(57)【要約】【課題】プローブが隣接するプローブに対応するバンプ電極に接触することによるショートを防止する。【解決手段】テスタと電気的に接続された複数の導電路が設けられたプローブ基板１８と、導電路に電気的に接続されるようにプローブ基板１８に上端部が接触して設けられた接続部４０１、接続部４０１の下端部からプローブ基板１８に沿って伸長するアーム部４０２、およびアーム部４０２の伸長した先端部４０２ｃに設けられプローブ基板１８から離れる方向へ突出する針先部４０３を有し、プローブ基板１８に所定の間隔で設けられた複数のプローブ４０と、アーム部４０２が伸張する方向と直交する前後方向にアーム部４０２が変形した場合にアーム部４０２に接触するように、複数のプローブ４０の間に所定の間隔を設けてプローブ基板１８に配置された変形規制部５４とを備える。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハ上の半導体チップとテスタとを電気的に接続する電気的接続装置であって、
前記テスタと電気的に接続された複数の導電路が設けられたプローブ基板と、
前記導電路に電気的に接続されるように前記プローブ基板に上端部が接触して設けられた接続部、前記接続部の下端部から前記プローブ基板に沿って伸長するアーム部、および前記アーム部の前記伸長した先端部に設けられ前記プローブ基板から離れる方向へ突出する針先部を有し、前記プローブ基板に所定の間隔で設けられた複数のプローブと、
前記アーム部が伸張する方向と直交する前後方向に前記アーム部が変形した場合に前記アーム部に接触するように、前記複数のプローブの間に所定の間隔を設けて前記プローブ基板に配置された変形規制部と、
を備えたことを特徴とする電気的接続装置。
【請求項２】
前記変形規制部の上下方向の長さは、前記複数のプローブを前記半導体ウエハに向けて相対的に移動されて、前記複数のプローブの前記針先部が前記半導体チップに接触されたときにおける前記プローブ基板から前記半導体ウエハまでの高さ未満である
ことを特徴とする請求項１記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記変形規制部は、絶縁材で形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の電気的接続装置。
【請求項４】
前記変形規制部は、前記アーム部が伸張する方向と直交する断面が、前記断面のプローブ基板の近傍に配置される上底より前記断面のプローブ基板から離れて配置される下底が短い台形の形状を有する
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記変形規制部は、前記複数のプローブを、前記アーム部の先端部を、前記アーム部が伸張する方向およびこれに直交する前後方向の三方から囲うように設けられたことを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか１項記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブが隣接するプローブに対応するバンプ電極に接触することによるショートを防止する電気的接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップの電極にバンプ電極を用いたものがある。このバンプ電極によれば、半導体チップを取り付ける回路基板の電極と、半導体チップのバンプ電極との直接的な接合により、半導体チップを回路基板に実装することができる。このような半導体チップは、一般的に、半導体ウエハ上に半導体集積回路として集合的に形成され、該半導体ウエハがそれぞれのチップに分離される前に、電気的検査を受ける。
【０００３】
この種の電気的検査では、半導体ウエハ上の各チップ領域の各電極に接触する多数のプローブが設けられた電気的接続装置を通して、被検査体である各チップ領域がテスタ本体に接続される。
【０００４】
電気的接続装置の各プローブの一例として、例えば、上下方向へ伸びる板状の接続領域（接続部）と、接続領域の下端部から左右方向における少なくとも一方の側へ伸びる、弾性変形可能な板状のアーム領域（アーム部）と、アーム領域の先端部から下方へ突出する板状の台座領域と、台座領域の下端から下方へ突出する板状又は柱状の接触領域（針先部）とを含んだものが開示されている（特許文献１）。
【０００５】
そして、電気的接続装置は、各プローブの接触部の針先が被検査体の対応するバンプ電極に接触するように、半導体ウエハに向けて相対的に移動され、これにより各プローブの針先部が対応する電極に押圧される。このとき、アーム部に僅かな撓み変形が生じるように、各プローブにはオーバドライブ力が付与される。このオーバドライブ力により、各プローブと対応するバンプ電極とが電気的に確実に接触する。
【０００６】
このプローブとバンプ電極との接触状態でテストのための電流を通したとき、この通電によってバンプ電極がプローブの針先に溶着することがある。このプローブへのバンプ電極の溶着が生じた状態で、通電試験後に、プローブ組立体が被検査体から離れるように相対的に移動すると、そのとき、バンプ電極が溶着したプローブの針先がバンプ電極に固着していることから、プローブの針先部はプローブ組立体のプローブ基板から離れる方向への作用力を受ける。そのため、バンプ電極が溶着したプローブのアーム部には、オーバドライブ力を受けたときとは逆方向への反り返り変形が生じる。この溶着によるアーム部の過度の反り返り変形は、プローブの破損の原因となり得る。
【０００７】
そこで、特許文献２には、プローブへの電極の溶着が生じても該電極からの離反時にプローブのアーム部に過度の反り返り変形を生じることのないように、プローブの針先部がプローブ基板から離れる方向への作用力を受けたときにアーム部に生じる反り返り変形を規制する手段とを備えたプローブ組立体について開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１０−２５５８８号公報
【特許文献２】特開２００８−９６３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ここで、特許文献１に記載の各プローブは、板状の接続領域が所定の間隔を有してプローブ基板に接合されて設けられる。
【００１０】
各プローブのアーム領域は板状に形成されているので、各プローブを半導体ウエハに向けて相対的に移動されて、各プローブの接触部の針先が被検査体の対応するバンプ電極に接触したとき、プローブのアーム領域がプローブの配列方向（前後方向）に変形して接触領域の針先が対応するバンプ電極から脱落し、隣接するプローブに対応するバンプ電極に接触し回路がショートすることがあった。
【００１１】
また、特許文献２に記載のプローブ組立体の技術では、プローブの針先部がプローブ基板から離れる方向への作用力を受けたときにアーム部に生じる反り返り変形を規制する手段を設けているので、プローブのアーム領域がプローブの配列方向（前後方向）に変形した場合については、変形を規制することは困難であった。これにより、特許文献２に記載のプローブ組立体の技術であっても、接触領域の針先が対応するバンプ電極から脱落し、隣接するプローブに対応するバンプ電極に接触し回路がショートすることがあった。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、プローブが隣接するプローブに対応するバンプ電極に接触することによるショートを防止する電気的接続装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明に係る電気的接続装置の第１の特徴は、
半導体ウェハ上の半導体チップとテスタとを電気的に接続する電気的接続装置であって、
前記テスタと電気的に接続された複数の導電路が設けられたプローブ基板と、
前記導電路に電気的に接続されるように前記プローブ基板に上端部が接触して設けられた接続部、前記接続部の下端部から前記プローブ基板に沿って伸長するアーム部、および前記アーム部の前記伸長した先端部に設けられ前記プローブ基板から離れる方向へ突出する針先部を有し、前記プローブ基板に所定の間隔で設けられた複数のプローブと、
前記アーム部が伸張する方向と直交する前後方向に前記アーム部が変形した場合に前記アーム部に接触するように、前記複数のプローブの間に所定の間隔を設けて前記プローブ基板に配置された変形規制部と、を備えたことにある。
【００１４】
本発明に係る電気的接続装置の第２の特徴は、
前記変形規制部の上下方向の長さは、前記複数のプローブを前記半導体ウエハに向けて相対的に移動されて、前記複数のプローブの前記針先部が前記半導体チップに接触されたときにおける前記プローブ基板から前記半導体チップまでの高さ未満であることにある。
【００１５】
本発明に係る電気的接続装置の第３の特徴は、
前記変形規制部は、絶縁材で形成されていることにある。
【００１６】
本発明に係る電気的接続装置の第４の特徴は、
前記変形規制部は、前記アーム部が伸張する方向と直交する断面が、前記断面のプローブ基板の近傍に配置される上底より前記断面のプローブ基板から離れて配置される下底が短い台形の形状を有することにある。
【００１７】
本発明に係る電気的接続装置の第５の特徴は、
前記変形規制部は、前記複数のプローブを、前記アーム部の先端部を、前記アーム部が伸張する方向およびこれに直交する前後方向の三方から囲うように設けられたことにある。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る電気的接続装置によれば、プローブが隣接するプローブに対応するバンプ電極に接触することによるショートを防止する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係る電気的接続装置の下面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る電気的接続装置の図１に示した線II−IIに沿って得られた断面を拡大して示した図面である。
【図３】本発明の実施形態に係る電気的接続装置のプローブ基板の斜め下方から該プローブ基板を見たときに、このプローブ基板に設けられたプローブの配列を示す斜視図である。
【図４】図３に示された１組のプローブおよび変形規制部を示した正面図である。
【図５】プローブの針先が半導体ウエハのバンプ電極に押しつけられたオーバードライブ状態を示した正面図である。
【図６】前方向に湾曲したアーム部と変形規制部とを模式的に示した図である。
【図７】変形例１において、前方向に湾曲したアーム部と変形規制部とを模式的に示した図である。
【図８】変形例２において、プローブ基板の下方からプローブ基板を見たときに、プローブと変形規制部とを示した下面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態に係る電気的接続装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。また、以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置等を例示するものであって、この発明の技術的思想は、各構成部品の配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。
【００２１】
本発明の実施形態に係る電気的接続装置１０は、図１および図２に示されているように、リジッド配線基板１２と、リジッド配線基板にばね部材１４（図２参照）を介して弾性支持されるブロック１６と、リジッド配線基板１２内の図示しない複数の配線路に電気的にそれぞれ接続される従来よく知られた複数の導電路が設けられるプローブ基板１８が一体的に形成されたプローブシート２０とを備える。この実施例では、プローブ基板１８が可撓性のプローブシート２０の中央部に形成されている。
【００２２】
リジッド配線基板１２内には、従来よく知られているように、テスタ本体の電気回路に接続される配線路が形成されており、リジッド配線基板１２は、その中央に円形開口１２ａを有する。リジッド配線基板１２の上面には、図２に示すように、円形開口１２ａを覆って例えばステンレスのような金属からなる円形の支持板２４が配置されており、この支持板は、これに螺合するボルト２２を介して、リジッド配線基板１２に固定されている。支持板２４は、リジッド配線基板１２を支持し、リジッド配線基板１２の補強作用をなす。
【００２３】
ばね部材１４は、平板状のばね材料からなり、その環状外縁部を両面から挟持する環状の取付板２６および環状の押さえ板２８を介して、リジッド配線基板１２の円形開口１２ａ内で該開口を横切って保持される。このばね部材１４の保持のために、取付板２６は支持板２４の下面にボルト３０で結合され、また押さえ板２８は、押さえ板２８およびばね部材１４の環状外縁部を貫通して取付板２６に螺合するボルト３２で取付板２６に結合されている。
【００２４】
図２に示す例では、ボルト３０を緩めた状態でばね部材１４の保持姿勢を調整するための平行調整ねじ部材３４が、その先端を取付板２６の頂面に当接可能に、支持板２４に螺合する。
【００２５】
リジッド配線基板１２の円形開口１２ａ内に保持されたばね部材１４の本体部１４ｂ（図１参照）にブロック１６が固定されている。ブロック１６は、矩形横断面を有するステム部１６ａと、ステム部１６ａの下端に連なる正八角形の横断面形状を有する支持部１６ｂとを備える。
【００２６】
ブロック１６は、図２に示したように、支持部１６ｂの平坦な下面１６ｃを下方に向けて、ステム部１６ａの頂面でばね部材１４に結合されている。この結合のために、ステム部１６ａと共同して本体部１４ｂを挟持する固定板３６が、ステム部１６ａに螺合するねじ部材３８により、ステム部１６ａに固定されている。
【００２７】
プローブシート２０の中央部のプローブ基板１８は、図１に示す例では、ブロック１６の下面１６ｃに対応して形成された八角形部分である。ブロック１６の下面１６ｃに対応するプローブ基板１８の中央部には、多数のプローブ４０（図２参照）が集合的に設けられる接触子領域４２が形成されている。各プローブ４０は、プローブ基板１８内で対応する各導電路に接続されており、接触子領域４２の下面、すなわちブロック１６の下面１６ｃに対向する面と反対側の面から突出して形成されている。
【００２８】
プローブシート２０は、図２に示したように、プローブ基板１８の接触子領域４２がブロック１６の下面１６ｃに支持されるように下面１６ｃに接着剤を介して固着されている。また、プローブシート２０は、八角形部分であるプローブ基板１８から外方へ伸長する部分が僅かな弛みをもつように、その外縁部でリジッド配線基板１２に結合されている。
【００２９】
プローブシート２０の外縁部の結合のために、弾性ゴムリング４４がプローブシート２０の外縁部に沿って配置されており、また、弾性ゴムリング４４を覆うリング金具４６が配置されている。プローブシート２０の外縁部および両部材４４、４６を貫通してリジッド配線基板１２に螺合するねじ部材４８の締め付けによって、プローブシート２０の外縁部がリジッド配線基板１２に結合される。このプローブシート２０の外縁部のリジッド配線基板１２への結合によって、従来におけると同様に、プローブシート２０の導電路がリジッド配線基板１２の対応する配線路に電気的に接続される。したがって、各プローブ４０はプローブシート２０の導電路を経て図示しないテスタ本体に接続される。
【００３０】
アライメントピン５０は、必要に応じてプローブシート２０を貫通して配置されている。
【００３１】
図３は、プローブ基板１８の斜め下方からプローブ基板１８を見たときに、このプローブ基板１８に設けられたプローブ４０の配列を示す斜視図である。図３に示す例では、多数のプローブ４０のうち３本のみ示している。また、図４は図３に示された１組のプローブおよび変形規制部を示した正面図である。
【００３２】
各プローブ４０は、導電材料からなり、プローブ基板１８にそれぞれ所定の間隔を空けて複数設けられている。このプローブ４０は、図４に示すように、接続部４０１と、アーム部４０２と、針先部４０３とを有している。
【００３３】
接続部４０１は、プローブ基板１８内で各プローブ４０に対応する導電路に電気的に接続されるように、プローブ基板１８の下面１８ａに上端部４０１ａが接触して設けられた平板状部材である。
【００３４】
アーム部４０２は、接続部４０１の下端部４０１ｂからプローブ基板１８に沿って伸長する形状を有しており、その先端部４０２ｃの下面４０２ａに針先部４０３が設けられている。針先部４０３は、プローブ基板１８の下面１８ａから離れる方向へ突出して形成されている。針先部４０３の下部の先端には、半導体ウエハのバンプ電極に接触するための針先４０３ａが設けられている。
【００３５】
アーム部４０２は、中央部に空間４０２ｂを有する矩形の平板状部材であり、この空間４０２ｂを有することにより、空間４０２ｂの上方に位置する支持部４０２ｅと、空間４０２ｂの下方に位置する支持部４０２ｆとが、先端部４０２ｃと後端部４０２ｄとを接続するような形状となっている。
【００３６】
この支持部４０２ｅ，４０２ｆが上方向に湾曲することにより、アーム部４０２全体が上方向に湾曲することができる。
【００３７】
プローブ４０の針先４０３ａが半導体ウエハ５６上の半導体チップのバンプ電極５６ａに接触しない無負荷時状態のとき、図４に示すように、支持部４０２ｅ，４０２ｆはプローブ基板１８に沿って伸長する形状を有している。
【００３８】
通電試験時には、電気的接続装置１０と被検査体である半導体ウエハ５６とが相近づくように、電気的接続装置１０が半導体ウエハ５６に関して相対的に移動される。例えば、図５に示すように、プローブ４０の下方に配置される半導体ウエハ５６がプローブ４０に向けて上方に移動されると、半導体ウエハ５６のバンプ電極５６ａに接触する。そして、確実に電気的に接続させるために、さらに、半導体ウエハ５６がプローブ４０に向けて上方に移動されると、さらに支持部４０２ｅ，４０２ｆが上方向に湾曲することにより、アーム部４０２全体が上方向に湾曲して針先４０３ａがオーバドライブ力でバンプ電極５６ａに押し付けられる。これにより、プローブ４０とバンプ電極５６ａとが適切な通電状態となる。
【００３９】
また、図４に示すように、前後方向における各プローブ４０の間に所定の間隔を設けて、平板状の変形規制部５４がプローブ基板１８の下面１８ａに上端部が接触して設けられている。この変形規制部５４は、プローブ４０と同一材料であると、プローブ４０と同じタイミングで積層させることで製造できるので、製造面からはプローブ４０と同一材料であることが望ましい。ただし、ノイズ防止の観点からは、変形規制部５４は、導電材より絶縁材で形成されている方が望ましい。
【００４０】
変形規制部５４の上下方向の長さは、電気的接続装置１０と被検査体である半導体ウエハ５６とが相近づくように、電気的接続装置１０が半導体ウエハ５６に関して相対的に移動されたときに、プローブ基板１８から半導体ウエハ５６までの高さ未満となるように形成されている。
【００４１】
変形規制部５４は、各プローブ４０と左右方向に平行に各プローブ４０と間隔を設けて配置されているので、図４に示したプローブ４０が無負荷時状態のとき、プローブ４０と変形規制部５４とは接触しない。
【００４２】
また、図５示したプローブ４０の針先４０３ａが半導体ウエハ５６のバンプ電極５６ａに押しつけられたオーバードライブ状態のとき、アーム部４０２全体は上方向に湾曲するので、プローブ４０の前後方向に配置されている変形規制部５４とは接触しないことになる。
【００４３】
しかしながら、プローブ４０のアーム部４０２は矩形の平板状に形成されているので、アーム部４０２全体が上方向に湾曲して針先４０３ａがオーバドライブ力でバンプ電極５６ａに押し付けられたとき、アーム部４０２は前後方向に湾曲する場合もある。
【００４４】
図６は、前方向に湾曲したアーム部４０２と変形規制部５４とを模式的に示した図である。
【００４５】
図６に示すように、アーム部４０２全体が上方向に湾曲して針先４０３ａがオーバドライブ力でバンプ電極５６ａに押し付けられた状態で、例えば、アーム部４０２は前方向に湾曲すると、針先４０３ａとバンプ電極５６ａの接触位置が前方向にずれることになる。
【００４６】
しかしながら、各プローブ４０の間に所定の間隔を設けて変形規制部５４が配置されているので、アーム部４０２は前方向に湾曲した場合においても、アーム部４０２は前方向に隣接して設けられている変形規制部５４と接触点４０２ｇで接触する。
【００４７】
これにより、アーム部４０２はそれ以上湾曲することが規制されるので、バンプ電極５６ａに接触している針先４０３ａが脱落して、前方向に隣接するプローブに対応するバンプ電極５６ａに接触し回路がショートすることを防止できる。
【００４８】
なお、変形規制部５４は、変形規制部５４の素材の強度、上下方向の長さ、プローブ４０間の距離などに基づいて、アーム部４０２は前方向に湾曲して変形規制部５４と接触点４０２ｇで接触した場合においても、前方向に湾曲したり傾倒したりして隣接ずるプローブ４０に接触してショートしないように前後方向において十分な厚みを有している。
【００４９】
また、変形規制部５４の左右方向の長さは、アーム部４０２のうち上方向に湾曲する図４に示した長さＬ以内である方が望ましい。これにより、製造部材を低減することができる。
【００５０】
＜変形例１＞
本発明の実施形態に係る電気的接続装置１０では、図６に示すように前後方向における変形規制部５４の断面形状は矩形であるがこれに限らず、断面形状を台形としてもよい。
【００５１】
図７は、変形例１において、前方向に湾曲したアーム部４０２と変形規制部５４ａとを模式的に示した図である。
【００５２】
図７に示すように、変形１における変形規制部５４ａは、変形規制部５４と同様に、各プローブ４０の間に所定の間隔を設けて、左右方向に平板状の変形規制部５４ａがプローブ基板１８の下面１８ａに上端部が接触して設けられている。
【００５３】
変形規制部５４ａは、アーム部４０２が伸張する方向と直交する断面が、断面のプローブ基板１８の近傍に配置される上底５４ａ１より断面のプローブ基板１８から離れて配置される下底５４ａ２が短い台形の形状を有している。
これにより、通電試験時において、アーム部４０２全体が上方向に湾曲して針先４０３ａがオーバドライブ力でバンプ電極５６ａに押し付けられた状態で、アーム部４０２は前方向に湾曲すると、針先４０３ａとバンプ電極５６ａの接触位置が前方向にずれる。
【００５４】
しかしながら、変形規制部５４ａは、各プローブ４０の間に所定の間隔を設けて変形規制部５４が配置されているので、プローブ４０と変形規制部５４とが接触点４０２ｈで接触する。
【００５５】
このとき、変形規制部５４ａは、前後方向における断面が、上底５４ａ１より下底５４ａ２が短い台形の形状を有しているため、図６に示した接触点４０２ｇで接触する場合と比較して、傾斜面５４ａ３に沿ってアーム部４０２は前方向に湾曲するので、接触点４０２ｈでの集中応力が小さくなる。そのため、プローブ４０のアーム部４０２が何度も前方向への湾曲を繰り返したとしても、接触点４０２ｈにおいて損傷し難いという効果がある。
【００５６】
なお、変形規制部５４ａは、接触点４０２ｈでの集中応力をさらに小さくするため、下底５４ａ２と傾斜面５４ａ３とで形成される角部をなくし、滑らかな曲面を有するような構造としてもよい。
【００５７】
＜変形例２＞
本発明の実施形態に係る電気的接続装置１０では、図６に示すように、前後方向における各プローブ４０の間に所定の間隔を設けて、平板状の変形規制部５４が複数設けられている。
【００５８】
変形例２では、１つの変形規制部を有する電気的接続装置１０について説明する。
【００５９】
図８は、変形例２において、プローブ基板１８の下方からプローブ基板１８を見たときに、プローブ４０と変形規制部５４ｂとを示した下面図である。
【００６０】
図８に示すように、変形規制部５４ｂは、前後方向にアーム部４０２が変形した場合にアーム部４０２に接触するように、複数のプローブ４０の間に所定の間隔を設けてプローブ基板１８に配置された複数の変形規制板５４ｂ２と、この複数の変形規制板５４ｂ２を前後方向に連結した連結部５４ｂ１とを有している。
【００６１】
これにより、変形規制部５４ｂは、複数のプローブ４０について、アーム部４０２の先端部４０２ｃを、プローブ基板１８と平行平面におけるアーム部４０２が伸張する左方向および前後方向の三方から囲うことができる。
【００６２】
このように、変形例２では、変形規制板５４ｂ２と、この複数の変形規制板５４ｂ２を前後方向に連結した連結部５４ｂ１とを有する変形規制部５４ｂを備えているので、変形規制部５４や変形規制部５４ａと比較して、強い強度を担保することができ、アーム部４０２が前方向に湾曲して変形規制部５４ｂに接触した場合においても、より変形規制部５４ｂは前方向に湾曲したり傾倒したりし難くなる。
【符号の説明】
【００６３】
１０  電気的接続装置
１２  リジッド配線基板
１８  プローブ基板
２０  プローブシート
４０  プローブ
４２  接触子領域
５４，５４ａ，５４ｂ  変形規制部
５４ｂ１  連結部
５４ｂ２  変形規制板
５６  半導体ウエハ
５６ａ  バンプ電極
４０１  接続部
４０１ａ  上端部
４０１ｂ  下端部
４０２  アーム部
４０２ａ  下面
４０２ｂ  空間
４０２ｃ  先端部
４０２ｄ  後端部
４０２ｅ  支持部
４０２ｆ  支持部
４０２ｇ，４０２ｈ  接触点
４０３  針先部
４０３ａ  針先
【図１】
2018063199.tif 000003
【図２】
2018063199.tif 000004
【図３】
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【図４】
2018063199.tif 000006
【図５】
2018063199.tif 000007
【図６】
2018063199.tif 000008
【図７】
2018063199.tif 000009
【図８】
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