(57)【要約】【課題】互いに隙間を空けて配置された複数の電極を有する圧力センサにおいて、圧力が高くなるにつれて感圧素子の抵抗値が低くなる特性を維持しつつ、感圧素子の抵抗値を薄膜トランジスタのレベルに合わせる。【解決手段】圧力センサ１では、共通電極９に対する押圧力が初期接触圧力のときに共通電極９と各山型感圧層３３が接触する接触領域を初期接触領域とし、初期接触領域に平面視で重なる調整電極３１の領域を初期有効領域とすると、初期有効領域の面積は初期接触領域の面積の０〜５０％である。調整電極３１は初期接触領域の外側にある圧力測定領域をさらに有する。【選択図】図２
2018146489.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面に広がって形成された共通電極と、
前記共通電極に対向してマトリクス状に設けられた複数の調整電極と、
前記複数の調整電極の前記共通電極側の上にそれぞれ形成された複数の山型感圧層と、
前記複数の調整電極に対応して前記複数の調整電極の前記共通電極と反対側に設けられ、１又は隣接する２以上が１つの調整電極に接続される複数の薄膜トランジスタと、を備え、
前記共通電極に対する押圧力が初期接触圧力のときに前記共通電極と各山型感圧層が接触する接触領域を初期接触領域とし、前記初期接触領域に平面視で重なる前記調整電極の領域を初期有効領域とすると、前記初期有効領域の面積は前記初期接触領域の面積の０〜５０％であり、
前記調整電極は前記初期接触領域の外側にある圧力測定領域をさらに有する、圧力センサ。
【請求項２】
前記初期有効領域の面積が前記初期接触領域の面積の０〜４０％である、請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記初期有効領域の面積が前記初期接触領域の面積の０〜３０％である、請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記調整電極は、前記山型感圧層の頂点に対応する位置には形成されていない、請求項１〜３のいずれかに記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記調整電極は、前記山型感圧層の前記頂点から一方向にずれた位置に配置されている、請求項４に記載の圧力センサ。
【請求項６】
電極の一部の上に形成されて前記一部を絶縁するとともに、前記電極の前記山型感圧層に対して露出する部分を前記調整電極として構成する絶縁層をさらに備えている、請求項１〜５のいずれかに記載の圧力センサ。
【請求項７】
前記複数の調整電極の側方に並んで形成された感温素子をさらに備える、請求項１〜６のいずれかに記載の圧力センサ。
【請求項８】
前記感温素子は、前記複数の山型感圧層より前記共通電極に近接することで、スペーサとして機能する、請求項７に記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記複数の調整電極と前記複数の山型感圧層からの信号によって圧力値を検出する圧力検出部と、
前記感温素子からの信号によって温度値を検出する温度検出部と、
前記温度検出部からの前記温度値に基づいて前記圧力値を温度補正する圧力補正部と、をさらに備える、請求項７又は８に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサ、特に、多数の電極を有する圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力センサとして、感圧樹脂に多数の薄膜トランジスタを組み合せたものが知られている（例えば、特許文献１を参照）。
感圧樹脂は、シリコーンゴム等の絶縁樹脂内に導電性粒子を分散させたものである。感圧樹脂では、圧力が加えられると、絶縁樹脂内において導電性粒子同士が接触することで、抵抗値が低下する。これにより、感圧樹脂に加えられた圧力を検知できる。
多数の薄膜トランジスタは、マトリクス状に配置されており、電極として機能する。これにより、圧力検出の高速化、高解像度化、低消費電力化が可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６―４９４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
感圧層と複数の画素電極が所定の隙間を空けて対向配置された圧力センサも知られている。
発明者は、複数の画素電極とその上に形成された山型感圧層からなる感圧素子を有する圧力センサを考案し、さらにその課題を検討した。この場合、薄膜トランジスタに抵抗値レベルを合わせるために、感圧素子の高抵抗化が必要であると考えられる。そこで、発明者は、画素電極を小さくして感圧素子の抵抗値を上げることを検討した。しかし、画素電極を単に小さくすれば、画素電極は感圧層の中央に配置されているので、山型感圧層の外側へ延長する部分が無くなり、そのため圧力が高くなるにつれて抵抗値が低くなっていくという山型感圧層の効果が得られなくなる。
【０００５】
本発明の目的は、互いに隙間を空けて配置された複数の電極を有する圧力センサにおいて、圧力が高くなるにつれて感圧素子の抵抗値が低くなる特性を維持しつつ、感圧素子の抵抗値を薄膜トランジスタのレベルに合わせることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以下に、課題を解決するための手段として複数の態様を説明する。これら態様は、必要に応じて任意に組み合せることができる。
【０００７】
本発明の一見地に係る圧力センサは、共通電極と、複数の調整電極と、複数の山型感圧層と、複数の薄膜トランジスタとを備えている。
共通電極は、一面に広がって形成されている。
複数の調整電極は、共通電極に対向してマトリクス状に設けられている。
複数の山型感圧層は、複数の調整電極の共通電極側の上にそれぞれ形成されている。
複数の薄膜トランジスタは、複数の調整電極に対応して複数の調整電極の共通電極と反対側に設けられ、１又は隣接する２以上が１つの調整電極に接続される。
共通電極に対する押圧力が初期接触圧力のときに共通電極と各山型感圧層が接触する接触領域を初期接触領域とし、初期接触領域に平面視で重なる調整電極の領域を初期有効領域とすると、初期有効領域の面積は初期接触領域の面積の０〜５０％である。
調整電極は初期接触領域の外側にある圧力測定領域をさらに有する。
なお、「山型」とは、頂点と周縁部とを有しており、ドーム形状、錐体形状、錐台形状、その他の形状を含む。山型の平面形状は、円、四角、その他の形状を含む。
【０００８】
押圧力が共通電極に対して山型感圧層及び調整電極に向かって作用すると、共通電極と山型感圧層が接触する接触領域が、山型感圧層の平面視の頂点から外側に広がっていく。このとき、接触領域と調整電極との間で挟まれる部分の面積が徐々に広くなる。以上より、圧力が高くなるにつれて山型感圧層の抵抗値が低くなり、その結果、検出される電流値が高くなる。特に、圧力が高い範囲でも感度が十分に高くなって、圧力を正確に測定できる。この結果、圧力の測定範囲が広くなっている。
さらに、初期有効領域の面積が初期接触領域の面積の０〜５０％である場合、調整電極は山型感圧層の電極接触部には全く対応していない又は対応割合が所定以下なので、調整電極と山型感圧層の組み合わせからなる感圧素子の抵抗値が高くなる。その結果、感圧素子と薄膜トランジスタの抵抗値のレベルが合わせられる。
さらに、低圧力発生時の初期における山型感圧層の抵抗値の変化（つまり、検出される電流値の変化）は、初期有効領域の面積が初期接触領域の面積の５０％を超えるものに比べて、緩やかになる。これは低圧域において、共通電極と山型感圧層の接触面積が小さい状態が続くからである。この結果、低圧力の検出精度が高くなる。
初期有効領域の面積が初期接触領域の面積の０〜４０％であってもよい。
初期有効領域の面積が初期接触領域の面積の０〜３０％であってもよい。
なお、初期有効領域の面積が初期接触領域の面積の０％であることが好ましい。その理由は、上記の原理に加えて、接触領域と調整電極との最短距離が、調整電極上の山型感圧層の膜厚より長くなるからである。そのため、抵抗値を制御する効果が大きくなる。
【０００９】
調整電極は、山型感圧層の頂点に対応する位置には形成されていなくてもよい。
この圧力センサでは、低圧域において、抵抗を高く維持することで検出電流を比較的小さくできる。
【００１０】
調整電極は、山型感圧層の頂点から一方向にずれた位置に配置されていてもよい。
この圧力センサでは、調整電極を広がりを有する形状にできるので、薄膜トランジスタとの導通がより確実になる。
【００１１】
圧力センサは、絶縁層をさらに備えていてもよい。絶縁層は、電極の一部の上に形成されて一部を絶縁するとともに、電極の山型感圧層に対して露出する部分を調整電極として構成する。
この圧力センサでは、山型感圧層に対して露出しない部分の面積だけ電極を広く形成できるので、薄膜トランジスタとの導通がより確実になる。
【００１２】
また、山型感圧層の共通電極との初期接触位置の下に調整電極が存在しないようにすれば、抵抗値が高くなって電流が流れにくくなり、そのため、調整電極と山型感圧層からなる感圧素子がスペーサとして機能する。つまり、専用のスペーサを設ける必要がなくなり、感圧素子の密度を高くでき、その結果、圧力センサの解像度が高くなる。
【００１３】
圧力センサは、複数の調整電極の側方に並んで形成された感温素子をさらに備えていてもよい。
この圧力センサでは、感温素子が圧力センサ内に組み込まれているので、圧力と共に温度を検出できる。
【００１４】
感温素子は、複数の山型感圧層より共通電極に近接することで、スペーサとして機能してもよい。
この圧力センサでは、感温素子をスペーサとして用いることで、専用のスペーサを設ける必要がなくなる。
【００１５】
圧力センサは、圧力検出部と、温度検出部と、圧力補正部とをさらに備えていてもよい。
圧力検出部は、複数の調整電極と複数の山型感圧層からの信号によって圧力値を検出してもよい。
温度検出部は、感温素子からの信号によって温度値を検出してもよい。
圧力補正部は、温度検出部からの温度値に基づいて圧力値を補正してもよい。
この圧力センサでは、温度補正することで正確な圧力値が得られる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る圧力センサでは、正確に測定できる圧力測定範囲が広くなる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧力センサの概略断面図。
【図２】圧力センサの部分概略断面図。
【図３】圧力センサの下側電極部材の概略平面図。
【図４】調整電極と山型感圧層の模式的平面図。
【図５】圧力センサの等価回路図。
【図６】圧力が作用した状態での圧力センサの概略断面図。
【図７】調整電極と接触面積の関係を示す模式的平面図。
【図８】圧力が作用した状態での圧力センサの概略断面図。
【図９】調整電極と接触面積の関係を示す模式的平面図。
【図１０】圧力が作用した状態での圧力センサの概略断面図。
【図１１】調整電極と接触面積の関係を示す模式的平面図。
【図１２】圧力センサの圧力と検出電流との関係を示すグラフ。
【図１３】圧力センサの製造方法を示す模式的断面図。
【図１４】圧力センサの製造方法を示す模式的断面図。
【図１５】圧力センサの製造方法を示す模式的断面図。
【図１６】圧力センサの製造方法を示す模式的断面図。
【図１７】圧力センサの製造方法を示す模式的断面図。
【図１８】圧力センサの製造方法を示す模式的断面図。
【図１９】圧力センサの製造方法を示す模式的断面図。
【図２０】圧力センサの製造方法を示す模式的断面図。
【図２１】圧力センサの製造方法を示す模式的断面図。
【図２２】圧力センサの製造方法を示す模式的断面図。
【図２３】山型感圧層及び調整電極の平面レイアウトの変形例を示す模式的平面図。
【図２４】山型感圧層及び調整電極の平面レイアウトの変形例を示す模式的平面図。
【図２５】山型感圧層及び調整電極の平面レイアウトの変形例を示す模式的平面図。
【図２６】第２実施形態における圧力センサの部分概略断面図。
【図２７】圧力が作用した状態での圧力センサの概略断面図。
【図２８】調整電極と接触面積の関係を示す模式的平面図。
【図２９】圧力が作用した状態での圧力センサの概略断面図。
【図３０】調整電極と接触面積の関係を示す模式的平面図。
【図３１】圧力が作用した状態での圧力センサの概略断面図。
【図３２】調整電極と接触面積の関係を示す模式的平面図。
【図３３】第３実施形態の圧力センサの部分概略断面図。
【図３４】圧力センサの検出制御構成を示すブロック図。
【図３５】温度に対する抵抗値の関係を示すグラフ。
【図３６】第３実施形態の第１変形例の圧力センサの部分概略断面図。
【図３７】第３実施形態の第２変形例の圧力センサの部分概略断面図。
【図３８】第３実施形態の第３変形例の圧力センサの部分概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
１．第１実施形態
（１）圧力センサの基本構成
図１〜図５を用いて、第１実施形態に係る圧力センサ１を説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。図２は、圧力センサの部分概略断面図である。図３は、圧力センサの下側電極部材の概略平面図である。図４は、調整電極と山型感圧層の模式的平面図である。図５は、圧力センサの等価回路図である。
【００１９】
圧力センサ１は、押圧力が作用すると押圧位置と押圧力を検出する装置である。圧力センサ１は、例えば、スマートフォン、タブレットＰＣ、ノートＰＣのタッチパネルに採用される。
圧力センサ１は、上側電極部材３を有している。上側電極部材３は、押圧力が作用する平面状の部材である。上側電極部材３は、絶縁フィルム７と、その下面に全面的につまり一面に広がって又はパターニングされて形成された共通電極９とを有している。
【００２０】
圧力センサ１は、下側電極部材５を有している。下側電極部材５は、上側電極部材３の下方に配置された平面状の部材である。下側電極部材５は、例えば矩形の絶縁フィルム１５と、その上面に他の部材（後述）を介して形成された複数の調整電極３１を有している。調整電極は、個別電極又は画素電極ともいう。
下側電極部材５は、複数の山型感圧層３３を有している。複数の山型感圧層３３は、複数の調整電極３１の共通電極９側の上にそれぞれ形成されている。
【００２１】
なお、「山型」とは、頂点と周縁部とを有しており、ドーム形状、錐体形状、錐台形状、その他の形状を含む。山型の平面形状は、丸、四角、その他の形状を含む。
山型であることで、圧力に応じて共通電極９と山型感圧層３３の接触面積が増加する。また、外周にいくほど山型感圧層３３の厚みが小さくなり、抵抗値が下がる。言い換えると、低圧力のときは、山型感圧層３３の頂点（半径方向中心）のみが共通電極９に接触しており接触面積が小さい。高圧力のときは、山型感圧層３３の山型の中腹（半径方向中間部）又は麓（外周部）まで共通電極９が接触しており接触面積が大きい。
一例として、山型感圧層３３の高さＨは、広い範囲では５〜１００μｍであり、狭い範囲では１０〜３０μｍである。山型感圧層３３の径Ｌは、広い範囲では０．１〜１．０ｍｍであり、狭い範囲では０．３〜０．６ｍｍである。
【００２２】
図２及び図４に示すように、山型感圧層３３は調整電極３１全体を覆っている。調整電極３１は、平面視円形であって、山型感圧層３３の頂点Ｔ（中心）の位置からずれた位置に形成されている。つまり、山型感圧層３３の頂点（中心部）に対応する位置には、調整電極が形成されていない。
調整電極３１は、平面視円形であるが、四角、三角等の他の形状であってもよい。調整電極３１は、山型感圧層３３に対して面積が小さいが、一定の広がりを有している。そのため、調整電極を広がりを有する形状にできるので、ＴＦＴ３０との導通がより確実になる。
【００２３】
上側電極部材３と下側電極部材５は、図２に示すように、周縁部において額縁スペーサ１３によって互いに接着されている。額縁スペーサ１３は額縁状に形成されており、例えば、粘着剤、両面テープからなる。
【００２４】
図３に示すように、複数の調整電極３１及び山型感圧層３３からなる感圧素子は、平面全体に敷き詰められて配置されている。マトリクス状とは、行列状に二次元配列されている状態をいう。また、図１及び図２に示すように、額縁スペーサ１３によって、初期状態でも共通電極９と山型感圧層３３との間には、隙間が確保されている。これにより、圧力ゼロを確実に測定できる。さらに初期の抵抗値変化も、接触面積ゼロからのスタートになるので確実に測定できる。ただし、初期状態で共通電極９と山型感圧層３３が接触していてもよい。
【００２５】
共通電極９の領域が山型感圧層３３に向かって押し下げられると、共通電極９と押し下げ領域に位置付けられている調整電極３１が電気的に導通する。押し下げは、例えば、指、スタイラスペン、棒、手の平、足裏で行えばよい。電極ピッチは例えば０．３〜１．５ｍｍである。
下側電極部材５は、複数の薄膜トランジスタ３０（以下、「ＴＦＴ３０」という）を有している。各ＴＦＴ３０は、調整電極３１の各々に対応して設けられており、電流値検出用の電極として機能する。
【００２６】
（２）ＴＦＴ及び調整電極の関係
ＴＦＴ３０は、図１及び図２に示すように、ソース電極１７と、ドレイン電極１９と、ゲート電極２１とを有している。ＴＦＴ３０は、トップゲート型である。ゲート電極、ソース電極及びドレイン電極を構成する材料は、特に限定されない。また、ＴＦＴはボトムゲート型であってもよい。
【００２７】
ソース電極１７とドレイン電極１９は、絶縁フィルム１５の上面に形成されている。ＴＦＴ３０は、ソース電極１７及びドレイン電極１９間に形成された半導体層２３を有している。このような半導体層を構成する材料としては、公知の材料、例えば、シリコン、酸化物半導体、有機半導体を用いることができる。
ＴＦＴ３０は、ソース電極１７、ドレイン電極１９及び半導体層２３を覆うように形成された第１絶縁膜２５を有している。
【００２８】
ドレイン電極１９は、後述するように、調整電極３１に接続されている。ゲート電極２１は、第１絶縁膜２５の上面において半導体層２３の上方に形成されている。
ＴＦＴ３０は、第１絶縁膜２５の上面に形成されゲート電極２１を覆う第２絶縁膜２７を有している。
複数の調整電極３１は、第２絶縁膜２７の上面に形成されている。調整電極３１は、第１絶縁膜２５及び第２絶縁膜２７を貫通する貫通孔に形成された導電部２９を介して、ＴＦＴ３０に接続されている。
【００２９】
図５を用いて、圧力センサ１の動作原理を説明する。ゲート電圧を入力したＴＦＴ３０のドレイン電極１９に電圧を印加すると、山型感圧層３３の抵抗に対応するドレイン電流が流れる。そして、山型感圧層３３に加わる圧力が高くなると抵抗が下がるので、ドレイン電流の増加が検出される。圧力センサ１上のＴＦＴ３０を掃引してゲート電圧を加えドレイン電流を測定することにより、シート表面の圧力分布を観測できる。
圧力センサ１は、回路部（図示せず）を有している。回路部は、ドレイン電極１９、ソース電極１７及び共通電極９を制御するものであり、例えば、共通電極９、ソース電極１７に所定電圧を印加する電源電圧と、ソース−ドレイン間の電流値に応じた信号を発生して外部の信号処理装置へ出力する電流検出回路とを有している。外部の信号処理装置は、回路部から送られてきた信号に基づいて、押圧位置及び押圧力を検出する。
【００３０】
（３）押圧動作及び圧力測定動作
図６〜図１２を用いて、押圧動作及び圧力測定動作を説明する。図６、図８及び図１０は、圧力が作用した状態での圧力センサの概略断面図である。図７、図９及び図１１は、調整電極と接触面積の関係を示す模式的平面図である。なお、図６〜図１１では、理解を容易にするために各領域の形状を便宜的に正方形にしている。
圧力が加えられると、山型感圧層３３の抵抗が低下する。電圧電源により一定の電圧を加えたときのソース−ドレイン間の電位差は、ドレイン電極１９と直列に接続された山型感圧層３３の抵抗値に依存する。その結果、ソース−ドレイン間の電位差が大きくなり、流れる電流量が増加する。したがって山型感圧層３３に与える押圧力と電流量とを予め取得しておけば、信号処理装置（図示せず）は、電流量に応じた信号の変化を読み取ることで、圧力センサ１に印加される圧力量（押圧力）を検知できる。
【００３１】
（３−１）低圧力の場合
図６に示すように、上側電極部材３に小さな力Ｆ１が作用しており、したがって共通電極９は山型感圧層３３の頂点Ｔ（中心）周辺のみに接触する。
図６及び図７に示すように、共通電極９が山型感圧層３３に接触している接触領域３６Ａは小さい。したがって、平面視において接触領域３６Ａは調整電極３１に重なっていない。この接触領域３６Ａと調整電極３１が重なる部分が主に電流が流れる領域であり、図６及び図７の場合は上記領域の面積がゼロである。その結果、検出電流が低い。
【００３２】
言い換えると、前記の説明は初期接触圧力が圧力センサ１に作用したときの状態を示している。この場合、共通電極９に対する押圧力が初期接触圧力のときに共通電極９と各山型感圧層３３が接触する接触領域を初期接触領域とし、初期接触領域に平面視で重なる調整電極３１の領域を初期有効領域とすると、初期有効領域の面積は初期接触領域の面積の０％である。初期有効面積がゼロだからである。言い換えると、調整電極３１は初期接触領域の外側にのみ存在する。なお、初期接触圧力とは、共通電極９に押圧力が作用して、共通電極９が押圧部に対応する一又は複数の山型感圧層３３に接触した直後の共通電極９に対する押圧力である。
初期有効面積がゼロを超える場合には、上記割合は小さい方が好ましく、例えば、１０％以下、２０％以下、３０％以下、４０％以下、５０％以下、６０％以下に設定される。ただし、本実施形態の効果を十分に得るには、５０％以下であることが好ましい。つまり初期有効領域の面積が初期接触領域の面積の０〜５０％である場合、調整電極３１は山型感圧層３３の電極接触部には全く対応していない又は対応割合が所定以下なので、調整電極３１と山型感圧層３３の組み合わせからなる感圧素子の抵抗値が高くなる。その結果、感圧素子とＴＦＴ３０の抵抗値のレベルが合わせられる。
なお、初期有効領域の面積が初期接触領域の面積の０％であることが好ましい。その理由は、上記の原理に加えて、接触領域と調整電極３１との最短距離が、調整電極３１上の山型感圧層３３の膜厚より長くなるからである。そのため、抵抗値を制御する効果が大きくなる。
なお、いずれの場合も、調整電極３１は初期接触領域の外側にある圧力測定領域をさらに有する。
【００３３】
さらに、初期有効面積がゼロを超える場合は、のちに押圧力が初期接触圧力より大きくなったときの接触領域の面積のうち調整電極３１が対向する部分の面積（後述する高圧力の場合に最大になる）を有効面積とすると、有効面積は初期有効面積より大きいことが好ましく、例えば２倍以上、３倍以上、４倍以上に設定される。ただし、本実施形態の効果を十分に得るには、２倍以上であることが好ましい。
さらに、初期有効面積がゼロの場合は、山型感圧層３３の共通電極９との初期接触位置から調整電極３１までの導通距離（山形感圧層内の最短距離）によって抵抗値を制御できる。具体的には、前記初期接触位置の真下に電極がある従来例の導通距離に対して、本実施形態における導通距離は２倍以上あることが好ましく、５〜１０倍であればさらに良い。
なお、上記の例では、初期接触圧力は１Ｎであり、初期接触面積はそのときの面積である。初期接触圧力は０．８〜１．２Ｎの範囲から適宜選択可能である。
なお、初期接触面積の定義は、感圧層高さ（例えば、２０ｕｍ）の７０％以上の高さ（例えば、１４ｕｍ）の面積、より好ましくは８０％以上の高さ（例えば、１６ｕｍ）の面積としてもよい。
【００３４】
（３−２）中圧力の場合
図８に示すように、上側電極部材３に中くらいの力Ｆ２が作用しており、したがって共通電極９は、山型感圧層３３の頂点Ｔ付近からさらに外周側の部分にも接触する。つまり、共通電極９と山型感圧層３３の接触面が広がっている。
図８及び図９に示すように、共通電極９が山型感圧層３３に接触している接触領域３６Ｂは中程度になっている。したがって、平面視において接触領域３６Ｂは調整電極３１の一部に重なっている。その結果、図８及び図９の場合は、重なり領域の面積が中程度になっており、つまり、検出電流が中程度になっている。
【００３５】
（３−３）高圧力の場合
図１０では、上側電極部材３に大きな力Ｆ３が作用しており、したがって共通電極９は、山型感圧層３３のさらに外周側の部分まで接触している。つまり、共通電極９と山型感圧層３３の接触面がさらに広がっている。
図１０及び図１１に示すように、共通電極９が山型感圧層３３に接触している接触領域３６Ｃは大きい。したがって、平面視において接触領域３６Ｃは調整電極３１の全体に重なっている。その結果、図１０及び図１１の場合は、重なり領域の面積が大きくなっており、検出電流が大きくなっている。
【００３６】
絶縁フィルム７と共通電極９とは、伸縮性を有していることが好ましい。それにより、圧力が作用したとき共通電極９の山型感圧層３３に対する追従性が向上する。言い換えると、高圧力の場合に共通電極９が山型感圧層３３の外周側（山型感圧層３３の薄い部分）にまで密着しやすい。この結果、山型感圧層３３の接触抵抗の差が大きくなり、つまり測定範囲が大きくなる。
また、絶縁フィルム７と共通電極９が伸縮性を有することで、圧力がなくなったときに絶縁フィルム７と共通電極９が復元する性能が向上する。この結果、繰り返し測定の再現性が向上する。
【００３７】
一般的に、絶縁フィルム７及び共通電極９に圧力が加わると大面積の撓みが発生するが、複数の小面積の感圧層及び電極に集中して荷重が作用することになり、その場合に共通電極９にクラックや変形が発生するおそれがあった。しかし、本実施形態では、絶縁フィルム７と共通電極９が伸縮性を有することで、山型感圧層３３に共通電極９にクラックや変形が生じにくい。この結果、圧力センサ１の信頼性が向上する。
なお、上記のように柔らかく薄い基材を上部に持ってきた場合は、共通電極９が山型感圧層３３の山の麓まで完全に接触した場合にそれ以上接触面積は変化しなくなるので圧力測定範囲は狭くなるが、接触面積の差が大きいので圧力の分解能が大きくなる。なお、基材の厚みや硬さは、測定したい範囲に応じて適宜選択される。
【００３８】
（３―４）実施形態と比較例の比較
図１２を用いて、本実施形態、比較例１、比較例２、比較例３について、圧力に対する抵抗の変化率を説明する。図１２は、圧力センサの圧力と検出電流との関係を示すグラフである。
比較例１は、平坦な感圧層を用いた従来例である。低圧力から高圧力の領域全体において、電流値の変化率が小さい。つまり、低感度である。また、高圧力が作用しているときに、抵抗の変化率が０％に近くなり、つまり正確な圧力を測定できない。
【００３９】
比較例２は、アクティブマトリクス方式ではなく、共通電極に対向してベタ電極が設けられている。また、高圧力が作用しているときに、抵抗の変化率が０％に近くなり、つまり正確な圧力を測定できない。
比較例３は、山型感圧層に対して電極が山型感圧層の頂点から周辺にまで全体的に形成されている例である。この場合、全領域にわたって、高い変化率が得られ、つまり高感度である。
【００４０】
本実施形態は、低圧領域において、比較例３よりは低いが十分感度を実現する変化率を有している。以下、その理由を説明する。
調整電極３１は、共通電極９に対して山型感圧層３３に向かって押圧力が作用することによって共通電極９と山型感圧層３３が接触する接触面が山型感圧層３３の頂点Ｔから外側に広がっていく。このとき、接触領域と調整電極３１との間で挟まれる部分の面積（前述の接触領域３６Ａ〜３６Ｃの面積）が徐々に広くなる。以上より、圧力が高くなるにつれて山型感圧層３３の抵抗値が低くなり、その結果、検出される電流値が高くなる。特に、圧力が高い範囲（例えば、試験力５０Ｎ以上）でも感度が十分に高くなって、圧力を正確に測定できる。この結果、圧力の測定範囲が広くなっている。
【００４１】
さらに、調整電極３１の圧力測定領域は、山型感圧層３３の頂点Ｔ（中心）から外れた位置にあるので、下記の作用効果が得られる。つまり、低圧力発生時の初期における山型感圧層３３の抵抗値の変化（つまり、検出電流値の変化）は、電極が山型感圧層の頂点Ｔにあるものに比べて、緩やかになる。これは低圧域において、共通電極９と調整電極３１の接触面積が小さい状態が続くからである。この結果、低圧力の検出精度が高くなる。
以上に述べた実施形態では、調整電極３１は、山型感圧層３３の頂点Ｔに対応する位置には形成されていない。したがって、低圧域において、抵抗を高く維持することで検出電流を比較的小さくできる。
【００４２】
（４）材料
絶縁フィルム７、絶縁フィルム１５としては、ポリカーボネート系、ポリアミド系、若しくは、ポリエーテルケトン系などのエンジニアリングプラスチック、又は、アクリル系、ポリエチレンテレフタレート系、若しくは、ポリブチレンテレフタレート系などの樹脂フィルムを用いることができる。
絶縁フィルム７に伸縮性を要求する場合は、例えばウレタンフィルム、シリコン、ゴムである。絶縁フィルム７及び絶縁フィルム１５は、電極を印刷して乾燥するので耐熱性を有する材料が好ましい。
【００４３】
共通電極９、調整電極３１としては、酸化錫、酸化インジウム、酸化アンチモン、酸化亜鉛、酸化カドミウム、若しくは、インジウムチンオキサイド（ＩＴＯ）などの金属酸化物膜、これらの金属酸化物を主体とする複合膜、又は金、銀、銅、錫、ニッケル、アルミニウム、若しくは、パラジウムなどの金属膜によって、形成する。共通電極９に伸縮性を要求する場合は、例えば、伸縮性Ａｇペーストである。
山型感圧層３３は、例えば感圧インキからなる。感圧インキは、外力に応じて対向する電極との接触抵抗が変化することよって圧力検出を可能にする材料である。感圧インキ層は、塗布により配置できる。感圧インキ層の塗布方法としては、スクリーン印刷、オフセット印刷、グラビア印刷、又はフレキソ印刷などの印刷法、又はディスペンサによる塗布を用いることができる。
【００４４】
（５）圧力センサの製造方法
図１３〜図２２を用いて、圧力センサ１の製造方法を説明する。図１３〜図２２は、圧力センサの製造方法を示す模式的断面図である。
最初に、図１３〜図２１を用いて、下側電極部材５の製造方法の各ステップを説明する。
【００４５】
図１３に示すように、絶縁フィルム１５の一面に、例えばスパッタリングによって電極材料３７を形成する。
図１４に示すように、例えばフォトリソグラフィー法によって電極材料３７の一部を除去することで、フィルム露出部３９を形成する。また、これにより、ソース電極１７とドレイン電極１９を形成する。なお、ソース電極１７とドレイン電極１９の形成手法は特に限定されない。
【００４６】
図１５に示すように、フィルム露出部３９において半導体層２３を形成する。半導体層２３の形成方法は公知の技術である。
図１６に示すように、ソース電極１７、ドレイン電極１９及び半導体層２３が形成された面を覆うように、第１絶縁膜２５を形成する。
図１７に示すように、第１絶縁膜２５の上面において半導体層２３の上方に、ゲート電極２１を形成する。ゲート電極２１の形成手法は公知の技術である。
【００４７】
図１８に示すように、ゲート電極２１の形成された第１絶縁膜２５全体を覆うように、第２絶縁膜２７を形成する。
図１９に示すように、第１絶縁膜２５と第２絶縁膜２７にレーザによってドレイン電極１９に至る貫通孔を形成し、そこに導電材料を埋めることで導電部２９を形成する。
【００４８】
図２０に示すように、調整電極３１を印刷法によって形成し、導電部２９を介してＴＦＴ３０と接続する。
図２１に示すように、調整電極３１の上に山型感圧層３３を印刷法によって形成する。
【００４９】
次に、図２２を用いて、上側電極部材３の製造を説明する。
図２２に示すように、印刷法によって絶縁フィルム７の一面に共通電極９を形成する。なお、絶縁フィルム７の一面に例えばスパッタリングによって共通電極９の材料を形成し、続いてフォトリソグラフィー法によって共通電極９を形成してもよい。
最後に、上側電極部材３と下側電極部材５とを接着剤からなる額縁状の額縁スペーサ１３（図２）を介して貼り合わせることで、圧力センサ１を完成させる。
【００５０】
（６）調整電極の平面位置の変形例
第１実施形態では調整電極３１は山型感圧層３３の頂点Ｔから一方向にずれた位置にある円形であったが、調整電極は、前述の通り、初期有効領域の面積が初期接触領域の面積の５０％以下であればよいので、調整電極の平面位置は特に限定されない。
以下、上記の条件を満たす変形例を説明する。
【００５１】
図２３に示す変形例では、調整電極３１Ａは、山型感圧層３３と同心の円形帯状である。つまり、調整電極３１Ａは、山型感圧層３３の頂点Ｔに対応する電極部を有していない。
図２４に示す変形例では、調整電極３１Ｂは、山型感圧層３３の中心から一方にずれた直線状である。つまり、調整電極３１Ａは、山型感圧層３３の頂点Ｔに対応する電極部を有していない。
【００５２】
図２５に示す変形例では、調整電極３１Ｃは、山型感圧層３３の外周に沿った円弧状である。つまり、調整電極３１Ｃは、山型感圧層３３の頂点Ｔに対応する電極部を有していない。
さらなる変形例として、前記実施形態及び変形例において、調整電極は、前述の圧力測定領域に加えて、山型感圧層の頂点付近に対応する位置に配置された部分を有していてもよい。
【００５３】
２．第２実施形態
前記実施形態では調整電極の圧力測定領域は、電極を山型感圧層の頂点付近からずれた位置に形成することで実現されていた。しかし、調整電極は、前述の通り、初期有効領域の面積が初期接触領域の面積の５０％以下であればよいので、調整電極は他の構造によって実現されてもよい。
図２６を用いて、そのような実施形態としての圧力センサ１Ａを説明する。図２６は、第２実施形態における感圧層及び調整電極の平面レイアウトの変形例を示す模式的平面図である。
【００５４】
（１）第１実施形態と異なる点
基本的な構造は、第１実施形態の圧力センサ１と同じである。したがって、以下は異なる点を中心に説明する。
【００５５】
電極３１Ｄは、前記実施形態と異なり、山型感圧層３３Ｄに対応して概ね同じ形状で形成されている。すなわち、電極３１Ｄは、山型感圧層３３Ｄの頂点Ｔから周辺まで全体的に形成されている。
電極３１Ｄの上面には、絶縁層５１が形成されている。絶縁層５１は、電極３１Ｄの頂点Ｔ（中心）周辺の上に形成されてその部分を絶縁するとともに、電極３１Ｄの環状の周辺部である調整電極３１ａを山型感圧層３３Ｄに対して露出させている。
【００５６】
（２）押圧動作及び圧力測定動作
図２７〜図３２を用いて、押圧動作及び圧力測定動作を説明する。図２７、図２９及び図３１は、圧力が作用した状態での圧力センサの概略断面図である。図２８、図３０及び図３２は、調整電極と接触面積の関係を示す模式的平面図である。なお、図２７〜図３２では、理解を容易にするために各領域の形状を便宜的に正方形にしている。
【００５７】
（２−１）低圧力の場合
図２７に示すように、上側電極部材３に小さな力Ｆ１が作用しており、したがって共通電極９は山型感圧層３３Ｄの頂点Ｔ（中心）周辺のみに接触する。
図２７及び図２８に示すように、共通電極９が山型感圧層３３Ｄに接触している接触領域５３Ａは小さい。したがって、平面視において接触領域５３Ａは、調整電極３１ａに重なっていない。接触領域と調整電極３１ａが重なる部分が主に電流が流れる領域であり、図２７及び図２８の場合は前述のように上記領域の面積がゼロなので、検出電流が低い。
【００５８】
言い換えると、前記の説明は初期接触圧力が圧力センサ１に作用したときの状態を示している。この場合、共通電極９に対する押圧力が初期接触圧力のときに共通電極９と各山型感圧層３３が接触する接触領域を初期接触領域とし、初期接触領域に平面視で重なる調整電極３１ａの領域を初期有効領域とすると、初期有効領域の面積は初期接触領域の面積の０％である。初期有効面積がゼロだからである。
初期有効面積がゼロを超える場合には、上記割合は小さい方が好ましく、例えば、１０％以下、２０％以下、３０％以下、４０％以下、５０％以下、６０％以下に設定される。ただし、本実施形態の効果を十分に得るには、５０％以下であることが好ましい。つまり初期有効領域の面積が初期接触領域の面積の０〜５０％である場合、調整電極３１ａは山型感圧層３３の電極接触部には全く対応していない又は対応割合が所定以下なので、調整電極３１ａと山型感圧層３３の組み合わせからなる感圧素子の抵抗値が高くなる。その結果、感圧素子とＴＦＴ３０の抵抗値のレベルが合わせられる。
なお、初期有効領域の面積が初期接触領域の面積の０％であることが好ましい。その理由は、上記の原理に加えて、接触領域と調整電極３１ａとの最短距離が、調整電極３１上の山型感圧層３３の膜厚より長くなるからである。そのため、抵抗値を制御する効果が大きくなる。
なお、いずれの場合も、調整電極３１ａは初期接触領域の外側にある圧力測定領域をさらに有する。
さらに、接触面積のうち調整電極３１ａが重なる部分の面積（後述する高圧力の場合に最大になる）を有効面積とすると、有効面積は初期有効面積より大きいことが好ましく、例えば２倍以上、３倍以上、４倍以上に設定される。ただし、本実施形態の効果を十分に得るには、２倍以上であることが好ましい。
【００５９】
（２−２）中圧力の場合
図２９に示すように、上側電極部材３に中くらいの力Ｆ２が作用しており、したがって共通電極９は、山型感圧層３３Ｄの頂点Ｔ（中心）の周辺からさらに外周側の部分にも接触する。つまり、共通電極９と山型感圧層３３Ｄの接触面が広がっている。
図２９及び図３０に示すように、共通電極９が山型感圧層３３Ｄに接触している接触領域５３Ｂは中程度になっている。したがって、平面視において接触領域５３Ｂは、絶縁層５１よりさらに広がっており、そのため調整電極３１ａの一部に重なっている。その結果、図２９及び図３０の場合は、重なり領域の面積が中程度になっており、そのため検出電流が中程度になっている。
【００６０】
（２−３）高圧力の場合
図３１では、上側電極部材３に大きな力Ｆ３が作用しており、したがって共通電極９は、山型感圧層３３Ｄのさらに外周側の部分まで接触している。つまり、共通電極９と山型感圧層３３Ｄの接触面がさらに広がっている。
図３１及び図３２に示すように、共通電極９が山型感圧層３３に接触している接触領域５３Ｃは大きい。したがって、平面視において接触領域５３Ｃは、絶縁層５１よりさらに広がっており、そのため調整電極３１ａの大半に重なっている。その結果、図３１及び図３２の場合は、重なり領域の面積が大きくなっている。その結果、検出電流が大きくなっている。
【００６１】
この圧力センサでは、山型感圧層３３に対して露出しない部分の面積だけ電極３１Ｄを広く形成できるので、ＴＦＴ３０との導通がより確実になる。また、山型感圧層３３の共通電極９との初期接触位置の下に調整電極３１ａが存在しないようにすれば、抵抗値が高くなって電流が流れにくくなり、そのため調整電極３１ａと山型感圧層３３Ｄからなる感圧素子がスペーサとして機能する。つまり、専用のスペーサを設ける必要がなくなり、感圧素子の密度を高くでき、その結果、圧力センサ１Ａの解像度が高くなる。
【００６２】
（３）第１変形例
第２実施形態では絶縁層が形成された位置は電極の頂点Ｔ（中心）の周辺であったが、前述の通り、調整電極は、初期有効領域の面積が初期接触領域の面積の５０％以下であればよいので、絶縁層の形成位置は特に限定されない。
例えば、電極の露出部分（つまり、調整電極）は、電極の周辺の一辺又は複数辺に対応する線状部であってもよい。また、電極の露出部分（つまり、調整電極）は電極の周辺の一箇所又は複数箇所の所定の広がりを有する部分であってもよい。
（４）第２変形例
第２実施形態では絶縁層は山型感圧層に完全に覆われていたが、変形例として、絶縁層は山型感圧層からはみ出ていてもよい。
【００６３】
３．第３実施形態
第１実施形態及び第２実施形態では、圧力センサには圧力を測定する感圧素子のみが配置されていたが、他の物理現象を測定するための測定素子も圧力センサに配置されていてもよい。
第１実施形態及び第２実施形態に記載された圧力センサは、加わる圧力に応じた出力（抵抗値の変化）が得られる点で優れている。しかし、温度や湿度により、電気抵抗値などの電気的特性値が大きく変化してしまうため、例えば、温度が変わると電気抵抗値などが変化し、同一圧力であったとしても検出される圧力値が異なってしまう場合がある。
【００６４】
図３３を用いて、上記の問題を解決可能な実施形態を説明する。図３３は、第３実施形態の圧力センサの部分概略断面図ある。
圧力センサ１Ｂの基本的な構造は、第１実施形態と同じである。
【００６５】
（１）感温素子
図３３に示すように、圧力センサ１Ｂは、複数の感温素子７１を有している。感温素子７１は、複数の調整電極３１の側方に並んで形成されている。このように感温素子７１が圧力センサ１Ｂ内に組み込まれているので、物体からの圧力と共に物体の温度を検出できる。
【００６６】
感温素子７１は、複数の山型感圧層３３より共通電極９に近接することで、スペーサとして機能している。スペーサとしての感温素子７１によって、非加圧時に共通電極９と山型感圧層３３との間には隙間が確実に確保され、そのため山型感圧層３３に作用する圧力をゼロにできる。このように感温素子７１をスペーサとして用いることで、専用のスペーサを設ける必要がなくなる。
【００６７】
感温素子７１の構造及び動作は公知の技術である。以下、感温素子７１の構造を簡単に説明する。
感温素子７１は、第１電極７３Ａと、第２電極７３Ｂとを有している。第１電極７３Ａ及び第２電極７３Ｂは、第２絶縁膜２７の上面に形成されている。
感温素子７１は、感温層７５を有している。感温層７５は、第１電極７３Ａと第２電極７３Ｂとの間に延びてさらに両者の上面を覆っている。感温層７５は、温度によって抵抗値が変化する材料から構成されている。
感温素子７１は、絶縁層７７を有している。絶縁層７７は、感温層７５を覆っている。絶縁層７７の表面は、共通電極９の下面に近接又は当接している。
【００６８】
（２）圧力検出制御構成
図３４及び図３５を用いて、圧力と温度を検出するための制御構成及び制御動作を説明する。図３４は、圧力センサの検出制御構成を示すブロック図ある。図３５は、温度に対する抵抗値の関係を示すグラフである。
図３４に示すように、圧力センサ１Ｂは、温度検出部８３と、圧力検出部８５と、圧力補正部８７とを有している。
【００６９】
温度検出部８３は、感温素子７１からの信号によって温度値を検出する。具体的には温度検出部８３は、アナログ信号をデジタル信号に変換して、それを温度値情報として圧力補正部８７に出力する。
圧力検出部８５は、複数の調整電極と複数の山型感圧層からなる感圧素子３５からの信号によって圧力値を検出する。具体的には、圧力検出部８５は、アナログ信号をデジタル信号に変換して、それを圧力値情報として圧力補正部８７に出力する。
【００７０】
圧力補正部８７は、温度値に基づいて圧力値を補正する。具体的には、圧力センサ１は、個々の感圧素子３５の温度特性（例えば、図３５に示すグラフの情報）が記憶された記憶部を有しており、圧力補正部８７が記憶部に記憶された感圧素子３５の温度特性に基づいて圧力検出部８５から得られる圧力値を補正する（つまり、温度による電気抵抗変化分を計算によって取り除く）。圧力値を補正することによって、圧力センサ１Ｂに加わる正確な圧力分布を求めることができる。補正後の圧力値は外部に出力される又は記憶部に保存される。
【００７１】
（３）第１変形例
第３実施形態において、感圧素子３５Ａは第２実施形態のものと同じでもよい。
そのような変形例を図３６に示す。図３６は、第３実施形態の第１変形例の圧力センサの部分概略断面図である。
図３６に示すように、感温素子７１は、感圧素子３５Ａより高く形成されており、スペーサとしての機能を実現している。
【００７２】
（４）第２変形例
第３実施形態では感温素子は絶縁層を有していたが、共通電極と感温層が絶縁されればよいので、絶縁層は省略されてもよい。
そのような変形例を図３７に示す。図３７は、第３実施形態の第２変形例の圧力センサの部分概略断面図である。
図３７に示すように、感温素子７１Ａには絶縁層が形成されていない。代わりに、共通電極９は、感温素子７１Ａに対応する箇所には欠落部９ａを有している。つまり、欠落部９ａによって、絶縁フィルム７の下面が感温素子７１Ａに対向する対向部７ａを有している。
この結果、共通電極９と感温素子７１Ａは接触しない。
【００７３】
（５）第３変形例
感圧層と感温層の材料を共通にすることで、一度の印刷で同時に形成できる工程を実現してもよい。すなわち、感圧層と感温層を含む圧力センサの製造方法において製造工程を減らせる。
図３８において、感圧層３３と感温層７５Ａは同じ材料で形成されている。図３８は、図３８は、第３実施形態の第３変形例の圧力センサの部分概略断面図である。
（６）第４変形例
平坦な感圧層を有する感圧素子と、感温素子とを組み合わせてもよい。すなわち、感温素子と感圧素子との組み合わせにおいて感圧素子の種類は特に限定されない。
【００７４】
４．他の実施形態
以上、本発明の複数の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
【００７５】
（１）調整電極及び山型感圧層の平面レイアウトの変形例
第１〜第３実施形態では調整電極３１と山型感圧層３３とからなる感圧素子は、行と列が完全にそろったマトリクス形状に配置されていた。しかし、感圧素子は、広い意味でのマトリクス形状に配置されていればよい。例えば、感圧素子のレイアウトは、多角形（例えば、六角形、平行四辺形）の繰り返し格子であってもよい。さらに、感圧素子のレイアウトは、均一に並んでおらず、複数箇所に隙間が形成されていてもよい。
【００７６】
（２）調整電極及び山型感圧層の平面形状の変形例
第１〜第３実施形態では調整電極３１と山型感圧層３３の平面形状は同じであったが、特に限定されない。両者の形状は異なっていてもよい。
【００７７】
（３）共通電極の変形例
第１〜第３実施形態では共通電極９は山型感圧層３３に直接接触するようになっていたが、他の層を介して接触してもよい。例えば、共通電極９に感圧層が形成されていてもよい。
【００７８】
（４）山型感圧層の側面形状の第１変形例
第１〜第３実施形態では、山型感圧層３３はドーム形状であって側面形状は半円形状であったが、特に限定されない。ただし、所望の効果を得るためには、共通電極９と段階的に接触することを目的として、山型感圧層３３は高さが所定以上であることが必要である。また、共通電極を外周側の側面部に接触させるためには、山型感圧層３３は傾斜角度が所定以下であることが必要である。
【００７９】
以上より、山型感圧層３３Ｄは円錐形状、円錐台形状であってもよい。
さらに、山型感圧層の山型形状は山型感圧層の上部のみに設けられていてもよい。
【００８０】
（５）山型感圧層の側面形状の第２変形例
第１〜第３実施形態では山型感圧層の頂点は平面視で中心に形成されていたが、山型感圧層の頂点は中心からずれて形成されていてもよい。例えば、山型感圧層は中心以外の位置に頂点を含む凸部を有していてもよい。
【００８１】
（６）山型感圧層同士の関係の変形例
第１〜第３実施形態では、複数の山型感圧層３３は互いに電気的に独立していたが、特に限定されない。複数の山型感圧層は互いに接触又は連続していてもよい。
【００８２】
（７）薄膜トランジスタの変形例
第１〜第３実施形態では、各個別電極に薄膜トランジスタを対応させ、さらに各薄膜トランジスタの電流を検出していた。言い換えると、１つの調整電極に１つの薄膜トランジスタが接続されていた。
しかし、１つの調整電極に複数の薄膜トランジスタを対応させ、複数の薄膜トランジスタの電流を検出するようにしてもよい。具体的には、１つの調整電極に隣接する２以上の薄膜トランジスタが接続される。これにより検出される電流値が大きくなり、さらに、回路に冗長性をもたすことができる。
【００８３】
図５に示す２×２の合計４個の薄膜トランジスタを１個の調整電極に対応させる場合の例を説明する。その場合は、ゲートラインＧ１、Ｇ２を短絡し、ソースラインＳ１、Ｓ２を短絡し、さらに４個のドレイン電極を短絡させて貫通孔及び導電部を介して１個の調整電極に接続する。
薄膜トランジスタの組み合せパターンは複数可能であり、例えば、２×３、３×２、４×４、５×２でもよい。また、１つの圧力装置に複数の組み合せパターンが存在してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明は、感圧層と多数の薄膜トランジスタとを有する圧力センサに広く適用できる。特に、本発明に係る圧力センサは、タッチパネル以外に、大面積のシートセンサに適している。具体的には、本発明に係る圧力センサは、歩行の測定技術（医療、スポーツ、セキュリティの分野）、ベッドの床ずれ測定技術に適用できる。
【符号の説明】
【００８５】
１      ：圧力センサ
３      ：上側電極部材
５      ：下側電極部材
７      ：絶縁フィルム
９      ：共通電極
１３    ：額縁スペーサ
１５    ：絶縁フィルム
３０    ：薄膜トランジスタ
３１    ：調整電極
３１ａ  ：周辺部
３３    ：山型感圧層
３５    ：感圧素子
５１    ：絶縁層
【図１】
2018146489.tif 000003
【図２】
2018146489.tif 000004
【図３】
2018146489.tif 000005
【図４】
2018146489.tif 000006
【図５】
2018146489.tif 000007
【図６】
2018146489.tif 000008
【図７】
2018146489.tif 000009
【図８】
2018146489.tif 000010
【図９】
2018146489.tif 000011
【図１０】
2018146489.tif 000012
【図１１】
2018146489.tif 000013
【図１２】
2018146489.tif 000014
【図１３】
2018146489.tif 000015
【図１４】
2018146489.tif 000016
【図１５】
2018146489.tif 000017
【図１６】
2018146489.tif 000018
【図１７】
2018146489.tif 000019
【図１８】
2018146489.tif 000020
【図１９】
2018146489.tif 000021
【図２０】
2018146489.tif 000022
【図２１】
2018146489.tif 000023
【図２２】
2018146489.tif 000024
【図２３】
2018146489.tif 000025
【図２４】
2018146489.tif 000026
【図２５】
2018146489.tif 000027
【図２６】
2018146489.tif 000028
【図２７】
2018146489.tif 000029
【図２８】
2018146489.tif 000030
【図２９】
2018146489.tif 000031
【図３０】
2018146489.tif 000032
【図３１】
2018146489.tif 000033
【図３２】
2018146489.tif 000034
【図３３】
2018146489.tif 000035
【図３４】
2018146489.tif 000036
【図３５】
2018146489.tif 000037
【図３６】
2018146489.tif 000038
【図３７】
2018146489.tif 000039
【図３８】
2018146489.tif 000040