  緩衝材
１０２  減圧チャンバ
１０２ａ  箱体
１０２ｂ  扉体
１０２ｃ  開口部
１０４  排気管
１０６  バルブ
１０８  吸気管
１１０  バルブ
１１２  軸受
１１４  ウェーハ保持ユニット
１１４ａ  下面
１１６  ヒーター
１１８  剥離ユニット
【図１】
2018190937.tif 000003
【図２】
2018190937.tif 000004
【図３】
2018190937.tif 000005
【図４】
2018190937.tif 000006
【図５】
2018190937.tif 000007
【図６】
2018190937.tif 000008
【図７】
2018190937.tif 000009
【図８】
2018190937.tif 000010
【図９】
2018190937.tif 000011
【図１０】
2018190937.tif 000012