(57)【要約】【課題】外部接続端子に接続されている凹部電極（キャスタレーション電極）に這い上がる半田などによる分岐配線との電気的短絡（ショート）を防止する。【解決手段】電子部品用パッケージ２０は、第１の側面２０ａに設けられている第１の側面端子３２ａと、実装面（裏面１１ｒ）に設けられている第１の外部接続端子１５ａと、第１の凹部２４ａに設けられており、第１の外部接続端子と電気的に接続されている第１の凹部電極２５ａと、中板１２の表面１２ｆに配置され、第１の側面端子と第１の凹部電極との間において、第１の側面に露出している第１の端部４１ｆを有する第１の分岐配線４１と、を備え、第１の端部と第１の凹部電極との間の距離をＬ１１、第１の端部と第１の側面端子との間の距離をＬ１２としたとき、Ｌ１１＞Ｌ１２である。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の外部端子が設けられている実装面を有する電子部品用パッケージであって、
表面および側面を含み、前記側面が第１の側面、前記第１の側面と交差する第２の側面、前記第１の側面と対向している第３の側面、前記第２の側面に対向している第４の側面、および前記第１の側面と前記第２の側面とを接続している第１の凹部を有する第１の基板と、
前記第１の側面に設けられている第１の側面端子と、
前記第１の凹部に設けられており、前記第１の外部端子と電気的に接続されている第１の凹部電極と、
前記表面に配置され、前記第１の側面端子と前記第１の凹部電極との間において、前記第１の側面に露出している第１の端部を有する第１の分岐配線と、を備え、
前記表面の平面視において、前記第１の端部と前記第１の凹部電極との間の距離をＬ１１、前記第１の端部と前記第１の側面端子との間の距離をＬ１２としたとき、
Ｌ１１＞Ｌ１２
であることを特徴とする電子部品用パッケージ。
【請求項２】
前記第１の分岐配線は、前記第１の側面端子と電気的に接続されている、
請求項１に記載の電子部品用パッケージ。
【請求項３】
前記実装面には、第２の外部端子がさらに設けられており、
前記側面は、前記第２の側面と前記第３の側面とを接続している第２の凹部をさらに有し、
前記第２の凹部に設けられており、前記第２の外部端子と電気的に接続されている第２の凹部電極と、
前記第１の凹部電極と前記第２の凹部電極との間において前記第２の側面に露出している第２の端部を有する第２の分岐配線と、をさらに備え、
前記表面の平面視において、前記第２の端部と前記第１の凹部電極との間の距離をＬ２１、前記第２の端部と前記第２の凹部電極との間の距離をＬ２２、前記第２の端部の幅寸法をＬＷとしたとき、
Ｌ２１−Ｌ２２≦ＬＷ
である、請求項１または請求項２に記載の電子部品用パッケージ。
【請求項４】
前記実装面には、第２の外部端子がさらに設けられており、
前記側面は、前記第２の側面と前記第３の側面とを接続している第２の凹部をさらに有し、
前記第２の凹部に設けられており、前記第２の外部端子と電気的に接続されている第２の凹部電極と、
前記第３の側面に露出している第３の端部を有する第３の分岐配線と、をさらに備え、
前記第１の外部端子は、出力端子であり、
前記第２の外部端子は、電源端子または接地端子であり、
前記第１の分岐配線と前記第１の外部端子とが前記平面視で重なっている部分の面積は、前記第３の分岐配線と前記第２の外部端子とが前記平面視で重なっている部分の面積より小さい、
請求項１または請求項２に記載の電子部品用パッケージ。
【請求項５】
前記Ｌ１１は、
前記第１の凹部電極と前記第１の側面端子との間の距離をＰＬとしたとき、
０．１５ｍｍ≦Ｌ１１＜ＰＬ
を満たす、請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の電子部品用パッケージ。
【請求項６】
前記Ｌ１２は、
０．１５ｍｍ≦Ｌ１２＜（Ｌ１１＋Ｌ１２）／２
を満たす、請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の電子部品用パッケージ。
【請求項７】
前記Ｌ２１は、
前記第１の凹部電極と前記第２の凹部電極と前記第２の端部とが並ぶ方向の前記第２の側面の幅寸法をＰＷとしたとき、
０．１５ｍｍ≦Ｌ２１≦ＰＷ／２且つ０．１５ｍｍ≦Ｌ２２≦ＰＷ／２
を満たす、請求項３に記載の電子部品用パッケージ。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の電子部品用パッケージと、
前記電子部品用パッケージに収容された振動素子と、
前記振動素子を発振させる発振回路の少なくとも一部を含む回路素子と、
を含む発振器。
【請求項９】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の電子部品用パッケージを含む電子部品を備えている、
電子機器。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の電子部品用パッケージを含む電子部品を備えている、
移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品用パッケージ、発振器、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、通信機器分野などにおいて、安定な周波数の信号を得るために水晶等の圧電体で形成された振動素子（水晶振動板）や振動素子を駆動する回路素子を電子部品用パッケージの収容空間（キャビティー）に収容（収納）し、所望の周波数の信号を得ることができる水晶振動子や水晶発振器等の圧電デバイスが用いられてきた。
【０００３】
このような圧電デバイスとしては、振動素子搭載用パッドと導通している振動素子導通配線と、回路素子搭載用パッドと導通している回路素子導通配線とを、電子部品用パッケージの収容空間の底面に、非導通状態で近接配置した表面実装型圧電発振器が開示されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に開示されているような表面実装型圧電発振器では、振動素子導通配線、および回路素子導通配線から分岐した分岐配線（枝配線と呼ばれることもある）が設けられている。なお、分岐配線は、例えば、振動素子導通配線、および回路素子導通配線などに電解メッキ処理を行う際の導通配線として用いられることが多い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１８９２８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載された圧電発振器に用いられている電子部品用パッケージでは、側面端子とキャスタレーション電極（凹部電極）との間に位置する分岐配線（枝配線）を、側面端子とキャスタレーション電極との間の略中央に設けている。この場合、電子部品用パッケージが小型化されていくと、分岐配線と側面端子との距離、および分岐配線とキャスタレーション電極との距離は、電子部品用パッケージの小型化に比例して小さくなる。そして、小型化された電子部品用パッケージを用いた圧電発振器が回路基板などに実装された場合、電子部品用パッケージの裏面（外底面）に設けられた外部接続端子から該外部接続端子と接続されているキャスタレーション電極に這い上がる半田などの接続部材が近接する分岐配線に達し、電気的に短絡（ショート）してしまう虞が大きくなってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る電子部品用パッケージは、第１の外部端子が設けられている実装面を有する電子部品用パッケージであって、表面および側面を含み、前記側面が第１の側面、前記第１の側面と交差する第２の側面、前記第１の側面と対向している第３の側面、前記第２の側面に対向している第４の側面、および前記第１の側面と前記第２の側面とを接続している第１の凹部を有する第１の基板と、前記第１の側面に設けられている第１の側面端子と、前記第１の凹部に設けられており、前記第１の外部端子と電気的に接続されている第１の凹部電極と、前記表面に配置され、前記第１の側面端子と前記第１の凹部電極との間において、前記第１の側面に露出している第１の端部を有する第１の分岐配線と、を備え、前記表面の平面視において、前記第１の端部と前記第１の凹部電極との間の距離をＬ１１、前記第１の端部と前記第１の側面端子との間の距離をＬ１２としたとき、Ｌ１１＞Ｌ１２であることを特徴とする。
【０００８】
本適用例に係る電子部品用パッケージによれば、第１の分岐配線の第１の端部と第１の凹部電極との間の距離（Ｌ１１）を、該第１の端部と第１の側面端子との間の距離（Ｌ１２）よりも大きくすることにより、第１の凹部電極に対する第１の端部の位置が、第１の側面端子から第１の凹部電極までの中間位置よりも遠い位置に配置される。換言すれば、第１の端部の位置が、第１の側面端子から第１の凹部電極までの中間位置よりも、半田などの這い上がりが生じ難い第１の側面端子側に寄った位置に配置される。したがって、回路基板などへの実装時に、第１の凹部電極に這い上がる半田などによる第１の端部との電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができ、信頼性の高い電子部品用パッケージを得ることができる。
なお、ここでいう「交差する」とは、面同士を延長したときに平行とならない（例えば、略直交する）ことをいう。また「距離」とは、対象物間の最短距離のことを言う。
また、本発明において分岐配線とは、一端が振動素子に導通している配線や回路素子に導通している配線などの信号配線やパッドに接続されており、他端が電気的に浮いている配線のことをいう。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に記載の電子部品用パッケージにおいて、前記第１の分岐配線は、前記第１の側面端子と電気的に接続されていることが好ましい。
【００１０】
本適用例によれば、第１の分岐配線が第１の側面端子と電気的に接続されているため、第１の側面において、第１の側面端子と第１の端部とが接触しても問題を生じなくなることから、第１の側面端子と第１の端部とを近付けることができ、第１の側面端子を第１の凹部電極からより離れた位置に配置することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例に記載の電子部品用パッケージにおいて、前記実装面には、第２の外部端子がさらに設けられており、前記側面は、前記第２の側面と前記第３の側面とを接続している第２の凹部をさらに有し、前記第２の凹部に設けられており、前記第２の外部端子と電気的に接続されている第２の凹部電極と、前記第１の凹部電極と前記第２の凹部電極との間において前記第２の側面に露出している第２の端部を有する第２の分岐配線と、をさらに備え、前記表面の平面視において、前記第２の端部と前記第１の凹部電極との間の距離をＬ２１、前記第２の端部と前記第２の凹部電極との間の距離をＬ２２、前記第２の端部の幅寸法を幅ＬＷとしたとき、Ｌ２１−Ｌ２２≦ＬＷであることが好ましい。
【００１２】
本適用例によれば、第２の端部は、第１の凹部電極と第２の凹部電極との間の第２の側面に位置し、第１の凹部電極と第２の凹部電極との略中央に配置される。即ち、両側の第１の凹部電極および第２の凹部電極から略均等に第２の端部を離すことにより、第１の凹部電極および第２の凹部電極に這い上がる半田などによって生じる虞のある第２の端部との電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例に記載の電子部品用パッケージにおいて、前記実装面には、第２の外部端子がさらに設けられており、前記側面は、前記第２の側面と前記第３の側面とを接続している第２の凹部をさらに有し、前記第２の凹部に設けられており、前記第２の外部端子と電気的に接続されている第２の凹部電極と、前記第３の側面に露出している第３の端部を有する第３の分岐配線と、をさらに備え、前記第１の外部端子は、出力端子であり、前記第２の外部端子は、電源端子または接地端子であり、前記第１の分岐配線と前記第１の外部端子とが前記平面視で重なっている部分の面積は、前記第３の分岐配線と前記第２の外部端子とが前記平面視で重なっている部分の面積より小さいことが好ましい。
【００１４】
本適用例によれば、第１の分岐配線と出力端子である第１の外部端子とが平面視で重なっている部分の面積を小さくすることにより、出力端子に係る容量結合の影響による特性劣化を低減することができる。なお、電源端子または接地端子は、第３の分岐配線と平面視で重なっても特性への影響は無視することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例に記載の電子部品用パッケージにおいて、前記Ｌ１１は、前記第１の凹部電極と前記第１の側面端子との間の距離をＰＬとしたとき、０．１５ｍｍ≦Ｌ１１＜ＰＬを満たすことが好ましい。
【００１６】
本適用例によれば、第１の分岐配線の第１の端部の位置は、第１の凹部電極と第１の側面端子との間にあって、第１の端部と、第１の凹部電極との間の距離（Ｌ１１）が、０．１５ｍｍ以上である。このように、第１の端部の位置が、第１の凹部電極との間の距離を０．１５ｍｍ以上として配置されることにより、第１の分岐配線を容易に形成することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例に記載の電子部品用パッケージにおいて、前記Ｌ１２は、０．１５ｍｍ≦Ｌ１２＜（Ｌ１１＋Ｌ１２）／２を満たすことが好ましい。
【００１８】
本適用例によれば、第１の分岐配線の第１の端部と、第１の側面端子との間の距離（Ｌ１２）が、（Ｌ１１＋Ｌ１２）／２未満、且つ０．１５ｍｍ以上である。即ち、第１の端部の位置は、第１の側面端子との間の距離を０．１５ｍｍ以上とし、且つ第１の端部を介した第１の凹部電極と第１の側面端子との間の中央より第１の側面端子に近い位置に配置されるため、第１の凹部電極との間の距離を十分にとることができる。これにより、回路基板などへの実装時の第１の凹部電極に這い上がる半田などによる第１の端部との電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができるとともに、第１の分岐配線を容易に形成することができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例に記載の電子部品用パッケージにおいて、前記Ｌ２１は、前記第１の凹部電極と前記第２の凹部電極と前記第２の端部とが並ぶ方向の前記第２の側面の幅寸法をＰＷとしたとき、０．１５ｍｍ≦Ｌ２１≦ＰＷ／２且つ０．１５ｍｍ≦Ｌ２２≦ＰＷ／２を満たすことが好ましい。
【００２０】
本適用例によれば、第２の分岐配線の第２の端部と第１の凹部電極または第２の凹部電極との間の距離（Ｌ２１，Ｌ２２）が、第１の凹部電極と第２の凹部電極との距離（第２の側面の幅寸法ＰＷ）の半分以下、且つ且つ０．１５ｍｍ以上であることにより、第２の分岐配線を容易に形成できるとともに、回路基板などへの実装時の第１の凹部電極または第２の凹部電極に這い上がる半田などによる第２の端部との電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができる。
【００２１】
［適用例８］本適用例に係る発振器は、上記適用例のいずれか一例に記載の電子部品用パッケージと、前記電子部品用パッケージに収容された振動素子と、前記振動素子を発振させる発振回路の少なくとも一部を含む回路素子と、を含むことを特徴とする。
【００２２】
本適用例に係る発振器によれば、回路基板などへの実装時に、第１の凹部電極に這い上がる半田などによる第１の端部や第２の端部との電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができる電子部品用パッケージを用いていることにより、信頼性の高い発振器を提供することができる。
【００２３】
［適用例９］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の電子部品用パッケージを含む電子部品を備えていることを特徴とする。
【００２４】
本適用例に係る電子機器によれば、回路基板などへの実装時に、第１の凹部電極に這い上がる半田などによる第１の端部や第２の端部との電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができる電子部品用パッケージを用いた電子部品を備えていることにより、信頼性の高い電子機器を提供することができる。
【００２５】
［適用例１０］本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の電子部品用パッケージを含む電子部品を備えていることを特徴とする。
【００２６】
本適用例に係る移動体によれば、回路基板などへの実装時に、第１の凹部電極に這い上がる半田などによる第１の端部や第２の端部との電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができる電子部品用パッケージを用いた電子部品を備えていることにより、信頼性の高い移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態に係る電子部品用パッケージを用いた電子部品としての発振器の概略を示す平面図。
【図２】電子部品としての発振器の概略を示す正面図（部分断面図）。
【図３】電子部品としての発振器の概略を示し、図１のＡ−Ａ断面図（側面図）。
【図４】電子部品用パッケージの枠板に設けられた電極パターンを示す平面図。
【図５】電子部品用パッケージの中板に設けられた電極パターンを示す平面図。
【図６】電子部品用パッケージの底板に設けられた電極パターンを示す平面図。
【図７】電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える電子機器の一構成例を示す機能ブロック図。
【図８】電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える電子機器の一例としてのネットワークサーバーの構成例を示す概略図。
【図９】電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。
【図１０】電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える電子機器の一例としての携帯電話機の構成を示す斜視図。
【図１１】電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。
【図１２】電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える移動体としての自動車の構成を示す斜視図。
【図１３】電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える基地局装置を適用した測位システムの構成例を示す機能ブロック図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。なお、以下では、説明の便宜上、各図において、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しており、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、＋Ｚ軸側を「上」、「上方」、もしくは「表」、「表側」、−Ｚ軸側を「下」、「下方」、もしくは「裏」、「裏側」ということがある。
【００２９】
図１、図２、および図３を用い、本発明の実施形態に係る電子部品としての発振器について説明する。図１、図２、および図３は、本発明の実施形態に係る電子部品としての発振器の概略を示し、図１は平面図であり、図２は、正面図（部分断面図）であり、図３は、図１のＡ−Ａ断面図（側面図）である。なお、図１では、図２に示すリッド３０およびシームリング２９を省略（透視）している。
【００３０】
本発明の実施形態に係る電子部品としての発振器１は、図１、図２、および図３に示すように、電子部品用パッケージとしてのパッケージ２０内に振動素子としての水晶振動片１７と回路素子２１とを収容（収納）した、所謂温度補償型水晶発振器（TCXO ：Temperature Compensated X'tal Oscillator）である。発振器１は、水晶振動片１７と、水晶振動片１７を発振させる発振回路や水晶振動片１７の持つ温度特性を補償する特性を持つ回路（温度補償回路）を少なくとも備えた回路素子２１と、水晶振動片１７や回路素子２１を収容するパッケージ２０（電子部品用パッケージ）と、パッケージ２０との間に内部空間（収納空間）１６を形成する蓋部としてのリッド３０とを有している。以下、水晶振動片１７、パッケージ２０、回路素子２１、および蓋部としてのリッド３０について、順次詳細に説明する。
【００３１】
（振動素子としての水晶振動片）
本実施形態の水晶振動片１７は、圧電材料の一例としての水晶により形成されたＡＴカット水晶基板（圧電基板）が用いられている。図示しないが、水晶等の圧電材料は三方晶系に属し、互いに直交する結晶軸Ｘ、Ｙ、Ｚを有する。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれ電気軸、機械軸、光学軸と呼称される。そして水晶基板は、ＸＺ面をＸ軸の回りに所定の角度θだけ回転させた平面に沿って、水晶から切り出された平板が用いられる。例えば、ＡＴカット水晶基板の場合は、θは略３５°１５′である。なお、Ｙ軸、およびＺ軸もＸ軸の周りにθ回転させて、それぞれＹ’軸、およびＺ’軸とする。従って、ＡＴカット水晶基板は、直交する結晶軸Ｘ、Ｙ’、Ｚ’を有する。ＡＴカット水晶基板は、厚み方向がＹ’軸であって、Ｙ’軸に直交するＸＺ’面（Ｘ軸、およびＺ’軸を含む面）が主面であり、厚みすべり振動が主振動として励振される。このＡＴカット水晶基板を加工して、水晶振動片１７の素板としての圧電基板を得ることができる。即ち、圧電基板は、Ｘ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）、Ｚ軸（光学軸）からなる直交座標系のＸ軸を中心として、Ｚ軸をＹ軸の−Ｙ方向へ傾けた軸をＺ’軸とし、Ｙ軸をＺ軸の＋Ｚ方向へ傾けた軸をＹ’軸とし、Ｘ軸とＺ’軸に平行な面で構成され、Ｙ’軸に平行な方向を厚みとするＡＴカット水晶基板からなる。
【００３２】
なお、本発明に係る水晶基板は、前述のような角度θが略３５°１５′のＡＴカットに限定されるものではなく、厚みすべり振動を励振するＳＣカット、ＢＴカット、等の他の圧電基板も広く適用できる。
【００３３】
本実施形態の水晶振動片１７は、圧電材料の一例としての水晶により矩形状に形成されたＡＴカット水晶基板（圧電基板）の素子片の表裏面（主面）に、種々の電極が設けられている。本例では種々の電極として、励振電極１８ａと、接続電極１９と、励振電極１８ａおよび接続電極１９を接続する引き出し電極１８ｂと、が形成されている。なお、図２では、図面の判読に係る便宜上、種々の電極の図示を省略している。励振電極１８ａは、水晶振動片１７における表裏の主面の中央部に、略矩状に設けられている。また、接続電極１９は、励振電極１８ａから、引き出し電極１８ｂによって表裏の主面の一方の端部まで延出されて配置されている。なお、表裏の励振電極１８ａおよび接続電極１９は、ほぼ同一形状で対向するように設けられている。
【００３４】
（電子部品用パッケージ）
次に、図１、図２、および図３に加えて、図４、図５、および図６を参照しながら電子部品用パッケージとしてのパッケージ２０について説明する。図４は、電子部品用パッケージの枠板に設けられた電極パターンを示す平面図である。図５は、電子部品用パッケージの中板に設けられた電極パターンを示す平面図である。図６は、電子部品用パッケージの底板に設けられた電極パターンを示す平面図である。
【００３５】
電子部品用パッケージとしてのパッケージ２０は、板状の底板１１と、底板１１の表面１１ｆに接合されている第１の基板としての板状の中板１２と、中板１２の表面１２ｆの周縁部に接合されている枠状の枠板１３と、枠板１３の表面１３ｆの周縁部に接合されている枠状の側壁１４とを含んでいる。側壁１４の表面１４ｆには、後述する蓋部としてのリッド３０を接合するための接合材として用いられるシームリング２９が設けられている。
【００３６】
パッケージ２０は、上面に開口する凹部（内部空間１６）を有している。凹部の開口は、接合材としてのシームリング２９を介して側壁１４に接合されている蓋部としてのリッド３０によって塞がれている。そして、このリッド３０により、パッケージ２０の凹部の開口が塞がれて密封された内部空間１６が形成される。密封された内部空間１６は、その内部圧力を所望の気圧に設定できる。例えば、内部空間１６に窒素ガスを充填しての大気圧としたり、真空（通常の大気圧より低い圧力（１×１０5Ｐａ〜１×１０-10Ｐａ以下（ＪＩＳ  Ｚ  ８１２６−１：１９９９））の気体で満たされた空間の状態）としたりすることで、より安定した水晶振動片１７の振動を継続することができる。なお、本実施形態の内部空間１６は、上記の真空の状態に設定されている。
【００３７】
パッケージ２０の外周は、図１に示すように、図中Ｘ軸方向に沿った外側の側面（外側面）である第１の側面２０ａと、第１の側面２０ａと交差する第２の側面２０ｂと、第１の側面２０ａと対向している第３の側面２０ｃと、第２の側面２０ｂに対向している第４の側面２０ｄとを備えている。そして、第１の側面２０ａ、第２の側面２０ｂ、第３の側面２０ｃ、および第４の側面２０ｄが、それぞれ交差する四隅には、底板１１から側壁１４にかけて内側に凹む四つの凹部（第１の凹部２４ａ、第２の凹部２４ｂ、第３の凹部２４ｃ、第４の凹部２４ｄ）が設けられている。なお、ここでいう「交差する」とは、それぞれの面同士を延長したときに平行とならない（例えば、略直交する）ことをいう。
【００３８】
具体的にパッケージ２０は、第１の側面２０ａと第２の側面２０ｂとを接続している第１の凹部２４ａと、第２の側面２０ｂと第３の側面２０ｃとを接続している第２の凹部２４ｂと、第３の側面２０ｃと第４の側面２０ｄとを接続している第３の凹部２４ｃと、第４の側面２０ｄと第１の側面２０ａとを接続している第４の凹部２４ｄと、を備えている。そして、四つの凹部（第１の凹部２４ａ、第２の凹部２４ｂ、第３の凹部２４ｃ、第４の凹部２４ｄ）の内部には、それぞれ凹部電極（第１の凹部電極２５ａ，第２の凹部電極２５ｂ、第３の凹部電極２５ｃ、第４の凹部電極２５ｄ）が設けられている。なお、上述の凹部は、キャスタレーションと呼ばれ、凹部電極は、キャスタレーション電極と呼ばれることがある。
【００３９】
また、パッケージ２０の底面、即ち実装面となる底板１１の裏面１１ｒには、四つの外部端子としての外部接続端子（第１の外部端子としての第１の外部接続端子１５ａ、第２の外部端子としての第２の外部接続端子１５ｂ、第３の外部端子としての第３の外部接続端子１５ｃ、第４の外部端子としての第４の外部接続端子１５ｄ）が設けられている。なお、凹部電極（第１の凹部電極２５ａ、第２の凹部電極２５ｂ、第３の凹部電極２５ｃ、第４の凹部電極２５ｄ）は、例えば第１の凹部電極２５ａに対する第１の外部接続端子１５ａのように、それぞれ対応する位置に設けられている外部接続端子（第１の外部接続端子１５ａ、第２の外部接続端子１５ｂ、第３の外部接続端子１５ｃ、第４の外部接続端子１５ｄ）と接続されている。ここで、例えば第１の外部端子としての第１の外部接続端子１５ａは出力端子であり、第２の外部端子としての第２の外部接続端子１５ｂは電源端子または接地端子である。
【００４０】
また、パッケージ２０の第１の側面２０ａ、および第３の側面２０ｃのそれぞれには、底板１１から側壁１４にかけて内側に凹む第５の凹部３１ａおよび第６の凹部３１ｂが設けられている。そして、第５の凹部３１ａの内部には第１の側面端子３２ａが設けられ、第６の凹部３１ｂの内部には第２の側面端子３２ｂが設けられている。第１の側面端子３２ａおよび第２の側面端子３２ｂは、少なくとも中板１２、および枠板１３に跨って設けられることが望ましい。本実施形態では、底板１１および側壁１４の一部にもかかるように配置されている。第１の側面端子３２ａおよび第２の側面端子３２ｂをこのように配置することにより、第１の側面端子３２ａおよび第２の側面端子３２ｂの面積を大きくすることができ、第１の側面端子３２ａおよび第２の側面端子３２ｂにプローブ等を接触させる場合の接触不良を減少させることができる。
【００４１】
なお、第１の側面端子３２ａおよび第２の側面端子３２ｂは、第５の凹部３１ａおよび第６の凹部３１ｂの内部に設ける構成でなく、第５の凹部３１ａおよび第６の凹部３１ｂの内部からパッケージ２０の外側面（第１の側面２０ａ、第３の側面２０ｃ）に亘って設けられたり、第１の側面２０ａおよび第３の側面２０ｃに設けられたりする構成としてもよい。
【００４２】
枠板１３は、図４に示すように、平面視で概矩形状の外側面を有する板状部材の中央部分に、側壁１４側の表面１３ｆと、表面１３ｆと反対側の裏面１３ｒとを貫通する開口部としての貫通孔３３が設けられた枠状の部材１３ｗによって構成されている。枠板１３には、外周の四隅に凹部（第１の凹部２４ａ、第２の凹部２４ｂ、第３の凹部２４ｃ、第４の凹部２４ｄ）および凹部電極（第１の凹部電極２５ａ、第２の凹部電極２５ｂ、第３の凹部電極２５ｃ、第４の凹部電極２５ｄ）が設けられている。また、枠板１３には、第１の側面２０ａに、第５の凹部３１ａおよび第１の側面端子３２ａが設けられ、第３の側面２０ｃに第６の凹部３１ｂおよび第２の側面端子３２ｂが設けられている。また、枠板１３の側壁１４側の表面１３ｆ上には、水晶振動片１７の接続電極１９と電気的に接続される二つの接続パッド２８が設けられている。そして、接続パッド２８上に水晶振動片１７が搭載される。
【００４３】
枠板１３には、接続パッド２８と平面視で重なる位置に、振動素子配線３７を構成する層間配線としての第１層間配線２７が設けられている。ここでの第１層間配線２７は、表面１３ｆ側で接続パッド２８と電気的に接続され、枠板１３の表面１３ｆから裏面１３ｒに貫通する電気的導通配線である。第１層間配線２７は、ビアとも呼ばれる貫通電極であり、枠板１３の表面１３ｆから裏面１３ｒに貫通する貫通孔に、例えば銅（Ｃｕ）などの電気的導通の良好な導電部材を埋め込む（充填する）ことによって形成される。
【００４４】
第１の基板としての中板１２は、図５に示すように、平面視で概矩形状を成し、枠板１３側に位置する表面１２ｆと、表面１２ｆと反対側の裏面１２ｒとを有する板状の部材１２ｂによって構成されている。中板１２は、第１の側面２０ａと、第１の側面２０ａと交差する第２の側面２０ｂと、第１の側面２０ａと対向している第３の側面２０ｃと、第２の側面２０ｂに対向している第４の側面２０ｄとを備えている。そして、中板１２は、第１の側面２０ａと第２の側面２０ｂとを接続している第１の凹部２４ａと、第２の側面２０ｂと第３の側面２０ｃとを接続している第２の凹部２４ｂと、第３の側面２０ｃと第４の側面２０ｄとを接続している第３の凹部２４ｃと、第４の側面２０ｄと第１の側面２０ａとを接続している第４の凹部２４ｄと、を備えている。四つの凹部（第１の凹部２４ａ、第２の凹部２４ｂ、第３の凹部２４ｃ、第４の凹部２４ｄ）の内部には、それぞれ凹部電極（第１の凹部電極２５ａ、第２の凹部電極２５ｂ、第３の凹部電極２５ｃ、第４の凹部電極２５ｄ）が設けられている。また、第１の側面２０ａおよび第３の側面２０ｃには、凹部（第５の凹部３１ａ、第６の凹部３１ｂ）および側面端子（第１の側面端子３２ａ、第２の側面端子３２ｂ）が設けられている。また、中板１２には、枠板１３に設けられている第１層間配線２７のそれぞれに対向する位置に、振動素子配線３７を構成する連接電極３４が設けられている。
【００４５】
中板１２の連接電極３４と平面視で重なる位置には、振動素子配線３７を構成する層間配線としての第２層間配線３５が設けられている。ここでの第２層間配線３５は、表面１２ｆ側で連接電極３４と電気的に接続され、中板１２の表面１２ｆから裏面１２ｒに貫通する電気的導通配線である。第２層間配線３５は、ビアとも呼ばれる貫通電極であり、中板１２の表面１２ｆから裏面１２ｒに貫通する貫通孔に、例えば銅（Ｃｕ）などの電気的導通の良好な導電部材を埋め込む（充填する）ことによって形成される。なお、第１層間配線２７と第２層間配線３５とは、連接電極３４を介して電気的に接続されている例で説明したが、連接電極３４を設けずに、直接第１層間配線２７と第２層間配線３５とが、接続される構成であってもよい。
【００４６】
また、枠板１３の貫通孔３３の内側に位置する中板１２の表面１２ｆには、回路素子２１の接続突起（バンプ）２２と接続されるボンディング電極２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆが設けられている。ボンディング電極２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆは、それぞれ凹部電極（第１の凹部電極２５ａ、第２の凹部電極２５ｂ、第３の凹部電極２５ｃ、第４の凹部電極２５ｄ）や側面端子（第１の側面端子３２ａ、第２の側面端子３２ｂ）と電気的に接続されている。回路素子２１は、ボンディング電極２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆに対向して配置され、中板１２上に搭載される。なお、本実施形態では、各ボンディング電極２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆは、接続突起（バンプ）２２と接続される構成であるが、ボンディング電極２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆと回路素子２１との接続方法はこれに限定されず、例えばワイヤーボンディングによって回路素子２１と電気的に接続される構成であってもよい。
【００４７】
具体的に、ボンディング電極２３ａは、配線電極３６ａによって第３の凹部電極２５ｃに接続されている。また、配線電極３６ａは、該配線電極３６ａから分岐した第４の分岐配線４４を備えている。そして、第４の分岐配線４４は、第４の側面２０ｄに露出する第４の端部４４ｆを備えている。ボンディング電極２３ｂは、配線電極３６ｂによって第２の側面端子３２ｂに接続されている。ボンディング電極２３ｃは、配線電極３６ｃによって第２の凹部電極２５ｂに接続されている。また、ボンディング電極２３ｃは、第３の分岐配線４３を備えている。そして、第３の分岐配線４３は、第３の側面２０ｃに露出する第３の端部４３ｆを備えている。ボンディング電極２３ｄは、配線電極３６ｄによって第４の凹部電極２５ｄに接続されている。ボンディング電極２３ｅは、配線電極３６ｅによって第１の側面端子３２ａに接続されている。
【００４８】
また、配線電極３６ｅは、該配線電極３６ｅから分岐した第１の分岐配線４１を備えている。そして、第１の分岐配線４１は、第１の側面２０ａに露出する第１の端部４１ｆを備えている。換言すれば、第１の分岐配線４１は、第１の側面端子３２ａと電気的に接続されている。このように、第１の分岐配線４１が第１の側面端子３２ａと電気的に接続されているため、第１の側面２０ａにおいて、第１の側面端子３２ａと第１の端部４１ｆとが接触してもよくなることから、第１の側面端子３２ａと第１の端部４１ｆとを近付けることができ、結果的に第１の側面端子３２ａを第１の凹部電極２５ａからより離れた位置に配置することができ、回路基板などへの実装時に、第１の凹部電極２５ａに這い上がる半田などによる第１の端部４１ｆとの電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができる。
【００４９】
また、ボンディング電極２３ｆは、配線電極３６ｆによって第１の凹部電極２５ａに接続されている。また、ボンディング電極２３ｆは、第２の分岐配線４２を備えている。そして、第２の分岐配線４２は、第２の側面２０ｂに露出する第２の端部４２ｆを備えている。
【００５０】
ここで、第１の分岐配線４１、第２の分岐配線４２、第３の分岐配線４３、および第４の分岐配線４４は、一端が水晶振動片１７に導通している配線や回路素子２１に導通している配線などの信号配線やパッドに接続されており、他端が電気的に浮いている配線のことをいい、例えば、ボンディング電極２３ｅ，２３ｆ，２３ｃ，２３ａの電界メッキ処理を行う際の導通配線として用いられる配線である。
【００５１】
なお、上述した第１の分岐配線４１の第１の端部４１ｆが第１の側面２０ａに露出する位置は、中板１２の表面１２ｆを平面視したとき、第１の端部４１ｆと第１の凹部電極２５ａとの間の距離をＬ１１、第１の端部４１ｆと第１の側面端子３２ａとの間の距離をＬ１２としたとき、Ｌ１１＞Ｌ１２であることが好ましい。なお、「距離」とは、対象物間の最短距離のことを言う。
【００５２】
このように、第１の端部４１ｆと第１の凹部電極２５ａとの間の距離（Ｌ１１）を、該第１の端部４１ｆと第１の側面端子３２ａとの間の距離（Ｌ１２）よりも大きくすることにより、第１の凹部電極２５ａに対する第１の端部４１ｆの位置が、第１の側面端子３２ａから第１の凹部電極２５ａまでの中間位置よりも遠い位置に配置される。換言すれば、第１の端部４１ｆの位置が、第１の側面端子３２ａから第１の凹部電極２５ａまでの中間位置よりも、半田などの這い上がりが生じ難い第１の側面端子３２ａ側に寄った位置に配置される。したがって、回路基板などへの実装時に、第１の凹部電極２５ａに這い上がる半田などによる第１の端部４１ｆとの電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができ、信頼性の高いパッケージ２０を得ることができる。
【００５３】
また、第１の端部４１ｆと第１の凹部電極２５ａとの間の距離であるＬ１１は、第１の凹部電極と前記第１の側面端子との間の距離をＰＬとしたとき、０．１５ｍｍ≦Ｌ１１＜ＰＬを満たすことが好ましい。
【００５４】
このようなＬ１１とすれば、第１の分岐配線４１の第１の端部４１ｆの位置は、第１の凹部電極２５ａと第１の側面端子３２ａとの間にあって、第１の端部４１ｆと、第１の凹部電極２５ａとの間の距離（Ｌ１１）が、０．１５ｍｍ以上である。このように、第１の端部４１ｆが、第１の凹部電極２５ａとの間の距離を０．１５ｍｍ以上として配置されることにより、第１の分岐配線４１を容易に形成することができる。
【００５５】
また、第１の分岐配線４１の第１の端部４１ｆと、第１の側面端子３２ａとの間の距離であるＬ１２は、０．１５ｍｍ≦Ｌ１２＜（Ｌ１１＋Ｌ１２）／２を満たすことが好ましい。
【００５６】
このようなＬ１２とすれば、第１の分岐配線４１の第１の端部４１ｆと、第１の側面端子３２ａとの間の距離（Ｌ１２）が、（Ｌ１１＋Ｌ１２）／２未満、且つ０．１５ｍｍ以上である。即ち、第１の端部４１ｆの位置は、第１の側面端子３２ａとの間の距離を０．１５ｍｍ以上とし、且つ第１の端部４１ｆを介した第１の凹部電極２５ａと第１の側面端子３２ａとの間の中央より第１の側面端子３２ａに近い位置に配置されるため、第１の凹部電極２５ａとの間の距離を十分にとることができる。これにより、回路基板などへの実装時の第１の凹部電極２５ａに這い上がる半田などによる第１の端部４１ｆとの電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができるとともに、第１の分岐配線４１を容易に形成することができる。
【００５７】
また、上述した第２の分岐配線４２の第２の端部４２ｆと、第１の凹部電極２５ａとの間の距離をＬ２１、第２の端部４２ｆと、第２の凹部電極２５ｂとの間の距離をＬ２２、第２の端部４２ｆの幅寸法をＬＷとしたとき、Ｌ２１−Ｌ２２≦ＬＷであることが好ましい。
【００５８】
このように第２の端部４２ｆを配置することにより、第２の端部４２ｆは、第１の凹部電極２５ａと第２の凹部電極２５ｂとの間の第２の側面２０ｂに位置し、第１の凹部電極２５ａと第２の凹部電極２５ｂとの略中央に配置される。即ち、両側に位置する第１の凹部電極２５ａおよび第２の凹部電極２５ｂから略均等に第２の端部４２ｆを離すことにより、第１の凹部電極２５ａおよび第２の凹部電極２５ｂに這い上がる半田などによって生じる虞のある第２の端部４２ｆとの電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができる。
【００５９】
また、第２の分岐配線４２の第２の端部４２ｆと、第１の凹部電極２５ａとの間の距離であるＬ２１は、第１の凹部電極２５ａと、第２の凹部電極２５ｂと第２の端部４２ｆとが並ぶ方向（図中Ｙ軸方向に沿った方向）の第２の側面２０ｂの幅寸法をＰＷとしたとき、０．１５ｍｍ≦Ｌ２１≦ＰＷ／２、且つ０．１５ｍｍ≦Ｌ２２≦ＰＷ／２、であることが好ましい。
【００６０】
このようにすれば、第２の分岐配線４２の第２の端部４２ｆと第１の凹部電極２５ａまたは第２の凹部電極２５ｂとの間の距離（Ｌ２１，Ｌ２２）が、第１の凹部電極２５ａと第２の凹部電極２５ｂとの距離（第２の側面２０ｂの幅寸法であるＰＷ）の半分以下、且つ且つ０．１５ｍｍ以上であることにより、第２の分岐配線４２を容易に形成できるとともに、回路基板などへの実装時の第１の凹部電極２５ａまたは第２の凹部電極２５ｂに這い上がる半田などによる第２の端部４２ｆとの電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができる
【００６１】
また、パッケージ２０の底面となる底板１１の裏面１１ｒに設けられている出力端子である第１の外部接続端子１５ａ（第１の外部端子）と、第１の分岐配線４１とが平面視で重なっている部分（図中ハッチングで示す）の面積は、パッケージ２０の底面となる底板１１の裏面１１ｒに設けられている電源端子または接地端子である第２の外部接続端子１５ｂ（第２の外部端子）と第３の分岐配線４３とが平面視で重なっている部分（図中ハッチングで示す）の面積よりも小さいことが好ましい。
【００６２】
このような構成によれば、第１の分岐配線４１と出力端子である第１の外部接続端子１５ａとが平面視で重なっている部分の面積を小さくすることにより、出力端子に係る容量結合の影響による特性劣化を低減することができる。なお、電源端子または接地端子は、第３の分岐配線４３と平面視で重なっても特性への影響は生じない。
【００６３】
底板１１は、図６に示すように、平面視で概矩形状を成し、中板１２側に位置する表面１１ｆと、表面１１ｆと反対側に位置するパッケージ２０の実装面としての裏面１１ｒとを有する板状の部材１１ｂによって構成されている。底板１１には、外周の四隅に凹部（第１の凹部２４ａ、第２の凹部２４ｂ、第３の凹部２４ｃ、第４の凹部２４ｄ）および凹部電極（第１の凹部電極２５ａ、第２の凹部電極２５ｂ、第３の凹部電極２５ｃ、第４の凹部電極２５ｄ）が設けられている。また、底板１１には、第１の側面２０ａに、第５の凹部３１ａおよび第１の側面端子３２ａが設けられ、第３の側面２０ｃに第６の凹部３１ｂおよび第２の側面端子３２ｂが設けられている。底板１１の表面１１ｆには、振動素子配線３７を構成する端子配線２６が設けられている。
【００６４】
端子配線２６は、中板１２に設けられている第２層間配線３５に対向する位置から第１の側面端子３２ａまたは第２の側面端子３２ｂに亘って帯状に設けられている。この端子配線２６が、第１の側面端子３２ａまたは第２の側面端子３２ｂに接続されることによって、水晶振動片１７の接続電極１９と電気的に接続される二つの接続パッド２８が、それぞれに対応する振動素子配線３７を介して第１の側面端子３２ａまたは第２の側面端子３２ｂと電気的に接続される。換言すれば、端子配線２６は、底板１１と中板１２との間に配置され、第１の側面端子３２ａまたは第２の側面端子３２ｂと接続されている。
【００６５】
なお、端子配線２６は、上述のように主として一方向に延伸する配線パターンの構成に限定されず、例えば、帯状の配線が湾曲状や波状の曲線を有する配線パターンであったり、交差する二つの延伸方向を有して屈折する帯状の配線パターンであったりしてもよい。
【００６６】
パッケージ２０の底面となる底板１１の裏面１１ｒ（実装面）には、それぞれの凹部（第１の凹部２４ａ、第２の凹部２４ｂ、第３の凹部２４ｃ、第４の凹部２４ｄ）に対応した四つの外部端子としての外部接続端子（第１の外部端子としての第１の外部接続端子１５ａ、第２の外部端子としての第２の外部接続端子１５ｂ、第３の外部端子としての第３の外部接続端子１５ｃ、第４の外部端子としての第４の外部接続端子１５ｄ）が設けられている。なお、第１の外部接続端子１５ａは、対応する第１の凹部電極２５ａと接続され、第２の外部接続端子１５ｂは、対応する第２の凹部電極２５ｂと接続され、第３の外部接続端子１５ｃは、対応する第３の凹部電極２５ｃと接続され、第４の外部接続端子１５ｄは、対応する第４の凹部電極２５ｄと接続されている。なお、本形態では、第１の外部接続端子１５ａは出力端子であり、第２の外部接続端子１５ｂは電源端子または接地端子である。外部接続端子（第１の外部接続端子１５ａ、第２の外部接続端子１５ｂ、第３の外部接続端子１５ｃ、第４の外部接続端子１５ｄ）と接続された凹部電極（第１の凹部電極２５ａ、第２の凹部電極２５ｂ、第３の凹部電極２５ｃ、第４の凹部電極２５ｄ）を設けることにより、パッケージ２０の実装時において、例えば半田の這い上がり（半田フィレット）を形成し易くなり、実装の信頼性を向上させることができる。
【００６７】
枠板１３の表面１３ｆ側に接合されている側壁１４は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向において枠板１３の開口よりも外側に開口端を有する開口を備え、底板１１から枠板１３が積層されたパッケージ２０の上部（枠板１３の表面１３ｆ）に外周縁（外側部）に沿って配置された略矩形状の枠状に設けられている。換言すれば、側壁１４は、パッケージ２０の凹部の上面に開口する開口形状が略矩形状の周状を成し、表面１４ｆとその反対側の裏面１４ｒとを有し、裏面１４ｒが枠板１３の表面１３ｆに接合されている。
【００６８】
枠状の側壁１４の枠板１３側と反対側の表面１４ｆには、例えばコバール等の合金で形成されたシームリング２９が設けられている。シームリング２９は、蓋部としてのリッド３０と側壁１４との接合材としての機能を有しており、側壁１４の表面１４ｆに沿って枠状（略矩形状の周状）に設けられている。
【００６９】
パッケージ２０は、水晶振動片１７、回路素子２１、およびリッド３０の熱膨張係数と一致、あるいは極力近い熱膨張係数を備えた材料によって形成され、本例では、セラミックを用いている。パッケージ２０は、所定の形状に成形されたグリーンシートを積層し、焼結することによって形成される。なお、グリーンシートは、例えば所定の溶液中にセラミックのパウダーを分散させ、バインダーを添加して生成される混練物がシート状に形成されたものである。
【００７０】
外部接続端子（第１の外部接続端子１５ａ、第２の外部接続端子１５ｂ、第３の外部接続端子１５ｃ、第４の外部接続端子１５ｄ）、凹部電極（第１の凹部電極２５ａ、第２の凹部電極２５ｂ、第３の凹部電極２５ｃ、第４の凹部電極２５ｄ）、端子配線２６、接続パッド２８、側面端子（第１の側面端子３２ａ、第２の側面端子３２ｂ）、連接電極３４、ボンディング電極２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆ、配線電極３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄ，３６ｅ，３６ｆ、分岐配線（第１の分岐配線４１、第２の分岐配線４２、第３の分岐配線４３、第４の分岐配線４４）などの電極や配線は、例えばタングステンなどによって形成することができる。例えば、タングステンメタライズなどを用い、必要とされる形状（パターン）を形成後に焼成を行い、その後ニッケルおよび金あるいは銀などをメッキすることによってこれらの電極や配線などを形成することができる。なお、これらの電極や配線などには、前述のタングステンメタライズの他に、例えば、銀・パラジウムなどを主剤とした導電ペーストを用いることができる。この場合は、該導電ペーストによって必要とされる形状を形成後に硬化（乾燥）処理を行うことによって形成することができる。また、これらの電極や配線などは、例えばタングステンなどを用いたスパッタリング法や蒸着法など他の形成法を用いて形成することもできる。
【００７１】
また、外部接続端子（第１の外部接続端子１５ａ、第２の外部接続端子１５ｂ、第３の外部接続端子１５ｃ、第４の外部接続端子１５ｄ）、凹部電極（第１の凹部電極２５ａ、第２の凹部電極２５ｂ、第３の凹部電極２５ｃ、第４の凹部電極２５ｄ）、端子配線２６、接続パッド２８、側面端子（第１の側面端子３２ａ、第２の側面端子３２ｂ）、連接電極３４、ボンディング電極２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆ、配線電極３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄ，３６ｅ，３６ｆ、分岐配線（第１の分岐配線４１、第２の分岐配線４２、第３の分岐配線４３、第４の分岐配線４４）などの配置や数量は、上述の形態に限定されるものではない。
【００７２】
（回路素子）
回路素子２１は、底板１１の表面１１ｆに設けられたボンディング電極２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆに接続突起（バンプ）２２を介し、電気的接続をとって接続されている。回路素子２１は、例えば水晶振動片１７を発振させる発振回路や水晶振動片１７の持つ温度特性と正反対の特性を持つ回路（温度補償回路）を少なくとも備えている。
【００７３】
（リッド）
蓋部としてのリッド３０は、板状の部材であり、パッケージ２０の上面に開放する凹部の開口を塞ぎ、内部空間１６を形成している。リッド３０は、側壁１４の表面１４ｆに相当する凹部の開口の周囲を、例えばシーム溶接法などを用い、接合材としてのシームリング２９を介して接合されている。本例のリッド３０は、板状であるため、形成が行い易く、さらには形状の安定性にも優れる。また、本例のリッド３０には、導電性を有するコバールの板材が用いられている。
【００７４】
リッド３０にコバールの板を用いることで、封止の際にコバールで形成されているシームリング２９とリッド３０とが同じ溶融状態で溶融され、さらには合金化もされ易いため封止を容易に、且つ確実に行うことができる。また、リッド３０に導電性を有する板材を用いることにより、リッド３０を固定電位とすることが可能となり、リッド３０にシールド効果を得ることができる。これにより、リッド３０側から入射する電気的なノイズを防御することが可能となる。なお、リッド３０には、コバールに換えて他の材料の板材を用いてもよく、例えば、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属材料、またはパッケージ２０の側壁１４と同材料などを用いることができる。
【００７５】
上述した実施形態に係る電子部品用パッケージとしてのパッケージ２０を用いた電子部品としての発振器１によれば、第１の分岐配線４１の第１の端部４１ｆと第１の凹部電極２５ａとの間の距離（Ｌ１１）を、該第１の端部４１ｆと第１の側面端子３２ａとの間の距離（Ｌ１２）よりも大きくすることにより、第１の凹部電極２５ａに対する第１の端部４１ｆの位置が、第１の側面端子３２ａから第１の凹部電極２５ａまでの中間位置よりも遠い位置に配置される。換言すれば、第１の端部４１ｆの位置が、第１の側面端子３２ａから第１の凹部電極２５ａまでの中間位置よりも、半田などの這い上がりが生じ難い第１の側面端子３２ａ側に寄った位置に配置される。したがって、回路基板などへの実装時に、第１の凹部電極２５ａに這い上がる半田などによる第１の端部４１ｆとの電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減することができる。
【００７６】
なお、上述の実施形態では、水晶振動片１７を形成する圧電材料として水晶を用いて説明したが、圧電材料としてはこれに限らず、例えばタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を用いることもできる。また、水晶振動片１７は、シリコンあるいはガラス基板上に振動素子を形成するＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）素子を用いた構成でもよい。また、水晶振動片１７は、シリコンあるいはガラス基板などの基板上に振動体を形成する構成の振動素子であってもよい。
【００７７】
また、上記実施形態では、本発明に係るパッケージ２０を適用した電子部品の一例として、水晶振動片１７を用いた発振器１を例に説明したが、これに限定されず、例えば、加速度や角速度などのセンサー素子を内蔵するセンサーなど他の機能を有する電子部品に適用することができる。
【００７８】
［電子機器］
次いで、本発明の電子部品用パッケージを用いた電子部品としての発振器１を適用した電子機器について、図７、図８、図９、図１０、および図１１を参照して詳細に説明する。図７は、電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える電子機器の一構成例を示す機能ブロック図である。図８は、電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える電子機器の一例としてのネットワークサーバーの構成例を示す概略図である。図９は、電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。図１０は、電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える電子機器の一例としての携帯電話機の構成を示す斜視図である。図１１は、電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。なお、図１１には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
【００７９】
以下の説明では、電子部品用パッケージを用いた電子部品として、前述した実施形態の水晶振動片１７および回路素子２１を備えた発振器１を電子機器に適用した例を示している。なお、前述した発振器１を説明する図１〜図６と同じ構成要素については同じ符号を付しており説明を省略する。
【００８０】
先ず、前述の実施形態に係る発振器１を適用した電子機器の具体例について、図７および図８を参照して説明する。図７に示す電子機器３００は、電子部品としての発振器１、および可変容量回路１１０を含む他の電子部品２００、ＣＰＵ（Central Processing Unit）３２０、操作部３３０、ＲＯＭ（Read Only Memory）３４０、ＲＡＭ（Random Access Memory）３５０、通信部３６０、表示部３７０、音出力部３８０を含んで構成されている。なお、電子機器３００は、図７の構成要素（各部）の一部を省略又は変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
【００８１】
電子部品２００は、可変容量回路１１０や発振器１を含み、発振器１からのクロック信号をＣＰＵ３２０だけでなく各部に供給する（図示は省略）。
【００８２】
ＣＰＵ３２０は、ＲＯＭ３４０等に記憶されているプログラムに従い、電子部品２００が出力するクロック信号を用いて各種の計算処理や制御処理を行う。具体的には、ＣＰＵ３２０は、操作部３３０からの操作信号に応じた各種の処理、外部とデータ通信を行うために通信部３６０を制御する処理、表示部３７０に各種の情報を表示させるための表示信号を送信する処理、音出力部３８０に各種の音を出力させる処理等を行う。
【００８３】
操作部３３０は、操作キーやボタンスイッチ等により構成される入力装置であり、ユーザーによる操作に応じた操作信号をＣＰＵ３２０に出力する。
【００８４】
ＲＯＭ３４０は、ＣＰＵ３２０が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。
【００８５】
ＲＡＭ３５０は、ＣＰＵ３２０の作業領域として用いられ、ＲＯＭ３４０から読み出されたプログラムやデータ、操作部３３０から入力されたデータ、ＣＰＵ３２０が各種プログラムに従って実行した演算結果等を一時的に記憶する。
【００８６】
通信部３６０は、ＣＰＵ３２０と外部装置との間のデータ通信を成立させるための各種制御を行う。
【００８７】
表示部３７０は、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等により構成される表示装置であり、ＣＰＵ３２０から入力される表示信号に基づいて各種の情報を表示する。そして、音出力部３８０は、スピーカー等の音を出力する装置である。
【００８８】
電子機器３００は、ＣＰＵ３２０の制御信号１５０によって、可変容量回路１１０の設定データを調整可能である。そのため、クロック信号の発振周波数について万一ずれが生じた場合でも容易に調整できる。
【００８９】
図８は、電子機器３００の一例であるネットワークサーバーの外観の一例を示す図である。電子機器３００であるネットワークサーバーは、表示部３７０としてＬＣＤを備えている。そして、電子機器３００であるネットワークサーバーでは、制御信号１５０によって、可変容量回路１１０の設定データを調整可能である。そのため、クロック信号の発振周波数について万一ずれが生じた場合でも容易に調整できる。その結果として、正確なクロック信号を利用できるので信頼性が高まる。
【００９０】
上述のように、電子機器３００、および電子機器３００の一例であるネットワークサーバーに、前述の実施形態で説明した電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減させた信頼性の高い発振器１が活用されることにより、より高い信頼性を有する電子機器３００、および電子機器３００の一例であるネットワークサーバーを提供することができる。
【００９１】
次いで、前述の実施形態に係る発振器１を適用した電子機器の他の具体例について、図９〜図１１を参照して詳細に説明する。
【００９２】
図９に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、信号処理のタイミング源としての機能を備えた発振器１が内蔵されている。
【００９３】
図１０に示すように、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、信号処理のタイミング源としての機能を備えた発振器１が内蔵されている。
【００９４】
図１１に示ように、デジタルスチールカメラ１３００は、ケース（ボディー）１３０２の背面に表示部１００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっている。表示部１００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【００９５】
ここで、従来のフィルムカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００９６】
撮影者が表示部１００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送、格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、信号処理のタイミング源としての機能を備えた発振器１が内蔵されている。
【００９７】
上述したように、電子機器としてのパーソナルコンピューター１１００、携帯電話機１２００、およびデジタルスチールカメラ１３００に、前述の実施形態で説明した電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減させた信頼性の高い発振器１が活用されることにより、より高い信頼性を有する電子機器としてのパーソナルコンピューター１１００、携帯電話機１２００、およびデジタルスチールカメラ１３００を提供することができる。
【００９８】
なお、電子部品用パッケージを用いた電子部品としての発振器１は、図９のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１０の携帯電話機、図１１のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等の電子機器に適用することができる。なお、前述した発振器１などを用いれば、温度補償機能を有しているため通信基地局などの温度変化の大きな条件下で使用される電子機器に好適である。
【００９９】
［移動体］
次いで、電子部品用パッケージを用いた電子部品として、前述した実施形態の水晶振動片１７および回路素子２１を備えた発振器１を適用した移動体について、図１２を参照して説明する。図１２は、電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える移動体としての自動車の構成を示す斜視図である。
【０１００】
自動車１４００には、発振器１を含んで構成されたジャイロセンサーが搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１４００には、タイヤ１４０１を制御する該ジャイロセンサーを内蔵した電子制御ユニット１４０２が搭載されている。また、他の例としては、発振器１は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ブレーキシステム、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）、ＡＤＡＳ(Advanced Driver Assistance System）先進運転システム（自動運転システム）等に広く適用できる。
【０１０１】
上述したように、移動体としての自動車１４００に、前述の実施形態で説明した電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減させた信頼性の高い発振器１が活用されることにより、より高い信頼性を有する移動体（自動車１４００）を提供することができる。
【０１０２】
以上、本発明に係る電子部品用パッケージを用いた電子部品としての発振器１を適用した電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていても良い。また、前述した各実施形態を適宜組み合わせても良い。
【０１０３】
［基地局装置］
電子部品用パッケージを用いた電子部品として、前述した実施形態の水晶振動片１７および回路素子２１を備えた発振器１は、基地局装置に適用することができる。以下、発振器１を適用した基地局装置について、図１３を参照して説明する。図１３は、電子部品用パッケージを用いた電子部品を備える基地局装置を適用した測位システムの構成例を示す機能ブロック図である。
【０１０４】
図１３に示すように、測位システム２０００は、ＧＰＳ衛星２２００と、基地局装置２３００と、ＧＰＳ受信装置２４００とで構成されている。ＧＰＳ衛星２２００は、測位情報（ＧＰＳ信号）を送信する。
【０１０５】
基地局装置２３００は、例えば電子基準点（ＧＰＳ連続観測局）に設置されたアンテナ２３０１を介してＧＰＳ衛星２２００からの測位情報を高精度に受信する受信装置２３０２と、この受信装置２３０２で受信した測位情報をアンテナ２３０３を介して送信する送信装置２３０４とを備える。
【０１０６】
ここで、受信装置２３０２は、その基準周波数発振源として前述した発振器１を備える電子機器である。このような受信装置２３０２は、優れた信頼性を有する。また、受信装置２３０２で受信された測位情報は、リアルタイムで送信装置２３０４により送信される。
【０１０７】
ＧＰＳ受信装置２４００は、ＧＰＳ衛星２２００からの測位情報を、アンテナ２４０１を介して受信する衛星受信部２４０２と、基地局装置２３００からの測位情報を、アンテナ２４０３を介して受信する基地局受信部２４０４とを備える。
【０１０８】
上述したように、測位システム２０００を構成する基地局装置２３００に、電子部品用パッケージを用いた電子部品として、前述の実施形態で説明した電気的短絡（ショート）の発生リスクを低減させた信頼性の高い発振器１が活用されることにより、より高い信頼性を有する基地局装置２３００を提供することができる。
【符号の説明】
【０１０９】
１…電子部品としての発振器、１１…底板、１１ｆ…底板の表面、１１ｒ…底板の裏面、１２…中板、１２ｆ…中板の表面、１２ｒ…中板の裏面、１３…枠板、１３ｆ…枠板の表面、１３ｒ…枠板の裏面、１４…側壁、１４ｆ…側壁の表面、１４ｒ…側壁の裏面、１５ａ…第１の外部端子としての第１の外部接続端子、１５ｂ…第２の外部端子としての第２の外部接続端子、１５ｃ…他の外部端子としての第３の外部接続端子、１５ｄ…他の外部端子としての第４の外部接続端子、１６…内部空間（凹部）、１７…振動素子としての水晶振動片、１８ａ…励振電極、１８ｂ…引き出し電極、１９…接続電極、２０…電子部品用パッケージとしてのパッケージ、２０ａ…第１の側面、２０ｂ…第２の側面、２０ｃ…第３の側面、２０ｄ…第４の側面、２１…回路素子、２２…接続突起（バンプ）、２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆ…ボンディング電極、２４ａ…第１の凹部、２４ｂ…第２の凹部、２４ｃ…第３の凹部、２４ｄ…第４の凹部、２５ａ…第１の凹部電極、２５ｂ…第２の凹部電極、２５ｃ…第３の凹部電極、２５ｄ…第４の凹部電極、２６…端子配線、２７…第１層間配線、２８…接続パッド、２９…シームリング、３０…リッド、３１ａ…第５の凹部、３１ｂ…第６の凹部、３２ａ…第１の側面端子、３２ｂ…第２の側面端子、３３…貫通孔（開口部）、３４…連接電極、３５…第２層間配線、３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄ，３６ｅ，３６ｆ…配線電極、３７…振動素子配線、４１…第１の分岐配線、４２…第２の分岐配線、４３…第３の分岐配線、４４…第４の分岐配線、４１ｆ…第１の端部、４２ｆ…第２の端部、４３ｆ…第３の端部、４４ｆ…第４の端部、３００…電子機器、１１００…電子機器としてのモバイル型のパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのデジタルスチールカメラ、２０００…測位システム、２３００…基地局装置、Ｌ１１…第１の端部と第１の凹部電極との間の距離、Ｌ１２…第１の端部と第１の側面端子との間の距離。
【図１】
2018060848.tif 000003
【図２】
2018060848.tif 000004
【図３】
2018060848.tif 000005
【図４】
2018060848.tif 000006
【図５】
2018060848.tif 000007
【図６】
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【図７】
2018060848.tif 000009
【図８】
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【図９】
2018060848.tif 000011
【図１０】
2018060848.tif 000012
【図１１】
2018060848.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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