(57)【要約】【課題】信頼性の低下が抑制された液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。【解決手段】一の方向における両側の端面の位置が揃えられた複数の基板（ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１）が積層されて成る構造体（流路部材１８）を備え、複数の基板（ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１）のうち少なくとも２つの基板は、一の方向において異なる線膨張率を有し、複数の基板（ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１）のうち前記一の方向における線膨張率が最も大きい基板よりも剛性が高い保持部材（３６）が、構造体（流路部材１８）の一の方向における両側の端面に固定されていることを特徴とする液体噴射ヘッド（記録ヘッド３）。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一の方向における両側の端面の位置が揃えられた複数の基板が積層された構造体を備え、
前記複数の基板のうち少なくとも２つの基板は、前記一の方向において異なる線膨張率を有し、
前記複数の基板のうち前記一の方向における線膨張率が最も大きい基板よりも剛性が高い保持部材が、前記構造体の前記一の方向における両側の端面に固定されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記保持部材は、凹部を備え、
前記構造体の前記端面が、前記凹部内に収容されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記構造体の前記端面が、前記保持部材に当接されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記構造体と前記保持部材との間に充填材が設けられていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記構造体は、前記複数の基板のうち、シリコンを主成分とする基板と、金属を主成分とする基板と、を備えたことを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の基板が積層されて成る構造体を有する液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドは、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置に使用されているが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置、バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
上記の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルが形成されたノズルプレート、圧電素子等のアクチュエーターが積層される振動板、内部に液体が流れる流路が形成された流路部材等の複数の基板が積層されて成る。これらの基板の材質は、製造（加工）のし易さ、基板の特性、液体噴射ヘッドの目的及び用途等の様々な要因を勘案して、金属やシリコン等の種々の材料の中から最適な材料が選択される。このため、液体噴射ヘッドを構成する基板を全て同じ材料にすることは現実的ではなく、液体噴射ヘッドを構成する基板間に、材質の違いによる熱膨張率（線膨張率）の差が生じていた。その結果、基板間の熱膨張率の差に起因する不具合（例えば、液体噴射ヘッドの反り等）が発生する虞があった。そして、液体噴射ヘッドの反りを抑制するべく、基板間（ヘッドチップと保持部材との間）に、両者を接着する接着領域と、両者を接着しない非接着領域とをノズル配列方向に沿って交互に配置したインクジェットヘッドが開示されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開２０１２／１４４５９８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記した特許文献１の構成においては、保持部材のノズル配列方向における伸び（膨張）が許容されているため、温度が上昇した際に、この伸びによりヘッドチップと保持部材との間に応力が生じていた。そして、この応力がヘッドチップと保持部材との間の接着領域に集中し、当該領域において接着剤が剥がれる虞があった。その結果、液体噴射ヘッドの信頼性が低下する虞があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、低コストな対応にて信頼性の低下が抑制された液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明における液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、一の方向における両側の端面の位置が揃えられた複数の基板が積層された構造体を備え、
前記複数の基板のうち少なくとも２つの基板は、前記一の方向において異なる線膨張率を有し、
前記複数の基板のうち前記一の方向における線膨張率が最も大きい基板よりも剛性が高い保持部材が、前記構造体の前記一の方向における両側の端面に固定されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、構造体の温度が上昇したとしても、保持部材により基板が一の方向に伸びることを抑制できる。これにより、基板間に生じる応力を低減することができ、例えば基板間を接着する接着剤が剥がれることを抑制できる。その結果、液体噴射ヘッドの信頼性の低下を抑制できる。
【０００９】
また、上記構成において、前記保持部材は、凹部を備え、
前記構造体の前記端面が、前記凹部内に収容されていることが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、保持部材を構造体に強固に固定することができる。特に、構造体を凹部に嵌め込むように構成すれば、保持部材により基板の積層方向における構造体の熱膨張を抑えることができる。その結果、構造体の温度が上昇した際に、構造体を挟持する方向、すなわち基板の積層方向における内側に力が加わることになり、基板間を接着する接着剤が剥がれることを一層抑制できる。
【００１１】
さらに、上記各構成の何れかにおいて、前記構造体の前記端面が、前記保持部材に当接されていることが望ましい。
【００１２】
この構成によれば、基板が一の方向に伸びることを一層抑制できる。
【００１３】
また、上記各構成の何れかにおいて、前記構造体と前記保持部材との間に充填材が設けられていることが望ましい。
【００１４】
この構成によれば、保持部材を構造体により強固に固定することができる。
【００１５】
さらに、上記各構成の何れかにおいて、前記構造体は、前記複数の基板のうち、シリコンを主成分とする基板と、金属を主成分とする基板とを備えたことが望ましい。
【００１６】
この構成によれば、基板の加工がし易くなり、液体噴射ヘッドの製造が容易になる。
【００１７】
そして、本発明における液体噴射装置は、上記各構成の何れかの液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。
【００１８】
本発明によれば、液体噴射装置の信頼性の低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】プリンターの構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドの構成を説明する斜視図である。
【図３】記録ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図４】第２の実施形態における記録ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図５】第３の実施形態における記録ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図６】第４の実施形態における記録ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図７】第５の実施形態における記録ヘッドの構成を説明する斜視図である。
【図８】第６の実施形態における記録ヘッドの構成を説明する斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例として、液体噴射装置の一種であるインクジェット式プリンター（以下、プリンター）１に搭載されたインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）３を例に挙げて説明する。図１は、プリンター１の斜視図である。
【００２１】
プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対してインク（液体の一種）を噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送する搬送機構６等を備えている。ここで、上記のインクは、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジがプリンターの本体側に配置され、当該インクカートリッジからインク供給チューブを通じて記録ヘッドに供給される構成を採用することもできる。
【００２２】
上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。したがってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー（図示せず）によって検出される。リニアエンコーダーは、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部に送信する。
【００２３】
次に記録ヘッド３について説明する。図２は、記録ヘッド３の斜視図、図３は、記録ヘッド３の要部の断面図である。なお、以下の説明においては、適宜、各部材の積層方向（図２及び図３におけるｚ方向）を上下方向として説明する。本実施形態における記録ヘッド３は、図２及び図３に示すように、流路部材１８（本発明における構造体に相当）の上面にアクチュエーターユニット２２及びフレーム部材１９が取り付けられ、流路部材１８の側面に保持部材３６が取り付けられている。
【００２４】
本実施形態におけるフレーム部材１９は、合成樹脂製又は金属製の箱体状部材である。図２及び図３に示すように、フレーム部材１９の内部には、ノズル列方向（図２におけるｙ方向）に沿って長尺な空間である収容空間２０が形成されている。収容空間２０は、アクチュエーターユニット２２が収容される空間であり、フレーム部材１９を板厚方向（ｚ方向）に貫通した状態に形成されている。また、フレーム部材１９の内部には、インクが流れる共通液体流路２１が形成されている。この共通液体流路２１は、複数の圧力室３０にインクを供給する流路であり、フレーム部材１９の下面から板厚方向（ｚ方向）の途中まで凹んだ状態に形成されている。共通液体流路２１の下端は、後述する供給液室２８に接続され、共通液体流路２１の上端は、フレーム部材１９の上面に開口した液体導入口２５に接続されている。
【００２５】
流路部材１８は、ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１が積層されて成る複合基板である。本実施形態においては、ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１のそれぞれの外径が同じ形状に揃えられている。すなわち、ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１のノズル列方向（ｙ方向）における両端面の位置が揃えられている。また、ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１のノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における両端面の位置が揃えられている。なお、本発明における「位置が揃えられた」とは、設計上の寸法が揃えられていることを意味し、製造公差の範囲内、すなわち、仕様上、許容される範囲内のばらつきを含む意味である。
【００２６】
流路板２７は、下面側（すなわち、ノズルプレート２３側）から順に第１の流路基板２７ａ、第２の流路基板２７ｂ、及び、第３の流路基板２７ｃが重ねられた積層構造を有している。本実施形態における流路板２７（すなわち、第１の流路基板２７ａ、第２の流路基板２７ｂ、及び、第３の流路基板２７ｃの各基板）は、シリコンからなり、例えば、シリコン単結晶基板をエッチング法等で加工することで作製される。すなわち、流路板２７は、シリコンを主成分とする基板である。
【００２７】
流路板２７の内部には、供給液室２８、個別連通路２９、及び、圧力室３０が形成されている。供給液室２８は、共通液体流路２１と連通され、当該共通液体流路２１と共に複数の圧力室３０に共通なインクが貯留される空間である。本実施形態における供給液室２８は、第２の流路基板２７ｂに形成された空間と、第３の流路基板２７ｃに形成された空間とが連通して成る。個別連通路２９は、供給液室２８と圧力室３０とを連通する、圧力室３０毎に個別に形成され空間である。この個別連通路２９は、ノズル列方向（ｙ方向）に沿って複数形成された圧力室３０に対応して、同方向に沿って複数形成されている。また、本実施形態における個別連通路２９は、第２の流路基板２７ｂに形成されている。この個別連通路２９により、圧力室３０と供給液室２８との間を流れるインクに抵抗を付与することができる。
【００２８】
圧力室３０は、流路板２７を板厚方向（ｚ方向）に貫通する状態に形成された、すなわち、第１の流路基板２７ａ、第２の流路基板２７ｂ、及び、第３の流路基板２７ｃに亘って形成された空間である。この圧力室３０は、上面側の開口が振動板３１により封止され、下面側の開口がノズルプレート２３により封止されている。また、圧力室３０は、複数のノズル２４、すなわちノズル列に対応して、ノズル列方向（ｙ方向）に沿って複数形成されている。各圧力室３０は、ノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）に長尺に形成され、長手方向の一側の端部に個別連通路２９が連通すると共に、他側の端部にノズル２４が連通する。
【００２９】
ノズルプレート２３は、流路部材１８の下面に接着剤を用いて接合された金属製の基板である。本実施形態におけるノズルプレート２３は、ニッケル（Ｎｉ）製の基板（すなわち、ニッケルを主成分とする基板）から作製されている。このノズルプレート２３により、供給液室２８となる空間の下面側の開口が封止されている。また、ノズルプレート２３には、複数のノズル２４（すなわち、ノズル列）が、例えば主走査方向に直交する副走査方向（ｙ方向）に沿って直線状（換言すると、列状）に開設されている。ノズル列を構成する複数のノズル２４は、一端側のノズル２４から他端側のノズル２４までドット形成密度に対応したピッチで、副走査方向に沿って等間隔に設けられている。
【００３０】
振動板３１は、流路部材１８の上面に接着剤を用いて接合された金属製の基板である。本実施形態における振動板３１は、ニッケル（Ｎｉ）製の基板（すなわち、ニッケルを主成分とする基板）にエレクトロフォーミング法（電鋳）等を用いて作製され、多層構造を有している。この振動板３１によって、圧力室３０となるべき空間の上部開口が封止されている。換言すると、振動板３１によって、圧力室３０の上面が区画されている。また、図示を省略するが、振動板３１の圧力室３０に対応する領域のうち、圧電素子３２が接合される島状の部分は、比較的板厚が厚い厚膜部となっており、この島状の部分から外れた環状の部分は、比較的板厚が薄い薄膜部となっている。そして、この薄膜部が、弾性変形可能な変形部となっている。なお、振動板３１のうち供給液室２８に対応する部分の一部には、供給液室２８と共通液体流路２１とを連通する開口（図示せず）が設けられている。
【００３１】
このように、本実施形態における流路部材１８は、線膨張率が比較的大きいニッケルからなるノズルプレート２３と、同じくニッケルからなる振動板３１との間に、線膨張率が比較的小さいシリコンからなる流路板２７が挟まれた構造になっている。なお、流路部材１８を構成する各基板、すなわち、ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１は、例えば、以下の寸法に設定される。すなわち、ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１の短手方向（ｘ方向）における寸法は約７ｍｍ〜約１２ｍｍの範囲に、ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１の長手方向（ｙ方向）における寸法は約３３ｍｍ〜約４５ｍｍの範囲に設定されている。また、ノズルプレート２３の厚さ（ｚ方向における寸法）は約４５μｍ〜約７０μｍの範囲に、流路板２７の厚さは約３５０μｍ〜約４５０μｍの範囲に、振動板３１の厚さは約１５μｍ〜約２５μｍの範囲に設定されている。
【００３２】
アクチュエーターユニット２２は、フレーム部材１９に取り付けられるベース部材３４、複数の圧電素子３２からなる圧電素子群、及び、フレキシブル基板３５（配線部材）等を備えている。圧電素子群を構成する圧電素子３２は、ノズル列方向（ｙ方向）に沿って所定の間隔で切り分けられた櫛歯状に形成されている。この圧電素子３２は上下方向（ｚ方向）に伸縮可能な圧電素子であり、自由端部の先端が振動板３１（より詳しくは、島状の部分）に接合されている。なお、圧電素子３２の自由端部とは反対の固定端部は、ベース部材３４に接合されている。また、フレキシブル基板３５は、一端が圧電素子３２に接続され、他端がプリンター１の制御部（図示せず）に接続された可撓性を有する配線基板である。このフレキシブル基板３５を介して、制御部からの駆動信号が圧電素子３２に送信される。そして、この駆動信号が圧電素子３２に供給されると、圧電素子３２は駆動信号に応じて上下方向に伸縮し、圧力室３０内のインクに圧力変動を生じさせる。この圧力変動を利用することで、記録ヘッド３は、圧力室３０に連通したノズル２４からインク滴を噴射させたり、或いは、インクが噴射されない程度にノズル２４におけるメニスカスを微振動させたりする。
【００３３】
保持部材３６は、流路部材１８を構成する基板のうちノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における線膨張率が最も大きい基板（本実施形態においては、ニッケルからなるノズルプレート２３又は振動板３１）よりも剛性が高い平板状の部材である。すなわち、保持部材３６は、ノズルプレート２３又は振動板３１に使用されている電鋳で製作されたニッケルよりもヤング率が大きい材質（例えば、マルテンサイト系ＳＵＳ）からなる。本実施形態における保持部材３６は、流路部材１８の長手方向（ｙ方向）に沿って長尺に形成されており、同方向における寸法が保持部材３６と揃えられている。また、保持部材３６の厚さ（ｚ方向における寸法）は、流路部材１８の厚さとほぼ同じに揃えられている。一方、保持部材３６の短手方向（ｘ方向）における寸法は、流路部材１８の変形を抑制できる程度の寸法であれば良く、例えば、流路部材１８の厚さよりも大きい寸法に設定されている。具体的には、保持部材３６としては、例えば、ｘ方向における寸法が約２ｍｍ〜約４ｍｍの範囲に、ｙ方向における寸法が約３３ｍｍ〜約４５ｍｍの範囲に、ｚ方向における寸法が約０．４ｍｍ〜約０．６ｍｍの範囲に形成された基板が用いられる。そして、本実施形態における保持部材３６は、ノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における流路部材１８の両端面に、例えば接着剤（充填剤）を用いて固定されている。なお、接着剤を用いず、ネジ等の機械的な構成を用いて固定することもできる。
【００３４】
このように、ノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における流路部材１８の両端面に保持部材３６が固定されたので、流路部材１８の温度が上昇したとしても、保持部材３６により流路部材１８を構成する各基板（具体的には、ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１）がノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）に伸びることを抑制できる。すなわち、流路部材１８の温度の上昇に伴って流路部材１８を構成する各基板が伸びようとしても、この伸びが保持部材３６により阻害される。特に、線膨張率が比較的大きいノズルプレート２３及び振動板３１のノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における伸びを抑制できる。これにより、線膨張率が比較的小さく、伸びる量がノズルプレート２３及び振動板３１と比べて小さい流路板２７と、当該ノズルプレート２３又は振動板３１との間に生じる応力を小さくすることができる。その結果、流路板２７とノズルプレート２３との間を接着する接着剤、及び、流路板２７と振動板３１との間を接着する接着剤が剥がれることを抑制できる。従って、記録ヘッド３の信頼性の低下を抑制でき、ひいてはプリンター１の信頼性の低下を抑制できる。また、ノズルプレート２３はニッケルからなり、プレス加工、レーザー加工等を用いて作製できるため、ノズルプレート２３の加工が容易になる。更に、流路板２７はシリコンからなり、エッチング法等を用いて作製できるため、流路板２７の加工が容易になる。その結果、流路部材１８の製造が容易になり、ひいては記録ヘッド３の製造が容易になる。
【００３５】
ところで、保持部材３６の構成としては、上記で例示したものに限られない。例えば、図４乃至図６に例示するような保持部材３６を採用することもできる。具体的には、以下において、各図を参照して説明する。
【００３６】
図４に示す第２の実施形態における保持部材３６においては、流路部材１８の端部（すなわち、端面を含む部分）が収容される凹部３８を備えている。すなわち、本実施形態における保持部材３６は、厚さ（ｚ方向における寸法）が流路部材１８よりも厚く形成され、厚さ方向の中央部分における流路部材１８の端面に対向する面が保持部材３６の短手方向（ｘ方向）の途中まで凹んだ凹部３８を備えている。また、本実施形態における凹部３８は、流路部材１８の上面に対向し、当該上面に平行な第１の面３９と、流路部材１８の端面に対向し、当該端面に平行な第２の面４０と、流路部材１８の下面に対向し、当該下面に平行な第３の面４１と、を備えている。この第２の面４０の高さ（ｚ方向における寸法）は、流路部材１８の厚さと略同じ寸法に揃えられている。そして、保持部材３６は、流路部材１８の端部において、第１の面３９と第３の面４１とで流路部材１８の上下面を挟むように取り付けられている。なお、本実施形態においても、保持部材３６は、ノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における流路部材１８の両端面に固定されている。
【００３７】
ここで、保持部材３６と流路部材１８との固定に関し、例えば、流路部材１８の上面（すなわち、振動板３１の表面）と第１の面３９との間及び流路部材１８の下面（すなわち、ノズルプレート２３の表面）と第３の面４１との間に、接着剤（充填剤）を充填して両者を接着する構成を採用することができる。この場合、流路部材１８の端面に保持部材３６の第２の面４０を当接させることができる。換言すると、流路部材１８の端面が保持部材３６に当接された構成を採用することができる。このようにすれば、流路部材１８の温度の上昇に伴って流路部材１８を構成する各基板がノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）に伸びようとしても、この伸びが保持部材３６により一層阻害される。すなわち、流路部材１８を構成する各基板がノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）に伸びる（膨張する）ことを一層抑制できる。その結果、流路板２７とノズルプレート２３との間を接着する接着剤、及び、流路板２７と振動板３１との間を接着する接着剤が剥がれることを抑制できる。また、例えば、流路部材１８の端面と第２の面４０との間に、接着剤（充填剤）を充填して両者を接着する構成を採用することもできる。この場合、流路部材１８の上面と第１の面３９との間及び流路部材１８の下面と第３の面４１との間に、更に接着剤（充填剤）を充填する構成を採用することもできるし、接着剤（充填剤）を充填しない構成を採用することもできる。このように、流路部材１８の端面と第２の面４０との間に接着剤（充填剤）を充填すれば、保持部材３６を流路部材１８により強固に固定することができる。
【００３８】
そして、本実施形態においては、流路部材１８の端部を保持部材３６の凹部３８に嵌め込んだので、保持部材３６により基板積層方向（ｚ方向）における流路部材１８の熱膨張を抑えることができる。その結果、流路部材１８の温度が上昇した際に、基板積層方向における内側に向けて、すなわち、流路部材１８を挟持する方向に力が加わることになり、流路板２７とノズルプレート２３との間を接着する接着剤、及び、流路板２７と振動板３１との間を接着する接着剤が剥がれることを一層抑制できる。なお、その他の構成は上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００３９】
また、図５に示す第３の実施形態における保持部材３６は、凹部３８内の面が流路部材１８の端面に対して傾斜した面となっている。すなわち、本実施形態における保持部材３６に形成された凹部３８は、流路部材１８の上面に対して当該流路部材１８から離れる方向に下り傾斜した第１の傾斜面４３と、流路部材１８の下面に対して当該流路部材１８から離れる方向に上り傾斜した第２の傾斜面４４と、を備えている。要するに、凹部３８は、流路部材１８の端面に向けて開口が広がった状態に形成されている。そして、凹部３８内の第１の傾斜面４３と第２の傾斜面４４との間に流路部材１８の端部が把持されるように構成されている。なお、本実施形態においては、流路部材１８の端面とこれに対向する凹部３８内の面との間の空間、換言すると、流路部材１８の端面、第１の傾斜面４３及び第２の傾斜面４４により区画される空間内に充填剤４５が充填されている。この充填材４５により、保持部材３６が流路部材１８に固定されている。
【００４０】
このように、流路部材１８の端部を第１の傾斜面４３と第２の傾斜面４４との間で挟むように構成したので、ノズルプレート２３及び振動板３１のノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における伸び（膨張）を抑制できる。これにより、流路部材１８の温度が上昇した際において、流路板２７とノズルプレート２３又は振動板３１との間に生じる応力を小さくすることができる。その結果、流路板２７とノズルプレート２３との間を接着する接着剤、及び、流路板２７と振動板３１との間を接着する接着剤が剥がれることを抑制できる。また、流路部材１８が熱膨張する際には、基板積層方向（ｚ方向）における内側に向けて、すなわち、流路部材１８を挟持する方向に力が加わることになる。その結果、流路板２７とノズルプレート２３との間を接着する接着剤、及び、流路板２７と振動板３１との間を接着する接着剤が剥がれることを一層抑制できる。さらに、凹部３８の開口が流路部材１８の端面に向けて広がった状態に形成されたので、凹部３８内に流路部材１８の端部を嵌め込み易くなる。その結果、記録ヘッド３の製造が容易になり、ひいてはプリンター１の製造が容易になる。なお、その他の構成は上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００４１】
さらに、図６に示す第４の実施形態における保持部材３６は、凹部３８内の面が３つの面、すなわち、第１の面３９、第２の面４０、及び、第３の面４１により構成されている点で、図４に示す第２の実施形態と同じであるが、第１の面３９、及び、第３の面４１が僅かに傾斜している点で、第２の実施形態と異なっている。具体的には、流路部材１８の上面に対して第２の面４０側に僅かに下り傾斜した第１の面３９と、流路部材１８の端面に対向し、当該端面に平行な第２の面４０と、流路部材１８の下面に対して第２の面４０側に僅かに上り傾斜した第３の面４１と、を備えている。また、第２の面４０の高さ（ｚ方向における寸法）は、流路部材１８の厚さと略同じ寸法に揃えられている。このような凹部３８を備えた保持部材３６は、第２の面４０と流路部材１８の端面とが当接した状態で、流路部材１８の上面と第１の面３９との間、及び、流路部材１８の下面と第３の面４１との間に充填された充填剤４５により、流路部材１８に取り付けられている。
【００４２】
このように、流路部材１８の端面に保持部材３６の第２の面４０を当接させたので、流路部材１８の温度の上昇に伴って流路部材１８を構成する各基板がノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）に伸びようとしても、この伸びが保持部材３６により一層阻害される。すなわち、流路部材１８を構成する各基板がノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）に伸びる（膨張する）ことを一層抑制できる。その結果、流路板２７とノズルプレート２３との間を接着する接着剤、及び、流路板２７と振動板３１との間を接着する接着剤が剥がれることを抑制できる。また、凹部３８の開口が流路部材１８の内側に向けて広がった状態に形成されたので、凹部３８内に流路部材１８の端部を嵌め込み易くなる。その結果、記録ヘッド３の製造が容易になり、ひいてはプリンター１の製造が容易になる。なお、その他の構成は上記した第２の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００４３】
ところで、上記した各実施形態においては、保持部材３６がノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における流路部材１８の両端面に固定されたが、これには限られない。例えば、図７に示す第５の実施形態においては、保持部材３６がノズル列方向（ｙ方向）における流路部材１８の両端面に固定されている。なお、本実施形態における保持部材３６は、流路部材１８を構成する基板のうちノズル列方向（ｙ方向）における線膨張率が最も大きい基板（本実施形態においては、ニッケルからなるノズルプレート２３又は振動板３１）よりも剛性が高い平板状の部材である。また、本実施形態における保持部材３６は、流路部材１８の短手方向（ｘ方向）に沿って長尺に形成されており、同方向における寸法が保持部材３６と揃えられている。さらに、保持部材３６の厚さ（ｚ方向における寸法）は、流路部材１８の厚さとほぼ同じに揃えられている。一方、保持部材３６の短手方向（ｙ方向）における寸法は、流路部材１８の変形を抑制できる程度の寸法であれば良く、例えば、流路部材１８の厚さよりも大きい寸法に設定されている。具体的には、保持部材３６としては、例えば、ｘ方向における寸法が約７ｍｍ〜約１２ｍｍの範囲に、ｙ方向における寸法が約２ｍｍ〜約４ｍｍの範囲に、ｚ方向における寸法が約０．４ｍｍ〜約０．６ｍｍの範囲に形成された基板が用いられる。なお、その他の構成は上記した第１の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
【００４４】
このように、ノズル列方向（ｙ方向）における流路部材１８の両端面に保持部材３６が固定されたので、流路部材１８の温度が上昇したとしても、保持部材３６により流路部材１８を構成する各基板（具体的には、ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１）がノズル列方向（ｙ方向）に伸びる（膨張する）ことを抑制できる。すなわち、流路部材１８の温度の上昇に伴って流路部材１８を構成する各基板が伸びようとしても、この伸びが保持部材３６により阻害される。特に、流路部材１８の短手方向（ｘ方向）よりも熱による伸び量（膨張する量）が大きい流路部材１８の長手方向（ｙ方向）の伸び（膨張）を阻害できるため、流路板２７と、ノズルプレート２３又は振動板３１との間に生じる応力を一層小さくすることができる。その結果、流路板２７とノズルプレート２３との間を接着する接着剤、及び、流路板２７と振動板３１との間を接着する接着剤が剥がれることを一層抑制できる。なお、保持部材３６としては、第２から第４の実施形態の何れかで例示したような凹部３８を備えた保持部材３６とすることもできる。すなわち、ノズル列方向（ｙ方向）における流路部材１８の両端面が保持部材３６の凹部３８に収容された構成を採用することもできる。
【００４５】
また、図８に示す第６の実施形態においては、保持部材３６がノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における流路部材１８の両端面、及び、ノズル列方向（ｙ方向）における流路部材１８の両端面に固定されている。すなわち、流路部材１８の四方の端面を囲うように保持部材３６が取り付けられている。ノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における流路部材１８の両端に取り付けられた保持部材３６（以下、第１保持部材３６ａという）は、上記した第１の実施形態における保持部材３６と同じであるため、説明を省略する。また、ノズル列方向（ｙ方向）における流路部材１８の両端に取り付けられた保持部材３６（以下、第２保持部材３６ｂという）のズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における寸法は、２つの第１保持部材３６ａのうち一方の第１保持部材３６ａの外端から他方の第１保持部材３６ａの外端に亘る寸法に形成されている。そして、この第１保持部材３６ａと第２保持部材３６ｂとは、両者が重なった部分において、接着剤等により固定されている。なお、第２保持部材３６ｂのその他の寸法は、上記した第５の実施形態における保持部材３６と同じであるため、説明を省略する。
【００４６】
このように、流路部材１８の四方の端面に保持部材３６が固定されたので、流路部材１８の温度の上昇に伴って流路部材１８を構成する各基板がノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）及びノズル列方向（ｙ方向）に伸びようとしても、この伸びが保持部材３６により阻害される。すなわち、流路部材１８を構成する各基板の四方への伸び（膨張）を抑制できる。その結果、流路板２７とノズルプレート２３との間を接着する接着剤、及び、流路板２７と振動板３１との間を接着する接着剤が剥がれることを更に抑制できる。
【００４７】
なお、第１保持部材３６ａ及び第２保持部材３６ｂの流路部材１８への固定に関し、上記した第１の実施形態と同様に接着剤等を用いて、両者をそれぞれ流路部材１８に固定する構成を採用することができる他、第１保持部材３６ａ又は第２保持部材３６ｂの何れか一方の保持部材を流路部材１８に固定し、他方の保持部材を一方の保持部材に固定する構成を採用することもできる。例えば、熱による伸び量が比較的小さい流路部材１８の短手方向（ｘ方向）においては、接着剤等を用いて端面と第１保持部材３６ａとを直接固定する。一方、熱による伸び量が比較的大きい流路部材１８の長手方向（ｙ方向）においては、端面に第２保持部材３６ｂを当接させた状態で接着剤等を用いて第２保持部材３６ｂと第１保持部材３６ａとを固定する。このようにすれば、保持部材３６を流路部材１８に強固に固定しつつ、流路板２７とノズルプレート２３との間を接着する接着剤、及び、流路板２７と振動板３１との間を接着する接着剤が剥がれることを抑制できる。
【００４８】
なお、第１保持部材及び第２保持部材としては、第２から第４の実施形態で例示したような凹部を備えた保持部材とすることもできる。すなわち、第１保持部材又は第２保持部材を、第２から第４の何れかの実施形態で説明した保持部材とすることができる。この場合、ノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における流路部材の両端部、及び、ノズル列方向（ｙ方向）における流路部材の両端部は、第２から第４の何れかの実施形態で示したような構成になる。具体的には、ノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における流路部材の両端面、及び、ノズル列方向（ｙ方向）における流路部材の両端面が保持部材の凹部に収容された構成となる。また、流路部材の四方の端面を覆う保持部材としては、第１保持部材と第２保持部材とが別体に形成されたものに限られない。例えば、第１保持部材と第２保持部材とが一体的に形成された額縁状の保持部材を採用することもできる。
【００４９】
ところで、上記した各実施形態では、流路板２７が複数の基板（すなわち、第１の流路基板２７ａ、第２の流路基板２７ｂ、及び、第３の流路基板２７ｃ）で構成されたが、これには限られない。例えば、流路板が単一の基板からなる構成を採用することもできる。また、第１の流路基板、第２の流路基板、及び、第３の流路基板が異なる材質からなる構成を採用することもできる。このように、流路板を構成する複数の基板が異なる材質からなり、異なる線膨張率を有していたとしても、保持部材で各基板の熱による伸び（膨張）を抑制でき、ひいては各基板間における接着剤の剥がれを抑制できる。さらに、流路部材を構成する各基板（すなわち、ノズルプレート２３、流路板２７、及び、振動板３１）の材質は、上記で例示したものに限られない。例えば、ノズルプレートとしては、ニッケルの他に、ＳＵＳ等の金属やシリコン等を用いることができる。また、流路板としては、シリコンの他に、ＳＵＳ等の金属を用いることができる。さらに、振動板としては、ニッケルの他に、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）、樹脂、樹脂と金属との積層部材等を用いることができる。そして、流路部材を構成する各基板の線膨張率が全て異なるように構成することもできるし、一部の基板の線膨張率だけ異なるように構成することもできる。
【００５０】
また、上記した各実施形態では、流路部材１８を構成する各基板のノズル列方向に直交する方向（ｘ方向）における両端面の位置、及び、ノズル列方向（ｙ方向）における両端面の位置が揃えられていたが、これには限られない。要するに、流路部材１８の端面のうち、少なくとも保持部材３６が取り付けられる端面において、各基板の位置が揃えられていれば良い。そして、各基板の端面の位置を揃えるべく、流路部材の端面を研磨することもできる。
【００５１】
さらに、上記した各実施形態では、圧力室３０内のインクに圧力変動を生じさせる圧電素子として、所謂縦振動型の圧電素子を例示したが、これには限られない。例えば、所謂撓み振動型の圧電素子や、発熱素子、静電気力を利用して圧力室の容積を変動させる静電アクチュエーター等の各種アクチュエーターを採用することができる。さらに、記録ヘッドとして、記録媒体２の搬送方向（副走査方向）と交差する方向（主走査方向）に走査（往復移動）しつつインクの噴射を行う所謂シリアルヘッドを例示したが、これには限られない。記録ヘッドを記録媒体の幅方向に複数並べた所謂ラインヘッド及びこれを備えたプリンターにも本発明を適用できる。
【００５２】
そして、以上においては、液体噴射ヘッドとしてインクジェット式記録ヘッド３を例に挙げて説明したが、本発明は、複数の基板が積層されて成る構造体を備えた、その他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドでは液体の一種としてＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液体の一種として液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは液体の一種として生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００５３】
１…プリンター，２…記録媒体，３…記録ヘッド，４…キャリッジ，５…キャリッジ移動機構，６…搬送機構，７…インクカートリッジ，８…タイミングベルト，９…パルスモーターユニット，１０…ガイドロッド，１８…流路部材，１９…フレーム部材，２０…収容空間，２１…共通液体流路，２２…アクチュエーターユニット，２３…ノズルプレート，２４…ノズル，２５…液体導入口，２７…流路板，２７ａ…第１の流路基板，２７ｂ…第２の流路基板，２７ｃ…第３の流路基板，２８…供給液室，２９…個別連通路，３０…圧力室，３１…振動板，３２…圧電素子，３４…ベース部材，３５…フレキシブル基板，３６…保持部材，３６ａ…第１保持部材，３６ｂ…第２保持部材，３８…凹部，３９…第１の面，４０…第２の面，４１…第３の面，４３…第１の傾斜面，４４…第２の傾斜面，４５…充填剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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