(57)【要約】【課題】本開示は、被検出流体を流す管部内に配置し、被検出流体を流したときに気泡の滞留を抑制することができる流路セルを提供することを目的とする。【解決手段】この目的を達成するために本開示は、内部に空間２が設けられた構造体３を有し、構造体３には空間２と連通する第１の開口部１９と第２の開口部２０と第３の開口部２１が設けられ、空間２の延伸方向に垂直な方向の長さは、空間２の中央部分の長さの方が第１の開口部１９の前記方向の長さよりも短い構成とした。【選択図】図２
2018013349.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に空間が設けられた構造体を有し、
前記構造体には前記空間と連通する第１の開口部と第２の開口部と第３の開口部が設けられ、
前記空間の延伸方向に垂直な方向の長さは、前記空間の中央部分の長さの方が前記第１の開口部の前記方向の長さよりも短い流路セル。
【請求項２】
前記第２の開口部は、前記構造体に対して前記第１の開口部の反対側に設けられ、
前記構造体に対して前記第３の開口部の反対側に第４の開口部をさらに備える請求項１に記載の流路セル。
【請求項３】
前記空間の中央部分の前記方向の長さは前記第２の開口部の前記方向の長さよりも短い請求項１または２に記載の流路セル。
【請求項４】
前記構造体は、第１の主面を有した第１の基板と第２の主面有した第２の基板を有し、
前記第１の基板と前記第２の基板は前記第１の主面と前記第２の主面が向き合うように接合されている請求項１〜３のいずれかに記載の流路セル。
【請求項５】
前記第２の基板は接続部を有し、前記接続部で前記第１の基板と接合されている請求項４に記載の流路セル。
【請求項６】
前記第１の主面には、中央部分から前記第１の開口部と前記第２の開口部に向かって前記第２の基板から離間していく斜面が設けられている請求項４に記載の流路セル。
【請求項７】
前記第１の基板はシリコンで形成され、
前記第１の主面の面方位は（１１０）であり、
前記斜面の面方位は（１１１）である請求項６に記載の流路セル。
【請求項８】
前記斜面の側面は曲面形状になっている請求項６に記載の流路セル。
【請求項９】
前記第１の主面と前記第２の主面の少なくともいずれか一方に反射防止膜が設けられている請求項３〜８のいずれかに記載の流路セル。
【請求項１０】
前記空間の中央部分の前記方向の長さは、１０μｍ以上１００μｍ以下である請求項１〜９に記載の流路セル。
【請求項１１】
前記第１の主面に反射膜が設けられている請求項３〜９のいずれかに記載の流路セル。
【請求項１２】
前記第２の主面に反射膜が設けられている請求項３〜９のいずれかに記載の流路セル。
【請求項１３】
前記第２の主面の中央部分に楕円曲面形状の凹部が設けられ、
前記凹部に前記反射膜が設けられている請求項１２に記載の流路セル。
【請求項１４】
前記空間の中央部分の前記方向の長さは、５μｍ以上５０μｍ以下である請求項１１〜１３のいずれかに記載の流路セル。
【請求項１５】
請求項１〜１０のいずれかに記載された流路セルと、
前記流路セルを内部に備えた管部と、
前記管部の一方側に設けられ前記流路セルに赤外線を入射する発光素子と、
前記管部の他方側に設けられ前記流路セルを透過した赤外線を受光する受光素子を有し、前記流路セルは前記第１の開口部が前記管部の延伸方向を向いているセンサ。
【請求項１６】
前記発光素子は第１のシリコンキャップが樹脂封止された第１の取り付け部材を介して前記管部と接続され、
前記受光素子は第２のシリコンキャップが樹脂封止された第２の取り付け部材を介して前記管部と接続され、
前記流路セルは前記第１のシリコンキャップと前記第２のシリコンキャップに密接している請求項１５に記載のセンサ。
【請求項１７】
請求項１１または１４に記載された流路セルと、
前記流路セルを内部に備えた管部と、
前記管部の一方側に設けられ前記第２の基板に赤外線を入射する発光素子と、
前記管部の一方側に設けられ前記反射膜で反射された赤外線を受光する受光素子を有し、前記流路セルは前記第１の開口部が前記管部の延伸方向を向いており、
前記発光素子は前記赤外線が前記反射膜の法線方向に対して角度を有して入射するように前記赤外線を発光するセンサ。
【請求項１８】
請求項１２または１４に記載された流路セルと、
前記流路セルを内部に備えた管部と、
前記管部の一方側に設けられ前記第１の基板に赤外線を入射する発光素子と、
前記管部の一方側に設けられ前記反射膜で反射された赤外線を受光する受光素子を有し、前記流路セルは前記第１の開口部が前記管部の延伸方向を向いており、
前記発光素子は前記赤外線が前記反射膜の法線方向に対して角度を有して入射するように前記赤外線を発光するセンサ。
【請求項１９】
請求項１３に記載された流路セルと、
前記流路セルを内部に備えた管部と、
前記管部の一方側に設けられ前記第１の基板に赤外線を入射する発光素子と、
前記管部の一方側に設けられ前記反射膜で反射された赤外線を受光する受光素子を有し、前記流路セルは前記第１の開口部が前記管部の延伸方向を向いており、
前記発光素子と前記受光素子は前記凹部の焦点に配置されているセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、赤外線などの光の吸収特性を利用して流体成分の濃度を検出する流体成分検出装置などのデバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、配管の中に流路セルを入れて、赤外線の吸収特性から被検出流体の濃度を検出するセンサとして特許文献１に示されるようなセンサが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５８９１９５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、発光素子による赤外線の出力を低下させてセンサの消費電力を低下させるためには流路セルの高さを低くする必要があるが、特許文献１の流路セルの構造では流路の高さを低くした場合、被検出流体を流しても流路セル内の空気を全て排出することができず、気泡が滞留してしまうという課題があった。
【０００５】
本開示は、上記課題を解決し、流路セルの高さを低くしても被検出流体を流したときに気泡の滞留を抑制することができる流路セルを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために本開示の流路セルは、内部に空間が設けられた構造体を有し、前記構造体には前記空間と連通する第１の開口部と第２の開口部と第３の開口部が設けられ、前記空間の延伸方向に垂直な方向の長さは、前記空間の中央部分の長さの方が前記第１の開口部の前記方向の長さよりも短い構造とした。
【発明の効果】
【０００７】
上記構成により本開示は、被検出流体の通流を妨げずに発光素子の低出力化が可能になりセンサの消費電力を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の形態１の流路セルの側断面図
【図２】同流路セルのＡＡ線断面図
【図３】同流路セルを用いたセンサの位置関係を示す図
【図４】実施の形態２の流路セルの側断面図
【図５】同流路セルのＢＢ線断面図
【図６】同流路セルを用いたセンサの位置関係を示す図
【図７】実施の形態３の流路セルの側断面図
【図８】同流路セルのＣＣ線断面図
【図９】同流路セルを用いたセンサの位置関係を示す図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、実施の形態に係る流路セルと、この流路セルを用いたセンサについて図面を用いて説明をする。なお、各図面において、同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。また、各実施の形態における各構成要素は矛盾のない範囲で任意に組み合
わせても良い。また、各実施の形態における構成は発明を逸脱しない範囲で変更することが可能である。
（実施の形態１）
以下に、本実施の形態１の流路セルと流路セルを用いたセンサについて、図面を用いながら説明する。
【００１０】
図１は実施の形態１の流路セルの側断面図、図２は同流路セルのＡＡ線断面図、図３は同流路セルを用いたセンサの位置関係を示す図である。
【００１１】
図１〜図３に示すように、センサ１は内部に空間２が設けられた構造体３を有した流路セル４と、流路セル４を内部に備えた管部５と、管部５の一方側に配置された発光素子６と、管部５の他方側に配置された受光素子７と、発光素子６を管部５に取り付ける第１の取り付け部材８と、受光素子７を管部５に取り付ける第２の取り付け部材９を有している。管部５の中を被検出流体であるガソリン等が流れ、管部５内に設けられた流路セル４の中も被検出流体が流れる。発光素子６から流路セル４内に入射した赤外線は流路セル４内を流れる被検出流体を透過する際に被検出流体に吸収され、受光素子７の受光量が減少する。受光素子７の出力を信号処理回路部（図示せず）で信号処理することで被検出流体の濃度を検出することができる。以下では、管部５の延伸方向をＸ軸方向、空間２の延伸方向でＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、空間２の延伸方向と垂直な方向をＺ軸方向として説明する。
【００１２】
構造体３は、第１の主面１０を有した第１の基板１１と第２の主面１２を有した第２の基板１３を有し、第１の基板１１と第２の基板１３は第１の主面１０と第２の主面１２が向かい合うように接続されている。第１の基板１１と第２の基板１３は上面視で矩形状に形成されており、第２の基板１３は第２の主面１２側の四隅に接続部１４を有している。接続部１４を介して第１の基板１１と第２の基板１３に挟まれた場所が構造体３の空間２になる。第１の基板１１と第２の基板１３は接続部１４を介して直接接合により接合されている。なお、第１の基板１１と第２の基板１３の接合方法は直接接合に限らず、例えば、ガラスフリット接合で接合しても良い。また、接続部１４は第２の基板１３と一体に形成されているが、この限りではなく、第１の基板１１と第２の基板１３の間にスペーサを挟み、第１の基板１１と第２の基板１３をスペーサと接合するようにしても良い。さらに、第１の基板１１と第２の基板１３を加工せずに、スペーサとして貫通孔を設けた基板を第１の基板１１と第２の基板１３で挟む様にして構造体３を形成しても良い。また、第１の基板１１と第２の基板１３は矩形状に限定されず、例えば、上面視で五角形形状などの多角形や円形状の様な他の形状にしても良い。
【００１３】
構造体３は第１の側面１５、第２の側面１６、第３の側面１７、第４の側面１８を有している。第１の側面１５と第２の側面１６はＸ軸方向に配置され、第３の側面１７と第４の側面１８はＹ軸方向に配置されている。第１の側面１５のＸ軸方向の反対側に第２の側面１６があり、第３の側面１７のＹ軸方向の反対側に第４の側面１８がある。第１の側面１５に第１の開口部１９を有し、第２の側面１６に第２の開口部２０を有し、第３の側面１７に第３の開口部２１を有し、第４の側面１８に第４の開口部２２を有している。被検出流体が管部５の中をＸ軸方向に流れており、被検出流体が第１の開口部１９から流入するように流路セル４は管部５の中に配置される。このため、被検出流体は第１の開口部１９から流入し、第２〜第４の開口部２２、２３、２４から流出するので、管部５の中に被検出流体を流すと被検出流体は構造体３の内部の空間２を流れる。
【００１４】
第１の基板１１と第２の基板１３はシリコンで形成されている。第１の基板１１の第１の主面１０には、中央部分から第１の開口部１９と第２の開口部２０に向かって離間していく斜面２３が設けられている。このため、第１の基板１１の厚みは中央部分で最も厚く
、第１の開口部１９、第２の開口部２０に向かうにつれて薄くなっていく。第１の開口部１９と第２の開口部２０で第１の基板１１の厚さは最も薄くなっている。第１の主面１０の面方位は（１１０）であり、斜面２３の面方位は（１１１）である。このため、斜面２３の第１の主面１０に対する角度は約３５度となり、第１の基板１１の厚みは緩やかに変化することになる。これにより、被検出流体が斜面２３上を流れる際の抵抗が小さくなり、被検出流体の通流を妨げにくくなる。また、第１の基板１１の（１１１）面に合わせて斜面２３を形成することで容易に斜面２３を形成することができる。なお、第１の主面１０の面方位を（１１０）としたが、第１の主面１０の面方位を（１００）などの他の面方位にしても斜面２３を形成することができる。この場合、斜面２３を第１の基板１１の面方位に合わせて形成すると、第１の主面１０に対する角度が約５５度となるため被検出流体の通流を妨げてしまう。これを避けるためには、斜面２３の角度がもっと緩やかになるように切削して形成しても良いが、第１の主面１０の面方位を（１１０）とした場合よりも、斜面２３の形成の手間が増える。このため、第１の主面１０の面方位を（１１０）とするのが最も好適である。なお、斜面２３を第１の基板１１の面（１１１）面に合わせて形成したが、斜面２３の側断面が曲面形状となるように形成しても良い。第１の開口部１９側の斜面２３と第２の開口部２０側の斜面２３の間は平坦面になっている。第１の基板１１は第１の開口部１９側と第２の開口部２０側のみに斜面２３を設けているが、第３の開口部２１側と第４の開口部２２側にも斜面を設けても良い。
【００１５】
空間２の延伸方向に垂直な方向（Ｚ軸方向）の長さは、第１の基板１１に斜面２３が設けられていることにより、空間２の中央部分のＺ軸方向の長さＬ１の方が第１の開口部１９のＺ軸方向の長さＬ２と第２の開口部２０のＺ軸方向の長さＬ３よりも短い。流路セル４において、第１の開口部１９の長さＬ２と第２の開口部２０の長さは同じになっているが、異なっていても良い。赤外線は空間２の中央部分を透過するので、空間２の中央部分のＺ軸方向の長さＬ１は１０μｍ〜１００μｍになるようにするのが好適である。これにより、赤外線が空間２を流れている被検出流体を透過するときの減衰量が小さくなるので、発光素子６の出力を小さくしても受光素子７で検出することができる。これにより、発光素子６の低消費電力化をすることができる。また、空間２の中央部分のＺ軸方向の長さＬ１が１０μｍ以上あるので、赤外線が被検出流体を透過する際に被検出流体に赤外線が十分吸収され、受光素子７の受光量が減少するため、被検出流体の濃度を精度良く検出することができる。
【００１６】
第１の基板１１に斜面２３が設けられていることで、第１の開口部１９と第２の開口部２０は十分に広くなり、被検出流体が第１の開口部１９に流入するときと第２の開口部２０から流出するときの被検出流体への抵抗が小さくなる。このため、被検出流体の構造体３への流入と流出が容易になる。
【００１７】
被検出流体を流す前には構造体３内部には空気が存在しており、被検出流体を流すときに構造体３から空気が排出されるが、空間２のＺ軸方向の長さを小さくすると被検出流体が空間２内を流れにくくなり、空気が排出されにくくなる。これにより、空間２内に気泡が滞留する。空間２内に気泡が滞留した状態で赤外線を被検出流体を透過させると、気泡によって赤外線の減少量が変化する。このため、センサ１の検出精度が低下する。
【００１８】
しかしながら、流路セル４は、構造体３に第３の開口部２１と第４の開口部２２が設けられているため、第３の開口部２１と第４の開口部２２からも気泡が排出される。このため、空間２のＺ軸方向の長さを短くしても気泡を十分に排出することができるため、センサ１の検出精度を低下させずに空間２の中央部分のＺ軸方向の長さＬ１を短くすることができる。これにより、センサ１の精度を低下させずに低消費電力化することができる。なお、第３の開口部２１と第４の開口部２２はいずれか一方が設けられていれば気泡の滞留を防止することができるが、第３の開口部２１と第４の開口部２２の両方を設けているた
め、より気泡の滞留を防止することができている。
【００１９】
第１の主面１０と第２の主面１２には反射防止膜（図示せず）が設けられている。反射防止膜が設けられていることにより、赤外線の透過率が向上し、センサ１の感度が向上する。反射防止膜は第１の主面１０と第２の主面１２のいずれか一方に設けられていればセンサ１の感度を向上させることができるが、流路セル４は第１の主面１０と第２の主面１２の両方に反射防止膜が設けられているので、さらにセンサ１の感度を向上させることができている。
【００２０】
発光素子６は、赤外線を発光可能な白金薄膜抵抗素子を用いている。赤外線を発光可能な発光ダイオードを用いても良い。発光素子６は第１のパッケージ２４に入れられている。第１のパッケージ２４の発光素子６の先には第１のシリコンキャップ２５が設けられている。発光素子６は、第１のパッケージ２４内に設けられたスペーサ２６上に配置されている。発光ダイオードには、半導体のベアチップを用いている。発光素子６は、検出対象の気体に吸収されやすい波長の赤外線を発光する。センサ１においては、２μｍ〜１５μｍの波長の赤外線を用いている。発光素子６は、管部５のＺ軸方向の一方側に配置され、管部５内の流路セル４に赤外線を入射している。赤外線の波長は２μｍ〜１５μｍのものを用いる。この波長を用いることで被検出流体の濃度を精度良く検出することが出来る。なお、センサ１の使用用途に応じて、使用する波長の範囲をもっと狭くしても良い。測定しようとする流体成分に固有の吸収波長に一致する光学バンドパスフィルタ（図示せず）などで波長範囲を狭くする事ができる。また複数種類の波長に対応した発光素子６、受光素子７、バンドパスフィルタを組み合わせることで、流体内の複数成分を同時に測定する事が可能になる。
【００２１】
受光素子７は、半導体のベアチップを用いている。受光素子７は第２のパッケージ２７に入れられている。第２のパッケージ２７の受光素子７の先には第１のシリコンキャップ２５が設けられている。受光素子７は、第２のパッケージ２７内に設けられたスペーサ２６上に配置されている。受光素子７は管部５のＺ軸方向の他方側に設けられており、流路セル４を透過した赤外線が受光素子７に入射するように配置されている。
【００２２】
管部５は、被検出流体が内部を流れることができる筒状に形成されており、流路セル４が内部に配置される本体部２８と、本体部２８のＸ軸方向の両端の継ぎ手２９を有している。管部５の延伸方向（Ｘ軸方向）に被検出流体は流れており、第１の開口部１９が管部５の延伸方向を向いて配置されていることで、被検出流体は流路セル４に流入する。本体部２８のＺ軸方向の−側と＋側には孔（図示せず）が開いており、この孔に第１の取り付け部材８を介して第１のパッケージ２４が取り付けられ、第２の取り付け部材９を介して第２のパッケージ２７が取り付けられている。第１の取り付け部材８には第２のシリコンキャップ３０が樹脂３１により樹脂封止されて設けられている。発光素子６から発光した赤外線は第２のシリコンキャップ３０から流路セル４に入射する。第２の取り付け部材９には第３のシリコンキャップ３２が樹脂３１により樹脂封止されて設けられている。流路セル４を透過した赤外線は第３のシリコンキャップ３２から受光素子７に入射する。第１のシリコンキャップ２５と第３のシリコンキャップ３２は樹脂封止されていることで密閉性が高まっている。第１の取り付け部材８と第２の取り付け部材９はＯ−リング３３を用いて管部５と接続されている。センサ１を使用するときには継ぎ手２９にホースやパイプ等の被検出流体を流す部材を取り付け、バンド等により固定して用いる。本体部２８のＺ軸方向の長さは流路セル４のＺ軸方向の長さと同じになっており、管部５内に流路セル４を配置すると、第１の基板１１が第２のシリコンキャップ３０と密接し第２の基板１３が第３のシリコンキャップ３２に密接する。これにより、発光素子６から発光された赤外線は流路セル４の空間２のみで被検出流体を透過することになる。これにより、精度良く被検出流体の濃度を検出することが出来る。
【００２３】
なお、センサ１では、第１の基板１１がＺ軸方向の−側になるように配置した構造で説明したが、第２の基板１３がＺ軸方向の−側になるように配置しても良い。
（実施の形態２）
以下に、実施の形態２におけるセンサについて図面を用いながら説明する。なお、実施の形態１のセンサと異なる点について特に説明する。
【００２４】
図４は実施の形態２の流路セルの側断面図、図５は同流路セルのＢＢ線断面図、図６は同流路セルを用いたセンサの位置関係を示す図である。
【００２５】
実施の形態２のセンサ４１は、流路セル４２と、流路セル４２を内部に備えた管部５と、管部５の一方側に配置された発光素子６と受光素子７と、発光素子６と受光素子７を管部５に取り付ける第２のシリコンキャップ３０が樹脂封止された第１の取り付け部材８を有している。
【００２６】
第２の主面１２に金などで形成された反射膜４３が形成されている。流路セル４２は第１の開口部１９がＸ軸方向を向くように管部５内に配置されている。第１の基板１１が第２のシリコンキャップ３０と密接ししている。
【００２７】
発光素子６と受光素子７は第３のパッケージ４４に入れられて、管部５のＺ軸方向の−側に配置される。発光素子６から発光した赤外線は第１の基板１１から流路セル４２に入射し、反射膜４３で反射されて受光素子７に入射する。第３のパッケージ４４には支持部材４５が設けてあり、発光素子６と受光素子７は支持部材４５の上に配置されている。支持部材４５の発光素子６と受光素子７を配置する面の法線方向はＺ軸方向に対して傾いている。これにより、発光素子６から発光された赤外線は反射膜４３の法線方向に対して角度θを有するように入射する。受光素子７の受光面もＺ軸方向に対して傾いているため、反射膜４３で反射された赤外線が受光面に対して垂直に入射する。このように発光素子６と受光素子７を配置する面の法線方向がＺ軸方向に対して傾いているため、管部５に対して同じ方向に発光素子６と受光素子７を配置しても、受光素子７で赤外線を受光することができる。
【００２８】
センサ４１は発光素子６と受光素子７を一体にして第３のパッケージ４４内に配置し、管部５の一方側に配置することで、センサ４１を構成する部材の数を減らすことができている。また、赤外線が第２の主面１２で反射されるため、流路セル４２は第２のシリコンキャップ３０のみと密接していれば良いため、管部５の本体部２８のＺ軸方向の長さを流路セル４２のＺ軸方向の長さにあわせる必要がなく、自由に設計することができる。また、管部５の一方側のみに第３のパッケージ４４が配置されているため、センサ４１を小型化することができている。
【００２９】
流路セル４２に入射した赤外線は空間２に入射し、反射膜４３で反射される。赤外線は空間２内で反射されるため、実施の形態１の流路セル４２の構造に対して１／２の長さにすると、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。このため、構造体３の空間２のＺ軸方向の長さは５μｍ以上５０μｍ以下になるように形成するのが好適である。
【００３０】
なお、第２の主面１２に反射膜４３を設けた構成で説明したが、第１の主面１０に反射膜４３を設けても良い。この場合、第２の基板１３が第２のシリコンキャップ３０に密接するように配置すれば良い。
（実施の形態３）
以下に、実施の形態３におけるセンサについて図面を用いながら説明する。なお、実施の形態２のセンサと異なる点について特に説明する。
【００３１】
図７は実施の形態３の流路セルの側断面図、図８は同流路セルのＣＣ線断面図、図９は同流路セルを用いたセンサの位置関係を示す図である。
【００３２】
実施の形態３のセンサ５１は、流路セル５２と、流路セル５２を内部に備えた管部５と、管部５の一方側に配置された発光素子６と受光素子７と、発光素子６と受光素子７を管部５に取り付ける第２のシリコンキャップ３０が樹脂封止された第１の取り付け部材８を有している。
【００３３】
流路セル５２は、第２の主面１２に凹部５３が設けられ、凹部５３に金などを用いた反射膜４３が設けられている。凹部５３は楕円曲面形状に形成されている。流路セル５２は第１の開口部１９がＸ軸方向を向くように管部５内に配置されている。第１の基板１１が第２のシリコンキャップ３０と密接ししている。
【００３４】
発光素子６と受光素子７は第４のパッケージ５４に入れられて、管部５のＺ軸方向の−側に配置される。発光素子６から発光した赤外線は第１の基板１１から流路セル５２に入射し、反射膜４３で反射されて受光素子７に入射する。発光素子６は凹部５３の焦点位置に配置され、発光素子６から赤外線がＺ軸方向に発光される。受光素子７は凹部５３の焦点位置に配置され、受光面がＺ軸方向を向くように配置されている。
【００３５】
センサ５１は、凹部５３を楕円曲面形状に形成することで発光素子６と受光素子７を凹部の焦点位置に配置することが可能になっている。このため、発光素子６と受光素子７がＺ軸方向に対して傾くように配置する必要がないため、容易にセンサ１を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本開示の流路セルは、被検出流体を流したときに気泡が滞留し難く、センサの感度を低下させずに消費電力を低下させることができるため、自動車の燃料成分の濃度の検出等に適している。
【符号の説明】
【００３７】
１、４１、５１  センサ
２  空間
３  構造体
４、４２、５２  流路セル
５  管部
６  発光素子
７  受光素子
８  第１の取り付け部材
９  第２の取り付け部材
１０  第１の主面
１１  第１の基板
１２  第２の主面
１３  第２の基板
１４  接続部
１５  第１の側面
１６  第２の側面
１７  第３の側面
１８  第４の側面
１９  第１の開口部
２０  第２の開口部
２１  第３の開口部
２２  第４の開口部
２３  斜面
２４  第１のパッケージ
２５  第１のシリコンキャップ
２６  スペーサ
２７  第２のパッケージ
２８  本体部
２９  継ぎ手
３０  第２のシリコンキャップ
３１  樹脂
３２  第３のシリコンキャップ
３３  Ｏ−リング
４３  反射膜
４４  第３のパッケージ
４５  支持部材
５３  凹部
５４  第４のパッケージ
【図１】
2018013349.tif 000003
【図２】
2018013349.tif 000004
【図３】
2018013349.tif 000005
【図４】
2018013349.tif 000006
【図５】
2018013349.tif 000007
【図６】
2018013349.tif 000008
【図７】
2018013349.tif 000009
【図８】
2018013349.tif 000010
【図９】
2018013349.tif 000011