(57)【要約】【課題】可撓性絶縁被覆体と絶縁容器との界面に空気層が軸方向に連続的に存在することを抑制し、真空バルブの外側の沿面絶縁性能を向上させることを目的とする。【解決手段】筒状の絶縁容器１の両端部が封着部材で密封された真空容器と、この真空容器の内部に設置され、絶縁容器１の軸方向で互いに接触および非接触となる固定電極５および可動電極８と、絶縁容器１の外周面を覆う可撓性絶縁被覆体１０とを備えており、可撓性絶縁被覆体１０は、外周面を周方向に延在するひだ形状の外周面突出部１１と、内周面を周方向に１周するひだ形状の内周面突出部１２とを備えたものである。【選択図】図１
2018060697.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の絶縁容器の両端部が封着部材で密封された真空容器と、
この真空容器の内部に設置され、前記絶縁容器の軸方向で互いに接触および非接触となる固定電極および可動電極と、
前記絶縁容器の外周面を覆う可撓性絶縁被覆体と
を備えた真空バルブであって、
前記可撓性絶縁被覆体は、外周面を周方向に延在するひだ形状の外周面突出部と、
内周面を周方向に１周するひだ形状の内周面突出部と
を備えたことを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
前記絶縁容器の少なくとも一方の端部を覆う箇所における前記可撓性絶縁被覆体の前記外周面突出部および前記内周面突出部を除いた部分の厚さが、
他の箇所における前記厚さより厚い
ことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項３】
前記外周面突出部と前記内周面突出部とが、
前記可撓性絶縁被覆体の前記軸方向の一致した位置に配置されている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の真空バルブ。
【請求項４】
前記外周面突出部と前記内周面突出部とが、
前記可撓性絶縁被覆体の前記軸方向の異なる位置に配置されている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の真空バルブ。
【請求項５】
前記絶縁容器と前記可撓性絶縁被覆体との接合面に接着剤またはグリースが存在する
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【請求項６】
前記可撓性絶縁被覆体の少なくとも一方の端部は、
前記封着部材まで覆う
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、真空遮断器などに用いられる真空バルブに関するもので、とくに絶縁容器の外周部を覆う可撓性絶縁被覆体を備えた真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空バルブは、一般にセラミックスまたはガラスよりなる円筒状の絶縁容器の両端開口部を金属からなる固定側端板と可動側端板とでそれぞれ密封した真空容器と、この真空容器内に設置される可動電極および固定電極とで構成されている。固定電極は棒状の固定導体と接合され、この固定導体は固定側端板を貫通している。可動電極は棒状の可動導体と接合され、この可動導体は真空バルブ内の真空を維持しつつ軸方向に動作できるよう蛇腹状のベローズを介して前記可動側端板を貫通している。可動導体を軸方向に動かして可動電極を固定電極から離間することで、可動電極と固定電極との間を流れる電流を遮断する。電流遮断時に電極間で発生した真空アークで生じる金属蒸気が絶縁容器の内面に付着して内沿面の絶縁性能が低下するのを防止するため、電極周囲には金属からなるアークシールドが設けられている。
【０００３】
真空バルブの開極状態では、固定側端板と可動側端板との間に高い電位差が生じる。そのため、真空バルブの固定側端板と可動側端板との間には高い電気絶縁性能が要求される。通常、絶縁容器の内側である真空中沿面より外側の大気中沿面の方が沿面絶縁性能が劣り、運転中に汚損や湿潤環境の影響を受けた場合、大気中沿面の沿面絶縁性能に低下を生じ、最悪は沿面閃絡事故に至る可能性がある。
【０００４】
このような問題に対して、絶縁容器の外側の沿面絶縁性能を向上させるひとつの方法として絶縁容器の外周部にひだ形状を有する可撓性絶縁被覆体を被覆する方法がある（例えば、特許文献１参照）。また、他の方法として、絶縁容器の外周部に絶縁性リングを装着し、その上から撥水性の熱収縮チューブを被覆する方法なども提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１８６８７９号公報（４頁、図１）
【特許文献２】特開昭５５−０３０１１６号公報（２頁、第２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のひだ形状を有する可撓性絶縁被覆体を絶縁容器の外周部に被覆する方法では、可撓性絶縁被覆体の弾性により可撓性絶縁被覆体は絶縁容器に密着している。この場合、可撓性絶縁被覆体と絶縁容器との界面には可撓性絶縁被覆体の弾性による面圧が印加されているが、長期運転時には可撓性絶縁被覆体の材質の劣化などに起因してこの面圧が低下し界面に空気層が生じる場合がある。この空気層は、絶縁容器や可撓性絶縁被覆体に比べて耐電圧が低い部分となり真空バルブの絶縁性能が低下する。とくに、固定側端板から可動側端板までの界面に連続的に空気層が存在する場合には最も絶縁性能が低下して閃絡する可能性が高くなるという問題があった。
【０００７】
従来の絶縁容器の外周部に絶縁性リングを装着し、その上から撥水性の熱収縮チューブを被覆する方法においても、熱収縮チューブと絶縁容器との界面および熱収縮チューブと絶縁性リングとの界面に空気層が生じる場合があり、固定側端板から可動側端板までの界面に連続的に空気層が存在する可能性がある。その結果、固定側端板から可動側端板までの界面に連続的に空気層が存在する場合には最も絶縁性能が低下して閃絡する可能性が高くなるという問題があった。
【０００８】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、可撓性絶縁被覆体と絶縁容器との界面に生じる空気層が軸方向に連続的に存在することを抑制し、真空バルブの外側の沿面絶縁性能を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明の真空バルブにおいては、筒状の絶縁容器の両端部が封着部材で密封された真空容器と、この真空容器の内部に設置され、絶縁容器の軸方向で互いに接触および非接触となる固定電極および可動電極と、絶縁容器の外周面を覆う可撓性絶縁被覆体とを備えており、可撓性絶縁被覆体は、外周面を周方向に延在するひだ形状の外周面突出部と、内周面を周方向に１周するひだ形状の内周面突出部とを備えたものである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明は、絶縁容器の外周面を覆う可撓性絶縁被覆体が内周面を周方向に１周するひだ形状の内周面突出部を備えているので、可撓性絶縁被覆体と絶縁容器との界面の軸方向に生じる空気層が連続的に存在することを抑制することができる。その結果、真空バルブの外側の沿面絶縁性能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明の実施の形態１に係る真空バルブの断面図である。
【図２】この発明の実施の形態１に係る可撓性絶縁被覆体の斜視図である。
【図３】この発明の実施の形態１に係る可撓性絶縁被覆体の断面図である。
【図４】この発明の実施の形態１に係る内周面突出部の断面拡大図である。
【図５】この発明の実施の形態２に係る可撓性絶縁被覆体の断面図である。
【図６】この発明の実施の形態２に係る可撓性絶縁被覆体の断面図である。
【図７】この発明の実施の形態３に係る可撓性絶縁被覆体の断面図である。
【図８】この発明の実施の形態３に係る可撓性絶縁被覆体の断面図である。
【図９】この発明の実施の形態４に係る真空バルブの断面図である。
【図１０】この発明の実施の形態４に係る可撓性絶縁被覆体の断面図である。
【図１１】この発明の実施の形態５に係る可撓性絶縁被覆体の断面図である。
【図１２】この発明の実施の形態５に係る可撓性絶縁被覆体の断面図である。
【図１３】この発明の実施の形態５に係る可撓性絶縁被覆体の断面図である。
【図１４】この発明の実施の形態５に係る可撓性絶縁被覆体の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、この発明を実施するための実施の形態について図を用いて説明する。以下の実施の形態の説明において、各図における同一または相当部分には同一符号を付して、その説明を繰返さない。
【００１３】
実施の形態１．
図１は、この発明を実施するための実施の形態１に係る真空バルブの断面図である。図１において、真空バルブ１００は、セラミックスやガラスからなる円筒状の絶縁容器１と、絶縁容器１の一方の開口端部にろう付けにより封着された金属製の固定側端板２と、絶縁容器１の他方の開口端部にろう付けにより封着された金属製の可動側端板３と、固定側端板２を貫通して固定側端板２に接続された棒状の固定導体４と、固定導体４の絶縁容器側の先端に接合された固定電極５と、可動側端板３を貫通し、蛇腹状のベローズ６を介して可動側端板３に接続された棒状の可動導体７と、可動導体７の絶縁容器側の先端に接合された可動電極８とで構成されている。絶縁容器１と固定側端板２と可動側端板３とで、内部を真空に保持した真空容器を構成している。
【００１４】
ここで、円筒状の真空容器の中心軸方向を軸方向と定義し、この軸方向に垂直な方向を径方向と定義する。したがって、可動導体７は軸方向に動作し、可動導体７の動作によって可動電極５と固定電極８とは、軸方向に互いに接触および非接触となる。
【００１５】
ベローズ６は、可動導体７が軸方向に動作した際においても前記真空容器内部を真空に保持するための部材であり、可動側端板３と可動導体７とに接合されている。固定電極５と可動電極８とは同軸上に対向配置され、可動導体７の動作に伴い接触および非接触となる。真空バルブ１００は、可動電極と固定電極との間の開閉動作によって固定導体４、固定電極５、可動電極８および可動導体７を流れる通電電流を制御する。電流遮断時には電極間で発生する真空アークの熱によって電極を構成する金属が蒸発する。この金属蒸気が絶縁容器１の内面に付着すると絶縁容器の内沿面の絶縁性能が低下する。金属蒸気が絶縁容器の内沿面に付着するのを抑制するため、固定電極５および可動電極８の周囲には金属製で円筒状のアークシールド９が設けられている。
【００１６】
絶縁容器１の外周には可撓性絶縁物からなる可撓性絶縁被覆体１０が具備されている。自然体の状態での可撓性絶縁被覆体１０の内径は、絶縁容器１の外径より小さく構成されており、可撓性絶縁被覆体１０自身の弾性により可撓性絶縁被覆体１０と絶縁容器１との界面に面圧が加わり可撓性絶縁被覆体１０は絶縁容器１に密着する。なお、ここで自然体の状態とは、荷重などの外部からの応力が加わっていない状態を意味する。
【００１７】
可撓性絶縁被覆体１０の材料としては、シリコーンゴム、ＥＶＡ（Ｅｔｈｙｌｅｎｅ-Ｖｉｎｙｌ  Ａｃｅｔａｔｅ：エチレン-酢酸ビニル共重合体）、ＥＰＤＭ（Ｅｔｙｌｅｎｅ  Ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  Ｄｉｅｎｅ  Ｍｅｔｙｌｅｎｅ  Ｌｉｎｋａｇｅ：エチレンプロピレンジエンゴム）、ＥＰゴム（Ｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｐｒｏｐｙｌｅｎｅゴム）、フッ素系ゴムなどが挙げられるが、長期劣化耐性および材料コストの観点からシリコーンゴムが一般的に用いられている。また、シリコーンゴムは、無機物であるフィラーを含有させることで絶縁性能が向上するため、主に水和アルミナのフィラーが添加される場合が多い。フィラー添加によりシリコーンゴムの表面で放電が発生した際のシリコーンゴムの損傷を抑制することもできる。
【００１８】
図２は、本実施の形態における可撓性絶縁被覆体１０の斜視図である。また、図３は可撓性絶縁被覆体１０の断面図である。図２は、可撓性絶縁被覆体１０の内周面の構造をわかり易く示すために、一部を切り取った斜視図である。図２に示すとおり、可撓性絶縁被覆体１０の外周面には周方向に延在する少なくとも１つのひだ形状の外周面突出部１１と、内周面には周方向に延在する少なくとも１つのひだ形状の内周面突出部１２とが形成されている。外周面突出部１１は固定側端板２から可撓性絶縁被覆体１０の表面をたどり可動側端板３に至るまでの大気中沿面距離を増大させて絶縁性能を向上するために設置されている。外周面突出部１１は軸対象となるよう１周にわたって突出している。大気中沿面距離の増大のために、外周面突出部１１は複数配置されているのが好ましい。
【００１９】
図３に示すように、外周面突出部１１の高さをＬとし、外周面突出部１１の軸方向の間隔をＰとすると、Ｌ／Ｐは３を超えないように構成するのが好ましい。この条件を満足していれば、外周面突出部１１の軸方向の隣り合う先端をたどって放電が進展することがなく、確実に大気中沿面距離の増大を図ることができる。
【００２０】
内周面突出部１２は絶縁容器１と可撓性絶縁被覆体１０の密着性を向上させるために配置されている。図２に示すように、内周面突出部１２は軸対象となるよう１周にわたって突出している。すなわち、内周面突出部１２は、その先端が内周面を１周する閉極線となるように構成されている。
【００２１】
図４は、本実施の形態における内周面突出部１２の断面拡大図である。図３に示した本実施の形態の内周面突出部１２の断面形状は、図４（ａ）に示すように半球状である。これ以外の内周面突出部１２の断面形状としては、図４（ｂ）から（ｅ）に示すように、楕円形状、三角形状、台形状、四角形状などであってもよい。
【００２２】
このように構成された真空バルブの絶縁特性について説明する。上述のとおり、絶縁容器１と可撓性絶縁被覆体１０との界面は可撓性絶縁被覆体１０の弾性により密着されている。この密着力により絶縁容器１と可撓性絶縁被覆体１０との界面の固定側端板２から可動側端板３に至るまで絶縁が保たれる。この界面の絶縁性能は、可撓性絶縁被覆体１０から絶縁容器１に印加される面圧に強く依存し、高面圧であることが望まれる。しかし、可撓性絶縁被覆体１０を絶縁容器１に被覆する作業性の観点から、可撓性絶縁被覆体１０の弾性による収縮力を必要以上に高めること、すなわち自然体の状態での可撓性絶縁被覆体１０の内径を絶縁容器１の外径より必要以上に小さくすることは困難である。また、長期的な使用により、可撓性絶縁被覆体１０の弾性が低下して絶縁容器１に印加される面圧が低下していくことは避けられない。
【００２３】
可撓性絶縁被覆体１０から絶縁容器１に印加される面圧を必要以上に高めることができず、また長期的な使用によりこの面圧が低下していくと、絶縁容器１と可撓性絶縁被覆体１０との界面に気泡や剥離などによる空気層を生じる場合がある。この空気層は他の部位よりも耐電圧特性が低くなる。その結果この空気層を通じて固定側端板２から可動側端板３に至るまで絶縁性能が低下して閃絡に至る可能性がある。この場合の絶縁性能は空気層の配置に大きく影響される。
【００２４】
とくに、固定側端板２から可動側端板３までの界面に連続的に空気層が存在する場合は最も絶縁性能が大幅に低下し閃絡する可能性が高くなる。本実施の形態のように、内周面を一周する内周面突出部１２を設けることで、可撓性絶縁被覆体１０の弾性により絶縁容器に荷重される面圧が低い場合においても、内周面突出部１２の先端は絶縁容器１と確実に密着する。また、内周面突出部１２は、その先端が内周面を１周する閉極線となるように構成されているので、固定側端板２から可動側端板３まで空気層が連続的に存在するという事象を避けることができる。つまり、可撓性絶縁被覆体と絶縁容器との界面の軸方向に空気層が連続的に存在することを抑制することができる。その結果、真空バルブの外側の沿面絶縁性能を向上させることができる。
【００２５】
また、可撓性絶縁被覆体１０に外周面突出部１１と内周面突出部１２とが一体で形成されているので、可撓性絶縁被覆体１０を絶縁容器１に被覆する作業は１回で完了する。そのため、可撓性絶縁被覆体１０を絶縁容器１に被覆する作業によって発生が懸念される気泡の混入を可能な限り排除することができる。
【００２６】
なお、絶縁容器１と可撓性絶縁被覆体１０との界面にはグリースや接着剤が塗布されていることが好ましい。これは絶縁容器１に可撓性絶縁被覆体１０を被覆するときの作業性の向上のためや、界面の密着性の向上のためである。グリースなどが塗布された状態での被覆作業においては気泡の混入が懸念されるが、混入しうる気泡は大きいもので厚さが０．２ｍｍ程度、直径１０ｍｍ程度である。内周面突出部１２と絶縁容器１との間に気泡が介在しないようにするには、内周面突出部１２の幅は１０ｍｍ以下、高さは０．２ｍｍ以下であるのが好ましい。また、可撓性絶縁被覆体１０の内面で内周面突出部１２の間となる凹部分にあらかじめグリースなどを塗布しておき、その状態で被覆作業を行えば、気泡の混入をさらに防ぐことができる。
【００２７】
実施の形態２．
一般に真空バルブは、開極状態では固定側端板が高電圧側となり、可動側端板が低電圧側となるように設置される。また、周囲に接地電位となる構造物が存在する場合、可動側端板より固定側端板の方に高電界が形成されるため、固定側端板の方により高い絶縁性能が要求される。実施の形態２においては、高電界が形成される固定側端板に近い方の可撓性絶縁被覆体の絶縁性能を高めたものである。
【００２８】
図５および図６は、実施の形態２における真空バルブの可撓性絶縁被覆体１０の断面図である。本実施の形態の可撓性絶縁被覆体１０は、実施の形態１の可撓性絶縁被覆体と同様に、外周面には周方向に延在する少なくとも１つのひだ形状の外周面突出部１１と、内周面には周方向に延在する少なくとも１つのひだ形状の内周面突出部１２とが形成されている。
【００２９】
図５および図６において、上側が固定側端板に近い方とする。また、図５および図６において、固定側端板に近い方の可撓性絶縁被覆体１０の開口部の内径をＡ１、外径をＢ１および厚さをｄ１、可動側端板に近い方の可撓性絶縁被覆体１０の開口部の内径をＡ２、外径をＢ２および厚さをｄ２とする。ここで、内径Ａ１およびＡ２、外径Ｂ１およびＢ２、並びに厚さｄ１およびｄ２は、可撓性絶縁被覆体１０の外周面突出部１１および内周面突出部１２のない部分の厚さである。
【００３０】
図５に示す可撓性絶縁被覆体１０は、Ｂ１とＢ２とを等しく、Ａ１をＡ２より小さくしたものである。その結果、ｄ１はｄ２より大きくなる。
【００３１】
また、図６に示す可撓性絶縁被覆体１０は、Ａ１とＡ２とを等しく、Ｂ１をＢ２より大きくしたものである。その結果、ｄ１はｄ２より大きくなる。
【００３２】
このように構成された可撓性絶縁被覆体１０は、内周面を一周する内周面突出部１２が設けてあるので、可撓性絶縁被覆体１０の弾性により絶縁容器に荷重される面圧が低い場合においても、内周面突出部１２の先端は絶縁容器１と確実に密着する。また、内周面突出部１２は、その先端が内周面を１周する閉極線となるように構成されているので、固定側端板２から可動側端板３まで空気層が連続的に存在するという事象を避けることができる。その結果、真空バルブの外側の沿面絶縁性能を向上させることができる。
【００３３】
また、固定側端板に近い方の可撓性絶縁被覆体１０の厚さｄ１を、可動側端板に近い方の可撓性絶縁被覆体１０の厚さｄ２より大きく設定しているので、可撓性絶縁被覆体１０自身の弾性により絶縁容器１に加わる面圧を可動側端板に近い方から固定側端板に近い方に向かって高くすることができる。その結果、可動側端板３に近い方より固定側端板２に近い方の可撓性絶縁被覆体１０の密着性を高めることができ、高電界が形成される固定側端板に近い方の可撓性絶縁被覆体１０の絶縁性能が向上する。
【００３４】
なお、本実施の形態においては、高電界が形成される端板を固定側端板としたが、必ずしも固定側端板の方に高電界が形成されるとは限らず、可動側端板の方が高電界となる場合もある。その場合、図５および図６において、上側が可動側端板に近い方とすればよい。
【００３５】
実施の形態３．
実施の形態２においては、真空バルブの両端板同士を比較した場合に、高電界が形成される端板に近い方の可撓性絶縁被覆体の絶縁性能が向上させる構造について説明した。実施の形態３においては、真空バルブの端板に近い部分と真空バルブの中央部分とを比較して、高電界が形成される端板に近い部分の可撓性絶縁被覆体の絶縁性能を向上させる構造について説明する。
【００３６】
図７および図８は、本実施の形態における真空バルブの可撓性絶縁被覆体１０の断面図である。本実施の形態の可撓性絶縁被覆体１０は、実施の形態１の可撓性絶縁被覆体と同様に、外周面には周方向に延在する少なくとも１つのひだ形状の外周面突出部１１と、内周面には周方向に延在する少なくとも１つのひだ形状の内周面突出部１２とが形成されている。
【００３７】
図７および図８において、上側が固定側端板に近い方とする。また、図７および図８において、固定側端板に近い方の可撓性絶縁被覆体１０の開口部の内径をＡ１、外径をＢ１および厚さをｄ１、可動側端板に近い方の可撓性絶縁被覆体１０の開口部の内径をＡ２、外径をＢ２および厚さをｄ２とし、さらに中央部の開口部の内径をＡ３、外径をＢ３および厚さをｄ３とする。ここで、内径Ａ１、Ａ２およびＡ３、外径Ｂ１、Ｂ２およびＢ３、並びに厚さｄ１、ｄ２およびｄ３は、可撓性絶縁被覆体１０の外周面突出部１１および内周面突出部１２のない部分の厚さである。
【００３８】
図７に示す可撓性絶縁被覆体１０は、Ｂ１とＢ２とＢ３とを等しく、Ａ１とＡ２とを等しく、さらにＡ１およびＡ２をＡ３より小さくしたものである。その結果、ｄ１およびｄ２はｄ３より大きくなる。
【００３９】
また、図８に示す可撓性絶縁被覆体１０は、Ａ１とＡ２とＡ３とを等しく、Ｂ１とＢ２とを等しく、さらにＢ１およびＢ２をＢ３より大きくしたものである。その結果、ｄ１およびｄ２はｄ３より大きくなる。
【００４０】
このように構成された可撓性絶縁被覆体１０は、内周面を一周する内周面突出部１２が設けてあるので、可撓性絶縁被覆体１０の弾性により絶縁容器に荷重される面圧が低い場合においても、内周面突出部１２の先端は絶縁容器１と確実に密着する。また、内周面突出部１２は、その先端が内周面を１周する閉極線となるように構成されているので、固定側端板２から可動側端板３まで空気層が連続的に存在するという事象を避けることができる。その結果、真空バルブの外側の沿面絶縁性能を向上させることができる。
【００４１】
また、固定側端板に近い方の可撓性絶縁被覆体１０の厚さｄ１および可動側端板に近い方の可撓性絶縁被覆体１０の厚さｄ２を中央部の可撓性絶縁被覆体１０の厚さｄ３より大きく設定しているので、可撓性絶縁被覆体１０自身の弾性により絶縁容器１に加わる面圧を中央部から両方の端板に向かって高くすることができる。その結果、両方の端板に近い方の可撓性絶縁被覆体１０の密着性を高めることができ、高電界が形成される両端板に近い方の可撓性絶縁被覆体１０の絶縁性能が向上する。
【００４２】
実施の形態４．
図９は、この発明を実施するための実施の形態４に係る真空バルブの断面図である。図９において、本実施の形態の真空バルブ１００の構成は、実施の形態１の真空バルブの構成と同様であるが、可撓性絶縁被覆体１０の両端部の構造が異なっている。
【００４３】
図９に示すように、真空バルブの軸方向における絶縁容器１の長さをＤ１、可撓性絶縁被覆体１０の長さをＤ２としたときに、Ｄ２はＤ１より大きく設定されている。可撓性絶縁被覆体１０は、絶縁容器１に固定側端板２を封着する固定側ろう付け部２３、および絶縁容器１に可動側端板３を封着する可動側ろう付け部２４まで覆う構造である。
【００４４】
図１０は、本実施の形態の可撓性絶縁被覆体１０の断面図である。図１０に示すように、本実施の形態の可撓性絶縁被覆体１０は、実施の形態１の可撓性絶縁被覆体と同様に、外周面には周方向に延在する少なくとも１つのひだ形状の外周面突出部１１と、内周面には周方向に延在する少なくとも１つのひだ形状の内周面突出部１２とが形成されている。また、可撓性絶縁被覆体１０の両端部には、固定側ろう付け部２３および可動側ろう付け部２４をそれぞれ覆う、肉厚部２５、２６がそれぞれ設けられている。
【００４５】
このように構成された可撓性絶縁被覆体１０は、内周面を一周する内周面突出部１２が設けてあるので、可撓性絶縁被覆体１０の弾性により絶縁容器に荷重される面圧が低い場合においても、内周面突出部１２の先端は絶縁容器１と確実に密着する。また、内周面突出部１２は、その先端が内周面を１周する閉極線となるように構成されているので、固定側端板２から可動側端板３まで空気層が連続的に存在するという事象を避けることができる。その結果、真空バルブの外側の沿面絶縁性能を向上させることができる。
【００４６】
また、可撓性絶縁被覆体１０の両端部に固定側ろう付け部２３および可動側ろう付け部２４をそれぞれ覆う肉厚部２５、２６がそれぞれ設けられているので、最も電界が高くなる固定側ろう付け部２３および可動側ろう付け部２４の表面の絶縁性能の向上を図ることができる。
【００４７】
実施の形態５．
図１１〜図１４は、この発明を実施するための実施の形態５における可撓性絶縁被覆体１０の断面図である。本実施の形態において、真空バルブの構成は実施の形態１と同様であるが、可撓性絶縁被覆体１０の形状が異なっている。
【００４８】
本実施の形態の可撓性絶縁被覆体１０は、実施の形態１の可撓性絶縁被覆体と同様に、外周面には周方向に延在する少なくとも１つのひだ形状の外周面突出部１１と、内周面には周方向に延在する少なくとも１つのひだ形状の内周面突出部１２とが形成されている。
【００４９】
さらに、本実施の形態の可撓性絶縁被覆体１０は、図１１に示すように、外周面突出部１１の個数より内周面突出部１２の個数が多く構成されている。実施の形態１でも説明したが、外周面突出部１１の高さをＬとし、外周面突出部１１の軸方向の間隔をＰとすると、Ｌ／Ｐは３を超えないように構成するのが好ましい。この条件を満足するためには、外周面突出部１１の高さＬが決まると軸方向の間隔Ｐには下限があり、外周面突出部１１の個数もそれにより上限がある。これに対して、内周面突出部１２には、絶縁容器１と可撓性絶縁被覆体１０との界面に混入する気泡が軸方向に連続的に存在するのを分断する作用が期待されるため、外周面突出部１１の個数より内周面突出部１２の個数が多くてもよい。
【００５０】
また、図１２に示す本実施の形態の別の可撓性絶縁被覆体１０は、内周面突出部１２の個数より外周面突出部１１の個数が多く構成されたものである。内周面突出部１２には、絶縁容器１と可撓性絶縁被覆体１０との界面に混入する気泡が軸方向に連続的に存在するのを分断する作用が期待されるが、内周面突出部１２のない部分の可撓性絶縁被覆体１０と絶縁容器１との界面に気泡が残る恐れがある。内周面突出部１２の個数があまりにも多いと、内周面突出部１２のない部分の可撓性絶縁被覆体１０と絶縁容器１との界面に気泡が残る可能性が高くなるため、内周面突出部１２の個数にも限度がある。このような理由から、絶縁容器１と内周面突出部１２との密着面積は絶縁容器１の外表面積の２分の１以下であることが好ましく、図１２に示すように、内周面突出部１２の個数より外周面突出部１１の個数が多い場合もある。
【００５１】
さらに、図１３に示す本実施の形態の別の可撓性絶縁被覆体１０においては、内周面突出部１２の個数と外周面突出部１１の個数とを同じとし、内周面突出部１２の位置と外周面突出部１１の位置とを軸方向で同じ位置としたものである。このように構成された真空バルブにおいては、絶縁容器１と可撓性絶縁被覆体１０との面圧分布が軸方向の内周面突出部１２の位置で最大となり、隣接する内周面突出部１２との中間位置で最低となる。その結果、絶縁容器１と内周面突出部１２との密着が確実になされる。
【００５２】
また、図１４に示す本実施の形態の別の可撓性絶縁被覆体１０においては、外周面突出部１１と内周面突出部１２とが軸方向に交互に配置されたものである。このように構成された真空バルブにおいては、絶縁容器１と可撓性絶縁被覆体１０との面圧分布が軸方向で均一に近い分布となる。その結果、絶縁容器１と可撓性絶縁被覆体１０との全体の密着が確実になされる。
【００５３】
なお、実施の形態１〜５において、可撓性絶縁被覆体１０の外周面突出部１１を周方向に１周する構成で説明したが、必ずしも周方向に１周する構成である必要はなく、例えばらせん状に周方向に延在する構成であってもよい。
【符号の説明】
【００５４】
１  絶縁容器、  ２  固定側端板、  ３  可動側端板、  ４  固定導体、  ５  固定電極、  ６  ベローズ、  ７  可動導体、  ８  可動電極、  ９  アークシールド、  １０  可撓性絶縁被覆体、１１  外周面突出部、  １２  内周面突出部、  ２３  固定側ろう付け部、  ２４  可動側ろう付け部、  ２５、２６  肉厚部、  １００  真空バルブ
【図１】
2018060697.tif 000003
【図２】
2018060697.tif 000004
【図３】
2018060697.tif 000005
【図４】
2018060697.tif 000006
【図５】
2018060697.tif 000007
【図６】
2018060697.tif 000008
【図７】
2018060697.tif 000009
【図８】
2018060697.tif 000010
【図９】
2018060697.tif 000011
【図１０】
2018060697.tif 000012
【図１１】
2018060697.tif 000013
【図１２】
2018060697.tif 000014
【図１３】
2018060697.tif 000015
【図１４】
2018060697.tif 000016