(57)【要約】【課題】  本発明は、簡易な構成でガイドの転動体の移動に起因するテーブル変形を抑制することのできる荷電粒子線装置の提供を目的とする。【解決手段】  上記目的を達成するために本発明では、キャリッジ（２０１）と転動体とガイドレール（２０２）を有するリニアガイドと、テーブル（１０５）を有する試料ステージにおいて、キャリッジ（２０１）とテーブル（１０５）の間を弾性変形可能な部材であるアダプタ（４０１）を介して接続することを特徴とする歪み絶縁ガイド構造、および前記ガイド構造を用いたステージ、および前記ステージを用いた荷電粒子線装置を提案する。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を支持するテーブルと、当該テーブルを特定方向に案内するガイドレールと、前記テーブルを支持すると共に、内部に含まれる転動体の回転を伴う移動によって、前記テーブルと共に前記ガイドテーブルに沿って移動するキャリッジを備えた試料ステージであって、
前記テーブルと前記キャリッジ間を接続すると共に、前記テーブル及び前記キャリッジの少なくとも一方に向かって突出する第１の突出部を有するアダプタを備え、前記第１の突出部は、前記テーブル、或いは前記キャリッジに接続されると共に、前記テーブルの前記第１の移動方向、及び当該第１の移動方向に直交する方向の少なくとも一方の長さが、他方の長さより長く形成される、又は前記第１の移動方向、或いは当該第１の移動方向に直交する方向に、複数の突起が配列されるように形成されることを特徴とする試料ステージ。
【請求項２】
請求項１において、
前記アダプタは、前記テーブル及び前記キャリッジの他方に向かって突出する第２の突出部を備え、当該第２の突出部は、前記テーブル、或いは前記キャリッジに接続されると共に、前記第１の突出部の長手方向に直交する方向に長手方向を持つように形成される、或いは前記第１の突出部の長手方向に直交する方向に、複数の突起が配列されるように形成されることを特徴とする試料ステージ。
【請求項３】
請求項１において、
前記テーブルには前記アダプタを収めるための掘り込みが設けられていることを特徴とする試料ステージ。
【請求項４】
請求項１において、
前記試料ステージを備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
試料を支持するテーブルと、当該テーブルを特定方向に案内するガイドレールと、前記テーブルを支持すると共に、内部に含まれる転動体の回転を伴う移動によって、前記テーブルと共に前記ガイドテーブルに沿って移動するキャリッジを備えた試料ステージであって、
前記キャリッジには、前記テーブルと接触する接触部と、当該接触部と前記キャリッジの他の部分を接続する接続部が形成され、当該接続部は、前記テーブルの前記第１の移動方向、及び当該第１の移動方向に直交する方向の少なくとも一方の長さが、他方の長さより長く形成される、又は前記第１の移動方向、或いは当該第１の移動方向に直交する方向に、複数の突起が配列されるように形成されることを特徴とする試料ステージ。
【請求項６】
請求項５において、
前記試料ステージを備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、試料ステージ、及び試料ステージを備えた半導体検査装置などの荷電粒子線装置に係り、特に、視野位置ずれを生じさせるテーブルの変形を抑制する構造を有する試料ステージ、及び荷電粒子線装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体素子の微細化に伴い、製造装置のみならず、検査装置や計測装置にもそれに対応した高精度化が要求されている。例えば、半導体計測装置でパターン寸法を測定し半導体製造ラインの露光条件などの管理を行う場合、視野位置決め誤差が大きいと、所定の位置のパターンと隣のパターンとの区別がつかず、所望のパターン寸法を計測することができない。特に、パターンの間隔が数ナノメートルで、目印となるパターンも付近にない場合、ガイドの形状誤差やガイドのコロのばらつきによるステージのテーブル変形による位置決め精度の劣化から特定のパターンの寸法を計測することは困難である。
【０００３】
そこで、ガイドの軸受面にクラウニングと呼ばれるなだらかな傾斜を設けコロなどの転動体通過時の振動を軽減する技術が特許文献１に開示されている。
【０００４】
また、２個のキャリッジの内の片方をダイヤフラム状のばねを用いて支持し、ガイドの熱変形によるキャリッジの変位を吸収して、ガイドの摺動抵抗の増加を防止する技術が特許文献２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１３８１９３号公報
【特許文献２】特開２０１１−１２４４０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ウェハを搬送するステージを有する荷電粒子線装置では、前述のようなガイド構造を用いることで、コロの出入りによるテーブルの振動や熱変形に起因する摺動抵抗の変化を軽減することが可能である。しかし、特許文献１に開示されているようにガイドのキャリッジの軸受面にクラウニングを設けた場合、同じガイド剛性を実現しようとすると長い軸受面が必要となり、キャリッジの寸法が大型化する。また、コロ出入り時にキャリッジにかかる力が減少するわけではないので、キャリッジの変形が発生し、それがテーブルに伝わり試料の位置ずれを生じる。また、特許文献２に開示されているように、片方のキャリッジをばね支持した場合、もう片方のキャリッジから歪みがテーブルに伝わるためテーブルの変形を抑制効果が不十分であるという問題がある。また、ばねを適用した側のガイドの剛性が大きく低下し、振動特性が劣化する場合がある。
【０００７】
以下に、ガイドの転動体の移動によるテーブルの変形を抑え、例えば荷電粒子線装置であれば、視野位置決め精度を向上することを目的とする歪み絶縁ガイド構造について説明する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための一態様として、試料を支持するテーブルと、当該テーブルを特定方向に案内するガイドレールと、前記テーブルを支持すると共に、内部に含まれる転動体の回転を伴う移動によって、前記テーブルと共に前記ガイドテーブルに沿って移動するキャリッジを備えた試料ステージであって、前記テーブルと前記キャリッジ間を接続すると共に、前記テーブル及び前記キャリッジの少なくとも一方に向かって突出する第１の突出部を有するアダプタを備え、前記突出部は、前記テーブル、或いは前記キャリッジに接続されると共に、前記テーブルの前記第１の移動方向、及び当該第１の移動方向に直交する方向の少なくとも一方の長さが、他方の長さより長く形成される、又は前記第１の移動方向、或いは当該第１の移動方向に直交する方向に、複数の突起が配列されるように形成される試料ステージを提案する。
【０００９】
また、上記目的を達成するための他の態様として、試料を支持するテーブルと、当該テーブルを特定方向に案内するガイドレールと、前記テーブルを支持すると共に、内部に含まれる転動体の回転を伴う移動によって、前記テーブルと共に前記ガイドテーブルに沿って移動するキャリッジを備えた試料ステージであって、前記キャリッジには、前記テーブルと接触する接触部と、当該接触部と前記キャリッジの他の部分を接続する接続部が形成され、当該接続部は、前記テーブルの前記第１の移動方向、及び当該第１の移動方向に直交する方向の少なくとも一方の長さが、他方の長さより長く形成される、又は前記第１の移動方向、或いは当該第１の移動方向に直交する方向に、複数の突起が配列されるように形成される試料ステージを提案する。
【発明の効果】
【００１０】
上記構成によれば、ガイドの転動体の移動によるテーブルの変形を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】荷電粒子線装置の構成を示す図である。
【図２】転動体移動時のキャリッジの変形を示す図である。
【図３】キャリッジ変形時のテーブル変形を示す図である。
【図４】歪み絶縁ガイド構造の構成を示す図である。
【図５】歪み絶縁ガイド構造の構成と変形を示す図である。
【図６】キャリッジの歪み分布と変形形状を示す図である。
【図７】キャリッジ傾き・並進・変形時のアダプタの変形を示す図である。
【図８】歪みの伝達経路を示す図である。
【図９】アダプタによる歪み低減効果の測定結果である。
【図１０】歪み絶縁ガイド構造をキャリッジに内蔵した例の図である。
【図１１】歪み絶縁ガイド構造を内蔵するキャリッジの外観図である。
【図１２】歪み絶縁ガイド構造の回転テーブルへの適用例の図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に説明する実施例では主に、ガイドレールと、キャリッジと、テーブルを有する試料ステージにおいて、キャリッジとテーブルの間を弾性変形可能な部材であるアダプタを介して接続し、前記アダプタと、キャリッジとの接続部はキャリッジの駆動方向に長手方向を持つ範囲とし、また、前記アダプタとキャリッジおよびテーブルとの接続部は互い違いとなっていることを特徴とする歪み絶縁ガイド構造、および前記ガイド構造を用いたステージ、および前記ステージを用いた荷電粒子線装置を説明する。
【００１３】
上記構成によれば、転がり案内を有するステージ装置において、転動体移動によるテーブルの変形を抑制し、視野位置決め誤差を抑えることが可能となる。
【実施例１】
【００１４】
以下に説明する実施例は、転がり案内を有するステージのガイドキャリッジの構造に係わり、キャリッジとテーブルの接続部に歪みを吸収する部材を備えた歪み絶縁ガイド構造に関するものである。
【００１５】
歪み絶縁ガイド構造は、弾性変形可能なアダプタとキャリッジおよびテーブルによって構成され、アダプタとキャリッジの接続部およびアダプタとテーブルの接続部の長手方向が互い違いとなっていることを特徴としている。
【００１６】
上記構成によれば、転がり案内を有するステージ装置において、転動体移動によるテーブルの変形を抑制し、視野位置決め精度を向上できる歪み絶縁ガイド構造が提供される。
【００１７】
図１を参照して、荷電粒子線装置の例を説明する。ここでは、荷電粒子線装置の例として、半導体計測装置（以下、測長ＳＥＭ）の例を説明する。測長ＳＥＭでは、試料室１１２上に、電子光学系鏡筒１０１が搭載されており、試料室１１２は除振マウント１１３により支持されている。電子光学系鏡筒１０１から電子ビームをウェハ１０６上に照射し、ウェハ１０６上のパターンを撮像し、パターンの線幅の計測や形状精度の評価を行う。試料室１１２内には、テーブル１０５を可動部とするステージが搭載され、テーブル１０５には観察対象であるウェハ１０６を搭載するチャック１０８が固定されている。また、テーブル１０５はガイド１０７により支持され、レーザ干渉計１０４により、ミラー１１１の位置を計測しステージ座標を得て、コントローラ１０９により位置決め制御される。
【００１８】
テーブル１０５に変形が生じるとチャック１０８とミラー１１１の間の相対距離が変動し、レーザ測長値でウェハ上の観察点の位置を管理する場合に像のずれが生じる。ただし、テーブルの変形も含めてレーザ測長値と像のずれに再現性がある場合は、像のずれ量を座標に対して記録することで補正マップを作成することが可能である。補正マップの像のずれ量を、ステージの目標位置座標やビームシフト量から差し引くことで、再現性のあるテーブル変形については像のずれに対する影響を０に近い値とすることが可能である。しかしながら、テーブルの変形に再現性がない場合や、再現性のない成分が混入している場合、補正マップを用いても位置ずれの影響を０にすることができない。この補正不可能な像のずれを視野位置決め誤差と呼ぶこととする。特に、パターン間隔が数ｎｍのデバイスを計測するためには、この視野位置決め誤差を極限まで低減する必要がある。
【００１９】
図２を参照して、転動体の出入りによるキャリッジの変形のパターンを説明する。リニアガイドでは、ガイドレール２０２を固定し、キャリッジ２０１を可動側として、軸受け隙間に円筒形状や球形状の転動体２０３を配置することで、ガイドレール２０２とキャリッジ２０１の関係を抵抗の大きいすべり摩擦ではなく、抵抗の小さい転がり摩擦のみが発生する状態として、特定方向への摺動を可能としている。即ち、キャリッジ２０１は、転動体２０３の回転を伴って、ガイドレール２０２に沿って移動する。さらに、軸受け隙間と転動体２０３の寸法差により生じるガタ付きを小さくするため、キャリッジに与圧を与えて、転動体をガイドレールに押し付けている。これにより、転動体２０３の断面は、与圧を受けることで完全な円から楕円に近い形に変形する。
【００２０】
図２（Ａ１）は、ガイドレール２０２を挟んだ転動体２０３同士のキャリッジ２０１とガイドレール２０２との隙間への出入りの位相がずれている場合の例である。転動体２０３が軸受け隙間に入る間際の、軸受け隙間への進入し始めの時点では、軸受け与圧がかかっていないため転動体２０３が、他の転動体と比較してつぶされない。また、軸受け隙間から出る間際の転動体についても同様のことが言える。この場合、キャリッジが図２（Ａ１）のように変形し、これにより、図２（Ａ２）に示すように、ガイドレールに対してキャリッジが傾くような姿勢変化が生じる。
【００２１】
図２（Ｂ１）は、ガイドレール２０２を挟んだ転動体２０３の数が双方で異なる場合の例である。転動体２０３のつぶれ量は、軸受け与圧を軸受け隙間にある転動体２０３の数で割った値に比例する。すなわち、図２（Ｂ１）のように、上側の転動体２０３の数が下側の転動体２０３の数よりも多い場合、上側の転動体２０３のつぶれ量の方が下側の転動体２０３のつぶれ量よりも小さくなり、キャリッジ２０１としては上方向に併進移動する。これにより、図２（Ｂ２）に示すように、ガイドレールに対してキャリッジの併進移動が生じる。併進移動の方向は、この関係がどの軸受け隙間間の間で生じるかによるため、ガイドレールに対して、上下左右方向あるいは斜めのどの方向にも起こり得る。
【００２２】
図２（Ｃ１）は、ガイドレール２０２を挟んだ転動体２０３同士の軸受け隙間への出入りの位相が揃っている場合の例である。キャリッジ２０１は、図２（Ａ１）の場合と同様に変形が生じるが、上下でガイドレールを挟んで対象な形状で変形する。そのため、図２（Ｃ２）に示すように、キャリッジには曲げ変形が生じる。また、曲げ変形の方向は、ガイドの摺動方向とガイドの摺動方向に垂直な方向のどちらにも起こり得る。
【００２３】
図３を参照して、キャリッジの傾き、併進、変形により生じるテーブルの変形と、それに付随するチャックとミラーの相対距離の変化について説明する。
【００２４】
ステージの構成としては、図１で説明した構成をより詳細に図示したものとなっており、テーブルの上にチャックとミラーが搭載されている。ベース３０２は、可動方向が一方向の単軸ステージでは固定されており、可動方向が二方向のＸＹステージでは、下側のテーブルにあたる。ベース３０２の上面にガイドレールが固定されており、ガイドレールに対しキャリッジは相対移動可能で、キャリッジにテーブルが搭載される。テーブルの位置として、ミラーの位置をレーザ干渉計で測定するため、レーザ光３０１がミラー１１１に照射される。
【００２５】
図３（Ａ）に示すように、キャリッジ２０１がガイドレールに対して傾いた場合、テーブル１０５に曲げ変形が生じ、ミラー１１１とチャック１０８の相対距離が変化する。また、図３（Ｂ）に示すように、キャリッジに並進移動が生じた場合においても、テーブル１０５に曲げ変形が生じ、ミラー１１１とチャック１０８の相対距離が変化する。さらに、図３（Ｃ）に示すように、キャリッジに曲げ変形が生じた場合においても、テーブル１０５に局所的な曲げ変形が生じ、ミラーの倒れによりミラー１１１とチャック１０８の相対距離が変化する。
【００２６】
特に、図３（Ａ）のようにキャリッジに傾きが生じる場合では、ミラーとチャックの位置が逆方向にずれるため、相対距離の変化が大きい。測長ＳＥＭでは、ミラーの位置からウェハの位置決めとイメージシフトのビーム偏向量の決定を行うため、ミラーとチャックの相対距離の変化は像のずれとなる。
【００２７】
図４を参照して、歪み低減構造を実現する弾性部材であるアダプタを搭載したステージを説明する。
【００２８】
図４（Ａ）に示すように、ステージは、テーブル１０５とキャリッジ２０１の間に、アダプタ４０１を挟むように構成されており、キャリッジ２０１はアダプタを介してテーブル１０５に接続される。また、図４（Ｂ）に、その分解図を示す。キャリッジ２０１とアダプタ４０１の固定は、ガイドレール２０２の長手方向、すなわち、キャリッジの駆動方向（第１の移動方向）に並んだボルト穴で締結される。また、テーブル１０５とアダプタ４０１の固定は、ガイドレール２０２の長手方向に垂直な方向に並んだボルト穴で締結される。
【００２９】
図５にテーブル１０５、ガイドレール２０２、キャリッジ２０１、及びアダプタ４０１を含むステージの基本的な構成を示す。図に示すように、キャリッジ２０１の移動方向の長さが、キャリッジ２０１の移動方向に垂直な方向の長さより長い突出部（下側の突出部）を設けることによって、アダプタとキャリッジ２０１の間に逃げ隙間５０１が形成され、一方で、キャリッジ２０１の移動方向に垂直な方向の長さが、キャリッジ２０１の移動方向の長さより長い突出部（上側の突出部）を設けることによって、テーブル１０５とアダプタの間に逃げ隙間５０２が形成される。なお、Ｘ−Ｙステージの場合、キャリッジ２０１の移動方向に垂直な方向とは、テーブルの他の移動方向（第２の移動方向）となる。
【００３０】
これにより、キャリッジ２０１に変形が生じた場合でも、テーブル１０５に変形が伝わらない。また、テーブル１０５に、アダプタを収めるための掘り込みを設けることでステージの全高を低く抑えることが可能となり、低重心化によるピッチング振動の抑制が可能となる。なお、図５は、特定方向（例えばキャリッジの移動方向）に長い突出部を設ける例を説明しているが、複数の突起を特定方向に配列することによって、特定方向の剛性を確保しつつ、逃げ隙間を形成するようにしても良い。
【００３１】
図６を参照して、キャリッジに生じる歪みの分布形状と、キャリッジの変形形状の例を示す。転動体が出入りする場合のキャリッジ上面に生じる歪みを、歪みセンサを使用して測定した。図６（Ａ）に、その結果に基づいて歪み変化の大きさの分布を模式化したものを示す。範囲６０１のキャリッジ上面の周辺にあたる箇所では、歪み変化が大きく、範囲６０２のキャリッジ中央にあたる箇所では、歪み変化が最小となる。
【００３２】
図６（Ｂ）に、転動体が出入りする場合のキャリッジの変形形状を示す。形状は、歪みの測定結果から推定したものである。キャリッジの中央にあたる箇所の範囲６０３では、変形がほとんどないため、アダプタを接続する場合は、この範囲を使用して固定することが望ましい。ちなみに、範囲６０３の長手方向は、ガイドレールの長手方向と平行である。
【００３３】
図７を参照して、転動体が出入りする場合に生じるキャリッジの傾き、並進、変形のテーブルへの伝播がアダプタにより絶縁されるメカニズムを示す。
【００３４】
図７（Ａ１）に、アダプタがキャリッジとテーブル間に設置されている場合の、ガイドレールを可動方向の垂直な方向から見た側面図を示す。また、図７（Ａ２）に、ガイドレールの可動方向から見た場合の図を示す。
【００３５】
図７（Ｂ１）および図７（Ｂ２）は、ガイドレールに対してキャリッジが傾いた場合におけるアダプタの変形の図である。特に、図７（Ｂ１）は、キャリッジにピッチングが生じた場合の図であり、図５で示した逃げ隙間５０２の効果により、キャリッジの傾きによる変位がテーブルに伝わることなく吸収される。同様に、図７（Ｂ２）は、キャリッジにローリングが生じた場合の図であり、図５で示した逃げ隙間５０１の効果により、キャリッジの傾きが吸収される。これにより、キャリッジがどちらの方向に傾いても、テーブルまで傾きが伝播するのを防ぐことが可能である。
【００３６】
図７（Ｃ１）および図７（Ｃ２）は、ガイドレールに対してキャリッジが傾かずに平行に変位する並進が生じた場合の図である。特に、図７（Ｃ１）はキャリッジが上下に並進した場合であり、アダプタが曲がるように弾性変形することでテーブルの変形を抑制している。また、図７（Ｃ２）はキャリッジが水平横方向に並進した場合の図であり、アダプタがせん断変形することでテーブルの変形を抑制している。
【００３７】
図７（Ｄ１）および図７（Ｄ２）に、キャリッジが曲げ変形した場合のアダプタの変形図を示す。特に、図７（Ｄ）１はキャリッジがガイドレールの可動方向に開くように変形した場合であり、図５の逃げ隙間５０２の効果によりテーブルまで変形が伝播するのを防ぐことが可能である。また、図７（Ｄ２）はキャリッジがガイドレールの可動方向に垂直な方向に開くように変形した場合であり、図５の逃げ隙間５０１の効果によりキャリッジの変形が吸収される。
【００３８】
図８を参照して、キャリッジの傾き、並進、変形による歪みのテーブルへの伝達において、アダプタが介在する場合の歪みの伝達経路を示す。図８の逃げ１は図５の逃げ隙間５０１に相当し、逃げ２は図５の逃げ隙間５０２に相当する。また、ガイドの可動方向の歪みをＸ歪み、可動方向に垂直な方向の歪みをＹ歪みと表現する。傾きと変形のＸ歪みに関しては、逃げ２で絶縁され、傾きと変形のＹ歪みに関しては逃げ１で絶縁される。また、並進のＸ歪みとＹ歪みに関してはアダプタが弾性変形することにより低減される。以上により、キャリッジで生じるあらゆる歪みをアダプタで低減することが可能である。
【００３９】
図９を参照して、転動体の出入りにより発生するキャリッジの歪みが、テーブルに伝播することにより生じるテーブルの歪みの測定結果の例を示す。横軸はテーブルの移動量を示し、縦軸はテーブルの歪みを表す。ステージにアダプタを適用しない場合の（ａ）および（ｂ）と、アダプタを適用した場合の（ｃ）および（ｄ）で比較している。アダプタを適用した場合、適用しない場合と比較して、ガイドの可動方向と垂直な方向の両方で歪みが大きく低減しており、テーブルへの歪みの伝播が抑制されている。
【実施例２】
【００４０】
図１０を参照して、歪み絶縁ガイド構造を、アダプタを用いずに、キャリッジ内に弾性変形構造を設ける例について説明する。また、図１１を参照して、弾性変形構造を内蔵したキャリッジの３次元図を示す。また、これとは逆にテーブル内の各キャリッジの固定箇所に、同様の弾性変形構造をそれぞれ内蔵することでも同様の効果を得ることが可能である。図１０に例示するように、キャリッジ２０１内に、テーブル１０５との接触部１００２と、キャリッジ２０１のその他の部分１００３とを接続する接続部１００４（突出部）を作り込むと共に、当該接続部１００４を実施例１で説明したような突出部のような形状とすることによって、実施例１と同等の効果を期待することができる。なお、本実施例においても実施例１と同様、上下に長手方向が異なる２つの接続部を設けるようにしても良い。
【実施例３】
【００４１】
図１２を参照して、歪み絶縁ガイド構造を回転ステージに適用した例を示す。図１２（Ａ）に回転ステージの外観を示す。ベース３０２にガイド１０７が固定されており、その上に搭載されたテーブル１０５をベース３０２に対して回転運動させることが可能である。図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）の回転ステージの平面１２０１における断面図である。キャリッジ２０１にアダプタ４０１を取り付け、アダプタ４０１にテーブル１０５を固定する。
【００４２】
この構成により、ガイドの転動体出入り時のテーブル１０５の変形を抑制することが可能となり、テーブル１０５状の試料の位置ずれを抑制することが可能である。
【符号の説明】
【００４３】
１０１  電子光学系鏡筒
１０４  レーザ干渉計
１０５  テーブル
１０６  ウェハ
１０７  ガイド
１０８  チャック
１０９  コントローラ
１１１  ミラー
１１２  試料室
１１３  除振マウント
２０１  キャリッジ
２０２  ガイドレール
２０３  転動体
３０１  レーザ光軸
３０２  ベース
４０１  アダプタ
５０１  逃げ１
５０２  逃げ２
６０１  歪みが最大となる領域
６０２  歪みが最小となる領域
１００１  アダプタ構造
１２０１  断面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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