(57)【要約】【課題】ワーク把持装置でワークを把持させる場合にワーク表面の損傷発生を抑制する。【解決手段】ワーク導入装置は、ワークの上端部を、ワーク把持装置の固定部材の下端部の下側である第１位置と、第１位置の上方の固定部材と固定部材に対向配置された可動部材との間である第２位置とに移動可能である。可動部材から固定部材側に突出した状態で配置され、可動部材の表面に対して傾斜した傾斜面を有する傾斜台は、ワークが第１位置から第２位置に移動するまでワーク導入装置の突出部が傾斜面に接触しつつ移動する位置に設けられる。傾斜面の傾斜は、ワークが第１位置に移動した状態で傾斜面が突出部によって押されて固定部材と可動部材との間の間隔がワークの厚みよりも大きくなり、ワークが第１位置から第２位置に移動するに従って間隔が小さくなり、ワークが第２位置に移動した状態で固定部材と可動部材との間でワークが把持されるように設定されている。【選択図】図６
2018026374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク取扱装置であって、
ワークを把持するワーク把持装置と、
前記ワーク把持装置に前記ワークを把持させるワーク導入装置と、
を備え、
前記ワーク把持装置は、
基部と、
前記基部に鉛直方向に沿ったその上端部が固定された固定部材と、
前記鉛直方向に垂直な配列方向に沿って前記固定部材と対向するように配置され、前記基部に前記鉛直方向に沿ったその上端部が取り付けられて前記上端部を中心として回動し、前記固定部材との間で前記ワークを把持する可動部材と、
前記可動部材を前記固定部材側に付勢する付勢部材と、
前記可動部材から前記固定部材側に突出した状態で配置され、前記可動部材の表面に対して傾斜した傾斜面を有する傾斜台と、
を有し、
前記ワーク導入装置は、
前記鉛直方向に沿った側面であって、前記ワークを保持する保持面と、
前記保持面の上方において、前記配列方向に沿って前記保持面の方向へ向かって突出する突出部と、
を有し、
前記ワーク導入装置は、前記保持面で保持された前記ワークの上端部を、前記固定部材の下端部の下側である第１位置と、前記第１位置の上方の前記固定部材と前記可動部材との間である第２位置とに移動可能であり、
前記傾斜台は、前記ワーク導入装置によって前記ワークが前記第１位置から前記第２位置に移動するまで前記突出部が前記傾斜面に接触しつつ移動する位置に設けられており、
前記傾斜面の傾斜は、前記ワーク導入装置によって前記ワークが前記第１位置に移動した状態において、前記傾斜面が前記突出部によって押されて前記固定部材と前記可動部材との間の間隔が前記ワークの厚みよりも大きくなり、前記ワーク導入装置によって前記ワークが前記第１位置から前記第２位置に移動するに従って前記間隔が小さくなり、前記ワークが前記第２位置に移動した状態において前記固定部材と前記可動部材との間で前記ワークが把持されるように設定されている、ワーク取扱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ワーク取扱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、処理対象のワークを把持するために、固定部材と、固定部材と対向して設けられた可動部材と、可動部材を固定部材側に付勢する付勢部材と、を備え、固定部材と可動部材との間でワークを把持するワーク把持装置が利用されている。なお、特許文献１には、ワーク把持装置の一例として、クランプホルダーに固定的に配設された固定側クランプ面と、基端部がクランプホルダーに固定された可動バネ板と、この可動バネ板に固定側クランプ面と対向させて配設された可クランプ面と、を有するクランプ装置が開示されている。なお、固定側クランプ面を有するクランプホルダーが固定部材に対応し、可動側クランプ面を有する可動バネ板が可動部材並びに付勢部材に対応する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭６２−３７９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のようなワーク把持装置では、可動部材は付勢部材によって固定部材側に付勢されているので、ワーク把持装置でワークを把持する際には、固定部材と可動部材との間を押し広げて、その間にワークを挿入することにより、固定部材と可動部材とでワークを把持する。例えば、ワークを可動部材に押し当てて固定部材と可動部材との間を押し広げつつ、固定部材と可動部材との間にワークを挿入することにより、ワークを把持することができる。しかしながら、このようにしてワークを把持させる場合、可動部材にワークを押し当てつつ固定部材と可動部材との間にワークを挿入することによって、ワークの表面を摩擦により損傷させる恐れがある、という問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００６】
（１）本発明の一形態によれば、ワーク取扱装置が提供される。このワーク取扱装置は、ワークを把持するワーク把持装置と；前記ワーク把持装置に前記ワークを把持させるワーク導入装置と；を備える。前記ワーク把持装置は、基部と；前記基部に鉛直方向に沿ったその上端部が固定された固定部材と；前記鉛直方向に垂直な配列方向に沿って前記固定部材と対向するように配置され、前記基部に前記鉛直方向に沿ったその上端部が取り付けられて前記上端部を中心として回動し、前記固定部材との間で前記ワークを把持する可動部材と；前記可動部材を前記固定部材側に付勢する付勢部材と；前記可動部材から前記固定部材側に突出した状態で配置され、前記可動部材の表面に対して傾斜した傾斜面を有する傾斜台と；を有する。前記ワーク導入装置は、前記鉛直方向に沿った側面であって、前記ワークを保持する保持面と；前記保持面の上方において、前記配列方向に沿って前記保持面の方向へ向かって突出する突出部と；を有する。前記ワーク導入装置は、前記保持面で保持された前記ワークの上端部を、前記固定部材の下端部の下側である第１位置と、前記第１位置の上方の前記固定部材と前記可動部材との間である第２位置とに移動可能である。前記傾斜台は、前記ワーク導入装置によって前記ワークが前記第１位置から前記第２位置に移動するまで前記突出部が前記傾斜面に接触しつつ移動する位置に設けられている。前記傾斜面の傾斜は、前記ワーク導入装置によって前記ワークが前記第１位置に移動した状態において、前記傾斜面が前記突出部によって押されて前記固定部材と前記可動部材との間の間隔が前記ワークの厚みよりも大きくなり、前記ワーク導入装置によって前記ワークが前記第１位置から前記第２位置に移動するに従って前記間隔が小さくなり、前記ワークが前記第２位置に移動した状態において前記固定部材と前記可動部材との間で前記ワークが把持されるように設定されている。
この形態によれば、ワーク導入装置によってワークが第１位置に移動した状態において、固定部材と可動部材との間の間隔をワークの厚みよりも大きくすることができる。これにより、ワーク導入装置によってワークが第１位置から第２位置へ移動する際に、ワークによって可動板を押し広げる必要がなく、ワークの表面の摩擦による損傷を抑制することができる。また、ワーク導入装置によってワークが第２位置に移動した状態において、保持面でのワークの保持を解除し、ワーク導入装置がワーク把持装置から離れるようにワーク導入装置を移動させることにより、固定部材側へ付勢されている可動部材と固定部材との間でワークを良好に把持して、保持することができる。
【０００７】
なお、本発明は、ワーク取扱装置だけでなく、種々の態様で実現することが可能である。例えば、ワーク取扱装置を備えるプラズマＣＶＤ装置等の種々の薄膜形成装置（成膜装置）や、薄膜形成装置以外の種々の処理を行なう処理装置等の形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態としてのワーク把持装置を備えるプラズマＣＶＤ装置の構成を示す第１の概略図である。
【図２】本発明の一実施形態としてのワーク把持装置を備えるプラズマＣＶＤ装置の構成を示す第２の概略図である。
【図３】ワーク取扱装置のワーク把持装置及びワーク導入装置を＋ｘ方向側から見た状態で示す概略側面図である。
【図４】ワーク把持装置及びワーク導入装置を−ｚ方向側から見た状態で示す概略正面図である。
【図５】ワーク導入装置によってワーク把持装置にワークを把持させる動作例を示す第１の説明図である。
【図６】ワーク導入装置によってワーク把持装置にワークを把持させる動作例を示す第２の説明図である。
【図７】ワーク導入装置によってワーク把持装置にワークを把持させる動作例を示す第３の説明図である。
【図８】比較例のワーク取扱装置としてのワーク把持装置及びワーク導入装置を＋ｘ方向側から見た状態で示す概略側面図である。
【図９】ワーク導入装置によってワーク把持装置にワークを把持させる別の動作例を示す第１の説明図である。
【図１０】ワーク導入装置によってワーク把持装置にワークを把持させる別の動作例を示す第２の説明図である。
【図１１】別構造のワーク導入装置を示す概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
Ａ．ワーク取扱装置を備える薄膜形成装置：
図１及び図２は、本発明の一実施形態としてのワーク取扱装置を備えるプラズマＣＶＤ装置１０の構成を示す概略図である。図１はプラズマＣＶＤ装置１０をワーク把持装置５０が真空予備室３０に位置する状態で示し、図２はプラズマＣＶＤ装置１０をワーク把持装置５０が成膜室２０に位置する状態示している。なお、図１及び図２には、互いに直交する３つの方向ｘ，ｙ，ｚが図示されている。ｙ方向は鉛直上向き方向を示し、ｘ方向及びｚ方向は水平方向を示している。図３以降の図に描かれた方向ｘ，ｙ，ｚも同様である。
【００１０】
このプラズマＣＶＤ装置１０は、いわゆるプラズマＣＶＤによって処理対象である基板（以下、「ワーク」と呼ぶ）ＷＰの表面に炭素薄膜を形成する薄膜形成装置（成膜装置）である。ワークＷＰとしては、燃料電池に用いられるガス拡散層部材であるエキスパンドメタルが例示される。なお、成膜される炭素薄膜の構造としては、アモルファス構造や、グラファイト構造であるものとしても良く、他の種類の構造であるものとしても良い。なお、プラズマＣＶＤ装置１０は、ワークＷＰに炭素薄膜を形成するものに限定されるものではなく、炭素薄膜以外の他の種類の薄膜を、ワークＷＰの外表面に成膜するものとしても良い。例えば、プラズマＣＶＤ装置１０は、金や、白金、タンタルなどの金属元素の薄膜を成膜するものとしても良い。また、ワークＷＰとしては、燃料電池に用いられるエキスパンドメタルに限定されるものではなく、燃料電池に用いられるセパレータプレートや他の用途に用いられる種々の基板であっても良い。
【００１１】
プラズマＣＶＤ装置１０は、成膜室（処理室）２０と、真空予備室３０と、ワーク把持装置５０を有する搬送装置４０と、ワーク導入装置６０と、を備える。ワーク把持装置５０及びワーク導入装置６０が「ワーク取扱装置」に相当する。真空予備室３０は成膜室２０に対して鉛直方向（ｙ方向）の上側に配置され、搬送装置４０は真空予備室３０に対して鉛直方向の上側に配置されている。但し、搬送装置４０のうち、真空予備室３０と成膜室２０との間でワークＷＰを実際に搬送するワーク把持装置５０は、真空予備室３０あるいは成膜室２０の内部に配置され、ワーク把持装置５０が成膜室２０の内部に配置された際に、ワーク把持装置５０の上部で成膜室２０と真空予備室３０とを連通する連通孔２１を封止する弁体４２は真空予備室３０内に配置される。
【００１２】
このプラズマＣＶＤ装置１０では、概ね、以下に示すようにワークＷＰに対する成膜処理が実行される。まず、図１に示すように、真空予備室３０の導入蓋３１を開き、ロボットハンド等のワーク導入装置６０に吸着されたワークＷＰが、ワーク導入装置６０によって真空予備室３０の内部に導入される。後述するワーク把持装置５０でワークＷＰが保持され、ワーク導入装置６０が真空予備室３０から退出された後、導入蓋３１を閉じて、真空ポンプ（不図示）によって真空予備室３０の内部が真空化される。一方、成膜室２０は、別の真空ポンプによって真空状態に維持されている。そして、図２に示すように、真空予備室３０と成膜室２０とを連通する連通孔２１を成膜室２０側で封止するゲートバルブ２２が開いて、真空状態の成膜室２０と真空予備室３０とが連通されると、搬送装置４０によって、ワークＷＰが成膜室２０の内部へ搬入されるとともに、弁体４２によって連通孔２１が真空予備室３０側で封止される。成膜室２０は、真空ポンプ、プラズマ発生装置、原料ガス供給装置、排ガス処理装置、等の成膜のための不図示の装置を備えている。成膜室２０では、搬入されたワークＷＰに対する成膜処理が実行される。そして、成膜処理後のワークＷＰは、搬送装置４０によって成膜室２０から真空予備室３０へ搬出され、ゲートバルブ２２を閉じて成膜室２０が密閉された後、真空予備室３０の真空状態が開放され、導入蓋３１を開いて、ワーク導入装置６０によって真空予備室３０から導出される。以上のように、プラズマＣＶＤ装置１０では、ワークＷＰに成膜処理が実行される。
【００１３】
Ｂ．ワーク取扱装置の構成：
図３はワーク取扱装置のワーク把持装置５０及びワーク導入装置６０を＋ｘ方向側から見た状態で示す概略側面図であり、図４はワーク把持装置５０及びワーク導入装置６０を−ｚ方向側から見た状態で示す概略正面図である。ワーク把持装置５０は、搬送装置４０のシリンダー４１０に支持されており、シリンダーがｙ方向（鉛直方向）に伸縮することにより、真空予備室３０と成膜室２０との間で、把持したワークＷＰを搬送する。
【００１４】
ワーク把持装置５０は、シリンダー４１０に固定された基部５１０と、固定部材としての固定板５２０と、可動部材としての可動板５３０と、可動板５３０を固定板５２０側に付勢する付勢部材としてのコイルバネ５５０と、コイルバネ５５０を支持する付勢部材ホルダーとしてのバネホルダー５４０と、を備える。固定板５２０と可動板５３０とバネホルダー５４０とは、互いに対向するようにｚ方向に沿って順に配置されている（図３）。なお、ｚ方向は「配列方向」に相当する。
【００１５】
固定板５２０は、ｙ方向に沿ったその上端部が基部５１０に固定されており、その下端部には可動板５３０側に突出した固定側把持部５２２を有している。可動板５３０は、その上端部がｘ方向に沿った回動軸５３２を介して基部５１０に取り付けられており、その上端部の回動軸５３２を中心として回動する。可動板５３０の固定側把持部５２２側の面５３４は、固定側把持部５２２に対向する可動側把持面に相当し、固定側把持部５２２の先端面（固定側把持面）５２３と可動側把持面５３４とは、ワークを把持する把持部ＣＰを構成する。また、可動板５３０を固定板５２０側から見た状態（図４）で、可動板５３０の把持部ＣＰの上方の面（可動側把持面）５３４には、固定板５２０側（＋ｚ方向）に突出した傾斜台８０が、固定板５２０の両側の対称位置に設けられている。傾斜台８０は、図３に示すように、固定板５２０側を向く面であって、可動板５３０の表面（可動側把持面）５３４に対して傾斜した傾斜面８２を有している。この傾斜面８２は、下端から上端へ向かって可動側把持面５３４側（−ｚ方向）に傾斜し、傾斜台８０の可動板５３０から突出する方向（＋ｘ方向）の厚みが下端から上端へ向かって小さくなった形状を有している。
【００１６】
バネホルダー５４０は、可動板５３０の可動側把持面５３４とは反対側の面５３６側で、可動板５３０に対向するように配置され、ｙ方向（鉛直方向）に沿ったその上端部が基部５１０に固定されており、その下端部には、可動板５３０側に開口部５４３を有し、コイルバネ５５０を収容する収容部５４２が設けられている。コイルバネ５５０は、一方の端部５５４が収容部５４２の底面５４４に固定され、他方の端部５５２が可動板５３０のバネホルダー５４０側の面５３６に固定されている。コイルバネ５５０には、把持部ＣＰでワークが把持されない状態で、常に、可動板５３０の可動側把持面５３４が固定板５２０の固定側把持面５２３に押し付けられる状態となるような付勢力を可動板５３０に与えるタイプのコイルバネ（圧縮コイルバネ）が用いられる。
【００１７】
シリンダー４１０、基部５１０、固定板５２０、可動板５３０、傾斜台８０、およびバネホルダー５４０は、成膜処理中の成膜室２０の内部の温度に対して十分な耐熱性を有する種々の金属材料、例えば、ステンレス鋼、アルミニウム合金、チタニウム合金等が用いられる。コイルバネ５５０は、可能な限り高い耐熱性を有する部材、例えば、インコネルを用いた耐熱用コイルバネが用いられる。
【００１８】
ワーク導入装置６０は、ワークＷＰを保持する保持面６２を有している。保持面６２は、可動板５３０の可動側把持面５３４に対向するように−ｚ方向を向き鉛直方向に沿った側面（ｙｚ平面に平行な面）である。保持面６２は、ワークを吸着することによりワークＷＰを保持する。また、ワーク導入装置６０は、図３及び図４に示すように、保持面６２および上面６４のｘ方向の中央位置に、保持面６２及び上面６４に跨る凹部で構成された溝部６６を有している。溝部６６は、後述するワークＷＰをワーク把持装置５０で把持させる動作において、固定板５２０の固定側把持部５２２が挿入され、固定側把持部５２２の固定側把持面５２３がワークＷＰに当接する凹部である。また、ワーク導入装置６０は、上面６４の溝部６６のｘ方向の両側にアタッチメント７０を有している。アタッチメント７０は、上面６４に設けられた支持部７４から−ｚ方向に突出する突出部７２を有している。突出部７２の先端の位置は、図３に示すように、保持面６２と同一となるように設定されている。但し、突出部７２の先端は、保持面６２よりも＋ｚ方向側の位置に設定されていてもよい。
【００１９】
アタッチメント７０の配置位置は、図４に示すように、固定板５２０の固定側把持部５２２をワーク導入装置６０の溝部６６に対応する位置に合わせた状態で、突出部７２のｘ方向の位置が傾斜台８０のｘ方向の位置と一致するように設定されている。
【００２０】
ワーク導入装置６０は、保持面６２で保持したワークＷＰをワーク把持装置５０で把持させるために、ｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向に移動可能である。後述するワークＷＰを把持させる動作において、ワーク導入装置６０は、図３に示すように、突出部７２の位置をｙ方向に沿った２つの位置ｙａ，ｙｂに移動させて、傾斜台８０に対向させる。言い換えれば、傾斜台８０は、ワークＷＰを把持させる動作において、ワーク導入装置６０によって移動したｙ方向の２つの位置ｙａ，ｙｂにある突出部７２に対向するように、可動板５３０の可動側把持面５３４のｙ方向の対応する位置に設けられている。
【００２１】
Ｃ．ワーク把持動作：
図５〜図７は、ワーク導入装置６０によってワーク把持装置５０にワークＷＰを把持させる動作例を示す説明図である。まず、図５に示すように、ワーク導入装置６０を破線で示した位置、すなわち、アタッチメント７０の突出部７２がｙ方向の位置ｙａにあり、かつ、ワークＷＰを保持した保持面６２が、固定側把持部５２２の固定側把持面５２３よりも＋ｚ方向側となる位置に配置する。そして、ワーク導入装置６０を−ｚ方向に水平移動させて突出部７２の先端を傾斜台８０の傾斜面８２に当接させた後、さらに、突出部７２の先端が固定側把持面５２３のｚ方向の位置ｚａと同じ位置Ｐａに来るまで移動させる。これにより、保持面６２に吸着されたワークＷＰの上端部は、固定側把持部５２２の下側の第１位置に配置される。このとき、固定側把持部５２２の固定側把持面５２３と可動板５３０の可動側把持面５３４との間の間隔Ｄｕは、ワークＷＰの厚みＤｗよりも大きくなる。言い換えれば、ワークＷＰの上端部が第１位置に位置する場合において、傾斜台８０の傾斜面８２が突出部７２によって押される位置の傾斜台８０の厚みは、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４との間の間隔ＤｕがワークＷＰの厚みＤｗよりも大きくなる厚みに設定されている、と言える。また、突出部７２の先端が当接する傾斜台８０の傾斜面８２は、ｙ方向（鉛直方向）に対して−ｚ方向側に傾斜した状態となっている。なお、上記の位置Ｐａの固体側把持面５２３のｚ方向の位置ｚａと同じ位置は、後述するように、ワークＷＰの上端が第１位置から第２位置に移動する際に、ワークＷＰが固定側把持面５２３に接触しつつ上昇できる程度の余裕を有する位置を意味している。
【００２２】
次に、図６に示すように、ワーク導入装置６０をｙ方向に沿って上昇移動させて、突出部７２の先端を位置Ｐａから位置Ｐｂに移動させる。この際、ワーク導入装置６０の上昇に応じて、固定側把持部５２２がワーク導入装置６０の溝部６６に挿入され、ワークＷＰの上端部は、固定側把持部５２２の固定側把持面５２３に接触しつつ、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４との間の第２位置に配置された状態となる。また、可動板５３０に付与された付勢力によって、可動板５３０の鉛直方向に対する傾きが突出部７２の先端の上昇に応じて徐々に小さくなり、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４との間の間隔Ｄｕが徐々に小さくなる。そして、突出部７２の先端が位置Ｐｂまで上昇した時点において、可動側把持面５３４がワークＷＰに接触し、可動板５３０がこれ以上回動しなくなり、傾斜台８０の傾斜面８２には突出部７２によって押される力は働かなくなる。この結果、ワークＷＰの上端部は、可動板５３０に付与された付勢力によって、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４との間の第２位置で挟み込まれて把持された状態となる。言い換えれば、ワークＷＰの上端部が第２位置に位置する際において、突出部７２に対向する傾斜台８０の傾斜面８２の位置の傾斜台８０の厚みは、突出部７２が傾斜台８０の傾斜面８２から離されて、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４との間でワークＷＰが把持される厚みに設定されている、と言える。
【００２３】
そして、図７に示すように、ワーク導入装置６０によるワークＷＰの吸着を解除し、ワーク導入装置６０を＋ｚ方向に後退させることにより、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４とで構成される把持部ＣＰでワークＷＰが把持されて保持された状態とすることができる。
【００２４】
図８は、比較例のワーク取扱装置としてのワーク把持装置５０Ｒ及びワーク導入装置６０Ｒを＋ｘ方向側から見た状態で示す概略側面図である。比較例のワーク導入装置６０Ｒはアタッチメント７０を有さず、ワーク把持装置５０Ｒは傾斜台８０を有していない。このワーク取扱装置は、以下に説明するように、ワーク導入装置６０Ｒによってワーク把持装置５０ＲにワークＷＰを把持させる。
【００２５】
ワーク導入装置６０Ｒの保持面６２に吸着されたワークＷＰを可動側把持面５３４に押し付けて固定側把持面５２３と可動側把持面５３４との間隔を押し広げながら、ワーク導入装置６０Ｒを＋ｙ方向に上昇させ、ワーク導入装置６０Ｒの溝部６６に固定側把持部５２２を挿入させて、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４との間でワークＷＰを挟ませる。そして、保持面６２におけるワークＷＰの吸着を解除し、ワーク導入装置６０Ｒを−ｚ方向に後退させることにより、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４とで構成される把持部ＣＰでワークＷＰを把持させる。
【００２６】
この比較例のワーク取扱装置では、ワークＷＰを可動板５３０の可動側把持面５３４に押しつけながら上昇させるため、可動側把持面５３４に接触したワークＷＰの表面が摩擦により損傷してしまう可能性が高い。また、これによって、ワークＷＰがズレ落ちてしまう可能性がある。一方、実施形態のワーク取扱装置では、上記したように（図５，図６）、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４との間の間隔ＤｕをワークＷＰの厚みＤｗよりも大きくした状態で、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４との間にワークＷＰを挿入することができるので、比較例の場合に比べて、ワークＷＰの表面の摩擦による損傷を抑制することが可能である、
【００２７】
Ｄ．別のワーク把持動作：
図９および図１０は、ワーク導入装置６０によってワーク把持装置５０にワークＷＰを把持させる別の動作例を示す説明図である。上述のワーク把持動作（図５〜図７）では、ワーク導入装置６０を鉛直方向（ｙ方向）に上昇させる過程でワークＷＰを把持部ＣＰで把持させる動作であったが、以下で説明するように、ワーク導入装置６０を水平方向（＋ｚ方向）に後退させる過程でワークＷＰを把持部ＣＰで把持させる動作とすることも可能である。なお、以下では、上述したワーク把持動作を「第１のワーク把持動作」、以下で説明するワーク把持動作を「第２のワーク把持動作」とも呼ぶ。
【００２８】
図９に示すように、アタッチメント７０の突出部７２がｙ方向の位置ｙａにある状態で、ワーク導入装置６０を−ｚ方向に水平移動させる。この際、第１のワーク把持動作（図６）では、突出部７２の先端がｚ方向の位置ｚａ上の位置Ｐａとなるまで水平移動させていたのに対して、第２のワーク把持動作では、位置Ｐａよりもさらに−ｚ方向に移動させる。具体的には、傾斜台８０の傾斜面８２が第１のワーク把持動作では−ｚ方向に傾斜した状態(図６）であったのに対して、第２のワーク把持動作では、傾斜台８０の傾斜面８２がｙ方向（鉛直方向）に沿った状態となるまで移動させる。この場合、可動板５３０の可動側把持面５３４がｙ方向に対して第１のワーク把持動作の場合（図６）よりも大きく傾斜し、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４との間の間隔Ｄｕは、第１のワーク把持動作の場合よりも大きくなる。
【００２９】
次に、図１０に示すように、ワーク導入装置６０をｙ方向に沿って上昇移動させて、突出部７２の先端を位置Ｐａから位置Ｐｂに移動させる。この際、ワークＷＰが吸着された保持面６２のｚ方向の位置は、第１のワーク把持動作の場合の位置ｚａ（図６）よりも−ｚ方向に位置するので、ワーク導入装置６０を上昇させて、固定側把持部５２２をワーク導入装置６０の溝部６６に挿入させた場合において、ワークＷＰの保持面６２側の面が、固定側把持面５２３に接触しない状態となっている。
【００３０】
そして、ワークＷＰを吸着保持した状態を維持しつつワーク導入装置６０を＋ｚ方向に後退させていく。この際、アタッチメント７０の突出部７２の後退に追従して傾斜台８０が＋ｚ方向に移動し、これに伴って可動板５３０のｙ方向に対する傾きが小さくなり、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４との間の間隔Ｄｕが徐々に小さくなる。そして、突出部７２の先端が位置Ｐｂとなった時点において、可動側把持面５３４がワークＷＰに接触し、可動板５３０がこれ以上回動しなくなり、傾斜台８０の傾斜面８２に突出部７２によって押される力は働かなくなる。この結果、ワークＷＰの上端部は、可動板５３０に付与された付勢力によって、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４との間の第２位置で挟み込まれて把持された状態となる。この後、ワーク導入装置６０によるワークＷＰの吸着を解除し、ワーク導入装置６０を＋ｚ方向にさらに後退させることにより、固定側把持面５２３と可動側把持面５３４とで構成される把持部ＣＰでワークＷＰが把持されて保持された状態とすることができる。
【００３１】
ここで、上述の第１のワーク把持動作では、ワークＷＰを上昇させる過程において、ワークＷＰに可動板５３０の可動側把持面５３４が接触してからワークＷＰが把持される状態となるまでの間、ワークＷＰが可動側把持面５３４に接触した状態で上昇することになる。このため、比較例（図８）の場合に比べればワークＷＰの表面の損傷を大きく抑制することはできるが、ワークＷＰが可動側把持面５３４と接触した状態で上昇する領域のワークＷＰの表面には摩擦による損傷が発生する可能性がある。また、第１のワーク把持動作では、固定側把持部５２２がワーク導入装置６０の溝部６６に挿入される際に、固定側把持面５２３にワークＷＰが接触した状態で上昇することになる。このため、固定側把持面５２３に接触したワークＷＰの表面にも摩擦による多少の傷が発生する可能性がある。
【００３２】
これに対して、第２のワーク把持動作では、ワークＷＰが固定側把持面５２３および可動側把持面５３４に接触した状態で上昇することはないので、ワークＷＰの表面に摩擦による損傷は発生しない。従って、第２のワーク把持動作の方が第１のワーク把持動作よりもワークＷＰの表面に発生する損傷を抑制する点て好ましい。但し、第２のワーク把持動作では、ワーク導入装置６０を後退させる途中でワークＷＰの吸着を解除する必要がある。このため、操作の容易性の点では第１のワーク把持動作の方が好ましい。
【００３３】
Ｅ．別構造のワーク導入装置：
図１１は、別構造のワーク導入装置６０Ｂを示す概略側面図である。上述のワーク導入装置６０（図６）では、上昇過程において、アタッチメント７０の突出部７２の先端と傾斜台８０の傾斜面８２との摩擦力が大きく、突出部７２の先端及び傾斜台８０の傾斜面８２の摩耗が大きい。これに対して、ワーク導入装置６０Ｂは、突出部７２の先端にローラー７６を設けた構造を有している。これにより、傾斜台８０の傾斜面８２との摩擦力を低減して、突出部７２及び傾斜台８０の寿命を向上させることができる。
【００３４】
Ｆ．変形例：
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【００３５】
（１）上記実施形態のワーク把持装置５０では、固定部材及び可動板として固定板５２０及び可動板５３０を用いているが、これらの部材は、角棒状、角柱状等の形状を有していてもよい。また、可動板５３０の固定板５２０側の面５３４を可動側把持面としているが、可動側把持面を有する可動側把持部を可動板５３０の面５３４上に別途備えるようにしてもよい。すなわち、基部にその上端部が固定された固定部材と、固定部材と対向するように配置され、基部にその上端部が取り付けられて上端部を中心として回動し、固定部材との間でワークを把持する可動部材とで、ワークを把持することができれば、その形状に特に限定はない。
【００３６】
（２）上記実施形態のワーク把持装置５０では、可動板５３０を付勢する付勢部材としてコイルバネ５５０を用いた場合を例に説明したが、これに限定されるものではなく、板バネ等の他の弾性部材を付勢部材として用いる構成としてもよい。
【００３７】
（３）上記実施形態では、固定板５２０を挟んでｘ方向の両側に傾斜台８０とアタッチメント７０の突出部７２とは有する構成（図４）を例に説明したが、いずれか一方の傾斜台８０とアタッチメント７０の突出部７２のみを有する構成としてもよい。
【００３８】
（４）上記実施形態のワーク導入装置６０では、直方体の側面を保持面６２とし、その上面にアタッチメント７０を有する構造を例に説明したが、これに限定されるものではない。例えば、保持面でワークが保持されている状態で、ワーク導入装置の上面よりもワークの上端の方が上部に突出しており、突出部を支持する支持部が保持面に対向する側面に設けられていてもよい。すなわち、ワーク導入装置は、鉛直方向に沿った側面であって、ワークを保持する保持面と、保持面の上方において、ワーク把持装置の固定部材と可動部材が対向するように配置される配列方向に沿って保持面の方向へ向かって突出する突出部を有しており、保持面でワークを保持した状態で、固定部材と可動部材との間でワークを把持可能であれば、その構造に特に限定はない。
【００３９】
（５）上記実施形態のプラズマＣＶＤ装置１０は、鉛直方向下から上方向に、成膜室２０、真空予備室３０、及び搬送装置４０が順に配置されている構成を例に説明した。しかしながら、これに限定されるものではなく、例えば、水平方向に、真空予備室及び成膜室が配置されている構成とし、これらの上部にワーク把持装置を有する搬送装置を備える構成の成膜装置や、成膜室と真空予備室に分かれていない構成の成膜装置であって良い。すなわち、本発明のワーク取扱装置は、種々の成膜装置（薄膜形成装置）に用いることができる。また、成膜装置に限定されるものではなく、ワークに対して種々の処理を行なう種々の処理装置にも適用可能である。
【００４０】
本発明は、上述の実施形態や実施例、変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、実施例、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部または全部を解決するために、或いは、上述の効果の一部または全部を達成するために、適宜、差し替えや組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【００４１】
１０…プラズマＣＶＤ装置
２０…成膜室
２１…連通孔
２２…ゲートバルブ
３０…真空予備室
３１…導入蓋
４０…搬送装置
４２…弁体
５０，５０Ｒ…ワーク把持装置
６０，６０Ｂ，６０Ｒ…ワーク導入装置
６２…保持面
６４…上面
６６…溝部
７０…アタッチメント
７２…突出部
７４…支持部
７６…ローラー
８０…傾斜台
８２…傾斜面
４１０…シリンダー
５１０…基部
５２０…固定板
５２２…固定側把持部
５２３…固定側把持面
５３０…可動板
５３２…回動軸
５３４…可動板の面（可動側把持面）
５３６…可動板の面
５４０…バネホルダー
５４２…収容部
５４３…開口部
５４４…収容部の底面
５５０…コイルバネ
５５２…コイルバネの端部
５５４…コイルバネの端部
ＣＰ…把持部
Ｄｕ…固定側把持面と可動側把持面との間の間隔
Ｄｗ…ワークの厚み
ＷＰ…ワーク
ｘ，ｙ，ｚ…方向
Ｐａ，Ｐｂ…位置
ｙａ，ｙｂ…ｙ方向の位置
ｚａ…ｚ方向の位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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