(57)【要約】【課題】超音波モータにおいて、進行方向（駆動方向）の寸法が増加することなく振動子をガタつくことなく連結する。【解決手段】超音波モータ２００は、圧電素子を備える振動子１００と、振動子と摩擦接触する摩擦部材１０４と、振動子を保持する保持部材１０３とを有している。加圧機構１２０は振動子を摺動部材に対して加圧し、保持バネ１１７は保持部材に振動子を保持するための保持力を生じさせる。この際、保持力の方向と加圧力の加圧方向とを略平行とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子と、前記振動子を保持する保持手段とを有し、前記振動子を振動させることで前記振動子と当該振動子に摩擦接触する摩擦部材とを相対的に移動させるモータであって、
前記振動子を前記摩擦部材に対して加圧する加圧手段と、
前記保持手段に前記振動子を保持するための保持力を生じさせる保持力発生手段と、を有し、
前記保持力発生手段によって保持力を生じさせる保持方向と前記加圧手段によって加圧力を生じさせる加圧方向とは略平行であることを特徴とするモータ。
【請求項２】
前記保持手段は、前記振動子を保持する第１の保持部材と、前記第１の保持部材を保持する第２の保持部材と、を有し、
前記第２の保持部材に前記加圧手段および前記保持力発生手段が備えられ、前記保持力手段は前記第１の保持部材に対して前記保持力を生じさせることを特徴とする請求項１に記載のモータ。
【請求項３】
前記振動子は、当該振動子を振動させる圧電素子を備え、
前記第１の保持部材は、前記加圧方向において前記圧電素子と前記摩擦部材との間で前記振動子と接触することを特徴とする請求項２に記載のモータ。
【請求項４】
前記加圧力は前記保持力よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のモータ。
【請求項５】
前記保持方向と前記加圧方向とは同一の方向であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のモータ。
【請求項６】
圧電素子および振動板を備える振動子と、前記振動子を保持する保持部材とを有し、前記振動子を振動させることで前記振動子と当該振動子に摩擦接触する摩擦部材とを相対的に移動させる超音波モータであって、
前記振動板の一面には接触部が形成され、前記接触部によって前記振動子と前記摩擦部材とが摩擦接触しており、
前記接触部が形成された一面には、前記保持部材と係合する係合部が形成され、前記係合部と前記保持部材との係合によって前記振動子が前記保持部材に保持されることを特徴とするモータ。
【請求項７】
前記接触部は前記振動板の一面から突起する突起部であることを特徴とする請求項６に記載のモータ。
【請求項８】
前記係合部は前記振動子の振動の節の位置又はその近傍に形成されていることを特徴とする請求項６又は７に記載のモータ。
【請求項９】
前記係合部は凸形状部を有し、前記保持部材には前記凸形状部を受ける係合受け部が形成され、前記凸形状部が前記係合受け部に係合されて前記振動子を前記保持部材で保持することを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載のモータ。
【請求項１０】
前記係合部は凹形状部を有し、前記保持部材には前記凹形状部に係合する係合受け部が形成され、前記凹形状部が前記係合受け部に係合されて前記振動子を前記保持部材で保持することを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載のモータ。
【請求項１１】
前記係合部は、前記振動板において前記接触部が形成された一面の一部の平面であり、前記保持部材には先端に平面を有する係合受け部が規定され、前記係合部の平面と前記係合受け部の先端とを接合して前記振動子を前記保持部材に保持することを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載のモータ。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のモータと、
前記モータの駆動によって駆動される駆動部材と、
を有することを特徴とする電子機器。
【請求項１３】
前記駆動部材には光学レンズが備えられていることを特徴とする請求項１２に記載の電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータおよび当該モータを用いた電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、超音波モータにおいては、高周波電圧の印加によって周期的に振動する振動子を摺動部材に加圧接触して、摺動部材と振動子とを相対的に移動させている。
【０００３】
このような超音波モータにおいて、例えば、振動子を枠部材で保持して、振動子を当該枠部材に対して加圧方向に自由に可動とし、進行方向に対してガタなく連結するようにしたものがある（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５―１２６６９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の特許文献１においては、振動子をその進行方向に延在する固定部で一度保持部材に保持し、振動子を保持部材と枠部材との間でガタつくことなく連結している。このため、特許文献１に記載の超音波モータにおいては進行方向の寸法が増加してしまう。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、進行方向（駆動方向）の寸法が増加することなく振動子をガタつくことなく連結することのできるモータおよび電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明によるモータは、振動子と、前記振動子を保持する保持手段とを有し、前記振動子を振動させることで前記振動子と当該振動子に摩擦接触する摩擦部材とを相対的に移動させるモータであって、前記振動子を前記摩擦部材に対して加圧する加圧手段と、前記保持手段に前記振動子を保持するための保持力を生じさせる保持力発生手段と、を有し、前記保持力発生手段によって保持力を生じさせる保持方向と前記加圧手段によって加圧力を生じさせる加圧方向とは略平行であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、モータにおいて、進行方向（駆動方向）の寸法が増加することなく振動子をガタつくことなく連結することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態による振動波モータで用いられる駆動源である振動子の一例を説明するための図である。
【図２】図１に示す振動子における振動モードを説明するための図である。
【図３】本発明の第１の実施形態による超音波モータの一例を説明するための図である。
【図４】図３に示す超音波モータにおいて寸法のばらつきが生じた際の動作を説明するための図である。
【図５】図３に示す超音波モータで得られる効果を説明するための図である。
【図６】図３に示す超音波モータが組み込まれた電子機器の一例であるレンズ鏡筒を説明するための図である。
【図７】本発明の第２の実施形態による超音波モータの一例について駆動方向における要部を示す断面図である。
【図８】本発明の第３の実施形態による超音波モータの構成についてその一例を説明するための図である。
【図９】図８に示す超音波モータにおける振動子の保持を説明するため図である。
【図１０】図８に示す超音波モータで用いられる天板およびガイド部材を説明するための図である。
【図１１】図８に示す超音波モータが組み込まれた電子機器の一例であるレンズ鏡筒を説明するための図である。
【図１２】従来の超音波モータの一例についてその構成を説明するための図である。
【図１３】本発明の第４の実施形態による超音波モータにおける振動子の保持を説明するため図である。
【図１４】本発明の第５の実施形態による超音波モータにおける振動子の保持を説明するため図である。
【図１５】本発明の第６の実施形態による超音波モータにおける振動子の保持を説明するため図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施の形態によるモータの一例について図面を参照して説明する。
【００１１】
［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態による超音波モータ（振動波モータ）で用いられる駆動源である振動子の一例を説明するための図である。そして、図１（ａ）は振動子を摺動部材とともに示す斜視図であり、図１（ｂ）は振動子を摺動部材とともに示す側面図である。
【００１２】
図示のように、振動子１００には被駆動部材である摺動部材１０４が摩擦接触している。振動子１００は圧電素子１０２および振動板１０１を有しており、圧電素子１０２には高周波駆動電圧が印加される。そして、圧電素子１０２に高周波駆動電圧を印加すると振動板１０１には超音波振動（高周波振動）が発生する。なお、圧電素子１０２と振動板１０１とは接着剤などで接合されている。
【００１３】
振動板１０１は、圧電素子１０２との接着面が規定された矩形形状の矩形部（平面）を有している。そして、上記の接着面と反対の面（一面）には２つの突起部（圧接部又は接触部ともいう）１０１ａが所定の間隔をおいて形成されている。ここでは、圧電素子１０２に２相の高周波駆動電圧を印加して、振動子１００に超音波振動を励振する。
【００１４】
振動子１００は２相の超音波振動を合成し、摺動部材１０４に加圧されるによって、両者の間に発生する摩擦力による駆動力が振動子１００に発生する。そして、当該駆動力が摺動部材１０４に伝達される。図示の例では、駆動力は、図１（ｂ）において紙面の表側から裏側に向う方向に相対的移動を与える方向成分となる。
【００１５】
図２は、図１に示す振動子における振動モードを説明するための図である。そして、図２（ａ）および図２（ｂ）は第１の曲げ振動モードを示す図であり、図２（ｃ）および図２（ｄ）は第２の曲げ振動モードを示す図である。
【００１６】
振動波モータでは、圧電素子１０２に特定の周波数の高周波駆動電圧を印加すると、所望の振動モードを複数励振する。そして、これら振動モードを重ね合せることによって、駆動のための振動を発生する。
【００１７】
図１に示す例では、２つの曲げ振動モードを振動子１００に励振している。図２（ａ）および図２（ｂ）においては、振動子１００の短手方向の曲げ振動モードである第１の曲げ振動モードが示されている。ここで、図２（ａ）においては、圧電素子１０２の長手方向であるＸ方向に分極された２つの電極に同時に正の電圧を印加した際の動作が示され、図２（ｂ）においては負の電圧を印加した際の動作が示されている。
【００１８】
図２（ｃ）および図２（ｄ）においては、振動子１００の長手方向の曲げ振動モードである第２の曲げ振動モードが示されている。ここで、図２（ｃ）においては、２つの電極に同時に正の電圧を印加した際の動作が示され、図２（ｄ）においては負の電圧を印加した際の動作が示されている。図示のように、第１および第２の曲げ振動モードにおける曲げの方向は互いに直交している。
【００１９】
突起部１０１ａは、第１の曲げ振動において振動の腹２０１となる位置又はその近傍に配置されている。第１の曲げ振動によって、突起部１０１ａは、図２（ａ）および図２（ｂ）に示す動作を繰り返してＺ方向において矢印Ｐ１およびＰ２に示す上下の往復運動を行う。この往復運動が駆動の突き上げ運動成分である。なお、参照番号２０２は振動子１０１の第１の曲げ振動の節を示す。
【００２０】
また、突起部１０１ａは第２の曲げ振動において振動の節２０４となる位置又はその近傍に配置されている。第２の曲げ振動によって、突起部１０１ａは当該位置を支点として図２（ｃ）および図２（ｄ）に示す動作を繰り返して振り子運動を行って、Ｘ方向において矢印Ｑで示す往復運動を行う。この往復運動が駆動の送り運動成分である。なお、参照番号、２０３は振動子１００の第２の曲げ振動の腹を示す。
【００２１】
ここで、突き上げ運動および送り運動の際に振動子１００の変形する方向を、Ｚ方向とする。なお、第２の曲げ振動モードに励振するため、圧電素子１０２は長手方向であるＸ方向に２つに分極されている。
【００２２】
これら２つの曲げ振動モード（つまり、第１および第２の曲げ振動）を同時に励振して、互いに直交する２つの曲げ振動を重ね合わせる。これによって、上下運動（矢印Ｐ）と振り子運動（矢印Ｑ）とが合成されて突起部１０１ａは、ＸＺ面において矢印Ｒで示す楕円運動を行う。そして、楕円運動Ｒによって、振動子１００は、振動子１００に加圧接触された摺動部材１０４とＸ方向に相対的に移動することができる。
【００２３】
図３は、本発明の第１の実施形態による超音波モータの一例を説明するための図である。そして、図３（ａ）は超音波モータの要部を駆動方向に直交する断面で示す図であり、図３（ｂ）は超音波モータの要部を駆動方向（移動方向）の断面で示す図である。また、図３（ｃ）は超音波モータで用いられる振動子の保持状態を示す斜視図である。なお、ここでは、所謂直動型（リニア型）の超音波モータを例に挙げて説明するが、回転型又はその他のタイプであってもよい。
【００２４】
図示の超音波モータ２００は振動板１０１を備えており、振動板１０１は第１の保持部材１０３により保持される。振動板１０１には圧電素子１０２が接着剤などによって固着されている。高周波駆動電圧が印加されると、圧電素子１０２は振動板１０１が長手方向および短手方向の各方向で共振を生じるように設定されている。なお、振動板１０１と圧電素子１０２とによって振動子１００が構成され、振動子１００は高周波駆動電圧が印加されることによって超音波振動を発生する。
【００２５】
超音波振動によって、図３（ｂ）に矢印Ａで示すように、振動板１０１に形成された圧接部１０１ａの先端が楕円運動を生起する。圧電素子１０２に印加する高周波駆動電圧の周波数又は位相を変えることによって、楕円運動の回転方向および楕円比を変化させて、所望の振動を発生させることができる。
【００２６】
圧接部１０１ａの先端は摺動部材１０４と摩擦接触しており、圧接部１０１ａの楕円運動によって、振動子１００を摺動部材１０４に対して相対的に移動させる駆動力が生じる。これによって、振動子１００を矢印Ｂで示す相対的移動方向（図３（ａ）において紙面に直交する方向、図３（ｂ）において左右方向）に駆動させることが可能となる。
【００２７】
なお、この相対的移動方向は、超音波モータが組み込まれる鏡筒においては光軸方向に相当する。また、摺動部材１０４は後述するユニット支持部材１１６にねじなどの締結手段によって固定されている。
【００２８】
前述の圧接部１０１ａが形成された面において、振動板１０１は圧接部１０１ａよりもその高さが低い突起部１０１ｂを有している。この突起部１０１ｂと第１の保持部材１０３に形成されたＶ溝部１０３ａとがかみ合って（係合して）、振動板１０１は第１の保持部材１０３に連結される。
【００２９】
突起部１０１ｂとＶ溝部１０３ａとの連結（つまり、係合）において、その接触部は圧電素子１０２と摩擦部材１０４との間に位置している。これによって、図３（ａ）において下側のスペースを有効に用いることができる。第１の保持部材１０３にはばねかけ部１０３ｂが形成され、当該ばねかけ部１０３ｂには保持力発生手段である保持バネ１１７が取り付けられる。
【００３０】
第１の保持部材１０３の反対端において、保持バネ１１７は第２の保持部材１０５に形成されたバネかけ部１０５ａに取り付けられている。これによって、第１の保持部材１０３を介して保持方向Ｄに振動板１０１を有する振動子１００を保持する保持力が生じる。
【００３１】
一方、振動子１００には後述する加圧方向Ｃの加圧力が加えられる。保持方向Ｄと加圧方向Ｃとは略平行であり、加圧力は保持力よりも大きくなるように設定される。この結果、加圧力が保持力の反力を受けることによって、振動子１００が保持される。この際、突起部１０１ｂとＶ溝部１０３ａとによって駆動方向Ｂにおいてガタなく第１の保持部材１０３と振動子１００とが接続される。
【００３２】
なお、振動子１００と摺動部材１０４との加圧接触部に必要な加圧力に対して、保持力の大きさ以上の加圧力を加圧手段（加圧機構）１２０に発生させる。これによって、矢印Ｃに示す方向の加圧力と矢印Ｄに示す方向の保持力とを差し引いても、必要な保持力と加圧接触部における加圧力とを確保することができる。
【００３３】
加圧板１０８は、弾性部材１０９を介して圧電素子１０２を、可撓性をもって押圧保持する。加圧バネ１１０はバネ保持部材１１１およびバネ地板１１２の間に組み込まれて加圧バネユニットとして構成されている。そして、加圧バネ１１０は加圧方向Ｃに加圧力Ｃを発生する。この際、バネ保持部材１１１の先端に設けられた大径部１１１ａはバネ地板１１２の嵌合部１１２ａに遊嵌して組み込まれる。この結果、組み立て後においては加圧バネ１１０のバネ力に抗してユニットの状態を所定の状態に維持することができる。
【００３４】
バネ地板１１２の外径部には、円周方向において数か所にバヨネット突部１１２ｂが形成されている。当該バヨネット突部１１２ｂは組み込み状態において、枠体１０５に形成されたバヨネット係合部１０５ｃによって加圧方向Ｃの位置が規定される。この際、バネ保持部材１１１の先端に設けられた押圧部１１１ｂは、加圧バネ１１０の付勢力によって加圧板１０８および弾性部材１０９を介して振動子１００を摺動部材１０４に押圧する加圧力を発生する。これによって、振動子１００と摺動部材１０４とは摩擦接触する。
【００３５】
ガイド部材の一部を構成する移動板１１３は、第２の保持部材１０５の当接部１０５ｂに接着又はねじ止めで固定される。移動板１１３にはボール１１４が嵌入しており、さらに、移動板１１３には第２の保持部材１０５を光軸方向にガイドするＶ字状の断面を有する複数の溝部１１３ａが形成されている。カバープレート１１５はユニット支持部材１１６にネジによって固定される。
【００３６】
当該カバープレート１１５もガイド部の一部を構成しており、カバープレート１１５には、移動板１１３に形成された溝部１１３ａに対向する位置にＶ字状の断面を有する溝部１１５ａが形成されている。そして、溝部１１３ａおよび１１５ａによってボール１１４が挟持される。これによって、第２の保持部材１０５を移動方向（図３（ａ）において紙面に垂直な方向、図３（ｂ）において紙面の左右方向）に沿って進退可能に支持することができる。
【００３７】
図４は、図３に示す超音波モータにおいて寸法のばらつきが生じた際の動作を説明するための図である。そして、図４（ａ）は摺動部材の通常状態にある状態およびばらつき状態を示す図であり、図４（ｂ）は摺動部材の通常状態を説明するための図である。また、図４（ｃ）は摺動部材が傾いた状態を説明するための図である。
【００３８】
次に、図４を参照して、図３に示す超音波モータにおいて寸法のばらつきによる影響を吸収して振動子１００および摺動部材１０４の摩擦接触を安定的に維持する動作について説明する。
【００３９】
図３に示す超音波モータ２００においてはメカ部品の製造ばらつきに起因して振動子１００および摺動部材１０４の加圧方向Ｃにおける高さのばらつきが発生することがある。このため、摩擦接触状態が当該高さのばらつきの影響を受けないようにして駆動力の伝達を安定化させる必要がある。
【００４０】
図４（ａ）において、左側に示す図は、摺動部材１０４が加圧方向Ｃにおける高さ設計中心にある通常状態を示す。また、右側に示す図は、摺動部材１０４の取り付け高さ位置が上方向にばらついた状態を誇張して示す。
【００４１】
左側に示す図において、移動板１１３および第２の保持部材１０５を一端として、加圧手段１２０が突っ張ることによって、複数の部材を挟んで振動子１００が摺動部材１０４に加圧される。さらに、第２の保持部材１０５を基準として保持バネ１１７が第１の保持部材１０２を引き込むことによって保持力を発生する。
【００４２】
いま、右側に示す図において、摺動部材１０４の高さ位置が上方向に矢印Ｅで示す高さずれたとする。矢印Ｅで示す高さの変化は保持バネ１１７の弾性変形によって吸収され、保持力を保った状態で第１の保持部材１０３は矢印Ｆで示す高さ引き上げられる。矢印Ｅで示す高さの変化が小さいので、保持バネ１１７の弾性変形による保持力の変化は元の保持力に対して十分に小さい。よって、必要とする保持力を保った状態で、摺動部材１０４の高さのばらつきを吸収することができる。
【００４３】
次に、図４（ｂ）および図４（ｃ）を参照して、摺動部材１０４が傾いた場合について説明する。
【００４４】
図４（ｂ）においては、移動板１１３および第２の保持部材１０５を一端として、加圧手段１２０が突っ張ることによって、複数の部材を挟んで振動子１００が摺動部材１０４に加圧される。そして、第２の保持部材１０５を基準として保持バネ１１７が第１の保持部材１０３を引き込むことによって保持力が発生する。
【００４５】
図４（ｃ）に示すように、摺動部材１０４の取り付け位置が反時計回りに矢印Ｇで示す方向に回転したとする。この場合、矢印Ｇで示す回転は、振動子１００が突起部１０１ｂを中心として矢印Ｇで示す方向に回転することによって吸収される。第１の保持部材１０３に形成されたＶ溝部１０３ａと振動板１０１に形成された突起部１０１ｂとによって、振動子１００は接続を保った状態で相対的に回転する。
【００４６】
同様に、加圧板１０８は、加圧手段１２０との接触部に有する円筒形状１０８ａに応じて矢印Ｇで示す方向に回転する。そして、円筒形状１０８ａにおいて接触することによって、加圧手段１２０は回転しても加圧状態を保つことができる。
【００４７】
このようにして、図３に示す超音波モータでは、摺動部材の取り付け高さのばらつきによる影響を吸収して、振動子１００と摺動部材１０４との摩擦接触を安定して維持いることができる。
【００４８】
図５は、図３に示す超音波モータで得られる効果を説明するための図である。そして、図５（ａ）は図３に示す超音波モータの駆動方向に直交する方向に沿った断面図であり、図５（ｂ）は従来の超音波モータの駆動方向に直交する方向に沿った断面図である。
【００４９】
図５（ｂ）に示す超音波モータにおいては、振動子１００は振動板１０１の駆動方向に延在した接続部（突起部）１０１ｂで第１の保持部材１０３に形成された突起部１０３ｂと接続されて保持される。また、駆動方向の両端には転動コロ１１８が備えられ、付勢バネ１１９によって振動子１００はガタなく保持される。なお、図示の超音波モータの動作などについては既知であるので説明を省略する。
【００５０】
一方、図５（ａ）に示す超音波モータでは、振動子１００は振動板１０１に形成された突起部１０１ｂと第１の保持部材１０３に形成されたＶ溝部１０３ａとによって、駆動方向における中心の１か所で接続されている。さらに、保持バネ１１７は駆動方向に直交する方向に配置されている。これによって、駆動方向に延在する保持部（つまり、接続部）が不要となって、図５（ａ）に示す矢印Ｈで示す寸法だけ駆動方向の長さを短くすることができる。
【００５１】
このように、図５（ａ）に示す超音波モータでは、駆動方向（進行方向）の寸法を短縮してガタのない連結を行うことができる。
【００５２】
図６は、図３に示す超音波モータ２００が組み込まれた電子機器（レンズ装置）の一例であるレンズ鏡筒を説明するための図である。なお、図６においては、レンズ鏡筒は略回転対称形であるので、上側半分のみが示されている。
【００５３】
カメラ本体３０１にはレンズ鏡筒３０２が着脱自在に取り付けられており、カメラ本体３０１には撮像素子３０１ａが備えられている。カメラ本体３０１のマウント３１１には、レンズ鏡筒３０２をカメラ本体３０１に取り付けるためのバヨネット部が備えられている。
【００５４】
レンズ鏡筒３０２は固定筒３１２を有しており、マウント３１１のフランジ部と当接している。そして、固定筒３１２とマウント３１１とは、ビス（図示せず）に固定されている。固定筒３１２には、光学レンズ（以下単にレンズと呼ぶ）Ｇ１を保持する前鏡筒３１３とレンズＧ３を保持する後鏡筒３１４とが固定される。レンズ鏡筒３０２はフォーカスレンズ保持枠３１６を備え、フォーカスレンズ保持枠３１６によってレンズＧ２が保持される。
【００５５】
フォーカスレンズ保持枠３１６は、前鏡筒３１３と後鏡筒３１４に保持されたガイドバー３１７とによって直進移動可能に保持されている。超音波モータ２００のユニット保持部材１１６にはフランジ部（図示せず）が形成されており、ユニット保持部材１１６はフランジ部を介して後鏡筒３１４にビスなどで固定されている。
【００５６】
超音波モータ２００において、第１の保持部材１０３を含む可動部が駆動されると、超音波モータ２００の駆動力は、第１の保持部材１０３を介してフォーカスレンズ保持枠３１６に伝達される。そして、フォーカスレンズ保持枠３１６はガイドバー３１７に案内されて直線移動する。これによって、フォーカス調節が行われる。
【００５７】
このように、本発明の第１の実施形態では、振動子の駆動方向の中央部で振動子を連結する。そして、当該連結部における保持に必要な保持力を駆動方向と直交する方向に発生させる。これによって、超音波モータにおいて振動子の駆動方向における寸法を短縮することができる。
【００５８】
［第２の実施形態］
続いて、本発明の第２の実施形態による超音波モータの一例について説明する。
【００５９】
図７は、本発明の第２の実施形態による超音波モータの一例について駆動方向における要部を示す断面図である。なお、第２の実施形態による超音波モータにおいて、第１の実施形態と同様の構成について説明を省略し、構成が異なる部分を中心に説明する。
【００６０】
前述のように、振動子１００は突起部１０１ｂにおいて第１の保持部材１０３に形成されたＶ溝部１０３ａと連結し、保持バネ１１７による矢印Ｄで示す方向の保持力によって保持される。
【００６１】
第２の実施形態においては、加圧力を発生する構成が第１の実施形態と異なる。前述の図５（ａ）においては、摺動部材１０４はユニット支持部材１１６に固定されず、ばねかけ部１０４ａに加圧バネ１１０の一端が取り付けられている。そして、加圧バネ１１０の他端はユニット支持部材１１６に取り付けられる。これによって、摺動部材１０４は上向きの矢印Ｃで示す方向に引き上げられ、振動子１００を押圧する加圧力を発生する。
【００６２】
さらに、図５（ａ）においては、加圧板１０８は円筒形状を有しておらず、第２の保持部材１０５が円筒形状１０５ｂを有し、これによって、前述のようにして取り付け位置ばらつきを吸収する。
【００６３】
第２の実施形態においては、摺動部材１０４からみて、保持力の発生方向Ｄと加圧力の加圧方向Ｃとは向きで同一の方向である。このため、第１の実施形態で説明した力の相殺は生じない。よって、加圧バネ１１０には保持力分の余裕を持たせる必要がない。
【００６４】
このように、本発明の第２の実施形態では、第１の実施形態と同様に、駆動方向の寸法を短縮でき、さらに、加圧バネなどの加圧手段による加圧力を保持力を考慮することなく設定することができる。
【００６５】
［第３の実施形態］
次に、本発明の第３の実施形態による超音波モータについて説明する。
【００６６】
図８は、本発明の第３の実施形態による超音波モータの構成についてその一例を説明するための図である。そして、図８（ａ）は超音波モータを破断して側面から示す図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）に示すＡ−Ａ線に沿って振動子の断面を示す図である。なお、図８において、図１および図３に示す第１の実施形態による超音波モータと同一の構成要素については同一の参照番号を付す。
【００６７】
図示の超音波モータ１５１は、その中央下部に図１で説明した振動子１００が配置されている。前述のように、駆動源である振動子１００は振動板１０１および圧電素子１０２を有しており、圧電素子１０２には高周波駆動電圧が印加される。そして、振動板１０１は圧電素子１０２に接着剤などで貼り付けられており、圧電素子１０２に印加する高周波駆動電圧に応じて超音波振動を発生する。
【００６８】
振動板１０１には２つの突起部１０１ａが形成されており、圧電素子１０２の上側面には加圧受け部材４０３が接着剤などで貼りつけられている。そして、加圧受け部材１０３にはＺ方向においてその中央部に球Ｒ形状部４０３ａが形成されている。なお、振動子１００は、ばね鋼で成形された薄板ばね４０５に係合される。
【００６９】
図８（ｂ）には、振動子１００を突起部１０１ａ方向からみた状態が示されている。ここでは、第１の曲げ振動の腹２０１および節２０２となる位置、第２の曲げ振動の腹２０３および節２０４となる位置、そして、節２０２と節２０４との交点である６つの節交点２０５となる位置が図示されている。
【００７０】
図９は、図８に示す超音波モータにおける振動子の保持を説明するため図である。そして、図９（ａ）は振動子の保持を破断して側面から示す図であり、図９（ｂ）は振動子の保持を下側から示す図である。また、図９（ｃ）は振動子の保持を図９（ａ）に示すＢ−Ｂ線に沿って示す断面図であり、図９（ｄ）は振動子の保持について変形例を示す断面図である。
【００７１】
振動板１０１において２か所の節交点２０５位置又はその近傍には、突起部１０１ａの形成面から−Ｚ方向へ伸びる係合部１０１ｃが設けられている。当該係合部１０１ｃにはプレス成形加工などによってその先端がＳＲ形状の凸形状部１０１ｃａが一体で成形されている。
【００７２】
薄板ばね４０５には、係合部１０１ｃと−Ｚ方向において同一位置になるように現物合わせによって、係合部１０１ｃを受ける係合受け部１２１が溶接又は接着などで固定されている。係合受け部１２１は、係合部１０１ｃの凸形状部１０１ｃａを−Ｚ方向で受ける円錐形状受け部１２１ａを有している。なお、当該受け部１２１ａは、凸形状部１０１ｃａと同軸となるように現物の位置合わせが行われる。
【００７３】
なお、ここでは、係合部１０１ｃと係合受け部１２１とが係合する２つ部品を振動子係合部と呼ぶ。また、係合受け部１２１および薄板ばね４０５を振動子保持部材１３１と呼び、振動子１００の係合部１０１ｃと振動子保持部材１３１を合わせて振動子保持部と呼ぶ。
【００７４】
さらに、薄板ばね４０５には、２つのニゲ（逃げ）穴４０５ｂが形成され、ここに振動子１００の２つの突起部１０１ａが嵌入して互いの干渉を防止する。また、薄板ばね４０５の４隅には、後述するガイド部材１０７に取り付けるための取り付け用ねじ穴１０５ｃが形成されている。そして、取り付けねじ１０６によって、薄板ばね４０５をガイド部材１０７に取り付ける。これによって、振動子１００のＸ方向の駆動力がガイド部材１０７に伝達される。
【００７５】
なお、係合部１０１ｃと係合受け部１２１からなる振動子係合部は振動子１００の突起部１０１ａの周辺空間に収まるようになっている。
【００７６】
再び図８（ａ）を参照して、ガイド部材１０７の内部には、振動子１００を−Ｚ方向に加圧する加圧機構（加圧手段）４１６が配置されている。当該加圧手段４１６は、加圧軸４１１、加圧ばね受け部材４１２、および加圧ばね４１３を有している。加圧ばね受け部材４１２は、その外周形状がバヨネット形状部４１２ａとなっている。バヨネット形状部４１２ａはガイド部材１０７のＺ方向の中心上部に位置する内周形状のバヨネット穴形状部１０７ｂに取り付けられる。加圧軸４１１は加圧ばね受け部材４１２に形成されたＺ方向の中心穴４１２ｃに嵌合しつつ軸方向に可動可能となっている。
【００７７】
加圧ばね４１３は、そのＺ方向の上端部が加圧ばね受け部材４１２に形成されたばね受け部溝４１２ｂに挿入され、この挿入端が固定端とされる。また、加圧軸４１１の−Ｚ方向の端部に位置するばね受け部４１１ａとの接触部を可動端として、加圧ばね４１３は圧縮された状態でＺ方向に加圧力１１３ａを発生させる。
【００７８】
加圧ばね４１３による加圧力４１３ａは、ばね受け部４１１ａを−Ｚ方向に押し下げ、振動子１００に接着されている加圧受け部材４０３の球Ｒ形状部４０３ａを加圧する。球Ｒ形状部４０３ａが加圧されると、振動子１００に−Ｚ方向の力が作用して、振動子１００が係合する薄板ばね４０５を変形させるとともに、突起部１０１ａを摺動部材１０４に加圧接触させる。
【００７９】
この状態で、振動子１００を保持する薄板ばね４０５が−Ｚ方向に撓むように、関係する部品の加圧方向の寸法関係が規定される（図８（ａ）において、薄板ばね４０５の撓みは図示されていない）。これによって、薄板ばね４０５の反力４０５ａ（図９（ｃ））がＺ方向に発生する。そして、係合受け部１２１の円錐形状部１２１ａが係合部１０１ｃの凸形状部１０１ｃａに常に与圧接触して、振動子１００における振動子係合部のＸ、Ｙ、およびＺ方向のガタを防止する。この結果、振動子１００の駆動中において、振動子係合部に駆動方向（Ｘ方向）のガタが生じることがない。
【００８０】
さらに、薄板ばね４０５が有するばね特性である平面垂直方向（Ｚ方向）に剛性がなく（つまり、撓みやすい）、その直角方向（Ｘ方向）に剛性がある（つまり、ガタを発生させない）。これによって、振動子１００の駆動中に振動子保持部に駆動方向のガタが生じない。また、薄板ばね４０５の加圧方向の撓みによって、振動子１００の姿勢が摺動部材１０４に対してイコライズし易くなる。
【００８１】
なお、上述の例では、振動子モータを組み込み後、各部品の加圧方向の寸法製作誤差の累積に起因する加圧力４１３ａの設計値に対する誤差を抑えるため、加圧ばね４１３としてばね定数が小さな圧縮コイルばねを用いている。一方、超音波モータ１５１を小型化するため、加圧ばね４１３として板ばねを用いて、配置スペースを小さくし超音波モータ１５１の加圧方向における寸法を薄型化するようにしてもよい。
【００８２】
ユニットベース４０９は超音波モータ１５１全体を支えるために用いられる。ユニットベース４０９には、その下側に振動子１００に摩擦接触する金属材料製の摺動部材１０４が固定され、その上側に天板４１０が固定されている。そして、天板４１０とガイド部材１０７には４つの転動部材４０８が組み込まれている。転動部材４０８が天板４１０とガイド部材１０７に挟み込まれた状態で転動すると、ガイド部材１０７がＸ方向に移動する。
【００８３】
図１０は、図８に示す超音波モータで用いられる天板およびガイド部材を説明するための図である。そして、図１０（ａ）は天板を下側から示す図であり、図１０（ｂ）は天板を側面から示す図である。また、図１０（ｃ）はガイド部材を上側から示す図であり、図１０（ｄ）はガイド部材を側面から示す図である。
【００８４】
天板４１０には、Ｖ字谷形状の２つのガイド溝４１０ａが形成されており、ガイド部材１０７にも同様のＶ字谷形状の２つのガイド溝１０７ａが形成されている。そして、これらガイド溝４１０ａおよび１０７ａに転動部材４０８が組み込まれ、転動部材４０８が転動する。
【００８５】
ガイド部材１０７には、加圧手段４１６を取り付けるためのバイオネット穴形状部１０７ｂが形成されている。また、天板４１０には、加圧手段４１６の固定／取り外し用の角穴４１０ｃとユニットベース４０９に取り付けるためのねじ穴４１０ｂとが形成されている。
【００８６】
このようにして、図８に示す超音波モータ１５１においては、加圧手段４１６が振動子１００を摺動部材１０４に加圧して、突起部１０１ａが摺動部材１０４に摩擦接触する。そして、圧電素子１０２に高周波駆動電圧を印加して振動子１００に超音波振動を励振させると、突起部１０１ａと摺動部材１０４の間の摩擦力によって駆動力が生る。その結果、摺動部材１０４に対して、振動子１００は図８（ａ）に示す矢印ＯのＸ方向に移動する。
【００８７】
係合部１０１ｃの凸形状部１０１ｃａと係合受け部１２１の円錐形状部１２１ａとが係合しているので、振動子１００のＸ方向の移動に伴って薄板ばね４０５に駆動力が伝達され、さらにガイド部材１０７に駆動力が伝達される。そして、転動部材４０８の転動によって、ガイド部材１０７がＸ方向に移動する。
【００８８】
前述の図９（ｄ）には、振動子係合部の変形例が示されている。図９（ｄ）においては、図９（ｃ）と同一の断面位置において同一の位置でかつ同一の方向にある振動子係合部が示されている。
【００８９】
図９（ｄ）においては、振動子１００において２か所の節交点２０５位置又はその近傍には、先端に先端軸１０１ｄａを有する係合部１０１ｄが形成されている。係合部１０１ｄはプレス成形加工などによって振動板１０１と一体で成形されている。
【００９０】
薄板ばね４０５には、その中心に穴形状部１２２ａを有する係合受け部１２２が形成されている。そして、先端軸１０１ｄａと穴形状部１２２ａとが嵌合して、振動子係合部におけるＸおよびＹ方向のガタを防止している。
【００９１】
このように、振動板１０１と一体で成形される係合部として様々な形状が用いられ、振動子保持部として機能する。なお、ここでは、振動子１００が移動し、摺動部材１０４が固定される例について説明したが、振動子１００を固定して、摺動部材１０４を移動させるようにしてもよい。
【００９２】
図１１は、図８に示す超音波モータが組み込まれた電子機器（レンズ装置）の一例であるレンズ鏡筒を説明するための図である。
【００９３】
レンズ鏡筒１４１に備えられた撮像光学系は、被写体側からみて１群レンズＬ１、２群レンズＬ２、およびその鏡筒１４２を有している。２群レンズＬ２の後段には、フォーカスレンズＬ３が配置され、フォーカスレンズＬ３はレンズ保持枠１４４によって保持されている。そして、フォーカスレンズＬ３の後段には４群レンズＬ４および５群レンズＬ５が配置され、これら４群レンズＬ４および５群レンズＬ５は鏡筒１４５に保持されている。
【００９４】
２つのメインガイドバー１４６はレンズ移動枠１４４を光軸１４９の方向に沿って移動させるためのものであり、当該メインガイドバー１４６は光軸１４９と平行にレンズ鏡筒１４１の鏡筒内壁に取り付けられている。レンズ鏡筒１４１の鏡筒内部には、振動波モータ１５１が配置され、ここでは、ガイド部材１０７が光軸１４９の方向に移動可能にユニットベース１０９が鏡筒内壁に取り付けられている。
【００９５】
ガイド部材１０７とレンズ移動枠１４４とを連結部材１４７で連結することによって、振動子１００の駆動力をレンズ移動枠１４４に伝達して、フォーカスレンズＬ３を光軸１４９に沿って移動させる。
【００９６】
ここで、振動子の振動を極力抑制しないで振動子保持を行い、かつ小型化可能な超音波モータにおける振動子保持部について説明する。
【００９７】
図１２は、従来の超音波モータの一例についてその構成を説明するための図である。そして、図１２（ａ）は、従来の振動波モータを破断して側面から示す図であり、図１２（ｂ）は図１２（ａ）に示すＣ−Ｃ線に沿った断面で振動子保持部を示す図である。
【００９８】
図１２に示す振動波モータ１５２は、図８に示す超音波モータ１５１と比べて振動子保持部が異なり、他の構成は同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００９９】
図１２において、振動子１００の長手両端に振動子保持部が存在しており、係合部材１３１が取り付けられている。まず、図中左側に位置する振動子保持部の構成について説明する。
【０１００】
係合部材１３１には、摩耗対策として金属製の転動ころ受け部１３２が取り付けられている。同様に、ガイド部材１０７にも転動ころ受け部１３２が取り付けられている。そして、これら２つの転動ころ受け部１３２の間に転動ころ部材１３３が挟み込まれている。
【０１０１】
続いて、図中右側についてする振動子保持部の構成について説明する。
【０１０２】
左側の振動子保持部と同様に、ガイド部材１０７に転動ころ受け部１３２が取り付けられている。係合部材１３１には、転動ころ部材１３３を与圧するための与圧板ばね１３４が配置されている。そして、転動ころ受け部１３２と与圧板ばね１３４との間に転動ころ部材１３３が挟み込まれている。
【０１０３】
図１２に示す振動子保持部では、振動子１００の長手両端に設けられた２つの係合部材１３１の間にガイド部材１０７が入り込んでいる。さらに、３つの転動ころ受け部１３２、２つの転動ころ部材１３３、そして、圧縮状態の与圧板ばね１３４が入り込み、この間において与圧板ばね１３４が与圧力１３４ａを発生させている。つまり、与圧板ばね１３４の与圧力１３４ａによって振動子１００およびガイド部材１０７の駆動方向（Ｘ方向）のガタを防止するようにしている。
【０１０４】
この結果、図１２に示す超音波モータ１５２では、振動子１００のＸ方向（矢印Ｏで示す方向）の駆動（制御）位置がダイレクトにガイド部材１０７に伝わり、超音波モータ１５２の駆動制御性は向上する。
【０１０５】
ところで、図１２に示す振動子保持部においては、摺動部材１０４、振動子１００、ガイド部材１０７、転動部材４０８、天板４１０、およびユニットベース４０９の加圧方向（Ｚ方向）の製造に起因する寸法の誤差が生じる。さらに、振動子１００の駆動際の姿勢変化に起因する振動子１００および転動部材４０８の加圧方向（Ｚ方向）の位置関係が変化する。これらによって、ガイド部材１０７と天板４１０との間で転動部材４０８に加圧方向（Ｚ方向）のガタが生じる。さらには、ガイド部材１０７と天板４１０との間で、転動部材４０８が加圧方向（Ｚ方向）に挟み込まれる事態が生じることがある。
【０１０６】
このため、図１２に示す振動子保持部においては、加圧方向（Ｚ方向）の寸法誤差（位置関係の変化）を吸収することが必要となる。図示の例では、係合部材１３１と、係合部材１３１および与圧板ばね１３４の間に挟み込まれた転動ころ部材１３３とがＺ方向に転動することによって加圧方向（Ｚ方向）の寸法誤差（変化）を吸収する。
【０１０７】
これが、図１２に示す振動子保持部における加圧方向（Ｚ方向）のイコライズ機能である。つまり、図１２に示す振動子保持部は、振動子１００とガイド部材１０７とを連結するとともに、振動子１００の駆動方向（Ｘ方向）ガタ取り機能および加圧方向（Ｚ方向）のイコライズ機能を有している。
【０１０８】
ところが、図１２に示す超音波モータ１５２においては、振動子１００の両端に振動子保持部が配置されている。このため、Ｘ方向に配置のためのスペースが必要となって、超音波モータ１５２のＸ方向の寸法であるＷが大きくなって大型化してしまう。なお、振動子保持部を振動子１００のＺ方向の上側に配置するようにしたとしても、Ｚ方向に配置スペースが必要となって、Ｚ方向の寸法であるＨが大きくなって大型化してしまう。
【０１０９】
一方、図８に示す振動波モータ１５１では、薄板ばね４０５のガイド部材１０７との取り付け部分を除いて、振動子保持部を突起部１０１ａ周辺の他部品との干渉がないデットスペースに収納している。これによって、振動波モータ１５１においては外形寸法であるＷおよびＨを小さくして小型化することができる。
【０１１０】
さらに、図８に示す超音波モータ１５１では、振動子保持部は振動子１００の第１の曲げ振動の節２０２となる位置と第２の曲げ振動の節２０４となる位置との交点である２カ所の節交点２０５に配置されている。このように、振動子１００の振動振幅が最も小さい位置で保持することによって、振動子１００の振動を極力抑制せずに振動子１００を保持することができる。
【０１１１】
このように、本発明の第３の実施形態では、振動子の振動を極力抑制せずに、振動子を保持して、しかも超音波モータを小型化することができる。
【０１１２】
［第４の実施形態］
続いて、本発明の第４の実施形態による超音波モータの一例について説明する。なお、第４の実施形態において、第３の実施形態と同一の構成要素について同一の参照番号を付す。
【０１１３】
第４の実施形態による超音波モータは、振動子保持部の構成が第３の実施形態による超音波モータと異なり、他の部分は同様の構成である。
【０１１４】
図１３は、本発明の第４の実施形態による超音波モータにおける振動子の保持を説明するため図である。そして、図１３（ａ）は振動子の保持を破断して側面から示す図であり、図１３（ｂ）は振動子の保持を下側から示す図である。また、図１３（ｃ）は振動子の保持を図１３（ａ）に示すＤ−Ｄ線に沿って示す断面図であり、図１３（ｄ）は振動子の保持について変形例を示す断面図である。
【０１１５】
振動板１０１において２か所の節交点２０５位置又はその近傍には、Ｚ方向を中心軸とした穴形状の係合部（凹形状部）１０１ｅが形成されている。係合部１０１ｅはプレス成形加工などによって振動板１０１を打ち抜いて形成されて一体に成形されている。薄板ばね４０５には、係合部１０１ｅと−Ｚ方向において同一位置となるように現物合わせによって、係合部１０１ｅを受ける係合受け部１２３が溶接又は接着などで固定されている。係合受け部１２３は、係合部１０１ｅを−Ｚ方向に受けるＳＲ形状部１２３ａがその先端に形成されており、係合受け部１２３と係合部１０１ｅとは同軸となるように現物位置合わせされている。
【０１１６】
なお、ここでは、係合部１０１ｅと係合受け部１２３を合わせて振動子係合部と呼ぶ。また、係合受け部１２３と薄板ばね４０５とを振動子保持部材１３１とし、係合部１０１ｅと振動子保持部材１３１を合わせて振動子保持部と呼ぶ。
【０１１７】
加圧手段４１６の加圧力４１３ａによって、振動子１００を保持する薄板ばね４０５は−Ｚ方向に撓むように関係する各部品の加圧方向の寸法が規定されている（薄板ばね４０５の−Ｚ方向撓みは図示されていない）。このため、薄板ばね４０５の反力４０５ａがＺ方向に発生して、係合受け部１２３の先端であるＳＲ形状部１２３ａは、係合部１０１ｅに常に与圧接触して振動子係合部におけるＸ、Ｙ、およびＺ方向のガタを防止する。
【０１１８】
これによって、振動子１００の駆動中における振動子係合部の駆動方向（Ｘ方向）のガタを防止している。さらに、薄板ばね４０５が有する板ばね特性である平面垂直方向（Ｚ方向）には剛性がなく（つまり、撓みやすい）、その直交する方向（Ｘ方向）においては剛性がある（つまり、ガタを発生させない）。これによって、振動子１００の駆動中における振動子保持部の駆動方向にガタを防止する。また、薄板ばね４０５の加圧方向の撓みによって、振動子１００の姿勢が摺動部材１０４に対してイコライズし易くなる。
【０１１９】
加えて、薄板ばね４０５とガイド部材１０７との取り付け部分以外において、突起部１０１ａ周辺の他部品との干渉がないデットスペースに振動子保持部を収納する。これによって、第３の実施形態と同様に超音波モータ１５１の外形寸法であるＷおよびＨを小さくして、超音波モータ１５１を小型化することができる。
【０１２０】
前述のように、振動子係合部は、振動子１００の第１の曲げ振動の節２０２となる位置と第２の曲げ振動の節２０４となる位置との交点である２カ所の節交点２０５に設けられている。このように、振動子１００の振動振幅が一番小さい部分において、係合保持することによって、振動子１００の振動を極力抑制せずに振動子を保持することができる。
【０１２１】
図１３（ｄ）においては、図１３（ｃ）と同一の断面位置において同一の位置でかつ同一の方向にある振動子係合部が示されている。
【０１２２】
図１３（ｄ）においては、振動子１００において２か所の節交点２０５位置又はその近傍には、テーパ穴形状の係合部１０１ｆが形成されている。係合部１０１ｆはプレス成形加工などによって振動板１０１と一体に成形されている。
【０１２３】
薄板ばね４０５には、その中心にテーパ形状部１２４ａを有する係合受け部１２４が形成されている。そして、係合部１０１ｆとテーパ形状部１２４ａとが係合して、振動子係合部におけるＸ、Ｙ、およびＺ方向のガタを防止している。
【０１２４】
このように、振動板１０１と一体で成形される係合部として様々な形状が用いられ、振動子保持部として機能する。
【０１２５】
このように、本発明の第４の実施形態においても、振動子の振動を極力抑制せずに、振動子を保持して、しかも超音波モータを小型化することができる。
【０１２６】
［第５の実施形態］
続いて、本発明の第５の実施形態による超音波モータの一例について説明する。なお、第５の実施形態において、第３の実施形態と同一の構成要素について同一の参照番号を付す。
【０１２７】
第５の実施形態による超音波モータは、振動子保持部の構成が第３の実施形態による超音波モータと異なり、他の部分は同様の構成である。
【０１２８】
図１４は、本発明の第５の実施形態による超音波モータにおける振動子の保持を説明するため図である。そして、図１４（ａ）は振動子の保持を破断して側面から示す図であり、図１４（ｂ）は振動子の保持を下側から示す図である。また、図１４（ｃ）は振動子の保持を図１４（ａ）に示すＥ−Ｅ線に沿って示す断面図であり、図１４（ｄ）は振動子の保持について変形例を示す断面図である。
【０１２９】
振動板１０１において２か所の節交点２０５位置又はその近傍には、突起部１０１ａの形成面から−Ｚ方向に延びる別体の係合部１０１ｇが接着などによって形成されている。係合部１０１ｇの先端はＳＲ形状の凸形状部１０１ｇａとなっている。
【０１３０】
薄板ばね４０５には、係合部１０１ｇと−Ｚ方向において同一位置となるように現物合わせによって、係合部１０１ｇを受ける係合受け部１２５が溶接又は接着などで固定されている。係合受け部１２５は、係合部１０１ｇを−Ｚ方向に受ける円錐形状部１２５ａがその先端に形成されており、係合受け部１２５と係合部１０１ｇとは同軸となるように現物位置合わせされている。
【０１３１】
なお、ここでは、係合部１０１ｇと係合受け部１２５を合わせて振動子係合部と呼ぶ。また、係合受け部１２５と薄板ばね４０５とを振動子保持部材１３１とし、係合部１０１ｇと振動子保持部材１３１を合わせて振動子保持部と呼ぶ。
【０１３２】
加圧手段４１６の加圧力４１３ａによって、振動子１００を保持する薄板ばね４０５は−Ｚ方向に撓むように関係する各部品の加圧方向の寸法が規定されている（薄板ばね４０５の−Ｚ方向撓みは図示されていない）。このため、薄板ばね４０５の反力４０５ａがＺ方向に発生して、係合受け部１２５の中心にある円錐形状部１２５ａは、係合部１０１ｇに常に与圧接触して振動子係合部におけるＸ、Ｙ、およびＺ方向のガタを防止する。
【０１３３】
図１４（ｄ）においては、図１４（ｃ）と同一の断面位置において同一の位置でかつ同一の方向にある振動子係合部が示されている。
【０１３４】
図１４（ｄ）においては、振動子１００において２か所の節交点２０５位置又はその近傍には、その中心に穴形状部１０１ｈａを有する係合部１０１ｈが別体で接着などによって形成されている。薄板ばね４０５には、その中心に軸形状部１２６ａを有する係合受け部１２６が形成されている。そして、穴形状部１０１ｈａと軸形状部１２６ａとが嵌合して、振動子係合部におけるＸ、Ｙ、およびＺ方向のガタを防止している。
【０１３５】
このように、本発明の第５の実施形態においても、振動子の振動を極力抑制せずに、振動子を保持して、しかも超音波モータを小型化することができる。
【０１３６】
［第６の実施形態］
次に、本発明の第６の実施形態による超音波モータの一例について説明する。なお、第６の実施形態において、第３の実施形態と同一の構成要素について同一の参照番号を付す。
【０１３７】
第６の実施形態による超音波モータは、振動子保持部の構成が第３の実施形態による超音波モータと異なり、他の部分は同様の構成である。
【０１３８】
図１５は、本発明の第６の実施形態による超音波モータにおける振動子の保持を説明するため図である。そして、図１５（ａ）は振動子の保持を破断して側面から示す図であり、図１５（ｂ）は振動子の保持を下側から示す図である。また、図１５（ｃ）は振動子の保持を図１５（ａ）に示すＦ−Ｆ線に沿って示す断面図である。
【０１３９】
図示のように、振動板１０１において、突起部１０１ａの形成面はＸＹ方向において平面形状とされる。平面形状において２か所の節交点２０５位置における平面形状部分が係合部１０１ｉとされる。
【０１４０】
薄板ばね４０５には、係合部１０１ｉと−Ｚ方向において同一位置に係合部１０１ｉと係合する係合受け部１２７が溶接又は接着などで固定されている。係合受け部１２７の先端には、ＸＹ方向の平面形状部１２７ａが規定されており、当該先端部は係合部１０１ｉに溶接又は接着などの固定手法によって係合される。
【０１４１】
なお、ここでは、係合部１０１ｉと係合受け部１２７を合わせて振動子係合部と呼ぶ。また、係合受け部１２７と薄板ばね４０５とを振動子保持部材１３１とし、係合部１０１ｉと振動子保持部材１３１を合わせて振動子保持部と呼ぶ。
【０１４２】
第６の実施形態では、振動子係合部は、係合部１０１ｉ（つまり、ＸＹ方向の平面形状部分）と係合受け部１２７の先端に形成された平面形状部１２７ａとを接着することによって、ＸおよびＹ方向のガタを防止する。これによって、振動子１００の駆動中において振動子係合部の駆動方向（Ｘ方向）のガタを防止する。
【０１４３】
なお、上述の例では、振動板１０１において突起部１０１ａの形成面の一部を係合部１０１ｉとした。一方、係合部１０１ｉは突起部１０１ａの形成面上ではなく、突起部１０１ａの形成面からＺ方向にズレた周辺部に規定するようにしてもよい。さらに、当該係合部１０１ｉはＸＹ方向の平面形状でなく多少傾いていてもよい。
【０１４４】
このように、本発明の第６の実施形態においても、振動子の振動を極力抑制せずに、振動子を保持して、しかも超音波モータを小型化することができる。
【０１４５】
以上、本発明について実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。例えば、上述の第１の実施形態乃至第６の実施形態の超音波モータを適用可能な電子機器はレンズ装置に限定されず、撮像素子又はシャッタなどを移動させるために撮像装置に適用してもよい。
【符号の説明】
【０１４６】
１００  振動子
１０１  振動板
１０１ａ  突起部（圧接部）
１０２  圧電素子
１０３，１０５  保持部材
１０４  摺動部材
１０８  加圧板
１０９  弾性部材
１１０  加圧バネ
１１７  保持バネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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