(57)【要約】【課題】二つ以上の振動子を有する場合であっても、筐体の大型化を抑制しつつ、振動子の移動によって発生する振動を低減することが可能な電磁振動型ダイヤフラムポンプ及び電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法を提供する。【解決手段】Ｘ軸方向に延びると共に磁石６が固定され、両端にダイヤフラム８，８が設けられた振動子７と、磁石に対して吸引及び反発させることによって振動子をＸ軸方向に往復運動させる電磁石３と、電磁石への通電を制御して、Ｙ軸方向に配列される複数の振動子の一つの振動子と、他の振動子とを互いに反対の方向に移動させる電源回路６０と、少なくとも振動子及び電磁石を収容するフレーム２と、フレームをカバーに支持するための上支持部７０及び下支持部８０と、を備え、上支持部及び下支持部は、Ｚ軸方向に延在し、複数の振動子の往復運動により発生する回転モーメントの回転軸Ａ上に設けられる。【選択図】図１
2018193941.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カバーに支持された状態で前記カバーに収容可能な電磁振動型ダイヤフラムポンプであって、
第一方向に延びると共に磁石が固定され、前記第一方向における少なくとも一方の端部にダイヤフラムが設けられた振動子と、
前記磁石に対して吸引及び反発させることによって前記振動子を前記第一方向に往復運動させる電磁石と、
前記電磁石への通電を制御して、前記第一方向に交差する第二方向に配列される複数の振動子の少なくとも一つの前記振動子と他の前記振動子とを互いに反対の方向に移動させる制御部と、
少なくとも前記振動子及び前記電磁石を収容するフレームと、
前記フレームを前記カバーに支持するための支持部と、を備え、
前記支持部は、前記第一方向及び前記第二方向に交差する第三方向に延在し、複数の前記振動子の往復運動により発生する回転モーメントの回転軸上に設けられている、電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
前記振動子は二つ配置されており、
前記支持部は、それぞれの振動子の重心位置同士の間に配置されている、請求項１記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項３】
カバーに支持された状態で前記カバーに収容可能な電磁振動型ダイヤフラムポンプであって、
第一方向に延びると共に磁石が固定され、前記第一方向における少なくとも一方の端部にダイヤフラムが設けられた二つの振動子と、
前記磁石に対して吸引及び反発させることによって前記振動子のそれぞれを前記第一方向に往復運動させる電磁石と、
前記電磁石への通電を制御して、前記第一方向に交差する第二方向に配列される二つの振動子を互いに反対の方向に移動させる制御部と、
少なくとも二つの前記振動子及び前記電磁石を収容するフレームと、
前記フレームを前記カバーに支持するための支持部と、を備え、
前記支持部は、それぞれの振動子の重心位置同士の間に配置されている、電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項４】
前記フレームに形成されており、前記ダイヤフラムを含んで形成される圧縮室に連通する吸入口及び吐出口の少なくとも一方と、前記カバーに形成された流路とを接続する接続流路を更に備え、
前記接続流路は、前記回転軸を中心とする半径２０ｍｍ以内の範囲又は前記重心位置同士を結ぶ直線を中心に４０ｍｍ以内の幅の領域に配置されている、請求項１〜３の何れか一項記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項５】
前記接続流路は、複数設けられており、
複数の前記接続流路は、前記回転軸を中心に点対称に配置されている、請求項４記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項６】
前記支持部は、前記接続流路と一体的に形成されている、請求項４又は５記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項７】
前記接続流路は、円形の第一流路と前記第一流路を囲むように配置された環状の第二流路とからなる二重管である、請求項６記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項８】
前記接続流路として、前記吐出口と前記カバーに形成された流路とを接続する流路のみが形成されている、請求項４〜６の何れか一項記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項９】
前記フレームを支持すると共に前記フレームを収容する前記カバーを更に備えている、請求項１〜８の何れか一項記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項１０】
前記フレームを支持すると共に前記フレームを収容する前記カバーを更に備え、
前記カバーは、有底箱状の上カバーと、前記上カバーの開口部を覆う板状の下カバーと、を有し、
前記フレームと前記上カバーとの間には、前記支持部が介在し、
前記フレームと前記下カバーとの間には、前記支持部と前記接続流路とが介在している、請求項４〜８の何れか一項記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項１１】
前記フレームを支持すると共に前記フレームを収容する前記カバーを更に備え、
前記カバーは、有底箱状の上カバーと、前記上カバーの開口部を覆う板状の下カバーと、を有し、
前記フレームと前記上カバーとの間及び前記フレームと前記下カバーとの間には、前記支持部と前記接続流路とが介在している、請求項４〜８の何れか一項記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項１２】
前記支持部は、前記カバーに形成される被係止部に係止される係止部を有している、請求項１〜１１の何れか一項記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項１３】
前記電磁石の磁路が、略Ｃ型鉄心とＩ型鉄心からなり、
前記略Ｃ型鉄心の開口した両対向面間に前記Ｉ型鉄心が配設され、
前記Ｃ型鉄心の両端部および前記Ｉ型鉄心にコイルが巻回されて、第一及び第二電磁石と中央電磁石が形成され、
前記Ｉ型鉄心と前記略Ｃ型鉄心とが機械的に接合されておらず、前記振動子がＩ型鉄心と前記略Ｃ型鉄心との間を移動可能に設けられている、請求項１〜１２の何れか一項記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。
【請求項１４】
第一方向に延びると共に磁石が固定され、前記第一方向における少なくとも一方の端部にダイヤフラムが設けられた振動子と、
前記磁石に対して吸引及び反発させることによって前記振動子を前記第一方向に往復運動させる電磁石と、
前記電磁石への通電を制御して、前記第一方向に交差する第二方向に配列される複数の振動子の少なくとも一つを、他の前記振動子と互いに反対の方向に移動させる制御部と、
少なくとも前記振動子及び前記電磁石を収容するフレームと、を備える電磁振動型ダイヤフラムポンプを被支持部に固定する、電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法であって、
前記第一方向及び前記第二方向に交差する第三方向に延在し、複数の前記振動子の往復運動により発生する回転モーメントの回転軸上に支持部を配置し、当該支持部を介して前記被支持部に前記フレームを固定する、電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法。
【請求項１５】
第一方向に延びると共に磁石が固定され、前記第一方向における少なくとも一方の端部にダイヤフラムが設けられた振動子と、
前記磁石に対して吸引及び反発させることによって前記振動子を前記第一方向に往復運動させる電磁石と、
前記電磁石への通電を制御して、前記第一方向に交差する第二方向に配列される複数の振動子の少なくとも一つを、他の前記振動子と互いに反対の方向に移動させる制御部と、
少なくとも前記振動子及び前記電磁石を収容するフレームと、を備える電磁振動型ダイヤフラムポンプを被支持部に固定する、電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法であって、
それぞれの振動子の重心位置同士の間に支持部を配置し、当該支持部を介して前記被支持部に前記フレームを固定する、電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁振動型ダイヤフラムポンプ及び電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁石を有する振動子を電磁石の交流駆動により往復運動させて、振動子の両端に固定されたダイヤフラムを振動させることにより、気体又は液体等の流体を吸入して吐出する、例えば、電磁振動型ダイヤフラムポンプが知られている。例えば、特許文献１〜３に示されるポンプでは、ポンプの出力を高めるために複数の振動子が配置されている。このようなポンプでは、振動子の往復運動によって発生する振動を抑制したいという要望がある。
【０００３】
このような要望に対し、特許文献１のポンプでは、二つの振動子を一直線上に配置すると共に、二つの振動子が互いに逆の方向に移動するように制御している。これにより、それぞれの振動子によって発生する振動が相殺され、低減される。ただし、特許文献１のように二つの振動子を一直線上に配置すると筐体のサイズが大きくなるという問題が発生する。そこで、特許文献２及び３のポンプでは、二つ以上の振動子の移動方向を同一にして並列配置すると共に、一つ以上の振動子が他の振動子と互いに逆の方向に移動するように駆動制御している。これにより、筐体サイズの大型化を抑制しつつ、振動子の往復運動によって発生する振動が低減される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６１−２０７８８３号公報
【特許文献２】特開２０００−０５４９６４号公報
【特許文献３】特開２００６−３０７８１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、二つ以上の振動子の移動方向を同一にして並列配置する構成のポンプは、二つ以上の振動子を一直線上に配置する構成のポンプに比べ、振動子の上記駆動制御による振動の低減効果が劣る。したがって、更なる改良の余地がある。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、二つ以上の振動子を有する場合であっても、筐体の大型化を抑制しつつ、振動子の往復運動によって発生する振動を低減することが可能な電磁振動型ダイヤフラムポンプ及び電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプは、カバーに支持された状態でカバーに収容可能な電磁振動型ダイヤフラムポンプであって、第一方向に延びると共に磁石が固定され、第一方向における少なくとも一方の端部にダイヤフラムが設けられた振動子と、磁石に対して吸引及び反発させることによって振動子を第一方向に往復運動させる電磁石と、電磁石への通電を制御して、第一方向に交差する第二方向に配列される複数の振動子の少なくとも一つの振動子と他の振動子とを互いに反対の方向に移動させる制御部と、少なくとも振動子及び電磁石を収容するフレームと、フレームをカバーに支持するための支持部と、を備え、支持部は、第一方向及び第二方向に交差する第三方向に延在し、複数の振動子の往復運動により発生する回転モーメントの回転軸上に設けられている。
【０００８】
この構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、複数の振動子が、振動子が延びる第一方向に交差する第二方向に配列するので筐体の大型化を抑制できる。更に、この構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、複数の振動子の少なくとも一つの振動子と他の振動子とを互いに反対の方向に移動するように駆動させるので、振動子の往復移動によって発生する第一方向への振動は、その一部が互いに相殺され、低減できる。一方、並列配置された複数の振動子の少なくとも一つの振動子と他の振動子と互いに反対の方向に移動させる本構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、第一方向及び第二方向に交差する第三方向を軸とする回転モーメントが生じ、フレームを支持する支持部には、回転モーメントに起因する振動が発生する。このため、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、上記支持部が上記回転軸上に設けられている。これにより、回転モーメントに起因する支持部の回転方向への振動を低減できる。この結果、二つ以上の振動子を有する場合であっても、筐体の大型化を抑制しつつ、振動子の往復運動によって発生する振動を低減できる。
【０００９】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプは、振動子は二つ配置されており、支持部は、それぞれの振動子の重心位置同士の間に配置されていてもよい。この構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、回転モーメントの回転軸上となる位置に支持部を容易に配置することができる。
【００１０】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプは、カバーに支持された状態でカバーに収容可能な電磁振動型ダイヤフラムポンプであって、第一方向に延びると共に磁石が固定され、第一方向における少なくとも一方の端部にダイヤフラムが設けられた二つの振動子と、磁石に対して吸引及び反発させることによって振動子のそれぞれを第一方向に往復運動させる電磁石と、電磁石への通電を制御して、第一方向に交差する第二方向に配列される二つの振動子を互いに反対の方向に移動させる制御部と、少なくとも二つの振動子及び電磁石を収容するフレームと、フレームをカバーに支持するための支持部と、を備え、支持部は、それぞれの振動子の重心位置同士の間に配置されている。
【００１１】
この構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、複数の振動子が、振動子が延びる第一方向に交差する第二方向に配列するので筐体の大型化を抑制できる。更に、この構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、複数の振動子の少なくとも一つの振動子と他の振動子とを互いに反対の方向に移動するように駆動させるので、振動子の往復移動によって発生する第一方向への振動は、その一部が互いに相殺され、低減できる。一方、並列配置された複数の振動子の少なくとも一つの振動子と他の振動子とを互いに反対の方向に移動させる本構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、第一方向及び第二方向に交差する第三方向を軸とする回転モーメントが生じ、フレームを支持する支持部には、回転モーメントに起因する振動が発生する。このため、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、上記支持部がそれぞれの振動子の重心位置同士の間に設けられている。これにより、回転モーメントに起因する支持部の回転方向への振動を低減できる。この結果、二つ以上の振動子を有する場合であっても、筐体の大型化を抑制しつつ、振動子の往復運動によって発生する振動を低減できる。
【００１２】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプは、フレームに形成されており、ダイヤフラムを含んで形成される圧縮室に連通する吸入口及び吐出口の少なくとも一方と、カバーに形成された流路とを接続する接続流路を更に備え、接続流路は、回転軸を中心とする半径２０ｍｍ以内の範囲又は重心位置同士を結ぶ直線を中心に４０ｍｍ以内の幅の領域に配置されていてもよい。この構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、回転モーメントに起因する振動が、接続流路に伝達することを抑制できる。
【００１３】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、接続流路は、複数設けられており、複数の接続流路は、回転軸を中心に点対称に配置されていてもよい。この構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、回転軸から離れた位置に接続流路を配置する場合であっても、接続流路を伝わる振動同士が相殺されるので、振動子の往復運動によって発生する振動を低減できる。
【００１４】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、支持部は、接続流路と一体的に形成されてもよい。この構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、部品点数を削減することができ、組立作業性が容易となる。
【００１５】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、接続流路は、円形の第一流路と第一流路を囲むように配置された環状の第二流路とからなる二重管であってもよい。この構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、支持部が接続流路を兼ねることができると共に、接続流路を上記回転軸に近づけて配置することができる。
【００１６】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、接続流路として、吐出口とカバーに形成された流路とを接続する流路のみが形成されていてもよい。この電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、回転モーメントに起因する振動が伝達される部品点数を削減できるので、接続流路全体をより上記振動の影響を受けにくい領域（すなわち、上記回転軸に近い領域）に配置することができる。また、接続流路として、吐出口とカバーに形成された流路とを接続する流路のみが形成される構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプであっても、接続流路に振動が伝達することを低減することができる。
【００１７】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、フレームを支持すると共にフレームを収容するカバーを更に備えていてもよい。この場合、支持部を介してカバーに伝達される振動を抑制することができる。
【００１８】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、フレームを支持すると共にフレームを収容する前記カバーを更に備え、カバーは、有底箱状の上カバーと、上カバーの開口部を覆う板状の下カバーと、を有し、フレームと上カバーとの間には、支持部が介在し、フレームと下カバーとの間には、支持部と接続流路とが介在していてもよい。この場合、フレームを上カバー及び下カバーに対して強固に固定できると共に、支持部を介して上カバーに伝達される振動を抑制できる。また、支持部及び接続流路を介して下カバーに伝達される振動を抑制できる。
【００１９】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、フレームを支持すると共にフレームを収容するカバーを更に備え、カバーは、有底箱状の上カバーと、上カバーの開口部を覆う板状の下カバーと、を有し、フレームと上カバーとの間及びフレームと下カバーとの間には、支持部と接続流路とが介在していてもよい。この場合、フレームを上カバー及び下カバーに対して強固に固定できる。また、支持部及び接続流路を介して上カバー及び下カバーに伝達される振動を抑制できる。
【００２０】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、支持部は、カバーに形成されている被係止部に係止される係止部を有していてもよい。この構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、回転モーメントに起因する回転振動によってカバーに対するフレームの相対的な位置ずれ抑制することができる。この結果、フレームとカバーとが接触することを回避できる。
【００２１】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、電磁石の磁路が、略Ｃ型鉄心とＩ型鉄心からなり、略Ｃ型鉄心の開口した両対向面間に前記Ｉ型鉄心が配設され、Ｃ型鉄心の両端部およびＩ型鉄心にコイルが巻回されて、第一及び第二電磁石と中央電磁石とが形成され、Ｉ型鉄心と略Ｃ型鉄心とが機械的に接合されておらず、振動子がＩ型鉄心と略Ｃ型鉄心との間を移動可能に設けられてもよい。この構成の電磁振動型ダイヤフラムポンプでは、組立作業性が向上する。
【００２２】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法は、第一方向に延びると共に磁石が固定され、第一方向における少なくとも一方の端部にダイヤフラムが設けられた振動子と、磁石に対して吸引及び反発させることによって振動子を第一方向に往復運動させる電磁石と、電磁石への通電を制御して、第一方向に交差する第二方向に配列される複数の振動子の少なくとも一つの振動子と他の振動子とを互いに反対の方向に移動させる制御部と、少なくとも振動子及び電磁石を収容するフレームと、を備える電磁振動型ダイヤフラムポンプを被支持部に固定する、電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法であって、第一方向及び第二方向に交差する第三方向に延在し、複数の振動子の往復運動により発生する回転モーメントの回転軸上に支持部を配置し、当該支持部を介して被支持部にフレームを固定する。
【００２３】
この電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法は、上記支持部が上記回転軸上に設けられている。これにより、回転モーメントに起因する支持部の回転方向への振動を低減できる。この結果、二つ以上の振動子を有する電磁振動型ダイヤフラムポンプであっても、振動子の往復運動によって発生する振動を低減できる。
【００２４】
本発明の電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法は、第一方向に延びると共に磁石が固定され、第一方向における少なくとも一方の端部にダイヤフラムが設けられた振動子と、磁石に対して吸引及び反発させることによって振動子を第一方向に往復運動させる電磁石と、電磁石への通電を制御して、第一方向に交差する第二方向に配列される複数の振動子の少なくとも一つと他の振動子とを互いに反対の方向に移動させる制御部と、少なくとも振動子及び電磁石を収容するフレームと、を備える電磁振動型ダイヤフラムポンプを被支持部に固定する、電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法であって、それぞれの振動子の重心位置同士の間に支持部を配置し、当該支持部を介して被支持部にフレームを固定する。
【００２５】
この電磁振動型ダイヤフラムポンプの固定方法は、上記支持部がそれぞれの振動子の重心位置同士の間に設けられている。これにより、回転モーメントに起因する支持部の回転方向への振動を低減できる。この結果、二つ以上の振動子を有する電磁振動型ダイヤフラムポンプであっても、振動子の往復運動によって発生する振動を低減できる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、二つ以上の振動子を有する場合であっても、筐体の大型化を抑制しつつ、振動子の往復運動によって発生する振動を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】一実施形態の電磁振動型ダイヤフラムポンプを示す分解斜視図である。
【図２】電磁振動型ダイヤフラムポンプの構成を示す平面図である。
【図３】図２の電磁振動型ダイヤフラムポンプに含まれる電磁石の構成を示す断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）のそれぞれは、電磁石の変形例を示す図である。
【図５】フレームから取り出された状態の電磁振動型ダイヤフラムポンプを示す斜視図である。
【図６】図２の電磁振動型ダイヤフラムポンプの動作原理を示す説明図である。
【図７】蓋状ケース部の仕切部を示す平面図である。
【図８】蓋状ケース部のベース部を示す平面図である。
【図９】図２の電磁振動型ダイヤフラムポンプの空気の流れを示す説明図である。
【図１０】（ａ）は、本実施形態に係る電磁振動型ダイヤフラムポンプにおける支持部を示す斜視図であり、（ｂ）は、変形例に係る電磁振動型ダイヤフラムポンプにおける支持部を示す斜視図である。
【図１１】（ａ）〜（ｃ）のそれぞれは、変型例に係る支持部を示す斜視図である。
【図１２】変形例に係る電磁石の構成を示した平面図である。
【図１３】更なる変形例に係る上支持部の構成を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、図面を参照して一実施形態に係る電磁振動型ダイヤフラムポンプ１（以後、単に「ダイヤフラムポンプ１」と称する。）について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図１、図２、図３、図５、図６、図７及び図８には、説明の便宜のため、互いに直交するＸ軸（第一方向）、Ｙ軸（第二方向）及びＺ軸（第三方向）が設定されている。電磁振動型ダイヤフラムポンプ１は、主として自動車及び船舶等の移動室内用若しくは一般室内用エアマットへのエア吸排、養魚用水槽、及び家庭浄化槽等における酸素補給、又は公害監視における検査ガスのサンプリング等に利用され得る。
【００２９】
本実施形態のダイヤフラムポンプ１は、図１に示されるように、カバー（被支持部）９０に支持された状態でカバー９０に収容された状態で用いられるポンプである。図２に示されるように、ダイヤフラムポンプ１は、フレーム２と、永久磁石（磁石）６Ａ，６Ｂを保持した２つの振動子７，７と、電磁石３と、振動子７，７のそれぞれの両端に連結されたダイヤフラム８，８を介して設けられたポンプケーシング部ＰＣＲ１，ＰＣＬ１，ＰＣＲ２，ＰＣＬ２と、電源回路（制御部）６０（図６参照）と、上支持部（支持部）７０（図１参照）と、下支持部（支持部）８０（図１参照）と、吸入用接続流路（接続流路）８３と、吐出用接続流路（接続流路）８５と、を備えている。
【００３０】
図１に戻り、フレーム２は、有底箱状の箱状ケース部２１と、箱状ケース部２１の開口部を覆う蓋状ケース部２３と、を有している。箱状ケース部２１及び蓋状ケース部２３は、電磁波防止の観点で優れる磁性体材料から形成してもよい。フレーム２は、少なくとも、電磁石３と、振動子７と、ポンプケーシング部ＰＣＲ１，ＰＣＬ１，ＰＣＲ２，ＰＣＬ２と、電源回路６０と、を収容する。蓋状ケース部２３については、後段にて詳述する。
【００３１】
図２に示される電磁石３は、振動子７に設けられる永久磁石６Ａ，６Ｂに対して吸引及び反発させることによって振動子７をＸ軸方向に往復運動させる。図３に示されるように、電磁石３は、二つの振動子７，７のそれぞれに対向して配置されている。電磁石３は、例えば、交流電流により駆動され、電源回路６０により通電が制御される。電磁石３は、鉄心（コア）の周りに電線が巻回されることにより励磁コイルが形成されている。励磁コイルは、コイルに流れる交流電流の位相によりコアに現れる極性が変化する。
【００３２】
本実施形態の電磁石３は、第一電磁石３Ａ、第二電磁石３Ｂ及び中央電磁石３Ｃから形成されている。第一電磁石３Ａ及び第二電磁石３Ｂの磁路は、略Ｃ型鉄心９を含んで構成され、中央電磁石３Ｃの磁路は、Ｉ型鉄心１０を含んで構成される。第一電磁石３Ａ及び第二電磁石３Ｂと、中央電磁石３Ｃとは、略Ｃ型鉄心９の両端部及びＩ型鉄心１０にコイル１２が巻回されることによって形成される。略Ｃ型鉄心９の開口した対向面９ａ，９ｂの間には、Ｉ型鉄心１０が配設されている。Ｉ型鉄心１０と略Ｃ型鉄心９とは機械的に接合されておらず、振動子７，７は、Ｉ型鉄心１０と略Ｃ型鉄心９との間をＸ軸方向に移動可能に設けられている。
【００３３】
なお、ダイヤフラムポンプ１は、図４（ａ）に示されるように、中央電磁石３ＣのＩ型鉄心１０にコイルが巻回されていないもの、図４（ｂ）に示されるように、電磁石の略Ｃ型鉄心９の両端にコイルが巻回されていないものも含まれる。また、略Ｃ型鉄心９は、一体的に形成されてもよいし、二つ以上の部材を組み合わせて形成してもよい。例えば、図４（ｄ）に示されるように、略コ字状（Ｕ字状）の一方の一端を長くした形状の二つの略Ｃ型鉄心９ｘ，９ｙ同士を接触させたり、図４（ｄ）に示されるように、略コ字状（Ｕ字状）の一方の一端を長くした形状の二つの略Ｃ型鉄心９ｘ，９ｙ同士を突き合わせたりして形成してもよい。
【００３４】
図２に示されるように、振動子７，７のそれぞれは、Ｘ軸方向に延びる本体部７Ａと本体部７Ａに固定される二つの永久磁石６Ａ，６Ｂと、Ｘ軸方向における両端部にネジ７Ｂ，７Ｂによって固定されるダイヤフラム８，８と、を有している。振動子７，７は、Ｘ軸に直交（交差）するＹ軸方向に配列されている。本実施形態では、Ｙ軸方向に二つの振動子７，７が平行に配列されている。一方の振動子７の両端は、それぞれポンプケーシング部ＰＣＲ１，ＰＣＬ１の内部空間を気密に遮断するダイヤフラム８，８が固定されている。他方の振動子７の両端は、ポンプケーシング部ＰＣＲ２，ＰＣＬ２の内部空間を気密に遮断するダイヤフラム８，８が固定されている。図５に示されるように、中央電磁石３Ｃの巻枠３Ｄには凹凸３Ｅが設けられている。振動子７，７は、上記凹凸３Ｅに、ポンプケーシング部ＰＣＲ１，ＰＣＬ１間及びポンプケーシング部ＰＣＲ２，ＰＣＬ２間が橋渡しの構造で装着固定されている。
【００３５】
図２に示されるように、ポンプケーシング部ＰＣＲ１（ＰＣＬ１，ＰＣＲ２，ＰＣＬ２）のそれぞれは、上記内部空間として、圧縮室Ｃ１（Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４）と、吸入室ＳＲと、吐出室ＤＲと、が形成されている。圧縮室Ｃ１（Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４）と吸入室ＳＲとは、圧縮室Ｃ１から吸入室ＳＲへの空気等の流れることを防止する逆止弁ＮＲを介して連通している。圧縮室Ｃ１（Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４）と吐出室ＤＲとは、吐出室ＤＲから圧縮室Ｃ１への空気等の流れることを防止する逆止弁ＮＲを介して連通している。
【００３６】
図５に示されるように、ポンプケーシング部ＰＣＲ１（ＰＣＬ１，ＰＣＲ２，ＰＣＬ２）の吸入室ＳＲのそれぞれには、吸入ノズルＳ１ａ（Ｓ１ｂ，Ｓ２ａ，Ｓ２ｂ）が設けられ、ポンプケーシング部ＰＣＲ１（ＰＣＬ１，ＰＣＲ２，ＰＣＬ２）の吐出室ＤＲのそれぞれには、吐出ノズルＤ１ａ（Ｄ１ｂ，Ｄ２ａ，Ｄ２ｂ）が設けられている。吸入ノズルＳ１ａ（Ｓ１ｂ，Ｓ２ａ，Ｓ２ｂ）とカバー９０に設けられた吸入流路９７Ａとは連通している。吐出ノズルＤ１ａ（Ｄ１ｂ，Ｄ２ａ，Ｄ２ｂ）とカバー９０に設けられた吐出流路９７Ｂとは連通している。これらの連通構成については、後段にて詳述する。
【００３７】
ダイヤフラム８，８は、例えば、ポリエチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、フッ素ゴム、シリコン（Ｓｉ）、天然ゴム（ＮＲ）、又はニトリルゴム（ＮＢＲ）等の弾力性のある材料により、円形状の板状体に形成されている。
【００３８】
図６に示されるように、電源回路６０は、フレーム２に収容されている。電源回路６０は、電磁石３（コイル１２）への通電を制御して、Ｙ軸方向に配列される二つ（複数）の振動子７，７の一方（少なくとも一つ）の振動子７と他方の振動子７とが互いに反対の方向に移動するように往復運動させる。
【００３９】
次に、電磁石３と、振動子７と、ポンプケーシング部ＰＣＲ１，ＰＣＬ１，ＰＣＲ２，ＰＣＬ２と、電源回路６０と、を収容する箱状ケース部２１の開口部を覆う蓋状ケース部２３について説明する。蓋状ケース部２３は、図１に示されるように、仕切部２５（図７参照）とベース部２７（図８参照）とを有している。
【００４０】
図７に示されるように、仕切部２５は、箱状ケース部２１の開口部を覆うと共に、箱状ケース部２１に接触して配置される。仕切部２５は、板状の板状部２６ａと、板状部２６ａの周縁に沿って立設すると共にベース部２７（図８参照）に接触される第一壁部２６ｂと、第一壁部２６ｂの内側において板状部２６ａから立設すると共にベース部２７に接触される第二壁部２６ｃと、板状部２６ａに形成され、箱状ケース部２１に仕切部２５及びベース部２７を固定するためのボルト用孔部２５ｃと、吐出ノズルＤ１ａ，Ｄ１ｂ，Ｄ２ａ，Ｄ２ｂを挿通させる孔部２５ｅ，２５ｉ，２５ｆ，２５ｊと、吸入ノズルＳ１ａ，Ｓ１ｂ，Ｓ２ａ，Ｓ２ｂを挿通させる孔部２５ｄ，２５ｈ，２５ｇ，２５ｋと、板状部２６ａに形成される孔部２５ｍと、板状部２６ａに形成され、吸入用接続流路８３を連通する孔部２５ａと、を有している。
【００４１】
図８に示されるように、ベース部２７は、板状部２８と、板状部２８に形成され、箱状ケース部２１に仕切部２５及びベース部２７を固定するためのボルト用孔部２７ａと、板状部２８に形成され、吸入用接続流路８３を挿通する孔部２７ｂと、板状部２８に形成され、吐出用接続流路８５に連通する孔部２７ｃと、を有している。なお、図８には、接触して配置される下支持部８０が記載されている。
【００４２】
箱状ケース部２１に仕切部２５及びベース部２７を固定することにより、箱状ケース部２１と仕切部２５とにより囲まれた内部空間Ｓ３（図２及び図９参照）が形成され、板状部２６ａと第二壁部２６ｃと板状部２８とにより囲まれた内部空間Ｓ１（図７及び図９参照）が形成され、板状部２６ａと第一壁部２６ｂと第二壁部２６ｃと板状部２８とにより囲まれた内部空間Ｓ２（図７及び図９参照）が形成されている。
【００４３】
図１に示されるカバー９０は、上記ダイヤフラムポンプ１を上支持部７０及び下支持部８０を介して支持すると共に、ダイヤフラムポンプ１を収容する。カバー９０は、磁性体材料から形成することができる。カバー９０は、有底箱状の上カバー９１と、上カバー９１の開口部を覆う板状の下カバー９５と、を有している。下カバー９５には、ポンプケーシング部ＰＣＲ１（ＰＣＬ１，ＰＣＲ２，ＰＣＬ２）のそれぞれに形成される圧縮室Ｃ１（Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４）に連通する吸入流路９７Ａ及び吐出流路９７Ｂが形成されている。本実施形態では、フレーム２と上カバー９１との間に上支持部７０が介在され、フレーム２と下カバー９５との間に、下支持部８０と吸入用接続流路８３と吐出用接続流路８５とが介在されている。
【００４４】
上支持部７０及び下支持部８０は、カバー９０に対しフレーム２を支持するための部材であって、例えば、ポリエチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、フッ素ゴム、シリコン（Ｓｉ）、天然ゴム（ＮＲ）、又はニトリルゴム（ＮＢＲ）等の弾力性のある材料から形成されている。上支持部７０は、四角柱状に形成されている。下支持部８０は、環状に形成されており、吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５を内挿するように配置されている。
【００４５】
図１０（ａ）に示されるように、上支持部７０は、上カバー９１に形成される被係止部９１ａ（図１参照）に係止される係止部７１を有している。被係止部９１ａは、凹状に形成されており、Ｚ軸方向から見た平面形状が、上支持部７０をＺ軸方向から見た平面形状と略同一となるように形成されている。すなわち、被係止部９１ａは、上支持部７０を嵌合可能に形成されている。図８に示されるように、下支持部８０は、下カバー９５に形成される被係止部９５ａ（図１参照）に係止される係止部８１ａを有している。被係止部９５ａは、凹状に形成されており、Ｚ軸方向から見た平面形状が、下支持部８０をＺ軸方向から見た平面形状と略同一となるように形成されている。すなわち、被係止部９１ａは、下支持部８０を嵌合可能に形成されている。
【００４６】
図１に示されるように、上支持部７０は、二つの振動子７，７の往復運動により生じるＺ軸方向に延在する回転モーメントの回転軸Ａ上に設けられている。また、図８に示されるように、下支持部８０は、二つの振動子７，７の往復運動により生じるＺ軸方向に延在する回転モーメントの回転軸Ａ上に設けられている。なお、本実施形態でいう「上支持部７０及び下支持部８０が回転軸Ａ上に設けられている」とは、Ｚ軸方向から見た上支持部７０及び下支持部８０の外形の内側部分の一部が、回転軸Ａ上に位置することを意味し、上支持部７０及び下支持部８０が中実であるか中空であるかを問うものではない。本実施形態の上支持部７０は、中実に形成された例を示し、下支持部８０は中空に形成された例である。
【００４７】
更に、本実施形態では、上支持部７０及び下支持部８０のそれぞれは、それぞれの振動子７，７の重心位置ＣＧ１，ＣＧ２同士の間に配置されている。この場合も同様に、Ｚ軸方向から見た上支持部７０及び下支持部８０の外形の内側部分の一部が、重心位置ＣＧ１，ＣＧ２同士の間に位置することを意味する。
【００４８】
吸入用接続流路８３は、ダイヤフラム８を含んで形成される圧縮室Ｃ１（Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４）に連通する孔部（吸入口）２５ａと、下カバー９５に形成された吸入流路９７Ａと、を接続する管路である。吐出用接続流路８５は、ダイヤフラム８を含んで形成される圧縮室Ｃ１（Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４）に連通する孔部（吐出口）２７ａと、下カバー９５に形成された吐出流路９７Ｂと、を接続する管路である。吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５は、例えば、例えば、ポリエチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、フッ素ゴム、シリコン（Ｓｉ）、天然ゴム（ＮＲ）、又はニトリルゴム（ＮＢＲ）等の弾力性のある材料により形成されている。
【００４９】
図２及び図８に示されるように、吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５は、回転軸Ａを中心とする半径ｒが２０ｍｍ以内の範囲ＡＲ１に配置されている。また、本実施形態の吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５は、それぞれの振動子７，７の重心位置ＣＧ１，ＣＧ２同士を結ぶ直線ＣＬを中心とする４０ｍｍ以内の幅ｗの領域ＡＲ２に配置されている。接続流路としての、吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５は、それぞれ二本ずつ設けられており、これら四本の接続流路は、回転軸Ａを中心に点対称に配置されている。
【００５０】
図９に示されるように、吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５は、下支持部８０の中空部８０ａに配置されている。下支持部８０の中空部８０ａには、吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５を挿通するための孔部を有し、伸縮可能なゴム部材８９が設けられている。ゴム部材８９は、フレーム２側と下カバー９５側との間を気密に遮断する。
【００５１】
次に、ダイヤフラムポンプ１の動作について説明する。振動子７は、図６に示されるように、電流が印加されることによって励磁された第一電磁石３Ａ、第二電磁石３Ｂ及び中央電磁石３Ｃの磁極に、振動子７，７のそれぞれに固着された永久磁石６Ａ，６Ｂが交互に吸引・反発されることによって往復運動をする。本実施形態では、電源回路６０が電磁石３（コイル１２）への通電を制御して、Ｙ軸方向に配列される二つの振動子７，７の一方の振動子７と他の振動子７とを互いに反対の方向に移動させる。具体的には、電源回路６０の印加制御により、第一電磁石３Ａと中央電磁石３Ｃとの間に設けられる振動子７に固定される永久磁石６Ａ，６Ｂの極性と、中央電磁石３Ｃと第二電磁石３Ｂとの間に設けられる振動子７に固定される永久磁石６Ａ，６Ｂの極性とを交互に反転させる。これにより、振動子７，７を、第一電磁石３Ａ及び第二電磁石３Ｂの略Ｃ型鉄心９の対向面と直角方向で互いに逆方向（矢印Ｘ１方向及び矢印Ｘ２方向）に移動（アクティブ駆動）させることができる。
【００５２】
ポンプケーシング部ＰＣＲ１，ＰＣＬ１に支持されたダイヤフラム８，８は、振動子７の往復運動と共に振動して圧縮室Ｃ１，Ｃ２（図２参照）が膨張・収縮される。これにより、空気等の流体が吸入ノズルＳ１ａ，Ｓ１ｂを介して圧縮室Ｃ１，Ｃ２に吸入され、吐出ノズルＤ１ａ，Ｄ１ｂを介して圧縮室Ｃ１，Ｃ２から吐出される。
【００５３】
圧縮室Ｃ１，Ｃ２への流体の吸入は、下カバー９５に設けられた吸入流路９７Ａを介して行われる。すなわち、図９に示されるように、吸入流路９７Ａから吸入された流体は、吸入用接続流路８３を介して内部空間Ｓ３に流入する。次に、当該流体は、内部空間Ｓ３から孔部２５ｍを介して内部空間Ｓ２へ流入する。内部空間Ｓ２に流入した流体は、吸入ノズルＳ１ａ，Ｓ１ｂを介して圧縮室Ｃ１，Ｃ２に吸入される。圧縮室Ｃ１，Ｃ２から外部への流体の吐出は、下カバー９５に設けられた吐出流路９７Ｂを介して行われる。すなわち、圧縮室Ｃ１，Ｃ２から吐出ノズルＤ１ａ，Ｄ１ｂを介して内部空間Ｓ１に吐出された流体は、孔部２７ｃを介して吐出用接続流路８５に流入する。吐出用接続流路８５に流入した流体は、吐出流路９７Ｂに流入し、下カバー９５の外部に吐出される。
【００５４】
図示は省略するが、同様に、ポンプケーシング部ＰＣＲ２，ＰＣＬ２に支持されたダイヤフラム８，８は、振動子７の往復運動と共に振動して圧縮室Ｃ３，Ｃ４（図２参照）が膨張・収縮される。これにより、空気等の流体が吸入ノズルＳ２ａ，Ｓ２ｂを介して圧縮室Ｃ３，Ｃ４に吸入され、吐出ノズルＤ２ａ，Ｄ２ｂを介して圧縮室Ｃ３，Ｃ４から吐出される。
【００５５】
圧縮室Ｃ３，Ｃ４への流体の吸入は、下カバー９５に設けられた吸入流路９７Ａを介して行われる。すなわち、吸入流路９７Ａから吸入された流体は、吸入用接続流路８３を介して内部空間Ｓ３に流入する。内部空間Ｓ３流入した流体は、内部空間Ｓ３から孔部２５ｍを介して内部空間Ｓ２へ流入する。内部空間Ｓ２に流入した流体は、吸入ノズルＳ２ａ，Ｓ２ｂを介して圧縮室Ｃ３，Ｃ４に吸入される。圧縮室Ｃ３，Ｃ４から外部への流体の吐出は、下カバー９５に設けられた吐出流路９７Ｂを介して行われる。すなわち、圧縮室Ｃ１，Ｃ２から吐出ノズルＤ２ａ，Ｄ２ｂを介して内部空間Ｓ１に吐出された流体は、孔部２７ｃを介して吐出用接続流路８５に流入する。吐出用接続流路８５に流入した流体は、吐出流路９７Ｂに流入し、下カバー９５の外部に吐出される。
【００５６】
次に、上記実施形態のダイヤフラムポンプ１の作用効果について説明する。図２に示されるように、本実施形態のダイヤフラムポンプ１では、二つの振動子７，７が、振動子７が延びるＸ軸方向に直交するＹ軸方向に配列されるのでフレーム２の大型化を抑制できる。更に、本実施形態のダイヤフラムポンプ１では、二つの振動子７，７の一方の振動子７と他の振動子７とを互いに反対の方向に移動するように駆動させるので、振動子７，７の往復移動によって発生するＸ軸方向への振動は、その一部が互いに相殺され、低減できる。一方、並列配置された二つの振動子７，７を、互いに反対の方向に移動させる本構成のダイヤフラムポンプ１では、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交するＺ軸方向を回転軸Ａとする回転モーメントが生じ、フレーム２を支持する上支持部７０及び下支持部８０には、回転モーメントに起因する振動が発生する。このため、図１に示されるように、本実施形態のダイヤフラムポンプ１では、上支持部７０及び下支持部８０が上記回転軸Ａ上に設けられている。これにより、回転モーメントに起因する上支持部７０及び下支持部８０の回転方向への振動を低減できる。この結果、二つの振動子７，７を有する場合であっても、フレーム２の大型化を抑制しつつ、振動子７，７の往復運動によって発生する振動を低減できる。
【００５７】
上記実施形態では、図１及び図２に示されるように、上支持部７０及び下支持部８０は、それぞれの振動子７，７の重心位置ＣＧ１，ＣＧ２同士の間に配置することで、回転モーメントの回転軸Ａ上となる位置に上支持部７０及び下支持部８０を容易に配置することができる。
【００５８】
上記実施形態では、図１及び図２に示されるように、吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５は、回転軸Ａを中心とする半径ｒが２０ｍｍ以内の範囲ＡＲ１に配置されているので、回転モーメントに起因する振動が、吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５に伝達することを抑制できる。更に、吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５は、それぞれの振動子７，７の重心位置ＣＧ１，ＣＧ２同士を結ぶ直線ＣＬを中心とする４０ｍｍ以内の幅ｗの領域ＡＲ２に配置されているので、回転モーメントに起因する振動が、吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５に伝達することを抑制できる。
【００５９】
上記実施形態では、図１に示されるように、フレーム２を支持すると共にフレーム２を収容するカバー９０を更に備えるので、上支持部７０及び下支持部８０を介してカバー９０に伝達される振動を抑制することができる。
【００６０】
上記実施形態では、図１に示されるように、フレーム２と上カバー９１との間には上支持部７０が介在し、フレーム２と下カバー９５との間には下支持部８０と吸入用接続流路８３と吐出用接続流路８５とが介在している。このため、フレーム２を上カバー９１及び下カバー９５に対して強固に固定できる。また、上支持部７０を介して上カバー９１に伝達される振動を抑制でき、下支持部８０と吸入用接続流路８３と吐出用接続流路８５とを介して下カバー９５に伝達される振動を抑制できる。
【００６１】
上記実施形態では、図１に示されるように、上支持部７０及び下支持部８０は、上カバー９１及び下カバー９５のそれぞれに形成されている被係止部９１ａ，９５ａに係止される係止部７１，８１ａを有している。これにより、回転モーメントに起因する回転振動によって上カバー９１及び下カバー９５に対するフレーム２の相対的な位置ずれ抑制することができる。この結果、フレーム２が、上カバー９１及び下カバー９５のそれぞれに接触することを回避できる。
【００６２】
上記実施形態では、図５に示されるように、電磁石３の磁路が、略Ｃ型鉄心９とＩ型鉄心１０からなる上記の構成を有しているので、組立作業性が向上する。
【００６３】
以上、一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００６４】
上記実施形態では、接続流路としての二本の吸入用接続流路８３と、二本の吐出用接続流路８５と、が設けられている例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、図１１（ａ）に示されるように、接続流路として、円形の第一流路１８３ａを形成する第一管路１８３と、第一管路１８３を囲むように形成された環状の第二流路１８１ａを形成する第二管路１８１とからなる二重管としてもよい。第一管路１８３及び第二管路１８１は、例えば、ポリエチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、フッ素ゴム、シリコン（Ｓｉ）、天然ゴム（ＮＲ）、又はニトリルゴム（ＮＢＲ）等の弾力性のある材料により形成されている。第一管路１８３及び第二管路１８１は、フレーム２をカバー９０に支持するための支持部としての機能も有している。この変型例によれば、第一管路１８３及び第二管路１８１を回転軸Ａに近づけて配置することができる。
【００６５】
上記実施形態又は変形例では、上支持部７０として、図１０（ａ）に示されるような角柱の部材を例に挙げて説明したが、例えば、図１０（ｂ）に示されるような十字状の部材であってもよい。この上支持部７０Ａは、上カバー９１に形成される被係止部に係止される係止部７２Ａを有している。この上支持部７０Ａを配置すれば、二つの振動子７，７が往復運動することによって発生する回転モーメントに起因する回転振動によって上カバー９１に対するフレーム２の相対的な位置ずれ抑制することができる。この結果、フレーム２と上カバー９１とが接触することを回避できる。
【００６６】
上記実施形態又は変形例では、図１に示されるように、フレーム２と上カバー９１との間には、支持部としての機能のみを有する上支持部７０が介在し、フレーム２と下カバー９５との間には、支持部としての機能を有する下支持部８０と、接続流路としての機能を有する吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５とが介在している例を挙げて説明したが、例えば、フレーム２と上カバー９１との間、及びフレーム２と下カバー９５との間には、支持部と接続流路との両方が介在してもよい。
【００６７】
例えば、図１１（ｂ）に示されるような支持部としての機能と接続流路としての機能を有する支持部１７０Ａを上支持部７０及び下支持部８０に代えて配置してもよい。支持部１７０Ａは、上記実施形態の上支持部７０に対し、流路としての中空部１７５ａが設けられた構成となっている。また、図１１（ｃ）に示されるような支持部としての機能と接続流路としての機能を有する支持部１７０Ｂを上支持部７０及び下支持部８０に代えて配置してもよい。支持部１７０Ｂは、上記実施形態の下支持部８０と同様の形状であるが、中空部１７５ｂが流路として利用される点で異なっている。図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）等のような、流路としての中空部１７５ａ，１７５ｂを有する支持部を適宜用いることで、上カバー９１が配置される方向及び下カバー９５が配置される方向の両方に吸入流路及び吐出流路を設けることが可能になる。更に、中空部１７５ａ，１７５ｂを有する支持部は、接続流路と一体的に形成されるので、部品点数を削減することができ、組立作業性が容易となる。
【００６８】
上記実施形態又は変形例では、接続流路としての吸入用接続流路８３及び吐出用接続流路８５の両方が設けられる例を挙げて説明したが、例えば、吸入管路を設けずに、吸入ノズルＳ１ａ（Ｓ１ｂ，Ｓ２ａ，Ｓ２ｂ）がその周辺の流体を直接吸入するような構成としてもよい。
【００６９】
上記実施形態又は変形例では、カバー９０に支持された状態でカバー９０に収容可能なダイヤフラムポンプ１を例に挙げて説明したが、上述したような上支持部７０及び下支持部８０、又は変形例として説明したような上支持部７０Ａ及び支持部１８０，１７０Ａ，１７０Ｂによってフレーム２を支持するカバー９０を装備するダイヤフラムポンプであってもよい。
【００７０】
上記実施形態又は変形例の電磁石３は、第一電磁石３Ａ、第二電磁石３Ｂ及び中央電磁石３Ｃから形成され、第一電磁石３Ａ及び第二電磁石３Ｂの磁路は、略Ｃ型鉄心９を含んで構成され、中央電磁石３Ｃの磁路は、Ｉ型鉄心１０を含んで構成される例を挙げて説明したが、本発明は、鉄心の形状及びコイルの配置位置を問うものではない。例えば、図１２に示されるように、Ｅ型鉄心１１とＥ型鉄心１１の二箇所の凹部に組み込まれたコイル１２とによって形成される電磁石３Ｆと、コイル１２が巻かれたＩ型鉄心１０Ａと、その両側に配置され、コイル１２が巻かれていないＩ型鉄心１０Ｂとによって形成される電磁石３Ｇと、を互いに対向するように配置し、これら一対の電磁石３Ｆ，３Ｇの間に振動子７を配置する構成としてもよい。なお、本変形例では、一対の電磁石３Ｆ，３Ｇを二組備えているが、図１２に示される真ん中の電磁石３Ｇは、これら二組に共有される構成となっている。この場合であっても、電源回路６０によって、電磁石３（コイル１２）への通電を制御することにより、Ｙ軸方向に配列される二つの振動子７，７の一方の振動子７と他方の振動子７とを互いに反対の方向に移動させることができる。
【００７１】
上記実施形態又は変形例の上支持部７０，７０Ａ等に代えて、下記に示す上支持部２７２を採用してもよい。図１３に示されるように、上支持部２７２は、本体部２７２ａと取付部２７２ｂとを有している。本体部２７２ａと取付部２７２ｂは、例えば、ポリエチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、フッ素ゴム、シリコン（Ｓｉ）、天然ゴム（ＮＲ）、又はニトリルゴム（ＮＢＲ）等の弾力性のある材料から形成されている。取付部２７２ｂは、変形させた状態で上カバー９１に形成される孔部９１ｃに挿通されることにより上カバー９１に固定され、フレーム２に形成される孔部２ｃに挿通されることによりフレーム２に固定される。
【００７２】
上記の構成により、フレーム２が上カバー９１に対して吊り下げられる構成となり、ダイヤフラムポンプ１のＺ軸方向（第三方向・鉛直方向）の荷重を上カバー９１に分配することができる。更に、上支持部２７２を下支持部よりも回転軸Ａ中心近くに配置することにより、上支持部２７２は荷重を受けながらも振動を抑制し、かつ、下支持部にかかる荷重が小さくなり、振動が抑制される。例えば、上支持部２７２を回転軸Ａの中心から半径１０ｍｍの範囲に点対称に配置し、下支持部を回転軸Ａの中心から半径２０ｍｍの範囲に点対称に配置してもよい。この結果、図１２に示されるような、上カバー９１に形成される孔部９１ｃに挿通される取付部２７２ｂがない上支持部２７２と比べて、下支持の振動が抑制され、かつ、上支持部２７２は回転軸Ａに近く配置されるので、上支持部２７２の振動も抑制できる。
【００７３】
このような構成は、上カバー９１とフレーム２との間に上支持部が配置され、下カバー９５とフレーム２との間に下支持部と接続流路が配置される構成において特に有効である。すなわち、接続流路が配置されない上支持部２７２でダイヤフラムポンプ１の荷重を全て受けることができ、接続流路を形成する関係上、回転軸Ａから半径が大きくなる位置に配置される下支持部で回転振動以外の力（すなわち、ダイヤフラムポンプ１の荷重）を振動なく支持できる構成は、回転振動を抑制する効果が極めて高い。
【００７４】
また、この場合も、上記実施形態又は変形例と同様に、回転軸Ａ方向から見た上支持部２７２の外形の少なくとも一部と接触配置される被係止部９１ｂが形成されてもよい。この場合も、振動子が往復運動することによって発生する回転モーメントに起因する回転振動によって上カバー９１に対するフレーム２の相対的な位置ずれ抑制することができる。この結果、フレーム２と上カバー９１とが接触することを回避できる。
【００７５】
上記実施形態又は変形例では、二つの振動子７，７が配置される例を挙げて説明したが、三つ以上の振動子が配置されてもよい。この場合、電源回路６０は、Ｙ軸方向に配列される三つ以上の振動子の少なくとも一つの振動子と残りの少なくとも一つの振動子とを互いに反対の方向に移動させるように、電磁石３（コイル１２）への通電を制御すればよい。
【００７６】
以上説明した種々の実施形態及び変形例は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々、組み合わせられてもよい。
【符号の説明】
【００７７】
１…電磁振動型ダイヤフラムポンプ、２…フレーム、３…電磁石、６Ａ，６Ｂ…永久磁石（磁石）、７…振動子、８，８…ダイヤフラム、９…略Ｃ型鉄心、１０，１０Ａ，１０Ｂ…Ｉ型鉄心、１２…コイル、２１…箱状ケース部、２３…蓋状ケース部、２５…仕切部、２７…ベース部、６０…電源回路（制御部）、７０…上支持部（支持部）、７１，８１ａ…係止部、８０…下支持部（支持部）、８３…吸入用接続流路（接続流路）、８５…吐出用接続流路（接続流路）、９０…カバー、９１…上カバー、９５…下カバー、９１ａ，９５ａ…被係止部、１８１…第二管路、１８３…第一管路、Ａ…回転軸、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４…圧縮室、ＣＧ１，ＣＧ２…重心位置、ＰＣＲ１，ＰＣＬ１，ＰＣＲ２，ＰＣＬ２…ポンプケーシング部。
【図１】
2018193941.tif 000003
【図２】
2018193941.tif 000004
【図３】
2018193941.tif 000005
【図４】
2018193941.tif 000006
【図５】
2018193941.tif 000007
【図６】
2018193941.tif 000008
【図７】
2018193941.tif 000009
【図８】
2018193941.tif 000010
【図９】
2018193941.tif 000011
【図１０】
2018193941.tif 000012
【図１１】
2018193941.tif 000013
【図１２】
2018193941.tif 000014
【図１３】
2018193941.tif 000015