(57)【要約】【課題】画素信号をＡＤ変換する際のカップリングの影響を低減することが可能な撮像素子、撮像装置、及び撮像素子の制御方法を提供する。【解決手段】本発明の一観点によれば、画素信号を出力する画素が行列状に配置された画素アレイと、互いに異なる第１の参照信号及び第２の参照信号を少なくとも含む複数の参照信号を生成する複数の参照信号生成回路と、画素信号と参照信号とを列ごとに比較する比較器であって、第１の参照信号を入力する第１の比較器と、第２の参照信号を入力する第２の比較器と、を備え、第１の参照信号と第２の参照信号の少なくとも一方を、行間又はフレーム間で変化させることを特徴とする撮像素子が提供される。【選択図】図７
2018170703.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素信号を出力する画素が行列状に配置された画素アレイと、
互いに異なる第１の参照信号及び第２の参照信号を少なくとも含む複数の参照信号を生成する複数の参照信号生成回路と、
前記画素信号と前記参照信号とを列ごとに比較する比較器であって、前記第１の参照信号を入力する第１の比較器と、前記第２の参照信号を入力する第２の比較器と、
を備え、
前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方を、行間又はフレーム間で変化させる
ことを特徴とする撮像素子。
【請求項２】
前記第１の参照信号と前記第２の参照信号は、互いに出力開始タイミングが異なる
ことを特徴とする請求項１に記載の撮像素子。
【請求項３】
前記第１の参照信号と前記第２の参照信号は、互いに基準レベルが異なる
ことを特徴とする請求項１に記載の撮像素子。
【請求項４】
前記第１の参照信号と前記第２の参照信号はランプ信号であって、互いに時間変化の傾きが異なる
ことを特徴とする請求項１に記載の撮像素子。
【請求項５】
前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方を、行間及びフレーム間の両方で変化させる
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の撮像素子。
【請求項６】
前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方を、行間又はフレーム間でランダムに変化させる
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の撮像素子。
【請求項７】
前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方を、前後の行間又は前後のフレーム間で変化させる
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の撮像素子。
【請求項８】
複数の前記参照信号の列方向のオフセットのパターンを、行間又はフレーム間で変化させる
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の撮像素子。
【請求項９】
前記パターンにおける前記参照信号のオフセットの順を、前後の行間又は前後のフレーム間で逆にする
ことを特徴とする請求項８に記載の撮像素子。
【請求項１０】
前記パターンにおける複数の前記参照信号のうちの少なくとも半分の前記参照信号のオフセットを、前後の行間又は前後のフレーム間で、オフセットの最大変化量の半分以上変化させる
ことを特徴とする請求項８又は９に記載の撮像素子。
【請求項１１】
前記画素はカラーフィルタを有し、
前記カラーフィルタの分光透過率に応じて、前記参照信号のオフセットを決定する
ことを特徴とする請求項８から１０のいずれか１項に記載の撮像素子。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか１項に記載の撮像素子と、
光学像の明暗差を検出するＡＥセンサと、
を備え、前記ＡＥセンサにより検出した前記明暗差に応じて、前記第１の参照信号のオフセット及び前記第２の参照信号のオフセットを決定する
ことを特徴とする撮像装置。
【請求項１３】
前記ＡＥセンサにより検出した前記明暗差が所定の閾値以上である場合に、前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方を、行間又はフレーム間で変化させる
ことを特徴とする請求項１２に記載の撮像装置。
【請求項１４】
画素信号を出力する画素が行列状に配置された画素アレイと、
互いに異なる第１の参照信号及び第２の参照信号を少なくとも含む複数の参照信号を生成する複数の参照信号生成回路と、
前記画素信号と前記参照信号とを列ごとに比較する比較器であって、前記第１の参照信号を入力する第１の比較器と、前記第２の参照信号を入力する第２の比較器と、
を備えた撮像素子の制御方法であって、
前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方を、行間又はフレーム間で変化させるステップを有する
ことを特徴とする撮像素子の制御方法。
【請求項１５】
画素信号を出力する画素が行列状に配置された画素アレイと、
互いに異なる第１の参照信号及び第２の参照信号を少なくとも含む複数の参照信号を生成する複数の参照信号生成回路と、
前記画素信号と前記参照信号とを列ごとに比較する比較器であって、前記第１の参照信号を入力する第１の比較器と、前記第２の参照信号を入力する第２の比較器と、
を備えた撮像素子において、コンピュータを、
前記第１の参照信号と前記第２の参照信号の少なくとも一方を、行間又はフレーム間で変化させる手段
として機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項１６】
請求項１５に記載のプログラムを記録したコンピュータが読み取り可能な記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は撮像素子及び撮像装置において、画素信号を読み出す際のノイズ低減技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カメラ等の撮像装置において画素信号を読み出す際のＡＤ変換（Ａｎａｌｏｇ  ｔｏ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｃｏｎｖｅｒｔ）方式として、近年では、行列状に配置された画素の列ごとに並列にＡＤ変換を行う列並列型ＡＤ変換方式が主流である。例えば、スロープ型と呼ばれる列並列型のＡＤ変換方式では、画素から出力される画素信号を、スロープ形状の参照信号と比較する。そして、参照信号の出力開始から画素信号と参照信号の大小関係が反転するまでの時間をカウントすることで画素信号をＡＤ変換している。
【０００３】
しかし、通常の列並列型ＡＤ変換方式では、各列に同一の参照信号が供給されるため、光学像の明暗差が小さくて、画素から出力される画素信号のレベルが概ね等しい場合には、複数列の比較器が同じタイミングで反転してしまう。この結果、比較器の出力が反転する際の電源変動が大きくなって参照信号とカップリングし、横縞や縦縞、横スミアといったパターンノイズが画像に現れてしまう。このようなカップリングは、同時に反転する比較器の数が多くなるほど顕著となる。
【０００４】
そこで、例えば特許文献１では、隣接する列の比較器に入力する参照信号の出力開始タイミングを異ならせることで、隣接する列の比較器の出力が反転するタイミングをずらしてカップリングの影響を低減している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−１０４０２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、光学像の明暗差が小さい場合にはカップリングの影響が低減されるものの、光学像の明暗差が大きくなってくると、参照信号の出力開始タイミングをずらした効果が画素信号のレベル差によって相殺されてしまう。この結果、やはり、複数列の比較器が同じタイミングで反転し、パターンノイズが画像に現れてしまうという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一観点によれば、画素信号を出力する画素が行列状に配置された画素アレイと、互いに異なる第１の参照信号及び第２の参照信号を少なくとも含む複数の参照信号を生成する複数の参照信号生成回路と、画素信号と参照信号とを列ごとに比較する比較器であって、第１の参照信号を入力する第１の比較器と、第２の参照信号を入力する第２の比較器と、を備え、第１の参照信号と第２の参照信号の少なくとも一方を、行間又はフレーム間で変化させることを特徴とする撮像素子が提供される。
【０００８】
また、本発明の別観点によれば、請求項１から１１のいずれか１項に記載の撮像素子と、光学像の明暗差を検出するＡＥセンサと、を備え、ＡＥセンサにより検出した明暗差に応じて、第１の参照信号のオフセット及び第２の参照信号のオフセットを決定することを特徴とする撮像装置が提供される。
【０００９】
また、本発明の更に別観点によれば、画素信号を出力する画素が行列状に配置された画素アレイと、互いに異なる第１の参照信号及び第２の参照信号を少なくとも含む複数の参照信号を生成する複数の参照信号生成回路と、画素信号と参照信号とを列ごとに比較する比較器であって、第１の参照信号を入力する第１の比較器と、第２の参照信号を入力する第２の比較器と、を備えた撮像素子の制御方法であって、第１の参照信号と第２の参照信号の少なくとも一方を、行間又はフレーム間で変化させるステップを有することを特徴とする撮像素子の制御方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、画素信号をＡＤ変換する際のカップリングの影響を低減することが可能な撮像素子、撮像装置、及び撮像素子の制御方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態に係る撮像素子の構成を模式的に示すブロック図である。
【図２】第１実施形態に係る撮像素子の画素に含まれる画素単位の構成を模式的に示す等価回路図である。
【図３】第１実施形態に係る撮像素子における参照信号の列方向の第１のパターンを示すタイミングチャートである。
【図４】第１実施形態に係る撮像素子における参照信号の列方向の第２のパターンを示すタイミングチャートである。
【図５】第１実施形態に係る撮像素子における参照信号の列方向の第３のパターンを示すタイミングチャートである。
【図６】第１実施形態に係る撮像素子の制御方法を概念的に示す図である。
【図７】第１実施形態に係る撮像素子における参照信号のパターンを行方向に変化させる制御方法の例を示す図である。
【図８】第２実施形態に係る撮像素子における参照信号のパターンを行方向に変化させる制御方法の例を示す図である。
【図９】第３実施形態に係る撮像装置の構成を概略的に示すブロック図である。
【図１０】第３実施形態に係る撮像素子の制御方法を示すフローチャートである。
【図１１】第４実施形態に係る撮像素子における参照信号のパターンをフレーム間で変化させる制御方法の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、各図において同一、又は相当する機能を有するものは、同一符号を付し、その説明を省略又は簡潔にすることもある。
【００１３】
（第１実施形態）
第１実施形態に係る表示装置について、図１〜図７を用いて説明する。図１は、第１実施形態に係る撮像素子の構成を模式的に示すブロック図である。本実施形態の表示装置は、画素アレイ１００、垂直走査回路１０４、列回路１０６、参照信号生成回路１１０、タイミングジェネレータ１１７、水平走査回路１１８、及び信号処理回路１２０を備えて構成される。
【００１４】
画素アレイ１００は、行列状に配置された画素１０１を有している。図１には、第ｉ行及び第ｉ＋１行と、第ｊ列及び第ｊ＋１列の計４つの画素１０１を描いているが、実際の画素アレイ１００は、より多くの画素１０１を有している。ここで、画素１０１は、複数の画素単位２００（図２を参照）から構成されてもよい。例えば、ベイヤー配列等では、同一行の隣接する第ｊ列の画素１０１と第ｊ＋１列の画素１０１は、互いに異なる色（分光透過率）のカラーフィルタを有する複数の画素単位２００でそれぞれ構成されてもよい。画素単位２００の構成については、図２を用いて後述する。
【００１５】
垂直走査回路１０４は、画素アレイ１００の行毎に設けられた水平信号線１０３を行ごとに走査して画素１０１を制御する。この際、画素１０１の選択スイッチ２０６（図２を参照）は、垂直走査回路１０４により制御され、画素１０１を、列ごとに設けられた列回路１０６に、垂直信号線１０５を介して接続する。
【００１６】
タイミングジェネレータ１１７は、垂直走査回路１０４、列回路１０６、参照信号生成回路１１０、水平走査回路１１８を制御する。具体的には、タイミングジェネレータ１１７は、垂直走査回路１０４を制御して、画素１０１内のトランジスタ等を制御するための制御信号を出力させたり、参照信号生成回路１１０を制御して、参照信号Ｒ１、Ｒ２を出力させたりする。
【００１７】
参照信号生成回路１１０は、時間と共に信号レベルが単調変化する参照信号Ｒ１、Ｒ２を生成する。参照信号生成回路１１０としては、例えば、ＤＡＣ（Ｄｉｇｉｔａｌ  ｔｏ  Ａｎａｌｏｇ  Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）が用いられ得る。また、参照信号Ｒ１、Ｒ２としては、例えば、スロープ信号やランプ信号が用いられる。本実施形態の撮像素子は、図１に示すように、異なる参照信号Ｒ１、Ｒ２を生成する２種類の参照信号生成回路１１０を備えている。参照信号Ｒ１、Ｒ２は、出力開始タイミング、基準レベル、時間変化の傾き、或いはこれらの組み合わせが互いに異なる。
【００１８】
列回路１０６は、比較器１０７、カウンタ１０８、及びラッチ１０９を有している。第ｊ列の列回路１０６には、第ｊ列の垂直信号線１０５に出力された画素信号Ｓ１と、参照信号Ｒ１とが入力される。また、第ｊ＋１列の列回路１０６には、第ｊ＋１列の垂直信号線１０５に出力された画素信号Ｓ２と、参照信号Ｒ２とが入力される。他の列でも、参照信号Ｒ１、Ｒ２の同様のパターンが２列ごとに列回路１０６に入力される。
【００１９】
第ｊ列の比較器１０７は、第ｊ列の垂直信号線１０５に出力された画素信号Ｓ１と、参照信号生成回路１１０が出力した参照信号Ｒ１とを比較して、その比較結果を出力する。第ｊ列のカウンタ１０８は、参照信号生成回路１１０が参照信号Ｒ１を出力開始してから比較器１０７の出力が反転するまでの時間をクロック単位でカウントする。第ｊ列のラッチ１０９は、カウンタ１０８のカウント値をデジタル信号として保持する。第ｊ＋１列の列回路１０６についても、画素信号Ｓ１及び参照信号Ｒ１の代わりに画素信号Ｓ２及び参照信号Ｒ２が入力されることを除いて同様である。また、他の列でも、第ｊ列、第ｊ＋１列と同様の処理が２列ごとに繰り返して行われる。
【００２０】
このように、本実施形態では、参照信号Ｒ１、Ｒ２を列方向（水平方向）に異ならせて所定のパターンとなるようにしている。この参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向のパターンは、画素信号Ｓ１、Ｓ２をＡＤ変換する際に同じタイミングで反転する比較器１０７の数が少なくなるように決定される。例えば、図１では、少なくとも隣接する列間で参照信号Ｒ１、Ｒ２が異なるようにしている。これにより、同じタイミングで反転する比較器１０７の数が半減する。
【００２１】
水平走査回路１１８は、水平信号線１１９を介して列回路１０６を列方向に走査し、列回路１０６のラッチ１０９に保持されたデジタル信号を、信号処理回路１２０に順に出力する。出力されたデジタル信号は、信号処理回路１２０において所定の処理が施される。
【００２２】
図２は、第１実施形態に係る撮像素子の画素１０１に含まれる画素単位２００の構成を模式的に示す等価回路図である。画素単位２００は、光電変換部２０１、転送スイッチ２０２、フローティングディフュージョン領域２０３、リセットスイッチ２０４、画素アンプ２０５、選択スイッチ２０６を有している。
【００２３】
光電変換部２０１は、入射した光を光電変換するフォトダイオード等を含み、光電変換により生じた信号電荷を蓄積する。転送スイッチ２０２は、転送パルスＰＴＸにより制御され、光電変換部２０１に蓄積された信号電荷を、フローティングディフュージョン領域２０３へ転送する。リセットスイッチ２０４は、リセットパルスＰＲＥＳにより制御され、フローティングディフュージョン領域２０３に保持された信号電荷を排出する。画素アンプ２０５は、ＭＯＳトランジスタと定電流源からなるソースフォロア回路である。選択スイッチ２０６は、選択パルスＰＳＥＬにより制御され、画素アンプ２０５の出力を垂直信号線１０５を介して列回路１０６に出力する。ここで、転送パルスＰＴＸ、リセットパルスＰＲＥＳ、及び選択パルスＰＳＥＬは、図１に示した垂直走査回路１０４から出力される。
【００２４】
以上、図１及び図２を用いて説明したように、本実施形態の撮像素子では、参照信号Ｒ１、Ｒ２を列方向に異ならせている。これにより、同じタイミングで反転する比較器１０７の数が少なくなるので、カップリングの影響を低減することができる。しかし、前述のように、光学像の明暗差が小さい場合にはカップリングの影響が低減されるものの、光学像の明暗差が大きくなってくると、参照信号の出力開始タイミングをずらした効果が画素信号Ｓ１、Ｓ２のレベル差によって相殺されてしまう。
【００２５】
より具体的に説明すると、図１に示した第ｊ列の比較器１０７の出力は、参照信号Ｒ１と画素信号Ｓ１とが等しくなったときに反転する。また、第ｊ＋１列の比較器１０７の出力は、参照信号Ｒ２と画素信号Ｓ２とが等しくなったときに反転する。光学像の明暗差が小さいときは、画素信号Ｓ１のレベルと画素信号Ｓ２のレベルが概ね等しいので、参照信号Ｒ１と参照信号Ｒ２を異ならせることで、第ｊ列の比較器１０７と第ｊ＋１列の比較器１０７が反転するタイミングをずらすことができる。
【００２６】
しかし、光学像の明暗差が大きくなって、画素信号Ｓ１と画素信号Ｓ２のレベル差が、参照信号Ｒ１と参照信号Ｒ２のレベル差と同程度になると、参照信号Ｒ１と参照信号Ｒ２のレベル差が、画素信号Ｓ１と画素信号Ｓ２のレベル差によって相殺されてしまう。この結果、やはり、第ｊ列の比較器１０７と第ｊ＋１列の比較器１０７が、同じタイミングで反転してしまう。
【００２７】
そこで、本実施形態では、参照信号Ｒ１、Ｒ２を列方向に異ならせて所定のパターンとすると共に、この列方向のパターンを行方向（垂直方向）でも変化させる。これにより、参照信号の出力開始タイミングが行方向でも異なるため、例えば第ｉ行で、複数列の比較器１０７が同じタイミングで反転する場合であっても、第ｉ＋１行では、同じタイミングで反転する比較器１０７の数を低減できる。この結果、複数の行で同じようにカップリングが発生することを回避することができる。
【００２８】
図３〜図５は、参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向のパターンを行方向に変化させる際に、互いに組み合わせて用いられ得る参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向のパターンの例を示す図である。図３〜図５には、比較器１０７に入力される画素信号Ｓ１、Ｓ２と参照信号Ｒ１、Ｒ２、比較器１０７の出力、及びカウンタ１０８のカウンタ値が示されている。なお、図３〜図５ではＣＤＳ（ｃｏｒｒｅｌａｔｅｄ  ｄｏｕｂｌｅ  ｓａｍｐｌｉｎｇ）を行う際のタイミングチャートを示している。
【００２９】
図３は、第１実施形態に係る撮像素子における参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向の第１のパターンを示すタイミングチャートである。図３では、予めリセットパルスＰＲＥＳがＨｉとされて画素１０１が初期化されており、画素１０１に生じる信号電荷を蓄積可能な状態となっている。画素１０１に信号電荷が蓄積されている間、リセットパルスＰＲＥＳはＨｉ、転送パルスＰＴＸはＬｏとされる。
【００３０】
時刻ｔ３００までに、リセットパルスＰＲＥＳがＬｏとされて、画素１０１のリセットが解除される。また、第ｉ行の選択パルスＰＳＥＬがＨｉとされて、第ｉ行の画素１０１が垂直信号線１０５と接続される。この結果として、リセット解除後の第ｉ行第ｊ列の画素１０１のフローティングディフュージョン領域２０３に保持された信号電荷量に基づく画素信号Ｓ１（Ｎ変換）が、時刻ｔ３００において、第ｊ列の比較器１０７に入力されている。また、隣接する第ｊ＋１列でも同様に、リセット解除後の第ｉ行第ｊ＋１列の画素１０１のフローティングディフュージョン領域２０３に保持された信号電荷量に基づく画素信号Ｓ２（Ｎ変換）が、第ｊ＋１列の比較器１０７に入力されている。
【００３１】
時刻ｔ３０１において、第ｊ列の参照信号生成回路１１０は、時間と共に大きさが単調変化する参照信号Ｒ１の出力を開始する。同時に第ｊ列のカウンタ１０８がカウントを開始する。また、隣接する第ｊ＋１列でも同様に、時刻ｔ３０２において、第ｊ＋１列の参照信号生成回路１１０が、参照信号Ｒ２の出力を開始すると同時に、第ｊ＋１列のカウンタ１０８がカウントを開始する。
【００３２】
時刻ｔ３０３において、画素信号Ｓ１と参照信号Ｒ１の大小関係が逆転し、第ｊ列の比較器１０７の出力が反転する。この結果、第ｊ列のカウンタ１０８のカウンタ値が第ｊ列のラッチ１０９に保持される。その後、時刻ｔ３０５において、参照信号Ｒ１が所定の最大値（又は最小値）に達すると、第ｊ列のラッチ１０９に保持されたデジタル値が、水平走査回路１１８の制御により出力される。また、隣接する第ｊ＋１列でも同様に、時刻ｔ３０４において、画素信号Ｓ２と参照信号Ｒ２の大小関係が逆転し、第ｊ＋１列のカウンタ１０８のカウンタ値が第ｊ＋１列のラッチ１０９に保持される。その後、時刻ｔ３０６において、参照信号Ｒ２が所定の最大値（又は最小値）に達すると、第ｊ＋１列のラッチ１０９に保持されたデジタル値が、水平走査回路１１８の制御により出力される。このようにして、画素１０１からの画素信号Ｓ１、Ｓ２（Ｎ変換）が読み出される。
【００３３】
時刻ｔ３０７において、比較器１０７がリセットされると共に、転送パルスＰＴＸがＨｉとされて、画素１０１の光電変換部２０１からフローティングディフュージョン領域２０３へ信号電荷が転送される。この結果として、第ｉ行第ｊ列の画素１０１のフローティングディフュージョン領域２０３に転送された信号電荷量に基づく画素信号Ｓ１（Ｓ変換）が、第ｊ列の比較器１０７に入力される。また、隣接する第ｊ＋１列でも同様に、第ｉ行第ｊ＋１列の画素１０１のフローティングディフュージョン領域２０３に転送された信号電荷量に基づく画素信号Ｓ２（Ｓ変換）が、第ｊ＋１列の比較器１０７に入力される。
【００３４】
時刻ｔ３０８において、第ｊ列の参照信号生成回路１１０は、時間と共に大きさが単調変化する参照信号Ｒ１の出力を開始する。同時に第ｊ列のカウンタ１０８がカウントを開始する。また、隣接する第ｊ＋１列でも同様に、時刻ｔ３０９において、第ｊ＋１列の参照信号生成回路１１０が、参照信号Ｒ２の出力を開始すると同時に、第ｊ＋１列のカウンタ１０８がカウントを開始する。
【００３５】
時刻ｔ３１０において、画素信号Ｓ１と参照信号Ｒ１の大小関係が逆転し、第ｊ列の比較器１０７の出力が反転する。この結果、第ｊ列のカウンタ１０８のカウンタ値が第ｊ列のラッチ１０９に保持される。その後、時刻ｔ３１２において、参照信号Ｒ１が所定の最大値（又は最小値）に達すると、第ｊ列のラッチ１０９に保持されたデジタル値が、水平走査回路１１８の制御により出力される。また、隣接する第ｊ＋１列でも同様に、時刻ｔ３１１において、画素信号Ｓ２と参照信号Ｒ２の大小関係が逆転し、第ｊ＋１列のカウンタ１０８のカウンタ値が第ｊ＋１列のラッチ１０９に保持される。その後、時刻ｔ３１３において、参照信号Ｒ２が所定の最大値（又は最小値）に達すると、第ｊ＋１列のラッチ１０９に保持されたデジタル値が、水平走査回路１１８の制御により出力される。このようにして、画素１０１からの画素信号Ｓ１、Ｓ２（Ｓ変換）が読み出される。
【００３６】
その後、信号処理回路１２０において、画素信号Ｓ１、Ｓ２（Ｓ変換）から画素信号Ｓ１、Ｓ２（Ｎ変換）を減算する等の所定の画像処理が施される。
【００３７】
ところで、図３では、第ｊ列の比較器１０７が反転した影響で、第ｊ＋１列の比較器１０７に入力される参照信号Ｒ２にカップリングが発生している。同様に、第ｊ＋１列の比較器１０７が反転した影響で、第ｊ列の比較器１０７に入力される参照信号Ｒ１にカップリングが発生している。この結果、時刻ｔ３０３（時刻ｔ３１０）及び時刻ｔ３０４（時刻ｔ３１１）において、参照信号Ｒ１、Ｒ２のレベルが変動している。
【００３８】
しかし、本実施形態では、参照信号Ｒ２の出力開始時刻ｔ３０２（時刻ｔ３０９）を、参照信号Ｒ１の出力開始時刻ｔ３０１（時刻ｔ３０８）に対して時間差ｔ３０２−ｔ３０１だけシフトさせている。また、時間差ｔ３０９−ｔ３０８を、同じ時間差ｔ３０２−ｔ３０１だけシフトさせている。これにより、図３に示すように、時刻ｔ３０３（時刻ｔ３１０）における電源変動が、時刻ｔ３０４（時刻ｔ３１１）における電源変動に重畳されることを回避できるため、カップリングの影響を低減することができる。
【００３９】
図３では、参照信号Ｒ１と参照信号Ｒ２とで出力開始タイミングを互いに異ならせたが、これに限定されない。例えば、参照信号Ｒ１、Ｒ２をランプ信号とし、ランプ波形の基準レベル、時間変化の傾き、或いはこれらの組み合わせを異ならせてもよい。ランプ波形の時間変化の傾きは、参照信号生成回路１１０のＤＡＣの定電流や抵抗の値を変えて調整することが可能である。この場合、ＤＡＣの出力のｂｉｔ精度（分解能）やＡＤ変換ゲインの差を後段の処理で補正することが望ましい。また、参照信号Ｒ１、Ｒ２の一方のランプ波形の時間変化の傾きを負とすることも可能である。
【００４０】
更に、本実施形態では、参照信号Ｒ１、Ｒ２を列方向に異ならせて所定のパターンとするだけでなく、この列方向のパターンを行方向（垂直方向）でも変化させる。以下、参照信号Ｒ１、Ｒ２のパターンを行方向に変化させるために、図３に示した第１のパターンと組み合わせて用いられ得る第２、第３のパターンについて説明する。
【００４１】
図４は、第１実施形態に係る撮像素子における参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向の第２のパターンを示すタイミングチャートである。図４に示す参照信号Ｒ１、Ｒ２の第２のパターンでは、参照信号Ｒ１の出力開始時刻ｔ４０１から参照信号Ｒ２の出力開始時刻ｔ４０２までの時間差ｔ４０２−ｔ４０１を、図３に示した時間差ｔ３０２−ｔ３０１より大きくしている。時間差ｔ４０９−ｔ４０８についても同様である。その他については、図３に示した参照信号Ｒ１、Ｒ２の第１のパターンと同じであるため説明は省略する。
【００４２】
図３に示した第１のパターンと図４に示す第２のパターンを組み合わせて、参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向のパターンを行方向に変化させる。例えば、第ｉ行では、図３に示した第１のパターンで参照信号Ｒ１、Ｒ２を列方向に変化させ、第ｉ＋１行では、図４に示す第２のパターンで参照信号Ｒ１、Ｒ２を列方向に変化させる。
【００４３】
このように、参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向のパターンを行方向に変化させることで、例えば第ｉ行で、複数列の比較器１０７が同じタイミングで反転する場合でも、第ｉ＋１行では、同じタイミングで反転する比較器１０７の数を低減できる。この結果、複数の行で同じようにカップリングが発生することを回避することができる。
【００４４】
このような参照信号Ｒ１、Ｒ２の第１のパターンと第２のパターンの組み合わせは、特にベイヤー配列のように、同一行の隣接する列間でカラーフィルタが異なる場合に有効である。例えば、第ｊ列の画素１０１には緑（Ｇ）のカラーフィルタが形成され、第ｊ＋１列の画素１０１には赤（Ｒ）のカラーフィルタが形成されているとする。この場合に白色光が入射すると、一般的には、第ｊ＋１列の画素１０１から出力される画素信号Ｓ２は、第ｊ列の画素１０１から出力される画素信号Ｓ１よりも小さくなる。図３、図４には、このような画素信号Ｓ２を破線で示している（なお、図３、図４では、画素信号Ｓ２の大きさが負で表されている）。
【００４５】
従って、画素１０１のカラーフィルタの分光透過率が列間で異なる場合には、カラーフィルタの分光透過率に応じて参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向のパターンを決定することで、複数の行で同じようにカップリングが発生することを回避することができる。
【００４６】
図５は、第１実施形態に係る撮像素子における参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向の第３のパターンを示すタイミングチャートである。図５に示す参照信号Ｒ１、Ｒ２の第３のパターンでは、参照信号Ｒ１、Ｒ２の出力開始時刻の順を、図３に示した参照信号Ｒ１、Ｒ２出力開始時刻の順と逆にしている。その他については、図３に示した参照信号Ｒ１、Ｒ２の第１のパターンと同じであるため説明は省略する。
【００４７】
図５に示す参照信号Ｒ１、Ｒ２のパターンも、図３及び図４に示した参照信号Ｒ１、Ｒ２のパターンと組み合わせて、参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向のパターンを行方向に変化させることが可能である。例えば、第ｉ行では、図３に示した第１のパターンで参照信号Ｒ１、Ｒ２を列方向に変化させ、第ｉ＋１行では、図５に示す第３のパターンで参照信号Ｒ１、Ｒ２を列方向に変化させる。これにより、前述の図３に示した第１のパターンと図４に示した第２のパターンとを組み合わせた場合と同様の効果を得ることができる。
【００４８】
図６は、第１実施形態に係る撮像素子の制御方法を概念的に示す図である。図６には、図１に示した画素アレイ１００を示している。図１で説明したように、画素アレイ１００には画素１０１が行列状に配置され、各画素が出力する画素信号は、水平走査回路１１８の走査によって、図６に示す行方向（垂直方向）に読み出される。
【００４９】
図６には、図３に示した第１のパターンを用いて第ｉ行を読み出し、図４に示した第２のパターンを用いて次の第ｉ＋１行を読み出す場合の例を示している。その他の行でも同様に、第１〜第２のパターンを交互に繰り返している。このように、参照信号Ｒ１、Ｒ２を列方向に異ならせて所定のパターンとすると共に、列方向のパターンを行方向にも変化させることで、光学像の明暗差に関わらず、複数の行で同じようにカップリングが発生することを回避することができる。
【００５０】
なお、図６では、図３に示した第１のパターンと図４に示した第２のパターンとを組み合わせたが、参照信号Ｒ１、Ｒ２の行方向のパターンは撮影条件に応じて最適なものを選択すればよい。例えば、前述のように、画素１０１のカラーフィルタの分光透過率に応じて参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向のパターンを決めてもよいし、後の第４実施形態で説明するように、光学像の明暗差に応じて参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向のパターンを決めてもよい。以下、参照信号Ｒ１、Ｒ２のパターンを行方向に変化させる制御方法の例をいくつか示す。
【００５１】
図７は、第１実施形態に係る撮像素子における参照信号Ｒ１、Ｒ２のパターンを行方向に変化させる制御方法Ｍ１〜Ｍ４の例を示す図である。なお、図７には、図３〜図５に示した参照信号Ｒ１、Ｒ２の第１〜第３のパターンを、それぞれパターンＰ１〜Ｐ３と表記している。
【００５２】
以下の説明では、参照信号Ｒ１、Ｒ２がランプ信号であって、参照信号Ｒ１、Ｒ２の出力開始時刻のオフセットを互いに異ならせることを想定する。しかし、本実施形態はこれに限定されず、例えば、参照信号Ｒ１、Ｒ２の出力開始時刻のオフセットの代わりに、参照信号Ｒ１、Ｒ２の基準レベル、又は時間変化の傾きのオフセットを互いに異ならせてもよい。図７に示すオフセットの単位は任意単位であって、例えば、参照信号Ｒ１、Ｒ２の出力開始時刻を異ならせる場合は秒等の単位であって、参照信号Ｒ１、Ｒ２の基準レベルを異ならせる場合は電圧等の単位である。図７では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットが離散的な４レベルの値をとることを想定するが、これに限定されず、例えば、参照信号Ｒ１、Ｒ２の出力開始時刻のオフセットが任意の実数値をとるとしてもよい。
【００５３】
制御方法Ｍ１は、図６に示した撮像素子の制御方法を模式的に表しており、図３のパターンＰ１と図４のパターンＰ２とを交互に繰り返している。具体的には、第ｉ行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ１＝（１、２）としている。次の第ｉ＋１行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ２＝（１、４）としている。また、その他の行でも同様に、パターンＰ１とパターンＰ２を交互に繰り返している。すなわち、制御方法Ｍ１では、前後の行間で参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットの一方を変化させて、参照信号Ｒ１、Ｒ２のパターンを行方向に変化させている。
【００５４】
次に、制御方法Ｍ２では、図３のパターンＰ１と図５のパターンＰ３とを交互に繰り返している。具体的には、第ｉ行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ１＝（１、２）としている。次の第ｉ＋１行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ３＝（２、１）としている。また、その他の行でも同様に、パターンＰ１とパターンＰ３を交互に繰り返している。すなわち、制御方法Ｍ２では、前後の行間で参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットの順を逆にして、参照信号Ｒ１、Ｒ２のパターンを行方向に変化させている。
【００５５】
次に、制御方法Ｍ３では、図１〜図３のパターンＰ１〜Ｐ３、及び不図示のパターンＰ４を４行ごとに繰り返している。具体的には、第ｉ行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ１＝（１、２）としている。次の第ｉ＋１行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ２＝（１、４）としている。次の第ｉ＋２行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ４＝（４、１）としている。次の第ｉ＋３行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ３＝（２、１）としている。また、その他の行でも同様に、パターンＰ１〜Ｐ４を４行ごとに繰り返している。すなわち、制御方法Ｍ３では、前後の行間で参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットの一方を変化させたり、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットの順を逆にしたりして、参照信号Ｒ１、Ｒ２のパターンを行方向に変化させている。
【００５６】
次に、制御方法Ｍ４では、図１〜図３のパターンＰ１〜Ｐ３、及び不図示のパターンＰ４〜Ｐ６を６行ごとに繰り返している。具体的には、第ｉ行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ１＝（１、２）としている。次の第ｉ＋１行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ４＝（４、１）としている。次の第ｉ＋２行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ２＝（１、４）としている。次の第ｉ＋３行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ３＝（２、１）としている。次の第ｉ＋４行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ５＝（１、３）としている。次の第ｉ＋５行では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、パターンＰ６＝（３、１）としている。また、その他の行でも同様に、パターンＰ１〜Ｐ６を６行ごとに繰り返している。すなわち、制御方法Ｍ４では、前後の行間で参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットの一方を変化させると共に、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットの順を逆にして、参照信号Ｒ１、Ｒ２のパターンを行方向に変化させている。
【００５７】
以上のように、本実施形態では、互いに異なる第１の参照信号（Ｒ１）及び第２の参照信号（Ｒ２）を少なくとも含む複数の参照信号を生成する複数の参照信号生成回路と、画素信号と参照信号とを列ごとに比較する比較器と、を備えている。そして、第１の参照信号（Ｒ１）と第２の参照信号（Ｒ２）の少なくとも一方を行間で変化させている。このような構成により、画素信号をＡＤ変換する際のカップリングの影響を低減することが可能な撮像素子、及びその制御方法が提供される。
【００５８】
なお、参照信号Ｒ１、Ｒ２のパターンを行方向に変化させる際の変化は、必ずしも周期的である必要はない。例えば、乱数等を用いてランダムに変化するようにしてもよい。また、参照信号Ｒ１、Ｒ２のパターンを行方向に変化させる際の変化は、必ずしも行単位である必要はなく、例えば、複数行単位で変化させてもよいし、後の第４実施形態で説明するようにフレーム間で変化させてもよい。また、参照信号Ｒ１、Ｒ２の列方向の同一のパターンを、所定の位相差でずらして行方向に変化させてもよい。
【００５９】
（第２実施形態）
第２実施形態に係る撮像素子及びその制御方法について、図８を用いて説明する。図８は、第２実施形態に係る撮像素子における参照信号Ｒ１、Ｒ２のパターンを行方向に変化させる制御方法Ｍ５〜Ｍ６の例を示す図である。本実施形態の撮像素子は、異なる参照信号Ｒ１〜Ｒ４を生成する４種類の参照信号生成回路１１０を備えている。その他の構成については第１実施形態と同じであるため説明は省略する。
【００６０】
制御方法Ｍ５では、パターンＰ７とパターンＰ８を行方向に交互に繰り返している。ここで、パターンＰ７、Ｐ８は、参照信号Ｒ１〜Ｒ４からなる図８に示す所定のパターンである。具体的には、第ｉ行では、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットを、パターンＰ７＝（１、２、３、４）としている。次の第ｉ＋１行では、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットを、パターンＰ８＝（４、３、２、１）としている。また、その他の行でも同様に、パターンＰ７とパターンＰ８を交互に繰り返している。すなわち、制御方法Ｍ５では、前後の行間で参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットの順を逆にして、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のパターンを行方向に変化させている。
【００６１】
次に、制御方法Ｍ６では、パターンＰ９〜Ｐ１４を６行ごとに繰り返している。ここで、パターンＰ９〜Ｐ１４は、参照信号Ｒ１〜Ｒ４からなる図８に示す所定のパターンである。具体的には、第ｉ行では、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットを、パターンＰ９＝（１、２、３、４）としている。次の第ｉ＋１行では、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットを、パターンＰ１０＝（３、４、１、２）としている。次の第ｉ＋２行では、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットを、パターンＰ１１＝（２、１、４、３）としている。次の第ｉ＋３行では、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットを、パターンＰ１２＝（４、３、２、１）としている。次の第ｉ＋４行では、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットを、パターンＰ１３＝（１、３、２、４）としている。次の第ｉ＋５行では、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットを、パターンＰ１４＝（４、２、３、１）としている。また、その他の行でも同様に、パターンＰ９〜Ｐ１４を６行ごとに繰り返している。すなわち、制御方法Ｍ６では、パターンＰ９〜Ｐ１４における参照信号Ｒ１〜Ｒ４のうちの少なくとも半分の参照信号のオフセットを、前後の行間で、オフセットの最大変化量（＝４）の半分以上変化させている。
【００６２】
以上のように、本実施形態では、互いに異なる参照信号Ｒ１〜Ｒ４を生成する複数の参照信号生成回路を備えている。そして、異なる複数の参照信号Ｒ１〜Ｒ４の列方向のオフセットのパターンを行間で変化させている。これにより、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットの列方向のパターンの周期がより長くなり、同じタイミングで反転する比較器の数が少なくなるため、カップリングの影響をより低減することができる。なお、図８では、異なる参照信号Ｒ１〜Ｒ４の種類を４種類としたが、これに限定されない。異なる参照信号の種類は２以上の自然数であればよい。
【００６３】
また、図８の制御方法Ｍ６のように、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のパターンを行方向に変化させる際の周期もより長くすることで、比較器１０７が同じタイミングで反転する行が少なくなり、カップリングの影響をより低減することができる。
【００６４】
（第３実施形態）
第３実施形態に係る撮像素子を備えた撮像装置及びその制御方法について、図９及び図１０を用いて説明する。図９は、第３実施形態に係る撮像装置１００９の構成を概略的に示すブロック図である。本実施形態の撮像装置１００９は、撮像素子１０００、撮影レンズ１００１、レンズ駆動回路１００２、全体制御・演算回路１００３、ＡＥセンサ１００４、メモリ１００５、記録回路１００６、操作回路１００７、及び表示回路１００８を備えて構成される。
【００６５】
撮影レンズ１００１は、被写体の光学像を撮像素子１０００に結像させる。レンズ駆動回路１００２は、フォーカス制御等のために撮影レンズ１００１を駆動する。撮像素子１０００は、図１に示した第１〜第２実施形態の撮像素子であって、光学像を撮像して出力する。メモリ１００５は、撮像素子１０００が出力した画像データ等を一時的に記憶する。記録回路１００６は、着脱可能な半導体メモリ等であって、画像データを記録する。操作回路１００７は、撮影者による操作を操作部材により受け付ける。表示回路１００８は、各種情報や撮影画像を表示する。全体制御・演算回路１００３は、各種演算処理を行うと共に撮像装置全体を制御する。
【００６６】
ＡＥセンサ１００４は、被写体の明暗や色を識別できる多分割センサであって、本実施形態では、ＡＥセンサ１００４を用いて光学像の明暗差を検出する。そして、検出した被写体の列方向の光学像の明暗差に応じて、参照信号のオフセットを決定する。この際、光学像の列方向の明暗差は、被写体の光学像の輝度の最大値と最小値の差として求めてもよいし、光学像の輝度の分散値として求めてもよい。
【００６７】
図１０は、第３実施形態に係る撮像素子の制御方法を示すフローチャートである。ステップＳ１０１において、ＡＥセンサ１００４は、被写体の光学像の明暗差を検出する。ステップＳ１０２において、検出した明暗差が所定の閾値以上である場合（Ｙｅｓ）は、ステップＳ１０３に進み、所定の閾値未満である場合（Ｎｏ）はステップＳ１０４に進む。
【００６８】
ステップＳ１０３において、全体制御・演算回路１００３は、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットを行方向に変化させることを決定する。そして、ステップＳ１０５において、被写体の明暗差に応じて、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットを行方向に変化させるための制御方法を決定する。そして、ステップＳ１０６に進む。一方、ステップＳ１０４においては、全体制御・演算回路１００３は、参照信号Ｒ１〜Ｒ４のオフセットを行方向に変化させないことを決定する。そして、ステップＳ１０６に進む。
【００６９】
ステップＳ１０６において、撮像素子１０００は、画素信号の読み出しを行う。ステップＳ１０７において、読み出した画素信号に対して所定の画像処理を実施し、得られた画像を表示回路１００８に表示、又は記録回路１００６に出力して撮影を終了する。
【００７０】
以上のように、本実施形態では、上述の撮像素子と、光学像の明暗差を検出するＡＥセンサとを備えている。そして、ＡＥセンサにより検出した明暗差に応じて、参照信号のオフセットを決定している。このような構成により、画素信号をＡＤ変換する際のカップリングの影響を低減することが可能な撮像素子、撮像装置、及び撮像素子の制御方法が提供される。
【００７１】
（第４実施形態）
第４実施形態に係る撮像素子及びその制御方法について図１１を用いて説明する。先の第１実施形態では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを行間で変化させた。これに対し、本実施形態では、参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットをフレーム間で変化させる。その他については概ね第１実施形態と同じであるため説明は省略する。
【００７２】
図１１は、第４実施形態に係る撮像素子における参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットをフレーム間で変化させる制御方法Ｍ７〜Ｍ１０の例を示す図である。図１１に示す制御方法Ｍ７〜Ｍ１０は、先の第１実施形態の図７に示した制御方法Ｍ１〜Ｍ４の参照信号Ｒ１、Ｒ２のオフセットを、行間ではなく、前後のフレーム間で変化させている。これに伴い、図１１には、図７に示した行番号ｉの代わりにフレーム番号ｋを表記している。
【００７３】
これにより、例えば、同一の被写体の光学像を重ね合わせる多重露出撮影やＨＤＲ（Ｈｉｇｈ  Ｄｙｎａｍｉｃ  Ｒａｎｇｅ）撮影において、カップリングによる影響の重畳を抑制することが可能となる。なお、同様に、先の第１実施形態の図８に示した３以上の参照信号生成回路１１０を備えた構成でも、参照信号のオフセットをフレーム間で変化させることは可能である。更に参照信号のオフセットを、行間及びフレーム間の両方で変化させてもよい。
【００７４】
以上のように、本実施形態では、互いに異なる第１の参照信号（Ｒ１）及び第２の参照信号（Ｒ２）を少なくとも含む複数の参照信号を生成する複数の参照信号生成回路と、画素信号と参照信号とを列ごとに比較する比較器と、を備えている。そして、第１の参照信号（Ｒ１）と第２の参照信号（Ｒ２）の少なくとも一方をフレーム間で変化させている。このような構成により、多重露出撮影やＨＤＲ撮影等において、カップリングによる影響の重畳を抑制することが可能となる。
【００７５】
（その他の実施形態）
本発明は、上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態に記載の撮像装置の構成は一例を示したものであり、本発明を適用可能な撮像装置はこのような構成に限定されるものではない。
【００７６】
本発明は、上述の実施形態の１以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける１つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、１以上の機能を実現する回路（例えば、ＡＳＩＣ）によっても実現可能である。
【００７７】
なお、上記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならない。すなわち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
【００７８】
例えば、参照信号Ｒ１、Ｒ２の出力開始時刻を遅らせることは、読み出し時間の増加や撮像素子の暗電流に対するマージンを圧迫しかねない。また、高ＩＳＯ感度ほど撮像素子のノイズが大きくなるため、比較器１０７におけるカップリングのノイズは相対的に目立たなくなる。従って、本発明は、低ＩＳＯ感度や多重露出撮影の場合に限定して実施するようにしてもよい。また、上述の各実施形態は、組み合わせて適用することも可能である。
【符号の説明】
【００７９】
１００      ：画素アレイ
１０１      ：画素
１０４      ：垂直走査回路
１０５      ：垂直信号線
１０６      ：列回路
１０７      ：比較器
１０８      ：カウンタ
１０９      ：ラッチ
１１０      ：参照信号生成回路
１１７      ：タイミングジェネレータ
１１８      ：水平走査回路
１１９      ：水平信号線
１２０      ：信号処理回路
１０００    ：撮像素子
１００１    ：撮影レンズ
１００４    ：ＡＥセンサ
【図１】
2018170703.tif 000003
【図２】
2018170703.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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