(57)【要約】【課題】露光後のレジスト膜を効率的に現像することが可能な現像方法などを提供する。【解決手段】各々、基板Ｗの半径よりも短い線状に形成された第１の現像液供給孔３１８ａ及び第２の現像液供給孔３１８ｂと、これら第１、第２の現像液供給孔３１８ａ、３１８ｂの間に配置され、現像液を押し流す気体の供給を行う気体供給孔３１６ｂを備えたノズルヘッド部を用い、露光後のレジスト膜が形成されている基板Ｗの表面に現像液を供給して現像液膜３０を形成し、次いでレジスト膜から現像液膜中に溶解した成分を含む現像液を押し流して、前記現像液膜を薄くして薄膜部３０２を形成した後、この薄くなった現像液膜に、新たな現像液を供給する。【選択図】図１６
2018107475.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光後のレジスト膜が形成されている円形の基板を水平に保持する基板保持部と、
前記基板を鉛直軸周りに回転させる基板回転部と、
各々、前記基板保持部に保持された基板の半径よりも短い線状に形成され、前記基板保持部に保持された基板に現像液の供給を行う第１の現像液供給孔と、前記第１の現像液供給孔に沿った方向に形成され、前記基板に現像液の供給を行う第２の現像液供給孔と、前記第１の現像液供給孔に沿った方向に形成されると共に、当該第１の現像液供給孔と第２の現像液供給孔との間に配置され、前記基板に供給された現像液を押し流す気体の供給を行う気体供給孔とを備え、前記第１の現像液供給孔が第２の現像液供給孔に対して、前記基板の回転方向に対する相対的な移動方向の前方側に位置するように、前記基板保持部に保持された基板の表面に対向して配置されたノズルヘッド部と、
前記ノズルヘッド部を基板の中央部側から周縁部側へ移動させるノズル駆動部と、
基板を回転させた状態で、前記第１、第２の現像液供給孔からの現像液の供給と、前記気体供給孔からの気体の供給とを行いながら、前記ノズルヘッド部を基板の中央部側から周縁部側へ移動させるステップと、前記ノズルヘッド部が前記基板の周縁部に到達した後、当該ノズルヘッド部の移動、前記第１の現像液供給孔からの現像液の供給、及び前記気体供給孔からの気体の供給を停止するステップと、次いで、所定時間の経過後、前記第２の現像液供給孔からの現像液の供給、及び基板の回転を停止するステップと、を実行させるように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする現像装置。
【請求項２】
前記気体供給孔は、前記第２の現像液供給孔が配置されている方向へ向けて斜め下方に気体を吐出するように設けられていることを特徴とする請求項１に記載の現像装置。
【請求項３】
前記ノズルヘッド部を２組備え、ノズルヘッド部を基板の中央部側から周縁部側へ移動させるステップでは、これらのノズルヘッド部を互いに反対の方向へ移動させることを特徴とする請求項１または２に記載の現像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光後のレジスト膜が形成された基板に現像液を供給して現像処理を行う技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程におけるフォトリソグラフィ工程では、レジスト膜が形成され、所定のパターンに沿って露光された基板に対して、現像液を供給する現像処理を行うことによりレジストパターンが形成される。この現像処理方式の一つとして、長尺な吐出口を備えたノズルを用い、前記吐出口から現像液を吐出しながら基板の一端から他端へとノズルを移動させて基板全体に現像液を液盛りしてパドルを形成するものがある。本現像方式は、基板を静止させた状態で現像液の液盛りをすることができるので、ここでは静止現像方式と呼ぶ。特許文献１には、この静止現像方式の一例が記載されている。
【０００３】
また、他の現像処理方式として、基板を回転させながらノズルを移動させ、回転する基板の径方向に向けて現像液の供給位置を移動させるものがある。現像液の供給位置の移動と、遠心力の作用とにより、基板の表面に現像液の液膜が形成され、当該液膜を構成する現像液が流動する。ここではこの現像方式を回転現像方式と呼ぶ。特許文献２に、この回転現像方式の一例が記載されている。
【０００４】
現像処理によって現像される基板としては、例えば円形の半導体ウエハ（以下ウエハと記載する）がある。このウエハ上に形成されるレジスト膜にはさまざまな種類のものがあり、例えばエッチング時の選択比が小さい被処理膜を処理する際に形成される厚膜レジストや、露光出力の小さなＥＵＶ（Extreme Ultraviolet、極端紫外線）露光用のレジスト膜、ＡｒＦ露光やＫｒＦ露光用レジスト膜がある。
【０００５】
その内、特に感度の低いレジスト膜においては、現像液との接触時間を長くする必要があるが、既述の静止現像方式の場合には、現像の際に現像液中に溶解した溶解成分の影響で現像液の濃度が低下し、この結果、現像液の反応性が低下して、現像処理に要する時間がより長くなってしまう。また、回転現像方式においても感度の低いレジスト膜を処理する際には、現像処理の時間や現像液の消費量が増大する。従って、より効率的な現像方法が必要とされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３６１４７６９号公報：段落００４４、００５８〜００５９、図１、３
【特許文献２】特許第４８９３７９９号公報：段落００２６、図８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、露光後のレジスト膜を効率的に現像することが可能な現像方法、現像装置、及び前記現像方法を記憶した記憶媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の現像方法は、露光後のレジスト膜が形成されている基板の表面に現像液を供給して現像液膜を形成する工程と、
前記レジスト膜から現像液膜中に溶解した成分を含む現像液を押し流して、前記現像液膜を薄くする工程と、
前記薄くなった現像液膜に、新たな現像液を供給する工程と、を含み、
鉛直軸周りに回転する基板の表面に、当該基板の径方向へ向けて現像液の供給位置を移動させながら現像液を供給して、基板の中央部側から周縁部側へ押し流される現像液の流れを形成することにより、前記現像液膜を形成する工程と、現像液膜を薄くする工程とを並行して行い、
次いで、前記現像液の供給位置の移動方向の上流側の位置から現像液を供給することにより、前記新たな現像液を供給する工程を行うことを特徴とする。
【０００９】
前記現像法は、以下の構成を備えていてもよい。
（ａ）前記新たな現像液を供給する工程では、現像液の供給位置を、前記現像液膜を形成する工程における現像液の供給位置の移動方向と同じ方向に移動させ、先の現像液の供給位置の移動速度よりも、後の現像液の供給位置の移動速度を遅くすること。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、露光後のレジスト膜が形成されている基板の表面に供給された現像液膜中の現像液を押し流して、現像液膜を薄くしてから新たな現像液の供給を行うので、レジスト膜から現像液膜中に溶解した成分を含む反応性の低下した現像液に替えて反応性の高い現像液膜を用いた効率的な現像処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】発明の実施形態に係る現像装置の縦断側面図である。
【図２】前記現像装置の平面図である。
【図３】前記現像装置に設けられているノズルヘッド部の縦断側面図である。
【図４】前記ノズルヘッド部に設けられているパッドノズルの現像液供給面の一例を示す平面図である。
【図５】前記現像液供給面の他の例を示す平面図である。
【図６】前記現像装置により実行される現像処理の第１の説明図である。
【図７】前記現像処理の第２の説明図である。
【図８】前記現像処理の第３の説明図である。
【図９】前記現像処理に係るタイムチャートである。
【図１０】前記パッドノズルの作用を示す模式図である。
【図１１】前記現像装置の変形例を示す平面図である。
【図１２】前記変形例に係る現像処理の第１の説明図である。
【図１３】前記変形例に係る現像処理の第２の説明図である。
【図１４】前記変形例に係る現像処理のタイムチャートである。
【図１５】第２の実施形態に係る現像装置の平面図である。
【図１６】前記第２の実施形態に係るスリットノズル部の斜視図である。
【図１７】前記第２の実施形態に係る現像処理の第１の説明図である。
【図１８】前記第２の実施形態に係る現像処理の第２の説明図である。
【図１９】前記第２の実施形態に係る現像処理のタイムチャートである。
【図２０】前記第２の実施形態に係るスリットノズル部の作用を示す模式図である。
【図２１】第２の実施形態に係る現像装置の変形例を示す説明図である。
【図２２】前記第３の実施形態に係る現像処理の第１の説明図である。
【図２３】前記第３の実施形態に係る現像処理の第２の説明図である。
【図２４】前記第３の実施形態に係る現像処理の第３の説明図である。
【図２５】前記第３の実施形態に係る現像処理の第４の説明図である。
【図２６】前記第３の実施形態に係る現像処理のタイムチャートである。
【図２７】前記第３の実施形態に係る現像処理の作用を示す模式図である。
【図２８】予備実験の結果を示す第１の説明図である。
【図２９】予備実験の結果を示す第２の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１の実施形態）
図１〜図５に基づいて、本発明の第１の実施形態に係る現像装置１の構成を説明する。現像装置１には、その表面にレジスト膜が形成され、所定のパターンにより当該レジスト膜を露光した後のウエハＷが搬送されて処理される。図１、図２に示すように、現像装置１は基板保持部であるスピンチャック１１を備えており、スピンチャック１１は、ウエハＷの裏面中央部に吸着して、ウエハＷを水平に保持する。またスピンチャック１１は、回転軸１２を介して下方に設けられた回転駆動部１３に接続されている。スピンチャック１１、回転軸１２及び回転駆動部１３は、ウエハＷを鉛直軸周りに回転させるための基板回転部に相当する。
【００１３】
現像装置１には、スピンチャック１１に保持されたウエハＷを取り囲むようにカップ体２が設けられている。このカップ体２は、外カップ２１と内カップ２２とから成り、カップ体２の上方側は開口している。外カップ２１は上部側が四角形状であり、下部側が円筒状である。外カップ２１の下部側には段部２３が設けられており、この段部２３には、外カップ２１を昇降させるための昇降部２４が接続されている。内カップ２２は円筒状であり、その上部側が内側に傾斜している。内カップ２２は、前記外カップ２１の上昇時に、その下端面が段部２３と当接することによって上方へ押し上げられる。この結果、ウエハＷから現像液を除去する際には、図１中に破線で示すようにカップ体２（外カップ２１、内カップ２２）を上昇させて、ウエハＷから飛散する液を受け止めることができる。
【００１４】
スピンチャック１１に保持されたウエハＷの下方側には円形板２５が設けられており、円形板２５の外側には縦断面形状が山型のリング状のガイド部材２６が設けられている。前記ガイド部材２６は、ウエハＷよりこぼれ落ちた現像液や洗浄液を、円形板２５の外側に設けられた環状の凹部である液受け部２７へとガイドする。液受け部２７の底面には液受け部２７内の気体及び液体を排出する排液管２８が接続され、排液管２８の下流側に設けられた気液分離器（不図示）を介して気液分離が行われる。気液分離後の排液は不図示の排液タンクに回収される。
【００１５】
スピンチャック１１に保持されたウエハＷの下方側には、昇降機構１５に接続されたピン１４が配置されている。ピン１４は、スピンチャック１１によるウエハＷの保持面よりも上方側の位置と、下方側の位置との間を昇降して、図示しない基板搬送機構とスピンチャック１１との間でウエハＷの受け渡しを実行する。
【００１６】
現像装置１は、ウエハＷに現像液を供給して現像液の液膜（現像液膜）である液溜まり３０（後述の図６〜図８、図１０参照）を形成するためのパッドノズル３１と、現像処理後のウエハＷに洗浄液である純水を供給する洗浄液ノズル４５とを備えている。図２に示すようにパッドノズル３１はアーム４１の先端部に設けられている一方、アーム４１の基端側にはノズル駆動部４２が接続されている。ノズル駆動部４２は、アーム４１を昇降させる機能と、水平に伸びるガイドレール４３に沿って移動する機能とを備え、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの径方向に沿ってパッドノズル３１を移動させることができる。またカップ体２の外側には、パッドノズル３１の先端部と嵌合自在に構成され、排液口を備えたノズルバスからなる待機領域４４が設けられている。
【００１７】
洗浄液ノズル４５は、アーム４７の先端部に設けられ、当該アーム４７の基端側にはノズル駆動部４８が接続されている。ノズル駆動部４８は、アーム４７を昇降させる機能と、水平に伸びるガイドレール４９に沿って移動する機能とを備える。このノズル駆動部４８により、洗浄ノズル４５は、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの上方位置と、カップ体２の外側に設けられたノズルバスからなる待機領域４０との間を移動することができる。
また図１に示すように洗浄液ノズル４５はポンプやバルブなどを備えた洗浄液供給源４６に接続されている。
【００１８】
以上に説明した構成を備える現像装置１において、パッドノズル３１はレジスト膜から溶解した溶解成分の影響により現像液の反応性が低下することを抑える機能を備えている。以下、図３〜図５を参照しながら当該パッドノズル３１を備えたノズルヘッド部３の構成について説明する。
【００１９】
図３に示すようにノズルヘッド部３は、スピンチャック１１に保持されたウエハＷに対向して配置され、多数の現像液供給孔３１４が形成された現像液供給面３１０を備えるパッドノズル３１と、このパッドノズル３１を鉛直軸周りに回転させるノズル回転機構３８と、パッドノズル３１に供給される現像液などが流れる流路が形成されたマニホールド部３７と、を備えている。
【００２０】
パッドノズル３１は、ウエハＷの直径（例えば３００ｍｍ）よりも小さな円板形状の部材の下面側に、内部に空洞部３１３が形成された現像液供給板３１２を設けた構造となっている。現像液供給板３１２の下面側には、多数の現像液供給孔３１４が形成され、パッドノズル３１の中央部に形成された現像液供給路３１１を介して空洞部３１３内に流れ込んだ現像液が、これら現像液供給孔３１４を介して現像液供給面３１０の下方側に向けて均一に供給される構造となっている。
【００２１】
また、パッドノズル３１の上面、側周面及び下面（現像液供給板３１２との接合面）に沿った領域には、現像液供給面３１０から供給された現像液の液溜まり３０に含まれる反応性の低下した現像液を押し流す気体（本例では窒素ガス）を供給するための窒素ガス流路３１５が形成されている。パッドノズル３１の下面側の窒素ガス流路３１５は、現像液供給板３１２の空洞部３１３を貫通し、現像液供給面３１０に開口する窒素ガス供給孔３１６と連通している。
【００２２】
窒素ガス供給孔３１６は、現像液供給孔３１４が開口している現像液供給面３１０の下面よりも下方側に突出し、現像液供給孔３１４が形成されている領域を現像液供給面３１０の周方向に沿って、複数の領域に分割するように配形成された突条部３１７の下面に開口している。  
例えば図４に示すように、突条部３１７ａは、円形の現像液供給面３１０の中心から放射状に直線状に伸びるように形成してもよい。この場合、現像液供給孔３１４の形成領域は、現像液供給面３１０の周方向に沿って扇型に分割される。また図５に示すように、突状部３１７ｂは、現像液供給面３１０の中心から、螺旋状に渦を巻くようにして曲線状に伸びるように形成してもよい。この場合、現像液供給孔３１４の形成領域は、現像液供給面３１０の周方向に沿って湾曲した扇型に分割される。なお、説明の便宜上、図４、図５における突条部３１７ａ、３１７ｂの配置は、パッドノズル３１を上面側から見て現像液供給面３１０を透視した状態を示してある。
【００２３】
一方、パッドノズル３１の上面側中央部には、筒状の回転筒３８３が接続されている。回転筒３８３は、パッドノズル３１と接続された下部回転筒３８３ｂと、この下部回転筒３８３ｂよりも小径、且つ、上下方向の寸法が長い上部回転筒３８３ａとが同軸上に連結された構造となっている。回転筒３８３の内部は空洞となっていて、当該空洞はパッドノズル３１の現像液供給路３１１へ連通している。さらに下部回転筒３８３ｂを構成する筒壁内には、パッドノズル３１側の窒素ガス流路３１５に連通する窒素ガス流路３８４が形成されている。当該窒素ガス流路３８４は、その上流端側にて回転筒３８３の空洞へ向けて開口している。
【００２４】
ノズル回転機構３８は、不図示の電動モーター機構を備え、回転筒３８３を回転子として、当該回転筒３８３に連結されたパッドノズル３１を鉛直軸周りに回転させる。回転筒３８３は上部回転筒３８３ａ部分がノズル回転機構３８内に挿入され、ベアリング３８１、３８２によって鉛直軸周りに回転自在に保持されている。  
ノズル回転機構３８や回転筒３８３は、本例のノズル回転部に相当する。
【００２５】
このノズル回転機構３８に対しては、フランジ部３７６を介してマニホールド部３７が接続されている。マニホールド部３７内には、現像液が流れる内側の内部流路３７２と窒素ガスが流れる外側の外部流路３７１との二重管構造の流路３７２、３７１が形成されている。マニホールド部３７の下面からは、これらの流路３７２、３７１が二重管部３７７となって下方側へ突出し、当該二重管部３７７はノズル回転機構３８に保持された回転筒３８３の空洞内に挿入されている。
【００２６】
内部流路３７２は、二重管部３７７の下端部にて開口し、回転筒３８３の空洞を介してパッドノズル３１の現像液供給路３１１へ連通している。一方、外部流路３７１は、下部回転筒３８３ｂに形成された窒素ガス流路３８４の開口部に対向する位置へ向けて窒素ガスを供給するように、二重管部３７７の下部側の側周面に開口している。回転筒３８３の内周面と二重管部３７７の外周面との間の隙間は、シール部３７４、３７５によって区画され、内部流路３７２から供給された現像液と、外部流路３７１から供給された窒素ガスとが混ざらないようになっている。なお、回転筒３８３の内周面はシール部３７４、３７５の摺動面を介して摺動自在な状態で現像液や窒素ガスの流れる領域が区画されている。
【００２７】
マニホールド部３７に形成された内部流路３７２の上流端は、現像液供給路３９１を介して、ポンプやバルブなどを備えた現像液供給源３００Ａに接続されている。また外部流路３７１の上流端は、窒素ガス供給路３９２を介し窒素ガス供給源３００Ｂに接続されている。  
本例の現像装置１においては、既述のノズル駆動部４２、スピンチャック１１などからなる基板回転部、ノズル回転機構３８などからなるノズル回転部により、ウエハＷとノズルヘッド部３とを相対的に移動させる移動機構が構成されている。
【００２８】
現像装置１には、コンピュータからなる制御部１０が設けられる。制御部１０は、不図示のプログラム格納部を有している。このプログラム格納部には、後述の作用で説明する現像処理を実行させるようにステップが組まれたるプログラムが格納される。制御部１０はこのプログラムに基づいて現像装置１の各部に制御信号を出力し、ノズル駆動部４２、４８によるパッドノズル３１や洗浄液ノズル４５の移動、回転機構３８によるパッドノズル３１の回転、現像液供給源３００Ａ、洗浄液供給源４６からのパッドノズル３１、洗浄液ノズル４５への現像液や洗浄液の供給、窒素ガス供給源３００Ｂからのパッドノズル３１への窒素ガスの供給、スピンチャック１１によるウエハＷの回転、ピン１４の昇降などの各動作が制御される。前記プログラム格納部は、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスクまたはメモリーカードなどの記憶媒体として構成される。
【００２９】
ここで上述の現像装置１に設けられたパッドノズル３１に係る各種の設計変数を例示しておくと、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの上方を移動するパッドノズル３１の水平方向の移動速度は、例えば１０ｍｍ／秒〜１００ｍｍ／秒である。また現像液供給面３１０の直径は、例えば５０ｍｍ〜２００ｍｍである。ウエハＷの回転速度（単位時間当たりの回転数）は、ウエハＷに現像液を吐出したときに液跳ねを抑えるために１００ｒｐｍ以下とすることが好ましく、より好ましくは１０ｒｐｍ〜５０ｒｐｍである。また、パッドノズル３１の回転速度は、例えば５０ｒｐｍ〜１０００ｒｐｍの範囲に調整される。
【００３０】
続いて、図６〜図１０を参照しながら上述の現像装置１を用いて行われる現像処理及び洗浄処理の手順について説明する。ここで図９は当該現像処理のタイムチャートである。本タイムチャートでは、現像処理を開始してからの経過時間（処理時間）と、パッドノズル３１の回転速度及びウエハＷの回転速度との関係を示している。実線のグラフがパッドノズル３１の回転速度（「ケース１」と付記してある）、一点鎖線のグラフがウエハＷの回転速度を夫々示す。また、このタイムチャートには、パッドノズル３１から現像液、窒素ガスが吐出される期間、及び現像液を吐出する間にパッドノズル３１が移動している期間を、各々バンドチャートによって示してある。
【００３１】
先ず、図示しない基板搬送機構によって現像装置１内にウエハＷが搬送され、スピンチャック１１に保持されると、パッドノズル３１が待機領域４４からウエハＷの中央部の上方位置へ移動する。そして、図１０に模式的に示すようにウエハＷの上面から数ｍｍ程度上方側に現像液供給面３１０が配置されるようにパッドノズル３１を降下させる。続いて、パッドノズル３１からウエハＷに現像液を供給すると共に上面側から見て反時計回りにパッドノズル３１を回転させ（図９中の時刻ｔ１）、パッドノズル３１の現像液供給面３１０とウエハＷとの間に、当該現像液供給面３１０に接するように、前記現像液供給面３１０よりも大きい液溜まり３０を形成する。
【００３２】
パッドノズル３１が所定の回転速度に到達したら、その回転速度を維持し、次いで、上面から見て時計回りにウエハＷを回転させる（図６）。ウエハＷの回転速度が例えば１０ｒｐｍに達したら、その回転速度を維持した状態で、例えば１０ｍｍ／秒の移動速度で、ウエハＷの中央部（図９のパッドノズル移動期間を示すバンドチャートに「Ｃ」と記してある）から周縁部（同バンドチャートに「Ｅ」と示してある）へ向けてパッドノズル３１の移動を開始する（図９の時刻ｔ２）。これによって液溜まり３０はパッドノズル３１の現像液供給面３１０に接した状態で、ウエハＷの周縁部へ向けて広げられる（図７）。
【００３３】
液だまり３０を広げる際に、パッドノズル３１が回転していることにより、液だまり３０内の現像液が撹拌され、レジスト膜から現像液中に溶解した成分を含む現像液の濃度が均一化する。この結果、露光後のレジスト膜から現像されるパターンのＣＤ（Critical Dimension）の均一性を高めることができる。なお、パッドノズル３１の回転方向は、上面側から見て反時計回りに回転させる場合に限定されるものではなく、ウエハＷと同様に時計回りに回転してもよい。ただし、図７に示すように、ウエハＷとパッドノズル３１とを互いに逆方向に回転させることにより、現像液を撹拌する力が大きくなり、現像液の濃度の均一性をより高める効果が得られる。
【００３４】
そしてパッドノズル３１の移動を開始してから所定時間、例えば１〜２秒経過後の時刻ｔ３にて、パッドノズル３１の回転を継続したまま、窒素ガス供給孔３１６から窒素ガスの供給を開始する。図４、図５を用いて説明したように、現像液供給孔３１４の形成領域は、窒素ガス供給孔３１６が形成された突条部３１７により現像液供給面３１０の周方向に分割されている。図１０は、これら現像液供給孔３１４の形成領域、及び窒素ガス供給孔３１６の形成領域（突条部３１７）の下方側に形成される液溜まり３０を拡大して模式的に示している。既述のように、パッドノズル３１及びウエハＷは各々回転しているが、図１０中には、パッドノズル３１とウエハＷとの相対的な移動方向を矢印で示してある。
【００３５】
ここで図４、図５には、交互に配置されている現像液供給孔３１４の形成領域、及び窒素ガス供給孔３１６の形成領域（突条部３１７）に、パッドノズル３１の回転方向に沿って（Ａ）〜（Ｅ）の符号を付してある。図１０に示す模式図が、これら領域（Ａ）〜（Ｅ）の下方側に形成される液溜まり３０の様子を示していると考える。このとき、現像液供給孔３１４の形成領域である、領域（Ａ）、（Ｃ）、（Ｅ）においては、現像液供給面３１０とウエハＷとの隙間を満たす現像液の液溜まり３０が形成される。一方で、窒素ガス供給孔３１６の形成領域の下方側では、窒素ガス供給孔３１６から下方側へ向けて吐出される窒素ガスにより、現像液が押し流されて気相部３０１を生じ、液溜まり３０を構成する現像液膜が薄くなる領域である薄膜部３０２が形成される。
【００３６】
このとき、パッドノズル３１とウエハＷとの相対的な移動方向を考慮し、例えば図１０に示したウエハＷ上の（ａ）点に着目する。当該（ａ）点には、領域（Ａ）の液溜まり３０→領域（Ｂ）の薄膜部３０２→領域（Ｃ）の液溜まり３０→領域（Ｄ）の薄膜部３０２→領域（Ｅ）の液溜まり３０→…と、液溜まり３０と、薄膜部３０２とが交互に通過していく。  
なお既述のように、パッドノズル３１は回転しながらウエハＷの中央部側から周縁部側へ向けて移動し、またウエハＷ自体も鉛直軸周りに回転しているので、（ａ）点上を液溜まり３０及び薄膜部３０２が交互に通過していく回数は、これらパッドノズル３１の移動速度やウエハＷの回転速度によって変化する。
【００３７】
このように現像液供給孔３１４の形成領域と窒素ガス供給孔３１６の形成領域とが交互に通過する際の現像処理の進行について説明する。例えばウエハＷ上の（ａ）点が領域（Ａ）の現像液供給孔３１４から供給された現像液の液溜まり３０と接触すると、レジスト膜は露光されたパターンに対応してその一部が現像液中に溶解する。このレジスト膜の溶解に伴って現像液の反応性は低下する。
【００３８】
このように現像液の反応性が低下したところに、領域（Ｂ）の窒素ガス供給孔３１６が移動してくると、窒素ガス供給孔３１６から吐出された窒素ガスによりレジスト膜から溶解した成分を含む現像液が押し流されて薄膜部３０２となる。押し流された現像液は例えば突条部３１７の伸びる方向に沿って流れ、気相部３０１の外方領域へと排出される。
【００３９】
この薄膜部３０２が形成されているところに領域（Ｃ）が到達して現像液供給孔３１４から新たな現像液が供給されると、レジスト膜から溶解した成分を含む現像液の割合が小さくなり、反応性の高い現像液で（ａ）点における現像処理が進行する。
【００４０】
こうして、新たな現像液の供給と、反応性の低下した現像液の押し流しとを交互に実行することにより、時間平均で見たとき（ａ）点に接触する現像液の反応性を高い状態に維持し現像処理に要する時間を短縮することができる。この結果、感度の低い厚膜レジストやＥＵＶ用のレジスト膜を現像する場合においても、現像処理に要する時間の増大を抑えることができる。
【００４１】
以上に説明した観点において、窒素ガス供給孔３１６は、本液溜まり３０（現像液膜）を押し流して薄くするための押し流し機構に相当しているといえる。また窒素ガス供給孔３１６が形成された突状部３１７を挟んで、パッドノズル３１とウエハＷとの相対的な移動方向の前方側に位置する現像液供給孔３１４の形成領域は第１の現像液供給部に相当し、前記移動方向の後方側に位置する現像液供給孔３１４の形成領域は第２の現像液供給部に相当することとなる。従って、図１０の領域（Ａ）、（Ｃ）の関係においては、領域（Ａ）は第１の現像液供給部として機能し、領域（Ｃ）は第２の現像液供給部として機能する。また、図１０の領域（Ｃ）、（Ｅ）の関係においては、領域（Ｃ）は第１の現像液供給部として機能し、領域（Ｅ）は第２の現像液供給部として機能する。
【００４２】
なお、液溜まり３０を押し流すために用いられる気体は、既述の窒素ガスのほか、アルゴンガスなど現像液やレジスト膜との反応性の小さいものを採用するとよい。但し、これら現像液やレジスト膜への影響が小さい場合には、清浄空気などを利用してもよいことは勿論である。
【００４３】
パッドノズル３１は広がる液溜まり３０を追い越さないように、回転しながらウエハＷ上にて移動を続ける。パッドノズル３１による液溜まり３０の追い越しを避ける理由は、追い越しを行うと現像液の液千切れが発生し、複数の液溜まり３０が個別にウエハＷ表面を広がることとなってしまうためである。これら千切れた液溜まり３０の界面同士が合わさると、その影響を受けて当該箇所のレジストパターンのＣＤが、他の箇所におけるレジストパターンのＣＤと異なってしまうおそれがある。この結果、レジストパターンの面内の均一性を示すＣＤＵ（Critical Dimension Uniformity）が低下してしまうため、パッドノズル３１の移動速度は液溜まり３０の追い越しが起きない程度に設定される。
【００４４】
パッドノズル３１がウエハＷの周縁部側に移動し、ウエハＷの全面が現像液の液溜まり３０に覆われると、パッドノズル３１の移動及び現像液の供給を停止する（図８、図９の時刻ｔ４）。ここでウエハＷの全面とは、レジストパターンの形成領域全体の意味であり、例えばウエハＷの周縁部に前記形成領域が設けられていないウエハＷにおいては、当該周縁部に液溜まり３０を形成しなくてもよい。図８では、ウエハＷの周端よりも若干内側まで、液溜まり３０を形成した例を示しているが、ウエハＷの周端まで液溜まり３０によって覆われる状態を形成してもよい。
【００４５】
このようにウエハＷの全面が液溜まり３０で覆われた状態となるまで、パッドノズル３１は回転を継続して現像液の撹拌を行う。そして、パッドノズル３１の移動、及び現像液の供給を停止した後、パッドノズル３１の回転及びウエハＷの回転を停止すると共に、窒素ガス供給孔３１６からの窒素ガスの供給を停止する（図９の時刻ｔ５）。しかる後、パッドノズル３１を上昇させて、パッドノズル３１を待機領域４４まで移動させる。
【００４６】
パッドノズル３１を退避させた後のウエハＷの表面は、静止した液溜まり３０によって覆われた状態となり、ウエハＷの表面全体でレジスト膜と現像液との反応がさらに進行する（不図示）。そして所定時間が経過したら、ウエハＷの中央部の上方位置に洗浄液ノズル４５を移動させると共に、ウエハＷを所定の回転速度で回転させる。そして、洗浄液ノズル４５からウエハＷに洗浄液を供給し、洗浄液に作用する遠心力によりウエハＷの全面に洗浄液を広げて、ウエハＷから現像液の液溜まり３０を除去する（不図示）。次いで洗浄液ノズル４５からの洗浄液の吐出を停止し、ウエハＷの回転を継続すると洗浄液が振り切られ、ウエハＷが乾燥される。然る後、図示しない基板搬送機構により、ウエハＷは現像装置１から搬出される。
【００４７】
本実施の形態に係る現像装置１によれば、以下の効果がある。露光後のレジスト膜が形成されているウエハＷの表面に供給された現像液の液溜まり３０（現像液膜）に窒素ガス供給孔３１６から窒素ガスを吹き付けて、当該液溜まり３０中の現像液を押し流して薄膜部３０２を形成する。この薄膜部３０２が形成された領域に新たな現像液の供給を行うことにより、レジスト膜から現像液膜中に溶解した成分を含む反応性の低下した現像液に替えて反応性の高い現像液膜を形成し、時間平均で見たとき効率的な現像処理を行うことができる。
【００４８】
ここで図９のケース１に例示したように、ウエハＷの中央部側から周縁部側への移動中、パッドノズル３１の回転速度は一定としなければならないといった制約はない。例えば図９中に「ケース２」として破線で示したように、パッドノズル３１がウエハＷの中央部から周縁部に向けて移動するにつれて、次第にその回転速度を上昇させる制御を行ってもよい。図６〜図８を用いて説明した例の如く、ウエハＷの中央部側から周縁部側へ向けて液溜まり３０を広げる場合には、ウエハＷの表面と現像液との接触時間はウエハＷの周縁部側へ向かうほど短くなる。
【００４９】
そこで、図９のケース２では、パッドノズル３１が周縁部側に向かうほど、その回転速度が高くなるようにして現像液の撹拌を促進し、さらにウエハＷの表面を液溜まり３０と薄膜部３０２が交互に形成される回数を多くして、現像液とレジストとの反応性が高くなるようにしている。このようにパッドノズル３１の回転速度を制御することによって、現像処理の効率を向上させつつ、ウエハＷの面内におけるＣＤの均一性が、より高くなるようにしている。
【００５０】
しかし本発明においてパッドノズル３１を鉛直軸周りに回転させることは必須の要件ではない。例えばパッドノズル３１の回転を行わない場合であっても、スピンチャック１１上のウエハＷを回転させつつ、現像液供給孔３１４や窒素ガス供給孔３１６を備えたパッドノズル３１をウエハＷの中央部側から周縁部側に移動させることにより、図１０を用いて説明した液溜まり３０及び薄膜部３０２を形成することができる。この結果、溶解成分を含む現像液を押し流した後、反応性の高い新たな現像液を供給して現像処理を進行させる作用、効果が得られる。
【００５１】
第１の実施形態では液溜まり３０をウエハＷの中央部から周縁部に広げるために、ウエハＷの回転を行っているが、ウエハＷの回転は必須の要件ではない。例えば、パッドノズル３１の現像液供給面３１０を、ウエハＷと同じかそれよりも大きく形成し、現像液供給面３１０をウエハＷに近接させる。そして、現像液供給面３１０における現像液供給孔３１４の形成領域、及び窒素ガス供給孔３１６の形成領域から各々現像液及び窒素ガスを供給し、パッドノズル３１を回転させる。このときパッドノズル３１の横方向の移動は行わないものとする。これによって、現像液供給面３１０の下面では、現像液が撹拌されながら液溜まり３０を形成してウエハＷの中央部から周縁部に向けて広がると共に、ウエハＷの表面の各位置は、液溜まり３０と薄膜部３０２とが交互に通過する。従って、本例においても処理効率を向上させつつ、ＣＤの面内均一性が高い現像処理を行うことができる。
【００５２】
ところでパッドノズル３１を回転させると、現像液供給面３１０の下方の液流れに沿って、現像液供給面３１０よりも若干外側の領域にも液流れが発生する。そのため、上記のようにウエハＷの回転及びパッドノズル３１の横方向の移動を行わずに旋回流を形成する場合においては、パッドノズル３１の現像液供給面３１０の大きさを、ウエハＷの大きさより若干小さくしてもよい。
【００５３】
ここで上述の現像処理が行われる基板は円形のウエハＷに限られず、角型の基板を処理してもよい。なお上記の例では、ウエハＷに形成される液溜まり３０は現像液に限られているが、ウエハＷにパッドノズル３１を用いて洗浄液を液盛りして洗浄処理を行ってもよい。
【００５４】
さらには、パッドノズル３１の移動方向は、ウエハＷの中央部側から周縁部側へ向けて移動させる場合に限定されない。上述の例とは反対に、ウエハＷの周縁部側から中央部側へパッドノズル３１を移動させてもよい。この場合には、液溜まり３０はウエハＷの周縁部側から中央部側へ向けて広がることになるが、ウエハＷの中央部にて、現像液が合流し、異なる界面同士が接触すると、既述のようにＣＤの均一性が低下するおそれもある。そこで、周縁部側から中央部側へのパッドノズル３１は、高いＣＤ均一性が要求されない現像処理などにて採用するとよい。
【００５５】
続いて図１１には、２組のノズルヘッド部３（ノズルヘッド部３Ａ、３Ｂ）を備えた現像装置１ａを示している。ノズルヘッド部３Ａ、３Ｂは図３に示したノズルヘッド部３と共通の構造を備え、各々パッドノズル３１（以下、便宜上、第１のパッドノズル３１Ａ、第２のパッドノズル３１Ｂと呼んで区別することがある）を備えている。これらノズルヘッド部３Ａ、３Ｂはアーム４１を介してノズル駆動部４２に接続され、ガイドレール４３に沿って、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの上方位置と、待機領域４４との間を移動できることも図２に示した現像装置１場合と同様である。これによって、回転、現像液の吐出、及びウエハＷ上での移動動作を、各パッドノズル３１で独立して行うことができる。  
以下、図１１〜図２５を用いて説明する各実施形態においては、図１〜図１０を用いて説明したものと共通の構成要素には、これらの図で用いたものと同じ符号を付してある。
【００５６】
図１２〜図１４を参照して上記現像装置１ａを用いた現像処理について説明する。ここで図１４におけるタイムチャートの構成は、図９にて説明した例とほぼ同様であるが、各第１のパッドノズル３１Ａ、第２のパッドノズル３１Ｂからの現像液、及び窒素ガスの供給タイミングをまとめて示してある点が図９に示した例と異なる。また、第１のパッドノズル３１Ａの回転速度の変化を実線で示し、第２のパッドノズル３１Ｂの回転速度の変化を二点鎖線で示している。
【００５７】
先ず、静止したウエハＷの中央部の上方位置に第１のパッドノズル３１Ａを移動させ、所定の高さ位置まで降下させた後、第１のパッドノズル３１ＡからウエハＷに現像液を供給すると共に第１のパッドノズル３１Ａを上面側から見て反時計回りに回転させる点については、図６に示したパッドノズル３１の場合と同様なので、別途の図示を省略する（図１４の時刻ｔ１）。次いでウエハＷを回転させ、所定の回転速度に達したらウエハＷの周縁部側へ向けて第１のパッドノズル３１Ａの移動を開始し、移動開始時点から所定時間経過後に窒素ガス供給孔３１６からの窒素ガスの供給を開始する（図１４の時刻ｔ２）。
【００５８】
こうして現像液の液溜まり３０をウエハＷの中央部側から周縁部側へ向けて広げながら、第１のパッドノズル３１Ａが予め定めた位置に到達するタイミングにて、図１２に示すようにウエハＷの中央部を挟んで当該中央部からの距離が第１のパッドノズル３１Ａ、第２のパッドノズル３１Ｂでほぼ同じとなる位置に第２のパッドノズル３１Ｂを進入させる。そして当該第２のパッドノズル３１Ｂにおいても第２のパッドノズル３１Ｂの回転、現像液供給孔３１４からの現像液の供給、窒素ガス供給孔３１６からの窒素ガスの供給を順次開始すると共に、第１のパッドノズル３１Ａとは反対の方向へ第２のパッドノズル３１Ｂを移動させる（図１４の時刻ｔ３）。
【００５９】
こうして第１、第２のパッドノズル３１Ａ、３１ＢをウエハＷの中央部側から周縁部側に向かって移動させ、両パッドノズル３１Ａ、３１Ｂが周縁部に到達してウエハＷの全面に液溜まり３０が形成されたら、各パッドノズル３１Ａ、３１Ｂの移動を停止する（図１３、図１４の時刻ｔ４）。しかる後、両パッドノズル３１Ａ、３１Ｂ、及びウエハＷの回転停止と、これらパッドノズル３１Ａ、３１Ｂからの現像液、及び窒素ガスの供給停止とを実行する（図１４の時刻ｔ５）。  
両パッドノズル３１Ａ、３１Ｂからの現像液の吐出を停止した後は、図８を用いて説明した例と同様に現像液の液溜まり３０により、レジスト膜の反応を進行させ、所定の時間経過後に、ウエハＷの回転及び洗浄液の供給を実行して、現像液をウエハＷから除去する。
【００６０】
これら２つのパッドノズル３１Ａ、３１ＢがウエハＷ上を移動する際にも、各現像液供給面３１０における現像液供給孔３１４の形成領域では現像液が吐出され、窒素ガス供給孔３１６の形成領域では窒素ガスが吐出される。これにより、図１０に示すように処理対象のウエハＷの表面を液溜まり３０と、薄膜部３０２とが交互に通過して効率的な現像処理が実現される点については図１、図２に示した現像装置１と同様である。
【００６１】
２つのパッドノズル３１Ａ、３１Ｂを用いる本実施の形態に係わる現像装置１ａにおいては、ウエハＷの中央部は、第１のパッドノズル３１Ａを用いた現像処理が行われ、第１のパッドノズルがウエハＷの中央部から周縁部寄りの所定位置に移動した後、周縁部に至るまでは、２つのパッドノズル３１Ａ、３１Ｂを用いて現像処理が行われる。各パッドノズル３１Ａ、３１Ｂでは図１０を用いて説明した現像処理が繰り返し行われ、ウエハＷの表面を液溜まり３０及び薄膜部３０２が交互に通過していく回数が増加し、より高い処理効率にて均一な現像処理を実行することができる。
【００６２】
この結果、処理時間の短縮を図りつつ、ウエハＷの面内におけるレジストパターンのＣＤの均一性を、より確実に向上させることができる。特に、ウエハＷの大型化に伴って、処理面積が広くなるウエハＷの周縁部側においては液溜まり３０中に溶解する成分の量が多くなり、現像液の反応性が低下し易くなるおそれがあるため、このように複数のパッドノズル３１Ａ、３１Ｂを用いて現像処理を行う方式が有効である。  
ここでこれら図９のケース２に示したように、パッドノズル３１Ａ、３１Ｂの一方側、または双方において、パッドノズル３１Ａ、３１Ｂが周縁部側に向かうほど、その回転速度が高くなるように回転速度の制御を行ってもよい。
【００６３】
（第２の実施形態）
図１５〜図２０を用いて説明する第２の実施形態に係わる現像装置１ｂは、スリット形状の現像液供給孔である複数の現像液供給スリット３１８ａ、３１８ｂを備えたノズルヘッド部であるスリットノズル部３１Ｃがアーム４１の先端部に固定して設けられている点が、回転するパッドノズル３１の現像液供給面３１０に多数の現像液供給孔３１４が形成された第１の実施形態に係わる現像装置１と異なる。
【００６４】
図１５、図１６に示すように、本例のスリットノズル部３１Ｃは、アーム４１側から見て、左右方向に細長い直方体形状のスリットノズル部３１Ｃの本体が当該アーム４１の先端部に固定して設けられている。スリットノズル部３１Ｃの左右方向の幅は、処理対象のウエハＷの半径よりも短く、その底面には左右方向に直線状に伸びるように形成された２本の現像液供給スリット３１８ａ、３１８ｂが互いにほぼ平行に、前後に離間して配置されている。またスリットノズル部３１Ｃの底面の、互いに離間して配置された現像液供給スリット３１８ａ、３１８ｂの間に挟まれる位置には、これら現像液供給スリット３１８ａ、３１８ｂとほぼ平行に直線状に伸びる気体供給孔である窒素ガス供給スリット３１６ａが設けられている。
【００６５】
図１６に破線で示すように、スリットノズル部３１Ｃの本体の内部は各スリット３１８ａ、３１８ｂ、３１６ａに対応して区画されている。そして既述の現像液供給源３００Ａから現像液供給路３９１ａ、３９１ｂを介して各現像液供給スリット３１８ａ、３１８ｂに現像液が供給され、また窒素ガス供給源３００Ｂから窒素ガス供給路３９２を介して窒素ガス供給スリット３１６ａに窒素ガスが供給される。従って本例では第１の現像液供給スリット３１８ａが第１の現像液供給部に相当し、第２の現像液供給スリット３１８ｂが第２の現像液供給部に相当する。また、窒素ガス供給スリット３１６ａが気体供給部に相当する。
【００６６】
図１６に示すように、現像液供給スリット３１８ａ、３１８ｂはスリットノズル部３１Ｃの底面よりも下方側に突出していて、スピンチャック１１に保持されたウエハＷと直交する方向へ向けて下方側へ現像液を吐出する。一方、窒素ガス供給スリット３１６ａは第２の現像液供給スリット３１８ｂが配置されている後方側へ向けて斜め下方に窒素ガスを吐出する。また窒素ガス供給スリット３１６ａは、前後に離間して設けられた現像液供給スリット３１８ａ、３１８ｂの間の第１の現像液供給スリット３１８ａ寄りの位置に配置されている。  
なおここで、窒素ガス供給スリット３１６ａが窒素ガスを吐出する方向は、斜め後方側に向けて吐出するように設定する場合に限られるものではなく、現像液供給スリット３１８ａ、３１８ｂと同様に、下方側へ向けて窒素ガスを吐出する構成としてもよい。
【００６７】
図１５に示すようにアーム４１は、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの中央部の上方を通過可能な位置にてスリットノズル部３１Ｃを保持している。また、スリットノズル部３１Ｃに形成された各スリット３１８ａ、３１８ｂ、３１６ａは、スリットノズル部３１Ｃの移動方向に沿った方向に伸びている。  
本例の現像装置１ｂにおいては、既述のノズル駆動部４２、スピンチャック１１などからなる基板回転部により、ウエハＷとノズルヘッド部３とを相対的に移動させる移動機構が構成されている。
【００６８】
図１７〜図２０を参照して上述のスリットノズル部３１Ｃを用いたウエハＷの現像処理について説明する。図１９のタイムチャートには、各現像液供給スリット３８１ａ、３８１ｂ、窒素ガス供給スリット３１６ａからの現像液、窒素ガスの供給期間及びスリットノズル部３１Ｃの移動期間をバンドチャート表示してある。また、本例では回転速度のグラフはウエハＷの回転速度のみを示している。
【００６９】
先ず、静止したウエハＷの中央部の上方位置にスリットノズル部３１Ｃを移動させ、所定の高さ位置まで降下させた後、ウエハＷの回転を開始すると共に、ウエハＷの周縁部側へ向けてスリットノズル部３１Ｃの移動を開始する（図１９の時刻ｔ１）。そしてウエハＷが所定の回転速度に達した時刻ｔ２にて第１の現像液供給スリット３１８ａからの現像液の供給、及び窒素ガス供給スリット３１６ａからの窒素ガスの供給を開始する。このとき、現像液の供給を開始するタイミングは、第１の現像液供給スリット３１８ａにおけるウエハＷの中央部側の一端が、当該ウエハＷの中心の上方をカバーする位置から移動してしまう前に現像液の供給を開始することが好ましい。これにより、ウエハＷの中央部にも現像液の液溜まり３０を形成することができる。
【００７０】
第１の現像液供給スリット３１８ａから回転するウエハＷに現像液を吐出するとき、図１７に示すように当該第１の現像液供給スリット３１８ａは、ウエハＷの半径方向に伸びるように配置されている。このため、第１の現像液供給スリット３１８ａの形状に対応して形成される現像液の吐出領域は、スリットノズル部３１Ｃに対するウエハＷの相対的な移動方向と交差する方向に線状に伸びるように形成される。また、窒素ガス供給スリット３１６ａの形状に対応して形成される窒素ガスの吐出領域（気体吐出領域）についてもスリットノズル部３１ＣとウエハＷとの相対的な移動方向と交差する方向に線状に伸びるように形成されることとなる。
【００７１】
そして、第１の現像液供給スリット３１８ａ、窒素ガス供給スリット３１６ａから現像液、窒素ガスの供給を開始してから所定時間経過後のタイミングにて、第２の現像液供給スリット３１８ｂより現像液の供給を開始する（図１９の時刻ｔ３）。第２の現像液供給スリット３１８ｂの形状に対応して形成される現像液吐出領域についても、スリットノズル部３１Ｃに対するウエハＷの相対的な移動方向と交差する方向に線状に伸びるように形成される。
【００７２】
従って図２０に示すように、スリットノズル部３１Ｃの下方側においては、第１の現像液供給スリット３１８ａ、第２の現像液供給スリット３１８ｂの下方位置にて、前記相対的な移動方向（図２０中に矢印で示してある）と交差する方向に２本の現像液吐出領域が形成され、当該領域は現像液の液溜まり３０となる。一方、第１の現像液供給スリット３１８ａ、第２の現像液供給スリット３１８ｂの間に配置された窒素ガス供給スリット３１６ａから供給された窒素ガスが吹き付けられる窒素ガス吐出領域では、現像液が押し流されて気相部３０１が発生し、液溜まり３０を構成する現像液膜が薄くなる領域である薄膜部３０２が形成される。
【００７３】
このとき、例えば図２０に示したウエハＷ上の（ａ）点に着目すると、当該（ａ）点は、第１の現像液供給スリット３１８ａの現像液吐出領域の液溜まり３０→窒素ガス供給スリット３１６ａ窒素ガス吐出領域の薄膜部３０２→第２の現像液供給スリット３１８ｂの現像液吐出領域の液溜まり３０を通過していく。この結果、図１０を用いて説明したパッドノズル３１の作用と同様に、新たな現像液の供給と、反応性の低下した現像液の押し流しとが交互に実行されて時間平均で見たとき（ａ）点に接触する現像液の反応性を高い状態に維持し現像処理に要する時間を短縮することができる。
【００７４】
こうして第１の現像液供給スリット３１８ａ、第２の現像液供給スリット３１８ｂからの現像液の供給、窒素ガス供給スリット３１６ａからの窒素ガスの供給を行いながらスリットノズル部３１ＣをウエハＷの周縁部側に移動させ、ウエハＷの全面が現像液の液溜まり３０で覆われた状態となったら、スリットノズル部３１Ｃの移動、及び第１の現像液供給スリット３１８ａ、窒素ガス供給スリット３１６ａからの現像液、窒素ガスの供給を停止する（図１８、図１９の時刻ｔ４）。次いで、所定時間経過後、ウエハＷの回転を停止したタイミングで第２の現像液供給スリット３１８ｂからの現像液の吐出を停止する（図１９の時刻ｔ５）。
スリットノズル部３１Ｃからの現像液の供給を停止した後は、図８を用いて説明した例と同様に現像液の液溜まり３０により、レジスト膜の反応を進行させ、所定の時間経過後に、ウエハＷの回転及び洗浄液の供給を実行して、現像液をウエハＷから除去する。
【００７５】
本例においては図１５に示した現像装置１ｂの如くスリットノズル部３１Ｃを１組だけ設ける場合に限定されるものではない。例えば図１１に示した現像装置１ａと同様に２組のスリットノズル部３１Ｃを設けてウエハＷの処理を行ってもよい。
【００７６】
またアーム４１によってスリットノズル部３１Ｃを移動させながら処理を行うことも必須ではない。例えば左右方向の幅がウエハＷの半径よりも長い第１の現像液供給スリット３１８ａ、第２の現像液供給スリット３１８ｂ、窒素ガス供給スリット３１６ａを備えたスリットノズル部３１Ｃを設け、これらのスリット３１８ａ、３１８ｂ、３１６ａがウエハＷの半径がカバーされるようにスリットノズル部３１Ｃを配置してもよい。そしてウエハＷを回転させながら各スリット３１８ａ、３１８ｂ、３１６ａより現像液、窒素ガスを供給すると、図２０に示した例と同様の作用を発揮させつつ、ウエハＷの全面に現像液の液溜まり３０を形成することができる。
【００７７】
さらに図２１に示すように、ウエハＷの一端から他端に亘る領域をカバーする長さの第１の現像液供給スリット３１８ａ、第２の現像液供給スリット３１８ｂ及び窒素ガス供給スリット３１６ａを備えるスリットノズル部３１Ｄを設け、ウエハＷを停止した状態で、不図示のノズル駆動機構（移動機構）によりスリットノズル部３１ＤをウエハＷの一端側から他端側まで移動させて現像液の液溜まり３０を形成してもよい。
【００７８】
またスリットノズル部３１Ｃ、３１Ｄにおいて、ウエハＷの相対的な移動方向と交差する方向に線状に伸びる現像液吐出領域、窒素ガス吐出領域を形成する手法は、スリット３１８ａ、３１８ｂ、３１６ａを用いる場合に限定されない。例えば、複数個の供給孔を前記交差方向に向けて線状に並べて配置し、これらの複数の供給孔から同時に現像液や窒素ガスを供給することにより、線状に伸びる現像液吐出領域、窒素ガス吐出領域を形成してもよい。
【００７９】
さらには、複数の現像液吐出領域間に、窒素ガス吐出領域を形成する手法は、図１６に示したスリットノズル部３１Ｃの如く、１本ずつ形成された第１の現像液供給スリット３１８ａ、第２の現像液供給スリット３１８ｂ間に１本の窒素ガス供給スリット３１６ａを配置する構成に限定されない。複数本ずつ設けられた第１の現像液供給スリット３１８ａ、第２の現像液供給スリット３１８ｂ間に複数本の窒素ガス供給スリット３１６ａを配置してもよい。これらに加えて例えばスリットノズル部３１Ｃの前後方向の幅をさらに広げ、第１の現像液供給スリット３１８ａの前方や第２の現像液供給スリット３１８ｂの後方に、窒素ガス供給スリットと現像液供給スリットの組を追加して設けてもよい。
【００８０】
（第３の実施形態）
第３の実施形態に係わる現像処理では、例えば図１１に示す２つのパッドノズル３１Ａ、３１Ｂを備えた現像装置１ａを用い、これらのパッドノズル３１Ａ、３１Ｂの相対的な移動動作を利用して、現像液の液溜まり３０や薄膜部３０２の形成を行う。現像装置１ａの構成については図１１に示したものと同様なので、再度の説明を省略する。
【００８１】
図２２〜図２７を用いて本例の現像処理を説明すると、本例においては図２２に示すように第２のパッドノズル３１ＢをウエハＷの中央部の上方位置に移動させ、第１のパッドノズル３１Ａを前記中央位置よりもやや側方に外れた位置（図２６のバンドチャート中に「Ｍ」と記してある）に移動させる。
【００８２】
そしてウエハＷ及び両パッドノズル３１Ａ、３１Ｂを回転させると共に第２のパッドノズル３１ＢからウエハＷの中央部に向けて現像液供給孔３１４からの現像液の供給を開始する（図２２、図２６の時刻ｔ１）。これらの動作と並行して、第１のパッドノズル３１ＡはウエハＷの中央部から周縁部側へと移動し、第２のパッドノズル３１Ｂは既述の中央位置よりもやや側方に外れた位置から第１のパッドノズル３１Ａと同じ方向へ向けて移動する。このとき、第１のパッドノズル３１Ａの移動速度は、第２のパッドノズル３１Ｂの移動速度よりも遅くなるように制御される。
【００８３】
そして、第１のパッドノズル３１ＡがウエハＷの中央部近傍位置に移動したタイミングにて第１のパッドノズル３１Ａからの現像液の供給を開始する（図２３、図２６の時刻ｔ２）。ここで第２のパッドノズル３１Ｂを移動させながら現像液の供給を実行すると、ウエハＷの表面を広がる液溜まり３０ａに働く慣性の影響で当該液溜まり３０ａの中央部側の現像液が周縁部側へと押し流され、図２７に示すように中央部側に現像液膜が薄くなる領域である薄膜部３０２が形成される。
【００８４】
この第２のパッドノズル３１Ｂの移動方向の上流側の位置にて、第１のパッドノズル３１Ａから現像液を供給すると、薄膜部３０２に新たな現像液が供給されて液溜まり３０ｂとなる。この結果、ウエハＷ上の（ａ）点に着目すると、当該（ａ）点は、第２のパッドノズル３１Ｂによって形成された液溜まり３０ａ→第２のパッドノズル３１Ｂの移動に伴って形成される薄膜部３０２→第１のパッドノズル３１Ａによって形成された液溜まり３０ｂを通過していく。従って、図１０を用いて説明したパッドノズル３１の作用と同様に、新たな現像液の供給と、反応性の低下した現像液の押し流しとが交互に実行されて時間平均で見たとき（ａ）点に接触する現像液の反応性を高い状態に維持し現像処理に要する時間を短縮することができる。
【００８５】
こうして第２のパッドノズル３１Ｂからの現像液の供給、及び当該第２のパッドノズル３１Ｂの移動方向の上流側の位置における第１のパッドノズル３１Ａからの現像液の供給を行い、第２のパッドノズル３１ＢがウエハＷの周縁部に到達したら、第２のパッドノズル３１Ｂの回転、及び現像液の供給を停止する（図２４、図２６の時刻ｔ３）。そして第２のパッドノズル３１Ｂは待機領域４４へと退避させる。
【００８６】
この期間中においても第１のパッドノズル３１Ａは、第２のパッドノズル３１Ｂの移動経路を辿ってウエハＷの周縁部側へ移動しながら現像液の供給を継続する。そして第１のパッドノズル３１ＡがウエハＷの周縁部に到達したら、第１のパッドノズル３１Ａの回転、及び現像液の供給を停止する（図２５、図２６の時刻ｔ４）。この結果、ウエハＷの全面が現像液の液溜まり３０ｂで覆われた状態となる。  
第２のパッドノズル３１Ｂからの現像液の供給を停止した後は、図８を用いて説明した例と同様に現像液の液溜まり３０により、レジスト膜の反応を進行させ、所定の時間経過後に、ウエハＷの回転及び洗浄液の供給を実行して、現像液をウエハＷから除去する。
【００８７】
上述の現像処理において、第２のパッドノズル３１Ｂは第１の現像液供給部に相当し、第１のパッドノズル３１Ａは第２の現像液供給部に相当する。また図１１に示した２つのノズル駆動部４２は、各々のパッドノズル３１Ｂ、３１Ａからの現像液の供給位置を調整するための第１の供給位置調整部、第２の供給位置調整部に相当している。  
さらにここで、第１のパッドノズル３１Ａの移動速度は、第２のパッドノズル３１Ｂの移動速度よりも遅くすることは必須ではなく、両バッドノズル３１Ａ、３１Ｂの移動速度を同じにしてもよい。この場合は、第１のパッドノズル３１Ａが第２のパッドノズル３１Ｂに追いつかないタイミングで第２のパッドノズル３１Ｂに遅れて、第１のパッドノズル３１Ａの移動を開始するとよい。
【００８８】
以上、図２２〜図２７を用いて説明した現像処理方法においては、第２のパッドノズル３１Ｂと第１のパッドノズル３１Ａとの相対的な移動動作を利用して、ウエハＷの全面を液溜まり３０ａ→薄膜部３０２→液溜まり３０ｂに接触させて効率的な現像処理を行う。このため、例えば図４に示すパッドノズル３１の窒素ガス供給孔３１６から窒素ガスの供給を行わなくても、２つの第２のパッドノズル３１Ｂ、第１のパッドノズル３１Ａ間に薄膜部３０２が形成される。
【００８９】
よって、パッドノズル３１に窒素ガス供給孔３１６を設けることは必須ではない。例えば図３に示すパッドノズル３１に形成される現像液供給路３１１を現像液供給面３１０の下面に向けて開口させ、現像液供給面３１０とウエハＷとの間の隙間に現像液供給路３１１から供給された現像液を広げると共に、パッドノズル３１を回転させて現像液を撹拌する構成のノズルヘッド部３を採用してもよい。なお窒素ガス供給孔３１６を備えるパッドノズル３１を利用することにより、各パッドノズル３１Ａ、３１Ｂの下方領域での新たな現像液の供給、薄膜部３０２の形成が繰り返され、より効果的に現像処理を実行できることは勿論である。
【００９０】
さらには、図２２〜図２７を用いて説明した現像処理方法においては図１６などに示すスリットノズル部３１Ｃを利用してもよいし、現像液の供給配管の下端が開口しているストレートノズルを用いてよい。  
また、第２のパッドノズル３１Ｂの移動経路を辿って第１のパッドノズル３１Ａが移動しながら現像液を供給して液溜まり３０ｂを形成することも必須ではない。例えば第２のパッドノズル３１Ｂの移動方向の上流側の位置であるウエハＷの中央部に停止して現像液を供給してもよい。
【実施例】
【００９１】
（実験）
図３に示すように鉛直軸周りに回転自在な状態でノズルヘッド部３に保持され、現像液供給路３１１がパッドノズル３１の下面に直接開口するパッドノズル３１を用いて現像液の供給を行い、パッドノズル３１を回転させるタイミングや回転時間と、パッドノズル３１の下方側に形成されるパターンのＣＤとの関係を調べた。なお、パッドノズル３１の現像液供給面３１０には、現像液供給孔３１４や窒素ガス供給孔３１６は形成されていない。  
Ａ．実験条件  
（参考例１−１）直径１０ｃｍのパッドノズル３１を用いて、合計６０秒間現像液を供給し、後半の２０秒間だけパッドノズル３１を回転させた。  
（参考例１−２）６０秒間の現像液供給期間の内、中盤の２０秒間だけパッドノズル３１を回転させた。  
（参考例１−３）６０秒間の現像液供給期間の内、前半の２０秒間だけパッドノズル３１を回転させた。  
（参考例１−４）６０秒間の現像液供給期間の内、５秒間パッドノズル３１を回転させ、その後１０秒間パッドノズル３１の回転を停止する動作を４回繰り返した。
（参考例１−５）５０秒間の現像液を供給し、その期間中パッドノズル３１の回転動作を継続した。  
（参考例１−６）６０秒間の現像液供給期間の内、最初の１秒間だけパッドノズル３１を回転させた。  
（参考例１−７）６０秒間の現像液供給期間の内、最初の５秒間だけパッドノズル３１を回転させた。  
（比較例１−１）５０秒間の現像液を供給し、その期間中パッドノズル３１の回転は行わなかった。
【００９２】
Ｂ．実験結果
図２８に、参考例１−１〜１−５、比較例１−１に係わる実験結果を示し、図２９に参考例１−１、１−３、１−６〜１−７係わる実験結果を示す。各グラフにおいて、棒グラフの高さは現像されたパターンのＣＤ［ｎｍ］を示しており、当該ＣＤの値が小さいほど、現像処理が進行していることを示している。
【００９３】
図２８に示した実験結果によれば、パッドノズル３１の回転時間を長くするほど、現像処理が進行する一方（参考例１−５）、パッドノズル３１の回転時間を揃えた場合には、現像液の供給開始時に近いタイミングで回転を行うほど現像処理が進行することが分かる（参考例１−１〜１−３）。また図２９に示すように、パッドノズル３１の回転時間が短い場合であっても、現像液の供給開始直後に回転を行った方が、現像液の供給期間の後半に長くパッドノズル３１を回転させる場合よりも、現像処理を進行させる効果が高い（参考例１−６、１−７、１−１）。
【００９４】
パッドノズル３１を回転させる動作は、現像液供給面３１０とウエハＷとの間に形成される現像液の液溜まり３０を撹拌し、現像液の濃度を均一にする効果がある。このとき、現像液の供給直後に撹拌を行った方が現像処理を進行させる効果が高いということは、現像液とレジスト膜との界面付近では、現像液がレジスト膜に接触した直後に溶解成分の影響により反応性の低下の影響が現れることを示している。従って、本発明のように現像液の液溜まり３０を形成した後、直ちに現像液を押し流して薄膜部３０２を形成し、次いで新しい現像液を供給することにより、反応性の低下を抑えて現像処理を進行させる効果が得られることが分かる。
【符号の説明】
【００９５】
Ｗ          ウエハ
１、１ａ、1ｂ
現像装置
１１      スピンチャック
３、３Ａ、３Ｂ
ノズルヘッド部
３０、３０ｂ
液溜まり
３０２      薄膜部
３１、        パッドノズル
３１Ｃ、３１Ｄ
スリットノズル部
３１０      現像液供給面
３１６      窒素ガス供給孔
３１６ａ    窒素ガス供給スリット
３１８ａ    第１の現像液供給スリット
３１８ｂ    第２の現像液供給スリット
３８        ノズル回転機構
３８３      回転筒
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【手続補正書】
【提出日】平成30年4月23日(2018.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の現像装置は、露光後のレジスト膜が形成されている円形の基板を水平に保持する基板保持部と、
前記基板を鉛直軸周りに回転させる基板回転部と、
各々、前記基板保持部に保持された基板の半径よりも短い線状に形成され、前記基板保持部に保持された基板に現像液の供給を行う第１の現像液供給孔と、前記第１の現像液供給孔に沿った方向に形成され、前記基板に現像液の供給を行う第２の現像液供給孔と、前記第１の現像液供給孔に沿った方向に形成されると共に、当該第１の現像液供給孔と第２の現像液供給孔との間に配置され、前記基板に供給された現像液を押し流す気体の供給を行う気体供給孔とを備え、前記第１の現像液供給孔が第２の現像液供給孔に対して、前記基板の回転方向に対する相対的な移動方向の前方側に位置するように、前記基板保持部に保持された基板の表面に対向して配置されたノズルヘッド部と、
前記ノズルヘッド部を基板の中央部側から周縁部側へ移動させるノズル駆動部と、
基板を回転させた状態で、前記第１、第２の現像液供給孔からの現像液の供給と、前記気体供給孔からの気体の供給とを行いながら、前記ノズルヘッド部を基板の中央部側から周縁部側へ移動させるステップと、前記ノズルヘッド部が前記基板の周縁部に到達した後、当該ノズルヘッド部の移動、前記第１の現像液供給孔からの現像液の供給、及び前記気体供給孔からの気体の供給を停止するステップと、次いで、所定時間の経過後、前記第２の現像液供給孔からの現像液の供給、及び基板の回転を停止するステップと、を実行させるように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記現像装置は、以下の構成を備えていてもよい。
（ａ）前記気体供給孔は、前記第２の現像液供給孔が配置されている方向へ向けて斜め下方に気体を吐出するように設けられていること。
（ｂ）前記ノズルヘッド部を２組備え、ノズルヘッド部を基板の中央部側から周縁部側へ移動させるステップでは、これらのノズルヘッド部を互いに反対の方向へ移動させること。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
そしてウエハＷ及び両パッドノズル３１Ａ、３１Ｂを回転させると共に第２のパッドノズル３１ＢからウエハＷの中央部に向けて現像液供給孔３１４からの現像液の供給を開始する（図２２、図２６の時刻ｔ１）。これらの動作と並行して、第２のパッドノズル３１ＢはウエハＷの中央部から周縁部側へと移動し、第１のパッドノズル３１Ａは既述の中央位置よりもやや側方に外れた位置から第２のパッドノズル３１Ｂと同じ方向へ向けて移動する。このとき、第２のパッドノズル３１Ｂの移動速度は、第１のパッドノズル３１Ａの移動速度よりも遅くなるように制御される。