(57)【要約】【課題】基板の角度設定の自由度が高く、能動的に基板を揺動可能な基板保持装置および電子部品実装機を提供することを課題とする。【解決手段】基板保持装置４は、基板９０を保持可能な基板保持部６、７と、基板保持部６、７を複数の回転軸の各々の軸周りに動かすことができるロボット部５と、を備える。基板保持部６、７は、複数の方向に回転可能である。【選択図】図２
2018067585.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持可能な基板保持部と、
前記基板保持部を複数の回転軸の各々の軸周りに動かすことができるロボット部と、
を備える基板保持装置。
【請求項２】
前記基板の搬送方向をＸ軸方向、水平面内において前記Ｘ軸方向に直交する方向をＹ軸方向、垂直方向をＺ軸方向、前記Ｘ軸周りに回転する方向をθＸ方向、前記Ｙ軸周りに回転する方向をθＹ方向、前記Ｚ軸周りに回転する方向をθＺ方向として、
前記ロボット部は、前記基板保持部を、前記Ｘ軸方向、前記Ｙ軸方向、前記Ｚ軸方向、前記θＸ方向、前記θＹ方向、前記θＺ方向に、動かす請求項１に記載の基板保持装置。
【請求項３】
前記ロボット部は、一対のベースと、一対の前記ベースの間に介装される複数のロボットアームと、を有し、
複数の前記ロボットアームは、各々、伸縮可能であり、一対の前記ベースの各々に対して揺動可能である請求項１または請求項２に記載の基板保持装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板保持装置を備える電子部品実装機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電子部品の三次元実装などに用いられる基板保持装置および電子部品実装機に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基板を揺動可能な基板保持装置が開示されている。同文献記載の基板保持装置によると、基板を揺動させることができる。しかしながら、基板の揺動軸は単一である。このため、基板を所望の角度に自在に傾けることができない。
【０００３】
この点、特許文献２には、バックアップ部と傾動部とを備える基板保持装置が開示されている。傾動部は、バックアップ部の下側に配置されている。バックアップ部の下面（被ガイド部）は球面状を呈している。傾動部の上面（ガイド部）は裏球面状を呈している。被ガイド部とガイド部とは互いに当接している。
【０００４】
吸着ノズルの下面（電子部品を吸着する吸着面）でバックアップ部の上面（基板を支持する支持面）を押圧すると、吸着面の角度に倣って、ガイド部に対して被ガイド部が摺動する。すなわち、傾動部に対してバックアップ部が傾く。このため、支持面つまり基板と、吸着面つまり電子部品と、を平行にすることができる。このように、特許文献２の基板保持装置によると、バックアップ部つまり基板を、所望の角度に自在に傾けることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１７８４８９号公報
【特許文献２】特開２０１２−２３８７９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２の基板保持装置の場合、バックアップ部は、吸着ノズルに押圧されて、受動的に揺動するだけである。このため、バックアップ部つまり基板の角度は、吸着ノズルの吸着面により、一律に決定されてしまう。そこで、本発明は、基板の角度設定の自由度が高く、能動的に基板を揺動可能な基板保持装置および電子部品実装機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明の基板保持装置は、基板を保持可能な基板保持部と、前記基板保持部を複数の回転軸の各々の軸周りに動かすことができるロボット部と、を備えることを特徴とする。また、本発明の電子部品実装機は、上記基板保持装置を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の基板保持装置および電子部品実装機によると、基板保持部を、複数の方向に回転させることができる。したがって、基板の角度設定の自由度が高くなる。また、本発明の基板保持装置および電子部品実装機は、ロボット部を備えている。このため、能動的に基板を揺動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の電子部品実装機の一実施形態の電子部品実装機の上面図である。
【図２】同電子部品実装機の右側面図である。
【図３】同電子部品実装機のブロック図である。
【図４】図１の枠ＩＶ内の拡大図である。
【図５】図２の枠Ｖ内の拡大図である。
【図６】同電子部品実装機の基板保持装置のロボット部の図４の円Ｓに沿った展開図である。
【図７】（ａ）は、同電子部品実装機により実行される電子部品実装方法（その１）の基板移動ステップの模式図である。（ｂ）は、同電子部品実装方法の部品移動ステップ前段の模式図である。（ｃ）は、同部品移動ステップ後段の模式図である。
【図８】（ａ）は、同電子部品実装機により実行される電子部品実装方法（その２）の第一基板移動ステップおよび第一部品移動ステップの模式図である。（ｂ）は、同電子部品実装方法の第二基板移動ステップおよび第二部品移動ステップの模式図である。
【図９】その他の実施形態（その１）の基板保持装置のロボット部の図４の円Ｓに沿った展開図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、その他の実施形態（その２〜その４）の基板保持装置のロボット部の図４の円Ｓに沿った展開図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の基板保持装置および電子部品実装機の実施の形態について説明する。
【００１１】
＜電子部品実装機の構成＞
まず、本実施形態の電子部品実装機の全体的な構成について説明する。図１に、本実施形態の電子部品実装機の上面図を示す。図２に、同電子部品実装機の右側面図を示す。図３に、同電子部品実装機のブロック図を示す。なお、図１、図２においては、モジュール３のハウジング３５を透過して示す。図１〜図３に示すように、電子部品実装機１は、ベース２と、モジュール３と、制御装置８と、トレイフィーダ（部品供給装置）９と、を備えている。
【００１２】
図１、図２に示すように、トレイフィーダ９は、ベース２の前面に着脱可能に配置されている。トレイフィーダ９には、複数のトレイ（部品供給部材）９３が収容されている。モジュール３は、ベース２の上面に着脱可能に配置されている。モジュール３は、デバイステーブル３０と、左右一対の第一ガイドレール３１と、第一スライド３２と、第二スライド３３と、装着ヘッド３４と、ハウジング３５と、基板保持装置４と、を備えている。
【００１３】
デバイステーブル３０は、モジュール３のハウジング３５の前側（作業エリア側）の開口に配置されている。デバイステーブル３０には、トレイフィーダ９の左右一対のアーム９２が配置されている。左右一対のアーム９２には、トレイ９３が架設されている。トレイ９３には、複数の電子部品９１が収容されている。電子部品９１は、部品本体９１０と、複数のリード９１１と、を備えている。
【００１４】
左右一対の第一ガイドレール３１は、モジュール３のハウジング３５の内面（上面）に配置されている。第一スライド３２は、モータ（サーボモータ）Ｍの駆動力により、左右一対の第一ガイドレール３１に沿って前後方向に移動可能である。上下一対の第二ガイドレール３２０は、第一スライド３２の前面に配置されている。第二スライド３３は、モータ（サーボモータ）Ｍの駆動力により、上下一対の第二ガイドレール３２０に沿って左右方向に移動可能である。装着ヘッド３４は、ヘッド本体３４０と、吸着ノズル３４１と、を備えている。ヘッド本体３４０は、第二スライド３３に取り付けられている。吸着ノズル３４１は、モータ（サーボモータ）Ｍの駆動力により、ヘッド本体３４０から下降可能である。すなわち、吸着ノズル３４１は、前後左右上下方向に移動可能である。吸着ノズル３４１は、電子部品９１を、負圧により吸着可能である。
【００１５】
図３に示すように、制御装置８は、コンピュータ８０と、入出力インターフェイス８１と、を備えている。コンピュータ８０は、演算部８００と、記憶部８０１と、を備えている。記憶部８０１には、基板９０、電子部品９１、基板９０における電子部品９１の装着座標などに関するデータが格納されている。入出力インターフェイス８１は、第一スライド３２、第二スライド３３、吸着ノズル３４１駆動用のモータＭに電気的に接続されている。また、入出力インターフェイス８１は、後述する第二リンクＬ２、第三リンクＬ３、第五リンクＬ５〜第七リンクＬ７駆動用のモータ（サーボモータ）Ｍに電気的に接続されている。また、入出力インターフェイス８１は、後述する第四リンクＬ４駆動用の圧力源（コンプレッサ、ポンプなど）Ｃに電気的に接続されている。
【００１６】
＜基板保持装置の構成＞
次に、本実施形態の基板保持装置の構成について説明する。図４に、図１の枠ＩＶ内の拡大図を示す。図５に、図２の枠Ｖ内の拡大図を示す。図６に、本実施形態の基板保持装置のロボット部の図４の円Ｓに沿った展開図（機構図）を示す。なお、図４においては、第二ベース５０ｂよりも上側の部材を省略して示す。また、第二ベース５０ｂを透過して示す。また、図４の円Ｓの中心は、上側から見た場合の第一ベース５０ａの重心Ｇである。また、図４、図６の中心角（重心Ｇ周りの中心角）θは、図４における反時計回り（右→後→左→前）方向に進角する。また、円Ｓの右端をθ＝０°位置とする。
【００１７】
図５に示すように、基板保持装置４は、ロボット部５と、バックアップ部６と、搬送部７と、を備えている。バックアップ部６および搬送部７は、本発明の「基板保持部」の概念に含まれる。搬送部７は、前後一対の壁部７０と、コンベア７１と、を備えている。前後一対の壁部７０は、後述する第二ベース５０ｂの上面に配置されている。壁部７０の上端（クランプ爪）は、内側（前側の壁部７０の場合は後側、後側の壁部７０の場合は前側）に屈曲している。後側の壁部７０は、後述する第二ベース５０ｂの左右一対のガイドレール５００に沿って、前後方向に移動可能である。コンベア７１は、前後一対のベルトを備えている。ベルトは、左右方向（基板搬送方向）に延在している。前後一対のベルトは、前後一対の壁部７０の内面に、前後方向に対向して配置されている。基板９０は、前後一対のベルトにより、搬送される。基板９０は、上側に膨らむ凸状（屈曲板状）を呈している。基板９０には、傾斜面９００が設定されている。また、基板９０には、複数の貫通孔９０１が穿設されている。
【００１８】
バックアップ部６は、ボールねじ６０と、バックアップテーブル６１と、複数のバックアップピン６２と、を備えている。バックアップ部６は、前後一対の壁部７０の間に配置されている。ボールねじ６０は、バックアップテーブル６１を昇降可能である。複数のバックアップピン６２は、基板９０を下側から支持可能である。電子部品９１装着時において、基板９０は、バックアップピン６２と前後一対の壁部７０の上端とにより、上下方向から挟持、固定されている。すなわち、基板９０は、バックアップ部６および搬送部７により、保持されている。
【００１９】
ロボット部５は、下側から上側に向かって、第一ベース（固定ベース）５０ａと、六つのロボットアーム５０ｃと、第二ベース（可動ベース）５０ｂと、を備えている。第一ベース５０ａ、第二ベース５０ｂは、本発明の「ベース」の概念に含まれる。第一ベース５０ａは、ベース２の上面に配置されている。第二ベース５０ｂの上面には、左右一対のガイドレール５００が配置されている。前述の搬送部７およびバックアップ部６は、第二ベース５０ｂの上側（基板９０側）に配置されている。六つのロボットアーム５０ｃは、第一ベース５０ａと第二ベース５０ｂとの間に介装されている。
【００２０】
六つのロボットアーム５０ｃは、各々、下側から上側に向かって、第一リンクＬ１と、第二リンクＬ２と、第三リンク（シリンダ）Ｌ３と、第四リンク（ロッド）Ｌ４と、第五リンクＬ５と、第六リンクＬ６と、第七リンクＬ７と、を備えている。第一リンクＬ１は、第一ベース５０ａの上面に固定されている。第七リンクＬ７は、第二ベース５０ｂの下面に固定されている。
【００２１】
図４、図６に示すように、基準位置（電子部品実装機１の電源投入時の位置）において、上側から見て、三対の第一リンクＬ１は、中心角θ＝１２０°ずつ離間して、正三角形Ｔ１の頂点（中心角θ＝６０°位置、１８０°位置、３００°位置）付近に配置されている。上側から見て、三対の第七リンクＬ７は、中心角θ＝１２０°ずつ離間して、正三角形Ｔ７の頂点（中心角θ＝０°位置、１２０°位置、２４０°位置）付近に配置されている。第一リンクＬ１の対と第七リンクＬ７の対とは、互いに中心角θ＝６０°ずつずれて配置されている。
【００２２】
図５、図６に示すように、任意のロボットアーム５０ｃにおいて、第一リンクＬ１と第七リンクＬ７との間には、六つの軸が設定されている。すなわち、ロボットアーム５０ｃの自由度は６である。具体的には、第一軸（回転軸（曲げ軸））Ａ１は、第一リンクＬ１と第二リンクＬ２との間に配置されている。第二軸（回転軸（曲げ軸））Ａ２は、第二リンクＬ２と第三リンクＬ３との間に配置されている。第三軸（並進軸（直動軸））Ａ３は、第三リンクＬ３と第四リンクＬ４との間に配置されている。第四軸（回転軸（曲げ軸））Ａ４は、第四リンクＬ４と第五リンクＬ５との間に配置されている。第五軸（回転軸（曲げ軸））Ａ５は、第五リンクＬ５と第六リンクＬ６との間に配置されている。第六軸（回転軸（捩れ軸））Ａ６は、第六リンクＬ６と第七リンクＬ７との間に配置されている。
【００２３】
第一軸Ａ１、第二軸Ａ２、第四軸Ａ４、第五軸Ａ５、第六軸Ａ６は、各々、モータＭにより、駆動される。第二リンクＬ２は、第一リンクＬ１に対して、第一軸Ａ１の軸周りを揺動可能である。第三リンクＬ３は、第二リンクＬ２に対して、第二軸Ａ２の軸周りを揺動可能である。第五リンクＬ５は、第四リンクＬ４に対して、第四軸Ａ４の軸周りを揺動可能である。第六リンクＬ６は、第五リンクＬ５に対して、第五軸Ａ５の軸周りを揺動可能である。第七リンクＬ７は、第六リンクＬ６に対して、第六軸Ａ６の軸周りを揺動可能である。
【００２４】
第三軸Ａ３は、圧力源Ｃから第三リンク（シリンダ）Ｌ３に供給される流体（油、空気など）の圧力により、駆動される。第四リンクＬ４は、第三リンクＬ３に対して、直線方向（第三軸Ａ３の延在方向）に移動可能である。第三軸Ａ３に対して、第一軸Ａ１、第二軸Ａ２、第四軸Ａ４、第五軸Ａ５は、直交している。第一軸Ａ１に対して、第二軸Ａ２は直交している。第四軸Ａ４に対して、第五軸Ａ５は直交している。
【００２５】
＜電子部品実装方法（その１）＞
次に、本実施形態の電子部品実装機により実行される電子部品実装方法（その１）について説明する。図５に示す基板９０の傾斜面９００に、電子部品９１ａを装着する場合について説明する。電子部品実装方法は、基板移動ステップと、部品移動ステップと、を有している。図７（ａ）に、電子部品実装方法（その１）の基板移動ステップの模式図を示す。図７（ｂ）に、同電子部品実装方法の部品移動ステップ前段の模式図を示す。図７（ｃ）に、同部品移動ステップ後段の模式図を示す。
【００２６】
図７（ａ）に示すように、基板移動ステップにおいては、図３に示す制御装置８が、図５に示すロボット部５を用いて、基板９０を移動（並進移動および回転移動のうち少なくとも一方）させる。すなわち、図５に示すように、傾斜面９００は、水平方向以外の方向に延在している。一方、吸着ノズル３４１の軸方向は上下方向である。このように、吸着ノズル３４１の軸方向と、傾斜面９００の延在方向と、は直交していない。言い換えると、吸着ノズル３４１の軸方向（電子部品９１ａのリード９１１の延在方向）と、貫通孔９０１の延在方向と、は一致していない。このため、傾斜面９００に電子部品９１ａを装着する場合は、電子部品９１ａの装着に先駆けて、吸着ノズル３４１の軸方向と、貫通孔９０１の延在方向と、を一致させておく必要がある。具体的には、傾斜面９００を水平にしておく必要がある。本ステップにおいては、図７（ａ）に示すように、図３に示す制御装置８が、図６に示す六つのロボットアーム５０ｃを適宜駆動し、傾斜面９００が水平になるように、第二ベース５０ｂつまり基板９０を傾ける。
【００２７】
図７（ｂ）、図７（ｃ）に示すように、部品移動ステップにおいては、図３に示す制御装置８が、図２に示す第一スライド３２、第二スライド３３、吸着ノズル３４１を適宜駆動し、トレイ９３から基板９０まで、電子部品９１ａを搬送し、当該電子部品９１ａを傾斜面９００に装着する。具体的には、基板９０の複数の貫通孔９０１に、電子部品９１ａの複数のリード９１１を挿入する。このようにして、基板９０の傾斜面９００に電子部品９１ａを装着する。
【００２８】
＜電子部品実装方法（その２）＞
次に、本実施形態の電子部品実装機により実行される電子部品実装方法（その２）について説明する。傾斜面９００を有しない平板状の基板９０に、湾曲したリード９１１付きの電子部品を装着する場合について説明する。電子部品実装方法は、第一基板移動ステップと、第一部品移動ステップと、第二基板移動ステップと、第二部品移動ステップと、を有している。図８（ａ）に、電子部品実装方法（その２）の第一基板移動ステップおよび第一部品移動ステップの模式図を示す。図８（ｂ）に、同電子部品実装方法の第二基板移動ステップおよび第二部品移動ステップの模式図を示す。
【００２９】
図８（ａ）に示すように、第一基板移動ステップにおいては、図３に示す制御装置８が、図５に示すロボット部５を用いて、基板９０を移動させる。すなわち、リード９１１は、先端側の第一直線部９１１ａと、基端側の第二直線部９１１ｂと、を有している。制御装置８は、六つのロボットアーム５０ｃを適宜駆動し、第一直線部９１１ａの延在方向と、貫通孔９０１の延在方向と、が一致するように、基板９０を移動させる。第一部品移動ステップにおいては、図３に示す制御装置８が、図２に示す第一スライド３２、第二スライド３３、吸着ノズル３４１を適宜駆動し、トレイ９３から基板９０まで、電子部品９１ｂを搬送し、当該電子部品９１ｂを基板９０に仮装着する。具体的には、基板９０の貫通孔９０１に、リード９１１の第一直線部９１１ａを挿入する。
【００３０】
図８（ｂ）に示すように、第二基板移動ステップにおいては、図３に示す制御装置８が、図５に示すロボット部５を用いて、基板９０を再び移動させる。図３に示す制御装置８は、図６に示す六つのロボットアーム５０ｃを適宜駆動し、第二直線部９１１ｂの延在方向と、貫通孔９０１の延在方向と、が一致するように、基板９０を移動させる。並行して、図３に示す制御装置８は、図２に示す第一スライド３２、第二スライド３３、吸着ノズル３４１を適宜駆動し、基板９０の貫通孔９０１に、第二直線部９１１ｂを挿入する。
【００３１】
＜作用効果＞
次に、本実施形態の基板保持装置および電子部品実装機の作用効果について説明する。図５に示すように、本実施形態の基板保持装置４および電子部品実装機１によると、バックアップ部６および搬送部７を、複数の方向（例えば、垂直軸の軸周り方向、水平軸の軸周り方向など）に回転させることができる。したがって、基板９０の角度設定の自由度が高くなる。また、本実施形態の基板保持装置４および電子部品実装機１は、ロボット部５を備えている。図３に示すように、ロボット部５のロボットアーム５０ｃは、モータＭ、圧力源Ｃにより、駆動される。このため、能動的に基板９０を揺動させることができる。
【００３２】
また、図５、図６に示すように、ロボット部５の六つのロボットアーム５０ｃは、各々、六つの軸（第一軸Ａ１、第二軸Ａ２、第三軸Ａ３、第四軸Ａ４、第五軸Ａ５、第六軸Ａ６）を備えている。すなわち、ロボットアーム５０ｃの自由度は６である。このため、基板９０の搬送方向（左右方向）をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向に直交する方向（前後方向）をＹ軸方向、垂直方向（上下方向）をＺ軸方向、Ｘ軸周りに回転する方向をθＸ方向、Ｙ軸周りに回転する方向をθＹ方向、Ｚ軸周りに回転する方向をθＺ方向として、ロボット部５は、バックアップ部６および搬送部７を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向、θＸ方向、θＹ方向、θＺ方向に、動かすことができる。すなわち、ロボット部５は、基板９０を、あらゆる方向に並進移動させることができる。また、基板を、あらゆる方向に回転移動させることができる。勿論、並進移動と回転移動とを適宜組み合わせることもできる。
【００３３】
また、図５、図６に示すように、複数のロボットアーム５０ｃは、各々、回転軸（第一軸Ａ１、第二軸Ａ２、第四軸Ａ４、第五軸Ａ５、第六軸Ａ６）を備えている。このため、ロボットアーム５０ｃは、第一ベース５０ａ、第二ベース５０ｂに対して、揺動可能である。また、複数のロボットアーム５０ｃは、各々、並進軸（第三軸Ａ３）を備えている。このため、ロボットアーム５０ｃは、伸縮可能である。したがって、複数のロボットアーム５０ｃを協働させることにより、基板９０を、あらゆる方向に移動させることができる。
【００３４】
また、図６に示すように、基準位置において、複数のロボットアーム５０ｃは、第一ベース５０ａと第二ベース５０ｂとの間の空間を、複数の三角形状に区画している。このため、基板保持装置４は、上下方向の強度が高い。
【００３５】
また、図６に示すように、複数のロボットアーム５０ｃは、第一ベース５０ａと第二ベース５０ｂとの間に、並列に配置されている。このため、任意のロボットアーム５０ｃの精度（具体的には、第七リンクＬ７の目標位置に対する実際位置の精度）が低い場合であっても、当該精度を、他のロボットアーム５０ｃの高い精度で、吸収することができる。したがって、精度が高くなる。
【００３６】
また、図３に示すモータＭは、全てサーボモータである。このため、制御装置８は、エンコーダからの信号を基に、図６に示す回転軸（第一軸Ａ１、第二軸Ａ２、第四軸Ａ４、第五軸Ａ５、第六軸Ａ６）の角度を検出することができる。したがって、この点においても、精度が高くなる。また、図７（ａ）〜図７（ｃ）、図８（ａ）、図８（ｂ）に示すように、制御装置８は、装着ヘッド３４と、基板保持装置４と、を協調制御することができる。このため、形状等の異なる複数種類の基板９０に、電子部品９１を装着することができる。
【００３７】
ところで、図５に示す基板９０の傾斜面９００に電子部品９１を装着するためには、装着ヘッド３４に回転軸を配置し、吸着ノズル３４１を揺動可能にすることも考えられる。しかしながら、図１に示すように、装着ヘッド３４は、多数の電子部品９１を順次搬送し、基板９０の所定の装着座標に装着している。このように、装着ヘッド３４は、電子部品９１の搬送、装着という役割を担っている。この上、装着ヘッド３４に吸着ノズル３４１の揺動（つまり電子部品９１ａの揺動）という役割を追加すると、装着ヘッド３４の負担が増大し、電子部品９１の装着精度が低下しやすくなる。また、装着ヘッド３４に回転軸を配置すると、その分装着ヘッド３４が重くなってしまう。このため、装着ヘッド３４に作用する慣性力が大きくなる。この点においても、電子部品９１の装着精度が低下しやすくなる。この点、本実施形態の電子部品実装機１によると、装着ヘッド３４に、吸着ノズル３４１の揺動（つまり電子部品９１ａの揺動）という、新たな役割を追加する必要がない。すなわち、装着ヘッド３４に回転軸を配置する必要がない。このため、電子部品９１の装着精度が低下しにくい。
【００３８】
＜その他＞
以上、本発明の基板保持装置および電子部品実装機の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
【００３９】
図９に、その他の実施形態（その１）の基板保持装置のロボット部の図４の円Ｓに沿った展開図（機構図）を示す。なお、図６と対応する部位については、同じ符号で示す。図９に示すように、第二ベース５０ｂの上側には、第三ベース５０ｄが配置されている。第三ベース５０ｄの上側には、図５に示すバックアップ部６、搬送部７が、配置されている。第二ベース５０ｂと第三ベース５０ｄとの間には、下側から上側に向かって、第八リンクＬ８と、第七軸（回転軸（捩れ軸））Ａ７と、第九リンクＬ９と、が介装されている。
【００４０】
第二ベース５０ｂの垂直軸周りの回転量は、第三軸（並進軸（直動軸））Ａ３のストローク（リンク（シリンダ）Ｌ３に対するリンク（ロッド）Ｌ４のストローク）に規制される。このため、第二ベース５０ｂを、垂直軸周りに、３６０°回転させることが困難である。
【００４１】
この点、第二ベース５０ｂの上側には、第七軸Ａ７を介して、第三ベース５０ｄが配置されている。このため、第三ベース５０ｄを、第七軸（垂直軸）Ａ７周りに、３６０°回転させることができる。したがって、図５に示すバックアップ部６、搬送部７を、第七軸Ａ７周りに、３６０°回転させることができる。このように、本実施形態の基板保持装置によると、バックアップ部６、搬送部７の移動の自由度が高くなる。
【００４２】
図１０（ａ）〜図１０（ｃ）に、その他の実施形態（その２〜その４）の基板保持装置のロボット部の図４の円Ｓに沿った展開図（機構図）を示す。なお、図６と対応する部位については、同じ符号で示す。また、図１０（ａ）〜図１０（ｃ）に示すのは、中心角θ＝０°〜６０°の区間である。
【００４３】
図１０（ａ）に示すように、第六軸Ａ６を、捩れ軸ではなく、曲げ軸としてもよい。反対に、第一軸Ａ１、第二軸Ａ２、第四軸Ａ４、第五軸Ａ５のうち、少なくとも一つを、曲げ軸ではなく、捩れ軸としてもよい。図１０（ｂ）に示すように、基準位置において、上側から見て、第一リンクＬ１と第七リンクＬ７とが同角度に配置されていてもよい。また、第一ベース５０ａ側の第一軸Ａ１が捩れ軸であってもよい。図１０（ｃ）に示すように、全ての軸（第一軸Ａ１〜第六軸Ａ６）が回転軸（曲げ軸、捩れ軸）であってもよい。このように、ロボットアーム５０ｃの構成（リンク形状、リンク数、軸数（自由度数）、軸の種類など）は特に限定しない。例えば、軸数は、五軸（左右方向並進軸、前後方向並進軸、上下方向並進軸、垂直軸（捩れ軸）、水平軸（捩れ軸））であってもよい。好ましくは、軸数は、六軸以上とする方がよい。こうすると、基板９０の動きの自由度が高くなる。また、ロボットアーム５０ｃの配置数は特に限定しない。例えば、２つ（中心角θ＝１８０°ごと）、３つ（中心角θ＝１２０°ごと）、４つ（中心角θ＝９０°ごと）などであってもよい。また、単一のロボットアーム５０ｃを配置してもよい。
【００４４】
基板保持部の構成は特に限定しない。例えば、搬送部７単独、またはバックアップ部６単独で、基板９０を保持してもよい。モータＭの種類は特に限定しない。例えば、リニアモータ、ステッピングモータなどであってもよい。また、各軸（第一軸Ａ１〜第七軸Ａ７）を駆動するアクチュエータの種類は特に限定しない。モータ、シリンダ、ソレノイドなどであってもよい。
【００４５】
電子部品９１の種類は特に限定しない。例えば、リードなしの電子部品９１を基板９０のはんだ部に装着する際に、本発明の基板保持装置および電子部品実装機を用いてもよい。本発明の基板保持装置および電子部品実装機は、基板９０の形状等によらず電子部品９１を装着できるため、特に三次元実装に好適である。基板９０の形状は特に限定しない。屈曲板状、湾曲板状、平板状などであってもよい。基板９０における貫通孔９０１の延在方向は特に限定しない。基板９０の厚さ方向に対して交差する方向に、貫通孔９０１が延在していてもよい。この場合であっても、本発明の基板保持装置および電子部品実装機によると、基板９０を自在に移動させることができるため、簡単に、貫通孔９０１にリード９１１を挿入することができる。
【００４６】
装着ヘッド３４のヘッド本体３４０に、吸着ノズル３４１の代わりに、部品搬送具として、部品本体９１０を把持可能なボディクランプを取り付けてもよい。また、リード９１１を把持可能なリードクランプを取り付けてもよい。電子部品９１の種類や形状などに応じて、部品搬送具は、適宜取り替えてもよい。
【００４７】
本発明の基板保持装置および電子部品実装機を用いた電子部品実装方法は、特に限定しない。例えば、まずリード９１１の一部だけを貫通孔９０１に挿入し、次に基板９０を貫通孔９０１の延在方向に対して交差する方向に移動させることにより、リード９１１を変形させてもよい。こうすると、直線状のリード９１１を、意図的に曲げることができる。また、リード９１１の意図しない変形を、矯正することができる。
【００４８】
図８（ａ）、図８（ｂ）に示す部品移動ステップ、基板移動ステップの回数は特に限定しない。また、部品移動ステップ、基板移動ステップの前後は特に限定しない。例えば、まず部品移動ステップを、次に基板移動ステップを実行してもよい。また、部品移動ステップと基板移動ステップとを並行して実行してもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１：電子部品実装機、２：ベース、３：モジュール、４：基板保持装置、５：ロボット部、６：バックアップ部（基板保持部）、７：搬送部（基板保持部）、８：制御装置、９：トレイフィーダ、３０：デバイステーブル、３１：第一ガイドレール、３２：第一スライド、３３：第二スライド、３４：装着ヘッド、３５：ハウジング、５０ａ：第一ベース（ベース）、５０ｂ：第二ベース（ベース）、５０ｃ：ロボットアーム、５０ｄ：第三ベース、６１：バックアップテーブル、６２：バックアップピン、７０：壁部、７１：コンベア、８０：コンピュータ、８１：入出力インターフェイス、９０：基板、９１：電子部品、９１ａ：電子部品、９１ｂ：電子部品、９２：アーム、９３：トレイ、３２０：第二ガイドレール、３４０：ヘッド本体、３４１：吸着ノズル、５００：ガイドレール、８００：演算部、８０１：記憶部、９００：傾斜面、９０１：貫通孔、９１０：部品本体、９１１：リード、９１１ａ：第一直線部、９１１ｂ：第二直線部、Ａ１：第一軸、Ａ２：第二軸、Ａ３：第三軸、Ａ４：第四軸、Ａ５：第五軸、Ａ６：第六軸、Ａ７：第七軸、Ｃ：圧力源、Ｇ：重心、Ｌ１：第一リンク、Ｌ２：第二リンク、Ｌ３：第三リンク、Ｌ４：第四リンク、Ｌ５：第五リンク、Ｌ６：第六リンク、Ｌ７：第七リンク、Ｌ８：第八リンク、Ｌ９：第九リンク、Ｍ：モータ、θ：中心角
【図１】
2018067585.tif 000003
【図２】
2018067585.tif 000004
【図３】
2018067585.tif 000005
【図４】
2018067585.tif 000006
【図５】
2018067585.tif 000007
【図６】
2018067585.tif 000008
【図７】
2018067585.tif 000009
【図８】
2018067585.tif 000010
【図９】
2018067585.tif 000011
【図１０】
2018067585.tif 000012