(57)【要約】【課題】枠体でマスク本体の変形を起こりにくくすると共に、マスク本体各部の正しい位置からのずれを変形部による調整で打ち消し、必要な精度を確保できる調整済マスクを提供する。【解決手段】パターン形成領域２ａの通孔８に位置ずれが生じているマスク本体の外縁領域２ｂに変形部４０を形成し、変形部４０でパターン形成領域２ａにおけるずれ部３０に対し、そのずれ方向と逆向きの変位を与えて、通孔などのずれ部３０のずれ量を調整することにより、ずれ量が許容範囲に収まる状態が得られることとなり、パターン形成領域２ａ各部の形状を本来の設計形状に高精度で合致するようにマスク製造後でも修正でき、パターン形成領域各部の位置ずれが許容範囲に収まらずにマスクが不良となる割合を減らせる。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
独立した多数の通孔を所定パターンで設けられる金属製のマスク本体と、マスク本体の周囲に配置される枠体とを備え、製造直後の無調整状態では少なくとも一部の通孔に本来の設計位置からのずれが生じているマスクにおいて、
前記マスク本体が、所定パターンの通孔を設けられるパターン形成領域と、当該パターン形成領域の外側に位置する外縁領域とを有し、前記枠体に対し内方に収縮しようとする応力を残存させた状態で枠体と一体化されたものであり、
前記マスク本体の外縁領域における一又は複数の所定箇所に、少なくとも外縁領域の一部をパターン形成領域側に変位させる変形部を備え、
当該変形部が、少なくとも前記外縁領域の所定箇所からパターン形成領域寄り部位をパターン形成領域側に変位させる変形を生じたものとされ、外縁領域と共にパターン形成領域の一部を変形させて、パターン形成領域における本来の設計位置から所定のずれ方向に所定のずれ量分だけずれた一又は複数のずれ部に対し、前記ずれ方向と逆向きの変位を付与することを
特徴とする調整済マスク。
【請求項２】
前記請求項１に記載の調整済マスクにおいて、
前記変形部が、熱を加熱源から所定時間加えられた前記外縁領域の所定の点状部位であり、加熱による変態に伴って、マスク本体の内部応力に基づいて変形し、前記ずれ部と前記点状部位との間に位置するパターン形成領域及び外縁領域の所定範囲部分を少なくともずれ部に向けて変位させる変形を生じたものであることを
特徴とする調整済マスク。
【請求項３】
前記請求項１に記載の調整済マスクにおいて、
前記変形部が、加熱又は冷却された前記外縁領域の所定の点状部位であり、温度変化に伴う膨張又は収縮とマスク本体の内部応力とに基づいて変形し、前記ずれ部と前記点状部位との間に位置するパターン形成領域及び外縁領域の所定範囲部分を少なくともずれ部に向けて変位させる変形を生じたものであることを
特徴とする調整済マスク。
【請求項４】
前記請求項１に記載の調整済マスクにおいて、
前記マスク本体が、所定幅の線状部を挟んで隣り合う配置となる多数の貫通孔を外縁領域にあらかじめ設けられたものであり、
前記変形部が、前記外縁領域における所定の貫通孔間の線状部の切断に伴う変形部分であり、当該線状部の切断による内部応力変化に基づいて変形し、前記ずれ部と切断された線状部との間に位置するパターン形成領域及び外縁領域の所定範囲部分を少なくともずれ部に向けて変位させる永久変形を生じたものであることを
特徴とする調整済マスク。
【請求項５】
独立した多数の通孔を所定パターンで設けられるマスク本体と、マスク本体の外側を取り囲んで配置される枠体とを備えるマスクであって、前記所定パターンの通孔を設けられるパターン形成領域と、当該パターン形成領域の外側に位置する外縁領域とを有するマスク本体が、前記枠体に対し内方に収縮しようとする応力を残存させた状態で枠体と一体化されるものであり、且つ、前記パターン形成領域の少なくとも一部の通孔に本来の設計位置からのずれが生じているマスクに対し、
前記マスク本体の外縁領域における一又は複数の所定箇所に、変形部として、前記外縁領域の所定箇所からパターン形成領域寄り部位をパターン形成領域側に変位させて、パターン形成領域の一部を変形させる変形を生じさせ、
前記変形部は、パターン形成領域における本来の設計位置から所定のずれ方向にずれたずれ部に前記ずれ方向と逆向きの変位をもたらすように、変形させることを
特徴とするマスクの調整方法。
【請求項６】
前記請求項５に記載のマスクの調整方法において、
前記変形部として、前記外縁領域の所定の点状部位に、加熱又は冷却を行い、前記ずれ部と前記点状部位との間に位置するパターン形成領域及び外縁領域の所定範囲部分を少なくともずれ部に向けて変位させる変形を生じさせることを
特徴とするマスクの調整方法。
【請求項７】
前記請求項５に記載のマスクの調整方法において、
前記マスク本体が、所定幅の線状部を挟んで隣り合う配置となる多数の貫通孔を外縁領域にあらかじめ設けられたものとされ、
前記マスク本体に対し、前記変形部として、前記外縁領域における所定の貫通孔間の線状部を切断して、当該線状部の切断による内部応力変化に基づく変形で、前記ずれ部と切断された線状部との間に位置するパターン形成領域及び外縁領域の所定範囲部分を少なくともずれ部に向けて変位させる永久変形を生じさせることを
特徴とするマスクの調整方法。
【請求項８】
独立した多数の通孔を所定パターンで設けられる金属製のマスク本体と、マスク本体の周囲に配置される枠体とを備えるマスクにおいて、
前記マスク本体が、所定パターンの通孔を設けられるパターン形成領域と、当該パターン形成領域の外側に位置する外縁領域とを有し、前記枠体に対し内方に収縮しようとする応力を残存させた状態で枠体と一体化されてなり、
前記マスク本体の外縁領域に、所定幅の線状部を挟んで隣り合う配置となる多数の貫通孔を設けられてなることを
特徴とするマスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面状の被配置面上における所望位置に所定の配置対象物質を蒸着や印刷等で選択的に配置したり、被配置面上にあらかじめ配置された電磁波（光）で変質する物質に対し選択的に照射を行う等の目的で、被配置面の不要部分を覆うマスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
蒸着や印刷等の工程で、蒸着対象物や印刷対象物を配置する際に、被配置面の不要部分を覆って、必要な箇所のみに蒸着対象物や印刷対象物が配置されるようにするマスクとしては、例えば、有機ＥＬ（Electroluminescence）素子の発光層を形成する有機発光物質を透明基板（被蒸着物）上の所望の位置に蒸着するために、基板の蒸着部位に対応する箇所を穿孔した蒸着マスクや、クリームハンダやフラックス等のペースト剤をウェーハや回路基板等の被印刷物に対し印刷するために、被印刷物における電極部や配線パターン等の印刷箇所に対応した開口部が設けられた印刷用マスクが、それぞれ使用されている。
【０００３】
このうち、蒸着マスクを例に挙げると、被蒸着物である基板に対し蒸着マスクを正しく位置合せした状態で設置して、蒸着を実行する必要があるが、蒸着に際し、蒸着装置内を蒸着可能な環境とするために加熱が行われるため、蒸着マスクと基板の熱変形状態が異なる場合、蒸着マスクと基板との相対位置関係が変化し、形成される発光層の要求される精度を満足できなくなるという問題があった。
【０００４】
こうした問題を回避するため、薄いマスク本体の周囲に、低熱膨張係数の素材からなる補強用の枠体が装着されたマスク構造を採用することで、基板とは熱膨張係数が異なる素材製のマスク本体を用いても、マスク本体が低熱膨張係数を有する枠体に抑制されて形状変化しない状態となり、蒸着装置内での昇温時における基板に対するマスク本体の整合精度を担保でき、基板上に発光層を高精度に形成できるマスクが提案されている。
このような従来のマスクの一例として、特開２００５−１５９０８号公報に開示されるものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１５９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のマスクは前記特許文献に示される構成となっており、枠体によりマスクの変形を抑え、マスクと基板とのずれによる蒸着形成物の配置精度の悪化を防止できる仕組みであった。
【０００７】
ただし、市場ではマスクを用いて選択配置される構造部分（配置対象物質）のさらなる微細化、高精度化の要求があり、それに伴ってマスクの形状精度をさらに高めること、具体的には、通孔（開口部）をはじめとするマスク各部の設計位置からのずれについての許容範囲を、マスク各部形状が微細化して寸法を縮小させた分、より小さい範囲とすること、が求められている。
【０００８】
しかしながら、従来のマスクの高精度化には、エッチングや電鋳などその製造プロセスの関係上、限界があり、従来のマスク製造工程では、高精度化に伴い小さくなる許容範囲にマスク各部の位置ずれを収めることが難しかった。
【０００９】
マスクに生じた位置ずれが一部で許容範囲を超えるなど、マスク各部の形状が要求される精度を満足できない状態の場合、マスクを使用して行われる蒸着や印刷等を適切に行えなくなり、蒸着や印刷の結果得られた製品が要求された品質を満たせず不良品となる確率が高くなることから、マスク自体を不良とせざるを得なかった。加えて、こうしたマスクの不良は、複雑な製造工程を経て完成した後のチェックではじめて判明するため、高精度化に伴う不良品の増大は、生産効率の悪化と製造コストの増大を招くという課題を有していた。
【００１０】
本発明は前記課題を解消するためになされたもので、枠体でマスク本体の変形を起こりにくくすると共に、マスク本体各部の正しい位置からのずれを変形部による調整で打ち消し、必要な精度を確保できる調整済マスク、並びに、マスク本体各部の位置ずれを変形部の形成により調整して改善でき、マスク本体各部を適切な精度の範囲に収めた状態が得られる、マスクの調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の開示に係る調整済マスクは、独立した多数の通孔を所定パターンで設けられる金属製のマスク本体と、マスク本体の周囲に配置される枠体とを備え、製造直後の無調整状態では少なくとも一部の通孔に本来の設計位置からのずれが生じているマスクにおいて、前記マスク本体が、所定パターンの通孔を設けられるパターン形成領域と、当該パターン形成領域の外側に位置する外縁領域とを有し、前記枠体に対し内方に収縮しようとする応力を残存させた状態で枠体と一体化されたものであり、前記マスク本体の外縁領域における一又は複数の所定箇所に、少なくとも外縁領域の一部をパターン形成領域側に変位させる変形部を備え、当該変形部が、少なくとも前記外縁領域の所定箇所からパターン形成領域寄り部位をパターン形成領域側に変位させる変形を生じたものとされ、外縁領域と共にパターン形成領域の一部を変形させて、パターン形成領域における本来の設計位置から所定のずれ方向に所定のずれ量分だけずれた一又は複数のずれ部に対し、前記ずれ方向と逆向きの変位を付与するものである。
【００１２】
このように本発明の開示によれば、パターン形成領域の通孔に位置ずれが生じているマスク本体の外縁領域に変形部を形成し、変形部でパターン形成領域におけるずれ部に対し、そのずれ方向と逆向きの変位を与えて、通孔などのずれ部のずれ量を調整することにより、ずれ量が許容範囲に収まる状態が得られることとなり、パターン形成領域各部の形状を本来の設計形状に高精度で合致するようにマスク製造後でも修正でき、パターン形成領域各部の位置ずれが許容範囲に収まらずにマスクが不良となる割合を減らせる。
【００１３】
また、本発明の開示に係る調整済マスクは、必要に応じて、前記変形部が、熱を加熱源から所定時間加えられた前記外縁領域の所定の点状部位であり、加熱による変態に伴って、マスク本体の内部応力に基づいて変形し、前記ずれ部と前記点状部位との間に位置するパターン形成領域及び外縁領域の所定範囲部分を少なくともずれ部に向けて変位させる変形を生じたものである。
【００１４】
このように本発明の開示によれば、マスク本体外縁領域において加熱され、変形を生じた点状部位が、変形部として、パターン形成領域のずれ部にそのずれ方向と逆向きの変位を与え、ずれ部のずれ量を調整することにより、加熱に伴う変態で内部応力による変形を許容された変形部がずれ部に対し限定的に変位を与えることができ、パターン形成領域におけるずれ部のずれ量調整以外の影響を与えることなく、位置ずれを許容範囲に収める程度の微小な変形を確実に得て、パターン形成領域各部の位置ずれを確実に調整、修正でき、位置ずれのあるマスクの良品化を効率よく進められる。
【００１５】
また、本発明の開示に係る調整済マスクは、必要に応じて、前記変形部が、加熱又は冷却された前記外縁領域の所定の点状部位であり、温度変化に伴う膨張又は収縮とマスク本体の内部応力とに基づいて変形し、前記ずれ部と前記点状部位との間に位置するパターン形成領域及び外縁領域の所定範囲部分を少なくともずれ部に向けて変位させる変形を生じたものである。
【００１６】
このように本発明の開示によれば、マスク本体外縁領域において加熱又は冷却され、温度変化に伴う変形を生じた点状部位が、変形部として、パターン形成領域のずれ部にそのずれ方向と逆向きの変位を与え、ずれ部のずれ量を調整することにより、温度変化による膨張又は収縮と内部応力に基づいた変形部でずれ部に対し限定的に変位を与えることができ、パターン形成領域におけるずれ部のずれ量調整以外の影響を与えることなく、位置ずれを許容範囲に収める程度の微小な変形を確実に得て、パターン形成領域各部の位置ずれを確実に調整、修正でき、位置ずれのあるマスクの良品化を効率よく進められる。
【００１７】
また、本発明の開示に係る調整済マスクは、必要に応じて、前記マスク本体が、所定幅の線状部を挟んで隣り合う配置となる多数の貫通孔を外縁領域にあらかじめ設けられたものであり、前記変形部が、前記外縁領域における所定の貫通孔間の線状部の切断に伴う変形部分であり、当該線状部の切断による内部応力変化に基づいて変形し、前記ずれ部と切断された線状部との間に位置するパターン形成領域及び外縁領域の所定範囲部分を少なくともずれ部に向けて変位させる永久変形を生じたものである。
【００１８】
このように本発明の開示によれば、マスク本体の外縁領域にあらかじめ設けた線状部のいずれかを切断して生じた変形部分を変形部として、パターン形成領域のずれ部にそのずれ方向と逆向きの変位を与え、ずれ部のずれ量を調整することにより、マスク本体に対し容易に変形を生じさせてずれ部に変位を与えることができ、線状部の延長方向以外に切断による変形の影響が及びにくい状態を貫通孔で確保しつつ、パターン形成領域での位置ずれを許容範囲に収める程度の微小な変形を確実に得て、パターン形成領域各部の位置ずれを確実に調整、修正でき、位置ずれのあるマスクの良品化を効率よく進められる。
【００１９】
また、本発明の開示に係るマスクの調整方法は、独立した多数の通孔を所定パターンで設けられるマスク本体と、マスク本体の外側を取り囲んで配置される枠体とを備えるマスクであって、前記所定パターンの通孔を設けられるパターン形成領域と、当該パターン形成領域の外側に位置する外縁領域とを有するマスク本体が、前記枠体に対し内方に収縮しようとする応力を残存させた状態で枠体と一体化されるものであり、且つ、前記パターン形成領域の少なくとも一部の通孔に本来の設計位置からのずれが生じているマスクに対し、前記マスク本体の外縁領域における一又は複数の所定箇所に、変形部として、前記外縁領域の所定箇所からパターン形成領域寄り部位をパターン形成領域側に変位させて、パターン形成領域の一部を変形させる変形を生じさせ、前記変形部は、パターン形成領域における本来の設計位置から所定のずれ方向にずれたずれ部に前記ずれ方向と逆向きの変位をもたらすように、変形させるものである。
【００２０】
このように本発明の開示によれば、パターン形成領域の通孔に位置ずれが生じているマスク本体の外縁領域に、変形部として、パターン形成領域におけるずれ部に対しそのずれ方向と逆向きの変位を与えるように変形を生じさせ、通孔などのずれ部の位置ずれ量を調整することにより、調整を経てずれ量が許容範囲に収まる状態を得ることができ、マスク製造後であってもパターン形成領域各部の形状を本来の設計形状に高精度で合致するように修正可能となり、パターン形成領域各部の位置ずれを許容範囲に収めるようにして、マスクを不良品とすることなく活用できる。
【００２１】
また、本発明の開示に係るマスクの調整方法は必要に応じて、前記変形部として、前記外縁領域の所定の点状部位に、加熱又は冷却を行い、前記ずれ部と前記点状部位との間に位置するパターン形成領域及び外縁領域の所定範囲部分を少なくともずれ部に向けて変位させる変形を生じさせるものである。
【００２２】
このように本発明の開示によれば、マスク本体外縁領域の点状部位を加熱又は冷却し、変形を生じさせて変形部となし、この変形部でパターン形成領域のずれ部にそのずれ方向と逆向きの変位を与え、ずれ部のずれ量を調整することにより、パターン形成領域におけるずれ部のずれ量調整以外の影響を与えることなく、位置ずれを許容範囲に収める程度の微小な変形を確実に得て、パターン形成領域各部の位置ずれを確実に調整、修正でき、位置ずれのあるマスクの良品化を効率よく進められる。
【００２３】
また、本発明の開示に係るマスクの調整方法は必要に応じて、前記マスク本体が、所定幅の線状部を挟んで隣り合う配置となる多数の貫通孔を外縁領域にあらかじめ設けられたものとされ、前記マスク本体に対し、前記変形部として、前記外縁領域における所定の貫通孔間の線状部を切断して、当該線状部の切断による内部応力変化に基づく変形で、前記ずれ部と切断された線状部との間に位置するパターン形成領域及び外縁領域の所定範囲部分を少なくともずれ部に向けて変位させる永久変形を生じさせるものである。
【００２４】
このように本発明の開示によれば、マスク本体の外縁領域にあらかじめ設けられた所定の線状部を切断して変形部としての永久変形を生じさせ、この変形部でパターン形成領域のずれ部にそのずれ方向と逆向きの変位を与え、ずれ部のずれ量を調整することにより、マスク本体に対し容易に変形を生じさせてずれ部に変位を与えることができ、線状部の延長方向以外に切断による変形の影響が及びにくい状態を貫通孔で確保しつつ、パターン形成領域での位置ずれを許容範囲に収める程度の微小な変形を確実に得て、パターン形成領域各部の位置ずれを確実に調整、修正でき、位置ずれのあるマスクの良品化を効率よく進められる。
【００２５】
また、本発明の開示に係るマスクは、独立した多数の通孔を所定パターンで設けられる金属製のマスク本体と、マスク本体の周囲に配置される枠体とを備えるマスクにおいて、前記マスク本体が、所定パターンの通孔を設けられるパターン形成領域と、当該パターン形成領域の外側に位置する外縁領域とを有し、前記枠体に対し内方に収縮しようとする応力を残存させた状態で枠体と一体化されてなり、前記マスク本体の外縁領域に、所定幅の線状部を挟んで隣り合う配置となる多数の貫通孔を設けられてなるものである。
【００２６】
このように本発明の開示によれば、マスク本体の外縁領域に線状部を設け、この線状部のいずれかを切断すると、切断に伴って生じた永久変形が外縁領域の切断部位からパターン形成領域寄り部位をパターン形成領域側に変位させると共に、パターン形成領域の一部を変形させることにより、適切な線状部の切断でパターン形成領域のずれ部にそのずれ方向と逆向きの変位を与えて、ずれ部のずれ量を調整し、ずれ量を許容範囲に収められることとなり、マスク使用前であればパターン形成領域各部の形状を本来の設計形状に高精度で合致するように修正でき、パターン形成領域各部の位置ずれが許容範囲に収まらずにマスクを使用できない事態を回避できる。また、マスク本体に対し容易に変形を生じさせてずれ部に変位を与えることができ、パターン形成領域各部の位置ずれを効率よく調整、修正できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る調整済マスクの概略平面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る調整方法適用前におけるマスクの要部構成説明図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る調整方法適用前におけるマスクの要部概略断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る調整方法適用前のマスクの製造における一次電着層形成工程説明図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る調整方法適用前のマスクの製造におけるレジスト形成及び枠配置工程説明図である。
【図６】本発明の第１の実施形態に係る調整方法適用前のマスクの製造における電着金属層形成工程及びマスクと母型の分離状態説明図である。
【図７】本発明の第１の実施形態に係る調整済マスクにおける外縁領域の拡大図である。
【図８】本発明の第１の実施形態に係る調整方法によるマスクのずれ部の調整状態説明図である。
【図９】本発明の第１の実施形態に係る調整方法によるマスクのずれ部の他の調整状態説明図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係る調整方法適用前におけるマスクの要部概略断面図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態に係る調整方法適用前のマスクの製造における一次電着層形成工程説明図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態に係る調整方法適用前のマスクの製造におけるレジスト形成及び枠配置工程説明図である。
【図１３】本発明の第２の実施形態に係る調整方法適用前のマスクの製造における電着金属層形成工程及びマスクと母型の分離状態説明図である。
【図１４】本発明の第２の実施形態に係る調整済マスクにおける外縁領域の拡大図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態に係る調整方法によるマスクのずれ部の調整状態説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
（本発明の第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態に係る調整済マスクを図１ないし図９に基づいて説明する。本実施形態においては、有機ＥＬ素子用蒸着マスクに適用した例について説明する。
【００２９】
前記各図において本実施形態に係る調整済マスク１は、多数の通孔８を所定パターンで設けられる複数のマスク本体２と、マスク本体２の周囲に配設される枠体３とを有する無調整状態のマスク１００に対し、マスク本体２の一又は複数の所定箇所を変形させる変形部４０が形成されて、マスク本体２各部における本来の設計位置からの位置ずれが抑制されたものである。
【００３０】
前記マスク１００は、前記マスク本体２と枠体３とを備え、所定の製造工程を経て製造された後、特に加工や調整等が施されていない無調整状態であり、製造後のマスク本体２の一部の通孔８に本来の設計位置からのずれが生じている状態のままとされているものである。このマスク１００に前記変形部４０を形成することで、調整済マスク１が得られることとなる。
【００３１】
前記マスク本体２は、ニッケルやニッケルコバルト等のニッケル合金、その他の電着金属を素材として、電鋳によりシート状に形成され、蒸着物質を通す独立した多数の通孔８を所定パターンで設けられる構成である。
【００３２】
このマスク本体２は、多数の通孔８を設けられる内部のパターン形成領域２ａと、このパターン形成領域２ａの外側に位置して、電鋳により形成される金属層７を介して枠体３と一体に接合される外縁領域２ｂとを有するものである。パターン形成領域２ａでは、多数の通孔８が発光層形成用のパターン９を形成している。
【００３３】
前記枠体３は、マスク本体２よりも肉厚の矩形状の薄板を枠形状としたもので、マスク本体２の補強用としてマスク本体２の外周に配置される構成である。本実施形態の例では、枠体３は、マスク本体２に対応する６つの開口を備える薄板製の矩形枠形状に形成され、６枚のマスク本体２を一枚の枠体３で保持している。
【００３４】
この枠体３は、低熱膨張係数の材質、例えば、ニッケル−鉄合金であるインバー材、あるいはニッケル−鉄−コバルト合金であるスーパーインバー材等のような材質で形成される。そして、枠体３は、電鋳により形成された金属層７により、マスク本体２の外縁領域２ｂの外周縁２ｃと互いに離れないよう連結されて、マスク本体２と一体化される仕組みである。
【００３５】
このようなマスク本体２と枠体３からなるマスク１００の製造工程は、まず、母型１０の表面に、マスク本体２をなす一次電着層１５の非配置部分に対応させてレジスト１４が設けられた後、母型１０上に電着金属の電鋳により一次電着層１５を形成する（図４参照）。そして、この一次電着層１５のパターン形成領域２ａ等を覆うレジスト１８を形成すると共に、一次電着層１５を囲むように枠体３が配置され（図５参照）、さらに、枠体３の表面と一次電着層１５の外周縁２ｃ表面とを覆うように電鋳により金属層７が形成される（図６（Ａ）、（Ｂ）参照）。この金属層７を介して一次電着層１５と枠体３とを離れないよう一体に連結した状態で、これら一体の一次電着層１５、枠体３及び金属層７と母型１０とを分離することで（図６（Ｃ）参照）、マスク１００が製造されることとなる。
【００３６】
こうしたマスク１００の製造工程において、母型１０に対し熱膨張係数の大きい電着金属の電鋳により一次電着層１５を形成することで、電鋳が行われる常温より高温の環境で一次電着層１５は母型１０を上回る線膨張状態で母型表面に形成され、母型１０上では変形を規制されていることで、常温の環境では母型１０より多く収縮しようとするものの収縮が生じず、一次電着層１５には内方に収縮する方向の応力が生じる。
【００３７】
一方、枠体３は低熱膨張係数の材質で形成されていることから、電鋳による金属層７の形成で一次電着層１５と枠体３とを連結した後でも、一次電着層１５が内方に収縮する方向の応力を内在させた状態に変化はない。このため、一体の一次電着層１５と枠体３を母型１０から分離すると、一次電着層１５、すなわちマスク本体２は、外側の枠体３に対し内方に収縮する方向の応力Ｆを生じる状態となっている。
このマスク１００の製造工程は、電鋳法を用いた公知のものであり、詳細な説明を省略する。
【００３８】
前記変形部４０は、マスク本体２の外縁領域２ｂにおける一又は複数の所定箇所で、少なくとも外縁領域２ｂの一部、より具体的には外縁領域２ｂにおける前記所定箇所からパターン形成領域寄り部位を、パターン形成領域側に変位させる永久変形を生じたものである。そして、変形部４０は、外縁領域２ｂと共に、これと連続するパターン形成領域２ａの一部を変形させて、パターン形成領域２ａにおける本来の設計位置から所定のずれ方向に所定のずれ量分だけずれた、通孔８等のずれ部３０に対し、そのずれ方向と逆向きの微小変位を付与するようにされる構成である。
【００３９】
この変形部４０は、詳細には、レーザ加熱や誘導加熱等により、加熱源とは非接触の状態で所定時間加熱された外縁領域２ｂにおける所定の点状部位である。この変形部４０としての点状部位は、加熱による変態に伴って、マスク本体２の内部応力に基づいて変形し、ずれ部３０とこの点状部位との間に位置するパターン形成領域２ａ及び外縁領域２ｂの所定範囲部分をずれ部３０に向けて変位させる永久変形を生じたものである。
【００４０】
変形部４０としての点状部位は、パターン形成領域２ａで本来の設計位置から所定のずれ方向にずれたずれ部３０に対し、このずれ部３０から前記ずれ方向に延長した延長線上に位置する、外縁領域２ｂの所定箇所とするのが好ましいが、この延長線の近傍となる箇所とすることもできる。
【００４１】
また、外縁領域２ｂにおけるずれ方向に延長した延長線上やその近傍に変形部４０としての点状部位を設定しにくい場合は、外縁領域２ｂの別の複数箇所にこの変形部４０としての点状部位を設定して変形を生じさせ、これら複数箇所の変形に基づくずれ部３０の各変位の合成で、ずれ部３０においてずれ方向と逆向きの変位を得るようにすることもできる（図９参照）。
【００４２】
さらに、変形部４０としての点状部位での永久変形で、ずれ部３０におけるずれ方向と逆向きの変位が十分に得られない場合は、外縁領域の別の所定箇所、例えば前記延長線上で現状の点状部位とは異なる箇所に、新たに別の変形部４０としての点状部位を一又は複数設定して変形を生じさせ、ずれ部３０における変位をさらに得るようにしてもかまわない。
【００４３】
次に、本実施形態に係るマスクの調整工程について説明する。前提として、電鋳法を用いる所定のマスク製造工程（図４、図５、図６参照）を経て、前記マスク本体２と枠体３とを備えるマスク１００が得られており、このマスク１００は、製造後は特に手を加えられず無調整状態にあり、この無調整状態では、マスク本体２の一部の通孔８に本来の設計位置からのずれが生じているものとする。そして、マスク１００は、その製造工程に基づいて、マスク本体２が外側の枠体３に対し内方に収縮する方向の応力Ｆを生じる状態にあるものとする。
【００４４】
マスク１００においては、マスク本体２が枠体３に対し内方に収縮する方向の応力を発生させる状態で形成されていることで、マスク本体２は伸張状態になると共に、マスク本体２から枠体３にはこれを内側に変形させようとする力が加わる。このマスク本体２の応力に起因して枠体３を変形させようとする力に対しては、枠体３は十分な剛性を有して変形しにくいことで、マスク本体２の変形も起こりにくい状態となっている。
【００４５】
ただし、こうした枠体３でも、マスク本体２が電鋳で形成されて以降の、マスク本体２全体で完全に一様ではない温度変化や、母型１０から剥離する時に加わる力による、マスク本体２各部の変形を、完全には阻止できないことから、結果として、マスク本体２の通孔８を含む一部には本来の設計位置からの微小なずれが生じている。
【００４６】
このような一部に本来の設計位置からのずれが生じている無調整状態のマスク１００に対し、マスク本体２のパターン形成領域２ａ各部における本来の設計位置からずれたずれ部３０に対応する変形部４０を形成し、ずれ部３０にそのずれ方向と逆向きの変位を付与してずれ量を調整する。
【００４７】
まず、最初の工程として、マスク本体２のパターン形成領域２ａ各部の、本来存在すべき設計位置からのずれ量とずれ方向を測定する。実際は、通孔８以外の部位のずれは判別しにくいことから、各通孔位置のずれが測定され、ずれ量が０でなく、所定のずれ方向へのずれが認められた部位については、ずれ部３０として把握されることとなる。
【００４８】
続いて、パターン形成領域２ａにおける各ずれ部３０のずれ量があらかじめ設定された許容範囲に収まるか否かを判定する。ずれ量が許容範囲に収まらないずれ部３０については、例えば、そのずれ部３０からずれ方向に延長した延長線上に位置する、外縁領域２ｂの所定箇所に、加熱用の点状部位を設定する（図８（Ａ）参照）。そして、この点状部位を、レーザ加熱や誘導加熱等により、加熱源とは非接触の状態で所定時間加熱し、加熱による変態に伴って、マスク本体２の内部応力に基づいて変形させ、加熱を終えて元の温度に戻っても変形が元に戻らない永久変形を生じた変形部４０とする。
【００４９】
この変形部４０における変形で、外縁領域２ｂにおける点状部位からパターン形成領域寄りの部位を、パターン形成領域側に変位させ、合わせて、外縁領域２ｂの前記部位と連続するパターン形成領域２ａの一部を変形させて、パターン形成領域２ａのずれ部に、そのずれ方向と逆向きの微小変位を付与することができる（図８（Ｂ）参照）。こうした変形部４０は、その変形により与えられるずれ部３０の変位が、ずれ部３０のずれ量を許容範囲に収めるようになるまで、外縁領域２ｂに繰り返し形成される。
【００５０】
パターン形成領域２ａにおける、ずれ量が許容範囲に収まらないずれ部３０の全てについて、変形部４０による変位の付与で、ずれ量が許容範囲に収まる状態に至ると、調整工程は完了となり、調整済マスク１が得られることとなる。
【００５１】
この後は、調整済マスク１を、蒸着釜等の蒸着を行う蒸着装置に対し、蒸着可能に設置する。設置に際しては、まず、調整済マスク１を、蒸着装置にマスク支持用として設けられるフレームに対し適切に位置決めして固定する。この固定は、調整済マスク１の枠体３における外周部を、フレームにスポット溶接などの溶接により強固に且つ蒸着時の熱に耐えうる状態で一体化することでなされる。
【００５２】
なお、枠体３のフレームへの溶接による固定は、蒸着装置内に設けられたフレームに対し行う他、フレームを蒸着装置から取り外し可能な場合は、蒸発装置外に取り出して取り扱いやすくしたフレームに対し行うこともできる。
【００５３】
調整済マスク１の枠体３に対し、フレームは著しく剛性が高く、枠体３をフレームに固定した状態で、枠体３はフレームに対しずれたり変形したりせず完全に一体化し、枠体３内側に連結されて保持されるマスク本体２も、応力で変形するようなことはなく、フレームに対する位置関係を維持できる。
【００５４】
このように、本実施形態に係る調整済マスクは、パターン形成領域２ａの通孔８等に位置ずれが生じているマスク本体２について、その外縁領域２ｂに変形部４０を形成し、変形部４０でパターン形成領域２ａにおけるずれ部３０に対し、そのずれ方向と逆向きの変位を与えて、通孔８などのずれ部３０のずれ量を調整することから、ずれ量が許容範囲に収まる状態が得られることとなり、パターン形成領域２ａ各部の形状を本来の設計形状に高精度で合致するようにマスク製造後でも修正でき、パターン形成領域２ａ各部の位置ずれが許容範囲に収まらずにマスクが不良となる割合を減らせる。
【００５５】
また、マスク本体２の外縁領域２ｂにおいて加熱され、永久変形を生じた点状部位が、変形部４０として、パターン形成領域２ａのずれ部３０にそのずれ方向と逆向きの変位を与え、ずれ部３０のずれ量を調整することから、マスク本体２に対し非接触で変形を生じさせてずれ部３０に変位を与えることができ、パターン形成領域２ａにおけるずれ部３０のずれ量調整以外の影響を与えることなく、位置ずれを許容範囲に収める程度の微小な変形を確実に得て、パターン形成領域２ａ各部の位置ずれを確実に調整、修正できる。
【００５６】
なお、前記実施形態に係る調整済マスクにおいては、外縁領域２ｂの所定箇所に設定される加熱用の点状部位を、レーザ加熱や誘導加熱等により、加熱源とは非接触の状態で所定時間加熱し、マスク本体２の内部応力に基づく変形を生じさせて変形部４０とする構成としているが、点状部位の加熱はこれと非接触の加熱源によるものに限らず、点状部位に接触した加熱源から加熱を行うようにすることもできる。ただし、その場合、加熱と同時に加わる接触圧力による変形分を考慮して、接触圧力による変形と加熱による変形の両方を含む変形部が、これに対応するずれ部のずれ量を許容範囲内に調整する変位を与えるように、総合的に変形の設定を行うこととなる。
【００５７】
（本発明の第２の実施形態）
前記第１の実施形態における調整済マスクにおいては、マスク本体２の外縁領域２ｂ所定箇所を加熱に基づいて永久変形を生じさせて変形部４０とする構成としているが、この他、第２の実施形態として、図１０ないし図１５に示すように、マスク本体２の外縁領域２ｂに、所定幅の線状部４６を挟んで隣り合う配置となる多数の貫通孔４７をあらかじめ設けるようにして、マスク２００を製造し、無調整状態のマスク２００に対し、マスク本体２における外縁領域２ｂの所定の線状部４６を切断して、この切断に伴う変形部分を変形部４５とする構成とすることもできる。
【００５８】
前記マスク２００は、前記第１の実施形態同様、マスク本体２と枠体３とを備えるものであり、前記第１の実施形態とほぼ同様の製造工程で製造されるが、その製造工程（図１１、図１２、図１３参照）については、マスク本体２をなす一次電着層１５の非配置部分に対応させてレジスト１４を母型１０表面に設ける工程で、外縁領域２ｂの貫通孔４７となる部位にも、レジスト１４を設ける点のみが異なる。
【００５９】
前記マスク本体２は、外縁領域２ｂに所定幅の線状部４６を挟んで隣り合う配置となる多数の貫通孔４７を設けられる点以外は、前記第１の実施形態同様の構成であり、また、枠体３は、全て前記第１の実施形態同様の構成であり、それぞれ詳細な説明を省略する。
【００６０】
マスク本体２における線状部４６の大きさや、この線状部４６を挟むスリット状の各貫通孔４７の大きさは、マスク本体２のパターン形成領域２ａに設けられる通孔８の大きさや、パターン形成領域２ａに生じる位置ずれの大きさによって、最適値が選択される。本実施形態のように有機ＥＬ素子用蒸着マスクへの適用の場合、位置ずれに対し数μｍの変位を付与可能な変形を生じさせるために、線状部４６の幅は約０．１ｍｍとし、各貫通孔４７の幅も約０．１ｍｍとするのが好ましい。
【００６１】
前記変形部４５は、マスク本体２の外縁領域２ｂにおける所定の貫通孔４７間の線状部４６の切断に伴うその線状部４６近傍の変形部分であり、線状部４６の切断による内部応力変化に基づいて変形し、切断された線状部４６とパターン形成領域２ａにおけるずれ部３０との間に位置する外縁領域２ｂ及びパターン形成領域２ａの所定範囲部分をずれ部３０に向けて変位させ、ずれ部３０に対しそのずれ方向と逆向きの微小変位を付与するように、永久変形を生じる構成である。
【００６２】
変形部４５としての変形を生じさせるにあたって切断する線状部４６は、パターン形成領域２ａで本来の設計位置から所定のずれ方向にずれたずれ部３０に対し、このずれ部３０から前記ずれ方向に外縁領域２ｂへ延長した延長線上に位置する線状部４６とするのが好ましいが、この延長線の近傍に位置する線状部とすることもできる。
【００６３】
また、外縁領域２ｂにおけるずれ方向に延長した延長線上やその近傍に切断対象の線状部４６を設定しにくい場合は、外縁領域２ｂの別の複数箇所にこの切断対象の線状部４６を設定して、切断により変形部４５をそれぞれ生じさせ、これら複数箇所の変形に基づくずれ部３０の各変位の合成で、ずれ部３０においてずれ方向と逆向きの変位を得るようにすることもできる。
【００６４】
さらに、線状部４６の切断により得られる変形部４５で、ずれ部３０におけるずれ方向と逆向きの変位が十分に得られない場合は、外縁領域の別の所定箇所、例えば切断した線状部４６近傍で同じ向きとなっている他の線状部４６を一又は複数切断して変形部４５を生じさせ、ずれ部３０における変位をさらに得るようにしてもかまわない。
【００６５】
次に、本実施形態に係るマスクの調整工程について説明する。前提として、前記第１の実施形態同様、所定の製造工程を経てマスク２００が得られており、このマスク２００は製造後は無調整状態にあり、この無調整状態では、マスク本体２の一部の通孔８に本来の設計位置からのずれが生じているものとする。そして、このマスク２００は、マスク本体２が外側の枠体３に対し内方に収縮する方向の応力Ｆを生じる状態にあるものとする。
【００６６】
この無調整状態のマスク２００に対し、マスク本体２のパターン形成領域２ａ各部における本来の設計位置からずれたずれ部３０に対応する変形部４５を形成し、ずれ部３０にそのずれ方向と逆向きの変位を付与してずれ量を調整する。
【００６７】
最初の工程として、マスク本体２のパターン形成領域２ａ各部の、本来存在すべき設計位置からのずれ量とずれ方向を測定する。ずれ量が０でなく、所定のずれ方向へのずれが認められた部位については、ずれ部３０として把握されることとなる。
【００６８】
続いて、パターン形成領域２ａにおける各ずれ部３０のずれ量があらかじめ設定された許容範囲に収まるか否かを判定する。ずれ量が許容範囲に収まらないずれ部３０については、例えば、そのずれ部３０からずれ方向に延長した延長線上に位置する、線状部４６を切断対象に設定する（図１５（Ａ）参照）。そして、この線状部４６をレーザ加工等により切断する。線状部４６の切断に伴い、この線状部４６近傍部分が、その内部応力変化に基づいて変形し、時間が経過しても変形が元に戻らない永久変形を生じた変形部４５となる。
【００６９】
この変形部４５における変形で、外縁領域２ｂにおける切断済の線状部４６からパターン形成領域２ａ寄りの部位を、パターン形成領域２ａ側に変位させ、合わせて、外縁領域２ｂの前記部位と連続するパターン形成領域２ａの一部を変形させて、パターン形成領域２ａのずれ部３０に、そのずれ方向と逆向きの微小変位を付与することができる（図１５（Ｂ）参照）。こうした変形部４５は、その変形により与えられるずれ部３０の変位が、ずれ部３０のずれ量を許容範囲に収めるようになるまで、線状部４６の切断により外縁領域２ｂに繰り返し形成される。
【００７０】
パターン形成領域２ａにおける、ずれ量が許容範囲に収まらないずれ部３０の全てについて、変形部４５による変位の付与で、ずれ量が許容範囲に収まる状態に至ると、調整工程は完了となり、調整済マスク１が得られることとなる。
【００７１】
この後、調整済マスク１の枠体３を、蒸着装置内又は蒸着装置の外に位置させたフレームに固定して、枠体３と共にマスク本体２がずれなく適正な位置に保持される状態とする。フレームが蒸着装置内の場合はこの状態で、また、フレーム５０が蒸着装置の外の場合はフレーム及び調整済マスク１を蒸着装置内に据え付けると、調整済マスク１の設置完了となる。
【００７２】
このように、本実施形態に係る調整済マスクは、マスク本体２の外縁領域２ｂにあらかじめ設けた線状部４６のいずれかを切断して生じた変形部分を変形部４５として、パターン形成領域２ａのずれ部３０にそのずれ方向と逆向きの変位を与え、ずれ部３０のずれ量を調整することから、マスク本体２に対し容易に適度な変形を生じさせてずれ部３０に変位を与えることができ、線状部４６の延長方向以外に切断による変形の影響が及びにくい状態を貫通孔４７で確保しつつ、パターン形成領域２ａでの位置ずれを許容範囲に収める程度の微小な変形を確実に得て、パターン形成領域２ａ各部の位置ずれを確実に調整、修正でき、位置ずれのあるマスクの良品化を効率よく進められる。
【００７３】
なお、前記各実施形態に係る調整済マスクは、製造後の無調整状態のマスクに対し、マスク本体２のパターン形成領域２ａ各部のずれ部３０に対応する外縁領域２ｂの変形部４０、４５として、外縁領域２ｂ所定箇所に加熱に基づいて永久変形を生じさせたものや、外縁領域２ｂにあらかじめ設けた、隣り合う貫通孔４７に挟まれた所定の線状部４６を切断して、この切断に伴う変形部分を用いる構成としているが、これに限らず、ずれ部３０に対応する外縁領域２ｂの所定箇所で曲げ、絞り等の塑性加工や、穿孔等の切削加工を行い、こうした加工に伴う永久変形部分を変形部として採用する構成とすることもできる。
【００７４】
この場合、加工力（外力）を加えて変形させるため、マスク本体に内部応力が残留していない状態でも適用でき、特に、マスク本体に対しその保持用の枠体を用いないことで、マスク本体の内部応力が打ち消されて残らない場合でも、マスク本体の外縁領域に変形部となる永久変形を適切に生じさせてずれ部を変位させ、ずれ部のずれ量を許容範囲に収めるようにすることができる。
【００７５】
この他、変形部としては、外縁領域２ｂ所定箇所に永久変形を生じさせたものに限らず、マスク本体２のパターン形成領域２ａのずれ部３０に対応する外縁領域２ｂの所定箇所に、ずれ部３０に変位を付与できる程度の弾性変形を生じさせ、この弾性変形部分を変形部として取り扱う構成とすることもできる。この場合、弾性変形は、外縁領域２ｂの所定箇所に対する加熱、冷却といった温度変化の付与の他、加圧や吸引、吸着といった正負圧力の付加により生じさせることができる。ただし、弾性変形は温度変化や圧力がなくなると変形が元に戻ることから、マスクを用いて所定の配置対象物を被配置面上の必要箇所に選択的に配置する工程の間、温度変化の付与や正負圧力の付加を継続して、弾性変形に基づく変形部が維持されるようにする。
【００７６】
なお、こうした変形部の維持が、マスクを用いて配置対象物を選択的に配置する工程、具体的には、蒸着や印刷などの工程の進行に、悪影響を及ぼさないようにして行われることはいうまでもない。
【００７７】
また、前記各実施形態に係る調整済マスクにおいて、マスク本体２は、ニッケル等の電着金属を素材として電鋳により形成される、金属製シート状とされる構成であるが、これに限られるものではなく、マスク本体を電鋳以外の製法で形成する場合、マスク本体を金属以外の材質からなるものとすることができる。
【符号の説明】
【００７８】
１              調整済マスク
２              マスク本体
２ａ            パターン形成領域
２ｂ            外縁領域
２ｃ            外周縁
３              枠体
７              金属層
８              通孔
９              パターン
１０            母型
１４、１８      レジスト
１５            一次電着層
３０            ずれ部
４０、４５      変形部
４６            線状部
４７            貫通孔
１００、２００  マスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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