(57)【要約】【課題】ワークの移動を妨げない構成でワークの温度をリアルタイムで測定することができるワーク温度測定装置およびそれを備える熱処理炉を提供すること。【解決手段】筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置は、ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、ワークの温度測定用の第１の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第１の導通プレートと、トレイを載置して昇降するための昇降エレベータに取り付けられ、第１の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第１の導通ロッドと、筐体の外部に設けられ、第１の導通ロッドの接触端部に電気的に接続される第１の温度測定器と、を備え、第１の導通プレートは、昇降エレベータとは別の昇降機構によりトレイが昇降エレベータから上昇された上昇位置において、第１の導通ロッドの接触端部との接触を維持する上下長さを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置であって、
前記ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第１の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第１の導通プレートと、
前記トレイを載置して昇降するための昇降エレベータに取り付けられ、前記第１の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第１の導通ロッドと、
前記筐体の外部に設けられ、前記第１の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第１の温度測定器と、を備える、ワーク温度測定装置。
【請求項２】
筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置であって、
前記ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第１の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第１の導通プレートと、
前記筐体の内壁面に取り付けられ、前記第１の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第１の導通ロッドと、
前記筐体の外部に設けられ、前記第１の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第１の温度測定器と、を備え、
前記第１の導通プレートは、前記トレイを昇降させるための昇降機構により前記トレイが上昇された上昇位置において、前記第１の導通ロッドの前記接触端部との接触を維持する上下長さを有する、ワーク温度測定装置。
【請求項３】
筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置であって、
前記ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第１の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第１の導通プレートと、
前記トレイを載置して昇降するための昇降エレベータに取り付けられ、前記第１の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第１の導通ロッドと、
前記筐体の外部に設けられ、前記第１の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第１の温度測定器と、を備え、
前記第１の導通プレートは、前記昇降エレベータとは別の昇降機構により前記トレイが前記昇降エレベータから上昇された上昇位置において、前記第１の導通ロッドの前記接触端部との接触を維持する上下長さを有する、ワーク温度測定装置。
【請求項４】
前記第１の導通ロッドは、前記接触端部を前記第１の導通プレートに押し付ける方向に付勢する付勢部を備え、
前記付勢部は、前記接触端部と一体的に回転可能な状態で取り付けられた重りであり、
前記接触端部が前記第１の導通プレートと接触状態にあるときに、前記付勢部はその自重によって、前記接触端部を前記第１の導通プレートに押し付ける方向に回転付勢する、請求項１から３のいずれか１つに記載のワーク温度測定装置。
【請求項５】
前記トレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第２の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第２の導通プレートと、
前記熱処理炉の内壁面に取り付けられ、前記第２の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第２の導通ロッドと、
前記熱処理炉の外部に設けられ、前記第２の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第２の温度測定器と、を備え、
前記第２の導通ロッドは、前記接触端部が前記第２の導通プレートに接触するときに、前記第２の導通プレートを前記第２の温度測定器に電気的に接続する、請求項１から４のいずれか１つに記載のワーク温度測定装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１つに記載の前記ワーク温度測定装置を用いて前記ワークの温度測定を行う熱処理炉であって、前記ワーク温度測定装置と、前記トレイ、前記昇降エレベータおよび／又は前記昇降機構とを備える、熱処理炉。
【請求項７】
前記ワークを加熱処理する加熱ゾーンと、前記加熱ゾーンの側方に設けられた中継ゾーンと、前記中継ゾーンの下方および上方に設けられ、前記加熱ゾーンで加熱処理された前記ワークを冷却処理する下方冷却ゾーンおよび上方冷却ゾーンとを備える、請求項６に記載の熱処理炉であって、
前記トレイは、前記加熱ゾーンと前記中継ゾーンの間で前記ワークを載置して搬送し、
前記昇降エレベータは、前記中継ゾーンと前記下方冷却ゾーンの間で前記トレイを載置して昇降し、
前記昇降機構は、前記昇降エレベータによる昇降とは独立して前記中継ゾーンと前記上方冷却ゾーンの間で前記トレイを昇降させる、熱処理炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、熱処理炉などの筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置およびそれを備える熱処理炉に関する。
【背景技術】
【０００２】
工業用炉の中には、ワークを水平方向に搬送するだけではなく、上下に昇降させるものがある。そのような工業用炉のひとつとして熱処理炉があり、例えば、ワークを加熱処理する加熱ゾーンの下方に油冷ゾーンを備え、上方にガス冷却ゾーンを備えた焼入装置がある（例えば、特許文献１）。
【０００３】
このような熱処理炉において、熱処理炉内に配置されているワークの温度変化を測定するために、耐熱ボックスにデータロガーを入れた状態でワークと一緒に炉内に入れるという方法がある（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−８４８６３号公報
【特許文献２】特開２０００−１３０９６１号公報
【特許文献３】特許第４６５６８０８号
【特許文献４】特許第４３７０９３８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２のような構成では、データロガーに記録されたデータを確認するためにデータロガーを炉内から取り出す必要があり、リアルタイムでの測定はできない。
【０００６】
ワークの温度をリアルタイムで測定するためには、例えば特許文献３のように、ワークを昇降させるための昇降ピンの先端部に熱電対を設け、この熱電対をワークに接触させてワークの温度を測定するものもある。しかしながら、特許文献３のような構成では、ワークが昇降ピンの先端部から離れるとワークの温度を測定できなくなるため、測定に制限がある。
【０００７】
例えば特許文献４のように、外部から補償導線（配線型の熱電対）を導入するものもある。特許文献４の構成では、ワークを搬送するためのトレイにセンサ部を固定するとともに、当該センサ部に補償導線を接続し、この補償導線を炉内で巻き取り可能としている。しかしながらこのような構成では、炉内に補償導線の引き回しが必要となるため、ワークを載置したトレイの移動が、補償導線によって妨げられる場合がある。
【０００８】
本開示は、前記課題を解決するものであり、ワークの移動を妨げない構成で熱処理中のワークの温度変化をリアルタイムで測定することができるワーク温度測定装置およびそれを備える熱処理炉を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の一態様のワーク温度測定装置は、筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置であって、前記ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第１の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第１の導通プレートと、前記トレイを載置して昇降するための昇降エレベータに取り付けられ、前記第１の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第１の導通ロッドと、前記筐体の外部に設けられ、前記第１の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第１の温度測定器と、を備える、ワーク温度測定装置である。
【００１０】
前記構成によれば、ワークの移動を妨げない構成でワークの温度をよりリアルタイムで測定することができる。
【００１１】
本開示の一態様のワーク温度測定装置は、筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置であって、前記ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第１の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第１の導通プレートと、前記筐体の内壁面に取り付けられ、前記第１の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第１の導通ロッドと、前記筐体の外部に設けられ、前記第１の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第１の温度測定器と、を備え、前記第１の導通プレートは、前記トレイを昇降させるための昇降機構により前記トレイが上昇された上昇位置において、前記第１の導通ロッドの前記接触端部との接触を維持する上下長さを有する、ワーク温度測定装置である。
【００１２】
前記構成によれば、ワークを昇降機構で移動させてもワークの移動を妨げない構成でワークの温度をよりリアルタイムで測定することができる。
【００１３】
本開示の一態様のワーク温度測定装置は、筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置であって、前記ワークを載置して搬送するためのトレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第１の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第１の導通プレートと、前記トレイを載置して昇降するための昇降エレベータに取り付けられ、前記第１の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第１の導通ロッドと、前記筐体の外部に設けられ、前記第１の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第１の温度測定器と、を備え、前記第１の導通プレートは、前記昇降エレベータとは別の昇降機構により前記トレイが前記昇降エレベータから上昇された上昇位置において、前記第１の導通ロッドの前記接触端部との接触を維持する上下長さを有する、ワーク温度測定装置である。
【００１４】
前記構成によれば、ワークを昇降エレベータで移動させてもワークの移動を妨げない構成でワークの温度をよりリアルタイムで測定することができる。
【００１５】
前記ワーク温度測定装置において、前記第１の導通ロッドは、前記接触端部を前記第１の導通プレートに押し付ける方向に付勢する付勢部を備え、前記付勢部は、前記接触端部と一体的に回転可能な状態で前記昇降エレベータに取り付けられた重りであり、前記接触端部が前記第１の導通プレートと接触状態にあるときに、前記付勢部はその自重によって、前記接触端部を前記第１の導通プレートに押し付ける方向に回転付勢してもよい。これにより、第１の導通ロッドと第１の導通プレートの接触状態をより確実に確保することができ、温度測定の信頼性を向上させることができる。また、簡易な構成により付勢部を実現することができる。
【００１６】
前記ワーク温度測定装置において、前記トレイに固定され、前記ワークの温度測定用の第２の熱電対に電気的に接続された導電性材質の第２の導通プレートと、前記熱処理炉の内壁面に取り付けられ、前記第２の導通プレートと接触するための導電性材質の接触端部を有する第２の導通ロッドと、前記熱処理炉の外部に設けられ、前記第２の導通ロッドの前記接触端部に電気的に接続される第２の温度測定器と、を備え、前記第２の導通ロッドは、前記接触端部が前記第２の導通プレートに接触するときに、前記第２の導通プレートを前記第２の温度測定器に電気的に接続してもよい。これにより、トレイが昇降エレベータから離れた状態であっても第２の導通プレートが第２の導通ロッドに接触する位置であれば、ワークの温度をリアルタイムで測定することができる。
【００１７】
本開示の一態様の熱処理炉は、前記ワーク温度測定装置を用いて前記ワークの温度測定を行う熱処理炉であって、前記ワーク温度測定装置と、前記トレイ、前記昇降エレベータおよび／又は前記昇降機構とを備える、熱処理炉である。前記構成によれば、ワークの移動を妨げない構成でワークの温度をリアルタイムで測定することができる。
【００１８】
前記熱処理炉において、前記ワークを加熱処理する加熱ゾーンと、前記加熱ゾーンの側方に設けられた中継ゾーンと、前記中継ゾーンの下方および上方に設けられ、前記加熱ゾーンで加熱処理された前記ワークを冷却処理する下方冷却ゾーンおよび上方冷却ゾーンとを備え、前記トレイは、前記加熱ゾーンと前記中継ゾーンの間で前記ワークを載置して搬送し、前記昇降エレベータは、前記中継ゾーンと前記下方冷却ゾーンの間で前記トレイを載置して昇降し、前記昇降機構は、前記昇降エレベータによる昇降とは独立して前記中継ゾーンと前記上方冷却ゾーンの間で前記トレイを昇降させてもよい。このような構成によれば、ワークが中継ゾーンにあるとき、中継ゾーンから下方に移動するときあるいは中継ゾーンから上方に移動するときでも、トレイに載置されているワークの温度をリアルタイムで測定することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本開示によれば、ワークの移動を妨げない構成でワークの温度変化をリアルタイムで測定することができる。特にワークを上昇、下降させる場合でも温度変化を途切れることなく測定することができ、例えば焼き入れ処理のためにワークを油槽に下降して急冷させる時の温度変化がその場で分かる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施形態１における熱処理炉およびワーク温度測定装置の概略構成を示す図
【図２】熱処理炉およびワーク温度測定装置の運転例を説明するための概略図
【図３】熱処理炉およびワーク温度測定装置の運転例を説明するための概略図
【図４Ａ】熱処理炉およびワーク温度測定装置の運転例を説明するための概略図
【図４Ｂ】熱処理炉およびワーク温度測定装置の運転例を説明するための概略図
【図５】導通ロッドおよび導通プレートの拡大斜視図
【図６Ａ】導通ロッドの第１の回転位置を示す概略図
【図６Ｂ】導通ロッドの第２の回転位置を示す概略図
【図７】実施形態１の変形例における熱処理炉およびワーク温度測定装置の概略構成を示す図
【図８】昇降機構と把持アームの動きを示す図（図１のＡ−Ａ矢視図）
【図９】昇降エレベータに取り付けられた複数の導通ロッドを示す斜視図
【図１０】トレイの側面部に取り付けられた複数の導通プレートを示す図（図１のＢ−Ｂ矢視図）
【図１１】冷却室として上方冷却室のみ設けられる形態を示す図
【図１２】冷却室として下方冷却室のみ設けられる形態を示す図
【図１３】実施形態２における熱処理炉の概略構成を示す図（扉の配置を変更した別形態の動作を示す平面図）
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本開示に係る熱処理炉（筐体）およびワーク温度測定装置の好適な実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。本開示は、以下の実施形態の具体的な構成に限定されるものではなく、同様の技術的思想に基づく構成が本開示に含まれる。
【００２２】
（実施形態１）
図１は、実施形態１における熱処理炉２の概略構成を示す図である。
【００２３】
熱処理炉２は、ワークＷを内部に配置する筐体の一例であり、本実施形態１では、ワークＷ（例えば、金網製のバスケットに収納された自動車エンジン用歯車）を焼き入れする熱処理炉である。本実施形態１の熱処理炉２は、ワークＷの加熱処理に加えて冷却処理を行う機能を有するとともに、複数の空間を構成する多室型熱処理炉として構成されている。
【００２４】
図１に示すように、熱処理炉２は、加熱ゾーン４と、中継ゾーン６と、下方冷却ゾーン（油冷ゾーン）８と、上方冷却ゾーン（ガス冷却ゾーン）１０と、トレイ１２と、昇降エレベータ１４と、昇降機構１６と、導通プレート１８と、導通ロッド２０と、熱電対２２と、温度測定器２４と、補償導線２６とを備える。
【００２５】
図１に示す熱処理炉２は、加熱ゾーン４にてワークＷを加熱処理するとともに、加熱処理したワークＷを中継ゾーン６に水平搬送した後、昇降エレベータ１４により下方冷却ゾーン８まで下降あるいは昇降機構１６により上方冷却ゾーン１０まで上昇させて、冷却処理する。
【００２６】
本開示の発明は特に、トレイ１２に導通プレート１８を設け、昇降エレベータ１４に導通ロッド２０を設けている。導通プレート１８と導通ロッド２０を接触させて導通させることで、導通プレート１８に接続された熱電対２２と、導通ロッド２０に接続された温度測定器２４とを電気的に接続するものである。このような構成により、ワークＷが中継ゾーン６にある時あるいは中継ゾーン６から下方又は上方へ移動するときでも、導通プレート１８と導通ロッド２０の接触を確保して導通させることで、熱処理炉２内に配置されているワークＷの温度を温度測定器２４によりリアルタイムで測定可能としている。
【００２７】
上述した熱処理炉２内のワークＷの温度を測定するための「ワーク温度測定装置」は、導通プレート１８、導通ロッド２０、熱電対２２、温度測定器２４および補償導線２６により構成される。
【００２８】
以下、熱処理炉２およびワーク温度測定装置のそれぞれの構成要素について説明する。
【００２９】
加熱ゾーン４は、ワークＷを加熱処理するための空間である。加熱ゾーン４は、ワークＷを真空中あるいは大気圧以下の減圧雰囲気で所定温度（例えば１３５０℃）まで加熱する。図１では、加熱ゾーン４ではなく中継ゾーン６にワークＷが配置されている状態を例示する。
【００３０】
中継ゾーン６は、加熱ゾーン４の側方に設けられた空間である。中継ゾーン６と加熱ゾーン４の間の壁面には開口５ａが設けられ、それぞれの空間を密閉可能に閉じる扉５が設けられている。開口５ａの上方には、扉５を収納する戸袋７が設けられている。扉５は戸袋７の上方よりチェーン５ｂ等で吊るされ、そのチェーン５ｂを外部から昇降機構５ｃで巻き取り、送り出しすることで昇降する。中継ゾーン６は、加熱ゾーン４で加熱処理されたワークＷが下方冷却ゾーン８又は上方冷却ゾーン１０へ移動する際の中継地点となる空間である。図１の例では、中継ゾーン６の下方に下方冷却ゾーン８が設けられ、中継ゾーン６の上方に上方冷却ゾーン１０が設けられている。下方冷却ゾーン８および上方冷却ゾーン１０は、中継ゾーン６に連続した一体的な空間として形成されている。また、加熱ゾーン４と外部との間の壁面にも開口５１ａが設けられており、扉５１によって開閉可能である。扉５１は前述した扉５と同様に、チェーン５１ｂ、昇降機構５１ｃによって昇降する。
【００３１】
下方冷却ゾーン８は、中継ゾーン６の下方においてワークＷを冷却処理するための空間である。本実施形態１の下方冷却ゾーン８は、油冷式の冷却処理を行う機能を有しており、所定温度（例えば１２０℃）の油が充填されている。ワークＷが下方冷却ゾーン８内の油に浸漬されることにより、ワークＷが冷却され、焼き入れ処理される。
【００３２】
上方冷却ゾーン１０は、中継ゾーン６の上方においてワークＷを冷却処理するための空間である。本実施形態１の上方冷却ゾーン１０は、ガス冷却式の冷却処理を行う機能を有しており、所定温度（例えば常温）の冷却ガス（例えばＮ２（１５０ｋＰａ（ａｂｓ）））を吹き付け可能に構成されている。ワークＷを上方冷却ゾーン１０に配置した状態で上方冷却ゾーン１０内に冷却ガスを吹き付けることにより、ワークＷが冷却され、焼き入れ処理される。
【００３３】
油冷式の冷却処理は、ガス冷却式の冷却処理よりも冷却速度が速い。よって、ワークＷの種類ごとに望まれる材料特性等を考慮して、下方冷却ゾーン８の冷却処理および上方冷却ゾーン１０の冷却処理のうちのいずれか、あるいはその両方を選択することができる。
【００３４】
トレイ１２は、熱処理炉２内でワークＷを載置して搬送するための部材である。トレイ１２は、ワークＷが加熱ゾーン４、中継ゾーン６、下方冷却ゾーン８、上方冷却ゾーン１０にあるときおよびそれらの空間を移動するときにワークＷを下方から支持する。
【００３５】
本実施形態１のトレイ１２は、図１に示すようにＬ字状の断面を有して構成される。トレイ１２は、水平方向に延びる底面部１２ａと、鉛直方向に延びる側面部１２ｂとを有する。底面部１２ａは、ワークＷを載置するための底面を構成する。側面部１２ｂは、後述する導通プレート１８を固定するための側面を構成する。
【００３６】
導通プレート１８は、トレイ１２の側面部１２ｂに固定された金属製のプレート状の部材である。導通プレート１８は、導通ロッド２０とともに熱電対を構成するように２枚１組で設けられ、２枚それぞれが、後述する温度測定用の熱電対２２に用いている金属と同じ種類の金属（例えばクロメルとアルメル）で形成され、導電性材質である。
【００３７】
導通プレート１８は、熱電対２２を、熱処理炉２の外部に設けられた温度測定器２４に電気的に接続するために設けられる。図１に示すように、導通プレート１８は上下方向に延びるプレートとして、トレイ１２の側面部１２ｂの背面側に固定されている。「背面」とは、トレイ１２の側面部１２ｂにおいて、ワークＷが載置される側とは反対側に面した側面である。
【００３８】
昇降エレベータ１４は、ワークＷを載置したトレイ１２を昇降させるためのものである。本実施形態１の昇降エレベータ１４は、トレイ１２を載置した状態で中継ゾーン６と下方冷却ゾーン８の間を昇降する。昇降エレベータ１４は図示しない昇降機構によって昇降される。
【００３９】
昇降エレベータ１４は、トレイ１２と同様にＬ字型の断面を有して構成される。昇降エレベータ１４は、例えば水平方向に延びる２本のフォーク状の底面部１４ａ（図１では手前側の１本のみを図示）と、鉛直方向に延びる側面部１４ｂとを有する。底面部１４ａは、トレイ１２を載置するための底面を構成する。側面部１４ｂは、導通ロッド２０を取り付けるための側面を構成する。
【００４０】
導通ロッド２０は、導通プレート１８とともに熱電対を構成する部材であり、導通プレート１８と同様に２本１組で設けられる。導通ロッド２０の導通部分（後述する接触端部２０ａ）は、導通プレート１８と同じ種類の金属（例えばクロメルとアルメル）で形成されており、導電性材質である。導通ロッド２０は、導通プレート１８に接触して導通するように昇降エレベータ１４の側面部１４ｂに取り付けられている。導通ロッド２０は、昇降エレベータ１４の側面部１４ｂから正面側に突出して導通プレート１８に接触する接触端部２０ａを有する。「正面」とは、昇降エレベータ１４の側面部１４ｂにおいて、トレイ１２が載置される側に面した側面である。
【００４１】
接触端部２０ａには、補償導線２６が電気的に接続されている。補償導線２６は、熱電対２２と同じ種類の金属（例えばクロメルとアルメル）で形成される。補償導線２６は、温度測定器２４に電気的に接続されている。接触端部２０ａは、補償導線２６を介して温度測定器２４に接続される。
【００４２】
導通ロッド２０の詳細な構成については後述する。
【００４３】
昇降機構１６は、昇降エレベータ１４とは別で、ワークＷを載置したトレイ１２を昇降させるための昇降機構である。昇降機構１６は、昇降エレベータ１４による昇降とは独立して、トレイ１２を中継ゾーン６と上方冷却ゾーン１０の間で昇降させる機能を有する。昇降機構１６は例えば、トレイ１２を把持可能な把持アームにより構成されており、把持したトレイ１２を昇降エレベータ１４の底面部１４ａから持ち上げることで、中継ゾーン６から上方冷却ゾーン１０へ上昇させることができる。詳しくは図８に示すように、定位置（図８（ａ））から４本のアーム１７（図８では手前側の２本のみを図示）を開いたまま下降する（図８（ｂ））。その後、アーム１７を閉じてトレイ１２の底面部１２ａの下方に先端のツメを位置させ（図８（ｃ））、その状態で上昇する（図８（ｄ））。
【００４４】
図１に戻ると、熱電対２２は、ワークＷと温度測定器２４の間を電気的に接続するために使用される配線型の熱電対である。熱電対２２は、図１に示すように複数本設けられるとともに、ワークＷの測定ポイントＰと導通プレート１８の間に接続される。図１では、３本の熱電対２２の先端の接点がワークＷの測定ポイントＰに取り付けられている。熱電対２２は、導通プレート１８、導通ロッド２０（接触端部２０ａ）および補償導線２６を介して温度測定器２４に電気的に接続される。
【００４５】
温度測定器２４は、ワークＷの温度を熱電対により測定するための温度測定器である。温度測定器２４は、図１に示すように補償導線２６を介して導通ロッド２０の接触端部２０ａに電気的に接続されている。温度測定器２４は、補償導線２６、導通ロッド２０の接触端部２０ａ、導通プレート１８および熱電対２２を介してワークＷに電気的に接続されることで、トレイ１２に載置されているワークＷの測定ポイントＰの温度を測定することができる。
【００４６】
補償導線２６は、導通ロッド２０の接触端部２０ａと温度測定器２４を電気的に接続するための補償導線である。本実施形態１の補償導線２６は、伸縮可能な補償導線（例えばコイル状に巻いたもの）により構成されている。このため、昇降エレベータ１４が下降した場合でも、接触端部２０ａとの電気的な接続が確保される。
【００４７】
このように構成される熱処理炉２の運転例について、図２〜４Ｂを用いて説明する。
【００４８】
まず、図２に示すようにワークＷを加熱室４へ搬入する。具体的には、扉５１を上昇させて開き、開口５１ａからトレイ１２の底面部１２ａ上に載置された状態のワークＷを熱処理炉２の内部へ搬入する。その後、扉５１を下降させて開口５１ａを閉じる。トレイ１２およびワークＷの搬入には、トレイ１２の底面部１２ａを載せるローラ（図示せず）を外部から回転駆動させるなど、どのような搬送機構であってもよい。
【００４９】
次に、ワークＷの加熱処理を行う。具体的には、扉５と扉５１により加熱ゾーン４を密閉した状態で、加熱ゾーン４内を真空状態あるいは減圧雰囲気にした後に、所定の加熱ガス（例えば、Ｎ２ガス）を導入する。これにより、加熱ゾーン４内のワークＷを所定温度（例えば、１２００℃）まで加熱する。
【００５０】
次に、トレイ１２を中継ゾーン６に移動させる。具体的には、扉５を上昇させて開き、加熱ゾーン４で加熱処理されたワークＷを開口５ａから中継ゾーン６に向けて水平移動させる。トレイ１２の移動には、前述した図示しない搬送機構を利用する。これにより、図３に示すように加熱ゾーン４の側方に設けられた中継ゾーン６にトレイ１２およびワークＷが配置される。そして、扉５を下降させて開口５ａを閉じる。
【００５１】
図３に示すように、中継ゾーン６に搬送されたトレイ１２は、昇降エレベータ１４の底面１４ａ上に載置される。このとき、トレイ１２に固定された導通プレート１８と、昇降エレベータ１４に取り付けられた導通ロッド２０の接触端部２０ａとが接触する。これにより、ワークＷと温度測定器２４とが、熱電対２２、導通プレート１８、導通ロッド２０の接触端部２０ａおよび補償導線２６を介して電気的に接続された状態となり、温度測定器２４によりワークＷの温度測定が可能な状態となる。
【００５２】
上記方法によれば、導通プレート１８と導通ロッド２０の接触による接点式の温度測定方法であるため、導通プレート１８と導通ロッド２０の代わりに補償導線などで電気的な接続をとる場合に比べて、熱処理炉２内におけるトレイ１２の移動を妨げないように構成することができる。これにより、熱処理炉２内でトレイ１２をスムーズに移動させることができる。
【００５３】
次に、トレイ１２を下方冷却ゾーン８又は上方冷却ゾーン１０へ移動させる。前述したように、ワークＷの望まれる材料特性などに応じて下方冷却ゾーン８の冷却処理および／又は上方冷却ゾーン１０の冷却処理が選択される。
【００５４】
例示として、下方冷却ゾーン８へ下降させた状態を図４Ａに示し、上方冷却ゾーン１０へ上昇させた状態を図４Ｂに示す。
【００５５】
図４Ａに示すようにトレイ１２を下方冷却ゾーン８へ下降させるには、昇降エレベータ１４を下降させることにより、ワークＷを載置したトレイ１２を一体的に下降させる。これにより、トレイ１２が下方冷却ゾーン８に配置され、トレイ１２に載置されたワークＷが下方冷却ゾーン８内の冷却用の油に浸漬される。下方冷却ゾーン８内の冷却用の油に浸漬されることによりワークＷが冷却され、焼き入れ処理される。
【００５６】
昇降エレベータ１４の下降に伴って補償導線２６も伸びて延長されている。このように補償導線２６を伸縮式に構成することで、昇降エレベータ１４が下降しても接触端部２０ａと温度測定器２４の電気的な接続が安定的に確保される。下方冷却ゾーン８に移動する前の状態（図３に示す状態）では、補償導線２６は縮んでいるため、トレイ１２の搬送を妨げないように構成することができる。
【００５７】
図４Ａに示すように、トレイ１２およびワークＷを下方冷却ゾーン８に下降させた場合であっても導通プレート１８と接触端部２０ａの接触状態が確保されており、温度測定器２４によりワークＷの温度を測定可能な状態にある。このような接触状態は、トレイ１２に導通プレート１８を固定しながら、トレイ１２を載置する昇降エレベータ１４に接触端部２０ａを取り付けて、導通プレート１８と接触端部２０ａを接触させているために確保することができる。これにより、中継ゾーン６から下方冷却ゾーン８へ下降している間、および、下方冷却ゾーン８で冷却処理されている間において、ワークＷの温度をリアルタイムで測定することができる。
【００５８】
一方で、図４Ｂに示すように、トレイ１２を上方冷却ゾーン１０へ上昇させるには、昇降機構１６を駆動することにより、ワークＷを載置したトレイ１２を昇降エレベータ１４の底面部１４ａから上昇させる。このとき、トレイ１２の導通プレート１８は、接触端部２０ａと接触状態を維持したまま、摺動して上昇していく。摺動を滑らかにするため、接触端部２０ａには同じ材質のローラー（図示せず）を付けてもよい。
【００５９】
上方冷却ゾーン１０においてトレイ１２に載置されたワークＷは、所定の冷却ガスが吹き付けられることにより冷却され、焼入れ処理される。
【００６０】
図４Ｂに示すように、トレイ１２を上方冷却ゾーン１０に上昇させた場合であっても導通プレート１８と接触端部２０ａの接触状態が確保されている。このような接触状態は、トレイ１２に固定された導通プレート１８が、トレイ１２が昇降機構１６による上昇位置にあっても導通ロッド２０の接触端部２０ａとの接触を維持できる上下長さを有することにより、確保することができる。これにより、中継ゾーン６から上方冷却ゾーン１０へ上昇している間、および、上方冷却ゾーン１０で冷却処理されている間において、ワークＷの温度をリアルタイムで測定することができる。
【００６１】
下方冷却ゾーン８又は上方冷却ゾーン１０での冷却処理が終了したワークＷはその後、中継ゾーン６に戻される。その後、扉５を開き、ワークＷを載置しているトレイ１２を加熱室４へ移動させ、扉５を閉め、さらに扉５１を開いた後、熱処理炉２の外部に搬出する。
【００６２】
上述した導通プレート１８および導通ロッド２０を設けることにより、中継ゾーン６、下方冷却ゾーン８および上方冷却ゾーン１０にあるトレイ１２又はその間を移動するトレイ１２に載置されているワークＷの温度を熱電対方式によりリアルタイムで測定することができる。
【００６３】
本実施形態１のワーク温度測定装置は、熱処理炉２（筐体）の内部に配置されているワークＷの温度を測定するためのワーク温度測定装置であって、（第１の）導通プレート１８と、（第１の）導通ロッド２０と、（第１の）温度測定器２４とを備える。導通プレート１８は、ワークＷを載置して搬送するためのトレイ１２に固定され、ワークＷの温度測定用の（第１の）熱電対２２に電気的に接続された導電性材質（本実施形態１では熱電対２２と同じ材質）のプレートである。導通ロッド２０は、トレイ１２を載置して昇降するための昇降エレベータ１４に取り付けられ、導通プレート１８と接触するための導電性材質（本実施形態１では熱電対２２と同じ材質）の接触端部２０ａを有する。温度測定器２４は、熱処理炉２の外部に設けられ、導通ロッド２０の接触端部２０ａに電気的に接続される測定器である。導通プレート１８は、昇降エレベータ１４とは別の昇降機構１６によりトレイ１２が昇降エレベータ１４から上昇された上昇位置において、導通ロッド２０の接触端部２０ａとの接触を維持する上下長さを有する。
【００６４】
このような構成によれば、導通プレート１８と導通ロッド２０の接触により、熱電対２２を温度測定器２４に電気的に接続して、ワークＷの温度を測定することができる。このため、トレイ１２が昇降エレベータ１４に載置されている状態のときに、トレイ１２に載置されているワークＷの温度をリアルタイムで測定することができる。また、導通プレート１８はトレイ１２が上昇された上昇位置でも接触端部２０ａとの接触を維持する上下長さを有するため、トレイ１２が昇降エレベータ１４から上昇した場合でも、上昇する途中でも、トレイ１２に載置されているワークＷの温度をリアルタイムで測定することができる。
【００６５】
さらに、導通プレート１８と導通ロッド２０の接触により電気的な接続を確保するという接点式の温度測定であるため、トレイ１２と昇降エレベータ１４の間に補償導線などを設ける場合とは異なり、トレイ１２およびワークＷの移動を妨げることなく、ワークＷをスムーズに移動させることができる。このようにして、ワークＷの移動を妨げない構成でワークＷの温度をリアルタイムで測定することができる。
【００６６】
また、本実施形態１のワーク温度測定装置によれば、導通ロッド２０の接触端部２０ａと温度測定器２４とを電気的に接続する補償導線２６は例えば渦巻き状に巻かれ、伸縮可能に構成される。
【００６７】
上記構成によれば、補償導線２６を伸縮可能に構成することにより、昇降エレベータ１４が下降するときでも、補償導線２６による接触端部２０ａと温度測定器２４との電気的な接続を確実に確保することができる。
【００６８】
上述したワーク温度測定装置を備える本実施形態１の熱処理炉２は、当該ワーク温度測定装置を用いてワークＷの温度測定を行う熱処理炉２であって、ワーク温度測定装置と、前述したトレイ１２、昇降エレベータ１４および昇降機構１６とをさらに備える。
【００６９】
このような構成によれば、前述したワーク温度測定装置を備えているため、ワークＷの移動を妨げない構成でワークＷの温度をリアルタイムで測定することができる。
【００７０】
また本実施形態１の熱処理炉２はさらに、加熱ゾーン４と、中継ゾーン６と、下方冷却ゾーン８および上方冷却ゾーン１０とを備える。加熱ゾーン４は、ワークＷを加熱処理する空間を構成する。中継ゾーン６は、加熱ゾーン４の側方に設けられた空間を構成する。下方冷却ゾーン８および上方冷却ゾーン１０は、中継ゾーン６の下方および上方に設けられた空間を構成し、加熱ゾーン４で加熱処理されたワークＷを冷却処理する。トレイ１２は、加熱ゾーン４と中継ゾーン６の間でワークＷを載置して搬送する。昇降エレベータ１４は、中継ゾーン６と下方冷却ゾーン８の間でトレイ１２を載置して昇降する。昇降機構１６は、昇降エレベータ１４による昇降とは独立して中継ゾーン６と上方冷却ゾーン１０の間でトレイ１２を昇降させる。
【００７１】
このような構成によれば、トレイ１２の導通プレート１８と昇降エレベータ１４の導通ロッド２０が接触することにより、ワークＷが中継ゾーン６にあるとき又は中継ゾーン６から下方に移動するときでもワークＷの温度をリアルタイムで測定することができる。また、トレイ１２が中継ゾーン６から上方に移動するときでも、導通プレート１８が上下長さを有しているため、トレイ１２に載置されているワークＷの温度をリアルタイムで測定することができる。
【００７２】
次に、導通ロッド２０の詳細な構成について、図５、６Ａ、６Ｂを用いて説明する。
【００７３】
図５、６Ａ、６Ｂでは導通ロッド２０を１つだけ図示するが、実際には、測定に用いる配線の数に合わせて複数の導通ロッド２０をトレイ１２の側面部１２ｂに取り付けている。図１に示す例では、ワークＷに測定ポイントＰが３カ所あり、測定ポイントＰのそれぞれに対する熱電対として配線が２本でセットとなっている（図１では２本の熱電対２２を１本にまとめて図示）。よって、図９に示すように昇降エレベータ１４の側面部１４ｂには導通ロッド２０が横に並べて６つ取り付けられている。また図１０に示すように、トレイ１２の側面部１２ｂにも、６つの導通ロッド２０に対応する位置に導通プレート１８が横に並べて６つ取り付けられている。
【００７４】
図５に示すように、導通プレート１８はトレイ１２の側面部１２ｂに対して絶縁プレート１８ａを挟んで取り付けられている。導通プレート１８には、ワークＷの温度測定に用いる熱電対２２の２本のうち１本が接続部１８ｂに取り付けられている。接続部１８ｂは例えば、導通プレート１８の表面から突出したねじ部とそれに螺合する六角ナットにより構成される。接続部１８ｂに接続されない熱電対２２のもう１本は、ワークＷの測定ポイントＰに接続されている。
【００７５】
導通プレート１８に接触される導通ロッド２０は、昇降エレベータ１４の側面部１４ｂに回転可能に取り付けられた機構である。具体的には、導通ロッド２０は、接触端部２０ａを一端に有するＬ字状のプレート２０ｃにより構成されている。プレート２０ｃの他端には、重り２０ｂが設けられている。重り２０ｂは後述するように、接触端部２０ａを導通プレート１８に押し付ける方向に付勢するための付勢部の一例である。接触端部２０ａには、前述した補償導線２６が接続されている。また、接触端部２０ａとプレート２０ｃの間には、絶縁プッシュ２０ｅによって電気的に絶縁されている。また、接触端部２０ａの材質は、熱電対２２に用いている材質と同じである。
【００７６】
プレート２０ｃは、その回転中心となる折曲部分に回転軸２０ｄが挿通されている。回転軸２０ｄは、昇降エレベータ１４の側面部１４ｂに固定された棒状の突起であり、プレート２０ｃは回転軸２０ｄを中心として回転可能に構成される。
【００７７】
さらに、昇降エレベータ１４の側面部１４ｂには、プレート２０ｃの回転位置を規制するためのストッパとして突起１４ｃが固定されている。これらの周囲の様子は図９で示される。
【００７８】
このような構成を有する導通ロッド２０について、導通プレート１８と接触していない非接触状態を図６Ａに示し、導通プレート１８と接触している接触状態を図６Ｂに示す。
【００７９】
図６Ａに示すように、導通ロッド２０と導通プレート１８の非接触状態においては、重り２０ｂの自重Ｓによって、導通ロッド２０のプレート２０ｃが突起１４ｃに当接した状態で静止している（第１の回転位置）。
【００８０】
一方で、図６Ｂに示すように、導通プレート１８が導通ロッド２０の接触端部２０ａに接触している状態においては、プレート２０ｃは、導通プレート１８からの押付により、突起１４ｃから離れる方向に回転された位置に維持される（第２の回転位置）。
【００８１】
図６Ｂに示す第２の回転位置において、重り２０ｂはその自重Ｓによって、接触端部２０ａを導通プレート１８に押し付ける方向Ｄにプレート２０ｃを回転付勢している。このような構成により、接触端部２０ａと導通プレート１８との接触をより確実に確保することができ、トレイ１２の搬送時の振動や位置ずれなどにも対応することができる。また、接触端部２０ａを付勢する付勢部として重り２０ｂの自重Ｓを利用することにより、簡易な構成により付勢部を実現することができる。
【００８２】
以上、上述の実施形態１を挙げて本開示の発明を説明したが、本開示の発明は上述の実施形態１に限定されない。例えば、上記実施形態１では、ワークＷの冷却処理を行う冷却ゾーンとして、下方冷却ゾーン８および上方冷却ゾーン１０の２つを設ける場合について説明したが、このような場合に限らない。図１１に示すような上方冷却ゾーン１０だけの場合や、図１２に示すような下方冷却ゾーン８だけの場合であってもよい。また、上方や下方に設けられるのが、冷却以外の目的を持ったもの（例えば、温度の異なる加熱ゾーン）であってもよい。
【００８３】
また上記実施形態１では、筐体の一例として工業用炉の一種である熱処理炉２について説明したが、このような熱処理炉に限らず、焼入油槽、多室型の加熱装置などにも適用可能である。このような場合であっても、ワークＷを内部に配置している筐体の中に上記実施形態１と同様に導通ロッドと導通プレートを設けることにより、筐体内におけるワークＷの温度変化をリアルタイムで測定することができる。
【００８４】
また上記実施形態１では、図９、図１０に示すように、複数の導通プレート１８と複数の導通ロッド２０をそれぞれ横に並べて配置したが、上昇させる高さがそれほど高くない場合には、それぞれを縦に並べて配置してもよい。そうすれば、数多くの測定ポイントが測定できる。
【００８５】
また上記実施形態１では、接触端部２０ａを付勢する付勢部として重り２０ｂを備える場合について説明したが、このような場合に限らず、付勢部を設けない場合であってもよい（例えば、導通ロッドおよび接触端部が回転できない状態で昇降エレベータ１４に固定される構成）。
【００８６】
また上記実施形態１では、接触端部２０ａを付勢する付勢部が接触端部２０ａと一体的に回転可能な重り２０ｂである場合について説明したが、このような場合に限らない。接触端部２０ａを導通プレート１８に押し付ける方向に付勢するものであれば、任意の付勢部であってもよい。例えば、ばねによって接触端部２０ａを導通プレート１８に押し付ける構成としてもよい。このような構成は、加熱室４の内部は高温になるので、バネが熱伸びして弾力を失わない程度の場合に有効である。
【００８７】
また上記実施形態１では、導通プレート１８および導通ロッド２０をワークＷの片側のみに設ける場合について説明したが、このような場合に限らない。図７に示す例では、導通プレート１８および導通ロッド２０に加えて、別の導通プレート２８および導通ロッド３０を設けている。
【００８８】
図７に示す熱処理炉３２では、トレイ３４はコの字型の断面を有して構成されている。トレイ３４は、ワークＷを載置するための底面部３４ａと、前述した導通プレート１８を固定するための第１の側面部３４ｂとに加えて、第２の側面部３４ｃを備える。
【００８９】
第２の側面部３４ｃは、第１の側面部３４ｂに対向する位置に設けられており、第１の側面部３４ｂと同様に上下方向に延びて配置されている。第２の側面部３４ｃには、ワークＷを熱処理炉２に挿入する側とは反対側の側面に導通プレート２８が固定されている。導通プレート２８は、後述する導通ロッド３０と熱電対を構成するように、後述する熱電対４２と同じ材質の金属（例えばクロメルとアルメル）で形成されており、導電性材質である。導通プレート２８には、複数の熱電対４２が電気的に接続されている。
【００９０】
加熱ゾーン４における側壁のうち、中継ゾーン６に対向する側壁である内壁面３６には、導通ロッド３０が固定されている。内壁面３６は例えば、図７に示すように加熱ゾーン４内にアクセスするための横開き式の扉５２であってもよい。
【００９１】
導通ロッド３０は、導通プレート２８に向かって突出した接触端部３０ａを有する。接触端部３０ａは導通プレート２８とともに熱電対を構成するように、熱電対４２と同種の金属（例えばクロメルとアルメル）で構成されており、導電性材質である。
【００９２】
導通ロッド３０の接触端部３０ａには補償導線３８が接続されている。補償導線３８は、温度測定器２４とは別に熱処理炉２の外部に設けられた温度測定器４０に電気的に接続されている。
【００９３】
このような構成によれば、トレイ３４が昇降エレベータ１４とは分離されて加熱ゾーン４に配置されている場合であっても、導通プレート２８が導通ロッド３０の接触端部３０ａに接触する状態とし、中継ゾーン６、下方冷却ゾーン８、上方冷却ゾーン１０だけでなく、加熱室４においてもワークＷの温度を温度測定器４０によりリアルタイムで測定することができる。
【００９４】
このように、図７に示す熱処理炉３２のワーク温度測定装置は、（第１の）導通プレート１８、（第１の）導通ロッド２０および（第１の）温度測定器２４に加えて、（第２の）導通プレート２８、（第２の）導通ロッド３０および（第２の）温度測定器４０を備える。導通プレート２８は、トレイ３４に固定されるとともに、ワークＷの温度測定用の（第２の）熱電対４２に電気的に接続された導電性材質のプレートである。導通ロッド３０は、熱処理炉２の内壁面３６に取り付けられ、導通プレート２８と接触するための導電性材質の接触端部３０ａを有する。温度測定器４０は、熱処理炉２の外部に設けられ、導通ロッド３０の接触端部３０ａに電気的に接続される。ここで、導通ロッド３０は、接触端部３０ａが導通プレート２８に接触するときに、導通プレート２８を温度測定器４０に電気的に接続する。
【００９５】
このような構成によれば、導通プレート２８と導通ロッド３０を設けることにより、トレイ３４が昇降エレベータ１４から離れた状態であっても導通プレート２８が導通ロッド３０に接触する位置であれば、ワークＷの温度変化をリアルタイムで測定することができる。
【００９６】
（実施形態２）
本開示に係る実施形態２の熱処理炉６０について説明する。実施形態２では、主に実施形態１と異なる点について説明する。実施形態２においては、実施形態１と同一又は同等の構成については同じ符号を付して説明する。また、実施形態２では、実施形態１と重複する記載は省略する。
【００９７】
図１３は、本開示に係る実施形態２の熱処理炉６０の概略構成を示すブロック図である。
【００９８】
実施形態２では、ワークＷを熱処理炉６０内に搬入するための扉５２を中継ゾーン６に設ける点が、実施形態１と異なる。
【００９９】
図１３に示すように、中継ゾーン６の１つの側面に、横扉５２が戸袋７２とともに設けられている。このような構成において、横扉５２を開き、中継ゾーン６にあるトレイ１２の底面部１２ａにワークＷが横から載置される（矢印Ｍ１）。横扉５２を閉じ、扉５を開き、そのままワークＷが加熱ゾーン４に送られて（矢印Ｍ２）、扉５を閉じて加熱される。その後、扉５を開き、中継ゾーン６にワークＷが戻される（矢印Ｍ３）。そして、扉５を閉じ、ワークＷを下降もしくは上昇させ、下方冷却ゾーン８もしくは上方冷却ゾーン１０で焼入れ処理した後、ワークＷを上昇もしくは下降させ、中継ゾーン６に戻す。その後、横扉５２を開き、ワークＷを熱処理炉６０の外部に取り出す（矢印Ｍ４）。
【０１００】
このような構成であっても、実施形態１の熱処理炉２と同様に、ワークＷの移動を妨げない構成で熱処理中のワークＷの温度変化をリアルタイムで測定することができる。
【０１０１】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【０１０２】
本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した特許請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。また、各実施形態における要素の組合せや順序の変化は、本開示の範囲及び思想を逸脱することなく実現し得るものである。
【産業上の利用可能性】
【０１０３】
本開示は、熱処理炉などの筐体の内部に配置されているワークの温度を測定するためのワーク温度測定装置およびそれを備える熱処理炉であれば適用可能である。
【符号の説明】
【０１０４】
２、６０  熱処理炉
４  加熱ゾーン
５、５１、５２  扉
５ａ  開口
５ｂ  チェーン
５ｃ  昇降機構
５１  扉
５１ａ  開口
５１ｂ  チェーン
５１ｃ  昇降機構
６  中継ゾーン
７  戸袋
７１、７２  戸袋
８  下方冷却ゾーン
１０  上方冷却ゾーン
１２  トレイ
１２ａ  底面部
１２ｂ  側面部
１４  昇降エレベータ
１４ａ  底面部
１４ｂ  側面部
１４ｃ  突起
１６  昇降機構
１７  把持アーム
１８  （第１の）導通プレート
１８ａ  絶縁プレート
１８ｂ  接続部
２０  （第１の）導通ロッド
２０ａ  接触端部
２０ｂ  重り
２０ｃ  プレート
２０ｄ  回転軸
２０ｅ  絶縁プッシュ
２２  （第１の）熱電対
２４  （第１の）温度測定器
２６  （第１の）補償導線
２８  （第２の）導通プレート
３０  （第２の）導通ロッド
３０ａ  接触端部
３２  熱処理炉
３４  トレイ
３４ａ  底面部
３４ｂ  第１の側面部
３４ｃ  第２の側面部
３６  内壁面
３８  （第２の）補償導線
４０  （第２の）温度測定器
４２  （第２の）熱電対
Ｗ  ワーク
Ｓ  自重
Ｐ  測定ポイント
【図１】
2018091658.tif 000003
【図２】
2018091658.tif 000004
【図３】
2018091658.tif 000005
【図４Ａ】
2018091658.tif 000006
【図４Ｂ】
2018091658.tif 000007
【図５】
2018091658.tif 000008
【図６Ａ】
2018091658.tif 000009
【図６Ｂ】
2018091658.tif 000010
【図７】
2018091658.tif 000011
【図８】
2018091658.tif 000012
【図９】
2018091658.tif 000013
【図１０】
2018091658.tif 000014
【図１１】
2018091658.tif 000015
【図１２】
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【図１３】
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