(57)【要約】【課題】手作業でウェーハの中心をチャックテーブルの中心に精度よく位置づけて載置すること。【解決手段】位置合わせ装置がウェーハ（Ｗ）を保持するチャックテーブル（２０）と、チャックテーブル上のウェーハの上面に３点のポインタ画像（Ｓ１）を投影する画像投影手段（３０）とを備え、３点のポインタ画像の先端がウェーハの位置合わせ箇所となるウェーハ外周縁（Ｗａ）を指し示すように、画像投影手段からウェーハに向けてポインタ画像を照射する構成にした。【選択図】図２
2018114479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハの中心位置をチャックテーブル中心に位置合わせする位置合わせ装置であって、
ウェーハを上面に保持するチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持されたウェーハに向けてチャックテーブル中心から等距離に少なくとも３つのポインタ画像を投影する画像投影手段と、を備え、
該画像投影手段から投影された少なくとも３つのポインタ画像の先端がそれぞれ離間してウェーハ外周縁を指し示し該少なくとも３つの該ポインタ画像の該先端が指し示す位置にウェーハの外周縁を位置づけて該チャックテーブル上にウェーハが載置可能なこと、を特徴とする位置合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの中心をチャックテーブルの中心に位置合わせする位置合わせ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程においては、半導体ウェーハ等の上面に薬液を均一に塗布することで保護膜や絶縁膜等の表面膜が形成される。表面膜の形成方法としては、チャックテーブルの上面にウェーハが載置され、チャックテーブルを回転させた状態でウェーハの上面中心部に薬液を垂らす、いわゆるスピンナーコーティングという方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の方法では、ウェーハの上面中心部に垂らされた薬液が遠心力を受けて外周側に広げられることで、ウェーハの全面に均一に薬液が塗布される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−０４３２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、開発品等で数枚のウェーハの上面に薬液を塗布する際には、回転中のチャックテーブル上のウェーハに対して手作業で薬液を垂らしている。この場合、オペレータの目視でチャックテーブルの中心にウェーハの中心を位置づける必要があるが、手作業ではチャックテーブルにウェーハを精度よく位置づけることは難しい。チャックテーブルにウェーハを何度も置き直しすることで、ウェーハの載置に時間を要すると共にウェーハが傷付けられるおそれがあった。また、薬液塗布に限らず、マニュアル式の加工装置のようにチャックテーブルに対して手作業でウェーハを載置する際にも同様な問題が生じていた。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、手作業でウェーハの中心をチャックテーブルの中心に精度よく位置づけて載置することができる位置合わせ装置を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様の位置合わせ装置は、ウェーハの中心位置をチャックテーブル中心に位置合わせする位置合わせ装置であって、ウェーハを上面に保持するチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持されたウェーハに向けてチャックテーブル中心から等距離に少なくとも３つのポインタ画像を投影する画像投影手段と、を備え、該画像投影手段から投影された少なくとも３つのポインタ画像の先端がそれぞれ離間してウェーハ外周縁を指し示し該少なくとも３つの該ポインタ画像の該先端が指し示す位置にウェーハの外周縁を位置づけて該チャックテーブル上にウェーハが載置可能なこと、を特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、少なくとも３つのポインタ画像の先端が指し示す位置を結んだ円の中心がチャックテーブル中心になるため、チャックテーブルに対するウェーハの位置合わせ箇所が少なくとも３つのポインタ画像の先端で指し示される。少なくとも３つのポインタ画像の先端がウェーハ外周縁を指し示すように、オペレータが目視で確認しながらチャックテーブルにウェーハを載置することで、手作業であってもウェーハを何度も置き直すことなく、ウェーハの中心位置をチャックテーブル中心に位置づけることができる。また、画像投影手段でポインタ画像が投影されるため、ウェーハの種類に応じてポインタ画像の投影位置や輝度等を容易に調整することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、チャックテーブルに対するウェーハの位置合わせ箇所が少なくとも３つのポインタ画像の先端で指し示されるため、手作業であってもチャックテーブル中心にウェーハの中心位置を的確に位置づけることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態の薬液塗布装置の側面模式図である。
【図２】本実施の形態のウェーハの位置合わせの説明図である。
【図３】本実施の形態のウェーハへの薬液供給の説明図である。
【図４】変形例の薬液塗布装置の一例を示す図である。
【図５】本実施の形態の薬液の塗布作業の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の薬液塗布装置について説明する。図１は、本実施の形態の薬液塗布装置の側面模式図である。なお、以下の説明では、本実施の形態の位置合わせ装置を薬液塗布装置に適用した一例について説明するが、位置合わせ装置はウェーハを手差しするマニュアル式の他の加工装置に適用することも可能である。
【００１１】
図１に示すように、薬液塗布装置１は、製品の開発段階等で使用されるスピンコート用の装置であり、オペレータが手動にてチャックテーブル２０上にウェーハＷを載置して、回転中のウェーハＷの上面に薬液を垂らすように構成されている。スピンコートでは、ウェーハ中心Ｏ１に垂らされた薬液が、チャックテーブル２０の回転による遠心力によってウェーハＷの上面全体に広げられることで塗布される。この場合、オペレータが目視でチャックテーブル２０にウェーハＷを位置合わせすると、ウェーハ中心Ｏ１がチャックテーブル中心Ｏ２に対して位置ズレして、ウェーハＷの上面に均一に薬液が広がらず、薬液の塗りムラが生じて塗布をし直さなければならない。
【００１２】
このため、本実施の形態の薬液塗布装置１では、画像投影手段３０からウェーハＷに向けて投影したポインタ画像で、チャックテーブル２０に対するウェーハＷの位置合わせ箇所を指し示すようにしている。ウェーハＷ上のポインタ画像の先端を目印にしてオペレータが手動で位置合わせすることで、手作業であってもチャックテーブル中心Ｏ２にウェーハ中心Ｏ１を的確に位置づけることが可能になっている。なお、薬液はウェーハＷの上面に保護膜や絶縁膜等の表面膜が形成可能であればよく、例えばＰＶＡ（Polyvinyl  Alcohol）等の液状樹脂が使用される。
【００１３】
薬液塗布装置１のカバー部１０の内側には、ウェーハＷを保持するチャックテーブル２０が回転可能に収容されている。チャックテーブル２０の上面には、ポーラスセラミック材により保持面２１が形成されており、保持面２１に生じる負圧によってウェーハＷが吸引保持される。また、チャックテーブル２０の下部にはモータ（不図示）が連結されており、モータによってチャックテーブル２０が回転駆動される。また、ウェーハＷに対する薬液の塗布時にウェーハ外周縁Ｗａに到達した薬液がチャックテーブル２０に付着しないように、チャックテーブル２０がウェーハＷよりも小径に形成されている。
【００１４】
チャックテーブル２０の上方には、ウェーハ外周縁Ｗａの位置合わせ箇所をパターン投影によって指し示す画像投影手段３０が設けられている。画像投影手段３０は、チャックテーブル２０上に保持されたウェーハＷに向けて、後述するポインタ画像Ｓ１、Ｓ２（図２Ａ、図３Ａ参照）を投影している。画像投影手段３０は、例えばＤＬＰ（Digital  Light  Processing）プロジェクタで構成され、光源からの光を集光レンズで集光して、多数のＤＭＤ（Digital  Micromirror  Device）素子３１で反射させて投影光を作り出している。
【００１５】
画像投影手段３０には、多数のＤＭＤ素子３１の駆動を制御するコントローラ３２が設けられており、コントローラ３２に入力された画像データに応じてＤＭＤ素子３１の駆動が制御される。画像データがコントローラ３２に読み込まれることで、画像データに対応したポインタ画像Ｓ１、Ｓ２（図２Ａ、図３Ａ参照）が多数のＤＭＤ素子３１で形成される。この場合、ＤＭＤ素子のＯＮ／ＯＦＦの切り換え速度を部分的に可変させて投影光の濃淡を作り出すことでポインタ画像が投影される。また、ＤＭＤ素子３１の切り換え速度を調整することで輝度（光量）を可変することも可能である。
【００１６】
また、画像投影手段３０には、ＵＳＢメモリ等の外部記憶媒体用のスロット３３が設けられている。画像投影手段３０のスロット３３に外部記憶媒体が装着されて、外部記憶媒体内の画像データがコントローラ３２に読み込まれてＤＭＤ素子３１が制御される。なお、画像データは、外部記憶媒体から読み込む構成に限らず、コントローラ３２の内部メモリに用意されていてもよいし、無線通信又は有線通信によって外部装置から入力されてもよい。また、画像投影手段３０の光源からの光にカラーホイールを透過させて、色付きのポインタ画像を投影することも可能である。
【００１７】
画像投影手段３０の下面の３箇所（２箇所のみ図示）に投影レンズ３４が設けられており、各投影レンズ３４からウェーハＷに向けてポインタ画像Ｓ１、Ｓ２（図２Ａ、図３Ａ参照）が投影される。ウェーハＷの位置合わせ時には、画像投影手段３０の各投影レンズ３４からチャックテーブル２０上のウェーハＷに向けて、チャックテーブル中心Ｏ２から等距離に少なくとも３つのポインタ画像Ｓ１が投影される。薬液供給時には、画像データが切り換えられて、画像投影手段３０のいずれかの投影レンズ３４からチャックテーブル２０上のウェーハＷに向けて、チャックテーブル中心Ｏ２付近にポインタ画像Ｓ２が投影される。
【００１８】
ウェーハＷの位置合わせ時の各ポインタ画像Ｓ１（図２Ａ参照）は１点を指し示す楔形状に投影され、少なくとも３つのポインタ画像Ｓ１の先端によってチャックテーブル２０上でウェーハ外周縁Ｗａの位置合わせ箇所が指し示される。ウェーハＷへの薬液供給時のポインタ画像Ｓ２（図３Ａ参照）は１点を指し示す楔形状に投影され、ポインタ画像Ｓ２の先端によってウェーハＷに対する薬液の供給箇所が指し示される。また、画像投影手段３０には、ウェーハＷの外径やウェーハＷの種類等に応じて、ポインタ画像の投影位置やポインタ画像の形状を変更可能なように、複数種類の画像データが用意されていてもよい。
【００１９】
チャックテーブル２０の上方には、オペレータによって薬液が入れられた容器４０が位置付けられている。ウェーハＷの上方で容器４０が傾けられることで、容器４０からウェーハＷの上面に薬液が供給される。このように構成された薬液塗布装置１では、画像投影手段３０によって投影された各ポインタ画像Ｓ１（図２Ａ参照）の先端が示す３点にウェーハ外周縁Ｗａを位置づけて、チャックテーブル２０に対してウェーハＷが載置される。そして、チャックテーブル２０を回転させて、画像投影手段３０によって投影されたポインタ画像Ｓ２（図３Ａ参照）の先端が示す１点に薬液を供給して、ウェーハＷの全面に薬液が塗布される。
【００２０】
図２及び図３を参照して、ウェーハの位置合わせ及びウェーハへの薬液供給について説明する。図２は、本実施の形態のウェーハの位置合わせの説明図である。図３は、本実施の形態のウェーハへの薬液供給の説明図である。なお、図２Ａはウェーハの位置合わせ時の斜視図、図２Ｂはウェーハの位置合わせ時の側面図をそれぞれ示している。また、図３Ａはウェーハへの薬液供給時の斜視図、図３Ｂはウェーハへの薬液供給時の側面図をそれぞれ示している。
【００２１】
図２Ａ及び図２Ｂに示すように、ウェーハＷの位置合わせ時には、画像投影手段３０においてウェーハ外周縁Ｗａを示す画像データが選択され、画像データに基づいてポインタ画像Ｓ１が生成される。画像投影手段３０からウェーハＷに向けてポインタ画像Ｓ１が投影され、ウェーハＷの上面に３つの楔形状のポインタ画像Ｓ１が映し出される。このとき、各ポインタ画像Ｓ１の先端が指し示す３点の位置合わせ箇所を結んだ円の中心が、チャックテーブル２０のチャックテーブル中心（回転中心）Ｏ２となるように、画像投影手段３０からポインタ画像Ｓ１の投影位置が調整されている。
【００２２】
また、画像投影手段３０では各ポインタ画像Ｓ１の輪郭が明確になるように、投射距離に応じて投影光の光量が調整されている。画像投影手段３０に投影された３つのポインタ画像Ｓ１の先端はそれぞれ離間したウェーハ外周縁Ｗａを指し示しており、当該３つのポインタ画像Ｓ１の先端が指し示す位置にウェーハ外周縁Ｗａが位置付けられる。すなわち、３つのポインタ画像Ｓ１の先端が指し示す３点をオペレータが目視で確認しながら、このポインタ画像Ｓ１の先端が示す３点全てにウェーハ外周縁Ｗａが一致するように、チャックテーブル２０に対してウェーハＷが位置合わせされる。
【００２３】
この場合、チャックテーブル２０がウェーハＷよりも小径に形成されているため、チャックテーブル２０にウェーハＷが載置されるまでは、ウェーハ外周縁Ｗａの位置合わせ箇所を示すポインタ画像Ｓ１の先端をオペレータが確認することができない。このため、チャックテーブル２０上にウェーハＷが仮置きされ、ウェーハＷの上面に投影されたポインタ画像Ｓ１の先端を手掛かりにしてウェーハＷの位置が微調整される。このようにして、手動であってもウェーハ中心Ｏ１がチャックテーブル中心Ｏ２に的確に位置づけられ、チャックテーブル２０に対してウェーハＷが載置される。
【００２４】
図３Ａ及び図３Ｂに示すように、ウェーハＷへの薬液供給時には、画像投影手段３０においてウェーハ中心Ｏ１を示す画像データが選択され、画像データに基づいてポインタ画像Ｓ２が生成される。また、画像投影手段３０からウェーハＷに向けてポインタ画像Ｓ２が投影され、ウェーハＷの上面に１つの楔形状のポインタ画像Ｓ２が映し出される。このとき、ポインタ画像Ｓ２の先端がウェーハ中心Ｏ１を指し示すように、ポインタ画像Ｓ２の投影位置が調整されている。また、ウェーハ中心Ｏ１の真上から外れた位置から投影光が出射されるため、投影光を避けながらウェーハ中心Ｏ１に薬液Ｌを供給することができる。
【００２５】
また、ポインタ画像Ｓ２の投影時においても、各ポインタ画像Ｓ１の投影時と同様に、画像投影手段３０でポインタ画像Ｓ２の輪郭が明確になるように、投射距離に応じて投影光の光量が調整されている。画像投影手段３０に投影されたポインタ画像Ｓ２の先端はウェーハ中心Ｏ１を示しており、このポインタ画像Ｓ２の先端が指し示す位置に薬液Ｌが供給される。すなわち、ポインタ画像Ｓ２の先端が指し示す１点をオペレータが目視で確認しながら、このポインタ画像Ｓ２の先端が示す１点を狙って容器４０から薬液Ｌが垂らされてウェーハＷの上面に薬液Ｌが塗布される。
【００２６】
この場合、ウェーハ中心Ｏ１がチャックテーブル中心Ｏ２に一致しているため、チャックテーブル２０に対して偏心することなくウェーハＷが回転される。ウェーハＷの上面に投影されたポインタ画像Ｓ２の先端を狙って容器４０から薬液Ｌが垂らされることで、遠心力によってウェーハ中心Ｏ１からウェーハ外周縁Ｗａに向かって薬液Ｌが均一に広げられる。このようにして、手動であってもウェーハ中心Ｏ１に対して薬液Ｌが的確に供給され、ウェーハＷの上面全体に対して均一な厚みで薬液Ｌが塗布されて塗りムラが生じることがない。
【００２７】
なお、本実施の形態では、画像投影手段３０が拡散光を照射する構成にしたが、画像投影手段３０が平行光を照射する構成にしてもよい。例えば、図４に示すように、画像投影手段３０の投影レンズ３６としてコリメートレンズを使用して、平行光を作り出すようにしてもよい。これにより、ウェーハＷの上面にはポインタ画像Ｓ２の先端がより明確に投影されて、ウェーハ中心Ｏ１がより的確に指し示される。また、平行光であるため、投影レンズ３６からウェーハＷの上面までの投射距離が変化しても、ポインタ画像Ｓ２の輪郭が曖昧になることがない。
【００２８】
続いて、図５を参照して、薬液塗布装置を用いた薬液の塗布作業について説明する。図５は、本実施の形態の薬液の塗布作業の一例を示す図である。なお、図５Ａ及び図５Ｂはウェーハ載置ステップ、図５Ｃは薬液塗布ステップの一例を示す図である。また、図５Ａ及び図５Ｂでは画像投影手段から拡散光が照射され、図５Ｃでは画像投影手段から平行光が照射される一例を示している。
【００２９】
図５Ａに示すように、ウェーハ載置ステップでは、画像投影手段３０で位置合わせ用の画像データが選択されて、画像データに応じたポインタ画像Ｓ１がチャックテーブル２０の外周側の３箇所に映し出される。しかしながら、各ポインタ画像Ｓ１の先端がチャックテーブル２０から外れているため、チャックテーブル２０上にウェーハＷが的確に載置されるまでは、ポインタ画像Ｓ１が指し示す位置合わせ箇所をオペレータが目視することができない。このため、チャックテーブル２０の保持面２１上を滑らせるようにして、ウェーハＷがチャックテーブル２０に仮置きされる。
【００３０】
次に、図５Ｂに示すように、チャックテーブル２０上にウェーハＷが仮置きされると、ウェーハＷの上面にポインタ画像Ｓ１の先端が映し出される。このとき、ポインタ画像Ｓ１の先端がウェーハ外周縁Ｗａの３点の位置合わせ箇所を指し示すため、ウェーハ中心Ｏ１がチャックテーブル中心Ｏ２に一致するまでは、各ポインタ画像Ｓ１の先端によって３点全ての位置合わせ箇所がウェーハ外周縁Ｗａに映し出されない。チャックテーブル２０に対してウェーハＷの位置を微調整することで、ウェーハＷの上面で各ポインタ画像Ｓ１の先端が指し示す３点がウェーハ外周縁Ｗａになるように載置される。
【００３１】
このように、オペレータがウェーハＷの上面のポインタ画像Ｓ１の先端を目視しながら、手作業でチャックテーブル中心Ｏ２に対してウェーハ中心Ｏ１が的確に位置づけられる。よって、チャックテーブル２０に対してウェーハＷが位置合わせし易くなり、位置合わせ時間を短縮することができると共に、ウェーハＷの置き直しが頻繁に起こらなくなってウェーハＷが傷付くことがない。また、チャックテーブル中心Ｏ２にウェーハ中心Ｏ１が位置付けられているため、チャックテーブル２０に載置されたウェーハＷが偏心回転することがない。
【００３２】
次に、図５Ｃに示すように、ウェーハ載置ステップの後に薬液塗布ステップが実施される。薬液塗布ステップでは、チャックテーブル２０が回転されると共に、画像投影手段３０で位置合わせ用の画像データから薬液供給用の画像データに切り替えられる。これにより、切り替え後の画像データに応じたポインタ画像Ｓ２が、チャックテーブル２０と共に回転したウェーハ中心Ｏ１付近に映し出される。ポインタ画像Ｓ２の先端がウェーハ中心Ｏ１を指し示しているため、ポインタ画像Ｓ１の先端が指し示す１点を狙って容器４０から薬液Ｌが垂らされる。
【００３３】
チャックテーブル中心Ｏ２にウェーハ中心Ｏ１が一致し、ウェーハ中心Ｏ１に薬液Ｌが垂らされ続けるため、ウェーハ中心Ｏ１からウェーハＷの表面全体に薬液Ｌが均一に広げられる。このように、オペレータがウェーハＷの上面のポインタ画像Ｓ１の先端を目視しながら、手作業でウェーハ中心Ｏ１に的確に薬液Ｌを供給することができる。ウェーハＷに対して薬液Ｌを供給し易くなるため、薬液Ｌの塗布をし直す必要が無くなり薬液Ｌの無駄を省くことができる。このようにして、ウェーハＷの上面全体に均一に供給された薬液Ｌによって表面膜が形成される。
【００３４】
以上のように、本実施の形態の薬液塗布装置１によれば、３つのポインタ画像Ｓ１の先端が指し示す位置を結んだ円の中心がチャックテーブル中心Ｏ２になるため、チャックテーブル２０に対するウェーハＷの位置合わせ箇所が３つのポインタ画像Ｓ１の先端で指し示される。３つのポインタ画像Ｓ１の先端がウェーハ外周縁Ｗａを指し示すように、オペレータが目視で確認しながらチャックテーブル２０にウェーハＷを載置することで、手作業であってもウェーハＷを何度も置き直すことなく、ウェーハ中心Ｏ１をチャックテーブル中心Ｏ２に位置づけることができる。また、画像投影手段３０でポインタ画像Ｓ１が投影されるため、ウェーハＷの種類に応じてポインタ画像Ｓ１の投影位置や輝度等を容易に調整することができる。
【００３５】
なお、本実施の形態では、画像投影手段においてウェーハの種類に応じて自動的に画像データが切り換えられて、ウェーハの外径や表面状態に適したポインタ画像が投影されるようにしてもよい。例えば、ウェーハの種類に応じてポインタ画像の投影位置、ポインタ画像の形状、ポインタ画像の色が自動的に変更されてもよい。これにより、チャックテーブルに別のウェーハを載置した場合でも、チャックテーブルに対してウェーハを容易に位置合わせすることができる。
【００３６】
また、本実施の形態では、薬液塗布装置に位置合わせ装置が適用される構成について説明したが、この構成に限定されない。本発明の位置合わせ装置は、チャックテーブルに対して手差しでウェーハを位置合わせする加工装置に適用されてもよい。例えば、マニュアルダイサーのチャックテーブルに対するウェーハの位置合わせ、マニュアルグラインダーのチャックテーブルに対するウェーハの位置合わせ、テープマウンタのチャックテーブルに対するウェーハの位置合わせに使用されてもよい。また、手差しの加工装置であれば、研磨装置、レーザー加工装置、エッチング装置、トリミング装置、ブレーキング装置等の他の加工装置のチャックテーブルに対するウェーハの位置合わせにも適用可能である。
【００３７】
また、本実施の形態では、ウェーハとして、例えば、半導体デバイスウェーハ、光デバイスウェーハ、パッケージ基板、半導体基板、無機材料基板、酸化物ウェーハ、生セラミックス基板、圧電基板等の各種ワークが用いられてもよい。半導体デバイスウェーハとしては、シリコンウェーハや化合物半導体ウェーハにＩＣ等のデバイスが形成されたものが用いられてもよい。光デバイスウェーハとしては、サファイアウェーハやシリコンカーバイドウェーハにＬＥＤ等の光デバイスが形成されたものが用いられてもよい。また、パッケージ基板としてはＣＳＰ（Chip  Size  Package）基板、半導体基板としてはシリコンやガリウム砒素等、無機材料基板としてはサファイア、セラミックス、ガラス等が用いられてもよい。さらに、酸化物ウェーハとしてはリチウムタンタレート、リチウムナイオベートが用いられてもよい。
【００３８】
また、本実施の形態では、ウェーハの位置合わせ時に、画像投影手段が３つのポインタ画像をウェーハに向けて投影する構成にしたが、この構成に限定されない。ウェーハの位置合わせ時には、画像投影手段が少なくとも３つのポインタ画像をウェーハに向けて投影する構成であればよく、例えば、４つ以上のポインタ画像をウェーハに向けて投影してもよい。
【００３９】
また、本実施の形態では、画像投影手段に３つの投影レンズを設けて、各投影レンズから１つのポインタ画像を投影する構成にしたが、この構成に限定されない。画像投影手段に１つの投影レンズを設けて、１つの投影レンズから複数のポインタ画像を投影する構成にしてもよい。
【００４０】
また、本実施の形態では、楔状のポインタ画像を投影する構成にしたが、この構成に限定されない。ポインタ画像の形状は特に限定されず、ウェーハの外周縁を指し示す形状であれば、どのような形状でもよい。
【００４１】
また、本実施の形態では、チャックテーブルは吸引チャック式のテーブルに限らず、静電チャック式のテーブルでもよい。
【００４２】
また、本実施の形態では、画像投影手段としてＤＬＰプロジェクタを例示して説明したが、この構成に限定されない。画像投影手段は、少なくとも３つのポインタ画像を投影可能な構成であればよく、例えばＬＣＤ（Liquid  Crystal  Display）プロジェクタで構成されていてもよい。
【００４３】
また、本実施の形態及び変形例を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
【００４４】
また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。
【００４５】
また、本実施の形態では、本発明を薬液供給装置に適用した構成について説明したが、ウェーハ外周縁の位置合わせ箇所を指し示す必要がある他の装置に適用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
以上説明したように、本発明は、手作業でウェーハの中心をチャックテーブルの中心に精度よく位置づけて載置することができるという効果を有し、特に、ウェーハの上面にＰＶＡ等で保護膜を形成する薬液塗布装置に有用である。
【符号の説明】
【００４７】
１  薬液塗布装置
２０  チャックテーブル
３０  画像投影手段
Ｏ１  ウェーハ中心
Ｏ２  チャックテーブル中心
Ｓ１、Ｓ２  ポインタ画像
Ｗ  ウェーハ
Ｗａ  ウェーハ外周縁
【図１】
2018114479.tif 000003
【図２】
2018114479.tif 000004
【図３】
2018114479.tif 000005
【図４】
2018114479.tif 000006
【図５】
2018114479.tif 000007