(57)【要約】【課題】ワークピースに対してテープを貼着する際の作業者の負担を軽減できるテープ貼着用器具を提供する。【解決手段】ワークピースにテープを貼着するテープ貼着用器具であって、回転軸の周りに回転可能な円柱状のローラと、ローラの回転軸を一端側で支持し、作業者によって把持される把手が他端側に接続される支持アームと、ローラの側面で巻回される帯状の剥離シートと、剥離シートがローラに巻回された状態で剥離シートの外側の面に設けられ、剥離シートに接する基材層と、基材層の外側の面に形成された糊層と、を有する複数のテープと、を備え、剥離シートの互いに隣接する２つのテープの間の位置には、剥離シートの巻回される方向に交差する方向に沿って剥離シートを分断する際の起点となる分断起点領域が形成されている。【選択図】図１
2018062380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークピースにテープを貼着するテープ貼着用器具であって、
回転軸の周りに回転可能な円柱状のローラと、
該ローラの回転軸を一端側で支持し、作業者によって把持される把手が他端側に接続される支持アームと、
該ローラの側面で巻回される帯状の剥離シートと、
該剥離シートが該ローラに巻回された状態で該剥離シートの外側の面に設けられ、該剥離シートに接する基材層と、該基材層の外側の面に形成された糊層と、を有する複数の該テープと、を備え、
該剥離シートの互いに隣接する２つの該テープの間の位置には、該剥離シートの巻回される方向に交差する方向に沿って該剥離シートを分断する際の起点となる分断起点領域が形成されていることを特徴とするテープ貼着用器具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等のワークピースに対してテープを貼着する際に用いられるテープ貼着用器具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハに代表されるワークピースを加工する際に、ダイシングテープやＢＧテープ等のテープを貼着（貼付）することがある（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。このようなテープをワークピースに貼着することで、加工の際の衝撃等からワークピースを保護したり、ワークピースの取り扱い易さを高めたりできる。
【０００３】
ところで、少量のワークピースを加工する際には、大掛かりな装置を使用せずに作業者の手作業でワークピースにテープを貼着することがある。この場合には、例えば、ワークピースに対してテープの位置を合わせ、その後、ローラ等を用いて圧力を掛けることで、ワークピースにテープを貼着する（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１−２９７４８３号公報
【特許文献２】特開平５−１９８５４２号公報
【特許文献３】特開２０１４−１４１２７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
クリーンルーム内の限られたスペースを有効に活用するため、上述のようなテープは、円筒状に巻回された（巻かれた）状態でローラ等とともにクリーンルーム外に保管されることが多い。しかしながら、ワークピースに対してテープを貼着する度にテープをローラ等の器具とともにクリーンルーム内に持ち込むのでは、作業者の負担が大きかった。
【０００６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ワークピースに対してテープを貼着する際の作業者の負担を軽減できるテープ貼着用器具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、板状のワークピースにテープを貼着するテープ貼着用器具であって、回転軸の周りに回転可能な円柱状のローラと、該ローラの回転軸を一端側で支持し、作業者によって把持される把手が他端側に接続される支持アームと、該ローラの側面で巻回される帯状の剥離シートと、該剥離シートが該ローラに巻回された状態で該剥離シートの外側の面に設けられ、該剥離シートに接する基材層と、該基材層の外側の面に形成された糊層と、を有する複数の該テープと、を備え、該剥離シートの互いに隣接する２つの該テープの間の位置には、該剥離シートの巻回される方向に交差する方向に沿って該剥離シートを分断する際の起点となる分断起点領域が形成されていることを特徴とするテープ貼着用器具が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一態様に係るテープ貼着用器具では、複数のテープとともに剥離シートがローラの側面で巻回されているので、テープ貼着用器具とは別に円筒状に巻回されたテープを持ち運ぶ必要がない。よって、ワークピースに対してテープを貼着する際の作業者の負担を軽減できる。
【０００９】
また、本発明の一態様に係るテープ貼着用器具では、複数のテープが設けられた剥離シートのテープとテープとの間の位置に、剥離シートを分断する際の起点となる分断起点領域が形成されているので、この分断起点領域で剥離シートを容易に分断できる。つまり、不要な剥離シートを容易に分断して除去できるので、ワークピースに対して次のテープを貼着し易くなり、作業者の負担が軽減される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】テープ貼着用器具の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図２】図２（Ａ）は、テープ体の構成例を模式的に示す側面図であり、図２（Ｂ）は、テープ体の構成例を模式的に示す断面図である。
【図３】ワークピースに対してテープが貼着される様子を模式的に示す斜視図である。
【図４】図４（Ａ）は、変形例に係るテープ体の構成例を模式的に示す側面図であり、図４（Ｂ）は、変形例に係るテープ体の構成例を模式的に示す平面図である。
【図５】変形例に係るテープ貼着用器具の構成例を模式的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るテープ貼着用器具の構成例を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、テープ貼着用器具２は、作業者が把持するための把手（把持部）４を備えている。把手４は、例えば、樹脂等の材料を用いて円柱状に形成される。ただし、把手４の材質や形状等に制限はない。
【００１２】
把手４の先端部には、例えば、金属等の材料で形成される支持アーム６が取り付けられている。この支持アーム６は、一端側を把手４に固定される連結部８を有する。連結部８の他端側には、把手４の長手方向に対して垂直な方向に伸長するアーム部１０の中央部分が接続されている。アーム部１０の両端には、それぞれ、アーム部１０の伸長方向に対して垂直な方向に伸長する支持部１２が設けられている。
【００１３】
支持部１２の先端側には、円柱状のローラ１４の回転軸が支持されており、ローラ１４は、この回転軸の周りに回転する。すなわち、支持アーム６は、ローラ１４の回転軸を一端側（支持部１２側）で支持し、その他端側（連結部８側）には、作業者によって把持される把手４が接続されている。
【００１４】
ローラ１４の側面（円柱の側面に相当する面）には、テープ体１が巻回されている。図２（Ａ）は、テープ体１の構成例を模式的に示す側面図であり、図２（Ｂ）は、テープ体１の一部を拡大した断面図である。図１、図２（Ａ）、及び図２（Ｂ）に示すように、テープ体１は、ワークピース（被貼着物）１１（図３参照）に貼着される複数のテープ３と、テープ３を支持する帯状の剥離シート５とで構成されている。
【００１５】
テープ３は、平面視でワークピース１１に対応する形状（本実施形態では、円形）に形成された基材７と、基材７の第１面（外側の面）７ａ側に設けられた粘着力（接着力）を有する糊層（粘着層）９と、を含んで構成される。基材７は、例えば、ポリオレフィンや塩化ビニル等の樹脂を用いて概ね均一な厚さに形成されている。
【００１６】
この基材７の第２面（内側の面）７ｂが、テープ３の裏面となる。一方で、糊層９は、例えば、アクリル系やゴム系の粘着剤を用いて基材７の第１面７ａの全体を覆うように形成される。ただし、基材７や糊層９の材質、形状、大きさ等に制限はない。このように構成されるテープ３の裏面（基材７の第２面７ｂ）には、剥離シート５の第１面（外側の面）５ａが密着している。
【００１７】
剥離シート５は、テープ３の裏面側（基材７の第２面７ｂ側）が第１面５ａに密着した状態で、テープ３の表面となる糊層９の表面９ａが外側を向くように円筒状に巻回されている。すなわち、テープ３は、剥離シート５とともに巻回される。剥離シート５の第２面（内側の面）５ｂは、例えば、フッ素系の樹脂や、シリコン系の樹脂で被覆されており、テープ３の表面側（糊層９の表面９ａ側）に接着し難くなっている。
【００１８】
一方で、剥離シート５の第１面５ａは、テープ３の裏面側（基材７の第２面７ｂ）に対して弱い粘着性、又は弱いタック（初期粘着性）を示すように形成されている。よって、剥離シート５の第１面５ａに対するテープ３の裏面側（基材７の第２面７ｂ）の接着力は、剥離シート５の第２面５ｂに対するテープ３の表面側（糊層９の表面９ａ側）の接着力より強くなっている。そのため、テープ体１を繰り出す際に、剥離シート５の第１面５ａからテープ３が剥がれてしまうことはない。
【００１９】
また、糊層９は、ワークピース１１に対するテープ３の表面側（糊層９の表面９ａ側）の接着力が、剥離シート５の第１面５ａに対するテープ３の裏面側（基材７の第２面７ｂ）の接着力より強くなるように形成されている。そのため、テープ３の表面側（糊層９の表面９ａ側）をワークピース１１に貼着した後に、テープ３を剥離シート５から容易に剥離できる。
【００２０】
また、剥離シート５の隣接する２つのテープ３の間の位置には、剥離シート５を分断する際の起点となる複数の細孔（分断起点領域）５ｃが形成されている。この複数の細孔５ｃは、例えば、剥離シート５の長手方向（剥離シート５の巻回される方向）に対して垂直な方向に伸長するミシン目状に形成される。複数の細孔５ｃにより、テープ３を貼着した後の不要な剥離シート５を容易に分断して除去できる。
【００２１】
図３は、ワークピース１１に対してテープ３が貼着される様子を模式的に示す斜視図である。ワークピース１１は、例えば、シリコン（Ｓｉ）等の半導体材料を用いて円盤状に形成されたウェーハである。このワークピース１１の表面１１ａ側は、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）１３で複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイス１５が形成されている。
【００２２】
なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハをワークピース１１として用いるが、ワークピースの材質、形状、大きさ、構造等に制限はない。例えば、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板をワークピース１１として用いることもできる。同様に、デバイス１５の種類、数量、大きさ、配置等にも制限はない。また、デバイス１５が形成されていない基板等をワークピース１１としても良い。
【００２３】
例えば、図３に示すように、ワークピース１１の表面１１ａにテープ３を貼着する際には、まず、ワークピース１１の表面１１ａを上方に露出させる。次に、テープ貼着用器具２をワークピース１１の上方で移動させて、ワークピース１１の外縁の位置にテープ３の外縁の位置を合わせる。
【００２４】
その後、テープ貼着用器具２を下降させて、ワークピース１１の表面１１ａにテープ３の表面側（糊層９の表面９ａ側）の一部を密着させる。この状態で、テープ貼着用器具２のローラ１４を転動させれば、ワークピース１１の表面１１ａの全体にテープ３を貼着できる。なお、本実施形態では、テープ３をワークピース１１の表面１１ａに貼着しているが、ワークピース１１の裏面１１ｂにテープ３を貼着しても良い。
【００２５】
以上のように、本実施形態に係るテープ貼着用器具２では、複数のテープ３とともに剥離シート５がローラ１４の側面で巻回されているので、テープ貼着用器具２とは別に円筒状に巻回されたテープを持ち運ぶ必要がない。よって、ワークピースに対してテープを貼着する際の作業者の負担を軽減できる。
【００２６】
また、本実施形態に係るテープ貼着用器具２では、複数のテープ３が設けられた剥離シート５のテープ３とテープ３との間の位置に、剥離シート５を分断する際の起点となる複数の細孔（分断起点領域）５ｃが形成されているので、この複数の細孔５ｃで剥離シート５を容易に分断できる。つまり、不要な剥離シート５を容易に分断して除去できるので、ワークピース１１に対して次のテープ３を貼着し易くなり、作業者の負担が軽減される。
【００２７】
なお、本発明は、上記実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態とは異なる態様のテープ体を用いることもできる。図４（Ａ）は、変形例に係るテープ体の構成例を模式的に示す側面図であり、図４（Ｂ）は、変形例に係るテープ体の構成例を模式的に示す平面図である。
【００２８】
変形例に係るテープ体２１の基本的な構成は、テープ体１と同様である。すなわち、テープ体２１は、テープ２３と、テープ２３を支持する帯状の剥離シート２５とで構成されている。テープ２３は、帯状の基材２７と、基材２７の第１面（外側の面）側に設けられた粘着力（接着力）を有する糊層（粘着層）２９と、を含む。
【００２９】
基材２７は、例えば、ポリオレフィンや塩化ビニル等の樹脂を用いて、概ね均一な厚さに形成されている。この基材２７の第２面（内側の面）が、テープ３の裏面となる。一方で、糊層２９は、例えば、アクリル系やゴム系の粘着剤を用いて、基材２７の第１面の全体を覆うように形成される。
【００３０】
ただし、基材２７や糊層２９の材質、形状、大きさ等に制限はない。このように構成されるテープ２３の裏面（基材２７の第２面）には、剥離シート２５の第１面（外側の面）が密着している。剥離シート２５は、テープ２３の裏面側（基材７の第２面側）が第１面に密着した状態で、テープ２３の表面となる糊層２９の表面２９ａが外側を向くように円筒状に巻回されている。
【００３１】
剥離シート２５の第２面（内側の面）２５ｂは、例えば、フッ素系の樹脂や、シリコン系の樹脂で被覆されており、テープ２３の表面側（糊層９の表面９ａ側）に接着し難くなっている。一方で、剥離シート２５の第１面は、テープ２３の裏面側（基材７の第２面）に対して弱い粘着性、又は弱いタック（初期粘着性）を示すように形成されている。
【００３２】
また、糊層２９は、ワークピース１１に対するテープ２３の表面側（糊層２９の表面２９ａ側）の接着力が、剥離シート２５の第１面に対するテープ２３の裏面側（基材２７の第２面）の接着力より強くなるように形成される。
【００３３】
このテープ３には、図４（Ｂ）に示すように、平面視でワークピース１１に対応する形状（本実施形態では円形）の複数の切り込み２３ａが形成されている。テープ３は、切り込み１ａを境に、ワークピース１１に貼着される複数のテープ２３ｂと、残りのテープ２３ｃとに分けられている。
【００３４】
また、隣接する２つのテープ２３ｂの間の位置には、テープ２３ｃ及び剥離シート２５を分断する際の起点となる複数の細孔（分断起点領域）２１ａが形成されている。この複数の細孔２１ａは、例えば、テープ２３及び剥離シート２５の長手方向（剥離シート２５の巻回される方向）に対して垂直な方向に伸長するミシン目状に形成される。複数の細孔２１ａにより、テープ２３ａを貼着した後の不要な剥離シート５を容易に分断して除去できる。
【００３５】
また、上記実施形態とは異なる形状の支持アームを用いることもできる。図５は、変形例に係るテープ貼着用器具の構成例を模式的に示す斜視図である。変形例に係るテープ貼着用器具２２の基本的な構成は、テープ貼着用器具２と同様である。すなわち、変形例に係るテープ貼着用器具２２は、作業者が把持するための把手（把持部）２４を備えている。
【００３６】
把手２４の先端部には、例えば、金属等の材料で形成される支持アーム２６が取り付けられている。この支持アーム２６は、一端側を把手２４に固定される連結部２８を有している。連結部２８の他端側には、把手２４の長手方向に対して垂直な方向に伸長するアーム部３０の一端側が接続されている。アーム部３０の他端には、アーム部３０の伸長方向に対して垂直な方向に伸長する支持部３２が設けられている。
【００３７】
支持部３２の先端側には、円柱状のローラ３４の回転軸が支持されており、ローラ３４は、この回転軸の周りに回転する。すなわち、支持アーム２６は、ローラ３４の回転軸を一端側（支持部３２側）で支持し、その他端側（連結部２８側）には、作業者によって把持される把手２４が接続されている。
【００３８】
ローラ３４の側面には、テープ体１（テープ体２１）が巻回されている。このテープ貼着用器具２２では、アーム部３０の一端側でローラ３４を支持しておらず、ローラ３４の一端側が解放されている。これにより、ローラ３４に対してテープ体１を容易に着脱、交換できる。
【００３９】
また、上記実施形態等では、剥離シート５（剥離シート２５）を分断する際の起点となる分断起点領域として、複数の細孔５ｃ（複数の細孔２１ａ）を形成しているが、他の態様の分断起点領域を形成しても良い。例えば、剥離シート５の厚みを部分的に薄くして、その領域を分断起点領域とすることもできる。
【００４０】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００４１】
２，２２  テープ貼着用器具
４，２４  把手（把持部）
６，２６  支持アーム
８，２８  連結部
１０，３０  アーム部
１２，３２  支持部
１４，３４  ローラ
１  テープ体
３  テープ
５  剥離シート
５ａ  第１面（外側の面）
５ｂ  第２面（内側の面）
５ｃ  複数の細孔（分断起点領域）
７  基材
７ａ  第１面（外側の面）
７ｂ  第２面（内側の面）
９  糊層
９ａ  表面
１１  ワークピース（被貼着物）
１１ａ  表面
１１ｂ  裏面
１３  分割予定ライン（ストリート）
１５  デバイス
２１  テープ体
２１ａ  複数の細孔（分断起点領域）
２３  テープ
２３ａ  切り込み
２３ｂ  テープ
２３ｃ  テープ
２５  剥離シート
２５ｂ  第２面（内側の面）
２７  基材
２９  糊層
２９ａ  表面
【図１】
2018062380.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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