(57)【要約】【課題】測定対象物の計測値を迅速に取得することが可能でかつ使用者が計測値を容易に確認することが可能な形状測定装置を提供する。【解決手段】高さ画像生成部２１は、測定対象物Ｓの表面の複数の位置の高さ情報を含む高さ画像データを順次生成する。算出部３２は、高さ画像生成部２１により生成された高さ画像データに基づいて、測定対象物の高さに関する計測値を順次算出する。指示部３３は、任意の時点で算出部３２により算出される計測値の蓄積を指示する。蓄積部２２は、指示部による指示に応答して、算出部３２により算出された計測値を蓄積する。表示制御部３４は、表示部２４０を制御することにより、高さ画像生成部２１により生成された高さ画像データに基づいて高さ画像を表示するとともに、蓄積部２２により蓄積された計測値を表示する。【選択図】図１３
2018063156.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物の表面形状を測定する形状測定装置であって、
複数のピーク波長を有する光を出射する投光部と、
参照体と、
二次元に配列された複数の画素を含む受光部と、
前記投光部により出射された光を測定光として前記測定対象物に導くとともに前記投光部により出射された光を参照光として前記参照体に導き、前記測定対象物で反射された測定光と前記測定対象物で反射された参照光との干渉光を生成し、生成した干渉光を前記受光部に導く光学系と、
前記光学系および前記参照体のうち少なくとも一方が取り付けられ、往復移動することにより前記測定光の光路長と前記参照光の光路長との差を変化させる可動部と、
前記可動部を往復移動可能に支持する支持部と、
前記支持部に対する前記可動部の相対位置を検出する位置検出部と、
前記受光部により受光された干渉光および前記位置検出部により検出された相対位置に基づいて、前記複数の画素に対応する前記測定対象物の表面の複数の位置の高さ情報を含む高さ画像データを順次生成する高さ画像生成手段と、
前記測定対象物に対する計測条件の設定を受け付ける条件設定受付手段と、
前記高さ画像生成手段により生成された高さ画像データに基づいて、前記条件設定受付手段により設定された計測条件で前記測定対象物の高さに関する計測値を順次算出する算出手段と、
任意の時点で前記算出手段により算出される計測値の蓄積を指示する指示手段と、
前記指示手段による指示に応答して、前記算出手段により算出された計測値を蓄積する蓄積手段と、
前記生成された高さ画像データに基づいて高さ画像を表示するとともに、前記蓄積手段により蓄積された計測値を表示する表示手段とを備える、形状測定装置。
【請求項２】
前記算出手段により算出された計測値が予め定められた条件を満たすか否かを判定する判定する判定手段をさらに備え、
前記蓄積手段は、前記指示手段による指示に応答して、前記判定手段による判定結果を蓄積し、
前記表示手段は、前記計測値とともに前記判定結果を表示する、請求項１記載の形状測定装置。
【請求項３】
前記表示手段は、前記高さ画像の表示を連続的に更新する、請求項１または２記載の形状測定装置。
【請求項４】
前記計測値とともに表示すべき情報の項目の設定を受け付ける項目受付手段をさらに備え、
前記蓄積手段は、前記指示手段による指示に応答して、前記項目受付手段により設定された項目の情報を蓄積し、
前記表示手段は、前記計測値とともに前記設定された項目の情報を表示する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の形状測定装置。
【請求項５】
前記蓄積手段による前記計測値の蓄積時刻を取得する時刻取得手段をさらに備え、
前記表示手段は、前記計測値とともに前記時刻取得手段により取得された時刻を表示する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の形状測定装置。
【請求項６】
第１のモードおよび第２のモードの一方の選択を受け付けるモード受付手段をさらに備え、
前記指示手段は、前記モード受付手段により第１のモードが選択された場合に前記計測値の蓄積を指示し、前記モード受付手段により第２のモードが選択された場合に前記計測値の蓄積を指示しない、請求項１〜５のいずれか一項に記載の形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物の表面形状を測定する形状測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定対象物の表面形状を測定するために、干渉方式の形状測定装置が用いられる。特許文献１記載のコヒーレンス走査干渉計においては、光源から発生した光が、物体に照射される測定光と基準ミラーに照射される基準光とに分割される。物体に反射された測定光と基準ミラーに反射された基準光とが重畳され、カメラにより検出される。光源およびカメラ等を含む光学系が物体に対して相対的に移動される状態で、カメラにより画像が取得される。取得された画像における干渉縞の間隔に基づいて、物体の表面高さが算出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−８３６４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
形状測定装置を工場等の生産ラインにおける検査工程で用いることが考えられる。このようなインライン化のためには、測定対象物の計測値を迅速に取得することが望まれる。一方、生産ラインとは別に、使用者がオフラインで形状測定装置を用いることが考えられる。その場合には、使用者が計測値を容易に確認可能であることが望まれる。
【０００５】
本発明の目的は、測定対象物の計測値を迅速に取得することが可能でかつ使用者が計測値を容易に確認することが可能な形状測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明に係る形状測定装置は、測定対象物の表面形状を測定する形状測定装置であって、複数のピーク波長を有する光を出射する投光部と、参照体と、二次元に配列された複数の画素を含む受光部と、投光部により出射された光を測定光として測定対象物に導くとともに投光部により出射された光を参照光として参照体に導き、測定対象物で反射された測定光と測定対象物で反射された参照光との干渉光を生成し、生成した干渉光を受光部に導く光学系と、光学系および参照体のうち少なくとも一方が取り付けられ、往復移動することにより測定光の光路長と参照光の光路長との差を変化させる可動部と、可動部を往復移動可能に支持する支持部と、支持部に対する可動部の相対位置を検出する位置検出部と、受光部により受光された干渉光および位置検出部により検出された相対位置に基づいて、複数の画素に対応する測定対象物の表面の複数の位置の高さ情報を含む高さ画像データを順次生成する高さ画像生成手段と、測定対象物に対する計測条件の設定を受け付ける条件設定受付手段と、高さ画像生成手段により生成された高さ画像データに基づいて、条件設定受付手段により設定された計測条件で測定対象物の高さに関する計測値を順次算出する算出手段と、任意の時点で算出手段により算出される計測値の蓄積を指示する指示手段と、指示手段による指示に応答して、算出手段により算出された計測値を蓄積する蓄積手段と、生成された高さ画像データに基づいて高さ画像を表示するとともに、蓄積手段により蓄積された計測値を表示する表示手段とを備える。
【０００７】
この形状測定装置においては、可動部が往復移動することにより、測定光の光路長と参照光の光路長との差（以下、光路長差と呼ぶ。）が変化する。受光部の複数の画素の各々から、光路長差により変化する受光量の干渉パターンが取得される。測定光および参照光は複数のピーク波長を有するので、受光量の干渉パターンは空間周期性を示さない。したがって、位置検出部により検出された筐体部に対する可動部の相対位置と受光部の各画素の受光量とに基づいて、受光部の複数の画素に対応する測定対象物の複数の位置の高さ情報が求められる。この場合、受光部の複数の画素が二次元に配列されているので、測定対象物の二次元の領域の高さ情報を同時に取得することができる。したがって、測定対象物の高さ画像データを高速にかつ連続的に生成することができる。それにより、各高さ画像データに基づいて、測定対象物の高さに関する計測値を迅速に算出することができる。
【０００８】
また、任意の時点での計測値の蓄積の指示に応答して、算出された計測値が蓄積され、蓄積された計測値が高さ画像とともに表示される。これにより、使用者は、任意の時点で蓄積された計測値を容易に確認することができる。
【０００９】
（２）形状測定装置は、算出手段により算出された計測値が予め定められた条件を満たすか否かを判定する判定する判定手段をさらに備え、蓄積手段は、指示手段による指示に応答して、判定手段による判定結果を蓄積し、表示手段は、計測値とともに判定結果を表示してもよい。この場合、使用者は、任意の時点で蓄積された計測値を判定結果とともに確認することができる。
【００１０】
（３）表示手段は、高さ画像の表示を連続的に更新してもよい。この場合、使用者は、表示される高さ画像を見ながら測定対象物の位置および向き等を調整することができる。
【００１１】
（４）形状測定装置は、計測値とともに表示すべき情報の項目の設定を受け付ける項目受付手段をさらに備え、蓄積手段は、指示手段による指示に応答して、項目受付手段により設定された項目の情報を蓄積し、表示手段は、計測値とともに設定された項目の情報を表示してもよい。この場合、使用者は、任意の時点で蓄積された計測値を所望の情報とともに確認することができる。
【００１２】
（５）形状測定装置は、蓄積手段による計測値の蓄積時刻を取得する時刻取得手段をさらに備え、表示手段は、計測値とともに時刻取得手段により取得された時刻を表示してもよい。この場合、使用者は、任意の時点で蓄積された計測値をその蓄積時刻とともに確認することができる。
【００１３】
（６）形状測定装置は、第１のモードおよび第２のモードの一方の選択を受け付けるモード受付手段をさらに備え、指示手段は、モード受付手段により第１のモードが選択された場合に計測値の蓄積を指示し、モード受付手段により第２のモードが選択された場合に計測値の蓄積を指示しなくてもよい。この場合、使用者は、形状測定装置を使用する状況に応じて、第１および第２のモードのうち一方を選択することにより、計測値の蓄積の有無を切り替えることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、測定対象物の計測値を迅速に取得することが可能でかつ使用者が計測値を容易に確認することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施の形態に係る形状測定装置の構成を示すブロック図である。
【図２】測定ヘッドの模式図である。
【図３】可動部の振動を示す図である。
【図４】任意の画素について受光部により取得されるべき受光量分布を示す図である。
【図５】図１の表示部に表示される画面の一例を示す図である。
【図６】サーチ条件の設定について説明するための図である。
【図７】計測条件の設定例について説明するための図である。
【図８】計測画像データに対する計測処理について説明するための図である。
【図９】計測画像データに対する計測処理について説明するための図である。
【図１０】ロギングモードにおいて図１の表示部に表示される画面の一例を示す図である。
【図１１】蓄積データ表示部における蓄積データの表示例を示す図である。
【図１２】付加情報リストについて説明するための図である。
【図１３】制御基板、制御部および記憶部により実現される機能を示す機能ブロック図である。
【図１４】ロギングモードにおける制御部の動作の一例を示すフローチャートを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態に係る光学式エリア変位計について、図面を用いて詳細に説明する。
【００１７】
（１）形状測定装置の基本構成
図１は、本発明の一実施の形態に係る形状測定装置の構成を示すブロック図である。図１に示すように、形状測定装置３００は、測定ヘッド１００および処理装置２００を備える。測定ヘッド１００は、例えば光学式変位計であり、支持構造１１０、筐体部１２０、測定部１３０、往復機構１４０、駆動部１５０、制御基板１６０および通信部１７０を含む。
【００１８】
支持構造１１０は、縦断面がＬ字形状を有し、設置部１１１および保持部１１２を含む。設置部１１１および保持部１１２は、例えば金属により形成される。設置部１１１は、水平な平板形状を有し、設置面に設置される。設置部１１１の上面には、測定対象物Ｓが載置される。本例では、設置部１１１の上面に平行で互いに直交するＸ軸およびＹ軸が定義されるとともに、設置部１１１の上面に対して垂直なＺ軸が定義される。図１には、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の方向を表す矢印が付される。
【００１９】
保持部１１２は、設置部１１１の一端部から上方に延びるように設けられる。筐体部１２０は、支持構造１１０の保持部１１２に保持される。筐体部１２０は、直方体形状を有し、測定部１３０、往復機構１４０、駆動部１５０、制御基板１６０および通信部１７０を収容する。
【００２０】
測定部１３０は、投光部、受光部、レンズおよびミラー等の光学素子を含む。測定部１３０は、後述する図２のミラー１１等の一部の素子を除き、往復機構１４０に取り付けられる。往復機構１４０は、駆動部１５０により後述する図２の支持部１２５に対して一方向に往復運動（振動）する。駆動部１５０は、アクチュエータであり、本例ではボイスコイルモータである。
【００２１】
制御基板１６０は、測定部１３０から後述する測定データを取得し、取得された測定データに基づいて画素データを生成するとともに画像データを生成する。画像データは複数の画素データの集合である。制御基板１６０は、生成された画像データを処理装置２００に与えるとともに、処理装置２００による指令に基づいて測定部１３０、往復機構１４０および駆動部１５０の動作を制御する。
【００２２】
通信部１７０は、通信インターフェイスを含む。後述する処理装置２００の通信部２５０も同様である。通信部１７０は、通信部２５０を通して測定ヘッド１００と処理装置２００との間で種々のデータおよび指令の送信および受信を行う。測定ヘッド１００の詳細については後述する。
【００２３】
処理装置２００は、制御部２１０、記憶部２２０、操作部２３０、表示部２４０および通信部２５０を含む。制御部２１０は、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）を含む。記憶部２２０は、例えばＲＯＭ（リードオンリメモリ）、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）およびＨＤＤ（ハードディスクドライブ）を含む。記憶部２２０には、システムプログラムが記憶される。また、記憶部２２０は、種々のデータの記憶およびデータの処理のために用いられる。
【００２４】
制御部２１０は、記憶部２２０に記憶されたシステムプログラムに基づいて、測定ヘッド１００の測定部１３０、往復機構１４０および駆動部１５０の動作を制御するための指令を制御基板１６０に与える。また、制御部２１０は、制御基板１６０から画像データを取得して記憶部２２０に記憶させる。さらに、制御部２１０は、画像データに基づく画像上において使用者に指定された部分の計測等を行う。
【００２５】
操作部２３０は、マウス、タッチパネル、トラックボールまたはジョイスティック等のポインティングデバイスおよびキーボードを含み、制御部２１０に指示を与えるために使用者により操作される。表示部２４０は、例えばＬＣＤ（液晶ディスプレイ）パネルまたは有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルを含む。表示部２４０は、記憶部２２０に記憶された画像データに基づく画像および計測結果等を表示する。通信部２５０は、上記のように測定ヘッド１００との通信を行う。また、通信部２５０は、ＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）等の外部装置との通信を行うことができる。
【００２６】
（２）測定部の構成
図２は、主として測定部１３０の構成を示す測定ヘッド１００の模式図である。図２に示すように、筐体部１２０には、支持部１２５が収容される。支持部１２５は、筐体部１２０と一体的に形成されてもよいし、筐体部１２０の一部であってもよい。往復機構１４０は、支持部１２５に対して一方向に平行に振動可能な可動部１４１を含む。図２には、可動部１４１の振動方向が太い矢印で図示される。図２の例では、可動部１４１の振動方向は上下方向である。
【００２７】
測定部１３０は、投光部１、受光部２，３、複数のレンズ４〜８、複数のミラー９〜１１、ビームスプリッタ１２、アナモルフィックプリズムペア１３、位置検出部１４およびガイド光源１５を含む。測定部１３０のミラー１１および位置検出部１４の一部は、支持部１２５に取り付けられる。一方、ミラー１１および位置検出部１４の一部を除く測定部１３０は、可動部１４１に取り付けられる。
【００２８】
投光部１は、例えばＳＬＤ（スーパールミネッセントダイオード）を含み、光を出射する。投光部１により出射される光を出射光Ｌ０と呼ぶ。出射光Ｌ０のコヒーレンス性は比較的低い。具体的には、出射光Ｌ０のコヒーレンス性は、ＬＥＤ（発光ダイオード）により出射される光または白色光のコヒーレンス性よりも高く、レーザ光のコヒーレンス性よりも低い。したがって、出射光Ｌ０は複数のピーク波長を有する。レンズ４は、コリメータレンズである。出射光Ｌ０は、レンズ４を透過することにより平行化され、アナモルフィックプリズムペア１３を透過することにより断面が円形になるように整形される。
【００２９】
なお、出射光Ｌ０の一部は、アナモルフィックプリズムペア１３を透過せずに反射される。アナモルフィックプリズムペア１３により反射された出射光Ｌ０は、受光部３により受光され、受光量を示す受光信号が制御基板１６０（図１）に出力される。受光部３により出力される受光信号に基づいて、出射光Ｌ０の光量が制御基板１６０により計測される。計測された出射光Ｌ０の光量が異常値を示すときは、制御基板１６０により投光部１の動作が停止される。このように、測定に利用されない出射光を用いて、出射光の光量を管理することができる。
【００３０】
ミラー９の反射率は、波長選択性を有する。具体的には、ミラー９は、出射光Ｌ０の波長領域においては高い反射率（好ましくは１００％）を有し、後述するガイド光Ｇの波長領域においては１００％よりも低い反射率を有する。アナモルフィックプリズムペア１３を透過した出射光Ｌ０は、ミラー９により反射された後、レンズ５を透過することにより集光されつつビームスプリッタ１２に入射する。
【００３１】
出射光Ｌ０の一部はビームスプリッタ１２により反射され、出射光Ｌ０の残りの一部はビームスプリッタ１２を透過する。ビームスプリッタ１２により反射された出射光Ｌ０およびビームスプリッタ１２を透過した出射光Ｌ０をそれぞれ測定光Ｌ１および参照光Ｌ２と呼ぶ。
【００３２】
レンズ６は対物レンズである。測定光Ｌ１は、レンズ６を透過することにより平行化される。このときの測定光Ｌ１のスポット径は比較的大きく、例えば４ｍｍまたは１０ｍｍである。その後、測定光Ｌ１は、可動部１４１の振動方向と略同一の方向に進行し、測定対象物Ｓの比較的大きい円形の領域に照射される。測定対象物Ｓにより反射された測定光Ｌ１の一部は、レンズ６を透過することにより集光されつつビームスプリッタ１２に入射する。
【００３３】
ミラー１０は、いわゆる参照ミラーである。参照光Ｌ２は、レンズ７を透過することにより平行化され、ミラー１０に照射される。ミラー１０により反射された参照光Ｌ２は、レンズ７を透過することにより集光されつつビームスプリッタ１２に入射する。ビームスプリッタ１２に入射した測定光Ｌ１と参照光Ｌ２とは干渉し、干渉光Ｌ３として受光部２に導かれる。受光部２の動作については後述する。
【００３４】
位置検出部１４は、読取部１４ａ，１４ｂ、スケール１４ｃおよびマグネット１４ｄを含む。読取部１４ａ，１４ｂは可動部１４１に取り付けられ、スケール１４ｃおよびマグネット１４ｄは支持部１２５に取り付けられる。スケール１４ｃは、複数の目盛りを有し、一方向に延びるガラスにより形成される。読取部１４ａは、スケール１４ｃの一部と対向するように配置される。読取部１４ａは、投光素子と受光素子とを含み、対向するスケール１４ｃの部分の目盛りを光学的に読み取ることにより、支持部１２５に対する可動部１４１の相対的な位置を検出する。
【００３５】
読取部１４ｂは、ホール素子であり、マグネット１４ｄによる磁気を検出するように配置される。本実施の形態においては、読取部１４ｂが最大の磁気を検出するときに読取部１４ａが読み取るスケール１４ｃの部分を原点とする。スケール１４ｃの原点は、測定ヘッド１００の起動時に、またはその他の時点に適宜更新されてもよい。読取部１４ａ，１４ｂの検出結果により、可動部１４１の絶対的な位置を特定することが可能になる。
【００３６】
本実施の形態において、読取部１４ａ，１４ｂが可動部１４１に取り付けられ、スケール１４ｃおよびマグネット１４ｄが支持部１２５に取り付けられるが、本発明はこれに限定されない。読取部１４ａ，１４ｂが支持部１２５に取り付けられ、スケール１４ｃおよびマグネット１４ｄが可動部１４１に取り付けられてもよい。
【００３７】
また、本実施の形態において、読取部１４ａは可動部１４１の位置を光学的に検出するが、本発明はこれに限定されない。読取部１４ａは、可動部１４１の位置を例えば機械的、電気的または磁気的な他の方式により検出してもよい。さらに、読取部１４ａが可動部１４１の絶対的な位置を検出可能である場合、または可動部１４１の絶対的な位置を検出する必要がない場合には、位置検出部１４は読取部１４ｂおよびマグネット１４ｄを含まなくてもよい。
【００３８】
ガイド光源１５は、可視領域（本例では赤色領域）の波長を有するレーザ光を出射するレーザ光源である。ガイド光源１５により出射されるレーザ光をガイド光Ｇと呼ぶ。図２においては、ガイド光Ｇが一点鎖線で図示される。上述したように、ガイド光Ｇの波長領域においてはミラー９の反射率は１００％よりも低いので、ガイド光Ｇの一部はミラー９を透過し、ガイド光Ｇの残りの一部はミラー９により反射される。ミラー９を透過したガイド光Ｇおよびミラー９により反射されたガイド光Ｇをそれぞれ第１のガイド光Ｇ１および第２のガイド光Ｇ２と呼ぶ。
【００３９】
第１のガイド光Ｇ１は、レンズ５を透過することにより集光され、ビームスプリッタ１２に反射されることにより、測定光Ｌ１と重ねられる。これにより、第１のガイド光Ｇ１は、可動部１４１の振動方向と略同一の方向に進行し、レンズ６を透過することにより平行化された後、測定対象物Ｓに照射される。
【００４０】
第２のガイド光Ｇ２は、支持部１２５に取り付けられたミラー１１により反射されることにより、第１のガイド光Ｇ１と交差する方向に進行する。可動部１４１が振動方向における所定の位置（例えばスケール１４ｃの原点付近）にあるときに、第１のガイド光Ｇ１と第２のガイド光Ｇ２とが受光部２の焦点の位置で交差するようにミラー１１が配置される。
【００４１】
このように、ミラー９、ミラー１１、ビームスプリッタ１２およびガイド光源１５によりガイド部１６が構成される。この構成によれば、使用者は、第１のガイド光Ｇ１と第２のガイド光Ｇ２とが交差する位置に測定対象物Ｓの表面を配置することにより、測定対象物Ｓの表面を受光部２の焦点に容易に位置させることができる。
【００４２】
本実施の形態においては、ガイド光源１５によるガイド光Ｇの出射は、後述する図３の非測定期間ｔ２に行われ、測定期間ｔ１には行われない。そのため、ガイド光Ｇにより測定対象物Ｓの測定に影響が与えられることが防止される。一方で、受光部２がガイド光Ｇの波長帯域の光を検出しないよう構成される場合など、ガイド光Ｇが測定対象物Ｓの測定に影響しない場合には、ガイド光源１５は、測定期間ｔ１にもガイド光Ｇを出射するように制御されてもよい。
【００４３】
本実施の形態においては、ガイド部１６は受光部２の焦点で第１および第２のガイド光Ｇ１，Ｇ２が交差するように配置されるが、本発明はこれに限定されない。ガイド部１６は、測定対象物Ｓの表面が受光部２の焦点の位置にあるときに、測定対象物Ｓの表面に投影される第１のガイド光Ｇ１のパターンと第２のガイド光Ｇ２のパターンとが特定の位置関係を有するように配置されてもよい。
【００４４】
（３）測定部の動作
可動部１４１は、駆動部１５０によりサンプリング信号に同期して、支持部１２５に対して周期的に一方向に平行に振動する。サンプリング信号は、処理装置２００（図１）の内部で発生されてもよいし、処理装置２００の外部から可動部１４１に与えられてもよい。図３は、可動部１４１の振動を示す図である。図３の横軸は時間を示し、可動部１４１の位置を示す。
【００４５】
図３に示すように、本実施の形態においては、可動部１４１の位置は、正弦曲線状に変化する。ここで、可動部１４１の位置が変化する期間のうち、一部の期間に測定対象物Ｓの測定が行われ、他の期間には測定対象物Ｓの測定が行われない。測定対象物Ｓの測定が行われる期間を測定期間ｔ１と呼び、測定が行われない期間を非測定期間ｔ２と呼ぶ。本実施の形態においては、図３の正弦曲線のうち略直線的に変化する部分に対応する期間が測定期間ｔ１として割り当てられ、正弦曲線の変曲部分の付近に対応する期間が測定期間ｔ２として割り当てられる。
【００４６】
制御基板１６０（図１）は、サンプリング信号に基づいて受光部２の受光タイミングを制御する。受光部２は、複数の画素が縦方向および横方向に配列された二次元のエリアセンサを含む。本実施の形態においては、エリアセンサの縦方向の画素数および横方向の画素数はそれぞれ３００個であり、画素数の合計は９００００個である。これにより、比較的大きいスポット径の干渉光Ｌ３を受光することができる。受光部２は、制御基板１６０による制御に基づいて、測定期間ｔ１に各画素について可動部１４１の位置ごとに受光量を検出する。一方、受光部２は、非測定期間ｔ２には受光量を検出しない。
【００４７】
図４（ａ），（ｂ）は、任意の画素について受光部２により取得されるべき受光量分布を示す図である。図４（ａ），（ｂ）の横軸は測定光Ｌ１の光路長と参照光Ｌ２の光路長との差を示し、縦軸は検出される受光量を示す。以下、測定光Ｌ１の光路長と参照光Ｌ２の光路長との差を光路長差と呼ぶ。可動部１４１の位置が変化すると、参照光Ｌ２の光路長は変化しないが、測定光Ｌ１の光路長が変化するため、光路長差が変化する。
【００４８】
仮に、出射光Ｌ０のコヒーレンス性が高く、出射光Ｌ０が単一のピーク波長λを有する場合には、測定光Ｌ１および参照光Ｌ２は、光路長差がｎ×λとなるときに互いに強め合い、光路長差が（ｎ＋１／２）×λとなるときに互いに弱め合う。ここで、ｎは任意の整数である。そのため、図４（ａ）に示すように、受光量は、光路長差がピーク波長の半分だけ変化するごとに最大値と最小値との間で変動することとなる。
【００４９】
これに対し、出射光Ｌ０が複数のピーク波長を有する場合には、測定光Ｌ１および参照光Ｌ２が互いに強め合うときおよび互いに弱め合うときの光路長差は、ピーク波長ごとに異なる。そのため、ピーク波長ごとに異なる図４（ａ）と同様の受光量分布が足し合わされた受光量分布が取得される。具体的には、図４（ｂ）に実線で示すように、小さい光路長差の範囲において、受光量分布に複数のピークが現れる。光路長差が０のときのピークの受光量が最大となり、光路長差が大きくなるほどピークの受光量は小さくなる。また、ピークが現れる光路長差の範囲は、出射光Ｌ０のコヒーレンス性が高いほど広い。
【００５０】
本実施の形態においては、受光部２は、図４（ｂ）に点線で示すように、受光量分布の包絡線を特定し、特定された包絡線を示すデータを測定データとして制御基板１６０に与える。制御基板１６０は、取得した測定データにより示される包絡線に基づいて光路長差が０になる時点および最大受光量Ｉｍを特定する。ここで、出射光Ｌ０のコヒーレンス性はＬＥＤにより出射される光のコヒーレンス性よりも高いため、ＬＥＤを使用した場合よりも広い光路長差の範囲においてピークが現れる。したがって、受光量の検出の頻度を低減させても、光路長差が０になる時点および最大受光量Ｉｍを正確に特定することができる。これにより、測定を高速化することができる。
【００５１】
また、制御基板１６０は、位置検出部１４（図２）の検出結果に基づいて、受光部２により特定された時点における可動部１４１の位置を特定する。さらに、制御基板１６０は、特定された可動部１４１の位置および取得された最大受光量Ｉｍに基づいて画素データを生成する。可動部１４１の位置に基づいて生成される画素データを高さデータと呼び、最大受光量Ｉｍに基づいて生成される画素データを輝度データと呼ぶ。
【００５２】
また、制御基板１６０は、複数の画素データに基づいて画像データを生成する。高さデータに基づいて生成される画像データを高さ画像データと呼び、輝度データに基づいて生成される画像データを輝度画像データと呼ぶ。高さ画像データは測定対象物Ｓの表面の各部の形状（高さ）を示し、輝度画像データは測定対象物Ｓの表面の各部の輝度を表す。制御基板１６０は、位置検出部１４により検出された可動部１４１の絶対位置に基づいて、測定ヘッド１００から測定対象物Ｓまでの距離を示す距離データを生成する。制御基板１６０は、生成された高さ画像データ、輝度画像データおよび距離データを処理装置２００（図１）に与える。
【００５３】
図１の表示部２４０は、高さ画像データに基づいて高さ画像を表示し、輝度画像データに基づいて輝度画像を表示する。高さ画像は、例えば、測定対象物Ｓの表面の各部の高さの違いを色の違いで表す。輝度画像は、例えば、測定対象物Ｓの表面の輝度の違いを色の違いで表す。また、高さ画像データおよび輝度画像データに基づいて、高さ画像の成分と輝度画像の成分とを含むブレンド画像が表示されてもよい。
【００５４】
図５は、図１の表示部２４０に表示される画面の一例を示す図である。図５の例は、主として後述の通常モードでの表示画面であり、画像表示部２４０ａ、計測値表示部２４０ｂを含む。画像表示部２４０ａに、高さ画像、輝度画像またはブレンド画像が表示される。計測値表示部２４０ｂには、高さ画像データに基づいて算出される計測値等が表示される。
【００５５】
（４）計測例
本例では、測定対象物Ｓに対応する基準対象物の高さ画像データおよび輝度画像データが予め取得され、図１の記憶部２２０に記憶される。基準対象物は、測定対象物Ｓと同じ設計であり、設計値に対して測定対象物Ｓよりも高い寸法精度を有することが好ましい。
【００５６】
以下、基準対象物の高さ画像データおよび輝度画像データを総称して基準画像データと呼び、基準画像データにより表される高さ画像、輝度画像およびブレンド画像を総称して基準画像と呼ぶ。また、測定対象物Ｓの高さ画像データおよび輝度画像データを総称して計測画像データと呼び、計測画像データにより表される高さ画像、輝度画像およびブレンド画像を総称して計測画像と呼ぶ。さらに、以下の説明において、測定とは、高さ画像データおよび輝度画像データを取得することを意味し、計測とは、寸法等の計測値を取得することを意味する。
【００５７】
基準画像データを用いて各種の設定が行われ、その設定内容が計測設定情報として図１の記憶部２２０に記憶される。記憶された計測設定情報に基づいて、計測画像データに対する計測処理が行われる。
【００５８】
基準画像データに対して行われる設定として、サーチ条件の設定、および計測条件の設定がある。サーチ条件は、計測画像データに対してパターンサーチを行うための条件である。パターンサーチは、指定されたパターンを検出する処理である。図６は、サーチ条件の設定について説明するための図である。図６（ａ）には、画像表示部２４０ａに表示される基準画像の例が示される。図６（ａ）の基準画像ＭＩは、基準対象物Ｓａを含む。
【００５９】
図６（ｂ）に示すように、画像表示部２４０ａに表示される基準画像ＭＩにおいて、指定枠Ｃ１，Ｃ２を用いて、パターン領域Ｔ１およびサーチ領域Ｔ２が設定される。本例では矩形状の指定枠Ｃ１，Ｃ２が用いられるが、指定枠Ｃ１，Ｃ２の形状は三角形または円形等の他の形状であってもよい。また、座標入力等の他の方法によりパターン領域Ｔ１およびサーチ領域Ｔ２が設定されてもよい。
【００６０】
使用者は、図１の操作部２３０を操作して、指定枠Ｃ１，Ｃ２の位置、向きおよび大きさを調整することができる。指定枠Ｃ１により囲まれた領域がパターン領域Ｔ１に設定され、指定枠Ｃ２により囲まれた領域がサーチ領域Ｔ２に設定される。基準画像データに基づいて、パターン領域Ｔ１における高さ情報および輝度情報を含むパターン情報が取得される。高さ情報は、高さデータの集合であり、輝度情報は、輝度データの集合である。取得されたパターン情報は、計測設定情報として記憶部２２０に記憶される。また、基準画像ＭＩにおけるパターン領域Ｔ１の相対位置、およびサーチ領域Ｔ２の相対位置が、計測設定情報として記憶部２２０に記憶される。
【００６１】
図７は、計測条件の設定例について説明するための図である。図７の例では、基準画像ＭＩに対して、矩形の指定枠Ｃ３を用いて、基準対象領域Ｔ３が設定される。基準対象領域Ｔ３は、計測の対象となる領域である。使用者は、図１の操作部２３０を操作して、指定枠Ｃ３の位置、向きおよび大きさを調整することができる。指定枠Ｃ３により囲まれた領域が基準対象領域Ｔ３に設定される。指定枠Ｃ３が矩形以外の他の形状を有してもよく、座標入力等の他の方法により基準対象領域Ｔ３が設定されてもよい。基準画像における基準対象領域Ｔ３の相対位置が、計測設定情報として記憶部２２０に記憶される。
【００６２】
次に、図６および図７のようにサーチ条件および計測条件が設定された場合の計測画像データに対する計測処理について説明する。図８および図９は、計測画像データに対する計測処理について説明するための図である。図８（ａ）には、画像表示部２４０ａに表示される計測画像の例が示される。図８（ａ）の計測画像ＤＩは、基準対象物Ｓａに対応する測定対象物Ｓを含む。
【００６３】
まず、計測設定情報として記憶されるパターン情報に基づいて、計測画像データに対してパターンサーチが行われる。図８（ｂ）の例では、計測画像ＤＩから基準画像ＭＩのパターン領域Ｔ１（図６（ｂ））との一致度が最も高い領域が特徴領域Ｔ１Ａとして検出される。なお、本例では、設定されたサーチ領域Ｔ２（図６（ｂ））の位置に基づいて、計測画像ＤＩのサーチ領域Ｔ２Ａが特定される。計測画像ＤＩにおけるサーチ領域Ｔ２Ａの相対位置は、基準画像ＭＩにおけるサーチ領域Ｔ２の相対位置と同じである。特徴領域Ｔ１Ａの検出は、設定されたサーチ領域Ｔ２Ａ内で行われる。このように、予め検出の対象となる領域が制限されることにより、パターンサーチに要する時間を短くすることができる。なお、時間の短縮が必要でない場合、あるいは検出すべき領域を特定することが難しい場合には、基準画像ＭＩにサーチ領域Ｔ２が設定されることなく、計測画像ＤＩの全体に対してパターンサーチが行われてもよい。
【００６４】
次に、図９に示すように、計測画像ＤＩにおいて、図７の基準対象領域Ｔ３に対応する計測対象領域Ｔ３Ａが特定される。この場合、計測画像ＤＩにおける特徴領域Ｔ１Ａと計測対象領域Ｔ３Ａとの相対的な位置関係が、基準画像ＭＩにおけるパターン領域Ｔ１と基準対象領域Ｔ３との位置関係と等しくなるように、計測対象領域Ｔ３Ａが設定される。
【００６５】
続いて、計測画像ＤＩの高さ画像データに基づいて、計測対象領域Ｔ３Ａに対応する測定対象物Ｓの表面の部分の高さに関する計測値が算出される。計測値は、例えば、最大高さ、最小高さ、平均高さ、または最大高さと最小高さとの差（以下、ピーク間高さと呼ぶ。）等を含む。また、これらの計測値が、計測値表示部２４０ｂ（図５）に表示されてもよい。
【００６６】
また、測定対象物Ｓの計測値が予め定められた許容範囲内にあるか否かの判定（以下、公差判定と呼ぶ。）が行われてもよい。例えば、基準対象物Ｓａの計測値を基準に、許容範囲の上限値および下限値が定められる。判定結果は、例えば図７の計測値表示部２４０ｂに表示されるとともに、図１の通信部２５０を通して、ＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）等の外部装置に出力される。
【００６７】
（５）ロギングモード
形状測定装置３００においては、上記のような画像データの生成ならびに計測処理が連続的に行われる。ここで、形状測定装置３００は、複数の画素が二次元に配置された受光部２を含むので、測定対象物Ｓの二次元の計測画像データを高速に取得することができる。それにより、上記の計測処理を高速で行うことができる。そこで、例えば工場の生産ラインにおける製品の検査等を行うために、いわゆるインラインで形状測定装置３００を用いることができる。
【００６８】
インラインでは、例えば、外部装置からの指示に応答して、形状測定装置３００から計測値および公差判定の判定結果が外部装置に出力される。具体的には、測定対象物Ｓとしての製品が図１の設置部１１１上に載置され、当該製品の計測値および判定結果が取得されたタイミングで、外部装置から通信部２５０に計測値および判定結果の出力を指示する信号が与えられる。その信号に応答して、直前に取得された計測値および判定結果が、通信部２５０を通して外部装置に与えられる。外部装置においては、取得された計測値および判定結果が適宜保存される。
【００６９】
一方、生産ラインではなく、使用者が個別に測定対象物の検査および計測を行うために、いわゆるオフラインで形状測定装置３００を用いることもできる。オフラインでは、使用者は、任意の時点で取得された計測値および判定結果を容易に確認可能であることが好ましい。また、形状測定装置３００においては、計測値がリアルタイムで連続的に算出されるので、算出された計測値が全て記憶されると、データの容量が膨大になる。そのため、算出された計測値のうちの一部のみが記憶されることが好ましい。
【００７０】
本実施の形態では、計測処理における動作モードとして、通常モードおよびロギングモードの一方を選択することができる。通常モードは、主としてインラインで用いられ、ロギングモードは、主としてオフラインで用いられる。通常モードでは、例えば、外部装置からの指示に基づいて、計測値および判定結果が外部装置に出力される。この場合、記憶部２２０に計測値が蓄積されない。
【００７１】
ロギングモードでは、予め定められた蓄積条件が満たされると、直前に取得された計測値が蓄積データとして図１の記憶部２２０に蓄積される。蓄積条件は、例えば、使用者が図１の操作部２３０により所定の操作を行うことである。蓄積条件は、前回の蓄積から予め定められた回数だけ計測値が取得されることであってもよく、あるいは前回の蓄積から予め定められた時間が経過することであってもよい。蓄積条件は、使用者が任意に設定可能であってもよい。
【００７２】
蓄積データは、計測値に加えて付加情報を含んでもよい。付加情報は、例えば、測定回数、測定時刻、測定者、ロット番号、品名および公差判定の結果等である。付加情報は、計測値と対応付けて記憶部２２０に蓄積される。付加情報は、蓄積条件が満たされる毎に取得される自動取得情報と、使用者により予め入力される入力情報とを含む。例えば、測定回数、測定時刻および公差判定の結果等が、自動取得情報であり、測定者、ロット番号および品名等が、入力情報である。
【００７３】
図１０は、ロギングモードにおいて図１の表示部２４０に表示される画面の一例を示す図である。図１０の表示画面は、図５に示した画像表示部２４０ａおよび計測値表示部２４０ｂに加えて、蓄積データ表示部２４０ｃを含む。蓄積データ表示部２４０ｃには、蓄積データが表示される。
【００７４】
図１１は、蓄積データ表示部２４０ｃにおける蓄積データの表示例を示す図である。図１１の例では、蓄積データが表形式で表示される。付加情報としては、測定回数、測定時刻、測定者、ロット番号、品名および公差判定の結果が表示される。最新の蓄積データが表の最上段に表示されており、それ以前の蓄積データが２段目以下に表示されている。
【００７５】
蓄積条件が満たされる毎に、新たに蓄積データが蓄積されるとともに、蓄積データ表示部２４０ｃの表示が更新される。図１１の例では、蓄積条件が満たされる毎に、新たに蓄積された蓄積データが表の最上段に表示され、それ以前の蓄積データが一段ずつ下にずれる。本例では、所定の回数分の蓄積データのみが同時に表示される。
【００７６】
また、蓄積データ表示部２４０ｃには、ロギングボタンＢ１、やり直しボタンＢ２、完了ボタンＢ３および全データ表示ボタンＢ４が表示される。使用者は、図１の操作部２３０を操作して、ロギングボタンＢ１、やり直しボタンＢ２、完了ボタンＢ３および全データ表示ボタンＢ４をそれぞれ選択することができる。本例では、蓄積条件は、ロギングボタンＢ１が選択されることである。そのため、ロギングボタンＢ１が選択されると、計測値および付加情報が蓄積データとして蓄積されるとともに、蓄積データ表示部２４０ｃの表示が更新される。
【００７７】
これにより、使用者は、任意の時点で取得された計測値を容易に確認することができる。また、計測値とともに種々の付加情報が表示されるので、使用者は、各計測値に関する付加情報を容易に確認することができる。
【００７８】
蓄積される付加情報の項目は、使用者が任意に設定可能であってもよく、予め定められていてもよい。また、蓄積された付加情報のうち、一部の付加情報のみが表示されてもよい。その場合、表示すべき付加情報は、使用者が適宜選択してもよく、予め定められていてもよい。
【００７９】
やり直しボタンＢ２が選択されると、直前に蓄積された蓄積データが記憶部２２０から消去される。この場合、蓄積データ表示部２４０ｃにおいて、最上段に表示される蓄積データが削除され、２段目以降に表示されている蓄積データが一段ずつ上にずれる。完了ボタンＢ３が選択されると、蓄積データ表示部２４０ｃにおける蓄積データの表示が終了される。また、表示の終了とともに、記憶部２２０に蓄積された蓄積データが消去されてもよい。全データ表示ボタンＢ４が選択されると、記憶部２２０に蓄積された全ての蓄積データを含む全データ表示画面が表示される。
【００８０】
図１０の画像表示部２４０ａには、例えば、直前に生成された計測画像データに基づく計測画像が表示される。この場合、画像表示部２４０ａの表示は、計測画像データの生成毎に連続的に更新される。これにより、使用者は、画像表示部２４０ａを見ながら測定対象物Ｓの位置および向き等を容易に調整することができる。なお、任意の蓄積データに対応する計測画像が画像表示部２４０ａに表示可能であってもよい。この場合、蓄積条件が満たされる毎に、蓄積データと対応付けて、計測画像データが記憶部２２０に蓄積され、使用者が任意の蓄積データを指定すると、指定された蓄積データに対応する計測画像が表示される。
【００８１】
蓄積すべき付加情報を設定するための付加情報リストが記憶部２２０に記憶されていてもよい。図１２は、付加情報リストについて説明するための図である。図１２の例では、複数の付加情報リストＬｓが記憶部２２０に記憶される。各付加情報リストＬｓは、蓄積すべき付加情報を示し、使用者によって予め生成される。図１２の付加情報リストＬｓは、測定者および品名を示すとともに、表示すべき付加情報の項目を示す。使用者がいずれかの付加情報リストＬｓを選択すると、選択された付加情報リストＬｓにより示される付加情報が蓄積データとして蓄積される。また、付加情報リストＬｓにより示される項目の付加情報が蓄積データ表示部２４０ｃに表示される。
【００８２】
また、使用者が付加情報リストＬｓを選択する代わりに、予め定められた条件で自動的に付加情報リストＬｓが選択されてもよい。例えば、曜日毎に付加情報リストＬｓが用意され、計測処理が行われる曜日に応じて付加情報リストＬｓが自動的に選択されてもよい。
【００８３】
（６）機能的構成
図１３は、制御基板１６０、制御部２１０および記憶部２２０により実現される機能を示す機能ブロック図である。図１３に示すように、制御基板１６０は、高さ画像生成部２１を含む。高さ画像生成部２１は、位置検出部１４により検出された支持部１２５に対する可動部１４１の相対位置と受光部２の受光量とに基づいて、受光部２の複数の画素に対応する測定対象物Ｓの表面の複数の位置の高さ情報を含む高さ画像データを順次生成する。
【００８４】
制御部２１０は、条件設定受付部３１、算出部３２、指示部３３、表示制御部３４、判定部３５、項目受付部３６、時刻取得部３７およびモード受付部３８を含む。記憶部２２０は、蓄積部２２を含む。条件設定受付部３１は、測定対象物Ｓに対する計測条件の設定を受け付ける。算出部３２は、高さ画像生成部２１により生成された高さ画像データに基づいて、条件設定受付部３１により設定された計測条件で測定対象物Ｓの高さに関する計測値を順次算出する。指示部３３は、任意の時点で算出部３２により算出される計測値の蓄積を指示する。本例では、蓄積条件が満たされたときに、計測値の蓄積が指示される。
【００８５】
蓄積部２２は、指示部による指示に応答して、算出部３２により算出された計測値を蓄積する。表示制御部３４は、表示部２４０を制御することにより、高さ画像生成部２１により生成された高さ画像データに基づいて高さ画像を表示するとともに、蓄積部２２により蓄積された計測値を表示する。
【００８６】
判定部３５は、算出部３２により算出された計測値が予め定められた条件を満たすか否かを判定する。予め定められた条件は、例えば、上記の公差判定の許容範囲を満たすか否かである。項目受付部３６は、計測値とともに表示すべき付加情報の項目の設定を受け付ける。上記のように、付加情報リストを用いて表示すべき付加情報の項目が設定されてもよい。時刻取得部３７は、蓄積部２２による計測値の蓄積時刻を付加情報として取得する。蓄積部２２は、判定部３５による判定結果、項目受付部３６により設定された項目の付加情報、および時刻取得部３７により取得された蓄積時刻をそれぞれ計測値とともに蓄積する。
【００８７】
表示制御部３４は、表示部２４０を制御することにより、計測値とともに、蓄積された判定結果、付加情報および蓄積時刻を表示する。モード受付部３８は、ロギングモードおよび通常モードの一方の選択を受け付ける。ロギングモードが選択された場合、指示部３３は、計測値の蓄積を指示し、通常モードが選択された場合、指示部３３は、計測値の蓄積を指示しない。
【００８８】
これらの機能部は、ＣＰＵがＲＯＭ等に記憶されたプログラムを実行することにより実現されてもよく、電子回路等のハードウエアにより実現されてもよい。
【００８９】
（７）制御部の動作
図１４は、ロギングモードにおける制御部２１０の動作の一例を示すフローチャートを示す図である。図１４に示すように、制御部２１０は、測定ヘッド１００から計測画像データを取得し（ステップＳ１）、取得した計測画像データに基づいて、表示部２４０に表示される計測画像を更新する（ステップＳ２）。また、制御部２１０は、取得された計測画像データの計測高さ画像データに基づいて、予め設定された計測条件で計測値を算出する（ステップＳ３）。次に、制御部２１０は、算出された計測値に対して公差判定を行う（ステップＳ４）。次に、制御部２１０は、ロギングモードの終了指示があるか否かを判定する（ステップＳ５）。例えば、使用者がロギングモードから通常モードに変更することにより、終了指示が与えられる。
【００９０】
終了指示がない場合、制御部２１０は、蓄積条件が満たされたか否かを判定する（ステップＳ６）。蓄積条件が満たされていない場合、制御部２１０は、ステップＳ１に戻る。蓄積条件が満たされると、制御部２１０は、直前のステップＳ３で算出された計測値および予め設定された付加情報を含む蓄積データを記憶部２２０に蓄積する。次に、制御部２１０は、新たに蓄積された蓄積データが表示されるように、表示部２４０における蓄積データの表示を更新する（ステップＳ８）。その後、制御部２１０は、ステップＳ１に戻り、ステップＳ１〜Ｓ８を繰り返す。ステップＳ５において、終了指示があると、制御部２１０は、処理を終了する。
【００９１】
（８）本実施の形態の効果
本発明に係る形状測定装置３００においては、位置検出部１４により検出された支持部１２５に対する可動部１４１の相対位置と受光部２の各画素の受光量とに基づいて、受光部２の複数の画素に対応する測定対象物Ｓの複数の位置の高さ情報が求められる。この場合、受光部２の複数の画素が二次元に配列されているので、二次元の領域の高さ情報を同時に取得することができる。したがって、測定対象物Ｓの高さ画像データを高速にかつ連続的に生成することができる。それにより、各高さ画像データに基づいて、測定対象物Ｓの高さに関する計測値を迅速に算出することができる。
【００９２】
また、蓄積条件が満たされると、算出された計測値が蓄積され、蓄積された計測値が高さ画像とともに表示される。これにより、使用者は、任意の時点で蓄積された計測値を容易に確認することができる。
【００９３】
また、本実施の形態では、計測値とともに予め設定された付加情報が蓄積され、蓄積された付加情報が蓄積データとして計測値とともに表示される。これにより、使用者は、計測値とともにその計測値に関する付加情報を容易に確認することができる。
【００９４】
また、本実施の形態では、ロギングモードおよび通常モードの一方の選択が可能であり、ロギングモードが選択された場合には算出された計測値が蓄積され、通常モードが選択された場合には算出された計測値が蓄積されない。これにより、使用者は、形状測定装置３００を使用する状況に応じて、ロギングモードおよび通常モードのうち一方を選択することにより、計測値の蓄積の有無を切り替えることができる。したがって、インラインおよびオフラインの各々に適した形状測定装置３００の使用が可能となる。
【００９５】
（９）他の実施の形態
上記実施の形態では、通常モードにおいて計測値は蓄積されないが、通常モードにおいても計測値が蓄積されてもよい。この場合、一定時間が経過する毎に計測値が蓄積されてもよく、外部装置からの蓄積の指示に応答して計測値が蓄積されてもよい。
【００９６】
上記実施の形態では、蓄積データが表形式で表示されるが、グラフ形式等の他の形式で蓄積データが表示されてもよい。
【００９７】
上記実施の形態では、測定光Ｌ１の光路長が変化し、参照光Ｌ２の光路長が変化しないように測定部１３０が構成されるが、本発明はこれに限定されない。参照光Ｌ２の光路長が変化し、測定光Ｌ１の光路長が変化しないように測定部１３０が構成されてもよい。この場合においては、参照光Ｌ２の進行方向に沿って、ミラー１０がビームスプリッタ１２に対して相対的に振動するように構成される。
【００９８】
（１０）請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【００９９】
上記実施の形態においては、測定対象物Ｓが測定対象物の例であり、形状測定装置３００が形状測定装置の例であり、投光部１が投光部の例であり、ミラー１０が参照体の例であり、受光部２が受光部の例であり、測定光Ｌ１が測定光の例であり、参照光Ｌ２が参照光の例であり、干渉光Ｌ３が干渉光の例であり、ビームスプリッタ１２が光学系の例である。
【０１００】
また、可動部１４１が可動部の例であり、支持部１２５が支持部の例であり、位置検出部１４が位置検出部の例であり、高さ画像生成部２１が高さ画像生成手段の例であり、条件設定受付部３１が条件設定受付手段の例であり、算出部３２が算出手段の例であり、指示部３３が指示手段の例であり、蓄積部２２が蓄積手段の例であり、表示制御部３４が表示手段の例である。また、判定部３５が判定手段の例であり、項目受付部３６が項目受付手段の例であり、時刻取得部３７が時刻取得手段の例であり、モード受付部３８がモード受付手段の例である。
【０１０１】
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。
【産業上の利用可能性】
【０１０２】
本発明は、測定対象物の形状の測定に有効に利用可能である。
【符号の説明】
【０１０３】
１  投光部
２，３  受光部
２１  高さ画像生成部
２２  蓄積部
３１  条件設定受付部
３２  算出部
３３  指示部
３４  表示制御部
３５  判定部
３６  項目受付部
３７  時刻取得部
３８  モード受付部
１００  測定ヘッド
１１０  支持構造
１２０  筐体部
１３０  測定部
１４０  往復機構
１５０  駆動部
１６０  制御基板
１７０  通信部
２００  処理装置
２１０  制御部
２２０  記憶部
２３０  操作部
２４０  表示部
２５０  通信部
３００  形状測定装置
【図１】
2018063156.tif 000003
【図２】
2018063156.tif 000004
【図３】
2018063156.tif 000005
【図４】
2018063156.tif 000006
【図５】
2018063156.tif 000007
【図６】
2018063156.tif 000008
【図７】
2018063156.tif 000009
【図８】
2018063156.tif 000010
【図９】
2018063156.tif 000011
【図１０】
2018063156.tif 000012
【図１１】
2018063156.tif 000013
【図１２】
2018063156.tif 000014
【図１３】
2018063156.tif 000015
【図１４】
2018063156.tif 000016