(57)【要約】【課題】液体を吐出口に効率的に充填できる技術を提供する。【解決手段】液体吐出装置の収容室および吐出口に液体を充填する方法であって、移動体を前記吐出口に向かって移動させて前記吐出口を閉塞させた後に、前記収容室を前記液体で満たす収容室充填工程と、前記移動体を前記吐出口から離間させて前記吐出口を開放し、前記吐出口内に前記液体を流入させる吐出口充填工程と、を備える。前記吐出口充填工程は、前記吐出口を開放したときに、前記吐出口に前記液体が流入するように、前記流入口からの前記液体の流入と、前記流出口からの前記液体の流出と、のうちの少なくとも一方を制御して、前記収容室内の圧力を調整する圧力制御工程を含む。【選択図】図１
2018103141.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を収容する収容室であって、前記収容室から前記液体を吐出する吐出口と、前記収容室に前記液体を流入させる流入口と、前記収容室から前記液体を流出させる流出口と、を有する収容室と、前記収容室内において前記吐出口に向かって移動して、前記液体を前記吐出口から吐出させる移動体と、を備える液体吐出装置において、前記吐出口から前記液体を吐出させる吐出処理の実行前に、前記収容室および前記吐出口に前記液体を充填する方法であって、
前記移動体を前記吐出口に向かって移動させて、前記移動体によって前記吐出口を閉塞させた後に、前記流入口から前記液体を流入させて、前記収容室を前記液体で満たす収容室充填工程と、
前記移動体を前記吐出口から離間させて前記吐出口を開放し、前記吐出口内に前記液体を流入させる吐出口充填工程と、
を備え、
前記吐出口充填工程は、前記吐出口を開放したときに、前記吐出口に前記液体が流入するように、前記流入口からの前記液体の流入と、前記流出口からの前記液体の流出と、のうちの少なくとも一方を制御して、前記収容室内の圧力を調整する圧力制御工程を含む、方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法であって、
前記収容室内の前記液体の圧力をＰｃとし、前記収容室の外の気圧をＰｏとし、前記吐出口における前記液体のメニスカス耐圧をＰｍとするとき、
前記圧力制御工程は、Ｐｏ−Ｐｍ＜Ｐｃ＜Ｐｏ＋Ｐｍの関係を満たすように、前記収容室内の圧力を制御する工程である、方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の方法であって、さらに、
前記吐出口充填工程を開始した後に、前記移動体によって前記吐出口を閉塞して、前記吐出口内への前記液体の流入を遮断する遮断工程を備える、方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の方法であって、
前記液体は、剪断力の印加によって粘度が低下する性質を有し、
前記吐出口充填工程は、前記移動体の運動によって前記収容室内の前記液体に前記剪断力を付与して、前記液体の粘度を低下させる工程を含む、方法。
【請求項５】
吐出口から液体を吐出する吐出処理を実行する液体吐出装置であって、
前記液体を収容し、前記吐出口を有する収容室と、
前記収容室に前記液体を流入させる供給部と、
前記収容室から前記液体を流出させる流出部と、
前記収容室内において前記吐出口に向かって移動し、前記液体を前記吐出口から吐出させる吐出動作と、前記吐出口を閉塞する閉塞動作と、をおこなう移動体と、
前記供給部による前記収容室への前記液体の供給と、前記流出部による前記収容室からの前記液体の流出と、前記移動体の移動と、を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記吐出処理の実行に先だって、前記収容室および前記吐出口に前記液体を充填する充填処理として、
前記移動体によって前記吐出口が閉塞された前記収容室に、前記液体を流入させて、前記収容室を前記液体で満たす収容室充填処理と、
前記液体で満たされた前記収容室において、前記移動体を前記吐出口から離間させて前記吐出口を開放し、前記吐出口内に前記液体を流入させる吐出口充填処理と、
を実行し、
前記吐出口充填処理は、前記吐出口を開放したときに前記吐出口に前記液体が流入するように、前記収容室に流入する前記液体の圧力と、前記収容室から流出する前記液体の圧力と、のうちの少なくとも一方を制御して、前記収容室内の圧力を調整する圧力調整処理を含む、液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置における液体の充填方法および液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、吐出口から液体を吐出する種々の液体吐出装置が提案されている。例えば、下記の特許文献１には、吐出口を構成するノズルから、半導体ウェハ上に塗布液を吐出して、レジストなどの薄膜を形成する塗布装置が開示されている。液体吐出装置としては、その他に、吐出口を有するヘッドからインクを吐出して印刷物を作製するインクジェットプリンターや、吐出口から液体材料を吐出して立体物を造形する３Ｄプリンターなどが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１５９２１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液体吐出装置では、一般に、液体の吐出不良の発生を抑制するために、吐出口に液体が充填された状態にした上で、液体を吐出する吐出処理の実行が開始されることが望ましい。吐出口に液体を充填する際には、吐出口から液体が漏洩してしまうと液体が無駄になってしまうという課題があった。また、吐出口内に空気が進入して、液体中に気泡が生じてしまうと液体の吐出不良の発生の原因になるという課題があった。
【０００５】
上記の特許文献１の技術では、塗布ヘッド内のノズルが設けられた液体流路に塗布液を充填する前に、気泡の残留を抑制するための非塗布液を、当該液体流路の壁面に付着させている。特許文献１の技術では、吐出口に液体を充填する前に、液体流路に非塗布液を充填・排出するなど、非塗布液を処理する工程が必要であり、作業効率が著しく低下してしまう可能性がある。液体吐出装置においては、液体を良好に吐出可能な状態にするために、吐出処理の前に、液体を、吐出口に、より効率的に充填できる技術が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００７】
［１］本発明の一形態によれば、液体を収容する収容室であって、前記収容室から前記液体を吐出する吐出口と、前記収容室に前記液体を流入させる流入口と、前記収容室から前記液体を流出させる流出口と、を有する収容室と、前記収容室内において前記吐出口に向かって移動して、前記液体を前記吐出口から吐出させる移動体と、を備える液体吐出装置において、前記吐出口から前記液体を吐出させる吐出処理の実行前に、前記収容室および前記吐出口に前記液体を充填する方法が提供される。この方法は、収容室充填工程と、吐出口充填工程と、を備える。前記収容室充填工程は、前記移動体を前記吐出口に向かって移動させて、前記移動体によって前記吐出口を閉塞させた後に、前記流入口から前記液体を流入させて、前記収容室を前記液体で満たす工程であってよい。前記吐出口充填工程は、前記移動体を前記吐出口から離間させて前記吐出口を開放し、前記吐出口内に前記液体を流入させる工程であってよい。前記吐出口充填工程は、前記吐出口を開放したときに、前記吐出口に前記液体が流入するように、前記流入口から流入する前記液体の圧力と、前記流出口から流出する前記液体の圧力と、のうちの少なくとも一方を制御して、前記収容室内の圧力を調整する圧力制御工程を含んでよい。
この形態の方法によれば、収容室内における移動体の移動によって吐出口から液体を吐出させるタイプの液体吐出装置において、吐出口からの液体の漏洩や、吐出口への外気の進入を抑制しつつ、吐出口に効率的に液体を充填することができる。よって、吐出処理における吐出不良の発生を抑制することができる。
【０００８】
［２］上記形態の方法において、前記収容室内の前記液体の圧力をＰｃとし、前記収容室の外の気圧をＰｏとし、前記吐出口における前記液体のメニスカス耐圧をＰｍとするとき、前記圧力制御工程は、Ｐｏ−Ｐｍ＜Ｐｃ＜Ｐｏ＋Ｐｍの関係を満たすように、前記収容室内の圧力を制御する工程であってよい。
この形態の方法によれば、吐出口において液体にメニスカスを形成させた状態を保持させたまま、吐出口に液体を流入させることができる。よって、吐出口からの液体の漏洩や、吐出口への外気の進入を抑制しつつ、吐出口に効率的に液体を充填することができる。
【０００９】
［３］上記形態の方法において、前記吐出口充填工程を開始した後に、前記移動体によって前記吐出口を閉塞して、前記吐出口内への前記液体の流入を遮断する遮断工程を備えてよい。
この形態の方法によれば、吐出口に液体が充填された状態で、移動体によって吐出口を閉塞することができる。
【００１０】
［４］上記形態の方法において、前記液体は、剪断力の印加によって粘度が低下する性質を有し、前記吐出口充填工程は、前記移動体の運動によって前記収容室内の前記液体に前記剪断力を付与して、前記液体の粘度を低下させる粘度低下工程を含んでよい。
この形態の方法によれば、液体の粘度の低下によって吐出口への液体の流入が促進される。そのため、吐出口への液体の充填速度を高めることができる。
【００１１】
［５］本発明の他の形態によれば、吐出口から液体を吐出する吐出処理を実行する液体吐出装置が提供される。前記液体吐出装置は、前記液体を収容し、前記吐出口を有する収容室と；前記収容室に前記液体を流入させる供給部と；前記収容室から前記液体を流出させる流出部と；前記収容室内において前記吐出口に向かって移動し、前記液体を前記吐出口から吐出させる吐出動作と、前記吐出口を閉塞する閉塞動作と、をおこなう移動体と；前記供給部による前記収容室への前記液体の供給と、前記流出部による前記収容室からの前記液体の流出と、前記移動体の移動と、を制御する制御部と；を備える。前記制御部は、前記吐出処理の実行に先だって、前記収容室および前記吐出口に前記液体を充填する充填処理として、前記移動体に前記閉塞動作をさせて、前記吐出口を閉塞させた後に、前記収容室に、前記液体を流入させて、前記収容室を前記液体で満たす収容室充填処理と、前記収容室充填処理の後に、前記移動体を前記吐出口から離間させて前記吐出口を開放し、前記吐出口内に前記液体を流入させる吐出口充填処理と、を実行する。前記吐出口充填処理は、前記吐出口を開放したときに前記吐出口に前記液体が流入するように、前記収容室に流入する前記液体の圧力と、前記収容室から流出する前記液体の圧力と、のうちの少なくとも一方を制御して、前記収容室内の圧力を調整する圧力調整処理を含んでよい。
この形態の液体吐出装置によれば、吐出口からの液体の漏洩や、吐出口への外気の進入を抑制しつつ、吐出口に効率的に液体を充填することができる。よって、吐出処理における吐出不良の発生を抑制することができる。
【００１２】
上述した本発明の各形態の有する複数の構成要素はすべてが必須のものではなく、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、適宜、前記複数の構成要素の一部について、その変更、削除、新たな他の構成要素との差し替え、限定内容の一部削除を行うことが可能である。また、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、上述した本発明の一形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部を上述した本発明の他の形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部と組み合わせて、本発明の独立した一形態とすることも可能である。
【００１３】
本発明は、液体吐出装置における液体の充填方法や液体吐出装置以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、液体吐出装置の制御方法、液体の充填方法や液体吐出装置の制御方法を実現するコンピュータープログラム、そのコンピュータープログラムを記録した一時的でない記録媒体等の形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態における液体吐出装置の構成を示す概略図。
【図２】第１実施形態の吐出準備処理のフローを示す説明図。
【図３Ａ】吐出準備処理の工程ａにおける収容室の状態を示す模式図。
【図３Ｂ】吐出準備処理の工程ｂにおける収容室の状態を示す模式図。
【図３Ｃ】吐出準備処理の工程ｄにおける収容室の状態を示す模式図。
【図３Ｄ】吐出準備処理の工程ｅにおける収容室の状態を示す模式図。
【図４】第２実施形態の吐出準備処理のフローを示す説明図。
【図５】第２実施形態の吐出準備処理の工程ｆにおける収容室の状態を示す模式図。
【図６】第３実施形態の吐出準備処理のフローを示す説明図。
【図７】第４実施形態の吐出準備処理のフローを示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
A．第１実施形態：
図１は、第１実施形態における液体吐出装置１００の構成を示す概略図である。図１には、液体吐出装置１００が通常の使用状態で配置されているときの重力方向（鉛直方向）を示す矢印Ｇが図示されている。本明細書において、「上」または「下」と言うときは、特に断らない限り、鉛直方向を基準とする方向を意味している。
【００１６】
液体吐出装置１００は、三次元造形装置である３Ｄプリンターであり、液体ＦＬを吐出し、その液体ＦＬを硬化させた層を積み重ねることによって立体物を造形する。本明細書において「吐出」とは、重力を含む何らかの力によって、液体を、収容されている空間内から外部へと放出することを意味し、圧力により液体を放出する「噴射」を含む概念である。液体吐出装置１００が造形対象である立体物の材料として吐出する液体ＦＬの具体例については後述する。
【００１７】
液体吐出装置１００は、吐出部１０と、供給部５０と、流出部５５と、造形ステージ６０と、移動機構６５と、エネルギー付与部７０と、制御部１０１と、を備える。以下、これらの各構成部１０，５０，５５，６０，６５，７０，１０１について順に説明する。
【００１８】
［吐出部］
吐出部１０は、３Ｄプリンターにおけるヘッドに相当し、流動性を有する液体材料である液体ＦＬを液滴の状態で吐出する。液滴の形状は限定されることはなく、球状であってもよいし、球状の形状が一方向に延ばされた形状や、針状、棒状、糸状の形状でもよい。また、１回の吐出につき吐出される液滴の数は１つに限定されず、複数の液滴が吐出されるものとしてもよい。
【００１９】
吐出部１０は、ヘッド本体部１１を備える。本実施形態では、ヘッド本体部１１は、概ね略円筒状の形状を有する中空容器として構成される。ヘッド本体部１１は、例えば、ステンレス鋼などの金属によって構成される。ヘッド本体部１１には、収容室１２と、駆動室１４と、が設けられている。
【００２０】
収容室１２は、ヘッド本体部１１の下端に設けられている。収容室１２は、吐出部１０の吐出対象である液体ＦＬを収容する。本実施形態では、収容室１２は、略円柱状の空洞によって構成されている。
【００２１】
収容室１２の下端には、液体ＦＬを吐出するためのノズルとして機能する吐出口１５が設けられている。吐出口１５は、収容室１２からヘッド本体部１１の外部に連通する貫通孔として設けられており、ヘッド本体部１１の底面１１ｂにおいて開口している。本実施形態では、吐出口１５は、略円柱形状の内部空間を有している。吐出口１５の中心軸ＮＸは、鉛直方向に沿った方向であり、ヘッド本体部１１の底面１１ｂにおいて鉛直下方に向かって開口している。吐出口１５の開口径は、例えば、１０〜２００μｍ程度でよい。吐出口１５の鉛直方向における長さは、例えば、１０〜３０μｍ程度でよい。
【００２２】
吐出口１５の上方には、拡大開口部１６が設けられていることが望ましい。拡大開口部１６は、吐出口１５の上方に位置し、吐出口１５に接続されている開口部である。拡大開口部１６では、移動体２０の先端部２１に近い上方ほどその開口面積が大きくなる。拡大開口部１６によって、吐出口１５へと液体ＦＬが誘導される。拡大開口部１６は、省略されてもよい。
【００２３】
収容室１２には、後述する供給部５０から圧送される液体ＦＬを受け入れるための供給流路１７が側方から接続されている。供給流路１７は、ヘッド本体部１１の外壁を貫通する管路として構成されている。収容室１２の側壁面１２ｗには、供給流路１７から収容室１２に液体ＦＬが流入する流入口１７ｏが開口している。
【００２４】
収容室１２には、収容室１２の液体ＦＬを後述する流出部５５へと流出させるための排出流路１８が側方から接続されている。排出流路１８は、ヘッド本体部１１の外壁を貫通する管路として構成されている。収容室１２の側壁面１２ｗには、収容室１２から排出流路１８へと液体ＦＬが流出する流出口１８ｏが開口している。
【００２５】
駆動室１４は、収容室１２の上方に位置しており、後述する駆動部３０の圧電素子３１を収容している。本実施形態では、収容室１２と駆動室１４との境界に、シール部材１９が配置されている。シール部材１９は、例えば、樹脂製のＯリングによって構成される。
【００２６】
吐出部１０は、さらに、移動体２０と、駆動部３０と、を備える。移動体２０は、ヘッド本体部１１の収容室１２と駆動室１４とに跨がって配置されている。本実施形態では、移動体２０は、略円柱状の本体部を有する軸状の部材によって構成されている。移動体２０は、例えば、ステンレス鋼などの金属によって構成される。移動体２０の直径は、０．３〜５ｍｍ程度としてよい。
【００２７】
本実施形態では、移動体２０は、その中心軸ＣＸが、吐出口１５の中心軸ＮＸと一致するように配置される。移動体２０は、シール部材１９の中央の貫通孔に気密に挿通されて、自身の中心軸ＣＸに沿った方向への移動が許容された状態で保持される。なお、シール部材１９が移動体２０の側面に密着することによって、収容室１２の液体ＦＬが駆動室１４へと進入することが抑制される。
【００２８】
移動体２０は、吐出口１５に向かう方向と、吐出口１５から離れる方向と、に移動する。本実施形態では、移動体２０の移動方向は、移動体２０の中心軸ＣＸに沿った方向であり、鉛直方向に沿った方向である。移動体２０の移動可能な範囲は、例えば、１０〜５００μｍ程度としてもよい。
【００２９】
移動体２０の先端部２１は、収容室１２において吐出口１５に対向する位置に配置される。液体吐出装置１００における吐出処理では、移動体２０が、吐出口１５に向かう方向に移動して、収容室１２の液体ＦＬが、移動体２０の先端部２１に、吐出口１５から押し出されることによって、液体ＦＬの液滴が吐出される。
【００３０】
移動体２０の先端部２１は、移動体２０が最も吐出口１５に近づいたときに、吐出口１５の周縁部に接触して、吐出口１５を閉塞する。先端部２１は、吐出口１５を閉塞するときに、吐出口１５の周縁部に対して線接触するように構成されていることが望ましい。そのため、先端部２１は、吐出口１５に向かって凸の略半球形状を有していることが望ましい。先端部２１の直径は、吐出口１５の開口径よりも大きく、拡大開口部１６の上端における開口径よりも小さいことが望ましい。
【００３１】
駆動部３０は、移動体２０を移動させるための駆動力を発生する。本実施形態では、駆動部３０は、駆動室１４に収容されている圧電素子３１と、駆動回路３２と、を備える。圧電素子３１は、ピエゾ素子とも呼ばれ、複数の圧電材料が積層された構成を有しており、各圧電材料に印加される電圧の大きさに応じて、その積層方向に長さが変化する。圧電素子３１は、その積層方向における一方の端部が駆動室１４の上壁面に固定されており、他方の端部が移動体２０の上端に位置する後端部に連結されている。駆動回路３２は、制御部１０１の制御下において、圧電素子３１を伸縮変形させるための電気駆動力を印加する。駆動部３０は、圧電素子３１の伸縮変形によって移動体２０を変位させる。
【００３２】
駆動室１４には、圧電素子３１に加えて、移動体２０を、吐出口１５から離れる方向に移動させる方向に弾性力を付与して、移動体２０を圧電素子３１の方に押す付勢部材が配置されていてもよい。また、移動体２０と圧電素子３１との間には、移動体２０と圧電素子３１とを連結する連結部材が配置されていてもよい。
【００３３】
［供給部］
供給部５０は、吐出部１０の収容室１２に対する液体ＦＬの流入を制御する。供給部５０は、供給流路１７を介して、液体ＦＬを圧送する。供給部５０は、配管５１と、液体貯留部５２と、圧力発生部５３と、を備える。配管５１は、ヘッド本体部１１の供給流路１７と液体貯留部５２とを接続する。液体貯留部５２は、液体吐出装置１００における液体ＦＬの供給源であり、液体ＦＬを貯留するタンクによって構成されている。液体貯留部５２では、貯留されている液体ＦＬに溶媒が混合されることによって、液体ＦＬの粘度が予め決められた所定の粘度に保持される。液体ＦＬの粘度は、例えば、５０〜４０，０００ｍＰａ・ｓ程度であってよい。
【００３４】
圧力発生部５３は、例えば、加圧ポンプによって構成される。圧力発生部５３は、液体貯留部５２の液体ＦＬを、配管５１を介してヘッド本体部１１に圧送するための圧力を付与する。圧力発生部５３は、例えば、０．４〜０．６ＭＰａ程度の圧力を液体ＦＬに付与する。なお、図１では、圧力発生部５３は、液体貯留部５２の上流側に設けられているが、圧力発生部５３は、液体貯留部５２の下流側に設けられてもよい。
【００３５】
［流出部］
流出部５５は、収容室１２からの液体ＦＬの流出を制御する。流出部５５は、排出流路１８を介して、収容室１２の液体ＦＬをヘッド本体部１１の外部へと流出させる。本実施形態では、流出部５５は、収容室１２から流出させた液体ＦＬを供給部５０へと循環させる循環部として機能する。流出部５５は、排出流路１８に接続される配管５７と、配管５７における液体ＦＬの流量を調整する流量調整部５８と、を備える。配管５７には、流出口１８ｏを介して収容室１２から流出した液体ＦＬが流入する。本実施形態では、配管５７は供給部５０の液体貯留部５２に接続されており、配管５７の液体ＦＬは液体貯留部５２へと循環される。
【００３６】
流量調整部５８は、制御部１０１の制御下において、配管５７における液体ＦＬの流量を調整する。流量調整部５８は、例えば、収容室１２から液体ＦＬを吸引する吸引ポンプによって構成される。流量調整部５８は、例えば、液体ＦＬの吐出処理においては、収容室１２の内圧が、吐出口１５からの液体ＦＬの吐出に適した圧力に維持されるように、配管５７における液体ＦＬの流量を調整する。
【００３７】
液体吐出装置１００は、流出部５５を備えていることによって、吐出処理の実行中や、吐出処理を休止している待機中に、収容室１２内において、流入口１７ｏから流出口１８ｏへと向かう液体ＦＬの流れを生じさせることができる。これによって、収容室１２内に液体ＦＬに含まれる粒子が滞留してしまうことが抑制される。また、溶媒成分の蒸発によって液体ＦＬの濃度が変化してしまうなど、液体ＦＬの劣化を抑制することができ、液体ＦＬを吐出に適した状態に維持することができる。
【００３８】
［造形ステージおよび移動機構］
造形ステージ６０は、吐出部１０における吐出口１５の開口方向の先に配置されている。吐出部１０は、造形ステージ６０を目標対象物として液体ＦＬを吐出する。造形ステージ６０に着弾した液体ＦＬの液滴によって立体物が造形される。本実施形態では、造形ステージ６０は、平板な板状部材によって構成され、略水平に配置されている。造形ステージ６０は、例えば、吐出口１５から鉛直下方に１．５〜３ｍｍ程度離れた位置に配置される。
【００３９】
移動機構６５は、造形ステージ６０を吐出部１０に対して変位させるためのモーターやローラー、シャフト、各種アクチュエーターを備える。移動機構６５は、造形ステージ６０を、吐出部１０に対して相対的に、矢印Ｙで示す水平方向、および、矢印Ｘで示す鉛直方向に変位させる。これによって、造形ステージ６０上における液体ＦＬの着弾位置が調整される。なお、液体吐出装置１００においては、造形ステージ６０の位置が固定され、吐出部１０が移動機構によって造形ステージ６０に対して変位するように構成されていてもよい。
【００４０】
［エネルギー付与部］
エネルギー付与部７０は、造形ステージ６０に着弾した液体ＦＬにエネルギーを付与して硬化させる。本実施形態では、エネルギー付与部７０は、レーザー装置によって構成され、レーザーの照射によって、光エネルギーを液体ＦＬに付与する。エネルギー付与部７０は、少なくとも、レーザー光源と、レーザー光源から射出されたレーザーを、造形ステージ６０に着弾した液体ＦＬに集光させるための集光レンズと、レーザーを走査するためのガルバノミラーと、を含む（図示は省略）。エネルギー付与部７０は、造形ステージ６０における液滴の着弾位置をレーザーによって走査し、レーザーの光エネルギーによって、液体ＦＬ中の粉末材料を焼結させる。あるいは、液体ＦＬ中の粉末材料をいったん溶融させて結合させる。これによって、立体物を構成する材料層が造形ステージ６０上に形成される。
【００４１】
エネルギー付与部７０は、レーザー照射以外の方法によって液体ＦＬを硬化させてもよい。エネルギー付与部７０は、紫外線の照射によって液体ＦＬを硬化させてもよいし、ヒーターによる加熱によって液体ＦＬの溶媒の少なくとも一部を除去して粉末材料を硬化させてもよい。なお、造形ステージ６０上において造形された立体物は、必要に応じて加熱炉における焼結工程を経るものとしてもよい。
【００４２】
［制御部］
制御部１０１は、少なくとも、中央処理装置（ＣＰＵ）と、主記憶装置（ＲＡＭ）と、を備えるコンピューターによって構成される。制御部１０１は、ＲＡＭ上に、コンピュータープログラムを読み出して実行することにより、液体吐出装置１００を制御するための種々の機能を発揮する。制御部１０１は、上述した吐出部１０と、供給部５０と、流出部５５と、移動機構６５と、エネルギー付与部７０と、を制御する。
【００４３】
制御部１０１は、吐出部１０の駆動部３０を制御して、移動体２０の移動を制御する。制御部１０１は、移動体２０に、吐出口１５に向かって移動して、吐出口１５から液体ＦＬを吐出させる吐出動作と、吐出口１５に向かって移動して、吐出口１５を閉塞させる閉塞動作と、をおこなわせる。制御部１０１は、供給部５０の圧力発生部５３によって発生させる圧力と、流出部５５の流量調整部５８によって発生させる圧力と、を制御して、収容室１２内の圧力を制御する。制御部１０１は、移動機構６５を制御して、吐出部１０に対して造形ステージ６０を変位させ、造形ステージ６０上における当該液体ＦＬの液滴の着弾位置を制御する。制御部１０１は、吐出部１０による液体ＦＬの吐出タイミングに合わせて、エネルギー付与部７０を駆動させて、造形ステージ６０に付着した液体ＦＬを硬化させる。制御部１０１は、吐出部１０の吐出口１５から液体ＦＬを吐出させる吐出処理に先だって、収容室１２および吐出口１５に液体ＦＬを充填する吐出準備処理を実行する。吐出準備処理の詳細については後述する。
【００４４】
［液体の具体例］
以上の構成により、本実施形態の液体吐出装置１００は、吐出対象である液体ＦＬを材料として、立体物を造形する。立体物の材料となる液体ＦＬの具体例を説明する。本実施形態では、液体ＦＬは、粉末材料と、溶媒と、を含むペースト状の流動性組成物である。液体ＦＬは、粉末材料と、溶媒と、を含んでよい。粉末材料としては、例えば、マグネシウム（Ｍｇ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、クロム（Ｃｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）の単体粉末、もしくは、これらの金属を１つ以上含む合金粉末（マルエージング鋼、ステンレス、コバルトクロムモリブデン、チタニウム合金、ニッケル合金、アルミニウム合金、コバルト合金、コバルトクロム合金）、または、単体粉末や合金粉末から選択される１種または２種以上を組み合わせた混合粉末でもよい。液体ＦＬの溶媒は、例えば、水；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｉｓｏ−プロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ｉｓｏ−ブチル等の酢酸エステル類；ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、エチル−ｎ−ブチルケトン、ジイソプロピルケトン、アセチルアセトン等のケトン類；エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類；テトラアルキルアンモニウムアセテート類；ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド等のスルホキシド系溶剤；ピリジン、γ−ピコリン、２，６−ルチジン等のピリジン系溶剤；テトラアルキルアンモニウムアセテート（例えば、テトラブチルアンモニウムアセテート等）等のイオン液体等や、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせたものであってもよい。
【００４５】
液体ＦＬは、上記の粉末材料と溶媒に、バインダーを混合してスラリー状、あるいは、ペースト状にした混合材料であってもよい。バインダーは、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、セルロース系樹脂或いはその他の合成樹脂又はＰＬＡ（ポリ乳酸）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）或いはその他の熱可塑性樹脂であってもよい。液体ＦＬは、上記の粉末材料を含むものに限定されず、例えば、ポリアミド、ポリアセタール、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレートなどの汎用エンジニアリングプラスチックなどの樹脂を溶融させたものであってもよい。液体ＦＬは、その他、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトンなどのエンジニアリングプラスチックなどの樹脂であってもよい。液体ＦＬには、上記金属以外の金属やセラミックス、樹脂等が含まれていてもよい。液体ＦＬには、焼結助剤が含まれていてもよい。
【００４６】
［吐出準備処理］
図２および図３Ａ〜図３Ｄを参照して、液体吐出装置１００において実行される吐出準備処理を説明する。図２は、第１実施形態における吐出準備処理のフローを示す説明図である。図３Ａ〜図３Ｄはそれぞれ、吐出準備処理の各工程における吐出部１０の収容室１２の状態を示す模式図である。この吐出準備処理は、例えば、液体吐出装置１００のセットアップ後やメンテナンス後、起動直後など、何らかの理由で、収容室１２が空のとき、あるいは、収容室１２に液体ＦＬが十分に供給されていないときに、吐出処理の実行に先立って実行される。
【００４７】
吐出準備処理では、制御部１０１は、収容室充填処理Ｐ１と、吐出口充填処理Ｐ２と、を順に実行する。収容室充填処理Ｐ１では、移動体２０によって吐出口１５が閉塞された収容室１２を液体ＦＬで満たす工程である収容室充填工程ａ，ｂが実行される。工程ａでは、制御部１０１は、移動体２０を吐出口１５に向かって移動させて、吐出口１５を閉塞する（図３Ａ）。
【００４８】
吐出口１５を閉塞させた後、工程ｂでは、制御部１０１は、供給部５０を駆動させて、流入口１７ｏを介して、収容室１２に液体ＦＬを流入させて、収容室１２を液体ＦＬで満たす（図３Ｂ）。工程ｂでは、制御部１０１は、供給部５０によって液体ＦＬを圧送するのみとしてもよい。あるいは、制御部１０１は、流出部５５の流量調整部５８を駆動させて、収容室１２に流入した液体ＦＬを流出口１８ｏから吸引しつつ、供給部５０によって、収容室１２に液体ＦＬを供給させるものとしてもよい。
【００４９】
収容室１２の内部空間が液体ＦＬで満たされた後、制御部１０１は、吐出口充填処理Ｐ２を開始する。吐出口充填処理Ｐ２では、吐出口１５の内部空間に液体ＦＬを流入させる工程である吐出口充填工程ｃ〜ｅが実行される。工程ｃは、収容室１２内の圧力を調整する圧力調整処理を実行する圧力制御工程である。工程ｃでは、続く工程ｄにおいて、吐出口１５が開放されたときに、吐出口１５に液体ＦＬが流入するように、収容室１２における液体ＦＬの圧力が調整される。
【００５０】
工程ｃでは、吐出口１５が開放されたときに、液体ＦＬが緩やかに吐出口１５の内部空間へと流入するように、大気圧近傍の低圧力（例えば、大気圧±３〜５％程度の圧力）に調整されることが望ましい。工程ｃでは、少なくとも、移動体２０の先端部２１周辺での圧力が正圧となるように調整される。
【００５１】
工程ｃでは、収容室１２内の液体ＦＬの圧力Ｐｃが、以下の不等式（１）の関係を満たすように調整されることが望ましい。
Ｐｏ−Ｐｍ＜Ｐｃ＜Ｐｏ＋Ｐｍ  …（１）
【００５２】
Ｐｏは、収容室１２の外の気圧であり、Ｐｍは、吐出口１５における液体ＦＬのメニスカス耐圧である。「吐出口１５におけるメニスカス耐圧」とは、吐出口１５において、液体ＦＬのメニスカスが破壊されずに耐え得る圧力をいう。メニスカス耐圧Ｐｍは、例えば、以下の式（２）によって求めることができる。なお、下記の表面張力Ｔおよび接触角θは、液体ＦＬの種類や、その濃度や粘度などの状態、吐出口１５が形成されている部材の種類や吐出口１５における表面性状によって決まってくる値であり、予め、実験的に求められる値である。
Ｐｍ＝２・Ｔ・ｃｏｓθ／ｒ  …（２）
Ｔ：表面張力［Ｎ／ｍ］
θ：接触角［°］
ｒ：吐出口１５の半径
【００５３】
工程ｃでは、供給部５０の圧力発生部５３に発生させる圧力を制御して、収容室１２に流入する液体ＦＬの流量を調整し、収容室１２内の液体ＦＬの圧力を調整してもよい。あるいは、工程ｃでは、供給部５０の圧力発生部５３によって、収容室１２に流入する液体ＦＬの流量を調整するとともに、流出部５５の流量調整部５８によって、収容室１２から流出する液体ＦＬの流量を調整して、収容室１２内の液体ＦＬの圧力を調整してもよい。
【００５４】
工程ｄでは、制御部１０１は、移動体２０を吐出口１５から離れる方向に移動させて、吐出口１５を開放させる（図３Ｃ）。すると、工程ｃにおいて調整された収容室１２内の液体ＦＬの圧力を駆動力として、液体ＦＬが吐出口１５へと流入する。なお、工程ｄでは、移動体２０を緩やかな速度で移動させることが望ましい。少なくとも、吐出処理において吐出口１５から離れる方向に移動させるときよりも遅い速度で移動体２０を移動させることが望ましい。これによって、移動体２０の移動による急激な負圧の発生が抑制され、吐出口１５からの外気の進入が抑制される。
【００５５】
収容室１２内の液体ＦＬの圧力Ｐｃが、上記の不等式（１）の関係を満たす圧力に調整されていれば、吐出口１５内には、下方に向かって凸または凹の液体ＦＬのメニスカスが形成される。そのため、吐出口１５を介して、収容室１２に外気が進入してしまうことが抑制される。また、吐出口１５内に急激に液体ＦＬが流入して吐出口１５から液体ＦＬが流出してしまうことが抑制される。
【００５６】
工程eでは、吐出口１５内に、予め決められた規定の量の液体ＦＬが充填されるまで、工程ｄでの収容室１２における液体ＦＬの圧力状態を維持したまま待機する（図３Ｄ）。工程ｅでの待機時間は、予め実験的に決められた時間でよい。また、吐出口１５に充填される液体ＦＬの規定量は、吐出口１５内の内部空間が完全に満たされる量でなくてもよく、液体ＦＬの吐出に好適な量として、予め実験的に決められた量でよい。
【００５７】
工程ｅでの待機後、吐出準備処理が完了し、吐出部１０は、吐出処理の開始が可能な状態になる。工程ｅの後、収容室１２内の液体ＦＬの圧力Ｐｃを、上記の不等式（１）の関係を満たすように調整することによって、吐出口１５が移動体２０によって開放されたままでも、吐出口１５から液体ＦＬが漏洩してしまうことが抑制された状態が維持される。
【００５８】
本実施形態の液体吐出装置１００では、図３Ｄで示されたように、吐出口１５が開放されている状態から、液体ＦＬの吐出処理が開始される。制御部１０１は、図３Ｄで示された状態から、移動体２０を吐出口１５に向かって瞬発的に移動させて、吐出口１５から液体ＦＬを吐出させてもよい。あるいは、制御部１０１は、図３Ｄで示された状態から、移動体２０を、吐出口１５からさらに離れる方向に移動させた後、吐出口１５に向かって瞬発的に移動させて、吐出口１５から液体ＦＬを吐出させてもよい。制御部１０１は、液体ＦＬの吐出の際に、移動体２０の先端部２１によって吐出口１５が閉塞されるまで移動体２０を移動させてもよいし、移動体２０の先端部２１が吐出口１５に到達する手前においいて、移動体２０を停止させてもよい。
【００５９】
以上のように、本実施形態の液体吐出装置１００およびその吐出準備処理において実行される液体ＦＬの充填方法によれば、収容室１２における液体ＦＬの圧力Ｐｃの調整によって、吐出口１５への液体ＦＬの急激な流入が抑制される。従って、吐出口１５への液体ＦＬの充填が容易化される。また、収容室１２における液体ＦＬの圧力Ｐｃを、上記の不等式（１）の関係を満たす圧力に調整することによって、吐出口１５からの液体ＦＬの漏洩や吐出口１５への外気の進入が抑制される。その他に、本実施形態の液体吐出装置１００およびその吐出準備処理において実行される液体ＦＬの充填方法によれば、上記実施形態中で説明した種々の作用効果を奏することができる。
【００６０】
B．第２実施形態：
図４は、第２実施形態における吐出準備処理のフローを示す説明図である。第２実施形態の吐出準備処理は、第１実施形態で説明した液体吐出装置１００（図１）と同様な構成を有する液体吐出装置において実行される。第２実施形態の吐出準備処理は、以下に説明する点以外は、第１実施形態の吐出準備処理（図２，図３Ａ〜図３Ｄ）とほぼ同じである。
【００６１】
第２実施形態の吐出準備処理では、収容室充填処理Ｐ１において、収容室充填工程ａ，ｂが、第１実施形態で説明したのと同様に実行される（図３Ａ，図３Ｂ）。収容室１２の内部空間が液体ＦＬで満たされた後の吐出口充填処理Ｐ２において実行される工程ｃの圧力調整処理では、収容室１２における液体ＦＬの圧力は、第１実施形態で説明したのと同様な低圧力に調整されてもよい。あるいは、第２実施形態の工程ｃでは、収容室１２における液体ＦＬの圧力は、第１実施形態で説明した圧力よりも高い圧力に調整されてもよい。収容室１２における液体ＦＬの圧力が高い圧力に調整されることによって、工程ｄにおいて吐出口１５が開放された後に吐出口１５に液体ＦＬを短期間で充填することができる。
【００６２】
工程ｄにおいて、移動体２０を移動させて、吐出口１５を開放した後（図３Ｃ）、工程ｅでは、吐出口１５内に、予め決められた規定の量の液体ＦＬが充填されるまで待機する（図３Ｄ）。工程ｅでの待機時間は、収容室１２における液体ＦＬの圧力が高いほど短くなる。工程ｅでの待機時間は、工程ｃで調整される収容室１２における液体ＦＬの圧力に応じて決められてもよい。
【００６３】
図５は、第２実施形態の吐出準備処理の工程ｆにおける吐出部の収容室の状態を示す模式図である。吐出口充填処理Ｐ２の工程ｃ〜ｅを実行した後、制御部１０１は、移動体２０を吐出口１５に向かって移動させて、移動体２０の先端部２１によって吐出口１５を閉塞して、吐出口１５内への液体ＦＬの流入を遮断する遮断工程ｆを実行する（図５）。これによって、吐出口１５の内部空間に液体ＦＬを保持させたまま、吐出口１５を閉塞することができる。
【００６４】
工程ｆでは、吐出口１５からの液体ＦＬの漏洩が生じないように、移動体２０は緩やかに吐出口１５に向かって移動させることが望ましい。工程ｆでは、移動体２０は、少なくとも、吐出処理において移動体２０を吐出口１５に向かって移動させるときよりも遅い速度で移動させることが望ましい。また、工程ｆは、移動体２０を吐出口１５に向かって移動させることによって、吐出口１５に流入する液体ＦＬの量を考慮して、工程ｅにおいて、吐出口１５が液体ＦＬによって満たされる前に実行開始されることが望ましい。つまり、工程ｅの待機期間に、吐出口１５に流入させる液体ＦＬの規定の量は、吐出口１５の容積よりも小さい量であることが望ましい。工程ｆにおいて、吐出口１５が閉塞された後には、収容室１２内における液体ＦＬの圧力は、吐出処理に適した圧力に調整されてもよいし、他の圧力に変更されてもよい。
【００６５】
第２実施形態の吐出準備処理によれば、吐出口１５に液体ＦＬを充填した状態で、吐出口１５が閉塞されるため、吐出準備処理の完了後における吐出口１５からの液体ＦＬの漏洩が抑制される。また、圧力調整処理での圧力調整の代わりに、工程ｅでの待機時間の調整によって、吐出口１５への液体ＦＬの充填を簡易に実現することもできる。その他に、第２実施形態の液体吐出装置およびその吐出準備処理において実行される液体ＦＬの充填方法によれば、第１実施形態で説明したのと同様な種々の作用効果を奏することができる。
【００６６】
C．第３実施形態：
図６は、第３実施形態における吐出準備処理のフローを示す説明図である。第３実施形態の吐出準備処理は、第１実施形態で説明した液体吐出装置１００（図１）と同様な構成を有する液体吐出装置において実行される。ただし、第３実施形態の液体吐出装置は、後述する性質を有する液体ＦＬを用いる点が異なる。第３実施形態の吐出準備処理は、工程α，βが追加されている点以外は、第１実施形態の吐出準備処理（図２，図３Ａ〜図３Ｄ）とほぼ同じである。
【００６７】
第３実施形態の液体吐出装置において、吐出部１０が吐出する液体ＦＬは、剪断力の印加によって粘度が低下する性質を有する液体である。第３実施形態の液体ＦＬとしては、例えば、非ニュートン流体を用いることができる。より具体的には、ビンガム流体や、擬塑性流体を用いることができる。
【００６８】
第３実施形態の吐出準備処理では、第１実施形態で説明したとの同様に、まず、収容室充填処理Ｐ１において、第１実施形態で説明したとの同様に、収容室充填工程ａ，ｂが実行される（図３Ａ，図３Ｂ）。そして、吐出口充填処理Ｐ２において、第１実施形態で説明したとの同様に、圧力調整工程ｃにおいて、圧力調整処理が実行される。
【００６９】
第３実施形態の吐出口充填処理Ｐ２では、工程ｃの後に、工程αにおいて、液体ＦＬの粘度を低下させる粘度低下処理の実行が開始される。粘度低下処理では、制御部１０１は、移動体２０の運動によって収容室１２内の液体ＦＬに剪断力を付与して、液体ＦＬの粘度を低下させる。制御部１０１は、駆動部３０に短周期で増減を繰り返す電圧を印加して、移動体２０を微振動させて、液体ＦＬに剪断力を付与する。
【００７０】
移動体２０の運動が開始された後、工程ｄにおいて、吐出口１５が開放される（図３Ｃ）。移動体２０の運動によって、収容室１２内の液体ＦＬの粘度が低下するため、吐出口１５への液体ＦＬの流入速度が高められる。工程ｅにおいて、吐出口１５に規定量の液体ＦＬが充填されるのを待機した後、工程βにおいて、移動体２０の運動を停止させて、液体粘度低下処理を終了させる。
【００７１】
以上のように、第３実施形態の液体吐出装置およびその吐出準備処理において実行される液体ＦＬの充填方法によれば、移動体２０の運動によって、液体ＦＬの粘度を一時的に低下させることによって、吐出口１５への液体ＦＬの充填が迅速化される。その他に、第３実施形態の液体吐出装置およびその吐出準備処理において実行される液体ＦＬの充填方法によれば、第１実施形態で説明したのと同様な種々の作用効果を奏することができる。
【００７２】
D．第４実施形態：
図７は、第４実施形態における吐出準備処理のフローを示す説明図である。第４実施形態の吐出準備処理は、第３実施形態で説明した液体吐出装置と同様な構成を有する液体吐出装置において実行される。第４実施形態の吐出準備処理は、第３実施形態で説明したのと同様な工程α，βが追加されている点以外は、第２実施形態の吐出準備処理（図４，図３Ａ〜図３Ｄ，図５）とほぼ同じである。第４実施形態の液体吐出装置およびその吐出準備処理において実行される液体ＦＬの充填方法によれば、第３実施形態で説明したのと同様に、吐出口１５への液体ＦＬの充填が迅速化される。その他に、第４実施形態の液体吐出装置およびその吐出準備処理において実行される液体ＦＬの充填方法によれば、第２実施形態で説明したのと同様な種々の作用効果を奏することができる。
【００７３】
E．変形例：
上記の各実施形態で説明した種々の構成は、例えば、以下のように変形することが可能である。以下に説明する変形例はいずれも、発明を実施するための形態の一例として位置づけられる。
【００７４】
E1．変形例１：
上記の各実施形態では、移動体２０の移動方向は中心軸ＣＸおよび鉛直方向、吐出口１５の中心軸ＮＸに沿った方向である。これに対して、移動体２０の移動方向は、中心軸ＣＸや鉛直方向に沿った方向に限定されることはない。移動体の移動方向は、鉛直方向に交差する方向であってもよいし、中心軸ＣＸに交差する方向であってもよい。同様に、移動体２０の移動方向は、吐出口１５の中心軸ＮＸに沿った方向でなくてもよく、吐出口１５の中心軸ＮＸに交差する方向であってもよい。また、液体吐出装置の液体ＦＬの吐出方向は、重力方向に沿った方向でなくてもよく、重力方向に交差する方向であってもよい。
【００７５】
E2．変形例２：
上記の各実施形態では、駆動部３０は、圧電素子の伸縮変形によって、移動体２０を移動させている。これに対して、駆動部３０は圧電素子の伸縮変形以外の手段によって、移動体２０を移動させてもよい。駆動部３０は、例えば、ソレノイドやガスの圧力によって、移動体を移動させてもよい。
E3．変形例３：
上記各実施形態では、流出部５５の流量調整部５８は、吸引ポンプによって構成されている。これに対して、流量調整部５８は、吸引ポンプに代えて、あるいは、レギュレーターや調圧弁などのバルブによって構成されてもよい。流量調整部５８は、吸引ポンプにレギュレーターや調圧弁などのバルブを組み合わせて構成されてもよい。
【００７６】
E4．変形例４：
上記の各実施形態では、流出部５５は、流出口１８ｏを介して収容室１２から排出流路１８へと流出した液体ＦＬを、供給部５０へと循環させている。これに対して、流出部５５は、液体ＦＬを、供給部５０へと循環させなくてもよい。流出部５５は、例えば、収容室１２から排出流路１８へと流出した液体ＦＬを、液体吐出装置の外部に排出してもよいし、収容室１２に直接、循環させてもよい。
【００７７】
E5．変形例５：
上記の各実施形態の液体吐出装置は、液体ＦＬを吐出して立体物を形成する３Ｄプリンターとして構成されている。これに対して、液体吐出装置は、例えば、インクを吐出して画像を形成するインクジェットプリンターとして構成されてもよい。この場合には、液体ＦＬとしてのインクは、造形ステージ６０に代えて、印刷媒体や記録媒体を目標対象物として吐出される。その他に、液体吐出装置は、液体接着材を吐出して塗布する接着材塗布装置として構成されてもよい。
【００７８】
E6．変形例６：
上記実施形態において、ソフトウェアによって実現された機能及び処理の一部又は全部は、ハードウェアによって実現されてもよい。また、ハードウェアによって実現された機能及び処理の一部又は全部は、ソフトウェアによって実現されてもよい。ハードウェアとしては、例えば、集積回路、ディスクリート回路、または、それらの回路を組み合わせた回路モジュールなど、各種回路を用いることができる。
【００７９】
本発明は、上述の実施形態や実施例、変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、実施例、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須ではないと説明されているものに限らず、その技術的特徴が本明細書中に必須ではないと説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【００８０】
１０…吐出部、１１…ヘッド本体部、１１ｂ…底面、１２…収容室、１２ｗ…側壁面、１４…駆動室、１５…吐出口、１６…拡大開口部、１７…供給流路、１７ｏ…流入口、１８…排出流路、１８ｏ…流出口、１９…シール部材、２０…移動体、２１…先端部、３０…駆動部、３１…圧電素子、３２…駆動回路、５０…供給部、５１…配管、５２…液体貯留部、５３…圧力発生部、５５…流出部、５７…配管、５８…流量調整部、６０…造形ステージ、６５…移動機構、７０…エネルギー付与部、１００…液体吐出装置、１０１…制御部、ＣＸ…中心軸、ＦＬ…液体、ＮＸ…中心軸
【図１】
2018103141.tif 000003
【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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