(57)【要約】【課題】製造コストの低廉化と振動の影響によるカメラの撮像ブレを小さくすることができる部品移載機構及びこれを備えた部品搭載装置を提供することを目的とする。【解決手段】ピックアップ位置Ｐ１と載置位置Ｐ２との間でノズル２６を移動させてピックアップ位置Ｐ１から載置位置Ｐ２に部品３を移載する部品移載機構１４において、水平方向に延びて設けられた駆動軸２２ａと、駆動軸２２ａに一端側が固定され、駆動軸２２ａの回転動作に伴って駆動軸２２ａを中心とする一定の揺動範囲内で揺動する揺動部材２３と、揺動部材２３の他端側に設けられてノズル２６を保持するノズル保持部２５と、揺動部材２３の揺動位置によらずノズル保持部２５の姿勢を維持する姿勢維持機構２４と、揺動部材２３の揺動範囲の端部においてノズル２６が鉛直方向に上下移動するようにノズル保持部２５を案内する案内部（下方案内部２７及び上方案内部２８）を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の位置と第２の位置との間でノズルを移動させて前記第１の位置から前記第２の位置に部品を移載する部品移載機構であって、
水平方向に延びて設けられた駆動軸と、
前記駆動軸に一端側が固定され、前記駆動軸の回動動作に伴って前記駆動軸を中心とする一定の揺動範囲内で揺動する揺動部材と、
前記揺動部材の他端側に設けられて前記ノズルを保持するノズル保持部と、
前記揺動部材の揺動位置によらず前記ノズル保持部の姿勢を維持する姿勢維持機構と、
前記揺動部材の前記揺動範囲の端部において前記ノズルが鉛直方向に上下移動するように前記ノズル保持部を案内する案内部とを備えたことを特徴とする部品移載機構。
【請求項２】
前記ノズル保持部はローラ部材を有し、前記案内部は、前記揺動範囲の端部において前記ノズルが鉛直方向に上下移動するように前記ローラ部材を案内する案内面を備えたことを特徴とする請求項１に記載の部品移載機構。
【請求項３】
前記ローラ部材は前記ノズル保持部に上下に２つ並んで配置されたことを特徴とする請求項２に記載の部品移載機構。
【請求項４】
基板を保持する基板保持部と、
請求項１〜３のいずれかに記載の部品移載機構と、
前記部品移載機構により前記第２の位置に移載された前記部品を前記基板保持部に保持された前記基板に搭載する搭載ヘッドとを備えたことを特徴とする部品搭載装置。
【請求項５】
前記第１の位置に位置した前記部品を上方から撮像するカメラを備え、前記カメラは、前記揺動部材の揺動に伴って移動する前記ノズルの円弧軌道の内部に配置されたことを特徴とする請求項４に記載の部品搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品を第１の位置から第２の位置に移載する部品移載機構及びこの部品移載機構を備えて基板に部品を搭載する部品搭載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板に部品を搭載する部品搭載装置として、半導体ウェハから切り出した部品（ダイ）を部品移載機構により吸着（ピックアップ）して中継ステージに移載した後、搭載ヘッドによって中継ステージから基板に部品を搭載する構成のものが知られている。この場合、部品移載機構は、第１の位置（ピックアップ位置）に位置させた部品をその上方に設けられたカメラによって認識した後、ノズルによって部品をピックアップし、ノズルを移動させて部品を第２の位置（中継ステージ）に移載する構成となる（例えば、下記の特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５３８５７９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の部品搭載装置では、ノズルを第１の位置と第２の位置との間で移動させるノズル移動機構は直交座標機構であったために上下左右の２軸の移動機構が必要であり、コストアップを招いていた。また、カメラは直交座標機構の可動範囲を避けて設置する必要があることから、カメラの設置位置は、半導体ウェハからかなり離れた高い位置にならざるを得なかった。このため、部品搭載装置に生じるとその振動の影響でカメラの撮像ブレが大きくなり、部品の良好な画像が得られない場合があるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、製造コストの低廉化と振動の影響によるカメラの撮像ブレを小さくすることができる部品移載機構及びこれを備えた部品搭載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の部品移載機構は、第１の位置と第２の位置との間でノズルを移動させて前記第１の位置から前記第２の位置に部品を移載する部品移載機構であって、水平方向に延びて設けられた駆動軸と、前記駆動軸に一端側が固定され、前記駆動軸の回動動作に伴って前記駆動軸を中心とする一定の揺動範囲内で揺動する揺動部材と、前記揺動部材の他端側に設けられて前記ノズルを保持するノズル保持部と、前記揺動部材の揺動位置によらず前記ノズル保持部の姿勢を維持する姿勢維持機構と、前記揺動部材の前記揺動範囲の端部において前記ノズルが鉛直方向に上下移動するように前記ノズル保持部を案内する案内部とを備えた。
【０００７】
本発明の部品搭載装置は、基板を保持する基板保持部と、本発明の部品移載機構と、前記部品移載機構により前記第２の位置に移載された前記部品を前記基板保持部に保持された前記基板に搭載する搭載ヘッドとを備えた。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、製造コストの低廉化と振動の影響によるカメラの撮像ブレを小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施の形態における部品搭載装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える部品移載機構の斜視図
【図３】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える部品移載機構の一部の分解斜視図
【図４】本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える部品移載機構の一部の分解斜視図
【図５】本発明の一実施の形態における部品移載機構の動作を説明する（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図６】本発明の一実施の形態における部品移載機構の動作を説明する（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図７】本発明の一実施の形態における部品移載機構の動作を説明する（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図８】本発明の一実施の形態における部品移載機構の動作を説明する（ａ）斜視図（ｂ）側面図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における部品移載機構が備えるノズル保持部が下方案内部によって案内される様子を示す部品移載機構の部分側面図
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態における部品移載機構が備えるノズル保持部が上方案内部によって案内される様子を示す部品移載機構の部分側面図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態における部品搭載装置１を示している。部品搭載装置１は、基板２に部品３を搭載する装置であり、部品供給部１１、中継ステージ１２、基板保持部１３、部品移載機構１４及び搭載ヘッド１５を備えている。本実施の形態では、作業者ＯＰから見た左右方向をＸ軸方向とする。また、作業者ＯＰから見た前後方向をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１１】
図１において、部品供給部１１は部品供給テーブル１１Ａ、テーブル移動機構１１Ｂ及び突上げピン１１Ｃを備えている。部品供給テーブル１１Ａは、半導体ウェハＷが切断されて形成された複数の部品（ダイ）３を保持している。テーブル移動機構１１Ｂは、部品供給テーブル１１Ａを移動させることで、部品供給テーブル１１Ａに保持された複数の部品３のうちの任意の部品３を、空間上に設定されたピックアップ位置Ｐ１（第１の位置）に位置させる。突上げピン１１Ｃは部品供給テーブル１１Ａの下方に設けられており、ピックアップ位置Ｐ１に位置した部品３を下方から突き上げる。
【００１２】
図１において、中継ステージ１２は部品供給部１１の上方に設けられており、図示しない中継ステージ移動機構によってＸＹ面内で移動される。中継ステージ移動機構は中継ステージ１２を移動させることで、中継ステージ１２上の任意の位置を、空間上に設定された載置位置Ｐ２（第２の位置）に位置させる。中継ステージ１２は部品供給部１１の上方に設けられていることから、載置位置Ｐ２はピックアップ位置Ｐ１よりも上方に位置している。
【００１３】
図１において、基板保持部１３は中継ステージ１２の左方に設けられている。基板保持部１３は基板２を水平姿勢に保持し、図示しない基板保持部移動機構によってＸＹ面内で移動される。基板保持部移動機構は基板保持部１３を移動させることで、基板保持部１３上の任意の位置を、空間上に設定された搭載位置Ｐ３に位置させる。
【００１４】
部品移載機構１４は、部品供給部１１の右方に設けられており、ピックアップ位置Ｐ１でピックアップした部品３を載置位置Ｐ２に移載する。部品移載機構１４の詳細な構成については後述する。
【００１５】
図１において、搭載ヘッド１５は中継ステージ１２の左方に位置しており、搭載ヘッド移動機構１５ＭによってＸ軸方向に移動される。搭載ヘッド１５は下方に延びた搭載ノズル１５Ｎを備えている。搭載ヘッド１５は搭載ノズル１５ＮをＺ軸方向に上下移動及びＺ軸回りに回転移動させることができる。搭載ノズル１５Ｎの下端は部品３の吸着口となっている。図示しない真空圧供給管路を通じて吸着口に真空圧が供給されると、吸着口に部品３を吸着力が発生する。
【００１６】
図１において、部品供給部１１の上方にはウェハカメラＣ１が設けられており、中継ステージ１２の上方には部品カメラＣ２が設けられている。基板保持部１３の上方には基板カメラＣ３が設けられている。ウェハカメラＣ１は撮像視野を下方に向けており、その光軸はピックアップ位置Ｐ１を通っている。部品カメラＣ２は撮像視野を下方に向けており、その光軸は載置位置Ｐ２を通っている。基板カメラＣ３は撮像視野を下方に向けており、その光軸は搭載位置Ｐ３を通っている。
【００１７】
次に、部品移載機構１４の構成を説明する。図２は部品移載機構１４を示している。部品移載機構１４は、基部２１、駆動モータ２２、揺動部材２３、姿勢維持機構２４、ノズル保持部２５、ノズル２６、下方案内部２７及び上方案内部２８を備えている。
【００１８】
図２において、基部２１は底面部２１ａ、右側面部２１ｂ、左側面部２１ｃ及び天面部２１ｄを備えている。駆動モータ２２は右側面部２１ｂに取り付けられている。駆動モータ２２の駆動軸２２ａは右側面部２１ｂを貫通して左方に延び、更に左側面部２１ｃを貫通して左方に延びている。
【００１９】
図２及び図３において、揺動部材２３は左側面部２１ｃの左方に設けられている。揺動部材２３の一端側には、左側面部２１ｃの左面側に突出した駆動モータ２２の駆動軸２２ａが固定されている。
【００２０】
図３において、姿勢維持機構２４は揺動部材２３の右面側に設けられており、固定プーリ３１、従動プーリ３２、テンションプーリ３３及びタイミングベルト３４を備えている。固定プーリ３１は歯付プーリであり、基部２１の左側面部２１ｃの左面に固定して設けられている。固定プーリ３１の中心部には軸貫通孔（図示せず）がＸ軸方向に延びて設けられており、この軸貫通孔には、左側面部２１ｃを貫通した駆動モータ２２の駆動軸２２ａが、右方から左方に貫通して延びている。
【００２１】
図３において、従動プーリ３２は固定プーリ３１と同径及び同歯数の歯付プーリであり、揺動部材２３の他端側に設けられている。従動プーリ３２にはＸ軸方向（左方）に延びた従動プーリ支持軸３２ａが取り付けられており、従動プーリ支持軸３２ａは揺動部材２３の他端側を右方から左方に貫通して延びている。従動プーリ支持軸３２ａは揺動部材２３の他端側において、揺動部材２３に対して相対回転自在に支承されている。
【００２２】
図３において、揺動部材の一端側と他端側との間にはＸ軸方向（右方）に延びたテンションプーリ支持軸２３ａが設けられている。テンションプーリ３３も歯付プーリであり、テンションプーリ支持軸２３ａに対して相対回転自在に取り付けられている。タイミングベルト３４は歯付ベルトであり、固定プーリ３１と従動プーリ３２に掛け渡されている。テンションプーリ３３はタイミングベルト３４に接触しており、タイミングベルト３４に適度なテンションを与えている。
【００２３】
駆動モータ２２により駆動軸２２ａをＸ軸回りに回動（一定の角度範囲内で順逆方向に回転動作）させると、揺動部材２３は駆動軸２２ａの回動動作に伴って、駆動軸２２ａの軸線回りに（すなわちＹＺ面内で）、駆動軸２２ａを中心とする一定の揺動範囲内で往復揺動する。このとき従動プーリ３２は、駆動軸２２ａを中心とした第１の円弧軌道ＳＲ１（図２）上を移動（駆動軸２２ａ回りに公転）する。
【００２４】
従動プーリ３２が第１の円弧軌道ＳＲ１上を移動すると、基部２１に固定された固定プーリ３１に対してタイミングベルト３４が相対移動し、従動プーリ３２を揺動部材２３に対して相対回転させる。ここで、固定プーリ３１と従動プーリ３２は同径及び同歯数に構成されているので、従動プーリ３２の揺動部材２３に対する相対回転角度は、基部２１に対する揺動部材２３の揺動角度と等しくなる。このため揺動部材２３が揺動しても、従動プーリ３２の姿勢（基部２１或いは固定プーリ３１に対する姿勢）は変わらない。従って、揺動部材２３が揺動した場合、従動プーリ支持軸３２ａもその姿勢（従動プーリ支持軸３２ａの軸線回りの回転姿勢）を変えることなく、第１の円弧軌道ＳＲ１上を移動（駆動軸２２ａ回りに公転）する。
【００２５】
図３及び図４において、ノズル保持部２５は、移動ベース４１、アームベース４２、アーム４３、戻しばね４４、ローラ部材支持部４５及び上下の２つのローラ部材４６を備えている。図４において、移動ベース４１はＹＺ面内に広がって延びた形状の垂直部４１ａと、垂直部４１ａの下端からＸＹ面内に広がって延びた形状の水平部４１ｂを有している。垂直部４１ａには、揺動部材２３の左方に突出して延びた従動プーリ支持軸３２ａの左端が固定されている。このため移動ベース４１は揺動部材２３の揺動位置によらず、一定の姿勢（水平姿勢）が維持される。
【００２６】
図４において、アームベース４２は、移動ベース４１の垂直部４１ａの左方に、垂直部４１ａと対向して設けられている。アームベース４２の右面にはスライダ４２ｓが設けられており、このスライダ４２ｓは移動ベース４１の垂直部４１ａの左面をＹ軸方向に延びて設けられたスライドガイド４１ｇと係合している。アームベース４２は、スライダ４２ｓをスライドガイド４１ｇに対してスライドさせることで、移動ベース４１に対して水平方向（Ｙ軸方向）に相対移動する。
【００２７】
図４において、移動ベース４１の垂直部４１ａの左面には、基部側突起４１Ｔが左方に突出して設けられており、アームベース４２の右面には、アームベース側突起４２Ｔが右方に突出して設けられている。引っ張りばねである戻しばね４４は、Ｙ軸方向の両端部が基部側突起４１Ｔとアームベース側突起４２Ｔに係止されており、垂直部４１ａとアームベース４２の間をＹ軸方向に延びている。
【００２８】
アームベース４２は、前方へ向けた押圧力を受けていない状態では、移動ベース４１に設けられたストッパ（図示せず）に前方から当接して移動ベース４１に対する所定の位置（以下、基準位置と称する）に位置している。アームベース４２に前方への押圧力が作用すると、アームベース４２は基準位置から前方へ移動し、戻しばね４２はＹ軸方向に引っ張られた状態となって、アームベース４２に基準位置へ戻る方向の力を与える。
【００２９】
アーム４３は、アームベース４２の後端から水平面内でクランク状（左方、次いで後方）に延びている。アーム４３の先端にはノズル２６が保持されている。ノズル２６の下端は部品３の吸着口となっている。図示しない真空圧供給管路を通じて吸着口に真空圧が供給されると、吸着口に部品３を吸着力が発生する。
【００３０】
前述のように、移動ベース４１は、姿勢維持機構２４によって、揺動部材２３の揺動位置によらず水平姿勢が維持されるため、移動ベース４１に連結されたアームベース４２及びアーム４３も水平姿勢が維持される。すなわち、本実施の形態では、姿勢維持機構２４によって、ノズル保持部２５の全体が、揺動部材２３の揺動位置によらず、ノズル保持部２５の姿勢を水平姿勢に維持されるようになっている。また、これにより、ノズル保持部２５に保持されたノズル２６も、揺動部材２３の揺動位置によらず、部品３の吸着口を下方に向けた鉛直姿勢が維持される。
【００３１】
揺動部材２３が駆動軸２２ａの軸線回りに回動すると、ノズル保持部２５は第２の円弧軌道ＳＲ２（図２）上を移動する。また、揺動部材２３が駆動軸２２ａの軸線回りに回動すると、ノズル２６は第３の円弧軌道ＳＲ３（図１及び図２）上を移動する。ここで、第２の円弧軌道ＳＲ２と第３の円弧軌道ＳＲ３は、ともに、第１の円弧軌道ＳＲ１をＹ軸方向に平行移動した位置関係にある。
【００３２】
図４において、ローラ部材支持部４５はアームベース４２から上方に延びて設けられている。アームベース４２の右面には右方に突出した上下の２つのローラ軸４５ａが設けられている。上下の２つのローラ部材４６はそれぞれローラ軸４５ａに取り付けられており、各ローラ部材４６はそのローラ部材４６が取り付けられたローラ軸４５ａの軸線回りに回転自在となっている。
【００３３】
図２において、下方案内部２７は、基部２１の左側面部２１ｃから左方に延びて設けられた下方案内部支持部材２１ｅに支持されている。下方案内部２７は、揺動部材２３の揺動範囲の下方端部の近傍に位置しており、前方に面して上下方向に鉛直に延びた下方案内面２７ｍ（図３）を有している。下方案内面２７ｍは、揺動部材２３の揺動範囲の下方端部において、ノズル２６が鉛直方向に上下移動するようにノズル保持部２５（詳細には上下の２つのローラ部材４６）を案内するカム面となっている。
【００３４】
図２において、上方案内部２８は、基部２１の天面部２１ｄから上左方に延びて設けられた上方案内部支持部材２１ｆに支持されている。上方案内部２８は、揺動部材２３の揺動範囲の上方端部の近傍に位置しており、前方に面して上下方向に鉛直に延びた上方案内面２８ｍ（図２）を有している。上方案内面２８ｍは、揺動部材２３の揺動範囲の上方端部において、ノズル２６が鉛直方向に上下移動するようにノズル保持部２５（詳細には上下の２つのローラ部材４６）を案内するカム面となっている。
【００３５】
ピックアップ位置Ｐ１（第１の位置）に位置した部品３を上方から撮像するカメラであるウェハカメラＣ１は、揺動部材２３の揺動に伴って移動するノズル２６の円弧軌道（第３の円弧軌道ＳＲ３）の内部に配置されている。具体的には、ピックアップ位置Ｐ１の高さと載置位置Ｐ２（第２の位置）の高さとの中間の高さにおいて、一定の揺動範囲内で揺動する揺動部材２３と干渉しない位置に設けられている。
【００３６】
ノズルの２６の下端（吸着口）は、揺動部材２３が揺動範囲の下方端部に位置した状態ではピックアップ位置Ｐ１に位置し、揺動部材２３が揺動範囲の上方端部に位置した状態では載置位置Ｐ２に位置するようになっている。部品移載機構１４は、ピックアップ位置Ｐ１に位置させたノズル２６を載置位置Ｐ２に移動させるときには、駆動モータ２２から駆動軸２２ａを駆動して、揺動部材２３を順方向に回転させる。ここで順方向とは、揺動部材２３を左方から見た場合に揺動部材２３を反時計回り方向に揺動させる方向をいう。
【００３７】
揺動部材２３を順方向に回転させると、揺動部材２３はその他端側（従動プーリ支持軸３２ａ側）を揺動範囲の下方端部から上昇させつつ前方へ移動させて水平姿勢になった後（図５（ａ），（ｂ）→図６（ａ），（ｂ））、他端側を上昇させつつ後方へ移動させて鉛直姿勢になる（図６（ａ），（ｂ）→図７（ａ），（ｂ））。そして、最後に他端側を下降させつつ後方へ移動させる（図７（ａ），（ｂ）→図８（ａ），（ｂ））。このように揺動部材２３を順方向に回転させると、ノズル２６は第３の円弧軌道ＳＲ３上を駆動軸２２ａと同じ順方向に移動する。
【００３８】
一方、部品移載機構１４は、載置位置Ｐ２に位置させたノズル２６をピックアップ位置Ｐ１に移動させるときには、駆動モータ２２から駆動軸２２ａを駆動して、揺動部材２３を逆方向に回転させる。ここで逆方向とは、揺動部材２３を左方から見た場合に揺動部材２３を時計回り方向に揺動させる方向をいう。
【００３９】
揺動部材２３を逆方向に回転させると、揺動部材２３はその他端側を上方端部から上昇させつつ前方へ移動させて鉛直姿勢になった後（図８（ａ），（ｂ）→図７（ａ），（ｂ））、他端側を下降させつつ前方へ移動させて水平姿勢になる（図７（ａ），（ｂ）→図６（ａ），（ｂ））。そして、最後に他端側を下降させつつ後方へ移動させる（図６（ａ），（ｂ）→図５（ａ），（ｂ））。このように揺動部材２３を逆方向に回転させると、ノズル２６は第３の円弧軌道ＳＲ３上を駆動軸２２ａと同じ逆方向に移動する。
【００４０】
揺動部材２３が逆方向に回転してノズル２６の下端が下降動作でピックアップ位置Ｐ１に位置するときには、上下の２つのローラ部材４６は下方案内面２７ｍに順次当接して鉛直下方に案内される。このときノズル保持部２５は水平姿勢を維持しつつ鉛直下方に移動するので、ノズル２６は鉛直下方に移動してピックアップ位置Ｐ１に到達し、部品供給テーブル１１Ａに保持された部品３に接触する（図９（ａ）→図９（ｂ）→図９（ｃ））。なお、上記のようにノズル２６が鉛直下方に移動する過程において、アームベース４２は移動ベース４１に対する基準位置から前方に移動し、戻しばね４４は引っ張られた状態となる。
【００４１】
これとは逆に、揺動部材２３が順方向に回転してノズル２６の下端が上昇動作でピックアップ位置Ｐ１から離間するときには、上下の２つのローラ部材４６は下方案内面２７ｍに当接した状態で上方に案内される。このときノズル保持部２５は水平姿勢を維持しつつ鉛直上方に移動するので、ノズル２６は鉛直上方に移動してピックアップ位置Ｐ１から部品３を引き上げる（図９（ｃ）→図９（ｂ）→図９（ａ））。なお、上記のようにノズル２６が鉛直上方に移動した後は、２つのローラ部材４６は下方案内面２７ｍから順次離間し、アームベース４２は戻しばね４４により基準位置に戻される。
【００４２】
また、揺動部材２３が順方向に回転してノズル２６の下端が下降動作で載置位置Ｐ２に位置するときには、上下の２つのローラ部材４６は上方案内面２８ｍに順次当接して鉛直下方に案内される。このときノズル保持部２５は水平姿勢を維持しつつ鉛直下方に移動するので、ノズル２６は鉛直下方に移動して部品３を中継ステージ１２に載置する（図１０（ａ）→図１０（ｂ）→図１０（ｃ））。なお、上記のようにノズル２６が鉛直下方に移動する過程において、アームベース４２は移動ベース４１に対する前述の基準位置から前方に移動し、戻しばね４４は引っ張られた状態となる。
【００４３】
これとは逆に、揺動部材２３が逆方向に回転してノズル２６の下端が上昇動作で載置位置Ｐ２から離間するときには、上下の２つのローラ部材４６は上方案内面２８ｍに当接した状態で上方に案内される。このときノズル保持部２５は水平姿勢を維持しつつ鉛直上方に移動するので、ノズル２６は鉛直上方に移動して載置位置Ｐ２に位置させた部品３から離間する（図１０（ｃ）→図１０（ｂ）→図１０（ａ））。なお、上記のようにノズル２６が鉛直上方に移動した後は、２つのローラ部材４６は上方案内面２８ｍから順次離間し、アームベース４２は戻しばね４４により基準位置に戻される。
【００４４】
上記のように、本実施の形態において、ノズル保持部２５はローラ部材４６を有しており、２つの案内部（下方案内部２７及び上方案内部２８）はそれぞれ、揺動部材２３の揺動範囲の端部においてノズル２６が鉛直方向に上下移動するようにノズル保持部２５を案内するものとなっている。本実施の形態では、ローラ部材４６は上下に２つ並んで配置されており、これら２つのローラ部材４６が案内面（下方案内面２７ｍ又は上方案内面２８ｍ）により同時に当接した状態で案内されるようになっているので、ノズル保持部２５を（従ってノズル２６を）安定した姿勢で案内面に沿った方向（ここでは鉛直方向）に移動させることができる。
【００４５】
上記構成の部品搭載装置１が、部品３を基板２に搭載するときには、先ず、テーブル移動機構１１Ｂから部品供給テーブル１１Ａを移動させて、これから基板２に搭載しようとする部品３をピックアップ位置Ｐ１に位置させる。部品３がピックアップ位置Ｐ１に位置したらウェハカメラＣ１によって部品３を撮像し、部品３の認識を行う。
【００４６】
部品搭載装置１は、ウェハカメラＣ１によって部品３の認識を行ったら部品移載機構１４はピックアップ位置Ｐ１から部品３をピックアップして載置位置Ｐ２に移載し、中継ステージ１２に部品３を載置する。部品搭載装置１は、中継ステージ１２に部品３を載置したら、部品カメラＣ２によって部品３を認識するとともに、基板カメラＣ３によって、搭載位置Ｐ３に位置した基板２上の領域（部品搭載対象領域）を認識する。
【００４７】
部品搭載装置１は、部品カメラＣ２によって部品３を認識するとともに、基板カメラＣ３によって、搭載位置Ｐ３に位置した基板２上の領域を認識したら、搭載ヘッド１５により中継ステージ１２上の部品３を吸着し、搭載ヘッド１５を基板２の上方に移動させて部品３を基板２上の部品搭載対象領域に搭載する。これにより基板２に部品３が搭載された部品実装基板が製造される。
【００４８】
以上説明したように、本実施の形態における部品移載機構１４（部品搭載装置１）では、水平方向に延びた駆動軸２２ａに一端側が固定された揺動部材２３の他端側にノズル保持部２５を介してノズル２６を保持し、姿勢維持機構２４によって揺動部材２３の揺動位置によらずノズル保持部２５の姿勢を維持する構成となっている。また、揺動部材２３の揺動範囲の端部において、ノズル２６が鉛直方向に上下移動するように、ノズル保持部２５を案内する案内部（下方案内部２７及び上方案内部２８）を備えた構成となっている。本実施の形態では、これらの構成をとることによって、ノズル２６を円弧軌道（第３の円弧軌道ＳＲ３）で移動させてピックアップ位置Ｐ１（第１の位置）と載置位置Ｐ２（第２の位置）との間で部品３を移載させることができ、次のような効果が得られる。
【００４９】
先ず、ノズル２６を移動させるための軸が駆動軸２２ａの回転（回動）の１軸のみとなるので、ノズル２６の移動のために２軸を必要とする直交座標機構の場合と比べて、製造コストの低廉化を図ることができる。次に、ピックアップ位置Ｐ１（第１の位置）に位置した部品３を上方から撮像するウェハカメラＣ１をノズル２６の円弧軌道（第３の円弧軌道ＳＲ３）の内部に配置できるので、ウェハカメラＣ１を半導体ウェハＷの上方の近接した位置に設置することができる。このため、振動の影響によるウェハカメラＣ１の撮像ブレを小さくすることができ、撮像精度の低下を防止して基板２への部品３の搭載精度を向上させることが可能となる。
【００５０】
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態において示した部品搭載装置１の構成は一例であり、基板２を保持する基板保持部１３、第１の位置と第２の位置との間でノズル２６を移動させて第１の位置から第２の位置に部品３を移載する部品移載機構１４、第１の位置に位置した部品３を上方から撮像するカメラ（ウェハカメラＣ１）及び部品移載機構１４により第２の位置に載置された部品３を基板保持部１３に保持された基板２に搭載する搭載ヘッド１５とを備えた構成であれば、他の構成を有していてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
製造コストの低廉化と振動の影響によるカメラの撮像ブレを小さくすることができる部品移載機構及びこれを備えた部品搭載装置を提供する。
【符号の説明】
【００５２】
１  部品搭載装置
２  基板
３  部品
１３  基板保持部
１４  部品移載機構
１５  搭載ヘッド
２２ａ  駆動軸
２３  揺動部材
２４  姿勢維持機構
２５  ノズル保持部
２６  ノズル
２７  下方案内部（案内部）
２７ｍ  下方案内面（案内面）
２８  上方案内部（案内部）
２８ｍ  上方案内面（案内面）
４６  ローラ部材
Ｃ１  ウェハカメラ（カメラ）
Ｐ１  ピックアップ位置（第１の位置）
Ｐ２  載置位置（第２の位置）
ＳＲ１  第１の円弧軌道
ＳＲ２  第２の円弧軌道
ＳＲ３  第３の円弧軌道（円弧軌道）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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