(57)【要約】      （修正有）【課題】インフラ設備等が設けられる自然構造物またはインフラ設備や高層建築物等のような人工構造物における計測対象物に生じる歪を目視で容易に検出可能であり、構造が簡易な変位可視化センサを提供する。【解決手段】酸化することで変色する金属層１と、金属層１の一方の面に密着した透明無機材料層２ａを含む表面側透明バリア層２と、金属層１の端部の全面を覆う封止部３と、を有し、金属層１の一方の面の全面が、表面側透明バリア層２および封止部３により覆われていることを特徴とする変位可視化センサ１０。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化することで変色する金属層と、
前記金属層の一方の面に密着した透明無機材料層を含む表面側透明バリア層と、
前記金属層の端部の全面を覆う封止部と、
を有し、
前記金属層の一方の面の全面が、前記表面側透明バリア層および前記封止部により覆われている変位可視化センサ。
【請求項２】
前記金属層がカルシウム、銀、鉄またはアルミニウムを含む請求項１に記載の変位可視化センサ。
【請求項３】
前記金属層の他方の面に配置された計測対象側バリア層を有する請求項１または請求項２に記載の変位可視化センサ。
【請求項４】
前記金属層の他方の面に配置された着色層を有する請求項１から請求項３までのいずれかの請求項に記載の変位可視化センサ。
【請求項５】
前記透明無機材料層がガラスである請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載の変位可視化センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インフラ設備等が設けられる自然構造物またはインフラ設備や高層建築物等のような人工構造物における計測対象物に生じる歪を目視で容易に検出可能であり、構造が簡易な変位可視化センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インフラ設備において、老朽化や点検不足等が引き起こしたと考えられる事故が多発している。このため、インフラ設備の安全で安心な管理体制の構築が求められており、中でも老朽化したインフラ設備の点検技術および補修技術の確立が求められている。老朽化したインフラ設備の点検技術としては、インフラ設備に設置されたセンサからインフラ設備に生じる歪に関する情報を通信で送って常時解析する技術が知られているが、このような技術は高コストであるために、より低コストで高精度の歪測定ができ、視覚的に分かり易く歪の発生を判断できる技術の開発が期待されている。また、最近になって、施工時の不備を原因として高層建築物が傾斜する問題が発生している。そして、高層建築物の傾斜によって生じる歪についても、より低コストで高精度の歪測定ができ、視覚的に分かり易く歪の発生を判断できる技術の開発が期待されている。
【０００３】
これらの開発が期待されている技術としては、例えば、特許文献１には、インフラ設備が設けられる自然構造物またはインフラ設備や高層建築物等のような人工構造物が変形する時に、歪量に連動して表示窓から視認される光の強度や色を変化させることにより、歪量を表示する構造物変状検知装置が開示されている。また、特許文献２には、ストライプパターン（ラインアンドスペースパターン）が形成された模様領域をそれぞれが有する一対の基体が、模様領域が重なり合うように所定の間隔を有して平行に配置された上で、計測対象物に固定された歪量表示装置が開示されている。この歪量表示装置では、計測対象物が変形する時の歪量に応じて一対の基体が平行方向に移動することにより、両基体の模様の干渉によって生じるモアレ縞が移動し、モアレ縞の移動量から歪量を計測することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許５６０７１８５号公報
【特許文献２】特開２０１２−２４７２２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されるような装置は、歪の検出に制御回路等が必要であり、構造が複雑であるといった問題がある。
また、特許文献２に記載される装置は、モアレ縞の移動量を読み取って計測する必要があり、歪の検出に手間がかかるといった問題がある。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、インフラ設備等が設けられる自然構造物またはインフラ設備や高層建築物等のような人工構造物における計測対象物に生じる歪を目視で容易に検出可能であり、構造が簡易な変位可視化センサを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、酸化することで変色する金属層と、上記金属層の一方の面に密着した透明無機材料層を含む表面側透明バリア層と、上記金属層の端部の全面を覆う封止部と、を有し、上記金属層の一方の面の全面が、上記表面側透明バリア層および上記封止部により覆われていることを特徴とする変位可視化センサを提供する。
【０００８】
本発明によれば、金属層の一方の面の全面および端部の全面は、表面側透明バリア層および封止部によって覆われているため、本発明の変位可視化センサを金属層の他方の面を計測対象物に対向するように固定した場合、金属層は、周辺環境からの酸素等の侵入が抑制され、変色しない状態とすることができる。
また、透明無機材料層が金属層に密着していることにより、本発明の変位可視化センサを金属層の他方の面を計測対象物に対向するように固定した際に、計測対象物の歪が金属層を介して透明無機材料層に伝達可能となる。このため、透明無機材料層は、計測対象物の歪が所定の範囲以上となると、その歪に追随できずに破損する。その結果、その透明無機材料層の破損部位から侵入した周辺環境中の酸素等の存在により、金属層が酸化して変色することができる。
このように、本発明の変位可視化センサは、制御回路等のない簡易な構造でありながら、計測対象物に生じる歪を、金属層の変色により容易に目視やカメラ等光学機器により検出可能となる。
【０００９】
本発明においては、上記金属層がカルシウム、銀、鉄またはアルミニウムを含むこと、つまり、上記金属層を構成する金属がカルシウム、銀、鉄またはアルミニウムであること好ましい。上記金属であることにより、金属層は、酸化することで透明となる。このため、本発明の変位可視化センサは、計測対象物に固定した状態で、歪により生じたクラック等の計測対象物の表面状態を表面側透明バリア層側から目視可能となるからである。
【００１０】
本発明においては、上記金属層の他方の面に配置された計測対象側バリア層を有することが好ましい。
計測対象側バリア層を有することにより、本発明の変位可視化センサは、例えば、計測対象物から放出される水分等の影響による金属層の変色を抑制できるからである。
【００１１】
本発明においては、上記金属層の他方の面に配置された着色層を有することが好ましい。例えば、金属層として酸化により透明に変色するものを使用した際に、計測対象物に生じたクラック等を着色層により強調して観察可能とすることができる。このように本発明の変位可視化センサは、計測対象物の表面状態を視認容易とすることができるからである。
【００１２】
本発明においては、上記透明無機材料層がガラスであることが好ましい。ガラスは酸素等のバリア性に優れるため、本発明の変位可視化センサは、精度良く計測対象物の歪を検出可能となるからである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、インフラ設備等が設けられる自然構造物またはインフラ設備や高層建築物等のような人工構造物における計測対象物に生じる歪を目視で容易に検出可能であり、構造が簡易な変位可視化センサを提供できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の変位可視化センサの一例を示す概略断面図である。
【図２】本発明の変位可視化センサの使用方法を説明する説明図である。
【図３】本発明の変位可視化センサの他の例を示す概略断面図である。
【図４】本発明の変位可視化センサの他の例を示す概略断面図である。
【図５】本発明の変位可視化センサの他の例を示す概略断面図である。
【図６】本発明の変位可視化センサの他の例を示す概略断面図である。
【図７】本発明の変位可視化センサの他の例を示す概略平面図および断面図である。
【図８】本発明の変位可視化センサの他の例を示す概略断面図である。
【図９】本発明の変位可視化センサの他の例を示す概略平面図および断面図である。
【図１０】本発明の変位可視化センサの他の例を示す概略平面図および断面図である。
【図１１】本発明の変位可視化センサの他の例を示す概略平面図および断面図である。
【図１２】本発明の変位可視化センサの他の例を示す概略平面図および断面図である。
【図１３】本発明における固定部材を説明する概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の変位可視化センサについて詳細に説明する。
本発明の変位可視化センサは、酸化することで変色する金属層と、上記金属層の一方の面に密着した透明無機材料層を含む表面側透明バリア層と、上記金属層の端部の全面を覆う封止部と、を有し、上記金属層の一方の面の全面が、上記表面側透明バリア層および上記封止部により覆われていることを特徴とするものである。
【００１６】
このような本発明の変位可視化センサについて図面を参照して説明する。
図１（ａ）は、本発明の変位可視化センサの一例を示す概略断面図である。また、図１（ｂ）は、本発明の変位可視化センサの他の例を示す概略断面図である。図１（ａ）および（ｂ）に例示するように、本発明の変位可視化センサ１０は、酸化することで変色する金属層１と、上記金属層１の一方の面に密着した透明無機材料層２ａを含む表面側透明バリア層２と、上記金属層１の端部の全面を覆う封止部３と、を有し、上記金属層１の一方の面の全面が、上記表面側透明バリア層２および上記封止部３により覆われているものである。
なお、図１（ａ）は、変位可視化センサ１０が金属層１の他方の面の全面を覆う計測対象側バリア層６を有する例を示すものである。また、図１（ａ）は、計測対象側バリア層６が、無機材料層としてのガラスであり、さらに、金属層１が、計測対象側バリア層６の一方の面に直接形成された金属蒸着層であり、透明無機材料層２ａは、密着層２ｃにより金属層１に密着されたガラスである例を示すものである。なお、図１（ａ）では、密着層２ｃおよび封止部３が一体として形成される例を示すものである。
また、図１（ｂ）は、変位可視化センサ１０が支持基材４を有し、金属層１が支持基材４上に直接形成された金属蒸着層であり、透明無機材料層２ａが金属層１の一方の面の全面に直接形成された無機材料膜層である例を示すものである。
さらに、図１（ｂ）は、表面側透明バリア層２として透明無機材料層２ａのみを有する例を示すものである。
【００１７】
本発明によれば、金属層の一方の面の全面および端部の全面は、表面側透明バリア層および封止部によって覆われているため、例えば、図２（ａ）に例示するように、本発明の変位可視化センサ１０を金属層１の他方の面を計測対象物２０に対向するように固定した場合、特に、金属層１の他方の面の全面を計測対象物２０に密着するように固定した場合、金属層１は、周辺環境からの酸素等の侵入が抑制され、変色しない状態とすることができる。
また、透明無機材料層が金属層に密着していることにより、本発明の変位可視化センサを金属層の他方の面を計測対象物に対向するように固定した際に、計測対象物の歪が金属層を介して透明無機材料層に伝達可能となる。
ここで、透明無機材料層は、所定の範囲以上の歪が生じると、その歪に追随できずに破損する。
このため、例えば、図２（ｂ）に例示するように、計測対象物２０に金属層１を介して密着している透明無機材料層２ａは、計測対象物２０の歪検出方向の長さが測定開始時のＬ１からＬ２に変化し、計測対象物２０の歪（Ｌ２−Ｌ１）が、所定の範囲以上となった際に、計測対象物２０の歪に追随できずに破損する。
そして、図２（ａ）に示すように、透明無機材料層２ａの破損前には、計測対象物２０側表面以外の表面が表面側透明バリア層２および封止部３により覆われていることで酸化による変色が抑制されていた金属層１は、図２（ｂ）に示すように、透明無機材料層２ａの破損後に、この透明無機材料層２ａの破損部位１２から侵入ｇした周辺環境中の酸素等に曝されることになる。
その結果、図２（ｃ）に示すように、この透明無機材料層２ａの破損部位１２から侵入した周辺環境中の酸素等の存在により、金属層１は、その一方の面（表面側透明バリア層２側）の表面から酸化することで、金属酸化物層１ｂを形成し、変色することができる。
このように、金属層は、計測対象物に歪が生じていない時点では変色しておらず、透明無機材料層が計測対象物に生じた歪により破損した場合に変色することが可能となる。
このようなことから、本発明の変位可視化センサは、制御回路等のない簡易な構造でありながら、計測対象物に生じる歪を、金属層の変色により容易に目視検出可能となるのである。
なお、図２は、本発明の変位可視化センサ１０の使用方法を説明する説明図であり、変位可視化センサ１０は、固定部材５として接着層を用いて計測対象物２０に固定されて使用される例を示すものである。
【００１８】
また、本発明の変位可視化センサは、計測対象物から放出された水分を検出するセンサとしても使用可能となる。
すなわち、本発明の変位可視化センサを、金属層の他方の面を計測対象物に対向するように固定した際には、金属層は、周辺環境からの酸素等の侵入が抑制された状態となる。
このため、計測対象物から水分が放出された際には、金属層は、その放出された水分により、例えば、他方の面から酸化して変色可能となる。
したがって、例えば、金属層の変色が検出されたが、透明無機材料層に破損部位が検出されなかった場合や、計測対象物がコンクリート等であるときに対象物であるコンクリートに生じた歪により発生するクラック等が検出されなかった場合には、その金属層の変色は、計測対象物から放出された水分に起因するものであると判断できる。
このように、本発明の変位可視化センサは、計測対象物の歪を検出する変位センサとして用いつつ、計測対象物からの水分の放出も検出可能なセンサとなるのである。
なお、本発明の変位可視化センサは、計測対象物から放出される水分以外の他の物質も検出できる。例えば、本発明の変位可視化センサは、金属層の他の面に計測対象側バリア層を有するものとし、その計測対象物バリア層のバリア性を調整することにより、水分以外の物質の検出等も可能となる。例えば、計測対象物バリア層として、酸素および水分のバリア性が高く、二酸化炭素のバリア性が低いものを使用することで、本発明の変位可視化センサは、計測対象物から放出される二酸化炭素の検出が可能なものとすることができる。
【００１９】
さらに、本発明の変位可視化センサは、周辺環境の湿度等が非常に高い状態であることを検出するセンサとしても使用可能となる。
すなわち、本発明の変位可視化センサは、金属層の他方の面に計測対象側バリア層を有するものとした場合には、計測対象物から放出される水分等による金属層の変色を抑制できる。
したがって、本発明の変位可視化センサが計測対象側バリア層を有する状況下で、例えば、金属層の変色が検出されたが、透明無機材料層に破損部位が検出されなかった場合や、計測対象物がコンクリート等であるときに対象物であるコンクリートに生じた歪により発生するクラック等が検出されなかった場合には、その金属層の変色は計測対象物の歪および計測対象物から放出される水分等に起因するものではなく、周辺環境の湿度等が非常に高い状態であることに起因するものであると判断できる。
このように、本発明の変位可視化センサは、計測対象物の歪を検出する変位センサとして用いつつ、周辺環境の湿度等を検出可能なセンサとなるのである。
【００２０】
本発明の変位可視化センサは、金属層、表面側透明バリア層および封止部を有するものである。
以下、本発明の変位可視化センサにおける各構成について説明する。
【００２１】
１．金属層
上記金属層は、酸化することで変色する層である。
【００２２】
上記金属層としては、膜状の金属であればよく、例えば、金属箔、支持フィルム等の他の部材表面に形成された金属蒸着膜等を用いることができる。
上記金属層を構成する金属としては、酸化することで変色するものであればよく、１種類の金属元素のみを含む純金属、２種類以上の金属元素の混合物である合金等を用いることができる。
本発明においては、上記金属が、純金属であることが好ましい。上記金属は、酸化により変色が容易であり、金属層は、感度に優れたものとなるからである。
なお、上記純金属としては、取り扱いの容易の観点から、例えば、カルシウム、クロム、銀、鉄、銅、アルミニウム、錫、亜鉛等を挙げることができる。
なお、上記金属層については、酸化することで変色する状態が観察可能な範囲内で、表面の一部が酸化した状態のものも金属層に含むものである。
また、１種類の金属元素のみを含む純金属としては、酸化することで変色する状態が観察可能な範囲内で他の種類の金属元素を含むものであってもよい。具体的な上記純金属としては、例えば、１種類の金属元素の含有量が９５質量％以上であるものとすることができ、なかでも、９９質量％以上であることが好ましい。上記金属層は、変色状態の視認が容易なものとなるからである。
【００２３】
本発明においては、本発明の変位可視化センサを計測対象物に固定した状態で、計測対象箇所の状態を目視で確認可能となる観点からは、上記金属が、透明な金属酸化物を形成可能なものであることが好ましく、例えば、カルシウム、銀、鉄およびアルミニウム等であること、すなわち、上記金属層が、カルシウム、銀、鉄またはアルミニウムを含むことが好ましく、特に、カルシウム、銀であることが好ましい。上記金属は透明な金属酸化物を形成可能であるため、本発明の変位可視化センサは、計測対象物に固定した状態で、計測対象箇所の状態を目視で確認容易なものとなるからである。
【００２４】
本発明においては、計測対象物の周辺環境温度変化により生じる一時的な歪の発生による影響を抑制するとの観点からは、上記金属が、透明無機材料層および計測対象物と線膨張係数の差が小さいことが好ましい。
例えば、透明無機材料層の線膨張係数が１０ｐｐｍ／Ｋ程度以下である場合、金属層と透明無機材料層との間の線膨張係数の差を小さくするとの観点からは、上記金属は、例えば、銅、クロム、鉄、銀、アルミニウム、錫、亜鉛等であることが好ましく、なかでも、クロム、鉄、銅であることが好ましく、特に、鉄であることが好ましい。
また、計測対象物が、線膨張係数が１２ｐｐｍ／Ｋ程度のもの、例えば、コンクリート等である場合、金属層と計測対象物との間の線膨張係数の差を小さくするとの観点から選択される金属としては、例えば、上述の透明無機材料層の線膨張係数が１０ｐｐｍ／Ｋ程度以下である場合に金属層と透明無機材料層との間の線膨張係数の差を小さくするとの観点から選択される金属と同様とすることができる。
【００２５】
上記金属層の厚みとしては、本発明の変位可視化センサの用途に応じて適宜設定することができる。上記厚みは、例えば、５ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲内とすることができる。
また、上記厚みは、上記金属がカルシウム等の透明な金属酸化物を形成可能なものである場合、計測対象物に固定した状態で、計測対象箇所の状態を目視で確認可能とする観点また、コストの面からは、金属層の厚みは薄いことが好ましく、例えば、２０ｎｍ〜２００ｎｍの範囲内であることが好ましい。上記厚みが上述の範囲内であることで、計測対象物に固定した状態で、計測対象箇所の状態を目視で確認容易となるからである。
【００２６】
上記金属層の平面視サイズとしては、酸化により変色した際に目視が可能なものであれば特に限定されるものではない。
上記平面視サイズとしては、例えば、１ｃｍ角以上とすることができる。
上記平面視サイズは、計測対象物に応じて、１ｍ角以上、１０ｍ角以上等とすることもできる。
なお、金属層の平面視サイズが１ｃｍ角以上であるとは、金属層が、１ｃｍ角の正方形の範囲を少なくとも含む平面視形状であることをいうものである。したがって、金属層の平面視形状が長方形状である場合には、その短辺の長さが１ｃｍ以上であることをいうものであり、金属層の平面視形状が正方形状である場合には、その１辺の長さが１ｃｍ以上であることをいうものである。
【００２７】
上記金属層の形成方法としては、上記金属層が金属箔である場合には、例えば、金属箔を準備し、金属層の形状に合わせて切断する方法を挙げることができる。
また、金属層が金属蒸着層である場合には、上記形成方法としては、真空蒸着法、スパッタリング、パルスレーザーアブレーション（ＰＬＤ）法等の物理気相成長法や、プラズマＣＶＤ法等の化学気相成長法等の気相法（ドライプロセス）を用いることができる。
なお、上記形成方法は、金属蒸着層の平面視形状がパターン状である場合には、マスクにより金属層を形成しない領域を被覆した状態で気相法により金属蒸着層を形成する方法を用いることができる。
【００２８】
２．表面側透明バリア層
上記表面側透明バリア層は、上記金属層の一方の面に密着した透明無機材料層を含むものである。
また、上記金属層の一方の面の全面が、上記表面側透明バリア層および上記封止部により覆われているもの、すなわち、表面側透明バリア層が、上記封止部と共に金属層の一方の面の全面を覆うものである。
【００２９】
ここで、透明であるとは、金属層が酸化することによる変色を目視で確認可能なものであればよく、例えば、表面側透明バリア層の全光線透過率が、７０％以上であるものとすることができ、なかでも、８０％以上であることが好ましく、特に、９０％以上であることが好ましい。
なお、全光線透過率については、ＪＩＳ  Ｋ７３６１−１（プラスチック−透明材料の全光線透過率の試験方法）により測定することができる。
【００３０】
上記表面側透明バリア層は、バリア性を有するもの、すなわち、周辺環境から金属層の酸化の原因となる酸素等の侵入を抑制する機能を有するものである。
ここで、酸化の原因となる因子としては、例えば、主に、酸素、二酸化炭素、水分等を挙げることができる。
また、上記表面側透明バリア層のバリア性の程度については、本発明の変位可視化センサの用途等に応じて適宜設定することができ、例えば、透明無機材料層の種類、厚み、緻密性等により調整することができる。
【００３１】
上記表面側透明バリア層の酸素透過率については、周辺環境からの影響を抑制する観点からは、低いことが好ましく、例えば、１．０×１０ｃｃ／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）以下とすることができ、１．０×１０−７ｃｃ／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）〜１．０×１０ｃｃ／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）の範囲内であることが好ましく、なかでも、１．０×１０−７ｃｃ／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）〜１．０×１０−２ｃｃ／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）の範囲内であることが好ましい。
上記表面側透明バリア層の二酸化炭素透過率については、周辺環境からの影響を抑制する観点からは、低いことが好ましく、例えば、１．０×１０ｃｃ／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）以下とすることができ、１．０×１０−７ｃｃ／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）〜１．０×１０ｃｃ／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）の範囲内であることが好ましく、なかでも、１．０×１０−７ｃｃ／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）〜１．０×１０−２ｃｃ／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）の範囲内であることが好ましい。
上記表面側透明バリア層の水分透過率については、周辺環境からの影響を抑制する観点からは、低いことが好ましく、例えば、表面側透明バリア層の水蒸気透過率は、１．０×１０−１ｇ／（ｍ２・２４ｈ）以下とすることができ、１．０×１０−７ｇ／（ｍ２・２４ｈ）〜１．０×１０−１ｇ／（ｍ２・２４ｈ）の範囲内であることが好ましく、１．０×１０−７ｇ／（ｍ２・２４ｈ）〜１．０×１０−２ｇ／（ｍ２・２４ｈ）の範囲内であることが好ましい。
一方、本発明の変位可視化センサが計測対象側バリア層を有し、周辺環境の湿度が非常に高くなった状態を検出可能なセンサとする観点からは、上記表面側透明バリア層の水蒸気透過率は、歪測定が可能な範囲内で高いことが好ましく、例えば、１．０×１０−３ｇ／（ｍ２・２４ｈ）〜１．０×１０ｇ／（ｍ２・２４ｈ）の範囲内とすることができる。
なお、本発明において、酸素透過率および二酸化炭素透過率は、ＪＩＳ  Ｋ  ７１２６に準拠した方法で得ることができ、例えば、２３℃、６０％Ｒｈの条件で得ることができる。
また、水蒸気透過率は、ＪＩＳ  Ｚ  ０２０８に準拠した方法で得ることができ、例えば４０℃、９０％Ｒｈの条件下で得ることができる。
【００３２】
また、本発明においては、上記金属層の一方の面の全面が、上記表面側透明バリア層および上記封止部により覆われているもの、すなわち、表面側透明バリア層が、上記封止部と共に金属層の一方の面の全面を覆うものである。
このような表面側透明バリア層の平面視形状は、上記封止部と共に金属層の一方の面の全面を覆うもの、すなわち、金属層の一方の面のうち封止部により覆われていない部位の全面を覆う形状であればよい。
ここで、上記表面側透明バリア層の平面視形状とは、通常、少なくとも透明無機材料層が形成されている領域の形状をいうものである。
本発明においては、なかでも、上記平面視形状が、金属層の一方の面の全面を覆う形状であることが好ましい。金属層の他方の面以外の表面を安定的に封止することができ、例えば、本発明の変位可視化センサは、安定的に、計測対象物の歪の検出が可能となるからである。
なお、既に説明した図１は、上記平面視形状が、金属層の一方の面の全面を覆う形状である例を示すものである。
また、図３は、上記平面視形状が、金属層の一方の面のうち、封止部により覆われていない部位の全面を覆う形状である例を示すものである。
【００３３】
（１）透明無機材料層
上記透明無機材料層は、上記金属層の一方の面に密着しているものである。
ここで、金属層に密着するとは、測定対象物の歪が金属層を介して透明無機材料層に伝達可能な状態、すなわち、測定対象物に歪が生じた際に、金属層がその歪に追随して金属層にも歪が生じ、さらに金属に生じた歪により透明無機材料層にも歪が生じ得る状態をいうものであり、例えば、金属層に直接接するものに限定されるものではなく、密着層等の他の層を介して密着する場合も含むものである。
【００３４】
上記透明無機材料層は、表面側透明バリア層の主バリア層として機能するものである。
ここで、主バリア層として機能するとは、計測対象物の歪により破損することで、金属層に変色を生じさせて、その歪の検出が可能なものであればよい。
このような透明無機材料層の各成分の透過率の表面側透明バリア層の透過率に対する割合（透明無機材料層の透過率／表面側透明バリア層の透過率）としては、１．０以上であればよく、例えば、１．２以下とすることができ、１．１以下であることが好ましく、なかでも１．０５以下であることが好ましい。上記割合が上述の範囲であることにより、透明無機材料層が計測対象物の歪により破損した際に、周辺環境から金属層の一方の面に、酸素等の金属層を酸化させる因子が容易到達可能となる。その結果、本発明の変位可視化センサは、計測対象物の歪を高感度で検出可能となるからである。
ここで、上記割合が１．２以下であるとは、例えば、透明無機材料層の酸素、二酸化炭素、水蒸気の透過率が、表面側透明バリア層全体の酸素、二酸化炭素および水蒸気の透過率の１．２倍以下であることをいうものである。したがって、例えば、表面側透明バリア層の酸素透過率が１０ｇ／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）以下である場合には、透明無機材料層の酸素透過率は、１２ｇ／（ｍ２・２４ｈ・ａｔｍ）以下とすることができる。
また、上記割合が１．０であるとは、通常、表面側透明バリア層が透明無機材料層のみを含む場合をいうものである。
なお、透明無機材料層の形成数が２以上である場合、すなわち、表面側透明バリア層に透明無機材料層が２層以上含まれる場合には、上記割合は、全ての透明無機材料層の合計の透過率をいうものである。
【００３５】
上記透明無機材料層としては、透明無機材料から形成された膜であり、所定以上の歪により破損し、そのバリア性を喪失するものであればよく、例えば、ガラスや、支持フィルム等の他の部材表面に形成された無機材料膜層等を用いることができる。
本発明においては、本発明の変位可視化センサが周辺環境の影響の少ないものとする観点からは、上記透明無機材料層がガラスであることが好ましい。
【００３６】
上記ガラスとしては、透明性を有するものであればよく、例えば、特開２０１５−１３８１２７号公報等に記載のガラス基材を用いることができる。
上記ガラスの厚みとしては、透明無機材料層に要求される酸素等のバリア性に応じて適宜設定されるものである。
上記厚みは、ガラスの構成材料によっても異なるものであるが、例えば、０．０５ｍｍ〜２ｍｍの範囲内とすることができる。上記厚みが上述の範囲内であることにより、上記ガラスは形成容易だからである。
また、上記厚みは、ガラスにフレキシブル性を付与するとの観点、加工性の観点からは、例えば、５０μｍ〜３００μｍの範囲内であることが好ましい。
【００３７】
上記無機材料膜層を構成する透明無機材料としては、例えば、特開２０１３−２３７２７１号公報等に記載のガスバリア性フィルムに用いられる無機酸化物、無機窒化物および無機酸窒化物を挙げることができる。
上記透明無機材料としては、より具体的には、ケイ素、アルミニウム、亜鉛、錫、インジウム、マグネシウム、カルシウム、カリウム、スズ、ナトリウム、ホウ素、チタン、鉛、ジルコニウム、イットリウム等の酸化物、窒化物および酸窒化物を用いることができる。
また、上記透明無機材料としては、炭化水素を用いること、すなわち、無機材料膜層としてダイアモンドライクカーボン膜（ＤＬＣ）、グラファイト膜、ダイヤモンド膜等も用いることができる。
本発明においては、なかでも、上記透明無機材料が、無機酸化物であることが好ましく、特に、ケイ素、アルミニウム、亜鉛の酸化物であることが好ましい。上記透明無機材料は、バリア性および透明性に優れるからである。
【００３８】
上記無機材料膜層の層構造としては、単層構造であってもよく、２層以上が積層した積層構造であってもよい。
また、積層構造である場合、各層は同一材料であってもよく、異なる層であってもよい。例えば、上記無機材料膜層は、無機酸化物層および無機窒化物層がこの順で積層した積層構造を有するものとすることができる。
さらに、積層構造である場合、各層は、形成方法が同一方法であってもよく、異なる方法であってもよい。
例えば、上記無機材料膜層は、気相法で形成された蒸着膜層、液相法で形成された湿式膜層がこの順で積層した積層構造を有するものとすることができる。
なお、積層構造であるとは、通常、無機材料膜層同士が直接接触し、かつ、互いに密着していることをいうものである。
【００３９】
上記無機材料膜層の厚みとしては、透明無機材料層に要求される酸素等のバリア性に応じて適宜設定されるものである。
上記厚みは、無機材料膜層の構成材料によっても異なるものであるが、例えば、５ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲内、さらに好ましくは２０ｎｍ〜２００ｎｍの範囲内とすることができる。上記厚みが上述の範囲内であることにより、無機材料膜層は、酸素等のバリア性を容易に調整可能となるからである。
なお、上記厚みは、上記無機材料膜層が積層構造である場合には、合計の厚みをいうものである。
【００４０】
透明無機材料層の形成方法としては、所望の平面視形状および厚みの透明無機材料層を形成可能な方法であれば特に限定されるものではない。
例えば、上記形成方法は、透明無機材料層がガラスである場合には、ガラス板を準備した後、公知の切断手段を用いて所望の平面視形状に切断する方法を用いることができる。
また、上記形成方法は、透明無機材料層が無機材料膜層である場合には、上記「１．金属層」の項に記載の金属蒸着膜の形成方法と同様の気相法（ドライプロセス）、ゾルゲル法、液相析出法、スプレー法、パイロゾル法等の液相法（ウェットプロセス）等を用いることができる。
なお、上記形成方法は、透明無機材料層の平面視形状がパターン状である場合、マスクにより無機材料膜層を形成しない領域を被覆した状態で、気相法または液相法等を用いて無機材料膜層を形成する方法を挙げることができる。
【００４１】
（２）有機材料層
上記表面側透明バリア層は、透明無機材料層を含むものであるが、必要に応じて、透明無機材料層を覆うように形成される有機材料層を有するものであってもよい。
有機材料層を有することにより、表面側透明バリア層は、透明無機材料層と金属層との密着性の向上、透明無機材料層に発生したピンホールの被覆によるバリア性の調整、表面側透明バリア層の表面反射の低減等の光学機能の調整が容易なものとなるからである。
なお、有機材料としては、炭素−炭素が共有結合により結合した構造を有するものであればよい。
このような有機材料層のうち、主に透明無機材料層に発生したピンホールの被覆によるバリア性の調整を行うオーバーコート層、主に透明無機材料層と金属層との密着性の向上を行う密着層について、以下、具体的に説明する。
【００４２】
（ａ）オーバーコート層
上記オーバーコート層は、透明無機材料層に発生したピンホールの被覆によるバリア性の調整を行うものである。
上記オーバーコート層は、例えば、透明無機材料層の金属層とは反対側の表面を覆うことにより、透明無機材料層に発生したピンホールを安定的に被覆することができる。その結果、表面側透明バリア層のバリア性、すなわち、金属層の酸化の原因となる酸素等の侵入の程度を安定的に調整できるからである。
なお、図４は、上記表面側透明バリア層２が、有機材料層としてオーバーコート層２ｂを有する例を示すものである。
【００４３】
このようなオーバーコート層としては、透明性を有し、例えば、透明無機材料層に発生したピンホールを安定的に被覆可能なものであればよく、例えば、金属アルコキシドおよび水溶性高分子をシランカップリング剤等と混合し、ゾルゲル法等により重縮合されて形成された有機−無機複合層を挙げることができる。
上記オーバーコート層としては、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、もしくはエチレン−ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）の単独、またはこれらの混合物、あるいは、これらに芳香族酸エステル、芳香族ポリアミド、金属塩等の架橋剤を添加するか、もしくは無機フィラーの添加により架橋構造を持たせた層、ポリアミド、ＰＶＡ、もしくはＥＶＯＨ等の樹脂中に１ｎｍ〜１００ｎｍ程度の超微粒子である層状珪酸塩（モンモリロナイト等の粘土鉱物）を分散させた層、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、アクリレート樹脂、カルドポリマーを用いて形成されたカルドポリマー層等の有機樹脂層等を挙げることができる。
なお、これらの有機−無機複合層および有機樹脂層については、公知のものを使用することができ、その構成材料および形成方法等については、例えば、それぞれ、特開２０１４−１４８０８１号公報のオーバーコート層、特開２００５−３２４４０６号公報に記載の有機樹脂層の構成材料および形成方法等と同様のものとすることができる。
【００４４】
上記オーバーコート層の厚みとしては、例えば、透明無機材料層に発生したピンホールを安定的に被覆可能なものであればよい。
上記厚みは、オーバーコート層の構成材料によっても異なるものであるが、例えば、０．０５μｍ〜１０μｍの範囲内とすることができる。上記厚みが上述の範囲内であることにより、例えば、透明無機材料層に発生したピンホールを安定的に被覆することができるからである。
なお、上記厚みは、オーバーコート層が積層構造である場合には、合計の厚みをいうものである。
【００４５】
上記オーバーコート層の平面視形状としては、透明無機材料層を覆うものであればよく、透明無機材料層の全面を覆う形状であることが好ましい。上記形状であることにより、例えば、透明無機材料層に発生したピンホールを安定的に被覆することができるからである。
また、上記オーバーコート層の厚み方向の形成箇所は、透明無機材料層に発生したピンホールを安定的に被覆できるものであればよく、透明無機材料層の金属層とは反対側の面を覆うものであることが好ましい。上記形成箇所であることにより、例えば、透明無機材料層に発生したピンホールを安定的に被覆することができるからである。
また、上記オーバーコート層は、通常、透明無機材料層と直接接するように形成されるものである。
【００４６】
上記オーバーコート層は、表面側透明バリア層内に２層以上の透明無機材料層を有する場合には、いずれかの透明無機材料層に対して形成されるものであればよく、全ての透明無機材料層に対して形成されるものでも、最表面側に配置される透明無機材料層に対してのみ形成されるものであってもよい。
【００４７】
（ｂ）密着層
上記密着層は、透明無機材料層と金属層との密着性の向上を行うものである。
なお、図１（ａ）は、透明無機材料層２ａがガラス等である場合であり、密着層２ｃを介して透明無機材料層２ａが金属層１に密着する例を示すものである。
また、上記密着層は、例えば、表面側透明バリア層が基材層を有する場合には、基材層および金属層間に用いられるものであってもよい。
上記密着層としては、透明無機材料層を金属層等に安定的に密着させることができるものであればよく、アクリル系樹脂等の公知の粘着剤を用いて形成された粘着剤層や、２液硬化型接着剤層、紫外線硬化型接着剤層、熱硬化型接着剤層、熱溶融型接着剤層等の公知の接着剤層を用いることができる。
また、上記密着層としては、後述する「４．その他の構成」の「（３）固定部材」の項に記載の接着層も用いることができる。
【００４８】
上記密着層の平面視形状については、透明無機材料層を金属層等に安定的に密着できる形状であればよく、例えば、透明無機材料層の全面を覆う形状とすることができる。
上記密着層の厚みについては、所望の密着性等に応じて適宜設定することができる。
【００４９】
また、密着層の形成方法については、所望の密着性を有する密着層を形成可能な方法であればよく、粘着剤等を含む塗工液を調製し、塗工液を塗布して、塗工液の塗膜を硬化する方法を挙げることができる。
硬化方法は、所望の密着性を有する密着層を形成可能なものであればよく、例えば、溶剤を乾燥する方法等を挙げることができる。また、硬化方法としては、塗膜が紫外線硬化型接着剤である場合には、塗膜に対して紫外線を照射する方法を用いることができ、塗膜が熱硬化型接着剤である場合には、塗膜に対して加熱する方法を用いることができる。
上記塗工液の塗布方法としては、公知の塗布方法を用いることができる。例えば、密着層を平面視形状がパターン状となるように形成する場合、上記塗布方法としては、インクジェット法や、グラビア印刷法等の公知の印刷法を用いることができる。
【００５０】
（３）基材層
上記表面側透明バリア層は、透明無機材料層等を支持する基材層を有するものであってもよい。透明無機材料層が無機材料膜層である場合等に、表面側透明バリア層は、透明無機材料層等を安定的に形成可能となるからである。
このような基材層としては、透明無機材料層等を安定的に形成可能なものであればよく、例えば、ガスバリア性フィルム等に用いられる樹脂製基材を用いることができる。
このような樹脂製基材については、具体的には、後述する「４．その他の構成」の「（２）支持基材」の項に記載の支持基材と同様とすることができる。
【００５１】
（４）表面側透明バリア層
上記表面側透明バリア層の平面視サイズとしては、金属層の変色により、計測対象物の歪等を目視により観察可能なものであればよく、例えば、１ｃｍ角以上とすることができる。
上記平面視サイズは、計測対象物に応じて、１ｍ角以上、１０ｍ角以上等とすることもできる。
【００５２】
上記表面側透明バリア層は、少なくとも１層の透明無機材料層を有するものであるが、必要に応じて２層以上有するものであってもよい。
ここで、上述のように、透明無機材料層同士が直接接触し、互いに密着している場合は、通常、積層構造を有する１層の透明無機材料層である。
したがって、上記透明無機材料層の含有数が２以上である場合には、厚み方向に隣接する透明無機材料層同士は、通常、透明無機材料層以外の他の層を介して密着されるものである。
このような隣接する透明無機材料層同士は、例えば、オーバーコート層または密着層等の有機材料層を介して密着されたものとすることができる。より具体的には、表面側透明バリア層は、金属層側から透明無機材料層およびオーバーコート層等の有機材料層が交互に繰り返して積層されたものを含むこともできる。
【００５３】
３．封止部
上記封止部は、上記金属層の端部を覆うものである。
上記封止部は、金属層の端部への周辺環境からの酸素等の透過を抑制するものである。
また、上記封止部は、通常、上記金属層とは別体として形成されるものである。
【００５４】
上記封止部のバリア性については、本発明の変位可視化センサの用途等に応じて適宜設定することができる。周辺環境からの酸素等の影響による金属層の変色を抑制するとの観点からは、上記バリア性は、高いことが好ましい。例えば、封止部の酸素透過率、二酸化炭素透過率、水蒸気透過率等については、上記「２．表面側透明バリア層」の項に記載の周辺環境からの影響を抑制する観点から好ましいとされる、表面側透明バリア層の酸素透過率、二酸化炭素透過率および水蒸気透過率等と同様とすることができる。
なお、封止部のバリア性は、断面視上、金属層の端部または表面に対して直交する方向のバリア性をいうものである。
【００５５】
上記封止部としては、金属層の端部を少なくとも覆うことができるものであればよく、既に説明した図１および図４、ならびに図５（ａ）に例示するような、金属層１について、その端部のみを覆うもの、既に説明した図３、および図５（ｂ）〜（ｃ）に例示するように、金属層１についてその端部および一方の面の一部を覆うもの等とすることができる。
なお、図５（ｂ）および図５（ｃ）は、封止部３が、金属層１の他方の面の一部を覆う例を示すものである。また、図５（ｃ）は、封止部３が、表面側透明バリア層２の金属層１とは反対側の面の一部を覆う例を示すものである。
【００５６】
上記封止部の構成材料としては、所望のバリア性を有する封止部を形成可能なものであればよく、例えば、樹脂製封止剤、無機材料、金属材料等を挙げることができる。
本発明においては、加工等が容易であるとの観点から、上記構成材料が、樹脂製封止剤、無機材料を含むことが好ましく、なかでも樹脂製封止剤を含むことが好ましく、特に後述するようなエポキシ系樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂等の硬化性樹脂を含むことが好ましい。
なお、上記封止部は、１種類の材料のみを含むものであってもよく、２種類以上の材料を含むものであってもよい。
また、樹脂製封止材中にセラミックス等の添加材が添加されていてもよい。
例えば、上記封止部は、樹脂製封止剤を用いて形成され、金属層の端部と直接接するように形成された樹脂製封止部と、さらに樹脂製封止部の金属層とは反対側の表面を覆う金属材料を用いて形成された金属材料製封止部と、を有するものであってもよい。
【００５７】
上記樹脂製封止剤としては、所望のバリア性を有する封止部を形成可能なものであればよく、公知の硬化性樹脂の硬化物を用いることができる。
上記硬化性樹脂については、例えば、熱硬化樹脂や、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂、電子ビーム（ＥＢ）硬化樹脂等の光硬化性樹脂を挙げることができる。
また、上記硬化性樹脂としては、より具体的には、エポキシ系樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂等が挙げられる。
上記封止部が、樹脂製封止剤を用いて形成された樹脂製封止部である場合、樹脂製封止部の厚みとしては、要求されるバリア性に応じて適宜設定することができ、樹脂製封止剤の種類等によっても異なるものである。
上記厚みとしては、具体的には、１５μｍ〜２００μｍの範囲内とすることができ、好ましくは、１５μｍ〜８０μｍの範囲内とすることができる。
また、上記樹脂製封止部の形成方法としては、硬化性樹脂を含む硬化性組成物を調製し、硬化性組成物を塗布し、塗膜を硬化する方法を用いることができる。
硬化方法は、硬化性樹脂が熱硬化樹脂である場合には、塗膜に対して加熱する方法を用いることができ、硬化性樹脂が紫外線硬化性樹脂である場合には、塗膜に対して紫外線を照射する方法を用いることができる。
上記硬化性樹脂を含む硬化性組成物の塗布方法としては、上記「２．表面側透明バリア層」の「（２）有機材料層」の「（ｂ）密着層」の項に記載の方法と同様とすることができる。
なお、上記樹脂製封止剤部は、他の部材と一体で形成されたものであってもよい。例えば、上記樹脂製封止部は、既に説明した図１（ａ）に例示するように、密着層２ｃと一体で形成されたもの、図５（ｄ）に示すように、表面側透明バリア層２に含まれるオーバーコート層２ｂと一体で形成されたものであってもよい。
また、上記厚みは、封止部が金属層について端部のみを覆うものである場合には、図５（ａ）中のａ１をいうものであり、金属層について端部および金属層の一方の面または他方の面も覆う場合には、図５（ｂ）中のａ１およびａ２の両者を指すものである。
【００５８】
上記無機材料を用いて形成された無機材料製封止部としては、所望のバリア性を有するものであればよく、例えば、ガラスを用いて形成されたガラス製封止部および無機材料膜を用いて形成された無機材料膜封止部等を用いることができる。
なお、ガラス、および無機材料膜を構成する無機材料等については、所望のバリア性を有する封止部を形成可能なものであればよく、例えば、上記「２．表面側透明バリア層」の項に記載のガラスおよび透明無機材料を用いることができる。
また、ガラス製封止部および無機材料膜封止部の厚みおよび形成方法としては、要求されるバリア性に応じて適宜設定することができ、例えば、上記「２．表面側透明バリア層」の項に記載の透明無機材料層の厚みおよび形成方法と同様とすることができる。
なお、上記無機材料製封止部は、他の部材と一体で形成されたものであってもよい。例えば、上記無機材料製封止部は、図５（ｅ）に例示するように、表面側透明バリア層２に含まれる透明無機材料層２ａと一体で形成されたものであってもよい。
また、上記無機材料製封止部は、透明無機材料層とは別体で形成される場合には、無機材料製封止部を構成する無機材料は、透明無機材料層を構成する透明無機材料と同一材料であってもよく、異なる材料であってもよい。
【００５９】
上記金属材料としては、所望のバリア性を有する封止部を形成可能なものであればよく、例えば、ステンレス等の耐腐食性に優れた金属材料を用いることができる。
上記封止部が、金属材料を用いて形成された金属材料製封止部である場合、金属材料製封止部の厚みについては、要求されるバリア性に応じて適宜設定することができるものであるが、例えば、０．２ｍｍ〜５ｍｍの範囲内とすることができ、好ましくは０．２μｍ〜２ｍｍの範囲内とすることができる。
上記金属材料製封止部の形成方法としては、例えば、断面視形状が金属層側に開口を有するコの字型形状、または、側面および表面側透明バリア層側表面を覆うＬ字型形状であり、平面視形状が金属層の外周を覆う枠形状である金属材料製の枠形状部材を公知の金属加工法により成形し、この枠形状部材を例えば、粘着剤等を用いて金属層の端部に固定する方法等を挙げることができる。また、上記形成方法としては、枠形状部材の金属層の一方の面等を覆う部位を貫通するリベット等を用いてかしめ加工して固定する方法等も用いることができる。
【００６０】
なお、上記封止部については、金属層とは別体として形成されるもの以外の態様として、本発明の変位可視化センサが大面積である場合には、金属層自体の外周領域を封止部として用いるものであってもよい。
例えば、端部が露出する金属層の端部から中心方向に２ｃｍ以上の幅を封止部として用いるものであってもよい。
【００６１】
４．その他の構成
本発明の変位可視化センサは、金属層、表面側透明バリア層および封止部を有するものであるが、必要に応じてその他の構成を有するものであってもよい。
このようなその他の構成としては、例えば、既に説明した図１（ａ）に例示するように、金属層１の他方の面に配置された計測対象側バリア層６、既に説明した図１（ｂ）に例示するように、金属層１の他方の面に配置され、金属層１、表面側透明バリア層２および封止部３を支持する支持基材４、既に説明した図１（ａ）および（ｂ）に例示するように、本発明の変位可視化センサ１０を計測対象物に固定する固定部材５、図６に例示するように、上記金属層１の他方の面に配置された着色層８等を挙げることができる。
なお、上記その他の構成は、２種類以上を兼ねるものであってもよい。
例えば、図１（ａ）では変位可視化センサ１０が計測対象側バリア層６を有する例を示すものであるが、図１（ａ）における計測対象側バリア層６は、例えば、支持基材、着色層等として使用されるものであってもよい。
また、図１（ｂ）では、変位可視化センサ１０が支持基材４を有する例を示すものであるが、図１（ｂ）における支持基材４は、例えば、着色層、計測対象側バリア層として用いられるものであってもよい。
【００６２】
（１）計測対象側バリア層
上記計測対象側バリア層は、金属層の他方の面に配置されるものである。
また、上記計測対象側バリア層は、酸素等へのバリア性を有するものである。
本発明においては、計測対象側バリア層を有することにより、本発明の変位可視化センサは、例えば、計測対象物から放出される水分等の影響による金属層の変色を抑制できる。
また、本発明の変位可視化センサは、図７（ａ）および（ｂ）に例示するように、金属層の他方の面の全面が計測対象物に密着しない状態で、計測対象物に固定されて歪の検出を行う場合でも、金属層１の計測対象物２０側からの酸素等の侵入による金属層１の変色を抑制できる。
さらに、上記計測対象側バリア層のバリア性を調整することで、本発明の変位可視化センサは、計測対象物から放出される水分、その他の物質の検出が可能なものとすることが容易となる。
なお、図７（ａ）は、本発明の変位可視化センサの概略平面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【００６３】
上記計測対象側バリア層のバリア性については、本発明の変位可視化センサの用途等に応じて適宜設定することができる。具体的には、計測対象物および周辺環境からの影響を抑制するとの観点からは、バリア性は高いことが好ましく、例えば、上記計測対象側バリア層の酸素透過率、二酸化炭素透過率、水蒸気透過率等については、上記「２．表面側透明バリア層」の項に記載の周辺環境からの影響を抑制する観点から好ましいとされる酸素透過率、二酸化炭素透過率および水蒸気透過率等と同様とすることができる。
また、必要に応じて、計測対象側バリア層は、例えば、計測対象物から放出される水分も検出可能とする観点から、酸素および二酸化炭素のバリア性が高く、水分のバリア性が低いものとすることができ、この場合には、上記計測対象側バリア層の水蒸気透過率等については、上記「２．表面側透明バリア層」の項に記載の周辺環境の湿度が非常に高くなった状態を検出可能なセンサとする観点から好ましいとされる水蒸気透過率と同等とすることができる。
さらに、計測対象物から放出される二酸化炭素も検出可能とする観点から、酸素および水分のバリア性が高く、二酸化炭素のバリア性が低いもの等とすることもできる。
なお、このようなバリア性の調整は、構成材料の選択、膜質（緻密性、密着性）、膜厚の調整等により行うことができる。
【００６４】
上記計測対象側バリア層は、遮光性を有するものであってもよいが、金属層として、酸化することで透明となるものを使用し、本発明の変位可視化センサを計測対象物に固定した状態で、計測対象箇所の状態を目視で確認可能とする観点からは、透明性を有することが好ましい。
なお、透明性を有する計測対象側バリア層の全光線透過率については、上記「２．表面側透明バリア層」の項に記載の全光線透過率と同様とすることができる。
【００６５】
上記計測対象側バリア層としては、所望のバリア性を有するものであれば特に限定されるものではないが、計測対象物および周辺環境からの影響を抑制するとの観点からは、上記計測対象側バリア層が、無機材料層を含むものであることが好ましく、特に、無機材料層および無機材料層の一方の面を覆うオーバーコート層を有する積層体であることが好ましい。
このような無機材料層およびオーバーコート層については、具体的には、それぞれ上記「２．表面側透明バリア層」に記載の透明無機材料層およびオーバーコート層を用いることができる。
また、上記計測対象側バリア層としては、有機材料層も用いることができる。なお、このような有機材料層としては、上記「３．封止部」の項に記載の樹脂製封止部と同様の材料および厚みのものとすることができる。
【００６６】
上記計測対象側バリア層の平面視形状としては、金属層の他方の面を覆うものであればよいが、金属層の他方の面の露出表面の全面、すなわち、金属層の他方の面のうち封止部により覆われていない部位の全面を覆う形状であることが好ましく、なかでも、金属層の他方の面の全面を覆う形状であることが好ましい。上記形状であることにより、金属層の他方の面への水分や酸素等の侵入を効果的に防ぐことができる。その結果、本発明の変位可視化センサは、計測対象物から放出される水分や周辺環境の酸素等の影響による金属層の変色が効果的に抑制されたものとなるからである。
なお、既に説明した図１（ａ）は、上記平面視形状が、金属層１の他方の面の全面を覆う形状である例を示すものである。
また、既に説明した図５（ｃ）は、上記平面視形状が、金属層１の他方の面の露出表面の全面を覆う形状である例を示すものである。
【００６７】
上記計測対象側バリア層の厚み方向の形成箇所としては、金属層の他方の面側であればよい。
また、上記形成箇所は、計測対象側バリア層が金属層に密着するもの、すなわち、固定部材等、計測対象側バリア層よりも計測対象物側に配置された部材から計測対象物の歪を金属層に伝達する箇所であってもよい。
例えば、既に説明した図１（ａ）および図５（ｃ）に示すように、上記形成箇所は、計測対象側バリア層６が金属層１に直接接し、金属層に密着する箇所、図８に例示するように、支持基材４や、粘着層等の他の層を介して金属層に密着する箇所等とすることができる。
なお、図８は、本発明の変位可視化センサの概略断面図である。
【００６８】
（２）支持基材
上記支持基材は、金属層の他方の面に配置され、金属層、表面側透明バリア層および封止部を支持するものである。
上記支持基材を有することにより、本発明の変位可視化センサは、金属層および透明無機材料層の形成およびその使用が容易なものなる。
【００６９】
上記支持基材は、遮光性を有するものであってもよいが、金属層として、酸化することで透明となるものを使用し、本発明の変位可視化センサを計測対象物に固定した状態で、計測対象箇所の状態を目視で確認可能とする観点からは、透明性を有することが好ましい。
なお、透明性を有する支持基材の全光線透過率については、上記「２．表面側透明バリア層」の項に記載の全光線透過率と同様とすることができる。
【００７０】
上記支持基材の構成材料としては、上記金属層等を安定的に支持可能なものであればよく、ポリアミド、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、フッ素樹脂、ポリエーテルニトリル、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリシクロヘキセン、ポリノルボルネン系樹脂、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリアリレート、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリイミド等の樹脂材料を挙げることができる。
【００７１】
上記構成材料が樹脂材料である場合、支持基材としての樹脂基材は、延伸処理がされた一軸延伸樹脂基材、二軸延伸樹脂基材であってもよい。
【００７２】
本発明においては、計測対象物の周辺環境温度変化により生じる一時的な歪の発生による影響を抑制するとの観点からは、上記支持基材は、計測対象物および透明無機材料層と線膨張係数の差が小さいことが好ましい。また、支持基材は、表面側透明バリア層に含まれる透明無機材料層との線膨張係数の差が小さいことが好ましい。
例えば、計測対象物が、線膨張係数が１２ｐｐｍ／Ｋ程度のもの、例えば、コンクリート等である場合、支持基材と計測対象物との間の線膨張係数の差を小さくするとの観点からは、例えば、支持基材と使用される樹脂基材としては、二軸延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルム、二軸延伸されたポリエチレンナフタレートフィルム、二軸延伸されたポリイミドフィルム等であることが好ましい。
また、透明無機材料層の線膨張係数が１０ｐｐｍ／Ｋ程度以下であり、支持基材が樹脂基材である場合、支持基材と透明無機材料層との間の線膨張係数の差を小さくするとの観点から選択される樹脂基材は、例えば、上述の計測対象物が、線膨張係数が１２ｐｐｍ／Ｋ程度のものである場合に支持基材と計測対象物との間の線膨張係数の差を小さくするとの観点から選択される樹脂基材と同様とすることができる。
【００７３】
上記支持基材の厚みとしては、上記金属層等を安定的に支持可能なものであればよく、本発明の変位可視化センサのサイズ等によっても異なるものであるが、例えば、６０μｍ〜２ｍｍの範囲内とすることができる。上記厚みが上述の範囲内であることにより、支持基材は、フレキシブル性を有するものとなるからである。したがって、本発明の変位可視化センサが大面積である場合等にはロール状に巻いた状態で保管することが可能となるからである。
【００７４】
上記支持基材の平面視形状としては、金属層の他方の面を覆い、金属層等を安定的に支持可能なものであればよく、例えば、金属層の他方の面の全面を覆うものとすることができる。
なお、既に説明した図１（ｂ）は、支持基材４が、金属層１の他方の面の全面を覆うものであり、金属層１と平面視上形状が同一である例を示すものである。
上記平面視形状は、図９に例示するように、支持基材４が金属層１よりも平面視形状が大きいものであってもよい。
なお、図９（ａ）は、本発明の変位可視化センサの概略平面図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【００７５】
上記支持基材の厚み方向の形成箇所としては、金属層の他方の面側であればよい。
上記形成箇所としては、具体的には、上記「（１）計測対象側バリア層」の項に記載の内容と同様とすることができる。
【００７６】
上記支持基材の形成方法としては、所望の厚みおよび平面視形状の支持基材を得ることができる方法であればよく、例えば、予め所定の厚みの板状に成形された板状基材を準備し、この板状基材を所望の平面視形状となるように切断加工する方法を挙げることができる。
【００７７】
（３）固定部材
上記固定部材は、本発明の変位可視化センサを計測対象物に固定するものである。
このような固定部材としては、金属層に密着し、計測対象物の歪を金属層を介して透明無機材料層に伝達可能なものであればよく、例えば、既に説明した図１に示す接着層５ａを用いることができる。
【００７８】
上記接着層としては、変位可視化センサを計測対象物に固定することができるものであれば特に限定されるものではない。
接着層の材料や形成方法等については、例えば、特開２０１５−０７８６００号公報、特開２０１５−０８７３５１号公報、特開２０１５−２０９６３３号公報等に記載されたものと同様とすることができるため、ここでの記載は省略する。
【００７９】
上記接着層の平面視上の形成箇所としては、計測対象物の歪を金属層を介して透明無機材料層に伝達可能なものであればよく、例えば、既に説明した図１および図１０（ａ）〜（ｂ）に示すように、金属層１の全面を覆う形状とすることができる。
上記形成箇所は、図１０（ｃ）〜（ｄ）および図１０（ｅ）〜（ｆ）に例示するように、断面視上、計測対象物の歪方向に離間して配置され、離間した接着層５ａ間が透明無機材料層２ａと平面視上重なるものとすることができる。
なお、図１０（ｃ）〜（ｄ）は、上記形成箇所が、金属層１に密着して配置された支持基材４の対向する２辺である例を示すものである。図１０（ｅ）〜（ｆ）は、上記形成箇所が、金属層１に密着して配置された支持基材４の外周に沿った箇所であり、接着層５ａの平面視形状が枠形状である例を示すものである。
なお、図１０（ａ）、（ｃ）および（ｅ）は、本発明の変位可視化センサの概略平面図であり、図１０（ｂ）、（ｄ）および（ｆ）は、図１０（ａ）のＣ−Ｃ線断面図、図１０（ｃ）のＤ−Ｄ線断面図および図１０（ｅ）のＥ−Ｅ線断面図である。
また、図１０（ａ）、（ｃ）および（ｅ）では、説明の容易のため、金属層、表面側透明バリア層および封止部の記載を省略するものである。
【００８０】
上記接着層は、その形成箇所が平面視上金属層の全面と重なる場合、遮光性を有するものであってもよいが、金属層として、酸化することで透明となるものを使用し、本発明の変位可視化センサを計測対象物に固定した状態で、計測対象箇所の状態を目視で確認可能とする観点からは、透明性を有することが好ましい。
なお、透明性を有する接着層の全光線透過率については、上記「２．表面側透明バリア層」の項に記載の全光線透過率と同様とすることができる。
また、ここでの接着層の全光線透過率については、本発明の変位可視化センサを計測対象物に固定した状態での接着層の全光線透過率とすることができる。
【００８１】
上記固定部材は、図１１（ａ）〜（ｂ）に例示される金属部材５ｂ、図１１（ｃ）〜（ｄ）に例示するような杭等の棒状部材５ｃも用いることができる。
固定部材としての金属部材および棒状部材の平面視上の形成箇所は、金属層に密着された固定部材間が、透明無機材料層と平面視上重なるものとすることができる。
なお、図１１（ａ）および（ｃ）は、本発明の変位可視化センサを計測対象物に固定している状態を示す概略平面図であり、図１１（ｂ）および（ｄ）は、図１１（ａ）のＦ−Ｆ線断面図および（ｃ）のＧ−Ｇ線断面図である。
また、図１１（ａ）〜（ｂ）は、２個の金属部材５ｂが、金属層１を支持する支持基材４に接続されるものであり、２個の金属部材５ｂ間が透明無機材料層２ａと平面視上重なる例を示すものである。また、図１１（ａ）〜（ｂ）は、変位可視化センサ１０が、支持基材４の計測対象物側表面が計測対象物２０から所定の高さで離間した状態、すなわち、支持基材４の計測対象物側表面の全面が計測対象物により封止されていない状態で固定される例を示すものである。
さらに、図１１（ｃ）〜（ｄ）は、４本の棒状部材５ｃが、金属層１を支持する支持基材４の四方の角部に支持基材４を貫通するように配置されるものであり、４本の棒状部材のうち対角線上に配置された棒状部材５ｃ間が透明無機材料層２ａと平面視上重なる例を示すものである。また、図１１（ｃ）〜（ｄ）は、変位可視化センサ１０が、支持基材４の計測対象物側表面が計測対象物２０表面に接した状態、すなわち、支持基材４の計測対象物側表面の全面が計測対象物２０により封止された状態で固定される例を示すものである。
【００８２】
また、上記固定部材として、次のような固定部材を用いてもよい。
すなわち、図１２に示すように、固定部材として、第１基板５ｄ１および第２基板５ｄ２を有するものとすることができる。
なお、図１２（ａ）は、本発明の変位可視化センサを計測対象物に固定している状態を示す概略平面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＨ−Ｈ線断面である。
【００８３】
上記固定部材として上述した第１基板および第２基板を有する場合、本発明の変位可視化センサは、さらに次のような固定部材を有することにより、計測対象物に固定することができる。
すなわち、図１２に示すように、第１基板５ｄ１および第２基板５ｄ２は、第１基板５ｄ１および第２基板５ｄ２間が、透明無機材料層２ａと平面視上重なるように、離間して配置された状態で、金属層１に対して密着され、その上で、第１基板５ｄ１の四方を、杭５ｅを用いて計測対象物２０に固定し、第２基板５ｄ２の四方のうち、隣接する二方を第１基板５ｄ１と収縮部材５ｆにより連結させ、その他の隣接する二方をワイヤー５ｇにより計測対象物２０に固定することができる。このとき、計測対象物２０に第２基板５ｄ２を固定するワイヤー５ｇは、ワイヤー５ｇの長さ調整を行うことが可能なターンバックル５ｈを有することが好ましい。
また、第２基板５ｄ２は、第２基板５ｄ２上に形成された金属層１等を支持し、例えば、計測対象物２０からの高さを第１基板５ｄ１と揃えることが可能な支持部５ｉを有するものとすることができる。
なお、支持部５ｉは、計測対象物２０側に車輪５ｊが備え付けられていてもよい。
【００８４】
第１基板および第２基板は、例えば、図１３に例示するように、周囲に孔部５ｋを有するものであってもよい。この場合、図１２に示す第１基板５ｄ１および第２基板５ｄ２に用いられる杭５ｅ、ワイヤー５ｇ、収縮部材５ｆ等は、図示はしないが孔部５ｋを通して連結することができる。
なお、図１３は、本発明における固定部材を説明する概略斜視図である。
【００８５】
また、図１２に示す第１基板５ｄ１は、四方が杭５ｅにより計測対象物２０に固定されているが、必要に応じて、杭の代わりにワイヤー等を用いてもよい。
【００８６】
さらに、図１２に示す収縮部材５ｆは、計測対象物に変位が生じた際に、当該変位に応じて伸縮する部材を用いることが好ましく、例えば、バネや油圧ポンプ等を用いることができる。
【００８７】
（４）着色層
上記着色層は、上記金属層の他方の面に配置されるものである。
上記着色層を有することにより、例えば、金属層として酸化により透明に変色するものを使用した際に、計測対象物に生じたクラック等を着色層により強調して観察可能とすることができる。このように計測対象物の表面状態を視認容易とすることができるからである。
【００８８】
上記着色層としては、金属の変色をより容易に視認可能とするものであればよく、例えば、バインダ樹脂および着色剤を有するものを使用することができる。
上記バインダ樹脂としては、印刷層等の一般的な着色層に用いられるものと同様のものを使用することができ、具体的には、ポリカーボネート類、ポリエステル類、セルロース誘導体、ノルボルネン系樹脂、ポリ塩化ビニル類、ポリ酢酸ビニル類、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリプロピレン系類、ポリエチレン系類、スチレン系類等の樹脂を用いることができる。
上記着色剤としては、印刷層等の一般的な着色層に用いられるものを使用でき、無機顔料および有機顔料等の顔料、酸性染料、直接染料、分散染料、油溶性染料、含金属油溶性染料、および昇華性色素等の染料等を挙げることができる。
【００８９】
上記着色層の平面視形状としては、金属層の他方の面を覆う形状であればよく、金属層の他方の面の一部を覆う形状であってもよく、金属層の他方の面の全面を覆うものであってもよい。
【００９０】
上記着色層の厚み方向の形成箇所としては、金属層の他方の面側であればよい。
上記形成箇所としては、具体的には、上記「（１）計測対象側バリア層」の項に記載の内容と同様とすることができる。
【００９１】
上記着色層は、遮光性を有するものであってもよいが、金属層として、酸化することで透明となるものを使用し、本発明の変位可視化センサを計測対象物に固定した状態で、計測対象箇所の状態を目視で確認可能とする観点からは、透明性を有することが好ましい。
なお、透明性を有する着色層の全光線透過率については、上記「２．表面側透明バリア層」の項に記載の全光線透過率と同様とすることができる。
【００９２】
上記着色層の形成方法としては、所定の形成箇所に形成可能な方法であればよく、例えば、厚み方向の形成箇所が、既に説明した図６に示すように、支持基材４の金属層４側の面である場合には、支持基材４を準備し、支持基材４の金属層４が形成される側の面に、着色層を形成可能なインクを印刷法等を用いて塗布する方法を挙げることができる。
上記印刷法としては、一般的な印刷層の形成方法と同様の方法を用いることができる。上記印刷法としては、具体的には、インクジェット印刷、スクリーン印刷、オフセット印刷、グラビア印刷、フレキソ印刷等の各種印刷法を挙げることができる。
また、上記印刷法に用いられるインクとしては、一般的な印刷層の形成に用いられるものを使用でき、上記バインダ樹脂および着色剤を溶媒中に分散または溶解したものを用いることができる。
【００９３】
（５）その他
上記その他の構成としては、金属層および支持基材、支持基材および計測対象側バリア層、支持基材および固定部材等の各構成間を接着する層間接着層を有するものであってもよい。
上記層間接着層としては、上記各構成間を接着可能なものであればよく、例えば、上記「２．表面側透明バリア層」の「（２）有機材料層」の「（ｂ）密着層」の項に記載の内容と同様とすることができる。
【００９４】
５．変位可視化センサ
本発明の変位可視化センサは、さらに他のセンサを有するものであってもよい。
【００９５】
ここで、他のセンサとしては、本発明の変位可視化センサと同時に使用可能なものであればよく、例えば、変位可視化センサ、水分センサ、酸素センサ等の公知のセンサを挙げることができる。
【００９６】
また、上記他のセンサとしては、本発明の変位可視化センサを用いるものであってもよい。
ここで、他のセンサとして本発明の変位可視化センサを用いるとは、既に説明した図９（ａ）〜（ｂ）に例示するように、２以上の本発明の変位可視化センサ同士が互いに接続されたものとすることができる。
なお、他のセンサとして本発明の変位可視化センサを用いる場合には、それぞれの本発明の変位可視化センサの検出感度は同一であっても、異なるものであってもよい。
それぞれの変位可視化センサは、例えば、小さい歪を検出するもの、中程度の歪を検出するもの、大きい歪を検出するもの等とすることができる。なお、検出感度の調整方法としては、例えば、透明無機材料層を構成する透明無機材料を選択する方法を挙げることができる。
また、それぞれの変位可視化センサは、図９（ｂ）に例示するように異なる層構成を有するものであってもよい。
【００９７】
他のセンサの固定方法としては、例えば、本発明の変位可視化センサが支持基材を有する場合には、支持基材上に固定する方法を用いることができる。
上記固定方法は、他のセンサが本発明の変位可視化センサである場合には、既に説明した図９に示すように、支持基材を共有するものとすることができる。なお、既に説明した図９は、本発明の変位可視化センサ１０Ａおよび１０Ｂが支持基材４を共有する例を示すものである。
【００９８】
本発明の変位可視化センサの製造方法としては、上記各構成同士を安定的に積層可能な方法であればよい。
上記製造方法としては、例えば、既に説明した図１（ａ）のように、変位可視化センサ１０が、透明無機材料層２ａがガラスであり、計測対象側バリア層６がガラスであり、金属層が金属蒸着層である場合には、まず、計測対象側バリア層としてのガラスを準備し、このガラス上に金属層としての金属蒸着層を形成し、次いで、ガラスおよび金属蒸着層を覆うように密着層を形成可能な接着剤を塗布し、次いで、透明無機材料層としてのガラスを接着剤の塗膜上に配置して接着剤を硬化させ密着層を形成すると同時に封止部を形成する方法を挙げることができる。
また、既に説明した図１（ｂ）のように、変位可視化センサ１０が支持基材４を有し、金属層１が支持基材４上に直接形成された金属蒸着層であり、透明無機材料層２ａが金属層１の一方の面の全面に直接形成された無機材料膜層である場合には、支持基材を準備し、支持基材上に金属層として金属蒸着層を形成し、次いで、支持基材および金属層を覆うように透明無機材料層としての無機材料膜層を形成し、次いで、金属層の端部を覆うように樹脂製封止剤を塗布しこれを硬化する方法を挙げることができる。
【００９９】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【０１００】
以下に実施例を示し、本発明をさらに詳細に説明する。
【０１０１】
[実施例１]
図１（ｂ）に示す構成で、支持基材４として厚み０．４ｍｍの表面平滑な無アルカリガラス（日本電気硝子社；ＯＡ−１０Ｇ）を用意し、この支持基材上に金属層として、ＰＶＤ法でカルシウム膜を１００ｎｍ形成した。
この金属層の上に透明無機材料層として、薄膜ガラス（日本電気硝子社；Ｇ−Ｌｅａｆ  厚み３０μｍ）を設置した。そして金属層付き支持基材と薄膜ガラスとを、ＵＶ硬化型接着剤（ナガセケムテックス社；ＵＶ−ＲＥＳＩＮ  ＸＮＲ−５５７０―ｂ１）を用いて、端部封止を行い、変位可視化センサを作製した。
【０１０２】
［評価］
実施例１で得られた変位可視化センサを、固定部材であるコンクリートブロックの伸縮変化に追従可能な接着剤を用いて、固定部材であるブロックの側面に固定した。
この変位可視化センサ付きブロックに対して、屋外で、変形量がブロックの高さの２％となる荷重をブロックに対して上側から下側に向けて１０秒間隔で１０００００回負荷をかけたサンプルと、全く負荷をかけないサンプルを作製した。
荷重をかけたサンプルでは、変位可視化センサは既に説明した図２のようにその厚み方向に直交する平面方向に変形する結果、バリア層の薄膜ガラスにクラックが発生し、その部位を透過したガスにより、クラック部直下周辺のカルシウム膜が、金属色（銀色）から透明に変色した。
一方、同じ時間、荷重をかけないで保存したサンプルでは金属色（銀色）の変色はなかった。
以上の結果から、実施例１で得られた変位可視化センサはクラックセンサーとして機能することがわかった。
【０１０３】
[実施例２]
実施例１において、表面側透明バリア層として透明無機材料層である薄膜ガラスを用いる代わりに、厚さ１００μｍのＰＥＮ基材（帝人デュポンフィルム社、Ｑ６５ＨＡ）に、ＰＶＤ法によりＳｉＯ２膜５０ｎｍ／スピンコート法によりカルドポリマー膜１μｍ(新日鉄住金化学社、Ｖ−２５９ＥＨ／ＰＶＤ法によりＳｉＯ２膜５０ｎｍ／スピンコート法によりカルドポリマー膜１μｍ／ＰＶＤ法によりＳｉＯ２膜５０ｎｍを積層して得られた表面側透明バリア層、つまり、透明無機材料層として５０ｎｍＳｉＯ２膜を３層含むものを用いた他は、実施例１と同様に変位可視化センサを作製、評価を行った。
この結果、表面側透明バリア層に目視でクラックは観察されなかったが、表面側透明バリア層に含まれる透明無機材料層に生じた顕微鏡レベルで観察されるクラック直下周辺のカルシウム膜が金属色（銀色）から透明に変色していることが目視で確認された。
一方、荷重をかけないで保存したサンプルでは金属色（銀色）の変色はなかった。
以上の結果から、実施例２で得られた変位可視化センサはクラックセンサーとして機能することがわかった。
【符号の説明】
【０１０４】
１  …  金属層
２  …  表面側透明バリア層
２ａ  …  透明無機材料層
２ｂ  …  オーバーコート層
２ｃ  …  密着層
３  …  封止部
４  …  支持基材
５  …  固定部材
５ａ  …  接着層
６  …  計測対象側バリア層
１０  …  変位可視化センサ
１２  …  破損箇所
２０  …  計測対象物
【図１】
2018063138.tif 000003
【図２】
2018063138.tif 000004
【図３】
2018063138.tif 000005
【図４】
2018063138.tif 000006
【図５】
2018063138.tif 000007
【図６】
2018063138.tif 000008
【図７】
2018063138.tif 000009
【図８】
2018063138.tif 000010
【図９】
2018063138.tif 000011
【図１０】
2018063138.tif 000012
【図１１】
2018063138.tif 000013
【図１２】
2018063138.tif 000014
【図１３】
2018063138.tif 000015