(57)【要約】【課題】安価な構成でペースト量不足による印刷不良の発生を低減できるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。【解決手段】マスクプレート１５上を摺動するスキージ５２に追随して移動し、スキージ５２が摺動したマスクプレート１５上の領域をマスクプレート１５に対して非接触の状態で覆うカバー部材６２と、カバー部材６２が形成する内部空間６２Ｒに空気を供給する空気供給部７５を備える。カバー部材６２によって覆われたマスクプレート１５上の領域内の開口１５Ｈに充填されたペーストＰｓｔは、空気供給部７５から空気の供給を受けた内部空間６２Ｒ内の圧力を受けて基板２側に押し下げられる。【選択図】図１３
2018008465.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の電極に対応して設けられた開口を有するマスクプレートを前記基板に接触させ、前記マスクプレート上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せることにより前記開口にペーストを充填するスクリーン印刷装置であって、
前記マスクプレート上を摺動する前記スキージに追随して移動し、前記スキージが摺動した前記マスクプレート上の領域を前記マスクプレートに対して非接触の状態で覆うカバー部材と、
前記カバー部材が形成する内部空間に空気を供給する空気供給部とを備え、
前記カバー部材によって覆われた前記マスクプレート上の領域内の前記開口に充填されたペーストは、前記空気供給部から空気の供給を受けた前記内部空間内の圧力を受けて前記基板側に押し下げられることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記カバー部材は前記スキージに対して昇降自在であるとともに弾性部材によって前記マスクプレートに側に付勢されており、前記内部空間内の圧力を受けて前記マスクプレートに対して浮き上がることで、前記マスクプレートに対して非接触の状態になることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記カバー部材は前記スキージに追随して移動するカバー部材昇降手段によって昇降自在であり、前記カバー部材は前記カバー部材昇降手段によって前記マスクプレートに対して昇降されることで、前記マスクプレートに対して非接触の状態になることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記空気供給部は、前記内部空間に供給する空気の圧力のレベルを調整する圧力調整手段を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
前記カバー部材の側面に、前記カバー部材と前記マスクプレートとの間の隙間を通る流路とは異なる流路で前記内部空間内の空気を前記カバー部材の外部に流出させる空気流出口を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
【請求項６】
前記空気流出口に、前記空気流出口から前記カバー部材の外部に流出する空気の流量を調整する流量調整弁を備えたことを特徴とする請求項５に記載のスクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に接触させたマスクプレート上でスキージを摺動させてマスクプレートの開口にペーストを充填するスクリーン印刷装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板に半田等のペーストを印刷するスクリーン印刷装置は、基板の電極に対応して設けられた開口を有するマスクプレートを基板に接触させ、マスクプレート上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せることにより開口にペーストを充填する。開口にペーストを充填させた後にはマスクプレートから基板を分離させる版離れを行い、基板の電極にペーストを乗り移らせる。このようなスクリーン印刷装置では、版離れ時における版抜け性、すなわち、開口に充填されたペーストの基板への乗り移り性が不良であると電極に乗り移るペースト量が不足状態となって印刷不良が起き易くなる。
【０００３】
ペースト量不足による印刷不良は、基板とマスクプレートが完全には密着しておらず、開口に充填されたペーストが基板の表面に十分に到達していない状況において発生し易い。このため従来、マスクプレートに基板を接触させた後、マスクプレートを基板側に真空吸引することで基板とマスクプレートの密着度を高めるようにしたスクリーン印刷装置が考案されている。例えば、下記の特許文献１には、基板の下面に接触する天板部を有する箱状部材に吸引孔を設け、その吸引孔を介して基板を吸引しつつマスクプレートも吸引する構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−２１４０６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記構成のスクリーン印刷装置では、基板及びマスクプレートを吸引する吸引孔が形成される箱状部材は汎用的でなく、基板及びマスクプレートに応じて個々に作製する必要があるためにコストが高くなるという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、安価な構成でペースト量不足による印刷不良の発生を低減できるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のスクリーン印刷装置は、基板の電極に対応して設けられた開口を有するマスクプレートを前記基板に接触させ、前記マスクプレート上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せることにより前記開口にペーストを充填するスクリーン印刷装置であって、前記マスクプレート上を摺動する前記スキージに追随して移動し、前記スキージが摺動した前記マスクプレート上の領域を前記マスクプレートに対して非接触の状態で覆うカバー部材と、前記カバー部材が形成する内部空間に空気を供給する空気供給部とを備え、前記カバー部材によって覆われた前記マスクプレート上の領域内の前記開口に充填されたペーストは、前記空気供給部から空気の供給を受けた前記内部空間内の圧力を受けて前記基板側に押し下げられる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、安価な構成でペースト量不足による印刷不良の発生を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置の斜視図
【図２】本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置の側面図
【図３】本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置の一部の斜視図
【図４】本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置の一部の平面図
【図５】本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置が備える印刷ヘッドの構成図
【図６】本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置の印刷ヘッドが備えるスキージユニットの分解斜視図
【図７】本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置の制御系統を示すブロック図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図
【図９】（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図
【図１２】（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置のスキージユニットが備える充填アシスト部の動作説明図
【図１３】（ａ）（ｂ）本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置のスキージユニットが備える充填アシスト部により開口内のペーストが押し下げられる様子を説明する図
【図１４】本発明の第２実施形態におけるスクリーン印刷装置が備える印刷ヘッドの構成図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１実施形態）
はじめに、本発明の第１実施形態を説明する。図１は本発明の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置１を示している。スクリーン印刷装置１は上流工程側から基板２を搬入して位置決めし、基板２の各電極２ｄに半田等のペーストＰｓｔをスクリーン印刷して下流工程側に搬出する。ここでは説明の便宜上、作業者ＯＰから見た左右方向をＸ軸方向とし、左方を上流工程側、右方を下流工程側とする。また、作業者ＯＰから見た前後方向をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１１】
図１、図２及び図３において、スクリーン印刷装置１は基台１１上に搬入コンベア１２、基板昇降機構１３及び搬出コンベア１４を備えており、基板昇降機構１３の上方にはマスクプレート１５、カメラユニット１６及び印刷ヘッド１７を備えている。基板昇降機構１３は基台１１の中央部に設けられており、搬入コンベア１２は基板昇降機構１３の左方に設けられている。搬出コンベア１４は基板昇降機構１３の右方に設けられている（図４も参照）。
【００１２】
図２及び図３において、基板昇降機構１３は基板保持部２１と昇降機構部２２から成る。基板保持部２１は位置決めコンベア３１、下受け部３２及び前後一対のクランパ３３を備えている（図４も参照）。位置決めコンベア３１は搬入コンベア１２から受け取った基板２を所定のクランプ位置に位置決めする。下受け部３２は、クランプ位置に位置決めされた基板２を下方から支持する。クランパ３３は下受け部３２が支持した基板２を側方（Ｙ軸方向）からクランプして保持する。昇降機構部２２は複数のテーブル部材が多段積みされて成るＸＹθテーブルから成り、基板保持部２１を水平面内方向及び上下方向に移動させる。
【００１３】
図１、図２及び図４において、マスクプレート１５はＸＹ平面に広がって延びた矩形平板形状の金属部材から成る。マスクプレート１５の外周は、枠部材１５Ｗによって支持されている。マスクプレート１５の中央部には多数の開口１５Ｈが設けられている（図４）。これら開口１５Ｈは基板２の電極２ｄに対応して設けられている。
【００１４】
図２において、カメラユニット１６は、撮像視野を上方に向けた上方撮像部１６ａと、撮像視野を下方に向けた下方撮像部１６ｂを備えている。カメラユニット１６はボール螺子機構をアクチュエータとするカメラユニット移動機構１６Ｋ（図１も参照）に駆動されてＸＹ面内で移動する。
【００１５】
図１及び図２において、印刷ヘッド１７は、移動ベース４１と、２つのスキージ昇降シリンダ４２と、２つのスキージユニット４３を備えている。移動ベース４１はＸ軸方向に延びており、ボール螺子機構を備える印刷ヘッド移動機構１７Ｋに駆動されて、マスクプレート１５の上方をＹ軸方向に移動する。
【００１６】
図１及び図２において、２つのスキージ昇降シリンダ４２は移動ベース４１の上面にＹ軸方向に並んで設けられている。各スキージ昇降シリンダ４２は、ピストンロッド４２Ｒを移動ベース４１の下方に突出させている（図５）。
【００１７】
図５及び図６において、２つのスキージユニット４３はそれぞれ、ホルダ５１、スキージ５２及び充填アシスト部５３を備えている。ホルダ５１はスキージ昇降シリンダ４２のピストンロッド４２Ｒの下端に取り付けられている。
【００１８】
図５及び図６において、スキージ５２はＸ軸方向に延びた「へら」状の部材から成る。２つのスキージ５２をその幅方向（Ｘ軸方向）から見ると、２つのスキージ５２は下方に広がる姿勢で斜めに延びている（図２及び図５）。２つのスキージ５２は、互いに向き合う面がペーストＰｓｔを掻寄せる面であり、以下の説明では掻寄せ面と称する。また、掻寄せ面とは反対側の面を背面と称する。スキージ昇降シリンダ４２がピストンロッド４２Ｒを上下方向に作動させるとスキージユニット４３が移動ベース４１の下方を移動ベース４１に対して昇降する。
【００１９】
図５及び図６において、各充填アシスト部５３は、ホルダ５１に取り付けられた複数のガイドピン６１と、ガイドピン６１と連結されるカバー部材６２及び各ガイドピン６１に挿通される複数のばね部材６３を備えている。各ガイドピン６１は、ホルダ５１に設けられた上下貫通穴５１ａを上下に貫通している。各ガイドピン６１の上端には上下貫通穴５１ａよりも外形の大きいストッパ部６１ａが設けられており、下端には螺子部６１ｂが形成されている。
【００２０】
カバー部材６２は下方に開口した箱形状を有しており、内部に空間（以下、内部空間６２Ｒと称する）が形成されている。カバー部材６２はスキージ５２の背面側に位置しており、上面に設けられた螺子取付け穴６２ａにガイドピン６１の螺子部６１ｂが螺合されている。ばね部材６３はホルダ５１とカバー部材６２の間に縮設されており、カバー部材６２をホルダ５１に対して下方に付勢している。このようにカバー部材６２は、ガイドピン６１によってホルダ５１に対して（ってスキージ５２に対して）昇降自在であるとともに、弾性部材であるばね部材６３によって下方に（すなわちマスクプレート１５側に）付勢された状態となっている。なお、カバー部材６２をマスクプレート１５側に付勢する弾性部材はここではばね部材６３から成っているが、スポンジやウレタン等のクッション性のある成る他の部材から成っていてもよい。
【００２１】
カバー部材６２に下方からの押上げ力が作用していない状態では、カバー部材６２は自重とばね部材６３による付勢力とによって垂下した状態となる（図５）。このときガイドピン６１のストッパ部６１ａはホルダ５１の上面に当接し、カバー部材６２の下面はスキージ５２の下端とほぼ同じ高さに（或いはスキージ５２の下端よりも若干下方に）位置する。この垂下状態のカバー部材６２が押上げ力を受けると、カバー部材６２はばね部材６３を押し縮め、ガイドピン６１のストッパ部６１ａをホルダ５１の上方に離間させながら、ホルダ５１に対して上昇する。
【００２２】
図５において、空気圧発生源７０は所定のレベルまで圧力を高めた空気を空気管路７１内に供給する。空気管路７１内に供給された空気は、圧力調整弁７２によって、少なくとも大気圧以上の所定のレベルに調整（調圧）される。圧力調整弁７２によって調圧された空気が通る空気管路７１は、開閉弁７３によって開放又は閉止される。空気管路７１は開閉弁７３を介して２つの空気供給路７４に分岐しており、開閉弁７３によって空気管路７１が開放されるときには、２つの空気供給路７４のいずれか一方に空気（空気圧）が供給される。２つの空気供給路７４はそれぞれカバー部材６２に接続されている。各空気供給路７４は接続された側のカバー部材６２が形成する内部空間６２Ｒに連通している（図５）。
【００２３】
空気圧発生源７０、空気管路７１、圧力調整弁７２、開閉弁７３及び空気供給路７４は、カバー部材６２の内部空間６２Ｒに空気（空気圧）を供給する空気供給部７５を構成する（図５）。開閉弁７３が前方のカバー部材６２に繋がる空気供給路７４を開放（後方のカバー部材６２に繋がる空気供給路７４は閉止）すると、圧力調整弁７２によって調圧された空気が前方のカバー部材６２の内部空間６２Ｒに供給される。一方、開閉弁７３が後方のカバー部材６２に繋がる空気供給路７４を開放（前方のカバー部材６２に繋がる空気供給路７４は閉止）すると、圧力調整弁７２によって調圧された空気が後方のカバー部材６２の内部空間６２Ｒに供給される。
【００２４】
図５において、２つの空気供給路７４のそれぞれには圧力センサ７６が介装されている。これら圧力センサ７６は、対応する空気供給路７４内の圧力を計測し、その計測した情報を空気供給路７４が接続されるカバー部材６２の内部空間６２Ｒ内の圧力として、その情報を制御装置８０に出力する。なお、圧力センサ７６は、内部空間６２Ｒ内に設置されるのであってもよい。
【００２５】
図５及び図６において、カバー部材６２の側面には空気流出口６２Ｈが設けられている。この空気流出口６２Ｈは、カバー部材６２の内部空間６２Ｒをカバー部材６２の外部に連通させる。空気流出口６２Ｈには流量調整弁６２Ｖが設けられている。作業者ＯＰは流量調整弁６２Ｖを操作することで、空気流出口６２Ｈの開度を変化させることができる。
【００２６】
図７において、スクリーン印刷装置１が備える制御装置８０は、搬入コンベア１２による基板２の搬送動作、基板昇降機構１３による基板２の保持及び移動動作、搬出コンベア１４による基板２の搬送動作の各制御を行う。また制御装置８０は、印刷ヘッド移動機構１７Ｋによる印刷ヘッド１７の移動動作、スキージ昇降シリンダ４２による各スキージユニット４３の昇降動作、カメラユニット移動機構１６Ｋによるカメラユニット１６の移動動作及びカメラユニット１６の撮像動作の各制御を行う。
【００２７】
図７において、制御装置８０は、空気供給部７５を構成する圧力調整弁７２と開閉弁７３の各制御を行う（図５も参照）。カメラユニット１６の撮像動作によって得られた画像データは制御装置８０に送られ、制御装置８０は画像認識部８０ａにおいて、送られてきた画像データに基づいて画像認識を行う。２つの圧力センサ７６が計測する２つのカバー部材６２の内部空間６２Ｒ内の圧力の情報も、制御装置８０に入力される（図５も参照）。
【００２８】
図７において、制御装置８０には、入出力装置としてのタッチパネル８１が接続されている。タッチパネル８１は、作業者ＯＰが制御装置８０に所要の入力を行う入力装置として機能するほか、制御装置８０がスクリーン印刷装置１の状態を作業者ＯＰに表示したり作業者ＯＰに作業指示を与えたりする出力装置として機能する。
【００２９】
スクリーン印刷装置１により基板２にペーストＰｓｔを印刷するスクリーン印刷作業を行うときは、作業者ＯＰはタッチパネル８１から作業開始操作を行う。作業者ＯＰがタッチパネル８１から作業開始操作を行うと、搬入コンベア１２が制御装置８０に制御されて作動し、外部から供給された基板２を受け取って基板保持部２１に受け渡す。基板保持部２１は、位置決めコンベア３１によって基板２を受け取ったらその基板２を搬送させて所定のクランプ位置に位置決めし、下受け部３２によって基板２を下方から支持したうえで、クランパ３３によってクランプする（図８（ａ）。図中に示す矢印Ａ）。
【００３０】
基板保持部２１が基板２を保持したらカメラユニット移動機構１６Ｋが作動し、カメラユニット１６を基板２とマスクプレート１５の間で移動させる。これによりカメラユニット１６の上方撮像部１６ａはマスクプレート１５に設けられたマスク側マーク１５ｍ（図４）を下方から撮像し（図８（ｂ））、下方撮像部１６ｂは基板２の基板側マーク２ｍ（図３）を上方から撮像する（図９（ａ））。
【００３１】
カメラユニット１６はマスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍを撮像したら、その画像データを制御装置８０に送信する。画像データを受け取った制御装置８０は画像認識部８０ａにおいて画像認識を行い、マスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍそれぞれの位置を算出する。
【００３２】
マスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍそれぞれの位置が算出されたら、基板昇降機構１３は基板２移動させて、マスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍを平面視において一致させる。基板昇降機構１３は、マスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍが平面視において一致したら、基板２を上昇させて、基板２の上面をマスクプレート１５の下面に接触させる（図９（ｂ）。図中に示す矢印Ｂ）。これにより基板２の電極２ｄは対応する開口１５Ｈを通じてマスクプレート１５の上面に露出した状態となる。
【００３３】
基板２がマスクプレート１５に接触したら、一方のスキージ昇降シリンダ４２がスキージ５２を下降させて、マスクプレート１５に当接させる。スキージ５２がマスクプレート１５に当接したら、印刷ヘッド移動機構１７Ｋが移動ベース４１をＹ軸方向に移動させる。スキージ５２の移動方向は、前方のスキージ５２については前方から後方に向かう方向であり（図１０（ａ）→図１０（ｂ））、後方のスキージ５２については、後方から前方に向かう方向である（図１１（ａ）→図１１（ｂ））。マスクプレート１５上を摺動するスキージ５２は掻寄せ面によってペーストＰｓｔを掻き寄せるので、スキージ５２が通過したマスクプレート１５上の領域内の各開口１５ＨにはペーストＰｓｔが充填される。
【００３４】
上記のように開口１５ＨにペーストＰｓｔが充填される際、充填アシスト部５３は、その充填のアシストを行う。充填アシスト部５３による充填のアシストは、スキージ５２がマスクプレート１５上を摺動している状態においてなされる。従って、カバー部材６２の内部空間６２Ｒへの空気（空気圧）の供給は、スキージ５２がマスクプレート１５に当接した後に開始される。
【００３５】
スキージ５２をマスクプレート１５に当接させると、カバー部材６２もマスクプレート１５に当接する（図１２（ａ））。この時点ではまだ、内部空間６２Ｒへの空気の供給はなされておらず、内部空間６２Ｒの圧力は大気圧レベルのままである。カバー部材６２がマスクプレート１５に当接すると、カバー部材６２はマスクプレート１５からの押上げ力を受けてばね部材６３を押し縮めるので、カバー部材６２にはばね部材６３からの反力が作用し、マスクプレート１５に押し付けられた状態となる（図１２（ａ）中に示す矢印Ｃ）。
【００３６】
スキージ５２とカバー部材６２がマスクプレート１５に当接し、スキージ５２がマスクプレート１５上を摺動し始めたら、制御装置８０は開閉弁７３を操作し、マスクプレート１５に当接しているカバー部材６２の内部空間６２Ｒへ空気を供給する。これにより内部空間６２Ｒ内の圧力が上昇していき、カバー部材６２はその内部空間６２Ｒ内の圧力を受けてマスクプレート１５から浮き上がろうとする。ここで、内部空間６２Ｒ内の圧力が所定の圧力（ばね部材６３がカバー部材６２を下方に付勢する力とカバー部材６２の自重の和を上回る力を生ずる圧力）に達すると、カバー部材６２はマスクプレート１５に対して浮き上がり、カバー部材６２とマスクプレート１５との間に隙間Ｓｋが形成される（図１２（ｂ））。なお、スキージ５２及びカバー部材６２をマスクプレート１５に当接させる前に内部空間６２Ｒへの空気の供給を始めてもよく、この場合にはカバー部材６２は、マスクプレート１５に当接することなくマスクプレート１５から浮き上がった状態となることもあり得る。
【００３７】
内部空間６２Ｒへの空気の供給はスキージ５２がマスクプレート１５上を摺動している間継続される。このため、カバー部材６２がマスクプレート１５から浮き上がった状態は、スキージ５２がマスクプレート１５上を摺動している間、維持される。カバー部材６２がマスクプレート１５から浮き上がって隙間Ｓｋが形成された状態では、その隙間Ｓｋから、内部空間６２Ｒ内の空気の一部がカバー部材６２の外部に流出する（図１２（ｂ）中に示す矢印ｆ１）。
【００３８】
スキージ５２がマスクプレート１５上を摺動すると、スキージ５２の背面側に位置しているカバー部材６２は、マスクプレート１５上で摺動するスキージ５２に追随して移動し、スキージ５２が摺動したマスクプレート１５上の領域をマスクプレート１５に対して非接触の状態で覆う。カバー部材６２の内部空間６２Ｒには空気供給部７５から大気圧以上の圧力の空気が供給されているので、カバー部材６２によって覆われたマスクプレート１５上の領域内の開口１５Ｈに充填されているペーストＰｓｔは、空気供給部７５から空気の供給を受けた内部空間６２Ｒ内の圧力Ｐｒを受けて、基板２側に押し下げられる（図１３（ａ）→図１３（ｂ））。これにより、基板２とマスクプレート１５が完全には密着しておらず、両者の間に図１３（ａ），（ｂ）に示すような間隙ＫＧがあった場合であっても、開口１５Ｈに充填されたペーストＰｓｔは、確実に基板２に到達する（図１３（ｂ））。
【００３９】
ここで、制御装置８０は、２つの空気供給路７４それぞれに介装された２つの圧力センサ７６から送られてくる空気供給路７４内の圧力の情報に基づいて、空気が供給されている側のカバー部材６２の内部空間６２Ｒ内の圧力が予め定めた所定の圧力になるように、圧力調整弁７２を制御する。このため内部空間６２Ｒ内の圧力は予め定めた所定の圧力に保持され、開口１５Ｈに充填されたペーストＰｓｔを押し下げるときの圧力（押下げ圧力）を所望の値に保つことができる。また、押下げ圧力は任意に設定できるので、開口１５Ｈの大きさやペーストＰｓｔの粘度等によって押下げ圧力を変化させたい場合でもこれに容易に対応することができる。
【００４０】
このように、空気供給部７５が備える圧力調整弁７２は、カバー部材６２の内部空間６２Ｒに供給する空気の圧力のレベルを調整し、更には、圧力センサ７６から送られてくる内部空間６２Ｒ内の圧力の情報に基づいて内部空間６２Ｒ内の圧力を所定の圧力に保持する圧力調整手段となっている。
【００４１】
ここで、カバー部材６２はマスクプレート１５に対して非接触であるので、スキージ５２に対して追随して移動するカバー部材６２は、スキージ５２が掻き残したペーストＰｓｔを覆うことができるようになっている。また、カバー部材６２とマスクプレート１５の間に形成された隙間Ｓｋから内部空間６２Ｒ内の空気の一部が外部に流出するようになっているので、内部空間６２Ｒ内の圧力が過大となることが防止される。更に、カバー部材６２はスキージ５２に対して（すなわちマスクプレート１５に対して）昇降自在であるので、ばね部材６３を交換（ばね定数が異なる他のばね部材６３に交換）等することによって、隙間Ｓｋの大きさを変えることができる。このためカバー部材６２とマスクプレート１５との間に形成される隙間Ｓｋの大きさを最適な値に設定できる。
【００４２】
前述のように、カバー部材６２の内部空間６２Ｒ内の空気の一部は、カバー部材６２とマスクプレート１５との間の隙間Ｓｋからカバー部材６２の外部に流出するが、内部空間６２Ｒ内の空気は、カバー部材６２の側面に設けられた空気流出口６２Ｈからも流出させることができる（図１２（ｂ）中に示す矢印ｆ２）。カバー部材６２とマスクプレート１５との間の隙間Ｓｋから流出する空気は、カバー部材６２により覆っている開口１５Ｈ内のペーストＰｓｔを吹き散らしてしまうおそれがあるが、内部空間６２Ｒ内の空気を空気流出口６２Ｈからも流出させることで、隙間Ｓｋから流出する空気の流量を小さくすることができ、ペーストＰｓｔが吹き散らされる不都合を防止することができる。
【００４３】
このようにカバー部材６２の側面に備えられた空気流出口６２Ｈは、カバー部材６２とマスクプレート１５との間の隙間Ｓｋを通る流路とは異なる流路で内部空間６２Ｒ内の空気をカバー部材６２の外部に流出させる。前述のように、空気流出口６２Ｈには流量調整弁６２Ｖが備えられており、流量調整弁６２Ｖを操作して空気流出口６２Ｈの開度を変えることで、空気流出口６２Ｈから流出する空気の流量を自在に調整できるので、隙間Ｓｋから流出する空気の流量をきめ細かくコントロールすることができる。
【００４４】
上記のようにして前方又は後方のスキージ５２によるマスクプレート１５の開口１５ＨへのペーストＰｓｔの充填が終了したら、基板昇降機構１３は昇降機構部２２により基板保持部２１を下降させ、基板２をマスクプレート１５から分離させて版離れを行う。これによりマスクプレート１５の開口１５Ｈに充填されたペーストＰｓｔが基板２の各電極２ｄ上に乗り移る。基板昇降機構１３は版離れを行ったら基板保持部２１のクランパ３３を開いて基板２の保持を解除し、位置決めコンベア３１を作動させて搬出コンベア１４に受け渡す。搬出コンベア１４は受け取った基板２を下流工程側に搬出し、基板２の１枚当たりのスクリーン印刷が終了する。
【００４５】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態を説明する。第２実施形態におけるスクリーン印刷装置１が前述の第１実施形態におけるスクリーン印刷装置１と異なるところは充填アシスト部５３のみである。図１４は第２実施形態におけるスクリーン印刷装置１の充填アシスト部５３の構成を示しており、第１実施形態における場合と同じ機能を有するものは第１実施形態の場合と同じ符号を付している。
【００４６】
図１４において、ホルダ５１にはカバー部材昇降手段としてのカバー部材昇降シリンダ９０が設けられている。そして、カバー部材昇降シリンダ９０の下方に延びたピストンロッドの下端にはカバー部材６２の上面が結合されている。このように第２実施形態において、カバー部材６２は、ホルダ５１に取り付けられた（従ってスキージ５２に追随して移動する）カバー部材昇降シリンダ９０によって昇降自在な構成となっている。
【００４７】
図１４に示すように、２つのカバー部材昇降シリンダ９０はそれぞれ、制御装置８０によって作動制御がなされる。制御装置８０に制御されたカバー部材昇降シリンダ９０は、カバー部材６２をマスクプレート１５に対して昇降させ、カバー部材６２をマスクプレート１５に対して離間させることで、カバー部材６２をマスクプレート１５に対して非接触の状態にする。
【００４８】
カバー部材６２がマスクプレート１５に対して非接触の状態になると、カバー部材６２とマスクプレート１５との間に、内部空間６２Ｒ内の空気を外部に流出させる隙間Ｓｋが形成される。カバー部材昇降シリンダ９０は、カバー部材６２をマスクプレート１５から離間させた状態を、スキージ５２がマスクプレート１５上を摺動している間、維持する。このようにカバー部材６２がマスクプレート１５から離間された状態では、内部空間６２Ｒ内の空気の一部が、隙間Ｓｋからカバー部材６２の外部に流出する。
【００４９】
このような構成においても、カバー部材６２によって覆われたマスクプレート１５上の領域内の開口１５Ｈに充填されているペーストＰｓｔは、空気供給部７５から空気の供給を受けたカバー部材６２の内部空間６２Ｒ内の圧力Ｐｒを受けて、基板２側に押し下げられる（図１３（ａ）→図１３（ｂ））。これにより、基板２とマスクプレート１５が完全には密着しておらず、両者の間に図１３（ａ），（ｂ）に示すような間隙ＫＧがあった場合であっても、開口１５Ｈに充填されたペーストＰｓｔは、確実に基板２に到達する（図１３（ｂ））。なお、ここでは、カバー部材６２を昇降させるカバー部材昇降手段がシリンダ（カバー部材昇降シリンダ９０）から成っていたが、モータとボール螺子を組み合わせた機構等によってカバー部材６２を昇降させるようになっていてもよい。
【００５０】
以上説明したように、上述の第１及び第２の実施形態におけるスクリーン印刷装置１では、マスクプレート１５上を摺動するスキージ５２に追随して移動し、スキージ５２が摺動したマスクプレート１５上の領域をマスクプレート１５に対して非接触の状態で覆うカバー部材６２の内部空間６２Ｒに空気が供給されるようになっており、カバー部材６２によって覆われたマスクプレート１５上の領域内の開口１５Ｈに充填されたペーストＰｓｔは、空気の供給を受けた内部空間６２Ｒの圧力を受けて基板２側に押し下げられる。このため開口１５Ｈに充填されたペーストＰｓｔは確実に基板２に到達し、版離れ時における版抜け性が向上する。これらのスクリーン印刷装置１は、基板２やマスクプレート１５によらず汎用的に使用できるので、安価な構成でペースト量不足による印刷不良の発生を低減できる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
安価な構成でペースト量不足による印刷不良の発生を低減できるスクリーン印刷装置を提供する。
【符号の説明】
【００５２】
１  スクリーン印刷装置
２  基板
２ｄ  電極
１５  マスクプレート
１５Ｈ  開口
５２  スキージ
６２  カバー部材
６２Ｒ  内部空間
６２Ｈ  空気流出口
６２Ｖ  流量調整弁
６３  ばね部材（弾性部材）
７５  空気供給部
９０  カバー部材昇降シリンダ（カバー部材昇降手段）
Ｓｋ  隙間
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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