(57)【要約】【課題】電子部品の搬送経路からの脱落又は受け渡し失敗を吸着ノズルを停止させることなく検出できる電子部品移動装置を提供する。【解決手段】吸着ノズル２の非停止区間６に部品検出センサ５を備える。吸着ノズル２は導光口と透光体と導光体を有する。導光口は、吸着ノズル２の後端開口２５又は側部開口２８等であり、吸着ノズル２の内外を連通させる。透光体は、三角プリズム２４又はガラス体２６等であり、ノズル内外の連通を遮断する。導光体は、三角プリズム２４又は反射板２７等であり、導光口を通じて入光する光を屈曲させて吸着ノズル２の内部に導光する。部品検出センサ５は、投光部５１と受光部５２を、非停止区間６の一点６１を通過する吸着ノズル２の吸着孔２１と導光体とに正対する各位置に分けて有する。【選択図】図２
2018067584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部に吸着孔が開口する筒形状を有し、当該吸着孔で電子部品を保持しながら移動する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルの非停止区間に設置され、前記吸着ノズルに保持されている前記電子部品の有無を検出するセンサと、
を備え、
前記吸着ノズルは、
胴体側部に開口し、当該吸着ノズル内部に負圧を供給する負圧供給口を有し、
前記負圧供給口よりも前記吸着孔から遠い位置に設けられ、前記吸着ノズルの内外を連通する導光口と、
前記負圧供給口と前記導光口との間に設けられ、前記吸着ノズル内外の連通を遮断する透光体と、
前記導光口を通じた光を屈曲させて前記吸着ノズルの内部に導光する導光体と、
を有し、
前記センサは、
前記非停止区間の一点を通過する前記吸着ノズルの吸着孔と前記導光体に正対する各位置に分けて設置される受光素子及び発光素子と、
を有し、
前記受光素子には、前記吸着ノズルが前記電子部品を保持していれば、当該電子部品に遮光されて前記検出光が未達となり、前記吸着ノズルが前記電子部品を保持していなければ、前記吸着孔を出射した前記検出光が到達すること、
を特徴とする電子部品移動装置。
【請求項２】
前記導光口は、前記吸着ノズルの前記吸着孔とは反対の筒端部に開口し、
前記吸着ノズルは、導光口を塞いで固定され、前記導光口を封口する前記透光体と前記吸着ノズルの内部に前記検出光を導光する前記導光体とを兼ねる三角プリズムを有すること、
を特徴とする請求項１記載の電子部品移動装置。
【請求項３】
前記導光口は、前記吸着ノズルの胴体側部に開口し、
前記導光体は、前記導光口と斜めに向かい合う反射板であり、
前記透光体は、前記導光口又は前記負圧供給口と前記反射板との間に介在すること、
を特徴とする請求項１記載の電子部品移動装置。
【請求項４】
前記導光口は、前記吸着ノズルの胴体側部に開口し、
前記吸着ノズルは、前記導光口を臨んでノズル内部に設置され、前記透光体と前記導光体を兼ねる三角プリズムを有すること、
を特徴とする請求項１記載の電子部品移動装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかに記載の電子部品移動装置を備え、電子部品を整列搬送しながら各種処理を施す電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記各種処理を受ける前記電子部品を収容する供給ユニットと、
前記供給ユニットの前記電子部品を円環状の搬送経路に沿って整列搬送するハンドラと、
前記搬送経路に沿って配置される各種の処理ユニットと、
前記ハンドラで搬送し終えた前記電子部品を収容する収容ユニットと、
を備え、
前記電子部品移動装置は、前記供給ユニットの前記電子部品をピックアップして、前記搬送手段に渡す中継ユニットとして、前記供給ユニットと前記ハンドラとの間に配置されること、
を特徴とする請求項５記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記各種処理を受ける前記電子部品を収容する供給ユニットと、
前記供給ユニットの前記電子部品を円環状の搬送経路に沿って整列搬送するハンドラと、
前記搬送経路に沿って配置される各種の処理ユニットと、
前記ハンドラで搬送し終えた前記電子部品を収容する収容ユニットと、
を備え、
前記電子部品移動装置は、前記ハンドラとして配置されること、
を特徴とする請求項５記載の電子部品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を旋回により移動させる電子部品移動装置、及びその電子部品移動装置を備えて、電子部品を整列搬送しながら各種処理を施す電子部品搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品は、後工程にて、品質の確認及び梱包等の処理が施される。例えば、電子部品は電気特性及び外観検査によって品質が確認され、レーザーマーキングで刻印され、品質別に分類されて各種収容体に梱包される。電子部品は、これら処理を受けるために、処理ユニットを巡るように搬送経路を移動する。また、次工程の機器で使用される収容体に対応すべく、または客先の要求に対応すべく、電子部品を特段処理せず、収容体を代えて梱包し直すために、搬送経路に沿って電子部品を搬送する場合もある。
【０００３】
電子部品の搬送経路は、単一又は複数の電子部品移動装置を繋ぎ合わせて形成される（例えば特許文献１参照）。電子部品移動装置を繋ぎ合わせた一連の装置はハンドラなどと呼ばれている。搬送経路と電子部品を供給するユニットとが遠い等の所定の制約がある場合には、電子部品を供給するユニットと搬送経路との間に電子部品移動装置を介挿し、電子部品を中継する。この電子部品を中継するための電子部品移動装置は、ピックアップユニット又は中継ユニットなどと呼ばれる。
【０００４】
電子部品移動装置は、電子部品を保持する保持手段を移動させることで、電子部品を移動させる。電子部品の保持手段としては、負圧により電子部品を吸い付ける吸着ノズルが挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１２１４５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような電子部品移動装置を連ねて搬送経路を構成する形式、及び電子部品移動装置で電子部品を中継する形式では、電子部品移動装置間での電子部品の受け渡しが失敗する虞がある。受け渡し失敗の場合、渡される予定の吸着ノズルは電子部品を未保持のまま移動することになる。また吸着ノズルの負圧低下によって電子部品が途中で脱落してしまう虞もある。
【０００７】
従来、電子部品の受け渡し失敗又は脱落は、電子部品の位置ズレ検出目的のカメラにより電子部品を撮像し、画像処理により確認できた。但し、電子部品をカメラユニットの位置に一時停止させる必要があった。電子部品の製造速度は電子部品のコストに大きな影響を与える。そのため、電子部品の受け渡し失敗又は脱落の確認のために、電子部品を一時停止させることは、電子部品のコスト増に繋がる。
【０００８】
電子部品を一時停止させずに受け渡し失敗又は脱落を確認するために次のような手法も提案されてはいる。即ち、電子部品の移動軌跡と平行なレーザを電子部品の側面に照射するものである。しかしながら、電子部品は吸着ノズル等の保持部の先端に保持されるが、保持部の全長は磨耗により変化し、電子部品の移動軌跡が通る高さが変わってしまうため、定期的にレーザ照射位置の調整が必要になる。電子部品の厚さは例えば５０〜６０μｍと薄厚化が進展しており、高さの変わった電子部品の側面位置にレーザを向ける照射位置調整は非常に困難である。そうすると、この手法ではレーザを電子部品の側面に精度良く当て続けることができず、誤検出が多発する虞があった。そのため、電子部品の移動中に受け渡し失敗又は脱落を検出することは現実的とはいえなかった。
【０００９】
また、特に、電子部品を中継するための電子部品移動装置は、搬送経路と供給ユニットとの間に位置する都合上、小型であり、搬送経路と供給ユニットとの間に電子部品を停止させるポジションを確保することが難しく、電子部品の受け渡し失敗又は脱落を検出ができなかった。
【００１０】
本発明は、上記の問題点を解決するために提案されたもので、吸着ノズルを停止させる必要なく、電子部品の脱落又は受け渡し失敗を検出できる電子部品移動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る電子部品移動装置は、一端部に吸着孔が開口する筒形状を有し、当該吸着孔で電子部品を保持しながら移動する吸着ノズルと、前記吸着ノズルの非停止区間に設置され、前記吸着ノズルに保持されている前記電子部品の有無を検出するセンサと、を備え、前記吸着ノズルは、胴体側部に開口し、当該吸着ノズル内部に負圧を供給する負圧供給口を有し、前記負圧供給口よりも前記吸着孔から遠い位置に設けられ、前記吸着ノズルの内外を連通する導光口と、前記負圧供給口と前記導光口との間に設けられ、前記吸着ノズル内外の連通を遮断する透光体と、前記導光口を通じた光を屈曲させて前記吸着ノズルの内部に導光する導光体と、を有し、前記センサは、前記非停止区間の一点を通過する前記吸着ノズルの吸着孔と前記導光体に正対する各位置に分けて設置される受光素子及び発光素子と、を有し、前記受光素子には、前記吸着ノズルが前記電子部品を保持していれば、当該電子部品に遮光されて前記検出光が未達となり、前記吸着ノズルが前記電子部品を保持していなければ、前記吸着孔を出射した前記検出光が到達すること、を特徴とする。
【００１２】
前記導光口は、前記吸着ノズルの前記吸着孔とは反対の筒端部に開口し、前記吸着ノズルは、導光口を塞いで固定され、前記導光口を封口する前記透光体と前記吸着ノズルの内部に前記検出光を導光する前記導光体とを兼ねる三角プリズムを有するようにしてもよい。
【００１３】
前記導光口は、前記吸着ノズルの胴体側部に開口し、前記導光体は、前記導光口と斜めに向かい合う反射板であり、前記透光体は、前記導光口又は前記負圧供給口と前記反射板との間に介在するようにしてもよい。
【００１４】
前記導光口は、前記吸着ノズルの胴体側部に開口し、前記吸着ノズルは、前記導光口を臨んでノズル内部に設置され、前記透光体と前記導光体を兼ねる三角プリズムを有するようにしてもよい。
【００１５】
また、本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品移動装置を備えることを特徴とする。この電子部品搬送装置は、前記各種処理を受ける前記電子部品を収容する供給ユニットと、前記供給ユニットの前記電子部品を円環状の搬送経路に沿って整列搬送するハンドラと、前記搬送経路に沿って配置される各種の処理ユニットと、前記ハンドラで搬送し終えた前記電子部品を収容する収容ユニットと、を備え、前記電子部品移動装置は、前記供給ユニットの前記電子部品をピックアップして、前記ハンドラに渡す中継ユニットとして、前記供給ユニットと前記ハンドラとの間に配置されるようにしてもよい。
【００１６】
また、この電子部品搬送装置は、前記各種処理を受ける前記電子部品を収容する供給ユニットと、前記供給ユニットの前記電子部品を円環状の搬送経路に沿って整列搬送するハンドラと、前記搬送経路に沿って配置される各種の処理ユニットと、前記搬送手段で搬送し終えた前記電子部品を収容する収容ユニットと、を備え、前記電子部品移動装置は、前記ハンドラとして配置されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、吸着ノズルを停止させることなく、電子部品の脱落又は受け取り失敗を判定することができ、電子部品の生産速度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】電子部品移動装置の概略斜視図である。
【図２】吸着ノズルの第１の例及び部品検出センサを示すブロック図であり、電子部品が脱落又は受け取り失敗した状態を示す。
【図３】吸着ノズルの第１の例及び部品検出センサを示すブロック図であり、電子部品を保持した状態を示す。
【図４】吸着ノズルの第２の例を示すブロック図である。
【図５】吸着ノズルの第３の例を示すブロック図である。
【図６】吸着ノズルの第４の例を示すブロック図である。
【図７】第１の適用例に係る電子部品搬送装置の上面図である。
【図８】第１の適用例に係る電子部品搬送装置の側面断面図である。
【図９】第１の適用例に係る電子部品搬送装置の中継ユニットを示す正面図であり、吸着ノズルが非停止区間を移動中の状態を示す。
【図１０】第１の適用例に係る電子部品搬送装置の中継ユニットを示す上面図であり、吸着ノズルが真上及び真下を向いて停止している状態を示す。
【図１１】第１の適用例に係る電子部品搬送装置の中継ユニットの他の例を示す側面図である。
【図１２】第２の適用例に係る電子部品搬送装置の側面図である。
【図１３】第２の適用例に係る電子部品搬送装置のハンドラが備えるロータリーテーブルを示す側面図である。
【図１４】第２の適用例に係る電子部品搬送装置のハンドラが備えるロータリーテーブルを示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明に係る電子部品移動装置の実施形態とその適用例について図面を参照しつつ詳細に説明する。図１に示すように、電子部品移動装置１は、電子部品Ｄを一地点６２から他地点６３へ旋回移動させる装置である。この電子部品移動装置１は、吸着ノズル２、ロータリーテーブル３及びモータ４を備える。
【００２０】
吸着ノズル２は、一端部に吸着孔２１を有する筒形状を有し、電子部品Ｄを吸着孔２１に吸い付けて保持する。ロータリーテーブル３は、モータ４の回転軸に軸支され、また吸着ノズル２をモータ４の回転軸から離間した位置で支持し、吸着ノズル２を円又は円弧状に移動させる。モータ４は、ダイレクトドライブモータ等であり、吸着ノズル２をロータリーテーブル３を介して移動させる動力源である。
【００２１】
この電子部品移動装置１は、２機の吸着ノズル２を備える。ロータリーテーブル３は、モータ４の回転軸から１８０度対向した方向に延びる２本のアームである。但し、電子部品移動装置１は、１機の吸着ノズル２を備えても、３機以上を備えてもよい。１機の吸着ノズル２を備える場合、ロータリーテーブル３は、一端がモータ４の回転軸に軸支され、他端に吸着ノズル２が設置される１本のアームである。３機以上の吸着ノズル２を備える場合、ロータリーテーブル３は、アームを円周等配位置で放射状に延ばした星形又は円盤形状を有し、放射中心がモータ４の回転軸に軸支され、各アームの先端又は円盤外周に吸着ノズル２が設置される。
【００２２】
モータ４は、ロータリーテーブル３を間欠回転させる。電子部品移動装置１が２機の吸着ノズル２を備える場合、モータ４は、ロータリーテーブル３を１８０度往復回転又は一方向に円状に回転させ、０度位置及び１８０度位置で一時停止させる。１機の吸着ノズル２を備える場合は、１８０度往復回転又は一方向に円状に回転して１８０度ごとに停止させる。電子部品移動装置１が３機以上の吸着ノズル２を備える場合、モータ４は、一方向に、吸着ノズル２の配置角度間隔と等角度間隔ずつ、ロータリーテーブル３を回転させ、吸着ノズル２の配置角度間隔ごとに一時停止させる。
【００２３】
吸着ノズル２は、筒軸がロータリーテーブル３の半径方向に沿い、ロータリーテーブル３の半径方向に突き出ており、ロータリーテーブル３の外方に吸着孔２１を向ける。吸着ノズル２は、外部から負圧の供給を受け、吸着孔２１で電子部品Ｄを吸引により保持する。即ち、吸着孔２１の径は、電子部品Ｄの吸着面よりも小さい。
【００２４】
図２に示すように、吸着ノズル２は、筒状で内部が中空のノズル部２２を本体とし、両端部が開口している。ロータリーテーブル３の半径方向外方の開口が吸着孔２１であり、ロータリーテーブル３の中心側の開口が後端開口２５である。ノズル部２２の胴体側部には、負圧供給口２３が形成されている。負圧供給口２３は、ノズル部２２の内外を連通し、電子部品移動装置１と別体の真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置と接続されており、ノズル部２２に負圧を供給する。
【００２５】
また、ノズル部２２には、直角プリズム２４が固定されている。直角プリズム２４は、直角三角形の面を有する三角柱であり、直角に繋がる合同の２面の第１四角形面２４１及び第２四角形面２４２と、第１四角形面２４１と第２四角形面２４２と共に直角三角形を画成する斜面２４３と、対面して各々が第１四角形面２４１と第２四角形面２４２と斜面２４３とに繋がる三角形面を有する。
【００２６】
この直角プリズム２４は、後端開口２５を第１四角形面２４１で封止する。即ち、第１四角形面２４２は、後端開口２５を内包する面積を有する。直角プリズム２４は、この第１四角形面２４１がノズル部２２の筒軸線と直交するように固定される。このような直角プリズム２４は、第２四角形面２４２に対して直角に入射した入射光を、斜面２４３で９０度方向に反射させ、第１四角形面２４１から出射させることで、光をノズル部２２の内部に導光し、その光をノズル部２２の筒軸線に沿って進行させる。
【００２７】
図１及び図２に示すように、電子部品移動装置１は、吸着ノズル２の移動経路中に部品検出センサ５を更に備える。部品検出センサ５は、当該センサを通過する吸着ノズル２が保持する電子部品Ｄの有無を検出する。部品検出センサ５は、例えばレーザーセンサ、ファイバセンサー、又はフォトインタラプタであり、半導体レーザや発光ダイオード等の投光部５１とフォトトランジスタ等の受光部５２とを備える。
【００２８】
受光部５２は、吸着ノズル２の停止位置の間に延在する非停止区間６内の一点６１に設置され、非停止区間６の一点６１を通過する吸着ノズル２の吸着孔２１と正対する。換言すると、受光部５２は、非停止区間６の一点６１を通過する吸着ノズル２の筒軸延長線上に位置する。投光部５１は、非停止区間６の一点６１に位置する吸着ノズル２が備えるプリズム２４の第２四角形面２４２と直交する仮想直交線上に、第２四角形面２４２と正対して配置され、この第２四角形面２４２に直角に入射する光路の検出光を出射する。
【００２９】
この部品検出センサ５において、非停止区間６の一点６１を移動中の吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持していなければ、投光部５１の検出光が三角プリズム２４を介して受光部５２に届く。一方、図３に示すように、この部品検出センサ５において、非停止区間６の一点６１を移動中の吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持していれば、投光部５１から出射してプリズム２４で反射した検出光が、吸着孔２１を塞ぐ電子部品Ｄに遮られて受光部５２に未達となり、受光部５２は検出光を感知できない。
【００３０】
部品検出センサ５は、吸着ノズル２が非停止区間６の一点６１を通過するタイミングで、受光部５２の受光量をサンプリングし、検出光の到達を示す受光量に達していれば、電子部品Ｄの脱落と判定できる。即ち、部品検出センサ５は、受光部５２の受光量をパラメータとして脱落を判定するマイコンやコンピュータにより成る判定部を備え、予め記憶している閾値との比較により脱落判定を行う。この判定部は、電子部品移動装置１が備えるようにしてもよいし、電子部品移動装置１を１つのモジュールとして備える複合機が各モジュールを統合制御するためのマイコンやコンピュータであってもよい。
【００３１】
このように、ノズル部２２の後端開口２５は、検出光のノズル部２２の内部への導光口である。三角プリズム２４は、検出光を通しつつ導光口を封止する透光体であり、また検出光のノズル部２２内へ向けて検出光を屈折又は反射させる導光体でもある。
【００３２】
透光機能、封止機能及び導光機能を備えるならば、三角プリズム２４に限らずに各種光学部品を適用することができる。透光機能、封止機能及び導光機能を１つの光学部品で満たす必要はない。導光口は、吸着孔２１に及ぶ負圧を減殺させず、または阻害しなければよいため、負圧供給口２３よりも吸着孔２１から遠く、ノズル部２２の内部と接するように形成されていれば、即ちノズル部２２の内外を連絡する開口となっていれば、ノズル部２２の後端に形成される必要はない。また、導光体も、負圧供給口２３よりも導光口側であれば、ノズル部２２の内部、またノズル部２２の内部と接する位置等、導光口の位置を含み、何れに配置されてもよい。透光体も、吸着孔２１に及ぶ負圧を減殺させず、または阻害しなければよいため、負圧供給口２３よりも吸着孔２１から遠くければ、ノズル部２２の内部、またのノズル部２２の内部と接する位置等、何れに配置されてもよい。
【００３３】
典型的には、図４及び図５に示すように、三角プリズム２４の第１四角形面２４１に代えてガラス板２６を透光体として配置し、三角プリズム２４の斜面２４３により成る導光体に代えて、反射板２７を導光体として配置するようにしてもよい。透光体としては、透明なアクリル板であってもよい。
【００３４】
また、図４に示すように、ノズル部２２の負圧供給口２３よりも後端側の胴体部に導光口として側部開口２８が貫設され、ノズル部２２の内部であって、側部開口２８と負圧供給口２３との間に、ガラス板２６が配置され、側部開口２８とガラス板２６との間であって、側部開口２８を臨む位置に、反射板２７が配置されるようにしてもよい。また、図５に示すように、側部開口２８を塞ぐようにガラス板２６が配置され、ガラス板２６と負圧供給口２３との間であって、側部開口２８を臨む位置に、反射板２７が配置されるようにしてもよい。
【００３５】
ガラス板２６と反射板２７を配置する場合、側部開口２８を設ける態様は、反射板２７をノズル部２２の内壁で支持できるために好適である。また、図６に示すように、ノズル部２２の内部であって側部開口２８を臨むように、三角プリズム２４を配置するようにしてもよい。
【００３６】
更に、受光部５２と投光部５１とは、投光部５１の検出光がノズル部２２の内部を通って受光部５２に至る光学的な位置関係であれば、設置位置を入れ替えるようにしてもよい。即ち、非停止区間６の一点６１を吸着ノズル２が通過する際、吸着孔２１と投光部５１とを正対させ、三角プリズム２４の第２四角形面２４２と受光部５２とを正対させるようにしてもよい。
【００３７】
この電子部品移動装置１の適用例を示す。第１の適用例に係る電子部品移動装置１は、図７及び図８に示す電子部品搬送装置１００に搭載される。電子部品搬送装置１００は、電子部品Ｄを搬送経路１０１に載せ、電子部品Ｄを搬送経路１０１に沿って移動させ、搬送経路１０１上で電子部品Ｄに各種処理を施す。この電子部品搬送装置１００は、搬送経路１０１に沿って配置される各種の処理ユニット１１０と、搬送経路１０１を形成するハンドラ１２０と、搬送経路１０１に電子部品Ｄを供給する中継ユニット１３０と、未処理の電子部品Ｄを供給する供給ユニット１４０と、各種処理を受けて搬送経路１０１を巡り終えた電子部品Ｄを収容する収容ユニット１５０とを備える。この電子部品搬送装置１００は、中継ユニット１３０として電子部品移動装置１を備えている。
【００３８】
ハンドラ１２０は、円環状の搬送路１０１を形成する。即ち、ハンドラ１２０は、回転系の基台となるターレットテーブル１２１、ターレットテーブル１２１の回転動力源となるダイレクトドライブモータ１２２、ターレットテーブル１２１に取り付けられて電子部品Ｄを負圧により吸引保持する吸着ノズル１２３、及び特定種の処理ユニット１１０の直上にターレットテーブル１２１を挟んで取り付けられて吸着ノズル１２３を処理ユニット１１０側へ移動させる進退駆動装置１２４により構成される。
【００３９】
ダイレクトドライブモータ１２２はベース１０２の上面に設置される。ターレットテーブル１２１は、アームを放射状に配した星形又は円盤形状を有し、円中心がダイレクトドライブモータ１２２の回転軸に軸支され、ベース１０２の上面よりも高い位置で水平に延び、ダイレクトドライブモータ１２２によって円周方向に一定の角度ずつ間欠回転する。
【００４０】
吸着ノズル１２３は、ターレットテーブル１２１の円中心から等距離の外周縁に、円周等配位置で複数取り付けられている。ターレットテーブル１２１の外周縁には、軸方向をベース１０２の上面と直交させたスリーブが設けられており、吸着ノズル１２３はスリーブに摺動可能に挿嵌され、ノズル先端を架台ベース１０２の上面に向け、ノズル先端で電子部品Ｄを保持する。
【００４１】
進退駆動装置１２４は、電動機１２４ａとロッド１２４ｂを有し、ロッド１２４ｂを電動により架台１０２の上面と直交する方向に進出させ、処理ユニット１１０に到達した吸着ノズル１２３のノズル後端にロッド１２４ｂを接触させ、更にロッド１２４ｂで吸着ノズル１２３を処理ユニット１１０に向けて押し込む。
【００４２】
このハンドラ１２０によれば、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１２３は、共通の軌跡を辿って移動し、共通の各停止位置に停止する。即ち、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル１２３が移動する共通の軌跡が円環状の搬送路１０１となる。処理ユニット１１０は、吸着ノズル１２３が停止する各停止位置直下に配置される。ハンドラ１２０は、進退駆動装置１２４により、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２３を処理ユニット１１０に向けて押し下げ、電子部品Ｄを処理ユニット１１０に受け渡す。
【００４３】
処理ユニット１１０は、電子部品Ｄに応じて必要な処理内容を施すために配置される。電子部品Ｄは、電気製品に使用される部品であり、トランジスタやダイオードやコンデンサや抵抗等のディスクリート半導体や集積回路等のパッケージングされた半導体素子等である。このような電子部品Ｄに対して施す処理内容は、検査、加工、姿勢補正、分類又はこれらのうちの複数種類である。検査内容は、外観検査、電気特性検査又は光量検査等である。加工内容は、リード端子の折り曲げ、レーザーマーキング及び半田の塗布等である。姿勢補正は、電子部品の位置、向き又はこれらの両方の補正である。分類は、良品と良品以外、又は良品のランクごとの分類である。
【００４４】
これら処理内容を実行する処理ユニット１１０としては、例えば、電子部品Ｄの姿勢ズレを検出するカメラユニット、電子部品Ｄの姿勢を補正するＸＹθ移動ユニット、電子部品Ｄの電気特性を検査する電気テストユニット、電子部品Ｄの外観を検査するカメラユニット、検査の結果が良品の電子部品Ｄにマーキングするレーザーマーキングユニットが配置される。
【００４５】
供給ユニット１４０と収容ユニット１５０は、全ての処理ユニット１１０を挟む両端の停止位置に配置される。供給ユニット１４０と収容ユニット１５０としては、ウェハリングホルダ、テーピングユニット、トレイシフト装置又はパーツフィーダが挙げられる。処理内容として分類が含まれる場合、電子部品搬送装置１００には、良品用と良品以外用の２機の収容ユニット１５０が配置され、電子部品Ｄは良品のランクに応じた処理ユニット１５０に収容される。
【００４６】
ウェハリングホルダは、ウェハをリングに貼着して成るウェハリングを収容体として、このウェハリングを平面移動させる。テーピングユニットは、長手方向にポケットを並設したキャリアテープを収容体として、このキャリアテープを長手方向に搬送する。トレイシフト装置は、トレイを収容体として、このトレイを平面移動させる。パーツフィーダは、擂鉢状のボウルを収容体として、ボウル及びボウルに接続された直線レールを振動させることで、ボウルから直線レールの先頭へ電子部品Ｄを移動させる。
【００４７】
中継ユニット１３０は、所定の制約に対応すべく、供給ユニット１４０、収容ユニット１５０又はその両方とハンドラ１２０との間に配置される。即ち、中継ユニット１３０は、供給ユニット１４０、収容ユニット１５０又はその両方に対して吸着ノズル１２３が遠方にあり、供給ユニット１４０、収容ユニット１５０又はその両方とハンドラ１２０とが電子部品Ｄを直接受け渡しできない場合に配置される。或いは、中継ユニット１３０は、吸着ノズル１２３の向きと供給ユニット１４０、収容ユニット１５０又はその両方の向きとが異なり、電子部品Ｄの向きを変更しなければ、供給ユニット１４０、収容ユニット１５０又はその両方とハンドラ１２０とが電子部品Ｄを受け渡しできない場合に配置される。
【００４８】
この中継ユニット１３０は、例えば、ウェハリングの面を吸着ノズル１２３の吸引口側に向けて横置きされたウェハリングである供給ユニット１４０とハンドラ１２０との間に配置される。この中継ユニット１３０は、電子部品移動装置１であり、電子部品Ｄを供給ユニット１４０から受け取ってハンドラ１２０に渡す一対の吸着ノズル２，２と、１８０度正反対に延びた２本のアームを有し、アームの延び先に吸着ノズル２，２を１８０度正反対に向けて備えるロータリーテーブル３と、２本のアームの基端部分でロータリーテーブル３を軸支し、吸着ノズル２，２を供給ユニット１４０とハンドラ１２０とに順番に対向させるモータ４と、電子部品Ｄの保持有無を検出する部品検出センサ５とを備える。
【００４９】
吸着ノズル２，２の軸延長線は双方ともロータリーテーブル３の中心を通り、吸着ノズル２，２はロータリーテーブル３の中心から等距離離間した位置を基端として、ロータリーテーブル３の半径方向外方に突き出ている。吸着ノズル２，２の全長は同一である。すなわち、吸着ノズル２，２の先端は、ロータリーテーブル３と同心円の同一軌道上に位置する。
【００５０】
ロータリーテーブル３は、テーブル平面と直交するテーブル中心を軸に、モータ４により間欠的に１８０度ずつ正転と逆転を繰り返す。このロータリーテーブル３は、搬送経路１０１及びウェハリングホルダである供給ユニット１４０の拡がる平面に対して直交した平面を有する。すなわち、吸着ノズル２，２を含むロータリーテーブル３は縦置きされている。
【００５１】
吸着ノズル２，２は間欠的に位置が入れ替わり、吸着ノズル２，２は真上方向を向く第１の停止点と真下方向を向く第２の停止点で停止する。第１の停止点と第２の停止点の間は、吸着ノズル２，２が非停止で移動する非停止区間６である。直下方向を向いた吸着ノズル２は、供給ユニット１４０の突き上げピンにウェハリングの電子部品Ｄを挟んで対面し、突き上げピンにより突き上げられた電子部品Ｄを迎えに行き、保持する。直上方向を向いた吸着ノズル２は、ハンドラ１２０が形成する搬送経路１０１上の一点を臨み、供給ユニット１４０から取り上げた電子部品Ｄをハンドラ１２０へ渡しに行く。
【００５２】
電子部品Ｄを供給ユニット１４０に迎えに行く際、及び電子部品Ｄをハンドラ１２０へ渡しに行く際、吸着ノズル２，２は、ロータリーテーブル３の半径方向外方に向けて進出する。また、電子部品Ｄを吸着ユニット１４０から取り上げた後、及び電子部品Ｄをハンドラ１２０へ渡した後、吸着ノズル２，２は、ロータリーテーブル３の中心に向けて後退する。中継ユニット１３０は、吸着ノズル２，２を半径方向に沿って進退させる進退駆動装置１３１を備えている。
【００５３】
図９及び１０に示すように、進退駆動装置１３１は、吸着ノズル２を進出させる駆動源となる回転モータ１３２、回転モータ１３２の回転運動を直線運動に変換する円筒カム１３３及びカムフォロア１３４、カムフォロア１３４を有して直線運動するスライドプッシャ１３５、吸着ノズル２を筒軸方向に摺動可能なスリーブ１３６ａ、並びに吸着ノズル２，２からスライドプッシャ１３５の移動経路上に突出する突起部１３７を有し、吸着ノズル２を進出させる。また、進退駆動装置１３１は、吸着ノズル２の進出に伴って吸着ノズル２を後退させる付勢力を蓄勢する圧縮バネ１３８、及びスライドプッシャ１３５の進出に伴ってスライドプッシャ１３５を後退させる付勢力を蓄勢する引張バネ１３９を備え、吸着ノズル２を後退させる。
【００５４】
このような進退駆動装置１３１は、旋回するロータリーテーブル３側に、吸着ノズル２，２を後退させる圧縮バネ１３８のみを載せ、その他の回転モータ１３２ａ、円筒カム１３３及びカムフォロア１３４、並びにスライドプッシャ１３５ａをモータフランジ１３２ｂ側に設置している。
【００５５】
回転モータ１３２ａは、真上及び真下を向く吸着ノズル２，２の筒軸線とモータ軸を直交させて各々設置される。中継ユニット１３０は、モータ４とロータリーユニット３との間に、ロータリーユニット３と平行に延びる板状のモータフランジ１３２ｂを備えており、回転モータ１３２ａは、ロータリーユニット３を臨むおもて面とは反対の裏面からモータフランジ１３２ｂに取り付けられ、モータ軸をおもて面に貫通させている。円筒カム１３３は、一部外周が緩やかに膨出して卵型形状を有し、回転モータ１３２ａのモータ軸に軸支されている。
【００５６】
モータフランジ１３２ｂのおもて面上には、真上及び真下を向く吸着ノズル２，２の筒軸線に沿って、レール１３５ｂが敷設されている。スライドプッシャ１３５ａは、このレール１３５ｂに摺動可能に嵌合し、ロータリーテーブル３とモータフランジ１３２ｂの間に設置される。カムフォロア１３４は円筒体であり、このスライドプッシャ１３５ａに固定されている。引張バネ１３９は、モータフランジ１３２ｂ上に、軸をレール１３５ｂに沿わせて設置されており、ロータリーテーブル３の半径方向外方側の一端でスライドプッシャ１３５ａを固定し、ロータリーテーブル３の中心側に向かって縮むように付勢されることで、スライドプッシャ１３５ａをロータリーテーブル３の中心方向に引っ張っている。
【００５７】
突起部１３７は、吸着ノズル２，２の筒胴体側面からロータリーテーブル３を越えてモータフランジ１３２ｂの方向に突出している。この突起部１３７は、吸着ノズル２，２が真上及び真下に位置しているとき、スライドプッシャ１３５ａの先端が最も後退した最後退位置と、スライドプッシャ１３５ａの先端が最も進出した最進出位置とを結ぶ仮想線分上に突出している。
【００５８】
尚、スライドプッシャ１３５ａの先端は、ロータリーテーブル３の半径方向外方端である。最後退位置は、カムフォロア１３４が円筒カム１３３の中心に最接近して、スライドプッシャ１３５ａが引張バネ１３９によってロータリーテーブル３の中心側に引き込まれている際の、スライドプッシャ１３５ａの先端の位置である。最進出位置は、カムフォロア１３４が円筒カム１３３の中心から最も離れ、スライドプッシャ１３５ａが引張バネ１３９の付勢力に抗してロータリーテーブル３の半径方向外方に進出している際の、スライドプッシャ１３５ａの先端の位置である。
【００５９】
圧縮バネ１３８は、吸着ノズル２，２のノズル部２２に嵌め込まれている。ノズル部２２には、筒胴体側面からフランジ１３６ｂが延出している。フランジ１３６ｂは、スリーブ１３６ａよりもロータリーテーブル３の中心側から延出している。圧縮バネ１３８は、このフランジ１３６ｂとスリーブ１３６ａとをバネ座面として設置されており、フランジ１３６ｂをスリーブ１３６ａから離す方向に付勢されている。即ち、吸着ノズル２，２をロータリーテーブル３の中心に向けて押し込んでいる。
【００６０】
尚、図９に示すように、フランジ１３６ｂを吸着ノズル２，２の後端から延出させている場合、三角プリズム２４又はガラス体２６と反射板２７等の透光体及び導光体は、ノズル部２２の筒胴体側面に導光口を穿設して設けられることが望ましい。一方、図１１に示すように、フランジ１３６ｂを吸着ノズル２，２の筒胴体途中から延出させている場合、三角プリズム２４を後端開口２５に固定することができる。
【００６１】
このような電子部品搬送装置１において、中継ユニット１３０では、モータが駆動し、ロータリーテーブル３が１８０度回転して、吸着ノズル２の１つが停止位置の一地点６２である真下を向いて停止する。進退駆動装置１３１では、回転モータ１３２ａが駆動し、円筒カム１３３がカムフォロア１３４を中心から離れた方向に移動させ、スライドプッシャ１３５ａが引張バネ１３９の付勢力に抗してレール１３５ｂに沿って真下方向に移動する。スライドプッシャ１３５ａは、進出方向に存在する突起部１３７を真下方向に押し込み、突起部１３７を備える吸着ノズル２は、圧縮バネ１３８の付勢力に抗して真下方向に移動する。
【００６２】
真下方向に移動した吸着ノズル２は、負圧によって供給ユニット１４０から電子部品Ｄを取り出し、吸着孔２１で保持する。進退駆動装置１３１では、吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持すると、回転モータ１３２ａが駆動し、円筒カム１３３がカムフォロア１３４を中心に近づける。円筒カム１３３及びカムフォロア１３４による推進力を失ったスライドプッシャ１３５ａは、引張バネ１３９の付勢力によって、レール１３５ｂに沿って真上方向に後退する。スライドプッシャ１３５ａの後退により、突起部１３７とスライドプッシャ１３５ａとが離れ、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２は、圧縮バネ１３８の付勢力によって真上方向に戻る。
【００６３】
吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持して、ロータリーテーブル３の中心側に戻ると、中継ユニット１３０のモータ４が駆動し、ロータリーテーブル３を１８０度回転させる。このとき、ロータリーテーブル３は吸着ノズル２と圧縮バネ１３８のみが搭載されていることにより軽量であり、加減速が容易となっており、軽量化分、吸着ノズル２は高速移動する。
【００６４】
ロータリーテーブル３の１８０度回転途中、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２は、非停止区間６の一点６１を通過する。このとき、部品検出センサ５の投光部５１は、直角プリズム２４に検出光を照射しており、直角プリズム２４は斜面２４３で検出光をノズル部２２の内部方向に反射させる。ノズル部２２の内部を通る検出光は、吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持していれば、電子部品Ｄにより遮光されて、吸着ノズル２が出射しない。そのため、受光部５２は検出光を受光せず、部品検出センサ５は、受光部５２が検出光を受光していないことにより、電子部品Ｄの脱落無しと判定する。
【００６５】
一方、ノズル部２２の内部を通る検出光は、吸着ノズル２から電子部品Ｄが脱落していれば、吸着孔２１から出射し、受光部５２に至る。受光部５２は検出光を受光し、部品検出センサ５は、受光部５２が検出光を受光していることにより、電子部品Ｄの脱落有りと判定する。
【００６６】
尚、電子部品搬送装置６は、処理ユニット１１０、ハンドラ１２０、中継ユニット１３０、部品検出センサ５、供給ユニット１４０及び収容ユニット１５０を統合制御するコンピュータをベース１０２の内部に備えており、電子部品Ｄの脱落の判定は、このコンピュータで実行される。
【００６７】
電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２が真上を向いて停止すると、真上を向く吸着ノズル２を進退させる進退駆動装置１３１は、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２を真上方向に移動させる。ハンドラ１２０の吸着ノズル１２３は、電子部品Ｄを保持したまま進出してきた吸着ノズル２から電子部品Ｄを取り上げる。中継ユニット１３０の吸着ノズル２は、電子部品Ｄを渡すと、進退駆動装置１３１によって後退させられ、真下方向に移動して電子部品Ｄを供給ユニット１４０から取り上げるルーチンに戻る。
【００６８】
電子部品Ｄを中継ユニット１３０から受け取ったハンドラ１２０は、電子部品Ｄを搬送経路１０１に沿って間欠移動させ、各処理ユニット１１０は、電子部品Ｄを処理する。各処理ユニット１１０を巡った電子部品Ｄは、最後に収容ニット１５０に収容される。
【００６９】
このような電子部品搬送装置１００において、部品検出センサ５が電子部品Ｄの脱落有りと判定した場合には、電子部品Ｄを受け取るはずであったハンドラ１２０の吸着ノズル１２３が電子部品Ｄを未保持のまま移動しているため、電子部品搬送装置１００は、この吸着ノズル１２３が各処理ユニット１１０に達しても、進退駆動装置１２４及び処理ユニット１１０を不動のままとする。また、例えば、収容ユニット１５０がトレイシフト装置である場合、収容ユニット１５０は、電子部品Ｄを未保持の吸着ノズル１２３が収容ユニット１５０に到達しても、空のポケットを吸着ノズル１２３に向き合わせるトレイシフト動作を行わない。尚、部品検出センサ５が電子部品の脱落有りと判定した場合には、電子部品搬送装置１００の動作を停止させてもよい。
【００７０】
図１２に示すように、第２の適用例に係る電子部品搬送装置１００は、処理ユニット１１０、ハンドラ１２０及び供給ユニット１４０を備えている。ハンドラ１２０は、電子部品移動装置１であり、縦置きの２機のロータリーテーブル３を連接して備えている。供給ユニット１４０は一方のロータリーテーブル３の周囲に配置され、収容ユニット１５０は他方のロータリーテーブル３の周囲に配置され、各種の処理ユニット１１０は２機のロータリーテーブル３の周囲に分散配置されている。
【００７１】
図１３及び１４に示すように、各ロータリーテーブル３は、アームを放射状に配した星形又は円盤形状を有し、円中心がモータ４の回転軸に軸支され、モータ４により円周方向に間欠回転する。このロータリーテーブル３は、ロータリーテーブル３が拡がる平面とベース１０２が拡がる平面とが直交するように縦置き配置されている。換言すると、このロータリーテーブル３は、モータ４のモータ軸とベース１０２とが平行に延びるように縦置き配置されている。
【００７２】
吸着ノズル２は、各アームの先端又は円盤外周に円周等配位置で設置されている。吸着ノズル２は、ロータリーテーブル３の半径方向に筒軸を沿わせ、ロータリーテーブル３の半径方向外方に突き出ており、ロータリーテーブル３の外方に吸着孔２１を向けている。各吸着ノズル２の先端は、ロータリーテーブル３と同心円の同一軌道上に位置する。また、モータ４によるロータリーテーブル３の１ピッチ当たりの回転角度は、吸着ノズル２の角度間隔と同じであり、各吸着ノズル２は同一停止位置に停止する。両ロータリーテーブル３の最近接位置に各吸着ノズル２が停止するように調整されている。
【００７３】
吸着ノズル２の各停止位置の間は非停止区間６である。ハンドラ１２０は、非停止区間６の少なくとも１区間内の一点６１に部品検出センサ５を備えている。一方のロータリーテーブル３による供給ユニット１４０からの電子部品Ｄの受け取り、両ロータリーテーブル３の電子部品Ｄの受け渡し、及び他方のロータリーテーブル３による収容ユニット１５０への電子部品Ｄの渡し時に、電子部品Ｄが脱落する虞が大きい。
【００７４】
従って、供給ユニット１４０から始まる最初の非停止区間６、電子部品Ｄを渡されるロータリーテーブル３が電子部品Ｄを受け取ってから最初の非停止区間６、及び収容ユニット１５０で終わる最後の非停止区間６の各一点６１に部品検出センサ５を設置するとよい。
【００７５】
ロータリーテーブル３とモータ４との間には、モータフランジ１３２ｂが延在する。吸着ノズル２の停止位置には、進退駆動装置１３１のうちの回転モータ１３２ａ、円筒カム１３３及びカムフォロア１３４、レール１３５ｂ、スライドプッシャ１３５ａ及び引張バネ１３９が設置されている。各吸着ノズル２には、進退駆動装置１３１のうちの圧縮バネ１３８が設けられている。
【００７６】
尚、吸着ノズル２の停止位置のうち、吸着ノズル２を進退不要とする処理ユニット１１０が設置されている箇所は、進退駆動装置１３１は非設置である。この処理ユニット１１０は例えば電子部品Ｄを撮像して位置ズレを検出するカメラユニットである。但し、２連のロータリーテーブル３を備えるハンドラ１２０において、隣り合ったロータリーテーブル３の最近接点には、向かい合った吸着ノズル２のうちの一方を他方に向けて進退させるために、処理ユニット１１０は非設置であるが、進退駆動装置１３１が設けられる。
【００７７】
第２の適用例に係る電子部品搬送装置１００において、一方のロータリーピックアップ３はモータ４によって回転し、１機の吸着ノズル２は供給ユニット１４０に向き合う。この吸着ノズル２の停止位置に配置された進退駆動装置１３１は、吸着ノズル２を供給ユニット１４０へ進出させ、吸着ノズル２は電子部品Ｄを供給ユニット１４０から受け取る。
【００７８】
吸着ノズル２が電子部品Ｄを受け取ると、モータ４を駆動源としてロータリーテーブル３は回転し、電子部品Ｄを保持する吸着ノズル２は、部品検出センサ５が配置された非停止区間６を移動し、非停止区間６の一点６１を通過する。このとき、部品検出センサ５は、吸着ノズル２からの電子部品Ｄの脱落又は受け取り失敗を判定する。電子部品Ｄが脱落又は受け取り失敗していれば、この吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持していないものとして、電子部品搬送装置１００は動作する。
【００７９】
各処理ユニット１１０を経由して、両ロータリーテーブル３の最近接点に電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２が位置すると、両ロータリーテーブル３の向かい合わせになった吸着ノズル２の一方は、進退駆動装置１３１により他方の吸着ノズル２に向けて進出し、電子部品Ｄが受け渡される。電子部品Ｄが収容ユニット１５０側のロータリーテーブル３に移って最初の非停止区間６の一点６１には部品検出センサ５が配置されている。
【００８０】
供給ユニット１４０側のロータリーテーブル３から電子部品Ｄを受け取った吸着ノズル２が非停止区間６の一点６１を通過する際、部品検出センサ５は電子部品Ｄの脱落又は受け取り失敗を判定する。電子部品Ｄが脱落又は受け取り失敗していれば、この吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持していないものとして、電子部品搬送装置１００は動作する。または、電子部品Ｄが脱落又は受け取り失敗していれば、電子部品搬送装置１００の動作を停止させる。
【００８１】
更に各処理ユニット１１０を経由して、電子部品Ｄを保持した吸着ノズル２が収容ユニット１５０と向かい合う位置に達すると、この吸着ノズル２の停止位置に配置された進退駆動装置１３１は、吸着ノズル２を収容ユニット１５０へ進出させ、吸着ノズル２は電子部品Ｄを収容ユニット１５０に渡す。
【００８２】
尚、このような電子部品搬送装置１００において、ハンドラ１２０は、１機以上のロータリーテーブル３で構成することができ、各ロータリーテーブル３は縦置き配置されていても、横置き配置されていても、１つのハンドラ１２０が縦置きのロータリーテーブル３と横置きのロータリーテーブル３とを連接させて備えるようにしてもよい。
【００８３】
以上のように、電子部品移動装置１では、吸着孔２１で電子部品Ｄを保持しながら移動する吸着ノズル２の非停止区間６に、電子部品Ｄの吸着ノズル２からの脱落又は受け渡し失敗を検出する部品検出センサ５を備えるようにした。吸着ノズル２は導光口と透光体と導光体を有する。
【００８４】
導光口は、吸着ノズル２の後端開口２５又は側部開口２８等であり、吸着ノズル２の負圧供給口２３よりも吸着孔２１から遠い位置に設けられ、吸着ノズル２の内外を連通させる。透光体は、三角プリズム２４又はガラス体２６等であり、負圧供給口２３と導光口との間に設けられ、ノズル内外の連通を遮断する。導光体は、三角プリズム２４又は反射板２７等であり、導光口を通じて入光する光を屈曲させて吸着ノズル２の内部に導光する。部品検出センサ５は、投光部５１と受光部５２を、非停止区間６の一点６１を通過する吸着ノズル２の吸着孔２１と導光体とに正対する各位置に分けて有する。
【００８５】
これにより、受光部５２には、吸着ノズル２が電子部品Ｄを保持していれば、当該電子部品Ｄに遮光されて検出光が未達となる。一方、受光部５２には、吸着ノズル２から電子部品Ｄが脱落又は受け取り失敗していれば、吸着孔２１を出射した検出光が到達する。しかも、この手法では、吸着ノズル２の内部に検出光を通すため、吸着ノズル２の磨耗による電子部品Ｄの移動軌跡の高さ変化に影響を受けずに、検出光は電子部品Ｄに確実に照射される。そのため、部品検出センサ５の煩雑な位置調整を必要とせず、精度良く電子部品Ｄの保持の有無を検出できる。
【００８６】
従って、この電子部品移動装置１は、吸着ノズル２に対する電子部品Ｄの保持の有無を吸着ノズル２を実効的に停止させずに確認でき、電子部品Ｄを一地点６２から他地点６３へ移動させる移動時間を短縮できる。
【００８７】
このため、電子部品搬送装置１００のハンドラ１２０、中継ユニット１３０又はその両方に電子部品移動装置１を適用することで、電子部品Ｄの脱落や受け渡し失敗を判定するために停止させる必要がなくなり、電子部品Ｄの生産速度が向上する。また、電子部品Ｄの脱落や受け渡し失敗を判定するための処理ユニット１１０を停止位置から排除できるから、吸着ノズル２の停止位置に余裕ができ、限られたスペースに多くの処理ユニット１１０を配置でき、電子部品搬送装置１００を多機能化できる。
【００８８】
導光口は、吸着ノズル２の吸着孔２１とは反対の筒端部に開口し、吸着ノズル２は、導光口を塞いで固定され、導光口を封口する透光体と吸着ノズル２の内部に検出光を導光する導光体とを兼ねる三角プリズム２４を有するようにした。即ち、透光、封止及び導光機能を１つの光学部品で兼ねることができ、部品点数を削減でき、電子部品移動装置１の生産コストを抑制できる。
【００８９】
導光口は、吸着ノズル２の胴体側部に開口し、導光体は、導光口と斜めに向かい合う反射板２７であり、透光体は、導光口又は負圧供給口２３と反射板２７との間に介在するようにした。これにより、光学部品による吸着ノズル２の全体長の増加を阻止でき、ロータリーテーブル３を含む回転体の大型化を阻止できる。そのため、ロータリーテーブル３の重量が増加して加減速が緩慢になる事態を防ぐことができ、電子部品Ｄの生産速度を維持できる。
【００９０】
導光口は、吸着ノズル２の胴体側部に開口し、吸着ノズル２は、導光口を臨んでノズル部２２の内部に設置され、透光体と導光体を兼ねる三角プリズム２６を有することもできる。これにより、光学部品点数の増加抑制とロータリーテーブル３の大型化阻止を両立できる。
【００９１】
（他の実施形態）
以上のように本発明の各実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００９２】
１  電子部品移動装置
２  吸着ノズル
２１  吸着孔
２２  ノズル部
２３  負圧供給口
２４  直角プリズム
２４１  第１四角形面
２４２  第２四角形面
２４３  斜面
２５  後端開口
２６  ガラス板
２７  反射板
２８  側部開口
３  ロータリーテーブル
４  モータ
５  部品検出センサ
５１  投光部
５２  受光部
６  非停止区間
６１  一点
６２  一地点
６３  他地点
１００  電子部品搬送装置
１０１  搬送経路
１０２  ベース
１１０  処理ユニット
１２０  ハンドラ
１２１  ターレットテーブル
１２２  ダイレクトドライブモータ
１２３  吸着ノズル
１２４  進退駆動装置
１２４ａ  電動機
１２４ｂ  ロッド
１３０  中継ユニット
１３１  進退駆動装置
１３２ａ  回転モータ
１３２ｂ  モータフランジ
１３３  円筒カム
１３４  カムフォロア
１３５ａ  スライドプッシャ
１３５ｂ  レール
１３６ａ  スリーブ
１３６ｂ  フランジ
１３７  突起部
１３８  圧縮バネ
１３９  引張バネ
１４０  供給ニット
１５０  収容ユニット
Ｄ  電子部品
【図１】
2018067584.tif 000003
【図２】
2018067584.tif 000004
【図３】
2018067584.tif 000005
【図４】
2018067584.tif 000006
【図５】
2018067584.tif 000007
【図６】
2018067584.tif 000008
【図７】
2018067584.tif 000009
【図８】
2018067584.tif 000010
【図９】
2018067584.tif 000011
【図１０】
2018067584.tif 000012
【図１１】
2018067584.tif 000013
【図１２】
2018067584.tif 000014
【図１３】
2018067584.tif 000015
【図１４】
2018067584.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月17日(2017.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部に吸着孔が開口する筒形状を有し、当該吸着孔で電子部品を保持しながら移動する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルの非停止区間に設置され、前記吸着ノズルに保持されている前記電子部品の有無を検出するセンサと、
を備え、
前記吸着ノズルは、
胴体側部に開口し、当該吸着ノズル内部に負圧を供給する負圧供給口を有し、
前記負圧供給口よりも前記吸着孔から遠い位置に設けられ、前記吸着ノズルの内外を連通する導光口と、
前記負圧供給口と前記導光口との間に設けられ、前記吸着ノズル内外の連通を遮断する透光体と、
前記導光口を通じた光を屈曲させて前記吸着ノズルの内部に導光する導光体と、
を有し、
前記センサは、
前記非停止区間の一点を通過する前記吸着ノズルの吸着孔と前記導光体に正対する各位置に分けて設置される受光素子及び発光素子と、
を有し、
前記受光素子は、通過する前記吸着ノズルの吸着孔に正対する、移動経路中の非停止区間に設置され、
前記導光口は、前記吸着ノズルの前記吸着孔とは反対の筒端部に開口し、
前記吸着ノズルは、導光口を塞いで固定され、前記導光口を封口する前記透光体と前記吸着ノズルの内部に前記発光素子から照射された検出光を導光する前記導光体とを兼ねるプリズムを有し、
前記受光素子には、前記吸着ノズルが前記電子部品を保持していれば、当該電子部品に遮光されて、前記検出光が未達となり、前記吸着ノズルが前記電子部品を保持していなければ、前記吸着孔を出射した前記検出光が到達すること、
を特徴とする電子部品移動装置。
【請求項２】
一端部に吸着孔が開口する筒形状を有し、当該吸着孔で電子部品を保持しながら移動する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルの非停止区間に設置され、前記吸着ノズルに保持されている前記電子部品の有無を検出するセンサと、
を備え、
前記吸着ノズルは、
胴体側部に開口し、当該吸着ノズル内部に負圧を供給する負圧供給口を有し、
前記負圧供給口よりも前記吸着孔から遠い位置に設けられ、前記吸着ノズルの内外を連通する導光口と、
前記負圧供給口と前記導光口との間に設けられ、前記吸着ノズル内外の連通を遮断する透光体と、
前記導光口を通じた光を屈曲させて前記吸着ノズルの内部に導光する導光体と、
を有し、
前記センサは、
前記非停止区間の一点を通過する前記吸着ノズルの吸着孔と前記導光体に正対する各位置に分けて設置される受光素子及び発光素子と、
を有し、
前記受光素子は、通過する前記吸着ノズルの吸着孔に正対する、移動経路中の非停止区間に設置され、
前記導光口は、前記吸着ノズルの胴体側部に開口し、
前記吸着ノズルは、前記導光口を臨んでノズル内部に設置され、前記透光体と前記導光体を兼ねるプリズムを有し、
前記受光素子には、前記吸着ノズルが前記電子部品を保持していれば、当該電子部品に遮光されて、前記発光素子から照射された検出光が未達となり、前記吸着ノズルが前記電子部品を保持していなければ、前記吸着孔を出射した前記検出光が到達すること、
を特徴とする電子部品移動装置。
【請求項３】
請求項１または２の何れかに記載の電子部品移動装置を備え、電子部品を整列搬送しながら各種処理を施す電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記各種処理を受ける前記電子部品を収容する供給ユニットと、
前記供給ユニットの前記電子部品を円環状の搬送経路に沿って整列搬送するハンドラと、
前記搬送経路に沿って配置される各種の処理ユニットと、
前記ハンドラで搬送し終えた前記電子部品を収容する収容ユニットと、
を備え、
前記電子部品移動装置は、前記供給ユニットの前記電子部品をピックアップして、前記搬送経路に渡す中継ユニットとして、前記供給ユニットと前記ハンドラとの間に配置されること、
を特徴とする請求項３記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記各種処理を受ける前記電子部品を収容する供給ユニットと、
前記供給ユニットの前記電子部品を円環状の搬送経路に沿って整列搬送するハンドラと、
前記搬送経路に沿って配置される各種の処理ユニットと、
前記ハンドラで搬送し終えた前記電子部品を収容する収容ユニットと、
を備え、
前記電子部品移動装置は、前記ハンドラとして配置されること、
を特徴とする請求項３記載の電子部品搬送装置。