(57)【要約】【課題】試料ホルダの種類を容易に識別することができる分析装置を提供する。【解決手段】複数の第１端子３１は、試料ホルダ２に設けられ、試料ホルダ２に備えられた電気部品にそれぞれ電気的に接続された端子を含む。複数の第２端子３２は、試料ステージ３に設けられ、試料ステージ３に取り付けられた試料ホルダ２の複数の第１端子３１にそれぞれ接触する。コントローラ３００は、真空チャンバの外部に設けられ、複数の第２端子３２を介して複数の第１端子３１との間で信号の入力又は出力を行う。複数の第１端子３１のうち、電気部品に接続されていない１対の端子同士が短絡されている。コントローラ３００は、複数の第２端子３２のうち、試料ステージ３に試料ホルダ２を取り付けたときに前記１対の端子に接触する端子間の通電状態の変化に基づいて、試料ホルダ２の種類を識別する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ内の試料に電子線又はＸ線を照射することにより分析を行う分析装置であって、
試料を保持する試料ホルダと、
前記真空チャンバ内に設けられ、前記試料ホルダを着脱可能な取付部と、
前記試料ホルダに設けられ、当該試料ホルダに備えられた電気部品にそれぞれ電気的に接続された端子を含む複数の第１端子と、
前記取付部に設けられ、当該取付部に取り付けられた前記試料ホルダの前記複数の第１端子にそれぞれ接触する複数の第２端子と、
前記真空チャンバの外部に設けられ、前記複数の第２端子を介して前記複数の第１端子との間で信号の入力又は出力を行うコントローラとを備え、
前記複数の第１端子のうち、前記電気部品に接続されていない１対の端子同士が短絡されており、
前記コントローラは、前記複数の第２端子のうち、前記取付部に前記試料ホルダを取り付けたときに前記１対の端子に接触する端子間の通電状態の変化に基づいて、前記試料ホルダの種類を識別することを特徴とする分析装置。
【請求項２】
前記複数の第２端子に対して接続された信号切換え装置をさらに備え、
前記信号切換え装置を介して複数種類の前記コントローラが前記複数の第２端子に接続可能となっており、
前記信号切換え装置は、前記取付部に前記試料ホルダが取り付けられたときに、当該試料ホルダの種類に応じて配線の切替動作を自動で行うことにより、当該試料ホルダに対応する種類のコントローラを前記複数の第２端子に接続することを特徴とする請求項１に記載の分析装置。
【請求項３】
前記複数の第１端子には、前記電気部品に接続されていない端子が複数対あり、各対の端子同士が短絡されており、
前記信号切換え装置は、前記複数対の端子に対する配線の接続状態を切り替える切替部を有することを特徴とする請求項２に記載の分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバ内の試料に電子線又はＸ線を照射することにより分析を行う分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
分析装置の一例である電子線マイクロアナライザー（ＥＰＭＡ：Electron Probe Microanalyzer）では、試料に電子線を照射し、この照射によって試料から発生するＸ線を検出することにより、試料の元素分析を行うことができる。ＥＰＭＡには、試料を保持するための試料ホルダが着脱可能となっている。試料ホルダは、用途に応じて複数準備されており、用途に適した試料ホルダを試料ステージに搭載して、分析を行うことができるようになっている。
【０００３】
試料ステージは真空チャンバ内に設けられており、この試料ステージに対して試料ホルダが着脱可能となっている。試料ホルダには、モータなどの複数の電子部品（図示せず）が備えられており、これらの電子部品にそれぞれ電気的に接続された第１端子が、試料ホルダの下面に形成されている。一方、試料ステージの上面には、試料ホルダが取り付けられたときに第１端子に接触する複数の第２端子が形成されている。このような接続端子の接触により電気的な接続を行う構成は、分析装置において一般的に採用されている（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００４】
試料ステージには、コネクタを介して、真空チャンバの外部に設けられたコントローラが接続される。これにより、第１端子及び第２端子を介して試料ホルダに接続されたコントローラから、試料ホルダに備えられた電子部品に対する制御を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−８３９８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
用途に応じて準備される複数の試料ホルダには、それぞれ専用のコントローラを接続しなければならない。そのため、試料ホルダを交換する度に、コネクタを着脱して別のコントローラを手動で接続し直す必要があり、作業が煩雑になるという問題があった。
【０００７】
また、真空チャンバ内に設置されている試料ステージ上の試料ホルダは、真空チャンバの外部から目視できないため、設置後の試料ホルダの識別を容易に行うことができない。そのため、設置された試料ホルダに対応していないコントローラを誤って接続するおそれがあり、その場合には、試料ホルダ及びコントローラが破損する原因ともなる。
【０００８】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、試料ホルダの種類を容易に識別することができる分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本発明に係る分析装置は、真空チャンバ内の試料に電子線又はＸ線を照射することにより分析を行う分析装置であって、試料ホルダと、取付部と、複数の第１端子と、複数の第２端子と、コントローラとを備える。前記試料ホルダは、試料を保持する。前記取付部は、前記真空チャンバ内に設けられ、前記試料ホルダを着脱可能である。前記複数の第１端子は、前記試料ホルダに設けられ、当該試料ホルダに備えられた電気部品にそれぞれ電気的に接続された端子を含む。前記複数の第２端子は、前記取付部に設けられ、当該取付部に取り付けられた前記試料ホルダの前記複数の第１端子にそれぞれ接触する。前記コントローラは、前記真空チャンバの外部に設けられ、前記複数の第２端子を介して前記複数の第１端子との間で信号の入力又は出力を行う。前記複数の第１端子のうち、前記電気部品に接続されていない１対の端子同士が短絡されている。前記コントローラは、前記複数の第２端子のうち、前記取付部に前記試料ホルダを取り付けたときに前記１対の端子に接触する端子間の通電状態の変化に基づいて、前記試料ホルダの種類を識別する。
【００１０】
このような構成によれば、試料ホルダに設けられた複数の第１端子のうち、電気部品に接続されていない１対の端子同士を短絡させることにより、取付部に設けられた複数の第２端子のうち、これらの１対の端子に接触する端子間の通電状態の変化に基づいて、試料ホルダの種類を識別することができる。したがって、試料ホルダに設けられた複数の第１端子のうち使用していない端子を用いて、試料ホルダの種類を容易に識別することができる。
【００１１】
（２）前記分析装置は、前記複数の第２端子に対して接続された信号切換え装置をさらに備えていてもよい。この場合、前記信号切換え装置を介して複数種類の前記コントローラが前記複数の第２端子に接続可能となっていてもよい。また、前記信号切換え装置は、前記取付部に前記試料ホルダが取り付けられたときに、当該試料ホルダの種類に応じて配線の切替動作を自動で行うことにより、当該試料ホルダに対応する種類のコントローラを前記複数の第２端子に接続してもよい。
【００１２】
このような構成によれば、信号切換え装置により配線の切替動作を自動で行い、取付部に取り付けられた試料ホルダに対応する種類のコントローラを複数の第２端子に自動的に接続することができる。したがって、試料ホルダに対応するコントローラを手動で接続し直す必要がないため、作業が煩雑になるのを防止することができる。
【００１３】
（３）前記複数の第１端子には、前記電気部品に接続されていない端子が複数対あり、各対の端子同士が短絡されていてもよい。この場合、前記信号切換え装置は、前記複数対の端子に対する配線の接続状態を切り替える切替部を有していてもよい。
【００１４】
このような構成によれば、それぞれ短絡された複数対の端子に対する配線の接続状態を切替部で切り替えることにより、さらに多くの試料ホルダの種類を容易に識別することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、試料ホルダに設けられた複数の第１端子のうち使用していない端子を用いて、試料ホルダの種類を容易に識別することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係るＥＰＭＡの構成例を示した概略図である。
【図２】試料ホルダに関する電気的構成について説明するための概略図である。
【図３】信号切換え装置の一例を示した回路図である。
【図４】試料ホルダの第１実施例を示した回路図である。
【図５】図４の試料ホルダが試料ステージに取り付けられたときの回路図である。
【図６】試料ホルダの第２実施例を示した回路図である。
【図７】図６の試料ホルダが試料ステージに取り付けられたときの回路図である。
【図８】図７の状態からジャンパーピンが切り替えられたときの回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
１．電子線マイクロアナライザーの全体構成
図１は、本発明の一実施形態に係るＥＰＭＡ１００の構成例を示した概略図である。ＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザー）１００は、分析装置の一例であり、ハウジング１内に試料Ｓを設置して電子線を照射することにより、試料Ｓから発生するＸ線を検出して分析を行うための装置である。分析時には、ハウジング１内が真空状態とされることにより、ハウジング１が真空チャンバとして機能する。ＥＰＭＡ１００には、試料ホルダ２、試料ステージ３、電子線照射部４、ＥＤＳ５、ＷＤＳ６、二次電子検出器７などが備えられている。
【００１８】
試料ホルダ２は、試料を保持するための部材であり、試料ステージ３に対して着脱可能である。試料ステージ３は、ハウジング１内に設けられており、水平面内において互いに直交する２軸（Ｘ軸及びＹ軸）と、鉛直方向のＺ軸に沿って変位可能である。試料ホルダ２は、試料ステージ３を着脱可能な取付部を構成している。この試料ステージ３の変位を制御することにより、試料Ｓの表面上における測定領域（電子線が照射される領域）を調整することができる。
【００１９】
電子線照射部４は、電子源４１、コンデンサレンズ４２、絞り４３、走査コイル４４、対物レンズ４５などを備えている。電子源４１から放出される電子線は、コンデンサレンズ４２により集光され、絞り４３により光束が絞られた後、対物レンズ４５により小さいスポット状となって試料Ｓの表面に照射される。試料Ｓの表面に照射される電子線は、走査コイル４４により、測定領域内で水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に走査される。電子線が照射された試料Ｓの表面からは、Ｘ線が発生し、そのＸ線がＥＤＳ５及びＷＤＳ６に入射する。
【００２０】
ＥＤＳ５は、Ｘ線のエネルギースペクトルを求める分光器（エネルギー分散型Ｘ線分光器）であり、図示しない半導体検出器及びマルチチャンネルアナライザを備えている。試料ＳからのＸ線は、半導体検出器に入射して電気信号に変換され、入射するＸ線のエネルギーに比例する高さのパルスがマルチチャンネルアナライザに導かれる。これにより、Ｘ線エネルギーに対応させた各チャンネルにパルス個数を積算し、Ｘ線スペクトルのデータを取得することができる。ＥＤＳ５は、ハウジング１の外側から着脱可能であり、本実施形態のようにＥＰＭＡ１００に追加で装備することができるが、省略することも可能である。
【００２１】
ＷＤＳ６は、Ｘ線の回折現象を利用する分光器（波長分散型Ｘ線分光器）であり、分光結晶６１及びＸ線検出器６２を備えている。試料ＳからのＸ線は、分光素子としての分光結晶６１により分光されてＸ線検出器６２に入射する。このとき、分光結晶６１に対するＸ線の入射角を制御することにより、Ｂｒａｇｇの回折条件を満たす波長のＸ線のみをＸ線検出器６２で検出し、Ｘ線スペクトルのデータを取得することができる。ＷＤＳ６は、ハウジング１内に複数設けられている。これにより、ＷＤＳ６の数と同じ数の元素を同時に分析することができる。
【００２２】
測定領域は、試料Ｓの表面上に設定された矩形の領域であり、Ｘ方向及びＹ方向にマトリックス状に配列された複数の画素（測定位置）からなる。測定領域内の各画素について、選択された元素に対応する波長のＸ線がＷＤＳ６のＸ線検出器６２で検出されることによりスペクトルデータが取得され、各スペクトルデータのＸ線強度を表すＸ線強度分布が得られる。なお、Ｘ線強度は、Ｘ線検出器６２により検出されるＸ線の強度に比例する値であり、例えばＸ線検出器６２における一定時間当たりのＸ線のカウント値である。
【００２３】
二次電子検出器７は、試料Ｓの表面から生じる二次電子を検出する。この二次電子検出器７からの検出信号に基づいて、二次電子像を得ることができる。
【００２４】
２．試料ホルダに関する電気的構成
図２は、試料ホルダ２に関する電気的構成について説明するための概略図である。試料ホルダ２には、モータ、エンコーダ又はセンサといった各種電気部品が備えられている。これらの電気部品に対して信号の入力又は出力を行うために、試料ホルダ２には複数の第１端子３１が設けられている。複数の第１端子３１の少なくとも一部は、試料ホルダ２に備えられた電気部品に対して電気的に接続されている。
【００２５】
試料ステージ３には、複数の第２端子３２が設けられている。第２端子３２の数は、例えば第１端子３１の数と同数である。試料ホルダ２を試料ステージ３に取り付けたときには、試料ホルダ２の複数の第１端子３１が、試料ステージ３の複数の第２端子３２に対して、それぞれ１対１で接触するようになっている。
【００２６】
試料ステージ３の複数の第２端子３２には配線が接続されており、その配線がコネクタ１０を介して信号切換え装置２００に接続されている。コネクタ１０は、いわゆるフィードスルーコネクタであり、真空チャンバ内（ハウジング１内）と大気中との間での電気的接続を可能とする。この例では、コネクタ１０は、第１コネクタ１１及び第２コネクタ１２の２つで構成されているが、１つのコネクタで構成されていてもよいし、３つ以上のコネクタで構成されていてもよい。
【００２７】
信号切換え装置２００には、複数種類のコントローラ３００が接続されている。信号切換え装置２００は、試料ステージ３の複数の第２端子３２に対して、いずれのコントローラ３００を接続するかを自動的に切り替えるための装置である。すなわち、複数種類のコントローラ３００は、信号切換え装置２００による切替動作に伴って、当該信号切換え装置２００を介して複数の第２端子３２に接続可能となっている。
【００２８】
各コントローラ３００は、ハウジング１の外部に設けられ、信号切換え装置２００の切替動作により接続された試料ステージ３の複数の第２端子３２を介して、試料ホルダ２の複数の第１端子３１との間で信号の入力又は出力を行う。具体的には、各コントローラ３００には、試料ホルダ２に備えられたエンコーダ又はセンサなどの電気部品から、第１端子３１及び第２端子３２を介して信号が入力される。また、各コントローラ３００は、試料ホルダ２に備えられたモータなどの電気部品に対して、第２端子３２及び第１端子３１を介して信号を出力する。
【００２９】
３．信号切換え装置の回路図
図３は、信号切換え装置２００の一例を示した回路図である。この例では、コントローラ３００として、ＸコントローラとＹコントローラの２つが信号切換え装置２００に接続されている場合について説明する。
【００３０】
信号切換え装置２００には、Ｘコントローラに接続された第１接続部２０１と、Ｙコントローラに接続された第２接続部２０２とが備えられている。第１接続部２０１及び第２接続部２０２は、リレー２０３を介してコネクタ１０（第１コネクタ１１及び第２コネクタ１２）に接続されている。すなわち、リレー２０３の切替によって、第１接続部２０１に接続されたＸコントローラ、又は、第２接続部２０２に接続されたＹコントローラのいずれかをコネクタ１０に接続することができるようになっている。
【００３１】
信号切換え装置２００には、通電状態をオン又はオフに切り替えるためのフォトカプラ２１１，２１２，２１３が備えられている。フォトカプラ２１１は、オン状態のときにコネクタ１０（第２コネクタ１２）と第１接続部２０１とを電気的に接続する。フォトカプラ２１２は、オン状態のときにコネクタ１０（第２コネクタ１２）と第２接続部２０２とを電気的に接続する。フォトカプラ２１３は、オン状態のときにリレー２０３を通電させ、当該リレー２０３を切り替える。また、信号切換え装置２００には、フォトカプラ２１２及びフォトカプラ２１３に対する配線の接続状態を切り替えるためのジャンパーピン２２０が備えられている。
【００３２】
４．試料ホルダの第１実施例
図４は、試料ホルダ２の第１実施例を示した回路図である。この第１実施例における試料ホルダ２（試料ホルダ２Ａ）には、「１」〜「１２」の番号が割り当てられた１２個の第１端子３１が備えられている。
【００３３】
この試料ホルダ２Ａは、ＤＣモータ、エンコーダなどの電気部品を備えており、これらの電気部品が一部の第１端子３１に接続されている。また、電気部品が接続されていない残りの第１端子３１の少なくとも一部が、互いに短絡されている。この例では、「９」と「１１」の番号に対応する１対の第１端子３１同士が、配線などで接続されることにより短絡されている。
【００３４】
５．第１実施例の試料ホルダを取り付けた場合の回路図
図５は、図４の試料ホルダ２Ａが試料ステージ３に取り付けられたときの回路図である。
【００３５】
コネクタ１０（第１コネクタ１１及び第２コネクタ１２）には、試料ホルダ２Ａの複数の第１端子３１に対して１対１に対応付けられた端子が備えられている。具体的には、第１コネクタ１１には、「１」〜「７」の番号が割り当てられた７個の端子が備えられており、第２コネクタ１２には、「１」〜「７」の番号が割り当てられた７個の端子が割り当てられている。図５では、試料ステージ３からコネクタ１０までの配線を省略して示しているが、コネクタ１０の上記端子は、試料ステージ３に備えられた複数の第２端子３２に対して１対１に対応付けられている。
【００３６】
試料ホルダ２Ａが試料ステージ３に取り付けられた状態では、図５に示すように、試料ホルダ２Ａの互いに短絡した１対の第１端子３１（「９」及び「１１」）が、第２コネクタ１２の対応する端子（「３」及び「５」）に接続される。これにより、第２コネクタ１２の端子「３」に接続されたフォトカプラ２１１が通電され、オン状態となる。その結果、第２コネクタ１２がフォトカプラ２１１及び第１接続部２０１を介してＸコントローラに接続された状態となるため、試料ホルダ２Ａが試料ステージ３に取り付けられたことをＸコントローラにおいて確認することができる。すなわち、Ｘコントローラは、互いに短絡した１対の第１端子３１（「９」及び「１１」）に接触する第２端子３２間の通電状態の変化（非通電から通電への変化）に基づいて、試料ホルダ２の種類がＸコントローラに対応する試料ホルダ２Ａであることを識別することができる。
【００３７】
この状態では、コネクタ１０がリレー２０３を介して第１接続部２０１に接続されることにより、試料ホルダ２Ａの各電気部品がＸコントローラに接続されている。したがって、Ｘコントローラは、試料ホルダ２Ａの各電気部品との間で信号の入力又は出力を行うことができる。
【００３８】
６．試料ホルダの第２実施例
図６は、試料ホルダ２の第２実施例を示した回路図である。この第２実施例における試料ホルダ２（試料ホルダ２Ｂ）には、「１」〜「１２」の番号が割り当てられた１２個の第１端子３１が備えられている。
【００３９】
この試料ホルダ２Ｂは、ＤＣモータ、位置センサなどの電気部品を備えており、これらの電気部品が一部の第１端子３１に接続されている。また、電気部品が接続されていない残りの第１端子３１の少なくとも一部が、互いに短絡されている。この例では、「１１」と「１２」の番号に対応する１対の第１端子３１同士が短絡されるとともに、「７」と「８」の番号に対応する１対の第１端子３１同士が短絡されている。
【００４０】
すなわち、この第２実施例における試料ホルダ２Ｂの複数の第１端子３１には、電気部品に接続されていない端子が複数対（例えば２対）あり、各対の端子同士が短絡されている。信号切換え装置２００に備えられたジャンパーピン２２０は、電気部品に接続されていない複数対の第１端子３１に対する配線の接続状態を切り替えるための切替部として機能する。
【００４１】
７．第２実施例の試料ホルダを取り付けた場合の回路図
図７は、図６の試料ホルダ２Ｂが試料ステージ３に取り付けられたときの回路図である。
【００４２】
試料ホルダ２Ｂが試料ステージ３に取り付けられた状態では、図７に示すように、試料ホルダ２Ｂの互いに短絡した１対の第１端子３１（「１１」及び「１２」）が、第２コネクタ１２の対応する端子（「５」及び「６」）に接続される。また、試料ホルダ２Ｂの互いに短絡した別の１対の第１端子３１（「７」及び「８」）が、第２コネクタ１２の対応する端子（「１」及び「２」）に接続される。
【００４３】
図７の状態では、ジャンパーピン２２０により、フォトカプラ２１２及びフォトカプラ２１３が第２コネクタ１２の端子「６」に接続され、フォトカプラ２１２及びフォトカプラ２１３がいずれも通電されてオン状態となる。その結果、第２コネクタ１２がフォトカプラ２１２及び第２接続部２０２を介してＹコントローラに接続された状態となるため、試料ホルダ２Ｂが試料ステージ３に取り付けられたことをＹコントローラにおいて確認することができる。すなわち、Ｙコントローラは、互いに短絡した１対の第１端子３１（「１１」及び「１２」）に接触する第２端子３２間の通電状態の変化（非通電から通電への変化）に基づいて、試料ホルダ２の種類がＹコントローラに対応する試料ホルダ２Ｂであることを識別することができる。
【００４４】
この状態では、フォトカプラ２１３がオン状態となることにより、リレー２０３が通電され、図７に示すように当該リレー２０３が切り替えられる。これにより、コネクタ１０がリレー２０３を介して第２接続部２０２に接続され、試料ホルダ２Ｂの各電気部品がＹコントローラに接続された状態となる。したがって、Ｙコントローラは、試料ホルダ２Ｂの各電気部品との間で信号の入力又は出力を行うことができる。
【００４５】
このように、信号切換え装置２００は、Ｘコントローラに対応する試料ホルダ２Ａが試料ステージ３に取り付けられたときと、Ｙコントローラに対応する試料ホルダ２Ｂが試料ステージ３に取り付けられたときとで、配線の切替動作を自動で行う。すなわち、試料ステージ３に試料ホルダ２が取り付けられたときに、その試料ホルダ２の種類（試料ホルダ２Ａ又は試料ホルダ２Ｂ）に応じて、信号切換え装置２００がリレー２０３による配線の切替動作を自動で行うことにより、試料ホルダ２に対応する種類のコントローラ（Ｘコントローラ又はＹコントローラ）が試料ステージ３の複数の第２端子３２に接続される。
【００４６】
８．ジャンパーピンの切替
図８は、図７の状態からジャンパーピン２２０が切り替えられたときの回路図である。例えば、コントローラ３００として、Ｙコントローラとは異なるＺコントローラを第２接続部２０２に接続した場合、ジャンパーピン２２０を切り替えることにより、Ｚコントローラに対応する試料ホルダ２をＺコントローラにおいて識別することができる。なお、図８の例では、１つの試料ホルダ２Ｂが、Ｙコントローラ及びＺコントローラに共用できるような構成となっている。
【００４７】
図８の状態では、ジャンパーピン２２０により、フォトカプラ２１２及びフォトカプラ２１３が第２コネクタ１２の端子「１」に接続され、フォトカプラ２１２及びフォトカプラ２１３がいずれも通電されてオン状態となる。その結果、第２コネクタ１２がフォトカプラ２１２及び第２接続部２０２を介してＺコントローラに接続された状態となるため、試料ホルダ２Ｂが試料ステージ３に取り付けられたことをＺコントローラにおいて確認することができる。すなわち、Ｚコントローラは、互いに短絡した１対の第１端子３１（「７」及び「８」）に接触する第２端子３２間の通電状態の変化（非通電から通電への変化）に基づいて、試料ホルダ２の種類がＺコントローラに対応する試料ホルダ２Ｂであることを識別することができる。
【００４８】
この状態では、フォトカプラ２１３がオン状態となることにより、リレー２０３が通電され、図８に示すように当該リレー２０３が切り替えられる。これにより、コネクタ１０がリレー２０３を介して第２接続部２０２に接続され、試料ホルダ２Ｂの各電気部品がＺコントローラに接続された状態となる。したがって、Ｚコントローラは、試料ホルダ２Ｂの各電気部品との間で信号の入力又は出力を行うことができる。
【００４９】
図８の例では、１つの試料ホルダ２Ｂが、Ｙコントローラ及びＺコントローラに共用できるような構成について説明したが、Ｙコントローラ用とＺコントローラ用とで別の試料ホルダ２を用いてもよい。この場合、Ｙコントローラ用の試料ホルダ２では、「１１」と「１２」の番号に対応する１対の第１端子３１同士が短絡されており、Ｚコントローラ用の試料ホルダ２では、「７」と「８」の番号に対応する１対の第１端子３１同士が短絡されていればよい。
【００５０】
９．作用効果
（１）本実施形態では、試料ホルダ２に設けられた複数の第１端子３１のうち、電気部品に接続されていない１対の端子同士を短絡させることにより、試料ステージ３に設けられた複数の第２端子３２のうち、これらの１対の端子に接触する端子間の通電状態の変化に基づいて、試料ホルダ２の種類を識別することができる。したがって、試料ホルダ２に設けられた複数の第１端子３１のうち使用していない端子を用いて、試料ホルダ２の種類を容易に識別することができる。
【００５１】
（２）また、本実施形態では、信号切換え装置２００により配線の切替動作を自動で行い、試料ステージ３に取り付けられた試料ホルダ２に対応する種類のコントローラ３００を複数の第２端子３２に自動的に接続することができる。したがって、試料ホルダ２に対応するコントローラ３００を手動で接続し直す必要がないため、作業が煩雑になるのを防止することができる。
【００５２】
（３）また、本実施形態では、それぞれ短絡された複数対の端子に対する配線の接続状態をジャンパーピン２２０で切り替えることにより、さらに多くの試料ホルダ２の種類を容易に識別することができる。
【００５３】
１０．変形例
試料ホルダ２が取り付けられる取付部は、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向に変位可能な試料ステージ３に限らず、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のいずれか１方向又は２方向にのみ変位可能な試料ステージであってもよいし、単に試料ホルダ２が取り付けられるだけの取付部であってもよい。また回転や傾斜が可能なステージであってもよい。
【００５４】
本発明は、ＥＤＳ５を備えていないＥＰＭＡにも適用可能である。また、本発明は、ＥＰＭＡ以外の分析装置にも適用可能である。例えば、電子線が照射された試料から生じる二次電子を検出して試料表面を観察するための走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Scanning Electron Microscope）の他、試料にＸ線を照射することにより分析を行う分析装置などにも、本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００５５】
１  ハウジング
２，２Ａ，２Ｂ  試料ホルダ
３  試料ステージ
４  電子線照射部
５  ＥＤＳ（エネルギー分散型Ｘ線分光器）
６  ＷＤＳ（波長分散型Ｘ線分光器）
７  二次電子検出器
１０  コネクタ
３１  第１端子
３２  第２端子
１００  ＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザー）
２００  信号切換え装置
２０１  第１接続部
２０２  第２接続部
２０３  リレー
２１１，２１２，２１３  フォトカプラ
２２０  ジャンパーピン
３００  コントローラ
【図１】
2018189492.tif 000003
【図２】
2018189492.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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