(57)【要約】【課題】シリコンウェハに形成された保護膜の変色、膨潤及び、シリコンウェハからの剥離を抑制することが可能なフラックスを提供する。【解決手段】フラックスは、ジグリセリンにエチレンオキサイドが付加重合されたジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンにプロピレンオキサイドが付加重合されたジグリセリンＰＯ付加物、グリセリンにエチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドが付加重合されたグリセリンＥＯ／ＰＯ付加物の何れか、または、２種以上の組み合わせから選択される溶剤を、３０質量％以上１００質量％未満、活性剤を、０質量％超５０質量％以下で含む。【選択図】無し【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジグリセリンにエチレンオキサイドが付加重合されたジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンにプロピレンオキサイドが付加重合されたジグリセリンＰＯ付加物、グリセリンにエチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドが付加重合されたグリセリンＥＯ／ＰＯ付加物の何れか、または、２種以上の組み合わせから選択される溶剤を、３０質量％以上１００質量％未満、
活性剤を、０質量％超５０質量％以下で含む
ことを特徴とするフラックス。
【請求項２】
前記活性剤は、アルジトール、有機酸の何れか、または、２種の組み合わせを含む
ことを特徴とする請求項１に記載のフラックス。
【請求項３】
前記活性剤は、前記アルジトールの含有量が、前記有機酸を含まない場合は０質量％超５０質量％以下、前記有機酸を含む場合は０質量％以上５０質量％以下であり。前記有機酸の含有量が、前記アルジトールを含まない場合は０質量％超１０質量％以下、前記アルジトールを含む場合は０質量％以上１０質量％以下である
ことを特徴とする請求項２に記載のフラックス。
【請求項４】
アミン、アミンハロゲン化水素酸塩、有機ハロゲン化合物の何れか、または、２種以上の組み合わせを更に含む
ことを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１項に記載のフラックス。
【請求項５】
前記アミンの含有量は、０質量％以上５０質量％以下、前記アミンハロゲン化水素酸塩の含有量は、０質量％以上５質量％以下、前記有機ハロゲン化合物の含有量は、０質量％以上１０質量％以下である
ことを特徴とする請求項４に記載のフラックス。
【請求項６】
界面活性剤、チキソ剤、ロジン、添加溶剤の何れか、または、２種以上の組み合わせを更に含む
ことを特徴とする請求項１〜請求項５の何れか１項に記載のフラックス。
【請求項７】
前記界面活性剤の含有量は、０質量％以上５０質量％以下、前記チキソ剤の含有量は、０質量％以上３０質量％以下、前記ロジンの含有量は、０質量％以上５０質量％以下、前記添加溶剤の含有量は、０質量％以上５０質量％以下である
ことを特徴とする請求項６に記載のフラックス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウェハに使用可能なフラックスに関する。
【背景技術】
【０００２】
はんだ合金と接合対象物を接合する際に、はんだ合金及び接合対象物の金属表面に金属酸化物が形成されていると、濡れ性及び金属間化合物の形成が阻害される。はんだによる接合で使用されるフラックスは、はんだ合金及び接合対象物の金属表面に形成された金属酸化膜を化学的に除去する機能を持つ。
【０００３】
一般的に、フラックスは、金属酸化物と反応する活性剤と、固形成分を溶かす溶剤と、必要に応じて各種添加物を含む。このようなフラックスにおいて、基板に形成された有機系の絶縁膜への影響を抑えられるようにした技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１６６２２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
シリコンウェハ等で形成された基板のランドにはんだ合金によるめっきを行い、フラックスを塗布してリフロー炉等で加熱すると、はんだ合金の表面の金属酸化物が除去され、はんだ合金が溶融することで、はんだバンプが形成される。
【０００６】
シリコンウェハの表面には、ポリイミド（ＰＩ）あるいはポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）により、ランド等の露出させる必要がある箇所に開口を設けた保護膜が形成されている。
【０００７】
しかし、ポリイミドあるいはポリベンゾオキサゾールによる保護膜が形成されたシリコンウェハに従来のフラックスを印刷して加熱すると、保護膜中のポリイミドあるいはポリベンゾオキサゾールとフラックスが反応する。ポリイミドあるいはポリベンゾオキサゾールとフラックスが反応すると、保護膜の変色や膨潤が起こる可能性があった。更に、保護膜がシリコンウェハから剥離する可能性もあった。保護膜の変色、膨潤、及び、シリコンウェハからの剥離は、独立して発生する場合もあれば、同時に起こる場合もある。
【０００８】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、シリコンウェハに使用しても、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応を抑制することが可能なフラックスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願発明者らは、シリコンウェハの表面に形成された保護膜中のポリイミドあるいはポリベンゾオキサゾールによるとフラックスとの反応を、フラックス中の溶剤で抑制できることを見出した。そこで、本発明は、ジグリセリンにエチレンオキサイドが付加重合されたジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンにプロピレンオキサイドが付加重合されたジグリセリンＰＯ付加物、グリセリンにエチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドが付加重合されたグリセリンＥＯ／ＰＯ付加物の何れか、または、２種以上の組み合わせから選択される溶剤を、３０質量％以上１００質量％未満、活性剤を、０質量％超５０質量％以下で含むフラックスである。
【００１０】
活性剤は、アルジトール、有機酸の何れか、または、２種の組み合わせを含む。活性剤は、アルジトールの含有量が、有機酸を含まない場合は０質量％超５０質量％以下、有機酸を含む場合は０質量％以上５０質量％以下であり。有機酸の含有量が、アルジトールを含まない場合は０質量％超１０質量％以下、アルジトールを含む場合は０質量％以上１０質量％以下である。
【００１１】
フラックスは、アミン、アミンハロゲン化水素酸塩、有機ハロゲン化合物の何れか、または、２種以上の組み合わせを更に含んでも良い。アミンの含有量は、０質量％以上５０質量％以下、アミンハロゲン化水素酸塩の含有量は、０質量％以上５質量％以下、有機ハロゲン化合物の含有量は、０質量％以上１０質量％以下である。
【００１２】
フラックスは、界面活性剤、チキソ剤、ロジン、添加溶剤の何れか、または、２種以上の組み合わせを更に含んでも良い。界面活性剤の含有量は、０質量％以上５０質量％以下、チキソ剤の含有量は、０質量％以上３０質量％以下、ロジンの含有量は、０質量％以上５０質量％以下、添加溶剤の含有量は、０質量％以上５０質量％以下である。
【発明の効果】
【００１３】
ジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンＰＯ付加物、グリセリンＥＯ／ＰＯ付加物の何れか、または、その組み合わせを、溶剤として所定量含むフラックスでは、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールと、フラックスとの反応が抑制されることで、シリコンウェハに使用した場合、保護膜の変色、膨潤、及び保護膜のシリコンウェハからの剥離を抑制することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明のフラックスの実施の形態について説明する。本実施の形態のフラックスは、ジグリセリンにエチレンオキサイドが付加重合されたジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンにプロピレンオキサイドが付加重合されたジグリセリンＰＯ付加物、グリセリンにエチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドが付加重合されたグリセリンＥＯ／ＰＯ付加物の何れか、または、２種以上の組み合わせと、活性剤を含む。
【００１５】
ジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンＰＯ付加物及びグリセリンＥＯ／ＰＯ付加物は、固形物を溶かす溶剤として機能すると共に、金属酸化物と反応する活性剤として機能する。
【００１６】
ジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンＰＯ付加物、及び、グリセリンＥＯ／ＰＯ付加物は、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールと反応し得る官能基が少ない。これにより、ジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンＰＯ付加物、または、グリセリンＥＯ／ＰＯ付加物のいずれか、あるいは２種以上を含むフラックスは、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応が抑制され、シリコンウェハに形成された保護膜の変色、膨潤、及び保護膜のシリコンウェハからの剥離が抑制される。
【００１７】
ジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンＰＯ付加物及びグリセリンＥＯ／ＰＯ付加物は、１種であれば単体の含有量、２種以上であれば含有量の合計を３０質量％以上１００質量％未満、好ましくは、５０質量％以上１００質量％未満とする。
【００１８】
活性剤は、アルジトールと有機酸の何れか、または、２種の組み合わせを含む。活性剤の含有量は、０質量％超５０質量％以下である。
【００１９】
具体的には、アルジトールの含有量は、有機酸を含まない場合は０質量％超５０質量％以下、有機酸を含む場合は０質量％以上５０質量％以下である。アルジトールとしては、グリセリン、ジグリセリン、ポリグリセリン等が挙げられる。有機酸の含有量は、アルジトールを含まない場合は０質量％超１０質量％以下、アルジトールを含む場合は０質量％以上１０質量％以下である。有機酸としては、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、プロピオン酸、ジグリコール酸等が挙げられる。
【００２０】
フラックスは、活性補助剤として、アミン、アミンハロゲン化水素酸塩、有機ハロゲン化合物の何れか、または、２種以上の組み合わせを更に含んでも良い。
【００２１】
アミンの含有量は、０質量％以上５０質量％以下である。アミンとしては、エチルアミン、トリエチルアミン、エチレンジアミン、メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール等が挙げられる。
【００２２】
アミンハロゲン化水素酸塩の含有量は、０質量％以上５質量％以下である。アミンハロゲン化水素酸塩は、アミンとハロゲン化水素を反応させた化合物であり、アミンとしては、エチルアミン、エチレンジアミン、トリエチルアミン、メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール等が挙げられ、ハロゲン化水素としては、塩素、臭素、ヨウ素の水素化物が挙げられる。
【００２３】
有機ハロゲン化合物の含有量は、０質量％以上１０質量％以下である。有機ハロゲン化合物としては、１−ブロモ−２−ブタノール、１−ブロモ−２−プロパノール、３−ブロモ−１−プロパノール、３−ブロモ−１，２−プロパンジオール、１，４−ジブロモ−２−ブタノール、１，３−ジブロモ−２−プロパノール、２，３−ジブロモ−１−プロパノール、２，３−ジブロモ−１，４−ブタンジオール、２，３−ジブロモ−２−ブテン−１，４−ジオール等が挙げられる。
【００２４】
フラックスは、粘度調整、表面張力調整のため、他の添加剤として、界面活性剤、チキソ剤、ロジン、添加溶剤の何れか、または、２種以上の組み合わせを更に含んでも良い。界面活性剤の含有量は、０質量％以上５０質量％以下である。界面活性剤としては、アセチレングリコール、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリセリルエーテル、ポリオキシアルキレンエーテル等が挙げられる。
【００２５】
チキソ剤の含有量は、０質量％以上３０質量％以下である。チキソ剤としては、ポリエチレングリコール等が挙げられる。ロジンの含有量は、０質量％以上５０質量％以下である。ロジンとしては、重合ロジン等が挙げられる。
【００２６】
添加溶剤の含有量は、０質量％以上５０質量％以下である。添加溶剤としては、水、イソプロピルアルコール、グリコールエーテル系溶剤、１，２−ブタンジオール、テルピネオール等が挙げられる。グリコールエーテル系溶剤としては、ジエチレングリコールモノ−２−エチルヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、２−メチルペンタン−２，４−ジオール、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル等が挙げられる。
【実施例】
【００２７】
以下の表１及び表２に示す組成で実施例と比較例のフラックスを調合して、フラックスとポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応性、フラックスの洗浄性、はんだ付け性について検証した。なお。表１及び表２における組成率は質量％である。
【００２８】
＜フラックスとポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応性の評価＞
（１）検証方法
はんだめっきを行ったウェハに実施例または比較例のフラックスを塗布し、その後、窒素雰囲気下にてリフローを行った。リフロー条件は、室温から２５０℃まで１℃／ｓの昇温速度で昇温した後、２５０℃にて３０秒保持した。リフロー後のウェハを、４０℃に保温した洗浄液にて浸漬洗浄し、乾燥させた。そして、ウェハの外観検査で、ポリイミド（ＰＩ）及びポリベンゾオキサゾール（ＰＢＯ）の部分に変色、膨潤、あるいは、シリコンウェハからの剥離が確認された場合は、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応性があると判断した。
【００２９】
検証の結果、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応が見られなかったものを○、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応が見られたものを×と評価した。
【００３０】
＜フラックスの洗浄性の評価＞
（１）検証方法
はんだめっきを行ったウェハに実施例または比較例のフラックスを塗布し、その後、窒素雰囲気下にてリフローを行った。リフロー条件は、室温から２５０℃まで１℃／ｓの昇温速度で昇温した後、２５０℃にて３０秒保持した。リフロー後のウェハを、４０℃に保温した洗浄液にて浸漬洗浄し、乾燥させた。水洗浄の場合は、６０℃に保温した純水にて浸漬洗浄し、乾燥させた。そして、光学顕微鏡で観察して、はんだバンプ周辺に残渣が確認されなかった場合は良好な洗浄性と判断した。
【００３１】
検証の結果、フラックスの残渣が見られなかったものを○、一部残渣が見られたものを△、残渣が見られたものを×と評価した。
【００３２】
＜はんだ付け性の評価＞
（１）検証方法
シリコンウェハのＣｕ電極上にＳｎ−２Ａｇによるめっきを厚さ１５μｍで施す。このシリコンウェハにフラックスを均一に塗布し、Ｎ２雰囲気下でピーク温度２５０℃、昇温速度２℃／ｓｅｃにて加熱した。加熱、洗浄後、バンプ形状を走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて観察し、バンプ形状が滑らかな形状となれば〇、濡れ性（活性）の不足により荒れた凹凸が多い表面形状を×と評価した。
【００３３】
【表１】
2018196900.tif 000002
【００３４】
【表２】
2018196900.tif 000003
【００３５】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンＰＯ付加物、または、グリセリンＥＯ／ＰＯ付加物を含み、活性剤としてのアルジトールとして所定量のグリセリンを含む実施例１〜実施例４では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００３６】
ジグリセリンＥＯ付加物について、実施例１と実施例４で含有量を増減させた結果、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応性、洗浄性、はんだ付け性とも良好な効果が得られた。グリセリンＥＯ／ＰＯ付加物、ジグリセリンＰＯ付加物も同様である。
【００３７】
これにより、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応性を考慮すると、ジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンＰＯ付加物、または、グリセリンＥＯ／ＰＯ付加物を溶剤として使用することが好ましいことが判る。
【００３８】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としての有機酸として所定量のグルタル酸を含む実施例５では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００３９】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としてのアルジトールとして所定量のグリセリンを含み、アミンとして所定量のトリエチルアミンを含み、トリエチルアミンの含有量を増減させた実施例６、実施例７では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００４０】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としてのアルジトールとして所定量のグリセリンを含み、アミンハロゲン化水素酸塩として所定量のエチルアミン・臭化水素を含む実施例８では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００４１】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としてのアルジトールとして所定量のグリセリンを含み、アミンとして所定量のトリエチルアミンを含み、有機ハロゲン化合物として所定量の２，３−ジブロモ−１，４−ブタンジオールを含む実施例９では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００４２】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としての有機酸として所定量のグルタル酸を含み、有機ハロゲン化合物として所定量の２，３−ジブロモ−１，４−ブタンジオールを含む実施例１０では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００４３】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としてのアルジトールとして所定量のグリセリンを含み、更に、界面活性剤として所定量のアセチレングリコールを含む実施例１１では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００４４】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としてのアルジトールとして所定量のグリセリンを含み、更に、チキソ剤として所定量のポリエチレングリコールを含む実施例１２では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００４５】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としてのアルジトールとして所定量のグリセリンを含み、有機酸として所定量のグルタル酸を含み、更に、有機ハロゲン化合物として所定量の２，３−ジブロモ−１，４−ブタンジオールを含み、チキソ剤として所定量のポリエチレングリコールを含む実施例１３では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００４６】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としてのアルジトールとして所定量のグリセリンを含み、更に、アミンとして所定量のトリエチルアミンを含み、チキソ剤として所定量のポリエチレングリコールを含み、添加溶剤として所定量の水を含む実施例１４では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００４７】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としてのアルジトールとして所定量のグリセリンを含み、更に、アミンとして所定量のトリエチルアミンを含み、チキソ剤として所定量のポリエチレングリコールを含み、添加溶剤として所定量のイソプロピルアルコールを含む実施例１５では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００４８】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としてのアルジトールとして所定量のグリセリンを含み、更に、アミンとして所定量のトリエチルアミンを含み、チキソ剤として所定量のポリエチレングリコールを含み、他の添加溶剤として所定量のグリコールエーテル系溶剤を含む実施例１６、他の添加溶剤として所定量の１，２−ブタンジオールを含む実施例１７、他の添加溶剤として所定量のテルピネオールを含む実施例１８では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００４９】
溶剤として所定量のジグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としてのアルジトールとして所定量のグリセリンを含み、更に、アミンとして所定量のトリエチルアミンを含み、チキソ剤として所定量のポリエチレングリコールを含み、ロジンとして所定量の重合ロジンを含む実施例１９では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。更に、良好なはんだ付け性が得られた。
【００５０】
なお、ジグリセリンＥＯ付加物を１００質量％とした比較例１では、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応は見られなかった。また、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。但し、良好なはんだ付け性が得られなかった。
【００５１】
溶剤として所定量のグリセリンＥＯ付加物を含み、活性剤としてのアルジトールとして所定量のグリセリンを含む比較例２では、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。また、良好なはんだ付け性が得られた。但し、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応が見られた。
【００５２】
アルキレンオキシド・レゾルシン共重合物を１００質量％とした比較例３では、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。但し、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応が見られた。また、良好なはんだ付け性が得られなかった。
【００５３】
溶剤としてグリコールエーテル系溶剤の含有量を増やし、ジグリセリンＥＯ付加物の含有量を減らし、活性剤としてのアルジトールとして所定のグリセリンを含み、更に、アミンとして所定量のトリエチルアミンを含み、チキソ剤として所定量のポリエチレングリコールを含む比較例４では、洗浄後にフラックス残渣が見られなかった。また、良好なはんだ付け性が得られた。但し、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応が見られた。
【００５４】
以上のことから、溶剤として、ジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンＰＯ付加物、または、グリセリンＥＯ／ＰＯ付加物を本発明の範囲内で含むことで、ポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応が抑制されることが判った。
【００５５】
また、ジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンＰＯ付加物、または、グリセリンＥＯ／ＰＯ付加物を本発明の範囲内で含むことで、フラックス残渣の洗浄を行えることが判った。更に、ジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンＰＯ付加物、または、グリセリンＥＯ／ＰＯ付加物を本発明の範囲内で含むことで、良好なはんだ付け性が得られることが判った。
【００５６】
また、活性剤として、アルジトール、有機酸のいずれか、または、２種の組み合わせを、本発明の範囲内で含むことでも、フラックスとポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応を抑制する効果が阻害されないことが判った。
【００５７】
アルジトールとしては、ジグリセリン、ポリグリセリン等でも同様の効果が得られた。有機酸としては、コハク酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、プロピオン酸、ジグリコール酸等の何れか、または２種以上を組み合わせた他の実施例でも、同様の効果が得られた。
【００５８】
活性補助剤として、更に、アミン、アミンハロゲン化水素酸塩、有機ハロゲン化合物のいずれか、または、２種以上の組み合わせを、本発明の範囲内で含むことでも、フラックスとポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応を抑制する効果が阻害されないことが判った。
【００５９】
アミンとしては、エチルアミン、エチレンジアミン、メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール等でも同様の効果が得られた。アミンハロゲン化水素酸塩としては、エチルアミン、エチレンジアミン、トリエチルアミン、メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール等のアミンと、塩素、臭素、要素の水素化物が反応した他の塩でも同様の効果が得られた。
【００６０】
有機ハロゲン化合物としては、１−ブロモ−２−ブタノール、１−ブロモ−２−プロパノール、３−ブロモ−１−プロパノール、３−ブロモ−１，２−プロパンジオール、１，４−ジブロモ−２−ブタノール、１，３−ジブロモ−２−プロパノール、２，３−ジブロモ−１−プロパノール、２，３−ジブロモ−２−ブテン−１，４−ジオール等の何れか、または２種以上を組み合わせた他の実施例でも、同様の効果が得られた。
【００６１】
更に、界面活性剤、チキソ剤、他の添加溶剤、ロジンの何れか、または、２種以上の組み合わせを、本発明の範囲内で含むことでも、フラックスとポリイミド及びポリベンゾオキサゾールとの反応を抑制する効果が阻害されないことが判った。
【００６２】
界面活性剤としては、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリセリルエーテル、ポリオキシアルキレンエーテル等でも同様の効果が得られた。グリコールエーテル系溶剤としては、ジエチレングリコールモノ−２−エチルヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、２−メチルペンタン−２，４−ジオール、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル等の何れか、または２種以上を組み合わせた他の実施例でも、同様の効果が得られた。
【手続補正書】
【提出日】平成30年2月26日(2018.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジグリセリンにエチレンオキサイドが付加重合されたジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンにプロピレンオキサイドが付加重合されたジグリセリンＰＯ付加物、グリセリンにエチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドが付加重合されたグリセリンＥＯ／ＰＯ付加物の何れか、または、２種以上の組み合わせから選択される溶剤を、３０質量％以上９５質量％以下含み、溶剤に、グリセリンにエチレンオキサイドが付加重合されたグリセリンＥＯ付加物及びアルキレンオキシド・レゾルシン共重合物を含まず、
活性剤を、５質量％以上５０質量％以下で含む（但し、活性剤は、乳酸、グルタミン酸及びアミノ酸を除き、溶剤は、エチレングリコール−プロピレングリコール  ランダムコポリマー及びエチレングリコール−プロピレングリコール−エチレングリコール  ブロックコポリマーを除く）
ことを特徴とするフラックス。
【請求項２】
前記活性剤は、アルジトール、有機酸の何れか、または、２種の組み合わせを含む
ことを特徴とする請求項１に記載のフラックス。
【請求項３】
前記活性剤は、前記アルジトールの含有量が、前記有機酸を含まない場合は０質量％超５０質量％以下、前記有機酸を含む場合は０質量％以上５０質量％以下であり。前記有機酸の含有量が、前記アルジトールを含まない場合は０質量％超１０質量％以下、前記アルジトールを含む場合は０質量％以上１０質量％以下である
ことを特徴とする請求項２に記載のフラックス。
【請求項４】
アミン、アミンハロゲン化水素酸塩、有機ハロゲン化合物の何れか、または、２種以上の組み合わせを更に含む
ことを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１項に記載のフラックス。
【請求項５】
前記アミンの含有量は、０質量％以上５０質量％以下、前記アミンハロゲン化水素酸塩の含有量は、０質量％以上５質量％以下、前記有機ハロゲン化合物の含有量は、０質量％以上１０質量％以下である
ことを特徴とする請求項４に記載のフラックス。
【請求項６】
界面活性剤、チキソ剤、ロジン、添加溶剤の何れか、または、２種以上の組み合わせを更に含む
ことを特徴とする請求項１〜請求項５の何れか１項に記載のフラックス。
【請求項７】
前記界面活性剤の含有量は、０質量％以上５０質量％以下、前記チキソ剤の含有量は、０質量％以上３０質量％以下、前記ロジンの含有量は、０質量％以上５０質量％以下、前記添加溶剤の含有量は、０質量％以上５０質量％以下である
ことを特徴とする請求項６に記載のフラックス。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本願発明者らは、シリコンウェハの表面に形成された保護膜中のポリイミドあるいはポリベンゾオキサゾールによるとフラックスとの反応を、フラックス中の溶剤で抑制できることを見出した。そこで、本発明は、ジグリセリンにエチレンオキサイドが付加重合されたジグリセリンＥＯ付加物、ジグリセリンにプロピレンオキサイドが付加重合されたジグリセリンＰＯ付加物、グリセリンにエチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドが付加重合されたグリセリンＥＯ／ＰＯ付加物の何れか、または、２種以上の組み合わせから選択される溶剤を、３０質量％以上９５質量％以下含み、溶剤に、グリセリンにエチレンオキサイドが付加重合されたグリセリンＥＯ付加物及びアルキレンオキシド・レゾルシン共重合物を含まず、活性剤を、５質量％以上５０質量％以下で含む（但し、活性剤は、乳酸、グルタミン酸及びアミノ酸を除き、溶剤は、エチレングリコール−プロピレングリコール  ランダムコポリマー及びエチレングリコール−プロピレングリコール−エチレングリコール  ブロックコポリマーを除く）フラックスである。