(57)【要約】      （修正有）【課題】絶縁管の回転を防止することができる構造を備えた高温高圧炉用の温度計測器を提供する。【解決手段】絶縁管１０の軸方向端部には、先端係合部としての凹部２２が設けられている。一対の金属体８が挿通されるスペーサ１７が接続板１５と絶縁管１０との間に配置されている。絶縁管１０は、その周方向において上記凹部２２にてスペーサ１７に係止される。スペーサ１７が省略された場合は、絶縁管１０は、その周方向において上記凹部２２にて接続板１５に係止される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
材質が異なる線状または棒状の少なくとも一対の金属体と、
前記金属体の外径よりも大きな内径の前記金属体が挿通される孔を有する絶縁管と、
前記一対の金属体の先端部に設けられ、当該先端部同士を接続する接続板と、
を備える高温高圧炉用の温度計測器であって、
前記絶縁管の軸方向端部には、凹または凸の先端係合部が設けられており、
前記絶縁管が、その周方向において前記先端係合部にて前記接続板に係止される、または、前記一対の金属体が挿通されるスペーサが前記接続板と前記絶縁管との間に配置される場合には、前記絶縁管が、その周方向において前記先端係合部にて前記スペーサに係止されることを特徴とする、高温高圧炉用の温度計測器。
【請求項２】
請求項１に記載の高温高圧炉用の温度計測器において、
前記一対の金属体が挿通されるスペーサが前記接続板と前記絶縁管との間に配置されており、
前記スペーサの材質と前記接続板の材質とが同じ材質とされていることを特徴とする、高温高圧炉用の温度計測器。
【請求項３】
請求項１または２に記載の高温高圧炉用の温度計測器において、
前記絶縁管は、複数の絶縁管片が軸方向に積層されてなるものであり、
前記絶縁管片の軸方向端部には、凹または凸の係合部が設けられており、
隣り合う前記絶縁管片同士が、その周方向において前記係合部にて相互に係止されることを特徴とする、高温高圧炉用の温度計測器。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の高温高圧炉用の温度計測器において、
複数の前記一対の金属体が、前記絶縁管の中に並列配置されていることを特徴とする、高温高圧炉用の温度計測器。
【請求項５】
請求項４に記載の高温高圧炉用の温度計測器において、
複数の前記一対の金属体は、第１の一対の金属体と、当該第１の一対の金属体よりも短い第２の一対の金属体と、を有し、
前記第２の一対の金属体の先端部同士を接続する第２接続板は、長手方向を有する板片であり、
前記第２接続板の長手方向に沿う両側面に、前記第１の一対の金属体が通される溝が形成されていることを特徴とする、高温高圧炉用の温度計測器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加圧焼結炉、熱間等方圧加圧装置などの高温高圧炉用の温度計測器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
熱間等方圧加圧（以下、ＨＩＰと略記する）処理とは、圧媒ガス雰囲気下で、数百〜２０００℃の高温と数十〜数百ＭＰａの等方的な高圧とを被処理物に同時に加えて処理することをいう。現在では、セラミック素材や蛍光体材料を、２０００℃以上の高温でＨＩＰ処理することが増えている。
【０００３】
ＨＩＰ装置のような高温高圧炉に適用する温度計測器として、例えば特許文献１に記載の熱電対温度計がある。特許文献１に記載の熱電対温度計は、φ３ｍｍ以上の熱電対ロッド部材と、熱電対ロッド部材の外径よりも大きな内径の熱電対ロッド部材挿入孔を有する絶縁管とを備えている。熱電対ロッド部材と熱電対ロッド部材挿入孔との間の間隙を確保すべく、例えばφ３ｍｍの熱電対ロッド部材に対して、熱電対ロッド部材挿入孔の内径を４ｍｍとすることが特許文献１に記載されている。
【０００４】
ここで、例えば２０００℃といった高温下で熱電対温度計が使用されると、熱電対線の材料成分と、絶縁管の材料成分とが化学反応し、熱電対温度計の熱起電力が低下してしまうことがある。その結果、熱電対温度計の使用可能回数が減ってしまう。すなわち、熱電対温度計の寿命が短くなってしまう。
【０００５】
上記熱電対温度計では、熱電対を構成する金属線としてφ３ｍｍ以上という太径の熱電対ロッド部材が用いられている。この構成により、線径が０．５ｍｍ程度の市販の熱電対線を用いる場合よりも熱電対線の寿命の長期化が図られている。
また、上記熱電対温度計では、例えばφ３ｍｍの熱電対ロッド部材に対して、熱電対ロッド部材挿入孔の内径が４ｍｍとされることで、熱電対ロッド部材と熱電対ロッド部材挿入孔との間の間隙の確保が図られている。この構成により、熱電対線と絶縁管との接触が防止され、両者の化学反応が抑えられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６０−２１８５８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の熱電対温度計には、次のような解決すべき課題が残されていた。特許文献１には、短尺の管体が多段に積み重ねられてなる絶縁管が記載されている。短尺の管体が多段に積み重ねられるに際し、熱電対ロッド部材挿入孔は同心にされなければならない。そのため、熱電対ロッド部材挿入孔とは別に、短尺の管体それぞれに軸方向に孔があけられ、その孔に棒材が挿入されるようにされている。棒材の外径は例えば２ｍｍとされ、孔の内径は例えば２．２ｍｍとされている。この構成により、多段に積み重ねられる短尺の管体の熱電対ロッド部材挿入孔同士が同心になるようにされている。
【０００８】
熱電対温度計の組立てに際し、上記構成により、相互の熱電対ロッド部材挿入孔を同心にすることは容易に行える。しかしながら、多段に積み重ねられてなる絶縁管全体は、その周方向において特に拘束されていないため、絶縁管全体が正規の位置よりも回転した位置となり、絶縁管の熱電対ロッド部材挿入孔の内壁面に、熱電対ロッド部材が接触してしまうことがある。なお、正規の位置とは、熱電対ロッド部材挿入孔の中心と、熱電対ロッド部材の中心とが合う位置のことである。また、組み立てられた熱電対温度計において、絶縁管全体が回転してしまい、その熱電対ロッド部材挿入孔の内壁面に、熱電対ロッド部材が接触してしまうこともある。熱電対ロッド部材挿入孔の内壁面に、熱電対ロッド部材が接触していると、熱電対ロッド部材の材料成分と、絶縁管の材料成分との化学反応が促進されてしまう。
【０００９】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、絶縁管の回転を防止することができる構造を備えた高温高圧炉用の温度計測器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る温度計測器は、材質が異なる線状または棒状の少なくとも一対の金属体と、前記金属体の外径よりも大きな内径の前記金属体が挿通される孔を有する絶縁管と、前記一対の金属体の先端部に設けられ、当該先端部同士を接続する接続板と、を備える高温高圧炉用の温度計測器である。前記絶縁管の軸方向端部には、凹または凸の先端係合部が設けられている。前記絶縁管は、その周方向において前記先端係合部にて前記接続板に係止される、または、前記一対の金属体が挿通されるスペーサが前記接続板と前記絶縁管との間に配置される場合には、前記絶縁管は、その周方向において前記先端係合部にて前記スペーサに係止される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る温度計測器によれば、絶縁管は、凹または凸の先端係合部にて、一対の金属体の先端部同士を接続する接続板に係止される。接続板と絶縁管との間にスペーサが配置される場合には、絶縁管は、凹または凸の先端係合部にて、スペーサに係止される。これにより、絶縁管の回転が防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係る温度計測器が、高温高圧炉（ＨＩＰ装置）の内部に配置された状態を示すＨＩＰ装置の縦断面図である。
【図２】図１に示す温度計測器の断面図である。
【図３】図２のＡ部、Ｂ部、およびＣ部の拡大図である。
【図４】図２のＡ部（温度計測器の先端側部分）の、図２の断面に対して９０度異なる方向の断面図である。
【図５Ａ】図３のＤ−Ｄ断面図である。
【図５Ｂ】図３のＥ−Ｅ断面図である。
【図５Ｃ】図３のＦ−Ｆ断面図である。
【図６Ａ】図３のＧ−Ｇ断面図である。
【図６Ｂ】図３のＨ−Ｈ断面図である。
【図６Ｃ】図３のＩ−Ｉ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。以下の説明では、本発明の一実施形態に係る温度計測器をＨＩＰ装置に適用した場合を例示している。なお、本発明の温度計測器は、ＨＩＰ装置に限らず、加圧焼結炉などの様々な高温高圧炉にも適用することができる。
【００１４】
（ＨＩＰ装置の構成）
図１に基づき、ＨＩＰ装置１００の構成についてまず説明する。ＨＩＰ装置１００は、被処理物（不図示）が収容される円筒形状の圧力容器本体１を備える。圧力容器本体１の上下の開口部は、それぞれ上蓋２、下蓋３で塞がれる。圧力容器本体１の内部には、被処理物が載置される製品台４が設置されている。製品台４の上方スペースは、処理スペースＳである。処理スペースＳを囲むように、加熱手段としてのヒータ５が設置されている。ヒータ５の外側には、当該ヒータ５を囲むように、上端部が閉じた断熱層６が配置されている。断熱層６の内側に、本発明の一実施形態に係る温度計測器７が、その軸方向が鉛直方向（上下方向）に沿う姿勢で配置されている。
【００１５】
なお、ヒータ５は、例えば、短冊形状の複数のヒータが所定の間隔をあけて平面視において同心円上に配置されてなるものである。この場合、温度計測器７は、短冊形状の隣り合うヒータの間に配置される。すなわち、短冊形状の複数のヒータと、温度計測器７とは、平面視において同心円上に配置される。図１では、便宜上、ヒータ５の内側に温度計測器７が表示されている。なお、図１に表示されているように、ヒータ５の内側に温度計測器７が配置されてもよい。
【００１６】
（温度計測器の構成）
図２〜図６Ｃに基づき、温度計測器７の構成について説明する。温度計測器７は、熱電対温度計である。本実施形態の温度計測器７は、熱電対線としての第１の一対の金属体８（８ａ，８ｂ）と、熱電対線としての第２の一対の金属体９（９ａ，９ｂ）とを備えている。第２の一対の金属体９は、第１の一対の金属体８よりも短い。
【００１７】
金属体８（８ａ，８ｂ）、および金属体９（９ａ，９ｂ）は、いずれも棒状であり、その外径は、例えば３ｍｍである。金属体８ａ，９ａの材質は、例えばＷ−５％Ｒｅ（タングステン−５％レニウム）であり、金属体８ｂ，９ｂの材質は、例えばＷ−２６％Ｒｅ（タングステン−２６％レニウム）である。
【００１８】
金属体８ａの先端部と、金属体８ｂの先端部とは、第１接続板１５にて接続される。同様に、金属体９ａの先端部と、金属体９ｂの先端部とは、第２接続板１８にて接続される。図５Ａ、図６Ａに示すように、接続板１５，１８は、長手方向を有する板片である。接続板１５，１８の材質は、例えばＷ−２６％Ｒｅである。第１接続板１５にて接続された金属体８（８ａ，８ｂ）の先端部分は測温部である。この測温部は、温度計測器７がＨＩＰ装置１００内に配置された状態において、処理スペースＳ（図１参照）の上部に位置させられる。第２接続板１８にて接続された金属体９（９ａ，９ｂ）の先端部分も測温部である。この測温部は、温度計測器７がＨＩＰ装置１００内に配置された状態において、処理スペースＳ（図１参照）の下部に位置させられる。
すなわち、温度計測器７は、処理スペースＳ（炉内）の上部および下部の温度をそれぞれ計測することが可能とされたＷＲｅ熱電対温度計である。
【００１９】
一対の金属体８（８ａ，８ｂ）は、絶縁管１０，１１に挿通される。もう一方の短い方の一対の金属体９（９ａ，９ｂ）は、絶縁管１１に挿通される。これら金属体が挿通された絶縁管１０，１１は、保護管１２の中に収容される。温度計測器７の基端側には、保護管受２０が配置されている。絶縁管１０，１１、および保護管１２の材質は、例えばＢＮ（ボロンナイト ライド）である。絶縁管１０は、その軸方向において、支持部材（図示せず）によって固定されるとよい。
【００２０】
図５Ａに示すように、第１接続板１５には２つのネジ孔３２が形成されている。２つのネジ孔３２の一方のネジ孔３２に金属体８ａがねじ込まれ、他方のネジ孔３２に金属体８ｂがねじ込まれる。金属体８ａ，８ｂと第１接続板１５との接続は、それぞれナット１６で強固に固定される（図４参照）。このようにして、金属体８ａの先端部と、金属体８ｂの先端部とは、第１接続板１５にて接続される。
【００２１】
同様に、図６Ａに示すように、第２接続板１８には２つのネジ孔３２が形成されている。２つのネジ孔３２の一方のネジ孔３２に金属体９ａがねじ込まれ、他方のネジ孔３２に金属体９ｂがねじ込まれる。金属体９ａ，９ｂと第２接続板１８との接続は、それぞれナット１６で強固に固定される（図３中のＢ部拡大図参照）。このようにして、金属体９ａの先端部と、金属体９ｂの先端部とは、第２接続板１８にて接続される。
【００２２】
なお、第１接続板１５側においても第２接続板１８側においても、ナット１６の材質は、例えば、当該ナット１６がねじ込まれる金属体の材質と同じとされる。
【００２３】
温度計測器７の上部側の絶縁管１０は、複数の絶縁管片１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄが軸方向に積層されてなるものである。図５Ｃに示すように、絶縁管片１０ａ〜１０ｄ（絶縁管１０）には、金属体８ａ，８ｂを挿通するための２つの孔２６が形成されている。２つの孔２６の一方の孔２６に金属体８ａが挿通され、他方の孔２６に金属体８ｂが挿通される。孔２６の内径は、金属体８ａ，８ｂの外径よりも大きくされる。
【００２４】
図３中のＡ部拡大図などに示すように、第１接続板１５に最も近い絶縁管片１０ａは、一方の軸方向端部に凹部２２（先端係合部）を有し、他方の軸方向端部に凸部２３（係合部）を有している。中間に位置する絶縁管片１０ｂ，１０ｃは、一方の軸方向端部に凹部２４（係合部）を有し、他方の軸方向端部に凸部２３（係合部）を有している。末端に位置する絶縁管片１０ｄは、一方の軸方向端部に凹部２４（係合部）を有している。絶縁管片１０ｄの他方の軸方向端部は、平坦とされている。
【００２５】
ここで、本実施形態では、第１接続板１５と絶縁管片１０ａとの間に、金属体８ａ，８ｂが挿通されるスペーサ１７が配置されている。上記した凹部２２は、スペーサ１７が嵌め込まれる部分である。絶縁管１０は、その周方向において凹部２２にてスペーサ１７に係止される。図５Ｂに示すように、スペーサ１７は、長手方向を有する板片である。
【００２６】
また、上記した凹部２４と上記した凸部２３は、互いに係合させられる部分である。隣り合う絶縁管片１０ａ〜１０ｄ同士は、その周方向において、互いに係合させられた凹部２４・凸部２３部分にて相互に係止される。
【００２７】
図５Ｂに示すように、スペーサ１７には２つの孔２５が形成されている。この孔２５に、金属体８ａ，８ｂが挿通される。孔２５の内径は、絶縁管１０に形成された孔２６の内径よりも小さく、且つ、金属体８ａ，８ｂの外径とほぼ等しくされる。スペーサ１７の材質と、第１接続板１５の材質とは、同じ材質とされることが好ましい。すなわち、第１接続板１５の材質が、例えばＷ−２６％Ｒｅとされる場合には、スペーサ１７の材質もＷ−２６％Ｒｅとされることが好ましい。
【００２８】
温度計測器７の下部側の絶縁管１１は、複数の絶縁管片１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄが軸方向に積層されてなるものである。図６Ｃに示すように、絶縁管片１１ａ〜１１ｄ（絶縁管１１）には、金属体８ａ，８ｂ、および金属体９ａ，９ｂを挿通するための４つの孔２６が形成されている。４つの孔２６は、９０度間隔で形成されている。孔２６の内径は、挿通される金属体８ａ，８ｂ，９ａ，９ｂの外径よりも大きくされる。
【００２９】
図６Ｂに示すように、第２接続板１８に最も近い絶縁管片１１ａは、前記した絶縁管片１０ａと同じく、一方の軸方向端部に凹部２２（先端係合部）を有する。また、図示を省略するが、絶縁管片１１ａの他方の軸方向端部には、前記した絶縁管片１０ａと同じく、凸部（係合部）が設けられている。絶縁管片１１ｂ〜１１ｄの軸方向端部の構造は、前記した絶縁管片１０ｂ〜１０ｄの構造と同じである。
【００３０】
本実施形態では、第２接続板１８と絶縁管片１１ａとの間に、金属体９ａ，９ｂが挿通されるスペーサ１９が配置されている。上記した凹部２２は、スペーサ１９が嵌め込まれる部分である。絶縁管１１は、その周方向において凹部２２にてスペーサ１９に係止される。図６Ｂに示すように、スペーサ１９は、長手方向を有する板片である。
【００３１】
隣り合う絶縁管片１１ａ〜１１ｄ同士は、絶縁管片１０ａ〜１０ｄと同じく、その周方向において、互いに係合させられた凹部・凸部部分（不図示）にて相互に係止される。
【００３２】
図６Ｂに示すように、スペーサ１９には２つの孔２５が形成されている。この孔２５に、金属体９ａ，９ｂが挿通される。孔２５の内径は、絶縁管１１に形成された孔２６の内径よりも小さく、且つ、金属体９ａ，９ｂの外径とほぼ等しくされる。スペーサ１９の材質と、第２接続板１８の材質とは、同じ材質とされることが好ましい。すなわち、第２接続板１８の材質が、例えばＷ−２６％Ｒｅとされる場合には、スペーサ１９の材質もＷ−２６％Ｒｅとされることが好ましい。
【００３３】
スペーサ１９と、前記した先端側のスペーサ１７との違いは、以下の通りである。スペーサ１９の長手方向に沿う両側面には、それぞれ、金属体８ａ，８ｂが通される円弧状の溝２８が形成されている（図６Ｂ参照）。これに対して、スペーサ１７の長手方向に沿う両側面には上記溝２８は形成されていない（図５Ｂ参照）。この溝２８は、絶縁管１１に形成された孔２６と例えば同じ半径の円弧形状の溝である。軸方向に延びる金属体８ａ，８ｂと、スペーサ１９との間の間隙を確保するために、スペーサ１９の長手方向に沿う両側面に上記溝２８が形成されている。
【００３４】
第２接続板１８に関しても同様である。図６Ａに示すように、第２接続板１８の長手方向に沿う両側面には、それぞれ、金属体８ａ，８ｂが通される円弧状の溝２７が形成されている。この溝２７は、絶縁管１１に形成された孔２６と例えば同じ半径の円弧形状の溝である。軸方向に延びる金属体８ａ，８ｂと、接続板１８との間の間隙を確保するために、接続板１８の長手方向に沿う両側面に上記溝２７が形成されている。
【００３５】
絶縁管片１１ａ〜１１ｃに関しても同様である。図６Ｃに示すように、例えば絶縁管片１１ａの凸部２３の一両側面には、それぞれ、円弧状の溝３０が形成されている。この溝３０は、絶縁管片１１ａに形成された孔２６の一部を構成する溝である。軸方向に延びる金属体８ａ，８ｂと、絶縁管片１１ａの凸部２３との間の間隙を確保するために、絶縁管片１１ａの凸部２３の一両側面に上記溝３０が形成されている。
【００３６】
温度計測器７の基端側において、前記した構造で、棒状の第１の一対の金属体８（８ａ，８ｂ）と棒状の第２の一対の金属体９（９ａ，９ｂ）とが、絶縁管１１の中に並列配置されている。
【００３７】
上記した温度計測器７によると、絶縁管片１０ａ〜１０ｄ（１１ａ〜１１ｄ）の軸方向端部に、凹または凸の係合部２３，２４が設けられており、隣り合う絶縁管片１０ａ〜１０ｄ（１１ａ〜１１ｄ）同士は、その周方向において当該係合部２３，２４にて相互に係止される。これにより、絶縁管片１０ａ〜１０ｄ（１１ａ〜１１ｄ）同士間の回転が防止される。
【００３８】
また、上部側の絶縁管１０を構成する最上端の絶縁管片１０ａは、その周方向において、当該絶縁管片１０ａの軸方向端部に設けられた凹部２２にてスペーサ１７に係止される。これにより、絶縁管片１０ａの回転が防止される。また、下部側の絶縁管１１を構成する最上端の絶縁管片１１ａは、その周方向において、当該絶縁管片１１ａの軸方向端部に設けられた凹部２２にてスペーサ１９に係止される。これにより、絶縁管片１１ａの回転が防止される。
【００３９】
これらの結果、絶縁管１０（絶縁管片１０ａ〜１０ｄ）、および絶縁管１１（絶縁管片１１ａ〜１１ｄ）の回転が防止される。換言すれば、熱電対線を構成する棒状の金属体８，９と絶縁管１０，１１との、周方向における位置関係が固定される。これにより、熱電対線を構成する棒状の金属体８，９と絶縁管１０，１１との接触が防止される。その結果、金属体８，９の材料成分と、絶縁管１０，１１の材料成分との化学反応が抑制される。
【００４０】
上記した温度計測器７は、第１の一対の金属体８（８ａ，８ｂ）および第２の一対の金属体９（９ａ，９ｂ）が、絶縁管１１の中に並列配置されてなるものである。この場合、例えば図６Ｃに示すように、一対の金属体８，９が挿通される孔２６として、絶縁管１１の中に計４つの孔２６が設けられる必要がある。
【００４１】
一方、特許文献１（特開昭６０−２１８５８３号公報）では、前記したように、短尺の管体それぞれに軸方向に孔があけられ、その孔に棒材が挿入されるようにされている。これらの孔および棒材は、多段に積み重ねられる短尺の管体の熱電対ロッド部材挿入孔同士を同心にするためのものであり、短尺の管体の回転を防止するためのものではない。しかしながら、これらの孔および棒材により、短尺の管体の回転は、結果としてある程度、防止される。
【００４２】
ここで、温度計測器７のように、複数の一対の金属体８，９が、絶縁管の中に並列配置される温度計測器である場合、金属体が挿通される多くの孔が絶縁管片に形成されなければならない。そのため、金属体が挿通される孔同士を同心にするための孔をあけるスペースを絶縁管材料の内部に確保し難いことがある。測温箇所が多くなればなるほど、金属体の本数が増え、上記孔をあけるスペースを絶縁管材料の内部に確保し難い。
【００４３】
本実施形態では、前記したように、絶縁管片１０ａ〜１０ｄ（１１ａ〜１１ｄ）の軸方向端部に、凹または凸の係合部２３，２４が設けられており、隣り合う絶縁管片１０ａ〜１０ｄ（１１ａ〜１１ｄ）同士は、その周方向において当該係合部２３，２４にて相互に係止される。そのため、本実施形態では、特許文献１（特開昭６０−２１８５８３号公報）に記載されたような、熱電対ロッド部材挿入孔同士を同心にするための孔を絶縁管片の中に形成することなく、絶縁管片１０ａ〜１０ｄ（１１ａ〜１１ｄ）の孔２６同士を同心にすることができる。
【００４４】
また、本実施形態の上記構成によると、金属体が挿通される孔同士を同心にするための孔が絶縁管に不要であるので、絶縁管の強度が確保され易いとともに、絶縁管の径の肥大化が防止される。また、本実施形態の上記構成は、孔２６を大きくし易いという長所も有する。
【００４５】
上記した温度計測器７では、接続板１５（１８）と絶縁管１０（１１）との間にスペーサ１７（１９）が配置されている。この構成によると、絶縁管１０（１１）から接続板１５（１８）への化学反応の伝播が抑制されるので、化学反応による接続板１５（１８）の劣化が抑制される。なお、スペーサ１７（１９）と絶縁管１０（１１）との間で化学反応は生じる。スペーサ１７（１９）は定期的に交換されればよい。
【００４６】
上記した温度計測器７において、スペーサ１７（１９）の材質と、接続板１５（１８）の材質とが同じ材質とされていることが好ましい。この構成によると、温度計測器７の製作にあたり、スペーサ１７（１９）の材質と、接続板１５（１８）の材質とが異なる場合に比べて、入手材料の種類が少なくなるので、材料の調達が容易になる。
【００４７】
上記した温度計測器７では、図６Ａに示したように、第２接続板１８の長手方向に沿う両側面に、第１の一対の金属体８（８ａ，８ｂ）が通される溝２７が形成されている。この構成によると、温度計測器７を軸方向から視たときの、第２接続板１８と絶縁管１１との境目に金属体８（８ａ，８ｂ）を通すことができる。これにより、第２接続板１８の強度を確保しつつ、小径な温度計測器７とすることができる。第２接続板１８と絶縁管１１との境目部分よりも中心側に金属体８（８ａ，８ｂ）を通すようにすると、第２接続板１８に形成される、金属体８（８ａ，８ｂ）を通す２つの孔で、第２接続板１８の強度が低下することがある。また、第２接続板１８と絶縁管１１との境目部分よりも外側に金属体８（８ａ，８ｂ）を通すようにすると、温度計測器７が大径化する。
【００４８】
（変形例）
前記した実施形態では、接続板１５（１８）と絶縁管片１０ａ（１１ａ）との間に、金属体８ａ，８ｂが挿通されるスペーサ１７（１９）が配置されている。スペーサ１７（１９）は省略されてもよい。スペーサ１７（１９）が省略された場合、絶縁管片１０ａ（１１ａ）の軸方向端部に設けられた凹部２２には、接続板１５（１８）が嵌め込まれる。これにより、絶縁管片１０ａ（１１ａ）（絶縁管１０（１１））は、その周方向において接続板１５（１８）に係止される。
【００４９】
前記した実施形態では、接続板１５（１８）と絶縁管片１０ａ（１１ａ）との間に、金属体８ａ，８ｂが挿通されるスペーサ１７（１９）が１個配置されている。接続板１５（１８）と絶縁管片１０ａ（１１ａ）との間に、金属体８ａ，８ｂが挿通されるスペーサ１７（１９）が複数個配置されてもよい。
【００５０】
絶縁管片１０ａ（１１ａ）の軸方向端部に、凹部２２ではなく凸の先端係合部が設けられてもよい。この場合、これに係合するスペーサ１７（１９）には、上記凸の先端係合部に対応する凹の係合部が設けられる。スペーサ１７（１９）が省略された場合は、接続板１５（１８）に、上記凸の先端係合部に対応する凹の係合部が設けられる。
【００５１】
前記した実施形態では、棒状の一対の金属体が熱電対線として用いられている。棒状の一対の金属体に代えて、線径が例えば０．５ｍｍといった線状の一対の金属体が熱電対線として用いられてもよい。
【００５２】
前記した実施形態では、材質が異なる一対の金属体として、Ｗ−５％Ｒｅ（タングステン−５％レニウム）、Ｗ−２６％Ｒｅ（タングステン−２６％レニウム）からなる一対の金属体が例示されている。これ以外の材質の一対の金属体が用いられてもよい。
【００５３】
スペーサ１７（１９）の材質と、接続板１５（１８）の材質とが異なっていてもよい。
【００５４】
前記した実施形態では、複数の絶縁管片１０ａ〜１０ｄ（１１ａ〜１１ｄ）が軸方向に積層されてなる絶縁管１０（１１）が用いられている。絶縁管１０（１１）は、複数の絶縁管片１０ａ〜１０ｄ（１１ａ〜１１ｄ）のように分割形態ではない、１本の絶縁管であってもよい。
【００５５】
温度計測器７は、計２対の金属体８，９を有する、２箇所の温度を測定することができる温度計測器である。本発明の温度計測器は、一対の金属体のみを有する、１箇所のみの温度を測定することができる温度計測器であってもよい。さらには、本発明の温度計測器は、３対以上の金属体が絶縁管の中に並列配置された３箇所以上の温度を測定することができる温度計測器であってもよい。
【００５６】
温度計測器７の下部側の絶縁管１１には、金属体８ａ，８ｂ、および金属体９ａ，９ｂを挿通するための４つの孔２６が形成されている。温度計測器７の上部側の絶縁管１０には、金属体８ａ，８ｂを挿通するための２つの孔２６が形成されている。温度計測器７の上部側の絶縁管１０は、下部側の絶縁管１１と同じく、金属体８ａ，８ｂ、および金属体９ａ，９ｂを挿通するための４つの孔２６が形成されてなるものであってもよい。これによれば、絶縁管１０，１１（絶縁管片１０ａ〜１０ｄ（１１ａ〜１１ｄ））の構造を統一することができる。接続板１５、スペーサ１７についても同様のことが言える。
【００５７】
以上、本発明の実施形態およびその変形について説明した。なお、その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行うことは可能である。
【符号の説明】
【００５８】
１：圧力容器本体
２：上蓋
３：下蓋
４：製品台
５：ヒータ
６：断熱層
７：温度計測器
８：第１の一対の金属体
９：第２の一対の金属体
１０，１１：絶縁管
１０ａ〜１０ｄ，１１ａ〜１１ｄ：絶縁管片
１５：第１接続板
１８：第２接続板
１７，１９：スペーサ
２２：凹部（先端係合部）
２３：凸部（係合部）
２４：凹部（係合部）
２６：孔（絶縁管の孔）
２７：溝
１００：ＨＩＰ装置（高温高圧炉）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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