(57)【要約】【課題】消火用移動車を備えながらも工場内の空間の利用効率を良好に維持できる物品搬送設備を提供する。【解決手段】工場内の複数の処理設備２間を結ぶ搬送経路Ｒと、搬送経路Ｒに沿って移動して物品を搬送する複数の物品搬送車３と、制御装置と、を備え、物品搬送車３又は物品搬送車３とは異なる移動車に消火装置を備えた消火用移動車３Ｆを少なくとも一台備え、制御装置は、複数の物品搬送車３を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、消火用移動車３Ｆを搬送経路Ｒに沿って火災発生場所ＦＰへ移動させる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
工場内の複数の処理設備間を結ぶ搬送経路と、
前記搬送経路に沿って移動して物品を搬送する複数の物品搬送車と、
制御装置と、を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車又は前記物品搬送車とは異なる移動車に消火装置を備えた消火用移動車を少なくとも一台備え、
前記制御装置は、複数の前記物品搬送車を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、前記消火用移動車を前記搬送経路に沿って火災発生場所へ移動させる物品搬送設備。
【請求項２】
前記制御装置は、前記消火用移動車であるか否かに関わらず、物品を搬送中の前記物品搬送車については、前記火災発生場所から離れる方向に移動させる請求項１に記載の物品搬送設備。
【請求項３】
前記物品搬送車は、当該物品搬送車と前記処理設備とで物品を受け渡しするための移載装置を備え、
前記消火用移動車を兼ねた前記物品搬送車において、前記消火装置が、前記移載装置よりも搬送方向の前方側に配置されている請求項１又は２に記載の物品搬送設備。
【請求項４】
前記処理設備は、半導体製造工場に設置された半導体製造設備及び保管設備の少なくとも一方を含み、
前記搬送経路は、前記半導体製造工場の天井から吊り下げられたレールに沿って形成され、
前記天井には固定消火装置が設置され、
前記レールは、前記固定消火装置よりも下方に配置されている請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、消火用移動車を備えた工場内の物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、下記の特許文献１には、工場内で火災が発生した場合に消火を行う消火装置が開示されている。この消火装置は、工場内の空間に敷設された高架式のモノレール１と、当該モノレール１を走行する移動車２と、を備えている。そして、移動車２は、消火剤容器７を有しており、モノレール１に沿って火災発生地点まで走行可能に構成されている。特許文献１の消火装置は、消火剤容器７を有する移動車２を火災発生地点まで走行させることで当該火災発生地点において消火剤を撒き、消火を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−６６７３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このように、特許文献１では、消火専用の移動車２が走行するための専用のモノレール１が工場内に設けられている。しかしながら、工場内の複数の処理設備間で物品を搬送する物品搬送設備を設置する場合には、特許文献１に記載されたような消火装置があると、モノレール１によって、物品搬送設備の配置スペースが制限されることになる。そのため、物品搬送設備による物品の搬送経路が制限されたり、処理設備の配置が制限されたりして、工場内の空間の利用効率が低下するおそれがあった。
【０００５】
そこで、消火用移動車を備えながらも工場内の空間の利用効率を良好に維持できる物品搬送設備の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係る物品搬送設備は、
工場内の複数の処理設備間を結ぶ搬送経路と、
前記搬送経路に沿って移動して物品を搬送する複数の物品搬送車と、
制御装置と、を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車又は前記物品搬送車とは異なる移動車に消火装置を備えた消火用移動車を少なくとも一台備え、
前記制御装置は、複数の前記物品搬送車を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、前記消火用移動車を前記搬送経路に沿って火災発生場所へ移動させる。
【０００７】
本構成によれば、通常時は物品を搬送するために用いられる搬送経路を利用して、消火装置を備えた消火用移動車を火災発生場所に移動させることができる。そのため、物品搬送設備内に、搬送経路とは別に消火移動車専用の経路を設ける必要がない。従って、本構成によれば、消火用移動車を備えながらも工場内の空間の利用効率を良好に維持することができる。
【０００８】
本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】物品搬送設備の平面模式図。
【図２】物品搬送車の側面図。
【図３】火災発生場所において消火を行う様子を示す図。
【図４】制御ブロック図。
【図５】消火用移動車が火災発生場所に向かう様子を示す平面模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
１．第一実施形態
１−１．物品搬送設備の機械的構成
第一実施形態に係る物品搬送設備について、図面を参照して説明する。
図１及び２に示すように、物品搬送設備１は、工場内の複数の処理設備２間を結ぶ搬送経路Ｒと、搬送経路Ｒに沿って移動して物品Ｗを搬送する複数の物品搬送車３と、を備えている。
【００１１】
搬送経路Ｒは、複数の処理設備２を経由するように形成されている。そのため、物品搬送車３は、搬送経路Ｒを移動することで複数の処理設備２のそれぞれに物品を搬送することができる。例えば、搬送経路Ｒは、工場内の床に形成されていても良いし、床から上方に離間した空間に形成されていても良い。本実施形態では、搬送経路Ｒは、半導体製造工場の天井Ｃから吊り下げられたレール９９に沿って形成されている（図２参照）。図２に示す例では、レール９９は、支持部材９８によって天井Ｃに吊り下げ支持されている。
【００１２】
図１に示す例では、処理設備２は、半導体製造工場に設置された半導体製造設備２Ａ及び保管設備２Ｂの少なくとも一方を含んでいる。複数の半導体製造設備２Ａによって半導体ウエハに対する各処理工程が実施される。例えば、半導体製造設備２Ａでは、半導体ウエハの成膜処理、現像処理及びエッチング処理等の加工処理が行われる。また、保管設備２Ｂでは、半導体ウエハの保管処理が行われる。例えば、保管設備２Ｂでは、上記加工処理を待つ半導体ウエハが仮保管処理される。
【００１３】
図１に示す例では、搬送経路Ｒは、各処理工程が実施される複数の処理設備２を結ぶ工程内経路Ｒ１と、当該複数の工程内経路Ｒ１を結ぶ工程間経路Ｒ２と、を有している。そのため、物品搬送車３は、工程内経路Ｒ１及び工程間経路Ｒ２を移動することで半導体製造設備２Ａ及び保管設備２Ｂに物品Ｗを搬送することができる。
【００１４】
本実施形態では、物品Ｗは、半導体ウエハを収容する容器である。図２には、物品Ｗとして、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）が例示されている。半導体ウエハは、物品ＷとしてのＦＯＵＰに収容された状態で物品搬送車３によって各処理設備２に搬送され、各処理設備２において処理される。
【００１５】
図２に示す例では、物品搬送車３は、レール９９を走行するための走行装置３１と、当該物品搬送車３と処理設備２（図１参照）とで物品Ｗを受け渡しするための移載装置３２と、を備えている。更に、この物品搬送車３は、移載装置３２により保持された物品Ｗを収容する収容空間３３Ｓを囲むカバー体３３を備えている。
【００１６】
図２に示す例では、走行装置３１は、レール９９上を転動する走行輪３１Ａと、当該走行輪３１Ａを回転駆動する走行用モータ３１Ｂと、を有している。これにより物品搬送車３は、レール９９（搬送経路Ｒ）に沿って移動することができる。また、走行装置３１は、移動経路を変更するためのガイド輪３１Ｃを有している。ガイド輪３１Ｃは、搬送経路Ｒの分岐路上に設けられたガイドレール（不図示）に当接自在に構成されている。
【００１７】
カバー体３３は、収容空間３３Ｓを囲むように形成されている。本実施形態では、カバー体３３は、収容空間３３Ｓの前方を覆う前カバー部３３Ａと、収容空間３３Ｓの後方を覆う後カバー部３３Ｂと、収容空間３３Ｓの上方を覆って前カバー部３３Ａと後カバー部３３Ｂとをつなぐ連結部３３Ｃと、を備えている。収容空間３３Ｓの下方はカバー体３３により覆われずに開放されている。また、本例では、収容空間３３Ｓの両側方も開放されている。なお、カバー体３３が、収容空間３３Ｓの両側方又は一方の側方を覆うように形成されていてもよい。従って、本例では、図２に示すように、カバー体３３は、側方から見て角ばったＵ字状に形成されている。なお、前カバー部３３Ａ及び後カバー部３３Ｂは、上下方向に延びる板状又は柱状とされている。
【００１８】
本実施形態では、移載装置３２は、処理設備２に隣接して配置されているロードポート２Ｃとの間で物品Ｗの受け渡しを行う（図１参照）。図２に示す例では、移載装置３２は、物品Ｗを把持するための把持装置３２Ｇと、物品Ｗを昇降させるための昇降装置３２Ｈと、を有している。ただし、移載装置３２は、このような構成に限らず、これらの装置に加えて、物品Ｗを旋回させる旋回装置や、水平方向に沿い且つ搬送方向に直交する方向に物品Ｗを横行させる横行装置等を有していても良い。
【００１９】
把持装置３２Ｇは、物品Ｗを把持する把持部３２ＧＡを有している。図２に示す例では、把持部３２ＧＡは、物品Ｗのトップフランジを両側から挟むことにより当該物品Ｗを把持している。把持部３２ＧＡは、把持用モータ（不図示）により把持状態と把持解除状態とに切り換え可能に構成されている。
【００２０】
昇降装置３２Ｈは、把持部３２ＧＡを昇降させることにより、把持部３２ＧＡに把持された物品Ｗを昇降させる。図２に示す例では、昇降装置３２Ｈは、昇降ベルト３２ＨＢを有している。昇降装置３２Ｈは、昇降用モータ（不図示）により昇降ベルト３２ＨＢを巻き取り及び繰り出し可能に構成されており、昇降ベルト３２ＨＢに連結された把持部３２ＧＡを昇降可能に構成されている。
【００２１】
物品搬送車３は、以上のように構成されているため、各処理設備２に移動できると共に、レール９９よりも下方に配置されたロードポート２Ｃとの間で物品Ｗの受け渡しを行うことができる。
【００２２】
物品搬送設備１では、万が一火災が発生した場合に、自動的に消火が行われる。図２に示す例では、天井Ｃには、火災を感知するための火災感知器９６と、固定消火装置９７と、が設置されている。火災感知器９６が火災を感知することで固定消火装置９７が自動的に作動し、消火を行う。火災感知器９６としては、例えば、煙感知式、熱感知式、又は炎感知式等の各種の感知器を用いることができる。固定消火装置９７としては、例えば、消火剤散布式、又は水散布式（スプリンクラー）等の各種の装置を用いることができる。
【００２３】
本実施形態では、レール９９は天井Ｃから吊り下げられているため、レール９９は、固定消火装置９７よりも下方に配置される（図２参照）。このような構成では、火災が発生した場合に、固定消火装置９７の下方のレール９９による死角となる領域において、レール９９が邪魔となり固定消火装置９７による消火が適切に行えないことがある。また、固定消火装置９７とは別に、他の消火設備を設ける場合には、物品搬送設備１の配置スペースが制限されることになる。そのため、物品Ｗの搬送経路Ｒが制限されたり、処理設備２の配置が制限されたりして、工場内の空間の利用効率が低下するおそれがある。
【００２４】
そこで、図２及び３に示すように、物品搬送設備１は、物品搬送車３又は物品搬送車３とは異なる移動車に消火装置Ｆを備えた消火用移動車３Ｆを少なくとも一台備えている。ここで、物品搬送車３とは異なる移動車とは、物品Ｗの搬送は行わないが、搬送経路Ｒを移動可能に構成された移動体である。移動車は、物品搬送車３と同様に走行装置３１を備えることで、搬送経路Ｒを移動することができる。
【００２５】
物品搬送車３又は移動車の少なくとも一方が消火装置Ｆを備えることで、これらを消火用移動車３Ｆとして、レール９９の下方の領域の消火を行わせることができる。また、物品搬送設備１内に、搬送経路Ｒとは別に消火用移動車３Ｆ専用の経路を設ける必要がない。従って、固定消火装置９７とは別の消火設備である消火用移動車３Ｆを備えながらも、工場内の空間の利用効率を良好に維持することができる。
【００２６】
本実施形態では、複数の物品搬送車３の一部又は全部、及び、物品搬送車３とは異なる単数又は複数の移動車、の内の少なくとも一方が、消火装置Ｆを備えた消火用移動車３Ｆとされている。例えば、物品搬送設備１は、物品Ｗの搬送のみを行う物品搬送専用の物品搬送車３と、物品Ｗの搬送及び消火を行う消火用移動車３Ｆとしての物品搬送車３とを備える構成とすることができる。又は、物品搬送設備１は、物品Ｗの搬送のみを行う物品搬送専用の物品搬送車３と、消火のみを行う消火専用の消火用移動車３Ｆとしての移動車とを備える構成とすることができる。ここで、消火用移動車３Ｆは、１台だけでもよいし、複数台あってもよい。或いは、物品搬送設備１は、全ての物品搬送車３が物品Ｗの搬送及び消火を行う消火用移動車３Ｆである構成とすることもできる。図１に示す例では、物品搬送設備１は、複数の物品搬送車３の一部が消火装置Ｆ（図３等参照）を備えた消火用移動車３Ｆとされている。
【００２７】
消火装置Ｆは、消火剤を散布する。消化剤としては、液状又は粉末状の各種の消化薬剤を用いると好適であるが、これらに代えて水や不活性ガス等を用いてもよい。図２に例示したように、消火装置Ｆは、消火剤を収納した消火剤タンクＦ２と、消火剤を噴出させる噴出口Ｆ１と、当該噴出口Ｆ１を開閉する開閉弁Ｆ３と、を備えている。消火装置Ｆは、開閉弁Ｆ３が閉じた状態で噴出口Ｆ１を閉じ、開閉弁Ｆ３が開いた状態で噴出口Ｆ１を開くように構成されている。例えば、開閉弁Ｆ３として、電磁力を利用して開閉を行う電磁弁を用いることができる。ここで、開閉弁Ｆ３は、火災時以外に誤って消火剤を散布しないように、開放信号が入力されない状態では弁を閉じた状態となるノーマルクローズ型の弁を用いると好適である。
【００２８】
図２に示すように、本実施形態では、消火装置Ｆは、カバー体３３の前カバー部３３Ａに取り付けられている。具体的には、消火装置Ｆの噴出口Ｆ１が、前カバー部３３Ａの下部に下方へ向けて取り付けられ、消火剤タンクＦ２が前カバー部３３Ａの内部に収容されている。開閉弁Ｆ３は、噴出口Ｆ１と消火剤タンクＦ２との間に設けられている。
【００２９】
１−２．物品搬送設備の制御構成
次に、物品搬送設備１の制御構成について説明する。
【００３０】
図３及び４に示すように、物品搬送設備１は、制御装置４を備えている。制御装置４は、物品搬送車３及び消火用移動車３Ｆを制御する。より具体的には、制御装置４は、複数の物品搬送車３を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、消火用移動車３Ｆを搬送経路Ｒに沿って火災発生場所ＦＰへ移動させる。
【００３１】
制御装置４は、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアと、コンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムと、の協働により、制御装置４の各機能が実現される。図３及び４に示す例では、制御装置４は、物品搬送設備１全体の制御を行う統括制御装置４ＨＵと、物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）の制御を行う個別制御装置４ＨＤと、を含んで構成されている。統括制御装置４ＨＵは、物品搬送設備１のいずれかの領域に固定された状態で配置されている。個別制御装置４ＨＤは、複数の物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）のそれぞれに配置されて当該物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）と共に搬送経路Ｒ上を移動する。統括制御装置４ＨＵと個別制御装置４ＨＤとは、無線通信により信号の受け渡しを行う。
【００３２】
個別制御装置４ＨＤは、統括制御装置４ＨＵからの指令を受けて、走行装置３１、把持装置３２Ｇ及び昇降装置３２Ｈの作動を制御する。より具体的には、個別制御装置４ＨＤは、走行用モータ３１Ｂ（図２参照）を制御して、物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）を目的地まで移動させる。また、把持モータ（不図示）及び昇降モータ（不図示）を制御して、物品搬送車３に処理設備２（図１参照）との間で物品Ｗの受け渡しを行わせる。
【００３３】
また、消火用移動車３Ｆについては、個別制御装置４ＨＤは、消火装置Ｆの作動を制御する。具体的には、個別制御装置４ＨＤは、消火装置Ｆの開閉弁Ｆ３を開くように制御することにより、消火剤タンクＦ２内の消火剤を噴出口Ｆ１から噴出させる。
【００３４】
ここで、本実施形態では、物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）は、自己の現在位置の情報を検出する位置情報検出部３４を有している。位置情報検出部３４は、搬送経路Ｒに分散配置された複数の位置情報記憶部Ｍ１のそれぞれの位置情報を検出可能に構成されている。複数の位置情報記憶部Ｍ１は、搬送経路Ｒを区画した複数の領域のそれぞれに割り当てられている。位置情報記憶部Ｍ１は、当該位置情報記憶部Ｍ１が配置された領域の位置情報を記憶している。これにより、個別制御装置４ＨＤは、当該個別制御装置４ＨＤが配置される物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）の現在位置を把握可能となっている。例えば、位置情報記憶部Ｍ１としてバーコードを用いることができる。この場合には、位置情報検出部３４としてバーコードリーダが用いられる。
【００３５】
また、本実施形態では、火災感知器９６は複数配置されており、搬送経路Ｒを区画した複数の領域のそれぞれに割り当てられている。図４に示す例では、火災感知器９６のそれぞれは、当該火災感知器９６が設置された位置を示す位置情報Ｍ２を有している。この位置情報Ｍ２は、火災感知器９６のそれぞれに備えられた記憶装置に格納されている。そして、火災感知器９６は、火災を感知した場合には、火災が発生したことを示す火災発生情報と共に、当該火災感知器９６の位置情報Ｍ２も統括制御装置４ＨＵへ送信する。
【００３６】
統括制御装置４ＨＵは、位置情報取得部４１を有している。位置情報取得部４１は、物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）が位置情報検出部３４により得た当該物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）の現在位置情報を取得する。また、位置情報取得部４１は、火災を感知した場合に火災感知器９６から送信される位置情報Ｍ２に基づいて、火災が発生した位置の情報を取得する。これにより、制御装置４は、工場内で発生した火災の情報、すなわち、火災発生場所ＦＰの位置情報を取得することができる。
【００３７】
制御装置４は、以上のように構成されているため、火災が発生した場合に、火災発生場所ＦＰの位置（領域）を把握することができる。そして、制御装置４は、火災発生場所ＦＰの位置（領域）に消火用移動車３Ｆを移動させ、当該消火用移動車３Ｆに消火を行わせることができる。
【００３８】
本実施形態では、物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）は、搬送経路Ｒを一方向にのみ移動し、逆方向には移動しないようになっている。換言すれば、物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）は、搬送方向における前方側にしか移動しない。このように搬送経路Ｒを一方通行にすることにより、複数の物品搬送車３による高い搬送効率が確保されている。
【００３９】
本実施形態では、消火用移動車３Ｆを兼ねた物品搬送車３において、消火装置Ｆが、移載装置３２よりも搬送方向の前方側に配置されている。具体的には、上述したとおり、消火装置Ｆは、カバー体３３の前カバー部３３Ａに取り付けられている（図２及び図３参照）。そして、消火装置Ｆは、カバー体３３の下端部から下方へ向けて噴出口Ｆ１を突出させている。これにより、消火用移動車３Ｆを兼ねた物品搬送車３が搬送方向の前方側に向かって移動して火災発生場所ＦＰを消火装置Ｆの消火範囲内に入れた場合に、当該物品搬送車３が備える移載装置３２が火災発生場所ＦＰの上を通過しないようにすることができる。従って、火災の熱による移載装置３２の故障等の発生を抑制できる。
【００４０】
図５に示すように、本実施形態では、制御装置４（図４参照）は、消火用移動車３Ｆであるか否かに関わらず、物品Ｗを搬送中の物品搬送車３については、火災発生場所ＦＰから離れる方向に移動させる。つまり、制御装置４は、物品Ｗを搬送中でない消火用移動車３Ｆを火災発生場所ＦＰに移動させ、物品Ｗを搬送中の物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）を火災発生場所ＦＰから離れる方向に移動させる。これにより、物品搬送車３に搬送されている途中の物品Ｗを火災発生場所ＦＰから遠ざけることができ、その結果、火災の熱による物品Ｗの損傷等を抑制できる。また、制御装置４は、火災発生場所ＦＰから十分に離れた位置に移動した物品搬送車３を、当該位置に停止させると好適である。これにより、火災による損傷等の可能性が低い安全な位置に退避させた状態に、物品Ｗを維持することができる。
【００４１】
２．その他の実施形態
次に、物品搬送設備のその他の実施形態について説明する。
【００４２】
（１）上記の実施形態では、制御装置４は、物品Ｗを搬送中の物品搬送車３を火災発生場所ＦＰから離れる方向に移動させる例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。例えば、制御装置４は、火災が発生した場合に、消火用移動車３Ｆ以外の全ての物品搬送車３及び移動車を火災発生場所ＦＰから離れる方向に移動させても良い。
【００４３】
（２）上記の実施形態では、消火装置Ｆは、カバー体３３の下端部から下方に向けて噴出口Ｆ１を突出させている例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。例えば、消火装置Ｆは、カバー体３３の下端部から斜め前下方に向けて噴出口Ｆ１を突出させていても良い。或いは、消火装置Ｆは、カバー体３３の搬送方向における前方側の端部（前方面）から前方又は斜め前下方に向けて噴出口Ｆ１を突出させていても良い。これらの構成によれば、消火用移動車３Ｆを火災発生場所ＦＰの上方に位置させることなく消火を行うことができる。その結果、火災の熱による消火用移動車３Ｆの損傷等を更に抑制できる。
【００４４】
（３）上記の実施形態では、物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）は、搬送経路Ｒを一方向にのみ移動し、逆方向には移動しないように構成されている例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。物品搬送車３（消火用移動車３Ｆ）は、搬送経路Ｒに沿って双方向に移動するように構成されていても良い。この場合、消火装置Ｆは、カバー体３３の搬送方向における後方側部分（具体的には後カバー部３３Ｂ）に取り付けられていても良い。更にこの場合、消火装置Ｆの噴出口Ｆ１は、カバー体３３の下端部から下方又は斜め後下方に向けて突出していても良いし、搬送方向における後方側の端部（後方面）から後方又は斜め後下方に向けて突出するように構成されていても良い。
【００４５】
（４）上記の実施形態では、火災感知器９６から統括制御装置４ＨＵへ送信された位置情報に基づいて、火災発生場所ＦＰの位置情報を取得する例について説明した。しかし、火災発生場所ＦＰの位置情報を取得する方法はこれに限定されない。例えば、作業者が端末装置を用いて、火災発生場所の位置情報を統括制御装置４ＨＵに入力する構成や、各物品搬送車３が火災検知装置を備えており、当該火災検知装置により火災が検知された際の物品搬送車３の位置情報が統括制御装置４ＨＵへ送信される構成等とされても好適である。
【００４６】
（５）なお、前述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【００４７】
３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した物品搬送設備の概要について説明する。
【００４８】
工場内の複数の処理設備間を結ぶ搬送経路と、
前記搬送経路に沿って移動して物品を搬送する複数の物品搬送車と、
制御装置と、を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車又は前記物品搬送車とは異なる移動車に消火装置を備えた消火用移動車を少なくとも一台備え、
前記制御装置は、複数の前記物品搬送車を制御すると共に、工場内で発生した火災の情報を受け取った場合には、前記消火用移動車を前記搬送経路に沿って火災発生場所へ移動させる。
【００４９】
本構成によれば、通常時は物品を搬送するために用いられる搬送経路を利用して、消火装置を備えた消火用移動車を火災発生場所に移動させることができる。そのため、物品搬送設備内に、搬送経路とは別に消火移動車専用の経路を設ける必要がない。従って、本構成によれば、消火用移動車を備えながらも工場内の空間の利用効率を良好に維持することができる。
【００５０】
ここで、前記制御装置は、前記消火用移動車であるか否かに関わらず、物品を搬送中の前記物品搬送車については、前記火災発生場所から離れる方向に移動させると好適である。
【００５１】
本構成によれば、物品搬送車に搬送されている途中の物品を火災発生場所から遠ざけることができ、その結果、火災の熱による物品の損傷等を抑制できる。
【００５２】
また、前記物品搬送車は、当該物品搬送車と前記処理設備とで物品を受け渡しするための移載装置を備え、
前記消火用移動車を兼ねた前記物品搬送車において、前記消火装置が、前記移載装置よりも搬送方向の前方側に配置されていると好適である。
【００５３】
本構成によれば、消火用移動車を兼ねた物品搬送車が搬送方向の前方側に向かって移動して火災発生場所を消火装置の消火範囲内に入れた場合に、当該物品搬送車が備える移載装置が火災発生場所の上を通過しないようにすることができる。従って、火災の熱による移載装置の故障等を抑制できる。
【００５４】
また、前記処理設備は、半導体製造工場に設置された半導体製造設備及び保管設備の少なくとも一方を含み、
前記搬送経路は、前記半導体製造工場の天井から吊り下げられたレールに沿って形成され、
前記天井には固定消火装置が設置され、
前記レールは、前記固定消火装置よりも下方に配置されていると好適である。
【００５５】
本構成によれば、固定消火装置の下方のレールによる死角となる領域であっても、消火用移動車によって適切に消火を行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本開示に係る技術は、消火用移動車を備えた工場内の物品搬送設備に利用することができる。
【符号の説明】
【００５７】
１        ：物品搬送設備
２        ：処理設備
２Ａ      ：半導体製造設備
２Ｂ      ：保管設備
３        ：物品搬送車
３Ｆ      ：消火用移動車
４        ：制御装置
３２      ：移載装置
９７      ：固定消火装置
９９      ：レール
Ｃ        ：天井
Ｆ        ：消火装置
ＦＰ      ：火災発生場所
Ｒ        ：搬送経路
Ｗ        ：物品
【図１】
2018114229.tif 000003
【図２】
2018114229.tif 000004
【図３】
2018114229.tif 000005
【図４】
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【図５】
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