(57)【要約】【課題】正確な検査を行うことの可能な構造を有する熱交換器を提供する。【解決手段】熱交換器１は、熱交換器本体２、電気絶縁膜２０および導電膜３０を備える。熱交換器本体２は、流体通路７を有するものである。電気絶縁膜２０は、熱交換器本体２のうち流体通路７側の面に設けられている。導電膜３０は、電気絶縁膜２０の上に、流体通路７に露出するように設けられている。これによれば、熱交換器本体２と導電膜３０との間に電流を流し、その間が導通しているか否かにより、電気絶縁膜２０の欠陥の有無を正確に検査することが可能である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れる流体通路（７）を有する熱交換器であって、
前記流体通路を有する熱交換器本体（２）と、
前記熱交換器本体のうち前記流体通路側の面に設けられた電気絶縁膜（２０）と、
前記電気絶縁膜の上に、前記流体通路に露出するように設けられた導電膜（３０）と、を備える熱交換器。
【請求項２】
前記導電膜は、前記流体通路の内壁のうち最表層に設けられている請求項１に記載の熱交換器。
【請求項３】
前記導電膜の外縁（３０ａ）は、前記電気絶縁膜の外縁（２０ａ）を跨いで前記熱交換器本体に接触することなく、前記電気絶縁膜の外縁に対し前記熱交換器本体が前記電気絶縁膜から露出する部位（２ａ）とは反対側に位置している請求項１または２に記載の熱交換器。
【請求項４】
前記導電膜の厚さは０より大きく１０μｍ以下である請求項１ないし３のいずれか１つに記載の熱交換器。
【請求項５】
前記流体通路に設けられた複数のフィン（１０）をさらに備え、
前記フィンの外面に前記電気絶縁膜が設けられ、前記フィンの外面に設けられた前記電気絶縁膜の上に前記導電膜が設けられており、
前記導電膜は、複数の前記フィンと前記フィンとの間に跨ることなく、それぞれの前記フィンごとに設けられている請求項１ないし４のいずれか１つに記載の熱交換器。
【請求項６】
前記電気絶縁膜を第１電気絶縁膜とすると、
前記第１電気絶縁膜の外縁に隣接する前記導電膜の一部と前記第１電気絶縁膜の外縁とを覆うように設けられた第２電気絶縁膜（２２）をさらに備える請求項１ないし５のいずれか１つに記載の熱交換器。
【請求項７】
前記第２電気絶縁膜は、前記第１電気絶縁膜の外縁に隣接する前記熱交換器本体の一部と、前記第１電気絶縁膜の外縁と、前記第１電気絶縁膜の外縁に隣接する前記導電膜の一部とを覆うように設けられる請求項６に記載の熱交換器。
【請求項８】
熱交換器の製造方法であって、
流体通路（７）を有する熱交換器本体（２）を形成すること（Ｓ１０）と、
前記熱交換器本体のうち前記流体通路側の面に電気絶縁膜（２０）を形成すること（Ｓ２０）と、
前記電気絶縁膜の上に、前記流体通路に露出するように導電膜（３０）を形成すること（Ｓ３０）、を含む熱交換器の製造方法。
【請求項９】
前記導電膜をドライコーティングにより形成する請求項８に記載の熱交換器の製造方法。
【請求項１０】
前記導電膜を蒸着、化学蒸着または原子層蒸着で形成する請求項８または９に記載の熱交換器の製造方法。
【請求項１１】
熱交換器本体（２）の流体通路（７）側の面に電気絶縁膜（２０）が形成された熱交換器の検査方法であって、
前記電気絶縁膜の上に前記流体通路に露出するように導電膜（３０）を形成すること（Ｓ３０）と、
前記熱交換器本体に一方の電極（４０）を接触させ、前記導電膜に他方の電極（４１）を接触させ、前記一方の電極と前記他方の電極との間に電流を流すこと（Ｓ４０）と、
前記一方の電極と前記他方の電極との間が導通しているか否かにより、前記電気絶縁膜の欠陥の有無を判定すること（Ｓ５０）を含む熱交換器の検査方法。
【請求項１２】
前記導電膜をドライコーティングにより形成する請求項１１に記載の熱交換器の検査方法。
【請求項１３】
前記導電膜の外縁（３０ａ）が、前記電気絶縁膜の外縁（２０ａ）に対し前記熱交換器本体が前記電気絶縁膜から露出する部位（２ａ）とは反対側に位置するように前記導電膜を形成する請求項１１または１２に記載の熱交換器の検査方法。
【請求項１４】
前記電気絶縁膜を第１電気絶縁膜とすると、
前記第１電気絶縁膜の上に前記導電膜を形成した後、前記一方の電極と前記他方の電極との間に電流を流す前に、前記第１電気絶縁膜の外縁に隣接する前記導電膜の一部と前記第１電気絶縁膜の外縁とを覆うように第２電気絶縁膜（２２）を形成すること（Ｓ３５）を含む請求項１１ないし１３のいずれか１つに記載の熱交換器の検査方法。
【請求項１５】
前記第２電気絶縁膜は、前記第１電気絶縁膜の外縁に隣接する前記熱交換器本体の一部と、前記第１電気絶縁膜の外縁と、前記第１電気絶縁膜の外縁に隣接する前記導電膜の一部とを覆うように形成する請求項１４に記載の熱交換器の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱交換器及びその製造方法、並びにその検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体や気体などの流体が流れる複数の流体通路を有し、一方の流体通路を流れる流体と、他方の流体通路を流れる流体との熱交換を行う熱交換器が知られている。熱交換器では、流体通路を流れる流体による腐食を防ぐために、流体通路の内壁に対し、高耐食コーティングがされたものがある。一般に、高耐食コーティングは、電気絶縁膜により形成されている。この種の熱交換器は、その電気絶縁膜により形成された高耐食コーティングに欠陥があるか否かの検査が必要となる。
【０００３】
特許文献１には、半導体ウェハ表面の欠陥の有無を検査する方法として、ウェハ表面に光を照射したときの光の散乱を利用した検査方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４３７０８１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、熱交換器が有する流体通路には、放熱用のフィンが設けられており、また、その流体通路も複雑な形状をしていることから、流体通路に対し光を照射して電気絶縁膜の欠陥の有無を検査することは困難である。
【０００６】
そこで、熱交換器の流体通路の内壁に形成された電気絶縁膜の検査方法として、流体通路に導電性の検査液を充填し、その検査液と熱交換器本体との間に電流を流すことにより、電気絶縁膜の欠陥の有無を検査する方法が考えられる。すなわち、流体通路に充填された検査液と熱交換器本体とが導通すれば、電気絶縁膜の欠陥を検出することができる。しかしながら、検査液による検査方法では、電気絶縁膜の欠陥部と検査液との間に気泡が形成されると、検査液と熱交換器本体とが導通しなくなり、電気絶縁膜の欠陥を検出することできない。すなわち、検査液による検査方法では、誤判定が生じるおそれがある。
【０００７】
さらに、検査液による検査方法では、熱交換器本体の流体通路に対する検査液の充填、検査液からのエア抜き、導通検査後における検査液の排出、検査後の熱交換器の洗浄および乾燥工程などが必要である。そのため、検査液による検査方法は、電気絶縁膜の欠陥の有無の検査にかかるコストが大きいものとなることが懸念される。
【０００８】
本発明は上記点に鑑みて、正確な検査を行うことの可能な構造を有する熱交換器及びその製造方法、並びに熱交換器の検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、請求項１にかかる発明は、流体が流れる流体通路（７）を有する熱交換器であって、
流体通路を有する熱交換器本体（２）と、
熱交換器本体のうち流体通路側の面に設けられた電気絶縁膜（２０）と、
電気絶縁膜の上に、流体通路に露出するように設けられた導電膜（３０）と、を備える。
【００１０】
これによれば、熱交換器本体と導電膜との間に電流を流し、その間が導通しているか否かにより、電気絶縁膜の欠陥の有無を正確に検査することが可能である。この検査を行うことで、従来、熱交換器が有する流体通路に導電性の検査液を充填し、その検査液と熱交換器本体との間に電流を流して電気絶縁膜の欠陥の有無を検査していた検査方法を廃止することが可能である。したがって、この熱交換器では電気絶縁膜の欠陥の有無の検査に検査液を用いないので、従来の検査方法における電気絶縁膜の欠陥部と検査液との間に気泡が入ることによる誤判定の懸念を払拭することができる。
【００１１】
また、この熱交換器の検査では、従来の検査方法で行っていた検査液の充填、検査液からのエア抜き、導通判定後における検査液の排出、検査後の熱交換器の洗浄および乾燥工程などが不要となる。したがって、電気絶縁膜の欠陥の有無の検査にかかるコストを低減することができる。
【００１２】
さらに、電気絶縁膜および導電膜の材料として耐食性の高いものを使用することで、電気絶縁膜および導電膜の２層コーティングにより、熱交換器本体の腐食をより抑制することが可能となる。
【００１３】
請求項８にかかる発明は、熱交換器の製造方法であって、
流体通路（７）を有する熱交換器本体（２）を形成することと、
熱交換器本体のうち流体通路側の面に電気絶縁膜（２０）を形成することと、
電気絶縁膜の上に、流体通路に露出するように導電膜（３０）を形成すること、を含む。
【００１４】
この製造方法により製造された熱交換器は、上述した請求項１にかかる発明と同一の作用効果を奏するものとなる。
【００１５】
請求項１０にかかる発明は、熱交換器本体（２）の流体通路（７）側の面に電気絶縁膜（２０）が形成された熱交換器の検査方法であって、
電気絶縁膜の上に流体通路に露出するように導電膜（３０）を形成することと、
一方の電極（４０）を熱交換器本体に接触させ、他方の電極（４１）を導電膜に接触させ、一方の電極と他方の電極との間に電流を流すことと、
一方の電極と他方の電極との間が導通しているか否かにより、電気絶縁膜の欠陥の有無を判定することを含む。
【００１６】
この検査方法により、上述した請求項１にかかる発明と同じく、従来の検査液を用いて行っていた検査方法を廃止すること可能である。したがって、この検査方法により、従来の検査方法における電気絶縁膜の欠陥部と検査液との間に気泡が入ることによる誤判定の懸念を払拭すると共に、検査にかかるコストを低減することができる。
【００１７】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係の一例を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１実施形態にかかる熱交換器の部分断面図である。
【図２】図１のＩＩ―ＩＩ線の断面図である。
【図３】図２のＩＩＩ―ＩＩＩ線の模式的な断面図である。
【図４】図３のＩＶ部分の拡大図である。
【図５】図３のＶ部分の拡大図である。
【図６】第１実施形態にかかる熱交換器の製造方法のフローチャートである。
【図７】第２実施形態にかかる熱交換器の模式的な断面図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ部分の拡大図である。
【図９】第２実施形態にかかる熱交換器の製造方法のフローチャートである。
【図１０】第３実施形態にかかる熱交換器の部分断面図である。
【図１１】第４実施形態にかかる熱交換器の部分断面図である。
【図１２】第１比較例の熱交換器の模式的な断面図である。
【図１３】図１２のＸＩＩＩ部分の拡大図である。
【図１４】第２比較例の熱交換器の模式的な部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
【００２０】
（第１実施形態）
第１実施形態について図面を参照しつつ説明する。第１実施形態では、熱交換器を内燃機関の排気再循環装置に用いられる排気熱交換器に適用した例について説明する。排気再循環装置とは、図示していない内燃機関の燃焼室から排気管に排出された排気の一部を再び吸気管から内燃機関の燃焼室に循環する装置である。排気熱交換器は、排気管と吸気管とを接続する排気再循環管に設けられ、その排気再循環管を流れる排気を、エンジンの冷却水との熱交換によって冷却するものである。
【００２１】
まず、熱交換器１の基本的構成について説明する。
【００２２】
図１および図２に示すように、熱交換器１は、熱交換器本体２を構成する部材として、ケーシング３、複数のチューブ４、流入側タンク部５、流出側タンク部６などを備えている。これらの部材は、互いに当接する箇所がろう付け等によって接合されている。熱交換器本体２を構成するこれらの部材は、例えばステンレスまたはアルミニウムなどから形成されている。
【００２３】
ケーシング３は、複数のチューブ４を内側に収容すると共に、その複数のチューブ４の周りに冷却水が流通する流体通路７としての冷却水通路８を形成している。複数のチューブ４は、扁平状断面の長辺側の面が互いに対向するように積層されている。各チューブ４とチューブ４との間に冷却水通路８が形成され、また、チューブ４とケーシング３との間にも冷却水通路８が形成される。
【００２４】
複数のチューブ４は、断面が矩形扁平状に形成され、その内側に、排気が流れる流体通路７としての排気流路９を有している。したがって、熱交換器本体２は、気体または液体などの流体が流れる流体通路７として、排気流路９と冷却水通路８とを有している。
【００２５】
チューブ４が有する排気流路９には、複数のフィン１０が設けられている。フィン１０は、排気流路９を流れる排気と、冷却水通路８を流れる冷却水との熱交換を促進する伝熱部材である。本実施形態では、フィン１０の一例として、オフセットフィンが採用されている。
【００２６】
複数のチューブ４の長手方向の両端部にはそれぞれ仕切部材１１、１２が設けられている。複数のチューブ４の両端部はいずれも仕切部材１１、１２を貫通し、その仕切部材１１、１２に接合されている。これにより、複数のチューブ４は、一対の仕切部材１１、１２に保持される。一対の仕切部材１１、１２は、ケーシング３の内壁に接合されている。一対の仕切部材１１、１２は、流入側タンク部５の内側空間１５と、流出側タンク部６の内側空間１６と、ケーシング３内の冷却水通路８とを区画している。
【００２７】
流入側タンク部５は漏斗状に形成され、ケーシング３の長手方向の一方に接合されている。流入側タンク部５のうちケーシング３とは反対側の開口部５ａには、ジョイント部１３が設けられている。流出側タンク部６も漏斗状に形成され、ケーシング３の長手方向の他方に接合されている。流出側タンク部６のうちケーシング３とは反対側の開口部６ａには、ジョイント部１４が設けられている。ジョイント部１３、１４は、上述した排気再循環管の途中に接続可能である。
【００２８】
図１の矢印Ｇ１に示すように、排気再循環管を流れる排気は、流入側タンク部５の開口部５ａからその内側空間１５に流入する。その排気は、複数のチューブ４が有する排気流路９を流れた後、流出側タンク部６の内側空間１６を流れる。そして、矢印Ｇ２に示すように、その排気は、流出側タンク部６の開口部６ａから、再び排気再循環管に流出する。
【００２９】
冷却水流入管１７と冷却水流出管１８は、ケーシング３の側面に接合されている。冷却水流入管１７と冷却水流出管１８は、内燃機関の冷却水の水路の途中に接続可能である。
【００３０】
図１の矢印Ｗ１に示すように、内燃機関の冷却水の水路を流れる冷却水は、冷却水流入管１７からケーシング３内に流入する。その冷却水は、冷却水通路８を流れる。そして、矢印Ｗ２に示すように、その冷却水は、冷却水流出管１８から再び内燃機関の冷却水の水路に流出する。
【００３１】
次に、熱交換器１の特徴的構成について説明する。
【００３２】
図３は、熱交換器１の模式的な断面図である。図３では、説明の便宜上、熱交換器本体２を構成するケーシング３、チューブ４、流入側タンク部５、流出側タンク部６などを一体のものとして示している。また、図３では、冷却水流入管１７と冷却水流出管１８を省略している。さらに、図３では、流体が流れる流体通路７として排気流路９のみを示し、冷却水通路８は省略している。
【００３３】
本実施形態の熱交換器１は、熱交換器本体２と、その熱交換器本体２に設けられた電気絶縁膜２０と、その電気絶縁膜２０の上に設けられた導電膜３０とを備えている。
【００３４】
電気絶縁膜２０は、熱交換器本体２のうち少なくとも流体通路７側の面を覆うように設けられている。電気絶縁膜２０は、流入側タンク部５の開口部５ａからジョイント部１３に亘り設けられ、また、流出側タンク部６の開口部６ａからジョイント部１４に亘り設けられている。さらに、電気絶縁膜２０は、フィン１０にも設けられている。電気絶縁膜２０は、高耐食コーティング膜であり、例えばセラミックなどにより形成される。セラミックを形成する材料として、アルミナまたはチタンなどが例示される。
【００３５】
電気絶縁膜２０は、ドライコーティングにより形成されたものである。そのため、電気絶縁膜２０の厚さは０より大きく１０μｍ以下であり、ほぼ均一な膜厚に形成されている。ドライコーティングとして、例えば蒸着、化学蒸着（ＣＶＤ：Chemical Vapor Deposition）または原子層蒸着（ＡＬＤ：Atomic Layer Deposition）などが挙げられる。
【００３６】
なお、図３および図４では、図中に矢印Ｆで示したように、電気絶縁膜２０は、その一部に欠陥がある状態を示している。電気絶縁膜２０の欠陥とは、熱交換器本体２の一部において、電気絶縁膜２０が形成されていない部位をいうものである。
【００３７】
導電膜３０は、電気絶縁膜２０の上を覆うように設けられている。導電膜３０は、流体通路７の内壁のうち最表層に設けられている。すなわち、導電膜３０は、流体通路７に露出するものである。
【００３８】
ジョイント部１３、１４において、導電膜３０の外縁３０ａは、電気絶縁膜２０の外縁２０ａに対し熱交換器本体２が電気絶縁膜２０から露出する部位２ａとは反対側に位置している。そのため、導電膜３０は、電気絶縁膜２０の外縁２０ａを跨いで熱交換器本体２に接触していない。また、図５に示すように、導電膜３０は、フィン１０に設けられた電気絶縁膜２０の上にも設けられている。
【００３９】
導電膜３０も、電気絶縁膜２０と同様、ドライコーティングにより形成されたものである。そのため、導電膜３０の厚さは０より大きく１０μｍ以下であり、ほぼ均一な膜厚に形成されている。ドライコーティングとして、例えば蒸着、化学蒸着または原子層蒸着などが挙げられる。なお、導電膜３０は、耐食性の高い材料を使用することが好ましい。
【００４０】
図４に示すように、導電膜３０は、ドライコーティングにより形成されることで、電気絶縁膜２０の欠陥部分Ｆにも入り込み、熱交換器本体２に接触する。
【００４１】
また、図５に示すように、導電膜３０は、ドライコーティングにより形成されることで、複数のフィン１０とフィン１０との間に跨ることなく、各フィン１０ごとに設けられている。また、熱交換器本体２の電気絶縁膜２０の上に設けられた導電膜３０と同様に、フィン１０の電気絶縁膜２０の上に設けられた導電膜３０の厚さも、０より大きく１０μｍ以下であり、ほぼ均一な膜厚に形成されている。
【００４２】
続いて、熱交換器１の製造方法について、図６のフローチャートを参照して説明する。
【００４３】
熱交換器１の製造が開始されると、ステップＳ１０で、熱交換器本体２が形成される。この工程では、熱交換器本体２を構成するケーシング３、チューブ４、流入側タンク部５および流出側タンク部６などを組み付け、それらの各部材が互いに当接する箇所をろう付け等によって接合する。また、チューブ４の内側にフィン１０を接合する。これにより、流体通路７を有する熱交換器本体２が形成される。
【００４４】
ステップＳ２０で、熱交換器本体２のうち少なくとも流体通路７側の面に、ドライコーティングにより電気絶縁膜２０を形成する。また、電気絶縁膜２０は、流入側タンク部５および流出側タンク部６の開口部５ａ、６ａからジョイント部１３、１４にも形成する。さらに、電気絶縁膜２０は、フィン１０にも形成する。これらの箇所に対する電気絶縁膜２０の形成は、ドライコーティングにより同時に行われる。
【００４５】
ステップＳ３０で、電気絶縁膜２０の上に、ドライコーティングにより導電膜３０を形成する。その際、例えば、電気絶縁膜２０の外縁２０ａを図示していないマスキングなどにより覆うことが好ましい。これにより、導電膜３０の外縁３０ａは、電気絶縁膜２０の外縁２０ａに対し熱交換器本体２が電気絶縁膜２０から露出する部位２ａとは反対側に位置するものとなる。
【００４６】
上述したステップＳ１０〜Ｓ３０により、熱交換器１が製造される。
【００４７】
続くステップＳ４０〜Ｓ５０で熱交換器１の検査が行われる。
【００４８】
ステップＳ４０では、図３に示したように、一方の電極４０を、熱交換器本体２のうち電気絶縁膜２０から露出した部位に接触させる。他方の電極４１を、導電膜３０に接触させる。そして、電源回路４２から、一方の電極４０と他方の電極４１との間に電流を流す。
【００４９】
ステップＳ５０で、一方の電極４０と他方の電極４１との間が導通しているか否かを検出器４３によって検出し、電気絶縁膜２０の欠陥の有無を判定する。すなわち、一方の電極４０と他方の電極４１との間が導通している場合、図４に示したように、導電膜３０が電気絶縁膜２０の欠陥部分Ｆに入り込み、熱交換器本体２に接触しているといえる。したがって、その場合には、電気絶縁膜２０に欠陥が存在すると判定する。
【００５０】
これに対し、一方の電極４０と他方の電極４１との間が導通していない場合、導電膜３０が熱交換器本体２に接触している箇所が存在しないといえる。したがって、その場合には、電気絶縁膜２０に欠陥は存在しないと判定する。
【００５１】
ここで、第１比較例の熱交換器について説明する。
【００５２】
図１２に示すように、第１比較例の熱交換器１００は、熱交換器本体２のうち少なくとも流体通路７側の面を覆うように電気絶縁膜２０が設けられている。また、電気絶縁膜２０は、流入側タンク部５および流出側タンク部６の開口部５ａ、６ａからジョイント部１３、１４に亘り設けられている。さらに、電気絶縁膜２０は、フィン１０にも設けられている。
【００５３】
しかし、第１比較例では、電気絶縁膜２０の上に導電膜が設けられていない。電気絶縁膜２０は、流体通路７の内壁のうち最表層に設けられており、流体通路７に露出している。第１比較例の電気絶縁膜２０も、上述した第１実施形態と同様、高耐食コーティング膜である。なお、図１２および図１３では、矢印Ｆで示したように、電気絶縁膜２０の一部に欠陥がある状態を示している。
【００５４】
第１比較例の熱交換器１００に関し、電気絶縁膜２０の欠陥の有無を検査する方法について説明する。
【００５５】
この検査では、まず、熱交換器１００の両側のジョイント部１３、１４に対し、筒状の検査用治具５０、５１を接続する。そして、矢印Ｉに示すように、その検査用治具５０、５１から熱交換器１００の流体通路７に導電性の検査液を注入し、その検査液を流体通路７に充填する。なお、検査液の注入は、熱交換器１００を真空状態として行うことが好ましい。これにより、検査液への空気の混入をできる限り抑制することが可能となる。
【００５６】
続いて、一方の電極４０を検査液に浸し、他方の電極４１を熱交換器本体２に接触させる。そして、電源回路４２から一方の電極４０と他方の電極４１との間に電流を流し、その間が導通しているか否かを検出器４３によって検出する。一方の電極４０と他方の電極４１との間が導通している場合、電気絶縁膜２０の欠陥部分Ｆに検査液が入り込み、検査液と熱交換器本体２とが接触しているといえる。したがって、その場合には、電気絶縁膜２０に欠陥が存在すると判定する。
【００５７】
これに対し、一方の電極４０と他方の電極４１との間が導通していない場合、検査液と熱交換器本体２とが接触している箇所が存在しないといえる。したがって、その場合には、電気絶縁膜２０に欠陥は存在しないと判定する。
【００５８】
しかし、図１３に示したように、第１比較例の熱交換器１００の検査方法では、電気絶縁膜２０の欠陥部分Ｆに気泡が入り込む場合が考えられる。図１３では、検査液を符号Ｌで示し、気泡を符号Ａで示している。この場合、気泡によって欠陥部分Ｆの熱交換器本体２と検査液とが接触せず、一方の電極４０と他方の電極４１との間が導通しない。そのため、電気絶縁膜２０に欠陥部分Ｆがあるにも関わらず、電気絶縁膜２０に欠陥が存在しないといった誤判定がされることになる。
【００５９】
なお、第１比較例では、電気絶縁膜２０の欠陥の有無を検査した後、熱交換器１００の流体通路７から検査液を排出し、熱交換器１００の洗浄および乾燥工程が必要となる。したがって、電気絶縁膜２０の欠陥の有無の検査にかかるコストが大きいものとなることが懸念される。
【００６０】
次に、第２比較例の熱交換器について説明する。
【００６１】
図１４に示すように、第２比較例では、熱交換器は、熱交換器本体およびフィン１０と、熱交換器本体およびフィン１０に設けられた電気絶縁膜２０と、その電気絶縁膜２０の上に設けられた導電膜３００とを備えているものとする。ただし、第２比較例では、導電膜３００は、ドライコーティングにより形成されたものではなく、ウェットコーティングにより形成されたものである。そのため、導電膜３００の厚さは１０μｍより厚いものであり、膜厚が不均一に形成されている。また、導電膜３００は、複数のフィン１０とフィン１０との間に跨る箇所が存在する。したがって、複数のフィン１０とフィン１０との間の目詰まりが生じ、流体通路７を流れる流体の圧力損失が大きくなることが懸念される。
【００６２】
このような第１比較例および第２比較例の熱交換器１００に対し、上述した第１実施形態の熱交換器１は、次の作用効果を奏する。
【００６３】
（１）第１実施形態の熱交換器１は、熱交換器本体２のうち流体通路７側の面に電気絶縁膜２０が設けられ、その電気絶縁膜２０の上に導電膜３０が設けられている。導電膜３０は、流体通路７の内壁のうち最表層に設けられている。
【００６４】
これによれば、熱交換器本体２と導電膜３０との間に電流を流し、その間が導通しているか否かにより、電気絶縁膜２０の欠陥の有無を正確に検査することが可能である。この検査を行うことで、第１比較例のような検査液を使用した検査方法を廃止することが可能である。したがって、第１実施形態の熱交換器１では電気絶縁膜２０の欠陥の有無の検査に検査液を用いないので、第１比較例の検査方法における電気絶縁膜２０の欠陥部と検査液との間に気泡が入ることで検査の誤判定が生じるといった懸念を払拭することができる。
【００６５】
また、第１実施形態の熱交換器１の検査では、第１比較例の検査方法で行っていた検査液の充填、検査液からのエア抜き、導通検査後における検査液の排出、検査後の熱交換器１の洗浄および乾燥工程などが不要となる。したがって、電気絶縁膜２０の欠陥の有無の検査にかかるコストを低減することができる。
【００６６】
さらに、第１実施形態の熱交換器１は、電気絶縁膜２０および導電膜３０の材料として耐食性の高いものを使用することで、電気絶縁膜２０および導電膜３０の２層コーティングにより、熱交換器本体２の腐食をより抑制することが可能である。
【００６７】
（２）第１実施形態では、導電膜３０は、電気絶縁膜２０の外縁２０ａを跨いで熱交換器本体２に接触することなく、電気絶縁膜２０の外縁２０ａに対し熱交換器本体２が電気絶縁膜２０から露出する部位２ａとは反対側に位置している。
【００６８】
これによれば、熱交換器本体２と導電膜３０との間に電流を流して電気絶縁膜２０の欠陥の有無を検査する際、電気絶縁膜２０の外縁２０ａを跨いで導電膜３０と熱交換器本体２とが導通することが防がれる。したがって、この熱交換器１は、電気絶縁膜２０の欠陥の有無に関する導通検査を正確に行うことが可能な構造とすることができる。
【００６９】
（３）第１実施形態では、導電膜３０の厚さは０より大きく１０μｍ以下である。
【００７０】
これによれば、導電膜３０は、ドライコーティングで形成することが可能なものである。第２比較例のように、ウェットコーティングにより導電膜３０が形成された場合、その膜厚は１０μｍより厚いものとなる。また、仮に、導電膜３０をウェットコーティングにより形成する場合、その形成時において、電気絶縁膜２０の欠陥部と導電膜３０を形成するコーティング液との間に気泡が入ることが考えられる。その場合、電気絶縁膜２０の欠陥部に導電膜３０が形成されないおそれがある。これに対し、ドライコーティングで導電膜３０を形成する場合、電気絶縁膜２０の全面に欠陥なく導電膜３０を形成することが可能である。したがって、この熱交換器１は、電気絶縁膜２０の欠陥の有無に関する導通検査を正確に行うことが可能な構造とすることができる。
【００７１】
（４）第１実施形態では、フィン１０の外面に電気絶縁膜２０が設けられ、その電気絶縁膜２０の上に導電膜３０が設けられている。導電膜３０は、複数のフィン１０とフィン１０との間に跨ることなく、各フィン１０ごとに設けられている。
【００７２】
これによれば、導電膜３０は、ドライコーティングで形成することが可能なものである。また、導電膜３０が複数のフィン１０とフィン１０との間に跨ることなく、各フィン１０ごとに設けられることで、複数のフィン１０とフィン１０との間の目詰まりを防ぎ、流体通路７を流れる流体の圧力損失を低減することが可能である。
【００７３】
（５）第１実施形態では、熱交換器１の製造方法についても説明した。この製造方法は、流体通路７を有する熱交換器本体２を形成するステップＳ１０と、熱交換器本体２のうち少なくとも流体通路７側の面に電気絶縁膜２０を形成するステップＳ２０と、その電気絶縁膜２０の上に、流体通路７に露出するように導電膜３０を形成するステップＳ３０を含むものである。
【００７４】
この製造方法により製造された熱交換器１は、熱交換器本体２と導電膜３０との間に電流を流し、その間が導通しているか否かにより、電気絶縁膜２０の欠陥の有無を正確に検査することが可能である。
【００７５】
（６）第１実施形態の製造方法では、導電膜３０をドライコーティングにより形成する。
【００７６】
これによれば、電気絶縁膜２０の全面に欠陥なく導電膜３０を形成することが可能である。これに対し、第２比較例のように、導電膜３０をウェットコーティングにより形成した場合、電気絶縁膜２０の欠陥部とコーティング液との間に気泡が入ることが考えられる。その場合、電気絶縁膜２０の欠陥部に導電膜３０が形成されないおそれがある。したがって、第１実施形態の製造方法により製造された熱交換器１は、電気絶縁膜２０の欠陥の有無に関する導通検査を正確に行うことが可能な構造とすることができる。
【００７７】
（７）第１実施形態の製造方法では、導電膜３０を蒸着、化学蒸着または原子層蒸着で形成する。
【００７８】
これによれば、導電膜３０を形成する粒子が微細なものとなる。そのため、その粒子は、電気絶縁膜２０の表面の凹凸の細部に入り込み、導電膜３０を形成する。したがって、電気絶縁膜２０の全面に欠陥なく導電膜３０を形成することが可能である。
【００７９】
（８）第１実施形態では、熱交換器１の検査方法についても説明した。この検査方法は、電気絶縁膜２０の上に流体通路７に露出するように導電膜３０を形成するステップＳ３０と、熱交換器本体２と導電膜３０との間に電流を流すステップＳ４０と、熱交換器本体２と導電膜３０との間が導通しているか否かにより電気絶縁膜２０の欠陥の有無を判定するステップＳ５０を含むものである。
【００８０】
これによれば、第１比較例のような検査液を使用した検査方法を廃止すること可能である。したがって、第１実施形態の検査方法では、第１比較例の検査方法における電気絶縁膜２０の欠陥部と検査液との間に気泡が入ることによる誤判定の懸念を払拭すると共に、検査にかかるコストを低減することができる。
【００８１】
（第２実施形態）
第２実施形態について、図７から図９を参照して説明する。第２実施形態は、第１実施形態に対して電気絶縁膜２０の構成を追加したものであり、その他については第１実施形態と同様であるため、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００８２】
第２実施形態では、熱交換器本体２のうち少なくとも流体通路７側の面を覆うように設けられた電気絶縁膜２０を、第１電気絶縁膜２０と称する。なお、第２実施形態の第１電気絶縁膜２０および導電膜３０の構成は、第１実施形態で説明した電気絶縁膜２０および導電膜３０の構成と同一である。
【００８３】
図７および図８に示すように、第２実施形態では、第１電気絶縁膜２０の外縁２０ａと、その第１電気絶縁膜２０の外縁２０ａに隣接する導電膜３０の一部とを覆うように第２電気絶縁膜２２が設けられている。なお、第２電気絶縁膜２２は、第１電気絶縁膜２０と同様、例えばセラミックなどにより形成される高耐食コーティング膜であることが好ましい。
【００８４】
続いて、第２実施形態の熱交換器１の製造方法について、図９のフローチャートを参照して説明する。
【００８５】
ステップＳ１０〜Ｓ３０は第１実施形態で説明した工程と同じである。ステップＳ３０の後に、ステップＳ３５で、第１電気絶縁膜２０の外縁２０ａと、その第１電気絶縁膜２０の外縁２０ａに隣接する導電膜３０の一部とを覆うように第２電気絶縁膜２２を形成する。このステップＳ１０〜Ｓ３５により、熱交換器１が製造される。
【００８６】
ステップＳ３５の後のステップＳ４０〜Ｓ５０も、第１実施形態で説明した工程と同じである。このステップＳ４０〜Ｓ５０で熱交換器１の検査が行われる。
【００８７】
ここで、図８の一点鎖線Ｓに示したように、熱交換器１の検査の際、第１電気絶縁膜２０の外縁２０ａを跨いで熱交換器本体２と導電膜３０との間に異物または水分が付着する場合が考えられる。しかし、仮に、その異物または水分が、第２電気絶縁膜２２の一方の端部からはみ出したとしても、第２電気絶縁膜２２の両端部からはみ出さない大きさのものであれば、第２電気絶縁膜２２は、熱交換器本体２と導電膜３０とが短絡することを防ぐことが可能である。
【００８８】
以上説明した第２実施形態の熱交換器１は、第１電気絶縁膜２０の欠陥の有無に関する導通検査を正確に行うことが可能な構造とすることができる。
【００８９】
また、第２実施形態の熱交換器１の検査方法は、異物または水分などによって導電膜３０と熱交換器本体２とが導通することを、第２電気絶縁膜２２によって防ぐことが可能である。したがって、この検査方法は、第１電気絶縁膜２０の欠陥の有無に関する誤判定を低減することができる。
【００９０】
（第３実施形態）
第３実施形態について、図１０を参照して説明する。第３実施形態は、第２実施形態に対して第２電気絶縁膜２２の構成を変更したものであり、その他については第２実施形態と同様であるため、第２実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００９１】
第３実施形態では、第２電気絶縁膜２２は、第１電気絶縁膜２０の外縁２０ａに隣接する熱交換器本体２の一部と、第１電気絶縁膜２０の外縁２０ａと、第１電気絶縁膜２０の外縁２０ａに隣接する導電膜３０の一部とを覆うように設けられている。すなわち、第３実施形態の第２電気絶縁膜２２は、第２実施形態で説明した第２電気絶縁膜２２よりも広い範囲を覆うものとなっている。
【００９２】
ここで、図１０の一点鎖線Ｓに示したように、熱交換器１の検査の際、第１電気絶縁膜２０の外縁２０ａを跨いで熱交換器本体２と導電膜３０との間に異物または水分が付着する場合が考えられる。しかし、仮に、その異物または水分が、第２電気絶縁膜２２の一方の端部からはみ出したとしても、第２電気絶縁膜２２の両端部からはみ出さない大きさのものであれば、第２電気絶縁膜２２は、熱交換器本体２と導電膜３０とが短絡することを防ぐことが可能である。すなわち、第３実施形態では、熱交換器本体２と導電膜３０との間に付着する異物または水分が第２実施形態で説明したものよりも大きい場合でも、第２電気絶縁膜２２は、熱交換器本体２と導電膜３０とが短絡することを防ぐことが可能である。よって、第３実施形態も、第２実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００９３】
（第４実施形態）
第４実施形態について、図１１を参照して説明する。第４実施形態は、第１実施形態に対して、導電膜３０の外縁３０ａの位置を変えたものであり、その他については第１実施形態と同様であるため、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００９４】
第４実施形態では、導電膜３０の外縁３０ａと電気絶縁膜２０の外縁２０ａとの距離Ｄが、第１実施形態で説明したものよりも遠くなっている。
【００９５】
ここで、図１１の一点鎖線Ｓに示したように、熱交換器１の検査の際、電気絶縁膜２０の外縁２０ａを跨いで熱交換器本体２と電気絶縁膜２０との間に異物または水分が付着する場合が考えられる。しかし、仮に、その異物または水分が、電気絶縁膜２０が導電膜３０から露出した箇所の一方の端部からはみ出したとしても、その箇所の両端部からはみ出さない大きさのものであれば、熱交換器本体２と導電膜３０とが短絡することが防がれる。すなわち、第４実施形態では、第２および第３実施形態で説明した第２電気絶縁膜２２を備えることなく、異物または水分の付着による熱交換器本体２と導電膜３０との短絡を防ぐことが可能である。よって、第４実施形態も、第２および第３実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００９６】
（他の実施形態）
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。
【００９７】
（１）上記各実施形態では、熱交換器１を排気熱交換器に適用した例について説明した。これに対し、他の実施形態では、熱交換器１は、例えば冷凍サイクルに使用される蒸発器または凝縮器、あるいは貯湯式給湯機に使用されるものなど、種々の装置に適用することが可能である。
【００９８】
（２）上記各実施形態では、排気熱交換器１が有する流体通路７のうち排気流路９の内壁に電気絶縁膜２０と導電膜３０を形成した例について説明した。これに対し、他の実施形態では、熱交換器１は、流体通路７のうち冷却水通路８の内壁に電気絶縁膜２０と導電膜３０を形成してもよい。
【００９９】
（３）上記各実施形態では、電気絶縁膜２０としてドライコーティングにより形成されるセラミックを例示した。これに対し、他の実施形態では、電気絶縁膜２０は、高耐食コーティング膜であればよく、その材質および製造方法には種々のものを採用することができる。
【０１００】
（まとめ）
上述の実施形態の一部または全部で示された第１の観点によれば、熱交換器は、熱交換器本体、電気絶縁膜および導電膜を備える。熱交換器本体は、流体通路を有するものである。電気絶縁膜は、熱交換器本体のうち流体通路側の面に設けられている。導電膜は、電気絶縁膜の上に、流体通路に露出するように設けられている。
【０１０１】
第２の観点によれば、導電膜は、流体通路の内壁のうち最表層に設けられている。
【０１０２】
第３の観点によれば、導電膜は、電気絶縁膜の外縁を跨いで熱交換器本体に接触することなく、電気絶縁膜の外縁に対し熱交換器本体が電気絶縁膜から露出する部位とは反対側に位置している。
【０１０３】
これによれば、熱交換器本体と導電膜との間に電流を流して電気絶縁膜の欠陥の有無を検査する際、電気絶縁膜の外縁を跨いで導電膜と熱交換器本体とが導通することが防がれる。したがって、この熱交換器は、電気絶縁膜の欠陥の有無に関する導通検査を正確に行うことが可能な構造とすることができる。
【０１０４】
第４の観点によれば、導電膜の厚さは０より大きく１０μｍ以下である。
【０１０５】
これによれば、導電膜は、ドライコーティングで形成することが可能なものとなる。仮にウェットコーティングにより導電膜が形成された場合、一般にその膜厚は１０μｍより厚いものとなる。また、仮にウェットコーティングにより導電膜を形成する場合、電気絶縁膜の欠陥部とコーティング液との間に気泡が入り、電気絶縁膜の欠陥部に導電膜が形成されないおそれがある。これに対し、ドライコーティングで導電膜を形成する場合、電気絶縁膜の全面に欠陥なく導電膜を形成することが可能である。したがって、この熱交換器は、電気絶縁膜の欠陥の有無に関する導通検査を正確に行うことが可能な構造とすることができる。
【０１０６】
第５の観点によれば、熱交換器は、流体通路に設けられた複数のフィンをさらに備える。フィンの外面に電気絶縁膜が設けられ、フィンの外面に設けられた電気絶縁膜の上に導電膜が設けられている。この導電膜は、複数のフィンとフィンとの間に跨ることなく、各フィンごとに設けられている。
【０１０７】
これによれば、導電膜は、ドライコーティングで形成することが可能なものとなる。また、導電膜が複数のフィンとフィンとの間に跨ることなく、各フィンごとに設けられることで、複数のフィンとフィンとの間の目詰まりを防ぎ、流体通路を流れる流体の圧力損失を低減することが可能である。
【０１０８】
第６の観点によれば、前記電気絶縁膜を第１電気絶縁膜とする。熱交換器は、第１電気絶縁膜の外縁に隣接する導電膜の一部と第１電気絶縁膜の外縁とを覆うように設けられた第２電気絶縁膜をさらに備える。
【０１０９】
これによれば、第１電気絶縁膜の外縁を跨いで熱交換器本体と導電膜との間に異物または水分が付着した場合でも、第２電気絶縁膜は、その異物または水分が第２電気絶縁膜の両端部からはみ出さない大きさのものであれば、熱交換器本体と導電膜とが短絡することを防ぐことが可能である。したがって、この熱交換器は、第１電気絶縁膜の欠陥の有無に関する導通検査を正確に行うことが可能な構造とすることができる。
【０１１０】
第７の観点によれば、第２電気絶縁膜は、第１電気絶縁膜の外縁に隣接する熱交換器本体の一部と、第１電気絶縁膜の外縁と、第１電気絶縁膜の外縁に隣接する導電膜の一部とを覆うように設けられる。
【０１１１】
これによれば、第２電気絶縁膜の幅を大きくすることで、第１電気絶縁膜の外縁を跨いで熱交換器本体と導電膜との間に異物または水分が付着した場合でも、熱交換器本体と導電膜とが短絡することをより確実に防ぐことが可能である。したがって、この熱交換器は、第１電気絶縁膜の欠陥の有無に関する導通検査を正確に行うことが可能な構造とすることができる。
【０１１２】
第８の観点によれば、熱交換器の製造方法は、流体通路を有する熱交換器本体を形成することと、熱交換器本体のうち流体通路側の面に電気絶縁膜を形成することと、電気絶縁膜の上に、流体通路に露出するように導電膜を形成することを含む。
【０１１３】
これによれば、この製造方法により製造された熱交換器は、熱交換器本体と導電膜との間に電流を流し、その間が導通しているか否かにより、電気絶縁膜の欠陥の有無を正確に検査することが可能である。この検査を行うことで、従来、熱交換器が有する流体通路に導電性の検査液を充填し、その検査液と熱交換器本体との間に電流を流して電気絶縁膜の欠陥の有無を検査していた検査方法を廃止することが可能である。したがって、この製造方法により製造された熱交換器を検査することで、従来の検査方法において電気絶縁膜の欠陥部と検査液との間に気泡が入ることによる誤判定の懸念を払拭することができる。
【０１１４】
また、この製造方法により製造された熱交換器を検査することで、従来の検査方法で行っていた検査液の充填、検査液からのエア抜き、導通検査後における検査液の排出、検査後の熱交換器の洗浄および乾燥工程などが不要となる。したがって、電気絶縁膜の欠陥の有無の検査にかかるコストを低減することができる。
【０１１５】
さらに、電気絶縁膜および導電膜の材料として耐食性の高いものを使用することで、電気絶縁膜および導電膜の２層コーティングにより、熱交換器本体の腐食をより抑制することが可能となる。
【０１１６】
第９の観点によれば、導電膜をドライコーティングにより形成する。
【０１１７】
これによれば、電気絶縁膜の全面に欠陥なく導電膜を形成することが可能である。これに対し、仮に導電膜をウェットコーティングにより形成した場合、電気絶縁膜の欠陥部とコーティング液との間に気泡が入り、電気絶縁膜の欠陥部に導電膜が形成されないおそれがある。したがって、この製造方法により製造された熱交換器は、電気絶縁膜の欠陥の有無に関する導通検査を正確に行うことが可能な構造とすることができる。
【０１１８】
第１０の観点によれば、導電膜を蒸着、化学蒸着または原子層蒸着で形成する。
【０１１９】
これによれば、導電膜を形成する粒子が微細なものとなる。そのため、その粒子は、電気絶縁膜の表面の凹凸の細部に入り込み、導電膜を形成する。したがって、電気絶縁膜の全面に欠陥なく導電膜を形成することが可能である。
【０１２０】
第１１の観点によれば、熱交換器の検査方法は、電気絶縁膜の上に流体通路に露出するように導電膜を形成することと、熱交換器本体に一方の電極を接触させ、導電膜に他方の電極を接触させ、一方の電極と他方の電極との間に電流を流すことと、一方の電極と他方の電極との間が導通しているか否かにより、電気絶縁膜の欠陥の有無を判定することを含む。
【０１２１】
これによれば、この検査方法により、上述した第９の観点で説明したことと同じく、従来の検査液を用いて行っていた検査方法を廃止すること可能である。したがって、この検査方法により、従来の検査方法において電気絶縁膜の欠陥部と検査液との間に気泡が入ることによる誤判定の懸念を払拭すると共に、検査にかかるコストを低減することができる。
【０１２２】
第１２の観点によれば、導電膜をドライコーティングにより形成する。
【０１２３】
これによれば、電気絶縁膜の全面に欠陥なく導電膜を形成することが可能である。したがって、この検査方法により、電気絶縁膜の欠陥の有無に関する導通検査を正確に行うことができる。
【０１２４】
第１３の観点によれば、導電膜の外縁が、電気絶縁膜の外縁に対し熱交換器本体が電気絶縁膜から露出する部位とは反対側に位置するように導電膜を形成する。
【０１２５】
これによれば、電気絶縁膜の外縁を跨いで導電膜と熱交換器本体とが導通することが防がれる。したがって、この検査方法により、電気絶縁膜の欠陥の有無に関する導通検査を正確に行うことができる。
【０１２６】
第１４の観点によれば、前記電気絶縁膜を第１電気絶縁膜とする。第１電気絶縁膜の上に導電膜を形成した後、一方の電極と他方の電極との間に電流を流す前に、第１電気絶縁膜の外縁に隣接する導電膜の一部と第１電気絶縁膜の外縁とを覆うように第２電気絶縁膜を形成することを含む。
【０１２７】
これによれば、第１電気絶縁膜の外縁を跨いで熱交換器本体と導電膜との間に異物または水分が付着した場合でも、第２電気絶縁膜は、その異物または水分が第２電気絶縁膜の両端部からはみ出さない大きさのものであれば、熱交換器本体と導電膜とが短絡することを防ぐことが可能である。したがって、この検査方法により、第１電気絶縁膜の欠陥の有無に関する誤判定を低減することができる。
【０１２８】
第１５の観点によれば、第２電気絶縁膜は、第１電気絶縁膜の外縁に隣接する熱交換器本体の一部と第１電気絶縁膜の外縁と第１電気絶縁膜の外縁に隣接する導電膜の一部とを覆うように形成する。
【０１２９】
これによれば、第２電気絶縁膜の幅を大きくすることで、第１電気絶縁膜の外縁を跨いで熱交換器本体と導電膜との間に異物または水分が付着した場合でも、熱交換器本体と導電膜とが短絡することをより確実に防ぐことが可能である。したがって、この検査方法により、第１電気絶縁膜の欠陥の有無に関する誤判定を低減することができる。
【符号の説明】
【０１３０】
１    熱交換器
２    熱交換器本体
７    流体通路
２０  電気絶縁膜
３０  導電膜
【図１】
2018066512.tif 000003
【図２】
2018066512.tif 000004
【図３】
2018066512.tif 000005
【図４】
2018066512.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2018066512.tif 000009
【図８】
2018066512.tif 000010
【図９】
2018066512.tif 000011
【図１０】
2018066512.tif 000012
【図１１】
2018066512.tif 000013
【図１２】
2018066512.tif 000014
【図１３】
2018066512.tif 000015
【図１４】
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