(57)【要約】      （修正有）【課題】割断不良を抑えることの可能なパネルの製造方法、スクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供する。【解決手段】ガラス基板上に少なくとも、ポリイミドからなる樹脂層を含む機能層２０を備えたパネルにおけるガラス基板１に垂直クラックが生じない態様で、第１のカッターホイールを用いて機能層２０を少なくとも１回、スクライブＳＬした後、第２のカッターホイールを用いてガラス基板のうち、機能層２０がスクライブされた箇所ＳＬの直下を少なくとも１回、スクライブするパネル１の製造方法及びそのスクライブヘッドとスクライブ装置。【選択図】図１
2018062452.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板上に機能層を備えたパネルにおける前記ガラス基板に垂直クラックが生じない態様で、第１のカッターホイールを用いて前記機能層を少なくとも１回、スクライブした後、第２のカッターホイールを用いて前記ガラス基板のうち、前記機能層がスクライブされた箇所の直下を少なくとも１回、スクライブする
パネルの製造方法。
【請求項２】
前記機能層は、少なくとも、ポリイミドからなる樹脂層を含む
請求項１に記載のパネルの製造方法。
【請求項３】
前記第１のカッターホイールの刃先の角度は、前記第２のカッターホイールの刃先の角度よりも小さい
請求項２に記載のパネルの製造方法。
【請求項４】
前記第１のカッターホイールの刃先は、ディスク状ホイールの円周部に沿った、高さが周期的に変化するＶ字型の稜線を構成するノコギリ歯状の形状となっており、
前記第２のカッターホイールの刃先は、ディスク状ホイールの円周部に沿った、高さの均一なＶ字型の稜線を構成する形状となっている
請求項２に記載のパネルの製造方法。
【請求項５】
前記第１のカッターホイールは、前記第２のカッターホイールを兼ねている
請求項２に記載のパネルの製造方法。
【請求項６】
第１のカッターホイールの荷重は、前記第２のカッターホイールの荷重よりも小さい
請求項２ないし請求項５のいずれか一項に記載のパネルの製造方法。
【請求項７】
第１のカッターホイールと、
前記第１のカッターホイールに荷重を与える第１の荷重付与部と、
前記第１のカッターホイールを含む面内に配置された第２のカッターホイールと、
前記第２のカッターホイールに、前記第１のカッターホイールにかけられる荷重よりも大きな荷重を与える第２の荷重付与部と
を備えた
スクライブヘッド。
【請求項８】
前記第１のカッターホイールの刃先の角度は、前記第２のカッターホイールの刃先の角度よりも小さい
請求項７に記載のスクライブヘッド。
【請求項９】
前記第１のカッターホイールの刃先は、ディスク状ホイールの円周部に沿った、高さが周期的に変化するＶ字型の稜線を構成するノコギリ歯状の形状となっており、
前記第２のカッターホイールの刃先は、ディスク状ホイールの円周部に沿った、高さの均一なＶ字型の稜線を構成する形状となっている
請求項７に記載のスクライブヘッド。
【請求項１０】
前記第１の荷重付与部は、荷重を調整する弾性部材を含んで構成され、
前記第２の荷重付与部は、荷重を調整するエアシリンダを含んで構成されている
請求項７ないし請求項９のいずれか一項に記載のスクライブヘッド。
【請求項１１】
スクライブヘッドと、
前記スクライブヘッドを移動させる駆動部と
を備え、
前記スクライブヘッドは、
第１のカッターホイールと、
前記第１のカッターホイールに荷重を与える第１の荷重付与部と、
前記第１のカッターホイールを含む面内に配置された第２のカッターホイールと、
前記第２のカッターホイールに、前記第１のカッターホイールにかけられる荷重よりも大きな荷重を与える第２の荷重付与部と
を有する
スクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、パネルの製造方法、スクライブヘッドおよびスクライブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
マザー基板を用いて多数の有機ＥＬシートパネルを形成することが従来から行われている（例えば、特許文献１参照）。例えば、マザー基板上にポリイミドなどからなる樹脂層を形成し、当該樹脂層の上に、薄膜トランジスタや有機発光層、ガスバリア層などを含む有機ＥＬ画素を複数形成する。その後、マザー基板等をスクライブラインに沿って割断して複数のパネルに分離し、分離後の個々のパネルから樹脂層を剥離する。このようにして、樹脂層を基材とする複数の有機ＥＬシートパネルを製造することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１６９７６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述の製造過程において、スクライブラインに、金属配線などが形成されている場合には、金属配線などに起因して割断不良が発生しやすい。なお、このような割断不良は、有機ＥＬシートパネルの製造だけでなく、マザー基板等をスクライブするプロセスを経て製造されるパネル全般で起こり得る。そのため、割断不良を抑えることの可能なパネルの製造方法、スクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一実施の形態のパネルの製造方法は、以下の工程を含む。
ガラス基板上に機能層を備えたパネルにおけるガラス基板に垂直クラックが生じない態様で、第１のカッターホイールを用いて前記機能層を少なくとも１回、スクライブした後、第２のカッターホイールを用いてガラス基板のうち、機能層がスクライブされた箇所の直下を少なくとも１回、スクライブする。
【０００６】
本開示の一実施の形態のスクライブヘッドは、第１のカッターホイールと、第１のカッターホイールに荷重を与える第１の荷重付与部とを備えている。このスクライブヘッドは、さらに、第１のカッターホイールを含む面内に配置された第２のカッターホイールと、第２のカッターホイールに、第１のカッターホイールにかけられる荷重よりも大きな荷重を与える第２の荷重付与部とを備えている。
【０００７】
本開示の一実施の形態のスクライブ装置は、スクライブヘッドと、スクライブヘッドを移動させる駆動部とを備えている。このスクライブ装置に設けられたスクライブヘッドは、上記のスクライブヘッドと同一の構成要素を備えている。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の一実施の形態のパネルの製造方法によれば、ガラス基板に垂直クラックを入れる前に、ガラス基板上の機能層をスクライブするようにしたので、割断不良を抑えることができる。
【０００９】
本開示の一実施の形態のスクライブヘッドおよびスクライブ装置によれば、第２のカッターホイールでガラス基板に垂直クラックを入れる前に、第１のカッターホイールでガラス基板上の機能層をスクライブすることができるようになっているので、割断不良を抑えることができる。
【００１０】
なお、本開示の効果は、ここに記載された効果に必ずしも限定されず、本明細書中に記載されたいずれの効果であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本開示の一実施の形態に係る割断前パネルの正面構成例を表す図である。
【図２】図１の割断前パネルの側面構成例を表す図である。
【図３】図１の割断前パネルを割断することにより得られる割断後パネルの正面構成例を表す図である。
【図４】図３の割断後パネルの側面構成例を表す図である。
【図５】図３の割断後パネルのガラス基板から下地層を剥離することにより得られるシートパネルの正面構成例を表す図である。
【図６】図５のシートパネルの側面構成例を表す図である。
【図７】割断後パネルおよびシートパネルの製造方法の一例を表す図である。
【図８】図１の割断前パネルをスクライブするためのスクライブヘッドの概略構成例を表す図である。
【図９】図８のスクライブヘッドを備えたスクライブ装置の概略構成例を表す図である。
【図１０】（Ａ）図９のカッターホイールの側面構成例を表す図である。（Ｂ）図１０（Ａ）のカッターホイールの正面構成例を表す図である。
【図１１】（Ａ）図９のカッターホイールの側面構成例を表す図である。（Ｂ）図１１（Ａ）のカッターホイールの正面構成例を表す図である。
【図１２】（Ａ）図９のカッターホイールの側面構成例を表す図である。（Ｂ）図１２（Ａ）のカッターホイールの正面構成例を表す図である。
【図１３】（Ａ）機能層２０をスクライブした後の割断前パネルの一部の正面構成例を表す図である。（Ｂ）図１３（Ａ）の割断前パネルの断面構成例を表す図である。
【図１４】（Ａ）機能層２０をスクライブした後の割断前パネルの一部の正面構成例を表す図である。（Ｂ）図１４（Ａ）の割断前パネルの断面構成例を表す図である。
【図１５】（Ａ）ガラス基板１０をスクライブした後の割断前パネルの一部の正面構成例を表す図である。（Ｂ）図１５（Ａ）の割断前パネルの断面構成例を表す図である。
【図１６】（Ａ）ガラス基板１０をスクライブした後の割断前パネルの一部の正面構成例を表す図である。（Ｂ）図１６（Ａ）の割断前パネルの断面構成例を表す図である。
【図１７】比較例に係る割断前パネルの断面構成例を表す図である。
【図１８】図１の割断前パネルをスクライブするためのスクライブヘッドの概略構成例を表す図である。
【図１９】図３の割断後パネルの割断面の構成例を表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本開示を実施するための形態について、図面を参照して詳細に説明する。以下に説明する実施の形態は、いずれも本開示の好ましい一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態などは、一例であって本開示を限定する主旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本開示の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。なお、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化する。
【００１３】
＜実施の形態＞
[構成]
図１は、本開示の一実施の形態に係る割断前パネル１の正面構成例を表したものである。図２は、図１の割断前パネル１の側面構成例を表したものである。割断前パネル１は、スクライブラインＳＬが規定されるパネルである。割断前パネル１は、例えば、ガラス基板１０と、ガラス基板１０の表面に接する機能層２０とを備えている。機能層２０は、ガラス基板１０上に形成されている。ガラス基板１０は、製造過程において機能層２０を形成する際の形成基板としての役割を有している。割断前パネル１は、当該割断前パネル１の外縁を除いた領域にパネル領域３０を有している。パネル領域３０は、映像表示に関する機能を果たす領域である。
【００１４】
機能層２０は、例えば、ガラス基板１０上に形成された下地層２１と、下地層２１上に形成された複数の画素層２２、複数の内部配線層２３および複数の外部配線層２４とを有している。機能層２０は、パネル領域３０内に、例えば、複数の画素層２２および複数の内部配線層２３を有している。機能層２０は、パネル領域３０の周囲に、複数の外部配線層２４を有している。複数の外部配線層２４のうち、少なくとも１つの外部配線層２４の一部がパネル領域３０内に配置されている。割断前パネル１において、スクライブラインＳＬは、例えば、パネル領域３０の外縁に沿って規定されており、外部配線層２４をまたぐように規定されている。
【００１５】
下地層２１は、後述のシートパネル３の支持基材として機能するものである。下地層２１は、例えば、少なくとも、ポリイミドからなる樹脂層を含む。下地層２１は、例えば、ポリイミド以外の材料からなる樹脂層を含んでいてもよい。画素層２２は、例えば、パネル領域３０に生成される映像における１画素分の表示を担う層である。画素層２２は、例えば、薄膜トランジスタや有機発光層、ガスバリア層などを含む有機ＥＬ画素を有している。各画素層２２は、例えば、内部配線層２３および外部配線層２４と電気的に接続されている。内部配線層２３は、例えば、各画素層２２を駆動するための回路ＩＣと、各画素層２２とを互いに接続するための配線や電極パッド等を含んで構成されている。外部配線層２４は、例えば、各画素層２２の不具合の有無のチェックの際に使用される配線や電極パッド等を含んで構成されている。内部配線層２３や外部配線層２４に含まれ得る配線や電極パッド等は、例えば、金属材料によって構成されている。
【００１６】
[製造方法]
次に、割断後パネル２およびシートパネル３の製造方法について説明する。図３は、割断後パネル２の正面構成例を表したものである。図４は、図３の割断後パネル２の側面構成例を表したものである。割断後パネル２は、割断前パネル１を、スクライブラインＳＬで割断したものである。図５は、シートパネル３の正面構成例を表したものである。図６は、図５のシートパネル３の側面構成例を表したものである。シートパネル３は、割断後パネル２において下地層２１をガラス基板１０から剥離することにより得られるものである。
【００１７】
図７は、割断後パネル２およびシートパネル３の製造方法の一例を表したものである。図８は、割断前パネル１をスクライブするためのスクライブヘッド１００の概略構成例を表したものである。図９は、図８のスクライブヘッド１００を備えたスクライブ装置２００の概略構成例を表したものである。まず、スクライブヘッド１００およびスクライブ装置２００について説明した後、割断後パネル２およびシートパネル３の製造方法について説明する。
【００１８】
（スクライブヘッド１００）
スクライブヘッド１００は、２つのカッターホイール１１０，１４０を備えている。スクライブヘッド１００は、さらに、カッターホイール１１０（第２のカッターホイール）を支持するホルダ１２０と、ホルダ１２０を介してカッターホイール１１０に荷重を与えるエアシリンダ１３０（第２の荷重付与部）とを備えている。スクライブヘッド１００は、さらに、カッターホイール１４０（第１のカッターホイール）を支持するホルダ１５０と、ホルダ１５０を介してカッターホイール１４０に荷重を与えるバネシリンダ１６０（第１の荷重付与部）とを備えている。
【００１９】
（スクライブ装置２００）
スクライブ装置２００は、スクライブヘッド１００を用いて割断前パネル１をスクライブするための装置である。スクライブ装置２００は、例えば、スクライブヘッド１００と、スクライブヘッド１００を支持するホルダ２１０と、ホルダ２１０を一軸方向に変位可能に支持するシャフト２２０とを備えている。スクライブ装置２００は、例えば、さらに、シャフト２２０を回転させることにより、ホルダ２１０とともにスクライブヘッド１００を、シャフト２２０の回転軸と平行な方向（一軸方向）に移動させる駆動部２３０を備えている。駆動部２３０は、例えば、さらに、水平面内においてシャフト２２０の回転軸と直交する方向にシャフト２２０を移動させることにより、ホルダ２１０とともにスクライブヘッド１００を、水平面内においてシャフト２２０の回転軸と直交する方向に移動させる。つまり、駆動部２３０は、シャフト２２０およびホルダ２１０を介して、スクライブヘッド１００を水平面内の任意の位置へ移動させることが可能となっている。スクライブ装置２００は、例えば、さらに、割断前パネル１を支持するテーブル２４０と、スクライブヘッド１００、ホルダ２１０、シャフト２２０、駆動部２３０およびテーブル２４０等を収容する筐体２５０とを備えている。テーブル２４０は、例えば、テーブル２４０上の割断前パネル１を回転させることが可能となっている。スクライブ装置２００は、例えば、駆動部２３０によるスクライブヘッド１００の移動と、テーブル２４０による割断前パネル１の回転により、スクライブヘッド１００を、割断前パネル１の表面上の任意の位置に移動させることができるようになっている。
【００２０】
図１０（Ａ）、図１１（Ａ）は、カッターホイール１４０の側面構成例を表したものである。図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）のカッターホイール１４０の正面構成例を表したものである。図１１（Ｂ）は、図１１（Ａ）のカッターホイール１４０の正面構成例を表したものである。図１２（Ａ）は、カッターホイール１１０の側面構成例を表したものである。図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）のカッターホイール１１０の正面構成例を表したものである。
【００２１】
カッターホイール１１０と、カッターホイール１４０とは、カッターホイール１１０のホイールを含む面（以下、「第１の回転面」と称する。）と、カッターホイール１４０のホイールを含む面（以下、「第２の回転面」と称する。）とが互いに重なり合うように配置されている。つまり、カッターホイール１１０は、カッターホイール１４０を含む面内に配置されている。スクライブヘッド１００において、エアシリンダ１３０とバネシリンダ１６０とが上述の位置関係となるように互いに固定されていることが好ましい。この場合に、スクライブヘッド１００は、エアシリンダ１３０およびバネシリンダ１６０を、２つのカッターホイール１１０，１４０のスクライブ方向に非独立に（つまり、一緒に）変位させる駆動部１７０を備えていることが好ましい。ここで、「２つのカッターホイール１１０，１４０のスクライブ方向」とは、２つのカッターホイール１１０，１４０が互いに回転する方向を指している。
【００２２】
カッターホイール１４０の刃先の角度θ１は、例えば、カッターホイール１１０の刃先の角度θ２よりも小さいことが好ましい。カッターホイール１４０の刃先は、例えば、図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）に示したように、ディスク状ホイールの円周部に沿った、高さの均一なＶ字型の稜線を構成する円環状の形状となっていてもよい。カッターホイール１４０の刃先は、例えば、図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）に示したように、ディスク状ホイールの円周部に沿った、高さが周期的に変化するＶ字型の稜線を構成するノコギリ歯状の形状となっていてもよい。カッターホイール１１０の刃先は、例えば、図１２（Ａ）、図１２（Ｂ）に示したように、ディスク状ホイールの円周部に沿った、高さの均一なＶ字型の稜線を構成する円環状の形状となっている。なお、カッターホイール１１０，１４０の刃先の形状は、図に示した形状に限定されるものではない。
【００２３】
バネシリンダ１６０は、荷重を調整する弾性部材（具体的にはバネ）を含んで構成されている。エアシリンダ１３０は、荷重を調整するエアシリンダを含んで構成されている。なお、ホルダ１５０を介してカッターホイール１４０に荷重を与える弾性部材を有する荷重付与部がバネシリンダ１６０の代わりに設けられていてもよい。同様に、ホルダ１２０を介してカッターホイール１１０に荷重を与える弾性部材を有する荷重付与部がエアシリンダ１３０の代わりに設けられていてもよい。上記の弾性部材としては、例えば、ゴム、発砲樹脂などが挙げられる。
【００２４】
（割断後パネル２およびシートパネル３の製造方法）
次に、割断後パネル２およびシートパネル３の製造方法について説明する。まず、作業者は、割断前パネル１と、カッターホイール１１０，１４０とを所定の位置に設定する。このとき、作業者は、例えば、カッターホイール１１０，１４０の、割断前パネル１に対する相対位置によってカッターホイール１１０，１４０の荷重をそれぞれ調整する。作業者は、例えば、カッターホイール１４０によって、割断前パネル１におけるガラス基板１０に垂直クラックが生じないように、カッターホイール１４０の位置（荷重）を設定する。作業者は、例えば、カッターホイール１４０の荷重が２Ｎとなるように、カッターホイール１４０の位置（荷重）を設定する。また、作業者は、例えば、カッターホイール１１０による一度のスクライビングによって、割断前パネル１におけるガラス基板１０に垂直クラックが生じるように、カッターホイール１１０の位置（荷重）を設定する。作業者は、例えば、カッターホイール１１０の荷重が２２．６Ｎとなるように、カッターホイール１１０の位置（荷重）を設定する。
【００２５】
次に、作業者は、スクライブ装置２００に対してスクライブ開始を指示する。すると、駆動部１７０が、カッターホイール１４０がスクライブ方向の先頭となるように、カッターホイール１１０，１４０を移動させるとともに、スクライブラインＳＬに沿って、カッターホイール１１０，１４０を移動させる。その結果、スクライブ装置２００は、ガラス基板１０に垂直クラックが生じない態様で、カッターホイール１４０を用いて機能層２０をスクライブする（ステップＳ１０１）。スクライブ装置２００は、さらに、カッターホイール１１０を用いてガラス基板１０のうち、機能層２０がスクライブされた箇所の直下をスクライブする（ステップＳ１０２）。このとき、スクライブ装置２００は、カッターホイール１１０による一度のスクライビングによって、割断前パネル１におけるガラス基板１０に垂直クラックが生じるように、カッターホイール１１０によるスクライブを行う。
【００２６】
その後、作業者は、スクライブラインＳＬに沿って、ガラス基板１０（割断前パネル１）を割断する（ステップＳ１０３）。その結果、割断後パネル２が製造される。その後、必要に応じて、ガラス基板１０から下地層２１を剥離する（ステップＳ１０４）。その結果、シートパネル３が製造される。
【００２７】
次に、カッターホイール１４０によってスクライブされた直後の様子について説明する。カッターホイール１４０が、例えば、図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）に示したような円環状の形状となっている場合には、例えば、図１３（Ａ）、図１３（Ｂ）に示したように、機能層２０のうち、スクライブラインＳＬに対応する箇所に、溝２５が形成される。図１３（Ａ）は、機能層２０を、図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）に示したようなカッターでスクライブした後の割断前パネル１の一部の正面構成例を表したものである。図１３（Ｂ）は、図１３（Ａ）の割断前パネル１の断面構成例を表したものである。
【００２８】
また、カッターホイール１４０が、例えば、図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）に示したようなノコギリ歯状の形状となっている場合には、例えば、図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）に示したように、機能層２０のうち、スクライブラインＳＬに対応する箇所に、切り込み２６が形成される。図１４（Ａ）は、機能層２０を、図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）に示したようなカッターでスクライブした後の割断前パネル１の一部の正面構成例を表したものである。図１４（Ｂ）は、図１４（Ａ）の割断前パネル１の断面構成例を表したものである。
【００２９】
次に、カッターホイール１１０によってスクライブされた直後の様子について説明する。カッターホイール１１０を用いてガラス基板１０のうち、機能層２０がスクライブされた箇所の直下がスクライブされることにより、ガラス基板１０のうち、機能層２０がスクライブされた箇所の直下に垂直クラックが形成される。例えば、図１５（Ａ）、図１５（Ｂ）に示したように、溝２５の直下に垂直クラック１１が形成される。また、例えば、図１６（Ａ）、図１６（Ｂ）に示したように、カッターホイール１１０によって切り込み２６が割断されて溝２８となり、その溝２８の直下に、垂直クラック１１が形成される。
【００３０】
なお、図１５（Ａ）は、図１３（Ａ）に示した割断前パネル１のガラス基板１０に対してスクライブしたときの割断前パネル１の一部の正面構成例を表したものである。図１５（Ｂ）は、図１５（Ａ）の割断前パネル１の断面構成例を表したものである。図１６（Ａ）は、図１４（Ａ）に示した割断前パネル１のガラス基板１０に対してスクライブしたときの割断前パネル１の一部の正面構成例を表したものである。図１６（Ｂ）は、図１６（Ａ）の割断前パネル１の断面構成例を表したものである。
【００３１】
[効果]
次に、比較例と対比しつつ、本実施の形態の割断後パネル２およびシートパネル３の製造方法の効果について説明する。
【００３２】
マザー基板を用いて多数の有機ＥＬシートパネルを形成することが従来から行われている。例えば、マザー基板上にポリイミドなどからなる樹脂層を形成し、当該樹脂層の上に、さらに薄膜トランジスタや有機発光層、ガスバリア層などを含む有機ＥＬ画素を複数形成する。その後、マザー基板等をスクライブラインに沿って割断して個々の有機ＥＬ画素に分離し、分離後の個々のパネルから樹脂層を剥離する。このようにして、樹脂層を基材とする複数の有機ＥＬシートパネルを製造することができる。ところで、上述の製造過程において、スクライブラインに、金属配線などが形成されている場合には、例えば、図１７に示したように、金属配線（外部配線層２４）などに起因して割断不良（水平クラック１２）が発生しやすい。
【００３３】
一方、本実施の形態では、ガラス基板１０に垂直クラック１１を入れる前に、ガラス基板１０上の機能層２０がスクライブされる。これにより、例えば、図１５（Ｂ）、図１６（Ｂ）に示したように、ガラス基板１０と機能層２０を一括して割断した場合と比べて、割断不良（水平クラック１２）を抑えることができる。特に、スクライブラインＳＬに樹脂層や配線（外部配線層２４）が設けられている場合には、割断不良を効果的に抑えることができる。
【００３４】
また、本実施の形態において、機能層２０がポリイミドからなる樹脂層を含んでいる場合に、カッターホイール１４０の刃先の角度がカッターホイール１１０の刃先の角度よりも小さくなっているときには、カッターホイール１４０の刃先の角度を、機能層２０（樹脂層）のスクライブに適した大きさに設定することができ、カッターホイール１１０の刃先の角度を、ガラス基板１０のスクライブに適した大きさに設定することができる。その結果、割断不良を効果的に抑えることができる。
【００３５】
また、本実施の形態において、機能層２０がポリイミドからなる樹脂層を含んでいる場合に、カッターホイール１４０がノコギリ歯状の形状となっており、カッターホイール１１０が円環状の形状となっているときには、カッターホイール１４０が機能層２０（樹脂層）のスクライブに適した形状となっており、カッターホイール１１０がガラス基板のスクライブに適した形状となっている。従って、割断不良を効果的に抑えることができる。
【００３６】
また、本実施の形態において、機能層２０がポリイミドからなる樹脂層を含んでいる場合に、カッターホイール１４０の荷重がカッターホイール１１０の荷重よりも小さくなっているときには、カッターホイール１４０で機能層２０をスクライブしている際に、誤って、ガラス基板１０に垂直クラックを入れてしまうおそれを低減することができる。従って、割断不良を効果的に抑えることができる。
【００３７】
＜変形例＞
以下に、本実施の形態の割断後パネル２およびシートパネル３の製造方法の変形例について説明する。
【００３８】
[変形例Ａ]
図１８は、割断前パネル１をスクライブするためのスクライブヘッド３００の概略構成例を表したものである。スクライブヘッド３００は、上記実施の形態のスクライブヘッド１００において、ホルダ１５０およびバネシリンダ１６０が省略されたものである。
【００３９】
本変形例では、機能層２０をスクライブする際には、カッターホイール１１０に変えて、カッターホイール１４０がホルダ１２０に取り付けられ、ガラス基板１０をスクライブする際には、ホルダ１２０にカッターホイール１１０が取り付けられる。
【００４０】
（割断後パネル２およびシートパネル３の製造方法）
次に、割断後パネル２およびシートパネル３の製造方法について説明する。まず、作業者は、割断前パネル１と、カッターホイール１４０とを所定の位置に設定する。このとき、作業者は、例えば、カッターホイール１４０の、割断前パネル１に対する相対位置によってカッターホイール１１０の荷重を調整する。作業者は、例えば、カッターホイール１４０によって、割断前パネル１におけるガラス基板１０に垂直クラックが生じないように、カッターホイール１４０の位置（荷重）を設定する。作業者は、例えば、カッターホイール１４０の荷重が２Ｎとなるように、カッターホイール１４０の位置（荷重）を設定する。
【００４１】
次に、作業者は、スクライブ装置２００に対してスクライブ開始を指示する。すると、駆動部１７０が、カッターホイール１４０を移動させるとともに、スクライブラインＳＬに沿って、カッターホイール１４０を移動させる。その結果、スクライブ装置２００は、ガラス基板１０に垂直クラックが生じない態様で、カッターホイール１４０を用いて機能層２０を少なくとも１回、スクライブする（図７、ステップＳ１０１）。
【００４２】
その後、作業者は、カッターホイール１４０をカッターホイール１１０に交換し、割断前パネル１と、カッターホイール１１０とを所定の位置に設定する。このとき、作業者は、例えば、カッターホイール１１０の、割断前パネル１に対する相対位置によってカッターホイール１１０の荷重を調整する。作業者は、例えば、カッターホイール１１０による一度のスクライビングによって、割断前パネル１におけるガラス基板１０に垂直クラックが生じるように、カッターホイール１１０の位置（荷重）を設定する。作業者は、例えば、カッターホイール１１０の荷重が２２．６Ｎとなるように、カッターホイール１１０の位置（荷重）を設定する。
【００４３】
続いて、作業者は、スクライブ装置２００に対してスクライブ開始を指示する。すると、駆動部１７０が、カッターホイール１１０を移動させるとともに、スクライブラインＳＬに沿って、カッターホイール１１０を移動させる。その結果、スクライブ装置２００は、さらに、カッターホイール１１０を用いてガラス基板１０のうち、機能層２０がスクライブされた箇所の直下をスクライブする（図７、ステップＳ１０２）。このとき、スクライブ装置２００は、カッターホイール１１０による一度のスクライビングによって、割断前パネル１におけるガラス基板１０に垂直クラックが生じるように、カッターホイール１１０によるスクライブを行う。
【００４４】
なお、作業者が、例えば、カッターホイール１１０による複数回のスクライビングによって、割断前パネル１におけるガラス基板１０に垂直クラックが生じるように、カッターホイール１１０の位置（荷重）を設定してもよい。この場合、スクライブ装置２００は、カッターホイール１１０を用いてガラス基板１０のうち、機能層２０がスクライブされた箇所の直下を複数回、スクライブする（図７、ステップＳ１０２）。
【００４５】
その後、作業者は、スクライブラインＳＬに沿って、ガラス基板１０（割断前パネル１）を割断する（図７、ステップＳ１０３）。その結果、割断後パネル２が製造される。その後、必要に応じて、ガラス基板１０から下地層２１を剥離する（図７、ステップＳ１０４）。その結果、シートパネル３が製造される。
【００４６】
本変形例において、機能層２０をスクライブするときと、ガラス基板１０をスクライブするときとで、共通のカッターが用いられてもよい。この場合には、機能層２０をスクライブするときに用いられるカッターホイール１４０が、ガラス基板１０をスクライブするときに用いられるカッターホイール１１０を兼ねていると言える。このようにした場合には、カッターの交換作業が不要となることから、スクライブに要する時間やコストを低減することができる。
【００４７】
[変形例Ｂ]
上記実施の形態およびその変形例において、下地層２１が省略され、外部配線層２４が直接、ガラス基板１０に接して設けられていてもよい。また、上記実施の形態およびその変形例において、下地層２１が省略され、外部配線層２４が直接、ガラス基板１０に接して設けられるとともに、ポリイミドなどの樹脂材料で構成された樹脂層が外部配線層２４を覆うように設けられていてもよい。また、上記実施の形態およびその変形例において、画素層２２が、有機ＥＬ素子の代わりに、薄膜トランジスタや、ＬＥＤ（light emitting diode）もしくはＬＤ（Laser Diode）などの半導体発光素子を有していてもよい。
【００４８】
[変形例Ｃ]
ところで、割断後パネル２に設けられた複数の側面のうち少なくとも１つの面は、例えば、図１９に示したように、割断面２Ａとなっている。下地層２１が、ポリイミドなどからなる樹脂層によって構成されている場合に、下地層２１および外部配線層２４が、製造過程において、図１１に示したようなノコギリ歯状のカッターホイール１４０によってスクライブされているとする。このとき、割断面２Ａのうち、下地層２１の部分には、カッターホイール１４０による切断面２１Ａと、カッターホイール１１０による切断面２１Ｂとが交互に並んで形成されている。同様に、割断面２Ａのうち、外部配線層２４の部分には、カッターホイール１４０による切断面２４Ａと、カッターホイール１１０による切断面２４Ｂとが交互に並んで形成されている。
【００４９】
下地層２１および外部配線層２４の切断に，図１１に示したようなノコギリ歯状のカッターホイール１４０が用いられている場合には、カッターホイール１１０によるガラス基板１０に対するスクライビングがなされたときに、下地層２１および外部配線層２４は、簡単に割断される。そのため、下地層２１および外部配線層２４がガラス基板１０と共に、一度のスクライビングで割断された場合のような配線剥がれが生じ難い。
【００５０】
以上、実施の形態、変形例および適用例を挙げて本開示を説明したが、本開示は実施の形態等に限定されるものではなく、種々変形が可能である。なお、本明細書中に記載された効果は、あくまで例示である。本開示の効果は、本明細書中に記載された効果に限定されるものではない。本開示が、本明細書中に記載された効果以外の効果を持っていてもよい。
【００５１】
また、例えば、本開示は以下のような構成を取ることができる。
（１）
ガラス基板上に機能層を備えたパネルにおける前記ガラス基板に垂直クラックが生じない態様で、第１のカッターホイールを用いて前記機能層を少なくとも１回、スクライブした後、第２のカッターホイールを用いて前記ガラス基板のうち、前記機能層がスクライブされた箇所の直下を少なくとも１回、スクライブする
パネルの製造方法。
（２）
前記機能層は、少なくとも、ポリイミドからなる樹脂層を含む
（１）に記載のパネルの製造方法。
（３）
前記第１のカッターホイールの刃先の角度は、前記第２のカッターホイールの刃先の角度よりも小さい
（２）に記載のパネルの製造方法。
（４）
前記第１のカッターホイールの刃先は、ディスク状ホイールの円周部に沿った、高さが周期的に変化するＶ字型の稜線を構成するノコギリ歯状の形状となっており、
前記第２のカッターホイールの刃先は、ディスク状ホイールの円周部に沿った、高さの均一なＶ字型の稜線を構成する形状となっている
（２）に記載のパネルの製造方法。
（５）
前記第１のカッターホイールは、前記第２のカッターホイールを兼ねている
（２）に記載のパネルの製造方法。
（６）
第１のカッターホイールの荷重は、前記第２のカッターホイールの荷重よりも小さい
（２）ないし（５）のいずれか一項に記載のパネルの製造方法。
（７）
第１のカッターホイールと、
前記第１のカッターホイールに荷重を与える第１の荷重付与部と、
前記第１のカッターホイールを含む面内に配置された第２のカッターホイールと、
前記第２のカッターホイールに、前記第１のカッターホイールにかけられる荷重よりも大きな荷重を与える第２の荷重付与部と
を備えた
スクライブヘッド。
（８）
前記第１のカッターホイールの刃先の角度は、前記第２のカッターホイールの刃先の角度よりも小さい
（７）に記載のスクライブヘッド。
（９）
前記第１のカッターホイールの刃先は、ディスク状ホイールの円周部に沿った、高さが周期的に変化するＶ字型の稜線を構成するノコギリ歯状の形状となっており、
前記第２のカッターホイールの刃先は、ディスク状ホイールの円周部に沿った、高さの均一なＶ字型の稜線を構成する形状となっている
（７）に記載のスクライブヘッド。
（１０）
前記第１の荷重付与部は、荷重を調整する弾性部材を含んで構成され、
前記第２の荷重付与部は、荷重を調整するエアシリンダを含んで構成されている
（７）ないし（９）のいずれか一項に記載のスクライブヘッド。
（１１）
スクライブヘッドと、
前記スクライブヘッドを移動させる駆動部と
を備え、
前記スクライブヘッドは、
第１のカッターホイールと、
前記第１のカッターホイールに荷重を与える第１の荷重付与部と、
前記第１のカッターホイールを含む面内に配置された第２のカッターホイールと、
前記第２のカッターホイールに、前記第１のカッターホイールにかけられる荷重よりも大きな荷重を与える第２の荷重付与部と
を有する
スクライブ装置。
【符号の説明】
【００５２】
１…割断前パネル、２…割断後パネル、２Ａ…割断面、３…シートパネル、１０…ガラス基板、１１…垂直クラック、１２…水平クラック、２０…機能層、２１…下地層、２２…画素層、２３…内部配線層、２４…外部配線層、２５，２８…溝、２６…切り込み、３０…パネル領域、１００，３００…スクライブヘッド、１１０，１４０…カッターホイール、１２０，１５０…ホルダ、１３０…エアシリンダ、１６０…バネシリンダ、２００…スクライブ装置、２１０…ホルダ、２２０…シャフト、２３０…駆動部、２４０…テーブル、２５０…筐体、ＳＬ…スクライブライン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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