(57)【要約】【課題】用力供給部材の移動を許容しつつも、用力供給部材の摩耗を抑制すること。【解決手段】案内チェーン（６）は、ターンテーブル（３）の回転に追従して配管（Ｔ）の移動を案内する多数のチェーンリンク（６０）で構成される。チェーンリンクは、上板（６１）と下板（６２）とを連結する内側壁（６３）と外側壁（６４）と、内側壁及び外側壁の間を移動する樹脂スペーサ（６７）とを備える。樹脂スペーサは、配管の外周を囲繞する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸を立設する基台と、
該回転軸を軸に自転可能なターンテーブルと、
該ターンテーブルに配設され被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段が保持した被加工物を加工する加工手段とを備える加工装置において、
該ターンテーブルに配設された該保持手段に接続して作用を施す用力供給部材を該ターンテーブルの回転に追従させて案内する多数のチェーンリンクを連結した案内チェーンであって、
該チェーンリンクは、上板と下板とを連結する内側壁と外側壁と、該用力供給部材を囲繞して該内側壁と該外側壁との間を移動可能とするすべり部と、を備える案内チェーン。
【請求項２】
該内側壁と該外側壁とに接続して該上板と該下板との間を仕切る棚板を備え、
該すべり部は、該用力供給部材を囲繞して該棚板の上で該内側壁と該外側壁との間を移動する請求項１記載の案内チェーン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ケーブルや配管等の用力供給部材の移動を案内する案内チェーンに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造に用いられる研削装置には、ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、複数のチャックテーブルを支持するターンテーブルとを備えるものが存在する。複数のチャックテーブルは、ターンテーブルの上面に対して周方向に等間隔で配置される。ターンテーブルが間欠回転されることにより、チャックテーブルが所定位置（例えば、ウエーハが搬入される搬入位置や加工が実施される加工位置）に移動される。
【０００３】
ところで、上記したチャックテーブルやターンテーブルには、電力を供給するためのケーブル、エアや水を供給するための配管等（以下、これらを用力供給部材と呼ぶことがある）が接続される。これらの用力供給部材は、チャックテーブルやターンテーブルの移動に伴って変形（移動）する。このため、用力供給部材には、チャックテーブルやターンテーブルの移動に追従するように、用力供給部材の移動を案内する案内チェーンが設けられる（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００４】
案内チェーンは、複数のリンクを鎖状に連結したキャタピラ等で構成される。ケーブルや配管は、案内チェーンの内部に形成される所定空間で、案内チェーンの延在方向に沿うように配設される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表２０００−５０９７９８号公報
【特許文献２】特表２０１５−５２１２５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、案内チェーン内の所定空間に配設される用力供給部材は、移動が案内されることで所定空間内でバタつく（ねじれたり、用力供給部材同士が接触する）ことが想定される。そこで、上記所定空間を用力供給部材毎に仕切板で区切ることにより、用力供給部材の移動を規制することが考えられる。
【０００７】
この場合、用力供給部材同士の接触が防止されるものの、単体の用力供給部材は、区切られた空間内で移動が可能である。このため、区切られた空間内で用力供給部材が内壁に接触し、摩耗するおそれがある。
【０００８】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、用力供給部材の移動を許容しつつも、用力供給部材の摩耗を抑制することができる案内チェーンを提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様の案内チェーンは、回転軸を立設する基台と、回転軸を軸に自転可能なターンテーブルと、ターンテーブルに配設され被加工物を保持する保持手段と、保持手段が保持した被加工物を加工する加工手段とを備える加工装置において、ターンテーブルに配設された保持手段に接続して作用を施す用力供給部材をターンテーブルの回転に追従させて案内する多数のチェーンリンクを連結した案内チェーンであって、チェーンリンクは、上板と下板とを連結する内側壁と外側壁と、用力供給部材を囲繞して内側壁と外側壁との間を移動可能とするすべり部と、を備える。
【００１０】
この構成によれば、用力供給部材の周囲は、すべり部によって囲繞され、用力供給部材及びすべり部は、上板、下板、内側壁、及び外側壁で囲まれる空間内に配置される。ターンテーブルが回転し、当該回転に追従して用力供給部材の移動が案内されると、用力供給部材及びすべり部は、上記空間内を移動する。このとき、用力供給部材は、すべり部によって覆われているため、直にチェーンリンクの内壁（上板、下板、内側壁、及び外側壁）に接触することがない。すなわち、用力供給部材をすべり部で保護することができる。よって、用力供給部材の移動を許容しつつも、用力供給部材の摩耗を抑制することができる。
【００１１】
また、本発明の上記案内チェーンは、内側壁と外側壁とに接続して上板と下板との間を仕切る棚板を備え、すべり部は、用力供給部材を囲繞して棚板の上で内側壁と外側壁との間を移動する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、用力供給部材の移動を許容しつつも、用力供給部材の摩耗を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施の形態に係る案内チェーンが適用される研削装置の斜視図である。
【図２】比較例に係る案内チェーンの模式図である。
【図３】本実施の形態に係る案内チェーンを構成する１チェーンリンク単位の分解斜視図である。
【図４】本実施の形態に係るチェーンリンクの断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る案内チェーンが適用される研削装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る案内チェーンが適用される研削装置の斜視図である。なお、本実施の形態では、案内チェーンが適用される加工装置として研削装置を例に挙げて説明するが、この構成に限定されない。本実施の形態に係る案内チェーンは、例えば、研削加工及び研磨加工を一連の流れで実施する研削研磨装置に適用されてもよい。また、図１に示す研削装置は、説明の便宜上、一部の構成を省略している。
【００１５】
図１に示すように、研削装置１は、フルオートタイプの加工装置であり、被加工物であるウエーハＷに対して搬送処理、粗研削加工、仕上げ研削加工、洗浄処理、搬出処理等からなる一連の作業を全自動で実施するように構成されている。研削装置１は、直方体状の筐体２内にターンテーブル３、加工手段（後述する粗研削手段４、仕上げ研削手段５）等を収容して構成される。研削対象となるウエーハＷ（被加工物）は、略円形状の板状体で構成され、図示しない搬送機構により、筐体２内の所定位置に搬入される。なお、ウエーハＷは、シリコン、ガリウムヒ素等の半導体基板でもよいし、セラミック、ガラス、サファイア等の無機材料基板でもよいし、さらに半導体製品のパッケージ基板等でもよい。
【００１６】
ターンテーブル３は、筐体２内の略中央に配置されている。ターンテーブル３の前側空間は、ウエーハＷが搬送される搬送エリアを構成し、ターンテーブル３の後側空間は、ウエーハＷが研磨加工される加工エリアを構成する。ターンテーブル３は、回転軸（不図示）を立設する基台３０の上部に設けられ、回転軸を軸（中心）に自転可能に構成される。
【００１７】
ターンテーブル３の上面には、回転軸を中心に３つのチャックテーブル３１が周方向に均等間隔で配設されている。各チャックテーブル３１の上面には、ウエーハＷの下面を保持する保持面が形成されている。チャックテーブル３１は、図示しない回転手段により自転可能に構成される。ターンテーブル３が間欠回転されることにより、チャックテーブル３１が所定位置に移動される。具体的に、チャックテーブル３１は、ウエーハＷが搬入される搬入位置や研削加工が実施される加工位置に移動される。
【００１８】
ターンテーブル３の外周には、上面視円弧状に延在する案内チェーン６が設けられている。案内チェーン６は、多数のチェーンリンク６０を相互に回動可能に連結して構成される。案内チェーン６の一端は、固定側ブラケット６ａを介して基台３０の側面に取り付けられる。一方、案内チェーン６の他端は、可動側ブラケット６ｂを介してターンテーブル３の側面に取り付けられる。固定側ブラケット６ａ（案内チェーン６の一端）は、可動側ブラケット６ｂ（案内チェーン６の他端）に対して低い位置に設けられている。また、案内チェーン６は、全体として側面視Ｕ字状に折り曲げて配設されている。
【００１９】
案内チェーン６内には、チャックテーブル３１に接続して何らかの作用を施す用力供給部材が収容される。詳細は後述するが、用力供給部材には、例えば、電力を供給するためのケーブルＣ、エアや水を供給するための配管Ｔ（共に図４参照）等が挙げられる。これらのケーブルＣや配管Ｔは、案内チェーン６と共にターンテーブル３の外周に沿って配設される。案内チェーン６は、ケーブルＣや配管Ｔの移動を、ターンテーブル３の回転に追従させて案内する。なお、案内チェーン６の詳細構成については後述する。
【００２０】
また、ターンテーブル３の周囲には、コラム４０、５０が立設されている。コラム４０には、粗研削手段４を上下動させる移動機構４１が設けられている。移動機構４１は、コラム４０の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール４２と、一対のガイドレール４２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル４３とを有している。
【００２１】
Ｚ軸テーブル４３の前面には、ハウジング４４を介して粗研削手段４が支持されている。Ｚ軸テーブル４３の背面側にはボールネジが螺合されており、ボールネジの一端には駆動モータ（共に不図示）が連結されている。駆動モータによってボールネジが回転駆動され、粗研削手段４がガイドレール４２に沿ってＺ軸方向に移動される。
【００２２】
同様に、コラム５０には、仕上げ研削手段５を上下動させる移動機構５１が設けられている。移動機構５１は、コラム５０の前面に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール５２と、一対のガイドレール５２にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル５３とを有している。
【００２３】
Ｚ軸テーブル５３の前面には、ハウジング５４を介して仕上げ研削手段５が支持されている。Ｚ軸テーブル５３の背面側にはボールネジが螺合されており、ボールネジの一端には駆動モータ（共に不図示）が連結されている。駆動モータによってボールネジが回転駆動され、仕上げ研削手段５がガイドレール５２に沿ってＺ軸方向に移動される。
【００２４】
加工手段としての粗研削手段４及び仕上げ研削手段５は、円筒状のスピンドル４６、５６の下端に研削ホイール４５、５５を回転可能に装着して構成される。粗研削手段４では、チャックテーブル３１に保持されたウエーハＷが粗研削される。粗研削手段４の研削ホイール４５には、複数の粗研削砥石（不図示）が環状に配設されている。粗研削砥石は、例えば、ダイヤモンド砥粒をレジンボンドやビトリファイドボンド等の結合剤で固めたダイヤモンド砥石で構成される。
【００２５】
また、仕上げ研削手段５では、チャックテーブル３１に保持されたウエーハＷが仕上げ研削される。仕上げ研削手段５の研削ホイール５５には、複数の仕上げ研削砥石（不図示）が環状に配設されている。仕上げ研削砥石は、粗研削砥石よりも粒径が細かい砥粒で形成される。粗研削加工及び仕上げ研削加工では、それぞれの研削砥石によってウエーハＷが所定の厚みまで研削されて薄化される。
【００２６】
このように構成される研削装置１では、搬入位置に位置付けられたチャックテーブル３１上にウエーハＷが搬送されると、ターンテーブル３が所定角度回転されることにより、チャックテーブル３１上のウエーハＷが加工位置に位置付けられる。このとき、案内チェーン６は、固定側（一端側）に対して可動側（他端側）が周方向に移動される。このため、上記した用力供給部材は、ターンテーブル３の回転に追従して移動が案内される。
【００２７】
具体的に、案内チェーン６及び用力供給部材は、ターンテーブル３の回転に伴って、側面視Ｕ字状の湾曲部分Ｂがターンテーブル３の周方向に沿って移動される。すなわち、案内チェーン６は、用力供給部材の移動を、上面視で周方向に案内すると共に側面視で水平方向に案内する。
【００２８】
ところで、従来の案内チェーンでは、ターンテーブルの回転に追従させて複数の用力供給部材の移動を案内することができるが、案内チェーン内で用力供給部材同士が接触して摩耗するおそれがあった。そこで、案内チェーン内の空間を用力供給部材毎に仕切ることで、用力供給部材同士の接触を防止するものが提案されている。
【００２９】
ここで、図２を参照して、比較例に係る案内チェーンについて説明する。図２は、比較例に係る案内チェーンの模式図である。具体的に図２Ａは比較例に係る案内チェーンの上面模式図を示し、図２Ｂは比較例に係る案内チェーンを延在方向に直交する平面で（図２ＡのＡ−Ａ線に沿って）切断した断面図である。図２では説明の便宜上、ターンテーブル及びチャックテーブルを本実施の形態と同一の符号で示し、その説明は省略する。また、図２Ａの案内チェーンは、一部の構成を省略している。更に図２Ａでは、図示の都合上、配管同士が接触しているように見えるが、実際は図２Ｂに示すように配管同士は接触していないものとする。
【００３０】
図２Ａに示すように、案内チェーン７は、多数のチェーンリンク７０を連結して構成され、ターンテーブル３の外周に沿って配設されている。用力供給部材としての配管Ｔは、チェーンリンク７０によって形成される空間内に収容されている。具体的には、図２Ｂに示すように、チェーンリンク７０は、上下に対向配置される上板７１及び下板７２と、上板７１及び下板７２の両端を上下で連結する内側壁７３及び外側壁７４とによって、左右に長い断面視矩形状の所定空間Ｒを形成する。更に、所定空間Ｒは、３つの仕切板７５によって左右方向で４つの空間Ｒ１−Ｒ４に仕切られている。各空間Ｒ１−Ｒ４内には、それぞれ配管Ｔが１本ずつ収容されている。
【００３１】
このように構成される案内チェーン７では、ターンテーブル３の旋回に応じて各空間Ｒ１−Ｒ４内で配管Ｔが移動する。これは、各空間Ｒ１−Ｒ４内における配管Ｔの曲げ半径がそれぞれ異なることや、配管Ｔの湾曲部分が移動することに起因して生じるものである。
【００３２】
特に、チャックテーブル３１に対してエアや水を供給する配管Ｔにあっては、エアや水が配管Ｔ内を流れることに伴って配管Ｔが振動する。この結果、図２Ｂに示すように、配管Ｔが各空間Ｒ１−Ｒ４内で暴れてチェーンリンク７０の内壁（上板７１、下板７２、内側壁７３、外側壁７４）に接触し、配管Ｔが摩耗してしまうおそれがある。
【００３３】
そこで、本発明者は、上記の課題に基づいて、用力供給部材の移動を許容しつつも、用力供給部材の摩耗を抑制することを着想した。
【００３４】
具体的に本実施の形態では、配管Ｔの周囲を樹脂スペーサ６７（後述するすべり部（図３参照））で覆い、配管Ｔが収容される空間内で樹脂スペーサ６７をスライド可能な構成とした。これにより、配管Ｔの周囲が樹脂スペーサ６７で保護されるため、配管Ｔが収容される空間内で配管Ｔが移動したとしても、配管Ｔが内壁に直接接触するのを防止することができる。したがって、配管Ｔの移動を許容しつつも、配管Ｔの摩耗を抑制することが可能になった。
【００３５】
次に、図３及び図４を参照して、本実施の形態に係る案内チェーンの詳細構成について説明する。図３は、本実施の形態に係る案内チェーンを構成する１チェーンリンク単位の分解斜視図である。図４は、本実施の形態に係るチェーンリンクの断面模式図である。具体的に図４は、本実施の形態に係る案内チェーンを延在方向に直交する平面（図２ＡのＡ−Ａ線に対応する平面）で切断した断面図である。
【００３６】
図３及び図４に示すように、案内チェーン６（図１参照）を構成するチェーンリンク６０は、上下に対向配置される一対ずつの上板６１及び下板６２と、対向する上板６１及び下板６２の両端を上下で連結するそれぞれ一対の内側壁６３及び外側壁６４とを備えている。特に図４に示すように、上下左右の４つの壁（上板６１、下板６２、内側壁６３、外側壁６４）によって、配管Ｔ及びケーブルＣを収容する所定空間Ｒが形成される。所定空間Ｒは、左右に長い断面視矩形状に形成される。
【００３７】
一対の外側壁６４ａ、外側壁６４ｂは、ターンテーブル３の周方向に長い側面視長円形状を有している。一方の外側壁６４ａの両端（前後端）には、外側から内側に向かって円形状に凹む凹部６４ｃが形成される。当該凹部６４ｃには、他方の外側壁６４ｂのＲ部分が嵌め込まれる。これにより、外側壁６４ｂは、外側壁６４ａに対して凹部６４ｃを中心に回動可能に構成される。また、各外側壁６４の内側面には、上辺部及び下辺部の中心からそれぞれ内側壁６３に向かって突出する一対の突出部６４ｄが形成されている。
【００３８】
内側壁６３は、外側壁６４に対向し、上下に延びる長尺体で形成される。内側壁６３の上下幅は、外側壁６４の上下幅に一致している。内側壁６３の外側面には、上下端から外側に向かって突出する一対の突出部６３ａが形成されている。また、内側壁６３の上下方向の略中央には、周方向（前後方向）に並んで２つの貫通孔６３ｂが形成されている。
【００３９】
上板６１及び下板６２は、ターンテーブル３の径方向（図４の左右方向）に延びる長尺体で形成される。上板６１及び下板６２の左右端部には、外側壁６４の突出部６４ｄ及び内側壁６３の突出部６３ａを受容可能な収容部６１ａ、６２ａが形成されている。また、上板６１及び下板６２の長手方向の両側面（前後面）には、上板６１及び下板６２の左右幅に対応する溝６１ｂ、６２ｂが形成されている。
【００４０】
更にチェーンリンク６０は、所定空間Ｒを上下方向に仕切る棚板６５と、所定空間Ｒを左右方向に仕切る複数（本実施の形態では３つ）の仕切板６６と、配管Ｔの外周を覆う樹脂スペーサ６７とを備えている。
【００４１】
棚板６５は、ターンテーブル３の径方向（図４の左右方向）に延びる長尺体で形成され、上板６１及び下板６２と略同一の長さを有している。棚板６５の左右端部には、外側又は内側に向かって２つずつ突出するピン部６５ａが形成されている。ピン部６５ａは、貫通孔６３ｂに挿入可能となっている。
【００４２】
仕切板６６は、上下に延びる長尺体で形成される。仕切板６６の上下幅は、外側壁６４及び内側壁６３の上下幅と略同一である。仕切板６６の上下端部には、上板６１の溝６１ｂ及び下板６２の溝６２ｂにそれぞれ係合可能な係合部６６ａが２つずつ形成されている。また、仕切板６６の上下方向の略中央には、棚板６５を挿通可能なスリット６６ｂが形成されている。
【００４３】
樹脂スペーサ６７は、配管Ｔの外周を覆うように、下方が開放された断面視コの字（逆Ｕ字）形状を有している。樹脂スペーサ６７の内側空間は、配管Ｔの外径に対応した大きさを有している。具体的に樹脂スペーサ６７の内側空間は、配管Ｔの周囲を覆う際に、配管Ｔの外面に対して僅かに隙間が空く程度の大きさを有している。
【００４４】
また、樹脂スペーサ６７の一対の下端部には、棚板６５の短手方向の幅（前後幅）に対応した切欠き６７ａが形成されている。当該切欠き６７ａに棚板６５が係合することにより、樹脂スペーサ６７は、棚板６５の上で棚板６５の外形に沿ってスライド可能となる。すなわち、樹脂スペーサ６７は、配管Ｔを囲繞して内側壁６３と外側壁６４との間を移動可能とするすべり部を構成する。
【００４５】
なお、樹脂スペーサ６７の材質は、ポリアセタール等の合成樹脂で構成されるが、これに限定されない。例えば、樹脂スペーサ６７の材質は、スライド移動を妨げない程度にクッション性を有してもよい。この場合、配管Ｔの振動を樹脂スペーサ６７で効果的に吸収することが可能である。
【００４６】
次に、チェーンリンク６０及び案内チェーン６の組み立て例について説明する。予め配管Ｔに樹脂スペーサ６７を取り付けておき、当該樹脂スペーサ６７を棚板６５に取り付ける。そして、棚板６５に仕切板６６を複数枚通した後、棚板６５の下側空間にケーブルＣを収容した状態で、仕切板６６の上下端部に上板６１及び下板６２を取り付ける。更に、上板６１及び下板６２の左右から外側壁６４及び内側壁６３を取り付ける。
【００４７】
これにより、１つのチェーンリンク６０が組み立てられ、複数のチェーンリンク６０を連結することで案内チェーン６が組み立てられる。なお、組み立ての方法は、上記の例に限らず、適宜変更が可能である。例えば、配管ＴやケーブルＣは、チェーンリンク６０及び案内チェーン６が組み上がった後、所定空間に挿入されてもよい。
【００４８】
このように構成されるチェーンリンク６０では、棚板６５及び３つの仕切板６６により、所定空間Ｒが、上下方向で２分割、左右方向で４分割される。この結果、合計８つの空間が形成される。図４に示すように、８つの空間のうち、上側の４つの空間Ｒａには、それぞれ樹脂スペーサ６７が取り付けられた配管Ｔが収容されており、下側の４つの空間Ｒｂには、それぞれ１本又は２本のケーブルＣが収容されている。
【００４９】
特に、空間Ｒａでは、樹脂スペーサ６７内に配管Ｔが収容され、配管Ｔの周囲が樹脂スペーサ６７によって囲繞されている。例えば、ターンテーブル３の回転し、当該回転に追従して配管Ｔの移動が案内されると、周方向においては、配管Ｔと樹脂スペーサ６７とが一体となって棚板６５に沿って移動する。また、樹脂スペーサ６７内では、上下方向に十分な隙間があるため、配管Ｔの上下方向の折り曲げ（図１に示す湾曲部分Ｂ）の移動に伴って、配管Ｔが樹脂スペーサ６７内を僅かに移動することが可能である。更に、エアや水が配管Ｔ内を流れることに伴って配管Ｔが振動したとしても、配管Ｔと樹脂スペーサ６７とが一体となって棚板６５に沿って移動可能である。
【００５０】
このように、チェーンリンク６０の空間Ｒａ内で余裕をもって配管Ｔを移動させることができるため、ターンテーブル３の旋回時の配管Ｔのねじれを防止することができる。また、空間Ｒａ内で配管Ｔが移動したとしても、配管Ｔの周囲が樹脂スペーサ６７で覆われているため、直にチェーンリンク６０の内壁（上板６１、下板６２、内側壁６３、外側壁６４、棚板６５及び仕切板６６）に接触することがない。すなわち、配管Ｔを樹脂スペーサ６７で保護することができる。
【００５１】
以上にように、本実施の形態によれば、配管Ｔの移動自由度の確保と、配管Ｔの保護を両立することが可能である。すなわち、配管Ｔの移動を許容しつつも、配管Ｔの摩耗を抑制することができる。特に、本実施の形態では、既存の案内チェーンに対して樹脂スペーサ６７を追加する（交換する）だけで上記作用効果を得ることができる。このため、メンテナンス性を向上することができるだけでなく、設計変更の工数を削減することが可能である。
【００５２】
上記実施の形態においては、加工装置として研削装置１を例に挙げて説明したが、これに限定されない。本実施の形態に係る案内チェーン６は、他の加工装置にも適用可能である。
【００５３】
上記実施の形態においては、案内チェーン６がターンテーブル３の外周に配設される構成としたが、これに限定されない。案内チェーン６の配設先は、他の駆動機構であってもよい。
【００５４】
上記実施の形態においては、樹脂スペーサ６７が配管Ｔに取り付けられる構成としたが、これに限定されない。例えば、樹脂スペーサ６７は、ケーブルＣに取り付けられてもよい。
【００５５】
上記実施の形態においては、チェーンリンク６０内の空間が８つに仕切られる構成としたが、これに限定されない。仕切られる空間の数は適宜変更が可能である。
【００５６】
上記実施の形態においては、樹脂スペーサ６７が棚板６５に沿って移動可能な構成としたが、これに限定されない。棚板６５は必ずしも設けられなくてもよく、この場合、樹脂スペーサ６７を上板６１又は下板６２に沿って移動可能に構成してもよい。
【００５７】
上記実施の形態においては、用力供給部材として、電力を供給するためのケーブルＣや、エアや水を供給するための配管Ｔを例にして説明したが、これに限定されない。用力供給部材は、その他に例えば、光ファイバ等の通信ケーブルであってもよい。
【００５８】
上記実施の形態においては、樹脂スペーサ６７の内側空間が、配管Ｔの周囲を覆う際に、配管Ｔの外面に対して僅かに隙間が空く程度の大きさを有する構成としたが、これに限定されない。樹脂スペーサ６７の内側空間（内面）は、配管Ｔの外面に対して密着してもよい。
【００５９】
また、本発明の実施の形態は上記の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
以上説明したように、本発明は、用力供給部材の移動を許容しつつも、用力供給部材の摩耗を抑制することができるという効果を有し、特に、エアや水を供給する配管の移動を案内する案内チェーンに有用である。
【符号の説明】
【００６１】
１  研削装置（加工装置）
３  ターンテーブル
３０  基台
３１  チャックテーブル（保持手段）
４  粗研削手段（加工手段）
５  仕上げ研削手段（加工手段）
６  案内チェーン
６０  チェーンリンク
６１  上板
６２  下板
６３  内側壁
６４  外側壁
６５  棚板
６７  樹脂スペーサ（すべり部）
Ｔ  配管（用力供給部材）
Ｃ  ケーブル（用力供給部材）
Ｗ  ウエーハ（被加工物）
【図１】
2018066387.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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