(57)【要約】【課題】ＣＴ装置による寸法測定と校正を同時に行うための校正器を提供することにある。【解決手段】測定対象物を支持する支持体（１００）と、前記支持体上に設けられ、寸法が既知であり、および、前記測定対象物と同時にＣＴスキャンされる、校正用の基準体（３１０、３２０、３３０）と、を備える。また、１つの基準体に２種類の測定方向（同一方向及び対向方向）がある場合、スケーリングの校正とオフセットの校正を分けて行うため、全体として、より精度の高い校正をすることができる。【選択図】図２
2018063243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物を支持する支持体と、
前記支持体上に設けられ、寸法が既知であり、および、前記測定対象物と同時にＣＴスキャンされる、校正用の基準体と、
を備えるＣＴ装置用校正器。
【請求項２】
前記支持体と前記測定対象物との間に設けられたスペーサを備える請求項１に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項３】
前記基準体は前記測定対象物の周囲に設けられた請求項１または２に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項４】
前記基準体は前記支持体の外縁に設けられた請求項１〜３のいずれか一項に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項５】
前記支持体と前記基準体との間に設けられた支柱を備える請求項１〜４のいずれか一項に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項６】
前記基準体および前記支柱が複数あり、各基準体および各支柱の寸法が異なる請求項５に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項７】
前記支柱と前記基準体が一体型である請求項５または６に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項８】
前記支柱と一体型の前記基準体は円柱である請求項７に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項９】
前記支柱と一体型の前記基準体は角柱である請求項７に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項１０】
前記支柱と一体型の前記基準体は筒状である請求項７に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項１１】
前記基準体は多面体である請求項１〜９のいずれか一項に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項１２】
前記基準体は球体である請求項１〜９のいずれか一項に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項１３】
前記基準体は、土台と、所定の間隔を空けて前記土台に設けられた第１の立方体部および第２の立方体部とを有し、
前記第１の立方体部および前記第２の立方体部は、対向する面をそれぞれの内面、その反対側の面をそれぞれの外面とし、
前記第１の立方体部の前記外面から前記第２の立方体部の前記内面までの距離を第１の基準長さとし、
前記第１の立方体部の肉厚または前記第２の立方体部の肉厚を第２の基準長さとする請求項１に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項１４】
前記土台と、前記第１の立方体部と、前記第２の立方体部は一体形成されている請求項１３に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項１５】
前記基準体は回転対称の円筒状であり、
前記基準体の外周面の一方の端点から前記基準体の内周面の他方の端点までの距離を第１の基準長さとし、
前記基準体の肉厚部の厚さを第２の基準長さとする請求項１に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項１６】
前記基準体の肉厚部は、前記支持体の外縁に沿い、
前記基準体の空洞部分に、前記測定対象物を設置可能である請求項１５に記載のＣＴ装置用校正器。
【請求項１７】
前記基準体と前記支持体の間に、基準体用のスペーサが設けられている請求項１５又は１６に記載のＣＴ装置用校正器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＴ装置を用いて寸法測定を行う際に利用する校正器に関する。
【背景技術】
【０００２】
被検体の断面像を撮影するコンピュータ断層撮影装置（以下、ＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ  Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）装置と呼ぶ）は、放射線源から発生する放射線（例えばＸ線）を被検体に向けて照射し、被検体をＸ線の光軸の方向に対して交差する回転軸でＸ線に対して相対的に回転させ、一回転中の所定回転位置毎に被検体から透過してくるＸ線を一次元または二次元の複数検出チャンネルを有するＸ線検出器で検出し、この検出器出力から被検体の透視像を取得し再構築することで、断層画像やボリュームデータを生成する。
【０００３】
産業用Ｘ線ＣＴ装置は、この断層データやボリュームデータを用いて、工業製品のクラックや内部欠陥の有無の判定を行う検査機として利用されている。
【０００４】
さらに、Ｘ線ＣＴデータ解析ソフトを用い、ボリュームデータから被検体の表面を抽出し、被検体の寸法測定を行うことができ、寸法精度に関わる３次元計測としても利用されている。
【０００５】
特許文献１では、測定対象物の代わりに、校正器（円柱の外部に複数の球を配置）を回転台に載置して、回転台を３６０度回転させながら、Ｘ線検出器から透過像情報を取得し、Ｘ線源、Ｘ線検出器およびステージ位置情報を元にしてコンピュータシステムによりボリュームデータを再構築する。その後、Ｘ線ＣＴデータ解析ソフトを用い、各球の境界面（空気と材質の境界面）を表面抽出し、各球の直径値や中心座標、球間距離等を求めることができる。これらの値と、予めＣＭＭ（Ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅ  Ｍｅａｓｕｒｉｎｇ  Ｍａｃｈｉｎｅ）などの接触式三次元計測機により求められた値と対比することでＸ線ＣＴ装置を校正している。
【０００６】
つまり、球間距離を用いてスケーリングの校正を行い、直径値を用いてオフセットの校正を行っている。スケーリングの校正にはＸ線ＣＴ装置自体の幾何学的な位置関係を示すＦＣＤ（Ｆｏｃｕｓ  ｔｏ  ｒｏｔａｔｉｏｎ  Ｃｅｎｔｅｒ  Ｄｉｓｔａｎｃｅ）やＦＤＤ（Ｆｏｃｕｓ  ｔｏ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ  Ｄｉｓｔａｎｃｅ）を設定し、オフセットの校正においては表面抽出におけるグレーバリューの閾値を設定する校正器が開示されている。
【０００７】
しかしながら、この校正方法においては、実際に測定したい測定対象物と校正時のＸ線ＣＴスキャンは別スキャンであり、Ｘ線ＣＴ条件が異なることになる。仮に装置に入力したＸ線ＣＴ条件が同じであっても、Ｘ線の安定性を考慮すると厳密には同じ条件とは言えず、表面抽出におけるグレーバリューの閾値が変動し、測定対象物に基づいた校正にはならない。
【０００８】
また、ＦＣＤやＦＤＤが変わると、その都度、校正が必要になるという問題もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１４−１９０９３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような課題に着目して鋭意研究され完成されたものであり、その目的は、ＣＴ装置による寸法測定と校正を同時に行うための校正器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明は、測定対象物を支持する支持体と、前記支持体上に設けられ、寸法が既知であり、および、前記測定対象物と同時にＣＴスキャンされる、校正用の基準体と、を備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ＣＴ装置による寸法測定と校正を同時に行うための校正器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施例１に係るＸ線ＣＴ装置の全体概略図である。
【図２】本発明の実施例１に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の側面図である。
【図３】実施例１に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。
【図４】実施例１に係るＸ線ＣＴ装置用校正器上に測定対象物を配置した場合の側面図である。
【図５】実施例１に係るＸ線ＣＴ装置用校正器上にスペーサを介して測定対象物を配置した場合の側面図である。
【図６】実施例２に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。
【図７】実施例３に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。
【図８】実施例４に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。
【図９】実施例５に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。
【図１０】実施例６に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。
【図１１】実施例６に係る基準体の斜視図である。
【図１２】実施例７に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は、本発明の実施例１に係るＸ線ＣＴ装置の全体概略図である。ここでは、ＣＴ装置の一例として、Ｘ線ＣＴ装置を説明する。測定対象物１を支持体２に載置し、放射源であるＸ線源３から発生するＸ線を測定対象物１に向けて照射する。Ｘ線源３の光軸４の方向に対して交差する支持体２の回転軸５でＸ線に対して相対的に支持体２を回転させ、一回転中の所定回転位置毎に測定対象物１から透過してくるＸ線を一次元または二次元の複数検出チャンネルを有するＸ線検出器６で検出し、この検出器６の出力から測定対象物１の透視像を取得する。そして、ボリュームデータ（または３次元データ）を再構成する。
【００１６】
また、Ｘ線ＣＴ装置は、支持体２および検出器６をＸ線源３のＸ線焦点Ｆに近づけたり遠ざけたりとＸ線焦点Ｆからの距離を変えることができ、焦点Ｆと回転軸５との間の撮影距離ＦＣＤ（Ｆｏｃｕｓ  ｔｏ  ｒｏｔａｔｉｏｎ  Ｃｅｎｔｅｒ  Ｄｉｓｔａｎｃｅ）と、焦点Ｆと検出器６の検出面との間の検出距離ＦＤＤ（Ｆｏｃｕｓ  ｔｏ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ  Ｄｉｓｔａｎｃｅ）を変えて、目的に応じた撮影倍率（＝ＦＤＤ／ＦＣＤ）を変更することができる。
【００１７】
図１の場合、測定対象物１は、両端にある２つの球体であり、球体の中心座標を求めることが可能である。
【００１８】
すなわち、２球間距離は、すでにＣＭＭ（Ｃｏｏｒｄｉｎａｔｅ  Ｍｅａｓｕｒｉｎｇ  Ｍａｃｈｉｎｅ）など三次元座標測定器で予め測定済みである。そして、Ｘ線ＣＴ装置から再構成されたボリュームデータから球体の空気と材質の境界面を決定する表面抽出を行い、球体を認識させ、球体の中心座標を求め、２球間距離で校正する。
【００１９】
ここで、球体の中心座標を求める場合、表面抽出におけるグレーバリューの閾値によって境界面、即ち直径の測定値が変動するが、球体の中心座標を求める場合、閾値の大小による影響は小さい。
【００２０】
しかしながら、測定対象物の寸法測定は、中心座標を用いた測定ばかりではない。
【００２１】
すなわち、平面間距離や肉厚および幾何公差の測定では中心座標ではなく境界面を用いた測定が必要になるため、境界面を決定する表面抽出は非常に重要である。さらに、表面抽出に基づく校正器および校正方法が必要である。
【００２２】
本実施形態では、より精密に寸法の測定を実施できる校正器と校正方法を提供する。校正器と測定対象物のＸ線ＣＴスキャンを同時にすることで、より厳密な表面抽出を実行する。また、校正器と測定対象物のＸ線ＣＴスキャンが同時に行われるため、校正と寸法測定を別々に実施することの煩わしさや、ＦＣＤやＦＤＤを変更したために再度、校正のためのＸ線ＣＴスキャンを別途実施しなくてもよくなる。
【００２３】
＜校正器の構成＞
まず、図２、図３、図４、図５を用いて、実施例１に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の構成を説明する。
【００２４】
図２は、本発明の実施例１に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の側面図である。図３は、実施例１に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。
【００２５】
校正器は、円形の支持体１００と、複数の支柱（２１０、２２０、２３０）と、各支柱の上に載っている、寸法が既知の基準体（３１０、３２０、３３０）とから構成される。支持体１００の材料は、鉄など金属であれば何でもよい。なお、支持体は、円形に限らず、非円形状であってもよい。支持体は、Ｘ線ＣＴ装置の回転テーブル上の固定チャック装置などで保持しやすい形状をしていてもよい。
【００２６】
複数の支柱（２１０、２２０、２３０）は支持体１００の中心軸から離れた位置（例えば、外縁）に載置されていることが必要である。測定対象物を中心軸に置くためである。支柱の形状は円柱であるが、これに限らず、基準体を載せられる形状であれば何でもよい。支柱は、測定対象物よりもＸ線の吸収率が同等または低い材料で構成されていることが好ましい（例えば、ＣＦＲＰ（Ｃａｒｂｏｎ  Ｆｉｂｅｒ  Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ））。また、支柱は、測定している時に支持体１００から動かなければよいので、接着材などで支持体に付けておけばよい。
【００２７】
基準体（３１０、３２０、３３０）は、六面体であり、幅、高さおよび奥行きの長さ（寸法）が既知であることを要する。なお、六面体に限らず、多面体であればよい。
【００２８】
また、各基準体の寸法は異なることが望ましい。様々な大きさの対象物を測定することが可能になるからである。また、Ｘ線ＣＴスキャン時に各基準体の透過像が重ならないように、各基準体を載せる各支柱の高さも異なることが望ましい。また、基準体の材料は、支柱と同様、測定対象物よりもＸ線の吸収率が同等または低い材料で構成されていることが好ましい。例えば、測定対象物がアルミであれば、基準体はアルミ、アルミナ、炭化ケイ素、窒化ケイ素やＮＥＸＣＥＲＡ(TM)（ネクセラ：超低熱膨張セラミックス）などのセラミックスやルビーなどでよい。
【００２９】
本実施例では、支柱（２１０、２２０、２３０）と基準体（３１０、３２０、３３０）を複数設けたが、支柱と基準体はそれぞれ一つ以上であればよい。
【００３０】
図４は、実施例１に係るＸ線ＣＴ装置用校正器上に測定対象物を配置した場合の側面図である。測定対象物４００は、白色の中心部分は空洞であり、黒色の外側部分は所定の材料で覆われている。
【００３１】
図５は、実施例１に係るＸ線ＣＴ装置用校正器上にスペーサを介して測定対象物を配置した場合の側面図である。スペーサ５００は、支持体１００と測定対象物４００との間に傾斜をつけるために配置する。また、スペーサ５００は、測定対象物に対し、Ｘ線吸収率の低い材料（例えば、プラスチック、発泡スチロール）で構成されていることが好ましい。
【００３２】
＜校正器を用いたＸ線ＣＴ装置の動作＞
まず、Ｘ線ＣＴ装置は、測定対象物４００と校正器とを同時にＣＴスキャンを行う。同時に行うことにより、校正のＣＴ環境と寸法測定のＣＴ環境が同じになる。つまり、校正と寸法測定でＸ線条件が同じになる。また、校正のためのプレスキャンが不要になり、一回のＣＴスキャンで済み、手間がかからない。さらに、既知の長さの基準体を用いて校正をすることができる。
【００３３】
ＦＤＫ（Ｆｅｌｄｋａｍｐ）法にて取得したＣＴスキャンデータを再構築し、ボリュームデータを生成する。
【００３４】
次に、解析ソフトウェアを用いて、各基準体および測定対象物の表面抽出を行う。ここでは、一般的な解析ソフトウェアとしてボリュームグラフィックス社の「ＶＧＳｔｕｄｉｏ  ＭＡＸ」を使用する。
【００３５】
ＦＤＫ（Ｆｅｌｄｋａｍｐ）法にて再構築した場合、図１の検出器６から出力される透視像の、図１の光軸４から離れた水平面（例えば、図４の測定対象物４００の上面や下面）の表面抽出は難しい。そこで、図５のようにスペーサ５００の上に測定対象物４００を斜めに置くと、水平面がなくなり、図４の場合に比べて精度良く表面抽出することができる。
【００３６】
本実施例では、基準体（３１０、３２０、３３０）は六面体であり、球体ではない。球体を基準体とした校正器の場合、校正器に傾斜をつけても水平面（上面と下面）がどうしても存在してしまうためである。
【実施例２】
【００３７】
図６は、実施例２に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。実施例１では、支柱を支持体１００の外縁（図６の２１０’、２２０’、２３０’）に載置していた。
【００３８】
＜構成＞
実施例２では、支柱を２１０’、２２０’、２３０’よりも支持体１００の中心に近づけている。支柱（２１１、２２１、２３１）およびその上に載っている基準体（３１１、３２１、３３１）は、２１０’、２２０’、２３０’の位置よりも支持体１００の中心に近づいている。
【００３９】
＜動作＞
支持体１００の中心に置く測定対象物が小さい場合、測定対象物の透視像を検出器（図１の６）に拡大することがある。このような場合、支柱（２１１、２２１、２３１）を支持体１００の外縁よりも中心へ配置し、その支柱の上の基準体（３１１、３２１、３３１）を用いる校正のためのＣＴスキャンと、測定対象物の寸法測定のためのＣＴスキャンを同時に行うことができる。すなわち、一回のＣＴスキャンで済む。
【実施例３】
【００４０】
図７は、実施例３に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。実施例１では、支柱と基準体は別々の物であった。
【００４１】
＜構成＞
実施例３では、円柱の各基準体（２３１０、２３２０、２３３０）が支柱と一体化している。そして、円柱の寸法（直径および高さ）が既知である。
【００４２】
＜動作＞
支柱と一体型の各基準体（２３１０、２３２０、２３３０）の直径および高さが既知であるので、実施例１と同様に、測定対象物の寸法測定のためのＣＴスキャンと、支柱と一体型の基準体を用いる校正のためのＣＴスキャンを同時に一回で行うことができる。
【実施例４】
【００４３】
図８は、実施例４に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。
【００４４】
＜構成＞
実施例４も、支柱と一体型の各基準体（２３１１、２３２１、２３３１）である。実施例３と異なり、基準体は角柱である。そして、角柱の寸法（幅、奥行きおよび高さ）が既知である。
【００４５】
＜動作＞
支柱と一体型の各基準体（２３１１、２３２１、２３３１）の幅、奥行きおよび高さが既知であるので、実施例３と同様に、測定対象物の寸法測定のためのＣＴスキャンと、支柱と一体型の基準体を用いる校正のためのＣＴスキャンを同時に一回で行うことができる。
【実施例５】
【００４６】
図９は、実施例５に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。
【００４７】
＜構成＞
実施例５も、支柱と一体型の各基準体（２３１２、２３２１、２３３１）である。実施例３と異なり、支柱は円筒などの筒状である。そして、円筒の寸法（外径、内径および高さ）が既知である。
【００４８】
＜動作＞
支柱と一体型の各基準体（２３１２、２３２１、２３３１）の外径、内径および高さが既知であるので、実施例３と同様に、測定対象物の寸法測定のためのＣＴスキャンと、基準体と一体型の支柱を用いる校正のためのＣＴスキャンを同時に一回で行うことができる。
【００４９】
図１０は、実施例６に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。
【００５０】
＜構成＞
実施例６の基準体３０００は、中央がくぼんだ凹型の形状であり、実施例１乃至５と異なり、少なくとも一つあればよい。この基準体３０００の寸法（高さ、幅、奥行）は既知である。また、この基準体３０００が支持体１００の中心軸（図１の回転軸５に相当）から離れた位置（例えば外縁）に載置されていることが好ましい。なお、測定対象物は中心軸に置くことになるが、説明の便宜上、図１０では測定対象物を省略する。
【００５１】
図１１は、実施例６に係る基準体３０００の斜視図である。基準体３０００は、幅方向の中央がくぼんだ凹型の形状をしている。
【００５２】
基準体３０００は、土台３１００の上に、幅方向に所定の間隔を空けて、左側に第１の立方体部３２００が、右側に第２の立方体部３３００が設けられている。土台３１００、第１の立方体部３２００及び第２の立方体部３３００はネクセラを材料として一体形成されている。なお、別々に形成してから組み立ててもよい。
【００５３】
＜動作＞
まず、Ｘ線ＣＴ装置は、円盤型の支持体１００及び寸法が既知の基準体３０００から構成される校正器と、測定対象物（不図示）とを同時にＣＴスキャンする。同時に行うことにより、校正のＣＴ環境と寸法測定のＣＴ環境が同じになる。つまり、校正と寸法測定でＸ線条件が同じになる。また、校正のためのプレスキャンが不要になり、一回のＣＴスキャンで済み、手間がかからない。さらに、既知の長さの基準体を用いて校正をすることができる。
【００５４】
本実施例では、基準体の断面が凹型の形状であり、１つの基準体に２種類の測定方向（同一方向及び対向方向）がある点に特徴がある。すなわち、２種類の基準長さを有する点に特徴がある。ここで、第１の立方体部３２００および第２の立方体部３３００は対向しており、対向する面をそれぞれの内面（３２００ａ、３３００ａ）、その反対側の面をそれぞれの外面（３２００ｂ、３３００ｂ）と呼ぶ。
【００５５】
第１の基準長さ３０１０は、同一方向の面間の長さであり、第１の立方体部の外面３２００ｂから第２の立方体部の内面３３００ａまでの距離２０ｍｍである。また、第２の基準長さ３０２０は、対向する面間の長さであり、第１の立方体部の幅（肉厚）１０ｍｍまたは第２の立方体部の幅（肉厚）５ｍｍである。本実施例では、第１の立方体部の肉厚と第２の立方体部の肉厚を異なるようにしたが、同じにしてもよい。
【００５６】
第１の基準長さ３０１０を用いることによって、Ｘ線ＣＴ装置（図１参照）から再構成されたボリュームデータのボクセルサイズのずれを校正し、スケーリングの校正をすることができる。これは、第１の立方体部の外面３２００ｂと第２の立方体部の内面３３００ａが同じ方向を向いている点に構成上の特徴がある。そして、仮に第１の立方体部の外面３２００ｂがずれても、第２の立方体部の内面３３００ａも同じ方向にずれ、互いのずれを打ち消し合い、ボクセルサイズに影響が出ないため、精度の高いスケーリングの校正をすることができるという作用効果を有する。
【００５７】
なお、ボクセルサイズのずれは、ＦＣＤやＦＤＤの検出距離のずれに起因するものである。
【００５８】
また、第２の基準長さ３０２０を用いることによって、表面境界（空気と材質の境界面）を校正、すなわち、オフセットの校正をすることができる。これは、例えば第１の立方体部３２００の肉厚１０ｍｍを用いる場合、対向する内面３２００ａと外面３２００ｂが第１の立方体部３２００を挟み込む点に構成上の特徴がある。そして、この挟み込みにより第１の立方体部３２００の内面３２００ａ及び外面３２００ｂの表面境界のずれを校正するという作用効果を有する。
【００５９】
なお、第２の立方体部３３００の肉厚５ｍｍを用いる場合、同様に対向する内面３３００ａと外面３３００ｂが第２の立方体部３３００を挟み込む点に構成上の特徴がある。そして、この挟み込みにより第２の立方体部３３００の内面３３００ａ及び外面３３００ｂの表面境界のずれを校正するという作用効果を有する。
【００６０】
第１乃至第５実施例では、校正のＣＴ環境と寸法測定のＣＴ環境を同じにすることができるが、スケーリングの校正とオフセットの校正が混ざった形で校正していた。これに対し、本実施例では、校正のＣＴ環境と寸法測定のＣＴ環境を同じにすることができ、さらに、スケーリングの校正を行い、その次にオフセットの校正を行うというように、スケーリングの校正とオフセットの校正を分けて行うため、全体として、より精度の高い校正をすることができるという作用効果を有する。
【００６１】
図１２は、実施例７に係るＸ線ＣＴ装置用校正器の斜視図である。
【００６２】
＜構成＞
実施例７では、基準体４０００は回転対称の円筒形状であり、円筒の肉厚部は支持体１００の外縁に沿い、基準体４０００の空洞部分に、測定対象物（図４の４００を参照）を設置することができる。
【００６３】
支持体１００と基準体４０００の間には、基準体用のスペーサ５０００が設けられている。基準体用のスペーサ５０００は測定対象物に対しＸ線吸収率の低い材料（例えば、プラスチック、発泡スチロール）で構成されている。
【００６４】
基準体用のスペーサ５０００が円盤型であり、基準体４０００の空洞部分から支持体１００が見えない場合、測定対象物（図４の４００参照）を基準体用のスペーサ５０００の上に置くことになる。一方、基準体用のスペーサ５０００が円筒型であり、基準体４０００の空洞部分から支持体１００が見える場合、図５のように測定対象物４００はスペーサ５００を介して支持体１００の上に置くことになる。
【００６５】
＜動作＞
本実施例も、実施例６と同様、基準体の直径方向の断面で考えると、１つの基準体に２種類の測定方向（同一方向及び対向方向）がある点に特徴がある。すなわち、２種類の基準長さを有する点に特徴がある。本実施例の場合の第１の基準長さ４０１０は基準体の外周面４０００ｂの一方の端点（点Ａ）から基準体の内周面４０００ａの他方の端点（点Ｂ）までの距離１１５ｍｍである。また、第２の基準長さ４０２０は基準体４０００の肉厚部４０２０の厚さ５ｍｍ（点Ｂから点Ｃまでの距離）である。
【００６６】
第１の基準長さ４０１０を用いることによって、Ｘ線ＣＴ装置（図１参照）から再構成されたボリュームデータのボクセルサイズのずれを校正し、スケーリングの校正をすることができる。これは、基準体の外周面４０００ｂの一方の端点（点Ａ）と基準体の内周面４０００ａの他方の端点（点Ｂ）が同じ方向を向いている点に構成上の特徴がある。そして、仮に点Ａがずれても、点Ｂも同じ方向にずれ、互いのずれを打ち消し合い、ボクセルサイズに影響が出ないため、精度の高いスケーリングの校正をすることができるという作用効果を有する。
【００６７】
また、第２の基準長さ４０２０を用いることによって、表面境界（空気と材質の境界面）を校正、すなわち、オフセットの校正をすることができる。これは、基準体４０００の肉厚５ｍｍを用いる場合、対向する点Ｂと点Ｃとがこの肉厚を挟み込む点に構成上の特徴がある。そして、そして、この挟み込みにより点Ｂ及び点Ｃの表面境界のずれを校正するという作用効果を有する。
【００６８】
本実施例も、第６の実施例と同様、校正のＣＴ環境と寸法測定のＣＴ環境を同じにすることができ、さらに、スケーリングの校正を行い、その次にオフセットの校正を行うというように、スケーリングの校正とオフセットの校正を分けて行うため、全体として、より精度の高い校正をすることができるという作用効果を有する。
【００６９】
以上、本発明の実施例（変形例を含む）について説明してきたが、これらのうち、２つ以上の実施例を組み合わせて実施してもよい。あるいは、これらのうち、１つの実施例を部分的に実施してもよい。さらには、これらのうち、２つ以上の実施例を部分的に組み合わせて実施してもよい。
【００７０】
例えば、寸法が既知で、高さの異なる、支柱と一体型の基準体として、円柱（第３実施例）、角柱（第４実施例）、円筒（第５実施例）が組み合わされていてもよい。この場合、各基準体の寸法は既知であることが必要であり、また、各基準体の寸法は異なっていることが好ましい。さらに、基準体４０００の下部が閉じており、基準体４０００の空洞部分から支持体１００が見えないようになっていてもよい。
【００７１】
本発明は、上記発明の実施例の説明に何ら限定されるものではない。特許請求の範囲の記載を逸脱せず、当業者が容易に想到できる範囲で種々の変形態様もこの発明に含まれる。
【００７２】
例えば、基準体として、六面体（第１実施例）を用いたが、これに限らず、球体であってもよい。
【符号の説明】
【００７３】
１、４００  測定対象物
３  Ｘ線源
４  光軸
５  回転軸
６  検出器
２、１００  支持体
２１０、２２０、２３０  支柱
３１０、３２０、３３０、２３１０、２３１１、２３１２、２３２０、２３２１、２３２２、２３３０、２３３１、２３３２、３０００、４０００  基準体
５００  スペーサ
３１００  土台
３２００  第１の立方体部
３３００  第２の立方体部
３０１０、４０１０  第１の基準長さ
３０２０、４０２０  第２の基準長さ
５０００  基準体用スペーサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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