(57)【要約】【課題】ウェブ上の異物の除去効果を確認することが可能な、ウェブクリーナーを提供する。【解決手段】ウェブクリーナー１０は、給気部２３を有し、走行するウェブＷに対して給気部２３から空気Ａ１を供給してウェブＷ上の異物Ｆを除去する給気ライン２０と、吸引部３１を有し、給気ライン２０から給気された空気Ａ１によって除去されたウェブＷ上の異物Ｆを吸引部３１から吸引して排出する排出ライン３０とを備えている。排出ライン３０には、チューブ３５を介してパーティクルカウンタ５０が連結されている。【選択図】図２
2018164879.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
給気部を有し、走行するウェブに対して前記給気部から空気を供給して前記ウェブ上の異物を除去する給気ラインと、
吸引部を有し、前記給気ラインから給気された空気によって除去された前記ウェブ上の前記異物を前記吸引部から吸引して排出する排出ラインとを備え、
前記排出ラインに、チューブを介してパーティクルカウンタが連結されていることを特徴とするウェブクリーナー。
【請求項２】
前記排出ラインは、その途中に曲がり部が形成され、当該曲がり部に前記チューブを介して前記パーティクルカウンタが連結されていることを特徴とする請求項１に記載のウェブクリーナー。
【請求項３】
前記排出ラインの一部に、直線部と当該直線部に直交する直交部とを含むＴ字部が形成され、当該Ｔ字部の前記直交部に前記チューブを介して前記パーティクルカウンタが連結されていることを特徴とする請求項１に記載のウェブクリーナー。
【請求項４】
前記排出ラインは、その途中に内径が大きくなる拡径部が形成され、当該拡径部に前記チューブを介して前記パーティクルカウンタが連結されていることを特徴とする請求項１に記載のウェブクリーナー。
【請求項５】
給気部を有し、走行するウェブに対して前記給気部から空気を供給して前記ウェブ上の異物を除去する給気ラインと、
吸引部を有し、前記給気ラインから給気された空気によって除去された前記ウェブ上の前記異物を前記吸引部から吸引して排出する排出ラインとを備え、
前記ウェブと、前記給気ラインの前記給気部とを覆うとともに、前記排出ラインの前記吸引部が接続される囲い体が設けられ、当該囲い体にチューブを介してパーティクルカウンタが連結されていることを特徴とするウェブクリーナー。
【請求項６】
前記囲い体内に、前記給気ラインから給気された空気の流れに対して乱流を生じさせる邪魔板が設けられていることを特徴とする請求項５に記載のウェブクリーナー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェブクリーナーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、フィルム塗工の分野では、フィルム塗工前にウェブ上から異物を除去し、塗工されるウェブの品質の安定化を図っている。この際、ウェブ上から異物を除去するために、非接触式のウェブクリーナーが利用される場合がある。このようなウェブクリーナーとしては、例えば、ワーク表面にエアーを吐出してワーク表面に存在する塵芥を吸引除去する除塵装置が提案されている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１０４５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に示す除塵装置では、ウェブ上から異物を除去することは可能であっても、ウェブがどの程度異物に汚染されているのかを把握することは困難である。このため、ウェブ上から異物が十分に除去されていない状態でウェブに塗工を行ってしまう可能性がある。このように、ウェブ上から異物が十分に除去されていない状態でウェブに塗工を行った場合、塗工されたウェブの品質が低下するといった問題点がある。
【０００５】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ウェブ上の異物による汚染度合いを確認することが可能な、ウェブクリーナーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、給気部を有し、走行するウェブに対して前記給気部から空気を供給して前記ウェブ上の異物を除去する給気ラインと、吸引部を有し、前記給気ラインから給気された空気によって除去された前記ウェブ上の前記異物を前記吸引部から吸引して排出する排出ラインとを備え、前記排出ラインに、チューブを介してパーティクルカウンタが連結されていることを特徴とするウェブクリーナーである。
【０００７】
本発明は、前記排出ラインは、その途中に曲がり部が形成され、当該曲がり部に前記チューブを介して前記パーティクルカウンタが連結されていることを特徴とするウェブクリーナーである。
【０００８】
本発明は、前記排出ラインの一部に、直線部と当該直線部に直交する直交部とを含むＴ字部が形成され、当該Ｔ字部の前記直交部に前記チューブを介して前記パーティクルカウンタが連結されていることを特徴とするウェブクリーナーである。
【０００９】
本発明は、前記排出ラインは、その途中に内径が大きくなる拡径部が形成され、当該拡径部に前記チューブを介して前記パーティクルカウンタが連結されていることを特徴とするウェブクリーナーである。
【００１０】
本発明は、給気部を有し、走行するウェブに対して前記給気部から空気を供給して前記ウェブ上の異物を除去する給気ラインと、吸引部を有し、前記給気ラインから給気された空気によって除去された前記ウェブ上の前記異物を前記吸引部から吸引して排出する排出ラインとを備え、前記ウェブと、前記給気ラインの前記給気部とを覆うとともに、前記排出ラインの前記吸引部が接続される囲い体が設けられ、当該囲い体にチューブを介してパーティクルカウンタが連結されていることを特徴とするウェブクリーナーである。
【００１１】
本発明は、前記囲い体内に、前記給気ラインから給気された空気の流れに対して乱流を生じさせる邪魔板が設けられていることを特徴とするウェブクリーナーである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ウェブ上の異物による汚染度合いを確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーが適用される搬送ラインを示す概略構成図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーを示す正面図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーを示す平面図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーの排出ラインを示す断面図（図２のIV-IV線断面図）である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーに用いられるパーティクルカウンタの測定原理を説明する図である。
【図６】図６は、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーの第１の変形例を示す正面図である。
【図７】図７は、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーの第２の変形例を示す正面図である。
【図８】図８は、本発明の第２の実施の形態によるウェブクリーナーを示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（第１の実施の形態）
以下、本発明の第１の実施の形態について、図１乃至図５を参照して説明する。なお、以下の各図において、同一部分には同一の符号を付しており、一部詳細な説明を省略する場合がある。また、以下の各図に示されている構成には、図示と理解のしやすさの便宜上、サイズ及び縮尺等が実物のそれらから変更されている部分が含まれうる。
【００１５】
まず、図１乃至図５により、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナー１０について説明する。図１は、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーが適用される搬送ラインを示す概略構成図である。また、図２は、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーを示す正面図である。また、図３は、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーを示す平面図である。また、図４は、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーの排出ラインを示す断面図である。さらに、図５は、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーに用いられるパーティクルカウンタの測定原理を説明する図である。
【００１６】
まず、本実施の形態によるウェブクリーナー１０が適用される搬送ライン１について説明する。図１に示すように、搬送ライン１は、回転可能に設けられたガイドロール２を備えている。このガイドロール２は、図１において、時計回りに回転するように構成されており、ウェブＷの走行を案内するようになっている。このような構成によりウェブＷを走行させ、その後の工程においてウェブＷに塗工が行われる。なお、ウェブＷとしては、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム、ＴＡＣ（トリアセチルセルロース）、アクリル樹脂フィルム等を用いることができる。
【００１７】
次に、ウェブクリーナー１０について説明する。ウェブクリーナー１０は、搬送されるウェブＷ上に存在する異物Ｆ（塵、インクカス、ウェブＷの欠片、タンパク質等）を除去するとともに、除去された異物Ｆを収集するためのものである。図１乃至図３に示すように、ウェブクリーナー１０は、走行するウェブＷに後述する給気部２３から空気Ａ１を供給する給気ライン２０と、給気ライン２０から供給された空気Ａ１によって除去されたウェブＷ上の異物Ｆを後述する吸引部３１から吸引して排出する排出ライン３０とを備えている。また、ウェブクリーナー１０には、ウェブＷと、給気ライン２０の後述する給気部２３とを覆うとともに、排出ライン３０の後述する吸引部３１が接続される囲い体１１が設けられている。
【００１８】
図２及び図３に示すように、給気ライン２０は、空気Ａ１の流れを発生させる給気装置２１と、給気装置２１に連結され、発生した空気Ａ１を通過させる給気ダクト２２と、給気ダクト２２の先端に、ガイドロール２の軸方向に延びる２つの接続部２４を介して取り付けられ、給気ダクト２２を通過した空気Ａ１をウェブＷに対して供給する給気部２３とを有している。このうち給気装置２１は、例えばブロワ、コンプレッサー等から構成されている。
【００１９】
給気ダクト２２は、例えば、エアチューブ等により構成されている。本実施の形態においては、２つの給気ダクト２２が設けられている。なお、給気ダクト２２の数は任意であり、１つであっても良く、３つ以上であっても良い。
【００２０】
また、給気部２３は、ガイドロール２の軸方向に延在している。給気部２３は、例えばエアナイフ等により構成されており、ガイドロール２の軸方向において、給気ダクト２２から供給された空気Ａ１をウェブＷに一様に吹き付ける。このように、給気部２３が空気Ａ１をウェブＷ上に吹き付けることにより、ウェブＷ上に存在する異物ＦをウェブＷ上から吹き飛ばし、当該異物Ｆを囲い体１１内に浮遊させている。
【００２１】
図２及び図３に示すように、排出ライン３０は、囲い体１１に接続された吸引部３１と、吸引部３１に連結され、囲い体１１内の空気を通過させる排出ダクト３２と、排出ダクト３２に連結され、異物Ｆを収集する収集装置３３とを有している。
【００２２】
吸引部３１は、囲い体１１と排出ダクト３２とに連通している。これにより、囲い体１１内の空気は吸引部３１から排出ダクト３２内に吸引され、囲い体１１内に浮遊している異物Ｆが排出ダクト３２に吸引される。本実施の形態においては、４つの吸引部３１が設けられている。なお、吸引部３１の数は任意であり、１つ、２つまたは３つであっても良く、５つ以上であっても良い。
【００２３】
図２に示すように、排出ダクト３２は、吸引部３１に連結された４つの第１排出ダクト３２ａと、４つの第１排出ダクト３２ａの下流に設けられ、互いに隣り合う第１排出ダクト３２ａが連結する２つの第２排出ダクト３２ｂと、２つの第２排出ダクト３２ｂの下流に設けられ、２つの第２排出ダクト３２ｂが連結する第３排出ダクト３２ｃとを有している。このような第１排出ダクト３２ａ、第２排出ダクト３２ｂおよび第３排出ダクト３２ｃは、例えば、塩化ビニル、アルミニウム等からなる配管等により構成されている。
【００２４】
また、第３排出ダクト３２ｃの後端には、収集装置３３が連結されている。この収集装置３３は、例えばブロワ、コンプレッサー等から構成されている。
【００２５】
また、本実施の形態においては、第３排出ダクト３２ｃには、その途中に曲がり部３４が形成されている。この曲がり部３４は、４つのＲ部３４ａを含んでおり、全体として略コの字形状に形成されている。このような曲がり部３４に導かれた空気は、４つのＲ部３４ａにおいて乱流を起こしながら、曲がり部３４内を通過する。これにより、空気の進行方向に垂直な断面（例えば、図４に示す断面、以下、垂直断面と記す）において、曲がり部３４内の空気中に存在する異物Ｆを概ね均一に分布させることができる。とりわけ、図４に示すように、Ｒ部３４ａ内においては、Ｒ部３４ａ内の空気に働く遠心力により、二次流れ（矢印参照）が発生する。これにより、垂直断面において、曲がり部３４内の異物Ｆを更に均一に分布させることができる。なお、曲がり部３４の形状は、Ｓ字形状またはＬ字形状等であっても良い。
【００２６】
また、曲がり部３４には、チューブ３５を介してパーティクルカウンタ５０が連結されている。
【００２７】
パーティクルカウンタ５０は、曲がり部３４内の空気を吸引することにより、曲がり部３４内に存在する異物Ｆの量を測定するものである。このパーティクルカウンタ５０としては、市販のレーザーパーティクルカウンタを用いることができる。
【００２８】
本実施の形態においては、パーティクルカウンタ５０は、光散乱方式により、曲がり部３４内に存在する異物Ｆの量を測定する。すなわち、図５に示すように、まず、吸引装置５１により、チューブ３５を介して曲がり部３４内の空気Ａ２を吸引し、レーザー装置５２により、吸引された空気Ａ２に対してレーザー光Ｌ１を照射する。この際、空気Ａ２内の異物Ｆにレーザー光Ｌ１が当たると、異物Ｆによってレーザー光Ｌ１が散乱する。このとき、散乱した光Ｌ２は、集光レンズ５３を介して検出器５４に入射する。検出器５４が散乱した光Ｌ２を検出すると、検出器５４は、検出した散乱した光Ｌ２の情報を電気信号に変換し、図示しない表示装置に送信する。そして、表示装置は、異物Ｆの粒径を電気信号（電圧）の強さで表示し、異物Ｆの個数を電気信号の数で表示する。このようにして、パーティクルカウンタ５０は、曲がり部３４内に存在する異物Ｆの量を測定する。そして、パーティクルカウンタ５０が測定した異物Ｆの量は、給気ライン２０から給気された空気Ａ１によって除去されたウェブＷ上の異物Ｆの量の目安として利用される。
【００２９】
また、パーティクルカウンタ５０には、データベース５５が接続されており、測定された異物Ｆの量についての情報がデータベース５５に保存される。
【００３０】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用および効果について説明する。ここでは、ウェブクリーナーの使用方法について説明する。
【００３１】
（ウェブクリーナーの使用方法）
まず、搬送ライン１にウェブＷが供給される。供給されたウェブＷは、ガイドロール２に沿って走行し、囲い体１１内に進入する。
【００３２】
次に、囲い体１１内において、給気ライン２０から供給された空気Ａ１によって、ウェブＷ上の異物Ｆが除去される。この場合、まず、給気装置２１から供給された空気Ａ１が給気ダクト２２を通過し、給気部２３へ送られる。そして、走行するウェブＷに対して給気部２３から空気Ａ１が供給される。給気部２３からは、ガイドロール２の軸方向において、ウェブＷに対して一様に空気Ａ１が吹き付けられ、ウェブＷ上に存在する異物ＦをウェブＷ上から吹き飛ばす。このようにして、ウェブＷ上の異物Ｆが除去される。そして、除去された異物Ｆは、囲い体１１内に浮遊する。
【００３３】
囲い体１１内に浮遊した異物Ｆは、排出ライン３０により排出される。この際、囲い体１１内の空気は、排出ライン３０により、吸引部３１から吸引されて排出される。この場合、まず、吸引部３１を通過した囲い体１１内の空気が、第１排出ダクト３２ａおよび第２排出ダクト３２ｂを通過し、第３排出ダクト３２ｃに導かれる。そして、第３排出ダクト３２ｃに導かれた空気は、第３排出ダクト３２ｃに形成された曲がり部３４に進入する。
【００３４】
曲がり部３４に導かれた空気は、４つのＲ部３４ａにおいて乱流を起こしながら曲がり部３４内を通過する。これにより、垂直断面において、曲がり部３４内の空気中に存在する異物Ｆを概ね均一に分布させることができる。また、上述したように、Ｒ部３４ａ内においては、Ｒ部３４ａ内の空気に働く遠心力により、二次流れが発生する。これにより、垂直断面において、曲がり部３４内の異物Ｆを更に均一に分布させることができる。このため、チューブ３５の先端を含む垂直断面を、例えば単位時間当たりに通過する異物Ｆのうち、概ね一定の割合の異物Ｆをパーティクルカウンタ５０内に吸引させ続けることができる。この結果、パーティクルカウンタ５０が測定した異物Ｆの量と、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量との比を概ね一定とすることができる。このため、パーティクルカウンタ５０が測定した異物Ｆの量を、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量の目安として利用することができる。
【００３５】
曲がり部３４に進入した空気の一部は、チューブ３５を介して、パーティクルカウンタ５０内に吸引される。この際、パーティクルカウンタ５０内では、吸引された空気Ａ２内に存在する異物Ｆの量が測定される。この場合、上述したように、吸引された空気Ａ２に対してレーザー装置５２によりレーザー光Ｌ１を照射する。この際、空気Ａ２内の異物Ｆにレーザー光Ｌ１が当たると、異物Ｆによってレーザー光Ｌ１が散乱する。散乱した光Ｌ２は、集光レンズ５３を介して検出器５４に入射し、検出器５４は検出した散乱した光Ｌ２の情報を電気信号に変換し、図示しない表示装置に送信する。そして、表示装置は、異物Ｆの粒径を電気信号（電圧）の強さで表示し、異物Ｆの個数を電気信号の数で表示する。このようにして、パーティクルカウンタ５０が、曲がり部３４内に存在する異物Ｆの量を測定し、測定された異物Ｆの量についての情報は、データベース５５に保存される。
【００３６】
ここで、パーティクルカウンタ５０により測定された異物Ｆの量としての測定値が所定の値よりも大きい場合、走行しているウェブＷ上に存在する異物Ｆの量が多いと判断できる。この場合、このような異物Ｆの付着量が多いウェブＷを新しいウェブに交換しても良い。これにより、ウェブの品質の安定化を図ることができる。また、走行しているウェブＷを交換することなく、給気装置２１から供給される空気Ａ１の流量を増しても良い。これにより、ウェブＷ上から除去される異物Ｆの量を増やし、ウェブＷの品質の安定化を図ることができる。
【００３７】
一方、パーティクルカウンタ５０により測定された異物Ｆの量としての測定値が所定の値よりも小さい場合、走行しているウェブＷ上に存在する異物Ｆの量が少ないと判断できる。この場合、給気装置２１から供給される空気Ａ１の流量を減らしても良い。これにより、空気の使用量を低減でき、コストを削減することができる。
【００３８】
また、曲がり部３４に進入した空気のうち、パーティクルカウンタ５０内に吸引されなかった空気は収集装置３３により吸引され、収集装置３３内に空気中の異物Ｆが収集される。
【００３９】
以上のように本実施の形態によれば、排出ライン３０に、チューブ３５を介してパーティクルカウンタ５０が連結されている。これにより、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量を測定することができる。このため、ウェブＷ上の異物Ｆによる汚染度合いを確認することができる。この場合、例えばパーティクルカウンタ５０により測定された異物Ｆの量としての測定値が所定の値よりも大きい場合、異物Ｆの付着量が大きいウェブＷを新しいウェブに交換することができる。これにより、ウェブの品質の安定化を図ることができる。また、走行しているウェブＷを交換することなく、給気装置２１から供給される空気Ａ１の流量を増しても良い。これにより、ウェブＷ上から除去される異物Ｆの量を増やし、ウェブＷの品質の安定化を図ることができる。一方、例えばパーティクルカウンタ５０により測定された異物Ｆの量としての測定値が所定の値よりも小さい場合、給気装置２１から供給される空気Ａ１の流量を減らしても良い。これにより、空気の使用量を低減でき、コストを削減することができる。
【００４０】
また、本実施の形態によれば、排出ライン３０は、その途中に曲がり部３４が形成されている。これにより、曲がり部３４に導かれた空気は、曲がり部３４において乱流を起こしながら、曲がり部３４内を通過する。また、曲がり部３４内においては、曲がり部３４内の空気に働く遠心力により、二次流れが発生する。これにより、垂直断面において、曲がり部３４内の異物Ｆを均一に分布させることができる。また、当該曲がり部３４にチューブ３５を介してパーティクルカウンタ５０が連結されているため、垂直断面において、曲がり部３４内の異物Ｆが均一に分布された状態で、曲がり部３４内の空気がパーティクルカウンタ５０内に吸引される。このため、例えば単位時間当たりに、チューブ３５の先端を含む垂直断面を通過する異物Ｆのうち、概ね一定の割合の異物Ｆを後述するパーティクルカウンタ５０に吸引させ続けることができる。この結果、パーティクルカウンタ５０が測定した異物Ｆの量と、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量との比を概ね一定とすることができる。このため、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量の目安として利用する、パーティクルカウンタ５０が測定した異物Ｆの量の信頼性を向上させることができる。
【００４１】
変形例
次に、図６及び図７により、本発明の第１の実施の形態によるウェブクリーナーの変形例について説明する。図６及び図７に示す変形例は、排出ライン３０の構成が異なるものであり、他の構成は、図１乃至図３及び図５に示す形態と略同一である。図６及び図７において、図１乃至図３及び図５と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４２】
（第１の変形例）
図６に示す排出ライン３０は、排出ライン３０の一部、とりわけ第３排出ダクト３２ｃに、直線部３６と当該直線部３６に直交する直交部３７とを含むＴ字部３８が形成されている。また、Ｔ字部３８の直交部３７にチューブ３５を介してパーティクルカウンタ５０が連結されている。この場合においても、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量を測定できる。さらに、このようなＴ字部３８は、直線部と直交部とを含む部材を、第３排出ダクト３２ｃに取り付けることにより容易に形成することができる。このため、ウェブクリーナー１０、とりわけ排出ライン３０の製造およびメンテナンス作業を簡略化することができる。
【００４３】
（第２の変形例）
図７に示す変形例は、排出ライン３０の途中、とりわけ第３排出ダクト３２ｃに内径が大きくなる拡径部３９が形成され、当該拡径部３９にチューブ３５を介してパーティクルカウンタ５０が連結されている。この場合においても、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量を測定できる。ところで、一般に、排出ライン３０を通過する空気の流速が大きくなると、排出ライン３０内の圧力が低くなる。このように排出ライン３０内の圧力が低くなると、チューブ３５に入り込む空気Ａ２の量が減少し、排出ライン３０内の空気をパーティクルカウンタ５０内にうまく吸引することができない場合がある。この場合、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量を正確に測定することが困難になる。一方、排出ライン３０を通過する空気の流速が小さくなると、排出ライン３０内の圧力が高くなる。このように排出ライン３０内の圧力が高くなると、チューブ３５に入り込む空気Ａ２の量が増加し、排出ライン３０内の空気をパーティクルカウンタ５０内にうまく吸引することができる。これにより、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量を正確に測定することができる。図７に示すウェブクリーナー１０においては、内径が大きくなる拡径部３９が形成されている。これにより、拡径部３９を通過する空気の流速を小さくすることができ、拡径部３９内の圧力を高くすることができる。また、内径が大きくなる拡径部３９にチューブ３５を介してパーティクルカウンタ５０が連結されている。このため、排出ライン３０内の空気をパーティクルカウンタ５０内にうまく吸引することができるようになり、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量を正確に測定することができる。
【００４４】
（第２の実施の形態）
次に、図８を用いて、本発明の第２の実施の形態におけるウェブクリーナー１０について説明する。
【００４５】
図８に示す第２の実施の形態においては、囲い体にチューブを介してパーティクルカウンタが連結されている点が主に異なるが、他の構成は、図１乃至図７に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図８において、図１乃至図７に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４６】
図８に示すように、本実施の形態においては、囲い体１１にチューブ３５を介してパーティクルカウンタ５０が連結されている。また、囲い体１１内に、給気ライン２０から給気された空気Ａ１の流れに対して乱流を生じさせる邪魔板１２が設けられている。図８において、囲い体１１にチューブ３５を介してパーティクルカウンタ５０が連結されているため、パーティクルカウンタ５０が、ウェブＷ上から除去された異物Ｆが浮遊する囲い体１１内の空気を吸引することができる。これにより、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量を測定することができる。なお、パーティクルカウンタ５０は、囲い体１１の任意の場所に連結されていても良い。また、図８に示すように、複数のパーティクルカウンタ５０が囲い体１１に連結されていても良い。
【００４７】
また、囲い体１１内に、給気ライン２０から給気された空気Ａ１の流れに対して乱流を生じさせる邪魔板１２が設けられているため、囲い体１１内の空気を乱流状態にすることができる。これにより、囲い体１１内の異物Ｆの分布密度が均一化された状態で、パーティクルカウンタ５０が囲い体１１内の空気を吸引することができる。この結果、パーティクルカウンタ５０が測定した異物Ｆの量と、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量との比を概ね一定とすることができる。このため、ウェブＷ上から除去された異物Ｆの量の目安として利用する、パーティクルカウンタ５０が測定した異物Ｆの量の信頼性を向上させることができる。
【００４８】
上記各実施の形態および変形例に開示されている複数の構成要素を必要に応じて適宜組合せることも可能である。あるいは、上記各実施の形態および変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１０    ウェブクリーナー
１１    囲い体
１２    邪魔板
２０    給気ライン
２３    給気部
３０    排出ライン
３１    吸引部
３４    曲がり部
３５    チューブ
３６    直線部
３７    直交部
３８    Ｔ字部
３９    拡径部
５０    パーティクルカウンタ
Ａ１    空気
Ｆ      異物
Ｗ      ウェブ
【図１】
2018164879.tif 000003
【図２】
2018164879.tif 000004
【図３】
2018164879.tif 000005
【図４】
2018164879.tif 000006
【図５】
2018164879.tif 000007
【図６】
2018164879.tif 000008
【図７】
2018164879.tif 000009
【図８】
2018164879.tif 000010