(57)【要約】【課題】装置が非対称構造であっても、その構造に起因した部材間の歪みを生じ難いクッション材を提供する。【解決手段】金属繊維が結着または交絡して構成された不織布からなるクッション材であって、当該クッション材を圧縮した際、圧縮変形を生じ、下記圧縮変形率が５％〜８０％であることを特徴とするクッション材。    圧縮変形率＝（Ｔ０−Ｔ１）／Ｔ０×１００  上記Ｔ０は、荷重を加える前のクッション材の膜厚であり、  上記Ｔ１は、荷重を加え、解放した後のクッション材の膜厚である【選択図】図１
2018115394.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属繊維が結着または交絡して構成された不織布からなるクッション材であって、
当該クッション材を圧縮した際、圧縮変形を生じ、
下記圧縮変形率が５％〜８０％であることを特徴とするクッション材。
圧縮変形率＝（Ｔ０−Ｔ１）／Ｔ０×１００
上記Ｔ０は、荷重を加える前のクッション材の膜厚であり、
上記Ｔ１は、荷重を加え、解放した後のクッション材の膜厚である
【請求項２】
上記圧縮変形が生じるよりも高い圧縮応力により圧縮した際、上記圧縮変形と共に弾性変形を生じることを特徴とする請求項１に記載のクッション材。
【請求項３】
上記圧縮変形率が１０％〜７５％であることを特徴とする請求項１または２に記載のクッション材。
【請求項４】
上記荷重解放後、７２時間時点における下記復元率が１５％〜１００％であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のクッション材。
復元率＝（Ｔ２−Ｔ１）／（Ｔ０−Ｔ１）×１００
上記Ｔ０は、荷重を加える前のクッション材の膜厚であり、
上記Ｔ１は荷重を加え、解放した後のクッション材の膜厚であり、
上記Ｔ２は荷重解放後７２時間時点におけるクッション材の膜厚である
【請求項５】
環状であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のクッション材。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかに記載のクッション材が設置されていることを特徴とするステージ部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はクッション紙に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、装置における圧縮部材の平行度を維持するために、バネ、樹脂リングなどの弾性部材が用いられている。例えば、特許文献１に記載の装置において、ペデスタルと積層部材との平行度維持のため、ワッシャーが使用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−５５９０４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の装置ではペデスタルの端部にシールリング溝が形成され、左右非対称構造であるように、設計上、種々の構成部品を備える装置を対称構造とすることは困難である。バネ、ワッシャーなどの金属板材で構成されたクッション材は荷重に対する反発力が大きいため、非対称構造に起因して微細な歪みが生じてしまう。
【０００５】
上記問題に鑑み、本発明は、装置が非対称構造であっても、その構造に起因した部材間の歪みを生じ難いクッション材（クッション紙）を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは鋭意検討した結果、バネ、ワッシャーなどの金属板材で形成された弾性部材ではなく、クッション材の圧縮変形特性に着眼することで新たなクッション材を想到するに至った。すなわち、本発明には以下の形態が含まれる。
＜１＞金属繊維が結着または交絡して構成された不織布からなるクッション材であって、
当該クッション材を圧縮した際、圧縮変形を生じ、
下記圧縮変形率が５％〜８０％であることを特徴とするクッション材。
圧縮変形率＝（Ｔ０−Ｔ１）／Ｔ０×１００
上記Ｔ０は、荷重を加える前のクッション材の膜厚であり、
上記Ｔ１は、荷重を加え、解放した後のクッション材の膜厚である
＜２＞上記圧縮変形が生じるよりも高い圧縮応力により圧縮した際、上記圧縮変形と共に弾性変形を生じることを特徴とする＜１＞に記載のクッション材。
＜３＞上記圧縮変形率が１０％〜７５％であることを特徴とする＜１＞または＜２＞に記載のクッション材。
＜４＞上記荷重解放後、７２時間時点における下記復元率が１５％〜１００％であることを特徴とする＜１＞〜＜３＞の何れかに記載のクッション材。
復元率＝（Ｔ２−Ｔ１）／（Ｔ０−Ｔ１）×１００
上記Ｔ０は、荷重を加える前のクッション材の膜厚であり、
上記Ｔ１は荷重を加え、解放した後のクッション材の膜厚であり、
上記Ｔ２は荷重解放後７２時間時点におけるクッション材の膜厚である
＜５＞環状であることを特徴とする＜１＞〜＜４＞の何れかに記載のクッション材。
＜６＞＜１＞〜＜５＞の何れかに記載のクッション材が設置されていることを特徴とするステージ部材。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のクッション材は、バネ、ワッシャーなどと異なり、圧縮応力が加えられた直後から圧縮応力に応じて圧縮変形する特性を有しており、低反発変形することによって部材間のクッションとして作用し、部材間の歪みを生じさせ難い。部材間の歪みに対応した圧縮変形によって当該歪みを補正できる。
また、本発明のクッション材は、荷重によって圧縮応力が加えられた直後から圧縮変形し、この段階では弾性変形による反発力が生じ難く、位置ずれし難い。このため、クッション材の設置部材に位置ずれ防止用の収容溝を設ける必要がない。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係るクッション材を示す断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るクッション材を示す写真図である。
【図３】実施例に係る応力-ひずみチャートである。
【図４】実施例に係る応力-ひずみチャートである。
【図５】比較例に係る応力-ひずみチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明に係るクッション紙（クッション材と同義であり、以下、クッション材と適宜称する）について説明するが、当該明細書および図面の記載は本発明を説明するものであり、本発明の範囲を不当に制限するものではない。
【００１０】
≪クッション材≫
本発明のクッション材は金属繊維が結着または交絡して構成された不織布からなり、金属繊維間には空隙が多数形成されている。この点でバネなどの金属板材で構成されたクッション材とは根本的に異なっている。図１はクッション材１を示す断面図であり、クッション材１は複数の金属繊維２が結着して構成されている。
【００１１】
複数の金属繊維２が結着しているとは、金属繊維２同士の少なくとも一部が固着している状態を示し、金属繊維２同士は融着していてもよい。また、金属繊維が交絡しているとは、金属繊維同士が結着していないが絡み合っている状態を示し、物理的に接触していればよい。具体的には、クッション材１には、金属繊維２を織っていない不織布が含まれるが、メッシュのように複数の金属繊維２を織った織布、および金属箔は含まれない。この中でも圧縮変形を好適に発現する観点から不織布が好ましい。図２は、クッション材を示す写真図である。図１にて説明したように、金属繊維間に空隙が存在していることが示されている。
【００１２】
金属繊維２の種類としては、特に限定されないが、アルミニウム、銅、チタン、ニッケル、金、白金、鉛等の金属、及び、ステンレス、真ちゅうなどの合金が挙げられる。この内、適度な導電性と酸化のし難さ、加工適性等からステンレスを好適に使用することができる。金属繊維２は単独種類であってもよいし、複数種類を併用してもよい。また、上記金属および合金には、目的に応じてめっきなどの表面処理が施されていてもよい。
【００１３】
金属繊維２の平均繊維長は、クッション材１の用途に応じて決定されるが、５００μｍ〜１０ｍｍであることが好ましい。５００μｍ以上であることで繊維が交絡し易く、１０ｍｍ以下であることでより均質な空隙を持つ構造体とすることができる。尚、本明細書における「平均繊維長」とは、顕微鏡で例えば、２０本の金属繊維の繊維長を測定し、測定値を平均した値である。
金属繊維２の平均直径についても同様に用途に応じて決定されるが、概して１μｍ〜５０μｍであることで適度な繊維強度を保持することができ、適切な変形性を発現する点で好ましい。尚、本明細書における「平均直径」とは、顕微鏡で例えば、２０本の金属繊維の直径を測定し、測定値を平均した値である。
【００１４】
金属繊維２同士は、クッション材のクッション性を失わない範囲でバインダーを介さず直接、接合していてもよいし、バインダーを介して接合していてもよい。バインダーとしては、例えば、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤などの有機系バインダーの他に、コロイダルシリカ、水ガラス、ケイ酸ソーダなどの無機質接着剤を用いることができる。
【００１５】
金属繊維２同士は部分的に接触しており、全体的には接触していない。このため、クッション材１には空隙が形成されている。クッション材１における金属繊維２の体積比率を以下のように占積率と規定する。
クッション材の占積率（％）＝（坪量／クッション材の厚み／材質の真密度）×１００
当該占積率は、後述する圧縮変形率に影響するため重要な要素である。用途に応じて適切な占積率は異なるが、１％〜４０％が好ましく、４％〜２０％がより好ましい。１％以上であることで最低限の金属繊維量を確保でき、４０％以下であることで、クッション材が剛直になりすぎず、圧縮変形が生じやすい。
【００１６】
従来のバネなどの弾性部材を圧縮すると、弾性変形を伴って変形する。すなわち、弾性部材は反発力を生じる。これに対し、本発明に係るクッション材は金属繊維の剛性と、空隙に起因する柔軟性を兼ね備える結果、圧縮変形特性を有する点が特徴的である。本発明のクッション材は、圧縮した際、圧縮変形を生じるものであり、例えば、本発明のクッション材を１ＭＰａの荷重で圧縮した際、圧縮変形を生じる。圧縮装置のヘッドスピード（荷重の移動速度）は例えば、１ｍｍ／１分である。
【００１７】
本発明における「圧縮変形」とは、クッション材に荷重（圧縮応力）を加え、当該荷重を解放した後に生じている変形を示す。弾性変形は荷重を解放すると直ちに復元するため、本発明に係る「圧縮変形」に含まれない。このため、「塑性変形」、および、「長時間をかけて復元するが、直ちに復元しない変形」は本発明の圧縮変形に含まれる。上記荷重によってクッション材を圧縮し、荷重を解放して、たとえば、１分後、クッション材の膜厚が減少していれば圧縮変形が生じているといえる。荷重を加えた際、塑性変形せず、弾性変形するバネなどと異なり、本発明のクッション材は、荷重（圧縮応力）を加えた直後から荷重に応じて圧縮変形するものである。
【００１８】
クッション材を設置する装置構造が非対称である場合、クランプなどの圧縮部材間にバネなどを設置すると、バネは圧縮力に対して弾性変形し、圧縮力を吸収する反面、反発力が大きくなってしまい、部材間の歪みを補正する作用は小さい。これに対し、本発明のクッション材は、圧縮力に対して圧縮変形するため、反発力が小さく、部材間の歪みを補正する作用が大きいため、非常に有用である。
【００１９】
クッション材の圧縮変形の程度を示す圧縮変形率は以下のように規定される。
圧縮変形率＝（Ｔ０−Ｔ１）／Ｔ０×１００
上記Ｔ０は、荷重を加える前のクッション材の膜厚であり、
上記Ｔ１は、荷重を加え、解放した後のクッション材の膜厚である
本発明のクッション材の圧縮変形率は高いほどクッション性が高いため好ましいが、上限として、８０％以下であり、さらには７５％以下がより好ましい。８０％以下であることで圧縮変形し過ぎず、後述する弾性変形の余地を残すことができる。一方、下限については、クッション性確保のため、少なくとも５％以上であり、１０％以上が好ましく、２３％以上がより好ましく、さらには３５％以上が特に好ましい。
【００２０】
また、本発明のクッション材は、荷重によって圧縮応力が加えられた直後から圧縮変形し、この段階では圧縮変形による反発力が生じ難く、位置ずれし難い。このため、クッション材の設置部材に位置ずれ防止用の収容溝を設ける必要がない。これに対し、当該効果は、圧縮応力に対して（圧縮変形でなく）弾性変形するバネなどには備わっていないため、これらの弾性部材には位置ずれ防止用の収容溝を設ける必要が生じてしまう。
【００２１】
また、本発明のクッション材は圧縮変形だけでなく、上記圧縮変形が生じるよりも高い圧縮応力により圧縮した際、圧縮変形と共に弾性変形を生じることが好ましい。弾性変形に起因して、圧縮部材に対する反発力を発揮することで部材間における支持体として好適に作用することができる。
【００２２】
本発明のクッション材は、圧縮した際、圧縮変形を生じるが、金属繊維同士が結着または交絡している特性から、長時間を経ると減少した膜厚が復元する特性を有することがある。長時間とは、一例として、上記荷重加え、解放した後、７２時間経過後である。この復元性により、例えば、クッション材が圧縮変形した後、圧縮部材の圧力が減少するなどして圧縮部材間距離が広がった場合、復元性によって圧縮部材の変位に追随でき、圧縮部材間に隙間を生じ難い。
復元率＝（Ｔ２−Ｔ１）／（Ｔ０−Ｔ１）×１００
上記Ｔ０は、荷重を加える前のクッション材の膜厚であり、
上記Ｔ１は荷重を加え、解放した後のクッション材の膜厚であり、
上記Ｔ２は荷重解放後７２時間時点におけるクッション材の膜厚である
上記復元率は高いほど、圧縮部材の変位に追随できるため好ましい。復元率は、１５％〜１００％が好ましく、２０％〜１００％がより好ましく、７０％〜１００％が最も好ましい。
【００２３】
クッション材の厚さは用途に応じて適宜変更されるが、一例として、３０μｍ〜３ｍｍであり、５００μｍ〜２ｍｍであることがより好ましい。
尚、本明細書における「クッション材の厚さ」とは、空気による端子落下方式の膜厚計（例えば、ミツトヨ社製：デジマチックインジケータＩＤ−Ｃ１１２Ｘ）で例えば、クッション材の任意の数測定点を測定した場合のそれらの平均値をいう。
【００２４】
本発明のクッション材は、その用途に応じて立体的形状は特に限定されず、例えば、シート状、ロール状、球状、紐状、多角形状、網状、環状などが例示され、これらの形状が共存していてもよく、例えば、紐状と球状とが組み合わさった形状であってもよい。この中でも装置内部構造の周囲に配置可能である環状形状が好ましい。
【００２５】
クッション材は、微細な平行度が要求される部材間のクッション材用途として好適に使用され、ガスケット、ワッシャーなどの代替用途としても使用可能である。本発明のクッション材は、クッション性を要するステージ部材に好適に設置することができる。
ステージ部材には概して平面性が要求され、具体的には吸着ステージ、メカニカル吸着ステージ、静電吸着ステージなどが挙げられる。
【００２６】
≪クッション材の製造方法≫
本発明のクッション材の製造方法を以下説明するが、製造方法の一例を示すにすぎず、本発明のクッション材が得られればどのような製造手法を用いてもよい。製造方法の一例としては、金属繊維を圧縮成形する方法や、金属繊維を含む原料を湿式抄造法にて抄紙すること等により、不織布化して得ることが出来る。
【００２７】
圧縮成形により、クッション材を得る場合には、カード法、エアレイド法等により得られた金属繊維の集合物を圧縮等することでシートを形成することが出来る。この時、繊維間の結合を付与するために繊維間にバインダーを含浸させてもよい。かかるバインダーとしては、特に限定されないが、例えば、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤などの有機系バインダーの他に、コロイダルシリカ、水ガラス、ケイ酸ソーダなどの無機質接着剤を用いることができる。なお、バインダーを含浸する代わりに、繊維の表面に熱接着性樹脂を予め被覆しておき、金属繊維の集合物を積層した後に加圧・加熱圧縮しても良い。
【００２８】
また、金属繊維等を水中に分散させて、これを抄き上げる湿式抄造法によりクッション材を作製することも出来る。具体的には、金属繊維を主体としてスラリーを調製し、これに填料、分散剤、増粘剤、消泡剤、紙力増強剤、サイズ剤、凝集剤、着色剤、定着剤等を適宜添加して、抄紙機で湿式抄造する。抄紙機としては、円網抄紙機、長網抄紙機、短網抄紙機、傾斜型抄紙機、これらの中から同種又は異種の抄紙機を組み合わせてなるコンビネーション抄紙機などを用いることができる。エアードライヤー、シリンダードライヤー、サクションドラムドライヤー、赤外方式ドライヤー等を用いて、抄紙後の湿紙を乾燥し、シートを得ることができる。
【００２９】
湿式抄造法を用いる際には、網上の水分を含んだシートを形成している金属繊維を主体とした成分を互いに交絡させる繊維交絡処理工程を経て製造することが好適である。ここで、繊維交絡処理工程としては、例えば、湿紙金属繊維シート面に高圧ジェット水流を噴射する繊維交絡処理工程を採用するのが好ましく、具体的には、シートの流れ方向に直交する方向に複数のノズルを配列し、この複数のノズルから同時に高圧ジェット水流を噴射することにより、シート全体に亘って金属繊維を主体とする繊維同士を交絡させることが可能である。
【００３０】
また、前記圧縮成形あるいは湿式抄造法により得られた金属繊維不織布は、真空中または非酸化雰囲気中で金属繊維の融点以下の温度で焼結する焼結工程を含むことが好ましい。金属繊維同士の接点が融着することで、焼結後の自己発熱層の強度を高めることが可能となり、通電時の自己発熱性や加工適性が向上する。
焼結に用いる金属繊維は１層であってもよいし、複数層であってもよい。複数層を焼結した場合、厚膜のクッション材を得易いというメリットがある。
【実施例】
【００３１】
以下、実施例および比較例に基づき、クッション材を説明するが、本発明は実施例の内容に限定されるものではない。なお、実施例で得られたシート状のクッション材に関する物性測定内容は以下の通りである。
【００３２】
＜占積率＞
クッション材の短辺と長辺の寸法は、ＪＩＳ１級の金尺を用いて測定した。クッション材の厚みは株式会社ミツトヨ製デジマチックインジケータ「ＩＤ−Ｃ１１２Ｘ」にφ１５ｍｍの測定子を取付けたものを用い、クッション材の厚み９点を測定して９点の平均値をシート厚みとした。また、得られたクッション材の重量は、電子天秤を用いて測定した。
上記寸法、厚みおよび重量から、以下の通りかさ密度を算出した。
かさ密度＝（クッション材の重量）/（クッション材の短辺×クッション材の長辺×クッション材の厚み）
上記かさ密度を用い、クッション材の占積率を以下の通り算出した。
占積率＝クッション材のかさ密度／材質の真比重×１００
【００３３】
＜圧縮変形率、復元率＞
３０ｍｍ角のクッション材の試験片を準備し、株式会社ミツトヨ製デジマチックインジケータ「ＩＤ−Ｃ１１２Ｘ」にφ１５ｍｍの測定子を取付けたものを用いて、圧縮前の試験片の膜厚を測定した。膜厚測定の際、プローブの自重のみが試験片に加わるようにゆっくりと降下させ、且つ、プローブを試験片に接触させる回数は１度のみとして、試験片の膜厚を測定した（Ｔ０の測定）。
【００３４】
続いて、ステンレス製の直径１００ｍｍの圧縮プレートを冶具とし、１ｋＮのロードセルを用いて試験片を圧縮した。圧縮速度は１ｍｍ／ｍｉｎとし、圧縮応力を０ＭＰａ〜１ＭＰａ（９００Ｎ）まで徐々に増加させた後に解放する試験片の圧縮・解放動作を続けて３回行った。この試験により得られた「応力-ひずみチャート」から、応力に対する実際のひずみを計算し、以下の式に従って圧縮変形量を算出した。
圧縮変形量＝（１回目の立ち上がり部のひずみ）−（２回目の立ち上がり部のひずみ）
【００３５】
上記立ち上がり部とは、圧縮応力が２．５Ｎから増加するときのひずみのことを指す（理想的には０ＭＰａとすべきだが誤差防止のため）。試験片の膜厚を前述のマイクロメーターを用いて測定し、これを圧縮変形量とし、圧縮前の試験片の膜厚との差からＴ１を算出した。なお、圧縮後、荷重を解放した後の膜厚は、解放から１分後に測定を行った。試験終了後の試験片は空調環境下（２３±５℃、湿度５５±１５％）にて保管する。
最後に、空調環境下で３日間（７２時間）保管した試験片の膜厚を、上記マイクロメーターを用いて測定する。このとき測定した膜厚を「試験３日後の膜厚」とする（Ｔ２の測定）。
【００３６】
以上の測定で得られたＴ０、Ｔ１、Ｔ２から、下記式に基づき圧縮変形率、復元率を算出した。
圧縮変形率＝（Ｔ０−Ｔ１）／Ｔ０×１００
復元率＝（Ｔ２−Ｔ１）／（Ｔ０−Ｔ１）×１００
上記Ｔ０は、荷重を加える前のクッション材の膜厚であり、
上記Ｔ１は荷重を加え、解放した後のクッション材の膜厚であり、
上記Ｔ２は荷重解放後７２時間時点におけるクッション材の膜厚である
【００３７】
〔実施例１〕
繊維の直径が８μｍのステンレス長繊維をポリビニルアルコールで結束した結束物を、繊維長が３ｍｍになるように断裁した６０ｇの繊維束、および、１ｇのポリビニルアルコール繊維を水中に分散し、さらにスラリー液とした。スラリー液を坪量２７０ｇ／ｍ２になるように抄き網上に投入し、搬送時に必要最低限かかる圧力以外はかからないよう、脱水、乾燥したクッション材を得た。同クッション材を、水素雰囲気下、焼結温度１１２０℃で１時間加熱し、クッション材状のクッション材を得た。得られたクッション材の外周部には繊維の交絡が不均一な部分があるため、不均質部分を裁断除去し、形状が整った金属繊維クッション材を得た。当該クッション材の物性を表１に示す。
【００３８】
〔実施例２〕
実施例１のスラリー液の坪量を２７０ｇ／ｍ２から３００ｇ／ｍ２に変更した以外は実施例１と同様にしてクッション材を得た。
【００３９】
〔実施例３〕
実施例２で作製したクッション材を２枚重ね、厚み調整用スペーサーとして１００μｍのポリエチレンテレフタラートフィルムを１０枚重ねたものを、クッション材の４辺を囲うように、プレス機の圧縮板の間に設置した。その後、油圧式プレス機にて、１１０ＭＰａで５分間、常温でプレスすることで、厚膜のクッション材を得た。当該クッション材の物性を表１に示す。
【００４０】
〔実施例４、５〕
実施例３におけるクッション材の積層枚数を２枚から、実施例４では３枚、実施例５では４枚に変更してプレスした以外は、実施例３と同様にしてクッション材を作製した。当該クッション材の物性を表１に示す。
実施例４で得られたクッション材について、圧縮変形率、復元率の算出に係る「応力-ひずみチャート」を図３に示す。図３において、圧縮変形率測定での圧縮・解放動作に係る各回の結果はそれぞれのグラフに示されている。同図のように、１回目の圧縮で、０ＭＰａ〜１ＭＰａまで荷重を徐々に増加させながら加え、荷重を解放後、２回目の圧縮を開始した時点では、弾性変形が解放されて圧縮歪み（Ｔ１）の２９０μｍが示されており、弾性変形量が４４７μｍとなっている。
【００４１】
〔比較例１、２〕
実施例３におけるクッション材の積層枚数を２枚から、比較例１では７枚、比較例６では１１枚に変更した以外は実施例３と同様にしてクッション材を作製した。当該クッション材の物性を表１に示す。
【００４２】
〔実施例６〕
繊維の直径が１８．５μｍの銅線を、長さ１０ｍｍになるように裁断し、銅繊維の集合体を得た。銅繊維を水中に分散し、さらに粘度調整剤としてポリアクリルアミド溶液を添加し、スラリー液とした。この溶液を坪量３００ｇ／ｍ２になるように抄き網上に投入し、搬送時に必要最低限かかる圧力以外はかからないよう、脱水、乾燥したシートを得た。その後、１０２０℃、水素雰囲気下で１時間加熱し、シート状のクッション材を得た。得られたクッション材の外周部には繊維の交絡が不均一な部分があるため、不均質部分を裁断除去し、形状が整ったクッション材を得た。
【００４３】
〔実施例７〕
実施例６における脱水・乾燥工程後に、クッション材を線圧２４０ｋｇ／ｃｍ、速度３ｍ／分のロールプレス機で常温プレスを行う工程を追加する以外は、実施例６と同様にしてクッション材を作成した。
【００４４】
〔比較例３〕
繊維径１１０μｍ、目開き１４４μｍ、平織りの銅メッシュ（＃１００）に対して実施例１と同様に物性測定を行った。比較例３に係る「応力-ひずみチャート」を図４に示す。銅メッシュは、圧縮変形率が２．９％と非常に小さく、クッション性に乏しい。
【００４５】
〔比較例４〕
厚み５００μｍの圧延銅板に対して実施例１と同様に物性測定を行った。比較例１に係る「応力-ひずみチャート」を図５に示す。同図に示すように、圧延銅板は弾性変形せず、実施例の金属繊維シートとは根本的に異なっている。
【００４６】
【表１】
2018115394.tif 000003
〔ステンレス板の歪み確認〕
上記実施例および比較例を、外径３２０ｍｍ、内径３００ｍｍの円状に切り出し、Ｏリングが設置されたステンレス板上に設置し、その上からさらにステンレス板を被せ、ネジで固定し、ステンレス板の歪みについて確認を行った。
確認手段として、まず、ステンレス板に対して蛍光灯の光を当てる。その後、ステンレス板に映った蛍光灯の像に歪みが生じているかを確認した。
【００４７】
まず、圧縮変形率が０％である比較例４の金属板を用いた場合において、ステンレス板の表面における蛍光灯の像に歪みが確認された。金属板は圧縮変形しないため、クッション性を発揮しない結果、ステンレス板に歪みが生じたことが原因である。
これに対し、実施例１〜７のクッション材を用いた場合には、蛍光灯の像に歪みは確認されなかった。これは、金属繊維クッションがネジ締め時に発生する微少な歪みをも補正し、精密な平面性が実現されたためである。
【００４８】
圧縮変形率に関しては、実施例１、２のクッション材の圧縮変形率は７９．８％、７４．３％と非常に高く、復元率は１５．５％、１６．０％と低い値となっている。当該クッション材は、圧縮応力に対して非常に高いクッション性を有している。
【００４９】
次に、実施例３のクッション材では、圧縮変形率が５８．９％と実施例１、２よりは低くなっているものの、十分な値を示し、復元率が７１．４％と非常に高い値を示している。すなわち、（１）圧縮応力に対するクッション性を有すると共に、（２）荷重を解放後（７２ｈ後）には変形した厚さが復元しており、荷重解放後にクッション材の圧縮部材に対して反発力を示し、圧縮部材が変位した場合の追従性に優れている。
【００５０】
さらに、実施例４のクッション材は、圧縮変形率が３７．９％とより低下するものの、復元率は９９．３％と、ほぼ完全に圧縮前の厚さに復元しており、実施例５のクッション材は、圧縮変形率が２３．５％、復元率は１００％を示し、完全に圧縮前の厚さに復元したことが確認された。実施例５でも１００％の復元率が示されている。一方、比較例１、２のクッション材は、圧縮変形率が４．７％、１．９％と低く、クッション性に乏しい。
【００５１】
また、実施例６，７では、銅繊維を用いてクッション材を作成したところ、これらも良好な圧縮変形率を示すことができた。また、比較例３、４では、不織布でない、銅メッシュ、銅板をクッション材の代わりに測定したところ、圧縮変形率は２．９％、０％と非常に低く、クッション性を示さないことが確認された。
【符号の説明】
【００５２】
１      クッション材
２      金属繊維
【図１】
2018115394.tif 000004
【図２】
2018115394.tif 000005
【図３】
2018115394.tif 000006
【図４】
2018115394.tif 000007
【図５】
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