(57)【要約】【課題】ドレッシングの条件に合ったドレッシングボードであるかを確認する。【解決手段】制御ユニットは、指定部と、識別部と、判定部と、出力部と、を有し、該指定部は、ドレッシングボードの種類を指定する機能を有し、該識別部は、第１のドレッシングボード用チャックテーブルに保持された第１のドレッシングボードの識別マークを撮像カメラで撮像して得られた撮像画像から、該第１のドレッシングボード用チャックテーブルに保持された該第１のドレッシングボードの種類を識別する機能を有し、該判定部は、該識別部により識別された該第１のドレッシングボードの種類が、該指定部により指定されたドレッシングボードの種類と一致するか否かを判定する機能を有し、該出力部は、該判定部の判定結果を出力する機能を有する。【選択図】図１
2018060864.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する第１のチャックテーブルと、第１の切削ブレードを装着可能で該第１のチャックテーブルに保持された被加工物を該第１の切削ブレードで加工する第１の切削ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像カメラと、各構成要素を制御する制御ユニットと、該第１の切削ブレードをドレッシングする識別マークが付された第１のドレッシングボードを保持する第１のドレスチャックテーブルと、を有し、
該制御ユニットは、指定部と、識別部と、判定部と、出力部と、を有し、
該指定部は、ドレッシングボードの種類を指定する機能を有し、
該識別部は、該第１のドレッシングボード用チャックテーブルに保持された該第１のドレッシングボードの該識別マークを該撮像カメラで撮像して得られた撮像画像から、該第１のドレッシングボード用チャックテーブルに保持された該第１のドレッシングボードの種類を識別する機能を有し、
該判定部は、該識別部により識別された該第１のドレッシングボードの種類が、該指定部により指定されたドレッシングボードの種類と一致するか否かを判定する機能を有し、
該出力部は、該判定部の判定結果を出力する機能を有することを特徴とする切削装置。
【請求項２】
該識別マークは、バーコード、パターン、凹凸部、または、これらに付された色から構成されることを特徴とする請求項１記載の切削装置。
【請求項３】
第２の切削ブレードを装着可能で該第１のチャックテーブルに保持された被加工物を該第２の切削ブレードで加工する第２の切削ユニットと、
該第２の切削ブレードをドレッシングする識別マークが付された第２のドレッシングボードを保持する第２のドレッシングボード用チャックテーブルと、をさらに有し、
該識別部は、該第２のドレッシングボード用チャックテーブルに保持された該第２のドレッシングボードの該識別マークを該撮像カメラで撮像して得られた撮像画像から、該第２のドレッシングボード用チャックテーブルに保持された該第２のドレッシングボードの種類を識別する機能をさらに有し、
該判定部は、該識別部により識別された該第２のドレッシングボードの種類が、該指定部により指定されたドレッシングボードの種類であるか否かを判定する機能をさらに有することを特徴とする請求項１又は２に記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を切削加工する切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
デバイスチップの製造プロセスにおいては、シリコンや化合物半導体からなるウェーハの表面にストリートと呼ばれる格子状の分割予定ラインが設定され、該分割予定ラインによって区画される各領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成される。これらのウェーハは分割予定ラインに沿って切削され、個々のデバイスチップに分割される。
【０００３】
切削は、例えば、切削ブレードを備える切削ユニットを有する切削装置により実施される。切削ブレードは、中央に孔を有する円環形状であり、被加工物の種別や加工内容によって適切なものが選択され切削ユニットに装着される。切削ユニットは、回転の軸となる円柱状のスピンドルを有し、切削ブレードは、該孔に該スピンドルを挿入されて該スピンドルに装着される。
【０００４】
切削加工時は、該スピンドルの回転に伴って切削ブレードが回転する。回転する切削ブレードが被加工物に接触すると被加工物が切削される。そして、切削が進行するにつれて切削ブレードは消耗して切削能力が低下していく。
【０００５】
円環形状の切削ブレードは、砥粒と、該砥粒を保持するボンド材と、からなる。該ボンド材から適度に砥粒が露出している状態では、被加工物に砥粒が接触するので、適切に被加工物を切削できる。しかし、未使用の切削ブレードや、消耗して切削能力の低下した切削ブレードでは、ボンド材に砥粒が埋もれており、または、砥粒がボンド材から脱落等しており、適切な切削を実施できる状態にはない。
【０００６】
そこで、未使用の切削ブレードや切削力の低下した切削ブレードを切削可能な状態にするために、該切削ブレードをドレッシングする。ドレッシングは、対象となる切削ブレードを切削ユニットに装着し、切削ブレードを回転させた状態でドレッシングボードを切削させて実施する。ドレッシングボードを切削すると切削ブレードは適切に消耗し、砥粒がボンド材から適度に露出し、適切な切削を実施できる状態となる。
【０００７】
また、未使用の切削ブレードを切削ユニットに装着すると回転軸から切削ブレードの外周までの距離が全周で均一とならない場合がある。このような切削ブレードでドレッシングボードを切削すると、回転軸からの距離が比較的大きい部分の外周が激しく消耗して、回転軸から外周までの距離が全周で均一になり、切削ブレードが適切な切削を実施できる状態となる。
【０００８】
このように、ボンド材から適度に砥粒を露出させ（目立てとも呼ばれる）、また、回転軸から外周までの距離を均一にする（真円出しとも呼ばれる）目的のために、切削ブレードのドレッシングが実施される。
【０００９】
ここで、ドレッシングボードは、樹脂やセラミックス等のボンド材に、アルミナをベースとしたＷＡ（ホワイトアランダム）や炭化ケイ素系のＧＣ（グリーンカーボランダム）等の砥粒が混ぜ込まれて形成されている。そして、ドレッシングの対象となる切削ブレードの種類やドレッシングの目的に応じて、適切な種類のドレッシングボードが使い分けられる。
【００１０】
特許文献１には、ドレッシングに用いられるドレッシングボードの一例が開示されている。該ドレッシングボードは、目立てに使用される部分と、真円出しに使用される部分と、を有し、ドレッシングの目的に応じてそれぞれの部分を使用できるドレッシングボードである。
【００１１】
また、特許文献２には、ドレッシングボードを保持するドレッシングボード用チャックテーブルを２つ有し、ドレッシングの目的に応じてどちらのドレッシングボード用チャックテーブルに保持されたドレッシングボードを用いるか選択できる切削装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００６−２１８５７１号公報
【特許文献２】特開２０１１−１６１７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ドレッシングボードには、ボンド材と砥粒の種類や、その配合割合等が異なる複数の種類が存在する。そして、ドレッシングする切削ブレードの種類や、ドレッシングの目的によって、ドレッシングボードは適切に使い分けられなければならない。使用するドレッシングボードの選択を誤ると、真円出しや目立てが適切にされず、ドレッシングボードや切削ブレードの状態を悪化させることもある。しかし、切削ブレードやドレッシングボートの種類は多く、使用するドレッシングボードの選択を誤る可能性は高い。
【００１４】
特に、被加工物の切削中にドレッシングが必要となりドレッシングを実施しようとするとき、ドレッシングボードの選択を誤り切削ブレードが使用不能になると、切削ブレードを交換して、再度真円出し等をしなければならない。すると、切削ブレードの装着位置や大きさ等がわずかに変わるため、新しい切削ブレードをそれまで使用していた切削ブレードと同様に被加工物に対して位置付けるのは困難となり、もはや同様の条件で切削加工を継続できず、問題となる。
【００１５】
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ドレッシングボード用チャックテーブルに保持されたドレッシングボードが、実施しようとするドレッシングの条件に合ったドレッシングボードであるかを判定できる切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の一態様によれば、被加工物を保持する第１のチャックテーブルと、第１の切削ブレードを装着可能で該第１のチャックテーブルに保持された被加工物を該第１の切削ブレードで加工する第１の切削ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像する撮像カメラと、各構成要素を制御する制御ユニットと、該第１の切削ブレードをドレッシングする識別マークが付された第１のドレッシングボードを保持する第１のドレッシングボード用チャックテーブルと、を有し、該制御ユニットは、指定部と、識別部と、判定部と、出力部と、を有し、該指定部は、ドレッシングボードの種類を指定する機能を有し、該識別部は、該第１のドレッシングボード用チャックテーブルに保持された該第１のドレッシングボードの該識別マークを該撮像カメラで撮像して得られた撮像画像から、該第１のドレッシングボード用チャックテーブルに保持された該第１のドレッシングボードの種類を識別する機能を有し、該判定部は、該識別部により識別された該第１のドレッシングボードの種類が、該指定部により指定されたドレッシングボードの種類と一致するか否かを判定する機能を有し、該出力部は、該判定部の判定結果を出力する機能を有することを特徴とする切削装置が提供される。
【００１７】
また、本発明の一態様において、該識別マークは、バーコード、パターン、凹凸部、または、これらに付された色から構成されてもよい。また、本発明の一態様において、第２の切削ブレードを装着可能で該第１のチャックテーブルに保持された被加工物を該第２の切削ブレードで加工する第２の切削ユニットと、該第２の切削ブレードをドレッシングする識別マークが付された第２のドレッシングボードを保持する第２のドレッシングボード用チャックテーブルと、をさらに有し、該識別部は、該第２のドレッシングボード用チャックテーブルに保持された該第２のドレッシングボードの該識別マークを該撮像カメラで撮像して得られた撮像画像から、該第２のドレッシングボード用チャックテーブルに保持された該第２のドレッシングボードの種類を識別する機能をさらに有し、該判定部は、該識別部により識別された該第２のドレッシングボードの種類が、該指定部により指定されたドレッシングボードの種類であるか否かを判定する機能をさらに有してもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の一態様に係る切削装置は、ドレッシングボード用チャックテーブルに保持されたドレッシングボードに付された識別マークを撮像カメラで撮像し、実施しようとするドレッシングの条件に合ったドレッシングボードが装着されているか否かを判定できる。そして、判定結果を出力して切削装置のオペレータに報知する。そのため、誤ったドレッシングボードがドレッシングボード用チャックテーブルに装着されているとは、その判定結果をオペレータに報知して警告できる。
【００１９】
誤ったドレッシングボードがドレッシングボード用チャックテーブルに設置されていることを知ったオペレータは、正しいドレッシングボードを設置しなおすことができる。そのため、該切削装置では、誤ったドレッシングボードを使用してドレッシングを実施するおそれがない。
【００２０】
以上のように、本発明によりドレッシングボード用チャックテーブルに保持されたドレッシングボードが、実施しようとするドレッシングの条件に合ったドレッシングボードであるかを判定できる切削装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】切削装置を模式的に示す斜視図である。
【図２】切削装置の切削ユニット、チャックテーブル、ドレッシングボード用チャックテーブル、撮像カメラの位置関係を説明する部分断面図である。
【図３】図３（Ａ）は、ドレッシングボードに付された識別マークの一例を示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、ドレッシングボードに付された識別マークの他の一例を示す斜視図であり、図３（Ｃ）は、ドレッシングボードに付された識別マークの他の一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置２の構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、切削装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。
【００２３】
基台４の前方の角部には、矩形の開口４ａが形成されており、この開口４ａ内には、昇降するカセット支持台６が設けられている。カセット支持台６の上面には、複数の被加工物１１を収容するカセット８が載せられる。なお、図１では、説明の便宜上、カセット８の輪郭のみを示している。
【００２４】
被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハであり、その表面側は、中央のデバイス領域と、デバイス領域を囲む外周余剰領域とに分けられる。デバイス領域１５は、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）でさらに複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。
【００２５】
被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも径の大きいダイシングテープ１７が貼付されている。ダイシングテープ１７の外周部分は、環状のフレーム１９に固定されている。すなわち、被加工物１１は、ダイシングテープ１７を介してフレーム１９に支持されている。
【００２６】
なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造等に制限はない。例えば、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる矩形の基板を被加工物１１として用いることもできる。デバイスの種類、数量、配置等にも制限はない。
【００２７】
カセット支持台６の側方には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い矩形の開口４ｂが形成されている。この開口４ｂ内には、Ｘ軸移動テーブル１０、Ｘ軸移動テーブル１０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（不図示）及びＸ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー１２が設けられている。
【００２８】
Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備えており、Ｘ軸ガイドレールには、Ｘ軸移動テーブル１０がスライド可能に取り付けられている。Ｘ軸移動テーブル１０の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールに平行なＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。
【００２９】
Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させることで、Ｘ軸移動テーブル１０は、Ｘ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。
【００３０】
Ｘ軸移動テーブル１０の上方には、被加工物１１を保持するためのチャックテーブル１４が設けられている。チャックテーブル１４の周囲には、被加工物１１を支持する環状のフレーム１９を四方から固定するための４個のクランプ１６が配置されている。
【００３１】
チャックテーブル１４は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１４は、上述のＸ軸移動機構でＸ軸方向に加工送りされる。
【００３２】
チャックテーブル１４の上面は、被加工物１１を保持する保持面１４ａになっている。この保持面１４ａは、チャックテーブル１４の内部に形成された吸引路等を通じて吸引源（不図示）に接続されている。
【００３３】
開口４ｂに近接する位置には、上述した被加工物１１をチャックテーブル１４へと搬送する搬送ユニット（不図示）が設けられている。搬送ユニットで搬送された被加工物１１は、例えば、表面側が上方に露出するようにチャックテーブル１４の保持面１４ａに載せられる。
【００３４】
基台４の上面には、２組の切削ユニット２２（第１切削ユニット２２ａ、第２切削ユニット２２ｂ）を支持するための門型の支持構造２４が、開口４ｂを跨ぐように配置されている。支持構造２４の前面上部には、各切削ユニット２２をＹ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる２組の切削ユニット移動機構２６が設けられている。
【００３５】
各切削ユニット移動機構２６は、支持構造２４の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２８を共通に備えている。Ｙ軸ガイドレール２８には、各切削ユニット移動機構２６を構成するＹ軸移動プレート３０がスライド可能に取り付けられている。
【００３６】
各Ｙ軸移動プレート３０の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２８に平行なＹ軸ボールネジ３２がそれぞれ螺合されている。各Ｙ軸ボールネジ３２の一端部には、Ｙ軸パルスモータ３４が連結されている。Ｙ軸パルスモータ３４でＹ軸ボールネジ３２を回転させれば、Ｙ軸移動プレート３０は、Ｙ軸ガイドレール２８に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００３７】
各Ｙ軸移動プレート３０の表面（前面）には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３６が設けられている。Ｚ軸ガイドレール３６には、Ｚ軸移動プレート３８がスライド可能に取り付けられている。
【００３８】
各Ｚ軸移動プレート３８の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３６に平行なＺ軸ボールネジ４０がそれぞれ螺合されている。各Ｚ軸ボールネジ４０の一端部には、Ｚ軸パルスモータ４２が連結されている。Ｚ軸パルスモータ４２でＺ軸ボールネジ４０を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３８は、Ｚ軸ガイドレール３６に沿ってＺ軸方向に移動する。
【００３９】
各Ｚ軸移動プレート３８の下部には、切削ユニット２２が設けられている。この切削ユニット２２は、回転軸となるスピンドル４４（図２参照）の一端側に装着された円環状の切削ブレード４６（図２参照）を備えている。また、切削ユニット２２に隣接する位置には、被加工物１１等を撮像する撮像カメラ（撮像ユニット）４８が設けられている。
【００４０】
各切削ユニット移動機構２６でＹ軸移動プレート３０をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット２２及び撮像カメラ４８は、Ｙ軸方向に割り出し送りされる。また、各切削ユニット移動機構２６でＺ軸移動プレート３８をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット２２及び撮像カメラ４８は、昇降する。
【００４１】
開口４ｂに対して開口４ａと反対側の位置には、円形の開口４ｃが形成されている。開口４ｃ内には、切削後の被加工物１１等を洗浄するための洗浄ユニット５０が設けられている。Ｘ軸移動機構、チャックテーブル１４、切削ユニット２２、切削ユニット移動機構２６、撮像カメラ４８、洗浄ユニット５０等の構成要素には、制御ユニット（制御手段）５２が接続されている。各構成要素は、この制御ユニット（制御手段）５２によって制御される。
【００４２】
また、本実施形態に係る切削装置２のＸ軸移動テーブル１０には、２つのドレッシングボード用チャックテーブル５４が設けられている。図２は、ドレッシングボード用チャックテーブル５４の１つの構成例を示す模式図である。
【００４３】
図２には、ドレッシングボード２１を撮像する位置に位置付けられた状態の撮像カメラ４８と、被加工物１１の切削加工を開始する位置に位置付けられた状態の切削ブレード４６と、を同時に示す。ただし、図１に示す切削装置２の構成上、撮像カメラ４８と、切削ブレード４６と、を同時にそれぞれこのように位置付けることはできない。図２には、説明の便宜上、それぞれこのように位置付けられた状態で表示する。
【００４４】
図２に示すように、ドレッシングボード用チャックテーブル５４は、Ｘ軸移動テーブル１０のチャックテーブル１４の後端側に配置されており、切削ブレード４６をドレッシングする際に用いられる。該ドレッシングボード用チャックテーブル５４は、Ｘ軸移動テーブル１０から後方に伸びる支持板５６を有している。支持板５６の前端側下面は、Ｘ軸移動テーブル１０の後端側上面に固定されている。
【００４５】
ドレッシングボード用チャックテーブル５４の上面は、ドレッシングボードを保持する保持面５４ａである。保持面５４ａには、例えば、平面視で十字型（クロス型）の吸引溝が形成されており、十字（クロス）の中心には吸引孔が形成されている。該吸引孔は、ドレッシングボード用チャックテーブル５４の内部の吸引路（不図示）を経て、図示しない吸引源に通じている。
【００４６】
ドレッシングボード用チャックテーブル５４の保持面５４ａにドレッシングボード２１が載置されると、該吸引源から負圧を作用させて、ドレッシングボード２１を保持面５４ａ上に吸引保持する。
【００４７】
なお、切削装置２にドレッシングボード用チャックテーブル５４が備えられていなければ、切削ブレードのドレッシングを実施するとき、チャックテーブル１４にドレッシングボード２１を保持させることとなる。すると、切削加工をする際はチャックテーブル１４に保持されたドレッシングボード２１を取り除き、代わりに被加工物１１を保持させる必要があるが、この交換作業は手間となる。
【００４８】
さらに、切削工程中に切削ブレードが消耗して、切削ブレードをドレッシングしたい場合、チャックテーブル１４にドレッシングボード２１を保持させるには、被加工物１１を移動させる必要がある。そして、ドレッシング後に該切削工程を継続するには、被加工物１１を移動する前の状態とまったく同じに再度位置付けなければなら、これは困難である。切削装置２にチャックテーブル１４とは別にドレッシングボード用チャックテーブル５４が設けられていると、このような問題は生じない。
【００４９】
また、ドレッシングボード用チャックテーブル５４は、Ｘ軸移動テーブル１０のチャックテーブル１４の後端側に配置される。ドレッシングボード用チャックテーブル５４が、チャックテーブル１４の前端側に配置されていると、ドレッシングボード２３の切削屑がチャックテーブル１４上に保持されている被加工物１１の上に飛散してしまい、被加工物１１が汚染されてしまう。
【００５０】
撮像カメラ４８は、チャックテーブル１４に保持された被加工物１１が切削加工される際に、被加工物１１を撮像して切削する位置を割り出すときに用いるキーパターンや切削予定ラインを確認するのに用いられる。また、撮像カメラ４８は、ドレッシングボード用チャックテーブル５４の上方に移動でき、保持面５４ａに保持されたドレッシングボード２１を撮像できる。ドレッシングボード２１には識別マーク２３（図３参照）が付されており、撮像画像には該識別マーク２３が映り込む。そして、撮像して得られた画像データは切削装置２の制御ユニット５２に送られる。
【００５１】
次に、切削装置２の制御ユニット５２の構成要素について図１を用いて説明し、さらにそれぞれの機能について説明する。なお、制御ユニット５２は、例えば、切削装置２の管理装置であり、制御ユニット５２と、以下に説明する各構成要素とその機能は、該管理装置にプログラムとして実現されてもよい。
【００５２】
制御ユニット５２は指定部５２ａを有し、該指定部５２ａには切削ブレード４６に関する情報が入力される。そして、指定部５２ａは、入力された切削ブレード４６に関する情報を基に、該切削ブレード４６のドレッシングに使用されるべきドレッシングボードの種類を指定する。
【００５３】
指定されたドレッシングボードの種類に関する情報は、制御ユニット５２の出力部５２ｄに送られ、出力部５２は切削装置２のオペレータに該ドレッシングボードの種類を伝達する。出力部５２は、例えばディスプレイを有し、画面に該ドレッシングボードの種類を表示する。そして、オペレータは該当する種類のドレッシングボード２１をドレッシングボード用チャックテーブル５４の保持面５４ａの上に載置する。該ドレッシングボードは保持面５４ａ上に吸引保持される。
【００５４】
制御ユニット５２は、図２に示す通り撮像カメラ４８をドレッシングボード用チャックテーブル５４の上方に移動させ、吸引保持された該ドレッシングボード２１を撮像させる。得られた撮像画像は、制御ユニット５２の識別部５２ｂに送られる。識別部５２ｂは、該撮像画像に映り込んだ識別マーク２３を抽出し、該識別マーク２３（図３参照）から該ドレッシングボード２１の種類を識別し、該ドレッシングボード２１の種類に関する情報を、制御ユニット５２の判定部５２ｃに送る。
【００５５】
制御ユニット５２の判定部５２ｃは、識別部５２ｂからドレッシング用チャックテーブル５４に保持されたドレッシングボード２１の種類に関する情報を受け取る。また、指定部５２ａから、指定されたドレッシングボードの種類に関する情報を受け取る。そして、両者が一致するか否かを判定し、判定結果に関する情報を出力部５２ｄに送る。出力部５２ｄは、該判定結果を出力して装置のオペレータに該判定結果を報知する。例えば、出力部５２ｄがディスプレイを有する場合、画面に判定結果を表示する。
【００５６】
出力部５２ｄは、例えばさらにブザーを有してもよく、その場合特に判定結果が不一致である場合には、警告音を発して装置のオペレータに警告する。出力部５２ｄがこのようなブザーを有する場合、オペレータはブザーが警告音を発するとき以外はドレッシングボード２１の種類について注意する必要がない。また、判定結果が一致である場合に、該ブザーは正常状態であることを知らせる音を発してもよい。
【００５７】
該判定結果が一致である場合、該ドレッシングボード２１は、切削ブレード４６のドレッシングに適した種類であるから、問題なく該ドレッシングボード２１を使用して切削ブレード４６をドレッシングできる。一方、判定結果が不一致である場合、ドレッシング用チャックテーブル５４に保持されたドレッシングボード２１は不適であるため、装置のオペレータはドレッシングボード２１を適切なものに取り換える。そして、制御ユニット５２に再度判定をさせる。
【００５８】
このように、切削装置２の撮像カメラ４８によりドレッシングボード２１を撮像して、制御ユニット５２によりドレッシングボードの種類を判別すると、ドレッシングボード２１がドレッシングの条件に合っているかを判定できる。
【００５９】
次に、ドレッシングボード２１に付される識別マーク２３について、図３（Ａ）乃至（Ｃ）を用いて説明する。図３（Ａ）乃至図３（Ｃ）は、ドレッシングボード２１と、該ドレッシングボード２１に付された識別マーク２３（２３ａ、２３ｂ、２３ｃ）と、を示す斜視図である。
【００６０】
図３（Ａ）に示す通り、ドレッシングボード２１に付される識別マーク２３ａは、バーコードで構成される。該識別コード２３ａは、例えば、ドレッシングボード２１上に印刷して形成する。または、レーザ加工装置等を用いてドレッシングボード２１に刻印して形成する。または、該識別コード２３ａが印刷されたテープをドレッシングボード２１上に貼着して構成する。
【００６１】
識別マーク２３ａには、該識別マーク２３ａが付されたドレッシングボード２１の種類に関する情報が格納されており、該識別マーク２３ａからドレッシングボード２１の種類を識別できる。
【００６２】
識別マーク２３は、バーコードでなくてもよく、例えば、図３（Ｂ）に示す通り、パターンで構成された識別マーク２３ｂでもよい。パターンで構成された識別マーク２３ｂも同様に、印刷、刻印、またはシールの貼着等により形成される。該識別マーク２３ｂには、該識別マーク２３ｂが付された該ドレッシングボード２１の種類に関する情報が格納されている。
【００６３】
さらに、識別マーク２３は、バーコードやパターンでなくてもよく、例えば、図３（Ｃ）に示す通り、凹凸部で構成された識別マーク２３ｃでもよい。凹凸部で構成された識別マーク２３ｃも同様に、印刷、刻印等により形成される。また、エンボス加工等されて凹凸が形成されたシールを貼着するか、凸部分の平面形状と同じ平面形状を有するシールを貼着して形成される。
【００６４】
また、識別マーク２３には、バーコード、パターン、または、凹凸部に付された色も含まれ、ドレッシングボード２１の種類に関する情報の表示に用いられる。例えば、ドレッシングボード２１の製造の際に識別マーク２３としてバーコードを印刷する場合、製造の時期によって該印刷に使用するインクの色を変更していくと、識別マーク２３に付された色からドレッシングボード２１の製造時期を判別できる。なお、識別マーク２３はこれらに限定されない。
【００６５】
本実施形態に係る切削装置２に設置するドレッシングボート２１には、上述のような識別マーク２３が付されている。該切削装置２は、被加工物１１の撮像に用いる撮像カメラ４８を利用してドレッシングボード２１を撮像し撮像画像に映り込んだ該識別マーク２３を用いてドレッシングボード２１の種類に関する情報を得る。そして、切削ブレード４６に適していると判定されたドレッシングボード２１を用いて切削ブレード４６をドレッシングできる。そのため、不適なドレッシングボード２１を用いてドレッシングするおそれはない。
【００６６】
なお、本発明は、上記の実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記の実施形態においては、切削ユニット２２と、ドレッシングボード用チャックテーブル５４と、をそれぞれ２つ備える切削装置２について説明した。しかし、切削装置２が備える切削ユニットと、ドレッシングボード用チャックテーブルと、の数はこれに限られず、例えば、切削装置２はそれぞれ１つを備えてもよい。
【００６７】
また、例えば、上記の実施形態においては、識別マークからドレッシングボードの種類を判別した。しかし、ドレッシングボードだけでなく、切削ブレードにも識別マークを付して、切削装置の撮像カメラで切削ブレードの種類を判別させてもよい。すると、切削ブレードの種類に関する情報を自動的に制御ユニットに入力できるため、入力の手間が低減でき、切削ブレードの種類の入力を誤るおそれがなくなる。
【００６８】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００６９】
２  切削装置
４  基台
４ａ，４ｂ，４ｃ  開口
６  カセット支持台
８  カセット
１０  Ｘ軸移動テーブル
１２  防塵防滴カバー
１４  チャックテーブル
１４ａ  保持面
１６  クランプ
２２  切削ユニット
２２ａ  第１切削ユニット
２２ｂ  第２切削ユニット
２４  支持構造
２６  切削ユニット移動機構
２８  Ｙ軸ガイドレール
３０  Ｙ軸移動プレート
３２  Ｙ軸ボールネジ
３４  Ｙ軸パルスモータ
３６  Ｚ軸ガイドレール
３８  Ｚ軸移動プレート
４０  Ｚ軸ボールネジ
４２  Ｚ軸パルスモータ
４６  切削ブレード
４８  撮像カメラ（撮像ユニット）
５０  洗浄ユニット
５２  制御ユニット（制御手段）
５２ａ  指定部
５２ｂ  識別部
５２ｃ  判定部
５２ｄ  出力部
５４  ドレッシングボード用チャックテーブル
５４ａ  保持面
５６  支持板
１１  被加工物
１５  デバイス領域
１７  ダイシングテープ
１９  フレーム
２１  ドレスボード
２３，２３ａ，２３ｂ，２３ｃ  識別マーク
【図１】
2018060864.tif 000003
【図２】
2018060864.tif 000004
【図３】
2018060864.tif 000005