(57)【要約】【課題】検査プレートＰ（ＳＰ）の取付け及び取外しの手間を省いて、照射ユニット２８の光学系の調整に関する一連の作業の能率を高めることができる。【解決手段】光学系調整用治具４６は、角パイプ状の治具本体４８を具備し、治具本体４８は、その表側に、表側開口部４８ａを有している。治具本体４８は、その先端側の内側に、治具本体４８の内側面４８ｆとの協働により矩形の検査プレートＰ（ＳＰ）をクランプするクランプ部材５０を備えている。クランプ部材５０は、治具本体４８の内側面４８ｆに対して接近離反する方向へ揺動可能に構成されている。具本体４８の内側には、クランプ部材５０を治具本体４８の内側面４８ｆに対して接近する方向へ付勢する４つのコイルスプリング６６が設けられている。【選択図】図５
2018008296.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ加工機における照射ユニットからの検査プレートに対するレーザ光の照射に基づいて、前記照射ユニットの光学系の調整を行う場合に用いられ、前記レーザ加工機に対して検査プレートをセットするための光学系調整用治具であって、
前記レーザ加工機に着脱可能に取付けられ、表側にレーザ光を通過させるための表側開口部を有したパイプ状の治具本体と、
前記治具本体の内側に設けられ、前記表側開口部に整合する位置にレーザ光を通過させるための内側開口部を有し、前記治具本体の内側面に対して接近離反する方向へ移動可能に構成され、前記治具本体の内側面との協働により検査プレートをクランプするクランプ部材と、
前記治具本体の内側に設けられ、前記クランプ部材を前記治具本体の内側面に対して接近する方向へ付勢するスプリングと、を具備したことを特徴とする光学系調整用治具。
【請求項２】
前記クランプ部材が前記治具本体の内側面に対して接近離反する方向へ揺動可能に構成されており、
前記クランプ部材の基端側に設けられ、前記クランプ部材から前記治具本体の高さ方向へ突出し、前記クランプ部材の揺動中心となる支点部材を具備したことを特徴とする請求項１に記載の光学系調整用治具。
【請求項３】
前記支点部材の突出量は、前記治具本体の外側から調節可能になっており、前記クランプ部材の側部にガイド突起が形成され、前記治具本体の側部に、前記クランプ部材を前記治具本体の内側面に対して平行にさせた状態において前記ガイド突起を前記治具本体の高さ方向へ案内するガイド切欠が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の光学系調整用治具。
【請求項４】
前記クランプ部材に設けられ、前記内側開口部を覆う位置に検査プレートを位置決めするための複数の位置決めピンを具備したことを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれか１項に記載の光学系調整用治具。
【請求項５】
前記治具本体は、その裏側における前記表側開口部に整合する位置に、レーザ光を通過させるための裏側開口部を有していることを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれか１項に記載の光学系調整用治具。
【請求項６】
前記レーザ加工機は、パイプ材に対してレーザ加工を行う専用のレーザ加工機であり、前記治具本体を着脱可能なチャック機構を具備していることを特徴とする請求項１から請求項５のうちのいずれか１項に記載の光学系調整用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工機における照射ユニット（照射ヘッド）の光学系（光学部品）の調整を行う場合に用いられかつレーザ加工機に対して検査プレートをセットするための光学系調整用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
角パイプ材、丸パイプ材等のパイプ材に対してレーザ加工を行う専用（パイプ材専用）のレーザ加工機において、照射ユニットの光学系の調整の１つとしての集光レンズの焦点調整は、次のように行われる。
【０００３】
図１（ａ）（ｂ）に示すように、表面側にレーザ光を通過させるための表側開口部１００ａを有した角パイプ状の光学系調整用治具１００、及びステンレス鋼又は鉄からなる検査プレートＰを用意する。次に、複数の取付ボルト１０２によって検査プレートＰを光学系調整用治具１００の表面に表側開口部１００ａを覆うように取付ける。そして、専用のレーザ加工機の一部であるチャック機構（図示省略）によって光学系調整用治具１００の一端部を挟持することにより、光学系調整用治具１００をチャック機構に取付ける。これにより、チャック機構に対して検査プレートＰをセットすることができる。
【０００４】
その後、図２（ａ）に示すように、照射ユニット（図示省略）の先端部から検査プレートＰに対してレーザ光を照射して、検査プレートＰにレーザ光の照射痕の１つであるスリット状の加工穴Ｐｈを形成する。更に、集光レンズ（図示省略）の高さ位置及び検査プレートＰに対するレーザ光の照射位置を変えつつ、複数のスリット状の加工穴Ｐｈを繰り返して形成する。その結果、加工穴Ｐｈの幅が最小になるように集光レンズの高さ位置を調整することができる。換言すれば、検査プレートＰに形成された複数の加工穴Ｐｈに基づいて、集光レンズの焦点が検査プレートＰの表面に位置するように集光レンズの焦点の高さ位置を調整することができる。
【０００５】
専用のレーザ加工機において、照射ユニットの光学系の調整の１つとしてのベンドミラーの角度調整（位置調整）は、次のように行われる。
【０００６】
図１（ａ）（ｂ）に示すように、光学系調整用治具１００、アクリル樹脂からなる検査プレートＳＰ、及び十字状のターゲットを有した環状の付属品としての付属リング（図示省略）を用意する。次に、複数の取付ボルト１０２によって検査プレートＳＰを光学系調整用治具１００の表面に表側開口部１００ａを覆うように取付ける。そして、専用のレーザ加工機の一部であるチャック機構（図示省略）によって光学系調整用治具１００の一端部を挟持することにより、チャック機構に光学系調整用治具１００を取付ける。これにより、チャック機構に対して検査プレートＳＰをセットすることができる。また、併せて、付属リングを照射ユニット（図示省略）の先端部に同心状に取付ける。
【０００７】
その後、図２（ｂ）に示すように、照射ユニットの先端部から検査プレートＳＰに対してレーザ光を照射して、検査プレートＳＰにレーザ光の照射痕の１つであるバーンパターンＳＰｐを形成する。更に、ベンドミラー（図示省略）の角度位置（位置）及び検査プレートＳＰに対するレーザ光の照射位置を変えつつ、複数のバーンパターンＳＰｐを繰り返して形成する。その結果、ターゲットに対応する十字状の跡ＳＰｖの中心がバーンパターンＳＰｐの中心に位置するようにベンドミラーの角度位置（位置）を調整することができる。換言すれば、検査プレートＳＰに形成された複数のバーンパターンＳＰｐに基づいて、ベンドミラーの角度位置を調整することができる。
【０００８】
光学系調整用治具を用いない場合における集光レンズの焦点調整は、次のように行われる。
【０００９】
図３（ａ）に示すように、専用のレーザ加工機の一部であるチャック機構（図示省略）によってレーザ加工の対象である角パイプ材Ｗの一端部を挟持することにより、角パイプ材Ｗをチャック機構に同心状に取付ける。そして、照射ユニット（図示省略）の先端部から角パイプ材Ｗの表面に対してレーザ光を照射して、角パイプ材Ｗの表面にレーザ光の照射痕の１つであるスリット状の加工穴Ｗｈを形成する。更に、集光レンズ（図示省略）の高さ位置及び角パイプ材Ｗに対するレーザ光の照射位置を変えつつ、複数のスリット状の加工穴Ｗｈを繰り返して形成する。その結果、加工穴Ｗｈの幅が最小になるように集光レンズの高さ位置を調整することができる。換言すれば、角パイプ材Ｗの表面に形成された複数の加工穴Ｗｈに基づいて、集光レンズの焦点が角パイプ材Ｗの表面に位置するように集光レンズの焦点の高さ位置を調整することができる。
【００１０】
集光レンズの焦点の高さ位置の調整後、図３（ｂ）に示すように、角パイプ材Ｗにおける複数のスリット状の加工穴Ｗｈを含む部分Ｗａ、換言すれば、角パイプ材Ｗにおける複数の照射痕を含む部分Ｗａをレーザ加工によって切断しておく。
【００１１】
なお、本発明に関連する先行技術として特許文献１から特許文献３に示すものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２０１２−７６０８８号公報
【特許文献２】特開平７−１３２３９１号公報
【特許文献３】特開昭５８−１６３５９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、光学系調整用治具１００を用いて、集光レンズの焦点調整等、照射ユニットの光学系の調整を行う場合には、前述のように、複数の取付ボルト１０２によって検査プレートＰ（ＳＰ）を光学系調整用治具１００の表面に取付ける必要がある。そのため、光学系調整用治具１００に対する検査プレートＰ（ＳＰ）の取付け及び取外し（着脱）に手間がかかり、照射ユニットの光学系の調整に多くの時間を要し、調整後の後作業を含む、照射ユニットの光学系の調整に関する一連の作業が煩雑化するという問題がある。
【００１４】
一方、光学系調整用治具１００を用いないで、集光レンズの焦点調整等、照射ユニットの光学系の調整を行う場合には、前述のように、角パイプ材Ｗにおける複数の照射痕を含む部分Ｗａをレーザ加工によって切断する必要がある。そのため、調整後の後作業が増えて、前述と同様に、照射ユニットの光学系の調整に関する一連の作業が煩雑化するという問題がある。
【００１５】
前述の問題は、専用のレーザ加工機において、照射ユニットの光学系の調整を行う場合だけでなく、板金に対してレーザ加工を行う汎用のレーザ加工機において、照射ユニットの光学系の調整を行う場合にも、同様に生じるものである。例えば、特許文献３に記載の技術においては、ベースと板押えとの間に挿入した試験片を複数の取付ボルトによって固定しており、前述と同様の問題が生じるものである。
【００１６】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成からなる光学系調整用治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の態様は、レーザ加工機における照射ユニット（照射ヘッド）からの検査プレートに対するレーザ光の照射に基づいて、前記照射ユニットの光学系（光学部品）の調整を行う場合に用いられ、前記レーザ加工機に対して検査プレートをセットするための光学系調整用治具であって、前記レーザ加工機に着脱可能に取付けられ、表側にレーザ光を通過させるための表側開口部を有したパイプ状の治具本体と、前記治具本体の内側に設けられ、前記表側開口部に整合する位置にレーザ光を通過させるための内側開口部を有し、前記治具本体の内側面（内側上面）に対して接近離反する方向へ移動可能に構成され、前記治具本体の内側面との協働により検査プレートをクランプするクランプ部材と、前記治具本体の内側に設けられ、前記クランプ部材を前記治具本体の内側面に対して接近する方向へ付勢するスプリングと、を具備したことである。
【００１８】
本発明の態様によると、まず、前記治具本体を前記レーザ加工機に装着することにより、前記光学系調整用治具を前記レーザ加工機に取付ける。そして、前記クランプ部材を前記スプリングの付勢力に抗しつつ、前記治具本体の内側面に対して離反する方向へ一旦移動させて、前記クランプ部材と前記治具本体の内側面との間に隙間を形成する。続いて、検査プレートを前記隙間に挿入して、前記クランプ部材を前記スプリングの付勢力により前記治具本体の内側面に対して接近する方向へ移動させて、前記クランプ部材と前記治具本体の内側面との協働により検査プレートをクランプする。すると、検査プレートを前記光学系調整用治具に取付けることができる。これにより、前記レーザ加工機に対して検査プレートをセットすることができる。
【００１９】
なお、前記治具本体を前記レーザ加工機に取付ける前に、検査プレートを前記光学系調整用治具に取付けてもよい。
【００２０】
前記レーザ加工機に対して検査プレートをセットした後に、前記照射ユニットの先端部から検査プレートに対してレーザ光を照射する。そして、レーザの照射に基づいて、前記照射ユニットの光学系の調整を行う。
【００２１】
前記照射ユニットの光学系の調整後に、前記クランプ部材を前記スプリングの付勢力に抗しつつ、前記治具本体の内側面に対して離反する方向へ移動させて、前記クランプ部材によるクランプ状態を解除する。すると、検査プレートを前記光学系調整用治具から取り外すことができる。
【００２２】
前述のように、前記クランプ部材を前記治具本体の内側面に対して接近離反する方向へ移動させるだけで、前記光学系調整用治具に対する検査プレートの取付け及び取外し（着脱）を行うことができる。換言すれば、ワンタッチ操作によって前記光学系調整用治具に対する検査プレートの取付け及び取外しを行うことができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、検査プレートの取付け及び取外しの手間を省いて、調整後の後作業を含む、前記照射ユニットの光学系の調整に関する一連の作業の能率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１（ａ）（ｂ）は、従来の光学系調整用治具を説明する斜視図である。
【図２】図２（ａ）は、検査プレートに複数のスリット状の加工穴を形成した様子を示す図、図２（ｂ）は、検査プレートに複数のバーンパターンを形成した様子を示す図である。
【図３】図３（ａ）は、角パイプ材に複数のスリット状の加工穴を形成した様子を示す斜視図、図３（ｂ）は、角パイプ材Ｗにおける複数のスリット状の加工穴を含む部分を切断した様子を示す斜視図である。
【図４】図４は、本発明の実施形態に係る専用のレーザ加工機の模式正面図であり、図４において、専用のレーザ加工機の一部分は断面図になっている。
【図５】図５は、本発明の実施形態に係る光学系調整用治具の分解斜視図である。
【図６】図６は、本発明の実施形態に係る光学調整用治具の主要部の平面図であり、図６において、検査プレートは二点鎖線で示している。
【図７】図７は、本発明の実施形態に係る光学系要調整治具の主要部の側面図であり、検査プレートを取付けた様子を示している。
【図８】図８は、本発明の実施形態に係る光学系要調整治具の主要部の側面図であり、クランプ部材によるクランプ状態を解除した様子を示している。
【図９】図９（ａ）は、図７におけるIXA-IXA線に沿った拡大断面図、図９（ｂ）は、図７におけるIXB-IXB線に沿った拡大断面図である。
【図１０】図１０（ａ）は、図７におけるXA-XA線に沿った拡大断面図、図１０（ｂ）は、図７におけるXB-XB線に沿った拡大断面図である。
【図１１】図１１は、集光レンズの焦点調整を行う場合の作用を説明する模式図である。
【図１２】図１２（ａ）は、ベンドミラーの角度調整を行う場合の作用を説明する模式図、図１２（ｂ）は、付属リングを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態に係る専用のレーザ加工機の概要、本発明の実施形態に係る光学系調整用治具の具体的な構成、及び本発明の実施形態の作用等について図面を参照して順次説明する。
【００２６】
なお、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「設けられる」とは、直接的に設けられることの他に、別部材を介して間接的に設けられることを含む意であって、「備えられる」と同義である。「備える」とは、直接的に備えることの他に、別部材を介して間接的に備えることを含む意であって、「設ける」と同義である。「Ｘ軸方向」とは、水平方向の１つであり、本発明の実施形態にあっては、左右方向のことである。「Ｙ軸方向」とは、Ｘ軸方向に直交する水平方向の１つであり、本発明の実施形態にあっては、前後方向のことである。「Ｚ軸方向」とは、上下方向（鉛直方向）のことである。また、図面中、「ＦＦ」は、前方向、「ＦＲ」は、後方向、「Ｌ」は、左方向、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指している。
【００２７】
図４に示すように、本発明の実施形態に係る専用（パイプ材専用）のレーザ加工機１０は、角パイプ材、丸パイプ材等のパイプ材Ｗに対してレーザ加工（レーザ切断加工）を行うものである。専用のレーザ加工機１０は、Ｘ軸方向へ延びたベッド１２と、ベッド１２の中央部をＹ軸方向に跨ぐように配設された門型フレーム１４とを具備している。門型フレーム１４は、ベッド１２の中央部の前後両側にそれぞれ配設された支柱１６と、一対の支柱１６の上部の間に連結するように設けられたビーム部材１８とを有している。
【００２８】
ベッド１２は、その右部に、パイプ材Ｗを同心状に挟持するメインチャック機構２０を備えており、メインチャック機構２０は、Ｘ軸モータ（図示省略）の駆動によりＸ軸方向（左右方向）へ移動可能になっている。また、メインチャック機構２０は、パイプ材Ｗを挟持するための複数の挟持爪等の挟持部材２２を有しており、パイプ材ＷをＸ軸方向に平行な軸心（メインチャック機構２０の軸心）周りに回転可能になっている。なお、メインチャック機構２０がＸ軸方向へ移動可能になっている点を除き、メインチャック機構２０の構成は、特開２０１２−９１１８０号公報又は特開２０１０−１２４７９号公報に示すメインチャック機構と略同じである。
【００２９】
ベッド１２は、その中央部に、パイプ材Ｗを同心状に挟持するサポートチャック機構２４を備えており、サポートチャック機構２４は、門型フレーム１４の内側に位置している。また、サポートチャック機構２４は、パイプ材Ｗを挟持するための複数の挟持爪等の挟持部材２６を有しており、パイプ材ＷをＸ軸方向に平行な軸心（サポートチャック機構２４の軸心）周りに回転可能になっている。更に、サポートチャック機構２４は、パイプ材Ｗを左右方向へ移動可能に支持できるように構成されている。なお、サポートチャック機構２４が左右方向へ移動不能になっている点を除き、サポートチャック機構２４の構成は、特開２０１２−９１１８０号公報又は特開２０１０−１２４７９号公報に示すメインチャック機構と略同じである。
【００３０】
ビーム部材１８は、その左側に、レーザ光を照射する照射ユニット（照射ヘッド）２８を備えており、照射ユニット２８は、レーザ光を発振するレーザ発振器（図示省略）に光学的に接続されている。照射ユニット２８は、Ｙ軸モータ（図示省略）の駆動によりＹ軸方向へ移動可能でかつＺ軸モータ（図示省略）の駆動によりＺ軸方向（上下方向）へ移動可能になっている。また、照射ユニット２８は、ビーム部材１８にＹ軸方向へ移動可能に設けられた中空状の照射ユニット本体（照射ヘッド本体）３０と、照射ユニット本体３０の先端部に着脱可能に設けられたノズル３２とを有している。
【００３１】
照射ユニット本体３０は、その内側におけるノズル３２側に、環状のレンズホルダ３４を備えており、レンズホルダ３４は、その内側に、レーザ光を集光する集光レンズ３６を備えている。換言すれば、集光レンズ３６は、照射ユニット本体３０の内側におけるノズル３２側にレンズホルダ３４を介して設けられている。また、集光レンズ３６は、調整モータ３８の駆動（制御）により照射ユニット本体３０に対してＺ軸方向へ調整可能になっている。換言すれば、集光レンズ３６の焦点位置は、調整モータ３８の制御によって調整可能になっている。
【００３２】
照射ユニット本体３０は、その上部である集光レンズ３６の光入射側に、ミラーホルダ４０を備えており、ミラーホルダ４０は、その適宜位置に、レーザ光を集光レンズ３６側へ偏向するベンドミラー４２を備えている。換言すれば、ベンドミラー４２は、照射ユニット本体３０における集光レンズ３６の光入射側にミラーホルダ４０を介して設けられている。また、ベンドミラー４２の角度位置（位置）は、複数の調整ネジ４４の回転操作によって調整可能になっている。
【００３３】
前述の構成により、メインチャック機構２０によってパイプ材Ｗを挟持した状態で、Ｘ軸モータの駆動によりメインチャック機構２０をＸ軸方向へ移動させて、パイプ材ＷをＸ軸方向へ位置決めする。次に、サポートチャック機構２４によってパイプ材Ｗを挟持する。そして、メインチャック機構２０及びサポートチャック機構２４によってパイプ材Ｗを回転させながら、照射ユニット２８のノズル３２からパイプ材Ｗに向かってレーザ光を照射する。或いは、Ｙ軸モータの駆動により照射ユニット２８をＹ軸方向へ移動させながら、照射ユニット２８のノズル３２からパイプ材Ｗに向かってレーザ光を照射する。これにより、パイプ材Ｗに対してレーザ加工を行うことでき、パイプ材Ｗから製品（図示省略）を取り出すことができる。
【００３４】
続いて、図４から図１０を参照して、本発明の実施形態に係る光学系調整用治具４６の具体的な構成について説明する。
【００３５】
図４から図６に示すように、光学系調整用治具４６は、専用のレーザ加工機１０の一部であるメインチャック機構２０に対して検査プレートＰ（ＳＰ）をセットするための治具である。また、光学系調整用治具４６は、照射ユニット２８の先端部（ノズル３２）からのレーザ光の照射によって検査プレートＰ（ＳＰ）に形成された照射痕に基づいて、照射ユニット２８の光学系の調整を行う場合に用いられるものである。本発明の実施形態において、照射ユニット２８の光学系の調整とは、集光レンズ３６の焦点調整とベンドミラー４２の角度調整（位置調整）のことである。
【００３６】
光学系調整用治具４６は、メインチャック機構２０に同心状に着脱可能に取付けられる角パイプ状の治具本体４８を具備している。治具本体４８は、その表側（上側）に、レーザ光を通過させるための矩形の表側開口部（上側開口部）４８ａを有している。治具本体４８は、その裏側（下側）における表側開口部４８ａに整合する位置に、レーザ光を通過させるための矩形の裏側開口部（下側開口部）４８ｂを有している。治具本体４８の長手方向が光学系調整用治具４６の長さ方向Ｄ１になっており、治具本体４８の短手方向が光学系調整用治具４６の幅方向Ｄ２になっている。治具本体４８の高さ方向が光学系調整用治具４６の高さ方向（上下方向）Ｄ３になっている。
【００３７】
図５から図８に示すように、治具本体４８は、その先端側の内側に、クランプ部材５０を備えており、クランプ部材５０は、治具本体４８の内側面（内側上面）４８ｆとの協働により矩形の検査プレートＰ（ＳＰ）をクランプするものである。また、クランプ部材５０は、治具本体４８の内側面４８ｆに対して接近離反する方向へ揺動可能（移動可能の１つ）に構成されている。そして、クランプ部材５０の構成要素の内容は、次の通りである。
【００３８】
クランプ部材５０は、治具本体４８の先端側の内側に設けられた可動プレート５２を具備しており、可動プレート５２は、表側開口部４８ａに整合する位置にレーザ光を通過させるための矩形の内側開口部５２ａを有している。可動プレート５２の両側部（幅方向Ｄ２の両側部）には、幅方向Ｄ２へ突出した複数の当接突起５２ｂがそれぞれ形成されており、各当接突起５２ｂは、治具本体４８の内壁面４８ｓに当接している。また、可動プレート５２は、その両縁部（幅方向Ｄ２の両縁部）に、検査プレートＰ（ＳＰ）をクランプするためのクランプバー５４をそれぞれ備えている。各クランプバー５４は、長さ方向Ｄ１へ延びており、複数の止めネジ５６によって可動プレート５２に固定されている。
【００３９】
図５、図６、及び図９（ａ）に示すように、可動プレート５２は、その表面（上面）に、内側開口部５２ａを覆う所定の位置に検査プレートＰ（ＳＰ）を位置決めするための５つの位置決めピン５８を備えており、各位置決めピン５８は、スプリングピンからなるものである。２つの位置決めピン５８は、内側開口部５２ａの幅方向Ｄ２の一方側（一方側の縁部）に位置し、他の２つの位置決めピン５８は、内側開口部５２ａの幅方向Ｄ２の他方側（他方側の縁部）に位置している。残りの１つの位置決めピン５８は、内側開口部５２ａの長さ方向Ｄ１の一方側（一方側の縁部）に位置している。適宜の位置決めピン５８の先端部（上端部）は、治具本体４８の表面（上面）に形成した嵌入穴４８ｈに嵌入している。
【００４０】
図５から図７、図９（ｂ）、及び図１０（ａ）に示すように、可動プレート５２は、内側開口部５２ａの長さ方向Ｄ１の両側（両側の縁部）に、スプリング押え６０をそれぞれ備えている。各スプリング押え６０は、幅方向Ｄ２へ延びており、複数の止めネジ６２によって可動プレート５２に固定されている。ここで、治具本体４８の表面（表面側）には、一方のスプリング押え６０を可動プレート５２に取付けるための取付切欠４８ｎが形成されている。また、各スプリング押え６０は、その両端部に、取付ピン６４を備えており、各取付ピン６４は、スプリングピンからなるものである。各取付ピン６４は、可動プレート５２に形成した貫通穴５２ｈに貫通しており、各取付ピン６４の先端部（下端部）は、治具本体４８の裏面（下面）に形成した嵌入穴４８ｋに嵌入している。
【００４１】
各取付ピン６４は、その外周側におけるスプリング押え６０と治具本体４８の内側面（内側上面）４８ｆとの間に、クランプ部材５０を治具本体４８の内側面４８ｆに対して接近する方向（上方向）へ付勢するコイルスプリング６６を備えている。各コイルスプリング６６と対応するスプリング押え６０との間には、複数の座金６８が設けられている。換言すれば、治具本体４８の内側には、４つのコイルスプリング６６が一対のスプリング押え６０及び４つの取付ピン６４等を介して設けられている。
【００４２】
図７、図８、及び図１０（ｂ）可動プレート５２は、その基端側（長さ方向Ｄ１の一端側）に、クランプ部材５０の揺動中心となる支点部材として六角穴付き調整ネジ７０を備えている。六角穴付き調整ネジ７０は、可動プレート５２の基端側に螺合しており、ロックナット７２を介して固定されている。また、六角穴付き調整ネジ７０は、可動プレート５２の上面から治具本体４８の高さ方向（上方向）へ突出しており、複数のコイルスプリング６６の付勢力により治具本体４８の内側面（内側上面）４８ｆに圧接（圧力を加えた状態で接触）している。更に、六角穴付き調整ネジ７０の突出量は、治具本体４８の外側から調節可能になっている。治具本体４８の裏側面には、工具の一例として六角レンチ（図示省略）及びナットドライバ（図示省略）を挿入するための挿入穴４８ｖが形成されている。
【００４３】
図５から図６に示すように、可動プレート５２の先端側の両側部（幅方向Ｄ２の両側部）には、幅方向Ｄ２へ突出したガイド突起５２ｐがそれぞれ形成されている。また、治具本体４８の先端側の両側部（幅方向Ｄ２の両側部）には、可動プレート５２を治具本体４８の内側面４８ｆに対して平行にさせた状態において、対応するガイド突起５２ｐを高さ方向（上下方向）Ｄ３へ案内するガイド切欠４８ｍがそれぞれ形成されている。
【００４４】
続いて、光学系調整用治具４６を用いて、照射ユニット２８の光学系の調整の１つである集光レンズ３６の焦点調整を行う場合の作用について説明する。
【００４５】
図７、図８、及び図１１に示すように、治具本体４８を専用のレーザ加工機１０の一部であるメインチャック機構２０に装着することにより、光学系調整用治具４６をメインチャック機構２０に取付ける。そして、クランプ部材５０を複数のコイルスプリング６６の付勢力に抗しつつ、六角穴付き調整ネジ７０を支点として、治具本体４８の内側面４８ｆに対して離反する方向（アンクランプ方向）へ一旦揺動させて、クランプバー５４と治具本体４８の内側面（内側上面）４８ｆとの間に隙間Ｃ（図８参照）を形成する。続いて、ステンレス鋼又は鉄からなる検査プレートＰを隙間Ｃに挿入して、複数の位置決めピン５８に当接させて、内側開口部５２ａを覆う所定の位置に位置決めする。更に、クランプ部材５０を複数のコイルスプリング６６の付勢力により六角穴付き調整ネジ７０を支点として、治具本体４８の内側面４８ｆに対して接近する方向（クランプ方向）へ揺動させて、クランプ部材５０と治具本体４８の内側面４８ｆとの協働により検査プレートＰをクランプする。すると、検査プレートＰを光学系調整用治具４６の所定の位置に取付けることができる。これにより、メインチャック機構２０に対して検査プレートＰをセットすることができる。
【００４６】
なお、治具本体４８をメインチャック機構２０に取付ける前に、検査プレートＰを光学系調整用治具４６の所定の位置に取付けてもよい。
【００４７】
その後、図２（ａ）及び図１１に示すように、照射ユニット２８のノズル３２から検査プレートＰに対してレーザ光を照射しながら、Ｙ軸モータの駆動によりレーザ照射ユニット２８をＹ軸方向へ移動させる。すると、検査プレートＰにレーザ光の照射痕の１つであるスリット状の加工穴Ｐｈを形成することができる。なお、検査プレートＰにスリット状の加工穴Ｐｈを丸穴状の加工穴（図示省略）を形成してもよい。
【００４８】
更に、調整モータ３８の制御により集光レンズ３６の高さ位置を変えると共に、メインチャック機構２０による治具本体４８の装着位置（把持位置）をＸ軸方向へずらして検査プレートＰに対するレーザ光の照射位置を変える。そして、集光レンズ３６の高さ位置及び検査プレートＰに対するレーザ光の照射位置を変えながら、前述のように、複数のスリット状の加工穴Ｐｈを繰り返して形成する。その結果、加工穴Ｐｈの幅（大きさの１つ）が最小になるように、集光レンズ３６の高さ位置を調整することができる。換言すれば、検査プレートＰに形成された複数の加工穴Ｐｈに基づいて、集光レンズ３６の焦点が検査プレートＰの表面に位置するように、集光レンズ３６の焦点の高さ位置を調整することができる。
【００４９】
集光レンズ３６の焦点の高さ位置の調整後に、図８に示すように、クランプ部材５０を複数のコイルスプリング６６の付勢力に抗しつつ、六角穴付き調整ネジ７０を支点として、治具本体４８の内側面４８ｆに対して離反する方向（アンクランプ方向）へ揺動させて、クランプ部材５０によるクランプ状態を解除する。すると、検査プレートＰを光学系調整用治具４６の所定位置から取り外すことができる。
【００５０】
続いて、光学系調整用治具４６を用いて、照射ユニット２８の光学系の調整の１つであるベンドミラー４２の角度調整（位置調整）を行う場合の作用について説明する。
【００５１】
図７、図８、及び図１２（ａ）に示すように、治具本体４８を専用のレーザ加工機１０の一部であるメインチャック機構２０に装着することにより、光学系調整用治具４６をメインチャック機構２０に取付ける。そして、クランプ部材５０を複数のコイルスプリング６６の付勢力に抗しつつ、六角穴付き調整ネジ７０を支点として、治具本体４８の内側面４８ｆに対して離反する方向（アンクランプ方向）へ一旦揺動させて、クランプバー５４と治具本体４８の内側面（内側上面）４８ｆとの間に隙間Ｃ（図８参照）を形成する。続いて、アクリル樹脂からなる検査プレートＳＰを隙間Ｃに挿入して、複数の位置決めピン５８に当接させて、内側開口部５２ａを覆う所定の位置に位置決めする。更に、クランプ部材５０を複数のコイルスプリング６６の付勢力により六角穴付き調整ネジ７０を支点として、治具本体４８の内側面４８ｆに対して接近する方向（クランプ方向）へ揺動させて、クランプ部材５０と治具本体４８の内側面４８ｆとの協働により検査プレートＳＰをクランプする。すると、検査プレートＳＰを光学系調整用治具４６の所定の位置に取付けることができる。これにより、メインチャック機構２０に対して検査プレートＳＰをセットすることができる。
【００５２】
なお、治具本体４８をメインチャック機構２０に取付ける前に、検査プレートＳＰを光学系調整用治具４６の所定の位置に取付けてもよい。
【００５３】
また、図１２（ａ）（ｂ）に示すように、タングステンからなる十字状のターゲット７４ｔを有した環状の付属品としての付属リング７４を用意すると共に、照射ユニット本体３０の先端部からノズル３２を取り外す。そして、付属リング７４を照射ユニット本体３０（照射ユニット２８）の先端部に同心状に取付ける。
【００５４】
その後、図２（ｂ）及び図１２（ａ）（ｂ）に示すように、照射ユニット２８の先端部（付属リング７４）から検査プレートＳＰに対してレーザ光を照射して、検査プレートＳＰにレーザ光の照射痕の１つであるバーンパターンＳＰｐを形成する。更に、複数の調整ネジ４４の回転操作によってベンドミラー４２の角度位置（位置）を変えると共に、メインチャック機構２０による治具本体４８の装着位置をＸ軸方向へずらして検査プレートＳＰに対するレーザ光の照射位置を変える。そして、ベンドミラー４２の角度位置及び検査プレートＳＰに対するレーザ光の照射位置を変えながら、前述のように、複数のバーンパターンＳＰｐを繰り返して形成する。その結果、ターゲット７４ｔに対応する十字状の跡ＳＰｖの中心がバーンパターンＳＰｐの中心に位置するように、ベンドミラー４２の角度位置（位置）を調整することができる。換言すれば、検査プレートＳＰに形成された複数のバーンパターンＳＰｐに基づいて、ベンドミラー４２の角度位置を調整することができる。
【００５５】
ベンドミラー４２の角度位置の調整後に、図８に示すように、クランプ部材５０を複数のコイルスプリング６６の付勢力に抗しつつ、六角穴付き調整ネジ７０を支点として、治具本体４８の内側面４８ｆに対して離反する方向（アンクランプ方向）へ揺動させて、クランプ部材５０によるクランプ状態を解除する。すると、検査プレートＳＰを光学系調整用治具４６の所定位置から取り外すことができる。また、照射ユニット本体３０の先端部から付属リング７４を取り外して、ノズル３２を照射ユニット本体３０の先端部に同心状に取付けておく。
【００５６】
続いて、光学系調整用治具４６を用いて、照射ユニット２８の光学系の調整を行う場合の共通の作用について説明する。
【００５７】
前述のように、クランプ部材５０を六角穴付き調整ネジ７０を支点として、治具本体４８の内側面４８ｆに対して接近離反する方向へ揺動させるだけで、光学系調整用治具４６に対する検査プレートＰ（ＳＰ）の取付け及び取外し（着脱）を行うことができる。換言すれば、ワンタッチ操作によって光学系調整用治具４６に対する検査プレートＰ（ＳＰ）の取付け及び取外しを行うことができる。
【００５８】
クランプ部材５０と治具本体４８の内側面４８ｆとの協働により検査プレートＰ（ＳＰ）をクランプすることにより、検査プレートＰ（ＳＰ）を治具本体４８の表面に対して突出させることなく、光学系調整用治具４６に取付けることができる。これにより、メインチャック機構２０による治具本体４８の装着位置をＸ軸方向へずらして検査プレートＳＰに対するレーザ光の照射位置を変える際に、検査プレートＰ（ＳＰ）が挟持部材２６等に干渉することがない。
【００５９】
前述のように、治具本体４８の先端側の両側部には、可動プレート５２を治具本体４８の内側面４８ｆに対して平行にさせた状態において、対応するガイド突起５２ｐを高さ方向Ｄ３へ案内するガイド切欠４８ｍがそれぞれ形成されている。これにより、検査プレートＰ（ＳＰ）の厚みが変わった場合でも、クランプ部材５０によるクランプ力を安定させることができる。
【００６０】
以上の如き、本発明の実施形態によれば、前述のように、ワンタッチ操作によって光学系調整用治具４６に対する検査プレートＰ（ＳＰ）の取付け及び取外しを行うことができる。そのため、本発明の実施形態によれば、検査プレートＰ（ＳＰ）の取付け及び取外しの手間を省いて、調整後の後作業を含む、照射ユニット２８の光学系の調整に関する一連の作業の能率を高めることができる。特に、検査プレートＳＰに対するレーザ光の照射位置を変える際に、検査プレートＰ（ＳＰ）が挟持部材２６等に干渉することがないため、照射ユニット２８の光学系の調整に関する一連の作業の能率をより高めることができる。
【００６１】
また、本発明の実施形態によれば、検査プレートＰ（ＳＰ）の厚みが変わった場合でも、クランプ部材５０によるクランプ力を安定させることができる。そのため、本発明の実施形態によれば、検査プレートＰ（ＳＰ）の厚みに拘わらず、照射ユニット２８の光学系（光学部品）の調整精度を維持することができる。
【００６２】
本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、光学系調整用治具４６を汎用のレーザ加工機における照射ユニットの光学系（図示省略）の調整に用いる等、種々の態様で実施可能である。そして、本発明に包含される権利範囲は、前述の実施形態に限定されないものである。
【００６３】
なお、「照射痕」とは、スリット状又は円状の加工穴、バーンパターンを含む意である。「照射ユニットの光学系の調整」とは、照射ユニットの集光レンズの焦点調整、集光レンズの光入射側に配設されたベンドミラーの角度調整（位置調整）を含む意である。集光レンズ３６の焦点調整は、本発明の実施形態の説明のように照射痕を利用するものに限らず、本発明の光学系調整用治具を用いて、特許文献１から特許文献３に記載の方法で行うことも可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１０    専用のレーザ加工機
１２    ベッド
１４    門型フレーム
２０    メインチャック機構
２２    挟持部材
２４    サポートチャック機構
２６    挟持部材
２８    照射ユニット
３０    照射ユニット本体
３２    ノズル
３４    レンズホルダ
３６    集光レンズ
３８    調整モータ
４０    ミラーホルダ
４２    ベンドミラー
４４    調整ネジ
４６    光学系調整用治具
４８    治具本体
４８ａ  表側開口部（上側開口部）
４８ｂ  裏側開口部（下側開口部）
４８ｆ  内側面（内側上面）
４８ｍ  ガイド切欠
５０    クランプ部材
５２    可動プレート
５２ａ  内側開口部
５２ｐ  ガイド突起
５４    クランプバー
５８    位置決めピン
６０    スプリング押え
６４    取付ピン
６６    コイルスプリング
６８    座金
７０    六角穴付き調整ネジ（支点部材）
７２    ロックナット
７４    付属リング（付属品）
７４ｔ  ターゲット
Ｐ    検査プレート
Ｐｈ  加工穴
ＳＰ    検査プレート
ＳＰｐ  バーンパターン
Ｗ    パイプ材（角パイプ材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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