(57)【要約】      （修正有）【課題】励起光を樹脂シートに照射し、蛍光強度を検出し、蛍光強度より、樹脂シート状態を検査する検査システム及び検査方法を提供する【解決手段】検査システム２０は、樹脂シート１０に励起光Ｌ１を照射する照射装置２１と、励起光を樹脂シートに照射した時に樹脂シートから放出される蛍光を検出する蛍光検出部２３と、樹脂シートによって反射された励起光を少なくとも部分的に検出する反射光検出部２４と、を有する検出装置２２と、蛍光検出部によって検出された蛍光の強度と、反射光検出部によって検出された励起光の強度とに基づいて、樹脂シートの状態を判定する判定装置２５と、を備える。【選択図】図２
2018013457.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂層を備える樹脂シートの状態を検査する検査システムであって、
前記樹脂シートに励起光を照射する照射装置と、
前記励起光を前記樹脂シートに照射した時に前記樹脂シートから放出される蛍光を検出する蛍光検出部と、前記樹脂シートによって反射された前記励起光を少なくとも部分的に検出する反射光検出部と、を有する検出装置と、
前記蛍光検出部によって検出された前記蛍光の強度と、前記反射光検出部によって検出された前記励起光の強度とに基づいて、前記樹脂シートの状態を判定する判定装置と、を備える、検査システム。
【請求項２】
前記判定装置は、前記樹脂シートの脆化の程度が大きくなるほど前記蛍光検出部によって検出された前記蛍光の強度が増加するという傾向を考慮して、前記樹脂シートの状態を判定する、請求項１に記載の検査システム。
【請求項３】
前記照射装置は、可視光の波長域にピーク波長を有する前記励起光を前記樹脂シートに照射する、請求項１又は２に記載の検査システム。
【請求項４】
前記蛍光検出部は、第１波長域に属する前記蛍光の成分を検出し、
前記反射光検出部は、前記第１波長域よりも短波長側の第２波長域に属する、前記樹脂シートによって反射された前記励起光の成分を検出する、請求項３に記載の検査システム。
【請求項５】
前記第２波長域の中心は、前記励起光の前記ピーク波長よりも長波長側に位置する、請求項４に記載の検査システム。
【請求項６】
前記樹脂シートの前記樹脂層は、ポリエチレン樹脂を含み、
前記照射装置は、４５０ｎｍ以上且つ４７０ｎｍ以下の波長域にピーク波長を有する前記励起光を前記樹脂シートに照射し、
前記第１波長域は、少なくとも５６０ｎｍの波長の点を含み、
前記第２波長域は、少なくとも５００ｎｍの波長の点を含む、請求項４に記載の検査システム。
【請求項７】
前記樹脂シートの前記樹脂層は、ポリエチレン樹脂を含み、
前記照射装置は、４００ｎｍ以上且つ４１０ｎｍ以下の波長域にピーク波長を有する前記励起光を前記樹脂シートに照射し、
前記第１波長域は、少なくとも５２０ｎｍの波長の点を含み、
前記第２波長域は、少なくとも４０５ｎｍの波長の点を含む、請求項４に記載の検査システム。
【請求項８】
前記樹脂シートの前記樹脂層は、無機材料を含む複数の無機粒子を更に備える、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の検査システム。
【請求項９】
前記無機粒子は、少なくとも酸化チタン若しくは炭酸カルシウムを含む、請求項８に記載の検査システム。
【請求項１０】
樹脂層を備える樹脂シートの状態を検査する検査方法であって、
前記樹脂シートに励起光を照射する照射工程と、
前記励起光を前記樹脂シートに照射した時に前記樹脂シートから放出される蛍光を検出する蛍光検出工程と、前記樹脂シートによって反射された前記励起光を少なくとも部分的に検出する反射光検出工程と、を有する検出工程と、
前記蛍光検出工程において検出された前記蛍光の強度と、前記反射光検出工程において検出された前記励起光の強度とに基づいて、前記樹脂シートの状態を判定する判定工程と、を備える、検査方法。
【請求項１１】
前記判定工程は、前記樹脂シートの脆化の程度が大きくなるほど前記蛍光検出部によって検出された前記蛍光の強度が増加するという傾向を考慮して、前記樹脂シートの状態を判定する、請求項１０に記載の検査方法。
【請求項１２】
前記照射工程は、可視光の波長域にピーク波長を有する前記励起光を前記樹脂シートに照射する、請求項１１に記載の検査方法。
【請求項１３】
前記蛍光検出工程は、第１波長域に属する前記蛍光の成分を検出し、
前記反射光検出工程は、前記第１波長域よりも短波長側の第２波長域に属する、前記樹脂シートによって反射された前記励起光の成分を検出する、請求項１２に記載の検査方法。
【請求項１４】
前記第２波長域の中心は、前記励起光の前記ピーク波長よりも長波長側に位置する、請求項１３に記載の検査方法。
【請求項１５】
前記樹脂シートの前記樹脂層は、ポリエチレン樹脂を含み、
前記照射工程は、４５０ｎｍ以上且つ４７０ｎｍ以下の波長域にピーク波長を有する前記励起光を前記樹脂シートに照射し、
前記第１波長域は、少なくとも５６０ｎｍの波長の点を含み、
前記第２波長域は、少なくとも５００ｎｍの波長の点を含む、請求項１３に記載の検査方法。
【請求項１６】
前記樹脂シートの前記樹脂層は、ポリエチレン樹脂を含み、
前記照射工程は、４００ｎｍ以上且つ４１０ｎｍ以下の波長域にピーク波長を有する前記励起光を前記樹脂シートに照射し、
前記第１波長域は、少なくとも５２０ｎｍの波長の点を含み、
前記第２波長域は、少なくとも４０５ｎｍの波長の点を含む、請求項１３に記載の検査方法。
【請求項１７】
前記樹脂シートの前記樹脂層は、無機材料を含む複数の無機粒子を更に備える、請求項１０乃至１６のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項１８】
前記無機粒子は、少なくとも酸化チタン若しくは炭酸カルシウムを含む、請求項１７に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、樹脂層を備える樹脂シートの状態を検査する検査システム及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、樹脂層を備える樹脂シートの状態を非破壊で検査するシステム及び方法が提案されている。例えば特許文献１は、光を樹脂シートに照射し、樹脂シートによって散乱された光を検出し、散乱光に含まれる長波長成分と短波長成分の輝度比に基づいて、樹脂シートにおけるキズや異物などの欠陥を検出する方法を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１７５８１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
樹脂シートには、キズや異物などの、樹脂シートの表面形状に反映される欠陥だけでなく、脆化など、樹脂シートの表面形状には反映されない欠陥が生じることがある。この場合、脆化の影響が散乱光には明確には現れず、欠陥の有無を検査することが困難であると考えられる。
【０００５】
本開示の実施形態は、このような課題を解決することができる検査システム及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一実施形態は、樹脂層を備える樹脂シートの状態を検査する検査システムであって、前記樹脂シートに励起光を照射する照射装置と、前記励起光を前記樹脂シートに照射した時に前記樹脂シートから放出される蛍光を検出する蛍光検出部と、前記樹脂シートによって反射された前記励起光を少なくとも部分的に検出する反射光検出部と、を有する検出装置と、前記蛍光検出部によって検出された前記蛍光の強度と、前記反射光検出部によって検出された前記励起光の強度とに基づいて、前記樹脂シートの状態を判定する判定装置と、を備える、検査システムである。
【０００７】
本開示の一実施形態による検査システムにおいて、前記判定装置は、前記樹脂シートの脆化の程度が大きくなるほど前記蛍光検出部によって検出された前記蛍光の強度が増加するという傾向を考慮して、前記樹脂シートの状態を判定してもよい。
【０００８】
本開示の一実施形態による検査システムにおいて、前記照射装置は、可視光の波長域にピーク波長を有する前記励起光を前記樹脂シートに照射してもよい。
【０００９】
本開示の一実施形態による検査システムにおいて、前記蛍光検出部は、第１波長域に属する前記蛍光の成分を検出し、前記反射光検出部は、前記第１波長域よりも短波長側の第２波長域に属する、前記樹脂シートによって反射された前記励起光の成分を検出してもよい。
【００１０】
本開示の一実施形態による検査システムにおいて、前記第２波長域の中心は、前記励起光の前記ピーク波長よりも長波長側に位置していてもよい。
【００１１】
本開示の一実施形態による検査システムにおいて、前記樹脂シートの前記樹脂層は、ポリエチレン樹脂を含み、前記照射装置は、４５０ｎｍ以上且つ４７０ｎｍ以下の波長域にピーク波長を有する前記励起光を前記樹脂シートに照射し、前記第１波長域は、少なくとも５６０ｎｍの波長の点を含み、前記第２波長域は、少なくとも５００ｎｍの波長の点を含んでいてもよい。
【００１２】
本開示の一実施形態による検査システムにおいて、前記樹脂シートの前記樹脂層は、ポリエチレン樹脂を含み、前記照射装置は、４００ｎｍ以上且つ４１０ｎｍ以下の波長域にピーク波長を有する前記励起光を前記樹脂シートに照射し、前記第１波長域は、少なくとも５２０ｎｍの波長の点を含み、前記第２波長域は、少なくとも４０５ｎｍの波長の点を含んでいてもよい。
【００１３】
本開示の一実施形態による検査システムにおいて、前記樹脂シートの前記樹脂層は、無機材料を含む複数の無機粒子を更に備えていてもよい。
【００１４】
本開示の一実施形態による検査システムにおいて、前記無機粒子は、少なくとも酸化チタン若しくは炭酸カルシウムを含んでいてもよい。
【００１５】
本開示の一実施形態は、樹脂層を備える樹脂シートの状態を検査する検査方法であって、前記樹脂シートに励起光を照射する照射工程と、前記励起光を前記樹脂シートに照射した時に前記樹脂シートから放出される蛍光を検出する蛍光検出工程と、前記樹脂シートによって反射された前記励起光を少なくとも部分的に検出する反射光検出工程と、を有する検出工程と、前記蛍光検出工程において検出された前記蛍光の強度と、前記反射光検出工程において検出された前記励起光の強度とに基づいて、前記樹脂シートの状態を判定する判定工程と、を備える、検査方法である。
【００１６】
本開示の一実施形態による検査方法において、前記判定工程は、前記樹脂シートの脆化の程度が大きくなるほど前記蛍光検出部によって検出された前記蛍光の強度が増加するという傾向を考慮して、前記樹脂シートの状態を判定してもよい。
【００１７】
本開示の一実施形態による検査方法において、前記照射工程は、可視光の波長域にピーク波長を有する前記励起光を前記樹脂シートに照射してもよい。
【００１８】
本開示の一実施形態による検査方法において、前記蛍光検出工程は、第１波長域に属する前記蛍光の成分を検出し、前記反射光検出工程は、前記第１波長域よりも短波長側の第２波長域に属する、前記樹脂シートによって反射された前記励起光の成分を検出してもよい。
【００１９】
本開示の一実施形態による検査方法において、前記第２波長域の中心は、前記励起光の前記ピーク波長よりも長波長側に位置していてもよい。
【００２０】
本開示の一実施形態による検査方法において、前記樹脂シートの前記樹脂層は、ポリエチレン樹脂を含み、前記照射工程は、４５０ｎｍ以上且つ４７０ｎｍ以下の波長域にピーク波長を有する前記励起光を前記樹脂シートに照射し、前記第１波長域は、少なくとも５６０ｎｍの波長の点を含み、前記第２波長域は、少なくとも５００ｎｍの波長の点を含んでいてもよい。
【００２１】
本開示の一実施形態による検査方法において、前記樹脂シートの前記樹脂層は、ポリエチレン樹脂を含み、前記照射工程は、４００ｎｍ以上且つ４１０ｎｍ以下の波長域にピーク波長を有する前記励起光を前記樹脂シートに照射し、前記第１波長域は、少なくとも５２０ｎｍの波長の点を含み、前記第２波長域は、少なくとも４０５ｎｍの波長の点を含んでいてもよい。
【００２２】
本開示の一実施形態による検査方法において、前記樹脂シートの前記樹脂層は、無機材料を含む複数の無機粒子を更に備えていてもよい。
【００２３】
本開示の一実施形態による検査方法において、前記無機粒子は、少なくとも酸化チタン若しくは炭酸カルシウムを含んでいてもよい。
【発明の効果】
【００２４】
本開示の実施形態によれば、樹脂シートの状態を判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】一実施形態に係る樹脂シートを示す断面図である。
【図２】一実施形態に係る検査システムを示す図である。
【図３】一実施形態における励起光のスペクトルの一例を示す図である。
【図４】サンプルＡ〜Ｃに図３の励起光を照射した時に樹脂シートにおいて生じる光のスペクトルの一例を示す図である。
【図５】一実施形態において、フィルタの透過スペクトルの一例を示す図である。
【図６】サンプルＡ〜Ｃに図３の励起光を照射した時に樹脂シートにおいて生じる光であって、図５に示すフィルタを通過した後の光のスペクトルの一例を示す図である。
【図７】蛍光検出部のカメラ及び反射光検出部のカメラが撮影した画像の一例を示す図である。
【図８】サンプルＡ〜Ｃにおける、Ｐ２／Ｐ３と分子量の関係を示す図である。
【図９】サンプルＡ〜Ｃにおける、Ｐ２／Ｐ３と摩擦回数の関係を示す図である。
【図１０】第１変形例における励起光のスペクトルの一例を示す図である。
【図１１】サンプルＡ〜Ｃに図１０の励起光を照射した時に検出される反射光及び蛍光のスペクトルの一例を示す図である。
【図１２】第１変形例において、フィルタの透過スペクトルの一例を示す図である。
【図１３】サンプルＡ〜Ｃに図１０の励起光を照射した時に樹脂シートにおいて生じる光であって、図１２に示すフィルタを通過した後の光のスペクトルの一例を示す図である。
【図１４】第２変形例に係る検査システムを示す図である。
【図１５】第２変形例に係る検査システムのフィルタの透過スペクトルの一例を示す図である。
【図１６】実施例２〜４で用いるサンプル１〜５の状態を示す図である。
【図１７】実施例２において、サンプル１からの蛍光及び反射光を、ハイパースペクトルカメラを用いて検出した結果を示す図である。
【図１８】実施例２において、サンプル２からの蛍光及び反射光を、ハイパースペクトルカメラを用いて検出した結果を示す図である。
【図１９】実施例２において、サンプル３からの蛍光及び反射光を、ハイパースペクトルカメラを用いて検出した結果を示す図である。
【図２０】実施例２において、サンプル４からの蛍光及び反射光を、ハイパースペクトルカメラを用いて検出した結果を示す図である。
【図２１】実施例２において、サンプル５からの蛍光及び反射光を、ハイパースペクトルカメラを用いて検出した結果を示す図である。
【図２２】実施例２において、Ｐ２／Ｐ３の算出結果を示す図である。
【図２３】実施例２において、サンプル１〜５における、Ｐ２／Ｐ３と分子量の関係を示す図である。
【図２４】実施例２において、サンプル１〜５における、Ｐ２／Ｐ３と摩擦回数の関係を示す図である。
【図２５】実施例３において、Ｐ２／Ｐ３の算出結果を示す図である。
【図２６】実施例３において、サンプル１〜５における、Ｐ２／Ｐ３と分子量の関係を示す図である。
【図２７】実施例３において、サンプル１〜５における、Ｐ２／Ｐ３と摩擦回数の関係を示す図である。
【図２８】実施例４において、Ｐ２／Ｐ３の算出結果を示す図である。
【図２９】実施例４において、サンプル１〜５における、Ｐ２／Ｐ３と分子量の関係を示す図である。
【図３０】実施例４において、サンプル１〜５における、Ｐ２／Ｐ３と摩擦回数の関係を示す図である。
【図３１】実施例５〜６で用いるサンプル６〜１２の状態を示す図である。
【図３２】実施例５において、サンプル６からの蛍光及び反射光を、ハイパースペクトルカメラを用いて検出した結果を示す図である。
【図３３】実施例５において、サンプル７からの蛍光及び反射光を、ハイパースペクトルカメラを用いて検出した結果を示す図である。
【図３４】実施例５において、サンプル１１からの蛍光及び反射光を、ハイパースペクトルカメラを用いて検出した結果を示す図である。
【図３５】実施例５において、サンプル１２からの蛍光及び反射光を、ハイパースペクトルカメラを用いて検出した結果を示す図である。
【図３６】実施例５において、Ｐ２／Ｐ３の算出結果を示す図である。
【図３７】実施例５において、サンプル６，７，１１，１２における、Ｐ２／Ｐ３と分子量の関係を示す図である。
【図３８】実施例５において、サンプル６，７，１１，１２における、Ｐ２／Ｐ３と摩擦回数の関係を示す図である。
【図３９】実施例６において、Ｐ２／Ｐ３の算出結果を示す図である。
【図４０】実施例６において、サンプル６，７，１１，１２における、Ｐ２／Ｐ３と分子量の関係を示す図である。
【図４１】実施例６において、サンプル６，７，１１，１２における、Ｐ２／Ｐ３と摩擦回数の関係を示す図である。
【図４２】実施例７において、Ｐ２／Ｐ３の算出結果を示す図である。
【図４３】実施例７において、サンプル６〜１０における、Ｐ２／Ｐ３と分子量の関係を示す図である。
【図４４】実施例７において、サンプル６〜１０における、Ｐ２／Ｐ３と摩擦回数の関係を示す図である。
【図４５】実施例１において、励起光のピーク波長と樹脂シートからの蛍光のピーク波長との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本開示の実施形態に係る樹脂シート及び検査システムの構成について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態は本発明の実施形態の一例であって、本開示はこれらの実施形態に限定して解釈されるものではない。また、本明細書において、「基板」、「基材」、「シート」や「フィルム」など用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「基板」や「基材」は、シートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念である。また、本実施形態で参照する図面において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号または類似の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、図面の寸法比率は説明の都合上実際の比率とは異なる場合や、構成の一部が図面から省略される場合がある。
【００２７】
以下、図１乃至図９を参照して、本開示の実施の形態について説明する。まず、検査対象の樹脂シート１０について説明する。図１は、本実施の形態における樹脂シート１０を示す断面図である。
【００２８】
樹脂シート
樹脂シート１０は、床材などの建材の化粧シート、農業用シート、半導体素子の封止シート、包装用シートなど、様々な用途で用いられ得るシートである。樹脂シート１０は、基材シート１１と、基材シート１１に積層された樹脂層１２と、を備える。樹脂層１２は、基材シート１１の面の全域に設けられていてもよく、若しくは、模様を呈するように基材シート１１の面に部分的に設けられていてもよい。以下の説明において、樹脂シート１０の面のうち、樹脂層１２側に位置する面を第１面１０ｘと称し、基材シート１１側に位置する面を第２面１０ｙと称する。
【００２９】
基材シート１１は、樹脂層１２を支持するシートであり、紙、合成樹脂などを含む。例えば、基材シート１１は、ポリプロピレンなどのオレフィン系合成樹脂を含む。基材シート１１の厚みは、例えば５０μｍ以上且つ４００μｍ以下である。
【００３０】
樹脂層１２は、高分子樹脂を含み、例えば電離放射線硬化型樹脂を含む。電離放射線硬化型樹脂としては特に限定されず、紫外線、電子線等の電離放射線の照射により重合架橋反応可能なラジカル重合性二重結合を分子中に含むプレポリマー（オリゴマーを含む）及び／又はモノマーを主成分とする透明性樹脂が使用できる。これらのプレポリマー又はモノマーは、単体又は複数を混合して使用できる。透明性樹脂の例としては、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂等のオレフィン樹脂などを挙げることができる。樹脂層１２の厚みは、例えば２００μｍ以上且つ６００μｍ以下である。
【００３１】
樹脂層１２は、着色材を更に含んでいてもよい。着色材の例としては、酸化チタン、カーボンブラック、酸化鉄、酸化クロム、群青（ウルトラマリン）等の無機材料を含む無機粒子を挙げることができる。着色材の配合量は、例えば、ポリエチレン系樹脂などの電離放射線硬化型樹脂１００重量部に対して、好ましくは３重量部以上且つ４０重量部以下であり、例えば３０重量部である。
【００３２】
樹脂層１２は、樹脂層１２の強度や硬度を高めるための多数のフィラーを更に含んでいてもよい。例えば、樹脂層１２は、炭酸カルシウムなどの無機材料を含む多数のフィラーを更に含む。フィラーの配合量は、例えば、ポリエチレン系樹脂などの電離放射線硬化型樹脂１００重量部に対して、好ましくは３重量部以上且つ４０重量部以下であり、例えば１５重量部である。
【００３３】
その他にも、樹脂層１２は、防カビ剤、防虫剤、防腐剤、抗菌剤、消臭剤、光安定剤、重合開始剤、重合禁止剤、増感剤、架橋剤、可塑剤、難燃剤、帯電制御剤、熱安定剤、光安定剤、導電剤、防腐剤、消泡剤、防錆剤、酸化防止剤、発泡剤、発泡助剤、近赤外吸収剤、紫外吸収剤、乳化剤などの添加剤を更に含んでいてもよい。
【００３４】
検査システム
次に、上述の樹脂シート１０の状態を検査するための検査システム２０について説明する。はじめに、検査システム２０の原理について説明する。
【００３５】
ポリエチレン系樹脂などの高分子樹脂を含む樹脂層１２を備える樹脂シート１０は、時間が経つにつれて脆くなることがある。例えば、樹脂シート１０の表面を摩擦した場合に、樹脂シート１０の表面に傷や圧痕が形成され易くなる。樹脂シート１０のこのような脆化の原因としては、高分子樹脂の重合架橋が分断され、樹脂の分子量が低下したことなどが考えられる。なお、樹脂シート１０において生じる脆化の原因は、上記の原因に特には限定されない。また、本実施の形態による検査システム２０によって検査され得る樹脂シート１０の状態が、樹脂シート１０の脆化に関する状態に限定されることもない。なお本願において、分子量とは、重量平均分子量である。
【００３６】
本件発明者らが研究を重ねたところ、樹脂シート１０の脆化などの状態と、樹脂シート１０の光学的な特性との間に相関関係が存在することを見出した。具体的には、樹脂シート１０の脆化が進行するにつれて、樹脂シート１０に励起光を照射した時に樹脂シート１０から放出される蛍光の強度が大きくなることを見出した。本実施の形態による樹脂シート１０は、このような現象を利用して樹脂シート１０の状態を検査するよう構成されている。
【００３７】
図２は、検査システム２０を示す図である。検査システム２０は、照射装置２１、検出装置２２、及び判定装置２５を備える。
【００３８】
（照射装置）
照射装置２１は、樹脂シート１０の第１面１０ｘ側から樹脂シート１０の領域に励起光Ｌ１を照射する。励起光Ｌ１は、樹脂シート１０の樹脂層１２から放出される蛍光のピーク波長よりも短いピーク波長を有する。好ましくは、励起光Ｌ１は、そのピーク波長が、樹脂シート１０の樹脂層１２から放出される蛍光のピーク波長及びスペクトルの半値幅によって画定される波長域よりも短波長側に位置するよう、選択される。
【００３９】
好ましくは、励起光Ｌ１は、可視光の波長域にピーク波長を有する。言い換えると、励起光Ｌ１は、紫外線の波長域よりも長波長側にピーク波長を有する。例えば、励起光Ｌ１のピーク波長は、３８０ｎｍ以上且つ５００ｎｍ以下である。励起光Ｌ１として紫外線よりも長波長側の光を用いることにより、励起光Ｌ１の照射に起因して樹脂シート１０の破壊や劣化が生じることを抑制することができる。
【００４０】
励起光Ｌ１が照射される樹脂シート１０の領域の形状は任意であり、例えば円形や正方形である。励起光Ｌ１が照射される樹脂シート１０の領域の寸法は、例えば２ｍｍ以上且つ１００ｍｍ以下である。領域が円形の場合、寸法は、領域の直径の長さを意味する。また、領域が正方形の場合、寸法は、領域の一辺の長さを意味する。
【００４１】
本実施の形態においては、励起光Ｌ１のピーク波長が、３９５ｎｍ以上且つ４１５ｎｍ以下の波長域に位置し、より具体的には４００ｎｍ以上且つ４１０ｎｍ以下の波長域に位置し、例えば４０５ｎｍである例について説明する。図３は、励起光Ｌ１のスペクトルＳ１の一例を示す図である。
【００４２】
（検出装置）
検出装置２２は、励起光Ｌ１を樹脂シート１０に照射した時に樹脂シート１０において生じる光を検出する。樹脂シート１０において生じる光は、樹脂シート１０の樹脂層１２から放出される蛍光Ｌ２、及び樹脂シート１０によって反射される励起光Ｌ１を含む。以下の説明において、樹脂シート１０によって反射された励起光Ｌ１のことを、反射光Ｌ３とも称する。
【００４３】
図４は、劣化の状態が既知の樹脂シート１０のサンプルＡ，Ｂ及びＣに図３の励起光Ｌ１を照射した時にサンプルＡ，Ｂ及びＣにおいて生じる光のスペクトルの一例を示す図である。図４において、サンプルＡ，Ｂ及びＣにおいて生じる蛍光Ｌ２のスペクトルが、それぞれ符号Ｓ２＿ａ，Ｓ２＿ｂ及びＳ２＿ｃで表されている。蛍光Ｌ２のピーク波長は、約５２０ｎｍである。また、サンプルＡ，Ｂ及びＣにおいて生じる反射光Ｌ３のスペクトルが、それぞれ符号Ｓ３＿ａ，Ｓ３＿ｂ及びＳ３＿ｃで表されている。反射光Ｌ３のピーク波長は、励起光Ｌ１のピーク波長と同一であり、約４０５ｎｍである。
【００４４】
サンプルＡ，Ｂ及びＣのうち、サンプルＡにおいて最も大きく脆化が生じている。その次に脆化の程度が大きいのがサンプルＢであり、脆化の程度が最も小さいのがサンプルＣである。この場合、図４に示すように、サンプルＡの蛍光Ｌ２のスペクトルＳ２＿ａが最も大きくなる。すなわち、脆化の程度が大きくなるほど、蛍光Ｌ２のスペクトルＳ２が大きくなり、蛍光Ｌ２の強度が大きくなる。
【００４５】
以下、検出装置２２の構成について説明する。検出装置２２は、蛍光検出部２３及び反射光検出部２４を有する。蛍光検出部２３は、励起光Ｌ１を樹脂シート１０に照射した時に樹脂シート１０の樹脂層１２から放出される、第１波長域に属する蛍光Ｌ２の成分を検出する。また、反射光検出部２４は、樹脂シート１０によって反射された反射光Ｌ３を少なくとも部分的に検出する。好ましくは、反射光検出部２４は、樹脂シート１０によって反射された反射光Ｌ３のうち、蛍光Ｌ２が属する第１波長域よりも短波長側の第２波長域に属する光の成分を検出する。以下、蛍光検出部２３及び反射光検出部２４の構成について説明する。
【００４６】
蛍光検出部２３は、蛍光Ｌ２を検出するカメラ２３１を含む。また、蛍光検出部２３は、樹脂シート１０から放出された蛍光Ｌ２のピーク波長に対応する通過帯域を有するバンドパスフィルタ２３２を更に含んでいてもよい。例えば、蛍光Ｌ２のピーク波長が５２０ｎｍである場合、バンドパスフィルタ２３２の通過帯域は、少なくとも５２０ｎｍの波長の点を含む。従って、蛍光検出部２３は、少なくとも５２０ｎｍの波長の点を含む第１波長域に属する蛍光Ｌ２の成分を検出することができる。バンドパスフィルタ２３２の通過帯域幅は、例えば５ｎｍ以上且つ３０ｎｍ以下である。通過帯域幅は、バンドパスフィルタの透過率がピーク値の半分の値以上となる波長域の幅であり、いわゆる半値全幅である。
【００４７】
反射光検出部２４は、反射光Ｌ３を検出するカメラ２４１を含む。また、反射光検出部２４は、反射光検出部２４に到達する反射光Ｌ３のピーク波長に対応する通過帯域を有するバンドパスフィルタ２４２を更に含んでいてもよい。例えば、反射光検出部２４に到達する反射光Ｌ３のピーク波長が４０５ｎｍである場合、バンドパスフィルタ２４２の通過帯域は、少なくとも４０５ｎｍの波長の点を含む。従って、反射光検出部２４は、少なくとも４０５ｎｍの波長の点を含む第２波長域に属する反射光Ｌ３の成分を検出することができる。バンドパスフィルタ２４２の通過帯域幅は、例えば５ｎｍ以上且つ２０ｎｍ以下である。
【００４８】
反射光検出部２４は、各サンプルにおける検査条件の相違を補正するために、反射光Ｌ３を検出する。以下、補正について説明する。
例えば、サンプルＢに照射される励起光Ｌ１の強度が、サンプルＡに照射される励起光Ｌ１の強度の２倍であると仮定する。この場合、脆化の程度がサンプルＢよりも大きいサンプルＡから放出される蛍光Ｌ２の強度が、サンプルＢから放出される蛍光Ｌ２の強度よりも小さくなってしまうことがある。すなわち、各サンプルから放出される反射光Ｌ３の強度の絶対値が、各サンプルの脆化の程度を適切に表さないようになってしまうことがある。このような場合であっても、例えば、反射光Ｌ３の強度で蛍光Ｌ２の強度を補正することにより、検査システム２０による検査結果に、各サンプルにおける検査条件の相違の影響が現れてしまうことを抑制することができる。補正は、例えば、蛍光Ｌ２の強度を反射光Ｌ３の強度で除算すること、すなわち規格化することを含む。
【００４９】
なお、上述のように、本実施の形態及び後述する第１の変形例において、蛍光検出部２３及び反射光検出部２４は、限られた波長範囲内の光の強度を検出する、いわゆるモノクロカメラである。従って、図４や後述する図６、図１１、図１３に示すようなスペクトルに関する情報が、蛍光検出部２３及び反射光検出部２４によって得られるわけではない。これらのスペクトルは、本実施の形態及び後述する第１の変形例の原理を説明するために、便宜的に示されているに過ぎない。
【００５０】
ところで、蛍光検出部２３によって検出される蛍光Ｌ２の強度と、反射光検出部２４によって検出される反射光Ｌ３の強度との差が大きくなり過ぎると、反射光Ｌ３を用いた上述の補正の精度が低下してしまうことが懸念される。このような課題を考慮し、図２に示すように、樹脂シート１０と反射光検出部２４との間にフィルタ２６を設けてもよい。フィルタ２６は、例えば、図５に示すような、波長に依らずほぼ一定の透過率を有するＮＤフィルタである。このようなフィルタ２６を用いることにより、反射光検出部２４に到達する反射光Ｌ３の強度を低減することができる。これによって、反射光検出部２４によって検出される反射光Ｌ３の強度と蛍光検出部２３によって検出される蛍光Ｌ２の強度との差が過剰に大きくなることを抑制することができる。
【００５１】
図６は、サンプルＡ〜Ｃに図３の励起光Ｌ１を照射した時に樹脂シート１０において生じる光であって、図５に示すフィルタ２６を通過した後の光のスペクトルの一例を示す図である。フィルタ２６を用いることにより、反射光検出部２４に到達する反射光Ｌ３の強度を低減することができる。これによって、反射光Ｌ３の強度Ｐ３に対する蛍光Ｌ２の強度Ｐ２の比を大きくすることができ、このことにより、検査の精度を向上させることができる。すなわち、蛍光検出部２３によって検出される蛍光Ｌ２の強度に対する、反射光検出部２４によって検出される反射光Ｌ３の強度の比という情報が、蛍光Ｌ２の強度の揺らぎなどに埋もれてしまうことを抑制することができる。
【００５２】
図７は、蛍光検出部２３に到達した蛍光Ｌ２をカメラ２３１が検出することによって得られる画像Ｉｍ２、及び、反射光検出部２４に到達した反射光Ｌ３をカメラ２４１が検出することによって得られる画像Ｉｍ３の一例を示す図である。
画像Ｉｍ２は、蛍光検出部２３のカメラ２３１に到達した蛍光Ｌ２の強度を反映した画素値を有する複数の単位画素を含む。蛍光検出部２３は、例えば、画像Ｉｍ２の各単位画素の画素値の平均値を、蛍光Ｌ２の強度Ｐ２として算出する。
画像Ｉｍ３は、反射光検出部２４のカメラ２４１に到達した反射光Ｌ３の強度を反映した画素値を有する複数の単位画素を含む。反射光検出部２４は、例えば、画像Ｉｍ３の各単位画素の画素値の平均値を、反射光Ｌ３の強度Ｐ３として算出する。
【００５３】
（判定装置）
判定装置２５は、蛍光検出部２３によって検出された蛍光Ｌ２の強度Ｐ２と、反射光検出部２４によって検出された反射光Ｌ３の強度Ｐ３とに基づいて、樹脂シート１０の状態を判定する。例えば、判定装置２５は、強度Ｐ２を強度Ｐ３で除算した値であるＰ２／Ｐ３に基づいて、樹脂シート１０の状態を判定する。判定装置２５は、判定条件に関する情報を記録するデータベース２５１と、データベース２５１に記録された判定条件に基づいて、樹脂シート１０の状態を判定する判定部２５２と、を含む。
【００５４】
データベース２５１に記録されている判定条件の一例について、図８及び図９を参照して説明する。
【００５５】
図８は、サンプルＡ〜Ｃにおける、Ｐ２／Ｐ３と、樹脂シート１０の樹脂層１２に含まれる樹脂の分子量との関係を示す図である。分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー法で樹脂層１２を分析することによって算出される。図８に示すように、Ｐ２／Ｐ３と分子量との間には、分子量が小さくなるほどＰ２／Ｐ３が大きくなるという相関関係が存在する。
【００５６】
図９は、サンプルＡ〜Ｃにおける、Ｐ２／Ｐ３と、樹脂シート１０の耐摩擦性との関係を示す図である。耐摩擦性は、例えば、所定の摩擦条件で樹脂シート１０の第１面１０ｘを繰り返し摩擦した場合の、樹脂シート１０の第１面１０ｘに傷又は圧痕が生じるまでの回数（以下、摩擦回数と称する）である。樹脂シート１０の脆化が進行するほど、摩擦回数が小さくなる。図９に示すように、Ｐ２／Ｐ３と摩擦回数との間には、摩擦回数が小さくなるほどＰ２／Ｐ３が大きくなるという相関関係が存在する。
【００５７】
摩擦条件の一例は、プラスチック製消しゴム（トンボ鉛筆社製ＭＯＮＯ消しゴム）に、７５０ｇ±５０ｇの荷重をかけた状態で、０．５ｍｍ／ｓ以上且つ１ｍｍ／ｓ以下の速度で、１回あたり少なくとも７ｍｍの距離にわたって樹脂シート１０の第１面１０ｘを擦る、という条件である。このとき、プラスチック製消しゴムと樹脂シート１０の第１面１０ｘとの間の角度を、４５°±５°の範囲内に維持する。
【００５８】
樹脂シート１０の状態を、樹脂シート１０の摩擦回数に基づいて区分することができる。例えば、摩擦回数が２０回以上の樹脂シート１０の状態を第１状態とし、摩擦回数が２０回未満の樹脂シート１０の状態を第２状態とする。この場合、図９に示す例においては、樹脂シート１０の状態を判定するためのＰ２／Ｐ３の閾値Ｔｈを、０．４に設定することができる。データベース２５１は、このような閾値Ｔｈを記録している。
【００５９】
以下、上述の検査システム２０を用いて樹脂シート１０の状態を検査する検査方法について説明する。ここで、上述の既知のサンプルＡ〜Ｃに基づいて算出された閾値Ｔｈの情報は、予めデータベース２５１に記録されている。検査対象となる樹脂シート１０は、状態が未知のサンプルＤである。
【００６０】
まず、検査システム２０の照射装置２１が、サンプルＤに励起光Ｌ１を照射する照射工程を実施する。続いて、検出装置２２が、励起光Ｌ１をサンプルＤに照射した時にサンプルＤにおいて生じる光を検出する検出工程を実施する。具体的には、蛍光検出部２３が、励起光Ｌ１をサンプルＤに照射した時にサンプルＤから放出される蛍光Ｌ２を検出して強度Ｐ２を算出する蛍光検出工程を実施する。また、反射光検出部２４が、サンプルＤによって反射された反射光Ｌ３を少なくとも部分的に検出して強度Ｐ３を算出する反射光検出工程を実施する。
【００６１】
続いて、判定装置２５が、蛍光検出工程において検出された蛍光Ｌ２の強度Ｐ２と、反射光検出工程において検出された反射光Ｌ３の強度Ｐ３とに基づいて、サンプルＤの状態を判定する判定工程を実施する。具体的には、まず、判定装置２５の判定部２５２は、強度Ｐ２を強度Ｐ３で除算してＰ２／Ｐ３を算出する。また、判定部２５２は、データベース２５１から閾値Ｔｈを取得する。続いて、判定部２５２は、Ｐ２／Ｐ３と閾値Ｔｈとを比較する。判定部２５２は、Ｐ２／Ｐ３が閾値Ｔｈ未満である場合、サンプルＤの状態を状態１と判定する。一方、判定部２５２は、Ｐ２／Ｐ３が閾値Ｔｈ以上である場合、サンプルＤの状態を状態２と判定する。
【００６２】
本実施の形態によれば、検査システム２０は、樹脂シート１０の樹脂層１２の劣化の程度に対応して樹脂層１２から放出される蛍光Ｌ２を検出することにより、樹脂層１２の状態を判定する。このため、樹脂シート１０の状態を非破壊で検査することができる。
【００６３】
非破壊という特長は、励起光Ｌ１として可視光を用いることによって更に顕著になる。例えば、樹脂層１２が酸化チタンなどの、光によって活性化する光触媒を含む場合について考える。この場合、励起光Ｌ１として紫外線を用いると、光触媒が活性化し、樹脂層１２を構成する電離放射線硬化型樹脂の重合架橋が分断され易くなる。これに対して、励起光Ｌ１として可視光を用いると、光触媒の活性化を抑制することができ、これによって、樹脂層１２を構成する電離放射線硬化型樹脂の重合架橋が分断されてしまうことを抑制することができる。
【００６４】
また、励起光Ｌ１として可視光を用いることにより、励起光Ｌ１として紫外線を用いる場合に比べて、検査システム２０の扱いやすさや安全性を向上させることができる。
【００６５】
また、本実施の形態によれば、検査システム２０は、樹脂シート１０の脆化の程度が大きくなるほど蛍光Ｌ２の強度が増加するという傾向を利用して、樹脂シート１０の状態を判定する。このような傾向によれば、樹脂シート１０の脆化の程度が大きくなるほど、蛍光Ｌ２の強度が増加し、樹脂シート１０の状態の判定精度が向上すると考えられる。このため、脆化の程度が甚大になった状態の樹脂シート１０を見逃してしまうことの可能性を低減することができる。
【００６６】
なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、必要に応じて図面を参照しながら、変形例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。また、上述した実施の形態において得られる作用効果が変形例においても得られることが明らかである場合、その説明を省略することもある。
【００６７】
（第１の変形例）
上述の実施の形態においては、励起光Ｌ１として、４０５ｎｍのピーク波長を有する光を用いる例を示したが、励起光Ｌ１のピーク波長は特には限定されない。本変形例においては、励起光Ｌ１として、４６０ｎｍのピーク波長を有する光を用いる例について説明する。図１０は、本変形例において用いる励起光Ｌ１のスペクトルＳ１の一例を示す図である。
【００６８】
図１１は、劣化の状態が既知の樹脂シート１０のサンプルＡ，Ｂ及びＣに図１０の励起光Ｌ１を照射した時にサンプルＡ，Ｂ及びＣにおいて生じる光のスペクトルの一例を示す図である。蛍光Ｌ２のピーク波長は、約５６０ｎｍになる。このように、蛍光Ｌ２のピーク波長は、励起光Ｌ１のピーク波長に応じて変化し得る。蛍光Ｌ２のピーク波長と励起光Ｌ１のピーク波長との関係については、実施例１において後述する。
【００６９】
本変形例において、蛍光検出部２３のバンドパスフィルタ２３２の通過帯域は、少なくとも５６０ｎｍの波長の点を含む。従って、蛍光検出部２３は、少なくとも５６０ｎｍの波長の点を含む第１波長域に属する蛍光Ｌ２の成分を検出することができる。
【００７０】
反射光Ｌ３のピーク波長は、励起光Ｌ１のピーク波長と同一であり、約４６０ｎｍである。反射光検出部２４のバンドパスフィルタ２４２の通過帯域は、少なくとも４６０ｎｍの波長の点を含む。従って、蛍光検出部２３は、少なくとも４６０ｎｍの波長の点を含む第１波長域に属する蛍光Ｌ２の成分を検出することができる。
【００７１】
ところで、本変形例においては、上述の実施の形態の場合に比べて、励起光Ｌ１のピーク波長と蛍光Ｌ２のピーク波長との差が小さい。この場合、図１１に示すように、反射光Ｌ３のスペクトルＳ３＿ａ，Ｓ３＿ｂ，Ｓ３＿ｃと蛍光スペクトルＳ２のスペクトルＳ２＿ａ，Ｓ２＿ｂ，Ｓ２＿ｃとが重なり、蛍光Ｌ２のピークが目立たなくなる。この点を考慮し、本変形例においても、上述の実施の形態の場合と同様に、樹脂シート１０と反射光検出部２４との間にフィルタ２６を設けてもよい。フィルタ２６は、例えば、図１２に示すように、励起光Ｌ１のピーク波長と蛍光Ｌ２のピーク波長との間にカットオフ波長を有する、長波長透過型フィルタである。
【００７２】
図１３は、サンプルＡ〜Ｃに図１０の励起光Ｌ１を照射した時に樹脂シート１０において生じる光であって、図１２に示すフィルタ２６を通過した後の光のスペクトルの一例を示す図である。本変形例において、反射光検出部２４に到達する反射光Ｌ３のピーク波長は、励起光Ｌ１のピーク波長よりも長波長側に位置するようになる。例えば、励起光Ｌ１のピーク波長が４６０ｎｍであるのに対して、反射光検出部２４に到達する反射光Ｌ３のピーク波長は５００ｎｍになる。この場合、反射光検出部２４のバンドパスフィルタ２４２の通過帯域の中心は、励起光Ｌ１のピーク波長よりも長波長側に位置し、且つ、少なくとも５００ｎｍの波長の点を含む。従って、反射光検出部２４は、少なくとも５００ｎｍの波長の点を含む第２波長域に属する反射光Ｌ３の成分を検出することができる。
【００７３】
図１２に示すような透過率を有する長波長透過型フィルタを用いることにより、図１３に示すように、反射光Ｌ３のスペクトルＳ３＿ａ，Ｓ３＿ｂ，Ｓ３＿ｃの強度を低減することができる。これによって、長波長透過型フィルタを用いない場合に比べて、反射光Ｌ３の強度Ｐ３に対する蛍光Ｌ２の強度Ｐ２の比を大きくすることができ、このことにより、検査の精度を向上させることができる。
【００７４】
（第２の変形例）
上述の第１の変形例においては、検出装置２２の蛍光検出部２３及び反射光検出部２４がそれぞれ、モノクロカメラとして機能する例を示した。すなわち、蛍光検出部２３は、蛍光Ｌ２のピーク波長が属する第１波長域の光を検出し、反射光検出部２４は、反射光Ｌ３のピーク波長が属する第２波長域の光を検出する例を示した。しかしながら、蛍光Ｌ２の強度Ｐ２及び反射光Ｌ３の強度Ｐ３を算出することができる限りにおいて、検出装置２２の構成が限定されることはない。本変形例においては、検出装置２２が、ハイパースペクトルカメラである例について説明する。
【００７５】
図１４は、本変形例に係る検査システム２０を示す図である。検出装置２２は、少なくとも４００ｎｍから６００ｎｍまでの波長域において光の強度を検出することができるハイパースペクトルカメラである。この場合、検出装置２２の一部は、蛍光Ｌ２のピーク波長が属する第１波長域の光を検出する蛍光検出部２３として機能することができる。また、検出装置２２のその他の一部は、反射光Ｌ３のピーク波長が属する第２波長域の光を検出する反射光検出部２４として機能することができる。
【００７６】
本変形例においても、蛍光Ｌ２の強度と反射光Ｌ３の強度との差が大きくなり過ぎると、反射光Ｌ３を用いた上述の補正の精度が低下してしまうことが懸念される。このような課題を考慮し、本変形例においても、樹脂シート１０と検出装置２２との間にフィルタ２６を設けてもよい。なお、本変形例においては、蛍光Ｌ２の強度及び反射光Ｌ３の強度のいずれもが、フィルタ２６を透過した光に基づいて算出される。この場合に用いられるフィルタ２６の透過スペクトルの一例を、図１５に示す。フィルタ２６は、例えば、励起光Ｌ１のピーク波長よりも短波長側に透過率のピークを有する透過スペクトルＢ１を含む。また、フィルタ２６は、蛍光Ｌ２のピーク波長を含む長波長域の光を透過させる透過スペクトルＢ２を含む。このようなフィルタを用いることにより、蛍光Ｌ２の強度に比べて反射光Ｌ３の強度をより大きく低減することができる。これによって、反射光Ｌ３の強度と蛍光Ｌ２の強度との差が過剰に大きくなることを抑制することができる。
【００７７】
なお、上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、上述した実施の形態及び変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。例えば、検査システム２０は、上述の実施の形態における、４０５ｎｍのピーク波長を有する光を励起光Ｌ１として用いる検査、及び、上述の第２の変形例における、４６０ｎｍのピーク波長を有する光を励起光Ｌ１として用いる検査の両方を実施するよう構成されていてもよい。
【実施例】
【００７８】
次に、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例の記載に限定されるものではない。
【００７９】
（実施例１）
励起光Ｌ１のピーク波長を４００ｎｍから５００ｎｍまで１０ｎｍ刻みで変化させて、樹脂シート１０の樹脂層１２から放出される蛍光Ｌ２を検出し、蛍光Ｌ２のピーク波長を測定した。樹脂シート１０としては、樹脂層１２がポリエチレン系樹脂を含むものを用いた。結果を図４５に示す。
【００８０】
図４５に示すように、励起光Ｌ１のピーク波長が長波長側にシフトすることに対応して、蛍光Ｌ２のピーク波長も長波長側にシフトする傾向が見られた。
【００８１】
（実施例２）
樹脂シート１０のサンプル１−１〜１−４、サンプル２−１〜２−４、サンプル３−１〜３−４、サンプル４−１〜４−３、及びサンプル５−１〜５−２を準備した。樹脂シート１０としては、樹脂層１２がポリエチレン系樹脂を含むものを用いた。「サンプルｘ−ｙ」というサンプル名において、ｘに表される番号が同一であることは、樹脂シート１０の樹脂層１２のパターンが同一であることを意味する。言い換えると、ｘに表される番号が異なることは、樹脂シート１０の樹脂層１２のパターンが異なることを意味する。また、ｙに表される番号が異なることは、樹脂シート１０の製造日若しくは樹脂シート１０が保管又は使用されていた環境が異なることを意味する。なお「パターン」とは、樹脂層１２中の着色材などによって表現されている模様又は絵柄、若しくは、樹脂層１２の表面の凹凸によって表現されている立体構造を意味する。
【００８２】
各サンプルについて、樹脂層１２の分子量を測定し、また、摩擦回数を評価した。また、摩擦回数の評価結果に基づいて、各サンプルの状態を区分した。結果を図１６に示す。各サンプルの組について、摩擦回数が３０以下である場合を状態２とし、摩擦回数が３０を超える場合を状態１とした。なお、状態判定の基準や閾値は、対象とする樹脂シート１０の種類に応じて任意に設定され得る。
【００８３】
上述の第２の変形例に示す、ハイパースペクトルカメラを有するタイプの検査システム２０を用いて、サンプル１−１〜１−４に励起光Ｌ１を照射した時にサンプル１−１〜１−４において生じる蛍光Ｌ２及び反射光Ｌ３を、５ｎｍの分解能で検出した。励起光Ｌ１としては、４６０ｎｍのピーク波長を有する光を用いた。また、励起光Ｌ１のピーク波長よりも長波長側にカットオフ波長を有する、図１２に示すような長波長透過型フィルタを通過させた後、蛍光Ｌ２及び反射光Ｌ３を検出装置２２に入射させた。検出装置２２が検出した光のスペクトルを図１７に示す。
図１７に示すように、検出装置２２によって検出された反射光Ｌ３のピーク波長は約５００ｎｍであった。一方、蛍光Ｌ２については、そのピークが、反射光Ｌ３のピークに比べて小さく、このため、図１７のスペクトルには明確に現れなかった。この場合、上述の図４５に示す励起光Ｌ１のピーク波長と蛍光Ｌ２のピーク波長との関係に基づいて、蛍光Ｌ２のピーク波長を決定し、蛍光Ｌ２の強度Ｐ２を決定してもよい。例えば、図４５に示すように、励起光Ｌ１のピーク波長が４６０ｎｍである場合、蛍光Ｌ２のピーク波長は５６０ｎｍになる。従って、図１７のスペクトルのうち、波長が５６０ｎｍの位置における部分の強度を、蛍光Ｌ２の強度Ｐ２とすることができる。
【００８４】
サンプル１−１〜１−４の場合と同様にして、サンプル２−１〜２−４、サンプル３−１〜３−４、サンプル４−１〜４−３、及びサンプル５−１〜５−２に励起光Ｌ１を照射した時に各サンプルにおいて生じる蛍光Ｌ２及び反射光Ｌ３を検出した。結果をそれぞれ図１８〜図２１に示す。
【００８５】
各サンプルについて、Ｐ２／Ｐ３を算出した。ここでは、波長５６０ｎｍにおいて検出装置２２によって検出された光の強度を、蛍光Ｌ２の強度Ｐ２とした。また、波長５００ｎｍにおいて検出装置２２によって検出された光の強度を、反射光Ｌ３の強度Ｐ３とした。結果を図２２に示す。
【００８６】
図２３は、各サンプルにおけるＰ２／Ｐ３と、樹脂層１２の分子量の測定結果との関係を示す図である。図２４は、各サンプルにおけるＰ２／Ｐ３と、摩擦回数の評価結果との関係を示す図である。図２３及び図２４において、符号Ｔｈ１が付された点線は、サンプル１−１〜１−４の状態が状態１であるか状態２であるかを判別するための閾値である。符号Ｔｈ２〜Ｔｈ５が付された点線もそれぞれ、サンプル２、３、４、及び５の組に属する樹脂シート１０の状態が状態１であるか状態２であるかを判別するための閾値である。
【００８７】
サンプル２、４の組においては、閾値Ｔｈ２、Ｔｈ４を例えば約０．０３７に設定する。サンプル１、３、５の組においては、閾値Ｔｈ１、Ｔｈ３、Ｔｈ５を例えば約０．０３９に設定する。このように設定された閾値によれば、図２３及び図２４に示すように、Ｐ２／Ｐ３の値に基づいて各サンプルの状態を判別することが可能である。
【００８８】
（実施例３）
蛍光Ｌ２の強度Ｐ２として、波長５３５ｎｍ〜波長５８５ｎｍの範囲内において検出装置２２によって検出された光の強度の総和を用いたこと以外は、実施例２の場合と同様にして、各サンプルについてＰ２／Ｐ３を算出した。結果を図２５に示す。
【００８９】
図２６は、各サンプルにおけるＰ２／Ｐ３と、樹脂層１２の分子量の測定結果との関係を示す図である。図２７は、各サンプルにおけるＰ２／Ｐ３と、摩擦回数の評価結果との関係を示す図である。
【００９０】
サンプル２、４の組においては、閾値Ｔｈ２、Ｔｈ４を例えば約０．５２に設定する。サンプル１、３、５の組においては、閾値Ｔｈ１、Ｔｈ３、Ｔｈ５を例えば約０．５４に設定する。このように設定された閾値によれば、図２６及び図２７に示すように、Ｐ２／Ｐ３の値に基づいて各サンプルの状態を判別することが可能である。
【００９１】
（実施例４）
上述の実施の形態に示す、２台のモノクロカメラを有するタイプの検査システム２０を用いたこと以外は、実施例２の場合と同様にして、各サンプルについてＰ２／Ｐ３を算出した。蛍光検出部２３のバンドパスフィルタ２３２としては、通過帯域の中心波長が５６０ｎｍであり、通過帯域幅が２０ｎｍのものを用いた。また、反射光検出部２４のバンドパスフィルタ２４２としては、通過帯域の中心波長が５００ｎｍであり、通過帯域幅が１０ｎｍのものを用いた。Ｐ２／Ｐ３の算出結果を図２８に示す。
【００９２】
図２９は、各サンプルにおけるＰ２／Ｐ３と、樹脂層１２の分子量の測定結果との関係を示す図である。図３０は、各サンプルにおけるＰ２／Ｐ３と、摩擦回数の評価結果との関係を示す図である。
【００９３】
サンプル２、４の組においては、閾値Ｔｈ２、Ｔｈ４を例えば約０．３８に設定する。サンプル１、３、５の組においては、閾値Ｔｈ１、Ｔｈ３、Ｔｈ５を例えば約０．４１に設定する。このように設定された閾値によれば、図２９及び図３０に示すように、Ｐ２／Ｐ３の値に基づいて各サンプルの状態を判別することが可能である。
【００９４】
（実施例５）
樹脂シート１０のサンプル６−１〜６−４、サンプル７−１〜７−２、サンプル８−１〜８−３、サンプル９−１〜９−４、サンプル１０−１〜１０−２、サンプル１１−１〜１１−２、及びサンプル１２−１〜１２−２を準備した。樹脂シート１０としては、樹脂層１２がポリエチレン系樹脂を含むものを用いた。また、各サンプルについて、樹脂層１２の分子量を測定し、また、摩擦回数を評価した。また、摩擦回数の評価結果に基づいて、各サンプルの状態を区分した。結果を図３１に示す。摩擦回数が３０以下である場合を状態２とし、摩擦回数が３０を超える場合を状態１とした。
【００９５】
上述の第２の変形例に示す、ハイパースペクトルカメラを有するタイプの検査システム２０を用いて、サンプル６−１〜６−４に励起光Ｌ１を照射した時にサンプル１−１〜１−４において生じる蛍光Ｌ２及び反射光Ｌ３を、５ｎｍの分解能で検出した。励起光Ｌ１としては、４０５ｎｍのピーク波長を有する光を用いた。また、励起光Ｌ１のピーク波長よりも短波長側に透過率のピークを有する透過スペクトルＢ１と、蛍光Ｌ２のピーク波長を含む長波長域の光を透過させる透過スペクトルＢ２と、を含む、図５に示すタイプのフィルタを通過させた後、蛍光Ｌ２及び反射光Ｌ３を検出装置２２に入射させた。図３２に示すように、検出装置２２によって検出された蛍光Ｌ２のピーク波長は約５２０ｎｍであった。また、検出装置２２によって検出された反射光Ｌ３のピーク波長は約４００ｎｍであった。
【００９６】
サンプル６−１〜６−４の場合と同様にして、サンプル７−１〜７−２、サンプル１１−１〜１１−２、及びサンプル１２−１〜１２−２に励起光Ｌ１を照射した時に各サンプルにおいて生じる蛍光Ｌ２及び反射光Ｌ３を検出した。結果をそれぞれ図３３〜図３５に示す。
【００９７】
各サンプルについて、Ｐ２／Ｐ３を算出した。ここでは、波長５２０ｎｍにおいて検出装置２２によって検出された光の強度を、蛍光Ｌ２の強度Ｐ２とした。また、波長４００ｎｍにおいて検出装置２２によって検出された光の強度を、反射光Ｌ３の強度Ｐ３とした。結果を図３６に示す。
【００９８】
図３７は、各サンプルにおけるＰ２／Ｐ３と、樹脂層１２の分子量の測定結果との関係を示す図である。図３８は、各サンプルにおけるＰ２／Ｐ３と、摩擦回数の評価結果との関係を示す図である。
【００９９】
サンプル６の組においては、閾値Ｔｈ６を例えば約０．０８に設定する。サンプル７、１１、１２の組においては、閾値Ｔｈ７、Ｔｈ１１、Ｔｈ１２を例えば約０．１４に設定する。このように設定された閾値によれば、図３７及び図３８に示すように、Ｐ２／Ｐ３の値に基づいて各サンプルの状態を判別することが可能である。
【０１００】
（実施例６）
蛍光Ｌ２の強度Ｐ２として、波長５００ｎｍ〜波長５５０ｎｍの範囲内において検出装置２２によって検出された光の強度の総和を用いたこと以外は、実施例５の場合と同様にして、各サンプルについてＰ２／Ｐ３を算出した。結果を図３９に示す。
【０１０１】
図４０は、各サンプルにおけるＰ２／Ｐ３と、樹脂層１２の分子量の測定結果との関係を示す図である。図４１は、各サンプルにおけるＰ２／Ｐ３と、摩擦回数の評価結果との関係を示す図である。
【０１０２】
サンプル６の組においては、閾値Ｔｈ６を例えば約０．８に設定する。サンプル７、１１、１２の組においては、閾値Ｔｈ７、Ｔｈ１１、Ｔｈ１２を例えば約１．２に設定する。このように設定された閾値によれば、図４０及び図４１に示すように、Ｐ２／Ｐ３の値に基づいて各サンプルの状態を判別することが可能である。
【０１０３】
（実施例７）
上述の実施の形態に示す、２台のモノクロカメラを有するタイプの検査システム２０を用いたこと以外は、実施例５の場合と同様にして、サンプル６−１〜６−４、サンプル７−１〜７−２、サンプル８−１〜８−３、サンプル９−１〜９−４、及びサンプル１０−１〜１０−２に励起光Ｌ１を照射した時に各サンプルにおいて生じる蛍光Ｌ２及び反射光Ｌ３を検出し、Ｐ２／Ｐ３を算出した。蛍光検出部２３のバンドパスフィルタ２３２としては、通過帯域の中心波長が５２０ｎｍであり、通過帯域幅が２０ｎｍのものを用いた。また、反射光検出部２４のバンドパスフィルタ２４２としては、通過帯域の中心波長が４００ｎｍであり、通過帯域幅が１０ｎｍのものを用いた。Ｐ２／Ｐ３の算出結果を図４２に示す。
【０１０４】
図４３は、各サンプルにおけるＰ２／Ｐ３と、樹脂層１２の分子量の測定結果との関係を示す図である。図４４は、各サンプルにおけるＰ２／Ｐ３と、摩擦回数の評価結果との関係を示す図である。
【０１０５】
サンプル６、８の組においては、閾値Ｔｈ６、Ｔｈ８を例えば約０．４４に設定する。サンプル７、９、１０の組においては、閾値Ｔｈ７、Ｔｈ９、Ｔｈ１０を例えば約０．４６に設定する。このように設定された閾値によれば、図４３及び図４４に示すように、Ｐ２／Ｐ３の値に基づいて各サンプルの状態を判別することが可能である。
【符号の説明】
【０１０６】
１０  樹脂シート
１１  基材シート
１２  樹脂層
２０  検査システム
２１  照射装置
２２  検出装置
２３  蛍光検出部
２３１  カメラ
２３２  バンドパスフィルタ
２４  反射光検出部
２４１  カメラ
２４２  バンドパスフィルタ
２５  判定装置
２５１  データベース
２５２  判定部
２６  フィルタ
Ｓ０  励起光スペクトル
Ｓ１  反射光スペクトル
Ｓ２  蛍光スペクトル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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