(57)【要約】【課題】ヘッド本体部からの配線基板の引出し構造を簡単にしつつ、外部と接続される配線基板の幅広化を図る。【解決手段】液体を吐出するヘッド本体部２０１から引き出された第１配線基板２１１と、ノズル面２０１ａの面直方向に沿って配置され、第１配線基板２１１と電気的に接続された第２配線基板２１２とを備え、第１配線基板２１１は、主面がヘッド本体部２０１の短手方向に沿う方向であり、ヘッド本体部２０１の長手方向の端部側の開口部２０２から引き出され、第２配線基板２１２は、主面がヘッド本体部２０１の長手方向に沿う方向に配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するヘッド本体部と、
前記ヘッド本体部から引き出された第１配線基板と、
前記ヘッド本体部のノズル面の面直方向に沿って配置され、前記第１配線基板と電気的に接続された第２配線基板と、を備え、
前記第１配線基板は、主面を前記ヘッド本体部の短手方向にして配置され、
前記第２配線基板は、主面を前記ヘッド本体部の長手方向にして配置されている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１配線基板には、配線パターンの延伸方向が前記ノズル面の面直方向に沿う方向から前記ヘッド本体部の短手方向に沿う方向に向きが変わる方向転換部分を有し、
前記方向転換部分の先端部が前記ヘッド本体部の長手方向に沿う方向に折り曲げられて前記第２配線基板に対面して接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１配線基板は、前記ヘッド本体部から引き出された部分が前記ヘッド本体部の短手方向に沿う方向に折り曲げられ、更に前記ヘッド本体部の長手方向に沿う方向に折り曲げられて、前記第２配線基板に対面して接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１配線基板と前記第２配線基板とは、第３配線基板を介して電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記ヘッド本体部の長手方向の一端部には、前記第１配線基板が引き出されたスリットが設けられている
ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記ヘッド本体部のフレーム部材には、
前記スリットと繋がっており、前記ノズル面側の面とは反対側の面が開口された溝が形成され、
前記溝の内部に、前記第３配線基板、前記第２配線基板、及び前記第３配線基板と前記第２配線基板との電気的接続部のそれぞれの少なくとも一部が収容されている
ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記溝は、
前記ヘッド本体部の長手方向に延在する長手溝と、
前記長手溝に繋がっており、前記ヘッド本体部の短手方向に延在する短手溝と、を含み、
前記第３配線基板は、前記長手溝の内部と前記短手溝の内部とに跨って配置されている
ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記溝は、前記ヘッド本体部の長手方向に延在する長手溝であり、
前記第３配線基板は、前記長手溝の内部と前記スリットの内部とに跨って配置されている
ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第３配線基板に設けられた配線パターンは、前記ヘッド本体部の高さ方向において、前記第１配線基板のノズル面側とは反対側の先端よりも下方に位置している
ことを特徴とする請求項６ないし８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記第３配線基板の主面が前記ヘッド本体部の短手方向から前記ヘッド本体部の長手方向へ屈曲する屈曲部の少なくとも一部は、前記溝内に位置する
ことを特徴とする請求項６ないし８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記スリットから引き出された前記第１配線基板の端部を前記スリット側に折り返した状態で、前記第１配線基板と前記第３配線基板とを接合している
ことを特徴とする請求項６ないし１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記第２配線基板と前記第３配線基板とはリジッドフレキシブル基板である
ことを特徴とする請求項４又は５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記ヘッド本体部の短手方向において、前記第１配線基板の最大幅が前記スリットの幅より狭い
ことを特徴とする請求項５ないし１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記第１配線基板には、前記ヘッド本体部から引き出された部分に補強板を有し、
前記第１配線基板は、前記補強板を設けた面と反対側の面で他の配線基板と接続され、
前記ヘッド本体部の長手方向又は短手方向において、前記第１配線基板が前記他の配線基板と接合される面から前記ヘッド本体部の外周までの距離は、前記補強板を設けた面から前記ヘッド本体部の外周までの距離よりも短い
ことを特徴とする請求項１ないし１３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記第１配線基板は、前記ヘッド本体部内で、前記ノズル面の面内方向に沿う方向から面直方向に沿う方向に曲げられて、引き出されており、
前記第１配線基板を曲げた状態で内面になる側に部品が実装されている
ことを特徴とする請求項１ないし１４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記ヘッド本体部上に、前記第１配線基板及び前記第２配線基板を保持する保持部材が搭載され、
前記保持部材の前記ヘッド本体部の短手方向に沿う側面に、前記第１配線基板が保持され、
前記保持部材の前記ヘッド本体部の長手方向に沿う側面に前記第２配線基板が保持されている
ことを特徴とする請求項１ないし１５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】
前記保持部材は、前記ヘッド本体部内の共通液室に液体を供給する液体供給流路を有する液体供給部材である
ことを特徴とする請求項１６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１８】
請求項１ないし１７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項１９】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項１８に記載の液体吐出ユニット。
【請求項２０】
請求項１ないし１７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項１８若しくは１９に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドとして、圧力発生手段に駆動信号を与えるための配線基板と、ヘッド外部に配置した配線基板とを接続するものがある。
【０００３】
従来、ヘッド本体部の長手方向に主面が沿うようにヘッド本体部から引き出したフレキシブル基板を、ヘッド本体部の長手方向に主面が沿うように配置した回路基板と対面させて接続するものがある（特許文献１）。また、ヘッド本体部の長手方向の一端部から主面が短手方向に沿うようにフレキシブル配線部材を引き出したものがある（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５２６２９６８号公報
【特許文献２】特開２０１６−１３４４５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献２に開示されているヘッド本体部の長手方向の一端部からフレキシブル配線部材を引き出す構成において、特許文献１のように回路基板とフレキシブル基板を対面させて接続する構成を適用すると、回路基板の外形はヘッド本体部の短手より突出してしまいヘッドが大型化し、突出しないように回路基板の幅を小さくすると、端子数の多いコネクタを実装できないという課題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ヘッドの大型化を抑え、外部と接続される配線基板の幅広化を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出するヘッド本体部と、
前記ヘッド本体部から引き出された第１配線基板と、
前記ヘッド本体部のノズル面の面直方向に沿って配置され、前記第１配線基板と電気的に接続された第２配線基板と、を備え、
前記第１配線基板は、主面を前記ヘッド本体部の短手方向にして配置され、
前記第２配線基板は、主面を前記ヘッド本体部の長手方向にして配置されている
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ヘッドの大型化を抑え、外部と接続される配線基板の幅広化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【図２】同じく短手方向から視た側面説明図である。
【図３】同じく平面説明図である。
【図４】ヘッド本体部の分解斜視説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【図６】同じく短手方向から視た側面説明図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【図８】本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【図９】本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【図１０】同じく第１配線部材の先端部分の断面説明図である。
【図１１】本発明の第６実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【図１２】本発明の第７実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部断面説明図である。
【図１３】本発明の第８実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【図１４】本発明の第９実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【図１５】同第９実施形態におけるヘッド本体部の一例の斜視説明図である。
【図１６】同ヘッド本体部のノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図１７】図１４の要部拡大断面説明図である。
【図１８】同ヘッド本体部のノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【図１９】本発明の第１０実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【図２０】同じくフレーム部材の説明図である。
【図２１】同じく配線基板を配置した状態でのフレーム部材の説明図である。
【図２２】本発明の第１１実施形態に係る液体吐出ヘッドのフレーム部材の説明図である。
【図２３】同じく配線基板を配置した状態でのフレーム部材の説明図である。
【図２４】本発明の第１２実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【図２５】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。
【図２６】同装置の要部側面説明図である。
【図２７】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図２８】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図２を参照して説明する。図１は同液体吐出ヘッドの斜視説明図、図２は同じく短手方向から視た側面説明図、図３は同じく平面説明図である。
【００１１】
液体吐出ヘッドは、液体を吐出するヘッド本体部２０１と、ヘッド本体部２０１内部に通じて開口部（スリット）２０２から引き出された第１配線基板２１１と、ヘッド本体部２０１のノズル面１ａの面直方向に沿って配置され、第１配線基板２１１と電気的に接続された第２配線基板２１２とを備えている。
【００１２】
本実施形態では、第１配線基板２１１にはフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）を、第２配線基板２１２にはプリント基板（ＰＣＢ）を使用している。
【００１３】
ここで、第１配線基板２１１は、主面をヘッド本体部２０１の短手方向（図ではＸ方向と表記）に沿う方向にして配置され、ヘッド本体部２０１の長手方向（図ではＹ方向と表記）の端部側の開口部２０２から引き出されている。第１配線基板２１１は、ヘッド本体部２０１内において、圧力発生手段やドライバＩＣに繋がる配線パターンが接続される。
【００１４】
第２配線基板２１２は、主面をヘッド本体部２０１の長手方向に沿う方向にして配置されている。この第２配線基板２１２にはコネクタ２１４が、端子列がヘッド本体部２０１の長手方向に沿う方向に実装されている。コネクタ２１４は、例えば上位装置に接続されて制御信号や駆動信号などの信号を伝達する配線部材に設けられるコネクタが連結可能である。
【００１５】
そして、第１配線基板２１１には、配線パターン２１５の延伸方向がノズル面の面直方向に沿う方向（引出し方向）からヘッド本体部２０１の短手方向に沿う方向に向きが変わる方向転換部分２１３を有し、方向転換部分２１３の先端部２１３ａがヘッド本体部２０１の長手方向に沿う方向に折り曲げられて、第２配線基板２１２に対面して接続されている。
【００１６】
このような形状の第１配線基板２１１は、第１配線基板２１１の引出し側をほぼＬ字形状にすることで形成している。なお、配線パターン２１５は、方向転換部分２１３で、開口部２０２から第２配線基板２１２の第１配線基板２１１側との接続部に向かって斜めに延伸するように設けられてもよい。
【００１７】
第１配線基板２１１の方向転換部分２１３と第２配線基板２１２との接続は、コネクタ接続、ＡＣＦ（異方性導電フィルム）による接続、ＮＣＰ（Ｎｏｎ−Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｐａｓｔｅ）による接続、ハンダ接続、金属拡散接合による接続、ワイヤボンディングによる接続などを適用することができる。
【００１８】
このように、ヘッド本体部２０１内に接続した第１配線基板２１１は、ヘッド本体部２０１の長手方向の端部から引出している。これにより、複数のノズル列に対応する信号、電源を供給する場合でも、ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（短手方向）の幅の拡大を抑制することができ、ヘッドの小型化を図れる。
【００１９】
つまり、次の図４で説明するように、ヘッド本体部２０１内のアクチュエータ基板２０上にアクチュエータの配列が複数設けられており（図４では２列）、各列のアクチュエータから引き出した配線パターンを接続したドライバＩＣ５００の制御信号配線パターンとアクチュエータの駆動電源配線パターンとを、アクチュエータ基板２０のノズル配列方向の一端部に集約している。配線パターンを集約している部分で、第１配線基板２１１は各配線パターンと接続している。これにより、１つの第１配線基板２１１で、複数列のアクチュエータに信号や駆動電源を供給することができるので、ヘッド本体部２０１からの第１配線基板２１１の引き出しが簡単になり、ヘッド幅方向の小型化が図れる。
【００２０】
一方、ヘッド本体部２０１と外部とをつなぐ第２配線基板２１２は、主面がヘッド本体部２０１の長手方向に沿う方向に配置されている。これにより、第２配線基板２１２はヘッド本体部２０１の長手方向の幅相当の幅まで幅広化することができ、ピン数の多いコネクタを実装することができる。
【００２１】
したがって、ヘッド本体部の大型化を抑え、外部と接続される配線基板の幅広化を図ることができる。
【００２２】
ここで、ヘッド本体部２０１の一例の概要について図４を参照して説明する。図４は同ヘッド本体部の分解斜視説明図である。
【００２３】
ヘッド本体部２０１は、図４に概略を示すように、ノズル４が形成されたノズル板１と、個別流路及び圧力発生手段としての圧電素子１１を含むアクチュエータ基板２０と、アクチュエータ基板２０に接合される保持基板５０と、共通液室を形成する共通液室部材７０とを備えている。共通液室部材７０はヘッド本体部２０１のフレーム部材を兼ねている。
【００２４】
保持基板５０には共通液室の一部となる開口部５１が設けられている。アクチュエータ基板２０には開口部５１と内部の個別液室を通じる開口９が設けられている。共通液室部材７０には外部から液体を供給する液体供給口部７１が設けられている。
【００２５】
アクチュエータ基板２０には、圧電素子１１を駆動するドライバＩＣ５００が搭載されており、アクチュエータ基板２０の長手方向の端部にドライバＩＣ５００への接続配線パターン１８が設けられている。そして、この接続配線パターン１８に前記第１配線基板２１１が接続される。接続配線パターン１８と第１配線基板２１１の配線パターン２１５はワイヤボンディングで接続することができる。
【００２６】
そして、共通液室部材７０のヘッド本体部２０１の長手方向の端部に、アクチュエータ基板２０に接続される第１配線基板２１１を通して引き出す開口部２０２が設けられている。
【００２７】
次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図５及び図６を参照して説明する。図５は同液体吐出ヘッドの斜視説明図、図６は同じく短手方向から視た側面説明図である。
【００２８】
第１配線基板２１１は、ヘッド本体部２０１から引き出された部分がヘッド本体部２０１の短手方向に沿う方向に折り曲げられて、配線パターンの延伸方向がノズル面の面直方向に沿う方向からヘッド本体部２０１の短手方向に沿う方向に向きが変わる方向転換部分２１３が形成されている。更に、方向転換部分２１３の先端部２１３ａがヘッド本体部２０１の長手方向に沿う方向に折り曲げられて、第２配線基板２１２に対面して接続されている。
【００２９】
この場合、第１配線基板２１１は、折り曲げ前の状態では直線状となり、ヘッド本体部２０１の短手方向において、第１配線基板２１１の幅Ｗ１は最大幅も含めて開口部２０２の幅Ｗ０よりも狭くなるように形成している。なお、前記第１実施形態では、第１配線基板２１１の最大幅には方向転換部分２１３が含まれるので、開口部２０２の幅Ｗ０よりも広くなる。
【００３０】
これにより、第１配線基板２１１を、ヘッド本体部２０１の内部側から開口部２０２を通して引き出すことができるようになる。
【００３１】
つまり、前述した図４のヘッド本体部２０１の構成においては、第１配線基板２１１を共通液室部材７０の開口部２０２の内側から外側に向かって通すことができるようになる。したがって、アクチュエータ基板２０に接続された第１配線基板２１１を共通液室部材７０の開口部２０２を通した後、アクチュエータ基板２０に接合される保持基板５０と共通液室部材７０を接合することが可能になる。
【００３２】
これによって、第１配線基板２１１を共通液室部材７０の外側から開口部２０２を通した後に、第１配線基板２１１をアクチュエータ基板２０に接続する必要がなくなるので、フレームを兼ねる大きな共通液室部材７０が、アクチュエータ基板２０と第１配線基板２１１の接続作業の邪魔になることがなく、組み立て性が向上する。
【００３３】
次に、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図７を参照して説明する。図７は同液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【００３４】
本実施形態は、第２配線基板２２２としてフレキシブル配線基板を使用したものである。第２配線基板２２２は端子２２４を有し、上位装置のコネクタに接続されて制御信号や電源等を受取る。
【００３５】
次に、本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図８を参照して説明する。図８は同液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【００３６】
本実施形態では、第１配線基板２１１と第２配線基板２１２とを、第１配線基板２１１及び第２配線基板２１２とは別の第３配線基板２２３で接続している。第３配線基板２２３は、前記第１実施形態の第１配線基板２１１の方向転換部分２１３と同様な配線パターンを有し、先端部２２３ａがヘッド本体部２０１の長手方向に沿う方向に折り曲げられて、第２配線基板２１２と対面して接続されている。
【００３７】
したがって、第１配線基板２１１は、前記第２実施形態のように折り曲げ形状としないでも、開口部２０２内の幅よりも狭い幅の一定幅とした上で、第２配線基板２１２と接続することができる。
【００３８】
この場合、第３配線基板２２３と第２配線基板２１２とは、それぞれ別に製作してから、コネクタ接続、ＡＣＦ接続、ＮＣＰ接続、ハンダ接続、金属拡散接合による接続、ワイヤボンディングによる接続などで接続することができる。
【００３９】
あるいは、第３配線基板２２３と第２配線基板２１２はフライングリードタイプのリジッドフレキシブル基板（リジッドフレックス基板）とすることができる。これにより、接続信頼性が向上し、接続する工程を減らすことができる。
【００４０】
また、ヘッド本体部２０１に接続する第１配線基板２１１の長さを前記第１実施形態などよりも短くすることができて、取扱い性が向上し、第１配線基板２１１のアクチュエータ基板２０への接続やヘッド本体部２０１の組み立て作業性が向上する。また、第１配線基板２１１が短くなることで、開口部２０２を通し易くなり、この点でも作業性が向上する。
【００４１】
次に、本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図９及び図１０を参照して説明する。図９は同液体吐出ヘッドの斜視説明図、図１０は同じく第１配線基板の先端部分の断面説明図である。
【００４２】
本実施形態では、第１配線基板２１１は、基材２１１Ａ上に配線パターン２１５が設けられ、保護層２１１Ｂで配線パターン２１５が覆われて構成されている。そして、第１配線基板２１１の第２配線基板２１２と接続する端部に、補強板２３１を設けている。
【００４３】
補強板２３１は、第１配線基板２１１の端子部分を補強するためのものであり、例えば補強フィルムなどが使用される。この補強板２３１は、基材２１１Ａの端子２１１Ｃ（配線パターン２１５の保護層２１１Ｂがなく露出している部分）側とは反対側の面に設けられる。補強板２３１は保護層２１１Ｂよりも厚さが厚いものを使用している。
【００４４】
なお、その他の構成は前記第３実施形態と同様である。
【００４５】
第１配線基板２１１は、補強板２３１を設けた面と反対側の面で他の配線基板である第２配線基板２２２と接続される。そして、ヘッド本体部２０１の短手方向において、第１配線基板２１１が第２配線基板２２２と接合される面からヘッド本体部２０１の外周までの距離Ｌ１は、補強板２３１を設けた面からヘッド本体部２０１の外周までの距離Ｌ２よりも短い。
【００４６】
これにより、ヒータチップなどの接合ツールを、ヘッド本体部２０１の外周から第１配線基板２１１と第２配線基板２１２の接合位置までの距離が近い側から接合箇所に当てることができる。
【００４７】
したがって、ヘッド本体部２０１と接合ツールが干渉しにくくなり、接合箇所がヘッド本体部２０１に近くても（第１配線基板２１１のヘッド本体部２０１からの突出し量が少なくても）接合可能となり、ヘッドの小型化を図れる。
【００４８】
次に、本発明の第６実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１１を参照して説明する。図１１は同液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【００４９】
本実施形態では、前記第４実施形態において、第１配線基板２１１の第３配線基板２２３と接続する端部に補強板２３１を設けている。
【００５０】
第１配線基板２１１は、補強板２３１を設けた面と反対側の面で他の配線基板である第３配線基板２２３と接続される。そして、ヘッド本体部２０１の長手方向において、第１配線基板２１１が第３配線基板２２３と接合される面からヘッド本体部２０１の外周までの距離Ｌ３は、補強板２３１を設けた面からヘッド本体部２０１の外周までの距離Ｌ４よりも短い。
【００５１】
これにより、前記第５実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００５２】
次に、本発明の第７実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１２を参照して説明する。図１２は同液体吐出ヘッドの要部断面説明図である。
【００５３】
アクチュエータ基板２０に一端部を接続した第１配線基板２１１は、ノズル面１ａの面内方向に沿う方向から面直方向に沿う方向に曲げられて、共通液室部材７０の開口部２０２を通じて引き出されている。
【００５４】
ここで、第１配線基板２１１を曲げた状態で内面（ヘッド内面ではなく、第１配線基板２１１を曲げた円弧の内側の面）になる側にコンデンサなどの電気部品５０４が実装されている。
【００５５】
第１配線基板２１１をアクチュエータ基板２０に接続した状態でほぼ９０度曲げた場合、折りの癖が付いていなければ、開口部２０２に第１配線基板２１１を通すときに、第１配線基板２１１は曲げが伸びる方向に復元しようとする。
【００５６】
そこで、第１配線基板２１１を曲げた状態で内面になる側に部品５０４を実装することで、実装した部品５０４が開口部２０２の端に引っ掛かり難くなり、第１配線基板２１１を開口部２０２に通し易くなる。
【００５７】
次に、本発明の第８実施形態について図１３を参照して説明する。図１３は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【００５８】
本実施形態では、液体を吐出するヘッド本体部２０１上に、第１配線基板２１１、第２配線基板２１２、第３配線基板２２３を保持する保持部材２５０を搭載している。
【００５９】
そして、保持部材２５０のヘッド本体部２０１の短手方向に沿う側面に第１配線基板２１１を保持している。保持部材２５０のヘッド本体部２０１の長手方向に沿う側面に第２配線基板２１２を保持している。第３配線基板２２３は、第１配線基板２１１側の面に主面が重なって保持され、先端部２２３ａが第２配線基板２１２の外面に対面して接続されている。
【００６０】
第１配線基板２１１、第２配線基板２１２、第３配線基板２２３の保持部材２５０の取付け（保持）は、ネジで固定したり、クリップで基板を挟み込んで保持部材２５０を係止したり、両面テープや接着剤で配線基板２２３を固定したりして行うことができる。
【００６１】
次に、本発明の第９実施形態について図１４を参照して説明する。図１４は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【００６２】
この液体吐出ヘッド３００は、液体を吐出するヘッド本体部２０１と、ヘッド本体部２０１内の共通液室１０に通じて液体を供給する液体供給流路を有する液体供給部材３０１とを備えている。
【００６３】
そして、外部と接続するコネクタ２１４を有するプリント基板である第２配線基板２１２は、ヘッド本体部２０１の長手方向に沿う液体供給部材３０１の外面側に沿って、ノズル面に対して略垂直（垂直を含む。）に立てて配置されている。この第２配線基板２１２は、ヘッド本体部２０１の長手方向の端部から主面を短手方向に沿う方向にして引き出された第１配線基板２１１と第３配線基板２２３を介して接続されている。
【００６４】
次に、この第９実施形態におけるヘッド本体部の一例について図１５ないし図１８を参照して説明する。図１５は同じくヘッド本体部の斜視説明図、図１６は同ヘッド本体部のノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図１７は図１６の要部拡大断面説明図、図１８は同ヘッド本体部のノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。
【００６５】
ヘッド本体部２０１は、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材である振動板３と、圧力発生素子である圧電素子１１と、保持基板５０と、ＦＰＣなどの配線部材である第１配線基板２１１と、共通液室部材７０と、カバー部材４５とを備えている。
【００６６】
ここで、流路板２、振動板３及び圧電素子１１で構成される部分がアクチュエータ基板２０となる。
【００６７】
ノズル板１には、液体を吐出する複数のノズル４が形成されている。ここでは、ノズル４を配列したノズル列を４列配置した構成としている。
【００６８】
流路板２は、ノズル板１及び振動板３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部８を形成している。
【００６９】
この液導入部８は振動板３の開口９と保持基板５０の流路となる開口部５１を介して共通液室部材７０で形成される共通液室１０に通じている。
【００７０】
振動板３は、個別液室６の壁面の一部を形成する変形可能な振動領域３０を形成している。そして、この振動板３の振動領域３０の個別液室６と反対側の面には、振動領域３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動領域３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。
【００７１】
圧電素子１１は、振動領域３０側から下部電極１３、圧電層（圧電体）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には絶縁膜２１が形成されている。
【００７２】
複数の圧電素子１１の共通電極となる下部電極１３は、共通配線１５を介して共通電極電源配線パターン２６に接続されている。なお、下部電極１３は、ノズル配列方向ですべての圧電素子１１に跨って形成される１つの電極層である。
【００７３】
また、圧電素子１１の個別電極となる上部電極１４は、個別配線１６を介して駆動回路部である駆動ＩＣ（ドライバＩＣ）５００に接続されている。個別配線１６などは絶縁膜２２にて被覆されている。
【００７４】
ドライバＩＣ５００は、圧電素子列の列間の領域を覆うようにアクチュエータ基板２０にフリップチップボンディングなどの工法により実装されている。
【００７５】
アクチュエータ基板２０に搭載されたドライバＩＣ５００は、駆動波形（駆動信号）が供給される個別電極電源配線パターン２５と接続されている。
【００７６】
第１配線基板２１１に設けられた配線パターンが、ドライバＩＣ５００及び配線パターンと電気的に接続されており、第１配線基板２１１の他端側は第３配線基板２２３を介し第２配線基板２１２に接続され、更に装置本体側の制御部に接続される。
【００７７】
そして、アクチュエータ基板２０の振動板３側には、アクチュエータ基板２０上の圧電素子１１を覆っている保持基板５０が接着剤で接合されている。
【００７８】
保持基板５０には、共通液室１０と個別液室６側を通じる流路の一部となる開口部５１と、圧電素子１１を収容する凹部５２と、ドライバＩＣ５００を収容する開口部５３が設けられている。開口部５１は、ノズル配列方向に亘って延びるスリット状の貫通穴であり、ここでは共通液室１０の一部を構成している。
【００７９】
この保持基板５０は、アクチュエータ基板２０と共通液室部材７０との間に介在し、共通液室１０の壁面の一部を形成している。
【００８０】
共通液室部材７０は、各個別液室６に液体を供給する共通液室１０を形成する。なお、共通液室１０は４つのノズル列に対応してそれぞれ設けられる。また、液体供給部材３０１と通じる供給口部７１を介して共通液室１０に所要の色の液体が供給される。
【００８１】
共通液室部材７０には、ダンパ部材９０が接合されている。ダンパ部材９０は、共通液室１０の一部の壁面を形成する変形可能なダンパ９１と、ダンパ９１を補強するダンパプレート９２とを有している。
【００８２】
共通液室部材７０はノズル板１の外周部及び保持基板５０と接着剤で接合され、アクチュエータ基板２０及び保持基板５０を収容して、このヘッドのフレームを構成している。
【００８３】
そして、ノズル板１の周縁部及び共通液室部材７０の外周面の一部を覆うカバー部材４５を設けている。
【００８４】
このヘッド本体部２０１においては、ドライバＩＣ５００から圧電素子１１の上部電極１４と下部電極１３の間に電圧を与えることで、圧電層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域３０と平行な方向に収縮する。これにより、振動領域３０の下部電極１３側に引っ張り応力が発生し、振動領域３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液体が吐出される。
【００８５】
次に、本発明の第１０実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１９ないし図２１を参照して説明する。図１９は同液体吐出ヘッドの斜視説明図である。図２０は同じくフレーム部材の説明図であり、（ａ）は平面説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ１−Ａ１線に沿う断面説明図である。図２１は同じく配線基板を配置した状態でのフレーム部材の説明図であり、（ａ）は平面説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ２−Ａ２線に沿う断面説明図である。
【００８６】
ヘッド本体部２０１のフレーム部材２７０には、第１配線基板２１１をヘッド本体部２０１の外部へ引き出すためのフレーム部材２７０を貫通したスリット２７１が形成されている。スリット２７１は、前記第１実施形態の開口部２０２に相当する開口を形成している。
【００８７】
また、フレーム部材２７０には、スリット２７１と繋がっており、ノズル面側の面とは反対側の面、すなわち、第１配線基板２１１が引き出される側が開口された溝２７２とが形成されている。なお、図２０（ａ）及び図２１（ａ）では溝２７２に相当する領域に面塗りを施している。
【００８８】
溝２７２は、ヘッド本体部２０１の長手方向に延在する長手溝２７２ａと、ヘッド本体部２０１の短手方向に延在する短手溝２７２ｂで構成されている。溝２７２は、長手溝２７２ａと短手溝２７２ｂは繋がっていることで、フレーム部材２７０の上面側の平面視でＬ型形状をしている。
【００８９】
第１配線基板２１１は、スリット２７１を通してヘッド本体部２０１の外部に引き出されている。
【００９０】
第３配線基板２２３は、主面がヘッド本体部２０１の短手方向に沿った方向から、主面がヘッド本体部２０１の長手方向に沿った方向に曲げられて、短手溝２７２ｂと長手溝２７２ａにわたって配置されている。このとき、第３配線基板２２３の主面がヘッド本体部２０１の短手方向からヘッド本体部２０１の長手方向へ屈曲する屈曲部２２３ｂは、溝２７２内に位置している。
【００９１】
第２配線基板２１２は、主面がヘッド本体部２０１の長手方向に沿った状態で、ノズル面の面直方向に沿って立設されている。
【００９２】
第１配線基板２１１の一方の端子群はヘッド本体部２０１の外部に位置しており、ヘッド本体部２０１の外部で第３配線基板２２３の一方の端子群と半田接合又は異方性導電フィルム（ＡＣＦ）接合などにより、電気的に接続されている（接続部分を電気的接続部２３２とする。）
【００９３】
第３配線基板２２３の他方の端子群と第２配線基板２１２の端子群は半田接合などにより電気的に接続されている。この第３配線基板２２３と第２配線基板２１２との電気的接続部２３３の一部は、長手溝２７２ａ内に配置されている。したがって、第２配線基板２１２及び第３配線基板２２３もそれぞれ一部が溝２７２内に配置されることになる。
【００９４】
このように、第２配線基板２１２と第３配線基板２２３の電気的接続部２３３を含めて第２配線基板２１２の高さを低くする（フレーム部材２７０からの突出量を少なくする）ことができ、ヘッド全体での高さ方向の小型化を図れる。
【００９５】
また、第３配線基板２２３の一部を短手溝２７２ｂ内に収容して配置していることで、第３配線基板２２３の配線パターンは高さ方向で第１配線基板２１１と重なって位置し、第３配線基板２２３の配線パターンが高さ方向において第１配線基板２１１の先端よりも低い位置になる。
【００９６】
したがって、この点においてもヘッド全体での高さ方向の小型化を図れる。
【００９７】
また、第３配線基板２２３を曲げて第１配線基板２１１に接合するときに、第３配線基板２２３が長手溝２７２ａと短手溝２７２ｂに跨って配置されていることで、短手溝２７２ｂが第３配線基板２２３をガイドする効果も得られる。
【００９８】
つまり、第２配線基板２１２に予め接続された第３配線基板２２３を長手溝２７２ａに配置した状態で、第３配線基板２２３を短手溝２７２ｂに沿って曲げることで、第３配線基板２２３と第１配線基板２１１との電気的接続（接合）が容易になる。
【００９９】
次に、本発明の第１１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図２２及び図２３を参照して説明する。図２２は同液体吐出ヘッドのフレーム部材の説明図であり、（ａ）は平面説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ３−Ａ３線に沿う断面説明図である。図２３は同じく配線基板を配置した状態でのフレーム部材の説明図であり、（ａ）は平面説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ４−Ａ４線に沿う断面説明図である。
【０１００】
本実施形態は、前記第１０実施形態における短手溝２７２ｂを有さず、長手溝２７２ａだけで構成される溝２７２を設けた例である。
【０１０１】
ここでは、第３配線基板２２３の第２配線基板２１２と電気的に接続するための折り曲げ部分を溝２７２（長手溝２７２ａ）内に配置し、残りの部分をスリット２７１内に配置している。
【０１０２】
このように構成しても、前述したように、第２配線基板２１２と第３配線基板２２３の電気的接続部２３３を含めて第２配線基板２１２の高さを低くする（フレーム部材２７０からの突出量を少なくする）ことができ、ヘッド全体での高さ方向の小型化を図れる。また、このように構成しても、第３配線基板２２３の配線パターンが高さ方向において第１配線基板２１１の先端よりも低い位置になるので、この点においてもヘッド全体での高さ方向の小型化を図れる。
【０１０３】
次に、本発明の第１２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図２４を参照して説明する。図２４は同液体吐出ヘッドの斜視説明図である。
【０１０４】
本実施形態では、フレーム部材２７０のスリット２７１から引き出された第１配線基板２１１の端部２１１ａをスリット２７１側に折り返した状態で、第１配線基板２１１と第３配線基板２２３とを接合している。
【０１０５】
つまり、第１配線基板２１１として長さの長い配線基板を使用する場合、第１配線基板２１１をフレーム部材２７０のスリット２７１から引き出しただけでは、先端の端子群の位置と第３配線基板２２３の端子群との高さ方向における位置が合わない場合が生じる。
【０１０６】
そこで、スリット２７１から引き出した第１配線基板２１１の端部２１１ａをスリット２７１側に折り返すことで、先端の端子群を第３配線基板２２３の端子群の位置に調整した上で接合して電気的に接続することができる。
【０１０７】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図２５及び図２６を参照して説明する。図２５は同装置の要部平面説明図、図２６は同装置の要部側面説明図である。
【０１０８】
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【０１０９】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【０１１０】
液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
【０１１１】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
【０１１２】
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【０１１３】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【０１１４】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【０１１５】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【０１１６】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【０１１７】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【０１１８】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【０１１９】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。
【０１２０】
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【０１２１】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図２７を参照して説明する。図２７は同ユニットの要部平面説明図である。
【０１２２】
この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。
【０１２３】
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【０１２４】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図２８を参照して説明する。図２８は同ユニットの正面説明図である。
【０１２５】
この液体吐出ユニットは、液体供給部材である流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【０１２６】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【０１２７】
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【０１２８】
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
【０１２９】
「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【０１３０】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【０１３１】
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【０１３２】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【０１３３】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【０１３４】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【０１３５】
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
【０１３６】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【０１３７】
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【０１３８】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【０１３９】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【０１４０】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【０１４１】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【０１４２】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【０１４３】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【０１４４】
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【０１４５】
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【０１４６】
２０１  ヘッド本体部
２０２  開口部
２１１  第１配線基板
２１２  第２配線基板
２１３  方向転換部分
２２３  第３配線基板
２７０  フレーム部材
２７１  スリット
２７２  溝
４０３  キャリッジ
４０４  液体吐出ヘッド
４４０  液体吐出ユニット
【図１】
2018086834.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
2018086834.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
2018086834.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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