(57)【要約】【課題】回転軸を安定して高速回転させることができるエアタービン駆動スピンドルを提供する。【解決手段】エアタービン駆動スピンドル２００において、軸受部２は、回転軸１の外周面の少なくとも一部を取り囲む。ダンパリング５０は、軸受部２の外周側に配置される。カバー部材５は、ダンパリング５０の外周側に配置されるとともに、回転軸１、軸受部２、およびダンパリング５０を収容する。ダンパリング５０の固定部５５は、カバー部材５に固定される。少なくとも１つ以上のＯリング２４は、ダンパリング５０と軸受部２との間の空隙において、回転軸１のスラスト方向にてダンパリング５０の固定部５５と重ならない位置である前側部分５１および後側部分５２に配置される。【選択図】図１
2018021527.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸と、
前記回転軸の外周面の少なくとも一部を取り囲む軸受部と、
前記軸受部の外周側に配置された支持部材と、
前記支持部材の外周側に配置されるとともに、前記回転軸、前記軸受部、および前記支持部材を収容するカバー部材とを備え、
前記支持部材の一部は、前記軸受部および前記カバー部材のいずれか一方に固定され、さらに、
前記支持部材と前記軸受部および前記カバー部材のいずれか他方との間の空隙において、前記回転軸のスラスト方向にて前記支持部材の前記一部と重ならない位置に配置された少なくとも１つ以上のＯリングを備える、エアタービン駆動スピンドル。
【請求項２】
前記支持部材を構成する材料は、金属を含む、請求項１に記載のエアタービン駆動スピンドル。
【請求項３】
前記支持部材を構成する材料は、樹脂を含む、請求項１に記載のエアタービン駆動スピンドル。
【請求項４】
前記支持部材は前記軸受部を取り囲むように形成された環状部材であり、
前記支持部材における前記回転軸のスラスト方向での端部には、切れ込みが形成されている、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のエアタービン駆動スピンドル。
【請求項５】
前記Ｏリングは、前記支持部材において前記切れ込みが形成された部分に接触するように配置された第１のＯリングを含む、請求項４に記載のエアタービン駆動スピンドル。
【請求項６】
前記カバー部材および前記支持部材の少なくともいずれか一方に、前記空隙に連なる連通孔部が形成され、
前記連通孔部に気体を供給する供給部と、
前記回転軸のスラスト方向において前記連通孔部を挟むように前記空隙に配置された複数のシール用Ｏリングとを備え、
前記Ｏリングは、前記回転軸のスラスト方向において前記複数のシール用Ｏリングを挟むように配置された複数のダンパ用Ｏリングを含む、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のエアタービン駆動スピンドル。
【請求項７】
前記複数のシール用Ｏリングを構成する材料は、前記複数のダンパ用Ｏリングを構成する材料と異なる、請求項６に記載のエアタービン駆動スピンドル。
【請求項８】
前記複数のダンパ用Ｏリングのつぶし代は０．３ｍｍ未満である、請求項６または請求項７に記載のエアタービン駆動スピンドル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、精密加工機や静電塗装装置などに適用されるエアタービン駆動スピンドルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、精密加工機や静電塗装装置に用いられるエアタービン駆動スピンドル（以下、スピンドルとも呼ぶ）が知られている。たとえば、特開平９−７２３３８号公報は、回転軸を回転可能に支持する軸受部材がハウジング内に保持されているスピンドルを開示している。
【０００３】
静電塗装機用のスピンドルは、回転軸の先端にカップを取り付けて１分あたりの回転数を数万回転とした条件での運転を常用としている。ここで、回転軸の先端に取り付けたカップについてアンバランスになるなどの不具合は、回転軸の１回転につき１回の振動（１次振動）を発生させる場合がある。この振動は塗装機全体に悪影響を及ぼし、塗装品質を低下させるばかりか、スピンドルを構成する静圧軸受の性能にも悪影響を及ぼし異常振動が発生する場合もある。
【０００４】
よって、塗装機用のエアスピンドルは振動を吸収する機構が必要である。特開平９−７２３３８号公報では、ハウジングに対して軸受部材がＯリングを介して支持されている。このようなＯリングは、通常、ゴムなどの弾性体によって構成されている。Ｏリングは、スピンドルの回転軸が高速回転することにより発生する振動を吸収・減衰し、スピンドルの動作を安定させるといった機能を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−７２３３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
エアタービン駆動スピンドルにおいては、振動を吸収する性能、つまり減衰性能を高めることで、振動による悪影響を抑制できると同時に耐アンバランス性能も向上することが期待できる。したがって、このような減衰性能を向上させることは重要なことである。スピンドルにおける減衰性能を向上させるには、減衰性能の高いＯリングを選択すれば良い。
【０００７】
ここで、スピンドルが使用される静電塗装装置などは、溶剤雰囲気中で使用されるため、上述したＯリングについて耐溶剤性に優れた材料を用いる必要がある。このような耐溶剤性に優れた材料としては、パーフロロエラストマーが知られている。パーフロロエラストマーは、耐溶剤性に優れているが、Ｏリングに一般的に用いられるゴム材料（たとえばフッ素ゴムやニトリルゴムなど）に比べて硬度が高い。その結果、パーフロロエラストマー製のＯリングは、外力に対する変形量が一般的なＯリングに比べて小さい。このため、回転軸の回転に起因する振動をＯリングにより十分に吸収することができず、結果的にスピンドルの回転軸を安定して高速回転させることができない場合があった。
【０００８】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の目的は、回転軸を安定して高速回転させることができるエアタービン駆動スピンドルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に従ったエアタービン駆動スピンドルは、回転軸と、軸受部と、支持部材と、カバー部材と、少なくとも１つ以上のＯリングとを備える。軸受部は、回転軸の外周面の少なくとも一部を取り囲む。支持部材は、軸受部の外周側に配置される。カバー部材は、支持部材の外周側に配置されるとともに、回転軸、軸受部、および支持部材を収容する。支持部材の一部は、軸受部およびカバー部材のいずれか一方に固定される。少なくとも１つ以上のＯリングは、支持部材と軸受部およびカバー部材のいずれか他方との間の空隙において、回転軸のスラスト方向にて支持部材の上記一部と重ならない位置に配置される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、支持部材とＯリングとにより振動に対する減衰性能を向上させることにより、回転軸を安定して高速回転させることができるエアタービン駆動スピンドルを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態１に係るエアタービン駆動スピンドルの断面模式図である。
【図２】実施の形態１に係るエアタービン駆動スピンドルにおける部分断面模式図である。
【図３】実施の形態２に係るエアタービン駆動スピンドルにおける部分断面模式図である。
【図４】実施の形態３に係るエアタービン駆動スピンドルにおける部分断面模式図である。
【図５】実施の形態４に係るエアタービン駆動スピンドルにおける部分断面模式図である。
【図６】図５に示したエアタービン駆動スピンドルのダンパリングの斜視模式図である。
【図７】実施の形態５に係るエアタービン駆動スピンドルにおける部分断面模式図である。
【図８】本実施の形態に係るシール用Ｏリングの機能を説明するための拡大断面模式図である。
【図９】図８の領域ＩＸの拡大断面模式図である。
【図１０】参考例に係るシール用Ｏリングについて軸受け用気体が供給されていない場合の拡大断面模式図である。
【図１１】図１０の領域ＸＩの拡大断面模式図である。
【図１２】参考例に係るシール用Ｏリングについて軸受用気体が供給されている場合の拡大断面模式図である。
【図１３】図１２の領域ＸＩＩＩの拡大断面模式図である。
【図１４】シール用Ｏリングが配置される溝の変形例を説明するための拡大断面模式図である。
【図１５】図１４の領域ＸＶの拡大断面模式図である。
【図１６】シール用Ｏリングが配置される溝の変形例を説明するための拡大断面模式図である。
【図１７】図１６の領域ＸＶＩＩの拡大断面模式図である。
【図１８】シール用Ｏリングが配置される溝の変形例を説明するための拡大断面模式図である。
【図１９】図１８の領域ＸＩＸの拡大断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰り返さない。
【００１３】
（実施の形態１）
＜エアタービン駆動スピンドルの構成＞
図１および図２を参照しながら、本実施の形態に係るエアタービン駆動スピンドル２００の構成について説明する。図１は、本実施の形態に係るエアタービン駆動スピンドル２００の断面模式図である。図２は、本実施の形態に係るエアタービン駆動スピンドル２００における部分断面模式図である。
【００１４】
エアタービン駆動スピンドル２００は、回転軸１と、回転軸１をラジアル方向に支持するジャーナル軸受７と、回転軸１をスラスト方向（軸方向）に支持するスラスト軸受８と、回転軸１をジャーナル軸受７およびスラスト軸受８を介して回転可能に支持する軸受部２と、軸受部２の外周側に位置する支持部材としてのダンパリング５０と、ダンパリング５０の外周側に位置するカバー部材５と、軸受部２とダンパリング５０との間に配置された複数のＯリング２４とを主に備える。前記ダンパリング５０の一部である固定部５５は、その外周面が固定面５５ａとなっており、当該固定面５５ａを介してカバー部材５に固定されている。Ｏリング２４は、ダンパリング５０と軸受部２との間の空隙において、回転軸１のスラスト方向にてダンパリング５０の固定部５５と重ならない位置に配置されている。以下、エアタービン駆動スピンドル２００の構成をより具体的に説明する。
【００１５】
カバー部材５には、スラスト方向において回転軸１を覆うようにノズル板６が固定して設けられている。カバー部材５は、軸受部２に含まれるハウジング３の外周面３ａの少なくとも一部を取り囲む。ノズル板６には、駆動用気体供給部（図示せず）が接続されている。ジャーナル軸受７およびスラスト軸受８は、たとえば静圧気体軸受として構成されている。
【００１６】
回転軸１は、円筒形状を有する軸部１ｂと、軸部１ｂに対してラジアル方向に延びるように形成されているスラスト板部１ｃとを含む。スラスト板部１ｃは、軸部１ｂのスラスト方向における一方の端部に結合されている。以下、スラスト方向においてスラスト板部１ｃが設けられている側を「後側」、軸部１ｂのスラスト方向において後側と反対側を「前側」という。
【００１７】
軸部１ｂおよびスラスト板部１ｃには、スラスト方向に延びる貫通孔１７が形成されている。エアタービン駆動スピンドル２００が静電塗装機用に構成されている場合には、回転軸１の前側の端部に円錐形のカップ８０が取り付けられる。貫通孔１７の内部にはカップ８０に塗料を供給するための塗料供給管４５が配置される。スラスト板部１ｃには、回転翼１５および回転翼１５の内周側に配置される被回転検出部（図示せず）が形成されている。
【００１８】
回転軸１は、軸部１ｂの一部が軸受部２に収容されている。軸受部２は、ハウジング３と軸受スリーブ４とを含む。なお、ハウジング３は、「ハウジング部材」の一実施形態に対応する。軸受スリーブ４は、「軸受部材」の一実施形態に対応する。軸受スリーブ４は、回転軸１の軸部１ｂの外周面１ａおよびスラスト板部１ｃの前側の平面の各一部に面しており、軸部１ｂの一部を囲むように形成されている。ハウジング３は、ラジアル方向において軸受スリーブ４よりも外周側に配置され、軸受スリーブ４に固定されている。ハウジング３は、軸受スリーブ４の外周側から、軸部１ｂの外周面１ａの少なくとも一部を取り囲む。
【００１９】
回転軸１のスラスト板部１ｃは、ラジアル方向において外周側に位置する領域が薄肉部を有している。薄肉部は、回転中心軸側（中央側）に位置する領域（厚肉部）よりもスラスト方向における厚みが薄い領域である。厚肉部は、貫通孔１７を囲むように形成されている。薄肉部は、厚肉部を囲むように形成されている。
【００２０】
回転翼１５は、スラスト板部１ｃの薄肉部上において、後側に位置する面からスラスト方向に延びるように形成されている。回転軸１は、回転翼１５が駆動用気体供給部から噴出された気体（駆動用気体ともいう）を受けることにより回転可能に設けられている。複数の回転翼１５は、回転軸１の回転方向に互いに間隔を隔てて設けられている。好ましくは、複数の回転翼１５において隣り合う回転翼１５は等間隔に設けられている。複数の回転翼１５は、スラスト板部１ｃの外周に沿って配置されている。複数の回転翼１５のスラスト方向に垂直な断面形状は任意の形状であればよい。たとえば、当該断面形状は、回転方向において前方に位置して回転方向に凸状に形成されている前方曲面部と、回転方向において後方に位置して回転方向に凸状に形成されている後方曲面部とを有している。
【００２１】
スラスト板部１ｃにおいて、薄肉部と厚肉部との境界領域は、スラスト方向における厚みがゆるやかに変化するように設けられている。つまり、スラスト板部１ｃの後側に位置する面は、薄肉部と厚肉部との間に曲面を有している。
【００２２】
スラスト板部１ｃの厚肉部において後側の面上には、被回転検出部（図示せず）が形成されている。被回転検出部は、回転軸１の回転を光学的に検出するための任意の構成を採用できるが、たとえば、回転方向において分割される複数の領域ごとに異なる反射率となるように表面処理が施されていてもよい。具体的には、厚肉部において後側に位置する面のうち、回転軸１の回転方向における半分の領域が他の半分の領域よりもレーザ光などの光が照射されたときに反射光の強度が高くなるように設けられている。
【００２３】
供給部１００は、たとえば、エアコンプレッサであり、供給口９から気体（軸受用気体ともいう）を供給（噴出）する。カバー部材５、ダンパリング５０、ハウジング３、および軸受スリーブ４には、ラジアル方向の一部に軸受用供給路１０が形成されている。軸受用供給路１０は、ダンパリング５０とハウジング３との間に形成された空隙４４と連通孔部２５を介して連通している。供給部１００によって供給口９から供給された軸受用気体は、軸受用供給路１０を経由して連通孔部２５を介して空隙４４へと流れ込む。軸受用気体は、たとえば圧縮空気である。なお、空隙４４は、「第１の空隙」の一実施形態に対応する。なお、ダンパリング５０の固定面５５ａがカバー部材５の表面に密着することで、軸受用供給路１０を構成するカバー部材５に形成された孔とダンパリング５０に形成された孔とは気密に接続されている。
【００２４】
軸部１ｂと軸受スリーブ４との間には、空隙４１が形成されている。スラスト板部１ｃと軸受スリーブ４との間には、空隙４２が形成されている。軸受用供給路１０は、空隙４１および空隙４２のそれぞれと連通している。軸受用供給路１０において空隙４１および空隙４２と連通されている部分の孔径は供給口９の孔径よりも小さいことによりいわゆる絞りが形成されている。供給部１００から軸受用気体が供給されると、軸受用供給路１０および空隙４１、４２、４４に軸受用気体が充填する。
【００２５】
ジャーナル軸受７は、供給部１００から軸受用供給路１０に供給された軸受用気体が空隙４１に供給されることにより構成される。スラスト軸受８は、供給部１００から軸受用供給路１０に供給された軸受用気体が空隙４２に供給されることにより押圧力と磁石１６の吸引力により構成される。
【００２６】
ハウジング３には、スラスト板部１ｃとスラスト方向において対向する領域に磁石１６が配置されている。磁石１６はスラスト板部１ｃに対して磁気力を印加する。磁石１６は、たとえば永久磁石である。磁石１６はスラスト板部１ｃを磁気力により吸引する。磁石１６は、たとえば回転翼１５が形成されているスラスト板部１ｃの薄肉部とスラスト方向において対向するように設けられている。磁石１６は、スラスト方向から見たときの平面形状がたとえば円環形状である。
【００２７】
カバー部材５は、スラスト方向においてノズル板６と固定されている。ノズル板６は、回転軸１において軸受部２およびカバー部材５に収容されていない部分（スラスト板部１ｃのラジアル方向における外周端面およびスラスト板部１ｃの後側に位置する面）を囲むように形成されている。
【００２８】
ノズル板６は、回転軸１よりも後側に配置されている。ノズル板６の内部には、駆動用給気路１３および駆動用給気ノズル１４が形成されている。駆動用給気路１３は、その一方端がノズル板６の内周面上の駆動用気体給気口１２と連通し、他方端が駆動用給気ノズル１４に連通している。駆動用給気路１３および駆動用給気ノズル１４は、回転翼１５に駆動用気体を供給させるための流通路である。駆動用気体は、たとえば圧縮空気である。駆動用気体給気口１２から駆動用気体を供給する駆動用気体供給部（図示せず）は、供給部１００と兼用するようにしてもよいし、供給部１００とは異なるものであってもよい。
【００２９】
駆動用給気ノズル１４は、回転翼１５に対し、ラジアル方向において回転軸１の外周側から内周側に向かって駆動用気体を噴出可能である。駆動用給気路１３および駆動用給気ノズル１４は、回転方向において互いに間隔を隔てて複数形成されていてもよい。つまり、駆動用給気路１３および駆動用給気ノズル１４は、回転方向に任意の間隔を隔てて設けられている回転翼１５に対して、同一の回転方向に同時に駆動用気体を供給可能であってもよい。
【００３０】
ノズル板６には、貫通孔１７よりもラジアル方向の外周側に回転センサ挿入口１８が形成されている。回転センサ挿入口１８は、スラスト板部１ｃに設置された被回転検出部とスラスト方向において対向するように形成されている。回転センサ挿入口１８は、被回転検出部に対してレーザ光などの光を照射し、反射光を得るための回転センサを配置するために形成されている。このような構成を備えることにより、エアタービン駆動スピンドル２００では回転軸１の回転数を光学的に測定することができる。
【００３１】
排気孔１１は、ノズル板６において、駆動用給気路１３および駆動用給気ノズル１４よりもラジアル方向における中央側に形成されている。排気孔１１は、排気空間２０からノズル板６の外部に連通するように形成されている。
【００３２】
ダンパリング５０は、ラジアル方向における軸受部２の外周側において軸受部２を取り囲むように、ハウジング３の外周面３ａに沿って周方向に設けられている。ダンパリング５０の固定部５５は、外周面が固定面５５ａであって、当該固定面５５ａがカバー部材５に固定されている。エアタービン駆動スピンドル２００は、ダンパリング５０を備えることにより、ラジアル方向にＯリング２４と当該ダンパリング５０という２段階での振動を吸収または減衰する機構を有する。なお、ダンパリング５０は、「支持部材」の一実施形態に対応する。
【００３３】
本実施の形態に係るダンパリング５０の形状について説明する。ダンパリング５０は、中空の環状部材であり、主にエアタービン駆動スピンドル２００の重心２９（図１参照）よりも前側に配置される前側部分５１と、主に重心２９（図１参照）よりも後側に配置される後側部分５２と、前側部分５１と後側部分５２との間に配置された中間部分としての固定部５５とを含む。固定部５５には、軸受用供給路１０を構成し、かつ連通孔部２５にも対応する穴が複数形成される。前側部分５１は、固定部５５から回転軸１の前側に延びる部分である。後側部分５２は、固定部５５から回転軸１の後側に延びる部分である。前側部分５１および後側部分５２は筒状の形状を有する。前側部分５１および後側部分５２のラジアル方向での厚さは、固定部５５のラジアル方向での厚さより薄い。
【００３４】
図１および図２に示すように、ダンパリング５０には、ラジアル方向における軸受部２側（内周側）の面に、少なくとも１つ以上の溝が形成される。本実施の形態においては、後側部分５２の内周側の面に溝３３が形成されている。また、前側部分５１の内周側の面に溝３４が形成されている。
【００３５】
各溝３３、３４は、回転軸１の回転中心軸の周りを周回するようにダンパリング５０の表面に形成された環状溝である。図１および図２に示すように、各溝３３、３４のそれぞれには、Ｏリング２４が係合される。
【００３６】
溝３３および溝３４のそれぞれに係合されたＯリング２４は、その断面の直径が溝３３および溝３４のそれぞれの深さよりも長く、かつハウジング３の外周面３ａと接触する。これにより、溝３３および溝３４のそれぞれに係合されたＯリング２４によって、ダンパリング５０と、ハウジング３との間に空隙４４が形成される。ダンパリング５０と、ハウジング３とは、空隙４４の存在によって直接接触しない。
【００３７】
溝３３および溝３４のそれぞれに係合されたＯリング２４によって、軸受ユニット（回転軸１および軸受部２など）が、ダンパリング５０を介してカバー部材５に対して保持される。
【００３８】
Ｏリング２４は、弾力性を有する部材である。エアタービン駆動スピンドル２００が作動すると、カップ８０が装着された回転軸１の先端側での振れ回りにより振動が発生する。溝３３、３４のそれぞれに係合するＯリング２４に振動が伝わると、その弾力性から、Ｏリングが変形する。Ｏリング２４は、変形することで振動を吸収することができる。このように、Ｏリング２４は、減衰性能を有する。
【００３９】
また、ダンパリング５０では、固定部５５の厚さに対して前側部分５１および後側部分５２の厚さが薄くなっており、固定部５５に対して前側部分５１および後側部分５２が相対的に変位可能になっている。このため、前側部分５１および後側部分５２が固定部５５に対して変位することで、回転軸１の振動などを吸収・減衰させることができる。ダンパリング５０を構成する材料としては、ステンレス鋼などの金属を用いてもよいし、樹脂を用いてもよい。なお、ダンパリング５０の材質を、より縦弾性係数の小さい材質にすることも考えられる。例えばステンレス鋼に代えてアルミニウムを用いてもよい。また、ダンパリング５０の材質は変えず、前側部分５１や後側部分５２を薄肉にすることで変形し易くし、振動を減衰しやすくしてもよい。
【００４０】
＜エアタービン駆動スピンドルの動作＞
次に、本実施の形態に係るエアタービン駆動スピンドル２００の動作について説明する。
【００４１】
エアタービン駆動スピンドル２００が動作すると、駆動用気体は、駆動用気体給気口１２から駆動用給気路１３を通じて駆動用給気ノズル１４に供給される。駆動用給気ノズル１４に供給された駆動用気体は、回転軸１のスラスト板部１ｃの回転翼１５に向けて、スラスト板部１ｃの接線方向（回転方向）とほぼ平行な方向に沿って噴出される。回転翼１５は噴出された駆動用気体を後方曲面部において受ける。このとき、回転翼１５に噴出された駆動用気体は後方曲面部の外周側に到達し、後方曲面部に沿って流れることで向きを変えられ、排気空間２０を経由して排気孔１１から外部に排気される。回転翼１５には駆動用気体に与えた力の反力が作用し、回転軸１のスラスト板部１ｃは回転トルクを与えられる。これにより、回転軸１は回転方向に沿って回転する。回転軸１の回転数は、たとえば数万ｒｐｍ以上とすることができる。このため、エアタービン駆動スピンドル２００は、たとえば静電塗装機用スピンドルに好適である。
【００４２】
＜作用効果＞
この発明に従ったエアタービン駆動スピンドル２００は、回転軸１と、軸受部２と、支持部材としてのダンパリング５０と、カバー部材５と、少なくとも１つ以上のＯリング２４とを備える。軸受部２は、回転軸１の外周面の少なくとも一部を取り囲む。ダンパリング５０は、軸受部２の外周側に配置される。カバー部材５は、ダンパリング５０の外周側に配置されるとともに、回転軸１、軸受部２、およびダンパリング５０を収容する。ダンパリング５０の一部（固定部５５）は、軸受部２およびカバー部材５のいずれか一方（図１および図２ではカバー部材５）に固定される。少なくとも１つ以上のＯリング２４は、ダンパリング５０と軸受部２およびカバー部材５のいずれか他方（図１および図２では軸受部２）との間の空隙４４において、回転軸１のスラスト方向にてダンパリング５０の上記一部（固定部５５）と重ならない位置（前側部分５１および後側部分５２）に配置される。
【００４３】
このようにすれば、回転軸１の振動を、Ｏリング２４により吸収または減衰させるとともに、ダンパリング５０の前側部分５１および後側部分５２が変位する（弾性変形する）ことで吸収または減衰することができる。このため、回転軸１を安定して高速回転させることができる。
【００４４】
上記エアタービン駆動スピンドル２００において、ダンパリング５０を構成する材料は、金属を含んでいてもよく、樹脂を含んでいてもよい。ダンパリング５０の前側部分５１および後側部分５２が弾性変形可能とできれば、スピンドル２００の使用環境などを考慮して上述した材料を選択して用いることができる。
【００４５】
（実施の形態２）
＜エアタービン駆動スピンドルの構成＞
図３を参照して、実施の形態２に係るエアタービン駆動スピンドルを説明する。図３は、実施の形態２に係るエアタービン駆動スピンドルを説明するための断面模式図であり、エアタービン駆動スピンドルの上半分を示したものである。
【００４６】
図３に示したエアタービン駆動スピンドルは、基本的には図１および図２に示したエアタービン駆動スピンドルと同様の構成を備えるが、ダンパリング５０とハウジング３との間に、図１に示したＯリング２４に加えて、さらに３本目および４本目と追加のＯリング２４を備えている点が異なる。
【００４７】
具体的には、図３に示すように、ダンパリング５０の内周面（ハウジング３と対向する面）において、溝３３と溝３４との間の領域に溝３１、３２が形成されている。溝３１および溝３２は、スラスト方向において連通孔部２５を挟むように配置されている。溝３１および溝３２は、回転軸１の回転中心軸周りに周回するようにダンパリング５０の内周面に形成された環状溝である。追加のＯリング２４は溝３１、３２の内部に配置されている。追加のＯリング２４は、溝３１、３２の内周面とハウジング３の表面とに接触している。
【００４８】
＜作用効果＞
上記エアタービン駆動スピンドルにおいて、カバー部材５およびダンパリング５０の少なくともいずれか一方（図３ではダンパリング５０）に、Ｏリング２４が配置される空隙４４（図１参照）に連なる連通孔部２５（図１参照）が形成される。上記エアタービン駆動スピンドルは、連通孔部２５に気体を供給する供給部１００と、複数のシール用Ｏリング（溝３１、３２に配置されたＯリング２４）とを備える。複数のシール用Ｏリングとしての溝３１、３２に配置されたＯリング２４は、回転軸１のスラスト方向において連通孔部２５を挟むように空隙４４に配置される。空隙４４に配置される１つ以上のＯリングは、複数のダンパ用Ｏリング（溝３３、３４に配置されたＯリング）を含む。複数のダンパ用Ｏリングとしての溝３３、３４に配置されたＯリングは、回転軸１のスラスト方向において溝３１、３２に配置されたＯリング２４を挟むように配置される。
【００４９】
このように連通孔部２５に相対的に近い位置の溝３１、３２に配置されたＯリング２４を、シール用Ｏリングとして利用する。なお、溝３１、３２に配置されたＯリング２４については振動に対する減衰性能も有している。そして、連通孔部２５から相対的に遠い位置の溝３３、３４に配置されたＯリング２４を、減衰性能を主な特性とするダンパ用Ｏリングとして利用する。
【００５０】
ここで、振動の発生源は主に回転軸１の先端に固定されたカップ８０（図１参照）である。図３の構造では、回転軸１の重心付近にシール用Ｏリングとして溝３１、３２に配置されたＯリング２４が設置されているので、当該Ｏリング２４を中心としたすりこぎ運動により振動が発生し得る。
【００５１】
シール用Ｏリングの位置では、Ｏリング２４の機能として、振動の減衰よりも、連通孔部２５から空隙４４（図１参照）に流れ込む圧縮空気をシールする機能が主なものとなる。一方、外側のダンパ用Ｏリング（溝３３、３４に配置されたＯリング２４）は、上記すりこぎ運動の運動エネルギーが大きい部分を支えるので、振動を減衰させるダンパ用Ｏリングとしての役割が大きい。また、上述した溝３１、３２に配置されたＯリング２４により圧縮空気はシールされているので、溝３３、３４に配置されたＯリング２４は、当該圧縮空気による応力をほとんど受けない。このようにＯリング２４ごとに役割を分けることで、ダンパ用Ｏリングについて十分な減衰性能を発揮することができる。また、ダンパ用Ｏリング２４が外気を遮断するので、シール用Ｏリングは外気の雰囲気に触れない。したがって、シール用Ｏリングである溝３１、３２に配置されたＯリング２４について、耐溶剤性を考慮することなく材質の種類を自由に選択することができる。たとえば、溝３１、３２に配置されたＯリング２４の材質について、一般的な材質、たとえばニトリルゴムやフッ素ゴムを用いることができる。一方、ダンパ用Ｏリングとしての溝３３、３４に配置されたＯリング２４の材質については、たとえば耐溶剤性などを考慮しパーフロロエラストマーを用いることができる。このように、複数のシール用Ｏリング（溝３１、３２に配置されたＯリング２４）を構成する材料は、複数のダンパ用Ｏリング（溝３３、３４に配置されたＯリング２４）を構成する材料と異なるようにしてもよい。
【００５２】
（実施の形態３）
＜エアタービン駆動スピンドルの構成＞
図４を参照して、実施の形態３に係るエアタービン駆動スピンドルを説明する。図４は、実施の形態３に係るエアタービン駆動スピンドルを説明するための断面模式図であり、エアタービン駆動スピンドルの上半分を示したものである。
【００５３】
図４に示したエアタービン駆動スピンドルは、基本的には図３に示したエアタービン駆動スピンドルと同様の構成を備えるが、４本のＯリング２４の配置が、図３に示した構成とは異なりダンパリング５０とカバー部材５との間の空隙に配置されている。ダンパリング５０の外周側の表面（カバー部材５と対向する表面）に、溝３１〜３４が形成されている。スラスト方向における溝３１〜３４の配置は、図３に示したスピンドルにおける溝３１〜３４の配置と同様である。ダンパリング５０の固定部５５は、固定面５５ａがハウジング３に固定されている。固定面５５ａがハウジング３の表面に密着することで、軸受用供給路１０を構成するハウジング３に形成された孔とダンパリング５０に形成された孔とは気密に接続されている。
【００５４】
＜作用効果＞
このように、ダンパリング５０の一部である固定部５５が固定される部材がカバー部材５ではなくハウジング３である場合でも、図３に示したエアタービン駆動スピンドルと同様の効果を得ることができる。
【００５５】
（実施の形態４）
＜エアタービン駆動スピンドルの構成＞
図５および図６を参照して、実施の形態４に係るエアタービン駆動スピンドルを説明する。図５は、実施の形態４に係るエアタービン駆動スピンドルを説明するための断面模式図であり、エアタービン駆動スピンドルの上半分を示したものである。図６は、ダンパリング５０の全体を示す斜視模式図である。
【００５６】
図５および図６に示したエアタービン駆動スピンドルは、基本的には図３に示したエアタービン駆動スピンドルと同様の構成を備えるが、支持部材としてのダンパリング５０において、回転軸１のスラスト方向での端部に切れ込み５３、５４が形成されている点が図３に示したスピンドルと異なっている。
【００５７】
図６に示すように、ダンパリング５０は、軸受部２（図５参照）を取り囲むように形成された環状部材である。ダンパリング５０の前側部分５１には、スラスト方向における前側の端部に切れ込み５３が形成されている。また、ダンパリング５０の後側部分５２には、スラスト方向における後側の端部に切れ込み５４が形成されている。溝３３、３４は、切れ込み５３、５４と交差するように形成されている。つまり、溝３３、３４に配置されたＯリング２４は、ダンパリング５０において切れ込み５３、５４が形成された部分に接触するように配置されている。
【００５８】
＜作用効果＞
このようにダンパリング５０の前側部分５１および後側部分５２に切れ込み５３、３４を形成することで、前側部分５１および後側部分５２の剛性を低下させて変形しやすくすることができる。この結果、ダンパリング５０での振動の減衰性能を高めることができる。
【００５９】
（実施の形態５）
＜エアタービン駆動スピンドルの構成＞
図７を参照して、実施の形態５に係るエアタービン駆動スピンドルを説明する。図７は、実施の形態５に係るエアタービン駆動スピンドルを説明するための断面模式図であり、エアタービン駆動スピンドルの上半分を示したものである。
【００６０】
図７に示したエアタービン駆動スピンドルは、基本的には図６に示したエアタービン駆動スピンドルと同様の構成を備えるが、ダンパリング５０とカバー部材５との間に、図７に示したＯリング２４に加えて、さらに５本目および６本目と追加のＯリング２４を備えている点が異なる。
【００６１】
具体的には、図７に示すように、ダンパリング５０の外周面（カバー部材５と対向する面）において、溝３３と溝３４との間の領域に溝３５、３６が形成されている。溝３５および溝３６は、スラスト方向において連通孔部２５を挟むように配置されている。溝３５は、スラスト方向において溝３３と溝３１との間に配置される。溝３６は、スラスト方向において溝３４と溝３２との間に配置される。溝３５および溝３６は、回転軸１の回転中心軸周りに周回するようにダンパリング５０の外周面に形成された環状溝である。追加のＯリング２４は溝３５、３６の内部に配置されている。追加のＯリング２４は、溝３５、３６の内周面とカバー部材５の表面とに接触している。溝３５、３６は、切れ込み５３、５４と交差するように形成されている。
【００６２】
＜作用効果＞
このような構成によれば、図６に示したスピンドルと同様の効果を得られるとともに、より振動の減衰性能を高めることができる。すなわち、ダンパリング５０を薄肉にしたり切れ込み５３、５４を形成するスリット加工した場合は、ダンパリング５０自体が変形して振動を減衰する。しかし、振動ではなく、連続的なラジアル方向の負荷が生じた場合、ダンパリング５０が一方向に大きく変形してしまう可能性がある。ダンパリング５０が大きく変形すると、ダンパリング５０と他の部品とが接触することで急激に振動が大きくなる可能性がある。これを抑制するために、図７に示した溝３５、３６に配置された補助ＯリングとしてのＯリング２４が有効である。このような構成により、変形し易いダンパリング５０により振動を減衰し、補助Ｏリングとしての溝３５、３６に配置されたＯリング２４によりダンパリング５０の一方向への大きな変形を抑制できる。
【００６３】
＜溝の形状＞
次に、図８および図９を参照しながら、上述した実施の形態に係るエアタービン駆動スピンドルが有する各溝３１〜３６の形状について具体的に説明する。図８は、実施の形態５に係る溝３１および溝３２を示す断面模式図である。図９は、図８に示す溝３２の拡大断面模式図である。なお、図８および図９は、実施の形態２における溝３１および溝３２の形状を説明するための模式図であり、説明を簡略化するため図３とは上下を逆転させるとともに、ダンパリング５０の厚みおよび溝間の距離は、実際と異なっている。
【００６４】
また、ここでは、図８および図９を参照しながら、溝３２の形状について説明するが、溝３１も同様の形状を有し、同様の作用効果を生じる。また、上述した各実施形態における溝３３〜溝３６も、上記溝３１および溝３２と同様の形状を有するようにしてもよく、この場合上記溝３１および溝３２と同様の作用効果を生じる。
【００６５】
図８および図９に示すように、溝３２は、第１の側壁３２ａと、第２の側壁３２ｂと、底部３２ｃ（底面）と、面取部３２ｄとを含む。連通孔部２５（具体的には軸受用供給路１０と空隙４３との交差部Ｐ）から第１の側壁３２ａまでの距離Ｌ１は、連通孔部２５から第２の側壁３２ｂまでの距離Ｌ２よりも長い。換言すれば、供給部１００によって供給された軸受用気体の流れ（図９の矢印α参照）の下流側の側壁が第１の側壁３２ａとなり、軸受用気体の流れの上流側の側壁が第２の側壁３２ｂとなる。
【００６６】
底部３２ｃから第１の側壁３２ａの上端（頂部３２ｅ）までの高さＨ５は、底部３２ｃから第２の側壁３２ｂの上端までの高さＨ４よりも低い。このように、高さＨ５を高さＨ４よりも低くするために、第１の側壁３２ａの上側に連なる面取部３２ｄが形成される。図８および図９の例では、面取部３２ｄはテーパ面である。テーパ面が形成されることにより、空間Ａが形成される。
【００６７】
図９に示す距離Ｈ２は、ラジアル方向において、Ｏリング２４が他部品（ダンパリング５０の前側部分５１）と接触していない範囲（距離）を示す。換言すると、距離Ｈ２は、第１の側壁３２ａのうち、ハウジング３の外周面３ａと最も近い箇所（つまり、頂部３２ｅ）からハウジング３の外周面３ａまでの距離でもある。距離Ｈ３は、底部３２ｃからハウジング３の外周面３ａまでの距離を示す。
【００６８】
＜溝の形状による効果＞
溝３１および溝３２は、ダンパリング５０の内周側（軸受部２側）の面に、スラスト方向において連通孔部２５を挟むように配置されている。連通孔部２５は、空隙４４（図１参照）と連通しているため、供給部１００によって供給口９から供給された軸受用気体が、連通孔部２５を介して空隙４４へと流れ込む。
【００６９】
具体的には、供給部１００によって供給口９から供給された軸受用気体は、軸受用供給路１０を通過して連通孔部２５に到達する。軸受用気体の一部は、連通孔部２５を介して空隙４４へと流れ込み、溝３１および溝３２へと到達する。溝３１および溝３２へと到達した軸受用気体は、溝３１および溝３２のそれぞれに係合するＯリング２４を圧力の低い方向（軸受用供給路１０から離れる方向）に押し出す。溝３１および溝３２のそれぞれに係合するＯリング２４は、軸受用気体によって押し出されることで、ダンパリング５０の溝３１および溝３２の内周面とハウジング３の外周面３ａとに密着し、軸受用気体の流路を遮断する。
【００７０】
このように、供給部１００から供給された軸受用気体は、Ｏリング２４の存在によって空隙４４内で滞留し、外部に漏れない。つまり、溝３１および溝３２に配置されたＯリング２４は、シール（密封）性能を有する。
【００７１】
ここで、図１０〜図１３を参照しながら、図８および図９に示したスピンドルにおいて溝３１および溝３２の形状が異なる参考例において、ハウジング３とダンパリング５０との間に形成された空隙４４（図１参照）に軸受用気体が供給された場合について説明する。図１０は、参考例に係るエアタービン駆動スピンドルが有する３１および溝３２において軸受用気体が供給されていない場合の断面模式図である。図１１は、図１０に示す参考例に係る溝３２の拡大断面模式図である。図１２は、参考例に係るエアタービン駆動スピンドルが有する溝３１および溝３２において軸受用気体が供給されている場合の断面模式図である。図１３は、図１２に示す参考例に係る溝３２の拡大断面模式図である。なお、図１０〜図１３においては、説明を簡略化するため図８および図９と同様に溝間の距離などは実際と異なる。また、図１１および図１３に示す距離Ｈ１は、Ｏリング２４がラジアル方向で他部品（ハウジング３）と接触していない範囲を示す。この範囲は、Ｏリング２４が弾性力を有する範囲である。
【００７２】
図１１に示すように、Ｏリング２４が係合されている溝３２の双方の側壁３２ａ、３２ｂの高さは同じである。したがって、供給部１００から空隙４３に軸受用気体が供給されたときには、図８および図９に示した構成をのエアタービン駆動スピンドルと比較して、図１１および図１３に示すように、距離Ｈ１の減少量が大きい。距離Ｈ１の減少量は、「空隙４３に軸受用気体が供給されていないときの距離Ｈ１（図１１参照）」と「空隙４３に軸受用気体が供給されたときの距離Ｈ１（図１３参照）」との差分である。このように、距離Ｈ１の減少量が大きいことから、図１３に示す軸受用気体が供給された場合の距離Ｈ１は小さくなり、その結果、Ｏリング２４の弾性ストロークが小さくなる。したがって、参考例の構成では、供給部１００から軸受用気体が供給されると、軸受用気体が供給されない場合よりも減衰性能が劣化する。
【００７３】
これに対し、図９および図９に示した溝の構造を有する本実施形態のエアタービン駆動スピンドルでは、図９に示すように、側壁３２ａの高さＨ５は、側壁３２ｂの高さＨ４よりも低い。したがって、供給部１００から軸受用気体が供給されたときには、図９に示すように、参考例のエアタービン駆動スピンドルと比較して、Ｏリング２４の弾性ストロークを構成する一部分２４ａの大きさに対応する距離Ｈ２を距離Ｈ１（図１３参照）よりも大きくすることができる。つまり、距離Ｈ２の減少量を低減させることができる。ここで、距離Ｈ２の減少量とは、「空隙４３に軸受用気体が供給されていないときの距離Ｈ２」と「空隙４３に軸受用気体が供給されたときの距離Ｈ２」との差分である。これにより、Ｏリング２４の弾性ストロークの低減量を削減できることから、図８および図９に示した溝の構造を採用することにより、軸受用気体が供給された場合において、エアタービン駆動スピンドルの減衰性能の劣化を抑制できる。
【００７４】
また、側壁３２ａの高さＨ５は、Ｏリング２４の断面の半径とすることが好ましい。これにより、供給部１００から軸受用気体が供給されたときに、エアタービン駆動スピンドルの減衰性能の劣化を抑制できるとともに、Ｏリング２４が溝３２から逸脱しないようにすることができる。
【００７５】
＜第１の変形例＞
図１４および図１５を参照しながら、第１の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルについて説明する。図１４は、第１の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルが有する溝３３１および溝３４１を示す断面模式図である。図１５は、図１４に示す第１の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルが有する溝３４１の拡大断面模式図である。なお、ここでは、図１４および図１５を参照しながら、溝３４１について説明するが、溝３３１も同様の形状を有し、同様の作用効果を生じる。また、実施形態における溝３３〜３６も、第１の変形例に係る溝３３１および溝３４１と同様の形状を有し、同様の作用効果を生じてもよい。なお、第１の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルは、以下で説明する構成以外の構成について、上述した実施の形態に係るエアタービン駆動スピンドルが備える構成と同様の構成を備える。
【００７６】
図１４および図１５に示すように、溝３４１は、第１の側壁３４１ａと、第２の側壁３４１ｂと、底部３４１ｃ（底面）と、切欠部３４１ｄとを含む。図１４および図１５に示す溝３４１と、図８および図９に示す溝３２とが異なる点は、図８および図９に示した溝３２は面取部３４ｄを含むのに対し、図１４および図１５に示した溝３４１は切欠部（段部）３４１ｄを含む点である。このように、溝３４１は、第１の側壁３４１ａの上側に連なる切欠部３４１ｄを含む。この切欠部３４１ｄが形成されることにより、第１の側壁３４１ａの高さＨ５は、第２の側壁３４１ｂの高さＨ４よりも低くなる。また、切欠部３４１ｄが形成されることにより、頂部３４１ｅが形成される。頂部３４１ｅからハウジング３の外周面３ａまでの距離を距離Ｈ２とする。
【００７７】
このような構成であっても、空隙４４に軸受用気体が供給されたときに、Ｏリング２４の一部分２４ａが、当該一部分２４ａの表面が拘束されることなく弾性力を有した状態で移動する空間Ｂを形成できる。したがって、第１の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルは、図８および図９に示した構造の溝を有する本実施の形態に係るエアタービン駆動スピンドルと同様の効果を奏する。
【００７８】
＜第２の変形例＞
図１６および図１７を参照しながら、第２の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルについて説明する。図１６は、第２の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルが有する溝３３２および溝３４２を示す断面模式図である。図１７は、図１６に示す第２の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルが有する溝３４２の拡大断面模式図である。なお、ここでは、図１６および図１７を参照しながら、溝３４２について説明するが、溝３３２も同様の形状を有し、同様の作用効果を生じる。また、実施形態における溝３３〜３６も、第２の変形例に係る溝３３２および溝３４２と同様の形状を有し、同様の作用効果を生じてもよい。なお、第２の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルは、以下で説明する構成以外の構成について、上述した実施の形態に係るエアタービン駆動スピンドルが備える構成と同様の構成を備える。
【００７９】
図１６および図１７に示すように、溝３４２は、第１の側壁３４２ａと、第２の側壁３４２ｂと、底部３４２ｃ（底面）とを含む。以下では、ダンパリング５０における前側部分５１の外周面のうち、側壁３４２ａの近傍の領域を第１領域３ｂとし、第２の側壁３４２ｂの近傍の領域を第２領域３ｃとする。第２の変形例では、第１領域３ｂと底部３４２ｃとの最短距離Ｐ１は、第２領域３ｃと底部３４２ｃとの最短距離Ｐ２よりも短い。Ｐ１＝Ｈ５であり、Ｐ２＝Ｈ４となる。また、頂部３４２ｅからハウジング３の外周面３ａまでの距離を距離Ｈ２とする。第１の側壁３４２ａの高さＨ５は、第２の側壁３４２ｂの高さＨ４よりも低くなる。
【００８０】
このような構成であっても、空隙４４に軸受用気体が供給されたときに、Ｏリング２４の一部分２４ａが、当該一部分２４ａの表面が拘束されず弾性力を有した状態で移動する空間Ｃを形成できる。したがって、第２の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルは、図８および図９に示した構造の溝を有する本実施の形態に係るエアタービン駆動スピンドルと同様の効果を奏する。
【００８１】
＜第３の変形例＞
図１８および図１９を参照しながら、第３の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルについて説明する。図１８は、第３の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルが有する溝３３３および溝３４３を示す断面模式図である。図１９は、図１８に示す第３の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルが有する溝３４３の拡大断面模式図である。なお、ここでは、図１８および図１９を参照しながら、溝３４３について説明するが、溝３３３も同様の形状を有し、同様の作用効果を生じる。また、実施形態における溝３３〜３６も、第３の変形例に係る溝３３３および溝３４３と同様の形状を有し、同様の作用効果を生じてもよい。なお、第３の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルは、以下で説明する構成以外の構成について、上述した実施の形態に係るエアタービン駆動スピンドルが備える構成と同様の構成を備える。
【００８２】
図１８および図１９に示すように、溝３４３は、第１の側壁３４３ａと、第２の側壁３４３ｂと、底部３４３ｃ（底面）と、面取部３４３ｄとを含む。図８および図９に示した溝の面取部３２ｄは、テーパ面（平面）であるとしたが、第３の変形例の面取部３４３ｄは、図１９に示すように曲面状の形状を有する。この面取部３４３ｄは、外側に膨らんだ形状であることが好ましい。面取部３４３ｄが形成されることにより、頂部３４３ｅが形成される。頂部３４３ｅからハウジング３の外周面３ａまでの距離を距離Ｈ２とする。
【００８３】
このような構成であっても、ハウジング３とダンパリング５０との間の空隙に軸受用気体が供給されたときに、Ｏリング２４の一部分２４ａが、当該一部分２４ａの表面が拘束されず弾性力を有した状態で移動する空間Ｄを形成できる。したがって、第３の変形例に係るエアタービン駆動スピンドルは、図８および図９に示した構造の溝を有する本実施の形態に係るエアタービン駆動スピンドルと同様の効果を奏する。なお、面取部３４３ｄは、回転軸１方向にへこんだ形状であってもよい。
【００８４】
＜つぶし代＞
Ｏリング２４のつぶし代の設計について説明する。つぶし代とは、Ｏリング２４を溝に装着させた状態で圧縮させた場合におけるＯリング２４の圧縮距離のことである。たとえば、非圧縮状態におけるＯリング２４の断面の直径をＤ、圧縮状態におけるＯリング２４の断面の直径（たとえば、図９に示すＨ３）をＨとすると、つぶし代Ｘは、ＤからＨを減算した値で表される。
【００８５】
Ｏリング２４のつぶし代については、ＪＩＳ規格およびメーカの仕様などにより規定値が設定されている。たとえば、Ｏリング２４の断面の直径がＤ＝２ｍｍである場合には、つぶし代の規定値の下限はＸ＝０．３ｍｍに設定されている。
【００８６】
ここで、実施の形態２〜５に係るスピンドルの場合、連通孔部２５に遠い側に形成された溝３３〜３６のそれぞれに係合するＯリング２４は、シール性能を持たせることが必須ではないため、つぶし代を、規定値よりも小さくしてもよい。
【００８７】
たとえば、つぶし代は、Ｘ＝０．３ｍｍ未満としてもよい。また、つぶし代は、Ｘ＝０ｍｍであってもよい。この場合、溝に係合するＯリング２４は、圧縮することなく上側に位置する面に接触することになる。たとえば、図３の溝３３に係合するＯリング２４は、圧縮することなく、ハウジング３の外周面３ａに接触することになる。さらに、つぶし代は、Ｘ＝０ｍｍ未満、すなわちマイナスであってもよい。この場合、溝に係合するＯリング２４は、圧縮することなく、かつ上側に位置する面に接触することもない。たとえば、図３の溝３３に係合するＯリング２４は、圧縮することなく、かつハウジング３の外周面３ａに接触しない状態としてもよい。
【００８８】
ただし、つぶし代をＸ＝０ｍｍ未満とした場合、Ｏリング２４の断面の直径Ｄは、係合する溝の深さよりも長い方が好ましい。つまり、Ｏリング２４が溝に係合した状態では、Ｏリング２４が少なくとも溝から突出している方が好ましい。Ｏリング２４が溝から突出しないと、回転軸１からの振動が伝わったときにＯリング２４が対向する部材と先に接触できないことにより、Ｏリング２４によって上手く振動を減衰させることができないためである。
【００８９】
このように、連通孔部２５に遠い側に形成された溝３３〜３６のそれぞれに係合するＯリング２４のつぶし代を規定値よりも短い０．３ｍｍ未満にすることにより、衝撃を受けたときにＯリング２４が変形できる変形量をより大きくできるので、溝３１〜３４のそれぞれに係合するＯリング２４の弾力性によって回転軸１からの振動をより減衰させることができる。
【００９０】
以上のように本発明の実施の形態について説明を行ったが、上述の実施の形態を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は上述の実施の形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むことが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
本発明は、静電塗装装置などに用いられるエアタービン駆動スピンドルに特に有利に適用される。
【符号の説明】
【００９２】
１  回転軸、１ａ，３ａ  外周面、１ｂ  軸部、１ｃ  スラスト板部、２  軸受部、３  ハウジング、３ｂ  第１領域、３ｃ  第２領域、４  軸受スリーブ、５  カバー部材、６  ノズル板、７  ジャーナル軸受、８  スラスト軸受、９  供給口、１０  軸受用供給路、１１  排気孔、１２  駆動用気体給気口、１３  駆動用給気路、１４  駆動用給気ノズル、１５  回転翼、１６  磁石、１７  貫通孔、１８  回転センサ挿入口、２０  排気空間、２４  Ｏリング、２４ａ  一部分、２５  連通孔部、２９  重心、３１〜３６，３３１，３３２，３３３，３４１，３４２，３４３  溝、３２ａ，３４１ａ，３４２ａ，３４３ａ  第１の側壁、３２ｂ，３４１ｂ，３４２ｂ，３４３ｂ  第２の側壁、３２ｃ，３４１ｃ，３４２ｃ，３４３ｃ  底部、３２ｄ，３４ｄ，３４３ｄ  面取部、３２ｅ，３４１ｅ，３４２ｅ，３４３ｅ  頂部、４１，４２，４３，４４  空隙、４５  塗料供給管、５０  ダンパリング、５１  前側部分、５２  後側部分、５３，５４  切れ込み、５５  固定部、５５ａ  固定面、８０  カップ、１００  供給部、２００  エアタービン駆動スピンドル、３４１ｄ  切欠部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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