(57)【要約】【課題】従来よりも小型でかつ低コストである真空ポンプを提供する【解決手段】真空ポンプ装置１は、メインポンプ１０とブースタポンプ２０を備える。各ポンプは吸気口１１ａ、２１ａと排気口１１ｂ、２１ｂを備える。ブースタポンプ２０の排気口２１ｂにメインポンプ１０の吸気口１１ａが連通する。スイッチは、メインポンプ１０を起動させるための起動指示を受け付ける。スイッチが起動指示を受け付けて、メインポンプ１０が起動する時に、ブースタポンプ２０を起動するかどうかを起動指示に基づいて判定して、ブースタポンプ２０を起動する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置のための運転制御装置であって、
前記各ポンプは吸気口と排気口を備え、前記ブースタポンプの排気口に前記メインポンプの吸気口が連通し、前記ブースタポンプの吸気口が前記真空ポンプ装置の吸気側であり、メインポンプの排気口が前記真空ポンプ装置の排気側であり、
前記運転制御装置は、
前記メインポンプを起動させるための起動指示を受け付ける起動指示受付部と、
前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けて、前記メインポンプが起動する時に、前記ブースタポンプを起動するかどうかを前記起動指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを起動するブースタポンプ起動部とを備えることを特徴とする運転制御装置。
【請求項２】
前記ブースタポンプ起動部は、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けたときに、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする請求項１記載の運転制御装置。
【請求項３】
前記ブースタポンプ起動部は、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ所定時間が経過した時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする請求項１記載の運転制御装置。
【請求項４】
前記ブースタポンプ起動部は、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ前記所定時間に渡って前記メインポンプの回転数が所定数以上である時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする請求項３記載の運転制御装置。
【請求項５】
前記ブースタポンプ起動部は、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ前記所定時間に渡って前記メインポンプの回転数が所定数以上であり、かつ前記メインポンプを駆動するモータの電流値が所定値以下である時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする請求項４記載の運転制御装置。
【請求項６】
前記運転制御装置は、
前記メインポンプを停止させるための停止指示を受け付ける停止指示受付部と、
前記停止指示受付部が前記停止指示を受け付けて、前記メインポンプが停止する時に、前記ブースタポンプを停止するかどうかを前記停止指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを停止するブースタポンプ停止部とを備えることを特徴とする、請求項１ないし５のいずれか１項に記載の運転制御装置。
【請求項７】
前記運転制御装置は、
前記メインポンプの異常を検知するメインポンプ異常検知部と、
前記メインポンプ異常検知部が前記メインポンプの異常を検知したときに、前記メインポンプと前記ブースタポンプを停止する異常時停止部とを備えることを特徴とする、請求項１ないし６のいずれか１項に記載の運転制御装置。
【請求項８】
前記運転制御装置は、
前記ブースタポンプの異常を検知するブースタポンプ異常検知部と、
前記ブースタポンプ異常検知部が前記ブースタポンプの異常を検知したときに、前記ブースタポンプを停止させ、前記メインポンプを停止させないブースタポンプ異常時停止部とを備えることを特徴とする、請求項１ないし７のいずれか１項に記載の運転制御装置。
【請求項９】
前記運転制御装置は、前記メインポンプ及び／又は前記ブースタポンプの回転数を制御するための信号を外部から入力される信号入力部を備えることを特徴とする、請求項１ないし８のいずれか１項に記載の運転制御装置。
【請求項１０】
メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置のための運転制御方法であって、
前記各ポンプは吸気口と排気口を備え、前記ブースタポンプの排気口に前記メインポンプの吸気口が連通し、前記ブースタポンプの吸気口が前記真空ポンプ装置の吸気側であり、メインポンプの排気口が前記真空ポンプ装置の排気側であり、
前記運転制御方法は、
前記メインポンプを起動させるための起動指示を受け付けるステップと、
前記起動指示を受け付けて、前記メインポンプが起動する時に、前記ブースタポンプを起動するかどうかを前記起動指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを起動するステップとを備えることを特徴とする運転制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置の運転制御装置、及び運転制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、大気圧からの動作が可能で、クリーンな真空環境が容易に得られるドライ真空ポンプが、半導体製造設備のコンポーネントとして、また液晶の製造設備等として幅広い分野で使用されている。従来、メインポンプ（ＭＰ）とブースタポンプ（ＢＰ）を内蔵したドライ真空ポンプの運転には、ポンプ制御部、圧力センサ、メインポンプインバータ、ブースタポンプインバータが使用されている。そして、ブースタポンプの起動には、圧力センサが必要とされている。その理由は以下のとおりである。
【０００３】
メインポンプとブースタポンプは、それぞれ、吸気口と排気口を備え、ブースタポンプの排気口にメインポンプの吸気口が連通している。ブースタポンプの吸気口が真空ポンプ装置の吸気側であり、メインポンプの排気口が真空ポンプ装置の排気側である。ブースタポンプの排気口とメインポンプの吸気口を接続する配管に圧力センサが配置されている。圧力センサは、この配管内の圧力を検知する。ブースタポンプを起動するタイミングは、圧力センサで測った圧力値が適切かどうかをポンプ制御部が判断し、適切であれば、ブースタポンプインバータに起動信号をポンプ制御部が出力する。
【０００４】
メインポンプとブースタポンプを同時に起動しない理由は、以下のとおりである。ブースタポンプは、ブースタポンプとメインポンプの間の配管の圧力が所定の圧力以下の真空になっていないと、ブースタポンプの負荷が大きく、ブースタポンプが安定して運転できないからである。そこで、メインポンプの運転によって、メインポンプとブースタポンプとの間の配管を真空化した後に、ブースタポンプを起動している。
【０００５】
ドライ真空ポンプの起動、停止は以下のように従来行われている。使用者の起動スイッチの操作により、メインポンプが起動する。メインポンプとブースタポンプの間の配管の圧力が所定の圧力以下の真空になっているかをポンプ制御部が判断する。所定の圧力以下の真空になっていると判断した時に、ポンプ制御部がブースタポンプインバータに指令を送り、ブースタポンプが起動する。
【０００６】
使用者の停止スイッチの操作、またはメインポンプ内でのアラーム発生により、メインポンプが停止すると、ポンプ制御部がブースタポンプインバータに指令を送り、ブースタポンプが停止する。一方、ブースタポンプ内でのアラーム発生によりブースタポンプが停止したときは、ポンプ制御部はメインポンプを停止するかどうかを判断し、メインポンプを停止する必要がないと判断した時は、メインポンプは停止しない。その理由は、以下のとおりである。ブースタポンプが停止しても、メインポンプが運転していれば、真空にすべき容器内の圧力が上昇する速度は抑えられる。また、ブースタポンプの停止が、ブースタポンプ固有の理由によって停止した場合、メインポンプは正常と考えられるからである。従って、メインポンプの運転を継続させるかは、真空システムの、使用者または設計者の設計思想に依存する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第４２１８７５６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来のメインポンプとブースタポンプを内蔵したドライ真空ポンプには、ブースタポンプの起動を適切に行うために、圧力センサと、圧力センサの信号処理回路が必要だった。そのため、圧力センサ用の設置空間が必要であり、真空ポンプが大型化していた。また圧力センサと、その信号処理回路のためのコストに起因して、真空ポンプは高価であった。
本発明の一形態は、このような問題点を解消すべくなされたもので、その目的は、従来よりも小型でかつ低コストである真空ポンプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、第１の形態では、メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置のための運転制御装置であって、前記各ポンプは吸気口と排気口を備え、前記ブースタポンプの排気口に前記メインポンプの吸気口が連通し、前記ブースタポンプの吸気口が前記真空ポンプ装置の吸気側であり、メインポンプの排気口が前記真空ポンプ装置の排気側であり、前記運転制御装置は、前記メインポンプを起動させるための起動指示を受け付ける起動指示受付部と、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けて、前記メインポンプが起動する時に、前記ブースタポンプを起動するかどうかを前記起動指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを起動するブースタポンプ起動部とを備えることを特徴とする運転制御装置という構成を採っている。
【００１０】
本実施形態では、圧力センサと、圧力センサの信号処理回路とを無くし、圧力センサを用いずに、メインポンプとブースタポンプを起動することができる。そのために、起動指示受付部が起動指示を受け付けて、メインポンプが起動する時に、ブースタポンプ起動部が、ブースタポンプを起動するかどうかを起動指示に基づいて判定して、ブースタポンプを起動する。圧力センサと、圧力センサの信号処理回路が無いため、従来よりも小型でかつ低コストである真空ポンプを提供することができる。
【００１１】
圧力センサが無くても運転可能である理由は、以下のとおりである。従来、メインポンプとブースタポンプを同時に起動しない理由は、ブースタポンプは、ブースタポンプとメインポンプの間の配管内の圧力が所定の圧力以下の真空になっていないと、ブースタポンプの負荷が大きく、ブースタポンプが安定して運転できないためである。従来は、メインポンプの運転によって、メインポンプとブースタポンプとの間の配管を真空化した後に、ブースタポンプを起動している。
【００１２】
メインポンプの起動後、その回転数が所定の値を超えて、所定の時間を経過すると、メインポンプとブースタポンプとの間の圧力は、ブースタポンプを起動可能なレベルの圧力になることが推測される。なぜならば、メインポンプの吸気側（上位側）の容積は無限大ではないからである。真空ポンプ装置の吸気側には、真空にすべき容器が設置される。ドライ真空ポンプは、この容器内の気体を排気して、容器内を真空にする。容器の体積は有限であるから、メインポンプの吸気側（上位側）の容積は無限大ではない。以上のことより、メインポンプの起動後、所定の時間が経過したということのみがわかれば、ブースタポンプを安全に起動することができる。また、メインポンプの停止後、短時間が経過したのみの時は、配管内の真空度が、ほとんど低下していないため、メインポンプの起動後、ただちに、ブースタポンプを安全に起動することができる。
【００１３】
ブースタポンプを起動できるための時間、または、起動できるためのメインポンプの回転数は、実験等によって決定できる。ところで、想定外の事態があった場合、すなわち、容器の容積がポンプ設計時の想定よりもはるかに大きかった場合や、容器が、過誤等により密閉されていない場合や、破損等により容器に対して、外部から気体の流入がある場合は、以下の対処方法がある。このような場合、メインポンプが所定回転数になり、予定の
時間が経過しても、メインポンプとブースタポンプとの間の圧力が、ブースタポンプを安定稼動させるのに十分な真空に到達しないことがある。この場合は、ブースタポンプ用モータに流れる電流が大きくなるため、ブースタポンプ用モータの電流をブースタポンプのインバータ装置にて検出し、ブースタポンプ過電流アラームを生成する。ブースタポンプ過電流アラームが検出されたときは、ブースタポンプを停止させる。さらに、ブースタポンプ用のインバータ装置のデジタル出力部から、メインポンプインバータ装置のデジタル入力部に、ブースタポンプの停止を示す信号を伝達することで、メインポンプを停止させ、ポンプシステムを安全に停止させる。
【００１４】
第２の形態では、前記ブースタポンプ起動部は、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けたときに、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする運転制御装置という構成を採っている。
【００１５】
第３の形態では、前記ブースタポンプ起動部は、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ所定時間が経過した時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする運転制御装置という構成を採っている。
【００１６】
第４の形態では、前記ブースタポンプ起動部は、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ前記所定時間に渡って前記メインポンプの回転数が所定数以上である時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする運転制御装置という構成を採っている。
【００１７】
第５の形態では、前記ブースタポンプ起動部は、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ前記所定時間に渡って前記メインポンプの回転数が所定数以上であり、かつ前記メインポンプを駆動するモータの電流値が所定値以下である時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする運転制御装置という構成を採っている。
【００１８】
本実施形態で、メインポンプを駆動するモータの電流値が所定値以下である時に、ブースタポンプを起動できると判定する理由は以下のとおりである。圧力センサがないため、メインポンプとブースタポンプとの間の圧力を実測できなくなることから、ブースタポンプの安定稼動に必要な圧力に到達しているかどうかは、実験等の結果に基づく推測による。この推測の精度を向上させる１つの方法が、本実施形態の方法である。本実施形態では、メインポンプが所定の回転数に到達したあと、メインポンプの電流を監視し、メインポンプの電流が所定の値まで低下した後に、所定の時間経過したら、ブースタポンプを起動する。
【００１９】
メインポンプモータに流れる電流は、メインポンプに導入される気体の流量に比例する。すなわち、運転を開始してまもなく、容器内圧力が高い場合には、メインポンプ電流が高い。容器内の気体が排気されて、メインポンプより上位の圧力が低下すると、メインポンプの電流が低下する。この事実から、回転数と電流と時間に基づいて推測する方が、回転数と時間に基づいて推測するよりも、より高精度にメインポンプの上位側の圧力を推測できる。このため、ブースタポンプの回転開始の条件が成立したことを確実に把握でき、ブースタポンプ起動時のアラーム発生の可能性を低減できる。
【００２０】
第６の形態では、前記運転制御装置は、前記メインポンプを停止させるための停止指示を受け付ける停止指示受付部と、前記停止指示受付部が前記停止指示を受け付けて、前記メインポンプが停止する時に、前記ブースタポンプを停止するかどうかを前記停止指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを停止するブースタポンプ停止部とを備えること
を特徴とする運転制御装置という構成を採っている。
【００２１】
第７の形態では、前記運転制御装置は、前記メインポンプの異常を検知するメインポンプ異常検知部と、前記メインポンプ異常検知部が前記メインポンプの異常を検知したときに、前記メインポンプと前記ブースタポンプを停止する異常時停止部とを備えることを特徴とする運転制御装置という構成を採っている。
【００２２】
第８の形態では、前記運転制御装置は、前記ブースタポンプの異常を検知するブースタポンプ異常検知部と、前記ブースタポンプ異常検知部が前記ブースタポンプの異常を検知したときに、前記ブースタポンプを停止させ、前記メインポンプを停止させないブースタポンプ異常時停止部とを備えることを特徴とする運転制御装置という構成を採っている。
【００２３】
本実施形態では、ブースタポンプ停止時に、メインポンプを停止させない。その理由は、ブースタポンプ停止時に、必ずしもメインポンプを停止させる必要はないからである。ブースタポンプが停止しても、メインポンプが運転されていれば、容器内の圧力が上昇する速度は抑えられる。従って、ブースタポンプが、ブースタポンプ固有の理由によって停止した場合に、メインポンプを停止させるか、メインポンプは運転を継続させるかは、真空システムの設計思想による。メインポンプの運転継続を、使用者等が希望する場合には、ブースタポンプ用のデジタル出力部から、メインポンプ用のデジタル入力部にブースタポンプを停止させるための信号を送信しなくても良い。また、信号を送信したとして、メインポンプは、ブースタポンプ停止の信号を受け取っても、メインポンプを停止させなくても良い。
【００２４】
第９の形態では、前記運転制御装置は、前記メインポンプ及び／又は前記ブースタポンプの回転数を制御するための信号を外部から入力される信号入力部を備えることを特徴とする運転制御装置という構成を採っている。
【００２５】
第１０の形態では、メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置のための運転制御方法であって、前記各ポンプは吸気口と排気口を備え、前記ブースタポンプの排気口に前記メインポンプの吸気口が連通し、前記ブースタポンプの吸気口が前記真空ポンプ装置の吸気側であり、メインポンプの排気口が前記真空ポンプ装置の排気側であり、前記運転制御方法は、前記メインポンプを起動させるための起動指示を受け付けるステップと、前記起動指示を受け付けて、前記メインポンプが起動する時に、前記ブースタポンプを起動するかどうかを前記起動指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを起動するステップとを備えることを特徴とする運転制御方法という構成を採っている。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る運転制御装置を有する真空ポンプ装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、比較例に係る運転制御装置を有する真空ポンプ装置の概略構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、メインポンプインバータ４１の構成を示すブロック図である。
【図４】図４は、インバータ制御回路６６内部の信号の流れを示すブロック図である。
【図５】図５は、メインポンプ１０のインバータ制御回路６６と、ブースタポンプ２０のインバータ制御回路６６との間の信号のやり取りを示すブロック図である。
【図６】図６は、メインポンプ１０とブースタポンプ２０の起動、停止のタイミングの関係を示す図である。
【図７】図７は、メインポンプ１０とブースタポンプ２０の起動、停止のタイミングの関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各実施形態において、同一または相当する部材には同一符号を付して重複した説明を省略する。
【００２８】
図１は、本発明の一実施形態に係る運転制御装置を有する真空ポンプ装置の概略構成を示すブロック図である。図示するように、真空ポンプ装置１は、２軸容積型のドライ真空ポンプであるメインポンプ１０とブースタポンプ２０を備えている。メインポンプ１０はポンプ部１０２とモータ部（ポンプ駆動用電動機）１０４とを有する。ポンプ部１０２は、吸気口１１ａと排気口１１ｂを備えている。また、ブースタポンプ２０はポンプ部２０２とモータ部（ポンプ駆動用電動機）２０４とを有する。ポンプ部２０２は、吸気口２１ａと排気口２１ｂを備えている。
【００２９】
ブースタポンプ２０の排気口２１ｂにメインポンプ１０の吸気口１１ａを連結管３１で接続して連通させる。ブースタポンプ２０の吸気口２１ａを容器（図示せず）の排気口（図示せず）に連結管９２で接続して連通させて真空ポンプ装置１を構成している。そしてブースタポンプ２０の吸気口１１ａを真空ポンプ装置１の吸気側、メインポンプ１０の排気口１１ｂを真空ポンプ装置１の排気側としている。メインポンプ１０及びブースタポンプ２０のモータ部１０４，２０４とポンプ部１０２，２０２を運転することにより、容器内の気体は矢印Ａに示すようにブースタポンプ２０の吸気口２１ａから吸引される。吸引された気体は、ブースタポンプ２０の排気口２１ｂから、メインポンプ１０の吸気口１１ａに吸込まれ、排気口１１ｂから矢印Ｂに示すように排出される。
【００３０】
メインポンプインバータ４１は、給電線Ｌ１を通してモータ部１０４（ポンプ駆動用電動機）に駆動電流を供給する。ブースタポンプインバータ４２は、給電線Ｌ２を通してモータ部２０４（ポンプ駆動用電動機）に駆動電流を供給する。メインポンプインバータ４１とブースタポンプインバータ４２は、信号線５０を介して、起動または停止のための信号を伝達する。起動または停止のための信号の詳細は後述する。
【００３１】
真空ポンプ装置１の起動、停止は、概略、以下のように行われる。使用者の起動停止スイッチの操作により、起動停止指示６０がメインポンプインバータ４１に入力されて、ポンプ部１０２が起動する。メインポンプインバータ４１は、信号線５０を介して、ポンプ部２０２を起動するための信号を伝達する。この信号によりポンプ部２０２が起動する。
【００３２】
停止に関しては、以下のとおりである。メインポンプ１０のポンプ部１０２でアラームが発生してポンプ部１０２が停止すると、信号線５０を介して、ポンプ部２０２を停止するための信号をメインポンプインバータ４１は伝達する。この信号によりポンプ部２０２が停止する。
【００３３】
ブースタポンプ２０のポンプ部２０２でアラーム発生が発生してブースタポンプ停止すると、メインポンプ１０は停止しない。このとき、ブースタポンプ２０がブースタポンプインバータ４２のリトライ機能によりもう一度起動する。
【００３４】
使用者の起動停止スイッチの操作により、メインポンプ１０が停止すると、メインポンプインバータ４１は、信号線５０を介して、ポンプ部２０２を停止するための信号を伝達する。この信号によりポンプ部２０２が停止する。なお、ブースタポンプインバータ４２は、外部アナログ電圧６２によるブースタポンプ回転数制御の機能を持っている。
【００３５】
ここで、本実施形態との比較のために、ブースタポンプの起動に、圧力センサが必要とされる真空ポンプ装置５２を図２に示す。図２は、比較例に係る運転制御装置を有する真
空ポンプ装置５２の概略構成を示すブロック図である。ブースタポンプ２０のポンプ部２０２の排気口２１ｂと、メインポンプ１０のポンプ部１０２の吸気口１１ａを接続する連結管３１に圧力センサ５４が配置されている。圧力センサ５４は、この連結管３１内の圧力を検知する。圧力センサ５４が検知した圧力はポンプ制御部５６に送られる。ブースタポンプ２０のポンプ部２０２を起動するタイミングを検出するために、圧力センサ５４で測った圧力値が適切な値であるかどうかをポンプ制御部５６が判断する。圧力値が適切であれば、ブースタポンプインバータ４２１に起動信号５８をポンプ制御部５６が出力する。
【００３６】
本実施形態におけるメインポンプインバータ４１について図３により説明する。図３は、メインポンプインバータ４１の構成を示すブロック図である。ブースタポンプインバータ４２は、メインポンプインバータ４１とほぼ同一の構成である。異なる点については、以下のメインポンプインバータ４１の説明中において言及する。ブースタポンプインバータ４２に関する言及の無いメインポンプインバータ４１の部分については、メインポンプインバータ４１とブースタポンプインバータ４２は、同一の構成、動作を有する。
【００３７】
メインポンプインバータ４１は、モータ部１０４に交流の電流を供給し、モータ部１０４を駆動するインバータ主回路６４と、外部から入力される様々な信号に沿って、インバータ主回路６４を制御し、間接的にモータ部１０４の運転を行うインバータ制御回路６６と、メインポンプインバータ４１に入力される電源６８から、インバータ制御回路６６の駆動に必要な低電圧の直流電源を生成する制御回路用電源７０とを有する。一般的には、メインポンプインバータ４１には、ACの100V,200V,400V等が入力される。一方、インバータ制御回路６６は、DCの3.3V,5V,12V等で駆動される。インバータ制御回路６６は、インバータ制御回路６６への入力信号に基づいたアラーム検出や、表示、目標回転数等の記録やインバータの運転履歴の記録を行う。メインポンプ１０のインバータ制御回路６６とブースタポンプ２０のインバータ制御回路６６と、スイッチ８６は、運転制御装置を構成する。
【００３８】
メインポンプインバータ４１は、さらに、アラーム検出部７２と、温度検出部７４と、電流検出部７６と、回転数検出部７８とを有する。アラーム検出部７２は、モータ部１０４が所定の電流、温度、回転数を超えた場合、またはポンプ部１０２が起動してから一定時間経過しても、指定回転数に達していなかった場合、アラーム検出信号１０８を、デジタル信号検出部８０に出力する。デジタル信号検出部８０におけるアラーム検出信号１０８の処理については、後述する。
【００３９】
電流、温度、回転数の検出は、下記の電流検出部７６，温度検出部７４，回転数検出部７８が行う。それぞれの検出結果を、図４に示すように、電流検出部７６，温度検出部７４，回転数検出部７８は、アラーム検出部７２に出力する。図４は、インバータ制御回路６６内部の信号の流れを示すブロック図である。
【００４０】
温度検出部７４は、メインポンプインバータ４１の外部に設置された温度センサからの温度信号を入力されて、所定の形式の温度情報に変換する。変換した情報をアラーム検出部７２に伝達する。温度検出部７４は、アナログ回路もしくはA/D変換機能を有するCPUである。メインポンプ１０の各部温度を測定することで、ポンプの負荷を推測できる。温度センサは、例えば、ポンプ部１０２本体やモータ部１０４に設置される。温度センサは、ブースタポンプ２０の吸気口２１ａの前段、メインポンプ１０とブースタポンプ２０との間、メインポンプ１０の排気口１１ｂの後段の配管９４に設置されることもある。
【００４１】
電流検出部７６は、電流センサからの信号を入力されて、所定の形式の電流情報に変換する。変換した情報をアラーム検出部７２に伝達する。電流検出部７６は、アナログ回路
もしくはA/D変換機能を有するCPUである。電流センサは、例えば、メインポンプインバータ４１の出力部や入力部、及びモータ部１０４に設置される。電流センサは、例えば、ホール電流検出器である。ホール電流検出器は、電流に比例して発生する磁束を磁気鉄芯と磁気センサー（ホール素子）の組み合わせにより非接触で測定することにより、電流を測定する。
【００４２】
回転数検出部７８は、電流検出部７６より得たモータ電流からモータの回転数を得る。回転数検出部７８は、モータ電流の波形のひずみから、モータの磁極の位置を推定し、モータ磁極の位置を連続的に推定することで、モータの回転数を得る。モータ電流を用いる代わりに、モータに磁極センサや回転数センサを設置し、これらのセンサにより得られたセンサ信号を回転数検出部に取り込んで、モータ回転数を検出しても良い。この場合、電流からの回転数推測よりも、容易に高精度でモータの位相を把握することが出来るので、より安定的にモータを制御することができる。
【００４３】
メインポンプインバータ４１は、さらに、電圧周波数制御部１００と、デジタル信号検出部８０と、デジタル信号出力部８２と、アナログ信号検出部８４とを有する。電圧周波数制御部１００は、インバータ主回路６４を制御することにより、モータ部１０４に、所定の周波数と電圧を有する電気信号を印加する。電圧周波数制御部１００は、インバータ主回路６４を制御することにより、モータ部１０４を起動または停止させる。
【００４４】
デジタル信号検出部８０は、真空ポンプ装置１を起動及び停止するためのスイッチ８６からのスイッチ信号８８(アナログ信号又はデジタル信号)、上(下)位装置からのデジタル信号である起動／停止信号、上(下)位装置からのデジタル信号(TH温度信号、アラーム発生信号など)を検出する。デジタル信号検出部８０は、メインポンプ１０が起動する時に、ブースタポンプ２０を起動するかどうかを起動指示に基づいて判定して、ブースタポンプ２０を起動するブースタポンプ起動部等の機能を有するが、この点については、後述する。
【００４５】
メインポンプ１０を起動させるための起動指示を受け付ける起動指示受付部であるスイッチ８６は、スイッチ信号８８を出力する。起動指示は、真空ポンプ装置１の使用者がスイッチ８６を操作することにより入力される。スイッチ８６は、使用者がメインポンプ１０の起動及び停止を指示するために使用される。すなわち、スイッチ８６は、メインポンプを停止させるための停止指示を受け付ける停止指示受付部である。停止指示は、真空ポンプ装置１の使用者がスイッチ８６を操作することにより入力される。起動指示であるか、停止指示であるかは、例えば、スイッチ信号８８の電圧が、ハイレベルであるロウレベルであるかによって識別される。
【００４６】
メインポンプインバータ４１のデジタル信号検出部８０は、スイッチ８６からのスイッチ信号８８がハイレベルであるロウレベルであるかを識別する。識別結果に基づいて、起動信号または停止信号を信号１０６として電圧周波数制御部１００に出力する。信号１０６が起動指示であるか、停止指示であるかは、例えば、信号１０６の電圧が、ハイレベルであるロウレベルであるかによって識別される。信号１０６を受けた電圧周波数制御部１００は、インバータ主回路６４を制御して、メインポンプ１０を起動または停止させる。さらに、デジタル信号検出部８０は、識別結果をデジタル信号出力部８２に出力する。
【００４７】
ブースタポンプインバータ４２のデジタル信号検出部８０は、メインポンプインバータ４１のデジタル信号出力部８２が出力するデジタル信号である起動／停止信号を検出する。メインポンプインバータ４１のデジタル信号出力部８２が出力するデジタル信号である起動／停止信号を受けたブースタポンプインバータ４２のデジタル信号検出部８０は、起動信号であるか停止信号であるかを識別する。識別結果に基づいて、起動信号または停止
信号をブースタポンプインバータ４２の電圧周波数制御部１００に出力する。これらの信号を受けた電圧周波数制御部１００は、インバータ主回路６４を制御して、ブースタポンプ２０を起動または停止させる。
【００４８】
デジタル信号検出部８０は、スイッチ８６からの信号を受けることも、デジタル信号による起動信号／停止信号を受け付けることもできる。スイッチ８６に従って起動／停止するか（メインポンプインバータ４１の場合）、デジタル信号によって起動停止するか（ブースタポンプインバータ４２の場合）は、a)予め、インバータ装置に設定しておく方法と、b)どちらの指示に従うかをデジタル信号として外部から入力する方法とがある。
【００４９】
メインポンプインバータ４１及びブースタポンプインバータ４２のデジタル信号検出部８０は、TH温度信号、アラーム発生信号などを検出する。なお、TH(thermal protector)とは、モータの過熱を防止するための温度センサであり、モータ温度が所定温度に達すると、温度センサの内部接点がオープンとなる温度センサである。デジタル信号検出部８０は、TH温度信号から、温度センサの内部接点がオープンとなったことを検知する。オープンとなったことを検知する方法は、例えば、オープンになると、TH温度信号が、ロウレベルからハイレベルに変わるように回路を構成する方法がある。
【００５０】
デジタル信号出力部８２は、デジタル信号検出部８０からの起動停止信号を入力されて、上(下)位装置にデジタル信号(起動（停止）信号９６)を出力する。すなわち、図５に示すように、メインポンプインバータ４１のデジタル信号出力部８２は、ブースタポンプインバータ４２のデジタル信号検出部８０に起動（停止）信号９６を出力する。ブースタポンプインバータ４２のデジタル信号出力部８２は、ブースタポンプインバータ４２のデジタル信号出力部８２にアラーム発生信号を出力する。図５は、メインポンプ１０のインバータ制御回路６６と、ブースタポンプ２０のインバータ制御回路６６との間の信号のやり取りを示すブロック図である。
【００５１】
メインポンプインバータ４１のデジタル信号検出部８０は、起動指示受付部（スイッチ８６）が起動指示を受け付けて、メインポンプインバータ４１のポンプ部１０２が起動する時に、ブースタポンプインバータ４２のポンプ部２０２を起動するかどうかを起動指示に基づいて判定して、ポンプ部２０２を起動するブースタポンプ起動部である。判定方法は、真空ポンプ装置１の用途、状態、特性により種々ある。
【００５２】
例えば、図６に示すように、メインポンプインバータ４１のデジタル信号検出部８０は、スイッチ８６が起動指示を受け付けた後であって、かつ所定時間９０（ブースタポンプ起動遅延時間）が経過した時に、ブースタポンプ２０を起動できると判定して、ブースタポンプ２０を起動する。このときは、デジタル信号検出部８０は、デジタル信号出力部８２に、ブースタポンプ２０を起動するための信号を送る。デジタル信号出力部８２は、ブースタポンプ２０のデジタル信号検出部８０に起動信号を送る。図６は、メインポンプ１０とブースタポンプ２０の起動、停止のタイミングの関係を示す図である。
【００５３】
ここで、所定時間９０は、０秒の場合がある。すなわち、メインポンプインバータ４１のデジタル信号検出部８０は、スイッチ８６が起動指示を受け付けたときに、ブースタポンプ２０を起動できると判定して、ブースタポンプ２０を起動する場合がある。ブースタポンプ２０が停止した後、経過した時間が少ない時は、連結管３１内の真空度が低下していないため、ただちにブースタポンプ２０を起動することができる。
【００５４】
メインポンプインバータ４１のデジタル信号検出部８０は、スイッチ８６が起動指示を受け付けた後であって、かつ所定時間に渡ってメインポンプ１０の回転数が所定数以上である時に、ブースタポンプ２０を起動できると判定して、ブースタポンプ２０を起動する
こととしてもよい。回転数は、回転数検出部７８から信号１１０として、デジタル信号検出部８０に送られる。回転数を考慮することにより、連結管３１内の真空度が確実に低下していると考えられる。
【００５５】
メインポンプインバータ４１のデジタル信号検出部８０は、スイッチ８６が起動指示を受け付けた後であって、かつ所定時間に渡ってメインポンプ１０の回転数が所定数以上であり、かつメインポンプを駆動するモータの電流値が所定値以下である時に、ブースタポンプ２０を起動できると判定して、ブースタポンプ２０を起動することとしてもよい。電流値は、電流検出部７６から信号１１２として、デジタル信号検出部８０に送られる。モータの電流値と回転数を考慮することにより、連結管３１内の真空度が、さらに確実に低下していると考えられる。
【００５６】
メインポンプインバータ４１のインバータ制御回路６６は、メインポンプ１０を停止させるための停止指示を受け付ける停止指示受付部（スイッチ８６）と、スイッチ８６が停止指示を受け付けて、メインポンプ１０が停止する時に、ブースタポンプ２０を停止するかどうかを停止指示に基づいて判定して、ブースタポンプ２０を停止するブースタポンプ停止部（デジタル信号検出部８０）とを有する。この場合、図６に、時刻１１４として示すように、メインポンプ１０の停止と同時にブースタポンプ２０も停止する。
【００５７】
このとき、デジタル信号検出部８０は、メインポンプ１０を停止するために、電圧周波数制御部１００に停止信号を送り、ブースタポンプ２０を停止するために、デジタル信号出力部８２に停止信号を送る。
【００５８】
運転制御装置は、メインポンプ１０の異常を検知するメインポンプ異常検知部（メインポンプ１０のアラーム検出部７２）と、アラーム検出部７２がメインポンプ１０の異常を検知したときに、メインポンプ１０とブースタポンプ２０を停止する異常時停止部（メインポンプ１０およびブースタポンプ２０のデジタル信号検出部８０）とを備える。すなわち、メインポンプ１０およびブースタポンプ２０のデジタル信号検出部８０は、それぞれ、メインポンプ１０およびブースタポンプ２０のインバータ主回路６４を、電圧周波数制御部１００を介して停止させる。
【００５９】
信号の流れとしては、メインポンプ１０の停止に関しては、メインポンプ１０のアラーム検出部７２からデジタル信号検出部８０へ、デジタル信号検出部８０から電圧周波数制御部１００へと信号が流れて、メインポンプ１０が停止する。また、ブースタポンプ２０の停止に関しては、メインポンプ１０のアラーム検出部７２からデジタル信号検出部８０へ、デジタル信号検出部８０からデジタル信号出力部８２へ、デジタル信号出力部８２からブースタポンプ２０のデジタル信号検出部８０へ、デジタル信号検出部８０から電圧周波数制御部１００へと信号が流れて、ブースタポンプ２０が停止する。
【００６０】
運転制御装置は、ブースタポンプ２０の異常を検知するブースタポンプ異常検知部（ブースタポンプ２０のアラーム検出部７２）と、ブースタポンプ異常検知部がブースタポンプ２０の異常を検知したときに、ブースタポンプを停止させ、メインポンプを停止させないブースタポンプ異常時停止部（ブースタポンプ２０のデジタル信号出力部８２）とを備えることとしてもよい。
【００６１】
このときは、ブースタポンプ２０を停止するために、ブースタポンプ２０のアラーム検出部７２からデジタル信号検出部８０へ、デジタル信号検出部８０から電圧周波数制御部１００へと信号が流れて、ブースタポンプ２０が停止する。ブースタポンプ２０からメインポンプ１０へ停止信号が流れることはない。メインポンプを停止するか、停止させないかは、既述のように、真空ポンプ装置１の設計思想による。
【００６２】
運転制御装置は、メインポンプ１０及び／又はブースタポンプ２０の回転数を制御するための信号を外部から入力される信号入力部（アナログ信号検出部８４）を備える。以下、これについて説明する。図３に示すアナログ信号検出部８４は、外部から、アナログ的に信号を入力される。信号は、例えば、4から20mAのような電流信号で良い。また、信号は、0から5V, 1から10Vのような電圧信号でも良い。入力された信号により、モータ部１０４またはモータ部２０４の目標回転数を変更する。例えば、4から20mA信号によって変更する場合には、4mAが入力されたら、ポンプ目標回転数を低下させる。入力される電流に比例して、目標回転数を上昇させ、20mAで、定格回転数とする。ポンプ使用者は、ポンプ排気性能を要求しない場面では、ポンプの回転数を低減することで、ポンプの消費電力の低減が実現できる。
【００６３】
アナログ信号の変わりにデジタル信号によって、回転数を変更しても良い。この場合、予めインバータ装置に設定された目標回転数A,目標回転数Bのどちらを使用するか、デジタル信号によって決定する。デジタル信号を複数系統入力することで、回転数のパターンを増やすこともできる。例えば、３系統とすれば2の3乗で8パターンを選択できる。予めインバータ装置に設定された目標回転数Aから目標回転数Hの８個のなかから、回転数を選択してモータ部１０４またはモータ部２０４を制御する。デジタル信号を複数系統入力することで、外部の回転数指令回路がアナログ回路であるときよりも、安価に構成できる。
【００６４】
本実施形態によれば、メインポンプ１０とブースタポンプ２０を備えた真空ポンプ装置１のための運転制御方法が実施できる。本方法では、既述のように、各ポンプは吸気口と排気口を備え、ブースタポンプの排気口にメインポンプの吸気口が連通し、ブースタポンプの吸気口が真空ポンプ装置の吸気側であり、メインポンプの排気口が真空ポンプ装置の排気側である。
【００６５】
運転制御方法は、図７に示すように、メインポンプ１０を起動させるための起動指示を受け付ける（ステップ１）。起動指示を受け付けて、メインポンプ１０が起動する時に、ブースタポンプ２０を起動するかどうかを起動指示に基づいて判定して、ブースタポンプ２０を起動する（ステップ２）。ブースタポンプ２０を起動した後は、外部からアナログ電圧がブースタポンプ２０に入力されることによりブースタポンプ２０の回転数を制御する（ステップ３）。図７は、メインポンプ１０とブースタポンプ２０の起動、停止のタイミングの関係を示す図である。
【００６６】
ブースタポンプ２０の停止に関しては、停止指示受付部が停止指示を受け付けて、メインポンプが停止する（ステップ４）。ブースタポンプ２０を停止するかどうかを停止指示に基づいてデジタル信号検出部８０が判定して、ブースタポンプ２０を停止すると既述のように判断した時に、ブースタポンプ２０を停止する（ステップ５）。メインポンプ異常検知部がメインポンプ１０の異常を検知したときに、メインポンプ１０とブースタポンプ２０を停止することができる（ステップ６）。
【００６７】
以上、本発明の実施形態の例について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
【符号の説明】
【００６８】
１…真空ポンプ装置
４１…メインポンプインバータ
４２…ブースタポンプインバータ
６４…インバータ主回路
６６…インバータ制御回路
７２…アラーム検出部
７４…温度検出部
７６…電流検出部
７８…回転数検出部
８０…デジタル信号検出部
８２…デジタル信号出力部
８４…アナログ信号検出部
８６…スイッチ
【図１】
2018178846.tif 000003
【図２】
2018178846.tif 000004
【図３】
2018178846.tif 000005
【図４】
2018178846.tif 000006
【図５】
2018178846.tif 000007
【図６】
2018178846.tif 000008
【図７】
2018178846.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成30年1月19日(2018.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置であって、
前記各ポンプは吸気口と排気口を備え、前記ブースタポンプの排気口に前記メインポンプの吸気口が連通し、前記ブースタポンプの吸気口が前記真空ポンプ装置の吸気側であり、メインポンプの排気口が前記真空ポンプ装置の排気側であり、
前記真空ポンプ装置は、
前記メインポンプを起動させるための起動指示または前記メインポンプを停止させるための停止指示を受け付けてスイッチ信号を出力する指示受付部と、
出力された前記スイッチ信号を受け付けて、前記メインポンプを起動または停止させるとともに、前記ブースタポンプの起動／停止を指示するための起動／停止信号を出力するメインポンプインバータと、
前記メインポンプインバータから出力された起動／停止信号を検出して前記ブースタポンプを起動または停止させるブースタポンプインバータと、
を備えることを特徴とする真空ポンプ装置。
【請求項２】
前記メインポンプインバータは、前記メインポンプが起動した後に、前記ブースタポンプの起動を指示するための起動信号を出力しうるように構成され、
前記ブースタポンプインバータは、前記メインポンプインバータから出力された前記起動信号に基づいて、前記ブースタポンプを起動するかどうかを判定して、前記ブースタポンプを起動するように構成された請求項1記載の真空ポンプ装置。
【請求項３】
メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置であって、
前記真空ポンプ装置は、
前記メインポンプの運転を制御するメインポンプインバータと、
前記ブースタポンプの運転を制御するブースタポンプインバータと、
前記ブースタポンプの運転中の異常を検知するブースタポンプ異常検知部と、
前記ブースタポンプ異常検知部が前記ブースタポンプの異常を検知したときに、前記ブースタポンプを停止させ、前記メインポンプを停止させないブースタポンプ異常時停止部と、
を備えることを特徴とする真空ポンプ装置。
【請求項４】
前記ブースタポンプインバータは、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けたときに、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする請求項１または３記載の真空ポンプ装置。
【請求項５】
前記ブースタポンプインバータは、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ所定時間が経過した時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする請求項１または３記載の真空ポンプ装置。
【請求項６】
前記ブースタポンプインバータは、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ前記所定時間に渡って前記メインポンプの回転数が所定数以上である時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする請求項５記載の真空ポンプ装置。
【請求項７】
前記ブースタポンプインバータは、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ前記所定時間に渡って前記メインポンプの回転数が所定数以上であり、かつ前記メインポンプを駆動するモータの電流値が所定値以下である時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする請求項６記載の真空ポンプ装置。
【請求項８】
前記真空ポンプ装置は、
前記停止指示受付部が前記停止指示を受け付けて、前記メインポンプが停止する時に、前記ブースタポンプを停止するかどうかを前記停止指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを停止するブースタポンプ停止部とを備えることを特徴とする、請求項３ないし７のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
【請求項９】
前記真空ポンプ装置は、
前記メインポンプの異常を検知するメインポンプ異常検知部と、
前記メインポンプ異常検知部が前記メインポンプの異常を検知したときに、前記メインポンプと前記ブースタポンプを停止する異常時停止部とを備えることを特徴とする、請求項１ないし８のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
【請求項１０】
前記真空ポンプ装置は、
前記ブースタポンプの異常を検知するブースタポンプ異常検知部と、
前記ブースタポンプ異常検知部が前記ブースタポンプの異常を検知したときに、前記ブースタポンプを停止させ、前記メインポンプを停止させないブースタポンプ異常時停止部とを備えることを特徴とする、請求項１または２に記載の真空ポンプ装置。
【請求項１１】
前記真空ポンプ装置は、前記メインポンプ及び／又は前記ブースタポンプの回転数を制御するための信号を外部から入力される信号入力部を備えることを特徴とする、請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の真空ポンプ装置。
【請求項１２】
メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置のための運転制御方法であって、
前記各ポンプは吸気口と排気口を備え、前記ブースタポンプの排気口に前記メインポンプの吸気口が連通し、前記ブースタポンプの吸気口が前記真空ポンプ装置の吸気側であり、メインポンプの排気口が前記真空ポンプ装置の排気側であり、
前記運転制御方法は、
前記メインポンプを起動させるための起動指示を受け付けるステップと、
前記起動指示を受け付けて、前記メインポンプが起動する時に、前記ブースタポンプを起動するかどうかを前記起動指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを起動するステップとを備えることを特徴とする運転制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
以上、本発明の実施形態の例について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
以上説明したように、本発明は以下の形態を有する。
［形態１］
メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置のための運転制御装置であって、
前記各ポンプは吸気口と排気口を備え、前記ブースタポンプの排気口に前記メインポンプの吸気口が連通し、前記ブースタポンプの吸気口が前記真空ポンプ装置の吸気側であり、メインポンプの排気口が前記真空ポンプ装置の排気側であり、
前記運転制御装置は、
前記メインポンプを起動させるための起動指示を受け付ける起動指示受付部と、
前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けて、前記メインポンプが起動する時に、前記ブースタポンプを起動するかどうかを前記起動指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを起動するブースタポンプ起動部とを備えることを特徴とする運転制御装置。
［形態２］
前記ブースタポンプ起動部は、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けたときに、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする形態１記載の運転制御装置。
［形態３］
前記ブースタポンプ起動部は、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ所定時間が経過した時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする形態１記載の運転制御装置。
［形態４］
前記ブースタポンプ起動部は、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ前記所定時間に渡って前記メインポンプの回転数が所定数以上である時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする形態３記載の運転制御装置。
［形態５］
前記ブースタポンプ起動部は、前記起動指示受付部が前記起動指示を受け付けた後であって、かつ前記所定時間に渡って前記メインポンプの回転数が所定数以上であり、かつ前記メインポンプを駆動するモータの電流値が所定値以下である時に、前記ブースタポンプを起動できると判定して、前記ブースタポンプを起動することを特徴とする形態４記載の運転制御装置。
［形態６］
前記運転制御装置は、
前記メインポンプを停止させるための停止指示を受け付ける停止指示受付部と、
前記停止指示受付部が前記停止指示を受け付けて、前記メインポンプが停止する時に、前記ブースタポンプを停止するかどうかを前記停止指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを停止するブースタポンプ停止部とを備えることを特徴とする、形態１ないし５のいずれか１項に記載の運転制御装置。
［形態７］
前記運転制御装置は、
前記メインポンプの異常を検知するメインポンプ異常検知部と、
前記メインポンプ異常検知部が前記メインポンプの異常を検知したときに、前記メインポンプと前記ブースタポンプを停止する異常時停止部とを備えることを特徴とする、形態１ないし６のいずれか１項に記載の運転制御装置。
［形態８］
前記運転制御装置は、
前記ブースタポンプの異常を検知するブースタポンプ異常検知部と、
前記ブースタポンプ異常検知部が前記ブースタポンプの異常を検知したときに、前記ブースタポンプを停止させ、前記メインポンプを停止させないブースタポンプ異常時停止部とを備えることを特徴とする、形態１ないし７のいずれか１項に記載の運転制御装置。
［形態９］
前記運転制御装置は、前記メインポンプ及び／又は前記ブースタポンプの回転数を制御するための信号を外部から入力される信号入力部を備えることを特徴とする、形態１ないし８のいずれか１項に記載の運転制御装置。
［形態１０］
メインポンプとブースタポンプを備えた真空ポンプ装置のための運転制御方法であって、
前記各ポンプは吸気口と排気口を備え、前記ブースタポンプの排気口に前記メインポンプの吸気口が連通し、前記ブースタポンプの吸気口が前記真空ポンプ装置の吸気側であり、メインポンプの排気口が前記真空ポンプ装置の排気側であり、
前記運転制御方法は、
前記メインポンプを起動させるための起動指示を受け付けるステップと、
前記起動指示を受け付けて、前記メインポンプが起動する時に、前記ブースタポンプを起動するかどうかを前記起動指示に基づいて判定して、前記ブースタポンプを起動するステップとを備えることを特徴とする運転制御方法。