(57)【要約】【課題】疵を付けずに、付着物の付着状況に応じた除去方法の選択と、継続して安定した付着物の均一除去が可能なダイシングフレームの洗浄方法及びその装置を提供する。【解決手段】付着物が表面に散在しているダイシングフレーム１１から付着物を取り除くダイシングフレームの洗浄方法であって、ダイシングフレーム１１を水平に支持し、水平に支持されたダイシングフレーム１１の表面に上方から管状部材１３の下端面１４を押し当て、ダイシングフレーム１１の表面に洗浄液を塗布し、ダイシングフレーム１１の表面に管状部材１３の下端面１４を押し当てた状態で管状部材１３を水平方向に往復移動させると共に管状部材１３をダイシングフレーム１１の周方向に沿って移動させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
付着物が表面に散在しているダイシングフレームから該付着物を取り除くダイシングフレームの洗浄方法であって、
前記ダイシングフレームを水平に支持し、
水平に支持された前記ダイシングフレームの表面に上方から管状部材の下端面を押し当て、該ダイシングフレームの表面に洗浄液を塗布し、該ダイシングフレームの表面に前記管状部材の下端面を押し当てた状態で該管状部材を水平方向に往復移動させると共に該管状部材を該ダイシングフレームの周方向に沿って移動させることを特徴とするダイシングフレームの洗浄方法。
【請求項２】
請求項１記載のダイシングフレームの洗浄方法において、前記管状部材の下端面を該ダイシングフレームの表面に押し当てる押圧力を、前記付着物の前記ダイシングフレームの表面に対する付着状態に応じて調節することを特徴とするダイシングフレームの洗浄方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載のダイシングフレームの洗浄方法において、前記管状部材の中心軸を、該管状部材の下端面が移動しながら当接する前記ダイシングフレームの表面部位の傾斜角度に合わせて傾斜させることを特徴とするダイシングフレームの洗浄方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のダイシングフレームの洗浄方法において、前記洗浄液を前記管状部材の内側から前記ダイシングフレームの表面に供給することを特徴とするダイシングフレームの洗浄方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のダイシングフレームの洗浄方法において、前記管状部材の水平方向の往復移動量、水平方向の往復移動速度、及び前記ダイシングフレームの周方向に沿った移動速度を、前記付着物の前記ダイシングフレームの表面に対する付着状態に応じてそれぞれ調節することを特徴とするダイシングフレームの洗浄方法。
【請求項６】
付着物が表面に散在しているダイシングフレームから該付着物を取り除くダイシングフレームの洗浄装置であって、
前記ダイシングフレームを水平に支持するダイシングフレーム支持手段と、
管状部材の上部側を保持し、該管状部材の下端面を水平に支持された前記ダイシングフレームの表面に上方から押し当てる押圧手段と、
水平に支持された前記ダイシングフレームの表面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記押圧手段を保持し、前記ダイシングフレームの表面に前記管状部材の下端面が押し当てられた状態で該管状部材を水平方向に往復移動させながら、該ダイシングフレームの周方向に沿って移動させる管状部材移動手段とを有することを特徴とするダイシングフレームの洗浄装置。
【請求項７】
請求項６記載のダイシングフレームの洗浄装置において、前記ダイシングフレーム支持手段は、前記ダイシングフレームが載置される水平支持台と、該水平支持台に設けられて、載置される前記ダイシングフレームの位置決めを行なう位置決め機構と、前記水平支持台に設けられて、位置決めされた前記ダイシングフレームを固定する固定機構とを有することを特徴とするダイシングフレームの洗浄装置。
【請求項８】
請求項６又は７記載のダイシングフレームの洗浄装置において、前記押圧手段は、前記管状部材の下端面を下方に向けて該管状部材の上部側が自在継手を備えた連結機構を介して取り付けられる主軸部と、該主軸部と連結して該主軸部を昇降させると共に、該主軸部を下降させて前記管状部材の下端面を設定された押圧力で前記ダイシングフレームの表面に上方から押し当てる昇降駆動部とを有することを特徴とするダイシングフレームの洗浄装置。
【請求項９】
請求項８記載のダイシングフレームの洗浄装置において、前記連結機構は、下部に前記管状部材の上部側が着脱可能に収納される保持部と、該保持部の上面の中央部に立設され、前記自在継手の内輪を貫通して該内輪に固定される内側接続部と、前記保持部の上面との間に距離を設けて配置され、内側に前記自在継手の外輪を収納して前記主軸部の下部に取り付けられる外側接続部と、前記保持部の上面と前記外側接続部の下面との隙間に配置されて、前記外輪の中心軸に対する前記内輪の中心軸の傾斜を制限する弾性体からなる傾斜角度制限部材とを有することを特徴とするダイシングフレームの洗浄装置。
【請求項１０】
請求項６〜９のいずれか１項に記載のダイシングフレームの洗浄装置において、前記洗浄液供給手段は、水を供給する水供給部と、洗浄剤を供給する薬剤供給部と、下部が前記管状部材の内側と連通し、上部が前記水供給部及び前記薬剤供給部とそれぞれ連通するノズル部とを有することを特徴とするダイシングフレームの洗浄装置。
【請求項１１】
請求項６〜１０のいずれか１項に記載のダイシングフレームの洗浄装置において、前記管状部材移動手段は、前記押圧手段を取り付ける載置台と、該載置台を水平面内で互いに直交する２方向に沿ってそれぞれ独立して移動させる水平面内移動機構とを有することを特徴とするダイシングフレームの洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハーの切断時に半導体ウエハーを固定するダイシングテープ（ダイシングフィルムともいう）を保持するダイシングフレーム（リングフレームともいう）の洗浄方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面に電子回路が多数並べて形成されている半導体ウエハーから電子回路用チップを切出す工程では、ダイシングテープの表面に設けられた接着層を用いてダイシングテープの周囲をダイシングフレームに接着することにより、ダイシングフレームにダイシングテープを保持させ、ダイシングフレームに保持されたダイシングテープの接着層を介して半導体ウエハーをダイシングテープに固定している。そして、半導体ウエハーからの電子回路用チップの切出しが完了すると、ダイシングテープ上から電子回路用チップの良品を回収し、電子回路用チップの不良品が残留しているダイシングテープはダイシングフレームから剥ぎ取られて廃棄され、ダイシングフレームは洗浄して再利用される。
【０００３】
ダイシングテープをダイシングフレームから剥ぎ取る際、ダイシングテープの接着層を軟化させるため、ダイシングテープが接着されたダイシングフレームを加熱したり、ＵＶ（紫外線）照射している。このため、ダイシングフレームに半導体ウエハーの切り屑、ダイシングテープの切り屑、前回の洗浄時に取り除かれなかった付着物が存在していると、軟化した接着層を介して切り屑や付着物が新たな付着物としてダイシングフレームにより強固に付着することになる。そして、ダイシングフレームの使用回数の増加に伴って付着物の個数やサイズも増大するため、ダイシングフレームの表面が徐々に凹凸化していく。その結果、ダイシングフレームにダイシングテープの周囲を接着する際、ダイシングテープに皺が寄り易くなったり、接着強度が低下してダイシングテープの保持力が低下する等の問題が生じる。
【０００４】
そこで、作業者が手作業でダイシングフレームを１枚ずつ、ダイシングフレームの表面に洗剤や薬剤を塗布し布や紙等で拭き取った後に、洗浄液（水や有機溶剤等）で洗浄し、乾燥させている。また、付着物がダイシングフレームに頑強に固着しており、拭き取りでは除去できないものについては、作業者が、金属製の洗浄ブラシやヘラ状物（スクレーパ等）を使用して付着物を削り取った後に、洗浄し乾燥させている。
【０００５】
また、リングフレーム（ダイシングフレーム）の洗浄を自動で行う装置として、リングフレームを収容して洗浄する洗浄槽と、洗浄槽内でリングフレームを保持する保持具と、保持具で保持されたリングフレームをその周方向に回転させる回転体と、回転中のリングフレームに温水をかける温水供給体と、回転中のリングフレームに回転しながら接触してリングフレームを洗浄する洗浄ブラシと、洗浄後のリングフレームに接触して付着している水分を除去するワイパーとを備えたリングフレームの洗浄装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−２５３５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
付着物を金属製の洗浄ブラシを用いて除去する場合、洗浄ブラシを繰り返し使用していると、洗浄ブラシの先端形状が変化し（例えば、洗浄ブラシを構成している複数のワイヤの一部の先側が曲がったり、洗浄ブラシでは場所によりワイヤの摩耗程度が異なるため、ダイシングフレームの表面に接触するワイヤと接触しないワイヤが洗浄ブラシ内に混在することになって）、付着物の削りムラが発生し易いという問題が生じる。特に、作業者が洗浄ブラシを用いて手作業で付着物を除去する場合、洗浄ブラシに大きな力を加え過ぎてダイシングフレームを疵付けてしまう虞が高いという問題がある。
【０００８】
また、ダイシングフレームの付着物を金属製のヘラ状物を用いて除去する場合、ダイシングフレームにヘラ状物を一定の角度を付けて押し当てることが必要となる。ここで、最も効率的に付着物の除去が可能となる押し当て角度及び押し当て力の維持には、作業者の感覚や経験が大きく影響する。このため、作業者間で仕上がり状態が変動し、洗浄品質の安定した作業を行なうことができないという問題がある。
【０００９】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、ダイシングフレームに疵を付けずに、付着物の付着状況に応じた除去方法の選択と、継続して安定した付着物の均一除去が可能なダイシングフレームの洗浄方法及びその装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的に沿う第１の発明に係るダイシングフレームの洗浄方法は、付着物が表面に散在しているダイシングフレームから該付着物を取り除くダイシングフレームの洗浄方法であって、
前記ダイシングフレームを水平に支持し、
水平に支持された前記ダイシングフレームの表面に上方から管状部材の下端面を押し当て、該ダイシングフレームの表面に洗浄液を塗布し、該ダイシングフレームの表面に前記管状部材の下端面を押し当てた状態で該管状部材を水平方向に往復移動させると共に該管状部材を該ダイシングフレームの周方向に沿って移動させる。
【００１１】
第１の発明に係るダイシングフレームの洗浄方法において、前記管状部材の下端面を該ダイシングフレームの表面に押し当てる押圧力を、前記付着物の前記ダイシングフレームの表面に対する付着状態に応じて調節することが好ましい。
これによって、ダイシングフレームの表面から付着物を効率的に除去することができると共に、付着物を除去する際にダイシングフレームの表面に疵が付くのを防止できる。
【００１２】
第１の発明に係るダイシングフレームの洗浄方法において、前記管状部材の中心軸を、該管状部材の下端面が移動しながら当接する前記ダイシングフレームの表面部位の傾斜角度に合わせて傾斜させることが好ましい。
これにより、管状部材の下端面を常にダイシングフレームの表面に均一に押し当てる（密着させる）ことができる。
【００１３】
第１の発明に係るダイシングフレームの洗浄方法において、前記洗浄液を前記管状部材の内側から前記ダイシングフレームの表面に供給することが好ましい。
これにより、洗浄液の飛散を防止しながら、洗浄液を必要な部位に効率的に供給することができる。
【００１４】
第１の発明に係るダイシングフレームの洗浄方法において、前記管状部材の水平方向の往復移動量、水平方向の往復移動速度、及び前記ダイシングフレームの周方向に沿った移動速度を、前記付着物の前記ダイシングフレームの表面に対する付着状態に応じてそれぞれ調節することが好ましい。
これによって、ダイシングフレーム毎に付着物の付着状態が異なっても、ダイシングフレームから付着物を効率的に除去することができる。
【００１５】
前記目的に沿う第２の発明に係るダイシングフレームの洗浄装置は、付着物が表面に散在しているダイシングフレームから該付着物を取り除くダイシングフレームの洗浄装置であって、
前記ダイシングフレームを水平に支持するダイシングフレーム支持手段と、
管状部材の上部側を保持し、該管状部材の下端面を水平に支持された前記ダイシングフレームの表面に上方から押し当てる押圧手段と、
水平に支持された前記ダイシングフレームの表面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記押圧手段を保持し、前記ダイシングフレームの表面に前記管状部材の下端面が押し当てられた状態で該管状部材を水平方向に往復移動させながら、該ダイシングフレームの周方向に沿って移動させる管状部材移動手段とを有する。
【００１６】
第２の発明に係るダイシングフレームの洗浄装置において、前記ダイシングフレーム支持手段は、前記ダイシングフレームが載置される水平支持台と、該水平支持台に設けられて、載置される前記ダイシングフレームの位置決めを行なう位置決め機構と、前記水平支持台に設けられて、位置決めされた前記ダイシングフレームを固定する固定機構とを有することが好ましい。
これにより、ダイシングフレームを常に所定の位置に、水平に配置することができる。
【００１７】
第２の発明に係るダイシングフレームの洗浄装置において、前記押圧手段は、前記管状部材の下端面を下方に向けて該管状部材の上部側が自在継手を備えた連結機構を介して取り付けられる主軸部と、該主軸部と連結して該主軸部を昇降させると共に、該主軸部を下降させて前記管状部材の下端面を設定された押圧力で前記ダイシングフレームの表面に上方から押し当てる昇降駆動部とを有することが好ましい。
これにより、ダイシングフレームの表面に管状部材の下端面を均一に押し当てる（密着させる）ことができる。
【００１８】
第２の発明に係るダイシングフレームの洗浄装置において、前記連結機構は、下部に前記管状部材の上部側が着脱可能に収納される保持部と、該保持部の上面の中央部に立設され、前記自在継手の内輪を貫通して該内輪に固定される内側接続部と、前記保持部の上面との間に距離を設けて配置され、内側に前記自在継手の外輪を収納して前記主軸部の下部に取り付けられる外側接続部と、前記保持部の上面と前記外側接続部の下面との隙間に配置されて、前記外輪の中心軸に対する前記内輪の中心軸の傾斜を制限する弾性体からなる傾斜角度制限部材とを有することが好ましい。
これにより、自在継手による傾斜角度の変化幅が制限されて、管状部材の下端面の傾斜角度を所定の範囲に維持することができ、ダイシングフレーム支持手段にダイシングフレームが支持される都度、管状部材の下端面の傾斜角度の調節を行なうことが不要になる。
【００１９】
第２の発明に係るダイシングフレームの洗浄装置において、前記洗浄液供給手段は、水を供給する水供給部と、洗浄剤を供給する薬剤供給部と、下部が該管状部材の内側と連通し、上部が前記水供給部及び前記薬剤供給部とそれぞれ連通するノズル部とを有することが好ましい。
これにより、付着物の除去作業の進度に合わせて最適な洗浄液（水又は洗浄剤が溶解した水）を供給することができる。
【００２０】
第２の発明に係るダイシングフレームの洗浄装置において、前記管状部材移動手段は、前記押圧手段を取り付ける載置台と、該載置台を水平面内で互いに直交する２方向に沿ってそれぞれ独立して移動させる水平面内移動機構とを有することが好ましい。
これにより、載置台をダイシングフレームの表面上で任意の方向に任意の距離だけ移動させることができ、押圧手段に保持された管状部材の下端面をダイシングフレームの表面上で水平方向に往復移動させながら、ダイシングフレームの周方向に沿って移動させることができる。
【発明の効果】
【００２１】
第１の発明に係るダイシングフレームの洗浄方法及び第２の発明に係るダイシングフレームの洗浄装置では、水平に支持されたダイシングフレームの表面に上方から管状部材の下端面を押し当てて管状部材を水平移動させるので、管状部材の下端面でダイシングフレームに均等に圧力を加えることができ、ダイシングフレームの表面に疵を付けずに付着物を均一に削り取ることが可能になる。
また、管状部材の下端面の全体をダイシングフレームの表面に押し当てるため、洗浄ブラシのように先端形状が経時変化することがなく、ダイシングフレームの表面の付着物を長期間に亘って安定して除去することが可能になる。
【００２２】
更に、付着物の特性（硬さ、変形性、脆さ、付着強度、付着厚み等）に応じて、管状部材の材質（金属、プラスチック（硬質、軟質）、ゴム、セラミックス、複合材（マトリックスが金属、樹脂、ゴム、又はセラミックス等））を選択したり、下端縁部形状（下端面と内周面との角部及び下端面と外周面との角部にそれぞれ施す面取り形状）を選択することにより、付着物の最適な削り取り作業を行なうことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施の形態に係るダイシングフレームの洗浄装置の平面図である。
【図２】同ダイシングフレームの洗浄装置の要部の斜視図である。
【図３】ダイシングフレーム支持手段の平面図である。
【図４】押圧手段及び洗浄液供給手段の斜視図である。
【図５】管状部材を押圧手段に取り付ける連結機構の断面図である。
【図６】連結機構の構成を示す分解図である。
【図７】本発明の一実施の形態に係るダイシングフレームの洗浄装置を使用したダイシングフレームの洗浄システムのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１、図２に示すように、本発明の一実施の形態に係るダイシングフレームの洗浄装置１０は、付着物（図示せず）が表面に散在しているダイシングフレーム１１から付着物を取り除く装置であって、ダイシングフレーム１１を水平に支持するダイシングフレーム支持手段１２と、管状部材１３の上部側を保持し、管状部材１３の下端面１４を水平に支持されたダイシングフレーム１１の表面（ここでは、ダイシングフレーム１１を水平に支持した際に上側に現れる面をいう）に上方から押し当てる押圧手段１５と、水平に支持されたダイシングフレーム１１の表面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段１６と、押圧手段１５を保持し、ダイシングフレーム１１の表面に管状部材１３の下端面１４が押し当てられた状態で管状部材１３を水平方向に往復移動させながら、ダイシングフレーム１１の周方向に沿って移動させる管状部材移動手段１７とを有する。以下、詳細に説明する。
【００２５】
管状部材１３は、例えば、外径が５〜５０ｍｍ、内径が３〜４８ｍｍ、長さが２０〜５０ｍｍであり、金属、プラスチック（硬質、軟質）、ゴム、セラミックス、複合材（マトリックスが金属、プラスチック、ゴム、又はセラミックス等）を用いて形成されている。管状部材１３の下端面１４は、ダイシングフレーム１１の表面に均一に押し当てることができるように平坦に形成され、下端面１４と内周面との角部及び下端面１４と外周面との角部にはそれぞれ面取り加工が施されている。面取り加工を施すことにより、管状部材１３をダイシングフレーム１１上で移動させた際、管状部材１３の下端面１４と内周面及び外周面との角部でダイシングフレーム１１の表面に疵が生じるのを防止できる。
更に、本実施の形態では、図２に示すように管状部材１３を単一の円筒状部材で構成したが、複数の細い円筒状部材（例えば、外径が２〜１０ｍｍ、内径が１〜８ｍｍ、長さが２０〜５０ｍｍ）を束ねて一つの管状部材として構成することもできる。
【００２６】
図１、図３に示すように、ダイシングフレーム支持手段１２は、ダイシングフレーム１１が載置される水平支持台１８と、水平支持台１８に設けられて、載置されるダイシングフレーム１１の位置決めを行なう位置決め機構１９と、水平支持台１８に設けられて、位置決めされたダイシングフレーム１１を固定する固定機構２０とを有する。ここで、符号２１はダイシングフレームの洗浄装置１０のフレーム、符号２２は水平支持台１８をフレーム２１に取付ける連結部材である。
【００２７】
図３に示すように、ダイシングフレーム１１は、例えば、平面視して略円環形状（内半径は切断する半導体ウエハー（図示せず）の外径に基づいて設定し、ダイシングフレーム１１の厚さ及び外半径はダイシングフレームの材質に基づいて設定する）であって、外円周を周方向に４等分する角度位置を中心にそれぞれ直線的な切欠き部２３、２４、２５、２６が形成され、切欠き部２３、２４、２５、２６の内の１つ（ここでは切欠き部２３）を中央にして外円周上の対称となる位置には位置決め用ノッチ２７、２８が形成されている。このため、位置決め機構１９と固定機構２０は、ダイシングフレーム１１の形状及び大きさに合わせて構成されている。
【００２８】
図３に示すように、位置決め機構１９は、水平支持台１８に載置されるダイシングフレーム１１の切欠き部２３と平行となるように、水平支持台１８に並べて配置された複数（ここでは３本）のストッパーピン２９を有している。ここで、ストッパーピン２９の上端位置は、水平支持台１８に載置されたダイシングフレーム１１の高さ位置に対して、例えば、０．２〜０．５ｍｍ低く調節されている。
更に、位置決め機構１９は、水平支持台１８に載置されるダイシングフレーム１１の切欠き部２３の両側に形成された位置決め用ノッチ２７、２８の底部に向けてそれぞれ同期して移動し、位置決め用ノッチ２７、２８の底部に当接して更にダイシングフレーム１１を水平支持台１８上でストッパーピン２９側に向けて移動させてストッパーピン２９に当接させる位置決めピン３０、３１を有している。
【００２９】
位置決めピン３０、３１の先側はそれぞれ、水平支持台１８に位置決めピン３０、３１の移動方向に沿って形成された長孔３２、３３を貫通して水平支持台１８の表面から突出している。なお、位置決めピン３０、３１の各上端位置は、水平支持台１８に載置されたダイシングフレーム１１の高さ位置に対して、例えば、０．２〜０．５ｍｍ低く調節されている。
そして、位置決めピン３０、３１の基側は長孔３２、３３の長手方向に沿って水平支持台１８の裏面側に配置された棒状部材３４、３５の先側にそれぞれ固定され、棒状部材３４、３５の各基部は接続部材３６を介して連結され、接続部材３６の長手方向中央部はフレーム２１に取り付けられたエアシリンダ等の流体圧シリンダ３７（進退機構の一例）のピストンロッド３８と連結している。
【００３０】
なお、水平支持台１８には、異なるサイズ（ここでは、ダイシングフレーム１１より大きな相似形状）のダイシングフレームに対する位置決め機構１９ａが設けられている。なお、位置決め機構１９ａの構成は、位置決め機構１９と同一であって、ストッパーピン２９ａ、位置決めピン３０ａ、３１ａを備え、位置決めピン３０ａ、３１ａの先側はそれぞれ、水平支持台１８に位置決めピン３０ａ、３１ａの移動方向（位置決めピン３０、３１の移動方向と一致）に沿って形成された長孔３２ａ、３３ａを貫通して水平支持台１８の表面から突出している。そして、位置決めピン３０ａ、３１ａの基側は棒状部材３４、３５の中間部にそれぞれ固定されており、位置決め機構１９、１９ａを共通の流体圧シリンダ３７を用いて駆動可能な構成となっている。
【００３１】
図３に示すように、固定機構２０は、位置決め機構１９により水平支持台１８上で位置決めされたダイシングフレーム１１に対して、ダイシングフレーム１１の裏面の複数の所定部位（ここでは、切欠き部２４、２６付近）に対向して水平支持台１８に形成された複数の貫通孔内にそれぞれ配置されて、下方から移動してダイシングフレーム１１の裏面に吸着する吸着手段３９（例えば、永久磁石、電磁石、真空チャック等）と、貫通孔内の吸着手段３９を昇降する図示しない移動手段（例えば、流体圧シリンダ、電動シリンダ等）とを有している。これによって、水平支持台１８上で位置決めされたダイシングフレーム１１を水平支持台１８に固定することができる。
【００３２】
なお、水平支持台１８には、異なるサイズ（ダイシングフレーム１１より大きな相似形状）のダイシングフレームに対する固定機構２０ａが設けられている。なお、固定機構２０ａの構成は、固定機構２０と同一であって、吸着手段３９ａと、吸着手段３９ａを昇降する図示しない移動手段とを有している。
【００３３】
図１、図２、図４に示すように、押圧手段１５は、管状部材１３の下端面１４を下方に向けて管状部材１３の上部側が自在継手４１（図５参照）を備えた連結機構４２を介して下部に取り付けられる中空の主軸部４３と、主軸部４３と連結して主軸部４３を昇降させると共に、主軸部４３を下降させて管状部材１３の下端面１４を設定された押圧力でダイシングフレーム１１の表面に上方から押し当てる昇降駆動部４４とを有する。
【００３４】
図５、図６に示すように、連結機構４２は、下部に管状部材１３の上部側が着脱可能に収納される保持部４５と、保持部４５の上面の中央部に立設され、自在継手４１の内輪４６を貫通して内輪４６と連結する中空の内側接続部４７とを有している。ここで、符号４８は管状部材１３を保持部４５に固定するための締結用ネジである。ここで、内側接続部４７には環状のスペーサー４９が外装され、内側接続部４７の先側に形成された雄ねじ部５０に螺合させたナット５１でスペーサー４９を介して内輪４６の上端が押圧されている。これによって、内輪４６が保持部４５の上面とスペーサー４９で挟持されることになり、内輪４６と内側接続部４７が連結することになる。
【００３５】
図５、図６に示すように、更に、連結機構４２は、保持部４５の上面との間に距離を設けて配置され、内側に自在継手４１の外輪５２を収納して主軸部４３の下部に取り付けられる環状の外側接続部５３と、保持部４５の上面と外側接続部５３の下面との隙間に配置されて、外輪５２の中心軸に対する内輪４６の中心軸の傾斜を制限するゴム（弾性体の一例）からなる傾斜角度制限部材５４とを有する。ここで、主軸部４３の下部側には拡径したドーム部５５が形成され、内側接続部４７の先側と、内側接続部４７の先側に取付けられたスペーサー４９及びナット５１はドーム部５５内に収容され、外側接続部５３は取付けネジ５６を用いてドーム部５５の下部に締結されている。
連結機構４２が自在継手４１を有しているので、管状部材１３の中心軸を、管状部材１３の下端面１４が移動しながら当接するダイシングフレーム１１の表面部位の傾斜角度に合わせて傾斜させることができる。
【００３６】
傾斜角度制限部材５４を設けることにより、ダイシングフレーム１１の付着物を除去する際の管状部材１３の傾斜角度の変化幅を制限することができ、管状部材１３の下端の角部によりダイシングフレーム１１の表面に疵が発生することを防止できる。また、ダイシングフレーム１１の付着物の除去を開始する際の管状部材１３の下端面１４の初期傾斜角度を略０度（略水平状態）にすることができ、水平支持台１８にダイシングフレーム１１が支持される都度、管状部材１３の下端面１４の傾斜角度の調節を行なうことが不要になり、作業効率が向上する。
【００３７】
図４に示すように、昇降駆動部４４は、主軸部４３の長手方向中間部を軸受５７を介して昇降可能に支持するベース部５８と、一側が主軸部４３の上端部と連結し、他側がベース部５８の下側に取付けられた空気圧シリンダ５９（流体圧シリンダの一例）のピストンロッド６０と連結してベース部５８の上方にベース部５８と平行に対向配置される可動部６１と、バイアスばね部６２とを有している。なお、バイアスばね部６２は図示しない圧縮ばねを内蔵しており、可動部６１と可動部６１により昇降される主軸部４３及び主軸部４３に取付けられた連結機構４２、管状部材１３等の重量と空気圧シリンダ５９の下降力に対抗するように働く。そのため、空気圧シリンダ５９への空気供給圧を調整して、管状部材１３のダイシングフレーム１１への微小な押圧力も容易に設定できる。更に、主軸部４３の外周部には軸方向に沿って縦溝４３ａが形成され、縦溝４３ａ内には軸受５７内に保持されているボール（図示せず）が嵌入している。これにより、主軸部４３が軸心周りに回転することを防止できる。
【００３８】
なお、昇降駆動部４４の空気圧シリンダ５９の駆動用の空気は、図示しない空気源（例えば、コンプレッサ）から供給される空気を、ベース部５８上に設けられた支持部材６３に取付けられた空気圧シリンダ空気供給・排出口６８から受入れ配管６５、６６を介して空気圧シリンダ５９に供給され、空気圧シリンダ５９から排出された空気は配管６５、６６を介して支持部材６３に取付けられた空気圧シリンダ空気供給・排出口６８から外部に排出される。また、噴出用空気供給口６４から受入れた空気は、配管６９を介してベース部５８に下方に向けて取付けられた空気噴出ノズル７０から必要に応じて噴出可能になっている。
【００３９】
図２、図４、図５、図６に示すように、洗浄液供給手段１６は、水を設定された流量で供給する水供給部（図示せず）と、洗浄剤（洗剤及び有機溶剤）を設定された量だけ切出して供給する薬剤供給部（図示せず）と、水供給部からの水及び薬剤供給部からの洗浄剤を支持部材６３に取付けられたそれぞれの注入口（図示せず）から受入れて混合し洗浄液として供給口７１から供給する混合器（図示せず）とを有している。更に、洗浄液供給手段１６は、上部が配管７２を介して供給口７１と連通し、下部が保持部４５の内側に収納された取付け部材７３を介して管状部材１３の内側と連通するノズル部７４とを有している。このような構成とすることにより、洗浄液を管状部材１３の内側からダイシングフレーム１１の表面に供給して、洗浄液の飛散を防止しながら、洗浄液をダイシングフレーム１１の表面上に効率的に供給することができる。
【００４０】
また、管状部材１３の円筒壁面部に当該壁面部を貫通する洗浄液排出孔８９を１個又は複数個設けておけば、管状部材１３の内側に供給される洗浄液を洗浄液排出孔８９から溢液させることで、管状部材１３の外面側（円筒壁面部の外側）からも洗浄液をダイシングフレーム１１と管状部材１３の接触面に供給できる。これにより、洗浄効果の向上が期待できると共に、管状部材１３とダイシングフレーム１１の摩擦熱の冷却効果も期待できる。
【００４１】
管状部材移動手段１７は、押圧手段１５をベース部５８を介して取り付ける載置台７５と、載置台７５を水平面内で互いに直交する２方向に沿ってそれぞれ独立して移動させる水平面内移動機構７６とを有している。ここで、水平面内移動機構７６は、載置台７５と連結して、水平支持台１８に固定されたダイシングフレーム１１の切欠き部２３（２５）の長手方向に沿って配置されたレールＸ（図示せず）上を移動する第１の水平移動部７７を有している。ここで、符号７８は、レールＸを覆うカバー部材である。
更に、水平面内移動機構７６は、第１の水平移動部７７に載置され、水平支持台１８に固定されたダイシングフレーム１１の切欠き部２４（２６）の長手方向に沿って配置された図示しないレールＹ（レールＸに直交）上を移動する第２の水平移動部７９を有している。ここで、符号８０は、レールＹを覆うカバー部材である。
【００４２】
このような構成とすることにより、第１、第２の水平移動部７７、７９を連携して移動させることにより、載置台７５を介して管状部材１３を水平支持台１８に固定されたダイシングフレーム１１の表面上の任意の位置の上方に場所移動させることができる。また、管状部材１３を場所移動させた後、第１、第２の水平移動部７７、７９を連携して小振幅で往復移動させることにより、管状部材１３を移動させた位置を中心として小振幅で往復移動させることができる。
そして、管状部材１３の場所移動と往復移動を連携して行うことで、管状部材１３をダイシングフレーム１１の表面上で水平方向に往復移動させながら、ダイシングフレーム１１の周方向に沿って移動させることができる。
【００４３】
続いて、本発明の一実施の形態に係るダイシングフレームの洗浄装置１０によるダイシングフレーム１１の洗浄方法の作用について説明する。
ダイシングフレーム１１の洗浄方法は、付着物が表面に散在しているダイシングフレーム１１から付着物を取り除く洗浄方法であって、ダイシングフレーム１１を水平に支持し、ダイシングフレーム１１の表面に洗浄液を塗布し、ダイシングフレーム１１の表面に管状部材１３の下端面１４を押し当てた状態で管状部材１３を水平方向に往復移動させると共に管状部材１３をダイシングフレーム１１の周方向に沿って移動させている。
【００４４】
水平に支持されたダイシングフレーム１１の表面に上方から管状部材１３の下端面１４を押し当てて管状部材１３を水平移動させるので、管状部材１３の下端面１４でダイシングフレーム１１に均等に圧力を加えることができ、ダイシングフレーム１１の表面に疵を付けずに付着物を均一に削り取ることが可能になる。
【００４５】
このとき、管状部材１３の下端面１４をダイシングフレーム１１の表面に押し当てる押圧力は、付着物のダイシングフレーム１１の表面に対する付着状態に応じて調節する。これにより、ダイシングフレーム１１の表面から付着物を効率的に除去することができると共に、付着物を除去する際にダイシングフレーム１１の表面に疵が付くのを防止できる。
また、管状部材１３の水平方向の往復移動量、水平方向の往復移動速度、及びダイシングフレーム１１の周方向に沿った移動速度を、付着物のダイシングフレーム１１の表面に対する付着状態に応じてそれぞれ調節する。これによって、ダイシングフレーム１１毎に付着物の付着状態が異なっても、ダイシングフレームから付着物を効率的に除去することができる。
更に、管状部材１３をダイシングフレーム１１の表面上で移動させる場合、洗浄液を管状部材１３の内側からダイシングフレーム１１の表面に供給する。これによって、洗浄液の周囲への飛散を防止しながら、洗浄液を必要な部位に効率的に供給することができる。
【００４６】
管状部材１３の中心軸を、管状部材１３の下端面１４が移動しながら当接するダイシングフレーム１１の表面部位の傾斜角度に合わせて傾斜させる。これにより、管状部材１３の下端面１４を常にダイシングフレーム１１の表面に均一に押し当てる（密着させる）ことができる。また、管状部材１３を使用する場合、洗浄ブラシのように先端形状が経時変化することがなく、ダイシングフレーム１１の表面の付着物を長期間に亘って安定して除去することが可能になる。
【００４７】
管状部材１３の材質は、付着物の特性（硬さ、変形性、脆さ、付着強度、付着厚み等）に応じて、金属、プラスチック（硬質、軟質）、ゴム、セラミックス、複合材（マトリックスが金属、樹脂、ゴム、又はセラミックスの中から選択して使用する。例えば、ダイシングフレーム１１に強固に付着している付着物に対しては、削り取る効果が高い鋼製やセラミックス製の管状部材１３を使用する。付着物が脆く、剥がれ易い場合は、ダイシングフレーム１１の表面に疵が入らないことを目的にプラスチック製の管状部材１３を使用する。薄く付着物が付いている場合や粘着性がある場合は、ダイシングフレーム１１の表面に管状部材１３の下端面１４が密着できるように、ゴム製の管状部材１３を使用する。また、付着物が複数の特性を有する場合は、複合材製の管状部材１３を使用する。
【００４８】
図７に示すように、ダイシングフレームの洗浄装置１０を上流側に、ダイシングフレームの洗浄装置１０と同一構成のダイシングフレームの洗浄装置８１（ダイシングフレームの洗浄装置１０と同一の構成要素に同一の符号を付す）を下流側にそれぞれ配置することで、上流側のダイシングフレームの洗浄装置１０でダイシングフレーム１１の表面に付着した付着物を除去し、下流側のダイシングフレームの洗浄装置８１でダイシングフレーム１１の裏面に付着した付着物を除去するダイシングフレームの洗浄システム８２を構成することができる。
【００４９】
ここで、ダイシングフレームの洗浄装置１０の上流側に、ダイシングフレームの洗浄装置１０にダイシングフレーム１１を供給するダイシングフレーム供給部８３（例えば、真空チャックでダイシングフレーム１１を吸着して移動する）を設け、ダイシングフレームの洗浄装置１０、８１の中間に、表面側の付着物が除去された状態のダイシングフレーム１１をダイシングフレームの洗浄装置１０のダイシングフレーム支持手段１２の水平支持台１８から取り出し、ダイシングフレームの洗浄装置８１のダイシングフレーム支持手段１２の水平支持台１８上にダイシングフレーム１１の裏面を上方に向けて載置するダイシングフレーム反転部８４（例えば、ダイシングフレームの洗浄装置１０からダイシングフレーム１１を磁力で吸着して持上げ、ダイシングフレームの洗浄装置８１に移動する）を設け、ダイシングフレームの洗浄装置８１の下流側に、裏面側の付着物が除去された状態のダイシングフレーム１１をダイシングフレームの洗浄装置８１のダイシングフレーム支持手段１２の水平支持台１８から取り出すダイシングフレーム排出部８５を設ける。
これにより、ダイシングフレーム１１をダイシングフレームの洗浄装置１０、８１に順次供給しながら、ダイシングフレームの洗浄装置８１から、表裏の付着物が除去された状態のダイシングフレーム１１を取り出すことができる。
【００５０】
更に、ダイシングフレーム排出部８５の下流側に付着物が除去されたダイシングフレーム１１の表裏面を洗浄して乾燥するダイシングフレーム清掃部８６（例えば、ダイシングフレーム１１を水平面内で回転させながら洗浄液を吹きかけた後、ダイシングフレーム１１を回転させて表面上の洗浄液を吹き飛ばして乾燥させる）を設け、ダイシングフレーム清掃部８６の下流側に、乾燥後のダイシングフレーム１１をダイシングフレーム清掃部８６から取り出すダイシングフレーム取出し部８７（例えば、真空チャックでダイシングフレーム１１を吸着して移動する）を設け、ダイシングフレーム取出し部８７の下流側に、取出された乾燥後のダイシングフレーム１１を集積するダイシングフレーム集積部８８を設ける。
これにより、付着物が除去された状態のダイシングフレーム１１をダイシングフレーム清掃部８６により順次清掃しながら、ダイシングフレーム集積部８８に集積することができ、清掃された状態のダイシングフレーム１１を必要に応じて取り出して使用することができる。
【００５１】
以上、本発明を、実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は何ら上記した実施の形態に記載した構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載されている事項の範囲内で考えられるその他の実施の形態や変形例も含むものである。
更に、本実施の形態とその他の実施の形態や変形例にそれぞれ含まれる構成要素を組合わせたものも、本発明に含まれる。
【符号の説明】
【００５２】
１０：ダイシングフレームの洗浄装置、１１：ダイシングフレーム、１２：ダイシングフレーム支持手段、１３：管状部材、１４：下端面、１５：押圧手段、１６：洗浄液供給手段、１７：管状部材移動手段、１８：水平支持台、１９、１９ａ：位置決め機構、２０、２０ａ：固定機構、２１：フレーム、２２：連結部材、２３、２４、２５、２６、：切欠き部、２７、２８：位置決め用ノッチ、２９、２９ａ：ストッパーピン、３０、３０ａ、３１、３１ａ：位置決めピン、３２、３２ａ、３３、３３ａ：長孔、３４、３５：棒状部材、３６：接続部材、３７：流体圧シリンダ、３８：ピストンロッド、３９、３９ａ：吸着手段、４１：自在継手、４２：連結機構、４３：主軸部、４３ａ：縦溝、４４：昇降駆動部、４５：保持部、４６：内輪、４７：内側接続部、４８：締結用ネジ、４９：スペーサー、５０：雄ねじ部、５１：ナット、５２：外輪、５３：外側接続部、５４：傾斜角度制限部材、５５：ドーム部、５６：取付けネジ、５７：軸受、５８：ベース部、５９：空気圧シリンダ、６０：ピストンロッド、６１：可動部、６２：バイアスばね部、６３：支持部材、６４：噴出用空気供給口、６５、６６：配管、６８：空気圧シリンダ空気供給・排出口、６９：配管、７０：空気噴出ノズル、７１：供給口、７２：配管、７３：取付け部材、７４：ノズル部、７５：載置台、７６：水平面内移動機構、７７：第１の水平移動部、７８：カバー部材、７９：第２の水平移動部、８０：カバー部材、８１：ダイシングフレームの洗浄装置、８２：ダイシングフレームの洗浄システム、８３：ダイシングフレーム供給部、８４：ダイシングフレーム反転部、８５：ダイシングフレーム排出部、８６：ダイシングフレーム清掃部、８７：ダイシングフレーム取出し部、８８：ダイシングフレーム集積部、８９：洗浄液排出孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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