(57)【要約】      （修正有）【課題】結晶性の良いチャネル層を有し、キャリアである電子の移動度が高移動度であり、高密度の２次元電子ガス（２ＤＥＧ）を有する、高出力素子を提供する。【解決手段】高出力素子は、窒化Ｇａ層である第１の窒化物半導体層２０と、第１の窒化物半導体層２０上に、Ｉｎ元素を含有し、膜厚が０．２６〜１００ｎｍの範囲内に形成された第２の窒化物半導体層３０と、第２の窒化物半導体層３０上に形成され、Ａｌ元素を含有した第３の窒化物半導体層４０と、を具備している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の窒化物半導体層と、
前記第１の窒化物半導体層上に、Ｉｎ元素を含有し、膜厚が０．２６〜１００ｎｍの範囲内に形成された第２の窒化物半導体層と、
前記第２の窒化物半導体層上に形成され、Ａｌ元素を含有した第３の窒化物半導体層と、
を具備する高出力素子。
【請求項２】
前記第２の窒化物半導体層は、緩和していない、
請求項１に記載の高出力素子。
【請求項３】
前記第１の窒化物半導体層は、窒化ガリウム層であり、
前記第２の窒化物半導体層は、窒化インジウムガリウム層、窒化インジウム層、または窒化ガリウムのバンドギャップよりも低い値を有する窒化インジウムアルミニウムガリウム層若しくは窒化インジウムアルミニウム層、のいずれかであり、
前記第３の窒化物半導体層は、窒化アルミニウムガリウム層、窒化アルミニウム層、または窒化ガリウムのバンドギャップよりも高い値を有する窒化インジウムアルミニウムガリウム層若しくは窒化インジウムアルミニウム層、のいずれかである、
請求項１または請求項２に記載の高出力素子。
【請求項４】
前記第１の窒化物半導体層は基板上に設けられたバッファ層の上に形成されており、
前記バッファ層は窒化インジウムアルミニウムガリウム層である、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の高出力素子。
【請求項５】
前記基板はＳｉ、ＳｉＣ、α-Ａｌ２Ｏ３、ＧａＮ、ＺｎＯ、ダイヤモンドのいずれかである、請求項４に記載の高出力素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、高出力素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高出力素子（一例としてＨＥＭＴ（High Electron Mobility Transistor））には窒化物半導体層のＧａＮ層と窒化物半導体層ＡｌＧａＮ層との間に窒化物半導体層のＩｎＧａＮを厚く形成した構造の物がある。
【０００３】
しかし、ＩｎＧａＮ層を厚く形成すると、ＧａＮ層とＩｎＧａＮ層との格子間の接続が切断され、ＩｎＧａＮ層が緩和される。ＩｎＧａＮ層が緩和されると、格子間の欠陥の発生など結晶構造に乱れが生じ、キャリアである電子の散乱が発生する。このため、ＩｎＧａＮ層とＡｌＧａＮ層との界面における２次元電子ガス（2 Dimensional Electron Gas、２ＤＥＧ）の電子移動度が低下する、電子密度が低下する、という問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００４−５１５９０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、結晶性の良いチャネル層を有し、高移動度で高密度の２次元電子ガスを有する、高出力素子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、実施形態の高出力素子は、第１の窒化物半導体層と、前記第１の窒化物半導体層上に、Ｉｎ元素を含有し、膜厚が０．２６〜１００ｎｍの範囲内に形成された第２の窒化物半導体層と、前記第２の窒化物半導体層上に形成された第３の窒化物半導体層と、を具備している。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施形態である高出力素子の断面図。
【図２】実施形態の伝導帯のバンド図。
【図３】実施形態の格子間距離とバンドギャップの相関図。
【図４】実施形態の窒化物半導体層の格子結合の図。
【図５】実施形態の変形例の断面図。
【図６】実施形態の変形例の格子間距離とバンドギャップの相関図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、高出力素子の実施形態を図面に基づき説明する。
【０００９】
（実施形態）
図１は実施形態である高出力素子１００の断面図である。図１（ａ）は本実施形態の基板１０上に積層された各窒化物半導体層の構造であり、図１（ｂ）は窒化物半導体層上に電極を接続した、高出力素子１００の図である。
【００１０】
実施形態は基板１０の上に窒化ガリウム層（ＧａＮ層、第１の窒化物半導体層）２０が形成されている。窒化ガリウム層２０の上にチャネル層として、窒化インジウムガリウム層（ＩｎＧａＮ層、第２の窒化物半導体層）３０が形成されている。さらに窒化インジウムガリウム層３０の上に窒化アルミニウムガリウム層（ＡｌＧａＮ層、第３の窒化物半導体層）４０が形成されている。
【００１１】
基板１０の部材には珪素（Ｓｉ）、炭化珪素（ＳｉＣ）、サファイア（α-Ａｌ２Ｏ３）、窒化ガリウム（ＧａＮ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、ダイヤモンド等がある。ただし、本実施形態において、基板１０の部材についてはこれらに限定されるものではない。
【００１２】
窒化アルミニウムガリウム層４０の上にはソース電極５０とゲート電極５１とドレイン電極５２とが設けられている。ソース電極５０とゲート電極５１とドレイン電極５２とはそれぞれ離間して設けられている。ソース電極５０とドレイン電極５２とはゲート電極５１を挟むように設けられている。
【００１３】
窒化アルミニウムガリウム層４０とソース電極５０とゲート電極５１とドレイン電極５２との上には保護層を設けても良い。保護層は一例として窒化珪素（ＳｉＮ）などがある。
【００１４】
窒化ガリウム層２０と窒化インジウムガリウム層３０と窒化アルミニウムガリウム層４０とは窒化物半導体である。本実施形態において、これらの層はアルミニウム（Ａｌ）、ガリウム（Ｇａ）、インジウム（Ｉｎ）等のＩＩＩ族の元素と、窒素（Ｎ）のＶ族の元素とを組み合わせたＩＩＩ‐Ｖ族半導体である。
【００１５】
図２は実施形態の伝導帯のバンド図である。窒化インジウムガリウム層３０と窒化アルミニウムガリウム層４０とはそれぞれのバンドギャップが異なる。窒化インジウムガリウム層３０と窒化アルミニウムガリウム層４０とが接合されると、接合面（ヘテロ界面）の近傍にてエネルギー準位の量子井戸が形成され、量子井戸に電子が高密度で蓄積され、２次元電子ガス３１が形成される。
【００１６】
図３は窒化物半導体の格子間距離とバンドギャップの相関図であり、ＧａＮ、ＡｌＮ、ＩｎＮそれぞれの格子間距離の値とバンドギャップの値とをプロットし、各プロットを線で結んだものである。
【００１７】
ＧａＮとＡｌＮを結ぶ線はＡｌｙＧａ１−ｙＮの特性となる。ｙはアルミニウム元素（Ａｌ）の組成比であり、０≦ｙ≦１となる。即ちアルミニウム元素（Ａｌ）の組成比を大きくし、ガリウム元素（Ｇａ）の組成比を小さくすると、ＡｌＮに近づいていき、バンドギャップが大きくなっていく。
【００１８】
ＧａＮとＩｎＮを結ぶ線はＩｎｘＧａ１−ｘＮの特性となる。ｘはインジウム元素（Ｉｎ）の組成比であり、０≦ｘ≦１となる。即ちインジウム元素（Ｉｎ）の組成比を大きくし、ガリウム元素（Ｇａ）の組成比を小さくすると、ＩｎＮに近づいていき、バンドギャップが小さくなっていく。
【００１９】
窒化インジウムガリウム層３０のバンドギャップは窒化ガリウム層２０のバンドギャップよりも小さいため、窒化ガリウム層２０と窒化アルミニウムガリウム層４０との間に、窒化インジウムガリウム層３０を挟むことで量子井戸を深くすることができ、２次元電子ガス３１の電子密度を高くすることができる。また、インジウム元素を含有した窒化物半導体は電子の有効質量が小さいため、高速、高周波の特性を有する。
【００２０】
本実施形態の半導体装置１００は窒化インジウムガリウム層３０の膜厚を０．２６〜１００ｎｍとしている。０．２６ｎｍは窒化インジウムガリウム層３０を構成する上での最少単位である。
【００２１】
図４は本実施形態の窒化物半導体層の格子結合の図である。図４（ａ）は窒化ガリウム層２０と窒化インジウムガリウム層３０のそれぞれの格子間距離の概略図である。１格子を四角形で表している。図３より、窒化インジウムガリウム層３０の格子間距離は窒化ガリウム層２０の格子間距離よりも大きいことから、図４（ａ）のような関係となる。また、本実施形態では、窒化インジウムガリウム層３０の膜厚は０．２６〜１００ｎｍであり、窒化ガリウム層２０よりも薄い。
【００２２】
図４（ｂ）は窒化インジウムガリウム層３０の上に窒化ガリウム層２０を積層したときの格子結合の図である。窒化インジウムガリウム層３０を薄い範囲（０．２６〜１００ｎｍ）で形成すると、窒化ガリウム層２０より応力を受けるため、窒化ガリウム層２０の格子間距離に合わせて結晶が形成される。
【００２３】
ここで、窒化インジウムガリウム層３０を厚く積層し臨界膜厚を超えた場合は、窒化ガリウム層２０からの応力に耐え切れず、窒化インジウムガリウム層３０で結晶欠陥を発生させて緩和する。このため、窒化インジウムガリウム層３０の結晶性が劣化する。
【００２４】
図４（ｃ）は窒化ガリウム層２０と窒化インジウムガリウム層３０との結合について、横に連続した場合の格子結合の図である。窒化インジウムガリウム層３０にて緩和をさせずに積層することで、高出力素子のチャネル層（窒化インジウムガリウム層３０）の結晶性を高くし、移動度を高くすることが可能となる。
【００２５】
また、窒化インジウムガリウム層３０の上に積層される、窒化アルミニウムガリウム層４０についても同様に、窒化ガリウム層２０の格子間距離と合わせて積層することで、緩和しない層を形成しても良い。緩和させないことで結晶性の良い高出力素子を形成し、トラップ準位などの形成を抑制することが可能となる。
【００２６】
以下、本実施形態の半導体装置１００の製造方法について以下に説明する。半導体装置１００は、基板１０にＧａＮをＭＯＣＶＤ（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）法等により結晶成長させ、窒化ガリウム層２０を積層させる。ＭＯＣＶＤ法とは基板１０の上に有機金属とキャリアガスを基板上に供給し、加熱した基板上で気相による化学反応をすることによって、エピタキシャル成長をする方法である。
【００２７】
基板１０の上に窒化ガリウム層２０を積層させた後、有機金属原料のトリメチルインジウム（TMI）、トリメチルガリウム（TMG）、トリエチルガリウム（TEG）、トリエチルインジウム(TEI)およびアンモニアガスをキャリアガス（窒素や水素）とともに供給し、反応させることによって窒化ガリウム層２０の上に窒化インジウムガリウム層３０が積層される。
【００２８】
窒化ガリウム層２０の上に窒化インジウムガリウム層３０を積層させた後、同様にトリメチルガリウム、トリエチルガリウム、トリメチルアルミニウム（TMA）とアンモニアガス、キャリアガスを供給し、反応させることによって窒化インジウムガリウム層３０の上に窒化アルミニウムガリウム層４０が積層される。
【００２９】
ただし、ＭＯＣＶＤ法によるこれらの積層方法は一例であり、本実施形態において、ＭＯＣＶＤ法に限定されるものではない。
【００３０】
窒化アルミニウムガリウム層４０を積層した後、ソース電極５０とゲート電極５１とドレイン電極５２とを窒化アルミニウムガリウム層４０の上に形成する。
【００３１】
以上により、本実施形態の半導体装置１００は、窒化ガリウム層２０と、膜厚が０．２６〜１００ｎｍである窒化インジウムガリウム層３０と、窒化アルミニウムガリウム層４０とを有し、窒化インジウムガリウム層３０は緩和しないため、高移動度、高密度の２次元電子ガスを有する。
【００３２】
（実施形態の変形例１）
図５は実施形態の変形例である。当該変形例は基板１０と窒化ガリウム層２０との間にバッファ層６０を積層させている。基板１０と窒化ガリウム層２０との結晶構造の差異により、窒化ガリウム層２０の結晶構造に欠陥が発生し、窒化インジウムガリウム層３０の積層に影響することがあるため、バッファ層６０を挿入することで窒化ガリウム層２０の結晶性を向上させている。バッファ層６０は例えば、窒化インジウムアルミニウムガリウム層（ＩｎａＡｌｂＧａ１−ａ−ｂＮ、１≧ａ≧０、１≧ｂ≧０、）である。
【００３３】
（実施形態の変形例２）
図６は本変形例の格子間距離とバンドギャップの相関図である。図６の破線は窒化ガリウムのバンドギャップの値（約３．４ｅＶ）のラインである。図中のＡｌＮ、ＧａＮ、ＩｎＮのプロットを結んだ三角形の内、破線よりも上の領域をＡ領域とし、破線よりも下の領域をＢ領域とする。即ち、バンドギャップが窒化ガリウムよりも大きい値の領域をＡ領域とし、小さい値の領域をＢ領域とする。
【００３４】
変形例２において、第２の窒化物半導体層は窒化インジウムガリウム層３０の代わりに、バンドギャップが窒化ガリウムよりも小さい、Ｂ領域にある素材を用いても良い。即ち、第２の窒化物半導体層は、窒化インジウム層（ＩｎＮ）、または窒化ガリウム（ＧａＮ）のバンドギャップよりも低い値を有する窒化インジウムアルミニウムガリウム層（ＩｎＡｌＧａＮ）若しくは窒化インジウムアルミニウム層（ＩｎＡｌＮ）、のいずれかとしても良い。
【００３５】
また、変形例２において、第３の窒化物半導体層は窒化アルミニウムガリウム層４０の代わりに、バンドギャップが窒化ガリウムよりも大きい、Ａ領域にある素材を用いても良い。即ち、前記第３の窒化物半導体層は、窒化アルミニウム層（ＡｌＮ）、または窒化ガリウム（ＧａＮ）のバンドギャップよりも高い値を有する窒化インジウムアルミニウムガリウム層（ＩｎＡｌＧａＮ）若しくは窒化インジウムアルミニウム層（ＩｎＡｌＮ）いずれかとしても良い。
【００３６】
変形例２においても変形例１と同様にバッファ層６０を設けていても良い。
【００３７】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、そのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００３８】
１０‥‥基板、
２０‥‥窒化ガリウム層（ＧａＮ層、第１の窒化物半導体層）、
３０‥‥窒化インジウムガリウム層（ＩｎＧａＮ層、第２の窒化物半導体層）、
３１‥‥２次元電子層（２ＤＥＧ）、
４０‥‥窒化アルミニウムガリウム層（ＡｌＧａＮ層、第３の窒化物半導体層）、
５０‥‥ソース電極、
５１‥‥ゲート電極、
５２‥‥ドレイン電極、
６０‥‥バッファ層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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