(57)【要約】【課題】装置ポートに対し物品の受け渡しを行おうとする台車の動作が阻害されることを抑制しつつ、物品の保管部を確保することができる保管システム及び保管方法を提供する。【解決手段】保管システム１は、複数の第１レール２１及び複数の第２レール２２が格子状に配置された走行レール２と、走行部３１及び移載部３２を有する複数の台車３と、ＦＯＵＰ９が載置される保管部４と、を備える。走行レール２には、装置ポート８の直上の第１開口領域２ａ、移載部３２が第１開口領域２ａを介して装置ポート８に対しＦＯＵＰ９を移載する際に、走行部３１が停止する第２開口領域２ｂ、及び、それら以外の第３開口領域２ｃが形成されている。保管部４は、第１開口領域２ａ及び第２開口領域２ｂの直下には設けられておらず、第３開口領域２ｃの直下に設けられている。台車３は、第３開口領域を介してラックユニット４０に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う。【選択図】図２
2018193223.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に延在する複数の第１レール及び前記第１方向に直交する第２方向に延在する複数の第２レールを有し、複数の前記第１レール及び複数の前記第２レールが同一の平面上に格子状に配置された走行レールと、
前記走行レールを前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれの方向に走行する走行部、並びに、物品の保持及び昇降を行う移載部をそれぞれが有する複数の台車と、
前記物品が載置される保管部と、を備え、
前記走行レールには、互いに隣り合う１対の前記第１レールと互いに隣り合う１対の前記第２レールとによって囲まれ、前記物品が上下方向に通過し得る大きさをそれぞれが有する複数の開口領域が設けられており、
前記台車は、いずれかの前記開口領域上に前記走行部を停止させた状態で、前記走行部から当該開口領域に隣接する他の前記開口領域上に突出させた移載部により、当該他の開口領域を介して前記走行レールの下側に位置する移載先に対し前記物品の受け渡しを行い、
前記複数の開口領域は、
装置ポートの直上に位置する第１開口領域と、
前記台車が前記第１開口領域上に前記移載部を位置させた状態で、前記第１開口領域を介して前記装置ポートに対し前記物品の受け渡しを行う際の、前記走行部の停止位置の直下に位置する第２開口領域と、
前記第１開口領域及び前記第２開口領域以外の第３開口領域と、を含み、
前記保管部は、前記第１開口領域及び前記第２開口領域の直下には設けられておらず、前記第３開口領域の直下に設けられており、
前記台車は、前記第３開口領域上に前記移載部を位置させた状態で、前記第３開口領域を介して前記保管部に対し前記物品の受け渡しを行う、保管システム。
【請求項２】
前記台車が前記第３開口領域上に前記移載部を位置させた状態で、前記第３開口領域を介して前記保管部に対し前記物品の受け渡しを行う際の、前記走行部の停止位置が、前記第２開口領域の直上を除く位置に定められている、請求項１に記載の保管システム。
【請求項３】
前記保管部は、前記第３開口領域のうち、前記第１開口領域を取り囲むように当該第１開口領域に隣接して設けられた領域の直下には設けられていない、請求項１又は２に記載の保管システム。
【請求項４】
作業用の足場が、前記走行レールに対して、前記第２開口領域の直下に取り付けられている、請求項１〜３のいずれか一項に記載の保管システム。
【請求項５】
第１方向に延在する複数の第１レール及び前記第１方向に直交する第２方向に延在する複数の第２レールを有し、複数の前記第１レール及び複数の前記第２レールが同一の平面上に格子状に配置された走行レールと、
前記走行レールを前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれの方向に走行する走行部、並びに、物品の保持及び昇降を行う移載部をそれぞれが有する複数の台車と、
前記走行レールの下側に設けられ、前記物品が載置される保管部と、を備え、
前記走行レールには、互いに隣り合う１対の前記第１レールと互いに隣り合う１対の前記第２レールとによって囲まれ、前記物品が上下方向に通過し得る大きさをそれぞれが有する複数の開口領域が設けられており、
前記複数の開口領域は、
装置ポートの直上に位置する第１開口領域と、
前記台車が前記第１開口領域上に前記移載部を位置させた状態で、前記第１開口領域を介して前記装置ポートに対し前記物品の受け渡しを行う際の、前記走行部の停止位置の直下に位置する第２開口領域と、
前記第１開口領域及び前記第２開口領域以外の第３開口領域と、を含む保管システムにおいて実施される保管方法であって、
前記台車は、
前記第１開口領域及び前記第２開口領域を介しては、前記保管部に対し前記物品の受け渡しを行わず、
前記第３開口領域上に前記移載部を位置させた状態で、前記第３開口領域を介して、前記保管部に対し前記物品の受け渡しを行い、その際に、前記第２開口領域の直上に前記走行部を停止させた状態においては、前記保管部に対し前記物品の受け渡しを行わない、保管方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保管システム及び保管方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工場の搬送装置に適用される保管システムとして、同一の水平面上に格子状に配置された複数のレールを有する走行レールと、走行レールを走行し且つ物品の保持及び昇降を行う複数の台車と、装置ポートの上側且つ走行レールの下側に配置され、物品が載置される保管部と、を備えるシステムが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような保管システムでは、台車は、レール間に設けられた開口領域を介して、装置ポート及び保管部のそれぞれに対し物品の受け渡しを行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第１５／１７４１８１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような保管システムでは、台車は、装置ポート及び保管部のそれぞれに対し物品の受け渡しを行う場合、物品の受け渡しを行うことができる領域まで走行レールを走行し、当該領域で停止して物品の受け渡しを行う。ところで、保管部は、走行レールの任意の領域の直下に配置され得る。このため、装置ポートに対し物品の受け渡しを行うことができる領域の直下に保管部が配置された場合、当該保管部に対し物品の受け渡しを行う他の台車によって、装置ポートに対し物品の受け渡しを行おうとする台車の動作が阻害されるおそれがある。
【０００５】
そこで、本発明は、装置ポートに対し物品の受け渡しを行おうとする台車の動作が阻害されることを抑制しつつ、物品の保管部を確保することができる保管システム及び保管方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の保管システムは、第１方向に延在する複数の第１レール及び第１方向に直交する第２方向に延在する複数の第２レールを有し、複数の第１レール及び複数の第２レールが同一の平面上に格子状に配置された走行レールと、走行レールを第１方向及び第２方向のそれぞれの方向に走行する走行部、並びに、物品の保持及び昇降を行う移載部をそれぞれが有する複数の台車と、物品が載置される保管部と、を備え、走行レールには、互いに隣り合う１対の第１レールと互いに隣り合う１対の第２レールとによって囲まれ、物品が上下方向に通過し得る大きさをそれぞれが有する複数の開口領域が設けられており、台車は、いずれかの開口領域上に走行部を停止させた状態で、走行部から当該開口領域に隣接する他の開口領域上に突出させた移載部により、当該他の開口領域を介して走行レールの下側に位置する移載先に対し物品の受け渡しを行い、複数の開口領域は、装置ポートの直上に位置する第１開口領域と、台車が第１開口領域上に移載部を位置させた状態で、第１開口領域を介して装置ポートに対し物品の受け渡しを行う際の、走行部の停止位置の直下に位置する第２開口領域と、第１開口領域及び第２開口領域以外の第３開口領域と、を含み、保管部は、第１開口領域及び第２開口領域の直下には設けられておらず、第３開口領域の直下に設けられており、台車は、第３開口領域上に移載部を位置させた状態で、第３開口領域を介して保管部に対し物品の受け渡しを行う。
【０００７】
この保管システムでは、保管部は、装置ポートの直上に位置する第１開口領域、及び、台車が装置ポートに対し物品の受け渡しを行う際の、走行部の停止位置の直下に位置する第２開口領域の直下には設けられておらず、それら以外の第３開口領域の直下に設けられている。このため、保管部に対し物品の受け渡しを行う他の台車が、装置ポートに対し物品の受け渡しを行おうとする台車の走行及び物品の受け渡しの動作を阻害しにくい。よって、この保管システムによれば、装置ポートに対し物品の受け渡しを行おうとする台車の動作が阻害されることを抑制しつつ、物品の保管部を確保することができる。
【０００８】
本発明の保管システムでは、台車が第３開口領域上に移載部を位置させた状態で、第３開口領域を介して保管部に対し物品の受け渡しを行う際の、走行部の停止位置が、第２開口領域の直上を除く位置に定められていてもよい。これによれば、装置ポートに対し物品の受け渡しを行う台車が停止する領域と、保管部に対し物品の受け渡しを行う他の台車が停止する領域とが重ならないように、保管部を配置することができる。このため、より確実に、装置ポートに対し物品の受け渡しを行おうとする台車の動作が阻害されることを抑制することが可能になる。
【０００９】
本発明の保管システムは、保管部は、第３開口領域のうち、第１開口領域を取り囲むように当該第１開口領域に隣接して設けられた領域の直下には設けられていない、という特徴を備えていてもよい。これによれば、装置ポートの周囲における台車の渋滞が抑制され、装置ポートに対し物品の受け渡しを行おうとする台車が、物品の受け渡しを行うことができる領域までスムーズに走行することが可能になる。
【００１０】
本発明の保管システムでは、作業用の足場が、走行レールに対して、第２開口領域の直下に取り付けられていてもよい。これによれば、装置ポートの直上付近において、作業者が容易に作業を行うことができる。
【００１１】
本発明の保管方法は、第１方向に延在する複数の第１レール及び第１方向に直交する第２方向に延在する複数の第２レールを有し、複数の第１レール及び複数の第２レールが同一の平面上に格子状に配置された走行レールと、走行レールを第１方向及び第２方向のそれぞれの方向に走行する走行部、並びに、物品の保持及び昇降を行う移載部をそれぞれが有する複数の台車と、走行レールの下側に設けられ、物品が載置される保管部と、を備え、走行レールには、互いに隣り合う１対の前記第１レールと互いに隣り合う１対の前記第２レールとによって囲まれ、物品が上下方向に通過し得る大きさをそれぞれが有する複数の開口領域が設けられており、複数の開口領域は、装置ポートの直上に位置する第１開口領域と、台車が第１開口領域上に移載部を位置させた状態で、第１開口領域を介して装置ポートに対し物品の受け渡しを行う際の、走行部の停止位置の直下に位置する第２開口領域と、第１開口領域及び第２開口領域以外の第３開口領域と、を含む保管システムにおいて実施される保管方法であって、台車は、第１開口領域及び第２開口領域を介しては、保管部に対し物品の受け渡しを行わず、第３開口領域上に移載部を位置させた状態で、第３開口領域を介して、保管部に対し物品の受け渡しを行い、その際に、第２開口領域の直上に走行部を停止させた状態においては、保管部に対し物品の受け渡しを行わない。
【００１２】
この保管方法では、台車は、第１開口領域及び第２開口領域を介しては、保管部に対し物品の受け渡しを行わず、第３開口領域を介して、保管部に対し物品の受け渡しを行う。このため、保管部に対し物品の受け渡しを行う他の台車が、装置ポートに対し物品の受け渡しを行おうとする台車の走行及び物品の受け渡しの動作を阻害しにくい。また、台車は、第２開口領域の直上に走行部が停止した状態においては、保管部に対し物品の受け渡しを行わない。このため、装置ポートに対し物品の受け渡しを行う台車が停止する領域と、保管部に対し物品の受け渡しを行う他の台車が停止する領域とが重ならないように、保管部を配置することができる。よって、この保管方法によれば、装置ポートに対し物品の受け渡しを行おうとする台車の動作が阻害されることを抑制しつつ、物品の保管部を確保することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、装置ポートに対し物品の受け渡しを行おうとする台車の動作が阻害されることを抑制しつつ、物品の保管部を確保することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】一実施形態の保管システムの平面図である。
【図２】図１の保管システムの一部拡大図である。
【図３】図１の保管システムが備えるラックユニットの正面図である。
【図４】図３のラックユニットの底面図である。
【図５】図３のラックユニットの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［保管システムの構成］
【００１６】
図１及び図２に示されるように、保管システム１は、走行レール２と、複数の台車３と、保管部４と、を備えている。保管システム１は、半導体製造工場において、複数の装置ポート８をそれぞれ備える複数の半導体処理装置１０の上方に敷設されている。保管システム１は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）９を一時的に保管する。より具体的には、保管システム１では、走行レール２を走行する台車３によって、保管部４と装置ポート８との間でＦＯＵＰ９が搬送され、保管部４によってＦＯＵＰ９（装置ポート８に供給する前のＦＯＵＰ９、装置ポート８から回収した後のＦＯＵＰ９）が一時的に保管される。なお、保管システム１に対しては、例えばＯＨＴ（Overhead  Hoist  Transfer）によってＦＯＵＰ９が搬入され又は搬出される。ＯＨＴは、保管システム１と半導体製造工場の天井との間に敷設された軌道に沿って走行する。
【００１７】
各半導体処理装置１０は、走行レール２の下側において、複数列（図１では第１方向Ｄ１に沿って２列）に並んで配置されている。各半導体処理装置１０は、互いに隣り合う一対の列同士で装置ポート８が互いに対面する向きに配置されている。台車３によって半導体処理装置１０の装置ポート８にＦＯＵＰ９が供給されると、当該ＦＯＵＰ９に収容された半導体ウェハが半導体処理装置１０に取り込まれる。そして、当該半導体ウェハは、半導体処理装置１０において所定の処理を施された後に、再びＦＯＵＰ９に収容される。これにより、ＦＯＵＰ９は、台車３によって回収及び搬送可能な状態となる。
【００１８】
走行レール２は、複数の第１レール２１と、複数の第２レール２２と、を有している。各第１レール２１は、第１方向Ｄ１に直線状に延在しており、互いに隣り合う第１レール２１間には、所定間隔が設けられている。各第２レール２２は、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２に直線状に延在しており、互いに隣り合う第２レール２２間には、所定間隔が設けられている。複数の第１レール２１及び複数の第２レール２２は、同一の水平面上に格子状に配置されている。走行レール２には、複数の開口領域が設けられている。各開口領域は、互いに隣り合う１対の第１レール２１と互いに隣り合う１対の第２レール２２とによって囲まれた領域である。各開口領域は、ＦＯＵＰ９が上下方向に通過可能な大きさを有している。
【００１９】
図１、図２及び図３に示されるように、台車３は、走行部３１と、移載部３２と、突出部３３と、を有している。走行部３１は、互いに隣り合う１対の第１レール２１に沿って第１方向Ｄ１に走行可能であると共に、互いに隣り合う１対の第２レール２２に沿って第２方向Ｄ２に走行可能である。走行部３１は、本体部３７及び４個の車輪３６を含んでいる。各車輪３６は、本体部３７から下方に突出するように設けられ、走行レール２の踏面２４ａ上を転動する。
【００２０】
移載部３２は、ＦＯＵＰ９のフランジ部９ａを保持する保持部３２ａと、保持部３２ａを吊り下げるベルト３２ｂと、ベルト３２ｂの巻き上げ、巻き下ろしを行うことによって保持部３２ａを昇降させる昇降駆動部３２ｃと、昇降駆動部３２ｃを鉛直方向（第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のそれぞれに垂直な方向）回りに回転させるθ回転機構３２ｄと、を含んでいる。なお、図３には、移載部３２によって保管部４に対しＦＯＵＰ９が受け渡される途中の状態が示されている。
【００２１】
突出部３３は、走行部３１から第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のそれぞれの方向に移載部３２を突出させる。一例として、突出部３３は旋回機構３３ａを含んで構成される。旋回機構３３ａの基端部が走行部３１に回転可能に取り付けられており、移載部３２が旋回機構３３ａの先端部に取り付けられている。
【００２２】
台車３は、いずれかの開口領域上に走行部３１を停止させた状態で、走行部３１から当該開口領域に隣接する他の開口領域上に突出させた移載部３２により、当該他の開口領域を介して走行レール２の下側に位置する移載先に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う。移載先としては、例えば保管部４及び装置ポート８等が挙げられる。
【００２３】
複数の開口領域のうち、第１開口領域（開口領域）２ａは、装置ポート８の直上に位置する領域である。複数の開口領域のうち、第２開口領域（開口領域）２ｂは、台車３が第１開口領域２ａ上に移載部３２を位置させた状態で、第１開口領域２ａを介して装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う際の、走行部３１の停止位置の直下に位置する領域である。複数の開口領域のうち、第３開口領域（開口領域）２ｃは、第１開口領域２ａ及び第２開口領域２ｂ以外の領域である。
【００２４】
複数の装置ポート８の上側且つ走行レール２の下側の領域は、非保管領域５と保管領域６とに分類される。非保管領域５は、各第１開口領域２ａ及び当該第１開口領域２ａを取り囲むように当該第１開口領域２ａに隣接して設けられた各領域によってそれぞれ構成される複数の区画と、第３開口領域２ｃのうち各区画の間に位置する（介在する）領域と、の直下の領域である。ここで、「各区画の間に位置する領域」とは、複数の区画のうちの２つの区画によって構成される組み合わせの全てのうち、少なくとも１つの組み合わせを構成する２つの区画の間に位置する領域を、全て足し合わせた領域を意味する。換言すると、非保管領域５は、各区画の外縁のうち他の区画と対面しない側の外縁のそれぞれを繋いだ線に対して、各区画が位置する側の領域である。保管領域６は、非保管領域５を除く領域であり、その直上には複数の第３開口領域２ｃが設けられている。換言すると、保管領域６は、各区画の外縁のうち他の区画と対面しない側の外縁のそれぞれを繋いだ線に対して、各区画が位置しない側の領域である。
【００２５】
保管部４は、第３開口領域２ｃのうち、第１開口領域２ａを取り囲むように当該第１開口領域２ａに隣接して設けられた全ての領域の直下に設けられていない。なお、保管部４は、非保管領域５には設けられていなくてもよく、この場合、装置ポート８の周辺の走行レール２において、台車３による交通渋滞の発生を抑制することが可能となる。
【００２６】
保管部４は、互いに隣接する複数のラックユニット４０が組み合わされることで構成されている。保管部４は、１本の第１レール２１又は第２レール２２に隣接してその両側に並んで設けられた複数の第３開口領域２ｃに対応して取り付けられた複数のラックユニット４０により構成されている。各ラックユニット４０は、第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に１列に並ぶ複数の第３開口領域２ｃに対応している。各ラックユニット４０に対しては、対応する複数の第３開口領域２ｃのそれぞれを介してＦＯＵＰ９の受け渡しが行われる。一例として、保管システム１では、各ラックユニット４０は、第２方向Ｄ２に１列に並ぶ３個の第３開口領域２ｃに対応している。
【００２７】
第１開口領域２ａは、第１レール２１及び第２レール２２の少なくとも一方が部分的に間引かれることで形成されている。各第１開口領域２ａは、複数の第２開口領域２ｂ及び第３開口領域２ｃに対応する大きさを有している。一例として、保管システム１では、第１開口領域２ａは、第１方向Ｄ１に１列に並ぶ複数の装置ポート８の直上の領域である。
［走行レール及びラックユニットの構成］
【００２８】
図３、図４及び図５に示されるように、第１レール２１は、ウェブ部２３が縦になるように配置されたＨ形鋼材によって形成されている。ウェブ部２３の下端に設けられたフランジ部２４の上面は、台車３の走行部３１が有する４個の車輪３６の踏面２４ａである。第２レール２２は、第１レール２１と同様の構成を有している。走行部３１が第２開口領域２ｂ又は第３開口領域２ｃの直上に位置する場合、４個の車輪３６は、第２方向Ｄ２において互いに向かい合う１対の踏面２４ａ（第１レール２１の踏面２４ａ）と第１方向Ｄ１において互いに向かい合う１対の踏面２４ａ（第２レール２２の踏面２４ａ）とで形成される４個所の交差部分に位置する。走行部３１は、４個の車輪３６が４個所の交差部分に位置する際に一斉に方向転換を行うことで、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との間で方向転換を行う。
【００２９】
ラックユニット４０は、載置部材５１と、複数の支持部材４２と、複数の補強部材４３と、を有している。載置部材５１は、ＦＯＵＰ９が載置されるための部材である。載置部材５１は、例えば、互いに間隔を開けて設けられた１対の梁状部材４１である。１対の梁状部材４１は、第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に１列に並ぶ複数の第３開口領域２ｃの下側において、当該方向に延在している。１対の梁状部材４１は、同一の水平面上に互いに平行に配置されている。つまり、１対の梁状部材４１は、水平に並設されている。
【００３０】
複数の支持部材４２は、１対の梁状部材４１のそれぞれの両端部から上側に延在している。各支持部材４２の上端部は、第１レール２１又は第２レール２２に着脱可能に取り付けられている。つまり、ラックユニット４０は、第３開口領域２ｃの下側において走行レール２から吊り下げられており、走行レール２に対して着脱可能である。一例として、保管システム１では、１対の梁状部材４１は、第２方向Ｄ２に１列に並ぶ３個の第３開口領域２ｃの下側において、第２方向Ｄ２に延在しており、各支持部材４２の上端部は、第１レール２１に着脱可能に取り付けられている。
【００３１】
複数の補強部材４３は、１対の梁状部材４１のそれぞれにおける同じ側の端部に接続された１対の支持部材４２同士を、それらの下端部同士において互いに連結している。これにより、各支持部材４２の姿勢の変化が抑制される。
【００３２】
第１レール２１又は第２レール２２に対するラックユニット４０の取付構造について、より具体的に説明する。第１レール２１及び第２レール２２のそれぞれのフランジ部２４の下面には、複数のブラケット２５がボルト等で着脱可能に固定されている。複数のブラケット２５は、第３開口領域２ｃに対応するピッチで配置されている。第１レール２１に設けられた各ブラケット２５には、第２方向Ｄ２に延在する１対の梁状部材４１を有し且つ第２方向Ｄ２において互いに隣接する一対のラックユニット４０のうち、一方側のラックユニット４０における他方側の支持部材４２の上端部、及び他方側のラックユニット４０における一方側の支持部材４２の上端部が、ボルトによって取り付け可能である。第２レール２２に設けられた各ブラケット２５には、第１方向Ｄ１に延在する１対の梁状部材４１を有し且つ第１方向Ｄ１において互いに隣接する一対のラックユニット４０のうち、一方側のラックユニット４０における他方側の支持部材４２の上端部、及び他方側のラックユニット４０における一方側の支持部材４２の上端部が、ボルトによって取り付け可能である。よって、上記構成により、第１レール２１及び第２レール２２のそれぞれのフランジ部２４の下面に対してブラケット２５を着脱することで、ラックユニット４０を当該フランジ部２４に対して着脱することができる。
［ラックユニットの載置面の位置関係］
【００３３】
図３、図４及び図５に示されるように、ラックユニット４０が有する１対の梁状部材４１には、当該ラックユニット４０が対応する複数の第３開口領域２ｃのそれぞれを介して、複数のＦＯＵＰ９が載置される。梁状部材４１等の載置部材５１には、ＦＯＵＰ９が載置される部分である載置部５０が形成されており、その載置部５０の上面が載置面４０ａとされている。したがって、鉛直方向から見た場合に、載置面４０ａに載置されたＦＯＵＰ９は、第３開口領域２ｃ内に位置する。１対の梁状部材４１の上面には、各ＦＯＵＰ９をラックユニット４０に対して位置決めするための複数の位置決めピン（位置決め部）４４が設けられている。複数の位置決めピン４４は、ＦＯＵＰ９の底面に設けられた複数の凹部に嵌まる。
【００３４】
ラックユニット４０は、水平方向から見た場合に、載置面４０ａに載置されたＦＯＵＰ９が第１レール２１及び第２レール２２と重なるように、構成されている。載置面４０ａと第１レール２１との間の空間、及び載置面４０ａと第２レール２２との間の空間は、それぞれ、ＦＯＵＰ９が通過し得ない大きさを有している。また、ラックユニット４０は、載置面４０ａに載置されたＦＯＵＰ９の上端がその直上を走行する台車３の走行部３１が有する本体部３７の下端よりも下側に位置するように、構成されている。更に、ラックユニット４０は、載置面４０ａに載置されたＦＯＵＰ９の上端が走行レール２の踏面２４ａよりも上側に位置するように、構成されている。
［保管システムにおける台車の動作例］
【００３５】
図２に示されるように、走行レール２には、第１停止領域２０ａ及び第２停止領域（隣接領域）２０ｂが設定されている。第１停止領域２０ａは、走行レール２のうち、保管領域６の直上の複数の第３開口領域２ｃに対応する部分である。第２停止領域２０ｂは、走行レール２のうち、非保管領域５において複数の第１開口領域２ａのそれぞれに隣接する複数の第２開口領域２ｂに対応する部分である。このように、第１停止領域２０ａと第２停止領域２０ｂとは、重なっていない。
【００３６】
また、第１停止領域２０ａの下側には、保管部４が設けられているが、第２停止領域２０ｂの下側には、保管部４が設けられていない。第２開口領域２ｂの下側（例えば、直下の領域）には、吊り下げられるように走行レール２に対して取り付けられた作業用の足場７が設けられている。
【００３７】
一例として、保管システム１では、第１開口領域２ａは、第１方向Ｄ１に延在しており、第２停止領域２０ｂは、第２方向Ｄ２における第１開口領域２ａの両側において第１方向Ｄ１に１列に並ぶ複数の第２開口領域２ｂに対応する部分である。そして、台車３は、走行部３１から第１方向Ｄ１に移載部３２を突出させた状態で、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のそれぞれの方向に走行する。以下、この場合における台車３の動作例について説明する。
【００３８】
所定のラックユニット４０に対し、所定の第３開口領域２ｃを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行う場合には、走行部３１から第１方向Ｄ１に移載部３２を突出させた状態で、移載部３２が当該所定の第３開口領域２ｃ上に位置するように、走行部３１が第１停止領域２０ａに停止する。その状態で、台車３は、移載部３２の保持部を昇降させることで、所定のラックユニット４０に対し、所定の第３開口領域２ｃを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行う。
【００３９】
この場合において、走行部３１が第２停止領域２０ｂに停止した状態では、台車３は、ラックユニット４０に対し第３開口領域２ｃを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行わない。換言すると、台車３が第３開口領域２ｃ上に移載部３２を位置させた状態で、第３開口領域２ｃを介してラックユニット４０に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う際の走行部３１の停止位置は、第２開口領域２ｂの直上を除く位置に定められている。
【００４０】
また、台車３は、所定のラックユニット４０に対し、以下のようにして所定の第３開口領域２ｃを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行ってもよい。すなわち、台車３は、保管領域６において互いに隣接する一対の第３開口領域２ｃのうち、一方の第３開口領域２ｃに対応する部分に走行部３１を停止させ、他方の第３開口領域２ｃ上に移載部３２を位置させる。この状態で、台車３は、所定のラックユニット４０に対し、他方の第３開口領域２ｃを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行ってもよい。
【００４１】
なお、台車３は、第１開口領域２ａ及び第２開口領域２ｂを介しては、ラックユニット４０に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行わない。
【００４２】
所定の装置ポート８に対し、所定の第１開口領域２ａを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行う場合には、走行部３１から第２方向Ｄ２に移載部３２を突出させた状態で、当該装置ポート８の直上の当該第１開口領域２ａ上に移載部３２が位置するように、第２停止領域２０ｂに対応する部分に走行部３１が停止する。その状態で、台車３は、移載部３２の保持部を昇降させることで、当該第１開口領域２ａを介して、当該装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う。なお、第１開口領域２ａにおいて、複数の第１レール２１及び複数の第２レール２２によって構成された格子に対応する部分からずれた部分の直下に装置ポート８が位置している場合（すなわち、互いに隣接した２つの格子に対応する各部分に亘る部分の直下に装置ポート８が位置している場合）、第２開口領域２ｂにおいて、格子に対応する部分からずれた部分に走行部３１が停止し（すなわち、互いに隣接した２つの格子に対応する各部分に亘る部分に走行部３１が停止し）、その状態で、台車３は、当該装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行ってもよい。
［作用及び効果］
【００４３】
以上説明したように、保管システム１では、保管部４は、装置ポート８の直上に位置する第１開口領域２ａ、及び、台車３が装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う際の、走行部３１の停止位置の直下に位置する第２開口領域２ｂの直下には設けられておらず、それら以外の第３開口領域２ｃの直下に設けられている。このため、保管部４に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う他の台車３が、装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行おうとする台車３の走行及び物品の受け渡しの動作を阻害しにくい。よって、この保管システム１によれば、装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行おうとする台車３の動作が阻害されることを抑制しつつ、ＦＯＵＰ９の保管部４を確保することができる。
【００４４】
保管システム１では、台車３が第３開口領域２ｃ上に移載部３２を位置させた状態で、第３開口領域２ｃを介して保管部４に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う際の、走行部３１の停止位置が、第２開口領域２ｂの直上を除く位置に定められている。このため、装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う台車３が停止する領域と、保管部４に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う他の台車３が停止する領域とが重ならないように、保管部４を配置することができる。このため、より確実に、装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行おうとする台車３の動作が阻害されることを抑制することが可能になる。
【００４５】
保管システム１では、保管部４は、第３開口領域２ｃのうち、第１開口領域２ａを取り囲むように当該第１開口領域２ａに隣接して設けられた領域の直下には設けられていない。このため、装置ポート８の周囲における台車３の渋滞が抑制され、装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行おうとする台車３が、ＦＯＵＰ９の受け渡しを行うことができる領域までスムーズに走行することが可能になる。
【００４６】
保管システム１では、作業用の足場７が、走行レール２に対して、第２開口領域２ｂの直下に取り付けられている。このため、装置ポート８の直上付近において、作業者が容易に作業を行うことができる。
【００４７】
保管システム１において実行される保管方法では、台車３は、第１開口領域２ａ及び第２開口領域２ｂを介しては、保管部４に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行わず、第３開口領域２ｃを介して、保管部４に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う。このため、保管部４に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う他の台車３が、装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行おうとする台車３の走行及びＦＯＵＰ９の受け渡しの動作を阻害しにくい。また、台車３は、第２開口領域２ｂの直上に走行部３１が停止した状態においては、保管部４に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行わない。このため、装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う台車３が停止する領域と、保管部４に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う他の台車３が停止する領域とが重ならないように、保管部４を配置することができる。よって、この保管方法によれば、装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行おうとする台車３の動作が阻害されることを抑制しつつ、ＦＯＵＰ９の保管部４を確保することができる。
［変形例］
【００４８】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記一実施形態に限定されない。例えば、ラックユニット４０は、第３開口領域２ｃのうち、第１開口領域２ａを取り囲むように当該第１開口領域２ａに隣接して設けられた少なくとも１つの領域の直下に設けられていてもよい。
【００４９】
また、走行レール２において、複数の第１レール２１及び複数の第２レール２２は、同一の水平面上に限らず、例えば、傾斜した同一の平面上に配置されていてもよい。
【００５０】
また、台車３において、突出部３３は、走行部３１から第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に移載部３２を突出させるものであってもよい。つまり、突出部３３は、走行部３１から第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の少なくとも一方向に移載部３２を突出させるものであればよい。例えば、突出部３３は、移載部３２を進退させるスライド機構を含み、このスライド機構により、走行部３１から第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に移載部３２を突出させてもよく、或いは、突出部３３は、走行部３１から水平方向に延びるアームを走行部３１上の中心軸回りに回動させて、当該アームの先端側で保持した移載部３２を旋回させるスイング機構を含み、このスイング機構により、走行部３１から第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に移載部３２を突出させてもよい。また、突出部３３は、走行部３１から第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に移載部３２を常時突出させた状態のままであってもよい。
【００５１】
なお、第２停止領域２０ｂの下側に保管部４が設けられていてもよく、その場合、台車３は、第２停止領域２０ｂに対応する部分に走行部３１が停止した状態においては、保管部４に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行わない。
【００５２】
また、互いに隣接して設けられた２個のラックユニット４０は、互いに隣接する側の支持部材４２を共有していてもよい。
【００５３】
また、本発明の保管システムが保管する物品は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ９に限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、本発明の保管システムは、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１…保管システム、２…走行レール、２ａ…第１開口領域（開口領域）、２ｂ…第２開口領域（開口領域）、２ｃ…第３開口領域（開口領域）、３…台車、４…保管部、７…足場、８…装置ポート、９…ＦＯＵＰ（物品）、２０ｂ…第２停止領域（隣接領域）、２１…第１レール、２２…第２レール、３１…走行部、３２…移載部、３３…突出部、Ｄ１…第１方向、Ｄ２…第２方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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