(57)【要約】【課題】被貼付部材を損傷することなく、安定的な剥離動作と巻取り動作が可能な貼付部材剥離機構および剥離方法を得る。【解決手段】表面に貼付部材２１が貼り付けられた被貼付部材２２を固定して搬送する搬送ステージ２と、貼付部材２１を接着させる粘着テープ７と、粘着テープ７を搬送ステージ２の搬送方向とは逆方向へ送る粘着テープ送りローラ４と、粘着テープ７を被貼付部材２２の貼付部材２１へ押付ける粘着テープ押付ローラ６と、粘着テープ押付ローラ６を、搬送ステージ２と接触しない位置に位置決めしながら貼付部材２１へ押付力を与える位置決め押付手段と、を備えた。【選択図】図１
2018008769.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貼付部材を被貼付部材から剥離する貼付部材剥離機構であって、
前記被貼付部材を固定して搬送する搬送ステージと、前記貼付部材を接着させる粘着テープと、前記粘着テープを前記搬送ステージの搬送方向とは逆方向へ送る粘着テープ送りローラと、前記粘着テープを前記貼付部材へ押付ける粘着テープ押付ローラと、前記粘着テープ押付ローラを前記搬送ステージと接触しない位置に位置決めし、かつ前記貼付部材に対して押付力を与える位置決め押付手段と、を備えたことを特徴とする貼付部材剥離機構。
【請求項２】
請求項１に記載の貼付部材剥離機構において、
前記位置決め押付手段は、前記粘着テープ押付ローラを前記被貼付部材側へ押付ける押付バネと、前記粘着テープ押付ローラの位置調整が可能な調整ねじとを有していることを特徴とする貼付部材剥離機構。
【請求項３】
貼付部材を被貼付部材から剥離する貼付部材剥離方法であって、
前記被貼付部材を搬送ステージに固定して搬送し、粘着テープを粘着テープ送りローラにより前記搬送ステージの搬送方向とは逆方向へ送り、前記粘着テープの送り経路の途中に設けた粘着テープ押付ローラにより、前記被貼付部材の先端が前記粘着テープ押付ローラの下部近傍に搬送されて来た時点から前記粘着テープを前記貼付部材に押付け、前記粘着テープに前記貼付部材を接着させて剥離し、前記粘着テープ送りローラに巻き取ることを特徴とする貼付部材剥離方法。
【請求項４】
請求項３に記載の貼付部材剥離方法において、
前記搬送ステージで搬送される前記被貼付部材の前記搬送方向の先端を先端検出センサで検出し、前記先端の貼付部材が前記粘着テープに接触する直前で、前記粘着テープの送りを開始することを特徴とする貼付部材剥離方法。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の貼付部材剥離方法において、
前記被貼付部材の先端が前記粘着テープ押付ローラの最下端近傍に来て前記粘着テープに接触した時点で一旦前記粘着テープの送りを停止し、前記粘着テープと前記被貼付部材の間に前記貼付部材が完全に入り込むまで前記被貼付部材を前記搬送方向に搬送した後、前記粘着テープの送りを再開することを特徴とする貼付部材剥離方法。
【請求項６】
請求項３から請求項５のいずれか１項に記載の貼付部材剥離方法において、
前記粘着テープ送りローラによる粘着テープ送り速度は、前記搬送ステージの搬送速度と同じに設定することを特徴とする貼付部材剥離方法。
【請求項７】
請求項６に記載の貼付部材剥離方法において、
前記粘着テープ送りローラに巻き取られた前記粘着テープの半径を計測センサで計測し、前記計測した計測値をもとに前記粘着テープ送り速度を算出して、前記搬送速度に合わせるように制御することを特徴とする貼付部材剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、被貼付部材に先端を同じくして貼り付けられた貼付部材を、被貼付部材から安定して剥離する機構とその剥離方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
貼付部材の剥離が必要な部品としては、例えば、液晶ディスプレイの偏光板がある。偏光板の製造において、偏光板を貼り付ける工程の前に、偏光板に先端を同じくして貼り付けられた保護フィルムを剥離する工程がある。偏光板は、加工工程において、端面研磨機の研磨方向によっては保護フィルムの研磨端面の角が丸みを帯びるため、「剥離きっかけ」すなわち被貼付部材から剥離された状態の貼付部材先端部が作りにくい。例えば、保護フィルムの先端にテープを貼りつけて引き上げる剥離方法の場合は、剥離力が広範囲に作用することと保護フィルムの先端が全てテープに貼り付いていないため、テープに保護フィルムが付いてこない場合が生ずる。剥離動作が不安定なため自動化が困難で、手作業の場合にも、何度も試行する必要があり、比較的長い作業時間を要する。
【０００３】
安定的に剥離する方法として、例えば、次のようないくつかの方法がある。１つ目は、単純に剥離力を向上させるため、偏光板を強く固定し、強粘着テープを使用する方法であるが、強粘着テープへの変更はコストアップが伴うため好ましくない。２つ目は、ニードルや刃物を用い保護フィルムだけを狙って剥離きっかけを形成する方法であり、高精度が求められ、維持管理が困難なうえ、ニードルや刃物の位置ずれや部材の厚みのばらつきによって偏光板を損傷する可能性がある。
【０００４】
上記の２つの方法の課題を解決する方法として、３つ目に、ローラを逆回転して剥離きっかけを形成する方法があり、例えば次のような技術が開示されている。回転部材と、逆方向に回転する補助ローラとを備え、回転部材の回転により貼付部材の端部をめくり起こし、回転部材と補助ローラの間に貼付部材を挟んで被貼付部材から剥離する構成である。特徴として、回転部材の表面には、貼付部材端部をめくり起こす突起状物を形成しており、突起状物の先端は回転部材の回転方向を向いている。また、突起状物は被貼付部材に対して硬度の低い材質で形成されている。（例えば、特許文献１参照）
【０００５】
また、別の技術として、押えローラを、粘着テープを介して保護フィルム（貼付部材）表面に押付けて、粘着テープ下端を保護フィルム表面に貼着し、次いで、押えローラを、一旦、剥取り方向とは逆方向のフィルム本体の先端の側縁まで回転させながら移動させ、粘着テープに保護フィルムの先端部を貼着した後、押えローラを、粘着テープを介して保護フィルム表面に押付けた状態で、保護フィルム上をその剥取り方向に当たるフィルム本体内方に回転させながら移動させて保護フィルムを剥離させる技術が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−４６９３５号公報（第４頁、図１）
【特許文献２】特開２００６−２８２９２４号公報（要約、図７）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１に示された従来技術では、次のような課題があった。
１点目は、回転部材表面に形成された突起状物が柔らかい場合には、十分な剥離力が得
られず、剥離動作が不安定となり、反対に、突起状物が固い場合や、突起状物の向きをより回転方向に向けた場合は、剥離力が得られる半面、被貼付部材を損傷する可能性が高くなる。
２点目は、貼付部材の剥離きっかけを形成した後も、巻き上げるために補助ローラが必要になり構造が複雑になる。
３点目は、回転部材と補助ローラの回転を同期させるためのギアが必要になり、発塵源となるためクリーンルームでの使用に適さない。
４点目は、剥離きっかけの生成地点から、回転部材と補助ローラとにより挟まれる位置までは剥離動作が不連続になり、また距離が離れているため、剥離きっかけを掴んで、巻き上げる動作が不安定となる。
また、特許文献２に示された従来技術では、剥離きっかけを作る段階において、押えローラの回転方向と貼付部材の巻き上げ方向の関係で、保護フィルムの先端にテープを貼り付けて引き上げる剥離方法と等価になるため、剥離動作が不安定になる恐れがあるという問題があった。
【０００８】
この発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、被貼付部材を損傷することなく、安定的な剥離動作と巻取り動作が可能な貼付部材剥離機構および剥離方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係る貼付部材剥離機構は、貼付部材を被貼付部材から剥離する貼付部材剥離機構であって、被貼付部材を固定して搬送する搬送ステージと、貼付部材を接着させる粘着テープと、粘着テープを搬送ステージの搬送方向とは逆方向へ送る粘着テープ送りローラと、粘着テープを貼付部材へ押付ける粘着テープ押付ローラと、粘着テープ押付ローラを搬送ステージと接触しない位置に位置決めし、かつ貼付部材に対して押付力を与える位置決め押付手段と、を備えたものである。
【００１０】
また、この発明に係る貼付部材剥離方法は、貼付部材を被貼付部材から剥離する貼付部材剥離方法であって、被貼付部材を搬送ステージに固定して搬送し、粘着テープを粘着テープ送りローラにより搬送ステージの搬送方向とは逆方向へ送り、粘着テープの送り経路の途中に設けた粘着テープ押付ローラにより、被貼付部材の先端が粘着テープ押付ローラの下部近傍に搬送されて来た時点から粘着テープを貼付部材に押付け、粘着テープに貼付部材を接着させて剥離し、粘着テープ送りローラに巻き取るものである。
【発明の効果】
【００１１】
この発明の貼付部材剥離機構によれば、被貼付部材を固定して搬送する搬送ステージと、貼付部材を接着させる粘着テープと、粘着テープを搬送ステージの搬送方向とは逆方向へ送る粘着テープ送りローラと、粘着テープを貼付部材へ押付ける粘着テープ押付ローラと、粘着テープ押付ローラを搬送ステージと接触しない位置に位置決めし、かつ貼付部材に対して押付力を与える位置決め押付手段と、を備えたので、貼付部材に対し連続的に剥離力を発生することができるため、安定して剥離することができる。また、被貼付部材を損傷する懸念が小さい剥離動作を得ることができる。
【００１２】
また、この発明の貼付部材剥離方法によれば、被貼付部材を搬送ステージに固定して搬送し、粘着テープを粘着テープ送りローラにより搬送ステージの搬送方向とは逆方向へ送り、粘着テープの送り経路の途中に設けた粘着テープ押付ローラにより、被貼付部材の先端が粘着テープ押付ローラの下部近傍に搬送されて来た時点から粘着テープを貼付部材に押付け、粘着テープに貼付部材を接着させて剥離し、粘着テープ送りローラに巻き取るので、貼付部材の先端に対して、連続的に剥離力を与えることができるため、安定的に剥離きっかけを作成でき、かつ、貼付部材を損傷する懸念が小さい。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】この発明の実施の形態１における貼付部材剥離機構を示す側面図である。
【図２】図１の貼付部材剥離機構の粘着テープ制御機構を示す側面図である。
【図３】この発明の実施の形態１における粘着テープ送りローラの巻き上げ開始タイミングの説明図である。
【図４】従来の貼付部材剥離方法の先端めくり上げ動作を、比較のために示す説明図である。
【図５】この本発明の実施の形態１における貼付部材剥離方法の説明図である。
【図６】この本発明の実施の形態１における貼付部材剥離方法を説明するフロー図である。
【図７】貼付部材巻き上げ動作において、粘着テープ送りを停止した場合の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１における貼付部材剥離機構１を示す側面図であり、図２は、図１の中の粘着テープ制御機構３を示す側面図である。
貼付部材の剥離対象であるワーク２０の構成は、被貼付部材２２の表面に貼付部材２１が貼り付いたものである。貼付部材２１と被貼付部材２２とは先端を同じくしている。具体的な製品としては、例えば、液晶ディスプレイの偏光板とそれに貼り付けられた保護フィルムなどである。
貼付部材剥離機構１は、ワーク２０の被貼付部材２２を吸着等で強固に固定し搬送するための搬送ステージ２と、粘着テープ制御機構３と、コントローラ１７とによって構成されている。
【００１５】
搬送ステージ２は、駆動手段（図示せず）の駆動力により、送り軸（図示せず）よって送られて搬送方向ｄの方向に移動する。なお、この搬送ステージ２は、図では台状のものであるが、後述の粘着テープ押付ローラ６の押付力に耐えうるベース板に支えられたコンベアであってもよい。搬送ステージ２には、後述のワーク先端を検出する先端検出センサ１５のビームを透過させるための透過部２ａが設けられている。
【００１６】
粘着テープ制御機構３は、粘着テープ送りローラ４と、粘着テープロール５と、粘着テープ押付ローラ６を有している。粘着テープロール５には粘着テープ７がセットされる。粘着テープ送りローラ４は、粘着テープ７を巻き取る動力を持っており、粘着テープロール５から粘着テープ７を速度制御しながら巻き取っていく。その経路の中間に、粘着テープ押付ローラ６が配置されている。そして、粘着テープ押付ローラ６には、粘着テープ７を搬送ステージ２と接触しない位置に位置決めしながら貼付部材２１へ押付ける押付力を与える位置決め押付手段１４が設けられているが、その詳細は後述する。
なお、粘着テープ押付ローラ６および粘着テープロール５は回転自在である。
【００１７】
粘着テープ送りローラ４がｂ１方向に回転駆動されることで、粘着テープロール５はｂ２方向に、粘着テープ押付ローラ６はｂ３方向に回転する。また、粘着テープ押付ローラ６は押付方向ｃに押付力が付与されている。
粘着テープ送りローラ４の巻き上げ方向ａに対し、搬送ステージ２は、それに逆らうように搬送方向ｄに移動する。つまり、粘着テープ７は搬送ステージ２の搬送方向ｄとは逆方向へ送られる。このため、粘着テープ７と貼付部材２１の間に摩擦力が発生し、粘着テープ７にたるみが発生することはない。貼付部材剥離機構１は粘着テープ送りローラ４を回転させるサーボモータと搬送ステージ２の送り軸の２つの動力のみで動作する簡単な機構である。
【００１８】
図２により、図１の粘着テープ制御機構３を更に詳細に説明する。粘着テープ制御機構３は、粘着テープ送りローラ軸８と粘着テープ押付ローラ軸９と粘着テープロール軸１０を持っている。粘着テープ押付ローラ軸９は、押付バネ１１と位置調整ネジ１２の押付ローラ基準面ｋの間に挟まれたブロック１３に挿入された状態で配置されている。この、押付バネ１１、位置調整ネジ１２、ブロック１３の部分が、先に説明した位置決め押付手段１４である。位置決め押付手段１４は、搬送ステージ２と接触しない位置に粘着テープ押付ローラ６によって粘着テープ７を位置決めしながら貼付部材２１へ押付ける押付力を与えるものであればよく、図の構成に限定するものではない。
粘着テープ押付ローラ６は、押付バネ１１により下方に押付けられ、押付ローラ基準面ｋにより位置決めされる。なお、押付圧は、押付バネ１１の圧縮量を調整する機構を配して押付圧を調整してもよし、押付バネ１１の交換によっても対応可能である。
【００１９】
粘着テープ押付ローラ６の位置は、位置調整ネジ１２によって可変であり、被貼付部材２２上面よりも十分低い位置に粘着テープ７の最下点を位置調整することで、厚みの異なる貼付部材２１、および、厚みの異なる被貼付部材２２にも対応可能である。なお、粘着テープ７の最下点と搬送ステージ２の上面の距離は、粘着テープ７の厚みのばらつき以上とすることで、粘着テープ７と搬送ステージ２が接触することはなく、貼付部材剥離動作を阻害することはない。
【００２０】
次に図１に戻り制御部について説明する。
搬送ステージ２の側には、ワーク２０先端位置を検出するための先端検出センサ１５が設けられている。それに対応して、搬送ステージ２には透過部２ａが設けられている。先端検出センサ１５に光電センサ等の光学センサを用いた場合、そのセンサビームは透過部２ａを透過するようになっている。透過部２ａは、吸着に影響なければ穴でもよいし、センサビーム品質に影響しないガラス窓で構成してもよい。
一方、粘着テープ制御機構３の側には、粘着テープ送りローラ４に巻き取られた粘着テープ７の巻取り半径を計測するための、変位計等からなる計測センサ１６が設けられている。
【００２１】
全体の制御は、コントローラ１７によって制御される。先ず、搬送ステージ２にワーク２０を載置し所定の速度で搬送方向ｄへ送る。先端検出センサ１５が、ワーク２０先端位置が所定の位置に来たことを検出すると、この情報をコントローラ１７が受け取り、粘着テープ７とワーク２０の貼付部材２１の接触直前位置を算出して、粘着テープ送りローラ４の回転を開始する。また、粘着テープ送りローラ４に巻き取られた粘着テープ７の半径を計測センサ１６で計測し、その情報をコントローラ１７が受け取り、回転速度を算出し、速度制御する。
【００２２】
図３は、粘着テープ送りローラ４の巻き上げ開始タイミングの算出方法を説明する図で、図１の粘着テープ押付ローラ６とワーク２０の先端部との接触部を拡大して示している。貼付部材２１と被貼付部材２２の総厚みをｔ１とし、粘着テープ７の最下端と搬送ステージ２の距離をｔ２としている。確実に粘着テープ７が貼付部材２１の先端に接触するよう、ｔ２はｔ１より十分小さく設定されている。粘着テープ押付ローラ６の半径をｒ１、粘着テープ７の厚みをｒ２とする。また、先端検出センサ１５のビーム中心から、粘着テープ押付ローラ６の中心までの水平距離をＬ２とし、貼付部材２１と粘着テープ７とが接触する位置から粘着テープ押付ローラ６の中心までの水平距離をＬ１とする。先端検出センサ１５のワーク検知位置から、貼付部材２１が粘着テープ７に接触するまでの搬送距離Ｌは下記の式（１）（２）で求めることができる。
【００２３】
Ｌ＝Ｌ２−Ｌ１                                                    （１）
Ｌ１＝√［（ｒ１＋ｒ２）２−｛（ｒ１＋ｒ２）−（ｔ１−ｔ２）｝２］  （２）
【００２４】
粘着テープ送りローラ４の巻き上げ開始タイミングは、先端検出センサ１５によりワーク２０の先端を検出した後、搬送距離Ｌ未満となるタイミングに設定する。なお、Ｌは部材ばらつきを考慮し、巻き上げ開始タイミングは搬送速度と先端検出センサ１５のサンプリングタイムを考慮して決定する。
【００２５】
次に、貼付部材剥離機構１の剥離・巻き上げ動作について説明する。実施の形態１の動作を説明する前に、比較参考のために、先ず、背景技術の項で説明した特許文献２に類似の従来の貼付部材剥離機構の場合の動作を、図４により説明する。
図４（ａ）は側面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）の一点鎖線部の拡大詳細図である。本実施の形態と同等部分は同一符号を付している。図４に示すように、搬送ステージ２の搬送方向ｄに対して、粘着テープ押付ローラ６の回転方向は矢印のように順方向となっている。この場合の貼付部材先端めくり上げ動作では、貼付部材２１の曲がり量が粘着テープ押付ローラ６の曲率に依存するため、機構上、曲率を、本実施の形態１と同様の折り曲げ曲率と同等に大きくすることは不可能である。そのため、大きな剥離面積ｎを一気に剥離する動作となり、大きな剥離力ｅが必要とされるため、剥離動作が不安定となる。
【００２６】
また、貼付部材２１の加工方法によっては、図４（ｂ）に先端角ｒで示すように、貼付部材２１の先端角部が丸くなっているため、貼付部材２１と被貼付部材２２の界面先端から剥離力ｅを付与することが困難となり、粘着力に加えて、真空部ｖが生まれることによる真空吸着力も発生するため、強力な剥離力ｅが必要となり、剥離動作が不安定となる。
【００２７】
図５は、実施の形態１における貼付部材剥離機構１の剥離・巻き上げ動作を説明する説明図である。図５（ａ）〜（ｅ）に、剥離動作途中の被貼付部材２２と貼付部材２１の挙動を、時系列で示している。
また、図６は、剥離・巻き上げ動作を説明するフロー図である。以下、図５および図６により剥離・巻き上げ動作を説明する。
【００２８】
図５（ａ）は、貼付部材先端めくり上げ動作である。
先ず、搬送ステージ２にワーク２０を吸着等で固定（図６のステップ１、以下、Ｓ１のように略す）し、搬送方向ｄへ搬送する。
次に、光電センサ等からなる先端検出センサ１５によりワーク２０の先端位置を検出し、粘着テープ７と貼付部材２１が接触する位置を算出する（Ｓ２）。
次に、接触する直前で粘着テープ７をワーク２０の搬送に逆らう向きに送り始める（Ｓ３）。この動作により、粘着テープ７を無駄にすることがない。
【００２９】
更に搬送ステージ２を送り続けると、被貼付部材２２の上面よりも十分低い位置に粘着テープ７の最下点が位置しているので、貼付部材２１の先端が粘着テープ７の端面に必ず接触して剥離が開始される（Ｓ４）。この時はすでに粘着テープ７は送り始めているため、貼付部材２１に対して粘着テープ７が接触した瞬間から、連続的に剥離力ｅを与えることができ、安定して貼付部材２１をめくり上げることができる。
【００３０】
ワーク２０を搬送するに従って、粘着テープ押付ローラ６を貼付部材２１に押付けている押付バネ１１が収縮し、ワーク２０が粘着テープ押付ローラ６を押しのけるように搬送され、粘着テープ押付ローラ６は、逃げ方向ｃ１に上昇する。この時、押付バネ１１のバネ力により粘着テープ７は貼付部材２１に絶えず押付けられている。なお、剥離力を向上させる方法としては、（１）押付バネ１１の交換や押付バネ１１のバネ力の調整により粘着テープ押付ローラ６の押付圧を上げる、（２）粘着テープ７の送り速度を上げる、（３）粘着テープ７の粘着力を上げる等の方法がある。コストアップになる可能性が低い（１）から（３）の順で、剥離力ｅを調整し、安定条件を設定すればよい。
【００３１】
このように、本実施の形態では、貼付部材めくり上げ動作時に、貼付部材２１を折り曲げる方向に力が働くため、一度に剥離する剥離面積が小さく、必要となる剥離力ｅが小さくなるため、めくり上げ動作が安定する。
また、本実施の形態の貼付部材先端めくり上げ動作では、剥離力ｅを小さな剥離面積に集中させ、かつ、貼付部材の加工後の形状によらず貼付部材２１と被貼付部材２２の界面先端から確実に剥離力ｅを付与することができるため、剥離動作が安定し、この点で図４のような方法より優れている。
【００３２】
次に、図５（ｂ）は、貼付部材２１の剥離きっかけｍの作成動作を示す側面図である。粘着テープ７を送りながら、粘着テープ７の最下点と被貼付部材２２の先端がほぼ一致するところまで搬送ステージ２を送る（Ｓ５）。これにより、剥離きっかけｍを作成することができる。なお、剥離きっかけとは、被貼付部材２２から剥離された状態の貼付部材２１の先端部をいう。
【００３３】
このとき、貼付部材２１が折れ曲がるよう、貼付部材２１の硬度、厚みに応じて、粘着テープ押付ローラ６の押付圧を押付バネ１１の選定や押付バネ１１の圧縮量調整機構（図示せず）等で設定する。貼付部材２１の剥離きっかけｍの作成動作中は、粘着テープ７は送られており、粘着テープ７最下点と被貼付部材２２の先端がほぼ一致するところで、粘着テープ７の送り動作を停止する（Ｓ６）。これにより、仮に粘着テープ７と被貼付部材２２が接触したとしても、剥離動作への影響を少なくすることができる。
【００３４】
図５（ｃ）は、被貼付部材保護動作を示す側面図である。粘着テープ押付ローラ６を回転させず粘着テープ７の送り動作を停止した状態で、搬送ステージ２を、貼付部材２１が粘着テープ７の最下点と被貼付部材２２の間に完全に入り込むまで送る（Ｓ７）。この動作により、粘着テープ７の折れ曲がり部が粘着テープ押付ローラ６の最下端部を通過して更に右に位置するので、これ以降、粘着テープ７と被貼付部材２２が接触することがないため、剥離動作を阻害せず、かつ、被貼付部材２２を汚染することはない。折れ曲がった剥離きっかけｍが粘着テープ７の最下点付近に入り込むことによって、粘着テープ７と被貼付部材２２が接触することがなく、剥離動作を阻害することはない。
このときの搬送距離については、貼付部材２１の硬度や厚み、粘着テープ押付圧等の条件により変化するため、現物にて条件出しを行う。
【００３５】
図５（ｄ）は、貼付部材剥離・巻き上げ開始動作を示す側面図である。粘着テープ押付ローラ６を再び回転させて、粘着テープ７の送り動作を再開する（Ｓ８）。
図５（ｅ）は、貼付部材剥離・巻き上げ動作を示す側面図である。搬送ステージ２の搬送速度と粘着テープ７の送り速度が等しくなるよう、粘着テープ送りローラ４の速度を制御しながら、剥離動作を進行する。これにより貼付部材２１が被貼付部材２２から剥離されて、粘着テープ７とともに粘着テープ送りローラ４に巻き取られる。粘着テープ送りローラ４の速度については、計測センサ１６で巻き取った粘着テープ７の半径を計測し、粘着テープ送りローラ４を制御するコントローラ１７に半径情報を入力し、回転速度を算出する。全剥離が終了すれば、巻き上げ、搬送、粘着テープ７の送り動作を停止する（Ｓ９）。粘着テープ７を粘着テープ送りローラ４に巻き取ることで、別に粘着テープ７の巻き取り機構を必要とせず、剥離機構が簡素化できる。
【００３６】
図７は、貼付部材巻き上げ動作において、比較のために、粘着テープ送りを停止させた場合の説明図であり、図７（ａ）は側面図、図７（ｂ）は上面図である。先の図５（ｄ）の段階で粘着テープ７の送りを停止した状態でも搬送ステージ２を搬送方向ｄに搬送すれば剥離動作は可能であるが、その場合には次のような不具合が生じる。
貼付部材２１と被貼付部材２２は、搬送ステージ２に上面図のように設置される。そのため、剥離初期の剥離面積ｎ１よりも、剥離中期の剥離面積ｎ２のほうが大きくなり、剥離中期においてより大きな剥離力が求められる。粘着テープ７の送りを停止したままの場合、粘着テープ７と貼付部材２１の裏面の粘着固定面積ｐが変わらず、剥離面積のみが大きくなるため、より大きな剥離力が求められる剥離中期の貼付部材剥離・巻き上げ動作の際に、粘着テープ７と貼付部材２１裏面の粘着固定が解け、剥離動作に失敗する可能性があり、結果として剥離動作が不安定となる。
【００３７】
これに対し、本実施の形態の貼付部材剥離・巻き上げ動作においては、先に図５（ｄ）（ｅ）に示したように、剥離動作が進むに従って、粘着テープ７と貼付部材裏面の粘着固定面積ｐが増大していき、粘着固定力が増大するため、剥離動作全期に渡って剥離動作が安定し、優れていると考えられる。
この動作を更に確実にするために、搬送ステージ２の搬送速度と粘着テープ７の送り速度が等しくなるよう、粘着テープ送りローラ４の速度を制御している。こうすることで、貼付部材２１の先端めくり上げ動作から剥離完了まで、一度も粘着テープ７と貼付部材２１が離れることがないため、安定的に巻取り動作を行うことができる。
【００３８】
以上のように、実施の形態１の貼付部材剥離機構によれば、貼付部材を被貼付部材から剥離する貼付部材剥離機構であって、被貼付部材を固定して搬送する搬送ステージと、貼付部材を接着させる粘着テープと、粘着テープを搬送ステージの搬送方向とは逆方向へ送る粘着テープ送りローラと、粘着テープを貼付部材へ押付ける粘着テープ押付ローラと、粘着テープ押付ローラを搬送ステージと接触しない位置に位置決めし、かつ貼付部材に対して押付力を与える位置決め押付手段と、を備えたので、貼付部材に対し連続的に剥離力を発生することができるため、安定して剥離することができる。また、被貼付部材を損傷する懸念が小さい剥離動作を得ることができる。
【００３９】
また、位置決め押付手段は、粘着テープ押付ローラを被貼付部材側へ押付ける押付バネと、粘着テープ押付ローラの位置調整が可能な調整ねじとを備えているので、精密な位置決めを必要とせずに、貼付部材および被貼付部材の厚みの違いやばらつきに柔軟に対応できる。そのため、粘着テープと貼付部材の安定した接触動作、および、貼付部材の剥離動作が可能となる。
【００４０】
また、実施の形態１の貼付部材剥離方法によれば、貼付部材を被貼付部材から剥離する貼付部材剥離方法であって、被貼付部材を搬送ステージに固定して搬送し、粘着テープを粘着テープ送りローラにより搬送ステージの搬送方向とは逆方向へ送り、粘着テープの送り経路の途中に設けた粘着テープ押付ローラにより、被貼付部材の先端が粘着テープ押付ローラの下部近傍に搬送されて来た時点から粘着テープを貼付部材に押付け、粘着テープに貼付部材を接着させて剥離し、粘着テープ送りローラに巻き取るので、貼付部材の先端に対して、連続的に剥離力を与えることができるため、安定的に剥離きっかけを作成でき、かつ、貼付部材を損傷する懸念が小さい。
【００４１】
また、搬送ステージで搬送される被貼付部材の搬送方向の先端を先端検出センサで検出し、先端の貼付部材が粘着テープに接触する直前で、粘着テープの送りを開始するので、連続的な剥離力を阻害することなく、剥離力に寄与しない粘着面をほぼなくすことができるため、粘着テープの無駄がなくなる。
【００４２】
また、被貼付部材の先端が粘着テープ押付ローラの最下端近傍に来て粘着テープに接触した時点で一旦粘着テープの送りを停止し、粘着テープと被貼付部材の間に貼付部材が完全に入り込むまで被貼付部材を搬送方向に搬送した後、粘着テープの送りを再開するので、粘着テープが被貼付部材に対し剥離動作を阻害するほど接触することがなく、剥離きっかけを確実に作成でき、また、被貼付部材の汚染を防ぐことができる。
【００４３】
また、粘着テープ送りローラによる粘着テープ送り速度は、搬送速度と同じに設定するので、剥離工程全体に渡って剥離・巻き上げ動作が安定する。
【００４４】
更に、粘着テープ送りローラに巻き取られた粘着テープの半径を計測センサで計測し、計測した計測値をもとに粘着テープの送り速度を算出して、搬送ステージの搬送速度に合わせるように制御するので、速度制御が容易にでき、剥離工程全体に渡って剥離・巻き上げ動作が安定する。
【００４５】
なお、本願発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変更、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１  貼付部材剥離機構、２  搬送ステージ、２ａ  透過部、３  粘着テープ制御機構、４  粘着テープ送りローラ、５  粘着テープロール、６  粘着テープ押付ローラ、７  粘着テープ、８  粘着テープ送りローラ軸、９  粘着テープ押付ローラ軸、１０  粘着テープロール軸、１１  押付バネ、１２  位置調整ネジ、１３  ブロック、１４  位置決め押付手段、１５  先端検出センサ、１６  計測センサ、１７  コントローラ、２０  ワーク、２１  貼付部材、２２  被貼付部材、
ａ  巻き上げ方向、ｃ  押付方向、ｃ１  逃げ方向、ｄ  搬送方向、ｅ  剥離力、ｋ  押付ローラ基準面、ｍ  剥離きっかけ、ｎ，ｎ１，ｎ２  剥離面積、ｐ  粘着固定面積、
ｒ  先端角、ｖ  真空部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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