(57)【要約】【課題】処理液の管理は、成分が相互作用により処理液の機能を発揮しているため、特定成分の濃度管理のみでは、処理液の再調製及び更新の指標とするには不十分となってしまう。【解決手段】特性に対する検出器の信号強度を取得し、信号強度から試料の性質を判定する分析方法において、性質が判明している試料を性質の分類により群別して学習試料として測定し、試料の性質及び測定条件と特性に対する検出器の信号強度をデータファイルとして保存し、保存したデータファイルから複数の信号強度を抽出するピークテーブル選択工程を有し、作成したピークテーブルから多変量解析を行う判別閾値設定工程を有し、設定した判別閾値を用いて未知試料の良否または継続使用の可否等の性質判定を行うことを特徴としている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料液を分析機器で測定し、特性に対する検出器の信号強度を取得し、前記信号強度から前記試料液の性質を判定する分析方法において、
性質が判明している試料液を性質の分類により群別して学習試料として測定し、
前記試料液の性質及び測定条件と特性に対する検出器の信号強度等をデータファイルとして保存し、前記保存した各データファイルから複数の信号強度を抽出するピーク選択工程と、
前記抽出した信号強度と特性及び特性の許容範囲とでピークテーブルを作成するピークテーブル作成工程とを有し、
前記作成したピークテーブルから多変量解析を行う判別閾値設定工程を有し、
前記判別閾値を用いて
未知試料液の性質判定を行う、
ことを特徴とする処理液判定方法。
【請求項２】
請求項１に記載のピーク選択工程は、
前記各データファイルの特性に対する信号強度のデータを波形処理し閾値以上の信号強度のピークを抽出した結果から、
前記抽出したピーク数が最も多いデータファイルを選択する工程を有すること
を特徴とする処理液判定方法
【請求項３】
請求項１及び請求項２に記載の判別閾値設定工程は、
前記多変量解析時に前記ピークテーブルから任意のピークを抽出し前記群別した性質間の前記判別閾値から算出した判別スコアの差が最大となる前記ピークの組合せから算出する最適化工程を有すること
を特徴とする処理液判定方法
【請求項４】
試料液を分析機器で測定し、特性に対する検出器の信号強度を取得し、前記信号強度から前記試料液の性質を判定するデータ処理装置であり、
前記データ処理装置は、
性質が判明している試料液を性質の分類により群別して学習試料として測定したデータを、
前記試料液の性質及び測定条件と特性に対する検出器の信号強度等をデータファイルとして保存するデータ保存部と、
前記保存した各データファイルから複数の信号強度をピークとして選択し、
前記選択したピークと特性とでピークテーブルを作成し、
前記作成したピークテーブルから多変量解析を行い判別閾値を設定し、
前記設定した判別閾値を用いて前記試料液の性質判定を行うデータ処理部とを有することを特徴とするデータ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は使用に伴って変化する処理液の評価法、およびデータ処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】繰返し使用する処理液等の管理を行う際は、光度計や液体クロマトグラフのような機器分析を行い、含有成分の変化状況を定量測定し、不足成分の補充等の調整を行うことが一般的である。液体クロマトグラフでは、標準試料を測定した後に未知試料を測定し、未知試料に標準試料の既知成分のピークと保持時間が一致しているピークがあれば、その成分の定性および定量が可能である。【０００３】標準試料がなく定性できない成分については、既知成分のスペクトルデータを保存したスペクトルライブラリーを利用して、未知成分の定量を行う方法が開示されている。（特許文献１）【０００４】めっき液は主成分である金属成分の他に、めっき表面の平滑化や物性の制御、均一電着性などを目的として、種々の添加剤が配合されている。めっきを繰り返すうちに、これらの添加剤は消耗されるだけでなく、共存物質と反応して化合物を形成する、或いは分解することにより濃度が低下する。また、めっき漕などの設備や被めっき物からの溶出物が混入することにより、めっき液中には異物が増加する。このような添加剤濃度の変化や異物濃度の上昇がめっき不良の原因となるため、めっき液中の添加剤および異物濃度を把握して、不良が発生する前にめっき液の添加剤等各成分の補充及びめっき液そのものを交換することが必要になってくる。めっき液中の添加剤およびその分解生成物を定量し、めっき液の劣化挙動を評価する方法が開示されている。（非特許文献１）【０００５】データ処理の方法として、液体クロマトグラフやガスクロマトグラフなどで得られた成分既知の時間の経過に伴って変動する信号強度のデータを１次元的なテーブルとして作成し、多変量解析を行う技術が開示されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第２９２４２６７号公報
【特許文献２】特許第５３２７３８８号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】小倉  圭輔、他４名，「高速液体クロマトグラフィ法を用いた硫酸銅めっきの添加剤劣化挙動に関する評価」，表面技術Ｖｏｌ．６５，Ｎｏ．１，ｐｐ．３５−４０，２０１４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】めっき液のような処理液の補充、交換等の管理のために、定期的にサンプリングし液体クロマトグラフで測定すると、検出される成分は添加剤だけでなく、めっき液中の共存物質と反応して形成された化合物や、めっき漕などの設備や被めっき物からの溶出物等の様々な成分があり、すべての成分について標準物質を用意して定性及び定量分析を行うことは困難である。【０００９】また、めっき液に限らず処理液の使用による経時変化の過程で、処理液の必要成分あるいは有効成分の減少及び異物等の増加により、処理液により処理した対象物に不具合が発生することがあるが、処理液には組成が開示されていない添加剤が複数含まれていることから、全ての成分を同定することも困難となっている。【００１０】上述のように、未知成分が含まれている処理液の管理指標を作成する際には、処理液の性質に影響を与えている成分またはその成分由来の分析機器のデータを抽出することが必要となる。【００１１】本発明の目的は、成分が既知でなくても、処理液の性質に与えている影響が大きいと考えられるデータを用いて多変量解析することにより処理液の管理を行う評価方法及びデータ処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】上記の課題を解決するために、本発明の処理液評価方法は、試料としての処理液を分析機器で測定し、時間または波長等の特性に対する検出器の信号強度を取得して試料の性質を判定する評価方法において、性質が判明している試料を性質により群別して学習試料として測定し、試料の性質及び測定条件と特性に対する検出器の信号強度をデータファイルとして保存し、保存したデータファイルから複数の信号強度をピークとして抽出するピークテーブル選択工程を有し、作成したピークテーブルから多変量解析を行い判別閾値を設定する判別閾値設定工程を有し、設定した判別閾値を用いて未知試料の良否または継続使用の可否等の性質評価を行うことを特徴としている。【００１３】また、上記各データファイルのピーク選択工程が、各データファイルの特性に対する信号強度のデータを波形処理し、閾値以上の信号強度ピークを抽出した結果から、抽出したピーク数が最も多いデータファイルを選択する工程を有することを特徴としている。【００１４】更に、前記判別閾値設定工程では、作成したピークテーブルから任意のピークを抽出し、群別した性質間の判別閾値から作成した判別スコアの差が最大となるピークの組合せから算出することにより、性質間の差を明確化する最適化工程を有することを特徴としている。【００１５】前記の課題を解決するために、本発明のデータ処理装置は、性質が判明している試料を性質の分類により群別した学習試料として測定したデータを、試料の性質及び測定条件と特性に対する検出器の出力信号強度等をデータファイルとして保存するデータ保存部と、保存した各データファイルから複数の信号強度をピークとして選択し、選択したピークと特性の許容範囲とでピークテーブルを作成し、作成したピークテーブルから多変量解析を行って判別閾値を設定し、設定した判別閾値を用いて試料の性質判定を行うデータ処理部を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１６】本発明によれば成分が既知でなくても、処理液の性質に与えている影響が大きいと考えられる成分由来の分析装置のデータを用いて多変量解析することにより処理液の管理を行う評価方法及びデータ処理装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（ａ）本願に係る分析装置の一例として液体クロマトグラフ分析装置の構成例を示す図である  （ｂ）本願に係るデータ処理装置の構成例を示す図である
【図２】めっき液のクロマトグラム例である  （ａ）めっき新液のクロマトグラム  （ｂ）繰返し使用後のめっき液のクロマトグラム  （ｃ）不良が発生しためっき液のクロマトグラム
【図３】評価・管理工程フローを示す図である
【図４】ピークテーブルの一例を示す図である
【図５】ピーク選択工程フローを示す図である
【図６】ピークテーブル要素の最適化を含む評価・管理工程フローを示す図である
【発明を実施するための形態】
【００１８】本発明に係る試験液評価方法において、液体クロマトグラフを用いてめっき液管理を行う事例を説明する。
【実施例】
【実施例１】
【００１９】めっき液には主成分である金属成分の他に、めっき表面の平滑化や物性の制御、均一電着性などを目的として、種々の添加剤が配合されている。めっきを繰り返すうちに、これらの添加剤は消耗されるだけでなく、分解することにより濃度が低下する、あるいは共存物質と反応して化合物を形成する。また、めっき漕などの設備や被めっき物からの溶出物が混入することにより、めっき液中には異物が増加する。このような添加剤濃度の変化や異物濃度の上昇がめっき不良の原因となるため、めっき液中の添加剤および異物濃度を把握して、不良が発生する前にめっき液の添加剤等各成分の補充及びめっき液そのものの交換が必要になる。
また、めっき液の補充、交換等の管理は、一般的には既知成分の定量分析を行うか、または、電着試験のような専用治具を用いて実際にめっきを行い、その電着状態を評価することで添加剤の過不足や異物の影響などを評価していた。【００２０】本実施例は、正常なめっきを行うことができるめっき液と、めっきを繰り返すことにより異物が増加、または添加剤各成分の濃度低下がめっき不良の原因と判明しているめっき液を液体クロマトグラフで測定し、得られたクロマトグラムを用いて多変量解析を行った結果をめっき液の評価に用いる事例である。データファイルは、測定時のクロマトグラム、測定条件及び波形処理結果、検出器の信号強度推移（ピーク）等で構成されている。クロマトグラムとは、分離された成分を、横軸に特性としての溶出時間、縦軸に信号強度をとり、信号強度推移をプロットしたものである。溶出時間を保持時間と呼ぶ。クロマトグラムの信号強度はその保持時間に溶出した成分の濃度と比例する。液体クロマトグラフの分析条件によっては同じ保持時間に溶出する成分が複数あるため、１つのピークに複数の成分が混在することがある。【００２１】図１（ａ）は、本発明に係る分析装置の一例としての液体クロマトグラフ分析装置の構成例を示す概略図である。
液体クロマトグラフ１００では、移動相容器１に入れた移動相はポンプ２により送液される。オートサンプラ３で注入された測定試料は移動相により移動し、カラムオーブン５で一定温度に保たれたカラム４に保持される。カラム４に保持された試料は、その成分の性質によって順に溶出し分離される。分離された成分は検出器６で検出され、各成分の信号は演算処理部７においてクロマトグラムとして収集され、表示部１０に表示される。データ処理部７は、データ保持部８と演算処理部９を含む。検出器６にはＵＶ検出器、三次元検出器、示差屈折率検出器、質量検出器などがあるが、特に限定されない。【００２２】保持時間はカラム及び装置等の状態の影響を受けて変動する。測定前の準備として任意の校正用試料を測定して保持時間の変動をあらかじめ補正しておくことが正確な測定を行うためには必要となる。【００２３】以下に本発明による処理液評価方法について説明する。
めっき液の状態評価を行うための、判別分析を用いた評価・管理工程を図面を用いて説明する。【００２４】最初に図３に記載の判定閾値設定ステップとして、測定条件設定工程Ｓ１０と学習試料測定工程Ｓ２０とピーク選択工程Ｓ３０とピークテーブル作成工程Ｓ４０とピークテーブル分割工程Ｓ５０と判別閾値算出工程Ｓ６０と閾値正否判定工程Ｓ７０及び判別閾値設定工程Ｓ８０がある。【００２５】まず、測定条件設定工程Ｓ１０で液体クロマトグラフの測定条件を決定する。この液体クロマトグラフの測定条件は、評価と管理のための判別閾値を求める試料及び工程管理のために工程からサンプリングした試料の全てに対して適用する。【００２６】次に、学習試料測定工程Ｓ２０において上述したように正常グループ及び不良グループに群別した試料を、それぞれの群に対して複数用意し、測定条件設定工程Ｓ１０で設定した液体クロマトグラフの測定条件で測定する。測定結果として図２に示すような溶出時間（特性）に対する信号強度のクロマトグラムが得られる。ここで正常グループとは調製直後またはめっき後にめっき被膜またはめっき基材に不具合を発生させないめっき液のグループであり、不良グループとはめっき後にめっき被膜またはめっき基材に不具合を起こす、または廃液直前のめっき液のグループとしている。めっき液の液体クロマトグラフによる測定データ（以下クロマトグラムという）の一例を図２に示す。図２はめっき液を新液の状態からめっき不良が発生するまでの間にサンプリングして測定したクロマトグラムである。めっき新液のクロマトグラム図２（ａ）、繰り返し使用後のめっき液のクロマトグラム図２（ｂ）、及び繰り返し使用によりめっき不良が発生しためっき液のクロマトグラム図２（ｃ）である。各クロマトグラム内に記載した数字はピーク番号で、同じ番号は保持時間が同じピークである。ピーク番号は、保持時間が短いピークから順に採番した。【００２７】ピークの強度を比較すると、徐々に増加するピーク（図２（ａ）ないし（ｃ）のピーク番号２、４、５、６、７）だけでなく、徐々に減少（図２（ａ）ないし（ｃ）のピーク番号３）および増減するピーク（図２（ａ）ないし（ｃ）のピーク番号１、８）も存在する。これらのピーク強度の増減は、添加剤の消費及び他成分との反応や分解等、めっき液中での成分間の反応またはめっき槽等の環境からの溶出によるものである。【００２８】次に、ピーク選択工程Ｓ３０において後述する手順でピークを選択する。
次に、ピークテーブル作成工程Ｓ４０で、ピーク選択工程Ｓ３０で選択したピークを基に図４に示すように、ピーク選択工程Ｓ３０で採番したピーク番号と、採番したピークの保持時間に検出されるピーク面積を対比させたピークテーブルを作成する。測定条件他の要因により保持時間がずれる場合の保持時間の許容範囲は測定条件設定工程Ｓ１０において、繰り返し測定のばらつきの度合いによって決定し、ピークテーブルの保持時間に反映させる。【００２９】次に、ピークテーブル分割工程Ｓ５０において、ピークテーブルをトレーニングテーブル及びテストテーブルに分割する。トレーニングテーブル及びテストテーブルへの分割は、いずれのテーブルにも正常グループ及び不良グループのデータファイルを２つ以上含み、試料の採取日や系統に偏りの無いように行う。
次に、判別閾値算出工程Ｓ６０において、ピークテーブル分割工程Ｓ５０で作成したトレーニングテーブルを用いて判別関数を作成し、作成した判別関数を基に、トレーニングテーブルの各データファイルの判別スコアを算出する。算出した判別スコアを前述した正常グループ及び不良グループの群別データに基づいてプロットし、正常グループと不良グループの判別の閾値となる判別閾値を設定する。
次に、閾値正否判定工程Ｓ７０において、ピークテーブル分割工程Ｓ５０で作成したテストテーブルを用いて、閾値が適正であるかの判定を行う。この判定の際に、テストテーブルの群別されているデータファイルが適正に正常グループ及び不良グループに判別された場合は、判別閾値設定工程Ｓ８０において、算出した閾値をめっき液の再調製及び交換の工程管理指標として用いる良否判別閾値として設定する。適正に判別されない場合は、ピーク選択工程Ｓ３０に戻り、ピーク選択工程Ｓ３０から閾値正否判定工程Ｓ７０までを繰返し、適正に判別される閾値を算出する。【００３０】第二の良否判定ステップとして、未知試料測定工程Ｓ９０と判別スコア算出工程Ｓ１００及び良否判定工程Ｓ１１０がある。【００３１】未知試料測定工程Ｓ９０において測定条件設定工程Ｓ１０で設定した測定条件を用いて工程からサンプリングした試料を液体クロマトグラフで測定し、データファイルを保存する。
次に、判別スコア算出工程Ｓ１００では、未知試料測定工程Ｓ９０で保存した各データファイルに対して、後述するピーク選択工程Ｓ３０と同等の基準を用いて波形処理を行い、ピーク面積を算出する。ピーク面積を算出するピークは、ピークの溶出時間から、ピークテーブル作成工程Ｓ４０で設定したピーク番号と対比し、ピークの溶出時間が一致したピーク番号の面積値を、判別閾値算出工程Ｓ６０で作成した判別関数に代入して判別スコアを算出する。
次に、良否判定工程Ｓ１１０では判別スコア算出工程Ｓ１００で算出した判別スコアを判別閾値設定工程Ｓ８０で設定した閾値と比較し、工程からサンプリングした試料の良否判定を行う。【００３２】続いて図５を用いてピーク選択工程Ｓ３０の詳細を説明する。
ピーク選択工程Ｓ３０は、正常グループと不良グループに群分けした試料を学習試料測定工程Ｓ２０で測定した個々のデータファイルのクロマトグラムに対して、波形処理工程Ｓ５１０においてピークの形状に合わせてベースラインを設定する。ベースライン設定のパラメータは、ノイズ値、ピーク幅、ピーク開始点及び終了点の傾き等があり、データファイルの特性、目的等により選択する。
ベースライン設定後、判別関数作成に信号強度（ピーク高さ）を用いるか信号強度の積算値としてのピーク面積を用いるかを選択する。ここでは、ピーク面積を用いた事例として説明する。
次に、信号強度／ピーク面積算出工程Ｓ５２０において、波形処理工程Ｓ５１０で設定したベースラインに基づく各ピークの面積を算出する。【００３３】次に、ピーク判定工程Ｓ５３０では予め設定した閾値と信号強度／ピーク面積算出工程Ｓ５２０で算出した各ピークの面積を比較し、閾値以上を判定用ピークとし、判定用ピークか否かの判定を行い、判定用ピークとみなしたピークをピーク抽出工程Ｓ５４０で抽出する。
次に、ピーク数計数工程Ｓ５５０では、ピーク抽出工程Ｓ５４０で抽出した各データファイルに含まれるピーク数を計数する。
次に、データファイル選択工程Ｓ５６０では、各データファイルに含まれるピーク抽出工程Ｓ５５０で抽出したピーク数を比較し、最も多くのピークが含まれるデータファイルを選択する。
次に、ピーク番号採番工程で、データファイル選択工程Ｓ５６０で選択したデータファイルの判定用ピークに溶出時間の順に採番する。ここで採番した各ピークの番号がピークテーブル作成工程Ｓ４０で作成するピークテーブルのピーク番号となる。
【実施例２】
【００３４】実施例１において説明した判定閾値設定ステップの、ピークテーブル作成工程Ｓ４０から判別閾値設定工程Ｓ８０までの工程では、ピークテーブルの全ての要素を用いて判別分析を行い、判別閾値の設定を行っているが、ピークテーブルの要素の最適化を行ってもよい。
ピークテーブルの要素の最適化を行う工程を含めた、めっき液の状態評価を行うための、判別分析を用いた評価・管理工程を図６に示す。【００３５】図３における測定条件設定工程Ｓ１０からピークテーブル分割工程Ｓ５０は同様の工程を行う。
次のピークテーブル最適化工程Ｓ６５０において、ピークテーブルを最適化する方法を以下に示す。
１）トレーニングテーブルの全ピークの面積値を用いて判別関数Ｋ０（０）作成
２）群別した正常グループと不良グループの各テストテーブルから判別スコアと判別スコアの平均値（ｇ０とｕ０）を算出
ｇ０：テストテーブルの全ピークの面積値を用いて算出した正常グループの判別スコア平均値
ｕ０：テストテーブルの全ピークの面積値を用いて算出した不良グループの判別スコア平均値
３）テストテーブルの正常グループと不良グループの判別スコア平均値の差Ｄｍ（ｎ）を算出
Ｄｍ（ｎ）＝｜ｇｍ−ｕｍ｜
ｇｍ：正常グループの判別スコア平均値
ｕｍ：不良グループの判別スコア平均値
ｍ：判別関数算出に加えないピークの本数
ｎ：判別関数算出、判別スコア算出から除外するピーク番号
ピークテーブルの全ピークの面積値を用いた場合は、Ｄ０（ｎ）＝｜ｇ０−ｕ０｜
４）トレーニングテーブルからピーク番号１の面積値を除外する
５）判別関数Ｋ１（０）作成
６）テストテーブルからピーク番号１の面積値を除外する
７）テストテーブルの判別スコアの平均値ｇ１、ｕ１算出
８）テストテーブルの正常グループと不良グループの判別スコア平均値の差を算出Ｄ１（１）＝｜ｇ１−ｕ１｜
９）トレーニングテーブルの全ピーク数Ｎまで順に各ピークの面積値を除外して４）〜８）を繰り返し、判別関数Ｋ１（ｎ）を作成する
１０）テストテーブルも９）と同様に全ピーク数Ｎまで順に各ピークの面積値を除外して４）〜８）を繰り返し、Ｄ１（ｎ）を算出するＤ１（ｎ）：ｎ＝１〜Ｎ、Ｎ＝ピーク抽出工程Ｓ５０４で抽出した全ピーク本数
１１）１０）で算出したＮ個のＤ１（ｎ）から最大値Ｄ１（ｎ）ｍａｘを抽出し、そのｎ（ｎ番目のピーク）を特定しｎｍａｘとする
１２）トレーニングテーブル及びテストテーブルからピーク番号ｎｍａｘの面積値を除外する
１３）ピーク番号ｎｍａｘを除くピーク番号１〜Ｎまでについて４）〜８）を繰返しＤ２（ｎ）を算出する
１４）１３）で算出したＮ−１個のＤ２（ｎ）から最大値Ｄ２（ｎ）ｍａｘを抽出し、そのｎ（ｎ番目のピーク）を特定しｎｍａｘとする
１５）４）〜１３）をＤｍ（ｎ）のｍがＮ−１まで繰返し、Ｄｍ（ｎ）ｍａｘを特定する
１６）Ｄｍ（ｎ）ｍａｘとなるときの、ピーク番号のピーク面積値を除いたトレーニングテーブルから作成した判別関数をＫｍ（ｎ）ｍａｘとする。
１７）同様にテストテーブルから該当のピーク番号のピーク面積を除いたデータファイルを用いて判別スコアの平均値を算出し、正常グループと不良グループに判別できることを確認する
１８）１７）で判別できた場合は、その判別関数をＫｍ（ｎ）ｍａｘを良否判定の判別関数とし、判別できない場合は、全てのピーク面積を使用たＫ０（０）を判別関数とする
上記１８）で設定したＫｍ（ｎ）ｍａｘをピークテーブル最適化工程Ｓ６５０で最適化された判別関数として判別関数設定工程Ｓ８０で設定する。
続く良否判定ステップは図３の未知試料測定工程Ｓ９０から良否判定工程Ｓ１１０までを同様の手順で判定をおこなう。【００３６】ここで、信号強度は波形処理工程で処理されることが可能な信号強度又は信号強度の特性に対する積分値である面積値のどちらを用いても良い。【００３７】本発明の実施形態に係るデータ処理装置について液体クロマトグラフを例として図面を参照して説明する。
液体クロマトグラフのデータ処理装置は、試料に含まれる複数の成分を時間を特性として分離する分離手段と、分離した成分のそれぞれの信号強度を取得する検出手段を備える分析装置を用い、複数の試料に対して、時間により分離された成分の信号強度データのデータ処理を実施する装置である。図１（ａ）及び図１（ｂ）のデータ処理装置７は、データ保持部８と演算処理部９及び制御部７１と記録部７３等を含む。【００３８】制御部７１からの指示により移動相がポンプ２により送液される。オートサンプラ３で注入された測定試料は移動相により移動し、カラム４に保持される。カラム４に保持された試料は、その成分の性質により順に溶出し、分離される。分離された成分は検出器６で検出され、各成分の時間及び波長等の特性に対する検出器の信号強度のクロマトグラムとして、測定条件等の情報と共にデータファイルとしてデータ保持部８に保存される。データ保持部８に保存された学習試料の各データファイルのクロマトグラムは、まず信号処理部９１で図５の各工程に従ってピーク番号が採番される。次に演算処理部９２で図３の判定閾値設定工程の各工程に従って判別閾値が設定される。次に上述同様に測定された未知試料は、信号処理部９１と演算処理部９２において図３ないし図６の各工程をたどり、判定部９３で要否判定される。判定結果は表示部１０に表示される。【００３９】上述のデータ処理装置は、試料に含まれる複数の成分を特性に対する検出器の信号強度として取得するクロマトグラムが得られる装置に付属するまたは独立のデータ処理装置であり、検出手段としては、時間や波長を特性として信号強度を取得することが可能であれば、特にその種類は限定されない。例えば分光可視・紫外検出器、分光蛍光検出器、質量検出器、示差屈折率検出器などでもよい。【００４０】本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な形態及び均等物に及ぶことは言うまでもない。例えば、測定装置は時間または波長等の特性に対する検出器の信号強度を取得する、液体クロマトグラフ、ガスクロマトグラフ、キャピラリ電気泳動、光度計等があげられ、評価対象試料もめっき液、培養液等使用による経時変化を管理する処理液を対象とする。
【符号の説明】
【００４１】１００  液体クロマトグラフ
１      移動相容器
２      ポンプ
３      オートサンプラ
４      カラム
５      カラムオーブン
６      検出器
７      データ処理装置
８      データ保持部
９      演算処理部
１０    表示部
７１    制御部
７２    測定条件設定部
７３    記録部
９１    信号処理部
９２    演算処理部
９３    判定部
【図１】
2018173395.tif 000003
【図２】
2018173395.tif 000004
【図３】
2018173395.tif 000005
【図４】
2018173395.tif 000006
【図５】
2018173395.tif 000007
【図６】
2018173395.tif 000008