(57)【要約】【課題】信頼性が高いエンコーダ装置を提供する。【解決手段】エンコーダ装置は、回転体の角度位置を示す第１パターンと、第１パターンからの光を検出する第１検出部と、第１検出部の検出結果に基づいて回転体の角度位置情報を算出する第１処理部と、回転体の回転方向において光学特性値が漸次的に変化する第２パターンと、第２パターンからの光を検出する第２検出部と、第２検出部の検出結果をもとに回転体の多回転情報を算出する第２処理部と、を備える。【選択図】図１
2018115895.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体の角度位置を示す第１パターンと、
前記第１パターンからの光を検出する第１検出部と、
前記第１検出部の検出結果に基づいて前記回転体の角度位置情報を算出する第１処理部と、
回転体の回転方向において光学特性値が漸次的に変化する第２パターンと、
前記第２パターンからの光を検出する第２検出部と、
前記第２検出部の検出結果をもとに前記回転体の多回転情報を算出する第２処理部と、を備えるエンコーダ装置。
【請求項２】
前記第２パターンは、前記光学特性値が漸増する又は漸減するパターンを含む、請求項１に記載のエンコーダ装置。
【請求項３】
前記第１処理部は、第１電源から電力が供給される状態において、前記角度位置情報を算出し、
前記第２処理部は、前記第１電源から電力が供給される状態または前記第１電源とは異なる第２電源から電力が供給される状態において、前記多回転情報を算出する、
請求項１又は請求項２に記載のエンコーダ装置。
【請求項４】
前記第２処理部は、前記第１電源から電力供給を受ける状態において、前記第２検出部の検出結果に基づいて前記回転体の角度位置情報を算出し、
前記第１処理部が算出した前記回転体の角度位置情報と、前記第２処理部が算出した前記回転体の角度位置情報とを比較する比較部を備える、請求項３に記載のエンコーダ装置。
【請求項５】
前記第２処理部は、
前記第１電源から電力供給を受ける状態において、前記第２検出部の検出結果に基づいて前記回転体の角度位置情報を算出し、
前記第１電源から電力供給が断たれた状態において、前記第２検出部の検出結果に基づいて前記回転体の多回転情報を算出する、請求項３または請求項４に記載のエンコーダ装置。
【請求項６】
前記第２処理部は、前記第２検出部の検出結果に基づいて、前記回転体の角度位置情報を前記第１処理部よりも低い分解能で検出する、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項７】
前記第２パターンは、前記回転体の回転方向で位相が互いにずれた複数のパターンを含む、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項８】
前記第２処理部は、前記複数のパターンのうち第１位相のパターンを前記第２検出部が検出した検出結果と、前記複数のパターンのうち第２位相のパターンを前記第２検出部が検出した検出結果とを用いて、前記回転体の回転方向の向きを判別する、請求項７に記載のエンコーダ装置。
【請求項９】
移動部の位置情報を示す第１パターンと、
前記第１パターンからの光を検出する第１検出部の検出結果に基づいて前記移動部の位置情報を算出する第１処理部と、
移動部の移動方向において光学特性値が漸次的に変化する第２パターンと、
前記第２パターンからの光を検出する第２検出部の検出結果をもとに前記移動部の位置情報を算出する第２処理部と、
前記第１処理部が算出した前記移動部の位置情報と前記第２処理部が算出した前記移動部の位置情報とを比較する比較部と、を備えるエンコーダ装置。
【請求項１０】
前記比較部は、前記第１処理部が算出した前記移動部の位置情報と前記第２処理部が算出した前記移動部の位置情報とが所定の条件を満たすか否かを判定し、
前記比較部の判定結果に基づいて、前記第１処理部が算出した前記移動部の位置情報を含む情報を出力する、請求項９に記載のエンコーダ装置。
【請求項１１】
前記移動部は回転体であり、
前記比較部は、前記第１検出部の検出結果に基づく前記回転体の角度位置情報と、前記第２検出部の検出結果に基づく前記回転体の角度位置情報との演算結果に基づいて、報知情報を生成する、請求項９又は請求項１０に記載のエンコーダ装置。
【請求項１２】
前記移動部は回転体であり、
前記回転体の多回転情報を検出する多回転情報検出部を備え、
前記比較部は、前記第２検出部の検出結果に基づく前記回転体の多回転情報と、前記多回転情報検出部による前記回転体の多回転情報とを比較する、請求項９から請求項１１のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項１３】
前記移動部は回転体であり、
前記第２パターンは、前記回転体の回転方向で位相が互いにずれた複数のパターンを含み、
前記比較部は、前記複数のパターンのうち第１位相のパターンを前記第２検出部が検出した検出結果と、前記複数のパターンのうち第２位相のパターンを前記第２検出部が検出した検出結果との関係に基づいて、報知情報を生成する、請求項９から請求項１２のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
【請求項１４】
請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
前記回転体に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の駆動装置と、
前記駆動装置によって移動するステージと、を備えるステージ装置。
【請求項１６】
請求項１４に記載の駆動装置と、
前記駆動装置によって移動するアームと、を備えるロボット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転軸の回転の数を区別する多回転型のエンコーダ装置は、ロボット装置などの各種装置に搭載されている（例えば、下記の特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−５００３４号公報
【発明の概要】
【０００４】
本発明の第１の態様に従えば、回転体の角度位置を示す第１パターンと、第１パターンからの光を検出する第１検出部と、第１検出部の検出結果に基づいて回転体の角度位置情報を算出する第１処理部と、回転体の回転方向において光学特性値が漸次的に変化する第２パターンと、第２パターンからの光を検出する第２検出部と、第２検出部の検出結果をもとに回転体の多回転情報を算出する第２処理部と、を備えるエンコーダ装置が提供される。
【０００５】
本発明の第２の態様に従えば、移動部の位置情報を示す第１パターンと、第１パターンからの光を検出する第１検出部の検出結果に基づいて移動部の位置情報を算出する第１処理部と、移動部の移動方向において光学特性値が漸次的に変化する第２パターンと、第２パターンからの光を検出する第２検出部の検出結果をもとに移動部の位置情報を算出する第２処理部と、第１処理部が算出した移動部の位置情報と第２処理部が算出した移動部の位置情報とを比較する比較部と、を備えるエンコーダ装置が提供される。
【０００６】
本発明の第３の態様に従えば、第１の態様または第２の態様のエンコーダ装置と、回転体に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置が提供される。
【０００７】
本発明の第４の態様に従えば、第３の態様の駆動装置と、駆動装置によって移動するステージと、を備えるステージ装置が提供される。
【０００８】
本発明の第５の態様に従えば、第３の駆動装置と、駆動装置によって移動するアームと、を備えるロボット装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。
【図２】第１実施形態に係るエンコーダ装置のスケールを示す図である。
【図３】第１実施形態に係る第２処理部を示す図である。
【図４】第１実施形態に係る信号発生部を示す図である。
【図５】第１実施形態に係る電力供給部を示す図である。
【図６】第１実施形態において第１電源から電力供給時の動作を示す図である。
【図７】第１実施形態において第２電源から電力供給時の動作を示す図である。
【図８】第２実施形態に係る比較部を示す図である。
【図９】実施形態に係る駆動装置を示す図である。
【図１０】実施形態に係るステージ装置を示す図である。
【図１１】実施形態に係るロボット装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［第１実施形態］
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣを示す図である。このエンコーダ装置ＥＣは、移動部（例、回転体、移動体）の位置情報（移動位置情報）を検出する。エンコーダ装置ＥＣは、例えばロータリーエンコーダである。ロータリーエンコーダにおける移動部（回転体）は、例えばモータＭ（駆動装置、動力供給部）の回転軸ＳＦであり、移動部の移動は、例えば所定の軸まわりの回転である。また、移動部の位置情報は、例えば、回転軸ＳＦの回転位置情報である。回転位置情報は、多回転情報と角度位置情報との一方または双方を含む。多回転情報は、回転体（例、回転軸ＳＦ）の回転の数を示す情報である。角度位置情報は、回転体（例、回転軸ＳＦ）の１回転未満の角度位置（回転角）を示す情報である。
【００１１】
回転軸ＳＦは、例えばモータＭのシャフト（回転子）である。回転軸ＳＦは、作用軸で（出力軸）もよい。作用軸は、モータＭのシャフトに変速機などの動力伝達部を介して接続され、かつ負荷に接続される。エンコーダ装置ＥＣが検出した回転位置情報は、モータ制御部ＭＣに供給される。モータ制御部ＭＣは、エンコーダ装置ＥＣから供給された回転位置情報を使って、モータＭの回転を制御する。モータ制御部ＭＣは、回転軸ＳＦの回転を制御する。
【００１２】
エンコーダ装置ＥＣは、位置検出部１と、電力供給部２とを備える。位置検出部１は、回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。エンコーダ装置ＥＣは、例えば、多回転アブソリュートエンコーダである。エンコーダ装置ＥＣは、多回転情報および角度位置情報を含む回転位置情報を検出可能である。位置検出部１は、多回転情報検出部３、及び角度検出部４を備える。角度検出部４は、回転軸ＳＦの角度位置情報を検出する。多回転情報検出部３は、回転軸ＳＦの多回転情報を検出する。
【００１３】
エンコーダ装置ＥＣは、例えば、エンコーダ装置ＥＣで消費される電力の供給元が異なる通常状態とバックアップ状態とのそれぞれにおいて、回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。例えば、位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部３、角度検出部４）は、通常状態において、第１電源ＰＷ１から供給される電力によって回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。第１電源ＰＷ１は、例えば、エンコーダ装置ＥＣが搭載される装置（例、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置）の主電源である。上記の通常状態は、第１電源ＰＷ１の電力が投入されている状態、第１電源ＰＷ１がオンになっている状態、エンコーダ装置ＥＣが搭載される装置に対して第１電源ＰＷ１から電力が供給されている状態、及びエンコーダ装置ＥＣに対して第１電源ＰＷ１から電力が供給されている状態の少なくとも１つを含む。
【００１４】
例えば、第１電源ＰＷ１は、通常状態において、回転軸ＳＦの駆動に消費される電力、及び位置検出部１の検出動作（例、角度位置情報や多回転情報を算出して検出する動作など）に消費される電力を供給する。位置検出部１の少なくとも一部は、第１電源ＰＷ１から電力供給を受けて回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。モータ制御部ＭＣは、位置検出部１の検出結果に基づいて、第１電源ＰＷ１からの電力を調整してモータＭに供給することで、回転軸ＳＦの回転を制御する。
【００１５】
位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部３）は、通常状態とは異なるバックアップ状態において、第１電源ＰＷ１とは異なる第２電源（例、バッテリー６）から供給される電力によって動作可能である。上記のバックアップ状態は、例えば、第１電源ＰＷ１からの電力供給が遮断された状態、第１電源ＰＷ１の電力が投入されていない状態、第１電源ＰＷ１がオフになっている状態、エンコーダ装置ＥＣが搭載される装置に対して第１電源ＰＷ１から電力が供給されていない状態、エンコーダ装置ＥＣに対して第１電源ＰＷ１から電力が供給されていない状態の少なくとも１状態を含む。
【００１６】
電力供給部２は、例えば、バックアップ状態において、位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部３）に対して断続的（選択的、間欠的）に電力を供給する。位置検出部１は、バックアップ状態において、電力供給部２から電力供給を受けて、回転軸ＳＦの回転位置情報の少なくとも一部（例、多回転情報）を検出する。例えば、多回転情報検出部３は、第２電源（例、電力供給部２）から断続的に電力供給を受けて、多回転情報を断続的に検出する。バックアップ状態において多回転情報検出部３が検出した多回転情報は、例えば、第１電源ＰＷ１からの電力供給が開始されてバックアップ状態から通常状態に切り替わった際（例、駆動装置の起動時）に、モータ制御部ＭＣによる回転軸ＳＦの回転を制御に利用される。
【００１７】
多回転情報検出部３は、第１電源ＰＷ１から電力供給を受ける通常状態と、第２電源から電力供給を受けるバックアップ状態との各状態において、回転軸ＳＦの多回転情報を検出する。例えば、エンコーダ装置ＥＣは、第１電源ＰＷ１の電力の投入が停止された際に、通常状態からバックアップ状態に切り替わる。エンコーダ装置ＥＣは、第１電源ＰＷ１の電力の投入が開始された際に、バックアップ状態から通常状態に切り替わる。エンコーダ装置ＥＣが通常状態とバックアップ状態とで切り替わる際に、多回転情報検出部３は、多回転情報の検出を継続する（算出を継続する）。角度検出部４は、例えば、第１電源ＰＷ１からの電力供給が断たれたバックアップ状態において、角度情報を検出しない（算出しない）。例えば、第２電源は、バックアップ状態において角度検出部４に電力供給を行わない。角度検出部４は、例えば、バックアップ状態において電力供給が断たれた状態であり、角度位置情報を検出しない。
【００１８】
また、本実施形態において、多回転情報検出部３は、回転軸ＳＦの角度位置情報を検出可能である。例えば、多回転情報検出部３は、通常状態において多回転情報および角度位置情報を検出する。多回転情報検出部３が検出した角度位置情報は、例えば、角度検出部４が検出した角度位置情報との比較に利用される。例えば、多回転情報検出部３は、角度検出部４が検出する角度位置情報に対する比較情報（参照情報）として、角度位置情報を検出する。多回転情報検出部３は、例えば、角度検出部４が角度位置情報を検出しない状態（例、バックアップ状態）において、角度位置情報を検出しない。
【００１９】
位置検出部１は、例えば、角度検出部４が検出した角度位置情報と、多回転情報検出部３が検出した角度位置情報との比較結果に基づいて、報知信号（報知情報）を生成して外部へ出力する。例えば、位置検出部１は、角度検出部４が検出した角度位置情報と、多回転情報検出部３が検出した角度位置情報との差が所定の範囲にない場合、報知情報を生成する。報知情報は、例えば、エンコーダ装置ＥＣの外部の装置（例、モータ制御部ＭＣ）に対して、警告あるいはエラーを外部の装置に報知する情報（信号）である。
【００２０】
以下、エンコーダ装置ＥＣの各部について説明する。角度検出部４は、スケールＳ（例、符号板）の一回転内の位置情報（角度位置情報、絶対又は相対位置情報）を検出する。スケールＳは、例えば円板状の部材（例、ガラス製、金属製、樹脂製などの部材）である。スケールＳは、回転軸ＳＦに固定され、回転軸ＳＦと連動して回転する。角度検出部４は、光学式のエンコーダである。例えば、角度検出部４は、スケールＳのパターンニング情報を受光素子で読み取ることにより、回転軸ＳＦの角度位置情報を検出する。角度検出部４が検出するスケールＳのパターンニング情報は、例えばスケールＳ上の透過パターン（例、スリット）と反射パターンとの一方または双方による明暗のパターンである。
【００２１】
角度検出部４は、第１パターン１０、照射部１１、第１検出部１２、及び第１処理部１３を備える。第１パターン１０は、回転体（例、回転軸ＳＦ）の角度位置を示すパターンである。第１パターン１０は、例えば、アブソリュートパターンＡＢＳとインクリメンタルパターンＩＮＣとの一方または双方を含む。アブソリュートパターンＡＢＳは、回転体（スケールＳ、回転軸ＳＦ）の角度位置（例、絶対位置）を示す。インクリメンタルパターンＩＮＣは、回転軸ＳＦの回転方向における角度の変化量（例、相対位置）を示す。インクリメンタルパターンＩＮＣは、回転軸ＳＦの回転方向において周期的に並ぶ構造（周期構造）を含む。
【００２２】
照射部１１（発光部）は、アブソリュートパターンＡＢＳおよびインクリメンタルパターンＩＮＣに光を照射する。照射部１１は、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）などの発光素子（例、固体光源）を含む。第１検出部１２（光検出部）は、アブソリュートパターンＡＢＳからの光、及びインクリメンタルパターンＩＮＣからの光をそれぞれ検出する。第１検出部１２は、例えばＦＤ（フォトダイオード）などの受光素子（光電変換素子）を含む。
【００２３】
角度検出部４は、例えば反射型である。第１検出部１２は、照射部１１から照射されてアブソリュートパターンＡＢＳで反射した光と、照射部１１から照射されてインクリメンタルパターンＩＮＣで反射した光とを個別に検出する。第１処理部１３は、第１検出部１２の検出結果に基づいて、回転軸ＳＦの角度位置情報を検出（例、算出）する。例えば、第１処理部１３は、アブソリュートパターンＡＢＳからの光を検出した結果を使って第１分解能の角度位置情報を検出する。また、第１処理部１３は、インクリメンタルパターンＩＮＣからの光を検出した結果を使って、第１分解能の角度位置情報に内挿演算を行うことにより、第１分解能よりも高い第２分解能の角度位置情報を検出する。
【００２４】
なお、角度検出部４は透過型でもよい。この場合、第１検出部１２は、照射部１１から照射されてアブソリュートパターンＡＢＳを透過した光と、照射部１１から照射されてインクリメンタルパターンＩＮＣを透過した光とを個別に検出する。
【００２５】
多回転情報検出部３は、角度検出部４の検出対象と同じ回転軸ＳＦの多回転情報を光学的に検出する。多回転情報検出部３は、例えば光学式のエンコーダである。多回転情報検出部３は、例えばスケールＳのパターンニング情報を受光素子で読み取ることにより、回転軸ＳＦの多回転情報を検出する。
【００２６】
多回転情報検出部３は、第２パターン１５、照射部１６、第２検出部１７、及び第２処理部１８を備える。第２パターン１５は、例えば濃淡パターンである。第２パターン１５は、回転軸ＳＦの移動方向（例、回転方向）において光学特性値が変化する（例、段階的、線形、又は非線形の変化など）。第２パターン１５は、回転体（例、回転軸ＳＦ、スケールＳ）の移動方向（例、回転方向）において光学特性値が漸次的に変化するパターンを含む（例、グレースケールパターンなど）。上記の光学特性値は、例えば、反射率、透過率、及び光吸収率の少なくとも１つを含む。第２パターン１５は、例えば、回転方向の少なくとも一部において、光学特性値が漸増または漸減するパターンを含む。第２パターン１５は、例えば、照射部１６からの光を受けて外部へ照射する光（例、反射光、透過光、散乱光）の光量と強度との一方または双方が回転方向において漸次的に変化する特性を有する。第２パターン１５は、例えば、アブソリュートパターンＡＢＳおよびインクリメンタルパターンＩＮＣと同じ部材（例、スケールＳ、第１の回転体）に設けられる。
【００２７】
なお、第２パターン１５は、第１パターン１０（例、アブソリュートパターンＡＢＳ、インクリメンタルパターンＩＮＣ）と別の部材に設けられてもよい。例えば、第１パターン１０の少なくとも一部（例、アブソリュートパターンＡＢＳ）は、第１の回転体（例、第１のスケール）に設けられ、第２パターン１５は、第１の回転体と異なる第２の回転体（例、第２のスケール）に設けられてもよい。なお、多回転情報検出部３が検出するスケールＳのパターンニング情報は、例えばスケールＳ上の透過パターン（例、スリット）と反射パターンとの一方または双方による明暗のパターンであってもよい。
【００２８】
照射部１６（発光部）は、第２パターン１５に光を照射する。照射部１６は、例えば、ＬＥＤ（発光ダイオード）などの発光素子（例、固体光源）を含む。第２検出部１７（光検出部）は、第２パターン１５からの光を検出する。第２検出部１７は、例えばＦＤ（フォトダイオード）などの受光素子（光電変換素子）を含む。多回転情報検出部３は、例えば反射型である。第２検出部１７は、照射部１１から照射されて第２パターン１５で反射した光を検出する。第２処理部１８は、第２検出部１７の検出結果に基づいて、回転軸ＳＦの多回転情報を検出（例、算出）する。多回転情報検出部３は、透過型でもよい。この場合、第２検出部１７は、照射部１６から照射されて第２パターン１５を透過した光を検出する。なお、照明部１６は、照明部１１と独立させた構成ではなく、照明部１１を共用（兼用）して構成してもよい。この場合、例えば、照明部１１と照明部１６は発光部（例、１個の発光部）を共用し、受光部１２と受光部１７とは同じチップ（例、１個の集積回路基板など）上に形成される。
【００２９】
図２は、本実施形態に係るエンコーダ装置のスケールを示す図である。図２（Ａ）は、回転軸ＳＦに垂直な面におけるスケールＳの平面図である。アブソリュートパターンＡＢＳ、インクリメンタルパターンＩＮＣ、及び第２パターン１５は、それぞれ、環状である。アブソリュートパターンＡＢＳ、インクリメンタルパターンＩＮＣ、及び第２パターン１５は、回転軸ＳＦを中心とした同心円状に配置される。アブソリュートパターンＡＢＳは、例えば、回転軸ＳＦに対してインクリメンタルパターンＩＮＣの外側に配置される。第１検出部１２は、アブソリュートパターンＡＢＳからの光を検出する受光部１２ａ（受光領域）と、インクリメンタルパターンＩＮＣからの光を検出する受光部１２ｂ（受光領域）とを含む。
【００３０】
第２パターン１５は、例えば、回転軸ＳＦに対してインクリメンタルパターンＩＮＣの内側に配置される。図２（Ａ）の第２パターン１５において、反射率がグレースケールで表されている。図２（Ａ）の第２パターン１５において、白に近い部分は反射率が相対的に高い部分であり、黒に近い部分は反射率が相対的に低い部分である。
【００３１】
第２パターン１５は、例えば、回転方向で位相が互いにずれた複数のパターン（例、第１位相のパターン１５ａ、第２位相のパターン１５ｂ）を含む。パターン１５ａおよびパターン１５ｂは、回転軸ＳＦの回転方向において、光学特性値の分布の位相が互いに異なる。図２（Ｂ）は、回転軸ＳＦの回転方向における第２パターン１５の光学特性値の分布を示すグラフである。図２（Ｂ）において、縦軸の光学特性値は、例えば反射率である。
【００３２】
図２（Ｂ）において、パターン１５ａの光学特性値Ｖａおよびパターン１５ｂの光学特性値Ｖｂは、それぞれ、角度位置に対して連続的に変化する。パターン１５ａの光学特性値Ｖａおよびパターン１５ｂの光学特性値Ｖｂは、それぞれ、角度位置に対して正弦波状に変化する。なお、第２パターン１５は、光学特性値Ｖａおよび光学特性値Ｖｂが線形状に変化するように、構成されてもよい。パターン１５ａの光学特性値Ｖａおよびパターン１５ｂの光学特性値Ｖｂは、例えば、それぞれが１回転（３６０°）の範囲で１周期の分布である。
【００３３】
パターン１５ａの光学特性値Ｖａは、位置Ｐｂ（例、９０°）において極大となり、位置Ｐｄ（例、２７０°）で極小となる。パターン１５ｂの位相は、例えば、パターン１５ａの位相と約９０°異なる。パターン１５ｂの光学特性値Ｖｂは、位置Ｐｃ（例、１８０°）において極大となり、位置Ｐａ（例、０°、３６０°）で極小となる。なお、図２（Ｂ）に示す光学特性値の分布は、一例であり、適宜変更可能である。例えば、第２パターン１５の光学特性値の分布は、角度位置に対して線形な分布（例、直線、三角波状）でもよいし、角度位置に対して非線形な分布でもよい。また、第２パターン１５の光学特性値は、３以上の段階で不連続（例、３以上のステップ状）に変化してもよい。
【００３４】
第２検出部１７（図２（Ａ）参照）は、パターン１５ａからの光と、パターン１５ｂからの光とを個別に検出する。第２検出部１７は、受光部１７ａ（受光領域）および受光部１７ｂ（受光領域）を含む。受光部１７ａは、照射部１６から照射されてパターン１５ａを経由した光を検出する。受光部１７ａの検出結果は、例えば、Ａ相信号として利用される。受光部１７ｂは、照射部１６から照射されてパターン１５ｂを経由した光を検出する。受光部１７ｂの検出結果は、例えば、Ｂ相信号として利用される。
【００３５】
図３は、本実施形態に係る第２処理部を示す図である。第２検出部１７は、検出結果を示す信号（検出信号）を第２処理部１８に供給する。第２処理部１８は、第２検出部１７の検出結果をもとに回転体（例、回転軸ＳＦ、スケールＳ）の位置情報を算出する。例えば、第２処理部１８は、第２検出部１７の検出結果をもとに、回転体（例、回転軸ＳＦ、スケールＳ）の位置情報として多回転情報を算出する。第２処理部１８は、第２検出部１７の検出結果をもとに、回転体（例、回転軸ＳＦ、スケールＳ）の位置情報として、角度位置情報を算出してもよいし、多回転情報および角度位置情報を算出してもよい。
【００３６】
第２検出部１７の検出信号は、例えば、図２（Ａ）に示した受光部１２ａの検出結果（以下、第１検出信号という）および受光部１２ｂの検出結果（以下、第２検出信号という）を含む。第２処理部１８は、算出部２１、二値化部２２、及び計数部２３を備える。第２検出部１７の検出結果（第１検出信号、第２検出信号）は、算出部２１および二値化部２２のそれぞれに供給される。
【００３７】
算出部２１は、第２検出部１７からの検出信号に基づいて、回転軸ＳＦの角度位置情報を算出する。算出部２１は、例えば、回転軸ＳＦの角度位置情報を第１処理部１３（図１参照）よりも低い分解能で検出（算出）する。また、第２処理部１８（例、二値化部２２、計数部２３）は、例えば、第２検出部１７の検出結果を階調値に変換して、回転軸ＳＦの多回転情報を算出する。例えば、二値化部２２は、第２検出部１７の検出信号のレベルを閾値と比較し、この検出信号を二値化する。
【００３８】
図３（Ｂ）は、検出信号および閾値の例を示す図である。角度位置に対する第１検出信号Ｓａのレベルの分布は、パターン１５ａの光学特性値に応じた分布（例、正弦波状の分布）になる。また、角度位置に対する第２検出信号Ｓｂのレベルの分布は、パターン１５ｂの光学特性値に応じた分布（例、正弦波状の分布）になる。閾値Ｖｔｈは、例えば、検出信号のレベルの平均値（振幅）に設定される。
【００３９】
図３（Ｃ）は、二値化された第１検出信号Ｓａのレベルを示す図である。二値化された第１検出信号Ｓａのレベルは、位置Ｐａから位置Ｐｂを経由して位置Ｐｃに至る範囲（例、０°から１８０°の範囲）でハイレベル（Ｈ）である。また、二値化された第１検出信号Ｓａのレベルは、位置Ｐｃから位置Ｐｄを経由して位置Ｐａに至る範囲（例、１８０°から３６０°の範囲）でローレベル（Ｌ）である。
【００４０】
図３（Ｄ）は、二値化された第２検出信号Ｓｂのレベルを示す図である。二値化された第２検出信号Ｓｂのレベルは、位置Ｐａから位置Ｐｂの範囲（例、０°から９０°の範囲）、及び位置Ｐｄから位置Ｐａの範囲（例、２７０°から３６０°の範囲）においてローレベル（Ｌ）である。また、二値化された第２検出信号Ｓｂのレベルは、位置Ｐｂから位置Ｐｃを経由して位置Ｐｄに至る範囲（例、９０°から２７０°の範囲）においてハイレベル（Ｈ）である。
【００４１】
計数部２３は、二値化された第１検出信号Ｓａおよび二値化された第２検出信号Ｓｂを用いて、多回転情報を算出する（回転の数を計数する）。例えば、計数部２３は、第２検出部１７（受光部１７ａ）がパターン１５ａを検出した検出結果（第１検出信号Ｓａ）と、第２検出部１７（受光部１７ｂ）が検出したパターン１５ｂを検出した検出結果（第２検出信号Ｓｂ）とを用いて、回転軸ＳＦの向き（移動方向、回転方向）を判別して多回転情報を検出する。以下、各角度位置における二値化された第１検出信号Ｓａのレベルと二値化された第２検出信号Ｓｂのレベルとの組を信号レベルの組と称し、信号レベルの組を（Ｈ，Ｌ）のように表す。
【００４２】
例えば、信号レベルの組は、位置Ｐａから位置Ｐｂの範囲（例、０°から９０°の範囲）において（Ｈ，Ｌ）である。また、信号レベルの組は、位置Ｐｂから位置Ｐｃの範囲（例、９０°から１８０°の範囲）において（Ｈ，Ｈ）である。また、信号レベルの組は、位置Ｐｃから位置Ｐｄの範囲（例、１８０°から２７０°の範囲）において（Ｌ，Ｈ）である。また、信号レベルの組は、位置Ｐｄから位置Ｐａの範囲（例、２７０°から３６０°の範囲）において（Ｌ，Ｌ）である。
【００４３】
計数部２３は、例えば、前回の検出結果による信号レベルの組が（Ｈ，Ｈ）であり、今回の検出結果による信号レベルの組が（Ｌ，Ｈ）である場合、前回の検出から今回の検出までの間に回転軸ＳＦが第１の向き（例、図２（Ａ）で時計回り）に回転したと判別する。また、計数部２３は、例えば、前回の検出結果による信号レベルの組が（Ｈ，Ｈ）であり、今回の検出結果による信号レベルの組が（Ｈ，Ｌ）である場合、前回の検出から今回の検出までの間に回転軸ＳＦが第１の向きと反対の第２の向き（例、図２（Ａ）で反時計回り）に回転したと判別する。計数部２３は、例えば、信号レベルの組が（Ｈ，Ｈ）である場合に、回転の向きに応じてカウンタ値をインクリメント（＋１）あるいはデクリメント（−１）し、カウンタ値を多回転情報として出力する。
【００４４】
なお、第２処理部１８は、例えば、第２検出部１７の検出結果を３段階以上の階調値に変換して、回転軸ＳＦの回転位置情報の少なくとも一部（例、多回転情報）を算出してもよい。また、第２処理部１８は、例えば、第２検出部１７の検出結果を階調値に変換しないで、回転軸ＳＦの回転位置情報の少なくとも一部（例、角度位置情報）を算出してもよい。また、第２処理部１８は、上記したように、第２パターン１５（例、移動方向において光学特性値が漸次的に変化するパターンなど）を検出して得られる検出結果（例、検出信号）を演算などによって処理する処理回路を含む。
【００４５】
図１の説明に戻り、本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、記憶部２４、比較部２５、合成部２６、及び通信部２７を備える。記憶部２４は、例えば不揮発性メモリである。第２処理部１８から出力される情報（例、多回転情報）を記憶する。合成部２６は、第１処理部１３が検出した第２分解能の角度位置情報を取得する。また、合成部２６は、記憶部２４から回転軸ＳＦの多回転情報を取得する。合成部２６は、第１処理部１３からの角度位置情報、及び多回転情報検出部３からの多回転情報を合成し、回転軸ＳＦの回転位置情報を算出する。例えば、第１処理部１３の検出結果がθ［ｒａｄ］であり、多回転情報検出部３の検出結果がｎ回転である場合に、合成部２６は、回転位置情報として（２π×ｎ＋θ）［ｒａｄ］を算出する。回転位置情報は、多回転情報と、１回転未満の角度位置情報とを組にした情報でもよい。
【００４６】
合成部２６は、算出した回転位置情報を通信部２７に送信する。通信部２７（外部通信部、外部接続インターフェース）は、有線または無線によって、モータ制御部ＭＣの通信部ＭＣ１と通信可能に接続されている。通信部２７は、デジタル形式の回転位置情報を、モータ制御部ＭＣの通信部ＭＣ１に供給する。モータ制御部ＭＣは、角度検出部４の通信部２７からの回転位置情報を適宜復号する。モータ制御部ＭＣは、回転位置情報を使ってモータＭへ供給される電力（駆動電力）を制御することにより、モータＭの回転を制御する。
【００４７】
比較部２５は、第１検出部１２の検出結果に基づく情報と第２検出部１７の検出結果に基づく情報とを比較する（比較処理を実行する）。例えば、比較部２５は、第１検出部１２の検出結果に基づいて第１処理部１３が算出した角度位置情報と、第２検出部１７の検出結果に基づいて第２処理部１８が算出した角度位置情報とを比較し、比較結果を示す報知情報（報知信号）を生成する。
【００４８】
比較部２５は、例えば、第１処理部１３が算出した回転体（例、回転軸ＳＦ）の位置情報（例、角度位置情報）と第２処理部１８が算出した回転体（例、回転軸ＳＦ）の位置情報（例、角度位置情報）とが所定の条件を満たすか否かを判定する。上記の所定の条件は、例えば、第１処理部１３が算出した回転軸ＳＦの角度位置情報と、第２処理部１８が算出した回転軸ＳＦの角度位置情報との比較値（例、差、比率）が所定の範囲（例、許容範囲、許容誤差範囲）に収まる条件である。
【００４９】
比較部２５は、例えば、第１処理部１３の処理結果と第２処理部１８の処理結果とを比較することによって、エンコーダ装置ＥＣの動作が正常であるか否かを判定する。例えば、比較部２５は、第１処理部１３の処理結果と第２処理部１８の処理結果とが上記の所定の条件を満たす場合に、エンコーダ装置ＥＣの動作が正常であると判定し、判定結果（例、動作が正常又は異常である結果など）を出力する。
【００５０】
エンコーダ装置ＥＣは、比較部２５の判定結果に基づいて、第１処理部１３が算出した回転体の位置情報（例、角度位置情報）を含む情報（例、回転位置情報）を出力する。例えば、合成部２６は、エンコーダ装置ＥＣの動作が正常であると比較部２５が判定した場合に、第２処理部１８が算出した角度位置情報を用いないで回転位置情報を生成する。例えば、第２処理部１８は、第１処理部１３の処理結果と比較する参照情報として角度位置情報を算出する。合成部２６は、エンコーダ装置ＥＣの動作が正常であると比較部２５が判定した場合に、上記の参照情報を含まない回転位置情報を生成する。
【００５１】
例えば、比較部２５は、第１処理部１３が算出した角度位置情報と、第２処理部１８が算出した角度位置情報との差が所定値を超える場合に、エンコーダ装置ＥＣの検出状態のエラーの発生を示す報知情報（例、エラー情報、エラー信号）、あるいは警告を示す報知情報（警告情報、警告信号）を生成する。報知情報は、例えば、照射部１１、第１検出部１２、第１処理部１３、照射部１６、第２検出部１７、及び第２処理部１８の少なくとも１つの動作不良の発生を報知する情報でもよい。例えば、照射部１１または照射部１６において経年劣化などによる動作不良（例、光量の減少、不測の消灯）が発生した場合、第１処理部１３による角度位置情報と、第２処理部１８による角度位置情報との差あるいは比率が許容範囲外となり、比較部２５は異常（例、動作不良）の発生を知らせる報知情報を生成する。第１検出部１２もしくは第２検出部１７に動作不良が発生した場合、第１処理部１３もしくは第２処理部１８に動作不良が発生した場合についても同様に、比較部２５は異常（例、動作不良）の発生を知らせる報知情報を生成する。比較部２５は、例えば、生成した報知情報を通信部２７に出力する。比較部２５は、例えば、通信部２７を介して、報知情報をエンコーダ装置ＥＣの外部（例、モータ制御部ＭＣ）に出力する。
【００５２】
なお、多回転情報検出部３は、上記した第１の多回転検出部（例、第２パターン１５、検出部１７）と別に、第２の多回転検出部を備えてもよい。第２の多回転検出部は、光学式のエンコーダでもよいし、その他の検出方式（例、磁気式）のエンコーダでもよい。磁気式のエンコーダは、磁石３１の磁界を検出し、その検出結果に基づいて多回転情報を検出してもよい。比較部２５は、例えば、第１の多回転検出部の検出結果（例、多回転情報）と、第２の多回転検出部の検出結果（例、多回転情報）とを比較してもよい。また、比較部２５は、異なるセンサの検出結果から得られる複数の角度位置情報を比較し、かつ異なるセンサの検出結果から得られる複数の多回転情報を比較してもよい。また、第２処理部１８は、第２検出部１７の検出結果をもとに、回転体（例、回転軸ＳＦ）の位置情報として角度位置情報を算出し、多回転情報を算出しなくてもよい。
【００５３】
なお、エンコーダ装置ＥＣは、比較部２５が生成した報知情報をエンコーダ装置ＥＣの外部に出力しなくてもよい。例えば、エンコーダ装置ＥＣは、比較部２５が生成した報知情報に基づいて、例えば警告ライトを点灯させてもよいし、警告音（例、アラーム音）を発してもよい。
【００５４】
比較部２５は、例えば、第１処理部１３が角度位置情報を算出し、かつ第２処理部１８が角度位置情報を算出する状態において、上記の比較処理を実行する。例えば、比較部２５は、第１電源ＰＷ１から位置検出部１に電力が供給される通常状態において、上記の比較処理を実行する。
【００５５】
また、比較部２５は、例えば、第１処理部１３と第２処理部１８との一方または双方が角度位置情報を算出しない状態において、上記の比較処理を実行しない。例えば、第１電源ＰＷ１からの電力供給が断たれたバックアップ状態において、第１検出部１２が検出を行わず、第１処理部１３は、角度位置情報を算出しない。バックアップ状態において、例えば、第１処理部１３が角度位置情報を算出せず、比較部２５は、上記の比較処理を実行しない。バックアップ状態において、第２検出部１７は、例えば、第２電源（例、バッテリー６）からの電力供給を受けて検出を実行する。バックアップ状態において、第２検出部１７は検出を実行する。バックアップ状態において、第２処理部１８は、例えば、上記した第２検出部１７の検出結果に基づいて多回転情報を算出し、角度位置情報を算出しない。なお、エンコーダ装置ＥＣは、バックアップ状態において、例えば、第２処理部１８が角度位置情報を算出せず、比較部２５は、上記の比較処理を実行しないように構成されてもよい。
【００５６】
比較部２５は、例えば、通常状態において第１電源ＰＷ１から電力供給を受けて、上記の比較処理を実行する。比較部２５は、例えば、通常状態において第１電源ＰＷ１から供給される電力を用いて、上記の比較処理を実行する。電力供給部２は、例えば、バックアップ状態において比較部２５に電力を供給しない。比較部２５は、例えば、バックアップ状態において電力供給が断たれることによって、上記の比較処理を実行しない。
【００５７】
次に、電力供給部２について説明する。電力供給部２は、通常状態とバックアップ状態とのうち少なくともバックアップ状態において、位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部３）へ電力を供給する。電力供給部２は、磁石３１、信号発生部３２、切替部３３、及びバッテリー６を備える。図４は、本実施形態に係る信号発生部３２を示す図である。図４（Ａ）には磁石３１、及び信号発生部３２の斜視図を示し、図４（Ｂ）には回転軸ＳＦの方向から見た磁石３１、及び信号発生部３２の平面図を示した。
【００５８】
信号発生部３２は、移動部（例、回転軸ＳＦ）の移動（例、回転）によって電気信号（検出信号）が発生する。この電気信号は、例えば、電力（電流、電圧）が時間変化する波形を含む。信号発生部３２は、例えば、回転軸ＳＦの回転に伴って変化する磁界によって、電気信号として検出信号が発生する。例えば、回転軸ＳＦの回転によって磁石３１と信号発生部３２とが相対的に移動し、磁石３１が信号発生部３２の位置に形成する磁界が変化することによって、信号発生部３２に電気信号が発生する。
【００５９】
磁石３１は、例えば、回転軸ＳＦに対して固定される。磁石３１は、例えば、スケールＳに固定される。信号発生部３２は、回転軸ＳＦの回転によって、磁石３１との相対的な角度位置が変化するように、配置される。信号発生部３２には、例えば、信号発生部３２と磁石３１との相対位置が所定の位置になった際に、パルス状の電気信号が発生する。
【００６０】
なお、信号発生部３２は、磁界の変化以外によって検出信号（例、パルス状の電気信号）が発生するものでもよい。また、磁石３１は、スケールＳと別の部材に設けられてもよい。例えば、磁石３１は、第３の回転体に設けられ、第３の回転体が回転軸ＳＦに固定されてもよい。上記の第３の回転体には、アブソリュートパターンＡＢＳ、インクリメンタルパターンＩＮＣ、及び第２パターン１５の一部が設けられてもよい。
【００６１】
磁石３１は、回転によって回転軸ＳＦに対する放射方向（スケールＳの径方向）における磁界の向きおよび強さが変化するように構成される。磁石３１は、例えば回転軸ＳＦと同軸の円環状の部材である。磁石３１の主面（表面および裏面）は、それぞれ、回転軸ＳＦとほぼ垂直である。図４（Ｂ）に示すように、磁石３１は、８極に着磁した永久磁石である。磁石３１は、その内周側と外周側のそれぞれにおいて周方向にＮ極とＳ極が並んでおり、内周側と外周側とで位相が９０°ずれている。磁石３１において、内周側におけるＮ極とＳ極との境界は、外周側におけるＮ極とＳ極との境界と、周方向の位置（角度位置）がほぼ一致している。
【００６２】
図４（Ｂ）において、符号Ｑａは、磁石３１に固定した座標系において、周方向におけるＮ極とＳ極との１つの境界の位置である。符号Ｑｂは、位置Ｑａから時計回りに９０°回転した位置である。符号Ｑｃは、位置Ｑｂから時計周りに９０°回転した位置である。符号Ｑｄは、位置Ｑｃから時計回りに９０°回転した位置である。例えば、上記の位置Ｑａから位置Ｑｄは、それぞれ、図２などに示した位置Ｐａから位置Ｐｄに対応する。
【００６３】
磁石３１が形成する磁界の、スケールＳの径方向における向きは、位置Ｑａ、位置Ｑｂ、位置Ｑｃ、及び位置Ｑｄのそれぞれにおいて反転する。磁石３１は、磁石３１の外部に固定された座標系に対し、磁石３１の回転に伴ってスケールＳの径方向における磁界の向きが反転する交流磁界を形成する。信号発生部３２は、磁石３１の主面の法線方向から見て磁石３１と重なる位置に配置されている。
【００６４】
本実施形態において、信号発生部３２は、磁石３１と非接触に設けられる。信号発生部３２は、感磁性部４１および発電部４２を備える。感磁性部４１および発電部４２は、磁石３１の外部に固定されており、磁石３１の回転に伴って磁石３１上の各位置との相対位置が変化する。
【００６５】
感磁性部４１は、ウィーガントワイヤなどの感磁性ワイヤ（磁性体）である。感磁性部４１には、磁石３１の回転に伴う磁界の変化によって大バルクハウゼンジャンプ（ウィーガンド効果）が生じる。感磁性部４１は、円柱状の部材であり、その軸方向が磁石３１の径方向に設定されている。感磁性部４１は、その軸方向に交流磁界が印加され磁界が反転する際に、軸方向の一端から他端に向かう磁壁が発生する。
【００６６】
発電部４２は、感磁性部４１に巻き付けられて配置される高密度コイルなどである。発電部４２には、感磁性部４１における磁壁の発生に伴って電磁誘導が生じ、誘導電流が流れる。図４（Ｂ）に示した磁石３１の位置Ｑａ、位置Ｑｂ、位置Ｑｃ、又は位置Ｑｄが感磁性部４１の近傍を通過する際に、発電部４２にパルス状の電流（電気信号）が発生する。また、発電部４２は、大バルクハウゼンジャンプを利用して正パルスや負パルス等の検出パルスを含む検出信号を出力可能であり、外部（例、図１の第１電源ＰＷ１）からの電力供給がなくても動作可能である。
【００６７】
発電部４２に発生する電流の向きは、磁界の反転前後の向きに応じて変化する。例えば、磁石３１の外側を向く磁界から内側を向く磁界へ反転時に発生する電流の向きは、磁石３１の内側を向く磁界から外側を向く磁界へ反転時に発生する電流の向きの反対になる。発電部４２に発生する電力（誘導電流）は、例えば高密度コイルの巻き数により設定できる。
【００６８】
図４（Ａ）に示すように、感磁性部４１および発電部４２は、ケース４３に収納されている。ケース４３には端子４３ａおよび端子４３ｂが設けられている。発電部４２の高密度コイルは、その一端が端子４３ａと接続され、その他端が端子４３ｂと接続されている。発電部４２で発生した電力は、端子４３ａおよび端子４３ｂを介して、信号発生部３２の外部へ取り出し可能である。
【００６９】
なお、上述の信号発生部３２の構成は一例であり、その構成は適宜変更可能である。例えば、信号発生部３２は、大バルクハウゼンジャンプ（ウィーガンド効果）を利用しない電磁誘導によって電力を発生してもよい。また、エンコーダ装置ＥＣが備える信号発生部３２の数は、適宜変更可能であり、例えば、２つ以上でもよい。また、信号発生部３２の配置についても適宜変更可能である。
【００７０】
図１の説明に戻り、本実施形態におけるバッテリー６は、バックアップ状態において、信号発生部３２で発生する検出信号に基づいて、位置検出部１で消費される電力の少なくとも一部を供給するように構成されてもよい。バッテリー６（電池）は、例えばボタン型電池、乾電池などの一次電池であるが、リチウムイオン二次電池などの二次電池でもよい。本実施形態のバッテリー６は、例えばボタン型電池である。
【００７１】
上記構成の場合、切替部３３は、信号発生部３２で発生した検出信号を制御信号に用いてバッテリー６から位置検出部１への電力供給の有無を切り替える。例えば、切替部３３は、信号発生部３２で発生する電気信号のレベルが閾値以上になることでバッテリー６から位置検出部１への電力供給を開始させる。例えば、切替部３３は、信号発生部３２で閾値以上の検出信号が発生することでバッテリー６から位置検出部１への電力供給を開始させる。
【００７２】
また、切替部３３は、信号発生部３２で発生する電気信号のレベルが閾値未満になることでバッテリー６から位置検出部１への電力供給を停止させる。例えば、切替部３３は、信号発生部３２で発生する検出信号が閾値未満になることでバッテリー６から位置検出部１への電力供給を停止させる。例えば、第１電源ＰＷ１からの電力供給が遮断された状態（バックアップ状態）において、信号発生部３２にパルス状の電気信号が発生する場合、切替部３３は、この電気信号のレベル（電位）がローレベルからハイレベルに立ち上がった際に、バッテリー６から位置検出部１への電力供給を開始させ、この電気信号のレベル（電位）がローレベルへ変化してから所定の時間経過後に、バッテリー６から位置検出部１への電力供給を停止させる。
【００７３】
なお、電力供給部２は、検出信号の電圧をレギュレータなどで調整した電力を位置検出部１に供給してもよい。例えば、電力供給部２は、検出信号の電圧をレギュレータなどで調整した電力と、バッテリー６からの電力とを併用してあるいは切り替えて、位置検出部１に供給してもよい。
【００７４】
図５は、本実施形態に係る電力供給部および多回転情報検出部の回路構成を示す図である。電力供給部２は、整流スタック５１、及び図１の切替部３３としてレギュレータ５２を備える。整流スタック５１は、信号発生部３２から流れる電流を整流する整流器である。整流スタック５１の第１入力端子５１ａは、信号発生部３２の端子４３ａと接続されている。整流スタック５１の第２入力端子５１ｂは、信号発生部３２の端子４３ｂと接続されている。整流スタック５１の接地端子５１ｇは、シグナルグランドＳＧと同電位が供給される接地線ＧＬに接続されている。多回転情報検出部３の動作時に、接地線ＧＬの電位は、回路の基準電位になる。整流スタック５１の出力端子５１ｃは、レギュレータ５２の制御端子５２ｃに接続されている。
【００７５】
レギュレータ５２は、バックアップ状態において、該レギュレータのオン状態及びオフ状態に応じて、バッテリー６から位置検出部１へ供給される電力を調整する。レギュレータ５２は、バッテリー６と位置検出部１との間の電力供給経路に設けられるスイッチング素子５３（スイッチ）を含む。レギュレータ５２は、信号発生部３２で発生する電気信号（検出信号）を制御信号（例、イネーブル信号）に用いてスイッチング素子５３の動作を制御する。
【００７６】
バッテリー６の正極は、レギュレータ５２の入力端子５２ａに接続されている。バッテリー６の負極は、接地線ＧＬに接続されている。レギュレータ５２の出力端子５２ｂは、電源線ＰＬに接続されている。レギュレータ５２の接地端子５２ｇは、接地線ＧＬに接続されている。レギュレータ５２の制御端子５２ｃはイネーブル端子である。レギュレータ５２は、制御端子５２ｃに閾値以上の電圧が印加された状態で、出力端子５２ｂの電位を所定電圧に維持する。レギュレータ５２の出力電圧（上記の所定電圧）は、計数部２３がＣＭＯＳなどで構成される場合に例えば３Ｖである。記憶部２４の動作電圧は、例えば、所定電圧と同じ電圧に設定される。なお、所定電圧は、電力供給に必要な電圧であり、一定の電圧値でもよいし、段階的に変化する電圧でもよい。
【００７７】
スイッチング素子５３は、位置検出部１に電力を供給する回路５４の導通と遮断とを切替える。回路５４は、例えば、第２電源（例、バッテリー６）の第１電極（正極）と第２電極（負極）とを結ぶ電力供給経路を構成する。回路５４は、電源線ＰＬおよび接地線ＧＬを含む。接地線ＧＬは、例えば、バッテリー６の負極と接続され、その電位が回路５４の基準電位となる。スイッチング素子５３は、例えば、バッテリー６から回路５４を介した位置検出部１への電力供給の有無を切替える。
【００７８】
レギュレータ５２は、信号発生部３２から制御端子５２ｃに供給される電気信号を制御信号（イネーブル信号）に用いて、スイッチング素子５３の端子間（例、ソース電極、ドレイン電極）の導通状態（オン状態）と絶縁状態（オフ状態）とを切り替える。例えば、スイッチング素子５３は、ＭＯＳ、ＴＦＴなどを含む。制御端子５２ｃは、例えば、スイッチング素子５３のゲート電極と接続される。
【００７９】
スイッチング素子５３のゲート電極（制御端子）は、信号発生部３２で発生する電気信号（検出信号）によって充電される。スイッチング素子５３は、ゲート電極の電圧に応じて回路５４を導通へ切替える。例えば、スイッチング素子５３は、ゲート電極の電位が回路５４の基準電位である状態で、回路５４を遮断している。また、スイッチング素子５３は、ゲート電極の電圧が所定値以上になることで、ソース電極とドレイン電極との間が導通状態（オン状態）になる。スイッチング素子５３のソース電極とドレイン電極との間がオン状態になると、バッテリー６から、電源線ＰＬおよび接地線ＧＬを介して回路５４に電力が供給される。なお、電力供給部２は、レギュレータ５２のオン状態及びオフ状態を取得する取得部を備えてもよい。
【００８０】
多回転情報検出部３は、図４（Ａ）に示した第２処理部１８として、アナログコンパレータ５５、アナログコンパレータ５６、及び計数部２３を含む。照射部１６の電源端子１６ｐは、電源線ＰＬに接続されている。照射部１６の接地端子１６ｇは、接地線ＧＬに接続されている。第２検出部１７（受光素子）の出力端子１７ｃは、アナログコンパレータ５５の入力端子５５ａに接続されている。出力端子１７ｃは、図２（Ａ）に示した受光部１７ａの検出結果に相当する電圧を出力する。第２検出部１７の出力端子１７ｄは、アナログコンパレータ５６の入力端子５６ａに接続されている。出力端子１７ｄは、図２（Ａ）に示した受光部１７ｂの検出結果に相当する電圧を出力する。
【００８１】
アナログコンパレータ５５およびアナログコンパレータ５６は、図４（Ａ）に示した二値化部２２である。アナログコンパレータ５５は、第２検出部１７の出力端子１７ｃから出力される電圧を二値化する。アナログコンパレータ５５は、例えば比較器であり、出力端子１７ｃから出力される電圧を所定電圧と比較する。アナログコンパレータ５５の電源端子５５ｐは、電源線ＰＬに接続されている。アナログコンパレータ５５の接地端子５５ｇは、接地線ＧＬに接続されている。アナログコンパレータ５５の出力端子５５ｂは、計数部２３の第１入力端子２３ａに接続されている。アナログコンパレータ５５は、第２検出部１７の出力端子１７ｃの出力電圧が閾値以上である場合に出力端子５５ｂからＨレベルの信号を出力する。アナログコンパレータ５５は、第２検出部１７の出力端子１７ｃの出力電圧が閾値未満である場合に出力端子５５ｂからＬレベルの信号を出力する。
【００８２】
アナログコンパレータ５６は、第２検出部１７の出力端子１７ｄから出力される電圧を二値化する。アナログコンパレータ５６は、例えば比較器であり、出力端子１７ｄから出力される電圧を所定電圧と比較する。アナログコンパレータ５６の電源端子５６ｐは、電源線ＰＬに接続されている。アナログコンパレータ５６の接地端子５６ｇは、接地線ＧＬに接続されている。アナログコンパレータ５６の出力端子５６ｂは、計数部２３の第２入力端子２３ｂに接続されている。アナログコンパレータ５６は、第２検出部１７の出力端子１７ｄの出力電圧が閾値以上である場合に出力端子５６ｂからＨレベルの信号を出力する。アナログコンパレータ５６は、第２検出部１７の出力端子１７ｄの出力電圧が閾値未満である場合に出力端子５６ｂからＬレベルの信号を出力する。
【００８３】
計数部２３は、回転軸ＳＦの多回転情報を、バッテリー６から供給される電力を用いて計数する。計数部２３は、例えばＣＭＯＳ論理回路などを含む。計数部２３は、電源端子２３ｐおよび接地端子２３ｇを介して供給される電力を用いて動作する。計数部２３の電源端子２３ｐは、電源線ＰＬに接続されている。計数部２３の接地端子２３ｇは、接地線ＧＬに接続されている。計数部２３は、第１入力端子２３ａを介して供給される電圧、及び第２入力端子２３ｂを介して供給される電圧を制御信号として、計数処理を行う。
【００８４】
記憶部２４は、第２処理部１８（例、計数部２３）が検出した回転位置情報の少なくとも一部（例、多回転情報）を、バッテリー６から供給される電力を用いて記憶する（書き込み動作を行う）。記憶部２４は、第２処理部１８が検出した回転位置情報として、計数部２３による計数の結果（多回転情報）を記憶する。記憶部２４の電源端子２４ｐは、電源線ＰＬに接続されている。記憶部２４の接地端子２４ｇは、接地線ＧＬに接続されている。記憶部２４は、例えば不揮発性メモリを含み、電力が供給されている間に書き込まれた情報を、電力が供給されない状態においても保持可能である。
【００８５】
本実施形態において、整流スタック５１とレギュレータ５２との間には、キャパシタ５９が設けられている。キャパシタ５９の第１電極５９ａは、整流スタック５１とレギュレータ５２の制御端子５２ａとを接続する信号線に接続されている。キャパシタ５９の第２電極５９ｂは、接地線ＧＬに接続されている。このキャパシタ５９は、例えば平滑キャパシタであり、脈動を低減してレギュレータの負荷を低減する。キャパシタ５９の定数は、例えば、第２処理部１８により回転位置情報を検出して記憶部２４に回転位置情報を書き込むまでの期間に、バッテリー６から第２処理部１８および記憶部２４への電力供給が維持されるように設定される。
【００８６】
次に、実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣの動作について説明する。図６は、本実施形態において第１電源から電力供給時のエンコーダ装置の動作を示す図である。図７は、本実施形態において第２電源から電力供給時のエンコーダ装置の動作を示す図である。
【００８７】
図６に示すように、第１電源ＰＷ１は、通常状態において位置検出部１に電力を供給する。照射部１１は、第１電源ＰＷ１から供給される電力を用いて、第１パターン１０（例、アブソリュートパターンＡＢＳ、インクリメンタルパターンＩＮＣ）に光を照射する。第１検出部１２は、第１電源ＰＷ１から供給される電力を用いて、第１パターン１０からの光を検出する。第１検出部１２は、検出結果を示す検出信号を第１処理部１３に出力する。第１処理部１３は、第１電源ＰＷ１から供給される電力を用いて、第１検出部１２からの検出信号を処理し、角度位置情報を算出する。第１処理部１３は、算出した角度位置情報を、比較部２５および合成部２６のそれぞれに出力する。
【００８８】
また、照射部１６は、第１電源ＰＷ１から供給される電力を用いて、第２パターン１５に光を照射する。第２検出部１７は、第１電源ＰＷ１から供給される電力を用いて、第２パターン１５からの光を検出する。第２検出部１７は、検出結果を示す検出信号を第２処理部１８に出力する。第２処理部１８は、第１電源ＰＷ１から供給される電力を用いて、第２検出部１７からの検出信号を処理し、角度位置情報および多回転情報を算出する。第２処理部１８が算出した多回転情報は、例えば記憶部２４に記憶され（出力され）、記憶部２４から合成部２６に出力される（読み出される）。また、第２処理部１８が算出した角度位置情報は、例えば記憶部２４に記憶され（出力され）、記憶部２４から比較部２５に出力される（読み出される）。
【００８９】
合成部２６は、第１処理部１３から出力された角度位置情報と、第２処理部１８から出力された多回転情報とを含む回転位置情報を出力する。また、比較部２５は、第１処理部１３から出力された角度位置情報と、第２処理部１８から出力された角度位置情報とを比較する。実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、第１処理部１３から出力された角度位置情報と、第２処理部１８から出力された角度位置情報とを比較するので、例えばエラーなどの不具合を検出することができ、信頼性が高い。例えば、比較部２５は、第１処理部１３と第２処理部１８とで角度位置情報の差が所定値（例、許容範囲）を超える場合に、報知情報を生成する。この報知情報は、例えば、エラーの発生をユーザ等に報知することに利用され、装置の信頼性の向上に寄与する。
【００９０】
なお、エンコーダ装置ＥＣは、第１の角度検出部（例、照射部１１、第１検出部２、第１処理部１３）と、第２の角度検出部（例、照射部１６、第２検出部１７、第２処理部１８）とのうち、一方の角度検出部に動作不良が発生した場合に、他方の角度検出部の検出結果を用いて回転位置情報を出力してもよい。このようなエンコーダ装置ＥＣは、上記の第１の角度検出部または第２角度検出部に動作不良を発生した場合でも回転位置情報を出力するので、装置の信頼性の向上に寄与する。
【００９１】
図７に示すように、第１電源ＰＷ１は、バックアップ状態において位置検出部１に電力を供給しない。また、第２電源ＰＷ２（例、バッテリー６、電力供給部２）は、例えば、第１電源ＰＷ１が位置検出部１に電力を供給しない期間の少なくとも一部において、位置検出部１に電力を供給する。第２電源ＰＷ２は、例えば、上記の期間において電力を断続的に供給する。例えば、第２電源ＰＷ２は、回転軸ＳＦが所定の角度位置になった際に電力を供給する。例えば、第２電源ＰＷ２は、回転軸ＳＦが上記の所定の角度位置以外の位置にある場合に、電力を供給しない。この場合、例えばエンコーダ装置ＥＣの少なくとも一部（例、図１のバッテリー６）について、動作が制限されることで消耗が低減される。
【００９２】
また、第２電源ＰＷ２は、例えば、位置検出部１の一部（以下、供給対象という）に対して電力を供給する。例えば、第２電源ＰＷ２は、多回転情報検出部３に対して電力を供給する。また、第２電源ＰＷ２は、例えば、位置検出部１のうち上記供給対象を除く部分に対して電力を供給しない。例えば、第２電源ＰＷ２は、角度検出部４に対して電力を供給しない。この場合、例えばエンコーダ装置ＥＣの少なくとも一部（例、図１のバッテリー６、角度検出部４）について、動作が制限されることで消耗が低減される。
【００９３】
照射部１６は、第２電源ＰＷ２から供給される電力を用いて、第２パターン１５に光を照射する。第２検出部１７は、第２電源ＰＷ２から供給される電力を用いて、第２パターン１５からの光を検出する。第２検出部１７は、検出結果を示す検出信号を第２処理部１８に出力する。第２処理部１８は、第２電源ＰＷ２から供給される電力を用いて、第２検出部１７からの検出信号を処理し、回転位置情報のうち少なくとも多回転情報を算出する。例えば、第２処理部１８は、多回転情報を算出し、角度位置情報を算出しない。この場合、多回転情報検出部の処理が低減され、消費電力が低減される。記憶部２４は、第２処理部１８から出力される多回転情報を、第２電源ＰＷ２から供給される電力を用いて記憶する。記憶部２４は、第１電源ＰＷ１からの電力供給および第２電源ＰＷ２からの電力供給が断たれた状態においても、多回転情報を保持する。
【００９４】
また、本実施形態において、例えば、上記の第２パターン１５の光学特性値が１回転（３６０°）の範囲で１周期の分布（例、１周期で変化する分布パターン）である場合、多回転情報検出部３は、多回転情報の検出に用いる部分（例、第２パターン１５）を、角度位置情報の生成にも用いることも可能である。この角度位置情報は、例えば、回転軸ＳＦの角度位置を示す角度位置情報と、角度検出部４が算出する角度位置情報に対する比較情報（参照情報）との一方または双方として利用される。本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、例えば、多回転情報の検出に用いる部分と、上記比較情報の生成に用いる部分とを個別に設ける場合と比較して、装置構成がシンプルにすることができる。
【００９５】
本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、信号発生部３２に電気信号が発生してから短時間（例、検出信号が発生された時）又は上位コントローラにて予め設定された周期（又は不定期）で上位コントローラやエンコーダ装置ＥＣから出力せるトリガー信号が発生してから短時間のうちに、バッテリー６から多回転情報検出部３に電力が供給され、多回転情報検出部３がダイナミック駆動（間欠駆動）する。多回転情報の検出および書き込みの終了後は、多回転情報検出部３への電力供給は絶たれるが、計数値は、記憶部２４に格納されているので保持される。このようなシーケンスは、外部からの電力供給が絶たれた状態においても、磁石３１上の所定位置が信号発生部３２の近傍を通過するたびに繰り返される。
【００９６】
記憶部２４に記憶されている多回転情報は、例えば、次にモータＭが起動される際にモータ制御部ＭＣなどに読み出され、回転軸ＳＦの初期位置などの算出に利用される。このようなエンコーダ装置ＥＣは、信号発生部３２で発生する電気信号に応じて、位置検出部１（例、多回転情報検出部３）で消費される電力の少なくとも一部をバッテリー６が供給するので、バッテリー６を長寿命にすることができる。バッテリー６のメンテナンス（例、交換）をなくしたり、メンテナンスの頻度を減らしたりすることができる。例えば、バッテリー６の寿命がエンコーダ装置ＥＣの他の部分の寿命よりも長い場合、バッテリー６の交換を不要にすることもできる。
【００９７】
また、ウィーガントワイヤ等の感磁性ワイヤを利用すると、磁石３１の回転が極めて低速であっても、信号発生部３２からパルス電流の出力が得られる。そのため、例えばモータＭへ電力供給がなされていない状態などにおいて、回転軸ＳＦ（磁石３１）の回転が極めて低速な場合にも、信号発生部３２の出力を電気信号として利用できる。
【００９８】
なお、第２処理部１８は、第２パターン１５を第２検出部１７が検出した検出結果を用いて多回転情報を検出し、角度位置情報を検出しなくてもよい。この場合、比較部２５は、第２検出部１７の検出結果に基づく多回転情報を、上記の第２の多回転検出部による多回転情報と比較してもよい。また、第２処理部１８は、第２パターン１５を第２検出部１７が検出した検出結果を用いて角度位置情報を検出し、多回転情報を検出しなくてもよい。また、エンコーダ装置ＥＣは、比較部２５を備えなくてもよい。
【００９９】
なお、多回転情報検出部３の一部は、角度検出部４と共用であってもよい。また、電力供給部２は、信号発生部３２で発生する検出信号の電力を電源に用いてもよい。例えば、電力供給部２は、検出信号の電圧をレギュレータなどで所定電圧に調整し、検出信号の電力を位置検出部１に供給してもよい。また、上述の実施形態において、信号発生部３２は、磁石３１に対して所定の位置関係になった際に検出信号が発生する。エンコーダ装置ＥＣ（多回転情報検出部３）は、信号発生部３２を、回転軸ＳＦ（磁石３１）の位置情報を検出するセンサとして備えてもよい。
【０１００】
なお、電力供給部２は、バックアップ状態において、連続的に電力を供給してもよい。また、電力供給部２は、バックアップ状態において、多回転情報検出部３と別の部分（例、角度検出部４の少なくとも一部）に電力を供給してもよい。多回転情報検出部３は、バックアップ状態において、通常状態と同様に角度位置情報を算出してもよい。例えば、バックアップ状態において、多回転情報検出部３および角度検出部４は、それぞれ角度位置情報を算出してもよい。この場合、比較部２５は、バックアップ状態において多回転情報検出部３が算出した角度位置情報と、バックアップ状態において角度検出部４が算出した角度位置情報とを比較してもよい。
【０１０１】
なお、合成部２６は、多回転情報検出部３が算出した角度位置情報を含む回転位置情報を生成してもよい。例えば、合成部２６は、角度検出部４の動作不良が検出された場合に、角度検出部４により算出される角度位置情報の代わりに、多回転情報検出部３によって算出される角度位置情報を用いて、回転位置情報を生成してもよい。例えば、上記した第２パターン１５を検出する多回転情報検出部３が回転体の角度位置情報の検出に用いられる場合、本実施形態におけるエンコーダ装置ＥＣは、光学式の多回転情報検出部３と光学式の角度検出部４とによって角度位置情報を検出する検出部（例、角度検出部４）の多重化（この場合、二重化）を構成することができ、装置の信頼性を向上することが可能である。また、例えば、本実施形態における角度検出部４はホール素子やＭＲ素子などを用いた磁気式の角度検出部であってもよい。このような磁気式の角度検出部が用いられ、かつ上記した第２パターン１５を検出する多回転情報検出部３が回転体の角度位置情報の検出に用いられる場合であっても、本実施形態におけるエンコーダ装置ＥＣは、光学式の多回転情報検出部３と磁気式の角度検出部とによって角度位置情報を検出する検出部（例、角度検出部４）の多重化（この場合、二重化）を構成することができ、装置の信頼性を向上することが可能となる。
【０１０２】
［第２実施形態］
次に、図８などを用いて、第２実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図８（Ａ）は、本実施形態に係る比較部を示す図である。比較部２５は、第２検出部１７（例、第１受光部１７ａ）が第２パターン１５のうち第１位相のパターン１５ａ（例、濃淡を有するパターン）を検出した検出結果（以下、第１検出信号という）と、第２検出部１７（例、第２受光部１７ｂ）が第２パターン１５のうち第２位相のパターン１５ｂ（例、濃淡を有するパターン）を検出した検出結果（以下、第２検出信号という）との関係に基づいて、エンコーダ装置ＥＣの動作に関する報知情報を生成して出力する。
【０１０３】
第１検出信号Ｓａ（図３（Ｂ）参照）は、例えば正弦波状である。第２検出信号Ｓｂ（図３（Ｂ）参照）は、第１検出信号Ｓａと位相がずれた正弦波状である。例えば、第１検出信号Ｓａと第２検出信号Ｓｂとで位相が９０°ずれている場合、第２検出信号Ｓｂは、余弦波に相当する。
【０１０４】
図８（Ｂ）は、第１検出信号のレベルと第２検出信号のレベルとの関係を示す図である。上記のように、第１検出信号と第２検出信号とで位相が９０°ずれている場合、第１検出信号と第２検出信号とのリサージュＬＦ（リサージュ図形）は、円周になる。例えば、第１検出信号のレベルをＳＬ１とし、第２検出信号のレベルをＳＬ２としたときに、これらレベルを組みにした座標（ＳＬ１，ＳＬ２）の点は、リサージュＬＦの線上に配置されることが想定される。
【０１０５】
図８（Ｂ）の符号ＡＲは、リサージュＬＦに対して誤差を加味した許容範囲である。比較部２５は、例えば、上記の座標（ＳＬ１，ＳＬ２）の点が許容範囲ＡＲ内であるか否かを判定する。比較部２５は、例えば、座標（ＳＬ１，ＳＬ２）の点が許容範囲ＡＲ内に無いと判定した場合に、報知情報（報知信号）としてエラーあるいは警報を示す情報（信号）を生成する。比較部２５は、例えば、照射部１６の不具合などを報知情報によって外部へ報知することができ、装置の信頼性を向上させることに寄与する。
【０１０６】
［駆動装置］
次に、実施形態に係る駆動装置について説明する。図９は、駆動装置ＭＴＲの一例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については、適宜、同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。この駆動装置ＭＴＲは、電動モータを含むモータ装置である。駆動装置ＭＴＲは、回転軸ＳＦと、回転軸ＳＦを回転駆動する本体部（駆動部）ＢＤと、回転軸ＳＦの回転位置情報を検出するエンコーダ装置ＥＣとを有している。
【０１０７】
回転軸ＳＦは、負荷側端部ＳＦａと、反負荷側端部ＳＦｂとを有している。負荷側端部ＳＦａは、減速機など他の動力伝達機構に接続される。反負荷側端部ＳＦｂには、固定部を介してスケールＳが固定される。このスケールＳの固定とともに、エンコーダ装置ＥＣが取り付けられている。エンコーダ装置ＥＣは、上述した実施形態に係るエンコーダ装置である。
【０１０８】
エンコーダ装置ＥＣは、例えば、回転軸ＳＦの回転によって相対的に回転する磁石３１および検出部ＭＤを備える。検出部ＭＤは、例えば、ホール素子あるいはＭＲ素子などの磁気検出部である。検出部ＭＤは、磁石３１が形成する磁界を検出する。磁石３１（図２参照）は、検出部ＭＤに形成する磁界の向き、及び強さが回転軸ＳＦの回転角によって変化する。エンコーダ装置ＥＣは、検出部ＭＤの検出結果に基づいて、回転軸ＳＦの多回転情報を検出する。エンコーダ装置ＥＣは、例えば、図１などに示した比較部２５によって、第２処理部１８による多回転情報と、検出部ＭＤによる多回転情報とを上述のように比較してもよい。なお、検出部ＭＤが検出する磁界を形成する磁石は、磁石３１と別に設けられてもよい。
【０１０９】
なお、エンコーダ装置ＥＣは、第１の角度検出部（例、図１の照射部１１、第１検出部１２、第１処理部１３）と、第２の角度検出部（例、図１の照射部１６、第２検出部１７、第２処理部１８）との一方または双方を備えてもよい。エンコーダ装置ＥＣは、第１の多回転検出部（例、図１の照射部１６、第２検出部１７、第２処理部１８）と、第２の多回転検出部（例、図９の検出部ＭＤ）との一方または双方を備えてもよい。上記の第１の角度検出部、第２の角度検出部、第１の多回転検出部、及び第２の多回転検出部は、それぞれ、光学式のエンコーダでもよいし、磁気式のエンコーダでもよく、その他の検出方式（例、静電容量式）のエンコーダでもよい。上記の第１の角度検出部、第２の角度検出部、第１の多回転検出部、及び第２の多回転検出部の検出方式の組み合わせは任意である。
【０１１０】
この駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣの検出結果を使って、図１などに示したモータ制御部ＭＣが本体部ＢＤを制御する。駆動装置ＭＴＲは、例えば、エンコーダ装置ＥＣの信頼性が高いので、安定に動作可能である。なお、実施形態に係る駆動装置ＭＴＲは、リニアモータあるいは平面モータでもよく、実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、リニアエンコーダでもよい。また、駆動装置ＭＴＲは、モータ装置に限定されず、油圧や空圧を利用して回転する軸部を有する他の駆動装置であってもよい。
【０１１１】
［ステージ装置］
次に、ステージ装置について説明する。図１０は、ステージ装置ＳＴＧを示す図である。このステージ装置ＳＴＧは、図９に示した駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち負荷側端部ＳＦａに、ステージ（回転テーブルＴＢ、移動物体）を取り付けた構成である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については、適宜、同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。
【０１１２】
ステージ装置ＳＴＧは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転軸ＳＦを回転させる。この回転は、回転テーブルＴＢに伝達され、その際にエンコーダ装置ＥＣは、回転軸ＳＦの角度位置等を検出する。エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、回転テーブルＴＢの角度位置を検出することができる。なお、駆動装置ＭＴＲの負荷側端部ＳＦａと回転テーブルＴＢとの間に減速機等が配置されてもよい。
【０１１３】
ステージ装置ＳＴＧは、例えば、エンコーダ装置ＥＣの信頼性が高いので、安定的に動作可能である。ステージ装置ＳＴＧは、例えば、旋盤等の工作機械に備える回転テーブル等に適用できる。なお、ステージ装置ＳＴＧは、例えば、１次元のリニアモータによって、ステージを１方向に直線的に移動させる構成でもよい。また、ステージ装置ＳＴＧは、複数の１次元のリニアモータあるいは２次元のリニアモータ（例、平面モータ）によって、ステージを２方向に移動させる構成でもよい。
【０１１４】
［ロボット装置］
次に、ロボット装置について説明する。図１１は、ロボット装置ＲＢＴを示す斜視図である。なお、図１１には、ロボット装置ＲＢＴの一部（関節部分）を模式的に示した。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。このロボット装置ＲＢＴは、第１アームＡＲ１と、第２アームＡＲ２と、関節部ＪＴとを備える。第１アームＡＲ１は、関節部ＪＴを介して、第２アームＡＲ２と接続されている。
【０１１５】
第１アームＡＲ１は、腕部１０１、軸受１０１ａ、及び軸受１０１ｂを備える。第２アームＡＲ２は、腕部１０２および接続部１０２ａを有する。接続部１０２ａは、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの間に配置されている。接続部１０２ａは、回転軸ＳＦ２と一体的に設けられている。回転軸ＳＦ２は、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの両方に挿入されている。回転軸ＳＦ２のうち軸受１０１ｂに挿入される側の端部は、軸受１０１ｂを貫通して減速機ＲＧに接続されている。
【０１１６】
減速機ＲＧは、駆動装置ＭＴＲに接続されており、駆動装置ＭＴＲの回転を例えば１００分の１等に減速して回転軸ＳＦ２に伝達する。図１１に図示しないが、駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち負荷側端部ＳＦａは、減速機ＲＧに接続されている。また、駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち反負荷側端部ＳＦｂには、エンコーダ装置ＥＣのスケールＳが取り付けられている。
【０１１７】
ロボット装置ＲＢＴは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転軸ＳＦを回転させると、この回転が減速機ＲＧを介して回転軸ＳＦ２に伝達される。回転軸ＳＦ２の回転により接続部１０２ａが一体的に回転し、これにより第２アームＡＲ２が、第１アームＡＲ１に対して回転する。その際、エンコーダ装置ＥＣは、回転軸ＳＦの角度位置等を検出する。従って、エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、第２アームＡＲ２の角度位置を検出することができる。
【０１１８】
ロボット装置ＲＢＴは、例えば、エンコーダ装置ＥＣの信頼性が高いので、安定的に動作可能である。なお、ロボット装置ＲＢＴは、上記の構成に限定されず、駆動装置ＭＴＲは、複数の関節を備える各種ロボット装置（例、双腕多軸型ロボット）に適用できる。複数の関節を備えるロボット装置の場合、そのロボット装置は各関節（各軸）又は一部の関節に本実施形態のエンコーダ装置ＥＣが配置される。
【０１１９】
なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
【符号の説明】
【０１２０】
１・・・位置検出部、２・・・電力供給部、３・・・多回転情報検出部、４・・・角度検出部、６・・・バッテリー、Ｓ・・・スケール、１０・・・第１パターン、１１・・・照射部、１２・・・第１検出部、１５・・・第２パターン、１５ａ・・・第１位相のパターン、１５ｂ・・・第２位相のパターン、１７・・・第２検出部、１８・・・第２処理部、２５・・・比較部、ＥＣ・・・エンコーダ装置、ＭＴＲ・・・駆動装置、ＰＷ１・・・第１電源、ＰＷ２・・・第２電源、ＲＢＴ・・・ロボット装置、ＳＴＧ・・・ステージ装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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