(57)【要約】【課題】吊り具とダイヤフラム本体との間の剥離を抑制したダイヤフラムを提供すること。【解決手段】本発明のダイヤフラムは、ダイヤフラム本体１１と吊り具を備えたダイヤフラム１０であって、ダイヤフラム本体１１は、吊り具１２の一部が埋め込まれる先端部を有する略円錐形状であり、吊り具１２は、ダイヤフラム本体１１の先端部の裏面側に位置する第１端部１２ａａを有し、先端部にほぼ埋め込まれた固定部１２ａと、先端部から離れる方向に固定部１２ａの第１端部１２ａａから延びる棒状部１２ｂと、棒状部１２ｂの固定部１２ａから離れた側に設けられた連結部１２ｃと、を備え、固定部１２ａは、ダイヤフラム本体１１の先端部内に位置するように第１端部１２ａａと反対側に位置する第２端部１２ａｂを備え、第２端部１２ａｂには、ダイヤフラム本体１１の先端部に係合して、吊り具１２が回転するのを抑制する線条係合部１２ａｃが形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイヤフラム本体と吊り具を備えたダイヤフラムであって、
前記ダイヤフラム本体は、前記吊り具の一部が埋め込まれる先端部を有する略円錐形状であり、
前記吊り具は、
前記ダイヤフラム本体の前記先端部の裏面側に位置する第１端部を有し、前記ダイヤフラム本体の前記先端部にほぼ埋め込まれた固定部と、
前記ダイヤフラム本体の前記先端部から離れる方向に前記固定部の前記第１端部から延びる棒状部と、
前記棒状部の前記固定部から離れた側に設けられた連結部と、を備え、
前記固定部は、前記ダイヤフラム本体の前記先端部内に位置するように前記第１端部と反対側に位置する第２端部を備え、
前記第２端部には、前記ダイヤフラム本体の前記先端部に係合して、前記吊り具が回転するのを抑制する線条係合部が形成されていることを特徴とするダイヤフラム。
【請求項２】
前記線条係合部は、前記固定部の前記第２端部のほぼ中央を通り、前記第２端部を端から端まで横断する線条溝として形成されていることを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラム。
【請求項３】
前記固定部は、前記第１端部側の直径が前記第２端部側の直径より大きい略円錐台形状であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のダイヤフラム。
【請求項４】
前記固定部は、前記第１端部と前記第２端部の中央を通る直線を含む切断面で見たときに、前記第１端部の外側の位置と前記第２端部の外側の位置の間を結ぶ外周部が、前記第１端部の外側の位置と前記第２端部の外側の位置の間を直線で結ぶよりも外側に膨らんだ形状を有していることを特徴とする請求項３に記載のダイヤフラム。
【請求項５】
ダイヤフラム本体と吊り具を備えたダイヤフラムであって、
前記ダイヤフラム本体は、前記吊り具の一部が埋め込まれる先端部を有する略円錐形状であり、
前記吊り具は、
前記ダイヤフラム本体の前記先端部の裏面側に位置する第１端部を有し、前記ダイヤフラム本体の前記先端部にほぼ埋め込まれた固定部と、
前記ダイヤフラム本体の前記先端部から離れる方向に前記固定部の前記第１端部から延びる棒状部と、
前記棒状部の前記固定部から離れた側に設けられた連結部と、を備え、
前記固定部は、前記第１端部側の直径が前記第１端部と反対側に位置する第２端部側の直径よりも大きい略円錐台形状であることを特徴とするダイヤフラム。
【請求項６】
前記固定部には、外周面に深さの浅い外周溝が隣接して複数設けられていることを特徴とする請求項３から請求項５のいずれか１項に記載のダイヤフラム。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムが配置されるボディ本体を有するバルブボディと、
前記ダイヤフラムが取り付けられ、前記バルブボディに着脱可能に固定された前記ダイヤフラムを駆動させるアクチュエーターと、を備えていることを特徴とする流体制御機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はダイヤフラム、およびダイヤフラムを使用した流体制御機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、コンプレッサに係合する係止片を有する吊り金具が設けられたダイヤフラムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２０４９７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そして、吊り金具を有するダイヤフラムをコンプレッサに係合させる作業の一例としては、コンプレッサに設けられた取付孔に吊り金具の係止片を挿入して、ダイヤフラムを回転させるようにして行われる。
【０００５】
ところで、この取付孔に係止片を挿入するときの挿入量が少ないと、係止片が完全に取付孔を通り過ぎる位置まで挿入されず、取付孔の途中に位置するため、ダイヤフラムを回転させることができない状態となる。
【０００６】
このような状態になっていることに気づかずにダイヤフラムを回転させようとすると、吊り金具とダイヤフラム本体との結合部分に強い力が加わり、吊り金具とダイヤフラム本体との結合部分に剥離が発生するという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、吊り具とダイヤフラム本体との間の剥離を抑制したダイヤフラム、およびそのダイヤフラムを使用した流体制御機器を提供すること目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するために、以下の構成によって把握される。
（１）本発明のダイヤフラムは、ダイヤフラム本体と吊り具を備えたダイヤフラムであって、前記ダイヤフラム本体は、前記吊り具の一部が埋め込まれる先端部を有する略円錐形状であり、前記吊り具は、前記ダイヤフラム本体の前記先端部の裏面側に位置する第１端部を有し、前記ダイヤフラム本体の前記先端部にほぼ埋め込まれた固定部と、前記ダイヤフラム本体の前記先端部から離れる方向に前記固定部の前記第１端部から延びる棒状部と、前記棒状部の前記固定部から離れた側に設けられた連結部と、を備え、前記固定部は、前記ダイヤフラム本体の前記先端部内に位置するように前記第１端部と反対側に位置する第２端部を備え、  前記第２端部には、前記ダイヤフラム本体の前記先端部に係合して、前記吊り具が回転するのを抑制する線条係合部が形成されている。
【０００９】
（２）上記（１）の構成において、前記線条係合部は、前記固定部の前記第２端部のほぼ中央を通り、前記第２端部を端から端まで横断する線条溝として形成されている。
【００１０】
（３）上記（１）又は（２）の構成において、前記固定部は、前記第１端部側の直径が前記第２端部側の直径より大きい略円錐台形状である。
【００１１】
（４）上記（３）の構成において、前記固定部は、前記第１端部と前記第２端部の中央を通る直線を含む切断面で見たときに、前記第１端部の外側の位置と前記第２端部の外側の位置の間を結ぶ外周部が、前記第１端部の外側の位置と前記第２端部の外側の位置の間を直線で結ぶよりも外側に膨らんだ形状を有している。
【００１２】
（５）本発明のダイヤフラムは、ダイヤフラム本体と吊り具を備えたダイヤフラムであって、前記ダイヤフラム本体は、前記吊り具の一部が埋め込まれる先端部を有する略円錐形状であり、前記吊り具は、前記ダイヤフラム本体の前記先端部の裏面側に位置する第１端部を有し、前記ダイヤフラム本体の前記先端部にほぼ埋め込まれた固定部と、前記ダイヤフラム本体の前記先端部から離れる方向に前記固定部の前記第１端部から延びる棒状部と、前記棒状部の前記固定部から離れた側に設けられた連結部と、を備え、前記固定部は、前記第１端部側の直径が前記第１端部と反対側に位置する第２端部側の直径よりも大きい略円錐台形状である。
【００１３】
（６）上記（３）から（５）のいずれか１つの構成において、前記固定部には、外周面に深さの浅い外周溝が隣接して複数設けられている。
【００１４】
（７）本発明の流体制御機器は、上記（１）から（６）のいずれか１つの構成を有するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムが配置されるボディ本体を有するバルブボディと、前記ダイヤフラムが取り付けられ、前記バルブボディに着脱可能に固定された前記ダイヤフラムを駆動させるアクチュエーターと、を備えている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、吊り具とダイヤフラム本体との間の剥離を抑制したダイヤフラム、およびそのダイヤフラムを使用した流体制御機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る実施形態のダイヤフラムが用いられた流体制御機器の側面図である。
【図２】図１に示した流体制御機器の分解斜視図である。
【図３】本発明に係る実施形態のダイヤフラム及びコンプレッサの断面図である。
【図４】本発明に係る実施形態のダイヤフラムの斜視図であり、（ａ）は裏面側を見た図であり、（ｂ）は表面側を見た図である。
【図５】本発明に係る実施形態の吊り具の斜視図であり、（ａ）は吊り具のダイヤフラム本体の裏面側に位置する第１端部側を見た図であり、（ｂ）はダイヤフラム本体に埋め込まれる側を見た図である。
【図６】本発明に係る実施形態の略円錐形を説明するための図である。
【図７】本発明に係る実施形態の線条係合部の変形例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための形態(以下、「実施形態」という)を、添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
【００１８】
図１は本発明に係る実施形態のダイヤフラム１０が用いられた流体制御機器１の側面図であり、図２は図１に示した流体制御機器１の分解斜視図である。
なお、図１では、ダイヤフラム１０の部分が見えるように一部を断面図として示している。
まず、本実施形態のダイヤフラム１０を使用する流体制御機器１について簡単に説明した後に、ダイヤフラム１０について詳細に説明を行う。
【００１９】
流体制御機器１は、図１及び図２に示すように、バルブボディ２０と、ダイヤフラム１０が取り付けられ、ダイヤフラム１０を駆動させるアクチュエーター３０と、アクチュエーター３０をバルブボディ２０に着脱可能に固定するクランプ部材４０と、を備えている。
【００２０】
（バルブボディ）
バルブボディ２０は、図２に示すように、ダイヤフラム１０が配置されるボディ本体２１と、ボディ本体２１に一体的に設けられた一対の流体が流れる管状流路２５ａ，２５ｂと、を備えており、管状流路２５ａ，２５ｂが設備等の配管に接続される。
なお、管状流路２５ａ及び管状流路２５ｂは、ボディ本体２１を挟んで対称形にボディ本体２１に繋がっているが、個別の形状で見たときには、管状流路２５ａ及び管状流路２５ｂは、ほぼ同じ形状を有するものになっている。
【００２１】
ボディ本体２１は、中央側にダイヤフラム１０の挿入口となる開口部２２ａを有する円形状のフランジ部２２と、フランジ部２２から反対側に位置する底部２３と、フランジ部２２と底部２３とに繋がる側部２４と、を備えた有底形状部である。
【００２２】
そして、管状流路２５ａ，２５ｂがその側部２４の対向する位置に連通するように繋がっており、側部２４の底部２３側は、一方の管状流路２５ａから他方の管状流路２５ｂに向かって（図２のＹ軸方向参照）、管状流路２５ａ，２５ｂの内面の一部が延長されたような内面、つまり、管状流路２５ａ，２５ｂの内径の曲率半径に近い曲率半径を有する曲面状の内面を有している。
【００２３】
また、側部２４は、一方の管状流路２５ａから他方の管状流路２５ｂに向かう中間の位置であって、一方の管状流路２５から他方の管状流路２５に向かう方向にほぼ直交方向側（図２のＸ軸方向側）の位置に設けられた内側に突出する突出部２４ａを備えている。
なお、図２では、突出部２４ａの反対側が見えていないが、反対側においても突出部２４ａと同じ突出部が設けられている。
つまり、突出部２４ａは対向する位置に一対設けられたものになっている。
【００２４】
この突出部２４ａは、ダイヤフラム１０の表面形状に対応した形状となるように形成されており、アクチュエーター３０を駆動させて流体の流れを停止するときに、後述するダイヤフラム１０の線条シール部１１ｃ（図４（ｂ）参照）が当接する部分を形成している。
なお、本実施形態ではほぼ同じ形状を有する管状通路２５ａ、２５ｂ一対が、側部２４に設けられているが、上記形態に特に限定されるものではない。
例えば、一方の管状通路と他方の管状流路がＬ字状やＶ字状をなす位置関係に設けられていてもよく、また、一方又は他方の管状流路のうちのどちらかが底部２３に連通するように設けられていてもよく、ボディ本体２１に対してどのような位置に管状流路を設けるかは必要に応じて適宜変更してよい。
さらに、ボディ本体２１に連通する管状流路は２つに限定される必要はなく、例えば、ボディ本体２１に対して３つの管状流路がＹ字状やＴ字状をなす位置関係に設けられていてもよい。
このように当業者が行いうる種々の変形的形態においても本発明は実施可能である。
【００２５】
（クランプ部材）
クランプ部材４０は、上述したバルブボディ２０のボディ本体２１のフランジ部２２と後述するアクチュエーター３０のフランジ部３１を挟持してバルブボディ２０とアクチュエーター３０を一体化させる部材である。
【００２６】
クランプ部材４０は、図２に示すように、一対の半円形状の挟持部材４１，４２と、それら挟持部材４１，４２を略円形状となるように締結する一対の締結部材４３と、を備えている。
挟持部材４１は、内側に開口するコの字状溝４１ａａを有する半円形状の挟持部本体４１ａと、挟持部本体４１ａの半円形状の開放端側の両端部の外側にそれぞれ設けられたパイプ状の締結部４１ｂを備えている。
【００２７】
また、挟持部材４２も、挟持部材４１と同じ形状を有しており、内側に開口するコの字状溝４２ａａを有する半円形状の挟持部本体４２ａと、挟持部本体４２ａの半円形状の開放端側の両端部の外側にそれぞれ設けられたパイプ状の締結部４２ｂを備えている。
【００２８】
一方、締結部材４３は、挟持部材４１の締結部４１ｂと挟持部材４２の締結部４２ｂを貫通するように設けられるボルト４３ａと、前述のように貫通するように設けられたボルト４３ａの先端側に螺合させるナット４３ｂと、を備えている。
【００２９】
したがって、アクチュエーター３０のバルブボディ２０への取り付け作業は、次のようにして行うことができる。
まず、アクチュエーター３０のフランジ部３１をバルブボディ２０のボディ本体２１のフランジ部２２上に位置するようにアクチュエーター３０を配置した後、フランジ部３１とフランジ部２２が、挟持部材４１のコの字状溝４１ａａ及び挟持部材４２のコの字状溝４２ａａ内に位置するように、フランジ部３１及びフランジ部２２の外周に挟持部材４１と挟持部材４２を装着する。
【００３０】
その後、ボルト４３ａとナット４３ｂによって、挟持部材４１の締結部４１ｂと挟持部材４２の締結部４２ｂが近づく方向に締め付けられることで、挟持部材４１と挟持部材４２が締結されて、円形状のクランプ部材４０の状態とすると、バルブボディ２０のボディ本体２１のフランジ部２２とアクチュエーター３０のフランジ部３１がクランプ部材４０で挟持され、図１に示すような流体制御機器１の状態となり、アクチュエーター３０のバルブボディ２０への取り付けが完了する。
【００３１】
なお、図１に示すように、後述するダイヤフラム１０のダイヤフラム本体１１の外周縁１１ａは、バルブボディ２０のボディ本体２１のフランジ部２２とアクチュエーター３０のフランジ部３１（図２参照）の間に挟まれるように配置されているため、クランプ部材４０によって、バルブボディ２０とアクチュエーター３０が一体化されるときに、フランジ部３１とフランジ部２２とで挟持される。
【００３２】
このため、バルブボディ２０の開口部２２ａは、ダイヤフラム本体１１で閉塞されるため、流体制御機器１では、バルブボディ２０内の流体がボディ本体２１の開口部２２ａから漏れることがないようになっている。
【００３３】
（アクチュエーター）
アクチュエーター３０は、図１に示すように、ダイヤフラム１０側となる先端側にダイヤフラム１０を押圧するコンプレッサ３２を備えている。
このコンプレッサ３２は、アクチュエーター３０の駆動機構によって、バルブボディ２０側及びその反対側に移動する。
【００３４】
コンプレッサ３２を駆動させる駆動機構は、一般的なものでよく、本実施形態では、エア供給口３３からのエアの出し入れによって、コンプレッサ３２がバルブボディ２０側及びその反対側に移動するようにしているが、例えば、ハンドルを時計回りや反時計回りに回すことでコンプレッサ３２を移動させる機械的な駆動機構であってもよい。
【００３５】
そして、コンプレッサ３２がバルブボディ２０側に移動すると、ダイヤフラム１０には、コンプレッサ３２によって裏面１０ｂ側から表面１０ａ側に押圧される力が加わる。
【００３６】
そうすると、ダイヤフラム１０は、表面１０ａがバルブボディ２０のボディ本体２１の側部２４及び底部２３の内面に当接するように変形し、バルブボディ２０の管状流路２５ａと管状流路２５ｂの間を遮断し、流体の流れが停止する。
【００３７】
一方、逆に、コンプレッサ３２がバルブボディ２０から離れる方向に移動すると、ダイヤフラム１０の表面１０ａ側がバルブボディ２０のボディ本体２１の側部２４及び底部２３の内面から離間して、バルブボディ２０の管状流路２５ａと管状流路２５ｂの間の遮断が解除され、流体が流れるようになる。
【００３８】
（ダイヤフラム）
図３はダイヤフラム１０及びコンプレッサ３２の断面図である。
なお、図３の断面図は、流体制御機器１が図１の状態のときに流体の流れ方向（図２のＹ軸方向）に沿った断面図になっている。
また、図４はダイヤフラム１０の斜視図であり、図４（ａ）は裏面１０ｂ側を見た図であり、図４（ｂ）は表面１０ａ側を見た図である。
【００３９】
ダイヤフラム１０は、図３に示すように、ダイヤフラム本体１１と、吊り具１２と、バックアップ部１３と、を備えており、以下、個別に説明する。
【００４０】
（ダイヤフラム本体）
ダイヤフラム本体１１は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）からなり、図３に示すように、吊り具１２の一部が埋め込まれる丸みを帯びた肉厚の先端部１１ｂを有する略円錐形状を有している。
【００４１】
なお、図６に示す形状の概略図に示すとおり、円錐形状とは、その断面（若しくは側面視）が図６（ａ）に示す形状であるが、本願における略円錐形状とは断面が図６（ｂ）〜（ｄ）に示す形状も含む。
具体的には、図６（ｂ）に示す略円錐形状は、先端部に向かってほぼ一定の傾斜角度で先細りして先端部が丸められたものになっている。
また、図６（ｃ）に示す略円錐形状は、内側に緩やかに窪むＲを描きながら先端部に向かって先細りして先端部が丸められたものになっている。
さらに、図６（ｄ）に示す略円錐形状は、中間部がほぼ一定の傾斜角度で先細りして先端部が丸められているとともに、先端部と反対側となる後端部側が緩やかに末広がりするものになったベルカップ状の略円錐形状になっている。
このように、本明細書における略円錐形状とは、完全に一定の傾斜角を保って先端部側に向かって先細りする完全円錐形を意味するものではなく、緩やかなＲを描きながら先細りするものを含むものである。
ただし、図６は、あくまでも一例であって、これらに限られるものではない。
なお、図６（ｂ）〜（ｄ）の部分拡大図に示す各先端部の凸部は、後で説明する線条シール部１１ｃに相当するものである。
【００４２】
より具体的には、円形状の外周縁１１ａの外周直径をＤ１（ｍｍ）とし、円錐形状の高さをＨ１（ｍｍ）としたときに、高さＨ１を外周直径Ｄ１で割った比（Ｈ１／Ｄ１）が、０．４以上０．６以下である略円錐形状になっているのが好ましい。
【００４３】
このような略円錐形状のダイヤフラム本体１１とすると、ダイヤフラム本体１１の外周直径Ｄ１を従来のダイヤフラムの外周直径に近い直径に保ちつつ、管状流路２５ａ及び管状流路２５ｂを比較的大きな流路に対応させたものとすることができ、流体制御機器１が大型化することを回避できる。
つまり、本実施形態では、ダイヤフラム本体１１の外周直径Ｄ１を大型化させないで、ダイヤフラム本体１１の高さＨ１を高くすることで、流体が流れる流路（管路）の直径が大きめの場合にも対応できるようにしたダイヤフラム１０になっている。
【００４４】
また、吊り具１２の一部が埋め込まれる丸みを帯びた肉厚の先端部１１ｂの高さをＨ２（ｍｍ）としたときに、高さＨ２を高さＨ１で割った比（Ｈ２／Ｈ１）が、０．３５以上０．５５以下になっているのが好ましい。
【００４５】
このようにすると、本実施形態のように、高さＨ１が高いダイヤフラム本体１１であっても、吊り具１２を従来のアクチュエーターのコンプレッサに対応した位置に位置させることができるため、アクチュエーター３０に従来のアクチュエーターの機構を用いることができる。
【００４６】
また、図４（ｂ）に示すように、ダイヤフラム本体１１は、先端部１１ｂの中心をとおり、表面１０ａを横断するように、表面１０ａから突出するように形成された線条シール部１１ｃを有している。
【００４７】
この線条シール部１１ｃは、先に述べたように、アクチュエーター３０を駆動させて流体の流れを停止するときに、バルブボディ２０（図２参照）のボディ本体２１の側部２４に形成されている突出部２４ａに対して押し付けられる部分となる。
【００４８】
そして、突出部２４ａに押し付けられた線条シール部１１ｃは、突出部２４ａとの間に隙間ができないように変形するので、流体の流れを停止させるときの高い密閉度を得ることができる。
【００４９】
（バックアップ部）
バックアップ部１３は、図３に示すように、ダイヤフラム１０の裏面１０ｂ側となるダイヤフラム本体１１の裏面側に装着するようにして設けられており、コンプレッサ３２の表面とダイヤフラム本体１１との間に介在して、ダイヤフラム本体１１のシール性能を補強する役目とダイヤフラム本体１１が劣化することを抑制する緩衝部材の役目を果たす部材である。
【００５０】
したがって、バックアップ部１３にはゴム系の素材が好適に用いられ、例えば、耐熱性、耐寒性、屈曲性及び腐食性に優れた従来より公知の天然ゴム、ニトリルゴム、スチレンゴム、ブタジエンゴム、イソブチレン合成ゴム、ポリクロロプレンゴム、ブチルゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム、ポリウレタンゴム、エチレンプロピレンジエンゴム（ＥＰＤＭ）等を好適に用いることができ、本実施形態ではＥＰＤＭを用いてバックアップ部１３を形成している。
なお、バックアップ部１３は、必須の要件ではなく、必要に応じて設けるようにすればよい。
【００５１】
（吊り具）
吊り具１２は、例えば、金属素材で形成されており、図３に示すように、吊り具１２はダイヤフラム本体１１の先端部１１ｂにほぼ埋め込まれた固定部１２ａを備えている。
この固定部１２ａは、ダイヤフラム本体１１の先端部１１ｂの裏面側に位置し、ダイヤフラム本体１１の裏面とほぼ面一になっている第１端部１２ａａを有している。
また、吊り具１２は、ダイヤフラム本体１１の先端部１１ｂから離れる方向に固定部１２ａの第１端部１２ａａから延びる棒状部１２ｂと、棒状部１２ｂの固定部１２ａから離れた側に設けられた連結部１２ｃと、を備えている。
【００５２】
図５は吊り具１２の斜視図であり、図５（ａ）は吊り具１２のダイヤフラム本体１１の裏面側に位置する第１端部１２ａａ側を見た図であり、図５（ｂ）はダイヤフラム本体１１に埋め込まれる側を見た図である。
【００５３】
図５に示すように、吊り具１２の連結部１２ｃは、ほぼ円柱状の棒状部１２ｂから一部が外側にはみ出す長さを有し、棒状部１２ｂと反対側となる角部が面取りされた横長矩形状である。
そして、上述したコンプレッサ３２には、中央に、この連結部１２ｃの横長矩形状に対応した長方形の孔３２ａ（図１参照）が形成されている。
【００５４】
したがって、その長方形の孔３２ａに吊り具１２の連結部１２ｃを挿入していき、連結部１２ｃがコンプレッサ３２（図１参照）の裏面側に位置する状態となったら、ダイヤフラム１０を回転させることでコンプレッサ３２に連結部１２ｃを係合させることができる。
このように、連結部１２ｃを係合させることでダイヤフラム１０がコンプレッサ３２に取り付けられる。
【００５５】
ところで、連結部１２ｃが完全にコンプレッサ３２（図１参照）の孔３２ａ（図１参照）を通り過ぎていない状態でダイヤフラム１０を回転させようとすると、連結部１２ｃが孔３２ａ（図１参照）に引っかかるため、その回転させようとする力が、ダイヤフラム本体１１と吊り具１２の固定部１２ａ（図１参照）の界面に加わることになる。
【００５６】
そうすると、ダイヤフラム本体１１と吊り具１２の固定部１２ａ（図１参照）の間の密着が解け、剥離した状態になるという問題が発生する。
そこで、本実施形態では、ダイヤフラム本体１１が吊り具１２の固定部１２ａ（図１参照）に対して容易に回転しないようにすることで、連結部１２ｃが孔３２ａ（図１参照）に引っかかった状態でダイヤフラム１０を回転させようとしたときに、剥離が発生する前に、作業者がうまく回転しない状態にあることを体感できるようにしており、以下、そのための構成について説明する。
【００５７】
図５（ｂ）に示すように、固定部１２ａの第１端部１２ａａと反対側に位置する第２端部１２ａｂには、第２端部１２ａｂのほぼ中央を通り、第２端部１２ａｂを端から端まで横断する線条溝として形成された線条係合部１２ａｃが設けられている。
【００５８】
この第２端部１２ａｂは、図３に示すように、ダイヤフラム本体１１の先端部１１ｂ内に埋め込まれている部分であり、固定部１２ａとダイヤフラム本体１１の先端部１１ｂとが一体化されるときに、その第２端部１２ａｂに形成された線条係合部１２ａｃがダイヤフラム本体１１の先端部１１ｂに係合した状態となる。
【００５９】
特に、直線状に形成されている線条係合部１２ａｃは、回転方向に対する抵抗を大きく発生させることができるため、この係合が外れるほどにダイヤフラム本体１１に回転力を加える前に作業者は、ダイヤフラム１０が回転できない状態にあることを体感できるため、上述した剥離が発生する前に、コンプレッサ３２（図１参照）の孔３２ａ（図１参照）への連結部１２ｃの挿入作業をやり直すことになり、ダイヤフラム１０が破損することを回避できる。
【００６０】
なお、線条係合部１２ａｃと図４（ｂ）に示したダイヤフラム本体１１の表面に設けられる線条シール部１１ｃとは直交する関係にしておくことが好ましい。
このようにしておくことで、線条シール部１１ｃがバルブボディ２０（図２参照）のボディ本体２１の側部２４に押し付けられるときの押し付け力に、線条係合部１２ａｃが影響しないようにすることができる。
【００６１】
一方、上記では、線条係合部１２ａｃを線条溝として形成する場合について示したが、図７（ａ）に示すように、線条係合部１２ａｃを線条突起として形成するようにしてもよい。
また、図７（ｂ）に示すように、線条係合部１２ａｃは、線条溝が第２端部１２ａｂを端から端まで横断していなくてもよい。
さらに、図７（ｃ）に示すように、線条係合部１２ａｃは、直線上に並ぶように、線条溝が複数本設けられたものであってもよい。
加えて、図７（ｄ）に示すように、線条係合部１２ａｃは、平行に並ぶように、線条溝が複数本設けられたものであってもよい。
これらのようにしても、回転方向に対する大きな抵抗を生み出すことができるので、作業者がダイヤフラム１０を破損させる前にダイヤフラム１０が回転できないことに気づくようにすることができる。
【００６２】
ところで、本実施形態では、図３及び図５に示すように、固定部１２ａを第１端部１２ａａ側の直径が第２端部１２ａｂ側の直径より大きい略円錐台形状としている。
このようにしておくと、局所的に肉厚となる部分がダイヤフラム本体１１の先端部１１ｂに発生し難くなり、固定部１２ａとダイヤフラム本体１１を一体化する際にひけ等が発生し難くなる。
【００６３】
また、固定部１２ａは、図３に示すように、第１端部１２ａａと第２端部１２ａｂの中央を通る直線を含む切断面（図３に示す断面である）で見たときに、第１端部１２ａａの外側の位置と第２端部１２ａｂの外側の位置の間を結ぶ外周部１２ａｄが、第１端部１２ａａの外側の位置と第２端部１２ａｂの外側の位置の間を直線（図３の点線Ｌ参照）で結ぶよりも外側に膨らんだ形状を有するものとして、厚肉化によるひけの問題を回避しつつ、表面積を増やし、ダイヤフラム本体１１と固定部１２ａとの間の密着力を、更に高めるようにしている。
このため、より一層、ダイヤフラム本体１１と固定部１２ａとの間での剥離が発生するほどにダイヤフラム本体１１を回転させ難くなっている。
【００６４】
なお、固定部１２ａの基本となる円錐台形状（図３の点線Ｌを外周部としたときの形状）としては、先細りし過ぎず、円柱形状に近すぎないことが好ましい。
このため、第１端部１２ａａの直径をＤ２（ｍｍ）とし、第２端部１２ａｂの直径をＤ３（ｍｍ）としたときに、直径Ｄ３を直径Ｄ２で割った比（Ｄ３／Ｄ２）が０．３５以上０．５５以下であることが好ましく、第１端部１２ａａと第２端部１２ａｂとの間の距離、つまり、円錐台形状の高さが直径Ｄ２の１／４以上Ｄ２以下であることが好ましい。
【００６５】
さらに、固定部１２ａの外周面には、図３及び図５に示すように、深さの浅い外周溝１２ａｅが隣接して複数設けられており、例えば、第１端部１２ａａから第２端部１２ａｂまでの範囲のうちの１／４以上の範囲に設けられていることが好ましい。
このような外周溝１２ａｅを設けるようにすると、ダイヤフラム本体１１に対して吊り具１２が抜け難くなるとともに、ダイヤフラム本体１１と固定部１２ａとの接触積が増えるため、さらに、回転方向に対する抵抗を増加させることができる。
【００６６】
以上、本発明を実施形態に基づき説明したが、本発明は実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の変更が可能であることも言うまでもない。
したがって、そのような要旨を逸脱しない範囲での種々の変更を行ったものも本発明の技術的範囲に含まれるものであり、そのことは、当業者にとって特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００６７】
１  流体制御機器
１０  ダイヤフラム
１０ａ  表面
１０ｂ  裏面
１１  ダイヤフラム本体
１１ａ  外周縁
１１ｂ  先端部
１１ｃ  線条シール部
１２  吊り具
１２ａ  固定部
１２ａａ  第１端部
１２ａｂ  第２端部
１２ａｃ  線条係合部
１２ａｄ  外周部
１２ａｅ  外周溝
１２ｂ  棒状部
１２ｃ  連結部
１３  バックアップ部
２０  バルブボディ
２１  ボディ本体
２２  フランジ部
２２ａ  開口部
２３  底部
２４  側部
２４ａ  突出部
２５ａ，２５ｂ  管状流路
３０  アクチュエーター
３１  フランジ部
３２  コンプレッサ
３２ａ  孔
３３  エア供給口
４０  クランプ部材
４１，４２  挟持部材
４１ａ，４２ａ  挟持部本体
４１ａａ，４２ａａ  コの字状溝
４１ｂ，４２ｂ  締結部
４３  締結部材
４３ａ  ボルト
４３ｂ  ナット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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