(57)【要約】【課題】  最終製品の見た目の均一性を向上できる露光方法を提供すること。【解決手段】  本発明は、原版ステージ１に接続された第１ケーブル保持手段４と、基板ステージ４７に接続された第２ケーブル保持手段２８との少なくとも一方が関節部６１を含む露光装置１００を用いた露光方法に関する。当該露光方法は、基板２６上に付与された第１の感光剤を露光する第１露光工程と、第１露光工程の後、第１の感光剤の現像、パターンの加工を経て、基板２６上に付与された第２の感光剤を露光する第２露光工程とを有する。そして、第１ケーブル保持手段４と第２ケーブル保持手段２８とのうち少なくとも一方のケーブル保持手段に起因して発生する露光むらが、第１露光工程と第２露光工程とで前記所定方向に互いにずれるようにしたことを特徴とする。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンの形成された原版と基板とを所定方向に相対的に移動させながら前記基板を露光する露光方法であって、
前記原版を第１定盤に対して移動させる原版ステージと、
前記基板を第２定盤に対して移動させる基板ステージと、
第１ケーブルを保持し、該第１ケーブルとともに一端が前記原版ステージに他端が第１定盤に接続された第１ケーブル保持手段と、
第２ケーブルを保持し、該第２ケーブルとともに一端が前記基板ステージに他端が前記第２定盤に接続された第２ケーブル保持手段とを有し、
前記第１ケーブル保持手段及び前記第２ケーブル保持手段の少なくとも一方のケーブル保持手段が複数の関節部を含んで構成された露光装置を用い、
前記基板上に付与された第１の感光剤を露光する第１露光工程と、
前記第１露光工程の後、前記第１の感光剤の現像、パターンの加工を経て、前記基板上に付与された第２の感光剤を露光する第２露光工程とを有し、
前記少なくとも一方のケーブル保持手段に起因して発生する露光むらが、前記第１露光工程と第２露光工程とで前記所定方向に互いにずれるようにしたことを特徴とする露光方法。
【請求項２】
前記第１露光工程と前記第２露光工程とで前記少なくとも一方のケーブル保持手段の長さを異ならせることによって、前記露光むらがずれるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の露光方法。
【請求項３】
前記少なくとも一方のケーブル保持手段は、その長さを変更する変更手段を含み、
前記第２露光工程に先立って前記変更手段が前記少なくとも一方のケーブル保持手段の長さを変更することにより、前記露光むらがずれるようにしたことを特徴とする請求項２に記載の露光方法。
【請求項４】
前記第１ケーブル保持手段及び前記第２ケーブル保持手段がそれぞれ前記複数の関節部を含み、
前記第１露光工程及び前記第２露光工程の少なくとも一方において、前記第１ケーブル保持手段に起因して生じる露光むらと前記第２ケーブル保持手段に起因して発生する露光むらとが、前記所定方向にずれるようにしたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項５】
第１露光装置及び第２露光装置を用いて、パターンの形成された原版と基板とを所定方向に相対的に移動させながら前記基板を露光する露光方法において、
前記第１露光装置及び前記第２露光装置のそれぞれが、
前記原版を第１定盤に対して移動させる原版ステージと、
前記基板を第２定盤に対して移動させる基板ステージと、
第１ケーブルを保持し、該第１ケーブルとともに一端が前記原版ステージに他端が第１定盤に接続された第１ケーブル保持手段と、
第２ケーブルを保持し、該第２ケーブルとともに一端が前記基板ステージに他端が前記第２定盤に接続された第２ケーブル保持手段とを有し、
前記第１ケーブル保持手段及び前記第２ケーブル保持手段の少なくとも一方のケーブル保持手段が複数の関節部を含んで構成され、
前記第１露光装置を用いて前記基板上に付与された第１の感光剤を露光する第１露光工程と、
前記第１露光工程の後、前記第１の感光剤の現像、パターンの加工を経たあと、第２露光装置を用いて前記基板上に付与された第２の感光剤を露光する第２露光工程とを有し
前記第１露光工程において前記第１露光装置の前記少なくとも一方のケーブル保持手段に起因して発生する露光むらと、前記第２露光工程において前記第２露光装置の前記少なくとも一方のケーブル保持手段に起因して発生する露光むらとが、前記所定方向に互いにずれるようにしたことを特徴とする露光方法。
【請求項６】
前記第１露光装置の前記少なくとも一方のケーブル保持手段及び前記第２露光装置の前記少なくとも一方のケーブル保持手段の少なくとも一方は、その長さを変更する変更手段を含むことを特徴とする請求項５に記載の露光方法。
【請求項７】
前記第１ケーブル保持手段及び前記第２ケーブル保持手段がそれぞれ前記複数の関節部を含み、
前記第１露光装置及び第２露光装置の少なくとも一方において、前記第１ケーブル保持手段に起因して生じる露光むらと前記第２ケーブル保持手段に起因して発生する露光むらとが、前記所定方向にずれるようにしたことを特徴とする請求項５又は６のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項８】
パターンの形成された原版と基板とを所定方向に相対的に移動させながら前記基板を露光する露光装置であって、
前記原版を第１定盤に対して移動させる原版ステージと、
前記基板を第２定盤に対して移動させる基板ステージと、
第１ケーブルを保持し、該第１ケーブルとともに一端が前記原版ステージに他端が第１定盤に接続された第１ケーブル保持手段と、
第２ケーブルを保持し、該第２ケーブルとともに一端が前記基板ステージに他端が前記第２定盤に接続された第２ケーブル保持手段とを有し、
前記第１ケーブル保持手段及び前記第２ケーブル保持手段の少なくとも一方は複数の関節部を含み、且つ、その長さを変更する変更手段を有することを特徴とする露光装置。
【請求項９】
更に、同一の基板に少なくとも２回の露光を行う際に、それぞれの露光工程において前記少なくとも一方のケーブル保持手段の長さが異なるように前記変更手段を制御する制御手段を有することを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記制御手段において、それぞれの露光工程における前記少なくとも一方のケーブル保持手段の長さが、このケーブル保持手段に起因して発生する露光むらをそれぞれの露光工程で前記所定方向に互いにずらすように、設定されていることを特徴とする請求項９に記載の露光装置。
【請求項１１】
それぞれの露光工程における前記少なくとも一方のケーブル保持手段の長さの差が、隣り合う前記関節部のピッチの整数倍ではないことを特徴とする請求項１０に記載の露光装置。
【請求項１２】
前記少なくとも一方のケーブル保持手段が前記第１ケーブル保持手段を含み、前記第１ケーブル保持手段の変更手段は、前記第１定盤及び原版ステージの一方に固定された固定部材と、前記固定部材に対して前記所定方向にスライド可能に設けられたスライド部材と、前記スライド部材をスライドさせる駆動部とを有することを特徴とする請求項８乃至１１のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１３】
前記少なくとも一方のケーブル保持手段が前記第２ケーブル保持手段を含み、前記第２ケーブル保持手段の変更手段は、前記第２定盤及び基板ステージの一方に固定された固定部材と、前記固定部材に対して前記所定方向にスライド可能に設けられたスライド部材と、前記スライド部材をスライドさせる駆動部とを有することを特徴とする請求項８乃至１１のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１４】
前記制御手段は、ユーザインターフェイスを介してユーザから指示された、前記少なくとも一方のケーブル保持手段の長さ又はその基準の長さからの変更量に基づいて前記変更手段を制御することを特徴とする請求項９乃至１３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１５】
前記制御手段は、それぞれの露光工程に対する前記少なくとも一方のケーブル保持手段の長さ又はその基準の長さからの変更量を示す情報が記憶された記憶手段と、
露光に先だっていずれの露光工程かを示す情報を取得する取得手段とを有し、
前記取得手段が取得した情報と前記憶手段に記憶された情報とに基づいて前記変更手段を制御することを特徴とする請求項９乃１３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１６】
前記少なくとも一方のケーブル保持手段が最短のときの長さと最長のときの長さとの差は、隣り合う前記関節部のピッチ以上であることを特徴とする請求項９乃至１５のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１７】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の方法で露光された基板の少なくとも一部を含む物品を製造する物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光方法、露光装置、及び物品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
露光装置は原版に形成されたパターンを基板に投影して該基板を露光する装置であり、露光によって基板に付与された感光剤（レジスト）に原版のパターンの潜像パターンが形成される。
【０００３】
露光装置の、原版ステージや基板ステージ等の移動体には、保持対象物を温調するための冷媒を流すための配管や移動体の各種駆動機構への電力供給用の配線等の各種ケーブルが接続される。当該ケーブルは一端が移動体に他端がステージ定盤にＵ字型に湾曲して接続され、移動体の移動方向に沿って湾曲位置を変えながら移動体の移動に追従して変形する。
【０００４】
さらに、ケーブルの自重によって対向している部分同士が接触することを防止する目的で当該ケーブルを保持するケーブルキャリア（ケーブル保持手段）が使用される。ここで、ケーブルキャリアの単位部材同士を連結している関節部の回動がケーブルキャリアの連続的な変形を阻害してしまうことにより、ケーブルキャリアから周期的に振動が発生したり、瞬間的に移動体の移動が遅くなったり速くなったりする。これにより、移動体の位置決め誤差が生じ、基板に露光される露光光の光量むらや投影されるパターンの伸縮むらが生じてしまう。
【０００５】
特許文献１にはケーブルキャリアからの振動を吸収するために、ケーブルキャリアと移動体との間に弾性体を介在させることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１１０００７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載の方法によっても、ケーブルキャリアから生じる振動を完全に吸収することは困難である。そのため、例えば、図１２（ａ）に示すように、基板に付与された被加工材感光剤を露光する際に、原版に対応する処理区画５００の内部において基板の走査方向に沿って一定の間隔ａで複数の縞５０１が見えるような露光むらが生じる。当該露光むらは、関節部のピッチと重なる。
【０００８】
そして、ケーブルキャリアで生じる振動は移動体の位置に応じて再現性があるため、同じ基板に対して複数回露光を行う場合に、それぞれの露光工程ごとに同じタイミングで露光むらが発生する。例えば図１２（ｂ）に示すように、露光むらが重複して目立つようになって被加工材しまう。
【０００９】
このように露光むら重複して発生することにより、複数回露光された基板から得られる最終製品の見た目の均一性が損われる要因となる。特に、近年はディスプレイ等の最終製品によっては、見た目の均一性に対するユーザからの要求は厳しくなってきており、見た目の均一性を高めることで歩留まりを向上させることが求められている。
【００１０】
そこで、本発明は、最終製品の見た目の均一性を向上できる露光方法及び露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る露光装置は、パターンの形成された原版と基板とを所定方向に相対的に移動させながら前記基板を露光する露光方法であって、前記原版を第１定盤に対して移動させる原版ステージと、
前記基板を第２定盤に対して移動させる基板ステージと、第１ケーブルを保持し、該第１ケーブルとともに一端が前記原版ステージに他端が第１定盤に接続された第１ケーブル保持手段と、
第２ケーブルを保持し、該第２ケーブルとともに一端が前記基板ステージに他端が前記第２定盤に接続された第２ケーブル保持手段とを有し、前記第１ケーブル保持手段及び前記第２ケーブル保持手段の少なくとも一方のケーブル保持手段が複数の関節部を含んで構成された露光装置を用い、前記基板上に付与された第１の感光剤を露光する第１露光工程と、前記第１露光工程の後、前記第１の感光剤の現像、パターンの加工を経て、前記基板上に付与された第２の感光剤を露光する第２露光工程とを有し、前記少なくとも一方のケーブル保持手段に起因して発生する露光むらが、前記第１露光工程と第２露光工程とで前記所定方向に互いにずれるようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、最終製品の見た目の均一性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態に係る露光装置の構成を示す図である。
【図２】第１実施形態に係る基板ステージの構成を示す図である。
【図３】第１実施形態に係る原版ステージの構成を示す図である。
【図４】ケーブルキャリアのその他の形態を示す図である。
【図５】第１実施形態に係る変更部を説明する図である。
【図６】ケーブルキャリアの長さの変更量を説明する図である。
【図７】第１実施形態の効果について説明する図である。
【図８】ケーブルキャリアの長さの変更方法を示すフローチャートである。
【図９】ケーブルキャリアの長さの変更量に関するテーブルである。
【図１０】第２実施形態に係る変更部を説明する図である。
【図１１】物品の製造方法について説明する図である。
【図１２】従来技術について説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［第１実施形態］
（露光装置の構成）
第１実施形態にかかる露光装置について説明する。被加工材以下の説明において、基板に入射する露光光の光量むら、基板２６に転写されるパターンの伸縮むら、基板ステージの振動に起因して生じる解像度のむら等を区別しない場合は、これらを総称して露光むらという。
【００１５】
図１は露光装置１００の構成を示す図である。露光装置１００は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイといったフラットパネルディスプレイ等のデバイスの製造工程において、加工用マスクのパターン形成に用いられる。また、基板２６に入射する光の光軸方向の軸をＺ軸、当該Ｚ軸に垂直な平面内で互いに直交する２軸をＸ軸及びＹ軸としている。
【００１６】
露光装置１００は、投影光学系１８を介して光学的にほぼ共役な位置に配置された原版２１と基板２６とをＹ軸方向（所定方向）に相対的に走査させながら基板２６を露光する。例えば、原版２１を＋Ｙ方向に走査させて露光光により照明される領域を変化させつつ、投影光学系１８の投影倍率に応じた速度で基板２６を＋Ｙ方向に走査させながら露光をする。基板２６の表面には不図示の被加工材及び感光剤（レジスト）が構成されている。
【００１７】
照明光学系１９は光源２０から出射された光２０ａを原版２１に照明する。照明光学系１９は、光２０ａの照度分布を均一にするためのオプティカルインテグレータ（不図示）及び光２０ａを円弧状のスリット光に整形する遮光板（不図示）等の光学素子を含む。投影光学系１８は、原版２１からの円弧状の光２０ａを、台形ミラー４０の第１反射面４１、凹面ミラー４２、凸面ミラー４３、凹面ミラー４２、台形ミラー４０の第２反射面４４、及び基板２６の順に導光する。これにより、原版２１に形成されたパターンが基板２６の感光剤（不図示）に潜像パターンとして転写される。
【００１８】
原版ステージ１は原版２１をＹ軸方向に沿って移動させる。原版ステージ１と基板ステージ４７との詳細な構成は後述する。
【００１９】
定盤２９は、設置面からの振動を抑制する除振装置５１によって設置面に対して支持されている。
【００２０】
制御部（制御手段）５０は、原版ステージ１、照明光学系１９、干渉計２２、２４、３０、基板ステージ４７、及び除振装置５１、と通信可能に接続されている。さらに、制御部５０は、変更部６２（図３参照）のアクチュエータ８（図５参照）、リニアモータ３６（図３参照）、リニアモータ４６（図２参照）、記憶部（記憶手段）５２、と通信可能に接続されている。当制御部５０は、制御部５０に接続された構成要素と制御指令や計測値などの情報を相互に通信する。制御部５０は、ＣＰＵを有し、制御部５０に接続された各構成要素を制御して基板２６の露光を制御する。
【００２１】
露光の制御として、例えば、干渉計２２の計測結果に基づいて原版ステージ１の移動を制御したり、干渉計２４及び干渉計３０の計測結果に基づいて基板ステージ４７の移動を制御したりする。さらに、光源２０からの光２０ａの射出タイミング等を制御する。さらに、制御部５０は、基板２６の露光に先立ち、変更部６２を用いてケーブルキャリア４の長さを変更させる。
【００２２】
ＲＡＭ、ＲＯＭ等のメモリを有する記憶部５２には、ケーブルキャリア４、２８の長さ変更に用いる情報や、基板２６の露光処理に必要な情報が記憶されている。
【００２３】
基板ステージ４７の構成について説明する。図２は基板ステージ４７の構成を示す図である。基板ステージ４７は、Ｘステージ２７、Ｙステージ４５、Ｘステージ２７及びＹステージ４５を移動させるための駆動機構を有する。Ｘステージ２７は、基板２６を定盤２９に対してＸ軸方向に沿って移動させる。Ｙステージ４５は、基板２６を定盤２９に対してＹ軸方向に沿って移動させる。
【００２４】
Ｘステージ２７は基板２６を吸着保持する保持部を含み、Ｙステージ４５上でＸ軸方向に移動する。Ｘステージ２７は、Ｘステージ２７の底部に設けられた可動子とＹステージ４５の上面に設けられた固定子（不図示）とを含むリニアモータにより移動する。Ｘステージ２７は、静圧軸受により滑走面４５ａに対してＺ軸方向に浮上支持された状態で移動する。
【００２５】
Ｙステージ４５のための駆動機構であるリニアモータ４６が、Ｙステージ４５を基板２６及びＸステージ２７ごとＹ軸方向に移動させる。リニアモータ４６は、Ｙステージ４５に可動子として接続されたコイル４８ａと、Ｙ軸方向に沿って定盤２９に固定子として設けられた磁石４８ｂとを含む。破線Ａで囲まれた領域は、リニアモータ４６の断面を図示している。Ｙステージ４５は、静圧軸受により滑走面２９ａに対してＺ軸方向に浮上支持された状態で移動する。
【００２６】
Ｘステージ２７の＋Ｙ側の端部にはミラー２５が設けられ、干渉計２４は、ミラー２５で反射させたレーザ光と干渉計２４の参照ミラー（不図示）で反射させたレーザ光との干渉光を検出し、検出結果に基づいてＸステージ２７のＹ軸方向の位置を計測する。干渉計３０は、Ｘステージの−Ｘ側の端部に設けられたミラー３１を用いて干渉計２４と同様の方法でＸステージ２７のＸ軸方向の位置を計測する。
【００２７】
ケーブル（不図示）と当該ケーブルを保持するケーブルキャリア３２とは、一端がＸステージ２７に、他端がＹステージ４５に、Ｘ軸方向に沿ってＵ字状に湾曲した状態で接続されている。また、ケーブル（不図示）と当該ケーブルを保持するケーブルキャリア２８とは、一端がＹステージ４５に、他端が定盤２９に、Ｙ軸方向に沿ってＵ字状に湾曲した状態で接続されている。
【００２８】
次に、原版ステージ１の構成について説明する。図３は原版ステージ１の構成を示す図である。原版ステージ１は原版２１を原版ステージ１に対応する定盤２に対して相対移動させる。駆動機構であるリニアモータ３６が、原版２１ごと原版ステージ１を移動させる。リニアモータ３６は、原版ステージ１に可動子としてＹ軸方向に沿って接続されたコイル３７と、定盤２にＹ軸方向に沿って固定子として設けられた磁石３８とを含む。破線Ｂで囲まれた領域は、リニアモータ３６の断面を図示している。原版ステージ１は、静圧軸受により滑走面２ａに対してＺ軸方向に浮上支持された状態で移動する。
【００２９】
原版ステージ１は原版ステージ１をＺ軸方向に貫く開口（不図示）を有し、定盤２は定盤２をＺ軸方向に貫く開口２ａを有し、原版２１からの光２０ａはこれらの開口２ａ等を通過して投影光学系１８に入射する。
【００３０】
原版ステージ１の端部にはミラー２３が設けられ、干渉計２２はミラー２３で反射させたレーザ光と干渉計２２の参照ミラーで反射させたレーザ光との干渉光を検出し、検出結果に基づいて原版ステージ１のＹ軸方向の位置を計測する。干渉計２２と同様に、不図示の干渉計が原版ステージ１のＸ軸方向の位置を計測する。
【００３１】
ケーブル４ａとケーブル４ａを保持するケーブルキャリア（ケーブル保持手段）４とは、一端が原版ステージに他端が定盤２に、Ｙ軸方向に沿ってＵ字状に湾曲した状態で接続されている。
【００３２】
ケーブル４ａは、例えば、流体用の配管（チューブ）、原版ステージ１上の制御対象物に制御信号を伝送するための信号線、及び当該制御対象物に対する電力供給用の電線を含みうる。１つのケーブルキャリア４が保持するケーブルは１本でも複数本であってもよい。
【００３３】
流体用の配管は、例えば、原版ステージ１を温調するための冷却水が流れる配管、原版２１の真空吸着するための排気ライン又は原版２１を着脱するための給気ラインである。原版２１が静電チャックにより原版ステージ１に保持される場合は、給気・排気用の配管のかわりに静電チャックに所定の電圧を印加するための電線が使用されてもよい。原版ステージ１上の制御対象物とは、例えば、原版２１をＸ方向及びθ方向に駆動する駆動機構や、回転量検出用のセンサ等である。  ケーブルキャリア４は、定盤２からＹ軸方向に延設された支持部３によって支持されている。ケーブルキャリア４は、複数の単位部材６０が連なって構成されておりそれぞれの単位部材６０を連結する部分としての関節部６１を有する。これにより、原版ステージ１のＹ軸方向への移動とともに、ケーブルキャリア４の一端が原版ステージ１の移動に追従して移動する。
【００３４】
このとき、ケーブルキャリア４は、定盤２との接触面積を変えながらケーブルキャリア４の湾曲位置が変わるように変形する。湾曲位置とは、ケーブルキャリア４の湾曲している部分の端部の位置であり、本実施形態ではケーブルキャリア４の−Ｙ方向側の位置である。
【００３５】
基板２６が大型であり、原版２１の移動距離が長くなる場合は、ケーブルキャリア４のように剛性の高い材質の単位部材の繰り返し構造を備えたケーブルキャリアが使用される。ケーブルキャリア４がケーブル４ａを保持することによって、ケーブル４ａの上側半分の部分（原版ステージ１に近い側の部分）が自重により垂れてケーブル４ａの下側半分（定盤２に近い側の部分）と接触することを防いでいる。これにより、原版ステージ１の移動を妨げる振動の発生を低減している。
【００３６】
以上説明したケーブルキャリア４の構成は、両端の接続対象物が異なる以外はケーブルキャリア２８、３２も同様であるため詳細な説明を省略する。なお、図３に示すケーブルキャリア４の形状は一例であり、他の形状でもよい。例えば、図４に示すケーブルキャリア３５のように、単位構造３３と関節部としてのくぼみ３４とが交互に所定のピッチで形成された一体の構造体であってもよい。ケーブルキャリア３２において−Ｙ方向から見たケーブルキャリア３５の構造はケーブルキャリア４と同様である。
【００３７】
さらに、ケーブルキャリア４は、接続された物体の移動に伴い湾曲位置となる付近の単位部材６０同士の連結角度が変化させながら変形する。このとき、ケーブルキャリア４が滑らかに変形しないことに起因して、一時的な原版ステージ１の速度むらや振動が周期的に発生する。或いは、ケーブルキャリア４が支持部３に接触する接触面積が変動するときに一時的に振動が大きくなる。ケーブルキャリア２８、３２の場合も同様である。
【００３８】
特に基板２６を露光している間に変形するケーブルキャリア４、２８において原版ステージ１や基板ステージ４７の速度むらや振動の発生により、基板２６の露光むらが発生してしまう。そこで、本実施形態にかかるケーブルキャリア４は、ケーブルキャリア４の長さを変更する変更手段として、変更する変更部６２を有する。ケーブルキャリア２８も、ケーブルキャリア２８の長さを変更する変更部（不図示）を有する。
【００３９】
（ケーブルキャリアの長さの変更部について）
以下、ケーブルキャリア４の長さの変更について説明するが、ケーブルキャリア２８にも同様の構成を有する。
【００４０】
図５はケーブルキャリア４の長さを変更する変更部６２を説明する図である。変更部６２は、固定部材６、スライド部材７、アクチュエータ（駆動部）８、ボールねじ９、及びナット１０を有する。金具５によって固定部材６が定盤２に固定されている。固定部材６は、上面に開口６ａを備え内部が空洞の構造体であり、単位部材６０に連結されたスライド部材７が固定部材６の内部に挿入されている。
【００４１】
ナット１０が開口６ａを貫通するようにスライド部材７の上面に配置されており、電動モータ等のアクチュエータ８は、制御部５０からの指示に基づいて所定量ボールねじ９を回転させることによってナット１０をＹ軸方向（所定方向）に移動させる。つまり、アクチュエータ８は、ナット１０を移動を介してスライド部材７を固定部材６に対してスライドさせることにより、ケーブルキャリア４の長さを変更できる。さらに、固定部材６は側面にＹ軸方向に延伸している開口１１も有し、スライド部材７に設けられた突起部１２は開口１１に案内されてＹ軸方向に移動する。
【００４２】
変更部６２はエンコーダ（不図示）を有し、当該エンコーダを用いてアクチュエータ８の駆動量を計測する。計測結果は制御部５０に送られ、制御部５０は計測結果に基づいてアクチュエータ８の駆動を制御する。当該計測は、例えば、固定部材６に対するスライド部材７の位置やナット１０の位置を計測することより行う。なお、エンコーダの代わりにその他の計測手段を用いてアクチュエータ８の駆動量を計測しても構わない  図５（Ａ）はケーブルキャリア４が中程度の長さの状態を図示している。図５（Ｂ）はケーブルキャリア４の長さが最も縮んだ状態を図示している。図５（Ｃ）はケーブルキャリア４の長さが最も伸びている状態を図示している。このように、変更部６２はケーブルキャリア４の長さを変更できる。
【００４３】
図６に示すように、変更部６２は、ケーブルキャリア４の全長Ｌを、例えばＬ＝Ｌ１＋Ｌ０からＬ＝Ｌ１＋α＋Ｌ０に変更可能である。なお、ケーブルキャリア４の最大変更量、つまり最短の長さと最長の長さの差は、隣り合う関節部６１のピッチＰ以上であることが好ましい。
【００４４】
制御部５０は、同一の基板２６に対して少なくとも２回の露光を行う際に、それぞれの露光工程においてケーブルキャリア４の長さが異なるように変更部６２を制御する。露光工程ごとにケーブルキャリア４の長さが変更されることで、同じ位置に原版ステージ１が位置決めされたときの定盤２に対する関節部６１の位置をずらすことができる。
【００４５】
よって、ケーブルキャリア４で原版ステージ１の移動に追従遅れが生じるときの原版２１と基板２６との相対位置や、ケーブルキャリア４から振動が発生するときの原版２１と基板２６との相対位置を、露光工程ごとに異ならせることができる。これにより、ケーブルキャリア４に起因して発生する露光むらの要因が生じるタイミングで露光される基板２６上の領域をＹ軸方向にずらすことができる。
【００４６】
図７を用いて、制御部５０の指示に基づき、露光工程が変わるたびにケーブルキャリア４の長さを異ならせることによって露光むらをずれるようにしたときの効果を説明する。図７（ａ）は、（ｎ−１）回目の露光工程によって、基板２６の処理区画５００内に、Ｙ軸方向に対して生じる露光むらの様子を示している。
【００４７】
露光むらの発生したことを示す１つの縞５１１は、同じ時刻で円弧状の露光光により照射された領域であり、Ｙ軸方向に間隔ａで周期的に生じている。縞５１１は、他の領域よりも多くの光量を受光した、転写されるべきパターンがＹ軸方向に詰まった、及び基板ステージ４７や原版ステージ１の振動により解像度が低下した、の少なくともいずれかが生じた領域である。
【００４８】
本実施形態にかかるケーブルキャリア４を用いて、１回の露光工程ごとにケーブルキャリア４の長さを変更することによりこのような縞５１１の基板２６上での発生位置をＹ軸方向にずれるようにすることができる。例えば、縞の発生位置を、ｎ回目の露光時の露光むらの発生を示す領域５１２、（ｎ＋１）回目の露光時の露光むらの発生を示す領域５１３、（ｎ＋２）回目の露光時の露光むらの発生を示す領域５１４、を互いＹ軸方向にずれるようにすることができる。ケーブルキャリア４と同様の方法でケーブルキャリア２８の長さを変更した場合も同様の効果を得ることができる。
【００４９】
ケーブルキャリア４、２８の長さを変えずに複数の露光工程を行った場合に比べて露光工程ごとにケーブルキャリア４、２８に起因して生じる露光むらをずれるようにすることができる。よって複数回の露光工程を経た基板２６から製造される最終的な物品の見た目の均一性を従来にくらべて向上させることができる。これにより、製品の歩留まりの低下を抑制できる。
【００５０】
（ケーブルキャリアの長さの変更方法）
上記のケーブルキャリア４、２８の長さは、露光に先立って変更される。ケーブルキャリア４、２８の長さの変更方法について、代表的な４種類の決定方法を例に挙げて説明する。
【００５１】
（１）露光に関するレシピに基づく場合
通常、基板２６の露光に先立って、照明条件や処理区画のサイズなどの露光条件が指定されたレシピ情報が、ユーザからユーザインターフェイスを介して露光装置１００に入力される。このとき、レシピ情報の１つとして、ユーザが所望するケーブルキャリア４の長さ又はケーブルキャリア４の基準の長さに対する変更量が露光装置１００に入力される。この場合、制御部５０は、アクチュエータ８を制御して、ユーザから指示された長さになるようにケーブルキャリア４の長さを変更する。なお、ケーブルキャリア２８の長さもケーブルキャリア４の場合と同様に、レシピ情報に基づいて変更可能である。
【００５２】
（２）露光工程を示す情報とケーブルキャリア４の長さとの関係を示すテーブルを用いる場合
記憶部５２に、露光工程を示す情報と、ケーブルキャリア４の長さとの関係を示す情報又はその基準の長さからの変更量との関係を示す情報として、テーブルを記憶させておく。制御部５０は記憶部５２からこの情報を読み出しながら、露光装置１００はケーブルキャリア４の長さを変更する。露光工程を示す情報は、原版の種類や、露光回数ｎでありうる。
【００５３】
原版の種類に応じてケーブルキャリア４、２８の基準の長さからの変更量を決定する方法を例に説明する。この例では、記憶部５２には、図８のケーブルキャリア４の長さの変更方法を示すフローチャート２００に示すプログラム及び単位部材６０のピッチｐを記憶させておく。制御部５０が当該プログラムを読み出して実行する。
【００５４】
図９は露光工程を示す情報とケーブルキャリア４の長さとの関係を示す情報としての、原版２１の種類とケーブルキャリア４の基準の長さからの変更量とケーブルキャリア２８の基準の長さからの変更量との関係を示すテーブル３００である。例えば、テーブル３００には、デバイスの製品名と、総露光回数Ｎ、露光回数ｎ、及び露光回数ｎに対応したケーブルキャリア４、２８それぞれの基準の長さからの変更量が関連付けて記憶されていてもよい。露光回数ｎは、製品を製造するための露光が何回目であるかを示す数字である。変更量は、例えば、図９に示すようにケーブルキャリア４の単位部材６０同士のピッチＰで表されている。
【００５５】
フローチャート２００のＳ１０では、制御部５０から指示を受けた原版搬送機構（不図示）が原版ステージ１上に原版２１を露光装置１００に搬入する。
【００５６】
Ｓ２０では、制御部５０が露光工程を示す情報を取得手段として機能し、原版の種類を取得する。例えば、制御部５０から指示を受けた読み取り部（不図示）が原版２１に付与されたバーコードを読み取ることにより取得される。原版２１の種類は、ユーザインターフェイスを介してユーザにより入力されることで取得してもよい。
【００５７】
Ｓ３０では、制御部５０がケーブルキャリア４の変更量を決定する。制御部５０は記憶部５２からテーブル３００を参照して、原版２１の種類に対応するケーブルキャリア４の変更量を決定する。例えば、原版Ｄであると特定された場合は、ケーブルキャリア４の変更量は３／４×Ｐ、ケーブルキャリア３２の変更量は５／８×Ｐと決定する。
【００５８】
Ｓ４０では、制御部５０はアクチュエータ８の駆動が必要かどうかを判断する。アクチュエータ８の駆動が必要（Ｙｅｓ）と判断した場合は、Ｓ５０に進む。
【００５９】
Ｓ５０では、制御部５０からの指示を受けたアクチュエータ８が駆動して、ケーブルキャリア４の全長がＬ１＋Ｌ０＋（決定された変更量）となるようにケーブルキャリア４の長さを変更する。制御部５０の指示に基づいてケーブルキャリア２８の長さも変更する。
【００６０】
Ｓ５０の工程を終えた後、又は、Ｓ４０の工程でアクチュエータ８の駆動が不要（Ｎｏ）と判断した場合は、フローチャート２００に示すプログラムを終了する。
【００６１】
その後、制御部５０は各構成要素を制御して、搬入された原版２１が用いられる複数枚の基板２６のそれぞれに対して露光処理を行う。
【００６２】
ケーブルキャリア４、２８を共に変更する場合、制御部５０は基板２６においてパターンの伸縮むらによる縞が発生する位置と露光量むらによる縞が発生する位置とが重ならないようにケーブルキャリア４、２８との変更量を決定することが好ましい。テーブル３００では、変更量が同じ場合は露光むらによる縞の発生位置を同じである場合を想定して、それぞれの変更量が異なるようにしている。これによって、同じ露光工程内での露光むらが重複して発生することを抑制でき、最終的に製造される物品の見た目の均一性を向上させることができる。
【００６３】
（３）露光工程を示す情報とケーブルキャリア４の長さとの関係を示す演算式を用いる場合
記憶部５２に、露光工程を示す情報と、ケーブルキャリア４の長さとの関係を示す情報又はその基準の長さからの変更量との関係を示す情報として、露光回数ｎと変更量との関係式を示す演算式を記憶させておく。
【００６４】
これにより、テーブル３００に、ケーブルキャリア４、２８の基準の長さからの変更量が記憶部５２に記憶されていなくても、原版２１の種類から、設定すべきケーブルキャリア４、２８のそれぞれの基準の長さからの変更量を算出することができる。
【００６５】
例えば、制御部５０は、原版２１の種類に基づいてその原版２１を用いて行う露光が何回目の露光であるという情報、つまり露光回数ｎを取得し、ケーブルキャリア４の変更量αを決定できる。制御部５０は、変更量αを、α＝（ｎ−１）／Ｎ×Ｐを算出することにより決定する。同様にして、制御部５０はケーブルキャリア３２の変更量βをβ＝（２ｎ−１）／（２Ｎ）×Ｐを計算することで決定することができる。
【００６６】
露光装置１００で露光される製品が液晶デバイスの場合は、総レイヤ数が１０未満であることが大半なため、製品の総レイヤ数に限らずにケーブルキャリア４の長さの変更量αをα＝（ｎ−１）／１０×Ｐとして算出してもよい。ケーブルキャリア３２の長さの変更量αをβ＝（２ｎ−１）／２０×Ｐを計算して算出してもよい。
【００６７】
（４）他の露光装置からの情報に基づく場合
同一の基板２６に対して行われる複数回の露光工程が、複数の露光装置で行う場合もある。例えば、第１露光装置で基板２６に１回目の露光（第１露光工程）を行い、第２露光装置で基板２６に対する２回目（第２露光工程）を行う場合、などである。
【００６８】
第１露光装置と第２露光装置は、個体差が異なるだけであり、構成は同じ露光装置１００とする場合について説明する。また、第１露光装置と、第２露光装置とは、通信可能に接続されているものとする。
【００６９】
この場合、第２露光装置の制御部５０は、第２露光装置による露光に先立って、第１露光装置に対して露光対象の基板２６の情報を通知する。さらに、その基板２６に対する露光時に用いたケーブルキャリア４、２８の長さ又はその基準の長さからの変更量の情報を要求する。基板２６の情報とは、基板２６のロット番号や、基板２６のためのレシピ情報でありうる。第１露光装置は、第２露光装置にケーブルキャリア４、２８の長さ又はその基準の長さからの変更量を第２露光装置に通知する。
【００７０】
第２露光装置の変更部６２は、第１露光装置からの情報に基づいて、第１露光装置とは異なる長さになるようにケーブルキャリア４、２８の長さを変更する。このとき、第１露光装置でのケーブルキャリア４、２８の長さと第２露光装置でのケーブルキャリア４、２８の長さとの差が、隣り合う関節部６１のピッチの整数倍にならないようにする。
【００７１】
なお、第１露光装置と第２露光装置とでケーブルキャリア４の長さが異なる場合は、第２露光装置は、原版２１と基板２６との相対位置を所定の相対位置とした時のケーブルキャリア４、２８の関節部６１の位置の情報を第１露光装置から取得するとよい。そして、当該所定の相対位置としたときの関節部６１の位置を第１露光装置の場合に対してずらす。
【００７２】
いずれの場合であっても、第１露光装置と第２露光装置とのそれぞれで基板２６を露光した時に生じる露光むらを、Ｙ軸方向に対してずらすことが可能となる。なお、同一の基板２６に対する露光を、３台以上の露光装置を用いて行う場合であっても同様に適用しうる。
【００７３】
これらの（１）〜（４）の方法で露光工程毎にケーブルキャリア４、２８の少なくとも一方の長さを変更することができ、露光工程ごとにケーブルキャリア４、２８に起因して生じる露光むらをずれるようにすることができる。よって、複数回の露光工程を経た基板２６から製造される最終的な物品の見た目の均一性を従来にくらべて向上させることができ、製品の歩留まりの低下を抑制できる。
【００７４】
［第２実施形態］
第２実施形態に露光装置１００は、変更部６２とは異なる構成のケーブルキャリア４を有する。変更部以外の構成は第１実施形態と同様であるため、詳細な説明は省略する。前述した部材と同一の部材には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００７５】
図１０は、ケーブルキャリア４の長さを変更する変更部（変更手段）６３の構成を示す図である。変更部６３は、固定部材１３、スライド部材１４、アクチュエータ１５、ピニオンギア１６、ラックギア１７を有する。固定部材１３は上面にＹ軸方向に延伸しているスリット１３ａを備え内部が空洞の構造体であり、単位部材６０に連結されたスライド部材１４が固定部材１３に挿入されている。
【００７６】
アクチュエータ（駆動部）１５は、ピニオンギア１６をＹＺ面内において回転させる。ラックギア１７は、ピニオンギア１６の歯と係合するギアであり、スリット１３ａを貫通するようにスライド部材１４の上面に配置されている。ピニオンギア１６の回転により、ラックギア１７はＹ軸方向に沿って移動する。ラックギア１７の移動を介してアクチュエータ１５はスライド部材１４の固定部材６に対してＹ軸方向にスライドさせる。このようにして、変更部６２はケーブルキャリア４の長さを変更する。また、固定部材１３は側面にＹ軸方向に延伸している開口１１も有し、スライド部材７の突起部１２は開口１１に案内されてＹ軸方向に移動する。
【００７７】
変更部６３はエンコーダ（不図示）を有し、当該エンコーダを用いてアクチュエータ１５の駆動量を計測する。計測結果は制御部５０に送られ、制御部５０は計測結果に基づいてアクチュエータ１５の駆動を指示する。当該計測は、例えば、固定部材１３に対するスライド部材１４の位置やラックギア１７の位置を計測することより行う。なお、エンコーダの代わりにその他の計測手段を用いてアクチュエータ１５の駆動量を計測しても構わない。
【００７８】
図１０（Ａ）はケーブルキャリア４が中程度の長さの状態を図示している。図１０（Ｂ）はケーブルキャリア４の長さが最も短い状態を図示している。図１０（Ｃ）はケーブルキャリア４の長さが最も長い状態を図示している。
【００７９】
制御部５０は、第１実施形態と同様の制御をすることにより、変更部６３を用いてケーブルキャリア４の長さを変更できる。露光装置１００におけるケーブルキャリア２８が、変更部６２のかわりに変更部６３を備えていてもよい。
【００８０】
これにより、露光工程毎にケーブルキャリア４、２８の少なくとも一方の長さを変更することができ、露光工程ごとにケーブルキャリア４、２８に起因して生じる露光むらをずれるようにすることができる。よって、複数回の露光工程を経た基板２６から製造される最終的な物品の見た目の均一性を従来にくらべて向上させることができ、製品の歩留まりの低下を抑制できる。
【００８１】
［第３実施形態］
同一の基板２６に対して行われる複数回の露光工程が、複数の露光装置で行う場合もある。例えば、第１露光装置で基板２６に１回目の露光（第１露光工程）を行い、第２露光装置で基板２６に対する２回目（第２露光工程）を行う場合、などである。このような場合、ケーブルキャリア４はケーブルキャリア４の長さを変更する変更手段を有していなくてもよい。
【００８２】
複数の露光装置間で、予めケーブルキャリア４の長さを異なる設計値にしておくことにより、定盤２に対する関節部６１の位置を露光装置ごとに異なるように設計する。たとえば、複数の露光装置が同じピッチＰのケーブルキャリアを備えている場合は、１／１０×Ｐずつ定盤２に対する関節部６１の位置が異なるように構成しておく。ケーブルキャリア２８についても同様に、複数の露光装置間で長さを異なる設計値にしておくとよい。また、ケーブルキャリア４に起因して発生する露光むらとケーブルキャリア２８に起因して発生する露光むらとがＹ軸方向にずれるように構成されていると、なお好ましい。
【００８３】
これにより、ケーブルキャリア４、２８に発生する露光むらがずれるようにすることができ、基板２６から製造される最終製品の見た目の均一性を向上させることができる。
【００８４】
［第４実施形態］
第４実施形態として、物品の製造方法について説明する。物品の製造方法は、基板に感光剤を付与する工程と、露光装置を用いて感光剤（レジスト）に潜像パターンを形成する工程と、感光剤を現像する工程と、基板を加工する工程と、基板上の感光剤を除去する工程とを、少なくとも２回ずつ含む。基板を加工する工程では現像後に残った感光剤をマスクとして、エッチング又はイオン注入等が行われる。
【００８５】
ここで、物品とは、電気回路素子、光学素子、ＭＥＭＳ、記録素子、或いはセンサ等である。電気回路素子としては、フラットパネルディスプレイの回路基板、ＤＲＡＭ、ＳＲＡＭ、フラッシュメモリ、ＭＲＡＭのような、揮発性或いは不揮発性の半導体メモリや、ＬＳＩ、ＣＣＤ、イメージセンサ、ＦＰＧＡのような半導体素子等が挙げられる。
【００８６】
露光される基板は、ガラス、セラミックス、金属、半導体、樹脂等が用いられ、必要に応じて、その表面に基板とは別の材料からなる部材が形成されていてもよい。
【００８７】
具体的な物品の製造方法について図１１を用いて説明する。図１１（ａ）に示すように、金属等の被加工材２６ｘが表面に形成されたガラス等の基板２６を用意し、被加工材２６ｘの表面に感光剤２６ｙを付与する。
【００８８】
図１１（ｂ）に示すように、原版２１を用いて基板２６を露光する。すなわち、露光光を透過しない材料２１ａでパターンが形成された原版２１を用意し、原版２１に形成されたパターンの像を感光剤２６ｙに投影すると、感光剤２６ｙの一部が変質し潜像パターンが形成される。感光剤２６ｙを現像すると、図１１（ｃ）に示すように、硬化物のパターンが被加工材２６ｘ上に残る。
【００８９】
図１１（ｄ）に示すように、当該硬化物のパターンを耐エッチングマスクとしてエッチングを行うと、被加工材２６ｘの表面のうち、硬化物が無い部分が除去され、溝２６ｚとなる。硬化物のパターンを除去すると、図１１（ｅ）に示すように、被加工材２６ｘの表面に溝５ｚが形成された被加工材２６ｘが形成される。
【００９０】
図１１（ｅ）に示す工程ののち、基板２６の表面に再び被加工材を形成し、図１１（ａ）〜（ｅ）の工程を繰り返す。さらに図１１（ａ）〜（ｅ）の工程を繰り返してもよい。液晶デバイス等の製造工程では、４〜６回繰り返し行われる。
【００９１】
ここで、それぞれの露光工程では、前述の各実施形態を適用する。すなわち、ケーブルキャリア４、２８の少なくとも一方のケーブルキャリアに起因して発生する露光むらが、ある露光工程と、該ある露光工程とは別の露光工程とでＹ軸方向にずれるようにする。
【００９２】
１台の露光装置１００で２回以上露光工程を実施する場合は、ケーブルキャリア４、２８の少なくとも一方の長さを変更する。別個体の露光装置１００を用いる場合は、露光むらがずれるように予めケーブルキャリア４、２８が構成されているか、変更部６２、６３によってその長さに設定されている。これにより、最終製品を製造したときの見た目の均一性を向上させることができる。
【００９３】
以上の製造方法の例では硬化物のパターンを除去する例を示したが、基板に対する最後の加工後も除去せずに、例えば、半導体素子等に含まれる層間絶縁用の膜、つまり、物品の構成部材として利用してもよい。感光剤２６ｙとして、露光された部分が現像後に残る感光剤（ネガ型レジスト）を示したが、露光されなかった部分が現像後に残る感光剤（ポジ型レジスト）であってもよい。
【００９４】
物品の製造方法は、他の周知の工程（洗浄、酸化、成膜、蒸着、平坦化、イオン注入、ダイシング、ボンディング、パッケージング等）を含んでもよい。
【００９５】
［その他の実施形態］
第１〜第４実施形態に共通して適用可能な、ケーブルキャリア４、２８のその他の実施形態について説明する。
【００９６】
ケーブルキャリア４の変更部６２を定盤２９側に配置した場合について説明したが、変更部６２は原版ステージ１側の端部に配置してもよい。ただし、関節部６１の回動の滑らかさよりも、ケーブルキャリア４と支持部３との接触時の振動のほうが露光むらに大きく寄与している場合には、前述のとおり定盤２９側に変更部６２を配置することが好ましい。
【００９７】
原版ステージ１側の端部でケーブルキャリア４の長さを変更しても支持部３に対する関節部６１の位置は変わらない一方で、定盤２９側の端部でケーブルキャリア４の長さを変更することにより支持部３に関節部６１の位置を変えることができる。これにより、ケーブルキャリア４と支持部３とが接触するタイミング、すなわちケーブルキャリア４に起因して振動の発生するタイミングを変えることができる。
【００９８】
ケーブルキャリア４の長さを変更するために、ボールネジ方式とラック・アンド・ピニオン方式を用いる場合を例に挙げたが、その他の方式の駆動によってケーブルキャリア４、２８の長さを変更してもよい。
【００９９】
Ｘステージ２７はＹ軸方向やＺ軸方向に微動可能に構成されていてもよいし、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸それぞれの軸周りに微小に回転可能な駆動機構を備えていてもよい。Ｙステージ４５はＸ軸方向やＺ軸方向の微動可能に構成されていてもよいし、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸それぞれの軸周りに微小に回転可能な駆動機構を備えていてもよい。
【０１００】
制御部５０は、その機能を全て備えているのであれば別個の制御基板上に構成されていてもよいし、１つの制御基板上に構成されていてもよい。記憶部５２は制御部５０の制御基板と同一の制御基板上に構成されていてもよい。
【０１０１】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【符号の説明】
【０１０２】
１  原版ステージ
２、２９  定盤
４、２８  ケーブルキャリア
４ａ  ケーブル
２１  原版
２６  基板
４７  基板ステージ
６２  変更部（変更手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018091917.tif 000009
【図８】
2018091917.tif 000010
【図９】
2018091917.tif 000011
【図１０】
2018091917.tif 000012
【図１１】
2018091917.tif 000013
【図１２】
2018091917.tif 000014