(57)【要約】【課題】本発明は、受熱板に対して導入管を略鋭角に配することで、装置が傾いた場合でも充分な冷却性能が得られる冷却装置を実現することを目的とするものである。【解決手段】受熱部８は、発熱体である半導体スイッチング素子６に接触させて熱を吸収する受熱板１２と、この受熱板１２の表面を覆い、流れ込んだ冷媒１０を蒸発させる受熱空間１３を形成する受熱カバー１４と、受熱空間１３に凝縮した冷媒１０を流し込む流入口１５と、受熱空間１３から冷媒１０を排出する排出口１６を備え、循環経路１１は放熱経路１１ａと帰還経路１１ｂとからなり、放熱経路１１ａは排出口１６と放熱部９の放熱体１７とを接続し、帰還経路１１ｂは放熱部９の放熱体１７と流入口１５を接続し、流入口１５の受熱空間１３側に設けた、傾斜導入管２３ａは、受熱板１２に略鋭角に配置した。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
受熱部と、前記受熱部の排出口と放熱経路を介して接続した放熱部と、前記放熱部と前記受熱部の流入口とを接続する帰還経路において冷媒が気液二相変化を伴って循環することで冷却する冷却装置において、
前記受熱部は、発熱体に接触した受熱板と、前記受熱板の表面を覆う受熱空間を形成する受熱カバーとを備え、
前記帰還経路は、前記流入口に凝縮した前記冷媒の水頭圧が前記受熱空間の圧力よりも高い場合にのみ開弁する逆止弁を備え、前記逆止弁と前記受熱板との間に前記逆止弁に接続された導入管を備え、
前記逆止弁と前記導入管の前記受熱板に対向する開口部とを結ぶ仮想線が前記受熱板と鋭角を成すように、前記導入管が形成されたことを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
前記導入管は、前記受熱板から前記逆止弁に向かって湾曲していることを特徴とする請求項１に記載の冷却装置。
【請求項３】
前記受熱カバーは、前記帰還経路の一部を貫通させて、前記導入管を前記受熱空間内に配置していることを特徴とする請求項１または２に記載の冷却装置。
【請求項４】
前記受熱カバーと前記帰還経路とが当接する位置に逆止弁を設けたことを特徴とする請求項４に記載の冷却装置。
【請求項５】
請求項１に記載の冷却装置を発熱体に接続させたことを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電力半導体を搭載した電子機器の冷却装置およびこれを搭載した電気自動車に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の冷却装置は、以下のような構成となっていた。
【０００３】
すなわち、受熱部と、この受熱部の排出口と放熱経路を介して接続した放熱部と、この放熱部と前記受熱部の流入口とを接続する帰還経路とを備え、前記受熱部は、発熱体に接触させて熱を吸収する受熱板と、この受熱板の表面を覆うとともに表面に流れ込んだ冷媒を蒸発させる受熱空間を形成する受熱カバーとを備え、前記帰還経路には、前記流入口に凝縮して停留した前記冷媒の水頭圧と前記帰還経路内と前記受熱空間内との圧力バランスによって開動する逆止弁と、前記流入口の上流側には、凝縮した前記冷媒を前記逆止弁の上流側に停留させる流入管を備え、前記受熱空間において、前記受熱板は、中心に冷媒流入部と、この冷媒流入部の外周に向けて放射状の溝を設けた拡散部を備え、前記流入口から前記冷媒流入部に向けて延設し、凝縮した冷媒を流入させる導入管を備え、前記受熱部の受熱板は、略鉛直方向に配置され、前記導入管は、前記受熱板に対して略垂直方向に配置される構成となっていた。
【０００４】
例えば、これに類似する先行文献として下記特許文献１参照。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−８８１２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来例における課題は、冷却装置の冷却効率が低下することであった。
【０００７】
すなわち、上記従来例の冷却装置において、導入管から冷媒流入部に流れ込んだ冷媒は、一部が冷媒流入部に接触して受熱板より熱を受けて沸騰気化し、この際の急激な体積膨張によって、未沸騰の液相の冷媒とともに、拡散部上に高速な混相流（気相と液相）として拡散する。初期沸騰の後、未沸騰の液相の冷媒は、この拡散部の表面に薄い膜状で広がることになる。そして、発熱体からの継続的な加熱により、一瞬にして加熱され気化することによって、受熱板から継続的に気化熱を奪い冷却する。
【０００８】
しかし、略鉛直方向に配置された受熱板に対して、略垂直方向に配置された導入管から、凝縮した冷媒を供給する構成では、装置全体が導入管側に傾いた場合、冷媒が受熱板側へ充分に供給されないこととなり、受熱板の熱を奪うことができず、結果として冷却効率が低下するという課題があった。
【０００９】
そこで本発明は、冷却装置全体が導入管側へ傾いた場合でも受熱板側へ充分な冷媒を供給可能な構成により、冷却装置の高い冷却効率を維持させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そして、この目的を達成するために、本発明は、受熱部と、この受熱部の排出口と放熱経路を介して接続した放熱部と、この放熱部と前記受熱部の流入口とを接続する帰還経路とを備え、前記受熱部は、発熱体に接触させて熱を吸収する受熱板と、この受熱板の表面を覆うとともに表面に流れ込んだ冷媒を蒸発させる受熱空間を形成する受熱カバーとを備え、前記帰還経路には、前記流入口に凝縮して停留した前記冷媒の水頭圧と前記帰還経路内と前記受熱空間内との圧力バランスによって開動する逆止弁と、前記流入口の上流側には、凝縮した前記冷媒を前記逆止弁の上流側に停留させる流入管を備え、前記受熱空間において、前記受熱板は、中心に冷媒流入部と、この冷媒流入部の外周に向けて放射状の溝を設けた拡散部を備え、前記流入口から前記冷媒流入部に向けて延設し、凝縮した冷媒を流入させる導入管を備え、前記受熱部の受熱板は、略鉛直方向に配置され、前記導入管の先端は、前記受熱板に対して略垂直方向に配置され、前記導入管は、前記受熱板に略鋭角に配置されていることを特徴とする。これにより所期の目的を達成するものである。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように本発明は、受熱部と、受熱部の排出口と放熱経路を介して接続した放熱部と、放熱部と受熱部の流入口とを接続する帰還経路において冷媒が気液二相変化を伴って循環することで冷却する冷却装置において、受熱部は、発熱体に接触した受熱板と、受熱板の表面を覆う受熱空間を形成する受熱カバーとを備え、帰還経路は、流入口に凝縮した冷媒の水頭圧が受熱空間の圧力よりも高い場合にのみ開弁する逆止弁を備え、逆止弁と受熱板との間に逆止弁に接続された導入管を備え、逆止弁と導入管の受熱板側の開口部とを結ぶ仮想線が受熱板と鋭角を成すように、導入管が形成されたことを特徴とする。
ことを特徴とするものであり、この構成により受熱板が傾斜した場合であっても、導入管から流入する冷媒を受熱板に供給することが可能である。結果として、冷却装置の高い冷却効率を維持させることができるのである。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態１の電気自動車の概略図
【図２】（ａ）同冷却装置の基本動作を説明する図、（ｂ）同冷却装置の受熱部のＡ−Ａ断面図、（ｃ）同冷却装置の傾斜導入管の先端部と受熱板の拡大図
【図３】同冷却装置の放熱体の構成を示す図
【図４】同冷却装置の受信部の構成を示す図
【図５】同冷却装置の受熱部を傾けた場合を示す図
【図６】同冷却装置の受熱部の他の形態を示す図
【図７】同冷却装置の受熱部の他の形態を示す図
【図８】従来の冷却装置の基本構成図
【図９】従来の冷却装置の受熱部を傾けた場合を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明は、受熱部と、受熱部の排出口と放熱経路を介して接続した放熱部と、放熱部と受熱部の流入口とを接続する帰還経路において冷媒が気液二相変化を伴って循環することで冷却する冷却装置において、受熱部は、発熱体に接触した受熱板と、受熱板の表面を覆う受熱空間を形成する受熱カバーとを備え、帰還経路は、流入口に凝縮した冷媒の水頭圧が受熱空間の圧力よりも高い場合にのみ開弁する逆止弁を備え、逆止弁と受熱板との間に逆止弁に接続された導入管を備え、逆止弁と導入管の受熱板に対向する開口部とを結ぶ仮想線が受熱板と鋭角を成すように、導入管が形成された構成である。この構成によって、受熱板が傾斜した場合であっても、導入管から流入する冷媒を受熱板に供給することが可能であり、冷却装置の高い冷却効率を維持させることができるのである。
【００１４】
また、本発明は、導入管が受熱板から逆止弁に向かって湾曲している構成であってもよい。この構成によって、受熱板付近の導入管においてより多くの冷媒を貯蔵できるという効果を備える。
【００１５】
また、本発明は、受熱カバーは、帰還経路の一部を貫通させて、導入管を受熱空間内に配置している。この構成によって、受熱板と導入管および逆止弁との距離が短くなり、冷媒を正確に受熱板に供給できるという効果を備える。
【００１６】
本発明は、受熱カバーと帰還経路とが当接する位置に逆止弁を設けた構成とすることで、
逆止弁を受熱カバー内へ配置する場合に比べ、組み立てが容易となる効果を備える。
【００１７】
本発明の冷却装置を移動体の発熱体に接続させた構成とすることで、移動体の発熱体の冷却を可能とする。
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は、電気自動車１に本発明の冷却装置を装着した場合の略図であり、図２と図３は、それぞれ本発明の冷却装置とその放熱部の構成図である。
【００１９】
図１に示す様に、電気自動車１を駆動する電動機３に電力を供給するインバータ回路５は、電気自動車１の車室前方４内に配置し接続されている。インバータ回路５は、電動機３に電力を供給する複数の半導体スイッチング素子６を備えており、この半導体スイッチング素子６を冷却する冷却装置７を併設している。同図に示す冷却装置７は、受熱部８とこの受熱部８で吸収した熱を放熱する放熱部９を備え、受熱部８と放熱部９の間で熱媒体となる冷媒（図２の１０）を循環させる循環経路１１を備えており、放熱部９には、外気に熱を放出する放熱体１７を備えている。また、車室前方４内の運転席側に近づけた中程にインバータ回路５を配置し、循環経路１１を延設して、放熱体１７は外気を通過させやすいフロントグリル４ａ側に取り付けた構成となっている。
【００２０】
また、図２は、本発明による実施の形態１の冷却装置７についての説明図である。同図より、受熱部８は、発熱体である半導体スイッチング素子６に接触させて熱を吸収する受熱板１２と、この受熱板１２の表面を覆い、流れ込んだ冷媒１０を蒸発させる受熱空間１３を形成する受熱カバー１４と、受熱空間１３に凝縮した冷媒１０を流し込む帰還経路１１ｂの一部である流入口１５と、受熱空間１３から冷媒１０を排出する排出口１６を備えたものである。
【００２１】
また、循環経路１１は放熱経路１１ａと帰還経路１１ｂとからなり、放熱経路１１ａは排出口１６と放熱部９の放熱体１７とを接続し、帰還経路１１ｂは放熱部９の放熱体１７と流入口１５を接続した構成となっている。
【００２２】
そして、この放熱体１７の界面に送風機１７ａから外気を送風することで、放熱をさせている。なお、この放熱体１７の界面からの放熱は、電気自動車１車内の暖房に活用することも出来る。
【００２３】
さらに、図３に示すように、放熱体１７は、アルミニウム板を短冊状に薄く形成した複数のフィン１９を所定の間隔をあけて積層したブロック体であって、放熱体１７の入口と出口を接続する複数の管路１８がフィン１９を貫通したものとなっている。ここで、放熱体１７の入り口において、放熱経路１１ａに接続した複数の管路１８が、流路を複数に分流するとともに放熱体１７の出口で複数の管路１８に帰還経路１１ｂが接続し、複数の流路を合流させる構成となっている。これにより複数の管路１８が放熱経路１１ａと帰還経路１１ｂを接続し、冷媒１０の熱をフィン１９の全体に伝えることで、放熱部９の放熱効率を高める構成となっている。
【００２４】
以上が本発明の主要構成の説明である。
【００２５】
ここで、図２を用いて、冷却装置の基本動作と逆止弁動作条件について詳しく説明する。
【００２６】
まず、冷却装置７の基本動作について説明する。半導体スイッチング素子６が発する熱は、受熱板１２から受熱空間１３内の液化した冷媒１０へ伝わり、即座に沸騰気化することになる。
【００２７】
次に、沸騰後の冷媒１０（気相と一部の未沸騰冷媒）は、受熱空間１３と冷えた放熱体１７との内部圧力差により冷媒駆動力が発生し、排出口１６から放熱経路１１ａを経て放熱体１７へ流入する。この時、冷媒の循環方向は、逆止弁２０によって放熱経路１１ａ方向へ固定される。
【００２８】
そして、冷媒１０の気相分が、外気により冷却された放熱体１７の内壁面に接触し凝縮することで凝縮熱を放熱体１７へ伝え、さらに、放熱体１７の内壁面からフィン１９の外壁表面へと伝わり、送風機１７ａで外気を送風することにより、最終的には外気と熱交換することで放熱されることになる。
【００２９】
さらに、凝縮により液化した冷媒１０は、帰還経路１１ｂを流れて流入管２４内で流入口１５の逆止弁２０上に停留し、所定の逆止弁２０の動作条件下で弁が開動した瞬間に冷媒１０は再び受熱空間１３内へと流入する。通常この一連のサイクルを繰り返すことにより安定的な冷却が可能となる。
【００３０】
ここで、受熱空間１３内での受熱の基本的なメカニズムと所定の逆止弁２０の動作条件について追加説明を行う。
【００３１】
まず、受熱空間１３内での受熱メカニズムとしては、以下の沸騰現象が発生している。流入口１５から逆止弁２０を通って受熱空間１３内へ流入した冷媒は、導入管２３によって受熱板１２の中央沸騰部２１に導かれた冷媒１０は、一部が受熱板１２より熱を受けて沸騰気化し、この際の急激な体積膨張によって導入管２３ａの開口と拡散部２２の隙間から拡散部２２上の外周部へ高速な混相流（気相と液相）として放射状に拡散する。
【００３２】
この拡散部２２は、放射状の流路が拡大する構造をしており広い沸騰表面積を有している。初期沸騰の後、未沸騰の液相の冷媒１０は、この拡散部２２の表面に薄い膜状で広がることになる。そして、半導体スイッチング素子６からの継続的な加熱により、この放射状の流路において一瞬にして加熱され気化するため、極めて高い伝達係数を維持した高効率な受熱性能を達成することが可能である。
【００３３】
本実施の形態では、例えば、冷媒１０に水を使用した場合などでは、受熱空間１３内の圧力は大気圧よりも低く設定すること（外気温２０℃の場合、水の飽和蒸気圧は−９７ＫＰａ程度）で、大気圧中の水の沸騰に比べて低い温度で沸騰させることができるため、高い冷却性能を可能としている。
【００３４】
これにより、半導体スイッチング素子６の熱を効率的に奪い、冷却することができる。つまり、水の蒸発潜熱によって、半導体スイッチング素子６の熱を奪うものであって、かつ前述したように受熱板１２上で薄い膜状に広がった冷媒１０を一瞬にして加熱し気化させることで、単に溜め込んだ水を加温し沸騰させるものに比べて、非常に高い熱伝達係数が得られ、奪う熱量も極めて大きくすることが可能である。
【００３５】
また、冷媒１０が沸騰するときに受熱空間１３内の圧力は増加するが、逆止弁２０の作用により冷媒１０が逆流して流入管２４側へ戻ることを防ぎ、かつ沸騰による体積膨張による受熱空間１３内と冷やされた放熱体１７内の圧力差により、外部動力を使用することなく、冷媒１０を気相（蒸気）分と未沸騰の液相分の両方を混相流として排出口１６から放熱経路１１ａを経て、確実に放熱体１７へ輸送することができるのである。
【００３６】
次に所定の逆止弁２０の動作条件について説明する。通常加熱での沸騰動作が継続している場合の逆止弁２０は、逆止弁２０の上流側圧力Ｐｕ（帰還経路内圧力＋流入管内の停留冷媒水頭圧）と受熱空間１３によって与えられる逆止弁２０の下流側圧力Ｐｂがほぼバランスがとれており閉鎖状態となる。
【００３７】
通常、このまま加熱が継続され受熱空間１３内での冷媒の気化がさらに進むと、温度と飽和蒸気圧が一定であっても、逆止弁２０の上流側の冷媒供給は継続されるため停留冷媒の水頭圧は、除々に増加して行くことになる。そのため、ある瞬間に逆止弁２０の上流側圧力Ｐｕ＞逆止弁２０の下流側圧力Ｐｂとなる状態が発生し、この状態のときのみ逆止弁２０が開弁する。
【００３８】
そして、圧力差の増加水頭圧分だけの冷媒量が導入管２３ａを通って受熱空間１３へ流入し、逆止弁２０の両側の圧力がバランスがとれた状態になったタイミングで、再度閉鎖することになる。この一連の逆止弁２０の動作により冷媒の供給サイクルを実現している。実際の逆止弁２０の開閉のタイミングは、ある程度の時間間隔で発生するが、装置の仕様（発熱量や装置内冷媒封入量、さらに弁の剛性）などでも変化するため、必ずしも同一とはならない。
【００３９】
以上の様な受熱空間１３内での連続的な沸騰を可能とすることで、規則的な受放熱のサイクルが、維持でき、高性能な冷却装置を実現することができることになる。
【００４０】
このように半導体スイッチング素子６の冷却を安定して行なうことができるので、特に気相と液相の冷媒循環方向に関しては、逆止弁によって一方向に固定可能であるためフラッティング現象（冷媒が逆流することで熱輸送方向が定まらず冷却効率が著しく低下する状態）のような課題も防止でき、冷却装置の動作安定性を向上させることができる。
【００４１】
また、本発明による冷却装置での冷媒駆動力は、前記した通り、沸騰による受熱空間１３の圧力と外気により低温低圧状態である放熱体１７との間の圧力差によって発生するものであり、他の特別な冷媒駆動装置を全く必要としない構成となっている点は、省エネルギーの観点からも極めて有効な冷却装置を実現することを可能とするものである。
【００４２】
また、このように冷媒１０は、前記した通り冷却装置７内の圧力バランスにより駆動されるため、受熱部８と放熱部９とを離して配置することも可能である。
【００４３】
言い換えれば塵埃や水滴に弱いインバータ回路５と外気を当てて効率よく冷却を行ないたい放熱部９とを電気自動車１のフロントグリル４ａと車室前方４といったように離して設置することも可能となるため信頼性の面でも有利であり、電気自動車１のより安定した走行性能を確保することに大きく貢献できることになる。
【００４４】
さて、以上のように本発明の基本部分について説明をしたが、以下に従来構成での課題と本発明の実施の形態１について、図４〜図９を用いて説明を加えることにする。
【００４５】
まず、従来構成の課題について図８、図９を用いて説明する。図８の様に受熱板１２に対して略垂直に導入管２３が配置された場合、装置全体が固定され受熱部８が垂直状態を維持できれば問題はない。しかし、装置が前述の電気自動車等に搭載される様な場合、前後左右に傾く場合が有り、冷媒駆動装置を持たない本冷却装置の場合この点の対策は必須事項である。図９は、従来の構成で装置を所定の角度θだけ傾けた場合の導入管２３内に残留する未沸騰冷媒２５の状態を表したものである。図９（ａ）は、装置を受熱板１２の中央沸騰部２１側へ傾けた場合であり、導入管２３内の未沸騰冷媒２５は、受熱板１２で最も温度が高くなる中央沸騰部２１に確実に接触した状態となるため、連続的な沸騰を維持し冷却をすることが可能である。しかし、図９（ｂ）の様に装置を導入管２３側へ傾けた場合、導入管２３内の未沸騰冷媒２５は、中央沸騰部２１に接触しなくなる場合がある。すなわち、この様な状態では、受熱板１２への冷媒の供給が停止することを意味しており、急激なドライアウト（空焚き）状態となり冷却できなくなることがあった。
【００４６】
そこで、図４ではこの課題を解決するための本実施の形態の最も重要な特徴を説明する。
逆止弁２０と導入管２３の受熱板１２に対向する開口部２３Ｃとを結ぶ仮想線Ｌが受熱板と鋭角を成すように、傾斜導入管２３ａが形成された構成について説明する。受熱板１２を略鉛直方向に配置したときの、傾斜導入管２３ａの配置について図４と図５を用いて説明する。図４は、略鉛直配置の受熱板１２に対して逆止弁２０と傾斜導入管２３ａの受熱板１２に対向する開口部２３ｃとを結ぶ仮想線Ｌが受熱板１２と鋭角を成す構成となっている。すなわち、略鉛直配置の受熱板１２に対して傾斜導入管２３ａが上流側に向かって略鋭角に斜めに配した構成となっている。この時、傾斜導入管２３ａの先端は、同図の通り中央沸騰部２１とわずかな隙間を持って配されている。
【００４７】
図５は、本発明の傾斜導入管２３ａを搭載した冷却装置７を図９の場合と同様に、所定の角度±θだけ傾けた場合の傾斜導入管２３ａ内に残留する未沸騰冷媒２５の状態を表したものである。図５（ａ）、図５（ｂ）のどちらへ傾いた場合でも、図４で説明した通り傾斜導入管２３ａが略鉛直配置の受熱板１２に対して略鋭角に配されているため、未沸騰冷媒２５は、中央沸騰部２１に確実に接触した状態となるため、連続的な沸騰を維持し冷却を継続することが可能となるのである。
【００４８】
すなわち、本発明による傾斜導入管２３ａを設けることにより、冷却装置７自体が常に傾く様な状態でも、受熱板１２への冷媒供給の停止を防止し、安定した高い冷却性能を維持することが可能となるのである。
（実施の形態２）
また、図６は、本発明の実施の形態２を示したものである。これは、図４〜図６で示した実施の形態１の傾斜導入管２３ａを湾曲導入管２３ｂに変更した場合の実施例である。この場合の基本的な作用・効果は、図４で説明した内容と同じであり、図５（ａ）、（ｂ）の様に傾いた場合も未沸騰冷媒２５は中央沸騰部２１に確実に接触した状態となるためここでの詳細な説明は省略する。
（実施の形態３）
さらに、図７は、本発明の実施の形態３を示したものである。これは、図４の実施の形態１と図６の実施の形態２で示した逆止弁２０を受熱カバーの端面に配した構成としている。この位置に逆止弁２０を移動させることは、冷却性能をほとんど低下させること無く、逆止弁２０を受熱カバー内へ配置する場合に比べ、搭載が容易となりコスト低減につながる効果が期待できる。
【００４９】
以上のように、略鉛直に配置された受熱板１２に対し略鋭角に傾斜導入管２３ａまたは湾曲導入菅２３ｂを配することで、冷却装置自体が常に傾く様な状態でも、受熱板１２への冷媒供給の停止を防止し、安定した高い冷却性能を維持することが可能な冷却装置を提供することができるのである。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明によれば、冷却装置が傾いた状態でも、規則的な受熱と放熱のサイクルを維持し、冷却性能の安定した冷却装置が得られるので、電気自動車等の移動体における駆動装置に用いられる電力変換装置や高速演算処理装置等の電子機器の冷却に有用である。
【符号の説明】
【００５１】
１    電気自動車
２    車軸
３    電動機
４    車室前方
４ａ    フロントグリル
５    インバータ回路
６    半導体スイッチング素子
７    冷却装置
８    受熱部
９    放熱部
１０    冷媒
１１    循環経路
１１ａ    放熱経路
１１ｂ    帰還経路
１２    受熱板
１３    受熱空間
１５    流入口
１６    排出口
１７    放熱体
１７ａ    送風装置
１８    管路
１９    フィン
２０    逆止弁
２１    中央沸騰部
２２    拡散溝
２３    導入管
２３ａ    傾斜導入管
２３ｂ    湾曲導入管
２３ｃ    導入管開口部
２４    流入管
２５    未沸騰冷媒
Ｌ    仮想線
【図１】
2018091496.tif 000003
【図２】
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【図３】
2018091496.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2018091496.tif 000008
【図７】
2018091496.tif 000009
【図８】
2018091496.tif 000010
【図９】
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