(57)【要約】【課題】バルブのシール性および耐久性の向上が可能なバルブユニットの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法、バルブユニット、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体流路の流路開口（６４）が形成された開口面（６３）を有する流路部材（５４）と、流路開口を封止する封止面（７４）を有し、当該封止面を開口面に対して進退させて流路開口を開閉するバルブ（５８）と、開口面における流路開口の開口周縁部又は封止面における開口周縁部に対向する部分の何れか一方に設けられ、バルブが閉じた状態で流路開口の周縁部及び封止面に接する弾性部材（７３）と、を備えるバルブユニットの製造方法であって、金属射出成形によりバルブの基体を形成するバルブ基体形成工程を有することを特徴とする。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体流路の流路開口が形成された開口面を有する流路部材と、前記流路開口を封止する封止面を有し、当該封止面を前記開口面に対して進退させて前記流路開口を開閉するバルブと、を備えるバルブユニットの製造方法であって、
金属射出成形により前記バルブの基体を形成するバルブ基体形成工程を有することを特徴とするバルブユニットの製造方法。
【請求項２】
前記バルブ基体形成工程により形成された前記基体に、閉弁時に前記流路開口の周縁部に接する弾性部材をインサート成形するインサート成形工程を有することを特徴とする請求項１に記載のバルブユニットの製造方法。
【請求項３】
前記弾性部材は、フッ素化ポリエーテル骨格を有し、
前記バルブ基体形成工程と前記インサート成形工程との間に、前記基体の少なくとも前記弾性部材の形成部位にプライマー層を形成するプライマー工程を含むことを特徴とする請求項２に記載のバルブユニットの製造方法。
【請求項４】
バルブユニットから供給される液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
請求項１から請求項３の何れか一項に記載のバルブユニットの製造方法により前記バルブユニットが製造されることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
液体を噴射する液体噴射ヘッドと、液体供給源からの液体を前記液体噴射ヘッドに供給するバルブユニットと、を備える液体噴射装置の製造方法であって、
請求項１から請求項３の何れか一項に記載のバルブユニットの製造方法により前記バルブユニットが製造されることを特徴とする液体噴射装置の製造方法。
【請求項６】
液体流路の流路開口が形成された開口面を有する流路部材と、
前記流路開口を封止する封止面を有し、当該封止面を前記開口面に対して進退させて前記流路開口を開閉するバルブと、
を備えるバルブユニットであって、
前記バルブは、相対密度が９５％以上の金属製の基体を有することを特徴とするバルブユニット。
【請求項７】
前記基体は、閉弁時に流路開口の周縁部に接する弾性部材を有することを特徴とする請求項６に記載のバルブユニット。
【請求項８】
前記弾性部材は、フッ素化ポリエーテル骨格を有し、
前記弾性部材が設けられた部分の基材と、前記弾性部材との間にプライマー層が設けられていることを特徴とする請求項７に記載のバルブユニット。
【請求項９】
請求項６から請求項８の何れか一項に記載のバルブユニットを備え、
前記バルブユニットから供給される液体を噴射することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
請求項６から請求項８の何れか一項に記載のバルブユニットと、
前記バルブユニットから供給される液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
を備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばインクジェット記録装置等の液体噴射装置に用いられるバルブユニットの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法、バルブユニット、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は、液体供給部材から液体噴射ヘッドのノズルに至るまでの流路に、当該流路を開閉する弁ユニットを有する構成のものがある。例えば、特許文献１に開示されているインクジェット記録装置は、流路の一部をなす流路開口（流入口）が開設された弁座と、この弁座に対して進退するバルブ（弁体）とを備え、バルブが弁座に当接又は離間することにより流路開口を開閉するように構成されている。このバルブは、軸部とフランジ部とを有しており、当該フランジ部に弾性部材が固定されている。すなわち、閉弁時には、フランジ部に固定された弾性部材が弁座における流路開口の周縁部に密着することで、当該流路開口の周縁部をシールする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−２２７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のようなバルブユニットを備える液体噴射装置やその他の液体供給システムでは、小型化の要請に伴ってバルブユニットも小型化され、これに応じて上記のバルブも小型化が図られている。このため、例えば合成樹脂等によりバルブを作製した場合、微細な形状を寸法精度よく形成することが難しく、例えば流路開口の周縁部をシールする部分（シール面）が歪になる等してシール性の低下や耐久性の低下を招くおそれがあった。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、バルブのシール性および耐久性の向上が可能なバルブユニットの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法、バルブユニット、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体流路の流路開口が形成された開口面を有する流路部材と、前記流路開口を封止する封止面を有し、当該封止面を前記開口面に対して進退させて前記流路開口を開閉するバルブと、を備えるバルブユニットの製造方法であって、
金属射出成形により前記バルブの基体を形成するバルブ基体形成工程を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、バルブの基体が金属射出成形により作製されたので、例えば合成樹脂により基体を作製する場合と比較して、基体の寸法及び形状の精度が向上し、また、耐液性及び機械的強度が向上する。これにより、バルブのシール性および耐久性が向上する。
【０００８】
上記製造方法において、前記バルブ基体形成工程により形成された前記基体に、閉弁時に前記流路開口の周縁部に接する弾性部材をインサート成形するインサート成形工程を有することが望ましい。
【０００９】
この製造方法によれば、バルブが金属製の基体に弾性部材を備えるので、閉弁時のシール性が向上する。また、基体と弾性部材とをインサート成形により一体的に形成するので、基体に弾性部材を組み付ける別途の工程が不要となる。
【００１０】
上記製造方法において、前記弾性部材は、フッ素化ポリエーテル骨格を有し、
前記バルブ基体形成工程と前記インサート成形工程との間に、前記基体の少なくとも前記弾性部材の形成部位にプライマー層を形成するプライマー工程を含むことが望ましい。
【００１１】
この製造方法によれば、弾性部材がフッ素化ポリエーテル骨格を有するので、液体流路を流通する液体の種類を問わず、液体による弾性部材の膨潤が低減され、弾性部材がシール配置部から離脱することが抑制される。その結果、バルブのシール性および耐久性がさらに向上する。また、基体と弾性部材との間にプライマー層が設けられることにより、両者間の接合強度を高めることが可能となる。これにより、弾性部材が基体から離脱することがより確実に抑制される。
【００１２】
また、本発明は、バルブユニットから供給される液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
上記の何れかのバルブユニットの製造方法により前記バルブユニットが製造されることを特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッドと、液体供給源からの液体を前記液体噴射ヘッドに供給するバルブユニットと、を備える液体噴射装置の製造方法であって、
上記の何れかのバルブユニットの製造方法により前記バルブユニットが製造されることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、液体流路の流路開口が形成された開口面を有する流路部材と、
前記流路開口を封止する封止面を有し、当該封止面を前記開口面に対して進退させて前記流路開口を開閉するバルブと、
を備えるバルブユニットであって、
前記バルブは、相対密度が９５％以上の金属製の基体を有することを特徴とする。
【００１５】
本発明によれば、バルブの基体が金属射出成形により作製されたので、例えば合成樹脂により基体を作製する場合と比較して、耐液性及び機械的強度が向上する。これにより、バルブのシール性および耐久性が向上する。
【００１６】
また、上記構成において、前記基体は、閉弁時に流路開口の周縁部に接する弾性部材を有する構成を採用することが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、バルブが金属製の基体に弾性部材を備えるので、閉弁時のシール性が向上する。
【００１８】
また、上記構成において、前記弾性部材は、フッ素化ポリエーテル骨格を有し、
前記弾性部材が設けられた部分の基材と、前記弾性部材との間にプライマー層が設けられている構成を採用することが望ましい。
【００１９】
この構成によれば、弾性部材がフッ素化ポリエーテル骨格を有するので、液体流路を流通する液体の種類を問わず、液体による弾性部材の膨潤が低減され、弾性部材がシール配置部から離脱することが抑制される。その結果、バルブのシール性および耐久性がさらに向上する。また、基体と弾性部材との間にプライマー層が設けられることにより、両者間の接合強度を高めることが可能となる。これにより、シール部材が基体から離脱することがより確実に抑制される。
【００２０】
また、本発明の液体噴射ヘッドは、上記何れかの構成のバルブユニットを備え、
前記バルブユニットから供給される液体を噴射することを特徴とする。
【００２１】
本発明によれば、バルブのシール性および耐久性が向上したバルブユニットを備えるため、より長期に亘り信頼性を確保することが可能となる。
【００２２】
また、本発明の液体噴射装置は、上記何れかの構成のバルブユニットと、
前記バルブユニットから供給される液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
を備えることを特徴とする。
【００２３】
本発明によれば、バルブのシール性および耐久性が向上したバルブユニットを備えるため、より長期に亘り信頼性を確保することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】液体噴射装置（プリンター）の一形態を説明する平面図である。
【図２】液体噴射ヘッド（記録ヘッド）の一形態を説明する断面図である。
【図３】バルブユニットの一形態について説明する模式図である。
【図４】圧力調整バルブの周辺構成を説明する断面図である。
【図５】圧力調整バルブの周辺構成を説明する断面図である。
【図６】圧力調整バルブの封止面の平面図である。
【図７】弾性部材（シール部材）を有機溶剤系インクに浸漬したときの接触角の変化を示すグラフである。
【図８】バルブユニットの製造工程について説明するフローチャートである。
【図９】バルブユニットの製造工程について説明する工程図である。
【図１０】バルブユニットの製造工程について説明する工程図である。
【図１１】バルブユニットの製造工程について説明する工程図である。
【図１２】第２の実施形態におけるバルブユニットのシール部材周辺部の断面図である。
【図１３】第２の実施形態の変形例について説明するシール部材周辺部の断面図である。
【図１４】第３の実施形態におけるバルブユニットのシール部材周辺部の断面図である。
【図１５】第４の実施形態のバルブユニットにおける圧力調整バルブの周辺構成を説明する断面図である。
【図１６】第４の実施形態のバルブユニットにおける圧力調整バルブの周辺構成を説明する断面図である。
【図１７】第５の実施形態のバルブユニットにおける圧力調整バルブの周辺構成を説明する断面図である。
【図１８】第５の実施形態のバルブユニットにおける圧力調整バルブの周辺構成を説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明に係るバルブユニットを有する液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）１０を搭載したインクジェット式プリンター（以下、プリンター）１を例に挙げて行う。
【００２６】
図１は、プリンター１の構成を示す平面図である。本実施形態におけるプリンター１は、記録用紙、布、あるいは樹脂フィルム等の記録媒体（液体の着弾対象：図示せず）の表面に記録ヘッド１０（図２等参照）から液体状のインク（本発明における液体の一種）を噴射させて画像やテキスト等の記録を行う装置である。このプリンター１は、フレーム２と、このフレーム２内に配設されたプラテン３と、を備えており、図示しない搬送機構によってプラテン３上に記録媒体が搬送される。また、フレーム２内には、プラテン３と平行にガイドロッド４が架設されており、このガイドロッド４には、記録ヘッド１０を収容したキャリッジ５が摺動可能に支持されている。このキャリッジ５は、図示しないキャリッジ移動機構によってガイドロッド４に沿って記録媒体の搬送方向と交差する主走査方向に往復移動するように構成されている。キャリッジ移動機構は、パルスモーター６と、このパルスモーター６の駆動により回転する駆動プーリー７と、この駆動プーリー７とはフレーム２における反対側に設けられた遊転プーリー８と、駆動プーリー７及び遊転プーリー８の間に架設されたタイミングベルト９とを有する。本実施形態におけるプリンター１は、記録媒体に対してキャリッジ５を相対的に往復移動させながら記録ヘッド１０のノズル３０（図２参照）からインクを噴射させて記録動作（液体噴射動作）を行う。
【００２７】
フレーム２の一側には、インクカートリッジ１３（液体供給源又は液体貯留容器の一種）を着脱可能に搭載するカートリッジホルダー１４が設けられている。インクカートリッジ１３は、エアーチューブ１５を介してエアーポンプ１６と接続されており、このエアーポンプ１６からの空気が各インクカートリッジ１３内に供給される。そして、この加圧空気によってインクカートリッジ１３の内部が加圧されることにより、当該インクカートリッジ１３内のインクがインク供給チューブ１７を通じて記録ヘッド１０側に供給（圧送）される。インクカートリッジ１３からインク供給チューブ１７から送られてくるインクは、まずキャリッジ５に搭載されたバルブユニット２１に導入される。バルブユニット２１に導入されたインクは、後述するフィルター５５を通り、圧力調整部５７において供給圧力が調整されて記録ヘッド１０内部のインク流路に供給される。なお、液体貯留容器としては、例示したものには限られず、カートリッジ型、パック型、タンク型等、種々の構成のものを採用することができる。インクとしては、例えば、水系の染料インクもしくは顔料インクや、これらの水系のインクよりも耐候性が高められた有機溶剤系（エコソルベント系）インクや、紫外線の照射による硬化する光硬化型インク等、周知の種々の組成のものを用いることができる。
【００２８】
インク供給チューブ１７は、例えば、合成樹脂で作製された可撓性を有する中空部材であり、このインク供給チューブ１７の内部には、各インクカートリッジ１３に対応するインク流路が形成されている。また、プリンター１本体側と記録ヘッド１０側との間には、プリンター１本体側の制御部（図示せず）から記録ヘッド１０側に駆動信号等を伝送するＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）１８が配線されている。
【００２９】
フレーム２の内側において、記録ヘッド１０の移動範囲における一側（カートリッジホルダー１４側）に設けられたホームポジションには、記録ヘッド１０のノズル面を封止するキャップ１２を有するキャッピング機構１１が配設されている。キャッピング機構１１は、ホームポジションで待機状態にある記録ヘッド１０のノズル面（ノズル３０を有する面であり、ノズルプレート２４及び固定板２３を含む記録ヘッド１０の底面）をキャップ１２により封止してノズル３０からインクの溶媒が蒸発することを抑制する。また、キャッピング機構１１は、記録ヘッド１０のノズル面を封止した状態で封止空部内を吸引ポンプ等の吸引手段よって負圧化し、ノズル３０からインクや気泡を強制的に吸引するクリーニング動作（メンテナンス動作）を行うことができる。
【００３０】
次に、本実施形態における記録ヘッド１０の構成について説明する。
図２は、記録ヘッド１０の断面図である。本実施形態における記録ヘッド１０は、固定板２３、ノズルプレート２４、連通板２５、アクチュエーター基板２６、コンプライアンス基板２７、ケース２８等の複数の構成部材が積層されて接着剤等によって接合されてユニット化されている。なお、以下においては、記録ヘッド１０の各構成部材の積層方向を、適宜上下方向として説明する。
【００３１】
本実施形態におけるアクチュエーター基板２６は、ノズルプレート２４に形成されたノズル３０と連通する圧力室３３が形成された圧力室形成基板２９と、各圧力室３３内のインクに圧力変動を生じさせる駆動素子としての圧電素子３１と、これらの圧力室形成基板２９及び圧電素子３１を保護する保護基板３２とを積層した状態で備えている。保護基板３２の平面視における略中央部には、駆動ＩＣ３８を実装したフレキシブル基板３９が挿通される配線空部４０が開設されている。この配線空部４０内に、圧電素子３１のリード電極が配置され、このリード電極にフレキシブル基板３９の配線端子が電気的に接続される。圧電素子３１のリード電極に接続されたフレキシブル基板３９は、ＦＦＣ１８を通じて制御部から送られてくる駆動信号等を圧電素子３１に供給する。なお、フレキシブル基板３９としては、駆動ＩＣ３８を備えるものには限られず、当該駆動ＩＣ３８がインターポーザーとして機能する保護基板３２の上部に別途配置され、当該フレキシブル基板３９には駆動ＩＣ３８が設けられない構成を採用することもできる。
【００３２】
アクチュエーター基板２６の圧力室形成基板２９は、シリコン単結晶基板から作製されている。この圧力室形成基板２９には、圧力室３３となる空間が各ノズル３０に対応して複数列設されている。この圧力室３３は、ノズル列に交差（本実施形態においては直交）する方向に長尺な空部である。この圧力室３３の長手方向の一側の端部には、ノズル連通口３４が連通し、他側の端部に個別連通口３５が連通する。本実施形態における圧力室形成基板２９には、圧力室３３の列が２列形成されている。
【００３３】
圧力室形成基板２９の上面（連通板２５側とは反対側の面）には、振動板３６が積層され、この振動板３６によって圧力室３３の上部開口が封止されている。すなわち、振動板３６により、圧力室３３の一部が区画されている。この振動板３６は、例えば、圧力室形成基板２９の上面に形成された二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜と、から成る。そして、この振動板３６上における各圧力室３３に対応する領域に圧電素子３１がそれぞれ積層されている。
【００３４】
本実施形態の圧電素子３１は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子３１は、例えば、振動板３６上に、下電極層、圧電体層及び上電極層（いずれも図示せず）が順次積層されてなる。このように構成された圧電素子３１は、下電極層と上電極層との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると、上下方向に撓み変形する。本実施形態では、２列に形成された圧力室３３の列に対応して、圧電素子３１の列が２列形成されている。なお、下電極層及び上電極層は、両側の圧電素子３１の列から当該列の間の配線空部４０内までリード電極として延在され、上述したようにフレキシブル基板３９と電気的に接続されている。
【００３５】
保護基板３２は、２列に形成された圧電素子３１の列を覆うように振動板３６上に積層されている。保護基板３２の内部には、圧電素子３１の列を収容可能な長尺な収容空間４１が形成されている。この収容空間４１は、保護基板３２の下面側（振動板３６側）から上面側（ケース２８側）に向けて保護基板３２の高さ方向途中まで形成された窪みである。本実施形態における保護基板３２には、配線空部４０の両側に収容空間４１がそれぞれ形成されている。
【００３６】
アクチュエーター基板２６の下面には、このアクチュエーター基板２６よりも広い面積を有する連通板２５が接合される。この連通板２５は、圧力室形成基板２９と同様にシリコン単結晶基板から作製されている。本実施形態における連通板２５には、圧力室３３とノズル３０とを連通するノズル連通口３４と、各圧力室に共通に設けられたリザーバー４３と、このリザーバー４３と圧力室３３とを連通する個別連通口３５と、が形成されている。リザーバー４３（共通液室あるいはマニホールドとも呼ばれる。）は、ノズル列方向に沿って延在する空部であり、連通板２５において、ノズルプレート２４のノズル列毎に対応して２つ形成されている。すなわち、リザーバー４３は、インクの種類毎に設けられている。個別連通口３５は、各圧力室３３にそれぞれ対応してノズル列方向に沿って複数形成されている。この個別連通口３５は、圧力室３３の長手方向における他側（ノズル連通口３４とは反対側）の端部と連通する。
【００３７】
上記の連通板２５の下面の略中央部分には、複数のノズル３０が形成されたノズルプレート２４が接合される。本実施形態におけるノズルプレート２４は、連通板２５及びアクチュエーター基板２６よりも小さい外形の板材であり、シリコン単結晶基板から構成されている。このノズルプレート２４は、連通板２５の下面において、リザーバー４３の開口から外れた位置であって、ノズル連通口３４が開口した領域に、これらのノズル連通口３４と複数のノズル３０とがそれぞれ連通する状態で接着剤等により接合される。本実施形態におけるノズルプレート２４には、複数のノズル３０が列設されてなるノズル列が合計２条形成されている。
【００３８】
また、連通板２５の下面において、ノズルプレート２４の周囲を囲むように、当該ノズルプレート２４の外形に倣った形状の貫通開口４６が中央部に形成されたコンプライアンス基板２７が接合される。このコンプライアンス基板２７の貫通開口４６は、固定板２３の貫通口２３ａと連通して、その内側にノズルプレート２４が配置されるように構成されている。コンプライアンス基板２７は、連通板２５の下面に位置決めされて接合された状態で、連通板２５の下面におけるリザーバー４３の開口を封止する。本実施形態におけるコンプライアンス基板２７は、コンプライアンスシート４４と、これを支持する支持板４５とが接合されて構成されている。
【００３９】
連通板２５の下面には、コンプライアンス基板２７のコンプライアンスシート４４が接合されて、連通板２５と支持板４５との間にコンプライアンスシート４４が挟まれた状態となる。コンプライアンスシート４４は、可撓性を有する薄膜、例えばポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の合成樹脂材料により作製されている。支持板４５は、コンプライアンスシート４４よりも剛性が高く且つ厚みのあるステンレス鋼等の金属材料で形成されている。この支持板４５のリザーバー４３に対向する領域には、このリザーバー４３の下面開口に倣った形状に支持板４５の一部が除去されている。このため、リザーバー４３の下面側の開口は、可撓性を有するコンプライアンスシート４４のみで封止されている。換言すると、コンプライアンスシート４４は、リザーバー４３の一部を区画している。
【００４０】
支持板４５の下面には固定板２３が接合されている。これにより、コンプライアンスシート４４の可撓領域と、これに対向する固定板２３との間には、コンプライアンス空間４７が形成されている。そして、このコンプライアンス空間４７におけるコンプライアンスシート４４の可撓領域が、インク流路内、特にリザーバー４３内の圧力変動に応じてリザーバー４３側又はコンプライアンス空間４７側に変位する。したがって、支持板４５の厚みは、コンプライアンス空間４７として必要な高さに応じて定められている。
【００４１】
アクチュエーター基板２６及び連通板２５は、ケース２８に固定されている。ケース２８の下面側にはアクチュエーター基板２６を収容する収容空部４９が形成されている。そして、収容空部４９にアクチュエーター基板２６が収容された状態でケース２８の下面が連通板２５によって封止される。図２に示すように、このケース２８の平面視における略中央部分には、収容空部４９と連通する挿通空部５０が開設されている。この挿通空部５０は、アクチュエーター基板２６の配線空部４０とも連通する。上記のフレキシブル基板３９は、挿通空部５０を通じて配線空部４０に挿入されるように構成されている。また、ケース２８の内部において、挿通空部５０及び収容空部４９の両側には、連通板２５のリザーバー４３と連通する液室空部５１が形成されている。また、ケース２８の上面には、各液室空部５１と連通する導入口５２がそれぞれ開設されている。導入口５２は、ホルダー２２に設けられた流路部材の導入流路２０（図７参照）を介してバルブユニット２１における導出口６５と連通する。このため、バルブユニット２１から送られてきたインクは、導入口５２、液室空部５１、及びリザーバー４３へと導入され、リザーバー４３から個別連通口３５を通じて各圧力室３３に供給される。
【００４２】
固定板２３は、例えば、ステンレス鋼等の金属製の板材である。本実施形態における固定板２３には、ノズルプレート２４に対応する位置に、当該ノズルプレート２４に形成されたノズル３０を露出させるため、ノズルプレート２４の外形に倣った形状の貫通口２３ａが厚さ方向を貫通する状態で形成されている。上述したように、この貫通口２３ａは、コンプライアンス基板２７の貫通開口４６と連通する。本実施形態では、この固定板２３における固定板２３の下面と貫通口２３ａにおけるノズルプレート２４の露出部分とによりノズル面が構成されている。この固定板２３は、アクチュエーター基板２６及び連通板２５が固定されたケース２８が収容されるホルダー２２（図７参照）に接着剤等により接合されている。
【００４３】
そして、上記構成の記録ヘッド１０では、液室空部５１からリザーバー４３及び圧力室３３を通ってノズル３０に至るまでの流路内がインクで満たされた状態で、駆動ＩＣ３８からの駆動信号に従い圧電素子３１が駆動されることにより、圧力室３３内のインクに圧力変動が生じ、この圧力振動によって所定のノズル３０からインクが噴射される。
【００４４】
図３は、バルブユニット２１の一形態について説明する模式図である。
バルブユニット２１は、インクカートリッジ１３から記録ヘッド１０に供給するインクの供給圧力を調整する部材である。本実施形態におけるバルブユニット２１は、合成樹脂等から作製された本体部５４（本発明における流路部材の一種）内に、フィルター５５が配設されたフィルター室５６と、圧力調整バルブ５８（本発明におけるバルブの一種）を有する圧力調整部５７と、を備えている。本実施形態における本体部５４は、例えば、変性ポリフェニレンエーテル（変性ＰＰＥ：ザイロン（登録商標））から作製されている。インクカートリッジ１３からインク供給チューブ１７を通じて送られてくるインクは、流路接続部６０からバルブユニット２１内に導入され、まず、フィルター室５６に流入する。このフィルター室５６とバルブ収容室６１との境界部分にフィルター５５が配設されている。
【００４５】
圧力調整部５７は、圧力調整バルブ５８が配設されたバルブ収容室６１と、当該バルブ収容室６１に連通する圧力調整室６２と、圧力調整室６２の一側の開口部を封止する状態で配設された受圧部材６７と、を備えている。圧力調整室６２は、本体部５４の一方の側面（図３における右側面）から他方の側面（同図における左側面）側に向けて窪んだ空部である。この圧力調整室６２とバルブ収容室６１との間を仕切る仕切壁６３には、バルブ収容室６１と圧力調整室６２とを相互に連通させる流入口６４（本発明における流路開口に相当）が開設されている。この流入口６４が開口した仕切壁６３のバルブ収容室６１側の面は、本発明における開口面（弁座）として機能する。また、圧力調整室６２において、流入口６４よりも下流側の底部には導出口６５が開設されている。本実施形態において、流路接続部６０からフィルター室５６、バルブ収容室６１、流入口６４、圧力調整室６２、および導出口６５に至るまでの一連の流路は、本発明における液体流路に相当する。
【００４６】
上記圧力調整室６２の開口は、ダイアフラム状の受圧部材６７により封止されている。受圧部材６７は、圧力調整室６２の内圧が所定の圧力より低くなると、圧力調整室６２の内側（仕切壁６３側）へ弾性変形する可撓性のフィルム部材６８と、このフィルム部材６８の内側に設けられた作動片６９とにより構成されている。フィルム部材６８は、例えば、可撓性を有する薄手の樹脂製のフィルムから成る。このフィルム部材６８は、圧力調整室６２となる窪みの開口部（即ち、圧力調整室６２の一側の開口）を密封するように本体部５４の一方の側面に接着又は溶着されている。したがってフィルム部材６８は圧力調整室６２の一部を区画している。作動片６９は、本体部５４に支持された一端部６９ａを支点として、フィルム部材６８の変形に伴って回動可能に構成されている。
【００４７】
図４および図５は、圧力調整バルブ５８の周辺構成を説明する断面図であり、図４は開弁状態、図５は閉弁状態をそれぞれ示している。また、図６は、圧力調整バルブ５８の封止面（仕切壁６３側の面）７４の平面図である。
本実施形態における圧力調整バルブ５８は、受圧部材６７と当接する軸部７１（後述）の軸方向に進退することにより、バルブ収容室６１側から圧力調整室６２側へのインクの流入を許容する開弁状態と、圧力調整室６２へのインクの導入を遮断する閉弁状態とに変換可能に構成されている。この圧力調整バルブ５８は、例えばコイルバネ等の付勢部材７０によって閉弁位置側（仕切壁６３側）へ付勢された状態で、仕切壁６３よりも上流側に形成されたバルブ収容室６１内に配設されている。この圧力調整バルブ５８は、バルブ本体７５（本発明における基体に相当）とシール部材７３（本発明における弾性部材に相当）とから構成されている。
【００４８】
バルブ本体７５は、円柱状の軸部７１と、この軸部７１の途中から側方に延出した鍔部７２とにより構成されている。このバルブ本体７５は、シール部材７３と比較して硬質の合成樹脂や金属等から作製される。合成樹脂としては、例えば、本体７５と同様の変性ＰＰＥの他、ポリフェニレンスルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、あるいは液晶ポリマー（ＬＣＰ）、等を採用することができる。本実施形態におけるバルブ本体７５は、金属から作製されている。より具体的には、粉末（粒体）状の金属原料を用いた金属射出成形により作製されている。このバルブ本体７５の製造方法については後述する。軸部７１の先端部（鍔部７２よりも圧力調整室６２側の部分）は、その外径が流入口６４の内径よりも小さくなるように形成され、仕切壁６３に開設された流入口６４を通じて圧力調整室６２内に挿入されている。そして、開弁状態では、軸部７１と流入口６４の内周面との隙間を通じて、フィルター室５６側からのインクが圧力調整室６２側へ流入するように構成されている。鍔部７２は、流入口６４の開口面積よりも広い面積を有する円盤状の部材である。この鍔部７２の仕切壁６３側の面は封止面７４として機能する。圧力調整バルブ５８は、当該封止面７４を、流入口６４が開口した仕切壁６３の開口面に対して進退させて流入口６４を開閉する。
【００４９】
鍔部７２の封止面７４における流入口６４の開口周縁部に対向する部分には、エラストマー等の弾性を有するシール部材７３が取り付けられている。このシール部材７３は、図６に示されるように、鍔部７２の外周縁に沿って平面視でリング状に形成されている。また、本実施形態におけるシール部材７３は、図４および図５に示されるように、断面視で幅広なシール基部７６と、同じく断面視でシール基部７６よりも幅が狭く半円状の当接部７７と、を一体的に有している。そして、図５に示されるように、閉弁時においては、当接部７７が仕切壁６３における流入口６４の開口周縁部に対して弾性によりシール部材７３が密着することにより、当該流入口６４の開口周縁部を液密にシールする。すなわち、シール部材７３は、圧力調整バルブ５８が閉じた状態で流入口６４の周縁部及び封止面７４に密着する。このように、圧力調整バルブ５８がバルブ本体７５にシール部材７３を備えることにより、当該シール部材７３が閉弁時に流入口６４の開口周縁部に弾性により密着するので、閉弁時のシール性が向上する。このシール部材７３の詳細については後述する。
【００５０】
付勢部材７０は、圧力調整バルブ５８における鍔部７２の封止面７４とは反対側の面に当接して圧力調整バルブ５８全体を仕切壁６３側に付勢し、圧力調整室６２の内部が所定圧力に減圧されるまで閉弁状態を維持する。即ち、圧力調整バルブ５８は、付勢部材７０の付勢力に抗する応力を受けない限り、鍔部７２のシール部材７３が流入口６４の開口周縁部に密着する閉弁位置に維持される。そして、圧力調整バルブ５８の閉弁状態における閉弁位置では、圧力調整バルブ５８はバルブ収容室６１側から圧力調整室６２側へのインクの流入を遮断する。
【００５１】
圧力調整バルブ５８によって圧力調整室６２へのインクの流入が遮断されると、圧力調整室６２の内圧が、記録ヘッド１０によるインクの消費に伴って低下していく。圧力調整室６２内が所定圧力まで減圧されると、受圧部材６７のフィルム部材６８が大気圧により圧力調整室６２の内側へ変形して、作動片６９を仕切壁６３側（圧力調整バルブ５８側）へ押圧する。これにより、作動片６９は、閉弁位置にある圧力調整バルブ５８の軸部７１の先端部を押圧し、付勢部材７０の弾性力に抗しながら圧力調整バルブ５８を開方向（仕切壁６３から離隔する側）に移動させる。これにより、図４に示されるように、鍔部７２のシール部材７３が仕切壁６３の開口面から離間して、密着状態が解除された位置（開弁位置）まで圧力調整バルブ５８が変位する。
【００５２】
上記の開弁状態では、バルブ収容室６１側から流入口６４を通じて圧力調整室６２内へのインクの流入が許容される。圧力調整室６２に流入したインクは、導出口６５を通じて記録ヘッド１０のインク流路に供給される。開弁後、圧力調整室６２内にインクが流入すると、これに伴って圧力調整室６２の内圧が次第に上昇する。圧力調整室６２の内圧の上昇により、受圧部材６７が、仕切壁６３側（圧力調整バルブ５８側）から遠ざかる側に向かって次第に変位する。最終的には、圧力調整バルブ５８が付勢部材７０による付勢力によって閉弁位置まで変位し、これにより鍔部７２のシール部材７３が流入口６４の開口周縁部に密着して流入口６４を閉塞し、圧力調整室６２へのインクの流入を遮断する。
【００５３】
次に、上記シール部材７３について説明する。
本実施形態におけるシール部材７３は、撥液性及び弾性を有する樹脂、具体的には、フッ素化ポリエーテル骨格を有するフッ素化エラストマーにより作製されている。フッ素化エラストマーは、撥液性及び弾性（柔軟性）を有する他、耐熱性や化学的安定性を有し、長期にわたって性能が維持されるので、シール部材７３として好適である。また、フッ素化エラストマーとして、例えば、ヒドロシリル基（ケイ素−水素結合）及び炭化水素基（例えば、炭素−炭素二重結合を有するビニル基等のアルケニル基）を有するフッ素化ポリエーテル骨格のフッ素化シリコーン樹脂を採用することができる。ここで、プリンター１において、インクとして例えば有機溶剤系インクを使用した場合、従来のスチレン系エラストマーあるいはオレフィン系エラストマーで作製されたシール部材では、インクにより膨潤してバルブ本体との接合強度が弱まり、これによりバルブ本体から離脱するおそれがあった。本発明に係るプリンター１では、シール部材７３として上記フッ素化エラストマーが採用され、さらに、シール部材７３とバルブ本体７５との間にプライマー層８０が形成されることにより、上記問題を解決している。以下、この点について説明する。
【００５４】
図７は、スチレン系エラストマーのシール部材及びフッ素化エラストマーのシール部材を、６０℃に加温した有機溶剤系インクにそれぞれ浸漬したときの接触角（静的接触角）の変化を示すグラフである。なお、浸漬前（０日）に測定された接触角と、１４日経過した時点で測定された接触角がそれぞれプロットされている。同図に示されるように、スチレン系エラストマーの場合、浸漬状態での時間の経過と共に接触角が低下するのに対し、フッ素化エラストマーはスチレン系エラストマーに比べて高い接触角を示し、しかも浸漬後においても接触角に殆ど変化が観られない。このように、本実施形態におけるシール部材７３は、有機溶剤系インクに対して耐性、すなわち、優れた撥液性を有し、当該インクによる膨潤が抑制されるので、有機溶剤系インクを使用した場合においても膨潤によるバルブ本体７５からの離脱を抑制することができる。また、撥液性を長期に亘って維持することができるので、インクの含有成分がシール部材７３に堆積にすることが低減される。このため、この堆積物によるシール性の低下が抑制される。さらに、本実施形態においては、シール部材７３とバルブ本体７５との接合強度を高めるべく、これらの間にプライマー層８０が設けられている。
【００５５】
次に、本発明に係る圧力調整バルブ５８の製造工程（製造方法）について説明する。
図８は、プリンター１あるいは記録ヘッド１０の製造工程の中の一つであるバルブユニット２１の製造工程について説明するフローチャートである。また、図９から図１１は、プライマー工程（プライマー層８０の形成工程）について説明する工程図である。本発明に係る圧力調整バルブ５８の製造工程では、金属射出成形によりバルブ本体７５が作製される。これにより、バルブ本体７５の形状・寸法の精度及び耐久性が高められている。また、バルブ本体７５にシール部材７３を一体成形するにあたり、インサート成形が採用される。これにより、バルブ本体７５とシール部材７３との間にプライマー層８０を形成するプライマー工程（プライマー処理）を行うことができ、これにより、バルブ本体７５とシール部材７３との接合強度の向上が図られている。
【００５６】
まず、粉体（粒体）状の金属原料を含む原料ペレットが作成される（ステップＳ１）。この原料ペレットは、金属原料と樹脂からなるバインダーとが混錬されることで作製される。金属原料としては、例えばステンレス鋼、チタン、コバール、タングステン等を用いることができる。この他、アルミナやジルコニア等の金属酸化物を金属原料として使用することもできる。次に、原料ペレットは、加熱された後に図示しない射出成形機の金型に所定の圧力で投入（圧入）されてバルブ本体７５の形状に成形される（ステップＳ２）。これにより、金属原料が金型の隅々まで偏りなく行き渡り、より微細で複雑な形状であっても高い精度で成形される。
【００５７】
続いて、上記の射出成形により得られた成形体が加熱処理され、当該成形体中のバインダーが気化されることで当該成形体からバインダーが除去される脱脂工程が行われる（ステップＳ３）。なお、脱脂工程は、加熱によるものに限られず、例えば、有機溶剤に浸漬する手法を採用することもできる。脱脂工程の後、成形体が図示しない焼結炉に収容され、当該焼結炉において、例えば成形体の金属原料の軟化温度よりも少し低い所定温度で焼結工程が行われる（ステップＳ４）。この焼結工程により、成形体中の金属原料が拡散・結合してバルブ本体７５が形成される。すなわち、本実施形態におけるステップＳ１〜Ｓ４が、本発明におけるバルブ基体形成工程に相当する。このようにして作製されたバルブ本体７５は、焼結後の金属組織の相対密度（金属原料の溶製材に対する成形材の密度の比）が例えば９５％以上となり、高い機械強度を得られる。
【００５８】
バルブ本体７５が形成されたならば、次に、バルブ本体７５にシール部材７３を一体的に形成する工程（ステップＳ５〜Ｓ７）が行われる。まず、シール部材７３との密着性を高めるためにバルブ本体７５における封止面７４の少なくともシール部材７３が形成される部位（以下、シール配置部）にプライマー処理が施されることにより、バルブ本体７５とシール部材７３との間に介在するプライマー層８０が形成される（プライマー工程）。本実施形態におけるプライマー工程は、２種類のプライマー溶液（プライマー処理液）が用いられて第１のプライマー工程（ステップＳ５）と第２のプライマー工程（ステップＳ６）の２回の工程に分けて行われる。第１のプライマー工程では、シール配置部の基材と反応する官能基、及び、後述する第２のプライマー層８２と結合する官能基を有するシランカップリング剤からなる第１のプライマー溶液が用いられる。より具体的には、第１のプライマー溶液は、バルブ本体７５の金属表面の水酸基（ＯＨ基）と化学結合する加水分解性基（例えばメトキシ基等のアルコキシ基等）、及び、第２のプライマー層８２と結合する炭化水素基（例えば、炭素−炭素二重結合を有するビニル基等のアルケニル基）を有するシランカップリング剤からなる第１のプライマー溶液が用いられる。
【００５９】
第１のプライマー工程では、バルブ本体７５の封止面７４における少なくともシール部材７３が形成されるシール配置部に、上記の第１のプライマー溶液が、浸漬あるいは刷毛等により塗布され、又は、スプレー等により吹き付けられる。すなわち、第１のプライマー工程では、ケイ素−水酸基結合及び炭素−炭素二重結合を有する分子でシール配置部が表面処理される。このように、プライマー溶液（第１のプライマー溶液、及び、後述する第２のプライマー溶液）を塗布し又は吹き付けることにより、シール配置部に選択的にプライマー層８０（８１，８２）を形成することができる。その後、十数分から数十分間、室温で放置されることで乾燥（風乾）され、続いて、１００℃以上、２００℃以下の温度で十数分から数十分程度加熱される。この過程で、第１のプライマー溶液の加水分解、及び、バルブ本体７５の表面の水酸基との結合を経てシロキサン結合（ポリシロキサン）による膜が形成され、さらに、加熱・乾燥による脱水縮合反応により、図９に示されるように、バルブ本体７５のシール配置部に第１のプライマー層８１が形成される。その結果、バルブ本体７５のシール配置部と第１のプライマー層８１との間には、シロキサン結合（ケイ素−酸素結合）が形成される。このシロキサン結合の結合エネルギーは、炭素結合の結合エネルギーよりも大きく、且つ安定しているため、より強固な結合強度が得られる。
【００６０】
第１のプライマー工程に続いて行われる第２のプライマー工程では、例えば、シール部材７３の素材のポリマー成分を含み、且つシール部材７３の素材及び第１のプライマー層８１のそれぞれと反応する官能基（ヒドロシリル基、及び、ビニル基等の炭化水素基）を有する第２のプライマー溶液が用いられる。すなわち、この第２のプライマー溶液は、第１のプライマー層８１とシール部材７３とのそれぞれと結合するため、ヒドロシリル基及び炭化水素基をより多く有している。そして、第２のプライマー工程では、上記の第１のプライマー層８１が形成された部分に第２のプライマー溶液が塗布又は吹き付けられる。すなわち、第２のプライマー工程では、ヒドロシリル基及び炭素−炭素二重結合を有する分子で、第１のプライマー工程で表面処理が施された（第１のプライマー層８１が形成された）シール配置部がさらに表面処理される。その後、数分間、室温で放置されることで乾燥され、さらに、１００℃以上、１７０℃以下の温度で十数分から数十分程度加熱されて、図１０に示されるように、第１のプライマー層８１に重ねて第２のプライマー層８２が形成される。この第２のプライマー層８２のヒドロシリル基と第１のプライマー層８１の炭化水素基とが反応することにより、シロキサン結合と炭素−炭素二重結合が形成される。これにより、両プライマー層８１，８２が互いに結合してプライマー層８０が形成される。
【００６１】
続いて、インサート成形工程によりシール部材７３がプライマー層８０に積層されて、図１１に示されるように、バルブ本体７５にシール部材７３が一体に成形される（ステップＳ７）。具体的には、シール部材７３が成形される部分にプライマー層８０が形成されたバルブ本体７５が、図示しないインサート成形用の金型にセットされる。この状態で、液状のシール部材７３の素材（フッ素化エラストマー）が金型内に射出され、加熱処理を経て当該シール部材７３が硬化される。この過程で、このシール部材７３のヒドロシリル基と第２のプライマー層８２の炭化水素基とが反応し、また、シール部材７３の炭化水素基と第２のプライマー層８２のヒドロシリル基とが反応して、シール部材７３とプライマー層８０（第２のプライマー層８２）とが互いに強固に結合される。ここで、シール部材７３との接合には、比較的多くの炭素−炭素二重結合を要するため、第２のプライマー層８２は、第１のプライマー層８１と比較してより多くの炭素−炭素二重結合を有している。したがって、バルブ本体７５とシール部材７３との間のプライマー層８０において炭素−炭素二重結合がシール部材７３側により多く分布している。これにより、プライマー層８０とシール部材７３との結合強度をより高めることができる。
【００６２】
以上の工程を経て、バルブ本体７５とシール部材７３とが一体化された圧力調整バルブ５８が得られる。このように、圧力調整バルブ５８の基体であるバルブ本体７５が、金属射出成形で作製されることにより、例えば合成樹脂により作製する場合と比較して、寸法及び形状の精度が向上し、また、耐液性（耐インク性）及び機械的強度が向上する。これにより、圧力調整バルブ５８のシール性および耐久性が向上する。また、バルブ本体７５とシール部材７３とがインサート成形により一体的に形成されるので、バルブ本体７５にシール部材７３を組み付ける別途の工程が不要となる。金属材料に切削加工等の金属加工を施すことによりバルブ本体７５が作製される場合と比較しても、より容易に微細な形状を寸法精度よく形成することができるので、生産効率が向上し、延いては生産コストを抑えることが可能となる。さらに、本実施形態においては、バルブ本体７５のシール配置部にプライマー層８０が形成されることにより、バルブ本体７５とシール部材７３との接合強度を高めつつ一体成形が可能となる。特に、バルブ本体７５が金属のような無機材料から作製される場合、合成樹脂から作製される場合と比較して、バルブ本体７５の表面により多くの水酸基が存在するため、バルブ本体７５とシール部材７３との接合強度をより効果的に高めることが可能となる。そして、シール部材７３が、フッ素化ポリエーテルを含有することで、インク等の液体、特に有機溶剤系インクに対して優れた撥液性を有するので、使用する液体の種類を問わずシール部材７３が膨潤することが抑制される。これにより、バルブ本体７５からのシール部材７３の離脱が抑制される。その結果、圧力調整バルブ５８のシール性および耐久性がさらに向上する。
【００６３】
また、シール部材７３がインクに対して優れた撥液性を有することから、当該シール部材７３にインクの含有成分が堆積しにくいので、シール性の低下を抑制することが可能となる。そして、本実施形態においては、インサート成形によりバルブ本体７５とシール部材７３とが一体化された圧力調整バルブ５８が作製されるので、バルブ本体７５のシール配置部にプライマー処理を行うことができる。このため、装置構成を複雑化することなくバルブ本体７５とシール部材７３との接合強度をより向上させることができる。
【００６４】
このように、本発明に係るバルブユニット２１においては、圧力調整バルブ５８のシール性および耐久性の向上が図られている。このバルブユニット２１を備えるプリンター１や記録ヘッド１０では、圧力調整バルブ５８の耐久性が向上するので、信頼性の向上が可能となる。
【００６５】
次に、バルブユニット２１の他の実施形態について説明する。
図１２は、第２の実施形態におけるバルブユニット２１のシール部材７３周辺部の構成を説明する断面図である。上記第１の実施形態においては、シール部材７３とバルブ本体７５との間にプライマー層８０が介在することにより、シール部材７３とバルブ本体７５との接合強度が化学的に高められた構成を例示したが、これには限られず、プライマー層８０を必ずしも有しなくてもよい。図１２に示される第２の実施形態では、シール部材７３の基材であるバルブ本体７５のシール配置部に、当該シール配置部側（封止面７４側）から反対面側に向けて窪んだ凹部８４が形成されている。この凹部８４は、シール部材７３の延在方向に沿って形成された溝状の凹部であり、その幅はシール部材７３の幅よりも狭くなっている。そして、シール配置部に形成されたシール部材７３の一部は、凹部８４の内部に嵌入している。このように凹部８４内にシール部材７３の一部が嵌入していることで、この嵌入した部分が所謂アンカー効果を奏し、シール部材７３とバルブ本体７５との接合強度を物理的に高めることができる。したがって、本実施形態においても、シール部材７３がバルブ本体７５から離脱することが抑制される。なお、他の構成については第１の実施形態と同様である。
【００６６】
図１３は、第２の実施形態の変形例におけるバルブユニット２１のシール部材７３周辺部の構成を説明する断面図である。上記第２の実施形態における凹部８４の形状や数は図１２に例示した態様に限られず、例えば、図１３に示されるように、シール配置部に粗面加工が施されることにより、微小な凹部８４が多数形成された構成を採用することもできる。この変形例においても、微小な凹部８４にシール部材７３の一部が入り込むことによりアンカー効果を奏し、シール部材７３とバルブ本体７５との接合強度を高めることができる。なお、他の構成については第２の実施形態と同様である。
【００６７】
図１４は、第３の実施形態におけるバルブユニット２１のシール部材７３周辺部の構成を説明する断面図である。本実施形態においては、バルブ本体７５のシール配置部に、当該シール配置部側から突起部８６が立設されている。この突起部８６は、シール部材７３の延在方向に沿って形成された土手状（リブ状）の突起基部８７と、当該突起基部８７の先端部に形成されたオーバーハング部８８とから断面視略Ｔ字状に形成されている。オーバーハング部８８の幅は突起基部８７の幅よりも広くなっている。そして、シール部材７３は、突起部８６を覆う状態でシール配置部に形成されている。このような構成を採用することにより、突起部８６のオーバーハング部８８がシール部材７３の抜け止めとして機能するので、シール部材７３とバルブ本体７５との接合強度を物理的に高めることができる。その結果、シール部材７３がバルブ本体７５から離脱することが抑制される。なお、他の構成については第１の実施形態と同様である。
【００６８】
なお、上記のようにバルブ本体７５が金属射出成形で作製されるので、これらの凹部８４や突起部８６の形状をより容易に且つより精度良く形成することができる。また、これらの凹部８４や突起部８６を設ける構成においても、第１の実施形態と同様にバルブ本体７５のシール配置部とシール部材７３との間にプライマー層８０が介在してもよい。これにより、シール部材７３とバルブ本体７５との接合強度をより一層高めることができる。その結果、シール部材７３がバルブ本体７５から離脱することがより確実に抑制される。
【００６９】
図１５および図１６は、第４の実施形態における圧力調整バルブ５８の周辺構成を説明する断面図であり、図１５は開弁状態、図１６は閉弁状態をそれぞれ示している。上記各実施形態においては、シール部材７３がバルブ本体７５に設けられた構成を例示したが、これには限られず、本体部５４の仕切壁６３における流入口６４の開口周縁部にシール部材７３が設けられてもよい。この構成では、本体部５４（仕切壁６３）が、シール部材７３が設けられた部分（シール配置部）の基材に相当する。この構成においても、シール部材７３がバルブ本体７５に設けられた構成と同様の作用効果を奏する。また、上記各実施形態と同様に、シール部材７３と仕切壁６３における流入口６４の開口周縁部のシール配置部との間にプライマー層８０を設けたり、シール配置部に凹部８４や突起部８６を形成したりすることで、シール部材７３と仕切壁６３のシール配置部との接合強度を高めることができる。本実施形態においても、圧力調整バルブ５８の基体であるバルブ本体７５が、金属原料を用いた金属射出成形で作製されることにより、耐液性及び機械的強度が向上するので、圧力調整バルブ５８のシール性および耐久性の向上が期待できる。
【００７０】
図１７および図１８は、第５の実施形態における圧力調整バルブ５８の周辺構成を説明する断面図であり、図１７は開弁状態、図１８は閉弁状態をそれぞれ示している。本実施形態においては、仕切壁６３における流入口６４の開口周縁部（閉弁時に圧力室調整バルブ５８のシール部材７３が当接する部分）に、例えば合成樹脂製の本体部５４の材質よりも硬質な材料からなる当接部材９０が設けられている。当接部材９０の材料としては、例えば、ステンレス鋼等の金属材料、ガラスセラミックス、あるいはシリコン単結晶基板等により座金状（ワッシャー状）に形成されている。要するに、本体部５４の材質よりも硬度が高く、耐インク性を有するものを当接部材９０の材質として採用することができる。この当接部材９０の中央部には流入口６４と連通する開口部９１が形成されている。この開口部９１の内径は、流入口６４の開口径に揃えられている。この当接部材９０の圧力調整弁５８のシール部７６が当接される面（以下、被当接面）には撥液処理が施されており、バルブユニット２１の流路における他の部分よりも撥液性が高められている。すなわち、当接部材９０の被当接面には、撥液膜が形成されている。この撥液膜としては、例えば、フッ素系高分子を含む金属膜や、撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜等のようにインクに対して撥液性を有するものが採用される。このような構成が採用されることにより、圧力調整弁５８によるシール部分に当該圧力調整弁５８が繰り返し当接することによるインク（溶質）の堆積が抑制され、また、耐久性が向上する。なお、他の構成については第１の実施形態と同様である。
【００７１】
さらに、上記実施形態においては、バルブユニット２１が、記録ヘッド１０から独立した部材である構成を例示したが、これには限られず、液体噴射ヘッド自体が本発明に係るバルブユニットを有する構成（液体噴射ヘッドが、本発明に係るバルブユニットに相当する機能を有する構成）を採用することもできる。
【００７２】
そして、上記実施形態においては、バルブユニットとして、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド１０にインクを供給するバルブユニット２１を例示したが、これには限られず、本発明のバルブユニットは、種々の液体が流通する液体流路の開口を開閉する用途に用いることが可能である。
【符号の説明】
【００７３】
１…プリンター，２…フレーム，３…プラテン，４…ガイドロット，５…キャリッジ，６…パルスモーター，７…駆動プーリー，８…遊転プーリー，９…タイミングベルト，１０…記録ヘッド，１１…キャッピング機構，１２…キャップ，１３…インクカートリッジ，１４…カートリッジホルダー，１５…エアーチューブ，１６…エアーポンプ，１７…インク供給チューブ，１８…ＦＦＣ，１９…回路基板，２０…導入流路，２１…バルブユニット，２２…ホルダー，２３…固定板，２４…ノズルプレート，２５…連通板，２６…アクチュエーター基板，２７…コンプライアンス基板，２８…ケース，２９…圧力室形成基板，３０…ノズル，３１…圧電素子，３２…保護基板，３３…圧力室，３４…ノズル連通口，３５…個別連通口，３６…振動板，３８…駆動ＩＣ，３９…フレキシブル基板，４０…配線空部，４１…収容空間，４３…リザーバー，４４…コンプライアンスシート，４５…支持板，４６…貫通開口，４７…コンプライアンス空間，４９…収容空部，５０…挿通空部，５１…液室空部，５２…導入口，５４…本体部，５５…フィルター，５６…フィルター室，５７…圧力調整部，５８…圧力調整バルブ，６０…流路接続部，６１…バルブ収容室，６２…圧力調整室，６３…仕切壁，６４…流入口，６５…導出口，６７…受圧部材，６８…フィルム部材，６９…作動片，７０…付勢部材，７１…軸部，７２…鍔部，７３…シール部材，７４…封止面，７５…バルブ本体，７６…シール基部，７７…当接部，８０…プライマー層，８１…第１のプライマー層，８２…第２のプライマー層，８４…凹部，８６…突起部，８７…突起基部，８８…オーバーハング部，９０…当接部材，９１…開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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