(57)【要約】【課題】ワークを少数単位で温調された収納庫に出し入れすることで、収納庫内の温度変化を防ぎ、かつワーク毎に任意な時間だけ収納して保管し取り出しが可能であり作業空間や収納空間をとらず装置設置面積も省略できる回転式温調装置を提供する。【解決手段】ワークＷを収納した筐体状のカセット２がカセット保持部に保持されたまま所定の温度に維持された収納庫１内を周回移動する回転式温調装置であって、カセット移送部６には、カセット保持部１４が水平姿勢のまま周回移動するようにガイドする複数のトラック状のガイド溝２４，２５，２６が互いに交差した軌道で形成された一対のガイドプレート２０が装置両側面に対向配置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを収納した筐体状のカセットがカセット保持部に保持されたまま所定の温度に維持された収納庫内を周回移動する回転式温調装置であって、
収納庫の前面側所定高さ位置に設けられた開閉扉を開閉してカセットを収納庫に対して搬入・搬出するカセット搬送機構と、
前記収納庫内を周回移動する一対の無端状の回転伝達部材に複数のカセット保持部が所定ピッチで連結された当該カセット保持部に前記ワークが収納された前記カセットを順次保持させて前記収納庫内を前記回転伝達部材の回転方向に移送するカセット移送部と、
前記収納庫内に温度調整された風を循環させて所定温度に維持するための温調部と、を具備し、
前記カセット移送部には、前記カセット保持部を水平姿勢のまま周回移動するようにガイドする複数のトラック状のガイド溝が互いに交差した軌道で形成された一対のガイドプレートが装置両側面に対向配置されていることを特徴とする回転式温調装置。
【請求項２】
前記回転伝達部材と前記カセット保持部との連結部に第１ガイド軸が連繋して設けられ、前記第１ガイド軸から等距離で前記カセット保持部に第２ガイド軸及び第３ガイド軸が各々連繋して設けられ、前記第１ガイド軸、前記第２ガイド軸及び第３ガイド軸の両端には第１ガイドローラ、第２ガイドローラ及び第３ガイドローラが各々回転自在に取り付けられている請求項１記載の回転式温調装置。
【請求項３】
前記ガイドプレートの対向面には、前記第１ガイドローラが周回して転動するのをガイドするトラック状の第１ガイド溝と、前記第２ガイドローラが転動するのをガイドするトラック状の第２ガイド溝及び前記第３ガイドローラが転動するのをガイドするトラック状の第３ガイド溝が互いに交差して設けられており、前記第１ガイド溝は周回して連続形成されており、前記第２ガイド溝及び前記第３ガイド溝は前記第１ガイド溝と交差位置で分断されて形成されている請求項２記載の回転式温調装置。
【請求項４】
前記カセット搬送機構は、前記カセット保持部から前記カセットを受け渡されるＹ軸スライダーと、前記Ｙ軸スライダーが前記収納庫の内外へ往復動するＹ軸直動ガイドと、前記Ｙ軸直動ガイドが設けられたＹ軸プレートを収納庫外へ更に移動させるＹ軸プレート移動機構と、を備えている請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の回転式温調装置。
【請求項５】
装置手前側に前記Ｙ軸プレート移動機構を搭載するＸ軸プレートと、前記Ｘ軸プレートを、前記Ｙ軸プレートの長手方向と直交する方向に装置前面側に設けられたＸ軸直動ガイドと、前記Ｘ軸プレートを前記Ｘ軸直動ガイドに沿って往復動させるＸ軸プレート移動機構と、を備えている請求項４記載の回転式温調装置。
【請求項６】
前記カセット移送部には、前記収納庫の幅方向に複数のカセット保持部が同期をとって周回移動可能に併設されており、前記収納庫の前面側所定高さ位置には複数の開閉扉が各々開閉可能に設けられている請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の回転式温調装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば加熱、冷却、精密空調、或いはストッカー等幅広い分野で利用することができる回転式温調装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
温度調節された収納庫にワークを収納して所定時間所定温度を維持することでワークを処理することが行われている。
例えば、コーティング剤を塗布された基板乾燥を行う場合やモールド製品を加熱炉内でアフターキュアする場合、或いは金属製品を加熱炉に入れて加熱処理（焼入れ処理）する場合など、様々な処理が施されている。これらの場合、ワークを収納庫に入れてバッチ処理することが一般に行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−２３２１５９号公報
【特許文献２】特開２０１５−２１４７２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に示す熱処理炉で加熱処理されたワークをバスケット入れたまま冷却液に入れるまでの間、ワーク収容部の周囲に保温材を設けている。
また特許文献２においては、多段式加熱炉を用いて、搬入側開閉扉よりワーク搬入装置がワークを支持部材にピッチ送りして載置し、搬出側開閉扉よりワーク搬出装置が支持部材上から加熱処理されたワークを受け取って搬出するようになっている。
【０００５】
上記いずれの特許文献１，２において、加熱炉にワークを搬入或いは搬出する際に開閉扉を開閉するため、炉内の温度低下が著しく、エネルギー効率が低下する。
また、炉内の温度低下を防ぐため、保温材などの別部材を設けるとすれば、コストがかかる。
また、複数のワークをバッチ処理するためワーク搬入搬出装置が大型化して大きな作業スペースを要し、しかも加熱炉が大型化するため大きな設置スペースを要する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、ワークを少数単位で温調された収納庫に出し入れすることで、収納庫内の温度変化を防ぎ、かつワーク毎に任意な時間だけ収納して保管し取り出しが可能であり作業空間や収納空間をとらず装置設置面積も省略できる回転式温調装置を提供することにある。
【０００７】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
ワークを収納した筐体状のカセットがカセット保持部に保持されたまま所定の温度に維持された収納庫内を周回移動する回転式温調装置であって、収納庫の前面側所定高さ位置に設けられた開閉扉を開閉してカセットを収納庫に対して搬入・搬出するカセット搬送機構と、前記収納庫内を周回移動する一対の無端状の回転伝達部材に複数のカセット保持部が所定ピッチで連結された当該カセット保持部に前記ワークが収納された前記カセットを順次保持させて前記収納庫内を前記回転伝達部材の回転方向に移送するカセット移送部と、前記収納庫内に温度調整された風を循環させて所定温度に維持するための温調部と、を具備し、前記カセット移送部には、前記カセット保持部を水平姿勢のまま周回移動するようにガイドする複数のトラック状のガイド溝が互いに交差した軌道で形成された一対のガイドプレートが装置両側面に対向配置されていることを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、カセット保持部が水平姿勢のまま周回移動するようにガイドする複数のトラック状のガイド溝が互いに交差した軌道で形成された一対のガイドプレートが装置両側面に対向配置されているので、ワークを収納したカセットをカセット保持部に水平姿勢で保持したまま複数のトラック状のガイド溝に案内されて所定温度に調整された収納庫内を回転伝達部材の回転方向に周回させて移送することができる。
よって、収納庫内にカセット単位でワークを保持して任意な時間だけ周回移動させて処理ないしは保管することができ、処理が終了するか若しくは必要に応じて収納庫の前面側所定高さ位置に設けられた開閉扉位置で停止させて開閉扉を開閉させてカセットを出し入れすることができ、開閉扉の開閉による庫内温度の変動は可及的に少なくすることができる。しかもカセット保持部を収納庫内で水平姿勢のまま周回移動させてカセットを収納するので、カセット内でワークが移動することもなく保管状態も良好であり、庫内の空間を立体的に利用するので、収納スペースをとらず装置の設置面積も省略することができる。
【０００９】
前記回転伝達部材と前記カセット保持部との連結部に第１ガイド軸が連繋して設けられ、前記第１ガイド軸から等距離で前記カセット保持部に第２ガイド軸及び第３ガイド軸が各々連繋して設けられ、前記第１ガイド軸、前記第２ガイド軸及び第３ガイド軸の両端には第１ガイドローラ、第２ガイドローラ及び第３ガイドローラが各々回転自在に取り付けられていることが好ましい。
これにより、第１ガイド軸と該第１ガイド軸を頂点として等距離位置で第２，第３ガイド軸がカセット保持部と各々連繋しているため、カセット保持部を安定した水平姿勢のままガイドローラの転動によりスムーズに周回移動させることができる。
【００１０】
前記ガイドプレートの対向面には、前記第１ガイドローラが周回して転動するのをガイドするトラック状の第１ガイド溝と、前記第２ガイドローラが転動するのをガイドするトラック状の第２ガイド溝及び前記第３ガイドローラが転動するのをガイドするトラック状の第３ガイド溝が互いに交差して設けられており、前記第１ガイド溝は周回して連続形成されており、前記第２ガイド溝及び前記第３ガイド溝は前記第１ガイド溝と交差位置で分断されて形成されていることが好ましい。
これにより、第１ガイド溝内を第１ガイドローラが転動しながら第１ガイド軸が周回移動し、第２ガイド溝を転動する第２ガイドローラ及び第３ガイド溝を転動する第３ガイドローラの少なくともいずれかがカセット保持部の周回移動をガイドするので、カセット保持部の水平姿勢が崩れることはなく、第１ガイドローラと第２ガイドローラ若しくは第３ガイドローラの軌道がガイド溝どうしの交差位置で干渉するのを防ぐことができる。
【００１１】
前記カセット搬送機構は、前記カセット保持部から前記カセットを受け渡されるＹ軸スライダーと、前記Ｙ軸スライダーが前記収納庫の内外へ往復動するＹ軸直動ガイドと、前記Ｙ軸直動ガイドが設けられたＹ軸プレートを収納庫外へ更に移動させるＹ軸プレート移動機構とを備えていることが好ましい。
これにより、カセット保持部からカセットを受け渡されたＹ軸スライダーがＹ軸直動ガイドの収納庫内端部から収納庫外端部まで移動させることができるうえにＹ軸プレートを更に装置前面側に移動させることでカセットを更に装置前面側に移動させて取り出し易くすることができる。また、Ｙ軸プレートが更に装置前面に移動可能になっているので、Ｙ軸プレートの長さを短縮すると共にＹ軸スライダーの可動領域を減らしてカセット搬入搬出に要する装置前面側の作業領域を減らすことができる。
【００１２】
装置手前側に前記Ｙ軸プレート移動機構を搭載するＸ軸プレートと、前記Ｘ軸プレートを、前記Ｙ軸プレートの長手方向と直交する方向に装置前面側に設けられたＸ軸直動ガイドと、前記Ｘ軸プレートを前記Ｘ軸直動ガイドに沿って往復動させるＸ軸プレート移動機構とを備えていることが好ましい。
これにより、Ｙ軸プレート移動機構により収納庫より装置前面側に移動させたＹ軸プレートを、Ｘ軸プレート移動機構によってＸ軸プレートをＸ軸直動ガイドに沿って装置手前側で任意の位置まで移動させて、カセットの受け渡しを行うことができるうえに、次のカセットの搬入若しくは取り出し位置へＹ軸プレートを移動させることができる。
【００１３】
前記カセット移送部には、前記収納庫の幅方向に複数のカセット保持部が同期をとって周回移動可能に併設されており、前記収納庫の前面側所定高さ位置には複数の開閉扉が各々開閉可能に設けられていることが好ましい。
これにより、カセット単位で保持させたワークを、Ｘ−Ｙ方向に搬送していずれかの開閉扉を開閉してカセット保持部に保持させたり取り出したりすることで、任意のタイミングでワークを収納庫の搬入搬出することができ、カセット単位でワークを収納庫に任意の時間だけ収納して処理や保管を行うことができ、また必要に応じて所望のカセットを呼び出して開閉扉を開閉させて収納庫から取り出すことができる。
よって、省スペースで必要な数のワークを同時に温度調節された収納庫に収納して処理や保管することが可能となり、必要に応じて取り出すことができ、ワーク処理装置として自動ライン化を実現することができる。
【発明の効果】
【００１４】
上述した回転式温調装置を用いれば、ワークを少数単位で温調された収納庫に出し入れすることで、収納庫の温度変動を防ぎ、ワーク毎に任意な時間だけ収納して保管及び取り出しが可能であり作業空間や収納空間をとらず装置設置面積も省略することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】回転式温調装置の内部構成を透視した正面図である。
【図２】図１の回転式温調装置の内部構成を透視した右側面図である。
【図３】図１の回転式温調装置の内部構成を透視した平面図である。
【図４】カセット移送部の一方のガイドプレートの構成を示す説明図である。
【図５】図４のカセット移送部の回転駆動機構を示す正面説明図である。
【図６】図４のカセット移送部の移送動作を示す状態説明図である。
【図７】図４のガイドプレートのうち上下曲線ガイド部の説明図である。
【図８】カセット搬送機構の平面図、正面図、右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係る回転式温調装置の実施形態について、添付図面を参照しながら説明する。本発明は、カセットに収納されたワークを水平姿勢で保持されたまま所定の温度に維持された収納庫内を周回移動させて保管する装置であれば加熱機器、冷却機器、精密空調機器、商品ストッカー等の幅広い分野で使用することができる。本実施形態では、一例としてプリント配線基板の基板製造工程で用いられる複数の基板をカセットに所定間隔で水平保持して所定温度で加熱された温風を収納庫内に循環させて乾燥させる基板乾燥装置を例示して説明する。
【００１７】
図１を参照して、回転式温調装置の概略構成について説明する。
１は筐体状の収納庫であり、所定数のワークＷを収納した筐体状のカセット２を複数収納する。また、収納庫１の前面側であって所定高さ位置には水平方向に複数の開閉扉３が設けられている。各開閉扉３は開閉シリンダ４によって各々開閉することができる。収納庫１内に収納されたカセット２は後述するカセット搬送機構５によって所定の開閉扉３より収納庫１外に取り出される。
【００１８】
収納庫１内には、カセット移送部６が設けられている。図１において、収納庫１の幅方向両側には、回転軸７によって連結されたスプロケットホイール８が収納庫１の上下に一対設けられている。上下一対のスプロケットホイール８には、無端状のベルトチェーン９（回転伝達部材）が架設されている。図５に示すように、上側の回転軸７の一端には従動プーリ１０が設けられている。収納庫１の天面には駆動モータ１１が設けられている。駆動モータ１１のモータ軸には駆動プーリ１２が設けられている。駆動プーリ１２と従動プーリ１０との間にはタイミングベルト１３が架設されている。駆動プーリ１２を回転駆動すると、タイミングベルト１３を通じて従動プーリ１０及び回転軸７を回転駆動させ、ベルトチェーン９を周回移動するようになっている。尚、ベルトチェーン９とスプロケットホイール８に替えてタイミングベルト及びプーリを用いてもよい。
【００１９】
ベルトチェーン９には複数のカセット保持部１４が連結具１５（図４参照）を介して所定ピッチで連結されている。カセット保持部１４は、例えば底部が切り欠かれたＬ型ガイドに形成されており、Ｌ型ガイドがカセット２のサイズに合わせて仕切られて形成されている。カセット保持部１４はベルトチェーン９の長さ方向に所定間隔を設けて連結具１５を介して水平姿勢で各々組み付けられている。また、カセット保持部１４は、後述するガイド軸の軸方向に５カ所に併設され、かつ５列分設けられている。尚、カセット保持部１４の数は、カセット２の大きさに応じて任意に増減することができる。カセット保持部１４にはワークＷを水平姿勢で保持したカセット２が保持されて、収納庫１内を水平姿勢のままベルトチェーン９の回転方向に周回して移送するようになっている。
【００２０】
また収納庫１内には温調部１６が設けられている。温調部１６は、収納庫１の背面側に設けられたブロワモータ１７によりインペラを回転駆動するブロワ１８により送風し、ヒータ１９を通過する際に温風、熱風等を生成してこれを庫内に循環させて所定温度に維持する。
【００２１】
また、カセット移送部６には、カセット保持部１４の周回移動をガイドする複数のトラック状のガイド溝が互いに交差した軌道で形成された一対のガイドプレート２０（図４、図５参照）が装置両側面に対向配置されている。
図４に示すように、各ガイドプレート２０はその対向面に、直線ガイド部２７とその上下に設けられた曲線ガイド部２８を各々有している。直線ガイド部２７には、第１〜第３ガイド溝２４〜２６が互いに平行に形成されている。また、図７に示すように、曲線ガイド部２８には、第１ガイド溝２４のみ連続して形成されており、第１ガイド溝２４と交差する第２ガイド溝２５と第３ガイド溝２６は分断されて形成されている。
【００２２】
図４において、カセット保持部１４をベルトチェーン９と連結する連結具１５（連結部）に第１ガイド軸２１が連繋して設けられている。第１ガイド軸２１の両端には、第１ガイドローラ２１ａが各々回転自在に設けられている。また、カセット保持部１４には、第１ガイド軸２１を頂点として等距離で第２ガイド軸２２及び第３ガイド軸２３が各々連繋している。第２ガイド軸２２及び第３ガイド軸２３の両端にも第２ガイドローラ２２ａ及び第３ガイドローラ２３ａが各々設けられている。これにより、第１ガイド軸２１と該第１ガイド軸２１を頂点として等距離位置で第２，第３ガイド軸２２，２３がカセット保持部１４と各々連繋しているため、カセット保持部１４を安定した水平姿勢のまま第１〜第３ガイドローラ２１ａ，２２ａ，２３ａの転動によりスムーズに周回移動させることができる。
【００２３】
また、図４に示すように、各ガイドプレート２０の対向面には、第１ガイドローラ２１ａが周回して転動するのをガイドするトラック状の第１ガイド溝２４と、第２ガイドローラ２２ａが転動するのをガイドするトラック状の第２ガイド溝２５及び第３ガイドローラ２３ａが転動するのをガイドするトラック状の第３ガイド溝２６が互いに交差して設けられている。
【００２４】
具体的には、第１ガイド溝２４は周回して連続するように形成されており、第２ガイド溝２５及び第３ガイド溝２６は第１ガイド溝２４と交差位置（交点Ａ，Ｂ）で分断されて形成されている。また、第２ガイド溝２５と第３ガイド溝２６は交差位置（交点Ｃ）において、ガイド溝どうしが共用するようになっている。
より詳しくは、図７に示すように上側及び下側の曲線ガイド部２８において、第１ガイド溝２４と交差する第２ガイド溝２５が分断され（交点Ａ）、第１ガイド溝２４と交差する第３ガイド溝２６が分断されている（交点Ｂ）。第２ガイド溝２５と第３ガイド溝２６は交点Ｃで共用するようになっている。
【００２５】
図４において、カセット保持部１４が時計回り方向に周回移動するとすれば、直線移動部２７では、第１ガイド溝２４〜第３ガイド溝２６に第１ガイド軸２１〜第３ガイド軸２３が各々ガイドされて３点支持により安定した水平姿勢で昇降移動する。また図６に示すように、曲線ガイド部２８において、第１ガイド軸２１は第１ガイド溝２４にガイドされたまま移動するが、第２ガイド軸２２は交点Ａで第２ガイド溝２５を外れるが第３ガイド軸２３は、第３ガイド溝２６にガイドされており、少なくとも２点支持となっているので水平姿勢が崩れることはない。同様に第３ガイド軸２３は交点Ｂで第３ガイド溝２６を外れるが第２ガイド軸２２は、第２ガイド溝２５にガイドされており、少なくとも２点支持となっているので水平姿勢が崩れることはない。また、第２ガイド軸２２と第３ガイド軸２３が交点Ｃを同時に通過することもないので、２点支持が崩れることもない。
【００２６】
これにより、第１ガイド溝２４内を第１ガイドローラ２１ａが転動しながら第１ガイド軸２１が周回移動し、第２ガイド溝２５を転動する第２ガイドローラ２２ａ及び第３ガイド溝２６を転動する第３ガイドローラ２３ａの少なくともいずれかがカセット保持部１４の周回移動をガイドするので、カセット保持部１４の水平姿勢が崩れることはなく、第１ガイドローラ２１ａと第２ガイドローラ２２ａ若しくは第３ガイドローラ２３ａの軌道がガイド溝どうしの交差位置で干渉するのを防ぐことができる。
【００２７】
次に図８Ａ〜Ｃを参照して、カセット搬送機構５について説明する。Ｙ軸スライダー２９は、カセット保持部１４からカセット２を受け渡される。カセット２はボックス構造をしており、内部両側壁にスリットが形成されて板状のワークＷが所定間隔を設けて水平姿勢で保持されるようになっている（図８Ｃ参照）。尚、ワークＷによっては、カセット２内に起立姿勢で保持させてもよいし、単にカセット２内に収納しておくだけでもよい。また、Ｙ軸スライダー２９は、正面視コ字状のトレイ形状をしており、カセット２をその底部に隙間を設けて支持するようになっている。
【００２８】
図８Ａに示すように、Ｙ軸スライダー２９はＹ軸直動ガイド３０に連繋しており、Ｙ軸直動ガイド３０の長手方向に往復動する。具体的には、Ｙ軸スライダー２９はロッドレスシリンダが用いられ、Ｙ軸直動ガイド３０上を装置奥側端部から装置前面側端部まで自走するようになっている。Ｙ軸直動ガイド３０はＹ軸プレート３１上に設けられている。Ｙ軸プレート３１はその長手方向の装置奥側端部を収納庫１の内外へ移動させるＹ軸プレート移動機構３２を備えている。
【００２９】
Ｙ軸プレート移動機構３２について説明する。Ｙ軸プレート３１は、Ｙ軸支持プレート３３に対して装置前面側にスライド可能に支持されている。Ｙ軸支持プレート３３上面にはガイドレール３３ａが設けられており、Ｙ軸プレート３１下面にはガイド溝３１ａが設けられている。Ｙ軸支持プレート３３は、ガイドレール３３ａにガイド溝３１ａが嵌め込まれてＹ軸プレート３１をスライド可能に支持している（図８Ｂ参照）。また、Ｙ軸プレート３１の側面にはラック３１ｂが設けられている。またＹ軸支持プレート３３には、正逆回転駆動可能なＹ軸モータ３４が設けられている。Ｙ軸モータ３４のモータ軸には、減速機構を介してピニオンギヤ３４ａが設けられている。ピニオンギヤ３４ａとラック３１ｂが互いに噛み合っている。Ｙ軸モータ３４を所定方向に回転させることで、ピニオンギヤ３４ａと噛み合うラック３１ｂを通じてＹ軸プレート３１をＹ軸支持プレート３３上で収納庫１の前後方向にスライドさせることができる。
【００３０】
これにより、カセット保持部１４からカセット２を受け渡されたＹ軸スライダー２９がＹ軸直動ガイド３０の収納庫内端部から収納庫外端部まで移動させることができるうえにＹ軸プレート３１を更に装置前面側に移動させることでカセット２を更に装置前面側に移動させて取り出し易くすることができる。また、Ｙ軸プレート３１が更に装置前面に移動可能になっているので、Ｙ軸プレート３１の長さを短縮すると共にＹ軸スライダー２９の可動領域を減らしてカセット搬入搬出に要する装置前面側の作業領域を減らすことができる。
【００３１】
また、図８Ｃに示すように、Ｙ軸支持プレート３３は、Ｘ軸プレート３５に昇降可能に支持されている。Ｘ軸スライドプレート３５には昇降シリンダ３６が設けられており、可動子先端はＹ軸支持プレート３３に連結されている。またＹ軸支持プレート３３の下面には、ガイドロッド３３ｂが４か所に設けられており、Ｘ軸スライドプレート３５の筒状ガイドポスト３５ａに挿入されている。昇降シリンダ３６を作動させると、Ｙ軸支持プレート３３が昇降し、Ｙ軸プレート３２に支持されたＹ軸スライダー２９も昇降する。これにより、収納庫１内でカセット２を搭載したＹ軸スライダー２９とカセット保持部１４が重なり合う位置で、カセット保持部１４からＹ軸スライダー２９にカセット２を受け渡すことができ、Ｙ軸スライダー２９からカセット保持部１４へカセット２を受け渡すことができる。
【００３２】
次にＸ軸プレート移動機構３８について説明する。図８Ａに示すようにＸ軸プレート３５は、装置前面側に設けられたＸ軸直動ガイド３７上をＹ軸直動ガイド３０と直交する方向にスライド可能に連繋している。Ｘ軸モータ３９によりボールねじを正逆回転駆動させる。このボールねじにナットを介して連繋するＸ軸プレート３５が、Ｘ軸直動ガイド３７に沿って往復動するようになっている。Ｘ軸直動ガイド３７は、収納庫１の手前側に設けられた架台４０上に設けられている（図２参照）。
これにより、Ｙ軸プレート移動機構３２により収納庫１の前面側に移動させたＹ軸プレート３１を、Ｘ軸プレート移動機構３８によってＸ軸プレート３５をＸ軸直動ガイド３７に沿って収納庫１の手前側を任意の位置まで移動させて、カセット２の受け渡しを行うことができるうえに、次のカセット２の搬入位置若しくは搬出位置へ、Ｙ軸プレート３１を移動させることができる。
【００３３】
ここで、回転式温調装置の動作例について説明する。図１に示す収納庫１内は、ブロワ１８及びヒータ１９を作動させて温風が循環することにより所定温度に維持されているものとする。カセット移送部６には、複数のカセット保持部１４が周回移動可能に併設されており、収納庫１の前面側所定位置には複数（図１では５箇所）の開閉扉３が各々開閉可能に設けられている。
カセット２を収納庫１に搬入搬出を行う場合には、予め駆動モータ１１の駆動を停止させて、ベルトチェーン９の周回移動を停止させて開閉扉３の位置にカセット保持部１４を待機させておく。また、図１のカセット移送部６は５列分のカセット保持部１４が同期をとって周回移動しており、各カセット保持部１４にはID番号等の識別符号が付与されており、この識別符号に基づいて、駆動源（駆動モータ１１、Ｘ軸モータ３９）の駆動量を制御するようにしてもよい。
この場合、作業者は、図示しないコントローラを操作して任意の空のカセット保持部１４を指定して入力することで駆動源の動作を制御することが好ましい。また、同じ行のカセット２毎、或いは同じ列のカセット２毎に乾燥時間を設定して駆動源の動作を個別に制御することも可能である。また、コントローラをマニュアル操作して任意の位置までカセット保持部１４を回転させることができるようになっていてもよい。
【００３４】
先ず、図３に示すようにワークＷを収納したカセット２をＹ軸スライダー２９に載せる。このとき、Ｙ軸プレート３１は、収納庫１より外部に露出した状態にある。カセット２をＹ軸スライダー２９に載せたまま、Ｘ軸プレート移動機構３８を操作してＸ軸プレート３５をＸ軸直動ガイド３７に沿って任意の開閉扉位置へ移動させる。
【００３５】
図２に示すように開閉シリンダ４によって開閉扉３を開放してＹ軸プレート移動機構３２によりＹ軸モータ３４を起動して、Ｙ軸プレート３１の奥側端部を収納庫１内に挿入し、Ｙ軸スライダー２９をＹ軸直動ガイド３０の奥側端部まで自走させることにより、カセット保持部１４と重なる位置までＹ軸スライダー２９を移動させる。尚、Ｙ軸プレート３１の移動とＹ軸スライダー２９の移動は、別々に行ってもよいし、同時に行ってもいずれでもよい。
【００３６】
そして、昇降シリンダ３６を下降させるとＹ軸プレート３１及びＹ軸スライダー２９が下降するのでカセット２がカセット保持部１４に受け渡される。Ｙ軸プレート移動機構３２によりＹ軸モータ３４を逆回転駆動して、Ｙ軸プレート３１の奥側端部を収納庫１内から収納庫１外へ移動させる。またＹ軸スライダー２９をＹ軸直動ガイド３０の装置手前側端部まで自走させる。
Ｙ軸プレート３１の奥側端部が収納庫１外へ移動すると、開閉シリンダ４が開閉扉３を閉じて駆動モータ１１が起動してベルトチェーン９が周回移動するのに伴ってカセット保持部１４がカセット２を保持したまま水平姿勢で周回移動する。そして、予め設定された乾燥時間だけ収納庫１内で周回移動する間に、ワークＷが乾燥処理されるようになっている。
【００３７】
カセット２内に収納されたワークＷの所定乾燥時間が経過すると、開閉シリンダ４によって開閉扉３を開放してＹ軸プレート移動機構３２によりＹ軸モータ３４を起動して、Ｙ軸プレート３１の奥側端部を収納庫１内に挿入し、昇降シリンダ３６を上昇させるとカセット保持部１４に保持されたカセット２がＹ軸スライダー２９に受け渡される。Ｙ軸スライダー２９は、Ｙ軸直動ガイド３０の装置奥側から装置手前側に自走して移動し、Ｙ軸モータ３４を逆回転駆動してＹ軸プレート３１を収納庫１外へ移動させる。
そして、Ｘ軸プレート移動機構３８を動作させてＸ軸プレート３５をＸ軸直動ガイド３７に沿って所定位置まで移動させて取り出されたカセット２を次の工程に受け渡される。
【００３８】
上述したＸ軸プレート移動機構３８及びＹ軸プレート移動機構３２により、カセット２をＸ−Ｙ方向に搬送していずれかの開閉扉３を開閉して収納庫１内の所定のカセット保持部１４に保持させることで、ワークＷをカセット単位で任意の時間だけ収納庫１内に収納して乾燥処理や保管を行うことができ、また必要に応じて任意のカセット２を呼び出して開閉扉３を開閉させて収納庫３から取り出すことができる。
よって、省スペースで必要な数のワークＷを同時に温度調節された収納庫１に収納して処理や保管することが可能となり、必要に応じて取り出すことができ、ワーク処理装置として自動ライン化を実現することができる。
【００３９】
以上説明したように、収納庫１内にカセット２単位でワークＷを保持して任意な時間だけ収納庫の前面側所定位置に設けられた開閉扉３を開閉させて出し入れすることができ、カセット２単位であるため開閉扉３の開閉による温度の変動は可及的に少なくすることができる。しかもカセット保持部１４を収納庫１内で水平姿勢のまま周回させて収納するので、ワークＷがカセット２内で移動することがなく、収納スペースをとらず設置面積も省略することができる。
【００４０】
上述した実施形態は、基板乾燥装置について説明したが、ヒータ１９の代わりにクーラを設けて冷風を循環させる冷却装置としても使用することができ、収納庫１内を所定温度で維持して商品をストックするストッカーとしても使用することができる。
また、収納庫１内外にカセット２をローディング及びアンローディングすることができるので、カセット２の受け渡しを自動化することで、完全自動ライン化を図ることもできる。
【符号の説明】
【００４１】
１  収納庫  ２  カセット  ３  開閉扉  ４  開閉シリンダ  ５  カセット搬送機構  ６  カセット移送部  ７  回転軸  ８  スプロケットホイール  ９  ベルトチェーン  １０  従動プーリ  １１  駆動モータ  １２  駆動プーリ  １３  タイミングベルト  １４  カセット保持部  １５  連結具  １６  温調部  １７  ブロワモータ  １８  ブロワ  １９  ヒータ  ２０  ガイドプレート  ２１  第１ガイド軸  ２１ａ  第１ガイドローラ  ２２  第２ガイド軸  ２２ａ  第２ガイドローラ  ２３  第３ガイド軸  ２３ａ  第３ガイドローラ  ２４  第１ガイド溝  ２５  第２ガイド溝  ２６  第３ガイド溝  ２７  直線ガイド部  ２８  曲線ガイド部  ２９  Ｙ軸スライダー  ３０  Ｙ軸直動ガイド  ３１ Ｙ軸プレート  ３１ａ  ガイド溝  ３１ｂ  ラック  ３２  Ｙ軸プレート移動機構  ３３  Ｙ軸支持プレート  ３３ａ  ガイドレール  ３３ｂ  ガイドロッド  ３４  Ｙ軸モータ  ３４ａ  ピニオンギヤ  ３５  Ｘ軸プレート  ３５ａ  ガイドポスト  ３６  昇降シリンダ  ３７  Ｘ軸直動ガイド  ３８  Ｘ軸プレート移動機構  ３９  Ｘ軸モータ  ４０  架台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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