(57)【要約】【課題】プランジャが小径の場合であってもソケット及びプランジャの局部摩耗の防止を図る。【解決手段】プランジャ２０を有するプローブ１０の対と、プランジャ２０の先端側柱体部２２が貫通するプランジャ貫通孔１０１を有するソケット９０とを備え、先端側柱体部２２は、多角柱状の柱体部、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体部であって、先端側柱体部同士は、一つの稜線部Ｐ又は曲面部で近接対向し、隣り合う複数の稜線部Ｑがプランジャ貫通孔１０１の内面に接触して摺動自在である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性チューブとその一端側に設けられた導電性プランジャとを有する、対をなしたプローブと、
前記対をなしたプローブが設けられていて、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有する絶縁性ソケットとを備え、
前記対をなしたプローブにおける前記先端側柱体部は、前記チューブの軸方向の中心に対して前記先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、
前記先端側柱体部は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体部、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体部であって、隣り合う複数の前記稜線部が前記プランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であることを特徴とするケルビン検査用治具。
【請求項２】
導電性チューブとその一端側に設けられた導電性プランジャとを有する、対をなしたプローブと、
前記対をなしたプローブが設けられていて、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有する絶縁性ソケットとを備え、
前記対をなしたプローブにおける前記先端側柱体部は、前記チューブの軸方向の中心に対して前記先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、
前記先端側柱体部は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体部、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体であって、前記先端側柱体部同士は、前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部で近接対向し、前記稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成していることを特徴とするケルビン検査用治具。
【請求項３】
前記先端側柱体部が正多角柱で、前記正多角柱の稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成しており、前記プランジャ貫通孔が丸孔である請求項１又は２に記載のケルビン検査用治具。
【請求項４】
前記曲面部が前記プランジャの基部の外周面と同じ曲率の円弧面であり、前記外周面の延長面で形成されている請求項１又は２に記載のケルビン検査用治具。
【請求項５】
前記先端側柱体部同士は、前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部で近接対向している請求項１乃至４のいずれか一項に記載のケルビン検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査電子部品（ＩＣ，ＬＳＩ等）に設けられた各端子（電極パッド）にそれぞれ２本のプローブを接触させて、ケルビン法によって被検査電子部品の電子回路等を検査するためのケルビン検査用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体集積回路等の被検査電子部品の電子回路等の検査を行う方法として、ケルビン法が知られている。このケルビン法による検査では、被検査電子部品の各端子にそれぞれ２本のプローブを接触させ、一方のプローブは電流供給用として、他方のプローブは電圧監視用として用いる。
【０００３】
この種のケルビン検査用治具の先行技術文献としては、下記特許文献１，２が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５１３１７６６号
【特許文献２】特許第３７１１２６４号
【０００５】
特許文献１において、プローブが有するプランジャの先端側柱体部（先端側本体部）は、ソケットのプランジャ貫通孔を貫通して突出していて、先端側柱体部がプランジャ貫通孔内で周回できないように、先端側柱体部の両側面及びプランジャ貫通孔の対向面を平面状に形成した構造が開示されている。
【０００６】
このような構造の場合、プランジャに回転方向の力が加わったときに、プランジャの先端側柱体部が摺動自在に貫通しているプランジャ貫通孔の平面部に先端側柱体部の一つの角部が接触するため、ソケット及びプランジャの局部摩耗を発生させる問題がある。
【０００７】
特許文献２において、プローブが有するプランジャの延出部（先端側柱体部）は基部に対して偏心位置に設けられており、延出部は基部よりも小径の円柱でソケット側の挿通孔を摺動自在に貫通している。
【０００８】
図１８及び図１９でプローブが有するプランジャの先端側柱体部が円柱状であるケルビン検査用治具の従来例について簡単に説明する。ケルビン検査用治具は、被検査電子部品（ＩＣ，ＬＳＩ等）の１つの端子（電極パッド）当たり１対のプローブ２００を絶縁材からなるソケット２１０に設けている。プローブ２００は、導電性金属製の円筒状チューブ２０１と、チューブ先端側に固定の導電性金属製のプランジャ２０２と、プランジャ２０２の先端側柱体部２０３をソケット２１０のプランジャ貫通孔２１１から突出させる部材等（図示省略）を有している。プランジャ２０２の先端側柱体部２０３は基部２０４よりも小径の円柱形状となっている。
【０００９】
この従来例の場合、丸孔であるプランジャ貫通孔２１１の内周面に、プランジャ２０２の円柱形状の先端側柱体部２０３が接触することになり、角部が無いために、ソケット側プランジャ貫通孔２１１及びプランジャ２０２の先端側柱体部２０３の局部摩耗は発生しにくい。
【００１０】
しかし、最近はプローブの小径化が要求されており、プローブ外径０.５ｍｍ以下となると、プランジャ先端側柱体部の円柱加工が製造上極めて困難になり、非現実的となる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、プランジャが小径の場合であっても容易に製造が可能であり、且つ、ソケット及びプランジャの局部摩耗の防止を実現可能なケルビン検査用治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のある態様はケルビン検査用治具である。このケルビン検査用治具は、導電性チューブとその一端側に設けられた導電性プランジャとを有する、対をなしたプローブと、
前記対をなしたプローブが設けられていて、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有する絶縁性ソケットとを備え、
前記対をなしたプローブにおける前記先端側柱体部は、前記チューブの軸方向の中心に対して前記先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、
前記先端側柱体部は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体部、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体部であって、前記先端側柱体部同士は、前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部で近接対向し、隣り合う複数の前記稜線部が前記プランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であることを特徴とする。
【００１３】
本発明のもう一つの態様もケルビン検査用治具である。このケルビン検査用治具は、導電性チューブとその一端側に設けられた導電性プランジャとを有する、対をなしたプローブと、
前記対をなしたプローブが設けられていて、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有する絶縁性ソケットとを備え、
前記対をなしたプローブにおける前記先端側柱体部は、前記チューブの軸方向の中心に対して前記先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向に偏心した位置に形成されていて、
前記先端側柱体部は、複数の稜線部を有する多角柱状の柱体部、又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体であって、前記先端側柱体部同士は、前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部で近接対向し、前記稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成していることを特徴とする。
【００１４】
前記先端側柱体部が正多角柱で、前記正多角柱の稜線部を境界とする一対の面同士が全て鈍角を成しており、前記プランジャ貫通孔が丸孔であるとよい。
【００１５】
前記曲面部が前記プランジャの基部の外周面と同じ曲率の円弧面であり、前記外周面の延長面で形成されているとよい。
【００１６】
前記先端側柱体部同士は、前記稜線部のうちの一つ又は前記曲面部で近接対向しているとよい。
【００１７】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のケルビン検査用治具によれば、プランジャを有するプローブと、前記プランジャの先端側柱体部が貫通するプランジャ貫通孔を有するソケットとを備える場合に、前記先端側柱体部は複数の稜線部を有する多角柱状の柱体又は多角柱の一部が曲面部で置換された柱体であって、隣り合う複数の稜線部が前記プランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であるため、プランジャ貫通孔の内面に先端側柱体部の角部の一つのみが継続的に接触することを回避できる。これによりソケット及びプランジャの局部摩耗を防止可能である。また、多角柱を形成する工程は加工が容易であるため、プローブの小径化（例えば、プローブ外径０.５ｍｍ以下）にも充分対応可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係るケルビン検査用治具の実施の形態１の縦断面図。
【図２】実施の形態１の拡大平面図。
【図３】実施の形態１で用いるプローブの側面図。
【図４】同側断面図。
【図５】同拡大平面図。
【図６】実施の形態１におけるプローブに回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図。
【図７】本発明に係るケルビン検査用治具の実施の形態２の縦断面図。
【図８】実施の形態２の拡大平面図。
【図９】実施の形態２で用いるプローブの側面図。
【図１０】同側断面図。
【図１１】同拡大平面図。
【図１２】本発明の実施の形態３であって、プローブが有するプランジャの先端側柱体部がソケット側のプランジャ貫通孔のセンター位置にある場合の拡大平面図。
【図１３】実施の形態３におけるプローブに回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図。
【図１４】本発明の実施の形態４であって、プローブが有するプランジャの先端側柱体部がソケット側のプランジャ貫通孔のセンター位置にある場合の拡大平面図。
【図１５】実施の形態４におけるプローブに回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図。
【図１６】本発明の実施の形態５であって、プローブが有するプランジャの先端側柱体部がソケット側のプランジャ貫通孔のセンター位置にある場合の拡大平面図。
【図１７】実施の形態５におけるプローブに回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図。
【図１８】ケルビン検査用治具の従来例を示す主要部の縦断面図。
【図１９】同拡大平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００２１】
実施の形態１
図１乃至図６を用いて本発明に係るケルビン検査用治具の実施の形態１を説明する。ケルビン検査用治具１は、被検査電子部品（ＩＣ，ＬＳＩ等）の１つの端子（電極パッド）当たり１対のプローブ１０を絶縁材からなるソケット９０に設けている。なお、図１では１対のプローブ１０のみを示すが、実際には複数対のプローブ１０がソケット９０に設けられる。
【００２２】
図３乃至図５に示すプローブ１０は、導電性金属製の円筒状チューブ１１と、チューブ先端側（上端側）に固定の導電性金属製のプランジャ２０と、チューブ後端側（下端側）に設けられていてチューブ１１の軸方向に摺動してチューブ１１から突没自在で、且つ、チューブ１１から抜け出ないように保持された導電性金属製の当接部材３０と、図４のようにチューブ１１内部に設けられていて、プランジャ２０及び当接部材３０のチューブ内側の端面に弾接して当接部材３０をチューブ１１から突出する方向に付勢するコイルスプリング３１とを有している。
【００２３】
図４に示すように、プランジャ２０はチューブ１１の先端部内側に挿入される略円柱状の内側挿入部２７と、この内側挿入部２７と同心で内側挿入部２７の先端側に形成される円板状の基部としてのフランジ部２８と、フランジ部２８の中心から偏心した位置でフランジ部２８の先端側に形成される多角柱状の先端側柱体部２２とを一体に有している（プランジャ２０は導電性金属にて一体的に形成される）。
【００２４】
内側挿入部２７は、チューブ１１の内径よりも若干小さな略円柱状に形成され、内側挿入部２７の中間位置には小径のくびれ部２７ａが形成されている。内側挿入部２７をチューブ１１に嵌入した後、内側挿入部２７のくびれ部２７ａに対応したチューブ１１の外周部分にかしめ加工等を施して、チューブ１１の内周側に凸部１２を形成することで、凸部１２がくびれ部２７ａに係合する。これによって、プランジャ２０がチューブ１１から脱落しないようにチューブ１１に固定されると共に保持される。
【００２５】
フランジ部２８の外周面はチューブ１１先端部の外周面と一致している。具体的には、フランジ部２８は、チューブ１１の外周の円筒形に合わせて、これと同径の円板であり、チューブ１１と同心に配置される。
【００２６】
フランジ部２８上に立設される先端側柱体部２２は、外形がフランジ部２８の外径よりも小さな多角柱状の柱体であって、チューブ１１の軸方向の中心から偏心して形成されている。つまり、ソケット９０に一対のプローブ１０を配置するときに、図２のように一対のプローブ１０における先端側柱体部２２が、チューブ１１の軸方向の中心に対して先端側柱体部同士の相互間隔が狭くなる方向の偏心位置に形成される。
【００２７】
プランジャ２０の先端側柱体部２２は、多角柱状の柱体であり、図示の場合では正１２角柱の先端部分を二つの斜面２３で形成して山形にしたものである。そして、二つの斜面２３により形成される稜線２４は偏心方向に向かって高くなるように傾斜しており、その最高点が先端側柱体部２２の頂点Ｐ（被検査電子部品の端子への接触点）となる。先端側柱体部２２が、多角柱状の柱体であるため、隣接する２面で挟まれた稜線部Ｑを長手方向（チューブ１１の軸方向）に複数有する（多角柱状の角数）。先端側柱体部２２の頂点Ｐは、前述した通り前記山形の稜線２４の最高点であり、かつ稜線部Ｑのうち最も長いものの先端に位置し、図２のように１対の先端側柱体部２２の頂点Ｐ同士が最短距離となる配置である。つまり、ソケット９０に配置される対をなすプローブ１０の頂点Ｐ同士の距離が最短となるように、各プローブ１０はソケット９０に配置される。なお、頂点Ｐの位置の稜線部Ｑは、図２のように、チューブ１１の軸方向に直交する平面においてフランジ部２８の外周面上に位置しているときが、対をなす頂点Ｐ同士の間隔が最短となって最も好ましいが、フランジ部２８の外周面近傍の内側に位置していてもよい。多角柱状の先端側柱体部２２における稜線部Ｑを境界とする２面（稜線部Ｑを挟んだ隣接する２面）の成す角αは鈍角（α＞９０°）である。
【００２８】
図１に示すように、絶縁材からなるソケット９０は、先端側（上段）のリテーナ１００及び後端側（下段）のピンブロック１１０が積層一体化された構造を有し、リテーナ１００とピンブロック１１０とを上下に貫通するように、プローブ１０を収容する貫通孔が形成される。ピンブロック１１０にはプローブ１０、すなわちそのチューブ１１を配置するチューブ配置孔１１１が形成され、ここにプローブ１０がその軸方向に摺動自在に挿通されている。また、ピンブロック１１０にはチューブ配置孔１１１の後端部位置に当接部材３０を外方に突出させるとともにチューブ１１の後端側が後端方向に抜け出ないように、当接部材３０の外径よりも大きく、且つ、チューブ１１の外径より小さな小径部１１２が形成されている。リテーナ１００にはピンブロック１１０のチューブ配置孔１１１に連通するチューブ配置孔１１１が形成されると共に先端側にプランジャ２０の先端側柱体部２２を貫通させるように、先端側柱体部２２の外形よりも若干大径のプランジャ貫通孔１０１が形成されている。チューブ１１はチューブ配置孔１１１よりも短く形成されるため、チューブ配置孔１１１にはチューブ１１の軸方向の摺動範囲を規定する空間部１２１が形成される。
【００２９】
ケルビン検査用治具１で被検査電子部品を検査する場合、図１のように底部基板（検査基板）１３０がソケット９０の後端面に密着して配設される。ソケット９０で保持された対をなすプローブ１０の当接部材３０はそれぞれ底部基板１３０の電極１３１，１３２に弾接する。この結果、プランジャ２０の先端側柱体部２２はソケット９０のプランジャ貫通孔１０１を貫通し、かつチューブ１１内のコイルスプリング３１により突出方向に付勢される。
【００３０】
図２は対をなすプランジャ２０の先端側柱体部２２が貫通するリテーナ１００側のプランジャ貫通孔１０１の配置を示し、対をなす先端側柱体部２２の頂点Ｐを有する稜線部Ｑ同士が相互に対向する配置であり、このとき、先端側柱体部２２の頂点Ｐの間隔が最短距離となる。
【００３１】
上記実施の形態１において、被検査電子部品２００を検査する場合、図１のようにケルビン検査用治具１のソケット９０の後端面に底部基板１３０を配置し、底部基板１３０上の電極１３１，１３２に対をなすプローブ１０の当接部材３０を弾接させる（待機状態）。続いて、被検査電子部品２００をソケット９０の被検査物載置面９１に向けて押し当てて、すなわち、被検査電子部品２００の端子（電極パッド）２０１をプランジャ２０の先端側柱体部２２に当接し、さらに押し当ての継続により、先端側柱体部２２を押し下げて当接部材３０の突出量が減じる。このとき、プローブ１０内部のコイルスプリング３１が圧縮されることにより、この圧縮による付勢力によって、対をなしたプランジャ２０の先端側柱体部２２の頂点Ｐが被検査電子部品２００が有する同一の端子（電極パッド）２０１に弾接する（検査状態）。これによって、底部基板１３０の電極１３１，１３２は被検査電子部品２００の端子（電極パッド）２０１とプローブ１０を介して電気的に接続する。例えば、底部基板１３０の一方の電極１３１が電流供給電極であれば、これに接続するプローブ１０が電流供給用プローブとして機能し、他方の電極１３２が電圧監視用電極であれば、これに接続するプローブ１０が電圧監視用プローブとして機能する。
【００３２】
被検査電子部品２００を交換して検査を繰り返す毎に、チューブ１１及びプランジャ２０はソケット９０内でチューブ１１の軸方向に摺動する。このとき、図６のプローブ１０に、例えば、反時計方向の回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションからわかるように、正多角柱状の先端側柱体部２２の隣り合う複数（少なくとも２つ）の稜線部Ｑが丸孔（横断面が真円）であるプランジャ貫通孔１０１の内周面に同時に接触して摺動する（若しくは摺動する割合が多くなる）。このため、プローブ１０に回転方向の力が加わった場合でも先端側柱体部２２とプランジャ貫通孔１０１内周面の接触に起因する局部的な摩耗は防止される。また、稜線部Ｑを挟んだ隣接する２面の成す角αが鈍角であるため、プランジャ貫通孔１０１内周面に深く摩耗溝が形成されることを防止できる。なお、図６においてプローブが時計方向に回転した場合、稜線２４を挟んで反対側の複数の稜線部がプランジャ貫通孔１０１の内周面に同時に接触する。
【００３３】
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
【００３４】
(1) プローブ１０が有しているプランジャ２０の先端側柱体部２２が多角柱状の柱体であるため、隣り合う複数の稜線部Ｑがソケット９０側のプランジャ貫通孔１０１の内面に接触して摺動自在であるため、プランジャ貫通孔１０１の内面に先端側柱体部２２の角部の一つのみが継続的に接触することを回避できる。これによりプランジャ貫通孔１０１の内周面及び先端側柱体部２２の局部摩耗を防止可能である。
【００３５】
(2) プランジャ２０の先端側柱体部２２が多角柱状の柱体で、かつ稜線部Ｑを挟んだ隣接する２面の成す角αが全て鈍角であるため、プランジャ貫通孔１０１内周面に深く摩耗溝が形成されることを防止でき、その結果として、プランジャ貫通孔１０１の内周面及び先端側柱体部２２の局部摩耗を防止可能である。
【００３６】
(3) 図１８及び図１９の従来例の場合、プランジャ２０のフランジ部２８に対して偏芯位置に形成される先端側柱体部２２の円柱加工が必要であって、この円柱加工は極めて困難であるが、これと比較して多角柱加工は、プランジャの外周に面状カットにより一面を形成し、続いて、プランジャを周方向に回転して次の面状カットにより二面を形成し、これを繰り返し行うだけで偏心構造が形成できるために、遙かに容易であり、プローブ１０の小径化（例えば、プローブ外径０.５ｍｍ以下）にも充分対応可能である。
【００３７】
実施の形態２
図７乃至図１１を用いて本発明に係るケルビン検査用治具の実施の形態２を説明する。ケルビン検査用治具２は、プローブ１０が有しているプランジャ２０の先端側柱体部２２Ａが多角柱状の柱体である点は実施の形態１のケルビン検査用治具１と共通するが、先端側柱体部２２Ａの先端面が多角形の外縁に多数の頂点Ｐを形成した多点接触部２５となっている点が実施の形態１のケルビン検査用治具１とは異なっている。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００３８】
この実施の形態２の場合、図７に示すように被検査電子部品２００Ａが有する同一の端子２０１Ａがはんだバンプ等の半球状に盛り上がった形状のときに有効である。つまり、プランジャ２０の先端側柱体部２２Ａが先端面に多点接触部２５を有するため、測定時においてバンプ等の平坦面ではない端子２０１Ａに対して確実に接触して電気的導通を確保できる。その他の作用効果は実施の形態１と同様である。
【００３９】
実施の形態３
図１２は本発明の実施の形態３であって、プローブ１０が有するプランジャ２０の先端側柱体部２２Ｂがソケット側のプランジャ貫通孔１０１のセンター位置にある場合の拡大平面図であり、図１３はプローブ１０に回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図である。実施の形態１のケルビン検査用治具１の先端側柱体部２２は正１２角柱状であるのに対し、実施の形態３の場合、先端側柱体部２２Ｂは正１５角柱状である点が異なる。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００４０】
図１３からわかるように、正１５角柱状の先端側柱体部２２Ｂでも、隣り合う複数の稜線部Ｑがソケット側のプランジャ貫通孔１０１の内面に接触して摺動自在であるため、プランジャ貫通孔１０１の内面に先端側柱体部２２Ｂの角部の一つのみが継続的に接触することを回避でき、これによりプランジャ貫通孔１０１の内周面及び先端側柱体部２２Ｂの局部摩耗を防止可能である。つまり、実施の形態１と同様の作用効果を奏することができる。
【００４１】
実施の形態４
図１４は本発明の実施の形態４であって、プローブ１０が有するプランジャ２０の先端側柱体部２２Ｃがソケット側のプランジャ貫通孔１０１のセンター位置にある場合の拡大平面図であり、図１５はプローブ１０に回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図である。実施の形態１のケルビン検査用治具１の先端側柱体部２２は正多角柱状であるのに対し、実施の形態４の場合、先端側柱体部２２Ｃは多角柱の一部が曲面部としての円弧面２６で置換された柱体であって、先端側柱体部２２Ｃ同士は、円弧面２６で近接対向している。頂点Ｐは円弧面２６の最先端位置にある。また、稜線部Ｑを境界とする一対の面同士が全て鈍角を成している。但し、全ての面の幅が同一の正多角柱ではないので、一対の面同士が成す角度は同一とは限らない。円弧面２６の曲率をプランジャ２０のフランジ部２８の曲率と同じにして、円弧面２６をフランジ部２８の外周面の延長面で構成すれば、大径のフランジ部２８と同時に加工できるから、円弧面２６の加工に困難性はない。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００４２】
図１５からわかるように、多角柱の一部が円弧面２６で置換された先端側柱体部２２Ｃでも、隣り合う複数の稜線部Ｑがソケット側のプランジャ貫通孔１０１の内面に接触して摺動自在であるため、プランジャ貫通孔１０１の内面に先端側柱体部２２Ｃの角部の一つのみが継続的に接触することを回避でき、これによりプランジャ貫通孔１０１の内周面及び先端側柱体部２２Ｃの局部摩耗を防止可能である。つまり、実施の形態１と同様の作用効果を奏することができる。
【００４３】
実施の形態５
図１６は本発明の実施の形態５であって、プローブ１０が有するプランジャ２０の先端側柱体部２２Ｄがソケット側のプランジャ貫通孔１０２のセンター位置にある場合の拡大平面図、図１７は実施の形態５におけるプローブ１０に回転方向の力が加わったときの回転接触シミュレーションを示す拡大平面図である。実施の形態１のケルビン検査用治具１の先端側柱体部２２は正多角柱状であるのに対し、実施の形態５の場合、先端側柱体部２２Ｄは異形多角柱（幅広面を有する）の一部が曲面部としての円弧面２６Ａで置換された柱体であって、先端側柱体部２２Ｄ同士は、円弧面２６Ａで近接対向している。頂点Ｐは円弧面２６Ａの最先端位置にある。また、稜線部Ｑを境界とする一対の面同士が全て鈍角を成している。但し、全ての面の幅が同一の正多角柱ではないので、一対の面同士が成す角度は同一と限らない。ソケット側のプランジャ貫通孔１０２は先端側柱体部２２Ｄの断面よりも僅かに大きな形状であって、円弧面２６Ａの曲率と同様の曲率の円弧面１０３と、円弧面２６Ａの反対側の平坦面に対面する平坦面１０４を有する異形孔である。その他の構成は実施の形態４と同様である。
【００４４】
図１７からわかるように、幅広面を有する異形多角柱の一部が曲面部としての円弧面２６Ａで置換された異形の柱体でも、隣り合う複数の稜線部Ｑがソケット側のプランジャ貫通孔１０２内面に接触して摺動自在であるため、プランジャ貫通孔１０２の内面に先端側柱体部２２Ｄの角部の一つのみが継続的に接触することを回避でき、これによりプランジャ貫通孔１０２の内周面及び先端側柱体部２２Ｄの局部摩耗を防止可能である。つまり、実施の形態１と同様の作用効果を奏することができる。
【００４５】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
【００４６】
前述の実施の形態１，２，３はプローブ１０が有するプランジャ２０の先端側柱体部が正多角柱であったが、稜線部を境界とする隣接２面の成す角（角部）が全て鈍角である正多角柱以外の多角柱又は多角柱の一部を曲面で置換した形状でもよい。また、隣り合う複数の稜線部がプランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であれば、一部の稜線部（角部）は必ずしも鈍角でなくともよい。なお、４角柱では、角部が全て直角又は一部が鋭角となるためため好ましくなく、多角柱は５角以上である。
【００４７】
また、ソケット側のプランジャ貫通孔は実施の形態５の図１６や図１７に示したように丸孔に限定されない。プランジャ貫通孔は先端側柱体部の隣り合う複数の稜線部（角部）が前記プランジャ貫通孔の内面に接触して摺動自在であればよい。
【００４８】
プランジャの先端側柱体部以外のプローブ構造は適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００４９】
１，２  ケルビン検査用治具
１０  プローブ
１１  チューブ
２０  プランジャ
２２，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ  先端側柱体部
２５  多点接触部
２６，２６Ａ  円弧面
２７  内側挿入部
２８  フランジ部
３０  当接部材
３１  コイルスプリング
９０  ソケット
１０１，１０２  プランジャ貫通孔
１３０  底部基板
２００，２００Ａ  被検査電子部品
Ｐ  頂点
Ｑ  稜線部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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