(57)【要約】【課題】曲面を有するワークを、ワークの形状に応じて頻繁に部材を交換しなくても貼り合わせる貼合装置を提供する。【解決手段】一方が凹面ＣＳ１、他方が凸面ＢＳ１となる曲面を有するワークＷ１の凹面ＣＳ１に対して、粘着剤Ｒを介してワークＷ２を貼り付ける貼合装置であって、ワークＷ１及びワークＷ２を挟む第１のプレート４１及び第２のプレート５１と、第１のプレート４１のワークＷ１の凸面ＢＳ１に対向する面に設けられ、凸面ＢＳ１の縁部から凸面ＢＳ１の頭頂部までの高さよりも大きな厚みを有し、凸面ＢＳ１に接して倣うように弾性変形する緩衝部材４３と、を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方が凹面、他方が凸面となる曲面を有する第１のワークの前記凹面に対して、粘着剤を介して第２のワークを貼り付ける貼合装置であって、
前記第１のワーク及び第２のワークを挟む第１のプレート及び第２のプレートと、
前記第１のプレートの前記第１のワークの前記凸面に対向する面に設けられ、前記凸面の縁部から前記凸面の頭頂部までの高さよりも大きな厚みを有し、前記凸面に接して倣うように弾性変形する緩衝部材と、
を有することを特徴とする貼合装置。
【請求項２】
前記第２のプレートに設けられ、前記緩衝部材よりも硬質で、前記第２のワークを支持する支持部材を有することを特徴とする請求項１記載の貼合装置。
【請求項３】
前記第２のワークは、一方の面が凹面、他方の面が凸面である曲面を有し、
前記支持部材の前記第２のワークに接する面は、前記第２のワークの凹面に倣う形状を有することを特徴とする請求項２記載の貼合装置。
【請求項４】
前記第１のプレート及び前記第２のプレートとの間に、前記第１のワークを前記第２のワークとの間に間隔を空けて保持する保持部を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の貼合装置。
【請求項５】
前記保持部は、前記第１のプレート及び前記第２のプレートにより挟まれる前記第１のワーク及び前記第２のワークの縁部をガイドするガイド部材を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の貼合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貼合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイを代表とする平板状の表示装置、いわゆるフラットパネルディスプレイは、ワークの一つである表示パネルとその他のワークが筐体に組み込まれて構成されている。その他のワークとしては、操作用のタッチパネル、表面を保護するカバーパネル、バックライト、バックライトの導光板等がある。
【０００３】
これらのワークは、個別にあるいは予め積層された状態で筐体に組み込まれる。例えば、保護カバーにタッチパネルを積層した複合パネルとして構成されたものを用いることもある。
【０００４】
また、表示パネルには、タッチパネルの機能が組み込まれたものが用いられることもある。このように、ワークとしては様々な形態があるが、以下、表示装置を構成するワークを、複数積層したものを、表示装置用部材と呼ぶ。
【０００５】
このような表示装置用部材を使用した電子機器において、筐体側面部分には、機器操作用の機械的なスイッチである物理ボタンが設けられていることが多い。しかし、近年では、柔軟性の高い表示装置用部材を使用して、筐体の表面だけでなく、筐体の側面にも表示領域を延設し、側面部分においても、タッチパネルに触れることによる操作を可能とする製品が存在している。この場合、表示装置用部材の表面から側面にかけては、曲面形状となっている。
【０００６】
また、車載用の表示装置のように、車内のレイアウトに合わせて全体を曲面形状とした表示装置用部材を使用する場合がある。このように、曲面形状を有する表示装置用部材の製造においては、曲面形状のワークを貼り合わせる作業が必要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第５８５２２４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一般的な平板状のワークに対する貼り付け作業は、まず、ワークの一方の面に粘着剤を付着させて、この粘着剤を介して、他のワークを貼り付けることにより行われる。粘着剤を付着させる方法としては、例えば、剥離シートに粘着剤が貼り付けられた粘着シートを用いる方法がある。この方法は、ワークの貼合面に、平板状のプレートによって粘着シートの粘着剤を押し付けて、剥離シートを剥離することにより行われる。
【０００９】
但し、この方法によって曲面形状のワークに、粘着剤を貼り付ける場合、曲面の内側の凹面において粘着剤が密着せず、ワークとの間に隙間が生じる。これに対処するため、ワークに粘着シートを押し当てた後、特別な治具を用いて、凹面部分に粘着剤が貼り合わされるように押し均すことが考えられる（特許文献１参照）。しかし、ワークの内側の狭い領域であって、ワークを押し当てる部分に、複雑な機構を設ける必要があり、一般的な貼合装置とは異なる特別な装置として構成する必要がある。これは、例えば、ワークに粘着剤を貼り付けた後、他のワークを曲面形状に沿って貼り付ける場合にも同様である。
【００１０】
これに対処するため、一方のワークの凸面及び他方のワークの凹面に沿う形状の硬質な型、例えば凸型と凹型を作成して、この型によって一対のワークを挟んで貼り合せることが考えられる。但し、それぞれのワークに合わせた型を作成しておき、異なる形状のワークを貼り合わせる度に、凸型と凹型を共に交換することは手間がかかり、コスト高にもなる。これは、多品種の製品を少数製造する場合にはより一層問題となる。
【００１１】
本発明の目的は、曲面を有するワークを、ワークの形状に応じて頻繁に部材を交換しなくても貼り合わせることができる貼合装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、一方が凹面、他方が凸面となる曲面を有する第１のワークに対して、粘着剤を介して第２のワークを貼り付ける貼合装置であって、前記第１のワーク及び第２のワークを挟む第１のプレート及び第２のプレートと、前記第１のプレートの前記第１のワークの凸面に対向する面に設けられ、前記凸面の縁部から頭頂部までの高さよりも大きな厚みを有し、前記凸面に接して倣うように弾性変形する緩衝部材と、を有する。
【００１３】
前記第２のプレートに設けられ、前記緩衝部材よりも硬質で、前記第２のワークを支持する支持部材を有していてもよい。
【００１４】
前記第２のワークは、一方の面が凹面、他方の面が凸面である曲面を有し、前記支持部材の前記第２のワークに接する面は、前記第２のワークの凹面に倣う形状を有していてもよい。
【００１５】
前記第１のプレート及び前記第２のプレートとの間に、前記第１のワークを前記第２のワークとの間に間隔を空けて保持する保持部を有していてもよい。
【００１６】
前記保持部は、前記第１のプレート及び前記第２のプレートにより挟まれる前記第１のワーク及び前記第２のワークの縁部をガイドするガイド部材を有していてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、曲面を有するワークを、ワークの形状に応じて頻繁に部材を交換しなくても貼り合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態の貼り合せ対象となるワークの斜視図（Ａ）、側面図（Ｂ）である。
【図２】実施形態の貼合装置の概略断面図である。
【図３】実施形態の緩衝部材とワークを示す側面図である。
【図４】実施形態の支持部材の形成方法を示す断面図である。
【図５】ガイド部材の構成を示す拡大図である。
【図６】実施形態のワークの装着時を示す概略断面図である。
【図７】実施形態の緩衝部材がワークに接した時を示す概略断面図である。
【図８】貼合装置のワークの貼り合せ時を示す概略断面図である。
【図９】貼合装置の大気開放時を示す概略断面図である。
【図１０】他の実施形態を示す概略断面図である。
【図１１】他の実施形態を示す概略断面図である。
【図１２】実施形態に適用可能なワークの例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の実施の形態（以下、実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明
する。なお、各構成部の位置及び大きさ等は、構造を分かり易くするための便宜的な表現に過ぎない。
【００２０】
［構成］
［ワーク］
本実施形態の貼合装置は、図２に示すように、第１のワークＷ１と第２のワークＷ２とを、粘着剤Ｒを介して貼り合わせる装置である。ワークＷ１、Ｗ２としては、表示装置用部材を用いる。表示装置用部材には、表示パネルとカバーパネルを積層した部材のように表示機能を備えた部材も、カバーパネルとタッチパネルを積層した部材のようにその部材だけでは表示機能を備えていない部材も含まれる。すなわち、貼合装置の貼り合わせの対象となるワークは、表示パネル、タッチパネル、カバーパネル、バックライトやその導光板等の様々なものがあり、いずれを組み合わせても良い。但し、ワークＷ１、Ｗ２は、表示装置用部材には限定されない。
【００２１】
ワークＷ１は、図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、一方が凸面ＢＳ１、他方が凹面ＣＳ１となる曲面を有する板状の部材である。凸面ＢＳ１は、ワークＷ１の全部又は一部を湾曲又は屈曲することにより伸張した面である。凹面ＣＳ１は、凸面ＢＳ１と反対側の面である。凹面ＣＳ１に対して、粘着剤Ｒを介してワークＷ２が貼り付けられる。
【００２２】
ワークＷ２も、一方が凸面ＢＳ２、他方が凹面ＣＳ２となる曲面を有する板状の部材である。凸面ＢＳ２は、ワークＷ１の全部又は一部を湾曲又は屈曲することにより伸張した面である。凹面ＣＳ２は、凸面ＢＳ２と反対側の面である。凸面ＢＳ２には、粘着剤Ｒが付される。凸面ＢＳ１、ＢＳ２は隆起している側の面をいい、凹面ＣＳ１、ＣＳ２は窪んでいる側の面をいう。
【００２３】
本実施形態では、ワークＷ１として、表示装置のカバーパネルを用いる。カバーパネルは、表示装置の外装を構成する透光性の基板である。カバーパネルの材質は、例えば、ガラスやアクリルである。一方、ワークＷ２としては、表示パネルを用いる。
【００２４】
［粘着剤］
粘着剤Ｒは、ワークＷ１、Ｗ２を貼り合わせるための粘着性を有する材料である。粘着剤Ｒ、例えば、アクリル系、シリコン系、ウレタン系の合成樹脂である。この粘着剤Ｒとしては、剥離シートに貼り付けられたＯＣＡ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｃｌｅａｒ  Ａｄｈｅｓｉｖｅ）として構成されてものを用いる。剥離シートは、シリコーン、その他の樹脂を用いて、粘着剤Ｒに剥離性を持たせたフィルムである。ワークＷ２に対して、剥離シートに付された粘着剤Ｒを貼り付けて、剥離シートを剥がすことによって、粘着剤ＲのみをワークＷ２に残す。但し、ワークＷ２に対する粘着剤Ｒの付着は、塗布装置によって塗布することによって行ってもよい。つまり、粘着剤Ｒには、接着剤と呼ばれるものも含まれる。
【００２５】
［貼合装置］
本実施形態の貼合装置を、図２〜図７を参照して説明する。貼合装置は、ワークＷ１に対して、粘着剤Ｒを介してワークＷ２を貼り付ける装置である。本実施形態では、真空中で、ワークＷ１の凹面ＣＳ１に、ワークＷ２の凸面ＢＳ２を、粘着剤Ｒを介して貼り付ける。この貼り合せのために、貼合装置は、ワークＷ１及びワークＷ２を挟む第１のプレート４１及び第２のプレート５１を有している。
【００２６】
以下、貼合装置の詳細を説明する。貼合装置は、図２に示すように、ステージ１０、真空チャンバ２０、減圧部３０、押付部４０、支持部５０、保持部６０を有する。ステージ１０は、水平な平坦面を有する台である。真空チャンバ２０は、ステージ１０の平坦面を覆うことにより、内部に真空室を形成する容器である。真空チャンバ２０は、貼り合わされるワークＷ１、Ｗ２の周囲を覆い、ステージ１０との間を密閉することにより真空室を構成する。つまり、本実施形態の貼合装置は、真空中で、ワークＷ１に粘着剤Ｒを介してワークＷ２を貼り付けるための真空室を有する。また、ステージ１０は真空室の一部、つまり、真空室を形成する容器の一部を兼ねている。なお、真空チャンバ２０は、図示しない駆動機構によって、ステージ１０に対して接触して真空室を形成する密閉位置と、ステージ１０から離れて内部を開放する開放位置との間を移動可能に設けられている。
【００２７】
減圧部３０は、真空チャンバ２０に接続され、真空室を減圧することにより真空とする装置である。減圧部３０は、配管３１、真空ポンプ３２及びバルブ３３を有する。配管３１は一端が真空室に連通し、他端が真空ポンプ３２に接続されている。真空ポンプ３２は、真空室内を排気する排気装置である。
【００２８】
押付部４０は、図２に示すように、後述する保持部６０によって保持されたワークＷ１をワークＷ２側に押し付ける構成部である。押付部４０は、第１のプレート４１、駆動機構４２を有する。第１のプレート４１は、水平方向に配置された平板状の部材である。駆動機構４２は、第１のプレート４１を真空室の天井側に支持し、ワークＷ１に接離する方向、つまり、上下方向に駆動する。
【００２９】
押付部４０は、さらに、緩衝部材４３を有する。緩衝部材４３は、第１のプレート４１において、保持部６０に凸面ＢＳ１が上を向く状態で保持されたワークＷ１の凸面ＢＳ１に対向する面に設けられている。緩衝部材４３は、図３に示すように、ワークＷ１の凸面ＢＳ１の縁部ＢＳ１ａから頭頂部ＢＳ１ｂまでの高さｔよりも大きな厚みＴを有し、凸面ＢＳ１に接して倣うように弾性変形する部材である。緩衝部材４３は、例えば、直方体形状である。
【００３０】
緩衝部材４３としては、例えば、硬度がアスカーＣ１５〜３５又はこれに相当する硬度のシリコーンスポンジゴムを用いることができる。シリコーンスポンジゴムは、ケイ素を主成分とするシリコーン樹脂の発泡体である。
【００３１】
支持部５０は、緩衝部材４３に対向する位置にワークＷ２を支持する構成部である。支持部５０は、第２のプレート５１、支持部材５２を有する。第２のプレート５１は、緩衝部材４３に対向するステージ１０上に水平方向に配置された平板状の部材である。支持部材５２は、第２のプレート５１に設けられ、緩衝部材４３よりも硬質で、ワークＷ２を支持する部材である。支持部材５２は概ねかまぼこ型であり、ワークＷ２に接する面には、ワークＷ２の凹面ＣＳ２に倣う形状の凸面を有する。凹面ＣＳ２に倣う形状とは、凹面ＣＳ２に近似している形状であればよく、凹面ＣＳ２と完全に一致する形状である必要はない。凹面ＣＳ２に一致しない形状であっても、押圧された場合に凹面ＣＳ２に倣うように変形するものも含む。
【００３２】
支持部材５２は、例えば、緩衝部材４３よりも硬質な材料により形成されている。例えば、硬度がアスカーＣ２０〜６０又はこれに相当する硬度のシリコーン等の合成樹脂を用いることができる。支持部材５２の硬度は、緩衝部材４３の硬度以下であってもよいが、安定した貼り合わせのためには、支持部材５２の硬度が緩衝部材４３の硬度よりも高いことが好ましい。支持部材５２の形成には、例えば、図４に示すように、ワークＷ２の凹面ＣＳ２と同様の形状の凹面を有する型Ｙ１と、支持部材５２の第２のプレート５１と接する面側を形成する型Ｙ２を用いる。型Ｙ２は、第２のプレート５１の上面、つまり支持部材５２との当接する面と同じ大きさで、同じ形状の底面を有し、周囲を所定の高さの壁面で囲まれた凹部を備える。この型Ｙ１、Ｙ２を合わせて形成された内部のキャビティに、材料を流し込んで固めることにより、支持部材５２を形成できる。但し、上記のように、ワークＷ２の凹面ＣＳ２の形状との厳密な一致までは要しない。
【００３３】
保持部６０は、第１のプレート４１及び第２のプレート５１との間に、ワークＷ１を、ワークＷ２との間に間隔を空けて保持する構成部である。保持部６０は、支持部５０の相反する２側面、具体的には、支持部材５２の凸面の両縁部を挟んで対向する位置に設けられている。保持部６０は、ガイド部材６１、スライドブロック６２、レール６３及び弾性部材６４を有する。
【００３４】
ガイド部材６１は、直方体形状部材であり、緩衝部材４３に対向する面には、ワークＷ１における凸面ＢＳ１の縁部ＢＳ１ａに対応する辺を保持する保持面６１ａが形成されている。保持面６１ａは、垂直断面が略Ｌ字形であり、垂直面にワークＷ１の側面が接して、水平面にワークＷ１の角部が接することにより、ワークＷ１を保持する。また、ガイド部材６１の支持部５０側の側面は、支持部材５２に支持されたワークＷ２の縁部に対向する。このため、保持面６１ａによってワークＷ１の水平方向の移動が規制されるとともに、ガイド部材６１の側面によってワークＷ２の水平方向に移動が規制される。つまり、ガイド部材６１は、ワークＷ１及びワークＷ２の縁部をガイドする。
【００３５】
スライドブロック６２は、ガイド部材６１に取り付けられた部材である。レール６３は、ステージ１０に直立し、スライドブロック６２が貼り合せ方向である上下方向にスライド移動可能に設けられた部材である。これにより、ガイド部材６１は、レール６３に沿って、貼り合せ方向に移動する。
【００３６】
弾性部材６４は、スライドブロック６２を第１のプレート４１側に付勢する一方で、これと逆方向の力によって収縮する弾性変形をする部材である。弾性部材６４としては、圧縮コイルばねを用いることができる。これにより、ワークＷ１とワークＷ２の貼り合せ前には、スライドブロック６２に取り付けられたガイド部材６１は、ワークＷ１をワークＷ２との間隔を空けて保持し、貼り合せ時の圧力が加わることによりワークＷ１をワークＷ２側に接する方向に移動させる。つまり、弾性部材６４は、ワークＷ１の自重に対しては反発して、ワークＷ１を支持部材５２に支持されたワークＷ２に対して間隔を空けて保持可能とし、貼り合せ時の加圧に対しては、収縮してワークＷ１をワークＷ２に対して接触させることができる弾性力を備える。
【００３７】
［動作］
以上のような構成を有する貼合装置の動作例を、図１〜図５に加え、図６〜図９を参照して説明する。
【００３８】
まず、凸面ＢＳ２に粘着剤Ｒが付着されたワークＷ２が、不図示の搬送手段により搬送され、ピックアップ手段によって貼合装置に搬入される。ワークＷ２は、図６に示すように、凹面ＣＳ２側が支持部材５２に載置される。
【００３９】
また、ワークＷ１も、不図示の搬送手段により搬送され、ピックアップ手段によって貼合装置に搬入される。ワークＷ１は、凹面ＣＳ１がワークＷ２に対向するように、ガイド部材６１の保持面６１ａに載置される。これにより、ワークＷ１は、ワークＷ２に対して間隔を空けて保持される。
【００４０】
次に、図２に示すように、真空チャンバ２０が移動してステージ１０に接することにより、ワークＷ１及びワークＷ２の周囲が密閉された真空室を形成する。そして、真空ポンプ３２が作動してバルブ３３が開き、真空室内の排気による減圧が開始する。
【００４１】
真空引き完了後は、図７に示すように、第１のプレート４１が下降して、緩衝部材４３がワークＷ１の凸面ＢＳ１に接して付勢するので、ワークＷ１及びガイド部材６１が弾性部材６４の付勢力に抗して下降する。すると、この下降過程でワークＷ１の凹面ＣＳ１が、粘着剤Ｒに接する。すなわち、緩衝部材４３と弾性部材６４との押付けに対する収縮変形のし易さを比べると、弾性部材６４の方が収縮変形し易い弾性力となっている。そのため、ワークＷ１の凹面ＣＳ１が接着剤Ｒに接するまでは、緩衝部材４３は収縮変形することがなく、或いは、圧縮変形したとしても僅かで、弾性部材６４が収縮変形しつつワークＷ１が下降する。
【００４２】
そして、第１のプレート４１の下降が進むと、図８に示すように、緩衝部材４３が、ワークＷ１の凸面ＢＳ１に倣うように変形して、これにより、ワークＷ１が全面にわたって緩衝部材４３を介して第１のプレート４１によって押圧され、ワークＷ１の凹面ＣＳ１に、粘着剤Ｒを介してワークＷ２の凸面ＢＳ２が圧着される。ワークＷ１に対しては、凸面ＢＳ１の頭頂部が先に緩衝部材４３に接して、そこから接触面が徐々に外側に広がって行き、縁部まで達する。このため、内側から外側に徐々に押圧される範囲が広がっていくことで貼り合わされていくことになるので、真空泡が残留することが防止できる。
【００４３】
その後、バルブ３３を閉じて真空ポンプ３２を停止し、第１のプレート４１が上昇する。このとき、ガイド部材６１は、第１のプレート４１からの圧力から解放されるので、弾性部材６４の付勢力によって、上昇する。すると、ワークＷ１とともに、これに貼り合わされたワークＷ２が上昇して、支持部材５２から離れる。そして、排気路の開放等により真空破壊が行われた後、図９に示すように、真空チャンバ２０が上昇することにより、真空室が大気開放される。大気開放後、貼り合わされたワークＷ１及びワークＷ２が搬出される。なお、図示は省略するが、貼合装置の各部の動作の制御を、制御装置が行う。制御装置は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって構成できる。制御装置には、上述した一連の動作を行うための各部の制御内容がプログラムされており、ＣＰＵなどの処理装置により実行される。
【００４４】
［作用効果］
（１）本実施形態は、一方が凹面ＣＳ１、他方が凸面ＢＳ１となる曲面を有するワークＷ１の凹面ＣＳ１に対して、粘着剤Ｒを介してワークＷ２を貼り付ける貼合装置であって、ワークＷ１及びワークＷ２を挟む第１のプレート４１及び第２のプレート５１と、第１のプレート４１のワークＷ１の凸面ＢＳ１に対向する面に設けられ、凸面ＢＳ１の縁部から凸面ＢＳ１の頭頂部までの高さよりも大きな厚みを有し、凸面ＢＳ１に接して倣うように弾性変形する緩衝部材４３と、を有する。
【００４５】
このため、ワークＷ１の凸面ＢＳ１に沿う形状の型を、ワークＷ１の形状に応じてそれぞれ作成しておき、ワークＷ１を変える毎に型を頻繁に交換する必要がなくなるので、型の製造の手間が省けるとともに、コストを低減できる。例えば、多品種の製品を、それぞれ少量ずつ製造する場合に適している。
【００４６】
（２）第２のプレート５１に設けられ、緩衝部材４３よりも硬質で、前記ワークＷ２を支持する支持部材５２を有する。このため、一方を緩衝部材４３よりも硬質の部材で支持して、緩衝部材４３が支持部材５２に倣うようにワークＷ１、Ｗ２を押さえていくことにより、双方を柔軟な部材で押さえて双方が変形するよりも、安定して確実に真空泡を排除することができる。
【００４７】
（３）ワークＷ２は、一方の面が凹面ＣＳ２、他方の面が凸面ＢＳ２である曲面を有し、支持部材５２のワークＷ２に接する面は、ワークＷ２の凹面ＣＳ２に倣う形状を有する。このため、支持部材５２の形状に沿ってワークＷ２の凹面ＣＳ２側を支持することができる。
【００４８】
（４）第１のプレート４１及び第２のプレート５１との間に、ワークＷ１をワークＷ２との間に間隔を空けて保持する保持部６０を有する。このため、緩衝部材４３が設けられた第１のプレート４１によってワークＷ１を保持する場合に比べて、より簡単な構造で、確実にワークＷ１を保持でき、ワークＷ１の脱落を防止できる。つまり、ワークＷ１に倣って弾性変形する緩衝部材４３に、ワークＷ１を支持する構造を備えることは困難であるところ、本実施形態は、緩衝部材４３とは別に保持部６０を設けてワークＷ１を保持している。
【００４９】
（５）保持部６０は、第１のプレート４１及び第２のプレート５１により挟まれるワークＷ１及びワークＷ２の縁部をガイドするガイド部材６１を有する。このため、貼り合せ時にワークＷ１、ワークＷ２の位置ずれが発生することが防止される。
【００５０】
［変形例］
（１）図１０に示すように、緩衝部材４３のワークＷ１との接触面は、ワークＷ１側に隆起していてもよい。これにより、ワークＷ１が中央側から押圧されるので、真空泡を確実に排除することができる。
【００５１】
（２）図１１に示すように、ガイド部材６１を移動可能に支持するとともに、第１のプレート４１側に付勢しつつ弾性支持する部材は、ガイド部材６１とステージ１０との間に設けられたスポンジ等の弾性部材６５とすることができる。図１０の態様及び図１１の態様を組み合わせてもよい。
【００５２】
（３）支持部材５２は、第２のプレート５１と共通の部材であってもよい。例えば、支持部材５２と第２のプレート５１とが共通の材料によって一体的に形成されていてもよい。
【００５３】
（４）上記の態様は、真空中で貼合を行う貼合装置であったが、真空チャンバ２０、減圧部３０を省略して、大気中で貼合を行う貼合装置として構成してもよい。
【００５４】
（５）支持部材５２がワークＷ２を支持する態様は、支持部材５２がワークＷ２を吸着保持する態様であってもよい。この場合は、貼り合せ後の第１のプレート４１の上昇開始に合わせて、支持部材５２によるワークＷ２の吸着保持を解除することにより、貼り合わされたワークＷ１、Ｗ２を、弾性部材６４の付勢力によって上昇させることができる。
【００５５】
［他の実施形態］
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではない。
（１）ワークＷ１、ワークＷ２の形状は、上記の態様には限定されない。図１２（Ａ）に示すように、対向する一対の側辺部が立ち上がるように湾曲した形状であって、その間が平坦面である形状であってもよい。図１２（Ｂ）に示すように、湾曲が両端側で対象でない形状であっても、図１２（Ｃ）に示すように湾曲部分が一方の側辺部のみに形成された形状であってもよい。
【００５６】
（２）以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。
【符号の説明】
【００５７】
Ｗ１、Ｗ２  ワーク
Ｒ  粘着剤
ＣＳ１、ＣＳ２  凹面
ＢＳ１、ＢＳ２  凸面
１０  ステージ
２０  真空チャンバ
３０  減圧部
３１  配管
３２  真空ポンプ
３３  バルブ
４０  押付部
４１  第１のプレート
４２  駆動機構
４３  緩衝部材
５０  支持部
５１  第２のプレート
５２  支持部材
６０  保持部
６１  ガイド部材
６２  スライドブロック
６３  レール
６４、６５  弾性部材
【図１】
2018167537.tif 000003
【図２】
2018167537.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2018167537.tif 000008
【図７】
2018167537.tif 000009
【図８】
2018167537.tif 000010
【図９】
2018167537.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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