(57)【要約】      （修正有）【課題】圧力室の位置が所望の位置からずれた場合でも、液体の吐出量の減少を抑制することができる液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】液体噴射ヘッドは、基板２３と、圧電層２５と、第１電極と、第２電極２６と、第２電極２６上に設けられた剛性層２７と、第１方向に並ぶ複数の圧力室２１ａとを備える。第１方向に交差する第２方向にて、剛性層２７は圧力室２１ａの一端部に重なる。第１方向にて、剛性層２７の縁部は圧力室２１ａの内外に亘って非直線的に配置される。第１方向にて圧力室２１ａの外側に配置された剛性層２７は、圧力室２１ａの内側に配置された剛性層２７よりも第２方向における圧力室２１ａの他端部に接近するように、他端部に向けて延びる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の第１面に形成される圧電層と、
該圧電部及び基板の間に設けられた第１電極と、
前記圧電部に対して前記第１電極と反対側に設けられた第２電極と、
前記第２電極上に設けられた剛性層と、
前記基板の第２面に形成され、第１方向に並ぶ複数の圧力室と
を備え、
前記第１面に平行且つ前記第１方向に交差する第２方向にて、前記剛性層は前記圧力室の一端部に重なり、
前記第１方向にて、前記剛性層の縁部は前記圧力室の内外に亘って非直線的に配置され、
前記第１方向にて前記圧力室の外側に配置された剛性層は、前記圧力室の内側に配置された剛性層よりも前記第２方向における前記圧力室の他端部に接近するように、前記他端部に向けて延びる
液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第１方向にて前記圧力室の内側から外側に向かうに従って、前記第２方向における前記圧力室の他端部に徐々に接近するように、前記剛性層は前記他端部に向けて延びる
請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記剛性層の縁部は前記第１方向に平行な基準線に対して４５度以上の角度で交差する
請求項１または２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記圧力室の縁部を中心にした前記第１方向における前記圧力室の幅の１０％以内の領域において、前記剛性層の縁部は前記圧力室の縁部に交差する
請求項２または３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記剛性層の縁部は台形状をなす
請求項２から４のいずれか一つに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記剛性層の縁部は、
前記圧力室上にて前記第１方向に延びた第１縁部と、
前記第１方向にて前記圧力室の内側から外側に向かうに従って、前記圧力室の他端部に徐々に接近するように、前記第１縁部の端から延びた第２縁部と
を備える請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記圧電層に前記第１方向に並んだ複数のスリットが形成されており、
隣り合う二つの前記スリットの間に前記圧力室は形成されている
請求項１から６のいずれか一つに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記剛性層の縁部と、前記圧力室の縁部との交点が前記スリットの内側に配置されている
請求項７に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記第１方向にて、前記スリットの縁部から前記圧力室の縁部に向かうに従って、前記圧力室の他端部に徐々に接近するように、前記剛性層の縁部は前記他端部に向けて延びる
請求項７または８に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
前記剛性層は、
前記第２方向における前記圧力室の一端部に重なる第１剛性層と、
前記第２方向における前記圧力室の他端部に重なる第２剛性層と
を備える請求項１から９のいずれか一つに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
前記剛性層は金属素材を含む
請求項１から１０のいずれか一つに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１２】
前記金属素材は、金、イリジウム、アルミニウム又は白金を含む
請求項１１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１３】
前記剛性層は絶縁素材を含む
請求項１から１０のいずれか一つに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１４】
前記絶縁素材は、ＳｉＮ、ＳｉＯ２又はＡｌ２Ｏ３を含む
請求項１３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１５】
前記第１電極は個別電極であり、
前記第２電極は共通電極である
請求項１から１４のいずれか一つに記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体、例えばインクを噴射する液体噴射ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ノズルを有する細長い圧力室の上側に圧電体を形成し、圧力室の両端部において、圧電体の上にリード電極を設けた液体噴射ヘッドが提案されている（例えば特許文献１参照）。リード電極は金属材によって構成されており、リード電極を設けることによって、圧電体が補強される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１５８９０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液体噴射ヘッドは、例えば以下のように製造される。シリコン基板の表面に圧電体及びリード電極をパターン形成した後、シリコン基板の裏面をエッチングすることによって、圧力室が形成される。表面に形成されたパターンを基準にして、圧電体が圧力室の中央に配置されるように、圧力室は形成される。圧電体が圧力室の中央に配置された場合、圧力室の中央で最も大きな変位が発生し、ノズルから十分な量の液体が吐出される。
【０００５】
しかし、圧力室の寸法は極めて小さく、エッチングによる加工を精度よく行うことは難しい。そのため、圧力室の位置が所望の位置からずれ、圧力室の中央から離れた位置に圧電体が配置されることがある。この場合、圧力室の中央から離れた位置で最も大きな変位が発生し、ノズルから十分な量の液体が吐出されないおそれがある。
【０００６】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、圧力室の位置が所望の位置からずれた場合でも、液体の吐出量の減少を抑制することができる液体噴射ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る液体噴射ヘッドは、基板と、前記基板の第１面に形成される圧電層と、該圧電部及び基板の間に設けられた第１電極と、前記圧電部に対して前記第１電極と反対側に設けられた第２電極と、前記第２電極上に設けられた剛性層と、前記基板の第２面に形成され、第１方向に並ぶ複数の圧力室とを備え、前記第１面に平行且つ前記第１方向に交差する第２方向にて、前記剛性層は前記圧力室の一端部に重なり、前記第１方向にて、前記剛性層の縁部は前記圧力室の内外に亘って非直線的に配置され、前記第１方向にて前記圧力室の外側に配置された剛性層は、前記圧力室の内側に配置された剛性層よりも前記第２方向における前記圧力室の他端部に接近するように、前記他端部に向けて延びる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る液体噴射ヘッドにあっては、圧力室が所望の位置に対してずれた位置に配された場合に、圧力室の縁部と剛性層の縁部との交点は、圧力室が所望の位置に配された場合の交点よりも圧力室の一端部に近い位置に配される。そのため、圧力室の縁部付近において、圧力室に重なる剛性層が減少する。その結果、圧電層の変位量は、圧力室が所望の位置に配された場合に比べて大きくなり、液体の吐出量の減少を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施の形態１に係るプリンタ１を略示する平面図である。
【図２】インクジェットヘッド４の底面図である。
【図３】液体噴射ヘッド１１の概略図である。
【図４】液体噴射ヘッド１１の要部構成を略示する部分拡大平面図である。
【図５】図４に示すＶ―Ｖ線を切断線とした圧力室２１ａの略示断面図である。
【図６】図４に示すＶＩ―ＶＩ線を切断線とした圧力室２１ａの略示断面図である。
【図７】図４に示すＶＩＩ―ＶＩＩ線を切断線とした圧力室２１ａの略示断面図である。
【図８】目標位置に配された圧力室２１ａ及び目標位置からずれた位置に配された圧力室２１ａを略示する平面図である。
【図９】実施の形態２に係る液体噴射ヘッド１１１の要部構成を略示する部分拡大平面図である。
【図１０】変形例に係る液体噴射ヘッド２１１の要部構成を略示する部分拡大平面図である。
【図１１】変形例に係る液体噴射ヘッド３１１の要部構成を略示する部分拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（実施の形態１）
以下本発明を実施の形態１に係るプリンタを示す図面に基づいて説明する。図１において、記録用紙１００の搬送方向下流側をプリンタ１の前方、搬送方向上流側をプリンタ１の後方と定義する。また、記録用紙１００が搬送される面（図１の紙面と平行な面）と平行で、且つ、前記搬送方向と直交する直交方向を、プリンタ１の左右方向と定義する。尚、直交方向は第１方向に対応し、搬送方向は第２方向に対応する。また記録用紙１００の搬送面と直交する方向（図１の紙面に直交する方向）を、プリンタ１の上下方向と定義する。以下では、前後左右上下を適宜使用して説明する。
【００１１】
図１に示すように、プリンタ１は、筐体２と、プラテン３と、四つのインクジェットヘッド４と、二つの搬送ローラ５、６と、制御装置７とを備える。
【００１２】
プラテン３は筐体２内に平置きされている。プラテン３の上面には、記録用紙１００が載置される。四つのインクジェットヘッド４は、プラテン３の上方にて前後方向に並設されている。二つの搬送ローラ５、６は、プラテン３に対して後側と前側にそれぞれ配置されている。二つの搬送ローラ５、６はプラテン３上の記録用紙１００を前方へ搬送する。
【００１３】
制御装置７は、ＦＰＧＡ(Field Programmable Gate Array)、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を備える。制御装置７は、搬送ローラ５、６に記録用紙１００を搬送方向に搬送させつつ、インクジェットヘッド４を制御して記録用紙１００に向けてインクを吐出させる。
【００１４】
筐体２には、複数のヘッド保持部８が取り付けられている。ヘッド保持部８は、プラテン３の上方且つ二つの搬送ローラ５、６の間の位置にて、各インクジェットヘッド４を保持する。
【００１５】
四つのインクジェットヘッド４は、それぞれ、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、ブラック（Ｋ）の４色のインクを吐出するものである。各インクジェットヘッド４には、図示しないインクタンクから、対応する色のインクが供給される。
【００１６】
図２に示すように、インクジェットヘッド４は、その下部に複数の液体噴射ヘッド１１を備える。液体噴射ヘッド１１の下面に複数のノズル２２ａが形成されている。図３〜図７において、左右方向は第１方向に対応し、前後方向は第２方向に対応する。
【００１７】
液体噴射ヘッド１１は支持板２１を備える。支持板２１には、例えばシリコン単結晶基板からなり、絶縁膜２３が形成されている。絶縁膜５０は、支持板２１に接する酸化膜からなる第１弾性膜と、第１弾性膜とは異なる材料の酸化膜からなり第１弾性膜に積層される第２絶縁膜とを含む。支持板２１には、上下に貫通し且つ前後方向に延びた複数の空間が設けられている。複数の空間は左右方向に並んでいる。支持板２１の上面には絶縁膜２３（基板）が設けられ、該絶縁膜２３は空間それぞれの上側を覆う。
【００１８】
支持板２１の下面にノズルプレート２２が設けられ、該ノズルプレート２２は空間それぞれの下側を覆う。ノズルプレート２２は上下に貫通した複数のノズル２２ａを有する。複数のノズル２２ａは複数の空間の下側にそれぞれ配置されている。支持板２１の隔壁１５、絶縁膜２３及びノズルプレート２２に囲まれた複数の空間は複数の圧力室２１ａをそれぞれ形成する。圧力室２１ａは、絶縁膜２３の下面（第２面）に形成される。
【００１９】
支持板２１には、圧力室２１ａの長手方向の一端側に、隔壁１５によって区画されて各
圧力室２１ａに連通するインク供給路１４が設けられている。インク供給路１４の外側
には、各インク供給路１４と連通する共通液室１３が設けられている。共通液室１３は、各圧力室２１ａの共通のインク室（液体室）である。インク供給路１４は、左右方向における断面積が圧力室２１ａよりも狭くなるように形成されており、共通液室１３から圧力室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
【００２０】
絶縁膜２３の上面（第１面）に複数の下部電極２４（第１電極、個別電極）が左右方向に並設されている。複数の下部電極２４は、複数の圧力室２１ａの上側にそれぞれ配置されている。複数の下部電極２４を覆う圧電層２５が絶縁膜２３の上面（第１面）に全体的に形成されている。
【００２１】
圧電層２５には、圧電層２５の一部を除去することによって、前後方向に延びた複数のスリット２５ａが形成されている。複数のスリット２５ａは左右方向に並ぶ。スリット２５ａは、隣り合う二つの下部電極２４の間に形成されている。
【００２２】
スリット２５ａの右縁部２５ｃは、一の圧力室２１ａの上側に配置され、スリット２５ａの左縁部２５ｄは、一の圧力室２１ａの隣に位置する他の圧力室２１ａの上側に配置される。換言すれば、スリット２５ａの右縁部２５ｃ及び左縁部２５ｄは、左右方向における圧力室２１ａの内側に配置される。
【００２３】
隣り合う二つスリット２５ａの間に形成された圧電層２５の部分は圧電部２５ｂを形成する。各圧電部２５ｂは各下部電極２４を覆う。圧電層２５の上面及びスリット２５ａの上面には、上部電極２６（第２電極、共通電極）が全体的に形成されている。スリット２５ａは上部電極２６によって覆われているが、図３及び図４においては、スリット２５ａの位置を明確にするために、実線で描いている。
【００２４】
圧力室２１ａの後端部の上側に、左右方向に延びた第１剛性層２７が形成されている。第１剛性層２７は複数の圧力室２１ａに亘って設けられている。図３に示すように、第１剛性層２７の前側縁部２７ａは波形状、例えばサイン波状又はコサイン波状をなす。換言すれば、前側縁部２７ａは非直線的に配置されている。
【００２５】
前側縁部２７ａの後側に位置する第１頂部Ｔ１は圧力室２１ａの上側に配置され、前側に位置する第２頂部Ｔ２はスリット２５ａの上側に配置される。左右方向にて圧力室２１ａの内側から外側に向かうに従って、圧力室２１ａの前端部２１ｃに徐々に接近するように、前側縁部２７ａは前端部２１ｃに向けて延びる。
【００２６】
また図４に示すように、圧力室２１ａの左右方向の寸法をＷ１とし、圧力室２１ａの右縁部２１ｅ又は左縁部２１ｄを中心にした左右方向の幅をＷ２とする。なおＷ２＝Ｗ１＊０．１０である。このとき、箇所Ｐ１は幅Ｗ２の領域内に位置する。換言すれば、圧力室２１ａの右縁部２１ｅ又は左縁部２１ｄを中心にした左右方向における圧力室２１ａの幅の５％以内の領域において、第１剛性層２７の縁部は圧力室２１ａの縁部に交差する。前側縁部２７ａの傾き部分２７ｂは、圧力室２１ａの左縁部２１ｄ又は右縁部２１ｅと交差する。
【００２７】
前述したように、スリット２５ａの右縁部２５ｃ及び左縁部２５ｄは、左右方向における圧力室２１ａの内側に配置される。そのため、スリット２５ａの右縁部２５ｃから圧力室２１ａの左縁部２１ｄに向かうに従って、圧力室２１ａの前端部２１ｃに徐々に接近するように、前側縁部２７ａは前端部２１ｃに向けて延び、スリット２５ａの左縁部２５ｄから圧力室２１ａの右縁部２１ｅに向かうに従って、圧力室２１ａの前端部２１ｃに徐々に接近するように、前側縁部２７ａは前端部２１ｃに向けて延びる。前側縁部２７ａと圧力室２１ａの右縁部２１ｅ又は左縁部２１ｄとの交点はスリット２５ａの内側に配置される。
【００２８】
圧力室２１ａの後端部２１ｂの下側に、左右方向に延びた第２剛性層２８が形成されている。第２剛性層２８は複数の圧力室２１ａに亘って設けられている。図２に示すように、第２剛性層２８の後側縁部２８ａは波形状、例えばサイン波状又はコサイン波状をなし、前側縁部２７ａと略上下対称な形状をなす。換言すれば、後側縁部２８ａは非直線的に配置されている。後側縁部２８ａは、左右方向にて圧力室２１ａの内側から外側に向かうに従って、圧力室２１ａの後端部２１ｂに徐々に接近するように、後側縁部２８ａは後端部２１ｂに向けて延びる。
【００２９】
図４に示すように、前側縁部２７ａの傾斜部分のうち最大又は最小になる箇所Ｐ１、及び後側縁部２８ａの傾斜部分のうち最大又は最小になる箇所Ｐ２において、左右方向に延びた基準線Ｌ１に対する後側縁部２８ａの角度をθとすると、θは４５度以上９０度未満である。
【００３０】
図４に示すように、後側縁部２８ａも前側縁部２７ａと同様に、後側縁部２８ａの傾きが最大又は最小になる箇所Ｐ２において、左右方向に延びた基準線Ｌ１に対する後側縁部２８ａの角度は４５度以上９０度未満である。また圧力室２１ａの右縁部２１ｅ又は左縁部２１ｄを中心にした左右方向における圧力室２１ａの幅の５％以内の領域において、後側縁部２８ａは圧力室２１ａの右縁部２１ｅ又は左縁部２１ｄに交差する。
【００３１】
またスリット２５ａの右縁部２５ｃから圧力室２１ａの左縁部２１ｄに向かうに従って、圧力室２１ａの後端部２１ｂに徐々に接近するように、後側縁部２８ａは後端部２１ｂに向けて延び、スリット２５ａの左縁部２５ｄから圧力室２１ａの右縁部２１ｅに向かうに従って、圧力室２１ａの後端部２１ｂに徐々に接近するように、後側縁部２８ａは後端部２１ｂに向けて延びる。後側縁部２８ａと圧力室２１ａの右縁部２１ｅ又は左縁部２１ｄとの交点はスリット２５ａの内側に配置される。
【００３２】
上部電極２６及び下部電極２４間に電圧を周期的に印加することによって、圧電部２５ｂが変形し、絶縁膜２３が振動する。圧力室２１ａにはインクが供給されており、絶縁膜２３の振動によって、ノズル２２ａからインクが噴射される。
【００３３】
第１剛性層２７及び第２剛性層２８は、例えば金、イリジウム、アルミニウム又は白金を含む金属素材によって構成されている。第１剛性層２７及び第２剛性層２８は、圧電部２５ｂの前端部分及び後端部分を補強する。
【００３４】
図８において、後側縁部２８ａの前側の頂部をＴ３とする。また図８Ａに示す目標位置に配された圧力室２１ａの右縁部２１ｅと前側縁部２７ａとの交点をＱ１とし、目標位置に配された圧力室２１ａの右縁部２１ｅと後側縁部２８ａとの交点をＱ２とする。
【００３５】
また図８Ｂに示す目標位置からずれた位置に配された圧力室２１ａの右縁部２１ｅと前側縁部２７ａとの交点をＱ１′とし、目標位置からずれた位置に配された圧力室２１ａの右縁部２１ｅと後側縁部２８ａとの交点をＱ２′とする。また圧力室２１ａの左右方向中央を示す中心線をＣとする。
【００３６】
圧力室２１ａが目標位置に配されている場合、頂部Ｔ１及びＴ３は中心線Ｃ上に配される。一方、圧力室２１ａが目標位置からずれた場合、頂部Ｔ１及びＴ３は中心線Ｃから外れる。例えば圧力室２１ａが目標位置よりも左側にずれた場合、頂部Ｔ１及びＴ３は中心線Ｃよりも右側に位置する。
【００３７】
交点Ｑ１′は交点Ｑ１よりも後方に距離ｄ離れる。交点Ｑ１′は交点Ｑ１よりも圧力室２１ａの後端部２１ｂに近い位置に配される。即ち、圧力室２１ａの右縁部２１ｅ付近において、第１剛性層２７の前側縁部２７ａは後方に移動する。そのため、圧力室２１ａに重なる第１剛性層２７が減少し、圧力室２１ａの右縁部２１ｅ付近における圧電部２５ｂの変位量は、圧力室２１ａが目標位置に配された場合に比べて大きくなる。その結果、液体の吐出量の減少を抑制することができる。
【００３８】
交点Ｑ２′は交点Ｑ２よりも前方に距離ｄ離れる。交点Ｑ２′は交点Ｑ２よりも圧力室２１ａの前端部２１ｃに近い位置に配される。即ち、圧力室２１ａの右縁部２１ｅ付近において、第２剛性層２８の後側縁部２８ａは前方に移動する。そのため、圧力室２１ａに重なる第２剛性層２８が減少し、圧力室２１ａの右縁部２１ｅ付近における圧電部２５ｂの変位量は、圧力室２１ａが目標位置に配された場合に比べて大きくなる。その結果、液体の吐出量の減少を抑制することができる。
【００３９】
また左右方向において、圧力室２１ａの内側から外側に向かうに従って、圧力室２１ａの前端部２１ｃに徐々に接近するように、第１剛性層２７は前端部２１ｃに向けて延びる。また圧力室２１ａの後端部２１ｂに徐々に接近するように、第２剛性層２８は後端部２１ｂに向けて延びる。そのため、圧力室２１ａと圧電部２５ｂのずれに応じて、圧電部２５ｂの変位量を補償することができる。
【００４０】
前側縁部２７ａ又は後側縁部２８ａは左右方向に平行な基準線Ｌ１に対して４５度以上の角度で交差する。角度が小さくなるに従い、圧力室２１ａに重なる第１剛性層２７及び第２剛性層２８は大きくなる。角度を大きく設定することによって、圧力室２１ａに重なる第１剛性層２７及び第２剛性層２８を減少させて、圧電部２５ｂの変位量を補償することができる。
【００４１】
圧力室２１ａの幅の１０％以内の領域において、第１剛性層２７の前側縁部２７ａ及び第２剛性層２８の後側縁部２８ａは圧力室２１ａの右縁部２１ｅ又は左縁部２１ｄに交差する。圧力室２１ａのずれは、一般的に圧力室２１ａの幅の５％以内で発生することが多い。５％以内の領域で交差させることによって、圧電部２５ｂの変位量の補償を実現し易くなる。
【００４２】
隣り合う二つのスリット２５ａの間に圧力室２１ａは形成されている。圧力室２１ａの両側にスリット２５ａが存在するので、圧電部２５ｂは変形しやすくなっており、圧電部２５ｂの変位量をより一層補償しやすい。
【００４３】
前側縁部２７ａ及び後側縁部２８ａと、圧力室２１ａの左縁部２１ｄ及び右縁部２１ｅとの交点Ｐ１、Ｐ２はスリット２５ａの内側に配置される。圧力室２１ａの左縁部２１ｄ右縁部２１ｅ付近において、絶縁膜２３の上側にはスリット２５ａが設けられている。換言すれば絶縁膜２３の上側に圧電層２５が設けられていない。圧電層２５がないスリット２５ａは、変位量が大きい。変位量が大きいスリット２５ａを第１剛性層２７及び第２剛性層２８で覆うことによって、剛性層がない場合の変位量の向上効果を高められる。従って、圧電部２５ｂの変位量をより一層補償することができる。
【００４４】
左右方向にて、スリット２５ａの右縁部２５ｃから圧力室２１ａの左縁部２１ｄに向かうに従って、またスリット２５ａの左縁部２５ｄから圧力室２１ａの右縁部２１ｅに向かうに従って、圧力室２１ａの前端部２１ｃに徐々に接近するように、前側縁部２７ａは前端部２１ｃに向けて延びる。スリット２５ａの右縁部２５ｃから圧力室２１ａの左縁部２１ｄに向かうに従って、またスリット２５ａの左縁部２５ｄから圧力室２１ａの右縁部２１ｅに向かうに従って、圧力室２１ａの後端部２１ｂに徐々に接近するように、後側縁部２８ａは後端部２１ｂに向けて延びる。そのため、圧力室２１ａと圧電部２５ｂのずれに応じて、圧電部２５ｂの変位量を補償することができる。
【００４５】
圧力室２１ａの後端部２１ｂ及び前端部２１ｃに、第１剛性層２７及び第２剛性層２８がそれぞれ形成されている。圧力室２１ａの両端部どちらにも剛性層があるので、圧電部２５ｂの変位量をより一層補償することができる。
【００４６】
第１剛性層２７及び第２剛性層２８は金属素材で構成されているので、上部電極２６の抵抗を低下させることができる。また金属素材として、金、イリジウム、アルミニウム又は白金を使用した場合には、第１剛性層２７及び第２剛性層２８の抵抗を低くすることができ、また第１剛性層２７及び第２剛性層２８を薄膜にしやすい。
【００４７】
なお第１剛性層２７及び第２剛性層２８は金属素材以外の素材によって構成されてもよい。例えば、ＳｉＮ、ＳｉＯ２又はＡｌ２Ｏ３を含む絶縁素材によって構成されていてもよい。この場合、高い剛性を実現でき、また薄膜にしやすい。
【００４８】
（実施の形態２）
以下本発明を実施の形態２に係る液体噴射ヘッド１１１を示す図面に基づいて説明する。図９に示すように、第１剛性層１２７の前側縁部１２７ｂ及び第２剛性層１２８の後側縁部１２８ｂは台形波状をなす。
【００４９】
前側縁部１２７ｂは、左右方向に延びた第１縁部１２７ｃと、左右方向において、圧力室２１ａの内側から外側に向かうに従って、圧力室２１ａの前端部２１ｃに徐々に接近するように、第１縁部１２７ｃの両端それぞれから斜めに延びた第２縁部１２７ｄと、隣接する圧力室２１ａの間において、第２縁部１２７ｄの第１縁部１２７ｃとは反対側の一端から左右方向に延びた第３縁部１２７ｅと、を備える。
【００５０】
後側縁部１２８ｂは、左右方向に延びた第１縁部１２８ｃと、左右方向において、圧力室２１ａの内側から外側に向かうに従って、圧力室２１ａの後端部２１ｂに徐々に接近するように、第１縁部１２８ｃの両端それぞれから斜めに延びた第２縁部１２８ｄと、隣接する圧力室２１ａの間において、第２縁部１２８ｄの第１縁部１２８ｃとは反対側の一端から左右方向に延びた第３縁部１２８ｅと、を備える。実施の形態２においても、実施の形態１と同様な効果を奏する。
【００５１】
実施の形態２に係る構成の内、実施の形態１と同様な構成については同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００５２】
他の変形例について説明する。プリンタは、ラインプリンタに限らず、搬送方向と交差する方向にヘッドが走査されるシリアルプリンタであってもよい。搬送する媒体は、記録用紙１００に限らず、記録可能な任意の媒体（例えば、布など）であってもよい。
【００５３】
第１剛性層２７の前側縁部２７ａは、圧力室２１ａの内側から外側に向かうに従って、前側に徐々に接近するように形成されていなくてもよい。例えば、図１０に示すように、圧力室２１ａの内側から外側に向かって階段状に前側に接近するように形成されていてもよい。液体噴射ヘッド２１１において、第１剛性層２２７の前側縁部２２７ａは、圧力室２１ａの内側から外側に向かって前側に延びる稜線と右側または左側に延びる稜線とが交互に組み合わさることで前端部２１ｃに近づくように形成されている。同様に、第２剛性層２２８の後側縁部２２８ａは、圧力室２１ａの内側から外側に向かって後側に延びる稜線と右側または左側に延びる稜線とが交互に組み合わさることで後端部２１ｂに近づくように形成されている。
【００５４】
剛性層は、前後方向の両端にそれぞれ剛性層（第１剛性層２７、第２剛性層２８）が形成されていた。しかしながら、図１１に示すように前後方向の一方のみに設けられていてもよい。液体噴射ヘッド３１１において、第１剛性層２７の前側縁部２７ａは、実施の形態１と同じ形状、すなわち圧力室２１ａの内側から外側に向かって剛性層が前側に接近するように形成されている。第２剛性層３２８の後側縁部３２８ａは、左右方向に沿って直線的に延びている。このため、後側縁部３２８ａは、ずれを補償することはできないが、ずれに対する変位量の補償量が大きすぎる場合には、ずれの補償パターンが前側縁部２７ａのみの形態を取り得る。
【００５５】
本実施の形態においては下部電極が個別電極であり上部電極が共通電極であったが、下部電極が共通電極であり、上部電極が個別電極であってもよい。この場合、個別電極である上部電極が短絡するため、第１剛性層２７及び第２剛性層２８は絶縁素材であることが望ましい。第１剛性層２７及び第２剛性層２８と個別電極である上部電極の間に絶縁層を形成する場合は、個別電極が短絡しないため、第１剛性層２７及び第２剛性層２８は金属素材であってもよい。
【００５６】
今回開示した実施の形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。各実施例にて記載されている技術的特徴は互いに組み合わせることができ、本発明の範囲は、特許請求の範囲内での全ての変更及び特許請求の範囲と均等の範囲が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００５７】
１１、１１１、２１１、３１１  液体噴射ヘッド
２１  支持板
２１ａ  圧力室
２２  ノズルプレート
２３  絶縁膜（基板）
２４  下部電極（第１電極）
２５  圧電層
２５ａ  スリット
２５ｂ  圧電部
２６  上部電極（第２電極）
２７、１２７、２２７  第１剛性層
２８、１２８、２２８  第２剛性層
２７ａ、１２７ｂ、２２７ａ  前側縁部
２８ａ、１２８ｂ、２２８ａ、３２８ａ  後側縁部
１２７ｃ、１２８ｃ  第１縁部
１２７ｄ、１２８ｄ  第２縁部
１２７ｅ、１２８ｅ  第３縁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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