(57)【要約】【課題】基体と蓋体とを接合する接合部材へのクラックの発生を抑制することのできる機能素子、機能素子モジュール、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】機能素子は、凹部を有する基体と、平面視で、前記凹部と重なるように前記基体に固定されている素子部と、前記基体との間に前記素子部を収納するように配置されている蓋体と、前記基体と前記蓋体との間に位置し、前記基体と前記蓋体とを接合している接合部材と、を有している。また、前記凹部は、平面視で、第１方向に延在している第１縁部と、前記第１方向と交差する第２方向に延在している第２縁部と、前記第１縁部と前記第２縁部とが交わる部分に配置され、前記凹部の内側に突出する突出部と、を有している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹部を有する基体と、
平面視で、前記凹部と重なるように前記基体に固定されている素子部と、
前記基体との間に前記素子部を収納するように配置されている蓋体と、
前記基体と前記蓋体との間に位置し、前記基体と前記蓋体とを接合している接合部材と、を有し、
前記凹部は、平面視で、第１方向に延在している第１縁部と、前記第１方向と交差する第２方向に延在している第２縁部と、前記第１縁部と前記第２縁部とが交わる部分に配置され、前記凹部の内側に突出する突出部と、を有していることを特徴とする機能素子。
【請求項２】
前記蓋体は、前記接合部材を介して前記基体に接合されている接合面を有し、
前記突出部は、平面視で、前記接合面よりも前記凹部の中心側に位置する部分を有している請求項１に記載の機能素子。
【請求項３】
前記突出部の一部に前記接合部材が配置されている請求項１または２に記載の機能素子。
【請求項４】
前記突出部は、前記凹部の内側に向けて凸となる角部を有している請求項１なしい３のいずれか１項に記載の機能素子。
【請求項５】
前記突出部は、平面視で、前記第１縁部と交わる第１延在部と、前記第２縁部と交わる第２延在部と、を有し、前記第１延在部と前記第２延在部とが交わることで前記角部が形成されている請求項４に記載の機能素子。
【請求項６】
前記第１縁部と前記第１延在部とのなす角および前記第２縁部と前記第２延在部とのなす角は、それぞれ、９０°以上である請求項５に記載の機能素子。
【請求項７】
前記第１縁部と前記突出部との接続部および前記第２縁部と前記突出部との接続部は、それぞれ、平面視で、前記凹部の外側に凸となるように湾曲している請求項１ないし６のいずれか１項に記載の機能素子。
【請求項８】
前記接合部材は、低融点ガラスである請求項１ないし７のいずれか１項に記載の機能素子。
【請求項９】
前記素子部は、角速度および加速度の少なくとも一方を検出可能である請求項１ないし８のいずれか１項に記載の機能素子。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の機能素子を有することを特徴とする機能素子モジュール。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の機能素子を有することを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の機能素子を有することを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能素子、機能素子モジュール、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、角速度等の物理量を検出可能な複合センサーとして、特許文献１の構成が知られている。特許文献１の複合センサーは、凹部を有する基体と、凹部と重なるようにして基体に固定された角速度センサー素子と、基体との間に角速度センサー素子を収納するように基体に接合された蓋体と、を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−６９５８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、特許文献１では、基体と蓋体との接合方法として陽極接合を用いているが、これとは別の方法として、基体と蓋体とをガラスフリット（低融点ガラス）等の接合部材を介して接合する方法も知られている。基体と蓋体とをガラスフリットを介して接合する場合には、蓋体の接合面にガラスフリットを塗布し、ガラスフリットを塗布した面を基体に押し付けることで基体と蓋体とを接合するが、蓋体を基体に押し付ける際にガラスフリットがはみ出して基体の凹部内に侵入してしまう場合がある。このように、ガラスフリットが基体の凹部に侵入してしまうと、膨張、収縮によってガラスフリットの当該部分にクラックが発生し易くなる。
【０００５】
本発明の目的は、基体と蓋体とを接合する接合部材へのクラックの発生を抑制することのできる機能素子、機能素子モジュール、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
【０００７】
本発明の機能素子は、凹部を有する基体と、
平面視で、前記凹部と重なるように前記基体に固定されている素子部と、
前記基体との間に前記素子部を収納するように配置されている蓋体と、
前記基体と前記蓋体との間に位置し、前記基体と前記蓋体とを接合している接合部材と、を有し、
前記凹部は、平面視で、第１方向に延在している第１縁部と、前記第１方向と交差する第２方向に延在している第２縁部と、前記第１縁部と前記第２縁部とが交わる部分に配置され、前記凹部の内側に突出する突出部と、を有していることを特徴とする。
これにより、接合部材の凹部内への侵入を効果的に抑制することができ、接合部材へのクラックの発生を効果的に抑制することができる。
【０００８】
本発明の機能素子では、前記蓋体は、前記接合部材を介して前記基体に接合されている接合面を有し、
前記突出部は、平面視で、前記接合面よりも前記凹部の中心側に位置する部分を有していることが好ましい。
これにより、接合面と凹部の外縁との間に、十分な距離を設けることができ、凹部内への接合部材の侵入をより効果的に抑制することができる。
【０００９】
本発明の機能素子では、前記突出部の一部に前記接合部材が配置されていることが好ましい。
これにより、例えば、基体と蓋体との熱膨張係数の違いによる熱歪み等の応力が生じた場合に、前記応力を接合部材が効果的に緩和し、前記応力が素子部に伝わることを効果的に抑制することができる。
【００１０】
本発明の機能素子では、前記突出部は、前記凹部の内側に向けて凸となる角部を有していることが好ましい。
これにより、接合面と凹部との離間距離をより長くすることができ、接合部材の凹部内への侵入をより効果的に抑制することができる。
【００１１】
本発明の機能素子では、前記突出部は、平面視で、前記第１縁部と交わる第１延在部と、前記第２縁部と交わる第２延在部と、を有し、前記第１延在部と前記第２延在部とが交わることで前記角部が形成されていることが好ましい。
これにより、突出部の形状を簡単なものとしつつ角部を形成することができる。
【００１２】
本発明の機能素子では、前記第１縁部と前記第１延在部とのなす角および前記第２縁部と前記第２延在部とのなす角は、それぞれ、９０°以上であることが好ましい。
これにより、仮に、凹部内に接合部材が侵入した場合でも、当該部分へのクラックの発生を効果的に抑制することができる。
【００１３】
本発明の機能素子では、前記第１縁部と前記突出部との接続部および前記第２縁部と前記突出部との接続部は、それぞれ、平面視で、前記凹部の外側に凸となるように湾曲していることが好ましい。
これにより、仮に、凹部内に接合部材が侵入した場合でも、当該部分へのクラックの発生を効果的に抑制することができる。
【００１４】
本発明の機能素子では、前記接合部材は、低融点ガラスであることが好ましい。
これにより、接合部材の構成が簡単なものとなる。
【００１５】
本発明の機能素子では、前記素子部は、角速度および加速度の少なくとも一方を検出可能であることが好ましい。
これにより、機能素子を角速度や加速度を検出することのできる物理量センサーとして用いることができ、機能素子の利便性が向上する。
【００１６】
本発明の機能素子モジュールは、本発明の機能素子を有することを特徴とする。
これにより、本発明の機能素子の効果を享受でき、信頼性の高い機能素子モジュールが得られる。
【００１７】
本発明の電子機器は、本発明の機能素子を有することを特徴とする。
これにより、本発明の機能素子の効果を享受でき、信頼性の高い電子機器が得られる。
【００１８】
本発明の移動体は、本発明の機能素子を有することを特徴とする。
これにより、本発明の機能素子の効果を享受でき、信頼性の高い移動体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る機能素子を示す断面図である。
【図２】図１に示す機能素子が有する基体の平面図である。
【図３】基体と蓋体との接合方法を説明するための断面図である。
【図４】基体と蓋体との接合方法を説明するための断面図である。
【図５】従来構成を示す部分拡大断面図である。
【図６】図２に示す基体が有する突出部を示す部分拡大断面図である。
【図７】図６に示す突出部の変形例を示す部分拡大断面図である。
【図８】図６に示す突出部の変形例を示す部分拡大断面図である。
【図９】図６に示す突出部の変形例を示す部分拡大断面図である。
【図１０】図６に示す突出部の変形例を示す部分拡大断面図である。
【図１１】加速度センサー素子の平面図である。
【図１２】加速度センサー素子の平面図である。
【図１３】加速度センサー素子の平面図である。
【図１４】角速度センサー素子の平面図である。
【図１５】角速度センサー素子の平面図である。
【図１６】角速度センサー素子の平面図である。
【図１７】本発明の第２実施形態に係る機能素子モジュールを示す断面図である。
【図１８】本発明の第３実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【図１９】本発明の第４実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【図２０】本発明の第５実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【図２１】本発明の第６実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の機能素子、機能素子モジュール、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２１】
＜第１実施形態＞
まず、本発明の第１実施形態に係る機能素子について説明する。
【００２２】
図１は、本発明の第１実施形態に係る機能素子を示す断面図である。図２は、図１に示す機能素子が有する基体の平面図である。図３および図４は、それぞれ、基体と蓋体との接合方法を説明するための断面図である。図５は、従来構成を示す部分拡大断面図である。図６は、図２に示す基体が有する突出部を示す部分拡大断面図である。図７ないし図１０は、それぞれ、図６に示す突出部の変形例を示す部分拡大断面図である。図１１ないし図１３は、それぞれ、加速度センサー素子の平面図である。図１４ないし図１６は、それぞれ、角速度センサー素子の平面図である。なお、以下の説明では、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸に沿う方向を「Ｘ軸方向」とも言い、Ｙ軸方向に沿う方向を「Ｙ軸方向」とも言い、Ｚ軸に沿う方向を「Ｚ軸方向」とも言う。また、図１、図３および図４中の上側を「上」とも言い、下側を「下」とも言う。
【００２３】
図１に示す機能素子１は、角速度および加速度を検出可能な物理量センサーとして利用される。特に、本実施形態の機能素子１は、角速度として、Ｘ軸まわりの角速度ωｘ、Ｙ軸まわりの角速度ωｙおよびＺ軸まわりの角速度ωｚをそれぞれ独立して検出することができ、加速度として、Ｘ軸方向の加速度Ａｘ、Ｙ軸方向の加速度ＡｙおよびＺ軸方向の加速度Ａｚをそれぞれ独立して検出することができる。このような機能素子１は、複数の物理量を検出でき、検出軸も多いため、極めて利便性に優れている。
【００２４】
図１に示すように、機能素子１は、基体２と、接合部材１０を介して基体２に接合された蓋体３と、を備えたパッケージＰを有している。このようなパッケージＰには雰囲気の異なる第１収納部Ｓ１および第２収納部Ｓ２が独立して設けられている。そして、第１収納部Ｓ１には加速度センサー素子Ａ（素子部）が収納され、第２収納部Ｓ２には角速度センサー素子Ｊ（素子部）が収納されている。
【００２５】
図２に示すように、基体２は、矩形の平面視形状を有する板状をなしている。また、基体２は、第１収納部Ｓ１内に位置し、上面側に開放する凹部２１と、第２収納部Ｓ２内に位置し、上面側に開放する凹部２２と、を有している。また、Ｚ軸方向から見た平面視で、凹部２１は、加速度センサー素子Ａと重なって設けられており、凹部２２は、角速度センサー素子Ｊと重なって設けられている。凹部２１は、加速度センサー素子Ａと基体２との接触を防止するための逃げ部として機能し、凹部２２は、角速度センサー素子Ｊと基体２との接触を防止するための逃げ部として機能する。
【００２６】
このような基体２としては、特に限定されず、例えば、アルカリ金属イオン（可動イオン）を含むガラス材料（例えば、パイレックスガラス（登録商標）、テンパックスガラス（登録商標）のような硼珪酸ガラス）で構成されたガラス基板を用いることができる。これにより、後述するように、加速度センサー素子Ａおよび角速度センサー素子Ｊを陽極接合法によって基体２に接合することができる。また、光透過性を有する基体２が得られるため、機能素子１の外側から、基体２を介してその内側を確認することができ、不良品等の検査が容易となる。
【００２７】
ただし、基体２としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板やセラミックス基板を用いてもよい。なお、基体２としてシリコン基板を用いる場合は、短絡を防止する観点から、高抵抗のシリコン基板を用いるか、表面に熱酸化等によってシリコン酸化膜（絶縁性酸化物）を形成したシリコン基板を用いることが好ましい。
【００２８】
図２に示すように、蓋体３は、矩形の平面視形状を有する板状をなしている。また、蓋体３は、第１収納部Ｓ１内に位置し、下面側に開放する凹部３１と、第２収納部Ｓ２内に位置し、下面側に開放する凹部３２と、を有している。このような蓋体３は、図１に示すように、凹部３１内に加速度センサー素子Ａを収納すると共に、凹部３２内に角速度センサー素子Ｊを収納するようにして、基体２の上面に接合部材１０を介して接合されている。
【００２９】
また、図１に示すように、蓋体３は、第１収納部Ｓ１の内外を連通する連通孔３３と、第２収納部Ｓ２の内外を連通する連通孔３４と、を有している。そのため、機能素子１では、連通孔３３を介して、第１収納部Ｓ１を所望の雰囲気に置換することができ、連通孔３４を介して、第２収納部Ｓ２を所望の雰囲気に置換することができる。なお、第１収納部Ｓ１および第２収納部Ｓ２を所望の雰囲気に置換した後に、連通孔３３、３４は、封止部材３５によって封止される。これにより、第１収納部Ｓ１および第２収納部Ｓ２がそれぞれ独立した気密空間となる。
【００３０】
このような蓋体３としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板を用いることができる。ただし、蓋体３としては、特に限定されず、例えば、ガラス基板やセラミックス基板を用いてもよい。また、封止部材３５としては、特に限定されず、例えば、金（Ａｕ）／錫（Ｓｎ）系合金、金（Ａｕ）／ゲルマニウム（Ｇｅ）系合金、金（Ａｕ）／アルミニウム（Ａｌ）系合金等の各種合金（金属材料）を用いることができる。
【００３１】
以上、基体２および蓋体３について説明した。図１に示すように、基体２および蓋体３は、接合部材１０を介して接合されている。より具体的には、蓋体３は、平面視で、凹部３１および凹部３２の周囲をそれぞれ囲む下面を有しており、この下面が基体２の上面と接合される接合面３９となっている。そして、この接合面３９と基体２の上面との間に接合部材１０が設けられ、接合部材１０を介して基体２と蓋体３とが気密的に接合されている。
【００３２】
接合部材１０は、ガラス材料を含んでおり、特に、本実施形態では、ガラスフリット（低融点ガラス）である。これにより、優れた気密性を有する接合部材１０となる。また、基体２と蓋体３とを比較的低温度で接合することができるため、機能素子１の製造時の熱履歴を効果的に低減することができる。また、熱膨張係数が基体２および蓋体３に対して比較的近いため、熱応力の発生を効果的に抑制することができる。なお、ガラスフリット（低融点ガラス）とは、例えば、軟化点が６００℃以下であり、比較的低温度で軟化するガラス材料のことを言う。また、ガラスフリット（低融点ガラス）中には、例えば、基体２および蓋体３のギャップの調整、接合部材１０の熱膨張係数の調整等に利用されるフィラーが含有されていてもよいし、例えば、製造中に不可避的に混入する材料が含有されていてもよい。ただし、接合部材１０としては、ガラスフリット（低融点ガラス）に限定されず、例えば、樹脂系の接着剤、金属接合材料等を用いることができる。
【００３３】
次に、接合部材１０を用いて基体２と蓋体３とを接合する方法について簡単に説明する。まず、図３に示すように、加速度センサー素子Ａおよび角速度センサー素子Ｊが配置された基体２と、蓋体３と、を準備し、蓋体３の接合面３９（下面）に接合部材１０（ガラスフリット）を塗布する。接合面３９への接合部材１０の塗布方法としては、特に限定されず、例えば、スクリーン印刷法を用いることができる。ここで、次の工程において接合部材１０が押し広げられることを考慮して、接合部材１０は、接合面３９の中央部に接合面３９の幅Ｗ１よりも狭い幅Ｗ２で塗布することが好ましい。これにより、第１、第２収納部Ｓ１、Ｓ２への接合部材１０の過度なはみ出しが抑制される。次に、図４に示すように、接合部材１０を加熱によって軟化させた状態で蓋体３を基体２に押し付ける。そして、接合部材１０を冷却して硬化することで、接合部材１０を介して基体２と蓋体３とが接合される。
【００３４】
ここで、図５に示すように、蓋体３を基体２に押し付けると、これらの間にある接合部材１０が第１収納部Ｓ１内にはみ出して、さらには、凹部２１内に侵入してしまう場合がある。同様に、蓋体３を基体２に押し付けると、これらの間にある接合部材１０が第２収納部Ｓ２内にはみ出して、さらには、凹部２２内に侵入してしまう場合がある。
【００３５】
このように、凹部２１、２２に接合部材１０が侵入してしまうと、接合部材１０が膨張、収縮を繰り返すうちに当該部分にクラックが生じるおそれがある。そして、このクラックが成長することで、基体２と蓋体３との接合強度が低下したり、第１収納部Ｓ１や第２収納部Ｓ２の気密性が崩壊したりするおそれがある。また、このような問題は、特に、接合部材１０が凹部２１、２２の角部に侵入した場合に顕著となる。これは、凹部２１、２２の角部は、応力が集中し易く、かつ、膨張時の応力が逃げ難い場所であるためと考えられる。そこで、本実施形態の機能素子１では凹部２１、２２の形状を工夫し、接合部材１０が凹部２１、２２の角部に侵入し難い構成とすることで、接合部材１０へのクラックの発生を効果的に抑制している。以下、このような構成について説明する。
【００３６】
以下、凹部２１、２２の形状について説明するが、凹部２１、２２は、同様であるため、以下では、説明の便宜上、凹部２１について代表して説明し、凹部２２については、その説明を省略する。図２に示すように、Ｚ軸方向から見た平面視で、凹部２１は、略矩形状をなしている。具体的には、Ｚ軸方向から見た平面視で、凹部２１は、Ｘ軸方向に並んで配置され、Ｙ軸方向に延在する一対の第１縁部２１ａ、２１ｂと、Ｙ軸方向に並んで配置され、Ｘ軸方向に延在する一対の第２縁部２１ｃ、２１ｄと、を有している。さらに、凹部２１は、第１縁部２１ａと第２縁部２１ｃとが交わる角部、第１縁部２１ａと第２縁部２１ｄとが交わる角部、第１縁部２１ｂと第２縁部２１ｃとが交わる角部、および、第１縁部２１ｂと第２縁部２１ｄとが交わる角部のそれぞれに配置され、凹部２１の内側に向けて突出する突出部２１１を有している。なお、本実施形態では、４つの突出部２１１は、それぞれ、同じ形状（大きさを含む）をなしている。
【００３７】
これに対して、蓋体３の接合面３９は、Ｚ軸方向から見た平面視で、凹部２１を囲む略矩形となっている。具体的には、図２に示すように、Ｚ軸方向から見た平面視で、接合面３９は、Ｘ軸方向に並んで配置され、Ｙ軸方向に延在する一対の第１辺部３９ａ、３９ｂと、Ｙ軸方向に並んで配置され、Ｘ軸方向に延在する一対の第２辺部３９ｃ、３９ｄと、を有している。
【００３８】
このように、凹部２１の四隅（各角部）に突出部２１１を設けることで、例えば、図５に示したような突出部２１１が形成されていない従来の構成と比較して、凹部２１の四隅を接合面３９の角部３９１から遠ざけることができる。すなわち、図２に示す離間距離Ｄを大きくすることができる。ここで、接合面３９の角部３９１は、第１辺部３９ａ、３９ｂと第２辺部３９ｃ、３９ｄとが交わる部分であるため、各辺部に比べて多くの接合部材１０が供給される。そのため、前述したように、接合のために蓋体３を基体２に押し付けると、主に角部３９１に塗布された接合部材１０が凹部２１側にはみ出してくる。したがって、本実施形態のように、凹部２１の四隅（各角部）を接合面３９の角部３９１から遠ざけることで（離間距離Ｄを大きくすることで）、接合部材１０の凹部２１内への侵入を効果的に抑制することができる。これにより、前述したような接合部材１０へのクラックの発生を効果的に抑制することができ、クラックの成長に伴う基体２と蓋体３との接合強度の低下や、第１収納部Ｓ１の気密性の崩壊等を効果的に抑制することができる。
【００３９】
なお、本実施形態では、凹部２１の全ての角部に突出部２１１が設けられているが、これに限定されず、凹部２１の少なくとも１つの角部に突出部２１１が設けられていればよい。また、少なくとも１つの突出部２１１が他の突出部と異なる形状となっていてもよい。
【００４０】
特に、本実施形態では、図２に示すように、Ｚ軸方向から見た平面視で、各突出部２１１は、接合面３９よりも第１収納部Ｓ１の内側（すなわち凹部２１の中心側）に位置している。したがって、接合面３９と凹部２１の外縁との間に、十分な距離を設けることができ、凹部２１内への接合部材１０の侵入をより効果的に抑制することができる。
【００４１】
また、本実施形態では、図２に示すように、各突出部２１１の一部に接合部材１０が配置されている。言い換えると、接合部材１０は、接合面３９からはみ出した部分が、各突出部２１１の基端部まで到達している。これにより、凹部２１と接合面３９の内周との間に接合部材１０の内周が位置し、凹部２１と接合面３９との間に接合部材１０による段差部１０１が形成される。例えば、基体２と蓋体３との熱膨張係数の違いによる熱歪み等の応力が生じた場合に、前記応力を段差部１０１が効果的に緩和し、前記応力が加速度センサー素子Ａに伝わることを効果的に抑制することができる。そのため、加速度センサー素子Ａの検出精度の低下を効果的に抑制することができる。
【００４２】
次に、４つの突出部２１１の形状について詳細に説明するが、前述したように、４つの突出部２１１は、互いに同じ構成であるため、以下では、第１縁部２１ａと第２縁部２１ｃとが交わる部分に配置されている突出部２１１について代表して説明し、それ以外の突出部２１１については、その説明を省略する。
【００４３】
図６に示すように、突出部２１１は、凹部２１の内側（中心側）に向けて凸となる角部２１１ｃを有している。これにより、接合面３９の角部３９１と凹部２１との離間距離Ｄをより長くすることができ、接合部材１０の凹部２１内への侵入をより効果的に抑制することができる。なお、角部２１１ｃは、面取りされて、例えば、Ｃ面やＲ面となっていてもよい。
【００４４】
また、突出部２１１は、平面視で、第１縁部２１ａと交わる第１延在部２１１ａと、第２縁部２１ｃと交わる第２延在部２１１ｂと、を有し、第１延在部２１１ａと第２延在部２１１ｂとが交わることで角部２１１ｃが形成されている。これにより、突出部２１１の形状を簡単なものとしつつ角部２１１ｃを形成することができる。なお、本実施形態では、第１延在部２１１ａは、Ｘ軸方向に延在し、第２延在部２１１ｂは、Ｙ軸方向に延在しているため、角部２１１ｃの角度θ１は、９０°であるが、この角度θ１としては、特に限定されない。ただし、角度θ１としては、６０°以上９０°以下であることが好ましく、７５°以上９０°以下であることがより好ましい。例えば、角度θ１が上記下限値未満であると、突出部２１１が凹部２１内に過度に突出してしまい、加速度センサー素子Ａの配置スペースが足りなくなるおそれがある。一方、角度θ１が上記上限値を超えると、接合面３９との離間距離Ｄが短くなり易く、凹部２１に接合部材１０が侵入し易くなるおそれがある。これに対して、角度θ１が上記範囲内であると、突出部２１１の凹部２１内への過度な突出を抑制することができると共に、離間距離Ｄを十分に長く確保することができる。
【００４５】
また、第１縁部２１ａと第１延在部２１１ａとのなす角θ２、第２縁部２１ｃと第２延在部２１１ｂとのなす角θ３は、それぞれ、９０°以上であることが好ましく、本実施形態では、角θ２、θ３は、共に９０°である。これにより、第１縁部２１ａと第１延在部２１１ａとの間のスペースＳＳ１や第２縁部２１ｃと第２延在部２１１ｂとの間のスペースＳＳ２を十分に広く確保することができる。前述したように、機能素子１では、凹部２１に突出部２１１を設けて接合部材１０が凹部２１内に侵入し難くなっているが、スペースＳＳ１、ＳＳ２を十分に広く確保しておくことで、仮に、凹部２１内に接合部材１０が侵入した場合でも、侵入した接合部材１０がスペースＳＳ１、ＳＳ２に留まり難くなる（他の場所へ流動し易くなる）。そのため、接合部材１０の凹部２１内に侵入した部分へ応力集中が低減され、当該部分へのクラックの発生を効果的に抑制することができる。なお、角θ２、θ３の上限としては、特に限定されないが、１２０°であるのが好ましい。これにより、突出部２１１と接合面３９との離間距離Ｄを十分に大きく確保したまま、上述の効果を発揮することができる。
【００４６】
また、第１縁部２１ａと第１延在部２１１ａとの接続部２１２および第２縁部２１ｃと第２延在部２１１ｂとの接続部２１３は、それぞれ、平面視で、凹部２１の外側に凸となるように湾曲している。言い換えると、第１縁部２１ａおよび第１延在部２１１ａは、凹部２１の外側に凸となるように湾曲した接続部２１２を介して接続されており、第２縁部２１ｃおよび第２延在部２１１ｂは、凹部２１の外側に凸となるように湾曲した接続部２１３を介して接続されている。これにより、仮に、凹部２１内に接合部材１０が侵入した場合でも、侵入した接合部材１０がスペースＳＳ１、ＳＳ２の入隅部分に留まり難くなる。そのため、接合部材１０の凹部２１内に侵入した部分へのクラックの発生をより効果的に抑制することができる。なお、接続部２１２および接続部２１３の一方だけが湾曲していてもよいし、両方が湾曲していなくてもよい。
【００４７】
以上、突出部２１１について説明したが、突出部２１１の構成としては、特に限定されず、例えば、図７ないし図１０に示すような構成であってもよい。
【００４８】
次に、加速度センサー素子Ａについて説明する。本実施形態の機能素子１は、加速度センサー素子Ａとして、３つの加速度センサー素子７、８、９を有している。以下、これら３つの加速度センサー素子７、８、９について簡単に説明する。
【００４９】
図１１に示す加速度センサー素子７は、Ｘ軸方向の加速度Ａｘを検出するセンサー素子である。加速度センサー素子７は、可動部７１と、バネ部７２と、固定部７３と、固定検出電極７４、７５と、を備えている。このような加速度センサー素子７は、リン、ボロン等の不純物がドープされた導電性のシリコン基板をエッチング（例えば、反応性イオンエッチング等のドライエッチング）によってパターニングすることで一括形成されている。
【００５０】
可動部７１は、Ｘ軸方向に延在する基部７１１と、基部７１１からＹ軸方向両側に突出した複数の可動検出電極７１２と、を有している。このような可動部７１は、基部７１１の両端部においてバネ部７２を介して固定部７３に接続されている。また、固定部７３は、凹部２１の底面から突出したマウント部Ｍ７１に固定されている。これにより、可動部７１は、固定部７３に対してＸ軸方向に変位可能となる。また、固定検出電極７４、７５は、凹部２１の底面から突出したマウント部Ｍ７２に固定されており、可動検出電極７１２を間に挟んで設けられている。
【００５１】
なお、図示しないが、基体２には、可動部７１と電気的に接続された配線、固定検出電極７４と電気的に接続された配線および固定検出電極７５と電気的に接続された配線が設けられており、これら配線は、パッケージＰの外部まで延在している。また、可動部７１、固定検出電極７４および固定検出電極７５には、前記配線を介して所定の電圧が印加されており、可動検出電極７１２と固定検出電極７４、７５との間に、それぞれ、静電容量が形成されている。
【００５２】
このような加速度センサー素子７は、次のようにして加速度Ａｘを検出することができる。機能素子１に加速度Ａｘが加わると、加速度Ａｘの大きさに基づいて、可動部７１が、バネ部７２を弾性変形させながら、Ｘ軸方向に変位する。可動部７１が変位することで、可動検出電極７１２と固定検出電極７４とのギャップおよび可動検出電極７１２と固定検出電極７５とのギャップが変化し、それに伴ってこれらの間の静電容量が変化する。そのため、この静電容量の変化量に基づいて加速度Ａｘを検出することができる。
【００５３】
図１２に示す加速度センサー素子８は、Ｙ軸方向の加速度Ａｙを検出するセンサー素子である。加速度センサー素子８は、前述した加速度センサー素子７の向きを９０°回転させた以外は、加速度センサー素子７と同様である。そのため、加速度センサー素子８の説明は、省略する。
【００５４】
図１３に示す加速度センサー素子９は、Ｚ軸方向の加速度Ａｚを検出するセンサー素子である。加速度センサー素子９は、可動部９１と、梁部９２と、固定部９３と、を備えている。このような加速度センサー素子９は、前述の加速度センサー素子７と同様に、リン、ボロン等の不純物がドープされた導電性のシリコン基板をエッチングによってパターニングすることで一括形成されている。
【００５５】
可動部９１は、梁部９２を介して固定部９３に接続され、固定部９３は、凹部２１の底面から突出するマウント部Ｍ９１に固定されている。このような可動部９１は、梁部９２により形成された回動軸Ｌ９まわりにシーソー揺動するようになっている。また、可動部９１は、平面視で、回動軸Ｌ９の一方側に位置する可動検出電極９１１と、回動軸Ｌ９の他方側に位置する可動検出電極９１２と、を有しており、可動検出電極９１１、９１２は、加速度Ａｚが加わったときの回転モーメントが互いに異なるように設計されている。また、凹部２１の底面には、可動検出電極９１１と対向する固定検出電極９４と、可動検出電極９１２と対向する固定検出電極９５と、が設けられている。
【００５６】
なお、図示しないが、基体２には、可動部９１と電気的に接続された配線、固定検出電極９４と電気的に接続された配線および固定検出電極９５と電気的に接続された配線が設けられており、これら配線は、パッケージＰの外部まで延在している。また、可動部９１、固定検出電極９４および固定検出電極９５には、前記配線を介して所定の電圧が印加されており、可動検出電極９１１と固定検出電極９４との間および可動検出電極９１２と固定検出電極９５との間に、それぞれ、静電容量が形成されている。
【００５７】
このような加速度センサー素子９は、次のようにして加速度Ａｚを検出することができる。機能素子１に加速度Ａｚが加わると、可動部９１は、回動軸Ｌ９まわりにシーソー揺動する。このような可動部９１のシーソー揺動によって、可動検出電極９１１と固定検出電極９４とのギャップおよび可動検出電極９１２と固定検出電極９５とのギャップが変化し、それに伴ってこれらの間の静電容量が変化する。そのため、この静電容量の変化量に基づいて加速度Ａｚを検出することができる。
【００５８】
以上、加速度センサー素子７、８、９について説明した。このような加速度センサー素子７、８、９が収納されている第１収納部Ｓ１は、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されて、使用温度（−４０℃〜８０℃程度）で、ほぼ大気圧（例えば、２．０×１０４〜２．０×１０５Ｐａ程度）となっている。第１収納部Ｓ１を大気圧とすることで、粘性抵抗が増してダンピング効果が発揮され、加速度センサー素子７、８、９の可動部７１、８１、９１の振動を速やかに収束（停止）させることができる。そのため、加速度Ａｘ、Ａｙ、Ａｚの検出精度が向上する。
【００５９】
次に、角速度センサー素子Ｊについて説明する。本実施形態の機能素子１は、角速度センサー素子Ｊとして、３つの角速度センサー素子４、５、６を有している。以下、これら３つの角速度センサー素子４、５、６について簡単に説明する。
【００６０】
図１４に示す角速度センサー素子４は、Ｘ軸まわりの角速度ωｘを検出するセンサー素子である。角速度センサー素子４は、Ｙ軸方向に並んだ２つの構造体４０（４０ａ、４０ｂ）を有している。各構造体４０（４０ａ、４０ｂ）は、振動部４１と、駆動バネ部４２と、固定部４３と、可動駆動電極４４と、固定駆動電極４５、４６と、検出用フラップ板４７と、梁部４８と、を有している。このような構造体４０は、リン、ボロン等の不純物がドープされた導電性のシリコン基板をエッチングによってパターニングすることで一括形成されている。
【００６１】
振動部４１は、矩形の枠体であり、その４隅が駆動バネ部４２を介して固定部４３に接続されている。また、固定部４３は、凹部２１の底面から突出したマウント部Ｍ４１に固定されている。また、可動駆動電極４４は、振動部４１に設けられている。また、固定駆動電極４５、４６は、凹部２１の底面から突出したマウント部Ｍ４２に固定され、可動駆動電極４４を間に挟んで配置されている。
【００６２】
検出用フラップ板４７は、振動部４１の内側に配置されており、梁部４８を介して振動部４１に連結されている。検出用フラップ板４７は、梁部４８により形成された回動軸Ｌ４まわりに回動（傾倒）可能となっている。また、凹部２１の底面には、検出用フラップ板４７と対向して固定検出電極４９が設けられている。
【００６３】
なお、図示しないが、基体２には、振動部４１と電気的に接続された配線、固定駆動電極４５と電気的に接続された配線、固定駆動電極４６と電気的に接続された配線、一方の固定検出電極４９と電気的に接続された配線および他方の固定検出電極４９と電気的に接続された配線が設けられており、これら配線は、それぞれ、パッケージＰの外部まで延在している。また、振動部４１および各固定検出電極４９には、前記配線を介して所定の電圧が印加されており、検出用フラップ板４７と固定検出電極４９との間に、静電容量が形成されている。
【００６４】
以上のような角速度センサー素子４は、次のようにして角速度ωｘを検出することができる。まず、可動駆動電極４４と固定駆動電極４５、４６との間に駆動電圧を印加し、２つの振動部４１をＹ軸方向に互いに逆位相で振動させる。この状態で、機能素子１に角速度ωｘが加わると、コリオリ力が働き、２つの検出用フラップ板４７が回動軸Ｌ４まわりに互いに逆位相で変位する。検出用フラップ板４７が変位することで、検出用フラップ板４７と固定検出電極４９とのギャップが変化し、それに伴ってこれらの間の静電容量が変化する。そのため、この静電容量の変化量に基づいて角速度ωｘを検出することができる。
【００６５】
図１５に示す角速度センサー素子５は、Ｙ軸まわりの角速度ωｙを検出するセンサー素子である。角速度センサー素子５は、前述した角速度センサー素子４の向きを９０°回転させた以外（すなわち、Ｘ軸方向に構造体５０ａ、５０ｂが並ぶように配置した以外）は、角速度センサー素子４と同様である。そのため、角速度センサー素子５の説明は、省略する。
【００６６】
図１６に示す角速度センサー素子６は、Ｚ軸まわりの角速度ωｚを検出するセンサー素子である。角速度センサー素子６は、Ｘ軸方向に並んだ２つの構造体６０（６０ａ、６０ｂ）を有している。各構造体６０（６０ａ、６０ｂ）は、振動部６１と、可動部６２と、検出バネ部６３と、駆動バネ部６４と、固定部６５と、可動駆動電極６６と、固定駆動電極６７１、６７２と、固定検出電極６８１、６８２と、を有している。このような構造体６０は、リン、ボロン等の不純物がドープされた導電性のシリコン基板をエッチングによってパターニングすることで一括形成されている。
【００６７】
振動部６１は、矩形の枠体であり、その４隅が駆動バネ部６４を介して固定部６５に接続されている。また、固定部６５は、凹部２１の底面から突出したマウント部Ｍ６１に固定されている。また、可動駆動電極６６は、振動部６１に設けられている。また、固定駆動電極６７１、６７２は、凹部２１の底面から突出したマウント部Ｍ６２に固定されており、可動駆動電極６６を間に挟んで配置されている。
【００６８】
可動部６２は、振動部６１の内側に配置されており、検出バネ部６３によって振動部６１に連結されている。そして、可動部６２は、振動部６１に対してＹ軸方向に変位可能となっている。また、可動部６２は、基部６２１と、基部６２１に設けられ、Ｘ軸方向に延在する可動検出電極６２２と、を有している。固定検出電極６８１、６８２は、凹部２１の底面から突出したマウント部Ｍ６３に固定されており、可動検出電極６２２を間に挟んで配置されている。
【００６９】
なお、図示しないが、基体２には、可動検出電極６２２と電気的に接続された配線、固定駆動電極６７１と電気的に接続された配線、固定駆動電極６７２と電気的に接続された配線、固定検出電極６８１と電気的に接続された配線および他方の固定検出電極６８２と電気的に接続された配線が設けられており、これら配線は、それぞれ、パッケージＰの外部まで延在している。また、可動検出電極６２２および固定検出電極６８１、６８２には、前記配線を介して所定の電圧が印加されており、可動検出電極６２２と固定検出電極６８１、６８２との間には、それぞれ、静電容量が形成されている。
【００７０】
以上のような角速度センサー素子６は、次のようにして角速度ωｚを検出することができる。まず、可動駆動電極６６と固定駆動電極６７１、６７２との間に駆動電圧を印加し、駆動バネ部６４を弾性変形させつつ、２つの振動部６１をＸ軸方向に逆位相で振動させる。この状態で、機能素子１に角速度ωｚが加わると、コリオリ力が働き、２つの可動部６２が、検出バネ部６３を弾性変形させつつＹ軸方向に逆位相で振動する。可動部６２が振動することで、可動検出電極６２２と固定検出電極６８１とのギャップおよび可動検出電極６２２と固定検出電極６８２とのギャップが変化し、それに伴ってこれらの間の静電容量が変化する。そのため、この静電容量の変化量に基づいて角速度ωｚを検出することができる。
【００７１】
以上、角速度センサー素子４、５、６について説明した。このような角速度センサー素子４、５、６が収納されている第２収納部Ｓ２は、減圧状態（好ましくは、真空状態）となっている。これにより、粘性抵抗が減り、角速度センサー素子４、５、６の振動部４１、５１、６１を効率的にかつ安定して振動させることができる。そのため、角速度ωｘ、ωｙ、ωｚの検出精度が向上する。
【００７２】
以上、素子部について説明したが、素子部の構成としては、特に限定されない。例えば、本実施形態では、素子部として、加速度センサー素子Ａおよび角速度センサー素子Ｊを有しているが、これに限定されない。例えば、加速度センサー素子Ａおよび角速度センサー素子Ｊの一方だけであってもよい。すなわち、機能素子１は、例えば、加速度センサー素子Ａおよび第１収納部Ｓ１を省略した構成であってもよいし、角速度センサー素子Ｊおよび第２収納部Ｓ２を省略した構成であってもよい。また、加速度センサー素子Ａおよび角速度センサー素子Ｊの数としては、それぞれ、３つに限定されず、１または２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。
【００７３】
また、素子部としては、加速度センサー素子Ａおよび角速度センサー素子Ｊに限定されず、これら以外の機能を有する素子であってもよい。加速度センサー素子Ａおよび角速度センサー素子Ｊ以外の素子としては、例えば、発振器等に用いられる振動子が挙げられる。
【００７４】
以上、機能素子１について説明した。このような機能素子１は、前述したように、凹部２１および凹部２２を有する基体２と、平面視で、凹部２１および凹部２２と重なるように基体２に固定されている加速度センサー素子Ａ（素子部）および角速度センサー素子Ｊ（素子部）と、基体２との間に加速度センサー素子Ａおよび角速度センサー素子Ｊを収納するように配置されている蓋体３と、基体２と蓋体３との間に位置し、基体２と蓋体３とを接合している接合部材１０と、を有している。また、凹部２１は、平面視で、Ｙ軸方向（第１方向）に延在している第１縁部２１ａ、２１ｂと、Ｙ軸方向と交差するＸ軸方向（第２方向）に延在している第２縁部２１ｃ、２１ｄと、第１縁部２１ａ、２１ｂと第２縁部２１ｃ、２１ｄとが交わる部分に配置され、凹部２１の内側に突出する突出部２１１と、を有している。凹部２２についても凹部２１と同様の構成となっている。
【００７５】
このように、凹部２１の角部に突出部２１１を設けることで、前述したように、接合部材１０の凹部２１内への侵入を効果的に抑制することができる。そのため、接合部材１０へのクラックの発生を効果的に抑制することができ、クラックの成長に伴う基体２と蓋体３との接合強度の低下や、第１収納部Ｓ１の気密性の崩壊等を効果的に抑制することができる。このような効果は、凹部２２についても同様である。
【００７６】
また、前述したように、機能素子１では、蓋体３は、接合部材１０を介して基体２に接合されている接合面３９を有している。また、突出部２１１は、平面視で、接合面３９よりも凹部２１の中心側に位置する部分を有している。これにより、接合面３９と凹部２１の外縁との間に、十分な距離を設けることができ、凹部２１内への接合部材１０の侵入をより効果的に抑制することができる。このような構成および効果は、凹部２２についても同様である。
【００７７】
また、前述したように、機能素子１では、突出部２１１の一部に接合部材１０が配置されている。これにより、凹部２１と接合面３９の内周との間に接合部材１０の内周が位置し、凹部２１と接合面３９との間に接合部材１０による段差部１０１が形成される（図６参照）。例えば、基体２と蓋体３との熱膨張係数の違いによる熱歪み等の応力が生じた場合に、前記応力を段差部１０１が効果的に緩和し、前記応力が加速度センサー素子Ａに伝わることを効果的に抑制することができる。そのため、加速度センサー素子Ａの検出精度の低下を効果的に抑制することができる。このような構成および効果は、凹部２２についても同様である。
【００７８】
また、前述したように、機能素子１では、突出部２１１は、凹部２２の内側に向けて凸となる角部２１１ｃを有している。これにより、接合面３９と凹部２１との離間距離Ｄをより長くすることができ、接合部材１０の凹部２１内への侵入をより効果的に抑制することができる。このような構成および効果は、凹部２２についても同様である。
【００７９】
また、前述したように、機能素子１では、突出部２１１は、平面視で、第１縁部２１ａと交わる第１延在部２１１ａと、第２縁部２１ｃと交わる第２延在部２１１ｂと、を有し、第１延在部２１１ａと第２延在部２１１ｂとが交わることで角部２１１ｃが形成されている。これにより、突出部２１１の形状を簡単なものとしつつ角部２１１ｃを形成することができる。
【００８０】
また、前述したように、機能素子１では、第１縁部２１ａと第１延在部２１１ａとのなす角θ２および第２縁部２１ｃと第２延在部２１１ｂとのなす角θ３は、それぞれ、９０°以上である。これにより、第１縁部２１ａと第１延在部２１１ａとの間のスペースＳＳ１や第２縁部２１ｃと第２延在部２１１ｂとの間のスペースＳＳ２を十分に広く確保することができる。そのため、仮に、凹部２１内に接合部材１０が侵入した場合でも、侵入した接合部材１０がスペースＳＳ１、ＳＳ２に留まり難くなる。したがって、接合部材１０の凹部２１内に侵入した部分へのクラックの発生を効果的に抑制することができる。
【００８１】
また、前述したように、機能素子１では、第１縁部２１ａと突出部２１１との接続部２１２および第２縁部２１ｃと突出部２１１との接続部２１３は、それぞれ、平面視で、凹部２１の外側に凸となるように湾曲している。これにより、仮に、凹部２１内に接合部材１０が侵入した場合でも、侵入した接合部材１０がスペースＳＳ１、ＳＳ２の入隅部分に留まり難くなる。そのため、接合部材１０の凹部２１内に侵入した部分へのクラックの発生をより効果的に抑制することができる。
【００８２】
また、前述したように、機能素子１では、接合部材１０は、低融点ガラスである。これにより、接合部材１０の構成が簡単なものとなる。また、機能素子１の熱履歴を低減することもでき、内部応力の小さい機能素子１となる。
【００８３】
また、前述したように、機能素子１では、素子部は、角速度および加速度の少なくとも一方を検出可能である。これにより、機能素子１を角速度や加速度を検出することのできる物理量センサーとして用いることができ、機能素子１の利便性が向上する。
【００８４】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る機能素子モジュールについて説明する。
図１７は、本発明の第２実施形態に係る機能素子モジュールを示す断面図である。
【００８５】
図１７に示すように、機能素子モジュール１０００は、ベース基板１０１０と、ベース基板１０１０上に設けられた機能素子１と、機能素子１上に設けられた回路素子１０２０（ＩＣ）と、機能素子１と回路素子１０２０とを電気的に接続するボンディングワイヤーＢＷ１と、ベース基板１０１０と回路素子１０２０とを電気的に接続するボンディングワイヤーＢＷ２と、機能素子１および回路素子１０２０をモールドするモールド部１０３０と、を有している。ここで、機能素子１としては、例えば、前述した各実施形態のいずれかのものを用いることができる。
【００８６】
ベース基板１０１０は、機能素子１を支持する基板であり、例えば、インターポーザー基板である。このようなベース基板１０１０の上面には複数の接続端子１０１１が配置されており、下面には複数の実装端子１０１２が配置されている。また、ベース基板１０１０内には、図示しない内部配線が配置されており、この内部配線を介して、各接続端子１０１１が、対応する実装端子１０１２と電気的に接続されている。このようなベース基板１０１０としては、特に限定されず、例えば、シリコン基板、セラミック基板、樹脂基板、ガラス基板、ガラスエポキシ基板等を用いることができる。
【００８７】
また、機能素子１は、基体２を下側（ベース基板１０１０側）に向けてベース基板１０１０上に配置されている。そして、機能素子１は、接合部材を介してベース基板１０１０に接合されている。
【００８８】
また、回路素子１０２０は、機能素子１上に配置されている。そして、回路素子１０２０は、接合部材を介して機能素子１の蓋体３に接合されている。また、回路素子１０２０は、ボンディングワイヤーＢＷ１を介して機能素子１と電気的に接続され、ボンディングワイヤーＢＷ２を介してベース基板１０１０の接続端子１０１１と電気的に接続されている。このような回路素子１０２０には、機能素子１を駆動する駆動回路や、機能素子１からの出力信号に基づいて加速度および角速度を検出する検出回路や、検出回路からの信号を所定の信号に変換して出力する出力回路等が、必要に応じて含まれている。
【００８９】
また、モールド部１０３０は、機能素子１および回路素子１０２０をモールドしている。これにより、機能素子１や回路素子１０２０を水分、埃、衝撃等から保護することができる。モールド部１０３０としては、特に限定されないが、例えば、熱硬化型のエポキシ樹脂を用いることができ、例えば、トランスファーモールド法によってモールドすることができる。
【００９０】
以上のような機能素子モジュール１０００は、機能素子１を有している。そのため、前述した機能素子１の効果を享受でき、信頼性の高い機能素子モジュール１０００が得られる。
【００９１】
なお、機能素子モジュール１０００の構成としては、上記の構成に限定されず、例えば、機能素子１および回路素子１０２０がセラミックパッケージに収納された構成となっていてもよい。
【００９２】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る電子機器について説明する。
図１８は、本発明の第３実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【００９３】
図１８に示すモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００は、本発明の機能素子を備える電子機器を適用したものである。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、物理量センサーとして機能する機能素子１が内蔵されている。
【００９４】
このようなパーソナルコンピューター１１００（電子機器）は、機能素子１を有している。そのため、前述した機能素子１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【００９５】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係る電子機器について説明する。
図１９は、本発明の第４実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【００９６】
図１９に示す携帯電話機１２００（ＰＨＳも含む）は、本発明の機能素子を備える電子機器を適用したものである。この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ（図示せず）、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、物理量センサーとして機能する機能素子１が内蔵されている。
【００９７】
このような携帯電話機１２００（電子機器）は、機能素子１を有している。そのため、前述した機能素子１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【００９８】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態に係る電子機器について説明する。
図２０は、本発明の第５実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【００９９】
図２０に示すデジタルスチールカメラ１３００は、本発明の機能素子を備える電子機器を適用したものである。この図において、ケース（ボディー）１３０２の背面には表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。そして、撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押すと、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、物理量センサーとして機能する機能素子１が内蔵されている。
【０１００】
このようなデジタルスチールカメラ１３００（電子機器）は、機能素子１を有している。そのため、前述した機能素子１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１０１】
なお、本発明の電子機器は、前述した実施形態のパーソナルコンピューターおよび携帯電話機、本実施形態のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計（スマートウォッチを含む）、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）等のウェアラブル端末、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、移動体端末基地局用機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ネットワークサーバー等に適用することができる。
【０１０２】
＜第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態に係る移動体について説明する。
図２１は、本発明の第６実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
【０１０３】
図２１に示す自動車１５００は、本発明の機能素子を備える移動体を適用した自動車である。この図において、自動車１５００には、物理量センサーとして機能する機能素子１が内蔵されており、機能素子１によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。機能素子１の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。
【０１０４】
このような自動車１５００（移動体）は、機能素子１を有している。そのため、前述した機能素子１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１０５】
なお、機能素子１は、他にも、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【０１０６】
また、移動体としては、自動車１５００に限定されず、例えば、飛行機、ロケット、人工衛星、船舶、ＡＧＶ（無人搬送車）、二足歩行ロボット、ドローン等の無人飛行機等にも適用することができる。
【０１０７】
以上、本発明の機能素子、機能素子モジュール、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、前述した実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【０１０８】
１…機能素子、２…基体、２１…凹部、２１ａ、２１ｂ…第１縁部、２１ｃ、２１ｄ…第２縁部、２１１…突出部、２１１ａ…第１延在部、２１１ｂ…第２延在部、２１１ｃ…角部、２１２、２１３…接続部、２２…凹部、３…蓋体、３１、３２…凹部、３３、３４…連通孔、３５…封止部材、３９…接合面、３９ａ、３９ｂ…第１辺部、３９ｃ、３９ｄ…第２辺部、３９１…角部、４、５、６…角速度センサー素子、７、８、９…加速度センサー素子、１０…接合部材、１０１…段差部、４０、４０ａ、４０ｂ…構造体、４１…振動部、４２…駆動バネ部、４３…固定部、４４…可動駆動電極、４５、４６…固定駆動電極、４７…検出用フラップ板、４８…梁部、４９…固定検出電極、５０ａ、５０ｂ…構造体、５１…振動部、６０、６０ａ、６０ｂ…構造体、６１…振動部、６２…可動部、６２１…基部、６２２…可動検出電極、６３…検出バネ部、６４…駆動バネ部、６５…固定部、６６…可動駆動電極、６７１、６７２…固定駆動電極、６８１、６８２…固定検出電極、７１…可動部、７１１…基部、７１２…可動検出電極、７２…バネ部、７３…固定部、７４、７５…固定検出電極、８１…可動部、９１…可動部、９１１、９１２…可動検出電極、９２…梁部、９３…固定部、９４、９５…固定検出電極、１０００…機能素子モジュール、１０１０…ベース基板、１０１１…接続端子、１０１２…実装端子、１０２０…回路素子、１０３０…モールド部、１１００…パーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１１０８…表示部、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１２０８…表示部、１３００…デジタルスチールカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１５００…自動車、１５０１…車体、１５０２…車体姿勢制御装置、１５０３…車輪、Ａ…加速度センサー素子、Ａｘ、Ａｙ、Ａｚ…加速度、ＢＷ１、ＢＷ２…ボンディングワイヤー、Ｄ…離間距離、Ｊ…角速度センサー素子、Ｌ４、Ｌ９…回動軸、Ｍ４１、Ｍ４２、Ｍ６１、Ｍ６２、Ｍ６３、Ｍ７１、Ｍ７２、Ｍ９１…マウント部、Ｐ…パッケージ、Ｓ１…第１収納部、Ｓ２…第２収納部、ＳＳ１、ＳＳ２…スペース、θ１…角度、θ２、θ３…角、ωｘ、ωｙ、ωｚ…角速度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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