(57)【要約】【課題】４００℃以上の高温条件下で且つ高荷重が作用する条件下でも良好な摺動性能を発揮する高温用摺動部材を提供する。【解決手段】摺動部材１Ａは、膨張黒鉛層２を第１金属板３と第２金属板４との間に各金属板３，４に形成した複数の孔３ａ，４ａに当該膨張黒鉛層２の表面部分２ａ，２ｂを充填させた状態で挟圧してなる。第１金属板３に形成した各孔３ａの面方向位置と第２金属板４に形成した各孔４ａの面方向位置とは一致していない。摺動部材１Ａは、例えば、円筒形状に曲げ加工されたラジアルベアリングとして、或は円環状板形状に打抜き加工されたスラストベアリングとして使用される。【選択図】図２
2018173169.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
膨張黒鉛層を第１金属板と第２金属板との間に第１金属板に形成した複数の孔に当該膨張黒鉛層の表面部分を充填させた状態で挟圧してなることを特徴とする高温用摺動部材。
【請求項２】
第２金属板に複数の孔を形成して、膨張黒鉛層の両表面部分を両金属板の各孔に充填させていることを特徴とする、請求項１に記載する高温用摺動部材。
【請求項３】
第１金属板に形成された孔の大きさ及び／又は開口率が第２金属板に形成された孔の大きさ及び／又は開口率と同一であることを特徴とする、請求項２に記載する高温用摺動部材。
【請求項４】
第１金属板に形成された孔の大きさ及び／又は開口率が第２金属板に形成された孔の大きさ及び／又は開口率より大きいことを特徴とする、請求項２に記載する高温用摺動部材。
【請求項５】
第１金属板に形成した各孔の面方向位置と第２金属板に形成した各孔の面方向位置とが一致していないことを特徴とする、請求項２〜４の何れかに記載する高温用摺動部材。
【請求項６】
第１金属板に形成された孔の開口率が１０〜５０％であることを特徴とする、請求項１〜５の何れかに記載する高温用摺動部材。
【請求項７】
第１金属板に形成された孔が円形孔であり、その孔径が０．２〜２．５ｍｍであることを特徴とする、請求項１〜６の何れかに記載する高温用摺動部材。
【請求項８】
第２金属板の表面を摺動面として機能させる場合において、第２金属板に形成された孔の開口率を１０〜５０％とすることを特徴とする、請求項２〜７の何れかに記載する高温用摺動部材。
【請求項９】
第２金属板の表面を摺動面として機能させる場合において、第２金属板に形成された孔が円形孔であり、その孔径を０．２〜２．５ｍｍとすることを特徴とする、請求項２〜８の何れかに記載する高温用摺動部材。
【請求項１０】
前記膨張黒鉛層が１枚の膨張黒鉛シートからなることを特徴とする、請求項１〜９の何れかに記載する高温用摺動部材。
【請求項１１】
前記膨張黒鉛層が複数枚の膨張黒鉛シートを積層してなることを特徴とする、請求項１〜９の何れかに記載する高温用摺動部材。
【請求項１２】
円筒形状に曲げ加工されたラジアルベアリングとして使用するものであることを特徴とする、請求項１〜１１の何れかに記載する高温用摺動部材。
【請求項１３】
円環状板形状に打抜き加工されたスラストベアリングとして使用するものであることを特徴とする、請求項１〜１１の何れかに記載する高温用摺動部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高温流体を扱うボールバルブ、バタフライバルブ、ゲートバルブ、グローブバルブ等のステム等の各種流体機器の回転軸や往復動軸を軸受するベアリング等として使用することができる高温用摺動部材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的な摺動部材として、金属、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等の樹脂やカーボンを単体或いはこれらを組み合わせたものが周知であるが、摺動面を金属で構成したものは摺動抵抗が高く、摺動面をＰＴＦＥ等の樹脂で構成したものは高温領域では使用できず、摺動面をカーボンで構成したものは高荷重が作用する条件下（例えば、バルブのステムが流体の圧力によって摺動部材に強く押し付けられるような条件下）で破損（割れる）する虞れがある。
【０００３】
そこで、従来からも、このような一般的な摺動部材の問題を解消した高温用摺動部材として、特許文献１の図５又は図６に開示される如く、膨張黒鉛層をパンチングメタル等の金網で補強したもの（図５）や更にこの膨張黒鉛層に接着剤で裏金を固着したもの（図６）が提案されている。このように摺動面を膨張黒鉛で構成した高温用摺動部材は、摺動面を金属で構成したものに比して摺動性能に優れ、摺動面を樹脂で構成したものに比して高温条件下でも好適に使用することができ、金網や裏金で補強されているため高荷重が作用する条件下でも破損することがない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−３２５４７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１の図５に開示される高温用摺動部材（以下「第１従来摺動部材」という）では、膨張黒鉛層が金網で補強されているものの、摺動部材としての強度が不足し、高荷重が作用する条件下では耐久性に問題があり  、使用することが困難である。一方
、特許文献１の図６に開示される高温用摺動部材（以下「第２従来摺動部材」という）では、膨張黒鉛層が裏金で補強されていることから、高荷重が作用する条件下でも比較的耐久性に優れるが、膨張黒鉛層に裏金を固着している接着剤が高温条件下（例えば、４００℃以上）では溶出するため、このような高温条件下では使用できない。更に、第１及び第２従来摺動部材では、摺動面を構成する膨張黒鉛層の表面の強度が低く、相手部材との摺動により膨張黒鉛層が変形したり剥離する等の問題があり、高荷重が作用する条件下では良好に使用できない。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、４００℃以上の高温条件下で且つ高荷重が作用する条件下でも、耐久性に優れ、良好な摺動性能を発揮することができる高温用摺動部材を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記の目的を達成すべく、膨張黒鉛層を第１金属板と第２金属板との間に第１金属板に形成した複数の孔に当該膨張黒鉛層の表面部分を充填させた状態で挟圧してなることを特徴とする高温用摺動部材を提案する。
【０００８】
かかる高温用摺動部材にあっては、第１金属板に形成された孔の開口率（第１金属板に対する全孔の面積割合）が１０〜５０％であることが好ましく、第１金属板に形成された孔が円形孔であり、その孔径が０．２〜２．５ｍｍであることが好ましい。また、第２金属板に複数の孔を形成して、膨張黒鉛層の両表面部分を両金属板の各孔に充填させておくことができる。この場合、第１金属板に形成された孔の大きさ及び／又は開口率を第２金属板に形成された孔の大きさ及び／又は開口率（第２金属板に対する全孔の面積割合）と同一としておくことが好ましい。また、第１金属板に形成された孔の大きさ及び／又は開口率を第２金属板に形成された孔の大きさ及び／又は開口率より大きくしておくこともできる。第２金属板に複数の孔を形成する場合、第１金属板に形成した各孔の面方向位置と第２金属板に形成した各孔の面方向位置とが一致していないことが好ましい。また、第２金属板の表面を摺動面として機能させる場合においては、第２金属板に形成された孔の開口率を１０〜５０％とすることが好ましく、また第２金属板の各孔が円形孔であり、その孔径を０．２〜２．５ｍｍとすることが好ましい。また、第１金属板に形成した各孔の面方向位置と第２金属板に形成した各孔の面方向位置とが一致していないことが好ましい。また、前記膨張黒鉛層は１枚の膨張黒鉛シートからなるものとしておくことができ、更に当該膨張黒鉛層を複数枚の膨張黒鉛シートを積層してなるものとしておくことができる。これらの高温用摺動部材は、円筒形状に曲げ加工されたラジアルベアリングとして、或いは円環状板形状に打抜き加工されたスラストベアリングとして使用することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の高温用摺動部材にあっては、摺動面が第１金属板の表面とその表面に露出する複数の膨張黒鉛部分によって構成されているから、４００℃以上の高温条件下でも良好な摺動性能を発揮することができる。しかも膨張黒鉛部分が第１金属板の孔に充填されたもので当該孔によって補強されていること及び膨張黒鉛層が第１金属板と第２金属板との間に挟圧されていることから、摺動面及び摺動部材全体の強度が高く、耐久性に優れ、高荷重が作用する条件下でも第１及び第２従来摺動部材のような問題を生じることなく、良好な摺動性能を発揮することができる。特に、膨張黒鉛層を複数枚の膨張黒鉛シートを積層してなるものとした場合には、膨張黒鉛シート同士の接触面で滑りが生じるため、摺動性能が更に向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は本発明に係る高温用摺動部材の一例を示す平面図である。
【図２】図２は図１のII−II線に沿う断面図である。
【図３】図３は図１に示す高温用摺動部材をラジアルベアリングとして使用する例を示す断面図である。
【図４】図４は本発明に係る高温用摺動部材の変形例を示す平面図である。
【図５】図５は図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】図６は図４に示す高温用摺動部材をラジアルベアリングとして使用する例を示す断面図である。
【図７】図７は本発明に係る高温用摺動部材の他の変形例を示す平面図である。
【図８】図８は図７のVIII−VIII線に沿う断面図である。
【図９】図９は図７に示す高温用摺動部材をラジアルベアリングとして使用する例を示す断面図である。
【図１０】図１０は本発明に係る高温用摺動部材の更に他の変形例を示す平面図である。
【図１１】図１１は図１０のXI−XI線に沿う断面図である。
【図１２】図１２は図１０に示す高温用摺動部材をラジアルベアリングとして使用する例を示す断面図である。
【図１３】図１３は図１に示す高温用摺動部材をスラストベアリングとして使用する例を示す平面図である。
【図１４】図１４は図４に示す高温用摺動部材をスラストベアリングとして使用する例を示す平面図である。
【図１５】図１５（Ａ）（Ｂ）は本発明に係る高温用摺動部材の更に他の変形例を示す図２相当の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて具体的に説明する。
【００１２】
図１は本発明に係る高温用摺動部材の一例を示す平面図であり、図２は図１のII−II線に沿う断面図であり、図３は当該高温用摺動部材をラジアルベアリングとして使用する例を示す断面図である。
【００１３】
図１及び図２に示す高温用摺動部材（以下「第１摺動部材」という）１Ａは、膨張黒鉛層２を第１金属板３と第２金属板４との間に、各金属板３，４に形成した複数の孔（貫通孔）３ａ，４ａに当該膨張黒鉛層２の両表面部分２ａ，２ｂを充填させた状態で、挟圧してなり、この例では、膨張黒鉛層２を一枚の膨張黒鉛シート２Ａで構成している。
【００１４】
すなわち、第１摺動部材１Ａは、両金属板３，４間に１枚の膨張黒鉛シート２Ａからなる膨張黒鉛層２を挟んだ状態で加圧することにより、膨張黒鉛シート２Ａの両表面部分２ａ，２ｂを各金属板３，４の各孔３ａ，４ａに膨出、充填させることにより得られるものであり、各孔３ａ，４ａに膨出、充填された膨張黒鉛部分２ａ，２ｂは、図２に示す如く、各金属板３，４の表面に露出して各金属板３，４の表面を低摩擦の摺動面に構成すると共に膨張黒鉛シート２Ａと両金属板３，４との接着強度を投錨効果により十分に確保する。
【００１５】
各金属板３，４の厚みは、第１摺動部材１Ａの強度を十分に確保できることを条件として可及的に薄くしておくことが好ましく、この例では、両金属板３，４として同一厚さのステンレス鋼等の金属薄板を使用して、第１摺動部材１Ａの曲げ加工等による成形を容易に行いうるように図っている。また、膨張黒鉛シ−ト２Ａの厚みは、加圧成形により当該膨張黒鉛シート２Ａの両表面部分２ａ，２ｂが各孔３ａ，４ａに確実に膨出、充填されるように、両孔３ａ，４ａの深さつまり両金属板３，４の厚みの合計寸法に応じて適宜に設定され、この例では膨張黒鉛シート２Ａの厚みを金属板３，４の厚みよりやや厚く設定している。
【００１６】
また、各孔３ａ，４ａの形状、大きさ、配置等は必要とされる強度及び摺動性能等を考慮して適宜に設定することができるが、この例では、図１に示す如く、孔３ａ，４ａを同一数且つ同一径の円形孔として同一ピッチ間隔で均等配置してある。すなわち、第１金属板３に形成された孔３ａの大きさ及び開口率（第１金属板３に対する全孔３ａの面積割合）と第２金属板４に形成された孔４ａの大きさ及び開口率（第２金属板４に対する全孔４ａの面積割合）とが同一とされている。また、第１金属板３に形成した各孔３ａと第２金属板４に形成した各孔４ａとが、金属板３，４の面方向において齟齬するように（各孔３ａの面方向位置と各孔４ａの面方向位置とが一致しないように）配置されている。すなわち、各孔３ａと各孔４ａとが、金属板３，４の厚み方向において重ならないように配置されている。なお、第１金属板３の孔３ａと第２金属板４の孔４ａとは、面方向において、その全てが重ならないことが好ましいが、その一部が重ならないようにすることも可能である。
【００１７】
また、図４は本発明に係る高温用摺動部材の変形例を示す平面図であり、図５は図１のＶ−Ｖ線に沿う断面図であり、図６は当該高温用摺動部材をラジアルベアリングとして使用する例を示す断面図である。
【００１８】
図４及び図５に示す高温用摺動部材（以下「第２摺動部材」という）１Ｂは、第１摺動部材１Ａと同様に、第１金属板３と第２金属板４との間に膨張黒鉛層２を挟圧してなるものであるが、膨張黒鉛層２として複数枚の膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃを積層したものを使用しており、この例では膨張黒鉛層２を２枚の膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃで構成してある。
【００１９】
第２摺動部材１Ｂは、図５に示す如く、膨張黒鉛層２を、その両表面部分つまり第１金属板３側の膨張黒鉛シート２Ｂの表面部分２ａ及び第２金属板４側の膨張黒鉛シート２Ｃの表面部分２ｂを夫々第１金属板３の各孔３ａ及び第２金属板４の各孔４ａに充填させた状態で、両金属板３，４間に挟圧してなる。
【００２０】
すなわち、第２摺動部材１Ｂは、第１金属板３と第２金属板４との間に２枚の膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃを積層してなる膨張黒鉛層２を挟んだ状態で加圧することにより、各膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃの表面部分２ａ，２ｂを各金属板３，４の各孔３ａ，４ａに膨出、充填させることにより得られるものであり、各孔３ａ，４ａに膨出、充填された膨張黒鉛部分２ａ，２ｂは、図５に示す如く、各金属板３，４の表面に露出して各金属板３，４の表面を低摩擦の摺動面に構成すると共に各膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃと各金属板３，４との接着強度を投錨効果により十分に確保する。
【００２１】
各金属板３，４の厚みは、第２摺動部材１Ｂの強度を十分に確保できることを条件として可及的に薄くしておくことが好ましく、この例では、第１摺動部材１Ａと同様に、両金属板３，４として同一厚さのステンレス鋼等の金属薄鈑を使用して、第２摺動部材１Ｂの曲げ加工等による成形を容易に行いうるように図っている。また、各膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃの厚みは、加圧成形により当該膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃの表面部分２ａ，２ｂが各孔３ａ，４ａに確実に膨出、充填されるように、各孔３ａ，４ａの深さつまり各金属板３，４の厚みに応じて適宜に設定され、この例では各膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃの厚みを金属板３，４の厚みよりやや厚く設定している。
【００２２】
また、各孔３ａ，４ａの形状、大きさ、配置等は必要とされる摺動性能等を考慮して適宜に設定することができるが、この例では、第１摺動部材１Ａと同様に、図４に示す如く、孔３ａ，４ａを同一数且つ同一径の円形孔として同一ピッチ間隔で均等配置してある。すなわち、第１摺動部材１Ａと同様に、第１金属板３に形成された孔３ａの大きさ及び開口率（第１金属板３に対する全孔３ａの面積割合）と第２金属板４に形成された孔４ａの大きさ及び開口率（第２金属板４に対する全孔４ａの面積割合）とが同一とされている。さらに、第１摺動部材１Ａと同様に、第１金属板３に形成した各孔３ａと第２金属板４に形成した各孔４ａとが、金属板３，４の面方向において面方向に齟齬するように（各孔３ａの面方向位置と各孔４ａの面方向位置とが一致しないように）配置されている。すなわち、各孔３ａと各孔４ａとが、金属板３，４の厚み方向において重ならないように配置されている。なお、第１金属板３の孔３ａと第２金属板４の孔４ａとは、面方向において、その全てが重ならないことが好ましいが、その一部が重ならないようにすることも可能である。
【００２３】
而して、第１及び第２摺動部材１Ａ，１Ｂは、例えば、図３及び図６に示す如く、円筒形状に曲げ加工されて、ボールバルブ、バタフライバルブ、ゲートバルブ、グローブバルブのステム等の回転軸又は往復動軸（以下、総称して「作動軸」という）を軸に垂直な方向（径方向）で支持するラジアルベアリング５Ａ，５Ｂとして使用される。
【００２４】
すなわち、第１摺動部材１Ａで構成されるラジアルベアリング（以下「第１ラジアルベアリング」という）５Ａ及び第２摺動部材１Ｂで構成されるラジアルベアリング（以下「第２ラジアルベアリング」という）５Ｂは、図３及び図６に示す如く、当該摺動部材１Ａ，１Ｂを、第１金属板３が内周となり且つ第２金属板４が外周となる円筒形状に曲げ加工してなるもので、上記バルブのステム等の作動軸とこれを支持するバルブケース等の機器ハウジングとの間に形成された円筒状の軸受空間に第１金属板３が作動軸を接触保持する状態で装填される。
【００２５】
各ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂによれば、第１金属板３の各孔３ａに充填されて第１金属板３の表面に露出した膨張黒鉛部分２ａが摺動特性に優れたものであるから、この膨張黒鉛部分２ａが作動軸の外周面に接触することにより、作動軸との接触抵抗（摩擦抵抗）つまり作動軸の摺動抵抗（回転軸における摺動トルク）を大幅に減じることができ、回転軸の回転又は往復動軸の往復動を円滑に行うことができる。
【００２６】
また、各ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂは、これを構成する摺動部材１Ａ，１Ｂが耐熱性に優れた膨張黒鉛層２を金属板３，４で挟圧してなるものであるから、樹脂製摺動材を使用したものや接着剤を使用したものでは適用できないような高温条件下（例えば４００℃以上）においても好適に使用することができる。
【００２７】
また、第１又は第２ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂには、上記バルブのステム等の作動軸が内周面（第１金属板３の表面）を押圧する軸荷重（ラジアル荷重）が作用する（流体圧力等によっては大きな軸荷重が作用することがある）が、各ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂは、これを構成する摺動部材１Ａ，１Ｂが膨張黒鉛シート２Ａ又は膨張黒鉛シート群２Ｂ，２Ｃの両面を金属板３，４で挟む複数層構造をなすものであることから、かかる軸荷重に対する耐力が大きく、つまりラジアルベアリング５Ａ，５Ｂの耐荷重が大きい。しかも、軸荷重によりラジアルベアリング５Ａ，５Ｂにその径方向（金属板３，４の厚み方向）の圧縮力が作用した場合には、膨張黒鉛部分２ａが第１金属板３の孔３ａから飛び出す方向に膨出して作動軸により強く接触することなることから、作動軸に軸荷重が作用した場合にも、作動軸の摺動抵抗を軽減することができる。したがって、作動軸に大きな軸荷重が作用するような高荷重条件下においても、ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂによる軸受機能を良好に発揮させることができる。特に、第１金属板３に形成した各孔３ａと第２金属板４に形成した各孔４ａとが、金属板３，４の面方向において齟齬するように配置しておくと、第１金属板３の各孔３ａに充填された膨張黒鉛部分３ａについては第２金属板４が、また第２金属板４の各孔４ａに充填された膨張黒鉛部分４ａについては第１金属板３が、夫々軸荷重によりラジアルベアリング５Ａ，５Ｂの径方向に作用する圧縮力を受け止めることになり、相手部材（作動軸及び機器ハウジング）と膨張黒鉛部分２ａ，２ｂとの接触を良好に行うことができ、軸受機能の更なる向上を図ることができる。
【００２８】
ところで、作動軸がこれに作用する軸荷重によりラジアルベアリング５Ａ，５Ｂの内周面の全周に均等に接触せずその一部に強く接触するような状態（片当り状態）となることがあるが、かかる場合、作動軸とラジアルベアリング５Ａ，５Ｂの内周部である第１金属板３との滑りが円滑に行われず、作動軸の摺動抵抗が大きくなる等、作動軸の軸受機能が低下する虞れがある。しかし、このような場合にも、ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂを構成する摺動部材１Ａ，１Ｂを、図２又は図５に示す如く、第２金属板４の各孔４ａにも膨張黒鉛部分２ｂが充填されたものとして、当該摺動部材１Ａ，１Ｂの裏面つまりラジアルベアリング５Ａ，５Ｂの外周面も内周面と同様に膨張黒鉛部分２ｂにより摺動性に優れた摺動面として機能するように構成されているから、第２金属板４の各孔４ａに充填された膨張黒鉛部分２ｂにより、ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂの外周部である第２金属板４と機器ハウジングとの接触面においても滑りが生じることになり、作動軸の摺動抵抗の増大を回避して、ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂによる軸受機能を良好に発揮させることができる。なお、第１及び第２摺動部材１Ａ，１Ｂは、上記した如く、金属板３，４に同一径の孔３ａ，４ａを同一数形成して、その両面の摺動特性が同一となるものであるから、ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂを構成する場合において、上記とは逆に、第２金属板４が内周となり且つ第１金属板３が外周となる円筒形状に曲げ加工してもよい。
【００２９】
また、各膨張黒鉛部分２ａ，２ｂは金属板３，４の各孔３ａ，４ａに充填されていて金属板３，４に強固に保持されているから、各膨張黒鉛部分２ａ，２ｂが相手部材との接触（摺動）によって膨張黒鉛シート２Ａ，２Ｂ，２Ｃから容易に剥がれたりすることがない。したがって、膨張黒鉛層が相手部材（作動軸又は機器ハウジング）に全面的に接触する第１又は第２従来摺動部材のように、相手部材との摺動により膨張黒鉛層の表面（接触面）が剥がれたりするようなことがなく、摺動部材１Ａ，１Ｂの耐久性や軸受性能の寿命が大幅に向上する。
【００３０】
さらに、第２ラジアルベアリング５Ｂにおいては、図６に示す如く、金属板３，４間に複数枚（上記の例では２枚）の膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃが積層されていて、膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃ同士の接触面（重ね合わせ面）においても滑りを生じるが、この滑りによる摺動性能は、相手部材との接触面（作動軸と第１金属板３との接触面及び機器ハウジングと第２金属板４との接触面）の一部を膨張黒鉛部分２ａ，２ｂとするラジアルベアリング５Ａ，５Ｂの内外周面における摺動性能より優れている。したがって、第２ラジアルベアリング５Ｂによれば、第１ラジアルベアリング５Ａより優れた摺動性能を発揮することができ、摺動抵抗の更なる軽減を図ることができる。
【００３１】
また、図７は本発明に係る高温用摺動部材の他の変形例を示す平面図であり、図８は図７のVIII−VIII線に沿う断面図であり、図９は当該高温用摺動部材をラジアルベアリングとして使用する例を示す断面図である。
【００３２】
図７及び図８に示す高温用摺動部材（以下「第３摺動部材」という）１Ｃは、第１金属板３の孔３ａの大きさ（孔径）及び開口率を第２金属板４の孔４ａの大きさ（孔径）及び開口率より大きくした点を除いて、第１摺動部材１Ａと同一構造をなすものであり、孔３ａから露出する膨張黒鉛部分２ａの面積量が多い第１金属板３の表面を摺動面として機能させるが、孔４ａから露出する膨張黒鉛部分２ｂの面積量が少ない第２金属板３の表面には第１金属板３の表面と同程度の摺動特性をもたせる必要がない用途或いは第２金属板３の表面を摺動面として機能させる必要のない用途に使用されるものである。
【００３３】
また、図１０は本発明に係る高温用摺動部材の更に他の変形例を示す平面図であり、図１１は図１０のXI−XI線に沿う断面図であり、図１２は当該高温用摺動部材をラジアルベアリングとして使用する例を示す断面図である。
【００３４】
図１０及び図１１に示す高温用摺動部材（以下「第４摺動部材」という）１Ｄは、第１金属板３に形成された孔３ａの大きさ（孔径）及び開口率を第２金属板４に形成された孔４ａの大きさ（孔径）及び開口率より大きくした点を除いて、第２摺動部材１Ｂと同一構造をなすものであり、第３摺動部材１Ｃと同様に、第１金属板３の表面を摺動面として機能させるが、第２金属板３の表面には第１金属板３の表面と同程度の摺動特性をもたせる必要がない用途或いは第２金属板３の表面を摺動面として機能させる必要のない用途に使用されるものである。
【００３５】
第３及び第４摺動部材１Ｃ，１Ｄは、例えば、第１ラジアルベアリング５Ａ又は第２ラジアルベアリング５Ｂと同様に、円筒形状に曲げ加工されて、ボールバルブ、バタフライバルブ、ゲートバルブ、グローブバルブのステム等の作動軸を軸に垂直な方向（径方向）で支持するラジアルベアリング５Ｃ，５Ｄとして使用される。
【００３６】
すなわち、第３摺動部材１Ｃで構成されるラジアルベアリング（以下「第３ラジアルベアリング」という）５Ｃ及び第４摺動部材１Ｄで構成されるラジアルベアリング（以下「第４ラジアルベアリング」という）５Ｄは、図９及び図１２に示す如く、当該摺動部材１Ｃ，１Ｄを、第１及び第２ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂと同様に、第１金属板３が内周となり且つ第２金属板４が外周となる円筒形状に曲げ加工してなるもので、上記バルブのステム等の作動軸とこれを支持するバルブケース等の機器ハウジングとの間に形成された円筒状の軸受空間に第１金属板３が作動軸を接触保持する状態で装填される。
【００３７】
なお、各摺動部材１Ｃ，１Ｄ及び各ラジアルベアリング５Ｃ，５Ｄの各構成部材及び構成部分については、上記した孔３ａ，４ａの大小関係を除いて、前記各摺動部材１Ａ，１Ｂ及び各ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂと同一であるから、図７〜図１２において図１〜図６と同一の符合を使用することによって、その詳細な説明は省略する。
【００３８】
而して、第３及び第４ラジアルベアリング５Ｃ，５Ｄにあっては、第１金属板３の各孔３ａが第２金属板４の各孔４ａより大きく、第１金属板３の表面における膨張黒鉛部分２ａの露出量（露出面積）が第２金属板４の表面における膨張黒鉛部分２ｂの露出量（露出面積）よりも多くなっていることから、作動軸に接触する第１金属板３の表面（ラジアルベアリング５Ｃ，５Ｄの内周面）の摺動特性が作動軸に接触しない第２金属板４の表面（ラジアルベアリング５Ｃ，５Ｄの外周面）の摺動特性より優れたものとなっている。したがって、当該各ラジアルベアリング５Ｃ，５Ｄによれば、その内周面が作動軸の外周面に接触することにより、作動軸との接触抵抗（摩擦抵抗）つまり作動軸の摺動抵抗（回転軸における摺動トルク）を大幅に減じることができ、回転軸の回転又は往復動軸の往復動を円滑に行うことができる。
【００３９】
また、第３及び第４ラジアルベアリング５Ｃ，５Ｄは、樹脂製摺動材を使用したものや接着剤を使用したものでは適用できないような高温条件下（例えば４００℃以上）においても好適に使用することができる等、上記した第１及び第２ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂの作用効果と同様の作用効果を奏しうるものであり、更に次のような作用効果を奏しうるものである。
【００４０】
すなわち、第３又は第４ラジアルベアリング５Ｃ，５Ｄには、上記したように、バルブのステム等の作動軸が内周面（第１金属板３の表面）を押圧する軸荷重（ラジアル荷重）が作用する（流体圧力等によっては大きな軸荷重が作用することがある）が、第３及び第４ラジアルベアリング５Ｃ，５Ｄは、第１及び第２ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂと同様に、摺動部材１Ｃ，１Ｄが膨張黒鉛シート２Ａ又は膨張黒鉛シート群２Ｂ，２Ｃの両面を金属板３，４で挟む複数層構造をなすものであることに加えて、第１及び第２ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂと異なって、上記した軸荷重（作動軸が第１金属板３の表面を押圧するラジアル荷重）を膨張黒鉛層２を介して受け止める第２金属板４の孔４ａが第１金属板３の孔３ａより小さく、当該第２金属板４の強度が第１金属板３の強度より高くなっていることから、両金属板３，４に同一孔径の孔３ａ，４ａを形成した第１及び第２ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂに比して、ラジアルベアリング全体の強度が増し、軸荷重に対する耐力（耐荷重）が大きくなる。したがって、第３及び第４ラジアルベアリング５Ｃ，５Ｄによれば、第１及び第２ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂと同様に、軸荷重により当該ラジアルベアリング５Ｃ，５Ｄにその径方向（金属板３，４の厚み方向）の圧縮力が作用した場合には膨張黒鉛部分２ａが第１金属板３の孔３ａから飛び出す方向に膨出して作動軸により強く接触することになり、軸荷重が作用した作動軸に対する摺動抵抗を軽減することができることとも相俟って、作動軸に大きな軸荷重が作用するような高荷重条件下においても極めて優れた軸受機能を発揮することができる。
【００４１】
ところで、第１〜第４ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄにおける摺動トルク（摺動抵抗）及び耐荷重（軸荷重に対する耐力）は各孔３ａ，４ａの大きさ（孔径）及び金属板３，４における開口率（各金属板３，４に対する全孔３ａ，４ａの面積割合）によって変化することから、次のような第１〜第４の実験により、回転軸における摺動トルク及び耐荷重を測定し、好ましい孔径及び開口率を究明した。
【００４２】
第１の実験においては、表１に示す如く、第１及び第２金属板３，４の孔３ａ，４ａの孔径、ピッチ、開口率を夫々同一とする７種の第１ラジアルベアリング５Ａであって、孔径、ピッチ、開口率を夫々異にする第１ラジルアルベアリングＮｏ．１〜Ｎｏ．７と、第１金属板３の孔３ａの孔径、ピッチ、開口率を前記第１ラジアルベアリングＮｏ．１、Ｎｏ．２と夫々同一とする２種の第１ラジアルベアリング５Ａであって、第２金属板４の孔４ａの孔径を０．５ｍｍ、ピッチを１．０ｍｍ、開口率を２３％とした第１ラジアルベアリングＮｏ．８、Ｎｏ．９とを製作し、これらの第１ラジアルベアリングＮｏ．１〜Ｎｏ．９の内周面（第１金属板３の表面）で軸受した回転軸を５００℃の温度条件下で１万回回転させて、摺動トルク及び耐荷重を測定した。その結果は、表１に示す通りであった。
【００４３】
また、第２の実験においては、金属板３，４で２枚の膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃを挟圧した構造をなす９種の第２ラジアルベアリング５Ｂであって、表２に示す如く、第１及び第２金属板３，４の孔３ａ，４ａの孔径、ピッチ、開口率を夫々前記第１ラジアルベアリングＮｏ．１〜Ｎｏ．９と同一とした第２ラジルアルベアリングＮｏ．１０〜Ｎｏ．１８を製作し、これらの第２ラジアルベアリングＮｏ．１０〜Ｎｏ．１８の内周面（第１金属板３の表面）で軸受した回転軸を５００℃の温度条件下で１万回回転動作させて、摺動トルク及び耐荷重を測定した。その結果は、表２に示す通りであった。
【００４４】
また、第３の実験においては、表３に示す如く、第１金属板３の孔３ａの孔径、ピッチ、開口率を前記第１ラジアルベアリングＮｏ．４〜Ｎｏ．７と夫々同一とする４種の第３ラジアルベアリング５Ｃであって、第２金属板４の孔４ａの孔径を０．５ｍｍ、ピッチを１．０ｍｍ、開口率を２３％とした第１ラジアルベアリングＮｏ．１９〜Ｎｏ．２２を製作し、これらの第３ラジアルベアリングＮｏ．１９〜Ｎｏ．２２の内周面（第１金属板３の表面）で軸受した回転軸を５００℃の温度条件下で１万回回転させて、摺動トルク及び耐荷重を測定した。その結果は、表３に示す通りであった。
【００４５】
また、第４の実験においては、金属板３，４で２枚の膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃを挟圧した構造をなす４種の第４ラジアルベアリング５Ｄであって、表４に示す如く、第１及び第２金属板３，４の孔３ａ，４ａの孔径、ピッチ、開口率を夫々前記第３ラジアルベアリングＮｏ．１９〜Ｎｏ．２２と同一とした第４ラジルアルベアリングＮｏ．２３〜Ｎｏ．２６を製作し、これらの第４ラジアルベアリングＮｏ．２３〜Ｎｏ．２６の内周面（第１金属板３の表面）で軸受した回転軸を５００℃の温度条件下で１万回回転動作させて、摺動トルク及び耐荷重を測定した。その結果は、表４に示す通りであった。
【００４６】
なお、第１〜第４の実験における摺動トルクの測定は、回転軸に１０ＭＰａＧの軸荷重を付与した状態で行った。
【００４７】
【表１】
2018173169.tif 000003
【００４８】
【表２】
2018173169.tif 000004
【００４９】
【表３】
2018173169.tif 000005
【００５０】
【表４】
2018173169.tif 000006
【００５１】
表１〜表４の実験結果から理解されるように、第１金属板３の孔３ａの孔径が０．２〜２．５ｍｍ、開口率が１０〜５０％である第１ラジアルベアリングＮｏ．２〜Ｎｏ．６、Ｎｏ．９、第２ラジアルベアリングＮｏ．１１〜Ｎｏ．１５、Ｎｏ．１８、第３ラジアルベアリングＮｏ．１９〜Ｎｏ．２１及び第４ラジアルベアリングＮｏ．２３〜Ｎｏ．２５は摺動トルク及び耐荷重の何れにおいてもラジアルベアリングとして満足できるものであった。一方、第１金属板３の孔３ａの孔径が０．２ｍｍ未満であり、開口率が１０％未満である第１ラジアルベアリングＮｏ．１、Ｎｏ．８及び第２ラジアルベアリングＮｏ．１０、Ｎｏ．１７は耐荷重については満足できるものの、摺動トルクについてはラジアルベアリングとして満足できるものではなかった。また、第１金属板３の孔３ａの孔径が２．５ｍｍを超え、開口率が５０％を超える第１ラジアルベアリングＮｏ．７、第２ラジアルベアリング１６、第３ラジアルベアリングＮｏ．２２及び第４ラジアルベアリング２６は摺動トルクについては満足できるものの、耐荷重についてはラジアルベアリングとして満足できるものではなかった。
【００５２】
以上の点から、摺動トルク及び耐荷重の何れをも満足するためには、摺動面を構成する第１金属板３に孔径０．２〜２．５ｍｍ、開口率１０〜５０％の孔３ａを形成しておくことが好ましいと考えられる。なお、このことは第２金属板４をも摺動面として機能させる場合にも同様であり、かかる場合には第２金属板４に孔径０．２〜２．５ｍｍ、開口率１０〜５０％の孔４ａを形成しておくことが好ましいと考えられる。また、第１ラジアルベアリングＮｏ．１〜Ｎｏ．９及び第３ラジアルベアリングＮｏ．１９〜Ｎｏ．２２と第２ラジアルベアリングＮｏ．１０〜Ｎｏ．１８及び第４ラジアルベアリングＮｏ．２３〜Ｎｏ．２６とを比較した場合、第１金属板３の孔３ａの孔径及び開口率が同一であるときは、第２及び第４ラジアルベアリングＮｏ．１０〜Ｎｏ．１８、Ｎｏ．２３〜Ｎｏ．２６の摺動トルクが第１及び第３ラジアルベアリングＮｏ．１〜Ｎｏ．９、Ｎｏ．１９〜Ｎｏ．２２の摺動トルクより顕著に低くなっている。これは、第２及び第４ラジアルベアリングＮｏ．１０〜Ｎｏ．１８、Ｎｏ．２３〜Ｎｏ．２６では膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃ同士の接触面で滑りを生じることによるものと考えられる。
【００５３】
また、表３及び表４の実験結果を表１及び表２の実験結果と比較すれば理解されるように、耐荷重については第３ラジアルベアリングＮｏ．１９〜Ｎｏ．２２及び第４ラジアルベアリングＮｏ．２３〜Ｎｏ．２６の何れもが、第１金属板３の孔３ａの孔径、開口率が同一である第１ラジアルベアリングＮｏ．４〜Ｎｏ．７及び第２第４ラジアルベアリングＮｏ．１３〜Ｎｏ．１６より優れている。これは、各第３ラジアルベアリングＮｏ．１９〜Ｎｏ．２２及び第４ラジアルベアリングＮｏ．２３〜Ｎｏ．２６における第２金属板４の孔４ａの孔径、開口率が、これと第１金属板３の孔３ａの孔径、開口率を同一とする各第１ラジアルベアリングＮｏ．４〜Ｎｏ．７及び第２ラジアルベアリングＮｏ．１３〜Ｎｏ．１６における第２金属板４の孔４ａの孔径、開口率より小さいため、第３ラジアルベアリングＮｏ．１９〜Ｎｏ．２２及び第４ラジアルベアリングＮｏ．２３〜Ｎｏ．２６における第２金属板４の強度が第１ラジアルベアリングＮｏ．４〜Ｎｏ．７及び第２ラジアルベアリングＮｏ．１３〜Ｎｏ．１６における第２金属板４の強度より高くなっていることによるものと考えられる。
【００５４】
ところで、第２金属板４の孔４ａの孔径を０．１ｍｍとした点を除いて前記第３ラジアルベアリングＮｏ．１９〜Ｎｏ．２２と同一形状、構造の第３ラジアルベアリングＮｏ．１９ａ、Ｎｏ．２０ａ、Ｎｏ．２１ａ、Ｎｏ．２２ａを使用した第３実験と同一の第５実験及び第２金属板４の孔４ａの孔径を０．１ｍｍとした点を除いて前記第４ラジアルベアリングＮｏ．２３〜Ｎｏ．２６と同一形状、構造の第４ラジアルベアリングＮｏ．２３ａ、Ｎｏ．２４ａ、Ｎｏ．２５ａ、Ｎｏ．２６ａを使用した第４実験と同一の第６実験を行い、また第２金属板４の孔４ａの孔径を０．２ｍｍとした点を除いて前記第３ラジアルベアリングＮｏ．１９〜Ｎｏ．２２と同一形状、構造の第３ラジアルベアリングＮｏ．１９ｂ、Ｎｏ．２０ｂ、Ｎｏ．２１ｂ、Ｎｏ．２２ｂを使用した第３実験と同一の第７実験及び第２金属板４の孔４ａの孔径を０．２ｍｍとした点を除いて前記第４ラジアルベアリングＮｏ．２３〜Ｎｏ．２６と同一形状、構造の第４ラジアルベアリングＮｏ．２３ｂ、Ｎｏ．２４ｂ、Ｎｏ．２５ｂ、Ｎｏ．２６ｂを使用した第４実験と同一の第８実験を行った。そして、これらの実験の終了後、第１及び第２金属板３，４と膨張黒鉛層２との接着状態を確認したところ、第２金属板４の孔４ａの孔径を０．１ｍｍとした第３ラジアルベアリングＮｏ．１９ａ〜Ｎｏ．２２ａ及び第４ラジアルベアリングＮｏ．２３ａ〜Ｎｏ．２６ａの何れにおいても第２金属板４と膨張黒鉛層２との間に剥離が生じていた。これは、第２金属板４の孔４ａが小さいため、当該孔４ａによる膨張黒鉛層２の投錨効果が不十分で、第２金属板４と膨張黒鉛層２との接着強度が不足していることが原因と考えられる。一方、第２金属板４の孔４ａの孔径を０．２ｍｍとした第３ラジアルベアリングＮｏ．１９ｂ〜Ｎｏ．２２ｂ及び第４ラジアルベアリングＮｏ．２３ｂ〜Ｎｏ．２６ｂについては、その何れにおいても、第２金属板４と膨張黒鉛層２との間に剥離は生じていなかった。したがって、第３及び第４ラジアルベアリング５Ｃ，５Ｄにおける第２金属板４の孔４ａについては、第１金属板３の孔３ａより小さいことを条件として、孔径を０．２ｍｍ以上としておくことが好ましいと考えられる。
【００５５】
また、第１〜第４摺動部材１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄは、上記したラジアルベアリング５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄとして使用される他、例えば図１３又は図１４に示す如く、作動軸を軸方向で支持するスラストベアリング６Ａ，６Ｂとしても使用することができる。
【００５６】
すなわち、図１３に示すスラストベアリング６Ａは第１摺動部材１Ａ（又は第３摺動部材１Ｃ）を円環状板形状に打抜き加工してなるものであり、図１４に示すスラストベアリング６Ｂは第２摺動部材１Ｂ（又は第４摺動部材１Ｄ）を円環状板形状に打抜き加工してなるものである。
【００５７】
各スラストベアリング６Ａ，６Ｂは、上記バルブのステム等の作動軸とこれを支持するバルブケース等の機器ハウジングとの間に形成された円環状の軸受空間に第１金属板３が作動軸に接触すると共に第２金属板４が機器ハウジングに保持される状態で装填される。
【００５８】
かかるスラストベアリング６Ａ，６Ｂによれば、第１金属板３の各孔３ａに充填されて当該金属板３の表面に露出した膨張黒鉛部分２ａが摺動特性に優れたものであるから、作動軸に接触しているスラストベアリング６Ａ，６Ｂの表面（第１金属板３の表面）が摺動抵抗の小さな摺動面として機能し、作動軸の回転を円滑に行うことができる。また、スラストベアリング６Ａ，６Ｂには、作動軸が端面（第１金属板３の表面）を押圧する軸荷重（スラスト荷重）が作用するが、各スラストベアリング６Ａ，６Ｂは、これを構成する摺動部材１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄが膨張黒鉛シート２Ａ又は膨張黒鉛シート群２Ｂ，２Ｃの両面を金属板３，４で挟む複数層構造をなすものであることから、かかる軸荷重に対する耐力が大きく、つまりスラストベアリング６Ａ，６Ｂの耐荷重が大きい。特に、孔４ａが孔３ａより小さく第２金属板４の強度が第１金属板３の強度より優れる第３及び第４摺動部材１Ｃ，１Ｄで構成されるスラストベアリング６Ａ，６Ｂは、両孔３ａ，４ａを同一の大きさとする第１及び第２摺動部材１Ａ，１Ｂで構成されるスラストベアリング６Ａ，６Ｂに比して軸荷重に対する耐力が大きくなる。よって、スラストベアリング６Ａ，６Ｂは、スラスト荷重を機器ハウジングとの間で円滑且つ良好に受け止めることができるものであり、第１〜第４ラジアルベアリング５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄと同様に、高温条件下（例えば４００℃以上）においても良好な軸受機能を発揮することができる。特に、第２摺動部材１Ｂ又は第４摺動部材１Ｄで構成されるスラストベアリング６Ｂにあっては、膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃ同士の接触面で滑りを生じることから、より良好な軸受機能を発揮することができる。
【００５９】
なお、本発明の高温用摺動部材は、上記した第１〜第４摺動部材１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄの構成に限定されず、本発明の基本原理を逸脱しない範囲で適宜に変更、改良することができる。
【００６０】
例えば、各金属板３，４に形成する孔３ａ，４ａの形状は、上記した円形孔に限定されず、任意である。例えば、正円形状のほかに、楕円形状又はひし形状であってもよい。また、孔３ａ，４ａの間隔（ピッチ）は上記した如く一定でなくともよく、第１〜第４摺動部材１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄの使用形態に応じて任意に決定することができる。
【００６１】
また、第２摺動部材１Ｂ及び第４摺動部材１Ｄにあっては、上記した例では、金属板３，４間に２枚膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃを積層したが、積層する膨張黒鉛シートは３枚以上とすることも可能である。
【００６２】
また、第１〜第４摺動部材１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄにあっては、両金属板３，４に孔３ａ，４ａを形成して、これらの孔３ａ，４ａに膨張黒鉛部分２ａ，２ｂを充填するように構成したが、一方の面（第１金属板３の表面）のみを摺動面として機能されればよい用途の場合には、例えば、図１５（Ａ）に示す高温用摺動部材１Ｅ又は同図（Ｂ）に示す高温摺動部材１Ｆのように、第１金属板３にのみ孔３ａを設け、第２金属板４には孔を設けなくてもよい。すなわち、高温用摺動部材１Ｅは、図１５（Ａ）に示す如く、複数の孔３ａを形成した第１金属板３と孔を形成しない第２金属板４との間に１枚の膨張黒鉛シート２Ａからなる膨張黒鉛層２を挟んだ状態で加圧してなるものであり、高温用摺動部材１Ｆは、同図（Ｂ）に示す如く、複数の孔３ａを形成した第１金属板３と孔を形成しない第２金属板４との間に２枚の膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃを積層してなる膨張黒鉛層２を挟んだ状態で加圧してなるものである。この場合において、各高温用摺動部材１Ｅ，１Ｆにあっては、第２金属板３の裏面（膨張黒鉛シート２Ａ，２Ｃとの接触面）を、図１５（Ａ）又は同図（Ｂ）に示す如く、粗面ないし凹凸面４ｃに形成して、第２金属板４と膨張黒鉛シート２Ａ，２Ｃとの接着強度を確保するように構成することもできる。なお、図１５（Ｂ）に示す高温用摺動部材１Ｆにあっては、膨張黒鉛シート２Ｂ，２Ｃ同士の接触面に滑りを生じることから、第１金属板３のみが摺動面として機能する同図（Ａ）に示す高温用摺動部材１Ｆより摺動性能に優れる。
【００６３】
また、本発明の高温用摺動部材は、上記したラジアルベアリング５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄやスラストベアリング６Ａ，６Ｂ以外のベアリングや各種摺動部品の構成材として使用することが可能であり、その使用形態ないし加工形態に応じて金属板３，４の厚みや形状も任意に変更することができる。
【符号の説明】
【００６４】
１Ａ  第１摺動部材（高温用摺動部材）
１Ｂ  第２摺動部材（高温用摺動部材）
１Ｃ  第３摺動部材（高温用摺動部材）
１Ｄ  第４摺動部材（高温用摺動部材）
２    膨張黒鉛層
２Ａ  膨張黒鉛シート
２Ｂ  膨張黒鉛シート
２Ｃ  膨張黒鉛シート
２ａ  膨張黒鉛部分
２ｂ  膨張黒鉛部分
３    第１金属板
３ａ  孔
４    第２金属板
４ａ  孔
５Ａ  ラジアルベアリング
５Ｂ  ラジアルベアリング
５Ｃ  ラジアルベアリング
５Ｄ  ラジアルベアリング
６Ａ  スラストベアリング
６Ｂ  スラストベアリング
【図１】
2018173169.tif 000007
【図２】
2018173169.tif 000008
【図３】
2018173169.tif 000009
【図４】
2018173169.tif 000010
【図５】
2018173169.tif 000011
【図６】
2018173169.tif 000012
【図７】
2018173169.tif 000013
【図８】
2018173169.tif 000014
【図９】
2018173169.tif 000015
【図１０】
2018173169.tif 000016
【図１１】
2018173169.tif 000017
【図１２】
2018173169.tif 000018
【図１３】
2018173169.tif 000019
【図１４】
2018173169.tif 000020
【図１５】
2018173169.tif 000021