(57)【要約】【課題】超音波顕微鏡で検査及びスキャンされる異なるサイズ及び形状のサンプルを保持する。【解決手段】調整式フィクスチャ１００には、フレーム１０１の第１端部１０２に配置される第１水平バー１１０と、フレーム１０１の第２端部１０３に配置される第２水平バー１２０とがある。第２水平バー１２０は、フレーム１０１の第１端部１０２及び第２端部１０３の間で移動可能な状態でフレーム１０１と係合しても良い。調整式フィクスチャ１００には、更に、フレーム１０１の第１側部１０４及び第２側部１０５の１つ以上に配置されるサイド・バー１３０があっても良い。第２水平バー１２０の端部は、サイド・バー１３０に沿ってスライド可能かつロック可能であり、係合機構１５０は、第２水平バー１２０の端部をサイド・バー１３０に解放可能に結合する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波顕微鏡を用いて検査するサンプルを保持する調整式フィクスチャであって、
第１端部、第２端部、第１側部及び第２側部を有するフレームと、
上記フレームの上記第１端部に配置される第１水平バーであって、サンプルの第１端部と係合するよう構造的に構成される第１面を有する上記第１水平バーと、
上記フレームの上記第２端部に配置される第２水平バーであって、上記第１面と対向するとともに上記サンプルの第２端部と係合するよう構造的に構成される第２面を有し、上記フレームの上記第１端部及び上記第２端部の間で可動であるように上記フレームと係合する上記第２水平バーと、
上記フレームの上記第１側部及び上記第２側部の１つ以上に配置されるサイド・バーであって、上記第２水平バーの端部が上記サイド・バーに沿ってスライド可能かつロック可能である上記サイド・バーと、
上記第２水平バーの上記端部を上記サイド・バーに解放可能に結合させる係合機構と
を具える調整式フィクスチャ。
【請求項２】
上記第１水平バーが１つ以上のばね要素によってばね荷重されている請求項１の上記調整式フィクスチャ。
【請求項３】
上記第１面は、１つ以上の上記ばね要素のばね力よりも大きい力が、それに加えられたときに、上記フレームの上記第１端部の方向へ可動である請求項２の上記調整式フィクスチャ。
【請求項４】
上記ばね力は、上記サンプルの上記第１端部を受けたときに上記第１面を上記フレームの上記第１端部の方向へ動かし、かつ、上記サンプルの上記第２端部が上記第２水平バーの上記第２面と係合したときに、上記フレームに上記サンプルを保持することが可能であるように選択される請求項３の上記調整式フィクスチャ。
【請求項５】
上記第１水平バーが上記第１面上に第１溝を有するとともに、上記第２水平バーが上記第２面上に第２溝を有する請求項１の上記調整式フィクスチャ。
【請求項６】
上記第１溝及び上記第２溝の１つ以上のテーパリングが、上記第１水平バー及び上記第２水平バーの間に上記サンプルが保持されたときに、上記サンプルの反りを平らにするよう構造的に構成されている請求項５の上記調整式フィクスチャ。
【請求項７】
上記サイド・バーがスロットを有し、
上記調整式フィクスチャが、１つ以上の上記係合機構及び上記第２水平バーの上記端部に配置される突起部を更に具え、
該突起部は上記スロットと係合する大きさと形状である請求項１の上記調整式フィクスチャ。
【請求項８】
上記サンプルの下側に障害物がなく、それによって、複数の形式のサンプルの透過検査を可能とするように、上記サンプルがそのエッジで保持される請求項１の上記調整式フィクスチャ。
【請求項９】
上記第１水平バー及び上記第２水平バーの１つ以上に配置される１つ以上のサンプル位置決め機構を更に具え、該サンプル位置決め機構は、上記フレームに対する上記サンプルの位置を固定するよう構造的に構成される請求項１の上記調整式フィクスチャ。
【請求項１０】
フレームと、該フレームの第１端部のばね荷重された第１水平バーと、上記フレームの上記第１端部及び第２端部の間で移動可能な第２水平バーとを有する調整式フィクスチャを超音波顕微鏡内に固定する処理と、
上記フレームの上記第１端部及び上記第２端部の間で上記第２水平バーの位置を調整する処理と、
所定ばね力よりも大きい力を加えることによって、サンプルの第１端部を用いて、上記第１水平バーの少なくとも一部を上記フレームの上記第１端部の方向へずらす処理と、
上記サンプルの第２端部を上記第２水平バーと係合させる処理と
を具え、
上記所定ばね力によって、上記第１水平バー及び上記第２水平バーの間に上記サンプルを保持する調整式フィクスチャの使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異なるサイズ及び形状の複数のサンプルを適切な位置に保持する調整式フィクスチャと、調整式フィクスチャ（fixture：固定装置）を使用する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波顕微鏡は、超音波を用いて、対象物（Object：本願では「サンプル」とも呼ばれる）のスキャン画像を生成するのに利用できる。いくつかの超音波顕微鏡では、サンプルが液体タンク中の適切な位置に保持され、多数の位置において、スキャン・パターンで、送信トランスデューサから超音波パルスによる高周波の音波が当てられる。この目的を達成するのに、フィクスチャは、一般に、サンプルを適切な位置に保持するのに利用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２２９９１２号公報
【特許文献２】特開２００４−２１２１９１号公報
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】「JEDEC」の項、Wikipedia、［２０１７年１１月６日検索］、インターネット<https://ja.wikipedia.org/wiki/JEDEC>
【非特許文献２】「JEDEC半導体技術協会（JEDEC Solid State Technology Association）」のWebsite、［online］、インターネット<https://www.jedec.org/about-jedec>
【非特許文献３】「超音波顕微鏡  Scanning Acoustic Microscope（SAM）」の紹介、東芝ナノアナリシス株式会社、［２０１７年１１月６日検索］、インターネット<http://www.nanoanalysis.co.jp/business/case_example_73.html>
【非特許文献４】「超音波探傷検査」の項、Wikipedia、［２０１７年１１月６日検索］、インターネット<https://ja.wikipedia.org/wiki/超音波探傷検査>
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、超音波顕微鏡は、異なるサイズ及び形状の複数のサンプルをスキャンするのに利用でき、このとき、典型的には、各異なるサンプルのためにカスタマイズしたフィクスチャが必要である。従って、超音波顕微鏡システム又はそのユーザは、多数の異なるフィクスチャと、あるカスタマイズしたフィクスチャから別のものへの変更が必要となることがあり、これは、複数のフィクスチャの入れ替え及び交換が行われるために、スキャンをするための時間が減少することがある。
【０００６】
例えば、超音波顕微鏡によって検査及びスキャンするための、異なるサイズ及び形状の複数サンプルを保持できるフィクスチャに関するニーズが残っている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の実施例を以下に示す。本発明の実施形態は、以下に記載される例の任意の１つ以上、及び任意の組み合わせであっても良い。
【０００８】
実施例１としては、超音波顕微鏡を用いて検査するサンプルを保持する調整式フィクスチャがあり、
第１端部、第２端部、第１側部及び第２側部を有するフレームと、
上記フレームの上記第１端部に配置される第１水平バーであって、サンプルの第１端部と係合するよう構造的に構成される第１面を有する上記第１水平バーと、
上記フレームの上記第２端部に配置される第２水平バーであって、上記第１面と対向するとともに上記サンプルの第２端部と係合するよう構造的に構成される第２面を有し、上記フレームの上記第１端部及び上記第２端部の間で可動であるように上記フレームと係合する上記第２水平バーと、
上記フレームの上記第１側部及び上記第２側部の１つ以上に配置されるサイド・バーであって、上記第２水平バーの端部が上記サイド・バーに沿ってスライド可能かつロック可能である上記サイド・バーと、
上記第２水平バーの上記端部を上記サイド・バーに解放可能に結合させる係合機構と
を具えている。
【０００９】
実施例２としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記第１水平バーは、１つ以上のばね要素によってばね荷重（spring loaded）されている。
【００１０】
実施例３としては、実施例２の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記第１面は、１つ以上の上記ばね要素のばね力よりも大きい力が、それに加えられたときに、上記フレームの上記第１端部の方向へ可動である。
【００１１】
実施例４としては、実施例３の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記ばね力は、上記サンプルの上記第１端部を受けたときに上記第１面を上記フレームの上記第１端部の方向へ動かし、かつ、上記サンプルの上記第２端部が上記第２水平バーの上記第２面と係合したときに、上記フレームに上記サンプルを保持することが可能であるように選択される。
【００１２】
実施例５としては、実施例２の上記調整式フィクスチャであって、１つ以上の上記ばね要素によって上記第１水平バーに係合され、加えられる所定のばね力によって上記第１水平バーに対して移動可能な第１支持部材を更に具え、上記第１支持部材は、上記サンプルの上記第１端部と係合するよう構造的に構成される上記第１面を有している。
【００１３】
実施例６としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記第１水平バーが上記第１面上に第１溝を有するとともに、上記第２水平バーが上記第２面上に第２溝を有する。
【００１４】
実施例７としては、実施例６の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記第１溝及び上記第２溝の１つ以上が、テーパリング（先細り形状）されている。
【００１５】
実施例８としては、実施例７の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記第１溝及び上記第２溝の１つ以上のテーパリング（先細り形状）は、上記第１水平バー及び上記第２水平バーの間に上記サンプルが保持されたときに、上記サンプルの反りを平らにするよう構造的に構成されている。
【００１６】
実施例９としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記第１水平バーは、上記フレームの上記第１端部に固定されている。
【００１７】
実施例１０としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記第１水平バーは、上記フレームの上記第１端部及び上記第２端部の間で移動可能である。
【００１８】
実施例１１としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記サイド・バー、上記第１水平バー及び上記第２水平バーの１つ以上が、異なるサンプルの形式の少なくとも１つを保持するよう上記調整式フィクスチャを設定するために、異なるサンプルの形式に対応する１つ以上のマーキングを有している。
【００１９】
実施例１２としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記サイド・バーにはスロットがあり、このとき、上記調整式フィクスチャが、１つ以上の上記係合機構及び上記第２水平バーの上記端部に配置される突起部を更に具え、該突起部は上記スロットと係合する大きさと形状である。
【００２０】
実施例１３としては、実施例１２の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記突起部は、上記サイド・バーに対する上記第２水平バーの回転を防止するとともに、上記第１水平バーと上記第２水平バーの所定アライメントを維持するように構造的に構成される。
【００２１】
実施例１４としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記係合機構には、クイック解放機構がある。
【００２２】
実施例１５としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記サンプルの下側に障害物がなく、それによって、複数の形式のサンプルの透過検査を可能とするように、上記サンプルがそのエッジで保持される。
【００２３】
実施例１６としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、上記第１水平バー及び上記第２水平バーの間に配置及び固定されるように構造的に構成され、所定のサンプルを保持する大きさと形状を有するアダプタ・プレートを更に具える。
【００２４】
実施例１７としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記第１水平バー及び上記第２水平バーの１つ以上が、サンプルを保持するよう構造的に構成されるクランプ・ジョウを有している。
【００２５】
実施例１８としては、実施例１７の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記第１水平バー、上記第２水平バー及び上記クランプ・ジョウの１つ以上が、段差のある面を有するフレーム部材と係合している。
【００２６】
実施例１９としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記フレームの上記第１側部に配置される第１側壁と、上記フレームの上記第２側部に配置される第２側壁とを更に具え、このとき、上記第１側壁及び上記第２側壁のそれぞれは、超音波顕微鏡の浸水タンクの壁とアライメントされた（alignment：適切な配置となるよう調整された）大きさ及び形状である。
【００２７】
実施例２０としては、実施例１９の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記第１側壁及び上記第２側壁は、上記フレームのサンプル平面と、上記超音波顕微鏡のスキャン平面との間の所定アライメントを維持するよう構造的に構成され、このとき、上記フレームの上記サンプル平面は、上記第１水平バー及び上記第２水平バーの両方を横断する（intersect：横切る）。
【００２８】
実施例２１としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、上記フレームを上記超音波顕微鏡のスキャン平面とアライメントする（適切な配置となるよう調整する）よう構造的に構成される１つ以上の平準化要素を更に具える。
【００２９】
実施例２２としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記第１水平バー及び上記第２水平バーの１つ以上に配置される１つ以上のサンプル位置決め機構を更に具え、該サンプル位置決め機構は、上記フレームに対する上記サンプルの位置を固定するよう構造的に構成される。
【００３０】
実施例２３としては、実施例１の上記調整式フィクスチャがあり、クランプを更に具えている。
【００３１】
実施例２４としては、実施例２３の上記調整式フィクスチャがあり、このとき、上記クランプは、上記第１水平バー及び上記第２水平バーの１つ以上とスライド可能に係合される。
【００３２】
実施例２５としては、方法があり、
フレームと、該フレームの第１端部のばね荷重された第１水平バーと、上記フレームの上記第１端部及び第２端部の間で移動可能な第２水平バーとを有する調整式フィクスチャを超音波顕微鏡内に固定する処理と、
上記フレームの上記第１端部及び上記第２端部の間で上記第２水平バーの位置を調整する処理と、
所定ばね力よりも大きい力を加えることによって、サンプルの第１端部を用いて、上記第１水平バーの少なくとも一部を上記フレームの上記第１端部の方向へずらす処理と、
上記サンプルの第２端部を上記第２水平バーと係合させる処理と
を具え、上記所定ばね力によって、上記第１水平バー及び上記第２水平バーの間に上記サンプルを保持する。
【００３３】
実施例２６としては、実施例２５の上記方法があり、上記超音波顕微鏡を用いて上記サンプルをスキャンする処理を更に具えている。
【００３４】
実施例２７としては、実施例２６の上記方法があり、上記サンプルをスキャンする処理としては、上記サンプルの透過（through transmission）検査がある。
【００３５】
実施例２８としては、実施例２５の上記方法があり、このとき、上記フレームの上記第１端部及び上記第２端部の間で上記第２水平バーの位置を調整する処理としては、サイド・バーに沿って上記第２水平バーをスライドさせる処理がある。
【００３６】
実施例２９としては、実施例２８の上記方法があり、係合機構を用いて、上記サイド・バー上の所望の位置において、上記第２水平バーを解放可能に結合する処理を更に具えている。
【００３７】
実施例３０としては、実施例２５の上記方法があり、上記サンプルの反りを平らにする処理を更に具えている。
【００３８】
添付の図面は、様々な代表的な実施形態をより完全に説明するために使用される視覚的表現を提供し、開示される代表的な実施形態及びそれら固有の効果を当業者がより良く理解するために利用できる。図面は必ずしも縮尺通りではなく、むしろ、本願に記載された装置、システム及び方法の原理を説明することに重点が置かれている。これらの図面において、同様の参照番号は、対応する要素を特定していることがある。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】図１は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャを示す。
【図２】図２は、代表的な実施形態によるサンプルを保持する調整式フィクスチャを示す。
【図３】図３は、代表的な実施形態による図２の調整式フィクスチャの上面図である。
【図４】図４は、代表的な実施形態によるサンプルを受ける調整式フィクスチャを示す。
【図５】図５は、代表的な実施形態によるサンプルを保持する調整式フィクスチャを示す。
【図６】図６は、代表的な実施形態によるウェハ・ホルダを有する調整式フィクスチャを示す。
【図７】図７は、代表的な実施形態によるアダプタ・プレート及びウェハ・ホルダを有する調整式フィクスチャを示す。
【図８】図８は、代表的な実施形態によるサンプルを保持する調整式フィクスチャの一部分の拡大図を示す。
【図９】図９は、代表的な実施形態によるＪＥＤＥＣ（Joint Electron Device Engineering Council）トレイを保持する調整式フィクスチャの写真である。
【図１０】図１０は、代表的な実施形態によるストリップ・サンプルを保持する調整式フィクスチャの写真である。
【図１１】図１１は、代表的な実施形態によるウェハ・ホルダを有する調整式フィクスチャの写真である。
【図１２】図１２は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャへのサンプルの挿入を示す。
【図１３】図１３は、代表的な実施形態によるサンプルを保持する調整式フィクスチャを示す。
【図１４】図１４は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャのクランプ・ジョウを示す。
【図１５】図１５は、代表的な実施形態によるサンプルを保持する調整式フィクスチャの断面図を示す。
【図１６】図１６は、代表的な実施形態によるサンプルを保持する調整式フィクスチャを示す。
【図１７】図１７は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャのクランプの写真である。
【図１８】図１８は、代表的な実施形態によるサンプルを保持する調整式フィクスチャを示す。
【図１９】図１９は、代表的な実施形態によるサンプルを保持する調整式フィクスチャの一部分の写真である。
【図２０】図２０は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャのガイド・レールを示す。
【図２１】図２１は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャのばね式クランプを示す。
【図２２】図２２は、代表的な実施形態によるサンプルを保持する調整式フィクスチャを示す。
【図２３】図２３は、代表的な実施形態によるサンプルを保持する調整式フィクスチャを示す。
【図２４】図２４は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャのばね式クランプを示す。
【図２５】図２５は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャのクランプを示す。
【図２６】図２６は、代表的な実施形態によるサンプルを検査する方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
本願に記載されている様々な方法、システム、装置及びデバイスは、概して、サンプルを検査するために超音波顕微鏡にサンプルを保持し、固定することを含む。
【００４１】
本発明は多くの異なる形態で実施可能であるが、本開示は、図示及び説明される特定の実施形態に本発明を限定する意図はなく、本発明の原理の例として考えるべきという条件で、詳細な具体的実施形態に関して、図を示して、本願では説明する。以下の説明では、図面のいくつかの図における同じ、類似又は対応する部分を説明するために、同様の参照番号を使用することがある。
【００４２】
本願では、第１及び第２、上部及び下部などのような関係を示す用語が、単に１つの物体又は動作を他の物体又は動作と区別するために、実際のそうした関係又はそうした物体若しくは動作間の順序を必ずしも必要とするか又は暗示することなしに、使用されることがある。用語「含む（comprise）」、「含んでいる（comprising）」、「含む（include）」、「含んでいる（including）」「有する（have）」、「有している（having）」その他の変形は、非排他的な包含をカバーすることを意図しており、よって、要素のリストから構成されるプロセス、方法、物品又は装置は、これら要素だけを含むのではなく、こうしたプロセス、方法、物品又は装置に明示的に列挙されていないか又は元々備わっているものでない他の要素を含むことがある。「含む（comprise）」の前に置かれる要素は、この要素を含むプロセス、方法、物品又は装置において、制限なしに、追加の同一要素の存在を排除しない。
【００４３】
本願を通して、「ある実施形態」、「特定の実施形態」、「実施形態（embodiment）」、「実現形態（implementation）」、「態様」又は同様の用語への言及は、その実施形態に関連して説明された特定の機能、構造又は特性が、本発明の少なくとも１つの実施形態には含まれることを意味する。よって、こうしたフレーズの出現は、本明細書を通した種々の場所において、必ずしも同じ実施形態に言及していない。更に、特定の機能、構造又は特性は、１つ以上の実施形態と適切なやり方で制限なく組み合わせても良い。
【００４４】
本願で使用される「又は（or）」という用語は、任意の１つ又は任意の組み合わせを含む又は意味するとして解釈されるべきである。従って、「Ａ、Ｂ又はＣ」は、次のいずれかを意味する。即ち、「Ａ」、「Ｂ」、「Ｃ」、「Ａ及びＢ」、「Ａ及びＣ」、「Ｂ及びＣ」、「Ａ、Ｂ及びＣ」。この定義の例外は、要素、機能、ステップ又は動作の組み合わせが、何らかの形で本質的に互いに排他的である場合にのみ発生する。また、文法上の接続詞は、別段の記載がない限り又は文脈から明らかでない限り、連結された節、文、単語などのありとあらゆる選言的及び連言的組み合わせを表現することを意図している。従って、「又は」という用語は、一般に、「及び／又は」などを意味すると理解すべきである。
【００４５】
本願で言及される全ての文書は、その全体が参照することによって本願に組み込まれる。単数形の項目への言及は、別途明示的に記載されているか又は本文から明らかでない限り、複数形の項目を含み、その逆も同じと理解されたい。
【００４６】
本願中の値の範囲の列挙は、限定することを意図するものでなく、他に示されない限り、その範囲内に入るありとあらゆる個々の値に言及するものであり、こうした範囲内の各個別の値は、本願においてまるで個別に列挙した如くに、明細書に組み込まれる。「約（about）」、「おおよそ（approximately）」などの用語は、数値を伴う場合、当業者には理解されるように、意図した目的に関して、申し分なく動作する偏差を構成する。値又は数値の範囲は、本願では、例として提供されるだけであり、説明する実施形態の範囲についての限定を構成するものではない。本願で提供される実施例又は例示的な言葉（「例えば」、「のような」など）は、実施形態をより明快することを意図するのみであって、実施形態の範囲に限定を主張するものではない。明細書中のいかなる言葉も、特許請求の範囲に記載されていない要素を示し、実施形態の実施に必須として解釈されるべきではない。
【００４７】
説明を単純明快にするため、対応又は類似の要素を示すのに、複数の図にわたって参照番号を繰り返すことがある。本願で記述する実施形態への理解を与えるため、多数の細部が説明される。他の例では、記述される実施形態をわかりにくくするのを避けるために、周知の方法、手順、部品は、詳細には説明されない。この説明は、本願で説明される実施形態の範囲に限定されると考えるべきではない。
【００４８】
以下の説明において、「第１」、「第２」、「上部（top）」、「底部（bottom）」、「上へ（up）」、「下へ（down）」、「よりも上（above）」、「よりも下（below）」などの用語は、表現の都合であって、限定する用語を構成するものではない。また、装置（apparatus）及びデバイス（device）という用語は、本文中では交換可能に使用されてよい。
【００４９】
超音波顕微鏡は、超音波を使って対象物の像を生成する。いくつかの超音波顕微鏡では、対象物は、液体のタンク中の適切な位置に保持され、多数の位置において送信トランスデューサからの超音波のパルスを使って音波が当てられる。反射されて伝達される超音波は、受信トランスデューサで検出され、対象物の画像を形成するために分析されることがある。タンク中の液体が、対象物とトランスデューサ間の超音波を結合できる。
【００５０】
概して、本願で説明されるデバイス、システム及び方法としては、超音波顕微鏡などを用いて対象物を検査するために保持及び固定するための調整式フィクスチャ又は調整式フィクスチャの使用がある。調整式フィクスチャを論じるときに、支持、安定化、保持、固定及び類似の用語の１つ以上に言及することは、明示的にそれに反対のことを述べるか又は文脈から明らかでない限り、ありとあらゆるこうした用語を含むと理解すべきである。更に、（例えば、超音波顕微鏡による）スキャン、検査、測定、分析、画像化などの１つ以上への何らかの言及は、明示的にそれに反対のことを述べるか又は文脈から明らかでない限り、ありとあらゆるこうした用語を含むと理解すべきである。よって、本開示は、超音波顕微鏡を用いる「スキャン」、「画像形成（imaging）」又は「検査」に言及することがあるとしても、本願で説明する手法は、分析のためにサンプルが保持される超音波顕微鏡又は類似のデバイスの他の機能についても利用できる。このように、本開示における「超音波顕微鏡」による調整式フィクスチャの利用への言及は、明示的にそれに反対のことを述べるか又は文脈から明らかでない限り、これに加えて、又は、これに代えて同様のデバイスによる利用も含む。
【００５１】
スキャンされる物体は、本願では、概して「サンプル」と呼ばれ、超音波顕微鏡などを使用して検査、スキャン又は画像形成のために保持される対象物又は物品を含むと理解され、ここで、「サンプル」には、単一の対象物、ホルダ内の単一の対象物（例えば、フレーム、アダプタ・プレート、支持（サポート）面など）、複数の対象物又はホルダ内の複数の対象物を含んでも良い。本願に記載のサンプルとしては、加えて又は代えて、ＪＥＤＥＣ（Joint Electron Device Engineering Council）トレイ、ストリップ・サンプル、ウェハ・サンプル、ボード・サンプル及びそれらの組み合わせを含んでも良い。
【００５２】
本願に記載されているように、本発明としては、超音波顕微鏡による検査のために異なるタイプ、サイズ、形状、重量などのサンプル（試料）及びサンプル・ホルダを保持するように調整できる超音波顕微鏡用の調整可能なフィクスチャがある。例えば、調整可能なフィクスチャは、単一のマイクロ電子パッケージ、マイクロエレクトロニクス・パッケージのトレイ・ホルダ（例えば、ＪＥＤＥＣ規格に適合するトレイ・ホルダなど）、マイクロエレクトロニクス・パッケージの様々なサイズのボート・ホルダ、様々なサイズのマイクロエレクトロニクス・ストリップ、様々なサイズのマイクロエレクトロニクス・ウェハ及び貼り合わせウェハ（例えば、それ自体又はウェハ・ホルダのいずれかで直径３００ｍｍまで）などが挙げられる。調整可能なフィクスチャは、様々な形式のサンプルについて、パルス・エコー（ＰＥ）及び透過（Through Transmission：ＴＴ）検査モードのいずれか又は両方を可能とし、このとき、調整可能なフィクスチャは、サンプルを静止状態に保つことができ、検査の改善のためにサンプルの反りを最小限に抑えることができる。本発明の調節可能なフィクスチャは、サンプルの下の領域に実質的に障害物がない（clear）ようにサンプルをその複数のエッジで固定することができ、ここで、「実質的に障害物がない」とは、サンプルが超音波顕微鏡によって適切に検査され得る状態ということである。このようにして、調整可能なフィクスチャは、ほぼ無限の数のサンプル形式のＴＴ検査を可能にできる。加えて、サンプルをそのエッジに固定するということは、調整可能なフィクスチャのコンポーネントがサンプルのエッジより上に伸びているのは最小限だけということでもあり、例えば、超音波トランスデューサと調整可能なフィクスチャとの間の衝突のリスクも、仮にあったとしても、限定的ということである。
【００５３】
先行技術の他のフィクスチャは、本発明に比較して、大きな制約があることがあり、ここで先行技術の他のいくつかのフィクスチャを例として以下に説明する。
【００５４】
当該技術分野では、ＪＥＤＥＣトレイ・サイズのフィクスチャが使用されている。すなわち、当該技術分野における最も一般的な形式のフィクスチャの１つとしては、ＪＥＤＥＣトレイのｘ寸法と一致するように調整されたスライド式Ｃ型万力（Ｃクランプ：しゃこ万力）を有する矩形フレームがあり、ここで、そのｙ寸法は、ＪＥＤＥＣトレイのｙ寸法に固定されている。そうしたＪＥＤＥＣトレイ・サイズのフィクスチャは、完成したマイクロエレクトロニクス・パッケージを超音波顕微鏡で検査するために最初に使用されたので有用であった。典型的には、これらのユニットは、ＪＥＤＥＣトレイで搬送され、ＪＥＤＥＣトレイは、トレイの外形寸法に関するＪＥＤＥＣガイドラインに従っているが、しかし、特定のマイクロエレクトロニクス・パッケージに適切に適合するように、内寸法を様々なものにできる。次いで、少なくともいくつかのマイクロエレクトロニクス・パッケージを伴うＪＥＤＥＣトレイは、サンプルを検査するために、超音波顕微鏡に載置（ロード）される。
【００５５】
いくつかの場合では、ＪＥＤＥＣトレイ中に無い個別部品も検査されていた。これは、典型的には、ＪＥＤＥＣトレイ・サイズのフィクスチャに適合するＪＥＤＥＣサイズのプレートを使用することによって行われており、ここでは、検査のためにサンプルをプレート上に置いていた。そのような場合、検査のためにサンプルを適切な位置に固定するのに、両面テープがしばしば用いられていた。しかし、ＴＴ検査の場合、テープは、しばしば超音波の伝播を妨げるので、サンプルは両面テープのエッジに配置されるか、又は、左右の動きを制限するために、２つの直角定規の間に配置されなければならなかった。当初、プラスチック・プレートを、ＰＥには厚く、ＴＴには薄く（減衰効果を最小限に抑えるために）使用していたが、時間が経過すると、プラスチック・プレートは水を吸収して反ることがある。ＰＥについては、平坦性を良好に維持するために、グリッド・ラインを有するステンレス・プレートが使用されたが、ステンレス・プレートでは、ＴＴ信号は受信装置（レシーバ）に到達できず、そのため、ＴＴ検査については、依然としてプラスチック・プレートが使用されていた。
【００５６】
更なる事例では、サンプルはＪＥＤＥＣトレイではなくボートで搬送された。これらボートは、サイズが異なるが、ＪＥＤＥＣトレイ用に設計された従来技術のフィクスチャは、ＪＥＤＥＣトレイ・サイズのボートでのみ使用できる。この手法の制約としては、（ａ）フィクスチャがＪＥＤＥＣトレイ又はサンプル・プレートの反りを最小限に抑えるように設計されていないこと。（ｂ）特定の両面テープを使用して水中での接着を維持しなければならないが、サンプル上に残留物を残してはならない。（ｃ）定規を使用してサンプルを保持する場合、「揺れの余地」や緩みが残っている可能性があって、スキャン速度を遅くし、スループットを低下させる必要が生じる。（ｄ）ボートが、ＪＥＤＥＣトレイの寸法に制限されること、がある。
【００５７】
ストリップ・サンプルは、当該技術分野で使用されている。マイクロエレクトロニクス産業における超音波顕微鏡の使用が成熟するにつれて、製造過程のより早い段階でサンプルを検査することが望ましくなってきている。１つのそうした早い段階は、サンプルがストリップの形態にある時、即ち、サンプルが個々のパッケージに分離されていない時である。その代わりに、複数のサンプルが基板材料のストリップ上で連結されており、オーバー・モールドされていても、されていなくても良い。ストリップの寸法は幅広く変更でき、基板材料は可撓性があり、ストリップ全体にわたるサンプルの平坦性を維持するのは困難である。
【００５８】
１つの従来技術の手法では、ストリップがＪＥＤＥＣトレイよりも小さいと仮定して、ストリップを検査のためにＪＥＤＥＣトレイ・サイズのプレート上に単純に置く。この手法の課題は、両面テープを使用してストリップを所定の位置に保持する場合、ストリップをテープから取り外したときにストリップがカールする傾向があることが挙げられる。また、縁部のテープを少なくすると、検査中にストリップに加えられる平坦化の量が十分でない傾向がある。その結果、この技術を用いると、一度に行うことができるのは、典型的には、ストリップのより小さい部分だけである。更に、テープが使用されなかった場合、ストリップは、走査中にカールアップしたり、前後に揺れたり、場合によっては、走査中に動く可能性がある。この手法のさらなる制約は、テープ又はプレートがＴＴ検査能力を制限することがあることである。
【００５９】
別の手法としては、ウェハ・チャックなどを使用してウェハ・サンプルを検査するものがある。即ち、マイクロエレクトロニクス（超小型電子）サンプルは、それらが、例えば、ウェハ・サンプルのような、まだウェハの状態にあるときに検査しても良い。ウェハ・サンプルには、超音波顕微鏡を使用した検査用の貼り合わせウェハ（bonded wafer）が含まれる。このようにして、スキャン・システムは、貼り合わせウェハ検査に使用されるフロントエンド製造環境に存在できる。標準的な手法は、ウェハ・チャックなどを使用してウェハ・サンプルを平坦に保持することである。ウェハ・チャックは、様々なホール・パターン、吸盤、ポスト（posts）及び多孔質材料の手法を用いた金属又はセラミックであっても良い。ウェハ・チャックは、ウェハ・サンプル自体の汚染を最小にしてウェハ・サンプルを保持するのに役立つ。これらのシステムでは、水の接触を制限するために、検査領域内において、加圧された水膜を使用しても良い。しかしながら、ウェハの反りの種類によっては、平坦に引っ張ったり、十分に連結するのが困難な場合がある。また、ウェハ・チャックでは、ＴＴ検査ができないことがある。また、実験室や研究開発環境では、完全自動化システムを必要とするにはボリュームが不十分なことが多く、多くの場合、検査されるサンプルは、ウェハ・サンプルのみではない。ウェハ・チャックは、ＴＴが多くの場合不可能であっても、依然として広く浸透している手法である。従って、サンプルの種類を切り替えるために、ウェハ・チャックをタンクから完全に取り外して代替のフィクスチャに交換し、次いで、平坦にするようにしても良い。更に、サンプルの様々なストリップ及びパッケージのために水槽（water bath）が必要なことがある。例えば、ウェハ・サンプルにＴＴが必要な場合は、水槽が必要であり、ウェハは、少なくとも２つのＪＥＤＥＣトレイ・サイズのフィクスチャでバランスを取っても良い。これに代えて、ウェハ・サンプルをウェハ・ホルダに置いて、次いで、少なくとも２つのＪＥＤＥＣトレイ・サイズのフィクスチャ上でバランスを取るようにしても良い。この手法の制約としては、スキャン中にウェハ・サンプルが動くことがあり、また、フィクスチャのサポート・バーは、サンプル中の潜在的な欠陥を隠すことがあるＴＴ画像内の超音波が生成する陰（shadows）を散乱させることがある。
【００６０】
別の手法としては、基板サンプルの検査がある。よって、検査されることのある別のサンプルの種類としては、実装済み又は非実装の印刷基板（ＰＣＢ）を含めても良い。この検査は、通常、基板サンプルの層内の層間剥離を探すことが伴う。最も一般的な方法は、ＴＴ検査を使用して任意の層の欠陥を探すことである。特定の層の情報が必要な場合は、パルス・エコー（ＰＥ）検査を利用しても良い。基板サンプルがＪＥＤＥＣトレイよりも小さい場合は、標準のＪＥＤＥＣトレイ・サイズのフィクスチャに配置しても良い。しかし、サンプルを適切な位置に固定するのは困難であり、スキャン中に移動することがある。基板サンプルがＪＥＤＥＣトレイより大きい場合、サンプルは１つ又は２つのＪＥＤＥＣトレイ・サイズのフィクスチャ上でバランスを取るが、上述したウェハの場合のように、同様の制約がある。
【００６１】
異なるサイズの複数のサンプルを保持するための他の手法は、以前から試みられてきているが、大きな制約もあった。そのような手法のいくつかを以下で説明する。
【００６２】
第１の手法では、ｙ方向のフレーム・ラインを有するストリップ・サンプルの上に金属フレームを置き、ストリップ・サンプル上の複数のデバイス・アレイ・セクションの間になるように設置する。しかし、金属フレームの厚さがデバイスの高さを超えることができないか又は衝突の危険性があるので、これによって金属フレームの重量が制限され、そして、ストリップ・サンプルを平らにして所定の位置に保持する能力が制限される。更に、各ストリップのレイアウトに対して異なるフレームが必要となる。また、ＴＴ検査では、下のプレートがＴＴ信号を制限することがある。
【００６３】
第２の手法では、サンプルの下に磁化プレートを使用する。いくつかの場合では、ストリップ回路基板は、回路基板の磁力によって平らに引っ張られるが、場合によっては、磁石に引き寄せられる金属フレームが、ストリップを更に平らにするように利用される。しかし、磁石に十分に引き寄せられるサンプルは、いくらかしかなく、更に、フレームの厚さに関する制約と、ストリップ・レイアウト毎に異なるフレームを設ける必要性は、依然として存在する。また、磁化プレートは、ＴＴ検査を許容しない。
【００６４】
第３の手法は、網の目パターンの複数のワイヤを用いたフレームを、ストリップ・サンプルの上に配置して、ストリップを平らに引っ張るというものである。しかし、この手法の難点は、ワイヤが超音波を散乱させ、（ＰＥとＴＴの両方を用いた）サンプル画像に陰を生じさせることがあり、これは、デバイスの領域を隠してしまう。従って、ワイヤの下に配置された領域に欠陥が存在するかどうかを知ることはできない可能性がある。また、ワイヤとトランスデューサ間で衝突の危険がある。
【００６５】
第４の手法は、ストリップ・サンプルを平らに引っ張るのに真空チャックを利用するものである。この手法のいつかの変形では、（空気又は水の運動に関する）ベルヌーイ効果に加えて、標準的な真空状態を利用しても良い。この手法は、ストリップを平らに引っ張るのにとても役立つが、高価であり、複数の真空ラインで水と空気を分離する方法が必要であり、サンプルを貼り付けるためにフィクスチャを水から持ち上げる方法が必要で、ＴＴ検査を行うことができない。
【００６６】
第５の手法は、支持プレートに対してストリップ・サンプルを平らに保持するのにクリップを利用するものである。これらクリップを所定の位置に回転させて締め付けてもよいし、ある種のスプリング・クリップを使用してサンプルを保持、解放及び変更しても良い。この手法の欠点は、衝突を避けるためにクリップをストリップ・サンプルの高さよりも高く配置できず、これによって、ストリップ・サンプルを平らにするの利用できる力の量が制限されることである。更に、サンプルを変更するのに、各クリップにつき、いくつかの動作が必要となり、よって、この手法は、ユーザの集中力と時間を浪費させる。また、金属クリップはストリップ・サンプルを傷つけたり破損したりすることがあり、支持プレートはＴＴスキャニングを許容しないことがある。
【００６７】
従って、本発明による装置、システム及び方法は、上述の欠点を克服することが望ましい。より具体的には、本願に記載の調整式フィクスチャは、上述の欠点を克服できる。
【００６８】
ある実施では、調整式フィクスチャは、少なくとも２つの水平バー、例えば、第１水平バーと第２水平バーの使用によって動作し、このとき、１つ又は複数が、他のものに対して移動可能である。例えば、第２水平バーは、検査されるサンプルの大きさに応じた適切な位置に調整することができ、ばね荷重された第１水平バーによって、サンプルを載せてサンプルを所定位置にしっかりと保持できる。第２水平バーが所定位置に配置されたら、第１水平バーに配置された溝又は同様のもの（例えば、「Ｖ溝」）にサンプルを挿入し、第２水平バーに配置された対応する溝又は同様のもの（例えば、「Ｖ溝」）にサンプルの側面を入れるようにばね要素に対して第１水平バーを押し、次いで、第１水平バーを解放することで第１及び第２水平バーの間の場所にサンプルを押すことによって、複数のサンプルを素早く簡単に載せる（ロードする）ことができる。サンプルを保持することに加えて、この構成は、サンプルの反りを平坦化するに役立つものにできる。
【００６９】
この調整式フィクスチャに関する更なる機構としては、保持すべきサンプルに従って所望の位置へと簡単に水平バーを移動するための「クイック解放」カム・レバー等と、異なるサンプル形式について水平バーの適切な設定を目標として簡単に示すためのグリッド線等と、調整式フィクスチャをスキャン平面とアライメント（適切な配置となるよう調整）する平準化ねじ等と、超音波顕微鏡のタンク壁に対して調整式フィクスチャをロックし、調整式フィクスチャのアライメントを維持するスライド・ピンと、そして、サンプルを確実に位置決めするための水平バー上の位置決め機構（例えば、ピン、クランプ等）とがあっても良い。
【００７０】
図１は、超音波顕微鏡１６０での検査のためにサンプルを保持する調整式フィクスチャ１００のような、代表的な実施形態による、こうした調整式フィクスチャ１００を示す。調整式フィクスチャ１００には、フレーム１０１と、複数の水平バー（例えば、第１水平バー１１０と第２水平バー１２０）と、１つ以上のサイド・バー１３０と、複数の側壁（例えば、第１側壁１４０と第２側壁１４１）と、係合機構（係合機構）１５０とがある。
【００７１】
調整式フィクスチャ１００は、超音波顕微鏡１６０等での検査のために、サンプルの下の領域（サンプルの下側）がクリア（clear：障害物がない）かつ遮るものがないようにして、サンプルを、その端部（そして、他の場所ではない）又は実質的にその端部で固定するように構造的に構成されても良い。このようにして、サンプルを実質的にその端部で又はその端部に沿って固定又は保持することにより、様々な種類のサンプルのＴＴ検査が可能になる。更に、サンプルを実質的にその端部で又はその端部に沿って固定又は保持することにより、調節式フィクスチャ１００の一部分がサンプルのエッジの上に最小限にしか伸びないことなり、超音波顕微鏡１６０の超音波トランスデューサと、調整式フィクスチャ１００の一部分との間の衝突の危険性が限定される。加えて、又は、それどころか、調整式フィクスチャ１００のどの部分も、スキャンを妨げるように、サンプルより上に（サンプルを超えて）突き出ることがない。大まかに言って、調整式フィクスチャ１００は、１つ又は複数の水平バーを被検査サンプルに関して、所望の位置に調整することによって作動でき、このとき、調整式フィクスチャ１００内の所定位置に、サンプルを簡単に載置（ロード）でき、サンプルをしっかりと固定できるように、１つ又は複数の水平バーは、ばねで力が加えられている。
【００７２】
フレーム１０１は、第１端部１０２、第２端部１０３、第１側部１０４、第２側部１０５を含むことができる。フレーム１０１は、限定するものではないが、金属、セラミック、プラスチック、複合材、及びこれらの組み合わせを含む、サンプルを支持するのに十分な安定性を提供する材料から製造できる。
【００７３】
複数の水平バーには、第１水平バー１１０と第２水平バー１２０が含まれても良い。大まかに言って、以下で説明するように、複数の水平バーの少なくとも１つは、調節式フィクスチャ１００にサンプルを固定するよう調整するために、移動可能であっても良い。加えて又はその代わりに、複数の水平バーの少なくとも１つにバネで力を加えても良い。概して、２つの水平バーを有する調整式フィクスチャ１００が示されているが、より多数の水平バーが可能なことが理解されよう。例えば、これに代わる調整式フィクスチャでは、３つの水平バーを含んでも良く、このとき、第１サンプルは、第１及び第２水平バーの間に保持され、第２の異なるサンプルは第２及び第３の水平バーの間に保持されても良い。
【００７４】
第１水平バー１１０は、フレーム１０１の第１端部１０２に配置され、第２水平バー１２０は、フレーム１０１の第２端部１０３に配置されても良い。第１水平バー１１０には、サンプルの第１端部と係合するよう構造的に構成される第１面１１２があっても良く、第２水平バー１２０には、第１面１１２と対向する第２面１２２があっても良く、このとき、第２面１２２は、サンプルの第２端部と係合するよう構造的に構成される。このように、第１面１１２及び第２面１２２には、大まかに言って、サンプルと係合するよう構造的に構成される対向する面がある。以下で更に詳細に説明するように、第２水平バー１２０は、フレーム１０１の第１端部１０２及び第２端部１０３の間で移動可能であるように、フレーム１０１と係合されていても良い。
【００７５】
調整式フィクスチャ１００は、１つ以上のサイド・バー１３０を含んでも良い。サイド・バー１３０は、フレーム１０１の第１側部１０４及び第２側部１０５のうちの１つ以上に配置されても良い。第２水平バー１２０のある端部（例えば、その第１端部１２４及びその第２端部３２６（以下で説明する図３参照）の中の１つ以上）が、スライド可能で、サイド・バー１３０に沿ってロック可能であっても良い。この目的のために、調整式フィクスチャ１００は、第２水平バー１２０の端部（例えば、その第１端部１２４及びその第２端部３２６のうちの１つ以上。以下で説明する図３参照）を解放可能にサイド・バー１３０に連結する係合機構１５０を含んでも良い。「ロック」等の用語及びその変形は、本開示を通して使用されるように、解放可能な結合（coupling：連結）又は固定（securing）を含み、例えば、ここでは、超音波顕微鏡１６０による検査のような意図された目的のために、あるコンポーネントが解放可能な態様で別のコンポーネントに十分に連結又は固定されたままとなる。
【００７６】
上述のように、複数の水平バーの中の少なくとも１つが、ばね荷重（spring loaded）されていても良い。例えば、第１水平バー１１０は、１つ以上のばね要素によってばね荷重されても良い。このように、第１面１１２は、ばね要素のばね力より大きい力が加えられると、フレーム１０１の第１端部１０２に向かって移動可能であっても良い。ばね力は、サンプルの第１端部を受けるときに、第１面１１２がフレーム１０１の第１端部１０２に向かって移動できるように選択されても良い。加えて、又は、これの代わりに、ばね力は、サンプルの第２端部が第２水平バー１２０の第２面１２２に係合しているときに、フレーム１０１上にサンプルを固定するように選択されても良い。
【００７７】
ばね荷重された水平バーの扱いを容易にするために、支持部材を１つ以上の水平バーに接続しても良く、このとき、１つ以上の支持部材と水平バーは、互いに相対的に移動可能である。例えば、調整式フィクスチャ１００は、１つ以上のばね要素を介して第１水平バー１１０に係合するとともに、第１水平バー１１０に対して所定のばね力を介して相対的に移動可能な第１支持部材１１４を含んでも良い。従って、第１面１１２は、第１支持部材１１４上に配置されてもよい。別の言い方をすれば、第１支持部材１１４に第１面１１２があって、このとき、第１面１１２は、サンプルの第１端部との係合するように構造的に構成される。
【００７８】
複数の水平バーの中の１つ以上に、溝があっても良い。例えば、第１水平バー１１０は第１面１１２に第１溝を含み、第２水平バー１２０は第２面１２２に第２溝を含んでも良い。第１溝及び第２溝のうちの１つ以上がテーパ状になっていても良い。ある実施形態では、第１水平バー１１０及び第２水平バー１２０の間にサンプルが固定されているとき、第１溝及び第２溝のうちの１つ以上のテーパリングが、サンプルの反り（warpage）を平坦にするよう構造的に構成される。
【００７９】
上述のように、１つ以上の水平バーが移動可能であっても良い。例えば、ある実施形態としては、第１水平バー１１０がフレーム１０１の第１端部１０２に固定され、第２水平バー１２０が可動である調整式フィクスチャ１００がある。別の実施形態では、フレーム１０１の第１端部１０２及び第２端部１０３の間で、第１水平バー１１０及び第２水平バー１２０のそれぞれが可動である。
【００８０】
ある実施形態では、サイド・バー１３０、第１水平バー１１０及び第２水平バー１２０の１つ以上に、１つ以上のマーキング（markings：印）１３２がある。例えば、図１に示すように、サイド・バー１３０に、マーキング１３２があっても良い。マッキング１３２は、複数の異なる形式のサンプルの内の少なくとも１つを保持するよう調整式フィクスチャ１００を設定するように、複数の異なる形式のサンプルに対応していても良い。マーキング１３２は、グリッド線、寸法（例えば、定規のマーキング）、テキスト、イラスト等及びこれらの組み合わせを含んでも良い。例えば、サイド・バー１３０のマーキング１３２は、第１の水平バー１１０と第２の水平バー１２０の平行な配置を維持するために使用しても良い。
【００８１】
サイド・バー１３０には、スロット（細長い隙間）１３４があっても良い。ストロット１３４は、１つ以上の水平バーが、フレーム１０１の第１端部１０２と第２端部１０３との間で、そこを通して係合してスライドするように構造的に構成されても良い。この目的のために、調節式フィクスチャ１００には、１つ以上の係合機構１５０及び１つ以上の水平バー（例えば、第２水平バー１２０）の端部に配置された突起部１５２があっても良く、このとき、突起部１５２は、スロット１３４と係合する大きさ及び形状である。突起部１５２は、更に、１つ以上の水平バーがサイド・バー１３０に対して回転するのを防止するとともに、サイド・バー１３０に対して１つ以上の水平バーが所定のアライメントを維持するように構造的に構成されても良い。例えば、突起部１５２は、サイド・バー１３０に対する第２水平バー１２０の回転を防止するとともに、第２水平バー１２０と第１水平バー１１０の所定のアライメントを維持するように構造的に構成されても良い。この目的のために、突起部１５２は、第１軸１０７に沿って拡張されても良く、これは、水平バーの回転を防止できる。加えて、又は、これに代えて、突起部１５２は、第２水平バー１２０を第１水平バー１１０と平行に維持するのを助長できる。
【００８２】
加えて、又は、これの代わりに、サイド・バー１３０は、１つ以上の水平バーをサイド・バー１３０に対して位置決めするための１つ又は複数のノッチ１３６を含んでも良い。例えば、ノッチ１３６は、フレーム１０１の第１端部１０２と第２端部１０３との間の所定の位置に第２水平バー１２０を位置決めするように構造的に構成されても良い。ある実施形態では、１つ又は複数の水平バーと係合機構１５０は、水平バーをサイド・バー１３０に沿って位置決めするためのノッチ１３６と係合するコンポーネント（構成要素）を含む。
【００８３】
係合機構１５０は、水平-バー１３０に沿って水平バーの位置を固定するために、１つ以上の水平バー及びサイド・バー１３０と連動して動作しても良い。この目的のために、係合機構１５０は、図１に示すように、クイック解放レバー、より具体的にはクイック解放カム・レバーなどのクイック解放（release）機構を含んでも良い。加えて、又は、これの代わりに、係合機構１５０は、つまみねじ（thumbscrew：蝶ねじ）を含んでも良い。概して、係合機構１５０は、サイド・バー１３０に沿って水平バーの位置を解放可能に固定又はロックするための任意の機構又はコンポーネントを含んでも良い。
【００８４】
調整式フィクスチャ１００は、更に、側壁を含んでも良い。具体的には、調整式フィクスチャ１００は、フレーム１０１の第１側部１０４に配置された第１側壁１４０と、フレーム１０１の第２側部１０５に配置された第２側１４１壁とを含んでも良い。サイド・バー１３０は、第１側壁１４０及び第２側壁１４１の内の１つ以上によってサポートされても良い。
【００８５】
ある実施形態では、第１側壁１４０と第２側壁１４１のそれぞれが、超音波顕微鏡１６０の浸水タンク（immersion tank）の壁１６２とアライメントするような大きさと形状である。よって、調整式フィクスチャ１００は、浸水タンクの内部に適合するような大きさ及び形状とすることができ、タンクの底部（傾斜していてもよい）又は浸水タンクの上部に沿った既存の取り付けポイントに取り付けることができる。調整式フィクスチャ１００の向きは、例えば、調整式フィクスチャ１００を水平にできるように調整可能である。このようにして、第１側壁１４０及び第２側壁１４１のそれぞれと、浸水タンクの壁１６２との位置合わせを調整できる。この目的のために、１つ又は複数のフレーム・ロック機構１４２が側壁に含まれても良く、ここで、フレーム・ロック機構１４２は、フレーム１０１を超音波顕微鏡１６０で固定するように構造的に構成される。例えば、第１側壁１４０と第２側壁１４１のそれぞれに、フレーム・ロック機構１４２が設けられていても良い。フレーム・ロック機構１４２は、例えば、一つ以上のピン等を含んでも良い。加えて、又は、これに代えて、フレーム・ロック機構１４２は、側壁から分離されていても良いし、そうでなければ、フレーム１０１に含まれていても良い。どちらの場合でも、概して、フレーム・ロック機構１４２は、超音波顕微鏡１６０でフレーム１０１を固定するように構造的に構成できる。加えて、又は、これに代えて、フレーム・ロック機構１４２は、超音波顕微鏡１６０に対するフレーム１０１の向きを調整可能にしても良い。
【００８６】
加えて、又は、これに代えて、第１側壁１４０及び第２側壁１４１は、フレーム１０１のサンプル平面１０６と超音波顕微鏡１６０のスキャン平面１６４との間の所定のアライメントを維持するように構造的に構成されても良く、このとき、フレーム１０１のサンプル面１０６が、第１水平バー１１０と第２の水平バー１２０の両方を横断する（intersect：横切る）。上記所定のアライメントは、フレーム１０１のサンプル面１０６が超音波顕微鏡１６０のスキャン平面１６４と平行である構成を含んでも良い。
【００８７】
調整式フィクスチャ１００は、フレーム１０１を超音波顕微鏡１６０のスキャン平面１６４にアライメント（配置合わせ）するように構造的に構成された１つ又は複数の平準化（leveling：水平にする）要素１４４を更に含んでも良い。例えば、平準化要素１４４は、１つ又は複数の平準化ねじ等を含んでも良い。
【００８８】
よって、概して、調整式フィクスチャ１００は、検査のために、異なるサイズ及び形状のサンプルを容易かつ便利にその中に固定するように構造的に構成できる。調節式フィクスチャ１００には、特定のサンプル用に１つ又は複数の水平バーを正しい位置に簡単に移動させるためのクイック解放カム・レバー、異なる形式のサンプルに関して適切な寸法を簡単に示すためのサイド・バー１３０上のグリッド線又は他のマーキング１３２、フレーム１０１をスキャン平面１６４とアライメントするための平準化要素（例えば、平準化ねじ）、調整式フィクスチャ１００をタンク壁１６２に対してロックし、スキャン・ツールに対して調整式フィクスチャ１００を垂直に維持するためのフレーム・ロック機構１４２（例えば、サイド・ピン）、そして、調整式フィクスチャ１００中にサンプルを確実に適切に位置決めするための１つ以上の水平バー上に配置されるサンプル位置決め機構（例えば、本願で説明するような位置決めピン）というような、この目的のための機構がある。
【００８９】
図２は、代表的な実施形態による、サンプル２０２を保持する調整式フィクスチャ１００を示し、図３は、図２に示す調整式フィクスチャ１００の上面図を示す。これらの図に示されるサンプル２０２は、ストリップ・サンプルを含んでいても良い。図２及び図３に示すように、調整式フィクスチャ１００は、サンプル２０２をその端部でのみ固定し、そのため、サンプル２０２の下の領域はクリアであり、これによって、サンプル２０２のＴＴ検査が可能になる。図２及び図３では、第２水平バー１２０は、第１軸１０７に沿って、サンプル２０２のサイズ及び形状に対応する位置に前進させられている。
【００９０】
図３に示すように、調整式フィクスチャ１００は、少なくとも２つのサイド・バー１３０を含んでも良く、このとき、それぞれには定規の寸法（センチ・メートル、ミリ・メートル、インチ又は他の適切な測定単位）などのマーキング１３２があっても良い。調節式フィクスチャ１００には、例えば、クイック解放カム・レバーの形態で、少なくとも２つの係合機構１５０があっても良く、これらは、少なくとも第２水平バー１２０をサイド・バー１３０に固定するために使用される。
【００９１】
図３は、また、ばね荷重された水平バー、即ち、この例における第１水平バー１１０の構成の一例を示す。図に示すように、ばね要素３１６は、第１支持部１１４と第１水平バー１１０との間に配置され、第１支持部１１４を第１水平バー１１０に接続しても良い。第１支持部材１１４は、第１水平バー１１０に対して移動可能であり、例えば、このとき、第１支持部材１１４は、ばね要素３１６によって加えられる所定のばね力に対抗して第１水平バー１１０に向かって移動するように構造的に構成される。このような仕方で、ある実施形態では、第２水平バー１２０と第１支持部材１１４の面１１２との間の距離Ｄ１がサンプル２０２の幅Ｗ１と実質的に等しくなるように、第２水平バー１２０を第１軸１０７に沿って配置できる。この距離Ｄ１は、ばね要素３１６の圧縮によって、第１水平バー１１０に対して第１支持部材１１４を圧縮することにより、例えば、距離Ｄ２（第１支持部材１１４と第１水平バー１１０との間の距離）だけ、わずかに増大させても良い。これは、第２水平バー１２０及び第１水平バー１１０が係合機構１５０によるロックによって固定位置にある状態で、調整式フィクスチャ１００に対するサンプル２０２の設置と、調整式フィクスチャ１００からのサンプル２０２の取り外しの両方を容易なものにできる。
【００９２】
本願で説明するばね要素３１６又は任意のばね若しくはばね要素は、様々なばね及びばね機構のいずれかのようなバイアス部材を有していても良い。例えば、ばね要素３１６としては、コイルばね、板ばね若しくは任意の他の形式のばね又はばねの組み合わせを含んでも良い。加えて、又は、これらに代えて、他のバイアス部材が利用されても良い。
【００９３】
図４は、代表的な実施形態によるサンプル４０２を受ける調整式フィクスチャ１００を示し、図５は、サンプル４０２を保持する調整式フィクスチャ１００を示す。これら図において、サンプル４０２がＪＥＤＥＣトレイ又はその類似物を含んでも良く、このとき、サンプル４０２の固定を補助するのにアダプタ・プレート４７０が使用される。従って、これら図において、第１の水平バー１１０及び第２の水平バー１２０のうちの１つ又は複数は、超音波顕微鏡又はその類似物での検査のためにサンプル４０２を保持するように、アダプタ・プレート４７０がそれらの間に配置可能となるように調整されても良い。これに代えて、アダプタ・プレート４７０を使用せずにサンプル４０２を調整式フィクスチャ１００に保持しても良い。
【００９４】
このように、図４及び５に示すように、調整式フィクスチャ１００は、第１水平バー１１０と第２水平バー１２０との間の配置及び固定のために構造的に構成されたアダプタ・プレート４７０を含んでも良い。アダプタ・プレート４７０は、限定するものではないが、ＪＥＤＥＣトレイ又はその類似物、ウェハ、ウェハ・ホルダ、ストリップ・サンプルなどのような図示したサンプル４０２を含む所定のサンプルを保持するような大きさ及び形状とすることができる。
【００９５】
ある実施形態では、アダプタ・プレート４７０は、金属、セラミック、ガラス、プラスチック又はこれらの組み合わせであっても良い。例えば、サンプル４０２は、サンプル４０２を支援するプラスチック・バッフル・プレート（baffle plate：そらせ板、調節板）を含むアダプタ・プレート４７０上に配置しても良い。ある実施形態では、サンプル４０２とアダプタ・プレート４７０との間に空気が捕捉されるのを避けるよう注意する必要があり、これは、例えば、捕捉された空気が超音波顕微鏡におけるＴＴスキャンを損なう音響インピーダンス不整合を与えることがあるからである。
【００９６】
図６は、代表的な実施形態によるウェハ・ホルダ６７２を有する調整式フィクスチャ１００を示し、図７は、アダプタ・プレート７７０及びウェハ・ホルダ６７２を有する調整式フィクスチャ１００を示す。ウェハ・ホルダ６７２は、ウェハ又はその類似物の形態のサンプルを保持するか、そうでなければ支持又は係合するように構造的に構成されても良い。
【００９７】
図６に示すように、調整式フィクスチャ１００は、ウェハ・ホルダ６７２と係合するように構成されていても良く、ウェハ・ホルダ６７２は、第１水平バー１１０及び第２水平バー１２０によって支持されていても良く、例えば、図６及び７のいずれか又は両方に示すように支持されている。例えば、ウェハ・ホルダ６７２が下から１つ以上の水平バーによって支持されても良いし、ウェハ・ホルダ６７２が、複数の水平バーの間に配置されることによって支持されていても良いし、又は、ウェハ・ホルダ６７２がアダプタ・プレート７７０によって支持されていても良い。このように、図６は、（ｉ）支持されているウェハ・ホルダ６７２、又は（ｉｉ）第１水平バー１１０及び第２水平バー１２０の間にウェハ・ホルダ６７２を支持するために、第２水平バー１２０がフレーム１０１の第２端部１０３に向かって移動する前の調整式フィクスチャ１００、のいずれかを描いているとして理解されるであろう。
【００９８】
図７に示すように、第１水平バー１１０及び第２水平バー１２０の内の１つ以上が、これらの間にアダプタ・プレート７７０を配置するのを可能とするように調整され、ここで、アダプタ・プレート７７０は、ウェハ・ホルダ６７２を支持するように構造的に構成される。これに代えて、ウェハ・ホルダ６７２又はウェハ自身さえも、アダプタ・プレート７７０を使用することなしに、調整式フィクスチャ１００に保持されても良い。
【００９９】
図８は、代表的な実施形態によるサンプル８０２を保持する調整式フィクスチャの一部の拡大図を示す。具体的には、図８は、第１水平バー１１０、第１支持部材１１４、ばね要素３１６、第２水平バー１２０及びサンプル８０２の例を示す。図は、第１水平バー１１０上の第１溝８１８と第２水平バー１２０上の第２溝８２８の例も示している。
【０１００】
この図に示されるように、第１水平バー１１０及び第２水平バー１２０の１つ以上が、例えば、超音波顕微鏡によって検査されるサンプル８０２について、所定位置に調整されても良い。第１支持部材１１４が、第１水平バー１１０及び第１支持部材１１４の間に位置する１つ以上のばね要素３１６を支持しても良い。ばね要素３１６は、サンプル８０２が第１水平バー１１０の第１溝８１８へ入れるように所定のばね力に対抗して圧縮されるとともに、第２水平バー１２０中の対応する第２溝８２８中にサンプル８０２を保持するために膨張しても良い。このように、一旦、これら水平バーが所定の適切な位置に置かれると、例えば、サンプル８０２の第１端部８０３を第１水平バー１１０の第１溝８１８へ挿入し、サンプルの第２端部８０５が第２水平バー１２０の第２溝８２８に入れられるように少なくともばね要素３１６に逆らうばね力を使って第１支持部材１１４を押し、次いで、第１支持部材１１４の圧縮を解放して、サンプル８０２がこれら水平バー間の適切な位置に押されるようにすることによって、おおよそ同じサイズ及び形状の複数のサンプル８０２を素早く簡単に載置（load：ロード）できる。第１溝８１８及び第２溝８２８には、水平バー上か、支持部材上か、さもなければフレーム（例えば、段差のある面）上に配置されるレッジ（ledge：出っ張り棚）があっても良い。加えて、又は、これに代えて、第１溝８１８及び第２溝８２８には、サンプル８０２の反りを平らにするのに役立つ、スロット、くぼみ、へこみ、隙間又はこれらの組み合わせの先細り（tapered：テーパ）型、又は、ほぼ「V字型」の外形（輪郭）であっても良い。加えて、又は、これに代えて、溝又はスロットが、他の外形とともに利用されても良い。更に、第１支持部材１１４のみがばね要素３１６と係合することが示されているが、加えて、又は、これに代えて、別の支持部材（例えば、第２水平バー１２０が１つ以上のばね要素３１６を介して第２支持部材と結合される）が存在しても良い。
【０１０１】
図９は、代表的な実施形態によるＪＥＤＥＣトレイ９０１を保持する調整式フィクスチャ９００の写真である。図に示されるように、ＪＥＤＥＣトレイ９０１は、その中に１つ以上のサンプル９０２を保持するよう構造的に構成される。図１０は、代表的な実施形態によるストリップ・サンプルを含むことがある１つ以上のサンプル１００２を保持する調整式フィクスチャ１０００の写真である。図１１は、代表的な実施形態によるウェハ・ホルダ１１７２を保持する調整式フィクスチャ１１００の写真である。
【０１０２】
よって、図９〜１１の例によって明らかにされたように、このフィクスチャは、例えば、超音波顕微鏡のタンク中で検査するためのサンプルの異なる形式を支持するように調整可能なようにできる。上述のように、このフィクスチャは、サンプル（ここで、サンプルとしては、大きさにして３０ｍｍまでか若しくはもっと大きいウェハ、又は、反りがあるか若しくは湾曲したフレキシブルなストリップを含んでも良い）、サンプルを保持又は固定するよう構成されたホルダ、アダプタ・プレート（例えば、プラスチック・バッフル・プレートなど）、ＪＥＤＥＣトレイ（例えば、平らに保持するよう準備されている）などを保持できる。このフィクスチャは、サンプルを痛める（例えば、傷つける）ことなく、サンプルを平らに保持するように構成できる。ある実施形態では、サンプルの封止材（mold compound）は、例えば、１ｍｍ未満の非常に薄いもので良い。サンプルを適切に支持のためには、スキャン及び検査中にフィクスチャが超音波トランスデューサ等と干渉しないように、フィクスチャのどの部分も、サンプルの最上部よりも大幅に上へは配置しないことが望ましい。本発明は、異なるサンプルの形式の間でユーザが交換するのを容易にしつつ、ユーザが、ツールを使用することなく、サンプルをフィクスチャに載置するのをシンプルにできる。
【０１０３】
図１２は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャ１２００へのサンプル１２０２の挿入を示している。概して、図は、サンプル１２０２を調整式フィクスチャ１２００へ挿入する工程の３つのパート、第１パート１２０４、第２パート１２０６及び第３パート１２０８を示す。
【０１０４】
図は、更に、第１水平バー１２１０及び第２水平バー１２２０を示し、これらには、それぞれ１つ以上のクランプ・ジョウ（clamp jaw：締め付けあご）１２８０がある。具体的には、第１水平バー１２１０及び第２水平バー１２２０の内の１つ以上に、サンプル１２０２又はサンプル及びアダプタ・プレート１２０３を保持するよう構造的に構成されるクランプ・ジョウ１２８０がある。このように、クランプ・ジョウ１２８０は、１つ以上の水平バー上に配置されても良く、例えば、このとき、ばね力に対抗して水平バーに対して相対的に移動できる。フレームの第１端部又はフレームの第２端部の１つ以上の方向へのクランプ・ジョウ１２８０の動きは、サンプル１２０２の一端部を受けるためのチャンネル（チャンネル）を形成できる。
【０１０５】
例えば、クランプ・ジョウ１２８０は、第１水平バー１２１０上に配置され、ばね力に対抗して第１水平バー１２１０に対して移動可能であっても良く、ここで、フレームの第１端部へ向けたクランプ・ジョウ１２８０の動きは、サンプル１２０２の第１端部を受ける第１チャンネル１２８２を形成する。加えて、又は、これに代えて、クランプ・ジョウ１２８０は、第２水平バー１２２０上に配置され、ばね力に対抗して第２水平バー１２２０に対して相対的に移動可能としても良く、ここで、フレームの第２端部へ向けたクランプ・ジョウ１２８０の動きは、サンプル１２０２の第２端部を受ける第２チャンネル１２８４を形成する。別の実施形態では、クランプ・ジョウ１２８０は、第１水平バー１２１０及び第２水平バー１２２０のそれぞれに配置されるが、しかし、例えば、第２水平バー１２２０上のクランプ・ジョウ１２８０は固定とする一方で、第１水平バー１２１０上のクランプ・ジョウ１２８０は可動とするように、水平バーの１つ以上のクランプ・ジョウ１２８０が固定される。第２水平バー１２２０上のクランプ・ジョウ１２８０が固定か可動かに関係なく、第２水平バー１２２０上のクランプ・ジョウ１２８０は、サンプル１２０２の第２端部を受ける第２チャンネル１２８４があっても良い。
【０１０６】
図１２に示されるように、クランプ・ジョウ１２８０は、第１水平バー１２１０及び第２水平バー１２２０の１つ以上の上面１２１１と係合しても良い。しかし、加えて、又は、これに代えて、別の構成が可能である。例えば、クランプ・ジョウ１２８０は、第１水平バー１２１０及び第２水平バー１２２０の１つ以上の内部の面と係合しても良い。このように、クランプ・ジョウ１２８０には、本願で説明するように、例えば、サンプル１２０２のエッジ又は端部と（部分的又は全体的に）接触する面又は表面のような、１つ以上の第１面及び第２面があっても良い。
【０１０７】
更に、第１水平バー１２１０、第２水平バー１２２０及びクランプ・ジョウ１２８０の１つ以上は、別のフレーム部材と係合しても良い。例えば、本願で説明する第１支持部材のような固定フレーム部材又は可動フレーム部材。加えて、又は、これに代えて、フレーム部材には、例えば、図１５を参照して説明するような、段差のある面があっても良い。
【０１０８】
このように、図１２に戻ると、２つのクランプ・ジョウ１２８０（１つはばね荷重され且つ可動で、１つは固定）が、サンプル１２０２を保持するのに使用されても良い。第１パート１２０４及び第２パート１２０６で示されるように、可動のクランプ・ジョウ１２８０は、ばね力に対抗して反対のクランプ・ジョウ１２８０から離れる方向にスライドできる。第２パート１２０６では、サンプル１２０２の第１端部又はエッジが、第１チャンネル１２８２と係合する位置に置かれても良く、これは、クランプ・ジョウ１２８０を反対側のクランプ・ジョウ１２８０から離れる方向にスライドすることによって形成される。第３パート１２０８では、サンプル１２０２の第２端部又はエッジが、第２チャンネル１２８４に置かれても良く、これは、固定のクランプ・ジョウ１２８０において、又は、隣接して居合わせることであっても良いし、又は、クランプ・ジョウ１２８０をスライドすることによって形成されても良い。１つ以上のスライドする／可動のクランプ・ジョウ１２８０は、続いて解放されても良く、ここで、サンプルは、続いて、１つ以上のクランプ・ジョウ１２８０のばね荷重によって、適切な位置に堅く保持される。
【０１０９】
図１３は、代表的な実施形態によるサンプル１３０２を保持する調整式フィクスチャ１３００を示し、また、図１４は、調整式フィクスチャ１３００のクランプ・ジョウ１３８０を示し、これらは、これらの間にサンプル１３０２又は支持面１３９２を保持するのに利用される。図１３は、更に、ばね要素１３１６を示し、これは、１つ以上のクランプ・ジョウ１３８０がばね荷重されるようにして、１つ以上のクランプ・ジョウ１３８０と、水平バー又は他のフレーム部材１３８６との間に配置されても良い。別の言い方をするなら、支持部材又はフレーム部材１３８６に対して反発し、調整式フィクスチャ１３００のフレームに固定されていても良いばね要素１３１６を用いて、１つ以上のクランプ・ジョウ１３８０がばね荷重されていても良い。
【０１１０】
図１３及び１４に示されるように、クランプ・ジョウ１３８０の１つ以上のクランプ面１３８８には、溝１３８９、例えば、先細り（テーパ）溝又は「Ｖ溝」があっても良く、これは、その中への正確で繰り返し可能なサンプル１３０２の位置決めを生じるように構造的に構成される。このようにして、一旦、調整式フィクスチャ１３００の水平バーが適切に位置決めされたら、サンプル１３０２を溝１３８９に差し込むことによって、複数のサンプル１３０２を素早く簡単に載置できる。サンプル１３０２の溝１３８９への差し込みは、最初に、ばね荷重された水平バーで行われても良く、このとき、サンプル１３０２の一端部が、ばね要素１３１６等に対抗して水平バーの一部分を押すことで、サンプル１３０２の反対端部が、対応する水平バーの対応する溝１３８９へ入れることが可能なり、ここで、ばね荷重された水平バーに対抗する力を解放すると、サンプルを適切な位置へと押しつけることができる。設計上、溝１３８９は、サンプル１３０２の反りを平らにするのに役立つようにできる。加えて、又は、これに代えて、図に示したものと異なる外形の溝１３８９又はスロットを使用しても良い。
【０１１１】
図１５は、代表的な実施形態によるサンプル１５０２を保持する調整式フィクスチャの断面図である。具体的には、サンプル１５０２は、ばね要素１５１６によってフレーム部材１５８６に対してばね荷重されているクランプ・ジョウ１５８０により、適切な位置に保持されるとして示されている。加えて、又は、これに代えて、サンプル１５０２は、例えば、正確で繰り返し可能なサンプル１５０２の位置決めが生じるように、調整式フィクスチャのフレームの段差のある面１５８７上に支持されていても良い。ある実施形態では、１つ以上のクランプ・ジョウ１５８０、フレーム部材１５８６及び段差面１５８７が、水平バー上に配置される。
【０１１２】
図１６は、代表的な実施形態によるサンプル１６０２を保持する調整式フィクスチャ１６００の断面図である。図に示されるように、調整式フィクスチャ１６００には、１つ以上のクランプ１６９０があっても良い。クランプ１６９０としては、押さえ型クランプ等があっても良く、これは、サンプル１６０２（又はホルダ、アダプタ・プレート又はその類似物）のエッジを押さえつけるように構造的に構成される。クランプ１６９０は、支持面１６９２上に配置されても良い。支持面１６９２は、水平バー、サイド・バー、フレーム部材、支持部材、アダプタ・プレート、ウェハ・ホルダ（又は、他のサンプル・ホルダ）及びこれらの組み合わせの１つ以上の上にあっても良い。クランプ１６９０の位置は、例えば、以下で説明する図１７及び１８で更に示されるように、調整可能である。
【０１１３】
図１７は、例えば、図１６を参照して上述したものと類似の実施形態の、代表的な実施形態によるサンプル１６０２を保持する調整式フィクスチャのクランプ１６９０の写真である。図１７に示されるように、クランプ１６９０は、ねじ要素１６９４（又は、当該技術分野で周知の他の押さえ付け要素）によって支持面１６９２に調整可能に取り付けられる。ねじ要素１６９４は、クランプ１６９０の回転が可能なように構造的に構成されても良い。
【０１１４】
図１８は、例えば、図１６〜１７を参照して上述したものと類似の実施形態の、代表的な実施形態によるサンプル１６０２を保持する調整式フィクスチャ１６００を示す。図１８に示されるように、サンプル１６０２を保持するのに、複数のクランプ１６９０を使用しても良く、ここで、１つ以上のクランプ１６９０は、調整可能である。こうした実施形態において、これらクランプ１６９０は、クランプ１６９０中のスロット状開口１６９６等を通過したねじ要素１６９４等（例えば、つまみねじ）を用いて結合されても良い。この構成によれば、クランプ１６９０は、例えば、異なるサイズのサンプル１６０２について、支持面に対して回転及びスライドの両方が可能となり、加えて、サンプルの１６０２の挿入及び取り外しが容易に可能になる。
【０１１５】
図１９は、例えば、図１６〜１８を参照して上述したものと類似の実施形態の、代表的な実施形態によるサンプル１６０２を保持する調整式フィクスチャ１６００の写真を示す。よって、図１６〜１９に示されるように、調整式フィクスチャ１６００には、クランプ１６９０があっても良く、ここで、クランプ１６９０は調整可能である。例えば、クランプ１６９０は、フレームのコンポーネント、例えば、第１水平バー、第２水平バー、サイド・バー、支持面１６９２、アダプタ・プレート及びフレーム部材の１つ以上の上にスライド可能に係合されても良い。クランプ１６９０は、更に、フレームのあるコンポーネント上にロック可能、例えば、第１水平バーと第２水平バーのうちの１つ又は複数に沿ってロック可能であっても良い。調整機能及びロック機能は、ねじ要素１６９４等によって提供されても良い。例えば、クランプ１６９０は、スロット状開口を含んでも良く、ここで、ねじ要素１６９４は、クランプ１６９０のスライド可能な調整のために、これを通過するように配置される。クランプ１６９０は、更に回転可能でも良い。
【０１１６】
図２０は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャのガイド・レール２０１２を示す。ガイド・レール２０１２は、スロット２０１３を含んでも良く、スロット２０１３は、サンプルのエッジ（さもなければ、端部）を受け入れるように構造的に構成される。加えて、又は、これに代えて、スロット２０１３は、支持面及びアダプタ・プレートの１つ以上のエッジを受け取るように構造的に構成されていても良い。ガイド・レール２０１２は、水平バー（本願で説明するように、例えば、第１水平バー及び第２水平バー）、サイド・バー、支持部材、アダプタ・プレートの１つ以上の上か、さもなければ、フレーム部材の上に配置されても良い。調整式フィクスチャは、複数のガイド・レール２０１２、例えば、第１水平バー上の第１ガイド・レールと、サンプルの反対側のエッジを保持するための第２水平バー上の第２ガイド・レールとを含んでも良い。
【０１１７】
図２１は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャのクランプ２１８０（例えば、ばねクランプ）を示している。クランプ２１８０は、押さえアーム２１８２、押し下げ要素２１８４、及びばね要素２１８６のうちの１つ以上を含むことができる。操作においては、そして図が示すように、押し下げ要素２１８４の下向きの力は、バネ要素２１８６を圧縮して、押さえアーム２１８２を上昇させ、サンプル又はアダプタ・プレートの挿入又は取り外しを可能にする。よって、押さえアーム２１８２は、ばねで荷重されてもよいが、他の形式の押さえアーム２１８２が使用されても良い。この手法の利点としては、サンプルを挿入又は取り外す際にツールが必要ないことがあるであろう。クランプ２１８０は、本願の他の箇所に記載されているように、他のクランプ又は押さえ要素を補完又は置き換えるために使用されても良い。例えば、クランプ２１８０は、水平バー、サイド・バー、支持部材、アダプタ・プレートの１つ以上の上か、さもなければ、フレーム部材の上に配置しても良い。
【０１１８】
図２２は、代表的な実施形態によるサンプル２２０２を保持する調整式フィクスチャ２２００を示す。図２２に示す調整式フィクスチャ２２００は、水平バー、例えば、第１水平バー２２１０及び第２水平バー２２２０の１つ以上に配置された１つ以上のサンプル位置決め機構２２８０を含んでも良い。サンプル位置決め機構２２８０は、調整式フィクスチャ２２００のフレームに対するサンプル２２０２の位置を固定するように構造的に構成されていても良い。サンプル位置決め機構２２８０は、１つ以上の水平バーに沿ってスライド可能であり、また、サンプル位置決め機構２２８０の位置を水平バーに沿って固定又はロックするためのロック機構２２８２を更に含んでも良い。ロック機構２２８２は、つまみねじ、ピン、ボルト、ねじなどを含んでも良い。図２２に示すように、サンプル位置決め機構２２８０は、クランプなどで形成されても良いし、さもなければ、クランプなどを含んでも良い。操作中において、水平バー及びサンプル位置決め機構２２８０は、所望のサンプルのサイズ用に調整され、このとき、サンプル位置決め機構２２８０は、サンプル２２０２を挿入及び解放するように構造的に構成されても良い。
【０１１９】
図２２は、つまみねじの形態で係合機構２２５０も示し、これは、それぞれ独立して移動可能であっても良い第１水平バー２２１０及び第２水平バー２２２０の１つ以上の位置を固定又はロックするように、回転させても良い。
【０１２０】
図２３は、代表的な実施形態によるサンプル２３０２を保持する調整式フィクスチャ２３００を示す。この図は、水平バー、例えば、第１水平バー２３１０及び第２水平バー２３２０の１つ以上の上に配置された代替の実施形態であるサンブル位置決定機構２３８０を含む。具体的には、サンプル位置決め機構２３８０は、水平バーに沿ってスライド可能であり、更に、サンプル位置決め機構２２８０の位置を水平バーに沿って固定又はロックするロック機構を含んでも良く、ここで、ロック機構２３８２は、ばね式グリップ等を含んでいる。加えて、又は、これに代えて、ロック機構２３８２は、例えば、サンプル２３０２を調整式フィクスチャ２３００内の特定の位置に固定するために、サンプル位置決め機構２３８０のサンプル２３０２と係合する部分を調整するのに利用されても良い。
【０１２１】
図２４は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャのばね式クランプ２４８０を示す。ばね式クランプ２４８０は、押さえアーム２４８２とばね要素２４８６を含んでも良い。ばね要素２４８６のねじれは、押さえアーム２４８２に加えられ、次いで、押さえアーム２４８２は、サンプル２４０２のエッジを保持する。
【０１２２】
図２５は、代表的な実施形態による調整式フィクスチャ２５００のクランプ２５８０を示す。調整式フィクスチャ２５００は、更に、クランプ２５８０の少なくとも一部の位置を制御するためのガイド２５８２及びフィン２５８４のうちの少なくとも１つを含んでも良い。ガイド２２８２及びフィン２５８４は、クランプ２５８０の動きを制御してサンプル２５０２を固定できる。ばね要素ｓ２５８６は、サンプル２５０２をクランプするのに利用でき、ここで、ばね要素２５８６は、図に示されるように、支持面の下に配置されても良い。
【０１２３】
図２６は、代表的な実施形態によるサンプルを検査するための方法２６００のフローチャートである。方法２６００は、例えば、超音波顕微鏡を用いた検査のためにサンプルを保持するのに、本願で説明するような調整式フィクスチャの１つ以上の使用を含んでも良い。
【０１２４】
ブロック２６０２に示されるように、方法２６００は、調整式フィクスチャを超音波顕微鏡内に固定することを含んでも良い。上述したように、調整式フィクスチャは、フレームと、フレームの第１端部上にばね荷重された第１水平バーと、フレームの第１端部及び第２端部の間で移動可能な第２水平バーとを含んでも良い。
【０１２５】
ブロック２６０４に示されるように、方法２６００は、フレームの第１端部と第２端部との間の第２水平バーの位置を調整することを含んでも良い。フレームの第１端部と第２端部との間の第２水平バーの位置を調整することには、サイド・バーに沿って第２水平バーをスライドさせることが含まれても良い。
【０１２６】
ブロック２６０６に示されるように、方法２６００は、係合機構を用いて、サイド・バー上の所望の位置に第２水平バーを解放可能に結合することを含んでも良い。
【０１２７】
ブロック２６０８に示されるように、方法２６００は、サンプルの第１端部を用いて、所定のばね力よりも大きい力を加えることによって、第１水平バーの一部分をフレームの第１端部の方へずらすことを含んでも良い。
【０１２８】
ブロック２６１０に示されるように、方法２６００は、サンプルの第２端部を第２水平バーと係合させることを含んでも良い。サンプルの第２端部を第２水平バーと係合させることには、サンプルの第２端部を第２水平バー中の溝内に配置することを含んでも良い。所定のばね力は、サンプルを第１水平バー及び第２水平バーの間に保持する。複数の水平バー間のサンプルの係合は、サンプルを平らにするように機能し、よって、方法２６００は、更には、サンプルの反りを平らにすることを含んでも良い。
【０１２９】
ブロック２６１２に示されるように、方法２６００は、第１水平バー及び第２水平バーの少なくとも１つに沿ってクランプ（又は、他のサンプル位置決め機構）をスライドさせ、水平バーに沿ってクランプ（又は、他のサンプル位置決め機構）の位置を固定することを含んでも良い。
【０１３０】
ブロック２６１４に示されるように、方法２６００は、クランプ（又は、他のサンプル位置決め機構）を用いてサンプルをクランプすることで、サンプルをさらに強固に固定しても良い。
【０１３１】
ブロック２６１６に示されるように、方法２６００は、例えば、超音波顕微鏡を用いて、サンプルをスキャンする処理を含んでも良い。ある実施形態では、サンプルをスキャンする処理は、サンプルの透過（Through Transmission）検査を含んでも良い。
【０１３２】
ブロック２６１８に示されるように、方法２６００は、所定のばね力よりも大きい力を加えることによって、フレームの第１端部の方へ第１水平バーの少なくとも一部分をずらすことで、サンプルを解放することを含んでも良い。
【０１３３】
ブロック２６２０に示されるように、方法２６００は、サンプルを取り外すことを含んでも良い。サンプルを取り外すことには、第１水平バーの一部分をずらした時に、サンプルの第２端部を第２水平バーの係合から解放し、そして、サンプルの第１端部を第１水平バーの係合から解放することを含んでも良い。
【０１３４】
このように、概して、方法２６００は、調整式フィクスチャに保持されるサンプルの奥行に応じて移動可能な水平バーを位置決めし、水平バーを適所に固定することを含んでも良い。第１水平バー、第２水平バー又は両方の水平バーを動かしても良い。サンプルの第１エッジは、これら水平バーの一方の溝の中に配置されても良く、その水平バーは、ばね荷重（spring loaded）されていて、ばね荷重を減圧するように押されていても良い。ばね荷重水平バーは、サンプルの第２エッジが他方の水平バーの溝中に設置できるように、与えられた力（ばね力より大きい）で動かされても良い。続いて、サンプルに対する力は解放され、このとき、ばね荷重水平バーは、元の位置へと動き、２つの水平バーの間にサンプルが捕捉される。水平バー中の溝は、サンプルが正確に位置決めされる（そして、繰り返し正確に位置決めできる）のを確実なものにでき、サンプルの反りを容易に最小にできる。次いで、サンプルは、スキャンされても良い。スキャンの後、サンプルは、ばね要素を圧縮するようにばね荷重（spring loaded）水平バーへと後ろへ押されて水平バーが動き、サンプルが他方の水平バー中の溝から外れる。続いて、サンプルは、完全に取り外される。もし別のサンプルがスキャンされるなら、このプロセス自体が繰り返されても良い。もし次のスキャンするサンプルが、先のサンプルと同じサイズでないなら、その次のサンプルを収容するように、可動水平バーを再位置決めしても良い。
【０１３５】
上述のデバイス、システム及び方法は、限定する目的ではなく例として記載されていることが理解されよう。反対を明示的に示さない限り、開示されたステップは、本開示の範囲から逸脱することなく、修正、補足、省略や並び替えをしても良い。多数の変形、追加、省略及び他の変更が当業者には明らかであろう。加えて、上述の説明及び図面における方法ステップの順序又は提示は、特定の順序が明示的に必要とされるか、さもなければ文脈から明らかでない限り、記載されたステップを実行するのに、この順序を必要とすることを意図するものではない。
【０１３６】
本願に記載された実施形態の方法ステップは、異なる意味が明示的に規定されるか、さもなければ文脈から明らかでない限り、以下の特許請求の範囲の特許性に矛盾しない方法ステップを実施させる任意の適切な方法を含むことを意図する。そのため、例えば、Ｘのステップを実行することには、遠隔のユーザ、遠隔の処理リソース（例えば、サーバ又はクラウド・コンピュータ）又はマシンのような他の当事者に、Ｘのステップを実行させるための任意の適切な方法が含まれる。同様に、ステップＸ、Ｙ及びＺを実行することには、そのようなステップの利点を得るために、ステップＸ、Ｙ及びＺを実行する、こうした他の個人又はリソースの任意の組み合わせを指示又は制御する任意の方法が含まれても良い。従って、本願に記載されている実施形態の方法ステップは、異なる意味が明示的に規定されるか、さもなければ文脈から明らかでない限り、以下の特許請求の範囲の特許性と一致する、１以上の他の当事者又はエンティティ（entities：法人、事業者）に、これらステップを実施させる任意の適切な方法を含むことを意図する。こうした当事者又はエンティティは、他の当事者又はエンティティの指揮又は管理下にある必要はなく、また、特定の法域（jurisdiction：司法権の及ぶ範囲）内に位置する必要はない。
【０１３７】
上記の方法は、更に、例として提供されると理解されるべきである。反対を明示的に示さない限り、開示されたステップは、本開示の範囲から逸脱することなく、修正、補足、省略や並び替えしても良い。
【０１３８】
上述の方法及びシステムは、限定する目的ではなく例として記載されていることが理解されよう。多数の変形、追加、省略及び他の変更が当業者には明らかであろう。加えて、上述の説明及び図面における方法ステップの順序又は提示は、具体的な順序が明示的に必要とされていないか、さもなければ文脈から明らかでない限り、記載されたステップを実行するのに、この順序を必要とすることを意図するものではない。従って、特定の実施形態が示され、記載されているが、本開示の範囲から逸脱することなく、その中の形態及び詳細における様々な変更及び修正を行うことができ、形態及び詳細における様々な変更及び修正は、以下の特許請求の範囲で定義されるように、開示の一部分を形成し、法律で許容される最も広い意味で解釈されるべきである。
【０１３９】
本願で詳細に記載された様々な代表的な実施形態は、限定する目的ではなく例として提示されている。当業者であれば、添付の特許請求の範囲内にある均等な実施形態を生じる説明された実施形態の形態及び詳細に様々な変更を加えて良いことを理解するであろう。
【符号の説明】
【０１４０】
１００  調整式フィクスチャ
１０１  フレーム
１０２  第１端部
１０３  第２端部
１０４  第１側部
１０５  第２側部
１０６  サンプル平面
１０７  第１軸
１１０  第１水平バー
１１２  第１面
１２０  第２水平バー
１２２  第２面
１２４  第１端部
１３０  サイド・バー
１３６  ノッチ
１４０  第１側壁
１４１  第２側壁
１４２  フレーム・ロック機構
１５０  係合機構
１５２  突起部
１６０  超音波顕微鏡
１６２  壁
１６４  スキャン平面
２０２  サンプル
３１６  ばね要素s
３２６  第２端部
４０２  サンプル
４７０  アダプタ・プレート
６７２  ウェハ・ホルダ
７７０  アダプタ・プレート
８０２  サンプル
８０３  第１端部
８０５  第２端部
８１８  第１溝
８２８  第２溝
９００  調整式フィクスチャ
９０１  ＪＥＤＥＣトレイ
９０２  サンプル
１０００  調整式フィクスチャ
１００２  サンプル
１１００  調整式フィクスチャ
１１７２  ウェハ・ホルダ
１２００  調整式フィクスチャ
１２０２  サンプル
１２０４  第１パート
１２０６  第２パート
１２０８  第３パート
１２１０  第１水平バー
１２１１  上面
１２２０  第２水平バー
１２８０  クランプ・ジョウ
１２８２  第１チャンネル
１２８４  第２チャンネル
１３００  調整式フィクスチャ
１３０２  サンプル
１３１６  ばね要素
１３８０  クランプ・ジョウ
１３８６  フレーム部材
１３８８  クランプ面
１３８９  溝
１３９２  支持面
１５０２  サンプル
１５１６  ばね要素
１５８０  クランプ・ジョウ
１５８６  フレーム部材
１５８７  段差のある面
１６０２  サンプル
１６９０  クランプ
１６９２  支持面
１６９４  ねじ要素
２０１２  ガイド・レール
２０１３  スロット
２１８０  クランプ
２１８２  押さえアーム
２１８４  押しつけ要素
２１８６  ばね要素
２２００  調整式フィクスチャ
２２０２  サンプル
２２１０  第１水平バー
２２２０  第２水平バー
２２５０  係合機構
２２８０  サンプル位置決め機構
２２８２  ロック機構
２３００  調整式フィクスチャ
２３０２  サンプル
２３１０  第１水平バー
２３２０  第２水平バー
２３８０  サンプル位置決め機構
２３８２  ロック機構
２４０２  サンプル
２４８０  ばね式クランプ
２４８２  押さえアーム
２４８６  ばね要素
２５００  調整式フィクスチャ
２５０２  サンプル
２５８０  クランプ
２５８２  ガイド
２５８４  フィン
２５８６  ばね要素
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【外国語明細書】
2018091834000001.pdf