(57)【要約】【課題】ノズルの周縁部の余分な液体によって液体の吐出不良が発生することを抑制する。【解決手段】液体吐出装置は、液体を吐出するためのノズルとノズルに連通し液体が収容される液室とを有する吐出部と、液体を帯電させる帯電部と、液室内でノズルに向かって往復移動可能であり液室内のノズルの周囲の内壁に先端部が接触可能な移動体と、移動体を往復移動させるアクチュエーターと、ノズルの出口近傍に配置されノズルの出口付近に付着した液体を静電気力で吸引する端子と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体吐出装置であって、
液体を吐出するためのノズルと、前記ノズルに連通し、前記液体が収容される液室とを有する吐出部と、
前記液体を帯電させる帯電部と、
前記液室内で前記ノズルに向かって往復移動可能であり、前記液室内の前記ノズルの周囲の内壁に先端部が接触可能な移動体と、
前記移動体を往復移動させるアクチュエーターと、
前記ノズルの出口近傍に配置され、前記ノズルの出口付近に付着した前記液体を静電気力で吸引する端子と、
を備える液体吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出装置であって、
前記端子は、前記吐出部に固定されており、前記液体が吐出される方向に沿って突出した形状を有する、液体吐出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液体吐出装置であって、
前記吐出部は、前記ノズルの出口周囲に、前記液体の吐出方向に向けて突出した頂部を有し、前記頂部から、前記端子と前記吐出部との固定部分に向けて傾斜した面を有する、液体吐出装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
前記帯電部は、前記移動体または前記吐出部に電圧を印加することにより、前記液体を帯電させる、液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出装置の一態様として、インクを吐出して印刷物を作製するインクジェットプリンターや、液体材料を吐出して立体物を造形する３Ｄプリンターなどが知られている。そうした液体吐出装置においては、液体を吐出する吐出口であるノズルの周縁部に液体が付着して残留してしまい、液体の吐出不良が発生してしまうという課題があった。従来から、ノズルの周縁部に付着して残留している液体を除去するための種々の技術が提案されている（例えば、下記特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−３０９３０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１には、液体を吐出する塗布ノズルに、洗浄液と乾燥用のエアーとを吹き付けるノズルを備える洗浄装置が開示されている。しかしながら、特許文献１の技術では、塗布ノズルはロボットによってその洗浄装置まで運搬されている。そのため、塗布ノズルを洗浄するためには、塗布ノズルからの液体の吐出処理を中断する必要があり、塗布ノズルの駆動可能時間が低減されてしまうという問題がある。
【０００５】
このように、ノズルの周縁部に付着している余分な液体を除去する技術については、依然として改善の余地がある。こうした課題は、印刷物の作製に用いられるインクジェットプリンターに限らず、液体を吐出するノズルを備える種々の液体吐出装置に共通した課題である。特に、液体材料を吐出して立体物を作製する３Ｄプリンターなどでは、一般に、比較的粘度が高く、固着しやすい液体材料が用いられる。そのため、そうしたノズルやその周縁部に残留している余分な液体材料による液体材料の吐出不良が発生する可能性が高く、ノズルの周縁部からそうした余分な液体材料を除去するための技術を改善することについての要望が大きい。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００７】
（１）本発明の一形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、液体を吐出するためのノズルと、前記ノズルに連通し、前記液体が収容される液室とを有する吐出部と；前記液体を帯電させる帯電部と；前記液室内で前記ノズルに向かって往復移動可能であり、前記液室内の前記ノズルの周囲の内壁に先端部が接触可能な移動体と；前記移動体を往復移動させるアクチュエーターと；前記ノズルの出口近傍に配置され、前記ノズルの出口付近に付着した前記液体を静電気力で吸引する端子と；を備える。このような形態の液体吐出装置であれば、ノズルの出口付近に付着した余分な液体を端子が静電気力によって除去することができるので、余分な液体によって液体の吐出不良が発生することを抑制することができる。
【０００８】
（２）上記形態の液体吐出装置において、前記端子は、前記吐出部に固定されており、前記液体が吐出される方向に沿って突出した形状を有してもよい。このような形態の液体吐出装置であれば、簡易な構成で端子を設けることができる。
【０００９】
（３）上記形態の液体吐出装置において、吐出部は、前記ノズルの出口周囲に、前記液体の吐出方向に向けて突出した頂部を有し、前記頂部から、前記端子と前記吐出部との固定部分に向けて傾斜した面を有してもよい。このような形態の液体吐出装置であれば、端子によって液体を容易に吸引することができ、また、端子によって吸引された液体がノズルに戻ることを抑制できる。
【００１０】
（４）上記形態の液体吐出装置において、前記帯電部は、前記移動体または前記吐出部に電圧を印加することにより、前記液体を帯電させてもよい。このような構成であれば、簡易な構成で液体を帯電させることができる。
【００１１】
本発明は、液体吐出装置としての形態以外にも、種々の形態で実現することが可能である。例えば、液体吐出装置を制御する方法や、液体吐出装置が液体を吐出する方法、液体吐出装置を制御するためのコンピュータープログラム、そのコンピュータープログラムが記録された一次的でない有形な記録媒体等の形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。
【図２】液体吐出装置による液体の吐出動作を説明する図である。
【図３】液体吐出装置による液体の吐出動作を説明する図である。
【図４】液体吐出装置による液体の吐出動作を説明する図である。
【図５】液体吐出装置による液体の吐出動作を説明する図である。
【図６】液体吐出装置による液体の吐出動作を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
Ａ．実施形態：
図１は、本発明の一実施形態としての液体吐出装置１００の概略構成を示す説明図である。本実施形態の液体吐出装置１００は、液体ＬＭを吐出可能なディスペンサーである。本実施形態の液体吐出装置１００は、原材料である液体ＬＭを、吐出部１１０に設けられたノズル１１５から造形ステージ１５０に向かって吐出して平面状の断面体を形成し、その断面体を複数積層することで立体物を製造することができる。つまり、液体吐出装置１００は、三次元造形装置として機能することが可能である。以下の説明において、「下」とは、重力方向を意味し、「上」とは、重力方向と反対の方向を意味する。
【００１４】
本実施形態において用いられる液体ＬＭは、例えば、粉末材料と溶媒とを含む流動性組成物である。粉末材料は、例えば、マグネシウム（Ｍｇ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、クロム（Ｃｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）の単体粉末、もしくは、これらの金属を１つ以上含む合金粉末（マルエージング鋼、ステンレス、コバルトクロムモリブデン、チタニウム合金、ニッケル合金、アルミニウム合金、コバルト合金、コバルトクロム合金）、または、単体粉末や合金粉末から選択される１種または２種以上を組み合わせた混合粉末でもよい。溶媒は、例えば、水；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｉｓｏ−プロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ｉｓｏ−ブチル等の酢酸エステル類；ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、エチル−ｎ−ブチルケトン、ジイソプロピルケトン、アセチルアセトン等のケトン類；エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類；テトラアルキルアンモニウムアセテート類；ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド等のスルホキシド系溶剤；ピリジン、γ−ピコリン、２，６−ルチジン等のピリジン系溶剤；テトラアルキルアンモニウムアセテート（例えば、テトラブチルアンモニウムアセテート等）等のイオン液体等や、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせたものであってもよい。
【００１５】
液体ＬＭは、上記の粉末材料と溶媒に、バインダーを混合してスラリー状、あるいは、ペースト状にした混合材料であってもよい。バインダーは、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、セルロース系樹脂或いはその他の合成樹脂又はＰＬＡ（ポリ乳酸）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）或いはその他の熱可塑性樹脂であってもよい。液体ＬＭは、上記の粉末材料を含むものに限定されず、例えば、ポリアミド、ポリアセタール、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレートなどの汎用エンジニアリングプラスチックなどの樹脂を溶融させたものであってもよい。液体ＬＭは、その他、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトンなどのエンジニアリングプラスチックなどの樹脂であってもよい。このように、液体ＬＭの構成材料に特に限定はなく、上記金属以外の金属やセラミックス、樹脂等を採用可能である。また、液体ＬＭには、焼結助剤が含まれていてもよい。
【００１６】
造形ステージ１５０は、液体ＬＭが吐出されるノズル１１５に対向して配置されている。ノズル１１５から造形ステージ１５０までの距離は、例えば、２０〜５０ｍｍである。造形ステージ１５０は、移動機構１５５によって移動可能である。移動機構１５５は、造形ステージ１５０を移動させるためのモーターやローラー、シャフト、各種アクチュエーターなどを備える。造形ステージ１５０は、移動機構１５５によって、液体ＬＭが吐出される吐出部１１０に対して相対的に水平方向および鉛直方向に移動する。移動機構１５５による造形ステージ１５０の移動は、制御部１０１によって制御される。なお、他の実施形態においては、造形ステージ１５０が固定され、吐出部１１０が造形ステージ１５０に対して移動するように構成されてもよい。
【００１７】
エネルギー付与部１６０は、造形ステージ１５０に着弾した液体ＬＭにエネルギーを付与して硬化させる。本実施形態では、エネルギー付与部１６０は、レーザー装置によって構成され、レーザーの照射によって、光エネルギーを液滴に付与する。エネルギー付与部１６０は、少なくとも、レーザー光源と、レーザー光源から射出されたレーザーを着弾した液滴に集光させるための集光レンズと、レーザーを走査するためのガルバノミラーと、を含む（図示は省略）。エネルギー付与部１６０は、造形ステージ１５０における液滴の着弾位置をレーザーによって走査し、レーザーの光エネルギーによって、液滴中の材料粉末を焼結させる。あるいは、液滴中の材料粉末をいったん溶融させた後に固化させる。なお、エネルギー付与部１６０は、レーザー装置に限らず、液体ＬＭの特性に応じて、紫外線照射装置などの他の装置によって構成してもよい。また、液体ＬＭの種類によっては、エネルギー付与部１６０を省略してもよい。
【００１８】
本実施形態の液体吐出装置１００は、制御部１０１と、吐出部１１０と、液体供給部１４０と、を更に備えている。
【００１９】
制御部１０１は、液体吐出装置１００の全体の動作を制御する。制御部１０１は、ＣＰＵ１０２およびメモリー１０３を含む制御用コンピューターとして構成されており、更に、駆動回路１０４と帯電部１０５とを備えている。ＣＰＵ１０２は、メモリー１０３に記憶されたコンピュータープログラムに基づき、吐出部１１０による液体ＬＭの吐出を制御する。コンピュータープログラムは、例えば、ハードディスクやフラッシュメモリー、光ディスクなどの各種の記録媒体に記録されていてもよい。駆動回路１０４は、後述するアクチュエーター（ピエゾ素子１２２）を駆動するための波形発生器や電力増幅器を含む。帯電部１０５は、移動体１２０に電気的に接続されており、液体吐出装置１００の動作中、移動体１２０に電圧を常時、印加することによって、移動体１２０を通じて液体ＬＭを帯電させる。
【００２０】
制御部１０１には、コンピューター２００が接続されている。制御部１０１は、コンピューター２００から、立体物を製造するためのデータＭＤを受信する。当該データＭＤには、立体物の高さ方向に積み重ねられる各層における液体ＬＭの吐出位置を表すデータが含まれている。制御部１０１は、データＭＤを、コンピューター２００からではなく、ネットワークや記録媒体を介して直接的に取得してもよい。
【００２１】
吐出部１１０は、制御部１０１の制御下において液体ＬＭを吐出する装置である。図１には、吐出部１１０の概略断面を示している。吐出部１１０は、液室１１２と、ノズル１１５と、移動体１２０と、ピエゾ素子１２２と、端子１３０とを備えている。
【００２２】
液室１１２には、液体ＬＭが収容される。液室１１２は、液体ＬＭを吐出するためのノズル１１５に連通している。液室１１２は、外壁１１６および底壁１１４を備えている。本実施形態では、ノズル１１５は、液室１１２の底壁１１４を重力方向に貫通して吐出部１１０の鉛直下方の造形ステージ１５０に向けて開口する貫通孔として形成されている。ノズル１１５の開口径は、例えば、５〜１００μｍである。液室１１２内のノズル１１５の周囲には、外壁１１６からノズル１１５に向かって下方に傾斜した内壁１１８が備えられている。
【００２３】
液室１１２には、液室１１２に液体を圧送して供給する液体供給部１４０が接続されている。液体供給部１４０は、液体供給流路１４１と、液体貯留部１４２と、圧力発生部１４３とを含む。液体貯留部１４２は、液体ＬＭを貯留するタンクによって構成されており、吐出部１１０に対する液体ＬＭの供給源として機能する。タンクの内部には、液体ＬＭを攪拌するための攪拌機構が設けられてもよい。液体貯留部１４２では、液体ＬＭが所定の粘度に保持されるように、液体ＬＭに溶媒が混合されて調整される。本実施形態では、液体ＬＭの粘度は、例えば、５００ｍＰａ・ｓ以上または１０００ｍＰａ・ｓ以上の一定の粘度になるように調整される。圧力発生部１４３は、例えば加圧ポンプによって構成される。圧力発生部１４３は、液体貯留部１４２内の液体ＬＭに一定の圧力を付与し、液体供給流路１４１と、液室１１２に設けられた流入口１１９とを通じて液室１１２に液体ＬＭを圧送する。圧力発生部１４３は、例えば、１０〜１００気圧の圧力を液体ＬＭに付与する。なお、図１では、圧力発生部１４３は、液体貯留部１４２の上流側に設けられているが、圧力発生部１４３は、液体貯留部１４２の下流側に設けられていてもよい。
【００２４】
液室１１２内には移動体１２０が備えられている。移動体１２０は、帯電部１０５に電気的に接続されている。移動体１２０は、液室１１２内においてノズル１１５に向かって往復移動可能である。移動体１２０は、略円柱状の金属部材であり、その先端部１２５が略半球状に形成されている。先端部１２５は、液室１１２内のノズル１１５の周囲の内壁１１８に接触可能である。液室１１２の上端部には、移動体１２０の周囲に、液室１１２から液体ＬＭが漏洩することを抑制するための円環状のシール部材１１７が配置されている。なお、移動体のことを、「ロッド」あるいは「ピストン」と呼ぶことも可能である。
【００２５】
移動体１２０の上端には、ピエゾ素子１２２が接続されている。ピエゾ素子１２２は、移動体１２０に印加された電圧がピエゾ素子１２２に印加されないように、絶縁層１２４を介して移動体１２０に接続されている。ピエゾ素子１２２は、移動体１２０を往復移動させるアクチュエーターとして機能する。ピエゾ素子１２２は、複数の圧電材料が積層された構成を有しており、駆動回路１０４から、各圧電材料へ電圧が印加されることによって、その積層方向に長さが変化する。ピエゾ素子１２２が伸長して最も長くなった状態では、移動体１２０が下方に移動し、移動体１２０の先端部１２５がノズル１１５の周囲の内壁１１８に気密に線接触して、ノズル１１５を閉塞する。ピエゾ素子１２２が短くなった状態では、移動体１２０が上方に移動し、移動体１２０の先端部１２５が内壁１１８から離間する。移動体１２０が上方に移動すると、液室１１２の液体ＬＭがノズル１１５内に流れ込む。移動体１２０が移動する距離、つまり、ピエゾ素子１２２が伸縮する長さは、例えば、５０〜１００μｍである。
【００２６】
端子１３０は、ノズル１１５の出口近傍に配置されている。本実施形態では、端子１３０は、吐出部１１０に固定されており、液体ＬＭが吐出される方向に沿って突出した形状を有している。本実施形態では、ノズル１１５を下側から見たときに、端子１３０は、ノズル１１５を中心とした略円環状の形状を有している。他の実施形態では、直方体状の複数の端子１３０が、ノズル１１５の周囲に、円環状に配列されていてもよい。本実施形態では、端子１３０は接地されている。端子１３０は、ノズル１１５の出口付近に付着した液体ＬＭを静電気力で吸引する。本実施形態では、端子１３０は、吐出部１１０の下面に絶縁層（図示せず）を介して固定されている。なお、本実施形態において、「ノズル１１５の出口近傍」とは、「ノズル１１５の出口付近」よりもノズル１１５の出口から遠い位置関係であるものとする。
【００２７】
本実施形態では、吐出部１１０は、ノズル１１５の出口周囲に、液体ＬＭの吐出方向に向けて突出した頂部１３１を有している。そして、吐出部１１０は、頂部１３１から、端子１３０と吐出部１１０との固定部分に向けて傾斜した傾斜面１３２を有している。なお、他の実施形態では、吐出部１１０のノズル１１５の出口周囲は、平坦状に形成されていてもよい。
【００２８】
図２〜６は、液体吐出装置１００による液体ＬＭの吐出動作を説明する図である。まず、制御部１０１は、駆動回路１０４を用いてピエゾ素子１２２に電圧を印加することにより、ピエゾ素子１２２を伸張させ、図２に示すように、移動体１２０の先端部１２５を内壁１１８に接触させてノズル１１５を閉塞させる。移動体１２０には帯電部１０５から電圧が印加されており、それにより、液室１１２内の液体ＬＭは帯電する。なお、液体ＬＭは、正に帯電させてもよいし、負に帯電させてもよい。なお、本実施形態では、移動体１２０に電圧を印加して液体ＬＭを帯電させるが、他の実施形態では、吐出部１１０に電圧を印加して液体ＬＭを帯電させてもよい。また、例えば、液室１１２内に針状の端子を設け、その端子を通じて帯電させてもよい。
【００２９】
続いて、制御部１０１は、駆動回路１０４を用いてピエゾ素子１２２に印加している電圧を下げることによってピエゾ素子１２２を収縮させ、図３に示すように、移動体１２０の先端部１２５を内壁１１８から離間させる。すると、液体供給部１４０から液室１１２に加えられる圧力により、液室１１２内の液体ＬＭがノズル１１５の先端まで供給される。
【００３０】
液体ＬＭがノズル１１５の先端まで供給されると、制御部１０１は、駆動回路１０４を用いてピエゾ素子１２２に電圧を印加し、図４に示すように、移動体１２０を下降させ、ノズル１１５の周囲の内壁１１８に、移動体１２０の先端部１２５を接触（衝突）させる。すると、ノズル１１５から液体ＬＭが吐出される。吐出された液体ＬＭは帯電しているため、ノズル１１５の出口近傍に配置された端子１３０との間に静電気力が生じ、吐出された液体ＬＭの後端部は、端子１３０側に引き寄せられ、液体ＬＭが尾切れしやすくなる。
【００３１】
液体ＬＭが吐出されると、図５に示すように、液体ＬＭの尾がノズル１１５の出口に向かって戻り、ノズル１１５の出口付近に付着する。しかし、本実施形態では、ノズル１１５の出口付近に付着した液体ＬＭも帯電しているため、液体ＬＭは、図６に示すように、静電気力によって端子１３０に引き寄せられ、ノズル１１５の周囲から除去される。液体吐出装置１００は、図２〜図６に示した動作を繰り返し行うことにより、液滴状の液体ＬＭを連続的に吐出する。
【００３２】
以上で説明した本実施形態の液体吐出装置１００であれば、ノズル１１５の出口付近に付着した余分な液体ＬＭを、端子１３０が静電気力によって吸引することができるので、余分な液体ＬＭによって液体ＬＭの吐出不良が発生することを抑制することができる。この結果、例えば、液体ＬＭを短い周期で高速に吐出させることができる。
【００３３】
また、本実施形態では、端子１３０は吐出部１１０に固定されており、液体ＬＭが吐出される方向に沿って突出した形状を有しているので、簡易な構成で端子１３０を設けることができる。
【００３４】
また、本実施形態では、吐出部１１０は、ノズル１１５の出口周囲に、液体ＬＭの吐出方向に向けて突出した頂部１３１を有し、頂部１３１から、端子１３０と吐出部１１０との固定部分に向けて傾斜した面を有しているので、端子１３０によって液体ＬＭを容易に吸引することができ、また、端子１３０によって吸引された液体ＬＭがノズル１１５に向けて戻ることを抑制できる。
【００３５】
また、本実施形態では、移動体１２０に電圧を印加することにより、液体ＬＭを帯電させるので、簡易な構成で液体ＬＭを帯電させることができる。
【００３６】
Ｂ．変形例：
＜変形例１＞
上記実施形態では、端子１３０は、吐出部１１０に固定されている。これに対して、端子１３０は、吐出部１１０から離間され、他の固定手段によって吐出部１１０の出口近傍に配置されていてもよい。また、端子１３０の形状は、液体ＬＭの吐出方向に沿って突出した形状に限らず、例えば、吐出部１１０の下面に沿った針状あるいは平板状の形状であってもよい。
【００３７】
＜変形例２＞
上記実施形態では、制御部１０１は、移動体１２０に常時、電圧を印加することによって液体ＬＭを帯電させている。これに対して、制御部１０１は、液体ＬＭの吐出が完了し、移動体１２０の先端部１２５によってノズル１１５が閉塞された状態で、パルス状の電圧を印加して液体ＬＭを帯電させてもよい。
【００３８】
＜変形例３＞
上記実施形態では、吐出部１１０は、移動体１２０を往復移動させるアクチュエーターとしてピエゾ素子１２２を備えている。これに対して、吐出部１１０は、移動体１２０を往復移動させられるのであれば、どのようなアクチュエーターを備えていてもよい。例えば、圧縮空気やソレノイド、モーター、磁歪素子などによって移動体１２０を往復移動させるアクチュエーターでもよい。
【００３９】
本発明は、上述の実施形態や変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態や変形例の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１００…液体吐出装置、１０１…制御部、１０２…ＣＰＵ、１０３…メモリー、１０４…駆動回路、１０５…帯電部、１１０…吐出部、１１２…液室、１１４…底壁、１１５…ノズル、１１６…外壁、１１７…シール部材、１１８…内壁、１１９…流入口、１２０…移動体、１２２…ピエゾ素子、１２４…絶縁層、１２５…先端部、１３０…端子、１３１…頂部、１３２…傾斜面、１４０…液体供給部、１４１…液体供給流路、１４２…液体貯留部、１４３…圧力発生部、１５０…造形ステージ、１５５…移動機構、１６０…エネルギー付与部、２００…コンピューター、ＬＭ…液体、ＭＤ…データ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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