(57)【要約】【課題】圧電素子を構成する圧電体層の破損を抑制する。【解決手段】圧力室が形成された圧力室基板と、前記圧力室基板の面上に形成されて前記圧力室の壁面を構成する振動板と、前記振動板の面上に形成された圧電素子とを具備し、前記圧電素子は、第１電極および第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間の圧電体層とを含み、前記第１電極のうち前記第２電極の周縁と重なる部分である境界部は、平面視で前記圧力室の外側の領域内に位置し、前記圧力室基板のうち平面視で前記境界部に重なる領域には、当該圧力室基板が除去された除去部が前記圧力室とは独立に形成される液体噴射ヘッド。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室が形成された圧力室基板と、
前記圧力室基板の面上に形成されて前記圧力室の壁面を構成する振動板と、
前記振動板の面上に形成された圧電素子とを具備し、
前記圧電素子は、
第１電極および第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極との間の圧電体層とを含み、
前記第１電極のうち前記第２電極の周縁と重なる部分である境界部は、平面視で前記圧力室の外側の領域内に位置し、前記圧力室基板のうち平面視で前記境界部に重なる領域には、当該圧力室基板が除去された除去部が前記圧力室とは独立に形成される
液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記圧力室基板には、第１圧力室および第２圧力室が前記圧力室として形成され、
前記第１圧力室に対応する第１圧電素子と前記第２圧力室に対応する第２圧電素子とを前記圧電素子として具備し、
前記第１圧電素子の前記第１電極における前記境界部は、平面視で前記第１圧力室と前記第２圧力室との間に位置し、前記圧力室基板のうち当該境界部が平面視で重なる前記除去部は、平面視で前記第１圧力室と前記第２圧力室との間に形成される
請求項１の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記第１圧力室および前記第２圧力室の各々は、第１部分と、前記第１部分よりも幅が狭い第２部分とを含み、
前記除去部は、前記第１圧力室の前記第２部分と前記第２圧力室の前記第２部分との間に形成される
請求項２の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記除去部の幅は、前記圧力室の幅と比較して狭い
請求項１から請求項３の何れかの液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記除去部の幅は、前記圧力室の幅の半分以下である
請求項４の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れかの液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を利用してインク等の液体を噴射する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の圧力室の各々の壁面を構成する振動板を圧電素子により振動させることで圧力室内の液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッドが従来から提案されている。例えば特許文献１には、圧電素子毎に個別に形成された第１電極と複数の圧電素子にわたる第２電極との間に圧電体層を形成した圧電素子が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−８３７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電体層のうち第１電極と第２電極との間の電界に応じた圧電効果で変形する領域（以下「能動部」という）とそれ以外の非能動部との境界には応力が発生し易い。特許文献１の構成では、圧電体層のうち能動部と非能動部との境界近傍の応力による圧電体層の変形が振動板により拘束され、結果的に圧電体層が破損する可能性がある。以上の事情を考慮して、本発明の好適な態様は、圧電素子を構成する圧電体層の破損を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
＜態様１＞
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１）に係る液体噴射ヘッドは、圧力室が形成された圧力室基板と、前記圧力室基板の面上に形成されて前記圧力室の壁面を構成する振動板と、前記振動板の面上に形成された圧電素子とを具備し、前記圧電素子は、第１電極および第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間の圧電体層とを含み、前記第１電極のうち前記第２電極の周縁と重なる部分である境界部は、平面視で前記圧力室の外側の領域内に位置し、前記圧力室基板のうち平面視で前記境界部に重なる領域には、当該圧力室基板が除去された除去部が前記圧力室とは独立に形成される。以上の態様では、圧電体層のうち境界部の近傍の部分の変形に連動して、振動板のうち除去部に対応する部分が変位するから、圧電体層の内部の応力が振動板の変位により緩和される。したがって、圧電体層のうち境界部の近傍の応力に起因して圧電体層が破損する可能性を低減することが可能である。
＜態様２＞
態様１の好適例（態様２）において、前記圧力室基板には、第１圧力室および第２圧力室が前記圧力室として形成され、前記第１圧力室に対応する第１圧電素子と前記第２圧力室に対応する第２圧電素子とを前記圧電素子として具備し、前記第１圧電素子の前記第１電極における前記境界部は、平面視で前記第１圧力室と前記第２圧力室との間に位置し、前記圧力室基板のうち当該境界部が平面視で重なる前記除去部は、平面視で前記第１圧力室と前記第２圧力室との間に形成される。以上の態様では、第１圧力室と第２圧力室との間に除去部が形成される。したがって、第１圧力室と第２圧力室との間以外の領域に除去部を形成する構成と比較して、第１圧力室と第２圧力室との配列に交差する方向における液体噴射ヘッドのサイズが削減されるという利点がある。
＜態様３＞
態様２の好適例（態様３）において、前記第１圧力室および前記第２圧力室の各々は、第１部分と、前記第１部分よりも幅が狭い第２部分とを含み、前記除去部は、前記第１圧力室の前記第２部分と前記第２圧力室の前記第２部分との間に形成される。以上の態様では、第１圧力室の第２部分と第２圧力室の第２部分との間に除去部が形成される。したがって、第１圧力室または第２圧力室と除去部との間の壁部の厚さや除去部の面積を確保し易いという利点がある。
＜態様４＞
態様１から態様３の何れかの好適例（態様４）において、前記除去部の幅は、前記圧力室の幅と比較して狭い。以上の態様では、除去部の幅が圧力室の幅と比較して狭いから、振動板のうち除去部に対応する部分の過度な変形による破損（例えばクラック）を抑制できるという利点がある。
＜態様５＞
態様４の好適例（態様５）において、前記除去部の幅は、前記圧力室の幅の半分以下である。以上の態様では、除去部の幅が圧力室の幅の半分以下であるから、振動板のうち除去部に対応する部分の過度な変形による破損（例えばクラック）を抑制できるという効果は格別に顕著である。
＜態様６＞
本発明の好適な態様（態様６）に係る液体噴射装置は、以上に例示した各態様に係る液体噴射ヘッドを具備する。液体噴射装置の好例は、インクを噴射する印刷装置であるが、本発明に係る液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１実施形態に係る液体噴射装置の構成図である。
【図２】液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図３】液体噴射ヘッドの断面図（図２のIII-III線の断面図）である。
【図４】複数の圧電素子の平面図である。
【図５】図４におけるＶ-Ｖ線の断面図である。
【図６】図４におけるVI-VI線の断面図である。
【図７】第２実施形態における複数の圧電素子の平面図である。
【図８】第３実施形態における複数の圧電素子の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体噴射装置１００を例示する構成図である。第１実施形態の液体噴射装置１００は、液体の例示であるインクを媒体（噴射対象）１２に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体１２として利用され得る。図１に例示される通り、液体噴射装置１００には、インクを貯留する液体容器１４が設置される。例えば液体噴射装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンクが液体容器１４として利用される。
【０００８】
図１に例示される通り、液体噴射装置１００は、制御ユニット２０と搬送機構２２と移動機構２４と液体噴射ヘッド２６とを具備する。制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリ等の記憶回路とを含み、液体噴射装置１００の各要素を統括的に制御する。搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ方向に搬送する。
【０００９】
移動機構２４は、制御ユニット２０による制御のもとで液体噴射ヘッド２６をＸ方向に往復させる。Ｘ方向は、媒体１２が搬送されるＹ方向に交差（典型的には直交）する方向である。第１実施形態の移動機構２４は、液体噴射ヘッド２６を収容する略箱型の搬送体２４２（キャリッジ）と、搬送体２４２が固定された搬送ベルト２４４とを具備する。なお、複数の液体噴射ヘッド２６を搬送体２４２に搭載した構成や、液体容器１４を液体噴射ヘッド２６とともに搬送体２４２に搭載した構成も採用され得る。
【００１０】
液体噴射ヘッド２６は、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで複数のノズル（噴射孔）から媒体１２に噴射する。搬送機構２２による媒体１２の搬送と搬送体２４２の反復的な往復とに並行して各液体噴射ヘッド２６が媒体１２にインクを噴射することで、媒体１２の表面に所望の画像が形成される。なお、Ｘ-Ｙ平面（例えば媒体１２の表面に平行な平面）に垂直な方向を以下ではＺ方向と表記する。各液体噴射ヘッド２６によるインクの噴射方向（典型的には鉛直方向）がＺ方向に相当する。
【００１１】
図２は、液体噴射ヘッド２６の分解斜視図であり、図３は、図２におけるIII-III線の断面図（Ｘ-Ｚ平面に平行な断面）である。図２および図３に例示される通り、液体噴射ヘッド２６は、Ｙ方向に長尺な略矩形状の流路基板３２を具備する。流路基板３２のうちＺ方向の負側の面上には、圧力室基板３４と振動板３６と複数の圧電素子３８と筐体部４２と封止体４４とが設置される。他方、流路基板３２のうちＺ方向の正側の面上には、ノズル板４６と吸振体４８とが設置される。液体噴射ヘッド２６の各要素は、概略的には流路基板３２と同様にＹ方向に長尺な板状部材であり、例えば接着剤を利用して相互に接合される。
【００１２】
図２に例示される通り、ノズル板４６は、Ｙ方向に配列する複数のノズルＮが形成された板状部材である。各ノズルＮは、インクが通過する貫通孔である。なお、流路基板３２と圧力室基板３４とノズル板４６とは、例えばシリコン（Ｓi）の単結晶基板をエッチング等の半導体製造技術により加工することで形成される。ただし、液体噴射ヘッド２６の各要素の材料や製法は任意である。
【００１３】
流路基板３２は、インクの流路を形成するための板状部材である。図２および図３に例示される通り、流路基板３２には、開口部３２２と供給流路３２４と連通流路３２６とが形成される。開口部３２２は、複数のノズルＮにわたり連続するように平面視で（すなわちＺ方向からみて）Ｙ方向に沿う長尺状に形成された貫通孔である。他方、供給流路３２４および連通流路３２６は、ノズルＮ毎に個別に形成された貫通孔である。また、図３に例示される通り、流路基板３２のうちＺ方向の正側の表面には、複数の供給流路３２４にわたる中継流路３２８が形成される。中継流路３２８は、開口部３２２と複数の供給流路３２４とを連通させる流路である。
【００１４】
筐体部４２は、例えば樹脂材料の射出成形で製造された構造体であり、流路基板３２のうちＺ方向の負側の表面に固定される。図３に例示される通り、筐体部４２には収容部４２２と導入口４２４とが形成される。収容部４２２は、流路基板３２の開口部３２２に対応した外形の凹部であり、導入口４２４は、収容部４２２に連通する貫通孔である。図３から理解される通り、流路基板３２の開口部３２２と筐体部４２の収容部４２２とを相互に連通させた空間が液体貯留室（リザーバー）ＳRとして機能する。液体容器１４から供給されて導入口４２４を通過したインクが液体貯留室ＳRに貯留される。
【００１５】
吸振体４８は、液体貯留室ＳR内の圧力変動を吸収するための要素であり、例えば弾性変形が可能な可撓性のシート部材（コンプライアンス基板）を含んで構成される。具体的には、流路基板３２の開口部３２２と中継流路３２８と複数の供給流路３２４とを閉塞して液体貯留室ＳRの底面を構成するように、流路基板３２のうちＺ方向の正側の表面に吸振体４８が設置される。
【００１６】
図２および図３に例示される通り、圧力室基板３４は、相異なるノズルＮに対応する複数の圧力室ＳCが形成された板状部材である。複数の圧力室ＳCは、Ｙ方向に沿って配列する。各圧力室ＳC（キャビティ）は、平面視でＸ方向に沿う長尺状の開口部である。Ｘ方向の負側における圧力室ＳCの端部は平面視で流路基板３２の１個の供給流路３２４に重なり、Ｙ方向の正側における圧力室ＳCの端部は平面視で流路基板３２の１個の連通流路３２６に重なる。
【００１７】
圧力室基板３４のうち流路基板３２とは反対側の表面には振動板３６が設置される。振動板３６は、弾性的に振動可能な板状部材である。例えば酸化シリコン（ＳiＯ2）等の弾性材料で形成された弾性膜と、酸化ジルコニウム（ＺrＯ2）等の絶縁材料で形成された絶縁膜との積層で振動板３６は形成され得る。
【００１８】
図３から理解される通り、流路基板３２と振動板３６とは、各圧力室ＳCの内側で相互に間隔をあけて対向する。圧力室ＳCは、流路基板３２と振動板３６との間に位置し、当該圧力室ＳC内に充填されたインクに圧力を付与するための空間である。液体貯留室ＳRに貯留されたインクは、中継流路３２８から各供給流路３２４に分岐して複数の圧力室ＳCに並列に供給および充填される。以上の説明から理解される通り、振動板３６は、圧力室ＳCの壁面（具体的には上面）を構成する。
【００１９】
図２および図３に例示される通り、振動板３６のうち圧力室ＳCとは反対側の表面には、相異なるノズルＮ（または圧力室ＳC）に対応する複数の圧電素子３８が設置される。各圧電素子３８は、駆動信号の供給により変形する受動素子である。複数の圧電素子３８は、複数の圧力室ＳCに対応するようにＹ方向に配列する。圧電素子３８の変形に連動して振動板３６が振動すると、圧力室ＳC内の圧力が変動することで、圧力室ＳCに充填されたインクが連通流路３２６とノズルＮとを通過して噴射される。
【００２０】
図２および図３の封止体４４は、複数の圧電素子３８を保護するとともに圧力室基板３４および振動板３６の機械的な強度を補強する構造体であり、振動板３６の表面に例えば接着剤で固定される。封止体４４のうち振動板３６との対向面に形成された凹部の内側に複数の圧電素子３８が収容される。
【００２１】
図３に例示される通り、振動板３６の表面（または圧力室基板３４の表面）には、例えば配線基板５０が接合される。配線基板５０は、制御ユニット２０または電源回路（図示略）と液体噴射ヘッド２６とを電気的に接続するための複数の配線（図示略）が形成された実装部品である。例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）やＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板５０が好適に採用される。
【００２２】
複数の圧電素子３８の具体的な構造を以下に詳述する。図４は、複数の圧電素子３８の平面図であり、図５は、図４におけるＶ-Ｖ線の断面図である。なお、図４および図５では、封止体４４の図示が便宜的に省略されている。
【００２３】
図４および図５に例示される通り、振動板３６の面上には、複数の第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが形成される。第１電極６０は、圧力室ＳC毎（または圧電素子３８毎）に個別に形成された個別電極であり、第２電極８０は、複数の圧力室ＳC（または複数の圧電素子３８）にわたり連続する共通電極である。制御ユニット２０が生成した駆動信号が複数の第１電極６０の各々に個別に供給され、所定の電圧（例えば駆動信号の電圧の基準となる基準電圧）が第２電極８０に供給される。なお、各第１電極６０および第２電極８０の材料は任意であるが、例えば白金（Ｐt）等の含有する低抵抗な導電材料が好適である。また、各第１電極６０および第２電極８０の形成には、スパッタリング等の公知の成膜技術とフォトリソグラフィやエッチング等の加工技術とが好適に利用される。
【００２４】
図４に例示される通り、第１実施形態における複数の第１電極６０の各々は、電極部６２と配線部６４とを含んで構成される。電極部６２は、Ｘ方向に沿って直線状に延在する帯状の電極である。複数の圧力室ＳCの配列に対応するように、圧力室ＳC毎の電極部６２が相互に間隔をあけてＹ方向に配列する。第１実施形態の電極部６２は、平面視で圧力室ＳCの内側に形成される。すなわち、電極部６２の周縁は平面視で圧力室ＳCの内周縁の内側に位置する。
【００２５】
各第１電極６０の配線部６４は、当該第１電極６０の電極部６２を配線基板５０の各配線に電気的に接続するための配線である。第１実施形態の配線部６４は、引出部６４２と導通部６４４とを含んで構成される。電極部６２のうちＸ方向の正側の端部に引出部６４２が連続し、導通部６４４が引出部６４２に連続する。具体的には、第１実施形態の引出部６４２は、電極部６２のうちＸ方向に沿って延在する周縁（すなわち長辺）から平面視でＹ方向の正側に突出する形状に形成される。
【００２６】
図４から理解される通り、引出部６４２は、圧力室ＳCの内周縁のうちＸ方向に沿う長辺Ｌを平面視で跨ぐように形成される。すなわち、引出部６４２は、平面視で圧力室ＳCの長辺Ｌを跨いで圧力室ＳCの内側から外側に連続する。以上の説明から理解される通り、第１実施形態において電極部６２を配線基板５０に電気的に接続するための配線部６４は、圧力室ＳCの内周縁のうちＹ方向に延在する短辺（すなわち圧力室ＳCの端部）を跨がない。
【００２７】
図４に例示される通り、導通部６４４は、引出部６４２のうち圧力室ＳCの外側に位置する端部からＸ方向の正側（電極部６２とは反対側）に延在する。第１実施形態の導通部６４４は、平面視で圧力室ＳCの外側（具体的にはＹ方向に相互に隣合う一対の圧力室ＳCの間）に位置する。
【００２８】
図４および図５に例示される通り、複数の第１電極６０が形成された振動板３６の面上に圧電体層７０が形成される。圧電体層７０の材料または製法は任意であるが、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛等の圧電材料をスパッタリング等の公知の成膜技術で成膜することで圧電体層７０を形成することが可能である。第１実施形態の圧電体層７０は、平面視で複数の圧力室ＳCにわたり連続するようにＹ方向に沿って延在し、複数の第１電極６０の電極部６２を被覆する。具体的には、圧電体層７０は、圧力室ＳCのＸ方向の全長を上回る横幅の帯状に形成される。すなわち、複数の圧力室ＳCは、圧電体層７０が形成された領域に平面視で内包される。
【００２９】
図４に例示される通り、圧電体層７０のうち平面視で相互に隣合う１対の電極部６２の間隙の位置には、Ｙ方向に長尺な切欠部７２（スリット）が形成される。各切欠部７２は、圧電体層７０に形成された貫通孔または有底孔であり、他の部位と比較して剛性が低減された部分である。なお、切欠部７２を省略した構成（圧電体層７０が複数の圧電素子３８にわたり帯状に連続する構成）や、圧電体層７０を圧電素子３８毎に相互に離間して個別に形成した構成も採用され得る。
【００３０】
図４および図５に例示される通り、圧電体層７０の面上には第２電極８０が形成される。第２電極８０は、前述の通り、平面視で複数の圧力室ＳCにわたり連続するようにＹ方向に沿って延在し、複数の第１電極６０における電極部６２に平面視で重なる。図５に例示される通り、圧電体層７０は第１電極６０（電極部６２）と第２電極８０とで挟まれる。第１電極６０と第２電極８０とが圧電体層７０を挟んで平面視で重なる領域が圧電素子３８として機能する。すなわち、第１電極６０（下電極）と圧電体層７０と第２電極８０（上電極）との積層で構成される複数の圧電素子３８が、Ｙ方向に相互に間隔をあけて振動板３６の面上に配列される。制御ユニット２０から配線部６４を介して第１電極６０に供給される駆動信号と、制御ユニット２０から第２電極８０に供給される基準電圧との電圧差に応じた電界の作用で、各圧電素子３８の圧電体層７０が変位する。圧電体層７０の変位に連動した振動板３６の振動により圧力室ＳC内の圧力が変動することで、圧力室ＳCに充填されたインクが連通流路３２６を通過してノズルＮから外部に噴射される。圧電体層７０のうちＸ方向に相互に隣合う各圧電素子３８の間隙には切欠部７２が形成されるから、複数の圧電素子３８の相互間にわたる振動の伝播は抑制される。
【００３１】
第１実施形態の第２電極８０は、圧電体層７０と比較して狭い幅でＹ方向に沿って帯状に延在し、圧電体層７０が形成された領域に平面視で内包される。具体的には、圧電体層７０のうちＸ方向の負側の周縁Ｅa1から正側の周縁Ｅa2までの範囲内に、第２電極８０のうちＸ方向の負側の周縁Ｅb1と正側の周縁Ｅb2とが位置する。
【００３２】
図４から理解される通り、第１電極６０の配線部６４は、第２電極８０の周縁Ｅb2を平面視で跨ぐように形成される。すなわち、配線部６４は、第２電極８０が形成された領域の内側から外側まで周縁Ｅb2を跨いでＸ方向に延在する。したがって、第１実施形態の第１電極６０は、第２電極８０の周縁Ｅb2と重なる部分（以下「境界部」という）６６を包含する。具体的には、第１電極６０の配線部６４における導通部６４４の一部（第２電極８０の周縁Ｅb2に平面視で重なる部分）が境界部６６に相当する。各第１電極６０の境界部６６は、平面視で各圧力室ＳCの外側に位置する。具体的には、Ｙ方向に相互に隣合う一対の圧力室ＳC（第１圧力室および第２圧力室の例示）の間隙内に各境界部６６が位置する。すなわち、Ｙ方向において第１圧力室と第２圧力室との間に境界部６６が形成される。
【００３３】
図６は、図４におけるVI-VI線の断面図である。図４および図６に例示される通り、第１実施形態の圧力室基板３４には、前述の複数の圧力室ＳCに加えて、相異なる圧電素子３８に対応する複数の除去部３４２が形成される。複数の除去部３４２の各々は、圧力室基板３４を貫通する空間（すなわち圧力室基板３４の部分的な除去により形成された開口）である。流路基板３２と振動板３６とは、各除去部３４２の内側で相互に間隔をあけて対向する。
【００３４】
図４および図６に例示される通り、除去部３４２は、圧力室基板３４のうち各第１電極６０の境界部６６に平面視で重なる領域に形成される。すなわち、境界部６６は平面視で除去部３４２の内側に位置する。すなわち、除去部３４２は、Ｙ方向において第１圧力室と第２圧力室との間に形成される。第１実施形態の除去部３４２は、圧力室ＳCとは独立の空間である。すなわち、除去部３４２と圧力室ＳCとは相互に連通しない。したがって、除去部３４２にインクは供給されない。図６に例示される通り、流路基板３２と圧力室基板３４との接合に利用される接着剤３４４の余剰分は除去部３４２の内側に流入する。
【００３５】
図４から理解される通り、除去部３４２の長さ（Ｘ方向の寸法）は幅Ｗaよりも大きい。また、除去部３４２の幅Ｗa（Ｙ方向の寸法）は、圧力室ＳCの幅Ｗbと比較して狭い。具体的には、除去部３４２の幅Ｗaは圧力室ＳCの幅Ｗbの半分以下である。例えば、圧力室ＳCの幅Ｗbは７０μｍ程度であり、除去部３４２の幅Ｗaは３５μｍ以下である。
【００３６】
第１電極６０のうち境界部６６からみて電極部６２側の範囲（周縁Ｅb2からみてＸ方向の負側の部分）は圧電体層７０を挟んで第２電極８０に対向するから、当該範囲内の圧電体層７０は第１電極６０と第２電極８０との間の電位差に応じて変形し得る。他方、第１電極６０のうち境界部６６からみて電極部６２とは反対側の範囲（周縁Ｅb2からみてＸ方向の正側の部分）には第２電極８０が存在しないから、当該範囲内の圧電体層７０は変形しない。すなわち、境界部６６は、圧電体層７０のうち変形する部分（能動部）と変形しない部分（非能動部）との境界に相当する。能動部と非能動部との境界には顕著な応力が発生し易いという傾向がある。
【００３７】
除去部３４２を形成しない構成（以下「対比例」という）では、圧電体層７０が振動板３６により拘束された状態で変位しようとする。したがって、圧電体層７０のうち境界部６６の近傍に顕著な応力が発生し、結果的に圧電体層７０が破損する可能性がある。対比例とは対照的に、第１実施形態では、圧力室基板３４のうち境界部６６に重なる領域に除去部３４２が形成される。したがって、圧電体層７０のうち境界部６６の近傍の部分が変形すると、振動板３６のうち除去部３４２の内側の部分が変位する。すなわち、圧電体層７０の内部の応力が振動板３６の変位により緩和（具体的には吸収または分散）される。したがって、第１実施形態によれば、圧電体層７０のうち境界部６６の近傍の応力に起因して圧電体層７０が破損する可能性が低減されるという利点がある。
【００３８】
また、第１実施形態では、除去部３４２の幅Ｗaが圧力室ＳCの幅Ｗbと比較して狭い。したがって、振動板３６のうち除去部３４２に対応する部分の過度な変形（ひいては振動板３６のクラック等の破損）が抑制される。第１実施形態では特に、除去部３４２の幅Ｗaが圧力室の幅Ｗbの半分以下であるから、振動板３６の過度な変形を抑制できるという効果は格別に顕著である。
【００３９】
＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態を説明する。なお、以下に例示する各構成において作用または機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
【００４０】
図７は、第２実施形態における複数の圧電素子３８の平面図であり、第１実施形態における図４に対応する。図７に例示される通り、第２実施形態では、複数の圧力室ＳCの各々が第１部分Ｐ1と第２部分Ｐ2とを含んで構成される。第２部分Ｐ2は、圧力室ＳCのうち第１部分Ｐ1からみてＸ方向の正側に位置する部分であり、第１部分Ｐ1と比較して幅（Ｙ方向の寸法）が狭い。したがって、Ｙ方向に相互に隣合う一対の圧力室ＳC（第１圧力室および第２圧力室の例示）の間では、第２部分Ｐ2同士の間隔が第１部分Ｐ1同士の間隔よりも広い。
【００４１】
図７に例示される通り、Ｙ方向に相互に隣合う各圧力室ＳCにおける第２部分Ｐ2の間に、第１電極６０のうち第２電極８０の周縁Ｅb2に重なる境界部６６が位置する。第１実施形態と同様に、圧力室基板３４のうち平面視で境界部６６に重なる領域に除去部３４２が形成される。したがって、図７からも理解される通り、圧力室基板３４のうちＹ方向に相互に隣合う各圧力室ＳCにおける第２部分Ｐ2の間に除去部３４２が形成される。除去部３４２の形状や寸法は第１実施形態と同様である。例えば、除去部３４２の幅Ｗa（Ｙ方向の寸法）は、圧力室ＳCの幅Ｗbと比較して狭い。具体的には、除去部３４２の幅Ｗaは圧力室ＳCの幅Ｗbの半分以下である。
【００４２】
第２実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。また、第２実施形態では、各圧力室ＳCの第２部分Ｐ2の間に除去部３４２が形成される。したがって、圧力室ＳCの幅が全長にわたり一定である第１実施形態と比較して、各圧力室ＳCと除去部３４２との間の壁部の厚さや除去部３４２の面積を確保し易いという利点がある
【００４３】
＜第３実施形態＞
図８は、第３実施形態における複数の圧電素子３８の平面図であり、第１実施形態における図４に対応する。図８に例示される通り、第３実施形態における第１電極６０の配線部６４は、当該第１電極６０の電極部６２からＸ方向の正側に直線状に延在する。したがって、第１電極６０のうち第２電極８０の周縁Ｅb2に重なる境界部６６は、各圧力室ＳCからみてＸ方向の正側に位置する。圧力室基板３４のうち平面視で境界部６６に重なる領域に除去部３４２が形成される。具体的には、図８から理解される通り、圧力室基板３４のうち各圧力室ＳCからみてＸ方向の正側に除去部３４２が形成される。すなわち、第１実施形態および第２実施形態では、Ｙ方向に相互に隣合う各圧力室ＳCの間に除去部３４２および境界部６６が位置するのに対し、第３実施形態では、各圧力室ＳCと除去部３４２および境界部６６とがＸ方向に配列する。なお、除去部３４２の形状や寸法は第１実施形態と同様である。例えば、除去部３４２の幅Ｗa（Ｙ方向の寸法）は、圧力室ＳCの幅Ｗbと比較して狭い。具体的には、除去部３４２の幅Ｗaは圧力室ＳCの幅Ｗbの半分以下である。
【００４４】
第３実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。第１実施形態および第２実施形態では、各圧力室ＳCの間に除去部３４２が形成されるのに対し、第３実施形態では、各圧力室ＳCの間に除去部３４２を形成する必要がない。したがって、第３実施形態によれば、第１実施形態や第２実施形態と比較して、Ｙ方向における各圧力室ＳCの間隔を削減できる（ひいては複数の圧力室ＳCを高密度に配置できる）という利点がある。他方、第１実施形態および第２実施形態では、各圧力室の間に除去部３４２が形成されるから、第３実施形態と比較してＸ方向における液体噴射ヘッド２６のサイズが削減されるという利点がある。
【００４５】
ところで、振動板３６のうち圧力室ＳCの長辺Ｌの近傍の領域は、圧力室ＳCの短辺の近傍の領域と比較して変形し易い。第１実施形態および第２実施形態では、第１電極６０の配線部６４（引出部６４２）が平面視で圧力室ＳCの長辺Ｌを跨ぐように形成される。したがって、圧力室ＳCの短辺を跨ぐように第１電極６０を形成した第３実施形態の構成と比較して、圧電体層７０のうち引出部６４２に対応した領域に発生する応力が緩和され易く、結果的に圧電体層７０の破損を抑制できるという利点がある。
【００４６】
＜変形例＞
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。なお、以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
【００４７】
（１）圧力室ＳCや圧電素子３８の平面形状は前述の各形態の例示（長方形状）に限定されない。例えば、シリコン（Ｓi）の単結晶基板を圧力室基板３４として利用した構成では、実際には、圧力室ＳCの平面形状に結晶面が反映される。
【００４８】
（２）前述の各形態では、液体噴射ヘッド２６を搭載した搬送体２４２を往復させるシリアル方式の液体噴射装置１００を例示したが、複数のノズルＮが媒体１２の全幅にわたり分布するライン方式の液体噴射装置にも本発明を適用することが可能である。
【００４９】
（３）前述の各形態で例示した液体噴射装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。
【符号の説明】
【００５０】
１００…液体噴射装置、１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２４…移動機構、２６…液体噴射ヘッド、３２……流路基板、３４……圧力室基板、３４２…除去部、３６……振動板、３８……圧電素子、４２……筐体部、４４……封止体、４６……ノズル板、Ｎ……ノズル、４８……吸振体、５０……配線基板、６０…第１電極、６２…電極部、６４…配線部、６４２…引出部、６４４…導通部、６６…境界部、７０…圧電体層、７２…切欠部、８０…第２電極、ＳC…圧力室、ＳR…液体貯留室。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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