(57)【要約】【課題】フレアやゴースト、混色の発生を抑止するとともに、水分に起因するシミの発生を抑止し、さらに、画素の感度特性の劣化も抑止する。【解決手段】裏面照射型固体撮像素子５０は、マイクロレンズ５１の表面に単層の反射防止膜（第２の反射防止膜５３）が形成されている特定の画素と、２層の反射防止膜（第１の反射防止膜５２および第２の反射防止膜５３）が形成されている画素が存在する。単層の反射防止膜が形成されている特定の画素は、透湿性が低い第１の反射防止膜５２が形成されていないので、該画素は実質的に透湿口５５を有していることになる。本技術は、例えば、裏面照射型のCIS（CMOS Image Sensor）に適用できる。【選択図】図４
2018064007.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各画素が、
入射光に応じて光電変換を行う光電変換部と、
前記光電変換部に前記入射光を集光するマイクロレンズと
を備え、
前記マイクロレンズの表面に複数層の反射防止膜が形成されている画素と、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている画素とが混在する
固体撮像素子。
【請求項２】
前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている前記画素は、透湿口を有する
請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項３】
前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている画素は、前記マイクロレンズの表面に複数層の反射防止膜が形成されている画素から、前記単層の反射防止膜よりも透湿性が低い反射防止膜を除去したものである
請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項４】
全画素のうち、少なくとも１／４の画素は、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている前記画素である
請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項５】
前記光電変換部と前記マイクロレンズとの間に形成されているカラーフィルタをさらに備え、
全画素のうち、前記カラーフィルタが所定の色の全ての画素は、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている前記画素である
請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項６】
前記カラーフィルタはベイヤ配列を成し、
全画素のうち、前記カラーフィルタがＧの全ての画素は、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている前記画素である
請求項５に記載の固体撮像素子。
【請求項７】
前記固体撮像素子は、裏面照射型である
請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項８】
固体撮像素子が搭載された電子装置において、
前記固体撮像素子の各画素が、
入射光に応じて光電変換を行う光電変換部と、
前記光電変換部に前記入射光を集光するマイクロレンズと
を備え、
前記マイクロレンズの表面に複数層の反射防止膜が形成されている画素と、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている画素とが混在する
電子装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、固体撮像素子、および電子装置に関し、特に、マイクロレンズと反射防止膜との間の水分に起因する画質劣化を抑止できるようにした固体撮像素子、および電子装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
昨今、裏面照射型固体撮像素子が普及している。裏面照射型固体撮像素子は、表面照射型固体撮像素子に比較し、画素の微細化、高感度化、シェーディング特性改善等の点で有利とされている。
【０００３】
その反面、裏面照射型固体撮像素子には、入射光がＰＤ（フォトダイオード）に受光されるまでの経路にメタル配線層が形成されていないので、該メタル配線層が形成されている表面照射型固体撮像素子に比較して、マイクロレンズ表面等における反射光がより多くＰＤに取り込まれてしまう。このため、裏面照射型固体撮像素子は、表面照射型固体撮像素子よりもフレアやゴースト、混色が発生し易く、生成される画像の画質劣化を招く要因となっている。
【０００４】
図１は、マイクロレンズ表面における入射光の反射を抑止できるようにした裏面照射型固体撮像素子の構成の一例を示す断面図である。
【０００５】
この裏面照射型固体撮像素子１０は、マイクロレンズ１２の表面に、マイクロレンズ１２よりも屈折率が低いSiＯ等から成る単層の反射防止膜１３が形成されており、入射光が反射防止膜１３およびマクロレンズ１２の順に透過してＰＤ１１に入射するようになされている。
【０００６】
図１に示された構成の一例によれば、マイクロレンズ１２の表面における入射光の反射を幾分抑制することができる。しかしながら、その効果は十分とはいえない。
【０００７】
そこで従来、図１に示された例に比較してよりマイクロレンズ表面における入射光の反射を抑止できる、マイクロレンズの表面に２層の反射防止膜が形成された裏面照射型固体撮像素子の構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
図２は、マイクロレンズの表面に材料が異なる２層の反射防止膜が形成された裏面照射型固体撮像素子の構成の一例を示す断面図である。
【０００９】
この裏面照射型固体撮像素子２０は、マイクロレンズ１２の表面に、マイクロレンズ１２よりも屈折率が高いSiＮ等から成る第１の反射防止膜２１と、マイクロレンズ１２よりも屈折率が低いSiＯ等から成る第２の反射防止膜２２が形成されており、入射光が第２の反射防止膜２２、第１の反射防止膜２１、およびマクロレンズ１２の順に透過してＰＤ１１に入射するようになされている。
【００１０】
図２に示された構成の一例によれば、マイクロレンズ１２の表面における入射光の反射は十分に抑制されるので、フレアやゴースト、混色の発生を抑止できる。
【００１１】
ただし、マイクロレンズ１２の表面に第１の反射防止膜２１と第２の反射防止膜２２を形成した場合、マイクロレンズ１２の表面に単層の反射防止膜１３を形成した場合には生じなかったシミが画像上に生じてしまい画質が劣化してしまうことがある。
【００１２】
なお、このシミは、解析の結果、高温高湿保存した場合、透湿性が低い第１の反射防止膜２１とマイクロレンズ１２との間に水分が溜まることに起因するものと判明されている。そこで、従来、図３に示されるように、透湿性が低い第１の反射防止膜２１の一部、具体的には、画素間における第１の反射防止膜２１を除去することにより、溜まった水分を排出させるための透湿口１５を形成した裏面照射型固体撮像素子３０が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２０１２−８４６０８号公報
【特許文献２】特開２００７−１９４３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
透湿口１５が形成された裏面照射型固体撮像素子３０によれば、水分に起因するシミの発生を抑止でき、また、マイクロレンズ１２の表面における入射光の反射を十分に抑制できるので、フレアやゴースト、混色の発生を抑止できる。
【００１５】
しかしながら、図３に示されたように、画素間に透湿口１５を形成した場合、隣接する画素のマイクロレンズ１２にギャップ（段差）が生じすることになるので、このギャップに起因してマイクロレンズの集光効率が低下し、画素の感度特性が劣化してしまうことになる。
【００１６】
本技術はこのような状況に鑑みてなされたものであり、フレアやゴースト、混色の発生を抑止するとともに、水分に起因するシミの発生を抑止し、さらに、画素の感度特性の劣化も抑止できるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本技術の第１の側面である固体撮像素子は、各画素が、入射光に応じて光電変換を行う光電変換部と、前記光電変換部に前記入射光を集光するマイクロレンズとを備え、前記マイクロレンズの表面に複数層の反射防止膜が形成されている画素と、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている画素とが混在する。
【００１８】
前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている前記画素は、透湿口を有することができる。
【００１９】
前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている画素は、前記マイクロレンズの表面に複数層の反射防止膜が形成されている画素から、前記単層の反射防止膜よりも透湿性が低い反射防止膜を除去したものとすることができる。
【００２０】
全画素のうち、少なくとも１／４の画素は、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている前記画素とすることができる。
【００２１】
本技術の第１の側面である固体撮像素子は、前記光電変換部と前記マイクロレンズとの間に形成されているカラーフィルタをさらに備えることができ、全画素のうち、前記カラーフィルタが所定の色の全ての画素は、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている前記画素とすることができる。
【００２２】
前記カラーフィルタはベイヤ配列を成し、全画素のうち、前記カラーフィルタがＧの全ての画素は、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている前記画素とすることができる。
【００２３】
前記固体撮像素子は、裏面照射型とすることができる。
【００２４】
本技術の第２の側面である電子装置は、固体撮像素子が搭載された電子装置において、前記固体撮像素子の各画素が、入射光に応じて光電変換を行う光電変換部と、前記光電変換部に前記入射光を集光するマイクロレンズとを備え、前記マイクロレンズの表面に複数層の反射防止膜が形成されている画素と、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている画素とが混在する。
【発明の効果】
【００２５】
本技術の第１および第２の側面によれば、フレアやゴースト、混色の発生を抑止するとともに、水分に起因するシミの発生を抑止し、さらに、画素の感度特性の劣化も抑止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】マイクロレンズの表面に１層の反射防止膜が形成されている裏面照射型固体撮像素子の構成の一例を示す断面図である。
【図２】マイクロレンズの表面に２層の反射防止膜が形成されている裏面照射型固体撮像素子の構成の一例を示す断面図である。
【図３】マイクロレンズの表面に２層の反射防止膜が形成され、透湿口が形成されている裏面照射型固体撮像素子の構成の一例を示す断面図である。
【図４】本技術を適用した裏面照射型固体撮像素子の構成例を示す断面図である。
【図５】ベイヤ配列における透湿口を有する特定の画素の配置例を示す上面図である。
【図６】本技術を適用した裏面照射型固体撮像素子の構成例を示す断面図である。
【図７】本技術を適用した裏面照射型固体撮像素子の構成例を示す断面図である。
【図８】ベイヤ配列における透湿口を有する特定の画素の他の配置例を示す上面図である。
【図９】ベイヤ配列における透湿口を有する特定の画素の他の配置例を示す上面図である。
【図１０】体内情報取得システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。
【図１１】車両制御システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。
【図１２】車外情報検出部及び撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本技術を実施するための最良の形態（以下、実施の形態と称する）について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２８】
＜本技術の実施の形態＞
図４は、本技術の実施の形態である裏面照射型固体撮像素子の構成例を示す断面図である。
【００２９】
この裏面照射型固体撮像素子５０は、特定の画素についてはマイクロレンズ５１の表面に第２の反射防止膜５３のみが形成され、その他の画素についてはマイクロレンズ５１の表面に第１の反射防止膜５２および第２の反射防止膜５３が形成されている。
【００３０】
マイクロレンズ５１の下層にはカラーフィルタ５４が形成され、カラーフィルタ５４の下層にはＰＤ１１が形成されている。
【００３１】
マイクロレンズ５１は、アクリル系、スチレン系、ノボラック系、またはそれらの共重合系樹脂を材料として形成され、その屈折率はおよそ１．４８乃至１．６２程度である。
【００３２】
第１の反射防止膜５２は、マイクロレンズ５１よりも屈折率が高いSiＮ、SiＯＮ等を材料として形成される。第２の反射防止膜５３は、マイクロレンズ５１よりも屈折率が低いSiＯ、SiＯＣ等を材料として形成される。
【００３３】
カラーフィルタ５４の色の配置には、例えば４画素を単位とするベイヤ配列が採用される。ただし、カラーフィルタ５４の色の配置は、ベイヤ配列に限るものではなく任意である。
【００３４】
すなわち、裏面照射型固体撮像素子５０は、マイクロレンズ５１の表面に単層の反射防止膜（第２の反射防止膜５３）が形成されている特定の画素と、２層の反射防止膜（第１の反射防止膜５２および第２の反射防止膜５３）が形成されている画素が存在する。
【００３５】
単層の反射防止膜が形成されている特定の画素は、透湿性が低い第１の反射防止膜５２が形成されていないので、該画素は実質的に透湿口５５を有していることになる。
【００３６】
＜透湿口５５を有する画素の配置例＞
図５は、透湿口５５を有する画素の配置例として、ベイヤ配列における単位を成す４画素のうちの２画素（図５の場合、Ｇの２画素）を、透湿口５５を有する特定の画素とした場合の上面図を示している。
【００３７】
この場合、図５に記された線分Ｘ−Ｘ’における断面図が図４に相当する。
【００３８】
図６は、図５に記された線分Ｙ−Ｙ’における断面図を示している。線分Ｙ−Ｙ’における画素は全てＧの画素であるので透湿口５５を有している。
【００３９】
図７は、図５に記された線分Ｚ−Ｚ’における断面図を示している。線分Ｚ−Ｚ’における画素は、ＲまたはＢの画素であるので透湿口５５を有さない。
【００４０】
したがって、裏面照射型固体撮像素子５０における単層の反射防止膜が形成されている特定の画素は、透湿口５５を有することにより、高温高湿保存した場合に透湿口５５を有さない隣接した画素の第１の反射防止膜１３とマイクロレンズ１２との間に溜まり得る水分を外部に逃がすことができ、水分に起因するシミの発生を抑止することができる。
【００４１】
一方、２層の反射防止膜が形成されている透湿口５５を有さない画素は、マイクロレンズ５１の表面における入射光の反射を十分に防止することができるので、フレアやゴースト、混色の発生を抑止できる。
【００４２】
さらに、裏面照射型固体撮像素子５０の場合、単層の反射防止膜が形成されている特定の画素と、２層の反射防止膜が形成されているその他の画素との間で第２の反射防止膜５３の高さに若干の違いは生じるもののギャップは存在しないので、集光効率の低下や、画素の感度特性の劣化を生じさせることはない。
【００４３】
またさらに、裏面照射型固体撮像素子５０の場合、単層の反射防止膜が形成されている特定の画素と、２層の反射防止膜が形成されているその他の画素との間で第２の反射防止膜５３の高さに生じる若干の違いに反射強度を分散させる効果を得ることができる。
【００４４】
＜裏面照射型固体撮像素子５０の製造方法＞
次に、裏面照射型固体撮像素子５０におけるマイクロレンズ５１、第１の反射防止膜５２、および第２の反射防止膜５３の製造工程について説明する。
【００４５】
カラーフィルタ５４の上面にアクリル系樹脂等から成るマイクロレンズ５１を形成した後、全画素についてマイクロレンズ５１の上に、マイクロレンズ５１よりも屈折率が高い材料を用いて第１の反射防止膜５２を形成する。次に、カラーフィルタ５４の色に応じ、例えば、Ｇの画素に透湿口５５を設ける場合、Ｇの画素についてのみ、第１の反射防止膜５２を除去した後、全画素についてマイクロレンズ５１または第１の反射防止膜５２の上に、マイクロレンズ５１よりも屈折率が低い材料を用いて第２の反射防止膜５３を形成する。
【００４６】
これにより、いまの場合、Ｇの画素には、単層の反射防止膜（第２の反射防止膜５３）が形成されることにより透湿口５５が設けられ、ＲおよびＢの画素には、２層の反射防止膜（第１の反射防止膜５２および第２の反射防止膜５３）が形成されることになる。
【００４７】
＜透湿口５５を有する画素の他の配置例＞
図８は、透湿口５５を有する画素の配置例として、ベイヤ配列における単位を成す４画素のうちの１画素（図８の場合、Ｇの画素）を、透湿口５５を有する特定の画素とした場合の上面図を示している。
【００４８】
同図の場合、図５に示された４画素のうちの２画素を透湿口５５を有する特定の画素とした場合に比較して、透湿性では若干劣るものの、２層の反射防止膜が形成されている画素の割合が増えるので、フレアやゴースト、混色の発生を抑止する効果を高めることができる。
【００４９】
図９は、透湿口５５を有する画素の配置例として、ベイヤ配列における単位を成す４画素のうちの３画素（図９の場合、Ｒ，Ｇ，Ｂの３画素）を、透湿口５５を有する特定の画素とした場合の上面図を示している。
【００５０】
同図の場合、図５に示された４画素のうちの２画素を透湿口５５を有する特定の画素とした場合に比較して、フレアやゴースト、混色の発生を抑止する効果は若干低下するものの、透湿性が優れるので、シミの発生をより抑えることができる。
【００５１】
以上のことからわかるように、シミの発生を抑える効果と、フレアやゴースト、混色の発生を抑止する効果とはトレードオフの関係にあるので、透湿口５５を有する特定の画素と透湿口５５を有さない画素の数の割合は、裏面照射型固体撮像素子５０の用途等に応じて決定すればよい。
【００５２】
＜第１の応用例＞
本開示に係る技術は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、カプセル型内視鏡を用いた患者の体内情報取得システムに適用されてもよい。
【００５３】
図１０は、本開示に係る技術が適用され得る体内情報取得システム５４００の概略的な構成の一例を示す図である。図１０を参照すると、体内情報取得システム５４００は、カプセル型内視鏡５４０１と、体内情報取得システム５４００の動作を統括的に制御する外部制御装置５４２３と、から構成される。検査時には、カプセル型内視鏡５４０１が患者によって飲み込まれる。カプセル型内視鏡５４０１は、撮像機能及び無線通信機能を有し、患者から自然排出されるまでの間、胃や腸等の臓器の内部を蠕動運動等によって移動しつつ、当該臓器の内部の画像（以下、体内画像ともいう）を所定の間隔で順次撮像し、その体内画像についての情報を体外の外部制御装置５４２３に順次無線送信する。外部制御装置５４２３は、受信した体内画像についての情報に基づいて、表示装置（図示せず）に当該体内画像を表示するための画像データを生成する。体内情報取得システム５４００では、このようにして、カプセル型内視鏡５４０１が飲み込まれてから排出されるまでの間、患者の体内の様子を撮像した画像を随時得ることができる。
【００５４】
カプセル型内視鏡５４０１と外部制御装置５４２３の構成及び機能についてより詳細に説明する。図示するように、カプセル型内視鏡５４０１は、カプセル型の筐体５４０３内に、光源部５４０５、撮像部５４０７、画像処理部５４０９、無線通信部５４１１、給電部５４１５、電源部５４１７、状態検出部５４１９及び制御部５４２１の機能が搭載されて構成される。
【００５５】
光源部５４０５は、例えばＬＥＤ（light  emitting  diode）等の光源から構成され、撮像部５４０７の撮像視野に対して光を照射する。
【００５６】
撮像部５４０７は、撮像素子、及び当該撮像素子の前段に設けられる複数のレンズからなる光学系から構成される。観察対象である体組織に照射された光の反射光（以下、観察光という）は、当該光学系によって集光され、当該撮像素子に入射する。当該撮像素子は、観察光を受光して光電変換することにより、観察光に対応した電気信号、すなわち観察像に対応した画像信号を生成する。撮像部５４０７によって生成された画像信号は、画像処理部５４０９に提供される。なお、撮像部５４０７の撮像素子としては、ＣＭＯＳ（Complementary  Metal  Oxide  Semiconductor）イメージセンサ又はＣＣＤ（Charge  Coupled  Device）イメージセンサ等、各種の公知の撮像素子が用いられてよい。
【００５７】
画像処理部５４０９は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）やＧＰＵ（Graphics  Processing  Unit）等のプロセッサによって構成され、撮像部５４０７によって生成された画像信号に対して各種の信号処理を行う。当該信号処理は、画像信号を外部制御装置５４２３に伝送するための最小限の処理（例えば、画像データの圧縮、フレームレートの変換、データレートの変換及び／又はフォーマットの変換等）であってよい。画像処理部５４０９が必要最小限の処理のみを行うように構成されることにより、当該画像処理部５４０９を、より小型、より低消費電力で実現することができるため、カプセル型内視鏡５４０１に好適である。ただし、筐体５４０３内のスペースや消費電力に余裕がある場合であれば、画像処理部５４０９において、更なる信号処理（例えば、ノイズ除去処理や他の高画質化処理等）が行われてもよい。画像処理部５４０９は、信号処理を施した画像信号を、ＲＡＷデータとして無線通信部５４１１に提供する。なお、画像処理部５４０９は、状態検出部５４１９によってカプセル型内視鏡５４０１の状態（動きや姿勢等）についての情報が取得されている場合には、当該情報と紐付けて、画像信号を無線通信部５４１１に提供してもよい。これにより、画像が撮像された体内における位置や画像の撮像方向等と、撮像画像とを関連付けることができる。
【００５８】
無線通信部５４１１は、外部制御装置５４２３との間で各種の情報を送受信可能な通信装置によって構成される。当該通信装置は、アンテナ５４１３と、信号の送受信のための変調処理等を行う処理回路等から構成される。無線通信部５４１１は、画像処理部５４０９によって信号処理が施された画像信号に対して変調処理等の所定の処理を行い、その画像信号を、アンテナ５４１３を介して外部制御装置５４２３に送信する。また、無線通信部５４１１は、外部制御装置５４２３から、カプセル型内視鏡５４０１の駆動制御に関する制御信号を、アンテナ５４１３を介して受信する。無線通信部５４１１は、受信した制御信号を制御部５４２１に提供する。
【００５９】
給電部５４１５は、受電用のアンテナコイル、当該アンテナコイルに発生した電流から電力を再生する電力再生回路、及び昇圧回路等から構成される。給電部５４１５では、いわゆる非接触充電の原理を用いて電力が生成される。具体的には、給電部５４１５のアンテナコイルに対して外部から所定の周波数の磁界（電磁波）が与えられることにより、当該アンテナコイルに誘導起電力が発生する。当該電磁波は、例えば外部制御装置５４２３からアンテナ５４２５を介して送信される搬送波であってよい。当該誘導起電力から電力再生回路によって電力が再生され、昇圧回路においてその電位が適宜調整されることにより、蓄電用の電力が生成される。給電部５４１５によって生成された電力は、電源部５４１７に蓄電される。
【００６０】
電源部５４１７は、二次電池によって構成され、給電部５４１５によって生成された電力を蓄電する。図１０では、図面が煩雑になることを避けるために、電源部５４１７からの電力の供給先を示す矢印等の図示を省略しているが、電源部５４１７に蓄電された電力は、光源部５４０５、撮像部５４０７、画像処理部５４０９、無線通信部５４１１、状態検出部５４１９及び制御部５４２１に供給され、これらの駆動に用いられ得る。
【００６１】
状態検出部５４１９は、加速度センサ及び／又はジャイロセンサ等の、カプセル型内視鏡５４０１の状態を検出するためのセンサから構成される。状態検出部５４１９は、当該センサによる検出結果から、カプセル型内視鏡５４０１の状態についての情報を取得することができる。状態検出部５４１９は、取得したカプセル型内視鏡５４０１の状態についての情報を、画像処理部５４０９に提供する。画像処理部５４０９では、上述したように、当該カプセル型内視鏡５４０１の状態についての情報が、画像信号と紐付けられ得る。
【００６２】
制御部５４２１は、ＣＰＵ等のプロセッサによって構成され、所定のプログラムに従って動作することによりカプセル型内視鏡５４０１の動作を統括的に制御する。制御部５４２１は、光源部５４０５、撮像部５４０７、画像処理部５４０９、無線通信部５４１１、給電部５４１５、電源部５４１７及び状態検出部５４１９の駆動を、外部制御装置５４２３から送信される制御信号に従って適宜制御することにより、以上説明したような各部における機能を実現させる。
【００６３】
外部制御装置５４２３は、ＣＰＵ、ＧＰＵ等のプロセッサ、又はプロセッサとメモリ等の記憶素子が混載されたマイコン若しくは制御基板等であり得る。外部制御装置５４２３は、アンテナ５４２５を有し、当該アンテナ５４２５を介して、カプセル型内視鏡５４０１との間で各種の情報を送受信可能に構成される。具体的には、外部制御装置５４２３は、カプセル型内視鏡５４０１の制御部５４２１に対して制御信号を送信することにより、カプセル型内視鏡５４０１の動作を制御する。例えば、外部制御装置５４２３からの制御信号により、光源部５４０５における観察対象に対する光の照射条件が変更され得る。また、外部制御装置５４２３からの制御信号により、撮像条件（例えば、撮像部５４０７におけるフレームレート、露出値等）が変更され得る。また、外部制御装置５４２３からの制御信号により、画像処理部５４０９における処理の内容や、無線通信部５４１１が画像信号を送信する条件（例えば、送信間隔、送信画像数等）が変更されてもよい。
【００６４】
また、外部制御装置５４２３は、カプセル型内視鏡５４０１から送信される画像信号に対して、各種の画像処理を施し、撮像された体内画像を表示装置に表示するための画像データを生成する。当該画像処理としては、例えば現像処理（デモザイク処理）、高画質化処理（帯域強調処理、超解像処理、ＮＲ（Noise  reduction）処理及び／又は手ブレ補正処理等）、並びに／又は拡大処理（電子ズーム処理）等、各種の公知の信号処理が行われてよい。外部制御装置５４２３は、表示装置（図示せず）の駆動を制御して、生成した画像データに基づいて撮像された体内画像を表示させる。あるいは、外部制御装置５４２３は、生成した画像データを記録装置（図示せず）に記録させたり、印刷装置（図示せず）に印刷出力させてもよい。
【００６５】
以上、本開示に係る技術が適用され得る体内情報取得システム５４００の一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部５４０７に好適に適用され得る。
【００６６】
＜第２の応用例＞
本開示に係る技術は、例えば、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット、建設機械、農業機械（トラクタ）などのいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
【００６７】
図１１は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システム７０００の概略的な構成例を示すブロック図である。車両制御システム７０００は、通信ネットワーク７０１０を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図１１に示した例では、車両制御システム７０００は、駆動系制御ユニット７１００、ボディ系制御ユニット７２００、バッテリ制御ユニット７３００、車外情報検出ユニット７４００、車内情報検出ユニット７５００、及び統合制御ユニット７６００を備える。これらの複数の制御ユニットを接続する通信ネットワーク７０１０は、例えば、ＣＡＮ（Controller  Area  Network）、ＬＩＮ（Local  Interconnect  Network）、ＬＡＮ（Local  Area  Network）又はＦｌｅｘＲａｙ（登録商標）等の任意の規格に準拠した車載通信ネットワークであってよい。
【００６８】
各制御ユニットは、各種プログラムにしたがって演算処理を行うマイクロコンピュータと、マイクロコンピュータにより実行されるプログラム又は各種演算に用いられるパラメータ等を記憶する記憶部と、各種制御対象の装置を駆動する駆動回路とを備える。各制御ユニットは、通信ネットワーク７０１０を介して他の制御ユニットとの間で通信を行うためのネットワークＩ／Ｆを備えるとともに、車内外の装置又はセンサ等との間で、有線通信又は無線通信により通信を行うための通信Ｉ／Ｆを備える。図１１では、統合制御ユニット７６００の機能構成として、マイクロコンピュータ７６１０、汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０、専用通信Ｉ／Ｆ７６３０、測位部７６４０、ビーコン受信部７６５０、車内機器Ｉ／Ｆ７６６０、音声画像出力部７６７０、車載ネットワークＩ／Ｆ７６８０及び記憶部７６９０が図示されている。他の制御ユニットも同様に、マイクロコンピュータ、通信Ｉ／Ｆ及び記憶部等を備える。
【００６９】
駆動系制御ユニット７１００は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット７１００は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。駆動系制御ユニット７１００は、ＡＢＳ（Antilock  Brake  System）又はＥＳＣ（Electronic  Stability  Control）等の制御装置としての機能を有してもよい。
【００７０】
駆動系制御ユニット７１００には、車両状態検出部７１１０が接続される。車両状態検出部７１１０には、例えば、車体の軸回転運動の角速度を検出するジャイロセンサ、車両の加速度を検出する加速度センサ、あるいは、アクセルペダルの操作量、ブレーキペダルの操作量、ステアリングホイールの操舵角、エンジン回転数又は車輪の回転速度等を検出するためのセンサのうちの少なくとも一つが含まれる。駆動系制御ユニット７１００は、車両状態検出部７１１０から入力される信号を用いて演算処理を行い、内燃機関、駆動用モータ、電動パワーステアリング装置又はブレーキ装置等を制御する。
【００７１】
ボディ系制御ユニット７２００は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット７２００は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット７２００には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット７２００は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
【００７２】
バッテリ制御ユニット７３００は、各種プログラムにしたがって駆動用モータの電力供給源である二次電池７３１０を制御する。例えば、バッテリ制御ユニット７３００には、二次電池７３１０を備えたバッテリ装置から、バッテリ温度、バッテリ出力電圧又はバッテリの残存容量等の情報が入力される。バッテリ制御ユニット７３００は、これらの信号を用いて演算処理を行い、二次電池７３１０の温度調節制御又はバッテリ装置に備えられた冷却装置等の制御を行う。
【００７３】
車外情報検出ユニット７４００は、車両制御システム７０００を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット７４００には、撮像部７４１０及び車外情報検出部７４２０のうちの少なくとも一方が接続される。撮像部７４１０には、ＴｏＦ（Time  Of  Flight）カメラ、ステレオカメラ、単眼カメラ、赤外線カメラ及びその他のカメラのうちの少なくとも一つが含まれる。車外情報検出部７４２０には、例えば、現在の天候又は気象を検出するための環境センサ、あるいは、車両制御システム７０００を搭載した車両の周囲の他の車両、障害物又は歩行者等を検出するための周囲情報検出センサのうちの少なくとも一つが含まれる。
【００７４】
環境センサは、例えば、雨天を検出する雨滴センサ、霧を検出する霧センサ、日照度合いを検出する日照センサ、及び降雪を検出する雪センサのうちの少なくとも一つであってよい。周囲情報検出センサは、超音波センサ、レーダ装置及びＬＩＤＡＲ（Light  Detection  and  Ranging、Laser  Imaging  Detection  and  Ranging）装置のうちの少なくとも一つであってよい。これらの撮像部７４１０及び車外情報検出部７４２０は、それぞれ独立したセンサないし装置として備えられてもよいし、複数のセンサないし装置が統合された装置として備えられてもよい。
【００７５】
ここで、図１２は、撮像部７４１０及び車外情報検出部７４２０の設置位置の例を示す。撮像部７９１０，７９１２，７９１４，７９１６，７９１８は、例えば、車両７９００のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部のうちの少なくとも一つの位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部７９１０及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部７９１８は、主として車両７９００の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部７９１２，７９１４は、主として車両７９００の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部７９１６は、主として車両７９００の後方の画像を取得する。車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部７９１８は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
【００７６】
なお、図１２には、それぞれの撮像部７９１０，７９１２，７９１４，７９１６の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲ａは、フロントノーズに設けられた撮像部７９１０の撮像範囲を示し、撮像範囲ｂ，ｃは、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部７９１２，７９１４の撮像範囲を示し、撮像範囲ｄは、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部７９１６の撮像範囲を示す。例えば、撮像部７９１０，７９１２，７９１４，７９１６で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両７９００を上方から見た俯瞰画像が得られる。
【００７７】
車両７９００のフロント、リア、サイド、コーナ及び車室内のフロントガラスの上部に設けられる車外情報検出部７９２０，７９２２，７９２４，７９２６，７９２８，７９３０は、例えば超音波センサ又はレーダ装置であってよい。車両７９００のフロントノーズ、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部に設けられる車外情報検出部７９２０，７９２６，７９３０は、例えばＬＩＤＡＲ装置であってよい。これらの車外情報検出部７９２０〜７９３０は、主として先行車両、歩行者又は障害物等の検出に用いられる。
【００７８】
図１１に戻って説明を続ける。車外情報検出ユニット７４００は、撮像部７４１０に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像データを受信する。また、車外情報検出ユニット７４００は、接続されている車外情報検出部７４２０から検出情報を受信する。車外情報検出部７４２０が超音波センサ、レーダ装置又はＬＩＤＡＲ装置である場合には、車外情報検出ユニット７４００は、超音波又は電磁波等を発信させるとともに、受信された反射波の情報を受信する。車外情報検出ユニット７４００は、受信した情報に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。車外情報検出ユニット７４００は、受信した情報に基づいて、降雨、霧又は路面状況等を認識する環境認識処理を行ってもよい。車外情報検出ユニット７４００は、受信した情報に基づいて、車外の物体までの距離を算出してもよい。
【００７９】
また、車外情報検出ユニット７４００は、受信した画像データに基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等を認識する画像認識処理又は距離検出処理を行ってもよい。車外情報検出ユニット７４００は、受信した画像データに対して歪補正又は位置合わせ等の処理を行うとともに、異なる撮像部７４１０により撮像された画像データを合成して、俯瞰画像又はパノラマ画像を生成してもよい。車外情報検出ユニット７４００は、異なる撮像部７４１０により撮像された画像データを用いて、視点変換処理を行ってもよい。
【００８０】
車内情報検出ユニット７５００は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット７５００には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部７５１０が接続される。運転者状態検出部７５１０は、運転者を撮像するカメラ、運転者の生体情報を検出する生体センサ又は車室内の音声を集音するマイク等を含んでもよい。生体センサは、例えば、座面又はステアリングホイール等に設けられ、座席に座った搭乗者又はステアリングホイールを握る運転者の生体情報を検出する。車内情報検出ユニット７５００は、運転者状態検出部７５１０から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。車内情報検出ユニット７５００は、集音された音声信号に対してノイズキャンセリング処理等の処理を行ってもよい。
【００８１】
統合制御ユニット７６００は、各種プログラムにしたがって車両制御システム７０００内の動作全般を制御する。統合制御ユニット７６００には、入力部７８００が接続されている。入力部７８００は、例えば、タッチパネル、ボタン、マイクロフォン、スイッチ又はレバー等、搭乗者によって入力操作され得る装置によって実現される。統合制御ユニット７６００には、マイクロフォンにより入力される音声を音声認識することにより得たデータが入力されてもよい。入力部７８００は、例えば、赤外線又はその他の電波を利用したリモートコントロール装置であってもよいし、車両制御システム７０００の操作に対応した携帯電話又はＰＤＡ（Personal  Digital  Assistant）等の外部接続機器であってもよい。入力部７８００は、例えばカメラであってもよく、その場合搭乗者はジェスチャにより情報を入力することができる。あるいは、搭乗者が装着したウェアラブル装置の動きを検出することで得られたデータが入力されてもよい。さらに、入力部７８００は、例えば、上記の入力部７８００を用いて搭乗者等により入力された情報に基づいて入力信号を生成し、統合制御ユニット７６００に出力する入力制御回路などを含んでもよい。搭乗者等は、この入力部７８００を操作することにより、車両制御システム７０００に対して各種のデータを入力したり処理動作を指示したりする。
【００８２】
記憶部７６９０は、マイクロコンピュータにより実行される各種プログラムを記憶するＲＯＭ（Read  Only  Memory）、及び各種パラメータ、演算結果又はセンサ値等を記憶するＲＡＭ（Random  Access  Memory）を含んでいてもよい。また、記憶部７６９０は、ＨＤＤ（Hard  Disc  Drive）等の磁気記憶デバイス、半導体記憶デバイス、光記憶デバイス又は光磁気記憶デバイス等によって実現してもよい。
【００８３】
汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０は、外部環境７７５０に存在する様々な機器との間の通信を仲介する汎用的な通信Ｉ／Ｆである。汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０は、ＧＳＭ（Global  System  of  Mobile  communications）、ＷｉＭＡＸ、ＬＴＥ（Long  Term  Evolution）若しくはＬＴＥ−Ａ（LTE−Advanced）などのセルラー通信プロトコル、又は無線ＬＡＮ（Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）ともいう）、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）などのその他の無線通信プロトコルを実装してよい。汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０は、例えば、基地局又はアクセスポイントを介して、外部ネットワーク（例えば、インターネット、クラウドネットワーク又は事業者固有のネットワーク）上に存在する機器（例えば、アプリケーションサーバ又は制御サーバ）へ接続してもよい。また、汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０は、例えばＰ２Ｐ（Peer  To  Peer）技術を用いて、車両の近傍に存在する端末（例えば、運転者、歩行者若しくは店舗の端末、又はＭＴＣ（Machine  Type  Communication）端末）と接続してもよい。
【００８４】
専用通信Ｉ／Ｆ７６３０は、車両における使用を目的として策定された通信プロトコルをサポートする通信Ｉ／Ｆである。専用通信Ｉ／Ｆ７６３０は、例えば、下位レイヤのＩＥＥＥ８０２．１１ｐと上位レイヤのＩＥＥＥ１６０９との組合せであるＷＡＶＥ（Wireless  Access  in  Vehicle  Environment）、ＤＳＲＣ（Dedicated  Short  Range  Communications）、又はセルラー通信プロトコルといった標準プロトコルを実装してよい。専用通信Ｉ／Ｆ７６３０は、典型的には、車車間（Vehicle  to  Vehicle）通信、路車間（Vehicle  to  Infrastructure）通信、車両と家との間（Vehicle  to  Home）の通信及び歩車間（Vehicle  to  Pedestrian）通信のうちの１つ以上を含む概念であるＶ２Ｘ通信を遂行する。
【００８５】
測位部７６４０は、例えば、ＧＮＳＳ（Global  Navigation  Satellite  System）衛星からのＧＮＳＳ信号（例えば、ＧＰＳ（Global  Positioning  System）衛星からのＧＰＳ信号）を受信して測位を実行し、車両の緯度、経度及び高度を含む位置情報を生成する。なお、測位部７６４０は、無線アクセスポイントとの信号の交換により現在位置を特定してもよく、又は測位機能を有する携帯電話、ＰＨＳ若しくはスマートフォンといった端末から位置情報を取得してもよい。
【００８６】
ビーコン受信部７６５０は、例えば、道路上に設置された無線局等から発信される電波あるいは電磁波を受信し、現在位置、渋滞、通行止め又は所要時間等の情報を取得する。なお、ビーコン受信部７６５０の機能は、上述した専用通信Ｉ／Ｆ７６３０に含まれてもよい。
【００８７】
車内機器Ｉ／Ｆ７６６０は、マイクロコンピュータ７６１０と車内に存在する様々な車内機器７７６０との間の接続を仲介する通信インタフェースである。車内機器Ｉ／Ｆ７６６０は、無線ＬＡＮ、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、ＮＦＣ（Near  Field  Communication）又はＷＵＳＢ（Wireless  USB）といった無線通信プロトコルを用いて無線接続を確立してもよい。また、車内機器Ｉ／Ｆ７６６０は、図示しない接続端子（及び、必要であればケーブル）を介して、ＵＳＢ（Universal  Serial  Bus）、ＨＤＭＩ（High-Definition  Multimedia  Interface）、又はＭＨＬ（Mobile  High-definition  Link）等の有線接続を確立してもよい。車内機器７７６０は、例えば、搭乗者が有するモバイル機器若しくはウェアラブル機器、又は車両に搬入され若しくは取り付けられる情報機器のうちの少なくとも１つを含んでいてもよい。また、車内機器７７６０は、任意の目的地までの経路探索を行うナビゲーション装置を含んでいてもよい。車内機器Ｉ／Ｆ７６６０は、これらの車内機器７７６０との間で、制御信号又はデータ信号を交換する。
【００８８】
車載ネットワークＩ／Ｆ７６８０は、マイクロコンピュータ７６１０と通信ネットワーク７０１０との間の通信を仲介するインタフェースである。車載ネットワークＩ／Ｆ７６８０は、通信ネットワーク７０１０によりサポートされる所定のプロトコルに則して、信号等を送受信する。
【００８９】
統合制御ユニット７６００のマイクロコンピュータ７６１０は、汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０、専用通信Ｉ／Ｆ７６３０、測位部７６４０、ビーコン受信部７６５０、車内機器Ｉ／Ｆ７６６０及び車載ネットワークＩ／Ｆ７６８０のうちの少なくとも一つを介して取得される情報に基づき、各種プログラムにしたがって、車両制御システム７０００を制御する。例えば、マイクロコンピュータ７６１０は、取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット７１００に対して制御指令を出力してもよい。例えば、マイクロコンピュータ７６１０は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むＡＤＡＳ（Advanced  Driver  Assistance  System）の機能実現を目的とした協調制御を行ってもよい。また、マイクロコンピュータ７６１０は、取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行ってもよい。
【００９０】
マイクロコンピュータ７６１０は、汎用通信Ｉ／Ｆ７６２０、専用通信Ｉ／Ｆ７６３０、測位部７６４０、ビーコン受信部７６５０、車内機器Ｉ／Ｆ７６６０及び車載ネットワークＩ／Ｆ７６８０のうちの少なくとも一つを介して取得される情報に基づき、車両と周辺の構造物や人物等の物体との間の３次元距離情報を生成し、車両の現在位置の周辺情報を含むローカル地図情報を作成してもよい。また、マイクロコンピュータ７６１０は、取得される情報に基づき、車両の衝突、歩行者等の近接又は通行止めの道路への進入等の危険を予測し、警告用信号を生成してもよい。警告用信号は、例えば、警告音を発生させたり、警告ランプを点灯させたりするための信号であってよい。
【００９１】
音声画像出力部７６７０は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図１１の例では、出力装置として、オーディオスピーカ７７１０、表示部７７２０及びインストルメントパネル７７３０が例示されている。表示部７７２０は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。表示部７７２０は、ＡＲ（Augmented  Reality）表示機能を有していてもよい。出力装置は、これらの装置以外の、ヘッドホン、搭乗者が装着する眼鏡型ディスプレイ等のウェアラブルデバイス、プロジェクタ又はランプ等の他の装置であってもよい。出力装置が表示装置の場合、表示装置は、マイクロコンピュータ７６１０が行った各種処理により得られた結果又は他の制御ユニットから受信された情報を、テキスト、イメージ、表、グラフ等、様々な形式で視覚的に表示する。また、出力装置が音声出力装置の場合、音声出力装置は、再生された音声データ又は音響データ等からなるオーディオ信号をアナログ信号に変換して聴覚的に出力する。
【００９２】
なお、図１１に示した例において、通信ネットワーク７０１０を介して接続された少なくとも二つの制御ユニットが一つの制御ユニットとして一体化されてもよい。あるいは、個々の制御ユニットが、複数の制御ユニットにより構成されてもよい。さらに、車両制御システム７０００が、図示されていない別の制御ユニットを備えてもよい。また、上記の説明において、いずれかの制御ユニットが担う機能の一部又は全部を、他の制御ユニットに持たせてもよい。つまり、通信ネットワーク７０１０を介して情報の送受信がされるようになっていれば、所定の演算処理が、いずれかの制御ユニットで行われるようになってもよい。同様に、いずれかの制御ユニットに接続されているセンサ又は装置が、他の制御ユニットに接続されるとともに、複数の制御ユニットが、通信ネットワーク７０１０を介して相互に検出情報を送受信してもよい。
【００９３】
なお、本実施の形態である裏面照射型固体撮像素子５０の各機能を実現するためのコンピュータプログラムを、いずれかの制御ユニット等に実装することができる。また、このようなコンピュータプログラムが格納された、コンピュータで読み取り可能な記録媒体を提供することもできる。記録媒体は、例えば、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、フラッシュメモリ等である。また、上記のコンピュータプログラムは、記録媒体を用いずに、例えばネットワークを介して配信されてもよい。
【００９４】
以上説明した車両制御システム７０００において、本実施の形態である裏面照射型固体撮像素子５０は、図１１に示した応用例の統合制御ユニット７６００に適用することができる。
【００９５】
また、裏面照射型固体撮像素子５０の少なくとも一部の構成要素は、図１１に示した統合制御ユニット７６００のためのモジュール（例えば、一つのダイで構成される集積回路モジュール）において実現されてもよい。あるいは、裏面照射型固体撮像素子５０が、図１１に示した車両制御システム７０００の複数の制御ユニットによって実現されてもよい。
【００９６】
なお、本開示の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【００９７】
本技術は以下のような構成も取ることができる。
（１）
各画素が、
入射光に応じて光電変換を行う光電変換部と、
前記光電変換部に前記入射光を集光するマイクロレンズと
を備え、
前記マイクロレンズの表面に複数層の反射防止膜が形成されている画素と、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている画素とが混在する
固体撮像素子。
（２）
前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている前記画素は、透湿口を有する
前記（１）に記載の固体撮像素子。
（３）
前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている画素は、前記マイクロレンズの表面に複数層の反射防止膜が形成されている画素から、前記単層の反射防止膜よりも透湿性が低い反射防止膜を除去したものである
前記（１）または（２）に記載の固体撮像素子。
（４）
全画素のうち、少なくとも１／４の画素は、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている前記画素である
前記（１）から（３）のいずれかに記載の固体撮像素子。
（５）
前記光電変換部と前記マイクロレンズとの間に形成されているカラーフィルタをさらに備え、
全画素のうち、前記カラーフィルタが所定の色の全ての画素は、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている前記画素である
前記（１）から（４）のいずれかに記載の固体撮像素子。
（６）
前記カラーフィルタはベイヤ配列を成し、
全画素のうち、前記カラーフィルタがＧの全ての画素は、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている前記画素である
前記（５）に記載の固体撮像素子。
（７）
前記固体撮像素子は、裏面照射型である
前記（１）から（６）のいずれかに記載の固体撮像素子。
（８）
固体撮像素子が搭載された電子装置において、
前記固体撮像素子の各画素が、
入射光に応じて光電変換を行う光電変換部と、
前記光電変換部に前記入射光を集光するマイクロレンズと
を備え、
前記マイクロレンズの表面に複数層の反射防止膜が形成されている画素と、前記マイクロレンズの表面に単層の反射防止膜が形成されている画素とが混在する
電子装置。
【符号の説明】
【００９８】
５０  裏面照射型固体撮像素子，  ５１  マイクロレンズ，  ５２  第１の反射防止膜，  ５３  第２の反射防止膜，  ５４  カラーフィルタ，  ５５  透湿口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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