(57)【要約】【課題】複数のチャネルごとのインク温度が均一化され、良好な画像記録を行うことができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置の提供。【解決手段】隔壁１２により形成された複数のチャネル１３を有し、チャネル１３が配列されたチャネル列を２列以上有するヘッドチップ１と、チャネル１３にインクが供給される側の反対側に位置し、チャネル１３に連通しチャネル１３内のインクを外方に吐出する複数のノズル１１ａが形成されたノズルプレート１１と、チャネル１３にインクが供給される側に配置され、ヘッドチップ１に給電するための配線が形成される配線基板２と、少なくとも１つの熱伝導部材１５とを備え、熱伝導部材１５はチャネル列間に配置され、配線基板２及びノズルプレート１１の少なくとも一方と、熱伝導部材１５は、チャネル列の全長に亘ってヘッドチップ１に接合されており、隔壁１２よりも熱伝導率が高い。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔壁により形成された複数のチャネルを有し、該チャネルが配列されたチャネル列を２列以上有するヘッドチップと、
前記ヘッドチップの前記チャネルにインクが供給される側の反対側に位置し、前記チャネルに連通し該チャネル内のインクを外方に吐出する複数のノズルが形成されたノズルプレートと、
前記ヘッドチップの前記チャネルにインクが供給される側に配置され、該ヘッドチップに給電するための配線が形成される配線基板と、
少なくとも１つの熱伝導部材とを備え、
前記熱伝導部材は、前記チャネル列間に配置され、
前記配線基板及び前記ノズルプレートの少なくとも一方と、前記熱伝導部材は、前記チャネル列の全長に亘って前記ヘッドチップに接合されており、前記隔壁よりも熱伝導率が高いことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記チャネルは、電圧の印加によって変位する圧電材料からなる隔壁により形成され、該隔壁の変位により体積変化を生ずることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記ヘッドチップは、櫛歯状に形成された前記隔壁を有する複数のアクチュエータ部材から構成されており、
前記チャネルは、前記櫛歯状に形成された隔壁の先端面と前記熱伝導部材の側面とが接合され、又は、一のアクチュエータ部材の前記櫛歯状に形成された隔壁の先端面と他のアクチュエータ部材の平坦な側面とが接合されて形成されていることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記ヘッドチップは、前記チャネル列を３列以上有し、
前記アクチュエータ部材は、櫛歯状の隔壁が形成された側を、前記熱伝導部材の側に向けていることを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記熱伝導部材を複数備えていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記チャネルに供給されるインクを貯留し、前記チャネルへインクを供給する共通インク室と、
前記共通インク室内のインクを加熱するインクヒータとを備えていることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記ヘッドチップの周囲を覆う筐体を備え、
前記筐体は、前記ヘッドチップの隔壁よりも熱伝導率が高いことを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７の何れかに記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項９】
請求項７記載のインクジェットヘッドと、
前記筐体を支持するヘッド支持部材とを備え、
前記ヘッド支持部材は、前記ヘッドチップの隔壁よりも熱伝導率が高いことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関し、詳しくは、複数のチャネルごとのインク温度が均一化され、良好な画像記録を行うことができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットヘッドの複数のノズルからインクの液滴を吐出して、記録媒体上に画像形成を行うインクジェット記録装置（インクジェットプリンタ）が提案されている。インクジェットヘッドにおいては、ノズルが連通した複数のチャネル（圧力室）からなるチャネル列を複数列並列させ、これらチャネル列におけるチャネルの配列方向に直交する方向に走査することにより、画素密度を向上させている。
【０００３】
インクジェットヘッドにおいては、チャネル内に圧力を加えるアクチュエータ（圧電素子）の自己発熱や、アクチュエータを駆動する駆動ＩＣ（Integrated Circuit）の発熱などにより、チャネル内のインクが加熱される。インク温度が上昇すると、インクの粘度が低下して吐出速度が速くなり、着弾位置が狙った位置からずれて画質を大幅に低下させる原因となる。
【０００４】
そこで、本件出願人は、アクチュエータのカバープレートや、カバー基板を、熱伝導率の高いＡｌＮ−ＢＮ（窒化アルミニウム−窒化ボロン）やＡｌＮ（窒化アルミニウム）により形成することを提案している（特許文献１、２、３）。このインクジェットヘッドにおいては、カバープレートやカバー基板の熱伝導性が高いことにより、アクチュエータの発熱が良好に外部に放熱される。
【０００５】
また、チャネルの両側をなす非圧電性材料基板をＡｌＮ（窒化アルミニウム）により形成することを提案している（特許文献４）。このインクジェットヘッドにおいても、非圧電性材料基板の熱伝導性が高いことにより、アクチュエータの発熱が良好に外部に放熱される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１２２７７０号公報
【特許文献２】特開２００５−０１４３２２号公報
【特許文献３】特開２００５−１９３６０２号公報
【特許文献４】特開２０００−２６３７８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
インクジェットヘッドにおいては、アクチュエータの自己発熱や駆動ＩＣの発熱に加えて、ヘッド内のインクの流れなどにより、チャネルごとの温度が不均一になることがある。チャネルごとの温度が不均一になると、チャネルごとのインク粘度が不均一になるので、ノズルから吐出される液滴量、液滴速度が不均一となり、記録画像の画質が劣化してしまう。
【０００８】
なお、高粘度のインクを用いるインクジェットヘッドにおいては、インクヒータによりインクを加熱し、インク粘度を吐出に適した粘度に調整することがある。このようにインクを加熱するインクヒータを備えた場合においても、アクチュエータ（圧電素子）の自己発熱等により、チャネルごとの温度が不均一になることは解消されない虞がある。
【０００９】
そこで、本発明は、複数のチャネルごとのインク温度が均一化され、良好な画像記録を行うことができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することを課題とする。
【００１０】
本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１２】
１．
隔壁により形成された複数のチャネルを有し、該チャネルが配列されたチャネル列を２列以上有するヘッドチップと、
前記ヘッドチップの前記チャネルにインクが供給される側の反対側に位置し、前記チャネルに連通し該チャネル内のインクを外方に吐出する複数のノズルが形成されたノズルプレートと、
前記ヘッドチップの前記チャネルにインクが供給される側に配置され、該ヘッドチップに給電するための配線が形成される配線基板と、
少なくとも１つの熱伝導部材とを備え、
前記熱伝導部材は、前記チャネル列間に配置され、
前記配線基板及び前記ノズルプレートの少なくとも一方と、前記熱伝導部材は、前記チャネル列の全長に亘って前記ヘッドチップに接合されており、前記隔壁よりも熱伝導率が高いことを特徴とするインクジェットヘッド。
２．
前記チャネルは、電圧の印加によって変位する圧電材料からなる隔壁により形成され、該隔壁の変位により体積変化を生ずることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッド。
３．
前記ヘッドチップは、櫛歯状に形成された前記隔壁を有する複数のアクチュエータ部材から構成されており、
前記チャネルは、前記櫛歯状に形成された隔壁の先端面と前記熱伝導部材の側面とが接合され、又は、一のアクチュエータ部材の前記櫛歯状に形成された隔壁の先端面と他のアクチュエータ部材の平坦な側面とが接合されて形成されていることを特徴とする前記２記載のインクジェットヘッド。
４．
前記ヘッドチップは、前記チャネル列を３列以上有し、
前記アクチュエータ部材は、櫛歯状の隔壁が形成された側を、前記熱伝導部材の側に向けていることを特徴とする前記３記載のインクジェットヘッド。
５．
前記熱伝導部材を複数備えていることを特徴とする前記１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッド。
６．
前記チャネルに供給されるインクを貯留し、前記チャネルへインクを供給する共通インク室と、
前記共通インク室内のインクを加熱するインクヒータとを備えていることを特徴とする前記１〜５の何れかに記載のインクジェットヘッド。
７．
前記ヘッドチップの周囲を覆う筐体を備え、
前記筐体は、前記ヘッドチップの隔壁よりも熱伝導率が高いことを特徴とする前記１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッド。
８．
前記１〜７の何れかに記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
９．
前記７記載のインクジェットヘッドと、
前記筐体を支持するヘッド支持部材とを備え、
前記ヘッド支持部材は、前記ヘッドチップの隔壁よりも熱伝導率が高いことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、複数のチャネルごとのインク温度が均一化され、良好な画像記録を行うことができるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係るインクジェットヘッドを示す斜視図（ａ）及び底面図（ｂ）
【図２】図１に示すインクジェットヘッドを示す分解斜視図
【図３】図２に示すヘッドチップ及び配線基板を模式的に示す分解斜視図
【図４】図２に示すヘッドチップを模式的に示す平面図
【図５】図１に示すインクジェットヘッドに備わるヘッドチップ、配線基板、フレキシブル基板及び駆動回路基板を示す斜視図（ａ）及びヘッドチップを（ａ）と異なる方向から視た斜視図（ｂ）
【図６】図２に示すヘッドチップ及び配線基板を概念的に示す分解斜視図
【図７】図２に示すヘッドチップ及び配線基板を示す断面図
【図８】図２に示したヘッドチップにおける温度分布を示すグラフ
【図９】本発明に係るインクジェットヘッドの他の実施形態におけるヘッドチップを模式的に示す平面図
【図１０】本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の実施形態におけるヘッドチップを模式的に示す平面図
【図１１】本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の実施形態におけるヘッドチップを模式的に示す平面図
【図１２】本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の実施形態におけるヘッドチップを模式的に示す平面図
【図１３】本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の実施形態におけるヘッドチップを模式的に示す平面図
【図１４】本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の実施形態におけるヘッドチップを模式的に示す平面図
【図１５】本発明に係るインクジェット記録装置の構成を示す模式図
【図１６】本発明に係るインクジェット記録装置の要部の構成を示す斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。
【００１６】
〔インクジェットヘッドの構成〕
図１は、本発明に係るインクジェットヘッド１００を示す斜視図（ａ）及び底面図（ｂ）である。
図２は、インクジェットヘッド１００を示す分解斜視図である。図２においては、カバー部材９の図示を省略している。
図３は、図２に示すヘッドチップ及び配線基板を模式的に示す分解斜視図である。図３においては、ヘッドチップ１が２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａからなり、ノズル列の数（列数）が２列である場合を示している。
【００１７】
本明細書において、インクジェットヘッド１００のノズル１１ａ（図３参照）からのインク吐出方向を「下方」とし、複数のノズル１１ａの並び方向を「ノズル列方向」又は「チャネル列方向」といい、「ノズル列方向」に直交する水平方向を「側方」という。「上方」及び「下方」は、「鉛直方向上側」及び「鉛直方向下側」を意味する。ただし、本発明のインクジェットヘッド１００の使用状態は、インク吐出面を鉛直方向下側に向ける状態に限定されず、傾けて使用してもよい。
【００１８】
本実施形態のインクジェットヘッド１００は、後述するインクジェット記録装置（インクジェットプリンタ）に搭載されるものである。インクジェットヘッド１００は、図２及び図３に示すように、ノズル１１ａが連通した複数のチャネル１３を有するヘッドチップ１を有している。ヘッドチップ１のチャネル１３には、マニホールド５から、インクが導入される。マニホールド５は、筐体６の内側に収納されている。この筐体６は、ヘッドチップ１の周囲を覆っている。マニホールド５内には、インクを貯留し、チャネル１３へインクを供給する共通インク室が形成されている。筐体６は、底面が開口されており、キャップ受板７が取り付けられることにより底面開口を塞がれている。筐体６には、図１に示すように、カバー部材９が取り付けられている。
【００１９】
マニホールド５は、図２に示すように、合成樹脂材料等によって、下面部に開口部５１ａを有する横長の箱型に形成されている。このマニホールド５は、開口部５１ａを、下面部に接着された配線基板２によって塞がれている。マニホールド５の内部空間は、インクジェット記録装置においてインクタンクから供給されるインクが貯留される共通インク室５１となっている。
【００２０】
マニホールド５には、インク供給管５ａ及びインク回収管５ｂが設けられている。インク供給管５ａ及びインク回収管５ｂには、それぞれ接続部７ａ、７ｂが取り付けられる。
【００２１】
また、インクジェットヘッド１００は、ヘッドチップ１に給電するための配線パターンが形成された配線基板２を有している。配線基板２は、ヘッドチップ１のマニホールド５（共通インク室）側に配置されている。配線基板２は、例えばガラス基板である。配線基板２には、フレキシブル基板３を介して駆動回路基板４が接続されている。
【００２２】
〔ヘッドチップ及び配線基板〕
先ず、ヘッドチップ１及び配線基板２について、図３、図４及び図５を参照して説明する。
【００２３】
図４は、図２に示すヘッドチップを模式的に示す平面図である。
図５は、図１に示すインクジェットヘッドに備わるヘッドチップ、配線基板、フレキシブル基板及び駆動回路基板を示す斜視図（ａ）及びヘッドチップを（ａ）と異なる方向から視た斜視図（ｂ）である。
【００２４】
ヘッドチップ１は、図３、図４及び図５（ａ）、（ｂ）に示すように、チャネル列方向に長尺な略四角柱状の部材であり、このヘッドチップ１の下面には、インクの吐出口となる複数のノズル１１ａが開設されたノズルプレート１１が配設されている。ノズル１１ａは、チャネル１３を外部（下方）に連通させる透孔である。ノズル１１ａは、チャネル１３内から外部（下方）に吐出されるインクの流路となる。
【００２５】
ノズルプレート１１は、シリコン材料、ポリイミド樹脂材料又はその他の有機物材料、ステンレス、ニッケル又はその他の金属材料により形成することが好ましい。価格の点（安価であること）では、ステンレス、ポリイミド樹脂材料が優れており、加工の容易性では、ステンレス、ポリイミド樹脂材料が優れており、加工精度では、シリコン材料が優れており、化学的安定性では、ポリイミド樹脂材料が優れている。
【００２６】
ヘッドチップ１は、電圧の印加によって変位する圧電材料からなる複数のアクチュエータ部材１ａから構成されている。アクチュエータ部材１ａには、複数の隔壁１２により形成された複数のチャネル（圧力室）１３及び複数のダミーチャネル（擬似圧力室）１４が形成されている。隔壁１２は、上下及び側方に開放された櫛歯状に形成されている。これら隔壁１２同士の間がチャネル１３又はダミーチャネル１４となる。チャネル１３及びダミーチャネル１４は、互いに平行とされ、一方向（チャネル列方向）に配列されてチャネル列を構成している。なお、アクチュエータ部材１ａは、圧電材料からなる複数の隔壁１２のみからなるものとし、これら隔壁１２が平板状の支持部材に並べて接合されたものとしてもよい（図１４参照）。
【００２７】
図３及び図４に示すように、アクチュエータ部材１ａの側面に沿って、平板状の熱伝導部材１５が配置されている。熱伝導部材１５は、櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面に突き合わされており、チャネル１３及びダミーチャネル１４を、ヘッドチップ１の上面部から下面部に至る透孔としている。熱伝導部材１５は、熱伝導率の高い材料、例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や炭化硅素（ＳｉＣ）などの材料により形成されている。
【００２８】
ただし、チャネル１３及びダミーチャネル１４は、櫛歯状の隔壁１２及び熱伝導部材１５により形成されるものではなく、アクチュエータ部材１ａに透孔として形成されたものでもよい。
【００２９】
本実施形態においては、熱伝導部材１５は、２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａに挟まれて、すなわち、２列のチャネル列間に配置され、チャネル１３及びダミーチャネル１４を構成している。２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａの隔壁１２のなす櫛歯形状は、互いに対向する中央側に向けて開放されており、この中央側に熱伝導部材１５が配置されている。
【００３０】
なお、ヘッドチップ１を構成する複数のアクチュエータ部材１ａは、個々に分離されたものではなく、一体的に連設されたものとしてもよい。この場合には、２列のチャネル列間に、熱伝導部材１５が配置されるための空隙部を設け、熱伝導部材１５をこの空隙部内に配置する。後述する他の実施形態においても同様である。
【００３１】
チャネル１３は、略矩形状の開口横断面を有し、上下方向を長手方向として形成されている。チャネル１３は、入口（上端）から出口（下端）に亘る長手方向（上下方向）で大きさ及び形状がほぼ変わらないストレートタイプである。各チャネル列の各チャネル１３及び各ダミーチャネル１４は、隔壁１２を櫛歯状に形成する場合には、それぞれ圧電素子基板の表面からダイシングブレードによって所定深さとなるストレート状の溝を研削加工し、その上面を配線基板２によって覆うことによって形成されている。このため、上面に開口している各チャネル１３及びダミーチャネル１４の開口部は四角形状となっている。
【００３２】
配線基板２には、ヘッドチップ１のチャネル１３に対応する位置のみに、該配線基板２の背面側に接合されるマニホールド５内に貯留されたインクを各チャネル１３に供給するための開口部２２がそれぞれ個別に開設されている。チャネル１３は、チャネル１３に対応して配線基板２に開設された開口部２２を介して、上端がマニホールド５内（共通インク室）に連通している。チャネル１３は、開口部２２を介して、上端よりマニホールド５内からインクが供給されて充填される。チャネル１３の下端は、ノズル１１ａを介して外方（下方）に連通している。開口部２２はチャネル１３の開口部１１０と同様に四角形状であり、ヘッドチップ１と対向する表面側は、該開口部１１０と同程度の開口面積を有している。一方、配線基板２におけるダミーチャネル１４に対応する部位には開口部が形成されていない。ダミーチャネル１４は、上面１ｂ側の開口部を配線基板２により閉蓋され、下端をノズルプレート１１により閉蓋されて、密閉された空気室となっている。
【００３３】
図６は、図２に示すヘッドチップ及び配線基板を概念的に示す分解斜視図である。
【００３４】
図６に示すように、ヘッドチップ１には、配線基板２が接着されている。配線基板２は、ヘッドチップ１の上面の面積よりも大きな面積を有しており、ヘッドチップ１の上面に接着された状態で、チャネル列方向と直交する方向に配置される両端部が該ヘッドチップ１よりもはみ出して、側方（図６中の上下方向）に大きく張り出すようになっている。
【００３５】
配線基板２の材質は、例えばガラス、セラミックス、シリコン、プラスチック等の適宜の材料を用いることができるが、熱伝導率が高いシリコン製とすることが好ましい。配線基板２は、開口部２２をブラスト加工することによって高精度に形成することができる。
【００３６】
図７は、図２に示すヘッドチップ及び配線基板を示す断面図である。
【００３７】
図７に示すように、各チャネル１３及び各ダミーチャネル１４の内部に臨む隔壁１２の表面には、該隔壁１２をせん断変形させるための電圧印加用の駆動電極１６が、スパッタ、蒸着又は無電解めっき等によって密着形成されている。そして、ヘッドチップ１の上面１ｂには、各チャネル１３及びダミーチャネル１４の開口部１１０を介して駆動電極１６と導通する接続電極１７が、スパッタ、蒸着又は無電解めっき等によって、各チャネル１３及びダミーチャネル１４毎に個別に形成されている。また、ヘッドチップ１には、必要に応じて絶縁被膜（ポリパラキシレン等）が形成されている。
【００３８】
接続電極１７のパターンはチャネル１３とダミーチャネル１４とで異なっている。本実施形態では、チャネル１３の接続電極１７は、チャネル１３の開口部１１０の一辺から引き出されるように形成されているのに対し、ダミーチャネル１４の接続電極１７は、ダミーチャネル１４の開口部１１０の周囲を取り囲むように形成されている。各接続電極１７は、ヘッドチップ１の上面１ｂに対して同時に形成されており、同一の厚みを有するものとなっている。
【００３９】
配線基板２のヘッドチップ１との接合面となる表面には、ヘッドチップ１の上面に配列されている各接続電極１７に１対１に対応するように、配線電極１８がスパッタ、蒸着又は無電解めっき等によって形成されている。各配線電極１８の一端は、ヘッドチップ１と配線基板２とが接着された状態で、それぞれ対応するチャネル１３及びダミーチャネル１４の開口部１１０の近傍に達していると共に、他端は、図６に示すように、ヘッドチップ１の側方へ張り出した配線基板２の各端部に向けてそれぞれ延びている。なお、配線基板２には、必要に応じてショート防止の絶縁被膜（ＳｉＯ２等）が形成されている。
【００４０】
配線電極１８の他端はチャネル列毎に両端部に振り分けられている。すなわち、一方のチャネル列に対応する配線電極１８の他端は図６中上側の側縁部に向けて延びており、他方のチャネル列に対応する配線電極１８の他端は図６中下側の側縁部に向けて延びている。
【００４１】
配線基板２の各側縁部には、それぞれフレキシブル基板３、３の配線パターンが接合され、駆動回路基板との間を電気的に接続している。これにより、駆動回路基板からの駆動信号（駆動電圧）が、フレキシブル基板３、３、配線基板２の配線電極１８、ヘッドチップ１の接続電極を介して、各チャネル１３及びダミーチャネル１４内の駆動電極に印加され、隔壁１２がせん断変形するようになっている。
【００４２】
図７に示すように、ヘッドチップ１と配線基板２とは、接着剤１９を介して接合されている。接着剤塗布後にヘッドチップ１と配線基板２とを位置決めして貼り合せることによって、ヘッドチップ１の各接続電極１７と配線基板２の各配線電極１８とが１対１に対応して電気的に接続される。このとき使用される接着剤１９は導電性接着剤であり、接着剤中には導電性粒子が分散されている。
【００４３】
なお、駆動電極１６の表面にパリレン膜等の保護膜を被覆形成する場合は、このようにヘッドチップ１と配線基板２とを接合した後、ノズルプレートを接合する前に施工することができる。保護膜を形成する必要がない場合は、ノズルプレートを接合後のヘッドチップ１に、配線基板２を接合するようにしてもよい。
【００４４】
ダミーチャネル１４の接続電極１７は、開口部１１０を取り囲むように形成されているのに対し、配線電極１８は、この接続電極１７の一部と重なり合うだけであるため、接続電極１７の周囲の大部分は配線電極１８と重なり合っておらず、配線基板２の表面に対面している。
【００４５】
ヘッドチップ１と配線基板２とを接合した状態では、両者間に僅かに間隙が形成されている。この間隙は、ヘッドチップ１の上面１ｂに形成されている接続電極１７と、配線基板２に形成されている配線電極１８の一端とが重なり合うことによって、ヘッドチップ１の上面１ｂと配線基板２の表面との間に形成されるものである。このため、間隙の寸法は、接続電極１７の厚みと配線電極１８の厚みとを足し合わせた寸法に相当する。
【００４６】
接着剤１９はこの間隙に十分な量で存在している。ヘッドチップ１と配線基板２とが貼り合された後で加圧前の接着剤１９は、この間隙内を毛細管力によって流動し、その一部が配線基板２の表面を伝ってダミーチャネル１４の開口部１１０に至り、該ダミーチャネル１４内にも流れ込む。その結果、ダミーチャネル１４の開口部１１０には、接着剤１９による接着剤フィレットが形成されている。このダミーチャネル１４の開口部１１０の周縁に形成される接着剤フィレットは、ダミーチャネル１４の開口部１１０を閉塞してしまうことなく、その開口部１１０の四隅にそれぞれ独立して存在している。
【００４７】
接着剤１９には導電性粒子が含有されている。導電性粒子としては、ＡｕやＮｉ等の金属粒子そのものの他、合成樹脂粒子の表面にＡｕやＮｉ等の金属膜をメッキしたもの等があり、本発明ではいずれを用いることもできる。なお、粒子径は平均粒子径であり、等体積球相当径によって規定される。
【００４８】
チャネル１３の両壁部をなす隔壁１２がせん断変形することにより、チャネル１３の容積変動（膨張又は収縮）が生じる。チャネル１３の容積変動（膨張又は収縮）により、チャネル１３内のインクに圧力が付与され、このインクがノズル１１ａを介して吐出される。このヘッドチップ１において、インクの吐出量を調整する場合には、チャネル１３の上下方向の長さ（高さ）を調整することにより行う。
【００４９】
なお、ノズルプレート１１をシリコン材料により形成する場合において、シリコン材料は硬質材料であるが、チャネル１３の付近を薄く作成すれば、隔壁１２の駆動による隣接するチャネル１３へのクロストークを防止することができる。
【００５０】
隔壁１２，１２は、一つのチャネル１３あたり２枚（一対）が設けられており、チャネル１３それぞれの両壁部をなしている。一のチャネル１３の壁部を構成する隔壁１２と、隣接するチャネル１３の壁部を構成する隔壁１２との間には空隙があり、この空隙がダミーチャネル１４である。したがって、チャネル１３は、独立して駆動（膨張又は収縮）することができる。
【００５１】
ダミーチャネル１４は、少なくともチャネル１３を挟んで両隣に位置し、隣接するチャネル１３の容積変動に伴って容積変動を生ずる。本実施形態においては、チャネル１３とダミーチャネル１４とが１つずつ交互に配列されることにより、ダミーチャネル１４がチャネル１３を挟んで両隣に位置する状態になっている。
【００５２】
なお、このインクジェットヘッド１００は、ダミーチャネル１４を設けずに、隣接するチャネル１３，１３が１枚の隔壁１２を共用するように構成してもよい。この場合には、チャネル１３が独立して駆動（膨張又は収縮）することはできないので、いわゆる３サイクル駆動を行う。
【００５３】
このインクジェットヘッド１００のヘッドチップ１は、２列以上のチャネル列を有している。チャネル列の数は、２列に限定されず、３列以上としてもよい。チャネル列の数を増やすことにより、インクチャネル１３間のピッチを狭めることなく、記録媒体上に形成するドット間のピッチを狭めることができる。
【００５４】
ヘッドチップ１の上面１ｂに配設された配線基板２は、図２、図３及び図５に示すように、チャネル列方向に長尺な略矩形板状に形成されている。配線基板２のチャネル列方向及び側方方向の幅は、ヘッドチップ１に対してそれぞれ大きく形成されている。配線基板２は、複数の開口部２２を有し、これら開口部２２を介してチャネル１３の上端をマニホールド５内（共通インク室）に連通させている。開口部２２は、チャネル１３に対応して、チャネル列方向に配列されて形成されている。配線基板２の外縁部には、マニホールド５の下端部が接着により取り付け固定されている。
【００５５】
なお、ダミーチャネル１４を設けない場合には、配線基板２の開口部２２は、全てのチャネル１３をマニホールド５側に臨ませるように形成された１個の開口部としてよい。
【００５６】
配線基板２の両側縁部には、駆動回路基板４、４に接続された２枚のフレキシブル基板３、３が接続されている。フレキシブル基板３は、駆動回路基板４と電気的に接続される複数の配線を有し、この配線と配線基板２の配線パターンとがそれぞれ電気的に接続されている。これにより、駆動回路基板４からの信号が、フレキシブル基板３を介してヘッドチップ１のチャネル１３内の駆動電極１６に印加される。
【００５７】
このインクジェットヘッド１００においては、熱伝導部材１５と、配線基板２及びノズルプレート１１の少なくとも一方は、チャネル列の全長に亘ってヘッドチップ１に接着剤等を介して接合されている。
【００５８】
そして、これら配線基板２（絶縁被膜及び配線パターンを含まない基板材料）及びノズルプレート１１の少なくとも一方と、熱伝導部材１５は、ヘッドチップ１の隔壁１２（駆動電極１６及び絶縁被膜を含まない）よりも熱伝導率が高い。熱伝導部材１５、配線基板２及びノズルプレート１１の全てがヘッドチップ１の隔壁１２よりも熱伝導率が高いことがより好ましい。なお、本明細書において、「熱伝導率が高い」とは、「熱伝導率が高い材料により形成されている」ことを意味する。
【００５９】
例えば、ヘッドチップ１の隔壁１２を構成する圧電材料であるＰＺＴの熱伝導率は、約１〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕（室温において。以下同じ。）である。これに対し、熱伝導部材１５の材料として好ましい窒化アルミニウム（ＡｌＮ）の熱伝導率は、約１５０〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕である。その他の材料として、炭化珪素（ＳｉＣ）の熱伝導率は、約２００〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕、アルミニウム（Ａｌ）の熱伝導率は、２３６〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕、シリコン（Ｓｉ）の熱伝導率は、１６８〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕である。シリコン（Ｓｉ）は、ノズルプレート１１の材料としても好ましい。
【００６０】
この実施形態において配線基板２の基板材料として好ましいシリコン（Ｓｉ）の熱伝導率は１６８〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕であり、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）の熱伝導率は約１５０〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕であるので、配線基板２の基板材料の熱伝導率は、ヘッドチップ１の隔壁１２の熱伝導率よりも高い。配線基板２の基板材料は、炭化珪素（ＳｉＣ）、アルミニウム（Ａｌ）等、その他の熱伝導率の高い材料を用いることも好ましい。
【００６１】
図８は、図２に示したヘッドチップにおける温度分布を示すグラフである。
【００６２】
図８に示すように、熱伝導部材１５と、配線基板２及びノズルプレート１１の少なくとも一方の熱伝導率（Ｂ）が、ヘッドチップ１の隔壁１２の熱伝導率（Ａ）よりも高い（Ｂ＞Ａ）ことにより、ヘッドチップ１のチャネル列方向についての温度分布が平坦化され、チャネル１３ごとのインク温度が均一化される。
【００６３】
熱伝導部材１５を用いず、また、配線基板２及びノズルプレート１１の熱伝導率がヘッドチップ１の隔壁１２の熱伝導率以下である場合（Ｂ≦Ａ）には、ヘッドチップ１において発する熱は、ヘッドチップ１のチャネル列方向中央部分に滞留し、中央部分が端部分より高温となる。これは、ヘッドチップ１の熱は、チャネル列方向の両端部分においてはヘッドチップ１に接合されているヘッド支持部材（キャリッジ）等に伝導して外部に逃げるが、中央部分においては直接の逃げ場がなく、ヘッドチップ１内を両端まで伝導してヘッド支持部材等に伝導するしか放熱の経路がないからである。あるいは、ヘッドチップ１の両端側から駆動回路等の熱が回り込んだ場合や、ヘッドチップ１の取付け部分からの熱の流入がある場合には、端部分が中央部分より高温となる。
【００６４】
これに対し、ヘッドチップ１の隔壁１２よりも熱伝導率が高い熱伝導部材１５と、配線基板２及びノズルプレート１１の少なくとも一方をヘッドチップ１に接合させた場合には、ヘッドチップ１の隔壁１２の熱は、チャネル列方向の全長に亘って熱伝導部材１５と配線基板２及びノズルプレート１１の少なくとも一方に伝導して、外部に逃げる。熱伝導部材１５と配線基板２及びノズルプレート１１の少なくとも一方は、熱伝導率が高く、温度分布が生じ難いため、これらに接しているヘッドチップ１内の温度分布も平坦化され、チャネル１３ごとのインク温度が均一化される。
【００６５】
熱伝導部材１５及びノズルプレート１１をヘッドチップ１に接合させた場合には、ノズルプレート１１は、チャネル１３の一部をなし、チャネル１３内のインクに接触するので、ノズルプレート１１の熱伝導率を高くすることにより、チャネル１３ごとのインク温度の均一化を良好に達成することができる。
【００６６】
また、熱伝導部材１５及び配線基板２をヘッドチップ１に接合させた場合には、配線基板２の熱伝導率を高くすることにより、この配線基板２上の配線抵抗に起因する発熱による温度分布をも平坦化できるという効果がある。
【００６７】
また、本実施形態においては、アクチュエータ部材１ａの隔壁１２が側方に開放された櫛歯状に形成され、チャネル１３は隔壁１２の先端面及び熱伝導部材１５の側面が接合されて形成されており、チャネル１３内のインクと熱伝導部材１５とが接触するので、ヘッドチップ１内の温度分布を確実に平坦化し、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。
【００６８】
なお、このインクジェットヘッド１００においては、熱伝導部材１５、ノズルプレート１１及び配線基板２の全てがヘッドチップ１に接合され、熱伝導率が高いことが望ましい。ただし、熱伝導部材１５及びノズルプレート１１の熱伝導率の高くし、ヘッドチップ１に接合させることにより、チャネル１３ごとのインク温度の均一化が達成できる場合には、配線基板２をヘッドチップ１に接合させなくともよい。また、熱伝導部材１５及び配線基板２の熱伝導率を高くし、ヘッドチップ１に接合させることにより、チャネル１３ごとのインク温度の均一化が達成できる場合には、ノズルプレート１１の熱伝導率を高くしなくともよい。
【００６９】
上述したように、このインクジェットヘッド１００においては、チャネル１３ごとのインク温度が均一化されることにより、良好な画像記録を行うことができる。
【００７０】
〔他の実施形態〕
図９は、本発明に係るインクジェットヘッドの他の実施形態におけるヘッドチップを模式的に示す平面図である。
【００７１】
本発明のインクジェットヘッド１００のヘッドチップ１は、図９に示すように、３個以上のアクチュエータ部材１ａから構成し、３列以上のチャネル列を有するものとしてもよい。図９に示す実施形態においては、ヘッドチップ１は、４個のアクチュエータ部材１ａ、１ａ、１ａ、１ａから構成され、４列のチャネル列を有している。一側側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａは、アクチュエータ部材１ａ同士が接合され、これらの一方のアクチュエータ部材１ａの櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面及び他のアクチュエータ部材１ａの平坦な側面が接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４を構成している。他側側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａも、アクチュエータ部材１ａ同士が接合され、これらの一方のアクチュエータ部材１ａの櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面及び他のアクチュエータ部材１ａの平坦な側面が接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４を構成している。一側側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａ及び他側側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａに挟まれて熱伝導部材１５が配置されている。中央側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａの櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面及び熱伝導部材１５の側面（両面）が接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４が構成されている。この実施形態においても、熱伝導部材１５は、２列のチャネル列間に配置されている。
【００７２】
このインクジェットヘッド１００において、チャネル列を３列以上とした場合には、チャネル列ごとのインク温度を均一化することができる。つまり、チャネル列を３列以上とした場合には、熱伝導部材１５を用いず、また、配線基板２及びノズルプレート１１の熱伝導率がヘッドチップ１の隔壁１２の熱伝導率以下である場合には、中央側のチャネル列に、ヘッドチップ１において発する熱が滞留し易いが、これを均一化することができる。チャネル列ごとのインク温度が均一化されることにより、チャネル１３ごとのインク温度をも均一化することができる。
【００７３】
また、アクチュエータ部材１ａ、１ａ、１ａ、１ａは、櫛歯状の隔壁１２が形成された側を、熱伝導部材１５の側に向けている。隔壁１２が形成された側が熱伝導部材１５側に向いていることにより、チャネル１３内のインクと熱伝導部材１５との距離が近くなるので、ヘッドチップ１内の温度分布を平坦化し、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。
【００７４】
このインクジェットヘッド１００においては、アクチュエータ部材１ａの数に対して熱伝導部材１５の枚数が少ないが、熱伝導部材１５の熱伝導率を高くすることにより、ヘッドチップ１内の温度分布を平坦化することができる。また、熱伝導部材１５の枚数が少ないことにより、ヘッドチップ１回りの装置構成を小型化することができる。
【００７５】
なお、このインクジェットヘッド１００のヘッドチップ１は、５個以上のアクチュエータ部材１ａから構成し、チャネル列を５列以上有するものとしてもよい。
【００７６】
図１０は、本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の実施形態におけるヘッドチップを模式的に示す平面図である。
【００７７】
本発明のインクジェットヘッド１００のヘッドチップ１には、図１０に示すように、熱伝導部材１５を複数設けてもよい。図１０に示す実施形態においては、ヘッドチップ１は、４個のアクチュエータ部材１ａ、１ａ、１ａ、１ａから構成され、３枚の熱伝導部材１５、１５、１５が配置されている。一側側のアクチュエータ部材１ａは、櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面が一側側の熱伝導部材１５の側面に接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４を構成している。他側側のアクチュエータ部材１ａも、櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面が他側側の熱伝導部材１５の側面に接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４を構成している。一側側の熱伝導部材１５及び他側側の熱伝導部材１５に挟まれて、中央側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａ及び中央側の熱伝導部材１５が配置されている。中央側の熱伝導部材１５は、中央側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａに挟まれて配置されている。中央側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａの櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面及び中央側の熱伝導部材１５の側面（両面）が接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４が構成されている。この実施形態においても、熱伝導部材１５は、２列のチャネル列間に配置されている。
【００７８】
本実施形態においては、全てのアクチュエータ部材１ａが熱伝導部材１５に接合されているため、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。また、本実施形態においても、アクチュエータ部材１ａ、１ａ、１ａ、１ａは、櫛歯状の隔壁１２が形成された側を、熱伝導部材１５の側に向けている。隔壁１２が形成された側が熱伝導部材１５側に向いていることにより、チャネル１３内のインクと熱伝導部材１５とが接触するので、ヘッドチップ１内の温度分布を確実に平坦化し、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。
【００７９】
このインクジェットヘッド１００においては、熱伝導部材１５の枚数が多いことにより、ヘッドチップ１内の温度分布を確実に平坦化することができる。
【００８０】
図１１は、本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の実施形態におけるヘッドチップを模式的に示す平面図である。
【００８１】
本発明のインクジェットヘッド１００は、図１１に示すように、熱伝導部材１５を複数備える場合において、熱伝導部材１５を、ヘッドチップ１の外側の側面部に沿う位置に配置して構成してもよい。図１１に示す実施形態においては、ヘッドチップ１は、２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａから構成され、３枚の熱伝導部材１５、１５、１５が配置されている。一側側のアクチュエータ部材１ａは、櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面が中央側の熱伝導部材１５の一側面に接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４を構成している。他側側のアクチュエータ部材１ａも、櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面が中央側の熱伝導部材１５の他側面に接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４を構成している。一側側のアクチュエータ部材１ａの平坦な側面部には、一側側の熱伝導部材１５の側面が接合されている。他側側のアクチュエータ部材１ａの平坦な側面部には、他側側の熱伝導部材１５の側面が接合されている。この実施形態においては、熱伝導部材１５の少なくとも１枚は、２列のチャネル列間に配置されている。
【００８２】
本実施形態においても、全てのアクチュエータ部材１ａが熱伝導部材１５に接合されているため、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。また、本実施形態においても、アクチュエータ部材１ａ、１ａは、櫛歯状の隔壁１２が形成された側を、熱伝導部材１５の側に向けている。隔壁１２が形成された側が熱伝導部材１５側に向いていることにより、チャネル１３内のインクと熱伝導部材１５とが接触するので、ヘッドチップ１内の温度分布を確実に平坦化し、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。
【００８３】
このインクジェットヘッド１００においては、熱伝導部材１５の枚数が多いことにより、ヘッドチップ１内の温度分布を確実に平坦化することができる。
【００８４】
図１２は、本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の実施形態におけるヘッドチップを模式的に示す平面図である。
【００８５】
本発明のインクジェットヘッド１００のヘッドチップ１は、図１２に示すように、４個のアクチュエータ部材１ａ、１ａ、１ａ、１ａから構成し、３枚の熱伝導部材１５、１５、１５を配置する場合において、熱伝導部材１５、１５、１５を中央部及び両側部に配置してもよい。一側側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａは、アクチュエータ部材１ａ同士が接合され、これらの一方のアクチュエータ部材１ａの櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面及び他のアクチュエータ部材１ａの平坦な側面が接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４を構成している。これらアクチュエータ部材１ａ、１の櫛歯状に形成された隔壁１２は、一側方向に向いている。これらアクチュエータ部材１ａ、１ａの一側側には、熱伝導部材１５が配置され、一側側のアクチュエータ部材１ａの櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面に接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４が構成されている。他側側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１も、アクチュエータ部材１ａ同士が接合され、これらの一方のアクチュエータ部材１ａの櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面及び他のアクチュエータ部材１ａの平坦な側面が接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４を構成している。これらアクチュエータ部材１ａ、１ａの櫛歯状に形成された隔壁１２は、他側方向に向いている。これらアクチュエータ部材１ａ、１ａの他側側には、熱伝導部材１５が配置され、他側側のアクチュエータ部材１ａの櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面に接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４が構成されている。これら一側側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａ及び他側側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａに挟まれて、中央部の熱伝導部材１５が配置されている。この実施形態においても、熱伝導部材１５の少なくとも１枚は、２列のチャネル列間に配置されている。
【００８６】
本実施形態においても、全てのアクチュエータ部材１ａが熱伝導部材１５に接合されているため、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。また、本実施形態においても、アクチュエータ部材１ａ、１ａ、１ａ、１ａは、櫛歯状の隔壁１２が形成された側を、熱伝導部材１５の側に向けている。隔壁１２が形成された側が熱伝導部材１５側に向いていることにより、チャネル１３内のインクと熱伝導部材１５との距離が近くなるので、ヘッドチップ１内の温度分布を平坦化し、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。
【００８７】
このインクジェットヘッド１００においては、熱伝導部材１５の枚数が多いことにより、ヘッドチップ１内の温度分布を確実に平坦化することができる。
【００８８】
図１３は、本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の実施形態におけるヘッドチップを模式的に示す平面図である。
【００８９】
本発明のインクジェットヘッド１００のヘッドチップ１は、図１３に示すように、３個のアクチュエータ部材１ａ、１ａ、１ａから構成し、３枚の熱伝導部材１５、１５、１５を配置してもよい。一側側の２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａは、それぞれの平坦な側面部同士を接合されている。これらの一方のアクチュエータ部材１ａの櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面が、一側側の熱伝導部材１５の側面が接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４が構成されている。これらの他方のアクチュエータ部材１ａの櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面が、中央の熱伝導部材１５の一側面に接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４が構成されている。中央の熱伝導部材１５の他側面には、他側側のアクチュエータ部材１ａの平坦な側面部が接合されている。この他側側のアクチュエータ部材１ａの櫛歯状に形成された隔壁１２の先端面が、他側側の熱伝導部材１５の側面に接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４が構成されている。この実施形態においても、熱伝導部材１５の少なくとも１枚は、２列のチャネル列間に配置されている。
【００９０】
本実施形態においても、全てのアクチュエータ部材１ａが熱伝導部材１５に接合されているため、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。また、本実施形態においても、アクチュエータ部材１ａ、１ａ、１ａは、櫛歯状の隔壁１２が形成された側を、熱伝導部材１５の側に向けている。隔壁１２が形成された側が熱伝導部材１５側に向いていることにより、チャネル１３内のインクと熱伝導部材１５とが接触するので、ヘッドチップ１内の温度分布を確実に平坦化し、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。
【００９１】
このインクジェットヘッド１００においては、熱伝導部材１５の枚数が多いことにより、ヘッドチップ１内の温度分布を確実に平坦化することができる。
【００９２】
また、本発明に係るインクジェットヘッド１００は、共通インク室５１内のインクを加熱する図示しないインクヒータを備えて構成してもよい。このインクヒータは、例えば通電されることにより発熱する発熱体であって、共通インク室５１内のインクを所定の温度まで加熱する機能を有する。
【００９３】
このようなインクヒータにより加熱されたインクを使用する場合には、ヘッドチップ１内に温度分布が生じ易いが、本発明のインクジェットヘッド１００においては、熱伝導部材１５の少なくとも１つと、配線基板２及びノズルプレート１１の少なくとも一方がヘッドチップ１の隔壁１２よりも熱伝導率が高いことにより、ヘッドチップ１のチャネル列方向についての温度分布が平坦化され、チャネル１３ごとのインク温度が均一化される。
【００９４】
さらに、本発明に係るインクジェットヘッド１００においては、ヘッドチップ１の周囲を覆う筐体６を、ヘッドチップ１の隔壁１２よりも熱伝導率を高くすることが好ましい。筐体６をなす材料としては、アルミニウムやステンレス等、熱伝導率が高く加工が容易な金属材料が好ましい。筐体６をこのような材料により形成することにより、ヘッドチップ１の隔壁１２からの発熱を外部に良好に放熱し、ヘッドチップ１内の温度分布を平坦化することができる。
【００９５】
図１４は、本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の実施形態におけるヘッドチップを模式的に示す平面図である。
【００９６】
本発明のインクジェットヘッド１００のヘッドチップ１を構成するアクチュエータ部材１ａは、図１４に示すように、圧電材料からなる複数の隔壁１２のみからなるものとし、これら隔壁１２が平板状の熱伝導部材１５に並べて接合されたものとしてもよい。この実施形態においては、隔壁１２は、２枚が一対となって基端部が繋がったコ字状に形成されており、基端部が熱伝導部材１５に接合されている。複数の隔壁１２が並んで熱伝導部材１５に接合されることにより、櫛歯形状を構成している。
【００９７】
一対の隔壁１２，１２は、チャネル１３の両壁部をなしている。一のチャネル１３の壁部を構成する隔壁１２と、隣接するチャネル１３の壁部を構成する隔壁１２との間には空隙があり、この空隙がダミーチャネル１４である。
【００９８】
このようなアクチュエータ部材１ａは、前述した各実施形態においても用いることができる。
【００９９】
この実施形態においては、ヘッドチップ１は、２個のアクチュエータ部材１ａ、１ａから構成され、３枚の熱伝導部材１５、１５、１５が配置されている。一側側のアクチュエータ部材１ａをなす複数の隔壁１２は、一側側の熱伝導部材１５の側面に接合されている。他側側のアクチュエータ部材１ａをなす複数の隔壁１２は、他側側の熱伝導部材１５の側面に接合されている。一側側のアクチュエータ部材１ａは、櫛歯形状をなす複数の隔壁１２の先端面が中央側の熱伝導部材１５の一側面に接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４を構成している。他側側のアクチュエータ部材１ａも、櫛歯形状をなす複数の隔壁１２の先端面が中央側の熱伝導部材１５の他側面に接合されて、チャネル１３及びダミーチャネル１４を構成している。この実施形態においても、熱伝導部材１５の少なくとも１枚は、２列のチャネル列間に配置されている。
【０１００】
本実施形態においても、全てのアクチュエータ部材１ａが熱伝導部材１５に接合されているため、ヘッドチップ１内の温度分布を確実に平坦化し、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。また、本実施形態においては、隔壁１２の基端部が熱伝導部材１５に接合されているので、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。さらに、本実施形態においても、アクチュエータ部材１ａ、１ａは、隔壁１２が構成する櫛歯形状の先端側を、熱伝導部材１５の側に向けている。隔壁１２が構成する櫛歯形状の先端側が熱伝導部材１５側に向いていることにより、チャネル１３内のインクと熱伝導部材１５とが接触するので、チャネル１３ごとのインク温度を均一化することができる。
【０１０１】
〔インクジェット記録装置の構成〕
図１５は、本発明に係るインクジェット記録装置の構成を示す模式図である。
【０１０２】
本発明に係るインクジェット記録装置２００は、図１５に示すように、前述したインクジェットヘッド１００と、駆動回路基板４を介してインクジェットヘッド１００の駆動を制御する制御手段２０４とを備えて構成される。このインクジェット記録装置においては、ヘッドチップ１内の温度分布が平坦化されることにより、チャネル１３ごとのインク温度が均一化され、良好な画像記録を行うことができる。
【０１０３】
このインクジェット記録装置において、共通インク室５１に連設されたインク供給管５ａの上端側には、接続部７ａが取付けられる。インク供給管５ａは、共通インク室５１内にインクを供給する流路となる。インク供給管５ａは、配線基板２から遠い側（上側）において、共通インク室５１に連通されている。
【０１０４】
接続部７ａは、インクジェット記録装置２００側の接続部２０６ａに着脱可能に接続される。インクジェット記録装置２００側の接続部２０６ａは、インク移送管２０２に連通している。これにより、インクジェットヘッド１００は、インクジェット記録装置２００からのインクの移送が可能となる。
【０１０５】
また、共通インク室５１に連設されたインク回収管５ｂの上端側には、接続部７ｂが取付けられる。インク回収管５ｂは、共通インク室５１内からインクを回収する流路となる。インク回収管５ｂは、配線基板２から遠い側（上側）において、共通インク室５１に連通されている。
【０１０６】
接続部７ｂは、インクジェット記録装置２００側の接続部２０６ｂに着脱可能に接続される。インクジェット記録装置２００側の接続部２０６ｂは、インク返送管２０３に連通している。これにより、インクジェットヘッド１００は、インクジェット記録装置２００へのインクの返送が可能となる。
【０１０７】
このようにして共通インク室５１は、インク移送管２０２及びインク返送管２０３によって、インクを貯蔵するインクタンク２０１に連通される。インク移送管２０２の途中には、インクジェット記録装置２００の制御部２０４によって駆動制御される移送ポンプ２０５が設けられている。この移送ポンプ２０５が駆動することにより、インクタンク２０１内のインクが、インク移送管２０２を介してインクジェットヘッド１００に移送される。また、移送ポンプ２０５が駆動することにより、インクジェットヘッド１００内のインクが、インク返送管２０３を介してインクタンク２０１に戻される。このインクジェット記録装置２００において、移送ポンプ２０５は、インクタンク２０１内のインクのインクジェットヘッド１００への移送及び共通インク室５１に移送されたインクの回収を行っている。
【０１０８】
インクタンク２０１は、格別限定されないが、タンクの底面に到達しない仕切り板２０１ａによって、インク移送室２０１ｂとインク返送室２０１ｃとに仕切ることが好ましい。この場合、インク移送室２０１ｂ内にインク移送管２０２の一端部を配置し、また、インク返送室２０１ｃ内にインク返送管２０３の一端部を配置する。仕切り板２０１ａは、インク返送室２０１ｃに返送されてきたインクに含まれる気泡が再度インク移送管２０２に流入しないように、インクを十分に脱気するために設けられる。気泡自体は浮力が高いので、気泡が仕切り板２０１ａの下側を通過してインク移送室２０１ｂに流入することが制限される。このような態様は、インクを循環使用する場合に好ましい態様である。
【０１０９】
図１６は、本発明に係るインクジェット記録装置の要部の構成を示す斜視図である。
【０１１０】
また、本発明に係るインクジェット記録装置は、図１６に示すように、筐体６を支持するヘッド支持部材２０６を備えている。ヘッド支持部材２０６は、ヘッドチップ１の隔壁１２よりも熱伝導率を高くすることが好ましい。ヘッド支持部材２０６をなす材料としては、アルミニウムやステンレス等、熱伝導率が高く加工が容易な金属材料が好ましい。ヘッド支持部材２０６をこのような材料により形成することにより、ヘッドチップ１の隔壁１２からの発熱を外部に良好に放熱し、ヘッドチップ１内の温度分布を平坦化することができ、チャネル１３ごとのインク温度を均一化し、良好な画像記録を行うことができる。
【０１１１】
このインクジェット記録装置２００は、図示しない搬送手段によって一定方向（副走査方向）に搬送される記録媒体上に、インクジェットヘッド１００からインクを吐出してドットを形成して画像を記録する。いわゆるワンパス方式のインクジェット記録装置においては、インクジェットヘッド１００は固定して配置され、記録媒体が搬送される過程で、ノズル１１ａから記録媒体に向けてインクを吐出し画像を記録する。また、いわゆるスキャン方式のインクジェット記録装置においては、インクジェットヘッド１は、ヘッド支持部材（キャリッジ）２０６に搭載され、このヘッド支持部材２０６が主走査方向に往復移動する過程で、ノズル１１ａから記録媒体に向けてインクを吐出し画像を記録する。
【０１１２】
なお、図１５及び図１６では、１つのインクジェットヘッド１のみを示しているが、一般にインクジェット記録装置２００には、例えばイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）等の各色インク用の複数のインクジェットヘッド１が搭載される。
【０１１３】
本発明は、前述した各実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良並びに設計の変更を行ってもよい。上記各実施形態においては、ヘッドチップ１として、圧電材料からなる隔壁１２とチャネル１３とが交互に並設されており、隔壁１２の駆動電極１６に電圧を印加することにより隔壁１２をせん断変形させてチャネル１３内のインクをノズル１１ａから吐出させるものを例示したが、ヘッドチップ１の構成はこれに限られるものではない。
【０１１４】
すなわち、所定方向に沿って並設され、かつ、並び方向に対する直交方向の上方及び下方に入口及び出口がそれぞれ設けられたチャネル１３を有し、チャネル１３に対して圧電素子の収縮により圧力を付与して、チャネル１３の出口に連通するノズル１１ａからインクを吐出させる構成のものであれば如何なるヘッドチップであってもよい。
【０１１５】
また、上記各実施形態にあっては、インク吐出方向が上下方向と略平行となるように構成されたインクジェットヘッド１００を示したが、インク吐出方向は如何なる方向であっても良く、例えば、傾斜方向や水平方向となるように構成してもよい。
【０１１６】
さらに、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。加えて、今回開示された各実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１１７】
１：ヘッドチップ
１ａ：アクチュエータ部材
１１：ノズルプレート
１１ａ：ノズル
１２：隔壁
１３：チャネル
１４：ダミーチャネル
１５：熱伝導部材
２：配線基板
２２：開口部
３：フレキシブル基板
４：駆動回路基板
５：マニホールド
５ａ：インク供給管
５ｂ：インク回収管
５１：共通インク室
５１ａ：開口部
１００：インクジェットヘッド
２００：インクジェット記録装置
２０１：インクタンク
２０２：インク移送管
２０３：インク返送管
２０４：制御部
２０５：移送ポンプ
２０６：ヘッド支持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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