(57)【要約】【課題】レーザ加工ヘッドがＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動するレーザ加工機における火災発生検出方法及びレーザ加工機を提供する。【解決手段】ワークテーブル又はパレット上に支持された板状のワークに対してＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動位置決め自在なレーザ加工ヘッドを備えたレーザ加工機の火災発生検出方法であって、レーザ加工機１における機体３の一部に火災発生検出手段としての赤外線カメラ１９，２１を備え、この赤外線カメラ１９，２１と最も離れたレーザ加工位置との間を複数の検出エリアに区画して備え、前記各検出エリア毎に予め設定した放射率でもって前記赤外線カメラ１９，２１の検出値を補正して、予め設定した温度以上を、予め設定した時間継続して検出したときに、火災発生として検出する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークテーブル又はパレット上に支持された板状のワークに対してＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動位置決め自在なレーザ加工ヘッドを備えたレーザ加工機の火災発生検出方法であって、レーザ加工機における機体の一部に火災発生検出手段としての赤外線カメラを備え、この赤外線カメラと最も離れたレーザ加工位置との間を複数の検出エリアに区画して備え、前記各検出エリア毎に予め設定した放射率でもって前記赤外線カメラの検出値を補正して、予め設定した温度以上を、予め設定した時間継続して検出したときに、火災発生として検出することを特徴とするレーザ加工機の火災検出方法。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ加工機の火災検出方法において、前記レーザ加工ヘッドは、Ｘ軸方向へ移動位置決め自在なガイドビームにＹ軸方向へ移動位置決め自在に備えられており、前記ガイドビームのＹ軸方向の一端側に、前記レーザ加工ヘッド周辺の火災発生を検知するための第２の赤外線カメラを備え、この第２の赤外線カメラによって予め設定した温度を、予め設定した時間継続して検出したときに、火災発生として検出することを特徴とするレーザ加工機の火災検出方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のレーザ加工機の火災検出方法において、前記設定温度は１００℃であり、設定時間は１０秒であることを特徴とするレーザ加工機の火災検出方法。
【請求項４】
ワークテーブル又はパレット上に支持された板状のワークに対して、レーザ加工ヘッドをＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動位置決め自在に備えたレーザ加工機であって、前記ワークテーブル又はパレットの上側の火災発生を検知するための火災発生検出手段としての赤外線カメラを、レーザ加工機における機体の一部に備え、この赤外線カメラと最も離れたレーザ加工位置との間の複数の検出エリア毎に予め設定した放射率の補正パラメータを格納したパラメータテーブルを備え、前記赤外線カメラの検出値を、前記パラメータテーブルに格納されたパラメータを参照して補正する演算手段を備えていることを特徴とするレーザ加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工領域内に位置するワークに対して、レーザ加工ヘッドがＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向へ相対的に移動自在なレーザ加工機の火災検出方法及びレーザ加工機に関する。さらに詳細には、前記レーザ加工領域の上方空間におけるレーザ加工ヘッド周辺の火災発生を検知する機能を備えたレーザ加工機の火災検出方法及びレーザ加工機に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ加工機によって、例えば板状のワークのレーザ加工を行うとき、ワークに貼り付けた保護シートに火災が発生することや、レーザ加工位置から飛散したスパッタや反射されたレーザ光によって、例えばレーザ加工ヘッド周辺の可燃物に火災が発生することがある。したがって、レーザ加工機において火災が発生し易い箇所にセンサを配置し、このセンサによって火災発生の検出が行われている（例えば、特許文献１，２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１２３５８１号公報
【特許文献２】特開２００４−２０２００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記特許文献１に記載の構成は、レーザ加工ヘッドを囲繞した加工ヘッドカバーを上下動自在に備えた構成である。そして、前記加工ヘッドカバー内において火災が発生したときに、加工ヘッドカバー内に備えた火災検知センサによって火災を検知する構成である。また、特許文献２に記載の構成は、レーザ加工装置における集塵機内の火災発生を検出する構成であって、火災発生時の熱風が通過する部分に、火災検知センサを備えた構成である。
【０００５】
前記特許文献１，２における火災検知センサは、温度センサであって、火災発生によって温度センサの設置部周囲の温度が所定温度以上に上昇したときに、火災発生として火災を検知する構成である。したがって、火災発生初期から火災発生が検知されるまで大きな時間差がある。換言すれば、火災が発生して、周囲の温度がある程度上昇するまでは火災の発生は検知されないものである。すなわち、火災がある程度の大きさに進行するまでは火災の発生が検知されない、という問題がある。
【０００６】
ところで、サーモグラフィ（赤外線カメラ）を用いることにより、レーザ加工ヘッドの周辺を含めた広範囲の温度変化や、レーザ加工ヘッド内の温度上昇をも検出可能である。しかし、赤外線カメラは、検出対象物である火災発生箇所から放射される赤外線エネルギーを検知して温度データに変換し、かつエネルギー分布を画像化する機能を有するものである。したがって、赤外線エネルギーを検知するには、検出対象物の放射率を知る必要がある。
【０００７】
ここで、赤外線カメラによって検出対象物の温度を正確に測定するには、例えば、検出の最小単位として９画素（縦３画素×横３画素）が必要とされている。すなわち、赤外線カメラは、３画素×３画素の検出エリア全体がホットスポット（例えば１００℃以上）で覆われて初めて温度が上昇したことを検出できる。そのため、赤外線カメラの視野角に起因して、例えば約１ｍ離れると、９．９ｍｍ×９．９ｍｍのホットスポットで検知することとなるが、約５ｍ離れると、５２．５ｍｍ×５２．５ｍｍという広い領域がホットスポットにならないと検知することができない。すなわち、赤外線カメラから検出対象物までの距離の大小によって、検知できるホットスポットの大きさが異なることになる。
【０００８】
したがって、距離が大きくなると、火災発生箇所を含めて、大きな検出エリアを検知することとなる。すなわち、距離が小さいと火災発生箇所（ホットスポット）が狭くても検出できるが、距離が大きいと火災発生箇所（ホットスポット）のみならずその周囲も赤外線カメラに入射されることになる。よって、すぐに火災として検知することができず、周囲に延焼して初めて火災として検出することになる。したがって、赤外線カメラから検出対象物までの距離の相違によって検知の遅れが発生する場合があり、火災発生を正確に検知することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述のごとき問題に鑑みてなされたもので、ワークテーブル又はパレット上に支持された板状のワークに対してＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動位置決め自在なレーザ加工ヘッドを備えたレーザ加工機の火災発生検出方法であって、レーザ加工機における機体の一部に火災発生検出手段としての赤外線カメラを備え、この赤外線カメラと最も離れたレーザ加工位置との間を複数の検出エリアに区画して備え、前記各検出エリア毎に予め設定した放射率でもって前記赤外線カメラの検出値を補正して、予め設定した温度以上を、予め設定した時間継続して検出したときに、火災発生として検出する。
【００１０】
また、前記レーザ加工機の火災検出方法において、前記レーザ加工ヘッドは、Ｘ軸方向へ移動位置決め自在なガイドビームにＹ軸方向へ移動位置決め自在に備えられており、前記ガイドビームのＹ軸方向の一端側に、前記レーザ加工ヘッド周辺の火災発生を検知するための第２の赤外線カメラを備え、この第２の赤外線カメラによって予め設定した温度を、予め設定した時間継続して検出したときに、火災発生として検出する。
【００１１】
また、前記レーザ加工機の火災検出方法において、前記設定温度は１００℃であり、設定時間は１０秒である。
【００１２】
また、ワークテーブル又はパレット上に支持された板状のワークに対して、レーザ加工ヘッドをＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動位置決め自在に備えたレーザ加工機であって、前記ワークテーブル又はパレットの上側の火災発生を検知するための火災発生検出手段としての赤外線カメラを、レーザ加工機における機体の一部に備え、この赤外線カメラと最も離れたレーザ加工位置との間の複数の検出エリア毎に予め設定した放射率の補正パラメータを格納したパラメータテーブルを備え、前記赤外線カメラの検出値を、前記パラメータテーブルに格納されたパラメータを参照して補正する演算手段を備えている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、レーザ加工機の機体の一部に備えた赤外線カメラと最も離れたレーザ加工位置との間を複数の検出エリアに区画し、各検出エリア毎に予め設定した放射率でもって赤外線カメラの検出値を補正することによって火災発生を検出するものである。したがって、レーザ加工機におけるレーザ加工領域やレーザ加工ヘッド周辺の火災発生を迅速に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】レーザ加工機の全体的構成を概略的に示した斜視説明図である。
【図２】レーザ加工機において、第１，第２の赤外線カメラの取付位置、及び第１，第２の赤外線カメラが交差する方向を指向して配置してあることを概略的に示した斜視説明図である。
【図３】赤外線カメラの全体的構成を示す説明図である。
【図４】赤外線カメラから火災発生箇所までの距離に対応しての補正する放射率の説明図である。
【図５】火災発生検出装置の機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を用いて本発明の実施形態に係るレーザ加工機について説明するに、レーザ加工機の全体的構成は公知である。しかし、理解を容易にするために、レーザ加工機の全体的構成について概略的に説明する。
【００１６】
図１を参照するに、本発明の実施形態に係るレーザ加工機１は、機台３を備えている。この機台３の全体的構成は、図１に概略的に示すように、Ｘ軸方向に長い直方体の形状をしている。そして、機台３の上面にはワークテーブル５が備えられている。このワークテーブル５には、Ｘ軸方向に複数に区画した集塵室７Ａ〜７Ｄが備えられている。上記集塵室７Ａ〜７Ｄの上側には、板状のワークを支持したパレット又は剣山テーブル（図示省略）がＸ軸方向に搬出入されるものである。
【００１７】
前記集塵室７Ａ〜７Ｄの上側は、ワークのレーザ加工を行うレーザ加工領域である。このレーザ加工領域に搬入されたワークのレーザ加工を行うために、レーザ加工ヘッド９がＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ相対的に移動位置決め自在に備えられている。すなわち、前記機台３のＹ軸方向の両側には、Ｘ軸方向のガイドレール１１が備えられている。そして、上記ガイドレール１１には、Ｙ軸方向に長いガイドビーム（キャリッジ）１３のＹ軸方向の両端部が移動自在に支持されている。このガイドビーム１３には、スライダ１５がＹ軸方向へ移動位置決め自在に備えられている。そして、このスライダ１５に、前記レーザ加工ヘッド９が上下動自在に備えられている。すなわち、レーザ加工ヘッド９は、ワークに対してＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ相対的に移動自在に備えられている。
【００１８】
したがって、制御装置（図示省略）の制御の下に、前記ガイドビーム１３をＸ軸方向に移動位置決めする。また、スライダ１５をＹ軸方向に移動位置決めし、かつレーザ加工ヘッド９を上下に位置決めすることにより、レーザ加工領域内のパスライン高さ位置に位置するワークに対してレーザ加工を行うことができる。
【００１９】
ところで、ワークのレーザ加工を行うと、レーザ加工位置から飛散するスパッタや、レーザ加工位置からのレーザ光の反射光によって、例えばレーザ加工ヘッド９に接続したホースやその継手等（図示省略）の可燃物に火災が発生することがある。したがって、本実施形態においては、前記レーザ加工領域において、ワークの上面よりも上方の空間における火災発生を検知する火災検知手段が講じられている。
【００２０】
すなわち、図２に概略的に示すように、前記ガイドビーム１３がＸ軸方向の基準位置（図２に示す状態の位置）に位置するときに、前記ガイドビーム１３の全体を撮像するように、火災発生検出手段としての第１の赤外線カメラ１９が水平方向に指向して（水平角度でカメラに入射する光線の強度が最も大きくなる方向）備えられている。より詳細には、前記第１の赤外線カメラ１９は、前記ガイドビーム１３のＸ軸方向の基準位置から離れたＸ軸方向の一端側の位置であって、かつＹ軸方向の基準位置から離れたＹ軸方向の一端側の位置（図１，２に示す位置）に備えられている。前記第１の赤外線カメラ１９は、ワークのレーザ加工時に、レーザ加工位置から飛散するスパッタを回避してレーザ加工ヘッド９の周辺を撮像する高さ位置に備えられている。
【００２１】
ところで、前記第１の赤外線カメラ１９における視野１９Ａの視野角は、赤外線カメラ１９の特性として、図２に示すように小さいので、この赤外線カメラ１９から前記ガイドビーム１３が遠く離れている場合には、ガイドビーム１３全体を撮像することはできる。しかし、ガイドビーム１３が基準位置から離れるようにＸ軸方向の一端側に移動し、前記赤外線カメラ１９にガイドビーム１３が近接すると、図２から理解されるように、ガイドビーム１３の一部、すなわちＹ軸方向の基準位置側が視野角１９Ａから外れるので、全体の撮像が難しくなる。すなわち、赤外線カメラ１９にガイドビーム１３が近接すると、赤外線カメラ１９の設置位置の関係で、ガイドビーム１３におけるＹ軸方向の基準位置側が視野角から外れて、死角になることがある。
【００２２】
そこで、本実施形態においては、前記ガイドビーム１３におけるＹ軸方向の基準側には、火災発生検出手段としての第２の赤外線カメラ２１が水平方向に指向して備えられている。この第２の赤外線カメラ２１は、前記レーザ加工ヘッド９周辺をＹ軸方向の一端側から撮像するもので、レーザ加工を停止して、レーザ加工ヘッド９が上昇した際に、レーザ加工ヘッド９に備えたレーザノズルの最上昇位置よりも高位置に備えられている。
【００２３】
既に理解されるように、レーザ加工機１におけるレーザ加工ヘッド９の周辺は、第１赤外線カメラ１９によってＸ軸方向から撮像され（第１赤外線カメラ１９の光軸はＸ軸方向に平行）、第２赤外線カメラ２１によってＹ軸方向の一端側から撮像されるものである（第２赤外線カメラの光軸はＹ軸方向に平行）。この場合、第１赤外線カメラ１９によって、レーザ加工ヘッド９におけるＹ軸方向の両側方を撮像することができる。
【００２４】
しかし、ガイドビーム１３が第１赤外線カメラ１９に近接すると、ガイドビーム１３のＹ軸方向の基準位置側が死角となり、撮像が難しくなる。ところが、第２の赤外線カメラ２１がガイドビーム１３のＹ軸方向の基準位置側（一端側）に備えられている。したがって、第１の赤外線カメラ１９の死角は、第２赤外線カメラ２１によってカバーされることになる。前記第２の赤外線カメラ２１においては、レーザ加工ヘッド９の反対側であって、第２赤外線カメラ２１の影となるＹ軸方向の他端側（第２赤外線カメラ２１を備えた側のＹ軸方向の反対側）は死角になる。しかし、この死角の範囲は第１赤外線カメラ１９によってカバーされることになる。
【００２５】
既に理解されるように、第１，第２の赤外線カメラ１９，２１によって、レーザ加工ヘッド９の周辺を、死角のない状態でもって監視できるものである。換言すれば、レーザ加工ヘッド９の周辺に火災が発生すると、第１，第２の赤外線カメラ１９，２１によって直ちに火災発生を検知できるものである。
【００２６】
ところで、前記第１，第２の赤外線カメラ１９，２１は、図３に示すように、直方体形状の框体２３に赤外線カメラ２５と可視光デジタルカメラ２７を備えた構成である。この赤外線カメラ１９，２１の構成は、既に公知であるが、次の機能を有するものである。すなわち、赤外線カメラ１９，２１は、例えばパソコン（図示省略）のモニタに、赤外線カメラ２５による赤外線画像、可視光デジタルカメラ２７による可視光画像及び両方の画像を組合せた画像を切り替え表示する機能を有する。また、検知温度が予め設定した温度閾値を超えると、アラームを自動的に作動させる機能を有するものである。さらに、火災発生箇所を検知し易いように、前記モニタの表示画面を複数の検出エリアに区画して表示する機能を有するものである。
【００２７】
したがって、赤外線カメラ１９，２１によってレーザ加工ヘッド９の周辺を常に監視し、ある領域が予め設定した温度閾値以上の温度であることを検知したときに、火災発生として検知できるものである。そして、複数に区画した検出エリアを見ることによって、火災発生箇所を直ちに知ることができるものである。
【００２８】
ところで、レーザ加工ヘッド９によるワークのレーザ加工位置は勿論のこと、レーザ加工ヘッド９におけるレーザノズルは、ワークのレーザ加工時には極めて高温になっている。したがって、ワークのレーザ加工時に、レーザ加工位置及びレーザノズルを、前記赤外線カメラ１９，２１によって撮像すると、火災検知の誤作動を起こすことになる。そこで、前記モニタの表示画面を上下に区画して、上側画面を検出エリアに設定してある。換言すれば、下側画面は非検出エリアに設定してある。
【００２９】
前記モニタの表示画面を上下に区画する画面区画手段としては、例えばマウス等を使用して設定するものである。すなわち、例えばモニタの表示画面に可視光画面を表示し、各赤外線カメラ１９，２１に対してレーザ加工ヘッド９を接近離反するように移動する。そして、表示画面上において、レーザノズルが表示された位置を、マウス等によってマーキングする。このマーキング位置に水平線を記入することによって表示画面を上下に区画するものである。
【００３０】
したがって、区画した上側の表示画面にはレーザノズルが表示されることはないものである。換言すれば、表示画面において上下に区画した上側の画面は、火災を検出する検出エリアであり、レーザ加工ヘッド９の移動位置に拘わりなくレーザ加工位置を常に排除した画面に設定してある。よって、ワークのレーザ加工時に、ワークのレーザ加工位置やレーザ加工ヘッド９のレーザノズル等の温度を検出するようなことがなく、火災検知の誤作動を生じるようなことがないものである。
【００３１】
さて、ワークのレーザ加工時に、前記レーザ加工ヘッド９の周辺に火災が発生すると、前記第１，第２の赤外線カメラ１９，２１によって検出されることになる。ところで、レーザ加工機１におけるレーザ加工ヘッド９の周辺には、難燃性の材料が使用されている。したがって、レーザ加工時のスパッタが周辺の材料に付着した場合であっても、直ちに火災発生となるものではない。また、自己消化性によって消火することもある。
【００３２】
ところで、レーザ加工ヘッド９を移動するための、例えばボールネジに使用されているマシン油（潤滑油）が、例えば前記ボールネジをカバーするジャバラ等に付着すると、難燃性材料から構成してあるジャバラ等に火災が発生することがある。この場合、自己消火機能を奏することなく、燃焼が継続することがある。そこで、レーザ加工ヘッド９の周辺に火災が発生したことを検出するには、予め設定した温度以上を、予め設定した時間継続して検出した場合に、火災発生として検出するものである。
【００３３】
ところで、マシン油の引火点は１０６℃〜２７０℃である。したがって、予め設定した温度としては、例えば１００℃とすることが望ましい。そして、難燃性材料においては、火災持続時間は１０秒以下であることが望まれている。したがって、予め設定した時間としては、１０秒であることが望ましい。よって、本実施形態においては、予め設定した温度（例えば１００℃）以上を、予め設定した時間（例えば１０秒）継続して検出すると、火災発生として検出されるものである。
【００３４】
ところで、赤外線カメラ１９，２１においては、水平４５度、上下３５度のエリアのうち、例えば３画素×３画素（９画素）を検出の最小単位としてホットスポット（１００℃以上）を検出する。したがって、赤外線カメラ１９，２１から約１ｍ離れた位置では約９．９ｍｍ×９．９ｍｍ以上のホットスポットであれば検知することができる。そして、約５ｍ離れた位置のホットスポットは５２．５ｍｍ×５２．５ｍｍ以上のホットスポットになって初めて検知することができる。
【００３５】
すなわち、赤外線カメラ１９，２１から距離が大きくなるほど、前記９画素の視野が大きくなる。したがって、赤外線カメラ１９，２１には、火災を発生した燃焼位置から放射される赤外線のみならず、例えば燃焼位置周辺も入射されることになる。よって、燃焼面積の大きさが同一であっても、近場の場合には延焼が小さくても早めに検知することができる。そして、遠く離れている場合には、延焼が大きくなって危険性が大きくなってからようやく検知することになる。したがって、燃焼面積が同一の場合には、燃焼位置が近い場合であっても、遠い場合であっても検出の遅れがなく同程度の火災発生として検知することが望まれる。
【００３６】
そこで、前記集塵室７Ａ〜７Ｄに対応したエリア１（Ｘ０ｍｍ〜Ｘ１５００ｍｍ）、エリア２（Ｘ１５００ｍｍ〜Ｘ３０００ｍｍ）、エリア３（Ｘ３０００ｍｍ〜Ｘ４０００ｍｍ）、エリア４（Ｘ４０００ｍｍ〜Ｘ５３００ｍｍ）の各エリアにおいて、赤外線カメラ１９が１００℃を検出するために、各エリア１〜４においての放射率εをどのように補正したらよいのかを予め実験的に求めた。具体的には燃焼物に対して赤外線カメラ１９を各2.0ｍ、3.0ｍ、4.0ｍ、5.0ｍ離した距離に位置させ、各距離で放射率を1から順次下げていき、測定温度が100℃を越えるまで測定したところ、図４に示すごとき結果が得られた。
【００３７】
すなわち、図４より理解されるように、距離２ｍの場合には、放射率εを約０．９５に補正すると、赤外線カメラ１９，２１においては、火災発生を１００℃以上として検出できる。したがって、前記エリア１においての検出をより迅速に行うために、放射率εを０．９に予め補正する。また、距離３ｍにおいての放射率εを約０．７に補正すると、赤外線カメラ１９，２１は火災発生を１００℃以上として検出できる。したがって、前記エリア２においての放射率εは０．７に予め補正することが望ましいものである。
【００３８】
同様に、距離４ｍの場合には、放射率εは約０．３５に補正することにより、火災発生を１００℃以上として検出できる。したがって、エリア３においての放射率εは０．３に予め補正することが望ましいものである。そして、距離５ｍの場合には、放射率εは約０．１１に補正することにより、火災発生を１００℃以上として検出できる。したがって、エリア４においての放射率εは予め０．１に補正することが望ましいものである。
【００３９】
ところで、レーザ加工ヘッド９及びその周辺からの赤外線の放射及び反射はレーザ加工機の構成によって異なる。したがって、図４に示したごとき距離と放射率との関係を示すデータは、レーザ加工機の機種毎に定めることが望ましいものである。
【００４０】
なお、前記ガイドビーム１３のＸ軸方向への移動位置は、例えば、ガイドビーム１３をＸ軸方向に移動するための位置指令値、又は、ガイドビーム１３を移動するためのボールネジ機構を回転駆動するためのサーボモータに備えたロータリーエンコーダ等の位置検出手段によって知ることができる。したがって、前記赤外線カメラ１９からガイドビーム１３までの距離は演算手段によって演算することができる。
【００４１】
したがって、レーザ加工機１において火災発生を検出するための火災発生検出装置２９は、次のように構成してある。すなわち、火災発生検出装置２９は、例えばコンピュータから構成してあって、前記各エリア１〜４毎に予め補正した放射率εを補正パラメータとして格納したパラメータテーブル３１を備えている。上記火災発生検出装置２９には、火災発生検出手段としての前記赤外線カメラ１９，２１が接続してある。さらに、前記火災検出装置２９には、前記ガイドビーム１３のＸ軸方向の位置や、レーザ加工ヘッド９のＹ軸方向の位置を検出する、例えばロータリーエンコーダ等のごとき位置検出手段３３が接続してある。
【００４２】
そして、前記火災発生検出装置２９には、演算手段３５が備えられている。この演算手段３５は、前記位置検出値３３の検出位置に対応して前記パラメータテーブル３１から補正パラメータとしての放射率εを検索する。そして、前記赤外線カメラ１９，２１の検出値と前記放射率εとに基づいて火災発生位置の温度を演算する機能を有する。
【００４３】
さらに、前記火災発生検出装置２９には比較手段３７が備えられている。この比較手段３７は、設定値メモリ３９に予め格納した設定温度（１００℃）と、前記演算手段３５によって演算した検出温度とを比較する機能を有する。また、前記比較手段３７は、前記設定値メモリ３９に予め格納した設定時間（１０秒）と、前記演算手段３５によって演算した検出温度が前記設定温度以上である場合の継続時間とを比較する機能を有するものである。
【００４４】
前記比較手段３７による比較結果は、火災発生検出装置２９に接続した表示手段４１に表示される。また、比較手段３７による比較の結果、検出温度が１００℃以上で、継続時間が１０秒以上の時には、火災発生としてアラーム停止手段４３に通知される。アラーム停止手段４３に火災発生が通知されると、レーザ加工機１を制御する制御装置（図示省略）を介してレーザ加工機１の作動が停止される。
【００４５】
また、前記比較手段３７による比較の結果、火災発生が検出されると、報知手段４５に報知される。したがって、報知手段４５においては、例えば音やライト等によって作業者に火災発生を報知する。したがって、作業者は消火作業を行うことになる。
【００４６】
以上のごとき説明から理解されるように、本実施形態においては、レーザ加工機におけるレーザ加工ヘッド９の周辺における火災発生を検出する火災発生検出手段として赤外線カメラ１９，２１を使用している。そして、前記赤外線カメラ１９，２１の位置からレーザ加工ヘッド９が最も離れた位置の間を複数の検出エリアに予め区画してある。そして、各検出エリア毎に放射率が予め補正してあり、この予め補正した放射率によって赤外線カメラ１９，２１の検出値を補正して火災発生の検出を行っている。
【００４７】
したがって、レーザ加工ヘッド９の移動によって赤外線カメラ１９，２１と火災発生箇所との距離が変化する場合であっても、火災発生を迅速に、かつ正確に検出することができる。
【符号の説明】
【００４８】
１  レーザ加工機
３  機台
５  ワークテーブル
７Ａ〜７Ｄ  集塵室
９  レーザ加工ヘッド
１３  ガイドビーム
１９  第１の赤外線カメラ
２１  第２の赤外線カメラ
２５  赤外線カメラ
２７  可視光デジタルカメラ
２９  火災発生検出装置
３１  パラメータテーブル
３３  位置検出手段
３５  演算手段
３７  比較手段
３９  設定値メモリ
４１  表示手段
４３  アラーム停止手段
４５  報知手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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