(57)【要約】      （修正有）【課題】ウェハーの提供及び切断及び押圧を行う工程を含むウェハーの切断方法を提供する。【解決手段】本発明のウェハーの切断方法において、ウェハー１００は、複数のダイ１１０及び金属層１２０を有し、金属層は隣接し合う２つのダイの間の切断経路１３０に形成される。切断工程において、切断機２２０により切断経路に沿って金属層が切断され、ウェハーに複数の切削溝１４０が形成され、且つ、金属層が切断されてこれらダイに複数の金属残留段１２１が残留される。押圧工程において、ブラシにより切削溝に沿ってこれら金属残留段が押圧され、各金属残留段が各ダイの表面に突出されることが回避される。【選択図】図４
2018050020.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のダイ及び金属層から構成され、各前記ダイは表面を有し、隣接し合う２つの前記ダイの間には切断経路を有し、前記金属層は前記切断経路に形成されるウェハーの提供工程と、
切断機により前記切断経路に沿って前記金属層が切断され、前記ウェハーに複数の切削溝が形成され、且つ切断された前記金属層が前記ダイに複数の金属残留段として残留する切断工程と、
ブラシの接触部により前記切削溝に沿って各前記金属残留段が押圧されることにより、各前記金属残留段が各前記ダイの前記表面に突出することが回避される押圧工程と、を含むことを特徴とするウェハーの切断方法。
【請求項２】
前記ブラシの前記接触部により各前記金属残留段が押圧されると、各前記金属残留段が前記ダイから分離されるか前記切削溝中に湾曲されることを特徴とする、請求項１に記載のウェハーの切断方法。
【請求項３】
前記切断工程及び前記押圧工程は同時に行われることを特徴とする、請求項１に記載のウェハーの切断方法。
【請求項４】
前記切断機の切断方向に沿って前記ブラシの前記接触部が前記切断機の後方に設置され、且つ前記切断機及び前記接触部は同じ切断経路に位置されることを特徴とする、請求項３に記載のウェハーの切断方法。
【請求項５】
前記切断機の切断方向に沿って前記ブラシの前記接触部は前記切断機の側辺に設置され、且つ前記切断機及び前記接触部は異なる前記切断経路に位置されることを特徴とする、請求項３に記載のウェハーの切断方法。
【請求項６】
前記ブラシの前記接触部と前記切断機との間には少なくとも前記切断経路分の間隔が空けられることを特徴とする、請求項５に記載のウェハーの切断方法。
【請求項７】
前記押圧工程は前記切断工程の完了後に行われることを特徴とする、請求項１に記載のウェハーの切断方法。
【請求項８】
前記ウェハーは載置座の載置面に設置され、前記切断機は末尾部を有し、前記末尾部と前記載置面との間には第一高さを有し、前記ブラシの前記接触部は接触端を有し、前記接触端と前記載置面との間には第二高さを有し、前記切断工程及び前記押圧工程が行われる前は、前記第一高さは前記第二高さより低くないことを特徴とする、請求項１に記載のウェハーの切断方法。
【請求項９】
前記ブラシの前記接触部は軟性材料で製造され、前記接触部は前記押圧工程において各前記ダイの前記表面及び前記切削溝と接触して変形が生じることを特徴とする、請求項１に記載のウェハーの切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属残留段がダイの表面に突出することが回避されるウェハーの切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のウェハーの切断方法では、先ずテープ５００によりウェハー４００が載置座６００に固定され、次いで切断機（図示せず）により前記ウェハー４００が切断されて複数のチップ４１０が形成される（図１１参照）。なお、特許文献１には他の従来技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−４９４１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前述した従来の技術では、すなわち、切断過程において、前記チップ４１０の表面に突出される多くの金属残留段４１１が形成される（図１２参照）。フリップチップ（Ｆｌｉｐ−Ｃｈｉｐ）技術により前記チップ４１０及び基板７００の複数のバンプ７１０が接続される場合（前記基板７００は軟性基板、ガラス基板、または他の材質の基板）、前記チップ４１０の表面に突出されるこれら前記金属残留段４１１が前記基板７００に接触されてしまい、半導体構造に漏電やショートが発生し、或いは電子信号の入出力に影響が及んだ。
【０００５】
そこで、本発明者は上記の欠点が改善可能と考え、鋭意検討を重ねた結果、合理的設計で上記の課題を効果的に改善する本発明の提案に到った。
【０００６】
本発明は、このような従来の問題に鑑みてなされたものである。金属層が切断されて形成される金属残留段が、ブラシにより押圧されることでダイの表面に突出されないようになる、ウェハーの切断方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るウェハーの切断方法は、複数のダイ及び金属層で構成されるウェハーを有し、各前記ダイは表面を有し、隣接し合う２つの前記ダイの間には切断経路を有し、前記金属層は前記切断経路に形成されるウェハーの提供工程と、
切断機により前記切断経路に沿って前記金属層が切断され、前記ウェハーに複数の切削溝が形成され、且つ切断された前記金属層が前記ダイに複数の金属残留段として残留する切断工程と、
ブラシの接触部により前記切削溝に沿って各前記金属残留段が押圧されることにより、各前記金属残留段が各前記ダイの前記表面に突出することが回避される押圧工程と、
を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は前記押圧工程において、前記ブラシによりこれら前記金属残留段が押圧されることにより、前記切断工程において残留される各前記金属残留段が前記ダイの前記表面に突出されることが回避される。また、各前記金属残留段が前記ダイの前記表面に突出されないようにする目的は、後続のパッケージプロセスにおいてこれら前記金属残留段が他の部材に接触されて漏電やショートが発生する事態を回避させることであり、或いは、電子信号の伝送に影響が及ぶのを回避させることであり、且つ、後続のパッケージプロセスにおいてこれら前記金属残留段により他の部材が破壊されないようにするためである。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態によるウェハーの切断方法を示すフローチャートである。
【図２】本発明の第１実施形態によるウェハー及びウェハーの切断装置を示す外観斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態によるウェハー及びウェハーの切断装置を示す側面図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるウェハー及びウェハーの切断装置を示す側面図である。
【図５】本発明の第１実施形態によるウェハー及びウェハーの切断装置を示す側面図である。
【図６】図５Ａ−Ａに沿ってなる断面図である。
【図７】図５Ｂ−Ｂに沿ってなる断面図である。
【図８】図５Ｃ−Ｃに沿ってなる断面図である。
【図９】本発明の第２実施形態によるウェハー及びウェハーの切断装置を示す側面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態によるウェハー及びウェハーの切断装置を示す側面図である。
【図１１】従来のウェハーが切断された概略図である。
【図１２】従来のウェハーがフリップチップされた概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明における好適な実施の形態について、添付図面を参照して説明する。尚、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を限定するものではない。また、以下に説明される構成の全てが、本発明の必須要件であるとは限らない。
【００１１】
（第１実施形態）
以下、第１実施形態を図１〜１０に基づいて説明する。本考案に係る第１実施形態によるウェハーの切断方法１０は、”ウェハーの提供”１１及び”切断及び押圧を行う工程”１２を含む（図１参照）。
【００１２】
工程１１において、複数のダイ１１０及び金属層１２０を有するウェハー１００が提供される。これら前記ダイ１１０は配列され、各前記ダイ１１０は表面１１１を有し、前記表面１１１は各前記ダイ１１０のアクティブ面または非アクティブ面であり、隣接し合う２つの前記ダイ１１０の間には切断経路１３０を有し、前記金属層１２０は前記切断経路１３０に形成される。好ましくは、前記ウェハー１００はシリコンまたはＩＩＩ−Ｖ族化合物（例えば、ヒ化ガリウムＧａＡｓ）等の材料から選択され、前記金属層１２０はこれら前記ダイ１１０に電気的に接続されて電気的試験が行われる。或いは、切断工程の進行中に、これら前記金属層１２０は切断機との対置に用いられる（図１乃至図３参照）。
【００１３】
また、本発明は、ウェハーの切断装置２００により前記ウェハー１００が切断される。前記ウェハーの切断装置２００は、載置座２１０と、切断機２２０と、ブラシ２３０とを備え、前記切断機２２０及び前記ブラシ２３０は前記載置座２１０の上方に設置されると共に各前記ダイ１１０の前記表面１１１に向けられ、前記ウェハー１００は前記載置座２１０の載置面２１１に設置される。本実施形態では、前記載置座２１０は前記ウェハー１００の載置に用いられ、前記ウェハー１００が前記切断機２２０及び前記ブラシ２３０に対して変位され、変位は水平変位及び垂直変位を含む。或いは、異なる実施形態において、前記切断機２２０及び前記ブラシ２３０は前記ウェハー１００に対して変位され、変位は、水平変位及び垂直変位を含む。好ましくは、前記切断機２２０はホイールカッターであり、前記ブラシ２３０の接触部２３１は軟性材料で製造される。これにより、前記ウェハー１００に対して損害を与えなくなる。好ましくは、前記ブラシ２３０の前記接触部２３１は人工毛、動物の毛、または植物の毛等の軟性材料から選択される。本実施形態では、前記ブラシ２３０の前記接触部２３１としてデュポン社製のナイロン６１２の毛が選択される（図２及び図３参照）。
【００１４】
なお、前記ウェハー１００と前記載置座２１０との間には固定テープ３００を有し、前記固定テープ３００は前記ウェハー１００の固定に用いられ、前記ウェハー１００が切断過程で変位しないようにする（図２及び図３参照）。
【００１５】
図３を参照すれば、前記切断機２２０は末尾部２２１を有し、前記ブラシ２３０の前記接触部２３１は接触端２３１ａを有し、前記切断機２２０の前記末尾部２２１及び前記接触部２３１の前記接触端２３１ａは前記載置座２１０の前記載置面２１１に向けられる。本実施形態では、前記切断機２２０の前記末尾部２２１と前記載置面２１１との間には第一高さＨ１を有し、前記接触部２３１の前記接触端２３１ａと前記載置面２１１との間には第二高さＨ２を有する。前記切断工程及び前記押圧工程が行われる前には、前記第一高さＨ１は前記第二高さＨ２より低くなく、前記載置座２１０が垂直上に向けて変位されて前記切断機２２０が前記ウェハー１００に接触される際に、前記ブラシ２３０の前記接触部２３１が前記ウェハー１００に接触されないようになる。本実施形態では、前記第一高さＨ１は前記第二高さＨ２より高い。
【００１６】
さらに、工程１２における切断及び押圧を行う工程は、前記切断工程において、前記切断機２２０により前記切断経路１３０に沿って前記金属層１２０が切断され、前記ウェハー１００に複数の切削溝１４０が形成され、且つ前記切削溝１４０の両側に位置されるこれら前記ダイ１１０とは互いに電気的に分離される。図５を参照すれば、本実施形態では、前記載置座２１０は、先ず前記ウェハー１００が載置されて垂直に上に向けて変位され、前記切断機２２０が前記ウェハー１００に接触される。次いで、前記載置座２１０により前記ウェハー１００が連動されて前記切断機２２０に対して水平に変位され、前記切断機２２０により前記切断経路１３０に沿って前記金属層１２０が切断されて前記切削溝１４０が形成される。本実施形態では、前記切断機２２０により前記切断経路１３０に沿って前記金属層１２０が切断されると、前記ブラシ２３０の前記接触部２３１が前記切断機２２０に追随して前記ダイ１１０の前記表面１１１及び少なくとも１本の切削溝１４０に接触される（図１、図４及び図５参照）。
【００１７】
図６は図５Ａ−Ａに沿ってなる断面図である。前記切断機２２０により前記切断経路１３０に沿って前記金属層１２０が切断されると、前記金属層１２０が複数の金属残留段１２１をこれら前記ダイ１１０に残留させ、且つこれら前記金属残留段１２１はせん断応力の影響を受けて各前記ダイ１１０の前記表面１１１に突出される。
【００１８】
図７は図５Ｂ−Ｂに沿ってなる断面図である。前記押圧工程において、前記ブラシ２３０の前記接触部２３１が前記切削溝１４０に沿って各前記ダイ１１０の前記表面１１１及び前記切削溝１４０に接触され、且つ各前記金属残留段１２１が押圧される。前記接触部２３１が軟性材料であるため、前記接触部２３１には前記押圧工程において変形が生じる。
【００１９】
図８は図５Ｃ−Ｃに沿ってなる断面図である。前記押圧工程は、各前記金属残留段１２１が前記ダイ１１０の前記表面１１１に突出されることを回避させるために行われる。好ましくは、前記ブラシ２３０の前記接触部２３１により各前記金属残留段１２１が押圧される際に、各前記金属残留段１２１が前記ブラシ２３０の前記接触部２３１の横方向の推力または縦方向の圧力により前記ダイ１１０から分離されるか、或いは下に向けて前記切削溝１４０中に湾曲される。これにより、これら前記金属残留段１２１が各前記ダイ１１０の前記表面１１１に突出される問題が有効的に克服され、且つ後続のパッケージプロセスにおいてこれら前記金属残留段１２１が他の部材に電気的に接続されて漏電やショートが発生する事態が防止され、これら前記金屬残留電１２１により電子信号の入出力に影響が及ぶ、或いは他の部材に損害が及んで半導体構造に影響が及ぶことが防止される効果を達成させる。
【００２０】
本実施形態では、前記切断工程及び前記押圧工程が同時に行われるため、前記切断工程及び前記押圧工程が行われると同時に、エアカーテンまたはウォーターカーテンにより前記ウェハー１００が洗浄されて、前記切断工程中に形成されたウェハーの破片及び前記押圧工程中で分離された前記金属残留段１２１が除去され、ウェハー破片または前記金属残留段１２１が前記ウェハー１００に残留しなくなる。
【００２１】
図５に示すように、本実施形態では、前記切断機２２０の切断方向に沿って前記ブラシ２３０の前記接触部２３１が前記切断機２２０の後方に設置され、且つ前記切断機２２０及び前記ブラシ２３０の前記接触部２３１は同じ切断経路１３０に位置される。前記切断工程及び前記押圧工程が同時に行われることにより、前記切断機２２０により前記切断経路１３０に沿って前記金属層１２０が切断されて前記切削溝１４０が形成されると、前記ブラシ２３０の前記接触部２３１により前記切削溝１４０に沿ってこれら前記金属残留段１２１が押圧され、各前記金属残留段１２１が前記ダイ１１０から分離されるか、或いは前記切削溝１４０中に湾曲され、これら前記金属残留段１２１が前記ダイ１１０の前記表面１１１に突出されることが回避される。
【００２２】
他の実施形態では、前記押圧工程は前記切断工程の完了後に行われる。すなわち、前記切断機２２０により前記ウェハー１００が切断された後、全てのこれら前記ダイ１１０が互いに電気的に分離され、次いで前記ブラシ２３０の前記接触部２３１により各前記切削溝１４０に沿ってこれら前記金属残留段１２１が順に押圧され、各前記金属残留段１２１が前記ダイ１１０から分離されるか、或いは前記切削溝１４０中に湾曲される。
【００２３】
（第２実施形態）
続いて、第２実施形態を図９及び１０に基づいて説明する。前記第２実施形態の前記第１実施形態との差異は、前記切断機２２０の切断方向に沿って前記ブラシ２３０の前記接触部２３１が前記切断機２２０の側辺に設置され、且つ前記切断機２２０及び前記ブラシ２３０の前記接触部２３１が異なる切断経路１３０に位置され、前記切断工程及び前記押圧工程が同時に行われることにより、前記切断機２２０により前記ウェハー１００が切断されて前記切削溝１４０が形成される際に、前記切断機２２０の側辺に位置される前記ブラシ２３０により先に形成された前記切削溝１４０に沿ってこれら前記金属残留段１２１が押圧され、各前記金属残留段１２１が前記ダイ１１０から分離されるか、或いは前記切削溝１４０中に湾曲される点である。図１０を参照すると、好ましくは、前記ブラシ２３０の前記接触部２３１と前記切断機２２０との間には少なくとも切断経路１３０の間隔が空けられ、前記ブラシ２３０の前記接触部２３１と前記切断機２２０とが相互に干渉される事態が回避される。
【００２４】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【符号の説明】
【００２５】
１０：ウェハーの切断方法、１１：ウェハーの提供、１２：切断及び押圧を行う工程、１００：ウェハー、１１０：ダイ、１１１：表面、１２０：金属層、１２１：金属残留段、１３０：切断経路、１４０：切削溝、２００：ウェハーの切断装置、２１０：載置座、２１１：載置面、２２０：切断機、２２１：末尾部、２３０：ブラシ、２３１：接触部、２３１ａ：接触端、３００：固定テープ、４００：ウェハー、４１０：チップ、４１１：金属残留段、５００：テープ、６００：載置座、７００：基板、７１０：バンプ、Ｈ１：第一高さ、Ｈ２：第二高さ
【図１】
2018050020.tif 000003
【図２】
2018050020.tif 000004
【図３】
2018050020.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018050020.tif 000009
【図８】
2018050020.tif 000010
【図９】
2018050020.tif 000011
【図１０】
2018050020.tif 000012
【図１１】
2018050020.tif 000013
【図１２】
2018050020.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成30年2月1日(2018.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のダイ及び金属層から構成され、各前記ダイは表面を有し、隣接し合う２つの前記ダイの間には切断経路を有し、前記金属層は前記切断経路に形成されるウェハーの提供工程と、
切断機により前記切断経路に沿って前記金属層が切断され、前記ウェハーに複数の切削溝が形成され、且つ切断された前記金属層が前記ダイに複数の金属残留段として残留する切断工程と、
ブラシの接触部により前記切削溝に沿って各前記金属残留段が押圧されることにより、各前記金属残留段が各前記ダイの前記表面に突出することが回避される押圧工程と、
を含み、
前記切断機の切断方向に沿って前記ブラシの前記接触部は前記切断機の側辺に設置され、且つ前記切断機及び前記接触部は異なる前記切断経路に位置し、
前記切断工程及び前記押圧工程は同時に行われることを特徴とするウェハーの切断方法。
【請求項２】
前記ブラシの前記接触部により各前記金属残留段が押圧されると、各前記金属残留段が前記ダイから分離されるか前記切削溝中に湾曲されることを特徴とする、請求項１に記載のウェハーの切断方法。
【請求項３】
前記ブラシの前記接触部と前記切断機との間には少なくとも前記切断経路分の間隔が空けられることを特徴とする、請求項１に記載のウェハーの切断方法。
【請求項４】
前記ウェハーは載置座の載置面に設置され、前記切断機は末尾部を有し、前記末尾部と前記載置面との間には第一高さを有し、前記ブラシの前記接触部は接触端を有し、前記接触端と前記載置面との間には第二高さを有し、前記切断工程及び前記押圧工程が行われる前は、前記第一高さは前記第二高さより低くないことを特徴とする、請求項１に記載のウェハーの切断方法。
【請求項５】
前記ブラシの前記接触部は軟性材料で製造され、前記接触部は前記押圧工程において各前記ダイの前記表面及び前記切削溝と接触して変形が生じることを特徴とする、請求項１に記載のウェハーの切断方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るウェハーの切断方法は、複数のダイ及び金属層で構成されるウェハーを有し、各前記ダイは表面を有し、隣接し合う２つの前記ダイの間には切断経路を有し、前記金属層は前記切断経路に形成されるウェハーの提供工程と、切断機により前記切断経路に沿って前記金属層が切断され、前記ウェハーに複数の切削溝が形成され、且つ切断された前記金属層が前記ダイに複数の金属残留段として残留する切断工程と、ブラシの接触部により前記切削溝に沿って各前記金属残留段が押圧されることにより、各前記金属残留段が各前記ダイの前記表面に突出することが回避される押圧工程と、を含むことを特徴とする。また、本発明に係るウェハーの切断方法では、切断機の切断方向に沿ってブラシの接触部は切断機の側辺に設置され、且つ、切断機及び接触部は異なる前記切断経路に位置し、切断工程及び押圧工程は同時に行われる。