(57)【要約】      （修正有）【課題】より流路径が小さい微小流路や、より流路長が長い微小流路にも、コーティング用のガスをより容易に導入可能な、微小流路のコーティング装置の提供。【解決手段】微小流路１０および前記微小流路１０を介して互いに連通する第１の開口および第２の開口を有する流体取扱装置が有する、前記第１の開口に接続可能なバッファーチャンバー１１０と、前記微小流路１０の内壁面をコーティングする気体材料を前記バッファーチャンバー１１０の内部に導入して、前記バッファーチャンバー１１０の内部を加圧するためのガス導入部と、を有するコーティング装置。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小流路ならびに前記微小流路を介して互いに連通する第１の開口および第２の開口を有する流体取扱装置が有する、前記第１の開口に接続可能なバッファーチャンバーと、
前記微小流路の内壁面をコーティングする気体材料を前記バッファーチャンバーの内部に導入して、前記バッファーチャンバーの内部を加圧するガス導入部と、を有する、
微小流路のコーティング装置。
【請求項２】
前記流体取扱装置が有する、前記前記バッファーチャンバーと接続しない前記第２の開口から、前記微小流路の内部を排気可能な流路排気部を有する、請求項１に記載のコーティング装置。
【請求項３】
前記流体取扱装置の前記第２の開口に連通可能なメインチャンバーを有し、
前記流路排気部は、前記メインチャンバーの内部を排気して前記微小流路の内部を排気する、請求項２に記載のコーティング装置。
【請求項４】
前記バッファーチャンバーは、前記メインチャンバーの内部に配置される、請求項３に記載のコーティング装置。
【請求項５】
前記微小流路の内部を加熱可能な加熱部を有する、請求項３または４に記載のコーティング装置。
【請求項６】
前記加熱部は、前記メインチャンバーの内部に設置される、請求項５に記載のコーティング装置。
【請求項７】
互いに異なる前記気体材料を前記バッファーチャンバーの内部に導入する複数の前記ガス導入部を含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項８】
パージガスを前記バッファーチャンバーの内部に導入可能なパージガス導入部を有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載のコーティング装置。
【請求項９】
微小流路ならびに前記微小流路を介して互いに連通する第１の開口および第２の開口を有する流体取扱装置が有する前記微小流路をコーティングする方法において、
流体取扱装置が有する、前記第１の開口に接続し、かつ、前記微小流路をコーティングする気体材料の導入により加圧されたバッファーチャンバーから、前記第１の開口を介して前記微小流路に前記気体材料を導入する工程を有する、
微小流路のコーティング方法。
【請求項１０】
前記流体取扱装置が有する、前記バッファーチャンバーと接続しない前記第２の開口から、前記微小流路の内部を排気する工程を有する、請求項９に記載のコーティング方法。
【請求項１１】
前記排気する工程は、前記第２の開口に気体連通したメインチャンバーの内部を排気する工程である、請求項１０に記載のコーティング方法。
【請求項１２】
前記導入する工程は、
第１の気体材料の導入により加圧されたバッファーチャンバーから前記微小流路に前記第１の気体材料を導入する工程と、
第２の気体材料の導入により加圧されたバッファーチャンバーから前記微小流路に前記第２の気体材料を導入する工程と、
を含む工程である、
請求項９〜１１のいずれか１項に記載のコーティング方法。
【請求項１３】
前記導入する工程は、
第１の気体材料の導入により加圧されたバッファーチャンバーから前記微小流路に前記気体材料を導入する工程と、
前記バッファーチャンバーの内部をパージする工程と、
第２の気体材料の導入により加圧されたバッファーチャンバーから前記微小流路に前記気体材料を導入する工程と、
をこの順で含む工程である、
請求項９〜１２のいずれか１項に記載のコーティング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小流路のコーティング装置および微小流路のコーティング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、タンパク質や核酸などの微量な物質の測定や、ポリメラーゼ連鎖反応法（ＰＣＲ）などの微量な物質の反応などを精度良く高速に行うために、微小流路チップが使用されている。微小流路チップは、その幅方向または深さ方向の最大流路径が数十μｍから数ｍｍ程度の流路（以下、単に「微小流路」ともいう。）を備えたチップである。
【０００３】
たとえば、試料中のタンパク質を測定するときは、分析対象である試料を、蛍光色素などの標識物質、ドデシル硫酸ナトリウム（ＳＤＳ）、および泳動液（緩衝液）などと共に微小流路内に導入し、流路内で標識物質と反応して染色されたタンパク質を検出する。
【０００４】
当初、微小流路チップには、ガラス基板が用いられてきたが、ガラス基板は高コストであるため、最近では、量産可能かつより低コストである樹脂製の微小流路チップが多く用いられている。
【０００５】
しかし、樹脂製の微小流路チップは、流路の内壁面が疎水性であることが多く、上記タンパク質の測定時に微小流路に導入するタンパク質、蛍光色素およびＳＤＳなどの疎水性の物質を流路の内壁面に吸着させやすい。上記吸着された疎水性の物質は、バックグラウンドの上昇や電気浸透流の発生などの原因となって、測定などの精度を低下させることがある。たとえば、電気泳動中にＳＤＳによる電気浸透流が発生すると、電気泳動の精度が悪くなることがある。
【０００６】
これに対し、樹脂製の微小流路チップの流路の内壁面を、無機材料などでコーティングすれば、流路の内壁面への疎水性の物質の吸着を抑制することが可能である。
【０００７】
たとえば、特許文献１には、微小流路チップを化学気相成長（ＣＶＤ）装置のチャンバーにセットし、チャンバー中に前駆体ガス（ＳｉＣｌ４）および酸化源（水蒸気）を順次導入することで、微小流路チップが有する流路の内壁面にＳｉＯ２膜を形成する方法が記載されている。特許文献１では、微小流路チップを設置したＣＶＤ装置のチャンバーを減圧する（たとえば、真空にする）ことで、上記前駆体ガスおよび酸化源を流路内に気体拡散させて、流路の内壁面にＳｉＯ２膜を成長させている。なお、ＳｉＯ２膜は、材料として安定であり、かつ、高透明度を有する、などの特徴がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１１−２１４９９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１に記載の方法によれば、微小流路の内壁面にもＳｉＯ２などをコーティングすることができる。
【００１０】
近年、微小流路チップには、微小流路の流路径をより小さくしたり、流路長をより長くしたりして、よりわずかな反応をも検出することが求められてきている。このような微小流路の内部にコーティング用のガスを導入するためには、コーティング用のガスをより高圧に設定する必要があるが、導入するガスに設定可能な圧力には、ガスの物性（例えば、蒸気圧など）に基づく限界がある。
【００１１】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、より流路径が小さい微小流路や、より流路長が長い微小流路にも、コーティング用のガスをより容易に導入可能な、微小流路のコーティング装置および微小流路のコーティング方法を提供することを、その目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の微小流路のコーティング装置は、微小流路および前記微小流路を介して互いに連通する第１の開口および第２の開口を有する流体取扱装置が有する、前記第１の開口に接続可能なバッファーチャンバーと、前記微小流路の内壁面をコーティングする気体材料を前記バッファーチャンバーの内部に導入して、前記バッファーチャンバーの内部を加圧するガス導入部と、を有する。
【００１３】
また、本発明の微小流路のコーティング方法は、微小流路および前記微小流路を介して互いに連通する第１の開口および第２の開口を有する流体取扱装置が有する前記微小流路をコーティングする方法において、流体取扱装置が有する、前記第１の開口に接続し、かつ、前記微小流路をコーティングする気体材料の導入により加圧されたバッファーチャンバーから、前記第１の開口を介して前記微小流路に前記気体材料を導入する工程を有する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、より流路径が小さい微小流路や、より流路長が長い微小流路にも、コーティング用のガスをより容易に導入可能な、微小流路のコーティング装置および微小流路のコーティング方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１Ａは、本発明の各実施形態において微小流路の内壁面にコーティングを施される微小流路チップの形状を示す模式図であり、図１Ｂは、図１Ａに示す微小流路チップの平面図である。
【図２】図２Ａは、図１Ｂに示す線２Ａ−２Ａに沿った微小流路チップの断面図であり、図２Ｂは、図１Ｂに示す線２Ｂ−２Ｂに沿った微小流路チップの断面図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施形態に係るコーティング装置を示す模式図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施形態において微小流路の内部をコーティングするときの、導入弁および排気弁の開閉ならびにバッファーチャンバー内の例示的な圧力変化を表すグラフである。
【図５】図５Ａは、本発明の第２の実施形態に係るコーティング装置を示す模式図であり、図５Ｂは、本発明の第２の実施形態に係る他のコーティング装置を示す模式図である。
【図６】図６は、本発明の第２の実施形態において微小流路の内部をコーティングするときの、導入弁および各排気弁の開閉ならびにバッファーチャンバーおよびメインチャンバー内の例示的な圧力変化を表すグラフである。
【図７】図７Ａは、本発明の第３の実施形態に係るコーティング装置を示す模式図であり、図７Ｂは、本発明の第３の実施形態に係る他のコーティング装置を示す模式図である。
【図８】図８は、本発明の第３の実施形態において微小流路の内部をコーティングするときの、各導入弁および各排気弁の開閉ならびにバッファーチャンバーおよびメインチャンバー内の例示的な圧力変化を表すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、複数の実施形態を用いて本発明をより詳細に説明する。
【００１７】
［第１の実施形態］
（流体取扱装置）
図１および図２は、それぞれ、本発明の各実施形態において微小流路の内壁面にコーティングを施される微小流路チップ１０の形状を示す模式図およびその断面図である。図１Ａは微小流路チップ１０の斜視図であり、図１Ｂは微小流路チップ１０の平面図である。また、図２Ａは、図１Ｂに示す線２Ａ−２Ａに沿った微小流路チップ１０の断面図であり、図２Ｂは、図１Ｂに示す線２Ｂ−２Ｂに沿った微小流路チップ１０の断面図である。
【００１８】
図１および図２に示すように、微小流路チップ１０は、２つの開口１２および１４ならびに流路１６を有する流体取扱装置である。２つの開口１２および１４は、流路１６を介して互いに連通しており、試料を含む液体などを流路に導入する導入口および上記液体を流路から取り出す取出口として機能する。
【００１９】
微小流路チップ１０は、いずれも略矩形かつ略同一寸法の平面形状を有する下側プレート部材（基板部材）１８および上側プレート部材（蓋部材）２０を有する。
【００２０】
下側プレート部材１８及び上側プレート部材２０の外形寸法は、たとえば、長辺が５０ｍｍ程度、短辺が２０ｍｍ程度である。また、下側プレート部材１８の厚さはたとえば１ｍｍ程度であり、上側プレート部材２０の厚さはたとえば数１０μｍのフィルム状から１ｍｍ程度である。
【００２１】
下側プレート部材１８および上側プレート部材２０は、たとえば、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチルなどのアクリル樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレンおよびシクロオレフィン樹脂などのポリオレフィン、ならびにポリエーテルなどの樹脂材料から形成される。下側プレート部材１８および上側プレート部材２０は、後述する接合が可能である限り、同一の材料から形成されてもよく、互いに異なる材料から形成されてもよい。
【００２２】
また、下側プレート部材１８および上側プレート部材２０は、その一方または双方が、異なる複数の材料を含んで形成されてもよい。
【００２３】
なお、微小流路チップ１０を用いて吸光度測定などの光学的な測定を行う場合には、下側プレート部材１８および上側プレート部材２０は、その光の経路となる部分が測定に用いる波長の光に対する透過性を有する材料から形成されることが望ましい。ただし、蛍光測定を行う場合などには、下側プレート部材１８は、黒色などの遮光性の色付きの材料で形成されていてもよい。
【００２４】
下側プレート部材１８および上側プレート部材２０は、これらを形成する材料同士を接着させ得る有機接着剤による接着、および熱圧着などにより接合される。
【００２５】
図２Ａおよび図２Ｂに示すように、下側プレート部材１８は、接合時に上側プレート部材２０に対向する表面（上面）の略中央部に形成された、長手方向に延びる細長い直線状の流路１６を有する。流路１６は、その長手方向の長さが下側プレート部材１８の長手方向の長さより小さい、溝状の凹部である。流路１６の断面形状は、接合時に試料などの液体を導通可能であればよく、たとえば、一辺の長さ（幅および深さ）がいずれも数十μｍ程度の略矩形とすることができる。
【００２６】
上側プレート部材２０は、それぞれが接合時に流路１６の端部に対向する位置に設けられた一対の貫通孔を有する。上記一対の貫通孔は、接合時に、微小流路チップ１０の外部から流路１６に試料などの液体を導入し、または流路１６から微小流路チップ１０の外部に試料などの液体を取出可能な、開口１２および１４となる。
【００２７】
上記一対の貫通孔の断面形状は、試料などの液体を流通可能であればよく、たとえば直径数１００μｍ〜数ｍｍの略円形とすることができる。
【００２８】
流路１６の内壁面は、イオン性の疎水物質が流路の内壁面に吸着することを防ぐために、親水性の無機皮膜でコーティングされている。同様に、上記一対の開口１２および１４の内壁面も、イオン性の疎水物質が貫通孔の表面に吸着することを防ぐために、親水性の無機皮膜でコーティングされている。
【００２９】
（コーティング装置の構成）
図３は、本実施形態に係るコーティング装置１００を示す模式図である。コーティング装置１００は、バッファーチャンバー１１０、流路１６の内壁面をコーティングするための気体材料をバッファーチャンバー１１０に導入可能なガス導入部１２０、バッファーチャンバー１１０と微小流路チップ１０の開口１２とを接続してバッファーチャンバー１１０の内部と流路１６とを気体連通させる流路接続部１３０、ならびにバッファーチャンバー１１０の内部を排気可能な排気部１４０を有する。
【００３０】
なお、以下の各実施形態において、上記気体材料は、上記バッファーチャンバー１１０と接続する開口１２から流路１６に導入されて、流路１６の内部を流通し、バッファーチャンバー１１０と接続しない開口１４から排出される。そのため、以下、上記バッファーチャンバー１１０と接続する開口１２を導入開口１２、バッファーチャンバー１１０と接続しない開口１４を排出開口１４とも表記する。
【００３１】
また、以下の各実施形態において、導入開口１２の圧力と表記するときは、導入開口１２の内部に存在する気体の圧力を意味し、排出開口１４の圧力と表記するときは、排出開口１４の内部に存在する気体の圧力を意味する。
【００３２】
バッファーチャンバー１１０の内面を形成する材料は、特に限定されないが、上記気体材料と反応しない材料であることが好ましい。
【００３３】
バッファーチャンバー１１０は、上記気体材料をその内部に一時的に貯留可能な容積を有する。バッファーチャンバー１１０は、上記気体材料の導入および排気による圧力変化に耐えうる強度を有していればよい。
【００３４】
バッファーチャンバー１１０の容積は、流路１６の内部をコーティングするために十分な量の上記気体材料を導入可能であればよい。一方で、上記気体材料は高額であることが多いため、上記気体材料の使用量を減らしてより低コストで流路１６の内部をコーティングする観点からは、バッファーチャンバー１１０の容積は、さほど大きくないことが望ましい。そのためバッファーチャンバー１１０の容積は、上記観点を踏まえ、流路１６の容積に応じて適宜設定することができる。より具体的には、バッファーチャンバー１１０の容積は、流路の容積の１０倍以上１，０００，０００倍以下であることが好ましく、１，００倍以上１００，０００倍以下であることがより好ましく、１，０００倍以上１０，０００倍以下であることがさらに好ましい。また、バッファーチャンバー１１０の容積は、０．１ｍＬ以上１０，０００ｍＬ以下であることが好ましく、１ｍＬ以上１，０００ｍＬ以下であることがより好ましく、１０ｍＬ以上１００ｍＬ以下であることがさらに好ましい。
【００３５】
ガス導入部１２０は、上記気体材料を供給可能な外部の供給装置とバッファーチャンバー１１０の内部とを連通する導入管および導入弁ＧＶ１を有する。導入弁ＧＶ１は、上記導入管を開放および閉鎖して、バッファーチャンバー１１０の内部への上記気体材料の導入を制御する構成を有する。
【００３６】
流路接続部１３０は、その一方の端部がバッファーチャンバー１１０の内部と接続し、他方の端部が導入開口１２に接続可能な管である。流路接続部１３０は、上記管を開放および閉鎖可能な弁（不図示）を有してもよい。
【００３７】
排気部１４０は、バッファーチャンバー１１０の内部とその外部とを連通する排気管および排気弁ＥＶ１を有する。排気弁ＥＶ１は、排気管を開放および閉鎖して、バッファーチャンバー１１０の内部からのガスの排出を制御する構成を有する。
【００３８】
（コーティング装置の動作）
ガス導入部１２０は、上記導入管が上記供給装置に接続され、かつ導入弁ＧＶ１が開放されると、バッファーチャンバー１１０の内部に上記気体材料を導入する。これにより、バッファーチャンバー１１０の内部は加圧される。
【００３９】
バッファーチャンバー１１０は、上記導入された気体材料を一時的に貯留し、かつ、流路接続部１３０を介して流路１６の内部に導入する。
【００４０】
このとき、バッファーチャンバー１１０の内部は加圧されているため、バッファーチャンバー１１０の内部と流路１６の内部との間には、圧力差が生じる。上記圧力差により、上記バッファーチャンバー１１０の内部に貯留された上記気体材料は、導入開口１２から流路１６の内部に導入され、流路１６の内部を流通して排出開口１４から排出される。
【００４１】
（微小流路のコーティング例）
図４は、本実施形態において、コーティング装置１００を用いて微小流路チップ１０が有する流路１６の内部をコーティングするときの、導入弁ＧＶ１および排気弁ＥＶ１の開閉およびバッファーチャンバー１１０内の例示的な圧力変化を表すグラフである。図４は、上部に導入弁ＧＶ１および排気弁ＥＶ１の開閉（開放している期間を横棒で表す）を、下部にバッファーチャンバー１１０内の圧力変化を示す。
【００４２】
コーティングの開始前に、ガス導入部１２０は、その導入管が上記供給装置に接続され、かつ、導入弁ＧＶ１が閉鎖されている。また、流路接続部１３０は、微小流路チップ１０の導入開口１２に接続されて、これによりバッファーチャンバー１１０の内部と流路１６とは気体連通されている。また、排気部１４０は、排気弁ＥＶ１が閉鎖されている。
【００４３】
まず、ガス導入部１２０の導入弁ＧＶ１を開放すると、バッファーチャンバー１１０の内部には上記導入管を介して上記気体材料が導入される（ステップＳ１１０）。上記気体材料の導入により、バッファーチャンバー１１０は加圧される。上記気体材料の導入は、図４に示すように、バッファーチャンバー１１０の内部が所定の圧力（Ｐ１）になるまで行う。
【００４４】
上記所定の圧力（Ｐ１）は、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力が排出開口１４の圧力よりも大きくなり、かつ、バッファーチャンバー１１０の内部から流路１６への気体材料の導入が容易になる程度であればよい。なお、本実施形態において、排出開口１４の圧力は、通常、大気圧（１０００ｈＰａ程度）であるが、排出開口１４に排気装置などを接続して減圧状態としてもよい。
【００４５】
一方で、流路１６への気体材料の急激な流入による流路１６の破損を抑制する観点からは、導入開口１２の圧力と排出開口１４の圧力との間の差は、さほど大きくないことが好ましい。
【００４６】
上記観点からは、上記所定の圧力（Ｐ１）は、８００ｈＰａ以上１，２００ｈＰａ以下であることが好ましく、８５０ｈＰａ以上１，１５０ｈＰａ以下であることがより好ましく、９００ｈＰａ以上１，１００ｈＰａ以下であることがさらに好ましい。
【００４７】
その後、ガス導入部１２０の導入弁ＧＶ１を閉鎖してバッファーチャンバー１１０の内部への上記気体材料の導入を停止する（ステップＳ１２０）。これにより、バッファーチャンバー１１０の内部と流路１６の内部との間の圧力差により、上記気体材料は、バッファーチャンバー１１０の内部から導入開口１２を通じて流路１６の内部に導入される。これにより、流路１６の内壁面はコーティングされる。
【００４８】
このとき、流路１６への上記気体材料の導入により、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力は漸減する。
【００４９】
十分な量の上記気体材料が流路１６へ導入された後に、排気部の排気弁ＥＶ１を開放してバッファーチャンバー１１０の内部を排気し、バッファーチャンバー１１０の内部に残存する上記気体材料をバッファーチャンバー１１０の内部から排出してもよい（ステップＳ１３０）。流路１６へ導入された上記気体材料の量は、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力変化量、または所定の圧力（Ｐ１）、流路１６の断面積およびステップＳ１２０の経過時間を用いた演算により、推測可能である。
【００５０】
上記バッファーチャンバー１１０の内部の排気は、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力が初期の大きさになるまで行うことが好ましい。
【００５１】
なお、上記気体材料の導入（ステップＳ１１０）を容易にするため、ステップＳ１１０の前にバッファーチャンバー１１０の内部を排気して減圧してもよい。また、前回に導入した気体材料との混合を避けるため、上記減圧の前にバッファーチャンバー１１０の内部にパージガスでパージしてもよい。
【００５２】
また、上記気体材料の導入（ステップＳ１１０）は、流路接続部１３０の弁（不図示）を閉鎖した状態で行ってもよい。これにより、ステップＳ１１０では上記気体材料は流路１６の内部に導入されず、ステップＳ１２０でのみ流路１６の内部に導入されるため、導入される上記気体材料の量の制御が容易である。
【００５３】
バッファーチャンバー１１０の内部の圧力は、圧力計（不図示）をバッファーチャンバー１１０の内部に設置して測定してもよいし、バッファーチャンバー１１０の内部への上記気体材料の導入量から推測してもよい。
【００５４】
（効果）
従来の微小流路のコーティングでは、微小流路チップを配置したチャンバー内部に気体材料を導入して、それぞれの開口から流路内に導入した上記気体材料を、上記開口により近い領域からより遠い領域へと流路内を拡散させていた。このような態様では、流路径がより小さい流路や、流路長がより長い流路の内部に上記気体材料を十分に拡散させるためには、チャンバー内により多くの気体材料を導入して、チャンバー内の気体材料の圧力をより高める必要がある。しかし、気体材料に設定可能な圧力には限界があるため、気体材料の種類などによっては流路の内部に上記気体材料を十分に拡散させにくいことがあった。
【００５５】
これに対し、本実施形態によれば、上記気体材料の圧力を過剰に高めることなく、流路１６の内部をコーティングできる。そのため、本実施形態によれば、流路径がより小さく、または流路長がより長い流路１６の内部にも、上記気体材料をより容易に導入可能である。
【００５６】
また、本実施形態によれば、上記気体材料の圧力を過剰に高めることがないため、使用する気体材料の量をより低減させることが可能である。そのため、高額であることが多い気体材料の使用量を減らし、流路１６の内部のより低コストでのコーティングが可能となる。
【００５７】
また、本実施形態によれば、上記気体材料は導入開口１２から流路１６の内部に導入され、流路１６の内部を流通して、排出開口１４から排出される。これにより、上記気体材料は流路１６の全体を通過するため、流路１６の内部全体のよりムラが少ないコーティングが可能である。
【００５８】
また、このとき、流路１６の内表面のみならず、開口１２および１４の内表面も同時にコーティング可能であるため、開口１２および１４の内表面への疎水性の物質の付着も抑制可能である。
【００５９】
［第２の実施形態］
（コーティング装置の構成）
第２の実施形態では、上述した微小流路チップ１０が有する流路１６に、第１の実施形態とは異なるコーティング装置を用いてコーティングを行う。以下、第１の実施形態と重複する説明は省略することがある。
【００６０】
図５は、本実施形態に係るコーティング装置２００を示す模式図である。図５Ａに示すように、コーティング装置２００は、バッファーチャンバー１１０、ガス導入部１２０、排気部１４０、流路接続部１３０、微小流路チップを配置する配置部２５０、バッファーチャンバー１１０および配置部２５０を収容するメインチャンバー２６０、ならびに、メインチャンバー２６０の内部を排気して、配置部２５０に配置された微小流路チップ１０が有する流路１６の内部を排出開口１４から排気可能な流路排気部２７０、を有する。
【００６１】
これらのうち、バッファーチャンバー１１０、ガス導入部１２０、排気部１４０および流路接続部１３０は、第１の実施形態と同様の構成を有し、同様に動作するため、説明を省略する。
【００６２】
メインチャンバー２６０は、少なくともその内面が上記気体材料と反応しない材料から形成された容器である。メインチャンバー２６０は、内部に配置部２５０およびバッファーチャンバー１１０を備える。微小流路チップ１０が配置部２５０に配置されたとき、バッファーチャンバー１１０は流路接続部１３０を介して導入開口１２と気体連通し、メインチャンバー２６０は直接に排出開口１４と気体連通する。
【００６３】
流路排気部２７０は、メインチャンバー２６０の内部と外部の排気装置とを連通する排気管および排気弁ＥＶ２を有する。排気弁ＥＶ２は、上記排気管を開放および閉鎖して、メインチャンバー２６０の内部からのガスの排出を制御する構成を有する。
【００６４】
なお、図５Ｂに示すように、メインチャンバー２６０は、配置部２５０に配置された微小流路チップ１０が有する流路１６の内部を加熱可能な加熱部２８０をさらに有してもよい。
【００６５】
加熱部２８０は、加熱を含む化学気相蒸着法（ＣＶＤ）や、特には原子層堆積法（ＡＬＤ）などの、加熱した気体材料を用いて流路１６の内部をコーティングする際に有用である。流路１６の内部のみを効率的に加熱する観点からは、加熱部２８０は、ヒーターなどにより配置部２５０を加熱し、配置部２５０から微小流路チップ１０（および流路１６の内部）に熱を伝導させる構成が好ましい。このとき、配置部２５０も熱伝導性の材料から形成されることが好ましい。
【００６６】
加熱部２８０は、流路１６の内部を、微小流路チップ１０の耐熱温度以下、かつ、上記ＣＶＤおよびＡＬＤなどのコーティング方法および気体材料に適した温度に加熱できる構成であればよい。上記加熱温度は、たとえば、６０℃以上１５０℃以下とすることができ、８０℃以上１２０℃以下が好ましい。
【００６７】
（コーティング装置の動作）
本実施形態においても、ガス導入部１２０は、上記導入管が上記供給装置に接続され、かつ導入弁ＧＶ１が開放されると、バッファーチャンバー１１０の内部に上記気体材料を導入する。これにより、バッファーチャンバー１１０の内部は加圧される。
【００６８】
また、バッファーチャンバー１１０は、上記導入された気体材料を一時的に貯留し、かつ、流路接続部１３０を介して流路１６の内部に導入する。
【００６９】
これにより、バッファーチャンバー１１０の内部と流路１６の内部との間に生じた圧力差により、上記バッファーチャンバー１１０の内部に貯留された上記気体材料は、導入開口１２から流路１６の内部に導入され、流路１６の内部を流通して排出開口１４から排出される。
【００７０】
このとき、流路排気部２７０は、メインチャンバー２６０の内部を排気する。これにより、配置部２５０に配置された微小流路チップ１０が有する流路１６の内部も、排出開口１４から排気される。このようにして、流路排気部２７０は、排出開口１４の圧力を低下させて、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力がより小さいときにも、バッファーチャンバー１１０の内部と流路１６の内部との間の圧力差をより容易に生じさせる。
【００７１】
このとき、加熱部２８０は上記気体材料を加熱してもよい。
【００７２】
（微小流路のコーティング例）
図６は、本実施形態において、コーティング装置２００を用いて微小流路チップ１０が有する流路１６の内部をコーティングするときの、導入弁ＧＶ１、排気弁ＥＶ１および排気弁ＥＶ２の開閉およびバッファーチャンバー１１０内の例示的な圧力変化（実線）およびメインチャンバー２６０内の例示的な圧力変化（破線）を表すグラフである。図６は、上部に導入弁ＧＶ１、排気弁ＥＶ１および排気弁ＥＶ２の開閉（開放している期間を横棒で表す）を、下部にバッファーチャンバー１１０およびメインチャンバー２６０内の圧力変化を示す。
【００７３】
本実施形態においては、流路排気部２７０の排気弁ＥＶ２を開放して、メインチャンバー２６０の内部を排気して流路１６の内部を排出開口１４から排気しながら、第１の実施形態と同様にして、流路１６へ気体材料を導入する。
【００７４】
コーティングの開始前に、ガス導入部１２０は、その導入管が上記供給装置に接続され、かつ、導入弁ＧＶ１が閉鎖されている。また、流路接続部１３０は、配置部２５０に配置された微小流路チップ１０の導入開口１２に接続されて、これによりバッファーチャンバー１１０の内部と流路１６とは気体連通されている。また、排気部１４０は、排気弁ＥＶ１が閉鎖されている。また、流路排気部２７０は、排気弁ＥＶ２が解放されている。
【００７５】
まず、ガス導入部１２０の導入弁ＧＶ１を開放して、バッファーチャンバー１１０の内部に上記気体材料を導入する（ステップＳ１１０）。上記気体材料の導入は、図６に示すように、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力が所定の大きさ（Ｐ１）になるまで行う。
【００７６】
なお、本実施形態においては、バッファーチャンバー１１０の内部への気体材料の導入のみならず、メインチャンバー２６０および流路排気部２７０による流路１６の内部の排気によっても、バッファーチャンバー１１０の内部と流路１６の内部との間に圧力差が生じる。そのため、ステップＳ１１０においては、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力（Ｐ１）をよ第１の実施形態り小さくしてもよい。
【００７７】
このとき、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力（図６の実線）は、Ｐ１の圧力をより小さくできるほかは、第１の実施形態と略同様に変動する。
【００７８】
一方で、メインチャンバー２６０の内部の圧力（図６の破線）は、上記気体材料が流路１６を介してメインチャンバー２６０にも導入されるため、微増する。
【００７９】
その後、ガス導入部１２０の導入弁ＧＶ１を閉鎖してバッファーチャンバー１１０の内部への上記気体材料の導入を停止する（ステップＳ１２０）。これにより、バッファーチャンバー１１０の内部と流路１６の内部との間の圧力差により、第１の気体材料は、バッファーチャンバー１１０の内部から導入開口１２を通じて流路１６の内部に導入される。
【００８０】
このとき、流路１６への第１の気体材料の導入により、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力は漸減する。
【００８１】
一方で、流路排気部２７０からの排気により、メインチャンバー２６０の内部の圧力は略一定である。
【００８２】
その後、十分な量の第１の気体材料が流路１６へ導入された後に、排気部の排気弁ＥＶ１を開放してバッファーチャンバー１１０の内部を排気し、バッファーチャンバー１１０の内部に残存する第１の気体材料を排出する（ステップＳ１３０）。このとき、メインチャンバー２６０の内部の圧力も、バッファーチャンバー１１０から流路１６を介して供給される第１の気体材料の量が減少し、一方で流路排気部２７０から排気されるため、減少する。
【００８３】
上記バッファーチャンバー１１０の内部の排気は、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力が初期の大きさになるまで行うことが好ましい。このとき、メインチャンバー２６０の内部の圧力も、同様に初期の大きさになる。
【００８４】
なお、ステップＳ１１０では流路１６の内部を排気せず（排気弁ＥＶ２を開放せず）、ステップＳ１２０およびステップＳ１３０のみ、またはステップＳ１２０のみ、流路１６の内部を排気してもよい。これにより、ステップＳ１１０（およびステップＳ１３０）では上記気体材料は流路１６の内部にさほど導入されないため、導入される上記気体材料の量の制御が容易である。
【００８５】
上記ステップＳ１１０またはＳ１３０で流路１６の内部を排気しないときは、流路排気部２７０の排気弁ＥＶ２を閉鎖してもよいし、または、流路接続部１３０が有する弁を閉鎖して、バッファーチャンバー１１０の内部と導入開口１２との間の管を閉鎖してもよい。
【００８６】
また、上記気体材料の導入（ステップＳ１１０）を容易にするため、ステップＳ１１０の前にバッファーチャンバー１１０の内部を排気して減圧してもよい。また、前回に導入した気体材料との混合を避けるため、上記減圧の前にバッファーチャンバー１１０の内部にパージガスでパージしてもよい。
【００８７】
また、上記気体材料の導入（ステップＳ１１０）は、流路接続部１３０の弁（不図示）を閉鎖した状態で行ってもよい。
【００８８】
（効果）
本実施形態によれば、バッファーチャンバー１１０の内部から流路１６の内部へ上記気体材料を導入するためのバッファーチャンバー１１０の内部の圧力（Ｐ１）をより小さくすることができる。そのため、本実施形態によれば、バッファーチャンバー１１０の内部に導入する上記気体材料の量をより低減させて、より低コストで流路１６の内部をコーティングすることを可能とする。
【００８９】
また、本実施形態によれば、メインチャンバー２６０は微小流路チップ１０の排出開口１４を介して流路１６の内部と気体連通するため、メインチャンバー２６０の内部の圧力は、流路１６の内部の圧力と略同一である。そのため、本実施形態によれば、流路１６の内部と外部との間の圧力差をより小さくして、上記圧力差による流路１６の破損を抑制することが可能である。特に、上側プレート部材２０のうち、流路１６を被覆する領域がフィルムなどの比較的薄い材料から形成されているときに、上記流路１６の破損（特に上記フィルムなどの破損）の抑制効果は顕著である。
【００９０】
［第３の実施形態］
（コーティング装置の構成）
第３の実施形態では、上述した微小流路チップ１０が有する流路１６に、第１の実施形態または第２の実施形態とは異なるコーティング装置を用いてコーティングを行う。以下、第１の実施形態および第２の実施形態と重複する説明は省略することがある。
【００９１】
図７は、本実施形態に係るコーティング装置３００を示す模式図である。図７Ａに示すように、コーティング装置３００は、第２の実施形態と同様に、バッファーチャンバー１１０、ガス導入部、排気部１４０、流路接続部１３０、微小流路チップを配置する配置部２５０、メインチャンバー２６０、および流路排気部２７０を有する。
【００９２】
上記ガス導入部は、第１の気体材料をバッファーチャンバー１１０の内部に導入する第１のガス導入部１２０ａ、および第１の気体材料とは異なる第２の気体材料をバッファーチャンバー１１０に導入する第２のガス導入部１２０ｂを有する。
【００９３】
コーティング装置３００はさらに、パージガスをバッファーチャンバー１１０に導入する第３のガス導入部３２０ａ、およびパージガスをメインチャンバー２６０に導入する第４のガス導入部３２０ｂを有する。
【００９４】
これらのうち、バッファーチャンバー１１０、排気部１４０、流路接続部１３０、配置部２５０、メインチャンバー２６０、および流路排気部２７０は、第２の実施形態と同様の構成を有し、同様に動作するため、説明を省略する。
【００９５】
第１のガス導入部１２０ａおよび第２のガス導入部１２０ｂは、第２の実施形態におけるガス導入部１２０と同様の構成を有する。
【００９６】
具体的には、第１のガス導入部１２０ａは、第１の気体材料を供給可能な外部の供給装置とバッファーチャンバー１１０の内部とを連通する導入管および導入弁ＧＶ１を有する。導入弁ＧＶ１は、上記導入管を開放および閉鎖して、バッファーチャンバー１１０の内部への第１の気体材料の導入を制御する構成を有する。
【００９７】
また、第２のガス導入部１２０ｂは、第２の気体材料を供給可能な外部の供給装置とバッファーチャンバー１１０の内部とを連通する導入管および導入弁ＧＶ２を有する。導入弁ＧＶ２は、上記導入管を開放および閉鎖して、バッファーチャンバー１１０の内部への第２の気体材料の導入を制御する構成を有する。
【００９８】
第３のガス導入部３２０ａは、パージガスを供給可能な外部の供給装置とバッファーチャンバー１１０の内部とを連通する導入管および導入弁ＰＶ１を有する。導入弁ＰＶ１は、上記導入管を開放および閉鎖して、バッファーチャンバー１１０の内部へのパージガスの導入を制御する構成を有する。
【００９９】
第４のガス導入部３２０ｂは、パージガスを供給可能な外部の供給装置とメインチャンバー２６０の内部とを連通する導入管および導入弁ＰＶ２を有する。導入弁ＰＶ２は、上記導入管を開放および閉鎖して、メインチャンバー２６０の内部へのパージガスの導入を制御する構成を有する。
【０１００】
なお、図７Ｂに示すように、メインチャンバー２６０は、第２の実施形態と同様に、配置部２５０に配置された微小流路チップ１０が有する流路１６の内部を加熱可能な加熱部２８０をさらに有してもよい。
【０１０１】
なお、第１のガス導入部１２０ａ、第２のガス導入部１２０ｂおよび第３のガス導入部３２０ａは、バッファーチャンバー１１０の内部に開口する共通管を有し、それぞれの導入弁の開放および閉鎖によってバッファーチャンバー１１０に導入されるガスを切り替え可能な構成であってもよい。
【０１０２】
（コーティング装置の動作）
本実施形態においても、第１のガス導入部１２０ａは、上記導入管が上記供給装置に接続され、かつ導入弁ＧＶ１が開放されると、バッファーチャンバー１１０の内部に第１の気体材料を導入する。これにより、バッファーチャンバー１１０の内部は加圧される。
【０１０３】
また、第２のガス導入部１２０ｂは、上記導入管が上記供給装置に接続され、かつ導入弁ＧＶ２が開放されると、バッファーチャンバー１１０の内部に第２の気体材料を導入する。これにより、バッファーチャンバー１１０の内部は加圧される。
【０１０４】
また、バッファーチャンバー１１０は、上記導入された第１の気体材料または第２の気体材料を一時的に貯留し、かつ、流路接続部１３０を介して流路１６の内部に導入する。
【０１０５】
これにより、バッファーチャンバー１１０の内部と流路１６の内部との間に生じた圧力差により、上記バッファーチャンバー１１０の内部に貯留された第１の気体材料または第２の気体材料は、導入開口１２から流路１６の内部に導入され、流路１６の内部を流通して排出開口１４から排出される。
【０１０６】
このとき、流路排気部２７０は、メインチャンバー２６０の内部を排気する。同時に、配置部２５０に配置された微小流路チップ１０が有する流路１６の内部も、排出開口１４から排気される。これにより、流路排気部２７０は、排出開口１４の圧力を低下させて、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力がより小さいときにも、バッファーチャンバー１１０の内部と流路１６の内部との間の圧力差をより容易に生じさせる。
【０１０７】
また、第３のガス導入部３２０ａは、上記導入管が上記供給装置に接続され、かつ導入弁ＰＶ１が開放されると、バッファーチャンバー１１０の内部にパージガスを導入する。これにより、バッファーチャンバー１１０の内部はパージされる。
【０１０８】
また、第４のガス導入部３２０ｂは、上記導入管が上記供給装置に接続され、かつ導入弁ＰＶ２が開放されると、メインチャンバー２６０の内部にパージガスを導入する。これにより、メインチャンバー２６０の内部はパージされる。
【０１０９】
第１の気体材料の導入後かつ第２の気体材料の導入前、および第２の気体材料の導入後かつ第１の気体材料の導入前、などに上記パージを行うことで、バッファーチャンバー１１０内およびメインチャンバー２６０内に残存した第１の気体材料および第２の気体材料を排出して、これらの気体材料の混合を抑制可能である。
【０１１０】
このとき、加熱部２８０は上記気体材料を加熱してもよい。
【０１１１】
（微小流路のコーティング例）
図８は、本実施形態において、コーティング装置３００を用いて微小流路チップ１０が有する流路１６の内部をコーティングするときの、導入弁ＧＶ１、導入弁ＧＶ２、導入弁ＰＶ１、導入弁ＰＶ２、排気弁ＥＶ１および排気弁ＥＶ２の開閉、ならびにバッファーチャンバー１１０内の例示的な圧力変化（実線）およびメインチャンバー２６０内の例示的な圧力変化（破線）を表すグラフである。図８は、上部に各導入弁および各排気弁の開閉（開放している期間を横棒で表す）を、下部にバッファーチャンバー１１０およびメインチャンバー２６０内の圧力変化を示す。
【０１１２】
コーティングの開始前に、第１のガス導入部１２０ａ、第２のガス導入部１２０ｂ、第３のガス導入部３２０ａおよび第４のガス導入部３２０ｂは、その導入管が上記それぞれの供給装置に接続され、かつ、導入弁ＧＶ１、導入弁ＧＶ２、導入弁ＰＶ１および導入弁ＰＶ２はいずれも閉鎖されている。
【０１１３】
また、流路接続部１３０は、配置部２５０に配置された微小流路チップ１０の導入開口１２に接続されて、これによりバッファーチャンバー１１０の内部と流路１６とは気体連通されている。
【０１１４】
また、排気部１４０は、排気弁ＥＶ１が閉鎖されている。また、流路排気部２７０は、排気弁ＥＶ２が解放されている。
【０１１５】
本実施形態においては、流路排気部２７０の排気弁ＥＶ２を開放して、メインチャンバー２６０の内部を排気して流路１６の内部を排出開口１４から排気しながら、以下のステップＳ１１０〜ステップＳ２００を行う。
【０１１６】
まず、ステップＳ１１０〜ステップＳ１３０を第２の実施形態と同様に行うことで、流路１６の内部に第１の気体材料を流通させる。
【０１１７】
具体的には、第１のガス導入部１２０ａの導入弁ＧＶ１を開放して、バッファーチャンバー１１０の内部に上記気体材料を導入する（ステップＳ１１０）。上記気体材料の導入は、図８に示すように、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力が所定の大きさ（Ｐ１）になるまで行う。
【０１１８】
このとき、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力（図８の実線）およびメインチャンバー２６０の内部の圧力（図８の破線）は、第２の実施形態と同様に変動する。
【０１１９】
その後、第１のガス導入部１２０ａの導入弁ＧＶ１を閉鎖してバッファーチャンバー１１０の内部への上記気体材料の導入を停止する（ステップＳ１２０）。これにより、バッファーチャンバー１１０の内部と流路１６の内部との間の圧力差により、第１の気体材料は、バッファーチャンバー１１０の内部から導入開口１２を通じて流路１６の内部に導入される。
【０１２０】
このときも、第２の実施形態と同様に、流路１６への第１の気体材料の導入によりバッファーチャンバー１１０の内部の圧力は漸減し、メインチャンバー２６０の内部の圧力は略一定である。
【０１２１】
その後、十分な量の第１の気体材料が流路１６へ導入された後に、排気部の排気弁ＥＶ１を開放してバッファーチャンバー１１０の内部を排気し、バッファーチャンバー１１０の内部に残存する第１の気体材料を排出する（ステップＳ１３０）。このとき、メインチャンバー２６０の内部の圧力も、バッファーチャンバー１１０から流路１６を介して供給される第１の気体材料の量が減少し、一方で流路排気部２７０から排気されるため、減少する。
【０１２２】
上記バッファーチャンバー１１０の内部の排気は、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力が初期の大きさになるまで行うことが好ましい。このとき、メインチャンバー２６０の内部の圧力も、同様に初期の大きさになる。
【０１２３】
次に、バッファーチャンバー１１０の内部およびバッファーチャンバー１１０の内部をパージして、残存する第１の気体材料を排出する。
【０１２４】
まず、第３のガス導入部３２０ａの導入弁ＰＶ１を開放して、バッファーチャンバー１１０の内部にパージガスを導入する。同時に、第４のガス導入部３２０ｂの導入弁ＰＶ２を開放して、メインチャンバー２６０の内部にパージガスを導入する（ステップＳ１４０）。上記パージガスの導入は、バッファーチャンバー１１０およびメインチャンバー２６０の内部に十分な量のパージガスが導入されるまで、任意の時間、行うことができる。
【０１２５】
このとき、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力およびメインチャンバー２６０の内部の圧力は、いずれも増加する。
【０１２６】
その後、十分な量のパージガスがバッファーチャンバー１１０の内部およびメインチャンバー２６０の内部へ導入された後に、第３のガス導入部３２０ａの導入弁ＰＶ１および第４のガス導入部３２０ｂの導入弁ＰＶ２を閉鎖して、バッファーチャンバー１１０の内部およびメインチャンバー２６０の内部への上記気体材料の導入を停止する（ステップＳ１５０）。これにより、バッファーチャンバー１１０、流路１６およびメインチャンバー２６０の内部は排気され、これらに残存する第１の気体材料も、同時に排出される。
【０１２７】
上記バッファーチャンバー１１０、流路１６およびメインチャンバー２６０の内部の排気は、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力が初期の大きさになるまで行うことが好ましい。このとき、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力およびメインチャンバー２６０の内部の圧力は、いずれも減少する。
【０１２８】
次に、流路１６の内部に第２の気体材料を流通させる。このとき、排気部の排気弁ＥＶ１を閉鎖して、バッファーチャンバー１１０の内部の排気を停止する。
【０１２９】
具体的には、第２のガス導入部１２０ｂの導入弁ＧＶ２を開放して、バッファーチャンバー１１０の内部に第２の気体材料を導入する（ステップＳ１６０）。第２の気体材料の導入は、図８に示すように、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力が所定の大きさ（Ｐ２）になるまで行う。このとき、ステップＳ１１０と同様に、メインチャンバー２６０の内部の圧力も微増する。
【０１３０】
上記所定の圧力（Ｐ２）は、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力が、排出開口１４の圧力よりも大きくなり、かつ、流路１６への気体材料の導入が容易になる程度であればよい。上記所定の圧力（Ｐ２）は、大気圧以下であることが好ましく、０．１ｈＰａ以上１，０００ｈＰａ以下であることがより好ましく、１ｈＰａ以上１００ｈＰａ以下であることがさらに好ましい。なお、圧力（Ｐ１）と圧力（Ｐ２）とは、Ｐ１のほうが大きくてもよく、Ｐ２のほうが大きくてもよく、略同一の圧力であってもよい。
【０１３１】
その後、第２のガス導入部１２０ｂの導入弁ＧＶ２を閉鎖してバッファーチャンバー１１０の内部への上記気体材料の導入を停止する（ステップＳ１７０）。これにより、バッファーチャンバー１１０の内部と流路１６の内部との間の圧力差は一定となり、第２の気体材料は、バッファーチャンバー１１０の内部から導入開口１２を通じて流路１６の内部に導入される。
【０１３２】
このとき、流路１６への第２の気体材料の導入により、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力は漸減する。また、ステップＳ１２０と同様に、メインチャンバー２６０の内部の圧力は略一定である。
【０１３３】
その後、十分な量の第２の気体材料が流路１６へ導入された後に、排気部の排気弁ＥＶ１を開放してバッファーチャンバー１１０の内部を排気し、バッファーチャンバー１１０の内部に残存する第２の気体材料を排出する（ステップＳ１８０）。
【０１３４】
上記バッファーチャンバー１１０の内部の排気は、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力が初期の大きさになるまで行うことが好ましい。このとき、メインチャンバー２６０の内部の圧力も、バッファーチャンバー１１０から流路１６を介して供給される第２の気体材料の量が減少し、一方で流路排気部２７０から排気されるため、減少する。
【０１３５】
最後に、バッファーチャンバー１１０の内部およびバッファーチャンバー１１０の内部をパージして、残存する第２の気体材料を排出してもよい。
【０１３６】
まず、第３のガス導入部３２０ａの導入弁ＰＶ１を開放して、バッファーチャンバー１１０の内部にパージガスを導入する。同時に、第４のガス導入部３２０ｂの導入弁ＰＶ２を開放して、メインチャンバー２６０の内部にパージガスを導入する（ステップＳ１９０）。上記パージガスの導入は、バッファーチャンバー１１０およびメインチャンバー２６０の内部に十分な量のパージガスが導入されるまで、任意の時間、行うことができる。
【０１３７】
このとき、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力およびメインチャンバー２６０の内部の圧力は、いずれも増加する。
【０１３８】
その後、十分な量のパージガスがバッファーチャンバー１１０の内部およびメインチャンバー２６０の内部へ導入された後に、第３のガス導入部３２０ａの導入弁ＰＶ１および第４のガス導入部３２０ｂの導入弁ＰＶ２を閉鎖して、バッファーチャンバー１１０の内部およびメインチャンバー２６０の内部への上記気体材料の導入を停止する（ステップＳ２００）。これにより、バッファーチャンバー１１０、流路１６およびメインチャンバー２６０の内部は排気され、これらに残存する第２の気体材料も、同時に排出される。
【０１３９】
上記バッファーチャンバー１１０、流路１６およびメインチャンバー２６０の内部の排気は、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力が初期の大きさになるまで行うことが好ましい。このとき、バッファーチャンバー１１０の内部の圧力およびメインチャンバー２６０の内部の圧力は、いずれも減少する。
【０１４０】
なお、第１の気体材料と第２の気体材料との混合がある程度は許容される場合などは、バッファーチャンバー１１０の内部およびバッファーチャンバー１１０の内部のパージ（ステップＳ１４０、Ｓ１５０、Ｓ１９０およびＳ２００）は省略してもよいし、バッファーチャンバー１１０の内部に残存する第１の気体材料および第２の気体材料の排出（ステップＳ１３０およびＳ１８０）をさらに省略してもよい。
【０１４１】
また、第１の気体材料が導入されるバッファーチャンバーと第２の気体材料が導入されるバッファーチャンバーとを別個に設けてもよい。このとき、ステップＳ１２０およびステップＳ１７０では、それぞれのステップで流路に導入されるべき気体材料が導入されたバッファーチャンバーを導入開口と気体連通させればよい。
【０１４２】
また、上記気体材料の導入（ステップＳ１１０）を容易にするため、ステップＳ１１０の前にバッファーチャンバー１１０の内部を排気して減圧してもよい。また、前回に導入した気体材料との混合を避けるため、上記減圧の前にバッファーチャンバー１１０の内部にパージガスでパージしてもよい。
【０１４３】
また、上記気体材料の導入（ステップＳ１１０）は、流路接続部１３０の弁（不図示）を閉鎖した状態で行ってもよい。
【０１４４】
また、第１の気体材料および第２の気体材料の導入を繰り返し行って流路１６の内表面をコーティングするとき（ＡＬＤなど）は、ステップＳ１１０〜ステップＳ２００を繰り返し行ってもよい。
【０１４５】
（効果）
本実施形態によれば、ＡＬＤなどの、複数の気体材料を用いての流路１６のコーティングが可能となる。具体的には、本実施形態によれば、上記複数の気体材料を、別工程で独立して流路１６に導入し、かつ、それぞれの気体材料を流路１６に導入する合間には、それぞれの気体材料の混合を抑制するためのパージガスによって流路１６をパージすることが可能となる。
【０１４６】
また、本実施形態によれば、コーティング装置の構成を第２の実施形態から大きく変化させずに、流路１６の内部を直接パージできる。そのため、コーティング装置は、複数の気体材料を用いてよりムラの少ないコーティングを可能にし、かつ、それぞれの気体材料の混合もより効果的に抑制可能である。
【０１４７】
［その他］
上記気体材料は、微小流路を流通することで微小流路の内壁面をコーティングできる材料を含むものであればよい。上記気体材料の例には、ＴＭＡ（トリメチルアルミニウム）、ＴｉＣｌ４（四塩化チタン）、アミノシラン類、シランカップリング剤、Ｈ２Ｏ、オゾンなどが含まれる。
【０１４８】
また、上記パージガスは、上記気体材料や微小流路チップを構成する材料などとの反応性が低い気体であればよい。上記パージガスの例には、窒素（Ｎ２）、アルゴン（Ａｒ）などが含まれる。
【０１４９】
微小流路は、その流路径が１μｍ以上１０００μｍ未満のマイクロ流路でもよいし、その流路径が１ｍｍ以上１０ｍｍ未満程度の流路でもよい。ただし、流路径がより小さいマイクロ流路において、気体材料を導入しやすいという本発明の効果は顕著である。
【０１５０】
微小流路チップなどの流体取扱装置は、微小流路で互いに連通した２つ以上の開口を有すればよく、３つ以上の開口を有してもよい。これらの開口のうち、任意に定められたひとつまたは複数の開口を導入開口、残りの開口を排出開口とすることができる。
【０１５１】
下側プレート部材および上側プレート部材は、樹脂材料のみならず、ガラスなどの材料から形成されてもよい。ただし、より疎水性であり、疎水性の物質が流路の内壁面に吸着することによるバックグラウンドの上昇や電気浸透流の発生などが生じやすい樹脂材料から形成されるとき、内壁面をコーティングすることへの要望はより高いため、本発明の効果は顕著である。
【産業上の利用可能性】
【０１５２】
本発明の微小流路のコーティング装置および微小流路のコーティング方法によれば、流路径がより小さい流路や、流路長がより長い流路のコーティングをより容易に行える。
【符号の説明】
【０１５３】
１０  微小流路チップ
１２  開口（導入開口）
１４  開口（排出開口）
１６  流路
１８  下側プレート部材
２０  上側プレート部材
１００、２００、３００  コーティング装置
１１０  バッファーチャンバー
１２０  ガス導入部
１２０ａ  第１のガス導入部
１２０ｂ  第２のガス導入部
１３０  流路接続部
１４０  排気部
２５０  配置部
２６０  メインチャンバー
２７０  流路排気部
２８０  加熱部
３２０ａ  第３のガス導入部
３２０ｂ  第４のガス導入部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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