(57)【要約】【課題】凹面鏡の反射光路長が走査角によって異なることにより発生するピントずれを補正して眼底を高画質で撮影する。【解決手段】レーザー光を水平方向に高速走査する第１走査デバイスと、垂直方向に低速走査する第２走査デバイスからなる２次元走査デバイス５によりレーザー光が凹面鏡６に入射され、そこで反射されて被検眼７の瞳７ａを介して眼底７ｂに投光される。レーザー光の投光光路と眼底からの反射光の受光光路の共通光路に焦点可変デバイス３が配置され、その焦点可変デバイス３の焦点距離が第２走査デバイスによる低速走査に同期して変化され、ピントずれが補正される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー光を２次元走査して眼底に投光し、眼底からの反射光を受光して眼底を撮影する走査型眼底撮影装置であって、
レーザー光を一方向に高速走査する第１走査デバイスと、
レーザー光を前記一方向と異なる方向に低速走査する第２走査デバイスと、
前記第１と第２走査デバイスにより２次元走査されたレーザー光を眼底に集光する凹面鏡と、
レーザー光の投光光路と眼底からの反射光の受光光路の共通光路に配置された焦点可変デバイスを有する合焦手段と、
前記焦点可変デバイスの焦点距離を前記第２走査デバイスによる低速走査に同期して制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする走査型眼底撮影装置。
【請求項２】
前記焦点可変デバイスは高分子からなる焦点可変レンズで構成され、前記制御手段は低速走査に同期して焦点可変レンズの形状を電気的に変化させその焦点距離を変化させることを特徴とする請求項１に記載の走査型眼底撮影装置。
【請求項３】
前記焦点可変デバイスは曲率可変ミラーからなり、前記制御手段は低速走査に同期して曲率可変ミラーの曲率を電気的に変化させその焦点距離を変化させることを特徴とする請求項１に記載の走査型眼底撮影装置。
【請求項４】
前記合焦手段は焦点可変デバイスと焦点固定レンズから構成されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の走査型眼底撮影装置。
【請求項５】
前記第２走査デバイスと凹面鏡間の光路長が第２走査デバイスの走査角によって異なることで発生するピントずれを補正するための補正量を、第２走査デバイスの走査角ごとに格納したテーブルが設けられ、前記制御手段は該テーブルから第２走査デバイスの走査角に同期して補正量を読み出し、該補正量に基づいて焦点可変デバイスの焦点距離を変化させることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の走査型眼底撮影装置。
【請求項６】
前記テーブルが患者の視度ごとに設けられることを特徴とする請求項４に記載の走査型眼底撮影装置。
【請求項７】
前記第１走査デバイスにより走査されたレーザー光が楕円鏡で反射されて第２走査デバイスに入射され、該楕円鏡の第１焦点に第１走査デバイスが、第２焦点に第２走査デバイスが配置されることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の走査型眼底撮影装置。
【請求項８】
前記第２走査デバイスにより走査されたレーザー光が楕円鏡で反射されて第１走査デバイスに入射され、該楕円鏡の第１焦点に第２走査デバイスが、第２焦点に第１走査デバイスが配置されることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の走査型眼底撮影装置。
【請求項９】
前記楕円鏡を第１楕円鏡とし、前記２次元走査されたレーザー光を眼底に集光する凹面鏡が第２楕円鏡として構成され、第１楕円鏡の第２焦点と第２楕円鏡の第１焦点が一致し、第２楕円鏡の第２焦点が被検眼の瞳位置に位置することを特徴とする請求項７又は８に記載の走査型眼底撮影装置。
【請求項１０】
第１楕円鏡の第１、第２焦点とその頂点で形成される平面と、第２楕円鏡の第１、第２焦点とその頂点で形成される平面とが直交することを特徴とする請求項７又は９に記載の走査型眼底撮影装置。
【請求項１１】
第１楕円鏡の第１、第２焦点とその頂点、第２楕円鏡の第１、第２焦点とその頂点、並びに被検眼の瞳が全て同一平面に存在することを特徴とする請求項８又は９に記載の走査型眼底撮影装置。
【請求項１２】
前記第１走査デバイスと第２走査デバイスが、固定枠、可動枠並びにミラー面を備え、ミラー面が一方向に高速に回転できるように可動枠に支持され、可動枠がそれと異なる方向に低速に回転できるように固定枠に支持されたＭＥＭＳミラーにより構成されることを特徴とする請求項１に記載の走査型眼底撮影装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー光を２次元走査して眼底に投光し、眼底からの反射光を受光して眼底を撮影する走査型眼底撮影装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザー光を水平方向と垂直方向に２次元走査し、その２次元走査されたレーザー光で眼底を照明し、眼底からの反射光を受光して眼底を撮影する走査型眼底撮影装置が知られている。
【０００３】
このような走査型眼底撮影装置で、眼底を広角で撮影するために、一方向（水平方向）にレーザー光を高速走査する第１走査デバイスとそれと直交する方向（垂直方向）にレーザー光を低速走査する第２走査デバイスでレーザー光を２次元走査し、２次元走査されたレーザー光を広角の凹面鏡で反射させて眼底に投光する構成が、下記特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３４９００８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
広角の凹面鏡を用いた走査型眼底撮影装置では、走査点から凹面鏡までの距離が走査角によって大きく異なるので、眼底面に投影される光線のピントは、眼底面の各領域で均一でない、という問題が発生する。例えば、眼底の上部にピントを合わせると、下部では集光が悪く、また、眼底の中央部にピントを合わせると、眼底の上部と下部でそれぞれピントずれが発生する。
【０００６】
特許文献１では、ダイナミック補償要素を用いて眼底走査中に焦点を制御する構成が記載されている。しかし、この構成では、焦点制御が眼底の高速走査中にも行われるので、高速補償が必要となり、装置全体が複雑になるとともに、高価になる、という問題があった。
【０００７】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、凹面鏡の反射光路長が走査角によって異なることにより発生するピントずれを補正して眼底を高画質で撮影することが可能な走査型眼底撮影装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、
レーザー光を２次元走査して眼底に投光し、眼底からの反射光を受光して眼底を撮影する走査型眼底撮影装置であって、
レーザー光を一方向に高速走査する第１走査デバイスと、
レーザー光を前記一方向と異なる方向に低速走査する第２走査デバイスと、
前記第１と第２走査デバイスにより２次元走査されたレーザー光を眼底に集光する凹面鏡と、
レーザー光の投光光路と眼底からの反射光の受光光路の共通光路に配置された焦点可変デバイスを有する合焦手段と、
前記焦点可変デバイスの焦点距離を前記第２走査デバイスによる低速走査に同期して制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、焦点可変デバイスが設けられ、その焦点可変デバイスの焦点距離が低速走査に同期して制御される。従って、焦点制御は、低速走査のときに行われるので、焦点可変デバイスに高速補償要素は必要でなく、安価な構成になる。
【００１０】
また、本発明では、眼底の上部、中央部、あるいは下部など特定した領域での低速走査に同期して焦点制御を行うことができるので、局所的な焦点制御が可能になり、眼底の全領域において高画質で広角な眼底撮影が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】走査型眼底撮影装置の光学構成を示す光学図である。
【図２】（ａ）は低速走査デバイスが走査の途中の特定走査角にあり、高速走査デバイスが横方向に高速走査しているときの光線経路を示す斜視図、（ｂ）は（a）と異なる方向から見たときの斜視図である。
【図３】（ａ）は高速走査デバイスが、走査の途中のある特定の走査角で止まっていて、低速走査デバイスが縦方向に走査しているとした時の、仮想の光線経路を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）と異なる方向から見たときの斜視図である。
【図４】図２（ａ）における光線経路を２次元的に模式的に示した説明図である。
【図５】図３（ａ）における光線経路を２次元的に模式的に示した説明図である。
【図６】第１と第２走査デバイス、焦点可変デバイスを制御する構成を示したブロック図である。
【図７】低速走査に同期して焦点可変デバイスを制御するテーブルを示した説明図である。
【図８】眼底を２次元走査する状態を示した説明図である。
【図９】低速走査デバイスの走査角度（低速走査角度）および患者の視度に応じた焦点可変レンズの焦点距離の設定値を示した表図である。
【図１０】焦点可変レンズの有無で生じる眼底上の残留収差の相違を示した表図である。
【図１１】焦点可変デバイスの他の実施例を示す図１に相当する光学図である。
【図１２】（ａ）は２次元走査デバイスの他の実施例で高速走査デバイスが走査の途中の複数の特定の走査角でそれぞれ止まっていて、低速走査デバイスが縦方向に走査しているとした時の、仮想の光線経路を示す斜視図、（ｂ）は低速走査デバイスが走査の途中の特定走査角にあり、高速走査デバイスが横方向に高速走査しているときの光線経路を示す斜視図である。
【図１３】図１２（ａ）における光線経路を２次元的に模式的に示した説明図である。
【図１４】（ａ）は２次元走査デバイスの更に他の実施例を示す斜視図、（ｂ）はその２次元走査デバイスを作動したときの状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながら実施例に基づいて本発明を詳細に説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１には、本発明による走査型眼底撮影装置の基本的な構成が図示されている。同図において、レーザー光源１からのレーザー光は、コリメートされてビームスプリッター２に入射し、透過光は焦点可変デバイス３と焦点固定レンズ４を通過して２次元走査デバイス５に入射する。焦点可変デバイス３と焦点固定レンズ４は合焦手段を構成し、焦点を調節して被検眼７の眼底７ｂにピントを合わせる。
【００１４】
２次元走査デバイス５に入射したレーザー光は、第１走査デバイス（図１では不図示）により一方向（水平方向）に高速走査され、第２走査デバイス（同様に不図示）によりそれと異なる方向（垂直方向）に低速走査される。図１では、水平方向の高速走査の図示が困難であるので、垂直方向の低速走査のみが、凹面鏡６上での垂直走査位置ｙ１〜ｙ５を例にして図示されている。
【００１５】
水平方向に高速走査されるレーザー光は、垂直走査位置ｙ１で、矢印で示したように、凹面鏡６で反射され、被検眼７の瞳７aを通過して眼底７ｂに集光される。凹面鏡６は、広角の楕円鏡で構成され、その第１焦点に走査点が配置され、第２焦点に被検眼７の瞳７ａが位置する。
【００１６】
眼底７ｂに投光されたレーザー光は眼底７ｂで反射され、眼底７ｂからの反射光は、同じ光路を矢印と逆方向に進み、凹面鏡６、２次元走査デバイス５、焦点固定レンズ４、焦点可変デバイス３を経てビームスプリッター２で反射され受光部８に入射する。受光部８に入射した眼底７ｂからの反射光は、レンズ８aによりフォトダイオードで構成された光電変換デバイス８ｂに入射する。続いて、垂直走査位置ｙ２〜ｙ５でも同様な走査が行われ、眼底７ｂが水平、垂直方向に２次元走査される。このようにして眼底７ｂの各点の輝度情報を光電変換デバイス８ｂにより得ることができる。そして、その得られた輝度情報すなわち光電変換デバイス８ｂの出力強度と、２つの走査デバイスの走査位置情報に基づいて、眼底７ｂの撮影像を形成することができる。
【００１７】
焦点可変デバイス３と焦点固定レンズ４は、レーザー光の投光光路と、眼底からの反射光の受光光路の共通光路でビームスプリッター２と２次元走査デバイス５間に配置される。焦点可変デバイス３は、後述するように、低速走査に同期して焦点距離が変化され、走査デバイスと凹面鏡間の光路長が走査角によって異なることで発生するピントずれを補正する。これにより、眼底７ｂの各領域でピントの合った画像が撮影され、撮影された眼底７ｂは、図示されてないが、記憶装置に格納されたり、ディスプレイに表示されたり、あるいはプリンターにより印刷される。
【００１８】
図２〜図５には、２次元走査デバイスの高速走査を行う第１走査デバイスが、ポリゴンミラーにより構成され、低速走査を行う第２走査デバイスが、ガルバノミラーにより構成される実施例が図示されている。図２（ａ）は、第２走査デバイスが走査の途中の特定走査角にあり、第１走査デバイスが横方向に高速走査しているときの斜視図、図２（ｂ）は図２（ａ）と異なる方向から見たときの斜視図、図３（ａ）は、第１走査デバイスが走査の途中の複数の特定の走査角でそれぞれ止まっていて、低速走査デバイスが縦方向に走査しているとした時の、仮想の光線経路を示す斜視図、図３（ｂ）は図３（ａ）と異なる方向から見たときの斜視図である。また、図４は図２（ａ）における光線経路を２次元的に模式的に示した説明図、図５は図３（ａ）における光線経路を２次元的に模式的に示した説明図である。
【００１９】
図２（ａ）、（ｂ）、図４において、焦点可変デバイス３と焦点固定レンズ４を通過したレーザー光は、第１走査デバイスとして機能するポリゴンミラー１０により水平方向に高速走査され、凹面鏡、本実施例では、水平方向に延びるスリット状の楕円鏡１２に入射する。楕円鏡１２に入射したレーザー光はそこで反射され、ガルバノミラー１１で構成された第２走査デバイスに入射する。
【００２０】
ここで、図４に示したように、ポリゴンミラー１０は楕円鏡１２の第１焦点１２ａに配置され、ガルバノミラー１１はその第２焦点１２ｂに配置される。また、ガルバノミラー１１は、楕円鏡として構成された凹面鏡６の第１焦点６ａに配置されるので、楕円鏡１２の第２焦点１２ｂと凹面鏡６の第１焦点６ａは同一位置にある。
【００２１】
また、ガルバノミラー１１の回転軸は、凹面鏡６の第１焦点６ａと被検眼の瞳７ａが位置する第２焦点６ｂを結ぶ線１３（図４、図５）に直交しており、ポリゴンミラー１０の回転軸はガルバノミラー１１の回転軸と直交している。また、凹面鏡６の第１焦点６ａと第２焦点６ｂを結ぶ線１３は、図４に示したように、楕円鏡１２の第１焦点１２ａと第２焦点１２ｂを結ぶ線１４と直交している。また、楕円鏡１２の第１焦点１２ａ、第２焦点１２ｂ並びにその頂点１２ｃで形成される図４で斜線で示した平面と、凹面鏡６の第１焦点６ａ、第２焦点６ｂ並びにその頂点６ｃで形成される図５で斜線で示した平面は直角に交差している。
【００２２】
図２（ａ）、（ｂ）、図４において、ポリゴンミラー１０で水平方向に高速されたレーザー光が、楕円鏡１２上での水平走査位置ｘ１〜ｘ５で反射される例が図示されている。これらのポリゴンミラー１０で反射されたレーザー光は、ガルバノミラー１１で反射されて凹面鏡６上での水平走査位置ｘ１’〜ｘ５’に入射し、そこで反射されて被検眼７の瞳７aを通過して眼底７ｂを水平方向に走査する。なお、ポリゴンミラー１０は高速回転するので、その一面に入射したレーザー光は同じ面で反射されて楕円鏡１２の水平走査位置ｘ１〜ｘ５に入射する。この状態が図２（ａ）に拡大して図示されている。
【００２３】
このようなポリゴンミラー１０による水平方向の高速走査は、ガルバノミラー１１により低速に順次垂直方向に行われ、ポリゴンミラー１０が走査の途中の特定走査角にあるときのガルバノミラー１１の垂直走査位置が図３（ａ）、（ｂ）、図５に、図１と同様に、ｙ１〜ｙ５で例示されている。
【００２４】
焦点可変デバイス３は、本実施例では図６に示したように、高分子レンズからなる焦点可変レンズ３０として構成されており、焦点可変レンズ３０の周囲にはボイスコイル３１が巻回されている。ＣＰＵ２０ａ、ＲＯＭ２０ｂ、ＲＡＭ２０ｃを備えたコントローラ（制御手段）２０は、常時５Ｖの電圧を焦点可変レンズ３０に印加し、ボイスコイル３１に流れる電流Ｉを変化させることにより焦点可変レンズ３０の形状を電気的に変化させ、その焦点距離を変化させる。
【００２５】
例えば、焦点可変レンズ３０のレーザー光源側のレンズ面３０ｂは常に平面になっていて、その反対側のレンズ面３０ａは電流Ｉが基準電流であるときは同様に平面となって、焦点可変レンズ３０の焦点距離は無限大（ＩＮＦ）となる。一方、基準電流よりも小さい電流では、２点鎖線で示したように、レンズ面３０ａが内側に湾曲し、焦点可変レンズ３０の焦点距離は負の値となり、基準電流よりも大きな電流では、点線で示すように、レンズ３０ａが外側に湾曲して焦点可変レンズ３０の焦点距離は正の値となる。このような焦点可変レンズ３０の形状制御は、後述するように、ハードディスクなどで構成される記憶装置２１に格納されたテーブルＴ１、Ｔ２を読み出し、ガルバノミラー１１（第２走査デバイス）による低速走査に同期して行われる。
【００２６】
コントローラ２０は、その他モーター２２を駆動してポリゴンミラー１０を高速回転させる。また、コントローラ２０はガルバノミラーモジュール２３に制御電圧Ｖを与え、ガルバノミラーモジュール２３は、制御電圧Ｖに応じてガルバノミラー１１を回転させ、その回転角（走査角）がコントローラ２０に入力される。ガルバノミラーモジュール２３は、ガルバノミラー１１の回転角信号を取得して閉ループ制御を行うので、ガルバノミラー１１の正確な回転角信号がコントローラ２０に入力される。
【００２７】
このような構成において、コントローラ２０は記憶装置２１から、図７に示したようなテーブルＴ１をＲＡＭ２０ｃに読み込み、ガルバノミラーモジュール２３に電圧値Ｖｉ（ｉ＝−ｎ〜ｎ）を与えてガルバノミラー１１の走査角（回転角）θｉを指定する。ポリゴンミラー１０が高速回転しているので、この指定された走査角で定まる垂直走査位置で水平方向に高速走査が行われる。このとき、コントローラ２０は走査角θｉに同期して焦点可変レンズ３０の制御電流値ＩｉをテーブルＴ１から読み出し、その焦点距離ｆｉを変化させる。
【００２８】
コントローラ２０は、低速走査に応じて電圧値をＶ−ｎからＶｎまで変化させ、レーザー光を水平、垂直方向に２次元走査して眼底に投光し、眼底を２次元走査する。このときガルバノミラーモジュール２３に、−８Ｖ、−４Ｖ、０Ｖ、３．５Ｖ、６．５Ｖを印加したときのガルバノミラー１１の走査角度、焦点可変レンズ３０に与える電流値、並びにその焦点距離が具体的な数値として図７に図示されている。
【００２９】
例えば、ガルバノミラー１１の走査角度が−３２度の場合には、焦点可変レンズ３０のレンズ面３０ａは内側に湾曲してその曲率半径Ｒ１は−２４６．１ｍｍとなり、その焦点距離ｆは−５００ｍｍとなる。また、ガルバノミラー１１の走査角度が０度の場合には、焦点可変レンズ３０のレンズ面３０ａは平面で、その焦点距離ｆは無限大（ＩＮＦ）となり、走査角度が２６度の場合には、レンズ面３０ａは外側に湾曲してその曲率半径Ｒ１は２９６．８ｍｍとなり、その焦点距離ｆは６００ｍｍとなる。
【００３０】
このようなテーブルＴ１は、模型眼を使用して光学シミュレーションによって予め作成しておくことができる。光学シミュレーションでは、低速走査デバイスと凹面鏡間の光路長が低速走査デバイスの走査角によって異なることで発生するピントずれを補正する補正量を低速走査デバイスの走査角ごとに計算し、そのピントずれを補正するための焦点可変レンズ３０の焦点距離、それに与える電流値などを計算し、テーブルに格納しておく。これにより、コントローラ２０は、低速走査に同期して、つまりガルバノミラー１１の走査角に同期して焦点可変レンズ３０の焦点距離を変化させ、ピントずれを補正した眼底撮影が可能になる。
【００３１】
図８には、撮像デバイス８ｂに水平方向に３０００画素、垂直方向に３０００画素を有するデバイスを用いて約０．４秒で撮影された眼底画像が図示されている。焦点可変レンズ３０の応答速度は一般的に２〜３ｍｓｅｃであるので、２ｍｓｅｃとすると、焦点可変レンズ３０に割り当てられる可変分割数は、０．４／０．００２秒＝２００となり、垂直方向に３０００画素を２００分割した１５画素ごとにピントずれを補正することができる。また、凹面鏡６で発生する眼底像のピントずれの範囲は約６ジオプター程度であるので、これを２００で分割した０．０３ジオプター単位でピントずれを補正することが可能である。図８には、１５画素ごとに走査線とジオプターが図示されている。
【００３２】
なお、ピントずれ補正は、すべての分割数に応じた走査角ごとに行うのでなく、特定の低速走査、例えば上部、あるいは下部における特定された低速走査に同期して行うようにしてもよい。また、その粗密を眼底の領域ごとに変えるようにしてもよい。例えば、中央部では、３０画素ごとに、上部あるいは下部では１５画素ごとにピントずれ補正を行うなどである。このように、ピント補正を、ある低速走査ではスキップしたり、あるいは粗密を変える場合には、当該低速走査に係るテーブルの走査角の行を削除するようにする。また、眼底撮影時に、1回のみ低速走査に同期して焦点制御を行ってもよく、連続して眼底撮影を行う場合には、繰り返して低速走査に同期した焦点制御を行ってもよい。
【００３３】
また、合焦操作は、患者の視度にも依存するので、患者の視度ごとに同様なテーブルを作成して記憶装置２１に格納し、患者の視度に応じて対応するテーブルを読み出して焦点制御を行うようにする。例えば、−１０ジオプターと＋１０ジオプターの患者に対する代表的な走査角度とそのときの焦点可変レンズの焦点距離が図９に図示されている。
【００３４】
また、焦点可変レンズ３０の焦点可変範囲は狭いので、合焦手段として焦点可変レンズ３０の他に、焦点固定レンズ４を設けることにより、焦点可変範囲を広げることが可能になる。
【００３５】
このように、焦点可変レンズ３０によりピントずれ補正を行うと、眼底上の残留する収差も減少させることができる。この例が図１０に図示されている。図１０から明らかなように、焦点可変レンズを設ける場合には、眼底の上部あるいは下部領域で残留収差が顕著に減少する。
【００３６】
図１１には、焦点可変デバイスを、平面から緩い球面まで変化させることができる曲率可変ミラー４０とした例が図示されている。同図において、図１と同一部分には同一の符号が付されており、その詳細な説明は省略する。このような曲率可変ミラー４０は、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）として知られており、これに与える電圧を変えることにより、ミラー表面を平面から球面に変えることができる。
【００３７】
図１１では、曲率可変ミラー４０は、投光光路と受光光路の共通光路に配置される。また、焦点可変レンズ３０の場合と同様に、予め光学シミュレーションによりピントずれを補正する補正量を低速走査デバイスの走査角ごとに計算し、そのピントずれを補正するための曲率可変ミラー４０の曲率、それに与える電圧値などを計算して、テーブルに格納しておく。コントローラ２０は、同テーブルを読み込み、低速走査に同期してその曲率を変化させ、ピントずれを補正する。焦点可変レンズ３０の場合と同様に、ピントずれのない高画質の眼底画像を取得することができる。
【実施例２】
【００３８】
図１２（ａ）、（ｂ）、図１３には、２次元走査デバイスの他の実施例が図示されている。実施例１では、レーザー光は、水平方向に高速走査する第１走査デバイスとしてのポリゴンミラー１０に入射され、続いて垂直方向に低速走査する第２走査デバイスとしてのガルバノミラー１１に入射されたが、実施例２では、レーザー光は、最初にガルバノミラー１１に入射して垂直方向に低速走査され、続いてポリゴンミラー１０に入射して水平方向に高速走査される。
【００３９】
図１２（ｂ）に図示したように、レーザー光は、焦点可変デバイス３、焦点固定定レンズ４を通過して、ガルバノミラー１１に入射して楕円鏡１２で反射され、ポリゴンミラー１０に入射する。楕円鏡１２は、実施例１では水平方向に配置されたが、実施例２では垂直方向に配置されている。ポリゴンミラー１０に入射したレーザー光は、ポリゴンミラー１０により水平方向に高速走査され、凹面鏡６に入射する。この高速走査の凹面鏡６上での水平走査位置がｘ１〜ｘ５で図示されている。
【００４０】
図１２（ａ）、図１３は、レーザー光がポリゴンミラー１０とガルバノミラー１１で走査され、楕円鏡１２に入射する光線経路図であるが、図示の便宜上、ポリゴンミラー１０が走査の途中の複数の特定の走査角でそれぞれ止まっていて、ガルバノミラー１１が縦方向に走査しているとした時の、仮想の光線経路で示している。このようにレーザー光はガルバノミラー１１で垂直方向に低速走査されるが、この低速走査による楕円鏡１２上での垂直走査位置がｙ１〜ｙ５で示されている。楕円鏡１２で反射されたレーザー光はポリゴンミラー１０で反射され凹面鏡６に入射する。このときの凹面鏡６上での垂直走査位置がｙ１’〜ｙ５’で図示されており、凹面鏡６で反射したレーザー光は、被検眼７の瞳７ａを通過し眼底７ｂに投光され、眼底７ｂが垂直方向に走査される。なお、図１２（ａ）、（ｂ）では、凹面鏡６の水平走査位置ｘ１〜ｘ５に入射するレーザー光が全てポリゴンミラー１０の同じ面で反射されることを示すために、ポリゴンミラー１０は模式的に描かれている。また図１２（ｂ）では、矢印で示したように、ポリゴンミラー１０を紙面の裏側から見たときの反射状態が斜め上部に、横から見た反射状態が側部にそれぞれ図示されている。
【００４１】
楕円鏡１２、凹面鏡６の焦点と走査デバイスの走査点の関係は、実施例１と同様であり、図１３に示したように、楕円鏡１２の第１焦点１２ａにガルバノミラー１１が配置され、その第２焦点１２ｂにポリゴンミラー１０が配置され、楕円鏡１２の第２焦点１２ｂと凹面鏡６の第１焦点６ａは同じ位置にある。また、被検眼７の瞳７ａは凹面鏡６の第２焦点６ｂに位置している。ガルバノミラー１１の回転軸は、楕円鏡１２の第１焦点１２ａと第２焦点１２ｂを結ぶ線１２’に直交しており、ポリゴンミラー１０の回転軸はガルバノミラー１１の回転軸と直交している。また、楕円鏡１２の２つの焦点１２ａ、１２ｂ、その頂点１２ｃ、凹面鏡６の２つの焦点６ａ、６ｂ、その頂点６ｃ、並びに瞳７ａは全て同一平面に存在している。
【００４２】
実施例２でも、実施例１と同様に、コントローラ２０は、予め作成されたテーブルに基づき、ガルバノミラー１１による低速走査（走査角）に同期して焦点可変レンズ３０の焦点距離、あるいは曲率可変ミラー４０の曲率を変化させ、ピントずれを補正する。
【実施例３】
【００４３】
図１４（ａ）、（ｂ）には、２次元走査デバイス５が小型のＭＥＭＳ（（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）ミラー５０で構成される実施例が図示されている。
【００４４】
ＭＥＭＳミラー５０は、シリコン基板で形成された固定枠５１と、可動枠５２、並びにミラー面５３を備え、ミラー面５３はＸ方向走査回転軸５４、５５を介してＸ方向（水平方向）に回転できるように可動枠５２に支持され、可動枠５２はＹ方向走査回転軸５６、５７を介してＹ方向（垂直方向）に回転できるように固定枠５１に支持される。
【００４５】
固定枠５１の周囲には、磁石（不図示）が配置され、可動枠５２並びにミラー面５３の外周部に形成したコイル（不図示）に電流を流すことにより回転トルクが発生し、ミラー面５３を回転軸５４、５５を中心に所定範囲内で回転させ、また可動枠５２を回転軸５６、５７を中心に所定範囲内で回転させることができる。
【００４６】
ミラー面５３の中心を、図１の凹面鏡６の第１焦点に配置し、レーザー光を焦点可変デバイス３、焦点固定レンズ４を通過させてミラー面５３に入射させ、ミラー面５３を高速にＸ方向に回転させると、レーザー光は、図１で紙面に対して垂直な方向に高速走査され、また可動枠５２を低速に回動させると、ミラー面５３が回転軸５６、５７を中心に回転することからレーザー光はＹ方向（図１で垂直な方向）に低速走査され、レーザー光は眼底７ｂ上でＸ方向とＹ方向に２次元走査される。図１４（ｂ）には、例えばミラー面５３がＸ方向に２０度回転し、Ｙ方向に２０度回転した状態が図示されている。
【００４７】
実施例３でも、実施例１，２と同様に、予め光学シミュレーションによりピントずれを補正する補正量を、ＭＥＭＳミラー５０のミラー面５３のＹ方向の回転角（走査角）ごとに計算し、そのピントずれを補正するための焦点可変デバイス３に与える電圧値などを計算して、テーブルに格納しておく。コントローラ２０は、同テーブルを読み込み、ミラー面５３のＹ方向の回転角（走査角）に同期して焦点可変デバイス３の焦点距離を変化させ、ピントずれを補正する。これにより、実施例１、２と同様に、ピントずれのない高画質の眼底画像を取得することができる。
【符号の説明】
【００４８】
１  レーザー光源
２  ビームスプリッター
３  焦点可変デバイス
４  焦点固定レンズ
５  ２次元走査デバイス
６  凹面鏡
７  被検眼
７ａ  瞳
７ｂ  眼底
８  受光部
８ｂ  光電変換デバイス
１０  ポリゴンミラー
１１  ガルバノミラー
１２  楕円鏡
２０  コントローラ
２１  記憶装置
２３  ガルバノミラーモジュール
３０  焦点可変レンズ
３１  ボイスコイル
４０  曲率可変ミラー
５０  ＭＥＭＳミラー
５１  固定枠
５２  可動枠
５３  ミラー面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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