(57)【要約】      （修正有）【課題】製造コストを増大させることなく、対物レンズの切替に伴う合焦位置のずれを補正することができる拡大観察装置を提供する。【解決手段】ステージ上の観察対象物に照明光を照射する照明手段と、照明光の反射光又は透過光を受光して観察対象物を撮像するカメラ２１と、複数の対物レンズを有し、対物レンズがカメラ２１の受光軸上に切替可能に配置されるレンズ部と、ステージとカメラ２１及びレンズ部とを受光軸に沿うＺ方向に相対的に移動させるＺ駆動手段と、対物レンズが切り替えられた後の撮影画像に基づいて、合焦位置のＺ方向のずれ量をＺずれ量として求めるＺずれ量算出手段１０１と、Ｚずれ量に基づくＺ駆動手段の制御によって合焦位置の調整を行い、対物レンズの切替直後に取得された撮影画像よりも焦点の合った撮影画像をカメラから取得する観察制御手段１０２とにより構成される。【選択図】図５
2018066911.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察対象物を載置するためのステージと、
前記ステージ上の前記観察対象物に照明光を照射する照明手段と、
前記照明光の反射光又は透過光を受光し、受光量を検出して前記観察対象物を撮像するカメラと、
複数の対物レンズを有し、前記対物レンズが前記カメラの受光軸上に切替可能に配置されるレンズ部と、
前記ステージと前記カメラ及び前記レンズ部とを前記受光軸に沿うＺ方向に相対的に移動させるＺ駆動手段と、
前記対物レンズが切り替えられた後の撮影画像に基づいて、合焦位置のＺ方向のずれ量をＺずれ量として求めるＺずれ量算出手段と、
前記Ｚずれ量に基づく前記Ｚ駆動手段の制御によって合焦位置の調整を行い、前記対物レンズの切替直後に取得された前記撮影画像よりも焦点の合った撮影画像を前記カメラから取得する観察制御手段とを備えることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項２】
前記対物レンズが切り替えられたことを検出するレンズ切替検出手段と、
前記撮影画像をモニタ画面に表示する撮影画像表示手段とを更に備え、
前記Ｚずれ量算出手段は、前記レンズ切替検出手段の検出結果に基づいて、前記カメラから撮影画像を取得して前記Ｚずれ量を求め、
前記撮影画像表示手段は、前記対物レンズの切替後、前記焦点の合った撮影画像を前記モニタ画面に自動的に表示することを特徴とする請求項１に記載の拡大観察装置。
【請求項３】
前記対物レンズの切替に伴う合焦位置のＺ方向の補正量をＺ補正量として保持するＺ補正量記憶手段を更に備え、
前記観察制御手段は、前記対物レンズが切り替えられた後、前記Ｚ補正量に基づく前記Ｚ駆動手段の制御によって合焦位置を仮調整し、前記Ｚずれ量算出手段により、合焦位置の仮調整後に取得された撮影画像から前記Ｚずれ量が求められれば、当該Ｚずれ量に基づく前記Ｚ駆動手段の制御によって合焦位置を本調整することを特徴とする請求項１又は２に記載の拡大観察装置。
【請求項４】
前記観察制御手段は、前記対物レンズが低倍率レンズから高倍率レンズに切り替えられた場合に、前記Ｚ補正量に基づく合焦位置の仮調整及び前記Ｚずれ量に基づく合焦位置の本調整を行い、前記対物レンズが高倍率レンズから低倍率レンズに切り替えられた場合に、前記Ｚ補正量に基づく前記Ｚ駆動手段の制御によって合焦位置の調整を行う一方、前記Ｚずれ量に基づく合焦位置の調整を行わないことを特徴とする請求項３に記載の拡大観察装置。
【請求項５】
前記ステージと前記カメラ及び前記レンズ部とを前記受光軸と交差するＸＹ平面内で相対的に移動させるＸＹ駆動手段と、
前記対物レンズの切替に伴う撮像視野のＸＹ平面内における補正量をＸＹ補正量として保持するＸＹ補正量記憶手段とを更に備え、
前記観察制御手段は、前記ＸＹ補正量に基づく前記ＸＹ駆動手段の制御によって撮像視野の調整を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の拡大観察装置。
【請求項６】
前記観察制御手段は、前記ＸＹ補正量に基づく前記ＸＹ駆動手段の制御によって撮像視野の調整を行った後に、前記Ｚずれ量に基づく前記Ｚ駆動手段の制御により、合焦位置の調整を行って撮影画像を取得することを特徴とする請求項５に記載の拡大観察装置。
【請求項７】
前記対物レンズが切り替えられる前の撮影画像と切り替えられた後の撮影画像とを比較した比較結果に基づいて、撮像視野のＸＹ平面内におけるずれ量をＸＹずれ量として求めるＸＹずれ量算出手段を更に備え、
前記観察制御手段は、前記対物レンズが切り替えられた後、前記ＸＹ補正量に基づく前記ＸＹ駆動手段の制御によって撮像視野を仮調整し、前記ＸＹずれ量算出手段により、撮像視野の仮調整後に取得された撮影画像から前記ＸＹずれ量が求められれば、当該ＸＹずれ量に基づく前記ＸＹ駆動手段の制御によって撮像視野を本調整することを特徴とする請求項５又は６に記載の拡大観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、拡大観察装置に係り、さらに詳しくは、ステージ上に載置された観察対象物に照明光を照射して観察対象物を撮像する拡大観察装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
拡大観察装置は、ステージ上に載置された観察対象物に照明光を照射し、その反射光又は透過光を受光して観察対象物を撮像するデジタル方式のマイクロスコープであり、撮影画像をモニタ画面に表示し、観察対象物の寸法測定、撮影画像の記録等を行う。また、拡大観察装置は、被写界深度を大きくする深度合成機能、複数の撮影画像を連結して視野を広げる画像連結機能、ダイナミックレンジの広い画像を取得するＨＤＲＩ（High Dynamic Range Imaging：ハイダイナミックレンジ合成）機能等を有する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述した様な拡大観察装置には、倍率が異なる複数の対物レンズをレボルバ式に切り替えることにより、撮影倍率を大きく変更することができるものがある。対物レンズは、ステージ上の観察対象物を撮像するカメラの受光軸上に切替可能に配置される。この種の拡大観察装置では、対物レンズを切り替えると、光路が変化することから、レンズ部の機械的な誤差及び光学的な誤差の影響により、撮像視野や合焦位置にずれが生じることがある。
【０００４】
そこで、製造時等に、対物レンズの切替に伴う撮像視野や合焦位置の補正量を実測によって求め、この補正量を用いて撮像視野や合焦位置のずれを補正することが考えられる。しかしながら、撮像視野や合焦位置のずれ量は、温度等の周辺環境によって変化することから、高精度な位置合わせが難しいという問題があった。特に、実体顕微鏡の分野では、レンズ部にズームレンズが使用されることが多い。ズームレンズは、ズーム機構等の可動部を有することから、単焦点レンズに比べて機械的な誤差や光学的な誤差が大きくなる傾向にあり、高精度な位置合わせがさらに難しかった。一方、レンズ部の機械的な誤差や光学的な誤差が小さくなるように装置を高精度に作製すると、製造コストが増大してしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、製造コストを増大させることなく、対物レンズの切替に伴う合焦位置のずれを補正することができる拡大観察装置を提供することを目的とする。特に、温度等の周辺環境に影響されることなく、高精度な位置合わせを行うことができる拡大観察装置を提供することを目的とする。また、製造コストを増大させることなく、対物レンズの切替に伴う撮像視野のずれを補正することができる拡大観察装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様による拡大観察装置は、観察対象物を載置するためのステージと、前記ステージ上の前記観察対象物に照明光を照射する照明手段と、前記照明光の反射光又は透過光を受光し、受光量を検出して前記観察対象物を撮像するカメラと、複数の対物レンズを有し、前記対物レンズが前記カメラの受光軸上に切替可能に配置されるレンズ部と、前記ステージと前記カメラ及び前記レンズ部とを前記受光軸に沿うＺ方向に相対的に移動させるＺ駆動手段と、前記対物レンズが切り替えられた後の撮影画像に基づいて、合焦位置のＺ方向のずれ量をＺずれ量として求めるＺずれ量算出手段と、前記Ｚずれ量に基づく前記Ｚ駆動手段の制御によって合焦位置の調整を行い、前記対物レンズの切替直後に取得された前記撮影画像よりも焦点の合った撮影画像を前記カメラから取得する観察制御手段とを備える。
【０００７】
この様な構成によれば、対物レンズが切り替えられた後の撮影画像から合焦位置のＺずれ量を求めて合焦位置の調整を行うため、製造コストを増大させることなく、対物レンズの切替に伴う合焦位置のずれを補正することができる。特に、対物レンズが切り替えられた時点で合焦位置の調整を行うため、温度等の周辺環境に影響されることなく、高精度な位置合わせを行うことができる。
【０００８】
本発明の第２の態様による拡大観察装置は、上記構成に加え、前記対物レンズが切り替えられたことを検出するレンズ切替検出手段と、前記撮影画像をモニタ画面に表示する撮影画像表示手段とを更に備え、前記Ｚずれ量算出手段が、前記レンズ切替検出手段の検出結果に基づいて、前記カメラから撮影画像を取得して前記Ｚずれ量を求め、前記撮影画像表示手段が、前記対物レンズの切替後、前記焦点の合った撮影画像を前記モニタ画面に自動的に表示するように構成される。
【０００９】
この様な構成によれば、対物レンズが切り替えられたことを検出して焦点の合った撮影画像がモニタ画面に自動的に表示されるため、対物レンズを切り替えた場合であっても、ユーザはシームレスに観察対象物の観察を継続することができる。
【００１０】
本発明の第３の態様による拡大観察装置は、上記構成に加え、前記対物レンズの切替に伴う合焦位置のＺ方向の補正量をＺ補正量として保持するＺ補正量記憶手段を更に備え、前記観察制御手段が、前記対物レンズが切り替えられた後、前記Ｚ補正量に基づく前記Ｚ駆動手段の制御によって合焦位置を仮調整し、前記Ｚずれ量算出手段により、合焦位置の仮調整後に取得された撮影画像から前記Ｚずれ量が求められれば、当該Ｚずれ量に基づく前記Ｚ駆動手段の制御によって合焦位置を本調整するように構成される。
【００１１】
この様な構成によれば、Ｚ補正量を利用して合焦位置を仮調整してからＺずれ量を求めて合焦位置を本調整するため、対物レンズの切替に伴う合焦位置のずれが大きい場合であっても、位置合わせに要する時間を短縮することができる。
【００１２】
本発明の第４の態様による拡大観察装置は、上記構成に加え、前記観察制御手段が、前記対物レンズが低倍率レンズから高倍率レンズに切り替えられた場合に、前記Ｚ補正量に基づく合焦位置の仮調整及び前記Ｚずれ量に基づく合焦位置の本調整を行い、前記対物レンズが高倍率レンズから低倍率レンズに切り替えられた場合に、前記Ｚ補正量に基づく前記Ｚ駆動手段の制御によって合焦位置の調整を行う一方、前記Ｚずれ量に基づく合焦位置の調整を行わないように構成される。この様な構成によれば、対物レンズを高倍率レンズから低倍率レンズに切り替えた際の位置合わせに要する時間を短縮することができる。
【００１３】
本発明の第５の態様による拡大観察装置は、上記構成に加え、前記ステージと前記カメラ及び前記レンズ部とを前記受光軸と交差するＸＹ平面内で相対的に移動させるＸＹ駆動手段と、前記対物レンズの切替に伴う撮像視野のＸＹ平面内における補正量をＸＹ補正量として保持するＸＹ補正量記憶手段とを更に備え、前記観察制御手段が、前記ＸＹ補正量に基づく前記ＸＹ駆動手段の制御によって撮像視野の調整を行うように構成される。
【００１４】
この様な構成によれば、ＸＹ補正量を用いて撮像視野の調整を行うため、製造コストを増大させることなく、対物レンズの切替に伴う撮像視野のずれを補正することができる。
【００１５】
本発明の第６の態様による拡大観察装置は、上記構成に加え、前記観察制御手段が、前記ＸＹ補正量に基づく前記ＸＹ駆動手段の制御によって撮像視野の調整を行った後に、前記Ｚずれ量に基づく前記Ｚ駆動手段の制御により、合焦位置の調整を行って撮影画像を取得するように構成される。
【００１６】
この様な構成によれば、ＸＹ補正量を用いて撮像視野の調整を行ってからＺずれ量による合焦位置の調整を行うため、対物レンズの切替前と同じ部位に焦点の合った撮影画像を取得することができる。
【００１７】
本発明の第７の態様による拡大観察装置は、上記構成に加え、前記対物レンズが切り替えられる前の撮影画像と切り替えられた後の撮影画像とを比較した比較結果に基づいて、撮像視野のＸＹ平面内におけるずれ量をＸＹずれ量として求めるＸＹずれ量算出手段を更に備え、前記観察制御手段が、前記対物レンズが切り替えられた後、前記ＸＹ補正量に基づく前記ＸＹ駆動手段の制御によって撮像視野を仮調整し、前記ＸＹずれ量算出手段により、撮像視野の仮調整後に取得された撮影画像から前記ＸＹずれ量が求められれば、当該ＸＹずれ量に基づく前記ＸＹ駆動手段の制御によって撮像視野を本調整するように構成される。
【００１８】
この様な構成によれば、ＸＹ補正量を利用して撮像視野を仮調整してからＸＹずれ量を求めて撮像視野を本調整するため、対物レンズの切替に伴う撮像視野のずれが大きい場合であっても、位置合わせに要する時間を短縮することができる。また、対物レンズが切り替えられる前の撮影画像と切り替えられた後の撮影画像との比較結果から撮像視野のＸＹずれ量を求めて撮像視野の本調整を行うため、製造コストを増大させることなく、対物レンズの切替に伴う撮像視野のずれを高精度に補正することができる。特に、対物レンズが切り替えられた時点でＸＹずれ量を求めて撮像視野の本調整を行うため、温度等の周辺環境に影響されることなく、高精度な位置合わせを行うことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、対物レンズが切り替えられた後の撮影画像から合焦位置のＺずれ量を求めて合焦位置の調整を行うため、製造コストを増大させることなく、対物レンズの切替に伴う合焦位置のずれを補正することができる。特に、温度等の周辺環境に影響されることなく、高精度な位置合わせを行うことができる。また、ＸＹ補正量を用いて撮像視野の調整を行うため、製造コストを増大させることなく、対物レンズの切替に伴う撮像視野のずれを補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態による拡大観察装置１の一構成例を示したシステム図である。
【図２】図１のヘッドユニット２が装着された支持台６の構成例を示した斜視図である。
【図３】図２の支持台６の構成例を示した図である。
【図４】ヘッドユニット２の他の構成例を示した斜視図である。
【図５】図１のコントローラ４内の機能構成の一例を示したブロック図である。
【図６】図５のコントローラ４の動作の一例を示した図である。
【図７】図５のコントローラ４における対物レンズ２２１ａ，２２１ｂの切替時の動作の一例を示した図である。
【図８】図５のコントローラ４における合焦位置の調整時の動作の一例を示した図である。
【図９】図５のコントローラ４における撮像視野の調整時の動作の一例を示した図である。
【図１０】図５のコントローラ４におけるナビゲーション画面３２０の表示終了時の動作の一例を示した図である。
【図１１】図５のコントローラ４における対物レンズ２２１ａ，２２１ｂの切替時の動作の一例を示したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
まず、本発明による拡大観察装置の概略構成について、図１〜図４を用いて以下に説明する。
【００２２】
＜拡大観察装置１＞
図１は、本発明の実施の形態による拡大観察装置１の一構成例を示したシステム図である。拡大観察装置１は、観察対象物Ｓを拡大して観察することができるデジタル方式のマイクロスコープであり、ヘッドユニット２、伝送ケーブル３、コントローラ４、操作部５及び支持台６により構成される。
【００２３】
＜ヘッドユニット２＞
ヘッドユニット２は、観察対象物Ｓに可視光からなる照明光を照射し、観察対象物Ｓにより反射された反射光、又は、観察対象物Ｓを透過した透過光を受光して観察対象物Ｓを撮像する投受光部であり、カメラ２１及びレンズ部２２により構成される。このヘッドユニット２は、伝送ケーブル３を介してコントローラ４に接続され、支持台６に対し、カメラ２１を下方に向けた状態で装着されている。
【００２４】
カメラ２１は、観察対象物Ｓを撮像する撮像装置であり、照明光の反射光又は透過光を受光し、受光量を検出して撮影画像を生成する撮像素子２１１により構成される。撮像素子２１１には、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Devices：電荷結合素子）、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor：相補型金属酸化物半導体）などのイメージセンサが用いられる。
【００２５】
レンズ部２２は、カメラ２１の撮像素子２１１と光学的に結合される複数のレンズからなり、カメラ２１に着脱可能に装着される。レンズ部２２は、例えば、観察対象物Ｓと対向する対物レンズ２２１等を備え、鏡筒部を回転させることにより、撮影倍率を調整することができる。このレンズ部２２には、同軸落射照明部７１及びリング照明部７２が設けられている。
【００２６】
カメラ２１は、受光軸をレンズ部２２の光軸と一致させた状態で、レンズ部２２の光軸を中心として回転可能に配置される。このため、ステージ６５を回転させなくても、観察対象物Ｓを撮像する際の撮像アングルを調整することができる。
【００２７】
同軸落射照明部７１は、観察対象物Ｓに照明光を照射する投光装置であり、伝送ケーブル３を介してコントローラ４から伝送される照明光をカメラ２１の受光軸と同軸にレンズ部２２から出射する。
【００２８】
リング照明部７２は、観察対象物Ｓに照明光を照射する投光装置であり、対物レンズ２２１を取り囲む円環状の投光領域から照明光を出射する。このリング照明部７２は、投光領域の全体を点灯させる全射照明と、観察対象物Ｓの表面の凹凸を強調するために、投光領域の一部のみを点灯させる片射照明とを切り替えることができる。片射照明では、投光領域が４分割〜１６分割され、点灯部位を選択することができる。
【００２９】
＜支持台６＞
支持台６は、観察対象物Ｓを所望の撮像アングルで観察するためにヘッドユニット２を支持するスタンドであり、ベース部６０、支柱部６１、ヘッド取付アーム部６２、Ｚ駆動部６３、レンズ検出部６４、ステージ６５、ＸＹ駆動部６６及びステージ調整部６７により構成される。ここでは、上下方向、すなわち、鉛直方向をＺ軸方向とし、水平面内にＸ軸及びＹ軸が定められるものとする。
【００３０】
ベース部６０には、支柱部６１、ＸＹ駆動部６６及びステージ調整部６７が配置される。支柱部６１は、上下方向に延び、ヘッド取付アーム部６２を介してヘッドユニット２を支持する。
【００３１】
ヘッド取付アーム部６２は、支柱部６１から水平方向に延び、ヘッドユニット２を保持する。ヘッドユニット２は、ヘッド取付アーム部６２に着脱可能に装着される。ヘッドユニット２又はヘッド取付アーム部６２には、ヘッドユニット２がヘッド取付アーム部６２に装着されたことを検出するための図示しないセンサが設けられる。
【００３２】
Ｚ駆動部６３は、ヘッド取付アーム部６２を支柱部６１に沿って上下方向に移動させることにより、カメラ２１を受光軸方向に移動させるカメラ駆動手段である。レンズ検出部６４は、レンズ部２２がカメラ２１に装着されたことを検出し、レンズ部２２から各種のレンズ情報を取得する。取得されるレンズ情報には、例えば、撮影倍率、焦点距離等がある。
【００３３】
ステージ６５は、観察対象物Ｓを載置するための載置面６５ａを有する作業台である。このステージ６５は、水平に配置され、透過照明部７３が設けられている。透過照明部７３は、観察対象物Ｓに照明光を照射する投光装置である。
【００３４】
ＸＹ駆動部６６は、載置面６５ａに平行な方向にステージ６５を移動させるステージ駆動手段である。ステージ調整部６７は、ステージ６５を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させ、或いは、上下方向の回転軸を中心としてステージ６５及びＸＹ駆動部６６を回転させる。ステージ６５の昇降及び回転は、例えば、調整つまみ等の操作子を操作することによって行われ、観察対象物Ｓの高さや撮像アングルを調整することができる。
【００３５】
ステージ調整部６７には、ステージ６５のＺ軸方向の位置を検出するための図示しない位置センサと、ステージ６５の回転角度を検出するための図示しない回転角センサとが設けられる。
【００３６】
＜伝送ケーブル３＞
伝送ケーブル３は、制御信号や撮影画像を伝送するための制御用ケーブル３１と、照明光を伝送するための照明光伝送ケーブル３２とからなる。照明光伝送ケーブル３２は、光ファイバからなる。
【００３７】
＜コントローラ４＞
コントローラ４は、カメラ２１、リング照明部７２、透過照明部７３、Ｚ駆動部６３及びＸＹ駆動部６６を制御し、カメラ２１から取得した撮影画像を表示部４１に表示する情報処理端末であり、操作部５が接続されている。このコントローラ４は、電源ボタン４２を操作することにより、主電源がオン状態に切り替えられる。また、コントローラ４には、同軸落射照明用の照明光を生成する光源装置が設けられる。表示部４１は、撮影画像をモニタ画面に表示する表示装置である。
【００３８】
＜操作部５＞
操作部５は、ユーザ操作を受け付ける入力装置であり、キーボード５１、マウス５２及びコンソール５３により構成される。コンソール５３は、ボタンや調整つまみを操作することにより、撮影画像の取り込み、照明の明るさ、カメラ２１のピント合わせを指示することができる。
【００３９】
図２は、図１のヘッドユニット２が装着された支持台６の構成例を示した斜視図である。図３は、図２の支持台６の構成例を示した図である。図中の（ａ）には、支持台６の左側面が示され、（ｂ）には、支持台６を上方から見た場合が示され、（ｃ）には、支持台６の前面が示されている。
【００４０】
支柱部６１は、チルト部６８を介してベース部６０に取り付けられており、左右方向に傾斜させることができる。チルト部６８は、ベース部６０の一部であり、前後方向の水平な回転軸を中心として支柱部６１を回転可能に支持する。チルト部６８の回転軸は、ヘッドユニット２の受光軸と直交し、かつ、ステージ６５の載置面６５ａと平行に延びる。つまり、ヘッド取付アーム部６２に装着されたヘッドユニット２は、この回転軸を中心として回転可能に支持され、受光軸をステージ６５の載置面６５ａに対して傾斜させることができる。
【００４１】
支柱部６１は、例えば、上下方向から右側に９０°程度傾斜させ、或いは、上下方向から左側に６０°程度傾斜させることができる。このため、ステージ６５上の観察対象物Ｓを上方向だけでなく、斜め方向や横方向から観察することができる。ステージ６５は、右方向及び左方向にそれぞれ９０°程度回転させることができる。
【００４２】
支柱部６１又はチルト部６８には、支柱部６１の傾斜角度を検出するための図示しないセンサが設けられる。また、支柱部６１は、チルト部６８には、傾斜角度が０°の位置、すなわち、ヘッドユニット２の受光軸がステージ６５の載置面６５ａと直交する位置で固定するためのロック機構が設けられる。
【００４３】
図４は、ヘッドユニット２の他の構成例を示した斜視図であり、撮影倍率が異なる２つの対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂを備えたレンズ部２２が示されている。このレンズ部２２は、撮影倍率が異なる２つの対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂを備え、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂを切り替えることにより、撮影倍率を大きく変更することができる。対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂは、互いに異なる対物レンズであり、カメラ２１の受光軸上に切替可能に配置される。
【００４４】
対物レンズ２２１ａは、撮影倍率が高い高倍率レンズである。一方、対物レンズ２２１ｂは、対物レンズ２２１ａよりも撮影倍率が低い低倍率レンズである。対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂは、左右方向の水平な回転軸２２２を中心として回転させることによって切り替えられ、対物レンズ２２１ａ又は２２１ｂのいずれかがカメラ２１の受光軸上に配置される。回転軸２２２は、カメラ２１の受光軸に垂直である。
【００４５】
レンズ部２２は、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替に伴って、撮像視野の中心と視野中心の合焦位置とがいずれも変化しないように設計される。また、レンズ部２２は、ズーム機構を有するズームレンズであり、鏡筒部を回転させることによって撮影倍率を連続的に調整することができる。なお、レンズ部２２は、カメラ２１の受光軸に略平行な回転軸を中心として回転させることにより、複数の対物レンズを切り替えるレボルバ式のものであってもよい。例えば、レンズ部２２は、倍率が異なる３以上の対物レンズをレボルバ式に切り替えるものであってもよい。
【００４６】
次に、本発明による拡大観察装置１のさらに詳細な構成について、図５〜図１１を用いて以下に説明する。
【００４７】
＜コントローラ４＞
図５は、図１のコントローラ４内の機能構成の一例を示したブロック図である。ここでは、図４に示したヘッドユニット２が支持台６に装着されているものとする。Ｚ駆動部６３は、カメラ２１及びレンズ部２２からなるヘッドユニット２をカメラ２１の受光軸に沿うＺ方向に移動させるヘッド駆動手段である。ＸＹ駆動部６６は、ステージ６５をカメラ２１の受光軸と交差するＸＹ平面内で移動させるステージ駆動手段である。
【００４８】
このコントローラ４は、Ｚずれ量算出部１０１、観察制御部１０２、ＸＹずれ量算出部１０３、撮影画像記憶部１０４、撮影画像表示部１０５、Ｚ補正量記憶部１０６及びＸＹ補正量記憶部１０７により構成される。支持台６のレンズ検出部６４は、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂが切り替えられたことを検出するレンズ切替検出手段である。なお、この様なレンズ切替検出手段は、ヘッドユニット２のレンズ部２２に設けてもよい。
【００４９】
Ｚずれ量算出部１０１は、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂが切り替えられれば、当該切替後にカメラ２１から取得した撮影画像に基づいて、合焦位置のＺ方向のずれ量をＺずれ量として求める。すなわち、Ｚずれ量算出部１０１は、レンズ検出部６４の検出結果に基づいて、カメラ２１から撮影画像を取得してＺずれ量を求める。
【００５０】
Ｚずれ量は、例えば、撮影画像を解析して得られるフォーカス値から求められる。フォーカス値は、撮影画像の合焦度合いを示す指標であり、種々の算出方法を利用して求めることができる。フォーカス値は、例えば、輝度の分散や微分強度から求められる。
【００５１】
ヘッドユニット２のＺ方向の位置を異ならせながら撮影画像を繰り返し取得し、得られた複数の撮影画像について、フォーカス値を取得することにより、フォーカス値のピーク位置からＺずれ量が算出される。フォーカス値のピーク位置は、種々の方法を利用して求めることができる。例えば、複数の撮影画像について、最大のフォーカス値が得られたＺ方向の位置がピーク位置とみなされる。また、フォーカス値の複数の検出点について、曲線をフィッティングさせた際の極大点の位置からピーク位置が求められる。
【００５２】
観察制御部１０２は、カメラ２１から撮影画像を取得し、撮影画像記憶部１０４内に格納する。また、観察制御部１０２は、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替後に、Ｚずれ量算出部１０１により求められたＺずれ量に基づいてＺ駆動部６３を制御し、合焦位置の調整を行う。この合焦位置の調整により、対物レンズ２２１ａ，２２１ｂの切替直後に取得された撮影画像よりも焦点の合った撮影画像がカメラ２１から取得される。
【００５３】
撮影画像表示部１０５は、表示部４１を制御し、撮影画像記憶部１０４から撮影画像を読み出してモニタ画面に表示する。この撮影画像表示部１０５は、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替後、焦点の合った撮影画像をモニタ画面に自動的に表示する。
【００５４】
Ｚ補正量記憶部１０６には、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替に伴う合焦位置のＺ方向の補正量がＺ補正量として保持される。このＺ補正量は、例えば、拡大観察装置１の製造時に合焦位置のずれ量を実際に計測することによって予め定められる。
【００５５】
観察制御部１０２は、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂが切り替えられた後、Ｚ補正量に基づくＺ駆動部６３の制御によって合焦位置を仮調整する。そして、観察制御部１０２は、Ｚずれ量算出部１０１により、合焦位置の仮調整後に取得された撮影画像からＺずれ量が求められれば、当該Ｚずれ量に基づくＺ駆動部６３の制御によって合焦位置を本調整する。
【００５６】
また、観察制御部１０２は、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂが低倍率レンズから高倍率レンズに切り替えられた場合に、Ｚ補正量に基づく合焦位置の仮調整とＺずれ量に基づく合焦位置の本調整とを行う。これに対し、観察制御部１０２は、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂが高倍率レンズから低倍率レンズに切り替えられた場合に、Ｚ補正量に基づくＺ駆動部６３の制御によって合焦位置の調整を行う一方、Ｚずれ量に基づく合焦位置の調整を行わない。この様に構成することにより、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂを高倍率レンズから低倍率レンズに切り替えた際の位置合わせに要する時間を短縮することができる。
【００５７】
対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替に伴う合焦位置のずれが大きい場合、Ｚ補正量による補正を仮調整として先に実行することによっておおよその位置合わせを行えば、Ｚずれ量の探索範囲を絞り込むことができる。
【００５８】
ＸＹずれ量算出部１０３は、レンズ検出部６４の検出結果に基づいて、カメラ２１から撮影画像を取得し、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂが切り替えられれば、撮像視野のＸＹ平面内におけるずれ量をＸＹずれ量として求める。ＸＹずれ量は、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替前にカメラ２１から取得した撮影画像、すなわち、切替前画像と、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替後にカメラ２１から取得した撮影画像、すなわち、切替後画像とを比較した比較結果から求められる。
【００５９】
例えば、切替前画像と切替後画像との間で対応点を照合するマッチング処理が行われる。このマッチング処理には、種々の方法を利用することができる。例えば、正規化相関法、エッジ情報又は局所特徴量が利用される。
【００６０】
また、対応点を照合する際には、切替前画像と切替後画像との間でスケール合わせが行われる。例えば、レンズ検出部６４から、撮影倍率、対物レンズ２２１ａ，２２１ｂの焦点距離等を含むレンズ情報を取得し、このレンズ情報に基づいて、切替前画像又は切替後画像を拡大又は縮小することによって、スケール合わせが行われる。なお、切替後の撮影倍率が不明であれば、切替前の撮影倍率から切替後の撮影倍率を推定しながらスケール合わせを行って対応点の移動量を求めてもよい。ＸＹずれ量は、対応点の移動量と撮影倍率の差とから算出される。
【００６１】
ＸＹ補正量記憶部１０７には、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替に伴う撮像視野のＸＹ平面内における補正量がＸＹ補正量として保持される。このＸＹ補正量は、例えば、拡大観察装置１の製造時に撮像視野のずれ量を実際に計測することによって予め定められる。Ｚ補正量及びＸＹ補正量は、ユーザが任意のタイミングで合焦位置や撮像視野のずれを実際に計測して更新してもよい。この様に構成すれば、合焦位置や撮像視野のずれのうち、継時的な変化成分を仮調整によって補正することができるため、本調整に要する時間を短縮することができる。
【００６２】
観察制御部１０２は、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替後に、ＸＹ補正量記憶部１０７内のＸＹ補正量に基づいてＸＹ駆動部６６を制御し、撮像視野の調整を行う。撮像視野の調整は、例えば、切替後画像の視野中心が切替前画像の視野中心と一致するように、ステージ６５をＸＹ平面内で移動させることによって行われる。
【００６３】
この観察制御部１０２は、ＸＹ補正量に基づくＸＹ駆動部６６の制御によって撮像視野の調整を行った後に、Ｚずれ量に基づくＺ駆動部６３の制御により、合焦位置の調整を行って撮影画像を取得する。合焦位置の調整は、例えば、撮像視野の中心付近に焦点が合うように、ヘッドユニット２をＺ方向に移動させることによって行われる。
【００６４】
観察制御部１０２は、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂが切り替えられた後、ＸＹ補正量に基づくＸＹ駆動部６６の制御によって撮像視野を仮調整する。そして、観察制御部１０２は、ＸＹずれ量算出部１０３により、撮像視野の仮調整後に取得された撮影画像からＸＹずれ量が求められれば、当該ＸＹずれ量に基づくＸＹ駆動部６６の制御によって撮像視野を本調整する。
【００６５】
対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替に伴う撮像視野のずれがあまりにも大きくて、切替前画像と切替後画像とに対応点が存在しない場合、ＸＹずれ量が正しく求められない。この様な場合、ＸＹ補正量による補正を仮調整として先に実行することによっておおよその位置合わせを行えば、撮像視野内に対応点が存在する状態にすることができる。また、撮像視野内に対応点が存在する場合であっても、ＸＹ補正量による補正を仮調整として先に実行することにより、ＸＹずれ量の探索範囲を絞り込むことができる。
【００６６】
＜モニタ画面３００＞
図６は、図５のコントローラ４の動作の一例を示した図であり、表示部４１に表示されるモニタ画面３００が示されている。モニタ画面３００は、撮影画像を表示し、観察対象物Ｓの寸法測定、撮影画像の記録等を行うための観察設定画面である。
【００６７】
モニタ画面３００には、カメラ２１による撮影画像を表示するための表示領域３０１と、各種操作を行うための操作領域３０２とが設けられている。操作領域３０２には、各種機能を選択させるための複数のメニュータブが配置されたメニュー欄３０３と、インフォメーションエリア３０４及びダイレクトボタン３０５とが設けられている。
【００６８】
メニュータブには、簡単モード、照明・明るさ、撮影設定、計測・スケール、深度向上、画質向上、マルチライティング及び画像連結の各機能が割り当てられている。例えば、簡単モードでは、観察、記録及び計測に関する各種設定を簡単に行うことができる。照明・明るさでは、照明の種類や光源の明るさを調整することができる。
【００６９】
インフォメーションエリア３０４には、レンズ情報や動作状態などの各種情報が表示される。例えば、ヘッドユニット２に装着されているレンズ部２２の名称、表示領域３０１に表示中の動画像の種別、傾斜状態などが表示される。
【００７０】
ダイレクトボタン３０５は、ヘッドユニット２やコントローラ４を操作するための操作アイコンであり、終了ボタン、停止ボタン、撮影ボタン、倍率表示欄などが設けられている。終了ボタンは、主電源をオフ状態に切り替えるための操作アイコンである。停止ボタンは、画像処理等を一時停止させるための操作アイコンである。撮影ボタンは、撮影画像をメモリ内に取り込むための操作アイコンである。倍率表示欄には、現在の撮影倍率が表示される。
【００７１】
このモニタ画面３００では、マルチライティング機能が選択され、撮像条件や照明条件が異なる複数の撮影画像を取得して合成した合成画像が表示領域３０１に表示されている。
【００７２】
この拡大観察装置１では、レンズ部２２において対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂを切り替えると、ステージ６５をＸＹ平面内で移動させて撮像視野が自動的に調整されるとともに、ヘッドユニット２をＺ方向に移動させて合焦位置が自動的に調整される。撮像視野の調整は、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替前の撮影画像と切替後の撮影画像とを比較してＸＹずれ量を求め、ＸＹずれ量が解消するようにステージ６５を移動させることによって行われる。合焦位置の調整は、撮像視野の調整後の撮影画像からＺずれ量を求め、Ｚずれ量が解消するようにヘッドユニット２を移動させることによって行われる。
【００７３】
図７は、図５のコントローラ４における対物レンズ２２１ａ，２２１ｂの切替時の動作の一例を示した図であり、低倍率レンズから高倍率レンズに切り替えた場合の撮影画像が示されている。撮影画像は、モニタ画面３００の表示領域３０１に表示される。図中の（ａ）には、切替前の撮影画像が示され、（ｂ）には、切替後の撮影画像が示されている。
【００７４】
切替前の撮影画像は、低倍率レンズの使用時に配線基板が被写体として撮影された低倍率画像である。一方、切替後の撮影画像は、高倍率レンズへの切替後、撮像視野及び合焦位置の調整が終了してから取得された高倍率画像であり、撮像視野の中心にずれはなく、視野中心に関して、切替前と同じ部位に焦点が合っている。
【００７５】
＜ナビゲーション画面３１０＞
図８は、図５のコントローラ４における合焦位置の調整時の動作の一例を示した図であり、モニタ画面３００の操作領域３０２内に表示されたナビゲーション画面３１０が示されている。このナビゲーション画面３１０は、合焦位置を手動で調整するための入力画面であり、フォーカス値を示すグラフ３１１、スライダ３１３、調整範囲３１４、リセットボタン３１５及びピークセットボタン３１６が配置されている。表示領域３０１には、例えば、現在撮影中の動画像が表示される。
【００７６】
グラフ３１１には、縦軸をＺ方向の位置とし、横軸をフォーカス値として、フォーカス値の強度分布が表され、横方向の線分からなる図形３１２により、ピーク位置が示されている。グラフ３１１は、例えば、Ｚずれ量に基づく合焦位置の自動調整後に、ヘッドユニット２のＺ方向の位置が異なる複数の撮影画像を取得して作成される。
【００７７】
スライダ３１３は、Ｚ方向の位置を指定するための操作オブジェクトであり、所定のシンボルからなる。このスライダ３１３は、デフォルト状態において、撮影画像から推定されたＺずれ量に対応する位置に表示される。
【００７８】
調整範囲３１４は、合焦位置の調整可能な範囲を表す図形であり、例えば、縦方向の線分からなる。マウス操作等により、スライダ３１３を調整範囲３１４上で移動させれば、ヘッドユニット２がＺ方向に移動し、合焦位置を微調整することができる。
【００７９】
ピークセットボタン３１６は、フォーカス値のピーク位置にスライダ３１３を移動させてＺ方向の位置を指定するための操作アイコンである。リセットボタン３１５は、スライダ３１３をデフォルトの位置に復帰させるための操作アイコンである。
【００８０】
図９は、図５のコントローラ４における撮像視野の調整時の動作の一例を示した図であり、撮像視野を手動で調整するためのナビゲーション画面３２０が示されている。ナビゲーション画面３２０は、撮像視野を手動で調整するための入力画面であり、モニタ画面３００の操作領域３０２内に表示されている。
【００８１】
このナビゲーション画面３２０には、表示領域３２１、倍率ボタン３２３、登録ボタン３２４及び方向ボタン３２５が配置されている。表示領域３２１には、低倍率画像や連結画像等の広視野画像が表示され、縦方向の線分と横方向の線分とを交差させた図形３２２により、表示領域３０１に表示中の高倍率画像の視野中心が示されている。
【００８２】
低倍率画像は、低倍率レンズを用いて撮影された撮影画像である。連結画像は、ステージ６５のＸＹ平面内における位置が異なる複数の撮影画像を連結して作成される合成画像である。この様な広視野画像は、静止画像からなり、予め作成される。一方、表示領域３０１に表示される高倍率画像は、高倍率レンズを用いて撮影される撮影画像であり、動画像からなる。
【００８３】
倍率ボタン３２３は、表示領域３２１に表示される広視野画像の表示倍率を変更するための操作アイコンであり、広視野画像を拡大又は縮小することができる。マウス操作等により、表示領域３２１内の位置を指定すれば、ステージ６５がＸＹ平面内で移動し、撮像視野を微調整することができる。
【００８４】
登録ボタン３２４は、図形３２２で示された視野中心の位置をＸＹずれ量として登録するための操作アイコンである。方向ボタン３２５は、ステージ６５をＸ方向又はＹ方向に移動させるための操作アイコンである。
【００８５】
図１０は、図５のコントローラ４におけるナビゲーション画面３２０の表示終了時の動作の一例を示した図である。ナビゲーション画面３２０は、一定時間、ユーザ操作が検出されないか、或いは、予め定められた操作入力によって表示が終了する。例えば、ステージ６５の移動指示、照明調整、観察条件の変更、マウス５２の移動等をトリガとして表示が終了する。
【００８６】
ナビゲーション画面３２０の表示終了処理は、例えば、モニタ画面３００の額縁領域に隠れるようにナビゲーション画面３２０を右又は左方向に移動させることによって行われる。なお、表示終了処理には、徐々に薄くなってフェードアウトするエフェクト処理を伴ってもよい。また、操作入力の受付をトリガとして、操作領域３０２自体をフェードアウトするような構成であってもよい。
【００８７】
図１１のステップＳ１０１〜Ｓ１１２は、図５のコントローラ４における対物レンズ２２１ａ，２２１ｂの切替時の動作の一例を示したフローチャートである。まず、コントローラ４は、ＸＹ補正量及びＺ補正量を参照し、（ステップＳ１０１）、これらの補正量に基づいてＸＹ駆動部６６及びＺ駆動部６３を制御することにより、撮像視野及び合焦位置の仮調整を行う（ステップＳ１０２）。
【００８８】
次に、コントローラ４は、カメラ２１から撮影画像を取得し（ステップＳ１０３）、対物レンズ２２１ａ，２２１ｂの切替前に取得した撮影画像と比較してＸＹずれ量を算出する（ステップＳ１０４）。コントローラ４は、ＸＹずれ量に基づいてＸＹ駆動部６６を制御することにより、撮像視野の本調整を行う（ステップＳ１０５）。
【００８９】
次に、コントローラ４は、今回の対物レンズ２２１ａ，２２１ｂの切替が低倍率レンズから高倍率レンズへの切替であれば（ステップＳ１０６）、Ｚ補正を行うために、撮影画像を取得し（ステップＳ１０７）、撮影画像からＺずれ量を算出する（ステップＳ１０８）。コントローラ４は、Ｚずれ量に基づいてＺ駆動部６３を制御することにより、合焦位置の本調整を行う（ステップＳ１０９）。
【００９０】
一方、コントローラ４は、今回の対物レンズ２２１ａ，２２１ｂの切替が高倍率レンズから低倍率レンズへの切替であれば（ステップＳ１０６）、Ｚ補正を行わず、ステップＳ１０７からステップＳ１０９までの処理手順を省略する。
【００９１】
次に、コントローラ４は、ユーザにより撮像視野及び合焦位置の手動調整が指示されれば（ステップＳ１１０）、ユーザ操作に基づいて、Ｚ駆動部６３及びＸＹ駆動部６６を制御することにより、フォーカス及び撮像視野をそれぞれ調整し（ステップＳ１１１）、調整後の視野中心の位置及び合焦位置によってＸＹ補正量及びＺ補正量をそれぞれ更新する（ステップＳ１１２）。
【００９２】
本実施の形態によれば、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂが切り替えられた後の撮影画像から合焦位置のＺずれ量を求めて合焦位置の調整を行うため、製造コストを増大させることなく、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替に伴う合焦位置のずれを補正することができる。特に、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂが切り替えられた時点で合焦位置の調整を行うため、温度等の周辺環境に影響されることなく、高精度な位置合わせを行うことができる。
【００９３】
また、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂが切り替えられる前の撮影画像と切り替えられた後の撮影画像との比較結果から撮像視野のＸＹずれ量を求めて撮像視野の調整を行うため、製造コストを増大させることなく、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替に伴う撮像視野のずれを補正することができる。特に、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂが切り替えられた時点で撮像視野の調整を行うため、温度等の周辺環境に影響されることなく、高精度な位置合わせを行うことができる。
【００９４】
また、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂが切り替えられたことを検出して焦点の合った撮影画像がモニタ画面３００に自動的に表示されるため、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂを切り替えた場合であっても、ユーザはシームレスに観察対象物Ｓの観察を継続することができる。また、Ｚ補正量を利用して合焦位置を仮調整してからＺずれ量を求めて合焦位置を本調整するため、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替に伴う合焦位置のずれが大きい場合であっても、位置合わせに要する時間を短縮することができる。
【００９５】
また、ＸＹずれ量によって撮像視野の調整を行ってからＺずれ量による合焦位置の調整を行うため、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替前と同じ部位に焦点の合った撮影画像を取得することができる。また、ＸＹ補正量を利用して撮像視野を仮調整してからＸＹずれ量を求めて撮像視野を本調整するため、対物レンズ２２１ａ及び２２１ｂの切替に伴う撮像視野のずれが大きい場合であっても、位置合わせに要する時間を短縮することができる。
【００９６】
なお、本実施の形態では、低倍率レンズから高倍率レンズへの切替時に合焦位置及び撮像視野が調整される場合の例について説明したが、本発明は、対物レンズの切替時に、合焦位置のみ調整を行い、撮像視野の調整を行わないような構成であってもよい。
【００９７】
また、本実施の形態では、ＸＹ補正量及びＺ補正量に基づく仮調整が行われる場合の例について説明したが、本発明は、対物レンズの切替時に、ＸＹ補正量に基づく仮調整のみ行い、Ｚ補正量に基づく仮調整を行わないような構成であってもよい。
【００９８】
また、本実施の形態では、ＸＹずれ量に基づく撮像視野の調整を行った後に、撮影画像を取得してＺずれ量を求め、合焦位置の調整を行う場合の例について説明したが、本発明は、Ｚずれ量に基づく合焦位置の調整を行った後に、撮影画像を取得してＸＹずれ量を求め、撮像視野の調整を行うような構成であってもよい。
【００９９】
また、本実施の形態では、ステージ６５をＸＹ平面内で移動させることによって撮像視野を調整し、ヘッドユニット２をＺ方向に移動させることによって合焦位置を調整する場合の例について説明したが、本発明は、ステージ６５とヘッドユニット２とを相対的に移動させる方法をこれに限定するものではない。例えば、ステージ６５をＺ方向に移動させることにより、合焦位置を調整するような構成であってもよい。また、ヘッドユニット２をＸＹ平面内で移動させることにより、撮像視野を調整するような構成であってもよい。
【符号の説明】
【０１００】
１  拡大観察装置
２  ヘッドユニット
２１  カメラ
２１１  撮像素子
２２  レンズ部
２２１，２２１ａ，２２１ｂ  対物レンズ
２２２  回転軸
３  伝送ケーブル
３１  制御用ケーブル
３２  照明光伝送ケーブル
４  コントローラ
４１  表示部
４２  電源ボタン
５  操作部
５１  キーボード
５２  マウス
５３  コンソール
６  支持台
６０  ベース部
６１  支柱部
６２  ヘッド取付アーム部
６３  Ｚ駆動部
６４  レンズ検出部
６５  ステージ
６５ａ  載置面
６６  ＸＹ駆動部
６７  ステージ調整部
６８  チルト部
７１  同軸落射照明部
７２  リング照明部
７３  透過照明部
１０１  Ｚずれ量算出部
１０２  観察制御部
１０３  ＸＹずれ量算出部
１０４  撮影画像記憶部
１０５  撮影画像表示部
１０６  Ｚ補正量記憶部
１０７  ＸＹ補正量記憶部
３００  モニタ画面
３０１  表示領域
３０２  操作領域
３０３  メニュー欄
３０４  インフォメーションエリア
３０５  ダイレクトボタン
３１０，３２０  ナビゲーション画面
３１１  フォーカス値のグラフ
３１２  ピーク位置を表す図形
３１３  スライダ
３１４  調整範囲
３１５  リセットボタン
３１６  ピークセットボタン
３２１  表示領域
３２２  視野中心を表す線分
３２３  倍率ボタン
３２４  登録ボタン
３２５  方向ボタン
【図１】
2018066911.tif 000003
【図２】
2018066911.tif 000004
【図３】
2018066911.tif 000005
【図４】
2018066911.tif 000006
【図５】
2018066911.tif 000007
【図６】
2018066911.tif 000008
【図７】
2018066911.tif 000009
【図８】
2018066911.tif 000010
【図９】
2018066911.tif 000011
【図１０】
2018066911.tif 000012
【図１１】
2018066911.tif 000013