(57)【要約】【課題】本発明は、把持部のエッジでフレキシブルワークが損傷することを防止できる処理装置を提供することを課題とする。【解決手段】本発明に係る処理装置は、検査対象又は加工対象である板状のフレキシブルワークの外縁を把持する複数の把持部と、前記各把持部を支持し、支持する把持部に対して１自由度以上の平行移動機構又は首振り機構を有する支持部とを備えていることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象又は加工対象である板状のフレキシブルワークの外縁を把持する複数の把持部と、
前記各把持部を支持し、支持する把持部に対して１自由度以上の平行移動機構又は首振り機構を有する支持部と
を備えていることを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記支持部が前記フレキシブルワークを法線方向に平行移動させる平行移動機構を有する請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記平行移動機構が１自由度の運動機構である請求項２に記載の処理装置。
【請求項４】
前記支持部が前記フレキシブルワークをその表面と平行な軸中心に旋回させる首振り機構を有する請求項１に記載の処理装置。
【請求項５】
前記首振り機構が２自由度の運動機構である請求項４に記載の処理装置。
【請求項６】
前記支持部が支持する把持部を初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の処理装置。
【請求項７】
前記フレキシブルワークの表面に当接するよう移動可能に構成される検査ヘッド又は加工ヘッドをさらに備える請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
方形板状又は帯板状のフレキシブルワークの外縁を把持して検査又は加工する処理装置が用いられている。このような処理装置としては、例えばフレキシブルプリント基板の検査装置や穿孔装置等が挙げられる（例えば特開２０００−２０２７９９号公報、特開２００６−３３２４２２号公報）。
【０００３】
このような処理装置において、検査ヘッド又は加工ヘッドがフレキシブルワークに当接する位置が、フレキシブルワークの外縁を把持する位置からフレキシブルワークの表面の法線方向に位置ずれする場合がある。このような位置ずれが起きると、フレキシブルワークが把持部のエッジに強く押し当てられて損傷するおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２０２７９９号公報
【特許文献２】特開２００６−３３２４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記不都合に鑑みて、本発明は、把持部のエッジでフレキシブルワークが損傷することを防止できる処理装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するためになされた発明は、検査対象又は加工対象である板状のフレキシブルワークの外縁を把持する複数の把持部と、前記各把持部を支持し、支持する把持部に対して１自由度以上の平行移動機構又は首振り機構を有する支持部とを備えていることを特徴とする処理装置である。
【０００７】
前記支持部が前記フレキシブルワークを法線方向に平行移動させる平行移動機構を有するとよい。
【０００８】
前記平行移動機構が１自由度の運動機構であるとよい。
【０００９】
前記支持部が前記フレキシブルワークをその表面と平行な軸中心に旋回させる首振り機構を有するとよい。
【００１０】
前記首振り機構が２自由度の運動機構であるとよい。
【００１１】
前記支持部が支持する把持部を初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有するとよい。
【００１２】
前記フレキシブルワークの表面に当接するよう移動可能に構成される検査ヘッド又は加工ヘッドをさらに備えるとよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の処理装置は、前記フレキシブルワークの外縁を把持する複数の把持部と、前記各把持部を支持する支持部とを備えており、前記支持部が、支持する把持部に対して１自由度以上の平行移動機構又は首振り機構を有している。これによって、当該処理装置は、フレキシブルワークの検査又は加工の際に、検査ヘッド又は加工ヘッドのフレキシブルワークに対する当接位置と複数の把持部によるフレキシブルワークの把持位置とのフレキシブルワークの法線方向の位置ずれを吸収し、把持部のエッジでフレキシブルワークが損傷することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態の処理装置を示す模式図である。
【図２】図１の処理装置における把持デバイスの模式的側面図である。
【図３】図１の処理装置による電気検査の一工程を示す模式図である。
【図４】図１の処理装置による電気検査の図３の次の工程を示す模式図である。
【図５】本発明の図１とは異なる実施形態の処理装置を示す模式図である。
【図６】図５の処理装置における把持デバイスの模式的側面図である。
【図７】図２及び図６とは異なる実施形態に係る把持デバイスの模式的側面図である。
【図８】図２、図６及び図７とは異なる実施形態に係る把持デバイスの模式的側面図である。
【図９】図２、図６、図７及び図８とは異なる実施形態に係る把持デバイスの模式的平面図である。
【図１０】図９の把持デバイスの模式的側面図（Ａ方向視図）である。
【図１１】図１０の把持デバイスの模式的正面図（Ｂ方向視図）である。
【図１２】図２、図６、図７、図８及び図９とは異なる実施形態に係る把持デバイスの模式的平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。
【００１６】
［第一実施形態］
図１に本発明の一実施形態に係る処理装置の構成を示す。図１の処理装置は、薄い方形板状のフレキシブルワークであるフレキシブルプリント基板Ｐの電気的特性を検査する電気検査装置である。
【００１７】
当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐを挟んで対向して配設され、フレキシブルプリント基板Ｐの表面に当接するよう移動可能な第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２と、この第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２をそれぞれ駆動する第１駆動機構３及び第２駆動機構４と、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する複数の把持デバイス５と、フレキシブルプリント基板Ｐを撮影する第１カメラ６及び第２カメラ７と、第１駆動機構３及び第２駆動機構４を制御するコントローラー８とを備える。
【００１８】
また、当該処理装置は、各構成要素を支持する不図示のフレーム等をさらに備えることができる。
【００１９】
＜フレキシブルプリント基板＞
当該処理装置により電気的特性を検査するフレキシブルプリント基板Ｐとしては、典型的には、平面視方形状の可撓性を有するシート状の基材の上に複数の機能部が形成され、最終的に各機能部を含む部分を切り出して複数の電子部品を得るものが想定される。
【００２０】
このようなフレキシブルプリント基板Ｐは、個々の機能部又は少数の機能部を含む比較的小さい領域が第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によって検査される検査対象部とされる。換言すると、フレキシブルプリント基板Ｐは、複数の検査対象部を有する。このため、フレキシブルプリント基板Ｐは、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によって場所を変えて繰り返し挟持されて、各検査対象部の電気的特性が順番に検査される。
【００２１】
＜電気検査ヘッド＞
第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２は、フレキシブルプリント基板Ｐを挟んで対向するよう配設され、複数のプローブ９と、この複数のプローブ９がそれぞれ挿入される複数のガイド孔を有するガイドプレート１０とをそれぞれ有する
【００２２】
（プローブ）
複数のプローブ９は、ガイドプレート１０に垂直、かつそれぞれの先端がガイドプレート１０から僅かに突出するよう保持される。また、複数のプローブ９は、フレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの所定の測定点に当接できるよう配置される。
【００２３】
（ガイドプレート）
ガイドプレート１０は、絶縁性を有する材料から形成され、フレキシブルプリント基板Ｐに対向し、電気検査の際にフレキシブルプリント基板Ｐと当接する平坦な当接面１１を有する。
【００２４】
また、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２は、複数のプローブ９を介してフレキシブルプリント基板Ｐの電気的特性を測定するための回路を有するものとすることが好ましい。つまり、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２は、フレキシブルプリント基板Ｐの電気的特性を測定し、測定結果を比較的少数の配線を介してコントローラー８に出力することができるような測定回路を有するとよい。
【００２５】
さらに、後で詳しく説明するように先にフレキシブルプリント基板Ｐに圧接される第１電気検査ヘッド１は、フレキシブルプリント基板Ｐの表裏面のうち導電パターンの配線幅が相対的に大きい側の面に圧接されることが好ましい。逆に言うと、当該処理装置を使用するときは、フレキシブルプリント基板Ｐを導電パターンの配線幅が大きい側が第１電気検査ヘッド１に対向するよう配置することが好ましい。
【００２６】
また、当該処理装置では、後述するように、第１電気検査ヘッド１によりフレキシブルプリント基板Ｐに張力を付与することでフレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりを除去する際に重力によってフレキシブルプリント基板Ｐが当接面１１に密着しやすいよう、第１電気検査ヘッド１が第２電気検査ヘッド２の下方に配置されることが好ましい。換言すると、当該処理装置では、フレキシブルプリント基板Ｐが略水平に保持され、第１電気検査ヘッド１がフレキシブルプリント基板Ｐに下方から圧接され、第２電気検査ヘッド２がフレキシブルプリント基板Ｐに対して上方から圧接されるものであることが好ましい。
【００２７】
＜駆動機構＞
第１駆動機構３及び第２駆動機構４は、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２の３次元の位置決めを行うことができるものであればよく、さらにフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の軸を中心に第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２の回転位置決めを行うことができるものが好ましい。なお、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向とは、複数の把持デバイス５がフレキシブルプリント基板Ｐの表面が平面状となるよう把持する理想的な状態におけるフレキシブルプリント基板Ｐの表面の法線方向を意味するものとする。
【００２８】
第１駆動機構３及び第２駆動機構４としては、多関節ロボットを用いてもよいが、コスト及び占有スペースが比較的小さい直交座標型駆動システムを採用することが好ましい。この直交座標型駆動システムとしては、フレキシブルプリント基板Ｐの平面方向に２軸の位置決めが可能な直交座標型ロボットと、この直交座標型ロボットの末端に配設される昇降デバイスと、この昇降デバイスにより昇降可能に保持され、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２をそれぞれ回転位置決め可能に保持する回転位置決めデバイスとを備える構成とすることができる。
【００２９】
また、第１駆動機構３及び第２駆動機構４は、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によりフレキシブルプリント基板Ｐを挟持する際、フレキシブルプリント基板Ｐに作用する圧接力を適正化できるよう、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向に弾性変形する緩衝部を有してもよい。
【００３０】
＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５は、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。
【００３１】
各把持デバイス５は、図２に示すように、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２と、把持部１２を支持する支持部１３とを備えている。把持デバイス５の支持部１３は、支持する把持部１２に対して１自由度の受動的な運動機構である首振り機構を有している。つまり、把持デバイス５において、把持部１２は、支持部１３によって首振り可能に支持されている。
【００３２】
（把持部）
把持部１２は、支持部１３によって支持され、一方の端部の上面でフレキシブルプリント基板Ｐに当接するクランプベース１４と、このクランプベース１４の上に可動に配設され、クランプベース１４のフレキシブルプリント基板Ｐに当接する部分に対向する面がフレキシブルプリント基板Ｐに当接してクランプベース１４との間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟み込むクランプアーム１５と、このクランプアーム１５の一方の端部とクランプベース１４とが当接又は離間するようクランプアーム１５を駆動するアクチュエーター１６とを備える構成とすることができる。つまり、アクチュエーター１６の動作により、クランプベース１４の先端部とクランプアーム１５の先端部とが圧接又は離間することで、把持部１２はフレキシブルプリント基板Ｐを把持又は解放する。
【００３３】
この把持部１２の構成、特にクランプアーム１５の駆動機構については、例えば特開２００６−２８１４３２号公報に開示されているように、アクチュエーター１６によって駆動されるカム機構等を用いて行うよう構成することができる。具体的には、クランプベース１４にカム溝が配設され、このカム溝に係合するピンがクランプアーム１５に配設されることによって、クランプベース１４に対するクランプアーム１５の相対移動が案内され、アクチュエーター１６によって駆動されるカムによってクランプアーム１５のクランプベース１４に対する相対移動が駆動される構成とすることができる。
【００３４】
（支持部）
支持部１３は、首振り機構として、支持軸１７を中心に回動可能に把持部１２のクランプベース１４を支持する構成を有する。支持軸１７は、把持部１２が把持する薄板状のフレキシブルプリント基板Ｐの側縁と平行になるよう配設される。つまり、支持部１３の首振り機構による把持部１２の首振りは、フレキシブルプリント基板Ｐの表面と、より詳しくは把持する部分の側縁と平行な支持軸１７を中心とする旋回動作である。なお、支持軸１７は、把持部１２のフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造と緩衝しない位置に配設すればよい。
【００３５】
また、支持部１３は、把持部１２を初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。支持部１３が復原機構を有することによって、把持するフレキシブルプリント基板Ｐの複数の把持デバイス５の把持部１２により把持される部分の表面を同一平面上に配置し、フレキシブルプリント基板Ｐに不必要な応力を作用させるような把持部１２の傾斜を抑制することができる。
【００３６】
この復原機構としては、図示するように、把持部１２のクランプベース１４を支持軸１７の周りに一方向に回動させるよう押圧するばね１８と、支持軸１７のばね１８と反対側に配置され、クランプベース１４に当接してばね１８の押圧力に対抗してクランプベース１４の回動を制止するストッパー１９とを有する構成とすることができる。このような復原機構は、把持部１２を初期位置から一方側にのみ移動可能とする。この把持部１２の初期位置からの移動可能方向としては、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向であって第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によりフレキシブルプリント基板Ｐを挟み込む位置の側とされ、典型的には上側とされる。
【００３７】
前記ばね１８としては、例えば圧縮ばね等を用いることができる。また、クランプベース１４のストッパー１９に当接する部分又はストッパー１９にクランプベース１４を係止する角度位置を調節可能な当接部材２０を設けてもよい。
【００３８】
＜カメラ＞
第１カメラ６及び第２カメラ７は、フレキシブルプリント基板Ｐの位置情報を取得するために、フレキシブルプリント基板Ｐの画像を撮影し、後述するコントローラー８に画像データを提供する。
【００３９】
第１カメラ６及び第２カメラ７は、当該処理装置の不図示のフレーム等に保持されてもよいが、第１駆動機構３及び第２駆動機構４によって第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２と共に少なくともフレキシブルプリント基板Ｐの平面方向に移動可能に保持されるとよい。第１カメラ６及び第２カメラ７を第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２と共に移動させることにより画像処理の範囲を限定し、必要とされるカメラの画素数及びコントローラーの演算能力が比較的小さくなるので、当該処理装置を比較的安価にできると共に、フレキシブルプリント基板Ｐの検査サイクルを短縮することができる。
【００４０】
第１カメラ６及び第２カメラ７が撮影した画像データは、コントローラー８において公知の画像処理技術によって解析され、フレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部の特徴点の座標を特定するために用いられる。具体的には、第１カメラ６及び第２カメラ７が撮影した画像データから、第１カメラ６又は第２カメラ７とフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部との相対位置、ひいてはフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部の絶対位置が特定される。
【００４１】
なお、第１カメラ６及び第２カメラ７によってフレキシブルプリント基板Ｐのディジタル画像を撮影する際、第１カメラ６及び第２カメラ７のフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置（フレキシブルプリント基板Ｐからの離間距離）を一定にすることによって、第１カメラ６及び第２カメラ７とフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部との平面方向の相対位置を比較的容易に算出することができる。
【００４２】
画像処理において抽出する特徴点は、フレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの中で予め設定される特徴的な形状の部分であってもよく、フレキシブルプリント基板Ｐに画像処理専用に設けられるマーキングであってもよい。
【００４３】
＜コントローラー＞
コントローラー８としては、例えばプログラマブルロジックコントローラー、パーソナルコンピューター等が用いられる。
【００４４】
コントローラー８は、第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐに対して平面方向に位置決めしてから法線方向に圧接するよう第１駆動機構３を制御する第１圧接制御要素と、第１電気検査ヘッド１の位置決め及び圧接後に、第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐに対して平面方向に位置決めしてから法線方向に圧接するよう第２駆動機構４を制御する第２圧接制御要素とを有する。
【００４５】
前記第１圧接制御要素及び第２圧接制御要素は、例えばパートプログラム、サブルーチン等のソフトウェアによって実現することができる。
【００４６】
（第１圧接制御要素）
第１圧接制御要素は、第１カメラ６を用いてフレキシブルプリント基板Ｐの位置情報を取得するステップ〔第１位置情報取得ステップ〕と、第１駆動機構３を用いて第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対するよう平面方向に位置決めするステップ〔第１平面方向位置決めステップ〕と、第１駆動機構３を用いて第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向に移動させてフレキシブルプリント基板Ｐに圧接するステップ〔第１圧接ステップ〕とを順番に行うものである。
【００４７】
〔第１位置情報取得ステップ〕
第１圧接制御要素は、第１位置情報取得ステップにおいて、第１カメラ６によりフレキシブルプリント基板Ｐを撮影し、撮影した画像データを画像処理することにより、第１カメラ６に対するフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部の平面方向の相対位置を特定する。これにより、第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対させるために必要な平面方向の移動量を算出する。
【００４８】
〔第１平面方向位置決めステップ〕
第１圧接制御要素は、第１平面方向位置決めステップにおいて、第１駆動機構３により、第１位置情報取得ステップで算出した必要な移動量だけ第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの平面方向に移動させることで、第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対させる。
【００４９】
〔第１圧接ステップ〕
第１圧接制御要素は、第１圧接ステップにおいて、第１電気検査ヘッド１の当接面１１をフレキシブルプリント基板Ｐに圧接することにより、第１電気検査ヘッド１の複数のプローブ９をフレキシブルプリント基板Ｐの一方の面の複数の測定点に圧接する。
【００５０】
また、第１圧接ステップでは、図３に示すように、把持デバイス５によるフレキシブルプリント基板Ｐの外縁の各把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりも第２電気検査ヘッド２側に第１電気検査ヘッド１の当接面１１を突出させる。
【００５１】
このように第１電気検査ヘッド１の当接面１１を基準平面よりも突出させることによって、フレキシブルプリント基板Ｐに張力が作用することで、フレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部が第１電気検査ヘッド１の当接面１１に密着する。つまり、第１圧接制御要素は、第１電気検査ヘッド１の当接面１１を基準平面よりも突出させることにより、フレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部を当接面１１に沿う平板状に引き延ばすことで反りやうねりを除去することができる。
【００５２】
この第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量の下限としては、フレキシブルプリント基板Ｐの対向する把持デバイス５による把持位置の平均間隔の０．１％が好ましく、０．２％がより好ましい。一方、第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量の上限としては、フレキシブルプリント基板Ｐの対向する把持デバイス５による把持位置の平均間隔の１％が好ましく、０．５％がより好ましい。第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量が前記下限に満たない場合、フレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりを十分に除去できないおそれがある。逆に、第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量が前記上限を超える場合、フレキシブルプリント基板Ｐに過剰な応力が作用してフレキシブルプリント基板Ｐを損傷するおそれがある。なお、「把持位置の平均間隔」とは、対向する把持デバイス５による把持領域の間隔の極小値の平均を意味し、把持デバイス５による把持領域の間隔が極小となる部分が連続する場合には間隔の極小値を間隔が極小となる部分の長さで加重平均した値（例えばフレキシブルプリント基板Ｐを複数対の把持デバイス５で挟み込んで保持する場合各対の把持デバイス５の間隔を、把持デバイス５の有効幅で重み付けした平均値）を意味するものとする。
【００５３】
また、この第１圧接ステップでは、第１電気検査ヘッド１の圧接によりフレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりを除去する際に、フレキシブルプリント基板Ｐが僅かに位置ずれするおそれがある。このため、この第１圧接ステップにおいては、第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が大きい側に圧接することが好ましい。
【００５４】
（第２圧接制御要素）
第２圧接制御要素は、第２カメラ７を用いてフレキシブルプリント基板Ｐの位置情報を取得するステップ〔第２位置情報取得ステップ〕と、第２駆動機構４を用いて第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対するよう平面方向に位置決めするステップ〔第２平面方向位置決めステップ〕と、第２駆動機構４を用いて第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向に移動させてフレキシブルプリント基板Ｐに圧接することで、第１電気検査ヘッド１との間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟持するステップ〔第２圧接ステップ〕とを順番に行うものである。
【００５５】
〔第２位置情報取得ステップ〕
第２圧接制御要素は、第２位置情報取得ステップにおいて、第２カメラ７によりフレキシブルプリント基板Ｐを撮影し、撮影した画像データを画像処理することにより、第２カメラ７に対するフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部の平面方向の相対位置を特定する。これにより、第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対させるために必要な平面方向の移動量を算出する。
【００５６】
〔第２平面方向位置決めステップ〕
第２圧接制御要素は、第２平面方向位置決めステップにおいて、第２駆動機構４により、第２位置情報取得ステップで算出した必要な移動量だけ第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの平面方向に移動させることで、第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対させる。
【００５７】
〔第２圧接ステップ〕
第２圧接制御要素は、第２圧接ステップにおいて、図４に示すように、第２駆動機構４により第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐに圧接し、第１電気検査ヘッド１の当接面１１と第２電気検査ヘッド２の当接面１１との間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟持する。
【００５８】
また、この第２圧接ステップは、第１圧接ステップにおいてフレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりが除去された後に行われるため、フレキシブルプリント基板Ｐが殆ど位置ずれしない。このため、この第２圧接ステップにおいては、第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が小さい側の面に圧接することが好ましい。
【００５９】
つまり、フレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりに起因してプローブ９の当接位置が僅かにずれるおそれがある第１圧接ステップでは、フレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が大きい側の面にプローブ９を当接させることで、プローブ９の当接位置のずれによる測定不良を抑制することができる。一方、フレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりに起因するプローブ９の当接位置のずれが生じ難い第２圧接ステップでは、フレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が小さい側の面にプローブ９を当接させることで、測定不良を防止することができる。
【００６０】
＜利点＞
当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐを第１電気検査ヘッド１により法線方向に押圧しても、把持部１２が回動して、把持部１２のエッジによりフレキシブルプリント基板Ｐに不必要な曲げ応力や剪断応力が作用することを防止できる。つまり、当該処理装置は、把持部１２のエッジでフレキシブルプリント基板Ｐが損傷することを防止することができる。
【００６１】
このため、当該処理装置は、把持デバイス５の把持部１２によるフレキシブルプリント基板Ｐの外縁の把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりも第２電気検査ヘッド２側に第１電気検査ヘッド１の当接面１１を突出させることにより、フレキシブルプリント基板Ｐを損傷することなく張力を作用させて反りやうねりを除去することができる。これにより、当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐに対して第２電気検査ヘッド２を精度よく圧接して、フレキシブルプリント基板Ｐの電気的特性を比較的正確に検査することができる。
【００６２】
［第二実施形態］
図５に本発明の別の実施形態に係る処理装置の構成を示す。図５の処理装置は、長尺帯板状のフレキシブルワークであるフレキシブルプリント基板Ｐａに孔開け加工（穿孔）を行う加工装置である。
【００６３】
当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐａを挟んで対向して配設され、フレキシブルプリント基板Ｐａの表面に当接するよう移動可能な第１加工ヘッドであるダイ２１及び第２加工ヘッドであるパンチ２２と、このダイ２１及びパンチ２２をそれぞれ駆動する第１駆動機構３及び第２駆動機構４と、フレキシブルプリント基板Ｐａの外縁を把持する複数の把持デバイス５ａと、フレキシブルプリント基板Ｐａを撮影する第１カメラ６及び第２カメラ７と、第１駆動機構３及び第２駆動機構４を制御するコントローラー８とを備える。
【００６４】
図５の処理装置における第１駆動機構３、第２駆動機構４、第１カメラ６、第２カメラ７及びコントローラー８は、図１の処理装置における第１駆動機構３、第２駆動機構４、第１カメラ６、第２カメラ７及びコントローラー８と同様とすることができる。このため、図５の処理装置について、図１の処理装置と重複する説明は省略する。
【００６５】
＜フレキシブルプリント基板＞
当該処理装置により孔が開けられるフレキシブルプリント基板Ｐａは、リール状に巻き取られて提供され、巻き解かれて長手方向一端側から順に把持デバイス５ａに保持された状態でダイ２１及びパンチ２２により貫通孔が形成され、リール状に巻き取られる。
【００６６】
＜加工ヘッド＞
ダイ２１及びパンチ２２は、フレキシブルプリント基板Ｐａを挟んで対向するよう配設され、パンチ２２の断面形状がダイ２１に形成されるパンチ孔２３と合致するよう形成される。当該処理装置は、ダイ２１上にフレキシブルプリント基板Ｐａを配置した状態で、パンチ孔２３にパンチ２２を挿入するようにしてフレキシブルプリント基板Ｐａに孔を形成する。
【００６７】
＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ａは、フレキシブルプリント基板Ｐａの外縁（両側縁）を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐａの法線方向の位置を、ダイ２１及びパンチ２２による加工位置に概略保持する。
【００６８】
各把持デバイス５ａは、図６に示すように、フレキシブルプリント基板Ｐａの外縁を把持する把持部１２ａと、把持部１２ａを支持する支持部１３ａとを備えている。把持デバイス５ａの支持部１３ａは、支持する把持部１２ａに対して１自由度の受動的な運動機構である平行移動機構を有している。つまり、把持デバイス５ａにおいて、把持部１２ａは、支持部１３ａによって平行移動可能に支持されている。
【００６９】
（把持部）
把持部１２ａは、支持部１３ａによって支持されるクランプベース１４ａと、このクランプベース１４ａに可動に配設され、クランプベース１４ａとの間にフレキシブルプリント基板Ｐａを挟み込むクランプアーム１５と、このクランプアーム１５を駆動するアクチュエーター１６とを備える構成とすることができる。図６の把持部１２ａのフレキシブルプリント基板Ｐａを把持するための構造としては、図２の把持部１２のフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造と同様とすることができる。
【００７０】
（支持部）
支持部１３ａは、平行移動機構として、図示するように、リニアガイド２４（ガイドレールとスライダーと組み合わせ）を有する構成とすることができる。リニアガイド２４は、把持部１２ａをフレキシブルプリント基板Ｐａの法線方向（パンチ２２の動作方向）に移動可能に支持する。つまり、支持部１３ａの平行移動機構による把持部１２ａの平行移動は、フレキシブルプリント基板Ｐａの法線方向の平行移動である。
【００７１】
また、支持部１３ａは、把持部１２ａを初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。支持部１３ａが復原機構を有することによって、把持するフレキシブルプリント基板Ｐの複数の把持デバイス５ａの把持部１２ａにより把持される部分の表面を同一平面上に配置し、フレキシブルプリント基板Ｐに不必要な応力を作用させるような把持部１２ａ間の位置ずれを抑制することができる。
【００７２】
この復原機構としては、図示するように、把持部１２ａのクランプベース１４ａをリニアガイド２４にそって一方向に平行移動させるよう押圧するばね１８ａと、クランプベース１４ａに当接してばね１８ａの押圧力に対抗してクランプベース１４ａの平行移動を制止するストッパー１９とを有する構成とすることができる。このような復原機構は、把持部１２ａを初期位置から一方側にのみ移動可能とする。この把持部１２ａの初期位置からの移動可能方向としては、パンチ２２側とされ、典型的には上側とされる。
【００７３】
＜利点＞
当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐａをダイ２１により法線方向に押圧しても、把持部１２ａが平行移動することによって、把持部１２ａのエッジでフレキシブルプリント基板Ｐａが損傷することを防止することができる。このため、当該処理装置は、ダイ２１の当接面を、把持部１２ａによるフレキシブルプリント基板Ｐａの外縁の把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりもパンチ２２側に突出させるよう圧接することにより、フレキシブルプリント基板Ｐａに張力を作用させて反りやうねりを除去して、精度よく孔開け加工を行うことができる。
【００７４】
［第三実施形態］
図７に、本発明のさらに別の実施形態の処理装置に係る把持デバイス５ｂを示す。この把持デバイス５ｂは、図１の処理装置の把持デバイス５に替えて使用することで、図１とは異なる実施形態の処理装置を構成する。
【００７５】
＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ｂは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。
【００７６】
把持デバイス５ｂは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２ｂと、把持部１２ｂを支持する支持部１３ｂとを備えている。把持デバイス５ｂの支持部１３ｂは、支持する把持部１２ｂに対して１自由度の受動的な運動機構である首振り機構を有している。つまり、把持デバイス５ｂにおいて、把持部１２ｂは、支持部１３ｂによって首振り可能に支持されている。
【００７７】
（把持部）
把持部１２ｂは、支持部１３ｂによって支持されるクランプベース１４ｂと、このクランプベース１４ｂに可動に配設され、クランプベース１４ｂとの間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟み込むクランプアーム１５と、このクランプアーム１５を駆動するアクチュエーター１６とを備える構成とすることができる。図７の把持部１２ｂのフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造としては、図２の把持部１２のフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造と同様とすることができる。
【００７８】
（支持部）
支持部１３ｂは、首振り機構として、支持軸１７を中心に回動可能に把持部１２ｂのクランプベース１４ｂを支持する構成を有する。支持軸１７は、把持部１２ｂが把持するフレキシブルプリント基板Ｐの側縁と平行になるよう、クランプアーム１５の動作を阻害しない位置に配設される。従って、支持部１３ｂの首振り機構による把持部１２ｂの首振りは、フレキシブルプリント基板Ｐの表面と平行、より詳しくは把持する部分の側縁と平行な支持軸１７を中心とする旋回動作である。
【００７９】
また、支持部１３ｂは、把持部１２ｂを初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。この復原機構としては、図示するように、把持部１２ｂのクランプベース１４ｂの支持軸１７に垂直な方向に開口するよう形成される凹部２５にばね２６によって係合片２７を押圧する構成とすることができる。
【００８０】
凹部２５は、支持軸１７から一定の距離を空けた位置に配設するとよい。係合片２７は、支持部１３ｂに、支持軸１７と垂直な方向（径方向）に移動可能に、つまり支持軸１７に向かって突出及び後退できるように配設されるとよい。また、ばね２６及び係合片２７は、支持部１３ｂに組み込むことができる。このような復原機構は、支持軸１７を中心として把持部１２ｂを初期位置からどちらの方向にも旋回可能とする。
【００８１】
凹部２５の形状としては、支持軸１７に垂直な断面形状が略Ｖ字状の溝が好ましい。このＶ字状の一対の斜面間の角度としては１２０°以上１６０°以下とすることができる。また、ばね２５としては、圧縮ばねを用いることができる。また、係合片２７は、支持軸１７に直交する方向に移動可能となるよう支持部１３ｂに配設され、凹部２５に当接する球面又は円筒面を有する部材とすることができる。
【００８２】
このような構成により、クランプベース１４ｂの旋回により凹部２５の斜面が係合片２７を支持軸１７から離間する方向に押し出してばね２６を圧縮して復元力を蓄積することができる。この状態で、クランプベース１４ｂを旋回させる力が除去された場合、ばね２６が伸長して係合片２７により凹部２５の斜面を押圧してクランプベース１４ｂを旋回させることで、係合片２７を凹部２５内の一対の斜面の両方に当接させる。これにより、クランプベース１４ｂひいては把持部１２ｂを初期位置に自動復帰させる。
【００８３】
［第四実施形態］
図８に、本発明のさらに別の実施形態の処理装置に係る把持デバイス５ｃを示す。この把持デバイス５ｃは、図１の処理装置の把持デバイス５に替えて使用することで、図１とは異なる実施形態の処理装置を構成する。
【００８４】
＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ｃは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。
【００８５】
各把持デバイス５ｃは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２ｃと、把持部１２ｃを支持する支持部１３ｃとを備えている。把持デバイス５ｃの支持部１３ｃは、支持する把持部１２ｃに対して１自由度の受動的な運動機構である平行移動機構を有している。つまり、把持デバイス５ｃにおいて、把持部１２ｃは、支持部１３ｃによって平行移動可能に支持されている。
【００８６】
（把持部）
把持部１２ｃは、支持部１３ｃによって支持されるクランプベース１４ｃと、このクランプベース１４ｃに可動に配設され、クランプベース１４ｃとの間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟み込むクランプアーム１５と、このクランプアーム１５を駆動するアクチュエーター１６とを備える構成とすることができる。図８の把持部１２ｃのフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造としては、図２の把持部１２のフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造と同様とすることができる。
【００８７】
（支持部）
支持部１３ｃは、平行移動機構として、図示するように、リニアガイド２４を有する構成とすることができる。リニアガイド２４は、把持部１２ｃをフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向に移動可能に支持する。つまり、支持部１３ｃの平行移動機構による把持部１２ｃの平行移動は、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の平行移動である。
【００８８】
また、支持部１３ｃは、把持部１２ｃの初期位置からフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向両側への平行移動を許容すると共に、把持部１２ｃを初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。このように、支持部１３ｃが復原機構を有することによって、把持部１２ｃのエッジでフレキシブルプリント基板Ｐにフレキシブルワークが損傷することを抑制できる。
【００８９】
この復原機構としては、図示するように、把持部１２ｃのクランプベース１４ｃのリニアガイド２４の可動方向に垂直な方向に開口するよう形成される凹部２５にばね２６によって係合片２７を押圧する構成とすることができる。図８の把持デバイス５ｃにおける復原機構の凹部２５、ばね２６及び係合片２７の構成としては、図７の把持デバイス５ｂにおける復原機構の凹部２５、ばね２６及び係合片２７の構成と同様とすることができる。
【００９０】
［第五実施形態］
図９乃至図１１に、本発明のさらに別の実施形態の処理装置に係る把持デバイス５ｄを示す。この把持デバイス５ｄは、図１の処理装置の把持デバイス５に替えて使用することで、図１とは異なる実施形態の処理装置を構成する。
【００９１】
＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ｄは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。
【００９２】
把持デバイス５ｄは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２と、把持部１２を支持する支持部１３ｄとを備えている。把持デバイス５ｄの支持部１３ｄは、支持する把持部１２に対して２自由度の受動的な運動機構である首振り機構を有している。つまり、把持デバイス５ｄにおいて、把持部１２は、支持部１３ｄによって２方向に首振り可能に支持されている。なお、図９乃至図１１の把持デバイス５ｄの把持部１２の構成は、図２の把持デバイス５の把持部１２の構成と同様とすることができる。このため、図９乃至図１１の把持デバイス５ｄの把持部１２の構成要素には、図２の把持デバイス５の構成要素と同じ符号を付して重複する説明を省略する。
【００９３】
（支持部）
支持部１３ｄは、首振り機構として、第１支持軸２８を中心に回動可能に把持部１２のクランプベース１４を支持する第１支持部材２９と、第２支持軸３０を中心に回動可能に前記第１支持部材２９を支持する第２支持部材３１とを有する。
【００９４】
第１支持軸２８は、把持部１２が把持するフレキシブルプリント基板Ｐの側縁と平行になるよう配設される。また、第２支持軸３０は、フレキシブルプリント基板Ｐと平行かつ第１支持軸２８と垂直になるよう配設される。つまり、支持部１３ｄの首振り機構による把持部１２の首振りは、互いに直交する２方向の首振り動作である。
【００９５】
また、支持部１３ｄは、把持部１２を初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。この復原機構としては、図示するように、把持部１２のクランプベース１４を第１支持軸２８の周りに一方向に回動させるよう押圧する第１ばね３２と、第１支持部材２９に設けられ、クランプベース１４に当接して第１ばね３２の押圧力に対抗してクランプベース１４の回動を制止する第１ストッパー３３と、第１支持部材２９を第２支持軸３０の周りに一方向に回動させるよう押圧する第２ばね３４と、第２支持部材３１に設けられ、第１支持部材２９に当接して第２ばね３４の押圧力に対抗して第１支持部材２９の回動を制止する第２ストッパー３５とを有する構成とすることができる。
【００９６】
また、把持部１２の初期位置を調節可能にするために、クランプベース１４の第１ストッパー３３に当接する部分又は第１ストッパー３３に第１当接部材３６を設け、第１支持部材２９の第２ストッパー３５に当接する部分又は第２ストッパー３５に第２当接部材３７を設けてもよい。
【００９７】
［第六実施形態］
図１２に、本発明のさらに別の実施形態の処理装置に係る把持デバイス５ｅを示す。この把持デバイス５ｅは、図１の処理装置の把持デバイス５に替えて使用することで、図１とは異なる実施形態の処理装置を構成する。
【００９８】
＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ｅは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。
【００９９】
把持デバイス５ｅは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２ｂと、把持部１２ｂを支持する支持部１３ｅとを備えている。把持デバイス５ｅの支持部１３ｅは、支持する把持部１２ｂに対して２自由度の受動的な運動機構である首振り機構を有している。つまり、把持デバイス５ｅにおいて、把持部１２ｂは、支持部１３ｅによって２方向に首振り可能に支持されている。なお、図１２の把持デバイス５ｅの把持部１２ｂの構成は、図７の把持デバイス５ｂの把持部１２ｂの構成と同様とすることができる。このため、図１２の把持デバイス５ｅの把持部１２ｂの構成要素には、図７の把持デバイス５ｂの構成要素と同じ符号を付して重複する説明を省略する。
【０１００】
（支持部）
支持部１３ｅは、首振り機構として、第１支持軸２８を中心に回動可能に把持部１２ｂのクランプベース１４ｂを支持する第１支持部材２９ｅと、第２支持軸３０を中心に回動可能に前記第１支持部材２９ｅを支持する第２支持部材３１ｅとを有する。
【０１０１】
第１支持軸２８は、把持部１２ｂが把持するフレキシブルプリント基板Ｐの側縁と平行になるよう配設される。また、第２支持軸３０は、フレキシブルプリント基板Ｐと平行かつ第１支持軸３０と垂直になるよう配設される。つまり、支持部１３ｅの首振り機構による把持部１２ｂの首振りは、互いに直交する２方向の首振り動作である。
【０１０２】
また、支持部１３ｅは、把持部１２ｂを初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。この復原機構としては、図示するように、クランプベース１４ｂの第１支持軸２８に垂直な方向に開口するよう形成される第１凹部３８に第１ばね３９によって第１係合片４０を押圧すると共に、第１支持部材２９ｅの第２支持軸３０に垂直な方向に開口するよう形成される第２凹部４１に第２ばね４２によって第２係合片４３を押圧する構成とすることができる。
【０１０３】
［その他の実施形態］
前記実施形態は、本発明の構成を限定するものではない。従って、前記実施形態は、本明細書の記載及び技術常識に基づいて前記実施形態各部の構成要素の省略、置換又は追加が可能であり、それらは全て本発明の範囲に属するものと解釈されるべきである。
【０１０４】
当該処理装置の支持部は、把持部を３自由度以上の自由度で支持するよう構成されてもよい。
【０１０５】
当該処理装置において、復原機構は省略してもよい。
【０１０６】
当該処理装置は、電気検査ヘッドを用いる電気検査以外の例えば光学センサを用いる検査等を行う検査装置であってもよく、穿孔以外の例えばレーザー加工等を行う加工装置であってもよい。また、電気検査装置の実施形態の把持デバイスの構成を加工装置に適用してもよく、加工装置の実施形態の把持デバイスの構成を検査装置に適用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１０７】
本発明に係る電気検査装置は、可撓性を有し、反りやうねりを生じ得るプリント基板の電気検査に好適に利用することができる。
【符号の説明】
【０１０８】
１  第１電気検査ヘッド
２  第２電気検査ヘッド
３  第１駆動機構
４  第２駆動機構
５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ  把持デバイス
６  第１カメラ
７  第２カメラ
８  コントローラー
９  プローブ
１０  ガイドプレート
１１  当接面
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ  把持部
１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ  支持部
１４，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ  クランプベース
１５  クランプアーム
１６  アクチュエーター
１７  支持軸
１８，１８ａ  ばね
１９  ストッパー
２０  当接部材
２１  ダイ
２２  パンチ
２３  パンチ孔
２４  リニアガイド
２５  凹部
２６  ばね
２７  係合片
２８  第１支持軸
２９，２９ｅ  第１支持部材
３０  第２支持軸
３１，３１ｅ  第２支持部材
３２  第１ばね
３３  第１ストッパー
３４  第２ばね
３５  第２ストッパー
３６  第１当接部材
３７  第２当接部材
３８  第１凹部
３９  第１ばね
４０  第１係合片
４１  第２凹部
４２  第２ばね
４３  第２係合片
Ｐ，Ｐａ  フレキシブルプリント基板
【図１】
2018063169.tif 000003
【図２】
2018063169.tif 000004
【図３】
2018063169.tif 000005
【図４】
2018063169.tif 000006
【図５】
2018063169.tif 000007
【図６】
2018063169.tif 000008
【図７】
2018063169.tif 000009
【図８】
2018063169.tif 000010
【図９】
2018063169.tif 000011
【図１０】
2018063169.tif 000012
【図１１】
2018063169.tif 000013
【図１２】
2018063169.tif 000014