(57)【要約】      （修正有）【課題】機能性細線を自由度高く安定に形成できる機能性細線パターン、透明導電膜、デバイス及び電子機器を提供すること。【解決手段】基材１上に、機能性材料を含む多角形状細線３２（５２）が二次元的に複数並設され、少なくとも一組の多角形状細線３２（５２）が、多角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて２点の交点で接続されている機能性細線パターン；前記機能性細線パターンからなる透明導電膜を基材表面に有する透明導電膜付き基材；前記透明導電膜付き基材を有するデバイス；及び前記デバイスを備える電子機器。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に、機能性材料を含む多角形状細線が二次元的に複数並設され、
少なくとも一組の多角形状細線が、多角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて２点の交点で接続されていることを特徴とする機能性細線パターン。
【請求項２】
互いに接続された前記多角形状細線の内部領域の重複面積が、各多角形状細線の内部領域の面積の１０分の１以下であることを特徴とする請求項１記載の機能性細線パターン。
【請求項３】
前記多角形状細線は、三角形、四角形、六角形又は八角形であることを特徴とする請求項１又は２記載の機能性細線パターン。
【請求項４】
前記基材の長手方向に対して各辺が傾斜した四角形である前記多角形状細線を、該基材の長手方向及び幅方向のそれぞれに所定のピッチで複数並設してなることを特徴とする請求項３記載の機能性細線パターン。
【請求項５】
前記機能性材料は導電性材料であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の機能性細線パターン。
【請求項６】
前記多角形状細線がメッキ層により被覆されていることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の機能性細線パターン。
【請求項７】
前記基材の両面に設けられたことを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の機能性細線パターン。
【請求項８】
前記機能性材料が導電性材料である請求項１〜７の何れかに記載の機能性細線パターンからなる透明導電膜を基材表面に有することを特徴とする透明導電膜付き基材。
【請求項９】
請求項８記載の透明導電膜付き基材を有することを特徴とするデバイス。
【請求項１０】
請求項９記載のデバイスを備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能性細線を自由度高く安定に形成できる機能性細線パターン、透明導電膜付き基材、デバイス及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１〜３には、基材上に付与された導電性材料を含有する液滴を乾燥する際に、コーヒーステイン現象を利用して、該液滴の周縁部に選択的に導電性材料を堆積させる技術が開示されている。特許文献１は、液滴をドット状に付与することにより、該液滴の周縁部にリング状の導電性細線を形成している。また、特許文献２、３は、液滴を線状に付与することにより、該液滴の周縁部に直線状の導電性細線を形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】ＷＯ２０１１／０５１９５２
【特許文献２】特開２００５−９５７８７号公報
【特許文献３】特開２０１４−３８９９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の技術では、リング状の導電性細線の径を大きくするためには、ドット状に付与される液滴の径を大きくする必要がある。また、特許文献２の技術では、直線状の導電性細線の配置間隔を大きくするためには、直線状に付与される液滴の線幅を大きくする必要がある。これらの結果、液滴を形成するために大量の液体付与が必要になり、乾燥負荷が大きくなる。乾燥負荷が大きくなると、細線の安定形成が困難になったり、タクトタイムが長くなったりする。このように、従来の技術では、細線を自由度高く安定に形成することが困難であった。
【０００５】
例えばタッチパネルセンサー等に用いられる透明導電膜を、導電性細線の集合体により形成する際に、導電性細線を自由度高く安定に形成できれば、透明導電膜の低抵抗化を実現し、更に低視認性（導電性細線の視認困難性）を向上することが可能になる。また、導電性細線に限らず、種々の機能を有する機能性細線を自由度高く安定に形成できれば、該機能を好適に発揮することが可能になる。
【０００６】
そこで本発明の課題は、機能性細線を自由度高く安定に形成できる機能性細線パターン、透明導電膜付き基材、デバイス及び電子機器を提供することにある。
【０００７】
また本発明の他の課題は、以下の記載によって明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【０００９】
１．
基材上に、機能性材料を含む多角形状細線が二次元的に複数並設され、
少なくとも一組の多角形状細線が、多角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて２点の交点で接続されていることを特徴とする機能性細線パターン。
２．
互いに接続された前記多角形状細線の内部領域の重複面積が、各多角形状細線の内部領域の面積の１０分の１以下であることを特徴とする前記１記載の機能性細線パターン。
３．
前記多角形状細線は、三角形、四角形、六角形又は八角形であることを特徴とする前記１又は２記載の機能性細線パターン。
４．
前記基材の長手方向に対して各辺が傾斜した四角形である前記多角形状細線を、該基材の長手方向及び幅方向のそれぞれに所定のピッチで複数並設してなることを特徴とする前記３記載の機能性細線パターン。
５．
前記機能性材料は導電性材料であることを特徴とする前記１〜４の何れかに記載の機能性細線パターン。
６．
前記多角形状細線がメッキ層により被覆されていることを特徴とする前記１〜５の何れかに記載の機能性細線パターン。
７．
前記基材の両面に設けられたことを特徴とする前記１〜６の何れかに記載の機能性細線パターン。
８．
前記機能性材料が導電性材料である前記１〜７の何れかに記載の機能性細線パターンからなる透明導電膜を基材表面に有することを特徴とする透明導電膜付き基材。
９．
前記８記載の透明導電膜付き基材を有することを特徴とするデバイス。
１０．
前記９記載のデバイスを備えることを特徴とする電子機器。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、機能性細線を自由度高く安定に形成できる機能性細線パターン、透明導電膜付き基材、デバイス及び電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】細線パターンが形成される様子を説明する斜視図
【図２】液体の縁部に機能性材料を運ぶ流動を説明する図であって、（ａ）は閉じられた幾何学図形からなるライン状液体の場合を示す図、（ｂ）は、参考例であり、閉じられた幾何学図形ではない液体の場合を示す図
【図３】幾何学図形が四角形である場合の機能性細線パターン形成を説明する図
【図４】幾何学図形が四角形である場合の機能性細線パターン形成を説明する図
【図５】電解メッキ処理の一例について説明する図
【図６】電解メッキされた機能性細線パターンを説明する図
【図７】一部の細線が除去された機能性細線パターンを説明する図
【図８】図７の要部拡大図
【図９】基材の両面に機能性細線パターンを形成する場合の一例について説明する図
【図１０】機能性細線パターンにより構成された透明導電膜を備えるタッチパネルセンサーの一例を説明する図
【図１１】幾何学図形が三角形である場合の機能性細線パターン形成を説明する図
【図１２】幾何学図形が六角形である場合の機能性細線パターン形成を説明する図
【図１３】幾何学図形が八角形である場合の機能性細線パターン形成を説明する図
【図１４】幾何学図形が円形である場合の機能性細線パターン形成を説明する図
【図１５】互いに隣接する細線ユニットの接続形態の他の例について説明する図
【図１６】幾何学図形の更なる他の例を説明する図
【図１７】基材上に形成された細線ユニットの一例を示す斜視図
【図１８】内側細線と外側細線からなる実施例１の細線パターン（１）の光学顕微鏡写真
【図１９】外側細線にメッキが施された実施例２の細線パターン（２）の光学顕微鏡写真
【図２０】内側細線が除去された実施例３の細線パターン（３）の光学顕微鏡写真
【発明を実施するための形態】
【００１２】
基材上に、機能性材料を含むライン状液体によって、閉じられた幾何学図形を形成し、次いで、前記ライン状液体を乾燥して、前記機能性材料を縁部に沿って堆積させることにより、機能性材料を含む内側細線と外側細線からなる機能性細線ユニット（以下、単に細線ユニットともいう）を形成する。細線ユニットを基材上に１又は複数並設することで機能性細線パターンを形成することができる。これにより、機能性細線を自由度高く安定に形成できる効果が得られる。
【００１３】
更に、好ましい態様において、かかる細線ユニットは、機能性細線パターンを形成するための機能性細線パターン前駆体（以下、単に前駆体ともいう）として用いられる。即ち、前駆体を構成する内側細線と外側細線からなる機能性細線の一部を除去することにより、除去せず残留させる細線によって、機能性細線パターンを形成することができる。これにより、パターン形成の自由度を更に高めることができ、特に機能性細線パターンを構成する細線の配置間隔を自由度高く調整できる効果が得られる。
【００１４】
以下に、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【００１５】
まず、ライン状液体から細線ユニットが形成されるプロセスについて、図１を参照して説明する。
【００１６】
図１（ａ）に示すように、基材１上に、ライン状液体２によって、閉じられた幾何学図形を形成する。ライン状液体２からなる幾何学図形は、液体が付与されていない領域２０を内部に包含することにより、縁部として互いに独立した内側縁２１と外側縁２２とを有する。内側縁２１は、ライン状液体２によって形成される閉じられた幾何学図形の内側の縁部であり、液体が付与されていない領域２０に隣接する縁部である。外側縁２２は、ライン状液体２によって形成される閉じられた幾何学図形の外側の縁部であり、内側縁２１とは接続されていない。かかる液体２を乾燥させる際に、コーヒーステイン現象を利用して、縁部である内側縁２１及び外側縁２２に沿って機能性材料を選択的に堆積させることによって、図１（ｂ）に示すように、内側縁２１に対応する位置に内側細線３１が、外側縁２２に対応する位置に外側細線３２が、それぞれ形成される。
【００１７】
このようにして、機能性材料を含む内側細線３１と該内側細線３１を取り囲む外側細線３２からなる細線ユニット３が形成される。細線ユニット３を構成する内側細線３１と外側細線３２は互いに接続されておらず独立している。内側細線３１と外側細線３２は、ライン状液体２の線幅（線の太さ）に比べて十分に細いものになる。図示の例では、ライン状液体２が、１つの内側縁２１と１つの外側縁２２を有することにより、一対の内側細線３１及び外側細線３２からなる細線ユニット３を形成している。
【００１８】
ライン状液体２から細線ユニット３を形成することによる効果について、図２を参照して説明する。
【００１９】
図２（ａ）に示すように、基材１上に付与されたライン状液体２の乾燥は、中央部に比べて内側縁２１及び外側縁２２において速いため、まず内側縁２１及び外側縁２２に沿って機能性材料の局所的な堆積が起こる。堆積した機能性材料により液体の縁が固定化された状態（接触線の固定化）となり、それ以降の乾燥に伴うライン状液体２の太さ方向の収縮が抑制される。ライン状液体２中では、内側縁２１及び外側縁２２での蒸発により失った分の液体を補うように、中央部から内側縁２１に向かう流動と、中央部から外側縁２２に向かう流動とが形成される。図中、流動の方向を矢印により概念的に示した。この流動によって更なる機能性材料が内側縁２１及び外側縁２２に運ばれて堆積する。その結果、内側縁２１及び外側縁２２に対応する位置に、機能性材料を含む内側細線３１及び外側細線３２がそれぞれ形成される。
【００２０】
図２（ｂ）の参考例に示すような、閉じられた幾何学図形ではない液体１００の縁１０１に機能性材料を選択的に堆積させる場合との対比では、図２（ａ）に示したライン状液体２は、液体が付与されていない領域２０を内部に包含することにより、液体の付与量を削減でき、乾燥負荷を低減することができる。これにより、タクトタイムを短縮して生産効率を向上することができる。
【００２１】
更に、ライン状液体２は、液体が付与されていない領域２０を内部に包含することにより、液体の乾燥に伴う気化熱の総量が比較的小さくなる。そのため、乾燥に伴う基材温度の変化や不均一化が抑制され、上述した液流を安定に形成することができる。
【００２２】
また更に、ライン状液体２は、液体が付与されていない領域２０を内部に包含することにより、流動によって機能性材料が縁に到達するまでの平均移動距離を短縮することができる。
【００２３】
これらの結果、比較的大きい径でライン状液体２を形成する場合においても、コーヒーステイン現象を安定に発現することができ、内側細線３１及び外側細線３２の形成を安定化することができる。これにより、機能性細線である内側細線３１及び外側細線３２を自由度高く安定に形成できる効果が得られる。
【００２４】
機能性材料を縁に運ぶ流動の形成を促進することは好ましいことである。例えば、固形分濃度、液体と基材の接触角、液体の量、基材の加熱温度、液体の配置密度、または温度、湿度、気圧といった環境因子などの条件を調整することによって、液体の縁を早期に固定化することができ、また液体中央部と縁の蒸発量の差を大きくすることができる。これにより、機能性材料を縁に運ぶ流動の形成を促進することができる。
【００２５】
基材１上へのライン状液体２の付与は、インクジェット法により行うことができる。具体的には、図示しない液滴吐出装置が備えるインクジェットヘッドを基材に対して相対移動させながら、インクジェットヘッドのノズルから機能性材料を含むインクを吐出し、吐出されたインク滴を基材上で合一させて、ライン状液体２を形成することができる。インクジェットヘッドの液滴吐出方式は格別限定されず、例えば、ピエゾ方式やサーマル方式などを用いることができる。
【００２６】
インクジェット法を用いることにより、ライン状液体２によって、閉じられた幾何学図形を所望の形状で自在に形成することができる。ライン状液体２の内側縁２１及び外側縁２２の形状に対応して、得られる細線ユニット３を構成する内側細線３１及び外側細線３２の形状を、それぞれ所望の閉じられた幾何学図形となるように形成することができる。そのため、インクジェット法を用いることにより、機能性細線を更に自由度高く形成することができる。
【００２７】
以下に、基材１上に細線ユニット３を複数形成し、これら複数の細線ユニット３を前駆体として用いることによって、機能性細線パターンからなる透明導電膜を形成する方法の具体例を挙げて、本発明について更に詳しく説明する。ここでは、機能性材料として導電性材料が、基材として透明基材が好ましく用いられる。
【００２８】
まず、図３〜図８を参照して、ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を四角形にする態様について説明する。
【００２９】
まず、図３（ａ）に示すように、基材１上に、導電性材料を含む第１ライン状液体２によって、閉じられた幾何学図形として四角形を形成する。ここでは、基材１上に、四角形である第１ライン状液体２を基材の長手方向（図中、上下方向）及び幅方向（図中、左右方向）に所定ピッチで複数並設している。ここでは、便宜上、４つの第１ライン状液体２を図示している。
【００３０】
基材１上に付与された第１ライン状液体２は、液体が付与されていない領域２０を内部に包含することにより、縁として、互いに独立した内側縁２１と外側縁２２とを有する。
【００３１】
次いで、第１ライン状液体２を乾燥させる際にコーヒーステイン現象を生起させて、導電性材料をライン状液体２の内側縁２１及び外側縁２２に沿って選択的に堆積させる。
【００３２】
これにより、図３（ｂ）に示すように、内側細線３１と外側細線３２からなる第１細線ユニット３が形成される。第１細線ユニット３を構成する細線３１、３２は、四角形状に形成されている。
【００３３】
次いで、図４（ａ）に示すように、基材１上に、導電性材料を含む第２ライン状液体４によって、閉じられた幾何学図形として四角形を形成する。ここでは、基材１上に、四角形である第２ライン状液体４を基材の長手方向及び幅方向に所定ピッチで複数並設している。ここでは、便宜上、５つの第２ライン状液体４を図示している。
【００３４】
基材１上に付与された第２ライン状液体４は、液体が付与されていない領域４０を内部に包含することにより、縁として、互いに独立した内側縁４１と外側縁４２とを有する。
【００３５】
本態様では、第２ライン状液体４を、４つの第１細線ユニット３の間に挟まれる位置に形成している。第２ライン状液体４からなる四角形の各頂点近傍は、隣接する第１細線ユニット３の外側細線３２と接触するように配置されている。第２ライン状液体４からなる四角形の各頂点は、隣接する第１細線ユニット３の内側細線３１と外側細線３２の間の領域に配置されている。
【００３６】
次いで、第２ライン状液体４を乾燥させる際にコーヒーステイン現象を生起させて、導電性材料を第２ライン状液体４の内側縁４１及び外側縁４２に沿って選択的に堆積させる。
【００３７】
これにより、図４（ｂ）に示すように、内側細線５１と外側細線５２からなる第２細線ユニット５を形成することができる。第２細線ユニット５を構成する細線５１、５２は、四角形状に形成されている。
【００３８】
本態様では、基材１上に、第１細線ユニット３と第２細線ユニット５を、基材の長手方向及び幅方向に交互に形成している。第１細線ユニット３の外側細線３２と第２細線ユニット５の外側細線５２とは互いに接続され、第１細線ユニット３の内側細線３１と、第２細線ユニット５の内側細線５１とは互いに接続されないように、各細線ユニット３、５を形成している。内側細線３１、５１は、他の内側細線３１、５１と接続されていないだけでなく、他の外側細線３２、５２とも接続されていない。
【００３９】
以上のようにして、基材１上に、外側細線３２、５２によって互いに接続された細線ユニット３、５からなるパターンが形成される。
【００４０】
次いで、得られたパターンに電解メッキを施す。かかる電解メッキ処理の一例について図５を参照して説明する。
【００４１】
図５に示すように、図示しないメッキ浴内の細線ユニット３、５からなるパターンに給電部材６を接触させて電解メッキを施す。このとき、外側細線３２、５２同士が互いに接続されていることにより、複数の外側細線３２、５２からなる通電経路が網目状に形成される。給電部材６から該通電経路を通して通電することで、該通電経路内の外側細線３２、５２に電解メッキが施される。
【００４２】
一方、内側細線３１、５１は、他の内側細線３１、５１及び外側細線３２、５２と互いに接続されておらず、各々が独立して形成されているため、上述した外側細線３２、５２のような通電経路が形成されない。図示するように、給電部材６と直接接触する内側細線３１、５１が存在する場合は、内側細線３１、５１に電解メッキが施され得るが、それ以外の内側細線３１、５１には通電されず、電解メッキが施されない。給電部材６を内側細線３１、５１に接触させない場合は、何れの内側細線３１、５１にも電解メッキが施されない。
【００４３】
このようにして、外側細線３２、５２に対して通電経路を通して通電することで、該外側細線３２、５２に対して選択的に電解メッキを施すことができる。ここで、「選択的」というのは、少なくとも、電解メッキが施される外側細線３２、５２の本数が、電解メッキが施される内側細線３１、５１の本数よりも多いことをいう。
【００４４】
このようにして、図６に示すように、電解メッキが施された外側細線３２、５２の膜厚を、電解メッキが施されていない内側細線３１、５１と比較して増大させることができる。これにより、外側細線３２、５２は内側細線３１、５１よりも低抵抗化され、更に耐久性が向上する。
【００４５】
次いで、細線ユニット３、５を前駆体として用い、機能性細線パターンを形成する。
【００４６】
本態様では、細線ユニット３、５の内側細線３１、５１を除去することによって、図７に示すように、除去せず残留させる互いに接続された外側細線３２、５２によって、機能性細線パターンを形成している。
【００４７】
上述したように外側細線３２、５２に電解メッキを施して膜厚を増大させておくことにより、外側細線３２、５２は除去されにくくなり、電解メッキが施されていない内側細線３１、５１は比較的容易に除去できる効果が得られる。
【００４８】
細線を除去する方法は格別限定されないが、例えば、レーザー光等のようなエネルギー線を照射する方法や、化学的にエッチング処理する方法等を用いることが好ましい。
【００４９】
また、細線を除去する好ましい方法として、外側細線３２、５２に電解メッキを施す際に、内側細線３１、５１をメッキ液によって除去する方法を用いることもできる。この場合、メッキ液として、除去対象となる細線を構成する導電性材料を溶解又は分解可能なものを用いることができる。
【００５０】
具体例として、まず、導電性材料として銀ナノ粒子を用いて、内側細線３１、５１及び外側細線３２、５２からなる細線ユニット３、５を形成する。そして、第１電解メッキとして外側細線３２、５２に選択的に銅メッキ層を設け、次いで、第２電解メッキとして該銅メッキ層上にニッケルメッキ層を設ける。このとき、第２電解メッキ（電解ニッケルメッキ）のメッキ液によって、第１電解メッキが施されていない銀からなる内側細線３１、５１を溶解又は分解して除去することができる。このように、外側細線３２、５２に対する電解メッキと、内側細線３１、５１の除去を同時に進行させることは好ましいことである。
【００５１】
また、例えば、電解メッキのための給電を停止した後、除去対象となる細線、好ましくは内側細線３１、５１を除去するのに十分な時間、好ましくは１分〜３０分の時間、基材１をメッキ液に浸漬させておくことも好ましいことである。
【００５２】
以上のように、内側細線３１、５１を除去することによって、除去せず残留させる外側細線３２、５２からなる機能性細線パターンにおける細線の配置間隔を自由度高く調整することができる。細線の一部除去による配置間隔の調整は、特に配置間隔を大きくする場合に有利である。
【００５３】
細線の一部を除去して細線の配置間隔を大きくすることにより、機能性細線パターンからなる透明導電膜の透過率や低視認性を好適に向上できる効果が得られる。
【００５４】
以上のようにして得られた機能性細線パターンについて詳しく説明する。
【００５５】
図７に示した機能性細線パターンは、基材１上に、外側細線３２、５２からなる細線、即ち機能性材料を含む四角形状細線を、二次元的に複数並設してなる。四角形状細線（外側細線３２、５２）は、該基材１の長手方向及び幅方向のそれぞれに所定のピッチで複数並設されている。
【００５６】
図７に示すように、機能性細線パターンにおいて、四角形状細線（外側細線３２、５２）は、基材１の長手方向に対して各辺が傾斜（図示の例では４５°）した四角形であることが好ましい。これにより、機能性細線パターンからなる透明導電膜付き基材１を画像表示装置等のデバイスに組み込んだ際のモアレ発生を好適に防止できる効果が得られる。
【００５７】
モアレというのは、導電性細線の集合体からなる透明導電膜付き基材１をデバイスに組み込んだ際に、導電性細線とデバイス中の他の要素との組み合わせに由来するスジが視認されてしまうことである。モアレは、例えば、透明導電膜を構成する導電性細線と、デバイス中の画像表示素子が備える画素アレイとが光学干渉すること等により生じ得る。モアレが防止されることにより、画像表示素子により表示される画像を鮮明に視認できる効果が得られる。
【００５８】
かかる機能性細線パターンにおいて、隣接する四角形状細線（外側細線３２、５２）は、四角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて２点の交点で接続されている。即ち、図８に拡大して示すように、隣接する四角形状細線（外側細線３２、５２）は、一方の四角形状細線（外側細線３２）の頂点Ａを挟む両辺ａ１、ａ２と、他方の四角形状細線（外側細線５２）の頂点Ｂを挟む両辺ｂ１、ｂ２とを交差させることによって、２点の交点Ｃ、Ｄで接続されている。なお、図８では、説明の便宜上、隣接する１組の四角形状細線（外側細線３２、５２）のみを示しているが、図７に示されるように、他の隣接する四角形状細線も同様に接続されている。このように隣接する四角形状細線（外側細線３２、５２）を２点の交点で接続することによって両四角形状細線を確実に接続でき、特に機能性材料として導電性材料を用いる場合には、確実な電気的接続を実現できる。これにより、透明導電膜の更なる低抵抗化を実現でき、更に抵抗の不均一化を好適に防止できる効果も得られる。
【００５９】
また、隣接する四角形状細線（外側細線３２、５２）の内部領域の重複面積は、各四角形状細線（外側細線３２、５２）の内部領域の面積の１０分の１以下であることが好ましい。ここで、重複面積というのは、図示の例でいえば、２つの頂点Ａ、Ｂ及び２つの交点Ｃ、Ｄからなる４点を頂点とする四角形ＡＤＢＣの面積である。これにより、両四角形状細線をより確実に接続できると共に、機能性細線パターンが視認されにくくなる効果が得られる。
【００６０】
また、特に機能性材料として導電性材料を用いる場合には、四角形状細線（外側細線３２、５２）がメッキ層により被覆されていることによって、より確実な電気的接続を実現できる。
【００６１】
以上の説明では、基材の一面に機能性細線パターンを形成する場合について示したが、基材の両面に機能性細線パターンを形成することも好ましいことである。基材の両面に機能性細線パターンを形成する場合の一例について、図９を参照して説明する。
【００６２】
図９の例では、基材１の一面（表面）に機能性細線パターンを形成し、更に、基材１の他面（裏面）にも機能性細線パターンを形成している。
【００６３】
ここでは、各面の機能性細線パターンは、図７に示したものと同様に、細線ユニット３、５の内側細線３１、５１を除去することにより、除去せず残留させた外側細線３２、５２により構成されている。
【００６４】
このように、基材１の両面に機能性細線パターンを形成する場合において、一面及び又は他面の細線ユニットを構成する細線の一部を除去して細線の配置間隔を大きくすることは特に好ましい。
【００６５】
例えば、基材として透明基材を用い、両面の機能性細線パターンに含有させる機能性材料として導電性材料を用いることで、機能性細線パターンからなる透明導電膜を透明基材の両面に形成することができる。この場合、細線の一部除去によって細線の配置間隔を大きくすることで、表裏のパターンの位置合わせ精度の高い要求を緩和することができる。
即ち、表裏のパターンの位置合わせに多少のずれが生じても、細線間隔が大きいことによって、表裏のパターンの干渉による骨見えを好適に防止できる。両面に透明導電膜を設けた透明基材は、例えばタッチパネルセンサー等として好適に用いることができる。
【００６６】
図１０は、機能性細線パターンにより構成された透明導電膜を備えるタッチパネルセンサーの一例を示している。図１０（ａ）は基材１を表面側から見た様子を、図１０（ｂ）は基材１を裏面側から見た様子を、それぞれ示している。
【００６７】
図示のタッチパネルセンサーは、図１０（ａ）に示すように、透明な基材１の表面に、帯状のＸ電極７が複数並設されている。複数のＸ電極７は、それぞれ、外側細線３２、５２からなる機能性細線パターンにより構成された透明導電膜８により構成されている。
【００６８】
各透明導電膜８を構成する機能性細線パターンにおいて、隣接する外側細線３２、５２は互いに接続されている。一方、一つの透明導電膜８を構成する外側細線３２、５２は、他の透明導電膜８を構成する外側細線３２、５２とは接続されていない。このように、互いに接続されていない外側細線３２、５２が存在することによって、基材１の表面に、互いに電気的に接続されていない独立した複数のＸ電極７を形成することができる。各Ｘ電極７は、互いに電気的に接続された複数の外側細線３２、５２からなる集合体によって構成されている。図中、符号９は引出し配線であり、各Ｘ電極７は引出し配線９によって図示しない制御回路に接続される。
【００６９】
一方、図１０（ｂ）に示すように、透明な基材１の裏面には、帯状のＹ電極１０が複数並設されている。複数のＹ電極１０は、それぞれ、上述したＸ電極７と同様に、外側細線３２、５２からなる機能性細線パターンにより構成された透明導電膜８により構成されている。帯状のＹ電極１０は、その長手方向が、上述したＸ電極の長手方向と交差するように形成されている。各Ｙ電極１０は引出し配線９によって図示しない制御回路に接続される。
【００７０】
これらＸ電極７及びＹ電極１０は、透明な基材１を介して交差する（重なり合う）ように設けられる。このとき、上述した細線の一部除去によって、Ｘ電極７及びＹ電極１０を構成する透明導電膜を構成する機能性細線パターンにおける細線の配置間隔が大きくなっていることによって、図９を参照して説明したように、表裏のパターンの位置合わせ精度の高い要求を緩和することができる。
【００７１】
以上のような構成を備えたタッチパネルセンサーは、例えば静電容量方式等のタッチパネルセンサーとして好適に用いることができる。静電容量方式のタッチパネルであれば、操作時において、これらＸ電極７及びＹ電極１０にユーザーの指や導体等が接近、接触した際に生じる静電容量変化に基づく誘導電流を利用して、指や導体等の位置座標を検知することができる。
【００７２】
以上の説明では、第１ライン状液体の形成から第１細線ユニットの形成までの工程と、第２ライン状液体の形成から第２細線ユニットの形成までの工程と、を設けて、２回に分けて複数の細線ユニットを形成したが、これに限定されるものではない。第２細線ユニットを形成した後に、更なる１又は複数の細線ユニットを形成してもよい。更なる１又は複数の細線ユニットは、１又は複数回に分けて形成することができる。即ち、基材上に複数の細線ユニットを形成する場合は、適宜、複数回に分けて形成することができる。また、例えば、細線ユニット同士を接続しない場合は、複数の細線ユニットを１回で形成することも好ましい。
【００７３】
以上の説明では、ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を四角形とし、四角形状細線からなる機能性細線パターンを形成する場合について示したが、これに限定されるものではなく、ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を多角形とし、多角形状細線からなる機能性細線パターンを形成することができる。
【００７４】
以下に、四角形以外の他の多角形の例として、三角形、六角形、八角形の場合について説明する。
【００７５】
ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を三角形とすることにより、図１１（ａ）に示すように、それぞれ三角形状に形成された内側細線３１と外側細線３２からなる細線ユニット３を形成することができる。隣接する外側細線３２は、三角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて２点の交点で接続されている。
【００７６】
かかる細線ユニット３からなる機能性細線パターン前駆体の内側細線３１を除去することにより、図１１（ｂ）に示すように、除去せず残留させる外側細線３２、即ち三角形状細線からなる機能性細線パターンを形成することができる。
【００７７】
ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を六角形とすることにより、図１２（ａ）に示すように、それぞれ六角形状に形成された内側細線３１と外側細線３２からなる細線ユニット３を形成することができる。隣接する外側細線３２は、六角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて２点の交点で接続されている。
【００７８】
かかる細線ユニット３からなる機能性細線パターン前駆体の内側細線３１を除去することにより、図１２（ｂ）に示すように、除去せず残留させる外側細線３２、即ち六角形状細線を二次元的に複数並設してなる機能性細線パターンを形成することができる。
【００７９】
ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を八角形とすることにより、図１３（ａ）に示すように、それぞれ八角形状に形成された内側細線３１と外側細線３２からなる細線ユニット３を形成することができる。隣接する外側細線３２は、八角形の頂点を挟む両辺同士を交差させて２点の交点で接続されている。
【００８０】
かかる細線ユニット３からなる機能性細線パターン前駆体の内側細線３１を除去することにより、図１３（ｂ）に示すように、除去せず残留させる外側細線３２、即ち八角形状細線を二次元的に複数並設してなる機能性細線パターンを形成することができる。
【００８１】
更に、ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形は、多角形に限定されず、例えば円形や楕円形などのように曲線要素を含むものであってもよい。図１４は、ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を円形とする場合の例を示している。
【００８２】
ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形を円形とすることにより、図１４（ａ）に示すように、それぞれ円形状に形成された内側細線３１と外側細線３２からなる細線ユニット３を形成することができる。隣接する外側細線３２は、円形の円周同士を交差させて２点の交点で接続されている。
【００８３】
かかる細線ユニット３からなる機能性細線パターン前駆体の内側細線６１を除去することにより、図１４（ｂ）に示すように、除去せず残留させる外側細線６２、即ち円形状細線を二次元的に複数並設してなる機能性細線パターンを形成することができる。
【００８４】
機能性細線パターンを多角形状細線（外側細線３２）によって構成する場合、多角形の１辺の長さは、自在に調整することができる。例えば、１辺の長さは、５０μｍ以上、１００μｍ以上、２００μｍ以上、３００μｍ以上、４００μｍ以上、５００μｍ以上、更には１ｍｍ以上であることが好ましい。このような比較的大きい多角形を形成する場合であっても、ライン状液体を閉じられた幾何学図形として付与することで、安定な細線形成を実現できる。大きさによらず安定な細線形成を実現できるため、１辺の長さの上限は格別限定されず、用途に応じて適宜設定できる。多角形を構成する少なくとも１つの辺が上記の範囲であることが好ましく、全ての辺が上記の範囲であることが更に好ましい。
【００８５】
また、多角形は正多角形に限定されず、多角形を構成する各辺の長さや、各内角の角度は、互いに異なってもよい。
【００８６】
また、機能性細線パターンを円形状細線（外側細線３２）によって構成する場合においても、円形の直径は自在に調整することができる。例えば、直径は、５０μｍ以上、１００μｍ以上、２００μｍ以上、３００μｍ以上、４００μｍ以上、５００μｍ以上、更には１ｍｍ以上であることが好ましい。このような比較的大きい円形を形成する場合であっても、ライン状液体を閉じられた幾何学図形として付与することで、安定な細線形成を実現できる。大きさによらず安定な細線形成を実現できるため、直径の上限は格別限定されず、用途に応じて適宜設定できる。
【００８７】
また、機能性細線パターンを楕円形状細線（外側細線３２）によって構成する場合、上述した直径の好ましい範囲を、長径の好ましい範囲として適用できる。
【００８８】
以上の説明では、基材上に細線ユニットを複数形成する際に、これら複数の細線ユニットを所定のピッチで形成する場合について主に説明したが、これに限定されるものではない。
【００８９】
以上の説明では、細線ユニットを接続する際に、外側細線同士を接続し、内側細線を他の内側細線及び外側細線と接続させない場合について主に示したが、これに限定されるものではない。細線ユニットを構成する何れかの機能性細線を互いに接触させて接続することができる。例えば、第１細線ユニットの内側細線及び又は外側細線と、第２細線ユニットの内側細線及び又は外側細線とを接続することができる。以下に、図１５を参照して、細線ユニットの接続形態の他の例について説明する。
【００９０】
図１５（ａ）の例において、互いに隣接する細線ユニット３、５は、外側細線３２、５２同士は接続され、内側細線３１、５１同士は接続されていない。この例では、一方の細線ユニット３を構成する内側細線３１は、他方の細線ユニット５を構成する外側細線５２と接続されている。同様に、他方の細線ユニット５を構成する内側細線５１は、一方の細線ユニット３を構成する外側細線３２と接続されている。
【００９１】
図１５（ｂ）の例において、互いに隣接する細線ユニット３、５は、外側細線３２、５２同士が接続され、内側細線３１、５１同士も接続されている。この例では、一方の細線ユニット３を構成する内側細線３１は、他方の細線ユニット５を構成する外側細線５２と接続されている。同様に、他方の細線ユニット５を構成する内側細線５１は、一方の細線ユニット３を構成する外側細線３２と接続されている。
【００９２】
図１５（ａ）、（ｂ）に示した接続形態を用いることによって、例えば、上述した電解メッキを、外側細線だけでなく内側細線にも好適に施すことができる。
【００９３】
互いに接続された細線ユニットを複数形成する場合、これらは同一の接続形態によって接続されてもよいし、種々の接続形態が混在してもよい。更に、一部の細線ユニットが、内側細線も外側細線も接続されない状態で並設されていてもよい。
【００９４】
以上の説明では、機能性細線パターンを構成する機能性細線同士を２点で交差させて接続する場合について主に示したが、２点での接続に限定されるものではない。例えば、機能性細線同士を１点で接触させて接続してもよい。２点交差と１点接触を適宜組み合わせて、３点以上で接続することも導電性を確保する観点では好ましいことである。
【００９５】
ライン状液体からなる閉じられた幾何学図形の更なる他の例について、図１６を参照して説明する。
【００９６】
例えば、図１６（ａ）に示すように、ライン状液体２よって形成される閉じられた幾何学図形は、ジグザグ状要素により構成されることも好ましいことである。これを乾燥することにより、ジグザグ状の内側縁２１及び外側縁２２に対応する位置に、ジグザグ状要素により構成された内側細線及び外側細線を形成することができる。更に、図示しないが、ジグザク状要素に代えて波線状要素としてもよいし、ジグザク状要素と波線状要素とを組み合わせてもよい。ジグザグ状要素や波線状要素により構成された機能性細線のような、正多角形ではない機能性細線同士を接続する場合は、１点又は２点で接続してもよいが、上述した３点以上での接続を好ましく用いることができる。上記正多角形ではない機能性細線としては、例えば１以上の内角が１８０°より大きい多角形の機能性細線を好ましく挙げることができる。
【００９７】
また、図１６（ｂ）に示すように、ライン状液体２よって形成される閉じられた幾何学図形は、液体が付与されていない２つの領域２０ａ、２０ｂを包含することができる。これにより、幾何学図形は、複数の内側縁２１ａ、２１ｂを有することができる。これを乾燥することにより、外側縁２２に対応する位置に１つの外側細線を形成すると共に、２つの内側縁２１ａ、２１ｂに対応する位置に２つの内側細線を形成することができる。ライン状液体２に包含される液体が付与されていない領域を３以上とすることも可能であり、これにより、該領域の数に対応する本数の内側細線を形成することができる。
【００９８】
更にまた、図１６（ｃ）に示すように、ライン状液体２よって形成される閉じられた幾何学図形は、突出部２３を備えてもよい。突出部２３は、例えば、図示するような、閉じられた幾何学図形に対して一端のみで接続された線分であり得る。
【００９９】
また、内側縁の形状と外側縁の形状は、互いに同一（即ち相似）でもよいし異なってもよい。これらの形状を異ならせることによって、得られる細線ユニットにおける内側細線の形状と外側細線の形状を異ならせることができる。
【０１００】
また、基材上に設けられる複数のライン状液体によって、複数種の互いに異なる幾何学図形を形成してもよい。これにより、複数種の互いに異なる幾何学図形からなる機能性細線を組み合わせた機能性細線パターンを形成することができる。例えば、上述した第１ライン状液体と第２ライン状液体は、同一形状であることが好ましいが、これに限定されず、相似であってもよいし、例えば四角形と円形の組み合わせのように異なる形状であってもよい。
【０１０１】
以上の説明では、細線ユニットを構成する内側細線を除去することにより、除去せず残留させる外側細線によって機能性細線パターンを形成する場合について示したが、これに限定されるものではない。細線ユニットを構成する内側細線及び外側細線からなる細線の何れか一部を除去することにより、除去せず残留させる細線によって機能性細線パターンを形成することができる。例えば、細線ユニットを構成する外側細線を除去することにより、除去せず残留させる内側細線によって機能性細線パターンを形成することも好ましいことである。
【０１０２】
また、特に図１及び図２を参照して説明したように、細線ユニットを構成する内側細線及び外側細線は、自由度高く安定に形成することができるため、細線の一部除去を行なう場合に限らず、該細線ユニットを基材上に１又は複数並設したものを機能性細線パターンとして用いることも好ましいことである。
【０１０３】
以上の説明では、細線ユニットを構成する外側細線に対して選択的に電解メッキを施す場合について主に説明したが、これに限定されるものではない。例えば、内側細線及び外側細線の両方に電解メッキを施すことも好ましいことである。
【０１０４】
また、細線ユニットを構成する内側細線を除去した後に外側細線に対して電解メッキを施すこと、あるいは、細線ユニットを構成する外側細線を除去した後に内側細線に対して電解メッキを施すことも好ましいことである。
【０１０５】
電解メッキに用いるメッキ金属は格別限定されないが、例えば銅やニッケル等を用いることが好ましい。細線に対して複数層のメッキ層を積層することも好ましい。この場合、メッキ金属を異ならせた複数回の電解メッキを施す。例えば、第１電解メッキとして細線上に銅メッキ層を設けて導電性を向上させ、次いで、第２電解メッキとして銅メッキ層上にニッケルメッキ層を設けて耐候性を向上させる方法等を好ましく挙げることができる。
【０１０６】
また、電解メッキに限らず、無電解メッキを用いることも好ましいことである。これにより、機能性材料が導電性材料ではない場合においても、細線上にメッキ層を設けることができる。
【０１０７】
ライン状液体を形成するための液体（インク）に含有される機能性材料は、基材に特定の機能を付与するための材料であれば格別限定されない。特定の機能を付与するとは、例えば、導電性材料を用いて基材に導電性を付与することや、絶縁性材料を用いて基材に絶縁性を付与することをいう。機能性材料は、該機能性材料が付与される基材表面を構成する材料とは異なる材料であることが好ましい。機能性材料として、例えば導電性材料、絶縁性材料、半導体材料、光学フィルター材料、誘電体材料等を好ましく例示できる。特に機能性材料は導電性材料または導電性材料前駆体であることが好ましい。導電性材料前駆体は、適宜処理を施すことによって導電性材料に変化させることができるものを指す。
【０１０８】
導電性材料としては、例えば、導電性微粒子、導電性ポリマー等を好ましく例示できる。
【０１０９】
導電性微粒子としては格別限定されないが、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｚｎ、Ｃｏ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｗ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｇａ、Ｉｎ等の微粒子を好ましく例示でき、中でも、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕのような金属微粒子を用いると、電気抵抗が低く、且つ腐食に強い細線を形成することができるので好ましい。コスト及び安定性の観点から、Ａｇを含む金属微粒子が最も好ましい。これらの金属微粒子の平均粒子径は、好ましくは１〜１００ｎｍの範囲、より好ましくは３〜５０ｎｍの範囲である。平均粒子径は、体積平均粒子径であり、マルバーン社製ゼータサイザ１０００ＨＳにより測定することができる。
【０１１０】
また、導電性微粒子として、カーボン微粒子を用いることも好ましい。カーボン微粒子としては、グラファイト微粒子、カーボンナノチューブ、フラーレン等を好ましく例示できる。
【０１１１】
導電性ポリマーとしては格別限定されないが、π共役系導電性高分子を好ましく挙げることができる。
【０１１２】
π共役系導電性高分子としては、例えば、ポリチオフェン類、ポリピロール類、ポリインドール類、ポリカルバゾール類、ポリアニリン類、ポリアセチレン類、ポリフラン類、ポリパラフェニレン類、ポリパラフェニレンビニレン類、ポリパラフェニレンサルファイド類、ポリアズレン類、ポリイソチアナフテン類、ポリチアジル類等の鎖状導電性ポリマーを利用することができる。中でも、高い導電性が得られる点で、ポリチオフェン類やポリアニリン類が好ましい。ポリエチレンジオキシチオフェンであることが最も好ましい。
【０１１３】
導電性ポリマーは、より好ましくは、上述したπ共役系導電性高分子とポリアニオンとを含んで成ることである。こうした導電性ポリマーは、π共役系導電性高分子を形成する前駆体モノマーを、適切な酸化剤と酸化触媒と、ポリアニオンの存在下で化学酸化重合することによって容易に製造できる。
【０１１４】
導電性ポリマーは市販の材料も好ましく利用できる。例えば、ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）とポリスチレンスルホン酸からなる導電性ポリマー（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳと略す）が、Ｈ．Ｃ．Ｓｔａｒｃｋ社からＣＬＥＶＩＯＳシリーズとして、Ａｌｄｒｉｃｈ社からＰＥＤＯＴ−ＰＡＳＳ４８３０９５、５６０５９８として、Ｎａｇａｓｅ  Ｃｈｅｍｔｅｘ社からＤｅｎａｔｒｏｎシリーズとして市販されている。また、ポリアニリンが、日産化学社からＯＲＭＥＣＯＮシリーズとして市販されている。
【０１１５】
基材１上に付与されるライン状液体２中における機能性材料の含有率は、ライン状液体２の全量に対して０．０１重量％以上１重量％以下の範囲であることが好ましい。含有率は、ライン状液体２が基材１上に付与された直後の乾燥される前の値である。機能性材料の含有率が、０．０１重量％以上１重量％以下の範囲であることにより、コーヒーステイン現象による細線形成が更に安定化される。
【０１１６】
機能性材料を含有させる液体としては、例えば水や有機溶剤等の１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。有機溶剤は、格別限定されないが、例えば、１，２−ヘキサンジオール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、プロピレングリコールなどのアルコール類、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルなどのエーテル類等を例示できる。
【０１１７】
また、機能性材料を含有させる液体は、本発明の効果を損なわない範囲で、界面活性剤など種々の添加剤を含んでもよい。界面活性剤を用いることで、例えば、液滴吐出装置を用いて基材１上にライン状液体２を形成するような場合などに、表面張力等を調整して吐出の安定化を図ること等が可能になる。界面活性剤としては、格別限定されないが、シリコン系界面活性剤等を用いることができる。シリコン系界面活性剤とはジメチルポリシロキサンの側鎖または末端をポリエーテル変性したものであり、例えば、信越化学工業製のＫＦ−３５１Ａ、ＫＦ−６４２やビッグケミー社製のＢＹＫ３４７、ＢＹＫ３４８などが市販されている。界面活性剤の含有率は、ライン状液体２の全量に対して１重量％以下であることが好ましい。
【０１１８】
機能性材料を含む液体が付与される基材は、格別限定されないが、例えば、ガラス、プラスチック（ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、アクリル、ポリエステル、ポリアミド等）、金属（銅、ニッケル、アルミ、鉄等や、あるいは合金）、セラミックなどを挙げることができ、これらは単独で用いてもよいし、貼り合せた状態で用いてもよい。中でも、プラスチックが好ましく、ポリエチレンテレフタレートや、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィンなどが好適である。
【０１１９】
次に、細線ユニット３の形状について、図１７を参照して説明する。
【０１２０】
図１７は、基材上に形成された細線ユニットを模式的に示した斜視図である。内側細線３１及び外側細線３２からなる細線ユニット３の一部を示すもので、便宜上直線状に示されているにすぎない。また、ここで説明する細線ユニット３は、コーヒーステイン現象により形成された直後のものである。メッキや細線の一部除去などの後処理によって細線ユニット３の形状等を変化可能であることは上述したとおりである。
【０１２１】
内側細線３１及び外側細線３２の配置間隔Ｉの範囲は格別限定されず、例えば、１０μｍ以上〜１０００μｍ以下の範囲とすることが好ましく、１０μｍ以上〜５００μｍ以下の範囲とすることが更に好ましく、１０μｍ以上３００μｍ以下の範囲とすることが最も好ましい。なお、内側細線３１及び外側細線３２の配置間隔Ｉとは、コーヒーステイン現象により形成された直後（メッキや細線の一部除去といった後処理を施していない状態）の内側細線３１及び外側細線３２の各最大突出部間の距離であり、基材１上に付与するライン状液体の線幅に対応して定まる。ライン状液体の線幅を小さくし、配置間隔Ｉを小さくすることは好ましいことである。これにより乾燥負荷を軽減して、内側細線３１及び外側細線３２の形成を安定化し、更にタクトタイムを短縮できる。このように配置間隔Ｉを小さくする場合においても、上述したように内側細線３１及び外側細線３２からなる細線の一部を容易に除去できるため、除去せず残留させる細線に所望の配置間隔を自由度高く設定できる。このような細線の一部除去を用いれば、内側細線３１及び外側細線３２の安定形成を維持しながら、例えば、５０μｍ以上、１００μｍ以上、２００μｍ以上、３００μｍ以上、４００μｍ以上、５００μｍ以上、更には１ｍｍ以上という大きい配置間隔を容易に設定できる。
【０１２２】
細線ユニット３を構成する内側細線３１及び外側細線３２は、必ずしも互いに完全に独立した島状である必要はない。図示したように、内側細線３１及び外側細線３２は、該内側細線３１及び外側細線３２間に亘って、該内側細線３１及び外側細線３２の高さよりも低い高さで形成された薄膜部３０によって接続された連続体として形成されることも好ましいことである。内側細線３１及び外側細線３２間において機能性材料の厚みが最薄となる最薄部分の高さＺ、具体的には薄膜部３０の最薄部分の高さＺが１０ｎｍ以下の範囲であることが好ましい。最も好ましいのは、透明性と安定性のバランスの両立を図るために、０＜Ｚ≦１０ｎｍの範囲で、薄膜部３０を備えることである。機能性材料として導電性材料を用いる場合であっても、薄膜部３０は極めて高抵抗であり実質的に絶縁体になるため、薄膜部３０を介して接続された内側細線３１と外側細線３２は、電気的に絶縁された状態になる。それ故、上述した選択的な電解メッキを好適に施すことができる。
【０１２３】
細線ユニット３の内側細線３１及び外側細線３２の線幅Ｗ１、Ｗ２は、各々１０μｍ以下であることが好ましい。１０μｍ以下であれば、通常視認できないレベルとなるので、透明性を向上する観点からより好ましい。内側細線３１及び外側細線３２の安定性も考慮すると、線幅Ｗ１、Ｗ２は、各々２μｍ以上１０μｍ以下の範囲であることが好ましい。なお、内側細線３１及び外側細線３２の幅Ｗ１、Ｗ２とは、該内側細線３１及び外側細線３２間において機能性材料の厚みが最薄となる最薄部分の高さをＺとし、更に該Ｚからの内側細線３１及び外側細線３２の突出高さをＹ１、Ｙ２としたときに、Ｙ１、Ｙ２の半分の高さにおける内側細線３１及び外側細線３２の幅とする。例えば、細線ユニット３が上述した薄膜部３０を有する場合は、該薄膜部３０における最薄部分の高さをＺとすることができる。なお、内側細線３１及び外側細線３２間における機能性材料の最薄部分の高さが０であるときは、内側細線３１及び外側細線３２の線幅Ｗ１、Ｗ２は、基材１表面からの内側細線３１及び外側細線３２の高さＨ１、Ｈ２の半分の高さにおける内側細線３１及び外側細線３２の幅とする。
【０１２４】
細線ユニット３を構成する内側細線３１及び外側細線３２の線幅Ｗ１、Ｗ２は、上述した通り極めて細いものであるため、断面積を確保して低抵抗化を図る観点で、基材１表面からの内側細線３１及び外側細線３２の高さＨ１、Ｈ２は高い方が望ましい。具体的には、内側細線３１及び外側細線３２の高さＨ１、Ｈ２は、５０ｎｍ以上５μｍ以下の範囲であることが好ましい。更に、細線ユニット３の安定性を向上する観点から、Ｈ１／Ｗ１比、Ｈ２／Ｗ２比は、各々０．０１以上１以下の範囲であることが好ましい。
【０１２５】
更に、細線ユニット３の更なる細線化向上のために、Ｈ１／Ｚ比、Ｈ２／Ｚ比は、各々５以上であることが好ましく、１０以上であることがより好ましく、２０以上であることが特に好ましい。
【０１２６】
以上、細線ユニット３についてした説明は、細線ユニット５や更に追加的に設けられる細線ユニットについても援用することができる。
【０１２７】
細線に含まれる機能性材料は、上述したように導電性材料であることが好ましい。導電性材料を用いることで、該細線の集合体により構成されるパターンを透明導電膜（電極膜あるいは透明電極ともいう）として好適に用いることができる。
【０１２８】
透明導電膜付き基材の用途は、格別限定されないが、種々の電子機器が備える種々のデバイスに用いることができる。本発明の効果を顕著に奏する観点で、例えば、液晶、プラズマ、有機エレクトロルミネッセンス、フィールドエミッション等の各種方式のディスプレイ用透明電極として、あるいは、タッチパネルや携帯電話、電子ペーパー、各種太陽電池、各種エレクトロルミネッセンス調光素子等に用いられる透明電極として好適に用いることができる。スマートフォン、タブレット端末等のような電子機器のタッチパネルセンサーとして透明導電膜付き基材を用いることは特に好ましい。タッチパネルセンサーとして用いる場合は、透明基材の両面の透明導電膜（Ｘ電極及びＹ電極）として、上述した細線パターンを用いることが好ましい。
【０１２９】
以上の説明において、一つの態様について説明された構成は、他の態様に適宜適用することができる。
【実施例】
【０１３０】
以下に、本発明の実施例について説明するが、本発明はかかる実施例により限定されない。
【０１３１】
１．パターンの形成
（実施例１）；機能性細線パターン（１）の形成
＜インクの組成＞
インク（機能性材料を含む液体）として、以下の組成のものを調製した。
・銀ナノ粒子（平均粒子径：２０ｎｍ）：０．２３重量％
・界面活性剤（ビッグケミー社製「ＢＹＫ３４８」）：０．０５重量％
・ジエチレングリコールモノブチルエーテル（略称：ＤＥＧＢＥ）（分散媒）：２０重量％
・水（分散媒）：残量
【０１３２】
＜基材＞
基材として、機能性材料を含む液体の接触角が２０．３°となるように表面処理が施されたＰＥＴ基材を用意した。表面処理としては、信光電気計装社製「ＰＳ−１Ｍ」を用いてコロナ放電処理を行った。
【０１３３】
＜パターニング＞
インクジェットヘッド（コニカミノルタ社製「ＫＭ１０２４ｉＬＨＥ−３０」（標準液滴容量３０ｐＬ））を基材に対して相対移動させながら該インクジェットヘッドからインクを吐出して、図３（ａ）に示すように、基材上に、機能性材料を含む第１ライン状液体２によって内側縁と外側縁を有する閉じられた幾何学図形を複数形成した。幾何学図形は、基材の長手方向に対して各辺が４５°で傾斜する四角形である。
【０１３４】
これらの第１ライン状液体２を乾燥させることにより、該第１ライン状液体２の内側縁２１及び外側縁２２に機能性材料を選択的に堆積させて、図３（ｂ）に示すように、内側細線３１及び外側細線３２からなる第１細線ユニット３を複数形成した。得られた各第１細線ユニット３の内側細線３１及び外側細線３２は、基材の長手方向に対して各辺が４５°で傾斜する四角形である。この四角形は、内側細線３１及び外側細線３２の中間の線に沿って測定される１辺の長さが０．７５ｍｍである。
【０１３５】
次いで、インクジェットヘッドを基材に対して相対移動させながら該インクジェットヘッドからインクを吐出して、図４（ａ）に示すように、基材上に、機能性材料を含む第２ライン状液体４によって内側縁と外側縁を有する閉じられた幾何学図形を複数形成した。幾何学図形は、基材の長手方向に対して各辺が４５°で傾斜する四角形である。第２ライン状液体４の形成位置は、第２ライン状液体４の四角形の頂点近傍が、先に形成された第１細線ユニット３の外側細線３２の四角形の頂点を覆うように設定した。
【０１３６】
これらの第２ライン状液体４を乾燥させることにより、該第２ライン状液体４の内側縁４１及び外側縁４２に機能性材料を選択的に堆積させて、図４（ｂ）に示すように、内側細線５１及び外側細線５２からなる第２細線ユニット５を複数形成した。得られた各第２細線ユニット５の内側細線５１及び外側細線５２は、基材の長手方向に対して各辺が４５°で傾斜する四角形である。この四角形は、内側細線５１及び外側細線５２の中間の線に沿って測定される１辺の長さが０．７５ｍｍである。
【０１３７】
第１細線ユニット３の外側細線３２と、第２細線ユニット５の外側細線５２は互いに接続されており、第１細線ユニット３の内側細線３１と、第２細線ユニット５の内側細線５１は、互いに接続されず独立している。
【０１３８】
以上の工程では、７０℃に加熱されたステージ上に配置した基材にライン状液体をパターニングすることにより、ライン状液体の乾燥を促進させている。また、形成された細線には、１３０℃のオーブンで、１０分間の焼成処理を施した。
【０１３９】
このようにして得られた細線パターン（１）の光学顕微鏡写真を図１８に示す。図１８に示す写真より、内側細線と外側細線とからなる細線ユニットが複数形成されたことがわかる。
【０１４０】
（実施例２）；機能性細線パターン（２）の形成
実施例１で得られた機能性細線パターン（１）を構成する細線ユニット３、５の外側細線３２、５２に選択的に銅電解メッキを施して、図６に示したものと同様の機能性細線パターン（２）を得た。銅電解メッキは下記メッキ条件により行った。
【０１４１】
＜メッキ条件＞
７０×１４０ｍｍに裁断した実施例１の機能性細線パターン（１）が形成された基材の導電面から給電し、下記メッキ浴内で電解メッキを行った。アノードをメッキ用銅板と接続し、メッキ浴内で銅板から３０ｍｍ離れた位置に基材を設置した。０．２Ａの定電流で１分間メッキ処理した。メッキ終了後、基材を水洗し、乾燥させた。
【０１４２】
＜メッキ浴＞
硫酸銅五水和物２０ｇ、１Ｎ塩酸１．３ｇ、光沢付与剤（メルテックス社製「ＳＴ９０１Ｃ」）５ｇを、イオン交換水で１０００ｍＬとなるように調製した。
【０１４３】
このようにして得られた機能性細線パターン（２）の光学顕微鏡写真を図１９に示す。図１９に示す写真より、互いに電気的に接続された外側細線に選択的にメッキ（ここでは銅メッキ）が施されたことがわかる。なお、図１９に示す写真はグレースケール化されたものであるが、カラー写真においては、銅メッキされた外側細線が銅色に着色されたことを確認することができる。
【０１４４】
（実施例３）；機能性細線パターン（３）の形成
実施例２で得られた機能性細線パターン（２）を構成する外側細線３２、５２に選択的にニッケル電解メッキを施すと共に、メッキ液により内側細線３１、５１を除去して、図７に示したものと同様の機能性細線パターン（３）を得た。ニッケル電解メッキは下記メッキ条件により行った。
【０１４５】
＜メッキ条件＞
実施例２の機能性細線パターン（２）が形成された基材の導電面から給電し、下記メッキ浴内で電解メッキを行った。アノードをメッキ用ニッケル板と接続し、メッキ浴内でニッケル板から３０ｍｍ離れた位置に基材を設置した。０．２Ａの定電流で３０秒間メッキ処理した。メッキ液により内側細線３１、５１を十分に除去するために、メッキ終了後、基材をメッキ浴内で１０分間放置した後、水洗し、乾燥させた。
【０１４６】
＜メッキ浴＞
硫酸ニッケル２４０ｇ、塩化ニッケル４５ｇ、ホウ酸３０ｇを、イオン交換水で１０００ｍＬとなるように調製した。
【０１４７】
このようにして得られた機能性細線パターン（３）の光学顕微鏡写真を図２０に示す。図２０に示す写真より、互いに電気的に接続された外側細線３２、５２に選択的にメッキ（ここではニッケルメッキ）が施されたことがわかる。なお、図２０に示す写真はグレースケール化されたものであるが、カラー写真においては、外側細線が銅色から無色（ニッケルによる銀色）に変化したことを確認することができる。また、内側細線３１、５１が選択的に除去されていることがわかる。
【０１４８】
２．評価方法
（１）細線幅
細線幅［μｍ］は、細線ユニットを構成する外側細線の線幅を顕微鏡により観察して測定した値である。
【０１４９】
（２）透過率
透過率［％］は、東京電色社製AUTOMATIC HAZEMETER (MODEL TC-H III DP）を用いて測定した全光線透過率［％］である。なお、パターンのない基材（フィルム）を用いて補正を行い、作成したパターンの全光線透過率として測定した。
【０１５０】
（３）シート抵抗値
シート抵抗値［Ω／□］は、ダイアインスツルメンツ社製ロレスタＥＰ（MODEL MCP―T360型）直列４探針プローブ（ＥＳＰ）を用いて測定した値である。
【０１５１】
（４）低視認性
サンプルをライトテーブル上で５０ｃｍ離れた位置から目視し、細線が視認できないほど低視認性に優れると評価し、具体的には下記評価基準により評価した。なお、以下の評価基準において、Ｂ評価以上であれば、透明導電膜としての用途において好ましく用いることができる。
【０１５２】
＜評価基準＞
Ａ：細線が視認できない
Ｂ：細線が若干視認できる
Ｃ：細線がはっきりと視認できる（該当なし）
【０１５３】
以上の結果を表１に示す。
【０１５４】
【表１】
2018196992.tif 000003
【０１５５】
３．評価
実施例１〜３では、機能性材料を含む内側細線と外側細線からなる細線ユニットを用いることで、細線パターンを自由度高く安定に形成することができた。
【０１５６】
表１の実施例２、３の結果より、細線ユニットの外側細線にメッキを施すことで、シート抵抗値をより好適に低下できることがわかる。また、実施例３の結果より、細線ユニットの内側細線を除去して、細線の配置間隔を大きくすることにより、透過率と低視認性をより好適に向上できることがわかる。
【符号の説明】
【０１５７】
１：基材
２：第１ライン状液体
２０：液体が付与されない領域
２１：内側縁
２２：外側縁
３：第１細線ユニット
３１：内側細線
３２：外側細線
４：第２ライン状液体
４０：液体が付与されない領域
４１：内側縁
４２：外側縁
５：第２細線ユニット
５１：内側細線
５２：外側細線
【図１】
2018196992.tif 000004
【図２】
2018196992.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
2018196992.tif 000008
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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