(57)【要約】【課題】貼り付け位置精度が非常に高い貼付装置および貼付方法を提供する。【解決手段】本発明に係る貼付装置１は、第１部材１００を水平に保持する第１ステージ２と、第１部材１００の下方において第２部材２００を支持する第２ステージ２０と、制御部とを備える。第２ステージ２０は、第２部材２００の貼始端２００ａを含む端部を支持する貼始側支持ステージ５と、第２部材２００の他の部分を支持する貼終側支持ステージ３とを含む。制御部は、貼始側支持ステージ５のみを上昇させることにより第２部材２００の上記端部を他の部分よりも第１部材１００に近接させ、その後、第２ステージ３，５の位置を微調整することにより両部材１００，２００の位置合わせを行い、さらにその後、第２ステージ３，５の全体を上昇させることにより第２部材２００の上記端部を先行して第１部材１００に貼り付ける。【選択図】図１
2018008464.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第２部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付方法であって、
前記第１部材を水平に保持させる第１工程と、
前記第１部材に離間して対向するように、前記第１部材の下方において前記第２部材を水平に支持させる第２工程と、
前記第２部材の前記貼始端を含む端部を上昇させて、前記第２部材の他の部分よりも前記第１部材に近接させる第３工程と、
前記第２部材の前記端部を先行して前記第１部材に貼り付ける第４工程と、
前記第２部材の前記端部を下方から貼付ローラーで押圧する第５工程と、
前記第２部材の前記貼終端側を下降させて、前記第２部材の前記他の部分を傾斜させる第６工程と、
前記貼付ローラーを水平移動させることにより、前記第２部材の前記他の部分を前記第１部材に貼り付けていく第７工程と、
を含み、前記第１〜第４工程を順次実行した後に、前記第５および第６工程を順不同で実行し、その後、前記第７工程を実行することを特徴とする貼付方法。
【請求項２】
前記第３工程および前記第４工程の間に実行される、前記第１部材および前記第２部材の位置合わせ工程をさらに含み、
前記第４工程において、前記第２部材の姿勢を保ったまま該第２部材の全体を上昇させる、
ことを特徴とする請求項１に記載の貼付方法。
【請求項３】
前記第２工程および前記第３工程の間に実行される、前記第１部材および前記第２部材の位置合わせ工程をさらに含み、
前記第４工程において、前記第２部材の姿勢を保ったまま該第２部材の全体を上昇させる、
ことを特徴とする請求項１に記載の貼付方法。
【請求項４】
前記第２工程および前記第３工程の間に実行される、前記第１部材および前記第２部材の位置合わせ工程をさらに含み、
前記第３工程を実行することにより、前記第４工程が実行される
ことを特徴とする請求項１に記載の貼付方法。
【請求項５】
前記第１部材が透光性を有し、
前記第１部材の上方に配置された光学カメラで、前記第１部材に付された第１アライメントマークの位置を認識するとともに、前記第１部材越しに前記第２部材に付された第２アライメントマークの位置を認識し、前記第１アライメントマークおよび前記第２アライメントマークの位置関係に基づいて前記第１部材または前記第２部材の位置を調整することにより前記位置合わせ工程が実行される
ことを特徴とする請求項２〜請求項４のいずれか一項に記載の貼付方法。
【請求項６】
前記第２工程を実行した後の、前記第１部材および前記第２部材の上下方向の離間距離が０．５ｍｍ〜１．０ｍｍである
ことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の貼付方法。
【請求項７】
第１部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第２部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、
前記第１部材を水平に保持する第１ステージと、
前記第１ステージに保持された前記第１部材に離間して対向するように、前記第１部材の下方において前記第２部材を支持する第２ステージと、
制御部と、
を備え、
前記第２ステージは、前記第２部材の前記貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、前記第２部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、
前記制御部は、前記第２ステージの前記貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、前記第２部材の前記端部を前記他の部分よりも前記第１部材に近接させ、その後、前記第１ステージまたは前記第２ステージの位置を微調整することにより、前記第１部材および前記第２部材の位置合わせを行い、さらにその後、前記第２ステージの全体を上昇させることにより、前記第２部材の前記端部を前記他の部分に先行して前記第１部材に貼り付ける
ことを特徴とする貼付装置。
【請求項８】
第１部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第２部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、
前記第１部材を水平に保持する第１ステージと、
前記第１ステージに保持された前記第１部材に離間して対向するように、前記第１部材の下方において前記第２部材を支持する第２ステージと、
制御部と、
を備え、
前記第２ステージは、前記第２部材の前記貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、前記第２部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、
前記制御部は、前記第１ステージまたは前記第２ステージの位置を微調整することにより、前記第１部材および前記第２部材の位置合わせを行い、その後、前記第２ステージの前記貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、前記第２部材の前記端部を前記他の部分よりも前記第１部材に近接させ、さらにその後、前記第２ステージの全体を上昇させることにより、前記第２部材の前記端部を前記他の部分に先行して前記第１部材に貼り付ける
ことを特徴とする貼付装置。
【請求項９】
第１部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第２部材を前記貼始端から前記貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、
前記第１部材を水平に保持する第１ステージと、
前記第１ステージに保持された前記第１部材に離間して対向するように、前記第１部材の下方において前記第２部材を支持する第２ステージと、
制御部と、
を備え、
前記第２ステージは、前記第２部材の前記貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、前記第２部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、
前記制御部は、前記第１ステージまたは前記第２ステージの位置を微調整することにより、前記第１部材および前記第２部材の位置合わせを行い、その後、前記第２ステージの前記貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、前記第２部材の前記端部を前記他の部分に先行して前記第１部材に貼り付ける
ことを特徴とする貼付装置。
【請求項１０】
前記第１部材は透光性を有し、
前記第１ステージの上方に配置された光学カメラをさらに備え、
前記光学カメラは、透光性を有する前記第１ステージ越しに前記第１部材に付された第１アライメントマークを撮影するとともに、透光性を有する前記第１ステージおよび前記第１部材越しに前記第２部材に付された第２アライメントマークを撮影し、
前記制御部は、前記光学カメラによって撮影された前記第１アライメントマークおよび前記第２アライメントマークの位置関係に基づいて前記第１ステージまたは前記第２ステージの位置を微調整する
ことを特徴とする請求項７〜請求項９のいずれか一項に記載の貼付装置。
【請求項１１】
前記第２ステージは、前記第１部材の０．５ｍｍ〜１．０ｍｍ下方において、前記第１部材に対向するように前記第２部材を支持する
ことを特徴とする請求項７〜請求項１０のいずれか一項に記載の貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の表示装置を構成する第１部材に、同じく表示装置を構成するフィルム状またはシート状の比較的薄い第２部材を貼り付ける貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の表示装置の製造工程においては、比較的厚い第１部材にフィルム状またはシート状の比較的薄い第２部材（例えば、偏光フィルム）を貼り付けるために貼付装置が使用されている。このような貼付装置は従来から種々の方式のものが知られており、例えば、特許文献１には、いわゆる「ローラー貼付方式」を採用した貼付装置が開示されている。
【０００３】
図１１に示すように、特許文献１に記載の貼付装置３００Ａは、第１部材３０１が載置される複数のフリーローラー３０４と、フリーローラー３０４の上方において第１部材３０１を吸着保持する第１保持ステージ３０３と、フリーローラー３０４の下方において接着面が露出するように第２部材３０２を吸着保持する第２保持ステージ３０５と、搬送方向下流側に設けられた貼付ローラー３０６，３０７とを備えている。また、第２保持ステージ３０５は、軸３０５ａ回りに傾動可能となっている。
【０００４】
この貼付装置３００Ａでは、以下の手順で第２部材３０２が第１部材３０１に貼り付けられる。すなわち、第１保持ステージ３０３によって第１部材３０１が所定位置に移動させられた後、第２保持ステージ３０５が傾動することにより、第２部材３０２の貼始端が第１部材３０１に接触した状態とされ（図１１（Ａ））、その後、第１保持ステージ３０３が退避するとともに貼付ローラー３０６，３０７が互いに近付くことにより第１部材３０１および第２部材３０２が挟み込まれ（図１１（Ｂ））、さらにその後、貼付ローラー３０６が半時計回りに、貼付ローラー３０７が時計回りにそれぞれ回転することにより、第２部材３０２が第１部材３０１に貼り付けられていく（図１１（Ｃ））。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−７７４８号公報（特に、図１０）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、表示装置の画素の高密度化にともない、近年、貼付装置は、１０μｍ以下（好ましくは５μｍ以下）の非常に高い位置精度で第２部材を第１部材に貼り付けることが求められるようになってきている。また、フィルム状またはシート状の第２部材は、製造時の残留応力や吸湿等の影響によりカールが生じる場合がある。
【０００７】
このため、従来の貼付装置３００Ａでは、図１２に示すように、カールした第２部材３０２の貼始端が所定位置からずれた位置に貼り付いてしまい、要求される高い位置精度を満足できない場合があった。なお、カールの程度は１枚毎に異なっているので、カールの程度を考慮して第１部材３０１または第２部材３０２の位置を予め調整しておくことによりカールの影響をキャンセルするのは非常に困難である。
【０００８】
第１保持ステージ３０３と第２保持ステージ３０５の位置関係を天地逆転させた図１３に示す貼付装置３００Ｂにおいても、貼付装置３００Ａと同様、第２部材３０２のカールに起因する位置ずれの問題が発生する。また、貼付装置３００Ｂでは、自重によっても第２部材３０２がカールするので、第１部材３０１または第２部材３０２の位置を予め調整することによりカールの影響をキャンセルするのは、より一層困難である。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その課題とするところは、貼り付け位置精度が非常に高い貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明に係る貼付方法は、第１部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第２部材を貼始端から貼終端にかけて貼り付けていく貼付方法であって、第１部材を水平に保持させる第１工程と、第１部材に離間して対向するように、第１部材の下方において第２部材を水平に支持させる第２工程と、第２部材の貼始端を含む端部を上昇させて、第２部材の他の部分よりも第１部材に近接させる第３工程と、第２部材の上記端部を先行して第１部材に貼り付ける第４工程と、第２部材の上記端部を下方から貼付ローラーで押圧する第５工程と、第２部材の貼終端側を下降させて、第２部材の上記他の部分を傾斜させる第６工程と、貼付ローラーを水平移動させることにより、第２部材の上記他の部分を第１部材に貼り付けていく第７工程とを含み、第１〜第４工程を順次実行した後に、第５および第６工程を順不同で実行し、その後、第７工程を実行するよう構成されている。
【００１１】
上記貼付方法は、第３工程および第４工程の間に実行される、第１部材および第２部材の位置合わせ工程をさらに含み、第４工程において、第２部材の姿勢を保ったまま該第２部材の全体を上昇させるよう構成されていることが好ましい。
【００１２】
また、上記貼付方法は、第２工程および第３工程の間に実行される、第１部材および第２部材の位置合わせ工程をさらに含み、第４工程において、第２部材の姿勢を保ったまま該第２部材の全体を上昇させるよう構成されていてもよい。
【００１３】
あるいは、上記貼付方法は、第２工程および第３工程の間に実行される、第１部材および第２部材の位置合わせ工程をさらに含み、第３工程を実行することにより第４工程が実行されるよう構成されていてもよい。
【００１４】
第１部材が透光性を有している場合、上記貼付方法は、第１部材の上方に配置された光学カメラで、第１部材に付された第１アライメントマークの位置を認識するとともに、第１部材越しに第２部材に付された第２アライメントマークの位置を認識し、第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの位置関係に基づいて第１部材または第２部材の位置を調整することにより位置合わせ工程を実行するよう構成されていてもよい。
【００１５】
なお、上記貼付方法は、第２工程を実行した後の、第１部材および第２部材の上下方向の離間距離が、０．５ｍｍ〜１．０ｍｍであることが好ましい。
【００１６】
上記課題を解決するために、本発明に係る第１の貼付装置は、第１部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第２部材を貼始端から貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、第１部材を水平に保持する第１ステージと、第１ステージに保持された第１部材に離間して対向するように、第１部材の下方において第２部材を支持する第２ステージと、制御部とを備え、第２ステージは、第２部材の貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、第２部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、制御部は、第２ステージの貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、第２部材の上記端部を上記他の部分よりも第１部材に近接させ、その後、第１ステージまたは第２ステージの位置を微調整することにより、第１部材および第２部材の位置合わせを行い、さらにその後、第２ステージの全体を上昇させることにより、第２部材の上記端部を上記他の部分に先行して第１部材に貼り付けるよう構成されている。
【００１７】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る第２の貼付装置は、第１部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第２部材を貼始端から貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、第１部材を水平に保持する第１ステージと、第１ステージに保持された第１部材に離間して対向するように、第１部材の下方において第２部材を支持する第２ステージと、制御部とを備え、第２ステージは、第２部材の貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、第２部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、制御部は、第１ステージまたは第２ステージの位置を微調整することにより、第１部材および第２部材の位置合わせを行い、その後、第２ステージの貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、第２部材の上記端部を上記他の部分よりも第１部材に近接させ、さらにその後、第２ステージの全体を上昇させることにより、第２部材の上記端部を上記他の部分に先行して第１部材に貼り付けるよう構成されている。
【００１８】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る第３の貼付装置は、第１部材に対し、貼始端と該貼始端に対向した貼終端とを有する矩形状の第２部材を貼始端から貼終端にかけて貼り付けていく貼付装置であって、第１部材を水平に保持する第１ステージと、第１ステージに保持された第１部材に離間して対向するように、第１部材の下方において第２部材を支持する第２ステージと、制御部とを備え、第２ステージは、第２部材の貼始端を含む端部を支持する貼始側支持ステージと、第２部材の他の部分を支持する貼終側支持ステージとを含み、制御部は、第１ステージまたは第２ステージの位置を微調整することにより、第１部材および第２部材の位置合わせを行い、その後、第２ステージの貼始側支持ステージのみを上昇させることにより、第２部材の上記端部を上記他の部分に先行して第１部材に貼り付けるよう構成されている。
【００１９】
第１部材が透光性を有している場合、上記第１〜第３の貼付装置は、例えば、第１ステージの上方に配置された光学カメラをさらに備え、光学カメラは、透光性を有する第１ステージ越しに第１部材に付された第１アライメントマークを撮影するとともに、透光性を有する第１ステージおよび第１部材越しに第２部材に付された第２アライメントマークを撮影し、制御部は、光学カメラによって撮影された第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの位置関係に基づいて第１ステージまたは第２ステージの位置を微調整するよう構成されていてもよい。
【００２０】
なお、上記第１〜第３の貼付装置の第２ステージは、第１部材の０．５ｍｍ〜１．０ｍｍ下方において、第１部材に対向するように第２部材を支持することが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、貼り付け位置精度が非常に高い貼付装置および貼付方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る貼付装置の概略的な構成を示す側面図である。
【図２】本発明に係る貼付装置によって貼り合される（Ａ）第１部材、および（Ｂ）第２部材の平面図である。
【図３】本発明に係る貼付装置の制御ブロック図である。
【図４】（Ａ）→（Ｂ）→（Ｃ）の順に行われる、本発明に係る貼付装置の貼り付け動作の一例を示す図である。
【図５】図４（Ｃ）に示す動作に続いて（Ａ）→（Ｂ）→（Ｃ）の順に行われる、本発明に係る貼付装置の貼り付け動作の一例を示す図である。
【図６】図５（Ｃ）に示す動作に続いて（Ａ）→（Ｂ）→（Ｃ）の順に行われる、本発明に係る貼付装置の貼り付け動作の一例を示す図である。
【図７】本発明に係る貼付装置による第１部材および第２部材の位置合わせを説明するための図である。
【図８】（Ａ）→（Ｂ）→（Ｃ）の順に行われる、本発明に係る貼付装置の貼り付け動作の別の一例を示す図である。
【図９】図８（Ｃ）に示す動作に続いて（Ａ）→（Ｂ）→（Ｃ）の順に行われる、本発明に係る貼付装置の貼り付け動作の別の一例を示す図である。
【図１０】図９（Ｃ）に示す動作に続いて（Ａ）→（Ｂ）の順に行われる、本発明に係る貼付装置の貼り付け動作の別の一例を示す図である。
【図１１】（Ａ）→（Ｂ）→（Ｃ）の順に行われる、従来の貼付装置の貼り付け動作を示す図である。
【図１２】従来の貼付装置の問題点を説明するための図である。
【図１３】従来の別の貼付装置の問題点を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明に係る貼付装置および貼付方法の実施形態について説明する。
【００２４】
図１に、本発明に係る貼付装置１を示す。貼付装置１は、透光性を有する比較的厚い第１部材１００に対し、貼始端２００ａと該貼始端２００ａに対向した貼終端２００ｂとを有する矩形状の第２部材２００を貼始端２００ａから貼終端２００ｂにかけて貼り付けていくための装置である。同図に示すように、貼付装置１は、第１ステージ２と、その下方に配置された第２ステージ２０（３，５）を含む貼付ユニット２１と、光学カメラユニット２２と、貼付ユニット位置調整・昇降手段１３と、貼付ユニット走行手段１４とを備えている。
【００２５】
第１ステージ２は、透光性を有する樹脂からなる。第１ステージ２は、水平な保持面２ａを有している。そして、この保持面２ａには、ポンプ３１（図３参照）に繋がる複数の吸着ノズル２ｂが開口している。貼り付け動作の間、第１ステージ２は、この保持面２ａによって第１部材１００を吸着保持し続ける。
【００２６】
貼付ユニット２１は、ユニット基台１２と、第２ステージ２０とを含んでいる。そして、第２ステージ２０は、第２部材２００の貼始端２００ａを含む端部を支持する貼始側ステージ５と、第２部材２００の他の部分を支持する貼終側ステージ３とで構成されている。第２部材２００の他の部分は、貼終端２００ｂを含む大多数の部分とも言える。
【００２７】
第２ステージ２０の貼終側ステージ３は、水平な支持面３ａを有している。そして、この支持面３ａには、ポンプ３１に繋がる複数の吸着ノズル３ｂが開口している。貼り付け動作の間、貼終側ステージ３は、この支持面３ａによって第２部材２００を支持し続ける。ただし、吸着ノズル３ｂは、貼り付け動作の途中で動作を停止する。
【００２８】
貼終側ステージ３は、貼終側ステージ傾動手段４を介してユニット基台１２に取り付けられている。このおかげで、貼終側ステージ３は、ユニット基台１２を基準としてＹ軸まわりに傾動することができる。
【００２９】
第２ステージ２０の貼始側ステージ５は、水平な支持面５ａを有している。そして、この支持面５ａには、ポンプ３１に繋がる複数の吸着ノズル５ｂが開口している。貼り付け動作の途中まで、貼始側ステージ５は、この支持面５ａによって第２部材２００を支持し続ける。
【００３０】
貼付ユニット２１は、貼始側ステージ支持部６と、その一側面に設けられたＺ方向に延びるガイド７と、貼始側ステージ支持部６を支持する貼始側ステージ退避手段８と、ユニット基台１２に設けられたＸ方向に延びるガイド９とをさらに含んでいる。貼始側ステージ５は、ガイド７にスライド可能に取り付けられている。また、貼始側ステージ退避手段８は、ガイド９にスライド可能に取り付けられている。なお、貼始側ステージ支持部６およびガイド７は、貼始側ステージ昇降手段を構成する。
【００３１】
図１に示す初期状態において、貼終側ステージ３の支持面３ａおよび貼始側ステージ５の支持面５ａは、同一の水平面内にある。言い換えると、２つの支持面３ａ，５ａは、Ｚ方向の位置（高さ）が等しい。
【００３２】
貼付ユニット２１は、貼付ローラー１０と、ユニット基台１２に設けられた貼付ローラー昇降手段１１とをさらに含んでいる。貼付ローラー昇降手段１１が伸縮すると、その上端に取り付けられた貼付ローラー１０が昇降する。
【００３３】
貼付ユニット走行手段１４は、基台１８に設けられたＸ方向に延びるガイド１５にスライド可能に取り付けられている。また、貼付ユニット走行手段１４は、貼付ユニット位置調整・昇降手段１３を介して貼付ユニット２１のユニット基台１２を支持している。したがって、貼付ユニット走行手段１４がガイド１５に沿ってＸ方向に移動すると、第２ステージ２０（３，５）および貼付ローラー１０を含む貼付ユニット２１全体がＸ方向に移動する。また、貼付ユニット位置調整・昇降手段１３が作動すると、貼付ユニット２１全体がＹ方向に移動したり、貼付ユニット２１全体がθ方向に旋回したり、貼付ユニット２１全体が昇降したりする。
【００３４】
光学カメラユニット２２は、第１ステージ２の上方に配置された４つの光学カメラ（１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ）を含んでいる。これらのうち、カメラ１６ａ，１７ａ（以下、「貼始側カメラ」という）は、貼始端２００ａ側の端部の上方に、Ｙ方向に互いに離間して配置されている。また、カメラ１６ｂ，１７ｂ（以下、「貼終側カメラ」という）は、貼終端２００ｂ側の端部の上方に、Ｙ方向に互いに離間して配置されている。
【００３５】
図２（Ａ）に示すように、第１部材１００の四隅には、中空円状の第１アライメントマークＭ１が各１つ付されている。また、同図（Ｂ）に示すように、第２部材２００の四隅には、第１アライメントマークＭ１に対応する位置に点状の第２アライメントマークＭ２が各１つ付されている。隣り合う第１アライメントマークＭ１の中心を結ぶと、長方形を描くことができる。同様に、隣り合う第２アライメントマークＭ２の中心を結ぶと、長方形を描くことができる。
【００３６】
前述の通り、第１ステージ２は透光性を有している。したがって、各カメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂは、第１ステージ２越しに第１部材１００に付された第１アライメントマークＭ１を撮影することができる。また、前述の通り、第１部材１００も透光性を有している。したがって、各カメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂは、第１ステージ２および第１部材１００越しに第２部材２００に付された第２アライメントマークＭ２を撮影することもできる。
【００３７】
後述するように、貼付装置１は、カメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂによって撮影された第１アライメントマークＭ１および第２アライメントマークＭ２の位置関係に基づいて、第１部材１００および第２部材２００の位置合わせを行う。アライメントマークＭ１，Ｍ２の位置が異なる様々な第１部材１００および第２部材２００の位置合わせを行うために、カメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂは、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能であることが好ましい。
【００３８】
図３に、貼付装置１の制御ブロック図を示す。同図に示すように、貼付装置１に備えられた制御部３０は、（１）第１ステージ２および第２ステージ２０に接続されたポンプ３１の制御、（２）貼始側ステージ５の昇降および退避に関する制御、（３）貼終側ステージ３の傾動に関する制御、（４）貼付ローラー１０の昇降に関する制御、並びに、（５）貼付ユニット２１の位置調整および昇降に関する制御、を行う。ここで、制御部３０は、ポンプ３１を介して、吸着ノズル２ｂ，３ｂ，５ｂの動作を個別に制御することができる。また、制御部３０は、制御（５）を行う際に、光学カメラユニット２２の撮影結果を利用する。
【００３９】
続いて、図４〜図６を参照しながら、貼付装置１の貼り付け動作について説明する。なお、これらの図においては一部の構成要素および参照符号が省略されている。図８〜図１０についても同様である。
【００４０】
図４（Ａ）は、第１ステージ２の水平な保持面２ａの所定位置に前工程から搬送されてきた第１部材１００がセットされるとともに、第２ステージ２０（３，５）の水平な支持面３ａ，５ａの所定位置に前工程から搬送されてきた第２部材２００がセットされた、初期状態を示している。この状態は、図１に示す状態に等しい。
【００４１】
図４（Ｂ）は、貼付ユニット位置調整・昇降手段１３を作動させることにより、第２ステージ２０（３，５）および貼付ローラー１０を含む貼付ユニット２１全体を上昇させた状態を示している。この状態において、第１部材１００および第２部材２００の上下方向の離間距離Ｄは、１ｍｍである。
【００４２】
図４（Ｃ）は、貼始側ステージ昇降手段６，７を作動させることにより、貼始側ステージ５のみを上昇させて、第２部材２００の貼始端２００ａを含む端部を他の部分よりも第１部材１００に近接させた状態を示している。この状態において、第１部材１００および第２部材２００の上下方向の離間距離Ｄは、０．５ｍｍである。ここまで両者を近接させるのは、貼り付け動作が開始される時の状態、すなわち両者の離間距離がゼロとなった状態になるべく近い状態で後述する位置合わせを行うためである。
【００４３】
図５（Ａ）は、カメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂによって、第１部材１００に付された第１アライメントマークＭ１および第２部材２００に付された第２アライメントマークＭ２を撮影している状態を示している。撮影結果は、各カメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂから制御部３０に送られる。そして、制御部３０は、必要に応じて貼付ユニット位置調整・昇降手段１３および／または貼付ユニット走行手段１４を作動させ、第１部材１００に対する第２部材２００の位置ずれを解消する。言い換えると、制御部３０は、第１アライメントマークＭ１および第２アライメントマークＭ２の位置関係に基づいて、第１部材１００および第２部材２００の位置合わせを行う。
【００４４】
制御部３０は、図７に示す手法により位置合わせを行う。
【００４５】
まず、制御部３０は、撮影結果から求めた４つの第１アライメントマークＭ１の位置を頂点とする矩形を仮想空間上で描き、対向する長辺の中心同士を結ぶ線Ｌ１ａと、対向する短辺の中心同士を結ぶ線Ｌ１ｂと、線Ｌ１ａ，Ｌ１ｂの交点Ｃ１を求める（同図（Ａ）参照）。次に、制御部３０は、撮影結果から求めた４つの第２アライメントマークＭ２の位置を頂点とする矩形を仮想空間上で描き、対向する長辺の中心同士を結ぶ線Ｌ２ａと、対向する短辺の中心同士を結ぶ線Ｌ２ｂと、線Ｌ２ａ，Ｌ２ｂの交点Ｃ２を求める（同図（Ｂ）参照）。
【００４６】
そして、制御部３０は、交点Ｃ１および交点Ｃ２に位置ずれが生じている場合は、貼付ユニット位置調整・昇降手段１３および／または貼付ユニット走行手段１４を作動させることにより、貼付ユニット２１全体をＹ方向および／またはＸ方向に移動させて、交点Ｃ２の位置を交点Ｃ１の位置に一致させる。さらに、制御部３０は、線Ｌ１ａと線Ｌ２ａとのなす角度が０°ではない場合は、貼付ユニット位置調整・昇降手段１３を作動させることにより、貼付ユニット２１全体をθ方向に旋回させて、これを０°に近付ける。
【００４７】
位置合わせの精度を高めるために、アライメントマークＭ１，Ｍ２の撮影およびその結果に基づく位置合わせは、複数回行われることが好ましい。
【００４８】
図５（Ｂ）は、貼付ユニット位置調整・昇降手段１３を作動させることにより、貼付ユニット２１全体を上昇させて、第２部材２００の貼始端２００ａを含む端部を他の部分に先行して第１部材１００に貼り付けた状態を示している。貼付ユニット２１全体を真上に上昇させるだけなので、図５（Ｂ）に示す状態への移行時に、第１部材１００と第２部材２００の間に位置ずれが生じることはない。
【００４９】
図５（Ｃ）は、貼始側ステージ昇降手段６，７および貼始側ステージ退避手段８を作動させることにより、貼始側ステージ５を退避させた状態を示している。貼始側ステージ５によって支持されていた第２部材２００の端部は、第１部材１００および第２部材２００の一方に設けられた接着層（不図示）を介して第１部材１００にしっかりと貼り付いているので、貼始側ステージ５が退避しても該端部が脱落することはない。
【００５０】
図６（Ａ）は、貼付ローラー昇降手段１１を作動させることにより、貼付ローラー１０を上昇させて、貼始側ステージ５によって支持されていた部分を貼付ローラー１０で押圧させた状態を示している。このとき、制御部３０は、第２部材２００からの反力が所定の範囲内となるように貼付ローラー昇降手段１１を制御することが好ましい。
【００５１】
図６（Ｂ）は、貼終側ステージ傾動手段４を作動させることにより、貼終側ステージ３を傾動させた状態を示している。貼終側ステージ３を傾動させることにより、第２部材２００の姿勢が、ストレスが少ない、緩やかに湾曲した姿勢となる。
【００５２】
図６（Ｃ）は、貼付ユニット走行手段１４を作動させることにより、貼付ユニット２１全体をＸ方向に移動させた状態を示している。この移動より、第２部材２００は、第１部材１００に貼り付けられていく。
【００５３】
このように、本発明に係る貼付装置および貼付方法によれば、第２部材２００の一部分を他の部分に先行して第１部材１００に貼り付ける時の状態に非常に近い状態で第１部材１００および第２部材２００の位置合わせを行うことにより、貼り付け位置精度を向上させることができる。
【００５４】
なお、本発明に係る貼付装置および貼付方法は、上記の構成に限定されない。
【００５５】
例えば、本発明に係る貼付装置は、図８〜図１０に示す貼り付け動作を行っても良い。この貼り付け動作は、以下の点において図４〜図６に示す貼付動作と異なっている。
図８（Ｂ）：貼付ユニット位置調整・昇降手段１３を作動させることにより、第２ステージ２０（３，５）および貼付ローラー１０を含む貼付ユニット２１全体を、離間距離Ｄが０．５ｍｍとなるまで上昇させること。
図８（Ｃ）：第２部材２００の一部が他の部分よりも第１部材１００に近接した状態ではなく、第２部材２００の姿勢が真っ直ぐな状態で位置合わせを行うこと。
図９（Ａ）：貼始側ステージ昇降手段６，７を作動させることにより、貼始側ステージ５のみを上昇させると、第２部材２００の貼始端２００ａを含む端部が他の部分に先行して第１部材１００に貼り付けられること。
図９（Ｃ），図１０（Ａ）：貼始側ステージ５で支持されていた部分を貼付ローラー１０で押圧する前に、貼終側ステージ３を傾動させること。
【００５６】
また、第１部材１００および第２部材２００の位置合わせは、図７に示す手法とは異なる手法で行われてもよい。
【００５７】
さらに、第１部材１００および第２部材２００の位置合わせでは、貼付ユニット２１（第２部材２００）ではなく、第１ステージ２（第１部材１００）の位置を微調整してもよい。
【００５８】
また、第１ステージ２は、透光性を有していなくてもよい。この場合は、各カメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂの直下に貫通穴を形成し、これを通して各カメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが第１部材１００および第２部材２００を撮影できるようにしておく必要がある。
【００５９】
また、離間距離Ｄは、０．５ｍｍ〜１．０ｍｍの範囲内で変更することができる。離間距離Ｄがこの上限を上回ると、位置合わせを行ってから第２部材２００の一部が第１部材１００に貼り付けられるまでの間に位置ずれが起こる可能性が高くなる。一方、離間距離Ｄがこの下限を下回ると、第１部材１００と第２部材２００が意図せず接触する可能性が高くなる。
【００６０】
また、アライメントマークＭ１，Ｍ２の形状および位置は、任意に変更することができる。ただし、第１アライメントマークＭ１および第２アライメントマークＭ２の形状は、異なっていることが好ましい。また、第１アライメントマークＭ１の位置および第２アライメントマークＭ２の位置は、対応している必要がある。
【符号の説明】
【００６１】
１    貼付装置
２    第１ステージ
２ａ    保持面
３    貼終側ステージ
３ａ    支持面
４    貼終側ステージ傾動手段
５    貼始側ステージ
５ａ    支持面
６    貼始側ステージ支持部（貼始側ステージ昇降手段）
７    ガイド（貼始側ステージ昇降手段）
８    貼始側ステージ退避手段
９    ガイド
１０    貼付ローラー
１１    貼付ローラー昇降手段
１２    ユニット基台
１３    貼付ユニット位置調整・昇降手段
１４    貼付ユニット走行手段
１５    ガイド
１６ａ，１７ａ    貼始側カメラ
１６ｂ，１７ｂ    貼終側カメラ
１８    基台
２０    第２ステージ
２１    貼付ユニット
２２    光学カメラユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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