(57)【要約】【課題】装置の大型化を防止し、接着シートの膨出量を手軽に調整することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】一方の面が接着面ＳＳとされた接着シートＡＳを供給する供給手段２０と、供給手段２０で供給された接着シートＡＳの接着面ＳＳの中央部を被着体ＷＫ方向に膨出させて保持する保持手段３０と、保持手段３０で保持された接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧手段４０とを備え、保持手段３０は、接着面ＳＳの反対側の反接着面ＮＳ側のみに当接して接着シートＡＳを保持するとともに、当該接着シートＡＳとで密閉空間ＳＰを形成可能な外側保持手段３１と、密閉空間ＳＰ内の圧力を調整することで接着シートＡＳの膨出量を調整可能な膨出量調整手段３２とを備えている。【選択図】図１
2018064013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面が接着面とされた接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段で供給された前記接着シートの中央部を被着体方向に膨出させて保持する保持手段と、
前記保持手段で保持された前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記保持手段は、前記接着面の反対側の反接着面側のみに当接して前記接着シートを保持するとともに、当該接着シートとで密閉空間を形成可能な外側保持手段と、前記密閉空間内の圧力を調整することで前記接着シートの膨出量を調整可能な膨出量調整手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記押圧手段は、前記外側保持手段で保持した前記接着シートの保持部を前記被着体に押圧して貼付可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記被着体は、第１被着体と、当該第１被着体の外側で当該第１被着体を囲う第２被着体とからなり、前記押圧手段は、前記膨出量調整手段で膨出させた前記接着シートの膨出部を前記第１被着体に貼付するとともに、前記外側保持手段で保持した前記接着シートの保持部を前記第２被着体に貼付可能に構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記外側保持手段の保持面は、保持した前記接着シートを前記被着体に押圧する際、当該接着シートの中央側から外縁側に向けて徐々に貼付するテーパ形状とされていることを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載のシート貼付装置。
【請求項５】
前記膨出量調整手段は、前記外側保持手段で保持した前記接着シートの中央部を前記密閉空間方向に引き込ませることで、前記接着シートに前もって膨出代を形成しておく膨出代形成手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項４に記載のシート貼付装置。
【請求項６】
一方の面が接着面とされた接着シートを供給する供給工程と、
前記供給工程で供給された前記接着シートの中央部を被着体方向に膨出させて保持する保持工程と、
前記保持工程で保持された前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧工程とを有し、
前記保持工程は、前記接着面の反対側の反接着面側のみに当接して前記接着シートを保持するとともに、当該接着シートとで密閉空間を形成する外側保持工程と、前記密閉空間内の圧力を調整することで前記接着シートの膨出量を調整する膨出量調整工程とを有していることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、中央部を被着体方向に膨出させて保持した接着シートを当該被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−２０４０７６号公報
【特許文献２】特開平９−２４９２１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の装置は、ダイシングテープ（接着シート）の接着面と当該接着面の反対側の面との両方から接着シートを挟み込んで上部気密室（密閉空間）を形成する構成なので、装置が大型化するという不都合がある。
また、特許文献２に記載された従来の装置は、吸着ヘッド（保持手段）の形状によってラベル（接着シート）の膨出量が決定されるので、接着シートの膨出量を手軽に変更することができないという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、装置の大型化を防止し、接着シートの膨出量を手軽に調整することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、一方の面が接着面とされた接着シートを供給する供給手段と、前記供給手段で供給された前記接着シートの中央部を被着体方向に膨出させて保持する保持手段と、前記保持手段で保持された前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記保持手段は、前記接着面の反対側の反接着面側のみに当接して前記接着シートを保持するとともに、当該接着シートとで密閉空間を形成可能な外側保持手段と、前記密閉空間内の圧力を調整することで前記接着シートの膨出量を調整可能な膨出量調整手段とを備えていることを特徴とする。
この際、本発明のシート貼付装置では、前記押圧手段は、前記外側保持手段で保持した前記接着シートの保持部を前記被着体に押圧して貼付可能に構成されていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記被着体は、第１被着体と、当該第１被着体の外側で当該第１被着体を囲う第２被着体とからなり、前記押圧手段は、前記膨出量調整手段で膨出させた前記接着シートの膨出部を前記第１被着体に貼付するとともに、前記外側保持手段で保持した前記接着シートの保持部を前記第２被着体に貼付可能に構成されていることが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記外側保持手段の保持面は、保持した前記接着シートを前記被着体に押圧する際、当該接着シートの中央部側から外縁側に向けて徐々に貼付するテーパ形状とされていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記膨出量調整手段は、前記外側保持手段で保持した前記接着シートの中央部を前記密閉空間方向に引き込ませることで、前記接着シートに前もって膨出代を形成しておく膨出代形成手段を備えていることが好ましい。
一方、本発明のシート貼付方法は、一方の面が接着面とされた接着シートを供給する供給工程と、前記供給工程で供給された前記接着シートの中央部を被着体方向に膨出させて保持する保持工程と、前記保持工程で保持された前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧工程とを有し、前記保持工程は、前記接着面の反対側の反接着面側のみに当接して前記接着シートを保持するとともに、当該接着シートとで密閉空間を形成する外側保持工程と、前記密閉空間内の圧力を調整することで前記接着シートの膨出量を調整する膨出量調整工程とを有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１または６によれば、接着シートの反接着面側のみを保持し、当該接着シートの膨出量を調整するので、装置の大型化を防止し、接着シートの膨出量を手軽に調整することができる。
また、請求項２によれば、外側保持手段で保持した接着シート部分を被着体に貼付できなくなるという不都合を解消することができる。
さらに、請求項３によれば、被着体が第１被着体と第２被着体とから構成されていても、それらに適切に接着シートを貼付することができる。
また、請求項４によれば、外側保持手段で保持した接着シートの保持部と被着体との間に気泡を混入させることなく、当該接着シートの保持部を被着体に貼付することができる。
さらに、請求項５によれば、接着シートの中央部を被着体方向に膨出させる際の密閉空間内の加圧度合いを低くでき、当該接着シートが外側保持手段から脱落するリスクを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｊ）は、図１のシート貼付装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１において、シート貼付装置１０は、一方の面が接着面ＳＳとされた接着シートＡＳを供給する供給手段２０と、供給手段２０で供給された接着シートＡＳの中央部を被着体ＷＫ方向に膨出させて保持する保持手段３０と、保持手段３０で保持された接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧手段４０とを備え、被着体ＷＫを支持して搬送する搬送手段５０の上方に配置されている。なお、本実施形態の場合、接着シートＡＳは、接着面ＳＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着されて原反ＲＳを構成している。また、被着体ＷＫは、第１被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦと、当該ウエハＷＦの外側で当該ウエハＷＦを囲う第２被着体としてのリングフレームＲＦとから構成されている。
【００１１】
供給手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板２３と、駆動機器としての回動モータ２４Ａによって駆動され、ピンチローラ２５との間に剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２４と、図示しない駆動機器によって駆動され、剥離シートＲＬに所定の張力を付与して当該剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備えている。
【００１２】
保持手段３０は、接着面ＳＳの反対側の反接着面ＮＳ側のみに当接して接着シートＡＳを保持するとともに、当該接着シートＡＳとで密閉空間ＳＰ（図２（Ｄ）参照）を形成可能な外側保持手段３１と、密閉空間ＳＰ内の圧力を調整することで接着シートＡＳの膨出量を調整可能な膨出量調整手段３２とを備えている。
【００１３】
外側保持手段３１は、Ｚ軸方向から見た平面視でリングフレームＲＦの内縁ＲＦ１と同形状の側壁３１Ａを有する凹部３１Ｂが形成された保持フレーム３１Ｃと、保持フレーム３１Ｃの下面に支持され、側壁３１Ａと面一とされた内壁３１Ｄを有する環状の当接部材３１Ｅと、凹部３１Ｂの底面に支持された駆動機器としての直動モータ３１Ｆと、その出力軸３１Ｇに支持されて側壁３１Ａおよび内壁３１Ｄを摺動するとともに、貫通孔３１Ｈが形成された保持補助板３１Ｊと、当接部材３１Ｅ内に形成された通路３１Ｋ、保持フレーム３１Ｃ内に形成された通路３１Ｌおよび当該通路３１Ｌに連接された配管３１Ｍを介して、当接部材３１Ｅの下面である保持面３１Ｎに連通する加圧減圧手段３１Ｐとを備えている。
なお、当接部材３１Ｅは、ゴム、樹脂、スポンジ等の弾性変形が可能な弾性部材で構成されるとともに、保持面３１Ｎは、保持した接着シートＡＳをリングフレームＲＦに押圧する際、当該接着シートＡＳの中央側から外縁側に向けて徐々に貼付するテーパ形状とされている。
【００１４】
膨出量調整手段３２は、保持フレーム３１Ｃ内に形成された通路３１Ｑおよび当該通路３１Ｑに連接された配管３２Ａを介して、凹部３１Ｂ内に連通する加圧減圧手段３２Ｂを備え、保持手段３０の置かれた雰囲気の圧力よりも密閉空間ＳＰ内の圧力を高くしたり低くしたりすることで、接着シートＡＳの中央部を被着体ＷＫ方向に膨出させたり、密閉空間ＳＰ内に引き込ませたりすることが可能になっている。
なお、加圧減圧手段３１Ｐ、３２Ｂは、加圧ポンプやタービン等の加圧手段で加圧が可能に設けられているとともに、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段で減圧が可能に設けられている。また、本実施形態では、加圧減圧手段３２Ｂの減圧手段は、外側保持手段３１で保持した接着シートＡＳの中央部を密閉空間ＳＰ方向に引き込ませせることで、接着シートＡＳに前もって膨出代を形成しておく膨出代形成手段として機能する。
【００１５】
押圧手段４０は、保持手段３０をその出力軸４１Ａで支持する駆動機器としての直動モータ４１を備え、膨出量調整手段３２で膨出させた接着シートＡＳの膨出部をウエハＷＦに貼付するとともに、外側保持手段３１で保持した接着シートＡＳの保持部をリングフレームＲＦに貼付可能に構成されている。
【００１６】
搬送手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってリングフレームＲＦを支持可能な支持面５２Ａおよび、ウエハＷＦを支持可能な支持面５２Ｂを有する支持テーブル５２を備えている。
【００１７】
以上のシート貼付装置１０の動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置１０に対し、本発明のシート貼付装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が原反ＲＳを同図に示すようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段２０が回動モータ２４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１に示すように、先頭の接着シートＡＳの先端（左端）が剥離板２３の先端（左端）近傍所定位置に到達したことをカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない先端検知手段が検知すると、回動モータ２４Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
【００１８】
そして、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、リングフレームＲＦが支持面５２Ａ上に載置されるとともに、ウエハＷＦが支持面５２Ｂ上に載置されると、搬送手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦの吸着保持を開始する。また、供給手段２０および保持手段３０が回動モータ２４Ａおよび加圧減圧手段３１Ｐ、３２Ｂを駆動し、通路３１Ｋおよび貫通孔３１Ｈで吸引を行いながら原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳは、図２（Ａ）に示すように、保持手段３０に吸引されつつ、剥離板２３で剥離シートＲＬから剥離され、保持手段３０に供給される。このとき、保持手段３０で保持する接着シートＡＳが全ての貫通孔３１Ｈを塞ぐと、当該接着シートＡＳの繰出が停滞するので、図２（Ｂ）に示すように、接着シートＡＳが全ての貫通孔３１Ｈを塞ぐ寸前で、保持手段３０が加圧減圧手段３２Ｂの駆動を停止するとよい。
【００１９】
そして、図２（Ｃ）に示すように、接着シートＡＳ全体が保持手段３０に保持された後、次の接着シートＡＳの先端が剥離板２３の先端近傍所定位置に到達したことを図示しない先端検知手段が検知すると、回動モータ２４Ａの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。次いで、保持手段３０が直動モータ３１Ｆを駆動し、図２（Ｄ）に示すように、保持補助板３１Ｊを上方へ移動させ、密閉空間ＳＰを形成した後、加圧減圧手段３２Ｂを駆動し、当該密閉空間ＳＰ内を減圧し、図２（Ｅ）に示すように、接着シートＡＳの中央部を一旦密閉空間ＳＰ内に引き込ませ、接着シートＡＳに前もって膨出代を形成する。このとき、接着シートＡＳが外側保持手段３１から離脱したとしても、当該接着シートＡＳは、加圧減圧手段３２Ｂの吸引力によって吸着保持されるので、接着シートＡＳが落下したり、希望しないものや位置に接着したりすることはない。その後、保持手段３０が加圧減圧手段３２Ｂを駆動し、図２（Ｆ）に示すように、接着シートＡＳの膨出量が所定の膨出量となるように、密閉空間ＳＰ内の圧力を調整する。ここで、接着シートＡＳの膨出量を変更する場合には、密閉空間ＳＰ内の圧力を変更すればよく、例えば、膨出量を少なくする場合には、密閉空間ＳＰ内を低圧で加圧すればよいし、膨出量を多くする場合には、密閉空間ＳＰ内を高圧で加圧すればよい。
【００２０】
接着シートＡＳの膨出が完了すると、搬送手段５０がリニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５２を左方へ移動させ、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦが保持手段３０の直下所定位置に到達したことをカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない被着体検知手段が検知すると、リニアモータ５１の駆動を停止する。次に、押圧手段４０が直動モータ４１を駆動し、保持手段３０を下降させると、図２（Ｇ）に示すように、接着シートＡＳの中央部から外縁に向けて当該接着シートＡＳが徐々にウエハＷＦに貼付される。これにより、接着シートＡＳとウエハＷＦとの間に気泡を混入させることなく、当該接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付することができる。その後も、保持手段３０の下降が続行されると、図２（Ｈ）に示すように、当接部材３１Ｅの内壁３１Ｄと保持面３１Ｎとが交差する角部で接着シートＡＳの外縁部がリングフレームＲＦの内縁ＲＦ１付近に貼付される。さらに保持手段３０の下降が続行されると、図２（Ｉ）に示すように、当接部材３１Ｅが弾性変形し、接着シートＡＳの外縁部における中央部寄りの位置から外縁に向けて当該接着シートＡＳが徐々にリングフレームＲＦに貼付される。これにより、接着シートＡＳとリングフレームＲＦとの間に気泡を混入させることなく、当該接着シートＡＳをリングフレームＲＦに貼付することができる。なお、保持手段３０は、接着シートＡＳが被着体ＷＫに貼付される際、密閉空間ＳＰ内の圧力が一定となるように加圧減圧手段３２Ｂを制御する。
【００２１】
接着シートＡＳ全体が被着体ＷＫに貼付されると、保持手段３０が加圧減圧手段３１Ｐ、３２Ｂの駆動を停止した後、押圧手段４０が直動モータ４１を駆動し、保持手段３０を初期位置に復帰させる。その後、搬送手段５０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦの吸着保持を解除した後、使用者または図示しない搬送手段が接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを次の工程に搬送する。そして、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２２】
以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳの反接着面ＮＳ側を保持し、当該接着シートＡＳの膨出量を調整するので、装置の大型化を防止し、接着シートＡＳの膨出量を手軽に調整することができる。
【００２３】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、一方の面が接着面とされた接着シートを供給することが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程も同様でありその説明は省略する）。
【００２４】
供給手段２０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、切断手段により、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートＡＳとしてもよいし、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように回動モータ２４Ａのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ２１やガイドローラ２２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、駆動ローラ２４とピンチローラ２５とで剥離シートＲＬを挟み込むことなく原反ＲＳに繰出力を付与する構成でもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを保持手段３０に供給してもよいし、帯状の接着シート基材を切断することなく、例えば、特許文献１に記載された従来の装置のようにして供給し、被着体ＷＫに貼付した後に切断手段で任意の形状に切断してもよい。
【００２５】
保持手段３０は、接着シートＡＳが被着体ＷＫに貼付される際、密閉空間ＳＰ内の圧力が一定となるように加圧減圧手段３２Ｂを制御しなくてもよいし、密閉空間ＳＰ内の圧力が高くなるように加圧減圧手段３２Ｂを制御してもよいし、密閉空間ＳＰ内の圧力が低くなるように加圧減圧手段３２Ｂを制御してもよい。
外側保持手段３１は、平面視で側壁３１ＡがリングフレームＲＦの内縁ＲＦ１と同形状でない凹部３１Ｂが形成された保持フレーム３１Ｃを採用してもよいし、凹部３１Ｂが形成されていない保持フレーム３１Ｃを採用してもよいし、側壁３１Ａと面一でない内壁３１Ｄを有する当接部材３１Ｅを採用してもよいし、弾性変形しない当接部材３１Ｅを採用してもよいし、当接部材３１Ｅを採用せずに保持フレーム３１Ｃで直接接着シートＡＳを保持するようにしてもよいし、当接部材３１Ｅの代わりに保持フレーム３１Ｃを当該当接部材３１Ｅのように弾性変形させ、接着シートＡＳの外縁部をリングフレームＲＦに貼付してもよいし、側壁３１Ａおよび内壁３１Ｄの少なくとも一方を摺動する保持補助板３１Ｊを採用してもよいし、側壁３１Ａおよび内壁３１Ｄを摺動することなく、間隔をおいて昇降する保持補助板３１Ｊを採用してもよいし、保持補助板３１Ｊを昇降させなくてもよいし、貫通孔３１Ｈが形成されていない保持補助板３１Ｊを採用してもよいし、保持補助板３１Ｊを採用しなくてもよいし、図２（Ｊ）に示すように、図２（Ｈ）に示す状態になった後、保持手段３０が加圧減圧手段３１Ｐを駆動し、通路３１Ｋから気体を噴出させて接着シートＡＳの外縁部をリングフレームＲＦに貼付してもよいし、配管３１Ｍを介さずに加圧減圧手段３１Ｐを保持面３１Ｎに連通させてもよいし、加圧減圧手段３１Ｐの代わりに、加圧手段と減圧手段とを別々に設けてもよいし、加圧減圧手段３１Ｐの代わりに、減圧のみが行える減圧手段を採用してもよいし、保持面３１Ｎをテーパ形状とせずに同一平面内に位置するフラットな面としたり、被着体ＷＫやリングフレームＲＦの被着面と平行となる面形状としたりしてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で反接着面ＮＳ側のみを保持することができる構成を採用してもよい。
【００２６】
膨出量調整手段３２は、配管３２Ａを介さずに加圧減圧手段３２Ｂを凹部３１Ｂ内に連通させてもよいし、加圧減圧手段３２Ｂの代わりに、加圧手段と減圧手段とを別々に設けてもよいし、加圧減圧手段３２Ｂの代わりに、加圧のみが行える加圧手段を採用してもよいし、密閉空間ＳＰに空気や単体または混合ガス等の気体や、水や単体または混合液等の液体や、ジェルやオイル等の半固形物や、金属や樹脂等の固形物を送り込むことで当該密閉空間ＳＰ内を加圧してもよいし、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段で密閉空間ＳＰ内を加熱し、当該密閉空間ＳＰ内の気体を膨張させることで当該密閉空間ＳＰ内を加圧してもよいし、加圧減圧手段３２Ｂを膨出代形成手段として機能させなくてもよい。
膨出量調整手段３２が接着シートＡＳを膨出させる密閉空間ＳＰ内の圧力は、接着シートＡＳ、ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦのうちの少なくとも１つの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、保持手段３０の雰囲気の条件や、その他の要因等を考慮して使用者が任意に決定することができる。
膨出量調整手段３２および膨出代形成手段は、外側保持手段３１で保持している接着シートＡＳの保持位置をずらすことなく、当該接着シートＡＳを塑性変形または弾性変形させて膨出させたり膨出代を形成したりしてもよいし、接着シートＡＳを塑性変形または弾性変形させることなく、外側保持手段３１で保持している接着シートＡＳの保持位置をずらして膨出させたり膨出代を形成したりしてもよいし、外側保持手段３１で保持している接着シートＡＳの保持位置をずらすとともに、当該接着シートＡＳを塑性変形または弾性変形させて膨出させたり膨出代を形成したりしてもよく、外側保持手段３１で保持している接着シートＡＳの保持位置をずらして膨出させたり膨出代を形成したり、接着シートＡＳを塑性変形させて膨出させたり膨出代を形成したりすることで、当該接着シートＡＳが弾性復元しないように膨出させれば、被着体ＷＫに貼付した接着シートＡＳの残留応力を減少させ、被着体ＷＫが当該接着シートＡＳによって反り返る現象を抑制することができる。
膨出代形成手段は、密閉空間ＳＰから上述と同様の気体、液体、半固形物または固形物を引き出すことで当該密閉空間ＳＰ内を減圧してもよいし、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段で密閉空間ＳＰ内を冷却し、当該密閉空間ＳＰ内の気体を収縮させることで当該密閉空間ＳＰ内を減圧してもよいし、本発明のシート貼付装置１０に備わっていなくてもよい。
【００２７】
搬送手段５０は、被着体ＷＫを移動させずにまたは移動させつつ、シート貼付装置１０を移動させて当該被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付してもよいし、他の装置で被着体ＷＫを移動させる場合は、本発明のシート貼付装置１０に備わっていなくてもよい。
【００２８】
シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、被着体ＷＫの下面や側面等に接着シートＡＳを貼付してもよいし、図１中二点鎖線で示すように、図示しない駆動機器で押圧手段４０を移動可能とし、剥離シートＲＬから剥離される前の接着シートＡＳを保持手段３０で保持し、供給手段２０で繰り出される接着シートＡＳの移動速度に合わせて当該保持手段３０を移動させることで、当該保持手段３０が供給手段２０で供給される接着シートＡＳを保持するように構成してもよいし、膨出させた接着シートＡＳの膨出量を計測するカメラ等の撮像手段や光学センサ等の膨出量検知手段を設け、保持手段３０が膨出量検知手段の計測結果を基にして、当該接着シートＡＳの膨出量を調整してもよいし、当該シート貼付装置１０の全体的または部分的な動作を制御するコンピュータやシーケンサ等の制御手段に、膨出させたい接着シートＡＳの膨出量を入力できるように構成し、膨出量検知手段の計測結果が制御手段に入力された膨出量となるように、保持手段３０が加圧減圧手段３２Ｂを駆動するようにしてもよいし、制御手段に加圧したときの密閉空間ＳＰ内の圧力を入力できるように構成し、当該密閉空間ＳＰ内の圧力を検知可能な圧力センサやロードセル等の圧力検知手段の検知結果が制御手段に入力された圧力となるように、保持手段３０が加圧減圧手段３２Ｂを駆動するようにしてもよいし、制御手段に入力する接着シートＡＳの膨出量や密閉空間ＳＰ内の圧力は、使用者が任意に決定できるし、使用者の目測で接着シートＡＳの膨出量や密閉空間ＳＰ内の圧力を決定したり、変更したりしてもよいし、密閉空間ＳＰ内からまたは、密閉空間ＳＰ外から接着シートＡＳを加熱して当該接着シートＡＳが膨出したり引き込んだりしやすくするコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けてもよい。
【００２９】
本発明における接着シートＡＳ、被着体ＷＫおよび第１、第２被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、１層または２層以上のものであってよい。また、被着体ＷＫおよび第１、第２被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができるし、被着体ＷＫは、第１被着体と第２被着体とで構成されることなく１つの物体で構成されていてもよいし、第２被着体は、リング状（閉ループ状）でなく、例えば、第１被着体を囲うことなく、当該第１被着体と平行または非平行に並んで配置されるものでもよい。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３０】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴム、樹脂、スポンジ等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３１】
１０…シート貼付装置
２０…供給手段
３０…保持手段
３１…外側保持手段
３１Ｎ…保持面
３２…膨出量調整手段
３２Ｂ…加圧減圧手段（膨出代形成手段）
４０…押圧手段
ＡＳ…接着シート
ＮＳ…反接着面
ＲＦ…リングフレーム（第２被着体）
ＳＰ…密閉空間
ＳＳ…接着面
ＷＫ…被着体
ＷＦ…ウエハ（第１被着体）
【図１】
2018064013.tif 000003
【図２】
2018064013.tif 000004