(57)【要約】【課題】帯域通過型フィルタの共振子として用いた場合に、フィルタ特性の劣化が生じ難い、弾性波装置を提供する。【解決手段】圧電板２上に、ＩＤＴ電極３が設けられており、ＩＤＴ電極３が、第１のバスバー３ａと、第２のバスバー３ｂとを有し、第１のバスバー３ａに複数本の第１の電極指１１及び複数本の第１のダミー電極指１３の一端が接続されており、第２のバスバー３ｂに、複数本の第２の電極指１２及び複数本の第２のダミー電極指１４の一端が接続されており、第１のバスバー３ａ及び第２のバスバー３ｂのうちの少なくとも一方において、対向するバスバーに向かって開いた凹部３ａ１，３ｂ１が設けられており、凹部３ａ１，３ｂ１内、少なくとも１本の第１または第２のダミー電極指１３，１４が配置されている、弾性波装置１。【選択図】図１
2018191054.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電性を有する基板と、
前記圧電性を有する基板の一方主面に設けられているＩＤＴ電極とを備え、
前記ＩＤＴ電極が、第１のバスバーと、前記第１のバスバーと隔てられた第２のバスバーと、
前記第１のバスバーに一端が接続されており、前記第２のバスバー側に向かって延ばされている複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されており、他端が前記第１のバスバー側に向かって延ばされている複数本の第２の電極指と、一端が前記第２のバスバーに接続されており、他端が前記第１の電極指の先端とギャップを隔てて対向されている複数本の第１のダミー電極指と、一端が前記第１のバスバーに接続されており、他端が前記第２の電極指の先端とギャップを隔てて対向されている複数本の第２のダミー電極指とを有し、
前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーのうちの少なくとも一方において、対向するバスバー側に向かって開いた凹部が設けられており、前記凹部内に、少なくとも１本の前記第１または第２のダミー電極指が配置されている、弾性波装置。
【請求項２】
前記凹部内に配置されている前記第１または第２のダミー電極指の前記他端と前記第１または第２の電極指の先端との間のギャップの位置と、前記凹部外に位置している前記第１または第２のダミー電極指と、前記第１または第２の電極指との先端との間のギャップの位置とが、前記第１，第２の電極指の延びる方向において同じ位置にあり、前記凹部内に配置されている前記第１または第２のダミー電極指の長さが、前記凹部外に位置している前記第１または第２のダミー電極指の長さよりも長くされている、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記凹部内に配置されている前記第１または第２のダミー電極指の前記他端と前記第１または第２の電極指の先端との間のギャップの位置と、前記凹部外に位置している前記第１または第２のダミー電極指と、前記第１または第２の電極指との先端との間のギャップの位置とが、前記第１，第２の電極指の延びる方向において異なる位置にある、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記凹部内に位置している前記第１または第２のダミー電極指の長さと、前記凹部外に位置している前記第１または第２のダミー電極指の長さとが等しい、請求項３に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記凹部内に位置している前記第１または第２のダミー電極指の先端と、前記第１または第２の電極指との先端との間に設けられた浮き電極指をさらに備える、請求項３に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーの少なくとも一方において、凹部が複数設けられている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーの少なくとも一方において、前記第１のダミー電極指または前記第２のダミー電極指が一本おきに前記凹部内に配置されている、請求項６に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記第１または第２のバスバーにおける前記凹部の外周縁が丸みを帯びている、請求項１〜７のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記第１または第２のバスバーにおける前記凹部の外周縁において、前記凹部の底辺に位置している部分が、前記第１のバスバーまたは前記第２のバスバーの延びる方向と平行である、請求項１〜８のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項１０】
前記圧電性を有する基板が、ＬｉＴａＯ３またはＬｉＮｂＯ３からなる、請求項１〜９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダミー電極指が設けられているＩＤＴ電極を有する弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１には、ダミー電極指を有する弾性波装置が開示されている。ダミー電極指とは、ＩＤＴ電極において、相手方の電極指の先端とギャップを隔てて対向されている電極指である。特許文献１では、第１のバスバーに第１の電極指の一端が接続されており、第１の電極指の先端とギャップを隔てて対向するように第１のダミー電極指が設けられている。第１のダミー電極指は、基端が第２のバスバーに接続されている。また、第２のダミー電極指は、先端が第２の電極指の先端とギャップを隔てて対向されている。第２のダミー電極指の基端は第１のバスバーに接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１２０６８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
第１，第２のダミー電極指を設けることにより、第２または第１のバスバー側への弾性波の漏洩が抑制されるので、励振された弾性波をより強くＩＤＴ電極の電極指交差領域に閉じ込めることができる。しかしながら、第１，第２のダミー電極指を設けただけでは、バスバー側への弾性波の漏洩をなお十分に抑制することはできなかった。そのため、弾性波装置を共振子として用いた帯域通過型フィルタにおいて、フィルタ特性を十分に改善することができなかった。
【０００５】
本発明の目的は、弾性波の伝搬損失が低減でき、帯域通過型フィルタ用の共振子として用いた場合に、フィルタ特性の向上が可能な、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る弾性波装置は、圧電性を有する基板と、前記圧電性を有する基板の一方主面に設けられているＩＤＴ電極とを備え、前記ＩＤＴ電極が、第１のバスバーと、前記第１のバスバーと隔てられた第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一端が接続されており、前記第２のバスバー側に向かって延ばされている複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されており、他端が前記第１のバスバー側に向かって延ばされている複数本の第２の電極指と、一端が前記第２のバスバーに接続されており、他端が前記第１の電極指の先端とギャップを隔てて対向されている複数本の第１のダミー電極指と、一端が前記第１のバスバーに接続されており、他端が前記第２の電極指の先端とギャップを隔てて対向されている複数本の第２のダミー電極指とを有し、前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーのうちの少なくとも一方において、対向するバスバー側に向かって開いた凹部が設けられており、前記凹部内に、少なくとも１本の前記第１または第２のダミー電極指が配置されている。
【０００７】
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、前記凹部内に配置されている前記第１または第２のダミー電極指の前記他端と前記第１または第２の電極指の先端との間のギャップの位置と、前記凹部外に位置している前記第１または第２のダミー電極指と、前記第１または第２の電極指との先端との間のギャップの位置とが、前記第１，第２の電極指の延びる方向において同じ位置にあり、前記凹部内に配置されている前記第１または第２のダミー電極指の長さが、前記凹部外に位置している前記第１または第２のダミー電極指の長さよりも長くされている。
【０００８】
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記凹部内に配置されている前記第１または第２のダミー電極指の前記他端と前記第１または第２の電極指の先端との間のギャップの位置と、前記凹部外に位置している前記第１または第２のダミー電極指と、前記第１または第２の電極指との先端との間のギャップの位置とが、前記第１，第２の電極指の延びる方向において異なる位置にある。
【０００９】
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記凹部内に位置している前記第１または第２のダミー電極指の長さと、前記凹部外に位置している前記第１または第２のダミー電極指の長さとが等しい。
【００１０】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記凹部内に位置している前記第１または第２のダミー電極指の先端と、前記第１または第２の電極指との先端との間に設けられた浮き電極指をさらに備える。この場合には、フィルタ特性の劣化が生じ難いだけでなく、サージ耐性を高めることができる。
【００１１】
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーの少なくとも一方において、凹部が複数設けられている。
【００１２】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーの少なくとも一方において、前記第１のダミー電極指または前記第２のダミー電極指が一本おきに前記凹部内に配置されている。
【００１３】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記第１または第２のバスバーにおける前記凹部の外周縁が丸みを帯びている。
【００１４】
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記第１または第２のバスバーにおける前記凹部の外周縁において、前記凹部の底辺に位置している部分が、前記第１のバスバーまたは前記第２のバスバーの延びる方向と平行である。
【００１５】
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記圧電性を有する基板が、ＬｉＴａＯ３またはＬｉＮｂＯ３からなる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、帯域通過型フィルタの共振子として用いた場合に、フィルタ特性の劣化が生じ難い弾性波装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置を説明するための平面図及び（ａ）中の一部の拡大図である。
【図２】実施例１、実施例３及び比較例１の帯域通過型フィルタのフィルタ特性を示す図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置を説明するための平面図及び（ａ）中の一部の拡大図である。
【図４】実施例２、実施例４及び比較例１の帯域通過型フィルタのフィルタ特性を示す図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置を説明するための平面図及び（ａ）中の一部の拡大図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第４の実施形態に係る弾性波装置を説明するための平面図及び（ａ）中の一部の拡大図である。
【図７】本発明の第５の実施形態に係る弾性波装置を説明するための平面図である。
【図８】凹部の形状の変形例を示す部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１９】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【００２０】
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置を説明するための平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の破線で囲まれた部分を拡大して示す拡大図である。
【００２１】
弾性波装置１は、圧電性を有する基板としての圧電板２を有する。圧電板２は、対向し合う第１の主面２ａと、第２の主面とを有する。図１（ａ）では、第２の主面は図示されていない。第１の主面２ａに、ＩＤＴ電極３が設けられている。ＩＤＴ電極３は、第２の主面側に設けられていてもよい。
【００２２】
ＩＤＴ電極３の両側に反射器４，５が設けられている。弾性波装置１は、ＩＤＴ電極３と、反射器４，５とを有する１ポート型弾性波共振子である。
【００２３】
圧電性を有する基板としての圧電板２は、少なくとも表面に圧電性を有する基板であればよい。圧電板２は、基板全体が圧電性を有していてもよい。本実施形態では、圧電板２は、ＬｉＮｂＯ３からなる。もっとも、圧電板２は、ＬｉＴａＯ３などの他の圧電単結晶により構成されていてもよい。また、圧電板２は、圧電セラミックスからなるものであってもよい。
【００２４】
ＩＤＴ電極３及び反射器４，５は、Ａｌ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｗ、Ｍｏまたはこれらの金属元素を主体とする合金などからなる。また、ＩＤＴ電極３及び反射器４，５は、複数の金属層を積層した積層金属膜からなるものであってもよい。弾性波装置１の特徴は、ＩＤＴ電極３の電極構造にある。ＩＤＴ電極３は、第１のバスバー３ａと、第１のバスバー３ａと隔てられて配置された第２のバスバー３ｂとを有する。第１のバスバー３ａに、複数本の第１の電極指１１の基端が接続されている。第２のバスバー３ｂに、複数本の第２の電極指１２の基端が接続されている。
【００２５】
第１の電極指１１の先端は、第１のダミー電極指１３の先端とギャップを隔てて対向されている。第１のダミー電極指１３の基端は、第２のバスバー３ｂに接続されている。
【００２６】
同様に、第２の電極指１２の先端は、ギャップを隔てて第２のダミー電極指１４の先端と対向されている。第２のダミー電極指１４の基端は、第１のバスバー３ａに接続されている。
【００２７】
複数本の第１の電極指１１と、複数本の第２の電極指１２とは、互いに間挿し合っている。弾性波の伝搬する方向は、第１，第２の電極指１１，１２が延びる方向と直交する方向である。この弾性波伝搬方向から視たときに、第１の電極指１１と第２の電極指１２とが重なり合っているところが、交差領域である。交差領域において、弾性波が励振される。
【００２８】
ＩＤＴ電極３では、第１の電極指１１の先端側において、上記第１の電極指１１が延びる方向の延長上に第１のダミー電極指１３が設けられている。同様に、第２の電極指１２の先端側には、第２の電極指１２が延びる方向の延長上に、第２のダミー電極指１４が設けられている。複数本の第１のダミー電極指１３及び複数本の第２のダミー電極指１４を設けることにより、弾性波の第１，第２のバスバー３ａ，３ｂ側への漏洩が抑制されている。
【００２９】
加えて、弾性波装置１では、第１のバスバー３ａ及び第２のバスバー３ｂに、複数の凹部３ａ１，３ｂ１が設けられている。図１（ｂ）において、凹部３ｂ１を代表して説明することとする。凹部３ｂ１は、第２のバスバー３ｂの内側端縁３ｂ２よりも、第１，第２の電極指１１，１２の延びる方向において、外側に至っている。凹部３ｂ１は、第２のバスバー３ｂにおいて、対向する第１のバスバー３ａ側に向かって開いた形状とされている。凹部３ｂ１の平面形状は特に限定されていないが、本実施形態では、矩形の形状を有している。凹部３ｂ１の底辺に位置している部分は、第２のバスバー３ｂの延びる方向と平行とされている。凹部３ａ１も同様も形状とされている。
【００３０】
また、凹部３ｂ１内には、一本の第１のダミー電極指１３が配置されている。図１（ｂ）に示すように、凹部３ｂ１内に至っている第１のダミー電極指１３の長さＢは、凹部３ｂ１外に位置している第１のダミー電極指１３よりも長くなっている。すなわち、凹部３ｂ１の深さＡの分だけ、凹部３ｂ１外の第１のダミー電極指１３の長さよりも、凹部３ｂ１内に至っている第１のダミー電極指１３の長さＢが長くなっている。
【００３１】
弾性波装置１では、複数本の第１のダミー電極指１３は、一本おきに凹部３ｂ１内に至っている。第２のダミー電極指１４についても、同様に、一本おきに凹部３ａ１内に至っている。
【００３２】
弾性波装置１では、上記複数の凹部３ａ１，３ｂ１が設けられており、凹部３ａ１，３ｂ１内に、第１のダミー電極指１３または第２のダミー電極指１４が至っているため、第１のバスバー３ａ及び第２のバスバー３ｂ側への弾性波の漏洩を十分に抑制することができる。そのため、弾性波装置１では、Ｑ値を高めることができる。よって、弾性波装置１を共振子として用いた帯域通過型のフィルタでは、通過帯域内の損失を小さくすることができ、かつ通過帯域外の減衰量を大きくすることができる。これを、以下の実施例１及び比較例１の対比により説明する。
【００３３】
実施例１として、上記弾性波装置１を作製した。設計パラメータは以下の通りとした。
【００３４】
圧電板２の材料としてＬｉＮｂＯ３を用いた。ＩＤＴ電極３の材料としてＮｉＣｒ層、Ｐｔ層、Ｔｉ層、ＡｌＣｕ層、Ｔｉ層が積層された積層金属膜を用いた。反射器４，５の電極材料は、ＩＤＴ電極３と同様とした。
【００３５】
上記弾性波装置１は直列腕共振子及び並列腕共振子として用い、ラダー型フィルタを作製した。なお、直列腕共振子及び並列腕共振子におけるＩＤＴ電極３及び反射器４，５の設計パラメータは以下の表１に示す通りとした。
【００３６】
なお、ＩＤＴ電極３の電極指ピッチで定まる波長をλとする。また、ラダー型フィルタの回路構成は、直列腕共振子５個及び並列腕共振子４個の構成とした。
【００３７】
【表１】
2018191054.tif 000003
【００３８】
実施例１では、上記凹部３ａ１，３ｂ１の深さＡ＝１．２λ、凹部３ａ１，３ｂ１内に至っている第１，第２のダミー電極指１３，１４の長さＢ＝２．２λ、第１，第２のダミー電極指１３，１４の先端と第２または第１の電極指との間のギャップの寸法Ｃ＝０．２λとした。また、凹部３ａ１，３ｂ１の弾性波伝搬方向に沿う寸法である幅Ｗは、０．８７λとした。また、第１及び第２の電極指１１，１２の第１，第２のダミー電極指１３，１４の幅Ｄは０．２９λとした。比較のために、上記凹部３ａ１，３ｂ１が設けられていないことを除いては、上記実施例１と同様の弾性波装置を比較例１として作製した。
【００３９】
比較例１の弾性波装置を同様に複数個用い、ラダー型フィルタを作製した。
【００４０】
図２に、実線で実施例１のフィルタ特性を、一点鎖線で比較例１のフィルタ特性を示す。
【００４１】
図２から明らかなように、通過帯域内における損失を、比較例１に比べ、実施例１によれば、充分に小さくし得ることがわかる。これは、第１，第２バスバー３ａ，３ｂ側への弾性波の漏洩が比較例１に比べ小さくなっていることによると考えられる。従って、エネルギー損失が少ないため、通過帯域内における損失が十分小さくされている。
【００４２】
図３（ａ）は、第２の実施形態に係る弾性波装置の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）中の破線で囲まれた部分を拡大して示す拡大図である。
【００４３】
第２の実施形態の弾性波装置２１では、第１の実施形態の場合と同様に、第１のダミー電極指１３の一本おきに複数の凹部３ｂ１が第２のバスバー３ｂに設けられている。第１のバスバー３ａ側においても、第２のダミー電極指１４の一本おきに複数の凹部３ａ１が設けられている。もっとも、図３（ｂ）に示すように、凹部３ｂ１内に配置されている第１のダミー電極指１３の長さＢは、凹部３ｂ１外に位置している第１のダミー電極指１３の長さと等しくされている。従って、第１の電極指１１と第１のダミー電極指１３とが対向しているギャップの位置が、一本おきに交差幅方向において異なっている。このように、凹部３ｂ１内に位置している第１のダミー電極指１３の長さを、凹部３ｂ１外に位置している第１のダミー電極指１３と等しくしてもよい。この場合、凹部３ｂ１内に、第１のダミー電極指１３の全体が位置していることになる。
【００４４】
このように、第１のダミー電極指１３の長さは、凹部３ｂ１外に位置している第１のダミー電極指１３と等しくてもよく、異なっていてもよい。
【００４５】
次に、第２の実施形態についての実施例２の弾性波装置を用いたラダー型フィルタを以下の要領で作製した。
【００４６】
凹部３ｂ１内にある場合の第１のダミー電極指１３の長さを、凹部３ｂ１外の第１のダミー電極指１３と同様に、１λとしたことを除いては、実施例１と同様にして、実施例２の弾性波装置を作製した。そして、実施例２の場合と同様に、この弾性波装置を用いて設計パラメータは実施例１と同様にして、ラダー型フィルタを作製した。
【００４７】
図４に、実線で実施例２の弾性波装置を用いたラダー型フィルタのフィルタ特性を、一点鎖線で比較例１のラダー型フィルタのフィルタ特性を示す。
【００４８】
図４から明らかなように、実施例２においても、比較例１に比べ、低損失のフィルタ特性が得られることがわかる。
【００４９】
図５（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置の平面図及び（ｂ）中の破線で囲まれた部分を拡大して示す拡大図である。
【００５０】
第３の実施形態の弾性波装置３１では、第１のダミー電極指１３の先端と、寸法Ｃのギャップを隔てて、浮き電極指１３Ａが設けられている。この浮き電極指１３Ａの第２の端部は、第１の電極指１１の先端と寸法Ｅのギャップを隔てて対向されている。凹部３ｂ１内に位置している第１のダミー電極指１３及び浮き電極指１３Ａを、連続させると、第１の実施形態における凹部３ｂ１に至っている第１のダミー電極指１３に相当する。従って、第３の実施形態の弾性波装置３１は、上記浮き電極指１３Ａを有するように、第１の実施形態を変形した構造に相当する。なお、第２のダミー電極指１４側においても、凹部３ａ１内に配置されている第２のダミー電極指１４の先端側に、同様に浮き電極指１４Ａが設けられている。
【００５１】
弾性波装置３１は、上記の点を除けば、第１の実施形態の弾性波装置１と同様である。従って、同一部分については、同一の参照番号を付することにより、その説明を省略する。
【００５２】
次に、第３の実施形態の弾性波装置３１について、実施例３の弾性波装置及びラダー型フィルタを以下の要領で作製した。
【００５３】
凹部３ｂ１内に配置されている第１のダミー電極指１３の長さＢ＝１λ、浮き電極指１３Ａの第１の端部と第１のダミー電極指１３の先端との間のギャップの交差幅方向に沿う寸法Ｃ＝０．２λ、浮き電極指１３Ａの交差幅方向に沿う寸法である長さＦ＝１λ、浮き電極指１３Ａの第２の端部と第１の電極指１１の先端との間のギャップの寸法Ｅ＝０．２λ、凹部３ｂ１の深さＡ＝１．２λ。
【００５４】
第１のバスバー３ａ側においても、同様の構成とした。上記弾性波装置３１を用いたことを除いては、実施例１の場合と同様にして、ラダー型フィルタを作製した。
【００５５】
上記のようにして得た実施例３のラダー型フィルタのフィルタ特性を図２に破線で示す。図２から明らかなように、実施例３のフィルタ特性においても、実施例１と同様に、比較例１に比べて、通過帯域内における損失を十分に小さくすることができる。加えて、浮き電極指１３Ａは、第１の電極指１１と第１のダミー電極指１３との間に配置されているため、第１の電極指１１から第１のダミー電極指１３側への急激な電荷の流入を抑制することができる。そのため、耐サージ性を高めることも可能となる。
【００５６】
図６（ａ）は、第４の実施形態に係る弾性波装置の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）中の破線で囲まれた部分を拡大して示す拡大図である。
【００５７】
第４の実施形態の弾性波装置４１は、第２の実施形態の弾性波装置２１の変形例に相当する。すなわち、図６（ｂ）に示すように、凹部３ｂ１内に位置している第１のダミー電極指１３の先端とギャップを隔てて対向している浮き電極指１３Ａが設けられている。浮き電極指１３Ａの交差幅方向において第１の端部とは反対側の第２の端部が寸法Ｅのギャップを隔てて第１の電極指１１の先端と対向されている。なお、第２のダミー電極指１４側においても、凹部３ａ１内に配置されている第２のダミー電極指１４の先端側、同様に浮き電極指１４Ａが設けられている。
【００５８】
弾性波装置４１の実施例として、以下の実施例４を作製し、実施例１の場合と同様にして、ラダー型フィルタを作製した。
【００５９】
凹部３ｂ１の深さＡ＝１．２λとした。凹部３ｂ１内に位置している第１のダミー電極指１３の長さＢ＝１λ、浮き電極指１３Ａの第１の端部と第１のダミー電極指１３の先端との間のギャップの寸法Ｃ＝０．２λ、第１のダミー電極指１３の幅Ｄ＝０．２９λ、浮き電極指１３Ａの第２の端部と第１の電極指１１との間のギャップの寸法Ｅ＝０．２λ、浮き電極指１３Ａの交差幅方向に沿う寸法であるの長さＦ＝０．５λとした。その他の構成は実施例２と同様とした。そして、実施例１と同様にして、ラダー型フィルタを作製した。
【００６０】
上記のようにして得た実施例４のラダー型フィルタのフィルタ特性を、図４に破線で示す。図４から明らかなように、実施例４においても、実施例２と同様に、比較例１と比べて、通過帯域内における損失を小さくし得ることがわかる。また、弾性波装置４１においても、浮き電極指１３Ａが設けられていることにより、耐サージ性を高めることができる。
【００６１】
第１〜第４の実施形態の弾性波装置１，２１，３１，４１では、第１のダミー電極指１３は一本おきに凹部３ｂ１内に配置されていたが、図７に示すように、第１のダミー電極指１３は２本おきに凹部３ｂ１内に配置されてもよい。このように、第１のダミー電極指及び第２のダミー電極指はそれぞれ、ｎ本（ｎは整数）おきに複数の凹部３ａ１及び３ｂ１内に配置されていてもよい。
【００６２】
また、上記実施形態の弾性波装置１では、凹部３ｂ１の底辺に位置している部分が、第２のバスバー３ｂの内側端縁の延びる方向と平行とされていたが、凹部３ｂ１の形状はこれに限定されるものではない。
【００６３】
図８に示すように、第２のバスバー３ｂの凹部３ｂ１を囲む外周縁は丸みを帯びていてもよい。
【００６４】
さらに、本発明の弾性波装置においては、交差幅は、弾性波伝搬方向において一定であってもよく、重なっていてもよく、さらに交差幅重み付けが施されていてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
１，２１，３１，４１…弾性波装置
２…圧電板
２ａ…第１の主面
３…ＩＤＴ電極
３ａ…第１のバスバー
３ｂ…第２のバスバー
３ａ１，３ｂ１…凹部
３ｂ２…第２のバスバーの内側端縁
４，５…反射器
１１，１２…第１，第２の電極指
１３，１４…第１，第２のダミー電極指
１３Ａ，１４Ａ…浮き電極指
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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