(57)【要約】【課題】反りのある板状ワークであってもチャックテーブルの保持面において吸引保持できるようにする。【解決手段】チャックテーブル１０は、板状ワークＷを吸引保持する保持面１１ａを有するポーラス板１１と保持面１１ａを露出させポーラス板１１を収容する凹部１２０を備える枠体１２とを備え、枠体１２は、凹部１２０の底面１２０ａに形成され吸引源１７と連通可能な吸引孔１２１と、枠体１２の上面１２３ａにおいて開口して形成され水供給源１９と連通可能な水供給孔１２４とを備えたため、水供給孔１２４から水を供給して板状ワークＷの外周部Ｗｃを水シールしながら保持面１１ａで板状ワークＷを吸引保持できるため、外周部Ｗｃに反りのある板状ワークＷであっても、チャックテーブル１０の保持面１１ａと板状ワークＷの外周部Ｗｃとの間から吸引力がリークするのを防ぎ、チャックテーブル１１で板状ワークＷを確実に吸引保持できる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを吸引保持するチャックテーブルであって、
板状ワークを吸引保持する保持面を有するポーラス板と、
該保持面を露出させ該ポーラス板を収容する凹部を備える枠体と、を備え、
該枠体は、該凹部の底面に形成され吸引源と連通可能な吸引孔と、
該枠体の該凹部に収容された該ポーラス板を囲繞する上面において開口して形成され水供給源と連通可能な水供給孔とを備えるチャックテーブル。
【請求項２】
請求項１記載のチャックテーブルが回転可能に装着された保持手段と、該チャックテーブルが吸引保持した板状ワークを研削する研削砥石を有する研削手段と、該チャックテーブルに板状ワークを搬入する搬入手段とを備える研削装置であって、
該搬入手段によって板状ワークを該チャックテーブルに搬入し該チャックテーブルが板状ワークを吸引保持するときに、前記水供給孔から前記枠体の上面に水を供給し板状ワークの外周部を水シールしながら板状ワークを吸引保持した該チャックテーブルを回転させ該研削手段で板状ワークを研削する研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを吸引保持するチャックテーブル及びチャックテーブルに吸引保持された板状ワークに研削を施す研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状ワークなどの被加工物を研削する研削装置は、板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに吸引保持された板状ワークを研削する研削手段と、板状ワークを仮置きする仮置きテーブルと、仮置きテーブルからチャックテーブルに板状ワークを搬入する搬入手段とを少なくとも備えている（例えば、下記の特許文献１を参照）。そして、板状ワークは、搬入手段によって仮置きテーブルからチャックテーブルに搬入され、チャックテーブルの保持面において吸引保持された後、研削手段によって所定の厚みに至るまで研削される。
【０００３】
ところが、板状ワークの外周部に反りが発生していることがある（例えば、下記の特許文献２を参照）。このような板状ワークをチャックテーブルに搬入しても、外周部はチャックテーブルの保持面から離間する上方向に向けて反っているため、板状ワークを保持面で十分に吸引保持することができない。そのため、例えば、搬入手段によって、反った板状ワークをチャックテーブルに搬入する際に、搬入手段が保持面に向けて板状ワークの外周部を保持面に押し付けつつ、保持面と吸引源とを連通させて保持面において板状ワークを吸引保持している。また、例えば、下記の特許文献３においては、弾性パッドを介して板状ワークをチャックテーブルにおいて吸引保持する方法も提案されている。かかる方法においては、板状ワークをチャックテーブルの保持面で吸引すると、弾性パッドが収縮して板状ワークが弾性パッドに沈み込むため、板状ワークの外周部の反りを解消することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３１３３２６号公報
【特許文献２】特開２００６−２６１４１５号公報
【特許文献３】特開２０１５−１９９１５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記のような方法を用いても、チャックテーブルの保持面と板状ワークの外周部との僅かな隙間から吸引力がリークして、板状ワークの外周部を保持面で吸引保持ができなくなることがある。この状態のまま、研削手段によって板状ワークの研削を開始すると、チャックテーブルから板状ワークが外れて加工ができなくなるという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、反りのある板状ワークであってもチャックテーブルの保持面において吸引保持できるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、板状ワークを吸引保持するチャックテーブルであって、板状ワークを吸引保持する保持面を有するポーラス板と、該保持面を露出させ該ポーラス板を収容する凹部を備える枠体と、を備え、該枠体は、該凹部の底面に形成され吸引源と連通可能な吸引孔と、該枠体の該凹部に収容された該ポーラス板を囲繞する上面において開口して形成され水供給源と連通可能な水供給孔とを備える。
【０００８】
また、本発明は、上記チャックテーブルが回転可能に装着された保持手段と、該チャックテーブルが吸引保持した板状ワークを研削する研削砥石を有する研削手段と、該チャックテーブルに板状ワークを搬入する搬入手段とを備える研削装置であって、該搬入手段によって板状ワークを該チャックテーブルに搬入し該チャックテーブルが板状ワークを吸引保持するときに、前記水供給孔から前記枠体の上面に水を供給し板状ワークの外周部を水シールしながら板状ワークを吸引保持した該チャックテーブルを回転させ該研削手段で板状ワークを研削することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るチャックテーブルは、板状ワークを吸引保持する保持面を有するポーラス板と、保持面を露出させポーラス板を収容する凹部を備える枠体とを備え、枠体は、凹部の底面に形成され吸引源と連通可能な吸引孔と、枠体の凹部に収容された該ポーラス板を囲繞する上面において開口して形成され水供給源と連通可能な水供給孔とを備えたため、水供給孔から水を供給して板状ワークの外周部を水シールしながら保持面で板状ワークを吸引保持することができるため、たとえ外周部に反りのある板状ワークであっても、チャックテーブルの保持面と板状ワークの外周部との間から吸引力がリークするのを防ぎ、チャックテーブルの保持面で板状ワークを確実に吸引保持することができる。
【００１０】
また、本発明に係る研削装置は、上記チャックテーブルが回転可能に装着された保持手段と、チャックテーブルが吸引保持した板状ワークを研削する研削砥石を有する研削手段と、チャックテーブルに板状ワークを搬入する搬入手段とを備え、搬入手段によって板状ワークをチャックテーブルに搬入しチャックテーブルが板状ワークを吸引保持するときに、上記水供給孔から上記枠体の上面に水を供給し板状ワークの外周部を水シールしながら板状ワークを吸引保持したチャックテーブルを回転させ研削手段で板状ワークを研削するように構成したため、上記同様に、たとえ外周部に反りのある板状ワークであっても、チャックテーブルの保持面と板状ワークの外周部との間から吸引力がリークするのを防ぐことができる。したがって、研削中にチャックテーブルから板状ワークが外れるおそれを防止でき、チャックテーブルの保持面で確実に板状ワークを吸引保持して研削加工を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】研削装置の一例の構成を示す斜視図である。
【図２】チャックテーブル、保持手段及び搬入手段の構成を示す断面図である。
【図３】チャックテーブルの構成を示す分解斜視図である。
【図４】チャックテーブルの構成を示す斜視図である。
【図５】搬入手段によって、仮置きテーブルに仮置きされた板状ワークを受け取る状態を示す断面図である。
【図６】搬入手段によって、チャックテーブルに板状ワークを受け渡す状態を示す断面図である。
【図７】チャックテーブルに吸引保持された板状ワークの外周部を水シールしながら板状ワークを研削する状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す研削装置１は、Ｙ軸方向に延在する装置基台２を有しており、装置基台２の−Ｙ方向側には、ステージ３ａ，３ｂが隣接して配設されている。ステージ３ａには研削前の板状ワークを収容するカセット４ａが載置され、ステージ３ｂには研削後の板状ワークを収容するカセット４ｂが載置されている。カセット４ａ及びカセット４ｂに対面する位置には、カセット４ａからの板状ワークの搬出を行うとともにカセット４ｂへの板状ワークの搬入を行う搬出入手段５が配設されている。搬出入手段５の可動範囲には、板状ワークを仮置きするための仮置きテーブル６と、研削後の板状ワークに付着した研削屑を洗浄して除去する洗浄手段７が配設されている。
【００１３】
装置基台２の中央部には、回転可能なターンテーブル８が配設されている。ターンテーブル８の上には、板状ワークを吸引保持するチャックテーブル１０が回転可能に装着された保持手段１３を例えば３つ備えている。ターンテーブル８が回転することにより、保持手段１３を公転させ、保持手段１３を、チャックテーブル１０に対して板状ワークの着脱が行われる着脱領域Ｐ１と板状ワークが粗研削・仕上げ研削される研削領域Ｐ２との間で移動させることができる。
【００１４】
装置基台２の＋Ｙ方向側の端部には、Ｚ軸方向に延在するコラム２８が立設されている。コラム２８の前方側において研削送り手段３０Ａを介して研削手段２０Ａが配設されている。研削手段２０Ａは、Ｚ軸方向の軸心を有するスピンドル２１と、スピンドル２１の一端に接続されたモータ２２と、スピンドル２１が回転可能に囲繞して支持されたスピンドルハウジング２３と、スピンドルハウジング２３を保持するホルダ２４と、スピンドル２１の下端においてマウント２５を介して着脱自在に装着された研削ホイール２６ａと、研削ホイール２６ａの下部において円環状に固着された粗研削用の研削砥石２７ａとを備えている。そして、モータ２２が駆動されてスピンドル２１が回転することにより、研削ホイール２６ａを所定の回転速度で回転させることができる。
【００１５】
研削送り手段３０Ａは、Ｚ軸方向に延在するボールネジ３１と、ボールネジ３１の一端に接続されたモータ３２と、ボールネジ３１と平行に延在しコラム２８に配設された一対のガイドレール３３と、一方の面がホルダ２４に連結された昇降板３４とを備えている。昇降板３４の他方の面に一対のガイドレール３３が摺接し、昇降板３４の中央部に形成されたナットにはボールネジ３１が螺合している。モータ３２によってボールネジ３１が回動することにより、一対のガイドレール３３に沿って昇降板３４とともに研削手段２０ＡをＺ軸方向に研削送りすることができる。
【００１６】
装置基台２の＋Ｙ方向側の端部には、コラム２８との間に所定の間隔を設けてコラム２９が立設されている。コラム２９の前方側において研削送り手段３０Ｂを介して研削手段２０Ｂが配設されている。研削手段２０Ｂは、スピンドル２１の下端においてマウント２５を介して着脱自在に装着された研削ホイール２６ｂと、研削ホイール２６ｂの下部において円環状に固着された仕上げ研削用の研削砥石２７ｂとを備え、これら以外は、研削手段２０Ａと同様の構成となっている。研削手段２０Ｂでは、モータ２２が駆動されてスピンドル２１が回転することにより、研削ホイール２６ｂを所定の回転速度で回転させることができる。
【００１７】
研削送り手段３０Ｂについても、研削送り手段３０Ａと同様の構成となっている。すなわち、研削送り手段３０Ｂは、ボールネジ３１と、ボールネジ３１の一端に接続されたモータ３２と、ボールネジ３１と平行に延在しコラム２９に配設された一対のガイドレール３３と、一方の面がホルダ２４に連結された昇降板３４とを備え、モータ３２によってボールネジ３１が回動することにより、一対のガイドレール３３に沿って昇降板３４とともに研削手段２０ＢをＺ軸方向に研削送りすることができる。
【００１８】
研削手段２０Ａ及び研削手段２０Ｂの下方側には、板状ワークの厚みを測定する厚み測定手段４０がそれぞれ配設されている。厚み測定手段４０は、接触式の第１のゲージ４１と第２のゲージ４２とを備えている。厚み測定手段４０では、第１のゲージ４１でチャックテーブル１０に保持された板状ワークの高さを測定するとともに、第２のゲージ４２でチャックテーブル１０の高さを測定して、それぞれの測定値の差を板状ワークの厚みとして算出することができる。
【００１９】
仮置きテーブル６の近傍には、仮置きテーブル６に仮置きされた研削前の板状ワークを着脱領域Ｐ１に位置づけられたチャックテーブル１０に搬入する搬入手段９が配設されている。また、洗浄手段７の近傍には、着脱領域Ｐ１に位置づけられたチャックテーブル１０に吸引保持された研削後の板状ワークを洗浄手段７に搬入する搬入手段９ａが配設されている。
【００２０】
搬入手段９，９ａは、図２に示すように、板状ワークを吸引保持する吸引面９０ａを有する搬送パッド９０と、一端が搬送パッド９０に連結されたアーム部９１と、アーム部９１の他端に接続され回転及び昇降可能な軸部９２と、軸部９２に接続されたモータ９３とを備えている。搬送パッド９０には、吸引源９４が接続されており、吸引源９４の吸引力を吸引面９０ａに作用させて板状ワークを吸引保持することが可能となっている。搬入手段９では、モータ９３が駆動されて軸部９２が回転することで、アーム部９１が水平方向に旋回し、図１に示した仮置きテーブル６と着脱領域Ｐ１に位置づけられたチャックテーブル１０との間で搬送パッド９０を移動させることができる。また、搬入手段９ａでは、モータ９３が駆動されて軸部９２が回転すると、アーム部９１が水平方向に旋回し、着脱領域Ｐ１に位置づけられたチャックテーブル１０と洗浄手段７との間で搬送パッド９０を移動させることができる。さらに、搬入手段９，９ａでは、軸部９２が昇降すると、アーム部９１が上下方向（Ｚ軸方向）に昇降し、搬送パッド９０を昇降させることができる。
【００２１】
図２に示すように、チャックテーブル１０は、板状ワークを吸引保持する保持面１１ａを有するポーラス板１１と、保持面１１ａを露出させポーラス板１１を収容する凹部１２０を備える枠体１２とを備えている。枠体１２は、保持手段１３を構成するベース１３０に装着される。ベース１３０の下端には、ロータリージョイント１５が連結されている。枠体１２及びロータリージョイント１５には、吸引力の通り道となる吸引路１６が形成されており、吸引路１６には吸引バルブ１７ａを介して吸引源１７が接続されている。また、枠体１２及びロータリージョイント１５には、水の流路となる水路１８が形成されており、水路１８には給水バルブ１９ａを介して水供給源１９が接続されている。ロータリージョイント１５には、ベース１３０に装着されたチャックテーブル１０を回転させる回転手段１４が接続されている。
【００２２】
図３は、ポーラス板１１が枠体１２に収容される前の状態を示している。ポーラス板１１は、例えば円盤状に形成され、ポーラスセラミックス等の多孔質部材によって構成されている。本実施形態に示すポーラス板１１の保持面１１ａは、板状ワークと相似形に形成され、かつ、板状ワークと略同一の面積を有している。枠体１２には、リング状の凸部１２３が形成されており、この凸部１２３の内側の領域がポーラス板１１の形状に応じて形成された凹部１２０となっている。つまり、枠体１２の凹部１２０の内径は、ポーラス板１１の外径よりも僅かに大きく形成され、凹部１２０にポーラス板１１を嵌め込むことが可能となっている。
【００２３】
凹部１２０の底面１２０ａは、ポーラス板１１の下面１１ｂを水平に固定するために、平坦面に形成されている。凹部１２０の底面１２０ａの中央には、図２に示す吸引路１６を通じて吸引源１７に連通可能な吸引孔１２１が形成されている。また、凹部１２０の底面１２０ａには、底面１２０ａよりも低い位置に吸引溝１２２が形成されている。吸引孔１２１を通じて吸引溝１２２に負圧を発生させることで、凹部１２０に嵌合されたポーラス板１１に吸引力を伝達し保持面１１ａにおいて吸引作用を発揮させることができる。なお、図示の例では、吸引孔１２１は、凹部１２０の底面１２０ａの中央に１つのみ形成されているが、吸引孔１２１の数や位置は限られない。したがって、吸引孔１２１の数を２つ以上に増やして、底面１２０ａの所望の位置にそれぞれ形成してもよい。
【００２４】
枠体１２の凸部１２３の上面１２３ａは、図２に示すように、ポーラス板１１が凹部１２０に嵌合されたときの保持面１１ａと同じ高さ位置に設定され基準面となっている。そして、板状ワークの研削時には、上記の第２のゲージ４２が上面１２３ａに接触してチャックテーブル１０の高さが測定される。
【００２５】
凸部１２３の上面１２３ａには、水路１８を通じて水供給源１９に連通可能な水供給孔１２４が複数形成されている。水供給孔１２４は、凸部１２３の上面１２３ａにおいて開口しており、上面１２３ａの上方に向けて水を噴出させることができる。本実施形態に示す水供給孔１２４は、図３に示すように、ポーラス板１１の外周の外側に沿った位置に所定の間隔を設けて複数形成されており、全体としてリング状となっている。また、図示の例では、水供給孔１２４の形状は、円形状の開口部としたが、例えばリング状の一連の開口部として形成してもよい。
【００２６】
ポーラス板１１を枠体１２に収容する場合は、凹部１２０の底面１２０ａに例えば接着材を塗布してから、ポーラス板１１を凹部１２０に嵌め込んで、底面１２０ａにおいてポーラス板１１の下面１１ｂを接着固定させる。これにより、図４に示すように、ポーラス板１１と枠体１２とが一体となったチャックテーブル１０が形成される。複数の水供給孔１２４は、ポーラス板１１の外周を囲むようにして位置づけられている。このように構成されるチャックテーブル１０の保持面１１ａで板状ワークを吸引保持すると、複数の水供給孔１２４によって板状ワークの外周部が囲まれた状態となる。かかる状態において、複数の水供給孔１２４から水を噴出させることにより、板状ワークの外周部の外側に水層を形成して、板状ワークの外周部を水層によって水シールしながら保持面１１ａにおいて板状ワークを吸引保持することができる。このように、本発明に係るチャックテーブル１０では、チャックテーブル１０で保持しようとする板状ワークの外周部に反りがあっても、板状ワークの外周部を水層によって水シールするため、外周部と保持面１１ａとの間から吸引力がリークするのを防ぎ、確実に保持面１１ａで板状ワークを吸引保持することが可能となる。
【００２７】
次に、研削装置１の動作例について説明する。図５（ａ）に示す板状ワークＷは、円形板状の被加工物の一例であって、図１に示したカセット４ａに複数収容されている。まず、搬出入手段５は、カセット４ａから研削前の板状ワークＷを１枚取り出し、図５（ａ）に示すように、仮置きテーブル６に板状ワークＷを仮置きする。ここで、板状ワークＷの外周部Ｗｃは、デバイスチップを封止樹脂で封止する際に生じる熱の影響等によって、例えば仮置きテーブル６の上面から離間する上方向に反りが発生している。搬入手段９は、図５（ｂ）に示すように、アーム部９１とともに搬送パッド９０を降下させることにより、搬送パッド９０の吸引面９０ａを仮置きテーブル６において反った状態で仮置きされた板状ワークＷの上面に接触させ、搬送パッド９０で下方に押し付ける。搬入手段９は、吸引源９４の吸引力を吸引面９０ａに作用させて板状ワークＷを吸引保持する。このようにして、搬入手段９が板状ワークＷを受け取る。
【００２８】
搬入手段９は、アーム部９１とともに搬送パッド９０を上昇させるとともに、図６（ａ）に示すように、モータ９３が駆動されて軸部９２を矢印Ａ方向に回転することにより、アーム部９１を水平方向に旋回させ、チャックテーブル１０の上方側に搬送パッド９０を移動させる。続いて、搬入手段９は、アーム部９１とともに搬送パッド９０を降下させ、チャックテーブル１０の保持面１１ａに板状ワークＷを載置する。
【００２９】
図６（ｂ）に示すように、吸引路１６に配設された吸引バルブ１７ａを開き、吸引源１７と吸引路１６とを通じてチャックテーブル１０の保持面１１ａに吸引作用を発揮させ、板状ワークＷを保持面１１ａで吸引保持する。搬入手段９は、吸引面９０ａの吸引力を開放させアーム部９１とともに搬送パッド９０を上昇させる。搬送パッド９０が板状ワークＷから離間する前に、水路１８に配設された給水バルブ１９ａを開き、水供給源１９から水路１８に所定量の水の供給を開始し、水供給孔１２４から上方側へ水を噴出させる。水供給孔１２４から水を噴出し続けて板状ワークＷの外周部Ｗｃを囲繞する水層１００を形成し、水層１００によって板状ワークＷの外周部Ｗｃを水シールする。そして、搬送パッド９０を板状ワークＷから退避させる。このようにして、搬入手段９からチャックテーブル１０へと板状ワークＷを受け渡す。
【００３０】
次いで、図１に示したターンテーブル８が回転することにより、板状ワークＷを吸引保持したチャックテーブル１０を、研削手段２０Ａの下方に移動させる。図７に示すように、回転手段１４によってチャックテーブル１０を例えば矢印Ａ方向に回転させるとともに、研削手段２０Ａは、スピンドル２１を回転させ研削砥石２７ａを所定の回転速度で矢印Ａ方向に回転させつつ、図１に示した研削送り手段３０Ａによって研削手段２０Ａを例えば−Ｚ方向に下降させて研削砥石２７ａで板状ワークＷの上面全面を押圧しながら粗研削する。
【００３１】
粗研削中は、水供給源１９から水路１８に水を供給し続けて、水供給孔１２４から水を噴出させ板状ワークＷの外周部Ｗｃを水層１００によって常に水シールする。そのため、外周部Ｗｃの反りによって保持面１１ａと外周部Ｗｃとの間に僅かな隙間が生じたとしても、水層１００により保持面１１ａから吸引力がリークするのを防ぐことができる。このように、水層１００により板状ワークＷの外周部Ｗｃを水シールしながら、回転する研削砥石２７ａで板状ワークＷの上面全面を所定の厚みに至るまで粗研削する。板状ワークＷの粗研削中は、図１に示した厚み測定手段４０を用いて、常に板状ワークＷの厚みを測定して所定の厚みに達した時点で粗研削を終了する。
【００３２】
上記のように、板状ワークＷの粗研削が終了するまで外周部Ｗｃを水シールしてもよいが、板状ワークＷがある程度薄化されると外周部Ｗｃの反りが解消されることから、この場合は、水供給源１９から水路１８への水の供給を停止してもよい。つまり、粗研削中は、板状ワークＷの外周部Ｗｃの反りが解消されるまで、外周部Ｗｃを水シールしながらチャックテーブル１０で板状ワークＷを吸引保持すればよい。
【００３３】
粗研削終了後、図１に示したターンテーブル８がさらに回転し、粗研削後の板状ワークＷを吸引保持したチャックテーブル１０を研削手段２０Ｂの下方に移動させる。仕上げ研削は、粗研削と同様の動作によって行われる。すなわち、チャックテーブル１０を回転させるとともに、研削手段２０Ｂは、スピンドル２１を回転させ研削砥石２７ｂを所定の回転速度で回転させる。研削送り手段３０Ａによって研削手段２０Ｂを例えば−Ｚ方向に下降させて研削砥石２７ｂで板状ワークＷの上面全面を押圧しながら仕上げ研削する。仕上げ研削を行う際に、板状ワークＷの外周部Ｗｃの反りが解消されていなければ、粗研削と同様に、水供給孔１２４から水を噴出させ板状ワークＷの外周部Ｗｃを水層１００によって常に水シールしながら保持面１１ａで板状ワークＷを吸引保持するとよい。仕上げ削中は、厚み測定手段４０を用いて常に板状ワークＷの厚みを測定して、所定の仕上げ厚みに達した時点で仕上げ研削を終了する。
【００３４】
仕上げ研削終了後、ターンテーブル８が回転し、チャックテーブル１０を着脱領域Ｐ１に位置づけ、搬入手段９ａにより研削済みの板状ワークＷをチャックテーブル１０から洗浄手段７に搬送する。そして、洗浄手段７で板状ワークＷを洗浄した後、搬出入手段５によってカセット４ｂに板状ワークＷを収容する。
【００３５】
このように、本発明に係る研削装置１は、チャックテーブル１０が回転可能に装着された保持手段１３と、チャックテーブル１０が吸引保持した板状ワークＷを研削する研削手段２０Ａ，２０Ｂと、チャックテーブル１０に板状ワークＷを搬入する搬入手段９とを備え、搬入手段９によって板状ワークＷをチャックテーブル１０に搬入しチャックテーブル１０が板状ワークＷを吸引保持した後、水供給孔１２４から枠体１２の上面１２３ａに水を供給して水層１００を形成し、水層１００によって板状ワークＷの外周部Ｗｃを水シールしながらチャックテーブル１０を回転させ研削手段２０Ａ，２０Ｂで板状ワークＷを研削するように構成したため、たとえ外周部Ｗｃに反りのある板状ワークＷであっても、チャックテーブル１０の保持面１１ａと板状ワークＷの外周部Ｗｃとの間から吸引力がリークするのを防ぐことができる。したがって、研削中にチャックテーブル１０から板状ワークＷが外れるおそれを防止でき、チャックテーブル１０の保持面１１ａで確実に板状ワークＷを吸引保持して研削加工を実施することができる。
【００３６】
上記実施形態に示したチャックテーブル１０では、ポーラス板１１の保持面１１ａが板状ワークＷと略同一の面積を有しているが、チャックテーブル１０の保持面１１ａの面積は例えば板状ワークＷよりも僅かに小さい面積であってもよい。また、チャックテーブル１０の保持面１１ａの面積は板状ワークＷよりも僅かに大きい面積であってもよい。この場合においても、本発明によれば、複数の水供給孔１２４から水を噴出させて板状ワークＷの外周部Ｗｃを水シールすることができるため、チャックテーブル１０の保持面１１ａと板状ワークＷの外周部Ｗｃとの間から吸引力がリークするのを防ぎ、保持面１１ａで板状ワークを確実に吸引保持することができる。
【符号の説明】
【００３７】
１：研削装置  ２：装置基台  ３ａ，３ｂ：ステージ
４ａ，４ｂ：カセット  ５：搬出入手段  ６：仮置きテーブル
７：洗浄手段  ８：：ターンテーブル
９，９ａ：搬入手段  ９０：搬送パッド  ９１：アーム部  ９２：軸部
９３：モータ  ９４：吸引源
１０：チャックテーブル  １１：ポーラス板  １１ａ：保持面
１２：枠体  １２０：凹部  １２０ａ：底面  １２１：吸引孔  １２２：吸引溝
１２３：凸部  １２３ａ：上面  １２４：水供給孔
１３：保持手段  １３０：ベース  １４：回転手段  １５：ロータリージョイント
１６：吸引路  １７：吸引源  １７ａ：吸引バルブ  １８：水路  １９：水供給源
１９ａ：給水バルブ  ２０Ａ，２０Ｂ：研削手段  ２１：スピンドル  ２２：モータ
２３：スピンドルハウジング  ２４：ホルダ  ２５：マウント
２６ａ，２６ｂ：研削ホイール  ２７ａ，２７ｂ：研削砥石  ２８，２９：コラム
３０Ａ，３０Ｂ：研削送り手段  ３１：ボールネジ  ３２：モータ
３３：ガイドレール  ３４：昇降板
４０：厚み測定手段  ４１：第１のゲージ  ４１：第２のゲージ
１００：水層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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