(57)【要約】【課題】端子の断線防止と、アクチュエータ基板と配線基板との接着強度の向上とを、共に実現する。【解決手段】ヘッド１は、共通接点１２ｇを有する流路基板と、共通接点１２ｇと電気的に接続される共通配線１８ｇを有するＣＯＦ１８とを含む。ＣＯＦ１８は、共通接点１２ｇと共通配線１８ｇとが対向した状態で、接着剤を介して流路基板に接着されている。共通配線１８ｇは、共通接点１２ｇとの接着領域１８Ａｇに、互いに離隔した５つの端子１８ｇ１と、５つの端子１８ｇ１と連結された基部１８ｇ２とを有する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接点を有するアクチュエータ基板と、
前記接点と電気的に接続される配線を有し、前記接点と前記配線とが対向した状態で接着剤を介して前記アクチュエータ基板に接着された配線基板とを備え、
前記配線は、前記接点と前記配線との接着領域に、互いに離隔した複数の端子と、前記複数の端子と連結された基部とを有することを特徴とするアクチュエータ装置。
【請求項２】
前記複数の端子は、前記配線基板が前記アクチュエータ基板から引き出される引出方向と交差する方向に、互いに離隔しており、
前記基部は、前記複数の端子に対して前記引出方向の下流側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ装置。
【請求項３】
前記複数の端子は、前記接着領域における前記引出方向の最も上流側に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ装置。
【請求項４】
前記基部は、前記複数の端子に対して前記引出方向の下流側及び上流側のそれぞれに設けられていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ装置。
【請求項５】
前記接点は、前記接着領域に、前記配線に近づく方向に突出した凸部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のアクチュエータ装置。
【請求項６】
前記複数の端子と対向する位置に、前記凸部が設けられていることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ装置。
【請求項７】
前記基部と対向する位置に、前記凸部がさらに設けられていることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ装置。
【請求項８】
前記複数の端子と対向する位置に設けられた前記凸部と、前記基部と対向する位置に設けられた前記凸部とが、互いに離隔していることを特徴とする請求項７に記載のアクチュエータ装置。
【請求項９】
前記複数の端子と対向する位置に設けられた複数の前記凸部が、それぞれ、前記複数の端子が互いに離隔した離隔方向に沿って、前記複数の端子に亘って延在していることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載のアクチュエータ装置。
【請求項１０】
前記複数の端子と対向する位置に設けられた複数の前記凸部が、それぞれ、前記複数の端子が互いに離隔した離隔方向及び前記複数の端子のそれぞれが延在する延在方向の両方と交差する交差方向に沿って、前記複数の端子に亘って延在していることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載のアクチュエータ装置。
【請求項１１】
複数の前記凸部が、前記複数の端子が互いに離隔した離隔方向に沿った複数の行及び前記複数の端子のそれぞれが延在する延在方向に沿った複数の列を形成するように、マトリクス状に点在していることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載のアクチュエータ装置。
【請求項１２】
前記接点における前記複数の端子の間の空間と対向する部分に、空隙が設けられており、
前記接着剤は、前記空間及び前記空隙に充填されていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載のアクチュエータ装置。
【請求項１３】
前記複数の端子の、前記複数の端子が互いに離隔した離隔方向の長さは、前記複数の端子のそれぞれが延在する延在方向の長さよりも長いことを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載のアクチュエータ装置。
【請求項１４】
前記基部の、前記複数の端子のそれぞれが延在する延在方向の長さは、前記複数の端子の前記延在方向の長さよりも短いことを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項に記載のアクチュエータ装置。
【請求項１５】
前記基部の、前記複数の端子が互いに離隔した離隔方向の長さは、前記複数の端子の前記離隔方向の長さよりも長いことを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載のアクチュエータ装置。
【請求項１６】
前記アクチュエータ基板は、前記接点に該当する共通接点と、複数の個別接点とを有し、
前記配線基板は、前記配線に該当する共通配線と、前記複数の個別接点のそれぞれと電気的に接続される複数の個別配線とを有し、
前記共通接点と前記共通配線との接着領域は、前記複数の個別接点と前記複数の個別配線とのそれぞれの接着領域よりも、面積が大きいことを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項に記載のアクチュエータ装置。
【請求項１７】
前記共通配線における前記複数の端子が互いに離隔した離隔方向と、前記複数の個別配線が配列された配列方向とは、互いに同じであり、
前記共通配線における前記複数の端子同士の前記離隔方向の間隔と、前記複数の個別配線同士の前記配列方向の間隔とが、互いに同じであることを特徴とする請求項１６に記載のアクチュエータ装置。
【請求項１８】
前記配線基板は、前記配線が設けられた部分に、折り曲げられた屈曲部を有し、
前記屈曲部の前記配線にスリットが設けられていることを特徴とする請求項１〜１７のいずれか１項に記載のアクチュエータ装置。
【請求項１９】
前記屈曲部が、前記接着領域に設けられていることを特徴とする請求項１８に記載のアクチュエータ装置。
【請求項２０】
前記接着剤は、異方性導電フィルムからなることを特徴とする請求項１〜１９のいずれか１項に記載のアクチュエータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接点を有するアクチュエータ基板と接点と電気的に接続される配線を有する配線基板とを備えたアクチュエータ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
アクチュエータ装置において、配線基板の配線の、接点と配線との接着領域に、互いに離隔した複数の端子を設ける技術が知られている。例えば、特許文献１（図６）では、配線部材の配線端子部（配線）に、複数の端子が設けられている。この場合、複数の端子の間に接着剤が入り込むことで、アクチュエータ基板と配線基板との接着強度が向上する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−２０２９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の構成では、複数の端子において接触抵抗にばらつきが生じた場合、接触抵抗が小さい端子に電流が集中し、当該端子が断線し得る。
【０００５】
本発明の目的は、端子の断線防止と、アクチュエータ基板と配線基板との接着強度の向上とを、共に実現することが可能なアクチュエータ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るアクチュエータ装置は、接点を有するアクチュエータ基板と、前記接点と電気的に接続される配線を有し、前記接点と前記配線とが対向した状態で接着剤を介して前記アクチュエータ基板に接着された配線基板とを備え、前記配線は、前記接点と前記配線との接着領域に、互いに離隔した複数の端子と、前記複数の端子と連結された基部とを有することを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の概略的な平面図である。
【図２】ヘッド１の平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】図２の領域Ｖにおけるアクチュエータ１２の接点１２ｆ，１２ｇとＣＯＦ１８の配線１８ｆ，１８ｇとの接続構成を示す図（ＣＯＦ１８の展開図）である。
【図６】図５の領域ＶＩを示す図である。
【図７】（ａ）は、図６のＶＩＩＡ−ＶＩＩＡ線に沿った断面図である。（ｂ）は、図６のＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ線に沿った断面図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１の図６に対応する図である。
【図９】本発明の第３実施形態に係るヘッド３０１の図６に対応する図である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係るヘッド４０１の図６に対応する図である。
【図１１】本発明の第５実施形態に係るヘッド５０１の図６に対応する図である。
【図１２】本発明の第６実施形態に係るヘッド６０１の図６に対応する図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を含むヘッドユニット１ｘを備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。ヘッド１は、本発明のアクチュエータ装置に該当する。プリンタ１００は、ヘッドユニット１ｘの他、プラテン３、搬送機構４及び制御装置５を備えている。
【０００９】
ヘッドユニット１ｘは、ライン式（即ち、位置が固定された状態で用紙９に対してインクを吐出する方式）であり、搬送方向と直交する方向に長尺である。ヘッドユニット１ｘは、搬送方向と直交する方向に沿って千鳥状に配置された４つのヘッド１を含む。４つのヘッド１は、互いに同じ構造を有する。各ヘッド１は、複数のノズル１１ｎ（図２及び図３参照）からインクを吐出する。
【００１０】
プラテン３は、ヘッドユニット１ｘの下方に配置されている。プラテン３に支持された用紙９上に、各ヘッド１からインクが吐出される。
【００１１】
搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。搬送モータ４ｍの駆動により、各ローラ対４ａ，４ｂを構成する２つのローラが用紙９を挟持した状態で互いに逆方向に回転することで、用紙９が搬送方向に搬送される。
【００１２】
制御装置５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令に基づいて、用紙９に画像が記録されるように、４つのヘッド１、搬送モータ４ｍ等を制御する。
【００１３】
次いで、図２〜図４を参照し、ヘッド１の構成について説明する。ヘッド１は、流路基板１１、アクチュエータ１２及びＣＯＦ１８を有する。流路基板１１は本発明のアクチュエータ基板に該当し、ＣＯＦ１８は本発明の配線基板に該当する。
【００１４】
流路基板１１は、図３に示すように、リザーバ部材１１ａ、圧力室プレート１１ｂ及びノズルプレート１１ｃを有し、これらが互いに接着されて構成されている。流路基板１１には、図２及び図３に示すように、リザーバ１１ｓ、複数の圧力室１１ｍ及び複数のノズル１１ｎが形成されている。
【００１５】
圧力室プレート１１ｂは、シリコン単結晶基板からなり、図３に示すように、複数の圧力室１１ｍが貫通して形成されている。複数の圧力室１１ｍは、図２に示すように、２つの圧力室列１１ｍＲを構成するように配列されている。各圧力室列１１ｍＲを構成する複数の圧力室１１ｍは、配列方向（搬送方向と直交する方向）に等間隔で配列されている。２つの圧力室列１１ｍＲは、配列方向と直交する方向（搬送方向と平行な方向）に並んでいる。複数の圧力室１１ｍは、それぞれ配列方向の位置が異なるように、千鳥状に配列されている。
【００１６】
ノズルプレート１１ｃは、図３に示すように、複数の圧力室１１ｍのそれぞれと連通する複数のノズル１１ｎが貫通して形成されており、圧力室プレート１１ｂの下面に接着されている。複数のノズル１１ｎは、図２に示すように、複数の圧力室１１ｍと同様、２列に配列されると共に、それぞれ配列方向の位置が異なるように、千鳥状に配列されている。
【００１７】
アクチュエータ１２は、図３に示すように、圧力室プレート１１ｂの上面に配置されている。アクチュエータ１２は、下から順に、振動板１２ａ、共通電極１２ｂ、一対の圧電体１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄを含む。
【００１８】
振動板１２ａは、圧力室プレート１１ｂを構成するシリコン単結晶基板の表面を酸化することにより形成された二酸化シリコンの膜であり、圧力室プレート１１ｂの上面の略全体に形成されている。共通電極１２ｂは、複数の圧力室１１ｍに共通の電極であり、振動板１２ａの上面の略全体に形成されている。一対の圧電体１２ｃは、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料からなり、共通電極１２ｂの上面において、それぞれ、配列方向に延在し、各圧力室列１１ｍＲを構成する複数の圧力室１１ｍを覆っている。複数の個別電極１２ｄは、各圧電体１２ｃの上面において、複数の圧力室１１ｍのそれぞれと対向する位置に配置されている。
【００１９】
圧電体１２ｃにおいて個別電極１２ｄと共通電極１２ｂとで挟まれた部分は、個別電極１２ｄへの電圧の印加に応じて変形可能な活性部１２ｘとして機能する。即ち、アクチュエータ１２は、圧力室１１ｍと対向する複数の活性部１２ｘを有する。圧力室１１ｍと対向する活性部１２ｘの駆動（即ち、個別電極１２ｄへの電圧の印加に応じて活性部１２ｘを（例えば、圧力室１１ｍに向かって凸となるように）変形させること）により、圧力室１１ｍの容積が変化し、圧力室１１ｍ内のインクに圧力が付与され、ノズル１１ｎからインクが吐出される。
【００２０】
アクチュエータ１２には、さらに、圧電体保護膜１２ｈ、層間絶縁膜１２ｉ、複数の配線１２ｅ及び配線保護膜１２ｊが設けられている。
【００２１】
圧電体保護膜１２ｈは、空気中の水分の圧電体１２ｃへの浸入を防止する機能を有し、一対の圧電体１２ｃを覆っている。圧電体保護膜１２ｈは、例えば酸化アルミニウム（アルミナ：Ａｌ2Ｏ3）等からなる。なお、活性部１２ｘの駆動を阻害しないよう、圧電体保護膜１２ｈは各個別電極１２ｄの周縁部のみを覆っており、各個別電極１２ｄの中央部は圧電体保護膜１２ｈから露出している。
【００２２】
層間絶縁膜１２ｉは、配線１２ｅと共通電極１２ｂとの間の絶縁性を高める機能を有し、圧電体保護膜１２ｈと配線１２ｅとの間に設けられている。層間絶縁膜１２ｉは、例えば二酸化シリコン（ＳｉＯ2）等からなる。
【００２３】
複数の配線１２ｅは、層間絶縁膜１２ｉの上面に形成されており、圧電体保護膜１２ｈ及び層間絶縁膜１２ｉを貫通する貫通孔Ｂに入り込むことで、複数の個別電極１２ｄのそれぞれと電気的に接続されている。
【００２４】
複数の配線１２ｅは、図２に示すように、それぞれ、搬送方向（ＣＯＦ１８が流路基板１１から引き出される引出方向）の下流側に引き出され、圧力室プレート１１ｂにおいてリザーバ部材１１ａに覆われていない部分まで延びている。各配線１２ｅの引出方向の下流端には、個別接点１２ｆが形成されている。複数の個別接点１２ｆは、互いに同じ形状及びサイズを有し、配列方向に等間隔で配列されている。
【００２５】
層間絶縁膜１２ｉの上面には、さらに、複数の個別接点１２ｆを配列方向に挟むように、一対の共通接点１２ｇが設けられている。一対の共通接点１２ｇは、層間絶縁膜１２ｉ及び圧電体保護膜１２ｈを貫通する貫通孔Ｃ（図４参照）に入り込むことで、共通電極１２ｂと電気的に接続されている。各共通接点１２ｇの幅（配列方向の長さ）は各個別接点１２ｆの幅よりも大きく、各共通接点１２ｇの面積は各個別接点１２ｆの面積よりも大きい。
【００２６】
配線保護膜１２ｊは、複数の配線１２ｅ間の絶縁性を高める機能を有し、複数の配線１２ｅを覆うように、層間絶縁膜１２ｉの上面に設けられている。配線保護膜１２ｊは、例えば窒化シリコン（ＳｉＮｘ）等からなる。なお、接点１２ｆ，１２ｇは、配線保護膜１２ｊに覆われていない。
【００２７】
リザーバ部材１１ａには、図３に示すように、リザーバ１１ｓ、リザーバ１１ｓと複数の圧力室１１ｍのそれぞれとを連通させる複数の連通流路１１ｔ、及び、それぞれ配列方向に延在する一対の凹部１１ａｘが形成されている。リザーバ部材１１ａは、一対の凹部１１ａｘ内に一対の圧電体１２ｃがそれぞれ収容されるように、圧力室プレート１１ｂの上面にアクチュエータ１２を介して接着されている。アクチュエータ１２において複数の連通流路１１ｔと対向する部分には、複数の貫通孔１２ｙがそれぞれ形成されている。
【００２８】
リザーバ１１ｓは、チューブ等を介して、インクを貯留するタンクと連通している。タンク内のインクは、ポンプ（図示略）の駆動によりリザーバ１１ｓに供給され、複数の連通流路１１ｔ及び複数の貫通孔１２ｙを通って、各圧力室列１１ｍＲを構成する複数の圧力室１１ｍに供給される。
【００２９】
図２に示すように、各貫通孔１２ｙの周縁には、環状電極１２ｍ，１２ｎが設けられている。環状電極１２ｍは、図２の紙面左側の圧力室列１１ｍＲに対応する各貫通孔１２ｙを取り囲むと共に、当該圧力室列１１ｍＲを構成する各圧力室１１ｍと対向する個別電極１２ｄに接続された配線１２ｅと電気的に接続されている。一方、環状電極１２ｎは、図２の紙面右側の圧力室列１１ｍＲに対応する各貫通孔１２ｙを取り囲み、当該圧力室列１１ｍＲを構成する各圧力室１１ｍと対向する個別電極１２ｄに接続された配線１２ｅと電気的に接続されていない。
【００３０】
ＣＯＦ１８は、図３及び図４に示すように、ポリイミド等からなる絶縁性のシート１８ｂと、複数の個別接点１２ｆのそれぞれと電気的に接続される複数の個別配線１８ｆと、一対の共通接点１２ｇのそれぞれと電気的に接続される一対の共通配線１８ｇとを有する。個別配線１８ｆ及び共通配線１８ｇは、シート１８ｂの表面に設けられている。
【００３１】
ＣＯＦ１８の一端は、個別配線１８ｆ及び共通配線１８ｇが個別接点１２ｆ及び共通接点１２ｇのそれぞれと対向した状態で、接着剤（本実施形態では、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）：異方性導電フィルム）Ａを介して流路基板１１に接着されている。ＣＯＦ１８は、接点１２ｆ，１２ｇと配線１８ｆ，１８ｇとの接着領域１８Ａｆ，１８Ａｇの引出方向の下流端に、折り曲げられた屈曲部１８ｖを有し、屈曲部１８ｖから上方に延びている。ＣＯＦ１８の他端は、屈曲部１８ｖの上方にあり、制御装置５（図１参照）と電気的に接続されている。
【００３２】
屈曲部１８ｖには、配線１８ｆ，１８ｇが設けられている。配線１８ｆ，１８ｇのうち共通配線１８ｇの屈曲部１８ｖに該当する部分にはスリットＳが形成されており、屈曲部１８ｖが容易に形成できるようになっている。
【００３３】
ＣＯＦ１８の一端と他端との間には、ドライバＩＣ１９が実装されている。ドライバＩＣ１９は、配線１８ｆ，１８ｇを介して、接点１２ｆ，１２ｇ及び制御装置５のそれぞれと電気的に接続されている。ドライバＩＣ１９は、制御装置５からの信号に基づいて、活性部１２ｘを駆動するための駆動信号を生成し、当該駆動信号を各個別電極１２ｄに供給する。共通電極１２ｂの電位は、グランド電位に維持される。
【００３４】
次いで、図５〜図７を参照し、ＣＯＦ１８の配線１８ｆ，１８ｇ等の構成について具体的に説明する。
【００３５】
複数の個別配線１８ｆは、図５に示すように、互いに同じ形状及びサイズを有し、配列方向に等間隔（間隔Ｄ）で配列されている。各個別配線１８ｆは、各個別接点１２ｆよりも幅が若干小さく、各個別接点１２ｆの略中央に配置されると共に、各個別接点１２ｆから引出方向の上流側に延びている。
【００３６】
一対の共通配線１８ｇは、図２に示す一対の共通接点１２ｇと同様、複数の個別配線１８ｆを配列方向に挟む位置に設けられている。図５に示すように、各共通配線１８ｇの幅は各個別配線１８ｆの幅よりも大きく、各共通配線１８ｇの面積は各個別配線１８ｆの面積よりも大きい。各共通配線１８ｇと各共通接点１２ｇとの接着領域１８Ａｇは、各個別配線１８ｆと各個別接点１２ｆとの接着領域１８Ａｆよりも、面積が大きい。
【００３７】
各共通配線１８ｇは、接着領域１８Ａｇに、互いに離隔した５つの端子１８ｇ１と、５つの端子１８ｇ１と連結された基部１８ｇ２とを有する。換言すると、各共通配線１８ｇにおける接着領域１８Ａｇの部分は、櫛歯状であり、基部１８ｇ２と、基部１８ｇ２から引出方向の上流側に突出した５つの端子１８ｇ１とを有する。５つの端子１８ｇ１は、接着領域１８Ａｇにおける引出方向の最も上流側に設けられており、基部１８ｇ２は、接着領域１８Ａｇにおける引出方向の最も下流側で、５つの端子１８ｇ１に対して引出方向の下流側に設けられている。
【００３８】
５つの端子１８ｇ１は、配列方向に互いに離隔して等間隔（間隔Ｄ）で配列されている。端子１８ｇ１同士の配列方向の間隔と、個別配線１８ｆ同士の配列方向の間隔とは、互いに同じである。さらに、各端子１８ｇ１の幅は各個別配線１８ｆの幅と同じであり、端子１８ｇ１及び個別配線１８ｆは等間隔（間隔Ｄ）で配列方向に配列されている。
【００３９】
共通配線１８ｇの屈曲部１８ｖに該当する部分に設けられたスリットＳ（図４参照）は、基部１８ｇ２に形成されており、それぞれ基部１８ｇ２から引出方向の下流側に延びている。５つのスリットＳは、５つの端子１８ｇ１のそれぞれと引出方向に対向し、配列方向に等間隔に配置されている。
【００４０】
図６に示すように、５つの端子１８ｇ１の幅Ｗ１は、各端子１８ｇ１の引出方向の長さＬ１よりも長い（Ｗ１＞Ｌ１）。基部１８ｇ２の引出方向の長さＬ２は、各端子１８ｇ１の引出方向の長さＬ１よりも短い（Ｌ１＞Ｌ２）。基部１８ｇ２の幅Ｗ２は、５つの端子１８ｇ１の幅Ｗ１よりも長い（Ｗ２＞Ｗ１）。
【００４１】
各共通接点１２ｇにおいて、端子１８ｇ１間の空間と対向する部分に、空隙１２ｇｘが設けられている。空隙１２ｇｘは、平面視において、矩形状であり、端子１８ｇ１間の空間と形状及びサイズが略一致している。各共通配線１８ｇは、図７（ｂ）に示すように、空隙１２ｇｘと端子１８ｇ１間の空間Ｖとが対向するように、各共通接点１２ｇ上に配置されている。接着剤Ａが、空間Ｖ及び空隙１２ｇｘに充填されかつ共通配線１８ｇ及び共通接点１２ｇの周囲に配置されることで、各共通配線１８ｇと各共通接点１２ｇとが互いに接着されている。
【００４２】
また、各共通接点１２ｇは、図６及び図７に示すように、接着領域１８Ａｇに、共通配線１８ｇに近づく方向（即ち、上方）に突出した凸部Ｐ１，Ｐ２を有する。凸部Ｐ１は、各端子１８ｇ１と対向する位置に設けられており、引出方向に沿って延在している。凸部Ｐ２は、基部１８ｇ２と対向する位置に設けられており、配列方向に沿って延在している。各端子１８ｇ１と対向する位置に設けられた凸部Ｐ１と、基部１８ｇ２と対向する位置に設けられた凸部Ｐ２とは、互いに離隔している。
【００４３】
なお、凸部Ｐ１，Ｐ２は、図７に示すように、振動板１２ａにおいて凸部Ｐ１，Ｐ２に対応する部分が凸形状となっており、この振動板１２ａの上に共通電極１２ｂ、圧電体保護膜１２ｈ、層間絶縁膜１２ｉ及び共通接点１２ｇが順次積層されることで、形成されたものである。或いは、圧電体保護膜１２ｈの上面において共通接点１２ｇと対向する領域のうち凸部Ｐ１，Ｐ２と対向する領域にのみ層間絶縁膜１２ｉを形成し、この上に共通接点１２ｇを形成することにより、凸部Ｐ１，Ｐ２が形成されてもよい。
【００４４】
以上に述べたように、本実施形態によれば、共通配線１８ｇが、接着領域１８Ａｇに、互いに離隔した５つの端子１８ｇ１と、５つの端子１８ｇ１と連結された基部１８ｇ２とを有する（図６参照）。この場合、５つの端子１８ｇ１の間に接着剤Ａが入り込むこと（図７（ｂ）参照）により、流路基板１１とＣＯＦ１８との接着強度が向上する。また、５つの端子１８ｇ１と基部１８ｇ２との双方が共通接点１２ｇと接着されているため、５つの端子１８ｇ１において接触抵抗にばらつきが生じた場合でも、基部１８ｇ２に電流が分散され、接触抵抗が小さい端子１８ｇ１に電流が集中する事態を回避することができる。したがって、端子１８ｇ１の断線防止と、流路基板１１とＣＯＦ１８との接着強度の向上とを、共に実現することが可能である。
【００４５】
基部１８ｇ２は、５つの端子１８ｇ１に対して引出方向の下流側に設けられている（図６参照）。ＣＯＦ１８において、引出方向の下流側は、引出方向の上流側に比べ、屈曲等によって力が加わり易く、流路基板１１からの剥離が生じ易い。この点、上記構成によれば、基部１８ｇ２が引出方向の下流側に設けられているため、ＣＯＦ１８の流路基板１１からの剥離が防止される。
【００４６】
５つの端子１８ｇ１は、接着領域１８Ａｇにおける引出方向の最も上流側に設けられている（図６参照）。この場合、端子１８ｇ１間の空間が閉じておらず外部と連通しており、接着剤Ａが端子１８ｇ１間の空間に留まらず端子１８ｇ１間の空間から引出方向上流側に移動可能である。そのため、接着剤Ａの流動性が増し、流路基板１１とＣＯＦ１８との接着強度がより一層向上する。
【００４７】
共通接点１２ｇは、接着領域１８Ａｇに、共通配線１８ｇに近づく方向に突出した凸部Ｐ１，Ｐ２を有する（図６及び図７参照）。この場合、凸部Ｐ１，Ｐ２の周囲に接着剤Ａが入り込むことで、接着領域１８Ａｇにおける接着剤Ａの流動性が増し、流路基板１１とＣＯＦ１８との接着強度がより一層向上する。
【００４８】
５つの端子１８ｇ１と対向する位置に、凸部Ｐ１が設けられている（図６及び図７（ｂ）参照）。この場合、凸部Ｐ１の周囲に接着剤Ａが入り込むことで、端子１８ｇ１と対向する部分において接着剤Ａの流動性が増し、流路基板１１とＣＯＦ１８との接着強度がより一層向上する。
【００４９】
基部１８ｇ２と対向する位置に、凸部Ｐ２がさらに設けられている（図６及び図７（ａ）参照）。この場合、凸部Ｐ２の周囲に接着剤Ａが入り込むことで、基部１８ｇ２と対向する部分において接着剤Ａの流動性が増し、流路基板１１とＣＯＦ１８との接着強度がより一層向上する。
【００５０】
各端子１８ｇ１と対向する位置に設けられた凸部Ｐ１と、基部１８ｇ２と対向する位置に設けられた凸部Ｐ２とは、互いに離隔している（図６参照）。この場合、凸部Ｐ１，Ｐ２間に接着剤Ａが入り込み、接着剤Ａの流動性が増すことで、流路基板１１とＣＯＦ１８との接着強度がより一層向上する。
【００５１】
共通接点１２ｇにおける端子１８ｇ１間の空間Ｖと対向する部分に、空隙１２ｇｘが設けられている（図６及び図７（ｂ）参照）。この場合、端子１８ｇ１間の空間Ｖ及びこれに対応する空隙１２ｇｘに接着剤Ａが充填されることにより、流路基板１１とＣＯＦ１８との接着強度がより一層向上する。また、接着剤Ａと共通接点１２ｇとが互いに接着し難い材料で構成されている場合、端子１８ｇ１間において接着剤Ａと共通接点１２ｇとが接触する部分に、剥離が生じ易くなる。この点、上記構成によれば、端子１８ｇ１間に接着剤Ａと共通接点１２ｇとが接触しない部分が設けられることで、剥離を防止することができる。例えば、共通接点１２ｇはＡｕ（金）で構成されてよく、共通配線１８ｇはＡｕ（金）、Ｃｕ（銅）、Ｓｎ（錫）等で構成されてよい。
【００５２】
５つの端子１８ｇ１の幅（５つの端子１８ｇ１が互いに離隔した離隔方向の長さ）Ｗ１は、各端子１８ｇ１の引出方向（各端子１８ｇ１が延在する延在方向）の長さＬ１よりも長い（Ｗ１＞Ｌ１：図６参照）。この場合、流路基板１１における引出方向のサイズを小さくすることができる。
【００５３】
基部１８ｇ２の引出方向の長さＬ２は、各端子１８ｇ１の引出方向の長さＬ１よりも短い（Ｌ１＞Ｌ２：図６参照）。基部１８ｇ２の引出方向の長さが長すぎると、基部１８ｇ２の周囲における接着剤Ａの流動性が悪くなり、基部１８ｇ２における接着強度が悪化し得る。この点、上記構成によれば、基部１８ｇ２の引出方向の長さが抑えられるため、上記問題を防止することができる。
【００５４】
基部１８ｇ２の幅（５つの端子１８ｇ１が互いに離隔した離隔方向の長さ）Ｗ２は、５つの端子１８ｇ１の幅Ｗ１よりも長い（Ｗ２＞Ｗ１：図６参照）。この場合、基部１８ｇ２において、共通接点１２ｇとの接触面積が大きくなり、共通接点１２ｇと共通配線１８ｇとの間の接触抵抗を小さくすることができる。ひいては、５つの端子１８ｇ１において接触抵抗にばらつきが生じた場合の、基部１８ｇ２による電流分散効果が高まり、接触抵抗が小さい端子１８ｇ１に電流が集中する事態をより確実に回避することができる。
【００５５】
共通配線１８ｇと共通接点１２ｇとの接着領域１８Ａｇは、各個別配線１８ｆと各個別接点１２ｆとの接着領域１８Ａｆよりも、面積が大きい（図５参照）。複数の活性部１２ｘが同時に駆動されたとき等、共通接点１２ｇには各個別接点１２ｆに比べて大きな電流が流れるため、電圧降下を抑制する観点から、共通接点１２ｇと共通配線１８ｇとの間の接触抵抗を小さくすることが望ましい。この点、上記構成によれば、共通接点１２ｇと共通配線１８ｇとの接着領域１８Ａｇの面積を大きくすることで、共通接点１２ｇと共通配線１８ｇとの間の接触抵抗を小さくすることができる。さらに、当該大きな面積の接着領域１８Ａｇを利用して、５つの端子１８ｇ１を効率よく形成することができる。
【００５６】
共通配線１８ｇにおける５つの端子１８ｇ１が互いに離隔した離隔方向と、複数の個別配線１８ｆが配列された配列方向とは、互いに同じである（図５参照）。そして、共通配線１８ｇにおける端子１８ｇ１同士の離隔方向の間隔と、個別配線１８ｆ同士の配列方向の間隔とが、互いに同じ（間隔Ｄ）である。この場合、各配線１８ｆ，１８ｇの形成が容易であると共に、各配線１８ｆ，１８ｇと各接点１２ｆ，１２ｇとの安定した接着ができる。
【００５７】
ＣＯＦ１８は、共通配線１８ｇが設けられた部分に屈曲部１８ｖを有し、屈曲部１８ｖの共通配線１８ｇにスリットＳが設けられている（図４〜図６参照）。この場合、ＣＯＦ１８を損傷することなく屈曲部１８ｖを容易に形成することができる。
【００５８】
屈曲部１８ｖは、接着領域１８Ａｆ，１８Ａｇ（本実施形態では、接着領域１８Ａｆ，１８Ａｇにおける引出方向の下流端）に設けられている（図４及び図５参照）。この場合、接着領域１８Ａｆ，１８Ａｇに屈曲部１８ｖを設けることで、省スペース化、ヘッド１の小型化を実現することができる。
【００５９】
接着剤Ａは、異方性導電フィルムからなる。この場合、特に、５つの端子１８ｇ１において接触抵抗にばらつきが生じ易くなる。しかしながら、本実施形態では、共通配線１８ｇの５つの端子１８ｇ１と基部１８ｇ２との双方が共通接点１２ｇと接着されているため、５つの端子１８ｇ１において接触抵抗にばらつきが生じた場合でも、基部１８ｇ２に電流が分散され、接触抵抗が小さい端子１８ｇ１に電流が集中する事態を回避することができる。
【００６０】
＜第２実施形態＞
続いて、図８を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１について説明する。
【００６１】
第１実施形態では、図６に示すように、共通配線１８ｇの基部１８ｇ２が５つの端子１８ｇ１に対して引出方向の下流側のみに設けられているのに対し、本実施形態では、図８に示すように、共通配線２１８ｇの基部１８ｇ２，２１８ｇ２が５つの端子１８ｇ１に対して引出方向の下流側及び上流側のそれぞれに設けられている。換言すると、本実施形態は、第１実施形態の共通配線１８ｇに、５つの端子１８ｇ１に対して引出方向の上流側に設けられた基部２１８ｇ２を追加した構成である。基部２１８ｇ２は、共通接点１２ｇにおける引出方向の上流側の端部と対向しかつ接着されている。
【００６２】
本実施形態によれば、５つの端子１８ｇ１に対して引出方向の下流側のみに基部１８ｇ２が設けられている場合（図６参照）に比べ、基部１８ｇ２，２１８ｇ２の総面積を大きくし、共通接点１２ｇと共通配線１８ｇとの間の接触抵抗を小さくすることができる。また、５つの端子１８ｇ１において接触抵抗にばらつきが生じた場合の、基部１８ｇ２，２１８ｇ２による電流分散効果が高まり、接触抵抗が小さい端子１８ｇ１に電流が集中する事態をより確実に回避することができる。
【００６３】
＜第３実施形態＞
続いて、図９を参照し、本発明の第３実施形態に係るヘッド３０１について説明する。
【００６４】
第１実施形態では、図６に示すように、共通接点１２ｇにおいて端子１８ｇ１と対向する位置に設けられた５つの凸部Ｐ１が各端子１８ｇ１の延在方向（引出方向）に沿って延在しているのに対し、本実施形態では、図９に示すように、共通接点１２ｇにおいて端子１８ｇ１と対向する位置に設けられた３つの凸部Ｐ３が、それぞれ、端子１８ｇ１が互いに離隔した離隔方向（配列方向）に沿って、５つの端子１８ｇ１に亘って延在している。３つの凸部Ｐ３と、基部１８ｇ２と対向する位置に設けられた凸部Ｐ２とは、引出方向に等間隔で配置されている。
【００６５】
本実施形態によれば、各端子１８ｇ１と各凸部Ｐ３とが点接触することとなり、これら点接触部分の周囲に接着剤が入り込み、接着剤の流動性が増すことで、流路基板１１とＣＯＦ１８との接着強度がより一層向上する。また、端子１８ｇ１の離隔方向（配列方向）に沿って接着剤が流れ易く、５つの端子１８ｇ１における離隔方向（配列方向）端部の強度を確保することができる。
【００６６】
＜第４実施形態＞
続いて、図１０を参照し、本発明の第４実施形態に係るヘッド４０１について説明する。
【００６７】
第１実施形態では、図６に示すように、共通接点１２ｇに、各端子１８ｇ１と対向する位置と基部１８ｇ２と対向する位置とに個別に凸部Ｐ１，Ｐ２が設けられているのに対し、本実施形態では、図１０に示すように、共通接点１２ｇの全体に、５つの凸部Ｐ４がそれぞれ交差方向（端子１８ｇ１が互いに離隔した離隔方向（配列方向）及び各端子１８ｇ１が延在する延在方向（引出方向）の両方と交差する方向）に沿って延在している。５つの凸部Ｐ４のうち両外側に位置する２つの凸部を除く３つの凸部は、複数の端子１８ｇ１に亘って延在している。
【００６８】
本実施形態によれば、第２実施形態と同様、各端子１８ｇ１と各凸部Ｐ４とが点接触することとなり、これら点接触部分の周囲に接着剤が入り込み、接着剤の流動性が増すことで、流路基板１１とＣＯＦ１８との接着強度がより一層向上する。また、上記交差方向に沿って接着剤が流れ易く、５つの端子１８ｇ１における交差方向端部の強度を確保することができる。
【００６９】
＜第５実施形態＞
続いて、図１１を参照し、本発明の第５実施形態に係るヘッド５０１について説明する。
【００７０】
第１実施形態では、図６に示すように、共通接点１２ｇに、各端子１８ｇ１と対向する位置と基部１８ｇ２と対向する位置とに個別に凸部Ｐ１，Ｐ２が設けられているのに対し、本実施形態では、図１１に示すように、共通接点１２ｇの全体に、複数の凸部Ｐ５が、配列方向（端子１８ｇ１が互いに離隔した離隔方向）に沿った複数の行及び引出方向（各端子１８ｇ１が延在する延在方向）に沿った複数の列を形成するように、マトリクス状に点在している。
【００７１】
本実施形態によれば、マトリクス状に点在した凸部Ｐ５を設けたことで、各凸部Ｐ５の周囲に接着剤Ａが入り込むこととなり、接着剤の流動性がより高まり、流路基板１１とＣＯＦ１８との接着強度がより一層向上する。
【００７２】
＜第６実施形態＞
続いて、図１２を参照し、本発明の第６実施形態に係るヘッド６０１について説明する。
【００７３】
第１実施形態では、図６に示すように、共通接点１２ｇにおいて各端子１８ｇ１と対向する位置と基部１８ｇ２と対向する位置とに凸部Ｐ１，Ｐ２が設けられているのに対し、本実施形態では、図１２に示すように、共通接点６１２ｇにおいて各端子１８ｇ１と対向する位置にも基部１８ｇ２と対向する位置にも凸部が設けられていない。この場合、凸部がある場合と比較して、共通接点６１２ｇと共通配線６１８ｇとの間の接触抵抗を小さくすることができる。
【００７４】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
【００７５】
＜変形例＞
接着剤は、異方性導電フィルムからなることに限定されず、例えばＮＣＦ（Non Conductive Film：非導電性フィルム）等であってもよい。また、接着剤は、熱硬化性の接着剤に限定されず、エラストマー系や熱可塑性の接着剤等であってもよい。
【００７６】
上述の実施形態では共通配線に複数の端子を設けているが、個別配線に複数の端子を設けてもよい。複数の端子の離隔方向は、引出方向と直交する方向に限定されず、引出方向と直交せずに交差する方向、又は、引出方向と平行な方向であってもよい。また、複数の端子の幅と各端子の長さとの関係、基部の長さと各端子の長さとの関係、基部の幅と複数の端子の幅との関係は、任意に変更可能である。
【００７７】
凸部は、基部と対向する位置に設けられず、複数の端子と対向する位置のみに設けられてもよい。端子と対向する位置に設けられた凸部と、基部と対向する位置に設けられた凸部とが、互いに離隔せず、繋がってもよい。凸部を省略してもよい（図１２参照）。
【００７８】
空隙は、端子間の空間とサイズ及び形状が一致しなくてもよい。空隙を省略してもよい（例えば、接点が矩形状の領域全体に亘って設けられてもよい）。
【００７９】
スリットの形状、サイズ、数は、任意に変更可能である。また、上述の実施形態では、共通配線のみにスリットを設けているが、個別配線にスリットを設けてもよい。
【００８０】
配線基板の屈曲部は、接着領域外にあってもよい。また、屈曲部の配線にスリットを設けなくてもよい。
【００８１】
ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式であってもよい。本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、インクジェット式のヘッドに限定されず、任意のアクチュエータ装置（例えば、液晶パネル等）に適用可能である。
【符号の説明】
【００８２】
１；２０１；３０１；４０１；５０１；６０１  ヘッド（アクチュエータ装置）
１２  アクチュエータ
１１  流路基板（アクチュエータ基板）
１２ｆ  個別接点
１２ｇ；６１２ｇ  共通接点（接点）
１２ｇｘ  空隙
１８  ＣＯＦ（配線基板）
１８Ａｇ  接着領域
１８ｆ  個別配線
１８ｇ；２１８ｇ；６１８ｇ  共通配線（配線）
１８ｇ１  端子
１８ｇ２；２１８ｇ２  基部
１８ｖ  屈曲部
Ａ  接着剤
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５  凸部
Ｓ  スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2018167446.tif 000010
【図９】
2018167446.tif 000011
【図１０】
2018167446.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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