(57)【要約】【課題】圧電素子の正確な位置決めを簡単に行うことができる生産性の高い走査型内視鏡の製造方法等を提供する。【解決手段】圧電素子母材２１Ａの第１辺と配線材母材２２Ａとを電気的に接続して接続済材料を生成する接続ステップと、接続済材料を第１辺と交差する方向に複数に分割して圧電素子および信号伝達線を含む配線済圧電素子を複数生成する分割ステップと、圧電素子を照射光ファイバに直接または間接に固定する固定ステップと、信号伝達線を駆動信号の入力端子に接続する結線ステップと、を有する走査型内視鏡の製造方法。【選択図】図２
2018068955.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の圧電材料の第１辺と信号伝達材料とを電気的に接続して接続済材料を生成する接続ステップと、
前記接続済材料を前記第１辺と交差する方向に複数に分割して、前記帯状の圧電材料を分割して得られた圧電素子、および、前記信号伝達材料を分割して得られ、前記圧電素子と電気的に接続される信号伝達線を各々が含む複数の配線済圧電素子を生成する分割ステップと、
前記配線済圧電素子の前記圧電素子を、該圧電素子の主面が、保持部材に保持された照射光ファイバの側面に沿うように固定する固定ステップと、
前記配線済圧電素子の前記信号伝達線を、前記圧電素子の駆動信号が入力される入力端子に電気的に接続する結線ステップと、
を有することを特徴とする走査型内視鏡の製造方法。
【請求項２】
前記信号伝達材料は、複数の信号線を含み、
前記接続ステップは、前記複数の信号線を一括して、前記帯状の圧電材料の前記第１辺へ電気的に接続するステップであり、
前記分割ステップは、前記信号伝達線が前記圧電素子と接続される前記複数の信号線の１つを含むように、前記接続済材料を分割するステップであることを特徴とする請求項１に記載の走査型内視鏡の製造方法。
【請求項３】
前記信号伝達材料は、帯状の信号伝達板を含み、
前記接続ステップは、前記帯状の圧電材料の前記第１辺に、前記帯状の信号伝達板の第２辺を電気的に接続する第１接続ステップを含み、
前記分割ステップは、前記信号伝達線が、前記圧電素子と接続され、前記帯状の信号伝達板を分割して得られる分割済信号伝達板を含むように、前記接続済材料を分割するステップであることを特徴とする請求項１に記載の走査型内視鏡の製造方法。
【請求項４】
前記接続ステップは、前記第１接続ステップにより前記帯状の圧電材料が電気的に接続された前記帯状の信号伝達板の第１辺に対して、複数の信号線を一括して電気的に接続する第２接続ステップをさらに有し、
前記分割ステップは、前記信号伝達線が前記分割済信号伝達板および前記分割済信号伝達板と接続される前記複数の信号線の１つを含むように、前記接続済材料を分割するステップであることを特徴とする請求項３に記載の走査型内視鏡の製造方法。
【請求項５】
前記接続ステップは、前記第１接続ステップにより前記帯状の圧電材料が電気的に接続される前の前記帯状の信号伝達板の第１辺に対して、複数の信号線を一括して電気的に接続する第３接続ステップをさらに有し、
前記第１接続ステップは、前記帯状の圧電材料の前記第１辺に、前記第３接続ステップにより前記複数の信号線が電気的に接続された前記帯状の信号伝達板の前記第２辺を電気的に接続するステップであり、
前記分割ステップは、前記信号伝達線が前記分割済信号伝達板および前記分割済信号伝達板と接続される前記複数の信号線の１つを含むように、前記接続済材料を分割するステップであることを特徴とする請求項３に記載の走査型内視鏡の製造方法。
【請求項６】
前記固定ステップにより前記圧電素子が固定された前記配線済圧電素子の、前記分割済信号伝達板の第１辺に対して、信号線を電気的に接続する第４接続ステップをさらに有することを特徴とする請求項３に記載の走査型内視鏡の製造方法。
【請求項７】
前記帯状の信号伝達板は、複数のプリント配線を有する帯状プリント基板であり、
前記分割ステップは、前記分割済信号伝達板が、前記複数のプリント配線の１つを有するプリント基板となるように、前記接続済材料を分割するステップであることを特徴とする請求項３に記載の走査型内視鏡の製造方法。
【請求項８】
前記帯状の信号伝達板は、帯状導体板であり、
前記分割ステップは、前記帯状導体板が複数の導体板に分割されるように、前記接続済材料を分割するステップであることを特徴とする請求項３に記載の走査型内視鏡の製造方法。
【請求項９】
前記照射光ファイバは、前記軸方向に沿った四角柱状の外側面を有するファイバ支持材を介して前記保持部材に保持されており、
前記固定ステップは、４つの前記圧電素子を、前記ファイバ支持材の４つの前記外側面にそれぞれ固定するステップを含むことを特徴とする請求項１に記載の走査型内視鏡の製造方法。
【請求項１０】
入射端から入射した入射光に応じた照射光が照射端から出射する照射光ファイバと、
前記入射端と前記照射端との間に配置され、前記照射光ファイバを保持する保持部材と、
前記保持部材と前記照射光ファイバの前記照射端との間に固定され、入力される駆動信号に応じて前記照射端を駆動する圧電素子と、
前記圧電素子に電気的に接続され前記駆動信号を伝送する信号伝達板と、
を有し、
前記信号伝達板の少なくとも一部の幅は、前記圧電素子の幅と等しく、
前記信号伝達板と前記圧電素子の幅が等しい部分において、前記信号伝達板の側面と前記圧電素子の側面は、同一面を構成するように配置されていることを特徴とする走査型内視鏡。
【請求項１１】
前記入射端と前記照射端との間の少なくとも一部において前記照射光ファイバを覆い、前記軸方向に沿った四角柱状の外側面を有するファイバ支持材をさらに有し、
前記保持部材は、前記ファイバ支持材を介して前記照射光ファイバを保持し、
前記圧電素子は、前記ファイバ支持材の４つの前記外側面の各々に固定されることを特徴とする請求項１０に記載の走査型内視鏡。
【請求項１２】
前記信号伝達板に電気的に接続され前記駆動信号を伝送する信号線をさらに有し、
前記信号伝達板の前記入射端側の端面は、前記保持部材の前記入射端側の端面よりも前記照射端側にあり、
前記信号線は、前記保持部材の前記入射端側の前記端面よりも前記照射端側において、前記信号伝達板に接続されていることを特徴とする請求項１０に記載の走査型内視鏡。
【請求項１３】
前記信号線は絶縁被覆を有し、
前記絶縁被覆の前記照射端側の端面は、前記保持部材の前記入射端側の端面よりも前記照射端側にあることを特徴とする請求項１２に記載の走査型内視鏡。
【請求項１４】
前記保持部材は、前記信号伝達板と同じ幅の、前記軸方向に沿った溝または貫通孔を有し、
前記信号伝達板の少なくとも一部は、前記溝または前記貫通孔に配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の走査型内視鏡。
【請求項１５】
前記信号伝達板は、前記軸方向の所定位置に凹部を有し、
前記溝または前記貫通孔は、前記凹部が係合する凸部を有していることを特徴とする請求項１４に記載の走査型内視鏡。
【請求項１６】
前記信号伝達板は、プリント配線を有するプリント基板であることを特徴とする請求項１０に記載の走査型内視鏡。
【請求項１７】
前記信号伝達板は、導体板であることを特徴とする請求項１０に記載の走査型内視鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子により照射光ファイバを駆動するように構成された走査型内視鏡と、走査型内視鏡の製造方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、光源からの光を導光する照射光ファイバの照射端を圧電素子によって変位させ、照明光による被検体の走査を行う走査型内視鏡が知られている。
【０００３】
例えば、特許第５４８６８２３号公報には、パターン形成圧電チューブを含む走査ファイバ内視鏡システムが記載されている。圧電チューブは、ハウジングに固定されるハウジング装着カラーに結合されている。ファイバを駆動するための印加電圧を圧電チューブに加えるように、チューブ駆動ワイヤなどが圧電チューブに結合されている。
【０００４】
こうした走査型内視鏡は、照射光ファイバの側面の方向に、例えばフェルールを介して複数（例えば４つ）の圧電素子を固定することにより、被検体の表面を２次元的に走査することができるように構成されている。
【０００５】
このとき、走査型内視鏡に用いる圧電素子は、サイズが小さいために、フェルール等の側面に正確に固定するのは困難である。
【０００６】
そこで、例えば特開２０１６−９０１２号公報には、フェルールの側面に圧電素子を位置決めするための溝や凹部を設ける技術が記載されている。こうしてフェルールに複数の圧電素子をそれぞれ固定した後に、個々の圧電素子に電圧を印加するための信号線が接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第５４８６８２３号公報
【特許文献２】特開２０１６−９０１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
圧電素子は、振動の発生源であって、圧電素子上のどの位置で信号線を接続するかに応じて発生する振動が変化してしまうために、配線には高い精度が要求される。しかし、圧電素子はフェルール等の側面（例えば４面のそれぞれ）に立体的に配設されているために、高い精度の配線を行うのは容易ではなく、しかもその作業を圧電素子の数に応じた回数だけ行う必要があって時間を要し生産性を低下させていた。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、圧電素子の正確な位置決めを簡単に行うことができる生産性の高い走査型内視鏡の製造方法、走査型内視鏡を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のある態様による走査型内視鏡の製造方法は、帯状の圧電材料の第１辺と信号伝達材料とを電気的に接続して接続済材料を生成する接続ステップと、前記接続済材料を前記第１辺と交差する方向に複数に分割して、前記帯状の圧電材料を分割して得られた圧電素子、および、前記信号伝達材料を分割して得られ、前記圧電素子と電気的に接続される信号伝達線を各々が含む複数の配線済圧電素子を生成する分割ステップと、前記配線済圧電素子の前記圧電素子を、該圧電素子の主面が、保持部材に保持された照射光ファイバの側面に沿うように固定する固定ステップと、前記配線済圧電素子の前記信号伝達線を、前記圧電素子の駆動信号が入力される入力端子に電気的に接続する結線ステップと、を有する。
【００１１】
本発明のある態様による走査型内視鏡は、入射端から入射した入射光に応じた照射光が照射端から出射する照射光ファイバと、前記入射端と前記照射端との間に配置され、前記照射光ファイバを保持する保持部材と、前記保持部材と前記照射光ファイバの前記照射端との間に固定され、入力される駆動信号に応じて前記照射端を駆動する圧電素子と、前記圧電素子に電気的に接続され前記駆動信号を伝送する信号伝達板と、を有し、前記信号伝達板の少なくとも一部の幅は、前記圧電素子の幅と等しく、前記信号伝達板と前記圧電素子の幅が等しい部分において、前記信号伝達板の側面と前記圧電素子の側面は、同一面を構成するように配置されている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の走査型内視鏡の製造方法、走査型内視鏡によれば、圧電素子の正確な位置決めを簡単に行うことができ、生産性も高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態１における走査型内視鏡装置の構成を示す図。
【図２】上記実施形態１の第１の例において、圧電素子母材に配線材母材を接続してからダイシングする例を示す斜視図。
【図３】上記実施形態１の第１の例において、ダイシングにより形成された配線済圧電素子を示す斜視図。
【図４】上記実施形態１の第２の例において、圧電素子母材と配線材母材と信号線母材とを接続してからダイシングする例を示す斜視図。
【図５】上記実施形態１の第２の例において、ダイシングにより形成された配線済圧電素子を示す斜視図。
【図６】上記実施形態１の第２の例における信号線母材の第１の構成例を示す平面図。
【図７】上記実施形態１の第２の例における信号線母材の第２の構成例を示す斜視図。
【図８】上記実施形態１の第３の例において、圧電素子母材に信号線母材を接続してからダイシングする例を示す斜視図。
【図９】上記実施形態１の第３の例において、ダイシングにより形成された配線済圧電素子を示す斜視図。
【図１０】上記実施形態１において、配線済圧電素子の配線材をアクチュエータベースの溝に位置決めして配置することにより、圧電素子がファイバ支持材に位置決めされる様子を示す斜視図。
【図１１】上記実施形態１において、照射光ファイバが挿通されたファイバ支持材およびアクチュエータベースの４つの側面に配線済圧電素子が位置決めして取り付けられた様子を示す斜視図。
【図１２】上記実施形態１において、配線材を位置決めするための軸方向の貫通孔がアクチュエータベースに設けられている例を示す斜視図。
【図１３】上記実施形態１において、ファイバ支持材を円筒形状に構成して圧電素子を固定する例を示す斜視図。
【図１４】上記実施形態１において、アクチュエータベースの溝から基端側に延出された配線材の基端部に信号線との半田付け部分が位置する例を示す断面図。
【図１５】上記実施形態１において、配線材の基端部に対する信号線の半田付け部分が、アクチュエータベースの溝内に位置する例を示す断面図。
【図１６】上記実施形態１において、フレキシブルプリント基板として構成された配線材の基端部に対する信号線の半田付け部分が、アクチュエータベースの溝内に位置する例を示す断面図。
【図１７】上記実施形態１において、圧電素子に接続されているフレキシブルプリント基板の構成例を示す平面図。
【図１８】上記実施形態１の第４の例において、圧電素子母材に接続されている配線材母材に位置決め用孔が形成されている例を示す平面図。
【図１９】上記実施形態１の第４の例において、ダイシングにより形成された配線済圧電素子を示す平面図。
【図２０】上記実施形態１の第４の例において、配線材に形成された凹部を係合するための凸条がアクチュエータベースの溝内の側面に形成されている様子を示す平面図。
【図２１】上記実施形態１の第５の例において、ダイシングの前に、圧電素子母材と位置決め用孔が形成されている配線材母材と信号線母材とを接続する例を示す平面図。
【図２２】上記実施形態１の第５の例において、ダイシングにより形成された配線済圧電素子を、照射光ファイバが挿通されたファイバ支持材およびアクチュエータベースに対して、配線材の凹部とアクチュエータベースの溝内の凸条とを係合させながら取り付ける様子を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
［実施形態１］
【００１５】
図１から図２２は本発明の実施形態１を示したものであり、図１は走査型内視鏡装置１の構成を示す図である。
【００１６】
図１に示すように走査型内視鏡装置１は、照明光を走査する走査型内視鏡２と、照明光を発生する光源部３と、照明光が照射される被検体４からの戻り光を信号光として検出する信号光検出部５と、照明光を走査する走査部６を駆動する駆動信号を生成する駆動信号生成部７と、光源部３、信号光検出部５、駆動信号生成部７を制御する制御部８と、２次元画像を表示する表示部９と、を有する。
【００１７】
走査型内視鏡２は、走査部６を備えると共に、照射光ファイバ１１と、受光用光ファイバ１２と、信号線１３と、を備えている。
【００１８】
照射光ファイバ１１は、光源部３からの照明光としてのレーザ光（入射光）が入射端１１ｂに入射され、入射されたレーザ光を照射端１１ａへ導光し、照射端１１ａから入射光に応じたレーザ光を照射光として被検体４へ出射する。
【００１９】
光源部３は、例えば、赤色、緑色、青色のレーザ光をそれぞれ発生する赤色光源、緑色光源、青色光源を有している。
【００２０】
また、走査型内視鏡２の先端部には照射光ファイバ１１の照射端１１ａが配置されると共に、走査型内視鏡２内における照射光ファイバ１１の照射端１１ａの近傍に走査部６が設けられている。
【００２１】
走査部６は、照射光ファイバ１１の軸Ｏ（照射光ファイバ１１が光を伝達する方向の軸であり、走査型内視鏡２の挿入方向の軸でもある）（図１０〜図１６、図２０、図２２等参照）に例えば直交する２つの方向に照射光ファイバ１１の照射端１１ａを振動させる４つの（２つで１組をなすために、つまり２組の）圧電素子を有している。これら、４つの圧電素子には、直接または間接に線状導電材である信号線１３が電気的に接続されており、結線ステップによって信号線１３の基端が駆動信号生成部７の入力端子７ａに電気的に接続（結線）されることで、駆動信号生成部７から圧電素子の駆動信号が入力されるようになっている。なお、以下では、電気信号が伝達される経路やグランド線の経路に係る接続は、電気的な接続を含む物理的な接続であるものとする。
【００２２】
２組の圧電素子は、照射光ファイバ１１の軸Ｏに交差する２つの方向に照射端１１ａ振動させるように配置されている。そして、制御部８は、駆動信号生成部７を制御して２組の圧電素子に印加する駆動信号の振幅および位相を調整し、照射光ファイバ１１の照射端１１ａを、例えば渦巻き形状の軌跡を描くように振動させる。これにより、照射光ファイバ１１の照射端１１ａから出射される照明光としてのレーザ光が、被検体４の表面を渦巻き形状の軌跡を描くように走査する。
【００２３】
また、受光用光ファイバ１２は、被検体４に照射されたレーザ光の反射光を、先端面において信号光として受光し、受光した信号光を基端へ導光し、基端から信号光検出部５へ信号光を出射する。
【００２４】
信号光検出部５は、光電変換を行うフォトダイオード等の光検出器を備え、光検出器は、受光用光ファイバ１２から入射された信号光を、その信号光の強度に応じた電気信号に変換して制御部８に出力する。
【００２５】
制御部８は、光源部３を制御して、レーザ光を順次パルス発光させる。そして、制御部８は、パルス発光の結果として渦巻き形状の軌跡上の各位置（スパイラル座標）において得られた信号値を、ラスタ座標の信号値に変換する。さらに、制御部８は、赤色、緑色、青色のレーザ光に基づき得られたラスタ座標の信号値から、カラー画像信号を構成する。
【００２６】
こうして、制御部８により構成されたカラー画像信号は、モニタ等により構成される表示部９へ出力され、表示部９によりカラー画像として表示される。なお、ここではカラー画像の例を説明したが、モノクロ画像でも構わないし、赤外光や紫外光に基づいて画像を構成しても良い。
【００２７】
このような構成において、照射光ファイバ１１の入射端１１ｂと光源部３、受光用光ファイバ１２の基端と信号光検出部５、および信号線１３の基端と駆動信号生成部７の入力端子７ａがそれぞれ着脱自在となるように構成すれば、走査型内視鏡２は、光源部３、信号光検出部５、駆動信号生成部７、制御部８、および表示部９を含む装置本体に対して、着脱自在となる。
【００２８】
次に、図２以降を参照して、走査部６および信号線１３に関連する構成の製造方法と、製造方法により得られる構成物とについて説明する。
【００２９】
まず、図２は、第１の例において、圧電素子母材２１Ａに配線材母材２２Ａを接続してからダイシングする例を示す斜視図である。
【００３０】
圧電素子母材２１Ａは、後述する圧電素子２１（図３等参照）のサイズよりも２倍以上大きい帯状（ここに、「帯状」とは、図２の点線で示す切断線に垂直な方向に切断ピッチの複数倍の長さを有していることを指す）の圧電材料として構成され、最大面積の面である２つの主面のそれぞれに電極が予め形成されたものである。
【００３１】
また、信号伝達材料である配線材母材２２Ａも、上述した帯状をなす信号伝達板として構成されている。ここに、配線材母材２２Ａとしては、電気信号を伝送したりグランドに接続したりすることができる材料を広く適用することができるが、幾つかの例としては、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）（図１６、図１７等参照）、あるいは帯状導体板である金属板（図１４、図１５等参照）などが挙げられる。
【００３２】
そして、製造に際しては、圧電素子母材２１Ａの一方の主面における第１辺（図２における右側の長辺）と、配線材母材２２Ａの圧電素子母材２１Ａに対向する面の第２辺（図２における左側の長辺）とを接続ステップによりまず電気的に接続して（つまり、複数の圧電素子と複数の配線材とが一括して接続されることになる）、圧電素子母材２１Ａと配線材母材２２Ａとが一体化された接続済材料を生成する。
【００３３】
次に、分割ステップにおいて、例えばダイシングソー２３を用いることにより、接続済材料を、第１辺（あるいは第２辺）と交差する方向（例えば、図２の点線（切断線）で示すような第１辺に直交する方向）に、所定の切断ピッチで切断するダイシングを行って、複数に分割する。
【００３４】
これにより、帯状の圧電材料である圧電素子母材２１Ａを分割して得られた圧電素子２１、および、信号伝達材料である配線材母材２２Ａを分割して得られ、圧電素子２１と電気的に接続される信号伝達線である分割済信号伝達板（板状導電材）としての配線材２２を含む図３に示すような配線済圧電素子が、複数生成される。ここに、図３は、第１の例において、ダイシングにより形成された配線済圧電素子を示す斜視図である。また、圧電素子母材２１Ａであったときの主面を分割した面が、切断後の圧電素子２１においても最大面積の主面となる。
【００３５】
この第１の例では、配線済圧電素子を構成する圧電素子２１の側面と配線材２２の側面とは、ダイシングソー２３で一括して切断された面（分割面）であるために、同一面となっている。そして、ダイシングソー２３を直線方向に移動させてダイシングを行うことにより、圧電素子２１の側面（分割面）と配線材２２の側面（分割面）とは、同一平面となる。
【００３６】
なお、配線材母材２２Ａ（帯状の信号伝達板）としてプリント基板を用いる場合には、配線材母材２２Ａは、複数のプリント配線を有する帯状プリント基板となる（図２および図１７等を参照）。従って、分割ステップは、分割済信号伝達板が、複数のプリント配線の１つを有するプリント基板となるように、接続済材料を分割するステップとなる。
【００３７】
一方、配線材母材２２Ａ（帯状の信号伝達板）として帯状導体板を用いる場合には、分割ステップは、帯状導体板が複数の導体板に分割されるように、接続済材料を分割するステップとなる。
【００３８】
次に、図４〜図７を参照して、第２の例を説明する。ここに、図４は第２の例において圧電素子母材２１Ａと配線材母材２２Ａと信号線母材１３Ａとを接続してからダイシングする例を示す斜視図、図５は第２の例においてダイシングにより形成された配線済圧電素子を示す斜視図、図６は第２の例における信号線母材１３Ａの第１の構成例を示す平面図、図７は第２の例における信号線母材１３Ａの第２の構成例を示す斜視図である。
【００３９】
上述した第１の例は、圧電素子母材２１Ａと配線材母材２２Ａとを接続した段階でダイシングを行ったが、この第２の例は、信号伝達材料である信号線母材１３Ａを接続ステップによりさらに接続して圧電素子母材２１Ａと配線材母材２２Ａと信号線母材１３Ａとが一体化された接続済材料を生成してからダイシングを行うものとなっている。ここに、信号線母材１３Ａは、複数の信号線１３が並列に連結されたものであり、例えばフラットケーブルと同様の構造となっている。
【００４０】
すなわち、接続ステップにおいて、信号伝達材料である配線材母材２２Ａと、信号伝達材料である信号線母材１３Ａの複数の芯線１３ａのぞれぞれとが半田１４Ａにより一括して電気的に接続される。このときには、第１接続ステップにより圧電素子母材２１Ａと配線材母材２２Ａとを接続した後に第２接続ステップにより信号線母材１３Ａを接続しても良いし、第３接続ステップにより配線材母材２２Ａと信号線母材１３Ａとを先に接続した後に第１接続ステップにより圧電素子母材２１Ａを接続しても構わない。
【００４１】
そして、分割ステップにおいて、接続済材料を分割するダイシングにより、図５に示すような配線済圧電素子が複数生成される。ここに、配線済圧電素子は、圧電素子２１と電気的に接続される信号伝達線である、配線材２２（信号伝達板）および１つの信号線１３（あるいはさらに半田１４）を含んでいる。
【００４２】
図６は、信号線母材１３Ａの第１の構成例を示している。この図６に示す例では、電気伝導性を有する芯線１３ａを、絶縁被覆１３ｂにより覆ってなる複数の信号線が、絶縁被覆１３ｂの先端部において連結部１３ｃとして一体的に構成されている。また、連結部１３ｃの先端側からは各芯線１３ａが延出されている。
【００４３】
このような、順次接続された圧電素子母材２１Ａ、配線材母材２２Ａ、半田１４Ａ、および信号線母材１３Ａの連結部１３ｃ（すなわち、信号線母材１３Ａは連結部１３ｃのみを切断すれば良く、全長に渡って切断する必要はない）をダイシングすることで、図５に示すような配線済圧電素子が形成される。
【００４４】
こうして、信号伝達板である配線材２２に電気的に接続された信号線１３は、結線ステップにより信号線１３の基端を駆動信号生成部７の入力端子７ａに接続することで、駆動信号を配線材２２へ伝送する。さらに、圧電素子２１に電気的に接続された信号伝達板である配線材２２が、駆動信号を圧電素子２１へ伝送する。こうして、アクチュエータベース２５と照射光ファイバ１１の照射端１１ａとの間に固定された圧電素子２１が、入力される駆動信号に応じて照射端１１ａを駆動する。
【００４５】
また、図７は第２の構成例の信号線母材１３Ａを示している。すなわち、図６に示した第１の構成例の信号線母材１３Ａでは、絶縁被覆１３ｂの先端部が連結部１３ｃとなっていたが、この図７に示す第２の構成例の信号線母材１３Ａは、複数の絶縁被覆１３ｂの先端部を、連結板１３ｄを介して一体に接続したものとなっている。そして、この構成の場合には、信号線母材１３Ａに関する分割ステップでは、連結板１３ｄをダイシングにより切断すれば足りる。
【００４６】
上述した図６と図７の構成の何れの場合にも、一本の絶縁被覆１３ｂの外径（図６の構成の場合には連結部１３ｃよりも基端側の絶縁被覆１３ｂの外径）は、ダイシングを行う際の所定の切断ピッチと等しいか、または小さくなるように構成されている。
【００４７】
次に、図８および図９を参照して、第３の例を説明する。ここに、図８は第３の例において圧電素子母材２１Ａに信号線母材１３Ａを接続してからダイシングする例を示す斜視図、図９は第３の例においてダイシングにより形成された配線済圧電素子を示す斜視図である。
【００４８】
上述した第１および第２の例は、信号伝達材料として配線材母材２２Ａを用い、あるいはさらに信号線母材１３Ａを用いたが、この第３の例は、信号伝達材料として信号線母材１３Ａを用いるが、配線材母材２２Ａは省略したものとなっている。
【００４９】
すなわち、接続ステップにより、圧電素子母材２１Ａには信号線母材１３Ａの芯線１３ａが上述したような半田１４Ａ等を用いて接続されるようになっている。そして、分割ステップにおいて、順次接続された圧電素子母材２１Ａ、半田１４Ａ、および信号線母材１３Ａでなる接続済材料をダイシングする。これにより、圧電素子２１と電気的に接続される信号伝達線である１つの信号線１３（あるいはさらに半田１４）を含む、図９に示すような配線済圧電素子が形成される。
【００５０】
続いて、図１０および図１１を参照して、配線済圧電素子のファイバ支持材２４およびアクチュエータベース２５への取り付け（固定ステップ）について説明する。ここに、図１０は配線済圧電素子の配線材２２をアクチュエータベース２５の溝２５ａに位置決めして配置することにより圧電素子２１がファイバ支持材２４に位置決めされる様子を示す斜視図、図１１は照射光ファイバ１１が挿通されたファイバ支持材２４およびアクチュエータベース２５の４つの側面に配線済圧電素子が位置決めして取り付けられた様子を示す斜視図である。
【００５１】
ファイバ支持材２４は、内部に照射光ファイバ１１を挿通するための挿通孔２４ａが形成された筒状の部材であり、フェルールとも呼ばれる。挿通孔２４ａに照射光ファイバ１１を挿通して固定することにより、ファイバ支持材２４は、入射端１１ｂと照射端１１ａとの間の少なくとも一部において照射光ファイバ１１を覆う状態となる。
【００５２】
ファイバ支持材２４は、図１０および図１１に示す例では、圧電素子２１との接触面積を広く確保するために、軸方向（以下、軸Ｏの方向を指す）に沿った（つまり、軸Ｏの方向に平行な）四角柱状の外側面を有する角筒形状に形成されている。そして、挿通孔２４ａ内に照射光ファイバ１１が挿通されて、照射光ファイバ１１の照射端１１ａがファイバ支持材２４の先端面から所定量だけ延出した位置において、ファイバ支持材２４は照射光ファイバ１１に対して固定されている。
【００５３】
アクチュエータベース２５は、軸方向の挿通孔２５ｂを備える例えば略円筒形状の保持部材であり、挿通孔２５ｂにファイバ支持材２４が挿通されて一体的に固定されている。従って、入射端１１ｂと照射端１１ａとの間に配置されたアクチュエータベース２５は、ファイバ支持材２４を介して照射光ファイバ１１を保持する。また、アクチュエータベース２５は、外周側において走査型内視鏡２の図示しないハウジングに固定されるようになっている。
【００５４】
さらに、アクチュエータベース２５の外周面の４等分位置（ファイバ支持材２４の４つの外側面に各対応する位置）には、軸方向に沿った溝２５ａが４つ形成されている。これらの溝２５ａは、配線材２２の幅（ひいては、ダイシングの際の切断ピッチ）と同一の幅（配線材２２を隙間なく嵌めることができる幅）に形成され、さらに、アクチュエータベース２５の先端面において、圧電素子２１の厚みに相当する段差をファイバ支持材２４の外側面との間に有している。
【００５５】
このような構成のファイバ支持材２４およびアクチュエータベース２５に対して、固定ステップにより、配線材２２を溝２５ａに嵌め込んでから、配線済圧電素子を接着剤等を用いて固定すると、圧電素子２１が軸Ｏに交差する方向（例えば、軸Ｏに直交する方向：具体的には圧電素子２１の幅方向）に位置決めされてファイバ支持材２４の外側面に対して固定される。
【００５６】
このような取り付け作業（固定ステップ）を４箇所に対して行うことにより、図１１に示すように、４つの圧電素子２１がファイバ支持材の４つの外側面にそれぞれ固定されて、４つの配線済圧電素子が取り付けられる。
【００５７】
次に、図１２は、配線材２２を位置決めするための軸方向の貫通孔２５ａ’がアクチュエータベース２５に設けられている例を示す斜視図である。
【００５８】
上述した図１０および図１１に示した例では、保持部材であるアクチュエータベース２５における位置決め用の構造を溝２５ａとしたが、この図１２に示す例は、溝２５ａに代えて貫通孔２５ａ’としたものとなっている。
【００５９】
すなわち、アクチュエータベース２５には、挿通孔２５ｂが設けられていると共に、中心軸Ｏ周りの４等分位置（ファイバ支持材２４の４つの外側面に各対応する位置）に、軸方向の貫通孔２５ａ’が４つ設けられている。これらの貫通孔２５ａ’は、配線材２２の幅と同一の幅（配線材２２を幅方向の隙間なく挿通することができる孔形状）に形成されている。
【００６０】
なお、貫通孔２５ａ’の高さは、例えば図３に示したような配線済圧電素子の配線材２２を先端側から基端側へ向けて挿通した後に、貫通孔２５ａ’の基端側から延出される配線材２２の基端部に信号線１３を半田付けする場合には、配線材２２の高さと同一の高さ（配線材２２を高さ方向にも隙間なく挿通することができる孔形状）に形成することができる。
【００６１】
一方、例えば図５に示したような配線済圧電素子の配線材２２を基端側から先端側へ向けて挿通する場合には、貫通孔２５ａ’の高さを、圧電素子２１の高さに配線材２２の高さを加算した高さ（あるいはさらに半田１４の最高点の高さを加算した高さ）以上の高さ（配線済圧電素子における必要部分を挿通することができる孔形状）に形成する必要がある。
【００６２】
また、貫通孔２５ａ’が、さらに、アクチュエータベース２５の先端面において、圧電素子２１の厚みに相当する段差をファイバ支持材２４の外側面との間に有しているのは、上述した溝２５ａの場合と同様である。
【００６３】
このような構成のアクチュエータベース２５およびファイバ支持材２４に対して、配線材２２の基端側を貫通孔２５ａ’に挿通してから配線済圧電素子を接着剤等を用いて固定すると、圧電素子２１の軸Ｏに交差する方向（上述したように、具体的には圧電素子２１の幅方向）が位置決めされる。
【００６４】
また、図１３は、ファイバ支持材２４を円筒形状に構成して圧電素子２１を固定する例を示す斜視図である。
【００６５】
図１０〜図１２に示した例においては、ファイバ支持材２４を角筒形状に構成したが、例えばこの図１３に示すような円筒形状のファイバ支持材２４’として構成しても構わない。このように、２組の圧電素子２１の振動の組み合わせによって、照射光ファイバ１１の先端を、軸方向に垂直な面内の所望の位置に移動することが可能であれば、ファイバ支持材２４の形状は特定の形状に限定されるものではない。
【００６６】
さらに、ファイバ支持材２４を用いるに限定されるものでもなく、照射光ファイバ１１をアクチュエータベース２５の挿通孔２５ｂに直接挿通して固定した上で、アクチュエータベース２５の溝２５ａや貫通孔２５ａ’に配線材２２を位置決めして、照射光ファイバ１１の側面に圧電素子２１を直接固定するようにしても構わない。
【００６７】
こうして、配線済圧電素子の圧電素子２１は、固定ステップにより、アクチュエータベース２５に直接（ファイバ支持材２４を省略する場合）または間接（ファイバ支持材２４を用いる場合）に保持された照射光ファイバ１１の側面に圧電素子２１の主面が沿うように固定される。具体的には、圧電素子２１の主面（裏表２面ある内の一方の主面）が、照射光ファイバ１１の表面、あるいはファイバ支持材２４の表面に固定される。
【００６８】
ただし、ファイバ支持材２４を角筒形状や円筒形状などの適宜の形状に形成したとしても、アクチュエータベース２５の溝２５ａや貫通孔２５ａ’は平面によって配線材２２を受ける形状とすることが好ましい（特に、図２〜図５、図７、および後述する図１８〜図１９、図２１〜図２２などの構成において、配線材２２としてフレキシブルプリント基板を用いる場合）。
【００６９】
フレキシブルプリント基板は、基板面に交差する方向（例えば、基板面の法線ベクトルの方向）には柔軟な屈曲性を有しているが、基板面内の方向（基板面の法線ベクトルに直交する２つのベクトルの方向）には屈曲し難い。
【００７０】
従って、例えば溝２５ａの底面を円筒面の一部をなす形状に形成すると、アクチュエータベース２５よりも基端側に延出されるフレキシブルプリント基板は円筒面に沿ったカーブをもつことになるが、このような形状の場合にはフレキシブルプリント基板の柔軟な屈曲性が損なわれることになり、ひいては走査型内視鏡２の先端部付近の柔軟な屈曲性が損なわれてしまうことになるためである。
【００７１】
こうして、アクチュエータベース２５の溝２５ａや貫通孔２５ａ’を平面によって配線材２２を受ける形状に構成することにより、フレキシブルプリント基板として構成された配線材２２の引回しの自由度を向上して、接続点の信頼性を向上ことができる。
【００７２】
次に、図１４は、アクチュエータベース２５の溝２５ａから基端側に延出された配線材２２の基端部２２ａに信号線１３との半田付け部分が位置する例を示す断面図である。
【００７３】
図示のように、配線材２２の基端部２２ａはアクチュエータベース２５の溝２５ａから基端方向へ延出されている。そして、配線材２２の基端部２２ａと信号線１３の芯線１３ａとの半田１４による半田付け部分は、保持部材であるアクチュエータベース２５の基端面２５ｃよりも基端側に延出したところに位置している。ここに、半田１４は、第２の例などに示したようなダイシングの前に半田付けされたものでも良い。
【００７４】
あるいは、第１の例などに示したようなダイシングの後に半田付けされたものでも構わない。ダイシングの後に半田付けを行う場合には、固定ステップにより圧電素子２１が固定された配線済圧電素子の、分割済信号伝達板である配線材２２の第１辺に対して、信号線１３を電気的に接続する第４接続ステップをさらに有することになる。
【００７５】
続いて、図１５は、配線材２２の基端部２２ａに対する信号線１３の半田付け部分が、アクチュエータベース２５の溝２５ａ内に位置する例を示す断面図である。
【００７６】
この図１５に示す例では、配線材２２の基端部２２ａは、溝２５ａ内に止まっており、溝２５ａから基端側へ延出することはない。従って、信号伝達板である配線材２２の入射端１１ｂ側の端面は、アクチュエータベース２５の入射端１１ｂ側の端面（基端面２５ｃ）よりも照射端１１ａ側にあり、配線材２２の少なくとも一部は、溝２５ａ（あるいは、図１２に示したような貫通孔２５ａ’であっても良い）に配置されている。
【００７７】
信号線１３は、アクチュエータベース２５の入射端１１ｂ側の端面（基端面２５ｃ）よりも照射端１１ａ側において、信号伝達板である配線材２２に接続されていて、信号線１３の照射端１１ａ側の端面も、溝２５ａ内まで入り込んでいる。
【００７８】
そして、絶縁被覆１３ｂの先端１３ｂ１はアクチュエータベース２５の基端面２５ｃよりも先端側に位置するように溝２５ａ内に入り込んでおり、絶縁被覆１３ｂから先端側に延出する芯線１３ａと、半田１４による配線材２２との接続部分は、溝２５ａ内に位置した状態で、例えば絶縁性の接着剤１５により封止されている。
【００７９】
この図１５に示すような構成を採用することにより、４箇所ある信号線１３と配線材２２との接続部分が、互いに短絡するのを確実に防止することが可能となっている。
【００８０】
さらに、図１６は、フレキシブルプリント基板として構成された配線材２２ｆの基端部に対する信号線１３の半田付け部分が、アクチュエータベース２５の溝２５ａ内に位置する例を示す断面図、図１７は、圧電素子２１に接続されているフレキシブルプリント基板の構成例を示す平面図である。
【００８１】
上述した図１４および図１５に示した構成は、配線材２２が例えば金属板として構成されていることを想定していた。これに対して、この図１６に示す構成は、金属板に代えて、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）として構成された配線材２２ｆを採用したものとなっている。
【００８２】
なお、フレキシブルプリント基板は、絶縁性をもった薄く柔らかいベースフィルム上に電気回路を形成したものであるが、走査型内視鏡２の走査部６に用いる配線材２２ｆは大きさが小さいために、ベースフィルムの両面に電気回路を形成して両面の電気回路を導通させるのは困難である。そこで、この図１６に示す例では、配線材２２ｆの圧電素子２１に接続される面のみに電気回路を形成して、信号線１３の芯線１３ａと電気的に接続する構成を採用している。
【００８３】
具体的に、図１７に示すように、配線材２２ｆの圧電素子２１に対向する面には、プリント配線として、圧電素子２１と接続するための接続端子２２ｐ１と、信号線１３の芯線１３ａと接続するための接続端子２２ｐ３とを、電気伝導線２２ｐ２により結んだ電気回路である電極パターン２２ｐが構成されている。
【００８４】
また、芯線１３ａと配線材２２ｆとを接続した後に、その接続部分が接着剤１５により封止されているのは、図１５に示した例と同様である。
【００８５】
そして、図１４に示した構成は、最大面積の主面の方向に屈曲し難い配線材２２が、保持部材であるアクチュエータベース２５の基端面２５ｃから基端側に突出しているのに対して、図１６に示す構成（図１５に示す構成もほぼ同様である）は、配線材２２が基端面２５ｃから突出していないために、図１６において楕円の点線で囲んだ部分から基端側には、信号線１３は比較的柔軟に屈曲し得る。また、照射光ファイバ１１もファイバ支持材２４から延出された部分では柔軟に湾曲することができる。こうして、図１６（あるいは図１５）に示す構成の走査型内視鏡２は、楕円の点線で囲んだ部分付近から（つまり、図１４に示した構成よりも先端側の位置から）、軸Ｏに交差する任意の方向に柔軟に曲がることができる構造となっている。
【００８６】
次に、図１８〜図２０を参照して、第４の例を説明する。ここに、図１８は第４の例において圧電素子母材２１Ａに接続されている配線材母材２２Ａに位置決め用孔２２ｈが形成されている例を示す平面図、図１９は第４の例においてダイシングにより形成された配線済圧電素子を示す平面図、図２０は第４の例において配線材２２に形成された凹部２２ｇを係合するための凸条２５ｇ（従って、凸条２５ｇは、凹部２２ｇが係合する凸部である）がアクチュエータベース２５の溝２５ａ内の側面に形成されている様子を示す平面図である。
【００８７】
この第４の例は、配線済圧電素子の軸方向の位置決めを行うための形状部を配線材２２およびアクチュエータベース２５に設けたものとなっている。
【００８８】
すなわち、配線材母材２２Ａには、ダイシングされる切断線（点線で示す線）上のそれぞれに位置するように、例えば矩形の位置決め用孔２２ｈが複数設けられている（図１８参照）。そして、分割ステップにおいて、各位置決め用孔２２ｈの中央を通過するようにダイシングが行われる。
【００８９】
これにより、図１９に示すように、配線材２２の両側面における軸方向の所定位置に、位置決め用の凹部２２ｇが形成される。
【００９０】
従って、信号伝達板である配線材２２は、少なくとも一部（凹部２２ｇを除く部分であり、上述したダイシングソー２３により切断された部分）の幅が、圧電素子２１の幅と等しいことになる。この配線材２２と圧電素子２１の幅が等しい部分において、配線材２２の側面と圧電素子２１の側面は、同一面を構成するように配置されることになる。こうして、配線材２２と圧電素子２１とには、軸方向に垂直な方向の位置ずれは生じない。
【００９１】
一方、保持部材であるアクチュエータベース２５の溝２５ａ内の側面には、図２０に示すような凸条２５ｇが形成されている。この凸条２５ｇの軸方向の幅は、凹部２２ｇの軸方向の幅と同じ（つまり、軸方向に隙間なく係合する幅）に構成されている。そして、凹部２２ｇと凸条２５ｇとが係合するように配線済圧電素子の配線材２２をアクチュエータベース２５に組み付けることで、圧電素子２１の軸方向の位置決めが行われる。また、圧電素子２１の軸方向に交差する方向の位置決めが、溝２５ａの幅と配線材２２の幅とに基づき行われるのは、上述した第１〜第３の例と同様である。
【００９２】
続いて、図２１および図２２を参照して、第５の例を説明する。ここに、図２１は第５の例においてダイシングの前に圧電素子母材２１Ａと位置決め用孔２２ｈが形成されている配線材母材２２Ａと信号線母材１３Ａとを接続する例を示す平面図、図２２は第５の例においてダイシングにより形成された配線済圧電素子を照射光ファイバ１１が挿通されたファイバ支持材２４およびアクチュエータベース２５に対して、配線材２２の凹部２２ｇとアクチュエータベース２５の溝２５ａ内の凸条２５ｇとを係合させながら取り付ける様子を示す図である。
【００９３】
第４の例は信号線１３を配線材２２に接続する前にダイシングを行う例であったが、この第５の例は、図２１に示すように、接続ステップによって信号線母材１３Ａを配線材母材２２Ａに接続した後に、分割ステップによるダイシングを行う例となっている。
【００９４】
従って、ダイシング後の配線済圧電素子には信号線１３が既に接続されており、図２２に示すように、信号線１３が接続された状態の配線材２２を、凹部２２ｇと凸条２５ｇとが係合するようにアクチュエータベース２５に組み付けることになる。
【００９５】
なお、上述では配線材２２に用いるプリント基板としてフレキシブルプリント基板を想定したが、これに限定されるものではなく、例えばリジッド基板（リジッドプリント基板）であっても構わない。
【００９６】
このような実施形態１によれば、圧電素子２１と配線材２２、あるいは圧電素子２１と配線材２２と信号線１３、さらにあるいは圧電素子２１と信号線１３を接続して配線済圧電素子を構成する作業を、複数の配線済圧電素子に対して一括して実施することができるために、位置決めおよび接続に要する作業工数を短縮し、生産性を向上することができる。
【００９７】
また、切断を平面により行う場合には、圧電素子２１と配線材２２、圧電素子２１と配線材２２と信号線１３、圧電素子２１と信号線１３の何れの組み合わせについても、軸Ｏに垂直な方向における接続位置のずれが生じることはなく、均一化した製品を生産することができる。
【００９８】
さらに、圧電素子２１と配線材２２を同一平面により切断する場合には、配線済圧電素子を用いて走査型内視鏡２の組み立てを行う際に、切断により配線材２２に形成された平面を配線済圧電素子の位置決めに利用することが可能となり、組立時に位置決め作業を簡単にすることができる。具体的には、切断により配線材２２に形成された平面を基準として位置決めすることにより、接着剤等を用いて圧電素子２１を固定する際に、圧電素子２１を保持することなく、軸方向に交差する方向の位置決めを容易に行うことができる。
【００９９】
そして、配線材母材２２Ａと信号線母材１３Ａとの少なくとも一方と、圧電素子母材２１Ａと、を接続してから切断しているために、切断された複数の配線済圧電素子の何れもが、軸方向の接続位置が統一されたものとなり、個体毎のばらつきを抑制することができる。
【０１００】
圧電素子２１は、振動の発生源であって、圧電素子２１上のどの位置に信号線１３を接続するかに応じて発生する振動が変化してしまうために、圧電素子２１に対して信号線１３を直接接続する場合には、接続位置を高精度に決定する必要がある。これに対して、本実施形態によれば、平面状の信号線母材１３Ａを平面状の圧電素子母材２１Ａに対し一括して接続することができるために、個体毎のばらつき抑制だけでなく、高精度な接続位置の決定も容易に行うことができる。
【０１０１】
こうして、圧電素子２１の正確な位置決めを簡単に行うことができ、生産性も高くすることができる。
【０１０２】
一方、圧電素子２１と信号線１３とを、直接接続するのに代えて、配線材２２を介して接続する場合には、信号線１３の接続位置が圧電素子２１の振動に直接の影響を与えないために、信号線１３の接続位置を高精度に調整する必要がなくなる利点がある。
【０１０３】
さらに、信号線１３の絶縁被覆１３ｂがアクチュエータベース２５の先端側から基端側までの間の溝２５ａ内に入り込んだ状態となっていて、芯線１３ａと配線材２２とが半田１４により電気的に接続されているために、複数の配線材２２間の短絡を防止することができる。このとき、接続部分を絶縁性の接着剤１５で封止することにより、短絡の防止をより確実にすることができる。
【０１０４】
そして、図１５および図１６に示した構成は、図１４に示した構成に比べて、配線材２２がアクチュエータベース２５の基端面２５ｃから基端側に突出していないために、より高い屈曲性を確保することができる。
【０１０５】
加えて、図１８〜図２２に示したような構成によれば、凹部２２ｇと溝２５ａ内の凸条２５ｇとを係合して配線材２２をアクチュエータベース２５に組み付けることにより、ファイバ支持材２４に対する圧電素子２１の軸方向の位置決めも容易に行うことができる。
【０１０６】
また、ファイバ支持材２４の外側面を四角柱状に形成することで、圧電素子２１の固定をより強固に行うことが可能となり、耐久性および信頼性の高い構成で、照射光ファイバ１１を駆動することが可能となる。
【０１０７】
こうして、走査型内視鏡２が小型化、細径化されて、圧電素子２１および信号伝達線が微細化した場合でも、圧電素子２１と信号伝達線との接続が平面で行われるために、４つの圧電素子２１をファイバ支持材２４等の４面に組み付けた状態で圧電素子２１と信号伝達線との接続を立体的に行う場合よりも高い精度を容易に確保することができ、製造された走査型内視鏡２の信頼性を向上し、製造時のスループットも向上することができる。
【０１０８】
なお、本発明は上述した実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化することができる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明の態様を形成することができる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。このように、発明の主旨を逸脱しない範囲内において種々の変形や応用が可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【０１０９】
１…走査型内視鏡装置
２…走査型内視鏡
３…光源部
４…被検体
５…信号光検出部
６…走査部
７…駆動信号生成部
７ａ…入力端子
８…制御部
９…表示部
１１…照射光ファイバ
１１ａ…照射端
１１ｂ…入射端
１２…受光用光ファイバ
１３Ａ…信号線母材
１３…信号線
１３ａ…芯線
１３ｂ…絶縁被覆
１３ｂ１…先端
１３ｃ…連結部
１３ｄ…連結板
１４Ａ，１４…半田
１５…接着剤
２１Ａ…圧電素子母材
２１…圧電素子
２２Ａ…配線材母材
２２，２２ｆ…配線材
２２ａ…基端部
２２ｇ…凹部
２２ｈ…位置決め用孔
２２ｐ…電極パターン
２２ｐ１…接続端子
２２ｐ２…電気伝導線
２２ｐ３…接続端子
２３…ダイシングソー
２４，２４’…ファイバ支持材
２４ａ…挿通孔
２５…アクチュエータベース
２５ａ…溝
２５ａ’…貫通孔
２５ｂ…挿通孔
２５ｃ…基端面
２５ｇ…凸条
Ｏ…軸
【図１】
2018068955.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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