(57)【要約】【課題】本発明では、導電性接着剤の塗布状態の検査工程を省くことができるパッケージ及び圧電デバイスを提供する。【解決手段】パッケージ（１１０）は、圧電振動片（１４０）が載置されるキャビティ（１１３）を有するパッケージであって、キャビティの底面（１１３ａ）に形成され、導電性接着剤（１３２）を介して圧電振動片に電気的に接続される第１配線電極（１１４ａ）と、第１配線電極に対して絶縁され、底面に第１配線電極に並んで形成され、導電性接着剤を介して圧電振動片に電気的に接続される第２配線電極（１１４ｂ）と、底面の第１配線電極及び第２配線電極の並んだ方向と交差する方向の領域に形成される検査電極（１１５）と、を備える。検査電極は、第２配線電極に電気的に接続される第１検査電極（１１５ａ）と、第１配線電極に電気的に接続される第２検査電極（１１５ｂ）と、を含む。【選択図】図２
2018022942.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動片が載置されるキャビティを有するパッケージであって、
前記キャビティの底面に形成され、導電性接着剤を介して前記圧電振動片に電気的に接続される第１配線電極と、
前記第１配線電極に対して絶縁され、前記底面に前記第１配線電極に並んで形成され、導電性接着剤を介して前記圧電振動片に電気的に接続される第２配線電極と、
前記底面の前記第１配線電極及び前記第２配線電極の前記並んだ方向と交差する方向の領域に形成される検査電極と、を備え、
前記検査電極は、前記第２配線電極に電気的に接続される第１検査電極と、前記第１配線電極に電気的に接続される第２検査電極と、を含むパッケージ。
【請求項２】
圧電振動片が載置されるキャビティを有するパッケージであって、前記キャビティの底面に形成されたホット端子及びアース端子と、
前記底面に形成され、導電性接着剤を介して前記圧電振動片に電気的に接続される第１配線電極と、
前記第１配線電極に対して絶縁され、前記第１配線電極に並んで前記底面に形成され、導電性接着剤を介して前記圧電振動片に電気的に接続される第２配線電極と、
前記底面の前記第１配線電極及び前記第２配線電極の前記並んだ方向と交差する方向の領域に少なくとも形成され、前記第１配線電極及び前記第２配線電極に対して絶縁されている検査電極と、を備え、
前記第１配線電極及び前記第２配線電極はそれぞれ異なる前記ホット端子に接続され、前記検査電極は前記アース端子に接続されるパッケージ。
【請求項３】
前記第１検査電極は前記第１配線電極に対して前記底面の中心側に形成され、前記第２検査電極は前記第２配線電極に対して前記底面の中心側に形成される請求項１に記載のパッケージ。
【請求項４】
前記第１検査電極は前記第１配線電極の前記交差する方向の両側に形成され、前記第２検査電極は前記第２配線電極の前記交差する方向の両側に形成される請求項１に記載のパッケージ。
【請求項５】
前記第１配線電極及び前記第２配線電極の前記交差する方向の幅は、前記導電性接着剤が前記第１配線電極及び前記第２配線電極に適正に塗布された場合の前記導電性接着剤の前記交差する方向の幅と同じ幅に形成される請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のパッケージ。
【請求項６】
前記検査電極は前記第１配線電極及び前記第２配線電極に対して前記交差する方向に所定の距離だけ離れて形成され、
前記所定の距離は、前記導電性接着剤が前記第１配線電極及び前記第２配線電極に適正に塗布された場合の前記導電性接着剤の前記交差する方向の幅より短く形成される請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のパッケージ。
【請求項７】
前記キャビティは平面形状が長方形状であり、前記第１配線電極及び第２配線電極は、該キャビティの１つの短辺側の端部に設けてある請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のパッケージ。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のパッケージと、前記圧電振動片と、を有し、
前記導電性接着剤が前記第１配線電極及び前記第２配線電極上に、前記検査電極に接触しないように塗布されている圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片が載置されるパッケージ、及びパッケージを有する圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミックのパッケージに圧電振動片を載置し、リッドで密封された圧電デバイスが知られている。このような圧電デバイスにおけるパッケージへの圧電振動片の載置では、まずパッケージに導電性接着剤が塗布され、その後、当該導電性接着剤に圧電振動片が接合される。
【０００３】
パッケージへの導電性接着剤の塗布では、導電性接着剤の塗布量が所定の量に対して増加又は減少し、塗布位置が所定の位置からずれる場合がある。このような場合、圧電デバイスのクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値及び耐衝撃性等について仕様が満たされない可能性がある。例えば特許文献１ではＣＩ値が励振電極と導電性接着剤との距離に影響される旨が示されている。励振電極と導電性接着剤との間の距離は導電性接着剤がパッケージに塗布された状態の位置及び大きさに関係する可能性が高く、この場合、ＣＩ値が高くなって圧電デバイスとしての仕様が満たされない可能性がある。また、導電性接着剤の塗布位置が大きくずれる場合には導電性接着剤の圧電振動片への接合が不十分になり、圧電デバイスの耐衝撃性が弱くなる可能性が高い。
【０００４】
そのため、パッケージに導電性接着剤が塗布された後にパッケージに導電性接着剤が適正に塗布されたか否かが検査される。パッケージへの導電性接着剤の塗布の検査では、例えば特許文献２において、パッケージに導電性接着剤が塗布された後にカメラを用いて導電性接着剤の塗布位置等が検査される旨が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−２１６６７
【特許文献２】特開２０１０−１２４２３３
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、この種の検査では一般に被検査物の画像情報を２値化処理しそれを基準と比較して被検査物の良否判定を行なう。従って、圧電デバイスの小型化が進めば進む程、例えば、画像の特徴が抽出され易いように導電性接着剤と背景との明暗を鮮明に出来るパターンを用意すること、また、画像処理のアルゴリズムを複雑にすること等が必要になる。これらは、圧電デバイスの設計自由度を低下させる、また、製造スループットを低下させる等を招くので好ましくない。
【０００７】
そこで、本発明では、導電性接着剤の塗布状態の検査工程を省くことができるパッケージ及び圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１観点のパッケージは、圧電振動片が載置されるキャビティを有するパッケージであって、キャビティの底面に形成され、導電性接着剤を介して圧電振動片に電気的に接続される第１配線電極と、第１配線電極に対して絶縁され、底面に第１配線電極に並んで形成され、導電性接着剤を介して圧電振動片に電気的に接続される第２配線電極と、底面の第１配線電極及び第２配線電極の並んだ方向と交差する方向の領域に形成される検査電極と、を備える。検査電極は、第２配線電極に電気的に接続される第１検査電極と、第１配線電極に電気的に接続される第２検査電極と、を含む。
【０００９】
第２観点のパッケージは、圧電振動片が載置されるキャビティを有するパッケージであって、キャビティの底面に形成されたホット端子及びアース端子と、底面に形成され、導電性接着剤を介して圧電振動片に電気的に接続される第１配線電極と、第１配線電極に対して絶縁され、第１配線電極に並んで底面に形成され、導電性接着剤を介して圧電振動片に電気的に接続される第２配線電極と、底面の第１配線電極及び第２配線電極の並んだ方向と交差する方向の領域に少なくとも形成され、第１配線電極及び第２配線電極に対して絶縁されている検査電極と、を備える。第１配線電極及び第２配線電極はそれぞれ異なるホット端子に接続され、検査電極がアース端子に接続される。
【００１０】
第３観点のパッケージは、第１観点において、第１検査電極が第１配線電極に対して底面の中心側に形成され、第２検査電極が第２配線電極に対して底面の中心側に形成される。
【００１１】
第４観点のパッケージは、第１観点において、第１検査電極が第１配線電極の交差する方向の両側に形成され、第２検査電極が第２配線電極の交差する方向の両側に形成される。
【００１２】
第５観点のパッケージは、第１観点から第４観点において、第１配線電極及び第２配線電極の交差する方向の幅が、導電性接着剤が第１配線電極及び第２配線電極に適正に塗布された場合の導電性接着剤の交差する方向の幅と同じ幅に形成される。
【００１３】
第６観点のパッケージは、第１観点から第５観点において、検査電極が第１配線電極及び第２配線電極に対して交差する方向に所定の距離だけ離れて形成され、所定の距離が、導電性接着剤が第１配線電極及び第２配線電極に適正に塗布された場合の導電性接着剤の交差する方向の幅より短く形成される。
【００１４】
第７観点のパッケージは、第１観点から第６観点において、キャビティが、平面形状が長方形状であり、第１配線電極及び第２配線電極が、該キャビティの１つの短辺側の端部に設けてある。
【００１５】
第８観点の圧電デバイスは、第１観点から第７観点のパッケージと、圧電振動片と、を有し、導電性接着剤が第１配線電極及び第２配線電極上に、検査電極に接触しないように塗布されている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のパッケージ及び圧電デバイスによれば、導電性接着剤の塗布状態の検査工程を省くことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（ａ）は、圧電デバイス１００の斜視図である。  （ｂ）は、リッド１２０が取り外された圧電デバイス１００の斜視図である。
【図２】（ａ）は、圧電デバイス１００の概略断面図である。  （ｂ）は、パッケージ１１０の上面図である。  （ｃ）は、導電性接着剤１３２が塗布されたパッケージ１１０の上面図である。
【図３】（ａ）は、導電性接着剤１３２の塗布不良例１が示されたパッケージ１１０の平面図である。  （ｂ）は、導電性接着剤１３２の塗布不良例２が示されたパッケージ１１０の平面図である。  （ｃ）は、導電性接着剤１３２の塗布不良例３が示されたパッケージ１１０の平面図である。
【図４】（ａ）は、パッケージ２１０の上面図である。  （ｂ）は、パッケージ３１０の上面図である。
【図５】圧電デバイス４００の分解斜視図である。
【図６】（ａ）は、圧電デバイス４００の断面図である。  （ｂ）は、パッケージ４１０の上面図である。
【図７】パッケージ５１０の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１９】
（第１実施形態）
＜圧電デバイス１００の構成＞
図１（ａ）は、圧電デバイス１００の斜視図である。圧電デバイス１００は、主に、パッケージ１１０と、パッケージ１１０内に載置される圧電振動片１４０と、圧電振動片１４０をパッケージ１１０内に密封するリッド１２０と、により構成されている。リッド１２０は、例えば半田１３０を介してパッケージ１１０に接合される。圧電デバイス１００の外形は略直方体形状に形成されている。以下の説明では、圧電デバイス１００の長辺と平行にＸ軸が伸び、短辺と平行にＺ軸が伸び、Ｙ軸がＸ軸及びＺ軸に垂直に伸びるとして説明する。
【００２０】
図１（ｂ）は、リッド１２０が取り外された圧電デバイス１００の斜視図である。パッケージ１１０は例えばセラミックにより形成され、パッケージ１１０の内部には圧電振動片１４０を載置するための空間であるキャビティ１１３が形成されている。パッケージ１１０の＋Ｙ軸側の面のキャビティ１１３の周囲には、リッド１２０に接合される接合面１１２が形成されている。また、パッケージ１１０の−Ｙ軸側の面である実装面１１１ｃには、実装端子１１１ａ及び実装端子１１１ｂが形成されている。キャビティ１１３内の−Ｙ軸側の面である底面１１３ａには第１配線電極１１４ａ及び第２配線電極１１４ｂが形成されている。
【００２１】
図１（ｂ）では、キャビティ１１３に形成される第１配線電極１１４ａ及び第２配線電極１１４ｂ上に圧電振動片１４０が載置されている状態が示されている。圧電振動片１４０は両主面に励振電極１４１が形成されており、圧電振動片１４０の−Ｘ軸側の辺の両端に励振電極１４１から引出電極１４２が引き出されている。圧電振動片１４０の＋Ｙ軸側の面に形成される励振電極１４１は圧電振動片１４０の−Ｘ軸側の辺の−Ｚ軸側の端に形成される引出電極１４２に電気的に接続され、圧電振動片１４０の−Ｙ軸側の面に形成される励振電極１４１は圧電振動片１４０の−Ｘ軸側の辺の＋Ｚ軸側の端に形成される引出電極１４２に電気的に接続されている。
【００２２】
図２（ａ）は、圧電デバイス１００の概略断面図である。図２（ａ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ断面及び後述の図２（ｂ）に示されるパッケージ１１０のＡ−Ａ断面を含んでいる。リッド１２０は、例えば鉄、ニッケル、及びコバルト等の合金であるコバールを基材とし、その表面にニッケルめっき層及び金めっき層等が形成されることにより形成される。図２（ａ）では、パッケージ１１０の接合面１１２に金メタライズパターン１１２ａが形成され、金メタライズパターン１１２ａとリッド１２０とが半田１３０を介して接合されることによりキャビティ１１３が密封された例が示されている。
【００２３】
図２（ａ）では、キャビティ１１３の底面１１３ａに形成される第１配線電極１１４ａが示されている。底面１１３ａは、例えば略長方形状に形成される。第１配線電極１１４ａは引出電極１４２に導電性接着剤１３２を介して電気的に接続されている。また、第１配線電極１１４ａはパッケージ１１０を貫通する貫通電極１１６ａを介して実装端子１１１ａに電気的に接続されている。底面１１３ａの第１配線電極１１４ａの＋Ｘ軸側には、第１配線電極１１４ａとは絶縁されている第２検査電極１１５ｂが形成されている。第２検査電極１１５ｂは、底面１１３ａに形成される接続電極１１７ｂ及びパッケージ１１０を貫通する貫通電極１１６ｂを介して実装端子１１１ｂに電気的に接続されている。圧電振動片１４０は、導電性接着剤１３２が第２検査電極１１５ｂに接触しないように第１配線電極１１４ａ上に塗布されることによりキャビティ１１３内に載置されている。
【００２４】
図２（ｂ）は、パッケージ１１０の上面図である。パッケージ１１０のキャビティ１１３の底面１１３ａには、圧電振動片１４０の引出電極１４２に電気的に接続される第１配線電極１１４ａ及び第２配線電極１１４ｂがＺ軸方向に並んで形成されている。図２（ａ）では、貫通電極１１６ａ及び貫通電極１１６ｂが点線で示されており、第１配線電極１１４ａは貫通電極１１６ａに電気的に接続されている。第１配線電極１１４ａ及び第２配線電極１１４ｂの＋Ｘ軸側には、導電性接着剤１３２の塗布の不良を検出するための検査電極１１５が形成されている。検出電極１１５は、第１配線電極１１４ａの＋Ｘ軸側に形成される第２検査電極１１５ｂと、第２配線電極１１４ｂの＋Ｘ軸側に形成される第１検査電極１１５ａと、を含んでいる。第１検査電極１１５ａは底面１１３ａに形成される接続電極１１７ａを介して第１配線電極１１４ａに接続されている。また、第２検査電極１１５ｂは、接続電極１１７ｂを介して第２配線電極１１４ｂ及び貫通電極１１６ｂに電気的に接続されている。
【００２５】
図２（ｃ）は、導電性接着剤１３２が塗布されたパッケージ１１０の上面図である。導電性接着剤１３２が適正に塗布された場合には、導電性接着剤１３２は第１検査電極１１５ａ及び第２検査電極１１５ｂに接触しないように第１配線電極１１４ａ上及び第２配線電極１１４ｂ上に塗布される。パッケージ１１０では、第１配線電極１１４ａ及び第２配線電極１１４ｂのＸ軸方向の幅をＷ１、第１配線電極１１４ａと第２検査電極１１５ｂとの間の幅及び第２配線電極１１４ｂと第１検査電極１１５ａとの間の幅をＷ２、導電性接着剤１３２が適正にパッケージ１１０の底面１１３ａ上に塗布されたときの導電性接着剤１３２の直径をＷ３とすると、幅Ｗ１及び幅Ｗ２は、直径Ｗ３の大きさ及び他の様々な要素により調整される。例えば、幅Ｗ１、幅Ｗ２、直径Ｗ３は、導電性接着剤１３２の塗布位置及び塗布量の許容範囲を考慮して、幅Ｗ１が直径Ｗ３と同じ幅に形成され、幅Ｗ２が直径Ｗ３と同じ又はこれよりも小さく形成されることができる。
【００２６】
また、圧電振動片の励振電極と圧電振動片に接合される導電性接着剤との距離が近くなる場合には、ＣＩ値が高くなることが知られている。そのため、圧電振動片に接合される導電性接着剤の位置と励振電極との間の距離が近くなりすぎた状態を不良として検出できるように、すなわち、ＣＩ値が許容範囲を超えて高くなるほどに導電性接着剤と励振電極との間の距離が近くなる場合を不良状態として検出できるように、検査電極１１５の位置を定めても良い。この場合、検査電極１１５の形成位置の決定には、圧電振動片の大きさ、形状、励振電極の大きさ、形状、形成位置、引出電極の形成位置、大きさ、などが考慮され得る。
【００２７】
＜導電性接着剤の塗布不良例＞
従来、パッケージに導電性接着剤を塗布した後に、導電性接着剤の量及び塗布位置等が適切か否かの検査がカメラを用いて行われていた。しかし、上述したように、導電性接着剤と背景との明暗を鮮明に出来るパターンを用意すること、また、画像処理のアルゴリズムを複雑にすること等が必要になるので、好ましくない。
【００２８】
パッケージ１１０を用いた場合には、カメラによる検査を行わなくてもパッケージ１１０への導電性接着剤１３２の塗布不良があった場合に、圧電デバイスとして不良を検出することができる。以下に、パッケージ１１０を用いた場合の導電性接着剤１３２の塗布不良例を示し、圧電デバイスとしての不良がどのように検出されるかを説明する。
【００２９】
図３（ａ）は、導電性接着剤１３２の塗布不良例１が示されたパッケージ１１０の平面図である。図３（ａ）では、第１配線電極１１４ａ上に塗布される導電性接着剤１３２が導電性接着剤１３２ａとして表され、第２配線電極１１４ｂ上に塗布される導電性接着剤１３２が導電性接着剤１３２ｂとして表されている。図３（ａ）では、導電性接着剤１３２ａの塗布位置が＋Ｘ軸側にずれて、導電性接着剤１３２ａが第２検査電極１１５ｂに接触した状態が示されている。図３（ａ）の状態で圧電振動片１４０がキャビティ１１３に載置されて圧電デバイス１００が形成されたとしても、第１配線電極１１４ａと第２配線電極１１４ｂとは、導電性接着剤１３２ａおよび第２検査電極１１５ｂを介して短絡しており、圧電デバイス１００は不発振となる。
【００３０】
検査電極が形成されない従来のパッケージでは、図３（ａ）のように導電性接着剤１３２ａが＋Ｘ軸側にずれて塗布された場合でも、導電性接着剤１３２ａが第１配線電極１１４ａに接触しているため、及び、第２検査電極１１５ｂが無いため、圧電デバイスとしては発振することができる。しかし、当該圧電デバイスは導電性接着剤と励振電極との間の距離が短くなり、ＣＩ値が大きくなる可能性が高いため良品とは言えず、カメラ検査が行われない場合には不良が検出されずに出荷されてしまう可能性がある。これに対して、パッケージ１１０が用いられた場合には圧電デバイスが不発振となるため、導電性接着剤の塗布状態のカメラ検査工程がなくても出荷前検査等の他の検査工程で当該圧電デバイス１００を不良品として確実に検出することができる。
【００３１】
図３（ｂ）は、導電性接着剤１３２の塗布不良例２が示されたパッケージ１１０の平面図である。図３（ｂ）では、導電性接着剤１３２の塗布位置は適切であるものの導電性接着剤１３２の塗布量が多く、導電性接着剤１３２ａ及び導電性接着剤１３２ｂが第２検査電極１１５ｂ及び第１検査電極１１５ａに接触している状態が示されている。図３（ｂ）に示される状態では、導電性接着剤１３２ａと導電性接着剤１３２ｂとが短絡することとなり、圧電デバイスは不発振となる。そのため、図３（ａ）の場合と同様に、導電性接着剤の塗布状態のカメラ検査工程がなくても出荷前検査等の他の検査工程で当該圧電デバイス１００を不良品として確実に検出することができる。
【００３２】
図３（ｃ）は、導電性接着剤１３２の塗布不良例３が示されたパッケージ１１０の平面図である。図３（ｃ）では、導電性接着剤１３２のパッケージ１１０への塗布量が少なく、さらに導電性接着剤１３２が−Ｘ軸側にずれて塗布された状態が示されている。パッケージ１１０では、第１配線電極１４４ａ及び第２配線電極１４４ｂのＸ軸方向の幅Ｗ１が所定の幅に決められている。そのため、導電性接着剤１３２の塗布量が少なく、塗布位置が−Ｘ軸側に大きくずれる場合には、導電性接着剤１３２が第１配線電極１１４ａ及び第２配線電極１１４ｂからはみ出して第１配線電極１１４ａ及び第２配線電極１１４ｂに電気的に接続されない。この状態で、圧電デバイス１００を形成した場合、当該圧電デバイス１００は不発振となる。
【００３３】
従来のパッケージでは、導電性接着剤１３２が塗布される配線電極が導電性接着剤の塗布位置がずれても導通を確保できるように大きく形成されていた。しかし、図３（ｃ）に示されるような導電性接着剤の塗布状態で圧電デバイスが形成された場合、導電性接着剤の形成位置が適正位置からずれていること及び導電性接着剤の塗布量が十分でないことから圧電振動片と導電性接着剤との接合が十分ではなく、圧電デバイスの耐衝撃性が弱くなっている可能性が高い。すなわち、当該圧電デバイスは不良品と言える。パッケージ１１０を用いて圧電デバイス１００が形成された場合には図３（ｃ）の状態で不発振となるため、カメラ検査により導電性接着剤の塗布状態を検査しなくても圧電デバイスが不良状態であることを検出することができる。
【００３４】
以上のように、パッケージ１１０を用いた場合には、導電性接着剤の塗布状態のカメラ検査工程を省いても、導電性接着剤の塗布位置が大きくずれ、導電性接着剤の塗布量が大きく変動したことに起因して生じる不良状態を検出することができる。そのため、カメラ検査工程を省くことによる製造工程の短縮化及び簡略化を図ると共に、圧電デバイスの製造コストを下げることができる。
【００３５】
（第２実施形態）
検査電極は、様々な形状及び位置に形成されても良い。以下に、パッケージの底面に形成される検査電極の変形例について説明する。
【００３６】
＜パッケージ２１０の構成＞
図４（ａ）は、パッケージ２１０の上面図である。パッケージ２１０には、底面１１３ａに第１配線電極１１４ａ及び第２配線電極１１４ｂが形成され、第１配線電極１１４ａの＋Ｘ軸側に幅Ｗ２だけ離れて第２検査電極２１５ｂが形成され、第２配線電極１１４ｂの−Ｘ軸側に幅Ｗ４だけ離れて第１検査電極２１５ａが形成されている。また、第１配線電極１１４ａと第１検査電極２１５ａとは接続電極２１７ａにより電気的に接続され、第２配線電極１１４ｂ、第２検査電極２１５ｂ、及び貫通電極１１６ｂが接続電極２１７ｂにより電気的に接続されている。パッケージ２１０の他の構成は、パッケージ１１０と同じである。
【００３７】
パッケージ２１０は、第１配線電極１１４ａ上に塗布される導電性接着剤１３２ａ及び第２配線電極１１４ｂ上に塗布される導電性接着剤１３２ｂの塗布位置がＺ軸方向に揃って形成され、一方の導電性接着剤のみがＸ軸方向にずれ難い場合に、特に用いることができる。パッケージ２１０では、一対の導電性接着剤１３２が＋Ｘ軸側にずれる場合には第２検査電極２１５ｂに導電性接着剤１３２が接触し、−Ｘ軸側にずれる場合には第１検査電極２１５ａに導電性接着剤１３２が接触する。また、導電性接着剤１３２の塗布量が多い場合には第１検査電極２１５ａ又は第２検査電極２１５ｂの少なくとも一方に導電性接着剤１３２が接触することにより、一対の導電性接着剤１３２同士が短絡する。そのため、パッケージ１１０と同様に、導電性接着剤の塗布状態のカメラ検査工程を省いても、導電性接着剤の塗布位置が大きくずれ、導電性接着剤の塗布量が大きく変動したことに起因して生じる不良状態を検出することができる。そのため、カメラ検査工程を省くことによる製造工程の短縮化及び簡略化を図ると共に、圧電デバイスの製造コストを下げることができる。
【００３８】
＜パッケージ３１０の構成＞
図４（ｂ）は、パッケージ３１０の上面図である。パッケージ３１０には、底面１１３ａに第１配線電極１１４ａ及び第２配線電極１１４ｂが形成されている。また、第１配線電極１１４ａの±Ｘ軸側及び−Ｚ軸側を「コ」の字状に囲むように第２検査電極３１５ｂが形成され、第２配線電極１１４ｂの±Ｘ軸側及び＋Ｚ軸側を「コ」の字状に囲むように第１検査電極３１５ａが形成されている。第１配線電極１１４ａと第１検査電極３１５ａとは接続電極３１７ａにより電気的に接続され、第２配線電極１１４ｂ、第２検査電極３１５ｂ、及び貫通電極１１６ｂが接続電極３１７ｂにより電気的に接続されている。パッケージ３１０の他の構成は、パッケージ１１０と同じである。
【００３９】
パッケージ３１０では、第１配線電極１１４ａ上に塗布される導電性接着剤１３２ａ及び第２配線電極１１４ｂ上に塗布される導電性接着剤１３２ｂについて、塗布位置のずれ又は塗布量の増大が生じた場合に起こる不良状態を、導電性接着剤１３２同士の短絡を検出すること又は短絡に伴う不発振を検出することにより検査することができる。
【００４０】
（第３実施形態）
パッケージに形成される検査電極は、アース端子に接続されることにより接地されても良い。以下に、検査電極が接地されたパッケージについて説明する。
【００４１】
＜圧電デバイス４００の構成＞
図５は、圧電デバイス４００の分解斜視図である。圧電デバイス４００は、主に、パッケージ４１０と、圧電振動片１４０と、平板状のリッド４２０と、により形成されている。パッケージ４１０は、内部に圧電振動片１４０を載置する空間であるキャビティ４１３が形成されており、キャビティ４１３内の−Ｙ軸側の面である底面４１３ａには第１配線電極１１４ａ、第２配線電極１１４ｂ、及び検査電極４１５が形成されている。また、パッケージ４１０の＋Ｙ軸側の面のキャビティ４１３の周囲には、リッド４２０に接合される接合面４１２が形成されている。
【００４２】
パッケージ４１０は、例えばセラミックにより形成され、第１層４１０ａと、第２層４１０ｂと、が重ね合わされることにより形成されている。第１層４１０ａはパッケージ４１０の＋Ｙ軸側の部分であってキャビティ４１３の側面を構成し、第２層４１０ｂは第１層４１０ａの−Ｙ軸側に接合されてパッケージ４１０の−Ｙ軸側の部分を構成している。また、パッケージ４１０の側面の各角部には、パッケージ４１０の内側に凹んだキャスタレーション４１８が形成されている。パッケージ４１０の−Ｙ軸側の面である実装面４１１ｃには、一対のホット端子４１１ａ及び一対のアース端子４１１ｂが形成されている。
【００４３】
図６（ａ）は、圧電デバイス４００の断面図である。図６（ａ）は、図５及び後述される図６（ｂ）のＢ−Ｂ断面を含んでいる。図６（ａ）では、導電性接着剤１３２により第２配線電極１１４ｂと引出電極１４２とが接合され、圧電振動片１４０がパッケージ４１０のキャビティ４１３に載置されている状態が示されている。第２配線電極１１４ｂは接続電極４１７ｂを介して実装面４１１ｃに形成されるホット端子４１１ａに電気的に接続されている。また、検査電極４１５は、接続電極４１７ｃを介して実装面４１１ｃに形成されるアース端子４１１ｂに電気的に接続されている。
【００４４】
図６（ｂ）は、パッケージ４１０の上面図である。図６（ｂ）では、キャビティ４１３の底面４１３ａに形成される電極が示されると共に、第１層４１０ａ及び第２層４１０ｂを透過して、第１層４１０ａと第２層４１０ｂとの間に形成される電極及び実装面４１１ｃに形成される電極が点線で示されている。パッケージ４１０の実装面４１１ｃには、一対のホット端子４１１ａと一対のアース端子４１１ｂとが形成されている。アース端子４１１ｂは接地側の端子であり、ホット端子４１１ａは非接地側の端子である。ホット端子４１１ａは、実装面４１１ｃの＋Ｘ軸側の−Ｚ軸側及び−Ｘ軸側の＋Ｚ軸側の角部に形成されている。また、アース端子４１１ｂは、実装面４１１ｃの−Ｘ軸側の−Ｚ軸側及び＋Ｘ軸側の＋Ｚ軸側の角部に形成されている。
【００４５】
パッケージ４１０のキャビティ４１３の底面４１３ａには、第１配線電極１１４ａ、第２配線電極１１４ｂ、及び検査電極４１５が形成されている。第１配線電極１１４ａは、第１層４１０ａと第２層４１０ｂとの間及び＋Ｘ軸側の−Ｚ軸側の角部のキャスタレーション４１８に形成される接続電極４１７ａを介して、＋Ｘ軸側の−Ｚ軸側の角部に形成されるホット端子４１１ａに電気的に接続されている。第２配線電極１１４ｂは、第１層４１０ａと第２層４１０ｂとの間及び−Ｘ軸側の＋Ｚ軸側の角部のキャスタレーション４１８に形成される接続電極４１７ｂを介して、−Ｘ軸側の＋Ｚ軸側の角部に形成されるホット端子４１１ａに電気的に接続されている。検査電極４１５は、底面４１３ａ及び＋Ｘ軸側の＋Ｚ軸側の角部のキャスタレーション４１８に形成される接続電極４１７ｃを介して、＋Ｘ軸側の＋Ｚ軸側の角部に形成されるアース端子４１１ｂに電気的に接続されている。また、検査電極４１５は、第１配線電極１１４ａ及び第２配線電極１１４ｂに対してＸ軸方向に幅Ｗ２だけ離れて形成されている。
【００４６】
パッケージ４１０では、第１配線電極１１４ａ上に形成される導電性接着剤１３２ａ又は第２配線電極１１４ｂ上に形成される導電性接着剤１３２ｂの塗布位置がずれ、又は導電性接着剤１３２の塗布量が多くなりすぎて検査電極４１５に接触した場合、導電性接着剤１３２がアース端子４１１ｂに電気的に接続されることになり、アース端子４１１ｂの他の回路との接続具合によっては、圧電デバイスは不発振となる。又は、アース端子４１１ｂと、第１配線電極１１４ａおよび第２配線電極１１４ｂとの間の導通検査を実施することにより、不良を検出することが出来る。このため、パッケージ４１０が用いられた場合には、パッケージ１１０を用いた場合と同様に、カメラにより導電性接着剤の塗布状態を検査しなくても圧電デバイスが不良状態であることを検出することができる。
【００４７】
＜パッケージ５１０の構成＞
図７は、パッケージ５１０の平面図である。パッケージ５１０は、パッケージ４１０において、さらに第１配線電極１１４ａ及び第２配線電極１１４ｂの−Ｘ軸側に検査電極５１５が形成されることにより構成されている。検査電極５１５は、第１層４１０ａと第２層４１０ｂとの間及び−Ｘ軸側の−Ｚ軸側の角部のキャスタレーション４１８に形成される接続電極５１７を介して、実装面４１１ｃの−Ｘ軸側の−Ｚ軸側の角部に形成されるアース端子４１１ｂに電気的に接続されている。
【００４８】
パッケージ４１０では、導電性接着剤１３２の塗布位置が−Ｘ軸側に大きくずれたものの導電性接着剤１３２の塗布量が多く、導電性接着剤１３２が配線電極１１４に接触している場合には圧電デバイスとして不発振とはならない。パッケージ５１０では、このような場合であっても、導電性接着剤１３２が検査電極５１５に接触することにより圧電デバイスを不発振とし、カメラにより導電性接着剤の塗布状態を検査しなくても圧電デバイスが不良状態であることを検出することができる。
【００４９】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。例えば、第１配線電極及び第２配線電極は、キャビティの１つの短辺側の端部に設けられても良い。また、上記の実施形態は様々に組み合わせて実施されても良い。
【符号の説明】
【００５０】
１００、４００  …  圧電デバイス
１１０、２１０、３１０、４１０  …  パッケージ
１１１ａ、１１１ｂ  …  実装端子
１１１ｃ、４１１ｃ  …  実装面
１１２、４１２  …  接合面
１１２ａ  …  金メタライズパターン
１１３、４１３  …  キャビティ
１１３ａ、４１３ａ  …  底面
１１４ａ  …  第１配線電極
１１４ｂ  …  第２配線電極
１１５、２１５、４１５、５１５  …  検査電極
１１５ａ、２１５ａ、３１５ａ  …  第１検査電極
１１５ｂ、２１５ｂ、３１５ｂ  …  第２検査電極
１１６ａ、１１６ｂ  …  貫通電極
１１７ａ、１１７ｂ、２１７ａ、２１７ｂ、３１７ａ、３１７ｂ、４１７ａ、４１７ｂ、４１７ｃ、５１７  …  接続電極
１２０、４２０  …  リッド
１３０  …  半田
１３２、１３２ａ、１３２ｂ  …  導電性接着剤
１４０  …  圧電振動片
１４１  …  励振電極
１４２  …  引出電極
４１１ａ  …  ホット端子
４１１ｂ  …  アース端子
４１８  …  キャスタレーション
【図１】
2018022942.tif 000003
【図２】
2018022942.tif 000004
【図３】
2018022942.tif 000005
【図４】
2018022942.tif 000006
【図５】
2018022942.tif 000007
【図６】
2018022942.tif 000008
【図７】
2018022942.tif 000009