(57)【要約】【課題】粘弾性シートが圧縮コイルばねの素線間に挟まれて減衰効果が低減することを防ぐことができる除振装置を提供する。【解決手段】除振装置１００は、圧縮コイルばね１０と、圧縮コイルばね１０に周着されている粘弾性シート２０と、を含み、粘弾性シート２０の圧縮コイルばね１０の軸Ａ方向の長さは、圧縮コイルばね１０の自由高さよりも小さい。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮コイルばねと、
前記圧縮コイルばねに周着されている粘弾性シートと、
を含み、
前記粘弾性シートの前記圧縮コイルばねの軸方向の長さは、前記圧縮コイルばねの自由高さよりも小さい、除振装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記粘弾性シートの前記軸方向の長さは、前記圧縮コイルばねの自由高さの２０％以上６０％以下である、除振装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記圧縮コイルばねの一方側の端部を受ける第１支持部材と、
前記圧縮コイルばねの他方側の端部を受ける第２支持部材と、
を含む、除振装置。
【請求項４】
請求項３において、
構造体と、
前記構造体と前記第１支持部材とに跨がるように設けられている高さ調整用ねじを含み、
前記高さ調整用ねじを回転させることにより、前記構造体と前記第１支持部材との間の距離を変更可能に構成されている、除振装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記高さ調整用ねじは、
前記構造体に設けられた第１貫通孔を通過する第１部分、および前記構造体に設けられた前記第１貫通孔を通過せずに前記構造体に当接する第２部分を有する頭部と、
前記第１支持部材に設けられた雌ねじと螺合する雄ねじが形成されているねじ部と、
を有している、除振装置。
【請求項６】
請求項３ないし５のいずれか１項において、
前記第１支持部材と前記第２支持部材との間の距離が保持されるように、前記第１支持部材と前記第２支持部材とをねじ止めする固定用ねじを含む、除振装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記第１支持部材には、第２貫通孔が設けられ、
前記第２支持部材には、前記第２貫通孔と同軸上にねじ穴が設けられ、
前記固定用ねじは、
前記第１支持部材に当接する座面を有する頭部と、
前記ねじ穴に螺合可能なねじ部と、
を有している、除振装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項において、
前記粘弾性シートは、前記圧縮コイルばねの前記軸方向の一方の端部から他方の端部まで周着されている、除振装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか１項において、
前記粘弾性シートは、前記圧縮コイルばねの伸縮により、前記圧縮コイルばねの素線間で前記圧縮コイルばねの中心軸に向けて湾曲する、除振装置。
【請求項１０】
請求項３において、
前記粘弾性シートは、前記第１支持部材および前記第２支持部材に接着されている、除振装置。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の除振装置を含む除振台。
【請求項１２】
圧縮コイルばねに荷重を加えた状態で、前記圧縮コイルばねに粘弾性シートを周着させる、除振装置の製造方法。
【請求項１３】
圧縮コイルばねを第１支持部材と第２支持部材とで挟む工程と、
前記第１支持部材および前記第２支持部材に跨がる与圧用ねじにより、前記第１支持部材と前記第２支持部材との間の距離を調整して、前記圧縮コイルばねに荷重を加える工程と、
前記圧縮コイルばねに荷重を加えた状態で、前記圧縮コイルばねに粘弾性シートを周着させる工程と、
を含む、除振装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１３において、
前記圧縮コイルばねに荷重を加える工程では、
前記第１支持部材に設けられた第１貫通孔に前記与圧用ねじを通して前記与圧用ねじの座面で前記第１支持部材を押圧するとともに、前記第２支持部材に設けられたねじ穴に前記与圧用ねじをねじ込んで、前記圧縮コイルばねに荷重を加える、除振装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１３において、
前記圧縮コイルばねに荷重を加える工程では、
前記第１支持部材および前記第２支持部材に設けられている貫通孔に前記与圧用ねじを通して、前記与圧用ねじの座面と前記与圧用ねじに螺合するナットで前記第１支持部材および前記第２支持部材を挟んで、前記圧縮コイルばねに荷重を加える、除振装置の製造方法。
【請求項１６】
請求項１３ないし１５のいずれか１項において、
前記第１支持部材と前記第２支持部材とを固定用ねじでねじ止めして、前記第１支持部材と前記第２支持部材との間の距離を保持する工程を含む、除振装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除振装置、除振台、および除振装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡等の分析装置を設置する場合、建物の床から伝わる振動は分析装置に影響を及ぼすため、除振装置が用いられる。
【０００３】
このような除振装置として、例えば、特許文献１には、圧縮コイルばねの外周に粘弾性シートを周着した除振装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２０７５８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、電子顕微鏡等の、比較的重量のある分析装置に特許文献１に開示された除振装置を用いた場合、圧縮コイルばねが大きく圧縮されて粘弾性シートが圧縮コイルばねの素線間に挟まってしまう場合がある。粘弾性シートが圧縮コイルばねの素線間に挟まると、振動を受けたときに粘弾性シートの変形による減衰効果が低減してしまい、所望の除振性能を発揮できない。
【０００６】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、粘弾性シートが圧縮コイルばねの素線間に挟まれて減衰効果が低減することを防ぐことができる除振装置およびその製造方法を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記除振装置を含む除振台を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係る除振装置は、
圧縮コイルばねと、
前記圧縮コイルばねに周着されている粘弾性シートと、
を含み、
前記粘弾性シートの前記圧縮コイルばねの軸方向の長さは、前記圧縮コイルばねの自由高さよりも小さい。
【０００８】
このような除振装置では、粘弾性シートが圧縮コイルばねの素線間に挟まれて減衰効果が低減することを防ぐことができる。
【０００９】
（２）本発明に係る除振装置において、
前記粘弾性シートの前記軸方向の長さは、前記圧縮コイルばねの自由高さの２０％以上６０％以下であってもよい。
【００１０】
このような除振装置では、粘弾性シートが圧縮コイルばねの素線間に挟まれて減衰効果が低減することを防ぐことができる。
【００１１】
（３）本発明に係る除振装置において、
前記圧縮コイルばねの一方側の端部を受ける第１支持部材と、
前記圧縮コイルばねの他方側の端部を受ける第２支持部材と、
を含んでいてもよい。
【００１２】
（４）本発明に係る除振装置において、
構造体と、
前記構造体と前記第１支持部材とに跨がるように設けられている高さ調整用ねじを含み、
前記高さ調整用ねじを回転させることにより、前記構造体と前記第１支持部材との間の距離を変更可能に構成されていてもよい。
【００１３】
このような除振装置では、除振装置の高さを調整することができる。
【００１４】
（５）本発明に係る除振装置において、
前記高さ調整用ねじは、
前記構造体に設けられた第１貫通孔を通過する第１部分、および前記構造体に設けられた前記第１貫通孔を通過せずに前記構造体に当接する第２部分を有する頭部と、
前記第１支持部材に設けられた雌ねじと螺合する雄ねじが形成されているねじ部と、
を有していてもよい。
【００１５】
このような除振装置では、高さ調整用ねじを回転させることによって、構造体と第１支持部材との間の距離を変化させて、除振装置の高さを調整することができる。
【００１６】
（６）本発明に係る除振装置において、
前記第１支持部材と前記第２支持部材との間の距離が保持されるように、前記第１支持部材と前記第２支持部材とをねじ止めする固定用ねじを含んでいてもよい。
【００１７】
このような除振装置では、圧縮コイルばねが伸びて粘弾性シートが破断することを防ぐことができる。
【００１８】
（７）本発明に係る除振装置において、
前記第１支持部材には、第２貫通孔が設けられ、
前記第２支持部材には、前記第２貫通孔と同軸上にねじ穴が設けられ、
前記固定用ねじは、
前記第１支持部材に当接する座面を有する頭部と、
前記ねじ穴に螺合可能なねじ部と、
を有していてもよい。
【００１９】
このような除振装置では、固定用ねじによって第１支持部材と第２支持部材との間の距離が一定以上大きくならないように、当該距離を保持することができる。したがって、圧縮コイルばねが伸びて粘弾性シートが破断することを防ぐことができる。
【００２０】
（８）本発明に係る除振装置において、
前記粘弾性シートは、前記圧縮コイルばねの前記軸方向の一方の端部から他方の端部まで周着されていてもよい。
【００２１】
（９）本発明に係る除振装置において、
前記粘弾性シートは、前記圧縮コイルばねの伸縮により、前記圧縮コイルばねの素線間で前記圧縮コイルばねの中心軸に向けて湾曲してもよい。
【００２２】
このような除振装置では、粘弾性シートが変形することにより、粘性抵抗が生じ、圧縮コイルばねの振動を減衰させることができる。
【００２３】
（１０）本発明に係る除振装置において、
前記粘弾性シートは、前記第１支持部材および前記第２支持部材に接着されていてもよい。
【００２４】
このような除振装置では、粘弾性シートをより確実に圧縮コイルに周着させることができる。
【００２５】
（１１）本発明に係る除振台は、
本発明に係る除振装置を含む。
【００２６】
このような除振装置では、良好な除振性能を発揮することができる。
【００２７】
（１２）本発明に係る除振装置の製造方法は、
圧縮コイルばねに荷重を加えた状態で、前記圧縮コイルばねに粘弾性シートを周着させる。
【００２８】
このような除振装置の製造方法では、粘弾性シートが圧縮コイルばねの素線間に挟まれて減衰効果が低減することを防ぐことができる除振装置を製造することができる。
【００２９】
（１３）本発明に係る除振装置の製造方法は、
圧縮コイルばねを第１支持部材と第２支持部材とで挟む工程と、
前記第１支持部材および前記第２支持部材に跨がる与圧用ねじにより、前記第１支持部材と前記第２支持部材との間の距離を調整して、前記圧縮コイルばねに荷重を加える工程と、
前記圧縮コイルばねに荷重を加えた状態で、前記圧縮コイルばねに粘弾性シートを周着させる工程と、
を含む。
【００３０】
このような除振装置の製造方法では、粘弾性シートが圧縮コイルばねの素線間に挟まれて減衰効果が低減することを防ぐことができる除振装置を製造することができる。
【００３１】
（１４）本発明に係る除振装置の製造方法において、
前記圧縮コイルばねに荷重を加える工程では、
前記第１支持部材に設けられた第１貫通孔に前記与圧用ねじを通して前記与圧用ねじの座面で前記第１支持部材を押圧するとともに、前記第２支持部材に設けられたねじ穴に前記与圧用ねじをねじ込んで、前記圧縮コイルばねに荷重を加えてもよい。
【００３２】
このような除振装置の製造方法では、圧縮コイルばねに荷重を加えるための治具などを用いる必要がなく、安全に圧縮コイルばねに荷重を加えることができる。
【００３３】
（１５）本発明に係る除振装置の製造方法において、
前記圧縮コイルばねに荷重を加える工程では、
前記第１支持部材および前記第２支持部材に設けられている貫通孔に前記与圧用ねじを通して、前記与圧用ねじの座面と前記与圧用ねじに螺合するナットで前記第１支持部材および前記第２支持部材を挟んで、前記圧縮コイルばねに荷重を加えてもよい。
【００３４】
このような除振装置の製造方法では、圧縮コイルばねに荷重を加えるための治具などを
用いる必要がなく、安全に圧縮コイルばねに荷重を加えることができる。
【００３５】
（１６）本発明に係る除振装置の製造方法において、
前記第１支持部材と前記第２支持部材とを固定用ねじでねじ止めして、前記第１支持部材と前記第２支持部材との間の距離を保持する工程を含んでいてもよい。
【００３６】
このような除振装置の製造方法では、圧縮コイルばねが伸びて粘弾性シートが破断することを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】第１実施形態に係る除振装置を含む、除振台を模式的に示す平面図。
【図２】第１実施形態に係る除振装置を含む、除振台を模式的に示す側面図。
【図３】第１実施形態に係る除振装置を模式的に示す平面図。
【図４】第１実施形態に係る除振装置を模式的に示す断面図。
【図５】第１実施形態に係る除振装置の製造方法の一例を示すフローチャート。
【図６】第１実施形態に係る除振装置の製造工程を模式的に示す図。
【図７】第１実施形態に係る除振装置の製造工程を模式的に示す図。
【図８】第１実施形態に係る除振装置の製造工程を模式的に示す図。
【図９】第１実施形態に係る除振装置の製造工程を模式的に示す図。
【図１０】第１実施形態に係る除振装置の製造工程を模式的に示す図。
【図１１】第１実施形態に係る除振装置の製造工程を模式的に示す図。
【図１２】第１実施形態に係る除振装置の製造工程を模式的に示す図。
【図１３】第１実施形態に係る除振装置の使用方法を説明するための図。
【図１４】第１実施形態に係る除振装置の使用方法を説明するための図。
【図１５】第１実施形態に係る除振装置の高さの調整方法を説明するための図。
【図１６】第１実施形態に係る除振装置の高さの調整方法を説明するための図。
【図１７】第１実施形態に係る除振装置の製造工程の変形例を模式的に示す図。
【図１８】第１実施形態に係る除振装置の製造工程の変形例を模式的に示す図。
【図１９】第２実施形態に係る除振装置を模式的に示す断面図。
【図２０】第３実施形態に係る除振装置を模式的に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００３９】
１．  第１実施形態
１．１．  除振装置
まず、第１実施形態に係る除振装置について、図面を参照しながら説明する。以下では、除振装置が除振台に組み込まれている例について説明する。
【００４０】
図１は、第１実施形態に係る除振装置１００を含む、除振台１を模式的に示す平面図である。図２は、第１実施形態に係る除振装置１００を含む、除振台１を模式的に示す側面図である。なお、図２では、便宜上、除振装置１００を簡略化して図示している。
【００４１】
除振台１は、例えば、電子顕微鏡などの分析装置用の除振台である。除振台１は、基台４から入力された振動の影響を低減する。
【００４２】
除振台１は、図１および図２に示すように、複数の除振装置１００を含んで構成されている。図示の例では、除振台１は、４つの除振装置１００を含んで構成されている。なお
、除振台１を構成する除振装置１００の数は特に限定されず、除振台１は１つの除振装置１００を含んで構成されてもよい。
【００４３】
除振台１は、隣り合う除振台１を接続するフレーム２を含んで構成されている。図示の例では、除振台１は、平面視において、四角形の各頂点に配置されており、各頂点を結ぶ辺に沿ってフレーム２が配置されている。すなわち、４つの除振装置１００は、４つのフレーム２で接続されている。
【００４４】
除振台１は、基台４に固定されている。除振台１と基台４とは、例えば、ねじ止めされている。
【００４５】
除振台１は、図示はしないが、分析装置を設置するための部材（設置板など）を含んで構成されていてもよい。
【００４６】
図３は、第１実施形態に係る除振装置１００を模式的に示す平面図である。図４は、第１実施形態に係る除振装置１００を模式的に示す断面図である。なお、図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【００４７】
除振装置１００は、図３および図４に示すように、圧縮コイルばね１０と、粘弾性シート２０と、上部支持部材（第１支持部材）３０と、下部支持部材（第２支持部材）４０と、上部構造体５０と、高さ調整用ねじ６０と、を含む。
【００４８】
圧縮コイルばね１０は、中心軸Ａ方向（軸方向）に圧縮荷重を負荷したとき、それに抵抗する力を生じるばねである。圧縮コイルばね１０は、素線をらせん状に巻くことで形成される。圧縮コイルばね１０は、例えば円筒状であり、素線の断面形状は円である。なお、圧縮コイルばね１０の素線の直径や、素線の断面形状、コイルの内径、コイルの外径、総巻数、素線の材質などは特に限定されず、使用態様に応じて適宜選択可能である。また、圧縮コイルばね１０は、図示の例では、コイルのピッチが等間隔であるが、コイルのピッチは等間隔でなくてもよい。すなわち、圧縮コイルばね１０は、不等ピッチ圧縮コイルばねであってもよい。
【００４９】
粘弾性シート２０は、圧縮コイルばね１０に周着されている。粘弾性シート２０は、圧縮コイルばね１０の外周に接着されている。粘弾性シート２０は、圧縮コイルばね１０の中心軸Ａ方向の一方の端部から他方の端部まで接着されている。すなわち、圧縮コイルばね１０の外側面は粘弾性シート２０で覆われており露出していない。粘弾性シート２０の上方の端部は、上部支持部材３０に接着され、粘弾性シート２０の下方の端部は、下部支持部材４０に接着されている。
【００５０】
粘弾性シート２０は、圧縮コイルばね１０の素線の外周側の面に沿って接着されている。粘弾性シート２０は、圧縮コイルばね１０の素線間で中心軸Ａに向かって湾曲するように接着されている。圧縮コイルばね１０の素線間は、粘弾性シート２０によって接続されている。
【００５１】
粘弾性シート２０は、例えば、アクリル系樹脂などの粘弾性体で構成されている。粘弾性シート２０は、例えば、アクリル系樹脂以外の樹脂材料からなるシートであってもよいし、ゴム材料からなるシートであってもよい。粘弾性シート２０は、一方の面が粘着性を有しており、当該面の粘着性により圧縮コイルばね１０に接着されている。
【００５２】
粘弾性シート２０は、圧縮コイルばね１０に荷重を加えた状態で巻かれる。そのため、粘弾性シート２０の中心軸Ａ方向の長さは、圧縮コイルばね１０の自由高さよりも小さい
。粘弾性シート２０の中心軸Ａ方向の長さは、例えば、圧縮コイルばね１０の自由高さの２０％以上６０％以下である。
【００５３】
なお、圧縮コイルばね１０の自由高さとは、無荷重のときの圧縮コイルばね１０の高さである。図４に示すように粘弾性シート２０が湾曲している場合には、粘弾性シート２０の中心軸Ａ方向の長さは、粘弾性シート２０を延ばしたときの（湾曲していない状態にしたときの）粘弾性シート２０の長さである。
【００５４】
粘弾性シート２０は、圧縮コイルばね１０の伸縮により圧縮コイルばね１０の素線間で中心軸Ａに向けて湾曲し変形する。具体的には、圧縮コイルばね１０が圧縮されると、それに伴って粘弾性シート２０が中心軸Ａに向かって円弧状に湾曲する。このような粘弾性シート２０の変形により、粘性抵抗が生じ、圧縮コイルばね１０の振動を減衰させることができる。
【００５５】
上部支持部材３０および下部支持部材４０は、圧縮コイルばね１０を支持している。上部支持部材３０は、圧縮コイルばね１０の上方側の端部を受けており、下部支持部材４０は、圧縮コイルばね１０の下方側の端部を受けている。上部支持部材３０には、圧縮コイルばね１０を受ける凸部３２が形成されている。下部支持部材４０には、圧縮コイルばね１０を受ける凸部４２が形成されている。凸部３２および凸部４２は、圧縮コイルばね１０の内径と等しい直径（またはほぼ等しい直径）を有しており、凸部３２および凸部４２に圧縮コイルばね１０が挿入されることで、圧縮コイルばね１０が保持される。
【００５６】
上部支持部材３０には、高さ調整用ねじ６０のねじ部６４に形成されている雄ねじと螺合する雌ねじが形成されているねじ穴３４が設けられている。ねじ穴３４は、円盤状の上部支持部材３０の中心に設けられている。また、上部支持部材３０には、後述する固定用ねじ７０（図９等参照）を通すための貫通孔３６（第２貫通孔）が２つ設けられている。２つの貫通孔３６は、ねじ穴３４に関して対称な位置に設けられている。
【００５７】
下部支持部材４０には、後述する与圧用ねじ１１０（図７等参照）を通すためのねじ穴４４が設けられている。ねじ穴４４は、上部支持部材３０に設けられているねじ穴３４と同軸上に設けられている。また、下部支持部材４０には、固定用ねじ７０に螺合可能なねじ穴４６が２つ設けられている。ねじ穴４６は、上部支持部材３０に設けられた貫通孔３６と同軸上に設けられている。２つのねじ穴４６は、ねじ穴４４に関して対称な位置に設けられている。
【００５８】
下部支持部材４０は、基台４に固定されている。上部支持部材３０と下部支持部材４０とは、圧縮コイルばね１０および粘弾性シート２０のみで接続されている。
【００５９】
上部構造体５０は、分析装置を設置するための構造体である。上部構造体５０上に分析装置を設置するための設置板（図示せず）などを配置してもよい。上部構造体５０には、フレーム２が固定されている。
【００６０】
上部構造体５０は、上部支持部材３０の上方に配置されている。上部構造体５０は、高さ調整用ねじ６０で支持されている。上部構造体５０と上部支持部材３０とは、高さ調整用ねじ６０で接続されている。
【００６１】
上部構造体５０には、高さ調整用ねじ６０の頭部６２を通す貫通孔５２（第１貫通孔）が設けられている。また、上部構造体５０には、固定用ねじ７０にアクセスするための貫通孔５４が２つ設けられている。貫通孔５４は、固定用ねじ７０の頭部よりも大きい開口を有している。
【００６２】
高さ調整用ねじ６０は、上部構造体５０と上部支持部材３０とに跨がるように設けられている。高さ調整用ねじ６０は、中心軸Ａ上に設けられている。高さ調整用ねじ６０は、上部構造体５０と上部支持部材３０とを接続している。
【００６３】
高さ調整用ねじ６０は、頭部６２と、ねじ部６４と、を有している。高さ調整用ねじ６０の頭部６２は、上部構造体５０に設けられた貫通孔５２を通過する第１部分６２ａと、貫通孔５２を通過せずに上部構造体５０に当接する第２部分６２ｂと、を有している。高さ調整用ねじ６０の頭部６２の第１部分６２ａには、工具で高さ調整用ねじ６０を回転させるための工具孔（図示の例では、すりわり）が設けられている。高さ調整用ねじ６０の頭部６２の第２部分６２ｂは、第１部分６２ａよりも径が大きい。頭部６２の第２部分６２ｂの上面は、上部構造体５０と接している。上部構造体５０は、圧縮コイルばね１０の反発力を、頭部６２の第２部分６２ｂの上面との接触面で受けている。
【００６４】
高さ調整用ねじ６０のねじ部６４には、上部支持部材３０に設けられたねじ穴３４の雌ねじと螺合する雄ねじが形成されている。
【００６５】
高さ調整用ねじ６０は、上部構造体５０と上部支持部材３０との間の距離Ｄを変化させる。高さ調整用ねじ６０は、回転運動を直線運動に変換する機構（送りねじ機構）を構成している。高さ調整用ねじ６０を回転させることにより、上部構造体５０と上部支持部材３０との間の距離Ｄを変更することができ、除振装置１００の高さＨ、すなわち、基台４と上部構造体５０の上面との間の距離を調整することができる。
【００６６】
高さ調整用ねじ６０の動作について説明する。高さ調整用ねじ６０を回転させることで、高さ調整用ねじ６０のねじ部６４の雄ねじと上部支持部材３０のねじ穴３４の雌ねじとに、上部構造体５０を上下方向に移動させる力が作用する。これにより、上部構造体５０と上部支持部材３０との間の距離Ｄが変化し、除振装置１００の高さＨが変化する。
【００６７】
また、上部構造体５０と上部支持部材３０との間の距離Ｄが変化すると、圧縮コイルばね１０の圧縮量が変化して反発力が変化する。そのため、高さ調整用ねじ６０によって、圧縮コイルばね１０の反発力を調整することができる。したがって、除振装置１００では、上部構造体５０に加わる荷重に応じて、圧縮コイルばね１０の反発力を調整することができる。
【００６８】
ここで、高さ調整用ねじ６０を回転させたときに、上部支持部材３０がともに回転してしまうと、上部構造体５０の貫通孔５４から後述する固定用ねじ７０にアクセスできなくなってしまう。除振装置１００では、圧縮コイルばね１０が圧縮されているため、上部支持部材３０と圧縮コイルばね１０との接触面での摩擦力、および下部支持部材４０と圧縮コイルばね１０との接触面での摩擦力が大きい。したがって、高さ調整用ねじ６０を回転させても、上部構造体５０と上部支持部材３０との間の距離Ｄのみが変化し、上部支持部材３０は回転しない。さらに、高さ調整用ねじ６０のねじ部６４とねじ穴３４とに固体潤滑剤（二硫化モリブデン等）を塗布することで、ねじ部６４とねじ穴３４との間の摩擦係数を小さくすることができ、より上部支持部材３０を回転させないことができる。
【００６９】
除振装置１００では、基台４から入力された振動により、圧縮コイルばね１０が上下および左右方向に振動する。このとき、圧縮コイルばね１０の振動にあわせて粘弾性シート２０が圧縮コイルばね１０の素線間で中心軸Ａに向けて湾曲することで、粘性抵抗が生じ、大きな減衰力を発揮する。この結果、圧縮コイルばね１０の振動は減衰し、基台４から入力された振動の影響を低減できる。
【００７０】
１．２．  除振装置の製造方法
次に、第１実施形態に係る除振装置１００の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図５は、第１実施形態に係る除振装置１００の製造方法の一例を示すフローチャートである。図６〜図１２は、第１実施形態に係る除振装置１００の製造工程を模式的に示す図である。なお、図７は、図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。また、図１２は、図１１のＸＩＩ−ＸＩＩ線断面図である。
【００７１】
まず、圧縮コイルばね１０、上部支持部材３０、および下部支持部材４０を準備する。
【００７２】
次に、図６および図７に示すように、圧縮コイルばね１０を上部支持部材３０と下部支持部材４０とで挟む（Ｓ１０）。
【００７３】
圧縮コイルばね１０を下部支持部材４０の上面に載せ、上部支持部材３０を圧縮コイルばね１０上に被せる。圧縮コイルばね１０は、下部支持部材４０の凸部４２および上部支持部材３０の凸部３２に挿入される。
【００７４】
次に、図７および図８に示すように、上部支持部材３０と下部支持部材４０とに跨がる与圧用ねじ１１０（ボルト）を用いて、上部支持部材３０と下部支持部材４０との間の距離を調整して、圧縮コイルばね１０に荷重を加える（Ｓ１２）。
【００７５】
具体的には、上部支持部材３０に設けられたねじ穴３４に与圧用ねじ１１０を通して、与圧用ねじ１１０の座面で上部支持部材３０を押圧するとともに、下部支持部材４０に設けられたねじ穴４４に与圧用ねじ１１０をねじ込む。与圧用ねじ１１０をねじ穴４４にねじ込むことにより、上部支持部材３０と下部支持部材４０との間の距離が小さくなり、圧縮コイルばね１０に荷重を加えることができる。与圧用ねじ１１０のねじ込み量により、圧縮コイルばね１０の圧縮量、すなわち、圧縮コイルばね１０に加える荷重を制御することができる。
【００７６】
本工程において、圧縮コイルばね１０に加える荷重は、例えば、除振装置１００の使用時に除振装置１００に加わる荷重や、要求される除振性能等に応じて適宜設定される。
【００７７】
図示の例では、与圧用ねじ１１０の座面と上部支持部材３０の間には、複数のワッシャー１０８が入れられており、与圧用ねじ１１０の座面は、ワッシャー１０８を介して上部支持部材３０を押圧している。与圧用ねじ１１０の座面と上部支持部材３０の間に複数のワッシャー１０８を入れることにより、与圧用ねじ１１０を工具で回すときに、上部支持部材３０を傷つけずに、圧縮コイルばね１０を所望の長さまで圧縮することができる。
【００７８】
与圧用ねじ１１０を通す上部支持部材３０のねじ穴３４は、高さ調整用ねじ６０のねじ部６４と螺合するねじ穴である。すなわち、与圧用ねじ１１０を通すための貫通孔は、高さ調整用ねじ６０のねじ穴を兼ねている。与圧用ねじ１１０の径は、上部支持部材３０に設けられたねじ穴３４の径よりも小さい。そのため、与圧用ねじ１１０のねじ部（雄ねじ）は、ねじ穴３４の雌ねじに螺合しない。
【００７９】
次に、図９に示すように、上部支持部材３０と下部支持部材４０とを固定用ねじ７０でねじ止めして、上部支持部材３０と下部支持部材４０との間の距離を保持する（Ｓ１４）。
【００８０】
上部支持部材３０と下部支持部材４０とに跨がる固定用ねじ７０によって、上部支持部材３０と下部支持部材４０とをねじ止めする。固定用ねじ７０は、上部支持部材３０に当接する座面を有する頭部７２と、ねじ穴４６に螺合可能なねじ部７４と、を有している。
固定用ねじ７０を上部支持部材３０に設けられている貫通孔３６を通して、下部支持部材４０に設けられているねじ穴４６にねじ込むことで、上部支持部材３０と下部支持部材４０とをねじ止めすることができる。固定用ねじ７０でねじ止めすることにより、上部支持部材３０と下部支持部材４０との間の距離が一定以上大きくならないように、当該距離を保持することができる。
【００８１】
図示の例では、貫通孔３６およびねじ穴４６は、それぞれ２つずつ設けられており、２つの固定用ねじ７０で上部支持部材３０と下部支持部材４０とをねじ止めしている。なお、貫通孔３６およびねじ穴４６を、３つ以上設けて、３つ以上の固定用ねじ７０で上部支持部材３０と下部支持部材４０とをねじ止めしてもよい。
【００８２】
次に、図１０に示すように、粘弾性シート２０を準備する（Ｓ１６）。
【００８３】
粘弾性シート２０として、図１０に示すように、平面視において、長方形の粘弾性シートを準備する。粘弾性シート２０の長辺の長さＬ１は、圧縮コイルばね１０の外周の長さに対応する。粘弾性シート２０の短辺の長さＬ２は、荷重が加えられた状態の圧縮コイルばね１０の高さ（中心軸Ａ方向の長さ）と、粘弾性シート２０を接着する際の圧縮コイルばね１０の素線間で湾曲させる分の長さと、の和に対応する。粘弾性シート２０の短辺の長さＬ２が、粘弾性シート２０の中心軸Ａ方向の長さとなる。
【００８４】
次に、図１１および図１２に示すように、圧縮コイルばね１０に荷重を加えた状態で粘弾性シート２０を周着させる（Ｓ１８）。
【００８５】
粘弾性シート２０は、粘弾性シート２０の粘着面を圧縮コイルばね１０に押圧することで接着させることができる。粘弾性シート２０は、圧縮コイルばね１０の伸縮により中心軸Ａに向かって湾曲するように、あらかじめ中心軸Ａに向かってわずかに湾曲した状態で接着される。粘弾性シート２０は、上部支持部材３０および下部支持部材４０にも接着される。
【００８６】
圧縮コイルばね１０に粘弾性シート２０を周着した後に、与圧用ねじ１１０を抜く。上部支持部材３０と下部支持部材４０とは固定用ねじ７０でねじ止めされているため、一定距離以上大きくなることがない。そのため、与圧用ねじ１１０を抜いた後でも、圧縮コイルばね１０が伸びて粘弾性シート２０が破断することを防ぐことができる。
【００８７】
以上の工程により、除振装置１００を製造することができる。
【００８８】
なお、上記では、上部支持部材３０と下部支持部材４０とを固定用ねじ７０でねじ止めして、上部支持部材３０と下部支持部材４０との間の距離を保持する場合について説明したが、固定用ねじ７０を用いずに、与圧用ねじ１１０を上部支持部材３０と下部支持部材４０との間の距離を保持するために用いてもよい。
【００８９】
１．３．  除振装置の使用方法
次に、第１実施形態に係る除振装置１００の使用方法について、図面を参照しながら説明する。図１３および図１４は、除振装置１００の使用方法を説明するための図である。なお、図１４は、図１３のＸＩＶ−ＸＩＶ線断面図である。
【００９０】
まず、図１３および図１４に示すように、上部支持部材３０と下部支持部材４０とが固定用ねじ７０でねじ止めされた状態で、高さ調整用ねじ６０を上部支持部材３０のねじ穴３４に螺合させる。この状態の除振装置１００を４つ準備し、これらの除振装置１００を、所定の位置に配置して基台４に固定する（図１等参照）。
【００９１】
次に、上部構造体５０を上部支持部材３０の上方に配置する。このとき、上部構造体５０の貫通孔５２に、高さ調整用ねじ６０の頭部６２の第１部分６２ａを通過させる。また、上部構造体５０の貫通孔５４を通して、固定用ねじ７０にアクセスできるように上部構造体５０を配置する。そして、上部構造体５０とフレーム２とをねじ止めする。
【００９２】
次に、上部構造体５０上に分析装置を設置する。そして、上部構造体５０上に分析装置が設置されて圧縮コイルばね１０には荷重が加わった状態で、上部支持部材３０と下部支持部材４０とをねじ止めしていた固定用ねじ７０を取り外す。これにより、図３および図４に示すように、上部支持部材３０と下部支持部材４０とは、圧縮コイルばね１０と粘弾性シート２０のみで接続される状態となり、除振可能な状態となる。
【００９３】
次に、除振装置１００の高さ調整を行う。図１５および図１６は、除振装置１００の高さの調整方法を説明するための図である。
【００９４】
上部構造体５０に設置された分析装置１０００の重量バランスが悪い場合、各除振装置１００に加わる荷重が異なるため、図１５に示すように、分析装置１０００が傾いてしまう。
【００９５】
分析装置１０００が傾いている場合、各除振装置１００の上部構造体５０に加わる荷重に応じて、高さ調整用ねじ６０で除振装置１００の高さを調整することにより、図１６に示すように、分析装置１０００を水平に支持することができる。
【００９６】
また、除振台１に設置された分析装置１０００にさらに検出器などのオプションが追加されて、分析装置１０００の重量バランスが変わった場合でも、高さ調整用ねじ６０で除振装置１００の高さを調整することにより、分析装置１０００を水平に支持することができる。
【００９７】
また、除振装置１００では、分析装置１０００が除振台１に設置された状態で、上部構造体５０の貫通孔５４から上部支持部材３０と下部支持部材４０とを固定用ねじ７０でねじ止めすることができる。これにより、分析装置１０００を除振台１から撤去した場合に、圧縮コイルばね１０が伸びて粘弾性シート２０が破断してしまうことを防ぐことができ、除振装置１００の再利用が可能である。
【００９８】
１．４．  特徴
除振装置１００、除振台１、および除振装置１００の製造方法は、例えば、以下の特徴を有する。
【００９９】
除振装置１００では、粘弾性シート２０の中心軸Ａ方向の長さは、圧縮コイルばね１０の自由高さよりも小さい。そのため、除振装置１００では、粘弾性シート２０が圧縮コイルばね１０の素線間に挟まれて減衰効果が低減することを防ぐことができる。
【０１００】
例えば、除振台１に電子顕微鏡のような重量物が設置された場合、圧縮コイルばね１０は大きく圧縮される。このとき、例えば、粘弾性シート２０の中心軸Ａ方向の長さが圧縮コイルばね１０の自由高さ以上であった場合、粘弾性シート２０が圧縮コイルばね１０の素線間に挟まって減衰効果が低減してしまう場合がある。これに対して、除振装置１００では、粘弾性シート２０の中心軸Ａ方向の長さが圧縮コイルばね１０の自由高さ以上である場合と比べて、粘弾性シート２０が圧縮コイルばね１０の素線間に挟まれる可能性が低い。したがって、除振装置１００によれば、除振台１に重量物が設置された場合でも、粘弾性シート２０が圧縮コイルばね１０の素線間に挟まれて減衰効果が低減することを防ぐ
ことができる。
【０１０１】
除振装置１００では、粘弾性シート２０の中心軸Ａ方向の長さは、圧縮コイルばね１０の自由高さの２０％以上６０％以下である。そのため、除振装置１００では、粘弾性シート２０が圧縮コイルばね１０の素線間に挟まれて減衰効果が低減することを防ぐことができる。
【０１０２】
除振装置１００では、上部構造体５０と上部支持部材３０とに跨がるように設けられている高さ調整用ねじ６０を含み、高さ調整用ねじ６０の回転により、上部構造体５０と上部支持部材３０との間の距離Ｄを変更可能に構成されている。そのため、除振装置１００では、除振装置１００の高さＨを調整することができる。また、高さ調整用ねじ６０によって上部構造体５０と上部支持部材３０との間の距離Ｄを調整して圧縮コイルばね１０の圧縮量（反発力）を変化させることができる。除振装置１００では、例えば、除振装置１００に加わる荷重に応じて圧縮コイルばね１０の圧縮量（反発力）を調整することができる。したがって、上述したように分析装置１０００が水平となるように調整することができる。
【０１０３】
除振装置１００では、高さ調整用ねじ６０は、上部構造体５０に設けられた貫通孔５２を通過する第１部分６２ａ、および貫通孔５２を通過せずに上部構造体５０に当接する第２部分６２ｂを有する頭部６２と、上部支持部材３０に設けられた雌ねじと螺合する雄ねじが形成されているねじ部６４と、を有している。そのため、除振装置１００では、高さ調整用ねじ６０を回転させることによって、上部構造体５０と上部支持部材３０との間の距離Ｄを変化させて、除振装置１００の高さＨを調整することができる。
【０１０４】
除振装置１００では、上部支持部材３０と下部支持部材４０とをねじ止めして、上部支持部材３０と下部支持部材４０との間の距離を保持する固定用ねじ７０を含む。そのため、除振装置１００では、除振装置１００の持ち運びの際など圧縮コイルばね１０に荷重が加わっていない状態において、圧縮コイルばね１０が伸びて粘弾性シート２０が破断することを防ぐことができる。
【０１０５】
除振装置１００では、上部支持部材３０には貫通孔３６が設けられ、下部支持部材４０には貫通孔３６と同軸上にねじ穴４６が設けられ、固定用ねじ７０は、上部支持部材３０に当接する座面を有する頭部７２と、ねじ穴４６に螺合可能なねじ部７４と、を有している。そのため、除振装置１００では、固定用ねじ７０によって、上部支持部材３０と下部支持部材４０との間の距離が一定以上大きくならないように、当該距離を保持することができる。したがって、圧縮コイルばね１０が伸びて粘弾性シート２０が破断することを防ぐことができる。
【０１０６】
除振装置１００では、粘弾性シート２０は、上部支持部材３０および下部支持部材４０に接着されている。そのため、除振装置１００では、粘弾性シート２０をより確実に圧縮コイルばね１０に周着させることができる。
【０１０７】
除振台１は、除振装置１００を含むため、分析装置１０００の重量が大きい場合であっても、良好な除振性能を発揮することができる。さらに、除振台１では、分析装置１０００の重量バランスが悪い場合であっても、分析装置１０００を水平に支持することができる。
【０１０８】
本実施形態に係る除振装置１００の製造方法では、圧縮コイルばね１０に荷重を加えた状態で、圧縮コイルばね１０に粘弾性シート２０を周着させる。そのため、本実施形態では、粘弾性シート２０が圧縮コイルばね１０の素線間に挟まれて減衰効果が低減すること
を防ぐことができる除振装置１００を製造することができる。
【０１０９】
本実施形態に係る除振装置１００の製造方法では、圧縮コイルばね１０を上部支持部材３０と下部支持部材４０とで挟む工程（Ｓ１０）と、上部支持部材３０および下部支持部材４０に跨がる与圧用ねじ１１０により、上部支持部材３０と下部支持部材４０との間の距離を調整して、圧縮コイルばね１０に荷重を加える工程（Ｓ１２）と、圧縮コイルばね１０に荷重を加えた状態で、圧縮コイルばね１０に粘弾性シート２０を周着させる工程（Ｓ１８）と、を含む。そのため、本実施形態では、粘弾性シート２０が圧縮コイルばね１０の素線間に挟まれて減衰効果が低減することを防ぐことができる除振装置１００を製造することができる。
【０１１０】
本実施形態に係る除振装置１００の製造方法では、圧縮コイルばね１０に荷重を加える工程（Ｓ１２）において、上部支持部材３０に設けられた貫通孔（ねじ穴３４）に与圧用ねじ１１０を通して与圧用ねじ１１０の座面で上部支持部材３０を押圧するとともに、下部支持部材４０に設けられたねじ穴４４に与圧用ねじ１１０をねじ込んで、圧縮コイルばね１０に荷重を加える。そのため、本実施形態では、圧縮コイルばね１０に荷重を加えるための治具などを用いる必要がなく、安全に圧縮コイルばね１０に荷重を加えることができる。
【０１１１】
本実施形態に係る除振装置１００の製造方法では、上部支持部材３０と下部支持部材４０とを固定用ねじ７０でねじ止めして、上部支持部材３０と下部支持部材４０との間の距離を保持する工程（Ｓ１４）を含む。そのため、本実施形態では、除振装置１００の持ち運びの際など圧縮コイルばね１０に荷重が加わっていない状態において、圧縮コイルばね１０が伸びて粘弾性シート２０が破断することを防ぐことができる。
【０１１２】
１．５．  変形例
次に、第１実施形態に係る除振装置１００の製造方法の変形例について、図面を参照しながら説明する。図１７および図１８は、第１実施形態に係る除振装置の製造工程の変形例を模式的に示す図である。
【０１１３】
上述した除振装置１００の製造方法において、圧縮コイルばね１０に荷重を加える工程（Ｓ１２）では、図７および図８に示すように、上部支持部材３０に設けられたねじ穴３４に与圧用ねじ１１０を通して、与圧用ねじ１１０の座面で上部支持部材３０を押圧するとともに、下部支持部材４０に設けられたねじ穴４４に与圧用ねじ１１０にねじ込むことで、圧縮コイルばね１０に荷重を加えていた。
【０１１４】
これに対して、本変形例では、図１７および図１８に示すように、圧縮コイルばね１０に荷重を加える工程（Ｓ１２）では、上部支持部材３０に設けられている貫通孔（ねじ穴３４）および下部支持部材４０に設けられている貫通孔４８に与圧用ねじ１１０を通して、与圧用ねじ１１０の座面と与圧用ねじ１１０に螺合するナット１２０で上部支持部材３０および下部支持部材４０を挟んで、圧縮コイルばね１０に荷重を加える。
【０１１５】
本変形例では、下部支持部材４０をナット１２０で受けるため、下部支持部材４０には、貫通孔４８が設けられていればよく、ねじ穴でなくてもよい。
【０１１６】
本変形例に係る除振装置１００の製造方法では、圧縮コイルばね１０に荷重を加える工程（Ｓ１２）において、上部支持部材３０および下部支持部材４０に設けられている貫通孔（ねじ穴３４、ねじ穴４４）に与圧用ねじ１１０を通して、与圧用ねじ１１０の座面と与圧用ねじ１１０に螺合するナット１２０で上部支持部材３０および下部支持部材４０を挟んで圧縮コイルばね１０に荷重を加える。そのため、本変形例では、圧縮コイルばね１
０に荷重を加えるための治具などを用いる必要がなく、安全に圧縮コイルばね１０に荷重を加えることができる。
【０１１７】
２．  第２実施形態
次に、第２実施形態に係る除振装置について、図面を参照しながら説明する。図１９は、第２実施形態に係る除振装置２００を模式的に示す断面図である。以下、除振装置２００において、上述した除振装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１１８】
除振装置２００では、図１９に示すように、上部支持部材３０（以下、本実施形態では「第１支持部材３０」ともいう）が圧縮コイルばね１０の下方側の端部を受けており、下部支持部材４０（以下、本実施形態では「第２支持部材４０」ともいう）が圧縮コイルばね１０の上方側の端部を受けている。すなわち、除振装置２００では、上述した図４に示す除振装置１００と上部支持部材３０と下部支持部材４０とが上下が逆になっている。
【０１１９】
除振装置２００では、第２支持部材４０上に上部構造体５０が配置されている。第２支持部材４０と上部構造体５０とはねじ２０２でねじ止めされている。
【０１２０】
第２支持部材４０には、固定用ねじ７０（図９等参照）を通すための貫通孔４９が設けられている。固定用ねじ７０は、貫通孔４９に挿入されて第１支持部材３０の貫通孔３６（ねじ穴）に螺合可能である。固定用ねじ７０には、上部構造体５０に設けられた貫通孔５４を介して脱着可能である。
【０１２１】
第１支持部材３０のねじ穴３４には、高さ調整用ねじ６０が螺合している。高さ調整用ねじ６０の頭部６２の第１部分６２ａは、基台４（下部構造体）の下方に位置している。高さ調整用ねじ６０の頭部６２の第１部分６２ａには、例えば六角穴が形成されており、六角レンチなどの工具で、高さ調整用ねじ６０を回転させることができる。
【０１２２】
高さ調整用ねじ６０を回転させることにより、第１支持部材３０と基台４（下部構造体）との間の距離Ｄｄが変化する。これにより、除振装置２００の高さを調整することができる。
【０１２３】
除振装置２００の製造方法および除振装置２００の使用方法は、上述した除振装置１００と同様であり、その説明を省略する。
【０１２４】
除振装置２００によれば、除振装置１００と同様の作用効果を奏することができる。
【０１２５】
３．  第３実施形態
次に、第３実施形態に係る除振装置について、図面を参照しながら説明する。図２０は、第３実施形態に係る除振装置３００を模式的に示す断面図である。以下、除振装置３００において、上述した除振装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１２６】
上述した除振装置１００では、図４に示すように、１つの圧縮コイルばね１０を備えていた。これに対して、除振装置３００では、図２０に示すように、複数の圧縮コイルばね１０を備えている。
【０１２７】
図２０に示す例では、除振装置３００は、２つの圧縮コイルばね１０を備えているが、３つ以上の圧縮コイルばね１０を備えていてもよい。
【０１２８】
除振装置３００では、上部支持部材３０は、第１部分３０ａと、２つの第２部分３０ｂと、で構成されている。
【０１２９】
上部支持部材３０の第１部分３０ａには、高さ調整用ねじ６０のねじ部と螺合するねじ穴３４が設けられている。上部支持部材３０の第１部分３０ａと上部構造体５０とは、高さ調整用ねじ６０で接続されている。高さ調整用ねじ６０を回転させることで、上部構造体５０と上部支持部材３０（第１部分３０ａ）との間の距離Ｄを変更することができる。
【０１３０】
高さ調整用ねじ６０の第１部分３０ａには、与圧用ねじ１１０（図７等参照）を脱着するための貫通孔３０２が２つ設けられている。なお、本実施形態では、与圧用ねじ１１０が固定用ねじ７０を兼ねていてもよい。この場合、圧縮コイルばね１０に荷重を加えるために取り付けられた与圧用ねじ１１０は、分析装置が上部構造体５０に設置された後に、取り外される。与圧用ねじ１１０は、上部構造体５０の貫通孔５４、および上部支持部材３０の第１部分３０ａの貫通孔３０２を介して脱着可能である。
【０１３１】
上部支持部材３０の第２部分３０ｂは、２つの圧縮コイルばね１０に対応して２つ設けられている。２つの第２部分３０ｂは、第１部分３０ａに固定されている。上部支持部材３０の第２部分３０ｂには、凸部３２と、与圧用ねじ１１０を通すための貫通孔３０４と、が設けられている。
【０１３２】
下部支持部材４０は、２つの圧縮コイルばね１０に対応して２つ設けられている。下部支持部材４０には、与圧用ねじ１１０のねじ部に螺合するねじ穴４４が設けられている。下部支持部材４０と基台４とは、ねじ３０６によってねじ止めされている。
【０１３３】
除振装置３００の製造方法および除振装置３００の使用方法は、上述した除振装置１００と同様であり、その説明を省略する。
【０１３４】
除振装置３００によれば、除振装置１００と同様の作用効果を奏することができる。
【０１３５】
４．  その他の変形例
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
【０１３６】
例えば、上述した実施形態では、粘弾性シート２０の一方の面が粘着性を有しており、当該面の粘着性により圧縮コイルばね１０に接着する場合について説明したが、粘弾性シート２０が粘着性を有していなくてもよい。この場合、圧縮コイルばね１０と粘弾性シート２０とを接着剤や接着テープなどで接着してもよい。
【０１３７】
また、例えば、上述した実施形態では、分析装置１０００を設置するための除振台１に用いられる除振装置１００について説明したが、本発明に係る除振装置は、分析装置に限定されず、加工装置や、光学機器、計測機器などを除振するためにも用いることができる。
【０１３８】
なお、上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。
【０１３９】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成すること
ができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１４０】
１…除振台、２…フレーム、４…基台、１０…圧縮コイルばね、２０…粘弾性シート、３０…上部支持部材（第１支持部材）、３０ａ…第１部分、３０ｂ…第２部分、３２…凸部、３４…ねじ穴、３６…貫通孔、４０…下部支持部材（第２支持部材）、４２…凸部、４４…ねじ穴、４６…ねじ穴、４８…貫通孔、４９…貫通孔、５０…上部構造体、５２…貫通孔、５４…貫通孔、６０…高さ調整用ねじ、６２…頭部、６２ａ…第１部分、６２ｂ…第２部分、６４…ねじ部、７０…固定用ねじ、７２…頭部、７４…ねじ部、１００…除振装置、１０８…ワッシャー、１１０…与圧用ねじ、１２０…ナット、２００…除振装置、２０２…ねじ、３００…除振装置、３０２…貫通孔、３０４…貫通孔、３０６…ねじ、１０００…分析装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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