(57)【要約】【課題】ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドからワークへの液滴の着弾精度を向上させる。【解決手段】制御部１５０は、基準ワークＷｆの上面に形成された基準マークに向けて、液滴吐出ヘッド３４から吐出された液滴を着弾させた後、第２の撮像部４２において基準ワークＷの撮像画像を取得し、撮像画像に基づいて、基準マークの位置と液滴の着弾位置の位置ずれ量を検出し、位置ずれ量に基づいて、ワークテーブル２０と液滴吐出ヘッド３４の相対位置の補正量を算出する。【選択図】図３
2018143976.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
前記ワークを載置するワークテーブルと、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向、主走査方向に直交する副走査方向及び回転方向に相対的に移動させる移動機構と、
主走査方向における前記液滴吐出ヘッドの下流側に設けられ、前記ワークの撮像画像を取得する撮像部と、
前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドの相対位置の補正量を算出し、当該補正量に基づいて前記移動機構を制御する制御部と、を有し、
前記ワークは、前記補正量を算出する際に用いられ、上面に複数の基準マークが形成された基準ワークを含み、
前記制御部は、
前記基準マークに向けて前記液滴吐出ヘッドから吐出された液滴を着弾させた後、前記撮像部において前記基準ワークの撮像画像を取得し、
前記撮像画像に基づいて、前記基準マークの位置と前記液滴の着弾位置の位置ずれ量を検出し、
前記位置ずれ量に基づいて前記補正量を算出することを特徴とする、液滴吐出装置。
【請求項２】
前記制御部は、
前記ワークテーブルの回転方向の位置と副走査方向の位置の補正量を算出し、
その後、前記液滴吐出ヘッドの回転方向の位置と副走査方向の位置の補正量を算出し、
その後、前記ワークテーブルの主走査方向の位置の補正量を算出し、
その後、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴吐出タイミングの補正量を算出することを特徴とする、請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記基準ワークの上面には、複数の前記基準マークを含み、当該基準マークに向けて液滴が着弾する着弾領域が形成され、
前記着弾領域は、副走査方向に延伸し、主走査方向に複数並べて配置されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記制御部は、主走査方向に延伸し、副走査方向に複数並べて設定される走査ライン毎に、前記補正量を算出することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
複数の前記走査ラインは、前記補正量が算出された第１の走査ラインと、前記補正量が算出されていない第２の走査ラインとを有し、
前記制御部は、前記第１の走査ラインの前記補正量を補間して、前記第２の走査ラインの前記補正量を算出することを特徴とする、請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
液滴吐出装置を用いて、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、
前記液滴吐出装置は、
前記ワークを載置するワークテーブルと、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向、主走査方向に直交する副走査方向及び回転方向に相対的に移動させる移動機構と、
主走査方向における前記液滴吐出ヘッドの下流側に設けられ、前記ワークの撮像画像を取得する撮像部と、を有し、
前記ワークは、上面に複数の基準マークが形成された基準ワークを含み、
前記液滴吐出方法は、
前記基準マークに向けて前記液滴吐出ヘッドから吐出された液滴を着弾させる第１の工程と、
その後、前記撮像部において前記基準ワークの撮像画像を取得する第２の工程と、
その後、前記撮像画像に基づいて、前記基準マークの位置と前記液滴の着弾位置の位置ずれ量を検出する第３の工程と、
その後、前記位置ずれ量に基づいて、前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドの相対位置の補正量を算出し、当該補正量に基づいて前記移動機構を制御する第４の工程と、を有することを特徴とする、液滴吐出方法。
【請求項７】
前記第４の工程において、
前記ワークテーブルの回転方向の位置と副走査方向の位置の補正量を算出し、
その後、前記液滴吐出ヘッドの回転方向の位置と副走査方向の位置の補正量を算出し、
その後、前記ワークテーブルの主走査方向の位置の補正量を算出し、
その後、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴吐出タイミングの補正量を算出することを特徴とする、請求項６に記載の液滴吐出方法。
【請求項８】
前記基準ワークの上面には、複数の前記基準マークを含み、当該基準マークに向けて液滴が着弾する着弾領域が形成され、
前記着弾領域は、副走査方向に延伸し、主走査方向に複数並べて配置されていることを特徴とする、請求項６又は７に記載の液滴吐出方法。
【請求項９】
前記第１の工程〜前記第４の工程は、主走査方向に延伸し、副走査方向に複数並べて設定される走査ライン毎に行われることを特徴とする、請求項６〜８のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項１０】
複数の前記走査ラインは、前記補正量が算出された第１の走査ラインと、前記補正量が算出されていない第２の走査ラインとを有し、
前記第４の工程において、前記第１の走査ラインの前記補正量を補間して、前記第２の走査ラインの前記補正量を算出することを特徴とする、請求項９に記載の液滴吐出方法。
【請求項１１】
請求項６〜１０のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を液滴吐出装置によって実行させるように、当該液滴吐出装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
【請求項１２】
請求項１１に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置、当該液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、機能液を使用してワークに描画を行う装置として、当該機能液を液滴にして吐出するインクジェット方式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、例えば有機ＥＬ装置、カラーフィルタ、液晶表示装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等の電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）を製造する際など、広く用いられている。
【０００３】
例えば特許文献１に記載された液滴吐出装置は、機能液の液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）と、ワークを搭載するワークステージ（ワークテーブル）と、案内用の一対の支持ベースが延伸する方向（主走査方向）に沿ってワークテーブルを移動させる移動機構（リニアモータ）と、を備えている。そして、ワークテーブルにより液滴吐出ヘッドに対してワークを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドからワーク上に予め形成されたバンクに対して機能液を吐出することで、ワークに対する描画が行われる。
【０００４】
このような液滴吐出装置においては、ワーク上の所望の位置に対して正確に機能液を吐出するために、予めワークのアライメントが行われる。ワークテーブルは回転動作を含めて水平方向に移動自在に構成されており、ワークテーブル上方に設けられたアライメント用のカメラによりワークのアライメントマークを撮像する。そして、撮像された画像に基づいてワークテーブルの水平方向の位置を補正することで、ワークのアライメントが行われる。その後、アライメントされたワークを予め定められた位置に移動させ、液滴吐出ヘッドからワークのバンク内に機能液が吐出される。
【０００５】
また、液滴吐出装置における描画動作では、ワークを主走査方向（Ｙ軸正方向）に移動させながら、第１の描画動作（往道パス）を行う。その後、ワークテーブルを主走査方向に直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させて、さらにワークを主走査方向（Ｙ軸負方向）に移動させながら、第２の描画動作（復道パス）を行う。そして、再度ワークテーブルを副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させて、さらにワークを主走査方向（Ｙ軸正方向）に移動させながら、第３の描画動作（往道パス）を行う。このような描画動作により、ワーク全面に対して描画が行われる。
【０００６】
なお、以下の説明において、このように第１の描画動作〜第３の描画動作を行う際、ワークテーブルを副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させる動作を「改行」という場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−１９８０２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、ワークのアライメントを行った後、ワークステージを機能液滴吐出ヘッドに向けて移動させる過程でワークの姿勢ずれや、ワークステージの移動機構の機械的な精度や直進性変化、温度変化、経時変化といった要因により、機能液滴吐出ヘッドとワーク上のバンクとの位置関係が変化してしまう場合がある。
【０００９】
また、ワークテーブルを改行した際に、当該ワークテーブルの姿勢、重心、直進性が変わるといった要因により、液滴吐出ヘッドとバンクとの位置関係が変化する場合がある。このようなワークテーブルの姿勢変化、重心の変化、直進性の変化は、例えば改行する際の移動機構の機械的な精度や、ワークテーブルが移動するステージの非平坦性などによって生じ得る。
【００１０】
そして近年、液滴吐出装置で製造されるテレビなどの製品は、大型で高精細（例えば４Ｋ、８Ｋ）が主流になっており、ワークの大型化に対応すべく液滴吐出装置も大型化している。このため、上述した要因による液滴吐出ヘッドとバンクとの位置ずれ、すなわち、液滴吐出ヘッドから吐出された液滴がワーク上のバンクに着弾する際の位置ずれが無視できない状況になっている。しかも、ピクセルサイズの影響で、その位置ずれの許容範囲も例えば±２μｍ以下と小さくなってきている。
【００１１】
そこで、液滴吐出装置のように精密制御が必要なステージにおいては、環境変化にロバストに対応できる、ワークテーブルと液滴吐出ヘッドの相対位置の補正技術が求められている。しかしながら現状では、このような精密ステージにおいて、かかる相対位置を適切に補正するには至っていない。
【００１２】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置において、ワークテーブルと液滴吐出ヘッドの相対位置を適切に補正し、当該液滴吐出ヘッドからワークへの液滴の着弾精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記の目的を達成するため、本発明は、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、前記ワークを載置するワークテーブルと、前記ワークテーブルに載置された前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向、主走査方向に直交する副走査方向及び回転方向に相対的に移動させる移動機構と、主走査方向における前記液滴吐出ヘッドの下流側に設けられ、前記ワークの撮像画像を取得する撮像部と、前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドの相対位置の補正量を算出し、当該補正量に基づいて前記移動機構を制御する制御部と、を有し、前記ワークは、前記補正量を算出する際に用いられ、上面に複数の基準マークが形成された基準ワークを含み、前記制御部は、前記基準マークに向けて前記液滴吐出ヘッドから吐出された液滴を着弾させた後、前記撮像部において前記基準ワークの撮像画像を取得し、前記撮像画像に基づいて、前記基準マークの位置と前記液滴の着弾位置の位置ずれ量を検出し、前記位置ずれ量に基づいて前記補正量を算出することを特徴としている。
【００１４】
本発明によれば、先ず、基準マークに向けて液滴吐出ヘッドから吐出された液滴を着弾させた後、撮像部において基準ワークの撮像画像を取得する。そして、撮像画像に基づいて、基準マークの位置と液滴の着弾位置の位置ずれ量を検出し、さらにこの位置ずれ量に基づいて、ワークテーブルと液滴吐出ヘッドの相対位置の補正量を算出する。そして、このように算出された補正量に基づいて移動機構が制御される。
【００１５】
かかる場合、液滴吐出装置における各部材の温度変化や経時変化といった要因によりワークの位置ずれが生じ、或いはワークテーブルを改行する際にワークの位置ずれが生じても、算出された補正量に基づいて、ワークテーブルと液滴吐出ヘッドの相対位置を適切に補正することができる。したがって、液滴吐出ヘッドとワークを高精度に位置合わせすることができ、液滴吐出ヘッドからワークへの液滴の吐出精度（着弾精度）を向上させることができる。
【００１６】
前記制御部は、前記ワークテーブルの回転方向の位置と副走査方向の位置の補正量を算出し、その後、前記液滴吐出ヘッドの回転方向の位置と副走査方向の位置の補正量を算出し、その後、前記ワークテーブルの主走査方向の位置の補正量を算出し、その後、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴吐出タイミングの補正量を算出してもよい。
【００１７】
前記基準ワークの上面には、複数の前記基準マークを含み、当該基準マークに向けて液滴が着弾する着弾領域が形成され、前記着弾領域は、副走査方向に延伸し、主走査方向に複数並べて配置されていてもよい。
【００１８】
前記制御部は、主走査方向に延伸し、副走査方向に複数並べて設定される走査ライン毎に、前記補正量を算出してもよい。
【００１９】
複数の前記走査ラインは、前記補正量が算出された第１の走査ラインと、前記補正量が算出されていない第２の走査ラインとを有し、前記制御部は、前記第１の走査ラインの前記補正量を補間して、前記第２の走査ラインの前記補正量を算出してもよい。
【００２０】
別な観点による本発明は、液滴吐出装置を用いて、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、前記液滴吐出装置は、前記ワークを載置するワークテーブルと、前記ワークテーブルに載置された前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドを、主走査方向、主走査方向に直交する副走査方向及び回転方向に相対的に移動させる移動機構と、主走査方向における前記液滴吐出ヘッドの下流側に設けられ、前記ワークの撮像画像を取得する撮像部と、を有し、前記ワークは、上面に複数の基準マークが形成された基準ワークを含み、前記液滴吐出方法は、前記基準マークに向けて前記液滴吐出ヘッドから吐出された液滴を着弾させる第１の工程と、その後、前記撮像部において前記基準ワークの撮像画像を取得する第２の工程と、その後、前記撮像画像に基づいて、前記基準マークの位置と前記液滴の着弾位置の位置ずれ量を検出する第３の工程と、その後、前記位置ずれ量に基づいて、前記ワークテーブルと前記液滴吐出ヘッドの相対位置の補正量を算出し、当該補正量に基づいて前記移動機構を制御する第４の工程と、を有することを特徴としている。
【００２１】
前記第４の工程において、前記ワークテーブルの回転方向の位置と副走査方向の位置の補正量を算出し、その後、前記液滴吐出ヘッドの回転方向の位置と副走査方向の位置の補正量を算出し、その後、前記ワークテーブルの主走査方向の位置の補正量を算出し、その後、前記液滴吐出ヘッドにおける液滴吐出タイミングの補正量を算出してもよい。
【００２２】
前記基準ワークの上面には、複数の前記基準マークを含み、当該基準マークに向けて液滴が着弾する着弾領域が形成され、前記着弾領域は、副走査方向に延伸し、主走査方向に複数並べて配置されていてもよい。
【００２３】
前記第１の工程〜前記第４の工程は、主走査方向に延伸し、副走査方向に複数並べて設定される走査ライン毎に行われてもよい。
【００２４】
複数の前記走査ラインは、前記補正量が算出された第１の走査ラインと、前記補正量が算出されていない第２の走査ラインとを有し、前記第４の工程において、前記第１の走査ラインの前記補正量を補間して、前記第２の走査ラインの前記補正量を算出してもよい。
【００２５】
また別な観点による本発明によれば、前記液滴吐出方法を液滴吐出装置によって実行させるように、当該液滴吐出装置のコンピュータ上で動作するプログラムが提供される。
【００２６】
さらに別な観点による本発明によれば、前記プログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体が提供される。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、液滴吐出装置における各部材の温度変化や経時変化といった要因によりワークの位置ずれが生じ、或いはワークテーブルを改行する際にワークの位置ずれが生じても、ワークテーブルと液滴吐出ヘッドの相対位置を適切に補正し、当該液滴吐出ヘッドからワークへの液滴の着弾精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本実施の形態にかかる液滴吐出装置の構成の概略を示す側面図である。
【図２】本実施の形態にかかる液滴吐出装置の構成の概略を示す平面図である。
【図３】制御部の構成の概略を模式的に示す説明図である。
【図４】基準ワークの構成の概略を示す説明図である。
【図５】基準マーク、ターゲット及び液滴の位置関係を示す説明図である。
【図６】補正器においてパルス信号を変換する様子を示す説明図である。
【図７】基準ワークに対する描画動作を行う様子を示す平面視における説明図であり、（ａ）は第１の描画動作を示し、（ｂ）は第２の描画動作を示し、（ｃ）は第３の描画動作を示している。
【図８】基準ワークに対する描画動作を行う様子を示す側面視における説明図であり、（ａ）は第１の描画動作を示し、（ｂ）は第２の描画動作を示し、（ｃ）は第３の描画動作を示している。
【図９】ワークに対する描画動作を行う様子を示す平面視における説明図であり、（ａ）は第１の描画動作を示し、（ｂ）は第２の描画動作を示し、（ｃ）は第３の描画動作を示している。
【図１０】基準データを補間する様子を示す表の一例である。
【図１１】他の実施の形態にかかる制御部の構成の概略を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００３０】
＜液滴吐出装置の構成＞
先ず、本実施の形態に係る液滴吐出装置の構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置１の構成の概略を示す側面図である。図２は、液滴吐出装置１の構成の概略を示す平面図である。なお、以下においては、ワークＷの主走査方向をＹ軸方向、主走査方向に直交する副走査方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＸ軸方向に直交する鉛直方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向回りの回転方向をθ方向とする。
【００３１】
液滴吐出装置１は、主走査方向（Ｙ軸方向）に延在して、ワークＷを主走査方向に移動させるＹ軸ステージ１０と、Ｙ軸ステージ１０を跨ぐように架け渡され、副走査方向（Ｘ軸方向）に延在する一対のＸ軸ステージ１１、１１とを有している。Ｙ軸ステージ１０の上面には、一対のＹ軸ガイドレール１２、１２がＹ軸方向に延伸して設けられ、各Ｙ軸ガイドレール１２には、Ｙ軸リニアモータ１３が設けられている。各Ｘ軸ステージ１１の上面には、Ｘ軸ガイドレール１４がＸ軸方向に延伸して設けられ、当該Ｘ軸ガイドレール１４には、Ｘ軸リニアモータ１５が設けられている。なお、以下の説明では、Ｙ軸ステージ１０上において、Ｘ軸ステージ１１よりＹ軸負方向側のエリアを搬入出エリアＡ１といい、一対のＸ軸ステージ１１、１１間のエリアを処理エリアＡ２といい、Ｘ軸ステージ１１よりＹ軸正方向側のエリアを待機エリアＡ３という。
【００３２】
Ｙ軸リニアモータ１３には、当該Ｙ軸リニアモータ１３の位置を測定するＹ軸リニアスケール１６が設けられている。Ｙ軸リニアスケール１６からは、Ｙ軸リニアモータ１３の位置を示すエンコーダパルス（パルス信号）が出力される。なお、Ｙ軸リニアモータ１３の位置とは、Ｙ軸リニアモータ１３の可動子の位置を意味する。
【００３３】
Ｙ軸ステージ１０上には、ワークテーブル２０が設けられている。一対のＸ軸ステージ１１、１１には、キャリッジユニット３０と撮像ユニット４０が設けられている。
【００３４】
ワークテーブル２０は、例えば真空吸着テーブルであり、ワークＷを吸着して載置する。ワークテーブル２０は、当該ワークテーブル２０の下面側に設けられたテーブル移動機構２１によって、Ｘ軸方向に移動自在であると共にθ方向に回転自在に支持されている。ワークテーブル２０とテーブル移動機構２１は、テーブル移動機構２１の下面側に設けられたＹ軸スライダ２２に支持されている。Ｙ軸スライダ２２は、Ｙ軸ガイドレール１２に取り付けられ、Ｙ軸リニアモータ１３によってＹ軸方向に移動自在に構成されている。したがって、ワークＷを載置した状態でワークテーブル２０をＹ軸スライダ２２によってＹ軸ガイドレール１２に沿ってＹ軸方向に移動させることで、ワークＷをＹ軸方向に移動させることができる。なお、本実施の形態では、テーブル移動機構２１がワークテーブル２０をＸ軸方向に移動させ、且つθ方向に回転させていたが、ワークテーブル２０をＸ軸方向に移動させる機構とθ方向に回転させる機構はそれぞれ別であってもよい。
【００３５】
テーブル移動機構２１には、当該テーブル移動機構２１のＸ軸方向の位置を測定するＸ軸リニアスケール２３と、テーブル移動機構２１のθ方向の位置を測定するロータリエンコーダ２４とが設けられている。Ｘ軸リニアスケール２３とロータリエンコーダ２４からは、それぞれテーブル移動機構２１（ワークテーブル２０）のＸ軸方向の位置とθ方向の位置を示すエンコーダパルス（パルス信号）が出力される。
【００３６】
なお、搬入出エリアＡ１におけるワークテーブル２０の上方には、ワークテーブル２０上のワークＷを撮像するワークアライメントカメラ（図示せず）が設けられている。そして、ワークアライメントカメラで撮像された画像に基づいて、Ｙ軸スライダ２２及びテーブル移動機構２１により、ワークテーブル２０に載置されたワークＷのＹ軸方向、Ｘ軸方向及びθ方向の位置が必要に応じて補正される。これにより、ワークＷがアライメントされて所定の初期位置に設定される。
【００３７】
キャリッジユニット３０は、Ｘ軸ステージ１１において、複数、例えば１０個設けられている。各キャリッジユニット３０は、キャリッジプレート３１と、キャリッジ保持機構３２と、キャリッジ３３と、液滴吐出ヘッド３４とを有している。キャリッジ保持機構３２は、キャリッジプレート３１の下面の中央部に設けられ、当該キャリッジ保持機構３２の下端部にキャリッジ３３が着脱自在に取り付けられている。
【００３８】
キャリッジプレート３１は、Ｘ軸ガイドレール１４に取り付けられ、Ｘ軸リニアモータ１５によってＸ軸方向に移動自在になっている。なお、複数のキャリッジプレート３１を一体としてＸ軸方向に移動させることも可能である。
【００３９】
キャリッジ３３には、モータ（図示せず）が取り付けられている。このモータにより、キャリッジ３３はＸ軸方向及びθ方向に移動自在に構成されている。本実施の形態では、Ｙ軸リニアモータ１３、テーブル移動機構２１及びキャリッジ３３が、本発明の移動機構を構成している。なお、キャリッジ３３のＸ軸方向及びθ方向の移動は、例えばキャリッジ保持機構３２によって行われてもよい。
【００４０】
キャリッジ３３の下面には、複数の液滴吐出ヘッド３４がＹ軸方向及びＸ軸方向に並べて設けられている。本実施の形態では、例えばＹ軸方向に６個、Ｘ軸方向に２個、すなわち合計１２個の液滴吐出ヘッド３４が設けられている。液滴吐出ヘッド３４の下面、すなわちノズル面には複数の吐出ノズル（図示せず）が形成されている。そして、当該吐出ノズルからは、液滴吐出ヘッド３４直下の液滴吐出位置に対して機能液の液滴が吐出されるようになっている。
【００４１】
撮像ユニット４０は、キャリッジ３３（液滴吐出ヘッド３４）を挟んでＹ軸方向に対向して設けられた第１の撮像部４１と第２の撮像部４２を有している。第１の撮像部４１及び第２の撮像部４２としては、例えばＣＣＤカメラが用いられ、ワークテーブル２０の移動中、停止中、ワーク処理中（液滴吐出中）のいずれにおいても、当該ワークテーブル２０に載置されたワークＷを撮像することができる。第１の撮像部４１は、キャリッジ３３に対してＹ軸負方向側に配置されており、第２の撮像部４２は、キャリッジ３３に対してＹ軸正方向側に配置されている。なお、撮像ユニット４０はＸ軸方向に移動可能に構成されていてもよい。
【００４２】
第１の撮像部４１は、一対のＸ軸ステージ１１、１１のうち、Ｙ軸負方向側のＸ軸ステージ１１の側面に設けられたベース４３に支持されている。そして、第１の撮像部４１の直下にワークテーブル２０が案内された際、第１の撮像部４１は、所定の周期でワークテーブル２０上に載置されたワークＷを撮像する。
【００４３】
第２の撮像部４２は、一対のＸ軸ステージ１１、１１のうち、Ｙ軸正方向側のＸ軸ステージ１１の側面に設けられたベース４４に支持されている。そして、第２の撮像部４２の直下にワークテーブル２０が案内された際、第２の撮像部４２は、ワークテーブル２０上に載置されたワークＷを撮像することにより、ワークＷの上面に着弾した液滴を撮像することができる。取得された撮像画像は、後述する制御部１５０の補正量算出器１６０に入力される。
【００４４】
＜制御部＞
以上の液滴吐出装置１には、制御部１５０が設けられている。制御部１５０は、例えばコンピュータであり、データ格納部（図示せず）を有している。データ格納部には、例えばワークＷに吐出される液滴を制御し、当該ワークＷに所定のパターンを描画するための描画データ（ビットマップデータ）などが格納されている。また、制御部１５０は、プログラム格納部（図示せず）を有している。プログラム格納部には、液滴吐出装置１における各種処理を制御するプログラムなどが格納されている。
【００４５】
なお、前記データや前記プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルデスク（ＭＯ）、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御部１５０にインストールされたものであってもよい。
【００４６】
また、制御部１５０は、図３に示すように第２の撮像部４２で取得された撮像画像を処理して当該撮像画像から各種補正量を算出する補正量算出器１６０と、ワークテーブル２０の位置（Ｙ軸リニアモータ１３及びテーブル移動機構２１の位置）を補正する補正器１６１と、Ｙ軸リニアモータ１３及びテーブル移動機構２１の移動を制御する第１のモーションコントローラ１６２（モーションドライバ）と、キャリッジ３３の移動を制御する第２のモーションコントローラ１６３と、液滴吐出ヘッド３４の吐出タイミングを制御するインクジェットコントローラ１６４と、を有している。
【００４７】
（補正量算出器）
補正量算出器１６０は、第２の撮像部４２で取得された撮像画像に基づいて、ワークテーブル２０と液滴吐出ヘッド３４の相対位置の補正量、及び液滴吐出ヘッド３４における液滴吐出タイミングの補正量を算出する。そして、補正量を算出するにあたっては、量産のための製品用のワークＷではなく、図４に示す基準ワークＷｆが用いられる。
【００４８】
ここで、基準ワークＷｆの構成について説明する。基準ワークＷｆの上面には、液滴吐出ヘッド３４からの液滴が着弾する着弾領域Ｅ１〜Ｅ３が形成されている。第１の着弾領域Ｅ１はＹ軸負方向側に形成され、第２の着弾領域Ｅ２はＹ軸方向中央に形成され、第３の着弾領域Ｅ３はＹ軸正方向側に形成されている。
【００４９】
なお、着弾領域Ｅの数は本実施の形態に限定されないが、２つ以上必要となる。後述するように、補正量算出器１６０では、着弾領域Ｅにおける液滴の位置ずれ量を用いて、ワークテーブル２０と液滴吐出ヘッド３４の相対位置の補正量、及び液滴吐出ヘッド３４における液滴吐出タイミングの補正量を算出する。すなわち、基準ワークＷｆの少なくともＹ軸方向、Ｘ軸方向及びθ方向の位置情報が必要であるため、着弾領域Ｅも２つ以上必要となる。そこで、本実施の形態の基準ワークＷｆの上面には、３つの着弾領域Ｅ１〜Ｅ３が形成されている。なお、着弾領域Ｅは２つであってもよいし、もちろん基準ワークＷｆの全面に液滴を着弾させてもよい。
【００５０】
各着弾領域Ｅ１〜Ｅ３には、複数の基準マーク１００が形成されている。基準００は、Ｘ軸方向に所定ピッチで並べて配置され、且つＹ軸方向に複数列に配置されている。また、図５に示すように各基準マーク１００の近傍には、液滴吐出ヘッド３４からの液滴Ｄの着弾目標位置であるターゲット１０１が設定されている。ここで、液滴吐出ヘッド３４から基準マーク１００にむけて液滴Ｄを吐出すると、第２の撮像部４２でワークＷを撮像する際、基準マーク１００と液滴Ｄが重なり判別することが困難となる。そこで、液滴Ｄのターゲット１０１は、基準マーク１００から少し離れて設定されている。なお、本実施の形態において基準マーク１００とターゲット１０１との距離は微小であり、本発明において基準マーク１００の位置はターゲット１０１の位置と略同一であるとする。
【００５１】
基準マーク１００は、例えばインクジェット方式の描図方法などを用いてワークＷの上面に描図されている。なお、図４及び図５では、基準マーク１００として略十字形のマークを描図しているが、基準マーク１００の形状は本実施の形態の内容に限定されるものではなく、例えば円形や三角形であってもよく、識別可能なものであれば任意に設定できる。
【００５２】
補正量算出器１６０は、図５に示した撮像画像に基づいて、基準ワークＷｆのターゲット１０１の位置と、基準ワークＷｆに着弾した液滴Ｄの位置との位置ずれ量を検出する。位置ずれ量は、Ｙ軸成分としてΔＹが検出され、Ｘ軸成分としてΔＸが検出される。
【００５３】
補正量算出器１６０では、これら位置ずれ量ΔＹ、ΔＸに基づいて、ワークテーブル２０と液滴吐出ヘッド３４の相対位置の補正量、及び液滴吐出ヘッド３４における液滴吐出タイミングの補正量を算出する。具体的には、次のステップＱ１〜Ｑ４の４段階で補正量を算出する。
【００５４】
先ず、位置ずれ量ΔＹ、ΔＸに基づいて、ワークテーブル２０のθ方向の位置の補正量とＸ軸方向の位置の補正量を算出する（ステップＱ１）。算出された補正量は、補正器１６１に出力される。なお、以下の説明において、ステップＱ１で算出される補正量を、テーブル姿勢補正量という。
【００５５】
次に、ステップＱ１のテーブル姿勢補正量がワークテーブル２０に反映された状態で、位置ずれ量ΔＹ、ΔＸに基づいて、液滴吐出ヘッド３４のθ方向の位置の補正量とＸ軸方向の位置の補正量を算出する（ステップＱ２）。算出された補正量は、第２のモーションコントローラ１６３に出力される。なお、以下の説明において、ステップＱ２で算出される補正量を、ヘッド位置補正量という。
【００５６】
次に、ステップＱ２のヘッド位置補正量が液滴吐出ヘッド３４に反映された状態で、位置ずれ量ΔＹ、ΔＸに基づいて、ワークテーブル２０のＹ軸方向の位置の補正量を算出する（ステップＱ３）。算出された補正量は、補正器１６１に出力される。なお、以下の説明において、ステップＱ３で算出される補正量を、テーブルＹ軸位置補正量という。
【００５７】
最後に、ステップＱ３のテーブルＹ軸位置補正量がワークテーブル２０に反映された状態で、位置ずれ量ΔＹ、ΔＸに基づいて、液滴吐出ヘッド３４における液滴Ｄの吐出タイミングを補正する（ステップＱ４）。算出された補正量は、インクジェットコントローラ１６４に出力される。なお、以下の説明において、ステップＱ４で算出される補正量を、吐出タイミング補正量という。
【００５８】
（補正器）
補正器１６１は、補正量算出器１６０からの補正量に基づいて、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号を、Ｙ軸リニアモータ１３の実位置になるように変換する。また、補正器１６１は、補正量算出器１６０からの補正量に基づいて、Ｘ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２４からのパルス信号をそれぞれ、ワークテーブル２０の実姿勢になるように変換する。具体的には、以下のステップＳ１〜Ｓ３を行う。
【００５９】
先ず、補正器１６１では、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号を受信してカウントし、Ｙ軸リニアモータ１３の現在位置を把握する。また、後述するステップＳ３においてパルス信号を変換するために、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号の形状（パルス形状）を解析しておく（ステップＳ１）。ステップＳ１において、補正器１６１では、Ｘ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２４からのパルス信号も受信する。
【００６０】
次に、補正器１６１では、補正量算出器１６０からのテーブル姿勢補正量（ワークテーブル２０のθ方向及びＸ軸方向の位置の補正量）とテーブルＹ軸位置補正量（ワークテーブル２０のＹ軸方向の位置の補正量）を受信する（ステップＳ２）。
【００６１】
次に、補正器１６１では、ステップＳ１で解析したパルス形状と、ステップＳ２で受信したテーブルＹ軸位置補正量とに基づいて、Ｙ軸リニアスケール１６から受信したパルス信号を、Ｙ軸リニアモータ１３の実位置になるように変換する。図６は、パルス信号を変換する様子を示し、左図はＹ軸リニアスケール１６からのパルス信号を示し、右図は変換後、第１のモーションコントローラ１６２に出力するパルス信号を示している。例えば図６（ａ）に示すようにパルスを挿入し、図６（ｂ）に示すようにパルスを削除して、パルスの数を変更するか、或いは図６（ｃ）に示すようにパルスピッチを伸ばし、図６（ｄ）に示すようにパルスピッチを縮めて、パルスピッチを変更する。そして、このようにパルスの数とパルスピッチが変更されたパルス信号は、第１のモーションコントローラ１６２に出力される（ステップＳ３）。
【００６２】
このようにステップＳ３において変換されたパルス信号は、インクジェットコントローラ１６４にも出力される。インクジェットコントローラ１６４は、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングを制御するものであって、Ｙ軸リニアモータ１３の位置に基づいて液滴の吐出タイミングが設定されている。本実施の形態では、補正器１６１から出力されたパルス信号がインクジェットコントローラ１６４に出力されることで、液滴吐出ヘッド３４から適切なタイミングで液滴を吐出することができる。
【００６３】
また、ステップＳ３において、補正器１６１では、ステップＳ２で受信したテーブル姿勢補正量に基づいて、Ｘ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２からのパルス信号をそれぞれ、ワークテーブル２０の実姿勢になるように変換する。変換されたパルス信号は、第１のモーションコントローラ１６２に出力される。
【００６４】
なお、Ｙ軸リニアモータ１３が高速で移動する場合、リアルタイムで補正量を算出する補正器１６１は、高速信号処理が必要となる。このため、補正器１６１は、ＡＳＩＣ（特定アプリケーション向け集積回路）やフィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）で機能実装するのが好ましい。
【００６５】
（第１のモーションコントローラ）
第１のモーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したテーブルＹ軸位置補正量に基づき、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号を変換したパルス信号に基づいて、Ｙ軸リニアモータ１３に対して指令信号（パルス列）を出力して、Ｙ軸リニアモータ１３（ワークテーブル２０）の移動を制御する。また、第１のモーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したテーブル姿勢補正量に基づき、Ｘ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２からのパルス信号をそれぞれ変換したパルス信号に基づいて、テーブル移動機構２１に対して指令信号（パルス列）を出力して、テーブル移動機構２１の移動を制御する。そして、ワークテーブル２０のＹ軸方向、Ｘ軸方向、θ方向の位置が補正される。なお、第１のモーションコントローラ１６２は、Ｙ軸、Ｘ軸、θ等に関するパルス信号を受信して、フルクローズ制御を構成している。
【００６６】
（第２のモーションコントローラ）
第２のモーションコントローラ１６３は、補正量算出器１６０からのヘッド位置補正量に基づいて、キャリッジ３３のＸ軸方向及びθ方向の移動を制御する。そして、液滴吐出ヘッド３４のθ方向及びＸ軸方向の位置が補正される。
【００６７】
（インクジェットコントローラ）
インクジェットコントローラ１６４は、補正器１６１から受信したＹ軸方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、液滴吐出ヘッド３４に対して指令信号（パルス列）を出力して、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングを制御する。また、インクジェットコントローラ１６４は、補正量算出器１６０からの吐出タイミング補正量に基づいて、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングを制御する。
【００６８】
＜液滴吐出装置におけるワーク処理＞
次に、以上のように構成された液滴吐出装置１を用いて行われるワーク処理について説明する。本実施の形態では、製品ワークＷに対する通常の処理を行うに先だって、テーブル姿勢補正量、ヘッド位置補正量、テーブルＹ軸位置補正量及び吐出タイミング補正量を算出するために基準ワークＷｆに対して所定の処理を行う。
【００６９】
（基準ワークに対する処理）
先ず、基準ワークＷｆに所定の処理を行う。搬入出エリアＡ１にワークテーブル２０を配置し、搬送機構（図示せず）により液滴吐出装置１に搬入された基準ワークＷｆが当該ワークテーブル２０に載置される。続いて、ワークアライメントカメラによってワークテーブル２０上の基準ワークＷｆが撮像される。そして、当該撮像された画像に基づいて、テーブル移動機構２１により、ワークテーブル２０に載置された基準ワークＷｆのＸ軸方向及びθ方向の位置が補正され、基準ワークＷｆのアライメントが行われる（ステップＴ１）。
【００７０】
その後、Ｙ軸リニアモータ１３によって、ワークテーブル２０をＹ軸方向に往復動させると共に、Ｘ軸方向に移動（改行）させて、基準ワークＷｆの着弾領域Ｅ１〜Ｅ３が描画される。本実施の形態では、Ｘ軸方向に２回改行する場合であって、すなわちワークテーブル２０が、Ｙ軸方向（主走査方向）に延伸する３本の走査ラインを移動する場合について説明する。また、本実施の形態では、図７に示すように複数の液滴吐出ヘッド３４のうち、２つの液滴吐出ヘッド３４を用いる場合について説明する。なお、この際の液滴吐出ヘッド３４、当該液滴吐出ヘッド３４から吐出される液滴の着弾位置、ワークテーブル２０の改行、往復軌跡等情報は予め登録されており、これに従って描画動作行われる。
【００７１】
先ず、図７（ａ）及び図８（ａ）に示すようにＹ軸リニアモータ１３により、第１の走査ラインＬ１に沿って、ワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１から待機エリアＡ３に移動させながら（Ｙ軸正方向）、第１の描画動作（往道パス）を行う。第１の走査ラインＬ１は、ワークテーブル２０のＸ軸方向中心線Ｃを通るラインである。この際、処理エリアＡ２では、液滴吐出ヘッド３４の下方に移動した基準ワークＷｆに対して、当該液滴吐出ヘッド３４から液滴を吐出する。そうすると、基準ワークＷｆにおいて、液滴吐出ヘッド３４に対応する位置に描画される（ステップＴ２）。具体的には、着弾領域Ｅ１〜Ｅ３のそれぞれにおいて、基準マーク１００の近傍にあるターゲット１０１に向けて、液滴吐出ヘッド３４から液滴が吐出される。そして、第１の走査ラインＬ１において、着弾領域Ｅ１〜Ｅ３が描画される。
【００７２】
次に、図７（ｂ）及び図８（ｂ）に示すようにテーブル移動機構２１により、ワークテーブル２０をＸ軸正方向に１キャリッジ分、移動（改行）させる。続けて、Ｙ軸リニアモータ１３により、第２の走査ラインＬ２に沿って、ワークテーブル２０を待機エリアＡ３から搬入出エリアＡ１に移動させながら（Ｙ軸負方向）、第２の描画動作（復道パス）を行う。すなわち、第２の走査ラインＬ２は、ワークテーブル２０のＸ軸方向中心線ＣよりＸ軸正方向を通るラインである。この際、処理エリアＡ２では、液滴吐出ヘッド３４の下方に移動した基準ワークＷｆに対して、当該液滴吐出ヘッド３４から液滴を吐出する。そうすると、基準ワークＷｆにおいて、液滴吐出ヘッド３４に対応する位置に描画される（ステップＴ３）。具体的には、着弾領域Ｅ１〜Ｅ３のそれぞれにおいて、基準マーク１００の近傍にあるターゲット１０１に向けて、液滴吐出ヘッド３４から液滴が吐出される。そして、第２の走査ラインＬ２において、着弾領域Ｅ１〜Ｅ３が描画される。
【００７３】
次に、図７（ｃ）及び図８（ｃ）に示すようにテーブル移動機構２１により、ワークテーブル２０をＸ軸負方向に２キャリッジ分、移動（改行）させる。続けて、Ｙ軸リニアモータ１３により、第３の走査ラインＬ３に沿って、ワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１から待機エリアＡ３に移動させながら（Ｙ軸正方向）、第３の描画動作（往道パス）を行う。すなわち、第３の走査ラインＬ３は、ワークテーブル２０のＸ軸方向中心線ＣよりＸ軸負方向を通るラインである。この際、処理エリアＡ２では、液滴吐出ヘッド３４の下方に移動した基準ワークＷｆに対して、当該液滴吐出ヘッド３４から液滴を吐出する。そうすると、基準ワークＷｆにおいて、液滴吐出ヘッド３４に対応する位置に描画される（ステップＴ４）。具体的には、着弾領域Ｅ１〜Ｅ３のそれぞれにおいて、基準マーク１００の近傍にあるターゲット１０１に向けて、液滴吐出ヘッド３４から液滴が吐出される。そして、第３の走査ラインＬ３において、着弾領域Ｅ１〜Ｅ３が描画される。
【００７４】
ステップＴ４では、第２の撮像部４２において、基準ワークＷｆの全面を撮像し、当該基準ワークＷｆの上面に着弾した液滴を撮像する。取得された撮像画像は、補正量算出器１６０に入力される。補正量算出器１６０は、上述したステップＱ１〜Ｑ４を行い、第１の走査ラインＬ１〜第３の走査ラインＬ３のそれぞれに対して、テーブル姿勢補正量、ヘッド位置補正量、テーブルＹ軸位置補正量及び吐出タイミング補正量を算出する。以下、第１の走査ラインＬ１に対するこれら４つの補正量を第１の補正量といい、第２の走査ラインＬ２に対するこれら４つの補正量を第２の補正量といい、第３の走査ラインＬ３に対するこれら４つの補正量を第３の補正量という。
【００７５】
こうして、ステップＴ２〜Ｔ４の描画動作により、着弾領域Ｅ１〜Ｅ３に対して描画が行われると共に、第１の走査ラインＬ１〜第３の走査ラインＬ３のそれぞれに対して第１の補正量〜第３の補正量が算出される。
【００７６】
そして、第３の描画動作後、待機エリアＡ３にあるワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１に移動させ、基準ワークＷｆは液滴吐出装置１から搬出される。この際、処理エリアＡ２では、液滴吐出ヘッド３４から基準ワークＷｆに液滴は吐出されない。
【００７７】
（製品用ワークに対する処理）
次に、製品用のワークＷに所定の処理を行う。当該ワークＷの処理においては、先ず、搬入出エリアＡ１において、ワークテーブル２０に載置されたワークＷのＸ軸方向及びθ方向の位置が補正され、ワークＷのアライメントが行われる（ステップＴ５）。このステップＴ５は、上述したステップＴ１と同様である。
【００７８】
その後、図９（ａ）に示すように第１の走査ラインＬ１に沿って、ワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１から待機エリアＡ３に移動させながら、第１の描画動作を行う。そして、ワークＷにおいて、液滴吐出ヘッド３４に対応する位置に描画される（ステップＴ６）。
【００７９】
ステップＴ６では、ワークテーブル２０をＹ軸方向に移動させる際、Ｙ軸リニアスケール１６によってＹ軸リニアモータ１３の位置を測定する。Ｙ軸リニアスケール１６におけるパルス信号は、補正器１６１に出力される。また、Ｘ軸リニアスケール２３とロータリエンコーダ２４によって、それぞれテーブル移動機構２１のＸ軸方向の位置とθ方向の位置も測定し、これらＸ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２４からのパルス信号も、補正器１６１に出力される。
【００８０】
補正器１６１では、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号と、ステップＴ４で算された第１の補正量を用いて、上述したステップＳ１〜Ｓ３を行う。そして、第１の補正量（第１のテーブルＹ軸位置補正量）に基づいて変換したパルス信号が、補正器１６１から第１のモーションコントローラ１６２とインクジェットコントローラ１６４に出力される。また、第１の補正量（第１のテーブル姿勢補正量）に基づいて変換したパルス信号も、補正器１６１から第１のモーションコントローラ１６２に出力される。
【００８１】
第１のモーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したＹ軸方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、Ｙ軸リニアモータ１３に対して指令信号（パルス列）を出力し、当該Ｙ軸リニアモータ１３の位置を補正する。例えば目標位置が１０００ｍｍで＋１μｍ（伸び側）ずれていた場合は、９９９．９９９ｍｍ分のパルスを受信したところで、第１のモーションコントローラ１６２へは１０００ｍｍ位置のパルスを出力する。
【００８２】
また、第１のモーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したＸ軸方向及びθ方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、テーブル移動機構２１に対して指令信号（パルス列）を出力して、テーブル移動機構２１の移動を制御する。そして、ワークテーブル２０の姿勢が補正される。
【００８３】
また、ステップＴ６において、第２のモーションコントローラ１６３は、ステップＴ４で算された第１の補正量（第１のヘッド位置補正量）に基づいて、キャリッジ３３の移動を制御する。そして、液滴吐出ヘッド３４のθ方向及びＸ軸方向の位置が補正される。
【００８４】
さらに、ステップＴ６において、インクジェットコントローラ１６４は、補正器１６１から受信したパルス信号に基づいて、液滴吐出ヘッド３４に対して指令信号（パルス列）を出力して、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングを制御する。また、インクジェットコントローラ１６４は、ステップＴ４で算された第１の補正量（第１の吐出タイミング補正量）に基づいて、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングを制御する。そして、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングが補正される。
【００８５】
次に、図９（ｂ）に示すようにワークテーブル２０をＸ軸正方向に１キャリッジ分、移動（改行）させ、続けて第２の走査ラインＬ２に沿って、ワークテーブル２０を待機エリアＡ３から搬入出エリアＡ１に移動させながら、第２の描画動作を行う。そして、ワークＷにおいて、液滴吐出ヘッド３４に対応する位置に描画される（ステップＴ７）。
【００８６】
ステップＴ７においてもステップＴ６と同様に、ステップＴ４で算された第２の補正量を用いて、ワークテーブル２０のＹ軸方向、Ｘ軸方向並びにθ方向の位置、液滴吐出ヘッド３４のＸ軸方向並びにθ方向の位置、及び液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングが補正される。
【００８７】
次に、図９（ｃ）に示すようにワークテーブル２０をＸ軸負方向に２キャリッジ分、移動（改行）させ、続けて第３の走査ラインＬ３に沿って、ワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１から待機エリアＡ３に移動させながら、第３の描画動作を行う。そして、ワークＷにおいて、液滴吐出ヘッド３４に対応する位置に描画される（ステップＴ８）。
【００８８】
ステップＴ８においてもステップＴ６と同様に、ステップＴ４で算された第３の補正量を用いて、ワークテーブル２０のＹ軸方向、Ｘ軸方向並びにθ方向の位置、液滴吐出ヘッド３４のＸ軸方向並びにθ方向の位置、及び液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングが補正される。
【００８９】
こうして、ステップＴ６〜Ｔ８の描画動作により、ワーク全面に対して描画が行われる。
【００９０】
そして、ワークテーブル２０が搬入出エリアＡ１に移動すると、描画処理が終了したワークＷが液滴吐出装置１から搬出される。続いて、次のワークＷが液滴吐出装置１に搬入される。次いで、上述したステップＴ５のワークＷのアライメントが行われ、引き続きステップＴ６〜Ｔ８が行われる。
【００９１】
以上のように各ワークＷに対してステップＴ５〜Ｔ８が行われ、一連のワーク処理が終了する。
【００９２】
以上の実施の形態によれば、液滴吐出装置１における各部材の温度変化や経時変化といった要因によりワークＷの位置ずれが生じても、算出された第１の補正量〜第３の補正量に基づいて、ワークテーブル２０と液滴吐出ヘッド３４の相対位置を適切に補正することができる。このため、液滴吐出ヘッドとワークを高精度に位置合わせすることができる。また、第１の補正量〜第３の補正量に基づいて、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングも適切に補正することができる。したがって、液滴吐出ヘッド３４からワークＷへの液滴の吐出精度（着弾精度）を向上させることができる。
【００９３】
また、第１の走査ラインＬ１〜第３の走査ラインＬ３のそれぞれに対して第１の補正量〜第３の補正量を作成し、すなわちワークＷの全面に対して、補正量を算出する。このため、ワークテーブル２０を改行する際にワークＷの位置ずれが生じても、これら第１の補正量〜第３の補正量を用いて、ワークテーブル２０と液滴吐出ヘッド３４の相対位置を適切に補正することができ、また液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングも適切に補正することができる。したがって、液滴吐出ヘッド３４からワークＷへの液滴の吐出精度（着弾精度）をさらに高くすることができる。
【００９４】
ここで、例えば第１の補正量のみを算出し、他の第２の走査ラインＬ２と第３の走査ラインＬ３に対して第１の補正量を用いることも可能である。しかしながら、かかる場合、改行した第２の走査ラインＬ２と第３の走査ラインＬ３において、第１の補正量が適切でない場合があり、液滴吐出ヘッド３４からワークＷへの液滴の吐出位置がずれるおそれがある。この点、本実施の形態のようにすべての走査ラインＬ１〜Ｌ３のそれぞれに対して第１の補正量〜第３の補正量を用いることで、より適切にワークテーブル２０と液滴吐出ヘッド３４の相対位置を適切に補正することができる。
【００９５】
＜他の実施の形態＞
次に、本発明の他の実施の形態について説明する。
【００９６】
以上の実施の形態では、ステップＴ２〜Ｔ４を行い、第１の走査ラインＬ１〜第３の走査ラインＬ３において着弾領域Ｅ１〜Ｅ３に描画を行った後、ステップＴ４において、第２の撮像部４２の基準ワークＷｆの撮像画像に基づいて、第１の走査ラインＬ１〜第３の走査ラインＬ３のそれぞれに対して第１の補正量〜第３の補正量を算出した。この点、各ステップＴ２〜Ｔ４において第１の補正量〜第３の補正量をそれぞれ算出してもよい。
【００９７】
かかる場合、ステップＴ２において、第１の描画動作（往道パス）を行い、第１の走査ラインＬ１の着弾領域Ｅ１〜Ｅ３を描画した後、第２の撮像部４２において、基準ワークＷｆを撮像し、当該基準ワークＷｆの上面に着弾した液滴を撮像する。取得された撮像画像は、補正量算出器１６０に入力される。補正量算出器１６０は、上述したステップＱ１〜Ｑ４を行い、テーブル姿勢補正量、ヘッド位置補正量、テーブルＹ軸位置補正量及び吐出タイミング補正量、すなわち第１の補正量を算出する。
【００９８】
また、ステップＴ３において、第２の描画動作（復道パス）を行い、第２の走査ラインＬ２の着弾領域Ｅ１〜Ｅ３を描画した後、第１の撮像部４１において、基準ワークＷｆを撮像し、当該基準ワークＷｆの上面に着弾した液滴を撮像する。取得された撮像画像は、補正量算出器１６０に入力される。補正量算出器１６０は、上述したステップＱ１〜Ｑ４を行い、テーブル姿勢補正量、ヘッド位置補正量、テーブルＹ軸位置補正量及び吐出タイミング補正量、すなわち第２の補正量を算出する。
【００９９】
また、ステップＴ４において、第３の描画動作（往道パス）を行い、第３の走査ラインＬ３の着弾領域Ｅ１〜Ｅ３を描画した後、第２の撮像部４２において、基準ワークＷｆを撮像し、当該基準ワークＷｆの上面に着弾した液滴を撮像する。取得された撮像画像は、補正量算出器１６０に入力される。補正量算出器１６０は、上述したステップＱ１〜Ｑ４を行い、テーブル姿勢補正量、ヘッド位置補正量、テーブルＹ軸位置補正量及び吐出タイミング補正量、すなわち第３の補正量を算出する。
【０１００】
本実施の形態においても、上記実施の形態と同様の効果を享受することができる。すなわち、第１の補正量〜第３の補正量に基づいて、ワークテーブル２０と液滴吐出ヘッド３４の相対位置を適切に補正し、液滴吐出ヘッド３４からワークＷへの液滴の吐出精度（着弾精度）を向上させることができる。
【０１０１】
以上の実施の形態では、ワークテーブル２０が３本の走査ラインＬ１〜Ｌ３に沿って移動し、ワークＷ（基準ワークＷｆ）の全面に描画が行われる場合について説明したが、走査ラインの本数はこれに限定されない。
【０１０２】
また、以上の実施の形態では、すべての走査ラインＬ１〜Ｌ３のそれぞれに対して第１の補正量〜第３の補正量を算出していたが、複数の走査ラインのうち、一部の走査ラインに対して補正量を作成し、当該補正量を補間することで、その他の走査ラインに対して補正量を算出してもよい。
【０１０３】
例えば図１０に示すようにワークテーブル２０を５本の走査ラインＬ１〜Ｌ５に沿って移動させて、基準ワークＷｆの全面に描画を行う場合において、例えば第１の走査ラインＬ１〜第３の走査ラインＬ３に対して第１の補正量〜第３の補正量を算出し、第４の走査ラインＬ４〜第５の走査ラインＬ５に対しては補正量を算出しない場合を例に説明する。なお、第１の補正量〜第３の補正量は、上述したステップＴ２〜Ｔ４を行って作成される。また、以下の説明において、第１の補正量〜第３の補正量を基準データという場合がある。
【０１０４】
図１０において、第１の走査ラインＬ１（改行０ｍｍ）はワークテーブル２０のＸ軸方向中心線Ｃであって、第２の走査ラインＬ２と第４の走査ラインＬ４（改行プラスｍｍ）は中心線ＣよりＸ軸正方向の走査ラインであって、第３の走査ラインＬ３と第５の走査ラインＬ５（改行マイナスｍｍ）は中心線ＣよりＸ軸正方向の走査ラインである。また、図１０に示した例は、ワークテーブル２０のＹ軸方向位置の補正量の一例を示しているが、他にもテーブル姿勢補正量、ヘッド位置補正量、吐出タイミング補正量が算出される。
【０１０５】
そして、第４の走査ラインＬ４に対する第４の補正量は、第１の補正量と第２の補正量を２次元補間して算出される。また、第５の走査ラインＬ５に対する第５の補正量は、第１の補正量と第３の補正量を２次元補間して算出される。なお、第４の補正量と第５の補正量を作成するにあたっての補間方法は２次元補間に限定されない。例えば多次元補間してもよい。
【０１０６】
ここで改行のパターンは複数あり、すべての走査ラインに対してステップＴ２〜Ｔ４を行うのは複雑で煩雑な作業である。本実施の形態では、一部の走査ラインＬ１〜Ｌ３に対してステップＴ２〜Ｔ４を行い基準データを取得し、その他の走査ラインＬ４〜Ｌ５に対しては基準データを補間することで補正量を算出することができる。したがって、煩雑な作業を行うことなく、ワークＷの全面に対して、補正量を算出することができる。
【０１０７】
以上の実施の形態では、制御部１５０は図３に示したように補正器１６１を用いた構成を有していたが、これに限定されない。例えば図１１に示すように制御部１５０は、補正量算出器１６０、第１のモーションコントローラ１６２、第２のモーションコントローラ１６３、インクジェットコントローラ１６４に加えて、第２のモーションコントローラ１６３からのパルス信号を逆変換するエンコーダ逆変換器１７０を有している。なお、本実施の形態の制御部１５０では、補正器１６１を省略している。
【０１０８】
かかる場合、第１のモーションコントローラ１６２において、上述したステップＳ１〜Ｓ３を行う。すなわち、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号と、補正量算出器１６０からのテーブルＹ軸位置補正量とに基づき、Ｙ軸リニアスケール１６から受信したパルス信号を変換する。また、Ｘ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２４からのパルス信号と、補正量算出器１６０からのテーブル姿勢補正量とに基づき、Ｘ軸リニアスケール２３から受信したパルス信号とロータリエンコーダ２４から受信したパルス信号をそれぞれ変換する。
【０１０９】
第１のモーションコントローラ１６２は、上述したＹ軸方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、Ｙ軸リニアモータ１３に対して指令信号（パルス列）を出力し、当該Ｙ軸リニアモータ１３の位置を補正する。例えば目標位置が１０００ｍｍで＋１μｍ（伸び側）ずれていた場合は、９９９．９９９ｍｍに移動するようにＹ軸リニアモータ１３に指令し、実位置が１０００ｍｍになるように補正する。
【０１１０】
また、第１のモーションコントローラ１６２は、上述したＸ軸方向及びθ方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、テーブル移動機構２１に対して指令信号（パルス列）を出力して、テーブル移動機構２１の移動も制御する。
【０１１１】
一方、第１のモーションコントローラ１６２で変換されたＹ軸方向のパルス信号は、エンコーダ逆変換器１７０にも出力される。エンコーダ逆変換器１７０では、逆変換テーブルを用いて、第１のモーションコントローラ１６２からのパルス信号を逆変換して、インクジェットコントローラ１６４に出力する。すなわち、第１のモーションコントローラ１６２からのパルス信号はＹ軸リニアモータ１３の位置を補正するが、このパルス信号をＹ軸リニアスケール１６からのパルス信号に逆変換する。
【０１１２】
ここで、Ｙ軸リニアモータ１３の位置が９９９．９９９ｍｍに補正されても、液滴吐出ヘッド３４の吐出タイミングは目標位置１０００ｍｍのままである。そこで、エンコーダ逆変換器１７０では、第１のモーションコントローラ１６２からの９９９．９９９ｍｍを示すパルス信号を、１０００ｍｍを示すパルス信号に逆変換する。そして、エンコーダ逆変換器１７０からインクジェットコントローラ１６４に、１０００ｍｍを示すパルス信号が出力され、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングが制御される。
【０１１３】
なお、インクジェットコントローラ１６４は、補正量算出器１６０からの吐出タイミング補正量に基づいて、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングを制御する。
【０１１４】
また、第２のモーションコントローラ１６３は、補正量算出器１６０からのヘッド位置補正量に基づいて、キャリッジ３３の移動を制御する。
【０１１５】
こうして、ワークテーブル２０と液滴吐出ヘッド３４の相対位置を適切に補正し、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングも適切に補正することができる。そして、本実施の形態においても、上記実施の形態と同様の効果を享受することができる。
【０１１６】
以上の実施の形態では、ワークテーブル２０をＹ軸方向に移動させていたが、液滴吐出ヘッド３４をＹ軸方向に移動させてもよい。また、ワークテーブル２０と液滴吐出ヘッド３４の両方をＹ軸方向に移動させてもよい。いずれの場合においても、補正量算出器１６０は、上述したステップＱ１〜Ｑ４を行い、テーブル姿勢補正量、ヘッド位置補正量、テーブルＹ軸位置補正量及び吐出タイミング補正量を算出する。
【０１１７】
また、以上の実施の形態では、ワークテーブル２０をＸ軸方向に移動させて改行していたが、液滴吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させてもよい。Ｘ軸方向に液滴吐出ヘッド３４を移動させる場合は、Ｘ軸リニアモータ１５を用いてもよい。
【０１１８】
＜液滴吐出装置の適用例＞
以上のように構成された液滴吐出装置１は、例えば特開２０１７−１３０１１号公報に記載された、有機発光ダイオードの有機ＥＬ層を形成する基板処理システムに適用される。具体的に液滴吐出装置１は、ワークＷとしてのガラス基板上に正孔注入層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置、ガラス基板（正孔注入層）上に正孔輸送層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置、ガラス基板（正孔輸送層）上に発光層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置に適用される。なお、基板処理システムにおいて、有機発光ダイオードの正孔注入層、正孔輸送層及び発光層を形成する他に、電子輸送層と電子注入層も形成する場合、液滴吐出装置１は、これら電子輸送層と電子注入層の塗布処理にも適用できる。
【０１１９】
また、液滴吐出装置１は、上述のように有機発光ダイオードの有機ＥＬ層を形成する際に適用するほか、例えばカラーフィルタ、液晶表示装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等の電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）を製造する際にも適用してもよいし、或いは金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成、及び光拡散体形成等を製造する際にも適用してもよい。
【０１２０】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【０１２１】
１      液滴吐出装置
１０    Ｙ軸ステージ
１１    Ｘ軸ステージ
１２    Ｙ軸ガイドレール
１３    Ｙ軸リニアモータ
１４    Ｘ軸ガイドレール
１５    Ｘ軸リニアモータ
１６    Ｙ軸リニアスケール
２０    ワークテーブル
２１    テーブル移動機構
２２    Ｙ軸スライダ
２３    Ｘ軸リニアスケール
２４    ロータリエンコーダ
３０    キャリッジユニット
３３    キャリッジ
３４    液滴吐出ヘッド
４０    撮像ユニット
４１    第１の撮像部
４２    第２の撮像部
１００  基準マーク
１０１  ターゲット
１５０  制御部
１６０  補正量算出器
１６１  補正器
１６２  第１のモーションコントローラ
１６３  第２のモーションコントローラ
１６４  インクジェットコントローラ
１７０  エンコーダ逆変換器
Ｄ      液滴
Ｅ１〜Ｅ３  着弾領域
Ｌ１〜Ｌ５  走査ライン
Ｗ      ワーク
Ｗｆ    基準ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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