(57)【要約】【課題】研磨工具における研磨面のドレスにて無駄な除去をなくすことができるようにすること。【解決手段】研磨装置（１）は、板状ワーク（Ｗ）を研磨する研磨手段（４）における研磨工具（４０）の研磨面（４０１ａ）をドレスするドレス機構（６）と、研磨手段とドレス機構とを相対的に移動させる研磨送り手段（２）及びチャックテーブル送り手段（５６）とを備えている。ドレス機構は、研磨面に接触してドレスするドレス部（６０）と、研磨工具の研磨面にドレス部が当接してドレス送りする際に研磨面の表面粗さに応じて発生する弾性波を検出する弾性波検出センサ（８０）と、研磨送り手段及びチャックテーブル送り手段を制御する制御手段（８２）とを備えている。弾性波検出センサからの出力信号が制御手段の記憶部（８２１）に記憶された閾値に到達したら、研磨送り手段及びチャックテーブル送り手段の動作を停止しドレスを終了する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状ワークを研磨する研磨工具が回転可能に装着された研磨手段と、該研磨工具の研磨面をドレスするドレス機構と、該研磨手段を該チャックテーブルと該ドレス機構に対して離間及び接近する研磨送り方向に移動させる研磨送り手段と、該研磨手段と該ドレス機構を相対的に該研磨面に平行にドレス送りするドレス送り手段と、を備える研磨装置であって、
該ドレス機構は、該研磨面に接触してドレスするドレス部と、該ドレス部が配設されるベースと、該研磨工具の該研磨面にドレス部が当接してドレス送りする際に該研磨面の表面粗さに応じて発生する弾性波を検出する弾性波検出センサと、少なくとも該研磨送り手段及び該ドレス送り手段を制御する制御手段と、を備え、
該制御手段は、ドレスされるにつれて減少する研磨面の表面粗さに応じて変化する該弾性波検出センサの出力信号のドレスが完了した時の値を閾値として予め記憶する記憶部を備え、
該研磨工具の該研磨面に該ドレス部を接触させた状態で該研磨手段と該ドレス機構とを相対的に該ドレス送り手段によりドレス送りする動作と、該研磨手段と該ドレス機構とを接近する方向に該研磨送り手段により研磨送りする動作と、を交互に繰り返してドレスする際に、
該弾性波検出センサからの該出力信号が該記憶部に記憶された該閾値に到達したら、該ドレス送り手段及び該研磨送り手段の動作を停止しドレスを終了すること、を特徴とする研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨工具の研磨面をドレスする機構を有する研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
研磨パッドを用いてウエーハを研磨する研磨装置では、研磨パッドが回転するとともに、研磨パッドを備える研磨ユニットが研磨ユニット送り機構によってウエーハに向けて送られ、研磨パッドの研磨面をウエーハに接触させている。研磨中は、研磨パッドの研磨面をウエーハに押し付けるため、ウエーハが研磨されることにより生じる屑が研磨パッドの研磨面に付着し、研磨面が目詰まりを起こすことがある。そこで、研磨面の目詰まりを解消するために、研磨面にドレッサーを押し当てて研磨面をドレスすることにより、研磨加工能力を維持することが行われている。研磨面のドレスは、例えば、ウエーハを一枚研磨する毎に行なわれている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−０５５９７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のように研磨パッドの研磨面をドレスする際には、どの程度ドレスで除去すると、研磨面の平坦度（ＴＴＶ：Total  Thickness  Variation）が安定するかが分かりにくくなっている。現状では、ドレスでの除去量を作業者が経験的に決定しており、このため、研磨パッドを必要以上に無駄に除去する場合が多くなる。この結果、ドレスに要する工程が長時間化したり、研磨パッドの交換サイクルが短くなったりしてしまう、という問題がある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、研磨工具における研磨面のドレスにて無駄な除去をなくすことができる研磨装置を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様の研磨装置は、板状ワークを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された板状ワークを研磨する研磨工具が回転可能に装着された研磨手段と、研磨工具の研磨面をドレスするドレス機構と、研磨手段をチャックテーブルとドレス機構に対して離間及び接近する研磨送り方向に移動させる研磨送り手段と、研磨手段とドレス機構を相対的に研磨面に平行にドレス送りするドレス送り手段と、を備える研磨装置であって、ドレス機構は、研磨面に接触してドレスするドレス部と、ドレス部が配設されるベースと、研磨工具の研磨面にドレス部が当接してドレス送りする際に研磨面の表面粗さに応じて発生する弾性波を検出する弾性波検出センサと、少なくとも研磨送り手段及びドレス送り手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、ドレスされるにつれて減少する研磨面の表面粗さに応じて変化する弾性波検出センサの出力信号のドレスが完了した時の値を閾値として予め記憶する記憶部を備え、研磨工具の研磨面にドレス部を接触させた状態で研磨手段とドレス機構とを相対的にドレス送り手段によりドレス送りする動作と、研磨手段とドレス機構とを接近する方向に研磨送り手段により研磨送りする動作と、を交互に繰り返してドレスする際に、弾性波検出センサからの出力信号が記憶部に記憶された閾値に到達したら、ドレス送り手段及び研磨送り手段の動作を停止しドレスを終了すること、を特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、ドレス送りする際に発生する弾性波を検出し、検出した弾性波が閾値に到達したときにドレスを停止することで、研磨面の平坦度（ＴＴＶ）を安定させることができる。これにより、研磨工具の研磨面を無駄に除去させずにドレスを行うことができ、ドレス時間の短時間化を図ることができる上、研磨工具の交換サイクルを長くすることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ドレス時の弾性波を検出してドレスを終了するタイミングを変えることができるので、研磨工具における研磨面のドレスにて無駄な除去をなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態の研磨装置の一例を示す斜視図である。
【図２】本実施の形態の研磨工具の斜視図である。
【図３】本実施の形態のチャックテーブル機構、ドレス機構及び弾性波検出センサを示す斜視図である。
【図４】本実施の形態の支持機構、ドレス機構及び弾性波検出センサを示す斜視図である。
【図５】ドレスボードを研磨パッドの研磨面に接触させて研磨面のドレスを行う状態を示す側面図である。
【図６】弾性波検出センサの出力信号を出力電圧に変換した検出結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の研磨装置について説明する。図１は、本実施の形態の研磨装置の一例を示す斜視図である。なお、研磨装置は、本実施の形態の弾性波の検出によってドレスを制御する構造を備えた構成であればよく、図１に示す構成に限定されない。また、図１においては、説明の便宜上、一部の部材については省略して記載しているが、研磨装置が通常備える構成については備えているものとする。
【００１１】
図１に示す研磨装置１は、チャックテーブル５２に保持された板状ワークＷを、研磨工具４０を備える研磨手段４によって研磨する装置である。
【００１２】
研磨装置１のベース１０上には、チャックテーブル機構５が配設されている。チャックテーブル機構５は、実質上鉛直に延びる回転中心軸線を中心として回転自在に配設された円板形状のチャックテーブル５２と、その周囲のカバー５１とを含んでいる。
【００１３】
チャックテーブル５２は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなり板状ワークＷを吸着する吸着部５２０と、吸着部５２０を支持する枠体５２１とを備える。吸着部５２０は図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部５２０の露出面である保持面５２０ａに伝達されることで、チャックテーブル５２０は、保持面５２０ａ上で板状ワークＷを吸引保持する。また、チャックテーブル５２は、カバー５１によって周囲から囲まれ、図示しない回転手段により回転可能に支持されている。
【００１４】
ベース１０上の側方（−Ｘ方向側）にはコラム１１が立設されており、コラム１１の前面には、研磨手段４をチャックテーブル５２に対して接近及び離反する方向に移動させる研磨送り手段２が配設されている。研磨送り手段２は、鉛直方向（Ｚ軸方向）の軸心を有するボールネジ２０と、ボールネジ２０と平行に配設された一対のガイドレール２１と、ボールネジ２０の上端に連結しボールネジ２０を回動させるモータ２２と、内部のナットがボールネジ２０に螺合し側部がガイドレールに摺接する昇降板２３と、昇降板２３に連結され研磨手段４を保持するホルダ２４とから構成され、モータ２２がボールネジ２０を回動させると、これに伴い昇降板２３がガイドレール２１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、ホルダ２４に保持された研磨手段４がＺ軸方向に研磨送りされる。モータ２２の制御は制御部８２によって行われる。制御部８２の構成については後述する。
【００１５】
研磨手段４は、マウント４１を有するスピンドル４２と、マウント４１に装着されチャックテーブル５２に保持される板状ワークＷを研磨する研磨工具４０と、スピンドル４２に装着される研磨工具４０と、スピンドル４２を回転させることにより研磨工具４０を回転させる回転手段４３とを備えている。
【００１６】
図２は、本実施の形態の研磨工具の斜視図である。図２に示すように、研磨工具４０は、円板形状の支持部材４００と円環となる板状の研磨パッド４０１とから構成されている。研磨パッド４０１の下面が研磨面４０１ａとなっている。支持部材４００の下面は円形支持面を構成しており、研磨パッド４０１は、例えばエポキシ樹脂系接着剤からなる接着剤によって支持部材４００の円形支持面に接合されている。研磨パッド４０１は、図示の実施形態においてはフエルトに砥粒を分散させ適宜のボンド剤で固定したフエルト砥石が用いられている。
【００１７】
図３は、本実施の形態のチャックテーブル機構、ドレス機構及び弾性波検出センサを示す斜視図である。図３に示すように、チャックテーブル機構５は、チャックテーブル５２をＹ軸方向に移動させるチャックテーブル送り手段５６を備えている。チャックテーブル送り手段５６は、Ｙ軸方向に延在するボールネジ５６１と、ボールネジ５６１の一端に連結されボールネジ５６１を正逆両方向に回転させるモータ５６２と、ボールネジ５６１の他端においてボールネジ５６１を回転可能に支持する軸受部５６３と、ボールネジ５６１と平行に配設された一対のガイドレール５６４と、内部のナット５３１がボールネジ５６１に螺合するとともに底部がガイドレール５６４に摺接する移動基台５３とから構成されており、モータ５６２がボールネジ５６１を正転駆動すると移動基台５３が＋Ｙ方向に移動し、モータ５６２がボールネジ５６１を逆転駆動すると移動基台５３が−Ｙ方向に移動する。移動基台５３がＹ軸方向に移動することにより、チャックテーブル５２が、チャックテーブル５２に対する板状ワークの着脱が行われる領域である図１に示す着脱域１００と、研磨工具４０による研磨が行われる領域である研磨域１０１との間を移動可能となっている。また、ガイドレール５６４と平行にリニアスケール５７１が配設されるとともに、移動基台５３にはリニアスケール５７１を読み取る読み取りヘッド５７２を備えており、読み取りヘッド５７２は、移動基台５３のＹ軸方向の位置情報を制御部８２（図１参照）に通知する。
【００１８】
移動基台５３には、図示しない回転軸を介してチャックテーブル５２に連結されたモータ５４が配設されており、モータ５４がチャックテーブル５２を所望の回転速度で回転させる。
【００１９】
図１に示すように、カバー５１の上面には、研磨工具４０の研磨面４０１ａをドレスするドレス機構６が配設されている。ドレス機構６は、図４に示すように、研磨面４０１ａ（図４では不図示）に接触してドレスを行うドレス部６０と、ドレス６０が配設されるベース６１と、ベース６１を昇降可能に支持する支持機構７とを備えている。ドレス部６０は、ベース６１から立設された支持部６００と、支持部６００の上端に固定されたドレスボード６０１とから構成されている。
【００２０】
支持機構７は、ベース６１を支持する支持板７１と、支持板７１を支持する移動基板７２と、図４に示した移動基台５３に立設され移動基板７２の上下方向の移動を案内する４本の案内ロッド７３（１本は不図示）と、移動基板７２を案内ロッド７３に沿って移動させる昇降手段７４と、移動基板７２と支持板７１との間に配設された水平度調整手段７５とを具備している。支持板７１は、矩形状に形成されており、その上面には、ベース６１に設けられた３個の取付け穴６１１に対応する位置に３個のネジ穴７１１が形成されている。このネジ穴７１１にベース６１に設けられた取付け穴６１１を通した皿ネジ７６を螺合させることによって、支持板７１上にドレス機構６が装着される。なお、支持板７１上にドレス機構６を取り付けた状態において、皿ネジ７６は、その頭部が取付け穴６１１の上部のテーパー面に嵌合してベース６１の上面より低い位置に位置付けられる。
【００２１】
支持板７１を支持する移動基板７２は矩形状に形成されており、その四隅部には、上下方向に貫通する４個の被案内穴７２１（１個は不図示）が設けられている。この４個の被案内穴７２１を４本の案内ロッド７３にそれぞれ挿通することにより、移動基板７２が案内ロッド７３に沿って上下方向に移動可能に構成される。移動基板７２を案内ロッド７３に沿って移動させる昇降手段７４は、移動基台５３（図３参照）上に配設され正転・逆転可能なパルスモータ７４１及びパルスモータ７４１によって駆動されるボールネジ７４２を含んでおり、パルスモータ７４１を正転駆動すると移動基板７２が上昇し、パルスモータ７４１を逆転駆動すると移動基板７２が下降する。また、移動基板７２と支持板７１との間に配設された水平度調整手段７５は、支持板７１の長手方向に間隔をおいて配設された２個の昇降手段７５１からなっている。この昇降手段７５１は、パルスモータおよびパルスモータによって駆動されるボールネジを含んでおり、パルスモータを正転駆動すると支持板７１が上昇し、パルスモータを逆転駆動すると支持板７１が下降する。２個の昇降手段７５１を個別に昇降させることにより、支持板７１の上面に装着されたベース６１の水平度を調整することができる。
【００２２】
ドレス機構６は、弾性波検出センサ８０を更に備え、弾性波検出センサ８０は、ドレス部６０の下方位置であって、ベース６１と支持板７１と跨るように配設されている（図５参照）。弾性波検出センサ８０は、ドレス部６０におけるドレスボード６０１の上面に研磨パッド４０１が接触したときに発生する弾性波を検出する機能を有している。弾性波検出センサ８０としては、例えばＡＥセンサを用いることができる。
【００２３】
図１に示すように、ドレス機構６は、信号処理部８１及び制御手段８２を更に備え、信号処理部８１に弾性波検出センサ８０が接続されている。信号処理部８１は、弾性波検出センサ８０が検出した出力信号を出力電圧に変換するアンプ等を備えている。従って、弾性波検出センサ８０が検出した出力信号は、信号処理部８１によって変換された出力信号（出力電圧等）として制御手段８２に入力される。
【００２４】
ここで、制御手段８２は、研磨送り手段２及びチャックテーブル送り手段５６（図３参照）を含む装置各部を統括制御する。制御手段８２は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成される。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Read  Only  Memory）、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。このメモリによって、弾性波検出センサ８０からの出力信号と比較するための閾値を予め記憶する記憶部８２１が構成される。また、制御手段８２は、比較部８２２及び停止制御部８２３を有しており、比較部８２２は、記憶部８２１が記憶した閾値と、弾性波検出センサ８０からの出力信号とを比較し、かかる出力信号が閾値に到達したか否かを判断する。そして、比較部８２２の判断結果に応じ、停止制御部８２３によって研磨送り手段２及びチャックテーブル送り手段５６の動作を停止し、ドレスを終了するよう制御する。
【００２５】
図１に示した研磨装置１においては、研磨対象のウエーハＷの一方の面Ｗ１にテープＴが貼着される。そして、図３に示したチャックテーブル送り手段５６がチャックテーブル５２を着脱域１００に移動させ、テープＴ側がチャックテーブル５２の保持面５２０ａに載置され、図示しない吸引源が吸引することで生み出された吸引力がチャックテーブル５２の保持面５２０ａに伝達されて、チャックテーブル５２がテープＴを介して板状ワークＷを吸引保持し、被研磨面Ｗ２が露出した状態となる。
【００２６】
次に、チャックテーブル送り手段５６がチャックテーブル５２を研磨域１０１に移動させるとともに、図３に示したモータ５４がチャックテーブル５２を回転させる。そして、研磨手段４においては回転手段４３がスピンドル４２を回転させて研磨パッド４０１を回転させ、研磨送り手段２が研磨手段４をチャックテーブル５２の保持面５２０ａに接近する方向（−Ｚ方向）に研磨送りし、回転する研磨パッド４０１の研磨面４０１ａを板状ワークＷの被研磨面Ｗ２に接触させて研磨を行う。このとき、図４に示した昇降手段７４がドレス機構６を下降させておき、少なくともドレス部６０のドレスボード６０１の上面がチャックテーブル５２の保持面５２０ａよりも下側（−Ｚ方向）に位置するようにし、研磨面４０１ａがドレスボード６０１に接触しないようにしておく。
【００２７】
かかる研磨により生じた研磨屑が研磨パッド４０１の研磨面４０１ａに付着して研磨面４０１ａが目詰まりすることを解消したり防止したりするために、適宜のタイミングで、研磨面４０１ａにドレスボード６０１を押し当てて研磨面４０１ａをドレスする。
【００２８】
研磨面４０１ａのドレス時は、図３に示したチャックテーブル送り手段５６が移動基台５３をＹ軸方向に移動させ、ドレスボード６０１を研磨パッド４０１の下方に移動させる。
【００２９】
そして、図４に示した昇降手段７４が支持板７１を上昇させることによりベース６１を上昇させ、ドレスボード６０１の上面を、チャックテーブル５２の保持面５２０ａよりも上側（＋Ｚ軸方向）に位置付ける。次いで、図５に示すように、例えばφ３００〜５００ｍｍ径となる研磨パッド４０１の中央における穴の直下に、ドレスボード６０１が位置するようにドレス機構６（二点鎖線で図示）を移動させる。その後、研磨送り手段２によって、研磨手段４をドレスボード６０１に接近する−Ｚ軸方向（図１参照）に所定の送り量研磨送りさせ、研磨パッド４０１の研磨面４０１ａがドレスボード６０１の上面より低くなる位置に位置付ける。このとき、研磨パッド４０１中央の穴内にドレスボード６０１が配置された状態とされる。この状態で研磨パッド４０１を５００〜１５００ｒｐｍで回転させながら、＋Ｙ軸方向となる研磨パッド４０１の中央から外側に向かい２０〜６０ｍｍ／ｓの送り速度でドレスボード６０１をドレス送りさせる。そうすると、ドレスボード６０１が、回転する研磨パッド４０１の研磨面４０１ａに接触した状態となり、回転する研磨パッド４０１の研磨面４０１ａの全面がドレスボード６０１によってドレスされる。
【００３０】
上記のドレスによって研磨面４０１ａを中央から外側に向かい１回目のドレスが完了する。このドレスが完了した後、２回目のドレスを実施すべく、＋Ｚ軸方向に研磨手段４を移動させて研磨面４０１ａをドレスボード６０１から離してから、−Ｙ軸方向にドレス機構６を移動させて研磨パッド４０１の穴の直下に、ドレスボード６０１を位置付ける。そして、研磨手段４をドレスボード６０１に再度接近するよう−Ｚ軸方向に所定の送り量研磨送りさせ、研磨パッド４０１の研磨面４０１ａがドレスボード６０１の上面より低くなる位置に位置付ける。この状態で研磨パッド４０１を回転させながら、研磨パッド４０１の中央から外側に向かってドレスボード６０１をドレス送りさせ、研磨面４０１ａの２回目のドレスが実施される。
【００３１】
このように、チャックテーブル送り手段５６（図３参照）により研磨手段４に対してドレス機構６をＹ軸方向に相対的にドレス送りする動作と、研磨送り手段２（図１参照）により研磨手段４とドレス機構６とが接近するＺ軸方向に研磨送りする動作とを交互に繰り返す。これにより、回転する研磨パッド４０１の研磨面４０１ａの全面をドレスボード６０１によって複数回ドレスされる。このとき、チャックテーブル送り手段５６は、研磨手段４とドレス機構６とを研磨面４０１ａに平行に相対的に移動させるドレス送り手段として機能する。なお、ドレスにおける上記各数値条件は、研磨パッド４０１の種類に応じて変更される。
【００３２】
ここで、ドレスボード６０１の上面が回転する研磨パッド４０１の研磨面４０１ａに接触すると、弾性波が発生する。弾性波の発生は、研磨面４０１ａにドレスボード６０１が当接してドレス送りする際に研磨面４０１ａの表面粗さに応じたものとなり、ドレス機構６の近傍に位置する弾性波検出センサ８０は、この弾性波を検出して出力信号を出力する。ドレスが進行されるにつれて、研磨面４０１ａの表面粗さは減少し、この減少に応じて弾性波検出センサ８０の出力信号も変化する。
【００３３】
弾性波検出センサ８０の出力信号の変化について図６を参照して説明する。図６は、弾性波検出センサの出力信号を出力電圧に変換した検出結果を示すグラフである。図６Ａ及び図６Ｂのグラフにおいて、縦軸は弾性波検出センサ８０の出力信号を変換した出力電圧であり、横軸は時間である。図６Ａは、研磨パッド４０１が目詰まりを起こした状態で検出し、図６Ｂは、研磨パッド４０１のドレスが完了した状態（目詰まり等を解消して正常に研磨を実施できる状態）を検出した結果である。図６Ａ及び図６Ｂのグラフを比較すると、出力信号を変換した出力電圧の波形が相違することとなる。更に詳述すると、図６Ａに示す目詰まりを起こした状態での出力電圧のレンジＶａは、図６Ｂに示すドレスが完了した状態での出力電圧のレンジＶｂに比べて大きい範囲になる。これは、目詰まりを起こして荒れた状態になった研磨面４０１ａが回転しながらドレスボード６０１に接触する際の衝突エネルギーの変化が大きくなり、弾性波の出力変化が大きくなるためである。
【００３４】
制御手段８２の記憶部８２１では、ドレスが完了した状態の弾性波検出センサ８０からの出力電圧のレンジ（値）Ｖｂを閾値として予め記憶する。この閾値は、研磨パッド４０１の種類やドレスボード６０１の種類、加工条件等に応じて予めドレスを行い、このドレスが完了した時に弾性波検出センサ８０で実際に弾性波を検出して求めることができる。なお、閾値となるレンジは、研磨加工での仕上げにて許容できる範囲にて、上述のように求めた閾値に所定係数を乗じたレンジとしてもよい。
【００３５】
上記の研磨面４０１ａのドレス時において、制御手段８２の比較部８２２では、記憶部８２１が記憶した閾値と、弾性波検出センサ８０から出力されて信号処理部８１を経た出力電圧（出力信号）とを比較する。この比較によって、弾性波検出センサ８０の出力電圧が閾値に到達したか、つまり、レンジＶｂに収まる出力電圧が所定時間継続しているかを判断する。そして、比較部８２２にて、レンジＶｂに収まる出力電圧が所定時間継続していると判断した場合、停止制御部８２３によって研磨送り手段２及びチャックテーブル送り手段５６の少なくとも一方の動作を停止し、ドレスを終了するよう制御する。このドレスが終了すると、板状ワークＷの被研磨面Ｗ２に対する研磨が開始若しくは再開される。
【００３６】
ここで、従来のドレス方法にあっては、本実施の形態のように弾性波の検出結果に応じてドレスを停止せずに、予め設定した回数のドレスが実施されていた。従って、ドレスされる研磨パッドの厚みの総量もドレスの回数に応じて予め決まった厚さとなっていた。例えば、約１０回のドレス送り及び研磨送りを交互に行い、研磨パッドを総量約３００μｍ除去してドレスを終了する場合には、仮に３回目のドレスで面粗さ等が改善しても、その後は無駄にドレスして研磨パッドを除去していた。
【００３７】
これに対し、本実施の形態の研磨装置１では、研磨パッド４０１の研磨面４０１ａをドレスする際に発生する弾性波を検出し、その検出結果と、ドレス完了時に検出した弾性波に基づく閾値とを比較している。従って、弾性波が閾値に到達したら、研磨面４０１ａの目詰まりが解消し、研磨面４０１ａの面粗さが良好になっていることを判断することができる。これにより、従来方法のように予め設定した回数のドレスを実施せずに、従来方法より少なく回数にて終了でき、ドレスによる研磨パッド４０１の無駄な除去をなくすことができる。例えば、従来方法では１０回のドレスで研磨パッドを３００μｍ除去していたものを、検出結果に応じ３回のドレスで９０μｍ程度の除去量に抑制することができる。この結果、ドレスの精度向上と、ドレス工程の短時間化とを同時に達成できる上、同じ研磨パッド４０１を長期に亘って使用することができる。
【００３８】
なお、本発明の実施の形態は上記の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。
【００３９】
上記実施の形態では、チャックテーブル送り手段５６がドレス送り手段を兼ねることとしたが、チャックテーブル送り手段とドレス送り手段とがそれぞれが単独に存在してもよい。したがって、ドレス機構６は、チャックテーブル機構５のカバー５１上に配設されていなくてもよい。
【００４０】
また、弾性波検出センサ８０の設置位置は、ドレス部６０の下方位置以外で支持板７１に埋め込むように設けたりする他、ベース６１の上部に設けたり、研磨手段４に設けたりする等、変更してもよい。
【００４１】
また、上記実施の形態の研磨装置１は、いわゆるドライポリッシュ装置であるが、研磨パッドに加えてスラリーも用いて研磨を行うＣＭＰ装置にも本発明を適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
以上説明したように、本発明は、研磨工具のドレスにおいて研磨工具の研磨面が無駄に除去されなくなるという効果を有し、特に、研磨面に複数回のドレスを行う研磨装置に有用である。
【符号の説明】
【００４３】
１  研磨装置
２  研磨送り手段
４  研磨手段
４０  研磨工具
４０１ａ  研磨面
５２  チャックテーブル
５６  チャックテーブル送り手段（ドレス送り手段）
６  ドレス機構
６０  ドレス部
６１  ベース
８０弾性波検出センサ
８２  制御手段
８２１  記憶部
Ｗ  板状ワーク
【図１】
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【図２】
2018008339.tif 000004
【図３】
2018008339.tif 000005
【図４】
2018008339.tif 000006
【図５】
2018008339.tif 000007
【図６】
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