(57)【要約】      （修正有）【課題】検査に要する設備が従来よりも少なく、かつ、検査に要する時間が従来よりも短い、コンバイナの検査方法、検査装置、及び製造方法を提供する。【解決手段】入力ファイバ束５２と出力ファイバ５３とを備えたコンバイナ５を検査する検査方法において、入力ファイバ束５２を構成する入力ファイバ５２１〜５２６を介してコンバイナ５に入力するレーザ光を得るために、単一のレーザ光源１１から出力されたレーザ光を、デバイダ１２を用いて分割する分割工程を含んでいる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力ファイバ束と出力ファイバとを備えたコンバイナを検査する検査方法であって、
上記入力ファイバ束を構成する各ファイバを介して上記コンバイナに入力するレーザ光を得るために、単一の光源から出力されたレーザ光を分割する分割工程を含んでいる、
ことを特徴とする検査方法。
【請求項２】
上記出力ファイバを介して上記コンバイナから出力されるレーザ光のビーム品質又はパワーを測定する測定工程を更に含んでいる、
ことを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項３】
上記分割工程は、入力ファイバと出力ファイバ束とを備えたデバイダを用い、上記光源から出力されたレーザ光を上記デバイダの上記入力ファイバに入力すると共に、上記デバイダの上記出力ファイバ束から出力されたレーザ光を上記コンバイナの上記入力ファイバ束に入力することにより実施される、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の検査方法。
【請求項４】
上記デバイダの上記出力ファイバ束には、上記コンバイナの上記入力ファイバ束を構成する何れのファイバとも接続されないファイバが含まれ、当該ファイバには、排熱を目的とする終端処理が施されている、
ことを特徴とする請求項３に記載の検査方法。
【請求項５】
上記デバイダの上記入力ファイバの入射端近傍、上記デバイダの上記出力ファイバ束を構成するファイバの出射端近傍、及び、上記コンバイナの上記入力ファイバ束を構成するファイバの入射端近傍の少なくとも何れかに、クラッドモードストリッパが設けられている、
ことを特徴とする請求項３又は４に記載の検査方法。
【請求項６】
上記コンバイナの上記入力ファイバ束と上記デバイダの上記出力ファイバ束とは、同一設計のファイバにより構成されている、
ことを特徴とする請求項３〜５の何れか１項に記載の検査方法。
【請求項７】
上記デバイダは、上記入力ファイバと上記出力ファイバ束との間に介在し、一方の端面に上記入力ファイバが接続され、他方の端面に上記出力ファイバ束が接続されたブリッジファイバを更に備え、
上記出力ファイバ束は、コアが上記ブリッジファイバの上記他方の端面に融着され、クラッドが上記ブリッジファイバの上記他方の端面に融着されていないファイバを含む、
ことを特徴とする請求項３〜６の何れか１項に記載の検査方法。
【請求項８】
入力ファイバ束と出力ファイバとを備えたコンバイナを検査する検査装置であって、
上記入力ファイバ束を構成する各ファイバを介して上記コンバイナに入力するレーザ光を得るために、単一の光源から出力されたレーザ光を分割するデバイダを備えている、
ことを特徴とする検査装置。
【請求項９】
入力ファイバ束と出力ファイバとを備えたコンバイナを製造する製造方法であって、
請求項１〜７の何れか１項に記載の検査方法を用いて上記コンバイナを検査する工程を含んでいる、
ことを特徴とする製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンバイナの検査方法、検査装置、及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のレーザ光を合成することによって、ハイパワーなレーザ光を得るための光部品として、コンバイナが広く用いられている。例えば、複数のレーザダイオードを備えたファイバレーザにおいては、各レーザダイオードから出力されたレーザ光を合成するために、コンバイナ（励起コンバイナ）が用いられる。この場合、コンバイナにて得られたレーザ光は、励起光としてファイバ共振器に入力される。また、複数のファイバレーザを備えたファイバレーザシステムにおいては、各ファイバレーザから出力されたレーザ光を合成するために、コンバイナ（出力コンバイナ）が用いられている。この場合、コンバイナにて得られたレーザ光は、出力光としてデリバリファイバに入力される。
【０００３】
図３は、従来のコンバイナ５の斜視図である。コンバイナ５は、ブリッジファイバ５１と、入力ファイバ束５２と、出力ファイバ５３とを備えている。入力ファイバ束５２を介してコンバイナ５に入力されたレーザ光は、ブリッジファイバ５１において合成され、出力ファイバ５３を介して外部に出力される。
【０００４】
ブリッジファイバ５１においては、出力ファイバ５３が接続される出射端面におけるコア径を、入力ファイバ束５２が接続される入射端面におけるコア径よりも小さくする必要がある。このため、ブリッジファイバ５１には、出射端面に近づくに従ってコア径が次第に小さくなる縮径部が設けられる。入力ファイバ束５２からブリッジファイバ５１に入射したレーザ光は、ブリッジファイバ５１の縮径部を伝播する過程でその伝播角を増大させる。このとき、伝播角の増大度は、ブリッジファイバ５１の縮径比＝（出射端面におけるコア径）／（入射端面におけるコア径）に応じて決まる。したがって、ブリッジファイバ５１の縮径比は、コンバイナ５にて得られるレーザ光のビーム品質（例えば、ビームウェスト径とビーム発散角との積により評価される）を左右する重要な指標となる。
【０００５】
得られるレーザ光のビーム品質を向上させたコンバイナとしては、例えば、特許文献１〜２に記載のコンバイナ（特許文献１に記載の「光ファイバコンバイナ」及び特許文献２に記載の「光カプラ」）が挙げられる。これらのコンバイナにおいては、入力ファイバ束を構成する各入力ファイバとブリッジファイバとの間にＧＩ（Grated Index）ファイバを挿入し、このＧＩファイバによってブリッジファイバに入射するレーザ光をコリメートする構成が採用されている。このため、ブリッジファイバの縮径比が小さい場合であっても、ビーム品質の良好なレーザ光を得ることができる。特許文献２に記載のコンバイナにおいては、ブリッジファイバのコアに高屈折領域を設けることによって、更なるビーム品質の向上を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−１９０７１４号（公開日：２０１３年９月２６日）
【特許文献２】特開２０１６−０８０９１４号（公開日：２０１６年５月１６日）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
コンバイナにより得られるレーザ光のビーム品質は、ブリッジファイバの縮径率の他に、ブリッジファイバの入射端面における各入力ファイバの接続位置及び接続角、並びに、ブリッジファイバの出力端面における出力ファイバの接続位置及び接続角等に依存する。そのため、ビーム品質が所定の条件を満たしていることが保証されたコンバイナを出荷するためには、コンバイナにレーザ光を入力しながら、コンバイナから出力されるレーザ光のビーム品質を測定する検査を出荷前に実施する必要がある。
【０００８】
このような検査は、従来、以下のような方法で実施されていた。
【０００９】
ひとつめの方法は、入力ファイバ束を構成する全ての入力ファイバにレーザ光源を接続し、これらのレーザ光源からレーザ光を出力しながら、コンバイナから出力されるレーザ光のビーム品質を測定する方法である。この方法を用いる場合、複数のレーザ光源を用意する必要があり、検査に要する設備が増大するという問題がある。
【００１０】
ふたつめの方法は、入力ファイバ束を構成する何れか１つの入力ファイバにレーザ光源を接続し、このレーザ光源からレーザ光を出力しながら、コンバイナから出力されるレーザ光のビーム品質を測定する検査を、レーザ光源を接続する入力ファイバを切り替えながら、繰り返し実施する方法である。この方法を用いる場合、複数回の測定を実施する必要があり、検査に要する時間が増大するという問題がある。
【００１１】
なお、ここでは、コンバイナにより得られるレーザビームのビーム品質の検査に関する問題点について説明したが、コンバイナの透過率に関する検査、及び、コンバイナの発熱量に関する検査についても、同様の問題が存在する。
【００１２】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、検査に要する設備が従来よりも少なく、かつ、検査に要する時間が従来よりも短い、コンバイナの検査方法を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の目的を達成するために、本発明に係る検査方法は、入力ファイバ束と出力ファイバとを備えたコンバイナを検査する検査方法であって、上記入力ファイバ束を構成する各ファイバを介して上記コンバイナに入力するレーザ光を得るために、単一の光源から出力されたレーザ光を分割する分割工程を含んでいる、ことを特徴とする。
【００１４】
上記の方法によれば、入力ファイバ束を介してコンバイナに入力する複数のレーザ光を得るために、複数のレーザ光源を用いる必要がない。このため、コンバイナの検査に要する設備が従来も少なくて済む。また、上記の構成によれば、レーザ光を入力ファイバ束の何れのファイバに入力するかを切り替えながら、検査のための測定を繰り返す必要がない。したがって、コンバイナの検査に要する時間が従来よりも短くて済む。したがって、上記の構成によれば、検査に要する設備が従来よりも少なく、かつ、検査に要する時間が従来よりも短い、コンバイナの検査方法を実現することができる。
【００１５】
本発明に係る検査方法は、上記出力ファイバを介して上記コンバイナから出力されるレーザ光のビーム品質を測定するビーム品質測定工程、又は、上記出力ファイバを介して上記コンバイナから出力されるレーザ光のパワーを測定するパワー測定工程を更に含んでいる、ことが好ましい。
【００１６】
上記の方法によれば、コンバイナから出力されるレーザ光のビーム品質の検査、又は、コンバイナの透過率に関する検査に要する設備が従来も少なくて済む。また、コンバイナから出力されるレーザ光のビーム品質、又は、コンバイナの透過率に関する検査に要する時間が従来よりも短くて済む。
【００１７】
本発明に係る検査方法において、上記分割工程は、入力ファイバと出力ファイバ束とを備えたデバイダを用い、上記光源から出力されたレーザ光を上記デバイダの上記入力ファイバに入力すると共に、上記デバイダの上記出力ファイバ束から出力されたレーザ光を上記コンバイナの上記入力ファイバ束に入力することにより実施される、ことが好ましい。
【００１８】
上記の方法によれば、上記分割工程を簡単な構成により実現することができる。
【００１９】
本発明に係る検査方法において、上記デバイダの上記出力ファイバ束には、上記コンバイナの上記入力ファイバ束を構成する何れのファイバとも接続されないファイバが含まれ、当該ファイバには、排熱を目的とする終端処理が施されている、ことが好ましい。
【００２０】
上記の方法によれば、デバイダの出力ファイバ束に、コンバイナの入力ファイバ束を構成する何れのファイバの何れとも接続されないファイバが含まれている場合であっても、当該ファイバから出力されたレーザ光に起因する意図しない発熱を招来することなく、コンバイナの検査を実施することができる。
【００２１】
本発明に係る検査方法において、上記デバイダの上記入力ファイバの入射端近傍、上記デバイダの上記出力ファイバ束を構成するファイバの出射端近傍、及び、上記コンバイナの上記入力ファイバ束を構成するファイバの入射端近傍の少なくとも何れかに、クラッドモードストリッパが設けられている、ことが好ましい。
【００２２】
上記の方法によれば、クラッドモード光に起因する検査精度の低下を抑えることができる。
【００２３】
本発明に係る検査方法において、上記コンバイナの上記入力ファイバ束と上記デバイダの上記出力ファイバ束とは、同一設計のファイバにより構成されている、ことが好ましい。
【００２４】
上記の方法によれば、デバイダの出力ファイバとコンバイナの入力ファイバとを、コア径がデバイダの出力ファイバ及びコンバイナの入力ファイバのコア径と等しい光ファイバを用いて接続することが可能になる。これにより、デバイダの出力ファイバと光ファイバとの融着点、及び、光ファイバとコンバイナの入力ファイバとの融着点の双方において、コア径の食い違いに起因する損失を発生させることなく、コンバイナの検査を実施することができる。
【００２５】
本発明に係る検査方法において、上記デバイダは、上記入力ファイバと上記出力ファイバ束との間に介在し、一方の端面に上記入力ファイバが接続され、他方の端面に上記出力ファイバ束が接続されたブリッジファイバを更に備え、上記出力ファイバ束は、コアが上記ブリッジファイバの上記他方の端面に融着され、クラッドが上記ブリッジファイバの上記他方の端面に融着されていないファイバを含む、ことが好ましい。
【００２６】
上記の方法によれば、上記デバイダにおいて上記ブリッジファイバから上記出力ファイバ束を構成する各ファイバのクラッドに入射するレーザ光の光量を減らすことができる。したがって、上記デバイダの上記出力ファイバ束を構成する各ファイバのクラッドを伝播するクラッドモード光に起因する検査精度の低下を抑えることができる。
【００２７】
上記の目的を達成するために、本発明に係る検査装置は、入力ファイバ束と出力ファイバとを備えたコンバイナを検査する検査装置であって、上記入力ファイバ束を構成する各入力ファイバを介して上記コンバイナに入力するレーザ光を得るために、単一の光源から出力されたレーザ光を分割するデバイダを備えている、ことを特徴とする。
【００２８】
上記の構成によれば、各入力ファイバを介してコンバイナに入力する複数のレーザ光を得るために、複数のレーザ光源を用いる必要がない。このため、コンバイナの検査に要する設備が従来も少なくて済む。また、上記の構成によれば、レーザ光を入力するコンバイナの入力ファイバを切り替えながら、検査のための測定を繰り返す必要がない。したがって、コンバイナの検査に要する時間が従来よりも短くて済む。したがって、上記の構成によれば、検査に要する設備が従来よりも少なく、かつ、検査に要する時間が従来よりも短い、コンバイナの検査方法を実現することができる。
【００２９】
なお、入力ファイバ束と出力ファイバとを備えたコンバイナを製造する製造方法であって、上記の検査方法を用いて上記コンバイナを検査する工程を含んでいる製造方法も本発明の範疇に含まれる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、検査に要する設備が従来よりも少なく、かつ、検査によるする時間が従来よりも短い、コンバイナの検査方法を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図２に示す検査方法を実施するために用いる検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る検査方法の流れを示すブロック図である。
【図３】検査対象となるコンバイナの構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
本発明の一実施形態に係る検査方法について、図１及び図２を参照して説明する。
【００３３】
図１は、本実施形態に係る検査方法を実施するために用いる検査装置１のブロック図である。
【００３４】
検査装置１は、コンバイナ５（図３参照）を検査対象として、ビーム品質検査及び発熱検査を実施するための装置であり、レーザ光源１１、デバイダ１２、光ファイバ群１３、ビーム品質測定器１４、及び表面温度測定器１５を備えている。
【００３５】
レーザ光源１１は、レーザ光を出力するための構成である。本実施形態においては、レーザ光を生成するレーザダイオード１１１と、レーザダイオード１１１にて生成されたレーザ光を導波するための出力ファイバ１１２とを備えた光源ユニットを、レーザ光源１１として用いる。
【００３６】
デバイダ１２は、レーザ光源１１から出力されたレーザ光を、コンバイナ５の入力ファイバ束５２を構成する入力ファイバと同数のレーザ光に分割するための構成である。本実施形態においては、コンバイナ５と同一設計のコンバイナを逆接続し、これをデバイダ１２として用いる。すなわち、本実施形態に係るデバイダ１２は、コンバイナ５のブリッジファイバ５１と同一設計のブリッジファイバ１２１と、コンバイナ５の出力ファイバ５３と同一設計の入力ファイバ１２２と、コンバイナ５の入力ファイバ束５２と同一設計の出力ファイバ束１２３とを備えている。デバイダ１２の出力ファイバ１２３１〜１２３７のコア径及びクラッド径は、それぞれ、コンバイナ５の入力ファイバ５２１〜５２７のコア径及びクラッド径と等しい。デバイダ１２の入力ファイバ１２２には、レーザ光源１１の出力ファイバ１１２が接続（例えば、融着接続）される。
【００３７】
なお、ブリッジファイバ１２１の出射端面と出力ファイバ１２３１〜１２３７の接続に際しては、各出力ファイバ１２３ｉ（ｉ＝１〜７）のコアのみをブリッジファイバ１２１の出射端面に融着する（出力ファイバ１２３ｉのクラッドはブリッジファイバ１２１の出射端面に融着しない）ことが好ましい。これにより、各出力ファイバ１２３ｉのクラッドにレーザ光が入射することを防止することができる。これによりクラッドモード光がビーム品質測定器１４に入射することによって生じ得る測定精度の低下を抑えることができる。
【００３８】
光ファイバ群１３は、デバイダ１２にて得られた複数のレーザ光を導波するための構成であり、コンバイナ５の入力ファイバ束５２を構成する入力ファイバ５２１〜５２７のうち、検査対象とする入力ファイバ５２１〜５２６と同数の光ファイバ１３１〜１３６からなる。光ファイバ１３１〜１３６のコア径及びクラッド径は、それぞれ、デバイダ１２の出力ファイバ１２３１〜１２３６のコア径及びクラッド径、すなわち、コンバイナ５の入力ファイバ５２１〜５２６のコア径及びクラッド径と等しい。各光ファイバ１３ｉ（ｉ＝１〜６）の一端は、デバイダ１２の対応する出力ファイバ１２３ｉに接続される（例えば、融着接続される）。各光ファイバ１３ｉの他端は、コンバイナ５の対応する入力ファイバ５２ｉに接続（例えば、融着接続）される。
【００３９】
ビーム品質測定器１４は、コンバイナ５の出力ファイバ５３から出力されるレーザ光のビーム品質を測定するための構成である。ビーム品質測定器１４は、レーザ光のＦＦＰ（Far Field Pattern）を測定するものであってもよいし、レーザ光のＭ２（M Square）を測定するものであってもよいし、レーザ光のＢＰＰ（Beam Parameter Product）を測定するものであってもよい。ビーム品質測定器１４にて測定されたビーム品質は、例えば、コンピュータを介して数値としてディスプレイに表示される。この場合、操作者は、ディスプレイに表示されたビーム品質を目しすることによって、コンバイナ５にて得られるレーザ光のビーム品質が所定の基準を満たしているか否かを確認することができる。
【００４０】
表面温度測定器１５は、コンバイナ５の表面温度を測定するための構成である。本実施形態においては、コンバイナ５の表面温度分布を画像として出力することができるサーモトレーサを表面温度測定器１５として用いる。表面温度測定器１５にて測定されたコンバイナ５の表面温度分布は、例えば、コンピュータ（不図示）を介して画像としてディスプレイ（不図示）に表示される。この場合、操作者は、ディスプレイに表示された温度分布を目視することによって、コンバイナ５の発熱が所定の基準を満たしているか否かを確認することができる。
【００４１】
なお、コンバイナ５の用途によっては、入力ファイバ５２１〜５２７の一部を不使用とすることがある。この場合、不使用となる入力ファイバ（図示した例では、入力ファイバ５２７）は、検査対象から外すことができ、デバイダ１２の出力ファイバ（図示した例では、出力ファイバ１２３７）との接続を省略することができる。この場合、未接続となる出力ファイバ１２３７には、排熱を目的とする終端処理を施すことが好ましい。本実施形態においては、出力ファイバ１２３７から出力されるレーザ光をビームダンパ１６に入射させることによって、この終端処理を実現している。
【００４２】
図２は、本実施形態に係る検査方法Ｓの流れを示すブロック図である。検査方法Ｓは、下記の工程Ｓ１〜Ｓ６を含んでいる。なお、ここでは、便宜上、検査方法Ｓを下記の工程Ｓ１〜Ｓ６に分解して説明するが、下記の工程Ｓ１〜Ｓ６は、一連の物理的プロセスを構成するものであり、レーザ光源１１を点灯すると同時に並列的に実施される点に留意されたい。
【００４３】
生成工程Ｓ１：レーザ光源１１が、レーザ光を生成する。レーザ光源１１は、生成したレーザ光を、出力ファイバ１１２を介して出力する。出力ファイバ１１２を介してレーザ光源１１から出力されたレーザ光は、入力ファイバ１２２を介してデバイダ１２に入力される。
【００４４】
分割工程Ｓ２：デバイダ１２が、入力ファイバ１２２を介して入力されたレーザ光を分割する。デバイダ１２は、分割したレーザ光を、出力ファイバ１２３１〜１２３７を介して出力する。各出力ファイバ１２３ｉ（ｉ＝１〜６）を介してデバイダ１２から出力されたレーザ光は、対応する光ファイバ１３ｉの一端に入力される。出力ファイバ１２３７を介してデバイダ１２から出力されたレーザ光は、ビームダンパ１６に入力され、熱に変換される。
【００４５】
導波工程Ｓ３：各光ファイバ１３ｉ（ｉ＝１〜６）が、一端から入力されたレーザ光を導波する。各光ファイバ１３ｉは、導波したレーザ光を他端から出力する。各光ファイバ１３ｉの他端から出力されたレーザ光は、対応する入力ファイバ５２ｉを介してコンバイナ５に入力される。
【００４６】
合成工程Ｓ４：コンバイナ５が、入力ファイバ５２１〜５２６を介して入力されたレーザ光を合成する。コンバイナ５は、合成したレーザ光を、出力ファイバ５３を介して出力する。出力ファイバ５３を介してコンバイナ５から出力されたレーザ光は、ビーム品質測定器１４に入力される。
【００４７】
ビーム品質測定工程Ｓ５：ビーム品質測定器１４が、入力されたレーザ光のビーム品質を測定する。ビーム品質測定器１４にて測定されたビーム品質は、例えば、コンピュータを介して数値としてディスプレイに表示される。
【００４８】
表面温度測定工程Ｓ６：表面温度測定器１５が、コンバイナ５の表面温度分布を測定する。表面温度測定器１５にて測定された表面温度分布は、例えば、コンピュータを介して画像としてディスプレイに表示される。
【００４９】
本実施形態に係る検査方法Ｓにおいては、デバイダ１２を用いて単一のレーザ光源１１から出力されたレーザ光を分割することによって、コンバイナ５の入力ファイバ５２１〜５２６に入力する複数のレーザ光を得ている。このため、コンバイナ５の入力ファイバ５２１〜５２６に入力する複数のレーザ光を得るために、複数のレーザ光源を用いる必要がない。このため、ビーム品質検査及び発熱検査に要する設備が従来も少なくて済む。また、レーザ光を入力するコンバイナ５の入力ファイバ５２１〜５２６を切り替えながら、ビーム品質及び表面温度の測定を繰り返す必要がない。したがって、ビーム品質検査及び発熱検査に要する時間が従来よりも短くて済む。
【００５０】
また、本実施形態に係る検査装置１においては、逆接続されたコンバイナ、特にコンバイナ５と同一設計のコンバイナを、デバイダ１２として用いている。逆接続されたコンバイナをデバイダ１２として用いることにより、デバイダ１２において生じ得るビーム品質の悪化を抑えることができる。また、コンバイナ５と同一設計のコンバイナをデバイダ１２として用いることにより、デバイダ１２の出力ファイバ１２３１〜１２３６とコンバイナ５の入力ファイバ５２１〜５２６との間に介在する光ファイバ１３１〜１３６として、コア径がデバイダ１２の出力ファイバ１２３１〜１２３６及びコンバイナ５の入力ファイバ５２１〜５２６のコア径と等しい光ファイバを用いることができる。これにより、デバイダ１２の出力ファイバ１２３１〜１２３６と光ファイバ１３１〜１３６との融着点、及び、光ファイバ１３１〜１３６とコンバイナ５の入力ファイバ５２１〜５２６との融着点の双方において、コア径の食い違いに起因する損失を発生させることなく、コンバイナ５の検査を実施することができる。なお、逆接続されたコンバイナをデバイダ１２として用いる場合、デバイダ１２の出射端面において出力ファイバが接続されていない部分から光が漏出する可能性がある。このため、樹脂塗布等の放熱処理を当該部分に施したうえで、黒アルマイト加工等の処理を施した斜光カバーで当該部分を覆うことが好ましい。
【００５１】
また、本実施形態に係る検査装置１においては、レーザ光源１１の出力ファイバ１１２とデバイダ１２の入力ファイバ１２２との融着点近傍には、出力ファイバ１１２のクラッドを導波されるクラッドモード光を除去するためのクラッドモードストリッパ１７が設けられている。クラッドモードストリッパ１７は、例えば、融着点近傍において露出した出力ファイバ１１２及び入力ファイバ１２２のクラッドを、これらのクラッドよりも屈折率の高い樹脂に埋設することにより実現することができる。同様に、デバイダ１２の各出力ファイバ１２３ｉと光ファイバ群１３の光ファイバ１３ｉとの融着点近傍には、出力ファイバ１２３ｉのクラッドを導波されるクラッドモード光を除去するためのクラッドモードストリッパ１８が設けられており、光ファイバ群１３の各光ファイバ１３ｉとコンバイナ５の入力ファイバ５２ｉとの融着点近傍には、光ファイバ１３ｉのクラッドを導波されるクラッドモード光を除去するためのクラッドモードストリッパ１９が設けられている。クラッドモードストリッパ１８〜１９も、クラッドモードストリッパ１７と同様に構成することができる。クラッドモードストリッパ１７〜１９を設けることによって、クラッドモード光がビーム品質測定器１４に入射することによって生じ得る測定精度の低下を抑えることができる。
【００５２】
なお、本実施形態においては、コンバイナ５にて得られるレーザ光のビーム品質を検査するために、コンバイナ５にて得られるレーザ光をビーム品質測定器１４に入力する構成を採用しているが、本発明はこれに限定されない。例えば、コンバイナ５の透過率を検査するために、コンバイナ５にて得られるレーザ光をサーマルセンサなどのパワー測定器に入力する構成を採用してもよい。
【００５３】
〔付記事項〕
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００５４】
１          検査装置
１１        レーザ光源
１２        デバイダ
１３        光ファイバ群
１４        ビーム品質測定器
１５        表面温度測定器
１６        ビームダンパ
１７〜１９  クラッドモードストリッパ
Ｓ          検査方法
Ｓ１        生成工程
Ｓ２        分割工程
Ｓ３        導波工程
Ｓ４        合成工程
Ｓ５        ビーム品質測定工程
Ｓ６        表面温度測定工程
【図１】
2018146794.tif 000003
【図２】
2018146794.tif 000004
【図３】
2018146794.tif 000005