(57)【要約】【課題】使用者の直感的な操作により拡大観察装置を操作することが可能であるとともに操作性およびコンパクト性が向上されたコンソールおよびそれを備える拡大観察装置を提供する。【解決手段】コンソール５００の第１部分５１０は、直方体形状を有する。コンソール５００の第２部分５５０は、第１部分５１０の側部に設けられている。第１部分５１０には、観察対象物の撮像に関する処理を指令するための複数のキー５２０，５３０と、ステージを載置面に平行な面内で移動させるためのジョイスティック５４０とが設けられる。第２部分５５０には、ステージに対して撮像部を上下動させるためのダイヤル部５６０が設けられる。ダイヤル部５６０は、第２部分５５０の側方を向く回転軸Ａ２０の周りで回転可能に第２部分５５０の側部に設けられる。支持面ＳＳからの第１部分５１０の厚みは、支持面ＳＳからの第２部分５５０の厚みよりも小さい。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察対象物が載置される載置面を有するステージと、前記載置面上に載置された観察対象物を撮像する撮像部とを備える拡大観察装置を操作するために支持面上に載置されて使用可能なコンソールであって、
第１部分および第２部分を有する本体部と、
前記第１部分に設けられかつ前記撮像部による観察対象物の撮像に関する処理を指令するための一または複数のキーを含むキー入力部と、
前記第１部分に設けられかつ前記ステージを前記載置面に平行な面内で移動させるための移動操作部と、
前記第２部分に設けられかつ前記ステージに対する前記撮像部の相対的な上下方向の距離を調整するためのダイヤル部とを備え、
前記第２部分は前記第１部分の側部に設けられ、
前記ダイヤル部は、前記第２部分の側方を向く回転軸の周りで回転可能に前記第２部分の側部に設けられ、
前記支持面からの前記第１部分の厚みは、前記支持面からの前記第２部分の厚みよりも小さい、コンソール。
【請求項２】
前記第１部分は略扁平形状を有する、請求項１記載のコンソール。
【請求項３】
前記第１部分は、前記キー入力部および前記移動操作部が配置される操作面を有し、前記支持面からの前記ダイヤル部の上端の高さは前記支持面からの前記操作面の高さよりも大きい、請求項１または２記載のコンソール。
【請求項４】
前記第２部分は前記第１部分の前記操作面から上方へ膨出するように形成された、請求項３記載のコンソール。
【請求項５】
前記第１部分は略直方体形状を有し、
前記ダイヤル部の回転軸は前記略直方体形状の長辺に平行である、請求項１〜４のいずれか一項に記載のコンソール。
【請求項６】
前記ダイヤル部は、
第１の直径を有する第１のダイヤル部材と、
前記第１の直径よりも小さい第２の直径を有する第２のダイヤル部材とを含み、
前記第１および第２のダイヤル部材は前記回転軸の周りで回転可能である、請求項１〜５のいずれか一項に記載のコンソール。
【請求項７】
前記第１のダイヤル部材および前記第２のダイヤル部材は、前記第２部分の側部から側方へこの順序で設けられた、請求項６記載のコンソール。
【請求項８】
観察対象物を撮像することにより得られる画像を表示する拡大観察装置であって、
観察対象物が載置される載置面を有するステージと、
前記載置面上に載置された観察対象物を撮像する撮像部と、
前記ステージを前記載置面に平行な面内で移動させる移動部と、
前記ステージに対する前記撮像部の相対的な上下方向の距離を変化させる相対距離変化部と、
請求項１〜７のいずれか一項に記載のコンソールと、
前記コンソールの前記キー入力部の操作に応答して前記撮像部による撮像に関する処理を実行するとともに、前記移動操作部および前記ダイヤル部の操作に基づいて前記移動部および前記相対距離変化部を制御する制御部とを備える、拡大観察装置。
【請求項９】
前記ステージ、前記移動部、前記相対距離変化部および前記撮像部を支持するベースと、
前記ベースの側部に設けられ、前記ステージに対する前記撮像部の相対的な上下方向の距離を調整するためのベースダイヤル部とを備え、
前記ベースダイヤル部は、前記ベースの側方を向く回転軸の周りで回転可能に前記ベースの側部に設けられる、請求項８記載の拡大観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、拡大観察装置用のコンソールおよびそれを備える拡大観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
観察対象物を拡大して観察するために、拡大観察装置が用いられることがある（例えば特許文献１参照）。特許文献１に記載された拡大観察装置においては、載置部上に観察対象物が載置され、その観察対象物がカメラ部により撮像される。撮像により得られた画像が表示部に表示される。載置部は、ステージ固定機構により水平面内で移動可能かつ上下方向に移動可能に保持される。カメラ部は、焦点を調整するために上下方向に移動可能に構成される。拡大観察装置の操作のために操作部が設けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１２７７７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の特許文献１には、操作部の詳細な構成については記載されていない。拡大観察装置の操作のための操作部には、コンパクト性および良好な操作性が求められる。特に、操作部は、載置部およびカメラ部を含む撮像系とは別体として構成されるため、使用者の直感的な操作により拡大観察装置を操作することが望まれる。
【０００５】
本発明の目的は、使用者の直感的な操作により拡大観察装置を操作することが可能であるとともに操作性およびコンパクト性が向上されたコンソールおよびそれを備える拡大観察装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）第１の発明に係るコンソールは、観察対象物が載置される載置面を有するステージと、載置面上に載置された観察対象物を撮像する撮像部とを備える拡大観察装置を操作するために支持面上に載置されて使用可能なコンソールであって、第１部分および第２部分を有する本体部と、第１部分に設けられかつ撮像部による観察対象物の撮像に関する処理を指令するための一または複数のキーを含むキー入力部と、第１部分に設けられかつステージを載置面に平行な面内で移動させるための移動操作部と、第２部分に設けられかつステージに対する撮像部の相対的な上下方向の距離を調整するためのダイヤル部とを備え、第２部分は第１部分の側部に設けられ、ダイヤル部は、第２部分の側方を向く回転軸の周りで回転可能に第２部分の側部に設けられ、支持面からの第１部分の厚みは、支持面からの第２部分の厚みよりも小さい。
【０００７】
そのコンソールにおいては、支持面からの第１部分の厚みが支持面からの第２部分の厚みよりも小さいので、第１部分および第２部分が共通の厚みを有する場合に比べてコンソールの大型化が抑制される。また、第１部分に設けられるキー入力部および移動操作部が、第２部分の上端よりも上方に位置しない。そのため、使用者は、支持面に前腕および手首を置いた状態でキー入力部および移動操作部を操作することができる。したがって、観察対象物の撮像に関する処理を指令する操作、およびステージを載置面に平行な面内で移動させる操作を行うときの操作性が向上するとともに使用者の疲労が低減される。
【０００８】
また、使用者は、第２部分の側方のダイヤル部を指で把持し、指を上下に動かしてダイヤル部を回転させることにより、ステージに対する撮像部の相対的な上下方向の距離を調整することができる。この場合、指の上下動と撮像部の相対的な上下動とが連動しているので、使用者は、直感的に撮像部の相対的な上下動を操作することができる。
【０００９】
これらの結果、使用者の直感的な操作により拡大観察装置を操作することが可能になるとともに操作性およびコンパクト性が向上される。
【００１０】
（２）第１部分は略扁平形状を有してもよい。
【００１１】
この場合、コンソールが支持面上で安定する。また、使用者は、第１部分の上に指を置いて各種操作を行うことができる。
【００１２】
（３）第１部分は、キー入力部および移動操作部が配置される操作面を有し、支持面からのダイヤル部の上端の高さは支持面からの操作面の高さよりも大きくてもよい。
【００１３】
この場合、ダイヤル部の下端が支持面から離れるので、ダイヤル部の操作時に使用者の指が支持面に接触することが低減される。したがって、ダイヤル部の操作性が向上される。
【００１４】
（４）第２部分は第１部分の操作面から上方へ膨出するように形成されてもよい。
【００１５】
この場合、操作面とダイヤル部との間に第２部分が位置するので、操作面に配置されたキー入力部および移動操作部の操作時に使用者の指がダイヤル部に接触することが防止される。また、ダイヤル部の操作時に使用者の指が操作面に配置されたキー入力部および移動操作部のいずれかに接触することが防止される。それにより、誤操作の発生が低減される。
【００１６】
（５）第１部分は略直方体形状を有し、ダイヤル部の回転軸は略直方体形状の長辺に平行であってもよい。
【００１７】
この場合、キー入力部および移動操作部とダイヤル部とが第１部分の長手方向に並ぶ。それにより、使用者は、キー入力部および移動操作部とダイヤル部との位置関係を容易に把握することができる。
【００１８】
（６）ダイヤル部は、第１の直径を有する第１のダイヤル部材と、第１の直径よりも小さい第２の直径を有する第２のダイヤル部材とを含み、第１および第２のダイヤル部材は回転軸の周りで回転可能であってもよい。
【００１９】
この場合、使用者は、第１および第２のダイヤル部を容易かつ直感的に識別することができる。したがって、第１および第２のダイヤル部の選択的な操作が容易になる。
【００２０】
（７）第１のダイヤル部材および第２のダイヤル部材は、第２部分の側部から側方へこの順序で設けられてもよい。
【００２１】
この場合、第２のダイヤル部材の第２の直径が第１のダイヤル部材の第１の直径よりも小さいので、第１のダイヤル部材の操作時に使用者の指が第２のダイヤル部材に接触することが低減される。したがって、誤操作の発生が低減される。
【００２２】
（８）第２の発明に係る拡大観察装置は、観察対象物を撮像することにより得られる画像を表示する拡大観察装置であって、観察対象物が載置される載置面を有するステージと、載置面上に載置された観察対象物を撮像する撮像部と、ステージを載置面に平行な面内で移動させる移動部と、ステージに対する撮像部の相対的な上下方向の距離を変化させる相対距離変化部と、上記のコンソールと、コンソールのキー入力部の操作に応答して撮像部による撮像に関する処理を実行するとともに、移動操作部およびダイヤル部の操作に基づいて移動部および相対距離変化部を制御する制御部とを備える。
【００２３】
その拡大観察装置は、上記のコンソールを備える。それにより、ステージに対する撮像部の相対的な上下方向の距離を調整する際に、コンソールによる直感的な操作が可能になる。また、拡大観察装置の操作性およびコンパクト性が向上される。
【００２４】
（９）拡大観察装置は、ステージ、移動部、相対距離変化部および撮像部を支持するベースと、ベースの側部に設けられ、ステージに対する撮像部の相対的な上下方向の距離を調整するためのベースダイヤル部とを備え、ベースダイヤル部は、ベースの側方を向く回転軸の周りで回転可能にベースの側部に設けられてもよい。
【００２５】
この場合、使用者は、ベースの側部のベースダイヤル部を指で把持し、指を上下に動かしてベースダイヤル部を回転させることにより、コンソールのダイヤル部を操作する場合と同じ感覚で直感的に撮像部の相対的な上下動を操作することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、使用者の直感な操作により拡大観察装置を操作することが可能になるとともに操作性およびコンパクト性が向上される。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施の形態に係る拡大観察装置の構成を示す模式図である。
【図２】図１の拡大観察装置の測定ヘッドの正面図である。
【図３】図２の測定ヘッドの平面図である。
【図４】図２の測定ヘッドの側面図である。
【図５】図１の制御装置の構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の一実施の形態に係るコンソールの平面図である。
【図７】図６のコンソールを矢印Ａの方向に見た側面図である。
【図８】図６のコンソールを矢印Ｂの方向に見た側面図である。
【図９】図６のコンソールを矢印Ｃの方向に見た側面図である。
【図１０】ダイヤル部の縦断面図である。
【図１１】ダイヤル部の分解斜視図である。
【図１２】図５の演算処理部の構成を示すブロック図である。
【図１３】（ａ）は測定ヘッドの外観斜視図であり、（ｂ）は鏡筒部が傾斜する状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の一実施の形態に係るコンソールおよびそれを備える拡大観察装置について図面を参照しつつ説明する。
【００２９】
図１は、本発明の一実施の形態に係る拡大観察装置の構成を示す模式図である。図２は、図１の拡大観察装置１の測定ヘッド１００の正面図である。図３は、図２の測定ヘッド１００の平面図である。図４は、図２の測定ヘッド１００の側面図である。図１に示すように、拡大観察装置１は、測定ヘッド１００および処理装置２００を備える。
【００３０】
（１）測定ヘッド
測定ヘッド１００は、例えば顕微鏡であり、スタンド部１１０、ステージ装置１２０、鏡筒部１３０、投光部１４０および制御基板１５０を含む。図２〜図４においては、鏡筒部１３０および投光部１４０の図示が省略される。
【００３１】
図４に示すように、スタンド部１１０は、縦断面がＬ字形状を有し、設置部１１１、保持部１１２および焦点駆動部１１３を含む。設置部１１１および保持部１１２は、例えば樹脂により形成される。設置部１１１は、水平な平板形状を有し、支持面ＳＳに設置される。保持部１１２は、設置部１１１の一端部から上方に延びるように設けられる。
【００３２】
図１に示すように、ステージ装置１２０は、ステージ１２１およびステージ駆動部１２２を含む。図２〜図４に示すように、ステージ１２１は、設置部１１１の上面に設けられる。ステージ１２１上には、観察対象物Ｓが載置される。観察対象物Ｓが載置されるステージ１２１上の平面（以下、載置面と呼ぶ。）内で互いに直交する２方向をＸ方向およびＹ方向と定義し、それぞれ矢印Ｘ，Ｙで示す。本実施の形態では、Ｘ方向およびＹ方向は、拡大観察装置１の支持面ＳＳに平行である。ステージ１２１の載置面に対して直交する法線の方向をＺ方向と定義し、矢印Ｚで示す。本実施の形態では、Ｚ方向は、拡大観察装置１の支持面ＳＳに垂直である。Ｚ方向に平行な軸を中心に回転する方向をθ方向と定義し、矢印θで示す。
【００３３】
図１のステージ駆動部１２２は、ステッピングモータ等の図示しないアクチュエータを含む。ステージ駆動部１２２は、制御基板１５０から与えられる駆動パルスに基づいて、ステージ１２１をＸ方向、Ｙ方向もしくはＺ方向に移動させるか、またはθ方向に回転させる。また、使用者は、手動によりステージ１２１をＸ方向、Ｙ方向もしくはＺ方向に移動させるか、またはθ方向に回転させることも可能である。
【００３４】
図１に示すように、鏡筒部１３０は、レンズユニット１３１および撮像部１３２を含み、ステージ１２１の上方に配置される。レンズユニット１３１は、観察対象物Ｓの種類に応じて他のレンズユニットと交換可能である。レンズユニット１３１は、対物レンズ１３１ａおよび図示しない複数のレンズにより構成される。対物レンズ１３１ａの光軸Ａ１は、Ｚ方向に平行である。撮像部１３２は、例えばＣＭＯＳ（相補性金属酸化膜半導体）カメラを含む。撮像部１３２は、ＣＣＤ（電荷結合素子）カメラ等の他のカメラを含んでもよい。
【００３５】
鏡筒部１３０は、スタンド部１１０の焦点駆動部１１３により保持部１１２に取り付けられる。本例の焦点駆動部１１３は、ステッピングモータを含む。焦点駆動部１１３は、制御基板１５０から与えられる駆動パルスに基づいて、鏡筒部１３０を対物レンズ１３１ａの光軸Ａ１の方向（Ｚ方向）に移動させる。これにより、レンズユニット１３１を通過した光の焦点位置がＺ方向に変化する。
【００３６】
図１および図２に示すように、保持部１１２には、ステージ１２１よりも上方の位置に、鏡筒部１３０を対物レンズ１３１ａの光軸Ａ１の方向に沿って移動させるためのベースダイヤル部１１５が設けられている。また、ベースダイヤル部１１５の近傍に回転受付部１１６が設けられている。
【００３７】
ベースダイヤル部１１５は、撮像部１３２を大きい移動量で移動させるための粗調整ダイヤル１１５Ａと、撮像部１３２を小さい移動量で移動させるための微調整ダイヤル１１５Ｂとを含む。さらに、ベースダイヤル部１１５は、粗調整ダイヤル１１５Ａおよび微調整ダイヤル１１５Ｂにそれぞれ対応する２つのエンコーダ（図示せず）を含む。
【００３８】
粗調整ダイヤル１１５Ａおよび微調整ダイヤル１１５Ｂは、扁平な円柱形状を有し、保持部１１２の側方を向く回転軸Ａ１０の周りで回転可能に保持部１１２の側部に設けられている。本実施の形態では、回転軸Ａ１０はＸ方向に平行である。また、粗調整ダイヤル１１５Ａおよび微調整ダイヤル１１５Ｂは、この順序で保持部１１２の側部から側方へ離れるように並ぶ。粗調整ダイヤル１１５Ａの直径は、微調整ダイヤル１１５Ｂの直径よりも大きい。
【００３９】
回転受付部１１６は、例えばＣＰＬＤ（Complex Programmable Logic Device）等の集積回路により構成される。回転受付部１１６は、ベースダイヤル部１１５に設けられる２つのエンコーダからの出力に基づいて、各ダイヤルの回転方向および回転量を示す信号を制御基板１５０を通して後述する図５の制御部４１０に出力する。それにより、焦点駆動部１１３が後述する図５の焦点制御部８３０により制御され、鏡筒部１３０が光軸Ａ１の方向に移動する。
【００４０】
例えば、使用者が、粗調整ダイヤル１１５Ａを指で把持し、指を上下に動かして粗調整ダイヤル１１５Ａを一方向（または逆方向）に一定量回転させる。この場合、粗調整ダイヤル１１５Ａの回転方向に対応する方向に鏡筒部１３０が大きく移動する。また、使用者が、微調整ダイヤル１１５Ｂを指で把持し、指を上下に動かして微調整ダイヤル１１５Ｂを一方向（または逆方向）に一定量回転させる。この場合、微調整ダイヤル１１５Ｂの回転方向に対応する方向に鏡筒部１３０が小さく移動する。
【００４１】
投光部１４０は、対物レンズ１３１ａの光軸Ａ１を取り囲むようにレンズユニット１３１に一体的に取り付けられる。これにより、投光部１４０とレンズユニット１３１との位置関係を一意的に決定することができる。また、拡大観察装置１に投光部１４０を保持する部材を追加する必要がないので、拡大観察装置１をコンパクト化することができる。
【００４２】
投光部１４０からステージ１２１上の観察対象物Ｓに光が照射される。観察対象物Ｓによりステージ１２１の上方に反射された光は、レンズユニット１３１により集光および結像された後、撮像部１３２により受光される。撮像部１３２は、各画素の受光量に対応する画素データに基づいて画像データを生成する。撮像部１３２は、生成した複数の画像データを処理装置２００に与える。
【００４３】
制御基板１５０は、例えばスタンド部１１０の保持部１１２内に設けられ、焦点駆動部１１３、ステージ駆動部１２２、撮像部１３２および回転受付部１１６に接続される。制御基板１５０は、処理装置２００による制御に基づいて焦点駆動部１１３およびステージ駆動部１２２の動作を制御する。撮像部１３２には、処理装置２００から制御信号が入力される。また、撮像部１３２により生成された画像データは、ケーブル２０３を介して順次処理装置２００に与えられる。
【００４４】
（２）処理装置
図１に示すように、処理装置２００は、筐体２１０、光生成部３００および制御装置４００を含む。筐体２１０は、光生成部３００と、制御装置４００のうち後述するコンソール５００（図５）を除く部分とを収容する。光生成部３００は、ファイバユニット２０１により測定ヘッド１００の投光部１４０に光学的に接続される。ファイバユニット２０１は、図示しない複数の光ファイバを含む。
【００４５】
光生成部３００は、光源３１０および遮光部３２０を含む。光源３１０は、例えばＬＥＤ（発光ダイオード）である。光源３１０は、ハロゲンランプ等の他の光源であってもよい。遮光部３２０は、光源３１０により出射される光を部分的に遮光可能に光源３１０とファイバユニット２０１との間に配置される。光源３１０により出射された光は、遮光部３２０を通過してファイバユニット２０１へ入射する。これにより、ファイバユニット２０１を通して測定ヘッド１００の投光部１４０から光が出射される。
【００４６】
図５は、図１の制御装置４００の構成を示すブロック図である。図５に示すように、制御装置４００は、制御部４１０、記憶部４２０、表示部４３０および操作部４４０を含む。制御部４１０は、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）を含む。記憶部４２０は、例えばＲＯＭ（リードオンリメモリ）、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）またはＨＤＤ（ハードディスクドライブ）を含む。本実施の形態においては、制御部４１０および記憶部４２０は、パーソナルコンピュータにより実現される。
【００４７】
制御部４１０は、駆動制御部８００および演算処理部９００を含む。記憶部４２０には、システムプログラムが記憶される。また、記憶部４２０は、種々のデータの処理および制御部４１０から与えられる種々のデータの保存のために用いられる。駆動制御部８００および演算処理部９００の機能は、制御部４１０が記憶部４２０に記憶されるシステムプログラムを実行することにより実現される。
【００４８】
駆動制御部８００は、投光制御部８１０、撮像制御部８２０、焦点制御部８３０およびステージ制御部８４０を含む。投光制御部８１０は、ケーブル２０２を通して図１の光生成部３００に接続され、光生成部３００の動作を制御する。撮像制御部８２０、焦点制御部８３０およびステージ制御部８４０は、ケーブル２０３を通して図１の測定ヘッド１００の制御基板１５０に接続される。
【００４９】
撮像制御部８２０、焦点制御部８３０およびステージ制御部８４０は、制御基板１５０を通して撮像部１３２、焦点駆動部１１３およびステージ駆動部１２２の動作をそれぞれ制御する。また、撮像制御部８２０は、撮像部１３２により生成された画像データを順次演算処理部９００に与える。
【００５０】
演算処理部９００は、撮像制御部８２０により与えられる画像データに基づく画像を表示部４３０に表示させる。また、演算処理部９００は、例えば操作部４４０から与えられる指令等に応答して、指令に応じた各種処理を行う。演算処理部９００の詳細については後述する。演算処理部９００により取得された画像データは、記憶部４２０に記憶される。
【００５１】
表示部４３０は、例えばＬＣＤ（液晶ディスプレイ）パネルにより構成される。表示部４３０は、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネル等の他の表示部により構成されてもよい。上記のように、表示部４３０は、制御部４１０の制御に基づいて撮像により取得された画像データに基づく観察対象物Ｓの画像等を表示する。
【００５２】
操作部４４０は、マウス、タッチパネル、トラックボールまたはジョイスティック等のポインティングデバイスおよびキーボードを含むとともに、本発明の一実施の形態に係るコンソールを含む。使用者が操作部４４０を操作することにより、制御装置４００に各種指令等が与えられる。
【００５３】
（３）コンソール
図６は、本発明の一実施の形態に係るコンソール５００の平面図であり、図７は図６のコンソール５００を矢印Ａの方向に見た側面図であり、図８は図６のコンソール５００を矢印Ｂの方向に見た側面図であり、図９は図６のコンソール５００を矢印Ｃの方向に見た側面図である。
【００５４】
図６および図７に示すように、コンソール５００は、第１部分５１０および第２部分５５０を有し、図１の支持面ＳＳ上に載置される。第１部分５１０は、扁平な直方体形状を有する。第２部分５５０は、第１部分５１０の長辺の方向（長手方向）に並ぶように、第１部分５１０の側部に設けられている。
【００５５】
本実施の形態に係るコンソール５００は、例えば第１部分５１０の長手方向が使用者の左右方向に延びるように配置された状態で、使用者により操作される。以下の説明では、第１部分５１０の短手方向における両端部のうち使用者によるコンソール５００の操作時に使用者に近い位置にある一方の端部を手前部５１０Ｎと呼び、使用者から遠い位置にある他方の端部を奥部５１０Ｆと呼ぶ。また、奥部５１０Ｆから手前部５１０Ｎに向く方向を手前と呼び、手前部５１０Ｎから奥部５１０Ｆに向く方向を奥と呼ぶ。
【００５６】
図６、図８および図９に示すように、第１部分５１０の長手方向における奥部５１０Ｆの中央部分にケーブル２０４が接続されている。ケーブル２０４は、図５の制御部４１０に接続される。
【００５７】
図６および図７に二点鎖線で示すように、第１部分５１０は上面の一部に操作面５１１を有する。図７および図９に示すように、操作面５１１は、斜め手前上方を向くように、第１部分５１０の短手方向おいて支持面ＳＳに対してわずかに傾斜している。それにより、支持面ＳＳからの第１部分５１０の奥部５１０Ｆの厚みは、支持面ＳＳからの第１部分５１０の手前部５１０Ｎの厚みに比べて大きい。
【００５８】
図６に示すように、操作面５１１には、円形状を有する複数（本例では、１１個）のキー５２０、矩形状を有する複数（本例では、８個）のキー５３０、ジョイスティック５４０およびダイヤル５４１が配置されている。使用者は、複数のキー５２０，５３０、ジョイスティック５４０およびダイヤル５４１を操作することにより、制御装置４００に種々の指令を与えることができる。
【００５９】
操作面５１１は、３つの領域５１１Ａ，５１１Ｂ，５１１Ｃに分けられる。領域５１１Ａ，５１１Ｂ，５１１Ｃは、この順序で第２部分５５０から離れるように第１部分５１０の長手方向に並ぶ。
【００６０】
領域５１１Ａには、ジョイスティック５４０、ダイヤル５４１および複数（本例では６個）のキー５２０が設けられる。領域５１１Ａのジョイスティック５４０、ダイヤル５４１および複数のキー５２０は、主として観察対象物Ｓの撮像条件を調整する指令を図５の制御部４１０に与えるために用いられる。
【００６１】
具体的には、ジョイスティック５４０は、図１のステージ１２１をＸ方向またはＹ方向に移動させる指令を図５の制御部４１０に与えるために用いられる。ダイヤル５４１は、操作面５１１に直交する回転軸の周りで回転可能に設けられ、観察対象物Ｓの画像の明るさを調整する指令を図５の制御部４１０に与えるために用いられる。なお、ジョイスティック５４０は、奥部５１０Ｆの近傍に位置する。また、ダイヤル５４１は、ジョイスティック５４０よりも手前で手前部５１０Ｎの近傍に位置する。それにより、観察対象物Ｓの画像の明るさの調整時に、使用者の指がジョイスティック５４０に接触することが防止され、誤操作が防止される。
【００６２】
領域５１１Ａに設けられる複数のキー５２０は、例えば、図１の投光部１４０による照明のオンおよびオフの切替指令キー、図１の投光部１４０から観察対象物Ｓに複数の出射方向の光を切り替えて照射させるための照明の切替指令キー、ホワイトバランスの調整指令キー、および図１のステージ１２１を予め定められた位置に戻すための原点移動指令キーを含む。
【００６３】
領域５１１Ｂには、複数（本例では４個）のキー５２０および複数（本例では６個）のキー５３０が設けられる。領域５１１Ｂの複数のキー５２０，５３０は、主として観察対象物Ｓの撮像に関する処理の実行指令を図５の制御部４１０に与えるために用いられる。
【００６４】
領域５１１Ｂに設けられる複数のキー５２０は、例えば、振動による画像の乱れを抑制する手振れ補正処理の実行指令キー、図５の表示部４３０にスケールを表示させる処理の実行指令キー、および図５の表示部４３０の画面全体に観察対象物Ｓの画像を表示させる処理の実行指令キーを含む。
【００６５】
また、領域５１１Ｂに設けられる複数のキー５３０は、例えば、オートフォーカス処理の実行指令キー、観察対象物Ｓの画像に発生するハレーションを除去する処理の実行指令キー、画像の解像度を向上させる処理の実行指令キー、複数の画像を連結する処理の実行指令キー、ダイナミックレンジを調整する処理の実行指令キー、および観察対象物Ｓの全部分に合焦した画像データを生成するとともに観察対象物Ｓの立体形状を取得する処理の実行指令キーを含む。
【００６６】
一般的なリモートコントローラ等の操作面においては、使用者が操作面を見て操作面の上端かつ左端の角部近傍に使用頻度が高いと想定されるキーが設けられる。そこで、領域５１１Ａ，５１１Ｂ，５１１Ｃのうち使用者から見て最も左側に位置する領域５１１Ｃには、観察対象物Ｓの撮像に関する処理の中で使用頻度が高いと想定される処理の実行指令を図５の制御部４１０に与えるためのキーが設けられる。
【００６７】
本例の領域５１１Ｃには、１個のキー５２０および複数（本例では２個）のキー５３０が設けられる。領域５１１Ｃに設けられるキー５２０は、例えば、拡大観察装置１を電源投入時の初期状態に戻す処理の実行指令キーである。このキー５２０は、領域５１１Ｃの最も奥に位置する。また、領域５１１Ｃに設けられる複数のキー５３０は、例えば、取得される画像データを順次図１の記憶部４２０に記憶させる処理を指令するための撮像指令キー、および画像データの記憶処理の一時停止を指令するための一時停止指令キーを含む。
【００６８】
図７に示すように、第２部分５５０は、第１部分５１０の側方で第１部分５１０の操作面５１１から上方へ膨出するように形成されている。また、第１部分５１０および第２部分５５０は共通の底面を有する。それにより、支持面ＳＳからの第１部分５１０の厚みは、支持面ＳＳからの第２部分５５０の厚みよりも小さい。第２部分５５０には、図１の鏡筒部１３０を対物レンズ１３１ａの光軸Ａ１に沿って移動させるためのダイヤル部５６０が設けられている。また、ダイヤル部５６０の近傍に回転受付部５９０が設けられている。
【００６９】
ダイヤル部５６０は、図１のベースダイヤル部１１５と同様に、粗調整ダイヤル５６０Ａおよび微調整ダイヤル５６０Ｂを含む。また、ダイヤル部５６０は、粗調整ダイヤル５６０Ａおよび微調整ダイヤル５６０Ｂにそれぞれ対応する後述する２つのエンコーダＥ１，Ｅ２（図１０）を含む。
【００７０】
粗調整ダイヤル５６０Ａおよび微調整ダイヤル５６０Ｂは、図１の粗調整ダイヤル１１５Ａおよび微調整ダイヤル１１５Ｂと基本的に同じ形状および大きさを有する。具体的には、粗調整ダイヤル５６０Ａおよび微調整ダイヤル５６０Ｂは、扁平な円柱形状を有し、第２部分５５０の側方を向く回転軸Ａ２０の周りで回転可能に第２部分５５０の側部に設けられている。本実施の形態では、回転軸Ａ２０は支持面ＳＳに平行であるとともに、第１部分５１０の長手方向に平行である。
【００７１】
図８に示すように、粗調整ダイヤル１１５Ａの直径は、微調整ダイヤル１１５Ｂの直径よりも大きい。これにより、使用者は、粗調整ダイヤル１１５Ａと微調整ダイヤル１１５Ｂとを容易かつ直感的に識別することができる。したがって、粗調整ダイヤル１１５Ａおよび微調整ダイヤル１１５Ｂの選択的な操作が容易になる。
【００７２】
また、図６に示すように、粗調整ダイヤル５６０Ａおよび微調整ダイヤル５６０Ｂは、この順序で第２部分５５０の側部から側方へ離れるように並ぶ。この場合、微調整ダイヤル１１５Ｂの直径が粗調整ダイヤル１１５Ａの直径よりも小さいので、粗調整ダイヤル１１５Ａの操作時に使用者の指が微調整ダイヤル１１５Ｂに接触することが低減される。したがって、誤操作の発生が低減される。
【００７３】
回転受付部５９０は、例えばマイクロコンピュータにより構成され、第２部分５５０の内部に収容されている。回転受付部５９０は、ダイヤル部５６０に設けられる２つのエンコーダＥ１，Ｅ２（図１０）からの出力に基づいて、各ダイヤルの回転方向および回転量を示す信号を図５の制御部４１０に出力する。それにより、図１の焦点駆動部１１３が図５の焦点制御部８３０により制御され、図１の鏡筒部１３０が光軸Ａ１の方向に移動する。
【００７４】
例えば、使用者が、図１の粗調整ダイヤル１１５Ａに代えて粗調整ダイヤル５６０Ａを指で把持し、指を上下に動かして粗調整ダイヤル５６０Ａを一方向（または逆方向）に一定量回転させる。この場合、粗調整ダイヤル５６０Ａの回転方向に対応する方向に鏡筒部１３０が大きく移動する。また、使用者が、図１の微調整ダイヤル１１５Ｂに代えて微調整ダイヤル５６０Ｂを指で把持し、指を上下に動かして一方向（または逆方向）に一定量回転させる。この場合、微調整ダイヤル５６０Ｂの回転方向に対応する方向に鏡筒部１３０が小さく移動する。
【００７５】
（４）コンソールの形状に関する各種特徴
第１部分５１０は、扁平な直方体形状を有する。それにより、コンソール５００が支持面ＳＳ上で安定して載置される。また、使用者は、第１部分５１０上に指をおいて各種操作を行うことができる。
【００７６】
支持面ＳＳからのダイヤル部５６０の上端の高さは、支持面ＳＳからの操作面５１１の高さよりも大きい。この場合、ダイヤル部５６０の下端が支持面ＳＳから離れるので、ダイヤル部５６０の操作時に使用者の指が支持面ＳＳに接触することが低減される。したがって、ダイヤル部５６０の操作性が向上される。
【００７７】
操作面５１１上の複数のキー５２０，５３０、ジョイスティック５４０およびダイヤル５４１と、ダイヤル部５６０との間に、操作面５１１から上方へ膨出する第２部分５５０が位置する。このような構成により、複数のキー５２０，５３０、ジョイスティック５４０およびダイヤル５４１の操作時に、使用者の指がダイヤル部５６０に接触することが防止される。また、ダイヤル部５６０の操作時に、使用者の指が複数のキー５２０，５３０、ジョイスティック５４０およびダイヤル５４１のいずれかに接触することが防止される。したがって、誤操作の発生が低減される。
【００７８】
第１部分５１０は直方体形状を有し、ダイヤル部５６０の回転軸Ａ２０は第１部分５１０の長手方向に平行である。この場合、複数のキー５２０，５３０、ジョイスティック５４０およびダイヤル５４１とダイヤル部５６０とが第１部分５１０の長手方向に並ぶ。それにより、使用者は、複数のキー５２０，５３０、ジョイスティック５４０およびダイヤル５４１とダイヤル部５６０との位置関係を容易に把握することができる。
【００７９】
また、回転軸Ａ２０に平行なダイヤル部５６０の断面の外形は、操作面５１１に平行なジョイスティック５４０の断面の外形よりも大きい。それにより、ダイヤル部５６０が過剰に小さくならないので、使用者はダイヤル部５６０を指で把持しつつダイヤル部５６０を容易に回転させることができる。また、ジョイスティック５４０が過剰に大きくならないので、使用者はジョイスティック５４０を指で把持しつつジョイスティック５４０を容易に傾斜させることができる。
【００８０】
支持面ＳＳからのダイヤル部５６０の上端の高さが支持面ＳＳからのジョイスティック５４０の上端の高さとほぼ等しい。それにより、使用者は、支持面ＳＳからほぼ共通の高さ位置でダイヤル部５６０およびジョイスティック５４０を操作することができる。
【００８１】
上記のコンソール５００においては、指で把持して操作する構成（ジョイスティック５４０、ダイヤル５４１およびダイヤル部５６０）が設けられる部分と、指で押下して操作する構成（複数のキー５２０，５３０）が設けられる部分とが、第１部分５１０の長手方向で分離されている。それにより、複数のキー５２０，５３０のいずれかの操作時に、使用者の指がジョイスティック５４０、ダイヤル５４１およびダイヤル部５６０のいずれかに接触することが低減され、誤操作が低減される。
【００８２】
ジョイスティック５４０、ダイヤル５４１およびダイヤル部５６０の外表面が黒色を有し、複数のキー５２０，５３０の外表面が銀色を有してもよい。この場合、使用者は、指で把持して操作する構成と指で押下して操作する構成とを容易に識別することができる。
【００８３】
また、図６において太い実線で取り囲まれる部分、すなわち操作面５１１のうち複数のキー５２０，５３０を取り囲む部分の外表面が黒色を有するとともに複数のキー５２０，５３０の外表面が銀色を有してもよい。この場合、複数のキー５２０，５３０の外観が強調される。
【００８４】
（５）ダイヤル部の内部構造
図１０はダイヤル部５６０の縦断面図であり、図１１はダイヤル部５６０の分解斜視図である。図１０および図１１に示すように、ダイヤル部５６０は、第１のベース部材５６１、基板５６２、微調整ダイヤル軸５６３、軸受部材５６４、第２のベース部材５６５、粗調整ダイヤル５６０Ａ、摺動部材５６７，５６９、第１の固定部材５６８、第２の固定部材５７０、微調整ダイヤル５６０Ｂ、エンコーダＥ１，Ｅ２および複数のねじＳＷを含む。エンコーダＥ１は、光学式のエンコーダであり、光学スケール５６６Ａおよび読取センサ５６６Ｂを含む。エンコーダＥ２は、磁気式のエンコーダであり、磁気スケール５７１Ａおよび読取センサ５７１Ｂを含む。
【００８５】
図１１では、ダイヤル部５６０のうち一部の構成要素の図示が省略されるとともに、ダイヤル部５６０に用いられる複数のねじＳＷのうち一部のねじＳＷのみが図示される。また、図１１では、ダイヤル部５６０の構成に加えて、ダイヤル部５６０を支持するダイヤル支持部材５５１が図示される。ダイヤル支持部材５５１は、図６の第２部分５５０の内部に設けられる。
【００８６】
図１１に示すように、ダイヤル支持部材５５１は、円板状の支持部５５１Ａを有し、第２部分５５０の内部で図６の支持面ＳＳに対して垂直な方向に延びかつ支持部５５１Ａが図６の回転軸Ａ２０に直交するように配置される。
【００８７】
図１０に示すように、第１のベース部材５６１は、円筒部５６１Ａおよびフランジ部５６１Ｂを有する。図１１のダイヤル支持部材５５１の支持部５５１Ａにフランジ部５６１Ｂが接触するように、第１のベース部材５６１がダイヤル支持部材５５１に取り付けられる。円筒部５６１Ａの外径は、後述する粗調整ダイヤル５６０Ａの内径よりもわずかに小さい。
【００８８】
円筒部５６１Ａの内側には、基板５６２を保持するための基板保持部５６１Ｃが形成されている。基板保持部５６１Ｃに複数（例えば３個）のねじＳＷを用いて基板５６２が取り付けられている。基板５６２は、円板形状を有する。図１０に示すように、基板５６２においては、外周縁部の一部にエンコーダＥ１の読取センサ５６６Ｂが設けられるとともに、中央部にエンコーダＥ２の読取センサ５７１Ｂが設けられている。この状態で、基板５６２は、図６の支持面ＳＳに対して垂直でかつダイヤル部５６０の回転軸Ａ２０に対して直交する。
【００８９】
基板５６２の一面および他面のうち第１のベース部材５６１の基板保持部５６１Ｃに対向する一面とは逆の他面上に、第２のベース部材５６５が複数（例えば３個）のねじＳＷを用いて取り付けられる。
【００９０】
粗調整ダイヤル５６０Ａは、円筒形状を有するとともにその内周面の一部に円環状の仕切り板５６０Ｓを有する。仕切り板５６０Ｓの中央に形成された円形開口は、第２のベース部材５６５を挿入可能に形成されている。仕切り板５６０Ｓの一面側に円環状の光学スケール５６６Ａが接着されている。この状態で、光学スケール５６６Ａの一部と読取センサ５６６Ｂとが対向するとともに粗調整ダイヤル５６０Ａの一端部およびその近傍部分が第１のベース部材５６１の円筒部５６１Ａを覆うように、第２のベース部材５６５が粗調整ダイヤル５６０Ａの内部に挿し込まれている。
【００９１】
仕切り板５６０Ｓの他面側に円環状の摺動部材５６７を挟んで第１の固定部材５６８が設けられている。第１の固定部材５６８は、複数のねじＳＷを用いて第２のベース部材５６５に取り付けられる。第１の固定部材５６８は、粗調整ダイヤル５６０Ａが第２のベース部材５６５から抜け出ることを防止する。
【００９２】
このような構成により、粗調整ダイヤル５６０Ａが回転操作されると、粗調整ダイヤル５６０Ａに接着された光学スケール５６６Ａが、第１のベース部材５６１に固定された基板５６２上の読取センサ５６６Ｂに対して相対的に回転する。
【００９３】
読取センサ５６６Ｂは図６の回転受付部５９０と電気的に接続されている。それにより、エンコーダＥ１から図６の回転受付部５９０に、粗調整ダイヤル５６０Ａの回転方向および回転量に対応するパルス信号が出力される。この場合、図６の回転受付部５９０は、エンコーダＥ１からの出力に基づいて、粗調整ダイヤル５６０Ａの回転方向および回転量を示す信号を図５の制御部４１０に出力する。
【００９４】
第２のベース部材５６５は、ダイヤル部５６０の回転軸Ａ２０に沿う貫通孔５６５Ｈ（図１０）を有する。微調整ダイヤル軸５６３は、頭部５６３Ａおよび軸部５６３Ｂを有する。第２のベース部材５６５の貫通孔５６５Ｈには、一端部にフランジを有する円筒状の軸受部材５６４を介して基板５６２側から微調整ダイヤル軸５６３の軸部５６３Ｂが挿入されている。微調整ダイヤル軸５６３の頭部５６３Ａには、基板５６２に設けられた読取センサ５７１Ｂに対向するように、磁気スケール５７１Ａが取り付けられている。
【００９５】
微調整ダイヤル軸５６３のうち、第２のベース部材５６５の貫通孔５６５Ｈから基板５６２の反対側に突出する軸部５６３Ｂの部分に、摺動部材５６９を介して第２の固定部材５７０が取り付けられている。第２の固定部材５７０は、微調整ダイヤル軸５６３が第２のベース部材５６５の貫通孔５６５Ｈから抜け出ることを防止する。軸部５６３Ｂの先端部に微調整ダイヤル５６０Ｂが取り付けられている。
【００９６】
このような構成により、微調整ダイヤル５６０Ｂが回転操作されると、微調整ダイヤル軸５６３に取り付けられた磁気スケール５７１Ａが、第１のベース部材５６１に固定された基板５６２上の読取センサ５７１Ｂに対して相対的に回転する。
【００９７】
読取センサ５７１Ｂは図６の回転受付部５９０と電気的に接続されている。それにより、エンコーダＥ２から図６の回転受付部５９０に、微調整ダイヤル５６０Ｂの回転方向および回転量に対応するパルス信号が出力される。この場合、図６の回転受付部５９０は、エンコーダＥ２からの出力に基づいて、微調整ダイヤル５６０Ｂの回転方向および回転量を示す信号を図５の制御部４１０に出力する。
【００９８】
（６）演算処理部
図１２は、図５の演算処理部９００の構成を示すブロック図である。図１２に示すように、演算処理部９００は、データ生成部９１０、合焦判定部９２０、条件設定部９３０、方向判定部９４０、換算部９５０および排他部９６０を含む。
【００９９】
データ生成部９１０は、例えば操作部４４０からの指令に従って画像データの連結処理、ダイナミックレンジの調整処理または画像の解像度を向上させる処理等を行う。合焦判定部９２０は、例えば操作部４４０からオートフォーカス処理の指令を受けた場合に、取得される画像データについて対象領域内の画素ごとの合焦度を判定する。合焦度の判定は、対象領域における輝度値に関する情報に基づいて行われる。
【０１００】
条件設定部９３０は、例えば操作部４４０からの指令に従って撮像条件を設定し、設定された撮像条件を示す撮像情報を図１の記憶部４２０に記憶させる。撮像条件は、例えば図１の撮像部１３２の受光時間および照明のオンオフ等を含む。図５の駆動制御部８００は、条件設定部９３０により設定された撮像条件に基づいて図１の測定ヘッド１００および光生成部３００の動作を制御する。
【０１０１】
図１のベースダイヤル部１１５または図６のダイヤル部５６０が回転操作された場合、その回転方向および回転量が図１または図６の回転受付部１１６，５９０から演算処理部９００に与えられる。
【０１０２】
方向判定部９４０は、与えられた回転方向に基づいて図１の鏡筒部１３０を上方および下方のいずれに移動させるべきかを判定し、判定結果を図５の焦点制御部８３０に与える。
【０１０３】
換算部９５０は、図１または図６の回転受付部１１６，５９０から与えられた回転量を鏡筒部１３０の移動量に換算する。ここで、単位回転量当たりで換算される鏡筒部１３０の移動量は、使用者により操作されるダイヤルの種類に応じて異なる。本例では、換算部９５０は、粗調整ダイヤル１１５Ａ，５６０Ａに対応する単位回転量当たりの鏡筒部１３０の移動量を微調整ダイヤル１１５Ｂ，５６０Ｂに対応する単位回転量当たりの鏡筒部１３０の移動量よりも大きく換算する。換算部９５０は、換算結果を図５の焦点制御部８３０に与える。
【０１０４】
焦点制御部８３０は、方向判定部９４０により判定された方向に、換算部９５０により換算された移動量だけ鏡筒部１３０が移動するように焦点駆動部１１３を制御する。
【０１０５】
粗調整ダイヤル１１５Ａ，５６０Ａの単位回転量当たりの鏡筒部１３０の移動量は等しく設定されることが好ましく、微調整ダイヤル１１５Ｂ，５６０Ｂの単位回転量当たりの鏡筒部１３０の移動量も互いに等しく設定されることが好ましい。この場合、使用者は、鏡筒部１３０の位置を調整する際に、ベースダイヤル部１１５とダイヤル部５６０とを同じ感覚で操作することができる。
【０１０６】
なお、粗調整ダイヤル１１５Ａ，５６０Ａの単位回転量当たりの鏡筒部１３０の移動量は互いに異なるように設定されてもよく、微調整ダイヤル１１５Ｂ，５６０Ｂの単位回転量当たりの鏡筒部１３０の移動量は互いに異なるように設定されてもよい。
【０１０７】
粗調整ダイヤル１１５Ａ，５６０Ａおよび微調整ダイヤル１１５Ｂ，５６０Ｂのうち一のダイヤルが操作されている際に、誤操作等により他のダイヤルが操作されると、ダイヤルの回転方向および回転量について複数種類の信号が演算処理部９００に与えられる。この場合、鏡筒部１３０が使用者の意図しない方向に移動したり、鏡筒部１３０が使用者の意図しない速度で移動したりする可能性がある。
【０１０８】
そこで、排他部９６０は、粗調整ダイヤル１１５Ａ，５６０Ａおよび微調整ダイヤル１１５Ｂ，５６０Ｂのうち一のダイヤルに対応する信号が与えられている間、他のダイヤルに対応する信号が方向判定部９４０および換算部９５０に入力されることを禁止する。それにより、誤操作による鏡筒部１３０の意図しない動作が防止される。
【０１０９】
（７）鏡筒部の傾斜機構
図１３（ａ）は測定ヘッド１００の外観斜視図であり、図１３（ｂ）は鏡筒部１３０が傾斜する状態を示す模式図である。図１３（ａ）に示すように、本例の測定ヘッド１００は鏡筒部１３０をステージ１２１に対して傾斜させるための傾斜機構１０１を含む。傾斜機構１０１は、Ｙ方向に直交する平面内で保持部１１２の下部に対して保持部１１２の上部を支持する。これにより、傾斜機構１０１は、傾斜中心１３０ｃの周りで鏡筒部１３０をステージ１２１に対して傾斜させることができる。図１３（ｂ）においては、傾斜後の鏡筒部１３０が一点鎖線で示される。
【０１１０】
傾斜観察を行う場合には、観察対象物Ｓの表面が鏡筒部１３０の傾斜中心１３０ｃと略同一の高さに位置するように、ステージ１２１をＺ方向に移動させる。この場合、鏡筒部１３０を傾斜させた場合でも、撮像部１３２の視野が移動しないユーセントリック関係が維持され、観察対象物Ｓの所望の観察領域が撮像部１３２の視野から外れることを防止することができる。
【０１１１】
図１３（ｂ）に示すように、鏡筒部１３０は、上記のレンズユニット１３１および撮像部１３２に加えて傾斜センサ１３３を含む。Ｚ方向に対する対物レンズ１３１ａの光軸Ａ１の傾斜角度（以下、鏡筒部１３０の傾斜角度と呼ぶ。）は、傾斜センサ１３３により検出され、傾斜角度に対応する角度信号が図１の制御基板１５０に出力される。制御基板１５０は、傾斜センサ１３３により出力された角度信号を図５のケーブル２０３および撮像制御部８２０を介して演算処理部９００に与える。演算処理部９００は、角度信号に基づいて、鏡筒部１３０の傾斜角度を算出する。演算処理部９００により算出された傾斜角度は、図５の表示部４３０に表示させることができる。
【０１１２】
上記の構成によれば、ステージ１２１の載置面に載置された観察対象物Ｓの平面観察および傾斜観察を選択的に行うことができる。平面観察時には、対物レンズ１３１ａの光軸Ａ１はＺ方向に平行になる。すなわち、鏡筒部１３０の傾斜角度が０°になる。一方、傾斜観察時には、対物レンズ１３１ａの光軸Ａ１はＺ方向に対して傾斜する。
【０１１３】
（８）効果
上記のコンソール５００においては、支持面ＳＳからの第１部分５１０の厚みが支持面ＳＳからの第２部分５５０の厚みよりも小さいので、第１部分５１０および第２部分５５０が共通の厚みを有する場合に比べてコンソール５００の大型化が抑制される。また、第１部分５１０に設けられる複数のキー５２０，５３０、ジョイスティック５４０およびダイヤル５４１が、第１部分５１０の上端よりも上方に位置しない。そのため、使用者は、支持面ＳＳに前腕および手首を置いた状態で複数のキー５２０，５３０、ジョイスティック５４０およびダイヤル５４１を操作することができる。したがって、コンソール５００の操作性が向上するとともに使用者の疲労が低減される。
【０１１４】
また、使用者は、第２部分５５０の側方のダイヤル部５６０を指で把持し、指を上下に動かしてダイヤル部５６０を回転させることにより、ステージ１２１に対する鏡筒部１３０の相対的な距離を調整することができる。この場合、指の上下動と鏡筒部１３０の相対的な上下動とが連動しているので、使用者は、直感的に鏡筒部１３０の相対的な上下動を操作することができる。
【０１１５】
これらの結果、使用者の直感的な操作により拡大観察装置１を操作することが可能になるとともに、コンソール５００の操作性およびコンパクト性が向上される。
【０１１６】
また、上記の拡大観察装置１においては、測定ヘッド１００のスタンド部１１０に設けられるベースダイヤル部１１５とコンソール５００に設けられるダイヤル部５６０とが基本的に同じ構成を有する。それにより、使用者は、ステージ１２１に対する鏡筒部１３０の相対的な距離を調整する際に、ベースダイヤル部１１５およびダイヤル部５６０を同じ感覚でそれぞれ直感的に操作することができる。
【０１１７】
（９）他の実施の形態
（ａ）上記実施の形態に係るコンソール５００においては、第１部分５１０の長手方向の両側部のうち一方の側部に第２部分５５０が一体的に設けられるが、本発明はこれに限定されない。第２部分５５０は、第１部分５１０の一方の側部および他方の側部に取り付けおよび取り外し可能に構成されてもよい。この場合、使用者は、第１部分５１０の一方の側部および他方の側部に第２部分５５０を選択的に取り付けることができる。それにより、拡大観察装置１の利便性が向上する。
【０１１８】
なお、この場合、第２部分５５０を一方の側部に取り付ける場合と、第２部分５５０を他方の側部に取り付ける場合とでダイヤルの回転方向とレンズユニット１３１の移動方向との対応を逆に設定することが好ましい。それにより、第２部分５５０の取付位置が変更されることによる操作性の低下が防止される。
【０１１９】
（ｂ）上記実施の形態では、コンソール５００の操作面５１１の領域５１１Ｂにオートフォーカス処理の実行指令キーが設けられるが、本発明はこれに限定されない。オートフォーカス処理の実行指令キーがコンソール５００のダイヤル部５６０に設けられてもよい。
【０１２０】
また、オートフォーカス処理の実行指令キーは、ダイヤル部５６０に限らず測定ヘッド１００のベースダイヤル部１１５またはその近傍に設けられてもよい。この場合、使用者は、傾斜観察時に鏡筒部１３０をステージ１２１に対して傾斜させつつオートフォーカス処理の実行指令キーを操作することができる。それにより、傾斜観察時に対物レンズ１３１ａの焦点を容易かつ短時間で観察対象物Ｓに合わせることができる。
【０１２１】
（ｃ）上記実施の形態では、ベースダイヤル部１１５またはダイヤル部５６０の操作に基づいて鏡筒部１３０が対物レンズ１３１ａの光軸Ａ１に沿って移動するが、本発明はこれに限定されない。ベースダイヤル部１１５またはダイヤル部５６０の操作に基づいて鏡筒部１３０がＺ方向に移動する代わりに、ベースダイヤル部１１５またはダイヤル部５６０の操作に基づいてステージ１２１がＺ方向に移動してもよい。
【０１２２】
（ｄ）上記実施の形態に係るコンソール５００においては、コンソール５００に設けられる複数のキー５２０，５３０が物理的な部品で構成されるが、本発明はこれに限定されない。コンソール５００の操作面５１１には、液晶ディスプレイパネルまたは有機エレクトロルミネッセンスパネル等で構成された表示部と、その表示部に重なるように設けられるタッチパネルとが設けられてもよい。この場合、表示部およびタッチパネルにより、上記の複数のキー５２０，５３０にそれぞれ対応する複数のキーを構成してもよい。
【０１２３】
（１０）請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【０１２４】
上記実施の形態では、観察対象物Ｓが観察対象物の例であり、ステージ１２１がステージの例であり、鏡筒部１３０が撮像部の例であり、拡大観察装置１が拡大観察装置の例であり、支持面ＳＳが支持面の例であり、コンソール５００がコンソールの例である。
【０１２５】
また、第１部分５１０および第２部分５５０が本体部の例であり、第１部分５１０が第１部分の例であり、第２部分５５０が第２部分の例であり、複数のキー５２０，５３０が一または複数のキーおよびキー入力部の例であり、ジョイスティック５４０が移動操作部の例であり、ダイヤル部５６０がダイヤル部の例であり、操作面５１１が操作面の例であり、粗調整ダイヤル５６０Ａが第１のダイヤル部材の例であり、微調整ダイヤル５６０Ｂが第２のダイヤル部材の例である。
【０１２６】
また、ステージ駆動部１２２が移動部の例であり、焦点駆動部１１３が相対距離変化部の例であり、制御部４１０が制御部の例であり、スタンド部１１０がベースの例であり、ベースダイヤル部１１５がベースダイヤル部の例である。
【０１２７】
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。
【産業上の利用可能性】
【０１２８】
本発明は、種々の拡大観察装置に有効に利用することができる。
【符号の説明】
【０１２９】
１  拡大観察装置
１００  測定ヘッド
１０１  傾斜機構
１１０  スタンド部
１１１  設置部
１１２  保持部
１１３  焦点駆動部
１１５  ベースダイヤル部
１１５Ａ，５６０Ａ  粗調整ダイヤル
１１５Ｂ，５６０Ｂ  微調整ダイヤル
１１６，５９０  回転受付部
１２０  ステージ装置
１２１  ステージ
１２２  ステージ駆動部
１３０  鏡筒部
１３０ｃ  傾斜中心
１３１  レンズユニット
１３１ａ  対物レンズ
１３２  撮像部
１３３  傾斜センサ
１４０  投光部
１５０  制御基板
２００  処理装置
２０１  ファイバユニット
２０２，２０３，２０４  ケーブル
２１０  筐体
３００  光生成部
３１０  光源
３２０  遮光部
４００  制御装置
４１０  制御部
４２０  記憶部
４３０  表示部
４４０  操作部
５００  コンソール
５１０  第１部分
５１０Ｎ  手前部
５１０Ｆ  奥部
５１１  操作面
５１１Ａ，５１１Ｂ，５１１Ｃ  領域
５２０，５３０  キー
５４０  ジョイスティック
５４１  ダイヤル
５５０  第２部分
５５１  ダイヤル支持部材
５５１Ａ  支持部
５６０  ダイヤル部
５６０Ｓ  仕切り板
５６１  第１のベース部材
５６１Ａ  円筒部
５６１Ｂ  フランジ部
５６１Ｃ  基板保持部
５６２  基板
５６３  微調整ダイヤル軸
５６３Ａ  頭部
５６３Ｂ  軸部
５６４  軸受部材
５６５  第２のベース部材
５６５Ｈ  貫通孔
５６６Ａ  光学スケール
５６６Ｂ，５７１Ｂ  読取センサ
５６７，５６９  摺動部材
５６８  第１の固定部材
５７０  第２の固定部材
５７１Ａ  磁気スケール
８００  駆動制御部
８１０  投光制御部
８２０  撮像制御部
８３０  焦点制御部
８４０  ステージ制御部
９００  演算処理部
９１０  データ生成部
９２０  合焦判定部
９３０  条件設定部
９４０  方向判定部
９５０  換算部
９６０  排他部
Ａ１  光軸
Ａ１０，Ａ２０  回転軸
Ｅ１，Ｅ２  エンコーダ
Ｓ  観察対象物
ＳＳ  支持面
ＳＷ  ねじ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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