(57)【要約】      （修正有）【課題】光源部として発光強度の低いＬＥＤ素子を用いた場合であっても、高い精度で試料分析を行うことのできるセルフロー型の吸光度測定器を実現する。【解決手段】光測定器は、測定対象である流体３を通流させるための通流部１２を含む流路管１１と、流路管の側面の一部領域が外側に突出して形成された第一導光部１３と、第一導光部を覆うように形成された、中空部を含む第一光路形成体１７と、第一光路形成体の中空部に嵌め込まれた、ＬＥＤ素子を含む光源部５と、流路管の側面の一部領域であって、通流部を介して第一光路形成体とは対向する位置に配置された、中空部を含む第二光路形成体２７と、第二光路形成体の前記中空部に埋設配置された受光部７とを備える。第一導光部は、第一導光部と接触している箇所の流路管の材料と同一材料から構成されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象である流体を通流させるための通流部を含む流路管と、
前記流路管の側面の一部領域が外側に突出して形成された第一導光部と、
前記第一導光部を覆うように形成された、中空部を含む第一光路形成体と、
前記第一光路形成体の前記中空部に嵌め込まれた、ＬＥＤ素子を含む光源部と、
前記流路管の側面の一部領域であって、前記通流部を介して前記第一光路形成体とは対向する位置に配置された、中空部を含む第二光路形成体と、
前記第二光路形成体の前記中空部に嵌め込まれた受光部とを備え、
前記第一導光部は、当該第一導光部と接触している箇所の前記流路管の材料と同一材料から構成されていることを特徴とする光測定器。
【請求項２】
第一導光部は、前記流路管の一部が外側に突出することで一体的に成形されることで形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光測定器。
【請求項３】
前記流路管は、前記第一導光部が接触している箇所を含む側面の領域に、第一平坦部を有し、
前記第一光路形成体の端部が前記第一平坦部に押し当てられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光測定器。
【請求項４】
前記第一光路形成体は、前記光源部から射出される光を吸収する材料で構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光測定器。
【請求項５】
前記通流部を介して前記第一導光部とは対向する位置において、前記流路管の側面の一部領域が外側に突出して形成された第二導光部を備え、
前記第二光路形成体は、前記第二導光部を覆うように形成されており、
前記第二導光部は、当該第二導光部と接触している箇所の前記流路管の材料と同一材料から構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の光測定器。
【請求項６】
前記第二導光部は、前記流路管の一部が外側に突出することで一体的に成形されることで形成されていることを特徴とする請求項５に記載の光測定器。
【請求項７】
前記流路管は、前記第二導光部が接触している箇所を含む側面の領域に、第二平坦部を有し、
前記第二光路形成体の端部が前記第二平坦部に押し当てられていることを特徴とする請求項５又は６に記載の光測定器。
【請求項８】
前記第二光路形成体は、前記光源部から射出される光を吸収する材料で構成されていることを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項に記載の光測定器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光測定器に関し、特に吸光度測定器などに用いられる光測定器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体に含まれる物質の濃度を測定するなどの用途に利用される装置として、セルフロー型の光測定器が開発されている（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１には、流体を通流させるための孔部を含むボディを有した光測定器が開示されている。この光測定器には、孔部の側方から測定用光を照射する光源部と、光源部から射出され、孔部内を通流する流体（試料）を透過した光を受光する受光部とが、相互に対向する位置に配置されている。光源部側には、光源部から射出された光を平行光にするための光学部材が配置されており、受光部側には、流体を透過した光を集光するための光学部材が配置されている。なお、光源部及び受光部には光ファイバが装着されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−０９９３１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、ＬＥＤ素子の開発が進んできたことに鑑み、光測定器用の光源としてＬＥＤ素子を用いることが検討されている。しかし、技術が進展したとはいえ、未だＬＥＤ素子の発光強度はレーザ素子などに比べると弱く、単に特許文献１の構成において、光源部をＬＥＤ素子に置換しただけでは、受光量が低いため、高精度で試料の分析を行うことが難しい。
【０００６】
本発明は、上記の課題に鑑み、光源部として発光強度の低いＬＥＤ素子を用いた場合であっても、高い精度で試料分析を行うことのできるセルフロー型の吸光度測定器を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る光測定器は、
測定対象である流体を通流させるための通流部を含む流路管と、
前記流路管の側面の一部領域が外側に突出して形成された第一導光部と、
前記第一導光部を覆うように形成された、中空部を含む第一光路形成体と、
前記第一光路形成体の前記中空部に嵌め込まれた、ＬＥＤ素子を含む光源部と、
前記流路管の側面の一部領域であって、前記通流部を介して前記第一光路形成体とは対向する位置に配置された、中空部を含む第二光路形成体と、
前記第二光路形成体の前記中空部に嵌め込まれた受光部とを備え、
前記第一導光部は、当該第一導光部と接触している箇所の前記流路管の材料と同一材料から構成されていることを特徴とする。
【０００８】
上記の構成によれば、ＬＥＤ素子を含む光源部から射出された光は、第一導光部を介して通流部に照射される。このとき、光源部は、第一光路形成体の中空部に嵌め込まれているため、光源部から射出された光は、第一光路形成体の内側を通じて第一導光部へと導かれる。第一導光部に入射される光の大半は、第一光路形成体の側面に対してほぼ平行な光となる。
【０００９】
第一導光部は流路管と同一の材料で構成されるため、第一導光部から流路管に導光される際に、屈折することなくそのまま直進して、通流部に向けて射出される。この光は、通流部を流れる流体に照射された後、流体を透過した光が、第一光路形成体と対向する位置に設けられた第二光路形成体の内側を通じて受光部に入射される。
【００１０】
つまり、上記の構成によれば、光源部から射出された光のうち、実質的に受光部に向けて進行する光を流体に照射することができる。これにより、光源部にＬＥＤ素子を用いた場合であっても、試料の分析に必要な光量の光を受光部に受光させることが可能となる。
【００１１】
特に、前記第一光路形成体は、前記光源部から射出される光を吸収する材料で構成されているのが好ましい。これにより、光源部から射出された光のうち、所定角以上の発散角を有して進行した光については、第一光路形成体の側面で吸収されるため、実質的に受光部に向かって直進する光を流体に照射することができる。
【００１２】
なお、第一光路形成体は、弾性体で構成されるのがより好ましい。これにより、第一導光部を覆うように第一光路形成体を装着するのが容易化される。
【００１３】
前記第一導光部は、前記流路管の一部が外側に突出することで一体的に成形されるものとしても構わない。これにより、上記光測定器の製造が容易化される。この場合、流路管及び第一導光部は、例えば、シクロオレフィンポリマーやアクリルなどの樹脂で構成することができる。
【００１４】
前記流路管は、前記第一導光部が接触している箇所を含む側面の領域に、第一平坦部を有し、
前記第一光路形成体の端部が前記第一平坦部に押し当てられているものとしても構わない。
【００１５】
上記構成によれば、第一光路形成体を流路管に密着形成できるため、光源部から射出された光を効率的に流体に照射させることができる。
【００１６】
前記光測定器は、前記通流部を介して前記第一導光部とは対向する位置において、前記流路管の側面の一部領域が外側に突出して形成された第二導光部を備え、
前記第二光路形成体は、前記第二導光部を覆うように形成されており、
前記第二導光部は、当該第二導光部と接触している箇所の前記流路管の材料と同一材料から構成されているものとしても構わない。
【００１７】
上記の構成によれば、光源部側に設けられた第一導光部と同様に、受光部側にも第二導光部を備えたため、流体を透過して進行した光のうち、ほぼ直進する光を高効率で受光部に導くことができる。これにより、流体の動きによって光が散乱するような場合であっても、流体の動きによる影響を抑制し、流体に含まれる試料の濃度に依存した光量の光を受光部に導くことができる。この結果、高い精度で流体に含まれる物質の濃度を測定することができる。
【００１８】
前記第二光路形成体は、前記光源部から射出される光を吸収する材料で構成されているのが好ましい。これにより、仮に、流体を透過して第二光路形成体の内側に入射された光のうち、所定の発散角を有して進行した光については、第二光路形成体の側面で吸収されるため、実質的に直進する光を受光部に入射させることができる。これにより、流体の動きに伴って受光量が変化するのを抑制することができる。
【００１９】
なお、第二光路形成体は、弾性体で構成されるのがより好ましい。これにより、第二導光部を覆うように第二光路形成体を装着するのが容易化される。
【００２０】
前記第二導光部は、前記流路管の一部が外側に突出することで一体的に成形されることで形成されているものとしても構わない。
【００２１】
前記流路管は、前記第二導光部が接触している箇所を含む側面の領域に、第二平坦部を有し、
前記第二光路形成体の端部が前記第二平坦部に押し当てられているものとしても構わない。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の光測定器によれば、光源部として発光強度の低いＬＥＤ素子を用いた場合であっても、高い精度で試料分析を行うことのできるセルフロー型の吸光度測定器を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の光測定器の一実施形態の構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】図１から本体収容部の図示を省略した光測定器の斜視図である。
【図３】図２に示す光測定器を正面から見たときの平面図である。
【図４】図２に示す光測定器を流体の流れる方向に沿って見たときの平面図である。
【図５】図２に示す光測定器を、図４に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。
【図６】図２に示す光測定器から、更に一部の要素を省略した斜視図である。
【図７】図６に示す光測定器を、図４に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。
【図８】図６に示す光測定器から、更に一部の要素を省略した斜視図である。
【図９】図８に示す光測定器を、図４に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。
【図１０】別実施形態の光測定器を、図４に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。
【図１１】別実施形態の光測定器を、図４に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明に係る光測定器の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の各図面において、実際の寸法比と図面上の寸法比は必ずしも一致しない。
【００２５】
図１は、本発明に係る光測定器の一実施形態の構成を模式的に示す斜視図である。光測定器１は、配管４１及び配管４２に連結され、配管４１から流入する流体３に含まれる測定対象物質の濃度などを吸光度として測定するためなどに用いられる。本実施形態において、流体３は液体である。
【００２６】
図１に示された光測定器１は、ボールバルブ３１を備え、このボールバルブ３１を操作することで、流体３を光測定器１内に導くか否かを制御することができる構成である。光測定器１は、本体収容部３０を備え、本体収容部３０内に後述する光源部５及び受光部７が内蔵されている。
【００２７】
図２は、図１に図示された光測定器１から本体収容部３０を除いた図面に対応する。図３は、図２に示す光測定器１を正面から見たときの平面図に対応する。図４は、図３とは見る角度が異なり、図２に示す光測定器１を流体３の流れる方向に沿って見たときの平面図に対応する。図５は、図２に示す光測定器１を、図４に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図に対応する。
【００２８】
図６は、図２に示す光測定器１から、更に一部の要素を省略した斜視図である。図７は、図６に示す光測定器１を、図４に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図に対応する。図８は、図６に示す光測定器１から、更に一部の要素を省略した斜視図である。図９は、図８に示す光測定器１を、図４に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図に対応する。
【００２９】
光測定器１は、流路管１１を備える。流路管１１は、中空状（筒状）に構成されており、この中空部分が流体３を流すための通流部１２を構成する。流路管１１は、シクロオレフィンポリマー、アクリルなどの樹脂で構成されている。流路管１１は、少なくとも光源部５から射出される光に対する透光性材料で構成されている。
【００３０】
流路管１１は、キャップ３４、ケース３３に装着されている。キャップ３４と流路管１１はＯリング３５で連結されており、ケース３３と流路管１１はＯリング３６で連結されている。より詳細には、流路管１１の上流側及び下流側の各端面には、図示しないフランジが形成されており、このフランジの溝にＯリング（３５，３６）が嵌め込まれることで、キャップ３４と流路管１１、ケース３３と流路管１１とがそれぞれ連結されている。ケース３３及びキャップ３４は、例えばステンレス（ＳＵＳ）などの金属で構成されている。
【００３１】
流路管１１は、側面の一部領域に第一導光部１３及び第二導光部２３が形成されている。第一導光部１３及び第二導光部２３は、流路管１１の側面の一部領域が外側に突出することで形成されており、いずれも流路管１１と同一材料で構成されている。本実施形態の光測定器１は、第一導光部１３及び第二導光部２３は、流路管１１の成形時に側面の一部が外側に突出することで一体成形されることで形成されている。本実施形態において、第一導光部１３と第二導光部２３とは、通流部１２を介して相互に対向する位置に形成されている。
【００３２】
本実施形態において、流路管１１は、第一導光部１３が形成されている領域を含む側面の一部に平坦面（第一平坦部）１５を有し、第二導光部２３が形成されている領域を含む側面の一部に平坦面（第二平坦部）２５を有する。
【００３３】
光測定器１は、筒状の第一光路形成体１７及び第二光路形成体２７を備える。第一光路形成体１７は、流路管１１の第一平坦部１５に端面が押し当てられるように配置されている。そして、第一導光部１３は、第一光路形成体１７の中空部１８内に位置している。第二光路形成体２７は、流路管１１の第二平坦部２５に端面が押し当てられるように配置されている。そして、第二導光部２３は、第二光路形成体２７の中空部２８内に位置している。
【００３４】
本実施形態において、第一光路形成体１７及び第二光路形成体２７は、光吸収性を有する材料で構成されているのが好ましく、特に、光吸収性を有する弾性体で構成されているのがより好ましい。光吸収性を有する弾性体としては、光吸収性物質が分散された、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）などのシリコーン樹脂を用いることができる。シリコーン樹脂は自らが蛍光を発する自家蛍光が小さいため、より好適に用いることができる。また、光吸収性物質としては、例えば黒色の粉末を用いることができ、黒色の粉末としては、カーボンブラックやカーボンナノチューブなどが挙げられる。光吸収性物質が分散される弾性体の屈折率は、１．３以上１．８以下であることが好ましい。
【００３５】
光源部５は、第一光路形成体１７の中空部１８内に嵌め込まれるように配置されている。光源部５は、例えば白色ＬＥＤなどのＬＥＤ素子で構成される。受光部７は、第二光路形成体２７の中空部２８内に嵌め込まれるように配置されている。受光部７は、例えばＲＧＢカラーセンサなどのフォトダイオードやフォトトランジスタで構成され、受光量に応じた電気信号を出力する。例えば受光部７において検知された波長５６０ｎｍ付近の光の吸光度からＢＣＡ法によって、又は、波長６００〜７００ｎｍ付近の光の吸光度からブラッドフォード法によって、流体３に含まれるタンパク質の濃度を定量することができる。
【００３６】
第一光路形成体１７が弾性体で構成されている場合、第一光路形成体１７の中空部１８に第一導光部１３及び光源部５を容易に嵌め込ませることができる。同様に、第二光路形成体２７が弾性体で構成されている場合、第二光路形成体２７の中空部２８に第二導光部２３及び受光部７を容易に嵌め込ませることができる。
【００３７】
本実施形態において、光測定器１は、基板１６及び基板２６を備える。基板１６とケース３３との間は絶縁体１９によって封止されており、基板１６と絶縁体１９とがネジ１４によって固定されている。同様に、基板２６とケース３３との間は絶縁体２９によって封止されており、基板２６と絶縁体２９とがネジ２４によって固定されている。絶縁体（１９，２９）は、例えばＡＢＳなどの樹脂で構成されており、基板（１６，２６）との絶縁性を確保しながら、光路形成体（１７，２７）及び基板（１６，２６）を安定的に保持している。
【００３８】
基板１６には、光源部５の制御を行う制御部が実装されている。基板２６には、受光部７の制御を行う制御部が実装されている。基板２６には、図示しない演算部が実装されており、受光部７で受光された光量に応じた電気信号が送られる。演算部において、受光部７において受光された光量に基づいて、試料に含まれる所定の物質の濃度が算出される。
【００３９】
第一光路形成体１７の中空部１８は、光源部５から射出された測定用光６の光路を構成し、第二光路形成体２７の中空部２８は、流体３を透過した測定用光６が受光部７に導かれるまでの光路を構成する。上述したように、本実施形態の構成によれば、光測定器１の側面の一部に平坦面（１５，２５）が形成されているため、筒状の光路形成体（１７，２７）の端面を各平坦面（１５，２５）に押し当てて配置することができる。これにより、測定用光６が、光路形成体（１７，２７）から外に漏れることを抑制できる。
【００４０】
上述したように、第一光路形成体１７は、光源部５を挟むように形成されている。このため、光源部５から射出された測定用光６は、第一光路形成体１７の中空部１８を通じて第一導光部１３に導かれる。本実施形態では、第一光路形成体１７が光吸収性を有する材料で構成されているため、光源部５から射出された測定用光６のうち、所定角以上の発散角を有する光は、第一光路形成体１７の側面で吸収される。これにより、光源部５から射出された、実質的な直進光としての測定用光５が、第一導光部１３に入射される。
【００４１】
第一導光部１３は、流路管１１と同じく、測定用光６に対する透光性を有する材料で構成される。このため、第一導光部１３に入射された測定用光６は、そのまま第一導光部１３及び流路管１１内を通じて、通流部１２内へと照射される。第一導光部１３と流路管１１とは同一の材料で構成されるため、測定用光６は、第一導光部１３と流路管１１との界面で屈折されることなくそのまま通流部１２へと直進する。これにより、通流部１２を流れる流体３に対して、強度の高い測定用光６が照射される。
【００４２】
照射された測定用光６のうち、流体３を透過した測定用光６は、そのまま実質的に直進して流路管１１の肉厚部に入射した後、第二導光部２３に導かれる。その後、第二導光部２３を通過した測定用光６は、第二光路形成体２７の中空部２８を通じて受光部７に導かれる。本実施形態では、第二光路形成体２７が光吸収性を有する材料で構成されているため、流体３を透過した測定用光６のうち、所定角以上の発散角を有して第二導光部２３に入射した光は、第二光路形成体２７の側面で吸収される。これにより、光源部５から射出された、実質的な直進光としての測定用光６が、中空部２８を通じて受光部７に導かれる。
【００４３】
導光部（１３，２３）を設けない構成（比較例）と、導光部（１３，２３）を設けた構成（実施例）に対して、他の条件を同一とした上で受光部７で受光する光量を対比したところ、実施例は比較例よりも受光量が２．４倍となったことが確認された。
【００４４】
なお、本実施形態では、第一導光部１３と第二導光部２３は、共に同一の寸法を有して形成されている。詳細には、各導光部（１３，２３）の径をａ、光軸方向の長さをＬとしたときに、Ｌ／ａ≧１を満たすような寸法で設計されているのが好ましい。一例として、ａ＝３ｍｍ、Ｌ＝３ｍｍとすることができる。これにより、光源部５から射出された測定用光６、及び流体３を透過して進行した測定用光６が、各導光部（１３，２３）内を実質的に直進する光量を高めることができる。ただし、このことは、第一導光部１３と第二導光部２３との寸法が同一でない場合を本発明の範囲から排除する趣旨ではない。
【００４５】
［別実施形態］
以下、別実施形態につき説明する。
【００４６】
〈１〉図１０に示すように、第一導光部１３と第二導光部２３の幅の長さは同一でなくても構わない。図１０では、第二導光部２３の幅が、第一導光部１３の幅よりも長い場合について図示されている。なお、第一導光部１３の幅が第二導光部２３の幅よりも長くても構わない。
【００４７】
また、図１１に示すように、第一導光部１３と第二導光部２３の位置が、流体３の流れる方向に関して少しずれて配置されていても構わない。この場合、第一導光部１３と第二導光部２３とは、第一導光部１３を通じて射出された測定用光６が、第二導光部２３に入射可能な位置関係であればよい。具体的には、第一導光部１３と第二導光部２３との位置ずれ量は、各導光部（１３，２３）の径の５０％以内であればよい。
【００４８】
なお、上記実施形態では、第一導光部１３を通じて入射される測定用光６の光軸と、第二導光部２３を通じて受光部７に導かれる測定用光６の光軸とは、共に、流体３の流れる方向にほぼ直交するように図示されていた。しかし、第一導光部１３を通じて入射される測定用光６の光軸が、流体３の流れる方向に対して傾斜していても構わないし、第二導光部２３を通じて受光部７に導かれる測定用光６の光軸が、流体３の流れる方向に対して傾斜していても構わない。
【００４９】
〈２〉上記実施形態では、第一導光部１３と第二導光部２３とは、共に流路管１１に対して外側にのみ突出して形成されるものとして説明した。しかし、第一導光部１３と第二導光部２３の一方又は双方が、通流部１２側にも突出して形成されていても構わない。
【００５０】
また、第一導光部１３と第二導光部２３とは、それぞれが複数箇所に形成されていても構わない。
【００５１】
〈３〉上記実施形態では、第一導光部１３及び第二導光部２３は、それぞれ流路管１１と一体的に成形されることで形成されたものであるものとして説明した。しかし、第一導光部１３及び第二導光部２３の少なくともいずれか一方は、流路管１１とは別体で形成されて流路管１１の側面上に接着されて形成されていても構わない。
【００５２】
〈４〉図面を参照して上述した光測定器１の構成はあくまで一例であり、種々の変形が可能である。
【００５３】
光測定器１は、光源部５側の第一導光部１３は備える一方、受光部７側の第二導光部２３は備えない構成としても構わない。
【００５４】
流路管１１は、第一光路形成体１７との密着性を高めるための第一平坦面１５を備えない構成としても構わない。同様に、流路管１１は、第二光路形成体２７との密着性を高めるための第一平坦面２５を備えない構成としても構わない。
【００５５】
第一光路形成体１７及び第二光路形成体２７は、測定用光６に対する吸収性の低い材料で構成されていても構わない。ただし、光路形成体（１７，２７）の側面での反射光に起因した受光部７での受光量への影響を抑制する観点からは、上述したように、第一光路形成体１７及び第二光路形成体２７は、測定用光６に対する吸収性の高い材料で構成されるのが好ましい。
【００５６】
光測定器１がボールバルブ３１を備えるか否かは任意である。なお、ボールバルブ３１を、測定用光６の光路に対して上流側のみならず、下流側に備えるものとしても構わない。
【００５７】
〈５〉光測定器１は、例えば以下の用途にも利用することができる。
（１）光測定器１は、受光部７での波長帯別の受光量に基づき、流路管１１を流れる流体３の特定波長の吸光度を測定し、通常とは異なる物質（異物）が流体３に含まれることを監視する用途に用いることができる。
（２）光測定器１は、受光部７での波長帯別の受光量に基づき、流路管１１を流れる流体３の特定波長の吸光度を測定し、流体３に含まれる濁りを測定する用途に用いることができる。
（３）光測定器１は、受光部７での波長帯別の受光量に基づき、流路管１１を流れる流体３の特定波長の吸光度を測定し、流体３が流れているか否かを監視する用途に用いることができる。
（４）光測定器１は、受光部７として赤外光センサが用いられることで、流路管１１を流れる流体３から放射される赤外線の光量を受光部７で測定し、流体３の温度を測定する用途に用いることができる。
【００５８】
なお、光測定器１によって測定される対象となる流体３は、液体のみならず気体であっても構わない。
【符号の説明】
【００５９】
１      ：    光測定器
３      ：    流体
５      ：    光源部
６      ：    測定用光
７      ：    受光部
１１      ：    流路管
１２      ：    通流部
１３      ：    第一導光部
１４      ：    ネジ
１５      ：    第一平坦部
１６      ：    基板
１７      ：    第一光路形成体
１８      ：    第一光路形成体の中空部
１９      ：    絶縁体
２３      ：    第二導光部
２４      ：    ネジ
２５      ：    第二平坦部
２６      ：    基板
２７      ：    第二光路形成体
２８      ：    第二光路形成体の中空部
２９      ：    絶縁体
３０      ：    本体収容部
３１      ：    ボールバルブ
３３      ：    ケース
３４      ：    キャップ
３５      ：    Ｏリング
３６      ：    Ｏリング
４１      ：    配管
４２      ：    配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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