(57)【要約】      （修正有）【課題】安定的に動作するエンコーダ装置を提供する。【解決手段】エンコーダ装置ＥＣは、回転体の回転位置情報を検出する検出部１と、検出部１に対して相対的に回転する磁石２１と、磁石２１に対して、回転体の回転軸ＡＸと直交する方向に配置され、磁石２１が形成する磁界の変化に基づく大バルクハウゼン効果によって検出信号を発生する信号発生部３１と、を備え、磁石２１は回転軸ＡＸと直交する方向に着磁されている。【選択図】図１
2018189426.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体の回転位置情報を検出する検出部と、
前記検出部に対して相対的に回転する磁石と、
前記磁石に対して、前記回転体の回転軸と直交する方向に配置され、前記磁石が形成する磁界の変化に基づく大バルクハウゼン効果によって検出信号を発生する信号発生部と、を備え、
前記磁石は前記回転軸と直交する方向に着磁されている、エンコーダ装置。
【請求項２】
前記信号発生部は、
前記磁石が形成する磁界の変化によって前記大バルクハウゼン効果を生じる磁性体と、
前記大バルクハウゼン効果によって前記検出信号が発生するコイル部と、を備える、請求項１に記載のエンコーダ装置。
【請求項３】
前記磁性体における磁化容易方向の端部は、前記磁性体の中央部に比べて、前記磁石から離れた位置に配置される、請求項２に記載のエンコーダ装置。
【請求項４】
前記磁石は、前記回転体の回転方向に沿って配置され、
前記磁性体は、前記回転体の外周の接線方向に延びて配置される、請求項２または請求項３に記載のエンコーダ装置。
【請求項５】
前記磁石は、前記回転軸の回転方向に磁界を形成する、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項６】
前記磁石は、前記回転体の回転方向に離散的に設けられる、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項７】
前記磁石は、前記回転体の回転方向に４以上の磁極を有する、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項８】
前記磁石は、ラジアル異方性着磁または極異方性着磁の磁石を含む、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項９】
前記磁石は、前記回転体の回転方向に沿って湾曲する側面を有する、請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項１０】
前記回転体は固定部材に対して回転し、
前記検出部の少なくとも一部を支持する第１支持部材と、
前記固定部材と前記第１支持部材との間に配置され、前記信号発生部を支持する第２支持部材と、を備える、請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項１１】
前記検出部の検出結果を処理する処理部、を含み、
前記第１支持部材は、前記処理部が設けられる基板を含む、請求項１０に記載のエンコーダ装置。
【請求項１２】
前記第２支持部材は、前記信号発生部の少なくとも一部を、前記第２支持部材の内周と外周との間に収容する、請求項１０または請求項１１に記載のエンコーダ装置。
【請求項１３】
前記第２支持部材は、前記固定部材と前記第１支持部材と間における、前記検出部と前記回転体とのギャップを規定する、請求項１０から請求項１１のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項１４】
前記第２支持部材は、前記第１支持部材および前記固定部材のそれぞれと固定される、請求項１０から請求項１３のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項１５】
前記第２支持部材は、前記検出部の少なくとも一部を覆うように配置される、請求項１０から請求項１４のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項１６】
前記第２支持部材は、前記磁石に対して環状に囲んでいる、請求項１０から請求項１５のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項１７】
前記検出部は、前記磁石が形成する磁界に基づいて前記回転体の多回転情報を検出する多回転情報検出部を含む、請求項１から請求項１６のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項１８】
前記検出信号に基づいて前記検出部に電力を供給する電力供給部を備える、請求項１から請求項１７のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項１９】
請求項１から請求項１８のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
前記回転体に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の駆動装置と、
前記駆動装置によって移動するステージと、を備えるステージ装置。
【請求項２１】
請求項１９に記載の駆動装置と、
前記駆動装置によって移動するアームと、を備えるロボット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エンコーダ装置は、ロボット装置などの各種装置に搭載されている（例えば、下記の特許文献１参照）。例えば、エンコーダ装置は、磁石の磁界を効率よく検出することを求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−５００３４号公報
【発明の概要】
【０００４】
本発明の第１の態様に従えば、回転体の回転位置情報を検出する検出部と、検出部に対して相対的に回転する磁石と、磁石に対して、回転体の回転軸と直交する方向に配置され、磁石が形成する磁界の変化に基づく大バルクハウゼン効果によって検出信号を発生する信号発生部と、を備え、
磁石は回転軸と直交する方向に着磁されている、エンコーダ装置が提供される。
【０００５】
本発明の第２の態様に従えば、第１の態様のエンコーダ装置と、回転体に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置が提供される。
【０００６】
本発明の第３の態様に従えば、第２の態様の駆動装置と、駆動装置によって移動するステージと、を備えるステージ装置が提供される。
【０００７】
本発明の第４の態様に従えば、第２の態様の駆動装置と、駆動装置によって移動するアームと、を備えるロボット装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。
【図２】第１実施形態に係る磁石および信号発生部を示す図である。
【図３】第１実施形態に係る磁石が形成する磁界を示す図である。
【図４】第１実施形態に係る位置検出部、電力供給部の回路構成を示す図である。
【図５】第２実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。
【図６】実施形態に係る磁石を示す図である。
【図７】実施形態に係る磁石を示す図である。
【図８】実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。
【図９】実施形態に係る信号発生部を示す図である。
【図１０】実施形態に係る駆動装置を示す図である。
【図１１】実施形態に係るステージ装置を示す図である。
【図１２】実施形態に係るロボット装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［第１実施形態］
第１実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。このエンコーダ装置ＥＣは、移動体（移動部材）の位置情報（移動情報）を検出する。エンコーダ装置ＥＣは、例えばロータリーエンコーダである。この場合に、上記の移動体は回転体ＳＦ（回転部材）であり、上記の位置情報は回転位置情報を含む。以下の説明において、適宜、回転体ＳＦの回転軸ＡＸに平行な方向をアキシャル方向と称し、アキシャル方向に垂直な方向をラジアル方向と称する。また、回転体ＳＦの回転方向、及び回転体ＳＦとほぼ同軸で回転する部材の回転方向を、適宜、回転方向と称する。
【００１０】
回転体ＳＦは、例えば、電動モータなどの駆動装置ＭＴＲにおける出力軸（例、電気子と連動する物体、シャフト、回転子）を含む。回転体ＳＦは、駆動装置ＭＴＲの出力軸と接続される作用軸でもよい。上記の作用軸は、例えば、駆動装置ＭＴＲの出力軸と変速機を介して接続される軸を含む。
【００１１】
上記の回転位置情報は、多回転情報と角度位置情報との一方または双方を含む。多回転情報は、回転の数（例、１回転、２回転、多回転）を示す情報を含む。角度位置情報は、１回転未満の角度位置（回転角）を示す情報を含む。エンコーダ装置ＥＣは、例えば多回転アブソリュートエンコーダである。この場合に、上記の回転位置情報は、多回転情報および角度位置情報を含む。
【００１２】
駆動装置ＭＴＲは、例えば、本体部ＢＤおよび制御部ＭＣを備える。本体部ＢＤ（モータ本体部）は、例えば、回転子、固定子、及びボディを含む。回転子は、例えば電動モータの電気子を含む。固定子は、例えば電動モータの磁石（例、永久磁石）を含む。ボディは、回転子および固定子を収容する。固定子は、ボディと固定され、回転子は、ボディに対して回転可能に支持される。
【００１３】
回転子は、電源ＰＷから供給される電力によって、固定子に対して回転する。電源ＰＷ（第１電源）は、例えば、エンコーダ装置ＥＣが搭載される装置（例、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置）の主電源である。回転体ＳＦは、回転子と固定され、回転子とともに固定子に対して回転する。
【００１４】
制御部ＭＣ（モータ制御部）は、エンコーダ装置ＥＣが検出した回転位置情報に基づいて、回転体ＳＦの駆動を制御する。例えば、制御部ＭＣは、回転位置情報に基づいて、回転子の回転に消費される電力として電源ＰＷから供給される電力を制御する。制御部ＭＣは、例えば、回転子の角度位置、角速度、及び角加速度の少なくとも一つが目標値に近づくように、本体部ＢＤに供給される電力を制御する。
【００１５】
次に、エンコーダ装置ＥＣの各部について説明する。エンコーダ装置ＥＣは、位置検出部１と、電力供給部２とを備える。位置検出部１は、回転体ＳＦの回転位置情報を検出する。位置検出部１は、多回転情報検出部１Ａ、及び角度検出部１Ｂを備える。多回転情報検出部１Ａは、回転体ＳＦの多回転情報を検出する。角度検出部１Ｂは、回転体ＳＦの角度位置を検出する。
【００１６】
角度検出部１Ｂは、スケールＳの一回転内の位置情報（角度位置情報、絶対又は相対位置情報）を検出する。角度検出部１Ｂは、光学式エンコーダと磁気式エンコーダの一方または双方を含む。角度検出部１Ｂは、本実施形態において光学式エンコーダを備えるが、磁気式エンコーダを備えてもよい。
【００１７】
角度検出部１Ｂは、スケールＳ、照射部１１、検出部１２、及び処理部１３を備える。スケールＳは、回転体ＳＦに固定されている。スケールＳは、例えば円板状の部材である。この場合、上記のラジアル方向はスケールＳの径方向であり、回転方向は円板状のスケールＳの周方向である。スケールＳは、例えば、ガラス製、金属製、あるいは樹脂製の部材である。スケールＳは、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳを含む。インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳは、例えば、スケールＳの面Ｓａに設けられる。インクリメンタルパターンＩＮＣとアブソリュートパターンＡＢＳとの一方または双方は、スケールＳにおける面Ｓａの反対側の面Ｓｂに設けられてもよい。
【００１８】
照射部１１（発光部）は、スケールＳのインクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳに光を照射する。照射部１１は、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）などの発光素子（例、固体光源）を含む。検出部１２（センサ部、受光部）は、照射部１１から照射されインクリメンタルパターンＩＮＣを経由した光、及び照射部１１から照射されアブソリュートパターンＡＢＳを経由した光をそれぞれ検出する。照射部１１は、例えば、フォトダイオードなどの受光素子（例、光電変換素子）を含む。
【００１９】
角度検出部１Ｂは、スケールＳのパターンニング情報を検出部１２で読み取ることにより、回転体ＳＦの１回転以内の角度位置情報を検出する。角度検出部１Ｂが検出するスケールＳのパターンニング情報は、例えば、スケールＳ上の透過パターン（例、スリット）又は反射パターン（例、反射膜）等による明暗のパターンである。図１において、角度検出部１Ｂは反射型である。この場合、検出部１２は、スケールＳで反射した光を検出する。なお、角度検出部１Ｂは透過型であってもよい。この場合、検出部１２は、スケールＳを透過した光を検出する。
【００２０】
検出部１２は、検出結果を示す信号（検出信号）を処理部１３へ供給する。処理部１３は、検出部１２の検出結果を使って、回転体ＳＦの角度位置を検出する。例えば、処理部１３は、アブソリュートパターンＡＢＳからの光を検出した結果を使って第１分解能の角度位置情報を検出する。また、処理部１３は、インクリメンタルパターンＩＮＣからの光を検出した結果を使って、第１分解能の角度位置情報に内挿演算を行うことにより、第１分解能よりも高い第２分解能の角度位置情報を検出する。
【００２１】
多回転情報検出部１Ａは、角度検出部１Ｂの検出対象と同じ回転体ＳＦの角度位置情報を検出する。多回転情報検出部１Ａは、磁気式エンコーダと光学式エンコーダとの一方または双方を含む。多回転情報検出部１Ａは、本実施形態において磁気式エンコーダを含むが、光学式エンコーダを含んでもよい。多回転情報検出部１Ａは、磁石２１、磁気検出部２２、処理部２３、及び記憶部２４を備える。
【００２２】
磁石２１（磁気スケール）は、検出部（例、位置検出部１の一部）に対して相対的に回転する。例えば、磁石２１は、回転体ＳＦの回転によって、磁気検出部２２に対して相対的に回転する。磁石２１は、回転体ＳＦに固定されたスケールＳ（第１の回転体）に設けられる。例えば、スケールＳが回転体ＳＦとともに回転し、磁石２１は回転体ＳＦと連動して回転する。また、磁石２１は、回転体ＳＦの回転軸ＡＸの回転軸方向と交差する方向に配置される。本実施形態では、磁石２１は、ラジアル方向に沿って配置される。磁石２１は、例えばリング形状の部材である。この場合、上記のラジアル方向は磁石２１の径方向であり、回転方向は磁石２１の周方向である。
【００２３】
磁石２１は、例えば、スケールＳにおいてインクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳと同じ側の面Ｓａに設けられる。磁石２１は、例えば、スケールＳの面Ｓａにおいて、ラジアル方向において、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳの外側に配置される。なお、磁石２１は、スケールＳにおいてインクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳが設けられる面Ｓａと逆側の面Ｓｂに設けられてもよい。
【００２４】
磁気検出部２２は、回転体ＳＦの外部の部材に対して固定（支持）される。磁石２１および磁気検出部２２は、回転体ＳＦの回転によって互いの相対位置（相対的な角度位置）が変化する。磁石２１が形成する磁気検出部２２上の磁界の強さおよび向きは、回転体ＳＦの回転によって変化する。磁気検出部２２は、磁石２１が形成する磁界を検出する。磁気検出部２２は、磁気センサ２５および磁気センサ２６を備える。
【００２５】
処理部２３は、磁石２１が形成する磁界を磁気検出部２２が検出した結果に基づいて、回転体ＳＦの多回転情報を検出（算出）する。例えば、処理部２３は、磁気センサ２５の検出結果をＡ相信号に利用し、かつ磁気センサ２６の検出結果をＢ相信号に利用して、多回転情報を検出する。処理部２３は、例えば、多回転情報を処理する多回転処理部である。記憶部２４は、処理部２３からの位置情報（例、多回転情報）の記憶指令（データの書き込み指令）に基づいて、処理部２３が検出して処理した位置情報を記憶する。
【００２６】
なお、磁気検出部２２がスケールＳに設けられる場合、磁石２１は、磁気検出部２２と異なる位置で、スケールＳの外部に設けられてもよい。例えば、磁石２１は、スケールＳの回転によって、スケールＳに設けられた磁気検出２２と相対的に回転する位置に設けられてもよい。
【００２７】
本実施形態において、エンコーダ装置ＥＣは、合成部２７を備える。合成部２７は、処理部１３が検出した第２分解能の角度位置情報を取得する。また、合成部２７は、多回転情報検出部１Ａの記憶部２４から回転体ＳＦの多回転情報を取得する。合成部２７は、処理部１３からの角度位置情報、及び多回転情報検出部１Ａからの多回転情報を合成し、回転体ＳＦの回転位置情報を算出する。例えば、処理部１３の検出結果がθ［ｒａｄ］であり、多回転情報検出部１Ａの検出結果がｎ回転である場合に、合成部２７は、回転位置情報として（２π×ｎ＋θ）［ｒａｄ］を算出する。回転位置情報は、多回転情報と角度位置情報とを一組にした情報でもよい。
【００２８】
エンコーダ装置ＥＣは、通信部（例、外部通信部、外部接続インターフェース）を備え、この通信部は、有線または無線によって、制御部ＭＣと通信可能に接続される。エンコーダ装置ＥＣの通信部は、デジタル形式の回転位置情報を、制御部ＭＣに供給（送信）する。制御部ＭＣは、エンコーダ装置ＥＣから供給された回転位置情報を適宜復号する。制御部ＭＣは、回転位置情報を使って本体部ＢＤへ供給される電力（駆動電力）を制御することにより、回転体ＳＦの回転を制御する。
【００２９】
エンコーダ装置ＥＣは、エンコーダ装置ＥＣで消費される電力の供給元が異なる通常状態とバックアップ状態とのそれぞれにおいて、回転体ＳＦの回転位置情報を検出する。上記の通常状態は、電源ＰＷの電力が投入されている状態、電源ＰＷがオンになっている状態、エンコーダ装置ＥＣが搭載される装置に対して電源ＰＷから電力が供給されている状態、及びエンコーダ装置ＥＣに対して電源ＰＷから電力が供給されている状態の少なくとも１状態を含む。上記のバックアップ状態は、例えば、電源ＰＷの電力が投入されていない状態、電源ＰＷがオフになっている状態、エンコーダ装置ＥＣが搭載される装置に対して電源ＰＷから電力が供給されていない状態、エンコーダ装置ＥＣに対して電源ＰＷから電力が供給されていない状態の少なくとも１状態を含む。
【００３０】
位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部１Ａ、角度検出部１Ｂ）は、通常状態において、電源ＰＷから供給される電力によって回転体ＳＦの回転位置情報を検出する。電源ＰＷは、通常状態において、回転体ＳＦの駆動に消費される電力、及び位置検出部１の検出動作（例、角度位置情報や多回転情報を算出して検出する動作など）に消費される電力を供給する。位置検出部１の少なくとも一部は、電源ＰＷから電力供給を受けて回転体ＳＦの回転位置情報を検出する。制御部ＭＣは、位置検出部１の検出結果に基づいて、電源ＰＷから供給される電力を調整して本体部ＢＤに供給することで、回転体ＳＦの回転を制御する。
【００３１】
位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部１Ａ）は、通常状態とは異なるバックアップ状態において、電源ＰＷとは異なる第２電源（例、電力供給部２）から供給される電力によって動作可能である。
【００３２】
電力供給部２は、例えば、バックアップ状態において、位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部１Ａ）に対して断続的（選択的、間欠的）に電力を供給する。位置検出部１は、バックアップ状態において、電力供給部２から電力供給を受けて、回転体ＳＦの回転位置情報の少なくとも一部（例、多回転情報）を検出する。例えば、多回転情報検出部１Ａは、電力供給部２から断続的に電力供給を受けて、多回転情報を断続的に検出する。バックアップ状態において多回転情報検出部１Ａが検出した多回転情報は、例えば、電源ＰＷからの電力供給が開始されてバックアップ状態から通常状態に切り替わった際（例、駆動装置の起動時）に、制御部ＭＣが回転体ＳＦの回転を制御することに利用される。
【００３３】
多回転情報検出部１Ａは、電源ＰＷから電力供給を受ける通常状態と、電力供給部２から電力供給を受けるバックアップ状態との各状態において、回転体ＳＦの多回転情報を検出する。例えば、エンコーダ装置ＥＣは、電源ＰＷの電力の投入が停止された際に、通常状態からバックアップ状態に切り替わる。エンコーダ装置ＥＣは、電源ＰＷの電力の投入が開始された際に、バックアップ状態から通常状態に切り替わる。エンコーダ装置ＥＣが通常状態とバックアップ状態とで切り替わる際に、多回転情報検出部１Ａは、多回転情報の検出を継続する（算出を継続する）。
【００３４】
角度検出部１Ｂは、例えば、電源ＰＷからの電力供給が断たれたバックアップ状態において、角度情報を検出しない（算出しない）。例えば、第２電源は、制御部ＭＣの指令に基づき、バックアップ状態において角度検出部１Ｂに電力供給を行わない。角度検出部１Ｂは、例えば、バックアップ状態において電力供給が断たれた状態であり、角度位置情報を検出しない。
【００３５】
電力供給部２は、磁石２１と、信号発生部３１と、切替部３２と、バッテリー３３とを備える。信号発生部１３は、磁石２１に対して、磁石２１の回転軸と交差する方向に配置される。例えば、信号発生部３１は、磁石２１に対して、磁石２１の回転軸と直交する方向（ラジアル方向）に配置される。信号発生部１３は、例えば、磁石２１に対して、回転体ＳＦの回転軸ＡＸの回転軸方向と交差する方向に配置される。磁石２１の回転軸は、回転体ＳＦの回転軸ＡＸとほぼ同軸である。磁石２１は、回転体ＳＦの回転によって、信号発生部３１に対して相対的に回転する。磁石２１が信号発生部３１の位置に形成する磁界は、磁石２１と信号発生部３１との相対的な回転によって変化する。信号発生部３１は、磁石２１が形成する磁界の変化に基づく大バルクハウゼン効果によって、検出信号（電気信号）を発生する。電力供給部２は、信号発生部３１が発生する検出信号に基づいて、電力を供給する。
【００３６】
図２は、第１実施形態に係る磁石および信号発生部を示す図である。以下の説明において、適宜、図２などに示すＸＹＺ直交座標系を参照する。このＸＹＺ直交座標系において、Ｚ方向は、磁石２１の回転軸ＡＸと平行なアキシャル方向である。Ｘ方向およびＹ方向は、それぞれＺ方向に垂直な方向である。以下の説明において、適宜、Ｚ方向から見た状態を回転軸視という。また、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のそれぞれについて、適宜、矢印の向きを＋側（例、＋Ｘ側）と称し、矢印と反対向きを−側（例、−Ｘ側）と称する。
【００３７】
本実施形態における磁石２１は、回転軸ＡＸと直交する方向に着磁されている。磁石２１は、例えば、回転軸ＡＸと平行な方向を厚み方向とする板状の部材である。磁石２１は、その厚み方向と交差（例、直交）する径方向に着磁されている。磁石２１の配向は、回転軸ＡＸと垂直な方向（例、回転体の回転方向、磁石２１の回転方向）の成分を含む磁界が形成されるように、設定される。磁石２１は、ラジアル方向において磁石２１よりも外側（例、磁石２１の側方）に交流磁界を形成するように、配置される。磁石２１は、回転軸ＡＸと垂直な面に分布する複数の磁極を有する。また、磁石２１は、回転方向に４以上の磁極を有する。磁石２１は、例えば、回転方向における磁極の数（Ｎ極２１ａの数とＳ極２１ｂの数との和）が、例えば４以上である。
【００３８】
磁石２１は、例えば円環状（又は円筒状）の部材である。磁石２１は、回転体（又は磁石２１）の回転方向に沿って湾曲する側面２１ｃを有する。側面２１ｃは、スケールＳにおいて磁石２１が配置される面（例、上面）と交差する方向（例、ラジアル方向）を向く面である。側面２１ｃの曲率中心は、例えば、回転軸ＡＸとほぼ一致する。磁石２１は、その内周側（内縁側）と外周側（外縁側）のそれぞれにおいて、Ｎ極２１ａとＳ極２１ｂとが回転方向に並んでいる。本実施形態における磁石２１は、８極に着磁した永久磁石である。例えば、磁石２１は、その内周側の４つの磁極と、その外周側の４つの磁極とを有する。回転方向における磁石２１の磁極の数は、磁石２１の内周側と外周側とのそれぞれにおいて４である。
【００３９】
Ｎ極２１ａは、内周側と外周側とで角度位置が９０°ずれている。Ｓ極２１ｂは、内周側と外周側とで角度位置が９０°ずれている。Ｎ極２１ａとＳ極２１ｂとの境界は、外周側と内周側とでほぼ角度位置が同じである。なお、回転方向における磁石２１の磁極の数は、任意の偶数に設定され、２でもよいし、６以上でもよい。
【００４０】
磁石２１は、回転方向において隣り合うＮ極２１ａとＳ極２１ｂとによって、回転方向の成分を有する磁界を形成する。例えば、磁石２１の外周側のＮ極２１ａからの磁力線Ｍ１は、湾曲して隣のＳ極２１ｂへ向かう。
【００４１】
信号発生部３１は、磁石２１に対して回転体の回転軸ＡＸ（又は磁石２１の回転軸）と直交する方向（例、ラジアル方向）に配置されるため、例えば、ラジアル方向（回転軸ＡＸに関する放射方向）において、磁石２１よりも外側に配置される。信号発生部３１は、例えば、磁石２１の側面２１ｃと対向する位置に配置される。信号発生部３１の少なくとも一部は、磁石２１に比べて、回転軸ＡＸから離れた位置に配置される。例えば、信号発生部３１は、回転軸視において磁石２１と重ならないように配置される。なお、信号発生部３１は、回転軸視において磁石２１の一部と重なる位置に配置されてもよい。
【００４２】
信号発生部３１は、磁性体３５と、コイル部３６とを備える。磁性体３５は、磁石２１が形成する磁界の変化によって、大バルクハウゼン効果（大バルクハウゼンジャンプ、ウィーガンド効果、又はバルクハウゼン効果とも言う）を生じる。磁性体３５は、磁力を感じる感磁性部である。磁性体３５は、複合磁性ワイヤ、ウィーガントワイヤ、アモルファス磁性合金ワイヤなどの感磁性ワイヤである。なお、大バルクハウゼン効果は、磁性体が磁化される場合に、磁性体内部の磁壁が一度に移動することを含む。図２（Ａ）の符号Ｐｘは、回転軸ＡＸを中心とする円周上（例、磁石２１の側面２１ｃ上）で磁性体３５と最も近い位置を示す。また、符号Ｌｘは、回転軸ＡＸを中心とする円周の位置Ｐｘにおける接線である。以下の説明において、接線Ｌｘに平行な方向を接線方向Ｄ１という。
【００４３】
磁性体３５は、長手方向と短手方向とを有する形状であり、接線方向Ｄ１（Ｙ方向）に長手方向を向けて配置される。例えば、磁性体３５（図２（Ｂ）参照）は、円柱状の部材であり、その軸方向（長手方向）が接線方向Ｄ１とほぼ平行である。磁性体３５は、例えば、接線方向Ｄ１と平行にほぼ直線的に延びている形状である。そして、磁性体３５は、その軸方向（Ｙ方向）に交流磁界が印加され、この交流磁界の向きが反転する際に軸方向の一端から他端に向かう磁壁が発生する。このように、磁性体３５は、磁化される場合（再磁化を含む）に、磁区を構成する内部の磁壁が一度に移動する性質を有し、磁化容易方向が長手方向（延伸方向、接線方向Ｄ１）である。従って、例えば、信号発生部３１は、大バルクハウゼン効果として、磁石２１の回転に基づいて磁性体３５が磁化され、その磁化方向が変わるタイミング（例、磁化方向の反転（磁界の変化）が生じるタイミング）においてコイル部３６からパルス信号（検出信号）が出力されるセンサを含む。
【００４４】
図２（Ａ）において、符号３５ａは磁性体３５の端部であり、符号３５ｂは磁性体３５の中央部である。また、符号ＤＸａは、接線方向Ｄ１と垂直な方向における、磁性体３５の端部３５ａと磁石２１との距離である。また、符号ＤＸｂは、接線方向Ｄ１と垂直な方向における、磁性体３５の中央部３５ｂと磁石２１との距離である。図２（Ａ）に示す通り、磁性体３５は、磁化容易方向（長手方向、接線方向Ｄ１）に２つの端部（例、一端側の第１端部、他端側の第２端部）３５ａと、その２つ端部３５ａの間に中央部３５ｂと、を備える。
【００４５】
本実施形態においては、信号発生部３１が磁石２１に対してラジアル方向に配置されるので、例えば、磁性体３５の中央部３５ａと磁石２１とを接近させて配置可能である。また、信号発生部３１が磁石２１に対してラジアル方向に配置され、センサ（例、図１の検出部１２、磁気検出部２２）が磁石２１に対してアキシャル方向に配置される場合、信号発生部３１と磁石２１との間のギャップと、上記のセンサとスケールＳあるいは磁石２１とのギャップとを、独立して設定することが容易になる。また、図２に示す通り、例えば、信号発生部３１は、回転体の回転軸ＡＸの軸方向視（又は磁石２１の回転軸方向視）において、磁石２１と重ならない位置で、磁石２１ｃの外側の側面２１ｃに対向する位置に配置される。
【００４６】
磁性体３５における磁化容易方向の２つの端部３５ａは、磁性体３５の中央部３５ｂに比べて、磁石２１から離れた位置に配置される。図２（Ａ）において、距離ＤＸａは、磁石２１の側面２１ｃの形状によって距離ＤＸｂよりも長い。磁石２１の側面２１ｃは、磁性体３５の中央部３５ｂから端部３５ａに向かうにつれて磁性体３５から離れるように、湾曲している。側面２１ｃは、磁性体３５に対して凸となるように湾曲している。このため、信号発生部３１は、磁石２１（例、磁石２１が配置される位置）に対して、距離ＤＸａ及び距離ＤＸｂに基づくギャップを介して、配置される。
【００４７】
距離ＤＸａに基づくギャップと距離ＤＸｂに基づくギャップとの違いにより、本実施形態におけるエンコーダ装置ＥＣは、磁石２１と磁性体３５とのギャップが均一である場合に比べて、磁性体３５の端部３５ａに働く磁界が相対的に弱くなる。本実施形態におけるエンコーダ装置ＥＣは、磁性体３５の端部３５ａに働く磁界が弱くなり２つの端部３５ａの磁界による影響（例、端部３５ａにおける磁場の相殺など）が低減されるので、例えば、磁性体３５において大バルクハウゼン効果が安定的に発生し、信号発生部３１において検出信号が安定して発生する（図３でも説明する）。
【００４８】
コイル部３６は、磁性体３５の周辺（例、近傍、周囲など）に配置され、磁性体３５において発生する大バルクハウゼン効果に伴う電磁誘導によって、検出信号が発生する。コイル部３６は、例えば、高密度コイルを含む。コイル部３６は磁性体３５に巻き付けられているため、コイル部３６には、磁性体３５における磁壁の発生に伴って電磁誘導（誘導起電力）が生じ、誘導電流が流れる。信号発生部３１が発生する検出信号は、コイル部３６に発生する電磁誘導の誘導起電力と誘導電流との一方または双方を含む。上記の検出信号は、例えば、電力（誘導電流、誘導起電力）が時間変化する波形を含む。
【００４９】
コイル部３６には、磁性体３５において発生する大バルクハウゼン効果によって、パルス状の電流が発生する。例えば、回転体の回転に基づき磁性体３５における磁化方向が一斉に（一度に）反転した時、コイル部３６はこの反転したタイミングにおける磁界変化を検出して上記検出信号を出力する。したがって、コイル部３６は、例えば、大バルクハウゼン効果を利用して正パルスや負パルス等の検出パルスを含む上記検出信号を出力可能である。コイル部３６に発生する電流の向きは、磁界の反転前後の向きに応じて変化する。コイル部３６に発生する電力（誘導電流）は、例えば高密度コイルの巻き数により設定できる。コイル部３６に発生した検出信号は、端子３７ａおよび端子３７ｂを介して外部へ取り出し可能である。このように、コイル部３６は、外部（例、図１の電源ＰＷ）からの電力供給がなくても動作可能である。
【００５０】
信号発生部３１は、磁石２１の角度位置に基づいて、検出信号を出力する。例えば、信号発生部３１には、多回転情報検出部１Ａが回転体ＳＦの多回転情報の検出に用いる磁石２１が形成する磁界の変化によって、検出信号（電気信号）が発生する。信号発生部３１は、回転体ＳＦの回転によって、磁石２１との相対的な角度位置が変化するように、配置される。
【００５１】
信号発生部３１には、例えば、信号発生部３１と磁石２１との相対位置が所定の位置（又は特定の位置）になった際に、パルス状の検出信号が発生する。信号発生部３１は、磁石２１との相対位置が所定の位置になったことを検出する検出部（位置検出部１のセンサ、又は位置検出部１の代替的なセンサ）として利用可能である。この場合、例えば、エンコーダ装置ＥＣは、互いに異なる位置（例、磁石２１の回転軸を中心に４５°、９０°、１８０°などの角度位置）に配置された複数の信号発生部３１を備え、磁石２１の回転に基づき複数の信号発生部３１からそれぞれ出力されるパルス状の検出信号を用いて上述した角度位置情報や多回転情報を処理部（例、処理部１３、２３）によって算出することができる。
【００５２】
このように、本実施形態の信号発生部３１は、上述の位置検出部１と組み合わせて回転体ＳＦの回転位置情報を算出でき、信頼性向上のために検出部の二重化を構成することができる。本実施形態の信号発生部３１は、エンコーダ装置ＥＣが上述の位置検出部１を備えない構成においても、回転体ＳＦの回転位置情報を算出することができる。なお、信号発生部３１の検出結果は、上記の検出信号を含む。
【００５３】
図３は、第１実施形態に係る磁石が形成する磁界を示す図である。図３において「角度位置」は、図２（Ａ）の状態を基準（０°）とする磁石２１の角度位置である。ここでは、反時計回りの角度位置を正とする。図３の各角度位置において、磁石２１が形成する磁界は矢印（ベクトル）で表される。この矢印の向きは、各位置における磁力線の向きを表す。また、この矢印の大きさは、各位置における磁力の強さを表す。図３の左側には、「角度位置」が０°から４５°の範囲について磁界を示した。また、図３の右側には、「角度位置」が４５°から９０°の範囲について磁界を示した。
【００５４】
「角度位置」が０°の状態において、磁性体３５の中央部３５ｂ（図２参照）の位置における磁力線は、−Ｙ側を向いている。「角度位置」が０°から４５°に向かうにつれて、磁性体３５の位置における磁力線の強さが減少する。「角度位置」が４５°の状態において、磁性体３５の中央部３５ｂにおける磁界の強さはほぼ０になる。「角度位置」が４５°から９０°に向かうにつれて、磁性体３５の位置における磁力線の強さが増加する。「角度位置」が９０°の状態において、磁性体３５の中央部３５ｂ（図２参照）の位置の磁力線は、＋Ｙ側を向いている。このように、磁性体３５が感じる磁力線の向きが反転することによって、磁性体３５に大バルクハウゼン効果が発生し、コイル部３６に検出信号が発生する。
【００５５】
本実施形態においては、信号発生部３１が磁石２１に対してラジアル方向に配置されるので、例えば、磁性体３５の中央部３５ａと磁石２１とを接近させて配置可能である。したがって、磁性体３５の中央部３５ａは、例えば、磁性体２１が形成する磁界を高精度で高感度に検出することができる。よって、信号発生部３１は、検出信号を安定して発生可能である。
【００５６】
なお、「角度位置」が４５°の状態における磁力線の向きは、磁性体３５の＋Ｙ側の端部と−Ｙ側の端部とで反転している。磁性体３５の各部分で磁力線の向きが反転していると、大バルクハウゼン効果の発生が安定しない場合がある。しかしながら、本実施形態において、磁性体３５の端部３５ａは、磁性体３５の中央部３５ｂに比べて、磁石２１から離れた位置に配置される。この場合、磁性体３５が磁石２１に沿うように湾曲している場合と比較して、例えば磁性体３５の端部３５ａに働く磁界が中央部３５ｂに比べて相対的に弱くなり、大バルクハウゼン効果の発生が安定する。端部３５ａが中央部３５ｂよりも磁石２１から離れている場合、例えば、大バルクハウゼン効果の発生に寄与する磁界を、端部３５ａよりも中央部３６ｂに大きく作用させることができる。
【００５７】
また、端部３５ａが中央部３５ｂよりも磁石２１から離れている場合に端部３５ａに働く磁界は、磁性体３５が磁石２１に沿うように湾曲している場合に端部３５ａに働く磁界よりも弱くなる。したがって、＋Ｙ側の端部３５ａと−Ｙ側の端部３５ａとで磁界の向きが反対である場合の影響を減らすことができる。よって、信号発生部３１は、大バルクハウゼン効果の発生が安定し、検出信号を安定して発生する。
【００５８】
図２の説明に戻り、磁石２１は、その内周側と外周側とで隣り合うＮ極２１ａとＳ極２１ｂとによって、回転軸ＡＸの方向に磁界を形成する。この磁界は、ＸＹ平面に平行な成分を含む。磁気検出部２２（磁気センサ２５、磁気センサ２６）は、ＸＹ平面に平行な磁界を検出する。磁気センサ２５および磁気センサ２６は、信号発生部３１に検出信号が発生するタイミングで、磁石２１のＮ極２１ａとＳ極２１ｂとの境界を避けるように配置される。例えば、信号発生部３１は、磁石２１が所定の角度位置に配置された際に検出信号が発生する。磁気センサ２５および磁気センサ２６は、それぞれ、磁石２１が所定の角度位置に配置された際に、回転方向においてＮ極２１ａとＳ極２１ｂとの境界から離れた角度位置に配置される。磁気センサ２６は、磁石２１の回転軸ＡＸを中心とする角度位置において、例えば、磁気センサ２５に対して９０°以上１８０°未満の範囲に配置される。
【００５９】
図１の説明に戻り、切替部３２は、信号発生部３１で発生した検出信号を制御信号に用いて、バッテリー３３から位置検出部１への電力の供給の有無を切替える。位置検出部１は、電力供給部２から電力の供給を受けて位置情報の検出を開始する。位置検出部１は、信号発生部３１で発生した検出信号に基づいて電力供給部２から供給される電力によって、回転体ＳＦの回転位置情報を検出する。
【００６０】
信号発生部３１で発生する検出信号は、位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部１Ａ）の動作に用いられる。例えば、電力供給部２は、バックアップ状態において、信号発生部３１で発生する検出信号を用いて、位置検出部１の動作に用いられる電力を供給する。例えば、位置検出部１（例、多回転情報検出部１Ａ）は、バックアップ状態において、信号発生部３１で発生する検出信号に基づいて電力供給が開始されることによって、回転位置情報の検出動作を行う。
【００６１】
電力供給部２において、バッテリー３３（電池）は、例えば、信号発生部３１で発生する検出信号に基づいて、位置検出部１で消費される電力の少なくとも一部を供給する。バッテリー３３は、例えば、ボタン型電池、乾電池などの一次電池、リチウムイオン二次電池などの二次電池を含んでもよい。
【００６２】
切替部３２は、信号発生部３１で発生する検出信号のレベルが閾値以上になることでバッテリー３３から位置検出部１への電力の供給を開始させる。例えば、切替部３２は、信号発生部３１で閾値以上の検出信号が発生することでバッテリー３３から位置検出部１への電力の供給を開始させる。
【００６３】
また、切替部３２は、信号発生部３１で発生する検出信号のレベルが閾値未満になることでバッテリー３３から位置検出部１への電力の供給を停止させる。例えば、電源ＰＷからの電力の供給が遮断された状態（バックアップ状態）において、信号発生部３１にパルス状の検出信号が発生する場合、切替部３２は、検出信号のレベル（電位）がローレベルからハイレベルに立ち上がった際に、バッテリー３３から位置検出部１への電力の供給を開始させ、この検出信号のレベル（電位）がローレベルへ変化してから所定の時間経過後に、バッテリー３３から位置検出部１への電力の供給を停止させる。
【００６４】
次に、実施形態に係るエンコーダ装置の回路構成の例について説明する。図４は、第１実施形態に係る位置検出部、電力供給部の回路構成の例を示す図である。電力供給部２は、整流スタック６１、及び図１の切替部３２としてレギュレータ６３を備える。
【００６５】
整流スタック６１は、信号発生部３１から流れる電流を整流する整流器である。整流スタック６１の第１入力端子６１ａは、信号発生部３１の端子３７ａと接続されている。整流スタック６１の第２入力端子６１ｂは、信号発生部３１の端子３７ｂと接続されている。整流スタック６１の接地端子６１ｇは、シグナルグランドＳＧと同電位が供給される接地線ＧＬに接続されている。多回転情報検出部１Ａの動作時に、接地線ＧＬの電位は、回路６０の基準電位になる。整流スタック６１の出力端子６１ｃは、レギュレータ６３の制御端子６３ｃに接続されている。
【００６６】
レギュレータ６３は、このレギュレータ６３のオン状態及びオフ状態に応じて、バッテリー３３から位置検出部１へ供給される電力を調整する。レギュレータ６３は、バッテリー３３と位置検出部１との間の電力の供給経路に設けられるスイッチ（例、スイッチング素子６４）を含む。レギュレータ６３は、信号発生部３１で発生する検出信号を制御信号（例、イネーブル信号）に用いてスイッチング素子６４の動作を制御する。
【００６７】
レギュレータ６３の入力端子６３ａは、バッテリー３３に接続されている。レギュレータ６３の出力端子６３ｂは、電源線ＰＬに接続されている。レギュレータ６３の接地端子６３ｇは、接地線ＧＬに接続されている。レギュレータ６３の制御端子６３ｃはイネーブル端子であり、レギュレータ６３は、制御端子６３ｃに閾値以上の電圧が印加された状態で、出力端子６３ｂの電位を所定電圧に維持する。レギュレータ６３の出力電圧（上記の所定電圧）は、計数部６７がＣＭＯＳなどで構成される場合に例えば３Ｖである。記憶部２４の動作電圧は、例えば、所定電圧と同じ電圧に設定される。なお、所定電圧は、電力供給に必要な電圧であり、一定の電圧値でもよいし、段階的に変化する電圧でもよい。
【００６８】
スイッチング素子６４は、位置検出部１に電力を供給する回路６０の導通と遮断とを切替える。回路６０は、例えば、第２電源（例、バッテリー３３）の第１電極（正極）と第２電極（負極）とを結ぶ電力の供給経路を構成し、電源線ＰＬおよび接地線ＧＬを含む。接地線ＧＬは、例えば、バッテリー３３の負極と接続され、その電位が回路６０の基準電位となる。スイッチング素子６４は、例えば、バッテリー３３から回路６０を介した位置検出部１への電力の供給の有無を切替える。
【００６９】
レギュレータ６３は、信号発生部３１から制御端子６３ｃに供給される検出信号を制御信号（イネーブル信号）に用いて、スイッチング素子６４の第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間の導通状態（オン状態）と絶縁状態（オフ状態）とを切り替える。例えば、スイッチング素子６４は、ＭＯＳ、ＴＦＴなどを含み、第１端子６４ａと第２端子６４ｂとはソース電極とドレイン電極であり、制御端子６４ｃがゲート電極である。
【００７０】
スイッチング素子６４は、信号発生部３１で発生する検出信号によって生じる制御端子６４ｃの電圧に基づき回路６０を導通へ切替える。例えば、スイッチング素子６４は、制御端子６４ｃの電位が回路６０の基準電位である状態で回路６０を遮断している。また、スイッチング素子６４は、制御端子６４ｃの電圧が所定値以上になることで、第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間が導通状態（オン状態）になる。回路６０を導通へ切替える。第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間がオン状態になると、バッテリー３３から、電源線ＰＬおよび接地線ＧＬを介して回路６０に電力が供給される。なお、電力供給部２は、レギュレータ６３のオン状態及びオフ状態を取得する取得部を備えてもよい。
【００７１】
多回転情報検出部１Ａは、図１に示した処理部２３として、アナログコンパレータ６５、アナログコンパレータ６６、及び計数部６７を含む。磁気センサ２５および磁気センサ２６は、それぞれ、回転体ＳＦを検出するセンサである。磁気センサ２５および磁気センサ２６は、回転体ＳＦに取り付けられた磁石２１が形成する磁界を検出することで、回転体ＳＦを検出する。磁気センサ２５および磁気センサ２６は、それぞれ、バッテリー３３から供給される電力を用いて、磁石２１が形成する磁界を検出する。
【００７２】
磁気センサ２５の電源端子２５ｐは、電源線ＰＬに接続されている。磁気センサ２５の接地端子２５ｇは、接地線ＧＬに接続されている。磁気センサ２５の出力端子２５ｃは、アナログコンパレータ６５の入力端子６５ａに接続されている。
【００７３】
アナログコンパレータ６５は、磁気センサ２５から出力される電圧を二値化する二値化部である。アナログコンパレータ６５は、例えば比較器であり、磁気センサ２５から出力される電圧を所定電圧と比較する。アナログコンパレータ６５の電源端子６５ｐは、電源線ＰＬに接続されている。アナログコンパレータ６５の接地端子６５ｇは、接地線ＧＬに接続されている。アナログコンパレータ６５の出力端子６５ｂは、計数部６７の第１入力端子６７ａに接続されている。アナログコンパレータ６５は、磁気センサ２５の出力電圧が閾値以上である場合に出力端子からＨレベルの信号を出力し、閾値未満である場合に出力端子からＬレベルの信号を出力する。
【００７４】
磁気センサ２６およびアナログコンパレータ６６は、磁気センサ２５およびアナログコンパレータ６５と同様の構成である。磁気センサ２６の電源端子２６ｐは、電源線ＰＬに接続されている。磁気センサ２６の接地端子２６ｇは、接地線ＧＬに接続されている。磁気センサ２６の出力端子２６ｃは、アナログコンパレータ６６の入力端子６６ａに接続されている。アナログコンパレータ６６の電源端子６６ｐは、電源線ＰＬに接続されている。アナログコンパレータ６６の接地端子６６ｇは、接地線ＧＬに接続されている。アナログコンパレータ６６の出力端子６６ｂは、計数部６７の第２入力端子６７ｂに接続されている。アナログコンパレータ６６は、磁気センサ２６の出力電圧が閾値以上である場合に出力端子からＨレベルの信号を出力し、閾値未満である場合に出力端子６６ｂからＬレベルの信号を出力する。
【００７５】
計数部６７は、回転体ＳＦの多回転情報を、バッテリー３３から供給される電力を用いて計数する。計数部６７は、例えばＣＭＯＳ論理回路などを含む。計数部６７は、電源端子６７ｐおよび接地端子６７ｇを介して供給される電力を用いて動作する。計数部６７の電源端子６７ｐは、電源線ＰＬに接続されている。計数部６７の接地端子６７ｇは、接地線ＧＬに接続されている。計数部６７は、第１入力端子６７ａを介して供給される電圧、及び第２入力端子６７ｂを介して供給される電圧を制御信号として、計数処理を行う。
【００７６】
記憶部２４は、処理部２３が検出した回転位置情報の少なくとも一部（例、多回転情報）を、バッテリー３３から供給される電力を用いて記憶する（書き込み動作を行う）。記憶部２４は、処理部２３が検出した回転位置情報として、計数部６７による計数の結果（多回転情報）を記憶する。記憶部２４の電源端子２６ｐは、電源線ＰＬに接続されている。記憶部２４の接地端子２６ｇは、接地線ＧＬに接続されている。記憶部２４は、例えば不揮発性メモリを含み、電力が供給されている間に書き込まれた情報を、電力が供給されない状態においても保持可能である。なお、多回転情報検出部１Ａは、レギュレータ６３のオン状態及びオフ状態を取得する手段を備えてもよい。
【００７７】
本実施形態において、整流スタック６１とレギュレータ６３との間には、キャパシタ６９が設けられている。キャパシタ６９の第１電極６９ａは、整流スタック６１とレギュレータ６３の制御端子６３ｃとを接続する信号線に接続されている。キャパシタ６９の第２電極６９ｂは、接地線ＧＬに接続されている。このキャパシタ６９は、例えば平滑キャパシタであり、脈動を低減してレギュレータの負荷を低減する。キャパシタ６９の定数は、例えば、処理部２３により回転位置情報を検出して記憶部２４に回転位置情報を書き込むまでの期間に、バッテリー３３から処理部２３および記憶部２４への電力供給が維持されるように設定される。
【００７８】
本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、信号発生部３１に検出信号が発生してから短時間のうちに、バッテリー３３から多回転情報検出部１Ａに電力が供給され、多回転情報検出部１Ａがダイナミック駆動（間欠駆動）する。多回転情報の検出および書き込みの終了後は、多回転情報検出部１Ａへの電源供給は絶たれるが、計数値は、記憶部２４に格納されているので保持される。このようなシーケンスは、外部からの電力供給が絶たれた状態においても、磁石２１上の所定位置が信号発生部３１の近傍を通過するたびに繰り返される。記憶部２４に記憶されている多回転情報は、例えば、次に駆動装置ＭＴＲが起動される際に制御部ＭＣへ読み出され、回転体ＳＦの初期位置などの算出に利用される。
【００７９】
上述のようなエンコーダ装置ＥＣにおいて、磁石２１は回転軸ＡＸと交差する方向に着磁されている。例えば、磁石２１は、回転軸ＡＸと直交する方向（この場合、アキシャル方向とは異なるラジアル方向）に着磁されている。そして、信号発生部３１は、磁石２１の回転軸ＡＸと直交する方向に配置されている。したがって、信号発生部３１は、例えば磁石２１に対して接近させて配置されることで、安定して検出信号を発生する。また、図２に示したように、信号発生部３１は、磁性体３５の端部３５ａが中央部３５ｂに比べて磁石２１から離れた位置に配置される場合、例えば端部３５ａに働く磁界の強さが低減されることで、安定して検出信号を発生する。
【００８０】
なお、インクリメンタルパターンＩＮＣとアブソリュートパターンＡＢＳとの一方または双方は、スケールＳにおいて磁石２１と反対側の面に設けられていてもよい（後に図８（Ａ）に示す）。また、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳの一方または双方は、磁石２１の位置に対して外側に設けられていてもよい（後に図８（Ｂ）に示す）。また、磁石２１は、インクリメンタルパターンＩＮＣとアブソリュートパターンＡＢＳとの一方または双方が設けられる第１の回転体（例、スケールＳ）と別の第２の回転体に設けられてもよい（後に図８（Ｂ）、図８（Ｃ）に示す）。
【００８１】
なお、本実施形態における電力供給部２は、信号発生部３１で発生した検出信号の電圧をレギュレータなどで調整した電力を位置検出部１に供給してもよい。例えば、電力供給部２は、検出信号の電圧をレギュレータなどで調整した電力と、バッテリー３３からの電力とを併用してあるいは切り替えて、位置検出部１に供給してもよい。また、電力供給部２は、バックアップ状態において、信号発生部３１で発生した検出信号を用いないで、電力を供給してもよい。例えば、電力供給部２は、バックアップ状態において連続的に電力を供給してもよい。また、電力供給部２は、多回転情報検出部１Ａ以外の部分（例、角度検出部１Ｂの少なくとも一部）に電力を供給してもよい。また、エンコーダ装置ＥＣは、電力供給部２を備えなくてもよい。
【００８２】
なお、信号発生部３１は、磁石２１との相対位置が所定の位置になったことを検出する検出部でもよい。この場合、位置検出部１は、信号発生部３１の検出結果（検出信号）を用いて、回転位置情報を検出してもよい。例えば、位置検出部１は、磁気検出部２２の検出結果の代わりに、信号発生部３１の検出結果（検出信号）を用いて回転位置情報を検出してもよい。また、位置検出部１は、磁気検出部２２の検出結果と信号発生部３１の検出結果（検出信号）とを用いて、回転位置情報を検出してもよい。
【００８３】
［第２実施形態］
第２実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図５は、第２実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。本実施形態において、信号発生部３１は、例えばエンコーダ装置ＥＣのモールドに支持される。
【００８４】
本実施形態において、回転体ＳＦは、固定部材ＢＤ１に対して回転する。固定部材ＢＤ１は、例えば、駆動装置ＭＴＲにおける固定子または固定子が固定されるボディを含む。エンコーダ装置ＥＣは、エンコーダ本体部として第１支持部材４１および第２支持部材４２を備える。第１支持部材４１は、検出部（図１の位置検出部１）の少なくとも一部を支持する。例えば、第１支持部材４１は、磁気検出部２２と検出部１２との一方または双方を支持する。
【００８５】
第１支持部材４１は、検出部（磁気検出部２２、検出部１２、信号発生部３１）の検出結果を処理する処理回路が設けられる基板（処理基板）を含む。例えば、第１支持部材４１は、図１に示した処理部２３、記憶部２４、処理部１３、合成部２７、及び切替部３２の少なくとも一部を支持する。
【００８６】
第２支持部材４２は、回転軸ＡＸの方向に沿って、固定部材ＢＤ１と第１支持部材４１との間に配置される。第２支持部材４２は、例えばモールド、スペーサ等である。第２支持部材４２は、例えば樹脂製でもよいし、少なくとも表面が絶縁性の金属製（例、アルマイト加工されたアルミニウム製）でもよい。
【００８７】
第２支持部材４２は、固定部材ＢＤ１と第１支持部材４１との間における検出部（磁気検出部２２、検出部１２）と回転体ＳＦとのギャップを規定する。例えば、スケールＳ（回転体）は、回転体ＳＦと固定され、第２支持部材４２は、スケールＳにおけるインクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳと、検出部１２とのＺ方向のギャップを規定する。また、磁石２１（回転体）は、スケールＳを介して回転体ＳＦと固定され、第２支持部材４２は、磁石２１と磁気検出部２２とのＺ方向のギャップを規定する。
【００８８】
第２支持部材４２は、例えば、スケールＳ（又は磁石２１）を環状に囲む筒状の部材である。第２支持部材４２は、例えば回転軸視でリング形状である。第１支持部材４１は、第２支持部材４２において固定部材ＢＤ１と反対側を塞ぐように設けられる。第１支持部材４１は、ボルト等の固定部材４３によって、固定部材ＢＤ１と固定される。固定部材４３は、第２支持部材４２に設けられた貫通孔４４を通して、駆動装置ＭＴＲの固定部材ＢＤ１と固定される。第２支持部材４２は、第１支持部材４１と固定部材ＢＤ１とに挟まれて（共締めされて）、第１支持部材４１および固定部材ＢＤ１のそれぞれと固定される。このように、第２支持部材４２は、固定部材ＢＤ１及び第１支持部材４１に対して固定部材４３を介して固定される。
【００８９】
スケールＳは、固定部材ＢＤ１と第１支持部材４１と第２支持部材４２とに囲まれる空間ＳＰ１に収容される。また、第２支持部材４２は、検出部（位置検出部１）の少なくとも一部を覆うように配置される。位置検出部１は、その少なくとも一部が空間ＳＰ１に収容される。ここで、図５に示す通り、本実施形態における第２支持部材４２は、信号発生部３１の少なくとも一部を、第２支持部材４２の内周４２ａ（内縁）と外周４２ｂ（外縁）との間に収容する。例えば、第２支持部材４２は、内周４２ａと外周４２ｂとの間に内部空間ＳＰ２（図５（Ａ）、（Ｂ）参照）を有し、信号発生部３１を内部空間ＳＰ２に収容する。
【００９０】
このようにして、第２支持部材４２は、信号発生部３１を内部空間ＳＰ２に封止して固定する。なお、第２支持部材４２の内部空間ＳＰ２は、中空状、筒状、空洞、凹部、溝、或いは穴などの形状である。さらに、例えば、内部空間ＳＰ２は、第２支持部材４２の一部材で形成されてもよいし、第２支持部材４２と別部材との二部材で形成されてもよい。また、例えば、本実施形態では、内部空間ＳＰ２は、信号発生部３１を内部に収容後に、生じた隙間を樹脂などで充填されてもよい。この場合、信号発生部３１は、第２支持部材４２の内部空間ＳＰ２に埋設されることになる。
【００９１】
図５（Ｂ）において、磁性体３５の少なくとも一部は、回転軸ＡＸと平行な方向（Ｚ方向）において磁石２１とほぼ同じ位置（例、高さ位置）に配置される。なお、磁性体３５は、磁石２１よりも駆動装置ＭＴＲの固定部材ＢＤ１に近い側（−Ｚ側）に配置されてもよい。また、磁性体３５は、磁石２１よりも駆動装置ＭＴＲの固定部材ＢＤ１から遠い側（＋Ｚ側）に配置されてもよい。
【００９２】
第１支持部材４１と第２支持部材４２とには、貫通孔４５（図５（Ｂ）参照）が設けられる。貫通孔４５の内側には、信号発生部３１のコイル部３６と導通する導電部材４６（例、ビア、配線）が配置される。導電部材４６は端子３７ａおよび端子３７ｂを備え、信号発生部３１の端子３７ａおよび端子３７ｂは、例えば、第１支持部材４１の面４１ａに配置される。面４１ａは、第１支持部材４１において、スケールＳと反対側を向く面である。面４１ａは、第１支持部材４１において照射部１１及び検出部１２が配置される面と反対側の面である。第１支持部材４１において面４１ａの反対側の面４１ｂは、例えば、スケールＳと対向する面である。面４１ｂは、照射部１１及び検出部１２に対向する面である。
【００９３】
端子３７ａおよび端子３７ｂは、導電部材４６を介してコイル部３６と電気的に接続される。端子３７ａおよび端子３７ｂは、例えば、第１支持部材４１に設けられる端子（基板側端子）とハンダ等によって電気的に接続される。
【００９４】
上述のように、本実施形態に係る信号発生部３１は、固定部材ＢＤ１と第１支持部材４１との間の第２支持部材４２に支持される。本実施形態では、信号発生部３１は、第２支持部材４２の少なくとも一部の内部（例、内部空間）に収容され固定される。したがって、エンコーダ装置ＥＣは、例えば、固定部材ＢＤ１と第１支持部材４１との間のスペースを利用して信号発生部３１を支持することができ、省スペースにすることができる。また、エンコーダ装置ＥＣは、例えば、モールドあるいはスペーサを第２支持部材４２として用いることで、部品数を減らすことができる。
【００９５】
なお、第２支持部材４２は、回転軸ＡＸの回転方向において局所的に、不連続に、あるいは離散的に設けられてもよい。また、第２支持部材４２の形状は、筒状でなくてもよく、例えば回転軸視の形状が多角形の枠状（例、四角枠状）でもよい。第２支持部材４２は、信号発生部３１の少なくとも一部（例、磁性体３５、コイル部３６）を封止していなくてもよい。例えば、第２支持部材４２の内部空間ＳＰ２は、空間ＳＰ１に通じていてもよい。信号発生部３１の少なくとも一部（例、磁性体３５、コイル部３６）は、空間ＳＰ１に露出していてもよい。
【００９６】
なお、信号発生部３１の端子３７ａと端子３７ｂとの一方または双方は、第１支持部材４１の面４１ａに配置されなくてもよい。例えば、第１支持部材４１の端子が面４１ｂに配置され、信号発生部３１の端子３７ａと端子３７ｂとの一方または双方は、面４１ｂにおいて第１支持部材４１の端子と電気的に接続されてもよい。また、信号発生部３１の端子３７ａと端子３７ｂとの一方または双方は、ハンダ以外の手法（例、接触）で第１支持部材４１の端子と電気的に接続されてもよい。
【００９７】
次に、実施形態に係る変形例について説明する。図６は、実施形態に係る磁石を示す図である。図６に示す磁石２１は、回転方向において局所的に着磁されている。磁石２１は、複数の着磁部５１を含む。複数の着磁部５１は、回転軸ＡＸの回転方向において離散的に一定の間隔で設けられる。回転軸ＡＸの回転方向において隣り合う着磁部５１の間の中間部５２は、着磁部５１よりも磁性が弱いニュートラル部である。このような中間部５２を有する磁石２１は、磁性体３５の両端部で磁界の向きが異なる角度位置において、磁性体３５の両端部に働く磁界の強さを低減することができる。そのため、図３で説明したように、例えば磁性体３５において大バルクハウゼン効果が安定的に発生し、信号発生部３１において検出信号が安定して発生する。
【００９８】
図６（Ａ）の磁石２１は、例えば、ラジアル異方性着磁の磁石を含む。この磁石２１は、着磁部５１においてＮ極２１ａとＳ極２１ｂとが、回転軸ＡＸの回転方向に並んでいる。また、この磁石２１は、着磁部５１においてＮ極２１ａとＳ極２１ｂとがラジアル方向に並んでいる。図６（Ｂ）の磁石２１は、例えば、極異方性着磁の磁石を含む。なお、実施形態に係る磁石２１は、アキシャル方向の磁界の強さが回転方向の磁界の強さよりも弱くてもよい。例えば、位置検出部１が磁気式エンコーダを含む場合、磁気検出部２２は、信号発生部３１と同様に磁石２１に対してラジアル方向に配置されてもよい。
【００９９】
図７は、実施形態に係る磁石の変形例を示す図である。図７（Ａ）に示す磁石２１は、着磁部５１と中間部５２とが別の部材である。中間部５２は、例えば、非磁性体、あるいは着磁部５１よりも透磁率が低い部材である。磁石２１は、例えば、着磁部５１と中間部５２とを固定（例、一体化）することで形成される。磁石２１は、着磁前の着磁部５１である母材と中間部５２とを固定した後、上記の母材を着磁することで形成されてもよい。
【０１００】
図７（Ｂ）に示す磁石２１は、ベース部材５３および着磁部５１を備える。ベース部材５３は、例えば円板状の部材（例、基板）であり、回転軸ＡＸの回転に基づき回転方向に回転する。着磁部５１は、ベース部材５３に固定されている。着磁部５１は、回転方向において離散的に特定の間隔で配置されている。回転方向において隣り合う着磁部５１の中間部５２は、例えば空隙（雰囲気ガス）である。また、図７（Ｃ）に示す磁石２１の着磁部５１は、棒磁石であり、回転方向において離散的に特定の間隔で配置されている。磁石２１は、例えば、一対の棒磁石が回転方向に等間隔で４組配置されている。
【０１０１】
図８は、実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。図８（Ａ）において、インクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳは、スケールＳの面Ｓａ（パターン面、一方の面）に配置されている。面Ｓａは、例えば、第１支持部材４１と対向する面である。検出部１２は、第１支持部材４１に支持され、インクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳと対向するように配置される。
【０１０２】
磁石２１は、スケールＳにおいて面Ｓａと反対側の面Ｓｂ（他方の面）に配置されている。磁石２１の少なくとも一部は、例えば、インクリメンタルパターンＩＮＣまたはアブソリュートパターンＡＢＳと、アキシャル方向視において重なる位置に配置される。なお、磁石２１は、インクリメンタルパターンＩＮＣまたはアブソリュートパターンＡＢＳと、アキシャル方向視において重ならない位置に配置されてもよい。
【０１０３】
本実施形態の磁気検出部２２は、第１支持部材４１と別の第３支持部材５５に支持される。第３支持部材５５は、例えば、一端において第２支持部材４２に固定される。第３支持部材５５は、例えば、他端においてベアリング５５ａによってスケールＳを回転可能に支持する。なお、第３支持部材５５は、駆動装置ＭＴＲの固定部材ＢＤ１に固定されてもよい。また、第３支持部材５５は、スケールＳを支持しなくてもよい。
【０１０４】
なお、インクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳは、スケールＳの面Ｓｂに配置されてもよい。この場合、検出部１２は、第３支持部材５５に支持されてもよい。また、磁石２１は、スケールＳの面Ｓａに配置されてもよい。この場合、磁気検出部２２は、第１支持部材４１に支持されてもよい。これらの場合、磁石２１、インクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳは、スケールＳの同じ面（例、面Ｓａ、面Ｓｂ）側に配置され、磁気検出部２２及び検出部１２は、スケールＳに対向して第１支持部材４１又は第３支持部材５５において互いに同じ側（例、面４１ｂの側など）に配置される。
【０１０５】
図８（Ｂ）において、エンコーダ装置ＥＣは、回転部材５６を備える。回転部材５６は、スケールＳと固定され、スケールＳとともに回転する。回転部材５６は、スケールＳに対して第１支持部材４１と同じ側に配置される。回転部材５６は、例えば、ラジアル方向においてスケールＳよりも小さい。磁石２１は、回転部材５６に設けられる。この場合、磁石２１は、ラジアル方向において、インクリメンタルパターンＩＮＣおよびアブソリュートパターンＡＢＳよりも内側に配置される。検出部１２は、ラジアル方向において磁石２１よりも外側において、第３支持部材５５に支持される。なお、検出部１２は、第１支持部材４１に支持されてもよい。磁気検出部２２は、第１支持部材４１に支持され、磁石２１と対向するように配置される。
【０１０６】
信号発生部３１は、第２支持部材４２と別の部材に支持されてもよい。図８（Ｂ）において、信号発生部３１は、第１支持部材４１に支持される。例えば、信号発生部３１は、磁性体３５およびコイル部３６を支持するケース５７を備える。ケース５７は、磁性体３５およびコイル部３６を収容し、第１支持部材４１に固定されている。また、図８（Ｃ）に示すように、信号発生部３１は、その少なくとも一部が第１支持部材４１の内部空間に埋め込まれてもよい。例えば、ケース５７は、内部空間として第１支持部材４１に形成された孔部５８（例、有底の窪み、貫通孔）に配置されて、第１支持部材４１に固定されてもよい。
【０１０７】
なお、信号発生部３１は、第１支持部材４１と別の部材（例、第３支持部材５５）に支持されてもよい。また、信号発生部３１は、第２支持部材４２に支持されてもよい。例えば、第２支持部材４２は、第３支持部材５５のようにラジアル方向の内側に突出した突出部を有し、信号発生部３１は、第２支持部材４２の突出部に支持されてもよい。この場合、信号発生部３１は、第２支持部材４２に収容されてなくてもよい。
【０１０８】
図９は、実施形態に係る信号発生部を示す図である。図９（Ａ）において、信号発生部３１は、磁性体３５が磁石２１の形状（例、側面２１ｃの形状）に基づいて湾曲している。磁性体３５は、磁石２１（又は回転体ＳＦ）の回転方向に沿うように湾曲している。磁性体３５は、回転体ＳＦの回転方向に沿うように湾曲していてもよい。磁性体３５の曲率は、磁石２１の曲率よりも小さくてもよい（曲率半径が大きくてもよい）。また、磁性体３５は、磁石２１に対して凸となるように湾曲してもよい。磁性体３５の曲率中心は、磁性体３５に対して磁石２１と反対側に配置されてもよい。また、図９（Ｂ）に示すように、エンコーダ装置ＥＣは、複数の信号発生部３１を備えてもよい。信号発生部３１の数は、図１のように１つでもよいし、図９（Ｂ）のように２つでもよく、３以上でもよい。上述したように、本実施形態における信号発生部３１は、磁石２１の回転軸方向（この場合、回転軸ＡＸの軸方向）に交差する第１方向（例、直交するラジアル方向など）において磁石２１の少なくとも一部と対向して配置され、該第１方向に着磁された磁石２１が形成する磁場（磁界）を検出する。
【０１０９】
［駆動装置］
次に、実施形態に係る駆動装置について説明する。図１０は、実施形態に係る駆動装置を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。この駆動装置ＭＴＲは、電動モータを含むモータ装置である。駆動装置ＭＴＲは、回転体ＳＦと、回転体ＳＦを回転駆動する本体部ＢＤ（駆動部）と、回転体ＳＦの回転位置情報を検出するエンコーダ装置ＥＣとを有している。
【０１１０】
回転体ＳＦは、負荷側端部ＳＦａと、反負荷側端部ＳＦｂとを有している。負荷側端部ＳＦａは、減速機など他の動力伝達機構に接続される。反負荷側端部ＳＦｂには、上述のスケールＳが固定される。エンコーダ装置ＥＣは、上述の実施形態に係るエンコーダ装置である。また、負荷側端部ＳＦａに接続された動力伝達機構は、回転体（例、図１２）を介してロボット装置などのアームに接続される。
【０１１１】
駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣの検出結果を使って、図１などに示した制御部ＭＣが本体部ＢＤを制御する。駆動装置ＭＴＲは、例えばエンコーダ装置ＥＣの信号発生部３１において検出信号が安定して発生することによって、安定した動作が可能である。また、駆動装置ＭＴＲは、例えば、エンコーダ装置ＥＣのバッテリー交換の必要性が無いもしくは低いことによって、メンテナンスコストを減らすことができる。なお、駆動装置ＭＴＲは、モータ装置に限定されず、油圧や空圧を利用して回転する軸部を有する他の駆動装置であってもよい。なお、駆動装置ＭＴＲが上記動力伝達機構及び本実施形態におけるエンコーダ装置ＥＣを備える場合、エンコーダ装置ＥＣは複数（この場合、２つ）の位置検出部１と複数（この場合、２つ）の電力供給部２とを備えるダブルエンコーダ式の装置としてもよい。この場合、例えば、２つの位置検出部１のうち一方は回転体ＳＦの回転位置情報を検出し、２つの位置検出部１のうち他方は動力伝達機構の回転体の回転位置情報を検出する。
【０１１２】
［ステージ装置］
次に、実施形態に係るステージ装置について説明する。図１１は、実施形態に係るステージ装置を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。
【０１１３】
このステージ装置ＳＴＧは、図１０に示した駆動装置ＭＴＲの回転体ＳＦのうち負荷側端部ＳＦａに、ステージ（回転テーブルＴＢ、移動体、回転体）を取り付けた構成である。ステージ装置ＳＴＧは、例えば、１次元のリニアモータによって、ステージを１方向に直線的に移動させる構成でもよい。また、ステージ装置ＳＴＧは、複数の１次元のリニアモータあるいは２次元のリニアモータ（例、平面モータ）によって、ステージを２方向に移動させる構成でもよい。
【０１１４】
ステージ装置ＳＴＧは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転体ＳＦを回転させる。この回転は、回転テーブルＴＢに伝達され、その際にエンコーダ装置ＥＣは、回転体ＳＦの角度位置等を検出する。エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、回転テーブルＴＢの角度位置を検出することができる。なお、駆動装置ＭＴＲの負荷側端部ＳＦａと回転テーブルＴＢとの間に減速機等が配置されてもよい。
【０１１５】
ステージ装置ＳＴＧは、例えばエンコーダ装置ＥＣの信号発生部３１において検出信号が安定して発生することによって、安定した動作が可能である。また、ステージ装置ＳＴＧは、例えばエンコーダ装置ＥＣのバッテリー交換の必要性が低い又は無いことによって、メンテナンスコストを減らすことができる。なお、ステージ装置ＳＴＧは、例えば、旋盤等の工作機械に備える回転テーブル等に適用できる。
【０１１６】
［ロボット装置］
次に、実施形態に係るロボット装置について説明する。図１２は、実施形態に係るロボット装置を示す図である。なお、図１２には、ロボット装置ＲＢＴの一部（関節部分）を模式的に示した。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略装置または簡略化する。このロボット装置ＲＢＴは、第１アームＡＲ１と、第２アームＡＲ２と、関節部ＪＴとを有している。第１アームＡＲ１は、関節部ＪＴを介して、第２アームＡＲ２と接続されている。
【０１１７】
第１アームＡＲ１は、腕部１０１、軸受１０１ａ、及び軸受１０１ｂを備えている。第２アームＡＲ２は、腕部１０２および接続部１０２ａを有する。接続部１０２ａは、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの間に配置されている。接続部１０２ａは、回転体ＳＦ２と一体的に設けられている。回転体ＳＦ２は、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの両方に挿入されている。回転体ＳＦ２のうち軸受１０１ｂに挿入される側の端部は、軸受１０１ｂを貫通して減速機ＲＧに接続されている。
【０１１８】
減速機ＲＧは、駆動装置ＭＴＲに接続されており、駆動装置ＭＴＲの回転を例えば１００分の１等に減速して回転体ＳＦ２に伝達する。駆動装置ＭＴＲの回転体ＳＦのうち負荷側端部ＳＦａは、減速機ＲＧに接続される。また、駆動装置ＭＴＲの回転体ＳＦのうち反負荷側端部ＳＦｂには、エンコーダ装置ＥＣのスケールＳが取り付けられている。
【０１１９】
ロボット装置ＲＢＴは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転体ＳＦを回転させると、この回転が減速機ＲＧを介して回転体ＳＦ２に伝達される。回転体ＳＦ２の回転により接続部１０２ａが一体的に回転し、これにより第２アームＡＲ２が、第１アームＡＲ１に対して回転する。その際、エンコーダ装置ＥＣは、回転体ＳＦの角度位置等を検出する。従って、エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、第２アームＡＲ２の角度位置を検出することができる。
【０１２０】
ロボット装置ＲＢＴは、例えばエンコーダ装置ＥＣの信号発生部３１において検出信号が安定して発生することによって、安定した動作が可能である。ロボット装置ＲＢＴは、例えばエンコーダ装置ＥＣのバッテリー交換の必要性が無いもしくは低いことによって、メンテナンスコストを減らすことができる。なお、ロボット装置ＲＢＴは、上記の構成に限定されず、駆動装置ＭＴＲは、関節を備える各種ロボット装置に適用できる。
【０１２１】
なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
【符号の説明】
【０１２２】
１・・・位置検出部（検出部）、２・・・電力供給部、Ｓ・・・スケール、１３・・・処理部、２１・・・磁石。２１ｃ・・・側面、２２・・・磁気検出部（検出部）、２３・・・処理部、２４・・・記憶部、３１・・・信号発生部、３５・・・磁性体、３５ａ・・・端部、３５ｂ・・・中央部、３６・・・コイル部、４１・・・第１支持部材、４２・・・第２支持部材、ＡＸ・・・回転軸、ＥＣ・・・エンコーダ装置、ＳＦ・・・回転体、ＴＢ・・・回転テーブル（ステージ）、１０１・・・腕部、ＢＤ１・・・固定部材、ＭＴＲ・・・駆動装置、ＲＢＴ・・・ロボット装置、ＳＴＧ・・・ステージ装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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