(57)【要約】【課題】高い汎用性および信頼性を具備すると共に消費電力が少ない電動アクチュエータを低コストに提供する。【解決手段】モータ部Ａと、ねじ軸３３およびその外周に嵌合されたナット３２を有する運動変換機構部Ｂとを備え電動アクチュエータ１において、モータ部Ａのロータ２４は、内周にナット３２を収容した中空回転軸としてのロータインナ２６を有し、ロータインナ２６の一端は、ロータインナ２６の外周面に形成された内側軌道面２７ａを有する転がり軸受２７によって支持される。転がり軸受２７は、その内部空間に介在する潤滑剤と、複数のボール２７ｃを保持した保持器２７ｄとを備え、保持器２７ｄのうち、潤滑剤と接触する面であってかつボール２７ｃと接触しない面には、柔軟性構造体７０としての植毛部７１が設けられている。【選択図】図４
2018137868.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電動モータを有するモータ部と、運動変換機構部とを備え、該運動変換機構部が、前記電動モータのロータの回転中心と同軸に配置されたねじ軸と、該ねじ軸の外周に嵌合され、前記ロータの回転運動を受けて回転するナットとを有し、該ナットの回転に伴って前記ねじ軸が軸方向に直線運動する電動アクチュエータにおいて、
前記ロータは、外周にロータコアを装着すると共に内周に前記ナットを収容した中空回転軸を有し、該中空回転軸の一端は、前記中空回転軸の外周面に形成された内側軌道面を有する転がり軸受によって回転自在に支持されており、
前記転がり軸受は、その内部空間に介在する潤滑剤と、前記内側軌道面上を転動する複数の転動体と、該転動体を保持する保持器とを備え、該保持器のうち、前記潤滑剤と接触する面であってかつ前記転動体と接触しない面に、無数の繊維材、軟質発泡材または軟質樹脂材からなる柔軟性構造体が設けられていることを特徴とする電動アクチュエータ。
【請求項２】
前記柔軟性構造体が、前記保持器の内径面および外径面の少なくとも一方に設けられている請求項１に記載の電動アクチュエータ。
【請求項３】
前記柔軟性構造体が、合成樹脂製の繊維材を無数に植毛してなる植毛部で構成されている請求項１又は２に記載の電動アクチュエータ。
【請求項４】
前記繊維材が、前記柔軟性構造体が設けられた面の法線方向に対して角度をなす方向に延びている請求項３に記載の電動アクチュエータ。
【請求項５】
前記ねじ軸が、軸方向に延びた中空部を有する中空状に形成され、前記中空部に、前記ねじ軸の軸方向の変位量を検出するためのストローク検出用センサが配置されている請求項１〜４の何れか一項に記載の電動アクチュエータ。
【請求項６】
前記運動変換機構部が、前記ロータの回転を減速して前記ナットに伝達する減速機をさらに備える請求項１〜５の何れか一項に記載の電動アクチュエータ。
【請求項７】
前記内側軌道面が、前記ナットの軸方向幅の内側に配置されている請求項１〜６の何れか一項に記載の電動アクチュエータ。
【請求項８】
軸方向に結合された複数部材からなり、前記モータ部および前記運動変換機構部を収容した筐体と、前記電動モータに駆動電力を供給するための給電回路を保持したターミナル部とをさらに備え、
前記ターミナル部が、前記筐体の構成部材により軸方向両側から挟持されている請求項１〜７の何れか一項に記載の電動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電動アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、自動車や二輪車等の車両においては、その省力化や低燃費化（省エネルギー化）のために電動化が進展し、例えば、自動変速機、ブレーキ、ステアリング等の操作を電動機（電動モータ）の力で行うシステムが開発され、市場に投入されている。このようなシステムに使用される電動アクチュエータとして、電動モータの回転運動を直線運動に変換して出力する運動変換機構にねじ機構（ボールねじ機構）を採用したものがある（例えば、特許文献１）。
【０００３】
特許文献１の図２１には、電動モータのロータに、ボールねじのナット、およびロータ（の一端）を回転自在に支持する転がり軸受の内輪の機能を持たせた（ナットおよび内輪を一体的に設けた）電動アクチュエータが開示されている。このようにすれば、ロータ、ナットおよび転がり軸受の内輪を個別に設ける場合に比べ、部品点数および質量を減じることができるので、電動アクチュエータの軽量・コンパクト化および低コスト化を実現することができる。なお、特許文献１では、ロータ（ナット）と転がり軸受の内輪とを一体化することに関し、ナットと内輪とはそれぞれの材料に求められる機能が共通するため同一の材料を使用することができる、としており、ナットおよび内輪の機能を兼ね備えたロータを浸炭材で形成している（段落００８２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１８００７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
電動アクチュエータを搭載する機器の拡大が検討されている昨今の実情に鑑み、部品を共用することによる電動アクチュエータのシリーズ化（多品種展開）を検討すると、特許文献１の電動アクチュエータには改良の余地がある。すなわち、特許文献１のように、電動モータのロータにボールねじのナットを一体的に設けると、例えば、出力が異なる電動アクチュエータを実現する際に、ロータ（電動モータ）を共用することができない可能性がある。そのため、各部の仕様が異なる複数種のロータを準備・作製する必要が生じ、電動アクチュエータのシリーズ化を低コストに実現することが難しくなる。
【０００６】
また、ロータを支持する転がり軸受にスラスト荷重が入らない構造としたうえで、ロータの回転バランスを取ると、ロータを支持する転がり軸受に負荷されるラジアル荷重はロータの自重程度となるため、転がり軸受は高い強度を必要としない。それにも関わらず、特許文献１では、転がり軸受の内輪（内輪が一体的に設けられたロータ）を浸炭材のような高強度かつ高価な材料で形成しているため、電動アクチュエータが高コスト化する。
【０００７】
また、電動アクチュエータは、所望の動作精度を安定的に保つことができて信頼性に富み、かつ消費電力が少ないことが好ましく、このような要求を満足し得る電動アクチュエータを実現するための技術手段として、ロータを支持する転がり軸受のトルク損失を少なくして高効率化を図ることが考えられる。しかしながら、特許文献１では、転がり軸受の高効率化（低トルク化）を実現するための方策が何ら言及・検討されていない。
【０００８】
以上の実情に鑑み、本発明は、高い汎用性や信頼性を具備すると共に消費電力の少ない電動アクチュエータを低コストに提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために創案された本発明は、電動モータを有するモータ部と、運動変換機構部とを備え、運動変換機構部が、電動モータのロータの回転中心と同軸に配置されたねじ軸と、ねじ軸の外周に嵌合され、ロータの回転運動を受けて回転するナットとを有し、ナットの回転に伴ってねじ軸が軸方向に直線運動する電動アクチュエータにおいて、ロータは、外周にロータコアを装着すると共に内周にナットを収容した中空回転軸を有し、この中空回転軸の一端は、中空回転軸の外周面に形成された内側軌道面を有する転がり軸受によって回転自在に支持されており、転がり軸受は、その内部空間に介在する潤滑剤と、内側軌道面上を転動する複数の転動体と、転動体を保持する保持器とを備え、保持器のうち、潤滑剤と接触する面であってかつ転動体と接触しない面に、無数の繊維材、軟質発泡材または軟質樹脂材からなる柔軟性構造体が設けられていることを特徴とする。なお、上記の潤滑剤について「内部空間（転がり軸受の内部空間）に介在する」とは、軸受外部から供給された潤滑剤が転がり軸受の内部空間に介在している場合、および転がり軸受の内部空間に予め充填された潤滑剤が介在している場合の双方を含む概念である。
【００１０】
本発明では、電動モータのロータを構成する中空回転軸と運動変換機構部（ねじ装置）を構成するナットが個別に設けられる。この場合、モータ部または運動変換機構部の仕様が異なる電動アクチュエータを実現する際には、中空回転軸を含む電動モータまたはナットを含むねじ装置を共用することが可能となる。そのため、最小限の変更で種々の機器に適用できて汎用性が高く、シリーズ化の容易な電動アクチュエータを低コストに実現することができる。また、中空回転軸の一端を回転自在に支持した転がり軸受は、前述のとおり、ロータを支持する転がり軸受にスラスト荷重が入らない構造としたうえで、ロータの回転バランスが取られていればロータの自重程度のラジアル荷重を支持できれば良い。そのため、転がり軸受（および中空回転軸）は、例えば、浸炭材に比べて格段に安価な軟鋼で形成することができる。この点からも電動アクチュエータの低コスト化を図ることができる。
【００１１】
また、中空回転軸（の一端）を支持する転がり軸受の保持器のうち、潤滑剤と接触する面であってかつ転動体と接触しない面に、無数の繊維材（の集合体）、軟質発泡材（の構造体）または軟質樹脂材（の構造体）からなる柔軟性構造体を設けておけば、転がり軸受の運転時、内部空間に介在する潤滑剤の少なくとも一部は柔軟性構造体に保持された状態で保持器と共に回転する。そのため、軸受運転時の潤滑剤の撹拌、および潤滑剤の粘性などに起因する回転トルクの増大を防止し、転がり軸受の低トルク化を実現することができる。特に、柔軟性構造体を保持器のうちで転動体と接触しない面に設けておけば、軸受機能を損なうことなく潤滑剤を適切に保持することができる。以上より、ロータの回転精度（電動モータの動作精度）が良好で信頼性に富み、しかも低消費電力の電動アクチュエータを実現することができる。
【００１２】
柔軟性構造体は、例えば、保持器の内径面および外径面の少なくとも一方に設けることができる。保持器の内径面や外径面は、転動体との接触が確実に回避される面であることから、前述した作用効果を享受する上で有利となる。
【００１３】
柔軟性構造体は、合成樹脂製の繊維材を無数に植毛してなる植毛部で構成することができる。植毛部を構成する繊維材は、柔軟性構造体（植毛部）が設けられた面の法線方向、あるいは該法線方向に対して角度をなす方向に延びたものとすることができる
【００１４】
ねじ軸を、軸方向に延びた中空部を有する中空状に形成し、上記中空部に、ねじ軸の軸方向の変位量を検出するためのストローク検出量センサを配置しておけば、全体としてコンパクトな構成でありながら、ねじ軸の動作精度に優れた電動アクチュエータを実現する上で有利となる。
【００１５】
運動変換機構部には、ロータの回転を減速してナットに伝達する減速機を設けることができる。この場合、小型のモータを採用することができるので、電動アクチュエータの軽量・コンパクト化を図ることができる。減速機としては、遊星歯車減速機を採用することができる。遊星歯車減速機であれば、例えば歯車諸元を変更したり、遊星ギヤの設置段数を変更したりすることで減速比を容易に調整することができ、しかも遊星ギヤを多段に設置しても減速機、ひいては電動アクチュエータの大型化を回避することができる、という利点がある。
【００１６】
中空回転軸の外周面に形成した内側軌道面をナットの軸方向幅の内側に配置すれば、電動アクチュエータを軸方向にコンパクト化することができる。
【００１７】
本発明に係る電動アクチュエータは、軸方向に結合された複数部材からなり、モータ部および運動変換機構部を収容した筐体と、電動モータに駆動電力を供給するための給電回路を保持したターミナル部とをさらに備えるものとすることができる。この場合、ターミナル部を、筐体の構成部材により軸方向両側から挟持すれば、電動アクチュエータの組立性を高めることができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上より、本発明によれば、高い汎用性および信頼性を具備すると共に消費電力の少ない電動アクチュエータを低コストに提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に電動アクチュエータの縦断面図である。
【図２】図１のＥ−Ｅ線矢視断面図である。
【図３】電動モータのロータと運動変換機構部とを取り出して拡大した縦断面図である。
【図４】（ａ）図は、転がり軸受の拡大断面図、（ｂ）図は、同転がり軸受を構成する保持器の概略斜視図である。
【図５】（ａ）図は、保持器の部分拡大断面図、（ｂ）図は、変形例に係る保持器の部分拡大図である。
【図６】図１のＦ−Ｆ線矢視断面図である。
【図７】ケーシングにリングギヤを組み込んだ状態を示す縦断面図である。
【図８】モータのステータとターミナル部とを取り出して拡大した縦断面図である。
【図９】図１のＧ−Ｇ線矢視断面図である。
【図１０】図１のＨ−Ｈ線矢視断面図である。
【図１１】図１に示す電動アクチュエータの左側面図である。
【図１２】図１１のＩ−Ｉ線矢視断面図である。
【図１３】図１の電動アクチュエータの制御系統を示すブロック図である。
【図１４】他の実施形態に係る電動アクチュエータの制御系統を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
図１に、本発明の一実施形態に係る電動アクチュエータの縦断面図を示し、図２に、図１のＥ−Ｅ線矢視断面図を示し、図３に、電動モータのロータと運動変換機構部とを取り出して拡大した縦断面図を示す。図１および図２に示すように、電動アクチュエータ１は、モータ部Ａと、モータ部Ａの回転運動を直線運動に変換して出力する運動変換機構部Ｂと、図示外の操作対象を操作する操作部Ｃと、ターミナル部Ｄとを備え、これらは筐体２に収容・保持されている。
【００２２】
筐体２は、軸方向に結合された複数部材からなる。本実施形態の筐体２は、軸方向一方側（図１，２においては紙面右側。以下同様。）および軸方向他方側（図１，２においては紙面左側。以下同様。）の端部が開口した筒状のケーシング２０と、ケーシング２０の軸方向他方側の端部開口を閉塞するカバー２９と、ケーシング２０とカバー２９の間に配置され、ターミナル部Ｄを構成するターミナル本体５０との結合体からなる。カバー２９およびターミナル本体５０は、図１１，１２に示す組立用ボルト６１によりケーシング２０に対して取り付け固定されている。
【００２３】
モータ部Ａは、ケーシング２０に固定されたステータ２３と、径方向隙間を介してステータ２３の内周に対向配置されたロータ２４とを備えたラジアルギャップ型の電動モータ（詳細には、Ｕ相、Ｖ相およびＷ相を有する三相ブラシレスモータ）２５を有する。ステータ２３は、ステータコア２３ａに装着された絶縁用のボビン２３ｂと、ボビン２３ｂに巻き回されたコイル２３ｃとを備える。ロータ２４は、ロータコア２４ａと、ロータコア２４ａの外周に取り付けられた永久磁石２４ｂと、ロータコア２４ａを外周に装着した中空回転軸としてのロータインナ２６とを備える。
【００２４】
図３に示すように、ロータコア２４ａは、ロータインナ２６の軸方向一方側の肩部２６ａにサイドプレート６５をセットした後、ロータインナ２６の外周面２６ｂに嵌合される。永久磁石２４ｂ（図２参照）は、ロータコア２４ａの外周に嵌合された後、ロータインナ２６のうち、ロータコア２４ａの軸方向他方側の端部外周に取り付けられたサイドプレート６５、およびその軸方向外側に取り付けられたサークリップ６６により位置決め固定されている。
【００２５】
図１〜図３に示すように、ロータインナ２６は、軸方向に離間して配置された転がり軸受２７，３０によって筐体２に対して回転自在に支持されている。図４（ａ）に拡大して示すように、ロータインナ２６の軸方向一方側の端部を支持する転がり軸受２７は、内側軌道面２７ａと、外側軌道面を有する外輪２７ｂと、内側軌道面２７ａおよび外側軌道面上を転動する複数の転動体（ボール）２７ｃと、ボール２７ｃを保持した環状の保持器２７ｄとを備える玉軸受であり、その内部空間には潤滑剤が介在している。転がり軸受２７の内側軌道面２７ａは、ロータインナ２６の軸方向一方側の端部外周面に形成されており、転がり軸受２７の外輪２７ｂはケーシング２０の内周面に固定された軸受ホルダ２８の内周面に装着されている。ロータインナ２６の軸方向他方側の端部を支持する転がり軸受３０は、転がり軸受２７と同様に玉軸受であり、ロータインナ２６の軸方向他方側の端部内周面と、カバー２９の円筒部２９ａの外周面との間に装着されている。
【００２６】
転がり軸受２７，３０の内部空間に介在する潤滑剤は、転がり軸受に一般的に用いられる潤滑油又はグリースであり、本実施形態ではグリースが使用される。
【００２７】
使用可能な潤滑油としては、例えば、
（１）パラフィン系鉱油、ナフテン系鉱油などの鉱油、
（２）ポリブテン油、ポリ−α−オレフィン油、アルキルベンゼン油、アルキルナフタレン油などの炭化水素系合成油、
（３）天然油脂やポリオールエステル油、リン酸エステル油、ジエステル油、ポリグリコール油、シリコーン油、ポリフェニルエーテル油、アルキルジフェニルエーテル油、フッ素化油などの非炭化水素系合成油、
を挙げることができる。例示した潤滑油は、一種のみを用いても良いし、二種以上を併用しても良い。また、グリースとしては、例えば、上記の潤滑油の中から選択される一種又は二種以上を基油とし、これに適宜の増ちょう剤（例えば、金属石けん系増ちょう剤、ウレア系化合物、フッ素系樹脂粉末など）を一種又は二種以上添加・混合したものが使用される。
【００２８】
潤滑剤には、種々の特性を付与するための添加剤を一種又は二種以上混合しても良い。使用可能な添加剤としては、例えば、有機亜鉛化合物、有機モリブデン化合物などの極圧剤、アミン系、フェノール系、イオウ系化合物などの酸化防止剤、イオウ系、リン系化合物などの摩耗抑制剤、多価アルコールエステルなどの防錆剤、ポリメタクリレート、ポリスチレンなどの粘度指数向上剤、二硫化モリブデン、グラファイトなどの固体潤滑剤、エステル、アルコールなどの油性剤などを挙げることができる。
【００２９】
図４（ａ）（ｂ）に示すように、保持器２７ｄの一部の表面には柔軟性構造体７０が設けられている。本実施形態の保持器２７ｄは、ボール２７ｃを保持するためのポケット部２７ｄ３が一対の爪部２７ｄ４で画成されたいわゆる冠型の保持器であり、柔軟性構造体７０は、保持器２７ｄの内径面２７ｄ１および外径面２７ｄ２に設けられている。保持器２７ｄの内径面２７ｄ１および外径面２７ｄ２は、保持器２７ｄのうち、転がり軸受２７の内部空間に介在する潤滑剤と接触する面であってかつボール２７ｃと接触しない面である。以下、図５（ａ）に基づき、保持器２７ｄの外径面２７ｄ２に設けられた柔軟性構造体７０を詳細に説明する。なお、保持器２７ｄの内径面２７ｄ１に設けられた柔軟性構造体７０は、保持器２７ｄの外径面２７ｄ２に設けられた柔軟性構造体７０と同様の構成を有するので、詳細な説明を省略する。
【００３０】
図５（ａ）に示すように、本実施形態の柔軟性構造体７０は、一端（基端）が保持器２７ｄの外径面２７ｄ２に形成した接着層７３に保持された無数の繊維材７２（の集合体）からなる植毛部７１で構成される。各繊維材７２は、保持器２７ｄの外径面２７ｄ２の法線方向（径方向）に延びるようにして、保持器２７ｄの外径面２７ｄ２に対して略垂直な起立姿勢で接着層７３に保持されている。
【００３１】
繊維材７２としては、例えば、
（１）ポリエチレンやポリプロピレンなどのポリオレフィン樹脂、ナイロンなどのポリアミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル樹脂、アクリル樹脂などといった合成樹脂からなる合成樹脂繊維、
（２）炭素繊維やガラス繊維などの無機繊維、
（３）レーヨン、アセテートなどの再生繊維や、綿、絹、麻、羊毛などの天然繊維、
（４）鉄、ステンレス鋼、銅、アルミニウムなどの金属材料からなる金属繊維、
を使用することができる。これらは要求特性に応じて一種又は二種以上を選択使用することができるが、均質な繊維を安価に量産することができ、しかも油による膨潤や溶解などが生じ難く化学的に安定している合成樹脂繊維を好ましく使用できる。
【００３２】
どのような繊維長、繊維径および断面形状を有する繊維材７２を使用するか、また、植毛部７１の植毛密度（植毛部７１に占める繊維材７２の面積比）をどの程度に設定するかは、植毛部７１に対する要求特性に応じて適宜決定される。なお、繊維材７２としては、例えば、繊維長が０．５〜２．０ｍｍで、繊維径が０．５〜５０デシックスの繊維材７２を使用できる。また、繊維材７２には、断面形状が円形のものや多角形状のものがあるが、断面多角形状の繊維材７２は、断面円形の繊維材７２よりも表面積が大きいため、多くの潤滑剤を保持できるという利点がある。さらに、植毛部７１の植毛密度は、例えば、１０〜３０％とすることができる。
【００３３】
接着層７３は、例えば、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂などを主成分とする接着剤を乾燥・硬化させることで形成される。使用可能な接着剤の具体例としては、ウレタン樹脂溶剤系接着剤、エポキシ樹脂溶剤系接着剤、酢酸ビニル樹脂溶剤系接着剤、アクリル樹脂系エマルジョン接着剤、アクリル酸エステル−酢酸ビニル共重合体系エマルジョン接着剤、酢酸ビニル系エマルジョン接着剤、ウレタン樹脂系エマルジョン接着剤、エポキシ樹脂系エマルジョン接着剤、ポリエステル系エマルジョン接着剤、エチレン−酢酸ビニル共重合体系接着剤などが挙げられる。以上で例示した接着剤は、一種のみを用いても良いし、二種以上を併用しても良いが、耐熱性や耐油性等に優れたものを選択使用するのが好ましい。
【００３４】
上記の構成を有する柔軟性構造体７０としての植毛部７１は、静電植毛法で形成することができる。静電植毛法は、接着剤塗布工程、静電植毛工程、乾燥工程および仕上げ工程などを含む。これらの各工程について簡単に説明すると、接着剤塗布工程は、植毛部の形成対象面（ここでは、保持器２７ｄの外径面２７ｄ２）に適宜の接着剤を塗布する工程であり、静電植毛工程は、静電気力（クーロン力）を利用して繊維材７２を飛翔させ、繊維材７２の一端を接着剤（未硬化状態の接着剤）に突き刺すようにして植え込む工程である。また、乾燥工程は、接着剤を乾燥・硬化させることにより接着層７３を形成する工程であり、仕上げ工程は、繊維材７２の長さを揃えるための処理等が実施される工程である。なお、仕上げ工程は、必要に応じて実施すれば良く、省略しても構わない。
【００３５】
図１〜図３に示すように、運動変換機構部Ｂは、ボールねじ装置３１と、減速機としての遊星歯車減速機１０とを備える。
【００３６】
ボールねじ装置３１は、ロータ２４の回転中心と同軸に配置され、電動アクチュエータ１の出力部材を構成するねじ軸３３と、複数のボール３４を介してねじ軸３３の外周に回転可能に嵌合されたナット３２と、循環部材としてのこま３５とを備える。ナット３２の内周面に形成された螺旋状溝３２ａと、ねじ軸３３の外周面に形成された螺旋状溝３３ａとの間に複数のボール３４が装填され、こま３５が組み込まれている。このような構成により、ねじ軸３３が軸方向に直線運動する際には、両螺旋状溝３２ａ，３３ａの間でボール３４が循環する。
【００３７】
ねじ軸３３は、軸方向に延びる中空部３３ｂ（ここでは、軸方向両側の端面に開口した貫通穴）を有する中空状に形成され、中空部３３ｂにばね取付カラー３６が収容されている。ばね取付カラー３６は、例えばＰＰＳ等の樹脂材料で形成され、軸方向一方側の端部に設けられた円形中実部３６ａと、軸方向他方側の端部に設けられたフランジ部３６ｂと、両部３６ａ，３６ｂを接続する筒部３６ｃとを一体に有する。
【００３８】
ばね取付カラー３６は、その円形中実部３６ａとねじ軸３３とを径方向に貫通するようにピン３７を嵌め込むことによってねじ軸３３と連結固定される。ピン３７の両端部は、ねじ軸３３の外周面から径方向外側に突出しており、この突出部分にガイドカラー３８が嵌合されている。ガイドカラー３８は、ケーシング２０の小径円筒部２０ａの内周に設けられた軸方向の案内溝２０ｂ（図７も併せて参照）に嵌め込まれており、案内溝２０ｂ上を転動する。このような構成により、ロータ２４の回転に伴ってナット３２がねじ軸３３の軸線回りに回転すると、ねじ軸３３は回り止めされた状態で軸方向に直線運動する。ねじ軸３３の移動方向は、基本的には、ナット３２（ロータ２４）の回転方向に応じて決定付けられる。但し、本実施形態では、付勢部材としての圧縮コイルばね４８のばね力によってもねじ軸３３が軸方向他方側に移動（後退）可能となっている（詳細は後述する）。
【００３９】
図１および図２に示すように、ねじ軸３３の軸方向一方側の端部には、操作部Ｃとしてのアクチュエータヘッド３９が着脱可能に装着されている。本実施形態のアクチュエータヘッド３９は、ねじ軸３３が軸方向一方側に移動（前進）するのに伴ってその先端面が操作対象を軸方向に加圧する、いわゆる押しタイプである。なお、アクチュエータヘッド３９としては、操作対象に応じたものが選択使用され、例えば操作対象を軸方向両側に操作する場合には、いわゆる押し引きタイプが採用される。
【００４０】
遊星歯車減速機１０は、図１〜図３および図６に示すように、ケーシング２０に固定されたリングギヤ４０と、ロータインナ２６の段部内周面に圧入固定されたサンギヤ４１と、リングギヤ４０とサンギヤ４１の間に配置され、両ギヤ４０，４１に噛合った複数の遊星ギヤ４２と、遊星ギヤ４２を回転自在に保持した遊星ギヤキャリア４３および遊星ギヤホルダ４４と、を備える。
【００４１】
図６に示すように、リングギヤ４０の外周には径方向外側に突出した凸部４０ａが設けられており、凸部４０ａは、ケーシング２０の内周面２０ｃに設けられた軸方向溝２０ｅ（図７を併せて参照）に嵌合されている。これにより、リングギヤ４０は、ケーシング２０に対して回り止めされている。
【００４２】
遊星ギヤキャリア４３は、ロータインナ２６に対して相対回転可能であり、図１〜図３に示すように、ロータインナ２６の内周面とナット３２の外周面３２ｂとの間に配置された円筒部４３ａを一体に有する。円筒部４３ａの外周面はロータインナ２６およびサンギヤ４１の内周面と径方向隙間を介して対向し、円筒部４３ａの内周面はナット３２の外周面３２ｂに圧入されている。以上の構成により、電動モータ２５の回転運動は、遊星歯車減速機１０によって減速された上でナット３２に伝達される。これにより、回転トルクを増加することができるので、小型の電動モータ２５を採用することができ、電動アクチュエータ１を全体として軽量・コンパクト化することができる。
【００４３】
図１〜図３に示すように、ナット３２の軸方向一方側の端面とケーシング２０との間にスラストワッシャ４５が配設され、カバー２９の円筒部２９ａの先端部外周に取り付けられたスラスト受けリング４６とナット３２の軸方向他方側の端面との間にスラスト軸受としての針状ころ軸受４７が配設されている。このような針状ころ軸受４７の存在により、ねじ軸３３が前進する際のスラスト荷重が滑らかに支持される。
【００４４】
図１および図２に示すように、カバー２９の円筒部２９ａの内周面２９ｂとねじ軸３３の外周面との間には、付勢部材としての圧縮コイルばね４８が配設されている。圧縮コイルばね４８の軸方向一方側および他方側の端部は、それぞれ、針状ころ軸受４７およびばね取付カラー３６のフランジ部３６ｂに当接している。このように設けられた圧縮コイルばね４８のばね力により、ばね取付カラー３６と連結されたねじ軸３３が常時軸方向他方側（原点側）に付勢される。このようにすれば、例えば、電動モータ２５に適切に駆動電力が供給されない場合でも、ねじ軸３３を自動的に原点復帰させることができるので、操作対象の作動に悪影響を及ぼす可能性を可及的に低減することができる。
【００４５】
カバー２９の詳細を図１１および図１２を参照して説明する。図１１は、図１の左側面図であり、図１２は、図１１のＩ−Ｉ線矢視断面図である。カバー２９は、加工性および熱伝導率に優れた金属材料、例えば、アルミニウム合金、亜鉛合金又はマグネシウム合金で形成される。図示は省略しているが、カバー２９の外側表面には、電動アクチュエータ１の冷却効率を高めるための冷却フィンを設けても良い。カバー２９の円筒部２９ａの外周面には、転がり軸受３０が装着された軸受装着面６３と、スラスト受けリング４６が嵌合された嵌合面６４とが設けられている。また、カバー２９には、電動アクチュエータ１の組立用ボルト６１が挿通された図示外の貫通穴と、電動アクチュエータ１を使用機器に取り付けるための取付用ボルトが挿通される貫通穴６２とが設けられている。
【００４６】
次に、ターミナル部Ｄを図１および図８〜図１０を参照して説明する。図８に示すように、ターミナル部Ｄは、筐体２の一部を構成する短筒状部、および短筒状部の軸方向他方側の端部から径方向内側に延びる円盤状部を一体に有するターミナル本体５０と、ターミナル本体５０の円盤状部に対してねじ止めされたバスバー５１およびプリント基板５２とを備える。図９および図１０に示すように、ターミナル本体５０の短筒状部は、図１１，１２に示す組立用ボルト６１が挿通される貫通穴５０Ａと、電動アクチュエータ１を使用機器に取り付けるためのボルトが挿通される貫通穴５０Ｂとを有し、上記の組立用ボルト６１により、ケーシング２０とカバー２９の間で挟持される（図１，２参照）。ターミナル本体５０は、例えばＰＰＳ等の樹脂材料で形成される。
【００４７】
ターミナル部Ｄ（ターミナル本体５０）は、電動モータ２５に駆動電力を供給するための給電回路や後述する各種センサ等の電装部品をまとめて保持している。給電回路は、図９および図１０に示すように、ステータ２３のコイル２３ｃをＵ相、Ｖ相、Ｗ相の相別にバスバー５１の端子５１ａに結線し、さらに、図２に示すように、バスバー５１の端子５１ｂと、ターミナル本体５０の端子台５０ａとをねじ５１ｃで締結することで構成される。端子台５０ａは、図示外のリード線が接続される端子５０ｂを有し、上記のリード線は、ターミナル本体５０の短筒状部に設けられた開口部５０ｃ（図１参照）を介して筐体２の外径側に引き出され、制御装置８０のコントローラ８１（図１３又は図１４参照）に接続される。
【００４８】
本実施形態の電動アクチュエータ１には２種類のセンサが搭載されており、これら２種類のセンサはターミナル部Ｄに保持されている。図１等に示すように、２種類のセンサのうちの一方は、電動モータ２５の回転制御に用いる回転角度検出用センサ５３であり、他方は、ねじ軸３３のストローク制御（軸方向の変位量検出）のために用いるストローク検出用センサ５５である。回転角度検出用センサ５３およびストローク検出用センサ５５としては、何れも、磁気センサの一種であるホールセンサが使用される。
【００４９】
図１および図１０に示すように、回転角度検出用センサ５３は、円盤状をなしたプリント基板５２に取り付けられており、ロータインナ２６の軸方向他方側の端部に取り付けられたパルサリング５４と軸方向隙間を介して対向配置されている。この回転角度検出用センサ５３は、電動モータ２５のＵ相、Ｖ相、Ｗ相のそれぞれに電流を流すタイミングを決める。
【００５０】
図２、図９および図１０に示すように、ストローク検出用センサ５５は、軸方向に延び、軸方向他方側の端部がプリント基板５２に接続された帯状のプリント基板５６に取り付けられている。プリント基板５６およびストローク検出用センサ５５は、ねじ軸３３の中空部３３ｂに収容されたばね取付カラー３６の筒部３６ｃ内周に配置されている。また、ばね取付カラー３６の筒部３６ｃの内周には、ストローク検出用センサ５５と径方向隙間を介して対向するようにターゲットとしての永久磁石５７が取り付けられており、本実施形態では軸方向に離間した二箇所に永久磁石５７が取り付けられている。そして、ストローク検出用センサ５５は、永久磁石５７の周囲に形成される軸方向および径方向の磁界をそれぞれ検出し、これに基づいてねじ軸３３の軸方向の変位量を算出する。
【００５１】
詳細な図示は省略しているが、回転角度検出用センサ５３およびストローク検出用センサ５５の信号線は、何れも、ターミナル本体５０の開口部５０ｃ（図１参照）を介して筐体２の外径側に引き出され、制御装置８０（図１３又は図１４参照）に接続される。
【００５２】
以上の構成を有する電動アクチュエータ１の組立手順を簡単に説明する。まず、図７に示すように、リングギヤ４０をケーシング２０に組み込む。次いで、図３に示す電動モータ２５のロータ２４と運動変換機構部Ｂのサブアセンブリをケーシング２０に挿入する。このとき、遊星ギヤ４２とリングギヤ４０とを噛み合わせ、ガイドカラー３８をケーシング２０の案内溝２０ｂに嵌合させ、さらに軸受ホルダ２８をケーシング２０の内周面２０ｃに嵌合させる。その後、図８に示す電動モータ２５のステータ２３とターミナル本体５０のサブアセンブリのうち、ステータ２３をケーシング２０の内周に嵌合してから、カバー２９およびターミナル本体５０をケーシング２０に対して組立用ボルト６１（図１１，１２参照）により締結する。これにより、電動アクチュエータ１が完成する。
【００５３】
以上で説明したように、本発明に係る電動アクチュエータ１においては、電動モータ２５のロータ２４を構成するロータインナ２６と、ボールねじ装置３１のナット３２が個別に設けられる。このようにすれば、例えば、運動変換機構部Ｂ（ボールねじ装置３１）の仕様が異なる電動アクチュエータ１を実現する際に、ロータ２４を含む電動モータ２５、ひいてはモータ部Ａを共用することが可能となる。そのため、最小限の変更で種々の機器に適用できて汎用性が高く、シリーズ化（多品種展開）の容易な電動アクチュエータ１を低コストに実現することができる。
【００５４】
また、ロータ２４の回転バランスが取られていれば、ロータインナ２６を支持する転がり軸受２７，３０は、ロータ２４の自重程度のラジアル荷重を支持できれば良い。この場合、転がり軸受２７の内側軌道面２７ａを一体に有するロータインナ２６は、高強度の材料で形成する必要がなく、例えば、焼入れ焼戻し等の熱処理が省略された安価な軟鋼で形成しても必要強度を確保することができる。特に、本実施形態では、電動モータ２５の回転運動を、遊星歯車減速機１０を介してナット３２に伝達するようにしているためにラジアル荷重の発生はなく、また、ねじ軸３３の直線運動に伴って生じる反力（スラスト荷重）は針状ころ軸受４７で支持される。従って、転がり軸受２７は、ラジアル方向の位置決め機能を有していれば足りるため、転がり軸受２７の内側軌道面２７ａを一体に有するロータインナ２６は、上記のような材料仕様で足りる。これにより、電動アクチュエータ１を低コスト化することができる。
【００５５】
また、ロータインナ２６（の一端）を支持する転がり軸受２７の保持器２７ｄのうち、転がり軸受２７の内部空間に介在する潤滑剤と接触する面であってかつボール２７ｃと接触しない面（本実施形態では内径面２７ｄ１および外径面２７ｄ２）には、柔軟性構造体７０としての植毛部７１が設けられる。このような植毛部７１を設けておけば、転がり軸受２７の運転時、その内部空間に介在する潤滑剤（の少なくとも一部）は植毛部７１を構成する繊維材７２に保持された状態で保持器２７ｄと共に回転する。そのため、軸受運転時の潤滑剤の撹拌、および潤滑剤の粘性などに起因する回転トルクの増大を防止し、転がり軸受２７の低トルク化を実現することができる。特に、柔軟性構造体７０としての植毛部７１を保持器２７ｄのうちでボール２７ｃとの非接触面に設けておけば、軸受機能を損なうことなく潤滑剤を適切に保持することができる。以上より、ロータ２４の回転精度（電動モータ２５の動作精度）が良好で信頼性に富み、しかも低消費電力の電動アクチュエータ１を実現することができる。
【００５６】
また、ロータインナ２６を支持する転がり軸受２７，３０は、ロータインナ２６の外周に装着されたロータコア２４ａの軸方向一方側および他方側の端部に近接配設されていることから、ロータ２４を軸方向にコンパクト化することができる。これに加えて、転がり軸受２７がナット３２の軸方向幅の内側に配置された構造が相俟って、筐体２の軸方向寸法Ｌ（図１参照）を短縮することができる。
【００５７】
また、針状ころ軸受４７は、ロータインナ２６を支持する転がり軸受２７，３０間の軸方向範囲内に配置されているので、ねじ軸３３の直線運動に伴ってねじ軸３３等に作用するモーメント荷重に対して有利である。このため、軸方向にコンパクトな針状ころ軸受４７を使用できる。特に、本実施形態のように、針状ころ軸受４７を、ロータインナ２６を支持する転がり軸受２７，３０間の軸方向中央付近に配置した場合は、モーメント荷重に対して一層有利となる。その結果、針状ころ軸受４７等として極めて小型のものを採用することができるため、筐体２の軸方向寸法Ｌを一層短縮することができる。
【００５８】
また、運動変換機構部Ｂに遊星歯車減速機１０を設けたことによるモータ部Ａ（電動モータ２５）の小型化と、ロータインナ２６、遊星ギヤキャリア４３の円筒部４３ａおよびナット３２の径方向での重畳構造とが相俟って、筐体２の径方向寸法Ｍ（図１参照）も小さくすることができる。以上により、軸方向および径方向にコンパクトで、使用機器に対する搭載性が良好な電動アクチュエータ１を実現することができる。
【００５９】
また、給電回路、回転角度検出用センサ５３およびストローク検出用センサ５５等の電装部品をターミナル本体５０でまとめて保持し、このターミナル本体５０（ターミナル部Ｄ）をケーシング２０とカバー２９とで軸方向に挟持するサンドイッチ構造を採用したので、組立性が良好である。さらに、上記のサンドイッチ構造と、給電回路のリード線や上記センサ５３，５５の信号線を筐体２の外径側に引き出し可能な構造とにより、複数の電動アクチュエータ１（モータ部Ａ、運動変換機構部Ｂおよびターミナル部Ｄをユニット化したもの）を軸方向に連ねて配置してなり、複数の操作対象を個別に操作可能な電動アクチュエータを実現することもできる。
【００６０】
以上で説明した特徴的な構成が相俟って、本発明によれば、多品種展開（シリーズ化）が容易で汎用性が高く、モータ部Ａの動作精度が良好で信頼性に富むと共に消費電力が少なく、さらには、軽量・コンパクトで使用機器に対する搭載性に優れた電動アクチュエータ１を低コストに実現することができる。
【００６１】
最後に、図１および図１３を参照して本実施形態の電動アクチュエータ１の作動態様を簡単に説明する。例えば、図示しない車両上位のＥＣＵに操作量が入力されると、この操作量に基づいてＥＣＵは要求される位置指令値を演算する。図１３に示すように、位置指令値は制御装置８０のコントローラ８１に送られ、コントローラ８１は、位置指令値に必要なモータ回転角の制御信号を演算し、この制御信号をモータ２５に送る。
【００６２】
コントローラ８１から送られた制御信号に基づいてロータ２４（ロータインナ２６）が回転すると、この回転運動が運動変換機構部Ｂに伝達される。具体的には、ロータインナ２６が回転すると、ロータインナ２６に連結された遊星歯車減速機１０のサンギヤ４１が回転し、これに伴って遊星ギヤ４２が公転すると共に遊星ギヤキャリア４３が回転する。これにより、ロータインナ２６の回転運動が遊星ギヤキャリア４３に連結されたナット３２に伝達される。このとき、遊星ギヤ４２の公転運動により、ロータインナ２６の回転数が減速されるので、ナット３２に伝達される回転トルクが増加する。
【００６３】
ロータインナ２６の回転運動を受けてナット３２が回転すると、ねじ軸３３は、回り止めされた状態で軸方向一方側に直線運動（前進）する。この際、ねじ軸３３はコントローラ８１の制御信号に基づく位置まで前進し、ねじ軸３３の軸方向一方側の端部に固定されたアクチュエータヘッド３９が図示しない操作対象を操作する。
【００６４】
ねじ軸３３の軸方向の変位量は、ストローク検出用センサ５５により検出され、その検出信号は制御装置８０の比較部８２に送られる。そして、比較部８２は、ストローク検出用センサ５５により検出された検出値と位置指令値との差分を算出し、コントローラ８１はこの算出値および回転角度検出用センサ５３から送られた信号に基づいて電動モータ２５に制御信号を送る。このようにして、アクチュエータヘッド３９の位置がフィードバック制御される。このため、本実施形態の電動アクチュエータ１を、例えば、シフト・バイ・ワイヤに適用した場合、シフト位置を確実にコントロールすることができる。なお、電動モータ２５やセンサ５３，５５等を駆動するための電力は、車両側に設けられた図示しないバッテリ等の外部電源から、制御装置８０およびターミナル部Ｄに保持された給電回路を介して供給される。
【００６５】
以上、本発明の一実施形態に係る電動アクチュエータ１について説明を行ったが、本発明の実施の形態はこれに限らない。
【００６６】
例えば、転がり軸受２７の保持器２７ｄには、図５（ｂ）に示すような植毛部７１’を形成することもできる。なお、図５（ｂ）は、保持器２７ｄの外径面２７ｄ２に設けられる植毛部７１’を示しているが、保持器２７ｄの内径面２７ｄ１にも同様の植毛部７１’を設けることができる。
【００６７】
図５（ｂ）に示す植毛部７１’は、一端（基端）が保持器２７ｄの外径面２７ｄ２に形成した接着層７３に保持された無数の繊維材７２で構成される点においては図５（ａ）に示す植毛部７１と共通しているが、繊維材７２の姿勢が図５（ａ）に示す植毛部７１とは異なる。
【００６８】
具体的に説明すると、植毛部７１’を構成する各繊維材７２は、保持器２７ｄの外径面２７ｄ２の法線方向に対して角度をなす方向に延びている。かかる構成であれば、繊維材７２は、１本あたり、図５（ａ）に示す垂直姿勢の場合よりも広い面積をカバーすることができる。このため、植毛密度、すなわち単位面積あたりに固定される繊維材７２の本数を減じることができるので、植毛部の作製コストを低減できる、という利点がある。なお、保持器２７ｄの外径面２７ｄ２の法線方向に対して各繊維材７２がなす角度は、例えば１０〜３０°とすることができる。
【００６９】
上記の植毛部７１’は、例えば、静電吹付け植毛法により形成することができる。静電吹付け植毛法は、前述した静電植毛法と同じプロセスを経るものであるが、静電植毛工程で静電気力に加えてエアの吹き付け力を利用する点において静電植毛法とは異なる。すなわち、静電吹付け植毛法では、静電植毛工程において、垂直姿勢で一端が接着剤に植え込まれた繊維材７２に対して所定の方向からエアを吹き付けることによって繊維材７２を傾斜姿勢とする。
【００７０】
以上で説明した実施形態では、保持器２７ｄの内径面２７ｄ１および外径面２７ｄ２の双方に植毛部７１（７１’）を設けたが、植毛部７１（７１’）は、保持器の内径面２７ｄ１又は外径面２７ｄ２の何れか一方にのみ設けても構わない。
【００７１】
また、植毛部７１，７１’は、保持器２７ｄの内径面２７ｄ１および／又は外径面２７ｄ２に加え、あるいはこれに替えて、保持器２７ｄの他の表面に形成することもできる。その具体例としては、保持器２７ｄのポケット部２７ｄ３の画成面を挙げることができる。但し、ポケット部２７ｄ３の画成面に植毛部７１，７１’を形成する場合に、上記画成面に接着剤が付着・硬化すると、ポケット部２７ｄ３の形状が崩れてボール２７ｃの保持精度に悪影響が及ぶ、ボール２７ｃが接着層７３と繰り返し接触することによってボール２７ｃの表面にキズ等が生じる、などといった不具合が生じ易くなる。そのため、詳細な図示は省略するが、ポケット部２７ｄ３の画成面に植毛部７１，７１’を形成する場合には、ポケット部２７ｄ３の画成面に凹部を設けてこの凹部内に接着層７３を形成し、ポケット部２７ｄ３で保持されるボール２７ｃが接着層７３に接触しないようにするのが好ましい。
【００７２】
なお、柔軟性構造体７０としての植毛部７１，７１’をポケット部２７ｄ３の画成面に形成した場合、植毛部７１，７１’を構成する繊維材７２の先端がボール２７ｃと接触するのは構わない。むしろ、繊維材７２の先端がボール２７ｃと接触するようにしておけば、ボール２７ｃの表面に付着する余剰の潤滑剤を繊維材７２によって掻き取ることができるため、転がり軸受２７の更なる低トルク化を図る上で好ましいと言える。
【００７３】
また、転がり軸受２７に設けた植毛部７１，７１’は、保持器２７ｄに加え、あるいはこれに替えて、例えば、外輪２７ｂの内径面のうち、外側軌道面を除く領域や、ロータインナ２６の外径面のうち、内側軌道面２７ａを除く領域であって外輪２７ｂの内径面と対向する領域などに形成することもできる。また、柔軟性構造体７０としての植毛部７１，７１’は、ロータインナ２６の軸方向一方側の端部を支持する転がり軸受２７のみならず、ロータインナ２６の軸方向他方側の端部を支持する転がり軸受３０に形成することもできる（図示省略）。
【００７４】
また、柔軟性構造体７０は、以上で説明した植毛部７１，７１’に代えて、軟質発泡材または軟質樹脂材で構成してもよい。ただし、植毛部７１，７１’を構成する繊維材７２は、軟質発泡材や軟質樹脂材に比べ、潤滑剤（グリース）を掻き取りやすく、また、仮に転動体（ボール）に接触した場合でも回転トルクへの悪影響を与えにくいことから、軟質発泡材や軟質樹脂材よりも好ましい。柔軟性構造体７０を軟質発泡材または軟質樹脂材で構成する場合には、例えば、所定形状に形成された軟質発泡材または軟質樹脂材製の構造体を、前述した接着層７３を構成する接着剤を用いて柔軟性構造体７０の形成部位に接着固定すればよい。
【００７５】
使用可能な軟質発泡材としては、ポリウレタン、ポリスチレン、ポリオレフィン、フェノール、ポリ塩化ビニルなどの合成樹脂、あるいは、天然ゴム、クロロプレンゴム、エチレンプロピレンゴム、ニトリルゴム、シリコンゴム、スチレンブタジエンゴムなどのゴム材料を発泡して得られる発泡材を挙げることができる。また、使用可能な軟質樹脂材としては、コルク材、ゴム板材、ポリエチレンや塩化ビニルなどの軟質シートを挙げることができる。
【００７６】
また、以上で説明した実施形態においては、運動変換機構部Ｂに、ナット３２が複数のボール３４を介してねじ軸３３の外周に嵌合されたボールねじ装置３１を採用したが、運動変換機構部Ｂに、ボール３４およびこま３５を省略した、いわゆるねじ装置が採用される電動アクチュエータにも本発明は適用できる。但し、ねじ軸３３の作動性等を考慮すると、運動変換機構部Ｂにボールねじ装置３１を採用するのが好ましい。
【００７７】
また、以上で説明した実施形態においては、ねじ軸３３を常時軸方向他方側に付勢する付勢部材としての圧縮コイルばね４８を設けているが、圧縮コイルばね４８は付勢する機能を必要とする用途に応じて設ければよく、必要としない場合は省略しても構わない。
【００７８】
また、以上で説明した実施形態においては、減速機に遊星歯車減速機１０を採用したが、他の減速機（例えば、遊星ローラ減速機）を採用しても良い。また、本発明は、減速機を具備した電動アクチュエータ１のみならず、減速機を具備しない電動アクチュエータ１に適用することも可能である。詳細な図示は省略するが、減速機を省略する場合には、例えば、ナット３２とロータインナ２６とを直接的にトルク伝達可能に連結すれば良い。
【００７９】
また、以上で説明した実施形態においては、ストローク検出用センサ５５を使用したが、ストローク検出用センサ５５は必要に応じて使用すれば足り、使用機器によっては、ストローク検出用センサ５５を省略しても構わない。
【００８０】
図１４に基づき、ストローク検出用センサ５５を使用しない場合における電動アクチュエータ１の作動態様の一例を説明する。図１４は、圧力制御の例であり、図示外の操作対象に圧力センサ８３が設けられている。図示外のＥＣＵに操作量が入力されると、ＥＣＵは要求される圧力指令値を演算する。この圧力指令値が制御装置８０のコントローラ８１に送られると、コントローラ８１は、圧力指令値に必要なモータ回転角の制御信号を演算し、この制御信号をモータ２５に送る。そして、図１３を参照して説明した場合と同様に、ねじ軸３３がコントローラ８１の制御信号に基づく位置まで前進し、ねじ軸３３の軸方向一方側の端部に設けられたアクチュエータヘッド３９が図示外の操作対象を操作する。
【００８１】
ねじ軸３３（アクチュエータヘッド３９）の操作圧力は、外部に設置された圧力センサ８３により検出され、フィードバック制御される。このため、ストローク検出用センサ５５を使用しない電動アクチュエータ１を例えばブレーキバイワイヤに適用した場合、ブレーキの液圧を確実にコントロールすることができる。
【００８２】
本発明は前述した実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、さらに種々なる形態で実施し得ることは勿論のことであり、本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲に記載の均等の意味、および範囲内のすべての変更を含む。
【符号の説明】
【００８３】
１        電動アクチュエータ
２        筐体
１０      遊星歯車減速機（減速機）
２４      ロータ
２５      電動モータ
２６      ロータインナ（中空回転軸）
２７      転がり軸受
２７ａ    内側軌道面
２７ｃ    ボール（転動体）
２７ｄ    保持器
２７ｄ１  内径面
２７ｄ２  外径面
３１      ボールねじ装置
３２      ナット
３３      ねじ軸
３４      ボール
５５      ストローク検出用センサ
７０      柔軟性構造体
７１      植毛部
７１’    植毛部
７２      繊維材
７３      接着層
Ａ        モータ部
Ｂ        運動変換機構部
Ｄ        ターミナル部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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