(57)【要約】【課題】漏れ磁場が発生するのを抑制することができる電磁ホルダを提供する。【解決手段】外側円筒部、および当該外側円筒部の内周側に同心状に配置された内側円柱部を有し、磁性材料により形成されたホルダ本体と、前記外側円筒部と前記内側円柱部との間の環状空間に設けられ、前記外側円筒部及び前記内側円柱部に互いに異なる磁極を発生させる電磁コイルと、前記内側円柱部の軸方向一方側の端面に設けられた第１磁性体と、前記外側円筒部の前記軸方向一方側の端面において前記第１磁性体に対して非磁性領域を介して設けられ、ワークを電磁力により吸着保持する吸着面を有する環状の第２磁性体と、を備える電磁ホルダ。【選択図】図１
2018062024.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側円筒部、および当該外側円筒部の内周側に同心状に配置された内側円柱部を有し、磁性材料により形成されたホルダ本体と、
前記外側円筒部と前記内側円柱部との間の環状空間に設けられ、前記外側円筒部及び前記内側円柱部に互いに異なる磁極を発生させる電磁コイルと、
前記内側円柱部の軸方向一方側の端面に設けられた第１磁性体と、
前記外側円筒部の前記軸方向一方側の端面において前記第１磁性体に対して非磁性領域を介して設けられ、ワークを電磁力により吸着保持する吸着面を有する環状の第２磁性体と、を備える電磁ホルダ。
【請求項２】
前記第１磁性体の前記軸方向一方側の端面が、前記第２磁性体の前記吸着面よりも前記軸方向一方側に突出している、請求項１に記載の電磁ホルダ。
【請求項３】
前記ワークは、円環状の焼結品からなり、その軸線方向に複数個積み重ねられた状態で１組とされており、
前記第１磁性体の前記軸方向一方側に突出している部分は、前記１組のワークの内周側に挿入可能な大きさに形成されている、請求項２に記載の電磁ホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁ホルダに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁性材料からなる複数のワークを１つずつ掴んで所定の場所へ搬送する手段として、電磁力によりワークを吸着保持する電磁ホルダを用いることが知られている（特許文献１等参照）。
図６は、従来の電磁ホルダを示す断面図である。図６に示すように、従来の電磁ホルダ１００は、電磁コイル１０１が内蔵されたホルダ本体１０２と、このホルダ本体１０２の下面に固定された磁性体１０３とを備えている。ホルダ本体１０２は、磁性材料により形成されており、外側円筒部１０２Ａと、この外側円筒部１０２Ａの内周側に同心状に配置された内側円柱部１０２Ｂとを有している。
【０００３】
電磁コイル１０１は、外側円筒部１０２Ａと内側円柱部１０２Ｂとの間の環状空間に収容されており、磁性体１０３は、内側円柱部１０２Ｂの下面に固定されている。外側円筒部１０２Ａ及び内側円柱部１０２Ｂは、電磁コイル１０１に電流を流すことで、互いに異なる磁極が発生する。これにより、磁性体１０３は電磁力によりワークＷ’の上面を吸着保持するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１０１４４１号公報
【特許文献２】特開平７−２３７１６６号公報
【特許文献３】特開平１１−２５１１３５号公報
【特許文献４】特開２００１−１６２５７４号公報
【特許文献５】特開平６−９２５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の電磁ホルダ１００では、磁性体１０３にワークＷ’を吸着保持する際に、図６の破線で示すように、ホルダ本体１０２の内側円柱部１０２Ｂから磁性体１０３を介してワークＷ’の内部を流れた磁束Φ’は、ワークＷ’と外側円筒部１０２Ａとの間の空間を通って、外側円筒部１０２Ａの下端部に流れるため、ワークＷ’よりも外周側の空間に漏れ磁場が発生する場合がある。この場合、漏れ磁場の磁束Φ’が、ワークＷ’に隣接して配置されたワークＷ’に流れることで、この隣接するワークＷ’が搬送対象のワークＷ’側に引き寄せられて吸着するという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、漏れ磁場が発生するのを抑制することができる電磁ホルダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る電磁ホルダは、外側円筒部、および当該外側円筒部の内周側に同心状に配置された内側円柱部を有し、磁性材料により形成されたホルダ本体と、前記外側円筒部と前記内側円柱部との間の環状空間に設けられ、前記外側円筒部及び前記内側円柱部に互いに異なる磁極を発生させる電磁コイルと、前記内側円柱部の軸方向一方側の端面に設けられた第１磁性体と、前記外側円筒部の前記軸方向一方側の端面において前記第１磁性体に対して非磁性領域を介して設けられ、ワークを電磁力により吸着保持する吸着面を有する環状の第２磁性体と、を備える電磁ホルダである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、漏れ磁場が発生するのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る電磁ホルダを示す断面図である。
【図２】ワークの変形例を示す断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る電磁ホルダを示す断面図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る電磁ホルダを示す断面図である。
【図５】第３実施形態において第１磁性体の長さ及び外径を変化させた場合の評価試験を行った結果を示すグラフである。
【図６】従来の電磁ホルダを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［本発明の実施形態の説明］
最初に本発明の実施形態の内容を列記して説明する。
（１）本発明の実施形態に係る電磁ホルダは、外側円筒部、および当該外側円筒部の内周側に同心状に配置された内側円柱部を有し、磁性材料により形成されたホルダ本体と、前記外側円筒部と前記内側円柱部との間の環状空間に設けられ、前記外側円筒部及び前記内側円柱部に互いに異なる磁極を発生させる電磁コイルと、前記内側円柱部の軸方向一方側の端面に設けられた第１磁性体と、前記外側円筒部の前記軸方向一方側の端面において前記第１磁性体に対して非磁性領域を介して設けられ、ワークを電磁力により吸着保持する吸着面を有する環状の第２磁性体と、を備える。
【００１１】
上記電磁ホルダによれば、ホルダ本体の内側円柱部に第１磁性体が設けられ、ホルダ本体の外側円筒部には、ワークを吸着保持する第２磁性体が第１磁性体に対して非磁性領域を介して設けられている。このため、第２磁性体の吸着面にワークを吸着保持する際に、内側円柱部から第１磁性体に流れ出た磁束の大部分は、非磁性領域の前記軸方向一方側に位置するワークの内部に流れた後、第２磁性体の吸着面からその内部を通過し外側円筒部に流れる。これにより、第２磁性体よりも外周側の空間に漏れ磁場が発生するのを効果的に抑制することができ、その結果、第２磁性体に吸着保持されるワークに、隣接する他のワークが引き寄せられて吸着するのを抑制することができる。
【００１２】
（２）前記電磁ホルダにおいて、前記第１磁性体の前記軸方向一方側の端面が、前記第２磁性体の前記吸着面よりも前記軸方向一方側に突出しているのが好ましい。
例えば、ワークの被吸着面において電磁ホルダの内側円柱部に対応する箇所に、第１磁性体の前記突出している部分よりも大きな窪みが形成されている場合には、この窪みに、第１磁性体の前記突出している部分を挿入することができる。これにより、第１磁性体の前記軸方向一方側の端面がワーク下部まで伸びるため、ワーク下部に至る磁気回路の磁気抵抗が小さくなり、コイルに流した電流によって発生する磁束を、ワーク下部まで効率的に通すことができる。このため、ワークを保持するのに必要な電流が小さくなり、磁気回路全体の磁束密度が低くなるので、磁性体が飽和するのを抑制することができる。その結果、磁性体が飽和することで第２磁性体よりも外周側の空間に磁束が漏れるのを抑制することができるため、漏れ磁場が発生するのをさらに抑制することができる。
【００１３】
（３）前記電磁ホルダにおいて、前記ワークは、円環状の焼結品からなり、その軸線方向に複数個積み重ねられた状態で１組とされており、前記第１磁性体の前記軸方向一方側に突出している部分は、前記１組のワークの内周側に挿入可能な大きさに形成されているのが好ましい。
この場合、第１磁性体の前記突出している部分を１組のワークの内周側に挿入することで、第２磁性体の吸着面により１組のワークを吸着保持することができる。その際、第１磁性体の前記軸方向一方側の端面が１組のワーク下部まで伸びるため、１組のワーク下部に至る磁気回路の磁気抵抗が小さくなり、コイルに流した電流によって発生する磁束を、１組のワーク下部まで効率的に通すことができる。このため、１組のワークを保持するのに必要な電流が小さくなり、磁気回路全体の磁束密度が低くなるので、磁性体が飽和するのを抑制することができる。その結果、磁性体が飽和することで第２磁性体よりも外周側の空間に磁束が漏れるのを抑制することができるため、漏れ磁場が発生するのを効果的に抑制することができる。したがって、第２磁性体に吸着保持された１組のワークに、隣接する他の１組のワークが引き寄せられて吸着するのを抑制することができる。
【００１４】
［本発明の実施形態の詳細］
以下、本発明の実施形態について添付図面に基づき詳細に説明する。なお、以下に記載する実施形態の少なくとも一部を任意に組み合わせてもよい。
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る電磁ホルダを示す断面図である。本実施形態の電磁ホルダ１は、例えば磁性材料により円柱状に形成された複数のワークＷがワーク載置面５０にランダムに載置されている状態から、これらのワークＷを１つずつ吸着保持して所定の場所へ搬送するものである。電磁ホルダ１は、磁性材料により形成されたホルダ本体２と、ホルダ本体２の内部に設けられた電磁コイル３と、ホルダ本体２の下側に設けられた第１磁性体４及び第２磁性体５とを備えている。
【００１５】
ホルダ本体２は、有天円筒状に形成された外側円筒部２１と、この外側円筒部２１の内周側に同心状に配置された円柱状の内側円柱部２２とを有している。外側円筒部２１は、円板状の天板２１ａと、この天板２１ａの外周部から下方に延びる円筒体２１ｂとが一体に形成されたものである。天板２１ａの上面には、例えば図示しないロボットアームの先端部が接続されている。なお、天板２１ａおよび円筒体２１ｂは互いに別体であってもよい。
【００１６】
内側円柱部２２は、外側円筒部２１の天板２１ａの下面において、当該天板２１ａと同心状に一体に形成されている。本実施形態では、内側円柱部２２の軸方向一方側（図中の下側）の端面２２ａは、外側円筒部２１（円筒体２１ｂ）の軸方向一方側（図中の下側）の端面２１ｃと面一に形成されている。なお、内側円柱部２２は、外側円筒部２１と別体に設けられていてもよい。
【００１７】
内側円柱部２２の外周面と、外側円筒部２１の円筒体２１ｂの内周面との間には環状空間２３が形成されており、この環状空間２３に電磁コイル３が外側円筒部２１（内側円柱部２２）と同心状に配置して収容されている。電磁コイル３は、図示しない外部電源に接続されており、この外部電源から電磁コイル３に電流を流すことで、ホルダ本体２の外側円筒部２１および内側円柱部２２の上下方向に互いに逆極性の磁極を発生させるようになっている。
【００１８】
第１磁性体４は、磁性材料により例えば円柱状に形成されており、その軸方向上側の端面４ａは、内側円柱部２２の端面２２ａに同心状に固定されている。本実施形態では、第１磁性体４の軸方向下側の端面４ｂは、第２磁性体５の後述する吸着面５ｂと面一に形成されており、電磁力によりワークＷの軸方向上側の端面を吸着保持する吸着面とされている。なお、第１磁性体４は、円柱状に限定されず、他の形状に形成されていてもよい。
【００１９】
第２磁性体５は、磁性材料により環状に形成されており、その軸方向上側の端面５ａは外側円筒部２１の端面２１ｃに同心状に固定されている。第２磁性体５の軸方向下側の端面５ｂは、電磁力によりワークＷの軸方向上側の端面を吸着保持する吸着面とされている。
【００２０】
第１磁性体４と第２磁性体５との間には環状の非磁性領域６が形成されている。本実施形態の非磁性領域６は、例えば環状の樹脂部材により形成されており、前記樹脂部材の内周面は第１磁性体４の外周面に固定され、前記樹脂部材の外周面は第２磁性体５の内周面に固定されている。これにより、第１磁性体４および第２磁性体５は非磁性領域６により一体化されている。なお、非磁性領域６は、樹脂部材以外の非磁性体や空気等により形成されていてもよい。
【００２１】
以上の構成により、電磁コイル３に電流を流すと、ホルダ本体２の外側円筒部２１および内側円柱部２２の上下方向に互いに逆極性の磁極を発生し、図中の破線矢印で示すように、Ｎ極である内側円柱部２２の端面２２ａから第１磁性体４の内部に向かって磁束Φが流れ出る。この流れ出た磁束Φの大部分は、第１磁性体４の吸着面４ｂから、非磁性領域６の軸方向下側に位置するワークＷの内部を通って、第２磁性体５の吸着面５ｂからその内部を通過し、Ｓ極である外側円筒部２１の円筒体２１ｂの下面に流れる。これにより、第１及び第２磁性体４，５の吸着面４ｂ，５ｂにワークＷを電磁力により吸着保持することができ、この状態で上記ロボットアームを移動させることで、当該ワークＷを所定の場所へ搬送することができる。なお、内側円柱部２２の端面２２ａがＳ極、外側円筒部２１の円筒体２１ｂがＮ極であってもよい。
【００２２】
以上、本実施形態の電磁ホルダ１によれば、ホルダ本体２の内側円柱部２２に第１磁性体４が設けられ、ホルダ本体２の外側円筒部２１には、ワークＷを吸着保持する第２磁性体５が第１磁性体４に対して非磁性領域６を介して設けられている。このため、電磁ホルダ１にワークＷを吸着保持する際に、内側円柱部２２から第１磁性体４に流れ出た磁束Φの大部分は、第１磁性体４の吸着面４ｂから、非磁性領域６の軸方向下側に位置するワークＷの内部に流れた後、第２磁性体５の吸着面５ｂからその内部を通過し、外側円筒部２１の円筒体２１ｂの下面に流れる。これにより、第２磁性体５よりも外周側の空間に漏れ磁場が発生するのを効果的に抑制することができ、その結果、第２磁性体５に吸着保持されたワークＷに、隣接する他のワークＷが引き寄せられて吸着するのを抑制することができる。
【００２３】
［変形例］
図２は、ワークＷの変形例を示す断面図である。本変形例のワークＷには、その軸方向上側の端面の中央部に円形の浅い窪みｗ１が形成されている。この窪みｗ１の直径は、電磁ホルダ１の第１磁性体４の外径よりも大きい。このため、本変形例のワークＷを電磁ホルダ１により吸着保持する場合、第１磁性体４の軸方向下側の端面４ｂは、窪みｗ１の上方に配置されるため、ワークＷを吸着保持する吸着面として機能しない。この点が上記実施形態のワークＷを電磁ホルダ１で吸着保持する場合と相違する。
【００２４】
本変形例のワークＷを電磁ホルダ１により吸着保持する際には、電磁コイル３に電流を流すと、図中の破線矢印で示すように、Ｎ極である内側円柱部２２の端面２２ａから第１磁性体４の内部に流れ出た磁束Φの大部分は、第１磁性体４の端面４ｂから、非磁性領域６の軸方向下側に位置するワークＷの窪みｗ１内の空間を通って、ワークＷの外周部内に流れる。そして、この外周部内に流れた磁束Φは、第２磁性体５の吸着面５ｂからその内部を通過し、Ｓ極である外側円筒部２１の円筒体２１ｂの下面に流れる。これにより、第２磁性体５の吸着面５ｂにワークＷを電磁力により吸着保持することができ、この状態で上記ロボットアームを移動させることで、当該ワークＷを所定の場所へ搬送することができる。なお、内側円柱部２２の端面２２ａがＳ極、外側円筒部２１の円筒体２１ｂがＮ極であってもよい。
【００２５】
以上、本変形例のワークＷの場合でも、電磁ホルダ１によりワークＷを吸着保持する際に、第２磁性体５よりも外周側の空間に漏れ磁場が発生するのを効果的に抑制することができるので、第２磁性体５に吸着保持されたワークＷに、隣接する他のワークＷが引き寄せられて吸着するのを抑制することができる。
【００２６】
［第２実施形態］
図３は、本発明の第２実施形態に係る電磁ホルダ１を示す断面図である。本実施形態では、第１磁性体４及びワークＷの各形状が異なる点で第１実施形態と相違する。以下、本実施形態では、第１実施形態と相違する点についてのみ説明する。
本実施形態の電磁ホルダ１が吸着保持するワークＷには、その軸方向上側の端面の中央部に円形の深い窪みｗ２が形成されている。
【００２７】
本実施形態の電磁ホルダ１における、第１磁性体４の軸方向下側の端面４ｂは、第２磁性体５の吸着面５ｂよりも軸方向下側に突出している。第１磁性体４における第２磁性体５の吸着面５ｂよりも軸方向下側に突出している部分の軸方向の長さＬ１は、ワークＷの窪みｗ２の軸方向の長さ（深さ）Ｌ２よりも短く設定されている。また、第１磁性体４の外径Ｄ１は、窪みｗ２の直径Ｄ２よりも小さく設定されている。
【００２８】
これにより、電磁ホルダ１がワークＷを吸着保持するときに、第１磁性体４はワークＷの窪みｗ２内に挿入され、第１磁性体４の軸方向下側の端面４ｂは、窪みｗ２の底面よりも上方に配置される。このため、第１磁性体４の端面４ｂは、ワークＷを吸着保持する吸着面として機能しない。この点が第１実施形態のワークＷを電磁ホルダ１で吸着保持する場合と相違する。
【００２９】
以上のように構成された電磁ホルダ１によりワークＷを吸着保持する際には、電磁コイル３に電流を流すと、図中の破線矢印で示すように、Ｎ極である内側円柱部２２の端面２２ａから第１磁性体４の内部に流れ出た磁束Φの大部分は、第１磁性体４の軸方向下側まで流れた後、ワークＷの窪みｗ２内の空間を通って、ワークＷの軸方向下側の外周部内に流れる。そして、この外周部内に流れた磁束Φは、ワークＷの軸方向上側まで流れた後、第２磁性体５の吸着面５ｂからその内部を通過し、Ｓ極である外側円筒部２１の円筒体２１ｂの下面に流れる。これにより、第２磁性体５の吸着面５ｂにワークＷを電磁力により吸着保持することができ、この状態で上記ロボットアームを移動させることで、当該ワークＷを所定の場所へ搬送することができる。なお、内側円柱部２２の端面２２ａがＳ極、外側円筒部２１の円筒体２１ｂがＮ極であってもよい。
【００３０】
なお、第１磁性体４の外周面と第２磁性体５の内周面との間隔（非磁性領域６の径方向の厚み）Ｓ１は、第１磁性体４の外周面とワークＷの窪みｗ２の周面との間隔Ｓ２よりも大きく設定されている。これにより、内側円柱部２２から第１磁性体４の内部に入った磁束Φは、非磁性領域６（間隔Ｓ１）を通過して第２磁性体５に流れるよりも、ワークＷの窪みｗ２内の空間（間隔Ｓ２）を通過してワークＷに流れ易くなるので、磁気回路の長さを長くすることができる。
【００３１】
以上、第２実施形態の電磁ホルダ１においても、電磁ホルダ１によりワークＷを吸着保持する際に、第２磁性体５よりも外周側の空間に漏れ磁場が発生するのを効果的に抑制することができるので、第２磁性体５に吸着保持されたワークＷに、隣接する他のワークＷが引き寄せられて吸着するのを抑制することができる。
【００３２】
さらに、本実施形態では、第１磁性体４の軸方向下側の端面４ｂが、第２磁性体５の吸着面５ｂよりも軸方向下側に突出しており、その突出している部分をワークＷの窪みｗ２に挿入することができる。これにより、第１磁性体４の軸方向下側の端面がワークＷ下部まで伸びるため、ワークＷ下部に至る磁気回路の磁気抵抗が小さくなり、コイルに流した電流によって発生する磁束を、ワークＷ下部まで効率的に通すことができる。このため、ワークを保持するのに必要な電流が小さくなり、磁気回路全体の磁束密度が低くなるので、磁性体が飽和するのを抑制することができる。その結果、磁性体が飽和することで第２磁性体５よりも外周側の空間に磁束Φが漏れるのを抑制することができるため、漏れ磁場が発生するのをさらに抑制することができる。
【００３３】
［第３実施形態］
図４は、本発明の第３実施形態に係る電磁ホルダ１を示す断面図である。本実施形態は、第２実施形態の変形例であり、第１磁性体４及びワークＷの各形状が異なる点で第１実施形態と相違する。以下、本実施形態では、第２実施形態と相違する点についてのみ説明する。
本実施形態の電磁ホルダ１が吸着保持するワークＷは、円環状に形成された焼結品からなり、その軸線方向（図４の上下方向）に例えば３個積み重ねられた状態で１組とされており、複数組のワークＷがワーク載置面５０に載置されている。
【００３４】
前記焼結品は、例えば、組成がＦｅ−２Ｃｕ−０．８Ｃ−０．６パウダー潤滑剤（重量％）のブレンド粉末を用いて、成形圧６ｔｏｎ／ｃｍ２で成形した粉末成形体を、窒素雰囲気中において１１３０℃で焼結して得られたものである。
なお、ワークＷの１組の個数は特に限定されるものではなく、少なくとも２個１組として載置されていればよい。
【００３５】
本実施形態の電磁ホルダ１は、ワークＷを前記１組ずつ同時に吸着保持するように構成されている。具体的には、第１磁性体４の外径Ｄ１は、ワークＷの内径Ｄ２’よりも小さく設定されている。また、第１磁性体４における第２磁性体５の吸着面５ｂよりも軸方向下側に突出している部分の軸方向の長さＬ１は、１組のワークＷの積み重ね方向の全長（全高）Ｌ２’よりも短く設定されており、かつ、当該１組における上側２個のワークＷの積み重ね方向の長さ（高さ）Ｌ３よりも長く設定されている。
【００３６】
これにより、電磁ホルダ１が１組のワークＷを吸着保持するときに、第１磁性体４は当該１組の各ワークＷの内周側に挿入され、第１磁性体４の軸方向下側の端面４ｂは、ワーク載置面５０よりも上方であって、かつ、最も下側に配置されたワークＷの上面よりも軸方向下側に突出した状態となる。
【００３７】
この状態で電磁コイル３に電流を流すと、図中の破線矢印で示すように、Ｎ極である内側円柱部２２の端面２２ａから第１磁性体４の内部に流れ出た磁束Φの大部分は、第１磁性体４の軸方向下側まで流れた後、最も下側に配置されたワークＷの内周側の空間を通って、当該ワークＷの軸方向下側の外周部内に流れる。そして、この外周部内に流れた磁束Φは、真ん中に配置されたワークＷの内部を通過し、最も上側に配置されたワークＷの軸方向上側まで流れた後、第２磁性体５の吸着面５ｂからその内部を通過し、Ｓ極である外側円筒部２１の円筒体２１ｂの下面に流れる。
【００３８】
これにより、第２磁性体５の吸着面５ｂに、最も上側に配置されたワークＷが電磁力により吸着保持されるとともに、真ん中に配置されたワークＷおよび最も下側に配置されたワークＷが、電磁力により隣接する上側のワークＷの下面に吸着保持される。この状態で上記ロボットアームを移動させることで、１組のワークＷを同時に所定の場所へ搬送することができる。なお、内側円柱部２２の端面２２ａがＳ極、外側円筒部２１の円筒体２１ｂがＮ極であってもよい。
【００３９】
以上、第３実施形態の電磁ホルダ１においても、電磁ホルダ１により１組のワークＷを吸着保持する際に、第２磁性体５よりも外周側の空間に漏れ磁場が発生するのを効果的に抑制することができるので、第２磁性体５に吸着保持された１組のワークＷに、隣接する他の１組のワークＷが引き寄せられて吸着するのを抑制することができる。
【００４０】
さらに、本実施形態では、第１磁性体４の軸方向下側に突出している部分は、１組のワークＷの内周側に挿入される。これにより、第１磁性体４の軸方向下側の端面が１組のワークＷ下部まで伸びるため、１組のワークＷ下部に至る磁気回路の磁気抵抗が小さくなり、コイルに流した電流によって発生する磁束を、１組のワークＷ下部まで効率的に通すことができる。このため、１組のワークを保持するのに必要な電流が小さくなり、磁気回路全体の磁束密度が低くなるので、磁性体が飽和するのを抑制することができる。その結果、磁性体が飽和することで第２磁性体５よりも外周側の空間に磁束Φが漏れるのを抑制することができるため、漏れ磁場が発生するのをさらに抑制することができる。したがって、第２磁性体５に吸着保持された１組のワークＷに、隣接する他の１組のワークＷが引き寄せられて吸着するのをさらに抑制することができる。
【００４１】
図５は、第３実施形態において、１組のワークＷの内周側に形成される空間に対する第１磁性体４の最適な形状を確認するために、第１磁性体４の上記長さＬ１及び外径Ｄ１をそれぞれ変化させた場合の評価試験を行った結果を示すグラフである。図５の縦軸は、第１磁性体４の外径Ｄ１とワークＷの内径Ｄ２’との比率（Ｄ１／Ｄ２’）である径比（％）を示しており、図５の横軸は、第１磁性体４の長さＬ１と、１組のワークＷの積み重ね方向（上下方向）の長さＬ２’との比率（Ｌ１／Ｌ２’）である長さ比（％）を示している。
【００４２】
評価試験では、前記径比および長さ比をそれぞれ段階的に変化させて、電磁ホルダ１に１組のワークＷを吸着保持するときに、最も下側に配置されたワークＷの吸着保持ができなかったり、漏れ地場により隣接する１組のワークＷの引き寄せが生じたりするか否かを確認した。そして、前記吸着保持ができ、かつ前記引き寄せが生じなかった場合には「〇」と評価し、前記吸着保持ができなかった場合、又は前記引き寄せが生じた場合には「×」と評価した。
【００４３】
図５に示すように、前記径比を５０％以上に変化させた場合、及び前記長さ比を７０％以上に変化させた場合に、前記吸着保持ができ、かつ前記引き寄せが生じていないのが分かる。したがって、最も下側のワークＷを吸着保持することができ、かつ前記引き寄せの要因となる漏れ磁場の発生を効果的に抑制するためには、図中の破線で囲む範囲内となるように、前記径比を５０〜１００％にし、かつ前記長さ比を７０〜１００％にするのが好ましい。
【００４４】
［その他］
なお、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００４５】
１  電磁ホルダ
２  ホルダ本体
３  電磁コイル
４  第１磁性体
４ａ  端面
４ｂ  端面
５  第２磁性体
５ａ  端面
５ｂ  端面（吸着面）
６  非磁性領域
２１  外側円筒部
２１ａ  天板
２１ｂ  円筒体
２１ｃ  端面
２２  内側円柱部
２２ａ  端面
２３  環状空間
５０  ワーク載置面
Ｄ１  第１磁性体の外径
Ｄ２  窪みの直径
Ｄ２’  ワークの内径
Ｌ１  第１磁性体の突出部分の長さ
Ｌ２  窪みの軸方向の長さ（深さ）
Ｌ２’  １組のワークの積み重ね方向の全長（全高）
Ｓ１  第１磁性体の外周面と第２磁性体の内周面との間隔
Ｓ２  第１磁性体の外周面と窪みの周面との間隔
Ｗ  ワーク
ｗ１  窪み
ｗ２  窪み
Φ  磁束
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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