(57)【要約】【課題】より高い分離能力を有する電界非対称性イオン移動度分光計を提供すること。【解決手段】２種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも１種類の物質を選択的に分離するための電界非対称性イオン移動度分光計を提供する。当該分光計に含まれるフィルタは、イオン化装置からフィルタに向かう方向に平行な主面を有する平板状の第１〜第４電極を具備している。平板状の第２電極は、平板状の第１電極および平板状の第３電極の間に位置している。平板状の第３電極は、平板状の第２電極および前記平板状の第４電極の間に位置している。平板状の第３電極および第４電極は、それぞれ平板状の第１電極および第４電極と電気的に接続されている。隣接する２つの平板状の電極の間には隙間が形成されている。これらの電極は、表面に凸凹形状を有する基板上に配置されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも１種類の物質を選択的に分離するための電界非対称性イオン移動度分光計であって、以下を具備する：
前記混合物に含有される２種類以上の物質をイオン化するためのイオン化装置、および
前記イオン化された２種類以上の物質から、前記少なくとも１種類の物質を選択するためのフィルタ、
ここで、
前記フィルタは、前記イオン化装置に隣接しており、
前記フィルタは、第１電極群および第２電極群を具備し、
前記フィルタは、平板状の第１電極、平板状の第２電極、平板状の第３電極、および平板状の第４電極を具備し、
前記第１電極群は、前記平板状の第１電極および前記平板状の第３電極を含み、
前記第２電極群は、前記平板状の第２電極および前記平板状の第４電極を含み、
平板状の各第１〜第４電極は、前記イオン化装置から前記フィルタに向かう方向に平行な主面を有し、
前記平板状の第２電極は、前記平板状の第１電極および前記平板状の第３電極の間に位置しており、
前記平板状の第３電極は、前記平板状の第２電極および前記平板状の第４電極の間に位置しており、
前記平板状の第３電極は、前記平板状の第１電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第４電極は、前記平板状の第２電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第１電極および第２電極の間には、第１隙間が形成されており、
前記平板状の第２電極および第３電極の間には、第２隙間が形成されており、
前記平板状の第３電極および第４電極の間には、第３隙間が形成されており、
前記第１電極群は、前記第２電極群から電気的に絶縁されており、
前記フィルタは、互いに平行な下側絶縁性基板および上側絶縁性基板を具備し、
前記下側絶縁性基板および前記上側絶縁性基板の間に、前記平板状の第１〜第４電極が位置しており、
前記平板状の第１〜第４電極の法線方向は、前記下側絶縁性基板の法線に直交しており、
前記平板状の第１電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第１凹部を具備しており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第１凸部および下側第２凸部を具備しており、
前記断面において、前記下側第１凹部は、前記下側第１凸部および前記下側第２凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記下側第１凸部上に前記平板状の第１電極が位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第２凸部上に前記平板状の第２電極が位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項２】
請求項１に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第２凹部が設けられており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第３凸部が設けられており、
前記断面において、前記下側第２凹部は、前記下側第２凸部および前記下側第３凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第３凸部上に前記平板状の第３電極が位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項３】
請求項２に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第３凹部が設けられており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第４凸部が設けられており、
前記断面において、前記下側第３凹部は、前記下側第３凸部および前記下側第４凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第４凸部上に前記平板状の第４電極が位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項４】
請求項１に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第１凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第１凸部および上側第２凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第１凹部は、前記上側第１凸部および前記上側第２凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記上側第１凸部は、前記平板状の第１電極上に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第２凸部は、前記平板状の第２電極上に位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項５】
請求項４に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第２凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第３凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第２凹部は、前記上側第２凸部および前記上側第３凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第３凸部は前記平板状の第３電極上に位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項６】
請求項５に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第３凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第４凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第３凹部は、前記上側第３凸部および前記上側第４凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第４凸部は前記平板状の第４電極上に位置している、
【請求項７】
請求項１に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に、下側第１追加凹部が設けられており、
かつ
前記断面において、前記下側第１追加凹部は、前記下側第１凸部および前記下側第２凸部の間に位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項８】
請求項１に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記平板状の第１電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む他の断面において、前記下側第１凹部が現れない、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項９】
請求項１に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記第１電極群は、第１帯状電極を具備し、
前記第２電極群は、第２帯状電極を具備し、
前記第１帯状電極は、前記上側絶縁性基板の下面または前記下側絶縁性基板の上面の少なくとも一方に設けられ、
前記第２帯状電極は、前記上側絶縁性基板の下面または前記下側絶縁性基板の上面の少なくとも一方に設けられ、
前記第１帯状電極は、前記平板状の第１電極および前記平板状の第３電極に電気的に接続されており、かつ
前記第２帯状電極は、前記平板状の第２電極および前記平板状の第４電極に電気的に接続されている、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項１０】
請求項２に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記第１帯状電極および第２帯状電極は、前記平板状の第１電極の法線に平行な方向に伸び出している、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項１１】
請求項１に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、さらに
前記フィルタにより選択された前記少なくとも１種類の物質を検出するための検出部を具備し、
前記フィルタは、前記イオン化装置および前記検出部の間に位置している、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項１２】
請求項１に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記下側第１凹部は、５マイクロメートル以上１０マイクロメートル以下の深さを有している、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項１３】
請求項１に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記第１隙間、前記第２隙間、および前記第３隙間は、いずれも、１０マイクロメートル以上３５マイクロメートル以下の幅を有する、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項１４】
請求項１に記載の電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記各平板状の第１電極〜第４電極は、３００マイクロメートル以上１００００マイクロメートル以下の長さを有する、
電界非対称性イオン移動度分光計。
【請求項１５】
電界非対称性イオン移動度分光計を用いて、２種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも１種類の物質を選択的に分離する方法であって、
以下を具備する前記電界非対称性イオン移動度分光計を用意する工程（ａ）、
前記混合物に含有される２種類以上の物質をイオン化するためのイオン化装置、および
前記イオン化された２種類以上の物質から、前記少なくとも１種類の物質を選択するためのフィルタ、
ここで、
前記フィルタは、前記イオン化装置に隣接しており、
前記フィルタは、第１電極群および第２電極群を具備し、
前記フィルタは、平板状の第１電極、平板状の第２電極、平板状の第３電極、および平板状の第４電極を具備し、
前記第１電極群は、前記平板状の第１電極および前記平板状の第３電極を含み、
前記第２電極群は、前記平板状の第２電極および前記平板状の第４電極を含み、
平板状の各第１〜第４電極は、前記イオン化装置から前記フィルタに向かう方向に平行な主面を有し、
前記平板状の第２電極は、前記平板状の第１電極および前記平板状の第３電極の間に位置しており、
前記平板状の第３電極は、前記平板状の第２電極および前記平板状の第４電極の間に位置しており、
前記平板状の第３電極は、前記平板状の第１電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第４電極は、前記平板状の第２電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第１電極および第２電極の間には、第１隙間が形成されており
前記平板状の第２電極および第３電極の間には、第２隙間が形成されており
前記平板状の第３電極および第４電極の間には、第３隙間が形成されており、かつ
前記第１電極群は、前記第２電極群から電気的に絶縁されており、
前記フィルタは、互いに平行な下側絶縁性基板および上側絶縁性基板を具備し、
前記下側絶縁性基板および前記上側絶縁性基板の間に、前記平板状の第１〜第４電極が位置しており、
前記平板状の第１〜第４電極の法線方向は、前記下側絶縁性基板の法線に直交しており、
前記平板状の第１電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第１凹部を具備しており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第１凸部および下側第２凸部を具備しており、
前記断面において、前記下側第１凹部は、前記下側第１凸部および前記下側第２凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記下側第１凸部上に前記平板状の第１電極が位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第２凸部上に前記平板状の第２電極が位置しており、
前記イオン化装置に前記２種類以上の物質を含有する混合物を供給し、前記混合物に含有される２種類以上の物質をイオン化する工程（ｂ）、および
前記イオン化された２種類以上の物質を前記フィルタに供給し、前記少なくとも１種類の物質を前記フィルタを通して分離する工程(c)、
を具備し、
ここで、
前記第１電極群および第２電極群の間に非対称な交流電圧が印加され、かつ
イオン化された前記少なくとも１種類の物質は前記第１〜第３隙間を通過する一方、それ以外のイオン化された物質は、前記平板状の第１〜第４電極の主面にトラップされる、
方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の方法であって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第２凹部が設けられており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第３凸部が設けられており、
前記断面において、前記下側第２凹部は、前記下側第２凸部および前記下側第３凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第３凸部上に前記平板状の第３電極が位置している、
方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の方法であって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第３凹部が設けられており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第４凸部が設けられており、
前記断面において、前記下側第３凹部は、前記下側第３凸部および前記下側第４凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第４凸部上に前記平板状の第４電極が位置している、
方法。
【請求項１８】
請求項１５に記載の方法であって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第１凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第１凸部および上側第２凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第１凹部は、前記上側第１凸部および前記上側第２凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記上側第１凸部は、前記平板状の第１電極上に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第２凸部は、前記平板状の第２電極上に位置している、
方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の方法であって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第２凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第３凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第２凹部は、前記上側第２凸部および前記上側第３凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第３凸部は前記平板状の第３電極上に位置している、
方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の方法であって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第３凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第４凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第３凹部は、前記上側第３凸部および前記上側第４凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第４凸部は前記平板状の第４電極上に位置している、
【請求項２１】
請求項１５に記載の方法であって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に、下側第１追加凹部が設けられており、
かつ
前記断面において、前記下側第１追加凹部は、前記下側第１凸部および前記下側第２凸部の間に位置している、
方法。
【請求項２２】
請求項１５に記載の方法であって、
前記平板状の第１電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む他の断面において、前記下側第１凹部が現れない、
方法。
【請求項２３】
請求項１５に記載の方法であって、
前記第１電極群は、第１帯状電極を具備し、
前記第２電極群は、第２帯状電極を具備し、
前記第１帯状電極は、前記上側絶縁性基板の下面または前記下側絶縁性基板の上面の少なくとも一方に設けられ、
前記第２帯状電極は、前記上側絶縁性基板の下面または前記下側絶縁性基板の上面の少なくとも一方に設けられ、
前記第１帯状電極は、前記平板状の第１電極および前記平板状の第３電極に電気的に接続されており、かつ
前記第２帯状電極は、前記平板状の第２電極および前記平板状の第４電極に電気的に接続されている、
方法。
【請求項２４】
請求項２３に記載の方法であって、
前記第１帯状電極および第２帯状電極は、前記平板状の第１電極の法線に平行な方向に伸び出している、
方法。
【請求項２５】
請求項２３に記載の方法であって、
前記電界非対称性イオン移動度分光計は、さらに前記フィルタにより選択された前記少なくとも１種類の物質を検出するための検出部を具備し、かつ
前記フィルタは、前記イオン化装置および前記検出部の間に位置している、
方法。
【請求項２６】
請求項１５に記載の方法であって、
前記下側第１凹部は、５マイクロメートル以上１０マイクロメートル以下の深さを有している、
方法。
【請求項２７】
請求項１５に記載の方法であって、
前記第１隙間、前記第２隙間、および前記第３隙間は、いずれも１０マイクロメートル以上３５マイクロメートル以下の幅を有する、
方法。
【請求項２８】
請求項１５に記載の方法であって、
前記各平板状の第１電極〜第４電極は、３００マイクロメートル以上１００００マイクロメートル以下の長さを有する、
方法。
【請求項２９】
２種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも１種類の物質を選択的に分離する電界非対称性イオン移動度分光計のために用いられるフィルタであって、以下を具備する：
平板状の第１電極、
平板状の第２電極、
平板状の第３電極、および
平板状の第４電極、ここで、
前記平板状の第１電極および前記平板状の第３電極は、第１電極群に含まれ、
前記平板状の第２電極および前記平板状の第４電極は、第２電極群に含まれ、
平板状の各第１〜第４電極は、前記イオン化装置から前記フィルタに向かう方向に平行な主面を有し、
前記平板状の第２電極は、前記平板状の第１電極および前記平板状の第３電極の間に位置しており、
前記平板状の第３電極は、前記平板状の第２電極および前記平板状の第４電極の間に位置しており、
前記平板状の第３電極は、前記平板状の第１電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第４電極は、前記平板状の第２電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第１〜第４電極の間には、隙間が形成されており、
前記第１電極群は、前記第２電極群から電気的に絶縁されており、
前記フィルタは、互いに平行な下側絶縁性基板および上側絶縁性基板を具備し、
前記下側絶縁性基板および前記上側絶縁性基板の間に、前記平板状の第１〜第４電極が位置しており、
前記平板状の第１〜第４電極の法線方向は、前記下側絶縁性基板の厚み方向に直交しており、
前記平板状の第１電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第１凹部を具備しており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第１凸部および下側第２凸部を具備しており、
前記断面において、前記下側第１凹部は、前記下側第１凸部および前記下側第２凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記下側第１凸部上に前記平板状の第１電極が位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第２凸部上に前記平板状の第２電極が位置しており、
前記第１電極群は、第１帯状電極を具備し、
前記第２電極群は、第２帯状電極を具備し、
前記第１帯状電極は、前記上側絶縁性基板の下面または前記下側絶縁性基板の上面の少なくとも一方に設けられ、
前記第２帯状電極は、前記上側絶縁性基板の下面または前記下側絶縁性基板の上面の少なくとも一方に設けられ、
前記第１帯状電極は、前記平板状の第１電極および前記平板状の第３電極に電気的に接続されており、
前記第２帯状電極は、前記平板状の第２電極および前記平板状の第４電極に電気的に接続されている、
フィルタ。
【請求項３０】
請求項２９に記載のフィルタであって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第２凹部が設けられており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第３凸部が設けられており、
前記断面において、前記下側第２凹部は、前記下側第２凸部および前記下側第３凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第３凸部上に前記平板状の第３電極が位置している、
フィルタ。
【請求項３１】
請求項３０に記載のフィルタであって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第３凹部が設けられており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に下側第４凸部が設けられており、
前記断面において、前記下側第３凹部は、前記下側第３凸部および前記下側第４凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第４凸部上に前記平板状の第４電極が位置している、
フィルタ。
【請求項３２】
請求項２９に記載のフィルタであって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第１凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第１凸部および上側第２凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第１凹部は、前記上側第１凸部および前記上側第２凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記上側第１凸部は、前記平板状の第１電極上に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第２凸部は、前記平板状の第２電極上に位置している、
フィルタ。
【請求項３３】
請求項３２に記載のフィルタであって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第２凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第３凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第２凹部は、前記上側第２凸部および前記上側第３凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第３凸部は前記平板状の第３電極上に位置している、
フィルタ。
【請求項３４】
請求項３３に記載のフィルタであって、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第３凹部が設けられており、
前記断面において、前記上側絶縁性基板の下面に上側第４凸部が設けられており、
前記断面において、前記上側第３凹部は、前記上側第３凸部および前記上側第４凸部の間に位置しており、かつ
前記断面において、前記上側第４凸部は前記平板状の第４電極上に位置している、
【請求項３５】
請求項２９に記載のフィルタであって、
前記断面において、前記下側絶縁性基板の上面に、下側第１追加凹部が設けられており、
かつ
前記断面において、前記下側第１追加凹部は、前記下側第１凸部および前記下側第２凸部の間に位置している、
フィルタ。
【請求項３６】
請求項２９に記載のフィルタであって、
前記平板状の第１電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む他の断面において、前記下側第１凹部が現れない、
フィルタ。
【請求項３７】
請求項２９に記載のフィルタであって、
前記第１帯状電極および第２帯状電極は、前記平板状の第１電極の法線に平行な方向に伸び出している、
フィルタ。
【請求項３８】
請求項２９に記載のフィルタであって、
前記下側第１凹部は、５マイクロメートル以上１０マイクロメートル以下の深さを有している、
フィルタ。
【請求項３９】
請求項２９に記載のフィルタであって、
前記第１隙間、前記第２隙間、および前記第３隙間は、いずれも、１０マイクロメートル以上３５マイクロメートル以下の幅を有する。
【請求項４０】
請求項２９に記載のフィルタであって、
前記各平板状の第１電極〜第４電極は、３００マイクロメートル以上１００００マイクロメートル以下の長さを有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電界非対称性イオン移動度分光計、およびそれを用いた混合物分離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１および特許文献２は、電界非対称性イオン移動度分光計を開示している。
電界非対称性イオン移動度分光計は、２種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも１種類の物質を選択的に分離するために用いられる。分離された少なくとも１種類の物質は、電界非対称性イオン移動度分光計に含まれる検出器により検出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許５２２１９５４号公報
【特許文献２】特許５０１５３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、高い分離能力を有する電界非対称性イオン移動度分光計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明による電界非対称性イオン移動度分光計は、２種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも１種類の物質を選択的に分離するための電界非対称性イオン移動度分光計であって、
前記混合物に含有される２種類以上の物質をイオン化するためのイオン化装置、および
前記イオン化された２種類以上の物質から、前記少なくとも１種類の物質を選択するためのフィルタ、
を具備する。
ここで、
前記フィルタは、前記イオン化装置に隣接しており、
前記フィルタは、第１電極群および第２電極群を具備し、
前記フィルタは、平板状の第１電極、平板状の第２電極、平板状の第３電極、および平板状の第４電極を具備し、
前記第１電極群は、前記平板状の第１電極および前記平板状の第３電極を含み、
前記第２電極群は、前記平板状の第２電極および前記平板状の第４電極を含み、
平板状の各第１〜第４電極は、前記イオン化装置から前記フィルタに向かう方向に平行な主面を有し、
前記平板状の第２電極は、前記平板状の第１電極および前記平板状の第３電極の間に位置しており、
前記平板状の第３電極は、前記平板状の第２電極および前記平板状の第４電極の間に位置しており、
前記平板状の第３電極は、前記平板状の第１電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第４電極は、前記平板状の第２電極と電気的に接続されており、
前記平板状の第１電極および第２電極の間には、第１隙間が形成されており、
前記平板状の第２電極および第３電極の間には、第２隙間が形成されており、
前記平板状の第３電極および第４電極の間には、第３隙間が形成されており、
前記第１電極群は、前記第２電極群から電気的に絶縁されており、
前記フィルタは、互いに平行な下側絶縁性基板および上側絶縁性基板を具備し、
前記下側絶縁性基板および前記上側絶縁性基板の間に、前記平板状の第１〜第４電極が位置しており、
前記平板状の第１〜第４電極の法線方向は、前記下側絶縁性基板の法線に直交しており、
前記平板状の第１電極の法線および前記下側絶縁性基板の法線の両者を含む断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第１凹部を具備しており、
前記断面において、前記下側絶縁性基板は、その上面に下側第１凸部および下側第２凸部を具備しており、
前記断面において、前記下側第１凹部は、前記下側第１凸部および前記下側第２凸部の間に位置しており、
前記断面において、前記下側第１凸部上に前記平板状の第１電極が位置しており、かつ
前記断面において、前記下側第２凸部上に前記平板状の第２電極が位置している。
【０００６】
本発明の趣旨には、上記の電界非対称性イオン移動度分光計を用いて、２種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも１種類の物質を選択的に分離する方法も含まれる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は、高い分離能力を有する電界非対称性イオン移動度分光計を提供する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、電界非対称性イオン移動度分光計の模式図を示す。
【図２】図２は、電場の強度およびイオン移動度の比の間の関係を示すグラフである。
【図３】図３は、実施形態によるフィルタの模式図を示す。
【図４Ａ】図４Ａは、第１電極群に印加される非対称な交流電圧および時間の関係を示すグラフである。
【図４Ｂ】図４Ｂは、第１電極群に印加される非対称な交流電圧および時間の関係を示すグラフである。
【図４Ｃ】図４Ｃは、第１電極群に印加される非対称な交流電圧および時間の関係を示すグラフである。
【図４Ｄ】図４Ｄは、第１電極群に印加される非対称な交流電圧および時間の関係を示すグラフである。
【図５】図５は、従来のフィルタに含まれる一対の平板状の電極の間における、２種類のイオン化されたガスの動きの模式平面図を示す。
【図６】図６は、実施形態によるフィルタに含まれる平板状の第１電極〜第４電極の間における、２種類のイオン化されたガスの動きの模式平面図を示す。
【図７Ａ】図７Ａは、実施形態によるフィルタを製造する方法に含まれる１工程の模式図を示す。
【図７Ｂ】図７Ｂは、図７Ａに続き、実施形態によるフィルタを製造する方法に含まれる１工程の模式図を示す。
【図７Ｃ】図７Ｃは、図７Ｂに続き、実施形態によるフィルタを製造する方法に含まれる１工程の模式図を示す。
【図７Ｄ】図７Ｄは、図７Ｃに続き、実施形態によるフィルタを製造する方法に含まれる１工程の模式図を示す。
【図８Ａ】図８Ａは、実施形態によるフィルタの平面図を示す。
【図８Ｂ】図８Ｂは、図８Ａに含まれる線８Ｂ−８Ｂに沿った断面図を示す。
【図８Ｃ】図８Ｃは、図８Ｂに含まれる破線によって囲まれた部分の拡大図を示す。
【図８Ｄ】図８Ｄは、下側第１凹部がない場合における図８Ｃに含まれる部分の拡大図を示す。
【図９Ａ】図９Ａは、実施形態の第１変形例によるフィルタの平面図を示す。
【図９Ｂ】図９Ｂは、図９Ａに含まれる線９Ｂ−９Ｂに沿った断面図を示す。
【図１０Ａ】図１０Ａは、実施形態の第２変形例によるフィルタの平面図を示す。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、図１０Ａに含まれる線１０Ｂ−１０Ｂに沿った断面図を示す。
【図１０Ｃ】図１０Ｃは、図１０Ａに含まれる線１０Ｃ−１０Ｃに沿った断面図を示す。
【図１１Ａ】図１１Ａは、実施形態の第３変形例によるフィルタの平面図を示す。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、図１１Ａに含まれる線１１Ｂ−１１Ｂに沿った断面図を示す。
【図１２Ａ】図１２Ａは、実施形態の第４変形例によるフィルタの平面図を示す。
【図１２Ｂ】図１２Ｂは、図１２Ａに含まれる線１２Ｂ−１２Ｂに沿った断面図を示す。
【図１２Ｃ】図１２Ｃは、図１２Ａに含まれる線１２Ｃ−１２Ｃに沿った断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態が、図面を参照しながら説明される。本発明は、特願２０１６−２１７７３８（英文明細書では、対応する米国出願である15/350155に変更）に開示された電界非対称性イオン移動度分光計の改良に係る。特願２０１６−２１７７３８（英文明細書では、対応する米国出願である15/350155に変更）は、本明細書に参考として援用される。
【００１０】
まず、電界非対称性イオン移動度分光計（以下、「ＦＡＩＭＳ」と呼ばれ得る）が説明される。ユーザは、本実施形態によるＦＡＩＭＳを用意する。すなわち、ユーザは、本実施形態によるＦＡＩＭＳを組み立てる。あるいは、ユーザは、本特許権者またはそのライセンシーから本実施形態によるＦＡＩＭＳを購入する。次いで、ユーザは、本実施形態によるＦＡＩＭＳの電源を入れ、ＦＡＩＭＳを使えるようにする。
【００１１】
電界非対称性イオン移動度分光計は、２種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも１種類の物質を選択的に分離するために用いられる。
【００１２】
図１は、電界非対称性イオン移動度分光計の模式図を示す。図１に示されるように、電界非対称性イオン移動度分光計は、イオン化装置３０１およびフィルタ３０２を具備する。イオン化装置３０１を用いて、混合物に含有される２種類以上の物質がイオン化される。フィルタ３０２を介して、イオン化された２種類以上の物質から少なくとも１種類の物質が選択される。
【００１３】
（イオン化装置３０１）
イオン化装置３０１に供給される混合物は、液体または気体である。本明細書では、混合物は、３種類のガス２０２〜２０４を含有することとする。ガス２０２〜２０４は、イオン化装置３０１を用いてイオン化される。
【００１４】
イオン化装置３０１の詳細については、特許文献1および特許文献２を参照せよ。これらの文献は、参考として本明細書に援用される。
【００１５】
（フィルタ３０２）
次に、イオン化されたガス２０２〜２０４は、イオン化装置３０１に隣接して配置されたフィルタ３０２に供給される。
【００１６】
フィルタ３０２は、互いに平行に配置された平板状の第１電極２０１ａおよび平板状の第２電極２０１ｂを具備する。第１電極２０１ａは接地されている。一方、第２電極２０１ｂは、電源２０５に接続されている。電源２０５は、非対称な交流電圧を第２電極２０１ｂに印加するために用いられる。非対称な交流電圧には、補償電圧ＣＶが重畳され得る。第２電極２０１ｂに印加される非対称な交流電圧については、後述される。
【００１７】
接地された第１電極２０１ａおよび非対称な交流電圧が印加される第２電極２０１ｂの間に、イオン化された３種類のガス２０２〜２０４が供給される。３種類のガス２０２〜２０４は、第１電極２０１ａおよび第２電極２０１ｂの間で生じた電場の影響を受ける。
【００１８】
図２は、電場の強度およびイオン移動度の比の間の関係を示すグラフである。図２に含まれる符号７０１に示されるように、イオン化されたガスの中には、電場の強度が増すと、より活発に移動するものもある。３００未満の質量電荷比（mass-to-charge ratio）を有するイオンは、このような動きを示す。
【００１９】
図２に含まれる符号７０２に示されるように、イオン化されたガスの中には、電場の強度が増すと、より活発に移動するが、さらに電場の強度を増すと、移動度合いが低下するものもある。
【００２０】
図２に含まれる符号７０３に示されるように、イオン化されたガスの中には、電場の強度が増すと、移動度合いが低下するものもある。３００以上の質量電荷比（mass-to-charge ratio）を有するイオンは、このような動きを示す。
【００２１】
このような特性の違いのため、図１に示されるように、３種類のガス２０２〜２０４がフィルタ３０２の内部で異なる方向に進行する。ガス２０３のみがフィルタ３０２から排出される一方、ガス２０２は第１電極２０１ａの表面にトラップされ、かつガス２０４は第２電極２０１ｂの表面にトラップされる。このようにして、３種類のガスからガス２０３のみが選択的に分離される。言い換えれば、ガス２０３のみがフィルタ３０２から排出される。
【００２２】
分離されることになるイオンの種類に応じて、電場の強度が適切に設定される。
【００２３】
次に、本実施形態による電界非対称性イオン移動度分光計の特徴が、以下、説明される。
【００２４】
本実施形態による電界非対称性イオン移動度分光計は、フィルタ３０２の構造によって特徴づけられる。
【００２５】
図３は、本実施形態によるフィルタ３０２の模式図を示す。図３に示されるように、フィルタ３０２は、第１電極群１０２および第２電極群１０３を具備する。言うまでもないが、本実施形態によるフィルタ３０２は、電界非対称性イオン移動度分光計に含まれる。
【００２６】
フィルタ３０２は、平板状の第１電極１０６ａ、平板状の第２電極１０６ｂ、平板状の第３電極１０６ｃ、および平板状の第４電極１０６ｄを具備している。
【００２７】
第１電極群１０２は、平板状の第１電極１０６ａおよび平板状の第３電極１０６ｃを含む。第２電極群１０３は、平板状の第２電極１０６ｂおよび平板状の第４電極１０６ｄを含む。フィルタ３０２の内部において、第１電極群１０２は、第２電極群１０３から電気的に絶縁されている。
【００２８】
平板状の各第１〜第４電極１０６ａ〜１０６ｄは、イオン化装置３０１からフィルタ３０２に向かう方向（すなわち、混合物の流れ方向）に平行な主面を有している。図３に含まれる黒色の矢印は、混合物の流れ方向（すなわち、イオン化装置３０１からフィルタ３０２に向かう方向）を示している。
【００２９】
図３に示されるように、平板状の第２電極１０６ｂは、平板状の第１電極１０６ａおよび平板状の第３電極１０６ｃの間に位置している。平板状の第３電極１０６ｃは、平板状の第２電極１０６ｂおよび平板状の第４電極１０６ｆの間に位置している。
【００３０】
図１に示されるフィルタ３０２は、平板状の第５電極１０６ｅおよび平板状の第６電極１０６ｆをさらに具備する。平板状の第５電極１０６ｅは第１電極群１０２に含まれる。平板状の第６電極１０６ｆは第２電極群１０３に含まれる。
【００３１】
フィルタ１０３は、より多くの平板状の電極１０６を具備し得る。平板状の第ｎ電極１０６は、平板状の第（ｎ−１）電極１０６および平板状の第（ｎ＋１）電極１０６の間に位置している（ｎは２以上の自然数を表す）。平板状の第ｎ電極１０６は、イオン化装置３０１からフィルタ３０２に向かう方向（すなわち、混合物の流れ方向）に平行な主面を有している。第１電極群１０２は、平板状の第２ｍ−１電極１０６を含む（ｍは１以上の整数を表す）。第２電極群１０３は、平板状の第２ｍ電極１０６を含む。
【００３２】
隣接する２つの平板状の電極１０６の間には、隙間１０８が形成されている。具体的には、平板状の第１電極１０６ａおよび平板状の第２電極１０６ｂの間には、第１隙間１０８ａが形成されている。同様に、平板状の第２電極１０６ｂおよび平板状の第３電極１０６ｃの間には、第２隙間１０８ｂが形成されている。平板状の第３電極１０６ｃおよび平板状の第４電極１０６ｄの間には、第３隙間１０８ｃが形成されている。
【００３３】
以下、本実施形態によるフィルタ３０２の内部において、２種類以上の物質を含有する混合物から少なくとも１種類の物質を選択的に分離する手法が説明される。以下、混合物は、２種類のガス２０２〜２０３を含有することにする。
【００３４】
イオン化装置３０１によりイオン化されたガス２０２〜２０３は、フィルタ３０２に供給される。第２電極群１０３は接地されている一方、第１電極群１０２には、電源２０５から非対称な交流電圧が印加される。
【００３５】
図４Ａは、第１電極群１０２に印加される非対称な交流電圧および時間の関係を示すグラフである。図４Ａにおいては、補償電圧は０ボルトである。期間ｔ１の間、第１電極群１０２に正電圧Ｖ１（＞０）が印加される。期間ｔ２の間、第１電極群１０２に負電圧Ｖ２（＜０）が印加される。これが繰り返される。積Ｖ１・ｔ１により定義される面積Ｓ１は、積｜Ｖ２｜・ｔ２により定義される面積Ｓ２に等しい。
【００３６】
望ましくは、時間ｔ１は６ナノ秒以上１００ナノ秒以下である。望ましくは、正電圧Ｖ１は、６７．５ボルト以上１１８．１２５ボルト以下であり、かつ負電圧Ｖ２は、１６ボルト以上２８．４ボルト以下である。一般的に、正電圧Ｖ１の絶対値は負電圧Ｖ２の絶対値よりも大きい。しかし、図４Ｃおよび図４Ｄに示されるように、正電圧Ｖ１の絶対値は負電圧Ｖ２の絶対値よりも小さくても良い。望ましくは、非対称な交流電圧は、２ＭＨｚ以上３０ＭＨｚ以下の周波数を有する。
【００３７】
図４Ａに示される非対称な交流電圧は矩形波である。しかし、矩形波に代えて、非対称な交流電圧は正弦波であってもよい。
【００３８】
図４Ｂもまた、第１電極群１０２に印加される非対称な交流電圧および時間の関係を示すグラフである。図４Ｂにおいては、補償電圧ＣＶが非対称な交流電圧に重畳されている。積（Ｖ１＋ＣＶ）・ｔ１’により定義される面積Ｓ３が、積｜−Ｖ２＋ＣＶ｜・ｔ２’により定義される面積Ｓ４に等しくなるように、周波数を一定に維持したまま、非対称な交流電圧のデューティ比が調整される。望ましくは、補償電圧ＣＶは−２０ボルト以上＋２０ボルト以下である。
【００３９】
図５は、従来のフィルタに含まれる一対の平板状の電極９００ａ・９００ｂの間における、２種類のイオン化されたガス９０２〜９０３の動きの模式平面図を示す。平板状の電極９００ａは接地されており、かつ平板状の電極９００ｂは電源２０５に電気的に接続されている。図５に含まれる矢印は、混合物の流れ方向（すなわち、イオン化装置３０１からフィルタ３０２に向かう方向）を示している。
【００４０】
図５に示されるように、期間ｔ１では、イオン化されたガス９０２および９０３は、平板状の電極９００ｂに向かって引き寄せられる。一方、期間ｔ２では、イオン化されたガス９０２および９０３は、平板状の電極９００ａに向かって引き寄せられる。ガス９０３については、期間ｔ１での横方向の移動距離は、期間ｔ２での横方向の移動距離と実質的に等しい。一方、ガス９０２については、期間ｔ１での横方向の移動距離は、期間ｔ２での横方向の移動距離よりも大きい。従って、ガス９０３は、一対の平板状の電極９００ａ・９００ｂに沿って進む一方で、ガス９０２は、平板状の電極９００の表面にトラップされる。
【００４１】
しかし、期間ｔ１でガス９０２に印加される電場が小さすぎる場合、電極９００の長さが短すぎる場合、または電極９００の間隔が大きすぎる場合には、ガス９０２は平板状の電極９００の表面にトラップされない。言い換えれば、ガス９０２は、ガス９０３と共にフィルタから排出される。結果的に、ガス９０２およびガス９０３を含有する混合物からガス９０２が分離されない。このように、図５に示される従来のフィルタは、低い分離能力を有する。
【００４２】
一方、図６は、本実施形態によるフィルタ３０２に含まれる平板状の第１電極１０６ａ〜第４電極１０４ｄの間における、２種類のイオン化されたガス２０２〜２０３の動きの模式平面図を示す。上述の通り、平板状の第１電極１０６ａおよび平板状の第３電極１０６ｃは、電源２０５に電気的に接続されている。一方、平板状の第２電極１０６ｂおよび平板状の第４電極１０６ｄは、接地されている。
【００４３】
期間ｔ１では、イオン化されたガス２０２および２０３は、第１電極群１０２に含まれる平板状の電極の１つ（すなわち、平板状の第１電極１０６ａまたは平板状の第３電極１０６ｃ）に向かって引き寄せられる。一方、期間ｔ２では、イオン化されたガス２０２および２０３は、第２電極群１０３に含まれる平板状の電極の１つ（すなわち、平板状の第２電極１０６ｂまたは平板状の第４電極１０６ｄ）に向かって引き寄せられる。
【００４４】
ガス２０３については、期間ｔ１での横方向の移動距離は、期間ｔ２での横方向の移動距離と実質的に等しい。一方、ガス２０２については、期間ｔ１での横方向の移動距離は、期間ｔ２での横方向の移動距離よりも大きい。
【００４５】
図６を図５と比較すれば明らかなように、期間ｔ１でガス２０２に印加される電場が小さい場合でも、または平板状の電極１０６の長さが短い場合でも、イオン化されたガス２０２は平板状の電極１０６の表面にトラップされる一方、イオン化されたガス２０３は、平板状の電極１０６に沿ってフィルタ３０２を直進して、フィルタ３０２から排出される。このように、本実施形態によるフィルタ３０２を用いて、２種類以上のイオンを含有する混合物から、目的とされる少なくとも１種類のイオン（すなわち、イオン化されたガス２０３）が、効率的に分離される。このように、図６に示される本実施形態によるフィルタは、高い分離能力を有する。
【００４６】
目的とされるイオン化されたガス（すなわち、イオン化されたガス２０３）の種類（ｎａｔｕｒｅ)に依存して、ガスに印加される電場は調整される。一例を挙げると、本実施形態によるフィルタ３０２においては、隣接する２つの平板状の電極１０６の間の間隔８０１は１０マイクロメートル以上３５マイクロメートル以下であり得る。平板状の電極１０６の長さは、３００マイクロメートル以上、１００００マイクロメートル以下であり得る。期間ｔ１では、２００００ボルト／ｃｍ以上７００００ボルト／ｃｍ以下の電場がガスに印加され得る。期間ｔ２では、１０００ボルト／ｃｍ以上１００００ボルト／ｃｍ以下の電場がガスに印加され得る。
【００４７】
本実施形態によるフィルタ３０２が、以下、より具体的に説明される。
【００４８】
図３に示されるように、フィルタ３０２は直方体の形状を有する。フィルタ３０２は、互いに平行な下側絶縁性基板１０１および上側絶縁性基板１０５を具備することが望ましい。下側絶縁性基板１０１および上側絶縁性基板１０５の間に、平板状の電極１０６が位置している。平板状の各電極１０６は、下側絶縁性基板１０１の厚み方向（すなわち、紙面上での上下方向）に直交する法線を有する。さらに、平板状の各電極１０６は、混合物の流れ方向（すなわち、イオン化装置３０１からフィルタ３０２に向かう方向）に平行な主面を有する。
【００４９】
このように、平板状の電極１０６は、下側絶縁性基板１０１上で鉛直方向に立つように、下側絶縁性基板１０１および上側絶縁性基板１０５の間に設けられている。
【００５０】
上側絶縁性基板１０５の下面には、第１帯状電極１１２および第２帯状電極１１４が設けられている。第１帯状電極１１２は、第１電極群１０２に含まれており、かつ平板状の第２ｍ−１電極１０６（例えば、平板状の第１電極１０６ａ、平板状の第３電極１０６ｃ、および平板状の第５電極１０６ｅ）に電気的に接続されている。第２帯状電極１１４は、第２電極群１０３に含まれており、かつ平板状の第２ｍ電極１０６（例えば、平板状の第２電極１０６ｂ、平板状の第４電極１０６ｄ、および平板状の第６電極１０６ｆ）に電気的に接続されている。図３に示されるように、第１帯状電極１１２および第２帯状電極１１４は、平板状の第１電極１０６ａの法線に平行な方向（すなわち、紙面上では左右方向）に伸び出していることが望ましい。
【００５１】
このように、第１電極群１０２および第２電極群１０３は、櫛状を有することが望ましい。平面視において、櫛の形状を有する第１電極群１０２および第２電極群１０３は、互いに係合している。
【００５２】
第１電極群１０２は、フィルタ３０２の一端（紙面上では左端）に位置する第１壁面電極１２２を含むことが望ましい。同様に、第２電極群１０３は、フィルタ３０２の他端（紙面上では右端）に位置する第２壁面電極１２４を含むことが望ましい。言うまでもないが、フィルタ３０２の他の２つの側面（紙面上では前側および後側）には、一対の開口が設けられている。混合物が一方の開口（紙面上では後側の開口）を通ってフィルタ３０２の内部に入る。目的とされる少なくとも１種の物質が、他方の開口（紙面上では前側の開口）を通ってフィルタ３０２から排出される。
【００５３】
上側絶縁性基板１０５には、第１スルーホール１０６および第２スルーホール１０７が設けられている。第１スルーホール１０６を通して、第１壁面電極１２２は、電源２０５に電気的に接続される。同様に、第２スルーホール１０７を通して、第２壁面電極１２４は接地される。
【００５４】
期間ｔ１では、隣接する２つの電極１０６の間に非常に高い電圧が印加される。そのため、沿面放電が、隣接する２つの平板状の電極１０６の間で、下側絶縁性基板１０１の表面に沿って発生し得る。本実施形態では、下側絶縁性基板１０１の上面に下側第１凹部が設けられる。当該下側第１凹部が、沿面放電を抑制する。
【００５５】
以下、本実施形態による下側絶縁性基板１０１が詳細に説明される。図８Ａは、実施形態によるフィルタ３０２の平面図を示す。この平面図には、第１電極１０６ａ〜第６電極１０６ｆが含まれている。図８Ｂは、図８Ａに含まれる線８Ｂ−８Ｂに沿った断面図を示す。図８Ｂに示される断面図は、フィルタ３０２の正面図でもある。
【００５６】
図３に含まれる矢印Ｘは、平板状の第１電極１０６ａの法線（すなわち、紙面左右方向）に平行である。矢印Ｙは、混合物の流れ方向（すなわち、紙面手前奥方向）に平行である。矢印Ｚは、下側絶縁性基板１０１の法線（すなわち、紙面上下方向）に平行である。図８Ａは、矢印Ｘおよび矢印Ｙを含む面に沿ってフィルタ３０２を切断した際に現れる。図８Ｂは、矢印Ｘおよび矢印Ｚを含む面に沿ってフィルタ３０２を切断した際に現れる。
【００５７】
図８Ｂに示されるように、下側絶縁性基板１０１は、下側第１凹部１３１ａ、下側第２凹部１３１ｂ、下側第３凹部１３１ｃ、下側第４凹部１３１ｄ、および下側第５凹部１３１ｅを上面に具備している。さらに、下側絶縁性基板１０１は、下側第１凸部１４１ａ、下側第２凸部１４１ｂ、下側第３凸部１４１ｃ、下側第４凸部１４１ｄ、下側第５凸部１４１ｅ、および下側第６凸部１４１ｆを上面に具備している。下側第１凹部１３１ａは、下側第１凸部１４１ａおよび下側第２凸部１４１ｂの間に位置している。下側第２凹部１３１ｂは、下側第２凸部１４１ｂおよび下側第３凸部１４１ｃの間に位置している。
【００５８】
第１電極１０６ａが、下側第１凸部１４１ａ上に位置している。望ましくは、薄い直方体の形状を有する第１電極１０６ａの１つの側面が、下側第１凸部１４１ａに接している。同様に、第２電極１０６ｂ〜第６電極１０６ｅが、それぞれ、下側第２凸部１４１ｂ〜下側第６凸部１４１ｆ上に位置している。
【００５９】
図示しないが、同様に、上側絶縁性基板１０５もまた、上側第１凹部〜上側第５凹部および上側第１凸部〜上側第６凸部を下面に具備している。
【００６０】
図３に示されるように、各凹部１３１は、矢印Ｙに平行な溝の形状を有する。
【００６１】
図８Ｃは、図８Ｂに含まれる破線によって囲まれた部分の拡大図を示す。図８Ｄは、下側第１凹部１３１ａがない場合の、当該部分の拡大図を示す。図８Ｄに含まれる矢印Ｌ２によって示されるように、沿面放電が、隣接する２つの平板状の電極１０６の間で、下側絶縁性基板１０１の表面に沿って発生し得る。一方、本実施形態においては、図８Ｃに含まれる矢印Ｌ１に示されるように、下側第１凹部１３１ａのため、隣接する２つの平板状の電極１０６の間における下側絶縁性基板１０１の表面に沿った距離Ｌ１は、下側第１凹部１３１ａがない場合と比較して長くなる。言い換えれば、距離Ｌ１は距離Ｌ２よりも長い。このため、沿面放電が発生する可能性が小さくなる。
【００６２】
一例として、下側第１凹部１３１ａの深さＤ（図８Ｃ参照）が５マイクロメートル以上であれば、７００００ボルト／ｃｍの電圧が印加されても、隣接する２つの電極１０６の間の電場強度は、沿面放電のしきい値を超えない。深さＤは１０マイクロメートル以下であり得る。１０マイクロメートル以下の深さＤを有する凹部１３１は、ボッシュ法により形成され得る。
【００６３】
図９Ａは、実施形態の第１変形例によるフィルタの平面図を示す。図９Ｂは、図９Ａに含まれる線９Ｂ−９Ｂに沿った断面図を示す。図９Ｂに示されるように、下側第１凸部１４１ａおよび下側第２凸部１４１ｂの間には、２本以上の溝が形成され得る。言い換えれば、下側絶縁性基板１０１は、上面に、下側第１凹部１３１ａ〜下側第５凹部１３１ｅだけでなく、下側第１追加凹部１５１ａ〜下側第５追加凹部１５１ｅも具備している。図示しないが、上側絶縁性基板１０５もまた、このような追加凹部を下面に具備し得る。
【００６４】
図１０Ａは、実施形態の第２変形例によるフィルタの平面図を示す。図１０Ｂは、図１０Ａに含まれる線１０Ｂ−１０Ｂに沿った断面図を示す。図１０Ｃは、図１０Ａに含まれる線１０Ｃ−１０Ｃに沿った断面図を示す。図１０Ｂにおいては、下側凹部１３１が設けられているが、図１０Ｃにおいては、下側凹部１３１は設けられていない。すなわち、平面視において、溝（すなわち、断面視において凹部１３１）の長さＬ３は、下側絶縁性基板１０１の短辺の長さＬ４よりも小さくても良い。このように、沿面放電の抑制が求められる部分にのみ、下側凹部１３１が設けられ得る。上側絶縁性基板１０５もまた、図１０Ａ〜図１０Ｃに示される構造と同様の構造を有し得る。
【００６５】
図１１Ａは、実施形態の第３変形例によるフィルタの平面図を示す。図１１Ｂは、図１１Ａに含まれる線１１Ｂ−１１Ｂに沿った断面図を示す。図１１Ａに示されるように、平面視において、第１電極１０６ａおよび第２電極１０６ｂの間隔は、第２電極１０６ｂおよび第３電極１０６ｃの間隔とは異なっていても良い。図１０Ａ〜図１０Ｃに示される第２変形例の場合と同様に、図１１Ａおよび図１１Ｂに示される第３変形例においても、沿面放電の抑制が求められる部分（例えば、隣接する電極１０６の間の間隔が特に狭い部分）にのみ、下側凹部１３１が設けられ得る。
【００６６】
図１２Ａは、実施形態の第４変形例によるフィルタの平面図を示す。図１２Ｂは、図１２Ａに含まれる線１２Ｂ−１２Ｂに沿った断面図を示す。図１２Ｃは、図１２Ａに含まれる線１２Ｃ−１２Ｃに沿った断面図を示す。電極１０６の一端で生じる電場強度は、電極１０６の中央で生じる電場強度とは異なり得る。具体的には、電極１０６の一端において局所的に電場が集中しやすい。そのため、図１２Ａ〜図１２Ｃに示されるように、電極１０６の一端に下側凹部１３１が形成され得る。図１２Ａに示されるように、電極１０６の他端に下側追加凹部１５１が形成され得る。同様に、電極１０６の一端に上側凹部（不図示）および上側追加凸部（不図示）が形成され得る。
【００６７】
以下、本実施形態によるフィルタ３０２を製造する方法が説明される。
【００６８】
まず、図７Ａに示されるように、表面にアルミニウム層（不図示）を有するガラス基板のような下側絶縁性基板１０１上に、表面に金層（不図示）を有するシリコン基板５０１が、ガラス層／アルミニウム層／シリコン層／金層の積層体を形成するように、積層される。シリコン基板５０１は、３００マイクロメートル以上、７００マイクロメートル以下の厚みを有し得る。シリコン基板５０１は、アンチモンのような不純物によってドープされている。そのため、シリコン基板５０１は導電性を有している。金層は、下側絶縁性基板１０１上をスパッタ法または蒸着法により金で被覆することによって形成され得る。金層は、２００ナノメートル以上３００ナノメートル以下の厚みを有し得る。アルミニウム層は、アンチモンのような不純物によってドープされたシリコン基板上をスパッタ法または蒸着法によりアルミニウムで被覆することによって形成され得る。アルミニウム層は、およそ１マイクロメートルの厚みを有し得る。表面にアルミニウム層を有するシリコン基板５０１は、陽極接合法により下側絶縁性基板１０１上に貼り合わされる。
【００６９】
次に、最表面に露出する金層上に、フォトレジストが塗布される。マスクを用いてフォトレジストが露光され、レジストパターン（不図示）を形成する。レジストパターンをマスクとして用いて、金層の一部がウェットエッチングにより除去される。さらに、レジストパターンをマスクとして用いて、シリコン層の一部がボッシュ法により除去される。レジストパターンをマスクとして用いて、アルミニウム層の一部が除去される。このようにして、下側絶縁性基板１０１上に、平板状の電極１０６、第１壁面電極１２２、および第２壁面電極１２４が形成される。
【００７０】
その後、図７Ｃに示されるように、ガラス層がさらにエッチングされる。平板状の電極１０６、第１壁面電極１２２、および第２壁面電極１２４をマスクとして用い、かつ化学式ＣＦ4により表されるテトラフルオロメタンのようなフルオロカーボンのガスを用いて、ガラス層がその厚み方向に沿ってエッチングされる。このようにして、隣接する２つの電極１０６の間に、下側凹部１３１が形成される。
【００７１】
これに代えて、シリコン基板５０１がガラス基板上に積層される前に、下側凹部１３１がガラス基板上に形成され得る。この場合、ガラス基板の表面上にフォトレジスト層が形成される。次いで、フォトリソグラフィ技術によって、下側凹部１３１が形成される部分のみが現像処理によって除去される。ガラス基板上に残されたフォトレジスト層をマスクとして用いて、ガラス基板の表面がエッチングされ、下側凹部１３１が形成される。リムーバー処理および酸素アッシング処理を経て、フォトレジスト層が除去される。次いで、シリコン基板５０１が、ガラス基板上に積層される。その後は、上記のプロセスに従って電極１０６が形成される。上側凹部（不図示）は、このような方法で上側絶縁性基板１０５の下面上に形成され得る。言うまでもないが、フォトレジスト層の形成および凹部の形成のためには、必要ならば位置合わせ（すなわち、アライメント）が実施される。
【００７２】
最後に、図７Ｄに示されるように、第１帯状電極１１２および第２帯状電極１１４を下面に有する上側絶縁性基板１０５が、下側絶縁性基板１０１上に接合される。接合時に、第１帯状電極１１２は、平板状の第２ｍ−１電極１０６（例えば、平板状の第１電極１０６ａ、平板状の第３電極１０６ｃ、および平板状の第５電極１０６ｅ）に電気的に接続される。同様に、第２帯状電極１１４は、平板状の第２ｍ電極１０６（例えば、平板状の第２電極１０６ｂ、平板状の第４電極１０６ｄ、および平板状の第６電極１０６ｆ）に電気的に接続される。このようにして、図３に示されるフィルタ３０２が得られる。
【００７３】
（その他）
（イオン検出部）
図１に示されるように、電界非対称性イオン移動度分光計は、イオン検出部３０３を具備し得る。イオン検出部３０３は、フィルタ３０２に隣接して配置される。言い換えれば、フィルタ３０２は、イオン化装置３０１およびイオン検出部３０３の間に配置される。
【００７４】
特許文献１および特許文献２にも開示されているような公知のイオン検出部３０３が用いられ得る。フィルタ３０２を通り抜けた少なくとも１種の物質（すなわち、ガス２０３）は、イオン検出部３０３により検出される。イオン検出部３０３に到達した少なくとも１種の物質（すなわち、ガス２０３）は、イオン検出部３０３に含まれる電極３１０に電荷を受け渡す。受け渡された電荷の量に比例して流れる電流の値が電流計３１１によって測定される。当該電流計によって測定された電流の値を元に、ガス２０３が特定される。
【００７５】
（ポンプまたは静電場）
図１に示されるように、電界非対称性イオン移動度分光計は、ポンプ３０４を具備し得る。ポンプ３０４により、混合物は、イオン化装置３０１からフィルタ３０２を通ってイオン検出部３０３に吸引される。
【００７６】
ポンプ３０４に代えて、静電場が用いられ得る。言い換えれば、静電場により、イオン化装置３０１からフィルタ３０２を通ってイオン検出部３０３に混合物が流れ得る。この場合、電界非対称性イオン移動度分光計は、一対の電極（図示せず）を具備している。一対の電極の間に、イオン化装置３０１、フィルタ３０２、およびイオン検出部３０３が挟まれる。一対の電極には直流電圧が印加される。イオン化された混合物は、一対の電極の間に印加された直流電圧によって、イオン化装置３０１からフィルタ３０２を通ってイオン検出部３０３に流れ得る。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明による電界非対称性イオン移動度分光計は、生体から放出される生体ガスに含有される成分を検出するため、または環境ガスに含有される危険成分を検出するために用いられ得る。
【符号の説明】
【００７８】
１０１  下側絶縁性基板
１０２  第１電極群
１０３  第２電極群
１０５  上側絶縁性基板
１０６ａ  平板状の第１電極
１０６ｂ  平板状の第２電極
１０６ｃ  平板状の第３電極
１０６ｄ  平板状の第４電極
１０６ｅ  平板状の第５電極
１０６ｆ  平板状の第６電極
１０８ａ  第１隙間
１０８ｂ  第２隙間
１０８ｃ  第３隙間
１１２  第１帯状電極
１１４  第２帯状電極
１２２  第１壁面電極
１２４  第２壁面電極
１３１ａ  下側第１凹部
１３１ｂ  下側第２凹部
１３１ｃ  下側第３凹部
１３１ｄ  下側第４凹部
１３１ｅ  下側第５凹部
１４１ａ  下側第１凸部
１４１ｂ  下側第２凸部
１４１ｃ  下側第３凸部
１４１ｄ  下側第４凸部
１４１ｅ  下側第５凸部
１４１ｆ  下側第６凸部
１５１ａ  下側第１追加凹部
１５１ｂ  下側第２追加凹部
１５１ｃ  下側第３追加凹部
１５１ｄ  下側第４追加凹部
１５１ａ  下側第５追加凹部
２０１ａ  平板状の第１電極
２０１ｂ  平板状の第２電極
２０２  ガス
２０３  ガス
２０４  ガス
２０５  電源
３０１  イオン化装置
３０２  フィルタ
３０３  イオン検出部
３０４  ポンプ
３１１  電流計
９００ａ  平板状の電極
９００ｂ  平板状の電極
９０２  ガス
９０３  ガス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【外国語明細書】
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