(57)【要約】【課題】設備の大型化を抑制しながら、メッキに用いられる処理液をリサイクルすることのできる処理液リサイクル方法および処理液リサイクルシステムを提供する。【解決手段】メッキの対象となるワークに処理液を用いて処理を施す処理部１０と、処理部１０で使用された処理液４０を回収し、回収した処理液４０の水分を蒸発させて、処理液４０に要求される成分の濃度を上げるリサイクル槽２０と、リサイクル槽２０で濃縮された処理液４０を処理部１０に戻す返還路３０とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッキの対象となるワークに処理液を用いて処理を施す処理工程と、
この処理工程で使用された処理液（４０）をリサイクル槽（２０）に回収する回収工程と、
この回収工程で前記リサイクル槽（２０）に回収された処理液（４０）の水分を、当該リサイクル槽（２０）において蒸発させて、処理液（４０）に要求される成分の濃度を上げる濃縮工程と、
この濃縮工程で濃縮された処理液（４０）を前記処理工程に戻して再利用する返還工程と、
を含むことを特徴とする処理液リサイクル方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記処理工程は、第１の同種の処理液（４１）を使用する第１の複数の処理工程と、第２の同種の処理液（４２）を使用する第２の複数の処理工程とを含み、
前記回収工程は、
前記第１の複数の処理工程で使用された第１の同種の処理液（４１）を第１のリサイクル槽（２１）に回収する第１の回収工程と、
前記第２の複数の処理工程で使用された第２の同種の処理液（４２）を第２のリサイクル槽（２２）に回収する第２の回収工程とを含み、
前記返還工程は、
前記第１のリサイクル槽（２１）で濃縮された前記第１の同種の処理液（４１）を前記第１の複数の処理工程にそれぞれ戻す第１の返還工程と、
前記第２のリサイクル槽（２２）で濃縮された前記第２の同種の処理液（４２）を前記第２の複数の処理工程にそれぞれ戻す第２の返還工程と、
を含むことを特徴とする処理液リサイクル方法。
【請求項３】
請求項２において、
前記処理工程は、さらに、第３の処理液（４３）を使用する第３の処理工程を含み、
前記回収工程は、前記第１または第２の返還工程の実施で空になった第１または第２のリサイクル槽（２１または２２）に、前記第３の処理工程で使用された第３の処理液（４３）を回収する第３の回収工程を含み、
前記返還工程は、第１または第２のリサイクル槽（２１または２２）で濃縮された前記第３の処理液（４３）を前記第３の処理工程に戻す第３の返還工程を含むことを特徴とする処理液リサイクル方法。
【請求項４】
請求項１〜３のうちいずれか一項において、
前記リサイクル槽内の処理液中に、ボイラーから供給され、本リサイクル方法が適用される処理工程とは別の処理工程で利用されたスチームが通るスチーム管（５０）を通して前記水分の蒸発を促進させることを特徴とする処理液リサイクル方法。
【請求項５】
メッキの対象となるワークに処理液（４０）を用いて処理を施す処理部（１０）と、
この処理部（１０）で使用された処理液（４０）を回収し、回収した処理液（４０）の水分を蒸発させて、処理液（４０）に要求される成分の濃度を上げるリサイクル槽（２０）と、
このリサイクル槽（２０）で濃縮された処理液（４０）を前記処理部（１０）に戻す返還路（３０）と、
を備えていることを特徴とする処理液リサイクルシステム。
【請求項６】
請求項５において、
前記処理部（１０）は、第１の同種の処理液（４１）を使用する第１の複数の処理部（１１）と、第２の同種の処理液（４２）を使用する第２の複数の処理部（１２）とを含み、
前記リサイクル槽（２０）は、
前記第１の複数の処理部（１１）で使用された第１の同種の処理液（４１）を回収し、その水分を蒸発させて、第１の処理液（４１）に要求される成分の濃度を上げる第１のリサイクル槽（２１）と、
前記第２の複数の処理部（１２）で使用された第２の同種の処理液（４２）を回収し、その水分を蒸発させて、第２の処理液（４２）に要求される成分の濃度を上げる第２のリサイクル槽（２２）と、を備え、
前記返還路（３０）は、
前記第１のリサイクル槽（２１）で濃縮された前記第１の同種の処理液（４１）を前記第１の複数の処理部（１１）にそれぞれ戻す第１の返還路（３１）と、
前記第２のリサイクル槽（２２）で濃縮された前記第２の同種の処理液（４２）を前記第２の複数の処理部（１２）にそれぞれ戻す第２の返還路（３２）と、
を含むことを特徴とする処理液リサイクルシステム。
【請求項７】
請求項６において、
前記処理部（１０）は、さらに、第３の処理液（４３）を使用する第３の処理部（１３）を含み、
前記第１または第２のリサイクル槽（２１または２２）は、前記第１または第２の処理液（４１または４２）を前記処理部（１０）に返還して空になった後に、前記第３の処理部（１３）で使用された第３の処理液（４３）を回収し、
前記返還路（３０）は、第１または第２のリサイクル槽（２１または２２）で濃縮された前記第３の処理液（４３）を前記第３の処理部（１３）に戻す第３の返還路（３３）を含むことを特徴とする処理液リサイクルシズテム。
【請求項８】
請求項５〜７のうちいずれか一項において、
前記リサイクル槽内の処理液中に、ボイラーから供給され、本リサイクルシステムが適用される処理部（１０）とは別の処理部で利用されたスチームが通るスチーム管（５０）を通したことを特徴とする処理液リサイクルシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メッキに用いられる処理液のリサイクル方法およびリサイクルシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、処理液の交換頻度を少なくさせることにより廃液を少量にすることができるとともに被処理基板の被処理面に均一な液処理を施すことができるようにすることを目的とし、
メッキ処理ユニットＭ１〜Ｍ４及び別のメッキ処理システム内のメッキ処理ユニットＭ１′〜Ｍ４′から排出された添加剤を含んだ使用済みのメッキ液をリザーバタンク５０ａ、５０ｂを介しリサイクル槽１６０に移送させ、このリサイクル槽１６０内でフィルタ１６３、ヒータ１６４、及び金属性のメッシュフィルタ１６５を使用してメッキ液から添加剤及びパーティクル等の不純物を除去した後、メッキ液の各成分の濃度を測定してメッキ液中の不足成分を添加してメッキ液を再調製し、この再調製したメッキ液をバッファ槽１８０及びリザーバタンク５０ａ、５０ｂを介して再びメッキ処理ユニットＭ１〜Ｍ４及びメッキ処理ユニットＭ１′〜Ｍ４′に供給してメッキ処理を行う処理液再生方法等が記載されている。
【０００３】
また、特許文献２には、めっき排水を再度使用することにより省資源を図ることを目的とし、
メッキされたワークＷをめっき槽５の上方において第一スプレー洗浄装置１１により洗浄し、オーバーフローした排液を排液受槽３３に送り、一次水洗槽７において浸漬されあるいは第二スプレー洗浄装置１３により洗浄されてオーバーフローした排液を排液受槽３３に送り、排液受槽３３に送られた排液は、濃縮装置４３に送り濃縮して濃厚排液貯槽５７に送り、一定の濃度に達したらめっき槽に戻して再利用する、めっき排水のリサイクルシステムが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３１６８９４号公報
【特許文献２】特開２０００−３５５８００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した特許文献１の技術では、ヒータ１６４は、メッシュフィルタ１６３，１６５とともにメッキ液から添加剤及びパーティクル等の不純物を除去するものであり、メッキ液の必要な成分の濃度を高めるものではない。また、特許文献１の技術は、メッキ液中の不足成分を添加して再調整したメッキ液を貯留するためのバッファ槽１８０も必要とするため、設備が大型化するという難点がある。
【０００６】
また、特許文献２の技術では、その排液受槽３３は排液を貯留するだけであるため、排液の濃縮には、別途濃縮装置４３を必要とし、さらに、濃厚排液貯槽５７も必要としている。  したがって、特許文献２の技術では設備が大型化するという難点がある。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、設備の大型化を抑制しながら、メッキに用いられる処理液をリサイクルすることのできる処理液リサイクル方法および処理液リサイクルシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明の処理液リサイクル方法は、
メッキの対象となるワークに処理液を用いて処理を施す処理工程と、
この処理工程で使用された処理液をリサイクル槽に回収する回収工程と、
この回収工程で前記リサイクル槽に回収された処理液の水分を、当該リサイクル槽において蒸発させて、処理液に要求される成分の濃度を上げる濃縮工程と、
この濃縮工程で濃縮された処理液を前記処理工程に戻して再利用する返還工程と、
を含むことを特徴とする。
なお、本願において、「メッキに用いられる処理液」には、メッキの前処理に用いられる処理液も含まれるものとする。
【０００９】
この処理液リサイクル方法によれば、メッキの対象となるワークに使用された処理液がリサイクル槽に回収され、そのリサイクル槽において、回収された処理液の水分が蒸発させられて、要求される成分の濃度が上げられた後、再び処理工程に戻されて再利用される。
つまり、この処理液リサイクル方法によれば、処理液が回収されたリサイクル槽自体で処理液の水分が蒸発させられるから、前述した従来技術とは異なり、リサイクル槽以外に、リサイクルのためのバッファ槽（１８０）や、排液受槽（３３）および濃縮装置（４３）、濃厚排液貯槽（５７）等を必要としない。
したがって、この処理液リサイクル方法によれば、設備の大型化を抑制しながら、メッキに用いられる処理液をリサイクルすることが可能となる。
【００１０】
この処理液リサイクル方法においては、
前記処理工程は、第１の同種の処理液を使用する第１の複数の処理工程と、第２の同種の処理液を使用する第２の複数の処理工程とを含み、
前記回収工程は、
前記第１の複数の処理工程で使用された第１の同種の処理液を第１のリサイクル槽に回収する第１の回収工程と、
前記第２の複数の処理工程で使用された第２の同種の処理液を第２のリサイクル槽に回収する第２の回収工程とを含み、
前記返還工程は、
前記第１のリサイクル槽で濃縮された前記第１の同種の処理液を前記第１の複数の処理工程にそれぞれ戻す第１の返還工程と、
前記第２のリサイクル槽で濃縮された前記第２の同種の処理液を前記第２の複数の処理工程にそれぞれ戻す第２の返還工程と、
を含む構成とすることができる。
このように構成すると、同種の処理液を使用する複数の処理工程についてのリサイクル槽が共用されることとなるため、リサイクル槽の増加を抑制することができる。
【００１１】
この処理液リサイクル方法においては、
前記処理工程は、さらに、第３の処理液を使用する第３の処理工程を含み、
前記回収工程は、前記第１または第２の返還工程の実施で空になった第１または第２のリサイクル槽に、前記第３の処理工程で使用された第３の処理液を回収する第３の回収工程を含み、
前記返還工程は、第１または第２のリサイクル槽で濃縮された前記第３の処理液を前記第３の処理工程に戻す第３の返還工程を含む構成とすることができる。
このように構成すると、さらに、第３の処理液を使用する第３の処理工程を含む場合でも、その第３の処理液のためのリサイクル槽が第１または第２のリサイクル槽で共用されるから、リサイクル槽の増加を抑制することができる。
【００１２】
この処理液リサイクル方法においては、
前記リサイクル槽内の処理液中に、ボイラーから供給され、本リサイクル方法が適用される処理工程とは別の処理工程で利用されたスチームが通るスチーム管を通して前記水分の蒸発を促進させる構成とすることができる。
このように構成すると、別の処理工程で利用されたスチームを活用することで、リサイクル槽内の処理液の水分の蒸発を促進させることができる。
【００１３】
上記課題を解決するために本発明の処理液リサイクルシステムは、
メッキの対象となるワークに処理液を用いて処理を施す処理部と、
この処理部で使用された処理液を回収し、回収した処理液の水分を蒸発させて、処理液に要求される成分の濃度を上げるリサイクル槽と、
このリサイクル槽で濃縮された処理液を前記処理部に戻す返還路と、
を備えていることを特徴とする。
【００１４】
この処理液リサイクルシステムによれば、メッキの対象となるワークに使用された処理液がリサイクル槽に回収され、そのリサイクル槽において、回収された処理液の水分が蒸発させられて、要求される成分の濃度が上げられた後、再び処理部に戻されて再利用される。
つまり、この処理液リサイクルシステムによれば、処理液が回収されたリサイクル槽自体で処理液の水分が蒸発させられるから、前述した従来技術とは異なり、リサイクル槽以外に、リサイクルのためのバッファ槽（１８０）や、排液受槽（３３）および濃縮装置（４３）、濃厚排液貯槽（５７）等を必要としない。
したがって、この処理液リサイクルシステムによれば、設備の大型化を抑制しながら、メッキに用いられる処理液をリサイクルすることが可能となる。
【００１５】
この処理液リサイクルシステムにおいては、
前記処理部は、第１の同種の処理液を使用する第１の複数の処理部と、第２の同種の処理液を使用する第２の複数の処理部とを含み、
前記リサイクル槽は、
前記第１の複数の処理部で使用された第１の同種の処理液を回収し、その水分を蒸発させて、第１の処理液に要求される成分の濃度を上げる第１のリサイクル槽と、
前記第２の複数の処理部で使用された第２の同種の処理液を回収し、その水分を蒸発させて、第２の処理液に要求される成分の濃度を上げる第２のリサイクル槽と、を備え、
前記返還路は、
前記第１のリサイクル槽で濃縮された前記第１の同種の処理液を前記第１の複数の処理部にそれぞれ戻す第１の返還路と、
前記第２のリサイクル槽で濃縮された前記第２の同種の処理液を前記第２の複数の処理部にそれぞれ戻す第２の返還路と、
を含む構成とすることができる。
このように構成すると、同種の処理液を使用する複数の処理部についてのリサイクル槽が共用されることとなるため、リサイクル槽の増加を抑制することができる。
【００１６】
この処理液リサイクルシステムにおいては、
前記処理部は、さらに、第３の処理液を使用する第３の処理部を含み、
前記第１または第２のリサイクル槽２２は、前記第１または第２の処理液を前記処理部に返還して空になった後に、前記第３の処理部で使用された第３の処理液を回収し、
前記返還路は、第１または第２のリサイクル槽で濃縮された前記第３の処理液を前記第３の処理部に戻す第３の返還路を含む構成とすることができる。
このように構成すると、さらに、第３の処理液を使用する第３の処理部を含む場合でも、その第３の処理液のためのリサイクル槽が第１または第２のリサイクル槽で共用されるから、リサイクル槽の増加を抑制することができる。
【００１７】
この処理液リサイクル方法および処理液リサイクルシステムにおいては、
前記リサイクル槽内の処理液中に、ボイラーから供給され、本リサイクルシステムが適用される処理部とは別の処理部で利用されたスチームが通るスチーム管を通した構成とすることができる。
このように構成すると、別の処理工程で利用されたスチームを活用することで、リサイクル槽内の処理液の水分の蒸発を促進させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る処理液リサイクル方法ないし処理液リサイクルシステムの実施の形態を示すシステム概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明に係る処理液リサイクル方法ないし処理液リサイクルシステムの実施の形態について図面を参照して説明する。なお、各図において、同一部分ないし相当する部分には、同一の符号を付してある。
【００２０】
図１に示すように、この実施の形態の処理液リサイクル方法を実施する処理液リサイクルシステムは、メッキの対象となるワーク（例えば金属部品（図示せず））に処理液を用いて処理を施す処理部１０と、この処理部１０で使用された処理液を回収し、回収した処理液４０の水分を蒸発させて、処理液４０に要求される成分の濃度を上げるリサイクル槽２０と、このリサイクル槽２０で濃縮された処理液４０を前記処理部１０に戻す返還路３０とを備えている。
【００２１】
つまり、この実施の形態の処理液リサイクル方法は、メッキの対象となるワークに処理液４０を用いて処理を施す処理工程と、この処理工程で使用された処理液４０をリサイクル槽２０に回収する回収工程と、この回収工程でリサイクル槽２０に回収された処理液４０の水分を、当該リサイクル槽２０において蒸発させて、処理液４０に要求される成分の濃度を上げる濃縮工程と、この濃縮工程で濃縮された処理液を前記処理工程に戻して再利用する返還工程とを含んでいる。
【００２２】
この処理液リサイクルシステムないし方法によれば、メッキの対象となるワークに使用された処理液４０がリサイクル槽２０に回収され、そのリサイクル槽２０において、回収された処理液の水分が蒸発させられて、要求される成分の濃度が上げられた後、再び処理工程（処理部１０）に戻されて再利用される。
【００２３】
つまり、この処理液リサイクルシステムないし方法によれば、処理液４０が回収されたリサイクル槽２０自体で処理液４０の水分が蒸発させられるから、前述した従来技術とは異なり、リサイクル槽以外に、リサイクルのためのバッファ槽（１８０）、排液受槽（３３）および濃縮装置（４３）、濃厚排液貯槽（５７）等を必要としない。
【００２４】
したがって、この実施の形態の処理液リサイクルシステムないし方法によれば、設備の大型化を抑制しながら、メッキに用いられる処理液４０をリサイクルすることが可能となる。
【００２５】
処理部１０は、第１の同種の処理液４１を使用する第１の複数（図示のものは２つ）の処理部１１と、第２の同種の処理液４２を使用する第２の複数（図示のものは２つ）の処理部１２とを含んでいる。
【００２６】
リサイクル槽２０は、第１の複数の処理部１１で使用された第１の同種の処理液４１を回収し、その水分を蒸発させて、第１の処理液４１に要求される成分の濃度を上げる第１のリサイクル槽２１と、第２の複数の処理部１２で使用された第２の同種の処理液４２を回収し、その水分を蒸発させて、第２の処理液４２に要求される成分の濃度を上げる第２のリサイクル槽２２とを備えている。
【００２７】
返還路３０は、第１のリサイクル槽２１で濃縮された第１の同種の処理液４１を第１の複数の処理部１１にそれぞれ戻す第１の返還路３１と、第２のリサイクル槽２２で濃縮された第２の同種の処理液４２を第２の複数の処理部１２にそれぞれ戻す第２の返還路３２とを含んでいる。
【００２８】
つまり、処理工程（１０）は、第１の同種の処理液４１を使用する第１の複数の処理工程（１１）と、第２の同種の処理液４２を使用する第２の複数の処理工程（１２）とを含み、回収工程は、第１の複数の処理工程で使用された第１の同種の処理液４１を第１のリサイクル槽２１に回収する第１の回収工程と、第２の複数の処理工程で使用された第２の同種の処理液４２を第２のリサイクル槽２２に回収する第２の回収工程とを含み、返還工程は、第１のリサイクル槽２１で濃縮された前記第１の同種の処理液４１を第１の複数の処理工程（１１）にそれぞれ戻す第１の返還工程と、第２のリサイクル槽２２で濃縮された第２の同種の処理液４２を第２の複数の処理工程（１２）にそれぞれ戻す第２の返還工程とを含んでいる。
【００２９】
以上ように構成すると、同種の処理液（４１または４２）を使用する複数の処理工程ないし処理部（１１または１２）についてのリサイクル槽（２１または２２）が共用されることとなるため、リサイクル槽の増加を抑制することができる。
つまり、この実施の形態では、第１の同種の処理液４１を使用する複数（本実施の形態では２つ）の処理工程ないし処理部１１についてのリサイクル槽２１が共用され、また、第２の同種の処理液４２を使用する複数（本実施の形態では２つ）の処理工程ないし処理部１２についてのリサイクル槽２２が共用されることとなるため、リサイクル槽の増加を抑制することができる。
【００３０】
この実施の形態の処理部１０は、アルミまたはアルミ合金製のワークにメッキを施す前の前処理を行う処理部であり、処理順にしたがって、エッチング処理部１３と、酸活性処理部１１（ａ）と、第１の亜鉛置換処理部１２（ａ）と、溶解活性処理部１１（ｂ）と、第２の亜鉛置換処理部１２（ｂ）とを含んでいる。
【００３１】
酸活性処理部１１（ａ）と溶解活性処理部１１（ｂ）が、上記第１の複数の処理部１１をなすものであり、その処理液４１は酸性溶液である。
第１の亜鉛処理部１２（ａ）と第２の亜鉛処理部１２（ｂ）が、上記第２の複数の処理部１２をなすものであり、その処理液４２はアルカリ性溶液である。
また、エッチング処理部１３は、酸活性処理（１１（ａ））に先立って行われるものであり、後述する第３の処理部の一例をなすものである。
【００３２】
この実施の形態の処理部１０は、さらに、第３の処理液４３を使用する第３の処理部１３を含んでいる。
第２のリサイクル槽２２は、第２の処理液４２を処理部１２（ａ、ｂ）に返還して空になった後に、第３の処理部１３で使用された第３の処理液４３を回収する。
返還路３０は、第２のリサイクル槽２２で濃縮された第３の処理液４３を第３の処理部１３に戻す第３の返還路３３を含んでいる。
【００３３】
つまり、この実施の形態の処理工程は、第３の処理液４３を使用する第３の処理工程を含み、回収工程は、第２の返還工程の実施で空になった第２のリサイクル槽２２に、第３の処理工程で使用された第３の処理液４３を回収する第３の回収工程を含み、返還工程は、第２のリサイクル槽２２で濃縮された第３の処理液４３を第３の処理工程に戻す第３の返還工程を含んでいる。
【００３４】
このように構成すると、さらに、第３の処理液４３を使用する第３の処理部１３を含む場合でも、その第３の処理液４３のためのリサイクル槽が第２のリサイクル槽２２で共用されるから、リサイクル槽の増加を抑制することができる。
【００３５】
なお、この実施の形態では、第３の処理液４３としてアルカリ性溶液を用いるため、共有するリサイクル槽を、アルカリ性溶液を貯留する第２のリサイクル槽２２としたが、第３の処理液４３として酸性溶液を用いる場合には、共有するリサイクル槽を、酸性溶液を貯留する第１のリサイクル槽２１とする。
【００３６】
リサイクル槽２０内の処理液中には、スチーム管５０が通されている。スチーム管５０には、ボイラー（図示せず）から供給され、本リサイクルシステムが適用される処理部１０とは別の処理部、例えば、この前処理（図１）に先立ち実施されるクリーニング処理、あるいはこの前処理後に実施されるメッキ処理を行う処理部で利用されたスチームを通す。
【００３７】
このように構成すると、別の処理工程で利用されたスチームを活用することで、リサイクル槽２０内の処理液の水分の蒸発を促進させることができる。
なお、スチーム管５０は、第１、第２のリサイクル槽２１，２２の両方に通しても良いし、いずれか一方にのみ通しても良い。この実施の形態では両方に通している。
【００３８】
図１において、５５はリサイクル槽２０に設けられた予備的ヒーターであり、スチーム管５０による加温では不十分な場合にのみ作動する。
なお、リサイクル槽２０に回収された処理液４０の温度は、水分の蒸発（気化）が得られる温度であれば良いが、望ましくは５０℃前後とする。温度が低いと蒸発に時間がかかってしまう。一方、５０℃を大きく超えると処理液が変質するおそれがあるからである。
【００３９】
図１に示す前処理工程において、エッチング処理部１３は、エッチング処理およびその後の一次・二次洗浄を行う。酸活性処理部１１（ａ）は酸活性処理およびその後の一次・二次洗浄を行う。第１の亜鉛置換処理部１２（ａ）は第１の亜鉛置換処理およびその後の一次・二次洗浄を行う。溶解活性処理部１１（ｂ）は溶解活性処理およびその後の一次・二次洗浄を行う。第２の亜鉛置換処理部１２（ｂ）は第２の亜鉛置換処理およびその後の一次・二次洗浄を行う。
【００４０】
各処理部の下部には、それぞれの処理部で使用された処理液と洗浄液（この実施の形態では水）とを受ける受部（トレイあるいは槽）１５が設けられている。これら受部１５で受けられた処理液および洗浄液が各受部１５に接続された回収路（パイプ）１６を介して前述した所定のリサイクル槽に回収される。
【００４１】
リサイクル槽２０に回収された処理液４０は、その水分が蒸発させられることで、要求される成分の濃度が上げられるが、複数回（循環）利用されることで、水分の蒸発によっては十分な濃度上昇が得られない場合には、濃度の濃い新液６０（６１，６２）を追加する。
【００４２】
上述した回収路あるいは返還路を構成するパイプには、必要に応じてポンプや電磁弁を設ける。
例えば、図１に示すように、少なくとも返還路３１，３２，３３にはそれぞれ電磁弁３５とポンプＰとを設ける。
【００４３】
上記のような処理液のリサイクルは、処理液が処理液としての機能を維持し得る間続けられるが、処理液が処理液としての機能を維持し得なくなったときには、廃棄する。
【００４４】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
【符号の説明】
【００４５】
１０：処理部、１１：第１の複数の処理部、１２：第２の複数の処理部、１３：第３の処理部、２０：リサイクル槽、２１：第１のリサイクル槽、２２：第２のリサイクル槽、３０：返還路、３１：第１の返還路、３２：第２の返還路、３３：第３の返還路、４０：処理液、４１：第１の同種の処理液、４２：第２の同種の処理液、４３：第３の処理液、５０：スチーム管。
【図１】
2018115358.tif 000003