(57)【要約】【課題】装置からのＸ線漏洩量を低減する。【解決手段】Ｘ線検査装置１は、被検査物Ｗを搬送させながらＸ線を照射し、被検査物Ｗを透過するＸ線透過量に基づいて被検査物Ｗを検査するものであり、Ｘ線を発生するＸ線管１１ｂを含むＸ線照射部１１と、Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサ１５と、Ｘ線ラインセンサ１５に対するＸ線の照射領域を制限するコリメータ１３と、Ｘ線管１１ｂの温度を測定する温度測定部１２と、Ｘ線管１１ｂの焦点温度と焦点位置移動量との関係を示す位置制御用データを記憶する記憶部５と、温度測定部１２にて測定した温度に対応する位置調整用データにおける焦点温度の焦点位置移動量が相殺されるようにＸ線照射部１１、Ｘ線ラインセンサ１５、コリメータ１３の少なくとも１つを移動して位置制御する位置制御部６とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物（Ｗ）を搬送させながらＸ線を照射し、前記被検査物を透過するＸ線透過量に基づいて前記被検査物を検査するＸ線検査装置（１）において、
前記Ｘ線を発生するＸ線管（１１ｂ）を含むＸ線照射部（１１）と、
前記Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサ（１５）と、
前記Ｘ線ラインセンサに対する前記Ｘ線の照射領域を制限するコリメータ（１３）と、
前記Ｘ線管の温度を測定する温度測定部（１２）と、
前記Ｘ線管の焦点温度と焦点位置移動量との関係を示す位置制御用データを記憶する記憶部（５）と、
前記温度測定部にて測定した温度に対応する前記位置制御用データにおける焦点温度の焦点位置移動量が相殺されるように前記Ｘ線照射部、前記Ｘ線ラインセンサ、前記コリメータの少なくとも１つを移動して位置制御する位置制御部（６）とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
被検査物（Ｗ）を搬送させながらＸ線を照射し、前記被検査物を透過するＸ線透過量に基づいて前記被検査物を検査するＸ線検査装置（１）において、
前記Ｘ線を発生するＸ線管（１１ｂ）を含むＸ線照射部（１１）と、
前記Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサ（１５）と、
前記Ｘ線ラインセンサに対する前記Ｘ線の照射領域を制限するコリメータ（１３）と、
前記Ｘ線ラインセンサの出力値が設定値以上又は設定範囲内になるように前記Ｘ線照射部、前記Ｘ線ラインセンサ、前記コリメータの少なくとも１つを移動して位置制御する位置制御部（６）とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項３】
被検査物（Ｗ）を搬送させながらＸ線を照射し、前記被検査物を透過するＸ線透過量に基づいて前記被検査物を検査するＸ線検査装置（１）において、
前記Ｘ線を発生するＸ線管（１１ｂ）を含むＸ線照射部（１１）と、
前記Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサ（１５）が前記被検査物の搬送方向（Ｘ）に多段に複数並設された多段Ｘ線ラインセンサ（１５Ａ）と、
前記多段Ｘ線ラインセンサに対する前記Ｘ線の照射領域を制限するコリメータ（１３）と、
前記多段Ｘ線ラインセンサの異なる段の出力値の差が設定値以下又は設定範囲内になるように前記Ｘ線照射部、前記多段Ｘ線ラインセンサ、前記コリメータの少なくとも１つを移動して位置制御する位置制御部（６）とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送される被検査物にＸ線を照射し、このＸ線を照射したときに被検査物を通過するＸ線透過量に基づいて被検査物の検査を行うＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線検査装置は、例えば、生肉、魚、加工食品、医薬などを被検査物とし、被検査物にＸ線を照射したときに被検査物を通過するＸ線透過量に基づいて異物混入の有無、シール部不良の有無、欠品の有無などの各種検査を行う装置として従来から知られている。
【０００３】
そして、この種のＸ線検査装置では、装置からのＸ線漏洩量を下げるため、Ｘ線ラインセンサ以外の領域にＸ線が拡散しないように、Ｘ線照射部から照射されるＸ線を細溝状部材からなるコリメータのスリットにより絞り込み、Ｘ線ラインセンサに対するＸ線の照射領域を制限している。
【０００４】
尚、Ｘ線管、コリメータ、Ｘ線検出器を備えた装置としては、例えば下記特許文献１に開示される装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平４−３２９９３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、Ｘ線検査装置に用いられるＸ線照射部は、Ｘ線発生源としての陽極ターゲットが環境温度（例えば室温）、暖機運転、使用時間などに伴う温度変化によって熱膨張する。そして、この熱膨張によってＸ線照射部の陽極ターゲットの位置が初期位置から移動する。このため、従来は、Ｘ線照射部の陽極ターゲットの位置が移動してもＸ線ラインセンサにＸ線が照射されるように、コリメータのスリット幅を広く設計して対応していた。
【０００７】
しかしながら、コリメータのスリット幅を広く設計すると、Ｘ線照射部からコリメータのスリットを介して必要以上のＸ線がＸ線ラインセンサに向かって照射され、Ｘ線ラインセンサ以外の領域にもＸ線が拡散し、装置からのＸ線漏洩量が増加する。このため、機長を長くして搬入口側と搬出口側により多くの遮蔽カーテンを設けて装置外部へのＸ線の漏洩を防ぐ必要があり、装置全体も大型化するという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、装置からのＸ線漏洩量を低減することができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１に記載されたＸ線検査装置は、被検査物Ｗを搬送させながらＸ線を照射し、前記被検査物を透過するＸ線透過量に基づいて前記被検査物を検査するＸ線検査装置１において、
前記Ｘ線を発生するＸ線管１１ｂを含むＸ線照射部１１と、
前記Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサ１５と、
前記Ｘ線ラインセンサに対する前記Ｘ線の照射領域を制限するコリメータ１３と、
前記Ｘ線管の温度を測定する温度測定部１２と、
前記Ｘ線管の焦点温度と焦点位置移動量との関係を示す位置制御用データを記憶する記憶部５と、
前記温度測定部にて測定した温度に対応する前記位置制御用データにおける焦点温度の焦点位置移動量が相殺されるように前記Ｘ線照射部、前記Ｘ線ラインセンサ、前記コリメータの少なくとも１つを移動して位置制御する位置制御部６とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載されたＸ線検査装置は、被検査物Ｗを搬送させながらＸ線を照射し、前記被検査物を透過するＸ線透過量に基づいて前記被検査物を検査するＸ線検査装置１において、
前記Ｘ線を発生するＸ線管１１ｂを含むＸ線照射部１１と、
前記Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサ１５と、
前記Ｘ線ラインセンサに対する前記Ｘ線の照射領域を制限するコリメータ１３と、
前記Ｘ線ラインセンサの出力値が設定値以上又は設定範囲内になるように前記Ｘ線照射部、前記Ｘ線ラインセンサ、前記コリメータの少なくとも１つを移動して位置制御する位置制御部６とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項３に記載されたＸ線検査装置は、被検査物Ｗを搬送させながらＸ線を照射し、前記被検査物を透過するＸ線透過量に基づいて前記被検査物を検査するＸ線検査装置１において、
前記Ｘ線を発生するＸ線管１１ｂを含むＸ線照射部１１と、
前記Ｘ線を検出するＸ線ラインセンサ１５が前記被検査物の搬送方向Ｘに多段に複数並設された多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａと、
前記多段Ｘ線ラインセンサに対する前記Ｘ線の照射領域を制限するコリメータ１３と、
前記多段Ｘ線ラインセンサの異なる段の出力値の差が設定値以下又は設定範囲内になるように前記Ｘ線照射部、前記多段Ｘ線ラインセンサ、前記コリメータの少なくとも１つを移動して位置制御する位置制御部６とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、装置からのＸ線漏洩量を低減することができ、コリメータのスリット幅を狭くしても被検査物を検査するために十分なＸ線を照射することができる。また、多段Ｘ線ラインセンサを採用した場合には、多段Ｘ線ラインセンサの上流側と下流側のエネルギーの偏りを低減してＸ線を被検査物に向けて照射し、より正確な検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係るＸ線検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】Ｘ線照射部を移動可能な構成とした場合の一例を示す概略斜視図である。
【図３】コリメータの一方のブロック片を移動可能な構成とした場合の一例を示す概略斜視図である。
【図４】コリメータを二次元移動可能な構成とした場合の一例を示す概略斜視図である。
【図５】Ｘ線ラインセンサを移動可能な構成とした場合の概略斜視図である。
【図６】Ｘ線照射部と対向して配置される多段Ｘ線ラインセンサの概略斜視図である。
【図７】Ｘ線ラインセンサの出力値に基づくコリメータの位置制御の説明図である。
【図８】多段Ｘ線ラインセンサの出力値に基づくコリメータの位置制御の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１５】
［Ｘ線検査装置について］
本発明に係るＸ線検査装置は、例えば搬送ラインの一部に組み込まれ、上流側から順次搬送されてくる被検査物（物品）に対してＸ線を照射し、そのときに被検査物を通過するＸ線透過量に基づいて異物混入の有無、シール部不良の有無、欠品の有無などの各種検査を行って下流側に搬出するものである。
【００１６】
［Ｘ線検査装置の全体構成について］
図１に示すように、本実施の形態のＸ線検査装置１は、搬送部２、第１ユニット３、第２ユニット４、記憶部５、位置制御部６を備えて概略構成される。
【００１７】
本実施の形態のＸ線検査装置１は、装置からのＸ線漏洩量を低減するため、被検査物Ｗを搬送していない状態において、記憶部５に記憶される位置制御用データ、又は後述するＸ線ラインセンサ１５（又は多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａ）の出力値に基づいて後述するＸ線照射部１１、コリメータ１３、Ｘ線ラインセンサ１５（又は多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａ）の少なくとも１つの位置制御を行う機能を有する。
【００１８】
尚、本実施の形態において、被検査物Ｗを搬送していない状態とは、例えば出荷前、被検査物Ｗの検査中の合間、予めスケージュルされた被検査物Ｗの検査を行わない時間帯などである。
【００１９】
搬送部２は、検査対象の被検査物Ｗを搬送路上に搬送するもので、例えば装置本体に対して水平に配置されたベルトコンベアで構成される。
【００２０】
搬送部としてのベルトコンベア２は、Ｘ線を透過しやすい材料（原子量の大きい元素以外の元素）からなる搬送ベルト２ａを備え、被検査物Ｗの検査を行うときに、不図示の搬送制御手段の制御に基づく駆動モータの回転により予め設定される搬送速度で搬送ベルト２ａを駆動する。これにより、搬入口から搬入された被検査物Ｗは、搬出口側に向けて図１の搬送方向Ｘに搬送される。
【００２１】
第１ユニット３は、被検査物Ｗの搬送路の上部側に設けられるＸ線照射側のユニットを構成する筐体を備え、筐体内にはＸ線照射部１１、温度測定部１２、コリメータ１３、アクチュエータ１４が設けられる。
【００２２】
第１ユニット３の筐体底面には、Ｘ線照射部１１からのＸ線を後述するＸ線ラインセンサ１５（又は多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａ）に向けて照射するための照射開口窓３ｂが形成される。この照射開口窓３ｂは、搬送方向Ｘの平面上で搬送方向Ｘと直交する方向に例えば矩形状に形成される。
【００２３】
尚、本実施の形態において必須の構成ではないが、のれん状の遮蔽カーテン３ａを必要に応じて第１ユニット３の筐体下部の搬入口側と搬出口側に設け、外部へのＸ線の漏洩を確実に防止するようにしてもよい。
【００２４】
Ｘ線照射部１１は、搬入口から搬出口に向かって搬送方向Ｘに搬送路上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するもので、電圧を印可して加速させた電子をターゲットに射突させてＸ線を発生させる。
【００２５】
さらに説明すると、Ｘ線照射部１１は、略直方体をなす金属製の箱体１１ａの内部に設けられる円筒状のＸ線管１１ｂを絶縁油により浸漬した構成である。Ｘ線管１１ｂは、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向Ｘの平面上で搬送方向Ｘ（又は搬送方向Ｘと直交する方向）に設けられる。Ｘ線管１１ｂは、陰極１１ｃと支持体１１ｄに支持された陽極ターゲット１１ｅとが所定距離をおいて対向配置され、陰極１１ｃからの電子ビームを陽極ターゲット１１ｅに照射させてＸ線を生成する。Ｘ線発生源としての陽極ターゲット１１ｅが生成したＸ線は、コリメータ１３を介して出射窓１１ｆから後述するＸ線ラインセンサ１５（又は多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａ）に向けてスクリーン状にして照射する。尚、出射窓１１ｆは、被検査物Ｗの搬送方向Ｘの平面上で搬送方向Ｘと直交する方向に例えば矩形状に形成される。
【００２６】
Ｘ線照射部１１は、位置制御部６によって位置制御する場合、例えば図２の構成を採用することができる。図２のＸ線照射部１１は、Ｘ線管１１ｂを収容した箱体１１ａが被測定物Ｗの搬送方向Ｘに所定間隔をおいて対向配置される一対のガイドレール２１，２１上にアクチュエータ１４を介して取り付けられる。Ｘ線照射部１１の箱体１１ａは、位置制御部６の制御によりアクチュエータ１４を被測定物Ｗの搬送方向Ｘに沿って移動すると、これに連動して一対のガイドレール２１，２１上を搬送方向Ｘに沿って移動する。
【００２７】
温度測定部１２は、例えば熱電対、測温抵抗体などの温度センサで構成される。温度測定部１２は、Ｘ線管１１ｂの陽極ターゲット１１ｅの焦点位置（Ｘ線を生成する位置）を含む焦点位置近傍の温度（絶対温度）を測定し、測定した温度情報（測定温度）を位置制御部６に出力する。
【００２８】
コリメータ１３は、Ｘ線照射部１１の下方に位置して設けられ、後述するＸ線ラインセンサ１５（又は多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａ）に対するＸ線の照射領域、言い換えれば、Ｘ線管１１ｂからＸ線ラインセンサ１５（又は多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａ）に向かって照射されるＸ線の進路を制限するための例えば矩形状の照射スリット１３ａを有する。
【００２９】
コリメータ１３は、位置制御部６によって位置制御する場合、例えば図３や図４に示す構成を採用することができる。図３のコリメータ１３（１３Ａ）は、一方が固定ブロック片１３ｃ、他方が移動ブロック片１３ｂからなる一対の矩形状のブロック片を備える。固定ブロック片１３ｃと移動ブロック片１３ｂは、搬送方向Ｘの平面上で搬送方向Ｘと直交する両端部が一対のガイド部材１３ｄ，１３ｄによって支持される。固定ブロック片１３ｃと移動ブロック片１３ｂの対向する面と一対のガイド部材１３ｄ，１３ｄの対向する面とで囲まれる開口領域は、Ｘ線の照射領域を制限する照射スリット１３ａを形成する。固定ブロック片１３ｃと移動ブロック片１３ｂは、初期状態において、後述するＸ線ラインセンサ１５の１ラインの検出面とほぼ同等のスリット幅Ｈとスリット長Ｌを有する照射スリット１３ａを形成するように被測定物Ｗの搬送方向Ｘに沿って並設される。そして、移動ブロック片１３ｂは、ガイド部材１３ｄに支持された状態で被測定物Ｗの搬送方向Ｘに沿ってガイドされながらアクチュエータ１４により移動可能とされる。これにより、一対のブロック片１３ｃ，１３ｂ間の照射スリット１３ａのスリット幅Ｈが調整される。
【００３０】
尚、図３のコリメータ１３では、一対のブロック片のうち一方のブロック片のみを移動ブロック片１３ｂとしているが、両方のブロック片を移動ブロック片１３ｂとして構成してもよい。この場合、一方の移動ブロック片１３ｂ、又は両方の移動ブロック片１３ｂをアクチュエータ１４により選択的に移動させて照射スリット１３ａのスリット幅Ｈを調整することが可能である。
【００３１】
図４のコリメータ１３（１３Ｂ）は、後述するＸ線ラインセンサ１５の１ラインの検出面とほぼ同等のスリット幅Ｈ、スリット長Ｌの照射スリット１３ａが高さ方向（厚さ方向）に貫通して形成された矩形状のブロック片１３ｅで構成される。図４のコリメータ１３Ｂは、アクチュエータ１４により被測定物Ｗの搬送面と平行な平面上で二次元的に移動（回転）可能に不図示の支持体に支持される。
【００３２】
尚、コリメータ１３は、Ｘ線ラインセンサ１５（又は多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａ）に対するＸ線の照射領域を制限するための照射スリットを備えた構成であればよく、図３や図４などの図示の構成に限定されるものではない。また、コリメータ１３を位置制御する場合には、直線移動や被測定物Ｗの搬送面と平行な平面上で二次元的に移動できる構成であればよい。
【００３３】
アクチュエータ１４は、例えばソレノイド、モータ（パルスモータ、ステッピングモータなど）、ソレノイドやモータの動力を移動対象であるコリメータ１３に伝達する動力伝達機構などで構成される。アクチュエータ１４は、Ｘ線照射部１１、コリメータ１３、後述するＸ線ラインセンサ１５の少なくとも１つの位置制御を行うときに位置制御部６により駆動される。
【００３４】
例えば図３のコリメータ１３Ａの位置制御を行う場合には、可動ブロック片１３ｂに取り付けられるボールネジと、ボールネジを所定ステップで回転駆動するモータとからアクチュエータ１４を構成する。そして、位置制御部６にてアクチュエータ１４のモータを所定ステップで回転制御し、モータの回転に連動するボールネジの回転によって可動ブロック片１３ｂをガイド部材１３ｄに沿って被測定物Ｗの搬送方向Ｘに移動することでコリメータ１３Ａの照射スリット１３ａのスリット幅Ｈを調整する。
【００３５】
また、図４のコリメータ１３Ｂの位置制御を行う場合には、ブロック片１３ｅの被測定物Ｗの搬送方向Ｘに対向する一方の面の両側２箇所に設けられる２組のソレノイドと動力伝達機構でアクチュエータ１４を構成する。そして、位置制御部６にて２組のアクチュエータ１４を個別に制御し、被測定物Ｗの搬送面と平行な平面上でコリメータ１３Ｂを二次元的に移動（直線移動、又は回転移動）することでコリメータ１３Ｂを介してＸ線ラインセンサ１５に照射されるＸ線の照射位置を調整する。
【００３６】
尚、図１には、コリメータ１３を移動させるアクチュエータ１４のみ図示している。Ｘ線照射部１１や後述するＸ線ラインセンサ１５の位置制御を行う場合には、Ｘ線照射部１１やＸ線ラインセンサ１５も位置制御部６の制御によりアクチュエータ１４によって移動する。
【００３７】
第２ユニット４は、被検査物Ｗの搬送面の下部側に第１ユニット３と高さ方向に所定距離離れて対向して設けられるＸ線検出側のユニットを構成する筐体を備え、筐体内にはＸ線ラインセンサ１５が設けられる。
【００３８】
Ｘ線ラインセンサ１５は、被検査物Ｗの搬送方向Ｘの平面上で搬送方向Ｘと直交する方向に複数の素子が一直線上に配置されたものである。Ｘ線ラインセンサ１５は、初期状態において、Ｘ線照射部１１からコリメータ１３を介して照射されるＸ線を検出したときの各素子の出力値が設定値又は設定範囲内になるようにＸ線照射部１１と対向して設けられる。
【００３９】
Ｘ線ラインセンサ１５は、ライン状に整列して配設された複数のフォトダイオードと、ライン状のフォトダイオード上に設けられたシンチレータとを備えてアレイ状に構成される。Ｘ線ラインセンサ１５は、複数の素子（フォトダイオードとシンチレータのアレイ）によって被検査物Ｗおよび搬送ベルト２ａを透過するＸ線を検出し、この検出した検出データを素子毎に複数の素子数を１ラインとして順次出力し、被検査物Ｗの搬送に伴い順次出力を繰り返す。このＸ線ラインセンサ１５の出力は、被検査物Ｗの異物混入の有無、シール部不良の有無、欠品の有無などの各種検査を行う際に用いられる。
【００４０】
Ｘ線ラインセンサ１５は、位置制御部６によって位置制御する場合、例えば図５や図６に示す構成を採用することができる。図５のＸ線ラインセンサ１５は、被測定物Ｗの搬送方向Ｘに所定間隔をおいて対向配置される一対のガイドレール２２，２２上にアクチュエータ１４を介して取り付けられる。Ｘ線ラインセンサ１５は、位置制御部６の制御によりアクチュエータ１４を被測定物Ｗの搬送方向Ｘに沿って移動すると、これに連動して一対のガイドレール２２，２２上を搬送方向Ｘに沿って移動する。
【００４１】
図６のＸ線ラインセンサ１５は、搬送方向Ｘに複数段並設された多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａを構成するものである。多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａは、被検査物Ｗの搬送方向Ｘの平面上で搬送方向Ｘと直交する方向に複数の素子を一直線上に配置したＸ線ラインセンサ１５を搬送方向Ｘに沿って複数段（例えば６４段、１２８段など：図６は模式的に７段のみ図示）並設してアレイ状に構成される。
【００４２】
尚、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａは、初期状態において、Ｘ線照射部１１からコリメータ１３を介して照射されるＸ線を全てのＸ線ラインセンサ１５の各素子が設定値以上検出できる段数であれば、その段数は特に限定されるものではない。
【００４３】
多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａは、図５のＸ線ラインセンサ１５と同様に、被測定物Ｗの搬送方向Ｘに所定間隔をおいて対向配置される一対のガイドレール２２，２２上にアクチュエータ１４を介して取り付けられる。多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａは、位置制御部６の制御によりアクチュエータ１４を被測定物Ｗの搬送方向Ｘに沿って移動すると、これに連動して一対のガイドレール２２，２２上を搬送方向Ｘに沿って移動する。
【００４４】
記憶部５は、図１に示すように、焦点温度と焦点位置移動量との関係を示す位置制御用データを記憶する。位置制御用データは、例えば温度測定部１２にて測定した温度と、この温度によって陽極ターゲット１１ｅが熱膨張して焦点位置が基準位置（例えば出荷時に設置される位置）から移動した移動量との関係を示すデータとして、例えば装置全体共通の設計時のデータとして記憶部５に記憶したり、出荷前に装置個別に測定したデータとして記憶部５に記憶しておくことができる。この記憶部５に記憶された位置制御用データは、位置制御部６によってＸ線照射部１１、コリメータ１３、Ｘ線ラインセンサ１５の少なくとも１つの位置制御を行う際に用いられる。また、この位置制御用データの別な例は、温度測定部１２で測定した温度と、アクチュエータ１４の駆動量とを対応付けたデータである。この駆動量とは、上述した焦点位置移動量を相殺するようにコリメータ１３（または、Ｘ線照射部１１、Ｘ線ラインセンサ１５）を移動させるにあたり、コリメータ１３の移動量に対応したアクチュエータ１４の駆動量、または、その制御情報である。この駆動量と焦点位置移動量は対応しているので、この例の位置制御用データも、焦点温度と焦点位置移動量との関係を示すデータである。
【００４５】
位置制御部６は、被検査物Ｗが搬送されていない状態において、アクチュエータ１４を駆動して、Ｘ線照射部１１、コリメータ１３、Ｘ線ラインセンサ１５の少なくとも１つの位置制御を行う。
【００４６】
さらに説明すると、位置制御部６は、記憶部５に記憶された位置制御用データを用いて位置制御を行う場合、アクチュエータ１４を駆動し、温度測定部１２による測定温度（焦点温度）に対応する位置制御用データの焦点温度の焦点位置移動量が相殺されるようにＸ線照射部１１、コリメータ１３、Ｘ線ラインセンサ１５の少なくとも１つを移動させて位置制御を行う。
【００４７】
また、位置制御部６は、Ｘ線ラインセンサ１５の出力値に基づいて位置制御を行う場合、アクチュエータ１４を駆動し、Ｘ線ラインセンサ１５の出力値が設定値以上又は設定範囲内になるまでＸ線照射部１１、コリメータ１３、Ｘ線ラインセンサ１５の少なくとも１つを所定ステップずつ移動させて位置制御を行う。
【００４８】
さらに、位置制御部６は、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの出力値に基づいて位置制御を行う場合、アクチュエータ１４を駆動し、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流の出力値の差が設定値以下又は設定範囲内になるようにＸ線照射部１１、コリメータ１３、Ｘ線ラインセンサ１５の少なくとも１つを所定ステップずつ移動させて位置制御を行う。
【００４９】
次に、上記のように構成されるＸ線検査装置１の位置制御部６による位置制御について場合分けして説明する。ここでは、コリメータ１３の位置制御を行う場合を例にとって説明する。
【００５０】
［位置制御用データを用いたコリメータの位置制御］
位置制御部６は、被検査物Ｗが搬送されていない状態において、温度測定部１２から温度情報を取得し、取得した温度情報の測定温度に対応する記憶部５の位置制御用データの焦点温度の焦点位置移動量が相殺されるようにアクチュエータ１４を駆動してコリメータ１３を移動させる。例えば温度測定部１２から取得した温度情報の測定温度をＴ１、この測定温度Ｔ１に対応する記憶部５の位置制御用データの焦点温度Ｔ２の焦点位置移動量をＸ１とすると、位置制御部６は、焦点位置移動量Ｘ１が相殺されるようにアクチュエータ１４を駆動してコリメータ１３を移動させる。すなわち、焦点位置移動量Ｘ１と同じ方向にアクチュエータ１４を駆動してコリメータ１３を移動させる。なお、Ｘ線照射部１１またはＸ線ラインセンサ１５を移動させる場合は、焦点位置移動量Ｘ１とは逆方向に移動させる。
【００５１】
［Ｘ線ラインセンサの出力値に基づくコリメータの位置制御］
位置制御部６は、被検査物Ｗが搬送されていない状態において、Ｘ線ラインセンサ１５の出力値が設定値以上になるように、アクチュエータ１４を駆動してコリメータ１３（１３Ａ又は１３Ｂ）を所定ステップずつ移動して位置制御する。
【００５２】
そして、図７に示すように、Ｘ線ラインセンサ１５の出力値が設定値以下Ａであれば、Ｘ線ラインセンサ１５の出力値が設定値以上になる所（例えば図７のＢ）までアクチュエータ１４を駆動してコリメータ１３の位置を移動させる。また、コリメータ１３の移動後のＸ線ラインセンサ１５の出力値が設定値以下になった場合（図７のＢ→Ｃ）には、コリメータ１３を前回の移動方向とは逆方向に移動させる。このように、位置制御部６は、Ｘ線ラインセンサ１５の出力値に応じてコリメータ１３の移動を繰り返し、Ｘ線ラインセンサ１５の出力値が設定値以上になる所（例えば図７のＢ）でコリメータ１３の移動を停止する。
【００５３】
尚、Ｘ線ラインセンサ１５の出力値が設定範囲内になるようにアクチュエータ１４を駆動してコリメータ１３の位置制御を行ってもよい。また、このＸ線ラインセンサ１５の出力値に基づくコリメータ１３の位置制御は、位置制御用データを用いたコリメータ１３の位置制御を行った後に実行するようにしてもよい。
【００５４】
［多段Ｘ線ラインセンサの出力値に基づくコリメータの位置制御］
位置制御部６は、被検査物Ｗが搬送されていない状態において、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流の出力値の差が設定値以下になるように、アクチュエータ１４を駆動してコリメータ１３（１３Ａ又は１３Ｂ）を移動して位置制御する。尚、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流の出力値の差とは、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流の各素子の出力値と、この最上流の各素子と搬送方向Ｘに対向して並ぶ最下流の各素子の出力値との差である。
【００５５】
そして、図８に示すように、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流の出力値の差が設定値以上Ａであれば、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流の出力値の差が設定値以下になる所（例えば図８のＢ）までアクチュエータ１４を駆動してコリメータ１３の位置を移動させる。また、コリメータ１３の移動後の多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流の出力値の差が設定値以上になった場合（図８のＢ→Ｃ）には、コリメータ１３を前回の移動方向とは逆方向に移動させる。このように、位置制御部６は、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流の出力値の差に応じてコリメータ１３の移動を繰り返し、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流の出力値の差が設定値以下になる所（例えば図８のＢ）でコリメータ１３の移動を停止する。
【００５６】
尚、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流の出力値の差が設定範囲内になるようにアクチュエータ１４を駆動してコリメータ１３の位置制御を行ってもよい。また、出力値の差の判断だけでなく、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流とのいずれか一方の各素子の出力値が設定値以上になるという条件を加えて、コリメータ１３を制御してもよい。尚、上述した例では、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流の段に着目しているが、これに限定されず、異なる段でも良い。この異なる段は、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの中央から見て、上流側と下流側とで対称となる位置の２つの段が好ましい。より具体的には、最上流から１つ内側の段と、最下流から１つ内側の段との出力値の差を用いても良い。
【００５７】
また、位置制御部６は、温度測定部１２による測定温度（焦点温度）に対応する位置制御用データの焦点温度の焦点位置移動量が相殺されるようにアクチュエータ１４を駆動してＸ線照射部１１、コリメータ１３（１３Ａ又は１３Ｂ）、Ｘ線ラインセンサ１５の少なくとも１つを移動し、位置制御用データを用いた位置制御を行うことができる。
【００５８】
さらに、位置制御部６は、Ｘ線ラインセンサ１５の出力値が設定値以上又は設定範囲内になるようにアクチュエータ１４を駆動してＸ線照射部１１、コリメータ１３（１３Ａ又は１３Ｂ）、Ｘ線ラインセンサ１５の少なくとも１つを移動し、Ｘ線ラインセンサ１５の出力値に基づく位置制御を行うようにしてもよい。
【００５９】
また、位置制御部６は、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流の出力値の差が設定値以下又は設定範囲内になるようにアクチュエータ１４を駆動してＸ線照射部１１、コリメータ１３（１３Ａ又は１３Ｂ）、Ｘ線ラインセンサ１５Ａの少なくとも１つを移動し、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの出力値に基づく位置制御を行うこともできる。
【００６０】
さらに、上述したＸ線ラインセンサの出力値に基づく位置制御、または多段Ｘ線ラインセンサの出力値に基づく位置制御を行う場合には、記憶部５と温度測定部１２が不要な構成となる。
【００６１】
このように、本実施の形態における位置制御部６は、温度測定部１２にて測定した温度と対応する記憶部５の位置制御用データにおける焦点温度の焦点位置移動量が相殺されるようにアクチュエータ１４を駆動してＸ線照射部１１、コリメータ１３、Ｘ線ラインセンサ１５の少なくとも１つを移動し位置制御する。すなわち、Ｘ線発生源（陽極ターゲット１１ｅ）の位置が移動した分だけＸ線照射部１１、コリメータ１３、Ｘ線ラインセンサ１５の少なくとも１つを移動させてＸ線発生源が移動する前の状態（初期状態）に戻す。
【００６２】
また、位置制御部６は、Ｘ線ラインセンサ１５の出力値が設定値以上又は設定範囲内になるようにアクチュエータ１４を駆動してＸ線照射部１１、コリメータ１３、Ｘ線ラインセンサ１５の少なくとも１つを移動し位置制御する。
【００６３】
そして、これらの位置制御により、Ｘ線管１１ｂの陽極ターゲット１１ｅが室温、暖機運転、使用時間などの影響を受けて熱膨張し、この熱膨張による陽極ターゲット１１ｅの温度変化に伴ってＸ線発生源の位置が移動しても、装置からのＸ線漏洩量を増加させることなくＸ線を照射することができる。その結果、従来のように、機長を長くして搬入口側と搬出口側により多くの遮蔽カーテンを設けて装置外部へのＸ線の漏洩を防ぐ必要がなく、装置全体が大型化するおそれもない。場合によっては、遮蔽カーテンを設けずに機長を短くして小型化を図ることが可能になる。その際、コリメータ１３のスリット幅Ｈを狭くしても被検査物Ｗを検査するために十分なＸ線を照射することができる。特に、Ｘ線照射部１１を移動させる場合、または、コリメータ１３とＸ線ラインセンサ１５との両方を移動させる場合は、コリメータ１３のスリット幅をＸ線ラインセンサ１５の１ラインの幅と同等程度まで狭くすることができる。
【００６４】
また、位置制御部６は、Ｘ線ラインセンサ１５が被検査物Ｗの搬送方向Ｘに複数並設された多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａを採用した場合、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの最上流と最下流の出力値の差が設定値以下又は設定範囲内になるようにアクチュエータ１４を駆動してＸ線照射部１１、コリメータ１３、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの少なくとも１つを移動し位置制御する。
【００６５】
そして、この位置制御により、上述した効果に加え、被検査物Ｗの検査を行う際には、多段Ｘ線ラインセンサ１５Ａの上流側と下流側のエネルギーの偏りを低減してＸ線を被検査物Ｗに向けて照射し、より正確な検査を行うことができる。
【００６６】
以上、本発明に係るＸ線検査装置の最良の形態について説明したが、この形態による記述及び図面により本発明が限定されることはない。すなわち、この形態に基づいて当業者等によりなされる他の形態、実施例及び運用技術などはすべて本発明の範疇に含まれることは勿論である。
【符号の説明】
【００６７】
１  Ｘ線検査装置
２  搬送部
３  第１ユニット
３ａ  遮蔽カーテン
３ｂ  照射開口窓
４  第２ユニット
５  記憶部
６  位置制御部
１１  Ｘ線照射部
１１ａ  箱体
１１ｂ  Ｘ線管
１１ｃ  陰極
１１ｄ  支持体
１１ｅ  陽極ターゲット
１１ｆ  出射窓
１２  温度測定部
１３  コリメータ
１３ａ  照射スリット
１３ｂ  移動ブロック片
１３ｃ  固定ブロック片
１３ｄ  ガイド部材
１３ｅ  ブロック片
１４  アクチュエータ
１５  Ｘ線ラインセンサ
１５Ａ  多段Ｘ線ラインセンサ
２１，２２  ガイドレール
Ｈ  スリット幅
Ｌ  スリット長
Ｗ  被検査物
Ｘ  搬送方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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