(57)【要約】【課題】他軸方向の力による主軸出力への影響を緩和し、主軸出力特性を改善することのできる加速度センサを得ることを目的とする。【解決手段】第１の可動電極を用いて主軸方向の加速度を検出して出力する第１検出部と、第２の可動電極を用いて他軸方向の加速度を検出して出力する第２検出部と、前記第２検出部の出力に基づいて前記第１検出部の感度を補正する補正回路と、を備える。ここで、前記補正回路は、前記他軸方向の加速度が正の側と負の側とで異なる数式を用いて出力を補正する構成とする。【選択図】図１２
2018115891.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の可動電極を用いて第１軸方向の加速度を検出して出力する第１検出部と、
第２の可動電極を用いて第２軸方向の加速度を検出して出力する第２検出部と、
前記第２検出部の出力に基づいて前記第１検出部を補正する補正回路と、を備え、
前記補正回路は、前記第２軸方向の加速度が正の側と負の側とで異なる数式を用いて前記第１検出部の出力を補正する加速度センサ。
【請求項２】
前記第１検出部は、第１の可動電極の主面に平行なＸ軸方向の加速度を検出し、
前記第２検出部は、第１の可動電極の主面に平行で前記Ｘ軸に垂直なＹ軸方向の加速度を検出する加速度センサ。
【請求項３】
前記第１検出部は、第１の可動電極の主面に垂直なＺ軸方向の加速度を検出し、
前記第２検出部は、前記Ｚ軸に垂直なＸ軸方向の加速度を検出する加速度センサ。
【請求項４】
前記補正回路は、
前記Ｙ軸加速度が正の側では次の数式１を用いて前記第１検出部の出力を補正し、
前記Ｙ軸加速度が負の側では次の数式２を用いて前記第１検出部の出力を補正し、ここで、
(式１)
Ｘｏｕｔ(調整後)＝Ｘｏｕｔ（調整前）×（１＋ＡＧＣｃｏｄｅ５×Ｙｏｕｔ＋ＡＧＣｃｏｄｅ６×Ｙｏｕｔ＾２）
(式２)
Ｘｏｕｔ(調整後)＝Ｘｏｕｔ（調整前）×（１＋ＡＧＣｃｏｄｅ３×Ｙｏｕｔ＋ＡＧＣｃｏｄｅ４×Ｙｏｕｔ＾２）
ここで、Ｘｏｕｔ（調整前）は補正前の前記第１検出部の出力、Ｘｏｕｔ（調整後）は補正前の前記第１検出部の出力、ＡＧＣｃｏｄｅは定数、Ｙｏｕｔは前記第２検出部の出力、である請求項２の加速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器や車両制御に用いる加速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
他軸方向出力で主軸方向感度を補正する自動補正回路を備える加速度センサが知られている。このような加速度センサを開示する文献としては例えば、特許文献１、２が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１０８５６号公報
【特許文献２】特開平１１-２３６１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の加速度センサの備える補正回路では特性の改善には不十分である。
【０００５】
そこで、本発明は、他軸方向の力による主軸出力への影響を緩和して特性を改善した加速度センサを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の加速度センサは、第１の可動電極を用いて主軸方向の加速度を検出して出力する第１検出部と、第２の可動電極を用いて他軸方向の加速度を検出して出力する第２検出部と、前記第２検出部の出力に基づいて前記第１検出部の感度を補正する補正回路と、を備える。ここで、前記補正回路は、前記他軸方向の加速度が正の側と負の側とで異なる数式を用いて出力を補正する構成とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、他軸方向の力による主軸出力への影響を緩和し、主軸出力特性を改善した加速度センサを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態にかかる加速度センサの構成を示す斜視図
【図２】同センサが備えるセンサチップの分解斜視図
【図３】同センサチップの断面図であって、（ａ）Ｘ検出部の断面図、（ｂ）Ｚ検出部の断面図
【図４】Ｘ方向の加速度が印加されていない状態におけるＸ検出部の断面図
【図５】Ｘ方向の加速度を検出する原理を説明するための図
【図６】Ｘ方向に１Ｇの加速度が印加された状態におけるＸ検出部の断面図
【図７】Ｘ方向の加速度を検出する原理を説明するための図
【図８】Ｚ方向に１Ｇの加速度が印加された状態におけるＺ検出部の断面図
【図９】Ｚ方向の加速度を検出する原理を説明するための図
【図１０】同センサの基準状態を説明するための図であって、（ａ）主軸出力特性を示すグラフ、（ｂ）他軸出力特性を示すグラフ、（ｃ）Ｘ検出部の模式的断面図
【図１１】同センサにおいて補正が必要な状態を説明するための図であって、（ａ）主軸出力特性を示すグラフ、（ｂ）他軸出力特性を示すグラフ、（ｃ）Ｘ検出部の模式的断面図
【図１２】同センサの機能ブロック図
【図１３】Ｘ検出部１０の出力特性を示すグラフ
【図１４】従来のセンサが備える自動補正回路を用いてＸ検出部１０の出力特性を補正した場合示すグラフ
【図１５】Ｘ検出部１０の出力特性を示すグラフ
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態の加速度センサ１０００について図面を用いて説明する。なお、同様の構成要素は共通の符号が付与される。重複する説明は省略され得る。
【００１０】
図１は、本実施の形態の加速度センサ１０００の斜視図である。ここでは、パッケージ３００の蓋は図示されていない。
【００１１】
パッケージ３００は、センサチップ１００と、センサチップ１００からの出力に基づいて各種の演算を行うＡＳＩＣ２００と、が搭載されている。
【００１２】
端子４００は、パッケージ３００から引き出され、外部の基板５００に接続されている。
【００１３】
この加速度センサは静電容量型の加速度センサであり、ＭＥＭＳ技術で製造される。ＸＹＺの３軸方向の加速度を検出するため、各軸の検出を行う３つの重り（可動電極）がセンサチップ１００に配置されている。
【００１４】
図２は、加速度センサ１０００が備えるセンサチップ１００の分解斜視図である。
【００１５】
センサ部１は、基板２ａと基板２ｂにより挟まれている。センサ部１は、シリコンＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｏｎ  ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板等により形成され、基板２ａと基板２ｂは、ガラス等の絶縁体により形成されている。
【００１６】
フレーム部３は、直線状に並ぶ矩形枠１０ａ，矩形枠２０ａ，矩形枠３０ａを備える。
【００１７】
矩形枠１０ａの内側には第１の可動電極１１が配置され、矩形枠２０ａの内側には第２の可動電極２１が配置され、矩形枠３０ａの内側には第３の可動電極３１が配置されている。
【００１８】
以下、センサ部１のうち、Ｘ方向の加速度を検出する部分は「Ｘ検出部１０」、Ｙ方向の加速度を検出する部分は「Ｙ検出部２０」、Ｚ方向の加速度を検出する部分は「Ｚ検出部３０」と定義される。ここで、Ｘ方向は、センサチップ１００の上面に沿う方向のうちの一方向である。Ｙ方向は、センサチップ１００の上面に沿う方向のうちの一方向であってＸ方向と直交する方向である。Ｚ方向は、Ｘ軸とＹ軸とに垂直な方向である。
【００１９】
Ｘ検出部１０は、ビーム部１２ａ、ビーム部１２ｂは、第１の可動電極１１、第１の固定電極１３ａ、及び第１の固定電極１３ｂを備える。
【００２０】
ビーム部１２ａ、ビーム部１２ｂは、第１の可動電極１１を支持する。
【００２１】
第１の固定電極１３ａ，第１の固定電極１３ｂは、ビーム部１２ａとビーム部１２ｂとを結ぶ直線を境界線として第１の可動電極１１の表面の一方側及び他方側に対向する位置に配置される。
【００２２】
第１の可動電極１１と第１の固定電極１３ａとの間の静電容量の変化、及び第１の可動電極１１と第１の固定電極１３ｂとの間の静電容量の変化、に基づいてＸ方向の加速度が検出される。
【００２３】
Ｙ検出部２０は、ビーム部２２ａ、ビーム部２２ｂ、第２の可動電極２１、第２の固定電極２３ａ、及び第２の固定電極２３ｂ、を備える。Ｙ検出部２０はＸ検出部１０を９０°回転したものであり、Ｙ検出部２０を構成する各要素の形状はＸ検出部１０と同じである。
【００２４】
第２の可動電極２１と第２の固定電極２３ａとの間の静電容量の変化、及び第２の可動電極２１と第２の固定電極２３ｂとの間の静電容量の変化、に基づいてＹ方向の加速度が検出される。
ビーム部３２ａ、ビーム部３２ｂ、ビーム部３２ｃ、及びビーム部３２ｄは、第３の可動電極３１を支持する。
【００２５】
第３の固定電極３３ａは、第３の可動電極３１の表面に対向させて配置されている。第３の固定電極３３ｂは、第３の可動電極３１の裏面に対向させて配置されている。
【００２６】
第３の可動電極３１と第３の固定電極３３ａとの間の静電容量の変化、及び第３の可動電極３１と第３の固定電極３３ｂとの間の静電容量の変化、に基づいてＺ方向の加速度が検出される。
【００２７】
図３は、センサチップ１００の断面図であって、（ａ）はＸ検出部１０の断面を示し、（ｂ）はＺ検出部３０の断面を示している。Ｙ検出部２０の断面はＸ検出部１０と同様であるため、ここでは図示を省略している。
【００２８】
第１の固定電極１３ａ、第１の固定電極１３ｂは、第１の貫通電極１４ａ、第１の貫通電極１４ｂを用いて基板２ａの上面（一方側）に引き出されている。
【００２９】
基板２ａの第３の可動電極３１と対向する部分には第３の固定電極３３ａが設けられ、基板２ｂの第３の可動電極３１と対向する部分には第３の固定電極３３ｂが設けられる。これにより、第３の固定電極３３ａは、第３の貫通電極３４ａからの電気信号が基板２ａの上面に引き出されている。
【００３０】
第３の固定電極３３ｂは、矩形領域３３ｂ１から突き出した突出領域３３ｂ２を備える（図２参照）。突出領域３３ｂ２は、第３の可動電極３１とは分離された柱状の固定電極３４ｃに接続され、柱状の固定電極３４ｃは、基板２ａに設けられた第３の貫通電極３４ｂに接続される。これにより、柱状の固定電極３４ｃ及び第３の貫通電極３４ｂを用いて第３の固定電極３３ｂからの電気信号が基板２ａの上面に引き出される。
【００３１】
次に、Ｘ方向の加速度検出原理について説明する。まず、誘電率をε、電極の対向面積をＳ、電極の対向ギャップをｄとした場合、静電容量Ｃは、Ｃ＝εＳ／ｄにより算出することができる。加速度により可動電極が回転すると、対向ギャップｄが変化するため、静電容量Ｃが変化する。そこで、ＡＳＩＣ２００により差分容量（Ｃ１−Ｃ２）をＣＶ変換する。他軸方向の力の影響を緩和する方法については後述する。
【００３２】
図４は、Ｘ方向の加速度が印加されていない状態におけるＸ検出部１０の断面を示している。この場合、図５に示すように、第１の可動電極１１と第１の固定電極１３ａ，１３ｂとの間の静電容量Ｃ１，Ｃ２は等しくなる。ＡＳＩＣ２００は、静電容量Ｃ１と静電容量Ｃ２の差分値（Ｃ１−Ｃ２＝０）を算出し、Ｘ出力として出力する。
【００３３】
図６は、Ｘ方向に１Ｇの加速度が印加された状態におけるＸ検出部１０の断面を示している。この場合、図７に示すように、第１の可動電極１１と第１の固定電極１３ａとの間の静電容量Ｃ１は寄生容量＋ΔＣとなり、第１の可動電極１１と第１の固定電極１３ｂとの間の静電容量Ｃ２は寄生容量−ΔＣとなる。ＡＳＩＣ２００は、静電容量Ｃ１と静電容量Ｃ２の差分値（Ｃ１−Ｃ２＝２ΔＣ）を算出し、Ｘ出力として出力する。
【００３４】
このように、Ｘ検出部１０は、静電容量の変化に基づいてＸ方向の加速度を検出するようになっている。Ｙ検出部２０がＹ方向の加速度を検出する原理も同様である。
【００３５】
図８は、Ｚ方向に１Ｇの加速度が印加された状態におけるＺ検出部３０の断面を示している。この場合、図９に示すように、第３の可動電極３１と第３の固定電極３３ａとの間の静電容量Ｃ５は寄生容量＋ΔＣとなり、第３の可動電極３１と第３の固定電極３３ｂとの間の静電容量Ｃ６は寄生容量−ΔＣとなる。ＡＳＩＣ２００は、静電容量Ｃ５と静電容量Ｃ６の差分値（Ｃ５−Ｃ６＝２ΔＣ）を算出し、Ｚ出力として出力する。このように、Ｚ検出部３０は、静電容量の変化に基づいてＺ方向の加速度を検出するようになっている。
【００３６】
ところで、Ｘ軸方向（以下、「主軸方向」と記載する）の加速度が印加されている状態で、Ｚ軸方向（以下、「他軸方向」と記載する）の加速度が加わると、Ｘ軸方向の出力が実際のＸ軸方向の加速度より大きくなったり、小さくなったりして検出されることがある。このような検出誤差を低減するため、ＡＳＩＣ２００が自動補正回路（別の表現では、オートゲインコントロール回路）を備える。これにより、他軸方向の力による主軸出力への影響が緩和される。この点について詳細に説明する。
【００３７】
以下の説明は、多軸方向の加速度がない状態（以下、「基準状態」と記載）と、多軸方向の加速度がある状態（以下、「補正が必要な状態」）と、に場合を分けて記載される。（１）基準状態
図１０は、基準状態での加速度センサ１０００の動作を説明するための図であって、（ａ）は主軸出力特性を示すグラフ、（ｂ）は他軸出力特性を示すグラフ、（ｃ）はＸ検出部１０の断面図である。図中に示される直線Ｏ１１，Ｏ２１は理想的な出力、曲線Ｏ１２，Ｏ２２は実際の出力を示している。すなわち、理想的な加速度センサによれば、印加する加速度に対して出力が比例するが、実際の出力には誤差が含まれる。そのため、線形領域Ｅ１内の出力だけを使用する方法や、線形領域Ｅ１以外の出力をＡＳＩＣ２００で補正する方法がある。
（２）補正が必要な状態
図１１は、加速度センサ１０００において補正が必要な状態を説明するための図であって、（ａ）は主軸の出力特性を示すグラフ、（ｂ）は他軸の出力特性を示すグラフ、（ｃ）はＸ検出部１０の断面図である。ここでは、図１１（ｂ）に示すように、他軸からの影響が比較的大きい場合を想定している。そのため、図１１（ａ）に示すように、主軸出力（曲線Ｏ１３）と理想的な出力（直線Ｏ１１）との差が基準状態の場合に比べて大きくなる。
【００３８】
このような場合、図１１（ｃ）に示すように、第１の可動電極１１の傾きが大きくなり、ギャップｄが狭くなる。ギャップｄが狭くなると、静電容量の変化ΔＣが大きくなってしまい、感度が大きくなってしまう。そこで、加速度センサ１０００は、ＡＳＩＣ２００で感度を補正する自動補正回路を備える。
【００３９】
図１２は、実施形態にかかる加速度センサの要部の機能ブロック図である。
【００４０】
ＡＳＩＣ２００は、静電容量ギャップの変化による各軸の感度を補正する自動補正回路２１０を備える。以下、自動補正回路２１０について説明する。
【００４１】
まず、従来のセンサの自動補正回路は、次の数式１を用いて感度を補正していた。
【００４２】
（式１）
Ｘｏｕｔ（調整後）= Ｘｏｕｔ（調整前）／(１−ＡＧＣｃｏｄｅ×Ｚｏｕｔ)
ここで、Ｘｏｕｔ（調整前）は、Ｘ検出部１０から出力される信号であり、Ｘ軸方向の加速度によって生じる信号である。Ｘｏｕｔ（調整後）は、Ｘｏｕｔ（調整前）を自動補正回路２１０で補正した後の信号であり、Ｚ軸方向の加速度に起因してＸｏｕｔ（調整後）に生じたオフセット（即ち他軸感度）を除いた信号である。ＡＧＣｃｏｄｅは、自動補正回路２１０がＸｏｕｔ（調整前）を補正するために用いる補正係数である。ＺｏｕｔはＺ検出部３０から出力される信号であり、Ｚ軸方向の加速度によって生じる信号である。
【００４３】
従来のセンサの自動補正回路は、１／(１−ＡＧＣｃｏｄｅ×Ｚｏｕｔ)（以下、補正係数と記載する）を変更することでＸｏｕｔ（調整前）の感度の補正を行うものであった。具体的には、Ｚｏｕｔが正のときＸｏｕｔが増幅され、Ｚｏｕｔが負のときＸｏｕｔが減衰されるように、即ち、線形の補正が行われていた。
【００４４】
しかし、図１３に示すようにＺ軸方に印加される加速度の正負（方向）に応じてＸ検出部１０の感度の変化が異なることが実験の結果判明した。これはＺに加速度がかかることでＸ検出部１０の対向ギャップｄが変化したためである。静電容量ＣはＣ＝εＳ／ｄで求まることから、対向ギャップｄに反比例する。そのため、Ｚに負の加速度が印加されると対向ギャップｄが小さくなるため感度変化が大きくなる。逆にＺに正の加速度が印加されるとｄが大きくなるため感度変化が小さくなる。これによりＺの加速度印加方向でＸ検出部１０の感度の変化が異なっている。そのため従来のセンサで用いていた数式１では図１４（ａ）、図１４（ｂ）に示すようにＺ軸加速度が正の側で補正係数（具体的にはＡＧＣｃｏｄｅ）を算出するとＺ軸加速度が負の側で正しく補正ができず、Ｚ軸加速度が負の側で補正係数（具体的にはＡＧＣｃｏｄｅ）を算出するとＺ軸加速度が正の側で正しく補正ができない。
【００４５】
そこで、本実施の形態の加速度センサ１０００が備える自動補正回路２１０は、Ｚ軸方向の加速度の正負（方向）に応じて補正式を変えるように構成される。具体的には次の数式２、数式３を使い分けるように構成される。
【００４６】
（式２）
Ｘｏｕｔ（調整後）＝Ｘｏｕｔ（調整前）／(１−ＡＧＣｃｏｄｅ×Ｚｏｕｔ＊Ｗ１)(Ｚｏｕｔ＞０)
（式３）
Ｘｏｕｔ（調整後）＝Ｘｏｕｔ（調整前）／(１−ＡＧＣｃｏｄｅ×Ｚｏｕｔ＊Ｗ２)(Ｚｏｕｔ≦０)
ここで、Ｗ１、Ｗ２は補正係数を重み付けするための変数であり、以下の様にして決定される。
【００４７】
Ｚ軸加速度が正の側で調整する場合は、Ｗ１＝１、Ｗ２＝正側感度/負側感度、すなわち、Ｗ１に重みはつけずＷ２のみ重みをつける。
【００４８】
Ｚ軸加速度が負の側で調整する場合は、Ｗ１＝正側感度/負側感度、Ｗ２＝１、すなわち、Ｗ１に重みをつけＷ２には重みをつけない。ここで、正側感度はＺ軸加速度がある正の値におけるＸ検出部１０の感度、負側感度はＺ軸加速度がある負の値におけるＸ検出部１０の感度である。
【００４９】
なお、「Ｚ軸方向の加速度の正負（方向）に応じて補正式を変える」という意味は、「Ｚ軸方向の加速度が正の場合と負の場合とに対応する少なくとも２種の数式が存在する」という意味であり、「Ｚ軸方向の加速度＝０を境界に、正の場合に使う数式と負の場合に使う数式との２種類だけ存在する」という意味ではない。
【００５０】
なお、Ｚ軸加速度が正の側で調整するか、Ｚ軸加速度が負の側で調整するか、どちらか一方を選択すればよい。これにより、軸加速度の符号（方向が）正負のどちらのであっても、他軸感度を精度良く抑制する事ができる。別の表現では、他軸方向の力による主軸出力への影響を緩和し、主軸出力特性を改善することができる。
【００５１】
なお、ここでまでの説明ではＺ軸加速度の符号（方向）に応じて補正式を変える補正方法について説明したが、次の様な補正の方法を用いることもできる。具体的には次の数式４、数式５を使い分けるように構成される。
【００５２】
（式４）
Ｘｏｕｔ（調整後１）＝Ｘｏｕｔ（調整前）／（１−ＡＧＣｃｏｄｅ１×Ｚｏｕｔ）
（式５）
Ｘｏｕｔ（調整後２）＝Ｘｏｕｔ（調整後１）／（１＋ＡＢＳ（ＡＧＣｃｏｄｅ２×Ｚｏｕｔ））
数式４ではＸｏｕｔ（調整前）を調整する際の目標値を定め、Ｘｏｕｔ（調整後１）が目標値となるように補正する。まず、目標値を定めるために、まずＺ軸方向の正負それぞれに加速度が印加された時のＸ検出部１０の感度を測定する。次に、得られたＸ検出部１０の感度を平均し、その値を目標値とする。次に、Ｘｏｕｔ（調整後１）がこの目標値となるようにＸｏｕｔ（調整前）を数式４で補正する。これによりＺ軸に印加される加速度の方向によらずＸｏｕｔ（調整前）が等しくなるように補正される。
【００５３】
次に、数式４で補正された出力Ｘｏｕｔ（調整後１）を数式５を用いて補正する。Ｘｏｕｔ（調整後１）はＺの加速度方向によらず同じであるため、数式５ではＸｏｕｔ（調整後１）を絶対値（数式４では、絶対値を取ることを「ＡＢＳ」で表記する。）で補正する。これにより、数式３と同様に他軸方向の力による主軸出力への影響を緩和し、主軸出力特性を改善することができる。
【００５４】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態には限定されず、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、Ｘ方向（Ｙ方向）を主軸方向とし、Ｚ方向を他軸方向とした場合を例示しているが、主軸方向や他軸方向は適宜変更することができる。
【００５５】
従来のセンサの補正回路はＺ軸に加速度が印加されたときに、Ｘ軸とＹ軸の感度を補正する回路であった。しかし、Ｙ軸に加速度が印加された場合においても、Ｘ軸の感度が低下することが実験の結果判明した。これは、素子実装ずれによりセンサの重心ずれが発生しているためである。また、Ｙ軸の加速度方向に応じて、Ｘ軸の感度変化が異なる。そこで、実装する補正回路はＹ軸方向の加速度の正負（方向）に応じて補正式を変えるように構成される。具体的には次の数式６、数式７を使い分けるように構成される。
【００５６】
（式６）
Ｘｏｕｔ(調整後)＝Ｘｏｕｔ（調整前）×（１＋ＡＧＣｃｏｄｅ３×Ｙｏｕｔ＋ＡＧＣｃｏｄｅ４×Ｙｏｕｔ＾２）(Ｙｏｕｔ＜０)
（式７）
Ｘｏｕｔ(調整後)＝Ｘｏｕｔ（調整前）×（１＋ＡＧＣｃｏｄｅ５×Ｙｏｕｔ＋ＡＧＣｃｏｄｅ６×Ｙｏｕｔ＾２）(Ｙｏｕｔ≧０)
数式６、数式７ではＹ軸方向の加速度の正負（方向）に応じて、Ｘｏｕｔ（調整前）に対して２次の補正を行う。ＡＧＣｃｏｄｅ３、ＡＧＣｃｏｄｅ４、ＡＧＣｃｏｄｅ５、ＡＧＣｃｏｄｅ６は自動補正回路２１０がＸｏｕｔ（調整前）を補正するために用いる補正係数である。これにより、他軸方向の力による主軸出力への影響を緩和し、主軸出力特性を改善することができる。
【００５７】
なお、Ｙ検出部２０の感度の補正はＸ検出部１０の感度を補正する方法と同じ方法を用いることができる。
【００５８】
なお、上記実施形態では、ＸＹＺの３つのＭＥＭＳ構造体が１チップ内に配置されている場合を例示しているが、１つのＭＥＭＳ構造体からＸ出力、Ｙ出力、Ｚ出力の３つの出力が得られる場合も同様である。
【００５９】
なお、センサチップ１００の形状、大きさ、レイアウト等）も適宜変更することが可能である。
【００６０】
なお、各貫通電極の材質は、シリコンやタングステン、銅等の導体であり、各貫通電極を保持する周囲の材質は、ガラス等の絶縁体である。
【００６１】
なお、ビーム部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄの形状はＬ字形に限定されるものではないが、Ｌ字形にすれば、ビーム部３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄを長くすることができるので好ましい。
【００６２】
なお、自動補正回路２１０にデジタル回路による演算補正を用いることが好ましい。デジタル回路による用いれば、例えば、感度調整とオフセット調整などの各種補正を行うことが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明の加速度センサは精度向上しているので、各種の電子機器に好適である。
【符号の説明】
【００６４】
１  センサ部
２ａ  基板
２ｂ  基板
３  フレーム部
１０  Ｘ検出部
１０ａ  矩形枠
１１  第１の可動電極
１２ａ、１２ｂ  ビーム部
１３ａ、１３ｂ  第１の固定電極
１４ａ、１４ｂ  第１の貫通電極
２０  Ｙ検出部
２０ａ  矩形枠
２１  第２の可動電極
２２ａ、２２ｂ  ビーム部
２３ａ、２３ｂ  第２の固定電極
３０  Ｚ検出部
３０ａ  矩形枠
３１  第３の可動電極
３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄ  ビーム部
３３ａ、３３ｂ  第３の固定電極
３３ｂ１  矩形領域
３３ｂ２  突出領域
３４ａ  第３の貫通電極
３４ｂ  第３の貫通電極
３４ｃ  固定電極
２１０  自動補正回路
１００  センサチップ
２００  ＡＳＩＣ
３００  パッケージ
４００  端子
５００  基板
１０００  加速度センサ
【図１】
2018115891.tif 000003
【図２】
2018115891.tif 000004
【図３】
2018115891.tif 000005
【図４】
2018115891.tif 000006
【図５】
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【図６】
2018115891.tif 000008
【図７】
2018115891.tif 000009
【図８】
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【図９】
2018115891.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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