(57)【要約】  【課題】  配線が断線されてしまうおそれを低減する。  【解決手段】  試料保持具は、上面にて試料を保持する板状の試料保持板と、該試料保持板の下側に配置された円板状の金属プレートと、前記試料保持板と電気的に接続され前記金属プレートに設けられた引出孔から当該金属プレートの下側に引き出された配線とを備え、前記金属プレートの下側に引き出された前記配線が、前記引出孔の周囲で前記金属プレートの下面に沿って配置されて保持されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面にて試料を保持する板状の試料保持板と、該試料保持板の下側に配置された円板状の金属プレートと、前記試料保持板と電気的に接続され前記金属プレートに設けられた引出孔から当該金属プレートの下側に引き出された配線とを備え、
前記金属プレートの下側に引き出された前記配線が、前記引出孔の周囲で前記金属プレートの下面に沿って配置されて保持されていることを特徴とする試料保持具。
【請求項２】
前記金属プレートの下側に引き出された前記配線が、前記金属プレートの周方向に向かって円弧状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の試料保持具。
【請求項３】
前記引出孔が複数設けられており、前記金属プレートの径方向の中央側に位置する引出孔から引き出された配線の数のほうが、外周側に位置する引出孔から引き出された配線の数よりも多いことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の試料保持具。
【請求項４】
前記金属プレートに設けられた固定孔に挿通された結束バンドで前記配線が固定されており、該結束バンドの熱膨張率が前記金属プレートの熱膨張率よりも大きいことを特徴とする請求項１乃至請求項３のうちのいずれかに記載の試料保持具。
【請求項５】
前記配線は導線と該導線を被覆する樹脂からなる被覆層とを含み、前記結束バンドが樹脂からなることを特徴とする請求項４に記載の試料保持具。
【請求項６】
前記固定孔の角部が丸みを帯びていることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の試料保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ウエハを保持するために用いられる試料保持具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
試料保持具として、例えば、特開２００１−２８２９１号公報（以下、特許文献１ともいう）に記載のホットプレートが知られている。特許文献１に記載のホットプレートは、セラミック基板と、セラミック基板の下側に配置されたケーシングとを備えている。セラミック基板の下面にはリード線の一端が設けられている。リード線の他端は、ケーシングに設けられたリード線引出用孔を通ってケーシングの外部に引き出されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２８２９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のホットプレートにおいて、リード線をリード線引出用孔の内部で固定した場合には、リード線の長期信頼性を向上させることが困難であった。具体的には、ヒートサイクル下においては金属プレートが主として面内方向に熱膨張したり熱収縮したりすることになるが、このときリード線引出用孔からリード線に対して締め付けや引っ張りといった応力が加わってしまうおそれがあった。そのため、リード線が断線してしまうおそれがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様の試料保持具は、上面にて試料を保持する板状の試料保持板と、該試料保持板の下側に配置された円板状の金属プレートと、前記試料保持板と電気的に接続され前記金属プレートに設けられた引出孔から当該金属プレートの下側に引き出された配線とを備え、前記金属プレートの下側に引き出された前記配線が、前記引出孔の周囲で前記金属プレートの下面に沿って配置されて保持されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の一態様の試料保持具によれば、配線が金属プレートの下面に沿って配置されて保持されていることから、ヒートサイクル下において、金属プレートが面内方向に熱膨張または熱収縮したとしても、引出孔から配線に締め付けや引っ張りといった応力が加わってしまうのを抑制することができる。その結果、配線が断線してしまうおそれを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の一実施形態の試料保持具を示す断面図である。
【図２】図１に示す領域Ａを拡大して示す部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の一実施形態に係る試料保持具１０について説明する。図１に示すように、試料保持具１０は、試料保持板１と、試料保持板１に設けられた発熱抵抗体２と、試料保持板１の下側に位置して試料保持板１を支持する金属プレート３と、試料保持板１と金属プレート３とを固定する複数の固定部材４と、試料保持板１に接続された配線５とを備えている。なお、図１においては、便宜上、固定部材４および配線５を拡大して示している。
【０００９】
試料保持板１は、上面に試料保持面１１を有する部材である。試料保持板１は、例えば、円板状の部材である。試料保持板１は、例えば、セラミック材料から成る。セラミック材料としては、炭化珪素、炭化硼素、窒化硼素、窒化珪素または窒化アルミニウムを主成分とするセラミック材料を用いることができる。試料保持板１の寸法は、例えば、主面の径を２００〜５００ｍｍ、厚みを１〜７ｍｍに設定できる。
【００１０】
発熱抵抗体２は、ウエハ等の試料（被保持物）を加熱するための部材である。発熱抵抗体２は、試料保持板１の内部または下面に設けられている。本実施形態の試料保持具１０においては、発熱抵抗体２は試料保持板１の下面に設けられている。発熱抵抗体２は、例えば、帯状に形成されている。発熱抵抗体２は、例えば、試料保持板１の下面の全体に引き回されている。発熱抵抗体２は、例えば、金、銀、パラジウムまたは白金等の金属材料から成る。
【００１１】
金属プレート３は、試料保持板１を支持するための部材である。金属プレート３は、試料保持板１の下側に位置しており、固定部材４を介して試料保持板１を支持している。金属プレート３は、例えば、円板状であって試料保持板１と対向するように位置している。
【００１２】
金属プレート３には、配線５を通すための引出孔３０を有している。金属プレート３は、例えば、金属材料から成る。金属材料としては、例えば、鉄またはステンレス等を用いることができる。金属プレート３の寸法は、例えば、主面の径を試料保持板１と同じく２００〜５００ｍｍに設定できる。
【００１３】
金属プレート３と試料保持板１との間には固定部材４が複数設けられており、これにより、金属プレート３と試料保持板１とが固定されている。固定部材４は、例えば、試料保持板１の外縁部を挟み込んで締め付けるようにして試料保持板１を固定している。固定部材は、例えば、金属プレート３にバネによる弾性力によって取り付けられている。固定部材４は試料保持板１の外縁部に複数設けられている。固定部材４は、試料保持板１の外縁部において均等な間隔を開けて配置されている。これにより、試料保持板１に偏った変形が生じることを低減している。固定部材４は、例えば、ステンレス等の金属材料から成る。
【００１４】
配線５は、試料保持板１に電気的に接続され金属プレート３に設けられた引出孔から金属プレート３の下側に引き出された部材である。より具体的には、配線５は、試料保持板１に設けられた各種電極と外部の電源とを接続するための部材である。本実施形態においては、配線５は試料保持板１の下面に設けられた発熱抵抗体２に接続されている。
【００１５】
本実施形態においては、上面にて試料を保持する板状の試料保持板１と、試料保持板１の下側に配置された円板状の金属プレート３と、試料保持板１と電気的に接続され金属プレート３に設けられた引出孔３０から金属プレート３の下側に引き出された配線５とを備え、金属プレート３の下側に引き出された配線５が、引出孔３０の周囲で金属プレート３の下面に沿って配置されて保持されている。
【００１６】
これにより、ヒートサイクル下において、金属プレート３が面内方向に熱膨張または熱収縮したとしても、引出孔３０から配線５に締め付けや引っ張りといった応力が加わってしまうのを抑制することができる。その結果、配線５が断線してしまうおそれを低減できる。
【００１７】
また、金属プレート３の下側に引き出された配線５が、金属プレー３トの周方向に向かって円弧状に配置されていてもよい。ヒートサイクル下においては、金属プレートは径方向に大きく熱膨張するために、周方向に配線５を這わせることによって、径方向の長さを短くでき、配線５を断線する方向への負荷をより低減することができる。そのため、配線５が断線してしまうおそれをさらに低減できる。
【００１８】
また、引出孔３０が複数設けられており、金属プレート３の径方向の中央側に位置する引出孔３０から引き出された配線５０の数のほうが、外周側に位置する引出孔３０から引き出された配線５の数よりも多くてもよい。ヒートサイクル下において、金属プレート３の熱膨張量は金属プレート３の中央側から外周側に向かうにつれて大きくなることから、複数の配線５のうち外周側に位置する配線５を少数にすることで、配線５が断線してしまうおそれをさらに低減できる。なお、金属プレート３の主面の直径の半分の直径を有し、金属プレート３の主面の中心と同一の中心を有する仮想円を考えたときに、この仮想円の内側を中央側とみなし、外側を外周側とみなすことができる。
【００１９】
また、金属プレート３に設けられた固定孔３１に挿通された結束バンド６で配線５が固定されており、結束バンド６の熱膨張率が金属プレート３の熱膨張率よりも大きくてもよい。ヒートサイクル下において、結束バンド６の方が金属プレート３よりも大きく熱膨張することによって、結束バンド６が金属プレート３と共に配線５を強く締めることを低減できるので、結束バンド６と配線５との擦れを低減することができる。その結果、パーティクルの発生を低減できる。
【００２０】
また、配線５は導線と該導線を被覆する樹脂からなる被覆層とを含み、結束バンド６が樹脂からなっていてもよい。配線５の被覆層と結束バンド６とが樹脂からなることによって、配線５と結束バンド６の熱膨張量を近づけることができるので、ヒートサイクル下における配線５と結束バンド６との擦れを低減できる。その結果、パーティクルの発生を低減できる。このような樹脂としては、例えば、フッ素樹脂、ナイロン、ポリプロピレンまたは芳香族ポリエーテルケトン等を用いることができる。
【００２１】
また、固定孔３１の角部が丸みを帯びていてもよい。これにより、結束バンド６が固定孔３１の角部に削られてパーティクルが発生してしまうおそれを低減できる。
【００２２】
また、引出孔３０の角部が丸みを帯びていてもよい。これにより、配線５が引出孔３０の角部に削られてパーティクルが発生してしまうおそれを低減できる。
【符号の説明】
【００２３】
１  ：試料保持板
１１：試料保持面
２  ：発熱抵抗体
３  ：金属プレート
３０：引出孔
３１：固定孔
４  ：固定部材
５  ：配線
６  ：結束バンド
１０：試料保持具
【図１】
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【図２】
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