(57)【要約】【課題】不要なデータが多いデータ選択のまま解析を実行してしまう危険性を低減する。【解決手段】情報処理装置は、情報源から収集された解析対象の候補となる１種類以上のデータを記憶する対象データ記憶部１と、オペレータの指示に応じて解析処理を実施するデータ解析処理部６が実施可能なデータ解析の種別毎に、対象データ記憶部１に記憶されるデータ間の関係を示すデータ特性情報を予め記憶するデータ特性記憶部２と、オペレータが選択または入力したデータ解析の種別に対応するデータ特性情報をデータ特性記憶部２から取得し、取得したデータ特性情報を基に、データ解析の説明変数として設定すべき入力データと目的変数として設定すべき出力データとを示すガイド情報を提示するガイド情報提示部３とを備える。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報源から収集された解析対象の候補となる１種類以上のデータを記憶する対象データ記憶手段と、
オペレータの指示に応じて解析処理を実施するデータ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別毎に、前記対象データ記憶手段に記憶されるデータ間の関係を示すデータ特性情報を予め記憶するデータ特性記憶手段と、
オペレータが選択または入力したデータ解析の種別に対応するデータ特性情報を前記データ特性記憶手段から取得し、取得したデータ特性情報を基に、データ解析の説明変数として設定すべき入力データと目的変数として設定すべき出力データとを示すガイド情報を提示するガイド情報提示手段とを備えることを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の情報処理装置において、
さらに、前記ガイド情報に基づいて自動的に、またはオペレータの手動操作に応じて、データ解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを前記データ解析処理手段に対して設定する解析設定手段を備えることを特徴とする情報処理装置。
【請求項３】
請求項１記載の情報処理装置において、
前記ガイド情報は、データ解析の様式を示す情報を含み、このデータ解析の様式を示す情報は、解析を１回実施すべきことを示す情報、または複数の解析を並列に実施すべきことを示す情報であることを特徴とする情報処理装置。
【請求項４】
請求項３記載の情報処理装置において、
複数の温度制御ゾーンを有する加熱処理装置または冷却処理装置による加熱または冷却の対象物の被加熱特性または被冷却特性のモデルを求める解析が、前記データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別として用意されている場合に、前記加熱処理装置または冷却処理装置を情報源とするデータについて、前記加熱処理装置または冷却処理装置の複数の温度制御ゾーン間の接続関係と前記データ解析の種別とに応じて決定された前記データ特性情報が前記データ特性記憶手段に記憶され、
前記ガイド情報提示手段は、前記データ特性情報に基づいて、データ解析の様式を示す情報を含む前記ガイド情報を提示することを特徴とする情報処理装置。
【請求項５】
請求項３記載の情報処理装置において、
複数の温度制御ゾーンを有する加熱処理装置または冷却処理装置における装置外部温度のモデルを求める解析が、前記データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別として用意されている場合に、前記加熱処理装置または冷却処理装置を情報源とするデータについて、前記加熱処理装置または冷却処理装置の複数の温度制御ゾーン間の接続関係と前記データ解析の種別とに応じて決定された前記データ特性情報が前記データ特性記憶手段に記憶され、
前記ガイド情報提示手段は、前記データ特性情報に基づいて、データ解析の様式を示す情報を含む前記ガイド情報を提示することを特徴とする情報処理装置。
【請求項６】
請求項３記載の情報処理装置において、
複数の温度制御ゾーンを有する加熱処理装置または冷却処理装置の消費電力のモデルを求める解析が、前記データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別として用意されている場合に、前記加熱処理装置または冷却処理装置を情報源とするデータについて、前記加熱処理装置または冷却処理装置の複数の温度制御ゾーン間の接続関係と前記データ解析の種別とに応じて決定された前記データ特性情報が前記データ特性記憶手段に記憶され、
前記ガイド情報提示手段は、前記データ特性情報に基づいて、データ解析の様式を示す情報を含む前記ガイド情報を提示することを特徴とする情報処理装置。
【請求項７】
請求項３記載の情報処理装置において、
複数の温度制御ゾーンを有する加熱処理装置または冷却処理装置の各温度制御ゾーンの温度のモデルを求める解析が、前記データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別として用意されている場合に、前記加熱処理装置または冷却処理装置を情報源とするデータについて、前記加熱処理装置または冷却処理装置の複数の温度制御ゾーン間の接続関係と前記データ解析の種別とに応じて決定された前記データ特性情報が前記データ特性記憶手段に記憶され、
前記ガイド情報提示手段は、前記データ特性情報に基づいて、データ解析の様式を示す情報を含む前記ガイド情報を提示することを特徴とする情報処理装置。
【請求項８】
請求項３乃至７のいずれか１項に記載の情報処理装置において、
さらに、前記データ解析処理手段に対して、データ解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを設定する解析設定手段を備え、
前記解析設定手段は、解析を１回実施すべきことを示す情報が前記ガイド情報に含まれる場合には、前記ガイド情報に基づいて自動的に、またはオペレータの手動操作に応じて、データ解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを前記データ解析処理手段に対して１回設定し、複数の解析を並列に実施すべきことを示す情報が前記ガイド情報に含まれる場合には、前記ガイド情報に基づいて自動的に、またはオペレータの手動操作に応じて、それぞれの解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを前記データ解析処理手段に対して設定して、複数の解析を同時に実施するように前記データ解析処理手段に対して指示するか、あるいはそれぞれの解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを前記データ解析処理手段に対して順番に設定して、複数の解析を順次実施するように前記データ解析処理手段に対して指示することを特徴とする情報処理装置。
【請求項９】
情報源から収集された解析対象の候補となる１種類以上のデータを記憶する対象データ記憶手段と、オペレータの指示に応じて解析処理を実施するデータ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別毎に、前記対象データ記憶手段に記憶されるデータ間の関係を示すデータ特性情報を予め記憶するデータ特性記憶手段とを参照し、オペレータが選択または入力したデータ解析の種別に対応するデータ特性情報を前記データ特性記憶手段から取得し、取得したデータ特性情報を基に、データ解析の説明変数として設定すべき入力データと目的変数として設定すべき出力データとを示すガイド情報を提示するガイド情報提示ステップを含むことを特徴とする情報処理方法。
【請求項１０】
請求項９記載の情報処理方法において、
さらに、前記ガイド情報に基づいて自動的に、またはオペレータの手動操作に応じて、データ解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを前記データ解析処理手段に対して設定する解析設定ステップを含むことを特徴とする情報処理方法。
【請求項１１】
請求項９記載の情報処理方法において、
前記ガイド情報は、データ解析の様式を示す情報を含み、このデータ解析の様式を示す情報は、解析を１回実施すべきことを示す情報、または複数の解析を並列に実施すべきことを示す情報であることを特徴とする情報処理方法。
【請求項１２】
請求項１１記載の情報処理方法において、
複数の温度制御ゾーンを有する加熱処理装置または冷却処理装置による加熱または冷却の対象物の被加熱特性または被冷却特性のモデルを求める解析が、前記データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別として用意されている場合に、前記加熱処理装置または冷却処理装置を情報源とするデータについて、前記加熱処理装置または冷却処理装置の複数の温度制御ゾーン間の接続関係と前記データ解析の種別とに応じて決定された前記データ特性情報が前記データ特性記憶手段に記憶され、
前記ガイド情報提示ステップは、前記データ特性情報に基づいて、データ解析の様式を示す情報を含む前記ガイド情報を提示するステップを含むことを特徴とする情報処理方法。
【請求項１３】
請求項１１記載の情報処理方法において、
複数の温度制御ゾーンを有する加熱処理装置または冷却処理装置における装置外部温度のモデルを求める解析が、前記データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別として用意されている場合に、前記加熱処理装置または冷却処理装置を情報源とするデータについて、前記加熱処理装置または冷却処理装置の複数の温度制御ゾーン間の接続関係と前記データ解析の種別とに応じて決定された前記データ特性情報が前記データ特性記憶手段に記憶され、
前記ガイド情報提示ステップは、前記データ特性情報に基づいて、データ解析の様式を示す情報を含む前記ガイド情報を提示するステップを含むことを特徴とする情報処理方法。
【請求項１４】
請求項１１記載の情報処理方法において、
複数の温度制御ゾーンを有する加熱処理装置または冷却処理装置の消費電力のモデルを求める解析が、前記データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別として用意されている場合に、前記加熱処理装置または冷却処理装置を情報源とするデータについて、前記加熱処理装置または冷却処理装置の複数の温度制御ゾーン間の接続関係と前記データ解析の種別とに応じて決定された前記データ特性情報が前記データ特性記憶手段に記憶され、
前記ガイド情報提示ステップは、前記データ特性情報に基づいて、データ解析の様式を示す情報を含む前記ガイド情報を提示するステップを含むことを特徴とする情報処理方法。
【請求項１５】
請求項１１記載の情報処理方法において、
複数の温度制御ゾーンを有する加熱処理装置または冷却処理装置の各温度制御ゾーンの温度のモデルを求める解析が、前記データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別として用意されている場合に、前記加熱処理装置または冷却処理装置を情報源とするデータについて、前記加熱処理装置または冷却処理装置の複数の温度制御ゾーン間の接続関係と前記データ解析の種別とに応じて決定された前記データ特性情報が前記データ特性記憶手段に記憶され、
前記ガイド情報提示ステップは、前記データ特性情報に基づいて、データ解析の様式を示す情報を含む前記ガイド情報を提示するステップを含むことを特徴とする情報処理方法。
【請求項１６】
請求項１１乃至１５のいずれか１項に記載の情報処理方法において、
さらに、前記データ解析処理手段に対して、データ解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを設定する解析設定ステップを含み、
前記解析設定ステップは、解析を１回実施すべきことを示す情報が前記ガイド情報に含まれる場合には、前記ガイド情報に基づいて自動的に、またはオペレータの手動操作に応じて、データ解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを前記データ解析処理手段に対して１回設定し、複数の解析を並列に実施すべきことを示す情報が前記ガイド情報に含まれる場合には、前記ガイド情報に基づいて自動的に、またはオペレータの手動操作に応じて、それぞれの解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを前記データ解析処理手段に対して設定して、複数の解析を同時に実施するように前記データ解析処理手段に対して指示するか、あるいはそれぞれの解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを前記データ解析処理手段に対して順番に設定して、複数の解析を順次実施するように前記データ解析処理手段に対して指示するステップを含むことを特徴とする情報処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ビッグデータを解析する技術に係り、特にビッグデータを対象とする解析を行なう際に、不要なデータが多いデータ選択のまま解析を実行してしまう危険性を低減することができる情報処理装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータおよび関連技術の高速化、小型化、低価格化により、高度な制御技術が小型の装置レベルでも実現可能になっている。一方で、ＩｏＴ（Internet of Things）というキーワードに代表されるように、ネットワーク技術が進化し、市場浸透してきている。特にクラウドサーバに大量のデータ（いわゆるビッグデータ）を収集して、新たな価値創造に結び付けるソリューションサービスビジネスが活性化している。
【０００３】
ビッグデータを対象とする多変量解析手法（ＡＩ（Artificial Intelligence）、ＳＶＭ（Support Vector Machine）などの技術を含む）では、解析の負荷を大きくするだけで解析に貢献しないデータや誤った解析の原因になるデータ（以下、これらのデータを総称してゴミデータと呼ぶ）の問題がある。ゴミデータの性質を考慮しないで、多変量解析などの処理を行なうと、誤った解析結果が導かれる危険性が高くなったり、解析処理に時間がかかったり、最悪の場合には解析処理に要する時間が長くなり過ぎて処理が完了しなくなったりするなどの問題が認識されている。
【０００４】
このような問題に対処するため、例えばデータをある程度の範囲で適正化するための前処理として、時系列データに対するローパスフィルタによる高周波ノイズ除去技術が知られている。また、この性質を応用したデータ処理方法が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１８１０８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、ビッグデータに含まれるゴミデータは、複雑な性質のものであり、ローパスフィルタで適切な除去ができるデータばかりではない。したがって、ビッグデータに含まれるゴミデータを適切に取り除く技術の改善が求められている。特に、解析を実施しようとするオペレータが解析技術に精通している専門家とは限らないので、解析技術を熟知していないオペレータであっても、ゴミデータを適切に取り除くことができる技術が求められている。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、不要なデータが多いデータ選択のまま解析を実行してしまう危険性を低減することができる情報処理装置および方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の情報処理装置は、情報源から収集された解析対象の候補となる１種類以上のデータを記憶する対象データ記憶手段と、オペレータの指示に応じて解析処理を実施するデータ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別毎に、前記対象データ記憶手段に記憶されるデータ間の関係を示すデータ特性情報を予め記憶するデータ特性記憶手段と、オペレータが選択または入力したデータ解析の種別に対応するデータ特性情報を前記データ特性記憶手段から取得し、取得したデータ特性情報を基に、データ解析の説明変数として設定すべき入力データと目的変数として設定すべき出力データとを示すガイド情報を提示するガイド情報提示手段とを備えることを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の情報処理装置の１構成例は、さらに、前記ガイド情報に基づいて自動的に、またはオペレータの手動操作に応じて、データ解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを前記データ解析処理手段に対して設定する解析設定手段を備えることを特徴とするものである。
また、本発明の情報処理装置の１構成例において、前記ガイド情報は、データ解析の様式を示す情報を含み、このデータ解析の様式を示す情報は、解析を１回実施すべきことを示す情報、または複数の解析を並列に実施すべきことを示す情報である。
【００１０】
また、本発明の情報処理装置の１構成例は、複数の温度制御ゾーンを有する加熱処理装置または冷却処理装置による加熱または冷却の対象物の被加熱特性または被冷却特性のモデルを求める解析が、前記データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別として用意されている場合に、前記加熱処理装置または冷却処理装置を情報源とするデータについて、前記加熱処理装置または冷却処理装置の複数の温度制御ゾーン間の接続関係と前記データ解析の種別とに応じて決定された前記データ特性情報が前記データ特性記憶手段に記憶され、前記ガイド情報提示手段は、前記データ特性情報に基づいて、データ解析の様式を示す情報を含む前記ガイド情報を提示することを特徴とするものである。
また、本発明の情報処理装置の１構成例は、複数の温度制御ゾーンを有する加熱処理装置または冷却処理装置における装置外部温度のモデルを求める解析が、前記データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別として用意されている場合に、前記加熱処理装置または冷却処理装置を情報源とするデータについて、前記加熱処理装置または冷却処理装置の複数の温度制御ゾーン間の接続関係と前記データ解析の種別とに応じて決定された前記データ特性情報が前記データ特性記憶手段に記憶され、前記ガイド情報提示手段は、前記データ特性情報に基づいて、データ解析の様式を示す情報を含む前記ガイド情報を提示することを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の情報処理装置の１構成例は、複数の温度制御ゾーンを有する加熱処理装置または冷却処理装置の消費電力のモデルを求める解析が、前記データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別として用意されている場合に、前記加熱処理装置または冷却処理装置を情報源とするデータについて、前記加熱処理装置または冷却処理装置の複数の温度制御ゾーン間の接続関係と前記データ解析の種別とに応じて決定された前記データ特性情報が前記データ特性記憶手段に記憶され、前記ガイド情報提示手段は、前記データ特性情報に基づいて、データ解析の様式を示す情報を含む前記ガイド情報を提示することを特徴とするものである。
また、本発明の情報処理装置の１構成例は、複数の温度制御ゾーンを有する加熱処理装置または冷却処理装置の各温度制御ゾーンの温度のモデルを求める解析が、前記データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別として用意されている場合に、前記加熱処理装置または冷却処理装置を情報源とするデータについて、前記加熱処理装置または冷却処理装置の複数の温度制御ゾーン間の接続関係と前記データ解析の種別とに応じて決定された前記データ特性情報が前記データ特性記憶手段に記憶され、前記ガイド情報提示手段は、前記データ特性情報に基づいて、データ解析の様式を示す情報を含む前記ガイド情報を提示することを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の情報処理装置の１構成例は、さらに、前記データ解析処理手段に対して、データ解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを設定する解析設定手段を備え、前記解析設定手段は、解析を１回実施すべきことを示す情報が前記ガイド情報に含まれる場合には、前記ガイド情報に基づいて自動的に、またはオペレータの手動操作に応じて、データ解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを前記データ解析処理手段に対して１回設定し、複数の解析を並列に実施すべきことを示す情報が前記ガイド情報に含まれる場合には、前記ガイド情報に基づいて自動的に、またはオペレータの手動操作に応じて、それぞれの解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを前記データ解析処理手段に対して設定して、複数の解析を同時に実施するように前記データ解析処理手段に対して指示するか、あるいはそれぞれの解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとを前記データ解析処理手段に対して順番に設定して、複数の解析を順次実施するように前記データ解析処理手段に対して指示することを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の情報処理方法は、情報源から収集された解析対象の候補となる１種類以上のデータを記憶する対象データ記憶手段と、オペレータの指示に応じて解析処理を実施するデータ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別毎に、前記対象データ記憶手段に記憶されるデータ間の関係を示すデータ特性情報を予め記憶するデータ特性記憶手段とを参照し、オペレータが選択または入力したデータ解析の種別に対応するデータ特性情報を前記データ特性記憶手段から取得し、取得したデータ特性情報を基に、データ解析の説明変数として設定すべき入力データと目的変数として設定すべき出力データとを示すガイド情報を提示するガイド情報提示ステップを含むことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、データ解析処理手段が実施可能なデータ解析の種別毎に、対象データ記憶手段に記憶されるデータ間の関係を示すデータ特性情報をデータ特性記憶手段に予め登録しておき、ガイド情報提示手段が、オペレータが選択または入力したデータ解析の種別に対応するデータ特性情報をデータ特性記憶手段から取得し、取得したデータ特性情報を基に、データ解析の説明変数として設定すべき入力データと目的変数として設定すべき出力データとを示すガイド情報を提示することにより、ビッグデータを対象とする解析を行なう際に、不要なデータを減らせる可能性に関する情報を提示できることになり、不要なデータが多いデータ選択のまま、何らかの解析を実行してしまう危険性を低減することができる。本発明によれば、解析技術を熟知していないオペレータであっても、不要なデータを取り除くことができる。
【００１５】
また、本発明では、ガイド情報に基づいて自動的に、またはオペレータの手動操作に応じて、データ解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとをデータ解析処理手段に対して設定する解析設定手段を設けることにより、データ解析処理手段を直接操作することなく解析のための設定を行なうことができる。
【００１６】
また、本発明では、ガイド情報提示手段が、データ解析の様式を示す情報を含むガイド情報を提示することにより、解析を１回実施すべきか、複数の解析を並列に実施すべきかの情報をオペレータに提供することができる。
【００１７】
また、本発明では、解析設定手段を設けることにより、解析を１回実施するための設定または複数の解析を並列に実施するための設定を、データ解析処理手段を直接操作することなく行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の原理を説明する図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る情報処理装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る情報処理装置の動作を説明するフローチャートである。
【図４】本発明の第１の実施の形態における加熱処理装置の構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態において情報処理装置のデータ特性記憶部に登録されるデータ特性情報の例を示す図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態において情報処理装置のデータ特性記憶部に登録されるデータ特性情報の別の例を示す図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態において情報処理装置のデータ特性記憶部に登録されるデータ特性情報の別の例を示す図である。
【図８】本発明の第１の実施の形態において情報処理装置のデータ特性記憶部に登録されるデータ特性情報の別の例を示す図である。
【図９】本発明の第１の実施の形態に係る情報処理装置のガイド情報提示部による提示例を示す図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態における加熱処理装置の構成を示すブロック図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態において情報処理装置のデータ特性記憶部に登録されるデータ特性情報の例を示す図である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態において情報処理装置のデータ特性記憶部に登録されるデータ特性情報の別の例を示す図である。
【図１３】本発明の第２の実施の形態において情報処理装置のデータ特性記憶部に登録されるデータ特性情報の別の例を示す図である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態に係る情報処理装置のガイド情報提示部による提示例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
［発明の原理］
発明者は、ビッグデータが発生するケースとして、情報源の数が大量であることによりビッグデータになるケースや、１個の情報源からの情報の数が大量であることによりビッグデータになるケースがあることに着眼した。図１は本発明の原理を説明する図であり、ビッグデータの発生形態を分類した図である。図１では、ビッグデータの発生を模式的に説明するため、ビッグデータの数を１００個に縮小している。
【００２０】
図１に示すように、ビッグデータの発生形態は、例えば１×１００型、１０×１０型、１００×１型のような捉え方で表現できる。１×１００型は１つの情報源Ｓから１つのデータが生じる形態である。この場合、情報源Ｓがビッグデータの数だけ大量に存在することになる。この１×１００型の代表的な情報源Ｓとしては、ＢｔｏＣ（Business-to-Consumer）の量産品の個人消費者などが考えられる。
【００２１】
１０×１０型は適量の情報源Ｓの各々から適量のデータが生じる形態である。この１０×１０型の代表的な情報源Ｓとしては、ＢｔｏＣあるいはＢｔｏＢ（Business to Business）の一般設備（例えば空調設備などの設備機器）などが考えられる。
【００２２】
１００×１型は１つの情報源Ｓから大量のデータが生じる形態である。この１００×１型の代表的な情報源Ｓとしては、ＢｔｏＢの専用製造装置（例えば半導体製造装置や薬品の製造プラント）などが考えられる。
【００２３】
なお、図１の例は、両極端な形態（１×１００型、１００×１型）と中間的な形態（１０×１０型）を表現した例であるが、中間的な形態は、１０×１０型のように情報源Ｓの数と１情報源あたりのデータの種類の数が同数の形態だけでなく、例えば２×５０型、４×２５型、２５×４型，２０×５型のように、さらに中間的な形態が連続的に存在すると考えるべきものである。
【００２４】
ここで、概ね１×１００型から１０×１０型に該当するケース（図１の上寄りの形態）のビッグデータは、複数の情報源間の共通特性が解析の対象になるという性質のデータである。特に１×１００型の形態で考えれば明確であるが、各情報源Ｓから得られるデータは、個々の情報源Ｓに限定した特性についての分析をするに足るデータにはなり得ない。
【００２５】
一方、概ね１０×１０型から１００×１型に該当するケース（図１の下寄りの形態）のビッグデータは、個々の情報源Ｓに特有の特性がデータに反映され易いので、複数の情報源間の共通特性が解析の対象外になるという性質のデータである。特に１００×１型の形態で考えれば明確であるが、情報源Ｓから得られるデータは、複数の情報源間の共通特性についての分析をするに足るデータにはなり得ない。
【００２６】
以上のようなデータの性質を踏まえ、情報源間の共通特性の存在の可能性について、例えば複数の加熱ゾーンが並列的に配置された加熱処理装置（例えば縦型炉）を想定してみると、１台の加熱処理装置内に複数の加熱ゾーンが並列的に存在していて、加熱ゾーン自体の特性を解析する場合、共通特性を抽出する可能性が高くなる。
【００２７】
一方で、１台の加熱処理装置内に複数の加熱ゾーンが直列的に配置された加熱処理装置（例えばトンネル炉）を想定してみると、複数の加熱ゾーンを順次通過する製品の被加熱特性を解析する場合、複数の加熱ゾーンを１個の情報源として扱う可能性が高くなる。
【００２８】
したがって、１台の加熱処理装置内に存在する複数の加熱ゾーンあるいは同様の形態のものを情報源とする場合に、情報源から収集されるデータについて、情報源の構造と実施可能なデータ解析の種別とに応じてデータ間の関係を示すデータ特性情報を予め登録しておき、オペレータが実施しようとするデータ解析の種別に応じて、データ特性情報を利用してオペレータに情報提供を行なうようにすれば、ゴミデータの発生を低減できることに想到した。
【００２９】
［第１本実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図２は本発明の第１の実施の形態に係る情報処理装置の構成を示すブロック図である。情報処理装置は、情報源から収集された解析対象の候補となる１種類以上のデータを記憶する対象データ記憶部１と、オペレータの指示に応じて解析処理を実施するデータ解析処理部６が実施可能なデータ解析の種別毎に、対象データ記憶部１に記憶されるデータ間の関係を示すデータ特性情報を予め記憶するデータ特性記憶部２と、オペレータが選択または入力したデータ解析の種別に対応するデータ特性情報をデータ特性記憶部２から取得し、取得したデータ特性情報を基に、データ解析の説明変数として設定すべき入力データと目的変数として設定すべき出力データとを示すガイド情報を提示するガイド情報提示部３と、ガイド情報に基づいて自動的に、またはオペレータの手動操作に応じて、データ解析の説明変数となる入力データと目的変数となる出力データとをデータ解析処理部６に対して設定する解析設定部４と、オペレータが情報処理装置に対して指示を与えるための入力装置５と、解析処理を実施するデータ解析処理部６とを備えている。
【００３０】
以下、本実施の形態の情報処理装置の動作を図３を参照して説明する。まず、対象データ記憶部１には、情報源から収集された解析対象の候補となるデータが記憶される（図３ステップＳ１００）。
【００３１】
図４は本実施の形態の情報源の例である加熱処理装置の構成を示すブロック図である。ここでは、加熱処理装置の例として、複数の加熱ゾーンＺ１〜Ｚ４を有するトンネル炉２００を用いるものを例に挙げている。トンネル炉２００は、具体的には例えば半田リフロー炉であり、加熱ゾーンＺ１からＺ４への方向へコンベアによりワーク（対象物）を流す炉である。
【００３２】
温度センサＳ１〜Ｓ４は、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される加熱ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度計測値ＰＶ１〜ＰＶ４を測定する。温度コントローラ２０１は、それぞれ温度センサＳ１〜Ｓ４によって測定された温度計測値ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する。電力調整器２０２−１〜２０２−４は、温度コントローラ２０１から出力された操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する。
【００３３】
以上のような加熱処理装置から、例えば加熱ゾーンＺ１については、加熱ゾーンＺ１温度設定値時系列データＳＰ１、加熱ゾーンＺ１温度計測値時系列データＰＶ１、加熱ゾーンＺ１ヒータ出力時系列データＭＶ１、加熱ゾーンＺ１外部手元温度時系列データＳＴ１、加熱ゾーンＺ１ヒータ容量データＨＣ１という５種類のデータが収集され、対象データ記憶部１に記憶されるものとする。
【００３４】
加熱ゾーンＺ２については、加熱ゾーンＺ２温度設定値時系列データＳＰ２、加熱ゾーンＺ２温度計測値時系列データＰＶ２、加熱ゾーンＺ２ヒータ出力時系列データＭＶ２、加熱ゾーンＺ２外部手元温度時系列データＳＴ２、加熱ゾーンＺ２ヒータ容量データＨＣ２という５種類のデータが収集され、対象データ記憶部１に記憶されるものとする。
【００３５】
加熱ゾーンＺ３については、加熱ゾーンＺ３温度設定値時系列データＳＰ３、加熱ゾーンＺ３温度計測値時系列データＰＶ３、加熱ゾーンＺ３ヒータ出力時系列データＭＶ３、加熱ゾーンＺ３外部手元温度時系列データＳＴ３、加熱ゾーンＺ３ヒータ容量データＨＣ３という５種類のデータが収集され、対象データ記憶部１に記憶されるものとする。
【００３６】
加熱ゾーンＺ４については、加熱ゾーンＺ４温度設定値時系列データＳＰ４、加熱ゾーンＺ４温度計測値時系列データＰＶ４、加熱ゾーンＺ４ヒータ出力時系列データＭＶ４、加熱ゾーンＺ４外部手元温度時系列データＳＴ４、加熱ゾーンＺ４ヒータ容量データＨＣ４という５種類のデータが収集され、対象データ記憶部１に記憶されるものとする。
【００３７】
上記のとおり、温度設定値時系列データＳＰ１〜ＳＰ４は温度コントローラ２０１に設定される値であり、温度計測値時系列データＰＶ１〜ＰＶ４（制御量）は温度センサＳ１〜Ｓ４によって計測される値であり、ヒータ出力時系列データＭＶ１〜ＭＶ４（操作量）は温度コントローラ２０１から出力される値である。
【００３８】
外部手元温度時系列データＳＴ１〜ＳＴ４は、それぞれ加熱ゾーンＺ１〜Ｚ４の外部の周囲温度、特に作業者の手元高さ位置の温度を測定する温度センサ（不図示）によって計測される値である。ヒータ容量データＨＣ１〜ＨＣ４は、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４の性能を示す値である。このヒータ容量データＨＣ１〜ＨＣ４は、例えば加熱処理装置の電力管理のためのＥＭＳ（Energy Management System）から収集される。
【００３９】
また、例えばＥＭＳからヒータ総消費電力時系列データＰＷが収集され、対象データ記憶部１に記憶されるものとする。さらに、半田溶融性評価データＱＥが収集され、対象データ記憶部１に記憶されるものとする。なお、半田溶融性評価データＱＥの具体例としては、特開２０１０−２０４０１２号公報に示される濡れ角や、特開平１０−３０５３６４号公報に示される濡れ性と半田付け性などがあり、計測方法としては、特開２０１０−２０４０１２号公報に示される濡れ角測定部の方法（ＣＣＤ等で撮像される溶融半田の液滴形状データを利用するオンライン計測方法）などがある。
【００４０】
次に、データ特性記憶部２には、データ解析処理部６が実施可能なデータ解析の種別毎に、データ間の関係を示すデータ特性情報が予め登録されている。データ特性情報には、対象データ記憶部１に記憶されるデータのうち、データ解析の説明変数（または独立変数）となる入力データとこれに対応する目的変数（または従属変数）となる出力データとを示す入出力関係情報が含まれる。
【００４１】
本実施の形態では、データ解析処理部６が実施可能なデータ解析として、温度特性モデル解析、被加熱特性解析（半田溶融特性解析）、総電力特性解析、安全管理特性解析の４種類が予め用意されているものとする。温度特性モデル解析は、例えば加熱処理装置の温度ＰＶ（制御量）のモデル式を加熱ゾーン毎に求める解析である。温度特性モデル解析というデータ解析の種別に対して登録されたデータ特性情報の例を図５に示す。
【００４２】
図５の例では、温度特性モデル解析というデータ解析の種別に対して、入力データＭＶ１に対応する出力データがＰＶ１、入力データＭＶ２に対応する出力データがＰＶ２、入力データＭＶ３に対応する出力データがＰＶ３、入力データＭＶ４に対応する出力データがＰＶ４というデータ特性情報が登録されている。
【００４３】
また、図５によると、入力データＭＶ１〜ＭＶ４が互いに独立して登録され、出力データＰＶ１〜ＰＶ４も互いに独立して登録されているため、入力データＭＶ１を説明変数とし出力データＰＶ１を目的変数とする解析と、入力データＭＶ２を説明変数とし出力データＰＶ２を目的変数とする解析と、入力データＭＶ３を説明変数とし出力データＰＶ３を目的変数とする解析と、入力データＭＶ４を説明変数とし出力データＰＶ４を目的変数とする解析とを並列に実施すべきことが分かる。
【００４４】
図４の加熱処理装置の例では、加熱ゾーンＺ１〜Ｚ４が直列に配置されているが、上記のとおり温度特性モデル解析では、モデル式を加熱ゾーン毎に求めるため、解析が加熱ゾーン毎に実施されるようにデータ特性記憶部２に情報が登録されている。
【００４５】
被加熱特性解析（半田溶融特性解析）は、例えば半田溶融性のモデル式を求める解析である。被加熱特性解析（半田溶融特性解析）というデータ解析の種別に対して登録されたデータ特性情報の例を図６に示す。図６の例では、被加熱特性解析というデータ解析の種別に対して、入力データＰＶ１，ＭＶ１，ＰＶ２，ＭＶ２，ＰＶ３，ＭＶ３，ＰＶ４，ＭＶ４に対応する出力データがＱＥというデータ特性情報が登録されている。
【００４６】
また、図６によると、複数の入力データＰＶ１，ＭＶ１，ＰＶ２，ＭＶ２，ＰＶ３，ＭＶ３，ＰＶ４，ＭＶ４に対して出力データがＱＥの１つだけ登録されているため、入力データＰＶ１，ＭＶ１，ＰＶ２，ＭＶ２，ＰＶ３，ＭＶ３，ＰＶ４，ＭＶ４を説明変数とし出力データＱＥを目的変数とする解析を１回実施すべきことが分かる。
【００４７】
図４の加熱処理装置の例では、加熱ゾーンＺ１〜Ｚ４が直列に配置されており、入力データＰＶ１，ＭＶ１，ＰＶ２，ＭＶ２，ＰＶ３，ＭＶ３，ＰＶ４，ＭＶ４が半田溶融性に関係すると考えられるため、半田溶融性のモデル式を求める解析においては、これらの入力データＰＶ１，ＭＶ１，ＰＶ２，ＭＶ２，ＰＶ３，ＭＶ３，ＰＶ４，ＭＶ４を組み合わせて用いるようにデータ特性記憶部２に情報が登録されている。
【００４８】
総電力特性解析は、例えばヒータ総消費電力のモデル式を求める解析である。総電力特性解析というデータ解析の種別に対して登録されたデータ特性情報の例を図７に示す。図７の例では、総電力特性解析というデータ解析の種別に対して、入力データＨＣ１，ＭＶ１，ＨＣ２，ＭＶ２，ＨＣ３，ＭＶ３，ＨＣ４，ＭＶ４に対応する出力データがＰＷというデータ特性情報が登録されている。
【００４９】
また、図７によると、複数の入力データＨＣ１，ＭＶ１，ＨＣ２，ＭＶ２，ＨＣ３，ＭＶ３，ＨＣ４，ＭＶ４に対して出力データがＰＷの１つだけ登録されているため、入力データＨＣ１，ＭＶ１，ＨＣ２，ＭＶ２，ＨＣ３，ＭＶ３，ＨＣ４，ＭＶ４を説明変数とし出力データＰＷを目的変数とする解析を１回実施すべきことが分かる。
【００５０】
安全管理特性解析は、例えば外部手元温度ＳＴ（作業者の手元高さ位置の温度）のモデル式を加熱ゾーン毎に求める解析である。安全管理特性解析というデータ解析の種別に対して登録されたデータ特性情報の例を図８に示す。図８の例では、安全管理特性解析というデータ解析の種別に対して、入力データＰＶ１，ＭＶ１に対応する出力データがＳＴ１、入力データＰＶ２，ＭＶ２に対応する出力データがＳＴ２、入力データＰＶ３，ＭＶ３に対応する出力データがＳＴ３、入力データＰＶ４，ＭＶ４に対応する出力データがＳＴ４というデータ特性情報が登録されている。
【００５１】
また、図８によると、入力データＰＶ１〜ＰＶ４（ＭＶ１〜ＭＶ４）が互いに独立して登録され、出力データＳＴ１〜ＳＴ４も互いに独立して登録されているため、入力データＰＶ１，ＭＶ１を説明変数とし出力データＳＴ１を目的変数とする解析と、入力データＰＶ２，ＭＶ２を説明変数とし出力データＳＴ２を目的変数とする解析と、入力データＰＶ３，ＭＶ３を説明変数とし出力データＳＴ３を目的変数とする解析と、入力データＰＶ４，ＭＶ４を説明変数とし出力データＳＴ４を目的変数とする解析とを並列に実施すべきことが分かる。安全管理特性解析では、モデル式を加熱ゾーン毎に求めるため、解析が加熱ゾーン毎に実施されるようにデータ特性記憶部２に情報が登録されている。
【００５２】
以上のようなデータ特性情報は、例えば加熱処理装置のメーカーの担当者や情報処理装置のメーカーの担当者によって設定される。なお、データ特性情報は、説明変数と目的変数を定義する情報と言えるので、必要に応じて予備解析を実施し、説明変数と目的変数の絞り込みを行ない、データ特性情報を決定する必要がある。
【００５３】
次に、オペレータは、データ解析を開始しようとするときに、入力装置５を操作して情報処理装置に対して解析開始を指示する（図３ステップＳ１０１においてＹＥＳ）。
ガイド情報提示部３は、オペレータが解析開始の指示時に選択または入力した、所望のデータ解析の種別名に応じて、このデータ解析の種別に対応するデータ特性情報をデータ特性記憶部２から取得し、取得したデータ特性情報を基に、データ解析の説明変数として設定すべき入力データと、目的変数として設定すべき出力データと、データ解析の様式（１回実施、並列実施）とを示すガイド情報を提示（表示）する（図３ステップＳ１０２）。
【００５４】
図９はガイド情報提示部３による提示例を示す図である。図９の例では、データ解析の種別としてオペレータが被加熱特性解析を選択し、被加熱特性解析に用いるデータとしてＰＶ１，ＰＶ２，ＰＶ３，ＰＶ４，ＰＷ，ＱＥを指定した場合のガイド情報が画面３０に表示されている。ガイド情報は、データ解析を１回実施すべきであり、目的変数として設定すべき出力データがＱＥで、説明変数として設定すべき入力データがＰＶ１，ＭＶ１，ＰＶ２，ＭＶ２，ＰＶ３，ＭＶ３，ＰＶ４，ＭＶ４であることを示している。
【００５５】
なお、後述のように、データ解析処理部６に対しては解析設定部４が必要なデータを設定するので、オペレータが解析開始の指示時に被加熱特性解析に用いるデータとしてＰＶ１，ＰＶ２，ＰＶ３，ＰＶ４，ＰＷ，ＱＥを指定することは本発明において必須の要件ではない。
【００５６】
次に、解析設定部４は、ガイド情報に基づいて自動的に、またはガイド情報を見たオペレータの手動操作に応じて、データ解析処理部６に対して、データ解析の説明変数となる入力データと、目的変数となる出力データとを設定する（図３ステップＳ１０３）。上記の例では、被加熱特性解析というデータ解析の際に、入力データとしてＰＶ１，ＭＶ１，ＰＶ２，ＭＶ２，ＰＶ３，ＭＶ３，ＰＶ４，ＭＶ４を設定し、出力データとしてＱＥを設定することになる。
【００５７】
データ解析処理部６は、対象データ記憶部１に記憶された解析対象の候補となるデータのうち、解析設定部４から説明変数として指定された入力データと目的変数として指定された出力データに対して、オペレータが解析開始の指示時に選択または入力したデータ解析の種別名に応じた解析処理を実施する（図３ステップＳ１０４）。
【００５８】
ビッグデータを対象とする解析手法としては様々な解析手法が提案されているが、どのような手法で解析を行なうかは本発明の本質的な問題ではないので、解析手法の詳細な説明は省略する。ただし、本発明では、説明変数と目的変数が予め設定される解析手法が対象となる。このような解析手法の例としては、例えば重回帰分析がある。
【００５９】
以上により、本実施の形態では、ビッグデータを対象とする解析を行なう際に、ゴミデータを減らせる可能性に関する情報（ガイド情報）を実質的に提示できることになり、ゴミデータが多い可能性の高いデータ選択のまま、何らかの解析を実行してしまう危険性を低減することができる。
【００６０】
上記の例では、オペレータが被加熱特性解析に用いるデータとして指定したＰＶ１，ＰＶ２，ＰＶ３，ＰＶ４，ＰＷ，ＱＥのうち、ヒータ総消費電力時系列データＰＷがゴミデータになる可能性のあるデータである。このデータＰＷが被加熱特性解析の入力データとして使用され、半田溶融特性と偶然に関連性が抽出された場合、このときの解析は不適切な解析ということになる。
【００６１】
一方で、データが不足していることにより、不適切な解析になることもある。その場合は、その不適切な解析に使用された不十分なデータが、実質的にゴミデータと同等の評価を受ける危険性があるわけでもあり、本実施の形態ではその危険性も低減することができる。
【００６２】
例えば、上記被加熱特性解析に関する直列のデータ関係を並列のデータ関係として誤使用して解析すると、加熱処理装置としての不良発生原因として、メインゾーン（加熱ゾーンＺ２，Ｚ３）以外の予備加熱ゾーン（加熱ゾーンＺ１）や冷却ゾーン（加熱ゾーンＺ４）からの影響を見落とすような解析結果が導かれる危険性もある。すなわち、このようなケースで炉内温度に着眼して分析するのであれば、全てのゾーンの温度時系列データが、不良発生原因の解析に取り込まれるべきなのである。
【００６３】
また、本実施の形態では、解析設定部４を設けることにより、オペレータがデータ解析処理部６（データ解析ソフトウェア）を直接操作することなく解析のための設定を行なうことができる。特に解析設定部４が自動的に設定を行なう場合には、オペレータの手間を削減することができる。
【００６４】
なお、上記の被加熱特性解析の例では、入力データＰＶ１，ＭＶ１，ＰＶ２，ＭＶ２，ＰＶ３，ＭＶ３，ＰＶ４，ＭＶ４を説明変数とし出力データＱＥを目的変数とする解析を１回実施すればよいので、解析設定部４からデータ解析処理部６への設定も１回で完了する。
【００６５】
これに対して、例えば温度特性モデル解析の場合、複数の解析を並列に実施すべきとされているので、解析設定部４は、ガイド情報に基づいて自動的に、またはオペレータの手動操作に応じて、データ解析処理部６に対して、複数の解析を同時に実施（データ解析処理部６が複数の解析の並列処理機能を有している場合）するように指示するか、あるいは複数の解析を順次実施するように指示する必要がある。
【００６６】
例えば複数の解析の並列処理機能を有しているデータ解析処理部６を使って温度特性モデル解析を実施する場合、解析設定部４は、入力データＭＶ１を説明変数とし出力データＰＶ１を目的変数とする解析と、入力データＭＶ２を説明変数とし出力データＰＶ２を目的変数とする解析と、入力データＭＶ３を説明変数とし出力データＰＶ３を目的変数とする解析と、入力データＭＶ４を説明変数とし出力データＰＶ４を目的変数とする解析とを同時に実施するようにデータ解析処理部６に対して指示を出す。
【００６７】
また、複数の解析の並列処理機能を有していないデータ解析処理部６を使って温度特性モデル解析を実施する場合、解析設定部４は、入力データＭＶ１を説明変数とし出力データＰＶ１を目的変数とする解析を実施するようにデータ解析処理部６に対して指示を出し、この１回目の解析が完了して解析結果を保存させた後に、入力データＭＶ２を説明変数とし出力データＰＶ２を目的変数とする解析を実施するようにデータ解析処理部６に対して指示を出し、この２回目の解析が完了して解析結果を保存させた後に、入力データＭＶ３を説明変数とし出力データＰＶ３を目的変数とする解析を実施するようにデータ解析処理部６に対して指示を出し、この３回目の解析が完了して解析結果を保存させた後に、入力データＭＶ４を説明変数とし出力データＰＶ４を目的変数とする解析を実施するようにデータ解析処理部６に対して指示を出すことになる。このように、複数の解析を並列に実施する際に、解析設定部４が自動的に設定を行なう場合には、オペレータの手間を大幅に削減することができる。
【００６８】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第１の実施の形態の情報処理装置の別の動作例を説明するものである。情報処理装置の構成および処理の流れは、第１の実施の形態で説明したとおりであるので、図２、図３の符号を用いて説明する。
【００６９】
図１０は本実施の形態の情報源の例である加熱処理装置の構成を示すブロック図である。ここでは、加熱処理装置の例として、複数の加熱ゾーンＺ１〜Ｚ４を有する酸化拡散炉３００（縦型炉）を用いるものを例に挙げている。図１０に示した加熱処理装置の例では、酸化拡散炉３００内の石英管３０３の内部に、シリコンウェハ３０４（対象物）が搬入される。温度センサＳ１〜Ｓ４は、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される加熱ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度計測値ＰＶ１〜ＰＶ４を測定する。
【００７０】
温度コントローラ３０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度計測値ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出してヒータ電源３０２に出力する。ヒータ電源３０２は、操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する。こうして、酸化拡散炉３００内の石英管３０３内に導入される酸素とシリコンウェハ３０４とを加熱することにより、シリコンウェハ３０４の表面に酸化膜を形成する。
【００７１】
図１０に示したような加熱処理装置から、例えば加熱ゾーンＺ１については、加熱ゾーンＺ１温度設定値時系列データＳＰ１、加熱ゾーンＺ１温度計測値時系列データＰＶ１、加熱ゾーンＺ１ヒータ出力時系列データＭＶ１、加熱ゾーンＺ１ワーク薄膜均一性評価データＱＥ１、加熱ゾーンＺ１ヒータ容量データＨＣ１という５種類のデータが収集され、対象データ記憶部１に記憶されるものとする。なお、ワーク薄膜均一性評価データＱＥ１の具体例としては、特開２０１５−０８０００１号公報に示される面間方向の膜厚均一性があり、計測方法としては、特開２００６−０７１３８１号公報に示されるエリプソメトリ方式のインライン計測がある。
【００７２】
加熱ゾーンＺ２については、加熱ゾーンＺ２温度設定値時系列データＳＰ２、加熱ゾーンＺ２温度計測値時系列データＰＶ２、加熱ゾーンＺ２ヒータ出力時系列データＭＶ２、加熱ゾーンＺ２ワーク薄膜均一性評価データＱＥ２、加熱ゾーンＺ２ヒータ容量データＨＣ２という５種類のデータが収集され、対象データ記憶部１に記憶されるものとする。
【００７３】
加熱ゾーンＺ３については、加熱ゾーンＺ３温度設定値時系列データＳＰ３、加熱ゾーンＺ３温度計測値時系列データＰＶ３、加熱ゾーンＺ３ヒータ出力時系列データＭＶ３、加熱ゾーンＺ３ワーク薄膜均一性評価データＱＥ３、加熱ゾーンＺ３ヒータ容量データＨＣ３という５種類のデータが収集され、対象データ記憶部１に記憶されるものとする。
【００７４】
加熱ゾーンＺ４については、加熱ゾーンＺ４温度設定値時系列データＳＰ４、加熱ゾーンＺ４温度計測値時系列データＰＶ４、加熱ゾーンＺ４ヒータ出力時系列データＭＶ４、加熱ゾーンＺ４ワーク薄膜均一性評価データＱＥ４、加熱ゾーンＺ４ヒータ容量データＨＣ４という５種類のデータが収集され、対象データ記憶部１に記憶されるものとする。
【００７５】
上記のとおり、温度設定値時系列データＳＰ１〜ＳＰ４は温度コントローラ３０１に設定される値であり、温度計測値時系列データＰＶ１〜ＰＶ４（制御量）は温度センサＳ１〜Ｓ４によって計測される値であり、ヒータ出力時系列データＭＶ１〜ＭＶ４（操作量）は温度コントローラ３０１から出力される値である。ヒータ容量データＨＣ１〜ＨＣ４は、例えば加熱処理装置の電力管理のためのＥＭＳから収集される。
【００７６】
ワーク薄膜均一性評価データＱＥ１〜ＱＥ４は、インライン薄膜計測装置（不図示）から収集される。また、例えばＥＭＳからヒータ総消費電力時系列データＰＷが収集され、対象データ記憶部１に記憶されるものとする。さらに、装置外部手元温度時系列データＳＴが収集され、対象データ記憶部１に記憶されるものとする。装置外部手元温度時系列データＳＴは、加熱処理装置の外部の周囲温度、特に作業者の手元高さ位置の温度を測定する温度センサ（不図示）によって計測される値である。
【００７７】
本実施の形態においても、データ解析処理部６が実施可能なデータ解析として、温度特性モデル解析、被加熱特性解析（半田溶融特性解析）、総電力特性解析、安全管理特性解析の４種類が予め用意されているものとする。温度特性モデル解析は加熱処理装置の温度ＰＶ（制御量）のモデル式を加熱ゾーン毎に求めるものなので、このデータ解析の種別に対して、本実施の形態のデータ特性記憶部２に登録されるデータ特性情報は図５と同じになる。
【００７８】
被加熱特性解析（薄膜均一性解析）は、例えばワーク（対象物）の薄膜均一性のモデル式を求める解析である。被加熱特性解析（薄膜均一性解析）というデータ解析の種別に対して登録されたデータ特性情報の例を図１１に示す。図１１の例では、被加熱特性解析というデータ解析の種別に対して、入力データＰＶ１，ＭＶ１に対応する出力データがＱＥ１、入力データＰＶ２，ＭＶ２に対応する出力データがＱＥ２、入力データＰＶ３，ＭＶ３に対応する出力データがＱＥ３、入力データＰＶ４，ＭＶ４に対応する出力データがＱＥ４というデータ特性情報が登録されている。
【００７９】
また、図１１によると、入力データＰＶ１〜ＰＶ４（ＭＶ１〜ＭＶ４）が互いに独立して登録され、出力データＱＥ１〜ＱＥ４も互いに独立して登録されているため、入力データＰＶ１，ＭＶ１を説明変数とし出力データＱＥ１を目的変数とする解析と、入力データＰＶ２，ＭＶ２を説明変数とし出力データＱＥ２を目的変数とする解析と、入力データＰＶ３，ＭＶ３を説明変数とし出力データＱＥ３を目的変数とする解析と、入力データＰＶ４，ＭＶ４を説明変数とし出力データＱＥ４を目的変数とする解析とを並列に実施すべきことが分かる。
【００８０】
図１０の加熱処理装置の例では、加熱ゾーンＺ１〜Ｚ４が並列に配置されており、上記のとおり被加熱特性解析では、薄膜均一性のモデル式を加熱ゾーン毎に求めるため、解析が加熱ゾーン毎に実施されるようにデータ特性記憶部２に情報が登録されている。
【００８１】
総電力特性解析はヒータ総消費電力のモデル式を求めるものなので、このデータ解析の種別に対して、本実施の形態のデータ特性記憶部２に登録されるデータ特性情報は図７と同じになる。
【００８２】
安全管理特性解析というデータ解析の種別に対して登録されたデータ特性情報の例を図１２に示す。図１２の例では、安全管理特性解析というデータ解析の種別に対して、入力データＰＶ１，ＭＶ１，ＰＶ２，ＭＶ２，ＰＶ３，ＭＶ３，ＰＶ４，ＭＶ４に対応する出力データがＳＴというデータ特性情報が登録されている。
【００８３】
また、図１２によると、複数の入力データＰＶ１，ＭＶ１，ＰＶ２，ＭＶ２，ＰＶ３，ＭＶ３，ＰＶ４，ＭＶ４に対して出力データがＳＴの１つだけ登録されているため、入力データＰＶ１，ＭＶ１，ＰＶ２，ＭＶ２，ＰＶ３，ＭＶ３，ＰＶ４，ＭＶ４を説明変数とし出力データＳＴを目的変数とする解析を１回実施すべきことが分かる。
【００８４】
また、温度特性モデル解析の別の例として、中央ゾーン平均温度特性モデル解析というデータ解析の種別に対して、本実施の形態のデータ特性記憶部２に登録されるデータ特性情報を図１３に示す。ここでは、加熱処理装置の中央ゾーンの平均的な温度ＰＶ５のモデル式を求めるために、複数のモデルを利用することを想定しているため、データ解析で作成すべき出力モデルの名称を示す出力モデル情報と、データ解析で入力とすべき入力モデルの名称を示す入力モデル情報とがデータ特性情報に追加されている。
【００８５】
図１３の例では、中央ゾーン平均温度特性モデル解析というデータ解析の種別に対して、入力データＭＶ２に対応する出力データがＰＶ２、入力データＭＶ３に対応する出力データがＰＶ３というデータ特性情報が登録されている。また、入力データＭＶ２を説明変数とし出力データＰＶ２を目的変数とする解析で作成されるモデルがＭＤ２、入力データＭＶ３を説明変数とし出力データＰＶ３を目的変数とする解析で作成されるモデルがＭＤ３という出力モデル情報が登録されている。
【００８６】
図１３によると、入力データＭＶ２．ＭＶ３が互いに独立して登録され、出力データＰＶ２，ＰＶ３も互いに独立して登録されているため、入力データＭＶ２を説明変数とし出力データＰＶ２を目的変数とする解析と、入力データＭＶ３を説明変数とし出力データＰＶ３を目的変数とする解析とを並列に実施すべきことが分かる。
【００８７】
さらに、図１３によると、入力モデルＭＤ２，ＭＤ３に対応する出力モデルがＭＤという情報が登録されていることから、モデルＭＤ２，ＭＤ３を入力とし、出力データをＰＶ５、作成されるモデルをＭＤとするモデルの統合処理を実施すべきことが分かる。
【００８８】
第１の実施の形態と同様に、ガイド情報提示部３は、オペレータが解析開始の指示時に選択または入力した、所望のデータ解析の種別名に応じて、このデータ解析の種別に対応するデータ特性情報をデータ特性記憶部２から取得し、取得したデータ特性情報を基に、データ解析の説明変数として設定すべき入力データと、目的変数として設定すべき出力データと、入力モデルの名称と、出力モデルの名称と、データ解析の様式（１回実施、並列実施、モデル統合）とを示すガイド情報を提示する（図３ステップＳ１０２）。
【００８９】
図１４は本実施の形態のガイド情報提示部３による提示例を示す図である。図１４の例では、データ解析の種別としてオペレータが中央ゾーン平均温度特性モデル解析を選択し、中央ゾーン平均温度特性モデル解析に用いるデータとしてＰＶ２，ＰＶ３，ＭＶ２，ＭＶ３を指定した場合のガイド情報が画面３０に表示されている。
【００９０】
ガイド情報は、データ解析を並列に実施すべきであり、目的変数として設定すべき出力データＰＶ２に対して説明変数として設定すべき入力データがＭＶ２で、出力モデルがＭＤ２であり、また目的変数として設定すべき出力データＰＶ３に対して説明変数として設定すべき入力データがＭＶ３で、出力モデルがＭＤ３であることを示している。さらに、ガイド情報は、モデルＭＤ２，ＭＤ３を入力とし、出力データをＰＶ５、作成されるモデルをＭＤとするモデルの統合処理を実施すべきことを示している。
【００９１】
次に、解析設定部４は、ガイド情報に基づいて自動的に、またはガイド情報を見たオペレータの手動操作に応じて、データ解析処理部６に対して、データ解析の説明変数となる入力データと、目的変数となる出力データとを設定する（図３ステップＳ１０３）。複数の解析の並列処理機能を有しているデータ解析処理部６を使って中央ゾーン平均温度特性モデル解析を実施する場合には、解析設定部４は、入力データＭＶ２を説明変数とし出力データＰＶ２を目的変数とする解析と、入力データＭＶ３を説明変数とし出力データＰＶ３を目的変数とする解析とを同時に実施するようにデータ解析処理部６に対して指示を出す。
【００９２】
また、複数の解析の並列処理機能を有していないデータ解析処理部６を使って中央ゾーン平均温度特性モデル解析を実施する場合、解析設定部４は、入力データＭＶ２を説明変数とし出力データＰＶ２を目的変数とする解析を実施するようにデータ解析処理部６に対して指示を出し、この１回目の解析が完了して解析結果を保存させた後に、入力データＭＶ３を説明変数とし出力データＰＶ３を目的変数とする解析を実施するようにデータ解析処理部６に対して指示を出す。
【００９３】
さらに、データ解析処理部６がモデルの統合機能を有している場合、解析設定部４は、入力データＭＶ２を説明変数とし出力データＰＶ２を目的変数とする解析と、入力データＭＶ３を説明変数とし出力データＰＶ３を目的変数とする解析の完了後に、これら２つの解析で作成されたモデルＭＤ２，ＭＤ３を入力とし、出力データをＰＶ５、出力モデルをＭＤとするモデルの統合処理を実施するようにデータ解析処理部６に対して指示を出す。こうして、モデルＭＤ２，ＭＤ３を作成した後に平均モデルＭＤを作成することができる。
【００９４】
以上により、本実施の形態では、ビッグデータを対象とする解析を行なう際に、ゴミデータを減らせる可能性に関する情報（ガイド情報）を実質的に提示できることになり、ゴミデータが多い可能性の高いデータ選択のまま、何らかの解析を実行してしまう危険性を低減することができる。
【００９５】
上記の例では、オペレータが中央ゾーン平均温度特性モデル解析に用いるデータとして指定したＰＶ２，ＰＶ３，ＭＶ２，ＭＶ３のうち、加熱ゾーンＺ３温度計測値時系列データＰＶ３および加熱ゾーンＺ３ヒータ出力時系列データＭＶ３は、ＭＶ２を説明変数としＰＶ２を目的変数とする解析にとってはゴミデータであり、加熱ゾーンＺ２温度計測値時系列データＰＶ２および加熱ゾーンＺ２ヒータ出力時系列データＭＶ２は、ＭＶ３を説明変数としＰＶ３を目的変数とする解析にとってはゴミデータである。
【００９６】
なお、第１、第２の実施の形態では、情報源の例として複数の加熱ゾーン（温度制御ゾーン）を有する加熱処理装置を例に挙げて説明したが、複数の冷却ゾーン（温度制御ゾーン）を有する冷却処理装置が情報源の場合も本発明を適用できることは言うまでもない。
【００９７】
また、比較的単純な構造の加熱処理装置を情報源の事例として説明してきたが、現実には単一の加熱ゾーンが複数の電気ヒータを備えるケースなど複雑な構造の装置もある。装置運用時の解析の際に選択されるデータは、オペレータの意図によって様々であるが、複雑な構造であればあるほど、解析のやり方（１回実施、並列実施、モデル統合）を誤らないように、本発明のようなサポート機能が必要になる。
【００９８】
第１、第２の実施の形態では、データ解析処理部６が情報処理装置の内部に設けられる例で説明しているが、これに限るものではなく、データ解析処理部６を情報処理装置の外部に設けるようにしてもよい。
【００９９】
第１、第２の実施の形態で説明した情報処理装置は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。ＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って第１、第２の実施の形態で説明した処理を実行する。
【産業上の利用可能性】
【０１００】
本発明は、ビッグデータを解析する技術に適用することができる。
【符号の説明】
【０１０１】
１…対象データ記憶部、２…データ特性記憶部、３…ガイド情報提示部、４…解析設定部、５…入力装置、６…データ解析処理部。
【図１】
2018063573.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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