(57)【要約】【課題】作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる封じ込め装置を提供する。【解決手段】封じ込め装置としての真空乾燥機１は、処理物ＭＤが処理空間ＳＰ内に配置される載置部３７０を有する本体部２と、本体部２の開口部２Ｈを開閉可能に閉鎖する開閉扉３と、処理空間ＳＰの内部の雰囲気の空気を、排気経路２０を通じて本体部２の外部に排気する排気ファン１６と、排気ファン１６を起動させる制御部１００を備え、開閉扉３が開けられる前には、制御部１００は排気ファン１６を起動することで、処理空間ＳＰ内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間ＳＰ内の空気が排気される。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理物を封じ込めて処理するための封じ込め装置であって、
前記処理物を収容してするための処理空間内に配置されて前記処理物が配置される載置部を有する本体部と、
前記本体部を開閉可能に閉鎖する開閉扉と、
前記処理空間の内部の雰囲気の空気を、排気経路を通じて前記本体部の外部に排気する排気ファンと、
前記排気ファンを起動させる制御部と、を備え、
前記開閉扉が開けられる前には、前記制御部が前記排気ファンを起動することで、前記処理空間内の圧力が陰圧またはゼロになるように、前記処理空間内の空気が排気されることを特徴とする封じ込め装置。
【請求項２】
前記開閉扉が開けられる前に前記処理空間内に飛散している物質は、前記開閉扉を開けたときには、すでに前記空気とともに前記処理空間内から排気されていることを特徴とする請求項１記載の封じ込め装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記処理物を処理後に、前記排気ファンを、予め定めた所定時間動作させることを特徴とする請求項１または２に記載の封じ込め装置。
【請求項４】
前記処理空間内の天井部には、外部から空気を供給する空気供給部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の封じ込め装置。
【請求項５】
前記処理空間で前記処理物が真空状態下で加熱される真空乾燥機であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の封じ込め装置。
【請求項６】
前記処理空間で前記処理物が大気圧状態下で加熱される乾燥機であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の封じ込め装置。
【請求項７】
前記排気ファンは、ＨＥＰＡフィルタを備え、使用後の前記ＨＥＰＡフィルタは、バッグに収容された状態で前記排気経路から取り外されることで、前記排気経路より前記本体部内の排出物が外部に飛散されない構成であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の封じ込め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば加熱処理物を加熱する乾燥機のような、処理物を封じ込めて処理するための封じ込め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
封じ込め装置としての乾燥機は、槽内に加熱処理物を収容して加熱処理するのに用いられる。この種の乾燥機であるオーブンが、特許文献１に開示されている。乾燥機の槽は箱型に作られており、開閉扉を有し、槽内の雰囲気はヒータにより加熱される構造である。
【０００３】
作業者は、この扉を開けて槽内に加熱処理物を配置して、その後この扉を閉じて槽内の加熱処理物を加熱した後、再び扉を開けて加熱処理済みの加熱処理物を取り出すようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２７１１２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に記載の乾燥機は、再び開閉扉を開けて加熱処理した加熱処理物を取り出す際に、槽内の雰囲気には加熱処理物を加熱処理した際に発生する粉体や有機溶剤等のハザード物質が含まれていることがある。作業者が開閉扉を開けた際に、このハザード物質が庫外に漏れ出てしまうおそれがある。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる封じ込め装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を達成するため、請求項１に記載の封じ込め装置は、処理物を封じ込めて処理するための封じ込め装置であって、前記処理物を収容してするための処理空間内に配置されて前記処理物が配置される載置部を有する本体部と、前記本体部を開閉可能に閉鎖する開閉扉と、前記処理空間の内部の雰囲気の空気を、排気経路を通じて前記本体部の外部に排気する排気ファンと、前記排気ファンを起動させる制御部と、を備え、前記開閉扉が開けられる前には、前記制御部が前記排気ファンを起動することで、前記処理空間内の圧力が陰圧またはゼロになるように、前記処理空間内の空気が排気されることを特徴とする。
【０００８】
請求項１の封じ込め装置では、開閉扉が開けられる前に、処理空間内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間内の空気が排気される。このため、作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気の空気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉を開けることができる。処理空間の雰囲気の空気に含まれる粉体や有機溶剤等の有毒物質等が作業者に曝露しない。
【０００９】
請求項２の封じ込め装置では、前記開閉扉が開けられる前に前記処理空間内に飛散している物質は、前記開閉扉を開けたときには、すでに前記空気とともに前記処理空間内から排気されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項２の封じ込め装置では、開閉扉が開けられる前では、有毒物質のような物質が、処理空間内に飛散していても、作業者がこの開閉扉を開けたときには、すでにこのような物質は空気とともに排気されてしまっている。このため、作業者は、安心して開閉扉を開けることができる。
【００１１】
請求項３の封じ込め装置では、前記制御部は、前記処理物を処理後に、前記排気ファンを、予め定めた所定時間動作させることを特徴とする。
【００１２】
請求項３の封じ込め装置では、制御部は、処理物を処理後に、排気ファンを予め定めた所定時間動作させるので、作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。
【００１３】
請求項４の封じ込め装置の前記処理空間内の天井部には、外部から前記下方に向けて流れる空気を供給する空気供給部が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
請求項４の封じ込め装置では、下方に向けて流れる空気を供給する空気供給部が、処理空間内の天井部に設けられていて、空気供給部から供給される下方に向けて流れる空気は、下方側に排気される。このため、下方に向けて流れる空気は、処理空間内に行き渡り、作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。
【００１５】
請求項５の封じ込め装置の前記処理空間で前記処理物が真空状態下で加熱される真空乾燥機であることを特徴とする。
【００１６】
請求項５の封じ込め装置では、作業者が、真空乾燥機の開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気の空気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。
【００１７】
請求項６の封じ込め装置では、前記処理空間で前記処理物が大気圧状態下で加熱される乾燥機であることを特徴とする。
【００１８】
請求項６の封じ込め装置では、作業者が、乾燥機の開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気の空気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。
【００１９】
請求項７の封じ込め装置では、前記排気ファンは、ＨＥＰＡフィルタを備え、使用後の前記ＨＥＰＡフィルタは、バッグに収容された状態で前記排気経路から取り外されることで、前記排気経路より前記本体部内の排出物が外部に飛散されない構成であることを特徴とする。
【００２０】
請求項７の封じ込め装置では、使用後のＨＥＰＡフィルタは、バッグに入れてから、バッグごと使用後のＨＥＰＡフィルタを排気経路から取り外すことができ、排気経路より排出物である例えば本体部内の粉体や有機溶剤等を外部に飛散させない。このため、ＨＥＰＡフィルタに付着している粉体や有機溶剤等が、本体部の外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる封じ込め装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の封じ込め装置の第１実施形態である真空乾燥機を示す正面図である。
【図２】図１に示す真空乾燥機の平面図である。
【図３】図１に示す真空乾燥機の右側の側面図である。
【図４】図１に示す真空乾燥機の背面図である。
【図５】制御ボックスを示す正面図である。
【図６】真空乾燥機の系統システムを示す系統図である。
【図７】真空乾燥機の本体部内の構造例を示す図である。
【図８】真空乾燥機の動作例を示すフロー図である。
【図９】図８に続く真空乾燥機の動作例を示すフロー図である。
【図１０】本発明の封じ込め装置の第２実施形態である乾燥機を示す正面図である。
【図１１】図１０に示す乾燥機の平面図である。
【図１２】図１０に示す右側の側面図である。
【図１３】乾燥機の系統システムを示す系統図である。
【図１４】乾燥機の本体部内の構造例を示す図である。
【図１５】乾燥機の動作例を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を用いて、本発明を実施するための形態(以下、実施形態と称する)を説明する。
【００２４】
（第１実施形態）
図１は、本発明の封じ込め装置の第１実施形態である真空乾燥機を示す正面図である。図２は、図１に示す真空乾燥機の平面図である。図３は、図１に示す真空乾燥機の右側の側面図である。図４は、図１に示す真空乾燥機の背面図である。
【００２５】
図１ないし図４に示す真空乾燥機１は、耐熱性を有する金属により作られた箱型の槽（チャンバ）を有する加熱封じ込め装置であり、真空圧状態下で、例えば薬品等の粉体等の加熱処理物を封じ込めて加熱する機能を有する。この加熱処理物を加熱の際には、真空乾燥機１の本体部２内には、例えば粉体や有機溶剤等のハザード物質が発生することがある。
【００２６】
図１と図２に示すように、この真空乾燥機１は、本体部２と、開閉扉３と、外部機器４を有している。本体部２と開閉扉３は、箱型の密閉可能な槽を構成している。この本体部２は、上面部２Ａ、底面部２Ｂ、左側面部２Ｃ、右側面部２Ｄ、背面部２Ｅ、そして前面部２Ｆを有する直方体形状の箱部材である。本体部２の内部は、真空状態で所定の温度で加熱可能な直方体形状の処理空間ＳＰである。
【００２７】
図１と図３に示すように、底面部２Ｂの四隅位置には、本体部２の支持用の脚部材２Ｇが設けられている。図２と図３に示すように、本体部２の前面部２Ｆには、矩形の前面開口部２Ｈが設けられている。開閉扉３が、この前面開口部２Ｈを密閉状態で閉鎖可能になっている。これにより、本体部２の処理空間ＳＰ内で加熱処理された加熱処理物から例えば粉体や有機溶剤等が発生しても、その粉体が処理空間ＳＰ内から外部には漏れ出ないようになっている。図１に示すように、開閉扉３は、耐熱ガラス窓３Ｇを有している。
【００２８】
図１と図２に示すように、開閉扉３の一端部３Ａは、ヒンジ部材４を用いて、左側面部２Ｃの前端部分に対して取り付けられており、開閉扉３は、図２に示すようにヒンジ部材４を中心として、ＲＲ方向に開くことができる。開閉扉３の他端部３Ｂの表面には、図３に示すように開閉ハンドル５が設けられている。
【００２９】
これにより、作業者は、図２に示す開閉ハンドル５を把持して、開閉扉３をＲＲ方向に開けることにより、作業者は、加熱処理物を、この開口部２Ｈを通じて本体部２内の処理空間ＳＰ内に挿入できる。また、作業者は、処理空間ＳＰ内を真空圧状態下から大気圧状態に戻してから、処理空間ＳＰ内の排気（換気）を始めてから予め定めた所定時間を経過した後に、作業者が開閉扉３を開けることで、開口部２Ｈを通じて処理後の加熱処理物を取り出すことができる。
【００３０】
図１と図３に例示するように、本体部２内には、処理空間ＳＰ内に配置された加熱処理物を所定の温度で加熱するために、例えば破線で示すように、パネル状のヒータＨが配置されている。このパネル状のヒータＨは、例えば処理空間ＳＰを形成する上面部、下面部、左右側面部、背面部や、必要に応じて、開閉扉３内にも配置されている。
【００３１】
図３に示すように、本体部２の上面部２Ａには、扉スイッチ（ドアスイッチ）６が配置されている。この扉スイッチ６は、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖している状態ではオフ信号を発生するが、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを少しでも開けた状態になるとオン信号を発生する。
【００３２】
図１に示すように、本体部２の下部２Ｍには、制御ボックス７が配置されている。図５は、この制御ボックス７を示す正面図である。この制御ボックス７は、図５に拡大して例示するように、ドア開閉ランプ８と、排気ファン起動ランプ９と、排気スイッチ１０を有する。
【００３３】
図５に示すドア開閉ランプ８は、開閉扉３が閉じているか開いているかを示す。ドア開閉ランプ８は、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖している状態を示す例えば緑色のランプ８Ａと、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを開けている状態を示す例えば赤色のランプ８Ｂを有する。緑色のランプ８Ａは、扉スイッチ６がオフ信号を発生していて安全な状態であると発光し、赤色のランプ８Ｂは、扉スイッチ６がオン信号を発生していて注意喚起の状態であると発光する。
【００３４】
図１に示す排気ファン起動ランプ９は、後で説明する排気ファン１６（図６を参照）が起動している時に点灯するランプである。排気スイッチ１０は、作業者が後で説明する排気ファン１６を起動して、本体部２内の処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気を、処理空間ＳＰの外部に排気（換気）する際に、作業者がオン操作するためのスイッチである。
【００３５】
図４に示すように、本体部２の背面部２Ｅには、真空ポンプ接続口３１Ａと自動バルブ３２が設けられている。
【００３６】
図２と図３に示すように、本体部２の背面部２Ｅには、逆止弁２１の付いた排気口１１が設けられている。この排気口１１は、例えばフレキシブルチューブ等の連結チューブ１２を用いて、外部機器４の吸入口１３に接続されている。
【００３７】
図１に示すように、この外部機器４は、本体ユニット１５と、排気ファン１６と、排気口１７を有する。本体ユニット１５は、ＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）１８を交換可能に内蔵している。本体ユニット１５は、排気ファン１６を内蔵しており、排気口１７は本体ユニット１５の下部に設けられている。このＨＥＰＡフィルタ１８は、空気清浄が求められる分野で使用される高性能フィルタである。
【００３８】
図１に示す排気ファン１６が起動すると、本体部２内の処理空間ＳＰ内の例えば粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気は、排気口１１と連結チューブ１２と吸入口１３を介して、本体ユニット１５のＨＥＰＡフィルタ１８を通る。これにより、粉体や有機溶剤等がＨＥＰＡフィルタ１８により捕獲された後、クリーンな空気が排気口１７から排気される。
【００３９】
ただし、使用済みのＨＥＰＡフィルタ１８には、例えば加熱処理物を加熱する際に発生する粉体や有機溶剤等が付着している。このため、使用済みのＨＥＰＡフィルタ１８を交換する際には、使用済みのＨＥＰＡフィルタ１８を、図示しないバッグに包み込むようにして入れた状態で、本体ユニット１５内から取り外すことで、使用済みのＨＥＰＡフィルタ１８に付着している粉体や有機溶剤等が、漏れ出ないようにする。これにより、真空乾燥機１を使用する際に、粉体や有機溶剤等を含む空気が外部に曝露することは無く、作業安全性がさらに向上する。
【００４０】
次に、図６を参照して、図１から図３に示す真空乾燥機１の構造例を、さらに説明する。
【００４１】
図６は、真空乾燥機１の系統システムを示す系統図である。
【００４２】
図６に示すように、本体部２の排気口１１に接続されている連結チューブ１２から、排気口１７までは、排気経路（排気ライン）２０を構成している。排気口１１の付近には、逆止弁２１が設けられている。この逆止弁２１が連結チューブ１２の途中に配置されていることで、外部の空気等が、排気口１７側から連結チューブ１２と本体部２の排気口１１を経て、処理空間ＳＰ内に逆流して入ってしまうのを、確実に防止することができる。
【００４３】
図６に示すように、逆止弁２１と自動バルブ２２は、ＨＥＰＡフィルタ１８を介して、排気ファン１６に接続されている。これにより、制御部１００が。排気ファン１６を起動することにより、処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、本体部２の排気口１１と連結チューブ１２と逆止弁２１を経て、矢印Ｔ方向に送られ、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気は、ＨＥＰＡフィルタ１８を通る。
【００４４】
これにより、ＨＥＰＡフィルタ１８は、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気から粉体や有機溶剤等を除去することで、外部に出る空気はクリーン化される。クリーン化された空気は、排気口１７から、外部に排出される。
【００４５】
一方、図６に示すように、本体部２には、排気経路２０の他に、真空引き経路（真空引きライン）３０が設けられている。真空引き経路３０は、チューブ３１と、自動バルブ３２と、真空ポンプ３３と、逆流防止用自動バルブ３４と、排気口３５を有している。チューブ３１Ａと排気口３５の間に配置されている。真空ポンプ３３が作動すると、処理空間ＳＰ内の雰囲気の空気は、排気経路２０を通じて、Ｎ方向に真空引きされる。これにより、処理空間ＳＰ内は所定の真空度の真空圧状態に維持される。
【００４６】
図６に示すように、自動バルブ３２と真空ポンプ３３の間には、パージライン４０が接続されており、このパージライン４０には、逆流防止用自動バルブ３４が配置されている。
【００４７】
図６に示すように、本体部２は、外部の空気の給気部ともいうパージライン４５を有する。このパージライン４５には、パージ用自動バルブ４６が配置されている。パージ用自動バルブ４６を閉じた状態で、本体部２の処理空間ＳＰ内では、例えば処理空間ＳＰの上部の位置から処理空間ＳＰ内の下方に向けて、下方に向けて流れる空気ＤＡ（図７を参照）として形成されて供給できるようになっている。この下方に向けて流れる空気ＤＡは、例えばダウンフローということができる。この下方に向けて流れる空気ＤＡは、処理空間内の空気の流れの一例であり、空気の流れは下方に限らず、任意に選択できる。
【００４８】
図６に示すように、制御ボックス７は制御部１００を有している。この制御部１００は、ドア開閉ランプ８と排気ファン起動ランプ９の点灯制御を行い、排気スイッチ１０のオン／オフ信号を受ける。また、制御部１００は、図６に示すように、排気経路２０の自動バルブ２２と、真空引き経路３１の自動バルブ３２と、逆流防止用自動バルブ３４と、パージ用自動バルブ４６のそれぞれの開閉動作の制御を行う。制御部１００は、換気ファンともいう排気ファン１６と、真空ポンプ３３のそれぞれの起動制御を行う。
【００４９】
図６に示すように、開閉ハンドル５は、接触センサ２５を有している。この接触センサ２５は、作業者が開閉ハンドル５に触れると、接触信号ＣＳを制御部１００に送る。扉スイッチ６は、作業者が開閉扉３をわずかでも開けると、オン信号ＯＳを制御部１００に送る。これにより、制御部１００は、開閉扉３が開いて前面開口部２Ｈが開放されている状態であることを、確実に認識できる。
【００５０】
図６に示すように、制御部１００は、タイマ１０１を有している。作業者は、このタイマ１０１を用いて、図６に示す排気スイッチ１０を押して排気ファン１６が起動して排気を開始した後にこの排気ファン１６の稼働を停止させるまでの、予め定められた所定時間ＴＭを、任意に設定することができる。
【００５１】
ここで、予め定められた所定時間ＴＭとは、作業者が、図６に示す排気スイッチ１０を押して排気ファン１６を起動することで、本体部２内の処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気を、排気通路２０を通じて、処理空間ＳＰの外部に完全に排気（換気）することができる、排気ファン１６の起動時間をいう。
【００５２】
この予め定められた所定時間ＴＭは、図６に示す制御部１００のタイマ１０１に記憶されている。このタイマ１０１は、開扉許可時間設定用のタイマともいうことができ、タイマ１０１は、作業者が、加熱処理物の真空加熱処理をした後に、作業者が、処理空間ＳＰ内に残っている粉体や有機溶剤等が、外に曝露しないようにした状態を確保した上で、開閉扉３を開けることができるまでの待機時間を記憶している。
【００５３】
この所定時間ＴＭの設定例としては、排気ファン１６が、例えば本体部２内の処理空間ＳＰの容量に対して、その容量の２倍から３倍程度の換気容量分を、排気経路２０を通じて、外部に排気できる時間である。一例として、排気ファン１６が、１分間当たり１・（立方メートル）排気（換気）できる能力があり、処理空間ＳＰ内の容量が２・であるとすれば、制御部１００は、好ましくは排気ファン１６を４分間以上起動することになる。
【００５４】
これにより、排気ファン１６は、処理空間ＳＰの容量の２倍以上排気してＨＥＰＡフィルタ１８に導くことができる。従って、ＨＥＰＡフィルタ１８は、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気から粉体や有機溶剤等を除去することで、外部に出る空気はクリーン化される。クリーン化された空気は、排気口１７から、外部に排出される。
【００５５】
このため、処理空間ＳＰ内には、粉体や有機溶剤等が残らず、作業者が開閉扉３を開けたとしても、処理空間ＳＰ内から粉体や有機溶剤等が、例えば作業者や真空加熱機１の置かれた施設に対して曝露されるおそれが、全く無くなる。
【００５６】
さらに、好ましくは、真空乾燥機１は、ドアロック部２６を有する。このドアロック部２６は、開閉扉３の開閉操作ができないようにロックして、開閉扉３が本体部２側から、不用意に開かないようにするために設けられている。このドアロック部２６は、制御部１００からのドア開成信号ＤＳを受けると、解除される。これにより、開閉扉３のロックが外れて、作業者は、開閉扉３を開くことができる。
【００５７】
また、制御部１００は、真空乾燥機１のパネル状のヒータＨに対して通電することで、ヒータＨを発熱させて、処理空間ＳＰ内を所定の温度に設定可能である。なお、真空乾燥機１の本体部２と制御ボックス７は、商用電源Ｇから電源供給を受けている。
【００５８】
図７は、図１に示す本体部２の処理空間ＳＰの内部構造例を示す図である。
【００５９】
図７に示すように、本体部２は、例えば直方体形状の処理空間ＳＰを有している。本体部２の処理空間ＳＰの上部には、空気供給部３５０が設けられている。処理空間ＳＰ内には、図６に示すパージライン４５は、図７に示す本体部２内の空気供給部３５０へ、外部の空気を供給できるようになっている。このパージライン４５は、外部の空気給気部の一部を構成している。
【００６０】
この空気供給部３５０は、板状の部材であり、外部のパージライン４５から供給された空気から下方に向けて流れる空気ＤＡを作って、処理空間ＳＰに供給するための複数の孔３５１を有する。これらの孔３５１は、例えば前後方向Ｘと左右方向Ｙに沿って、均等間隔でマトリックス状に形成されている。これにより、下方に向けて流れる空気ＤＡは、複数の孔３５１を通じて、処理空間ＳＰの全領域に渡って、下方に向けて均等に吹出して供給することができる。
【００６１】
しかも、図７に示すように、処理空間ＳＰ内には、１枚または複数枚の載置台３７０が着脱可能に配置されている。図７では、図面の簡単化のために、１枚の載置台３７０が配置されているが、複数枚の載置台３７０は、上下方向Ｚに沿って間隔を空けて、平行に配置できる。この載置台３７０は、例えば棚板状のものであり、この上には、加熱処理物ＭＤを載せる。
【００６２】
図７に示すように、載置台３７０は、複数の開口部３７１を有している。これらの開口部３７１は、貫通孔であり、例えば前後方向Ｘと左右方向Ｙに沿って、均等間隔でマトリックス状に形成されている。
【００６３】
これにより、空気供給部３５０から処理空間ＳＰ内において下方に向けて供給される下方に向けて流れる空気ＤＡは、複数の開口部３７１を通じて、排気空気ＤＦとして下方に導いて、排気経路２０側に排気することができる。これらの開口部３７１は、均等間隔でマトリックス状に形成されていることから、処理空間ＳＰの全領域に渡って均等に供給された下方に向けて流れる空気ＤＡの流れを阻害しないで、排気経路２０側に排気することができる。
【００６４】
次に、図８と図９を参照して、上述した封じ込め装置としての真空乾燥機１の動作例を説明する。図８は、真空乾燥機１の動作例を示すフロー図であり、図９は、図８に続く真空乾燥機１の動作例を示すフロー図である。なお、図８と図９に示す真空乾燥機１の動作例は、あくまで一例であり、真空乾燥機１の動作は任意に設定することができる。
【００６５】
図８に示す真空乾燥機１の動作例は、ステップＳ１０からステップＳ１６を有し、このステップＳ１６は、図９に示す続きの動作例のステップＳ２１に続く。図９では、続きの動作例のステップＳ２１からステップＳ２９を有する。
【００６６】
図９に示す真空乾燥機１の続きの動作例では、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触れた場合の動作例（１）と、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図６に示す開閉扉３の取手５には触れずに、排気スイッチ１０を押した場合の動作例（２）が含まれている。
【００６７】
まず、図８に示すステップＳ１０からステップＳ１６を参照して、真空乾燥機１の動作を説明する。
【００６８】
図８のステップＳ１０に示すように、図６に示す真空乾燥機１を使用する前の状態であっては、本体部２の処理空間ＳＰ内は大気圧状態になっている。この場合には、例えば、制御部１００の指令により、真空引き経路３０の自動バルブ３２は閉じており、パージライン４５のパージ用自動バルブ４６も閉じており、そして排気経路２０の自動バルブ２２は閉じている。
【００６９】
ステップＳ１１では、作業者が図６の開閉扉３を開けて、真空乾燥機１の本体部２の処理空間ＳＰ内に加熱処理物を入れて、真空圧状態下で所定の温度で加熱処理をする。この場合には、制御部１００が、図６の自動バルブ３２を開けて真空ポンプ３３を起動して、処理空間ＳＰ内を真空引きして、真空引き後は自動バルブ３２を閉じて真空ポンプ３３を止める。これにより、制御部１００の指令により、処理空間ＳＰ内の加熱処理物は、真空圧状態で、ヒータＨにより所定の温度で加熱処理される。
【００７０】
図８のステップＳ１２では、処理空間ＳＰ内で、真空圧状態での加熱処理物の加熱処理作業が終わると、ステップＳ１３に移る。そして、例えば制御部１００は、真空引き経路３０の自動バルブ３２と、排気経路２０の自動バルブ２２を閉じた状態で、パージライン４５のパージ用自動バルブ４６は開ける。そして、制御部１００は、排気経路２０の自動バルブ２２を開けて、ステップＳ１４に移る。
【００７１】
ステップＳ１４では、処理空間ＳＰ内が、真空圧状態から大気圧状態になったら、ステップＳ１５に移る。なお、処理空間ＳＰ内の圧力は、図６に示す圧力センサ２９により検知して、圧力信号ＰＧを制御部１００に送る。
【００７２】
ステップＳ１５では、制御部１００は、処理空間ＳＰ内が真空圧状態から大気圧状態になったら、真空引き経路３０の自動バルブ３２と、好ましくはパージライン４５のパージ用自動バルブ４６を閉じて、排気経路２０の自動バルブ２２を閉じた状態にする。これにより、ステップＳ１６に示すように、処理空間ＳＰ内の加熱処理物の粉末や有機溶剤等を含む雰囲気の空気を、処理空間ＳＰ内から排気する作業の準備が完了するので、次の図９に示すステップＳ２１に移る。
【００７３】
すでに説明したように、図９に示す真空乾燥機１の続きの動作例では、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触れた場合の動作例（１）と、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図６に示す開閉扉３の取手５には触れずに、排気スイッチ１０を押した場合の動作例（２）が含まれている。
【００７４】
＜作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触れた場合の動作例（１）＞
まず、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触れた場合の動作例を、図６と図９を参照して説明する。
【００７５】
図９のステップＳ２１では、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触ったかどうかを、制御部１００が判断する。すなわち、作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触ると、接触センサ２５が接触信号ＣＳを制御部１００に送ることにより、制御部１００は、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触ったと判断する。
【００７６】
ただし、この場合には、ドアロック部２６が、まだ開閉扉３をロックしており、開閉扉３が本体部２側から、不用意には開かない。このため、本体部２の前面開口部２Ｈが不用意には開放されず、処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、真空乾燥機１の外部に全く漏れ出ないようにすることができる。これにより、処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、乾燥機１の外部に曝露しないようにして、作業安全性を確保している。
【００７７】
図９のステップＳ２１において、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して触ったと、制御部１００が判断すると、図９のステップＳ２３に移る。
【００７８】
ステップＳ２３では、図９の制御部１００は、排気ファン１６を起動して、自動バルブ２２を開ける。排気ファン１６を起動中は、好ましくはパージライン４５のパージ用自動バルブ４６は閉じており、排気経路２０の自動バルブ２２は開いている。真空引き経路３０の真空ポンプ３３の起動は不可であり、真空引き経路３０の自動バルブ３２は閉じている。この時には、図６の排気ファン起動ランプ９が点灯して、作業者に排気ファン１６を起動していることを明示することで、作業者は、処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、排気経路２０を通じて排気中（換気中）であることが分かる。
【００７９】
そして、図９のステップＳ２４では、図６の制御部１００は、排気ファン１６を、予め定めた所定時間ＴＭだけ起動する。処理空間ＳＰの容量が２・であるとすれば、制御部１００は、排気ファン１６を例えば４分間以上起動することになる。
【００８０】
これにより、開閉扉３が作業者により開けられる前には、制御部１００が排気ファン１６を起動することで、処理空間ＳＰ内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間ＳＰの容量の例えば２倍以上の容量を排気する。このため、作業者が開閉扉３を開けても、処理空間の雰囲気の空気が前面開口部２Ｈから外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉を開けることができるようになる。
【００８１】
上述した処理空間ＳＰ内の圧力がゼロは、好ましくは大気圧である。しかし、処理空間ＳＰ内の圧力がゼロは、真空乾燥機１が置かれている室内の気圧あるいは周囲の環境気圧であってもよい。また、処理空間ＳＰ内の圧力がゼロは、真空乾燥機１がクリーンルーム等の気圧が調整されている部屋に置かれている場合には、その気圧が調整されている部屋内の気圧である。
【００８２】
処理空間ＳＰ内から排気した有毒物質等の物質を含む空気は、ＨＥＰＡフィルタ１８に導くことができるので、ＨＥＰＡフィルタ１８は、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気から粉体や有機溶剤等を除去することで、外部に出る空気はクリーン化される。クリーン化された空気は、排気口１７から、外部に排出される。
【００８３】
このため、処理空間ＳＰ内には、粉体や有機溶剤等が残らず、作業者が開閉扉３を開けたとしても、作業者や真空加熱機１の置かれている施設に対して、処理空間ＳＰ内から粉体や有機溶剤等が曝露されるおそれが、全く無くなる。
【００８４】
このように、制御部１００は、タイマ１０１に記憶されている例えば４分間の所定時間ＴＭだけ、排気ファン１６を起動し続ける。この所定時間ＴＭは、処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気は、排気経路（排気ライン）２０のＨＥＰＡフィルタ１８に通して、処理空間ＳＰ内から排出できるのに要する排出時間以上の時間あるいはより好ましくは２倍以上の時間である。
【００８５】
図６の制御部１００は、処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気を、ＨＥＰＡフィルタ１８に通して、処理空間ＳＰ内から確実に排出できたと判断する。
【００８６】
そして、この所定時間ＴＭが経過すると、図６に示す制御部１００は、ドアロック部２６にドア開成信号ＤＳを送る。これにより、ドアロック部２６は、開閉扉３のロックを外して、作業者が開閉扉３を開くことができる状態になる。
【００８７】
次に、図９のステップＳ２５では、作業者が、手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３を実際に開いたかどうかを判断する。作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３を、タイマ１０１に記憶されている別の所定の経過時間開かない場合には、扉スイッチ６は、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖している状態ではオフ状態であるので、扉スイッチ６からはオン信号ＯＳが制御部１００には送られない。
【００８８】
従って、制御部１００は、オン信号ＯＳが所定の経過時間送られてこないと、作業者が開閉扉３を開く意思が無いとみなして、ステップＳ２６において、タイマ１０１に記憶されている所定の経過時間経過後、例えば１０秒後に、排気ファン１６の稼働は停止して終了する。
【００８９】
一方、図９のステップＳ２５において、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３をタイマ１０１に記憶されている所定の経過時間内に開いて、扉スイッチ６が、オン信号ＯＳを制御部１００に送る。この場合には、制御部１００は、開閉扉３を開いたと判断して、ステップ２７に移る。
【００９０】
図９のステップＳ２７では、制御部１００は、念のために排気ファン１６の稼働を継続する。そして、ステップＳ２８においては、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３を実際に閉めたかどうかを判断する。すなわち、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖すると、扉スイッチ６からはオン信号ＯＳが制御部１００には送られないことから、制御部１００は、作業者が開閉扉３を実際に閉めたと判断して、ステップＳ２９に移る。
【００９１】
また、ステップＳ２８において、扉スイッチ６は、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖していないと判断すると、ステップＳ２７に戻り、引き続き、制御部１００は、念のために排気ファン１６の稼働を継続する。
【００９２】
図９のステップＳ２９では、図６の制御部１００は、排気ファン１６を、タイマ１０１に記憶されている予め定めた所定の経過時間、例えば１０秒間、排気ファン１６を稼働させた後、排気ファン１６の稼働を停止する。
【００９３】
このように停止した時に、念のために、処理空間ＳＰ内の圧力をやや陰圧またはゼロに保持するようにしても良い。これにより、処理空間ＳＰ内から外部に物質等が出るのを防止できる。
【００９４】
このようにして、図６に示す制御部１００は、開閉扉３が不用意には開かないようにしていることで、真空乾燥機１の処理空間ＳＰ内から、粉体等を含む雰囲気の空気が、前面開口部２Ｈから外部に曝露しないように、真空乾燥機１の取り扱い上の作業安全性を確保している。
【００９５】
また、作業者が、実際に開閉扉３を開けようとする場合には、開閉扉３を開ける前に、真空乾燥機１の処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気を、ＨＥＰＡフィルタ１８に通して、処理空間ＳＰ内から排出できるようにする。これにより、処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、開閉扉３を開けたことにより、前面開口部２Ｈから外部に全く曝露しないようにして、真空乾燥機１の取り扱い上の作業安全性を確保している。
【００９６】
＜作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図６に示す開閉扉３の取手５には触れずに、排気スイッチ１０を押した場合の動作例（２）＞
次に、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図６に示す開閉扉３の取手５には触れずに、先に排気スイッチ１０を押した場合の動作例を、図６と図９を参照して説明する。
【００９７】
図９のステップＳ２１において、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を触っていないと、制御部１００が判断すると、図９のステップＳ２２に移る。ステップＳ２２では、制御部１００は、作業者が、図６に示す排気スイッチ１０を押したかどうかを判断する。作業者が図６に示す排気スイッチ１０を押すと、排気スイッチ１０は、制御部１００にオン信号ＦＳを送ることから、制御部１００は排気スイッチ１０が押されたと判断して、図９のステップＳ２３に移る。
【００９８】
ステップＳ２３では、図９の制御部１００は、排気ファン１６を起動して、自動バルブ２２を開ける。排気ファン１６を起動中は、好ましくはパージライン４５のパージ用自動バルブ４６は閉じており、排気経路２０の自動バルブ２２は開いている。真空引き経路３０の真空ポンプ３３の起動は不可であり、真空引き経路３０の自動バルブ３２は閉じている。この時には、図６の排気ファン起動ランプ９が点灯して、作業者に排気ファン１６を起動していることを明示することで、作業者は、処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、排気経路２０を通じて排気中（換気中）であることが分かる。
【００９９】
そして、図９のステップＳ２４では、上述した場合と同じように、図６の制御部１００は、排気ファン１６を、予め定めた所定時間ＴＭだけ起動する。処理空間ＳＰの容量が２・であるとすれば、制御部１００は、排気ファン１６を例えば４分間以上起動することになる。
【０１００】
これにより、開閉扉３が作業者により開けられる前には、制御部１００が排気ファン１６を起動することで、処理空間ＳＰ内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間ＳＰの容量の例えば２倍以上の容量を排気する。このため、作業者が開閉扉３を開けても、処理空間の雰囲気の空気が前面開口部２Ｈから外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉を開けることができるようになる。
【０１０１】
処理空間ＳＰ内から排気した有毒物質等の物質を含む空気は、ＨＥＰＡフィルタ１８に
通して、処理空間ＳＰ内から排出できたと判断する。
【０１０２】
そして、この所定時間ＴＭが経過すると、図６に示す制御部１００は、ドアロック部２６にドア開成信号ＤＳを送る。これにより、ドアロック部２６は、開閉扉３のロックを外して、作業者が開閉扉３を開くことができる状態になる。
【０１０３】
次に、図９のステップＳ２５では、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３を実際に開いたかどうかを判断する。作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３を、タイマ１０１に記憶されている所定の経過時間開かない場合には、扉スイッチ６は、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖している状態ではオフ状態であるので、扉スイッチ６からはオン信号ＯＳが制御部１００には送られない。
【０１０４】
従って、制御部１００は、オン信号ＯＳが所定の経過時間送られてこないと、作業者が開閉扉３を開く意思が無いとみなして、ステップＳ２６において、タイマ１０１に記憶されている所定の経過時間経過後、例えば１０秒後に、排気ファン１６の稼働は停止して終了する。
【０１０５】
一方、図９のステップＳ２５において、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３をタイマ１０１に記憶されている所定の経過時間内に開いて、扉スイッチ６が、オン信号ＯＳを制御部１００に送る。この場合には、制御部１００は、開閉扉３を開いたと判断して、ステップ２７に移る。
【０１０６】
図９のステップＳ２７では、制御部１００は、念のために排気ファン１６の稼働を継続する。そして、ステップＳ２８においては、作業者が手で図６に示す開閉扉３の取手５を把持して開閉扉３を実際に閉めたかどうかを判断する。すなわち、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖すると、扉スイッチ６からはオン信号ＯＳが制御部１００には送られないことから、制御部１００は、作業者が開閉扉３を実際に閉めたと判断して、ステップＳ２９に移る。
【０１０７】
また、ステップＳ２８において、扉スイッチ６は、開閉扉３が本体部２の前面開口部２Ｈを閉鎖していないと判断すると、ステップＳ２７に戻り、引き続き、制御部１００は、念のために排気ファン１６の稼働を継続する。
【０１０８】
図９のステップＳ２９では、図６の制御部１００は、排気ファン１６を、タイマ１０１に記憶されている予め定めた所定の経過時間、例えば１０秒間、排気ファン１６を稼働させた後、排気ファン１６の稼働を停止する。
【０１０９】
真空乾燥機１では、排気ファン１は、ＨＥＰＡフィルタ１８を備えている。好ましくは使用後のＨＥＰＡフィルタ１８は、バッグに収容され、ＨＥＰＡフィルタを収容したバッグが、排気経路２０から取り外されることで、排気経路２０より、フィルタに付着している粉体等を外部に飛散させない構造である。
【０１１０】
特に好ましくは、使用後のＨＥＰＡフィルタ１８は、収容用のバッグに入れてから、さらに回収用バッグ内に収容用のバッグごとＨＥＰＡフィルタ１８を入れた状態でＨＥＰＡフィルタ１８を排気経路２０から取り外すことできる。このため、ＨＥＰＡフィルタ１８に付着している残留粉体等が、排気経路２０から本体部２の外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。
【０１１１】
このように、使用後のＨＥＰＡフィルタ１８は、好ましくは、収容用のバッグに入れてから、さらに回収用バッグ内には、収容用のバッグごとＨＥＰＡフィルタ１８を入れた状態で、ＨＥＰＡフィルタ１８を排気経路２０内から取り外す方式を、バッグイン・バッグアウト方式（Ｂａｇｉｎ−Ｂａｇｏｕｔ方式）と呼ぶことができる。
【０１１２】
上述した本発明の乾燥機の第１実施形態では、開閉扉３が開けられる前には、制御部１００が排気ファン１６を動作させることで、処理空間ＳＰ内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間ＳＰ内の空気が処理空間ＳＰの外へ排気される。このため、作業者が開閉扉３を開けても、処理空間ＳＰの雰囲気の空気が前面開口部２Ｈから外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉３を開けることができる。処理空間ＳＰの雰囲気の空気に含まれる粉体や有機溶剤等の有毒物質等が前面開口部２Ｈから作業者に曝露しない。
【０１１３】
この開閉扉３が開けられる前に処理空間ＳＰ内に飛散している物質は、開閉扉３を開けたときには、すでに物質は空気とともに処理空間ＳＰ内から排気されてしまっている。このため、このため、作業者は、安心して開閉扉３を開けることができる。
【０１１４】
（第２実施形態）
次に、本発明の封じ込め装置の第２実施形態である大気圧下で加熱する乾燥機を、説明する。
【０１１５】
図１０は、本発明の乾燥機の実施形態を示す正面図である。図１１は、図１０に示す乾燥機の平面図である。図１２は、図１０に示す右側の側面図である。図１３は、乾燥機の系統システムを示す系統図である。
【０１１６】
図１０ないし図１２に示す乾燥機１００１は、例えば安定性試験装置（恒温槽）として用いられる。乾燥機１００１は、例えば大気圧状態で、例えば薬品等の粉体等の加熱処理物を封じ込めて加熱する機能を有する。この加熱処理物を加熱の際には、乾燥機１００１の本体部１００２内には、例えば粉体や有機溶剤等のハザード物質が発生することがある。この乾燥機１００１は、本体部１００２と、開閉扉１００３と、外部機器１００４を有している。本体部１００２と開閉扉１００３は、箱型の密閉可能な槽を構成している。
【０１１７】
図１０と図１１に示すように、この本体部１００２は、上面部１００２Ａ、底面部１００２Ｂ、左側面部１００２Ｃ、右側面部１００２Ｄ、背面部１００２Ｅ、そして前面部１００２Ｆを有する直方体形状の箱部材である。本体部１００２の内部は、例えば大気圧状態下で、所定の温度で加熱可能な直方体形状の処理空間ＳＰである。図３に示すように、本体部２には、空気給気部（パージライン）１０３３が設けられている。
【０１１８】
図１０と図１２に示すように、底面部１００２Ｂの四隅位置には、本体部１００２の支持用の脚部材１００２Ｇが設けられている。図１１と図１２に示すように、本体部１００２の前面部１００２Ｆには、矩形の前面開口部１００２Ｈが設けられている。開閉扉１００３が、この前面開口部１００２Ｈを密閉状態で閉鎖可能になっている。
【０１１９】
図１０と図１１に示すように、開閉扉１００３の一端部１００３Ａは、ヒンジ部材１００４を用いて、左側面部１００２Ｃの前端部分に対して取り付けられており、開閉扉１００３は、ヒンジ部材１００４を中心として、ＲＲ方向に開くことができる。開閉扉１００３の他端部１００３Ｂの表面には、図１２に示すように開閉ハンドル１００５が設けられている。
【０１２０】
これにより、作業者は、図１１に示す開閉ハンドル１００５を把持してＲＲ方向に引くことで、作業者は、加熱処理物を、この開口部１００２Ｈを通じて本体部１００２内の処理空間ＳＰ内に挿入できる。また、作業者は、加熱処理物の加熱後に、処理空間ＳＰ内の排気（換気）を始めてから予め定めた所定時間を経過した後に、開閉扉１００３を開けることで、処理空間ＳＰ内から開口部１００２Ｈを通じて処理後の加熱処理物を取り出すことができる。
【０１２１】
図１０から図１２に例示するように、本体部１００２内には、処理空間ＳＰ内に配置された加熱処理物を所定の温度で加熱するために、例えば破線で示すように、パネル状のヒータＨが配置されている。このパネル状のヒータＨは、例えば処理空間ＳＰを形成する上面部、下面部、左右側面部、背面部や、必要に応じて、開閉扉１００３内にも配置されている。
【０１２２】
図１０と図１１に示すように、本体部１００２の上面部１００２Ａには、扉スイッチ（ドアスイッチ）１００６が配置されている。この扉スイッチ１００６は、開閉扉１００３が本体部１００２の前面開口部１００２Ｈを閉鎖している状態ではオフ信号を発生するが、開閉扉１００３が本体部１００２の前面開口部１００２Ｈを少しでも開けた状態になるとオン信号を発生する。
【０１２３】
図１０と図１３に示すように、本体部１００２の上面部１００２Ａには、制御ボックス１００７が配置されている。この制御ボックス１００７は、ドア開閉ランプ１００８と、排気ファン起動ランプ１００９と、一時排気スイッチ１０１０を有する。
【０１２４】
ドア開閉ランプ１００８は、開閉扉１００３が閉じているか開いているかを示す。ドア開閉ランプ１００８は、開閉扉１００３が本体部１００２の前面開口部１００２Ｈを閉鎖している状態を示す例えば緑色のランプ１００８Ａと、開閉扉１００３が本体部１００２の前面開口部１００２Ｈを開けている状態を示す例えば赤色のランプ１００８Ｂを有する。緑色のランプ１００８Ａは、扉スイッチ１００６がオフ信号を発生していて安全な状態であると発光し、赤色のランプ１００８Ｂは、扉スイッチ１００６がオン信号を発生していて注意喚起の状態であると発光するようになっている。
【０１２５】
図１０に示す排気ファン起動ランプ１００９は、後で説明する排気ファン１０１６（図１３を参照）が起動している時に点灯するランプである。一時排気スイッチ１０１０は、作業者が後で説明する排気ファン１０１６を起動して、本体部１００２内の処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気を処理空間ＳＰの外部に、好ましくは一時的に排気する際に、作業者がオン操作するためのスイッチである。
【０１２６】
図１０と図１１に示すように、本体部１００２の右側面部１００２Ｄには、逆止弁付きの排気口１０１１が設けられている。この排気口１０１１は、例えばフレキシブルチューブ等の連結チューブ１０１２を用いて、外部機器１００４の吸入口１０１３に接続されている。
【０１２７】
図１０に示すように、この外部機器１００４は、本体ユニット１０１５と、排気ファン１０１６と、排気口１０１７を有する。本体ユニット１０１５は、ＨＥＰＡフィルタ１０１８を交換可能に内蔵している。本体ユニット１０１５は、排気ファン１０１６を内蔵しており、排気口１０１７は本体ユニット１０１５の下部に設けられている。
【０１２８】
図１０に示す排気ファン１０１６が起動すると、本体部１００２内の処理空間ＳＰ内の例えば粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気は、排気口１０１１と連結チューブ１０１２と吸入口１０１３を介して、本体ユニット１０１５のＨＥＰＡフィルタ１０１８を通る。これにより、粉体や有機溶剤等がＨＥＰＡフィルタ１０１８により捕獲された後、クリーンな空気が排気口１０１７から排気される。
【０１２９】
次に、図１３に示す乾燥機１００１の系統システムを参照して、図１０から図１２に示す乾燥機１００１の構造例を、さらに説明する。
【０１３０】
図１３に示すように、本体部１００２の排気口１０１１に接続されている連結チューブ１０１２から、排気口１０１７までは、排気経路（排気ライン）１０２０を構成している。排気口１０１１の付近には、逆止弁１０２１と自動バルブ１０７０が設けられている。と自動バルブ１０７０は、制御部１１００により制御される。
【０１３１】
この逆止弁１０２１が連結チューブ１０１２の途中に配置されていることで、外部の空気等が、排気口１０１７側から連結チューブ１０１２と本体部１００２の排気口１０１１を経て、処理空間ＳＰ内に逆流して入ってしまうのを、確実に防止することができる。
【０１３２】
図１３に示すように、逆止弁１０２１と自動バルブ１０７０は、ＨＥＰＡフィルタ１０１８を介して、排気ファン１０１６に接続されている。これにより、制御部１１００が排気ファン１０１６を起動することにより、処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、本体部２の排気口１０１１と連結チューブ１０１２と逆止弁１０２１と自動バルブ１０７０を経て、矢印Ｔ方向に送られ、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気は、ＨＥＰＡフィルタ１０１８を通る。
【０１３３】
これにより、ＨＥＰＡフィルタ１０１８は、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気から粉体等を除去することで、外部に出る空気はクリーン化される。クリーン化された空気は、排気口１０１７から、外部に排出される。
【０１３４】
図１３に示すように、制御ボックス１００７は制御部１１００を有しており、この制御部１１００は、ドア開閉ランプ１００８と排気ファン起動ランプ１００９の点灯制御と、排気スイッチ１０１０のオン／オフ信号を、受ける。
【０１３５】
開閉ハンドル１００５は、接触センサ１０２５を有している。この接触センサ１０２５は、作業者が開閉ハンドル１００５に触れると、接触信号ＣＳを制御部１１００に送る。扉スイッチ１００６は、作業者が開閉扉１００３をわずかでも開けると、オン信号ＯＳを制御部１１００に送る。これにより、制御部１１００は、開閉扉１００３が開いて前面開口部１００２Ｈが開放されている状態であることを、確実に認識できる。
【０１３６】
図１３に示すように、制御部１１００は、タイマ１１０１を有している。作業者は、このタイマ１１０１を用いて、図６に示す排気スイッチ１０１０を押して排気ファン１０１６が起動して排気を開始した後に、この排気ファン１０１６の稼働を停止させるまでの、予め定められた所定時間ＴＭ等を設定することができる。
【０１３７】
この予め定められた所定時間ＴＭとは、作業者が、排気スイッチ１０１０を押して排気ファン１０１６を起動することで、本体部１００２内の処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気を、排気通路１０２０を通じて、処理空間ＳＰの外部に完全に排気（換気）することができる、排気ファン１６の起動時間をいう。
【０１３８】
この予め定められた所定時間ＴＭは、図１３に示す制御部１１００のタイマ１１０１に記憶されている。このタイマ１１０１は、作業者が、開閉扉３を開けることができる時間を示す開扉許可時間設定タイマである。
【０１３９】
この所定時間ＴＭの設定例としては、例えば本体部２内の処理空間ＳＰの容量の２倍から３倍程度の容量分を外部に排気できる時間である。一例として、排気ファン１０１６が、１分間当たり１・（立方メートル）排気できる能力があり、処理空間ＳＰの容量が２・であるとすれば、制御部１１００は、好ましくは排気ファン１０１６を４分間起動することになる。
【０１４０】
これにより、排気ファン１０１６は、処理空間ＳＰの容量の２倍以上排気してＨＥＰＡフィルタ１０１８に導くことができるので、ＨＥＰＡフィルタ１０１８は、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気から粉体や有機溶剤等を除去することで、外部に出る空気はクリーン化される。クリーン化された空気は、排気口１０１７から、外部に排出される。
【０１４１】
このため、処理空間ＳＰ内には、粉体や有機溶剤等が残らず、作業者が開閉扉３を開けたとしても、処理空間ＳＰ内から粉体や有機溶剤等が曝露されるおそれが、全く無くなる。
【０１４２】
さらに、好ましくは、乾燥機１００１は、ドアロック部１０２６を有する。このドアロック部１０２６は、開閉扉１００３の開閉操作ができないようにロックして、開閉扉１００３が本体部１００２側から、不用意に開かないようにするために設けられている。このドアロック部１０２６は、制御部１１００からのドア開成信号ＤＳを受けると、解除される。これにより、開閉扉１００３のロックが外れて、作業者は、開閉扉１００３を開くことができる。
【０１４３】
また、制御部１１００は、乾燥機１００１のパネル状のヒータＨに対して通電することで、ヒータＨを発熱させて、処理空間ＳＰ内を所定の温度に設定可能である。なお、乾燥機１００１の本体部１００２と制御ボックス１００７は、商用電源Ｇから電源供給を受けている。
【０１４４】
図１４は、図１に示す本体部１００２の処理空間ＳＰの内部構造例を示す図である。
【０１４５】
図１４に示すように、本体部１００２は、例えば直方体形状の処理空間ＳＰを有している。本体部１００２の処理空間ＳＰの上部には、空気供給部１３５０が設けられている。外気がパージライン１０３３を通じて本体部２の処理空間ＳＰ内の空気供給部１３５０へ供給され、空気供給部１３５０は、処理空間ＳＰの上部の位置から処理空間ＳＰ内の下方に向けて、下方に向けて流れる空気ＤＡを供給できる。
【０１４６】
この空気供給部１３５０は、板状の部材であり、外部から供給された空気から下方に向けて流れる空気ＤＡを作って供給するための複数の孔１３５１を有する。これらの孔１３５１は、例えば前後方向Ｘと左右方向Ｙに沿って、均等間隔でマトリックス状に形成されている。これにより、下方に向けて流れる空気ＤＡは、複数の孔１３５１を通じて、処理空間ＳＰの全領域に渡って均等に供給することができる。この下方に向けて流れる空気ＤＡは、例えばダウンフローということができる。この下方に向けて流れる空気ＤＡは、処理空間内の空気の流れの一例であり、空気の流れは下方に限らず、任意に選択できる。
【０１４７】
しかも、図１４に示すように、処理空間ＳＰ内には、１枚または複数枚の載置台１３７０が着脱可能に配置されている。図１４では、図面の簡単化のために、１枚の載置台１３７０が配置されているが、複数枚の載置台１３７０は、上下方向Ｚに沿って間隔を空けて、平行に配置できる。この載置台１３７０は、例えば棚板状のものであり、この上には、加熱処理物ＭＤを載せる。
【０１４８】
図１４に示すように、載置台１３７０は、複数の開口部１３７１を有している。これらの開口部１３７１は、貫通孔であり、例えば前後方向Ｘと左右方向Ｙに沿って、均等間隔でマトリックス状に形成されている。これにより、空気供給部１３５０から処理空間ＳＰ内に供給される下方に向けて流れる空気ＤＡは、複数の開口部１３７１を通じて、排気空気ＤＦとして下方に導いて、排気経路１０２０側に排気することができる。これらの開口部１３７１は、均等間隔でマトリックス状に形成されていることから、処理空間ＳＰの全領域に渡って均等に供給された下方に向けて流れる空気ＤＡの流れを阻害しないで、排気経路１０２０側に排気することができる。
【０１４９】
次に、図１５を参照して、上述した乾燥機１の動作例を説明する。図１５は、乾燥機１００１の動作例を示すフロー図である。図１５では、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して触れた場合の動作例（１）と、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５には触れずに、排気スイッチ１０１０を押した場合の動作例（２）が含まれている。
【０１５０】
＜作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して触れた場合の動作例（１）＞
まず、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して触れた場合の動作例を、図１５と図１３を参照して説明する。
【０１５１】
図１５のステップＳ１では、作業者が、手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して触ったかどうかを、制御部１１００が判断する。すなわち、作業者が、手で図４に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して触ると、接触センサ１０２５が接触信号ＣＳを制御部１１００に送ることにより、制御部１１００は、作業者が、手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して触ったと判断する。
【０１５２】
ただし、この場合には、ドアロック部１０２６が、まだ開閉扉１００３をロックしており、開閉扉１００３が本体部１００２側から、不用意に開かない。このため、本体部２の前面開口部２Ｈが不用意には開放されず、処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、外部に漏れ出ない。これにより、処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、外部に曝露しないようにして、作業安全性を確保している。
【０１５３】
図１５のステップＳ１０１において、作業者が手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して触ったと、制御部１１００が判断すると、図１５のステップＳ１０３に移る。ステップＳ１０３では、図１５の制御部１１００は、自動バルブ１０７０を開けて、排気ファン１０１６を起動する。この時には、図１３の排気ファン起動ランプ１００９が点灯する。図１３の排気ファン起動ランプ１００９が点灯して、作業者に排気ファン１０１６を起動していることを明示することで、作業者は、処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気が排気経路１０２０を通じて排気中であることが分かる。
【０１５４】
そして、図１５のステップＳ１０４では、図１３の制御部１１００は、排気ファン１０１６を、処理空間ＳＰの容量が２・であるとすれば、制御部１１００は、好ましくは排気ファン１０１６を４分間起動することになる。
【０１５５】
これにより、開閉扉３が開けられる前には、制御部１１００が排気ファン１０１６を起動することで、処理空間ＳＰ内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間ＳＰの容量の例えば２倍以上の容量を排気する。このため、作業者が開閉扉１００３を開けても、処理空間ＳＰの雰囲気の空気が前面開口部１００２Ｈから外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉１００３を開けることができるようになる。
【０１５６】
上述した処理空間ＳＰ内の圧力がゼロは、好ましくは大気圧である。しかし、処理空間ＳＰ内の圧力がゼロは、乾燥機１００１が置かれている室内の気圧あるいは周囲の環境気圧であってもよい。また、処理空間ＳＰ内の圧力がゼロは、乾燥機１００１がクリーンルーム等の気圧が調整されている部屋に置かれている場合には、その気圧が調整されている部屋内の気圧である。
【０１５７】
処理空間ＳＰ内から排気した有毒物質等の物質を含む空気は、ＨＥＰＡフィルタ１０１８に通して、処理空間ＳＰ内から排出できる。
【０１５８】
そして、この所定時間ＴＭが経過すると、図１３に示す制御部１１００は、ドアロック部１０２６にドア開成信号ＤＳを送る。これにより、ドアロック部１０２６は、開閉扉１００３のロックを外して、作業者は、開閉扉１００３を開くことができる状態になる。
【０１５９】
この所定時間ＴＭは、図１３に示す制御部１１００のタイマ１１０１に予め記憶されている。この所定時間ＴＭとは、排気ファン１０１６を稼働し続けることで、処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気を、排気経路（排気ライン）１０２０のＨＥＰＡフィルタ１０１８に通して、処理空間ＳＰ内から排出できるのに要する排出時間以上の時間である。
【０１６０】
次に、図１５のステップＳ１０５では、作業者が手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して開閉扉１００３を実際に開いたかどうかを判断する。作業者が手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して開閉扉１００３を、タイマ１１０１に記憶されている別の所定の経過時間開かない場合には、扉スイッチ１００６は、開閉扉１００３が本体部１００２の前面開口部１００２Ｈを閉鎖している状態ではオフ状態であるので、扉スイッチ１００６からはオン信号ＯＳが制御部１１００には送られない。
【０１６１】
従って、制御部１１００は、オン信号ＯＳが所定の経過時間送られてこないと、作業者が開閉扉１００３を開く意思が無いとみなして、ステップＳ１０６において、タイマ１１０１に記憶されている所定の経過時間経過後、例えば１０秒後、排気ファン１６の稼働は停止して終了する。
【０１６２】
一方、図１５のステップＳ１０５において、作業者が手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して開閉扉３をタイマ１０１に記憶されている所定の経過時間内に開いて、扉スイッチ１００６が、オン信号ＯＳを制御部１１００に送る。この場合には、制御部１１００は、開閉扉１００３を開いたと判断して、ステップＳ１０７に移る。
【０１６３】
図１５のステップＳ１０７では、制御部１１００は、念のために排気ファン１０１６の稼働を継続する。そして、ステップＳ１０８においては、作業者が手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して開閉扉３を実際に閉めたかどうかを判断する。すなわち、扉スイッチ１００６は、開閉扉１００３が本体部１００２の前面開口部１００２Ｈを閉鎖すると、扉スイッチ１００６からはオン信号ＯＳが制御部１１００には送られないことから、制御部１１００は、開閉扉１０３を実際に閉めたと判断して、ステップＳ９に移る。
【０１６４】
また、ステップＳ１０８において、扉スイッチ１００６は、開閉扉１００３が本体部１０２の前面開口部１０２Ｈを閉鎖していないと判断すると、ステップＳ１０７に戻り、引き続き、制御部１１００は、念のために排気ファン１０１６の稼働を継続する。
【０１６５】
図１５のステップＳ１０９では、図１３の制御部１１００は、排気ファン１０１６を、タイマ１１０１に記憶されている予め定めた所定の経過時間、例えば１０秒間、排気ファン１０１６を稼働させた後、排気ファン１０１６の稼働を停止する。
【０１６６】
このようにして、図１３に示す制御部１１００は、開閉扉１００３が不用意には開かないようにしていることで、乾燥機１００１の処理空間ＳＰ内から、粉体等を含む雰囲気の空気が、前面開口部１０２Ｈから外部に曝露しないように、乾燥機１００１の取り扱い上の作業安全性を確保している。
【０１６７】
また、作業者が、実際に開閉扉３を開けようとする場合には、開閉扉３を開ける前に、乾燥機１の処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気を、ＨＥＰＡフィルタ１０１８に通して、処理空間ＳＰ内から確実に排出（換気）できるようにする。これにより、処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気が、開閉扉３を開けたことにより、前面開口部２Ｈから外部に曝露しないように、乾燥機１の取り扱い上の作業安全性を確保している。
【０１６８】
＜作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図１３に示す開閉扉３の取手５には触れずに、一時排気スイッチ１０１０を押した場合の動作例（２）＞
次に、作業者が、開閉扉３を開けるために、手で図１３に示す開閉扉３の取手５には触れずに、一時排気スイッチ１０１０を押した場合の動作例を、図１５と図１３を参照して説明する。
【０１６９】
図１５のステップＳ１０１において、作業者が手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を触っていないと、制御部１１００が判断すると、図１５のステップＳ１０２に移る。ステップＳ１０２では、制御部１１００は、作業者が、図１３に示す一時排気スイッチ１０１０を押したかどうかを判断する。作業者が図１３に示す一時排気スイッチ１０１０を押すと、一時排気スイッチ１０１０は、制御部１１００にオン信号ＦＳを送ることから、制御部１１００は一時排気スイッチ１０１０が押されたと判断して、図１５のステップＳ１０３に移る。
【０１７０】
ステップＳ１０３では、図１５の制御部１１００は、自動バルブ１０７０を開けて排気ファン１０１６を起動する。この時には、図１３の排気ファン起動ランプ１００９が点灯する。
【０１７１】
そして、図１５のステップＳ１０４では、図１３の制御部１００は、排気ファン１０１６を、予め定めた所定時間ＴＭだけ起動する。所定時間ＴＭの好ましい一例を挙げれば、排気ファン１０１６が、１分間当たり１・（立方メートル）排気できる能力があり、処理空間ＳＰの容量が２・であるとすれば、制御部１１００は、好ましくは排気ファン１０１６を４分間起動することになる。
【０１７２】
これにより、開閉扉３が開けられる前には、制御部１１００が排気ファン１０１６を起動することで、処理空間ＳＰ内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間ＳＰの容量の例えば２倍以上の容量を排気する。このため、作業者が開閉扉１００３を開けても、処理空間の雰囲気の空気が前面開口部１００２Ｈから外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉１００３を開けることができるようになる。
【０１７３】
処理空間ＳＰ内から排気した有毒物質等の物質を含む空気は、処理空間ＳＰ内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気を、ＨＥＰＡフィルタ１０１８に通して、処理空間ＳＰ内から排出できる。
【０１７４】
そして、この所定時間ＴＭが経過すると、図１３に示す制御部１１００は、ドアロック部１０２６にドア開成信号ＤＳを送る。これにより、ドアロック部１０２６は、開閉扉１００３のロックを外して、作業者が開閉扉１００３を開くことができる状態になる。
【０１７５】
次に、図１５のステップＳ１０５では、作業者が手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して開閉扉１００３を実際に開いたかどうかを判断する。作業者が手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して開閉扉１００３を、タイマ１１０１に記憶されている所定の経過時間開かない場合には、扉スイッチ１００６は、開閉扉１００３が本体部１００２の前面開口部１００２Ｈを閉鎖している状態ではオフ状態であるので、扉スイッチ１００６からはオン信号ＯＳが制御部１１００には送られない。
【０１７６】
従って、制御部１１００は、オン信号ＯＳが所定の経過時間送られてこないと、作業者が開閉扉１００３を開く意思が無いとみなして、ステップＳ１０６において、タイマ１１０１に記憶されている所定の経過時間経過後、例えば１０秒後に、排気ファン１６の稼働は停止して終了する。
【０１７７】
一方、図１５のステップＳ１０５において、作業者が手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して開閉扉１００３をタイマ１１０１に記憶されている所定の経過時間内に開いて、扉スイッチ１００６が、オン信号ＯＳを制御部１１００に送る。この場合には、制御部１１００は、開閉扉１００３を開いたと判断して、ステップＳ１０７に移る。
【０１７８】
図１５のステップＳ１０７では、制御部１１００は、念のために排気ファン１０１６の稼働を継続する。そして、ステップＳ１０８においては、作業者が手で図１３に示す開閉扉１００３の取手１００５を把持して開閉扉１００３を実際に閉めたかどうかを判断する。すなわち、扉スイッチ１００６は、開閉扉１００３が本体部１００２の前面開口部１００２Ｈを閉鎖すると、扉スイッチ１００６からはオン信号ＯＳが制御部１１００には送られないことから、制御部１１００は、開閉扉１０３を実際に閉めたと判断して、ステップＳ１０９に移る。
【０１７９】
また、ステップＳ１０８において、扉スイッチ１０６は、開閉扉１００３が本体部１００２の前面開口部１００２Ｈを閉鎖していないと判断すると、ステップＳ１０７に戻り、引き続き、制御部１１００は、念のために排気ファン１０１６の稼働を継続する。
【０１８０】
図１５のステップＳ１０９では、図１３の制御部１１００は、排気ファン１０１６を、タイマ１１０１に記憶されている予め定めた所定の経過時間、例えば１０秒間、排気ファン１０１６を稼働させた後、排気ファン１０１６の稼働を停止する。
【０１８１】
このようにして、図１３に示す制御部１１００は、開閉扉１００３が不用意には開かないようにしていることで、乾燥機１００１の処理空間ＳＰ内から、粉体等を含む雰囲気の空気が、前面開口部１００２Ｈから外部に曝露しないように、乾燥機１００１の取り扱い上の作業安全性を確保している。
【０１８２】
また、作業者が、実際に開閉扉１００３を開けようとする場合には、開閉扉１００３を開ける前において、乾燥機１の処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気を、ＨＥＰＡフィルタ１０１８に通して、処理空間ＳＰ内から確実に排出（換気）できるようにする。これにより、処理空間ＳＰ内の粉体等を含む雰囲気の空気が、開閉扉１００３を開けたことにより、前面開口部２Ｈから外部に曝露しないように、乾燥機１００１の取り扱い上の作業安全性を確保している。
【０１８３】
上述した本発明の乾燥機の第２実施形態では、開閉扉１００３が開けられる前には、制御部１１００が排気ファン１０１６を動作させることで、処理空間ＳＰ内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間ＳＰ内の空気が排気される。このため、作業者が開閉扉１００３を開けても、処理空間ＳＰの雰囲気の空気が前面開口部２Ｈから外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉１００３を開けることができる。処理空間ＳＰの雰囲気の空気に含まれる粉体や有機溶剤等の有毒物質等が作業者に曝露しない。
【０１８４】
開閉扉１００３が開けられる前に処理空間ＳＰ内に飛散している物質は、開閉扉１００３を開けたときには、すでに物質は空気とともに処理空間ＳＰ内から排気されてしまっている。このため、作業者は、安心して開閉扉を開けることができる。
【０１８５】
以上、実施形態を挙げて本発明を説明したが、各実施形態は一例であり、特許請求の範囲に記載される発明の範囲は、発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更できるものである。
【０１８６】
本発明の封じ込め装置としては、図示した大気圧下で加熱する封じ込め装置（常圧下の乾燥機）や、真空圧下で加熱する封じ込め装置（真空乾燥機）だけでなく、大気圧下や真空圧下で処理物を乾燥する恒温器、定温乾燥機、恒温乾燥機、恒温恒湿チャンバ等の各種の機器を含んでおり、構造や形式に限定されない。
【０１８７】
処理空間ＳＰ内における空気の流れの方向は、下向きの流れの方向に限らずに、空気の流れの方向は任意に設定することができる。
【符号の説明】
【０１８８】
１      真空乾燥機（乾燥機の例）
２      本体部
２Ｈ    前面開口部（開口部）
３      開閉扉
５      取手
６      扉スイッチ
７      制御ボックス
１０    排気スイッチ（検知部の例）
１６    排気ファン
１７    排気口
２０    排気経路（排気ライン）
２６    扉ロック
３０    真空引き経路
４５    パージライン（空気供給部の一部）
１００  制御部
３５０  空気供給部
３５１  空気供給部の孔
３７０  載置台
３７１  載置台の開口部
１００１  乾燥機
ＤＡ    下方に向けて流れる空気
ＤＦ    排気空気
Ｈ      ヒータ
ＭＤ    加熱処理物（処理物の例）
ＳＰ    真空処理空間（処理空間の例）
ＳＰ    処理空間（処理空間の例）
ＤＡ    下方に向けて流れる空気（処理空間内の空気の流れの一例）
ＤＦ    排気空気
【図１】
2018013278.tif 000003
【図２】
2018013278.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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