(57)【要約】【課題】振動型アクチュエータにおける制御性能の低下を低減し、かつ振動子の寿命の低下を低減する。【解決手段】振動型アクチュエータは、圧電素子２４を備える振動子２１と、振動子に接触する摩擦材５とを有している。振動子保持部材は振動子と摩擦材とが接触する接触面の外側において振動子を保持し当該接触面に交差する方向に移動可能であり、振動子保持部材は第１の保持部および第２の保持部を有し、第１の保持部によって相対的な移動方向において接触面の外側の一箇所を保持し、第２の保持部によって相対的な移動方向において接触面の外側の他の箇所を保持する。【選択図】図６
2018196284.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気−機械エネルギー変換素子を有し、当該電気−機械エネルギー変換素子に印加される交流電圧に応じた振動を発生する振動子と、前記振動子に接触する摩擦材とを有し、前記振動子および前記摩擦材を相対的に移動させる振動型アクチュエータであって、
前記振動子と前記摩擦材とが接触する接触面の外側において前記振動子を保持し、前記接触面に交差する方向に移動可能な第１の保持部材を有し、
前記第１の保持部材は、第１の保持部および第２の保持部を有し、前記第１の保持部によって相対的な移動方向において前記接触面の外側の一方を保持し、前記第２の保持部によって相対的な移動方向において前記接触面の外側の他方を保持することを特徴とする振動型アクチュエータ。
【請求項２】
前記第１の保持部材を前記接触面に交差する方向に移動可能に保持する第２の保持部材を有することを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項３】
前記第１の保持部材は前記第１の保持部と前記第２の保持部とに分割されていることを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項４】
前記振動子、前記第１の保持部、前記第２の保持部、および前記第２の保持部材は、平行リンクの関係に規定されていることを特徴とする請求項２に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項５】
前記第１の保持部および前記第２の保持部について前記第２の保持部材に対する前記接触面における位置を規制する第１の規制手段と、
前記第１の保持部および前記第２の保持部について前記接触面における回転を規制する第２の規制手段と、を有することを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項６】
前記第１の保持部と前記第１の規制手段との位置関係は前記第２の保持部と前記第１の規制手段との位置関係と同一であることを特徴とする請求項５に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項７】
前記第１の保持部が前記振動子を保持する位置から前記第１の規制手段までの距離は前記第２の保持部が前記振動子を保持する位置から前記第１の規制手段までの距離に等しいことを特徴とする請求項５に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項８】
前記第１の保持部が前記振動子を保持する位置から前記第１の規制手段への方向は前記第２の保持部が前記振動子を保持する位置から前記第１の規制手段への方向に等しいことを特徴とする請求項５又は７に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項９】
前記第１の規制手段は、前記第１の保持部材および前記第２の保持部材の一方に設けられ前記接触面に交差する方向に延在する係止部と、
前記第１の保持部材および前記第２の保持部材の他方に設けられ前記係止部が係合する係合部と、を有することを特徴とする請求項５乃至８のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項１０】
前記係止部は棒状のガイド部材であり、前記係合部は前記ガイド部材が嵌挿される穴部であることを特徴とする請求項９に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項１１】
前記係止部は矩形断面を有する凸部であり、前記係合部は前記凸部が嵌挿される凹部であることを特徴とする請求項９に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項１２】
前記振動子又は前記摩擦材を付勢して前記振動子と前記摩擦材とを接触させる付勢手段を有することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータの駆動によって駆動される駆動部材と、
を有することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型アクチュエータおよび電子機器に関し、特に、圧電素子を有する振動子に楕円運動を発生させて被駆動体を駆動する振動型アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、振動型アクチュエータは無音動作および低速から高速までの駆動が可能であり、さらに、高トルク出力などの特徴を有している。このため、振動型アクチュエータは、例えば、デジタルカメラおよびレンズユニットの駆動源として用いられている。
【０００３】
このような振動型アクチュエータにおいて、回転軸を有する円環状の被駆動体と複数の振動子とを有し、振動子を被駆動体上に当該被駆動体に加圧された摩擦接触状態で所定の間隔をおいて配置するようにしたものがある（特許文献１参照）。
【０００４】
特許文献１においては、摩擦接触状態で振動子に振動が励起されると、振動子には被駆動体と接している部分に楕円運動が生じて、被駆動体が回転軸を中心として回転駆動する。そして、振動子の被駆動体に対する付勢は板バネによって行われる。
【０００５】
ここで、従来の振動型アクチュエータについて概説する。
【０００６】
図８は、従来の振動型アクチュエータの一例を説明するための図である。そして、図８（ａ）は断面図であり、図８（ｂ）は動作を示す断面図である。
【０００７】
図８を参照して、図示の振動型アクチュエータは振動子２１を有している。振動子２１は２つの突起部２３を備える振動板２２と、当該振動板２２に接着された電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子２４とを有している。
【０００８】
振動子２１は小基台３８によって支持され、当該小基台３８には、丸穴部３８−１および長穴部３８−２が形成されている。そして、丸穴部３８−１および長穴部３８−２は下基台３７に形成された軸部３７−１および３７−２に嵌合している。これによって、小基台３８は下基台３７に対して上下方向以外の方向への移動が禁止される。
【０００９】
下基台３７はバネ（図示せず）によって上方に付勢されている。これによって、振動子２１は押圧部材２８および振動絶縁部材２７を介して摩擦材５に対して所定の加圧力で付勢される。よって、振動子２１に超音波振動が励起されると、２つの突起部２３の先端に楕円運動が生じて、摩擦材５と振動子２１との間において図中Ｘ方向の相対駆動力が作用する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１６−１３６８３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところが、図８に示す振動型アクチュエータでは、振動子２１の摩擦材５に対する付勢を妨げないようにするため、小基台３８の上下方向へのスムーズな移動が必要となる。このため、丸穴部３８−１と軸部３７−１とには、僅かな、例えば、１０μｍ程度の隙間を設ける必要がある。
【００１２】
図８（ｂ）に示すように、下基台３７が図中実線矢印Ａの方向に移動するためには、摩擦材５に実線矢印３９の方向の力を与えなければならない。このため、振動子２１の２つの突起部２３−１および２３−２には力４０が反力として与えられることになる。
【００１３】
当該力４０によって、小基台３８には丸穴部３８−１付近を中心する回転モーメントが作用する。前述のように、丸穴部３８−１と軸部３７−１とには僅かな隙間が設けられているので、この隙間によって許容される範囲で小基台３８には、実線矢印で示すように反時計回りの回転モーメントが作用して傾く。
【００１４】
この結果、突起部２３−１の摩擦材５に対する加圧力が高くなって、突起部２３−２の摩擦材５に対する加圧力は小さくなる。このような事態となると、振動型アクチュエータにおける制御性能が低下し、さらには、一方の突起部の摩耗が進んで振動子２１の寿命が短くなってしまう。
【００１５】
そこで、本発明の目的は、制御性能の低下を低減し、かつ振動子の寿命の低下を低減する振動型アクチュエータおよび電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の目的を達成するため、本発明による振動型アクチュエータは、電気−機械エネルギー変換素子を備え、当該電気−機械エネルギー変換素子に印加される交流電圧に応じた振動を発生する振動子と、前記振動子に接触する摩擦材とを有し、前記振動子および前記摩擦材を相対的に移動させる振動型アクチュエータであって、前記振動子と前記摩擦材とが接触する接触面の外側において前記振動子を保持し、前記接触面に交差する方向に移動可能な第１の保持部材を有し、前記第１の保持部材は、第１の保持部および第２の保持部を有し、前記第１の保持部によって相対的な移動方向において前記接触面の外側の一箇所を保持し、前記第２の保持部によって相対的な移動方向において前記接触面の外側の他の箇所を保持することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、振動子の傾きを低減できる結果、制御機能の低下を低減し、かつ振動子の寿命の低下を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態による振動型アクチュエータの一例を説明するための図である。
【図２】図１に示す移動体ユニットの構成を説明するための図である。
【図３】図２に示す下基台に設けられた駆動ユニットを分解して示す斜視図である。
【図４】図３に示す駆動ユニットに備えられた振動子（振動体）を模式化して示す斜視図である。
【図５】図４に示す振動体における曲げ振動モードの一例を説明するための図である。
【図６】図２に示す駆動ユニットおよび摩擦材を詳細に説明するための図である。
【図７】本発明の第２の実施形態による振動型アクチュエータの一例を説明するための図である。
【図８】従来の振動型アクチュエータの一例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明の実施の形態による振動型アクチュエータの一例について図面を参照して説明する。
【００２０】
［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態による振動型アクチュエータの一例を説明するための図である。そして、図１（ａ）は電子機器の１つであるデジタルカメラに備えられたレンズ鏡筒を一部破断して示す側面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）に示すリニア駆動ユニットを示す斜視図である。
【００２１】
図１（ａ）において、レンズ鏡筒６０は振動型アクチュエータを有するリニア駆動ユニット７０を有している。なお、図示の例では、説明の便宜上、外枠５１、ズームズームレンズ５２、ズームレンズホルダ５３、およびガイド軸５４以外の部材は省略されている。
【００２２】
レンズ鏡筒６０は、外枠５１を有しており、ズームレンズレンズホルダ５３にはズームレンズ５２が保持されている。ズームレンズホルダ５３はガイド軸５４に支持されている。ガイド軸５４はレンズ鏡筒６０の光軸５５に沿って延在しズームレンズホルダ５３を光軸５５に沿って案内する。リニア駆動ユニット７０はズームレンズホルダ５３を光軸５５に沿って駆動する。
【００２３】
リニア駆動ユニット７０には、振動型アクチュエータが搭載された移動体ユニット５６が光軸５５に沿って移動可能に支持されている。ズームレンズホルダ５３の最上部には円柱状の係合ピン５７が配設され、この係合ピン５７は移動体ユニット５６に形成された穴に係合する。図示しない制御部の制御に応じて、移動体ユニット５６が所定の距離を移動すると、ズームレンズホルダ５３が所定の位置に到達する。
【００２４】
図２は、図１に示す移動体ユニットの構成を説明するための図である。そして、図２（ａ）は移動体ユニットの移動方向に直交する面におけるリニア駆動ユニットの断面図であり、図２（ｂ）は移動体ユニットを示す斜視図である。
【００２５】
図１および図２を参照して、リニア駆動ユニット７０は、下プレート１および上プレート２を有している。下プレート１および上プレート２の各々は開口穴を有する矩形状のプレートである。そして、これら下プレート１および上プレート２は左ブロック３および右ブロック４によって連結されている。なお、これら下プレート１、上プレート２、左ブロック３、および右ブロック４によってリニア駆動ユニット７０の筺体が構成される。
【００２６】
図示のように、細長いプレート状の摩擦材５がその両端で左ブロック３および右ブロック４にネジ止め固定される。丸棒状のガイド軸６がその両端で左ブロック３および右ブロック４に固定支持され、ガイド軸６によって移動体ユニット５６がガイドされる。
【００２７】
移動体ユニット５６は、下基台７、上基台９、２つの駆動ユニット２０、および２本の引張バネ１１を有している。下基台７には、ガイド軸６が嵌挿される丸穴が形成されるとともに、上基台９を回転可能に支持するための回転軸８が設けられている。上基台９には回転軸８が嵌挿される丸穴が形成され、上基台９は下基台７に対して回転軸８を中心に回転自在に支持される。
【００２８】
下基台７および上基台９には、それぞれ駆動ユニット２０が設けられている。下基台７および上基台９の先端に備えられたフック形状部に引張バネ１１を架けることによって、所定の加圧力で双方の駆動ユニット２０が摩擦材５に付勢される。
【００２９】
図３は、図２に示す下基台に設けられた駆動ユニットを分解して示す斜視図である。
【００３０】
振動子２１は、２つの突起部２３を持つ振動板２２を有しており、振動板２２には、電気−機械エネルギー変換素子の１つである圧電素子２４が接着されている。振動板２２は鉄系の金属（例えば、ＳＵＳ４２０Ｊ２）で構成されており、突起部２３はプレス加工などによって振動板２２に一体的に成型されている。
【００３１】
なお、図示の例では、突起部２３を振動板２２に一体加工するようにしたが、溶接などの手法を用いて突起部２３を振動板２２に取り付けるようにしてもよい。
【００３２】
振動子２１は、互いに別部材であり分離して配置されている第１の小基台２５および第２の小基台２６に支持されている。第１の小基台２５および第２の小基台２６にはそれぞれ円柱状の位置決めピン２５−１および２６−１が形成されている。そして、位置決めピン２５−１および２６−１は振動板２２の両端に形成された丸穴２２−１および長丸穴２２−２にそれぞれ係合して、接着又は溶着によって接合される。
【００３３】
第１の小基台２５および第２の小基台２６には、それぞれ丸穴と長丸穴が設けられている。これら丸穴および長丸穴には、下基台７に形成された円柱状の位置決めピン７−１および７−２と位置決めピン７−３および７−４が嵌挿されている。
【００３４】
上述の構成によって、第１の小基台２５および第２の小基台２６は、基本的に上下方向にのみその移動が許される。
【００３５】
振動子２１は、図２に示す引張バネ１１の引張力を受けて上方に付勢された下基台７によって、押圧部材２８およびフェルト状部材で構成された振動絶縁部材２７を介して加圧力を受けて、摩擦材５に加圧接触する。振動絶縁部材２７を介して振動子２１に加圧力を加えることによって、振動子２１の振動が加圧によって阻害されることなく摩擦材５に伝えられる。
【００３６】
図示の例では、振動絶縁部材７として、フェルトを用いていたが、合成皮革、ゴム、又はモルトプレーンなどの弾性部材を用いるようにしてもよい。振動絶縁部材２７を押圧部材２８に接着することによって、圧電素子２４との接触位置を安定させることができる。振動絶縁部材２７を圧電素子２４に接着するようにしてもよい。
【００３７】
なお、上基台９に設けられた駆動ユニット２０は、下基台７に設けられた駆動ユニット２０と上下対称であり、その構成は同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００３８】
図４は、図３に示す駆動ユニットに備えられた振動子（振動体）を模式化して示す斜視図である。
【００３９】
図４においては、振動子（振動体）、振動板、突起部、および圧電素子はそれぞれ参照番号３０１、３０４、３０６、および３０５で示されている。図示のように、突起部３０６が形成された面と対向する面において、振動板３０１には圧電素子３０５が接着されて、振動体３０１となる。そして、圧電素子３０５には交流電圧が印加される。
【００４０】
図５は、図４に示す振動体における曲げ振動モードの一例を説明するための図である。そして、図５（ａ）は第１の曲げ振動モード（Ａモード）を示す図であり、図５（ｂ）は第２の曲げ振動モード（Ｂモード）を示す図である。
【００４１】
図５（ａ）に示す第１の曲げ振動モードをＡモードと呼ぶ。Ａモードは、矩形の振動体３０１の長辺方向（Ｘ方向）における二次の屈曲運動であって、短辺方向（Ｙ方向）に平行な３つの節を有している。
【００４２】
突起部３０６はＡモードの振動において節となる位置の近傍に配置されており、Ａモードの振動によってＸ方向（圧電素子３０５が接合された面と平行な方向）において往復運動を行う。
【００４３】
図５（ｂ）に第２の曲げ振動モードをＢモードと呼ぶ。Ｂモードは、矩形の振動体３０４の短辺方向（Ｙ方向）における一次の屈曲振動であって、長辺方向（Ｘ方向）に平行な２つの節を有している。Ａモードにおける節とＢモードにおける節とは、ＸＹ平面内において直交する。
【００４４】
突起部３０６はＢモードの振動において腹となる位置の近傍に配置されており、Ｂモードの振動によってＺ方向（圧電素子３０５が接合された面と垂直な方向）に往復運動を行う。
【００４５】
上述のＡモードおよびＢモードの振動を所定の位相差をもって発生させると、突起部３０６の先端は楕円運動を行い、Ｘ方向（圧電素子３０５が接合された面に平行な方向）に駆動力を与える。
【００４６】
図６は、図２に示す駆動ユニットおよび摩擦材を詳細に説明するための図である。そして、図６（ａ）は構成を示す断面図であり、図６（ｂ）は動作を示す断面図である。
【００４７】
図示の例では、下基台（第２の保持部材）７に設けられた駆動ユニット２０および摩擦材５の断面が示されている。前述のように第１の小基台２５および第２の小基台２６には、それぞれ接触面の外側において丸穴（係合部）２５−２および２６−２と長丸穴２５−３および２６−３が設けられている。
【００４８】
下基台７に形成された円柱状の位置決めピン（係止部：ガイド部材）７−１および７−２と位置決めピン７−３および７−４がそれぞれ丸穴２５−２および２６−２と長丸穴２５−３および２６−３が嵌挿されている。
【００４９】
なお、第１の小基台２５および第２の小基台２６によって第１の保持部材が構成される。
【００５０】
丸穴２５−２および２６−２と位置決めピン７−１および７−３とによって、第１の小基台２５および第２の小基台２６は、摩擦材５の振動子２１と接触する面に平行な面内における位置が規制される。さらに、長丸穴２５−３および２６−３に円柱状の位置決めピン７−２および７−４が嵌挿されているので、第１の小基台２５および第２の小基台２６は摩擦材５の振動子２１と接触する面に平行な面内における回転が規制される。
【００５１】
上述の構成によって、第１の小基台（第１の保持部）２５および第２の小基台（第２の保持部）２６は、下基台７に対して上下方向以外の方向への移動が禁止されることになる。
【００５２】
ここでは、上下方向への移動を可能とするため、丸穴２５−２および位置決めピン７−１、そして、丸穴２６−２および位置決めピン７−３には僅かな隙間（所定の隙間）が設けられている。さらに、位置決めピン２５−１および丸穴２５−２の位置関係と位置決めピン２６−１および丸穴２６−２の位置関係とはほぼ同一となるように設定される。なお、位置関係が同一とは、双方の距離と方向とが一致することをいう。
【００５３】
図６（ｂ）に示すように、下基台７が実線矢印Ａの方向に移動するためには、摩擦材５に実線矢印３９の方向の力を加える必要がある。このため、振動子２１の２つの突起部２３−１および２３−２には実線矢印で示す力４０が反力として作用する。この力４０によって、第１の小基台２５および第２の小基台２６には、実線矢印で示すように丸穴部２５−２および２６−２付近を中心として反時計回りの回転モーメントが作用して傾く。
【００５４】
一方、前述のように、第１の小基台２５における位置決めピン２５−１および丸穴２５−２の位置関係と第２の小基台２６における位置決めピン２６−１および丸穴２６−２との位置関係は略同一となるように設定されている。ここで、略同一とは、同一の場合の他、実質的に同一の場合を含む。
【００５５】
このため、振動子２１と第１の小基台２５、第２の小基台２６、および下基台７とは、恰も平行リンクのような関係となる。よって、第１の小基台２５および第２の小基台２６は、略同一の方向（反時計回り）に、略同一の量だけ傾くことになる。
【００５６】
但し、第１の小基台２５における位置決めピン２５−１から丸穴２５−２までの距離と第２の小基台２６における位置決めピン２６−１から丸穴２６−２までの距離とが略等しい（等しいか又は実質的に等しい）。従って、振動子２１は僅かにＸ方向に移動するが傾くことはない。よって、制御性能が低下することもなく、さらには、双方の突起部における摩耗は均等に進むので寿命が低下することもない。
【００５７】
ここで、位置決めピン２５−１および丸穴２５−２の位置関係と位置決めピン２６−１および丸穴２６−２の位置関係とが略同一であることについてさらに説明する。
【００５８】
図６（ａ）を参照して、ここでは略同一とは、位置決めピン２５−１の点Ａに対する丸穴２５−２の点ＣのＸ方向距離およびＹ方向距離が位置決めピン２６−１の点Ｂに対する丸穴２６−２の点ＤのＸ方向距離およびＹ方向距離に略一致することをいう。なお、略一致とは、一致するか又は実質的に一致することをいう。
【００５９】
なお、点Ａは位置決めピン２５−１の中心軸上の点であり、点Ｂは位置決めピン２６−１の中心軸上の点である。また、点Ｃは丸穴２５−２の中心軸上の点であり、点Ｄは丸穴２６−２の中心軸上の点である。そして、これら点Ａ〜Ｄはそれぞれ位置決めピンおよび丸穴の中心に位置する。
【００６０】
上記のＸ方向距離およびＹ方向距離は一致することが最も好ましいが、前述のように、小基台を２つに分割して互いに別部材にすることによって、分割しない場合に比べて小基台の傾きによる影響が相殺される。よって、小基台を分割することだけによっても同様の効果が得られる。さらに、分割された２つの小基台が、略同一の方向（反時計回り）に傾くように構成するだけでも、同様の効果が得られる。このことは、後述する第２の実施形態でも同様である。
【００６１】
なお、上述の例では、第１の小基台２５および第２の小基台２６が移動可能な方向を上下方向としたが、上下方向とは摩擦材５が振動子２１の突起部２３と接触する面に対して垂直な方向をいう。
【００６２】
第１の小基台２５および第２の小基台２６が移動可能な方向は、直交する方向、すなわち上記の接触面と９０度の角度をなす方向が最も好ましいが、これに限られない。例えば、７０度以上９０度未満の交差する方向であっても実用上支障はない。この場合、丸穴２５−２および２６−２と円柱状の位置決めピン７−１および７−３の角度も当該角度に設定される。
【００６３】
さらに、上述の例では、第１の小基台２５および第２の小基台２６に丸穴および長丸穴を形成し、下基台７に円柱状位置決めピンを設けた。一方、第１の小基台２５および第２の小基台２６に円柱状位置決めピンを設けて、下基台７に丸穴および長丸穴を形成するようにしても、同様の効果が得られる。
【００６４】
つまり、第１の保持部材および第２の保持部材の一方に丸穴および長丸穴を形成し、第１の保持部材および第２の保持部材の他方に円柱状位置決めピンを設けるようにすればよい。
【００６５】
また、上述の例では、摩擦材５が静止し、駆動ユニット２０が移動する場合について説明したが、駆動ユニット２０が静止し、摩擦材５が移動する構成としてもよく、この構成であっても、同様の効果が得られる。
【００６６】
このように、本発明の第１の実施形態では、回転モーメントに起因する振動子の傾きを低減するようにしたので、突起部の摩耗量をほぼ均一とすることができ、さらに制御性が向上して振動型アクチュエータの寿命が延ばすことができる。
【００６７】
［第２の実施形態］
続いて、本発明の第２の実施形態による振動型アクチュエータの一例について説明する。
【００６８】
図７は、本発明の第２の実施形態による振動型アクチュエータの一例を説明するための図である。そして、図７（ａ）は要部を示す斜視図であり、図７（ｂ）はその断面図である。なお、上基台９に設けられた駆動ユニット８０は、下基台６７に設けられた駆動ユニット８０と上下対称であり、その構成は同様である。
【００６９】
振動子２１は、２つの突起部２３を有する振動板２２と、当該振動板２２に接着された電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子２４とを有している。そして、振動子２１は、互いに別部材であり分離して配置されている第１の小基台８５および第２の小基台８６に支持されている。
【００７０】
第１の小基台８５および第２の小基台８６に形成された円柱状の位置決めピン８５−１および８６−１は振動板２２の両端に形成された丸穴２２−１および長丸穴２２−２にそれぞれ係合し、接着又は溶着によって接合されている。
【００７１】
第１の小基台８５および第２の小基台８６の両側には断面が矩形状（矩形断面）の凸部８５−２、８５−３、８６−２、および８６−３がそれぞれ形成されている。一方、下基台６７には、上記の凸部に対応する位置において、４つのコの状の係合部６７−１〜６７−４が設けられている。係合部６７−１〜６７−４における凹部の幅は、凸部８５−２、８５−３、８６−２、および８６−３の幅よりもわずかに大きい。
【００７２】
上記の凸部およびコの字状係合部によって位置規制が行われるとともに、回転規制が行われる。この構成によって、第１の小基台８５および第２の小基台８６は、基本的に上下方向にのみの移動が許される。
【００７３】
振動子２１は、第１の実施形態と同様に、引張バネの引張力を受けて上方に付勢された下基台６７から、押圧部材２８とフェルト状部材で構成された振動絶縁部材２７とを介して加圧力を受けて、摩擦材５に加圧接触する。
【００７４】
前述のように、第１の小基台８５および第２の小基台８６は、下基台６７に対して上下方向以外の方向についてその移動を禁止されている。一方、上下方向に移動可能とするため、係合部６７−１〜６７−４の凹部と凸部８５−２、８５−３、８６−２、および８６−３とには僅かな隙間が設けられている。
【００７５】
さらに、位置決めピン８５−１および凸部８５−２および８５−３の位置関係と位置決めピン８６−１および凸部８６−２および８６−３の位置関係とは略同一となるように設定される。
【００７６】
下基台６７を実線矢印Ａの方向に移動するためには、図７（ｂ）に示すように、摩擦材５に実線矢印で示す方向の力８９を作用させる必要がある。このため、振動子２１の２つの突起部２３には実線矢印で示す力９０が反力として作用する。
【００７７】
この力９０によって、第１の小基台８５および第２の小基台８６には実線矢印で示すように、凸部８５−２および８６−２付近を中心として反時計回りの回転モーメントが作用して傾く。
【００７８】
一方、第１の小基台８５における位置決めピン８５−１および凸部８５−２および８５−３の位置関係と第２の小基台８６における位置決めピン８６−１および凸部８６−２および８６−３の位置関係とは略同一となるように設定されている。よって、振動子２１と第１の小基台８５、第２の小基台８６、および下基台６７とは、平行リンクのような関係となって、第１の小基台８５および第２の小基台８６は略同一の量だけ傾く。
【００７９】
但し、第１の小基台８５における位置決めピン８５−１から凸部８５−２までの距離と第２の小基台８６における位置決めピン８６−１から凸部８６−２までの距離は略等しい。このため、振動子２１は僅かにＸ方向に移動するものの傾くことはない。従って、図示の振動型アクチュエータにおいては、制御性能の低下がなく、しかも、双方の突起部の摩耗が均等に進む結果、寿命が低下することもない。
【００８０】
なお、第２の実施形態では、小基台８５および８６に矩形状凸部、下基台６７にコの字状係合部を設けた。一方、小基台８５および８６にコの字状係合部を設け、下基台に矩形状凸部を設けて、下基台６７に対する上下方向以外の方向への移動を禁止するようにしてもよい。
【００８１】
このように、本発明の第２の実施形態においても、回転モーメントに起因する振動子の傾きを低減するようにしたので、突起部の摩耗量をほぼ均一とすることができ、さらに制御性が向上して振動型アクチュエータの寿命が延ばすことができる。
【００８２】
上述の振動型アクチュエータは、例えば、電子機器の１つであるデジタルカメラに備えられたレンズ鏡筒において、光学レンズ及びレンズホルダ（駆動部材）を光軸に沿って駆動する際に用いられる。例えば、振動型アクチュエータは、ズームレンズの駆動、フォーカスレンズの駆動などに用いられる。なお、上述の振動型アクチュエータは、例えば、ロボットに用いるようにしてもよい。
【００８３】
以上、本発明について実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。
【符号の説明】
【００８４】
５  摩擦材
７  下基台
９  上基台
２０  駆動ユニット
２１  振動子
２２  振動板
２３  突起部
２４  圧電素子
２５，２６  小基台
５６  移動体ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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