(57)【要約】【課題】カバーフィルム全面ではなく一部のみの剥離や、ある程度以上の曲げ強度を有するカバーフィルムの剥離であっても、確実に剥離することが出来るカバーフィルム剥離装置を提供する。【解決手段】剥離領域部分のカバーフィルムを剥離するカバーフィルム剥離装置である。積層体における基材を配置保持可能な基材テーブルと、基材テーブルに基材を配置保持した状態では、剥離領域と対向可能な押圧平面を有する押圧部材と、片面粘着型の粘着テープの非粘着面を押圧平面に密着させる粘着テープ密着機構と、粘着テープの非粘着面を密着させた押圧平面を剥離領域に向けて進退させる進退機構と、押圧平面に密着している粘着テープを押圧平面から分離する粘着テープ分離機構と、を備える。剥離領域と対向する前記押圧平面の面積を、当該剥離領域の面積の７５％以上１００％以下とする。【選択図】図１
2018070313.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の一方の面側にカバーフィルムが貼り合せられていると共に、前記カバーフィルムの一部に剥離領域が設定され、当該剥離領域の輪郭に沿って前記カバーフィルムに切り込みが形成された積層体から、前記剥離領域部分のカバーフィルムを剥離するカバーフィルム剥離装置であって、
前記積層体における前記基材を配置保持可能な基材テーブルと、
前記基材テーブルに前記基材を配置保持した状態では、前記剥離領域と対向可能な押圧平面を有する押圧部材と、
片面粘着型の粘着テープの非粘着面を前記押圧平面に密着させる粘着テープ密着機構と、
前記粘着テープの非粘着面を密着させた前記押圧平面を前記剥離領域に向けて進退させる進退機構と、
前記押圧平面に密着している前記粘着テープを押圧平面から分離する粘着テープ分離機構と、を備え、
前記剥離領域と対向する前記押圧平面の面積を、当該剥離領域の面積の７５％以上１００％以下とすることを特徴とするカバーフィルム剥離装置。
【請求項２】
基材の一方の面側にカバーフィルムが貼り合せられていると共に、前記カバーフィルムの全表面を剥離領域とした積層体から、前記剥離領域部分のカバーフィルムを剥離するカバーフィルム剥離装置であって、
前記積層体における前記基材を配置保持可能な基材テーブルと、
前記基材テーブルに前記基材を配置保持した状態では、前記剥離領域と対向可能な押圧平面を有する押圧部材と、
片面粘着型の粘着テープの非粘着面を前記押圧平面に密着させる粘着テープ密着機構と、
前記粘着テープの非粘着面を密着させた前記押圧平面を前記剥離領域に向けて進退させる進退機構と、
前記押圧平面に密着している前記粘着テープを押圧平面から分離する粘着テープ分離機構と、を備え、
前記剥離領域と対向する前記押圧平面の面積を、当該剥離領域の面積の７５％以上１００％以下とすることを特徴とするカバーフィルム剥離装置。
【請求項３】
前記押圧平面に吸引穴が開口し、
前記粘着テープ密着機構は、真空発生手段と、その真空発生手段と前記吸引穴とを連通する連通路とを備え、前記吸引穴から吸引することで、前記押圧平面に、粘着テープを吸い上げて密着させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載したカバーフィルム剥離装置。
【請求項４】
前記押圧平面に吸引穴が開口し、
前記粘着テープ分離機構は、エアー供給手段と、そのエアー供給手段と前記吸引穴とを連通する連通路とを備え、前記吸引穴からエアーが吐出されることで粘着テープを押圧平面から分離することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載したカバーフィルム剥離装置。
【請求項５】
前記粘着テープ密着機構による押圧平面と粘着テープの非粘着面とが密着された状態、もしくは粘着テープ分離機構による押圧平面と粘着テープの非粘着面とが分離された状態、とを選択するための切替え手段を備えることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載したカバーフィルム剥離装置。
【請求項６】
前記粘着テープを供給する粘着テープ供給ローラと、
前記粘着テープ供給ローラから供給された粘着テープを回収する粘着テープ回収ローラと、
前記粘着テープ供給ローラと前記粘着テープ回収ローラとの間に掛け渡された粘着テープを予め設定した長さ分ずつピッチ送り可能な機構と、を備え、
前記粘着テープ供給ローラと前記粘着テープ回収ローラとの間に掛け渡された粘着テープは、前記押圧平面と前記剥離領域との間に位置することを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載したカバーフィルム剥離装置。
【請求項７】
前記粘着テープ供給ローラと前記粘着テープ回収ローラとの間に掛け渡された粘着テープに張力をかける機構を備え、
張力により前記粘着テープの非粘着面の一部を前記押圧部材の押圧平面に密着させることを特徴とする請求項６に記載したカバーフィルム剥離装置。
【請求項８】
前記基材テーブルに対して平行方向に前記押圧部材を移動させる機構を備え、前記基材に貼り合せられたカバーフィルムの所望の位置に粘着テープの粘着面を押圧する位置合せが可能であることを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載したカバーフィルム剥離装置。
【請求項９】
前記基材テーブルから基材の浮き上がりを防止する機構を備えることを特徴とする請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載したカバーフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表面を保護するために貼り合わされたカバーフィルムを、粘着テープの粘着力によって剥離するカバーフィルム剥離装置であり、特にフレキシブルディスプレイの前面板の電極取り出し部形成工程のような、カバーフィルムの一部分のみを剥離するのに適したカバーフィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
視認性が高く、なおかつ折り曲げが可能である特徴を持つフレキシブルディスプレイを実現するための技術として様々な方式の開発が進んでいる。例えばフレキシブルディスプレイを製造する技術の一環として、ポリエチレンテフタレート等の樹脂からなるフィルム基材の表面に、透明電極層や表示用インク塗工層、駆動用電極回路等を高精度に効率よく形成していく技術が構築されている。透明フィルム上に表示用インクをコーティングした画像表示面に当たる部品を「前面板」と呼び、駆動用の電極回路を形成した表示面の裏側に当たる基板を「背面板」と呼んでいる。前面板と背面板を貼り合せることでフレキシブルディスプレイを得ることが出来る。
【０００３】
前面板の内側には電極層があるが、これを背面板の駆動回路と接続するために電極層を露出させた部分を設ける必要があり、この露出させた部分が「電極取り出し部」となる。
電極取り出し部は、前面板の一部分に対し四角形状や丸形状等からなる孔状の切り込みをカバーフィルムの側から入れ、切り込みの内側のカバーフィルムを剥離した後、残ったカバーフィルムをマスクにして開口部のインク塗膜等のみをウェット洗浄処理にて溶解除去することで電極層を露出させた後、電極層の露出面に導電性フィルムを貼付して形成する。
【０００４】
この形成は、前面板がロール状やシート状、若しくは外周裁断済みの枚葉状の状態から、レーザーや刃物等を用いて電極取り出し部をハーフカット後、不要部を除去する工程を経て形成される。しかし、上記の不要部を除去する工程はこれまで最適な装置化が行われておらず、従来、作業者の手作業による部分が大きかった。特にカバーフィルムをハーフカットした部分のみ剥離する工程は、手作業で行っても、電極取り出し部の周囲にダメージを与えずに行うことは困難であった。
【０００５】
ここで、一般のカバーフィルム剥離装置としては、プリント基板の製造に用いられるドライフィルムレジストのカバーフィルムや、液晶表示パネルの偏光板に貼り合せられた保護フィルム等を剥離する目的のカバーフィルム剥離装置が提案されている。
例えば特許文献１では、エアーナイフを用いたカバーフィルム剥離装置が提案され、特許文献２では、ワイヤーを用いたカバーフィルム剥離装置が提案され、特許文献３及び特許文献４では、粘着テープを用いたカバーフィルム剥離装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】実開平２−１００２５９号公報
【特許文献２】国際公開第ＷＯ１１／０３０４８０号
【特許文献３】特許第２５０２５４７号公報
【特許文献４】国際公開第ＷＯ１１／１２１６４６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、エアーナイフやワイヤーを用いたカバーフィルム剥離装置は、基板とカバーフィルムの剥離面に高圧空気やワイヤーを挿入する方式であるため、カバーフィルムの端部、特に角部に高圧空気やワイヤーを差し込むためのカバーフィルムの剥離のためのキッカケを作り、そこからカバーフィルム全面を剥離するのに向いている。しかし、フレキシブルディスプレイの前面板の電極取り出し部のカバーフィルムだけを剥がすように、切り込みで囲まれた部分のカバーフィルムのみを剥がしたい場合、高圧空気やワイヤーをカバーフィルムの剥離面に挿入することが困難となるため、利用できない。
【０００８】
また、粘着テープの粘着性を利用するカバーフィルム剥離装置は、カバーフィルムの表面に粘着テープを貼りつけた後、粘着テープのバックアップローラの曲面を利用して粘着テープごとカバーフィルムを捲り挙げる方式を採用している。しかし、フレキシブルディスプレイの前面板におけるカバーフィルムは、背面板と貼り合せるまでの前面板の支持体としての役割も有するため、可撓性を有するとはいえども、ある程度の曲げ強度も有するため、ローラに沿ってカバーフィルムを曲げながら捲り上げるのは困難である。
【０００９】
本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、基板に貼り合せられたカバーフィルムを剥離するにあたり、カバーフィルム全面ではなく一部のみの剥離や、ある程度以上の曲げ強度を有するカバーフィルムの剥離であっても、確実に剥離することが出来るカバーフィルム剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
課題を解決するために、本発明の一態様のカバーフィルム剥離装置は、基材の一方の面側にカバーフィルムが貼り合せられていると共に、前記カバーフィルムの一部又は全面に剥離領域が設定された積層体から、前記剥離領域部分のカバーフィルムを剥離するカバーフィルム剥離装置であって、前記積層体における前記基材を配置保持可能な基材テーブルと、前記基材テーブルに前記基材を配置保持した状態では、前記剥離領域と対向可能な押圧平面を有する押圧部材と、片面粘着型の粘着テープの非粘着面を前記押圧平面に密着させる粘着テープ密着機構と、前記粘着テープの非粘着面を密着させた前記押圧平面を前記剥離領域に向けて進退させる進退機構と、前記押圧平面に密着している前記粘着テープを押圧平面から分離する粘着テープ分離機構と、を備え、前記剥離領域と対向する前記押圧平面の面積を、当該剥離領域の面積の７５％以上１００％以下とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の一態様のカバーフィルム剥離装置によれば、基板の一方の面側に貼り合せられたカバーフィルムの一部分のみの剥離や、ある程度以上の曲げ強度を有するカバーフィルムの剥離であっても、確実に剥離することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に基づく実施形態に係るカバーフィルム剥離装置を説明する側面図である。
【図２】本発明に基づく実施形態に係るカバーフィルム剥離装置の作業ヘッドと押圧部材周辺の拡大図である。
【図３】本発明に基づく実施形態に係るカバーフィルム剥離装置の実施の別の一形態を説明する側面図である。
【図４】フレキシブルディスプレイの前面板の電極取り出し部形成工程の一例を示す断面図である。
【図５】本発明に基づく実施形態に係るカバーフィルム剥離装置の動作例を示す図である。
【図６】本発明に基づく実施形態に係るカバーフィルム剥離装置の動作例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
＜電極取り出し部の形成プロセス＞
まず、本発明による剥離装置による剥離工程を含めた、フレキシブルディスプレイの前面板の電極取り出し部の形成プロセスの例について説明する。
この電極取り出し部の形成プロセスは、切り込み工程、カバーフィルムの剥離工程、露出工程及び貼付工程を有する。
【００１４】
前面板は、例えば図４（ａ）に示すように、基材２２となる樹脂フィルム上には導電層２３が形成されており、その上にインク層２４、接着剤層２５を介して、カバーフィルム２０が貼り付けられる。
まず、切り込み工程にて、図４（ｂ）に示すように、前面板の電極取り出し部となる部分（剥離領域）に対し、カバーフィルム２０の側より、所望の開孔形状にハーフカット２６が入れられる。ハーフカット２６は、レーザーやトムソン型刃等を用いて実施され、少なくともカバーフィルム２０までは切れ込みが入れられている。このとき、導電層２３に傷が入ると導電不良の原因となるため、接着剤層２５、インク層２４のいずれかで切れ込みを止める。
【００１５】
次に、カバーフィルム剥離工程にて、図４（ｃ）に示すように、電極取り出し部を形成するカバーフィルム２０の部分を除去する。このカバーフィル剥離工程に、後述のように本発明に基づくカバーフィルム剥離装置が用いられる。
次に、露出工程にて、図４（ｄ）に示すように、電極取り出し部に露出した接着剤層２５及びインク層２４を除去する。例えば、電極取り出し部のみ開口したカバーフィルム２０をマスクとして、アルコールや有機溶剤等を含んだ洗浄液を用いたウェット洗浄処理を行う方法等が考えられる。
次に、貼付工程にて、図４（ｅ）に示すように、電極取り出し部に露出した導電層２３に導電テープ２７を貼り付けて、前面板の電極取り出し部が形成される。
【００１６】
＜カバーフィルム剥離装置の構成＞
次に、本実施形態のカバーフィルム剥離装置について図１、図２を参照して説明する。
本実施形態のカバーフィルム剥離装置は、図１、図２に示すように、前面板２１を設置する基材テーブル２と、作業ヘッド１と、粘着テープ密着機構８と、粘着テープ分離機構１０とを備える。
作業ヘッド１は、基材テーブル２に対して前面板２１を挟んで相対する位置に設置されている。作業ヘッド１は、基材テーブル２に設置された前面板２１の所望位置と上下で対向可能となっている。
作業ヘッド１に、ロール状の粘着テープ６が設置された粘着テープ供給ローラ４と、粘着テープ供給ローラ４から供給された粘着テープ６を回収する粘着テープ回収ローラ５と、押圧部材３を備える。粘着テープ６は、粘着テープ供給ローラ４から粘着テープ回収ローラ５に送られる途中において、粘着面が前面板２１側に向けた状態となるように設定されている。
【００１７】
押圧部材３は、粘着テープ供給ローラ４から粘着テープ回収ローラ５の間に掛け渡された粘着テープ６を挟んで前面板２１と対向可能な位置に配置されると共に昇降可能となっていて、当該粘着テープ６の粘着面を前面板２１に押し当てるために使用される。
押圧部材３は、基材テーブル２に対して垂直移動する機構（シリンダ装置等からなる進退機構）を有し、粘着テープ６を押圧部材３の下端面である押圧平面３ａにて粘着テープ６を前面板２１に押圧させる押圧位置（下限位置）と、前面板２１から上方向に離れた待機位置との間を往復移動することが可能となっている。
【００１８】
ここで、押圧平面３ａは、基材テーブル２と相対し、上記進退方向からみて、押圧平面３ａと電極取り出し部との重なり（対向部分）が、電極取り出し部の表面の７５％以上１００％以下となるように、当該押圧平面３ａの面積及び輪郭形状が設計されている。
７５％以上１００％以下としたのは、次の通りである。すなわち、７５％未満の場合、粘着テープによる保持力が小さくなるために、フィルム剥離に失敗する場合が出て来る。一方、１００％を超える場合、剥離領域の外側にあるカバーフィルムも同時に剥離してしまい、本来剥離すべき領域にあるカバーフィルムのみを剥離することができない。上記より、安定してカバーフィルムを剥離する為に、押圧平面の面積及び輪郭形状を電極取り出し部の表面の７５％以上１００％以下とする。
【００１９】
ここで、粘着テープ供給ローラ４及び前記粘着テープ回収ローラ５は、それぞれ回転動作及び停止ブレーキを備え、また、粘着テープ供給ローラ４から粘着テープ回収ローラ５の間に掛け渡された粘着テープ６を、所望距離にてピッチ送りするピッチ送り機構と、張力をかける張力機構を有する。なお、ピッチ送り機構及び張力機構は、粘着テープ供給ローラ４及び粘着テープ回収ローラ５の回転動作の制御による手段や、粘着テープ供給ローラ４及び粘着テープ回収ローラ５の間に掛け渡された粘着テープ６に沿って設けられた機械的な手段等が考えられる。
【００２０】
粘着テープ密着機構８は、真空発生手段９と、押圧部材３の押圧平面３ａに形成された吸引穴３１と、真空発生手段９と吸引穴３１とを連通する連通路３０とを備える。また、連通路３０を介した真空発生手段９と吸引穴３１との接続・非接続を切り替える切替弁などからなる切替え手段７とを備える。そして、切替え手段７で真空発生手段９と吸引穴３１とが接続した接続状態に切り替えると、粘着テープ密着機構８が有効になり、押圧平面３ａに設けた穴から吸引が始まり、粘着テープ６の非粘着面（上面）を押圧平面３ａに密着することができる。
なお真空発生手段９には、例えば、真空ポンプや真空エジェクタを用いることができる。
【００２１】
粘着テープ分離機構１０は、エアー供給手段１１を備える。エアー供給手段１１は、切替え手段７を介して上記の連通路３０に接続する。そして、切替え手段７でエアー供給手段１１と連通路３０とを接続すると、粘着テープ分離機構１０が有効になり押圧平面３ａの吸引穴３１からエアーが吐出でき、粘着テープ６の非粘着面（上面）を押圧平面３ａから分離する事ができ、この結果、浮き上がり部ができることで所望距離にてピッチ送りする事ができる。
なおエアー供給手段１１としては、例えばコンプレッサを用いることができる。切替え手段７は、連通路３０に対し、真空発生手段９とエアー供給手段１１を排他的に接続する。
【００２２】
作業ヘッド１は、基材テーブル２に対して水平方向に移動可能なＸＹテーブルなどの位置合せ機構を備えていても良い。これによって、１枚の前面板２１に２箇所以上の電極取り出し部を形成する場合、基材テーブル２に設置した前面板２１を取り外すことなく、作業ヘッド１をそれぞれの電極取り出し部と相対する位置に順次移動させることで、連続したカバーフィルム剥離作業を行うことが出来る。このとき、作業ヘッド１の位置決め方法は、前面板２１の電極取り出し部の形成位置情報が明らかであれば作業ヘッド１の位置を数値入力にて所望の位置に移動させる方法も考えられる。また、カメラ等の画像認識手段を用いて電極取り出し部の位置を探し出して作業ヘッド１を移動させる方法も考えられる。
【００２３】
また、基材テーブル２には、設置した前面板２１の浮き上がりを防止する機構を備える。浮き上がりを防止する機構としては、基材テーブル２の表面（上面）を真空吸着盤として前面板２１を真空吸着する方式が考えられるが、他の方式でも構わない。
なお、粘着テープ６は市販の片面粘着テープを用いることが出来る。粘着テープ６は、粘着力が５〜１０Ｎ／１０ｍｍ程度であり、基材フィルムは伸縮性の少ない材質、例えばポリエステル、ポリイミドやカプトン（登録商標）等であることが望ましい。また、粘着テープ６のスリット幅は押圧部材３の押圧平面３ａの幅よりも広ければ、余白が出来ても問題ない。
【００２４】
＜カバーフィルム剥離装置の動作例＞
続いて、図５を参照して、カバーフィルム剥離装置の装置動作について説明する。
まず、図５（ａ）に示すように、待機状態の作業ヘッド１の押圧部材３は、基材テーブル２から上方に離間した待機位置にあるとする。
また、片面粘着型の粘着テープ６のロールを粘着テープ供給ローラ４に取付け、その粘着テープ６を粘着テープ供給ローラ４から粘着テープ回収ローラ５の間に掛け渡すと共に、切替え手段７により真空発生手段９と押圧部材３内の連通路３０とを接続して、押圧平面３ａに備えた吸引穴３１から粘着テープの非粘着面を吸引し、粘着テープ６の非粘着面が押圧平面３ａに密着した状態を作る。
【００２５】
また、基材テーブル２にフレキシブルディスプレイの前面板２１を設置する。前面板２１はカバーフィルム２０側が表になるように配置され、電極取り出し部を形成する箇所には、予め電極取り出し部の輪郭に沿ってカバーフィルム２０に切れ込みが入れられている。作業ヘッド１は、電極取り出し部の直上に押圧部材３が来る位置に位置決めをする。
次に図５（ｂ）に示すように、押圧部材３が押圧位置に移動し、粘着テープ６における粘着面をカバーフィルム２０ａの表面に押圧させる。
【００２６】
次に図６（ｃ）に示すように、押圧部材３を待機位置まで上方に戻すと、前面板２１の電極取り出し部のカバーフィルム２０ａが粘着テープ６に付着したまま前面板２１から剥離される。このとき粘着テープ６は、粘着テープ密着機構８により押圧部材３の押圧平面３ａに密着させて、弛んで浮き上がらないようにすることで、剥離工程を安定して行うことが出来る。
このとき、粘着テープ６が弛んでしまうと、押圧された面の端から順次粘着テープ６とカバーフィルム２０ａとの剥がれが生じて、カバーフィルム２０ａの剥離失敗の原因となる。本実施形態では、これを回避することが出来る。
【００２７】
次に図６（ｄ）に示すように、切替え手段７によりエアー供給手段１１と押圧部材３内の連通路３０とが接続され、押圧平面３ａに備えた吸引穴３１からエアーが吐出し押圧平面３ａと粘着テープ６とが分離され、粘着テープ６に対し押圧平面３ａからの浮き上がり部ができる。
次に図６（ｅ）に示すように、粘着テープ６を粘着テープ供給ローラ４側から供給しつつ粘着テープ回収ローラ５側で巻き取りながら、粘着テープ６のピッチ送りをする。このとき、少なくとも粘着テープ６に付着したカバーフィルム２０ａが押圧平面３ａ上にかからなくなるまでの距離で粘着テープ６を送る必要がある。なお、粘着テープ６のピッチ送り動作中に粘着テープ６が押圧部材３の押圧平面３ａから一時的に浮き上がるのは動作上問題ない。
【００２８】
上記動作が１サイクル完了すると、図５（ａ）に示すように、再び作業ヘッド１は待機状態に戻り、次の電極取り出し部形成位置へ移動をし、同様の動作を繰り返してカバーフィルム２０ａの剥離を行う。また、粘着テープ６に付着したカバーフィルム２０ａは、粘着テープ６と一緒に粘着テープ回収ローラ５に巻き取られ、使用済みとなった粘着テープ６と一緒に廃棄される。
【００２９】
ここで、カバーフィルム剥離装置の別の実施形態として、図３に示すように作業ヘッド１に押圧部材３のみを備える構造も考えられる。
この形態の場合、所望の寸法に裁断した粘着テープ６を準備しておき、粘着テープ密着機構８により押圧部材３に粘着テープ６を密着させて、上述の動作によってピックアップすることで、カバーフィルム２０ａを剥離する。
ここで、上記の実施形態では、カバーフィルム２０ａの一部を剥離領域に設定した場合で説明したが、カバーフィルム２０ａの全面を剥離領域に設定しても良い。
【実施例】
【００３０】
本発明に基づくカバーフィルム剥離装置について、実施例を用いて説明する。しかし、本発明の技術的範囲は、各実施例により何ら限定されるものではない。
（実施例）
シート状のフレキシブルディスプレイの前面板を準備した。前面板は、厚み１５０μｍのポリエチレンテレフタレート基材上にＩＴＯ蒸着にて導電層を形成し、導電層の上にインク層をおよそ５０μｍ厚で形成したものに対し、厚み１５０μｍのポリエチレンテレフタレート基材のカバーフィルムを、厚み２０μｍの接着剤層を介して貼り合せてなるものである。
【００３１】
シート状の前面板に対し、電極取り出し部の輪郭に沿ってカバーフィルムの側からレーザー加工にてハーフカットを施して剥離領域を設定した。レーザー出力を調整することで、ハーフカットはカバーフィルムの表面から接着剤層の途中まで達して止まるように入れられる。電極取り出し部は、５ｍｍ×４ｍｍの寸法で、縦１００ｍｍ、横５０ｍｍの間隔でマトリクス状に配置される。
シート状の前面板を上記実施形態のカバーフィルム剥離装置の基材テーブル上に設置した。基材テーブルは真空吸着テーブルとし、シート状の前面板を基材テーブル表面に浮き上がり無く保持することが出来る。
【００３２】
基材テーブルに設けられた位置決めピン（不図示）により前面板は決められた位置に設置することが出来、前面板上の電極取り出し部の位置データが明らかであるため、データ入力にて作業ヘッドを電極取り出し部の直上に移動させた。
粘着テープ密着機構と粘着テープ分離機構の切替えを行う手段には電磁弁を使用した。
粘着テープ密着機構の真空発生手段には真空エジェクタを使用した。真空エジェクタには０．２〜０．５ＭＰａの圧縮エアーを供給し、−２５〜−８０ｋＰａの圧力で粘着テープの非粘着面を吸引した。
【００３３】
作業ヘッド上には、押圧部材と粘着テープ供給ローラと粘着テープ回収ローラが設けられている。
押圧部材の押圧平面の寸法は、４．５ｍｍ×３．５ｍｍであった。
粘着テープ供給ローラと粘着テープ回収ローラは、装置制御により、それぞれ回転駆動及びブレーキ停止が可能であり、それによって間に掛け渡された粘着テープに張力をかけつつ、テープ密着機構により押圧平面に粘着テープの非粘着面を密着させた。
【００３４】
粘着テープは、寺岡製作所製ポリエステルフィルム粘着テープＮｏ．６３１Ｓ（幅１９ｍｍ、粘着力１２．２６Ｎ／２５ｍｍ、引張強度９５．６Ｎ／２５ｍｍ）を使用した。
作業ヘッドに備えられたシリンダ径４０ｍｍのエアシリンダーにより、押圧部材及び粘着テープ供給ローラ、粘着テープ回収ローラを昇降動作させることが出来、下降位置では、粘着テープを介して押圧平面を前面板のカバーフィルム表面に押圧することが出来た。エアシリンダーは、圧縮空気０．２ＭＰａにて駆動させた。
【００３５】
粘着テープ密着機構により押圧平面に備えた吸引穴から粘着テープの非粘着面を吸引し押圧平面に密着させた状態で押圧部材を下降させて粘着テープの粘着面を前面板の電極取り出し部のカバーフィルム表面に押圧した後、押圧部材を上昇させると、電極取り出し部のカバーフィルムは粘着テープに貼り付いたまま持上げられ、前面板から剥離することが出来た。電極取り出し部の周囲のカバーフィルムには、浮き上がり等の不具合は見られなかった。このとき、押圧部材に併せて粘着テープ供給ローラと粘着テープ回収ローラも昇降するため、粘着テープの伸縮や弛みは発生しなかった。
【００３６】
粘着テープ分離機構により押圧平面に備えた吸引穴でエアーを吐出し粘着テープを押圧平面から分離し浮き上がった状態にした後、粘着テープ供給ローラと粘着テープ回収ローラを回転させて、粘着テープを８ｍｍだけ送りブレーキ停止させ、粘着テープが押圧平面に密着する様に張力をかけつつ、粘着テープ密着機構により押圧平面に粘着テープの非粘着面を密着させる。次いで作業ヘッドを隣の電極取り出し部の直上へ移動させた。
【００３７】
以上の動作にて、繰返し電極取り出し部のカバーフィルムを剥離することが出来た。１００回以上の繰返し動作でも剥離ミスは起きなかった。剥離されたカバーフィルムは粘着テープに貼りつけたまま粘着テープ回収ローラに巻き取った後、使用済みの粘着テープと共に廃棄することが出来た。
なお本実施形態のカバーフィルム剥離装置に、電極取り出し部のカバーフィルムを全て除去したシート状の前面板を設置し、同様の動作を行うことにより、電極取り出し部に露出した接着剤層を剥離することも出来た。接着剤層が有る場合と比較して、接着剤層が無い状態でインク層を洗浄処理した場合、より短時間で少量の洗浄液でインク層を除去することが出来る。
【００３８】
（比較例１）
上記実施例と同様のハーフカット済みの前面板に対し、ローラ状の押圧部材を備えるカバーフィルム剥離装置を使用した。粘着テープ供給ローラと粘着テープ回収ローラを備え、その間に上記実施例と同様の粘着テープを掛け渡してローラ状の押圧部材にてカバーフィルムの表面に押圧する。粘着テープを押圧しながら、粘着テープ供給ローラと粘着テープ回収ローラを回転駆動させて粘着テープを定速送りし、同時に粘着テープの送りと同じ速度で、粘着テープの送り方向と逆の方向にローラ状の押圧部材を連れ回りで移動させて、電極取り出し部のカバーフィルム上を通過させたが、カバーフィルムを剥離することは出来なかった。
【００３９】
（比較例２）
上記実施例と同様のハーフカット済みの前面板に対し、電極取り出し部のカバーフィルムを覆うように上記実施例と同様の粘着テープを貼り付けた。その後、粘着テープの上から５ｍｍ×４ｍｍの寸法の押圧平面を有する押圧部材にて、２５ｋｇｆにて押圧した後、作業者の手作業にて粘着テープの端部を持って引き剥がしたところ、電極取り出し部のカバーフィルムが粘着テープに付着して、前面板から剥離されることもあった。繰返し同様の作業を行い、約５０％の成功率であった。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明の剥離装置は、基板に貼り合せられたカバーフィルムの一部分のみの剥離や、ある程度以上の曲げ強度を有するカバーフィルムの剥離が必要な量産工程、例えばフレキシブルディスプレイの製造における前面板の電極取り出し部形成工程において、好適に利用することが期待出来る。
【符号の説明】
【００４１】
１・・・作業ヘッド
２・・・基材テーブル
３・・・押圧部材
３ａ・・・押圧平面
４・・・粘着テープ供給ローラ
５・・・粘着テープ回収ローラ
６・・・粘着テープ
７・・・切替え手段
８・・・粘着テープ密着機構
９・・・真空発生手段
１０・・・粘着テープ分離機構
１１・・・エアー供給手段
２０・・・カバーフィルム
２０ａ・・・電極取り出し部のカバーフィルム
２１・・・前面板
２２・・・基材
２３・・・導電層
２４・・・インク層
２５・・・接着剤層
２６・・・ハーフカット
２７・・・導電テープ
３０・・・連通路
３１・・・吸引穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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