(57)【要約】【課題】円筒形状のガスタンクの円筒胴の全長の長短に拠らず、検査精度を良好にすることができるガスタンクの気密検査装置を提供する。【解決手段】気密検査装置１は、チャンバー４と、第２ガスタンク３より短い第１ガスタンク２を載置する載置面５ａ及び載置面５ａに垂直に立設されチャンバー４の内部空間を第１ガスタンク２が収納された空間とそれ以外の空間とに仕切る仕切面５ｂを有するパレット５と、第１ガスタンク２または第２ガスタンク３に、検査ガスを充填するガス充填装置８と、チャンバー４の上部に存在する気体を吸引し当該気体に含まれる検査ガスの濃度を検出するリークディテクタ６と、チャンバー４内に設置され中央部分において第２ガスタンク３が貫通可能な開口９ａを有し、開口９ａの周囲においてチャンバー４内に配置されたパレット５の仕切面５ｂと密着可能な密着部９ｂを有する固定板９と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒形状の第１ガスタンクと円筒形状で第１ガスタンクよりも円筒胴の全長が長い第２ガスタンクとをそれぞれ検査するための気密検査装置であって、
前記第１ガスタンクまたは前記第２ガスタンクを内部に収納するチャンバーと、
前記チャンバー内に前記第１ガスタンクが収納される場合に前記チャンバー内に配置され、前記第１ガスタンクを載置する載置面、及び前記載置面の一端において前記載置面に垂直に立設され前記チャンバーの内部空間を前記第１ガスタンクが収納された空間とそれ以外の空間とに仕切る仕切面を有するパレットと、
前記チャンバー内に収納された前記第１ガスタンクまたは前記第２ガスタンクに、前記チャンバー内に満たされた気体より比重の軽い検査ガスを充填するガス充填装置と、
前記チャンバーの上部に存在する気体を吸引し当該気体に含まれる検査ガスの濃度を検出する濃度検出装置と、
前記チャンバー内に固定設置され、中央部分において前記第２ガスタンクが貫通可能な開口を有し、前記開口の周囲において前記チャンバー内に配置された前記パレットの前記仕切面と密着可能な密着部を有する固定板と、を備える気密検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タンクの気密検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
燃料電池自動車や水素自動車に搭載される水素ガスタンク等、高圧のガスが内部に充填されるガスタンクは、製造後において、充填されたガスが外部に漏洩しないことを検査する気密検査を行う必要がある。このような気密検査では、一般的に、検査対象であるガスタンクの内部に検査ガス（例えばヘリウムガス）を封入しておき、ガスタンクの外部に漏洩する検査ガスの量を測定することにより検査を行う。
【０００３】
特許文献１には、円筒形状のガスタンクの気密検査装置であって、検査対象であるガスタンクに検査ガスを封入した状態で、ガスタンクを内部に収納するチャンバーと、チャンバーの内部から、ガスタンクの周囲に存在する気体を吸引し、当該気体に含まれる検査ガスの濃度を検出する濃度検出装置と、を備えたものが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−０９２４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した気密検査では、ガスタンクから漏洩した検査ガスの量を測定し、測定された検査ガスの量に基づいて合否判定を行う。ガスタンクから漏洩した検査ガスの量は、一般的に、濃度検出装置により検出された検査ガスの濃度にチャンバー内の残空間の容積を乗ずることによって算出される。ここで、チャンバー内の残空間とは、チャンバー内の全空間から検査対象であるガスタンクの空間分を除いた残りの空間である。
【０００６】
ガスタンクの気密検査において、チャンバー内に存在する気体（例えば空気または窒素）よりも比重の軽い気体（例えばヘリウム）を検査ガスとして用いる場合、リークした検査ガスの濃度は、チャンバー内の残空間において均一ではなく、チャンバー内の残空間の上部において高くなる。濃度検出装置は、チャンバー内の残空間において検査ガスの濃度が相対的に高い残空間の上部に存在する気体を吸引して検査ガスの濃度を検出する。
【０００７】
チャンバー内の残空間の容積が相対的に大きい場合には、チャンバー内の残空間の容積が相対的に小さい場合と比べて、チャンバー内の残空間における検査ガスの濃度分布がより大きくなる傾向にある。すなわち、チャンバー内の残空間の容積が相対的に大きい場合には、チャンバー内の残空間の容積が相対的に小さい場合と比べて、チャンバー内の残空間の上部における検査ガスの濃度とそれ以外のチャンバー内の残空間における検査ガスの濃度との差が大きくなる。このため、実際にガスタンクから漏洩した検査ガスの量が同じであっても、チャンバー内の残空間の容積が相対的に大きい場合には、チャンバー内の残空間の容積が相対的に小さい場合と比べて、ガスタンクから漏洩した検査ガスの量がより多めに算出される。つまり、ガスタンクの気密検査において、チャンバー内の残空間の容積が相対的に大きい場合、チャンバー内の残空間の容積が相対的に小さい場合と比べて検査精度が悪くなる。
【０００８】
特許文献１に記載の気密検査装置において、円筒胴の全長が相対的に短いガスタンクを検査する場合、円筒胴の全長が相対的に長いガスタンクを検査する場合と比べてチャンバー内の残空間の容積は大きくなる。このため、円筒胴の全長が相対的に短いガスタンクを検査する場合、円筒胴の全長が相対的に長いガスタンクを検査する場合と比べて検査精度が悪くなるという問題があった。
【０００９】
本発明は、以上の背景に鑑みなされたものであり、円筒形状のガスタンクの円筒胴の全長の長短に拠らず、検査精度を良好にすることができるガスタンクの気密検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、円筒形状の第１ガスタンクと円筒形状で第１ガスタンクよりも円筒胴の全長が長い第２ガスタンクとをそれぞれ検査するための気密検査装置であって、前記第１ガスタンクまたは前記第２ガスタンクを内部に収納するチャンバーと、前記チャンバー内に前記第１ガスタンクが収納される場合に前記チャンバー内に配置され、前記第１ガスタンクを載置する載置面、及び前記載置面の一端において前記載置面に垂直に立設され前記チャンバーの内部空間を前記第１ガスタンクが収納された空間とそれ以外の空間とに仕切る仕切面を有するパレットと、前記チャンバー内に収納された前記第１ガスタンクまたは前記第２ガスタンクに、前記チャンバー内に満たされた気体より比重の軽い検査ガスを充填するガス充填装置と、前記チャンバーの上部に存在する気体を吸引し当該気体に含まれる検査ガスの濃度を検出する濃度検出装置と、前記チャンバー内に固定設置され、中央部分において前記第２ガスタンクが貫通可能な開口を有し、前記開口の周囲において前記チャンバー内に配置された前記パレットの前記仕切面と密着可能な密着部を有する固定板と、を備えるものである。
気密検査装置において第２ガスタンクを検査する場合、チャンバーの内部空間の大部分は第２ガスタンクにより占められている。このため、チャンバーの内部空間における第２ガスタンク以外の残空間の容積は、第２ガスタンクの容積に対して十分に小さい。よって、気密検査装置において第２ガスタンクを検査する場合、気密検査を精度良く行うことができる。一方、気密検査装置において第１ガスタンクを検査する場合、パレットの仕切面と固定板とを密着させることにより、チャンバーの内部空間を、第１ガスタンクが収納された空間とそれ以外の空間とに分離することができる。このようにすることで、第１ガスタンクが収納された空間における第１ガスタンク以外の残空間の容積を、第１ガスタンク２の容積に対して十分に小さくすることができる。よって、気密検査装置において第１ガスタンクを検査する場合、気密検査を精度良く行うことができる。以上により、円筒形状のガスタンクの円筒胴の全長の長短に拠らず、検査精度を良好にすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、円筒形状のガスタンクの円筒胴の全長の長短に拠らず、検査精度を良好にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施の形態１にかかる気密検査装置に対し、第１ガスタンクをセットした状態を模式的に示す図である。
【図２】実施の形態１にかかる気密検査装置に対し、第１ガスタンクよりも円筒胴の全長が長い第２ガスタンクをセットした状態を模式的に示す図である。
【図３】図２における矢印Ａの向きから見た矢視図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】図１における矢印Ｂの向きから見た矢視図である。
【図６】実施の形態１にかかる気密検査装置に第１ガスタンクまたは第２ガスタンクをセットする流れを示すフローチャートである。
【図７】実施の形態２にかかる気密検査装置に対し、第１ガスタンクをセットした状態を模式的に示す図である。
【図８】実施の形態２にかかる気密検査装置に対し、第１ガスタンクよりも円筒胴の全長が長い第２ガスタンクをセットした状態を模式的に示す図である。
【図９】実施の形態３にかかる気密検査装置に対し、第１ガスタンクをセットした状態を模式的に示す図である。
【図１０】実施の形態３にかかる気密検査装置に対し、第２ガスタンクをセットした状態を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
[実施の形態１]
以下、図面を参照して本発明の実施の形態１について説明する。
【００１４】
まず、図１および図２を参照して本実施の形態にかかるガス充填システムの概略構成について説明する。本実施の形態にかかるガス充填システムは、燃料電池車両に搭載される高圧のガスタンク（水素ガスタンク）の気密検査を行うための装置である。気密検査装置１における検査対象は、後述する、円筒形状の第１ガスタンク２と円筒形状で第１ガスタンク２よりも円筒胴の全長が長い第２ガスタンク３である。
【００１５】
図１は、本実施の形態にかかる気密検査装置１に対し、第１ガスタンク２をセットした状態を模式的に示す図である。図２は、本実施の形態にかかる気密検査装置１に対し、第１ガスタンク２よりも円筒胴の全長が長い第２ガスタンク３をセットした状態を模式的に示す図である。図１および図２に示すように、気密検査装置１は、チャンバー４と、ガス充填装置８、濃度検出装置としてのリークディテクタ６と、固定板９とを備えている。
【００１６】
チャンバー４は、第１ガスタンク２または第２ガスタンク３を内部に収納する。チャンバー４は、一端において、第１ガスタンク２または第２ガスタンク３を出し入れするための開口部２０と当該開口部２０を気密に塞いだ状態とする開閉機構（図示は省略）を備えている。
【００１７】
ガス充填装置８は、チャンバー４内に収納された第１ガスタンク２または第２ガスタンク３に、チャンバー４内に満たされた気体（例えば空気または窒素）より比重の軽い検査ガス（例えばヘリウム）を充填する。第１ガスタンク２または第２ガスタンク３は、長手方向の一端側にガスの出入り口としての口金１７を備えている。ガス充填装置８は、第１ガスタンク２または第２ガスタンク３をチャンバー４の内部に収納した状態において、第１ガスタンク２または第２ガスタンク３の口金１７とバルブ１５が設けられた配管を介して接続されている。このため、第１ガスタンク２または第２ガスタンク３をチャンバー４の内部に収納した状態のまま、第１ガスタンク２または第２ガスタンク３に検査ガスを充填することが可能となっている。ガス充填装置８は、第１ガスタンク２または第２ガスタンク３の内部圧力が大気圧よりも高い所定の圧力となるまで、検査ガスの充填を行うことができる。
【００１８】
リークディテクタ６は、チャンバー４の上部に存在する気体を吸引し当該気体に含まれる検査ガスの濃度を検出する。リークディテクタ６は、バルブ１６が設けられた配管を介してチャンバー４の内部空間と接続されている。バルブ１６を開いた状態においてリークディテクタ６による検査ガスの濃度の検出を開始すると、リークディテクタ６はチャンバー４の内部から気体を吸引する。当該気体は、チャンバー４の内部のうち第１ガスタンク２または第２ガスタンク３の周囲に存在する気体である。リークディテクタ６は、吸引した気体に含まれる検査ガスの濃度を、ｐｐｍの単位でリアルタイムに表示する。固定板９は、チャンバー４内に固定設置されている。
【００１９】
図２に示すように、チャンバー４内に第２ガスタンク３が収納される場合、気密検査装置１は、第２ガスタンク３を載置するパレット２５をさらに備えている。パレット２５の搬送は、チャンバー４の下部に配置された搬送ローラ１２により行う。図３は、図２における矢印Ａの向きから見た矢視図である。図３に示すように、固定板９は、中央部分において第２ガスタンクが貫通可能な開口９ａを有する。チャンバー４内における固定板９を挟んで隔てられた両空間は、開口９ａにより連通している。パレット２５の幅Ｌ１は、開口９ａの幅Ｌ２よりも狭い。固定板９は、開口９ａの周囲において密着部９ｂを有する。密着部９ｂは、ゴムやエラストマーでできた一般的なパッキンを固定板９の開口９ａの周囲に焼付けすることで形成してもよい。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。図４に示すように、密着部９ｂは、リップ部９ｂＡを備えていてもよい。
【００２０】
図１に示すように、チャンバー４内に第１ガスタンク２が収納される場合、気密検査装置１は、パレット５をさらに備えている。パレット５は、第１ガスタンク２を載置する載置面５ａと、載置面５ａの一端において載置面５ａに垂直に立設され、チャンバー４の内部空間を第１ガスタンク２が収納された第１空間２１とそれ以外の第２空間２２とに仕切る仕切面５ｂと、を有する。パレット５の搬送は、チャンバー４の下部に配置された搬送ローラ１２により行う。
【００２１】
図５は、図１における矢印Ｂの向きから見た矢視図である。なお、図５では、後述する間仕切プレート１１は省略している。図５に示すように、固定板９は、開口９ａの周囲にある密着部９ｂにおいて、パレット５の仕切面５ｂと密着可能である。パレット５の仕切面５ｂの幅Ｌ３は、開口９ａの幅Ｌ２よりも広い。
【００２２】
図１に示すように、付勢部１８は、パレット５に対し、載置面５ａの他端（仕切面５ｂとは反対の端）においてパレット５を前進させる方向（矢印Ｃの向き）に力を及ぼすことで、パレット５の仕切面５ｂを固定板９に付勢する。これにより、密着部９ｂが押し潰されて、パレット５の仕切面５ｂと固定板９とが密着する。付勢部１８は、例えばトグルクランプであってもよい。上述のように密着部９ｂがリップ部９ｂＡを備えている場合、仕切面５ｂとの密着性をより向上させることができる。パレット５の仕切面５ｂと固定板９とを密着させることにより、第１ガスタンク２が収納された第１空間２１とそれ以外の第２空間２２とを分離することができる。
【００２３】
さらに、気密検査装置１は、パレット５の載置面５ａよりも下部において、第１ガスタンク２が収納された第１空間２１とそれ以外の第２空間２２を仕切る間仕切プレート１１を備えている。間仕切プレート１１は、シリンダなどのアクチュエータ１９によって上下方向（図１における矢印Ｆ、Ｇの向き）に移動可能なように構成されている。間仕切プレート１１を上方（図１における矢印Ｆの向き）に移動させると、パレット５の載置面５ａよりも下部において、第１ガスタンク２が収納された第１空間２１とそれ以外の第２空間２２を仕切られる。パレット５の仕切面５ｂと固定板９とを密着させるとともに、間仕切プレート１１により、パレット５の載置面５ａよりも下部において、第１ガスタンク２が収納された第１空間２１とそれ以外の第２空間２２を仕切ることで、第１ガスタンク２が収納された第１空間２１とそれ以外の第２空間２２とをより気密に分離することができる。
【００２４】
図２に示すように、第２ガスタンク３を検査する場合には、アクチュエータ１９により間仕切プレート１１を下方（図２における矢印Ｆの向き）に移動させ、パレット５の載置面５ａよりも下部において、間仕切プレート１１が、第１ガスタンク２が収納された第１空間２１とそれ以外の第２空間２２を仕切らないようにする。
【００２５】
ここで、図６を参照して、気密検査装置１に第１ガスタンク２または第２ガスタンク３をセットする流れについて説明する。なお、以下の説明において、気密検査装置１の構成については、図１および図２を適宜参照する。図６は、気密検査装置１に第１ガスタンク２または第２ガスタンク３をセットする流れを示すフローチャートである。
【００２６】
図６に示すように、まず、検査対象のガスタンクが第１ガスタンク２であるか否かを判定する（ステップＳ１）。
【００２７】
ステップＳ１において、検査対象のガスタンクが第１ガスタンク２である場合（ＹＥＳの場合）、間仕切プレート１１を上昇させ、パレット５の載置面５ａよりも下部において、第１ガスタンク２が収納された第１空間２１とそれ以外の第２空間２２を仕切る（ステップＳ２）。ステップＳ２に続いて、第１ガスタンク２を載置したパレット５をチャンバー４内に搬入する（ステップＳ３）。ステップＳ３に続いて、付勢部１８によりパレット５に対しパレット５を前進させる方向に力を及ぼすことで、パレット５の仕切面５ｂと固定板９とを密着性を確保する（ステップＳ４）。そして、ガス充填装置８と第１ガスタンク２の口金１７とを配管を介して接続する（ステップＳ６）。
【００２８】
ステップＳ１において検査対象のガスタンクが第２ガスタンク３である場合（ＮＯの場合）、間仕切プレート１１を上昇させずに、パレット２５に載置された第２ガスタンク３をチャンバー４内に搬入する（ステップＳ５）。そして、ガス充填装置８と第２ガスタンク３の口金１７とをバルブ１５が設けられた配管を介して接続する（ステップＳ６）。
【００２９】
ステップＳ６に続いて、チャンバー４の開口部２０を閉止する（ステップＳ７）。これにより、気密検査装置１における検査対象のガスタンク（第１ガスタンク２または第２ガスタンク３）のセットが完了する。ステップＳ７に続いて、ガス充填装置８によりチャンバー４内のガスタンク（第１ガスタンク２または第２ガスタンク３）に検査ガスを充填する（ステップＳ８）。そして、リークディテクタ６により検査ガスの濃度を検出し、検出された検査ガスの濃度に基づいて検査対象のガスタンクの合否判定を行う（ステップＳ９）。
【００３０】
図２に示すように、気密検査装置１において第２ガスタンク３を検査する場合、チャンバー４の内部空間の大部分は第２ガスタンク３により占められている。このため、チャンバー４の内部空間における第２ガスタンク３以外の残空間の容積は、第２ガスタンク３の容積に対して十分に小さい。よって、気密検査装置１において第２ガスタンク３を検査する場合、気密検査を精度良く行うことができる。
【００３１】
一方、図１に示すように、気密検査装置１において第１ガスタンク２を検査する場合、パレット５の仕切面５ｂと固定板９とを密着させることにより、チャンバー４の内部空間を、第１ガスタンク２が収納された第１空間２１とそれ以外の第２空間２２とに気密に分離することができる。このようにすることで、第１ガスタンク２が収納された第１空間２１における第１ガスタンク２以外の残空間の容積を、第１ガスタンク２の容積に対して十分に小さくすることができる。よって、気密検査装置１において第１ガスタンク２を検査する場合、気密検査を精度良く行うことができる。以上により、円筒形状のガスタンクの円筒胴の全長の長短に拠らず、検査精度を良好にすることができる。
【００３２】
[実施の形態２]
以下、図面を参照して本発明に関連する実施の形態２について説明する。なお、実施の形態１と共通の部分には共通の符号を付してその説明を省略する。
本実施の形態にかかる気密検査装置１０１の概略構成は、実施の形態１において図１および図２を用いて説明した気密検査装置１の概略構成と基本的に同じであるが、チャンバー４におけるリークディテクタ６を接続する位置が異なる。
【００３３】
図７は、本実施の形態にかかる気密検査装置１０１に対し、第１ガスタンク２をセットした状態を模式的に示す図である。図８は、本実施の形態にかかる気密検査装置１０１に対し、第１ガスタンク２よりも円筒胴の全長が長い第２ガスタンク３をセットした状態を模式的に示す図である。図７および図８に示すように、リークディテクタ６は、チャンバー４内における固定板９を挟んで隔てられた両空間（第１空間２１および第２空間２２）の上部にそれぞれ接続されている。リークディテクタ６と第１空間２１の上部とを接続する配管にはバルブ１１６ａが設けられている。リークディテクタ６と第２空間２２の上部とを接続する配管にはバルブ１１６ｂが設けられている。
【００３４】
図７に示すように、チャンバー４内に第１ガスタンク２が収納される場合、まず、パレット５の仕切面５ｂと固定板９との密着性を確認するため、バルブ１１６ａを閉じ、バルブ１１６ｂを開いてリークディテクタ６により検査ガスの濃度を検出する。パレット５の仕切面５ｂと固定板９との密着性が良好であれば、第１空間２１には検査ガスがほとんど存在しないはずである。よって、リークディテクタ６により検出された検査ガスの濃度が所定の値よりも低ければ、パレット５の仕切面５ｂと固定板９との密着性が良好であると判断する。パレット５の仕切面５ｂと固定板９との密着性が良好であることを確認した後、バルブ１１６ａを開き、バルブ１１６ｂを閉じてリークディテクタ６により検査ガスの濃度を検出し、第１ガスタンク２の気密検査を行う。
【００３５】
図８に示すように、チャンバー４内に第２ガスタンク３が収納される場合、リークディテクタ６により検査ガスの濃度を検出する際に、バルブ１１６ａ、バルブ１１６ｂのいずれも開く。検査ガスは、チャンバー４内に満たされた気体より比重が軽いのでチャンバー４の内部空間の上部に溜まる。チャンバー４の内部空間の上部は固定板９により分断されているが、リークディテクタ６により、固定板９により分断されたチャンバー４の上部の両空間から気体が吸引されるようにすることで検査ガスの濃度の検出精度を高めることができる。
【００３６】
[実施の形態３]
以下、図面を参照して本発明に関連する実施の形態３について説明する。なお、実施の形態１と共通の部分には共通の符号を付してその説明を省略する。
本実施の形態にかかる気密検査装置２０１の概略構成は、実施の形態１において図１および図２を用いて説明した気密検査装置１の概略構成と基本的に同じであるが、パレットの仕切面５ｂを固定板９に密着させるための機構が実施の形態１とは異なる。
【００３７】
図９は、本実施の形態にかかる気密検査装置２０１に対し、第１ガスタンク２をセットした状態を模式的に示す図である。図１０は、本実施の形態にかかる気密検査装置２０１に対し、第２ガスタンク３をセットした状態を模式的に示す図である。図９および図１０に示すように、気密検査装置２０１は、バルブ１５が設けられた配管を介してガス充填装置８と接続される充填ノズル２３０を備えている。充填ノズル２３０は、先端にノズル側連結部２３０ａを有する。充填ノズル２３０は、シリンダ２３０ｂによって図中の矢印Ｄ、矢印Ｅに示す向きに移動させることができる。
【００３８】
図９に示すように、第１ガスタンク２を載置するパレット５の仕切面５ｂには、ノズル側連結部２３０ａと連結するための仕切面側連結部２３１が設けられている。ノズル側連結部２３０ａが第１ガスタンク２の口金１７に配管を介して接続され、ノズル側連結部２３０ａと仕切面側連結部２３１が連結されると、ガス充填装置８から第１ガスタンク２に検査ガスを供給することができる。ノズル側連結部２３０ａと仕切面側連結部２３１が連結された後、充填ノズル２３０は、シリンダ２３０ｂによって図中の矢印Ｅに示す向きに移動される。これに伴い、パレット５も充填ノズル２３０とともに図中の矢印Ｅに示す向きに移動される。これにより、パレット５の仕切面５ｂと固定板９とを密着させることができる。
【００３９】
図１０に示すように、第２ガスタンク３を載置するパレット２２５は、第２ガスタンク３を載置する載置面２２５ａと、載置面２２５ａの一端において載置面２２５ａに垂直に立設された仕切面２２５ｂを有している。載置面２２５ａには、ノズル側連結部２３０ａと連結するための仕切面側連結部２３１が設けられている。なお、実施の形態１の図３に示すパレット２５と同様に、パレット２２５の幅は、固定板９における開口９ａの幅よりも狭い。ノズル側連結部２３０ａと仕切面側連結部２３１が連結され、ノズル側連結部２３０ａが第１ガスタンク２の口金１７に配管を介して接続されると、ガス充填装置８から第２ガスタンク３に検査ガスを供給することができる。
【００４０】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。上記実施の形態では、ガスタンクの種類は円筒胴の全長が異なる２つであったが、これに限るものではない。本発明は、ガスタンクの種類が、円筒胴の全長が異なる２以上である場合にも適用できる。
【符号の説明】
【００４１】
１、１０１、２０１  気密検査装置
２  第１ガスタンク
３  第２ガスタンク
４  チャンバー
５、２５、２２５  パレット
５ａ、２２５ａ  載置面
５ｂ、２２５ｂ  仕切面
６  リークディテクタ
８  ガス充填装置
９  固定板
９ａ  開口
９ｂ  密着部
９ｂＡ  リップ部
１１  間仕切プレート
１２  搬送ローラ
１５，１６、１１６ａ、１１６ｂ  バルブ
１７  口金
１８  付勢部
１９  アクチュエータ
２０  開口部
２１  第１空間
２２  第２空間
２３０  充填ノズル
２３０ａ  ノズル側連結部
２３０ｂ  シリンダ
２３１  仕切面側連結部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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