(57)【要約】【課題】半導体装置の実装時に、３００℃を上回る、３６０℃前後の高熱が加わっても封止樹脂とリードフレーム基材との密着性を良好な状態に維持し、且つ、半田ブリードを防止しながら半田接合による半導体装置との良好な接続が可能なリードフレーム及びその製造方法の提供。【解決手段】金属材料より形成されるリードフレーム５０の基材の面における、電気的な接続をするための半田を介在させる部分以外の領域には、陽極酸化膜３０が形成され、半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分１１ａ、１２ａには、リードフレームの面に形成された陽極酸化膜が除去されてなる、金属材料が露出する開口部が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属材料より形成されるリードフレーム基材の面における、電気的な接続をするための半田を介在させる部分以外の領域には、陽極酸化膜が形成され、半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分には、リードフレーム基材の面に形成された陽極酸化膜が除去されてなる、前記金属材料が露出する開口部が形成されていることを特徴とするリードフレーム。
【請求項２】
前記リードフレーム基材の面における、前記半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分とは反対側の面における外部機器と電気的な接続をするための半田を介在させる部分には、リードフレーム基材の当該反対側の面に形成された陽極酸化膜が除去されてなる、前記金属材料が露出する開口部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のリードフレーム。
【請求項３】
前記開口部において前記金属材料が露出する面は、レーザー加工により前記陽極酸化膜が除去されてなることを特徴とする請求項１又は２に記載のリードフレーム。
【請求項４】
銅または銅合金の金属材料を所定形状のリードフレーム基材に形成する工程と、
形成された前記リードフレーム基材の面に陽極酸化膜を形成する工程と、
前記陽極酸化膜が形成された前記リードフレーム基材における電気的な接続をするための半田を介在させる部分の前記陽極酸化膜を除去して前記金属材料が露出する開口部を形成する工程と、
を有することを特徴とするリードフレームの製造方法。
【請求項５】
レーザー加工によって前記陽極酸化膜を除去することを特徴とする請求項４に記載のリードフレームの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、封止樹脂型の半導体装置に使用されるリードフレーム及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、樹脂封止型半導体装置には、金属製のリードフレームと封止用樹脂が使用される。そして、リードフレームの基材には、主に銅合金が用いられ、封止用樹脂には、主にエポキシ樹脂が用いられる。しかるに、このタイプの半導体装置は、リードフレームの面と樹脂部との密着性に問題が生じることがある。
また、半導体装置を実装する際に用いる半田が鉛フリー化されるのに伴い、実装時のリフロー温度が高くなり、耐熱性の要求が強くなっている。
【０００３】
密着性の問題に着目した従来の技術として、例えば、次の特許文献１には、銅材で形成されたリードフレーム基材の面に黒化処理層を形成し、半導体装置の製造過程および実装時に高熱が加わっても封止樹脂とリードフレーム基材との密着力が低下しない、リードフレーム及び半導体装置、並びにそれらの製造方法が開示されている。
従来、樹脂封止型半導体装置の製造に際しては、リードフレーム基材に放熱性に優れた銅を用いるとともに、封止樹脂とリードフレーム基材との密着性を増すために、リードフレーム基材の面に黒化処理を施して酸化第二銅（ＣｕＯ）からなる黒化処理層を形成し、その後に封止樹脂層を形成していた。しかし、封止樹脂層形成時に黒化処理層の酸化第二銅とリードフレーム基材とが反応して、還元反応による酸化第一銅（Ｃｕ２Ｏ）層と、酸化反応による酸化第一銅層が形成され、還元反応による酸化第一銅層の膜が脆く、封止樹脂との密着性が低下する問題があった。
特許文献１に開示の技術は、この問題を解決するため、リードフレーム基材の面に黒化処理を施した後、リードフレーム基材を加熱し、黒化処理層とリードフレーム基材との間を酸化させて、リードフレーム基材の面に、酸化第一銅層、酸化第二銅層を形成することにより、還元反応による酸化第一銅の発生を防ぎ、封止樹脂のリードフレームからの剥離防止を図っている。
【０００４】
また、特許文献２には、特許文献１に開示の黒化処理と加熱による酸化処理とにより黒色酸化膜を形成する方法では黒色酸化膜の厚さが厚くなりすぎ、成膜に時間が長くかかり生産性が低いという問題点に着目し、黒化処理液に酸化強化剤を添加した黒化処理方法や黒化処理と陽極酸化処理とを併用する方法が提案されている。
そして、特許文献２には、これらの方法で作製されたリードフレーム基材の面が、酸化第一銅層、酸化第二銅層、水酸化第二銅（Ｃｕ（ＯＨ）２）層からなる３層構造の水酸化物含有酸化銅の被膜で覆われた構成とすることで、封止樹脂との密着性を維持しながら、水酸化物含有酸化銅の被膜の厚さを０．０２〜０．２μｍと薄くでき、また、黒化処理時間を１〜２０秒に短縮できる旨の記載がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２１０７７６号公報
【特許文献２】特開２００４−３３２１０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、半導体装置を実装する際に用いる半田が鉛フリー化されるのに伴い、実装時のリフロー温度が高くなっている。詳しくは、鉛半田の融点が１８３℃であるのに対し、鉛フリー半田の融点は、２２０〜２４０℃もしくは２４０〜２６０℃である。このため、従来、リードフレームと封止樹脂との密着性については、鉛フリー半田の融点（２２０〜２４０℃もしくは２４０〜２６０℃）を前提としたリフロー時の温度を想定して検討されてきた。
【０００７】
しかしながら、最近では、例えば、パワー半導体を用いるパワー半導体装置において、３００℃を上回る、３６０℃前後での耐熱性が要求されることがある。そして、従来、パワー半導体素子は、Ｓｉ結晶で作製されていたが、最近は、ＳｉＣ結晶でも作製されるようになってきた。ＳｉＣ結晶のバンドギャップは、Ｓｉ結晶のバンドギャップに比べてはるかに大きい。このため、ＳｉＣ結晶でパワー半導体素子を作製すれば２５０℃以上の高温での動作が可能となるとして、高温での動作を前提としたパワー半導体装置が検討されてきている。そこで、ＳｉＣ結晶で作製したパワー半導体素子とリードフレームとの接合に、導電性のよいＡｕ−Ｓｉ共晶合金が検討されている。ところで、Ａｕ−Ｓｉ共晶合金の融点は３６０℃である。このため、封止樹脂とリードフレームとの密着力は、Ａｕ−Ｓｉ共晶合金の融点３６０℃の加熱下において十分な強さを維持することが必要となる。
【０００８】
しかも、半田リフロー温度が高くなることで半田濡れ広がりを制御する必要が生じている。
一般に、リードフレームに半導体素子を搭載する際には、半導体素子表面に設けられたリードフレームとの電気的な接続部と、リードフレーム側の接続部とを半田接合させる。このときに高温による半田濡れ広がりが生じて隣り合う接続部同士が半田ブリードによって繋がってしまうと、回路がショートする虞が生じる。また、隣り合う接続部同士が半田ブリードによって繋がってしまうと、接続後の半導体素子とリードフレームとの隙間に充填されるべき樹脂の侵入経路が塞がれて樹脂未充填の部分ができ、更には充填された樹脂とブリードした半田との密着力が低下する結果、封止樹脂のリードフレームからの剥離の懸念も生じる。
【０００９】
本発明は、上記従来の課題を鑑み、半導体装置の実装時に、３００℃を上回る、３６０℃前後の高熱が加わっても封止樹脂とリードフレーム基材との密着性を良好な状態に維持し、且つ、半田ブリードを防止しながら半田接合による半導体装置との良好な接続が可能なリードフレーム及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明によるリードフレームは、金属材料より形成されるリードフレーム基材の面における、電気的な接続をするための半田を介在させる部分以外の領域には、陽極酸化膜が形成され、半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分には、リードフレーム基材の面に形成された陽極酸化膜が除去されてなる、前記金属材料が露出する開口部が形成されていることを特徴としている。
【００１１】
また、本発明のリードフレームにおいては、前記リードフレーム基材の面における、前記半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分とは反対側の面における外部機器と電気的な接続をするための半田を介在させる部分には、リードフレーム基材の当該反対側の面に形成された陽極酸化膜が除去されてなる、前記金属材料が露出する開口部が形成されているのが好ましい。
【００１２】
また、本発明のリードフレームにおいては、前記開口部において前記金属材料が露出する面は、レーザー加工により前記陽極酸化膜が除去されてなるのが好ましい。
【００１３】
また、本発明によるリードフレームの製造方法は、銅または銅合金の金属材料を所定形状のリードフレーム基材に形成する工程と、形成された前記リードフレーム基材の面に陽極酸化膜を形成する工程と、前記陽極酸化膜が形成された前記リードフレーム基材における電気的な接続をするための半田を介在させる部分の前記陽極酸化膜を除去して前記金属材料が露出する開口部を形成する工程と、を有することを特徴としている。
【００１４】
また、本発明のリードフレームの製造方法においては、レーザー加工によって前記陽極酸化膜を除去するのが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、半導体装置の実装時に、３００℃を上回る、３６０℃前後の高熱が加わっても封止樹脂とリードフレーム基材との密着性を良好な状態に維持し、且つ、半田ブリードを防止しながら半田接合による半導体装置との良好な接続が可能なリードフレーム及びその製造方法が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係るリードフレームの一例を示す説明図で、(a)は平面図、(b)は(a)のＡ−Ａ断面図である。
【図２】図１のリードフレームを用いた半導体装置の一例を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るリードフレームの製造工程の一例を示す説明図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るリードフレームを用いた半導体装置の製造工程の一例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の実施形態の説明に先立ち、本発明を導出するに至った経緯、及び本発明の作用効果について説明する。
本発明者は、試行錯誤の末、３００℃を上回る、３６０℃前後の高熱が加わっても封止樹脂との密着性を向上させるべく、リードフレーム基材の全面に陽極酸化膜を形成した。
詳しくは、銅又は銅合金等の金属材料に所定形状が形成されたリードフレーム基材を黒化処理液に浸漬し、リードフレーム基材を陽極として通電することにより、酸化第一銅と酸化第二銅と水酸化第二銅とが混在する単層膜として形成され、且つ、単層膜が平均長さ４００ｎｍ以上の針状結晶構造となっている酸化銅の被膜である陽極酸化膜を形成した。
【００１８】
この陽極酸化膜を形成したリードフレームを用いた半導体素子の搭載について試行錯誤を繰り返したところ、陽極酸化膜は３００℃を上回る、３６０℃前後の高熱が加わっても樹脂との密着性を良好な状態に維持できるが、半田をはじくため、例えば、半導体素子をフリップチップ接続するタイプのリードフレームに陽極酸化膜を形成すると、半導体素子の接続が困難になってしまうことが判明した。
【００１９】
このため、本発明者は、リードフレームに半導体素子をフリップチップ接続するための半田濡れ性を確保する必要があると考えた。
しかし、陽極酸化膜を形成していない銅又は銅合金等の金属材料がそのまま露出したリードフレームを用いた場合、半田濡れ性は確保でき、半導体素子と接続は良好になる一方、濡れ広がりが生じてしまい隣り合う接続部同士が半田ブリードによって繋がってしまう虞がある。
そして、隣り合う接続部同士が半田ブリードによって繋がってしまうと、回路がショートする虞が生じる。また、接続後の半導体素子とリードフレームとの隙間に充填されるべき樹脂の侵入経路が塞がれて樹脂未充填の部分ができ、更には充填された樹脂とブリードした半田との密着力が低下する結果、封止樹脂のリードフレームからの剥離の懸念も生じる。
また、半田濡れ性を確保するために最表面に貴金属めっき層を形成することも考えられるが、貴金属めっきを用いるとコストが高くなり、しかも、貴金属と樹脂との相性如何によって封止樹脂との密着不良を生じる虞がある。
【００２０】
ここで、本発明者は、陽極酸化膜を形成したリードフレームにおいて、陽極酸化膜が半田をはじく性質を逆用して、半田ブリードを防止しながら、半田接合による半導体素子の接続を良好にすることを着想し、本発明を導出するに至った。
【００２１】
本発明のリードフレームは、金属材料より形成されるリードフレーム基材の面における、電気的な接続をするための半田を介在させる部分以外の領域には、陽極酸化膜が形成され、半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分には、リードフレーム基材の面に形成された陽極酸化膜が除去されてなる、金属材料が露出する開口部が形成されている。
本発明のリードフレームのように、リードフレーム基材の面における、電気的な接続をするための半田を介在させる部分には、金属材料が露出する開口部が形成され、それ以外の領域には、陽極酸化膜が形成された構成にすれば、半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分が半田濡れ性を有し、その周囲は陽極酸化膜によって半田をはじく。このため、半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分についての半田と金属材料との接続の信頼性が確保できるとともに、その周囲には溶けた半田が濡れ広がらず、半田ブリードを抑制することが可能となる。
そして、半田ブリードが抑制できることで、回路がショートする虞を回避でき、しかも、接続後の半導体素子とリードフレームとの隙間に充填されるべき樹脂の侵入経路が塞がれて樹脂未充填の部分ができることがなく、更には充填された樹脂とブリードした半田との密着力が低下することもない。
また、リードフレーム基材の面における、半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分以外の領域には、陽極酸化膜が形成されているため、３００℃を上回る、３６０℃前後の高熱が加わっても封止樹脂との密着性を良好な状態に維持できる。
さらに、本発明のリードフレームのようにすれば、半田濡れ性を確保するために最表面に貴金属めっき層を形成せずに済むため、その分コストを低減し、生産性を向上させることもできる。
【００２２】
なお、本発明のリードフレームにおいては、好ましくは、リードフレーム基材の面における、半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分とは反対側の面における外部機器と電気的な接続をするための半田を介在させる部分には、リードフレーム基材の当該反対側の面に形成された陽極酸化膜が除去されてなる、金属材料が露出する開口部が形成されている。
このようにすれば、外部機器と電気的な接続をする部分についての半田と金属材料との接続の信頼性が確保できるとともに、その周囲には溶けた半田が濡れ広がらず、半田ブリードを抑制することが可能となり、回路がショートする虞を回避できる。
【００２３】
また、本発明のリードフレームにおいては、好ましくは、開口部において金属材料が露出する面は、レーザー加工により陽極酸化膜が除去されてなる。
このようにすれば、陽極酸化膜が形成されている面の一部に微小な径の開口部を形成することができ、リードフレーム基材の面における、半田を介在させる部位を最小化できる。
【００２４】
なお、本発明のリードフレームは、銅または銅合金の金属材料を所定形状のリードフレーム基材に形成する工程と、形成されたリードフレーム基材の面に陽極酸化膜を形成する工程と、陽極酸化膜が形成された前記リードフレーム基材における電気的な接続をするための半田を介在させる部分の陽極酸化膜をレーザー加工によって除去して前記金属材料が露出する開口部を形成する工程と、を有することによって製造可能である。
【００２５】
従って、本発明によれば、半導体装置の実装時に、３００℃を上回る、３６０℃前後の高熱が加わっても封止樹脂とリードフレーム基材との密着性を良好な状態に維持し、且つ、半田ブリードを防止しながら半田接合による半導体装置との良好な接続が可能なリードフレーム及びその製造方法が得られる。
【００２６】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態の説明を行う。
図１は本発明の一実施形態に係るリードフレームの一例を示す断面図である。なお、本実施形態に係るリードフレームは、種々の形状を有するリードフレームに適用することができ、リードフレームの形状は特に限定されないが、便宜上、図１に示す形状のリードフレームを一例として挙げて説明することとする。
【００２７】
図１に示すリードフレーム５０は、銅又は銅合金からなる金属板１０にプレス加工やエッチング加工により、長リード１１、短リード１２及び薄肉部１３を有した形状に形成することにより構成されている。
【００２８】
長リード部１１は、リードフレームにおける、半導体素子を搭載する領域を有するリードであり、略中央に配置されている。長リード部１１における、半導体素子を搭載する領域には、ボール状の半田を介在させる部分（半導体素子搭載用半田介在部１１ａ）を有する。
短リード部１２は、長リード部１１における半導体素子搭載用半田介在部１１ａ上に搭載された半導体素子の電極と電気的に接続するための電極又は端子となる領域を有するリードであり、長リード部１１の周辺に配置されている。
短リード部１２における、半導体素子の電極と電気的に接続するための電極又は端子となる領域には、ボール状の半田を介在させる部分（内部端子用半田介在部１２ａ）を有する。
薄肉部１３は、長リード部１１、短リード部１２の夫々における、リードフレーム５０の領域（図１(a)において実線の矩形で囲んだ部分）近傍に形成されている。
また、図１の例のリードフレーム５０においては、短リード部１２は、長リード部１１の半導体素子搭載用半田介在部１１ａと同じ側に配置された、半導体素子と接続するための内部端子用半田介在部１２ａの他にも、半導体素子搭載用半田介在部１１ａとは反対側に配置された、外部機器と接続するための半田を介在させる外部端子用半田介在部１２ｂを有する。
なお、半導体素子の電極をリード部に直接接合するフリップチップ接続タイプのリードフレームでは、半導体素子を載置するためのダイパッド部は設けられないが、本発明のリードフレームは、そのようなタイプのリードフレームに最適である。本実施形態では、図１に示すように、便宜上、半導体素子実装領域にダイパッド部を設けず、長リード部１１に半導体素子搭載用半田介在部１１ａを設けたフリップチップ接続タイプのリードフレームについて説明する。
【００２９】
また、リードフレーム基材の面における、長リード部１１の半導体素子搭載用半田介在部１１ａ、短リード部１２の内部端子用半田介在部１２ａ及び外部端子用半田介在部１２ｂを除いた領域には、酸化第一銅（Ｃｕ２Ｏ）と酸化第二銅（ＣｕＯ）と水酸化第二銅（Ｃｕ（ＯＨ）２）とが混在する単層膜からなり、且つ、単層膜が平均長さ４００ｎｍ以上の針状結晶構造を備えた、酸化銅の被膜３０が形成されている。
また、リードフレーム基材の面における、長リード部１１の半導体素子搭載用半田介在部１１ａ、短リード部１２の内部端子用半田介在部１２ａ及び外部端子用半田介在部１２ｂには、酸化銅の被膜３０がレーザー加工により除去されてなる、金属材料が露出する開口部が形成されている。
【００３０】
図２は図１のリードフレームを用いた半導体装置の一例を示す断面図である。
図２に示す半導体装置１００では、図１に示したリードフレーム５０における長リード部１１の一方の側（図２では上側）の半導体素子搭載用半田介在部１１ａに、半導体素子６０が半田ボール７０を介して搭載されている。半導体素子６０の電極は、半田ボール７０を介して短リード部１２の一方の側（図２では上側）の面の開口部をなす内部端子用半田介在部１２ａに電気的に接続されている。また、リードフレーム５０の半導体素子搭載側は、半導体素子６０及び半田ボール７０も含めて、一方の側（図２では上側）の面及び側面が封止樹脂８０で封止されている。また、リード部１２の他方の側（図２では下側）の面の開口部をなす外部端子用半田介在部１２ｂは、金属材料が外部に露出し、半田ボールを介して外部機器と接続可能に構成されている。
なお、図２に示した例は一例に過ぎず、本発明の実施形態の半導体装置１００は、リードフレームの形態に応じて種々の形態を構成することが可能である。
【００３１】
次に、図１のように構成された本実施形態のリードフレームの製造方法について、図３を用いて説明する。
本実施形態の製造方法では、まず、銅または銅合金の金属板１０をリードフレーム材料として準備する。
次に、金属板１０にプレス加工やエッチング加工（ここでは、エッチング加工）を行うことでリードフレーム形状を形成する。詳しくは、金属板１０の両面にドライフィルムレジスト等のレジスト層Ｒ１を形成する（図３(a)参照）。次いで、所定のリードフレーム形状に対応するパターンが描画されたガラスマスクを用いて、両面のレジスト層Ｒ１を露光し現像を行い、エッチング用レジストマスク１１０を形成する（図３(b)参照）。次いで、エッチング液を用いてエッチング加工を行い、金属板１０を所定のリードフレーム形状に形成する（図３(c)参照）。次いで、エッチング用レジストマスク１１０を除去する（図３(d)参照）。
【００３２】
次に、黒化処理液にリードフレーム形状に形成された金属板１０を浸漬し、金属板１０を陽極として通電することで、金属板１０の全面に陽極酸化膜３０を形成する（図３(e)参照）。
形成する陽極酸化膜３０は、酸化第一銅と酸化第二銅と水酸化第二銅とが混在する単層膜として形成され、且つ、単層膜が平均長さ４００ｎｍ以上の針状結晶構造となっている酸化銅の被膜である。
この陽極酸化膜３０によって樹脂との密着性が向上するが、半田をはじくことから、リードフレームに半導体素子をフリップチップ接続するための半田濡れ性を確保する必要がある。
【００３３】
そこで、次に、レーザー加工によって半田接合をする部分（半導体素子搭載用半田介在部１１ａ、内部端子用半田介在部１２ａ、外部端子用半田介在部１２ｂ）の陽極酸化膜を除去し、リードフレーム基材の金属材料を露出させた開口部を形成する（図３(f)参照）。これにより、図１(b)に示した本実施形態のリードフレーム５０が完成する。なお、開口部の大きさは、電気的な接続に用いる半田の量によって変わるが、φ０．１〜φ１．０ｍｍ程度の面積である。また開口部の深さは、０．５μｍ以内である。
【００３４】
次に、本実施形態のリードフレームを用いた半導体装置の製造手順を、図４を用いて説明する。
本実施形態のリードフレーム５０は、レーザー加工によって開口部（１１ａ、１２ａ、１２ｂ）が形成されてリードフレーム基材の金属材料が露出した状態であるが、自然酸化被膜や加熱による酸化被膜が形成されていることから、フラックスを用いて酸化被膜をフラックス内に溶出させることで半田濡れ性を確保する。
次に、リードフレーム材料が露出した半導体素子搭載側の開口部（１１ａ、１２ａ）に半田ボール７０を装着し（図４(b)参照）、その上に半導体素子６０を搭載する（図４(c)参照）。そして、半導体素子の電極とフリップチップ接続させるために、半田リフロー温度に加熱する。すると半田ボール７０は開口部内で溶解し半導体素子６０側の電極と接続される。このときに開口部の周辺には酸化銅の被膜３０が取り囲むため、溶解した半田が酸化膜３０表面に濡れ広がることは無い。
次に、半導体素子搭載側を封止樹脂８０により封止する（図４(d)参照）。
次に、所定の半導体装置１００の寸法に切断する（図４(e)参照）。これにより、図２に示した、本実施形態のリードフレームを用いた半導体装置１００が完成する（図４(f)参照）。
【００３５】
本実施形態のリードフレームによれば、リードフレーム基材の面における、電気的な接続をするための半田を介在させる部分（半導体素子搭載用半田介在部１１ａ、内部端子用半田介在部１２ａ及び外部端子用半田介在部１２ｂ）には、金属材料が露出する開口部が形成され、それ以外の領域には、陽極酸化膜が形成された構成にしたので、半導体素子と電気的な接続をするための半田が介在する部分（半導体素子搭載用半田介在部１１ａ、内部端子用半田介在部１２ａ）が半田濡れ性を有し、その周囲は陽極酸化膜３０によって半田をはじく。このため、半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分についての半田と金属材料との接続の信頼性が確保できるとともに、その周囲には溶けた半田が濡れ広がらず、半田ブリードを抑制することが可能となる。
なお、一般的に半田と金属の結合は、酸化膜の介在が有ると結合されないとしている。フラックスは金属表面の自然酸化や加熱酸化の被膜をフラックス内に溶出させる事で半田濡れ性を確保して結合を補助する。しかし、陽極酸化処理で形成された酸化膜３０は強固でありフラックスでは除去されず、半田濡れ広がりの生じない状態が維持される。その結果、開口部周辺に生じる半田ブリードが防止できる。
【００３６】
そして、半田ブリードが抑制できることで、回路がショートする虞を回避でき、しかも、接続後の半導体素子とリードフレームとの隙間に充填されるべき樹脂の侵入経路が塞がれて樹脂未充填の部分ができることがなく、更には充填された樹脂とブリードした半田との密着力が低下することもない。
【００３７】
また、リードフレーム基材の面における、半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分以外の領域には、陽極酸化膜として針状結晶構造となっている酸化銅の被膜が形成されており、Ｃｕ酸化膜の針状結晶は樹脂密着性の向上に効果がある。このため、３００℃を上回る、３６０℃前後の高熱が加わっても封止樹脂との密着性を良好な状態に維持できる。
さらに、本実施形態のリードフレームによれば、半田濡れ性を確保するために最表面に貴金属めっき層を形成せずに済むため、その分コストを低減し、生産性を向上させることもできる。
【００３８】
また、本実施形態のリードフレームによれば、リードフレーム基材の面における、半導体素子と電気的な接続をするための半田を介在させる部分とは反対側の面にある外部機器と電気的な接続をするための半田を介在させる部分（外部端子用半田介在部１２ｂ）には、リードフレーム基材の当該反対側の全面に形成された陽極酸化膜３０が除去されてなる、金属材料が露出する開口部が形成されている構成としたので、外部機器と電気的な接続をする部分についての半田と金属材料との接続の信頼性が確保できるとともに、その周囲には溶けた半田が濡れ広がらず、半田ブリードを抑制することが可能となり、回路がショートする虞を回避できる。
【００３９】
また、本実施形態のリードフレームによれば、開口部（半導体素子搭載用半田介在部１１ａ、内部端子用半田介在部１２ａ）において金属材料が露出する面は、レーザー加工により陽極酸化膜３０が除去されてなる面である構成としたので、陽極酸化膜３０が形成されている面の一部に微小な径の開口部を形成することができ、リードフレーム基材の面における、半田を介在させる部位を最小化できる。
【実施例】
【００４０】
金属材料１０として厚さが０.２ｍｍの帯状銅材を用いて、両面にドライフィルムレジストをラミネートしてレジスト層Ｒ１を形成した（図３(a)参照）。
次に、所定の形状が描画されたガラスマスクを用いて両面レジスト層を露光し現像を行ってエッチング用レジストマスク１１０を形成した（図３(c)参照）。
次に、塩化第二鉄液を用いてスプレーエッチング加工を行い、銅材１０をリードフレーム形状に形成し（図３(c)参照）、レジストマスク１１０を除去した（図３(d)参照）。
次に、９０ｍｌ／ｌの濃度、液温７０℃の設定で黒化処理液にリードフレーム形状に形成された銅材１０を浸漬し、電流密度０．８Ａｄｍ２、処理時間９０秒の設定で、銅材１０を陽極として電流を流し、酸化第一銅（Ｃｕ２Ｏ）と酸化第二銅（ＣｕＯ）と水酸化第二銅（Ｃｕ（ＯＨ）２）が混在する単層膜として形成され、且つ、単層膜が、平均長さ４００ｎｍ以上の針状結晶構造となっている陽極酸化膜３０をリードフレーム形状に形成された銅材１０の全面に形成した（図３(e)参照）。
次に、レーザー加工機を使用して、半導体素子と電気的な接続をする部分（半導体素子搭載用半田介在部１１ａ、内部端子用半田介在部１２ａ）の陽極酸化膜を約φ０．５ｍｍの加工径で除去して銅材１０を露出させた開口部を形成するとともに、反対面にある外部機器と電気的な接続をする部分（外部端子用半田介在部１２ｂ）を約φ１．０ｍｍの加工径で除去して銅材１０を露出させた開口部を形成し（図３(f)参照）、本実施例のリードフレーム５０を得た。このとき、レーザーのビーム径２０μｍで、φ０．５ｍｍの開口部１個の形成には０．０１９秒、φ１．０ｍｍの開口部１個の形成には０．０８６秒で処理を行い、形成した開口部の深さは、０．５μｍ以内であった。
【００４１】
本実施例において製造されたリードフレームを用いて、半田の濡れ広がり性を試験した。
リードフレームをフラックス（ＲＡ）に約２〜３秒浸漬し、開口部（半導体素子搭載用半田介在部１１ａ、内部端子用半田介在部１２ａ、外部端子用半田介在部１２ｂ）において露出する銅材１０の面に形成された酸化被膜を溶出させ、半田濡れ性を確保し、次に、３５０℃の半田坩堝に３秒間浸漬し、その後取り出して試料を得た。
そして、走査型共焦点レーザ顕微鏡を用いて、試料のリードフレームにおける半田の濡れ広がり状態を、観察した。
その結果、リードフレームの陽極酸化膜３０上には半田は形成されず、開口部において露出する銅材１０の面にのみ半田が形成された。また、開口部において露出する銅材１０の面に形成された半田は、陽極酸化膜３０が形成されている開口部周辺には広がらないことが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明のリードフレームは、鉛フリー半田を用いたリフロー方式で実装され、３６０℃前後での耐熱性が要求される分野に有用である。
【符号の説明】
【００４３】
１０    金属板（金属材料、リードフレーム基材）
１１    長リード
１１ａ  半導体素子搭載用半田介在部
１２    短リード
１２ａ  内部端子用半田介在部
１２ｂ  外部端子用半田介在部
１３    薄肉部
３０    酸化銅の被膜（陽極酸化膜）
５０    リードフレーム
６０    半導体素子
７０    半田ボール
８０    封止樹脂
１００  半導体装置
１１０  エッチング用レジストマスク
Ｒ１    レジスト層
【図１】
2018190942.tif 000003
【図２】
2018190942.tif 000004
【図３】
2018190942.tif 000005
【図４】
2018190942.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月19日(2017.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2018190942.tif 000007
【図２】
2018190942.tif 000008
【図３】
2018190942.tif 000009
【図４】
2018190942.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月19日(2017.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2018190942.tif 000011
【図２】
2018190942.tif 000012
【図３】
2018190942.tif 000013
【図４】
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