(57)【要約】【課題】銀等の導電性繊維を用いて導電パターンが形成されているタッチパネルのセンサーにおいて、導電性繊維固有の反射によりパターンが視認されやすいという問題を解決する。【解決手段】支持フィルム、前記支持フィルム上に設けられた導電膜及び前記導電膜上に設けられた感光性樹脂層を有する感光性導電フィルムであって、前記導電層が着色した導電性繊維を含有する感光性導電フィルム、この感光性導電フィルムを用いた導電パターンの形成方法、この導電パターンを有する導電パターン基板、並びに、導電パターン基板を備えるタッチパネルセンサ。【選択図】図１
2018022030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持フィルム、前記支持フィルム上に設けられた導電膜及び前記導電膜上に設けられた感光性樹脂層を有する感光性導電フィルムであって、前記導電層が着色した導電性繊維を含有する感光性導電フィルム。
【請求項２】
前記導電性繊維が、銀繊維である請求項１に記載の感光性導電フィルムであり、前記感光性導電フィルムの全光線透過率が８９．５％以上、反射Ｌ＊が１０．０未満、抜け解像度が１８μｍ未満の感光性導電フィルム。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の感光性導電フィルムを、基板上に感光性樹脂層が接するようにラミネートする工程と、前記感光性樹脂層と導電膜により形成される感光層にパターン状に活性光線を照射する露光工程と、前記感光層の未露光部を現像する工程と、を備える導電パターンの形成方法。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の感光性導電フィルムを、基板上に感光性樹脂層が接するようにラミネートする工程と、前記感光性樹脂層と導電膜により形成される感光層にパターン状に活性光線を照射する第一の露光工程と、酸素存在下で、前記感光層の少なくとも前記第一の露光工程での未露光部の一部又は全部に活性光線を照射する第二の露光工程と、
前記第二の露光工程の後に前記感光層を現像する工程と、を備える導電パターンの形成方法。
【請求項５】
基板と、前記基板上に請求項３又は４に記載の導電パターンの形成方法により形成された導電パターンと、を備える導電パターン基板。
【請求項６】
請求項５に記載の導電パターン基板を備えるタッチパネルセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性導電フィルム、並びにこれを用いた導電パターンの形成方法、導電パターン基板及びタッチパネルセンサに関し、特に液晶表示素子等のフラットパネルディスプレイ、タッチスクリーン、太陽電池、照明等の装置の電極配線として用いられる導電パターンの形成に用いられる感光性導電フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
パソコンやテレビの大型電子機器からカーナビゲーション、携帯電話、電子辞書等の小型電子機器やＯＡ、ＦＡ機器等の表示機器には液晶表示素子やタッチスクリーンが用いられている。
【０００３】
タッチパネルには、すでに各種の方式が実用化されているが、近年、静電容量方式のタッチパネルの利用が進んでいる。静電容量方式タッチパネルでは、指先（導電体）がタッチ入力面に接触すると、指先と導電膜との間が静電容量結合し、コンデンサを形成する。このため、静電容量方式タッチパネルは、指先の接触位置における電荷の変化を捉えることによって、その座標を検出している。
【０００４】
特に、投影型静電容量方式のタッチパネルは、指先の多点検出が可能なため、複雑な指示を行うことができるという良好な操作性を備え、その操作性の良さから、携帯電話や携帯型音楽プレーヤ等の小型の表示装置を有する機器における表示面上の入力装置として利用が進んでいる。
【０００５】
一般に、投影型静電容量方式のタッチパネルでは、Ｘ軸とＹ軸による２次元座標を表現するために、複数のＸ電極と、当該Ｘ電極に直交する複数のＹ電極とが、２層構造を形成している。電極には透明導電膜用材料が用いられる。
【０００６】
従来、透明導電膜用材料には、可視光に対して高い透過率を示すことから、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ−Ｔｉｎ−Ｏｘｉｄｅ）、酸化インジウム及び酸化スズ等が用いられている。
【０００７】
透明導電膜のパターニング方法としては、透明導電膜を形成後、フォトリソグラフィー法によりレジストパターンを形成し、ウエットエッチングにより導電膜の所定部分を除去して導電パターンを形成する方法が一般的である。ＩＴＯ及び酸化インジウム膜の場合、エッチング液は塩酸と塩化第二鉄の２液よりなる混合液がよく用いられている。
【０００８】
ＩＴＯ膜や酸化スズ膜は一般にスパッタ法により形成されるが、スパッタ方式の違い、スパッタパワーやガス圧、基板温度、雰囲気ガスの種類等によって透明導電膜の性質が変わりやすい。スパッタ条件の変動による透明導電膜の膜質の違いは、透明導電膜をウエットエッチングする際のエッチング速度のばらつきの原因となり、パターンニング不良による製品の歩留り低下を招きやすい。また、上記の導電パターンの形成方法は、スパッタ工程、レジスト形成工程及びエッチング工程を経ていることから、工程が長く、コスト面でも大きな負担となっている。
【０００９】
最近、上記の問題を解消するために、ＩＴＯ、酸化インジウム及び酸化スズ等に替わる材料を用いて透明な導電パターンを形成する試みがなされている。例えば、下記特許文献１には、導電性繊維を含有する導電膜を有する感光性導電フィルムによる導電パターンの形成方法が提案されている。この技術を用いれば、種々の基板上にフォトリソグラフィー工程で直接導電パターンを簡便に形成できる。
【００１０】
さらに、下記特許文献２には、感光性導電フィルムへ露光工程を２回行った後、現像することにより、段差の小さい導電パターンを充分な解像度で形成する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】国際公開第２０１０／０２１２２４号
【特許文献２】国際公開第２０１３／０５１５１６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
特許文献２に開示されている感光性導電フィルムの形成方法を用いることで、種々の基板上にタッチパネルのセンサー電極（導電パターン）を、フォトリソグラフィー工程で簡便に形成することができる。しかしながら、導電性繊維、特に銀繊維を用いてタッチパネルのセンサーを作製した場合、銀固有の反射により導電パターンが視認されやすいという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者は、上記問題を解決するために鋭意検討した結果、銀繊維等の導電性繊維に選択的に被覆する着色剤を用いることで導電性繊維の反射を抑え、視認されづらい導電パターンを形成することができる感光性導電フィルムを発明するに至った。
【００１４】
本発明は、支持フィルム、前記支持フィルム上に設けられた導電膜及び前記導電膜上に設けられた感光性樹脂層を有する感光性導電フィルムであって、前記導電膜が着色した導電性繊維を含有する感光性導電フィルムを提供する。
【００１５】
また、本発明は、前記導電性繊維が、銀繊維である上記感光性導電フィルムであり、前記感光性導電フィルムの全光線透過率が８９．５％以上、反射Ｌ＊が１０．０未満、抜け解像度が１８μm未満の感光性導電フィルムを提供する。
【００１６】
また、本発明は、上記感光性導電フィルムを、基板上に感光性樹脂層が接するようにラミネートする工程と、前記感光性樹脂層と導電膜により形成される感光層にパターン状に活性光線を照射する露光工程と、前記感光層の未露光部を現像する工程と、を備える導電パターンの形成方法を提供する。
【００１７】
加えて、本発明は、上記感光性導電フィルムを、基板上に感光性樹脂層が接するようにラミネートする工程と、前記感光性樹脂層と導電膜により形成される感光層にパターン状に活性光線を照射する第一の露光工程と、酸素存在下で、前記感光層の少なくとも前記第一の露光工程での未露光部の一部又は全部に活性光線を照射する第二の露光工程と、前記第二の露光工程の後に前記感光層を現像する工程と、を備える導電パターンの形成方法を提供する。
【００１８】
さらに本発明は、基板と、前記基板上に上記導電パターンの形成方法により形成された導電パターンと、を備える導電パターン基板を提供する。
【００１９】
また、本発明は上記導電パターン基板を備えるタッチパネルセンサを提供する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の感光性導電フィルムによれば、タッチパネルセンサを作製後に視認しにくい導電パターンを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の感光性導電フィルムの一実施形態を示す模式断面図である。
【図２】本発明の感光性導電フィルムの一実施形態を示す一部切欠き斜視図である。
【図３】本発明の感光性導電フィルムを用いた本発明の導電パターン形成方法の一実施形態を説明するための模式断面図である。
【図４】本発明の導電パターンの形成方法の別の実施形態を説明するための模式断面図である。
【図５】静電容量式のタッチパネルセンサの一例を示す模式上面図である。
【図６】図５に示されるタッチパネルセンサの製造方法の一例を説明するための模式図である。
【図７】図５に示されるタッチパネルセンサのａ−ａ’線に沿った部分断面図である。
【図８】図５に示されるタッチパネルセンサのｂ−ｂ’線に沿った部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。尚、本明細書における「（メタ）アクリレート」とは、「アクリレート」及びそれに対応する「メタクリレート」を意味する。同様に「（メタ）アクリル」とは、「アクリル」及び「メタクリル」を意味し、「（メタ）アクリロイル」とは「アクリロイル」及び「メタクリロイル」を意味する。
【００２３】
＜感光性導電フィルム＞
本発明に係る感光性導電フィルムは、支持フィルム、前記支持フィルム上に設けられた導電膜及び前記導電膜上に設けられた感光性樹脂層を有する感光性導電フィルムであって、前記導電膜が着色した導電性繊維を含有する感光性導電フィルムである。
【００２４】
本明細書において、導電膜と感光性樹脂層との境界は必ずしも明確になっている必要はない。導電膜は、導電膜及び感光性樹脂層を含有する感光層の面方向に導電性が得られるものであればよく、導電膜に感光性樹脂層が混じり合った態様であってもよい。例えば、導電膜中に感光性樹脂層を構成する組成物が含浸されていたり、感光性樹脂層を構成する組成物が導電膜の表面に存在していたりしてもよい。
【００２５】
図１は、本発明の感光性導電フィルムの好適な一実施形態を示す模式断面図である。図１に示す感光性導電フィルム１０は、支持フィルム１と、支持フィルム１上に設けられた感光層４とを備え、感光層４は、支持フィルム上に設けられた導電膜２と、導電膜２上に設けられた感光性樹脂層３からなる。
【００２６】
以下、感光性導電フィルム１０を構成する支持フィルム１、導電膜２及び感光性樹脂層３のそれぞれについて詳細に説明する。
【００２７】
支持フィルム１としては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムが挙げられる。これらのうち、透明性や耐熱性の観点からは、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。尚、これらの重合体フィルムは、後に感光性樹脂層から除去可能でなくてはならないため、除去が不可能となるような表面処理が施されたものであったり、材質であったりしてはならない。
【００２８】
また、支持フィルム１の厚みは、５〜３００μｍであることが好ましく、１０〜２００μｍであることがより好ましく、１５〜１００μｍであることが特に好ましい。機械的強度が低下し、導電膜２を形成するために導電性分散液若しくは感光性樹脂層３を形成するために感光性樹脂組成物を塗工する工程、又は露光した感光性樹脂層３を現像する前に支持フィルムを剥離する工程において、支持フィルムが破れることを防止する観点から、５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましく、１５μｍ以上であることがさらに好ましい。また、支持フィルムを介して活性光線を感光性樹脂層に照射後のパターンの解像度に優れる点では、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であることがより好ましく、１００μｍ以下であることがさらに好ましい。
【００２９】
支持フィルム１のヘーズ値は、感度及び解像度を良好にできる観点から、０．０１〜５．０％であることが好ましく、０．０１〜３．０％であることがより好ましく、０．０１〜２．０％であることが特に好ましく、０．０１〜１．０％であることが極めて好ましい。尚、ヘーズ値はＪＩＳ  Ｋ  ７１０５に準拠して測定することができ、例えば、ＮＤＨ−１００１ＤＰ（日本電色工業株式会社製、商品名）等の市販の濁度計等で測定が可能である。
【００３０】
導電膜２としては、着色した導電性繊維を少なくとも一種含有するものであれば、特に制限なく用いることができる。
【００３１】
上記導電性繊維としては、例えば、金、銀、白金等の金属繊維、及びカーボンナノチューブ等の炭素繊維が挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。導電性の観点からは、金繊維又は銀繊維を用いることが好ましい。さらに、形成される導電膜の導電性を容易に調整できる観点からは、銀繊維がより好ましい。導電性繊維は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３２】
上記の金属繊維は、例えば、金属イオンをＮａＢＨ４等の還元剤で還元する方法、又はポリオール法により調製することができる。また、上記カーボンナノチューブは、Ｕｎｉｄｙｍ社のＨｉｐｃｏ単層カーボンナノチューブ等の市販品を使用することができる。
【００３３】
導電性繊維の繊維径は、１ｎｍ〜５０ｎｍであることが好ましく、２ｎｍ〜２０ｎｍであることがより好ましく、３ｎｍ〜１０ｎｍであることが特に好ましい。また、導電性繊維の繊維長は、１μｍ〜１００μｍであることが好ましく、２μｍ〜５０μｍであることがより好ましく、３μｍ〜１０μｍであることが特に好ましい。繊維径及び繊維長は、走査型電子顕微鏡により測定することができる。
【００３４】
また、本発明において、導電性繊維を着色する着色剤としては、導電性繊維に付着又は被覆して導電性繊維の光の反射を低減するものであれば特に制限なく使用することができる。特に、導電性繊維に選択的に付着又は被覆するものが好ましい。このような着色剤としては、例えば、ベンゾトリアゾール誘導体が挙げられる。着色剤として好適に用いられるベンゾトリアゾール誘導体としては、例えば、トリルトリアゾール、１−［Ｎ，Ｎ−ビス（２−エチルヘキシル）アミノメチル］ベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、１−ビス（２−ヒドロキシエチル）アミノメチル−５−メチル−１Ｈ−ベンゾトリアゾール、１−ビス（２−ヒドロキシエチル）アミノメチル−４−メチル−１Ｈ−ベンゾトリアゾール等が挙げられる。このようなベンゾトリアゾール誘導体は、特に銀繊維等の金属繊維の着色に特に好適に用いられる。着色剤は、１種単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３５】
図２は、感光性導電フィルムの一実施形態を示す一部切欠き斜視図である。導電膜２は、図２に示すように、導電性繊維同士が接触してなる網目構造を有することが好ましい。このような網目構造を有する導電膜２は、感光性樹脂層３の支持フィルム１側の表面に形成されていてもよいが、支持フィルム１を剥離したときに露出する感光層４の表面においてその面方向に導電性が得られるのであれば、導電膜２に感光性樹脂層３の一部が入り込む形態で形成されていてもよく、感光性樹脂層３の支持フィルム１側の表層に導電膜２が含まれる形態で形成されていてもよい。
【００３６】
また、上記導電膜２には、導電性繊維と合わせて有機導電体を用いることができる。有機導電体としては、特に制限無く用いることができるが、チオフェン誘導体やアニリン誘導体のポリマー等の有機導電体を用いることが好ましい。具体的には、ポリエチレンジオキシチオフェン、ポリヘキシルチオフェンやポリアニリンを用いることができる。有機導電体を用いる場合、その量は、導電性繊維１００質量部に対し、１０〜８０質量部とすることが好ましく、２０〜６０質量部とすることがより好ましい。
【００３７】
導電膜２の厚みは、本発明の感光性導電フィルムを用いて形成される導電パターンの用途や求められる導電性によっても異なるが、１μｍ以下であることが好ましく、１ｎｍ〜０．５μｍであることがより好ましく、５ｎｍ〜０．１μｍであることが特に好ましい。
導電膜２の厚みが１μｍ以下であると、４５０〜６５０ｎｍの波長域での光透過率が高く、パターン形成性にも優れ、特に透明電極の作製に好適なものとなる。尚、導電膜２の厚みは、走査型電子顕微鏡写真によって測定される値を指す。
【００３８】
導電膜２は、例えば、支持フィルム１上に、上述した導電性繊維や有機導電体を水及び／又は有機溶剤、導電性繊維を着色する着色剤、必要に応じて界面活性剤等の分散安定剤等を加えた導電性分散液を塗工した後、乾燥することにより形成することができる。乾燥後、支持フィルム１上に形成した導電膜２は、必要に応じてラミネートされてもよい。塗工は、例えば、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができる。また、乾燥は、３０〜１５０℃で１〜３０分間程度、熱風対流式乾燥機等で行うことができる。導電膜２において、着色した導電性繊維や有機導電体は界面活性剤や分散安定剤と共存していてもかまわない。
【００３９】
導電性分散液中の導電性繊維の含有量は、０．０１〜１．０質量％とすることが好ましく、０．０５〜０．５質量％とすることがより好ましい。導電性分散液に着色剤を添加して導電性繊維を着色する場合、導電性分散液中の着色剤の含有量は、０．０１〜２．０質量％とすることが好ましく、０．０３〜１．５質量％とすることがより好ましい。界面活性剤や分散安定剤を添加する場合、導電性分散液中の濃度は、０．０１〜０．５質量％とすることが好ましく、０．０２〜０．３質量％とすることがより好ましい。
【００４０】
導電膜２は、導電性繊維や有機導電体の組合せでもよく、その場合は、それらを混合したものを塗布形成してもよく、又は、それぞれを順次塗布して形成しても良い。例えば、導電性繊維を塗布形成した後、有機導電体の溶液を塗布・乾燥して形成できる。
【００４１】
感光性樹脂層３としては、例えば、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物から形成されるものが挙げられる。
【００４２】
（Ａ）バインダーポリマーとしては、例えば、アクリル樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アミド樹脂、アミドエポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂、エステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応で得られるエポキシアクリレート樹脂、エポキシアクリレート樹脂と酸無水物の反応で得られる酸変性エポキシアクリレート樹脂が挙げられる。これらの樹脂は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４３】
上記の中でも、アルカリ現像性及びフィルム形成性に優れる観点から、アクリル樹脂を用いることが好ましく、そのアクリル樹脂が（メタ）アクリル酸及び（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来するモノマー単位を構成単位として有するとより好ましい。ここで、「アクリル樹脂」とは、（メタ）アクリル基を有する重合性単量体に由来するモノマー単位を主に有する重合体のことを意味する。
【００４４】
上記アクリル樹脂は、（メタ）アクリル基を有する重合性単量体をラジカル重合して製造されるものが使用できる。このアクリル樹脂は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４５】
上記（メタ）アクリル基を有する重合性単量体としては、例えば、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、α−ブロモ（メタ）アクリル酸、α−クロル（メタ）アクリル酸、β−フリル（メタ）アクリル酸、β−スチリル（メタ）アクリル酸等が挙げられる。
【００４６】
また、上記アクリル樹脂は、上記のような（メタ）アクリル基を有する重合性単量体の他に、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等のα−位又は芳香族環において置換されている重合可能なスチレン誘導体、アクリロニトリル、ビニル−ｎ−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマール酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸等の１種又は２種以上の重合性単量体が共重合されていてもよい。
【００４７】
上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸プロピルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸ペンチルエステル、（メタ）アクリル酸ヘキシルエステル、（メタ）アクリル酸ヘプチルエステル、（メタ）アクリル酸オクチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、（メタ）アクリル酸ノニルエステル、（メタ）アクリル酸デシルエステル、（メタ）アクリル酸ウンデシルエステル、（メタ）アクリル酸ドデシルエステルが挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４８】
また、（Ａ）バインダーポリマーは、アルカリ現像性をより良好にする観点から、カルボキシル基を有することが好ましい。カルボキシル基を有する重合性単量体としては、上述したような（メタ）アクリル酸が挙げられる。
【００４９】
（Ａ）バインダーポリマーが有するカルボキシル基の比率は、使用する全重合性単量体に対するカルボキシル基を有する重合性単量体の割合として、１０〜５０質量％であることが好ましく、１２〜４０質量％であることがより好ましく、１５〜３０質量％であることが特に好ましく、１５〜２５質量％であることが極めて好ましい。アルカリ現像性に優れる点では１０質量％以上であることが好ましく、アルカリ耐性に優れる点では、５０質量％以下であることが好ましい。
【００５０】
（Ａ）バインダーポリマーの重量平均分子量は、機械強度及びアルカリ現像性のバランスを図る観点から、５０００〜３０００００であることが好ましく、２００００〜１５００００であることがより好ましく、３００００〜１０００００であることが特に好ましい。耐現像液性に優れる点では、重量平均分子量が、５０００以上であることが好ましい。また、現像時間の観点からは、３０００００以下であることが好ましい。尚、本発明における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）により測定され、標準ポリスチレンを用いて作成した検量線により換算された値である。
【００５１】
これらの（Ａ）バインダーポリマーは、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。２種類以上を組み合わせて使用する場合のバインダーポリマーとしては、例えば、異なる共重合成分からなる２種類以上のバインダーポリマー、異なる重量平均分子量の２種類以上のバインダーポリマー、異なる分散度の２種類以上のバインダーポリマーが挙げられる。
【００５２】
本発明における（Ａ）バインダーポリマーは、解像度やその他の特性との兼ね合いから、（Ａ）バインダーポリマーの酸価は、７５〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、７５〜１９０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましく、７５〜１８５ｍｇＫＯＨ／ｇであることが特に好ましい。２５０ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると光硬化した感光性樹脂層の耐現像液性が低下する傾向がある。
【００５３】
次に、（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物について説明する。
エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させで得られる化合物、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマー、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β´−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β´−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシプロピル−β´−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート等のフタル酸系化合物、（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００５４】
上記多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等のビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４であり、プロピレン基の数が２〜１４であるポリエチレンポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキシトリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンテトラエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンペンタエトキシトリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートが挙げられる。
【００５５】
上記ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にヒドロキシル基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス［（メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート］ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、ＥＯ、ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
尚、「ＥＯ」はエチレンオキサイドを示し、ＥＯ変性された化合物はエチレンオキサイド基のブロック構造を有する。また、「ＰＯ」はプロピレンオキサイドを示し、ＰＯ変性された化合物はプロピレンオキサイド基のブロック構造を有する。ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、「ＵＡ−１１」（新中村化学工業株式会社製、商品名）が挙げられる。また、ＥＯ、ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、「ＵＡ−１３」（新中村化学工業株式会社製、商品名）が挙げられる。
【００５６】
（Ｂ）エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物の含有割合は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の総量１００質量部に対して、３０〜８０質量部であることが好ましく、４０〜７０質量部であることがより好ましい。光硬化性及び転写した導電膜（導電膜及び感光性樹脂層）の塗膜性に優れる点では、３０質量部以上であることが好ましく、フィルムとして巻き取った場合の保管安定性に優れる点では、８０質量部以下であることが好ましい。
【００５７】
次に（Ｃ）光重合開始剤について説明する。（Ｃ）光重合開始剤としては、使用する露光機の光波長と、機能発現に必要な波長とが合うものを選択すれば、特に制限はないが、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ´−テトラメチル−４，４´−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ´−テトラエチル−４，４´−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４´−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン；２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナンタラキノン、２−メチル１，４−ナフトキノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物；ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物；１，２−オクタンジオン−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノン１−（Ｏ−アセチルオキシム）等のオキシムエステル化合物；ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９´−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体；２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド等のホスフィンオキサイド化合物、Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物、オキサゾール系化合物などが挙げられる。また、２つの２，４，５−トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は同一で対象な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合物と３級アミン化合物とを組み合わせてもよい。
【００５８】
これらの中でも、透明性、及び１０μｍ以下でのパターン形成能から、オキシムエステル化合物又はホスフィンオキサイド化合物が好ましい。
【００５９】
（Ｃ）光重合開始剤の含有割合は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の総量１００質量部に対して、０．１〜２０質量部であることが好ましく、２〜１５質量部であることがより好ましく、５〜１２質量部であることが特に好ましい。光感度に優れる点では、０．１質量部以上であることが好ましく、内部の光硬化性に優れる点では、２０質量部以下であることが好ましい。
【００６０】
感光性樹脂層３には、必要に応じて、シランカップリング剤等の密着性付与剤、重合禁止剤、ｐ−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、視認性改善のための顔料等の着色剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤等の添加剤を、単独で又は２種類以上を組み合わせて含有させることができる。これらの添加剤の添加量は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の総量１００質量部に対して各々０．０１〜２０質量部であることが好ましい。
【００６１】
感光性樹脂層３は、導電膜２を形成した支持フィルム１上に、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解した、固形分１０〜６０質量％程度の感光性樹脂組成物の溶液を塗布、乾燥することにより形成できる。但し、この場合、乾燥後の感光性樹脂層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止するため、２質量％以下であることが好ましい。
【００６２】
感光性樹脂層３の塗工は、例えば、ロールコート法、コンマコート法、グラビアコート法、エアーナイフコート法、ダイコート法、バーコート法、スプレーコート法等の公知の方法で行うことができる。塗工後、有機溶剤等を除去するための乾燥は、７０〜１５０℃で５〜３０分間程度、熱風対流式乾燥機等で行うことができる。
【００６３】
感光性樹脂層３の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで１〜２００μｍであることが好ましく、１〜１５μｍであることがより好ましく、１〜１０μｍであることが特に好ましい。この厚みが１μｍ未満では塗工が困難となる傾向があり、２００μｍを超えると光透過の低下による感度が不充分となり転写する感光性樹脂層の光硬化性が低下する傾向がある。
【００６４】
本発明の感光性導電フィルムにおいて、上記導電膜２及び上記感光性樹脂層３の積層体は、両層の合計膜厚を１〜１０μｍとしたときに４５０〜６５０ｎｍの波長域における最小光透過率が８０％以上であることが好ましく、８５％以上であることがより好ましい。導電膜及び感光性樹脂層がこのような条件を満たす場合、ディスプレイパネル等での高輝度化が容易となる。
本発明の感光性導電フィルムは、全光線透過率が８９．５％以上であることが好ましい。本明細書中、感光性導電フィルムの全光線透過率とは、感光性樹脂層を硬化させた後の導電層及び樹脂硬化層を含む積層体の全光線透過率を意味する。この全光線透過率の測定は、例えば、透明基板上に感光性導電フィルムを、感光性樹脂層と透明基板とを対向させてラミネートし、次いで、露光等により感光性樹脂層を硬化させて樹脂硬化層とした後、支持フィルムを除去して透明基板／樹脂硬化層／導電層を有する評価用積層体とし、この積層体の全光線透過率をヘーズメータを用いて測定することにより行うことができる。
また、本発明の感光性導電フィルムは、反射Ｌ＊が１０．０未満であることが好ましい。本明細書中、感光性導電フィルムの反射Ｌ＊とは、感光性樹脂層を硬化させた後の導電層及び樹脂硬化層を含む積層体の反射Ｌ＊を意味する。この反射Ｌ＊の測定は、例えば、上記と同様にして評価用積層体を作製し、この積層体の反射Ｌ＊を分光測色計で測定することにより行うことができる。
また、本発明の感光性導電フィルムは、抜け解像度が１８μｍ未満であることが好ましく、１６μｍ未満であることがより好ましく、１５μｍ以下であることが更に好ましい。本明細書中、感光性導電フィルムの抜け解像度とは、感光性導電フィルムの導電層及び感光性樹脂層を含む感光層に対して、ライン／スペースのテストパターンをマスクとして露光及び現像し、ラインとラインとの間の導電層が完全に現像されているテストパターンの最小のライン幅の値を意味する。
【００６５】
本発明の感光性導電フィルムにおいては、必要に応じ、感光性樹脂層３の支持フィルム１側と反対側の面に接するように保護フィルムを積層することができる。
【００６６】
保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。また、保護フィルムとして上述の支持体フィルムと同様の重合体フィルムを用いてもよい。
【００６７】
保護フィルムと感光性樹脂層３との間の接着力は、保護フィルムを感光性樹脂層から剥離しやすくするために、導電膜２及び感光性樹脂層３と支持フィルム１との間の接着力よりも小さいことが好ましい。
【００６８】
また、保護フィルムは、保護フィルム中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が５個／ｍ２以下であることが好ましい。尚、「フィッシュアイ」とは、材料を熱溶融し、混練、押し出し、２軸延伸、キャスティング法等によりフィルムを製造する際に、材料の異物、未溶解物、酸化劣化物等がフィルム中に取り込まれたものである。
【００６９】
保護フィルムの厚みは、１〜１００μｍであることが好ましく、５〜５０μｍであることがより好ましく、５〜３０μｍであることがさらに好ましく、１５〜３０μｍであることが特に好ましい。保護フィルムの厚みが１μｍ未満ではラミネートの際、保護フィルムが破れやすくなる傾向があり、１００μｍを超えると価格が高くなる傾向がある。
【００７０】
感光性導電フィルムは、支持フィルム上に、接着層、ガスバリア層等の層をさらに有していてもよい。
【００７１】
感光性導電フィルムは、例えば、そのままの平板状の形態で、又は、円筒状等の巻芯に巻きとりロール状の形態で貯蔵することができる。尚、この際、支持フィルムが最も外側になるように巻き取られることが好ましい。
【００７２】
また、感光性導電フィルムが保護フィルムを有してない場合、かかる感光性導電フィルムは、そのままの平板状の形態で貯蔵することができる。
【００７３】
巻芯としては、従来用いられているものであれば特に限定されず、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリルーブタジエンースチレン共重合体）等のプラスチックが挙げられる。またロール状に巻き取られた感光性導電フィルムの端面には、端面保護の観点から端面セパレータを設置することが好ましく、加えて耐エッジフュージョンの観点から防湿端面セパレータを設置することが好ましい。また、感光性導電フィルムを梱包する際には、透湿性の小さいブラックシートに包んで包装することが好ましい。
【００７４】
＜導電パターンの形成方法＞
図３に示すように、支持フィルム１、導電膜２及び感光性樹脂層３を有する感光性導電フィルム１０を、感光性樹脂層３が基板上に接するように、基板２０上にラミネートし（図３の（ａ））、次に、導電膜２及び感光性樹脂層３で形成される感光層４にマスクパターン５を介して活性光線Ｌをパターン状に照射し（図３の（ｂ））、現像により未硬化部分（未露光部分）を除去することにより導電パターン２ａ（導電膜２）を形成する（図３の（ｃ））。こうして得られる導電パターン２ａは、導電膜２の厚みに加えて樹脂硬化層３ｂの厚みを有している。これらの厚みは基板との段差Ｈｂとなり、この段差が大きいとディスプレイ等に要求される平滑性が得られにくくなる。また、段差が大きいと導電パターンが視認されやすくなるので用途によって以下の図４に示す方法と使い分ければよい。
【００７５】
図４に記載の態様に示すように、まず、支持フィルム１、導電膜２及び感光性樹脂層３を有する感光性導電フィルム１０を、感光性樹脂層３が基板上に接するように、基板２０上にラミネートし（図４の（ａ））、次いで支持フィルム１を有する感光層４の所定部分に活性光線を照射する第一の露光工程（図４（ｂ））の後に、支持フィルム１を剥離してから、酸素存在下で、感光層４の少なくとも第一の露光工程での未露光部の一部又は全部に活性光線を照射する第二の露光工程（図４（ｃ））を備えることが好ましい。なお、図４に示す態様では、感光層の第一の露光工程での未露光部とともに、第一の露光工程での露光部も同時に活性光線を照射している。この第一及び第二の露光工程を行った後に現像する方法によれば、現像後、所定の導電パターンを形成した導電膜２が第一及び第二の露光工程で露光された領域の樹脂硬化層上に残り、現像工程で除去された部分には、導電膜２を有していない樹脂硬化層が形成される（図４（ｄ））。このように、基板２０上に導電パターンとともに導電膜を有していない樹脂硬化層３ａが設けられることにより、基板上に導電パターンのみを設けた場合に比べて段差Ｈａが小さい導電パターンを有する導電パターン基板４２を得ることができる。
【００７６】
基板としては、例えば、ガラス基板、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート等のプラスチック基板等が挙げられる。基板は、４５０〜６５０ｎｍの波長域での最小光透過率が８０％以上であるものが好ましい。
【００７７】
ラミネート工程は、例えば、感光性導電フィルムを、保護フィルムがある場合はそれを除去した後、加熱しながら感光性樹脂層側を基板に圧着することにより積層する方法により行なわれる。尚、この作業は、密着性及び追従性の見地から減圧下で積層することが好ましい。感光性導電フィルムの積層時には、感光性樹脂層及び／又は基板を７０〜１３０℃に加熱することが好ましく、圧着圧力は、０．１〜１．０ＭＰａ程度（１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ２程度）とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、感光性樹脂層を上記のように７０〜１３０℃に加熱すれば、予め基板を予熱処理することは必要ではないが、積層性をさらに向上させるために基板の予熱処理を行うこともできる。
【００７８】
支持フィルムを付けたまま基板上の感光性樹脂層の所定部分に活性光線を照射する第一の露光工程での露光方法としては、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射する方法（マスク露光法）が挙げられる。活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光等を有効に放射するものが用いられる。また、Ａｒイオンレーザ、半導体レーザ等の紫外線、可視光等を有効に放射するものも用いられる。さらに、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いられる。また、レーザ露光法等を用いた直接描画法により活性光線を画像状に照射する方法を採用してもよい。
【００７９】
上記第一の露光工程での露光量は、使用する装置や感光性樹脂組成物の組成によって異なるが、好ましくは５ｍＪ／ｃｍ２〜１０００ｍＪ／ｃｍ２であり、より好ましくは１０ｍＪ／ｃｍ２〜２００ｍＪ／ｃｍ２である。光硬化性に優れる点では、１０ｍＪ／ｃｍ２以上であることが好ましく、解像性の点では２００ｍＪ／ｃｍ２以下であることが好ましい。
【００８０】
支持フィルムをはく離してから酸素の存在下で活性光線を照射する第二の露光工程の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光等を有効に放射するものが用いられる。また、Ａｒイオンレーザ、半導体レーザ等の紫外線、可視光等を有効に放射するものも用いられる。さらに、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いられる
【００８１】
上記第二の露光工程での露光量は、使用する装置や感光性樹脂組成物の組成によって異なるが、好ましくは５ｍＪ／ｃｍ２〜１０００ｍＪ／ｃｍ２であり、より好ましくは１０ｍＪ／ｃｍ２〜２００ｍＪ／ｃｍ２である。光硬化性に優れる点では、１０ｍＪ／ｃｍ２以上であることが好ましく、作業効率の点では２００ｍＪ／ｃｍ２以下であることが好ましい。第二の露光工程の露光量は、支持フィルムを除去して露光することで、露光により開始剤より発生する反応種が、表面からの酸素により失活を起こすことを利用するものであり、過度の露光は充分硬化させてしまうので、好ましくない。
第二の露光工程の露光を行う雰囲気は、酸素の存在が必要であり、大気中での露光が好ましい。酸素濃度を増やした条件でもかまわない。
【００８２】
本実施形態の現像工程では、支持フィルムをはく離してから活性光線を照射する第二の露光工程で露光した感光性樹脂層の充分硬化していない表面部分が除去される。具体的には、ウェット現像により感光性樹脂層の充分硬化していない表面部分、つまり導電膜を含む表面層を除去する。これにより、所定のパターンを有する導電膜が第一及び第二の露光工程で露光された領域の樹脂硬化層上に残り、現像工程で除去された部分には導電膜を有していない樹脂硬化層のパターンが形成される。従って、現像工程で、第一及び第二の露光工程ともに露光されていない部分は、感光性樹脂層全体が除去される。
【００８３】
ウェット現像は、例えば、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤系現像液等の感光性樹脂に対応した現像液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により行われる。
【００８４】
現像液としては、アルカリ性水溶液等の安全かつ安定であり、操作性が良好なものが用いられる。上記アルカリ性水溶液の塩基としては、例えば、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウム、カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩等が用いられる。
【００８５】
また、現像に用いるアルカリ性水溶液としては、０．１〜５質量％炭酸ナトリウム水溶液、０．１〜５質量％炭酸カリウム水溶液、０．１〜５質量％水酸化ナトリウム水溶液、０．１〜５質量％四ホウ酸ナトリウム水溶液等が好ましい。また、現像に用いるアルカリ性水溶液のｐＨは９〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光性樹脂層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させてもよい。
【００８６】
また、水又はアルカリ水溶液と一種以上の有機溶剤とからなる水系現像液を用いることができる。ここで、アルカリ水溶液に含まれる塩基としては、上述の塩基以外に、例えば、ホウ砂やメタケイ酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、エタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、２−アミノ−２−ヒドロキシメチル−１，３−プロパンジオール、１，３−ジアミノプロパノール−２、モルホリンが挙げられる。
有機溶剤としては、例えば、３−アセトンアルコール、アセトン、酢酸エチル、炭素数１〜４のアルコキシ基をもつアルコキシエタノール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルが挙げられる。これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００８７】
水系現像液は、有機溶剤の濃度を２〜９０質量％とすることが好ましく、その温度は、現像性にあわせて調整することができる。さらに、水系現像液のｐＨは、レジストの現像が充分にできる範囲でできるだけ小さくすることが好ましく、ｐＨ８〜１２とすることが好ましく、ｐＨ９〜１０とすることがより好ましい。また、水系現像液中には、界面活性剤、消泡剤等を少量添加することもできる。
【００８８】
有機溶剤系現像液としては、例えば、１，１，１−トリクロロエタン、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、γ−ブチロラクトン等が挙げられる。これらの有機溶剤は、引火防止のため、１〜２０質量％の範囲で水を添加することが好ましい。
【００８９】
上述した現像液は、必要に応じて、２種以上を併用してもよい。
【００９０】
現像の方式としては、例えば、ディップ方式、バトル方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等が挙げられる。これらのうち、高圧スプレー方式を用いることが、解像度向上の観点から好ましい。
【００９１】
本実施形態の導電パターンの形成方法においては、現像後に必要に応じて、０．２〜１０Ｊ／ｃｍ２程度の露光や６０〜２５０℃程度の加熱を行うことにより導電パターンをさらに硬化してもよい。
【００９２】
＜導電パターン基板＞
本発明の導電パターン基板は、基板と、本発明の感光性導電フィルムを用いる上記本発明の導電パターンの形成方法によって形成された導電パターンとを備えるものである。即ち、前記導電パターンは、本発明の感光性導電フィルムの導電膜が、本発明の導電パターンの形成方法によってパターン化されたものである。基板と本発明の導電パターンの形成方法で形成された導電パターンの層との間には、本発明の感光性樹脂層の樹脂が硬化した樹脂硬化層が存在する。
透明電極として有効に活用できる観点から、導電膜又は導電パターンの表面抵抗率が２０００Ω／□以下であることが好ましく、１０００Ω／□以下であることがより好ましく、５００Ω／□以下であることが特に好ましい。表面抵抗率は、例えば、導電性繊維や有機導電体の分散液の濃度又は塗工量によって調整することができる。
【００９３】
また、本発明の導電パターン基板は、４５０〜６５０ｎｍの波長域における最小光透過率が８０％以上であることが好ましく、８５％以上であることがより好ましい。
【００９４】
＜タッチパネルセンサ＞
本発明に係るタッチパネルセンサは、上記の導電パターン基板を備える。
【００９５】
図５は、静電容量式のタッチパネルセンサの一例を示す模式上面図である。図５に示されるタッチパネルセンサは、透明基板１０１の片面にタッチ位置を検出するためのタッチ画面１０２があり、この領域に静電容量変化を検出して、Ｘ位置座標とする透明電極１０３と、Ｙ位置座標とする透明電極１０４を備えている。これらのＸ、Ｙ位置座標とするそれぞれの透明電極１０３、１０４には、タッチパネルとしての電気信号を制御するドライバー素子回路と接続するための引き出し配線１０５と、その引き出し配線１０５と透明電極１０３、１０４を接続する接続電極１０６が配置されている。さらに、引き出し配線１０５の接続電極１０６と反対側の端部には、ドライバー素子回路と接続する接続端子１０７が配置されている。
【００９６】
図６は、図５に示されるタッチパネルセンサの製造方法の一例を示す模式図である。本実施形態においては、本発明に係る導電パターンの形成方法によって透明電極１０３、１０４が形成される。まず、図６（ａ）に示すように、透明基板１０１上に透明電極（Ｘ位置座標）１０３を形成する。具体的には、感光性導電フィルム１０を感光性樹脂層３が透明基板１０１に接するようラミネートする。転写した感光層４（導電膜２及び感光性樹脂層３）に対し、所望の形状に遮光マスクを介してパターン状に活性光線を照射する（第一の露光工程）。その後、遮光マスクを除き、さらに支持フィルムを剥離したうえで感光層４に活性光線を照射する（第二の露光工程）。露光工程の後、現像を行うことで、硬化が不充分な感光性樹脂層３と共に、導電膜２が除去され、導電パターン２ａが形成される。この導電パターン２ａによりＸ位置座標を検知する透明電極１０３が形成される（図６（ｂ））。図６（ｂ）は、図６（ａ）のＩ−Ｉ切断面の模式断面図である。本発明に係る導電パターンの形成方法により透明電極１０３を形成することで、段差の小さな透明電極１０３を設けることができる。
【００９７】
続いて、図６（ｃ）に示すように透明電極（Ｙ位置座標）１０４を形成する。上記の工程により形成された透明電極１０３を備える基板１０１に、さらに、新たな感光性導電フィルム１０をラミネートし、上記同様の操作により、Ｙ位置座標を検知する透明電極１０４が形成される（図６（ｄ））。図６（ｄ）は、図６（ｃ）のＩＩ−ＩＩ切断面の模式断面図である。本発明に係る導電パターンの形成方法により透明電極１０４を形成することで、透明電極１０３上に透明電極１０４を形成する場合であっても、段差や気泡の捲き込みによる美観の低減が充分に抑制された、平滑性の高いタッチパネルセンサを作成することができる。
【００９８】
次に、透明基板１０１の表面に、外部回路と接続するための引き出し線１０５と、この引き出し線と透明電極１０３、１０４を接続する接続電極１０６を形成する。図６では、引き出し線１０５及び接続電極１０６は、透明電極１０３及び１０４の形成後に形成するように示しているが、各透明電極形成時に同時に形成してもよい。引き出し線１０５は、例えば、フレーク状の銀を含有する導電ペースト材料を使って、スクリーン印刷法を用いて、接続電極１０６を形成するのと同時に形成することができる。
【００９９】
図７及び図８はそれぞれ、図５に示されるａ−ａ’及びｂ−ｂ’に沿った部分断面図である。これらは、ＸＹ位置座標の透明電極の交差部を示す。図７及び図８に示されるように、透明電極が本発明に係る導電パターンの形成方法により形成されていることにより、段差が小さく平滑性の高いタッチパネルセンサを得ることができる。
【実施例】
【０１００】
以下に、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１０１】
実施例、比較例で用いた（Ｂ）、（Ｃ）成分は以下の通りである。
＜（Ｂ）成分＞
・ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート（Ｔ−１４２０、日本化薬株式会社製）
【０１０２】
＜（Ｃ）成分＞
・２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド（Ｉｒｇａｃｕｒｅ−ＴＰＯ、ＢＡＳＦジャパン株式会社製）
【０１０３】
＜その他＞
・レベリング剤としてオクタメチルシクロテトラシロキサン（ＳＨ−３０、東レ・ダウコーニング株式会社製）
・溶媒としてメチルエチルケトン（東燃化学株式会社製）
・密着性付与剤として２−メタクロイロキシエチルアシッドホスフェート（Ｐ−１Ｍ、共栄社化学株式会社製）
・重合禁止剤として２，２´−メチレンビス（４−エチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、（ＡＷ−５００、川口化学工業株式会社製）
【０１０４】
製造例１＜導電性分散液（導電膜形成用塗液（銀繊維分散液））の調製＞
［ポリオール法による銀繊維の調製］
２０００ｍｌの３口フラスコに、エチレングリコール５００ｍｌを入れ、窒素雰囲気下、マグネチックスターラーで攪拌しながらオイルバスにより１６０℃まで加熱した。ここに、別途用意したＰｔＣｌ２２ｍｇを５０ｍｌのエチレングリコールに溶解した溶液を滴下した。４〜５分後、ＡｇＮＯ３５ｇをエチレングリコール３００ｍｌに溶解した溶液と、重量平均分子量が約４０，０００のポリビニルピロリドン（和光純薬工業株式会社製）５ｇをエチレングリコール１５０ｍｌに溶解した溶液とを、それぞれの滴下ロートから１分間で滴下し、その後１６０℃で６０分間攪拌した。
【０１０５】
上記反応溶液が３０℃以下になるまで放置してから、アセトンで１０倍に希釈し、遠心分離機により２０００回転で２０分間遠心分離し、上澄み液をデカンテーションした。沈殿物にアセトンを加え攪拌後に上記と同様の条件で遠心分離し、アセトンをデカンテーションした。その後、蒸留水を用いて同様に２回遠心分離して、銀繊維を得た。得られた銀繊維を光学顕微鏡で観察したところ、繊維径（直径）は約１７ｎｍで、繊維長は約３０μｍであった。
【０１０６】
［銀繊維分散液の調製］
純水に、上記で得られた銀繊維を０．２質量％、ドデシルペンタエチレングリコール（界面活性剤）を０．１質量％、銀繊維を着色する表４の（１）に示す成分を表４の（１）に示す濃度となるように分散した。
表４の（１）に示した銀繊維を着色する成分は以下の通りである。
１−ビス（２−ヒドロキシエチル）アミノメチル−５−メチル−１Ｈベンゾトリアゾールと１−ビス（２−ヒドロキシエチル）アミノメチル−４−メチル−１Ｈ−ベンゾトリアゾールの混合物（商品名：ＶＥＲＺＯＮＥ  ＴＴ−２５０Ａ、大和化成株式会社製）、ベンゾトリアゾール誘導体（商品名：ＶＥＲＺＯＮＥ  ＳＦ−３１０、大和化成株式会社製）。
上記をそれぞれ配合し、銀繊維分散液を得た。
【０１０７】
製造例２＜（Ａ）成分溶液の調製＞
［バインダーポリマー溶液（Ａ１）の作製］
撹拌機、還流冷却機、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、表１に示す（１）を仕込み、窒素ガス雰囲気下で８０℃に昇温し、反応温度を８０℃±２℃に保ちながら、表１に示す（２）を４時間かけて均一に滴下した。（２）の滴下後、８０℃±２℃で６時間撹拌を続け、重量平均分子量が約４２，０００のバインダーポリマー溶液（固形分５０質量％）（Ａ１）を得た。（Ａ１）の酸価は、１９６ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
【０１０８】
【表１】
2018022030.tif 000003
【０１０９】
［バインダーポリマー溶液（Ａ２）の作製］
撹拌機、還流冷却機、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、表２に示す（１）を仕込み、窒素ガス雰囲気下で８０℃に昇温し、反応温度を８０℃±２℃に保ちながら、表２に示す（２）を４時間かけて均一に滴下した。（２）の滴下後、８０℃±２℃で６時間撹拌を続け、重量平均分子量が約４５，０００のバインダーポリマー溶液（固形分５０質量％）（Ａ２）を得た。（Ａ２）の酸価は、７８ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
【０１１０】
【表２】
2018022030.tif 000004
【０１１１】
［バインダーポリマー溶液（Ａ３）の作製］
撹拌機、還流冷却機、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、表２に示す（１）を仕込み、窒素ガス雰囲気下で８０℃に昇温し、反応温度を８０℃±２℃に保ちながら、表３に示す（２）を４時間かけて均一に滴下した。（２）の滴下後、８０℃±２℃で６時間撹拌を続け、重量平均分子量が約４０，０００のバインダーポリマー溶液（固形分５０質量％）（Ａ３）を得た。（Ａ３）の酸価は、１７６ｍｇＫＯＨ／ｇであった。
【０１１２】
【表３】
2018022030.tif 000005
【０１１３】
上記製造例において、重量平均分子量と酸価は以下の方法で測定した。
【０１１４】
（１）重量平均分子量
重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。ＧＰＣの条件を以下に示す。
ＧＰＣ条件
ポンプ：日立  Ｌ−６０００型（株式会社日立製作所製、製品名）
カラム：Ｇｅｌｐａｃｋ  ＧＬ−Ｒ４２０、Ｇｅｌｐａｃｋ  ＧＬ−Ｒ４３０、Ｇｅｌｐａｃｋ  ＧＬ−Ｒ４４０（以上、日立化成株式会社製、製品名）
溶離液：テトラヒドロフラン
測定温度：４０℃
流量：２．０５ｍＬ／分
検出器：日立  Ｌ−３３００型ＲＩ（株式会社日立製作所製、製品名）
【０１１５】
（２）酸価
酸価は、次のようにして測定した。まず、上記で作製したバインダーポリマー溶液を、１３０℃で１時間加熱し、揮発分を除去して、固形分を得た。そして、酸価を測定すべきポリマー１ｇを精秤した後、精秤したポリマーを三角フラスコに入れ、このポリマーにアセトンを３０ｇ添加し、これを均一に溶解した。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、０．１ＮのＫＯＨ水溶液を用いて滴定を行った。そして、次式により酸価を算出した。
酸価＝１０×Ｖｆ×５６．１／（Ｗｐ×Ｉ）
（式中、ＶｆはＫＯＨ水溶液の滴定量（ｍＬ）を示し、Ｗｐは測定した樹脂溶液の質量（ｇ）を示し、Ｉは測定した樹脂溶液中の不揮発分の割合（質量％）を示す。）
【０１１６】
実施例１＜感光性導電フィルムの作製＞
［導電フィルム（感光性導電フィルムの導電膜）の作製］
上記で得られた銀繊維分散液を、支持フィルムである５０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム、帝人株式会社製、商品名「Ｇ２−５０」）上に２５ｇ／ｍ２で均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で３分間乾燥し、導電膜を形成した。尚、導電膜の乾燥後の膜厚は、約０．１μｍであり、ナプソン株式会社製ＥＣ−８０Ｐにてシート抵抗値を測定したところ、５０±１０Ω／□であった。
【０１１７】
［感光性樹脂組成物溶液の作製］
表４の（２）に示す材料を表４の（２）に示す配合量（質量部）で配合し、更に、溶媒としてメチルエチルケトンを揮発分濃度３０質量％となる量で添加し、攪拌機を用いて１５分間混合し、感光性導電フィルム用感光性樹脂組成物溶液を作製した。（Ａ）成分としては、上記の（Ａ２）を用いた。
尚、表４の（２）中の（Ａ）成分の配合量は、溶媒を除いた固形分の質量部である。
【０１１８】
［感光性導電フィルムの作製］
上記で得られた感光性樹脂組成物溶液を、上記で得られた導電フィルムで導電膜が形成された５０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して感光性樹脂層を形成した。その後、感光性樹脂層を、ポリエチレン製の保護フィルム（タマポリ株式会社製、商品名「ＮＦ−１３」）で覆い、感光性導電フィルムを得た。尚、感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は５μｍであった。
【０１１９】
実施例２＜感光性導電フィルムの作製＞
［導電フィルム（感光性導電フィルムの導電膜）の作製］
銀繊維分散液中の着色剤をＳＦ−３１０に変更した以外は、実施例１の導電フィルムの作製と同様にして、導電膜を形成した。尚、導電膜のシート抵抗値をナプソン株式会社製ＥＣ−８０Ｐにて測定したところ、５０Ω／□であった。
【０１２０】
［感光性導電フィルムの作製］
上記で得られた感光性樹脂組成物溶液を用いた以外は実施例１と同様にして、感光性導電フィルムを作製した。尚、感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は５μｍであった。
【０１２１】
実施例３＜感光性導電フィルムの作製＞
［導電フィルム（感光性導電フィルムの導電膜）の作製］
銀繊維分散液中の着色剤をＳＦ−３１０に変更し、その濃度０．０８質量％に変更した以外は、実施例１の導電フィルムの作製と同様にして、導電膜を形成した。尚、導電膜のシート抵抗値をナプソン株式会社製ＥＣ−８０Ｐにて測定したところ、５０  Ω／□であった。
【０１２２】
［感光性導電フィルムの作製］
上記で得られた感光性樹脂組成物溶液を用いた以外は実施例１と同様にして、感光性導電フィルムを作製した。尚、感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は５μｍであった。
【０１２３】
実施例４＜感光性導電フィルムの作製＞
［導電フィルム（感光性導電フィルムの導電膜）の作製］
銀繊維分散液中の着色剤をＳＦ−３１０に変更し、その濃度を０．１２質量％に変更した以外は、実施例１の導電フィルムの作製と同様にして、導電膜を形成した。尚、導電膜のシート抵抗値をナプソン株式会社製ＥＣ−８０Ｐにて測定したところ、５０Ω／□であった。
【０１２４】
［感光性導電フィルムの作製］
上記で得られた感光性樹脂組成物溶液を用いた以外は実施例１と同様にして、感光性導電フィルムを作製した。尚、感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は５μｍであった。
【０１２５】
比較例１＜感光性導電フィルムの作製＞
［導電フィルム（感光性導電フィルムの導電膜）の作製］
銀繊維分散液に着色剤を添加しなかった以外は、実施例１の導電フィルムの作製と同様にして、導電膜を形成した。尚、導電膜のシート抵抗値をナプソン株式会社製ＥＣ−８０Ｐにて測定したところ、５０Ω／□であった。
【０１２６】
［感光性導電フィルムの作製］
上記で得られた感光性樹脂組成物溶液を用いた以外は実施例１と同様にして、感光性導電フィルムを作製した。尚、感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は５μｍであった。
【０１２７】
＜反射Ｌ＊の測定＞
視認性の評価基準として反射のＬ＊を評価した。厚さ１ｍｍのポリカーボネート基板に
前記で得られた感光性導電フィルムの保護フィルムを剥離しながら、感光性樹脂層をＰＥＴフィルムに対向させて、１１０℃、０．６ｍ／ｍｉｎ、０．４ＭＰａの条件でラミネートした。ラミネート後、ＰＥＴフィルムを冷却し基板の温度が２３℃になった時点で支持フィルム側から高圧水銀灯ランプを有する露光機（株式会社オーク製作所製、商品名「ＥＸＭ−１２０１」）を用いて、１０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で光照射した。光照射後、支持フィルムを剥離し、ポリカーボネート基板／樹脂硬化層／導電層からなる評価用積層体を得た。
次に分光測色計ＣＭ−５（コニカミノルタ株式会社製）で、上記の評価用積層体の反射Ｌ＊を測定した。数値が小さいほど反射光が小さく視認されづらい。結果を表４の（３）に示す。
【０１２８】
＜全光線透過率の測定＞
上記の評価用積層体に対して、ヘーズメータ（日本電飾工業株式会社製、商品名「ＮＤＨ−５０００」）を用いて、評価用積層体の全光線透過率を測定した。結果を表４の（３）に示す。
【０１２９】
＜導電パターンの形成＞
厚さ１２５μｍのＰＥＴフィルム（東洋紡株式会社製、商品名「コスモシャイン−Ａ３００」）の表面上に前記で得られた感光性導電フィルムの保護フィルムを剥離しながら、感光性樹脂層をＰＥＴフィルムに対向させて、１１０℃、０．６ｍ／ｍｉｎ、０．４ＭＰａの条件でラミネートした。
ラミネート後、ＰＥＴフィルムを冷却し基板の温度が２３℃になった時点で、感光特性調査用ステップタブレット（Ｓ／Ｔ；Ｌ／Ｓ＝ｘ／４００、ｘ＝６〜４７）マスクを被せ、支持フィルム側から高圧水銀灯ランプを有する露光機（株式会社オーク製作所製、商品名「ＥＸＭ−１２０１」）を用いて、４０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で光照射した。光照射後、支持フィルムを剥離し、マスクを取り除いた状態で１００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で光照射した。
【０１３０】
次に、３０℃で１質量％炭酸ナトリウム水溶液を４０秒間スプレーすることにより現像した。さらにＵＶ露光機により、１Ｊ／ｃｍ２の露光量を光照射した。
以上の操作により、ＰＥＴフィルム上に、図２（ｅ）に示す導電パターンを形成した。
抜け解像度の評価として、ライン／スペース（Ｌ／４００μｍ）パターンのライン幅を測定した。ライン幅が細い程、抜け解像性が高い。結果を表４の（３）に示す。
感度の評価は、ステップタブレットの各段数にテスターを当てて、導通が取れる最も高い段数を読み取ることによって行った。結果を表４の（３）に示す。
【０１３１】
【表４】
2018022030.tif 000006
【０１３２】
表４に示すように、実施例１〜４においては、いずれも比較例１と比較し反射Ｌ＊が低く、本発明の感光性導電フィルムを用いることにより、タッチパネルセンサを作製後に視認しにくい導電パターンを形成することができることがわかる。
【符号の説明】
【０１３３】
１…支持フィルム、２…導電膜、２ａ…導電パターン、３…感光性樹脂層、３ａ，３ｂ…樹脂硬化層、４…感光層、５…マスクパターン、１０，１２…感光性導電フィルム、２０…基板、４０，４２…導電パターン基板、１０１…透明基板、１０２…タッチ画面、１０３…透明電極（Ｘ位置座標）、１０４…透明電極（Ｙ位置座標）、１０５…引き出し配線、１０６…接続電極、１０７…接続端子。
【図１】
2018022030.tif 000007
【図２】
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【図３】
2018022030.tif 000009
【図４】
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【図５】
2018022030.tif 000011
【図６】
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【図７】
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【図８】
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