(57)【要約】【課題】従来技術は容器上面にセンサを配置するために、真空層にセンサを配置し、容器の下方に貯留された液体ヘリウムからの熱伝導で冷却する構造のため、当該センサにアクセスするために容器の分解が必要であり、当該センサのメンテナンスを行うことが困難である。【解決手段】本発明の一実施形態におけるクライオスタットは、筐体と、当該筐体の少なくとも一部に設けられ、当該筐体内からヘリウムを排出する開口部と、当該筐体内において当該開口部よりも上方に設けられ、当該筐体外から注入された当該ヘリウムを貯留する貯留部と、当該筐体内において当該筐体の上面に接するように配置され、当該ヘリウムを用いて冷却される磁気センサとを含み、当該開口部は、当該磁気センサを冷却した後の当該ヘリウムを排出することを特徴とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、
前記筐体の少なくとも一部に設けられ、当該筐体内からヘリウムを排出する開口部と、
前記筐体内において前記開口部よりも上方に設けられ、前記筐体外から注入された前記ヘリウムを貯留する貯留部と、
前記筐体内において当該筐体の上面に接するように配置され、前記ヘリウムを用いて冷却される磁気センサとを含み、
前記開口部は、前記磁気センサを冷却した後の前記ヘリウムを排出することを特徴とするクライオスタット。
【請求項２】
前記貯留部は、前記筐体における上方側が開口しており、当該筐体の底面と略平行に設けられた底面と、当該筐体に接する外側側面と、当該外側側面に対応して設けられた内側側面とによって囲まれた領域に前記ヘリウムを貯留することを特徴とする請求項１に記載のクライオスタット。
【請求項３】
前記筐体の底面と前記貯留部の底面との間に、真空層を含むことを特徴とする請求項２に記載のクライオスタット。
【請求項４】
前記貯留部の前記内側側面は、前記ヘリウム側の第１側面と、前記第１側面の外側に設けられた第２側面とを備えた二重構造であり、前記第１側面と前記第２側面との間に真空層を含むことを特徴とする請求項２または３に記載のクライオスタット。
【請求項５】
前記開口部は、前記筐体の底面の中央部に設けられ、
前記磁気センサは、前記筐体の上面の中央部であって、前記開口部に対応する位置に配置される
ことを特徴とする請求項１乃至４にいずれかに記載のクライオスタット。
【請求項６】
前記筐体は、外面と内面とを備えた二重構造であり、前記外面と前記内面との間に真空層を含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のクライオスタット。
【請求項７】
前記真空層に設けられた、前記筐体内に対する熱の入射を低減可能な熱放射シールドを、さらに含むことを特徴とする請求項６に記載のクライオスタット。
【請求項８】
前記貯留部に貯留された前記ヘリウムが蒸発し、前記磁気センサを冷却した後の気体状のヘリウムを、前記開口部を介して前記筐体の外部に排気するための排気用接続口、をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のクライオスタット。
【請求項９】
前記磁気センサに接続し、前記貯留部を介して前記開口部の外に延びるケーブルをさらに備え、
前記磁気センサは、前記ケーブルの熱伝導により、冷却されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載のクライオスタット。
【請求項１０】
前記筐体の少なくとも一部を介して、前記貯留部に液体状のヘリウムを注入するための注液用接続口、をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載のクライオスタット。
【請求項１１】
前記注液用接続口は、前記開口部を介して、前記貯留部に液体状のヘリウムを注入することを特徴とする請求項１０に記載のクライオスタット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は生体磁気計測装置のクライオスタットに関する。
【背景技術】
【０００２】
人間等の生体が発生する磁場は微弱である。このため生体磁場の計測には外部の磁場を遮断するための磁気シールドルーム内において、超伝導を利用するセンサを用いて計測することが行われている。このとき、センサが超伝導状態となるように、センサは液体ヘリウムで冷却される。ヘリウムは高価であるため、冷却後のヘリウムを回収して再利用する技術が知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
また、特許文献２には、センサ及び当該センサを冷却する液体ヘリウムを収容するクライオスタットにおいて、仰臥位の被験者の背側から磁場を測定するために、クライオスタット上面にセンサを配置した技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２１５７７７号公報
【特許文献２】米国特許第５４９４０３３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２に記載の技術では、クライオスタットの下方に液体ヘリウムが収容され、真空断熱層に配置したセンサを伝導で冷却する構造のため、当該センサのメンテナンスを行うには、クライオスタット自体を分解する必要があり、メンテナンスが困難であるという問題がある。
【０００６】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、センサのメンテナンスを容易に行うことが可能なクライオスタットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態におけるクライオスタットは、筐体と、当該筐体の少なくとも一部に設けられ、当該筐体内からヘリウムを排出する開口部と、当該筐体内において当該開口部よりも上方に設けられ、当該筐体外から注入された当該ヘリウムを貯留する貯留部と、当該筐体内において当該筐体の上面に接するように配置され、当該ヘリウムを用いて冷却される磁気センサを含み、当該開口部は、当該磁気センサを冷却した後の当該ヘリウムを排出することを特徴とする。
【０００８】
本発明の一実施形態におけるクライオスタットにおいて、当該貯留部は、当該筐体における上方側が開口しており、当該筐体の底面と略平行に設けられた底面と、当該筐体に接する外側側面と、当該外側側面に対応して設けられた内側側面とによって囲まれた領域に当該ヘリウムを貯留することを特徴としてもよい。
【０００９】
本発明の一実施形態におけるクライオスタットにおいて、当該筐体の底面と当該貯留部の底面との間に、真空層を含むことを特徴としてもよい。
【００１０】
本発明の一実施形態におけるクライオスタットにおいて、当該貯留部の当該内側側面は、当該ヘリウム側の第１側面と、当該第１側面の外側に設けられた第２側面とを備えた二重構造であり、当該第１側面と当該第２側面との間に真空層を含むことを特徴としてもよい。
【００１１】
本発明の一実施形態におけるクライオスタットにおいて、当該開口部は、当該筐体の底面の中央部に設けられ、当該磁気センサは、当該筐体の上面の中央部であって、当該開口部に対応する位置に配置されることを特徴としてもよい。
【００１２】
本発明の一実施形態におけるクライオスタットにおいて、当該筐体は、外面と内面とを備えた二重構造であり、当該外面と当該内面との間に真空層を含むことを特徴としてもよい。
【００１３】
本発明の一実施形態におけるクライオスタットにおいて、当該真空層に設けられた、当該筐体内に対する熱の入射を低減可能な熱放射シールドを、さらに含むことを特徴としてもよい。
【００１４】
本発明の一実施形態におけるクライオスタットにおいて、当該貯留部に貯留された当該ヘリウムが蒸発し、当該磁気センサを冷却した後の気体状のヘリウムを、当該開口部を介して当該筐体の外部に排気するための排気用接続口をさらに含むことを特徴としてもよい。
【００１５】
本発明の一実施形態におけるクライオスタットにおいて、当該磁気センサに接続し、当該貯留部を介して当該開口部の外に延びるケーブルをさらに備え、当該磁気センサは、当該ケーブルの熱伝導により、冷却されることを特徴としてもよい。
【００１６】
本発明の一実施形態におけるクライオスタットにおいて、当該筐体の少なくとも一部を介して、当該貯留部に液体状のヘリウムを注入するための注液用接続口をさらに含むことを特徴としてもよい。
【００１７】
本発明の一実施形態におけるクライオスタットにおいて、当該注液用接続口は、当該開口部を介して、当該貯留部に液体状のヘリウムを注入することを特徴としてもよい。
【００１８】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のおけるクライオスタットによれば、センサのメンテナンスを容易に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係る生体磁気計測装置の全体構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る生体磁気計測装置の機能構成を模式的に示す図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るクライオスタットの構造例を模式的に示す図である。
【図４】第１の変形例に係るクライオスタットの構造例を模式的に示す図である。
【図５】第２の変形例に係るクライオスタットの構造例を模式的に示す図である。
【図６】第３の変形例に係るクライオスタットの構造例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。以下では、まず、本発明の一実施形態に係るクライオスタットを用いた生体磁気計測装置１について説明する。その後、本発明の一実施形態に係るクライオスタットについて説明する。
【００２２】
図１は、本発明の一実施形態に係る生体磁気計測装置１の全体構成を模式的に示す図である。本発明の一実施形態に係る生体磁気計測装置１は、磁気シールドルーム１０、極低温冷凍機２０、クライオスタット３０、トランスファチューブ４０、ガントリ５０、架台６０、接続部８０を含む。ここで、クライオスタット３０、ガントリ５０、および接続部８０は、磁気シールドルーム１０の内部に設置されている。また極低温冷凍機２０と架台６０とは磁気シールドルーム１０の外部に設置されている。極低温冷凍機２０は、例えば既知の４Ｋパルスチューブ冷凍機を用いて実現できる。
【００２３】
トランスファチューブ４０は磁気シールドルーム１０を貫通し、極低温冷凍機２０とクライオスタット３０とのそれぞれに接続されている。より具体的には、トランスファチューブ４０は極低温冷凍機２０とは直接接続され、クライオスタット３０とは接続部８０を介して接続されている。
【００２４】
磁気シールドルーム１０の内部には、被験者７０が横臥するための台９０も設置されている。図１に示すように、クライオスタット３０の一部は被験者７０の腰椎の位置まで延在しており、台９０の機能も兼ねている。図１には図示しないが、クライオスタット３０は磁気センサを収容している。なお図示しないが、生体磁気計測装置１が測定したデータを解析したり、磁気センサの動作を制御したりする計算機も備えられている。
【００２５】
図１では、図中鉛直上方向をｚ軸、図中左から右に向かう方向をｘ軸、ｘ軸とｚ軸とに垂直なｙ軸からなる右手座標系２が設定されている。以下本明細書で参照する他の図に示す右手座標系２も、図１に示す右手座標系２と同一である。
【００２６】
ここで、図１に示すように、接続部８０はクライオスタット３０の極低温冷凍機２０側の側方において、極低温冷凍機２０の液体ヘリウムの出口と同程度の高さに設けられる。これにより、生体磁気計測装置１は、回動の際のクライオスタット３０の動径が短くなる。結果として、磁気センサ３２を動かすために重量物であるクライオスタット３０を動かす距離が短くなるため、ユーザの利便性を向上することができる。
【００２７】
図２は、本発明の一実施形態に係る生体磁気計測装置１の機能構成を模式的に示す図であり、生体磁気計測装置１における計測機能を主に説明する図である。図２は、図１に示す生体磁気計測装置１を右手座標系２のｙｚ平面に対して垂直な方向から見た図である。
【００２８】
図１を参照して説明したように、磁気シールドルーム１０の内部において被験者７０が台９０の上に横臥している。磁気センサ３２は、被験者７０の腰椎の位置に来るようにクライオスタット３０に収容されている。磁気センサ３２は、例えば既知のＳＱＵＩＤ（Superconducting QUantum Interference Device）を用いて実現できる。
【００２９】
情報処理部１２は、生体磁気計測装置１における計測機能を統括的に制御する。情報処理部１２はまた、生体磁気計測装置１が計測した生体磁気データを解析する。情報処理部１２は、例えばＰＣ（Personal Computer）やワークステーション等の計算機を用いて実現できる。磁気センサ駆動回路１４は、情報処理部１２の制御の下、磁気センサ３２の動作を制御する。アンプ／アナログフィルタ部１６は、磁気センサ３２が計測した生体磁気データを増幅したり、ノイズを除去したりする。データ取得部１８は、アンプ／アナログフィルタ部１６が処理したデータをデジタルデータに変換する。データ取得部１８は、例えば既知のＡ／Ｄ変換器を用いて実現できる。データ取得部１８が取得したデータは情報処理部１２に送られ、種々の解析が実行される。
【００３０】
このように、本発明の一実施形態に係る生体磁気計測装置１は、被験者７０の体内で生じる生体磁場を計測するための装置である。被験者７０の性別や体格等に応じて磁気センサ３２を配置すべき位置が異なるため、磁気センサ３２はある程度位置を変えられることが好ましい。一方で、上述したように、磁気センサ３２は例えばＳＱＵＩＤセンサを用いて実現される。ＳＱＵＩＤセンサは超伝導体を利用した磁気センサであるため、センサとして機能するためには極低温（例えば４Ｋ以下）まで冷却される必要がある。このため、磁気センサ３２は液体ヘリウムを貯留するクライオスタット３０に収容されている。そして、磁気センサ３２はクライオスタット３０が貯留する液体ヘリウムによって冷却される。
【００３１】
また、本発明の一実施形態に係る生体磁気計測装置１は、クライオスタット３０内に配置されたケーブルの熱伝導によって、冷却してもよい。図３は、本発明の一実施形態に係るクライオスタット３０の構造例を示す図である。図３に示すように、クライオスタット３０内の磁気センサ３２にはケーブル３３が接続されており、該ケーブル３３はクライオスタット３０内の液体ヘリウムの貯留部３０２を介して、開口部３０１の外に延びている。ここで、開口部３０１は、ウレタンフォームなどにより、外気と触れないように“栓”がしてある。ケーブル３３は、開口部３０１に設けられた“栓”の隙間から、クライオスタット３０の外部に延びている。図３のように、ケーブル３３が液体ヘリウムに浸っているため、磁気センサ３２は、該ケーブル３３の熱伝導により冷却される。なお、開口部３０１に設けられる“栓”は、ウレタンフォームに限られず、どのような素材で形成されていてもよい。
【００３２】
なお、磁気センサ３２の位置を変更するためには、磁気センサ３２を収容しているクライオスタット３０を移動させることになる。そこで本発明の一実施形態に係る生体磁気計測装置１においては、図２におけるｙｚ平面と平行な平面を回転平面として、クライオスタット３０が回動自在となるように構成されている。より具体的に、クライオスタット３０は、トランスファチューブ４０の長手方向の中心軸を回転中心として回動自在に構成されている。
【００３３】
図３は、本発明の一実施形態に係るクライオスタット３０の構造例を示す図である。図３に示すように、クライオスタット３０は、筐体３００と、開口部３０１と、貯留部３０２とを含む。また、図３に示すように、クライオスタット３０の筐体３００内に、磁気センサ３２が設けられる。
【００３４】
クライオスタット３０は、所定の形状の筐体３００により構成される。所定の形状は、円柱や直方体など、どのような形状であってもよい。また、筐体３００の材料は、例えば磁場測定を妨げないグラスファイバー強化樹脂である。部分的、もしくは全体がアルミニウム、ステンレスなどの金属でもよい。筐体３００の材料は、これらの樹脂や金属に限られず、液体ヘリウムの収容が可能な材料であれば、どのような材料であってもよい。
【００３５】
磁気センサ３２は、クライオスタット３０の筐体３００内の少なくとも一部に配置される。例えば、磁気センサ３２は、筐体３００内の上面３０００に接するように配置される。より具体的には、磁気センサ３２は、筐体３００内の上面３０００の中央付近に配置される。なお、磁気センサ３２が配置される位置は、あくまでも例示であって、磁気センサ３２が生体磁気データを計測可能な位置であれば、筐体３００内のどのような位置に配置されていてもよい。
【００３６】
開口部３０１は、例えば、クライオスタット３０の少なくとも一部に設けられ、当該クライオスタット３０の筐体３００内からヘリウムを排出可能である。開口部３０１は、蒸発後の気体状のヘリウムを排出可能である。
【００３７】
図３に示すように、開口部３０１は、例えば、筐体３００の底面３００１の中央部に設けられる。また、開口部３０１が底面３００１において設けられる位置は、筐体３００の上面３０００に配置される磁気センサ３２に対応する位置であってもよい。開口部３０１が、筐体３００の底面３００１において、磁気センサ３２に対応する位置に設けられるため、開口部３０１から磁気センサ３２に対してアクセス可能となり、当該磁気センサ３２のメンテナンス等を容易に行うことが可能となる。
【００３８】
なお、開口部３０１が設けられる位置は、必ずしも筐体３００の底面に限られず、当該筐体３００において、ヘリウムを貯留するための貯留部３０２よりも下方に設けられていれば、どのような位置に設けられていてもよい。
【００３９】
開口部３０１の形状は、例えば、円状や四角状など、どのような形状であってもよい。
【００４０】
貯留部３０２は、筐体３００内において開口部３０１よりも上方に設けられ、当該筐体３００外から注入されたヘリウムを貯留する。図３に示すように、貯留部３０２は、筐体３００において、上方側（すなわち、磁気センサ３２側）が開口しており、筐体３００の底面３０００と略平行に設けられた底面３０２０と、当該筐体３００に接する外側側面３０２１と、当該外側側面３０２１に対応して設けられた内側側面３０２２とを含む。貯留部３０２は、底面３０２０と、外側側面３０２１と、内側側面３０２２とによって囲まれた領域に、液体状のヘリウムを貯留する。
【００４１】
なお、貯留部３０２の底面３０２０は、筐体３００の底面３００１と必ずしも略平行である必要はなく、当該底面３０２０は、貯留部３０２が例えばすり鉢状である場合などには、底面３０００に対して所定の傾斜を有するように設けられていてもよい。また、底面３０２０は、必ずしも平面である必要はなく、どのような形状であってもよい。
【００４２】
また、内側側面３０２２は、外側側面３０２１に必ずしも対応して設けられていなくてもよく、貯留部３０２の上部から観察した場合に、外側側面３０２１の形状が四角形であるのに対して、内側側面３０２２の形状が円形であるなど、どのような形状であってもよい。
【００４３】
また、図３に示すように、筐体３００は、外面と内面とを備えた二重構造であり、当該外面と内面との間には真空層を含む。筐体３００は、当該外面と内面との間には真空層を含むため、当該筐体３００に対する外部からの熱の入射を低減することが可能である。
【００４４】
また、図３に示すように、筐体３００の底面３００１と、貯留部３０２の底面３０２０との間には、真空層を含む。筐体３００の底面３００１と、貯留部３０２の底面３０２０との間に真空層を含むため、当該貯留部３０２に対する外部からの熱の入射を低減することができる。
【００４５】
また、図３に示すように、本発明の一実施形態に係るクライオスタット３０は、真空層内に、熱放射シールド３０３を含む。熱放射シールドは、熱の入射を低減可能であり、筐体３００内に対する外部からの熱の入射を低減することができる。なお、図３に示すように、熱放射シールド３０３は、二重に設けられていてもよい。なお、熱放射シールドは、二重に限られず、一層であっても、多重であってもよい。
【００４６】
また、図３に示すように、本発明の一実施形態に係るクライオスタット３０は、貯留部３０２に貯留された液体状のヘリウムが蒸発した後の気体状のヘリウムを、開口部３０１を介して筐体３００の外部に排気するための排気用接続口３０４を含む。気体状のヘリウムは、排気用接続口３０４を介して、筐体３００の外部に廃棄される。
【００４７】
ここで、トランスファチューブ４０は、その一端が排気用接続口３０４に接続される。蒸発後の気体状のヘリウムは、排気用接続口３０４を介して、トランスファチューブ４０により排気される。また、排気用のトランスファチューブとは異なる、注入用のトランスファチューブ４０は、その一端が以下で説明する注液用接続口３０５に接続される。
【００４８】
さらに、図３に示すように、本発明の一実施形態に係るクライオスタット３０は、貯留部３０２に液体状のヘリウムを注入するための注液用接続口３０５を含む。液体ヘリウムは、注液用接続口３０５を介して極低温冷凍機２０からクライオスタット３０内に供給される。この意味で、注液用接続口３０５は極低温冷凍機２０とクライオスタット３０との間に形成される液体ヘリウムの流路である。
【００４９】
注液用接続口３０５は、例えば、開口部３０１を介して、貯留部３０２に、液体状のヘリウムを注入する。なお、貯留部３０２は、当該貯留部３０２内の液体状のヘリウムの量を計測可能なプローブ（図示しない）を含んでいてもよく、注液用接続口３０５は、当該プローブが計測したヘリウムの量に基づいて、当該貯留部３０２に対して、液体状のヘリウムを注入する。例えば、注液用接続口３０５は、当該プローブが計測したヘリウムの量が所定値以下である場合に、当該貯留部３０２に対して、所定量の液体状のヘリウムを注入する。
【００５０】
上記のとおり、本発明の一実施形態に係るクライオスタット３０は、貯留部３０２が磁気センサ３２の下方に設けられており、当該磁気センサ３２が液体状のヘリウムに浸かっておらず、また、当該貯留部３０２が内側側面３０２２を含むため、開口部３０１から当該磁気センサ３２へアクセスすることができる。そのため、当該磁気センサ３２のメンテナンス等を容易に行うことが可能となる。
【００５１】
（第１の変形例）
図４は、本発明の一実施形態に係るクライオスタット３０の他の構造例を示す図である。
【００５２】
図４に示すように、クライオスタット３０は、貯留部３０２の内側側面３０２２は、液体状のヘリウム側の第１側面３０２３と、当該第１側面３０２３の外側に設けられた第２側面３０２４とを備えた二重構造であり、第１側面３０２３と第２側面３０２４との間に真空層を含む。第１側面３０２３と第２側面３０２４との間に真空層を含むため、当該貯留部３０２に対する外部からの熱の入射を低減することができる。特に、図４に示すように、第１側面３０２３と第２側面３０２４との間に真空層を含むことにより、貯留部３０２に対する開口部３０１を介した外部からの熱の入射を低減することができる。
【００５３】
（第２の変形例）
図５は、本発明の一実施形態に係るクライオスタット３０の構造例を示す図である。
【００５４】
図５に示すように、クライオスタット３０は、貯留部３０２の内側側面３０２２は、液体状のヘリウム側の第１側面３０２３と、当該第１側面３０２３の外側に設けられた第２側面３０２４とを備えた二重構造であり、第１側面３０２３と第２側面３０２４との間に真空層を含む。そして、第１側面３０２３と第２側面３０２４との間に真空層に、熱放射シールド３０３を含む。熱放射シールド３０３は、熱の入射を低減可能であり、貯留部３０２内に対する外部からの熱の入射を低減することができる。特に、図５に示すように、第１側面３０２３と第２側面３０２４との間に真空層に熱放射シールドを含むことにより、貯留部３０２に対する開口部３０１を介した外部からの熱の入射を低減することができる。
【００５５】
なお、図５に示すように、熱放射シールド３０３は、二重に設けられていてもよい。なお、熱放射シールドは、二重に限られず、一重であっても、多重であってもよい。
【００５６】
（第３の変形例）
図６は、本発明の一実施形態に係るクライオスタット３０の構造例を示す図である。
【００５７】
図６に示すように、クライオスタット３０において、貯留部３０２に液体状のヘリウムを注入するための注液用接続口３０５は、筐体３００の側面部に設けられていてもよい。注液用接続口３０５が筐体３００の側面部に設けられることにより、開口部３０１の構造が複雑化することを低減することができる。また、注液用接続口３０５が開口部３０１を介さないため、開口部３０１から磁気センサ３２にアクセスする際に、当該注液用接続口３０５を貯留部３０２から取外す必要がなく、当該磁気センサ３２のメンテナンスをより容易に行うことが可能となる。
【００５８】
以上、本発明を本発明の一実施形態をもとに説明した。本発明の一実施形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組合せにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。
【符号の説明】
【００５９】
１  生体磁気計測装置
２  右手座標系
１０  磁気シールドルーム
１２  情報処理部
１４  磁気センサ駆動回路
１６  アンプ／アナログフィルタ部
１８  データ取得部
２０  極低温冷凍機
３０  クライオスタット
３２  磁気センサ
４０  トランスファチューブ
５０  ガントリ
６０  架台
８０  接続部
９０  台
３００  筐体
３０１  開口部
３０２  貯留部
３０３  熱放射シールド
３０４  排気用接続口
３０５  注液用接続口
【図１】
2018138896.tif 000003
【図２】
2018138896.tif 000004
【図３】
2018138896.tif 000005
【図４】
2018138896.tif 000006
【図５】
2018138896.tif 000007
【図６】
2018138896.tif 000008