(57)【要約】      （修正有）【課題】中心軸の軸回りに回転可能な被検査物を検査する検査装置【解決手段】被検査物１１を保持する保持部材１２と、レーザー光を射出する出力部１３Ａ、１４Ａ、１５Ａと、前記レーザー光を受光する受光部１３Ｂ、１４Ｂ、１５Ｂと、を有するセンサ１３、１４、１５と、前記センサからの信号に基づいて、軸方向Ｏにおける前記被検査物の回転振れ量を算出する検査部１６と、を備え、前記出力部は、前記受光部に向かって前記中心軸の軸方向に幅の広い前記レーザー光を射出し、前記出力部および前記受光部は、前記レーザー光の光路の少なくとも一部が前記被検査物を回転させたときに前記被検査物の端縁部１１ａと交差する位置に配置され、前記検査部は、前記被検査物を回転させたときに前記被検査物の前記端縁部により遮蔽される前記レーザー光の幅に基づいて前記被検査物の回転振れ量を算出する算出部１７を有する。【選択図】図１
2018163091.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心軸の軸回りに回転可能な被検査物を検査する検査装置であって、
前記被検査物を保持する保持部材と、
レーザー光を射出する出力部と、前記レーザー光を受光する受光部と、を有するセンサと、
前記センサからの信号に基づいて、軸方向における前記被検査物の回転振れ量を算出する検査部と、を備え、
前記出力部は、前記受光部に向かって前記中心軸の軸方向に幅の広い前記レーザー光を射出し、
前記出力部および前記受光部は、前記レーザー光の光路の少なくとも一部が前記被検査物を回転させたときに前記被検査物の端縁部と交差する位置に配置され、
前記検査部は、前記被検査物を回転させたときに前記被検査物の前記端縁部により遮蔽される前記レーザー光の幅に基づいて前記被検査物の回転振れ量を算出する算出部を有する、検査装置。
【請求項２】
前記被検査物は、鉛直方向に対して前記中心軸が交差する姿勢で前記保持部材に保持され、
前記センサは、前記被検査物を回転させたときに前記被検査物が通る領域の鉛直方向の上方側と、前記レーザー光の光路とが交差する位置に配置される、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記センサは、前記被検査物を回転させたときに前記被検査物が通る領域のうち前記中心軸からの距離が最大となる角度位置において、前記被検査物が通る領域と前記レーザー光の前記光路とが交差する位置に配置される請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記センサは、少なくとも第１センサと第２センサを有し、
前記第１センサは、前記中心軸に交差する第１方向に対向する第１の出力部および第１の受光部を有し、
前記第２センサは、前記中心軸および前記第１方向にそれぞれ交差する第２方向に対向する第２の出力部および第２の受光部を有する、
請求項１に記載の検査装置。
【請求項５】
前記第１センサは、前記第１センサの前記レーザー光の前記光路が、前記被検査物を回転させたときに被検査物が通る領域の上方側と交差する位置に配置され、
前記第２センサは、前記第２センサの前記レーザー光の光路が、前記被検査物を回転させたときに前記被検査物が通る領域の水平方向の一方側と交差する位置に配置される、請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記センサは、第３センサを有し、
前記第３センサは、前記第２方向に対向する第３の出力部および第３の受光部を有し、前記第３センサの前記レーザー光の光路が、前記被検査物を回転させたときに前記被検査物が通る領域の水平方向の他方側と交差する位置に配置される、
請求項５に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転体を備える装置の製造においては、回転体を有する被検査物を装置本体に取り付ける前に、回転体の回転時の振れを製品ごとに把握する検査が行われている。
従来は、回転体を回転させたときに検査治具に接触するか否かにより判定したり、回転体を回転させて検査員が目視によって確認していた。そのため検査に時間がかかり、検査精度も低かった。
【０００３】
規格に対する合否を判定する検査装置として、例えば、光センサを用いたものが知られている。特許文献１には、被検出体の傾きを検出するセンサが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３５３８２６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の検査装置では、回転体の傾き量が閾値を上回っているか、あるいは下回っているかを判定するのみであった。つまり、規格に対する合否（適合性）を判定するのみで、回転体がどの程度、規格から外れているのかを知ることができなかった。そのため、回転体がどのくらい傾いているか等の定量的なデータを取得することのできる検査装置が望まれていた。
【０００６】
本発明の一つの態様は、上記問題点に鑑みて、被検査物の回転時の傾きを定量的に測定して検査可能な検査装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の検査装置の一つの態様は、中心軸の軸回りに回転可能な被検査物を検査する検査装置であって、前記被検査物を保持する保持部材と、レーザー光を射出する出力部と、前記レーザー光を受光する受光部と、を有するセンサと、前記センサからの信号に基づいて、軸方向における前記被検査物の回転振れ量を算出する検査部と、を備え、前記出力部は、前記受光部に向かって軸方向に幅の広い前記レーザー光を射出し、前記出力部および前記受光部は、前記レーザー光の光路の少なくとも一部が前記被検査物の端縁部が回転時に辿る回転軌跡と交差する位置に配置され、前記検査部は、前記被検査物を回転させたときに前記被検査物の前記端縁部により遮蔽される前記レーザー光の幅に基づいて前記被検査物の回転振れ量を算出する算出部を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一つの態様によれば、被検査物の傾き量を測定することが可能な検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】被検査物１１が取り付けられた検査装置１０の全体構成を示す正面図。
【図２】被検査物１１が取り付けられた検査装置１０の全体構成（正面側）を示す斜視図。
【図３】被検査物１１が取り付けられた検査装置１０の全体構成（背面側）を示す斜視図。
【図４】被検査物１１が取り付けられた検査装置１０の全体構成を示す上面図。
【図５】被検査物１１が取り付けられた検査装置１０の全体構成を示す背面図。
【図６】被検査物１１が取り付けられた検査装置１０の全体構成を＋Ｘ側から見た側面図。
【図７】被検査物１１が取り付けられた検査装置１０の全体構成を−Ｘ側から見た側面図。
【図８】被検査物１１の４つの角部１１ａが通る領域を示す図。
【図９】基準となる垂直姿勢の回転体１１Ａと、第２センサ１４および第３センサ１５からそれぞれ射出されたレーザー光の各光路との位置関係を示す斜視図。
【図１０】基準となる垂直姿勢の回転体１１Ａにおいて第２センサ１４から射出されたレーザー光の遮光具合を示す側面図。
【図１１】傾倒姿勢の回転体１１Ａにおいて第２センサ１４から射出されたレーザー光の遮光具合を示す側面図。
【図１２】基準となる垂直姿勢の回転体１１Ａにおいて第１センサ１３から射出されたレーザー光の遮光具合を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図。
【図１３】傾倒姿勢の回転体１１Ａにおいて第１センサ１３から射出されたレーザー光の遮光具合を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態の検査装置１０について説明する。なお、本発明の範囲は、以下の実施の形態に限定されず、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせる場合がある。
【００１１】
また、図面においては、適宜３次元直交座標系としてＸＹＺ座標系を示す。ＸＹＺ座標系において、Ｚ軸方向は、図１の上下方向とする。Ｙ軸方向は、図１に示す中心軸Ｏあるいは回転軸Ｊに沿う方向である。Ｘ軸方向は、Ｙ軸方向とＺ軸方向との両方と直交する方向とする。
【００１２】
また、以下の説明においては、Ｚ軸方向の正の側（＋Ｚ側，一方側）を「上側」と呼び、Ｚ軸方向の負の側（−Ｚ側，他方側）を「下側」と呼ぶ。なお、上側および下側とは、単に説明のために用いられる名称であって、実際の位置関係や方向を限定しない。また、特に断りのない限り、中心軸Ｏあるいは回転軸Ｊに平行な方向（Ｙ軸方向）を単に「軸方向」と呼ぶ。
【００１３】
図１は、本発明の一実施形態の検査装置１０の全体の構成を示す図であって、被検査物１１が取り付けられた状態を示す。
（被検査物１１）
被検査物１１は、平板状の回転体１１Ａと、回転体１１Ａを、回転体１１Ａの中心軸Ｏの軸周りに回転可能に支持する本体１１Ｂと、を有する。回転体１１Ａの中心軸Ｏは、回転体１１Ａの主面Ｓの中心を通り、上記主面Ｓに垂直な軸である。
【００１４】
回転体１１Ａは、例えば、液晶パネルなどの表示パネルである。図１に示す回転体１１Ａの軸方向から見た平面形状は矩形状であるが、回転体１１Ａの形状は矩形以外の形状であってもよく、例えば円形状でもよい。
【００１５】
本体１１Ｂは、回転体１１Ａを中心軸Ｏの軸周りに回転させる不図示の回転機構を備えている。回転機構は、水平方向に延びる回転軸Jの軸周りに回転する回転軸部２０（図４）を有する。回転体１１Ａは、回転軸部２０の先端に固定される。回転機構は、回転軸部２０を回転させることで回転体１１Ａを回転させる。
【００１６】
ここで、被検査物１１の設計において、回転体１１Ａの中心軸Ｏが回転軸部２０の回転軸Ｊに一致し、回転体１１Ａの主面Ｓが回転軸Ｊに対して垂直である。設計通りに製造された被検査物１１において、回転体１１Ａの４つの角部１１ａは、軸方向位置が互いに一致している。
【００１７】
一方、実際に製造される被検査物１１では、回転軸部２０を支持する軸受の遊びや、回転軸部２０に対する回転体１１Ａの固定状態のばらつき等によって、回転体１１Ａの中心軸Ｏと回転軸部２０の回転軸Ｊの位置や角度がずれる。また、回転体１１Ａが歪んでいると、回転したときの面が歪んでしまう。これらにより、回転体１１Ａの回転振れの向きや幅が製品ごとにばらつくことになる。後述する本実施形態の検査装置１０は、製品毎に異なる回転振れの向きや幅を測定し、所定の規格値に適合するか否かを検査する。
【００１８】
（検査装置１０）
本実施形態の検査装置１０は、上述した被検査物１１における回転体１１Ａの傾きを検査する検査装置である。
検査装置１０には、図１に示すように、水平方向（Ｙ方向）に沿う中心軸Ｏ（回転軸Ｊ）の軸周りに回転体１１Ａが回転可能な状態で被検査物１１が装着される。
検査装置１０は、保持部材１２、第１センサ１３、第２センサ１４、第３センサ１５、および検査部１６を備える。
【００１９】
保持部材１２は、図２，図３および４に示すような矩形枠状の脚部１２１と、脚部１２１から上側へ延びて設置された門型の支持部１２２と、を有する。支持部１２２は、図３および図５に示すように、被検査物１１を支持部１２２に取り付けるためのクランプ部材１２３と、支持部１２２に対する被検査物１１の位置決めを行う位置決め部１２４とを有する。
【００２０】
脚部１２１は、図２〜図４に示すように、アルミフレームなどの棒状の構造材１２１Ａ，１２１Ｂをそれぞれ２本ずつ用いて矩形枠状に組み立てた構成である。脚部１２１として、単一の平板部材を用いてもよい。
【００２１】
支持部１２２は、図１〜図３に示すように、脚部１２１の長手方向中央部分で短手方向を跨ぐように設置されている。支持部１２２は、被検査物１１を着脱可能に支持する。支持部１２２は、一対の支柱１２２Ａ１，１２２Ａ２と、梁部材１２２Ｂと、を有している。
一対の支柱１２２Ａ１，１２２Ａ２は、脚部１２１の上面に垂直に立てられている。梁部材１２２Ｂは、支柱１２２Ａ１と支柱１２２Ａ２の上端に架け渡されている。
【００２２】
支柱１２２Ａ１，１２２Ａ２の軸方向の一方側を向いた各側面１２２ａに、上下方向に延びる固定板１２５がそれぞれ設けられる。固定板１２５上には一組のクランプ部材１２３，１２３が上下方向に互いに間隔をおいて配置されている（図６及び図７）。クランプ部材１２３は、トグルクランプであり、固定板１２５との間に被検査物１１の本体１１Ｂの一部を挟んで固定する。
【００２３】
図５に示すように、支柱１２２Ａ１に設けられた一組のクランプ部材１２３のうち、上側のクランプ部材１２３は、支柱１２２Ａ２に設けられた上側のクランプ部材１２３と鉛直方向の位置が一致している。また、支柱１２２Ａ１に設けられた下側のクランプ部材１２３も同様に、支柱１２２Ａ２に設けられた下側のクランプ部材１２３と鉛直方向の位置が一致している。
【００２４】
位置決め部１２４は、図５に示すように軸方向から見た形状がＬ字形状をなし、各支柱１２２Ａ１，１２２Ａ２にそれぞれ１つずつ設けられている。位置決め部１２４は、下側のクランプ部材１２３よりも脚部１２１側に位置する。位置決め部１２４は、保持部材１２に対する被検査物１１の位置決めを行う。具体的に、位置決め部１２４は、本体１１Ｂの角部１１ｂの形状に対応した溝１２４ｂを有しており、本体１１Ｂの下側の両方の角部１１ｂの位置を固定して支持する。これら位置決め部１２４，１２４に被検査物１１の本体１１Ｂを置くことで、水平方向および鉛直方向の位置決めがなされる。
【００２５】
保持部材１２は、図１〜図３に示すように、被検査物１１における回転体１１Ａの姿勢を検出するための複数のセンサを有する。本実施形態では、第１センサ１３、第２センサ１４および第３センサ１５の３つのセンサが保持部材１２に取り付けられている。
【００２６】
第１センサ１３は、進行方向に対して直交する方向に幅の広いレーザー光を射出する出力部（第１の出力部）１３Ａと、出力部１３Ａから出力されるレーザー光を受光する受光部（第１の受光部）１３Ｂと、を有する。出力部１３Ａおよび受光部１３Ｂは、水平方向に沿う第１方向（Ｘ方向）で互いに対向する状態で保持部材１２に取り付けられる。出力部１３Ａから射出されるレーザー光の幅方向は、軸方向に平行である。第１センサ１３は、一対の支柱１２２Ａ１，１２２Ａ２の固定板１２５の上方に設けられている。出力部１３Ａは、一方の支柱１２２Ａ１に固定具２３を介して取り付けられる。受光部１３Ｂは、他方の支柱１２２Ａ２に固定具２３を介して取り付けられる。
【００２７】
第２センサ１４は、進行方向に対して直交する方向に幅広のレーザー光を射出する出力部（第２の出力部）１４Ａと、出力部１４Ａから出力されたレーザー光を受光する受光部（第２の受光部）１４Ｂと、を有する。出力部１４Ａおよび受光部１４Ｂは、鉛直方向に沿う第２方向（Ｚ方向）で互いに対向する状態で保持部材１２に取り付けられる。出力部１４Ａから射出されるレーザー光の幅方向は、軸方向に平行である。出力部１４Ａは、保持部材１２における梁部材１２２Ｂのうち、第１センサ１３の受光部１３Ｂに近い側に固定具２４を介して設けられる。出力部１４Ａは、受光部１３ＢよりもＸ方向内側（−Ｘ側）に位置する。受光部１４Ｂは、受光部１３Ｂを備える支柱１２２Ａ２に固定具２４を介して設けられる。受光部１４Ｂは、支柱１２２Ａ２の固定板１２５の下方に位置する。
【００２８】
第３センサ１５は、進行方向に対して直交する方向に幅広のレーザー光を射出する出力部（第３の出力部）１５Ａと、出力部１５Ａから出力されるレーザー光を受光する受光部（第３の受光部）１５Ｂと、を有する。出力部１５Ａおよび受光部１５Ｂは、鉛直方向（Ｚ方向）で互いに対向する状態で保持部材１２に取り付けられる。
【００２９】
出力部１５Ａは、保持部材１２における梁部材１２２Ｂのうち、第１センサ１３の出力部１３Ａに近い側の位置に固定具２５を介して設けられ、出力部１３Ａよりも水平方向中央側に位置している。受光部１５Ｂは、支柱１２２Ａ１に固定具２５を介して取り付けられる。受光部１５Ｂは、支柱１２２Ａ１のうち固定板１２５の下方に位置する。
【００３０】
各センサ１３，１４，１５としては、φ０．０５ｍｍの物体を０．００５ｍｍまで判別可能なセンサを使用することが好ましく、例えば、キーエンス社製のラインレーザーセンサーが挙げられる。
【００３１】
本実施形態の第１センサ１３は、被検査物１１の回転体１１Ａが通る領域１８のうち中心軸Ｏ（回転軸Ｊ）からの距離が最大となる角度位置において、出力部１３Ａから出力されるレーザー光の光路１０３が、回転体１１Ａが通る領域１８（図８）における鉛直方向の上方側と交差する位置に配置される。
【００３２】
被検査物１１は、回転時に角部１１ａが上方へ行くと反りが出てしまう。このため、第１センサ１３により、回転体１１Ａが回転時に通る領域１８のうち、中心軸Ｏからの距離が最大となる角度位置を通る角部２１を検出することによって、軸方向に沿う被検査物１１の前後方向の最大変位量を把握することができる。
【００３３】
図４に示すように、各センサ１３，１４，１５の各光路は、それぞれの中央位置が軸方向で互いに一致している。
【００３４】
第２センサ１４は、出力部１４Ａと受光部１４Ｂとが回転体１１Ａを介して対向し、出力部１４Ａから出力されるレーザー光の光路１０４の少なくとも一部が、図８に示すような回転体１１Ａの角部（端縁部）１１ａが回転する時に通る領域１８における水平方向の一方側（＋Ｘ側）と交差する位置に配置される。
【００３５】
具体的に、第２センサ１４は、出力部１４Ａから出力されるレーザー光の光路１０４の少なくとも一部が、図９に示す回転体１１Ａの長手方向一方の側端縁部（端縁部）１１ｆ１よりも中心軸Ｏ側に位置するように配置されている。これにより、回転体１１Ａの側端部１１ｆ１側の傾きを第２センサ１４において検出することができる。
【００３６】
第３センサ１５は、出力部１５Ａと受光部１５Ｂとが回転体１１Ａを介して対向し、出力部１５Ａから出力されるレーザー光の光路１０５少なくとも一部が、上記領域１８における水平方向の他方側（−Ｘ側）と交差する位置に配置される。
【００３７】
具体的に第３センサ１５は、出力部１４Ａから出力されるレーザー光の光路１０４の少なくとも一部が、図９に示す回転体１１Ａの長手方向一方の側端縁部（端縁部）１１ｄ２よりも中心軸Ｏ側に位置するように配置されている。これにより、回転体１１Ａの側端部１１ｆ２側の傾きを第３センサ１５において検出することができる。
【００３８】
検査部１６は、第１センサ１３、第２センサ１４および第３センサ１５からの信号に基づいて、被検査物１１における回転体１１Ａの回転振れ量を算出する。検査部１６は、回転体１１Ａの回転振れ量を算出する算出部１７を有する。
【００３９】
算出部１７は、回転した回転体１１Ａによって遮蔽されるレーザー光の遮蔽幅に応じた遮光量の測定データに基づいて、回転体１１Ａの回転振れ量を算出する。
【００４０】
検査装置１０では、回転体１１Ａの回転振れ量を定量的に測定するために、各センサ１３，１４，１５が所定の位置に設置される。
図９は、基準となる垂直姿勢の回転体１１Ａと、第２センサ１４および第３センサ１５からそれぞれ射出されたレーザー光の各光路との位置関係を示す斜視図である。図１０は、基準となる垂直姿勢の回転体１１Ａにおいて、第２センサ１４から射出されたレーザー光の遮光具合を示す側面図である。図１１は、傾倒姿勢の回転体１１Ａにおいて、第２センサ１４から射出されたレーザー光の遮光具合を示す側面図である。図１２は、基準となる垂直姿勢の回転体１１Ａにおいて第１センサ１３から射出されたレーザー光の遮光具合を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。図１３は、傾倒姿勢の回転体１１Ａにおいて第１センサ１３から射出されたレーザー光の遮光具合を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【００４１】
図９、図１０および図１２（ｂ）に示すように、上述した各センサ１３，１４，１５から出力されるレーザー光の射出幅Ｗは、回転体１１Ａの回転振れ量の許容範囲Ｔに応じた幅となっており、上記許容範囲Ｔの後方限界位置（内側）Ｔ１と前方限界位置（外側）Ｔ２との間の距離に等しい。
【００４２】
本実施形態では、被検査物１１の回転振れ量が規格値の範囲内であるときに、各センサ１３，１４，１５から射出されるレーザー光に、回転体１１Ａの主面Ｓ側の部分が重なるように、軸方向における各センサ１３，１４，１５の位置を設定する。
【００４３】
（検査方法）
以上述べた構成の検査装置１０を用いて被検査物１１の検査を行う際には、保持部材１２に取り付けられた被検査物１１の回転体１１Ａを回転させながら、各センサ１３，１４，１５の受光量を測定し、測定された各センサ１３，１４，１５の受光量から回転体１１Ａの回転振れ量を算出し、被検査物１１の検査合否を判定する。
また、検査装置１０では、製造された被検査物１１を順次検査し、回転体１１Ａの回転振れ量の変化の傾向から、被検査物１１の製造状態を把握することができる。
【００４４】
＜停止状態での測定＞
各センサ１３，１４，１５は、被検査物１１が規格値の範囲内であるときに、レーザー光の一部のみが遮光されるように位置合わせされている。そのため、検査される被検査物１１を保持部材１２に取り付けたときに、左右の第２センサ１４および第３センサ１５から射出されるレーザー光が全て遮蔽されている場合（受光量０％）は、回転体１１Ａが許容範囲Ｔの前方限界位置Ｔ２を超えて前方（＋Ｙ方向）にずれて取り付けられている。したがって、その回転体１１Ａを備える被検査物１１は製品規格外であると判断される。
【００４５】
また、第２センサ１４において測定される受光量と、第３センサ１５において測定される受光量とに差が生じている場合は、回転体１１Ａの左右両側の側端部１１ｆ１，１１ｆ２が軸方向で互いにずれていると判断できる。
【００４６】
一方、第２センサ１４および第３センサ１５から射出されるレーザー光が全て受光されている場合（受光量１００％）は、回転体１１Ａが許容範囲Ｔの後方限界位置Ｔ１よりも後方（−Ｙ方向）にずれて取り付けられている。したがって、その回転体１１Ａを備える被検査物１１は製品規格外であると判断される。
【００４７】
図９および図１０に示すように、本実施形態の検査装置１０では、被検査物１１を保持部材１２に取り付けたときに、第２センサ１４及び第３センサ１５から射出されたレーザー光の一部が受光される状態であれば、回転体１１Ａの軸方向の取り付け位置は規格値内であると判断し、回転体１１Ａを回転させて測定を行う。つまり、第２センサ１４及び第３センサ１５から射出される各レーザー光に回転体１１Ａの主面Ｓ側が重なって一部の光が遮光された状態であれば、回転体１１Ａの回転振れ量の測定を行う。回転体１１Ａを回転させない状態において、各レーザー光の遮光率は例えば３０％〜５０％である。
【００４８】
＜回転状態での測定＞
回転体１１Ａの回転振れ量の測定は、被検査物１１の回転体１１Ａを回転軸部２０の軸周りの左右方向へそれぞれ２，３回転ずつ１８０°回転させ、回転中に各センサ１３，１４，１５それぞれの受光量を測定することにより行う。各センサ１３，１４，１５について、測定期間内で遮蔽量が最大（受光量が最小）になるときの受光量を測定値として取得する。
【００４９】
次に、取得した測定値から、回転体１１Ａの回転振れ量を算出する。
まず、回転体１１Ａの回転振れ量の閾値（許容範囲Ｔ）を設定し、その閾値を検査部１６の算出部１７に入力する。
そして、検査装置１０の保持部材１２に、製造ラインにおいて回転体１１Ａが本体１１Ｂに取り付けられて製造された被検査物１１を装着する。
【００５０】
次に、回転体１１Ａの上端部１１ｄ及び下端部１１ｅを水平にした状態にする。この状態で、まず、第２センサ１４及び第３センサ１５により、停止している回転体１１Ａの長手方向両側の傾きを検出する。第２センサ１４により、回転体１１Ａの側端部１１ｆ１側におけるレーザー光の遮光量（受光量）を検出するとともに、第３センサ１５において、回転体１１Ａの側端部１１ｆ２側におけるレーザー光の遮光量（受光量）を検出する。
【００５１】
次に、回転体１１Ａを回転軸Ｊの軸周りの左右方向へそれぞれ回転させる。この回転中に、各センサ１３，１４，１５において、回転体１１Ａによる各レーザー光の遮蔽量（受光量）を検出する。回転中に、回転体１１Ａの側端部１１ｆ１，１１ｆ２及び角部１１ａによって遮蔽される各レーザー光の遮蔽幅に応じた遮光量がそれぞれ変化する。各センサ１３，１４，１５の遮光量は、回転体１１Ａの回転角度に応じて変化する。
【００５２】
第２センサ１４及び第３センサ１５では、回転体１１Ａの回転に伴い、各レーザー光が回転体１１Ａの側端部１１ｄ，１１ｆ１，１１ｆ２によって連続的に遮蔽される。レーザー光の遮蔽幅（遮光量）は、回転体１１Ａの回転角度に応じて変化する。
【００５３】
第１センサ１３では、回転する回転体１１Ａの角部１１ａによってレーザー光が遮蔽される。そのため、回転体１１Ａの角部１１ａが領域１８の上方に位置していないときは、レーザー光は遮蔽されず、遮蔽量０％（受光量１００％）となる。また、回転体１１Ａの角部１１ａが第１センサ１３の光路１０３上に位置している場合は、レーザー光の遮蔽幅（遮光量）が回転体１１Ａの回転角度に応じて変化する。
【００５４】
そして、各センサ１３，１４，１５において検出されたデータの積分をとるなどの処理を行うと、回転体１１Ａの傾きの時間変化を把握することができる。
【００５５】
ここで、各センサ１３，１４，１５において測定される遮光量が多ければ、回転体１１Ａが許容範囲Ｔの前方限界位置Ｔ２側に近い前傾した傾き姿勢であると判断できる。回転体１１Ａが前傾している場合は、回転体１１Ａの４つの角部１１ａのうち少なくとも２つの角部１１ａが軸方向にずれていることから、各センサ１３，１４，１５において測定される遮蔽量は回転時間内で大きく変化する。
【００５６】
また、各センサ１３，１４，１５において測定される遮光量が少なければ、回転体１１Ａが許容範囲Ｔの後方限界位置Ｔ１側に近い略垂直な姿勢であると判断できる。回転体１１Ａが垂直姿勢に近い場合は、回転体１１Ａの４つの角部１１ａが軸方向で略一致していることから、各センサ１３，１４，１５において測定される遮蔽量の回転時間内での変化は小さい。
【００５７】
次に、検査部１６は、算出部１７において、各センサ１３，１４，１５において取得した結果、つまり、回転体１１Ａによって遮蔽される各レーザー光の遮蔽幅に応じた遮蔽量（受光量）の測定データに基づいて、回転体１１Ａの回転振れ量を算出する。
【００５８】
その後、回転体１１Ａの回転振れ量を被検査物１１の製造ラインへフィードバックさせる。正常品であっても、回転体１１Ａの回転振れ量が小さい場合と大きい場合とがある。正常品で回転振れ量が最小となる測定値と、正常品で回転振れ量が最大となる測定値との差が小さくなるように、本体１１Ｂに対する回転体１１Ａの取り付け姿勢の調整及び修正を行う。これにより、回転体１１Ａの傾きが閾値内であっても品質どうしのばらつきを少なくすることができる。
【００５９】
本実施形態の検査装置１０によれば、各センサ１３，１４，１５として進行方向に幅を有するラインレーザーを用いることで、回転体１１Ａの回転振れ量を連続して計測し、その結果に応じた回転振れ量を算出することができる。このため、規格に対する合否判定だけでなく、回転体１１Ａがどのくらい傾いているか定量的なデータを取得することが可能である。
【００６０】
また、２軸方向に３つのセンサ１３，１４，１５を備えることで、水平方向を軸とする前後への回転体１１Ａの傾きだけでなく、鉛直方向を軸とする左右方向への回転体１１Ａの傾きも検出することができる。
【００６１】
このように、回転体１１Ａの傾き量（回転振れ量）を詳細に測定することで、回転体１１Ａの傾き量が許容範囲Ｔ内の正常品であっても、その結果を製造ラインへ反映させることによって、回転体１１Ａの取り付け状態、つまり、回転体１１Ａの傾き傾向を補正することができる。これにより、将来的に規格外の製品が製造されてしまうのを予め抑制することができる。以上述べた本実施形態の検査装置１０によれば、短時間で精度の高い検査を行うことができ、製品の歩留まりを高めることができる。
【００６２】
以上に、本発明の実施形態を説明したが、実施形態における各構成およびそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換およびその他の変更が可能である。また、本発明は実施形態によって限定されることはない。
【００６３】
例えば、本実施形態の検査装置１０の構成は、検査対象となる被検査物１１の構成に応じて、各センサ１３，１４，１５の取り付け構造やレイアウト等を適宜変更することが可能である。
【００６４】
本実施形態では、３つのセンサ１３，１４，１５を備えた構成となっているが、これに限られず、少なくとも鉛直方向および水平方向にそれぞれ１組ずつセンサを備えていれば良い。例えば、第１センサ１３および第２センサ１４のみ備えていてもよいし、第１センサ１３および第３センサ１５のみ備えていてもよい。
【００６５】
本実施形態では、被検査物１１が回転体１１Ａを回転させる回転機構を備えている製品に対して検査を実施しているが、回転機構を備えていない被検査物１１を検査してもよい。この場合、検査装置１０が、被検査物１１の回転体１１Ａを回転させる回転機構を備える構成とする。
【符号の説明】
【００６６】
１０…検査装置、１１…被検査物、１２…保持部材、１３，１４…センサ、１３…第１センサ、１３Ａ，１４Ａ，１５Ａ…出力部、１３Ｂ，１４Ｂ，１５Ｂ…受光部、１４…第２センサ、１５…第３センサ、１６…検査部、１７…算出部、１８…回転した回転体１１Ａが通る領域、Ｊ１…中心軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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