(57)【要約】      （修正有）【課題】研削屑が排水配管に流れ込む前にチャックテーブル付近で研削屑を取り除けるようにする。【解決手段】研削装置は、磁性体を含む板状ワークＷを保持する保持手段と、保持手段が保持した板状ワークＷを研削砥石１３６で研削する研削手段１３と、保持手段が保持した板状ワークＷに研削水１を供給する研削水供給手段１５とを備え、保持手段は、板状ワークＷを吸引保持する保持面２２ａを有するチャックテーブル２１と、チャックテーブル２１を囲繞するリング状の凹部２６０が形成され、前記研削水１と研削屑２とを含んだ研削排液３を凹部２６０で受け取って凹部２６０に溜められた研削排液３の底に研削屑２を沈殿させ研削排液３の上水４を排水する排水部２６１を有するリング状の沈殿槽２６とを備えたため、ウォータケース１６の低面１６ａに研削屑２が流れ込むのを防ぎ、研削屑２が排水配管に詰まるのを防止することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体を含む板状ワークを保持する保持手段と、該保持手段が保持した板状ワークを研削砥石で研削する研削手段と、該保持手段が保持した板状ワークに研削水を供給する研削水供給手段とを備える研削装置であって、
該保持手段は、板状ワークを吸引保持する保持面を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルを囲繞するリング状の凹部が形成され該研削水と研削屑とを含んだ研削排液を該凹部で受け取って該凹部に溜められた該研削排液の底に該研削屑を沈殿させ該研削排液の上水を排水する排水部を有するリング状の沈殿槽と、を備える研削装置。
【請求項２】
前記沈殿槽の外周から立設して前記チャックテーブルが保持した板状ワークの被研削面から該チャックテーブルの径方向に飛散する前記研削排液を前記凹部に流入させる壁部を備える請求項１記載の研削装置。
【請求項３】
磁性体の研削屑を前記沈殿槽から除去する除去手段を備え、
該除去手段は、該沈殿槽の凹部内に進入し研削屑を磁着させる磁石と、
該磁石を該凹部に対して進入及び退出させる移動手段と、
該磁石に磁着した研削屑を該磁石から取り除く取り除き手段とを備える請求項１または請求項２記載の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁性体を含む板状ワークを研削する研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドなどを製造する際に、例えば、研削装置を用いて磁性体を含む板状ワークを研削している。研削装置は、板状ワークを吸引保持する複数の保持テーブルと、板状ワークに対して研削を施す研削手段と、複数の保持テーブルが配設され回転可能なターンテーブルと、研削時に使用した加工排液を研削装置の外部に排出するために保持テーブルの下方に配設されたウォータケースとを備えている。ウォータケースの底面は、加工排液が研削装置の端部側へ流れるように傾斜しており、この底面の低くなった箇所に排水口が形成されている（例えば、下記の特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−８０８３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、磁性体は例えばシリコンなどよりも重いため、加工排液中に含まれる研削屑は沈殿しやすい。そのため、ウォータケースの底面に流れ込んだ研削屑は加工排液と一緒に排水口から排水されずにウォータケースの底面に残存したり、排水口に連結された排水配管内で残存したりすると、加工排液の排水の妨げとなって詰まりの原因となる。また、板状ワークの研削中、チャックテーブルは常に回転しており、チャックテーブルはチャックテーブルに対して板状ワークを搬送する搬送位置とチャックテーブルが保持する板状ワークを研削する研削位置とに移動する移動手段（ターンテーブルまたはＹ軸スライダー）によって移動するため、ウォータケースの底面に研削屑が残存していると、チャックテーブルの回転の負荷になったり、移動手段によるチャックテーブルの移動の負荷になったりするという問題がある。さらに、ウォータケースの底面に残存した研削屑が乾燥すると固形化して研削屑を除去することが困難となる。
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、研削屑が排水配管に流れ込む前にチャックテーブル付近で研削屑を取り除けるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、磁性体を含む板状ワークを保持する保持手段と、該保持手段が保持した板状ワークを研削砥石で研削する研削手段と、該保持手段が保持した板状ワークに研削水を供給する研削水供給手段とを備える研削装置であって、該保持手段は、板状ワークを吸引保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルを囲繞するリング状の凹部が形成され該研削水と研削屑とを含んだ研削排液を該凹部で受け取って該凹部に溜められた該研削排液の底に該研削屑を沈殿させ該研削排液の上水を排水する排水部を有するリング状の沈殿槽と、を備える。
【０００７】
また、本発明は、上記沈殿槽の外周から立設して上記チャックテーブルが保持した板状ワークの被研削面から該チャックテーブルの径方向に飛散する上記研削排液を上記凹部に流入させる壁部を備えることが望ましい。
【０００８】
さらに、本発明は、磁性体の研削屑を上記沈殿槽から除去する除去手段を備え、該除去手段は、該沈殿槽の凹部内に進入し研削屑を磁着させる磁石と、該磁石を該凹部に対して進入及び退出させる移動手段と、該磁石に磁着した研削屑を該磁石から取り除く取り除き手段とを備えることが望ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る研削装置は、磁性体を含む板状ワークを保持する保持手段を備え、保持手段は、板状ワークを吸引保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルを囲繞するリング状の凹部が形成され研削水と研削屑とを含んだ研削排液を凹部で受け取って凹部に溜められた研削排液の底に研削屑を沈殿させ研削排液の上水を排水する排水部を有するリング状の沈殿槽とを備えたため、板状ワークの研削中は、常に沈殿槽の凹部に研削屑を残存させるとともに研削排液の上水のみを排水部から排水することができる。これにより、例えばウォータケースに研削屑が流れ込むのを防いで、研削屑が排水配管に詰まるのを防止することができる。また、研削屑がウォータケースに残存することがないため、チャックテーブルの回転動作の負荷やチャックテーブルの水平移動動作の負荷もなくなる。さらに、沈殿槽の凹部には、研削排液がある程度溜められた状態が維持されるため、研削屑が乾いて固形化するのを防ぐことができ、研削屑の除去作業が容易となる。
【００１０】
また、本発明に係る研削装置は、上記沈殿槽の外周から立設して上記チャックテーブルが保持した板状ワークの被研削面からチャックテーブルの径方向に飛散する上記研削排液を上記凹部に流入させる壁部を備えたため、研削排液を確実に壁部で受け止めて凹部に流入させることができ、凹部に研削屑を残存させるとともに研削排液の上水のみを排水部から排水することができる。これにより、例えばウォータケースに研削屑が流れ込むのを確実に防いで、研削屑が排水配管に詰まるのを防止することができる。
【００１１】
さらに、本発明に係る研削装置は、磁性体の研削屑を上記沈殿槽から除去する除去手段を備え、除去手段は、沈殿槽の凹部内に進入し研削屑を磁着させる磁石と、磁石を凹部に対して進入及び退出させる移動手段と、磁石に磁着した研削屑を磁石から取り除くための取り除き手段とを備えたため、沈殿槽の凹部から磁性体の研削屑を効率よく磁着させて除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】研削装置の第１例の構成を示す斜視図である。
【図２】チャックテーブル、沈殿槽及び除去手段の構成を示す断面図である。
【図３】チャックテーブルに保持された板状ワークの研削状態を示す断面図である。
【図４】沈殿槽の凹部に沈殿した研削屑を磁石に磁着させる状態を示す断面図である。
【図５】磁石に磁着された研削屑を回収ボックスに廃棄する状態を示す断面図である。
【図６】研削装置の第２例の構成を示す斜視図である。
【図７】チャックテーブルに保持された板状ワークの研削状態の第２例を示す断面図である。
【図８】図７に示す壁部の変形例であって、凹部の上端部を排水部として構成した例を示す部分拡大断面図である。
【図９】第２例のチャックテーブルの変形例を示す断面図である。
【図１０】図９に示す壁部の変形例であって、凹部の上端部を排水部として構成した例を示す部分拡大断面図である。
【図１１】研削装置の第３例の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
１  研削装置の第１例
図１に示す研削装置１０は、Ｙ軸方向に延在する装置ベース１１と、装置ベース１１のＹ軸方向後部側に立設されたコラム１２とを有している。装置ベース１１の上面には、磁性体を含む被加工物である板状ワークを保持する保持手段２０を備えている。コラム１２のＹ軸方向前方においては、保持手段２０が保持した板状ワークを研削する研削手段１３と、研削手段１３を保持手段２０に対して接近及び離反する研削送り方向（Ｚ軸方向）に研削手段１３を昇降させる研削送り手段１４と、研削手段１３に接続され保持手段２０が保持した板状ワークに研削水を供給する研削水供給手段１５とを備えている。
【００１４】
研削手段１３は、Ｚ軸方向の軸心を有するスピンドル１３０と、スピンドル１３０の外周を囲繞するスピンドルハウジング１３１と、スピンドル１３０の一端に取り付けられたモータ１３２と、スピンドルハウジング１３１を保持するホルダ１３３と、スピンドル１３０の先端に固定されたホイールマウント１３４に着脱可能に装着される研削ホイール１３５と、研削ホイール１３５の下部に円環状に固着された研削砥石１３６とを備えている。研削手段１３は、モータ１３２による駆動によって研削ホイール１３５を所定の回転速度で回転させることができる。
【００１５】
研削送り手段１４は、Ｚ軸方向に延在するボールネジ１４０と、ボールネジ１４０の一端に接続されたモータ１４１と、ボールネジ１４０と平行に延在する一対のガイドレール１４２と、内部に備えたナットがボールネジ１４０に螺合するとともに側部がガイドレール１４２に摺接する昇降板１４３とを備えている。昇降板１４３には、ホルダ１３３が固定されている。そして、モータ１４１がボールネジ１４０を回動させると、一対のガイドレール１４２に沿って昇降板１４３とともに研削手段１３をＺ軸方向に昇降させることができる。
【００１６】
保持手段２０は、板状ワークを吸引保持する保持面２２ａを有するチャックテーブル２１と、チャックテーブル２１の周囲を囲繞するリング状の凹部２６０が形成され研削水供給手段１５が板状ワークに供給した研削水と研削砥石１３６が板状ワークを研削したときに生じた研削屑とを含んだ研削排液を凹部２６０で受け取って凹部２６０に溜められた研削排液の底に研削屑を沈殿させ研削排液の上水（うわみず）を排水する排水部２６１を有する沈殿槽２６とを備えている。
【００１７】
図２に示すように、チャックテーブル２１は、円盤状のポーラス板２２を有しており、ポーラス板２２は、図示しない吸引源に接続されている。ポーラス板２２は、例えばポーラスセラミックス等の多孔質部材によって構成され、その上面が保持面２２ａとなっている。チャックテーブル２１は、チャックベース２３に装着されている。チャックベース２３の下端には、チャックベース２３に装着されたチャックテーブル２１を回転させる回転手段２４が接続されている。また、チャックテーブル２１の周囲には、下方に傾斜させたガイド２５が取り付けられている。
【００１８】
チャックベース２３の周囲には、研削排液が流れ込むウォータケース１６が配設されている。ウォータケース１６は、研削排液を受け止める底面１６ａを有している。チャックベース２３側の底面１６ａの一端には、底面１６ａから直立した立ち上がり部１６ｂが形成されている。また、底面１６ａの他端には、研削排液を装置の外部へ排出する図示しない排水配管が接続されている。図示の例では、省略しているが、チャックベース２３の下方には、図１に示す保持手段２０を水平方向（Ｙ軸方向）に加工送りするＹ軸スライダーが配設されており、ウォータケース１６及び蛇腹１７がＹ軸スライダーの全体を覆うようにして配設されている。そして、Ｙ軸スライダーによって、蛇腹１７の伸縮をともないウォータケース１６がＹ軸方向に移動することにより、保持手段２０をＹ軸方向に移動させることができる。
【００１９】
図２に示すように、沈殿槽２６は、チャックテーブル２１の周囲を覆うようにして凹部２６０の開口を上向きにしてウォータケース１６の底面１６ａに配設されている。沈殿槽２６の内側の側壁２６ａは、ガイド２５の内側（チャックテーブル２１側）に位置付けられ、ガイド２５の先端部が凹部２６０内に位置している。これにより、研削中にチャックテーブル２１の周囲に飛散した研削排液がガイド２５の傾斜面に沿って凹部２６０に向けて流れるようになっている。
【００２０】
また、沈殿槽２６の外側の側壁２６ｂの上端の一部には、開口した排水部２６１が形成されている。研削排液が凹部２６０に受け止められて溜まっていくと、研削排液の底に磁性体からなる研削屑が沈殿するとともに、研削排液の上水（うわみず）を排水部２６１からウォータケース１６に向けて排水することができる。研削排液の上水とは、凹部２６０に溜められた研削排液のうち、研削屑が存在しない水面付近の上澄み部分の研削排液を意味する。なお、図示の例における側壁２６ｂは、側壁２６ａよりも低い高さとなっており、凹部２６０に溜められた研削排液が沈殿槽２６の外側へ流れやすくなっている。
【００２１】
研削装置１０は、図２に示すように、磁性体の研削屑を沈殿槽２６から除去する除去手段３０と、除去手段３０が研削屑を回収するための回収ボックス１８とを備えている。除去手段３０は、沈殿槽２６の凹部２６０内に進入し研削屑を磁着させる磁石３１と、磁石３１を凹部２６０に対して進入及び退出させる移動手段３２と、磁石３１に磁着した研削屑を磁石３１から取り除くための取り除き手段とを備えている。磁石３１は、例えば、鉄心にコイルが巻かれた電磁石によって構成されている。磁石３１は、例えば円柱状や角柱状により構成されている。磁石３１は、少なくとも凹部２６０内に進入できる程度の幅を有していればよく、大きさ、形状、材質等は特に限定されない。取り除き手段は、例えば、磁石３１に対して磁力を発生させたり失わせたりする電源３５によって構成されている。電源３５がコイルに通電することにより、磁石３１に磁力を発生させて磁石３１に研削屑を磁着させることができる。また、電源３５からコイルへの通電を遮断することにより、磁石３１から磁力を失わせて磁石３１に磁着した研削屑を取り除くことができる。
【００２２】
移動手段３２は、鉛直方向に延在する軸部材３３と、軸部材３３を中心として磁石３１を水平方向に旋回させるとともに軸部材３３に沿って磁石３１を鉛直方向に昇降させる移動部３４とを備えている。図示しないモータによって移動部３４が回転することにより、沈殿槽２６の上方側と回収ボックス１８の上方側とに磁石３１をそれぞれ移動させることができる。また、沈殿槽２６の上方側に磁石３１が位置づけられた状態において、移動部３４が鉛直方向に上下方向に移動することにより、磁石３１を凹部２６０内に進入させたり凹部２６０内から退出させたりすることができる。
【００２３】
次に、研削装置１０の動作例について説明する。図２に示す板状ワークＷは、円形板状の被加工物の一例であって、例えばフェライトなどの磁性体を含んでいる。板状ワークＷの上面は、研削砥石１３６によって研削される被研削面Ｗａとなっている。まず、板状ワークＷをチャックテーブル２１の保持面２２ａに載置して、図示しない吸引源の吸引力を作用させた保持面２２ａで板状ワークＷを吸引保持する。図１に示したウォータケース１６が蛇腹１７の伸縮をともないＹ軸方向に移動することにより、保持手段２０を研削手段１３の下方に移動させる。
【００２４】
次いで、図３に示すように、回転手段２４によって、チャックテーブル２１を例えば矢印Ａ方向に回転させるとともに、スピンドル１３０が回転し研削ホイール１３５を例えば矢印Ａ方向に回転させながら、研削送り手段１４によって研削手段１３をチャックテーブル２１に接近する方向に下降させる。そして、回転しながら下降する研削砥石１３６で板状ワークＷの被研削面Ｗａを押圧しながら所定の厚みに至るまで研削を行う。
【００２５】
板状ワークＷの研削中は、図示しないバルブを開いて、研削水供給手段１５から研削手段１３の内部を通じて板状ワークＷの被研削面Ｗａに向けて研削水１を供給する。この研削水１が、回転する研削砥石１３６と板状ワークＷとの接触面に入り込むことで、研削水１の冷却効果によって、摩擦熱により発生する研削砥石１３６の目詰まりや研削砥石１３６の砥粒が脱落するのを防止することができる。なお、研削水１としては、例えば、純水を用いることができる。
【００２６】
ここで、図３に示す研削砥石１３６によって板状ワークＷが削られていくにつれて磁性体の研削屑２が発生する。研削屑２が板状ワークＷの被研削面Ｗａに供給された研削水１に混入すると、研削水１と研削屑２とを含んだ研削排液３となって、回転する研削砥石１３６に連れまわってチャックテーブル２１の径方向に飛散する。このとき、ガイド２５に落下した研削排液３は、ガイド２５の傾斜面に沿って沈殿槽２６の凹部２６０に流れ込む。凹部２６０に研削排液３が溜まっていくと、研削排液３の底に研削屑２が沈殿していく。さらに、凹部２６０に研削排液３が溜まって満水になると、研削排液３の上水４が排水部２６１から排水されウォータケース１６の底面１６ａで受け止められる。つまり、研削屑２を凹部２６０に残存させつつ、排水部２６１から上水４のみが排水されるため、ウォータケース１６の底面１６ａに研削屑２が流れ込むのを防止することができる。そして、ウォータケース１６の底面１６ａに流れ込んだ上水４は図示しない排水配管から装置の外部へ排水される。
【００２７】
板状ワークＷの研削が完了したら、図４に示すように、除去手段３０を用いて、沈殿槽２６の凹部２６０に沈殿した研削屑２を除去する。具体的には、移動手段３２によって、磁石３１を沈殿槽２６の上方側に移動させるとともに、移動部３４が軸部材３３に沿って下降することにより磁石３１を凹部２６０に進入させる。このとき、電源３５がコイルに通電することで磁石３１に磁力を発生させておく。そして、凹部２６０内に進入してきた磁石３１に研削屑２を磁着させる。
【００２８】
次いで、図５に示すように、移動部３４が軸部材３３に沿って上昇することにより磁石３１を凹部２６０内から退出させるとともに、軸部材３３を中心として移動部３４が例えば矢印Ｂ方向に旋回して磁石３１を沈殿槽２６の上方側から回収ボックス１８の上方側に移動させる。続いて、電源３５からコイルへの通電を遮断することにより、磁石３１から磁力を失わせる。これにより、磁石３１から研削屑２を離反させて回収ボックス１８内に研削屑２を廃棄する。そして、上記の除去動作を繰り返し行って、沈殿槽２６の凹部２６０に沈殿された研削屑２をすべて除去する。このように、除去手段３０によれば、沈殿槽２６の凹部２６０から磁性体の研削屑２を効率よく磁着させて除去することが可能となる。
【００２９】
このように、本発明に係る研削装置１０は、磁性体を含む板状ワークＷを保持する保持手段２０を備え、保持手段２０は、板状ワークＷを吸引保持する保持面２２ａを有するチャックテーブル２１と、チャックテーブル２１を囲繞するリング状の凹部２６０が形成され研削水１と研削屑２とを含んだ研削排液３を凹部２６０で受け取って凹部２６０に溜められた研削排液３の底に研削屑２を沈殿させ研削排液３の上水４を排水する排水部２６１を有するリング状の沈殿槽２６とを備えたため、板状ワークＷの研削中は、常に沈殿槽２６の凹部２６０に研削屑２を残存させるとともに研削排液３の上水４のみを排水部２６１から排水することができる。これにより、ウォータケース１６の底面１６ａに研削屑２が流れ込むのを防いで、研削屑２が排水配管に詰まるのを防止することができる。また、研削屑２がウォータケース１６の底面１６ａに残存することがないため、回転手段２４によるチャックテーブル２１の回転動作の負荷やＹ軸スライダーによるチャックテーブル２１の水平移動動作の負荷もなくなる。さらに、沈殿槽２６の凹部２６０には、研削排液３がある程度溜められた状態が維持されるため、研削屑２が乾いて固形化するのを防ぐことができ、研削屑２の除去作業が容易となる。
【００３０】
２  研削装置の第２例
図６に示す研削装置１０Ａは、磁性体を含む板状ワークを保持するチャックテーブル２１Ａとチャックテーブル２１Ａの周囲を囲繞する凹部２６０が形成された沈殿槽２６Ａとを備える保持手段２０Ａと、沈殿槽２６Ａの外周から立設してチャックテーブル２１Ａが保持した板状ワークの被研削面からチャックテーブル２１Ａの径方向に飛散する研削排液を凹部２６０に流入させる壁部２７とを備えている。研削装置１０Ａにおいて、上記研削装置１０と同様の構成部分については、共通の符号を付している。
【００３１】
図７に示すように、壁部２７は、沈殿槽２６Ａの外側の側壁２６ｂに固定されている。壁部２７の上端部分は、チャックテーブル２１Ａの径方向外側に向けて折り曲げられている。これにより、チャックテーブル２１に保持された板状ワークを研削するときに、研削砥石１３６が壁部２７に接触するのを防止することができる。壁部２７には、側壁２６ｂの上端付近において、凹部２６０に溜められた研削排液の上水を排水する排水部２７０が形成されている。本実施形態に示す壁部２７は、沈殿槽２６Ａと別部材としたが、これに限られず、壁部２７と沈殿槽２６Ａとが一体となった構成でもよい。
【００３２】
次に、研削装置１０Ａの動作例について説明する。図７に示す板状ワークＷに対する研削動作は、第１例と同様である。すなわち、板状ワークＷをチャックテーブル２１Ａの保持面２２ａで吸引保持したら、図１に示したウォータケース１６が蛇腹１７の伸縮をともないＹ軸方向に移動することにより、保持手段２０Ａを研削手段１３の下方に移動させる。次いで、図７に示すように、チャックテーブル２１Ａを例えば矢印Ａ方向に回転させるとともに、研削ホイール１３５を例えば矢印Ａ方向に回転させながら、研削送り手段１４によって研削手段１３をチャックテーブル２１Ａに接近する方向に下降させ、研削砥石１３６で板状ワークＷを押圧しながら所定の厚みに至るまで研削を行う。板状ワークＷの研削中は、図示しないバルブを開いて、研削水供給手段１５から研削手段１３の内部を通じて板状ワークＷの被研削面Ｗａに研削水１を供給する。
【００３３】
第２例では、回転する研削砥石１３６の周囲を囲むように壁部２７が配置されているため、研削砥石１３６の周囲に飛散してガイド２５に落下しなかった研削排液３は壁部２７で受け止められる。そのため、研削排液３が壁部２７に沿って凹部２６０に流れ込む。凹部２６０に研削排液３が溜まっていくと、第１例と同様に、研削排液３の底に研削屑２が沈殿していく。さらに、凹部２６０に研削排液３が溜まって満水になると、研削排液３の上水４が排水部２７０から排水されウォータケース１６の底面１６ａで受け止められる。つまり、第１例と同様に、研削屑２を凹部２６０に残存させつつ、排水部２７０から上水４のみが排水されるため、ウォータケース１６の底面１６ａに研削屑２が流れ込むのを防止することができる。その後、第１例と同様に、除去手段３０を構成する磁石３１を沈殿槽２６Ａの凹部２６０内に進入させて沈殿した研削屑２を磁着させて除去する。
【００３４】
このように、本発明に係る研削装置１０Ａは、沈殿槽２６Ａの外周から立設してチャックテーブル２１Ａが保持した板状ワークＷの被研削面Ｗａからチャックテーブル２１Ａの径方向に飛散する研削排液３を凹部２６０に流入させる壁部２７を備えたため、研削排液３を確実に壁部２７で受け止めて凹部２６０に流入させることができ、凹部２６０に研削屑２を残存させるとともに研削排液３の上水４のみを排水部２７０から排水することができる。これにより、ウォータケース１６に研削屑２が流れ込むのを確実に防いで、研削屑２が排水配管に詰まるのを防止することができる。また、図８に示すチャックテーブル２１Ａ’のように、壁部２７Ａの下端部２７１を、側壁２６ｂ側に隙間をあけて凹部２６０内に配置することによって形成される凹部２６０の上端部２６２を排水部としてもよい。この場合においても、凹部２６０に研削屑２を残存させるとともに研削排液３の上水４のみを上端部２６２から排水することができる。
【００３５】
図９に示すチャックテーブル２１Ｂは、上記チャックテーブル２１Ａの変形例である。チャックテーブル２１Ｂは、テープＴを介して中央部が開口したリング状のフレームＦに支持された板状ワークＷを保持するために、チャックテーブル２１Ｂの外周側にフレームＦが載置されるフレーム載置台２８と、フレーム載置台２８に載置されたフレームＦをクランプするクランプ部２９とを備えている。このように構成されるチャックテーブル２１Ｂに保持された板状ワークＷを研削する際は、フレームＦがチャックテーブル２１Ｂの保持面２２ａよりも下方側に位置付けられるため、研削砥石１３６がフレームＦに接触するのを防ぐことができる。また、図１０に示すチャックテーブル２１Ｂ’のように、壁部２７Ａの下端部２７１を、側壁２６ｂ側に隙間をあけて凹部２６０内に配置することによって形成される凹部２６０の上端部２６２を排水部としてもよい。この場合においても、第２例と同様、凹部２６０に研削屑２を残存させるとともに研削排液３の上水４のみを上端部２６２から排水することができる。
【００３６】
３  研削装置の第３例
図１１に示す研削装置１０Ｂは、装置ベース１１のＹ軸方向前方側の上面に磁性体の研削屑を沈殿槽２６から除去する除去手段４０を備えている。研削装置１０Ｂでは、除去手段４０を備えた点以外は、上記研削装置１０と同様の構成となっており、研削装置１０と同様の構成部分については、共通の符号を付している。
【００３７】
除去手段４０は、Ｚ軸方向に延在し上下動及び回転可能な軸部材４１と、一端が軸部材４１に連結されたアーム４２と、アーム４２の他端に装着された円形板状のプレート４３と、プレート４３の下部に固定されたリング状の磁石４４と、軸部材４１に接続され軸部材４１とともにアーム４２を水平方向に旋回させるとともに軸部材４１とともにアーム４２をＺ軸方向に昇降させる移動手段４５と、磁石４４に磁着した研削屑を磁石４４から取り除くための取り除き手段とを備えている。
【００３８】
磁石４４は、例えば、鉄心にコイルが巻かれた電磁石によって構成されている。磁石４４は、リング状に形成されていることから、リング状の凹部２６０の全周にわたって進入可能となっている。取り除き手段は、例えば、磁石４４に対して磁力を発生させたり失わせたりする電源４６によって構成されている。そして、電源４６がコイルに通電することにより、磁石４４に磁力を発生させて、磁石４４に研削屑を磁着させることができる。また、電源４６からコイルへの通電を遮断することにより、磁石４４から磁力を失わせて磁石４４に磁着した研削屑を取り除くことができる。
【００３９】
移動手段４５は、少なくともモータ４５０を備えている。モータ４５０が駆動されて、軸部材４１とともにアーム４２を水平方向に旋回させることにより、磁石４４を例えば沈殿槽２６の上方側に移動させることができ、軸部材４１とともにアーム４２をＺ軸方向に昇降させることにより、磁石４４を凹部２６０内に進入させたり凹部２６０内から退出させたりすることができる。このように構成される研削装置１０Ｂにおいても、上記研削装置１０と同様に、ウォータケース１６の底面１６ａに研削屑２が流れ込むのを防いで、研削屑２が排水配管に詰まるのを防止することができる。また、除去手段４０では、リング状の磁石４４を沈殿槽２６の凹部２６０の全周にわたって進入させることができるため、磁性体の研削屑２を効率よく磁着させて除去することができる。
【００４０】
本実施形態に示した除去手段３０，４０では、板状ワークＷの研削加工後に沈殿槽２６の凹部２６０に進入させ磁石３１，磁石４４に研削屑２を磁着させて除去した場合を説明したが、板状ワークＷの研削加工前に凹部２６０にあらかじめ磁石（例えば、永久磁石）を入れておくようにしてもよい。この場合の除去手段は、例えば、磁石を把持する把持部と、把持部が把持した磁石を沈殿槽２６の凹部２６０に対して進入及び退出させる移動手段とにより少なくとも構成される。板状ワークＷの研削前に凹部２６０に磁石を入れておけば、研削加工中に研削水１と研削屑２とが凹部２６０において流入して磁石に研削屑２が磁着するため、板状ワークＷの研削加工後に凹部２６０から磁石を取り出して、例えば作業者が磁石から研削屑２を取り除けばよい。また、凹部２６０から研削屑２が磁着した磁石を取り出したときに、別の磁石を凹部２６０に入れておくようにしてもよい。
【００４１】
上記実施形態では、磁石３１，４４を用いて研削屑２を沈殿槽２６の凹部２６０から除去したが、板状ワークＷの研削加工後に、例えば湿式掃除機を用いて沈殿槽２６の凹部２６０から研削屑２を含む研削排液３を吸引除去してもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１：研削水  ２：研削屑  ３：研削排液  ４：上水（うわみず）
１０，１０Ａ，１０Ｂ：研削装置  １１：装置ベース  １２：コラム
１３：研削手段  １３０：スピンドル  １３１：スピンドルハウジング  １３２：モータ
１３３：ホルダ  １３４：マウント  １３５：研削ホイール  １３６：研削砥石
１４：研削送り手段  １４０：ボールネジ  １４１：モータ  １４２：ガイドレール
１４３：昇降板
１５：研削水供給手段  １６：ウォータケース  １７：蛇腹  １８：回収ボックス
２０，２０Ａ：保持手段  ２１，２１Ａ，２１Ｂ：チャックテーブル  ２２：保持部
２２ａ：保持面  ２３：チャックベース  ２４：回転手段  ２５：ガイド
２６，２６Ａ：沈殿槽  ２６０：凹部  ２６１：排水部  ２６２：上端部
２７,２７Ａ：壁部  ２７０：排水部  ２７１：下端部
２８：フレーム載置台  ２９：クランプ部
３０：除去手段  ３１：磁石  ３２：移動手段  ３３：軸部材
３４：移動部  ３５：電源（取り除き手段）
４０：除去手段  ４１：軸部材  ４２：アーム  ４３：プレート  ４４：磁石
４５：移動手段  ４５０：モータ  ４６：電源（取り除き手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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